(57)【要約】【課題】扉を開閉する際に必要となる空間を可及的に少なくした気密保持装置を提供する。【解決手段】気密保持装置は、閉状態では、チャンバーの開口部における右側である第１の位置にあり、前記チャンバーの気密性を確保する、第１の扉と、閉状態では、前記チャンバーの開口部における左側である第２の位置にあり、前記チャンバーの気密性を確保する、第２の扉と、前記第１の扉と前記第２の扉の下側に設けられて、前記第１の扉と前記第２の扉の横方向へのスライドをガイドする１本の下側ガイドレールであって、前記第１の扉と前記第２の扉のうちの一方の扉を前記チャンバーにおける前記開口部の外側の位置である第３の位置まで移動可能にするとともに、前記第１の扉と前記第２の扉のうちの他方の扉を、前記第３の位置まで移動させた前記一方の扉の閉状態の位置である第４の位置まで移動可能にする、下側ガイドレールと、を備えて構成されている。【選択図】図９
2008002150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
閉状態では、チャンバーの開口部における右側である第１の位置にあり、前記チャンバーの気密性を確保する、第１の扉と、
閉状態では、前記チャンバーの開口部における左側である第２の位置にあり、前記チャンバーの気密性を確保する、第２の扉と、
前記第１の扉と前記第２の扉の下側に設けられて、前記第１の扉と前記第２の扉の横方向へのスライドをガイドする１本の下側ガイドレールであって、前記第１の扉と前記第２の扉のうちの一方の扉を前記チャンバーにおける前記開口部の外側の位置である第３の位置まで移動可能にするとともに、前記第１の扉と前記第２の扉のうちの他方の扉を、前記第３の位置まで移動させた前記一方の扉の閉状態の位置である第４の位置まで移動可能にする、下側ガイドレールと、
を備えることを特徴とする気密保持装置。
【請求項２】
前記一方の扉の上側に設けられて、前記一方の扉の横方向へのスライドをガイドし、前記一方の扉を前記第３の位置まで移動可能にする、１本の第１の上側ガイドレールと、
前記他方の扉の上側に設けられて、前記他方の扉の横方向へのスライドをガイドし、前記他方の扉を前記第４の位置まで移動可能にする、１本の第２の上側ガイドレールと、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の気密保持装置。
【請求項３】
前記第１の上側ガイドレールと前記第２の上側ガイドレールとは、互いに異なる高さの位置に設けられている、ことを特徴とする請求項２に記載の気密性保持装置。
【請求項４】
前記一方の扉を、閉状態の位置から前記第３の位置まで移動させ、且つ、前記第３の位置から前記閉状態の位置まで移動させる、第１の移動部と、
前記他方の扉を、閉状態の位置から、前記第４の位置まで移動させ、且つ、前記第４の位置から前記閉状態の位置まで移動させる、第２の移動部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の気密保持装置。
【請求項５】
前記第１の移動部は、前記一方の扉の上側に設けられており、前記第２の移動部は、前記他方の扉の上側で、且つ、前記第１の移動部と異なる高さの位置に設けられている、ことを特徴とする請求項４に記載の気密保持装置。
【請求項６】
前記一方の扉を開状態にする際には、前記第１の移動部を駆動させて、前記一方の扉を前記第４の位置から前記第３の位置まで移動させ、
前記他方の扉を開状態にする際には、前記一方の扉が前記第３の位置にある場合には、前記第２の移動部を駆動させて、前記他方の扉を前記第４の位置に移動させ、前記一方の扉が前記第４の位置にある場合には、前記第１の移動部を駆動させて、前記一方の扉を前記第４の位置から前記第３の位置まで移動させた上で、前記第２の移動部を駆動させて、前記他方の扉を前記第４の位置に移動させる、
制御部を、さらに備えることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の気密保持装置。
【請求項７】
前記第１の扉の下側に設けられて、前記第１の扉が閉状態にある場合に、前記第１の扉の密閉性を確保するための第１の扉密閉機構と、
前記第１の扉の上側に設けられて、前記第１の扉が閉状態にある場合に、前記第１の扉の密閉性を確保するための第２の扉密閉機構と、
前記第２の扉の下側に設けられて、前記第２の扉が閉状態にある場合に、前記第２の扉の密閉性を確保するための第３の扉密閉機構と、
前記第２の扉の上側に設けられて、前記第２の扉が閉状態にある場合に、前記第２の扉の密閉性を確保するための第４の扉密閉機構と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の気密保持装置。
【請求項８】
前記第２の扉密閉機構は、前記第１の扉の移動に伴って移動するが、前記第１の扉密閉機構は移動せず、
前記第４の扉密閉機構は、前記第２の扉の移動に伴って移動するが、前記第３の扉密閉機構は移動しない、
ことを特徴とする請求項７に記載の気密保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気密保持装置に関し、特に、横方向にスライドする扉を有する気密保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品等のデバイスの初期不良を顕在化し、初期故障品の除去を行うためのスクリーニング試験の一種であるバーンイン（Burn-In）試験を行う装置として、バーンイン装置が知られている。このバーンイン装置では、被試験デバイス（Device Under Test）である電子部品を複数挿入したバーンインボードを恒温槽に収容し、所定の電圧を印加して電気的ストレスを与えるとともに、恒温槽内部の空気を加熱して所定の温度の熱ストレスを与えることにより、初期不良を顕在化させる。
【０００３】
このようなバーンイン装置では、数時間から数十時間に亘る長時間のバーンイン試験が行われることから、試験効率を向上させるために、複数の被試験デバイスを１枚のバーンインボードに挿入するとともに、このバーンインボードを複数毎、バーンイン装置に収納して、バーンイン試験を行うのが一般的である。
【０００４】
また、バーンイン装置にバーンインボードを挿入したり、バーンイン装置からバーンインボードを抜去したりする作業性を向上させるために、バーンイン装置には、バーンインボードを恒温槽の開口部から出し入れするための扉が設けられている。バーンイン試験を行う場合、ユーザは、この扉を開けて、開口部から恒温槽にバーンインボードを挿入し、扉を閉めることにより、恒温槽内部を気密が保たれた状態にする。そして、この気密が保たれた状態で、恒温槽内部の温度を上げたり下げたりして、バーンイン試験を行う（例えば、実公平７−１４８６３号公報参照）。
【０００５】
しかし、扉の一方の辺を回転軸にし、この回転軸を中心に扉を９０度から１８０程度回転移動させることにより、扉の開閉を行う機構の場合、扉を開閉するために、その扉の手前に空間が必要となる。この空間に物がある場合、扉を開閉することができなくなる。また、扉の開閉をするユーザ自信も、扉の開閉にあたり自分の体を移動させなければならず、作業性がよくないという問題もある。このような問題は、２枚の扉を観音開きのように、両側に開く機構である場合にも同様に生じている。
【０００６】
また、このような問題は、バーンイン装置に限ったものではなく、扉を開閉しつつ、内部の気密性を確保する気密保持装置であれば同様に生じ得る。
【特許文献１】実公平７−１４８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、扉を開閉する際に必要となる空間を可及的に少なくした気密保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る気密保持装置は、
閉状態では、チャンバーの開口部における右側である第１の位置にあり、前記チャンバーの気密性を確保する、第１の扉と、
閉状態では、前記チャンバーの開口部における左側である第２の位置にあり、前記チャンバーの気密性を確保する、第２の扉と、
前記第１の扉と前記第２の扉の下側に設けられて、前記第１の扉と前記第２の扉の横方向へのスライドをガイドする１本の下側ガイドレールであって、前記第１の扉と前記第２の扉のうちの一方の扉を前記チャンバーにおける前記開口部の外側の位置である第３の位置まで移動可能にするとともに、前記第１の扉と前記第２の扉のうちの他方の扉を、前記第３の位置まで移動させた前記一方の扉の閉状態の位置である第４の位置まで移動可能にする、下側ガイドレールと、
を備えることを特徴とする。
【０００９】
この場合、前記一方の扉の上側に設けられて、前記一方の扉の横方向へのスライドをガイドし、前記一方の扉を前記第３の位置まで移動可能にする、１本の第１の上側ガイドレールと、
前記他方の扉の上側に設けられて、前記他方の扉の横方向へのスライドをガイドし、前記他方の扉を前記第４の位置まで移動可能にする、１本の第２の上側ガイドレールと、
をさらに備えるようにしてもよい。
【００１０】
この場合、前記第１の上側ガイドレールと前記第２の上側ガイドレールとは、互いに異なる高さの位置に設けられているようにしてもよい。
【００１１】
また、気密保持装置は、
前記一方の扉を、閉状態の位置から前記第３の位置まで移動させ、且つ、前記第３の位置から前記閉状態の位置まで移動させる、第１の移動部と、
前記他方の扉を、閉状態の位置から、前記第４の位置まで移動させ、且つ、前記第４の位置から前記閉状態の位置まで移動させる、第２の移動部と、
をさらに備えるようにしてもよい。
【００１２】
この場合、前記第１の移動部は、前記一方の扉の上側に設けられており、前記第２の移動部は、前記他方の扉の上側で、且つ、前記第１の移動部と異なる高さの位置に設けられているようにしてもよい。
【００１３】
また、気密保持装置は、
前記一方の扉を開状態にする際には、前記第１の移動部を駆動させて、前記一方の扉を前記第４の位置から前記第３の位置まで移動させ、
前記他方の扉を開状態にする際には、前記一方の扉が前記第３の位置にある場合には、前記第２の移動部を駆動させて、前記他方の扉を前記第４の位置に移動させ、前記一方の扉が前記第４の位置にある場合には、前記第１の移動部を駆動させて、前記一方の扉を前記第４の位置から前記第３の位置まで移動させた上で、前記第２の移動部を駆動させて、前記他方の扉を前記第４の位置に移動させる、
制御部を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１４】
また、気密保持装置は、
前記第１の扉の下側に設けられて、前記第１の扉が閉状態にある場合に、前記第１の扉の密閉性を確保するための第１の扉密閉機構と、
前記第１の扉の上側に設けられて、前記第１の扉が閉状態にある場合に、前記第１の扉の密閉性を確保するための第２の扉密閉機構と、
前記第２の扉の下側に設けられて、前記第２の扉が閉状態にある場合に、前記第２の扉の密閉性を確保するための第３の扉密閉機構と、
前記第２の扉の上側に設けられて、前記第２の扉が閉状態にある場合に、前記第２の扉の密閉性を確保するための第４の扉密閉機構と、
をさらに備えるようにしてもよい。
【００１５】
この場合、前記第２の扉密閉機構は、前記第１の扉の移動に伴って移動するが、前記第１の扉密閉機構は移動せず、
前記第４の扉密閉機構は、前記第２の扉の移動に伴って移動するが、前記第３の扉密閉機構は移動しないようにしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に係るバーンイン装置１０の全体的な正面図であり、扉２０Ａ、２０Ｂを閉じた状態を示している。図２は、図１のバーンイン装置１０において、正面側を透過して、内部構成の要部を説明するためのブロック図であり、バーンインボードＢＩＢを挿入した状態を示している。
【００１８】
これら図１及び図２に示すように、本実施形態に係るバーンイン装置１０の内部には、断熱壁３０で区画された空間により、恒温槽４０が形成されている。この恒温槽４０の内部には、複数のバーンインボードＢＩＢが収納される。本実施形態の例では、バーンインボードＢＩＢを支持するためのスロット５０が、１２段×４組で配置されており、合計４８枚のバーンインボードＢＩＢを、この恒温槽４０内に収納することが可能である。但し、この恒温槽４０内に収納することの可能なバーンインボードＢＩＢの枚数や、恒温槽４０内におけるバーンインボードＢＩＢの配置は、任意に変更可能である。なお、これらのバーンインボードＢＩＢとバーンイン装置１０とにより、本実施形態に係る半導体試験装置が構成されている。
【００１９】
また、このバーンイン装置１０には、扉２０Ａ、２０Ｂが設けられており、扉２０Ａ又は扉２０Ｂを開状態にすることにより、バーンインボードＢＩＢを恒温槽４０から出し入れできるようになる。また、この扉２０Ａ、２０Ｂにも断熱材が組み込まれており、扉２０Ａ及び扉２０Ｂを閉状態にすることにより、周囲から遮断された空間である恒温槽４０が構成される。なお、この扉２０Ａ、２０Ｂの開閉機構については後述する。
【００２０】
また、図２に示すように、本実施形態においては、キャリアラックＣＲごと、恒温槽４０に収納される。すなわち、恒温槽４０には開口部４２が形成されており、１２段のバーンインボードＢＩＢを格納したキャリアラックＣＲを、開口部４２から恒温槽４０に収納することにより、１２枚のバーンインボードＢＩＢが各スロットに挿入される。したがって、本実施形態に係るバーンイン装置１０には、４台のキャリアラックＣＲを収納することができることとなる。
【００２１】
さらに、恒温槽４０においては、この恒温槽４０の左側、上側、右側と延びる空気循環ダクトＤＴが設けられている。空気循環ダクトＤＴの上側には、ファン７０が設けられている。また、空気循環ダクトＤＴの左側は、空気が通過できる通風板７２により構成されており、上側は空気が通過できない仕切板７４により構成されており、右側は空気が通過できる通風板７６により構成されている。また、ファン７０の下側も、通気が通過できる通風板７８により構成されている。
【００２２】
このため、ファン７０が駆動すると、空気循環ダクトＤＴの左側から、バーンインボードＢＩＢのある領域の空気が吸引され、空気循環ダクトＤＴの上側及び右側を通って、再び、バーンインボードＢＩＢのある領域に送出される。つまり、ファン７０により、恒温槽４０内の空気の循環が形成され、恒温槽４０の内部の空気が攪拌されて、恒温槽４０の内部温度が場所によらずに均一になる。
【００２３】
また、バーンイン装置１０の左側には、冷却ユニット１００が設けられている。この冷却ユニット１００は、２台の冷却コンプレッサ１０２と、２台の熱交換器１０４とにより、構成されている。本実施形態においては、この冷却ユニット１００は、水冷式の冷却方式を採用している。このため、冷却コンプレッサ１０２は、冷却水を循環するためのコンプレッサであり、熱交換器１０４は、冷却水の冷熱を、恒温槽４０の内部の空気と交換するための交換器である。２台の熱交換器１０４は、空気循環ダクトＤＴ内に設けられている。このため、ファン７０により空気が循環すると、循環された空気が熱交換器１０４で冷却され、恒温槽４０の内部の温度を下げることができる。
【００２４】
また、空気循環ダクトＤＴの上側には、ヒーター１２０が設けられている。このヒーター１２０は、例えば電熱ヒーターにより構成されており、ヒーター１２０に電源が供給されると発熱するように構成されている。ヒーター１２０が発熱している状態で、空気循環ダクトＤＴ内の空気を循環させることにより、チャンバ４０内の空気の温度を上げることができる。
【００２５】
一方、バーンイン装置１０の右側には、制御部ＣＬが設けられている。この制御部ＣＬは、予め定められた設定に基づいて、このバーンイン装置１０の制御を行う。制御部ＣＬは、例えば、ユーザが設定した温度に恒温槽４０の内部を維持したり、変更したりするための制御を行う。また、この制御部ＣＬには、ユーザがこのバーンイン装置１０に指示を入力するための操作パネル１２０が設けられている。本実施形態では、特に、ユーザによる操作パネル１２０の操作により、扉２０Ａ、２０Ｂをスライド移動することが可能である。
【００２６】
図３は、この操作パネル１２０の一部に設けられている扉移動操作部１２２のレイアウトの一例を示す図である。この図３に示すように、扉移動操作部１２２には、左チャンバー開ボタン１２４と、右チャンバー開ボタン１２６と、全閉ボタン１２８とが設けられている。
【００２７】
左チャンバー開ボタン１２４は、恒温槽４０の左側チャンバーを開状態にする際に、ユーザに押下されるボタンである。右チャンバー開ボタン１２６は、恒温槽４０の右側チャンバーを開状態にする際に、ユーザに押下されるボタンである。全閉ボタン１２８は、恒温槽４０の左側チャンバーと右側チャンバーとを共に閉状態にする際に、ユーザに押下されるボタンである。
【００２８】
このボタン１２４、１２６、１２８の操作と、実際の扉２０Ａ、２０Ｂの移動との関係を図４乃至図８を用いて、具体的に説明する。
【００２９】
図４に示すように、当初、バーンイン装置１０の扉２０Ａ、２０Ｂは、恒温槽４０を閉状態にする位置にある。この図４の状態で、恒温槽４０の開口部４２における右側の扉２０Ｂのある位置を、第１の位置とし、恒温槽４０の開口部４２における左側の扉２０Ａのある位置を、第２の位置とする。
【００３０】
この図４の状態で、ユーザが左チャンバー開ボタン１２４を押下したとすると、図５に示すように、左側の扉２０Ａが、左側に移動し、恒温槽４０の左側チャンバーが開状態になる。この図５の状態で、左側の扉２０Ａのある位置を、第３の位置とする。この図５から分かるように、右側の扉２０Ｂは、第１の位置から動かないので、恒温槽４０の右側チャンバーは閉状態のままである。
【００３１】
この図５の状態で、ユーザが右チャンバー開ボタン１２６を押下したとすると、図６に示すように、右側の扉２０Ｂが左側に移動し、恒温槽４０の右側チャンバーが開状態になる。すなわち、右側の扉２０Ｂが第１の位置から、第２の位置に移動する。このように、右側の扉２０Ｂは、第２の位置にあるので、恒温槽４０の左側チャンバーは、閉状態になる。
【００３２】
この図６の状態で、ユーザが全閉ボタン１２８を押下したとすると、まず、図７に示すように、右側の扉２０Ｂが第２の位置から第１の位置に移動する。続いて、図８に示すように、左側の扉２０Ａが第３の位置から第２の位置に移動する。これにより、恒温槽４０が全閉状態になる。
【００３３】
次に、扉２０Ａ、２０Ｂを移動するための機構について説明する。図９は、恒温槽４０が閉状態のときの扉２０Ａ、２０Ｂとその移動機構を示す斜視図であり、図１０は、図９の正面図である。すなわち、これら図９及び図１０では、右側の扉２０Ｂが第１の位置にあり、左側の扉２０Ｂが第２の位置にある状態を示している。図１１は、恒温槽４０の右側チャンバーが開状態のときの扉２０Ａ、２０Ｂとその移動機構を示す斜視図であり、図１２は、図１０の正面図である。すなわち、これら図１１及び図１２では、右側の扉２０Ｂが第２の位置にあり、左側の扉２０Ｂが第３の位置にある状態を示している。なお、これら図９乃至図１２では、扉２０Ａ、２０Ｂと、その移動機構以外の部分は、図示を省略している。
【００３４】
これら図９乃至図１２に示すように、バーンイン装置１０の正面下側には、扉２０Ａ、２０Ｂの横方向のスライドをガイドする下側ガイドレール２００が設けられている。一方、バーンイン装置１０の正面上側には、扉２０Ａの横方向へのスライドをガイドする左扉ガイドレール２１０と、扉２０Ｂの横方向へのスライドをガイドする右扉ガイドレール２２０とが設けられており、左側の扉２０Ａは、下側ガイドレール２００と左扉ガイドレール２１０とにより支持されており、右側の扉２０Ｂは、下側ガイドレール２００と右扉ガイドレール２２０とにより支持されている。このことから分かるように、下側ガイドレール２００は１本だけ設けられており、この１本の下側ガイドレール２００を、左側の扉２０Ａと右側の扉２０Ｂとで共通に使用する。
【００３５】
左扉ガイドレール２１０は、最も外側の角形筒部２１２と、この角形筒部２１２に内挿される角形筒部２１４と、この角形筒部２１４に内挿される最も内側の角形筒部２１６とを備えて構成されている。図９及び図１０は、左扉ガイドレール２１０が最も縮んだ状態であり、最も外側の角形筒部２１２の内部に、角形筒部２１４と角形筒部２１６とが収納される。一方、図１１及び図１２は、左扉ガイドレール２１０が最も伸長した状態であり、角形筒部２１４が角形筒部２１２から延出し、角形筒部２１６が角形筒部２１４から延出している。すなわち、角形筒部２１２、２１４、２１６により、左扉ガイドレール２１０は伸縮自在に構成されている。
【００３６】
さらに、角形筒部２１６は、取付部材２２Ａ、２４Ａ、２６Ａを介して、左側の扉２０Ａに取り付けられている。このため、角形筒部２１６が左右に移動すると、左側の扉２０Ａも左右に移動する。
【００３７】
右扉ガイドレール２２０も、左扉ガイドレール２１０と同様の構成である。すなわち、右扉ガイドレール２２０は、最も外側の角形筒部２２２と、この角形筒部２２２に内挿される角形筒部２２４と、この角形筒部２２４に内挿される最も内側の角形筒部２２６とを備えて構成されている。図９及び図１０は、右扉ガイドレール２２０が最も縮んだ状態であり、最も外側の角形筒部２２２の内部に、角形筒部２２４と角形筒部２２６とが収納される。一方、図１１及び図１２は、右扉ガイドレール２２０が最も伸長した状態であり、角形筒部２２４が角形筒部２２２から延出し、角形筒部２２６が角形筒部２２４から延出している。すなわち、角形筒部２２２、２２４、２２６により、右扉ガイドレール２２０は伸縮自在に構成されている。
【００３８】
さらに、角形筒部２２６は、取付部材２２Ｂ、２４Ｂ、２６Ｂを介して、右側の扉２０Ｂに取り付けられている。このため、角形筒部２２６が左右に移動すると、右側の扉２０Ｂも左右に移動する。
【００３９】
また、左扉ガイドレール２１０には、スライド用シリンダ２３０が取り付けられており、スライド用シリンダ２３０の駆動により、左扉ガイドレール２１０は、図の左右方向に移動する。同様に、右扉ガイドレール２２０には、スライド用シリンダ２４０が取り付けられており、スライド用シリンダ２４０の駆動により、右扉ガイドレール２２０は、図の左右方向に移動する。
【００４０】
具体的には、図９及び図１０に示すように、左側の扉２０Ａが第２の位置にある場合、左扉ガイドレール２１０とスライド用シリンダ２３０は、最も縮んだ状態にある。制御部ＣＬからの指示により、スライド用シリンダ２３０が延びると、これに従って左扉ガイドレール２１０も次第に延びて、図１１及び図１２に示す状態となる。すなわち、スライド用シリンダ２３０の外側の筒部２３２の内側に、駆動制御棒２３４が内挿されており、スライド用シリンダ２３０の駆動により、駆動制御棒２３４が外側の筒部２３２より延び出す。駆動制御部２３４の先端部２３６は、角形筒部２１６の先端部２１８に連結されており、駆動制御棒２３４が延び出すに従って、角形筒部２１６と角形筒部２１４も延び出す。
【００４１】
本実施形態では、このスライド用シリンダ２３０は、エアシリンダで構成されている。このため、駆動制御棒２３４を伸縮させる駆動力はエアーであり、図示しないエアホースにより、このスライド用シリンダ２３０に駆動用のエアーが供給される。このため、スライド用シリンダ２３０に駆動用のエアーが供給されることにより、駆動制御棒２３４が伸縮して、左側の扉２０Ａが左右に移動することとなる。
【００４２】
これと同様に、図９及び図１０に示すように、右側の扉２０Ｂが第１の位置にある場合、右扉ガイドレール２２０とスライド用シリンダ２４０は、最も縮んだ状態にある。制御部ＣＬからの指示により、スライド用シリンダ２４０が延びると、これに従って右扉ガイドレール２２０も次第に延びて、図１１及び図１２に示す状態となる。すなわち、スライド用シリンダ２４０の外側の筒部２４２の内側に、駆動制御棒２４４が内挿されており、スライド用シリンダ２４０の駆動により、駆動制御棒２４４が外側の筒部２４２より延び出す。駆動制御部２４４の先端部２４６は、角形筒部２２６の先端部２２８に連結されており、駆動制御棒２４４が延び出すに従って、角形筒部２２６と角形筒部２２４も延び出す。
【００４３】
本実施形態では、このスライド用シリンダ２４０も、エアシリンダで構成されている。このため、駆動制御棒２４４を伸縮させる駆動力はエアーであり、図示しないエアホースにより、このスライド用シリンダ２４０に駆動用のエアーが供給される。このため、スライド用シリンダ２４０に駆動用のエアーが供給されることにより、駆動制御棒２４４が伸縮して、右側の扉２０Ｂが左右に移動することとなる。
【００４４】
左側の扉２０Ａの下側には、下側ガイドレール２００上を左右に滑走可能な滑走部２８Ａが２つ設けられており、右側の扉２０Ｂの下側にも、下側ガイドレール２００上を左右に滑走可能な滑走部２８Ｂが２つ設けられている。これら滑走部２８Ａ、２８Ｂは、それぞれ、扉２０Ａ、２０Ｂを下から支持するとともに、扉２０Ａ、２０Ｂの左右方向への滑らかなスライド移動を可能にする。この滑走部２８Ａ、２８Ｂは、例えば、車輪やローラーなどにより構成することができる。
【００４５】
さらに、左側の扉２０Ａに対しては、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２８０Ａが設けられており、右側の扉２０Ｂに対しては、扉密閉用シリンダ２６０Ｂ、２８０Ｂが設けられている。これら扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂは、本実施形態における扉密閉機構の一例である。
【００４６】
具体的には、左側の扉２０Ａの下側には、２つの扉密閉用シリンダ２６０Ａが設けられている。これら２つの扉密閉用シリンダ２６０Ａは、バーンイン装置１０本体側に取り付けられており、図１１及び図１２に示すように、左側の扉２０Ａが移動しても、２つの扉密閉用シリンダ２６０Ａは移動しない。左側の扉２０Ａの上側の取付部材２４Ａには、１つの扉密閉用シリンダ２８０Ａが設けられている。この扉密閉用シリンダ２８０Ａは、左側の扉２０Ａの移動にともなって移動する取付部材２４Ａに取り付けられているため、左側の扉２０Ａの移動に付随して移動する。
【００４７】
右側の扉２０Ｂについても同様に、右側の扉２０Ｂの下側に、２つの扉密閉用シリンダ２６０Ｂが設けられている。これら２つの扉密閉用シリンダ２６０Ｂは、バーンイン装置１０本体側に取り付けられており、図１１及び図１２に示すように、右側の扉２０Ｂが移動しても、２つの扉密閉用シリンダ２６０Ｂは移動しない。右側の扉２０Ｂの上側の取付部材２４Ｂには、１つの扉密閉用シリンダ２８０Ｂが設けられている。この扉密閉用シリンダ２８０Ｂは、右側の扉２０Ｂの移動にともなって移動する取付部材２４Ｂに取り付けられているため、右側の扉２０Ｂの移動に付随して移動する。
【００４８】
本実施形態では、これら６個の扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂにより、扉２０Ａ、２０Ｂが閉状態にあるときの開口部４２の密閉性を確保している。すなわち、図９及び図１０に示すように、左側の扉２０Ａが第２の位置にあり、右側の扉２０Ｂが第１の位置にある状態で、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂが駆動すると、２つの扉２０Ａ、２０Ｂがバーンイン装置１０本体側に引き寄せられ、恒温槽４０の開口部４２を扉２０Ａ、２０Ｂが密閉し、恒温槽４０の気密性が確保される。扉２０Ａ、２０Ｂを移動する場合には、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂは、扉２０Ａ、２０Ｂをバーンイン装置１０本体から引き離す方向に駆動し、扉２０Ａ、２０Ｂの左右方向の自由なスライド移動が可能となる。
【００４９】
本実施形態では、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂも、スライド用シリンダ２３０、２４０と同様に、エアーシリンダにより構成されている。このため、駆動用のエアーが供給されることにより、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂが駆動する。本実施形態では、ケーブルベア２８２Ａの内部に敷設されているケーブルにより、扉密閉用シリンダ２８０Ａに駆動用のエアーが供給され、ケーブルベア２８２Ｂの内部に敷設されているケーブルにより、扉密閉用シリンダ２８０Ｂに駆動用のエアーが供給される。扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂには、図示しないケーブルにより、駆動用のエアーが供給される。なお、本実施形態では、１枚の扉あたり３つの扉密閉用シリンダを設けているが、１枚の扉あたりに設ける扉密閉用シリンダの数は任意である。例えば、１枚の扉に対して、上側に１つの扉密閉用シリンダを設け、下側に１つの扉密閉用シリンダを設けてもよい。
【００５０】
図１３は、本実施形態に係るバーンイン装置１０の制御部ＣＬの内部構成の一例を示す図であり、説明を簡潔にするために要部のみを示している。この図１３に示すように、本実施形態においては、制御部ＣＬは、メイン制御部３００と、ユーザインターフェース３１０と、シリンダ制御部３２０とを備えて構成されている。
【００５１】
メイン制御部３００は、このバーンイン装置１０の各種の制御を行うメインの部分であり、例えば、ＣＰＵやＲＡＭ、ＲＯＭ、ＡＳＩＣなどのＩＣが搭載された制御ボードにより構成されている。ユーザインターフェース３１０は、ユーザがこのバーンイン装置１０に各種の指示を入力したり、バーンイン装置１０が各種の出力をしたりするための部分である。例えば、指示を入力するための装置としては、上述した操作パネル１２０の他に、キーボードやマウス、タッチパネルなどがあり、出力をするための装置としては、表示画面やプリンタなどがある。ユーザインターフェース３１０から入力された指示は、メイン制御部３００に入力され、メイン制御部３００からユーザインターフェース３１０に出力された情報は、ユーザインターフェース３１０で表示されたり、出力されたりする。
【００５２】
シリンダ制御部３２０は、メイン制御部３００からの指示に基づいて、スライド用シリンダ２３０又はスライド用シリンダ２４０に駆動用のエアーを供給する。すなわち、左側の扉２０Ａを移動する場合には、スライド用シリンダ２３０に駆動用のエアーを供給し、右側の扉２０Ｂを移動する場合には、スライド用シリンダ２４０に駆動用のエアーを供給する。
【００５３】
また、シリンダ制御部３２０は、メイン制御部３００からの指示に基づいて、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂに、駆動用のエアーを供給する。すなわち、ユーザがユーザインターフェース３１０から扉２０Ａ、２０Ｂを密閉する指示を入力した場合や、扉２０Ａ、２０Ｂの密閉を解放する指示を入力した場合には、メイン制御部３００は、シリンダ制御部３２０を介して、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂを駆動する。具体的には、シリンダ制御部３２０は、扉２０Ａ、２０Ｂを密閉する場合やこの密閉を解放する場合に、扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂに駆動用のエアーを供給する。
【００５４】
次に、図１４乃至図１６に基づいて、メイン制御部３００が実行する扉２０Ａ、２０Ｂの開閉処理について詳しく説明する。
【００５５】
図１４は、メイン制御部３００が実行する左チャンバー開処理の内容を説明する図である。この左チャンバー開処理は、ユーザが図３の左チャンバー開ボタン１２４を押下した場合に、起動される処理である。
【００５６】
この図１４に示すように、左チャンバー開処理においては、バーンイン装置１０は、まず、左チャンバーが開状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１００）。本実施形態においては、扉２０Ａ、２０Ｂには、図示しない位置センサがそれぞれ設けられており、このため、左側の扉２０Ａの位置センサが、左側の扉２０Ａが第３の位置にあることを検出しており、且つ、右側の扉２０Ｂの位置センサが、右側の扉２０Ａが第１の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００５７】
左チャンバーが開状態である場合（ステップＳ１００：ＹＥＳ）には、すでに左チャンバーが開状態になっていることになるので、この左チャンバー開処理を終了する。
【００５８】
一方、左チャンバーが開状態でない場合（ステップＳ１００：ＮＯ）には、バーンイン装置１０は、扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１０２）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、扉２０Ａが第２の位置にあることを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、扉２０Ｂが第１の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００５９】
扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態である場合（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）には、バーンイン装置１０は、左側の扉２０Ａを左側に移動する（ステップＳ１０４）。すなわち、左側の扉２０Ａを第２の位置から第３の位置に移動する。そして、この左チャンバー開処理を終了する。
【００６０】
一方、扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態ではない場合（ステップＳ１０２：ＮＯ）には、バーンイン装置１０は、右チャンバーが開状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１０６）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、左側の扉２０Ａが第３の位置にあることを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、右側の扉２０Ｂが第２の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００６１】
右チャンバーが開状態である場合（ステップＳ１０６：ＹＥＳ）には、バーンイン装置１０は、右側の扉２０Ｂを右側に移動する（ステップＳ１０８）。すなわち、右側の扉２０Ｂを第２の位置から第１の位置に移動する。そして、この左チャンバー開処理を終了する。
【００６２】
一方、右チャンバーが開状態ではない場合（ステップＳ１０６：ＮＯ）には、扉２０Ａ、２０Ｂが正常な位置にないことになるので、エラーとなり、この左チャンバー開処理を終了する。
【００６３】
図１５は、メイン制御部３００が実行する右チャンバー開処理の内容を説明する図である。この右チャンバー開処理は、ユーザが図３の右チャンバー開ボタン１２６を押下した場合に、起動される処理である。
【００６４】
この図１５に示すように、右チャンバー開処理においては、バーンイン装置１０は、まず、右チャンバーが開状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１２０）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、左側の扉２０Ａが第３の位置にあることを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、右側の扉２０Ｂが第２の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００６５】
右チャンバーが開状態である場合（ステップＳ１２０：ＹＥＳ）には、すでに右チャンバーが開状態になっていることになるので、この右チャンバー開処理を終了する。
【００６６】
一方、右チャンバーが開状態でない場合（ステップＳ１２０：ＮＯ）には、バーンイン装置１０は、扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１２２）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、扉２０Ａが第２の位置にあることを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、扉２０Ｂが第１の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００６７】
扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態である場合（ステップＳ１２２：ＹＥＳ）には、バーンイン装置１０は、左側の扉２０Ａを左側に移動する（ステップＳ１２４）。すなわち、左側の扉２０Ａを第２の位置から第３の位置に移動する。次に、バーンイン装置１０は、右側の扉２０Ｂを左側に移動する（ステップＳ１２６）。すなわち、右側の扉２０Ｂを第１の位置から第２の位置に移動する。そして、この右チャンバー開処理を終了する。
【００６８】
一方、扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態ではない場合（ステップＳ１２２：ＮＯ）には、バーンイン装置１０は、左チャンバーが開状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１２８）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、左の扉２０Ａが第３の位置にあるこを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、右の扉２０Ｂが第１の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００６９】
左チャンバーが開状態である場合（ステップＳ１２８：ＹＥＳ）には、バーンイン装置１０は、右側の扉２０Ｂを左側に移動する（ステップＳ１３０）。すなわち、右側の扉２０Ｂを第１の位置から第２の位置に移動する。そして、この右チャンバー開処理を終了する。
【００７０】
一方、左チャンバーが開状態ではない場合（ステップＳ１２８：ＮＯ）には、扉２０Ａ、２０Ｂが正常な位置にないことになるので、エラーとなり、この右チャンバー開処理を終了する。
【００７１】
図１６は、メイン制御部３００が実行する全閉処理の内容を説明する図である。この全閉処理は、ユーザが図３の全閉ボタン１２８を押下した場合に、起動される処理である。
【００７２】
この図１６に示すように、全閉処理においては、バーンイン装置１０は、まず、左右の扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１４０）。本実施形態においては、左側の扉２０Ａの位置センサが、左側の扉２０Ａが第２の位置にあることを検出しており、且つ、右側の扉２０Ｂの位置センサが、右側の扉２０Ｂが第１の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００７３】
左右の扉２０Ａ、２０Ｂがともに閉状態である場合（ステップＳ１４０：ＹＥＳ）には、すでに全閉状態になっていることになるので、この全閉処理を終了する。
【００７４】
一方、全閉状態でない場合（ステップＳ１４０：ＮＯ）には、バーンイン装置１０は、左チャンバーが開状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１４２）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、扉２０Ａが第３の位置にあることを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、扉２０Ｂが第１の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００７５】
左チャンバーが開状態である場合（ステップＳ１４２：ＹＥＳ）には、バーンイン装置１０は、左側の扉２０Ａを右側に移動する（ステップＳ１４４）。すなわち、左側の扉２０Ａを第３の位置から第２の位置に移動する。そして、この全閉処理を終了する。
【００７６】
一方、左チャンバーが開状態ではない場合（ステップＳ１４２：ＮＯ）には、バーンイン装置１０は、右チャンバーが開状態であるかどうかを判断する（ステップＳ１４６）。本実施形態においては、扉２０Ａの位置センサが、左側の扉２０Ａが第３の位置にあることを検出しており、且つ、扉２０Ｂの位置センサが、右側の扉２０Ｂが第２の位置にあることを検出しているかどうかを判断する。
【００７７】
右チャンバーが開状態である場合（ステップＳ１４６：ＹＥＳ）には、バーンイン装置１０は、右側の扉２０Ｂを右側に移動する（ステップＳ１４８）。すなわち、右側の扉２０Ｂを第２の位置から第１の位置に移動する。次に、バーンイン装置１０は、左側の扉２０Ａを右側に移動する（ステップＳ１５０）。すなわち、左側の扉２０Ａを第３の位置から第２の位置に移動する。そして、この左チャンバー開処理を終了する。
【００７８】
一方、右チャンバーが開状態ではない場合（ステップＳ１４６：ＮＯ）には、扉２０Ａ、２０Ｂが正常な位置にないことになるので、エラーとなり、この全閉処理を終了する。
【００７９】
以上のように、本実施形態に係るバーンイン装置１０によれば、扉２０Ａ、２０Ｂが横方向にスライド移動することにより、扉２０Ａ、２０Ｂの開閉を行うことができるので、バーンイン装置１０の手前側にスペースを大きく確保する必要が無くなる。このため、バーンイン装置１０を設置した周囲のスペースを有効に活用できるようになる。
【００８０】
また、扉２０Ａ、２０Ｂがスライドしても、扉２０Ａ、２０Ｂ同士が重ならない構成にしたので、下側ガイドレール２００を並列に２本設ける必要がなくなる。すなわち、１本の下側ガイドレール２００で、扉２０Ａ、２０Ｂの開閉をすることができるようになり、左側チャンバーと右側チャンバーからバーンインボードＢＩＢの出し入れができるようになる。
【００８１】
また、下側ガイドレール２００が１本で足りるので、図１７に示すように、台車４００を使って、恒温槽４００からバーンインボードＢＩＢの入ったキャリアラックＣＲを出し入れする場合でも、下側ガイドレール２００が邪魔にならない。このため、台車４００を恒温槽４０に極めて近い位置まで近づけることができ、ユーザの作業性が向上する。また、扉２０Ａ、２０Ｂを開閉操作する場合でも、扉２０Ａ、２０Ｂが左右方向にスライドするだけであるので、台車４００を恒温槽４０の前に置いたまま扉２０Ａ、２０Ｂの開け閉めをすることができる。このため、ユーザの使い勝手を格段に向上させることができる。
【００８２】
また、左扉ガイドレール２１０と右扉ガイドレール２２０とを異なる高さに配置し、スライド用シリンダ２３０とスライド用シリンダ２４０をと異なる高さに配置することにより、扉２０Ａ、２０Ｂを左右方向にスライド移動させた場合でも、これらが衝突しないようにした。換言すれば、バーンイン装置１０を上側から平面で見た場合、下側ガイドレール２００に重なる位置に、左扉ガイドレール２１０及びスライド用シリンダ２３０と、右扉ガイドレール２２０及びスライド用シリンダ２４０とを設けた。このため、上側のガイドレール２１０、２１０やスライド用シリンダ２３０、２４０についても、並列に設ける必要が無くなり、バーンイン装置１０前面方向への突出幅を可及的に小さくすることができる。
【００８３】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず種々に変形可能である。例えば、上述した実施形態では、スライド用シリンダ２３０、２４０や扉密閉用シリンダ２６０Ａ、２６０Ｂ、２８０Ａ、２８０Ｂは、駆動用のエアーで制御されるエアーシリンダで構成したが、これらを油圧で制御される油圧シリンダで構成したり、電動制御される電動シリンダなどで移動部を構成するようにしてもよい。さらには、このような扉２０Ａ、２０Ｂ開閉用の移動部を設けることなく、ユーザが手で扉２０Ａ、２０Ｂの開閉をするようにしてもよい。
【００８４】
また、上述した実施形態では、左側の扉２０Ａを恒温槽４０の開口部４２の外側に移動させることとしたが、右側の扉２０Ｂを恒温槽４０の開口部４２の外側に移動させるようにしてもよい。すなわち、図１８に示すように、恒温槽４０の開口部４２の右側の外に、右側の扉２０Ｂが移動する第３の位置を設け、図１９に示すように、右側の扉２０Ｂが第１の位置から第３の位置に移動できるようにしてもよい。この場合、図２０に示すように、右側の扉が第３の位置にある状態であれば、左側の扉２０Ａが第２の位置から第１の位置に移動できることとなる。
【００８５】
また、上述した実施形態では、扉移動操作部１２２に、左チャンバー開ボタン１２４と右チャンバー開ボタン１２６と全閉ボタン１２８との３つのボタンを設けることとしたが、どのような操作ボタンを設けるかは、任意に変更可能である。例えば、左の扉２０Ａを右側に移動するボタンと左側に移動するボタンを別個に設け、右の扉２０Ｂを右側に移動するボタンと左側に移動するボタンを別個に設けるようにしてもよい。
【００８６】
また、上述した実施形態における恒温槽４０は、扉２０Ａ、２０Ｂを閉状態にすることにより気密性が確保されるチャンバーの一例である。扉２０Ａ、２０Ｂの開閉をしつつ、チャンバーの開口部を扉２０Ａ、２０Ｂで密閉して、チャンバーの気密性を確保する気密保持装置であれば、本発明を同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本実施形態に係るバーンイン装置の正面図。
【図２】図１のバーンイン装置において、正面側を透過して、内部構成の要部を説明するブロック図。
【図３】操作パネルに設けられている扉移動操作部のレイアウトの一例を示す図。
【図４】左右の扉が閉状態にあるバーンイン装置の正面図。
【図５】左側の扉を左側に移動して、左側のチャンバーを開状態にしたバーンイン装置の正面図。
【図６】右側の扉を左側に移動して、右側のチャンバーを開状態にしたバーンイン装置の正面図。
【図７】右側の扉を右側に移動して、左側のチャンバーを開状態にしたバーンイン装置の正面図。
【図８】左側の扉を右側に移動して、左側の扉を開状態にしたバーンイン装置の正面図。
【図９】２つの扉が閉状態の位置にあるときの扉とその移動機構を示す斜視図。
【図１０】図９の正面図。
【図１１】２つの扉が開状態の位置にあるときの扉とその移動機構を示す斜視図。
【図１２】図１１の正面図。
【図１３】本実施形態に係るバーンイン装置の制御部の内部構成の一例を示すブロック図。
【図１４】本実施形態に係るバーンイン装置で実行される左チャンバー開処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図１５】本実施形態に係るバーンイン装置で実行される右チャンバー開処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図１６】本実施形態に係るバーンイン装置で実行される全閉処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図１７】台車を使ってキャリアラックをバーンイン装置から出し入れする作業状態を説明するためのバーンイン装置の左側面図。
【図１８】恒温槽の開口部の右側に右側の扉を移動するように変形したバーンイン装置の正面図（全閉状態）。
【図１９】恒温槽の開口部の右側に右側の扉を移動するように変形したバーンイン装置の正面図（右チャンバー開状態）。
【図２０】恒温槽の開口部の右側に右側の扉を移動するように変形したバーンイン装置の正面図（左チャンバー開状態）。
【符号の説明】
【００８８】
１０  バーンイン装置
２０Ａ  左側の扉
２０Ｂ  右側の扉
３０  断熱壁
４０  恒温槽
４２  開口部
７０  ファン
１００  冷却ユニット
１２０  操作パネル
ＣＬ  制御部
ＣＲ  キャリアラック
ＢＩＢ  バーンインボード
【図１】
2008002150.tif 000003
【図２】
2008002150.tif 000004
【図３】
2008002150.tif 000005
【図４】
2008002150.tif 000006
【図５】
2008002150.tif 000007
【図６】
2008002150.tif 000008
【図７】
2008002150.tif 000009
【図８】
2008002150.tif 000010
【図９】
2008002150.tif 000011
【図１０】
2008002150.tif 000012
【図１１】
2008002150.tif 000013
【図１２】
2008002150.tif 000014
【図１３】
2008002150.tif 000015
【図１４】
2008002150.tif 000016
【図１５】
2008002150.tif 000017
【図１６】
2008002150.tif 000018
【図１７】
2008002150.tif 000019
【図１８】
2008002150.tif 000020
【図１９】
2008002150.tif 000021
【図２０】
2008002150.tif 000022