(57)【要約】【課題】この発明の課題は、電極封着部分で発生したクラックによる超高圧放電ランプの破損を防止し、耐破損に対する信頼性が高い長寿命の超高圧放電ランプ、及び、超高圧放電ランプ用電極を提供することにある。【解決手段】一対の電極を対向配置し、放電容器内に０．１５ｍｇ／ｍｍ３以上の水銀を封入し、封止部に埋設された金属箔に該電極の端部が溶接され、該金属箔と、該電極の一部とが、ガラスに封着された超高圧放電ランプにおいて、該電極は、全周に亘ってランプ軸に略軸対象の大径部と、該大径部に連接する縮径部とを持ち、該大径部と該縮径部とが連続した外表面を介して一体的に形成された電極であり、該電極のガラスに封着されている部分の表面は、該電極の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘って凹凸部が形成されていることを特徴とする。【選択図】    図１
2008282554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極が対向配置され、
光透過性材料からなる放電容器内に０．１５ｍｇ／ｍｍ３以上の水銀が封入され、
該放電容器の両端に形成した封止部に埋設された金属箔に該電極の端部が溶接され、該金属箔と、該電極の一部とが、ガラスに封着されたショートアーク型の超高圧放電ランプにおいて、
該電極は、全周に亘ってランプ軸に略軸対象の大径部と、該大径部に連接する縮径部とを持ち、該大径部と該縮径部とが連続した外表面を介して一体的に形成された電極であり、該電極のガラスに封着されている部分の表面は、該電極の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘って凹凸部が形成されていることを特徴とする超高圧放電ランプ用電極。
【請求項２】
前記凹凸部は、該電極の直径Ｄに対して、Ｄ／４を基準長さとし、
該基準長さ毎の円周方向の粗さ曲線の最低谷底から最大山頂までの高さをＲｙ、
該粗さ曲線の山部と谷部の平均高さから求めた平均線と該粗さ曲線とが交差する交点間距離である山谷周期の平均値をＳｍとするとき、
１．５μｍ≦Ｒｙ≦２０．２μｍ    、且つ  ２．７μｍ≦Ｓｍ≦２０．５μｍ
であることを特徴とする請求項１に記載の超高圧放電ランプ用電極。
【請求項３】
請求項１、乃至、請求項２に記載の電極を具備し、該電極軸に沿ったスジ状部の方向が、ランプ軸方向と概ね一致していることを特徴とする超高圧放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は超高圧放電ランプ用の電極、及び、該電極を用いた超高圧放電ランプに関する。特に、プロジェクタ等の光源として広く用いられ、放電空間内部に水銀を封入し、点灯時に非常に高い圧力になる超高圧放電ランプであって、その電極構造に特徴を持つ超高圧放電ランプ用電極、及び該電極を用いた超高圧放電ランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶プロジェクタ等の投射型表示装置が広く利用されるように成ってきた。特に、該投射型表示装置は、昼間でも利用できることや、室内照明を消さずに利用できることが望まれており、該投射型表示装置内に配置される光源自身もより明るく、効率の良いものが望まれるようになってきた。このような光源としては、放電空間内部に水銀を封入し、点灯時に非常に高い圧力になることで、可視光域に連続した強い発光を持つショートアーク型の超高圧放電ランプが広く用いられている。
【０００３】
このような超高圧放電ランプには、直流点灯型と交流点灯型とが存在しており、直流点灯型の陰極や、交流点灯型の電極として、タングステン材料からなる棒状体の先端にコイル状部材を挿入し、該先端を放電等により溶融した溶融電極が広く用いられていた。しかしながら、該溶融電極では、製造時に該先端部分を溶融する場合、安定した形状を作製するのが難く、該電極を切削加工により提供することが提案され、一部では実施されている。このような超高圧放電ランプと該超高圧放電ランプ用電極としては、例えば、特許３６２３１３７号公報に記載されている。
【０００４】
本明細書では、図７として、従来の超高圧放電ランプと、該超高圧放電ランプに配置される電極について示す。図７は、従来の超高圧放電ランプ５１の構成を示す概略断面図である。該超高圧放電ランプ５１は、石英ガラスから成る放電容器５２と、該放電容器５２内に先端が対向するように配置された一対の電極５３と、該電極５３に溶接された金属箔５４と、該金属箔５４の他端に溶接された外部リード棒５５と、を具備している。また、該電極５３の一部、該金属箔５４、該外部リード棒５５の一部、をガラスに密着させて形成される封止部５６が設けられている。該電極５３は、タングステン材料から形成され、切削加工によって、外径の大きな該電極５３の先端部５３ａと、該先端部５３ａに続く外径の細い軸部５３ｂとが形成されている。また、該軸部５３ｂは、該放電容器５２内に突出する突出部５３ｄと該封止部５６のガラス材に取り巻く様に埋設された埋め込み部５３ｃとに分けられる。
【０００５】
該電極５３を切削加工する場合、従来の加工方法では、ＮＣ旋盤等を用いて、棒状のタングステン材からなる電極材料の一端を保持し、回転させながら切削用チップを該電極材料の外周表面に押し当て、該切削用チップを軸方向に移動させて切削していた。このように加工された該電極には、電極軸方向に略直交する微小な凹凸（切削痕）が該電極表面全体に亘って形成されている。
【０００６】
ところで、従前から該超高圧放電ランプは、該電極がガラスと密着形成される封止部において、クラックが発生し、場合によっては、該超高圧放電ランプ自身が破損に至るといった問題があった。この現象は、該電極と該ガラスとの密着している面積が大きいほど顕著に現れる。これは、該超高圧放電ランプが点灯点滅を繰り返す場合に、該電極の膨張収縮と密着するガラスの膨張収縮との間に熱膨張率の差が生じ、該ガラスに応力が発生することに起因すると考えられる。このようなクラックに対する対策としては、例えば、特開平１１−１７６３８５号公報等が知られている。該公報によれば、電極がガラスと密着形成される封止部にコイル状部材を介在させ、該電極とガラスとの密着した面積を小さくし、ガラスとの界面に発生する応力を緩和することでクラックの発生を防止する、といった技術が記載されている。しかし、最近の該超高圧放電ランプ自身の高出力化に伴って、ランプ全体がより高温に曝されるようになり、クラックの問題は従前の技術のみでは十分に解決されず、該超高圧放電ランプとして信頼性が取れないといった問題が発生した。また、市場からの要求に伴い、より高発光効率のランプとして、更なる高圧力仕様へとランプの開発が進む中、いままで考慮する必要の無かった微細なクラックまで、破損を引き起こす要因として、問題になってきた。また、耐破損に対する信頼性が不十分なため、長寿命の超高圧放電ランプを提供することができない、といった問題も生じた。
【特許文献１】特許第３６２３１３７号
【特許文献２】特開平１１−１７６３８５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような事情に鑑み、この発明が解決しようとする課題は、該電極の封着（埋め込み）部分で発生するクラックに起因する該超高圧放電ランプの破損を防止した該超高圧放電ランプ用電極を提供することにある。また、該電極を具備することにより、耐破損に対する信頼性が高い長寿命の超高圧放電ランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の超高圧放電ランプ用電極は、一対の電極が対向配置され、光透過性材料からなる放電容器内に０．１５ｍｇ／ｍｍ３以上の水銀が封入され、該放電容器の両端に形成した封止部に埋設された金属箔に該電極の端部が溶接され、該金属箔と、該電極の一部とが、ガラスに封着されたショートアーク型の超高圧放電ランプにおいて、該電極は、全周に亘ってランプ軸に略軸対象の大径部と、該大径部に連接する縮径部とを持ち、該大径部と該縮径部とが連続した外表面を介して一体的に形成された電極であり、該電極のガラスに封着されている部分の表面は、該電極の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘って凹凸部が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
更には、前記凹凸部は、該電極の直径Ｄに対して、Ｄ／４を基準長さとし、該基準長さ毎の周方向の粗さ曲線の最低谷底から最大山頂までの高さをＲｙ、該粗さ曲線の山部と谷部の平均高さから求めた平均線と該粗さ曲線とが交差する交点間距離である山谷周期の平均値をＳｍとするとき、１．５μｍ≦Ｒｙ≦２０．２μｍ、且つ２．７μｍ≦Ｓｍ≦２０．５μｍであることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の超高圧放電ランプは、前記の超高圧放電ランプ用電極を具備し、該電極軸に沿ったスジ状部の方向が、ランプ軸方向と概ね一致していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明請求項１に記載の超高圧放電ランプ用電極によれば、該電極の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘って凹凸部が形成されているので、該電極を用いて超高圧放電ランプを作製する場合、例えば、シール加工時の熱による膨張収縮で該電極に接触するガラス材に微細なクラックが生じるのを抑制でき、封止部にガラス材で取り巻く様に埋設された該電極の埋め込み部に発生するクラックに起因したランプの破損を防止することができる。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明によれば、該凹凸の円周方向に対する大きさが、１．５μｍ≦Ｒｙ≦２０．２μｍ、且つ２．７μｍ≦Ｓｍ≦２０．５μｍの範囲で規定されているので、該電極の表面におけるガラスとの密着度合いが適度に緩和され、クラックの発生を確実に防止できる。更には、該電極を組み込んだ該超高圧放電ランプにおいて、ガラスと該電極との間に大きな隙間が形成されることが無いので、該隙間に水銀が入り込み、点灯直後の急激な圧力上昇を局所的に引き起こし、該超高圧放電ランプが破損に至るといった不具合が解消できる。
【００１３】
更に、請求項３に記載の発明によれば、該電極軸に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘って形成された凹凸部と、該超高圧放電ランプのランプ軸方向とが概ね一致しているので、点灯点滅が繰り返されることにより熱的な膨張収縮が発生しても、該電極の埋め込み部分に発生するクラックにより該超高圧放電ランプが短時間で破損することを防止することができる。結果として、耐破損に対する信頼性の高い超高圧放電ランプを提供できる、といった利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の超高圧放電ランプ用電極は、超高圧放電ランプの封止部に、少なくとも該電極の一端がガラスに埋め込まれ、該ガラスと接触する部分に該電極の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘る凹凸部が形成されているので、製造時のシール工程や、点灯点滅の繰り返しによる、熱膨張、または収縮が発生しても、該電極の埋め込み部分におけるクラックの発生が抑制され、該クラックに起因する該超高圧放電ランプの破損の発生を抑制できる、というものである。
【実施例１】
【００１５】
本発明の第１の実施例を図１に基づいて説明する。図１は、本発明の超高圧放電ランプの全体を示した概略断面図である。該超高圧放電ランプ１は、例えば石英ガラスから成る光透過性の放電容器２内に、対向配置された一対の電極３が具備され、該電極３の一方の端部３ａには、Ｍｏから成る金属箔４が溶接され、該金属箔４の他端には外部リード棒５が溶接されている。該放電容器２内には、水銀と、希ガスと、微量のハロゲンが封入されている。本実施例では、該放電容器２の最大外径はφ１０ｍｍ、内容積が６５ｍｍ３、電極間距離１．０ｍｍ、点灯時の入力２３０ＷのＡＣ点灯型のランプである。また、封入された水銀は０．１５ｍｇ／ｍｍ３であり、希ガスとしては、アルゴンガスを封入している。該電極３は、ランプ軸に対して略軸対象の大径部に当たる先端部３ｄと、該先端部３ｄに連接する縮径部である軸部３ｂとを持ち、該先端部３ｄと該軸部３ｂとが連接した外表面３ｆを介して一体的に形成されている。軸部３ｂの径はφ０．４ｍｍ、材料としては、高純度（５Ｎ品）の純タングステン材を使用している。該電極３の軸部３ｂが該放電容器２のガラス材と接触する接触部３ｃの表面には該電極３の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周には微細な凹凸が全周に亘って形成されている。
【００１６】
該電極３は、例えば、φ１．４ｍｍの純タングステン棒材をＮＣ旋盤等で切削加工後に全体を化学薬品によりエッチングしたものであり、全長７ｍｍ、軸部３ｂの径はφ０．４ｍｍ、先端部３ｄの径はφ１．２ｍｍ、先端部３ｄの端部には、突起部３ｅが設けられている。該電極３は一般的に、棒状のタングステン材からなる電極材料の一端を保持し、長手方向に伸びる電極軸を中心として回転させながら、該電極の外周面に切削用チップを押し当て、該切削用チップを移動させることにより、切削加工を行っている。該切削加工後には、電極軸方向に略直交する微小な凹凸状の切削痕が該電極表面全体に亘って形成される。この切削痕を化学薬品により、十分エッチング処理することで、微小な凹凸状の切削痕が消え、棒状のタングステン材からなる電極材料が本来持っている軸方向に延びる一次再結晶粒の形状が現れる。この一次再結晶粒の形状が、該電極３の軸方向に沿ったスジ状部であって、該軸方向に直交する断面円周全体に亘って、微細な凹凸を形成する。
【００１７】
図２には、該電極の切削加工後の表面状態と、切削加工後にエッチング処理を行った場合の表面状態との比較を行ったＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）写真を示す。これらのＳＥＭ写真は、該写真の横方向を電極軸方向とし、該電極の表面部分を拡大したものである。図２−ａ）では、該電極軸方向に直交する方向に旋盤で切削加工した切削痕が形成されており、該電極の軸方向に沿った表面に細かい凹凸を形成している。図２−ｂ）は、該電極の切削加工後、エッチング処理を行った場合のＳＥＭ写真であって、図２−ａ）と同様に該写真の横方向を電極軸方向とし、該電極の表面部分を拡大したものである。エッチング処理後の該電極には、該電極軸方向に直交する方向に形成されていた切削痕は消滅し、該電極軸方向に沿った微細なスジ状の模様が全体に亘って見られる。この微細なスジ状の模様は、棒状のタングステン材からなる電極材料が本来持っている軸方向に延びる一次再結晶粒の形状が現れたものである。この一次再結晶粒の形状は、該電極の軸方向に沿ったスジ状の形状であって、該電極軸方向に直交する断面円周全体に亘って、微細な凹凸を形成している。
【００１８】
本実施例によれば、該電極３の軸部３ｂが該放電容器２のガラス材と接触する接触部３ｃの表面に、該電極３の軸方向に沿った微細な凹凸が断面円周全体に亘って形成されているので、ランプ製造時に該放電容器２を構成するガラス材側にクラックが発生するのを抑制することができる。このクラックを抑制する機構は、次のように考えられる。該超高圧放電ランプのシール工程中に、軟化したガラスが該電極３の表面に接触する。この時、該電極３の表面に該電極軸方向に直交する方向の切削痕が存在すれば、ガラス側に該切削痕に対応したレプリカを形成した状態で、該電極とガラスが接着される。その後、シール完了後の冷却時にガラスとタングステンの熱膨張差により、一度接着されたガラスが、その表面から引き剥がされる。この時、熱収縮による移動量の多い電極側に形成された切削痕である細かい凹凸が、ガラス側に形成されたレプリカの細かい凹凸が引っ掛かりとなって、クラックを生じさせる。しかしながら、本発明では、該電極３の軸方向に沿った微小な凹凸が断面円周全体に亘って形成されているので、シール時にガラスと該電極３とが密着することにより出来るガラス側のレプリカの形状は、該電極の熱膨張が大きい該電極軸に沿ったスジ状の形状になる。また、シール完了後に熱膨張差でガラスに比べて該電極３が軸方向に大きく移動しても、該電極３の軸方向に沿った微細な凹凸が全周に亘って形成されているので、ガラス側にレプリカとして形成された凹凸に該電極３が押し当たり、引っ掛かりとなって、クラックを生じることがない。
【００１９】
次に、図３として、該電極に形成された、該電極の軸方向に沿ったスジ状の形状であって、該電極軸方向に直交する断面円周全体に亘る、微細な凹凸について評価する指標について示す。この指標は、日本工業規格（ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９９４）の規定を援用したものである。図３−ａ）には、該電極を電極軸方向に対して直交する方向に切断した断面を示している。また、図３−ｂ）には、該断面の一部を拡大した模式図として、微細な凹凸を示す粗さ曲線を示している。図３−ａ）において、該電極の直径をＤとし、該直径Ｄの１／４の長さに相当する円周方向の長さを基準長さＬとして規定する。該電極の円周部分を該基準長さＬだけ切り出して拡大したものが、図３−ｂ）に示す粗さ曲線である。この粗さ曲線は、該基準長さＬの範囲で該微細な凹凸の形状を示した曲線であり、該粗さ曲線の中で最も突出した山部から最も陥没した谷部までの高さ方向の距離（該電極断面の径方向の距離）を最大高さＲｙと定める。
次に、基準長さＬの範囲における該粗さ曲線の山部と谷部の平均高さから求めた平均線と、該平均線と該粗さ曲線との交差する交点とで規定される山谷の周期間隔の平均値をＳｍとする。該電極の軸方向に沿ったスジ状の形状であって、該電極軸方向に直交する断面円周全体に亘る、微細な凹凸について、基準長さＬ、山谷の最大高さＲｙ、山谷の周期間隔の平均値Ｓｍを用いて評価を行った。
【００２０】
図４には、上述の山谷の最大高さＲｙ（μｍ）、山谷の周期間隔の平均値Ｓｍ（μｍ）の値を種々変えた該超高圧放電ランプ用電極を該超高圧放電ランプに組み込み、点灯試験した結果を表にしたものである。ここで用いた該超高圧放電ランプの仕様は、ＡＣ点灯型のランプであって、点灯電圧３５０Ｗ、放電容器内には３５０ｍｇ／ｃｃの水銀を封入している。また、該超高圧放電ランプ用電極の軸部の径はφ０．６ｍｍとし、比較的電極軸断面円周距離が長く、該電極がガラスと接する埋め込み部が大きいサンプルを用いた。このＲｙとＳｍの値と、放電ランプの破損発生率との関係を図４−ａ）に示す。
【００２１】
図４−ａ）では、Ｒｙの値を０．３から５０．２まで徐々に増加させたサンプルをサンプル１からサンプル２１までの２１種、作製した。この各サンプルのＳｍの値も測定した。ここで、サンプル３、４、６、１３〜１７については、ランプ点灯後でも、破損発生率が０％であり、判定としてはＯＫ品（図中の○印）とした。その他のサンプルでは、ランプが破損する場合があり、判定としてはＮＧ品（図中の×印）とした。尚、破損発生率（％）は、同一条件のランプを５０本〜６０本作製し、点灯試験により破損の有無を確認した。
【００２２】
該図４−ａ）に示したデータをグラフ化したのが図４−ｃ）である。図４−ｃ）は、縦軸にＳｍ（μｍ）、横軸にＲｙ（μｍ）を取り、各サンプルにおけるＲｙ、Ｓｍの値をプロットしたものである。該図４−ｃ）では、図４−ａ）における各サンプルの内、破損発生率が０％のサンプル（サンプル３、４、６、１３〜１７）はＯＫ品として○印でプロットしている。更には、後述する図４−ｂ）に示した該超高圧放電ランプは、破損発生率が０％のサンプルであり、図４−ｃ）中にはＯＫ品として▲印でプロットした。また、図４−ａ）に示すその他のサンプルは、破損する場合があったランプであり、図４−ｃ）中にはＮＧ品として×印でプロットした。同図内に破線で囲み示したように、１．５μｍ≦Ｒｙ≦２０．２μｍ、且つ２．７μｍ≦Ｓｍ≦２０．５μｍの範囲であれば、破損発生率が０％であった。
【００２３】
次に、図４−ｂ）として、該超高圧放電ランプの仕様を変えた場合の点灯試験についての結果を示す。サンプルａからサンプルｄは、入力電力１００Ｗ、該電極の芯線径φ０．３ｍｍ、放電容器への封入水銀量２５０ｍｇ／ｃｃのランプである。同様に、サンプルｅ、サンプルｆは、入力電力２３０Ｗ、該電極の芯線径φ０．４ｍｍ（サンプルｅ）、及びφ０．５ｍｍ（サンプルｆ）、放電容器への封入水銀量３００ｍｇ／ｃｃである。サンプルｇは、入力電力３００Ｗ、該電極の芯線径φ０．５ｍｍ、放電容器への封入水銀量３２０ｍｇ／ｃｃである。また、サンプルｈは、入力電力４００Ｗ、該電極の芯線径φ０．６ｍｍ、放電容器への封入水銀量２８０ｍｇ／ｃｃである。  また、サンプルｉ、サンプルｊは、入力電力５００Ｗ、該電極の芯線径φ０．７ｍｍ、放電容器への封入水銀量２５０ｍｇ／ｃｃ（サンプルｉ）、及び、３００ｍｇ／ｃｃ（サンプルｊ）である。これらの仕様を変えた超高圧放電ランプにおいても、該電極芯線のＲｙ、Ｓｍの値が一定の範囲内であれば、点灯試験において破損に至ることが無かった。このデータは、図４−ｃ）のグラフ中に黒塗りの三角印で記載している（ＯＫ品）。このように、仕様を変えた該超高圧放電ランプであっても、図４−ｃ）内に破線で囲み示したように、１．５μｍ≦Ｒｙ≦２０．２μｍ、且つ２．７μｍ≦Ｓｍ≦２０．５μｍの範囲であれば、破損発生率が０％であった。
【００２４】
尚、図４で示したＳｍ、Ｒｙの測定は、具体的には、図５に示す説明図に記載した等分線の部分を測定して行った。該超高圧放電ランプ１のガラス埋め込み部１０であって、放電空間側の箔部端部１１と、該ガラス埋め込み部１０の放電空間側端部１２との間を軸方向の距離で４等分した仮想線である等分線Ａ、Ｂ、Ｃについて該電極１３の全周に亘り、分解能０．０１μｍのレーザー変移計で測定した。
【００２５】
図６には、該電極のその他の実施例を示す。実施例１では、ＡＣ点灯ランプにおける電極の一例について示したが、本実施例では、ＤＣ点灯ランプの陰極や陽極について示す。ＤＣランプにおいても、ＡＣランプの場合と同様に、該陰極、該陽極のリード部でガラスと接触する部分に、電極軸方向に沿ったスジ状の微細な凹凸を設けることにより、破損に対して同様の効果を持つ。
【００２６】
図６−ａ）に示すのは、ＤＣ点灯ランプの陰極形状を現す概略図である。該陰極先端には径の太い大径部２１が設けられ、該大径部２１に続くリード棒部２２が設けられ、該大径部２１と該リード棒部２２とは、一本の棒状部材から切削加工により作製されている。また、該大径部２１には、コイル２３が巻回されている。該陰極２０の全体をエッチング処理することにより、該陰極２０全体に該陰極２０の軸方向にスジ状の微細な凹凸２４が形成されている。
【００２７】
図６−ｂ）には、ＤＣ点灯ランプの陽極２５の形状を示している。該陽極２５も、一本の棒状部材から切削加工により削り出されたものであり、先端側の大径部２６と、該大径部２６に続くリード棒部２７から成っている。該陽極２５においては、該大径部２６が十分な熱容量を持っていることが必要であり、ＤＣ点灯用陰極に比べて、更に大きくなっている。該陽極２５を該陰極の場合と同様に、全体をエッチング処理することにより、該陽極２５全体に該陽極２５の軸方向に沿ったスジ状の微細な凹凸２８が形成される。
【００２８】
図６−ｃ）は、ＤＣ点灯用の陽極２９である。図６−ｂ）の場合と同様に、一本の棒状部材から切削加工により切り出されたものである。しかし、エッチングする範囲は、シール加工後にガラス３０と接触するリード棒部３１の端部３２近傍のみである。該端部３２には、エッチング処理により、該陽極２９の軸方向に沿ったスジ状の微細な凹凸３３が形成されている。
【００２９】
尚、本実施例においては、該電極の軸方向に沿ったスジ状の微細な凹凸を作製する手段として、エッチングを用いることを示したが、その他の方法であっても良い。例えば、電解研磨やレーザー加工、更には高精度フライス盤によるフライス加工等により加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の超高圧放電ランプの構成を表す概略図。
【図２】本発明の超高圧放電ランプ用電極の表面状態を表すＳＥＭ写真。
【図３】本発明の超高圧放電ランプ用電極の表面状態を評価するための模式図。
【図４】本発明の超高圧放電ランプ用電極を具備したランプの破壊発生率を示す表。
【図５】本発明の超高圧放電ランプ用電極の表面状態の測定箇所を示す説明図。
【図６】本発明の超高圧放電ランプ用電極のその他の形態を示す概略図。
【図７】従来の超高圧放電ランプの構成を表す概略図。
【符号の説明】
【００３１】
１      超高圧放電ランプ
２      放電容器
３      電極
３ａ    端部
３ｂ    軸部
３ｃ    接触部
３ｄ    先端部
３ｅ    突起部
３ｆ    外表面
４      金属箔
５      外部リード棒
１０    ガラス埋め込み部
１１    箔部端部
１２    放電空間側端部
１３    電極
２０    陰極
２１    大径部
２２    リード棒部
２３    コイル
２４    凹凸
２５    陽極
２６    大径部
２７    リード棒部
２８    凹凸
２９    陽極
３０    ガラス
３１    リード棒部
３２    端部
３３    凹凸
５１    超高圧放電ランプ
５２    放電容器
５３    電極
５３ａ  先端部
５３ｂ  軸部  
５３ｃ  埋め込み部  
５３ｄ  突出部  
【図１】
2008282554.tif 000003
【図２】
2008282554.tif 000004
【図３】
2008282554.tif 000005
【図４】
2008282554.tif 000006
【図５】
2008282554.tif 000007
【図６】
2008282554.tif 000008
【図７】
2008282554.tif 000009