(57)【要約】      （修正有）【課題】硬質被覆層が高速断続切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。【解決手段】ＷＣ基超硬合金、ＴｉＣＮ基サーメットで構成された工具基体の表面に、（ａ）下部層としてＴｉ化合物層、（ｂ）上部層として、化学蒸着した状態で六方晶の結晶構造を有するα型Ａｌ2Ｏ3を主体とするＡｌ2Ｏ3相とＺｒＯ2相の２相混合酸化物層からなり、該混合酸化物におけるＺｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）の値（但し、原子比）は０．００３〜０．２であり、該層中には、（−１１１）に配向した単斜晶のＺｒＯ2相が均一に分散し、Ａｌ2Ｏ3相についてＸ線回折を行ったとき、回折強度Ｉ（０１−１２）、Ｉ（１１−２０）が１番目、２番目に強い値を示し、かつ、Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３の値を満足する２相混合酸化物層、からなる硬質被覆層を蒸着形成する。【選択図】図１
2008126342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層が、３〜２０μｍの全体平均層厚を有するＴｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなるＴｉ化合物層、
（ｂ）上部層が、２〜１５μｍの平均層厚および化学蒸着された状態で六方晶の結晶構造を有するα型酸化アルミニウムを主体とする酸化アルミニウム相と酸化ジルコニウム相の２相混合酸化物層からなり、該混合酸化物におけるジルコニウムの含有割合は、アルミニウムとの合量に対して０．００３〜０．２（但し、原子比）であり、また、該混合酸化物層において、（−１１１）面に配向した単斜晶の酸化ジルコニウム相が酸化アルミニウム相中に均一に分散し、さらに、酸化アルミニウム相についてＸ線回折を行ったときのα型酸化アルミニウムの（０１−１２）面からの回折強度Ｉ（０１−１２）の値及び（１１−２０）面からの回折強度Ｉ（１１−２０）の値が１番目、２番目に大きい回折強度値を示し、かつ、前記回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３の値を満足する酸化アルミニウム相と酸化ジルコニウム相の２相混合酸化物層、
以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の切削加工を、高い発熱を伴うとともに切刃に断続的かつ衝撃的な高負荷がかかる高速断続切削条件で行った場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具（以下、被覆工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般に、炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットで構成された基体（以下、これらを総称して工具基体という）の表面に、硬質被覆層として、
（ａ）下部層が、Ｔｉの炭化物（以下、ＴｉＣで示す）層、窒化物（以下、同じくＴｉＮで示す）層、炭窒化物（以下、ＴｉＣＮで示す）層、炭酸化物（以下、ＴｉＣＯで示す）層、および炭窒酸化物（以下、ＴｉＣＮＯで示す）層のうちの１層または２層以上からなるＴｉ化合物層、
（ｂ）上部層が、化学蒸着した状態でα型またはκ型の結晶構造の酸化アルミニウム（以下、Ａｌ２Ｏ３で示す）と酸化ジルコニウム（以下、ＺｒＯ２で示す）の２相混合酸化物組織を有し、かつ、０．１〜１０重量％のＺｒＯ２がＡｌ２Ｏ３素地に分散した２相混合酸化物層（以下、単に「従来２相混合酸化物層」という）、
を蒸着形成してなる被覆工具が、例えば各種の鋼や鋳鉄などの切削加工に用いられることは良く知られている。
【０００３】
また、上記の従来被覆工具において、硬質被覆層の下部層を構成するＴｉ化合物層のＴｉＣＮ層を、層自身の強度向上を目的として、通常の化学蒸着装置にて、反応ガスとして有機炭窒化物を含む混合ガスを使用し、７００〜９５０℃の中温温度域で化学蒸着することにより形成して縦長成長結晶組織をもつようにすることも知られている。
【特許文献１】特開２００１−３８５０４号公報
【特許文献２】特開平６−８０１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年の切削装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記の従来被覆工具においては、これを鋼や鋳鉄などの通常の条件での連続切削加工や断続切削加工に用いた場合には問題はないが、特にこれを高い発熱を伴うと共に、切刃に断続的かつ衝撃的な高負荷がかかる高速断続切削加工に用いた場合には、硬質被覆層の上部層を構成する従来２相混合酸化物層における粒界強度が十分でないために、そこから生じたクラックによりチッピングが発生しやすくなり、これが原因で比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、上記の従来２相混合酸化物層が硬質被覆層の上部層を構成する被覆工具に着目し、特に、高速断続切削加工における硬質被覆層の耐チッピング性の向上を図るべく研究を行った結果、
（ａ）従来被覆工具の硬質被覆層を構成する上部層としての従来２相混合酸化物層は、すぐれた高温硬さと所定の高温強度を備えており、この層は、例えば、通常の化学蒸着装置にて、
反応ガス組成（容量％）
ＡｌＣｌ３：  １〜１０  ％、
ＺｒＣｌ４：  ０．０１〜１０  ％、
ＣＯ2  ：  １〜３０  ％、
ＨＣｌ：  １〜３０  ％、
Ｈ２Ｓ：  ０．０１〜１  ％、
Ｈ2：残り、
（ロ）反応雰囲気温度  ：  ９００〜１０５０  ℃、
（ハ）反応雰囲気圧力  ：  ４〜７０  ｋＰａ
の条件（通常条件という）で、従来被覆工具の下部層であるＴｉ化合物層上に蒸着形成されるが、このような従来２相混合酸化物層からなる上部層では、既に述べたように、Ａｌ２Ｏ３相とＺｒＯ２相間の結晶粒界強度が十分でないため、高速断続切削加工において満足できる耐チッピング性を示さないこと。
【０００６】
（ｂ）そこで、蒸着形成した硬質被覆層の下部層であるＴｉ化合物層上に、通常の化学蒸着装置にて、
（イ）まず、第１段階として、
反応ガス組成（容量％）；ＡｌＣｌ３：０．１〜０．９％、ＺｒＣｌ４：０．１〜０．３％、ＨＣｌ：０．１〜１．９％、ＣＯ２：０．４〜１．２％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度；  ９５０〜９６０  ℃、
反応雰囲気圧力；  ５〜７  ｋＰａ、
の条件で、５〜３０分コーティングして２相混合酸化物層を形成し、
（ロ）次に、第２段階として、
反応ガス組成（容量％）；ＡｌＣｌ３：１〜１．８％、ＺｒＣｌ４：０．４〜０．６％、ＨＣｌ：２〜４％、ＣＯ２：１．４〜２％、Ｈ２Ｓ：０．０５〜０．１％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度；  ９６０〜９８０  ℃、
反応雰囲気圧力；  ８〜１０  ｋＰａ、
の条件で、５〜３０分コーティングして２相混合酸化物層を形成し、
（ハ）最後に第３段階として、
反応ガス組成（容量％）；ＡｌＣｌ３：１．８〜４％、ＺｒＣｌ４：０．６〜１．２％、ＨＣｌ：２〜４％、ＣＯ２：２〜６％、Ｈ２Ｓ：０．１〜０．６％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度；  ９８０〜１１００  ℃、
反応雰囲気圧力；  １０〜５０  ｋＰａ、
の条件で、２相混合酸化物層を形成し、
蒸着時の反応ガス組成、反応雰囲気温度および反応雰囲気圧力を上記（イ）〜（ハ）の条件にしたがい段階的に変化させて成膜を行い、２〜１５μｍの平均層厚の２相混合酸化物層（以下、「改質２相混合酸化物層」という）からなる上部層を形成すると、この条件で形成された上部層は、ＺｒＯ２がＡｌ２Ｏ３素地（α型Ａｌ２Ｏ３が素地の主体であるが、微量のκ型Ａｌ２Ｏ３も存在する。）に均一に分散した２相混合酸化物組織を有し、そして、該層におけるＡｌとの合量に占めるＺｒの含有割合をＸ（但し、原子比）とした場合に、Ｘ＝０．００３〜０．２を満足し、また、上記改質２相混合酸化物層における分散相であるＺｒＯ２は（−１１１）面に配向した単斜晶を示し、さらに、上記改質２相混合酸化物層における素地を構成するＡｌ２Ｏ３相についてＸ線回折を行った場合、素地の主体であるα型Ａｌ２Ｏ３相からの（０１−１２）面からの回折強度Ｉ（０１−１２）の値及び（１１−２０）面からの回折強度Ｉ（１１−２０）の値は、１番目、２番目に大きい値を示し、かつ、前記回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）は１〜３の値を示すこと。
なお、上記（０１−１２）面および（１１−２０）面とは、それぞれと等価な面を含み、また、回折強度値Ｉ（０１−１２）は、（０１−１２）面およびそれと等価な面からの回折強度の合計値をいい、回折強度値Ｉ（１１−２０）は、（１１−２０）面およびそれと等価な面からの回折強度の合計値をいう。
【０００７】
（ｃ）上記（ｂ）の化学蒸着条件で蒸着形成された改質２相混合酸化物層からなる上部層は、特に、分散相であるＺｒＯ２相と素地相であるＡｌ２Ｏ３相間の結晶粒界強度が高められ、さらに、潤滑性と耐熱性も高められるため、前記（ａ）の通常条件で形成された従来被覆工具の従来２相混合酸化物層の備えるすぐれた高温硬さに加えて、さらに、一段とすぐれた高温強度、潤滑性、耐熱性を具備するようになることから、これを硬質被覆層の上部層として備えた硬質被覆層は、高い発熱を伴い断続的かつ衝撃的な高負荷のかかる高速断続切削という厳しい条件下での切削加工に用いた場合にも、従来被覆工具に比して、硬質被覆層が一段とすぐれた耐チッピング性を発揮し、また、長期にわたってすぐれた耐摩耗性を発揮すること。
以上（ａ）〜（ｃ）に示される研究結果を得たのである。
【０００８】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、
「炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
（ａ）下部層が、３〜２０μｍの全体平均層厚を有するＴｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなるＴｉ化合物層、
（ｂ）上部層が、２〜１５μｍの平均層厚および化学蒸着された状態で六方晶の結晶構造を有するα型酸化アルミニウムを主体とする酸化アルミニウム相と酸化ジルコニウム相の２相混合酸化物層からなり、該混合酸化物におけるジルコニウムの含有割合は、アルミニウムとの合量に対して０．００３〜０．２（但し、原子比）であり、また、該混合酸化物層において、（−１１１）面に配向した単斜晶の酸化ジルコニウム相が酸化アルミニウム相中に均一に分散し、さらに、酸化アルミニウム相についてＸ線回折を行ったときのα型酸化アルミニウムの（０１−１２）面からの回折強度Ｉ（０１−１２）の値及び（１１−２０）面からの回折強度Ｉ（１１−２０）の値が１番目、２番目に大きい回折強度値を示し、かつ、前記回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３の値を満足する酸化アルミニウム相と酸化ジルコニウム相の２相混合酸化物層、
以上（ａ）、（ｂ）で構成された硬質被覆層を蒸着形成してなる、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具（被覆工具）。」
に特徴を有するものである。
【０００９】
以下に、この発明の被覆工具の硬質被覆層の構成層について、より詳細に説明する。
（ａ）下部層（Ｔｉ化合物層）
Ｔｉの炭化物層、窒化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの１層または２層以上からなるＴｉ化合物層は、硬質被覆層の下部層として存在し、自身の具備するすぐれた高温強度によって硬質被覆層の高温強度向上に寄与するほか、工具基体と改質２相混合酸化物層のいずれにも強固に密着し、よって硬質被覆層の工具基体に対する接合強度を向上させる作用を有するが、その平均層厚が３μｍ未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その平均層厚が２０μｍを越えると、特に高熱発生を伴う高速断続切削では熱塑性変形を起し易くなり、これが偏摩耗の原因となることから、その平均層厚を３〜２０μｍと定めた。
【００１０】
（ｂ）上部層（改質２相混合酸化物層）
化学蒸着された状態で六方晶の結晶構造を有するα型酸化アルミニウムを主体とする酸化アルミニウム相と酸化ジルコニウム相の改質２相混合酸化物層の構成成分であるＡｌ成分は、層の高温硬さおよび耐熱性を向上させ、同Ｚｒ成分は、層中に微量（Ａｌとの合量に占める割合で、Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）が０．００３〜０．２（但し、原子比））含有されることにより、上部層（改質２相混合酸化物層）の高温強度、潤滑性、耐熱性の向上に寄与するが、Ｚｒ成分の含有割合が０．００３未満では、上記作用を期待することはできず、一方、Ｚｒ成分の含有割合が０．２を超えた場合には、酸化ジルコニウム相が粗大化し、欠損が生じやすくなるため、Ａｌ成分との合量に占めるＺｒ成分の含有割合（Ｚｒ／（Ａｌ＋Ｚｒ）の比の値）を０．００３〜０．２（但し、原子比））と定めた。
【００１１】
Ａｌ2Ｏ3相素地中にＺｒＯ2相が均一に分散した組織の２相混合酸化物層を化学蒸着で形成するためには、蒸着時の反応ガス組成、反応雰囲気温度および反応雰囲気圧力の各条件を、以下の条件（イ）〜（ハ）にしたがって段階的に変化させながら化学蒸着することによって形成することができる。
即ち、
（イ）まず、第１段階として、
反応ガス組成（容量％）；ＡｌＣｌ３：０．１〜０．９％、ＺｒＣｌ４：０．１〜０．３％、ＨＣｌ：０．１〜１．９％、ＣＯ２：０．４〜１．２％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度；  ９５０〜９６０  ℃、
反応雰囲気圧力；  ５〜７  ｋＰａ、
の条件で、５〜３０分コーティングして２相混合酸化物層を形成し、
（ロ）次に、第２段階として、
反応ガス組成（容量％）；ＡｌＣｌ３：１〜１．８％、ＺｒＣｌ４：０．４〜０．６％、ＨＣｌ：２〜４％、ＣＯ２：１．４〜２％、Ｈ２Ｓ：０．０５〜０．１％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度；  ９６０〜９８０  ℃、
反応雰囲気圧力；  ８〜１０  ｋＰａ、
の条件で、５〜３０分コーティングして２相混合酸化物層を形成し、
（ハ）最後に第３段階として、
反応ガス組成（容量％）；ＡｌＣｌ３：１．８〜４％、ＺｒＣｌ４：０．６〜１．２％、ＨＣｌ：２〜４％、ＣＯ２：２〜６％、Ｈ２Ｓ：０．１〜０．６％、Ｈ2：残り、
反応雰囲気温度；  ９８０〜１１００  ℃、
反応雰囲気圧力；  １０〜５０  ｋＰａ、
の条件で、２〜１５μｍの平均層厚の２相混合酸化物層を形成する。
上記（イ）〜（ハ）の条件にしたがって、蒸着条件を段階的に変化させながら化学蒸着することによって、最終的に、Ａｌ2Ｏ3相（α型Ａｌ2Ｏ3を主体とするが、微量のκ型Ａｌ2Ｏ3も存在する）素地中にＺｒＯ2相が均一に分散した２相混合酸化物組織の２〜１５μｍの平均層厚の改質２相混合酸化物層を形成することができる。
【００１２】
そして、上記蒸着条件（イ）〜（ハ）で蒸着形成された改質２相混合酸化物層において、分散相であるＺｒＯ2相は、（−１１１）面に配向した単斜晶の結晶構造を示し、その摩擦係数が低くまた熱伝導性も低いことから、上記ＺｒＯ2相が素地中に均一に分散していることによって、改質２相混合酸化物層の潤滑性が高められ、また、耐熱性も高められる。
また、上記改質２相混合酸化物層の素地を構成するＡｌ2Ｏ3相（主体はα型Ａｌ2Ｏ3であるが、微量のκ型Ａｌ2Ｏ3も存在する。）は、α型Ａｌ2Ｏ3の（０１−１２）面からの回折強度Ｉ（０１−１２）の値、（１１−２０）面からの回折強度Ｉ（１１−２０）の値が１〜２番目に大きい値を示し、さらに、回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３であることによって、Ａｌ2Ｏ3相とＺｒＯ2相間の結晶粒界強度が強化されるため、高速断続切削加工という厳しい切削条件の下、硬質被覆層の上部層を構成する改質２相混合酸化物層中にクラックが発生することを抑え、また、仮にクラックが発生したとしても、クラックの成長・伝播を防止し、その結果として、硬質被覆層の耐チッピング性向上に寄与することになる。
ただ、上部層の層厚が２μｍ未満では、上記回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３とはならないため、Ａｌ2Ｏ3相とＺｒＯ2相間の結晶粒界の強化作用を期待できず、一方、上部層の層厚が１５μｍを超えるとチッピングが発生しやすくなることから、上部層の平均層厚を２〜１５μｍと定めた。
【００１３】
硬質被覆層の上部層が、従来２相混合酸化物層からなる従来被覆工具においては、分散相であるＺｒＯ2相は、単斜晶の（１１０）面、（−１１１）面及び正方晶の（１１１）面にＸ線回折のピークがでており、また、素地のＡｌ2Ｏ3相は、（０１−１２）面および（１１−２０）面にピークがでているものの、回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）は１よりはるかに小さな値となっており（図２参照）、このようなＺｒＯ2相とＡｌ2Ｏ3相との混合酸化物層では、Ａｌ2Ｏ3相とＺｒＯ2相間の結晶粒界強度が十分でなく、また、上部層の高温強度も十分でないために、高速断続切削加工という厳しい切削条件の下では、上部層（従来２相混合酸化物層）にクラックが発生しやすく、また、発生したクラックの成長・伝播を抑えることもできないため、従来被覆工具の硬質被覆層の耐チッピング性は劣ったものとなる。
【００１４】
改質２相混合酸化物層あるいは従来２相混合酸化物層についての、Ｘ線回折による測定条件は次のとおりである。
即ち、通常のＸ線回折装置を用い、Ｘ線管中に設置されたＣｕ陽極（ターゲット）に対して、電圧４０ｋＶ、電流３５０ｍＡの条件で金属Ｗフィラメントから発生させた熱電子を加速照射することにより、前記Ｃｕ陽極表面から０．１５４ｎｍの波長を有する特性Ｘ線であるＣｕ−Ｋα線を発生させ、前記特性Ｘ線を２相混合酸化物層表面に照射し、該層から散乱したＸ線のうち、該層表面に対するＸ線入射角度θと等しい角度で回折したＸ線の強度をＸ線検出器にて測定することにより行った。また、このときの測定範囲は、θ=７．５〜６５°である。そして、上記の測定により、改質２相混合酸化物層の素地を構成する酸化アルミニウム相のα型酸化アルミニウムの（０１−１２）、（１１−２０）面からの回折強度が、１番目および２番目に大きなピークの値を示し、また、素地中に均一分散する酸化ジルコニウム相からは、（−１１１）面の回折ピークが得られた。
なお、この発明においては、面指数、例えば、（αβγδ）で表される面は、（αβγδ）面だけではなくこれと等価な面を含み、また、回折強度値Ｉ（αβγδ）とは、（αβγδ）面およびこれと等価な面からの回折強度の合計値をいう。
【発明の効果】
【００１５】
上記のとおり、この発明の被覆工具は、上部層を構成する酸化アルミニウムと酸化ジルコニウムの改質２相混合酸化物層について、（−１１１）面に配向した単斜晶の結晶構造のＺｒＯ2相がＡｌ2Ｏ3相（α型Ａｌ2Ｏ3が主体であるが、微量のκ型Ａｌ2Ｏ3も存在）からなる素地に分散分布すると共に、Ａｌ2Ｏ3相をＸ線回折した場合に、α型Ａｌ2Ｏ3の（０１−１２）面、（１１−２０）面からの回折強度が１〜２番目に大きな値を示し、かつ、回折強度の値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３の値を満足することにより、従来被覆工具の従来２相混合酸化物層のもつすぐれた高温硬さに加えて、一段とすぐれた高温強度、潤滑性、耐熱性を具備し、各種の鋼や鋳鉄などを、高い発熱と断続的かつ衝撃的な負荷がかかる高速断続切削条件下で用いた場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮し、使用寿命の一層の延命化を可能とするものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
つぎに、この発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
【実施例】
【００１７】
原料粉末として、いずれも２〜４μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ3Ｃ2粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、９８ＭＰａの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を５Ｐａの真空中、１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に１時間保持の条件で真空焼結し、焼結後、切刃部にＲ：０．０７ｍｍのホーニング加工を施すことによりＩＳＯ・ＣＮＭＧ１６０４１２に規定するスローアウエイチップ形状をもったＷＣ基超硬合金製の工具基体Ａ〜Ｆをそれぞれ製造した。
【００１８】
また、原料粉末として、いずれも０．５〜２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（質量比でＴｉＣ／ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ2Ｃ粉末、ＺｒＣ粉末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、およびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示される配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合し、乾燥した後、９８ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を１．３ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：１５４０℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０７ｍｍのホーニング加工を施すことによりＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１６０４１２のチップ形状をもったＴｉＣＮ基サーメット製の工具基体ａ〜ｆを形成した。
【００１９】
ついで、これらの工具基体Ａ〜Ｆおよび工具基体ａ〜ｆのそれぞれを、通常の化学蒸着装置に装入し、まず、表３（表３中のｌ−ＴｉＣＮは特開平６−８０１０号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつＴｉＣＮ層の形成条件を示すものであり、これ以外は通常の粒状結晶組織の形成条件を示すものである）に示される条件にて、表５に示される組み合わせおよび目標層厚でＴｉ化合物層を硬質被覆層の下部層として蒸着形成した。
次に、表４に示されるような第１、２、３段階の蒸着条件の組み合わせにより、同じく表５に示される目標層厚の改質２相混合酸化物層を硬質被覆層の上部層として蒸着形成することにより本発明被覆工具１〜１３をそれぞれ製造した。
【００２０】
また、比較の目的で、硬質被覆層の上部層として、表４に示される条件で、表６に示される目標層厚で従来２相混合酸化物層を形成することにより比較被覆工具１〜１３をそれぞれ製造した。
【００２１】
ついで、上記の本発明被覆工具１〜１３の硬質被覆層の上部層を構成する改質２相混合酸化物層および比較被覆工具１〜１３の硬質被覆層の上部層を構成する従来２相混合酸化物層のそれぞれのＡｌ2Ｏ3相について、Ｘ線回折により各結晶面の回折強度を測定し、１番目及び２番目の回折強度が得られた結晶面を表５、６に示し、さらに、（０１−１２）面からの回折強度値Ｉ（０１−１２）、（１１−２０）面からの回折強度値Ｉ（１１−２０）の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）を同じく表５、６に示した。
また、ＺｒＯ2相についてもＸ線回折を行い、最強のＸ線回折強度値が得られた面を同じく表５、６に示す。
なお、本発明被覆工具１〜１３の硬質被覆層の上部層を構成する改質２相混合酸化物層については、透過型電子顕微鏡により調査したところ、Ａｌ2Ｏ3相の素地中にＺｒＯ2相が均一に分散していることが確認されている。
本発明被覆工具４のＡｌ2Ｏ3相およびＺｒＯ2相についてのＸ線回折チャートを図１に示し、また、比較被覆工具５のＡｌ2Ｏ3相およびＺｒＯ2相についてのＸ線回折チャートを図２に示す。
【００２２】
表５，６にそれぞれ示される通り、本発明被覆工具の改質２相混合酸化物層は、Ｘ線回折において、Ａｌ2Ｏ3相の、（０１−１２）面および（１１−２０）面からの回折強度が１〜２番目に大きいピーク値を示し、その回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）は１〜３の値を満足し、また、ＺｒＯ2相は、（−１１１）面に配向する単斜晶構造のものとして存在するのに対して、比較被覆工具のＡｌ2Ｏ3相では、Ｉ（０１−１２）、Ｉ（１１−２０）が１〜２番目に大きいピーク値を示すことはなく、また、Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）の値も１〜３を外れるものであり、さらに、ＺｒＯ2相についても、単斜晶以外（正方晶）のＺｒＯ2相のピークが検出されたり、（−１１１）面以外の回折強度が強くなっており、（−１１１）面の配向性は低いものであった。
【００２３】
また、本発明被覆工具１〜１３および比較被覆工具１〜１３の硬質被覆層の構成層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて測定（縦断面測定）したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均層厚（５点測定の平均値）を示した。
【００２４】
つぎに、上記の本発明被覆工具１〜１３および比較被覆工具１〜１３の各種の被覆工具について、いずれも工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状態で、
[切削条件Ａ]
被削材：ＪＩＳ・ＳＮＣＭ４３９の長さ方向等間隔４本縦溝入の丸棒、
切削速度：  ３６０  ｍ／ｍｉｎ、
切り込み：  １．５  ｍｍ、
送り：  ０．３  ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間：  ５  分、
の条件でのニッケルクロムモリブデン鋼の乾式高速断続切削試験（通常の切削速度は、２００ｍ／ｍｉｎ）、
[切削条件Ｂ]
被削材：ＪＩＳ・ＦＣＤ５００の長さ方向等間隔４本縦溝入り丸棒、
切削速度：  ３８０  ｍ／ｍｉｎ、
切り込み：  １．７  ｍｍ、
送り：  ０．３  ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間：  ５  分、
の条件での鋳鉄の乾式高速断続切削試験（通常の切削速度は、１８０ｍ／ｍｉｎ）、
[切削条件Ｃ]
被削材：ＪＩＳ・Ｓ２５Ｃの長さ方向等間隔４本縦溝入の丸棒、
切削速度：  ３７０  ｍ／ｍｉｎ、
切り込み：  ２．０  ｍｍ、
送り：  ０．４５  ｍｍ／ｒｅｖ、
切削時間：  ５  分、
の条件での炭素鋼の乾式高速断続切削試験（通常の切削速度は、２５０ｍ／ｍｉｎ）
を行い、いずれの切削試験でも切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。この測定結果を表７に示した。
【００２５】
【表１】
2008126342.tif 000003
【００２６】
【表２】
2008126342.tif 000004
【００２７】
【表３】
2008126342.tif 000005
【００２８】
【表４】
2008126342.tif 000006
【００２９】
【表５】
2008126342.tif 000007
【００３０】
【表６】
2008126342.tif 000008
【００３１】
【表７】
2008126342.tif 000009
【００３２】
表５〜７に示される結果から、本発明被覆工具１〜１３は、硬質被覆層の上部層が、六方晶の結晶構造を有するα型Ａｌ2Ｏ3を主体とするＡｌ2Ｏ3相とＺｒＯ2相の２相混合酸化物組織からなる改質２相混合酸化物層として蒸着形成され、さらに、該改質２相混合酸化物層中では、（−１１１）面に配向した単斜晶のＺｒＯ2相がＡｌ2Ｏ3相素地中に均一に分散し、さらに、Ａｌ2Ｏ3相についてＸ線回折を行ったとき、α型Ａｌ2Ｏ3の（０１−１２）面及び（１１−２０）面からの回折強度の値が１〜２番目に大きい値を示し、かつ、前記回折強度値の比の値Ｉ（０１−１２）／Ｉ（１１−２０）が１〜３の値を満足するものであることから、すぐれた高温硬さ、粒界強度、潤滑性、耐熱性を備え、高い発熱を伴い、かつ、切刃に対する断続的かつ衝撃的な負荷がかかる鋼や鋳鉄の高速断続切削でも、硬質被覆層の下部層を形成するＴｉ化合物層の有する高温強度と高い接合強度に加え、前記改質２相混合酸化物層が具備するすぐれた高温硬さ、高温強度、潤滑性、耐熱性により、硬質被覆層の耐チッピング性が著しく改善され、長期にわたってすぐれた工具特性を示すのに対して、硬質被覆層の上部層として従来２相混合酸化物層が蒸着形成された比較被覆工具１〜１３においては、高速断続切削という厳しい切削条件下では、硬質被覆層の特に高温強度が不十分であるために、硬質被覆層にチッピングが発生し、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
【００３３】
上述のように、この発明の被覆工具は、各種の鋼や鋳鉄などの通常の条件での切削加工は勿論のこと、特に高い発熱を伴い断続的かつ衝撃的な負荷がかかる高速断続切削加工でも硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を示し、長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するものであるから、切削装置の高性能化並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明被覆工具４の硬質被覆層の上部層を構成する改質２相混合酸化物層のＡｌ2Ｏ3相、ＺｒＯ2相のＸ線回折チャートである。
【図２】比較被覆工具５の硬質被覆層の上部層を構成する従来２相混合酸化物層のＡｌ2Ｏ3相、ＺｒＯ2相のＸ線回折チャートである。
【図１】
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【図２】
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