(57)【要約】【課題】光ファイバ心線中でのブリルアン周波数シフト量の変化により被測定物の温度を測定する際に、光ファイバ心線に生じる歪みの影響の低減と、位置精度の向上とをそれぞれ可能とした温度測定方法を提供する。【解決手段】光ファイバセンサ１０は、薄膜コーティングが施された１本の光ファイバ心線１１と、光ファイバ心線１１をルース状に収容したルースチューブ１３とから構成される。被測定物８の温度測定時に、ルースチューブ１３を被測定物８に設置し、光ファイバ心線１１中でのブリルアン周波数シフト量の変化により被測定物８の温度を測定する。光ファイバ心線１１の少なくとも１箇所は、ルースチューブ１３の任意の１点に対し、相対的位置が固定される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバセンサ中の光ファイバで発生するブリルアン散乱に起因するブルリアンゲインスペクトルのスペクトル形状と周波数シフト量の少なくとも一つにより光ファイバの長手方向の温度分布を測定する温度測定方法であって、
前記光ファイバは、薄膜コーティングが施された光ファイバ心線であり、該光ファイバ心線がチューブ内にルース状に収容され保護された状態で、被測定物に対して配置されることを特徴とする温度測定方法。
【請求項２】
前記光ファイバ心線の少なくとも１箇所は、前記チューブの任意の１点に対し、相対的位置が固定されていることを特徴とする請求項１に記載の温度測定方法。
【請求項３】
前記チューブで保護されていない前記光ファイバ心線を、前記チューブの端部近傍で固定することを特徴とする請求項２に記載の温度測定方法。
【請求項４】
前記光ファイバセンサは、前記被測定物に対して、前記光ファイバ心線が前記チューブにより保護された保護部と、前記光ファイバ心線が前記チューブから露出した露出部とが交互に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の温度測定方法。
【請求項５】
前記光ファイバセンサが前記露出部で折り返されるように、前記チューブを前記被測定物に設置することを特徴とする請求項４に記載の温度測定方法。
【請求項６】
前記チューブは、編組で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の温度測定方法。
【請求項７】
前記チューブは、線膨張係数が小さい線状部材を、前記光ファイバ心線と平行に設けたことを特徴とする請求項１に記載の温度測定方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の温度測定方法に用いられる光ファイバセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ心線中でのブリルアン周波数シフト量の変化により被測定物の温度を測定するための温度測定方法及び該方法に用いられる光ファイバセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ファイバに光を入力して光ファイバから出力されるブリルアン散乱光の周波数シフトを検出し、検出した周波数シフトを用いて温度を計測する技術が知られている（例えば、非特許文献１参照）。ブリルアン散乱とは、光ファイバ中における光と光ファイバ中の音響波との相互作用により光が散乱する現象である。
【０００３】
この非特許文献１には、ブリルアン散乱光のブリルアンゲインスペクトルが光ファイバの温度に依存して変化することを利用した技術が記載されており、特に、２３０〜３７０Ｋ付近の温度領域においてブリルアンゲインスペクトルの周波数シフトが温度に依存して線形に変化することが記載されている。
【非特許文献１】Marc Nikles,他２名、「Brillouin gain spectrum characterizationin Single-Mode optical fibers」,JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY,VOL.15,NO.10,1997年10月
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ブリルアン散乱光のゲインスペクトルは、温度に加え歪みによっても中心周波数が変化するため、歪みの影響を排除しないと温度の測定精度が悪く、温度センサとして十分な機能を果たすことができないという問題がある。
【０００５】
図１０は、従来の光ファイバを用いた温度測定方法を説明するための図である。例えば純石英ファイバの場合、温度係数，歪係数はそれぞれ１．４ＭＨｚ／Ｋ，０．０５ＭＨｚ／μεである。図１０に示すように、光ファイバ心線１０１が被測定物１００に直接設置される。その被測定物１００が０．１％（1,000με）収縮し、光ファイバ心線１０１が同時に同じ量だけ収縮したとすると、ブリルアン周波数は５０ＭＨｚもシフトしてしまうことになる。このシフト量は温度が約３６Ｋ変化することに相当し、歪みの影響をうまく除去しないと温度センサとして十分な機能を果たすことができない。この歪みの影響は、被測定物１００の伸縮からだけではなく、例えば、光ファイバ心線を保護するチューブの熱収縮など光ファイバの構成部材からもたらされることもある。
さらに、光ファイバ心線１０１をルースチューブで保護した場合、光ファイバ心線１０１は長手方向に移動しうるため、位置精度の劣化が懸念される。
【０００６】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、光ファイバ心線中でのブリルアン周波数シフト量の変化により被測定物の温度を測定する際に、光ファイバ心線に生じる歪みの影響の低減と、位置精度の向上とをそれぞれ可能とした温度測定方法及び該方法に用いられる光ファイバセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による温度測定方法は、光ファイバセンサ中の光ファイバで発生するブリルアン散乱に起因するブルリアンゲインスペクトル（ＢＧＳ）のスペクトル形状と周波数シフト量の少なくとも一つにより光ファイバの長手方向の温度分布を測定する温度測定方法であって、光ファイバは、薄膜コーティングが施された光ファイバ心線であり、光ファイバ心線がチューブ内にルース状に収容され保護された状態で、被測定物に対して配置される。この際、光ファイバ心線の少なくとも１箇所は、チューブの任意の１点に対し、相対的位置が固定されるように設置される。
なお、スペクトル形状とは、ＢＧＳのスペクトル線幅、スペクトル形状の急峻度（テーパ部の角度）、隣り合うＢＧＳスペクトルの間隔をいう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光ファイバ心線中でのブリルアン周波数シフト量の変化により被測定物の温度を測定する際に、光ファイバ心線を被測定物に直に設置せず、ルース状のチューブ内に収納することにより、光ファイバ心線が被測定物等から受ける歪みの影響を低減できるため、温度測定精度を向上させることができる。
また、光ファイバ心線の少なくとも１箇所は、チューブの任意の１点に対し、相対的位置が固定されているため、長手方向の位置精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明の光ファイバセンサの構造例を示す断面図である。図中、１０は光ファイバセンサで、該光ファイバセンサ１０は、薄膜コーティングが施された１本の光ファイバ心線１１と、光ファイバ心線１１をルース状に収容するルースチューブ１３とから構成される。光ファイバ心線１１とルースチューブ１３との間には空隙部１２が設けられ、光ファイバ心線１１はルースチューブ１３内において動き得る状態で保護される。このようなルース構造とすることで、図示しない被測定物等の収縮によって発生する光ファイバ心線１１の歪みが吸収され、被測定物の温度を精度よく測定することが可能となる。
【００１０】
なお、光ファイバ心線１１の被覆層（薄膜コーティング）としては、例えば、線膨張係数の小さいカーボンコーティングや、ポリイミド被覆などが望ましい。薄膜コーティングの厚さは、ガラスの低線膨張係数に影響しないようできるだけ薄いことが望ましいが、ガラスの弾性率の方が薄膜コーティングの弾性率よりも２桁程度大きいため、ガラス径１２５ｕｍの場合、カーボンコーティングやポリイミド被覆などの被覆厚を１００ｕｍ以下とすると、被覆によるガラスの温度伸縮の影響は１０％以下におさえられる。
【００１１】
この光ファイバセンサ１０は、室温より低温にある使用環境、特に極低温にある環境において使用する場合に、歪の影響を低減した状態で正確な温度を測定することができ、広い温度範囲を測定するのに有効である。
【００１２】
一般的に、通信用のルース型光ファイバケーブルの場合、チューブ内で光ファイバ心線の蛇行を吸収できるように光ファイバ心線とチューブとの間隔が広くとられている。一方、センサ用の光ファイバケーブルの場合、チューブ内で光ファイバ心線がまっすぐになるよう工夫されているため、光ファイバ心線１１とルースチューブ１３との空隙部１２はなるべく狭い方が好ましい。
【００１３】
また、光ファイバ心線１１とルースチューブ１３との間に摩擦があると光ファイバ心線１１の歪みが残留する場合がある。このため、光ファイバ心線１１とルースチューブ１３との摩擦係数は小さいほうが好ましい。例えば、光ファイバ心線１１が被覆材としてプラスチック樹脂を使用している場合、ルースチューブ１３の材質としてはフッ素系樹脂や金属などの比較的摩擦係数の小さいものを使用することが望ましい。
【００１４】
また、光ファイバセンサ１０の長手方向の位置精度を向上させるため、光ファイバ心線１１の少なくとも１箇所は、ルースチューブ１３の任意の１点に対し、相対的位置が固定される。
【００１５】
図２は、本発明に係る光ファイバセンサ１０を用いた温度測定システムの構成例を示す図である。図中、温度測定システムは、図１に示した光ファイバセンサ１０と、光源であるＬＤ１と、光信号を等分配するカプラ２と、光の方向を一方向に定めて逆方向に通さないようにするアイソレータ３と、光信号を増幅するアンプ４と、３つのポートを持ちそれぞれ隣り合う１つのポートにだけカップリングするサーキュレータ５と、受光素子であるＰＤ６と、ＬＤ１とＰＤ６の電気信号を演算する演算装置７とから構成されている。光ファイバセンサ１０は、１本の光ファイバ心線１１とそれを保護するルースチューブ１３とから構成され、ルースチューブ１３の少なくとも一部が被測定物８の表面に接するように設置される。
【００１６】
本実施形態においては、ルースチューブ１３を折り曲げて被測定物８の表面に設置している。これにより、ルースチューブ１３の長手方向に沿ってチューブのより多くの面積が被測定物８に接触することになり、光ファイバ心線１１が長手方向に沿って略同じ温度となるように配置される。
【００１７】
ここで、ルースチューブ１３と被測定物８とを少なくとも１点で固定するようにしてもよい。ルースチューブ１３と被測定物８を固定することで、より位置精度の良い温度測定を行うことができる。両者の固定には接着剤やテープなどを用いることができる。例えば、ルースチューブ１３を被測定物８からあまり取り外すことがない場合、エポキシ樹脂などの接着剤を使用してしっかり固定してもよい。また、ルースチューブ１３を被測定物８から取り外すことがある場合、テープを使用して着脱し易い状態で固定してもよい。
【００１８】
なお、光ファイバセンサ１０に内蔵する光ファイバ心線１１は、シングルモード、マルチモードのいずれでもよいが、マルチモードの場合、ブリルアン周波数のゲインが低下する傾向があり、シングルモードのほうがより好ましい。
【００１９】
図２に示す温度測定システムは、ＢＯＣＤＡ（Brillouin Optical Correlation Domain Analysis）による測定方式であり、ポンプ光、プローブ光を正弦波で周波数変調し、特定の位置（相関ピーク）でのみ誘導ブリルアン散乱を生じさせることで位置分解を行うようにしている。発生させたポンプ光、プローブ光に周波数変調を施すことで、測定ファイバの相関ピークにおいてポンプ光とプローブ光の位相が揃い、両者の周波数差が一定となり、この結果得られるブリルアンゲインスペクトルは鋭いピークを持つ。一方、相関ピーク以外の点では、周波数差が一定とならないため、ブリルアンゲインスペクトルは平坦な形状となる。よって、測定されるスペクトルのピーク周波数は相関ピークの位置情報を持っているため、局所的な温度測定を行うことができる。
【００２０】
ＢＯＣＤＡ方式の場合、光ファイバ心線１１の片端からプローブ光を入射し、もう片端からポンプ光を入射する両端入射とする。ＰＤ６は光ファイバ心線１１から出力されるブリルアン散乱光を受光する。演算装置７はＰＤ６で受光したブリルアン散乱光のブリルアンゲインスペクトルを検出し、その周波数シフトから被測定物８の温度を解析して求める。
【００２１】
誘導ブリルアン散乱は次のようにして発生する。すなわち、ポンプ光が光ファイバ心線１１中を伝搬すると、光ファイバ心線１１中に音響波が発生し、それによって光ファイバ心線１１中に周期的な屈折率変化が生じる。この屈折率変化は音響波の速度でポンプ光の進行方向と同じ方向に動いているので、ドップラーシフトにより散乱光の周波数はポンプ光に比べてダウンシフトする。この周波数シフトをブリルアン周波数シフトという。散乱光に近い周波数のプローブ光を入射すると、光ファイバ心線１１の音響波振動が増幅され、その結果散乱光が利得となってポンプ光からプローブ光へエネルギーの移動が生じる。これを誘導ブリルアン散乱という。
【００２２】
なお、本発明の温度測定方法は、このＢＯＣＤＡに限らず、ＢＯＴＤＲ（Brillouin Optical Time Domain Reflectometry）、ＢＯＴＤＡ（Brillouin Optical Time Domain Analysis）などの測定システムに適用してもよい。
【００２３】
本発明の温度測定方法に用いる光ファイバセンサ１０は、ルース構造にすることで、被測定物８の収縮等によって発生する光ファイバ心線１１の歪みを吸収し、被測定物８の温度を精度よく測定できるようにしている。また、光ファイバ心線１１の少なくとも１箇所は、ルースチューブ１３の任意の１点に対し、相対的位置が固定されているため、長手方向の位置精度を向上させることができる。この光ファイバセンサ１０の好適な実施形態について図３〜図９に基づいて説明する。
【００２４】
（第１の実施形態）
図３は、本発明の第１の実施形態に係る光ファイバセンサ１０の構成例を示す図である。光ファイバ心線１１がルースチューブ１３内でルース状に保護されている。図３（Ａ）に示すように、ルースチューブ１３と光ファイバ心線１１とは、ルースチューブ１３の両端（固定点Ｆ）で固定され、光ファイバ心線１１がルースチューブ１３内で長手方向に移動しないようになっている。このルースチューブ１３を被測定物８に設置し、被測定物８が０．１％（1,000με）収縮し、それと同時にルースチューブ１３が同じ量だけ収縮したとする。本実施形態では、図３（Ｂ）に示す矢印の方向にルースチューブ１３が収縮すると、この収縮に応じて光ファイバ心線１１はルースチューブ１３内で蛇行する。
【００２５】
光ファイバ心線１１は、ルースチューブ１３内で蛇行することで、チューブ長より長くなった分の歪みを吸収することができるため、前述の図１０に示した従来例（光ファイバ心線を直に被測定物に設置した場合）と比べて光ファイバ心線に大きな歪みが発生しない。例えば、ガラス径１２５μｍ、被覆径２５０μｍの光ファイバ心線を、内径０．５ｍｍ／外径１．０ｍｍのチューブ内にルース状に保護した場合、光ファイバ心線に生じる歪みは３５με（温度換算で１．２５Ｋ）程度となる。これは、従来の光ファイバ心線を単体で被測定物に設置した場合の１，０００με（温度換算で３６Ｋ）と比較して大きく低減されており、温度の測定精度を大きく向上させることができる。
【００２６】
また、光ファイバ心線１１は、ルースチューブ１３の両端末で固定されているため、光ファイバ心線１１が長手方向に大きく移動することなく、位置精度の向上を図ることができる。
【００２７】
（第２の実施形態）
図４は、本発明の第２の実施形態に係る光ファイバセンサ１０の構成例を示す図である。図４（Ａ）に示すように、ルースチューブ１３と光ファイバ心線１１とは、ルースチューブ１３の一方の端部（固定点Ｆ）のみで片端固定され、他方の端部はフリーとなっている。このルースチューブ１３を第１の実施形態と同様に被測定物８に設置し、被測定物８が０．１％（1,000με）収縮し、それと同時にルースチューブ１３が同じ量だけ収縮したとする。本実施形態では、図４（Ｂ）に示す矢印の方向にルースチューブ１３が収縮しても、片端フリーとしたために、収縮による歪みを逃がすことができ、光ファイバ心線１１は蛇行せず、その歪みは両端を固定した場合の３５μεより小さくすることができる。
【００２８】
また、第１の実施形態に示したように、２点以上の複数点で固定するのではなく、敢えて１点で固定することにより位置精度と歪の低減を図ることができる。
また、ルースチューブ１３と光ファイバ心線１１との固定は、材質自身または固定方法により、縮まない、または、縮み量が小さい被覆の場合には２点以上で固定し、縮む場合にはどこか１点で固定するようにしてもよい。
【００２９】
ただし、片端フリーであっても光ファイバ心線１１とルースチューブ１３との間に摩擦があると、光ファイバ心線１１の歪みが残留する場合がある。そこで、例えば、光ファイバ心線１１の被覆材としてプラスチック樹脂を使用している場合、ルースチューブ１３の材質はフッ素系樹脂や金属などを選定することにより、摩擦係数を０．２以下と小さくすることができる。
【００３０】
また、ルースチューブ１３の内径と光ファイバ心線１１の外径とのクリアランスは小さいほうが光ファイバ心線１１のルースチューブ１３に対する過不足分を補うことができる。ただし、実際にはもともと心線自体に僅かながらうねりや蛇行があるのが普通であるために下限も必要で、ルースチューブ１３の内径は光ファイバ心線１１の外径の１．０５倍〜１０倍、望ましくは１．２倍〜４倍の範囲がよい。
【００３１】
さらに、チューブ長が長いとルースチューブ１３と光ファイバ心線１１とが１点で固定されていたとしても、光ファイバ心線１１のルースチューブ１３に対する過不足分を十分に補正することができず、光ファイバ心線１１に歪が加わってしまうため、チューブ長は１０ｍ以下、望ましくは１ｍ以下がよい。
【００３２】
また、被測定物８が０．１％（1,000με）収縮し、それと同時にルースチューブ１３が同じ量だけ収縮した例を挙げたが、仮に高温でルースチューブ１３が光ファイバ心線１１よりも伸びて光ファイバ心線１１が張られた状態になったとしても、ルースチューブ１３と光ファイバ心線１１とが１点でのみ固定されていれば、光ファイバ心線１１の張りを低減するようにチューブ外の心線がチューブ内に引き込まれるため、高温環境においても有効である。
【００３３】
（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態に係る光ファイバセンサ１０の構成例を示す図である。光ファイバ心線１１とルースチューブ１３の固定点Ｆは、端末部に限らず、ルースチューブ１３の中央部付近であってもよい。この場合、チューブ長は実質的に半減し、片端フリーの効果がより大きくなる。また、固定点Ｆは、固定点Ｆでも歪みが生じにくくするために、光ファイバ心線１１がルースチューブ１３に対して周方向にわずかに移動できるように、ゲルやジェリーなどで緩く固定してもよい。
【００３４】
固定点Ｆはルースチューブ１３の端末部や中央部付近に限定されず、ルースチューブ１３の長手方向における任意の点であればよい。なお、光ファイバ心線１１とルースチューブ１３の固定に使用する接着材としてはエポキシ樹脂などが用いられる。
【００３５】
また、変形例として、光ファイバ心線１１とルースチューブ１３とを固定せず、相互にフリーとしてもよい。この場合、光ファイバ心線１１が長手方向に移動するのを防止するために、固定点Ｆを、ルースチューブ１３で保護されていない光ファイバ心線１１上であって、ルースチューブ１３の端末部近傍に設けるようにしてもよい。例えば、フィードスルー用ケーブルとの接続部などで固定するようにしてもよい。
【００３６】
（第４の実施形態）
図６は、本発明の第４の実施形態に係る光ファイバセンサ１０の構成例を示す図である。本実施形態の光ファイバセンサ１０は、光ファイバ心線１１がルースチューブ１３で保護された保護部と、光ファイバ心線１１が周方向に完全に露出した露出部１４とから構成されている。このように、ルースチューブ１３を短いチューブに分割して被測定物８に交互に設置することで、光ファイバ心線１１とルースチューブ１３間の摩擦による蛇行を少なくし、光ファイバ心線１１に生じる歪みをさらに小さく抑えることができる。
【００３７】
なお、図６に示す例では、ルースチューブ１３で保護された保護部と、光ファイバ心線１１が周方向に完全に露出した露出部１４の例を示したが、ルースチューブ１３に長手方向に間欠的に孔を開けて光ファイバ心線１１の露出部としてもよい。
【００３８】
ＢＯＣＤＡ測定では、ｃｍオーダーの分布計測が可能であるため、光ファイバセンサ１０の固定部／非固定部を区別して計測することができる。このため、本実施形態のような設置方法を選択することが可能となる。光ファイバセンサ１０を固定する固定点Ｆは、例えば、フィードスルー用ケーブル１５との接続部などが挙げられ、歪みの発生源となる固定部の数を減らすことができる。
【００３９】
ここで、図６に示すように、複数の短いチューブを用いると、ルースチューブ１３で保護されていない部分の光ファイバ心線１１が蛇行して歪みが発生したり、伝送損失が増加したりする原因となる場合がある。そこで、図７に示すように、光ファイバセンサ１０が露出部１４で折り返されるように、ルースチューブ１３を被測定物８に設置するようにしてもよい。なお、光ファイバ心線１１が長手方向に移動しないように、ここでは光ファイバセンサ１０の両端付近における２ヶ所の固定点Ｆで固定されている。
【００４０】
図７において、ルースチューブ１３には１本の光ファイバ心線１１が挿入されている例を示したが、１本のルースチューブ１３に２本の光ファイバ心線１１が折り返し計２本挿入されていてもよい。
【００４１】
（第５の実施形態）
図８は、本発明の第５の実施形態に係る光ファイバセンサ１０の構成例を示す図である。本実施形態のルースチューブは、編組１６で構成され、両端２ヶ所の固定点Ｆで光ファイバ心線１１と固定された状態で被測定物８に設置される。この編組１６は細い繊維を編み合わせたもので、通常のチューブでは曲げ剛性が大きすぎるため使用できない金属やガラスなどの無機材料を使用することができる。これら無機材料は、線膨張係数が小さく、弾性率が大きいため、温度変化による光ファイバ心線保護部（すなわちルースチューブで保護された部分）の伸縮を小さく抑えることができる。
【００４２】
仮に編組１６に温度変化の大きな材料を使用したとしても、長手方向の伸縮が径方向の伸縮に変換されるため、光ファイバ心線１１が編組１６内で蛇行し歪みが増大するのを防ぐことができる。
【００４３】
また、編組１６は適度に表面凹凸があるために、光ファイバ心線１１との摩擦係数が小さく、歪みを小さくできるという利点もある。さらに、編組１６で覆われた光ファイバ心線１１は外気もしくは液体と直接触れることになるため、熱応答速度が高いという利点もある。
【００４４】
（第６の実施形態）
図９は、本発明の第６の実施形態に係る光ファイバセンサ１０の構成例を示す図である。本実施形態のルースチューブ１３は、線膨張係数が小さい線状部材１７を、光ファイバ心線１１と平行に設けている。このように線状部材１７を内蔵することで、ルースチューブ１３自体が温度や外力に対して伸縮しにくく、チューブ内の光ファイバ心線１１が蛇行したり、伸ばされたりして歪みが生じるのを防ぐことができる。
【００４５】
線状部材１７は、光ファイバ心線１１の材質（ガラス）と同等あるいはそれ以下の線膨張係数を有する材質が望ましく、ガラスや金属などの無機材料や、ガラスやカーボンなどを含有する樹脂材料などであってもよい。また、ガラスフィラーなどを含有する樹脂を押し出したチューブを用いてもよい。
【００４６】
以上説明したように、本発明によれば、光ファイバ心線中でのブリルアン周波数シフト量の変化により被測定物の温度を測定する際に、光ファイバ心線を被測定物に直に設置せず、ルース状のチューブ内に収納することにより、光ファイバ心線が被測定物等から受ける歪みの影響を低減できるため、温度測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の光ファイバセンサの構造例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る光ファイバセンサを用いた温度測定システムの構成例を示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る光ファイバセンサの構成例を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る光ファイバセンサの構成例を示す図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係る光ファイバセンサの構成例を示す図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係る光ファイバセンサの構成例を示す図である。
【図７】光ファイバセンサの設置例を示す図である。
【図８】本発明の第５の実施形態に係る光ファイバセンサの構成例を示す図である。
【図９】本発明の第６の実施形態に係る光ファイバセンサの構成例を示す図である。
【図１０】従来の光ファイバを用いた温度測定方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…ＬＤ、２…カプラ、３…アイソレータ、４…アンプ、５…サーキュレータ、６…ＰＤ、７…演算装置、８，１００…被測定物、１０…光ファイバセンサ、１１，１０１…光ファイバ心線、１２…空隙部、１３…ルースチューブ、１４…露出部、１５…フィードスルー用ケーブル、１６…編組、１７…線状部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008170182.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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