(57)【要約】【課題】本発明は、画像認識装置の位置が変動することに起因する認識位置の変動を抑制することができる温度調整装置、稼働装置、及び温度調整方法、並びに画像認識装置、画像認識装置の温度調整方法、及びユニット組立装置を提供する。【解決手段】本発明による温度調整装置は、雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、所定の作業を実行する稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置であって、温度調整装置において温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節する気体温度調節部を備える温度調整装置である。稼働装置、画像認識装置、及びユニット組立装置は、当該温度調整装置を備える稼働装置、画像認識装置、及びユニット組立装置である。【選択図】図９
2008043913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の作業を実行する稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置であって、
前記温度調整装置において温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、前記稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節する気体温度調節部を備えることを特徴とする温度調整装置。
【請求項２】
前記稼働装置は雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、
前記気体温度調節部は、前記温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、前記稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節することを特徴とする請求項１に記載の温度調整装置。
【請求項３】
前記稼働装置の前記装置ユニットの近傍に気体循環路を有し、前記気体循環路を流動する気体は前記稼働装置の雰囲気と隔絶されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度調整装置。
【請求項４】
所定の作業を実行する稼働装置であって、
前記稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置を備えることを特徴とする稼働装置。
【請求項５】
雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用されることを特徴とする請求項４に記載の稼働装置。
【請求項６】
前記温度調整装置は、当該温度調整装置において温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、前記稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節する気体温度調節部と、
前記装置ユニットの近傍に形成されており、前記稼働装置の雰囲気と隔絶されている気体循環路と、を備えることを特徴とする、請求項４又は５に記載の稼働装置。
【請求項７】
所定の作業を実行する稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整方法であって、
温度調整用媒体として用いられる気体の温度を前記稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節する気体温度調節工程と、
前記気体温度調節工程で温度調節された気体を前記装置ユニットの周囲に供給する温度調整工程と、を有することを特徴とする温度調整方法。
【請求項８】
前記稼働装置は雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、
前記気体温度調節工程において、前記温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、前記稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節することを特徴とする請求項７に記載の温度調整方法。
【請求項９】
部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する画像認識装置であって、
前記画像認識装置を構成する認識装置ユニットの温度を略一定に調整する温度調整ユニットを設けたことを特徴とする画像認識装置。
【請求項１０】
雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用されることを特徴とする請求項９に記載の画像認識装置。
【請求項１１】
前記温度調整ユニットは、前記認識装置ユニットの近傍に設けられた気体循環路を有し、
当該気体循環路を流動する気体は、前記画像認識装置の雰囲気と隔絶されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の画像認識装置。
【請求項１２】
前記温度調整ユニットは、気体の温度を前記画像認識装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節すると共に、前記雰囲気の前記規定温度に略等しい温度となった気体を前記気体循環路に送る気体温度調節部をさらに有することを特徴とする、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の画像認識装置。
【請求項１３】
前記認識装置ユニットが、画像取得のためのカメラユニットであることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の画像認識装置。
【請求項１４】
前記認識装置ユニットが、前記カメラユニットが画像を取得するためのレンズを支持する鏡筒であることを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか１項に記載の画像認識装置。
【請求項１５】
前記認識装置ユニットが、前記カメラユニットの位置を移動させるためのカメラ移動機構の駆動源であることを特徴とする請求項９乃至１４のいずれか一項に記載の画像認識装置。
【請求項１６】
前記認識装置ユニットが、前記駆動源が発生した駆動力を伝達する駆動力伝達機構であることを特徴とする請求項９乃至１５のいずれか一項に記載の画像認識装置。
【請求項１７】
部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する画像認識装置を構成する認識装置ユニットの温度を調整する画像認識装置の温度調整方法であって、
温度調整媒体としての気体の温度を調節する気体温度調節工程と、
前記気体温度調節工程で温度調節された気体を前記認識装置ユニットの周囲に供給する温度調整工程と、を有することを特徴とする画像認識装置の温度調整方法。
【請求項１８】
前記画像認識装置は、雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、
前記気体温度調節工程において、前記温度調整媒体としての前記気体の温度を前記雰囲気の前記規定温度に略等しい温度に調節することを特徴とする、請求項１７に記載の画像認識装置の温度調整方法。
【請求項１９】
複数の部材がプレートに固定されたユニットの前記複数の部材のそれぞれを前記プレートの所定の位置に位置決めするとともに固定して前記ユニットを形成するユニット組立装置であって、
前記ユニット組立装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置を備えることを特徴とするユニット組立装置。
【請求項２０】
複数の部材がプレートに固定されたユニットの前記複数の部材のそれぞれを前記プレートの所定の位置に位置決めするとともに固定して前記ユニットを形成するユニット組立装置であって、
前記部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する、請求項９乃至１６のいずれか一項に記載の画像認識装置を備えることを特徴とするユニット組立装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用される稼働装置の構成要素の温度を調整する温度調整装置、及び温度調整方法、並びに部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する画像認識装置、当該画像認識装置の温度調整方法、及びユニット組立装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜や有機エレクトロルミネセンス装置の発光膜などの機能膜を形成する技術として、液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状材料の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させ、着弾した液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を精度良く且つ選択的に吐出することができるため、液晶表示装置のカラーフィルタの製造などの他にも、各種の電子デバイスや光デバイス等の製造装置への応用も期待されている。
【０００３】
このような応用技術を考慮すると、液滴吐出ヘッド自体の性能に加え、液滴吐出ヘッドの液滴吐出ノズルが基板の所望の位置に対向するように液滴吐出ヘッドと基板とを相対移動させる走査機構の位置精度や、その前提となる液滴吐出装置におけるノズル（ノズル列）の位置精度（組付精度）に、高い精度が要求される。また、吐出対象となる液体等によっては、液滴吐出ヘッドの寿命が短くなり、液滴吐出ヘッドの頻繁な交換も考慮する必要がある。特許文献１および特許文献２には、複数の液滴吐出ヘッドを、単一のキャリッジに安定に且つ精度良く組み付けることができるヘッドユニット組立装置および組立方法（ヘッドユニットの組立装置および組立方法、複数ＩＪヘッド搭載サブキャリッジ組立機）が開示されている。液滴吐出ヘッドを高精度で位置調整するための構成及び方法として、画像認識装置を用いて、液滴吐出ヘッドを配置するべき位置である基準位置を予め認識しておき、次に位置調整するべき液滴吐出ヘッドを認識し、認識した液滴吐出ヘッドを、予め認識した基準位置に合わせ込む構成及び方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３―１２７３９２号公報
【特許文献２】特開２００５―２３１３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、画像認識装置による位置認識対象物の位置認識は、認識した画像の中の位置認識対象物の位置を認識することで実行されるため、認識している画像の位置、即ち画像認識装置の位置にずれが生ずると、認識される位置は当該ずれ分だけずれて認識されて、位置認識誤差が生ずるという課題があった。画像認識装置の位置ずれの要因の一つは、画像認識装置を構成する構成要素の熱による伸縮や変形である。特に、装置が稼動することで熱が発生すると、当該熱によって、ヘッドユニット組立装置における画像認識装置の取付位置が変化して、稼動開始時と、安定して稼動している時とで画像認識装置の位置が変動する可能性があるという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、画像認識装置の位置が変動することに起因する認識位置の変動を抑制することができる温度調整装置、稼働装置、及び温度調整方法、並びに画像認識装置、画像認識装置の温度調整方法、及びユニット組立装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による温度調整装置は、所定の作業を実行する稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置であって、温度調整装置において温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節する気体温度調節部を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る温度調整装置によれば、気体温度調節部によって稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節された気体を温度調整用媒体として、稼働装置の温度調整が実行される。一般的に、稼働装置を構成する装置ユニットの温度は、各装置ユニット間でばらつくことなく、一定の温度に安定していることが好ましい。本発明に係る温度調整装置によれば、気体温度調節部によって稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節された気体を用いて、稼働装置の温度を雰囲気の温度に略等しい一定の温度に保つことができる。
【０００９】
本発明において、稼働装置は雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、気体温度調節部は、温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節することが好ましい。
【００１０】
この温度調整装置によれば、気体温度調節部によって稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節された気体を温度調整用媒体として、稼働装置の温度調整が実行される。一般的に、稼働装置の雰囲気の規定温度は、稼働装置が稼働するのに適した温度に設定され、稼働装置の温度も、稼働装置が稼働する時には、雰囲気の規定温度であることが好ましい。本発明に係る温度調整装置によれば、気体温度調節部によって稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節された気体を用いて、稼働装置の温度を雰囲気の規定温度に略等しい一定の温度に保つことができる。
【００１１】
本発明において、温度調整装置は、稼働装置の装置ユニットの近傍に気体循環路を有し、気体循環路を流動する気体は稼働装置の雰囲気と隔絶されていることが好ましい。
【００１２】
この温度調整装置によれば、気体循環路を流動する気体が、稼働装置の雰囲気と隔絶されていることで、温度調整用媒体として用いられる気体を流動させることによって発生する可能性がある塵埃などの飛散を抑制して、塵埃などが稼働装置や稼働装置が取扱う取扱対象物などに付着などすることを抑制することができる。
【００１３】
本発明よる稼働装置は、所定の作業を実行する稼働装置であって、稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係る稼働装置によれば、温度調整装置によって、稼働装置を構成する装置ユニットの温度を略一定にすることができる。これにより、稼働装置を構成する装置ユニットの熱による伸縮や変形を抑制して、当該伸縮や変形に起因する稼働装置の動作のばらつきを抑制することが可能となり、装置ユニットの温度が変化して熱による伸縮や変形を生ずる場合に比べて、稼働装置の動作の精度を向上させることができる。
【００１５】
本発明において、稼働装置は、雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用されてもよい。
【００１６】
本発明において、稼働装置は、温度調整装置が、当該温度調整装置において温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節する気体温度調節部と、装置ユニットの近傍に形成されており、稼働装置の雰囲気と隔絶されている気体循環路と、を備えることが好ましい。
【００１７】
この稼働装置によれば、稼働装置の温度を雰囲気の規定温度に略等しい一定の温度に保つことができると共に、塵埃などが稼働装置や稼働装置が取扱う取扱対象物などに付着などすることを抑制することができる。
【００１８】
本発明よる温度調整方法は、所定の作業を実行する稼働装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整方法であって、温度調整用媒体として用いられる気体の温度を稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節する気体温度調節工程と、気体温度調節工程で温度調節された気体を装置ユニットの周囲に供給する温度調整工程と、を有することを特徴とする。
【００１９】
本発明に係る温度調整方法によれば、稼働装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節された気体を温度調整用媒体として、稼働装置を構成する装置ユニットの周囲に供給することで、稼働装置の温度を雰囲気の温度に略等しい一定の温度に保つことができる。
【００２０】
本発明において、温度調整方法は、稼働装置が雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、気体温度調節工程において、温度調整用媒体として用いられる気体の温度を、稼働装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節することが好ましい。
【００２１】
この温度調整方法によれば、稼働装置の雰囲気の温度として規定された温度と略同等の温度に調節された気体を温度調整用媒体として、稼働装置を構成する装置ユニットの周囲に供給することで、稼働装置の温度を雰囲気の規定温度に略等しい一定の温度に保つことができる。
【００２２】
本発明による画像認識装置は、部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する画像認識装置であって、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの温度を略一定に調整する温度調整ユニットを設けたことを特徴とする。
【００２３】
本発明に係る画像認識装置によれば、温度調整ユニットによって、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの温度を略一定にすることができる。これにより、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの熱による伸縮や変形を抑制して、当該伸縮や変形に起因する画像認識装置の位置ずれ、即ち認識画像の位置ずれを抑制することが可能となり、装置ユニットの温度が変化して熱による伸縮や変形を生ずる場合に比べて、部材の位置検出精度を向上させることができる。
【００２４】
本発明において、画像認識装置は、雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用されてもよい。
【００２５】
本発明において、画像認識装置は、温度調整ユニットが、認識装置ユニットの近傍に設けられた気体循環路を有し、当該気体循環路を流動する気体は、画像認識装置の雰囲気と隔絶されていることが好ましい。
【００２６】
この画像認識装置によれば、装置ユニットの近傍に設けられた気体循環路に一定温度の気体を流すことで、装置ユニットの温度を当該気体の温度と略同一に保つことができる。気体循環路を流動する気体が、画像認識装置の雰囲気と隔絶されていることで、温度調節用気体を流動させることによって発生する可能性がある塵埃などの飛散を抑制して、塵埃などが画像認識装置や認識対象物などに付着などすることを抑制することができる。
【００２７】
本発明において、画像認識装置は、温度調整ユニットが、気体の温度を画像認識装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節すると共に、雰囲気の規定温度に略等しい温度となった気体を気体循環路に送る気体温度調節部をさらに有することが好ましい。
【００２８】
この画像認識装置によれば、画像認識装置の雰囲気の規定温度に調節された気体が装置ユニットの近傍に形成された気体循環路を流れることで、装置ユニットの温度を、概ね画像認識装置の雰囲気の規定温度に保つことができる。一般的に、画像認識装置の雰囲気の規定温度は、画像認識装置が稼働するのに適した温度に設定され、画像認識装置の温度も、画像認識装置の稼働時には、雰囲気の規定温度であることが好ましい。休止後の稼働開始時のように、雰囲気の温度が規定温度と異なる場合であっても、雰囲気の温度が加熱又は冷却されることで規定温度となり、雰囲気の温度に馴染んだ画像認識装置の温度が規定温度となるのを待つことなく、装置ユニットの温度を、概ね画像認識装置の雰囲気の規定温度にすることができる。画像認識装置が稼働することで発熱することにより画像認識装置が部分的に温度が高くなる可能性が高い場合であっても、当該部分の温度上昇を抑制して、略規定温度に保つことができる。
【００２９】
本発明において、画像認識装置は、認識装置ユニットが、画像取得のためのカメラユニットであることが好ましい。
【００３０】
この画像認識装置によれば、カメラユニットの温度を略一定の温度に保つことができる。これにより、カメラユニットが稼働することで発生する熱が、カメラユニットを支持する支持部材などに伝わることで、支持部材などが変形することや、当該熱によってカメラユニット自体が変形することで、カメラユニットの位置に誤差が生ずることを抑制することができる。
【００３１】
本発明において、画像認識装置は、認識装置ユニットが、カメラユニットが画像を取得するためのレンズを支持する鏡筒であることが好ましい。
【００３２】
この画像認識装置によれば、鏡筒の温度を略一定の温度に保つことができる。これにより、カメラユニットが稼働することで発生する熱などが鏡筒に伝わることで、鏡筒の温度が変化して変形することを抑制することができる。鏡筒の熱変形を抑制することで、鏡筒の変形に起因して、鏡筒に保持されたレンズの位置に誤差が生ずることを抑制することができる。
【００３３】
本発明において、画像認識装置は、認識装置ユニットが、カメラユニットの位置を移動させるためのカメラ移動機構の駆動源であることが好ましい。
【００３４】
この画像認識装置によれば、駆動源の温度変化を抑制することができる。これにより、駆動源が稼働することで発生する熱などが、カメラユニットを支持する支持部材やカメラユニットなどに伝わることで、支持部材などが変形することや、当該熱によってカメラユニットが変形することで、カメラユニットの位置に誤差が生ずることを抑制することができる。
【００３５】
本発明において、画像認識装置は、認識装置ユニットが、駆動源が発生した駆動力を伝達する駆動力伝達機構であることが好ましい。
【００３６】
この画像認識装置によれば、駆動力伝達機構の温度を略一定の温度に保つことができる。これにより、駆動源が稼働することで発生する熱などが、駆動力伝達機構を介してカメラユニットを支持する支持部材やカメラユニットなどに伝わることで、支持部材などが変形することや、当該熱によってカメラユニットが変形することで、カメラユニットの位置に誤差が生ずることを抑制することができる。
【００３７】
本発明よる画像認識装置の温度調整方法は、部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する画像認識装置を構成する認識装置ユニットの温度を調整する画像認識装置の温度調整方法であって、温度調整媒体としての気体の温度を調節する気体温度調節工程と、気体温度調節工程で温度調節された気体を認識装置ユニットの周囲に供給する温度調整工程と、を有することを特徴とする。
【００３８】
本発明に係る画像認識装置の温度調整方法によれば、画像認識装置の雰囲気の温度と略同等の温度に調節された気体を温度調整用媒体として、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの周囲に供給することで、画像認識装置の温度を雰囲気の温度に略等しい温度に保つことができる。これにより、画像認識装置の温度が変動することで認識装置ユニットの位置が変動することに起因する認識位置の変動を抑制することができる。
【００３９】
本発明において、画像認識装置の温度調整方法は、画像認識装置が、雰囲気の温度が規定された環境に設置されて使用され、気体温度調節工程において、温度調整媒体としての気体の温度を雰囲気の規定温度に略等しい温度に調節することが好ましい。
【００４０】
この画像認識装置の温度調整方法によれば、画像認識装置の雰囲気の規定温度として設定された温度と略同等の温度に調節された気体を温度調整用媒体として、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの周囲に供給することで、画像認識装置の温度を雰囲気の規定温度に略等しい一定の温度に保つことができる。これにより、画像認識装置の温度が変動することで認識装置ユニットの位置が変動することに起因する認識位置の変動を抑制することができる。
【００４１】
本発明よるユニット組立装置は、複数の部材がプレートに固定されたユニットの複数の部材のそれぞれをプレートの所定の位置に位置決めするとともに固定してユニットを形成するユニット組立装置であって、ユニット組立装置を構成する装置ユニットの温度を調整する温度調整装置を備えることを特徴とする。
【００４２】
本発明に係るユニット組立装置によれば、温度調整装置によって、ユニット組立装置を構成する装置ユニットの温度を略一定にすることができる。これにより、ユニット組立装置を構成する装置ユニットの熱による伸縮や変形を抑制して、当該伸縮や変形に起因するユニット組立装置の動作のばらつきを抑制することが可能となり、装置ユニットの温度が変化して熱による伸縮や変形を生ずる場合に比べて、ユニット組立装置の動作の精度を向上させることができる。即ち、部材をプレートの所定の位置に精度良く位置決めすることができる。
【００４３】
本発明よるユニット組立装置は、複数の部材がプレートに固定されたユニットの複数の部材のそれぞれをプレートの所定の位置に位置決めするとともに固定してユニットを形成するユニット組立装置であって、部材の位置を検出するために当該部材の画像を取得する、上記画像認識装置を備えることを特徴とする。
【００４４】
本発明に係るユニット組立装置によれば、画像認識装置に設けられた温度調整ユニットによって、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの温度を略一定にすることができる。これにより、画像認識装置を構成する認識装置ユニットの熱による伸縮や変形を抑制して、当該伸縮や変形に起因する画像認識装置の位置ずれ、即ち認識画像の位置ずれを抑制することが可能となり、装置ユニットの温度が変化して熱による伸縮や変形を生ずる場合に比べて、部材の位置検出精度を向上させることができる。これにより、ユニット組立装置における部材の位置検出精度が向上することで、部材を精度良く位置決めすることが可能であり、精度のよいユニットを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明に係る温度調整装置、及び温度調整方法、並びに画像認識装置、画像認識装置の温度調整方法、及びユニット組立装置について、画像認識装置及びユニット組立装置の一例である認識装置及びヘッドユニット組立装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。
【００４６】
（液滴吐出装置）
最初に、認識装置１０４（図７参照）を備えたヘッドユニット組立装置１００（図７参照）を用いて液滴吐出ヘッド４０（図２参照）の位置決めを実行したヘッドユニット３０（図５参照）を搭載する液滴吐出装置１について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体を液滴として吐出して着弾させる対象である基板Ｗを載置するための基板ステージ１４と、基板ステージ１４を主走査方向に移動させるＸ軸走査機構１０と、を備えている。また、複数の液滴吐出ヘッド４０（図２参照）を搭載するヘッドユニット３０（図５参照）を有するキャリッジ２２（図６参照）を備えるキャリッジユニット２０と、キャリッジユニット２０を副走査方向に移動させるＹ軸走査機構１７と、を備えている。図１に矢印で示したように、主走査方向をＸ軸方向、主走査方向（Ｘ軸方向）に略直交する副走査方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に直交する方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回動方向をθ方向と表記する。
【００４８】
基板ステージ１４は、基板Ｗを真空吸着して固定する吸着テーブルであり、ステージ回動機構１６を介してＸ軸移動プレート１２に、θ方向に回動可能に固定されている。Ｘ軸走査機構１０は、Ｘ軸移動プレート１２と、床上に設置されてＸ軸方向に延在しており、Ｘ軸移動プレート１２をエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に移動させるリニアモータ１１ａを備えた一対のＸ軸ガイドレール１１，１１とを有している。一対のＸ軸ガイドレール１１，１１を挟むように、収容ボックス９が２個所配設されている。収容ボックス９内には、エアスライダに圧縮空気を供給するエアー供給手段の給気パイプや、Ｘ軸走査機構１０に駆動信号などを送る信号ケーブルなどが収容されている。
【００４９】
キャリッジユニット２０は、キャリッジプレート２１を備え、キャリッジ２２がキャリッジプレート２１にθ方向に回動可能に取付けられている。キャリッジプレート２１は、一対のＹ軸ガイドレール１８，１８に差し渡されるようにして配置されている。差し渡されたキャリッジプレート２１の上には、各液状体が貯留されたタンクから配管を経由して送り込まれた液状体を所定量貯留して、各液滴吐出ヘッド４０に液状体を供給する液状体供給ユニット２３と、各液滴吐出ヘッド４０を駆動するための電気信号を供給するヘッド用電装ユニット２４とが、載置されている。
【００５０】
Ｙ軸走査機構１７は、１０基のキャリッジユニット２０をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ１８ａを備えた一対のＹ軸ガイドレール１８，１８を有している。１０基のキャリッジユニット２０はそれぞれ個別にＹ軸方向に移動可能である。一対のＹ軸ガイドレール１８，１８は、床上に間隔を置いて立脚した６本の支持スタンド１９上に、Ｘ軸走査機構１０を跨ぐように配設されている。
【００５１】
一対のＹ軸ガイドレール１８，１８の間には、キャリッジ２２（ヘッドユニット３０）に搭載された複数の液滴吐出ヘッド４０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンスユニット２６が、複数の液滴吐出ヘッド４０を臨む位置に配設されている。
【００５２】
（液滴吐出ヘッド）
次に、図２を参照して液滴吐出ヘッド４０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド４０は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４６，４６を有する液体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なる２連のヘッド基板４７と、液体導入部４５に連なる２連のポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズル形成プレート４１とを備えている。液体導入部４５には、配管接続部材が接続され、ヘッド基板４７には、フレキシブルフラットケーブルが接続される。一方、このポンプ部４８とノズル形成プレート４１とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
【００５３】
ポンプ部４８の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４５を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４４が形成されている。このフランジ部４４には、液滴吐出ヘッド４０を副ヘッド保持部材３３（図３参照）に固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）４９が一対形成されている。この一対のねじ孔４９，４９は、両長辺部分に位置し、且つノズル形成面４１ａの中心に対し点対称となるように配設されている。詳細は後述するが、副ヘッド保持部材３３を貫通してねじ孔４９に螺合したヘッド止めねじ３７により、液滴吐出ヘッド４０が副ヘッド保持部材３３に固定される（図３参照）。
【００５４】
ノズル形成プレート４１のノズル形成面４１ａには、ノズル形成プレート４１に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル４２から成る２本のノズル列４３，４３が形成されている。２本のノズル列４３，４３は相互に平行に列設されており、各ノズル列４３は、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４２で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４１ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４３，４３が対称に配設されている。
【００５５】
（液滴吐出ヘッドの取付）
次に、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１への取付構造について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドのユニットプレートへの取付構造を示す図である。図３（ａ）は、ユニットプレートに取付けられた液滴吐出ヘッドをノズルプレート側からみた平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図である。
【００５６】
図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、ユニットプレート５１にはヘッド開口５１ａが形成されており、主ヘッド保持部材３２がヘッド開口５１ａを略覆うように、ユニットプレート５１に固定されている。主ヘッド保持部材３２は、主ヘッド保持部材３２に形成された孔を貫通してユニットプレート５１に形成されたねじ孔に螺合した３本の保持部材ねじ３８により、ユニットプレート５１に固定されている。（以降、主ヘッド保持部材３２がセットされた側を「裏面側」と表記し、反対側を「表面側」と表記する。）
【００５７】
主ヘッド保持部材３２にはフランジ開口３２ａが形成されており、副ヘッド保持部材３３は、その長辺方向の両端部でフランジ開口３２ａを跨ぐようにして、主ヘッド保持部材３２の裏面側に固定されている。副ヘッド保持部材３３は、副ヘッド保持部材３３に形成された孔を貫通して主ヘッド保持部材３２に形成されたねじ孔に螺合した２本の保持部材ねじ３８により、主ヘッド保持部材３２に固定されている。
【００５８】
副ヘッド保持部材３３は、ステンレス等で構成されており、略長方形の平板状に形成されている。副ヘッド保持部材３３には、その中央に液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａが挿通する方形のヘッド本体開口３３ｄが形成されている。上記したように、副ヘッド保持部材３３は、フランジ開口３２ａを跨ぐようにして主ヘッド保持部材３２の裏面側にセットされている。これに対し液滴吐出ヘッド４０は、そのヘッド本体４０Ａをヘッド本体開口３３ｄに挿通してヘッド本体４０Ａを副ヘッド保持部材３３の裏面側に突出させるようにして、主ヘッド保持部材３２の表面側からセットされている。液滴吐出ヘッド４０は、副ヘッド保持部材３３に形成された孔を貫通してフランジ部４４に形成されたねじ孔４９に螺合した２本のヘッド止めねじ３７により、副ヘッド保持部材３３に固定されている。
【００５９】
副ヘッド保持部材３３のヘッド本体開口３３ｄの周囲には、上記した一対のねじ孔４９，４９に対応する２つの貫通孔、及びヘッド本体開口３３ｄの中心線上において第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとが形成されている。第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂは、後述するヘッドユニット組立装置１００（図７参照）における位置補正用の調整ピン１２１（図７参照）が係合される部位である。この場合、一対の調整ピン１２１，１２１の係合が無理なく為されるように、第一調整穴３３ａが円形に、第二調整穴３３ｂが上記中心線方向に長い長円形に形成されている。
【００６０】
また、ヘッド本体開口３３ｄの中心線上において、第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂのヘッド本体開口３３ｄの反対側には２つの接着剤孔３３ｃが、ヘッド本体開口３３ｄに関して略対称位置に形成されている。各接着剤孔３３ｃは副ヘッド保持部材３３の横断方向に延びる長孔となっている。接着剤孔３３ｃに接着剤を注入して、当該接着剤（図示省略）によって副ヘッド保持部材３３を主ヘッド保持部材３２に接着固定する。
【００６１】
なお、液滴吐出ヘッド４０がヘッド止めねじ３７により副ヘッド保持部材３３に固定されており、副ヘッド保持部材３３の保持部材ねじ３８および接着剤による主ヘッド保持部材３２への固定がなされていない状態では、液滴吐出ヘッド４０は、ユニットプレート５１に対して、フランジ部４４とフランジ開口３２ａとの隙間分、またはヘッド基板４７とヘッド開口５１ａとの隙間分だけ移動可能に、固定された状態となる。本実施形態では、このような状態を「仮装着」状態と表記する。副ヘッド保持部材３３及びヘッド基板４７はフランジ開口３２ａの開口より大きいため、仮装着状態の液滴吐出ヘッド４０（液滴吐出ヘッド４０が主ヘッド保持部材３２を挟んで副ヘッド保持部材３３に固定された液滴吐出ヘッド４０と副ヘッド保持部材３３との組）が主ヘッド保持部材３２から脱落することはない。液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１への組み付けは、液滴吐出ヘッド４０を仮装着し、次に仮装着状態の液滴吐出ヘッド４０の位置調整を行った後に、副ヘッド保持部材３３の主ヘッド保持部材３２への接着剤による接着固定、及び保持部材ねじ３８によるねじ固定を行うことで実行される。
【００６２】
（基準ピン）
次に、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１上の位置を規定する際の基準となる基準ピン５４について、図４を参照して説明する。一対の基準ピン５４，５４（図５参照）は、ヘッドユニット３０が取付けられたキャリッジユニット２０を液滴吐出装置１に取付ける際にθ方向に位置決め（位置認識）するための基準としても用いられる。また、ヘッドユニット３０（ユニットプレート５１）をヘッドユニット組立装置１００（図７参照）に取付ける際にθ方向に位置決めするための基準としても用いられる。一対の基準ピン５４，５４のユニットプレート５１上の配置位置については後述する。
【００６３】
図４（ａ）は、基準ピンを基準マーク孔側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、基準ピンの側面図である。図４に示すように、各基準ピン５４は、円柱状のピン本体と、ピン本体の先端面５７の中央部に形成した凹状、具体的には孔状の基準マーク孔５６とで構成されている。ピン本体は、ユニットプレート５１に圧入するための基部圧入部５４ｂと、基部圧入部５４ｂに連なる胴部５４ａと、胴部５４ａの先端に突出形成したマーク形成部５４ｃとから成り、このマーク形成部５４ｃの先端面５７に基準マーク孔５６が形成されている。先端面５７は鏡面加工されており、この先端面５７の中心位置に基準マーク孔５６となる小孔が穿孔されている。小孔（基準マーク孔５６）は、基部圧入部５４ｂから胴部５４ａにかけてその軸心部分に形成した軸心孔に連通している。なお、基準ピン５４は、断面を円形状として説明したが、楕円状でも、多角形状でも構わない。さらに、小孔の基準マーク孔５６も、小孔に限定されるものではなく、充分なコントラストが得られるような溝を持つ凹形状であればよく、その凹の平面形状も円形に限定されるものではない。
【００６４】
このように形成された基準ピン５４は、ユニットプレート５１に形成した取付用の孔部分に基部圧入部５４ｂを打ち込むようにして圧入される。ユニットプレート５１に圧入された基準ピン５４は、先端面５７の高さが、ユニットプレート５１に取付けられた液滴吐出ヘッド４０のノズル形成面４１ａ（図２又は図３参照）と略同一高さとなるように、ユニットプレート５１の裏面側から突出している。すなわち、基準ピン５４の画像認識面となる先端面５７と、液滴吐出ヘッド４０の画像認識面となるノズル形成面４１ａとが、略同一平面内に位置するようになっている。
【００６５】
（ヘッドユニット）
次に、図５を参照してヘッドユニット３０の全体構成について説明する。図５は、ヘッドユニットの外観斜視図である。図３を参照して説明したように、ヘッドユニット３０のユニットプレート５１には、主ヘッド保持部材３２及び副ヘッド保持部材３３を介して液滴吐出ヘッド４０が取付けられている。図５に示すように、１基のヘッドユニット３０は、１２個の液滴吐出ヘッド４０を備えている。ユニットプレート５１には、基準マーク孔５６（図４参照）が形成された一対の基準ピン５４，５４が固定されており、１２個の液滴吐出ヘッド４０はそれぞれ基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を基準として、適切な位置に位置決めして固定されている。一対の基準マーク孔５６，５６は、Ｘ軸方向に延在する直線上に配置されている。
【００６６】
ユニットプレート５１には、また、第一位置規制孔５２ａと、第二位置規制孔５２ｂと、４箇所のユニット固定孔５３とが形成されている。第一位置規制孔５２ａ及び第二位置規制孔５２ｂは、ヘッドユニット３０をキャリッジ枠６２（図６参照）に取付ける際の位置決め用として用いられる。４箇所のユニット固定孔５３は、ヘッドユニット３０をキャリッジ枠６２に固定するねじが貫通する孔である。図５に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。即ち、ヘッドユニット３０が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４３（図２参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
【００６７】
（キャリッジ）
次に、キャリッジ２２の全体構成について、図６を参照して説明する。図６は、ヘッドプレート側から見たキャリッジの外観斜視図である。図５を参照して説明したように、ヘッドユニット３０のユニットプレート５１には、第一位置規制孔５２ａ及び第二位置規制孔５２ｂと、ユニット固定孔５３とが形成されている。図６に示すように、ヘッドユニット３０は、キャリッジ枠６２に設けられた位置規制ピン６３をユニットプレート５１に形成された第一位置規制孔５２ａ及び第二位置規制孔５２ｂに嵌入させることで、キャリッジ枠６２に対して位置決めされている。位置決めされたヘッドユニット３０は、ユニットプレート５１に形成されたユニット固定孔５３を貫通してキャリッジ枠６２に形成されたねじ孔６４に螺合したユニット固定ねじ６８により、キャリッジ枠６２に固定されている。ユニット固定ねじ６８は、４本使用されている。液状体供給ユニット２３（図１参照）に貯留された液状体は、図示省略した給液管及びバルブを経由して液滴吐出ヘッド４０に供給される。ヘッド用電装ユニット２４（図１参照）から供給される電気信号は、ＩＦ基板６９で中継されて、図示省略した配線ケーブルを経由して液滴吐出ヘッド４０に供給される。
【００６８】
上述したように、キャリッジ２２はキャリッジプレート２１（図１参照）にθ方向（Ｚ軸回り方向）に回動可能に取付けられる。キャリッジプレート２１に取付けられたキャリッジ２２をθ方向に回動させて、図６に示したＸ軸、Ｙ軸方向を、図１に示したＸ軸、Ｙ軸方向に一致させることで、液滴吐出ヘッド４０に形成されたノズル列４３の延在方向をＹ軸方向に一致させる。
【００６９】
（ヘッドユニット組立装置）
次に、ヘッドユニット３０を組み立てるヘッドユニット組立装置１００について、図７を参照して説明する。ヘッドユニット組立装置１００は、上記したヘッドユニット３０を組立対象物とし、ユニットプレート５１に仮装着した１２個の液滴吐出ヘッド４０をそれぞれ精度良く位置決めして接着（一次固定）するものである。ヘッドユニット３０がユニットに相当し、液滴吐出ヘッド４０が部材に相当し、ユニットプレート５１がプレートに相当する。ヘッドユニット組立装置１００が、稼働装置またはユニット組立装置に相当する。なお、このヘッドユニット組立装置１００で、液滴吐出ヘッド４０を一次固定したヘッドユニット３０は、保持部材ねじ３８を用いてさらに固定する二次固定工程及び洗浄工程を経て、キャリッジ枠６２にセットされる。
【００７０】
図７は、ヘッドユニット組立装置の構成を示す模式図である。図７に示すように、ヘッドユニット組立装置１００は、ユニット移動装置１０１、ヘッド位置調整装置１０２、接着固定装置（図示省略）、及び認識装置１０４を備えている。ユニット移動装置１０１は、ヘッドユニット３０を搭載し、これをＸ軸及びＹ軸に平行な平面内においてＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に移動させる。ヘッド位置調整装置１０２は、ユニットプレート５１に仮装着されている各液滴吐出ヘッド４０の位置を適切な位置に合わせ込む位置補正を行う。接着固定装置は、接着剤孔３３ｃ（図３参照）に流入させるように接着剤を供給して、ユニットプレート５１に対して位置補正された各液滴吐出ヘッド４０を、当該位置に一次固定（接着固定）する。認識装置１０４は、液滴吐出ヘッド４０の位置補正に先立ってユニットプレート５１及び各液滴吐出ヘッド４０を位置認識する。ユニットプレート５１の位置認識は、ユニットプレート５１に固定された基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６（図４参照）を認識することで実行される。認識装置１０４が、画像認識装置に相当する。
【００７１】
さらに、ヘッドユニット組立装置１００は、これらユニット移動装置１０１、ヘッド位置調整装置１０２、接着固定装置、及び認識装置１０４を統括制御する制御装置（図示省略）を備えている。ユニット移動装置１０１、ヘッド位置調整装置１０２、接着固定装置、及び認識装置１０４は、機台１０６の上の、または機台１０６の上に設置された支持スタンド１１６に支持され設置されている。ヘッドユニット組立装置１００は、液滴吐出ヘッド４０を精度良く位置決めするために、周辺温度を一定に管理できる場所に設置されて使用される。
【００７２】
ユニット移動装置１０１は、組立対象物であるヘッドユニット３０を載置して保持する保持テーブル１１０と、保持テーブル１１０が固定されており、保持テーブル１１０をθ方向に回動することで保持テーブル１１０に載置されたヘッドユニット３０をθ方向に回動するユニット回動機構１０９とを備えている。ユニット移動装置１０１は、また、ユニット回動機構１０９をＸ軸方向に移動することでヘッドユニット３０をＸ軸方向に移動するＸ軸移動機構１０７と、ユニット回動機構１０９をＹ軸方向に移動することでヘッドユニット３０をＹ軸方向に移動するＹ軸移動機構１０８とを備えている。
【００７３】
Ｙ軸移動機構１０８は、Ｙ軸移動プレート１１７と、機台１０６の上にＹ軸方向に延在するように設けられており、Ｙ軸移動プレート１１７をエアスライダ（図示省略）を介してＹ軸方向に移動させるリニアモータ１１８ａをそれぞれ備えた一対のＹ軸レール１１８，１１８とを有している。Ｘ軸移動機構１０７は、Ｘ軸移動プレート１１２と、Ｙ軸移動プレート１１７の上にＸ軸方向に延在するように設けられており、Ｘ軸移動プレート１１２をエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に移動させるリニアモータ１１１ａをそれぞれ備えた一対のＸ軸レール１１１，１１１とを有している。ユニット回動機構１０９は、Ｘ軸移動プレート１１２に固定された固定プレート１１９ａと、図示省略した回動モータを介して固定プレート１１９ａにθ方向に回動可能に支持されている回動プレート１１９ｂとを有している。保持テーブル１１０は、回動プレート１１９ｂに固定されている。
【００７４】
保持テーブル１１０には、保持テーブル１１０に固定されるユニットプレート５１が当接する部分である略長方形のユニット受部１６２が２個所形成されている。２個所のユニット受部１６２は、Ｘ軸及びＹ軸に略平行な平面であって、Ｚ軸方向の位置が略同一の平面である。ユニット受部１６２の中央付近には位置規制ピン１６３が立設されている。１個所のユニット受部１６２にはそれぞれ２個所のねじ孔１６４が形成されている。ユニット受部１６２の両側には、マスク受部１６１が形成されている。マスク受部１６１は、ユニット受部１６２より高くなっている。マスク受部１６１は、後述するアライメントマスク２００（図９参照）を取付ける際に、アライメントマスク２００を載置するために使用される。図示省略したが、マスク受部１６１には、アライメントマスク２００を位置決めするための位置決め構造が設けられている。
【００７５】
ヘッド位置調整装置１０２は、一対の調整ピン１２１，１２１を有している。一対の調整ピン１２１，１２１は、副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとにそれぞれ係合して、ユニットプレート５１に仮装着された液滴吐出ヘッド４０を適切な位置に位置決めするために微少移動させる力を副ヘッド保持部材３３に印加する。また、ヘッド位置調整装置１０２は、図７では認識装置１０４の影になる部分に設けられたピンＸ軸移動機構、ピンＹ軸移動機構、ピン回動機構、および調整ピン上下機構、を有している。調整ピン上下機構によって一対の調整ピン１２１，１２１を下降させることで第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂに係合させる。ピンＸ軸移動機構とピンＹ軸移動機構とによって、Ｘ軸およびＹ軸に平行な方向に第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂに係合した一対の調整ピン１２１，１２１を移動させること、及び、ピン回動機構によってθ方向に回動させることで、ユニットプレート５１に仮装着された液滴吐出ヘッド４０を微少移動させて、適切な位置に位置決めする。一対の調整ピン１２１，１２１相互のＸ軸とＹ軸とに平行な平面方向の位置関係は固定であって、ピンＸ軸移動機構、ピンＹ軸移動機構、およびピン回動機構によって同時に移動させられる。調整ピン上下機構による移動は、調整ピン１２１毎に個別に行われる。
【００７６】
（認識装置）
次に、認識装置１０４について、図８を参照して説明する。図８は、認識装置を示す斜視図である。図８に示すように、認識装置１０４は、ヘッドなどの画像を認識するためのカメラ１４３及びレンズ１４４と、対象物を照明するための照明装置１４６と、カメラ１４３及びレンズ１４４をＺ軸方向に移動してピント調節を行うためのカメラ昇降機構１４７と、を備えている。カメラ昇降機構１４７は、支持スタンド１１６に固定された認識装置台１４１に固定されており、カメラ１４３及びレンズ１４４はカメラ昇降機構１４７に吊持されている。
【００７７】
カメラ昇降機構１４７は、カメラ昇降モータ１４８と、モータ支持板１４９と、軸連結器１５１と、軸支持ブロック１５２と、軸支持板１５３と、ボールネジ軸１５４と、昇降ブロック１５６と、昇降ガイド１５７と、カメラ係止ブロック１５８とを有している。モータ支持板１４９と、軸支持板１５３とには、温度調節用の媒体である空気を流すための気体循環路が形成されている。気体循環路の詳細は後述する。
【００７８】
モータ支持板１４９が、認識装置台１４１に固定されており、カメラ昇降モータ１４８は、認識装置台１４１に固定されることで、モータ支持板１４９に固定されている。軸支持板１５３が、認識装置台１４１に固定されており、軸支持ブロック１５２が軸支持板１５３に固定されることで、認識装置台１４１に固定されている。軸支持ブロック１５２は、ボールネジ軸１５４を、回動自在且つＺ軸方向の移動を略禁止するように保持している。ボールネジ軸１５４は、Ｚ軸方向に延在しており、ボールネジ軸１５４の図８における上側の端は、軸連結器１５１を介してカメラ昇降モータ１４８の出力軸に連結されている。ボールネジ軸１５４の図８における下側にはボールネジが形成されており、昇降ブロック１５６が当該ボールネジに螺合している。昇降ブロック１５６は、認識装置台１４１に固定された昇降ガイド１５７にＺ軸方向に摺動自在に支持されている。カメラ昇降モータ１４８が正逆回転すると、ボールネジ軸１５４が正逆回転され、当該ボールネジに螺合している昇降ブロック１５６が昇降する。カメラ昇降機構１４７が、カメラ移動機構に相当する。カメラ昇降モータ１４８が、カメラ移動機構の駆動源に相当する。軸連結器１５１と、軸支持ブロック１５２と、ボールネジ軸１５４と、昇降ブロック１５６とが、駆動力伝達機構に相当する。
【００７９】
昇降ブロック１５６の図８における下側にはカメラ係止ブロック１５８が固定されており、カメラ係止ブロック１５８には、鏡筒支持枠１４５が固定されている。レンズ１４４を支持する鏡筒１４４Ａは、カメラ１４３側の光軸と、対物側の光軸とを９０度曲げるためのプリズム（図示省略）を有し、略Ｌ字形状をしている。対物側の光軸は、略Ｚ軸方向を向き、カメラ１４３側の光軸は、略Ｙ軸方向を向いている。鏡筒１４４Ａのカメラ１４３側の光軸が通っている部分が鏡筒支持枠１４５に嵌合して支持されることで、カメラ１４３及び鏡筒１４４Ａが、鏡筒支持枠１４５及びカメラ係止ブロック１５８を介して、昇降ブロック１５６に固定されている。カメラ係止ブロック１５８によって、カメラ１４３の姿勢即ち光軸の方向を微調整する。カメラ１４３には、周囲を囲むように、カメラ冷却ブロック１４２が嵌合している。鏡筒支持枠１４５と、カメラ冷却ブロック１４２には、温度調節用の媒体である空気を流すための気体循環路が形成されている。気体循環路の詳細は後述する。
【００８０】
次に、モータ支持板１４９について、図９を参照して、詳細に説明する。図９は、モータ支持板の概略構成を示す斜視図である。図９に示すように、モータ支持板１４９は、平板状のモータ固定部１４９ａの端に庇状の支持板固定部１４９ｂが形成された、側面視Ｌ字形状をしている。支持板固定部１４９ｂには、支持板固定孔１７４が２個所形成されている。モータ支持板１４９は、支持板固定孔１７４を貫通して、認識装置台１４１に形成されたねじ孔に螺合する２本の止ねじにより、認識装置台１４１に固定される。モータ固定部１４９ａの略中央に、軸孔１７１が形成されており、軸孔１７１の周辺には、モータ固定孔１７２が形成されている。モータ固定孔１７２を貫通して、カメラ昇降モータ１４８に形成されたねじ孔に螺合する４本の止ねじにより、カメラ昇降モータ１４８が、出力軸を軸孔１７１に遊嵌させた状態で、モータ支持板１４９に固定される。
【００８１】
さらに、モータ固定部１４９ａには、軸孔１７１を囲む略コの字形状に、流路１７３が形成されている。略コの字形状をした流路１７３の両端は、それぞれモータ固定部１４９ａの端面に開口している。一方の開口には、温度調節機１６０に連通する給気管２６１が接続されており、もう一方の開口には、排気口に連通する排気管２６２が接続されている。流路１７３と給気管２６１または排気管２６２との接続構造は一般的な接続構造であり、詳細な説明は省略する。
【００８２】
温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の設定温度に略等しい温度に温度調節された空気が、給気管２６１から流路１７３に流入し、排気管２６２から排出される。カメラ昇降モータ１４８がモータ固定部１４９ａに接触する部分に、流路１７３が形成されている構成となっている。カメラ昇降モータ１４８は稼働することで発熱し、その熱は、接触部分を介してモータ固定部１４９ａに伝達するが、流路１７３を流れる周囲の温度と略等しい温度の空気で冷却されることで、支持板固定部１４９ｂの方までカメラ昇降モータ１４８の熱が伝達することが抑制される。カメラ昇降モータ１４８またはモータ支持板１４９が、装置ユニットまたは認識装置ユニットに相当する。温度調節機１６０と、給気管２６１と、排気管２６２と、モータ支持板１４９とが、温度調節装置又は温度調節ユニットに相当する。温度調節機１６０が気体温度調節部に相当する。流路１７３が、気体循環路に相当する。
【００８３】
次に、軸支持板１５３について、図１０を参照して、詳細に説明する。図１０は、軸支持板の概略構成を示す斜視図である。図１０に示すように、軸支持板１５３は、平板状のブロック固定部１５３ａの端に庇状の軸支持板固定部１５３ｂが形成された、側面視Ｌ字形状をしている。軸支持板固定部１５３ｂには、軸支持板固定孔１７９が２個所形成されている。軸支持板１５３は、軸支持板固定孔１７９を貫通して、認識装置台１４１に形成されたねじ孔に螺合する２本の止ねじにより、認識装置台１４１に固定される。ブロック固定部１５３ａの略中央に、ブロック孔１７６が形成されており、ブロック孔１７６の周辺には、ブロック固定孔１７７が形成されている。ブロック固定孔１７７を貫通して、軸支持ブロック１５２に形成されたねじ孔に螺合する４本の止ねじにより、軸支持ブロック１５２が、ブロック固定部１５３ａに当接するとともに突出部分をブロック孔１７６に嵌合させた状態で、軸支持板１５３に固定される。
【００８４】
さらに、ブロック固定部１５３ａには、ブロック孔１７６及びブロック固定孔１７７を囲む略コの字形状に、流路１７８が形成されている。略コの字形状をした流路１７８の両端は、それぞれブロック固定部１５３ａの端面に開口している。一方の開口には、温度調節機１６０に連通する給気管２６１が接続されており、もう一方の開口には、排気口に連通する排気管２６２が接続されている。流路１７８と給気管２６１または排気管２６２との接続構造は一般的な接続構造であり、詳細な説明は省略する。
【００８５】
温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の設定温度に略等しい温度に温度調節された空気が、給気管２６１から流路１７８に流入し、排気管２６２から排出される。軸支持ブロック１５２がブロック固定部１５３ａに接触する部分に、流路１７８が形成されている構成となっている。軸支持ブロック１５２または軸支持板１５３が、装置ユニットまたは認識装置ユニットに相当する。温度調節機１６０と、給気管２６１と、排気管２６２と、軸支持板１５３とが、温度調節装置又は温度調節ユニットに相当する。流路１７８が、気体循環路に相当する。
【００８６】
カメラ昇降モータ１４８は稼働することで発熱し、その熱は、出力軸と軸連結器１５１とボールネジ軸１５４と軸支持ブロック１５２とを介してブロック固定部１５３ａに伝達するが、流路１７８を流れる周囲の温度と略等しい温度の空気で冷却されることで、軸支持板固定部１５３ｂの方までカメラ昇降モータ１４８の熱が伝達することが抑制される。また、ボールネジ軸１５４の軸支持ブロック１５２との接触部分も冷却されるため、カメラ昇降モータ１４８の熱がボールネジ軸１５４のボールネジの方まで伝達されることも抑制される。同様に、ボールネジ軸１５４が軸支持ブロック１５２に対して回動することによって発生する可能性がある摩擦熱も、軸支持板固定部１５３ｂの方やボールネジ軸１５４のボールネジの方まで伝達されることが抑制される。
【００８７】
次に、鏡筒支持枠１４５について、図１１を参照して、詳細に説明する。図１１は、鏡筒支持枠の概略構成を示す斜視図である。図１１に示すように、鏡筒支持枠１４５は、側面視略コの字板状の第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂと、２個の支持枠パッキン１９１，１９１とを有している。第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとが、２個所の支持枠パッキン１９１，１９１を介して、コの字形状の両端を互いに当接させることで、鏡筒１４４Ａが嵌合する円柱状の空間が形成されている。鏡筒１４４Ａは、当該空間に嵌合することで、第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとに保持される。
【００８８】
第一鏡筒支持枠１４５Ａには、支持枠パッキン１９１を介して第二鏡筒支持枠１４５Ｂと当接する面から反対側の面に貫通する締結孔１９３が４個所形成されている。第二鏡筒支持枠１４５Ｂには、第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとが組合された状態で締結孔１９３に連接する位置に、支持枠パッキン１９１を介して第一鏡筒支持枠１４５Ａと当接する面から反対側の面に貫通する締結固定ねじ孔１９６が４個所形成されている。第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとは、締結孔１９３を貫通して締結固定ねじ孔１９６に螺合する４本の止ねじにより、互いに締結されて固定される。第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとは、互いに締結されて固定されることで、上記したように、鏡筒１４４Ａを保持する。
【００８９】
鏡筒支持枠１４５は、カメラ係止ブロック１５８に形成された固定孔を貫通して、締結固定ねじ孔１９６の第一鏡筒支持枠１４５Ａとは反対側の端から、締結固定ねじ孔１９６に螺合する４本の止ねじにより、カメラ係止ブロック１５８に固定される。鏡筒支持枠１４５がカメラ係止ブロック１５８に固定されることで、第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとに保持された鏡筒１４４Ａは、カメラ係止ブロック１５８を介して昇降ブロック１５６に吊持される。
【００９０】
さらに、第一鏡筒支持枠１４５Ａには、支持枠パッキン１９１を介して第二鏡筒支持枠１４５Ｂと当接する面から反対側の面に貫通する流路１９２が４個所形成されている。第二鏡筒支持枠１４５Ｂには、略コの字形状の流路１９４が２個所形成されている。略コの字形状をした流路１９４の両端は、それぞれ支持枠パッキン１９１を介して第一鏡筒支持枠１４５Ａと当接する端面の、第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとが組合された状態で流路１９２に連接する位置に開口している。２個所の流路１９２と、１個所の流路１９４とは、支持枠パッキン１９１に形成された孔を介して連通して、１本の流路を形成する。支持枠パッキン１９１を設けることで、流路を流れる空気が外部に漏れ出したり、外部の空気が流路に侵入したりすることを防止する。
【００９１】
２個所の流路１９２と１個所の流路１９４とで形成された１本の流路の両端は、第一鏡筒支持枠１４５Ａの、支持枠パッキン１９１を介して第二鏡筒支持枠１４５Ｂと当接する面と反対側の端面に開口している。一方の開口には、温度調節機１６０に連通する給気管２６１が接続されており、もう一方の開口には、排気口に連通する排気管２６２が接続されている。流路１９２と給気管２６１または排気管２６２との接続構造は一般的な接続構造であり、詳細な説明は省略する。
【００９２】
温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の設定温度に略等しい温度に温度調節された空気が、給気管２６１から一方の流路１９２に流入し、一方の流路１９２と流路１９４ともう一方の流路１９２とを通過して排気管２６２から排出される。鏡筒１４４Ａまたは鏡筒支持枠１４５が、装置ユニットまたは認識装置ユニットに相当する。温度調節機１６０と、給気管２６１と、排気管２６２と、鏡筒支持枠１４５とが、温度調節装置又は温度調節ユニットに相当する。流路１９２と流路１９４とで形成された流路が、気体循環路に相当する。
【００９３】
次に、カメラ冷却ブロック１４２について、図１２を参照して、詳細に説明する。図１２は、カメラ冷却ブロックの概略構成を示す斜視図である。図１２に示すように、カメラ冷却ブロック１４２は、側面視略コの字板状の第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂと、２個の冷却ブロックパッキン１８１，１８１とを有している。第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとが、２個所の冷却ブロックパッキン１８１，１８１を介して、コの字形状の両端を互いに当接させることで、カメラ１４３が嵌合する空間が形成されている。カメラ冷却ブロック１４２は、第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとで、当該空間にカメラ１４３を把持することで、カメラ１４３に支持される。カメラ１４３は、鏡筒１４４Ａと互いに固定されることで、鏡筒支持枠１４５及びカメラ係止ブロック１５８を介して昇降ブロック１５６に吊持される。
【００９４】
第一冷却ブロック１４２Ａには、冷却ブロックパッキン１８１を介して第二冷却ブロック１４２Ｂと当接する面から反対側の面に貫通する締結孔１８３が４個所形成されている。第二冷却ブロック１４２Ｂには、第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとが組合された状態で締結孔１８３に連接する位置に、締結ねじ孔１８６が４個所形成されている。第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとは、締結孔１８３を貫通して締結ねじ孔１８６に螺合する４本の止ねじにより、互いに締結され固定される。第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとは、互いに締結され固定されることで、上記したように、カメラ１４３を把持する。
【００９５】
さらに、第一冷却ブロック１４２Ａには、冷却ブロックパッキン１８１を介して第二冷却ブロック１４２Ｂと当接する面から反対側の面に貫通する流路１８２が４個所形成されている。第二冷却ブロック１４２Ｂには、略コの字形状の流路１８４が２個所形成されている。略コの字形状をした流路１８４の両端は、それぞれ冷却ブロックパッキン１８１を介して第一冷却ブロック１４２Ａと当接する端面の、第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとが組合された状態で流路１８２に連接する位置に開口している。２個所の流路１８２と、１個所の流路１８４とは、冷却ブロックパッキン１８１に形成された孔を介して連通して、１本の流路を形成する。冷却ブロックパッキン１８１を設けることで、流路を流れる空気が外部に漏れ出したり、外部の空気が流路に侵入したりすることを防止する。
【００９６】
２個所の流路１８２と１個所の流路１８４とで形成された１本の流路の両端は、第一冷却ブロック１４２Ａの、冷却ブロックパッキン１８１を介して第二冷却ブロック１４２Ｂと当接する端面と反対側の端面に開口している。一方の開口には、温度調節機１６０に連通する給気管２６１が接続されており、もう一方の開口には、排気口に連通する排気管２６２が接続されている。流路１８２と給気管２６１または排気管２６２との接続構造は一般的な接続構造であり、詳細な説明は省略する。
【００９７】
温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の設定温度に略等しい温度に温度調節された空気が、給気管２６１から一方の流路１８２に流入し、一方の流路１８２と流路１８４ともう一方の流路１８２とを通過して排気管２６２から排出される。カメラ１４３またはカメラ冷却ブロック１４２が、装置ユニットまたは認識装置ユニットに相当する。温度調節機１６０と、給気管２６１と、排気管２６２と、カメラ冷却ブロック１４２とが、温度調節装置又は温度調節ユニットに相当する。流路１８２と流路１８４とで形成された流路が、気体循環路に相当する。
【００９８】
（アライメントマスク）
次に、アライメントマスク２００について、図１３を参照して説明する。図１３は、アライメントマスクの概略構成を示す平面図である。本実施形態のヘッドユニット組立装置１００は、ヘッドユニット３０の組立個数に係わらず、常に一定レベルの組立精度を有するヘッドユニット３０を供給する必要がある。そこで、一対の基準マーク孔５６，５６および１２個の液滴吐出ヘッド４０の基準位置を基準マークとして形成したアライメントマスク２００を用意して、アライメントマスク２００を部品位置の原型（原版）とし、複製としてのヘッドユニット３０を、このヘッドユニット組立装置１００で組み立てる。すなわち、アライメントマスク２００に形成された基準マークを、上述した認識装置１０４を用いて画像認識し、画像認識した基準マークの位置を基準位置データとして記憶する。この基準位置データ（マスタデータ）に基づいて、同じく認識装置１０４を用いて画像認識した各液滴吐出ヘッド４０の位置の補正が行われる。これにより、ヘッドユニット３０に対する各ヘッドユニット組立装置１００が持つ癖や経時変化等が液滴吐出ヘッド４０の位置精度に影響を及ぼすことを排除することができるようにしている。
【００９９】
アライメントマスク２００は、基準マーク孔５６の基準位置および各液滴吐出ヘッド４０の基準位置をマスクパターン形成したマスタプレート２０１と、マスタプレート２０１を下側から保持するプレートホルダ（図示省略）とで構成されている。マスタプレート２０１は、原型として狂いが生じないように厚手の透明な石英ガラスで構成されている。
【０１００】
マスタプレート２０１の表面には、各液滴吐出ヘッド４０の基準位置を表す各５つのヘッド基準マーク２０４を１組として、これが両側に６組ずつ計１２組形成されている。また、この１２組のヘッド基準マーク２０４の両側には、基準マーク孔５６の基準位置を表す一対のマーク孔基準マーク２０５，２０５が形成されている。各５つのヘッド基準マーク２０４は、液滴吐出ヘッド４０におけるノズル形成面４１ａの中心位置を示すＣ基準マーク２０４Ｃと、２本のノズル列４３の一方のノズル列における両端のノズルの中心位置を示すＡ基準マーク２０４Ａと、もう一方のノズル列における両端のノズルの中心位置を示すＢ基準マーク２０４Ｂとである。
【０１０１】
図５に示したように、ヘッドユニット３０を構成する１２個の液滴吐出ヘッド４０は、右の列の６個と左の列の６個とでは、ノズル列４３の延在方向が同じで、向きがθ方向に１８０度回転している。図１３に示したヘッド基準マーク２０４は、図１３の左側の６個所では、図１３の上側がＡ基準マーク２０４Ａであり、下側がＢ基準マーク２０４Ｂである。図１３の右側６個所では、図１３の上側がＢ基準マーク２０４Ｂであり、下側がＡ基準マーク２０４Ａである。なお、説明の際にわかりやすくするために、Ａ基準マーク２０４ＡとＢ基準マーク２０４Ｂとを区別したが、ヘッド基準マーク２０４は、互いに規定の位置に殆ど誤差なく形成されているため、マスタプレート２０１における５つのヘッド基準マーク２０４において、Ａ基準マーク２０４ＡとＢ基準マーク２０４Ｂとは実質的に同等の位置に形成されている。
【０１０２】
各ヘッド基準マーク２０４は、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されている。したがって、これを認識装置１０４で画像認識（撮像）すると、暗色の円形部分の内部に、明色の十字部分が認識される。同様に、各マーク孔基準マーク２０５も、円形ラインの内部に中抜きの十字を描くと共に、十字を除く円形内に斜線を描いて形成されている。なお、Ｃ基準マーク２０４Ｃは、それぞれ２個所のＡ基準マーク２０４ＡとＢ基準マーク２０４Ｂとから演算可能であるため、省略してもよい。マスタプレート２０１に形成された各パターンは、Ｃｒ等の金属に代表される不透明膜を一面形成し、その膜を半導体技術を用いてパターニングする等して形成される。
【０１０３】
マスタプレート２０１を支持するプレートホルダは、アライメントマスク２００をヘッドユニット組立装置１００の保持テーブル１１０に固定する際に、マスク受部１６１に形成された位置決め構造と協働してアライメントマスク２００を保持テーブル１１０に対して位置決めする位置決め構造（図示省略）を有している。アライメントマスク２００とヘッドユニット３０とは、ヘッドユニット組立装置１００の保持テーブル１１０に交換セットされる。
【０１０４】
（ヘッドユニット組立方法）
次に、ヘッドユニット３０を組み立てるヘッドユニット組立装置１００による組立方法について、図１４を参照して詳細に説明する。図１４は、ヘッドユニット組立装置によるヘッドユニットの組立過程を示すフローチャートである。
【０１０５】
作業の実行に先立ち、保持テーブル１１０にアライメントマスクを導入し、認識装置１０４によりアライメントマスクに形成されたヘッド基準マーク２０４及びマーク孔基準マーク２０５を画像認識する。ヘッドユニット組立装置１００は、画像認識した基準位置データを記憶し、この基準位置データ（マスタデータ）に基づいて各液滴吐出ヘッド４０の位置補正が行われる。なお、アライメントマスクは、新規のヘッドユニット３０の導入組立時はもとより、同一のヘッドユニット３０であっても、その組立個数や稼動時間に基づいて、定期的に導入される。もちろん、その際に基準位置データはリセットされる。
【０１０６】
ヘッドユニット組立装置１００には、液滴吐出ヘッド４０が仮装着されたヘッドユニット３０がセットされる。ヘッドユニット３０は、各液滴吐出ヘッド４０のヘッド本体４０Ａを上向きにして保持テーブル１１０の上面にセットされる。ヘッドユニット３０が保持テーブル１１０の上面にセットされて、ヘッドユニット組立装置１００による液滴吐出ヘッド４０の位置調整であるヘッドユニット３０の組立工程を開始する。
【０１０７】
図１４のステップＳ１では、認識装置１０４によって一対の基準ピン５４，５４の一方の基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を認識することで、基準マーク孔５６の位置を検出する。なお、認識装置１０４のカメラ１４３のレンズ１４４は、基準マーク孔５６や後述するように吐出ノズル４２を精度良く認識するために、高倍率のレンズが用いられる。高倍率のレンズは被写界深度が浅いことから、基準ピン５４の微少な高さばらつきによってもピントが合いにくい場合があるため、カメラ昇降機構１４７によってカメラ１４３及びレンズ１４４をＺ軸方向に移動することで、ピント調整を行う。
【０１０８】
次に、ステップＳ２では、認識装置１０４が一対の基準ピン５４，５４の他方の基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を認識できるようにするために、他方の基準ピン５４が認識装置１０４に臨む位置になるように、Ｘ軸移動機構１０７によって、保持テーブル１１０にセットされているヘッドユニット３０をＸ軸方向に移動させる。
【０１０９】
次に、ステップＳ３では、認識装置１０４が一対の基準ピン５４，５４の他方の基準ピン５４に形成された基準マーク孔５６を認識することで、もう一方の基準マーク孔５６の位置を検出する。
【０１１０】
次に、ステップＳ４では、ステップＳ１で認識した一方の基準マーク孔５６の位置と、ステップＳ３で認識したもう一方の基準マーク孔５６の位置とのＹ軸方向のずれ量が規格を満たすか否かを判定する。図５を参照して説明したように、一対の基準マーク孔５６，５６は、Ｘ軸方向に延在する直線上に配置されている。即ち一方の基準マーク孔５６の位置と、他方の基準マーク孔５６の位置とのＹ軸方向のずれは、ヘッドユニット３０がθ方向に傾いていることにより発生する。
【０１１１】
Ｙ軸方向のずれ量が規格を満たさない場合（ステップＳ４でＮＯ）は、ステップＳ５に進む。ステップＳ５では、ユニット回動機構１０９によって、保持テーブル１１０上のヘッドユニット３０をθ方向に回動させることで、ヘッドユニット３０の方向を調整する。ヘッドユニット３０をθ方向に回動させることで、Ｙ軸方向のずれを是正することができる。ステップＳ５の次にはステップＳ１に進み、ステップＳ１からステップＳ４を繰返す。
【０１１２】
Ｙ軸方向のずれ量が規格を満たす場合（ステップＳ４でＹＥＳ）は、ステップＳ６に進む。ステップＳ６では、予め取得してある基準位置データ上の基準マーク孔５６の位置に認識された基準マーク孔５６の位置が合致するように、Ｘ軸移動機構１０７と、Ｙ軸移動機構１０８と、を用いて、保持テーブル１１０上のヘッドユニット３０をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する。
【０１１３】
次に、ステップＳ７では、認識装置１０４によって液滴吐出ヘッド４０の位置を検出する。液滴吐出ヘッド４０の検出は、液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４２を、認識装置１０４によって認識することで行う。より詳細には、２本のノズル列４３のうちで、予め定められた一方のノズル列４３の両端の吐出ノズル４２を認識する。
【０１１４】
次に、ステップＳ８では、認識した液滴吐出ヘッド４０の位置の、基準位置データ上の液滴吐出ヘッド４０の位置とのずれ量が、規格を満たすか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ７で認識した液滴吐出ヘッド４０の２個所の吐出ノズル４２の位置データと、予め取得してある基準位置データ上の、認識した液滴吐出ヘッド４０の２個所の吐出ノズル４２に対応する２個所のヘッド基準マーク２０４の基準位置データとを比較する。そして、２個所の吐出ノズル４２の位置と２個所のヘッド基準マーク２０４の位置とのずれ量が、規格を満たすか否かを判定する。
【０１１５】
ずれ量が規格を満たさない場合（ステップＳ８でＮＯ）は、ステップＳ９に進む。ステップＳ９では、ヘッド位置調整装置１０２により、液滴吐出ヘッド４０の位置補正を行う。ヘッド位置調整装置１０２と認識装置１０４との位置関係は、認識装置１０４によって液滴吐出ヘッド４０の吐出ノズル４２を認識することができる位置に液滴吐出ヘッド４０が位置する場合には、ヘッド位置調整装置１０２の一対の調整ピン１２１，１２１は、液滴吐出ヘッド４０が固定された副ヘッド保持部材３３に形成された第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂに臨んで位置するような位置関係になっている。この位置で調整ピン上下機構によって一対の調整ピン１２１，１２１を下降させることで第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂに係合させる。
【０１１６】
ピンＸ軸移動機構とピンＹ軸移動機構とによって、Ｘ軸およびＹ軸に平行な方向に第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂに係合させた一対の調整ピン１２１，１２１を移動させること、及び、ピン回動機構によってθ方向に回動させることで、ユニットプレート５１に仮装着された液滴吐出ヘッド４０を微少移動させる。液滴吐出ヘッド４０を微少移動させることで、認識した２個所の吐出ノズル４２を、予め取得してある基準位置データ上の２個所のヘッド基準マーク２０４の位置に移動させる。これにより、液滴吐出ヘッド４０を、予め取得してある基準位置データ上の液滴吐出ヘッド４０の位置に移動させ、当該位置に位置決めする。
【０１１７】
ステップＳ９の次には、一対の調整ピン１２１，１２１が、それぞれ第一調整穴３３ａまたは第二調整穴３３ｂに係合している状態を維持しながらステップＳ７に進み、ステップＳ７およびステップＳ８を繰返す。
【０１１８】
ずれ量が規格を満たす場合（ステップＳ８でＹＥＳ）は、この位置決め完了状態を維持しつつ、ステップＳ１０に進む。位置決め完了状態を維持するためには、一対の調整ピン１２１，１２１が、それぞれ第一調整穴３３ａまたは第二調整穴３３ｂに係合している状態を維持する。ステップＳ１０では、接着固定装置によって、接着剤孔３３ｃに接着剤を注入することによって、接着剤孔３３ｃの内面、及び接着剤孔３３ｃに臨む主ヘッド保持部材３２の面に接着剤を塗布することで、副ヘッド保持部材３３の主ヘッド保持部材３２への接着剤による接着固定を実行する。接着剤注入後、当該接着剤が略硬化するまで、一対の調整ピン１２１，１２１が、それぞれ第一調整穴３３ａまたは第二調整穴３３ｂに係合している状態を維持することで、接着剤が硬化する過程で変形することによる液滴吐出ヘッド４０の新たな位置ずれの発生を抑制する。
【０１１９】
次に、ステップＳ１１では、ヘッドユニット３０の１２個の液滴吐出ヘッド４０の全てについて、位置決め及び接着固定が実行されたか否かを判定する。１２個の液滴吐出ヘッド４０の全てについて、位置決め及び接着固定が実行されていない場合（ステップＳ１１でＮＯ）は、ステップＳ７に進み、位置決め及び接着固定が実行されていない液滴吐出ヘッド４０について、ステップＳ７からステップＳ１１を繰返す。
【０１２０】
１２個の液滴吐出ヘッド４０の全てについて、位置決め及び接着固定が完了していた場合（ステップＳ１１でＹＥＳ）は、ヘッドユニット組立装置１００によるヘッドユニット３０の組立過程を終了する。
【０１２１】
さらに、手作業によって、保持部材ねじ３８を用いて、副ヘッド保持部材３３を、主ヘッド保持部材３２に固定することで、図３を参照して説明したように、液滴吐出ヘッド４０がユニットプレート５１に固定される。
【０１２２】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）カメラ昇降モータ１４８がモータ固定部１４９ａに接触する部分に、流路１７３が形成されている。これにより、カメラ昇降モータ１４８は稼働することで発熱し、その熱は、接触部分を介してモータ固定部１４９ａに伝達するが、流路１７３を流れる周囲の温度と略等しい温度の空気で冷却されることで、支持板固定部１４９ｂの方までカメラ昇降モータ１４８の熱が伝達することを抑制することができる。
【０１２３】
（２）軸支持ブロック１５２がブロック固定部１５３ａに接触する部分に、流路１７８が形成されている。カメラ昇降モータ１４８は稼働することで発熱し、その熱は、出力軸と軸連結器１５１とボールネジ軸１５４と軸支持ブロック１５２とを介してブロック固定部１５３ａに伝達するが、流路１７８を流れる周囲の温度と略等しい温度の空気で冷却されることで、軸支持板固定部１５３ｂの方までカメラ昇降モータ１４８の熱が伝達することを抑制することができる。また、ボールネジ軸１５４の軸支持ブロック１５２との接触部分も冷却されるため、カメラ昇降モータ１４８の熱がボールネジ軸１５４のボールネジの方まで伝達されることも抑制することができる。同様に、ボールネジ軸１５４が軸支持ブロック１５２に対して回動することによって発生する可能性がある摩擦熱も、軸支持板固定部１５３ｂの方やボールネジ軸１５４のボールネジの方まで伝達されることを抑制することができる。
【０１２４】
（３）鏡筒１４４Ａは、第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとからなる鏡筒支持枠１４５に保持されており、当該鏡筒支持枠１４５には、温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の温度に略等しい温度に温度調節された空気が、給気管２６１から一方の流路１９２に流入し、一方の流路１９２と流路１９４ともう一方の流路１９２とを通過して排気管２６２から排出される。これにより、鏡筒支持枠１４５の温度が略一定に保持されることから、鏡筒支持枠１４５の温度変化に起因する変形や位置ずれなどを抑制することができる。鏡筒支持枠１４５の温度変化に起因する変形や位置ずれなどが抑制されることから、鏡筒支持枠１４５に保持された鏡筒１４４Ａに内蔵されたレンズ１４４の姿勢が温度変化によって変化することを抑制することができる。
【０１２５】
（４）第一鏡筒支持枠１４５Ａと第二鏡筒支持枠１４５Ｂとは、支持枠パッキン１９１を介して互いに締結されており、２個所の流路１９２と、１個所の流路１９４とは、支持枠パッキン１９１に形成された孔を介して連通して、１本の流路を形成している。支持枠パッキン１９１を設けることで、流路を流れる空気が外部に漏れ出したり、外部の空気が流路に侵入したりすることを防止することができる。
【０１２６】
（５）カメラ冷却ブロック１４２は、第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとが、互いに締結され固定されることで、カメラ１４３を把持する。当該カメラ冷却ブロック１４２には、温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の温度に略等しい温度に温度調節された空気が、給気管２６１から一方の流路１８２に流入し、一方の流路１８２と流路１８４ともう一方の流路１８２とを通過して排気管２６２から排出される。これにより、カメラ冷却ブロック１４２の温度が略一定に保持されることから、カメラ冷却ブロック１４２によって把持されているカメラ１４３が稼働することで発生する熱を、カメラ冷却ブロック１４２に吸収させることができる。これにより、カメラ１４３が稼働することで発生する熱が、カメラ１４３を支持する鏡筒１４４Ａなどに伝わることで変形してカメラ１４３の位置に誤差が生ずることを抑制することができる。
【０１２７】
（６）第一冷却ブロック１４２Ａと第二冷却ブロック１４２Ｂとは、冷却ブロックパッキン１８１を介して互いに締結されており、２個所の流路１８２と、１個所の流路１８４とは、冷却ブロックパッキン１８１に形成された孔を介して連通して、１本の流路を形成している。冷却ブロックパッキン１８１を設けることで、流路を流れる空気が外部に漏れ出したり、外部の空気が流路に侵入したりすることを防止することができる。
【０１２８】
（７）モータ支持板１４９と、軸支持板１５３と、鏡筒支持枠１４５と、カメラ冷却ブロック１４２とには、温度調節用の媒体である空気を流すための流路が形成されている。当該流路に、温度調節機１６０によってヘッドユニット組立装置１００の周囲の設定温度に略等しい温度に温度調節された空気が流れることで、認識装置１０４の温度を略一定に保つことができる。ヘッドユニット組立装置１００が稼働開始直後であって、ヘッドユニット組立装置１００やその周囲の温度が設定温度に達していない場合や、ヘッドユニット組立装置１００が稼働して発熱している場合であっても、認識装置１０４の温度を略一定に保つことで、温度変化による変形に起因する認識装置１０４の位置ずれを抑制することができる。
【０１２９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記実施形態に限らない。本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１３０】
（変形例１）前記実施形態においては、ヘッドユニット３０における液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１への位置決めを行うヘッドユニット組立装置１００の認識装置１０４を例に説明したが、温度調整装置を設けたり温度調節を実行したりする対象の装置は、認識装置に限らない。温度を一定に保つことを必要とする装置であれば、本発明の温度調整装置を設けたり温度調節方法を実行したりすることで、上述した実施形態と同様の効果が得られる。
【０１３１】
（変形例２）前記実施形態においては、カメラ１４３及びレンズ１４４は、カメラ昇降機構１４７のカメラ昇降モータ１４８と、ボールネジとを用いて昇降していたが、カメラ１４３及びレンズ１４４を昇降させるために用いるのはモータとボールネジとに限らない。例えば、昇降ブロック１５６と、昇降ガイド１５７との間にリニアモータを設け、当該リニアモータによって昇降させるなど、他の構成であってもよい。
【０１３２】
（変形例３）前記実施形態においては、基準マーク孔５６や吐出ノズル４２にピントを合わせるためにカメラ１４３及びレンズ１４４を昇降させていたが、ピントを合わせるためにカメラ１４３及びレンズ１４４を昇降させることは必須ではない。レンズ１４４を保持する鏡筒に合焦装置を設けてもよい。この場合も、本発明による温度調整装置を、当該合焦装置を備える鏡筒に適用することで、当該合焦装置の発熱などによって生ずる温度変化による変形に起因する認識装置の位置ずれを抑制することができる。
【０１３３】
（変形例４）前記実施形態においては、１基のヘッドユニット３０の１２個の液滴吐出ヘッド４０について接着剤を用いる固定が完了した後に、保持部材ねじ３８を用いる副ヘッド保持部材３３の主ヘッド保持部材３２への固定を実行していたが、１２個の液滴吐出ヘッド４０について接着固定完了後に保持部材ねじ３８を用いるねじ固定を実行することは必須ではない。液滴吐出ヘッド４０のそれぞれ一個所毎に、接着固定に続いてねじ固定を実行してもよい。
【０１３４】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０の位置を検出し、位置補正の必要がある場合に一対の調整ピン１２１，１２１を、第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合させていたが、位置補正の必要がある場合にのみ係合させることは必須ではない。液滴吐出ヘッド４０の位置を検出するために吐出ノズル４２を認識する前に一対の調整ピン１２１，１２１を、第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合させてもよい。位置補正が不要の場合であっても、一対の調整ピン１２１，１２１が、第一調整穴３３ａと第二調整穴３３ｂとに係合していることで、接着工程などにおいて、ずれが生ずることを抑制することができる。
【０１３５】
（変形例６）前記実施形態においては、ヘッドユニット組立装置１００による組立工程は、接着剤を用いて接着固定することをもって終了していたが、接着固定完了後、再度液滴吐出ヘッド４０の位置確認を行っても良い。組立（液滴吐出ヘッド４０の位置調整）結果を検証することができることから、ヘッドユニット３０の信頼性が向上する。
【０１３６】
（変形例７）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１上の位置を規定する際などの基準として、基準ピン５４に形成された小孔である基準マーク孔５６を用いていたが、基準が孔であることは必須ではない。認識装置１０４によって明瞭に検出することができるものであればよい。微小経の突起の頂上を基準として用いてもよい。
【０１３７】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０のユニットプレート５１上の位置を規定する際などの基準として、基準ピン５４に形成された小孔である基準マーク孔５６を用いていたが、基準マーク孔５６を基準ピン５４に形成することは必須ではない。ユニットプレート５１に直接基準マーク孔５６を形成してもよい。ユニットプレート５１に直接基準マーク孔５６を形成することで、基準ピン５４の形状誤差の影響を排除して、より正確な位置に基準マーク孔５６を形成することができる。
【０１３８】
（変形例９）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド４０は、副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を介してユニットプレート５１に固定されていたが、副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を介することは必須ではない。主ヘッド保持部材３２を用いない構成や、液滴吐出ヘッド４０に調整ピン１２１が係合する調整穴を形成して副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を用いない構成であってもよい。副ヘッド保持部材３３および主ヘッド保持部材３２を用いることによる液滴吐出ヘッド４０の着脱性の容易さは失われるが、部品点数を減らし、ヘッドユニットを小型化及び軽量化することができる。
【０１３９】
（変形例１０）前記実施形態においては、調整ピン１２１は、位置調整のための力を印加する対象である副ヘッド保持部材３３に形成された穴である第一調整穴３３ａ及び第二調整穴３３ｂと係合していたが、調整ピン１２１と係合する係合部分が穴であることは必須ではない。調整ピン１２１が嵌入できる溝などの凹部であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図。
【図３】（ａ）ユニットプレートに取付けられた液滴吐出ヘッドをノズルプレート側からみた平面図。（ｂ）図３（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図。
【図４】（ａ）基準ピンを基準マーク孔側から見た平面図。（ｂ）基準ピンの側面図。
【図５】ヘッドユニットの外観斜視図。
【図６】ヘッドプレート側から見たキャリッジの外観斜視図。
【図７】ヘッドユニット組立装置の構成を示す模式図。
【図８】認識装置を示す斜視図。
【図９】モータ支持板の概略構成を示す斜視図。
【図１０】軸支持板の概略構成を示す斜視図。
【図１１】鏡筒支持枠の概略構成を示す斜視図。
【図１２】カメラ冷却ブロックの概略構成を示す斜視図。
【図１３】アライメントマスクの概略構成を示す平面図。
【図１４】ヘッドユニット組立装置によるヘッドユニットの組立過程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０１４１】
１…液滴吐出装置、３０…ヘッドユニット、４０…液滴吐出ヘッド、４２…吐出ノズル、４３…ノズル列、５６…基準マーク孔、１００…ヘッドユニット組立装置、１０１…ユニット移動装置、１０２…ヘッド位置調整装置、１０４…認識装置、１４２…カメラ冷却ブロック、１４３…カメラ、１４４…レンズ、１４４Ａ…鏡筒、１４５…鏡筒支持枠、１４７…カメラ昇降機構、１４８…カメラ昇降モータ、１４９…モータ支持板、１５１…軸連結器、１５２…軸支持ブロック、１５３…軸支持板、１５４…ボールネジ軸、１５６…昇降ブロック、１５７…昇降ガイド、１６０…温度調節機、１７３，１７８，１８２，１８４，１９２，１９４…流路、１８１…冷却ブロックパッキン、１８３…締結孔、１８６…締結ねじ孔、１９１…支持枠パッキン、１９３…締結孔、１９６…締結固定ねじ孔、２００…アライメントマスク、２０４…ヘッド基準マーク、２０５…マーク孔基準マーク、２６１…給気管、２６２…排気管。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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