(57)【要約】【課題】計測用時間単位を小さくすることなく、光ビームの偏向・走査状態の検知精度を向上できる光偏向装置、及び光ビームの偏向・走査状態を検知する検知方法を提供する。【解決手段】光偏向装置は、光源201と、光偏向手段202と、光偏向手段の駆動手段と、駆動手段を制御する駆動制御手段207と、受光素子206とを有する。受光素子206は、光偏向手段の可動子202で偏向・走査される光ビームを検知する。受光素子206に対して光ビームが到達し通過し離脱するときに発生される到達時刻信号と離脱時刻信号との間の幅を計測用時間単位で計測した計測値を、小数部を含む数値とする。駆動制御手段207は、前半の到達時刻信号と離脱時刻信号及び後半の到達時刻信号と離脱時刻信号から、2つ選んで2つの組を選択し、2つの組の時刻信号間の幅を計測用時間単位で計測して得た2つの計測数に基づき、光ビームの偏向・走査状態を検知する。【選択図】図2
2008287117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを発生する光源と、前記光ビームを偏向・走査するための光偏向素子が形成された揺動可能な可動子を含む光偏向手段と、前記可動子を駆動するための駆動手段と、駆動信号により前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、前記可動子により偏向・走査される前記光ビームを検知する受光素子とを有する光偏向装置であって、
前記受光素子に対して前記光ビームが到達し通過し離脱するときに発生される到達時刻信号と離脱時刻信号との間の幅を計測用時間単位で計測した計測値が小数部を含む数値になる様に構成され、
前記駆動制御手段は、偏向・走査される前記光ビームが走査端の折り返し点の前後で前記受光素子に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号から、前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の組及び後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の組を除いて、夫々2つ選んで異なる2つの組を選択し、該2つの組の時刻信号の間の幅を夫々前記計測用時間単位で計測して得た2つの計測数に基づいて、前記光ビームの偏向・走査状態を検知する、
ことを特徴とする光偏向装置。
【請求項２】
前記受光素子であるビームディテクタの前記到達時刻信号と前記離脱時刻信号との間の幅が、前記計測用時間単位である計測サンプリング周期で割り切れない数値になる様に、ビームディテクタの位置、ビームディテクタの前のスリットの位置と幅、光ビームの径、及び前記光偏向手段により偏向・走査される光ビームの入射する光学系の配置が設定され、
前記2つの計測数が、
前記前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の間の計測開始期間の前半の離脱時刻信号から、前記後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の間の計測終了期間の後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の両方までを夫々前記計測用時間単位で計測して得る2つの計測数、或いは
前記計測開始期間の前半の到達時刻信号から、前記計測終了期間の後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の両方までを夫々前記計測用時間単位で計測して得る2つの計測数、或いは
前記計測開始期間の前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の両方から、前記計測終了期間の後半の到達時刻信号までを夫々前記計測用時間単位で計測して得る2つの計測数、或いは
前記計測開始期間の前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の両方から、前記計測終了期間の後半の離脱時刻信号までを夫々前記計測用時間単位で計測して得る2つの計測数、或いは
前記計測開始期間の前半の離脱時刻信号から前記計測終了期間の後半の到達時刻信号までと、前記計測開始期間の前半の到達時刻信号から前記計測終了期間の後半の離脱時刻信号までとを夫々前記計測用時間単位で計測して得る2つの計測数、或いは
前記計測開始期間の前半の到達時刻信号から前記計測終了期間の後半の到達時刻信号までと、前記計測開始期間の前半の離脱時刻信号から前記計測終了期間の後半の離脱時刻信号までとを夫々前記計測用時間単位で計測して得る2つの計測数である、
ことを特徴とする請求項1記載の光偏向装置。
【請求項３】
前記前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の間の計測開始期間の2倍、或いは前記後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の間の計測終了期間の2倍、或いは前記計測開始期間の2倍と前記計測終了期間の2倍を前記計測用時間単位で割るとき、小数部の値が0.25から0.75の間の数値になる様に構成されている、
ことを特徴とする請求項1または2記載の光偏向装置。
【請求項４】
前記駆動制御手段は、前記2つの計測数の両方の合計値に基づいて、前記光ビームの偏向・走査状態を検知し、該検知結果に基づいて駆動信号により前記駆動手段を制御する、
ことを特徴とする請求項1、2または3記載の光偏向装置。
【請求項５】
光ビームを発生する光源と、前記光ビームを偏向・走査するための光偏向素子が形成された揺動可能な可動子を含む光偏向手段と、前記可動子を駆動するための駆動手段と、前記可動子により偏向・走査される前記光ビームを検知する受光素子とを有する光偏向装置において、前記光ビームの偏向・走査状態を検知する検知方法であって、
前記受光素子に対して前記光ビームが到達し通過し離脱するときに発生される到達時刻信号と離脱時刻信号との間の幅を計測用時間単位で計測した計測値が小数部を含む数値になる様にし、
偏向・走査される前記光ビームが走査端の折り返し点の前後で前記受光素子に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号から、前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の組及び後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の組を除いて、夫々2つ選んで異なる2つの組を選択し、
前記2つの組の時刻信号の間の幅を夫々前記計測用時間単位で計測して2つの計測数を得、
前記2つの計測数に基づいて、前記光ビームの偏向・走査状態を検知する、
ことを特徴とする検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビームを偏向・走査するための揺動可能な可動子を有する光偏向装置、及び光偏向装置の光ビームの偏向・走査状態を検知する検知方法に関する。この光偏向装置は、走査型ディスプレイなどのプロジェクタ、レーザービームプリンタ（LBP）などのプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に適用可能である。
【背景技術】
【０００２】
従来、ポリゴンミラー等の回転多面鏡を回転させる光偏向装置、マイクロマシン技術を用いて作製された、回転軸を中心に揺動する共振型揺動体であるMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの光偏向装置がある。プロジェクタやプリンタで高精度の画像を得るには、回転多面鏡の回転速度や揺動体の揺動速度を厳密に検知し制御する必要がある。一般的には、ビームディテクタ（以下、BDと記す）などの受光素子を光ビーム検出手段として具備し、例えば、そこに入射する光ビームの入射間隔で、偏向・走査される光ビームの速度検知を行っている（特許文献1参照）。
【特許文献１】特開2005-292627号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、高い精度で速度検知を行うには、受光素子へ入る光ビームの計測を高い周波数のクロックで計測する必要がある。こうした高い周波数のクロックを生成・発生する手段は、装置設計上、コストアップの要因となっている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題に鑑み、本発明の光偏向装置は、次の特徴を有する。すなわち、光偏向装置は、光ビームを発生する光源と、光偏向手段と、駆動手段と、駆動信号により駆動手段を制御する駆動制御手段と、受光素子とを有する。光偏向手段は、光ビームを偏向・走査するための光偏向素子が形成された揺動可能な可動子を含む。駆動手段は、可動子を駆動する。駆動制御手段は、駆動信号により駆動手段を制御する。受光素子は、可動子により偏向・走査される光ビームを検知する。また、前記受光素子に対して前記光ビームが到達し通過し離脱するときに発生される到達時刻信号と離脱時刻信号との間の幅を計測用時間単位で計測した計測値が小数部を含む数値になる様に構成されている。更に、前記駆動制御手段は、前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号から、夫々2つ選んで異なる2つの組を選択し、該2つの組の時刻信号の間の幅を夫々計測用時間単位で計測して得た2つの計測数に基づいて、光ビームの偏向・走査状態を検知する。前記前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号は、偏向・走査される光ビームが走査端の折り返し点の前後で前記受光素子に対して到達し通過し離脱するときに発生されるものである。ただし、選択する組からは、前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の組及び後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の組を除く。
【０００５】
また、上記課題に鑑み、本発明の検知方法は、光ビームを発生する光源と、光ビームを偏向・走査するための光偏向素子が形成された揺動可能な可動子を含む光偏向手段と、可動子を駆動するための駆動手段と、可動子により偏向・走査される光ビームを検知する受光素子とを有する光偏向装置において、光ビームの偏向・走査状態を検知するために、以下のステップを有する。
前記受光素子に対して前記光ビームが到達し通過し離脱するときに発生される到達時刻信号と離脱時刻信号との間の幅を計測用時間単位で計測した計測値が小数部を含む数値になる様にするステップ。
偏向・走査される前記光ビームが走査端の折り返し点の前後で前記受光素子に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号から、前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の組及び後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の組を除いて、夫々2つ選んで異なる2つの組を選択するステップ。
前記2つの組の時刻信号の間の幅を夫々前記計測用時間単位で計測して2つの計測数を得るステップ。
前記2つの計測数に基づいて、前記光ビームの偏向・走査状態を検知するステップ。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、上記の如く2つの計測数に基づいて光ビームの偏向・走査状態を検知するので、計測用時間単位を提供する計測クロック周波数を上げることなく、受光素子を光ビームが通過する期間に係る時刻の計測の精度を向上できる。従って、光ビームの偏向・走査状態の検知精度を向上することができる。また、計測クロック周波数を上げる負担が軽減されるので、光偏向装置や検知方法に用いるLSIのチップ単価などの減少、消費電力の減少を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の光偏向装置及び検知方法の実施の形態を明らかにすべく、具体的な実施例を説明する。
【０００８】
（実施例1）
図2は、本発明をLBPのスキャナユニット（光偏向装置）に適用した実施例1の構成例を示す図である。図1は、光ビームの偏向・走査位置と、光ビームを検知する受光素子であるBD206からの信号のBD出力波形との関係を示す図である。
【０００９】
図1と図2を用いて本実施例を説明する。図2の構成において、光源であるLD（レーザダイオード）201から出た光は、光偏向手段の揺動可能な可動子である揺動体202上の光偏向素子であるミラーで反射される。そして、反射光は、揺動体202が揺動範囲の端部近傍を通過するタイミングで、ｆθレンズ203、集光レンズ204、スリット205を通過してBD206へ入光する。BD206への入光によるBD信号は、光ビームの偏向・走査状態を検知する検知手段を含む制御回路207に供給される。揺動体202が揺動範囲中心付近を通過するタイミングでは、LD201から出た光は、等角走査を等速走査へ変換するｆθレンズ203を通過後、感光ドラム208へ入射されて静電潜像を形成する。
【００１０】
駆動制御手段である制御回路207は、検知手段により検出された光ビームの偏向・走査状態の情報に基づいて、揺動体202を駆動する駆動手段の動作制御を行う。駆動手段は、例えば、揺動体202に装着された磁石と、揺動体202近傍に設けられた駆動コイルから構成される。制御回路207からは、光ビームの偏向・走査状態の情報に基づいて適切に設定された駆動周波数と振幅の駆動信号が出力される。この駆動信号は、上記駆動コイルを駆動し、揺動体202に装着された磁石に磁力を加えることで、ミラーを備えた揺動体202を揺動させる。揺動体202は、例えば、ねじりバネにより不図示の固定部に揺動可能に接続されている。
【００１１】
上記構成では、更に、所望の光ビームの偏向・走査状態の近傍の動作状態で、受光素子であるBD206のBD信号の計測終了期間の立下りと立上りの間の幅が、計測用時間単位の計測サンプリング周期Tで割り切れない数値になる様に、設定されている。すなわち、上記幅を計測用時間単位で計測した計測値が小数部を含む数値になる様に、設定されている。ここでは、この数値は6.5とされている。より詳細には、所望の光ビームの偏向・走査状態の近傍の動作状態で、次の様に設定されている。すなわち、上記計測値になる様に、BD206の位置、BD206の前のスリット205の位置と幅、光ビームの径、及び揺動体202で偏向・走査される光ビームの入射する光学系のｆθレンズ203と集光レンズ204の配置が設定されている。上記計測終了期間は、光ビームが走査端の折り返し点の前後でBD206に対して到達し通過し離脱するときに発生される後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の間の部分である。一方、計測開始期間は、光ビームが走査端の折り返し点の前後でBD206に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の間の部分である。尚、BD信号が立下りとなるか立上りとなるかは、単に、BD206と検知手段の構成によるものである。
【００１２】
駆動手段としては、揺動体202に磁石が設置されて駆動コイルが対向する固定側に設置された上述の電磁方式のもののほか、他の電磁方式、静電気力を利用した静電方式のもの、圧電気を利用した圧電方式のもの等も使用できる。他の電磁方式では、揺動体202に駆動コイルが設置され、磁石が対向する固定側に設置される。静電方式では、例えば、揺動体202とこれに対向する固定側に電極が夫々設置されて、電極に駆動信号が印加されて揺動体202が駆動される。圧電方式では、例えば、揺動体202をねじりバネを介して揺動可能に支持する固定部に圧電素子が設置されて、圧電素子に駆動信号が印加されて発生する振動で揺動体202が駆動されるのを利用する。ここにおいて、駆動手段を制御する駆動制御手段である制御回路207からの駆動信号は、例えば、適当な駆動周波数の正弦波信号、パルス信号などの周期的信号である。駆動制御手段は、後述する2つの計測数の両方の合計値に基づいて、光ビームの偏向・走査状態を検知し、該検知結果に基づいて駆動信号を生成し、これにより駆動手段を制御する。
【００１３】
揺動体202により偏向・走査される光ビームを検知する受光素子であるBD206としては、フォトディテクタ、イメージセンサなどを用いることができる。
【００１４】
本実施例の動作を説明する。
LD201から出た光は揺動体202で反射されて、光ビーム光軸中心側からBD206側へスキャンされた後、再び光軸中心側へ戻ってくる。図1は、この場合の光ビームの位置とBD出力信号の関係を示す。光ビームは、（1）（図面では、丸付き数字で示す。以下同様。）の光軸中心から、計測開始期間に（2）のBD206の位置を横切り、BD206の外側の走査端の折り返し点を経由して、今度は計測終了期間に（3）のBD206の位置を経て、（4）の光軸中心へ戻る。（2）と（4）の位置で、BD206にレーザビームが入光（到達・通過・離脱）し、BD出力波形で示すような出力がBD206から得られる。
【００１５】
ここで、BD出力信号の計測開始期間の
立上り（受光素子（BD）に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の離脱時刻信号）を基準時刻の0とし、周期Tのクロックでカウントして計測する場合を考える。従来方式では、図1のt1に相当する部分（光ビームが走査端の折り返し点の前後で受光素子（BD）に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号の間の部分）の値のみを計測値としていた。この場合の計測誤差は、計測開始期間の立上りで最大T、計測終了期間の立下りで最大Tとなり、合計、最大2Tの計測誤差となる。
【００１６】
これに対して、本実施例の方式では、計測終了期間の立下りに加え、立上り（計測終了期間の後半の離脱時刻信号）の計測値を考慮する。すなわち、後者の計測値を加味すると、レーザビームの振れ角（走査範囲）が大きくなり、計測開始期間と計測終了期間のBD信号の間隔（t1に相当する部分）が大きくなった場合、次の様になる。ここでは、大きくなる場合を説明するが、小さくなる場合も原理的に同様である。
【００１７】
計測終了期間の立下りが160のクロック内にあって、誤差が0.5Tより小さい図1で説明する。光ビームの振動振幅が、BD信号の間隔に換算してT弱だけ大きくなった場合、t1の値は無変化であるが、t2の値は1だけ増加する。ただし、ここで、T弱は、図1の計測終了期間の立下りの誤差分と合わせると0.5Tよりは大きくなる量であり、t2は計測開始期間の前半の離脱時刻信号と計測終了期間の後半の離脱時刻信号の間の部分である。
【００１８】
理由を図1で説明すると、次の通りである。t1の前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号は、同じクロック（前者は0のクロック、後者は160のクロック）内に止まる。しかし、t2の後半の離脱時刻信号は、後半の到達時刻信号から6.5Tずれた位置（165のクロックの後半部分）に元々あるので、後半の到達時刻信号が上記量のT弱だけ大きくなると、同じクロック内に止まらず1進んだクロック（166のクロック）に移る。こうして、本実施例の計測誤差は、計測開始期間の立上りで最大T、計測終了期間の立下りで最大0.5Tとなり、合計、最大1.5Tの計測誤差に減少して、計測精度が向上する。計測誤差が、計測終了期間の立下りで最大0.5Tとなるのは、計測終了期間のBD信号の立下りと立上りの間隔をTで割った値の小数部が0.5であるからである。
【００１９】
精度向上が最大なのは、計測終了期間のBD信号の立下りと立上りの間隔をTで割ると小数部が0.5となる場合である。上述した様に、この場合の計測誤差は、計測開始期間のBD信号の立上りにおけるTと、計測終了期間のBD信号の立下りにおける0.5Tを併せた、1.5Tとなる。図1では、計測終了期間のBD信号の立下りと立上りの間隔が6.5Tの場合を示しているが、これが6.0T或いは7.0Tの場合には、BD信号の間隔が大きくなったとき、t1とt2の値が同時に変化するので計測精度の向上は無い。図3に、設定されるBD信号幅と計測精度（計測誤差）の関係のグラフを示す。上記小数部が0及び1に近づくにつれて、計測誤差が1.5Tから2Tに線形的に近づくのが分かる。本実施例で言えば、計測終了期間のBD信号の立下りと立上りの間隔の好ましい範囲は、6.125から6.875である。こうした場合、計測精度（計測誤差）は、1.5Tから1.875Tとなる。後述する例の場合も含んで、好ましい範囲を述べると、次の様になる。すなわち、計測開始期間の2倍、或いは計測終了期間の2倍、或いは計測開始期間の2倍と計測終了期間の2倍を、計測用時間単位で割るとき、小数部の値が0.25から0.75の間の数値になる範囲である。
【００２０】
本実施例は、計測開始期間の立上りを基準にしたが、計測開始期間の立下り、計測終了期間の立下りや立上りを基準にすることもできる。これらの変形例も、合計3点の時刻信号の計測データを用いており、計測精度すなわち計測誤差は1.5Tとなる。
【００２１】
各場合を順次図4、図5、図6に示す。
図4の変形例では、計測開始期間の立下りを基準にし、計測終了期間の立下りに加え、立上りの計測値を考慮する。これにより、計測誤差は、計測開始期間の立上りで最大T、計測終了期間の立下りで最大0.5Tとなり、合計、最大1.5Tの計測誤差になり、計測精度が向上する。計測開始期間の立上りで計測誤差が最大Tとなるのは、この立上りが変動してBD信号の間隔が変化したときt1とt2の値が同時に変化するので、計測精度の向上が無いからである。
【００２２】
図5の変形例では、計測終了期間の立下りを基準にし、計測開始期間の立上りに加え、立下りの計測値を考慮する。これにより、計測誤差は、計測開始期間の立上りで最大0.5T、計測終了期間の立下りで最大Tとなり、合計、最大1.5Tの計測誤差になり、計測精度が向上する。計測終了期間の立下りで計測誤差が最大Tとなるのは、この立下りが変動してBD信号の間隔が変化したときt1とt2の値が同時に変化するので、計測精度の向上が無いからである。尚、この場合は、計測開始期間のBD信号の立下りと立上りの間隔をTで割ると小数部が0.5となる様に設定されている。
【００２３】
図6の変形例では、計測終了期間の立上りを基準にし、計測開始期間の立上りに加え、立下りの計測値を考慮する。これにより、計測誤差は、計測終了期間の立下りで最大T、計測開始期間の立上りで最大0.5Tとなり、合計、最大1.5Tの計測誤差になり、計測精度が向上する。計測終了期間の立下りで計測誤差が最大Tと変わらないのは、この立下りがずれてBD信号の間隔が変化したときt1とt2の値が同時に変化するので、計測精度の向上が無いからである。尚、この場合も、計測開始期間のBD信号の立下りと立上りの間隔をTで割ると小数部が0.5となる様に設定されている。
【００２４】
以上の変形例に関しても、設定されるBD信号幅と計測精度（計測誤差）の関係をグラフ化したのが図3である。
【００２５】
本実施例で用いられる検知方法は、次の特徴を有する。すなわち、光源と、光ビームを偏向・走査する光偏向手段と、光偏向手段を駆動する駆動手段と、光偏向手段で偏向・走査される光ビームを検知する受光素子を含む光偏向装置で、光ビームの偏向・走査状態を検知するのに、次のステップを有する。第1のステップで、受光素子に対して光ビームが到達し通過し離脱するときに発生される到達時刻信号と離脱時刻信号との間の幅を計測用時間単位で計測した計測値が小数部を含む数値になる様にする。第2のステップで、光ビームが走査端の折り返し点の前後で受光素子に対して到達し通過し離脱するときに発生される前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号と後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号から、夫々2つ選んで異なる2つの組を選択する。ただし、前半の到達時刻信号と前半の離脱時刻信号の組及び後半の到達時刻信号と後半の離脱時刻信号の組は除く。第3のステップで、前記2つの組の時刻信号の間の幅を夫々前記計測用時間単位で計測して2つの計測数を得る。第4のステップで、前記2つの計測数に基づいて、光ビームの偏向・走査状態を検知する。
【００２６】
本実施例によれば、計測用時間単位を提供する計測クロック周波数を上げることなく（すなわち、Tを小さくすることなく）、BD206を光ビームが通過する期間に係る時刻の計測の精度を向上でき、光ビームの偏向・走査状態の検知精度を向上できる。従って、計測クロック周波数を上げる負担が軽減できて、光偏向装置に用いるLSIのチップ単価の減少、消費電力の減少を図ることができる。また、駆動制御手段である制御回路207は、向上した検知精度の光ビームの偏向・走査状態の情報に基づいて、駆動手段を介して揺動体202の揺動状態をより精度良く制御することができる。
【００２７】
（実施例2）
本発明の実施例2を説明する。前述の実施例1では、計測開始期間と計測終了期間のどちらかの立上りか立下りを基準としたが、本実施例では、計測開始期間の立上りと立下り及び計測終了期間の立上りと立下りの全てを計測し、さらに精度を向上することができる。
【００２８】
本実施例では、図7に示す様に、計測開始期間の立上りから計測終了期間の立下りまでの値と、計測開始期間の立下りから計測終了期間の立上りまでの値を加算して計測値とする。この方法によれば、計測開始期間の幅と計測終了期間の幅がNT+0.5（N=自然数）
に設定された場合、BD信号の間隔（t1に相当する部分）のどちらのエッジが0.5T以上変動しても、検出可能である。従って、計測開始期間の立上りでの計測誤差が0.5T、計測終了期間の立下りでの計測誤差が0.5Tとなり、併せて1Tの誤差となる。図9に、実施例2の場合に設定されるBD信号幅と計測精度（計測誤差）の関係のグラフを示す。本実施例でも、計測開始期間と計測終了期間のBD信号の立下りと立上りの間隔の好ましい範囲は、6.125から6.875である。こうした場合、計測精度（計測誤差）は、1Tから1.75Tとなる。その他の点は、実施例1と同様である。
【００２９】
（実施例3）
本発明の実施例3を説明する。図8で示す本実施例は、計測開始期間の立下りから計測終了期間の立下りまでの値と、計測開始期間の立上りから計測終了期間の立上りまでの値を加算して計測値とする方式を用いる。この方法でも、計測開始期間の幅と計測終了期間の幅がNT+0.5（N=自然数）の
場合、BD信号の間隔のどちらのエッジが0.5T以上変動しても、検出可能である。よって、計測開始期間の立上りでの計測誤差が0.5T、計測終了期間の立下りでの計測誤差が0.5Tとなり、併せて1Tの誤差となる。図9は、実施例3の場合のBD信号幅と計測精度（計測誤差）の関係をも示す。本実施例も、その他の点は、実施例1と同様である。
【００３０】
ところで、ｔ1とｔ2の計測数値について、実施例2がt1+t2=（160-6）+（166-0）=320なのに対して、実施例3はt1+t2=160-0+（166-6）=320となり、加減算の順番が違うだけである。し
かしながら、図10に示す様にBD信号の計測値をデジタイズして得る場合、図8の実施例3の様に立上り同士の間隔や立下り同士の間隔を計測するとき、次の様になる。すなわち、スレッショルド電圧が変動した場合、スレショルドレベルHのt1HとスレショルドレベルLのt1Lは同一方向にΔt1、Δt2だけシフトするので、値は変化せず計測誤差とならない特徴がある。光ビームのパワー変動に対しても、同様に、計測誤差耐性がある。これに対して、図7の実施例2の場合は、立上りと立下りの間隔を計測するので、スレショルドレベルが上下すると、t1、t2共に増加してしまう。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施例1の動作を説明する図。
【図２】本発明をLBPのスキャナユニットに適用した場合の構成例を示す図。
【図３】実施例1の場合の計測誤差を説明する図。
【図４】本発明の実施例1の変形例の動作を説明する図。
【図５】本発明の実施例1の他の変形例の動作を説明する図。
【図６】本発明の実施例1の他の変形例の動作を説明する図。
【図７】本発明の実施例2の動作を説明する図。
【図８】本発明の実施例3の動作を説明する図。
【図９】実施例2、3の場合の計測誤差を説明する図。
【図１０】スレショルドレベル変動と測定誤差との関係を説明する図。
【符号の説明】
【００３２】
201    光源（LD）
202    光偏向手段（揺動体）
206    受光素子（BD）
207    駆動制御手段（制御回路）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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