(57)【要約】【課題】タンクに収容された液状樹脂をウェーハに被覆する場合において、タンク内に液状樹脂がなくなった場合にも、生産性を低下させずに液状樹脂を被覆する。【解決手段】液状樹脂供給源５０から液状樹脂ノズル４１に供給された液状樹脂４１ａをウェーハに滴下して保護膜を被覆する装置において、液状樹脂を収容する第一の収容タンク５１及び第二の収容タンク５２のいずれかを選択して液状樹脂ノズル４１に液状樹脂４１ａを供給するタンク選択部５５を備え、タンク選択部５５は、第一の収容タンク５１及び第二の収容タンク５２の液状樹脂が所定の液量を下回ると、液状樹脂ノズル４１に液状樹脂を供給するタンクを切り替える。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハにレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、該ウェーハの加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置とを少なくとも備えたレーザー加工装置であって、
該保護膜被覆装置は、ウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたウェーハの加工面に液状樹脂を滴下する液状樹脂ノズルと、該液状樹脂ノズルに連通する液状樹脂供給源とから構成され、
該液状樹脂供給源は、少なくとも、液状樹脂を収容する第一の収容タンク及び第二の収容タンクと、該第一の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第一の液量センサと、該第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第二の液量センサと、該第一の収容タンクまたは該第二の収容タンクのいずれかを選択して該液状樹脂ノズルと連通させるタンク選択部とから構成され、
該タンク選択部は、該第一の収容タンクと該液状樹脂ノズルとが連通した状態において該第一の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを該第一の液量センサが検知することによって該第二の収容タンクと該液状樹脂ノズルとを連通させ、該第二の液状樹脂収容タンクと該液状樹脂ノズルとが連通した状態において該第二の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを該第二の液量センサが検知することによって該第一の収容タンクと該液状樹脂ノズルとを連通させるレーザー加工装置。
【請求項２】
前記第一の収容タンクまたは前記第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを前記第一の液量センサまたは前記第二の液量センサが検知した旨を報知する報知部を備えた請求項１に記載のレーザー加工装置。
【請求項３】
ウェーハの加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置であって、
ウェーハを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持されたウェーハの加工面に液状樹脂を滴下する液状樹脂ノズルと、該液状樹脂ノズルに連通する液状樹脂供給源とから構成され、
該液状樹脂供給源は、少なくとも、液状樹脂を収容する第一の収容タンク及び第二の収容タンクと、該第一の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第一の液量センサと、該第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第二の液量センサと、該第一の収容タンクまたは該第二の収容タンクのいずれかを選択して該液状樹脂ノズルと連通させるタンク選択部とから構成され、
該タンク選択部は、該第一の収容タンクと該液状樹脂ノズルとが連通した状態において該第一の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを該第一の液量センサが検知することによって該第二の収容タンクと該液状樹脂ノズルとを連通させ、該第二の液状樹脂収容タンクと該液状樹脂ノズルとが連通した状態において該第二の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを該第二の液量センサが検知することによって該第一の収容タンクと該液状樹脂ノズルとを連通させる保護膜被覆装置。
【請求項４】
前記第一の収容タンクまたは前記第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを前記第一の液量センサまたは前記第二の液量センサが検知した旨を報知する報知部を備えた請求項３に記載の保護膜被覆装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置及び保護膜被覆の機能を有するレーザー加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが加工予定ラインによって区画されて形成されたウェーハは、加工予定ラインを切断することにより個々のデバイスに分割される。加工予定ラインを切断する方法としては、欠け等が生じにくい等の理由により、レーザー光の照射による方法も採用されている。
【０００３】
ところが、ウェーハの表面の加工予定ラインにレーザー光を照射して加工を行うと、デブリが飛散してデバイスの表面に付着し、品質の低下を招くという問題がある。そこで、レーザー光による加工の前にウェーハの表面に予め保護膜を被覆する機能を備えたレーザー加工装置が提案されている。このレーザー加工装置においては、タンクに蓄えられた液状樹脂がノズルからウェーハの表面に滴下され、ウェーハが回転することにより、滴下された液状樹脂がウェーハの表面全面に被覆されて固化し、保護膜となる（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２２１６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、タンク内の液状樹脂が空になると、加工を中断し、タンクを液状樹脂が入ったものに交換したり、空になったタンクに液状樹脂を補充したりしなければならず、生産性が低下するという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、タンクに収容された液状樹脂を保護膜としてウェーハに被覆する場合において、タンク内に液状樹脂がなくなった場合にも、生産性を低下させずに保護膜の被覆を続行できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第一の発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハにレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、ウェーハの加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置とを少なくとも備えたレーザー加工装置に関するもので、保護膜被覆装置は、ウェーハを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持されたウェーハの加工面に液状樹脂を滴下する液状樹脂ノズルと、液状樹脂ノズルに連通する液状樹脂供給源とから構成され、液状樹脂供給源は、少なくとも、液状樹脂を収容する第一の収容タンク及び第二の収容タンクと、第一の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第一の液量センサと、第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第二の液量センサと、第一の収容タンクまたは第二の収容タンクのいずれかを選択して液状樹脂ノズルと連通させるタンク選択部とから構成され、タンク選択部は、第一の収容タンクと液状樹脂ノズルとが連通した状態において第一の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを第一の液量センサが検知することによって第二の収容タンクと液状樹脂ノズルとを連通させ、第二の液状樹脂収容タンクと液状樹脂ノズルとが連通した状態において第二の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを第二の液量センサが検知することによって第一の収容タンクと液状樹脂ノズルとを連通させることを特徴とする。
【０００８】
第二の発明は、ウェーハの加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置に関するもので、ウェーハを保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持されたウェーハの加工面に液状樹脂を滴下する液状樹脂ノズルと、液状樹脂ノズルに連通する液状樹脂供給源とから構成され、液状樹脂供給源は、少なくとも、液状樹脂を収容する第一の収容タンク及び第二の収容タンクと、第一の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第一の液量センサと、第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを検知する第二の液量センサと、第一の収容タンクまたは第二の収容タンクのいずれかを選択して液状樹脂ノズルと連通させるタンク選択部とから構成され、タンク選択部は、第一の収容タンクと液状樹脂ノズルとが連通した状態において第一の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを第一の液量センサが検知することによって第二の収容タンクと液状樹脂ノズルとを連通させ、第二の液状樹脂収容タンクと液状樹脂ノズルとが連通した状態において第二の収容タンクの液状樹脂が所定液量を下回ったことを第二の液量センサが検知することによって第一の収容タンクと液状樹脂ノズルとを連通させることを特徴とする。
【０００９】
上記レーザー加工装置及び保護膜被覆装置においては、第一の収容タンクまたは第二の収容タンクに収容された液状樹脂が所定液量を下回ったことを第一の液量センサまたは第二の液量センサが検知した旨を報知する報知部を備えることが望ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、少なくとも２個の収容タンクを備えており、これらの収容タンクは液状樹脂ノズルに選択的に連通し、いずれかのタンクの液状樹脂が所定液量を下回った際には他のタンクと液状樹脂ノズルとを連通させることができるため、一方のタンクの液状樹脂が所定液量を下回っても、液状樹脂ノズルへの液状樹脂の供給を止めることなく、所定液量を下回った方のタンクを交換したり、液状樹脂を補充したりすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１に示すレーザー加工装置１は、ウェーハにレーザー光を照射して加工を施す装置であり、ウェーハを保持するチャックテーブル２と、チャックテーブル２に保持されたウェーハにレーザー光を照射して加工を施すレーザー光照射手段３と、ウェーハの表面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置４とを備えている。
【００１２】
加工対象のウェーハＷは、テープＴを介してフレームＦと一体となって支持された状態でウェーハカセット５ａに収容される。なお、以降では、テープＴを介してフレームＦに支持されたウェーハＷのことを、単にウェーハＷと記すこととする。
【００１３】
ウェーハカセット５ａは、カセット載置領域５に載置されている。ウェーハカセット５ａの近傍には、ウェーハカセット５ａからのウェーハＷの搬出及び加工済みのウェーハＷのウェーハカセット５ａへの搬入を行う搬出入手段６が配設されている。搬出入手段６は、挟持部６ａによってフレームＦを挟持してＹ軸方向に移動可能となっている。搬出入手段６とウェーハカセット５ａとの間には、搬出入されるウェーハＷを仮置きする領域である仮置き領域７が設けられている。
【００１４】
レーザー加工装置１の前部側には、ウェーハＷを保持してＸ軸方向に移動可能であると共に回転可能であるチャックテーブル２が配設されている。そして、仮置き領域７とチャックテーブル２との間には、ウェーハＷを仮置き領域７とチャックテーブル２との間で搬送する第一の搬送手段８が配設されている。
【００１５】
チャックテーブル２のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハに形成された加工予定ラインを検出するアライメント手段９が配設されている。アライメント手段９には、ウェーハＷを撮像する撮像部９ａを有しており、撮像部９ａが取得した画像と、予め記憶させておいた画像とのパターンマッチングによって、加工予定ラインを検出する。撮像部９ａによって取得された画像は、表示手段１２に表示させることができる。
【００１６】
チャックテーブル２のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハを加工するためのレーザー光を照射するレーザー光照射手段３が配設されている。レーザー光照射手段３は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能で下方に向けてレーザー光を照射する機能を有する加工ヘッド３０と、レーザー光の出力を調整する出力調整手段３１と、レーザー光を発振させてパルスレーザー光とする発振手段３２と、パルスレーザー光の周波数を設定する周波数設定手段３３とを備えている。
【００１７】
チャックテーブル２の近傍には、ウェーハＷの表面に樹脂の保護膜を被覆する保護膜被覆装置４が配設されている。この保護膜被覆装置４は、加工後のウェーハを洗浄する洗浄装置としても機能しうるものである。保護膜被覆装置４の上方には、ウェーハＷをチャックテーブル２と保護膜被覆装置４との間で搬送する第二の搬送手段１１が配設されている。
【００１８】
図２に示すように、保護膜被覆装置４は、ウェーハＷを保持して回転する保持テーブル４０と、保持テーブル４０に保持されたウェーハＷの加工面に液状樹脂を滴下する液状樹脂ノズル４１とを備えている。また、図２の例における保護膜被覆装置４は、ウェーハＷのレーザー加工後の洗浄を行う洗浄装置としても機能するものであるため、洗浄水を噴出する洗浄水供給ノズル４２及び乾燥のための高圧エアーを噴出するエアーノズル４３も備えている。
【００１９】
保持テーブル４０は、軸部４４を介して駆動部４５に連結されており、駆動部４５の内部のモータに駆動されて回転するように構成されている。また、駆動部４５はエアピストン４６によって昇降可能となっており、駆動部４５の昇降に伴い保持テーブル４０も昇降する構成となっている。
【００２０】
保持テーブル４０は、フレームＦを支持するフレーム支持部４０ａと、ウェーハ領域、すなわちテープＴのうちウェーハＷが貼着された部分を支持するウェーハ領域支持部４０ｂとから構成される。ウェーハ領域支持部４０ｂは、ポーラス部材により形成され、図示しない吸引源と連通してウェーハ領域を吸引保持することができる。一方、フレーム支持部４０ａは、リング状に形成された板状部材により構成される。保持テーブル４０の外周側下方には、垂れ落ちた液状樹脂を受け止める受け部４７と、受け部４７に滞留した液状樹脂を排出する排出部４８とが配設されている。
【００２１】
図３に示すように、液状樹脂ノズル４１は、駆動源４９に駆動されて回動可能となっている。液状樹脂ノズル４１は、液状樹脂供給源５０に連通している。液状樹脂供給源５０は、液状樹脂を収容する第一の収容タンク５１及び第二の収容タンク５２を備えている。第一の収容タンク５１には、第一の収容タンク５１に収容された液状樹脂が所定の液量を下回ったことを検知する第一の液量センサ５３を備えている。一方、第二の収容タンク５２には、第二の収容タンク５２に収容された液状樹脂が所定の液量を下回ったことを検知する第二の液量センサ５４を備えている。ここで、第一の収容タンク５１及び第二の収容タンク５２における所定の液量は、第一の液量センサ５３及び第二の液量センサ５４の下端の位置と、第一の収容タンク５１及び第二の収容タンク５２の底面積とによって定まる。
【００２２】
液状樹脂ノズル４１と第一の収容タンク５１及び第二の収容タンク５２との間には、第一の収容タンク５１または第二の収容タンク５２のいずれかを選択して液状樹脂ノズル４１に連通させるタンク選択部５５と、連通したいずれかの収容タンクから液状樹脂を汲み上げて液状樹脂ノズル４１に供給するポンプ５６が介在している。
【００２３】
第一の液量センサ５３及び第二の液量センサ５４は、制御部５７に接続されており、検知結果は制御部５７に通知される。制御部５７では、第一の液量センサ５３及び第二の液量センサ５４から通知される情報に応じて、タンク選択部５５を制御する。タンク選択部５５は、例えば三方弁により構成される。また、制御部５７は、第一の液量センサ５３及び第二の液量センサ５４から通知される情報に応じて、オペレータに報知するための情報を表示手段１２に表示させる。
【００２４】
図１に示したウェーハカセット５ａに収容されたウェーハＷは、搬出入手段６によって仮置き領域７に搬出され、第一の搬送手段８によって保護膜被覆装置４に搬送され、保持テーブル４０に載置される。
【００２５】
保持テーブル４０にウェーハＷが載置されると、フレームＦが図２に示したフレーム支持部４０ａに支持され、ウェーハＷが貼着されている部分のテープＴがウェーハ領域支持部４０ｂによって吸引保持される。
【００２６】
そして、図４に示すように、保持テーブル４０を下降させ、保持テーブル４０を回転させると共に、液状樹脂ノズル４１の先端をウェーハＷを回転中心の上方に位置付け、液状樹脂ノズル４１から液状樹脂４１ａを滴下する。そうすると、滴下された液状樹脂は、保持テーブル４０の回転によりウェーハＷの加工面全面に行き渡る。被覆された液状樹脂は、図５に示すように、固化して加工面全面を被覆する保護膜４１ｂとなる。
【００２７】
こうしてウェーハＷの加工面に樹脂が被覆されると、保持テーブル４０の回転を停止させ、液状樹脂ノズル４１をウェーハＷの上方から待避させてから、図１に示した第二の搬送手段１１によって樹脂が被覆されたウェーハＷを支持するフレームＦを吸着してチャックテーブル２に搬送し、チャックテーブル２においてウェーハＷを吸引保持する。
【００２８】
次に、チャックテーブル２が＋Ｘ方向に移動してアライメント手段９の直下に位置付けられ、撮像部９ａによってウェーハＷの表面が撮像され、加工すべき加工予定ラインが検出され、加工ヘッド３０とのＹ軸方向の位置合わせが行われる。そして更にチャックテーブル２を同方向に加工送りすると共に、検出された加工予定ラインに加工ヘッド３０からレーザー光が照射され、その加工予定ラインがアブレーション加工される。
【００２９】
また、チャックテーブル２をＸ軸方向に加工送りするとともに、隣り合う加工予定ラインの間隔分だけレーザー光照射手段３をＹ軸方向に割り出し送りしながらレーザー光の照射を行うと、同方向の加工予定ラインがすべてアブレーション加工される。
【００３０】
更に、チャックテーブル２を９０度回転させてから、上記と同様にレーザー光を照射すると、すべての加工予定ラインが縦横にアブレーション加工され、個々のデバイスに分割される。
【００３１】
なお、１枚のウェーハＷのアブレーション加工が行われている間に、次のウェーハがウェーハカセット５ａから搬出され、保護膜被覆装置４に搬送され、そのウェーハの加工面に保護膜が被覆される。こうしてウェーハカセット５ａに収容されたウェーハの加工面に順次保護膜が被覆されていく。
【００３２】
このようにして、第一の収容タンク５１から液状樹脂ノズル４１に液状樹脂が供給された状態で保護膜の被覆が行われていくと、図６に示すように、やがて第一の収容タンク５１に蓄えられた液状樹脂が所定液量を下回る。そうすると、第一の液量センサ５３がそのことを検知し、液状樹脂が所定液量を下回った旨の情報を制御部５７に送信する。その情報を受信した制御部５７では、図６に示すように、タンク選択部５５を作動させることにより、液状樹脂ノズル４１と第一の収容タンク５１との連通状態を解除すると共に、液状樹脂ノズル４１と第二の収容タンク５２とを連通させる。そうすると、その後は、第二の収容タンク５２に貯留された液状樹脂が液状樹脂ノズル４１に供給される。
【００３３】
第二の収容タンク５２に貯留された液状樹脂が液状樹脂ノズル４１に供給されている間に、第一の収容タンク５１を液状樹脂が十分に貯留された新たな収容タンクに交換したり、第一の収容タンク５１に液状樹脂を補充したりすることができる。なお、第一の収容タンク５１の液状樹脂が所定液量を下回った旨の情報を制御部５７が受信した時に、その旨を表示手段１２に表示したり、警告音を鳴らしたりすることにより、収容タンクの交換等をオペレータに促すことができる。すなわち、表示手段１２や警告音を鳴らす部位が報知部として機能する。
【００３４】
一方、第二の収容タンク５２に貯留された液状樹脂が所定液量を下回ると、第二の液量センサ５４がそのことを検知し、液状樹脂が所定液量を下回った旨の情報を制御部５７に送信する。その情報を受信した制御部５７では、タンク選択部５５を作動させることにより、図３に示したように、液状樹脂ノズル４１と第二の収容タンク５２との連通状態を解除すると共に、液状樹脂ノズル４１と第一の収容タンク５１とを連通させ、第一の収容タンク５１に貯留された液状樹脂が液状樹脂ノズル４１に供給されるようにする。
【００３５】
第一の収容タンク５１に貯留された液状樹脂が液状樹脂ノズル４１に供給されている間に、第二の収容タンク５２を液状樹脂が十分に貯留された新たな収容タンクに交換したり、第二の収容タンク５２に液状樹脂を補充したりすることができる。なお、第二の収容タンク５２の液状樹脂が所定液量を下回った旨の情報を制御部５７が受信した時に、その旨を表示手段１２に表示したり、警告音を鳴らしたりすることにより、収容タンクの交換等をオペレータに促すことができる。
【００３６】
このように、片方の収容タンクの液状樹脂が少なくなると、他方の収容タンクに切り替えて液状樹脂の被覆を続行できるため、タンクの交換等のために保護膜の被覆が中断することがなく、生産性を低下させることがない。
【００３７】
ウェーハＷがデバイスに分割された後は、チャックテーブル２が元の位置に戻る。そして、第二の搬送手段１１によってウェーハＷが保護膜被覆装置４に搬送され、保持テーブル４０に載置される。
【００３８】
図２に示した保持テーブル４０のウェーハ領域支持部４０ｂによってウェーハＷの部分に貼着されたテープＴが吸引保持されると、保持テーブル４０が回転し、図２に示した洗浄水供給ノズル４２がウェーハＷの上方に移動してウェーハＷに向けて高圧水が噴出され、樹脂が被覆されたウェーハＷの表面側が洗浄される。また、洗浄後は、洗浄水供給ノズル４２が退避すると共に、エアーノズル４３がウェーハＷの上方に移動して、回転するウェーハＷに向けて高圧エアーが噴出され、洗浄水を除去する。ウェーハの洗浄及び乾燥は、保護膜被覆装置４において行われるため、ウェーハの加工面への保護膜の被覆と時間的に重ならないように行われる。
【００３９】
洗浄及び乾燥されたウェーハＷは、図１に示した第一の搬送手段８によって仮置き領域７に搬送される。そして、搬出入手段６によってウェーハカセット５ａに収容される。
【００４０】
なお、上記の例では、収容タンクが２つの場合について説明したが、収容タンクを３つ以上備え、３つ以上のタンクのいずれかと液状樹脂ノズルとを連通させる構成としてもよい。また、保護膜被覆装置は、レーザー加工装置に搭載されずに単体として使用されることもあり、レーザー加工装置以外の装置に搭載されて使用されることもある。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】レーザー加工装置の一例を示す斜視図である。
【図２】保護膜被覆装置の一例を示す斜視図である。
【図３】保護膜被覆装置及び液状樹脂供給源の構成を示す説明図である。
【図４】ウェーハの加工面に樹脂を被覆する状態を示す斜視図である。
【図５】保護膜が被覆されたウェーハを示す正面図である。
【図６】第二の収容タンクの液状樹脂をウェーハの加工面に被覆する状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
Ｗ：ウェーハ  Ｔ：テープ  Ｆ：フレーム
１：レーザー加工装置
２：チャックテーブル
３：レーザー光照射手段
３０：加工ヘッド  ３１：出力調整手段  ３２：発振手段  ３３：周波数設定手段
４：保護膜被覆装置
４０：保持テーブル  ４１：液状樹脂ノズル  ４２：洗浄水供給ノズル
４３：エアーノズル  ４４：軸部  ４５：駆動部  ４６：エアピストン
４７：受け部  ４８：排出部  ４９：駆動源
５０：液状樹脂供給源  ５１：第一の収容タンク  ５２：第二の収容タンク
５３：第一の液量センサ  ５４：第二の液量センサ  ５５：タンク選択部
５６：タンク  ５７：制御部
５：カセット載置領域  ５ａ：ウェーハカセット
６：搬出入手段  ７：仮置き領域  ８：第一の搬送手段
９：アライメント手段  ９ａ：撮像部
１１：第二の搬送手段  １２：表示手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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