(57)【要約】  【課題】  静電気が被吸着物に悪影響を及ぼすことを防止できるようにする。また先端を重くして操作性を低下させたり、ピンセットの形成材料に制約を受けることなく、簡単、迅速、且つ低コストで被吸着物に帯電する静電気を除去できるようにする。  【解決手段】  被吸着物１を吸引して先端部２に吸着保持する真空ピンセットであって、ピンセット本体５の少なくとも把持する部分５ａを熱収縮チューブ６により被覆する。この熱収縮チューブ６を導電質に形成する。  【選択図】      図１
2008062332.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着物を吸引して先端部に吸着保持する真空ピンセットであって、ピンセット本体の少なくとも把持する部分が熱収縮チューブにより被覆され、この熱収縮チューブが導電質に形成されていることを特徴とする真空ピンセット。
【請求項２】
被吸着物を吸引して先端部に吸着保持する真空ピンセットであって、吸着時に上記の被吸着物と接触する状態で熱収縮チューブによりピンセット本体の全体が被覆され、この熱収縮チューブが導電質に形成されていることを特徴とする真空ピンセット。
【請求項３】
被吸着物を吸引して先端部に吸着保持する真空ピンセットであって、吸着時に上記の被吸着物と接触する状態で熱収縮チューブにより先端部が被覆され、この熱収縮チューブが導電質に形成されると共に、アースされていることを特徴とする真空ピンセット。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載の真空ピンセットであって、熱収縮チューブが、導電性塗料の被膜を表面に有して導電質に形成されていることを特徴とする真空ピンセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ピンセットに関し、更に詳しくは例えば半導体ウエハ等の電子部品を吸着保持して移送するのに使用する真空ピンセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ところでこの種のピンセットは、軽量化や低コスト化等の要請から、先端のノズル部分を除いてグリップや本体の部分が、合成樹脂材等の絶縁体で形成されていることが多い。そのため、本体部分に帯電する静電気が被吸着物である電子部品に悪影響を及ぼすことがある。従ってこの種のピンセットは、本体部分に帯電する静電気を、簡単、且つ低コストな構造で除去できるよう形成されているのが望ましい。
【０００３】
而して従来、この種のピンセットの中には、例えば吸入管の先端の吸着チップの吸着面側に、高導電率・非熱拡散性の金属片を固着しているものがある（例えば特許文献１参照）。
この従来品は、半導体ウエハ等の電子部品に、例えば空気との摩擦によって帯電した静電気を、先端に取り付けた金属片を介して除去しているものである。
しかしながらこの従来品の場合は、先端が金属片で重くなって操作性を悪化させる、という問題点があった。またこれによると、金属片の取り付けに手間暇やコストがかかる、という問題点があった。
【０００４】
而して例えばピンセットの全体に導電性の塗料を塗布し、これによりこの種の問題を解決することも可能である。しかしこの場合は、ピンセットが、例えばポリプロピレンやポリアセタール（ＰＯＭ）等のオレフィン系樹脂などで形成されていると、通常、この種の樹脂と導電性塗料との密着性が悪いため、塗料が剥離して脱落する、という問題が生じる。ピンセットから導電性塗料の微粒子が脱落すると、半導体ウエハ等の電子部品に付着し、その品質に悪影響を及ぼすことになる。
従って従来、先端に金属片を設けたり、導電性塗料を塗布する以外の構造で、静電気を除去できるこの種ピンセットの出現が強く望まれていた。
【特許文献１】特開平９−２８３５９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような従来の実情に鑑み、提案されたものである。
従って本発明の解決しようとする技術的課題は、静電気が被吸着物に悪影響を及ぼすことを防止できるよう形成した真空ピンセットを提供することにある。
また本発明は、先端を重くして操作性を低下させたり、ピンセットの形成材料に制約を受けることなく、簡単、迅速、且つ低コストで被吸着物に帯電する静電気を除去できるよう形成した真空ピンセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するため、次のような技術的手段を採る。
即ち本発明は、図１等に示されるように、被吸着物１を吸引して先端部２に吸着保持する真空ピンセットであって、ピンセット本体５の少なくとも把持する部分５ａが熱収縮チューブ６により被覆され、この熱収縮チューブ６が導電質に形成されていることを特徴とする（請求項１）。
【０００７】
ここで、少なくとも把持する部分５ａとは、作業者の人体を通じてアースするために必要な箇所は最低限被覆されている、ということを意味し、従って把持する部分５ａには限られず全体でも良い。熱収縮チューブ６としては、例えば塩化ビニル樹脂（ＰＶＣ）製のチューブなどがある。本発明品は、この熱収縮チューブ６で、例えば把持する部分５ａを覆い、次に加熱することで収縮させ、把持する部分５ａに密着させることにより形成される。
【０００８】
また本発明の課題を達成する他の構成としては、図２に示されるものがある。この本発明は、被吸着物１を吸引して先端部２に吸着保持する真空ピンセットであって、吸着時に上記の被吸着物１と接触する状態で熱収縮チューブ６によりピンセット本体５の全体が被覆され、この熱収縮チューブ６が導電質に形成されていることを特徴とする（請求項２）。
【０００９】
熱収縮チューブ６の構成等は、上例と同様である。本発明品は、熱収縮チューブ６でピンセット本体５の全体を覆い、次に加熱することで収縮させ、ピンセット本体５の全体に密着させることにより形成される。なお本発明の場合、静電気は、人体を介して、或いは専用のアース路を介して除去される。
【００１０】
また本発明は、ピンセット本体５の全体を熱収縮チューブ６で被覆するのに代え、吸着時に被吸着物１と接触する状態で熱収縮チューブ６により先端部２を被覆し、この熱収縮チューブ６を導電質に形成すると共に、アースして形成するのでも良い（請求項３）。
なぜならこの場合も、請求項２に係る本発明品と同様、被吸着物１としての、例えば半導体チップ等の電子部品に帯電している静電気を、熱収縮チューブ６を介して逃すことができ、被吸着物１が静電気で悪影響を受けることを防止できるからである。またこの場合は、先端部２だけ熱収縮チューブ６で被覆する構造であるから、熱収縮チューブ６の使用量を節減でき、その分、一層、コストを低廉化できることからである。
【００１１】
而して本発明は、熱収縮チューブ６が、導電性塗料の被膜を表面に有して導電質に形成されているのが好ましい（請求項４）。
なぜならこれによると、熱収縮チューブ６の熱収縮性に大きな影響を及ぼすことなく、簡単且つ低コストで熱収縮チューブ６を形成できるからである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、このように被吸着物を吸引して先端部に吸着保持する真空ピンセットであって、ピンセット本体の少なくとも把持する部分を熱収縮チューブにより被覆し、この熱収縮チューブを導電質に形成したり、或いは吸着時に被吸着物と接触する状態で、全体、又は先端部を熱収縮チューブで被覆し、この熱収縮チューブを導電質に形成しているものである。
従って本発明によれば、把持する部分や電子部品に帯電する静電気を除去でき、静電気が電子部品に悪影響を及ぼすことを防止できる。
また本発明は、熱収縮チューブで被覆して加熱することで製造できるから、これによれば、簡単、迅速、且つ低コストで静電気除去用のピンセットを提供できる。
また本発明の場合は、ピンセットを熱収縮チューブで被覆する構造であるから、これによれば、ピンセット自体の材質に制約を受けることがない。
また本発明は、軽量な熱収縮チューブで形成されているから、重量の増加を抑えることができる。従ってこれによれば、全体のバランスを崩すことがないから、操作性に影響を与えることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本発明は、図１等に示されるように、被吸着物１としての、例えば半導体ウエハや半導体チップ等の電子部品を吸引して先端部２に吸着保持する真空ピンセットである。本発明品は、真空ポンプ等の吸引装置３に、フレキシブルな吸引管４を介して接続されている。
【００１４】
そして本発明品は、ピンセット本体５の、この実施形態では把持する部分５ａが熱収縮チューブ６により被覆されている。具体的には、熱収縮チューブ６が把持する部分５ａに嵌め挿されて被せられ、次にヒーターで加熱される。これにより、熱収縮チューブ６が収縮し、把持する部分５ａに密着されるものである。
【００１５】
熱収縮チューブ６は、この実施形態では塩化ビニル樹脂（ＰＶＣ）で形成され、表面が電気抵抗値１０５〜１０９（Ω）程度の導電性塗料でコーティングされることにより、導電質に形成されている。電気抵抗値が、この程度の数値に選定される場合は、被吸着物１に帯電している高電圧の静電気を支障なく流すことができる。
【００１６】
次に本発明の作用を説明する。
本発明品は、吸引装置３が運転されると、先端部２に被吸着物１が吸着される。この場合、本発明品は、作業者が、把持する部分５ａを持つと、この部分５ａに帯電している静電気が人体を介してアースされる。これにより、被吸着物１に静電気が悪影響を及ぼすことが防止される。
【００１７】
次に請求項２に係る本発明を、図２に従って説明する。
上例と同一の部材、同一の箇所については、同じ符号を付し、詳しい説明は省略する。
【００１８】
この本発明は、吸着時に被吸着物１と接触する状態で、この実施形態ではピンセット本体５の全体が熱収縮チューブ６で被覆されている。具体的には、熱収縮チューブ６がピンセット本体５の全体に嵌め挿されて被せられ、次にヒーターで加熱される。これにより、熱収縮チューブ６が収縮し、ピンセット本体５に密着される。
【００１９】
熱収縮チューブ６は、上例と同様、塩化ビニル樹脂で形成され、上面が電気抵抗値１０５〜１０９（Ω）程度の導電性塗料でコーティングされることにより、導電質に形成されている。また吸引管４は、この実施形態では表面４ａが導電性の被膜で形成され、基端側がアースされている。熱収縮チューブ６は、この吸引管４の表面４ａに電気的に接続されている。
【００２０】
次にこの本発明の作用を説明する。
本発明品は、吸引装置３が運転されると、先端部２に被吸着物１が吸着される。そして被吸着物１が、熱収縮チューブ６に接触すると、被吸着物１に帯電している静電気が熱収縮チューブ６から吸引管４を経て地面に流れ、除去される。これにより被吸着物１が、静電気によって悪影響を受けることが防止される。
【００２１】
以上の処において、本発明は、全体が熱収縮チューブ６で被覆されるのに代え、図４に示されるように、吸着時に被吸着物１と接触する状態で先端部２が熱収縮チューブ６で被覆され、この熱収縮チューブ６が導電質に形成されると共に、アースされているのでも良い。
この本発明の場合は、先端部２に熱収縮チューブ６が嵌め挿され、次に加熱されることにより、熱収縮チューブ６が収縮して先端部２に密着している。７は、被吸着物１の静電気を先端部２から地面に流すためのアース線である。その他の構成は、上例と同様である。
【００２２】
また本発明の場合、上記の熱収縮チューブ６は、例えばカーボン微粒子などの導電性材料が塩化ビニル樹脂などの熱収縮性樹脂材に混合され、この樹脂材がチューブ状に成形されることにより、形成されるのでも良い。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明のピンセットの好適な一実施形態を示す、一部を切欠した要部側面図である。
【図２】同上ピンセットの他の構成例を示す要部側面図である。
【図３】同上ピンセットの要部拡大断面図である。
【図４】同上ピンセットの更に他の構成例を示す要部側面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１      被吸着物
２      先端部
３      吸引装置
４      吸引管
４ａ    表面
５      ピンセット本体
５ａ    把持する部分
６      熱収縮チューブ
７      アース線
【図１】
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【図２】
2008062332.tif 000004
【図３】
2008062332.tif 000005
【図４】
2008062332.tif 000006