(57)【要約】【課題】  複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、巨大化を防止し、更なるガスセンサの使用量を低減することができるガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置の提供。【解決手段】複数のガスセンサ１１に対してセンサ処理を同時に行うガスセンサ処理方法であって、ガス配管１０４を介して連結される複数のガスチャンバ１０１の個々に２つ以上のガスセンサ１１を、ガスセンサ挿通孔１１２を臨ませるようにして取り付け、ガス配管１０４を通じて複数のガスチャンバ１０１の個々に対してセンサ処理用ガスを充填させて、センサ処理を行う構成を有し、ガスチャンバ１０１に取り付けられる２つ以上のガスセンサ１１のガスセンサ挿通孔１１２がガスチャンバ１０１に対して同じ高さに配置されるようにガスセンサ１１をガスチャンバ１０１に取り付ける。【選択図】  図５
2008002938.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象ガス中の特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を含むセンサ素子と、測定対象ガスを該センサ素子まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うガスセンサ処理方法であって、
ガス配管を介して連結される複数のガスチャンバの個々に２つ以上の前記ガスセンサを前記ガス導入部を臨ませるようにして取り付け、
前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して前記センサ処理用ガスを充填させて、前記センサ処理を行う構成を有し、
前記ガスチャンバに取り付けられる２つ以上の前記ガスセンサの前記ガス導入部が前記ガスチャンバに対して同じ高さに配置されるようにして、前記ガスセンサを前記ガスチャンバに取り付けることを特徴とするガスセンサ処理方法。
【請求項２】
前記センサ処理用ガスとして一定濃度の前記特定ガスを含むエージング用ガスを用いることにより、前記ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のセンサ処理方法。
【請求項３】
前記センサ処理用ガスとして前記特定ガスを含む検査用ガスを用い、該検査用ガスに含まれる前記特定ガスの濃度を変化させて、その濃度変化に対する前記ガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のセンサ処理方法。
【請求項４】
複数の前記ガスチャンバは、前記ガス配管を介して直列に並置されており、
任意の前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して順に前記センサ処理用ガスを充填させることを特徴とする請求項１乃至３記載のいずれか一項に記載のセンサ処理方法。
【請求項５】
前記ガスセンサは、前記センサ素子が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面と交差する交差面に形成されており、
前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のガスセンサ処理方法。
【請求項６】
前記ガスセンサは、前記センサ素子が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面に形成されており、
前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のガスセンサ処理方法。
【請求項７】
特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、前記感ガス体に電気的に接続された金属端子と、測定対象ガスを該感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うガスセンサ処理装置であって、
ガスセンサを保持するセンサ保持部と、
前記ガスセンサの前記金属端子に電気的に接続されるコネクタ部と、
自身の個々に対して複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を自身の水平方向から臨ませることができ、ガス配管を介して個々が連結された複数のガスチャンバと、
を備えたことを特徴とするガスセンサ処理装置。
【請求項８】
前記センサ処理用ガスは、一定濃度の前記特定ガスを含むエージング用ガスであり、
前記センサ処理は、前記ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理であることを特徴とする請求項７に記載のセンサ処理装置。
【請求項９】
前記センサ処理用ガスは、前記特定ガスを含む検査用ガスであり、
前記センサ処理は、前記検査用ガスに含まれる前記特定ガスの濃度変化に対する前記ガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理であることを特徴とする請求項７に記載のセンサ処理装置。
【請求項１０】
複数の前記ガスチャンバは、前記ガス配管を介して直列に並置されており、センサ処理用ガス開口部から前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して順に前記センサ処理用ガスが充填される構成であることを特徴とする請求項７乃至９記載のいずれか一項に記載のセンサ処理装置。
【請求項１１】
前記センサ保持部として、複数の前記ガスセンサを同時に保持する保持用治具を備え、
前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面と交差する交差面に形成されており、
前記保持用治具は、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させるように前記ガスセンサを保持することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のガスセンサ処理装置。
【請求項１２】
前記センサ保持部として、複数の前記ガスセンサを同時に保持する保持用治具を備え、
前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面に形成されており、
前記保持用治具は、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させるように前記ガスセンサを保持することを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のガスセンサ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを感ガス体まで導入するガス導入部とを備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うガスセンサ処理方法およびセンサ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、特定ガス（ＣＯ、ＮＯ２など）の濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を備えて構成されるガスセンサが知られている。
このようなガスセンサは、出荷前の製造工程において、自身の特性の安定化や出力特性検査などを目的として、特定ガスを含むセンサ処理用ガスを感ガス体に供給して特定のセンサ処理（エージング処理やセンサ特性検査処理）が実行される。なお、エージング処理とは、ガスセンサの出荷前にガスセンサが所定の性能を示すように（換言すれば、出荷後に品質が低下しないように）、一定濃度の特定ガスを含むセンサ処理用ガスを用いてガスセンサをならしで駆動させ、ガスセンサの特性を安定化させる処理をいう。
【０００３】
このセンサ処理は、例えば、図１０に示すような従来型のセンサ処理装置９０１を用いて実行される。従来型センサ処理装置９０１は、複数個（例えば、３５個）のガスセンサ９０７を保持する保持用治具９０３と、保持用治具９０３を収容可能な大型ガス室（例えば、容積１００Ｌ）を有するチャンバ９０５とを備えて構成されている。そして、この従来型センサ処理装置９０１は、ガスセンサ９０７が取り付けられた保持用治具９０３がチャンバ９０５の大型ガス室の内部に配置された後、大型ガス室にセンサ処理用ガスを充填することで、各ガスセンサ９０７に対してセンサ処理用ガスを供給して、センサ処理を実行する。
【０００４】
このように複数個のガスセンサを大型ガス室に配置して同時にセンサ処理を行うことで、ガスセンサを１個ずつセンサ処理を行う場合に比べて、ガスセンサ１個あたりに要するセンサ処理の作業所要時間を短縮することができ、作業効率の向上を図ることができる。
【０００５】
しかしながら、上述のような従来型センサ処理装置においては、大型ガス室の容積が大きいために、大型ガス室の内部をセンサ処理用ガスに置き換えるためのガス置換時間が長くなり、また、ガス使用量が多くなるという問題がある。センサ処理の作業所要時間には、ガス置換時間が必ず含まれるため、ガス置換時間が長くなると、センサ処理における所定時間を一定時間以下に短縮することが難しくなり、作業効率が十分に向上することができない。また、ガス使用量が多量となると、センサ処理に要するコストが増大する問題が生じる。
【０００６】
さらに、大型ガス室の内部にセンサ処理用ガスを導入して、室内を一定濃度雰囲気に置換する場合、上述したようにガス置換時間が長くなる傾向にあり、センサ処理用ガスを導入した時点から一定濃度に達するまでの濃度勾配が緩慢な傾きを示すことになる。そのために、大型ガス室を有するチャンバを用いて複数のガスセンサに対しセンサ特性検査処理を行った場合、ガスセンサがガス濃度の急峻な変化を検出したか否かを適正に評価（検査）したものとは言い難く、センサ特性検査処理の信頼性が確実なものとは言い難い。
【０００７】
そこで、特許文献１に示すようなセンサ処理装置を用いてセンサ処理を行うことが考えられている。このセンサ処理装置は、各ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆う複数の個別ガス室を用いて、センサ処理を実行する。これにより、従来に比べて個別ガス室の容積を小さくできることでセンサ処理用ガスの使用量を減少でき、また、ガス室に対してのセンサ処理用ガスを充填する際のガス置換時間を短縮できる。さらには、個別ガス室内のセンサ処理用ガスの濃度勾配が敏感になり、精度の良い所定のセンサ処理を行うことができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−５３４６３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に示すセンサ処理装置は、個別ガス室に対して１つのガスセンサを取付けてセンサ処理を行うため、１回のセンサ処理で行えるガスセンサは個別ガス室と同個数となる。すると、従来型のセンサ処理装置９０１が１回で行えるガスセンサの個数（例えば３５個）と同個数のガスセンサを特許文献１のセンサ処理装置を行う場合、個別ガス室が、例えば３５個必要となり、センサ処理装置が巨大化を招くおそれがある。また、特許文献１のセンサ処理装置は、従来のセンサ処理装置９０１よりもセンサ処理用ガスの使用量を低減することができるが、上述のように個別ガス室が増えることなり、更なるガスセンサの使用量を低減することが難しい。
【００１０】
そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、巨大化を防止し、更なるガスセンサの使用量を低減することができるガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
かかる目的のためになされた請求項１に記載のガスセンサ処理方法は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを該感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うガスセンサ処理方法であって、ガス配管を介して連結される複数のガスチャンバの個々に前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取り付け、センサ処理用ガス開口部から前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して前記センサ処理用ガスを充填させて、前記センサ処理を行う構成を有し、複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部は、前記ガスチャンバに対して水平方向に臨ませていることを特徴とする。
【００１２】
このガスセンサ処理方法では、各ガスセンサのガス導入部を複数の個別ガス室でそれぞれ個別に覆うように取付けるのではなく、ガス配管を介して連結される複数のガスチャンバの個々にガス導入部を臨ませるようにして複数のガスセンサを取付けている。このように、１個のガスチャンバに対して複数のガスセンサのガス導入部を覆うことで、１個のガスチャンバに対して１個のガスセンサを取り付けるセンサ処理装置よりも、ガスチャンバの個数を減らすことができ、センサ処理装置の巨大化を防止できる。また、ガスチャンバの個数を減らすことができるので、更なるセンサ処理用ガスの使用量を低減することもできる。
【００１３】
なお、このガスセンサの処理方法では、複数のガスセンサの全てを収容する大型ガス室ではなく、ガス配管を介して連結される複数のガスチャンバの個々にガス導入部を臨ませるようにして複数のガスセンサを取付け、センサ処理用ガス開口部からガス配管を通じて複数のガスチャンバの個々に対してセンサ処理用ガスを充填させて、センサ処理を行っている。よって、ガスチャンバの容積を小さくできることでセンサ処理用ガスの使用量を減少でき、ガスチャンバに対してセンサ処理用ガスを充填する際のガス置換時間を短縮できていることは言うまでもない。さらに、ガスチャンバに充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配が大型ガス室を用いるセンサ処理に比べて敏感になり、精度の良い所定のセンサ処理を一括して実行することができることも言うまでもない。
【００１４】
そして、このガスセンサの処理方法では、複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を、前記ガスチャンバに対して水平方向に臨ませている。センサ処理用ガスの自重により、ガスチャンバ内の鉛直方向にセンサ処理用ガスの濃度差が発生することがある。すると、１つのガスチャンバに取付けた複数のガスセンサであっても、ガス導入部の鉛直方向の取付け位置によってガスセンサ毎にセンサ処理の評価にバラツキが生じることがある。そこで、ガスセンサのガス導入部をガスチャンバに対して水平方向に臨ませることで、ガスセンサ毎にセンサ処理の評価にバラツキが生じるのを抑制できる。
【００１５】
なお、センサ処理としては、例えば、請求項２に記載のように、センサ処理用ガスとして一定濃度の特定ガスを含むエージング用ガスを用いることにより、ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理を行うことができる。これにより、ガスセンサに対してエージング処理を行うにあたり、センサ処理装置の巨大化を抑制しつつ、エージング用ガスの更なる使用量が低減できる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いエージング処理を一括して実行することができる。
【００１６】
また、センサ処理の他の例としては、請求項３に記載のように、センサ処理用ガスとして特定ガスを含む検査用ガスを用い、検査用ガスに含まれる特定ガスの濃度に変化させて、その濃度変化に対するガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うことができる。これにより、ガスセンサに対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、センサ処理装置の巨大化を抑制しつつ、更なる検査用ガスの使用量が低減できる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度のよいセンサ特性検査処理を一括して実行することができる。
【００１７】
ところで、各ガスセンサに対して供給されるセンサ処理用ガスの濃度（詳細には、特定ガスの濃度）がそれぞれ異なる場合、ガスセンサ毎にセンサ処理の評価にばらつきが生じることとなる。そして、センサ処理用ガスのガスタンクから各ガスチャンバに対してそれぞれ並列にガス配管を接続してセンサ処理用ガスを充填する場合、ガス配管の長さ寸法や曲げ角度の違いに起因して、各ガス配管のガス流通抵抗がそれぞれ異なる値となる場合がある。このようにガス流通抵抗が異なると、ガスチャンバ毎にセンサ処理用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配に差が生じる虞がある。
【００１８】
そこで、上述のガスセンサの処理方法においては、請求項４に記載のように、複数の前記ガスチャンバは、前記ガス配管を介して直列に並置されており、前記センサ処理用ガス開口部から前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して順に前記センサ処理用ガスを充填させるとよい。
【００１９】
つまり、複数のガスチャンバをガス配管に介して直列に接続することで、ガスチャンバおよびガス配管からなるガス流通経路を複数ではなく単数（１本）に限定するのである。このようにガス流通経路１本に限定にすることで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によってガスチャンバごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、所定のセンサ処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００２０】
よって、本発明のガスセンサ処理方法によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、ガスチャンバに充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各ガスチャンバ内のセンサ処理用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ毎にセンサ処理の評価にバラツキが生じるのを防止できる。
【００２１】
ところで、本発明のガスセンサ処理を行うガスセンサとして、感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、配線基板に電気的に接続する金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、ガス導入部は前記ケースの一面と交差する交差面に形成されているものがある。このようなガスセンサを複数個ガスチャンバに無作為に取付けると、ガスチャンバに対してコネクタ外装部が様々な方向に向くことになる。このとき、コネクタ外装部に取付けられる外部回路に繋がるコネクタ部は様々な方向から取付ける必要があり、作業効率が低下することがある。
【００２２】
そこで、上述のガスセンサの処理方法においては、請求項５に記載のように、前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面と交差する交差面に形成されており、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させることが好ましい。このように、ガスチャンバに対してコネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させることで、外部回路に繋がるコネクタ部をコネクタ外装部に同方向から取付けることができ、作業効率が向上する。
【００２３】
また、本発明のガスセンサ処理を行うガスセンサには、感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、配線基板に電気的に接続する金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、ガス導入部は前記ケースの一面に形成されているガスセンサがある。このようなガスセンサを複数個ガスチャンバに無作為に取付けると、コネクタ外装部同士が接触するおそれがある。また、コネクタ外装部が接触しないまでも接近しており、そのコネクタ外装部に取付けられる外部回路に繋がるコネクタ部同士が接触したり、接近したコネクタ外装部にコネクタ部を取り付けることが困難となる虞がある。
【００２４】
そこで、上述のガスセンサの処理方法においては、請求項６に記載のように、前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面に形成されており、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させることが好ましい。このように、ガスチャンバに対して複数のガスセンサのコネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させることで、コネクタ外装部同士が接触することがなくなる。また、そのコネクタ外装部に取り付く外部回路に繋がるコネクタ部同士が接触することがなくなり、さらにはコネクタ外装部に容易にコネクタ部を取り付けることができ、作業効率が向上する。
【００２５】
次に、上述の目的を達成するためになされた請求項７に記載の発明は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、前記感ガス体に電気的に接続された金属端子と、測定対象ガスを該感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うガスセンサ処理装置であって、ガスセンサを保持するセンサ保持部と、前記ガスセンサの前記金属端子に電気的に接続されるコネクタ部と、自身の個々に対して複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を自身の水平方向から臨ませることができ、ガス配管を介して個々が連結された複数のガスチャンバと、を備えたことを特徴とする。
【００２６】
このガスセンサ処理装置は、請求項１の発明方法と同様に、各ガスセンサのガス導入部を複数の個別ガス室でそれぞれ個別に覆うように取付ける構成ではなく、自身の個々に対して複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を臨ませることができるとともに、ガス配管を介して個々が連結された複数のガスチャンバを有している。このように、１個のガスチャンバに対して複数のガスセンサのガス導入部を覆うことで、１個のガスチャンバに対して１個のガスセンサを取り付けるセンサ処理装置よりも、ガスチャンバの個数を減らすことができ、センサ処理装置の巨大化を防止できる。また、ガスチャンバの個数も減らすことができるので、更なるセンサ処理用ガスの使用量を低減することができる。
【００２７】
さらに、複数のガスセンサの全てを収容する大型ガス室ではなく、自身の個々に対して複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を臨ませることができるとともに、ガス配管を介して個々が連結された複数のガスチャンバを有している。よって、ガスチャンバの容積を小さくできることでセンサ処理用ガスの使用量を減少でき、ガスチャンバに対してセンサ処理用ガスを充填する際のガス置換時間を短縮できていることは言うまでもない。さらに、ガスチャンバに充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配が大型ガス室を用いるセンサ処理に比べて敏感になり、精度の良い所定のセンサ処理を一括して実行することができることもいうまでもない。
【００２８】
そして、このガスセンサの処理装置では、複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を、前記ガスチャンバに対して水平方向に臨ませている。センサ処理用ガスの自重により、ガスチャンバ内の鉛直方向で濃度差が発生することがある。すると、１つのガスチャンバに取付けた複数のガスセンサであっても、ガス導入部の鉛直方向の取付け位置によってガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じることがある。そこで、ガスセンサのガス導入部をガスチャンバに対して水平方向に臨ませることで、ガスセンサ毎にセンサ処理の評価にバラツキが生じるのを抑制できる。
【００２９】
なお、センサ処理としては、例えば、エージング処理があり、上述のセンサ処理装置は、請求項８に記載のように、センサ処理用ガスが一定濃度の特定ガスを含むエージング用ガスであり、センサ処理がガスセンサの特性を安定化させるエージング処理となるセンサ処理装置であるとよい。
【００３０】
このセンサ処理装置によれば、ガスセンサに対してエージング処理を行うにあたり、センサ処理装置の巨大化を抑制しつつ、更なるエージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。なお、エージング処理を行うにあたり、ガスセンサに対する通電が必要な場合には、コネクタ部を介して通電を行うことができる。
【００３１】
また、センサ処理の他の例としては、センサ特性検査処理があり、上述のセンサ処理装置は、請求項９に記載のように、センサ処理用ガスが特定ガスを含む検査用ガスであり、センサ処理が、検査用ガスに含まれる特定ガスの濃度変化に対するガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理となるガスセンサ処理装置であるとよい。
【００３２】
このガスセンサ処理装置によれば、センサ特性検査処理を行うにあたり、センサ処理装置の巨大化を抑制しつつ、更なる検査用ガスの使用量を低減できる。また、センサ特性検査処理を行うにあたり、ガスセンサからの出力は、コネクタ部を介して検出することができる。
【００３３】
ところで、各ガスセンサに対して供給されるセンサ処理用ガスの濃度（詳細には、特定ガスの濃度）がそれぞれ異なる場合、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じることになる。そして、センサ処理用ガスのガスタンクから各ガスチャンバに対してそれぞれ並列にガス配管を接続してセンサ処理用ガスを充填する場合、ガス配管の長さ寸法や曲げ角度の違いに起因して、各ガス配管のガス流通抵抗がそれぞれ異なる値となる場合がある。このようにガス流通抵抗が異なると、ガスチャンバ毎にセンサ処理用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配に差が生じる虞がある。
【００３４】
そこで、上述のガスセンサ処理装置は、請求項１０に記載のように、複数のガスチャンバが、ガス配管を介して直列に配置され、ガス配管を通じてセンサ処理用ガスが充填される構成であるとよい。つまり、ガスチャンバをガス配管を介して直列に接続することで、ガスチャンバおよびガス配管からなるガス流通経路を複数ではなく単数（１本）に限定するのである。このようにガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によってガスチャンバごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、所定のセンサ処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００３５】
よって、本発明のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、ガスチャンバに充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各ガスチャンバ内のセンサ処理用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ毎にセンサ処理の評価にバラツキが生じるのを防止できる。
【００３６】
ところで、本発明のガスセンサ処理を行うガスセンサとして、感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、配線基板に電気的に接続する金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、ガス導入部は前記ケースの一面と交差する交差面に形成されているものがある。このようなガスセンサをセンサ保持部を用いて複数個ガスチャンバに無作為に取付けると、ガスチャンバに対してコネクタ外装部が様々な方向に向くことになる。このとき、コネクタ外装部に取付けられる外部回路からのコネクタ部を様々な方向から取付ける必要があり、作業効率が低下することがある。
【００３７】
そこで、上述のガスセンサの処理装置においては、請求項１１に記載のように、前記センサ保持部として複数の前記ガスセンサを同時に保持する保持用治具を備え、前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面と交差する交差面に形成されており、前記保持用金具は、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させるように前記ガスセンサを保持することが好ましい。このように、保持用金具にてガスチャンバに対してコネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させることで、外部回路に繋がるコネクタ部をコネクタ外装部に同方向から取付けることができ、作業効率が向上する。
【００３８】
また、本発明のガスセンサ処理を行うガスセンサには、感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、配線基板に電気的に接続する金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、ガス導入部は前記ケースの一面に形成されているガスセンサがある。このようなガスセンサをセンサ保持部を用いて複数個ガスチャンバに無作為に取付けると、コネクタ外装部同士が接触するおそれがある。また、そのコネクタ外装部が接触しないまでも接近しており、そのコネクタ外装部に取付けられる外部回路に繋がるコネクタ部同士が接触したり、接近したコネクタ外装部にコネクタ部を取り付けることが困難となる虞がある。
【００３９】
そこで、上述のガスセンサの処理装置においては、請求項１２に記載のように、前記センサ保持部として、複数の前記ガスセンサを同時に保持する保持用治具を備え、前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面に形成されており、前記保持用治具は、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させるように前記ガスセンサを保持することが好ましい。このように、ガスチャンバに対して複数のガスセンサのコネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させることで、コネクタ外装部同士が接触することがなくなる。また、そのコネクタ外装部に取り付く外部回路に繋がるコネクタ部同士が接触することがなくなり、さらにはコネクタ外装部に容易にコネクタ部を取り付けることができ、作業効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下に本発明の実施例を図面と共に説明する。
実施例として、ガスセンサ１１のセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置１について説明する。図１は、２０個のガスセンサ１１がガスセンサ検査装置１に取り付けられた概略構成を表している。なお、本実施例では、１個のガスチャンバ１０１に対して２個のガスセンサ１１が取り付けられている。
【００４１】
ガスセンサ検査装置１は、２０個のガスセンサ１１に対して、特定ガスを含む検査用ガスを供給し、特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うためのセンサ処理装置である。
【００４２】
なお、ガスセンサ１１は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を有する検知素子を内部に備えており、具体的には、ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第１感ガス体と、ＮＯ２等の酸化性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第２感ガス体とを有する検知素子を内部に備えている。ガスセンサ１１の分解斜視図を図２に示し、ガスセンサ１１の平面図（上面図）を図３に示す。
【００４３】
図２及び図３に示すように、ガスセンサ１１は、基本的にセンサユニット９とケーシング１９との２つの部分からなる。センサユニット９は、センサ基板３と、該センサ基板３に一体的に組み付けられるセンサ素子モジュール５及び該センサ素子モジュール５からの出力信号を処理するためのセンサ出力処理回路部７とを有する。また、ケーシング１９は、センサ素子モジュール５に組み込まれたガスセンサ素子１１が被検知ガスと接触することを許容するためのケーシングガス入口１３、ガスセンサ素子１１からの出力信号を、センサ出力処理回路７を介して取り出すための金属端子を取り囲むコネクタ外装部１５、センサユニット９の収容空間１７等を有している。
【００４４】
図２に示すように、センサ素子モジュール５は、被検知ガス取入口５３ａが形成されたプラスチックないし金属製のキャップ５３の内部に排気ガス成分（ＮＯｘなどの酸化性ガス成分やＣＯ，ＨＣなどの還元性ガス成分）の吸着により電気抵抗値を変化させるＳｎＯ２やＷＯ３といった公知の金属酸化物半導体からなるガスセンサ素子（図示せず）が組み込まれている。ガスセンサ素子は、センサ基板３に一体的に組み付けられたセンサ出力処理回路７に接続されている。
【００４５】
一方、ケーシング１９は、本体部２１と中蓋２２と上蓋２３とを有する。上蓋２３には、被検知ガスを収容空間１７に取り込むためのケーシングガス入口１３が開口し、また、収容空間１７から被検知ガスを流出させるケーシングガス出口１４（図２の点線部分）が開口している。図２に示すように、ケーシングガス出口１４は、収容空間１７を挟んでケーシングガス入口１３と反対側に形成されている。
【００４６】
中蓋２２には、収容空間１７へ被検知ガスを直接流入させる収容空間ガス入口５５が形成されている。この収容空間ガス入口５５は、シート状のフィルタ７０にて覆われている。収容空間ガス入口５５から収容空間１７内に導入する被検知ガスは、薄いシート状のフィルタ７０を厚さ方向に透過することで、収容空間１７内のガス交換を効率的に行なうことができる。フィルタ７０は、例えばポリテトラフルオロエチレンの多孔質繊維構造体等の撥水性高分子材料からなる撥水性フィルタである。
【００４７】
本体部２１は、底壁３１及び側壁３２により上述する収容空間１７を形成している。そして、センサユニット９のセンサ出力処理回路部７からの信号を外部に取り出すための金属端子（図示せず）が側壁３２の外面から突出しており、金属端子を覆うように、コネクタ外装部１５が形成されている。また、自動車の外気取入ダクト側あるいは自動車のフロントグリル後部等に形成された図示しない取付部にガスセンサ１１を取り付けるためのセンサ取付部７３も、側壁３２の外面から突出している。
【００４８】
図１に戻り、ガスセンサ検査装置１は、１０個のガスチャンバ１０１がガス配管１０４を介して直列に接続している。具体的には、５個のガスチャンバ１０１が直線状にガス配管１０４を介して接続している。そして、このガス配管１０４で接続された５個のガスチャンバ１０１をそれぞれ図１の上下方向に２列に並べ、その２列に並べられた１０個のガスチャンバ１０１のうち、図１の最右端のガスチャンバ１０１を図１の上下方向に配置したガス配管１０４を介して接続させている。また、ガスセンサ検査装置１は、ガスセンサ１１をガスチャンバ１０１に取り付ける際に、ガスセンサ１１を載置する板状の載置台１０２と、ガスチャンバ１０１に取り付けられるガスセンサ１１に当接し、ガスチャンバ１０１との間でガスセンサ１１を挟持する板状のセンサ挟持部１０３とを備えている。なお、本実施例では、センサ挟持部１０３は、１列に並べられた５個のガスチャンバ１０１に取り付けられる１０個のガスセンサ１１のうち、ガスチャンバに対して同方向に取り付けられる５個のガスセンサ１１に対して同時に保持できるようになっている。さらに、ガスセンサ検査装置１には、検査用ガスを供給するためのセンサ処理用ガス開口部１０５が備えられている。
【００４９】
このうち、ガスチャンバ１０１について具体的に説明する。図４（ａ）はガスチャンバ１０１の斜視図であり、図４（ｂ）は、ガスチャンバ１０１の側面図であり、図４（ｃ）はガスチャンバ１０１の断面図である。なお、図４（ｂ）は、図４（ａ）の矢印方向から見たときの側面図であり、図４（ｃ）は、図４（ｂ）のｃ−ｃ´の断面図である。
【００５０】
図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）に示されるように、ガスチャンバ１０１は略円筒状を有しており、内部に検査用ガスを充填するガス室１１０が形成されている。また、ガス室１１０とガスチャンバ１０１に接続するガス配管１０４（図１参照）とを繋ぎ、検査用ガスをガス室１１０に取り入れ、または取り出すためのガス挿通孔１１１が形成されている（図４（ｃ）の左右方向）。さらに、ガス室１１０と連通して、ガスセンサ１１に被測定ガスを流入するためのガスセンサ挿通孔１１２が形成されている（図４（ｃ）の上下方向）。なお、ガスセンサ挿通孔１１２を取り囲むガスチャンバ１０１の外表面には、ガスセンサ１１とガスチャンバ１０１との密着性を向上させるためのパッキン１１３が配置されている。
【００５１】
次に、ガスセンサ検査装置１へのガスセンサ１１の装着手順について説明する。装着に際して、まず、ガスセンサ１１のうち、上蓋２３を取り外す。そして、露出した中蓋２２がガスチャンバ１０１のパッキン１１３に当接するようにしてガスセンサ１１を載置台１０２上に配置する。この際、中蓋２２の収容空間ガス入口５５がガスチャンバ１０１のガスセンサ挿通孔１１２と対応するように配置する。また、１個のガスチャンバ１０１に取り付けられる２個のガスセンサ１１のコネクタ外装部１５は、同一方向を向くようにして配置する。そして、複数のガスセンサ１１が載置台１０２上に配置した状態で、ガスセンサ１１の本体部２１に対してセンサ挟持部１０３を当接させ、さらにはセンサ挟持部１０３をガスチャンバ１０１側に押圧しつつ、載置台１０２に対してセンサ挟持部１０３を係止させることで、ガスセンサ１１をガスチャンバ１０１とセンサ挟持部１０３とにより挟持する。この際、ガスチャンバ１０１のパッキン１１３が弾性変形するので、後述するガス室１０１の検査用ガスが外部に漏れることがない。そして、２０個のガスセンサ１１のコネクタ外装部１５に対して外部回路に繋がる雌コネクタ部１２０を接続する。
【００５２】
図５には、図１における矢印の方向から見た側面図を示す。図５は、２個のガスセンサ１１が１個のガスチャンバ１０１に対して配置されており、ガスセンサ１１が載置台１０２に載置され、さらには、センサ挟持部１０３によりガスチャンバ１０１との間でガスセンサ１１を挟持している。なお、この２個のガスセンサ１１の収容空間ガス入口５５は互いにガスチャンバ１０１に対して水平方向に同一面に配置されている。そして、２個のガスセンサ１１のコネクタ外装部１５は、いずれも同方向（図５の上方向）を向いて配置され、さらに外部回路と接続する雌コネクタ部１２０に接続している。
【００５３】
次に、ガスセンサ検査装置１を用いてガスセンサ１１のセンサ特性検査処理を行う際の、作業手順について説明する。まず、ガスセンサ検査装置１に対して作業員から検査処理開始指令が入力されると、制御部（図示省略）で実行される制御処理が開始されて、制御処理の処理内容に従い、制御部から各部に駆動指令が出力される。なお、制御部は、マイクロコンピュータ（以下、マイコンともいう）を主体に構成されており、作業員からの指令やガスセンサ検査装置１の各部の状態に応じて、各種制御処理を実行可能に構成されている。
【００５４】
次に、図示しない検査用ガス供給部が、制御部からの駆動指令に基づき、センサ処理用ガス開口部１０５、ガス配管１０４を介して直列接続された１０個のガスチャンバ１０１に対して、検査用ガスを供給する。なお、検査用ガス供給部は、ガス配管１０４およびガスチャンバ１０１からなるガス流通経路のうち、一端（ガス入力端）から目標濃度の特定ガスを含む検査用ガスを注入し、他端（ガス出力端）での特定ガス濃度を検出するよう構成されている。そして、検査用ガス供給部は、ガス出力端での特定ガス濃度が目標濃度に達すると、全てのガスチャンバ１０１が目標濃度に達したと判断するよう構成されている。
【００５５】
検査用ガス供給部は、制御部からの駆動指令に基づき、ガスチャンバ１０１での特定ガス濃度を一定濃度に設定した後、特定ガス濃度が異なる検査用ガスを注入してガスチャンバ１０１における特定ガス濃度を変化させる。本実施例のガスセンサ検査装置１に備えられる検査用ガス供給部は、特定ガスとしてＣＯおよびＮＯ２をそれぞれ供給するよう構成されており、ＣＯの濃度を変化させた後、ＮＯ２濃度を変化させるという順番で検査用ガスを供給する。
【００５６】
このとき、コネクタ外装部１５に接続される検査機器は、ガスセンサ１１それぞれのガス濃度信号の状態を検出し、ＣＯの濃度を変化させた場合にガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化したか否か、およびＮＯ２の濃度を変化させた場合にガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化したか否かに基づき、各ガスセンサ１１が正常であるか異常であるかを判定する。なお、検査機器は、特定ガスの濃度変化に応じてガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化するガスセンサ１１を正常と判定し、特定ガスの濃度変化が生じてもローレベルの出力を維持するガスセンサ１１を異常と判定する。また、この特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査する工程においては、各ガスセンサ１１の感ガス体が活性化状態になるように、各ガスセンサ１１に内蔵されたヒータ（図示せず）はコネクタ外装部１５内の金属端子を介して通電状態とされ、両感ガス体を加熱している。
【００５７】
特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査する工程が終了すると、コネクタ外装部１５から雌コネクタ１２０を取り外し、さらにセンサ挟持部１０３を載置台１０２から取り外して、さらにガスセンサ１１取り除くことにより、一連のセンサ特性検査処理が終了する。
【００５８】
このように、本実施例のガスセンサ検査装置１は、ガス配管１０４を介して連結される複数のガスチャンバ１０１の個々に収容空間ガス入口５５（ガス導入部）を臨ませるようにして複数のガスセンサ１１を取付けている。このように、１個のガスチャンバ１０１に対して複数のガスセンサ１１の収容空間ガス入口５５を覆うことで、１個のガスチャンバ１０１に対して１個のガスセンサ１０１を取り付けるガスセンサ検査装置よりも、ガスチャンバ１０１の個数を減らすことができ、ガスセンサ検査装置１の巨大化を防止できる。また、ガスチャンバ１０１の個数を減らすことができるので、更なる検査用ガスの使用量を低減することもできる。
【００５９】
また、本実施例のガスセンサ検査装置１では、複数のガスセンサ１１の収容空間ガス入口５５を、ガスチャンバ１０１に対して水平方向に臨ませている。よって、複数のガスセンサ１１の取り付け位置により、ガスセンサ１１毎にセンサ特性検査処理の評価にバラツキが生じることを抑制できる。
【００６０】
また、本実施例のガスセンサ検査装置１は、複数のガスチャンバ１０１が、ガス配管１０４を介して直列に並置されており、センサ処理用ガス開口部１０５からガス配管１０５を通じて複数のガスチャンバ１０１の個々に対して順に検査用ガスを充填させている。このようにガス流通経路１本に限定にすることで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によってガスチャンバ１０１ごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、センサ特性検査処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００６１】
よって、複数のガスセンサ１１に対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、ガスチャンバ１０１に充填される検査用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各ガスチャンバ１０１内の検査用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ１１毎にセンサ特性検査処理の評価にバラツキが生じるのを防止できる。
【００６２】
さらに、本実施例のガスセンサ検査装置１では、ガスチャンバ１０１に収容空間ガス入口５５に臨ませるようにして複数のガスセンサ１１を取付けるときに、複数のガスセンサ１１のコネクタ外装部１５が同じ方向に向かって配置させているので、外部回路に繋がる雌コネクタ部１２０をコネクタ外装部１５に同方向から取付けることができ、作業効率が向上する。
【００６３】
なお、ガスセンサ検査装置１においては、収容空間ガス入口５５が特許請求の範囲に記載のガス導入部に相当し、載置台１０２及びセンサ挟持部１０３がセンサ保持部、保持用治具に相当し、雌コネクタ部１２０がコネクタ部に相当し、センサ基板３が配線基板に相当し、ケーシング１９がケースに相当するものである。
【００６４】
次に、第２実施例として、ガスセンサ１１に対してエージング処理を行うエージング処理装置２について説明する。なお、エージング処理装置２は、上述のガスセンサ検査装置１のうち、検査用ガス供給部をエージング用ガス供給部に変更し、制御部で実行される制御処理の処理内容をエージング処理用に変更して構成されている。
【００６５】
エージング用ガス供給部は、予め定められた一定濃度のＣＯおよびＮＯ２を含むエージング用ガスを供給するよう構成されている。制御部で実行される制御処理は、ガスセンサ１１のヒータに対してコネクタ外装部１５内の金属端子を介して通電しつつ両感ガス体を活性化させ、エージング用ガスを供給する状態を、一定時間継続する処理を行うように構成されている。
【００６６】
このように、第２実施例のエージング処理装置２は、ガス配管１０４を介して連結される複数のガスチャンバ１０１の個々に収容空間ガス入口５５（ガス導入部）を臨ませるようにして複数のガスセンサ１１を取付けている。このように、１個のガスチャンバ１０１に対して複数のガスセンサ１１の収容空間ガス入口５５を覆うことで、１個のガスチャンバ１０１に対して１個のガスセンサ１０１を取り付けるエージング処理装置よりも、ガスチャンバ１０１の個数を減らすことができ、エージング処理装置２の巨大化を防止できる。また、ガスチャンバ１０１の個数を減らすことができるので、更なるエージング用ガスの使用量を低減することもできる。
【００６７】
また、第２実施例のエージング処理装置２では、複数のガスセンサ１１の収容空間ガス入口５５を、ガスチャンバ１０１に対して水平方向に臨ませている。よって、複数のガスセンサ１１の取り付け位置により、ガスセンサ１１毎にエージング処理の評価にバラツキが生じることを抑制できる。
【００６８】
ところで、ガスセンサ１１は、出荷前処理として、エージング処理およびセンサ特性検査処理が実行される。このため、上述したエージング処理装置２およびガスセンサ検査装置１を用いることで、ガスセンサ１１に対する出荷前処理を行うことができる。
【００６９】
なお、出荷前処理は、先にエージング処理を実行した後に、センサ特性検査処理を実行するという順序で実行される。このため、エージング処理装置２とガスセンサ検査装置１とが、互いに異なる形状に構成されている場合には、エージング処理完了後、ガスセンサ１１をエージング処理装置２からガスセンサ検査装置１に移し替える必要が生じる。
【００７０】
これに対し、本発明のエージング処理装置２およびガスセンサ検査装置１は、エージング処理工程からセンサ特性検査処理工程に移行するにあたり、ガスセンサ１１を取り外す作業を省略することができるため、作業の簡略化を図ることができる。
【００７１】
このため、ガスセンサ１１に対してエージング処理およびセンサ特性検査処理を実行するにあたり、異なるセンサ処理位置間のガスセンサ１１の移動時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業（エージング処理作業およびセンサ特性検査処理作業）における作業時間を短縮できる。
【００７２】
次に、第３実施例として、ガスセンサ検査装置１を用いて、ガスセンサ５００対してセンサ特性検査処理を行うことについて説明する。
【００７３】
まず、第３実施例に使用されるガスセンサ５００について説明する。ガスセンサ５００においても、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を有する検知素子を内部に備えており、具体的には、ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第１感ガス体と、ＮＯ２等の酸化性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第２感ガス体とを有する検知素子を内部に備えている。ガスセンサ５００の分解斜視図を図６に示し、ガスセンサ５００の平面図（上面図）を図７に示す。
【００７４】
図６及び図７に示すように、ガスセンサ５００は、被検知ガス取入口５８１ｂが形成されたセンサ素子モジュール５８１の内部に、図示しない検知素子と、その検知素子の検知能を活性化させるためのヒータとを組み込んだものである。そして、この検知素子およびヒータが、センサ出力処理回路５８３とともに、センサ基板５８７に一体的に組み付けられている。センサ基板５８７は、プラスチック製のケーシング５９０に封入される。ケーシング５９０は、本体部５９３と、蓋５９１を有しており、蓋５９１にはセンサ出力処理回路５８３と電気的に接続する金属端子５１９（図７参照）を覆うコネクタ外装部５１７と、検知素子およびヒータを内部に有するセンサ素子モジュール５８１を内側に収容すると共に複数の収容空間ガス入口５１３が設けられたセンサ収容部５１５が形成されている。
【００７５】
ガスセンサ検査装置１は、図８に示すように、１０個のガスチャンバ１０１がガス配管１０４を介して直列に接続している。具体的には、５個のガスチャンバ１０１が直線状にガス配管１０４を介して接続している。そして、このガス配管１０４で接続された５個のガスチャンバ１０１をそれぞれ図８の上下方向に２列に並べ、その２列に並べられた１０個のガスチャンバ１０１のうち、図１の最右端のガスチャンバ１０１を図１の上下方向に配置したガス配管１０４を介して接続させている。また、ガスセンサ検査装置１は、ガスセンサ１１をガスチャンバ１０１に取り付ける際に、ガスセンサ１１を載置する板状の載置台５０２と、ガスチャンバ１０１に取り付けられるガスセンサ１１に当接し、ガスチャンバ１０１との間でガスセンサ１１を挟持する板状のセンサ挟持部５０３とを備えている。さらに、ガスセンサ検査装置１には、検査用ガスを供給するためのセンサ処理用ガス開口部１０５が備えられている。
【００７６】
次に、ガスセンサ検査装置１へのガスセンサ５００の装着手順について説明する。ガスセンサ５００の収容空間ガス入口５５がガスセンサ挿通孔１１２内に配置されるように、かつ、載置台５０２に載置されるようにガスチャンバ１０１にセンサ収容部５１５を差し込む。この際、１個のガスチャンバ１０１に取り付けられる２個のガスセンサ５００のコネクタ外装部５１７は、鉛直方向（図８の表裏方向）に異なる位置となるように配置する。そして、複数のガスセンサ５００のセンサ収容部５１５を差し込んだ状態で、ガスセンサ５００の本体部５９３に対してセンサ挟持部５０３を当接させ、さらにセンサ挟持部５０３をガスチャンバ１０１側に押圧することで、ガスセンサ５００をガスチャンバ１０１とセンサ挟持部１０３とにより挟持する。この際、ガスチャンバ１０１のパッキン１１３が弾性変形するので、ガス室１０１の検査用ガスが外部に漏れることがない。そして、２０個のガスセンサ５００のコネクタ外装部１５に対して外部回路に繋がる雌コネクタ部１２０を接続する。
【００７７】
図９には、図８における矢印の方向から見た側面図を示す。図９は、２個のガスセンサ５００が１個のガスチャンバ１０１に対して配置されており、さらには、センサ挟持部５０３によりガスチャンバ１０１との間でガスセンサ５００を挟持している。なお、この２個のガスセンサ５００の収容空間ガス入口５５は互いにガスチャンバ１０１に対して水平方向に同一面に配置されている。そして、２個のガスセンサ５００のコネクタ外装部１５は、いずれも鉛直方向（図９の上下方向）に異なる位置となるように配置され、さらに外部回路と接続する雌コネクタ部１２０に接続している。
【００７８】
その後は、実施例と同様の作業手順に従って、センサ特性検査処理を行う。
【００７９】
このように、第３実施例のガスセンサ検査装置１は、ガス配管１０４を介して連結される複数のガスチャンバ１０１の個々に収容空間ガス入口５５（ガス導入部）を臨ませるようにして複数のガスセンサ５００を取付けている。このように、１個のガスチャンバ１０１に対して複数のガスセンサ５００の収容空間ガス入口５５を覆うことで、１個のガスチャンバ１０１に対して１個のガスセンサ１０１を取り付けるガスセンサ検査装置よりも、ガスチャンバ１０１の個数を減らすことができ、ガスセンサ検査装置１の巨大化を防止できる。また、ガスチャンバ１０１の個数を減らすことができるので、更なる検査用ガスの使用量を低減することもできる。
【００８０】
また、本実施例のガスセンサ検査装置１では、複数のガスセンサ５００の収容空間ガス入口５５を、ガスチャンバ１０１に対して水平方向に臨ませている。よって、複数のガスセンサ５００の取り付け位置により、ガスセンサ５００毎にセンサ特性検査処理の評価にバラツキが生じることを抑制できる。
【００８１】
また、本実施例のガスセンサ検査装置１は、複数のガスチャンバ１０１が、ガス配管１０４を介して直列に並置されており、センサ処理用ガス開口部１０５からガス配管１０５を通じて複数のガスチャンバ１０１の個々に対して順に検査用ガスを充填させている。このようにガス流通経路１本に限定にすることで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によってガスチャンバ１０１ごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、センサ特性検査処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００８２】
よって、複数のガスセンサ１１に対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、ガスチャンバ１０１に充填される検査用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各ガスチャンバ１０１内の検査用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ１１毎にセンサ特性検査処理の評価にバラツキが生じるのを防止できる。
【００８３】
さらに、本実施例のガスセンサ検査装置１では、ガスチャンバ１０１に収容空間ガス入口５５に臨ませるようにして複数のガスセンサ１１を取付けるときに、複数のガスセンサ５００のコネクタ外装部１５が鉛直方向に異なる位置に配置させているので、コネクタ外装部１５同士が接触することがなくなる。また、そのコネクタ外装部１５に取り付く外部回路に繋がる雌コネクタ部１２０同士が接触することがなくなり、さらにはコネクタ外装部に容易に雌コネクタ部１２０を取り付けることができ、作業効率が向上する。
【００８４】
なお、ガスセンサ検査装置１においては、収容空間ガス入口５５が特許請求の範囲に記載のガス導入部に相当し、載置台５０２、及びセンサ挟持部５０３がセンサ保持部、保持用治具に相当し、雌コネクタ部１２０がコネクタ部に相当し、センサ基板５８７が配線基板に相当し、ケーシング５９０がケースに相当するものである。
【００８５】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々の態様を採ることができる。
例えば、同時に装着可能なガスセンサの個数は１０個に限ることはなく、より多数のガスセンサを装着可能となるように、ガスセンサ処理装置を構成しても良い。つまり、用途に応じてガスセンサの装着個数を設定し、ガスセンサの装着個数に応じたガスチャンバを備えるようにすればよい。
【００８６】
また、ガスセンサ検査装置１は、特性検査時における特定ガスの供給順序は、ＣＯの後にＮＯ２という順序に限ることはなく、ＮＯ２の後にＣＯという順序でもよい。また、特定ガスの種類は、２種類に限らず、１種類でも良いし、３種類以上であっても良い。
【００８７】
また、第３実施例では、ガスセンサ５００に対してセンサ特性検査のみを行ったが、エージング処理を行っても良いし、センサ特性検査及びエージング処理の両方を行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】ガスセンサ１１のセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置１の概略構成を表す構成図である。
【図２】ガスセンサ１１の分解斜視図である。
【図３】ガスセンサ１１の平面図である。
【図４】（ａ）がガスチャンバ１０１の斜視図であり、（ｂ）がガスチャンバ１０１の側面図であり、（ｃ）がガスチャンバ１０１の断面図である。
【図５】図１の矢印方向から見たガスチャンバ１０１にガスセンサ１１が取り付けられた側面図である。
【図６】ガスセンサ５００の分解斜視図である。
【図７】ガスセンサ５００の平面図である。
【図８】ガスセンサ５００のセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置１の概略構成図である。
【図９】図８の矢印方向から見たガスチャンバ１０１にガスセンサ５００が取り付けられた側面図である。
【図１０】従来のセンサ処理装置９０１の構成図である。
【符号の説明】
【００８９】
１・・・・・・・・ガス検出装置
１１、５００・・・ガスセンサ
１０１・・・・・・ガスチャンバ
１０２、５０２・・載置台
１０３、５０３・・センサ挟持部
１０４・・・・・・ガス配管
【図７】
2008002938.tif 000003
【図１０】
2008002938.tif 000004
【図１】
2008002938.tif 000005
【図２】
2008002938.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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