(57)【要約】【課題】剥離を容易に行うことができるように基板にマスキングテープを貼付する。【解決手段】貼付装置は、塗布液が塗布される基板上の非塗布領域にマスキングテープを貼付する。具体的には、切断手段は、マスキングテープを先細形状となるように切断する。接着手段は、マスキングテープの接着面を基板に接着させる。このように、マスキングテープを剥離する際における剥がし初めの部分を先細形状となるようにマスキングテープを切断することによって、マスキングテープの剥離が容易になる。【選択図】図６Ａ
2008126115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液が塗布される基板上にマスキングテープを貼付する貼付方法であって、
前記マスキングテープを先細形状となるように切断する切断工程と、
先細形状に切断された前記マスキングテープを前記基板に接着させる接着工程とを備える、貼付方法。
【請求項２】
前記切断工程においては、前記マスキングテープの幅方向に対して斜めに一直線に当該マスキングテープを切断する、請求項１に記載の貼付方法。
【請求項３】
前記接着工程においては、前記切断工程による切断部分が、前記塗布液が塗布されない位置となるように前記マスキングテープを前記基板に接着させる、請求項１に記載の貼付方法。
【請求項４】
塗布液が塗布される基板上にマスキングテープを貼付する貼付装置であって、
前記マスキングテープを先細形状となるように切断する切断手段と、
前記切断手段によって先細形状に切断された前記マスキングテープを前記基板に接着させる接着手段とを備える、貼付装置。
【請求項５】
前記切断手段は、前記マスキングテープの幅方向に対して斜めに一直線に当該マスキングテープを切断する切断刃を有する、請求項４に記載の貼付装置。
【請求項６】
前記接着手段は、前記切断手段による切断部分が、前記塗布液が塗布されない位置となるように前記マスキングテープを前記基板に接着させる、請求項４に記載の貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスキングテープの貼付方法および貼付装置に関し、より特定的には、基板に塗布される塗布物をマスクするために用いられるマスキングテープの貼付方法および貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板に塗布液を塗布する処理工程において、塗布が不要な基板の領域（非塗布領域）に塗布液が付着しないようにマスキングテープを用いることがある。例えば、特許文献１には、ガラス等の基板の表面に有機ＥＬ層を形成するための塗布液を塗布する際に、非塗布領域にマスキングテープを貼付し、非塗布領域に塗布液が塗布されないようにする構成が記載されている。
【特許文献１】特開２００６−２１６４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
マスキングテープは剥離することが前提で貼付されるものであるので、剥離が容易になるようにマスキングテープを貼付することが望ましい。
【０００４】
それ故、本発明の目的は、剥離を容易に行うことができるように基板にマスキングテープを貼付することができるマスキングテープの貼付方法および貼付装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明は、塗布液が塗布される基板上にマスキングテープを貼付する貼付方法である。本塗布方法は、切断工程と、接着工程とを備えている。切断工程においては、マスキングテープを先細形状となるように切断する。接着工程においては、マスキングテープを基板に接着させる。
【０００６】
また、第２の発明においては、切断工程において、マスキングテープの幅方向に対して斜めに一直線に当該マスキングテープを切断するようにしてもよい。
【０００７】
また、第３の発明においては、接着工程において、切断工程による切断部分が、塗布液が塗布されない位置となるようにマスキングテープを基板に接着させてもよい。
【０００８】
また、第４の発明は、塗布液が塗布される基板上にマスキングテープを貼付する貼付装置である。貼付装置は、切断手段と、接着手段とを備えている。切断手段は、マスキングテープを先細形状となるように切断する。接着手段は、切断手段によって切断されたマスキングテープを基板に接着させる。
【０００９】
また、第５の発明においては、切断手段は、マスキングテープの幅方向に対して斜めに一直線に当該マスキングテープを切断する切断刃を有していてもよい。
【００１０】
また、第６の発明においては、接着手段は、切断手段による切断部分が、塗布液が塗布されない位置となるようにマスキングテープを基板に接着させてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
第１および第４の発明によれば、マスキングテープを剥離する際における剥がし初めの部分を先細形状となるようにマスキングテープを切断することによって、マスキングテープの剥離が容易になる。
【００１２】
また、第２および第５の発明によれば、マスキングテープを切断するための切断刃の形状を簡易にすることができ、マスキングテープを貼付するための構成を簡易化することができる。
【００１３】
また、第３および第６の発明によれば、先細形状となっているマスキングテープの切断部分には、塗布液が塗布されない。つまり、塗布液をマスクする用途としては上記切断部分を用いないようにすることによって、非塗布領域に塗布液が塗布されることを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１Ａ〜図１Ｃは、本発明の一実施形態に係るマスキングテープの貼付装置を示す図である。図１Ａは貼付装置の上面図であり、図１Ｂは貼付装置の側面図であり、図１Ｃは貼付装置の正面図である。図１Ａ〜図１Ｃに示す貼付装置は、塗布液を塗布する前の基板にマスキングテープを貼り付けるとともに、塗布後の基板からマスキングテープを剥離するものである。なお、本実施形態では、マスキングテープを剥離する剥離装置と貼付装置とが一体として構成される例を説明するが、他の実施形態では、貼付装置は剥離装置と別体として構成されてもよい。
【００１５】
貼付装置は、テーブル１、テーブル移動機構２、第１レール３、貼付ユニット４、剥離ユニット５、ユニット移動機構６、第２レール７、および支持部材８を備える。マスキングテープの貼付および剥離を行う対象となる基板は、テーブル１の上面（載置面）に載置される。テーブル１の載置面はＸＹ平面と平行である。テーブル１は、その下面がテーブル移動機構２の上部に固着される。テーブル移動機構２は、Ｘ軸方向に延びる第１レール３上に設置され、第１レール３に沿って滑動可能である。これによって、テーブル移動機構２は、テーブル１をＸ軸方向に平行移動させることができる。また、テーブル移動機構２は、テーブル１の中心であるＺ軸を中心に回転可能であり、Ｚ軸を中心にテーブル１を回転させることができる。
【００１６】
一方、支持部材８は、テーブル１の移動可能領域の上方で２本の第２レール７を支持する。各第２レール７は、Ｙ軸方向に延びる向きに支持される。支持部材８および２本の第２レール７からなる組は２組設けられる。ユニット移動機構６は、第２レール７に沿って滑動可能なように４本（２組）の第２レール７に接続される。これによって、ユニット移動機構６はＹ軸方向に平行移動することが可能である。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、ユニット移動機構６に固着される。図１Ａ〜図１Ｃでは、ユニット移動機構６に対してＹ軸負方向側に貼付ユニット４が固着され、ユニット移動機構６に対してＹ軸正方向側に剥離ユニット５が固着される。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、それらの下面がテーブル１の上面よりも高い位置（Ｚ軸に関して正方向の位置）に配置される。以上によって、ユニット移動機構６は、テーブル１の移動可能領域の上方において貼付ユニット４および剥離ユニット５をＹ軸方向に移動させることが可能である。
【００１７】
図２Ａは、貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図で、図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。図２Ａに示すように、貼付ユニット４は、筐体１０、供給リール１１、回収リール１２、ガイドローラ１３〜１５、可動ローラ１６、調整ローラ１７、テープ分離部材１８、エアシリンダ１９、可動部材２０、および切断部２１を備える。貼付ユニット４は、基板にマスキングテープ２４を貼付するものである。
【００１８】
図２Ａに示す筐体１０の内部において、供給リール１１、回収リール１２、各ガイドローラ１３〜１５、および調整ローラ１７は、筐体１０によってその回転軸が支持される。マスキングテープ２４は、供給リール１１に巻き付けられて収納されている。なお、本実施形態では、供給リール１１は、マスキングテープ２４をベーステープ２５に貼り付けて１本のテープとした状態で収納している。つまり、供給リール１１に巻き付けられているテープは、マスキングテープ２４とベーステープ２５との２層からなる構成である。供給リール１１に巻き付けられているテープは、ガイドローラ１３〜１５、テープ分離部材１８の先端部分、および調整ローラ１７を順に通って回収リール１２に巻き付けられる。
【００１９】
図２Ａにおいて、テープ分離部材１８は、筐体１０の下面に形成された開口部２６付近に配置される。切断部２１は、マスキングテープ２４を切断するための切断刃２２を有しており、ガイドローラ１５とテープ分離部材１８の先端部分との間に配置される。
【００２０】
図２Ｂは、マスキングテープ２４と切断刃２２との位置関係を示す図である。図２Ｂは、マスキングテープ２４の上方から切断刃２２およびマスキングテープ２４をみた図である。図２Ｂに示されるように、切断刃２２は、マスキングテープ２４の幅方向に対して斜めに配置される。換言すれば、切断刃２２は、マスキングテープの長手方向（マスキングテープ２４の送り方向）から所定角度だけ角度を付けて配置される。本実施形態では、切断刃２２は、所定角度θが４５°となるように配置される。角度θは、切断刃２２の刃面とマスキングテープ２４の長手方向とのなす角度のうち鋭角となる方の角度である。これによって、マスキングテープ２４の幅方向に対して角度を付けてマスキングテープ２４を切断することができる。
【００２１】
図２Ａの説明に戻り、可動ローラ１６は、テープ分離部材１８の先端部分近傍に配置される。可動部材２０は、その一端で可動ローラ１６の回転軸を支持する。可動部材２０の他端は、伸縮動作を行うエアシリンダ１９に接続される。可動部材２０の支点２３は筐体１０に固定されており、可動部材２０は支点２３を中心に回転可能に支持される。これらのエアシリンダ１９および可動部材２０によって、エアシリンダ１９の伸縮動作に応じて可動ローラ１６を上下方向に移動させる（正確には、支点２３を中心とした円弧上を移動させる）ことができる（図２Ａに示す矢印参照。）。なお、可動ローラ１６は、筐体１０の下面よりも下方に突出した位置まで移動することが可能である。詳細は後述するが、可動ローラ１６は、マスキングテープ２４を基板に接着させるために用いられる。すなわち、本実施形態においては、可動ローラ１６が請求項に記載の接着手段に相当する。
【００２２】
図３は、剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図で、貼付ユニット４と同様に図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。図３に示すように、剥離ユニット５は、筐体３０、供給リール３１、回収リール３２、ガイドローラ３３〜３５、調整ローラ３６、可動ローラ３７、エアシリンダ３８、および可動部材３９を備える。剥離ユニット５は、基板に貼付されたマスキングテープを剥離するものである。
【００２３】
図３に示す筐体３０の内部において、回収リール３２、供給リール３１、各ガイドローラ３３〜３５、および調整ローラ３６は、筐体３０によってその回転軸が支持される。剥離テープ４１は、供給リール３１に巻き付けられて収納されている。剥離テープ４１は、基板に貼り付けられたマスキングテープ２４にその粘着面を接着することによってマスキングテープ２４を基板から剥離するために用いられる。なお、マスキングテープ２４を完全に覆うことができるように、剥離テープ４１の幅はマスキングテープ２４の幅よりも広い。また、剥離テープ４１は、上述したマスキングテープ２４とは異なり、他のテープに貼り付けられていない１層の構成である。剥離テープ４１は、ガイドローラ３３および３４、可動ローラ３７、ガイドローラ３５、および調整ローラ３６を順に通って回収リール３２に巻き付けられる。
【００２４】
また、可動ローラ３７は、筐体３０の下面に形成された開口部４２付近に配置される。剥離テープ４１は、可動ローラ３７によって、粘着面がマスキングテープの方向を向くように案内される。可動部材３９は、その一端で可動ローラ３７の回転軸を支持する。可動部材３９の他端は、伸縮動作を行うエアシリンダ３８に接続される。可動部材３９の支点４０は筐体３０に固定されており、可動部材３９は支点４０を中心に回転可能に支持される。これらのエアシリンダ３８および可動部材３９によって、エアシリンダ３８の伸縮動作に応じて可動ローラ３７を上下方向に移動させる（正確には、支点４０を中心とした円弧上を移動させる）ことができる（図３に示す矢印参照。）。なお、可動ローラ３７は、筐体３０の下面よりも下方に突出した位置まで移動することが可能である。
【００２５】
なお、図３においては、供給リール３１から回収リール３２までの全区間で剥離テープ４１が張設されていると、可動ローラ３７が上下方向に移動することによって、剥離テープ４１に余計な力が加えられたり剥離テープ４１がたるんだりすることがある。そこで、他の実施形態では、剥離ユニット５は、供給リール３１から供給された剥離テープ４１（供給リール３１および回収リール３２に巻き取られていない部分の剥離テープ４１）の長さを調節する機構をさらに備えていてもよい。具体的には、ガイドローラ３３〜３５または調整ローラ３６を、剥離テープ４１に加えられる張力に応じて（換言すれば、可動ローラ３７の移動に応じて）移動するようにしてもよい。これによって、供給リール３１および回収リール３２に巻き取られていない部分の剥離テープ４１の長さを一定とすることができ、剥離テープ４１に余計な力が加えられたり剥離テープ４１がたるんだりすることを防止することができる。
【００２６】
次に、以上のように構成される貼付装置が有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置の製造工程において用いられる場合を例として貼付装置の動作を説明する。有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板（ガラス基板）に対して正孔輸送材料や有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。ここで、塗布が不要な基板領域に塗布液が塗布されることを防止するために、マスキングテープを基板に貼り付ける工程（貼付工程）が行われる。次に、マスキングテープが貼り付けられた基板に対して塗布液を塗布する工程（塗布工程）が行われる。さらに、塗布工程が完了した基板からマスキングテープを剥離する工程（剥離工程）が行われる。貼付装置は、上記貼付工程および剥離工程において用いられる。
【００２７】
図４Ａ〜図４Ｃを用いて、有機ＥＬ表示装置の製造工程の概要を説明する。図４Ａは、貼付工程が施された基板を示す図である。本実施形態における貼付工程においては、貼付装置は２本のマスキングテープ２４を基板５０に貼り付ける。図４Ａに示すように、１本のマスキングテープ２４は、略正方形の基板５０の一辺から所定長さ離れた位置に当該一辺と平行に貼り付けられる。もう１本のマスキングテープは、当該一辺に対向する辺から所定長さ離れた位置に当該対向する辺と平行に貼り付けられる。なお、マスキングテープ２４を基板に貼り付ける際の貼付装置の具体的な動作については後述する（図６Ａ〜図６Ｃ参照）。貼付工程が完了した基板は、図示しない塗布装置に搬送されて塗布工程が施される。
【００２８】
図４Ｂは、塗布工程が施された基板を示す図である。図４Ｂにおいて点線で囲まれる斜線領域５１は、塗布液が塗布された領域を示す。塗布工程においては、図４Ｂに示すように、マスキングテープ２４が貼り付けられた基板５０に対して塗布液が塗布される。塗布方法としては、例えばノズルから塗布液を基板５０に向けて吐出する方法が考えられる。図４Ｂでは、マスキングテープ２４に垂直な方向（図４Ｂにおける上下方向）のストライプ状に塗布液が塗布される。塗布工程が完了した基板５０は、貼付装置に搬送されて剥離工程が施される。
【００２９】
図４Ｃは、剥離工程が施された基板を示す図である。図４Ｃにおいて斜線で示される領域５２〜５４は、塗布液が塗布された基板領域を示す。剥離工程においては、塗布液が塗布された後の基板５０から貼付装置の剥離ユニット５によってマスキングテープ２４が剥離される。なお、マスキングテープ２４を基板から剥離する際の貼付装置の具体的な動作については後述する（図８Ａ〜図８Ｄ参照）。図４Ｃに示すように、領域５２と領域５３との間の基板領域は、マスキングテープ２４が貼り付けられていた領域であるので、塗布液が付着していない。領域５３と領域５４との間の基板領域についても、領域５２と領域５３との間の基板領域と同様に塗布液が付着していない。本貼付装置は、以上のようにマスキングテープを用いることによって、塗布不要な基板領域に塗布液が付着することを防止することができる。なお、図４Ｃに示す一点鎖線領域５５は、１枚の有機ＥＬ表示装置として用いられる領域であり、一点鎖線領域５５の外側の領域は切断されて破棄される。
【００３０】
なお、有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板５０に対して正孔輸送材料や赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。図５は、有機ＥＬ表示装置の製造工程を示す図である。具体的な製造工程の順序は、基板Ｐの上面にバンク（壁）を形成した後、本実施形態の貼付装置を用いて各塗布液の塗布工程毎に貼付工程および剥離工程が行われる（図５参照）。例えば、赤色の有機ＥＬ材料を基板Ｐに塗布する際は、塗布工程前にマスキングテープ２４が貼り付けられ、塗布工程後にマスキングテープ２４を剥離して、ベーク処理が行われる。そして、他の色の有機ＥＬ材料についても赤色の有機ＥＬ材料の場合と同様に、貼付工程、塗布工程、剥離工程、およびベーク処理工程が行われる。
【００３１】
次に、貼付工程における貼付装置の動作を詳細に説明する。貼付工程においては、まず、貼付装置の動作開始前にテーブル１に基板が載置される。なお、詳細は後述するが、マスキングテープ２４はＸ軸方向と平行に貼り付けられる。したがって、マスキングテープ２４を貼り付ける方向が所望の方向となるように、テーブル１上の基板はテーブル移動機構２の回転動作によってその向きが調整される。初期状態において、テーブル１は、例えば図１Ａに示す位置のように、２つの支持部材８の間の外側に配置される。初期状態における貼付ユニット４は、２つの支持部材８の間にテーブル１が位置する場合にテーブル１の直上空間となる位置に配置される。
【００３２】
以上に示した初期状態から、まず、ユニット移動機構６により貼付ユニット４を所定位置とした後、テーブル１の移動が開始される。すなわち、テーブル１は、貼付ユニット４に近づく方向（図１ＡではＸ軸正方向）に移動する。さらに、テープの送り動作が開始される。すなわち、貼付ユニット４の供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７が回転駆動を開始する。これによって、供給リール１１からテープが供給されるとともに、回収リール１２にテープが巻き取られて回収される。なお、供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７によるテープの送り速度は、テーブル１の移動速度と等しくなるように設定される。
【００３３】
図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃは、貼付工程の動作時における筐体１０の開口部付近の様子を示す図である。なお、図６Ａ〜図６Ｃにおいては、図面を見やすくする目的で筐体１０、エアシリンダ１９および可動部材２０の記載を省略している。テーブル１が貼付ユニット４直下の所定位置に達すると、切断部２１はマスキングテープ２４を切断する（図６Ａ）。具体的には、切断部２１は、切断刃２２をマスキングテープ２４へ向けて突出させてマスキングテープ２４に食い込ませることによってマスキングテープ２４を切断する。ここで、ガイドローラ１５からテープ分離部材１８へ送られてくるテープは、マスキングテープ２４およびベーステープ２５の２層からなる。切断刃２２は、マスキングテープ２４およびベーステープ２５のうちでマスキングテープ２４のみを切断する厚さまで食い込むように調整されている。したがって、切断部２１によってマスキングテープ２４は切断されるが、ベーステープ２５は切断されない。
【００３４】
また、図２Ｂに示したように、切断刃２２は、マスキングテープ２４に対して角度を付けて配置されている。したがって、マスキングテープ２４の切断部分２４ａは、マスキングテープ２４の幅方向に対して平行ではなくなる。なお、図６Ｂおよび図６Ｃでは、マスキングテープ２４の切断部分２４ａを斜線で示している。
【００３５】
マスキングテープ２４が切断部２１によって切断された後、テープがさらに送られると、マスキングテープ２４の切断部分２４ａがテープ分離部材１８の先端に達する。テープ分離部材１８の先端ではベーステープ２５が鋭角に折り曲げられるので、マスキングテープ２４はベーステープ２５から剥離される。これによってマスキングテープ２４の先端部分（切断部分２４ａ）がマスキングテープの先端から突出し、当該切断部分２４ａが稼働ローラ１６の下方に達する。可動ローラ１６は、マスキングテープ２４の切断部分２４ａが可動ローラ１６の下方に達したタイミングで、エアシリンダ１９の伸縮動作によって下方（Ｚ軸負方向）に移動する（図６Ｂ）。可動ローラ１６は、基板５０の上面付近まで移動することによってマスキングテープ２４の先端部分を基板５０に接触させる。これによって、マスキングテープ２４の先端部分の下面（粘着面）が基板５０に貼り付けられる。なお、マスキングテープ２４の先端部分を貼り付けるＸ軸方向の位置は、テーブル１の移動を調整することによって任意の位置に設定することができる。マスキングテープ２４を基板５０に接触させると、可動ローラ１６は上方に移動して元の位置に戻る。
【００３６】
また、可動ローラ１６が上下方向に移動している間もテーブル１の移動動作およびテープの送り動作は継続されている。したがって、マスキングテープ２４の先端部分が基板５０に貼り付けられると、続いて供給されるマスキングテープ２４が先端部分から順に基板５０に貼り付けられていく（図６Ｃ）。一方、マスキングテープ２４を切断してから所定長さのテープが送られると、切断部２１は再度マスキングテープ２４を切断する。なお、この所定長さは、基板５０に貼り付けるマスキングテープ２４の長さである。切断部２１による再度の切断が行われた後、テープがさらに送られることによってマスキングテープ２４が終端まで基板５０に貼り付けられる。なお、可動ローラ１６を上下方向に移動させることによって、マスキングテープ２４の終端を基板５０に接触させるようにしてもよい。また、マスキングテープ２４の貼り付け動作中、可動ローラ１６をマスキングテープ２４を介して基板５０に押しつけたままとしてもよい。以上の動作によって、１本のマスキングテープ２４を基板５０に貼り付ける処理が完了する。
【００３７】
図７は、基板５０に貼り付けられたマスキングテープ２４の先端部分付近を示す図である。図７に示すように、基板５０の塗布領域５１を確実にマスクするため、マスキングテープ２４は、塗布液が塗布される領域５１（図７に示す斜線領域）に切断部分２４ａが含まれないように貼り付けられる。したがって、切断部分２４ａの長さＬ２が基板５０の端から領域５１までの長さＬ１よりも小さくなるように、マスキングテープ２４を切断する角度θを設定する必要がある。なお、切断部分２４ａの長さＬ２は、マスキングテープの長手方向（幅方向に垂直な方向）に関する長さである。また、上記角度θは、９０°未満であればよいが、上記長さＬ２が長さＬ１よりも小さくなる範囲で、小さくすることが好ましい。例えば、上記長さＬ２が長さＬ１の１／２以上となるようにしておけば、切断部分２４ａが領域５１に含まれず、かつ、角度θを小さくすることができる。
【００３８】
以上の動作によって、Ｘ軸方向に沿ってマスキングテープ２４を貼り付けることができる。複数本のマスキングテープ２４を基板に貼り付ける場合には、貼付装置は上記の動作を複数回繰り返す。なお、マスキングテープ２４を貼り付けるＹ軸方向の位置は、ユニット移動機構６によって貼付ユニット４をＹ軸方向に予め移動させることによって任意の位置に設定することができる。
【００３９】
なお、本実施形態においては、マスキングテープ２４を送る速度と等しい速度でテーブル１を移動させるようにしたが、他の実施形態においては、マスキングテープ２４を送る速度と等しい速度で貼付ユニット４を移動させるようにしてもよい。
【００４０】
次に、剥離工程における貼付装置の動作を説明する。剥離工程においては、まず、貼付装置の動作開始前にテーブル１に基板５０が載置される。基板５０は、剥離すべきマスキングテープ２４がＸ軸方向を向くように載置される。テーブル１上の基板５０の向きはテーブル移動機構２の回転動作によって調整される。剥離工程におけるテーブル１の初期位置は、貼付工程と同様、２つの支持部材８の間の外側の位置である。また、初期状態において、剥離ユニット５は、基板５０から剥離すべきマスキングテープ２４の延長線上に可動ローラ３７が位置するように配置される。基板５０から剥離すべきマスキングテープ２４の位置と可動ローラ３７の位置とがＹ軸方向に関して同じになるように剥離ユニット５が配置される。
【００４１】
以上に示した初期状態から、まず、テーブル１の移動が開始される。テーブル１は、剥離ユニット５に近づく方向（図１ＡではＸ軸正方向）に移動する。さらに、剥離テープ４１の送り動作が開始される。すなわち、剥離ユニット５の供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６が回転駆動を開始する。これによって、供給リール３１から剥離テープ４１が供給されるとともに、回収リール３２に剥離テープ４１が巻き取られて回収される。なお、供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６による剥離テープ４１の送り速度は、テーブル１の移動速度と等しくなるように設定される。
【００４２】
図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃ、および図８Ｄは、剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図である。なお、図８Ａ〜図８Ｄにおいては、図面を見やすくする目的で筐体３０、エアシリンダ３８および可動部材３９の記載を省略している。
【００４３】
初期状態からテーブル１が移動することによって、基板５０に貼り付けられたマスキングテープ２４の先端部分が可動ローラ３７の直下位置に達する（図８Ａ）と、可動ローラ３７はエアシリンダ３８の伸縮動作によって下方（Ｚ軸負方向）に移動する。図３および図８Ａ等に示すように、可動ローラ３７は、基板５０の方向へ凸となるように剥離テープを張設している。したがって、可動ローラ３７が基板５０の上面付近まで移動することによって、剥離テープ４１の粘着面はマスキングテープ２４の先端部分に接触する（図８Ｂ）。これによって、剥離テープ４１とマスキングテープ２４とが接着される。剥離テープ４１をマスキングテープ２４に接触させると、可動ローラ３７は上方に移動して元の位置に戻る。このとき、マスキングテープ２４の先端部分は剥離テープ４１に接着されているので、マスキングテープ２４の先端部分は基板５０から剥離される（図８Ｃ）。このとき、マスキングテープ２４の先端部分は先細形状となっているので、マスキングテープ２４の先端部分を基板５０から容易に剥離することができる。
【００４４】
また、可動ローラ３７が上下方向に移動している間もテーブル１の移動動作および剥離テープ４１の送り動作は継続されている。したがって、剥離テープ４１がマスキングテープ２４の先端部分に接着すると、剥離テープ４１が続いて供給されることによって、マスキングテープ２４は先端部分から順に剥離テープ４１に接着されていく（図８Ｄ）。すなわち、剥離テープ４１の送り動作によって可動ローラ３７が回転すると、マスキングテープ２４は先端部分から順に剥離テープ４１に接触するので両者が接着されていく。その後もテーブル１の移動動作および剥離テープ４１の送り動作は継続されるので、マスキングテープ２４は終端まで剥離テープ４１に接着されて基板５０から剥離される。剥離テープ４１に接着されたマスキングテープ２４は、剥離テープの送り動作によって筐体３０の内部に回収され、ガイドローラ３５および調整ローラ３６を通って回収リール３２に回収される。なお、マスキングテープ２４の上面には塗布物が付着しているが、マスキングテープ２４が回収される際、この上面は剥離テープ４１によって覆われている。したがって、マスキングテープ２４の上面に付着した塗布物が落下して基板に付着するおそれがない。
【００４５】
以上の動作によって、１本のマスキングテープ２４を基板５０から剥離する処理が完了する。なお、複数本のマスキングテープ２４を基板５０から剥離する場合には、貼付装置は上記の動作を複数回繰り返す。
【００４６】
以上のように、本実施形態によれば、切断刃２２をマスキングテープの幅方向に対して斜めに配置することで、マスキングテープ２４を斜めに切断する。したがって、マスキングテープ２４を剥離する際における剥がし初めの部分を先細形状とすることで、マスキングテープ２４を剥がしやすくなる。出願人による実験では、マスキングテープ２４を幅方向に水平に切断した場合（上記角度θ＝９０°の場合）には上記剥離ユニット５による剥離率は４０％であったのに対して、マスキングテープ２４を幅方向に対して斜めに切断した場合（具体的には、角度θ＝４５°とした場合）には剥離率が７０％となった。なお、本実施形態のように、マスキングテープ２４を剥離する際における剥がし初めの部分を鋭角とすることで、上記剥離ユニット５のような装置によってマスキングテープ２４を剥離する場合のみならず、人の手で剥離作業を行う場合も剥離が容易になる。以上のように、本実施形態によれば、剥離を容易に行うことができるように基板にマスキングテープ２４を貼付することができる。
【００４７】
なお、マスキングテープを剥離する方法としては、マスキングテープに紫外線を照射して接着力を低下させて剥離する方法もあるが、有機ＥＬを製造する場合には塗布液に紫外線を照射することができないため、当該方法を用いることができない。本実施形態の方法は、有機ＥＬを製造する場合のように、マスキングテープに紫外線を照射して接着力を低下させて剥離する方法を用いることができない場合に、特に有効である。
【００４８】
なお、上記実施形態においては、マスキングテープの切断部分が一直線になるように切断した。ここで、他の実施形態では、マスキングテープは、先細形状となるように切断されればよい。ここで、先細形状とは、切断部分に向かってマスキングテープの幅方向の長さが減少している形状を意味する。幅方向の長さが減少することで基板の粘着力が低下することにより、本発明の特徴とする効果を得ることができる。図９Ａ、図９Ｂ、および図９Ｃは、マスキングテープ２４の切断部分の他の形状を示す図である。貼付装置は、図９Ａに示すような山型にマスキングテープ２４を切断してもよい。なお、この場合、切断刃２２の形状を山型にする必要があるので、切断刃２２の形状が簡易である点で上記実施形態に利点がある。また、貼付装置は、図９Ｂに示すようなＶ字型にマスキングテープ２４を切断するようにしてもよい。なお、図９Ｂの場合には、２カ所の先端のいずれかが剥離できずに残るおそれがあるので、上記実施形態や図９Ａに示すように、先端から次第にマスキングテープの幅が広くなるような形状の方がより確実にマスキングテープ２４を剥離することができる。また、先細形状とは、先鋭形状に限らず、切断部分の先端が尖っていない形状を含む概念である。例えば、図９Ｃに示すように、切断部分は曲線で構成されてもよく、具体的には、先端部分が半円（半楕円）形状であってもよい。なお、マスキングテープを曲線で切断するためには切断刃２２の形状が複雑になるので、切断刃２２の形状が簡易である点で上記実施形態に利点がある。
【００４９】
なお、上記実施形態においては、有機ＥＬ材料を塗布する場合に貼付装置を用いる場合を例として説明したが、本発明に係る貼付装置は、耐塗布液として基板に貼り付けたマスキングテープを剥離する場合に適用することが可能である。例えば、有機ＥＬ材料を塗布する場合に限らず、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）の蛍光材料、レジスト液、ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）液等を基板に塗布する際に用いられるマスキングテープを剥離する場合にも本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、耐塗布物として用いられるマスキングテープを基板から剥離する貼付装置において、剥離を容易に行うことができるように基板にマスキングテープを貼付すること等を目的として利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１Ａ】本実施形態に係るマスキングテープの貼付装置の上面図
【図１Ｂ】本実施形態に係るマスキングテープの貼付装置の側面図
【図１Ｃ】本実施形態に係るマスキングテープの貼付装置の正面図
【図２Ａ】貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図
【図２Ｂ】マスキングテープ２４と切断刃２２との位置関係を示す図
【図３】剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図
【図４Ａ】貼付工程が施された基板を示す図
【図４Ｂ】塗布工程が施された基板を示す図
【図４Ｃ】剥離工程が施された基板を示す図
【図５】有機ＥＬ表示装置の製造工程を示す図
【図６Ａ】貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図
【図６Ｂ】貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図
【図６Ｃ】貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図
【図７】基板５０に貼り付けられたマスキングテープ２４の先端部付近を示す図
【図８Ａ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図８Ｂ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図８Ｃ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図８Ｄ】剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図
【図９Ａ】マスキングテープ２４の切断部分の他の形状を示す図
【図９Ｂ】マスキングテープ２４の切断部分の他の形状を示す図
【図９Ｃ】マスキングテープ２４の切断部分の他の形状を示す図
【符号の説明】
【００５２】
１  テーブル
２  テーブル移動機構
３  第１レール
４  貼付ユニット
５  剥離ユニット
６  ユニット移動機構
７  第２レール
８  支持部材
１０  筐体
１１、３１  供給リール
１２、３２  回収リール
１３〜１５、３３〜３５  ガイドローラ
１６、３７  可動ローラ
１７、３６  調整ローラ
１８  テープ分離部材
１９、３８  エアシリンダ
２０、３９  可動部材
２１  切断部
２２  切断刃
２３、４０  支点
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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