(57)【要約】【課題】  本発明は不均質現象及び再固着現象の発生を防止できる、繊維シートの表面異物除去装置を提供すること。【解決手段】  長尺状の繊維シートＢに付着した異物を除去する装置であって、繊維シートＢの表側に付着する異物を除去するための表側除去部３１と、繊維シートＢの裏側に付着する異物を除去するための裏側除去部３２とからなる異物除去機３を備え、前記表側除去部３１及び前記裏側除去部３２は、自立的に駆動する駆動ローラー３Ａと、該駆動ローラー３Ａの側方から接触する粘着ローラー（３Ｂ１，３Ｂ２）とからなり、前記繊維シートＢが前記駆動ローラー３Ａと前記粘着ローラー（３Ｂ１，３Ｂ２）との間を通過することにより異物を除去するものである表面異物除去装置Ａ。【選択図】図６
2008062199.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状の繊維シートに付着した異物を除去する装置であって、
繊維シートの表側に付着する異物を除去するための表側除去部と、
繊維シートの裏側に付着する異物を除去するための裏側除去部と、
からなる異物除去機を備え、
前記表側除去部及び前記裏側除去部は、自立的に駆動する駆動ローラーと、
該駆動ローラーの側方から接触する粘着ローラーとからなり、
前記繊維シートが前記駆動ローラーと前記粘着ローラーとの間を通過することにより、前記繊維シートから前記異物が除去されることを特徴とする表面異物除去装置。
【請求項２】
前記表側除去部及び前記裏側除去部が、前記駆動ローラーに対向する二つの粘着ローラーを備えることを特徴とする請求項１記載の表面異物除去装置。
【請求項３】
前記粘着ローラーが前記駆動ローラーに対して近接自在であることを特徴とする請求項１記載の表面異物除去装置。
【請求項４】
前記表側除去部又は裏側除去部が、前記粘着ローラーに付着した異物を除去するための再粘着ローラーを更に備えることを特徴とする請求項１記載の表面異物除去装置。
【請求項５】
前記表側除去部及び前記裏側除去部が、前記再粘着ローラーを前記粘着ローラーに常に押圧する状態を作るための押圧手段を更に備えることを特徴とする請求項４記載の表面異物除去装置。
【請求項６】
前記表側除去部及び前記裏側除去部を複数対備えることを特徴とする請求項１記載の表面異物除去装置。
【請求項７】
表側除去部及び裏側除去部を二対備え、該二対の表側除去部及び裏側除去部を二段二列に配置させることを特徴とする請求項６記載の表面異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺状の繊維シートの表面の汚れ除去装置に関し、更に詳しくは、長尺状の繊維シートの表面に付着した汚れ（異物等）に、粘着材が付与されたローラーを接触させることにより除去する表面異物除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ある部材の表面の汚れを除去する場合、繊維シートを使って、付着したゴミや塵等の異物を拭き取る方法が採用されている。
繊維シートは屈曲性がよく、繊維の目に異物が入り込み、捕捉し易く細かい異物を除去するには極めて有効である。
【０００３】
特に、半導体分野では、半導体基板の表面に付着した異物を除去するには、長尺状の繊維シートが使われている。
使用後の繊維シートには半導体基板の汚れである異物が繊維の間隙に入り込んで固着してしまうため、再使用はできず、廃棄されていた。
【０００４】
しかし最近、リサイクルの観点から、繊維シートに付着する異物を除去する試みが行われている。
ところで、繊維シートから付着物を取り除く表面異物除去装置の一つとして、粘着ローラーを使ったものが開発されており、その装置は上下一対の粘着ローラーを備え、その間に繊維シートを通すことで、その両側の表面に付着する異物を粘着ローラーに受け取らせて除去するものである。
【０００５】
図７は、従来の表面異物除去装置の異物除去原理の一例を模式的に示す概略図である。
従来の表面異物除去装置は、自立的に駆動可能であり、且つその表面に粘着材が付与された駆動ローラー１００と、該駆動ローラー１００の垂直上方から接触するように設置され、表面に粘着材が付与された粘着ローラー１０１とからなる。
【０００６】
この装置では、繊維シートＢが駆動ローラー１００と粘着ローラー１０１との間を通過すると、駆動ローラー１００及び粘着ローラー１０１が繊維シートＢに所定の接触圧を加え、駆動ローラー１００及び粘着ローラー１０１が繊維シートに付着する異物を受け取り、繊維シートＢから異物を除去する。
【０００７】
ところが、下方の駆動ローラー１００は駆動しているため、繊維シートＢの表面に対して、該繊維シートＢを積極的に先方に引っ張る張力を加える。
一方、上方の粘着ローラー１０１は自立的に駆動しないため、繊維シートＢの表面に対して、該繊維シートＢを先方に引っ張る張力を加えない。
【０００８】
下方の駆動ローラー１００により生じる張力は、繊維シートの表面に皺等を発生させる原因となる。
そのため、従来の表面異物除去装置を用いると、異物を除去した後の繊維シートの表面の状態が、一方側と他方側とで均質にならずに異なる現象（不均質現象）が生じ、異物除去後の繊維シートの品質が大きく落ちる問題があった。
【０００９】
このようなことから、繊維シートの一方側と他方側の表面を、順次別々に粘着ローラーに接触させる方法が開発されている（図８参照）。
すなわち、粘着材が付与されていない駆動ローラー１００と粘着ローラー１０１との間に、繊維シートＢを通過させることで、先ず一方側の表面に付着する異物のみを除去し、次に、直前に配置された駆動ローラー及び粘着ローラーとは上下逆に配置された下流側の駆動ローラー１００と粘着ローラー１０１とで、繊維シートの他方側の異物を除去する方法である（例えば、特許文献１参照）。
この方法を用いると、不均質現象が発生する問題は一応解決できる。
【特許文献１】特開平６−２９６９４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上流側に設置された粘着ローラー１０１が異物を全て除去仕切れなかった場合、それらの除去されなかった異物は、上記粘着ローラー１０１の粘着材を表面に僅かに付着させた状態で、下流に設置された駆動ローラー１００と粘着ローラー１０１との間を通過することになる。
そして、異物は下流に設置された上記二つのローラー間を通過する際、駆動ローラー１００によって繊維シートＢに押し付けられ、繊維シートＢ表面に粘着材を介して固着する（以下、「再固着現象」という）場合がある。
【００１１】
再固着現象が発生すると、異物は粘着材によって強固に繊維シートに固着するので、その異物を繊維シートから除去することは非常に困難である。
【００１２】
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものである。
すなわち、本発明は不均質現象及び再固着現象の発生を防止できる、繊維シートの表面異物除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
かくして本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、少なくとも自立的に駆動する駆動ローラーの側方から接触するように、粘着ローラーを配置させることで、上記課題を解決できることを見出し、その知見に基づき本発明を完成させたものである。
【００１４】
すなわち、本発明は、（１）、長尺状の繊維シートに付着した異物を除去する装置であって、繊維シートの表側に付着する異物を除去するための表側除去部と、繊維シートの裏側に付着する異物を除去するための裏側除去部とからなる異物除去機を備え、前記表側除去部及び前記裏側除去部は、自立的に駆動する駆動ローラーと、該駆動ローラーの側方から接触する粘着ローラーとからなり、前記繊維シートが前記駆動ローラーと前記粘着ローラーとの間を通過することにより、前記繊維シートから前記異物が除去される表面異物除去装置に存する。
【００１５】
また、本発明は、（２）、前記表側除去部及び前記裏側除去部が、前記駆動ローラーに対向する二つの粘着ローラーを備える上記（１）記載の表面異物除去装置に存する。
【００１６】
また、本発明は、（３）、前記粘着ローラーが前記駆動ローラーに対して近接自在である上記（１）記載の表面異物除去装置に存する。
【００１７】
また、発明は、（４）、前記表側除去部又は裏側除去部が、前記粘着ローラーに付着した異物を除去するための再粘着ローラーを更に備える上記（１）記載の表面異物除去装置に存する。
【００１８】
また、本発明は、（５）、前記表側除去部及び前記裏側除去部が、前記再粘着ローラーを前記粘着ローラーに常に押圧する状態を作るための押圧手段を更に備える上記（４）記載の表面異物除去装置に存する。
【００１９】
また、本発明は、（６）、前記表側除去部及び前記裏側除去部を複数対備える上記（１）記載の表面異物除去装置に存する。
【００２０】
また、本発明は、（７）、表側除去部及び裏側除去部を二対備え、該二対の表側除去部及び裏側除去部を二段二列に配置させる上記（６）記載の表面異物除去装置に存する。
【００２１】
なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記（１）〜（７）に記載された発明を適宜組み合わせた構成も採用可能である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の表面異物除去装置は、自立的に駆動し、且つ粘着材が付与されていない駆動ローラーと、表面に粘着材が付与され、駆動ローラーの側方から接触するように設置される粘着ローラーとを備えた表側除去部及び裏側除去部を有するので、不均質現象を発生させることなく、繊維シート表面の異物を除去することができる。
【００２３】
また、本発明の表面異物除去装置は、駆動ローラーに対向する二本の粘着ローラーを有する表側除去部及び裏側除去を備えることで、再固着現象を発生させることなく、繊維シートの異物を除去することができる。
【００２４】
すなわち、表側除去部又は裏側除去部において、この装置の上流側に設置された一本目の粘着ローラーが先ず異物の除去を行い、該粘着ローラーが除去仕切れなかった異物を、下流側に設置された二本目の粘着ローラーが連続して除去を行う。
【００２５】
これにより、一本目の粘着ローラーが除去仕切れなかった異物を、別の駆動ローラーによって繊維シートに固着させられる前に除去することができ、再固着現象が発生することを防ぐことができる。
【００２６】
また、粘着ローラーは駆動ローラーの側方から接触するように配置されるので、構造的に粘着ローラーの荷重を軽減でき、粘着ローラーは繊維シートに対して、異物を除去するうえで必要最小限の接触圧しか加えない。
その結果、粘着ローラーは異物を繊維シート内に深く埋没させることなく、繊維シートから異物を除去することができる。
【００２７】
また、粘着ローラーは駆動ローラーに対して近接自在であるので、繊維シートの厚さに関係なく、粘着ローラーは繊維シートに対して、異物を除去するのに最低限必要な接触圧しか加えない。
そのため、本発明の表面異物除去装置は、繊維シートの厚さに関係なく、異物を繊維シート内に埋没させることなく除去することができる。
【００２８】
また、本発明の表面異物除去装置は、粘着ローラーに付着した異物を除去するための再粘着ローラーを備えるので、粘着ローラーの表面の状態を常に異物が付着していない状態に保つことができる。
それにより、本発明に係る表面異物除去装置は異物除去能力を低下させること無く、長時間に渡って稼働し続けることができる。
【００２９】
また、本発明の表面異物除去装置は、表側除去部及び裏側除去部を複数対備えることで、表側除去部及び裏側除去部を一対だけ備える場合よりも確実に、繊維シートから異物を除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
〔第１の実施形態〕
本発明の一実施形態を、図面を用いて説明する。
また特に断らない限り、文中に記載されている「上流」、「下流」とは装置内での位置関係を示し、「上流」に位置する装置は「下流」に位置する装置よりも先に処理を行う。
【００３１】
図１は、本実施形態に係る表面異物除去装置を模式的に示す説明図である。
図１に示すように、本実施形態に係る表面異物除去装置Ａは、送り出しローラー１と、巻き取りローラー２と、異物除去機３とを備え、これらは送り出しローラー１、異物除去機３、巻き取りローラー２の順序で流れ方向に直列に配置される。
【００３２】
送り出しローラー１は、異物が除去される前の繊維シートＢを巻き付けておくためのローラーである。
【００３３】
巻き取りローラー２は、異物除去機３を通過し、表面の異物が除去された後の繊維シートＢを巻き取るためのローラーである。
【００３４】
異物除去機３は、通過する繊維シートＢの表面に付着する異物を除去するための装置である。
【００３５】
そして、異物除去機３は繊維シートＢの表側に付着した異物を除去するための表側除去部３１と、繊維シートＢの裏側に付着した異物を除去するための裏側除去部３２とを備え、繊維シートＢの表側の異物と裏側の異物とを順次別々に除去する。
そのため、後述するように、不均質現象を発生させない。
【００３６】
図２は、表側除去部（及び裏側除去部）を模式的に示した説明図である。
図２に示すように、表側除去部３１（及び裏側除去部３２）は、駆動ローラー３Ａ、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２を備える。
裏側除去部３２は表側除去部３１と構造的には同じであり、表側除去部３１が備えるのと同様な粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２を、繊維シートＢの裏側に接触するように配置させることで、裏側除去部３２となる。
なお裏側除去部３２は、表側除去部３１と機能的にも同じなので以下表側除去部３１のみについて述べる。
【００３７】
繊維シートＢは、始めに駆動ローラー３Ａと粘着ローラー３Ｂ１との間を通過し、その後、駆動ローラー３Ａと粘着ローラー３Ｂ２との間を通過するように、表側除去部３１にセットされる。
なお、これらの各ローラーは図示しない基枠に共通に設置されている。
【００３８】
駆動ローラー３Ａは、モーター等の図示しない駆動手段を備えており、自立的に回転する。
駆動ローラー３Ａが回転することにより、繊維シートＢは下流方向に送られる。
駆動ローラー３Ａには粘着材が付与されていないので、先述した従来の表面異物除去装置のように、駆動ローラー３Ａは繊維シートＢの表面を先方に引っ張るような大きな張力を発生させない。
そのため、本実施形態に係る表面異物除去装置Ａは従来のような不均質現象を、発生させることなく繊維シートＢに付着する異物を除去することができる。
【００３９】
なお、表側除去部３１の駆動ローラーの回転数と、裏側除去部３２の駆動ローラーの回転数とは同期させておけば、繊維シートＢは異物除去機３内を、常に弛まない状態で移動することができる。
もっとも、途中でテンションローラー等の別のロ−ラーを配置することで、繊維シートＢを緊張状態にさせることも、当然可能である。
【００４０】
粘着ローラー３Ｂ１の垂直上方（すなわち下流側に）に粘着ローラー３Ｂ２は配置され、それぞれの軸の位置は一直線上に乗る。
粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２は、駆動ローラー３Ａに対して、近接自在（接離脱自在）に移動可能であり、駆動ローラー３Ａに対向して接触するように配置される。このとき、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２は一体となって平行移動する。
【００４１】
粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２の表面には粘着材が付与されており、それぞれの粘着ローラーは繊維シートＢに対して所定の大きさの接触圧を加えた際に、繊維シートＢの表面から異物を受け取って除去する。  
そして、表側除去部３１（及び裏側除去部３２）において、粘着ローラー３Ｂ１と粘着ローラー３Ｂ２とが対となって、繊維シートＢの一方側の表面の異物除去を順次、連続的に行うことで、再固着現象の発生を防ぐことができる。
【００４２】
すなわち、次の位置に配置される裏側除去部３２にて繊維シートＢが駆動ローラー３Ａに押し潰される前に、粘着ローラー３Ｂ１が除去仕切れなかった異物を、粘着ローラー３Ｂ１より下流に設置される粘着ローラー３Ｂ２が速やかに除去することで、再固着現象の発生を防ぐことができる。
【００４３】
さらに、粘着ローラー３Ｂ１と粘着ローラー３Ｂ２とが順次連続且つ近接して設置されることで、繊維シートＢの内部に埋没する異物も除去することができる。
【００４４】
具体的には、粘着ローラー３Ｂ１は、繊維シートＢの表層の異物Ｘを除去すると共に、繊維シートＢの内部に埋没していた異物Ｙを繊維シートＢの表層に引き出す（図３Ａ参照）。
【００４５】
すなわち、粘着ローラー３Ｂ１は繊維シートＢを構成する繊維同士の絡み合いを一部解くことで、絡み合った繊維の内部に入り込んでいた異物Ｙを繊維シートＢの表層に移動させたり、表層から露出させたりする。
【００４６】
そして、粘着ローラー３Ｂ１よりも下流側に設置された粘着ローラー３Ｂ２が、表層に引き出された異物Ｙを受け取って除去することで、繊維シートＢの表面に付着していた異物だけでなく、内部に埋没していた異物も除去されるのである（図３Ｂ参照）。
【００４７】
前述したように粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２は、駆動ローラー３Ａに対して近接自在であるので、それぞれの粘着ローラーが繊維シートＢに対して加える接触圧の大きさは駆動ローラーと粘着ローラーとの間に形成させる隙間の大きさで調節される。
例えば、繊維シートＢの厚さの７０％〜５０％程度の大きさの隙間を形成することが好ましい。
隙間の大きさが繊維シートの厚さの５０％よりも小さいと、接触圧が大きくなりすぎ、異物を繊維シート内に押し込んでしまう。
隙間の大きさが繊維シートの７０％よりも大きいと、異物の除去に最低限必要な大きさの接触圧を確保することができない。
【００４８】
必要最小限の接触圧だけが繊維シートＢに対して加わることで、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２が与える接触圧によって、異物が繊維シートＢの内部に埋没することが防止される。
【００４９】
なお、駆動ローラー３Ａの材質は繊維シートＢとの間の摩擦力の観点から金属が好ましく、更に防錆性の点からステンレスがより好ましい。
【００５０】
粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２の表面に付与される粘着材の材質は、それぞれの粘着ローラーが繊維シートＢから異物を受け取ることができるだけの粘着力を有する限り、特に限定されない。
特殊アルコールなどの専用クリーナーにより清掃が容易である利点があることより、粘着材の材質は粘着多孔質のブチルゴムであることが好ましい。
また、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２の全体が、粘着材質で形成されていてもよい。
【００５１】
〔第２の実施形態〕
図４は、再粘着ローラーを備えた表側除去部及び裏側除去部を模式的に示した説明図である。
再粘着ローラー３Ｃは、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２に対して、近接自在であり、通常、図４に示すように、再粘着ローラー３Ｃは、粘着ローラー３Ｂ１と粘着ローラー３Ｂ２の両方に共通に接触した状態で設置される。
【００５２】
再粘着ローラー３Ｃの表面には、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２に付与された粘着材よりも強力な粘着材が付与されているため、粘着ローラー３Ｂ１或いは粘着ローラー３Ｂ２が繊維シートＢから一旦受け取った異物は、再度再粘着ローラー３Ｃに転移して受け取られる。
すなわち、再粘着ローラー３Ｃは、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２から異物を受け取って除去する機能を持つ。
【００５３】
再粘着ローラー３Ｃが、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２から異物を除去することで、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２の表面は、常に異物がほとんど付着していない状態に保たれる。
【００５４】
その結果、これら二つの粘着ローラーの異物除去能力の低下は防止され、本実施形態に係る表面異物除去装置Ａは、安定した除去能力を維持したまま稼働し続けることができる。
【００５５】
再粘着ローラー３Ｃが粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２に、共通に接触した状態で設置されることで、再粘着ローラー３Ｃが粘着ローラー３Ｂ１と粘着ローラー３Ｂ２との間に閉鎖した空間Ｓが形成される。
この空間Ｓは再粘着ローラー３Ｃ、粘着ローラー３Ｂ１、粘着ローラー３Ｂ２の周囲から隔離しているために室内に存在する粉塵（空調等による乱流を受けている）の影響を受けない。
そのため絡み合った繊維の内部に入り込んでいた異物Ｙが、繊維シートＢの表層から露出した状態を乱すことがなく、前述したような粘着ローラー３Ｂ２への異物Ｙの転移が支障なく遂行されるのである。
【００５６】
再粘着ローラー３Ｃの表面に付与される粘着材の材質は、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２よりも強力な粘着力を有するものであれば、特に限定されるものではない。なお、再粘着ローラー３Ｃの全体が、粘着材質で形成されていてもよい。
【００５７】
ところで、本実施形態に係る表側除去部３１及び裏側除去部３２において、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２に押し付ける押圧手段３Ｅを再粘着ローラー３Ｃの軸に取り付けることで、粘着ローラーの異物除去能力を低下させることなく、長時間に渡って稼働させることができる。
【００５８】
〔第３の実施形態〕
図５は、再粘着ローラーが押圧手段を備えた状態を示す模式図である。
押圧手段３Ｅはエアシリンダ等のように、一方向に力を加え続けることができる装置で、図５に示すように、押圧手段３Ｅは再粘着ローラー３Ｃの軸を、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２側に常に押圧するように取り付けられる。
【００５９】
押圧手段３Ｅが再粘着ローラー３Ｃに備わることで、本実施形態に係る表面異物除去装置Ａの稼働に伴い、再粘着ローラー３Ｃの表面が消耗し、縮径した場合でも、再粘着ローラー３Ｃは常に粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２に接触することができる。
【００６０】
〔第４の実施形態〕
図６は、本発明を具体化した表面異物除去装置を説明する図である。  
この例では、表側除去部及び裏側除去部を、複数対、すなわち二対備えたものとなっている。
図６に示すように、本実施形態に係る表面異物除去装置Ａの異物除去機３は、表側除去部３１及び裏側除去部３２を二対備え、且つ上流方向から、第一表側除去部３１Ａ、第一裏側除去部３２Ａ、第二裏側除去部３２Ｂ、第二表側除去部３１Ｂの順序で配置される。
【００６１】
さらに、表側除去部３１及び裏側除去部３２は二段二列に配置される。
表側除去部３１及び裏側除去部３２がこのように上下左右に要領よく配置されることで、異物除去機３の占める領域を極力小さくすることができ、それに伴い表面異物除去装置Ａ全体の容積も極力小さくすることができる。
【００６２】
第一表側除去部３１Ａ、第二表側除去部３１Ｂ、第一裏側除去部３２Ａ及び第二裏側除去部３２Ｂが備える各駆動ローラー３Ａは、基枠Ｆに取り付けられた基台３Ｄの上に完全に固定された状態で設置される。  
粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２の軸を支えるための図示しない軸受け台は、基台３Ｄに形成されたレール３Ｄ１に案内されて移動する。
これにより、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２は駆動ローラー３Ａに対して共に揃って近接自在となる。
また、上記軸受け台は、粘着ローラー３Ｂ１の軸と粘着ローラー３Ｂ２の軸とを共通に支えているので、粘着ローラー３Ｂ１と粘着ローラー３Ｂ２とは一体となって基台３Ｄ上を平行移動する。
【００６３】
再粘着ローラー３Ｃの軸受けも同様にレール３Ｄ１に案内されて移動する。
従って、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２と、再粘着ローラー３Ｃとは別個に独立して基台３Ｄ上を移動することができる。
【００６４】
基枠Ｆには、キャスターＧが設けられ、本表面異物除去装置Ａ全体として移動可能である。
また、押圧手段３Ｅである図示しないエアシリンダは、粘着ローラー３Ｂ１と再粘着ローラー３Ｃとの間に設置され、再粘着ローラー３Ｃの軸受け台に対して、粘着ローラー３Ｂ１側に引き寄せる方向に力を加える。
【００６５】
次に、本発明の実施形態に係る表面異物除去装置Ａにおける、異物除去の工程について述べる。
先ず、先端に、一定の長さの布体、いわゆる導布が接合されている繊維シートＢを、送り出しローラー１に取り付ける。
次に、各表側除去部３１の粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２を、駆動ローラー３Ａから所定の距離だけ移動させ、駆動ローラー３Ａと二つの粘着ローラーとが離隔した、いわゆる開放状態を作る。同様の操作を、各裏側除去部３２についても行う。
【００６６】
全ての表側除去部と裏側除去部とを開放状態にしたら、まず、案内用の導布（繊維シートＢの先端に取り付けられている）を送り出しローラー１から引き出し、案内ローラーＨに巻回させ、第一表側除去部３１Ａの駆動ローラー３Ａと上記二つの粘着ローラーとの間に通過させる。
【００６７】
そして、上述した第一表側除去部３１Ａについて行った操作と同様の操作を、第一裏側除去部３２Ａ、第二裏側除去部３２Ｂ、第二表側除去部３１Ｂの順序で、順次行い、最後にその導布を巻き取りローラー２に取り付ける。
【００６８】
導布を巻き取りローラー２に取り付けた後、各除去部の粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２を、繊維シートＢに接触するまで駆動ローラー３Ａに近づける。
このとき、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２の粘着力や繊維シートＢに付着する異物の種類等によって、粘着ローラー３Ｂ１及び粘着ローラー３Ｂ２が繊維シートＢに加える接触圧を調節する。
以上により、繊維シートＢは異物除去機３及び巻き取りローラー２にセットされる。
【００６９】
次に、異物除去機３を稼働させる。
異物除去機３の稼働により、各除去部の駆動ローラー３Ａが回転を始め、繊維シートＢは順次下流方向に移動する。
この場合、繊維シートＢは最初に第一表側除去部３１Ａに送られる。
【００７０】
第一表側除去部３１Ａに送られた繊維シートＢに付着している表側の異物の大部分は、粘着ローラー３Ｂ１によって除去される。
また、同時に繊維シートＢの表側表面から一定の深さに存在していた異物も、粘着ローラー３Ｂ１によって表側表面まで引き出される。
【００７１】
そして、粘着ローラー３Ｂ１の直後に設置された粘着ローラー３Ｂ２よって、粘着ローラー３Ｂ１が除去仕切れなかった異物、及び粘着ローラー３Ｂ１によって表側表面に引き出された異物が、除去される。
【００７２】
第一表側除去部３１Ａを通過した繊維シートＢは、次に、第一表側除去部３１Ａの上方に設置された、第一裏側除去部３２Ａに送られる。
第一裏側除去部３２Ａに設置された粘着ローラー３Ｂ１は、第一表側除去部３１Ａに設置された粘着ローラー３Ｂ１と同様に、繊維シートＢの裏側に付着する異物の除去を行い、また繊維シートＢの内部に存在していた異物を裏側表面まで引き出す。
【００７３】
そして、第一裏側除去部３２Ａに設置された粘着ローラー３Ｂ２も、第一表側除去部３１Ａに設置された粘着ローラー３Ｂ２と同様に、第一裏側除去部３２Ａが除去し切れなかった異物及び裏側表面に引き出された異物の除去を行う。
【００７４】
第一裏側除去部３２Ａを通過した繊維シートＢは、次に、第一裏側除去部３２Ａの側方に設置された第二裏側除去部３２Ｂへ送られる。
第二裏側除去部３２Ｂは、第一裏側除去部３２Ａで除去し切れなかった、繊維シートＢの裏側に付着する僅かな異物の除去を行う。
その除去方法は、第一裏側除去部３２Ａと同じである。
【００７５】
第二裏側除去部３２Ｂを通過した繊維シートＢは、次に、繊維シートＢの弛み防止のためのテンションローラーＴを介して第二表側除去部３１Ｂに送られる。
第二表側除去部３１Ｂは、第一表側除去部３１Ａが除去し切れなかった繊維シートＢの表側に付着する僅かな異物の除去を行う。
異物の除去方法は、第一表側除去部３１Ａの除去方法と同じである。
第二表側除去部３１Ｂを通過した繊維シートＢは、巻き取りローラー２によって巻き取られる。
【００７６】
このように、表側除去部及び裏側除去部を二対備えることで、本実施形態に係る表面異物除去装置において、上流側に設置された表側除去部（または裏側除去部）が除去できずに、下流に流れてしまった異物があった場合でも、下流側に設置された表側除去部（または裏側除去部）がそれらの異物を除去することができる。
【００７７】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は上記の実施の形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。
例えば、本発明に係る表面異物除去装置がクリーンルーム等の無塵空間内に設置されることで、繊維シートが巻き取りローラーに巻き取られる際に、新たに塵や埃等の異物が付着するのを防止することができる。
【００７８】
また、送り出しローラーと異物除去機との間に、前もって除電バーやイオナイザー等の除電手段を設けることができる。
これにより予め繊維シートに付着する特別な異物を除いた状態で繊維シートを異物除去機に送ることができるので、本発明の異物除去装置の除去能力はさらに高まる。
また、案内のためのテンションローラーや補助ローラーは、必要に応じて設置することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】図１は、本実施形態に係る表面異物除去装置を模式的に示す説明図である。
【図２】図２は、表側除去部（及び裏側除去部）を模式的に示した説明図である。
【図３】図３は、粘着ローラーが繊維シート内部の異物を除去する過程を示した説明図である。
【図４】図４は、再粘着ローラーを備えた表側除去部及び裏側除去部を模式的に示した説明図である。
【図５】図５は、再粘着ローラーが押圧手段を備えた状態を示す模式図である。
【図６】図６は、本発明を具体化した表面異物除去装置Ａを説明する図である
【図７】図７は、従来の表面異物除去装置の異物除去原理の一例を模式的に示す概略図である。
【図８】図８は、従来の表面異物除去装置の異物除去方法の一例を模式的に示す概略図である。
【符号の説明】
【００８０】
Ａ…異物除去装置
Ｂ…繊維シート
Ｆ…基枠
Ｇ…キャスター
Ｈ…案内ローラー
Ｓ…間隙
Ｔ…テンションローラー
１…送り出しローラー
２…巻取りローラー
３…異物除去機
３Ａ…駆動ローラー
３Ｂ１…粘着ローラー
３Ｂ２…粘着ローラー
３Ｃ…再粘着ローラー
３Ｄ…基台
３Ｄ１…レール
３Ｅ…押圧手段
３１…表側除去部
３１Ａ…第一表側除去部
３１Ｂ…第二表側除去部
３２…裏側除去部
３２Ａ…第一表側除去部
３２Ｂ…第二表側除去部
１００…駆動ローラー
１０１…粘着ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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