(57)【要約】【課題】スクリーン印刷精度を向上させることのできる技術を提供する。【解決手段】１９６〜３９２Ｎ／ｍｍの範囲の緊張力を備えるスクリーンメッシュ２と、４９〜９８Ｎ／ｍｍの範囲の緊張力を備えるテンションメッシュ３と、スクリーンメッシュ２の外周を囲むように配置され、３９２〜９８０Ｎ／ｍｍの範囲の緊張力を備え、テンションメッシュ３の一部を固定する樹脂プレート（固定部）４と、版枠５とを備え、スクリーン印刷を行う際に、スキージがスクリーンメッシュ２上を擦動する方向と交差する第１方向５５のスクリーンメッシュ２の長さＬｓは、第１方向５５のテンションメッシュ３の長さＬｔの０．６〜０．９倍であり、係数ａとすると、第１方向５５の樹脂プレート４の長さＬｋと、長さＬｓと、長さＬｔとは、Ｌｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２の関係で、係数ａは０．５〜１．２の範囲にあるように構成する。【選択図】図１
2008110533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに反対側に位置する第１の面と第２の面とを有し、前記第１の面から前記第２の面方向に印刷剤が通過する複数の孔部を備え、１９６〜３９２Ｎ／ｍｍの範囲の平面方向の緊張力を備えるスクリーンメッシュと、
前記スクリーンメッシュの外周を囲むように配置され、４９〜９８Ｎ／ｍｍの範囲の平面方向の緊張力を備えるテンションメッシュと、
前記スクリーンメッシュの外周を囲むように配置され、３９２〜９８０Ｎ／ｍｍの範囲の平面方向の緊張力を備え、前記テンションメッシュの一部を固定する固定部と、
前記テンションメッシュの外周を囲むように配置され、前記テンションメッシュの外周を固着して保持する版枠とを備え、
スクリーン印刷を行う際に、スキージが前記スクリーンメッシュ上を擦動する方向と交差する第１方向の前記スクリーンメッシュの長さＬｓは、前記第１方向のテンションメッシュの長さＬｔの０．６〜０．９倍であり、
係数ａとすると、前記第１方向の固定部の長さＬｋと、前記第１方向の前記スクリーンメッシュの長さＬｓと、前記第１方向のテンションメッシュの長さＬｔとは、Ｌｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２の関係を満足し、
前記係数ａは０．５〜１．２の範囲であることを特徴とするスクリーンマスク。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーンマスクにおいて、
前記スクリーンメッシュの表面は、金属メッキされていることを特徴とするスクリーンマスク。
【請求項３】
互いに反対側に位置する第１の面と第２の面とを有し、前記第１の面から前記第２の面方向に印刷剤が通過する複数の孔部を備えるスクリーンメッシュと、
前記スクリーンメッシュの外周を囲むように配置されたテンションメッシュと、
前記テンションメッシュの外周を囲むように配置された版枠と、
前記版枠の前記第１の面と対向する面側に形成され、前記版枠から前記スクリーンメッシュの方向に向かって、前記テンションメッシュの前記第１の面側の一部または全部を覆うように配置された版枠フレームとを備え、
前記テンションメッシュが形成された第１の領域の面積の少なくとも半分以上が、前記版枠フレームにより覆われており、
前記版枠フレームが形成された第２の領域のうち、前記版枠と前記テンションメッシュに挟まれた第３の領域のみが固着されていることを特徴とするスクリーンマスク。
【請求項４】
請求項３に記載のスクリーンマスクにおいて、
前記スクリーンメッシュの表面は、金属メッキされていることを特徴とするスクリーンマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷技術に関し、特にフラットディスプレイパネルへのパターン形成に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特開２００３−２９１５５５号公報（特許文献１）には、スクリーンメッシュをテンションメッシュを介して緊張状態でスクリーン支持枠に支持させた印刷用スクリーンにおいて、前記スクリーンメッシュの印刷有効領域の周囲に、前記印刷有効領域よりも高弾性率の縁領域を設け、前記スクリーンメッシュを前記高弾性率の縁領域の外周においてテンションメッシュに固定した構造が記載されている。
【特許文献１】特開２００３−２９１５５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
スクリーン印刷とは、インクなどの印刷剤をスキージング（スキージで印刷剤を押し出すこと）によりステンシルスクリーンを通過させて被印刷物に所望のパターンを転写する孔版印刷方式の一種であり、ＩＣ基板の回路配線形成や、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）などのフラットディスプレイパネルの電極形成、蛍光体層形成など様々な用途に利用されている。
【０００４】
特に、ＰＤＰの製造工程のうち、電極形成工程や蛍光体層形成工程などにスクリーン印刷技術が適用されるが、近年ディスプレイの表示面サイズを大型化したり、表示画像を高精細化したりするため、大型のスクリーンマスクを用いて高精度の印刷を行う技術が要求されている。
【０００５】
本発明者はスクリーンマスクで高精度の印刷を行う技術について検討を行い、以下の課題を見出した。
【０００６】
図９は従来の一般的なスクリーンマスクの構造を示す平面図、図１０は図９に示すスクリーンマスクのテンションメッシュを樹脂プレートで固定した状態を示す平面図である。
【０００７】
スクリーン印刷に用いるスクリーンマスクは、図９に示すように印刷有効領域であるスクリーンメッシュ（内紗とも呼ぶ）２と、スクリーンメッシュ２の周囲に形成されたテンションメッシュ（外紗とも呼ぶ）３と、前記スクリーンメッシュ２を所定の範囲内の張力で、前記テンションメッシュ３を介して緊張させて保持する版枠５とを備えている。
【０００８】
スクリーンメッシュ２はスキージング時に印刷剤を通過させるための複数の孔部を有しており、製版工程では、スクリーンメッシュ２に所定のパターンで開口部が形成された印刷マスクを製版する。
【０００９】
したがって、スクリーンマスクで高精度の印刷を行うためには、前記製版工程における初期製版精度（所望のパターンで印刷マスクを製版する精度）を向上させるとともに、スキージングを行う際の転写精度（スクリーンマスクの孔部を通過させて印刷剤を被印刷物に塗布する位置精度）を向上させる必要がある。
【００１０】
初期製版精度は、印刷マスクを製版する際に、テンションメッシュ３の位置がずれることによりスクリーンメッシュ２の位置がずれることにより低下する。
【００１１】
したがって、製版精度を向上させるためには、図１０に示すようにスクリーンメッシュ２の周囲に形成されたテンションメッシュ３を樹脂プレート４などで固定することにより、印刷マスクを製版する際のスクリーンメッシュ２の位置のずれを抑制する方法が有効である。
【００１２】
しかし、本発明者が検討した所、テンションメッシュ３を固定したスクリーンマスク３００でスクリーン印刷を行うと、印刷有効領域であるスクリーンメッシュ２がスキージの動作により変形し易くなるため、テンションメッシュ３を固定しないスクリーンマスク１００でスクリーン印刷を行った場合よりも転写精度が低下するという課題があることを見出した。
【００１３】
したがって、テンションメッシュ３の緊張力や、スキージング時の方向に交差する方向の、スクリーンメッシュ２、テンションメッシュ３および樹脂プレート４の長さの関係を考慮することなく、単にスクリーンメッシュ２の周囲に形成されたテンションメッシュ３を固定した場合、初期製版精度は向上させることができるが、転写精度が低下するため、結果的にスクリーン印刷の精度を向上させることができない。
【００１４】
特に、スクリーンマスクの平面寸法が大きくなるほどスキージング時のスクリーンメッシュ３のずれが増大しやすくなるため、ＰＤＰの製造など大型のスクリーンマスクを用いて印刷を行う場合、この転写精度の低下が大きな問題となる。
【００１５】
本願発明の目的は、スクリーン印刷精度を向上させることのできる技術を提供することにある。
【００１６】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１８】
すなわち、１９６〜３９２Ｎ／ｍｍの範囲の平面方向の緊張力を備えるスクリーンメッシュと、４９〜９８Ｎ／ｍｍの範囲の平面方向の緊張力を備えるテンションメッシュと、前記スクリーンメッシュの外周を囲むように配置され、３９２〜９８０Ｎ／ｍｍの範囲の平面方向の緊張力を備え、前記テンションメッシュの一部を固定する固定部と、版枠とを備え、スクリーン印刷を行う際に、スキージが前記スクリーンメッシュ上を擦動する方向と交差する第１方向の前記スクリーンメッシュの長さＬｓは、前記第１方向のテンションメッシュの長さＬｔの０．６〜０．９倍であり、係数ａとすると、前記第１方向の固定部の長さＬｋと、前記第１方向の前記スクリーンメッシュの長さＬｓと、前記第１方向のテンションメッシュの長さＬｔとは、Ｌｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２の関係を満足し、前記係数ａは０．５から１．２の範囲にあるように構成するものである。
【発明の効果】
【００１９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００２０】
すなわち、本発明によれば、スクリーン印刷の印刷精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。
【００２２】
また、以下の実施の形態において、要素の数等（個数、数値、量、範囲等を含む）に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。
【００２３】
本実施の形態を説明するための全図において同一機能を有するものは同一の符号を付すようにし、その繰り返しの説明は原則として省略する。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２４】
（実施の形態１）
本実施の形態１では本発明に係るスクリーン印刷技術について、ＰＤＰのパネル基板表面に形成された隔壁（放電空間をセル毎に仕切るための隔壁）で仕切られたセル内に蛍光体ペーストを塗布するＰＤＰへの蛍光体層形成工程を例として説明する。
【００２５】
図１は本実施の形態１のスクリーンマスクの平面図、図２は図１に示すＡ−Ａ線に沿った断面図、図３は図２に示す断面図のスクリーンメッシュとテンションメッシュとの接合部周辺を拡大した拡大断面図である。
【００２６】
図１および図２において、本実施の形態１のスクリーンマスク１００は、互いに反対側に位置する第１の面２ａと第２の面２ｂとを有し、面２ａから面２ｂ方向に印刷剤である蛍光体ペーストが通過する複数の孔部を備えるスクリーンメッシュ２を備えている。
【００２７】
スクリーンメッシュ２はアルミニウムなどの金属を網目状に形成したものであり、そのメッシュ数（１インチ四方当りの孔部の数）は２３０〜２６０程度である。また、網目状に形成された金属の線径は１６〜２５μｍ程度である。
【００２８】
このように形成したスクリーンメッシュ２の平面方向の緊張力（平面方向に単位距離だけ引き延ばすのに必要な力の量）は１９６〜３９２Ｎ／ｍｍ（２０〜４０ｋｇｆ／ｍｍ）となる。
【００２９】
また、スクリーンメッシュ２の外周には周囲を囲むようにテンションメッシュ３が配置され、テンションメッシュ３は、樹脂プレート（固定部）４で固定されている。この樹脂プレート４は、スクリーンメッシュ２の外周を囲むように配置されている。
【００３０】
テンションメッシュ３はたとえばポリアミド系樹脂などの樹脂線を網目状に織り込んだものでテンションメッシュ３の平面方向の緊張力は４９〜９８Ｎ／ｍｍ（５〜１０ｋｇｆ／ｍｍ）であり、スクリーンメッシュ２の緊張力の半分以下の値である。
【００３１】
樹脂プレート４は、例えばエポキシ系樹脂などをテンションメッシュ３に含浸させて固めたプレートであり、樹脂プレート４で固定された領域の平面方向の緊張力は３９２〜９８０Ｎ／ｍｍ（４０〜１００ｋｇｆ／ｍｍ）であり、スクリーンメッシュ２の緊張力よりも大きい。
【００３２】
また、テンションメッシュ３の外周には版枠５が配置され、テンションメッシュ４の外周縁は版枠５の下面に固着されている。版枠５は例えばアルミニウムなどの軽量金属を角管状にして、図１に示すように４辺形に組み合わせて形成したものである。
【００３３】
また、図３に示すようにスクリーンメッシュ２には所望のパターンで開口部６が形成された印刷マスク７が製版されている。この印刷マスク７は、スクリーンメッシュ２にフォトレジスト膜を塗布した後、所望のパターンの露光マスクを用いて露光処理および現像処理を行うことにより製版される。
【００３４】
前記露光処理を行う際にスクリーンメッシュ２の位置が固定されていない場合、所望のパターンで製版することが困難となる。すなわち、初期製版精度が低下してしまうという問題がある。
【００３５】
初期製版精度を向上させるためには、露光処理を行う際のスクリーンメッシュ２の位置を固定する必要がある。しかし、スクリーンメッシュ２の外周は平面方向の緊張力がスクリーンメッシュ２より小さいテンションメッシュ３に囲まれているので、露光処理を行う際にテンションメッシュ３が伸縮することによりスクリーンメッシュ２の位置が固定し難い。
【００３６】
本実施の形態１のスクリーンマスク１００は、スクリーンメッシュ２の外周を囲むように樹脂プレート４を配置し、テンションメッシュ３の一部を固定しているので、露光処理を行う際に、スクリーンメッシュ２の位置を固定することができる。このため、樹脂プレート４を有さないスクリーンマスクと比較して、初期製版精度を向上させることができる。
【００３７】
次に、図１を用いてスクリーン印刷時にスキージがスクリーンメッシュ２上を擦動する方向である矢印５４に交差する第１方向５５のスクリーンメッシュ２の長さＬｓ、テンションメッシュ３の長さＬｔおよび樹脂プレート４の長さＬｋの関係について説明する。
【００３８】
図１に示すスクリーン印刷時にスキージがスクリーンメッシュ２上を擦動する方向である矢印５４に交差する第１方向５５のスクリーンメッシュ２の長さＬｓは、前記第１方向のテンションメッシュ３の長さＬｔの０．６〜０．９倍の値である。
【００３９】
また、第１方向５５の固定部の長さＬｋと、第１方向５５のスクリーンメッシュ２の長さＬｓと、第１方向５５のテンションメッシュ３の長さＬｔとは、Ｌｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２の関係を満足している。ここで、係数ａは長さＬｓ、Ｌｔ、Ｌｋの関係を表す比例計数であり、その値は０．５〜１．２の範囲で調整されている。
【００４０】
すなわち、スクリーンメッシュ２の長さＬｓ、テンションメッシュ３の長さＬｔおよび樹脂プレート４の長さＬｋは、初期製版精度を向上させ、かつ、転写精度の低下を抑制できる範囲で設定されるように配置されている。
【００４１】
次に、スクリーンマスク１００を用いたスクリーン印刷について説明する。図４はスクリーン印刷開始前の状態を示す断面図、図５はスキージがスクリーンメッシュを下方向に押しつけた状態を示す断面図である。
【００４２】
まず、図４に示すように、本実施の形態１のスクリーンマスク１００は、スクリーン印刷装置の版枠ホルダ５１に固定された状態で、印刷ステージ５２上に戴置された被印刷物である基板６０上に配置される。
【００４３】
図示は省略したが、基板６０の上面には、隔壁（放電空間をセル毎に仕切るための隔壁）で仕切られた複数のセルが形成されている。本実施の形態１で説明するスクリーン印刷では、前記複数のセルに蛍光体ペーストを充填することにより、蛍光体層を形成する。
【００４４】
スクリーン印刷開始前の段階では、スクリーンマスク１００の下面２ｂと基板６０の上面は接触しておらず、所定のクリアランス距離Ｌｃだけ離れた状態で互いに対向して配置されている。
【００４５】
また、スクリーンマスク１００のスクリーンメッシュ２の上方にはヘラ状の部材であるスキージ５３が配置されている。印刷（転写工程）開始前の段階ではスキージ５３はスクリーンメッシュ２には接触していない。
【００４６】
次に、図５に示すようにスキージ５３が下方に下がり転写工程が開始される。この時、スキージ５３はスクリーンメッシュ２を基板６０の上面に形成された隔壁の上端に押しつける。すなわち、スクリーンメッシュ２の下面２ｂは基板６０の上面に形成された隔壁と接触する。
【００４７】
次に、スキージ５３は、スクリーンメッシュ２を基板６０の上面に形成された隔壁に押しつけた状態で矢印５４で示す方向（スキージング方向）に擦動（スキージング）する。この擦動により、蛍光体ペーストがスクリーンメッシュ２の上面２ａから下面２ｂ方向に孔部を通過して押し出され、基板６０に形成された複数のセル内に充填される。
【００４８】
ところで、スクリーンメッシュ２は金属材料を網目状に形成したものであるため、スキージングを行うと、スキージ５３により矢印５４の方向に伸ばされて、スクリーンメッシュ２の形状が若干変形することがある。
【００４９】
スクリーンメッシュ２の周囲にはテンションメッシュ３が樹脂プレート４で固定されており、樹脂プレートの緊張力は３９２〜９８０Ｎ／ｍｍ（４０〜１００ｋｇｆ／ｍｍ）とスクリーンメッシュ２の緊張力よりも大きいので、テンションメッシュが固定されていない。例えば、図９に示すスクリーンマスク２００のような一般的なスクリーンマスクと比較して、スクリーンメッシュ２がスキージング時に変形し易い。
【００５０】
このため、図１０に示す本実施の形態１の比較例であるスクリーンマスク３００でスクリーン印刷を行った場合、スクリーンメッシュ２が変形し易く、結果として転写精度が低下してしまう。
【００５１】
本発明者が検討した所、図１に示す第１方向５５に沿った方向の樹脂プレート４の長さが長くなりすぎる場合およびテンションメッシュ３の緊張力が大きすぎる場合に、特に転写精度が低下することがわかった。
【００５２】
本実施の形態１のスクリーンマスク１００は、テンションメッシュ３の緊張力が、４９〜９８Ｎ／ｍｍ（５〜１０ｋｇｆ／ｍｍ）と、一般的なスクリーンマスクと比較して小さい値となっている。
【００５３】
また、図１に示す第１方向５５の長さＬｓ、Ｌｔ、Ｌｋの関係を表す比例計数である比例計数ａを０．５〜１．２とした時にＬｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２の関係を満足するように配置してある。
【００５４】
このため、スキージング時にスキージ５３がスクリーンメッシュ２を変形させようとする矢印５４の方向に働く力をテンションメッシュ３が伸縮することにより吸収するので、スクリーンメッシュ２の変形を抑制することができる。
【００５５】
スクリーンメッシュ２の変形を抑制すると、スクリーンメッシュ２に形成された印刷マスクの開口部と、基板６０の上面に形成されたセルの位置関係を所定の状態で維持することが可能となる。このため、スクリーン印刷の転写精度の低下を抑制することが可能となる。
【００５６】
次に、スクリーン印刷の印刷精度について説明する。表１はスクリーンマスクの違いによる印刷精度の差異を示す表である。既に説明した通り、スクリーン印刷の印刷精度を決定する要因には、印刷マスクを製版する差異の初期製版精度と、印刷剤を転写する際の転写精度の二つがある。
【００５７】
【表１】
2008110533.tif 000003
【００５８】
表１において、上段の行は本実施の形態１のスクリーンマスクを、中段の行は本実施の形態１の比較例である図９に示す樹脂プレートなどのテンションメッシュ固定部を備えていないスクリーンマスク２００を、下段の行は本実施の形態１の比較例である図１０に示すスクリーンマスク３００をそれぞれ示す。
【００５９】
また、表１において左列は各スクリーンマスクの初期製版精度を、中列は各スクリーンマスクの転写精度を、右列は前記初期製版精度および前記転写精度を総合したトータルとしての印刷精度を示す。なお、各精度の測定は、予め所定の位置を設定し、実際の製版位置または転写位置から前記所定の位置の誤差距離の値を精度として示す。
【００６０】
表１に示すように、テンションメッシュ固定部を備えるスクリーンマスク３００は、固定部を有さないスクリーンマスク２００と比較して、初期製版精度が大きく向上している。しかし、転写精度はスクリーンマスク２００よりも低下するため、総合的な印刷精度は若干向上する程度である。
【００６１】
これに対し、本実施の形態１のスクリーンマスク１００は、スクリーンマスク２００と比較して初期製版精度が大きく向上しており、かつ、転写精度の低下を抑制することができるため、結果としてスクリーン印刷の印刷精度を大きく向上させることが可能となる。
【００６２】
本実施の形態１の変形例として、図１および図２に示すスクリーンメッシュ２の表面に、例えばニッケルなどの金属を予めメッキしておくこともできる。
【００６３】
スクリーンメッシュ２の表面にニッケルなどの金属をメッキしておくことにより、メッキを施さない場合と比較して、蛍光体ペーストなどの印刷剤がスクリーンメッシュ２に形成された孔部から通過し易くなる。
【００６４】
印刷剤が通過しやすくなると、スキージング時にスキージでスクリーンメッシュ２を押しつける力を低減することが可能となる。このため、スキージングに伴うスクリーンメッシュ２の変形をより一層低減することが可能となるので、転写精度を向上させることが可能となる。
【００６５】
（実施の形態２）
前記実施の形態１では、スクリーンマスクの初期製版精度を向上させる手段として、テンションメッシュを樹脂プレートにより固定する構造について説明した。本実施の形態２では、初期製版時に、テンションメッシュを前記実施の形態１とは異なる方法で固定する構造について説明する。
【００６６】
図６は、本実施の形態２のスクリーンマスクの平面図、図７は、図６に示すスクリーンマスクの断面図である。
【００６７】
本実施の形態２のスクリーンマスク４００と前記実施の形態１のスクリーンマスク１００との第１の相違点は、スクリーンマスク４００は、図１に示す樹脂プレート４を備えていない点である。なお、スクリーンマスク４００のスクリーンメッシュ２とテンションメッシュ３はスクリーンメッシュ２の外周で接着されている。
【００６８】
そして第２の相違点としては、スクリーンマスク４００には図２に示すようにテンションメッシュ３を固定するため、版枠５から延在する版枠フレーム１１を備えている点である。
【００６９】
図６および図７に示すように、版枠フレーム１１は、版枠５の下面からスクリーンメッシュ２の方向に向かって形成されている。版枠フレーム１１はテンションメッシュ３の上面（第１の面側の面）３ａの一部を覆うように形成されている。
【００７０】
版枠フレーム１１が形成された領域（第２の領域）はテンションメッシュ３の上面３ａと接触しているが、版枠フレーム１１とテンションメッシュ３が接着剤などにより固着されている箇所は、版枠５の直下の領域、すなわち、テンションメッシュ３と版枠５に挟まれた領域（第３の領域）のみである。
【００７１】
スクリーンマスク４００に前記実施の形態１で説明した図３に示すような印刷マスク７を形成する場合、スクリーンメッシュ２の上面２ａ側から形成することもできるが、下面２ｂ側から形成することもできる。スクリーンマスク４００に印刷マスク７を形成する場合、図７に示すスクリーンマスク４００の上下を反転して、面２ｂ側からフォトレジスト膜の塗布、露光処理および現像処理を行う。
【００７２】
このようにスクリーンマスク４００の上下を反転して面２ｂ側から印刷マスク７を形成する場合、テンションメッシュ３は版枠フレーム１１により支持されることとなる。このため、印刷マスク７形成時に、スクリーンメッシュ２の位置を固定することができる。
【００７３】
ここで、前記したスクリーンメッシュ２の位置を固定する効果は、印刷マスク形成時に、テンションメッシュ３を版枠フレーム１１で支持することにより得られるので、所定の効果を得るためには、版枠フレーム１１がテンションメッシュ３の上面３ａの一定範囲以上を覆うようにする必要がある。
【００７４】
本発明者が、検討した結果によれば、テンションメッシュ３が形成された領域（第１の領域）のうち、少なくとも半分以上の面積が版枠フレーム１１により覆われていれば、印刷マスク形成時に、スクリーンメッシュ２の位置を固定することが可能となる。
【００７５】
次に、スクリーンマスク４００を用いたスクリーン印刷について説明する。図８はスクリーンマスク４００を用いたスクリーン印刷において、スキージがスクリーンメッシュを被印刷物に押しつけた状態を示す断面図である。なお、図８において、前記実施の形態１で説明した図５と同一の符号を付したものについては同一の機能を有するものであるので、説明を省略する。
【００７６】
図８に示すようにスクリーンマスク４００を用いてスクリーン印刷を行う場合、前記実施の形態１で説明した転写工程と同様に、スキージ５３がスクリーンメッシュ２を基板６０の上面に形成された隔壁に押しつけた状態で矢印５４として示す方向（スキージング方向）に擦動（スキージング）する。この擦動により、蛍光体ペーストがスクリーンメッシュ２の上面２ａから下面２ｂ方向に孔部を通過して押し出され、基板６０に形成された複数のセル内に充填される。
【００７７】
ここで、既に説明したように、テンションメッシュ３と版枠フレーム１１とが固着されているのは、テンションメッシュ３と版枠５にはさまれた第３領域のみである。このため、スキージ５３が上方からスクリーンメッシュ２を押し下げると、テンションメッシュ３は版枠フレーム１１から離れ図８に示す下方向に伸張する。
【００７８】
このため転写工程中は、版枠フレーム１１による固定する力を受けることなく、テンションメッシュ３が伸縮するので、前記実施の形態１で説明したような、転写精度の低下を防止することが可能となる。
【００７９】
すなわち、本実施の形態２のスクリーンマスク４００は、版枠フレーム１１を備えることにより、初期製版精度を向上させることができ、かつ、版枠フレーム１１とテンションメッシュ３とが固着された領域を前記第３領域に限定することにより、転写精度の低下を防止することができるため、結果としてスクリーン印刷の印刷精度を向上させることが可能となる。
【００８０】
本実施の形態２の変形例として、図６および図７に示すスクリーンメッシュ２の表面に、例えばニッケルなどの金属を予めメッキしておくこともできる。
【００８１】
この場合、前記実施の形態１で説明したように印刷剤がスクリーンメッシュ２を通過しやすくなるので、スキージング時にスキージでスクリーンメッシュ２を押しつける力を低減することが可能となる。このため、スキージングに伴うスクリーンメッシュ２の変形をより一層低減することが可能となるので、転写精度を向上させることが可能となる。
【００８２】
以上、本発明者によってなされた発明を発明に実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明は、スクリーン印刷、特に高い印刷精度が要求されるスクリーン印刷に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の実施の形態１のスクリーンマスクの平面図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ線に沿って切断した状態を示す断面図である。
【図３】図２に示すスクリーンマスクのスクリーンメッシュとテンションメッシュの接合部周辺を拡大した拡大断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１のスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷において、印刷開始前の状態を示す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１のスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷において、スキージがスクリーンメッシュを被印刷物に押しつけた状態を示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態２のスクリーンマスクの平面図である。
【図７】図６に示すＡ−Ａ線に沿って切断した状態を示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２のスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷において、スキージがスクリーンメッシュを被印刷物に押しつけた状態を示す断面図である。
【図９】本発明の比較例であるテンションメッシュを固定する樹脂プレートを備えないスクリーンマスクを示す平面図である。
【図１０】図９に示すスクリーンマスクのテンションメッシュを樹脂プレートにより固定したスクリーンマスクを示す平面図である。
【符号の説明】
【００８５】
２  スクリーンメッシュ
２ａ  面（第１の面）
２ｂ  面（第２の面）
３  テンションメッシュ
４  樹脂プレート（固定部）
５  版枠
６  開口部
７  印刷マスク
１１  版枠フレーム
１２  領域（第２の領域）
１３  領域（第３の領域）
１４  領域（第１の領域）
５１  版枠ホルダ
５２  印刷ステージ
５３  スキージ
５４  矢印
５５  第１方向
６０  基板
Ｌｓ  スクリーンメッシュの長さ
Ｌｔ  テンションメッシュの長さ
Ｌｋ  樹脂プレートの長さ
Ｌｃ  クリアランス距離
１００、２００、３００、４００  スクリーンマスク
【図１】
2008110533.tif 000004
【図２】
2008110533.tif 000005
【図３】
2008110533.tif 000006
【図４】
2008110533.tif 000007
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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