(57)【要約】【課題】被加工材に圧入される切刃凸部に対して効果的にスラリーを供給し、切刃凸部により発生した加工屑の排出を促進して、加工を良好に行うことができる軟質材加工用回転工具を提供する。【解決手段】軟質材よりなる被加工材に対して加工を施す軟質材加工用回転工具であって、軸線回りに回転される基板を有し、該基板の表面には、上方に向けて突出する台座部１２が設けられ、この台座部１２は上方を向く台座面１３を備えており、台座面１３には、上方に向けて突出する切刃凸部１５が設けられるとともに、この切刃凸部１５の近傍から台座面１３の周縁部まで延びる凹溝１４が形成されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟質材よりなる被加工材に対して加工を施す軟質材加工用回転工具であって、
軸線回りに回転される基板を有し、該基板の表面には、上方に向けて突出する台座部が設けられ、この台座部は上方を向く台座面を備えており、
前記台座面には、上方に向けて突出する切刃凸部が設けられるとともに、この切刃凸部の近傍から台座面の周縁部まで延びる凹溝が形成されていることを特徴とする軟質材加工用回転工具。
【請求項２】
前記切刃凸部は、前記台座面の中央部分に設けられており、前記台座面には、前記切刃凸部近傍から放射状に延びる複数の前記凹溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の軟質材加工用回転工具。
【請求項３】
前記凹溝は、前記切刃凸部に近づくにしたがい漸次溝深さが浅くなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の軟質材加工用回転工具。
【請求項４】
前記凹溝の溝深さは、前記台座部の前記基板表面からの高さの１／２以下とされていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の軟質材加工用回転工具。
【請求項５】
前記切刃凸部の上面には、該上面の一の周縁部から他の周縁部へと貫通した貫通溝が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の軟質材加工用回転工具。
【請求項６】
前記切刃凸部が、耐摩耗材料で構成されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の軟質材加工用回転工具。
【請求項７】
前記切刃凸部の表面が、ダイヤモンド膜により被覆されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の軟質材加工用回転工具。
【請求項８】
ＣＭＰ研磨用パッドをコンディショニングするパッドコンディショナーに備えられたことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の軟質材加工用回転工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔性の樹脂・ゴム・ポリウレタンラバー等からなるパッド、例えば、半導体ウエハの研磨用パッド等の軟質材の表面を加工・調整するための回転工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体産業の進展とともに、金属、半導体、セラミックス等の表面を高精度に仕上げる加工方法の必要性が高まっており、特に、半導体ウエハでは、その集積度の向上とともにナノメーター（１／１０００ミクロン）オーダーの表面仕上げが要求されてきている。このような高精度の表面仕上げに対応するために、半導体ウエハに対して、多孔性のパッド（研磨布）を用いたＣＭＰ研磨（ケミカルメカニカルポリッシュ）が一般的に行われている。ＣＭＰ研磨とは、砥粒等を用いる機械的な研磨と、アルカリ液、酸性液等でエッチングする化学的研磨を組み合わせたものである。
【０００３】
半導体ウエハ等の研磨に用いられるパッドは、研磨時間が経過していくにつれ、目詰まりや圧縮変形を生じ、その表面状態が次第に変化していく。すると、研磨速度の低下や不均一研磨等の好ましくない現象が生じるので、パッドの表面を定期的に加工・調整することにより、パッドの表面状態を一定に保って、良好な研磨状態を維持する工夫が行われている。
【０００４】
このパッドを加工・調整するために用いられる軟質材加工用回転工具の一例として、特許文献１及び２に開示されているように、基板の表面に、上方に突出する複数の切刃凸部が形成されたものが提供されている。
このような軟質材加工用回転工具は、その基板の表面を、軸線回りに回転させられているパッドの表面に対して一定の荷重で押し当てることにより、この基板がパッドの回転運動にともなって回転運動を行い、パッドの表面に圧入されている切刃凸部によってパッドの表面を加工・調整していくものである。
【０００５】
パッドの加工を行う際には、軟質材加工用回転工具に対して砥粒を含んだスラリーを供給している。これにより、砥粒によって機械的にパッドを研磨するとともに、研磨により発生した加工屑をスラリーの流れに乗せて外部へと排出している。ここで、特許文献３には、基板の表面に縦方向及び横方向に延びる多数の溝を形成したものが提案されている。この軟質材加工用回転工具では、これら格子状に配置された多数の溝を通じてスラリーを供給して、加工屑の排出を促進するものである。
【特許文献１】特開平７−３２８９３７号公報
【特許文献２】特開平１０−４４０２３号公報
【特許文献３】特表２００３−５１１２５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献３に開示された軟質材加工用回転工具においては、基板の表面に格子状に設けられた溝が基板表面を貫通するように、つまり、基板の一の周縁部から他の周縁部にまで達するように形成されている。よって、この溝を通じてスラリーが流れるので、実質的にパッド（被加工材）に圧入される切刃凸部に対してスラリーが供給されずに、基板表面を流れてしまうことになる。このため、切刃凸部で発生した加工屑をスラリーとともに排出することが困難となり、加工屑が切刃凸部に溶着したり、パッド表面に加工屑が付着したりするおそれがあった。また、切刃凸部への加工屑の溶着等により、この軟質材加工用回転工具の加工能力が大きく変動してしまうといった問題があった。
【０００７】
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、被加工材に圧入される切刃凸部に対して効果的にスラリーを供給し、切刃凸部により発生した加工屑の排出を促進して、加工を良好に行うことができる軟質材加工用回転工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、この発明は、軟質材よりなる被加工材に対して加工を施す軟質材加工用回転工具であって、軸線回りに回転される基板を有し、該基板の表面には、上方に向けて突出する台座部が設けられ、この台座部は上方を向く台座面を備えており、  前記台座面には、上方に向けて突出する切刃凸部が設けられるとともに、この切刃凸部の近傍から台座面の周縁部まで延びる凹溝が形成されていることを特徴としている。
【０００９】
この構成の軟質材加工用回転工具では、台座部の台座面に切刃凸部が設けられているので、軟質材加工用回転工具を被加工材に押し付けた際に、被加工材が台座部によっても押さえつけられることになり、切刃凸部を被加工材のより深い位置まで安定して入り込ませることができ、回転工具による加工を安定して効率良く行うことができる。
そして、基板の表面から突出する台座部の台座面に、切刃凸部の近傍から台座面の周縁部にまで延びる凹溝が形成されているので、スラリーは、台座面の周縁部に開口した凹溝と台座面で押さえつけられた被加工材とで画成された空間を通じて流れ、切刃凸部側の端部に衝突して切刃凸部に向かって吐出される。
【００１０】
したがって、スラリーを切刃凸部に向かって確実に供給することができる。また、切刃凸部によって発生した加工屑をスラリーとともに外部へと確実に排出でき、加工屑の切刃凸部への溶着や被加工材表面への加工屑の付着等のトラブルを防止することができる。
この凹溝は、切刃凸部の側面にまで達するように形成されていても良いし、切刃凸部に向けてスラリーが優先的に供給されるように構成されていれば切刃凸部の近傍で切り上げられていても良い。なお、切刃凸部の側面と凹溝の切刃凸部側の端部との距離は０．２ｍｍ以下とすることが望ましい。
【００１１】
ここで、前記切刃凸部を、前記台座面の中央部分に設けて、前記台座面に、前記切刃凸部近傍から放射状に延びる複数の前記凹溝を形成してもよい。
この場合、一の凹溝を通じて切刃凸部に向けて供給されたスラリーを、他の凹溝を通じて外部へと排出することができ、加工屑の排出をさらに促進することができる。また、複数の凹溝を放射状に形成することで、この軟質材加工用回転工具を被加工材に対して回転させながら揺動させた場合でも、複数の凹溝のうちの一つが台座部の進行方向前方側に向けて開口するように配置されることになり、スラリーを切刃凸部に向けて確実に供給することができる。
【００１２】
さらに、前記凹溝を、前記切刃凸部に近づくにしたがい漸次溝深さが浅くなるように構成してもよい。
この場合、凹溝の中を流れてきたスラリーが切刃凸部側の端部で上方（切刃凸部の突出方向）に向かって勢い良く吐出されることになり、切刃凸部へのスラリーの供給をより促進することができる。
【００１３】
また、前記凹溝の溝深さは、前記台座部の前記基板表面からの高さの１／２以下とすることが好ましい。
このように溝深さを規定することにより、スラリーや加工屑が流れる空間を確保できるとともに、台座部の強度を確保することができる。
【００１４】
さらに、前記切刃凸部の上面に、該上面の一の周縁部から他の周縁部へと貫通した貫通溝を形成してもよい。
この場合、切刃凸部を被加工材に対して圧入した場合でも被加工材と切刃凸部との間に貫通溝によって空間が生じ、この空間を通じてスラリーや加工屑を排出することができる。よって、被加工材表面の残留物の除去がスムーズに行うことができ、かつ、切刃凸部への加工屑の溶着を確実に防止できる。
【００１５】
また、前記切刃凸部を、耐摩耗材料で構成することにより、切刃凸部の耐摩耗性を向上でき、長期間に亘って被加工材を安定して加工することができ、この軟質材加工用回転工具の寿命延長を図ることができる。ここで、耐摩耗性材料の具体例としては、炭化けい素（ＳｉＣ）、窒化けい素（ＳｉＮ）などが挙げられる。
また、前記切刃凸部の表面を、ダイヤモンド膜により被覆することにより、切刃凸部の耐摩耗性をさらに向上することができ、この軟質材加工用回転工具のさらなる寿命延長を図ることができる。
【００１６】
また、前記の軟質材加工用回転工具をＣＭＰ研磨用パッドを加工・調整してコンディショニングするパッドコンディショナーに使用した場合には、パッドの表面全体を安定して加工することができ、パッド表面の調整を効率良く確実に行うことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、被加工材に圧入される切刃凸部に対して効果的にスラリーを供給し、切刃凸部により発生した加工屑の排出を促進して、加工を良好に行うことができる軟質材加工用回転工具を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。図１から図３に本実施形態である軟質材加工用回転工具を示す。
軟質材加工用回転工具１０は、軸線を中心として工具回転方向に向けて回転される概略円板状をなす基板１１を備えている。基板１１は、ＳｉＣ（炭化けい素）で構成され、互いに平行な、かつ、それぞれ前記軸線に対して直交するように延びる表面１１Ａ及び底面を有している。
【００１９】
基板１１の表面１１Ａにおける中央領域を除いた径方向外周側の周縁領域には、上方に向けて突出する少なくともひとつの台座部１２が設けられており、本実施形態では、図１に示すように、複数の台座部１２が配置されている。
これらの複数の台座部１２は、それぞれ同一形状の円柱状を呈しており、略円形面をなす上面が台座面１３とされており、この台座面１３は、基板１１の底面と略平行に配置されている。なお、複数の台座部１２の台座面１３の高さ（基板１１の表面１１Ａからの突出高さ）は、互いに等しくされている。
【００２０】
また、台座部１２には、台座面１３の中央部分から上方に突出する概略正四角柱状をなす切刃凸部１５が形成されている。このように、ひとつの台座部１２のそれぞれに対して、その台座面１３の中央部分にひとつの切刃凸部１５が上方に突出して形成されているため、これら台座部１２及び切刃凸部１５は、外径の大きな円柱状をなす台座部１２と略正四角柱状をなす切刃凸部１５とが同軸に接続されたような２段突起状をなしており、基板１１の表面１１Ａには、複数の台座部１２と同じ数だけ、複数の切刃凸部１５が存在することになる。
【００２１】
切刃凸部１５の上面部１６は、図２及び図３に示すように、基板１１の底面に平行な平面（基板１１の表面１１Ａ）に対して傾斜した傾斜面とされている。
また、切刃凸部１５の４つの側面１７は台座面１３から略垂直に延びており、この４つの側面１７と上面部１６（傾斜面）との交差稜線、つまり上面部１６の全ての辺稜部に切刃稜線部１８が形成されている。
【００２２】
また、全ての切刃凸部１５の台座面１３からの突出高さは互いに等しくされており、台座面１３の基板１１表面１１Ａからの突出高さが互いに等しくされていることから、全ての切刃凸部１５の基板１１表面１１Ａからの高さも互いに等しくされている。本実施形態では、台座面１３が基準面とされ、この基準面（台座面１３）からの切刃凸部１５の突出高さが０．０３ｍｍから０．１５ｍｍの範囲内となるように設定されている。
【００２３】
さらに、少なくとも切刃凸部１５の上面部１６には気相合成ダイヤモンド膜２０がコーティングされている。本実施形態においては、複数の切刃凸部１５及び台座部１２を含む基板１１の表面１１Ａ全体が、気相合成ダイヤモンド膜２０でコーティングされており、その膜厚は０．５μｍから５０μｍとされている。
このような気相合成ダイヤモンド膜２０は、前記のような複数の台座部１２と複数の切刃凸部１５とを有する基板１１に対して、例えば、マイクロ波プラズマを利用する方法や熱フィラメントを利用する方法等の公知の方法を用いることにより、複数の台座部１２及び複数の切刃凸部１５とを含む基板１１の表面１１Ａ全体にわたって形成される。
【００２４】
そして、台座面１３には、切刃凸部１５から台座面１３の周縁部に向けて延びる凹溝１４が設けられている。本実施形態では、図２及び図４に示すように、切刃凸部１５の４つの側面１７にそれぞれ直交する方向に延びる４つの凹溝１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが設けられており、これら４つの凹溝１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄは、台座面１３に対向する側から見て、周方向に９０°間隔に配置されている。
【００２５】
ここで、凹溝１４は、その幅が前記切刃凸部１５の幅よりも狭くされて前記側面１７の幅方向略中央に位置するようにされており、凹溝１４の切刃凸部１５側の端部は、切刃凸部１５の側面１７から面一に延びる壁面により閉塞させられているとともに、台座面１３の周縁部側の端部は台座部１２の外周面に開口するように構成されている。また、凹溝１４の深さは、台座部１２の突出高さの１／２以下とされ、前記切刃凸部１５に向かうにしたがい漸次浅くなって前記壁面に達するようにされている。なお、この凹溝１４は、例えばレーザ加工によって形成される。
【００２６】
このように構成された軟質材加工用回転工具１０は、基板１１の底面にステンレスや樹脂等からなる板材が貼り付けられたり、基板１１がステンレス等の板材に形成された凹みに焼き嵌めされたりして組み付けられてから、実際のパッドＰの加工に用いられることになる。
【００２７】
そして、組み付けられた状態の軟質材加工用回転工具１０は、その基板１１の表面１１Ａを、パッド回転方向に向けて回転させられている多孔性の樹脂・ゴム・（独立気泡を有する）ポリウレタンラバー等からなるパッドＰの表面に略平行に対向させて一定の荷重で押し当てることにより、基板１１がパッドＰの回転運動にともなって工具回転方向に向けて前記表面１１Ａ及び底面に垂直な回転軸線回りに回転運動を行い、パッドＰ表面に接地して圧入している複数の切刃凸部１５に形成された切刃稜線部１８で、パッドＰ表面を加工する。この加工の際には、基板１１の表面１１Ａに、砥粒を含んだスラリーが供給される。
【００２８】
実際には、切刃稜線部１８をコーティングしている気相合成ダイヤモンド膜２０が、パッドＰの表面を加工することになる。
なお、パッドＰの回転速度が軟質材加工用回転工具１０の回転速度と同じとなってパッドＰと軟質材加工用回転工具１０との相対速度がゼロとなると、パッドＰを加工することができなくなってしまうので、パッドＰの回転速度は、軟質材加工用回転工具１０の回転速度と所定の速度差が生じるように設定されている。
【００２９】
この構成の軟質材加工用回転工具１０においては、切刃凸部１５が基板１１の表面１１Ａから上方に突出された台座部１２の台座面１３に形成されているので、軟質材加工用回転工具１０をパッドＰ表面に押し付けた際に、図３に示すように、この台座部１２によってもパッドＰが押さえつけられることになり、パッドＰと台座面１３の周縁部とが接触することになる。
【００３０】
ここで、台座面１３に、切刃凸部１５の側面１７から台座面１３の周縁部にまで延びる凹溝１４が形成されているので、加工時に供給されるスラリーは、凹溝１４の台座面１３の周縁部側の端部、つまり台座部１２の外周面に開口した部分から流れ込んでいき、切刃凸部１５側の端部の前記壁面に衝突して切刃凸部１５に向けて吐出される。
これにより、スラリーを、パッドＰとパッドＰに圧入される切刃凸部１５との間に介在させて、パッドＰを効率的に加工することができる。さらに、この加工によって発生した加工屑をスラリーとともに外部へと確実に排出でき、加工屑の切刃凸部１５への溶着やパッドＰ表面への付着を防止することができる。
【００３１】
また、切刃凸部１５が台座面１３の中央部分に配置され、この切刃凸部１５の４つの側面１７にそれぞれ直交する方向に延びる４つの凹溝１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが形成されているので、一の凹溝１４Ａを通じて切刃凸部１５に向けて供給されたスラリーを、他の凹溝１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄを通じて外部へと排出することができ、加工屑の排出を促進することができる。また、４つの凹溝１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄが放射状に形成されているので、この軟質材加工用回転工具１０をパッドＰに対して回転させながら揺動させた場合でも、４つの凹溝１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄのうちの一つが台座部１２の進行方向前方側に向けて開口するように配置され、スラリーを切刃凸部１５に向けて確実に供給することができる。
【００３２】
さらに、本実施形態では、凹溝１４の溝深さが前記切刃凸部１５に向かうにしたがい漸次浅くなるように構成されているので、凹溝１４を通じて流れてきたスラリーを切刃凸部１５に向かって吐出することができ、切刃凸部１５の圧入部分へスラリーをより確実に供給することができる。
また、凹溝１４の溝深さが台座部１２の突出高さの１／２以下とされているので、スラリーや加工屑が流れる空間を確保できるとともに、台座部１２の強度を確保することができる。
【００３３】
また、前述のように、軟質材加工用回転工具１０をパッドＰ表面に押し付けた際に、台座部１２によってもパッドＰが押さえつけられることになるので、切刃凸部１５をパッドＰのより深い位置まで安定して入り込ませることができ、この軟質材加工用回転工具１０による加工をさらに安定して効率良く行うことができる。
なお、切刃凸部１５がパッドＰに入り込む深さは、台座部１２の台座面１３とパッドＰ表面との接触により決まるので、切刃凸部１５の台座面１３からの突出高さを調整することにより加工速度を制御して、精度良くパッドＰを加工することができる。
【００３４】
また、切刃凸部１５が耐摩耗材料であるＳｉＣで構成されるとともに、切刃凸部１５及び台座部１２を含む基板１１の表面１１Ａ全体が気相合成ダイヤモンド膜２０でコーティングされているので、切刃凸部１５及び台座部１２の耐摩耗性が向上され、長期間に亘ってパッドＰを安定して加工することができ、この軟質材加工用回転工具１０の寿命延長を図ることができる。
【００３５】
さらに、本実施形態では、切刃凸部１５の上面部１６が傾斜面とされ、この上面部１６（傾斜面）の辺稜部に切刃稜線部１８が形成されているので、例えば、切刃凸部１５の前方側（最も高く突出した部分側）からパッドＰが接触するときには、図３に示すように、パッドＰの表面に切刃凸部１５が圧入されて、パッドＰが、切刃凸部１５のうち最も高く突出された部分（以下、突端部）が押し当てられた部分では大きく凹むように弾性変形させられ、切刃凸部１５の前記突端部に連なる上面部１６では、上面部１６がなす傾斜面に沿うように弾性復帰される。よって、切刃凸部１５がパッドＰに深く入り込むこととなり、パッドＰを効率良く加工することができる。
【００３６】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図５及び図６に本発明の第２の実施形態である軟質材加工用回転工具１０を示す。なお、第１の実施形態と同一の部材には同一の符号を付して説明を省略する。
この第２の実施形態においては、図５及び図６に示すように、台座面１３に形成される切刃凸部１５の上面部１６に貫通溝１９が形成されている。
【００３７】
詳述すると、この切刃凸部１５は、概略正四角柱状をなしており、その上面部１６が基板１１表面１１Ａ及び台座面１３に対して傾斜する傾斜面とされている。そして、この上面部１６には、上面部１６の傾斜方向に沿って延びて上面部１６の一の周縁部から他の周縁部にまで貫通する貫通溝１９が設けられているのである。
【００３８】
この軟質材加工用回転工具１０を用いてパッドＰを加工する場合には、図６に示すように、パッドＰ表面と貫通溝１９とによってスラリー及び加工屑が流通する流通路が画成され、これらスラリー及び加工屑の排出が促進される。よって、切刃凸部１５に加工屑等が付着することを確実に抑制でき、パッドＰの加工をさらに効率良く行うことができる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、凹溝は、本実施形態のように切刃凸部の側面にまで達するように形成されていても良いし、図７に示すように切刃凸部の近傍で切り上げられていてもよく、切刃凸部に向けてスラリーが供給されるように構成されていればよい。なお、切刃凸部の側面と凹溝端部との距離は、０．２ｍｍ以下であることが望ましい。
【００４０】
また、凹溝の本数や配置は、本実施形態に限定されることはなく、台座部及び切刃凸部のサイズや形状、被加工材の材質、供給するスラリー、加工条件等を考慮して適宜設定することができる。
例えば、図８に示すように、正四角柱状をなす切刃凸部１５の側面及び角部に向けて延びるようにして８つの凹溝１４を放射状に形成しても良い。また、図９に示すように、４つの凹溝１４を切刃凸部１５の側面に対してそれぞれ同一方向に傾斜させたものであってもよい。さらに、図１０に示すように、台座面１３に対向する側から見て凹溝１４が曲線状をなすように構成されていてもよい。
【００４１】
さらに、凹溝の溝深さを、切刃凸部に向かうにしたがい漸次浅くなるように構成したものとして説明したが、これに限定されることはなく、溝深さが一定であってもよい。
また、溝深さが切刃凸部側に向けて漸次浅くなって凹溝の切刃凸部側の端部が切刃凸部と台座面との交差稜線部に達するように構成してもよいし、切刃凸部の近傍で切り上げられていてもよい。
【００４２】
また、凹溝の断面形状についても限定はなく、図１１に示すような断面Ｖ字状でもよく、図１２に示すような側壁が階段状に形成されたステップ形状であってもよい。なお、凹溝をレーザ加工によって段階的に形成した場合には、断面がステップ形状となる。
【００４３】
また、本実施形態においては、切刃凸部及び台座部が形成される基板をＳｉＣ（炭化けい素）で構成したものとして説明したが、基板を構成する材料に関しては、気相合成ダイヤモンド膜の生成のしやすさと、台座部及び切刃凸部の形成のし易さと、実用に耐えるための機械的特性との観点から、例えば、以下に示すようなものが適しており、これらの材料で構成されていれば良い。
（１）
４ａ族、５ａ族、６ａ族のうちのいずれかの金属もしくはシリコンとの炭化物、窒化物もしくは炭窒化物、
４ａ族、５ａ族、６ａ族のうちのいずれかの金属とシリコンとの炭化物、窒化物もしくは炭窒化物、
シリコン、のうちのいずれか１種、または、これらの複合体。
（２）
４ａ族、５ａ族、６ａ族のうちのいずれかの金属もしくはシリコンとの炭化物、窒化物もしくは炭窒化物のうちの少なくとも１種と、
鉄、ニッケルもしくはコバルトのうちの少なくとも１種との複合体からなる超硬合金。
（３）
シリコンもしくはアルミニウムの窒化物もしくは酸化物のうちいずれか１種、またはこれらの複合体。
【００４４】
また、本実施形態では、切刃凸部の形状を略正四角柱状としてその上面部を傾斜面としたものとして説明したが、これに限定されることはなく、切刃凸部の上面部が台座面及び基板の表面に対して平行とされていてもよい。また、切刃凸部自体が円柱状をなしていてもよい。
さらに、第２の実施形態において、切刃凸部の上面部に貫通溝を形成したもので説明したが、この貫通溝の形状、本数等に特に制限はなく、切刃凸部としての剛性を確保できるものであればよい。
また、台座部や切刃凸部の個数、配置、基板の直径等は、加工条件などを考慮して適宜設定することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施形態である軟質材加工用回転工具の基板の上面図である。
【図２】図１に示す軟質材加工用回転工具に設けられた台座部及び切刃凸部の斜視図である。
【図３】パッドの加工状態を示す台座部及び切刃凸部の断面図である。
【図４】図２に示す台座部及び切刃凸部の上面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態である軟質材加工用回転工具の切刃凸部の斜視図である。
【図６】図５に示す切刃凸部でのパッドの加工状態を示す説明図である。
【図７】本発明の他の実施形態である軟質材加工用回転工具に備えられた台座部及び切刃凸部の上面図である。
【図８】本発明の他の実施形態である軟質材加工用回転工具に備えられた台座部及び切刃凸部の上面図である。
【図９】本発明の他の実施形態である軟質材加工用回転工具に備えられた台座部及び切刃凸部の上面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態である軟質材加工用回転工具に備えられた台座部及び切刃凸部の上面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態である軟質材加工用回転工具に備えられた凹溝の断面形状を示す説明図である。
【図１２】本発明の他の実施形態である軟質材加工用回転工具に備えられた凹溝の断面形状を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  軟質材加工用回転工具
１１  基板
１２  台座部
１３  台座面
１４  凹溝
１５  切刃凸部
１６  上面部（上面）
１７  側面
１９  貫通溝
２０  気相合成ダイヤモンド膜（ダイヤモンド膜）
【図１】
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【図２】
2008137088.tif 000004
【図３】
2008137088.tif 000005
【図４】
2008137088.tif 000006
【図５】
2008137088.tif 000007
【図６】
2008137088.tif 000008
【図７】
2008137088.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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