(57)【要約】【課題】ハンダ付けし難く、かつ機械的強度が低いガラス基板上の極薄の金属裏面電極層とリボンワイヤとの接続を、低コストで、簡単かつ確実に行うと共に、ガラス基板及び接続材料間の熱膨張係数の差による歪み又は破損を防止する。【解決手段】ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール１の極薄の金属裏面電極層１Ｃにリボンワイヤ２を接続する方法であり、ガラス基板１Ａの端部上の極薄の金属裏面電極層１Ｃの上面の全面又はハンダ付け箇所に（図３参照）にＩｎ又はＩｎ−Ａｇ合金からなるハンダを予備ハンダ３した後、前記金属裏面電極層１Ｃに銅箔にＳｎメッキしたリボンワイヤ２を載せ、リボンワイヤ２の上に超音波ハンダコテ４を当てて金属裏面電極層１Ｃとリボンワイヤ２をハンダ付けする。【選択図】図１
2008282919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に、金属裏面電極層、電子部品の順に積層された電子部品モジュールの出力電極である金属裏面電極層にリボンワイヤ（扁平出力導線）を接続する電子部品モジュールのリボンワイヤの接続方法であって、前記ガラス基板端部上の極薄の金属裏面電極層からなる出力電極に金属導体（例えば、銅）箔にＳｎメッキしたリボンワイヤを接続する際、前記出力電極上面に鉛以外の融点の低いハンダを、予め、予備ハンダした後、前記出力電極に、前記リボンワイヤを載せ、リボンワイヤの上に超音波ハンダコテを当て、超音波ハンダコテにより前記予備ハンダを溶融させて前記出力電極に前記リボンワイヤをハンダ付けすることを特徴とする電子部品モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【請求項２】
ガラス基板上に、金属裏面電極層、ｐ型ＣＩＳ系（ＣＩＳ、ＣＩＧＳ、ＣＩＧＳＳ等を含む総称。）光吸収層、ｎ型高抵抗バッファ層、ｎ型透明導電膜からなる窓層の順に積層されたＣＩＳ系薄膜太陽電池デバイスを複数個、特定の電圧となるようにパターニングにより電気的に直列に接続したＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールの出力電極である金属裏面電極層にリボンワイヤ（扁平出力導線）を接続するＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法であって、前記ガラス基板端部上の極薄の金属裏面電極層からなる出力電極に金属導体（例えば、銅）箔にＳｎメッキしたリボンワイヤを接続する際、前記出力電極上面にＰｂ以外の融点の低いハンダを、予め、予備ハンダした後、前記出力電極に、前記リボンワイヤを載せ、リボンワイヤの上に超音波ハンダコテを当て、超音波ハンダコテにより前記予備ハンダを溶融させて前記出力電極に前記リボンワイヤをハンダ付けすることを特徴とする電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【請求項３】
前記予備ハンダは、前記出力電極のハンダ付けする位置（箇所）及びそれを取り囲む領域にハンダ付けすることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【請求項４】
前記予備ハンダの材質は、Ｉｎ又はＩｎとＡｇの合金からなることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【請求項５】
前記超音波ハンダコテの周波数は、４０〜８０ｋＨｚで、超音波ハンダコテのコテ先温度は、３５０〜４５０℃であることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【請求項６】
前記超音波ハンダコテによりハンダ付けは、ハンダ付け対象部の寸法（距離）が長い場合、スポット状に一定間隔、５ｃｍ〜２５ｃｍ間隔で分散して複数箇所ハンダ付けを行うことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板上に実装される電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤ（扁平出力導線）の接続方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＩＳ系（ＣＩＳ、ＣＩＧＳ、ＣＩＧＳＳ等を含む総称）薄膜太陽電池モジュールは、ガラス基板上に、金属裏面電極層、その他のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールの構成部材の順に形成された積層構造体であり、前記ガラス基板端部の金属裏面電極層からなる出力電極にリボンワイヤ（扁平出力導線）を接続する場合、通常銅の表面にＳｎを電気メッキ又は溶融メッキしたＳｎメッキ銅箔からなるリボンワイヤを使用して、超音波ハンダコテによりハンダ付けするが、前記金属裏面電極層の材質により、この電極層と前記Ｓｎメッキ銅箔からなるリボンワイヤを直接ハンダ付けできないことがある。
【０００３】
薄膜太陽電池モジュールの電極とリード線の接続方法において、ガラス基板上の電極（透明導電膜）にハンダバンプを介してハンダディプリード線（銅箔にハンダを被覆）を超音波ハンダコテによりハンダ付けする方法があり、超音波ハンダコテは、温度３００℃、超音波出力３Ｗ、ハンダ付け時間１Ｓであり、ハンダディプリード線のハンダの組成は、Ｓｎを主成分とし、Ａｇを２．５〜７．７重量％、かつ、Ｃｕを０．０〜４．０重量％含み、ハンダバンプのハンダの組成は、Ｓｎを主成分とし、Ｚｎを２．５〜４．０重量％、Ｓｂを０．５〜３．０重量％、かつＡｌを０．０２〜０．１重量％含む（例えば、特許文献１参照。）。前記接続方法は、ハンダディプリード線及び超音波ハンダコテを使用しているが、ガラス基板上の電極（透明導電膜）にハンダディプリード線を直接接続するものではなく、ハンダバンプを必要とし、ハンダバンプのハンダの組成も主成分がＩｎではない。
【０００４】
集積型太陽電池モジュールのバスバーと引出し線の接続方法において、集積型太陽電池素子の表面にバスバーを形成し、このバスバーの上に銅の表面にＩｎとＳｎとを含む合金、又はＩｎとＧａとＳｎとを含む合金からなる導電性接着部を形成した引出し線を載せ、更に、その上から太陽電池素子を覆う熱可塑性フィルムを覆い、１５０〜１６０℃の温度で加熱することにより、熱可塑性フィルムを架橋させると共に、前記引出し線をバスバーに導電性接着（圧着）する（例えば、特許文献２参照。）。前記接続方法は、加熱方法は超音波ハンダコテを使用するものではなく、また、ガラス基板上の電極（透明導電膜）に引出し線を（バスバーを介して接続するもので、）直接接続するものではないし、その引出し線の被覆部である導電性接着部はＩｎを主成分とするもので、Ｓｎを主成分とするものではない。
【０００５】
薄膜太陽電池モジュールの裏面電極層とバスバーの接続方法において、ガラス基板（受光面側）上に設けられた薄膜太陽電池モジュールの裏面電極層（非受光面側）に導電性ペーストを塗布し、この上に金属箔の表面にＳｎ−Ｐｂ合金又はＳｎを含みＰｂを含まない合金ハンダを被覆した金属箔からなるバスバーを配置し、パルスヒーターにより１８０〜２３０℃の温度で加熱することにより、裏面電極層とバスバーを接続する（例えば、特許文献３参照。）。前記接続方法は、加熱方法は超音波ハンダコテを使用するものではなく、ガラス基板上の電極（透明導電膜）に引出し線（バスバー）を接続するものではないし、また、導電性ペーストもＩｎを主成分とするものではない。
【０００６】
また、本出願人においては、ガラス基板１Ａ上に積層形成されたＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール１のリボンワイヤの接続方法として、図６に示すように、ガラス基板１Ａの端部上の極薄の金属裏面電極層（出力電極）１Ｃに通常のハンダ、例えば、Ｓｎ４０％、Ｐｂ６０％ハンダを載せ、銅箔２ＡにＳｎメッキ２Ｂしたリボンワイヤ（扁平出力導線）２を載せ、このリボンワイヤ２の上に超音波ハンダコテ４を当て、極薄の金属裏面電極層１Ｃにリボンワイヤ２を接続する方法を採っていたが、接着強度不足及び熱膨張係数の違いよる金属裏面電極層１Ｃの剥離又は破損という問題があった。なお、この場合、ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール１は受光面側にカバーガラス（図示省略。）を設置し、ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール１は前記ガラス基板１Ａとカバーガラスにより挟まれたサンドイッチ構造となるため、前記リボンワイヤ２と金属裏面電極層（出力電極）１Ｃとの接着力が多少小さくても問題とはならない。
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−３１９２１５号公報
【特許文献２】特開２００３−１４２７０３号公報
【特許文献３】特開２００２−３１４１０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は前記問題点を解消するもので、本発明の目的は、ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのガラス基板上の極薄のＭｏ等からなる金属裏面電極とリボンワイヤの接続のように、ハンダ付けし難く、かつ機械的強度が低い（脆い）ガラス基板上の極薄の金属裏面電極層とＳｎメッキ銅箔リボンワイヤとの接続を、低コストで、簡単かつ確実（所定の接着強度を有する）に行うことである。
【０００９】
本発明は、ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールにおける、ハンダ付けし難く、かつ機械的強度が低い（脆い）ガラス基板上の極薄の金属裏面電極層とＳｎメッキ銅箔リボンワイヤとの接続を、高価なＩｎハンダの使用量を削減して生産コストを低減し、前記接続を簡単かつ強固にすることが可能な接続方法を提供すると共に、前記接続工程で、電極膜又は導電膜を破損することなく、ガラス基板及び接続材料間の熱膨張係数の差による歪み又は破損を防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明は、前記問題点を解消するもので、ガラス基板上に、金属裏面電極層、電子部品の順に積層された電子部品モジュールの出力電極である金属裏面電極層にリボンワイヤ（扁平出力導線）を接続する電子部品モジュールのリボンワイヤの接続方法であって、前記ガラス基板端部上の極薄の金属裏面電極層からなる出力電極に金属導体（例えば、銅）箔にＳｎメッキしたリボンワイヤを接続する際、前記出力電極上面にＰｂ以外の融点の低いハンダを、予め、予備ハンダした後、前記出力電極に、前記リボンワイヤを載せ、リボンワイヤの上に超音波ハンダコテを当て、超音波ハンダコテにより前記予備ハンダを溶融させて前記出力電極に前記リボンワイヤをハンダ付けする電子部品モジュールのリボンワイヤの接続方法である。
【００１１】
（２）本発明は、ガラス基板上に、金属裏面電極層、ｐ型ＣＩＳ系（ＣＩＳ、ＣＩＧＳ、ＣＩＧＳＳ等を含む総称。）光吸収層、ｎ型高抵抗バッファ層、ｎ型透明導電膜からなる窓層の順に積層されたＣＩＳ系薄膜太陽電池デバイスを複数個、特定の電圧となるようにパターニングにより電気的に直列に接続したＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールの出力電極である金属裏面電極層にリボンワイヤ（扁平出力導線）を接続するＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法であって、前記ガラス基板端部上の極薄の金属裏面電極層からなる出力電極に金属導体（例えば、銅）箔にＳｎメッキしたリボンワイヤを接続する際、前記出力電極上面（全面）にＰｂ以外の融点の低いハンダを、予め、予備ハンダした後、前記出力電極に、前記リボンワイヤを載せ、リボンワイヤの上に超音波ハンダコテを当て、超音波ハンダコテにより前記予備ハンダを溶融させて前記出力電極に前記リボンワイヤをハンダ付けするＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法。
【００１２】
（３）本発明は、前記予備ハンダが、前記出力電極のハンダ付けする位置（箇所）及びそれを取り囲む領域にハンダ付けする前記（１）又は（２）に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法である。
【００１３】
（４）本発明は、前記予備ハンダの材質が、Ｉｎ又はＩｎとＡｇの合金からなる前記（１）、（２）又は（３）に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法である。
【００１４】
（５）本発明は、前記超音波ハンダコテの周波数は、４０〜８０ｋＨｚで、超音波ハンダコテのコテ先温度は、３５０〜４５０℃である前記（１）、（２）又は（３）に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法である。
【００１５】
（６）本発明は、前記超音波ハンダコテによりハンダ付けは、ハンダ付け対象部の寸法（距離）が長い場合、スポット状に一定間隔、５ｃｍ〜２５ｃｍ間隔で分散して複数箇所ハンダ付けを行う前記（１）、（２）又は（３）に記載の電子部品モジュール又はＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のリボンワイヤの接続方法により、ハンダ付けし難く、かつ機械的強度が低い（脆い）ガラス基板上の極薄のＭｏ等の金属裏面電極層とＳｎメッキ銅箔リボンワイヤとの接続を、低コストで、簡単かつ確実（所定の接着強度を有する）に行うことができる。
【００１７】
本発明のリボンワイヤの接続方法により、ハンダ付けし難く、かつ機械的強度が低い（脆い）ガラス基板上の極薄のＭｏ等の金属裏面電極層とＳｎメッキ銅箔リボンワイヤとの接続を、高価なＩｎハンダの使用量を削減して生産コストを低減し、簡単かつ強固にすると共に、前記接続工程で、金属裏面電極層を破損することなく、ガラス基板、極薄の金属裏面電極層及びリボンワイヤという接続材料間の熱膨張係数の差による歪み又は破損を防止することである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明は、ＣＩＳ系（ＣＩＳ、ＣＩＧＳ、ＣＩＧＳＳ等を含む総称）薄膜太陽電池モジュール１の出力電極である極薄の金属裏面電極層にリボンワイヤ（扁平出力導線）を接続するＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法に関する。ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール１は、複数のＣＩＳ系薄膜太陽電池デバイス１’が導電パターンにより電気的に接続されたものであり、ＣＩＳ系薄膜太陽電池デバイス１’は、図４に示すように、ガラス基板１Ａ上に、アルカリバリア層１Ｂ（必要に応じて設けなくてもよい。）、金属裏面電極層（Ｍｏが最適。）１Ｃ、ｐ型ＣＩＳ系光吸収層１Ｄ、ｎ型高抵抗バッファ層１Ｅ、ｎ型透明導電膜窓層１Ｆの順に高品質薄膜層が順次積層されたサブストレート構造のｐｎヘテロ接合デバイスである。
【００１９】
前記光吸収層１Ｄは、多元化合物半導体薄膜、特に、I-III-VI2 族カルコパイライト半導体、例えば、２セレン化銅インジウム(CuInSe2) 、２セレン化銅インジウム・ガリウム(CuInGaSe2) 、２セレン化銅ガリウム(CuGaSe2) 、２セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム(Cu(InGa)(SSe)2 ) 、２イオウ化銅インジウム(CuInS2 ) 、２イオウ化銅ガリウム(CuGaS2)、２イオウ化銅インジウム・ガリウム(CuInGaS2)、薄膜の２セレン・イオウ化銅インジウム・ガリウム(Cu(InGa)(SSe)2)を表面層として有する２セレン化銅インジウム・ガリウム(CuInGaSe2) のようなｐ型半導体からなる。なお、前記光吸収層１Ｄは前記のように、ＣＩＳ、ＣＩＧＳ、ＣＩＧＳＳ等からなり、このような光吸収層１Ｄを構成要件とする薄膜太陽電池モジュールを総称してＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールという。
【００２０】
本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法の詳細を以下に説明する。図１（（ａ）、（ｂ））及び図２に示すように、前記ガラス基板１Ａの端部上の極薄のＭｏ等の金属裏面電極層（出力電極）１Ｃに、金属導体（例えば、銅）箔にＳｎメッキしたリボンワイヤ（扁平出力導線）２を接続する際、前記金属裏面電極層１Ｃの上面（接着面全面）にＰｂ以外の融点の低いハンダ（Ｉｎが最適である。）を、予め、予備ハンダ３した後、前記金属裏面電極層１Ｃに、前記リボンワイヤ２を載せ、このリボンワイヤ２の上に超音波ハンダコテ４を当て、超音波ハンダコテ４により前記予備ハンダ３を溶融させて金属裏面電極層１Ｃにリボンワイヤ２をハンダ付けする。この方法の場合、ガラス基板１Ａ（厚さ１．８〜２．０ｍｍ）、リボンワイヤ２（厚さ約０．１６ｍｍ）と比較して、金属裏面電極層１Ｃ（厚さ１００〜２０００ｎｍ）は極めて薄く、特に、材質がＭｏのように比較的脆い材質であっても、ガラス基板１Ａ上の極薄の金属裏面電極層１ＣとＳｎメッキ銅箔リボンワイヤ２との接続を、低コストで、簡単かつ確実（所定の接着強度を有する）に行うことができると共に、ガラス基板、極薄の金属裏面電極層及びリボンワイヤという接続材料間の熱膨張係数の差による歪み又は破損を防止することができる。なお、前記図１（ｂ）は図１（ａ）の矢印Ａ方向から見た図であり、図２は図１（ａ）の矢印Ｂ方向から見た図である。
【００２１】
また、量産品のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールはその接続部分の寸法が比較的長いので、（例えば、３０ｃｍ〜１．２ｍ程である。）ので、図３に示すように、前記金属裏面電極層１Ｃの上面のハンダ付け箇所（５ｃｍ〜２５ｃｍ間隔で分散）に、Ｐｂ以外の融点の低いハンダ（Ｉｎが最適である。）を、予備ハンダ３した後、スポット状（その予備ハンダした箇所）に一定間隔、５ｃｍ〜２５ｃｍ間隔で分散して複数箇所ハンダ付けを行う。その結果、高価なハンダ材料であるＩｎの使用量が削減され、製造コストを減少することができる。なお、前記図３は、図１（ａ）の矢印Ｂ方向から見た図である。
【００２２】
前記超音波ハンダコテ４の周波数を、４０〜８０ｋＨｚで、超音波ハンダコテのコテ先温度を、３５０〜４５０℃にすることにより、予備ハンダ３であるＩｎ又はＩｎとＡｇの合金を、ガラス基板１Ａ上に設けたＭｏからなる金属裏面電極層１Ｃにハンダ付けできる。コテ先温度が前記温度範囲であっても、コテ先が１箇所に留まっていないので、ガラス基板１Ａ及びその他のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールの構成部材に与える影響は少ない。新しいハンダをコテ先に供給してガラス基板１Ａ上のＭｏからなる金属裏面電極層１Ｃとリボンワイヤ２を接着させるとその接着箇所はハンダ層の厚さがやや厚くなり、リボンワイヤ２と予備ハンダ３の接着強度が増加する。このような接着箇所を１５ｃｍ〜２５ｃｍ間隔で行うことにより、部分的に接着強度の大きい箇所ができる。その前後の位置では、リボンワイヤ２は金属裏面電極層１Ｃに接触している状態である。
【００２３】
前記一定間隔で分散して複数箇所ハンダ付けを行う接続方法におけるリボンワイヤ（扁平出力導線）２とＭｏからなる金属裏面電極層１Ｂとの接着強度試験の測定結果を図５に示す。ハンダ付けした箇所の接着強度は、０．６ｋｇ〜１．０ｋｇの範囲であり、満足する接着強度であると考えられる。リボンワイヤ２と金属裏面電極層１Ｂとの接着強度は、リボンワイヤ２をガラス基板１Ａ（上の金属裏面電極層１Ｂ）に対して直角（垂直）に引張り、その先にプルテスターを取り付けておくことにより、引張り強度（接着強度）として確認できる。前記測定結果において、高い数値を得た箇所は、超音波ハンダコテ４の使用により、ハンダが溶融し金属裏面電極層１Ｂと合金を形成し、これがガラス基板１Ａと接着しているため大きな接着強度が得られると推測される。（ハンダが金属裏面電極層１Ｂを貫いてガラス基板の表面と接着している可能性がある。）
【００２４】
なお、前記測定結果においては、引っ張り強度の単位はｋｇであるが、これをｋＰａに換算すると、１ｋｇは９８ｋＰａ（リボンワイヤの幅２ｍｍ、ハンダ付け関与長さ５ｍｍとして、その面積１×１０-5ｍ2 、１ｋｇｆ＝９．８Ｎ、）となり、前記測定結果の引っ張り強度０．６〜１ｋｇは十分な引っ張り強度であると認識される。
【００２５】
因みに、前記一定間隔で分散して複数箇所ハンダ付けを行う接続方法におけるリボンワイヤ２とガラス基板１Ａ（金属裏面電極層１Ｂを介さずに）との接着強度試験の測定結果、即ち、ガラス基板１Ａ上のハンダ付け箇所に、図５の場合と同様に、Ｉｎ又はＩｎとＡｇの合金からなる予備ハンダ３を載置又は溶かし、その上にＳｎメッキ銅箔リボンワイヤ２を載置し、ハンダ付け箇所のリボンワイヤ２の上から超音波ハンダコテ４を当ててガラス基板１Ａにリボンワイヤ２を接着した場合の接着強度の測定結果、を図６に示す。Ｉｎ又はＩｎとＡｇの合金からなる予備ハンダ３を行い、超音波ハンダコテ４によりハンダ付けすることにより、ハンダ付け箇所では、リボンワイヤ２とガラス基板１Ａとの間で０．４〜０．６ｋｇの引っ張り強度が得られ、前記図５に示した引っ張り強度（０．６〜１ｋｇ）と比較すると多少小さいがこれだけでも必要程度の引っ張り強度を有するものである。
【００２６】
前記のように、ハンダ付け箇所にＩｎ又はＩｎとＡｇの合金からなる予備ハンダ３を行い、超音波ハンダコテ４により、リボンワイヤ２とＭｏからなる金属裏面電極層１Ｂをハンダ付けする本発明の接続方法におけるリボンワイヤ２と金属裏面電極層１Ｂとの間の接着力（図５参照。）は、ハンダ付け箇所にＩｎ又はＩｎとＡｇの合金からなる予備ハンダ３を行い、超音波ハンダコテ４により、リボンワイヤ２と金属裏面電極層１Ｂをハンダ付けした場合のリボンワイヤ２とガラス基板１Ａとの間の接着力（図６参照。）と比較して、より大きい引っ張り強度が得られ、ガラス板間にサンドイッチ構造された太陽電池モジュールの場合は勿論、ガラスサンドイッチ構造でない太陽電池モジュールにおいても、耐久性及び電気性能を十分満足することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】（ａ）本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法を示す概略図（平面図）である。          （ｂ）本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法において、予備ハンダを金属裏面電極層の上面に一様にハンダ付けした場合を示す概略図（正面図：図１（ａ）の矢印Ａ方向から見た図）である。
【図２】本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法を示す概略図（側面図：図１（ａ）の矢印Ｂ方向から見た図）である。
【図３】本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法において、予備ハンダを金属裏面電極層の上面の超音波ハンダ付けを行う箇所のみにハンダ付けした場合を示す概略図（正面図：図１（ａ）の矢印Ａ方向から見た図）である。
【図４】本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールを構成するＣＩＳ系薄膜太陽電池デバイスの概略構成図（断面図）である。
【図５】本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法により接続されたリボンワイヤとガラス基板上に設置された金属裏面電極層との接着力の測定結果を示す図である。
【図６】本発明のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法により接続されたリボンワイヤとガラス基板との接着力の測定結果を示す図である。
【図７】従来のＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュールのリボンワイヤの接続方法を示す概略図（側面図：図１（ａ）の矢印Ｂ方向から見た図）である。
【符号の説明】
【００２８】
１    ＣＩＳ系薄膜太陽電池モジュール
１’  ＣＩＳ系薄膜太陽電池デバイス
１Ａ  ガラス基板
１Ｂ  アルカリバリア層
１Ｃ  金属裏面電極層
１Ｄ  ｐ型ＣＩＳ系光吸収層
１Ｅ  ｎ型高抵抗バッファ層
１Ｆ  ｎ型透明導電膜窓層
２    リボンワイヤ（Ｓｎメッキ銅箔）
２Ａ  銅箔
２Ｂ  Ｓｎメッキ層
３    予備ハンダ（Ｉｎ又はＩｎ−Ａｇ合金）
４    超音波ハンダコテ
【図１】
2008282919.tif 000003
【図２】
2008282919.tif 000004
【図３】
2008282919.tif 000005
【図４】
2008282919.tif 000006
【図５】
2008282919.tif 000007
【図６】
2008282919.tif 000008
【図７】
2008282919.tif 000009