(57)【要約】【課題】  塗布ヘッドのヘッド面における正確な真直度を測定する。【解決手段】  連続的に走行する非磁性支持体上に磁性層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、表面部材にエッジ面と同一の面を形成する位置合わせ工程と、表面部材の前記エッジ面と同一の面と、エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、ラップ工程により形成された測定子の先端面と、エッジ面とを接触させることにより、エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法を提供することにより上記課題を解決する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、
前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同一の面とする位置あわせ工程と、
前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを押圧することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成する測定子矯正工程と、
前記測定子矯正工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、
からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項２】
連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、
前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同一の面とする位置あわせ工程と、
前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、
前記ラップ工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、
からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項３】
前記位置合わせ工程において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、前記表面部材に前記エッジ面と同一の面を形成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項４】
前記塗布ヘッドが、エクストルージョン型の塗布ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項５】
前記測定子により測定される塗布ヘッドのエッジ面の支持体移動方向における幅が、１０μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項６】
前記測定子の先端部分を構成する材料のビッカース硬さＳ〔Ｈｖ〕は、前記塗布ヘッドの測定対象となるエッジ面を構成する材料のビッカース硬さをＥ〔Ｈｖ〕とした場合に、
７０〔Ｈｖ〕＜Ｓ〔Ｈｖ〕＜Ｅ〔Ｈｖ〕
であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項７】
前記測定子の先端部分を構成する材料が、ＳＵＳまたは真鍮であることを特徴とする請求項６に記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法。
【請求項８】
連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度測定装置において、
前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とで同一の面を形成し、
前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを押圧することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成し、
前記エッジ面と平行に形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定することを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定装置。
【請求項９】
連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度測定装置において、
前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とで同一の面を形成し、
前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成し、
前記研磨により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定することを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定装置。
【請求項１０】
連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの製造方法において、
前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同一の面とする位置あわせ工程と、
前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを押圧することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成する測定子矯正工程と、
前記測定子矯正工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、
前記測定した真直度の値が、所定の値以下であるか否か判断する判断工程と、
からなり、前記判断工程において、所定の値以下でない場合には、真直度が前記所定の値以下となるまで、前記位置あわせ工程、測定子矯正工程、エッジ面測定工程をくりかえすことを特徴とする塗布ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの製造方法において、
前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、前記表面部材に前記エッジ面と同一の面を形成する位置合わせ工程と、
前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、
前記ラップ工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、
前記測定した真直度の値が、所定の値以下であるか否か判断する判断工程と、
からなり、前記判断工程において、所定の値以下でない場合には、真直度が前記所定の値以下となるまで、前記位置合わせ工程、ラップ工程、エッジ面測定工程をくりかえすことを特徴とする塗布ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載されている塗布ヘッドの製造方法により製造された塗布ヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布ヘッドの真直度の測定方法、測定装置、塗布ヘッドの製造方法及び塗布装置に関するものであり、特に、エクストルージョン型の塗布ヘッドのエッジ面の真直度の測定方法及び測定装置、この測定方法に基づく塗布ヘッドの製造方法及び、これにより作製された塗布ヘッドを備えた塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シートやウエブなどの可撓性支持体に塗布をおこなうための塗布装置としては、ロールコーター、エクストルージョン塗布装置、バー塗布装置、グラビア塗布装置などが知られている。このうち、エクストルージョン塗布装置は、ポンプ等で計量された塗布液全量をシート又はウエブにそのまま塗布する装置として多くの用途に用いられている。このエクストルージョン塗布装置は、特許文献１、２に記載されているように、走行する支持体に塗布液を押出してビードを形成し、このビードを介して塗布液をシートやウエブなどの可撓性支持体に塗布するものである。
【０００３】
しかしながら、このエクストルージョン塗布装置により塗布されたものでは、微細なスジやムラが生じる場合がある。この原因として、塗布液の動圧の変動がビードに伝達し、これがスジやムラの発生原因と考えられる。このため特許文献３に開示された発明では、塗布ヘッドの先端部であるエッジ面の形状を改良することにより、塗布により生じるスジやムラの発生を抑制する方法が開示されている。また、塗布液を一定の厚さで塗布するためには、ビードをウエブの幅方向（塗布ヘッドの幅方向）に安定して形成することが必要であり、そのためには、塗布ヘッドの先端部であるエッジ面とウエブとの間隔を一定の値に管理することが必要となる。特許文献４に開示された発明では、塗布ヘッドと塗布ヘッドを固定する架台の加工精度が良くない状態で、塗布ヘッドを架台に取り付けると、塗布ヘッドや架台が変形する場合があり、このため塗布ヘッドとウエブとの隙間に誤差が生じ、ビードの形成が不安定となり塗布液を一定の厚さで塗布できなくなってしまうことから、塗布液を一定の厚さで塗布できるように、塗布ヘッドの固定装置に関する発明が開示されている。
【特許文献１】特開昭５６−１７６６１号公報
【特許文献２】特開平４−１９０８７０号公報
【特許文献３】特開２００３−８８７９０号公報
【特許文献４】特開２００３−１１２１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上の文献で開示されているように、塗布液の塗布ムラの原因の一つは、塗布ヘッドとウエブとの隙間の間隔に起因するものであり、この間隔を塗布ヘッドの幅全体にわたり一定に保つ必要がある。これより、塗布ヘッドの先端部分であるエッジ面の幅方向における真直度が非常に重要となる。
【０００５】
しかしながら、塗布ヘッドのエッジ面はウエブの移動方向においては非常に狭く、通常の真直度を測定する装置では、測定子の先端が球状であることから、塗布ヘッドのエッジ面を正確にとらえることができず、塗布ヘッドのエッジ面の真直度を正確に測定することができない。また、塗布ヘッドのエッジ面のウエブ移動方向における幅は非常に狭いため、肉眼では先端部は鋭角として認識される。このため真直度の測定の際に、測定子により塗布ヘッドのエッジ面を傷つけてしまう場合があり、エッジ面の損傷は塗布ムラ発生の原因となり、塗布ムラの解決のためにおこなう測定が、かえって塗布ムラを発生させることとなる。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、塗布装置における塗布ヘッド、特にエクストルージョン型の塗布装置における塗布ヘッドのエッジ面の真直度を正確に測定する方法及び測定装置を提供するとともに、この測定方法に基づいた塗布ヘッドの製造方法、及びこの製造方法で製造された塗布ヘッドを備えた塗布装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同一の面とする位置あわせ工程と、前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを押圧することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成する測定子矯正工程と、前記測定子矯正工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同一の面とする位置あわせ工程と、前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、前記ラップ工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、前記表面部材に前記エッジ面と同一の面を形成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、前記塗布ヘッドが、エクストルージョン型の塗布ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、前記測定子により測定される塗布ヘッドのエッジ面の支持体移動方向における幅が、１０μｍ以上、２００μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、前記測定子の先端部分を構成する材料のビッカース硬さＳ〔Ｈｖ〕は、前記塗布ヘッドの測定対象となるエッジ面を構成する材料のビッカース硬さをＥ〔Ｈｖ〕とした場合に、７０〔Ｈｖ〕＜Ｓ〔Ｈｖ〕＜Ｅ〔Ｈｖ〕であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、前記測定子の先端部分を構成する材料が、ＳＵＳまたは真鍮であることを特徴とする請求項６に記載の塗布ヘッドの真直度の測定方法である。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度測定装置において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とで同一の面を形成し、前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを押圧することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成し、前記エッジ面と平行に形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定することを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定装置である。
【００１５】
請求項９に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの真直度測定装置において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とで同一の面を形成し、前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成し、前記研磨により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定することを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定装置である。
【００１６】
請求項１０に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの製造方法において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同一の面とする位置あわせ工程と、前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを押圧することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成する測定子矯正工程と、前記測定子矯正工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、前記測定した真直度の値が、所定の値以下であるか否か判断する判断工程と、からなり、前記判断工程において、所定の値以下でない場合には、真直度が前記所定の値以下となるまで、前記位置あわせ工程、測定子矯正工程、エッジ面測定工程をくりかえすことを特徴とする塗布ヘッドの製造方法である。
【００１７】
請求項１１に記載の発明は、連続的に走行する可撓性支持体上に塗布層を形成するための塗布ヘッドの製造方法において、前記塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、前記表面部材に前記エッジ面と同一の面を形成する位置合わせ工程と、前記表面部材の前記エッジ面と同一の面と、前記エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、前記測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、前記ラップ工程により形成された測定子の先端面と、前記エッジ面とを接触させることにより、前記エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程と、前記測定した真直度の値が、所定の値以下であるか否か判断する判断工程と、からなり、前記判断工程において、所定の値以下でない場合には、真直度が前記所定の値以下となるまで、前記位置合わせ工程、ラップ工程、エッジ面測定工程をくりかえすことを特徴とする塗布ヘッドの製造方法である。
【００１８】
請求項１２に記載の発明は、請求項１０又は１１に記載されている塗布ヘッドの製造方法により製造された塗布ヘッドを備えたことを特徴とする塗布装置である。
【発明の効果】
【００１９】
以上より、本発明における塗布ヘッドのエッジ面の測定方法及び測定装置によれば、ウエブの移動方向における幅の狭い塗布ヘッドのエッジ面において、正確に真直度を測定することができ、また、塗布ヘッドのエッジ面にダメージを与えることなく測定することができる。
【００２０】
また、本発明における塗布ヘッドの製造方法によれば、ウエブの幅方向に高い真直度のエッジ面を有する塗布ヘッドを作製することができ、塗布ムラの発生を防止することができる。
【００２１】
また、本発明における塗布装置によれば、ウエブに塗布ムラを発生させることなく塗布液を塗布することができ、ウエブ上に高品質な塗布液の塗布を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００２３】
〔真直度の測定方法〕
図１に基づき塗布ヘッドのエッジ面の真直度の測定方法について、第１〜第４の態様を説明する。
【００２４】
（第１の態様）
図１（Ａ）に示すように、最初に、ステップ１０１（Ｓ１０１）において、エッジ面の研削を行うと共に基準面も同時に研削する。具体的には、塗布ヘッドのエッジ面の研削と同時に表面部材の研削を行う。この表面部材は、ＷＣ（タングステンカーバイト）等の超硬材料により構成されており、塗布ヘッドのエッジ面を形成するための工程において、同時に表面部材の一面を研削することにより、塗布ヘッドのエッジ面と同一の面を形成する（位置合わせ工程）。尚、本態様では、基準面をエッジ面に対して平行にするための処理として、エッジ面の研削と基準面の研削を同時研削したが、他の方法でもよい。
【００２５】
次に、ステップ１０２（Ｓ１０２）において、真直度を測定するための測定子を、表面部材のエッジ面と同一な面に押圧して合わせる。本実施の形態に用いられる測定子１２は、細径、例えばφ３〔ｍｍ〕の円筒形のものであり、測定子１２の先端面１２ａは平面となるものである。具体的に図２に基づき説明すると、表面部材１１のエッジ面と同一の面１１ａと、エッジ面の真直度を測定するための測定子１２の先端面１２ａとを押圧して合わせることにより、測定子１２の先端面１２ａにエッジ面と平行となる面を形成する（測定子矯正工程）。
【００２６】
次に、ステップ１０３（Ｓ１０３）において、塗布ヘッドのエッジ面の測定を行う。具体的に、この工程を図３に基づき説明する。本実施の形態において真直度の測定の対象となる塗布ヘッド１３は、可撓性支持体であるウエブの移動方向に対して上流側に位置するフロントエッジ１４と、ウエブの移動方向に対して下流側に位置し、その先端がフロントエッジ１４の先端よりもウエブの存在している方向に前進しているバックエッジ１５を有し、フロントエッジ１４とバックエッジ１５の間にスリット１６が形成された構成のものである。このバックエッジ１５のエッジ面１５ａは、可撓性支持体であるウエブの幅方向の幅が例えば１５００〔ｍｍ〕、これに垂直なウエブの移動方向における幅が例えば５０〔μｍ〕であるとする。バックエッジ１５のウエブの移動方向における幅は、ウエブ上に塗布液を円滑に塗布することから、１０〔μｍ〕〜２００〔μｍ〕が望ましい。このバックエッジ１５のエッジ面１５ａに、真直度測定器の測定子１２の先端面１２ａを接触させることにより真直度の測定を行う。測定子１２の先端面１２ａは、ステップ１０２の押圧処理により、バックエッジ１５のエッジ面１５ａとほぼ平行な面が形成されているため、エッジ面１５ａと先端面１２ａは全体的に面として接触するため、エッジ面１５ａの位置を正確にとらえることができるとともに、接触の際の加重も点や線ではなく面として加わるため、エッジ面１５ａを傷つけることもない。これにより、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの真直度を正確に測定することができる。
【００２７】
（第２の態様）
図１（Ｂ）は、第１の態様の変形例であり、基本的な考えは第１の態様と同様であるが、ステップ２０１（Ｓ２０１）でエッジ面の研削を行った後、ステップ２０２（Ｓ２０２）で基準面合わせを行うことにより、塗布ヘッド１３のエッジ面と同一の面を形成する（位置合わせ工程）ようにしたものである。その後のステップ２０３（Ｓ２０３）及びステップ２０４（Ｓ２０３）は、第１の態様と同様である。
（第３の態様）
図１（Ｃ）に示すように、第１の態様と同様に、最初に、ステップ３０１（Ｓ３０１）において、エッジ面の研削を行うと共に基準面も同時に研削する。これにより、塗布ヘッドのエッジ面と同一の面を形成する（位置合わせ工程）。
【００２８】
次に、ステップ３０２（Ｓ３０２）において、測定子１２のラップ処理を行う。具体的には第１の態様と同じ図２を使用して説明することができ、真直度を測定するための測定子の測定面となる先端面１２ａを、ステップ３０１の研削により形成された表面部材１１の研削面１１ａで研磨することにより測定子１２の先端面１２ａが、塗布ヘッド１３のエッジ面と平行になるように形成する。これにより、測定子１２の先端面１２ａにエッジ面と平行となる面を形成する（ラップ工程）。
【００２９】
次に、ステップ３０３（Ｓ３０３）において、第１及び第２の態様と同様に、塗布ヘッドのエッジ面の測定を行う。
【００３０】
（第４の態様）
図１（Ｄ）は、第３の態様の変形例であり、基本的な考えは第３の態様と同様であるが、ステップ４０１（Ｓ４０１）でエッジ面の研削を行った後、ステップ４０２（Ｓ４０２）で基準面合わせを行うことにより、塗布ヘッド１３のエッジ面と同一の面を形成する（位置合わせ工程）ようにしたものである。その後のステップ４０３（Ｓ４０３）及びステップ４０４（Ｓ４０４）は、第３の態様と同様である。
【００３１】
エクストルージョン型の塗布ヘッド１３では、バックエッジ１５と可撓性支持体であるウエブの隙間の間隔が不均一であると塗布液の塗布もムラ等を生じる。このため、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの真直度が重要となり、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの真直度を正確に測定することが極めて重要となるが、本実施の形態では、バックエッジ１５のエッジ面１５ａを傷つけることなく、正確に真直度を測定することができる。尚、本実施の形態では、エクストルージョン型の塗布ヘッドのバックエッジのエッジ面について説明したが、真直度の測定を必要とする塗布ヘッドについても同じ測定方法により測定を行うことができる。
【００３２】
〔測定子の条件〕
次に、この測定子１２の構成材料について説明する。
【００３３】
測定子１２は、真直度が正確に測定することができること、及び、測定によりバックエッジ１５のエッジ面１５ａを破壊しないことが必要である。
【００３４】
特に、エクストルージョン型の塗布ヘッド１３のバックエッジ１５では、その先端は肉眼では鋭角として観察され、バックエッジ１５のエッジ面１５ａのウエブの移動方向における幅は極めて狭い。よって、測定子を構成する材料の材質によっては、一部に荷重がかかり正確に真直度を測定することができなかったり、測定の際、測定子１２によりバックエッジ１５のエッジ面１５ａを破壊したりする場合がある。
【００３５】
以上より、発明者らは本実施の形態における測定子１２を構成する材料について実験を行った。尚、測定対象となる塗布ヘッド１３のバックエッジ１５は、超硬材料であるＷＣ（タングステンカーバイト）により構成されている。
【００３６】
図４は、真直度の測定子１２を構成する材料として、ニューライト（超高分子量ポリエチレン）を用いた場合において、同一のバックエッジ１５のエッジ面１５ａを８回測定した結果である。横軸は、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの位置を示しており、エッジ面１５ａの一方の端から他方の端にわたる真直度を示している。図４より、測定子１２を構成する材料として、ニューライトを用いた場合では、最初の１回目以降測定値が減少し、複数回測定子１２を接触させることにより測定値が変動している。これは、ニューライトという材料が弾性も比較的高く、測定の際に圧力を受けた場合に形状変化しやすいためと考えられる。以上のように測定のたびに測定値が変動すると、測定の信頼性は低く、測定子１２としては使用することができない。また、真直度の測定を行った後の測定子１２の先端面１２ａとバックエッジ１５のエッジ面１５ａの表面の状態を顕微鏡により観察したところ、測定子１２の先端面１２ａでは、測定により生じたものと思われる傷は確認され、バックエッジ１５のエッジ面１５ａにおいては、測定により生じたものと思われる傷は確認されなかった。以上より、ニューライトを測定子１２の構成材料として用いた場合、測定子１２としての安定性が低く、測定により測定子１２の先端面１２ａに傷も発生するため、この材料は測定子１２の構成材料には適さない。
【００３７】
図５は、真直度の測定子１２を構成する材料として、ＭＣナイロンを用いた場合において、同一のバックエッジ１５のエッジ面１５ａを８回測定した結果である。横軸は、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの位置を示しており、エッジ面１５ａの一方の端から他方の端にわたる真直度を示している。図５より、測定子１２を構成する材料として、ＭＣナイロンを用いた場合では、最初の１回目以降測定値が上昇し、複数回測定子１２を使用することにより測定値が変動している。これは、ＭＣナイロンという材料が弾性も比較的高く、測定の際に圧力を受けた場合に形状変化しやすいためと考えられる。以上のように測定のたびに測定値が変動すると、測定の信頼性は低く、測定子１２としては使用することはできない。また、真直度の測定を行った後の測定子１２の先端面１２ａとバックエッジ１５のエッジ面１５ａの表面の状態を顕微鏡により観察したところ、測定子１２の先端面１２ａでは、測定により生じたものと思われる傷は確認され、バックエッジ１５のエッジ面１５ａにおいては、測定により生じたものと思われる傷は確認されなかった。以上より、ＭＣナイロンを測定子１２の構成材料として用いた場合、測定子１２としての安定性が低く、測定により測定子１２の先端面１２ａに傷も発生するため、この材料は測定子１２の構成材料には適さない。
【００３８】
図６は、真直度の測定子１２を構成する材料として、真鍮（Ｃｕ：６５％、Ｚｎ：３５％）を用いた場合において、同一のバックエッジ１５のエッジ面１５ａを７回測定した結果である。横軸は、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの位置を示しており、エッジ面１５ａの一方の端から他方の端にわたる真直度を示している。図６より、測定子１２を構成する材料として、真鍮を用いた場合では、１回目以降の変動量が、ニューライトやナイロンを用いた場合と比較して小さいことがわかる。これは、真鍮はニューライトやナイロンといった有機材料と比較して、ある程度の硬さを有する金属材料であるため、測定を繰り返すことによる測定値の変化が少ないためと考えられる。また、真直度の測定を行った後の測定子１２の先端面１２ａとバックエッジ１５のエッジ面１５ａの表面の状態を顕微鏡により観察したところ、測定子１２の先端面１２ａにおいて、測定により生じたものと思われる微小な傷は確認されたが、バックエッジ１５のエッジ面１５ａにおいては、測定により生じたものと思われる傷は確認されなかった。以上より、測定子１２を構成する材料としては、測定子１２としての安定性は比較的高く、測定により測定子１２の先端面１２ａに生じた傷は微小であり測定上殆ど問題にもならないと考えられることから、この材料を測定子の構成材料とすることは適している。
【００３９】
図７は、真直度の測定子１２を構成する材料として、ＳＵＳ３０４を用いた場合において、同一のバックエッジ１５のエッジ面１５ａを７回測定した結果である。横軸は、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの位置を示しており、エッジ面１５ａの一方の端から他方の端にわたる真直度を示している。図７より、測定子１２を構成する材料として、真鍮を用いた場合では、１回目以降の変動量が、ニューライトやナイロンを用いた場合と比較して極めて小さいく、真鍮と比較してもより一層小さい。これは、ＳＵＳ３０４がニューライトやナイロンといった有機材料のみならず、金属材料である真鍮よりも硬いため、測定の繰り返すことによる測定値の変動は、より一層減少するためと考えられる。また、真直度の測定を行った後の測定子１２の先端面１２ａとバックエッジ１５のエッジ面１５ａの表面の状態を顕微鏡により観察したところ、測定子１２の先端面１２ａにおいて、測定により生じたものと思われる傷は確認されず、また、バックエッジ１５のエッジ面１５ａにおいては、測定により生じたものと思われる傷も確認されなかった。以上より、測定子１２を構成する材料としては、測定子１２としての安定性は高く、測定により測定子１２の先端面１２ａに傷は発生せず、また、エッジ面１５ａにも傷は発生しないため、測定子１２を構成する材料としては最も適した材料である。
【００４０】
次に、真直度の測定子１２を構成する材料として、超硬材料であるＷＣを用いた場合では、真直度の測定結果は、ＳＵＳ３０４とほぼ同等の結果が得られた。しかしながら、真直度の測定を行った後の測定子１２の先端面１２ａとバックエッジ１５のエッジ面１５ａの表面の状態を顕微鏡により観察したところ、測定子１２の先端面１２ａにおいて、測定により生じたものと思われる傷は確認されなかったが、バックエッジ１５のエッジ面１５ａにおいては、測定により生じたものと思われる傷が確認された。バックエッジ１５のエッジ面１５ａに傷が生じると、これにより塗布ムラ等が発生するため塗布ヘッド１３のバックエッジ１５としての機能が損なわれる。よって、測定により測定対象であるバックエッジ１５のエッジ面１５ａを破壊してしまう材料は、測定子を構成する材料として用いることはできない。
【００４１】
以上の結果を表１に示す。
【００４２】
【表１】
2008043866.tif 000003
【００４３】
これより本実施の形態における真直度の測定における測定子１２を構成する材料としては、ＳＵＳ３０４が最も適しており、真鍮は使用することが可能であることが、発明者らの実験により解明された。実験の結果を踏まえると、測定子１２を構成する材料としては、材料の硬さが選定の基準となるものと考えられる。即ち、ある程度の硬さを有する材料であれば、測定子を構成する材料として適しており、実験において用いた真鍮やＳＵＳ３０４といった材料に限定されることがないのである。前述の実験で用いた各々の材料におけるビッカース硬度は、真鍮は８０〔Ｈｖ〕、ＳＵＳ３０４は２００〔Ｈｖ〕、超硬であるＷＣは１５００〔Ｈｖ〕である。実験の結果に基づくならば、硬さの点からは測定子１２を構成する材料としては真鍮が下限に近く、真鍮の硬さよりも若干柔らかい材料が測定子を構成する材料の硬さの下限となるものと考えられる。真鍮のビッカース硬度を８０〔Ｈｖ〕であるため、測定後の傷の生じ具合等の観点から、経験則上、測定子１２を構成する材料は、７０〔Ｈｖ〕を超える硬さの材料であることが要求されるものと推察される。
【００４４】
一方、超硬であるＷＣのビッカース硬度は、１５００〔Ｈｖ〕であり、この硬さでは、測定対象であるエッジ面１５ａを破壊してしまう。これはこの実験において用いたバックエッジ１５のエッジ面１５ａが、同じ超硬のＷＣにより構成されていることから、バックエッジ１５のエッジ面１５ａを構成する材料と、測定子１２の先端面１２ａを構成する材料とが同じ場合には、バックエッジ１５のエッジ面１５ａのウエブ移動方向における幅が極めて狭いため、エッジ面１５ａを傷つけてしまうのである。従って、測定子１２の先端面１２ａを構成する材料は、エッジ面１５ａを構成する材料よりも柔らかい材料であることが要求される。先端面１２ａがエッジ面１５ａよりも柔らかければ、エッジ面１５ａを傷つけることはないからである。
【００４５】
以上より、測定子の先端面１２ａを構成する材料のビッカース硬さＳ〔Ｈｖ〕の範囲は、エッジ面１５ａを構成する材料のビッカース硬さをＥ〔Ｈｖ〕とした場合に、７０〔Ｈｖ〕＜Ｓ〔Ｈｖ〕＜Ｅ〔Ｈｖ〕となる。
【００４６】
〔塗布ヘッドの製造方法〕
次に、塗布ヘッドの製造方法として、エクストルージョン型塗布装置の塗布ヘッド１３の製造方法について、図８（Ａ）〜（Ｄ）に基づき第１〜第４の態様を説明する。この製造方法は、前述した塗布ヘッド１３のバックエッジ１５のエッジ面１５ａの真直度の測定方法（第１〜第４の態様）を組み込んだ製造方法である。
【００４７】
（第１の態様）
最初に、ステップ１０１（Ｓ１０１）において、エッジ面の研削と基準面の研削とを同時に行う。具体的には、図１（Ａ）のステップ１０１における方法と同様の方法により行う。
【００４８】
次に、ステップ１０２（Ｓ１０２）において、真直度を測定するための測定子を、表面部材のエッジ面と同一な面に押圧して合わせる。具体的には、図１（Ａ）のステップ１０２における方法と同様の方法により行う。
【００４９】
次に、ステップ１０３（Ｓ１０３）において、塗布ヘッドのエッジ面の測定を行う。具体的には、図１（Ａ）のステップ１０３における方法と同様の方法により行う。
【００５０】
この後、ステップ１０４（Ｓ１０４）において、塗布ヘッド１３のバックエッジ１５のエッジ面１５ａの真直度が所望の基準値内であるか否かの判断がなされる。本実施の形態では、具体的には、塗布ヘッド１３のウエブの幅方向の幅１５００〔ｍｍ〕全域にわたり、真直値が５〔μｍ〕以下であることが基準となる。
【００５１】
よって、ステップ１０４において、真直度が基準値内であると判断された場合、塗布ヘッド１３のエッジの形成工程は終了し、塗布ヘッド１３は完成する。一方、ステップ１０４において、真直度が基準値内にはないと判断された場合、ステップ１０１に移行し、再度エッジ面の研削を行う。
【００５２】
（第２の態様）
図１（Ｂ）のステップ２０１（Ｓ２０１）〜ステップ２０４（Ｓ２０４）の方法と同様の方法により行った後、ステップ２０５（Ｓ２０５）において、真直度が基準値内であると判断された場合、塗布ヘッド１３のエッジの形成工程は終了し、塗布ヘッド１３は完成する。一方、ステップ２０５において、真直度が基準値内にはないと判断された場合、ステップ２０１に移行し、再度エッジ面の研削を行う。
【００５３】
（第３の態様）
図１（Ｃ）のステップ３０１（Ｓ３０１）〜ステップ３０３（Ｓ２０３）の方法と同様の方法により行った後、ステップ３０４（Ｓ３０４）において、真直度が基準値内であると判断された場合、塗布ヘッド１３のエッジの形成工程は終了し、塗布ヘッド１３は完成する。一方、ステップ３０４において、真直度が基準値内にはないと判断された場合、ステップ３０１に移行し、再度エッジ面の研削を行う。
【００５４】
（第４の態様）
図１（Ｄ）のステップ４０１（Ｓ４０１）〜ステップ４０４（Ｓ４０４）の方法と同様の方法により行った後、ステップ４０５（Ｓ４０５）において、真直度が基準値内であると判断された場合、塗布ヘッド１３のエッジの形成工程は終了し、塗布ヘッド１３は完成する。一方、ステップ４０５において、真直度が基準値内にはないと判断された場合、ステップ４０１に移行し、再度エッジ面の研削を行う。
【００５５】
このように、塗布ヘッドの製造方法における第１〜第４の形態は、バックエッジ１５のエッジ面１５ａの真直度が所望の真直度以下となるまで、真直度の測定とその結果に基づく研削加工を繰り返すものである。
【００５６】
〔塗布装置〕
次に、本発明に係る塗布装置について図９に基づき説明する。図９は本発明に係る塗布装置の要部を示した図である。
【００５７】
本発明に係る塗布装置は、エクストルージョン型の塗布装置であり、主に塗布ヘッド１３、バックアップローラ１７により構成されている。
【００５８】
バックアップローラ１７には、連続走行する幅広のウエブ２０が巻き掛けられている。塗布ヘッド１３は、このバックアップローラ１７に近接して配置されており、スリット１６より塗布液１９が押出され、塗布ヘッド１３の先端部分に液溜まりとなるビード１８を形成し、このビード１８を介してウエブ２０に塗布される。
【００５９】
塗布液１９をウエブ２０に均一に塗布するためには、前述のとおり、バックアップローラ１７と塗布ヘッド１３のバックエッジ１５の先端部との間隔が均一であることが望ましいが、本実施の形態では、塗布ヘッド１３のバックエッジ１５のエッジ面１５ａが高い真直度で形成されているため、極めて高い均一性で塗布液１９を塗布することができる。
【００６０】
以上、本発明にかかる塗布ヘッドの真直度の測定方法、測定装置、塗布ヘッドの作製方法、及び塗布装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行うことは可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１（Ａ）】本発明の塗布ヘッドのエッジ面の測定方法の第１の態様にかかるフローチャート
【図１（Ｂ）】本発明の塗布ヘッドのエッジ面の測定方法の第２の態様にかかるフローチャート
【図１（Ｃ）】本発明の塗布ヘッドのエッジ面の測定方法の第３の態様にかかるフローチャート
【図１（Ｄ）】本発明の塗布ヘッドのエッジ面の測定方法の第４の態様にかかるフローチャート
【図２】本発明の実施の形態における測定子の先端面の研磨の状態を示す説明図
【図３】本発明の実施の形態における測定の状態を示す説明図
【図４】測定子の材料にニューライトを用いた場合のエッジ面の真直度の測定結果図
【図５】測定子の材料にナイロンを用いた場合のエッジ面の真直度の測定結果図
【図６】測定子の材料に真鍮を用いた場合のエッジ面の真直度の測定結果図
【図７】測定子の材料にＳＵＳ３０４を用いた場合のエッジ面の真直度の測定結果図
【図８（Ａ）】本発明の塗布ヘッドの製造方法の第１の態様にかかるフローチャート
【図８（Ｂ）】本発明の塗布ヘッドの製造方法の第２の態様にかかるフローチャート
【図８（Ｃ）】本発明の塗布ヘッドの製造方法の第３の態様にかかるフローチャート
【図８（Ｄ）】本発明の塗布ヘッドの製造方法の第４の態様にかかるフローチャート
【図９】本発明における塗布装置要部の断面図
【符号の説明】
【００６２】
１２…測定子、１２ａ…先端面、１３…塗布ヘッド、１４…フロントエッジ、１５…バックエッジ、１５ａ…エッジ面、１６…スリット
【図１（Ａ）】
2008043866.tif 000004
【図１（Ｂ）】
2008043866.tif 000005
【図１（Ｃ）】
2008043866.tif 000006
【図１（Ｄ）】
2008043866.tif 000007
【図２】
2008043866.tif 000008
【図３】
2008043866.tif 000009
【図４】
2008043866.tif 000010
【図５】
2008043866.tif 000011
【図６】
2008043866.tif 000012
【図７】
2008043866.tif 000013
【図８（Ａ）】
2008043866.tif 000014
【図８（Ｂ）】
2008043866.tif 000015
【図８（Ｃ）】
2008043866.tif 000016
【図８（Ｄ）】
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【図９】
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