(57)【要約】【課題】スキージヘッドへの索条群の配索を安全に行うことができるスクリーン印刷機を提供する。【解決手段】本発明の印刷機１０は、マスク７１を固定したフレーム部材１６に対して移動可能に設けたスキージヘッド支持フレーム８３と、スキージヘッド支持フレーム８３に対して昇降可能に案内されるスキージヘッド８０と、スキージヘッド８０の側方に設置されたモータ８９を備えると共にスキージヘッド８０をマスク７１に対して接近及び離間する方向に昇降させるスキージヘッド昇降機構８２と、スキージヘッド８０にマスク７１への接近及び離間する方向に昇降可能に設けられたスキージ８１とを備え、スキージヘッド昇降機構８２に連なる索条群Ａ，Ｍをスキージヘッド支持フレーム８３のうちモータ８９を配置した面とは異なる面に配索してなる構成としたところに特徴を有する。【選択図】図１
2008265136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクを固定した印刷機フレームに対して移動可能に設けたスキージヘッド支持フレームと、
前記スキージヘッド支持フレームに対して昇降可能に案内されるスキージヘッドと、
前記スキージヘッドの側方に設置されたモータを備えると共に前記スキージヘッドを前記マスクに対して接近及び離間する方向に昇降させるスキージヘッド昇降機構と、
前記スキージヘッドに前記マスクへ接近及び離間する方向に昇降可能に設けられたスキージとを備え、
前記スキージヘッド昇降機構に連なる索条群を前記スキージヘッド支持フレームのうち前記モータを配置した面とは異なる面に配索してなるスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記スキージヘッド支持フレームには、前記モータを配置した面とは異なる面に配索された前記索条群を前記スキージヘッド支持フレームに保持する保持部材を設けた請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
前記スキージヘッド支持フレームは、前記モータを配置した面の背面から突出する上下一対のフランジ部を備えることで、断面略コの字状に形成され、前記両フランジ部間に前記索条群を配索した請求項１又は請求項２に記載のスクリーン印刷機。
【請求項４】
前記フランジ部の先端側には、一方のフランジ部から他方のフランジ部に向けて突出する仕切部が設けられている請求項３に記載のスクリーン印刷機。
【請求項５】
前記スキージヘッド支持フレームには、前記索条群を内部に収容して前記モータを配置した面とは異なる面へ案内する案内部材が設けられている請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】
前記モータに対し電力を供給する前記索条群としてのモータ配線群と、そのモータ配線群を通じて電力を供給する電力供給部とを備えてなる請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機。
【請求項７】
前記スキージヘッドに対して前記スキージを昇降可能とするエアシリンダと、そのエアシリンダにエアを供給する前記索条群としてのエア配管群と、そのエア配管群を通じてエアを供給するエア供給部とを備えてなる請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機。
【請求項８】
前記印刷機フレームには、前記印刷機フレームの後部から前方に延びてその前縁から後方に向けて折り返された先端部が前記スキージヘッド支持フレームの端部に取り付けられることにより、前記スキージヘッド支持フレームの端部に配索された前記索条群を前記印刷機フレームの後部へ案内する配索ダクトが配設されている請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機。
【請求項９】
前記スキージヘッド昇降機構は前記スキージヘッドに対して前記スキージを昇降可能とするエアシリンダを備え、そのエアシリンダにエアを供給する前記索条群としてのエア配管群が前記スキージヘッド昇降機構の外方における一方側に配索され、前記モータに対し電力を供給する前記索条群としてのモータ配線群が前記スキージヘッド昇降機構の外方における他方側に配索されている請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スキージヘッド昇降機構を備えたスクリーン印刷機に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント基板に半田ペーストを印刷するスクリーン印刷機では、マスクに押し付けられるスキージを備えたスキージヘッドがスキージヘッド昇降機構によって昇降可能に構成されている。この種のスキージヘッド昇降機構をモータの駆動力によって駆動する印刷機として、下記特許文献１に記載の印刷機が知られている。この印刷機は、スキージヘッド昇降機構としてボールねじ機構を採用しており、ボールねじ機構の上方にモータが配置されているため、Ｚ軸方向の寸法が大きくなるという問題があった。
この問題を解決すべく、ボールねじ機構の側方にモータを配置し、これらの間をベルトで連結したスキージヘッド昇降機構を備えた印刷機（下記特許文献２）が知られている。
【特許文献１】特許第３５２４０１１号公報
【特許文献２】特開２００１−９６７１７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
尚、スキージヘッドにはスキージを上下させるための駆動機構等が設けられており、ここに電線やエア配管等の索条群を接続する必要がある。２軸方向の寸法をコンパクトにした上記した特許文献２に記載の構造では、スキージヘッド昇降機構のボールねじ機構やモータがスキージヘッド支持フレームに取り付けられており、索条群が干渉して損傷しないように配慮しなくてはならない。もちろん、モータ周りをカバーで覆って索条群にふれないようにすることも考えられるが、これではコストアップを招く上にメンテナンス性を低下させる等の問題を生ずる。  本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、スキージヘッドへの索条群の配索を干渉を起こすことなくかつ複雑化することなく行うことができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、マスクを固定した印刷機フレームに対して移動可能に設けたスキージヘッド支持フレームと、スキージヘッド支持フレームに対して昇降可能に案内されるスキージヘッドと、スキージヘッドの側方に設置されたモータを備えると共にスキージヘッドをマスクに対して接近及び離間する方向に昇降させるスキージヘッド昇降機構と、スキージヘッドにマスクへの接近及び離間する方向に昇降可能に設けられたスキージとを備え、スキージヘッド昇降機構に連なる索条群をスキージヘッド支持フレームのうちモータを配置した面とは異なる面に配索してなる構成としたところに特徴を有する。
【０００５】
このような構成によると、スキージヘッド昇降機構に連なる索条群をスキージヘッド支持フレームのうちモータを配置した面とは異なる面に配索したから、索条群がモータの動力をスキージヘッド昇降機構に伝える動力伝達機構と干渉することを防ぐことができる。したがって、索条群が破損するおそれがない。
【０００６】
上記したスクリーン印刷機の実施態様として、以下の構成が好ましい。
スキージヘッド支持フレームには、モータを配置した面とは異なる面に配索された索条群をスキージヘッド支持フレームに保持する保持部材を設けた構成としてもよい。このような構成によると、索条群を保持部材によりスキージヘッド支持フレームに保持することができる。
【０００７】
スキージヘッド支持フレームは、モータを配置した面の背面から突出する上下一対のフランジ部を備えることで、断面略コの字状をなす柱状に形成され、両フランジ部間に索条群を配索した構成としてもよい。このような構成によると、索条群を両フランジ部間に配索することができる。
【０００８】
フランジ部の先端側には、一方のフランジ部から他方のフランジ部に向けて突出した仕切部が設けられている構成としてもよい。このような構成によると、仕切部によって索条群がフランジ部の先端よりも外に飛び出すことを防ぐことができる。
【０００９】
スキージヘッド支持フレームには、索条群を内部に収容してモータを配置した面とは異なる面へ案内する案内部材が設けられている構成としてもよい。このような構成によると、索条群を案内部材の内部に収容して案内することができるから、索条群が動力伝達機構と干渉するおそれがない。
【００１０】
モータに対し電力を供給する索条群としてのモータ配線群と、そのモータ配線群を通じて電力を供給する電力供給部とを備えてなる構成としてもよい。このような構成によると、モータ配線群により電力供給部からモータに対し電力を供給することができる。
【００１１】
スキージヘッドに対してスキージを昇降可能とするエアシリンダと、そのエアシリンダにエアを供給する索条群としてのエア配管群と、そのエア配管群を通じてエアを供給するエア供給部とを備えてなる構成としてもよい。このような構成によると、エア配管群によりエア供給部からエアシリンダに対しエアを供給することができる。
【００１２】
印刷機フレームには、印刷機フレームの後部から前方に延びてその前縁から後方に向けて折り返された先端部がスキージヘッド支持フレームの端部に取り付けられることにより、スキージヘッド支持フレームの端部に配索された索条群を印刷機フレームの後部へ配索する配索ダクトが配設されている構成としてもよい。このような構成によると、配索ダクトによって索条群をスキージヘッド支持フレームから印刷フレームの後部に配索することができる。
【００１３】
スキージヘッド昇降機構はスキージヘッドに対してスキージを昇降可能とするエアシリンダを備え、そのエアシリンダにエアを供給する索条群としてのエア配管群がスキージヘッド昇降機構の外方における一方側に配索され、モータに対し電力を供給する索条群としてのモータ配線群がスキージヘッド昇降機構の外方における他方側に配索されている構成としてもよい。このような構成によると、エア配管群とモータ配線群をそれぞれスキージヘッド昇降機構から異なる方向に配索することにより索条群がモータ周りと干渉することを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、スキージヘッドへの索条群がスキージヘッド昇降機構のモータ周りと干渉して破損することを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１について図面を参照しながら説明する。
＜スクリーン印刷機の全体構成＞
本実施形態における印刷機１０は、図１に示すように、基台１１上に図１中紙面を貫通する方向（Ｙ軸方向）に移動可能に設けた基板テーブル３０を備える。基板テーブル３０上にはメインコンベア４０が図面上左右方向（Ｘ軸方向）に延びるように一体的に設けられている。図１及び図２はそれぞれ、基板搬送位置にある基板テーブル３０をＹ軸方向及びＺ軸方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に対して直交する方向）から見た状態を示している。基板搬入時には、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のそれぞれの基板搬送位置にある基板テーブル３０が、Ｘ軸方向における中央部から右方に移動し（図２における図面右側２点波線部）、基板Ｗを受け渡し可能な間隔（例えば５ｍｍ程度）で上流側の不図示のコンベアと連結し、この不図示のコンベアとメインコンベア４０が稼働することで基板Ｗを受け取り可能である。これとは逆に、基板搬出時には、Ｙ軸方向及びＺ軸方向のそれぞれの基板搬送位置にある基板テーブル３０がＸ軸方向における中央部から左方に移動し（図２における図面左側２点波線部）、基板Ｗを受け渡し可能な間隔（例えば５ｍｍ程度）で下流側の不図示のコンベアと連結し、この不図示のコンベアとメインコンベア４０が稼働することで基板Ｗを搬出可能である。また、基板Ｗをクランプするための基板クランプユニット５０（図２参照）と、後述するマスク７１の下面を清掃するためのクリーナユニット６０（図２及び図３参照）とを備えている。
【００１６】
＜マスククランプユニットの構成＞
基台１１に連結されるフレーム１２の左右上方には、それぞれ前後方向に延びるフレーム部材１６（図１参照）が設けられ、このフレーム部材１６にマスククランプユニット７０が設けられている。このマスククランプユニット７０は、クリーム半田印刷用のマスク７１をマスク支持部７２により支持し、そのマスク支持部７２とマスククランプ７３との間でマスク７１を構成する枠部材７１ａを挟み付けて保持する構成である。マスク支持部７２は、マスク７１の四隅と対応する位置に設けられている。マスククランプ７３は、各マスク支持部７２と対応してその上方に設けられている。マスククランプ７３の昇降機構としてはエアシリンダが用いられ、このエアシリンダにエアを供給するエア供給路の途中にはクランプ昇降切替弁が設けられている。クランプ昇降切替弁の開閉操作を行う操作スイッチがＯＮにされてクランプ昇降切替弁が開放状態になると、エアシリンダにエアが供給され、ピストンロッドに連結されたマスククランプ７３がマスク７１を構成する枠部材をマスク支持部７２に押圧保持可能である。これにより、マスク７１は、基板テーブル３０の上方において水平配置で張り渡した状態に保持される。
【００１７】
また、マスククランプユニット７０は、マスク７１の有無を検知する位置センサを備えている。マスククランプ７３には位置識別部が設けられ、この位置識別部はマスククランプ７３がマスク７１をクランプした状態では所定高さ範囲内に位置することで、図示しない位置センサによって読み取られ、位置センサからマスククランプ制御部１７０（図４参照）へ検出信号が送出される。一方、位置識別部が所定高さより上方位置、あるいは下方位置のいずれかにあれば位置センサによる読み取りができず、従ってマスクリリース状態（マスク７１が無い状態）と検知される。
【００１８】
＜クリーナユニットの構成＞
ここで、前記クリーナユニット６０の構成について説明する。クリーナユニット６０は、基台１１上における基板テーブル３０の作業者側（Ｙ軸方向前側）に設けられており、基台１１上においてＹ軸方向に沿って延びる４本のＹ方向ガイドレール３４によりＹ軸方向に沿って移動可能に支持されている。また、クリーナユニット６０は、ロール状のコットン紙６１でマスク７１下面に密着させて清掃する。
【００１９】
クリーナユニット６０における基板テーブル３０側の側面下部には、連結用ソレノイド６６が配設されている。連結用ソレノイド６６は上下両方向に突没するロッドを備え、図３に示す基板テーブル３０がＹ軸方向における基板搬送位置にある状態では、ロッドの下端部が基台１１上に設けられる位置決め孔（図示せず）に嵌合しており、これによってクリーナユニット６０が待機位置に保持される。一方、基板テーブル３０には、ロッドが嵌入する連結孔（図示せず）が設けられている。このため、クリーナユニット６０は、連結用ソレノイド６６のロッドの上端部が基板テーブル３０の連結孔に嵌合することで基板テーブル３０と連結されると共に、ロッドの下端部が上方に移動することで基台１１に対する係合が解除される。これにより、クリーナユニット６０は、基板テーブル３０の移動に伴ってＹ方向ガイドレール３４上をＹ軸方向後側へ移動する。そして、所定位置で停止した後、基板テーブル３０と連結状態のままクリーナヘッドを上昇させてコットン紙６１をマスク７１下面に密着させ、基板テーブル３０の移動と共にＹ軸方向後側に移動し、さらには後側から前側に移動することによってマスク７１下面を清掃可能である。
【００２０】
＜基板搬送装置の構成＞
基板搬送装置を構成する前記基板テーブル３０は、Ｙ軸テーブル３１、Ｘ軸テーブル３２、Ｒ軸テーブル３３、昇降テーブル３８等を段積みしてなる構成である。Ｙ軸テーブル３１は、基台１１上でクリーナユニット６０と同じＹ方向ガイドレール３４によってＹ軸方向にスライド自在に取り付けられている。Ｙ軸テーブル３１と基台１１との間には、Ｙ軸モータの動力によって駆動されるＹ方向ボールねじ機構（図示せず）が設けられている。これにより、基板テーブル３０のＹ軸テーブル３１は、Ｙ方向ボールねじ機構が駆動することにより基台１１に対して、前側すなわち作業者側のＹ軸方向における基板搬送位置（図２及び図３における基板テーブル３０の位置）とＹ軸方向後端の位置との間で往復移動可能である。尚、Ｙ軸方向における基板搬送位置にある基板テーブル３０と待機位置にあるクリーナユニット６０とは互いに近接した配置とされている（図３参照）。
【００２１】
Ｙ軸テーブル３１上には、Ｘ軸方向に沿って延びる形態をなす一対のＸ方向ガイドレール３５が設けられ、この両Ｘ方向ガイドレール３５上にＸ軸テーブル３２がＸ軸方向にスライド自在に取り付けられている。Ｘ軸テーブル３２とＹ軸テーブル３１との間には、Ｘ軸モータの動力によって駆動されるＸ方向ボールねじ機構（図示せず）が設けられている。これにより、Ｘ軸テーブル３１は、Ｘ方向ボールねじ機構が駆動することによってＹ軸テーブル３１に対してＸ軸方向における所望の位置に移動可能である。
【００２２】
Ｘ軸テーブル３２上には、回転ユニット３６を介してＲ軸テーブル３３が設けられている。回転ユニット３６はＲ軸モータを備え、このモータの動力によってＺ軸方向に延びる回動軸を中心として回転自在に設けられている。これにより、Ｒ軸テーブル３３は、回転ユニット３６が駆動することによってＸ軸テーブル３２に対してＺ軸回りにおける所望の角度に回動可能である。
【００２３】
Ｒ軸テーブル３３の四隅には、ガイドシャフト３７がＺ軸方向に沿ってスライド自在に取り付けられ、このガイドシャフト３７の上端部に昇降テーブル３８が固定されている。また、Ｒ軸テーブル３３と昇降テーブル３８との間には、Ｚ軸モータの動力によって駆動されるボールねじ機構３９が設けられている。これにより、昇降テーブル３８は、ボールねじ機構３９が駆動することによってＲ軸テーブル３３に対して、Ｚ軸方向における所望の位置に移動可能である。尚、Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ、Ｚ軸モータ、及びＲ軸モータは共に、サーボ形式のモータである。
【００２４】
基板テーブル３０の昇降テーブル３８上には、Ｘ軸方向に沿って一対のメインコンベア４０が設けられている。メインコンベア４０は、昇降テーブル３８の昇降動作に伴って基板Ｗを搬送可能なＺ軸方向における基板搬送位置とこの基板搬送位置より上方の印刷位置との間で移動可能である。
【００２５】
メインコンベア４０は、昇降テーブル３８に取り付けられる。基板クランプユニット５０は、図３に示すように、メインコンベア４０の一対の前後のコンベア４０ｃ，４０ｃのそれぞれ外側においてＸ軸方向に沿って配置された一対の帯板状のクランプ片５１を備えている。これにより、両クランプ片５１は、メインコンベア４０上に搬送された基板Ｗを、基板Ｗの上面と両クランプ片５１の上面とがＺ軸方向で同一高さとする状態で、不図示のシリンダ機構により一方のクランプ片５１がＹ軸方向にスライドしてＹ軸方向両側から保持可能である。
【００２６】
ボールねじ機構３９により昇降テーブル３８を上昇させることにより、メインコンベア４０、両クランプ片５１及び両クランプ片５１で保持されている基板Ｗを上昇させることにより、基板Ｗをマスク７１下面に重装することができる。昇降テーブル３８には、印刷動作中マスク７１の上方のスキージ８１により負荷される荷重に対抗して基板Ｗを支えるバックアップ装置が設けられている。バックアップ装置は、昇降テーブル３８に対してＺ軸方向に沿ってスライド自在に取り付けられたスライド支柱４３と、このスライド支柱４３の上端部に固定された載置テーブル４１と、昇降テーブル３８と載置テーブル４１との間に設けた昇降装置とを備えている。この昇降装置はバックアップ装置昇降モータを備え、このモータの駆動力により載置テーブル４１をＺ軸方向における所望の位置に昇降可能である。載置テーブル４１上には、バックアッププレート上に複数のバックアップピンが上向きにセットされたバックアップユニットが載置されており、載置テーブル４１が上昇すると、バックアップピンの上端部で基板Ｗが支持された状態となる。この状態で基板Ｗが両クランプ片５１に保持される。
【００２７】
本実施形態における基板テーブル３０は、図２及び図３に示すように、基板Ｗの幅寸法に応じて両コンベア４０間のコンベア幅を変更可能なコンベア幅調整機構４２を備えている。
【００２８】
尚、本実施形態における印刷機１０は、図３に示すように、基板Ｗのフィデューシャルマークを撮像するための基板撮像カメラ１８と、基板Ｗの印刷後の状態を撮像して検査するための検査カメラ１９とを備えている。両カメラ１８，１９は共に、両フレーム部材１６間に梁状に設けた取付部材１７に固定されている。また、昇降テーブル３８上のＹ軸方向前側には、マスク７１下面のフィデューシャルマーク（図示せず）を撮像してマスク７１の位置や種類等を識別するための基板テーブルカメラ４９が設けられている。
【００２９】
＜スキージヘッド周りの構成＞
前記各フレーム部材１６には、図１に示すように、Ｙ軸方向に延びる２本のＹ方向ガイドレール８４が並行して設けられ、それらのＹ方向ガイドレール８４，８４に支持されてスキージヘッド支持フレーム８３がＹ軸方向に移動可能に設けられている。スキージヘッド支持フレーム８３は、図３に示すように、Ｙ軸方向後方に開いた断面略コの字状の柱状をなす形鋼とされている。すなわち、スキージヘッド支持フレーム８３は、Ｚ軸方向に沿って切り立った面を有する支持プレート８３ａと、この支持プレート８３ａの上下両側縁から後方に向けて突出した一対のフランジ部８３ｂとを備えている。一方、スキージヘッド支持フレーム８３の支持プレート８３ａの前面には、マスク７１の上方に位置するようにしてスキージヘッド８０が設けられている。
【００３０】
２つのフレーム部材１６のうち図１の左側に位置するフレーム部材１６には、Ｙ方向ガイドレール８４に沿うようにしてボールねじ軸８５が回転自在に設けられている。ボールねじ軸８５の端部には、同ボールねじ軸８５を回転駆動するＹ軸モータ（図示せず）が固定されている。一方、スキージヘッド支持フレーム８３には、上記ボールねじ軸８５と螺合するボールナット８６が固定されている。これにより、スキージヘッド支持フレーム８３は、Ｙ軸モータでボールねじ軸８５を駆動することによってＹ方向ガイドレール８４上をＹ軸方向における所望の位置に移動させることができる。尚、Ｙ軸モータはサーボ形式のモータである。
【００３１】
スキージヘッド８０はスキージヘッド昇降機構８２によって上下に駆動され、第１及び第２のスキージ８１と、各スキージ８１を昇降可能とする第１及び第２のエアシリンダ８７とを備えている。両エアシリンダ８７は、空気圧供給装置１４（図３参照）とエア配管（本発明の「索条群」の一例）Ａを介して接続され、エア配管Ａの途中には、図示しない第１及び第２の昇降切替弁が設けられている。これにより、スキージユニット制御部１３０（図４参照）からの信号に応じて第１及び第２の昇降切替弁の開閉操作が行われ、空気圧供給装置１４からエアが供給されることで第１又は第２のスキージ８１が選択的に下降する。尚、空気圧供給装置１４は本発明の「エア供給部」の一例に相当する。
【００３２】
スキージヘッド昇降機構８２は、ボールねじ機構８８と、スキージヘッド８０の側方に位置して設けられた昇降モータ８９とを備えている。この昇降モータ８９はサーボ形式のモータであって、電気制御装置１５（図３参照）から供給された電力がモータ配線Ｍを介して昇降モータ８９に送られることで回転駆動される。また、昇降モータ８９の駆動軸の上端部には駆動側プーリ９４が固定されている。この駆動側プーリ９４は、ボールねじ機構８８の上端部に固定された従動側プーリ９３とベルト９５を介して連結されている。これにより、昇降モータ８９の回転駆動力はベルト９５によってボールねじ機構８８に伝達され、これに伴ってスキージヘッド８０が昇降駆動される。尚、電気制御装置１５は本発明の「電力供給部」の一例に相当する。
【００３３】
また、詳細な説明は省略するものの、スキージヘッド昇降機構８２には、マスク７１を介して基板Ｗに押圧されたスキージ８１の荷重を検知する荷重センサ（図４参照）が組み込まれている。荷重センサによって検知された検知荷重はスキージユニット制御部１３０に送出され、スキージユニット制御部１３０は検知荷重が目標印刷荷重の範囲内となるように電気制御装置１５に制御信号を送出し、この制御信号に基づく電力が昇降モータ８９に供給される。
【００３４】
＜エア配管Ａ及びモータ配線Ｍの配管構造＞
続いて、エア配管Ａ及びモータ配線Ｍの配管構造について説明する。スキージヘッド８０の上部には、図１に示すように、エア配管群Ａを内部に収容して案内するための案内部材（本発明の「保持部材」の一例）１０７が設けられている。エアシリンダ８７に連なるエア配管群Ａは、図１に示すように、案内部材１０７の側面部に開口した開口部を通じて案内部材１０７の内部に進入し、図示左端部（昇降モータ８９が設置されている側の端部とは反対側の端部）に向けて配索されている。案内部材１０７の左端部に配索されたエア配管群Ａは、図５に示すように、ベルト９５より離間したスキージヘッド８０の左方においてスキージヘッド支持フレーム８３の上側のフランジ部８３ｂに開口した第１開口部８３ｃを通じてスキージヘッド支持フレーム８３の内部に進入している。一方、昇降モータ８９に連なるモータ配線群Ｍは、ベルト９５より離間した昇降モータ８９の右方においてスキージヘッド支持フレーム８３の上側のフランジ部８３ｂに開口した第２開口部８３ｄを通じてスキージヘッド支持フレーム８３の内部に進入している。
【００３５】
両フランジ部８３ｂによって囲まれた内部空間には、図３に示すように、ダクト部材（本発明の「保持部材」の一例）１０５が収容されている。このダクト部材１０５は支持プレート８３ａ及び下側のフランジ部８３ｂに対してねじ止めされている。ダクト部材１０５は、断面略方形の筒状に形成され、上側のフランジ部８３ｂの第１開口部８３ｃから内部に進入したエア配管群Ａ及び第２開口部８３ｄから内部に進入したモータ配線群Ｍを内部に収容している。このエア配管群Ａ及びモータ配線群Ｍは、ダクト部材１０５によりスキージヘッド支持フレーム８３の図１における右端部（昇降モータ８９を基準としてエアシリンダ８７とは反対側に位置する端部）に向けて配索されている。尚、フランジ部８３ｂの先端部は、内方に折り曲げられることで間口が狭くなるように形成され、この間口のＺ軸寸法はダクト部材１０５の高さ寸法よりも短めとなるように設定されている。尚、この間口の折り曲げ部分は本発明の「仕切部」の一例に相当する。
【００３６】
右側のフレーム部材１６の上部には、角筒状をなし、可撓性を有する配索ダクト１０６がＹ軸方向に沿って設置されている。この配索ダクト１０６は、フレーム部材１６の後端部から前方に延びる形態をなし、その前縁から後方に向けて折り返された先端部がスキージヘッド支持フレーム８３の右端部に接続されている。スキージヘッド支持フレーム８３の右端部に配索されたエア配管群Ａ及びモータ配線群Ｍは配索ダクト１０６内に進入し、ここからフレーム部材１６の後端部に向けて配索されている。
【００３７】
配索ダクト１０６によってフレーム部材１６の後端部に配索されたエア配管群Ａ及びモータ配線群Ｍは、図３に示すように、基台１１の下方に向けて案内される。基台１１の後部下方には、空気圧調整装置１４及び電気制御装置１５が設置されており、エア配管群Ａは空気圧調整装置１４に接続されると共に、モータ配線群Ｍは電気制御装置１５に接続されている。
【００３８】
＜印刷機の作用説明＞
本実施形態は以上の構成であり、続いてその作用を説明する。
基板テーブル３０はＹ軸方向及びＺ軸方向における基板搬送位置、且つＸ軸方向の基台１１中央部位置にある状態から、Ｘ軸テーブル３２がＸ軸方向右側に移動することでメインコンベア４０がＸ軸方向右側に移動し、上流側の装置から基板Ｗがメインコンベア４０上に搬入される。次に、基板Ｗがメインコンベア４０上のＸ軸方向所定位置において、載置テーブル４１が上昇して、バックアップユニットにより基板Ｗが支持されると基板クランプユニット５０により保持される。その後、基板テーブル３０はＸ軸方向の基台１１中央部位置に戻る。そして、マスク７１下面の清掃が必要であれば、クリーナユニット６０による清掃を実施する。クリーナユニット６０による清掃を実施するか否かの判定は、例えば予め設定された基板Ｗの処理枚数と現在の処理枚数とを比較することにより判定してもよいし、作業者がマスク７１下面の状態を直接確認して作業者からの入力指示により行ってもよい。
【００３９】
マスク７１下面の清掃は、連結用ソレノイド６６を駆動することにより基板テーブル３０とクリーナユニット６０を連結状態とした上で、クリーナユニット６０を所定位置まで搬送させ、クリーナヘッドを上昇させてコットン紙６１をマスク７１下面に密着させた状態でクリーナユニット６０を基板テーブル３０と共にＹ軸方向後側に移動させることにより行われる。清掃完了後は、クリーナヘッドを下降させ、クリーナユニット６０をＹ軸方向に移動させて元の位置に至ったところで連結用ソレノイド６６を駆動させて連結状態を解除すると共にクリーナユニット６０を基台１１に対して固定する。
【００４０】
次に、マスク７１交換したとき、印刷枚数が所定枚数に達する毎等、マスク７１下面のフィデューシャルマークを撮像する必要がある場合には、基板テーブル３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、基板テーブルカメラ４９によりマスク７１下面のフィデューシャルマークを順次撮像する。引き続き、基板テーブル３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させて、基板撮像カメラ１８により基板Ｗのフィデューシャルマークを順次撮像する。
【００４１】
このようにしてマスク７１及び基板Ｗのフィデューシャルマークの位置情報をそれぞれ取得し、これらの位置情報に基づいてマスク７１下面のフィデューシャルマークと基板Ｗのフィデューシャルマークとを一致させるべく基板テーブル３０をＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸回りに移動させる。これと同時に、昇降テーブル３８が印刷位置に向けて上昇を開始し、マスク７１に対するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸回りの位置合わせが完了した状態で、基板Ｗをマスク７１下面に密着させる。
【００４２】
次に、スキージヘッド８０の現在の位置に応じて一方のスキージ８１を選択的に下降させる。マスク７１上面にクリーム半田等のペーストを供給し、印刷荷重、移動速度を制御しつつ、スキージ８１をＹ軸方向片側に移動させることにより、マスク７１の供給孔を通じて基板Ｗ上面の所定の位置にペーストが印刷される。このとき、スキージヘッド支持フレーム８３がＹ軸方向後方へ移動するに伴って、配索ダクト１０６も撓み変形しつつその折り返し部分も後方へ移動する。
【００４３】
この後、基板テーブル３０をＺ軸方向に基板搬送位置まで下降させると共に、Ｚ軸回り及びＹ軸方向の位置合わせのための僅かな移動分を元に戻して、Ｚ軸回り及びＹ軸方向の基板搬送位置とし、載置テーブル４１を下降し、クランプ片５１による基板Ｗの保持を解除する。そして、印刷済の基板Ｗの枚数が目標印刷枚数に至っていない場合には、基板テーブル３０をＺ軸方向、Ｚ軸回り及びＹ軸方向の基板搬送位置に保ったまま、Ｘ軸方向左側に移動し、下流側の装置へ印刷済基板Ｗを搬出する。この搬出後、基板テーブル３０をＸ軸方向右側に移動して印刷前基板Ｗを上流側の装置から搬入し、載置テーブル４１が上昇することでバックアップユニットにより基板Ｗを支持しかつ基板Ｗをメインコンベア４０上の所定位置に保持した状態で、基板テーブル３０をＸ軸方向の基台１１中央部位置に戻す。
【００４４】
以上のように本実施形態によると、以下の効果を奏することができる。
１．エアシリンダ８７にエアを供給するエア配管Ａや昇降モータ８９に電力を供給するモータ配線Ｍ等の索条群がベルト９５と干渉することを防ぐことができる。したがって、エア配管Ａやモータ配線Ｍ等の索条群が破損するおそれがない。
２．索条群Ａ，Ｍをダクト部材１０５によりスキージヘッド支持フレーム８３に保持することができる。
【００４５】
３．索条群Ａ，Ｍを両フランジ部８３ｂ間に配索することによりベルト９５との干渉をより確実に防ぐことができる。
４．フランジ部８３ｂの先端を内側に折り曲げ形成したから、索条群Ａ，Ｍを内部に収容したダクト部材１０５がフランジ部８３ｂの先端よりも外に飛び出すことを防ぐことができる。
【００４６】
５．ベルト９５の左側に位置するエアシリンダ８７に連なるエア配管群Ａをベルト９５の左方に配索し、ベルト９５の右側に位置する昇降モータ８９に連なるモータ配線群Ｍをベルト９５の右方に配索したから、エア配管群Ａ及びモータ配線群Ｍがベルト９５と干渉するおそれがない。
６．スキージヘッド支持フレーム８３の右端部に導かれた索条群Ａ，Ｍを配索ダクト１０６によってフレーム部材１６の後部に案内し、ここからさらに基台１１の後部下方に設置した空気圧供給装置１４及び電気制御装置１５まで配索することができる。
【００４７】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００４８】
（１）本実施形態では、索条群Ａ，Ｍをスキージヘッド支持フレーム８３の右端部に配索しているものの、本発明によると、索条群Ａ，Ｍをスキージヘッド支持フレーム８３の左端部に配索してもよい。このような場合には、昇降モータ８９に連なるモータ配線群Ｍについては、支持プレート８３ａの後面へ導いた上で昇降モータ８９の後方を通過させる。一方、エアシリンダ８７に連なるエア配管群Ａについては、支持プレート８３ａの前面に沿って配索してもよい。
（２）本実施形態では、昇降モータ８９とボールねじ機構８８との間をベルト９５で連結しているものの、本発明によると、昇降モータ８９とボールねじ機構８８との間に歯車等の動力伝達機構を設けてもよい。
【００４９】
（３）本実施形態では、索条群Ａ，Ｍをダクト部材１０５によってスキージヘッド支持フレーム８３に保持しているものの、本発明によると、他の保持部材であってもよく、例えばスキージヘッド支持フレーム８３に鈎状の突起を設けておき、索条群Ａ，Ｍを突起と共に結束バンドを用いて巻き付けて固定してもよい。
【００５０】
（４）本実施形態では、索条群Ａ，Ｍを両フランジ部８３ｂ間に配索しているものの、本発明によると、必ずしも索条群Ａ，Ｍを両フランジ部８３ｂ間に配索する必要はなく、下側のフランジ部８３ｂの下面に沿って配索してもよい。
（５）本実施形態では、フランジ部８３ｂの先端部分を折り曲げることによりこの折り曲げ部分を仕切部として機能させているものの、本発明によると、別部材として仕切部をフランジ部８３ｂの先端に取り付けてもよい。
【００５１】
（６）本実施形態では、エアシリンダ８７にエアを供給するエア配管群Ａ及び昇降モータ８９に電力を供給するモータ配線群Ｍを索条群として例示しているものの、本発明によると、これらの索条群Ａ，Ｍに限定されることはなく、例えば荷重センサに接続された信号線等であってもよい。
（７）本実施形態では、配索ダクト１０６を１ヶ所設けているものの、本発明によると、左右両側のフレーム部材１６にそれぞれ配索ダクト１０６を設けてもよい。このような場合、エア配管群Ａについては、スキージヘッド支持フレーム８３の左端部へ導き、ここから左側のフレーム部材１６を通じて後方に配索すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】スクリーン印刷機の正面図
【図２】スクリーン印刷機の平面図
【図３】スクリーン印刷機の側面図
【図４】スクリーン印刷機のブロック図
【図５】エア配管及びモータ配線の配管構造を示した図
【符号の説明】
【００５３】
１０…印刷機
１４…空気圧供給装置（エア供給部）
１５…電気制御装置（電力供給部）
１６…フレーム部材（印刷機フレーム）
７１…マスク
８０…スキージヘッド
８１…スキージ
８２…スキージヘッド昇降機構
８３…スキージヘッド支持フレーム
８３ｂ…フランジ部
８７…エアシリンダ
８８…ボールねじ機構
８９…昇降モータ
１０５…ダクト部材（保持部材）
１０６…配索ダクト
１０７…案内部材（保持部材）
Ａ…エア配管（索条群）
Ｍ…モータ配線（索条群）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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