(57)【要約】【課題】圧電素子を振動板に接着する際に圧電素子に掛かる荷重によって、圧電素子の割れやクラックが発生するのを防止ことを課題とする。【解決手段】ノズル３０側を接合ステージ８６に載せてノズル３０から外部の空気の流入を遮断し、振動板２８上に配置された周壁６８を押圧プレート７０で閉塞することで、ノズル３０、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２が密閉された状態となる。これにより、圧電素子６６に荷重が掛かっても、圧力室４４内の圧力が外部へ逃げることがないので、圧力室４４を構成する振動板２８が圧力室４４側に撓むのが防止できる。したがって、圧電素子６６に割れやクラックが発生しない。【選択図】図２
2008062509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、
前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、
前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、
前記振動板に配置され、前記液体供給口を閉塞する閉塞手段と、
を有して構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記閉塞手段は、前記液体供給口の周囲に設けられ、前記振動板に接合される圧電素子と略同一高さの周壁であり、前記ノズル側を接合ステージに載せて該ノズルを塞ぎ、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合するときに、前記押圧プレートで前記周壁の開口が閉塞されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、
前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、
前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、
を備えて構成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記ノズル側を接合ステージに載せて該ノズルを塞ぎ、前記液体供給口を閉塞し、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、
前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、
前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、
を備えて構成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記ノズル側を接合ステージに載せて該ノズルを塞ぎ、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合するときに、前記押圧プレートに形成された空気口より前記液体供給口へ空気を供給することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、
前記圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、
前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、
前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、
前記振動板に配置され、前記液体供給口を閉塞する閉塞手段と、
を備えて構成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、
前記液体供給口を閉塞し、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合するときに、前記ノズル側を載せる接合ステージに形成されたノズル空気口より前記ノズルへ空気を供給することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を吐出して画像を記録する液滴吐出ヘッド及び、この液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のノズルからインク滴を吐出し、記録媒体に文字や画像等を印刷するインクジェット記録装置において、圧電素子の変形を利用して液滴を吐出させるピエゾインクジェット方式等が、高解像度、高速印字性などの観点から多く利用されている。
【０００３】
この種のインクジェット記録装置では、接着剤で振動板上に圧電素子を接合するとき、押圧プレートで圧電素子を振動板に押し付ける（特許文献１参照）。このとき、図９（Ｂ）に示すように、圧電素子６６は圧力室４４の上に配置されるため、圧電素子６６に荷重が掛かった際に、振動板２８が圧力室４４側に撓んでしまう。これにより、圧電素子６６に割れやクラックが生じてしまい、歩留まり低下の原因となっていた。
【特許文献１】特開２００４−２０９８７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記問題を考慮し、圧電素子を振動板に接着する際に圧電素子に掛かる荷重によって、圧電素子の割れやクラックが発生するのを防止することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の本発明は、液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、前記振動板に配置され、前記液体供給口を閉塞する閉塞手段と、を有して構成されていることを特徴としている。
【０００６】
請求項１に記載の発明では、ノズル側を接合ステージに載せてノズルから外部の空気の流入を遮断し、振動板上に配置された閉塞手段によって、液体供給口を閉塞することで、液体供給路、この液体供給路が連通されている圧力室、及び圧力室に連通されたノズル内が密閉された状態となる。
【０００７】
これにより、圧電素子に荷重が掛かっても、圧力室内の圧力が外部へ逃げることがないので、圧力室を構成する振動板が圧力室側に撓むのが防止できる。したがって、圧電素子に割れやクラックが発生しない。
【０００８】
請求項２に記載の本発明は、前記閉塞手段は、前記液体供給口の周囲に設けられ、前記振動板に接合される圧電素子と略同一高さの周壁であり、前記ノズル側を接合ステージに載せて該ノズルを塞ぎ、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合するときに、前記押圧プレートで前記周壁の開口が閉塞されることを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の発明では、ノズル側を接合ステージに載せてノズルから外部の空気の流入を遮断し、押圧プレートで接着剤を塗布した圧電素子を押圧すると、振動板上の液体供給口周囲に設けられた圧電素子と略同一高さの周壁によって、液体供給口が閉塞される。
【００１０】
これにより、液体供給路、圧力室、及びノズル内が密閉されると同時に、圧電素子が押圧部材によって押圧されて、振動板上に接合される。
【００１１】
このように、振動板上の液体供給口の周囲に対応する位置に周壁を設けることで、例えば、液体供給口をシールしたり、圧電素子を振動板上に接着接合する際に、振動板と押圧プレートの間に、液体供給口を閉塞する部材を配置する必要がない。
【００１２】
請求項３に記載の本発明は、液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、を備えて構成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズル側を接合ステージに載せて該ノズルを塞ぎ、前記液体供給口を閉塞し、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合することを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、ノズル側を接合ステージに載せることで、ノズルを塞ぎ、液体供給口をシール等で閉塞する。これにより、液体供給路、圧力室及びノズル内が密閉された状態になる。そして、圧電素子を振動板上に接着接合するときの熱によって、液体供給路、圧力室及びノズル内の空気が熱膨張して、液体供給路、圧力室及びノズル内の圧力が上がる。
【００１４】
これにより、圧電素子を振動板上に接着接合する際に、圧電素子に荷重が掛かっても、圧力室内の圧力が上がっているため、圧力室を構成する振動板が圧力室側に撓むのが防止できる。したがって、圧電素子に割れやクラックが発生しない。
【００１５】
また、圧電素子を振動板上に加圧接合する際の熱を利用することによって、液体供給路、圧力室及びノズル内の空気の圧力が上がるので、液体供給路、圧力室及びノズル内を加圧する加圧装置を必要としないので、製造工程が複雑になったり、製造コストが上昇することがない。
【００１６】
請求項４に記載の本発明は、液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、を備えて構成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズル側を接合ステージに載せて該ノズルを塞ぎ、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合するときに、前記押圧プレートに形成された空気口より前記液体供給口へ空気を供給することを特徴としている。
【００１７】
請求項４に記載の発明では、ノズル側を接合ステージに載せてノズルを塞ぎ、押圧プレートに形成された空気口から液体供給口へ空気を供給することで、液体供給路、圧力室及びノズル内が加圧される。
【００１８】
このように、外部から空気を供給することで、確実に液体供給路、圧力室及びノズル内が加圧される。また、圧電素子を振動板上に接着接合する際に圧電素子に掛かる荷重によって振動板が撓まないように、液体供給路、圧力室及びノズル内の圧力を調整することができる。
【００１９】
請求項５に記載の本発明は、液滴を吐出するノズルに連通し、液体が充填される圧力室と、前記圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板の上面に形成され該振動板を変位させる圧電素子と、前記圧力室と連通し、該圧力室へ液体を供給する液体供給路と、前記振動板に形成され、外部からの液体を前記液体供給路へ供給可能とする液体供給口と、前記振動板に配置され、前記液体供給口を閉塞する閉塞手段と、を備えて構成された液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記液体供給口を閉塞し、押圧プレートで前記圧電素子を押圧して前記振動板に接着接合するときに、前記ノズル側を載せる接合ステージに形成されたノズル空気口より前記ノズルへ空気を供給することを特徴としている。
【００２０】
請求項５に記載の発明では、シール等によって液体供給口を閉塞し、ノズル側を接合ステージに載せ、ノズル空気口から空気を供給することで、液体供給路、圧力室及びノズル内が加圧される。
【００２１】
このように、外部から空気を供給することで、確実に液体供給路、圧力室及びノズル内が加圧される。また、圧電素子を振動板上に接着接合する際に圧電素子に掛かる荷重によって振動板が撓まないように、液体供給路、圧力室及びノズル内の圧力を調整することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は上記構成としたので、圧電素子を振動板に接着する際に圧電素子に掛かる荷重によって、圧電素子の割れやクラックが発生するのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の液滴吐出ヘッドとしてのインクジェット記録ヘッド１０に係る第１の実施形態を図面に基づき説明する。
【００２４】
図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１０は、ノズルプレート１２、エアダンパ室プレート１４、エアダンパプレート１６、支流プレート１８、連通孔プレート２０、２２、２４、圧力室プレート２６、および振動板２８の合計９枚のプレートを位置合わせして積層し、接着剤等の接合手段によって接合することにより形成されている。
【００２５】
ノズルプレート１２には、インクを吐出するノズル３０が形成されている。また、エアダンパ室プレート１４、エアダンパプレート１６及び支流プレート１８には、それぞれ連通孔３２、３４、３６が形成され、連通孔プレート２０、２２、２４には、それぞれ供給孔３８、４０、４２が形成されている。
【００２６】
これらのノズル３０、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２は、ノズルプレート１２、エアダンパ室プレート１４、エアダンパプレート１６、支流プレート１８、連通孔プレート２０、２２、２４が積層された状態で連通し、連通孔プレート２４上に圧力室プレート２６が積層された状態で、圧力室プレート２６に形成された圧力室４４に繋がっている。
【００２７】
圧力室プレート２６上には振動板２８が積層され、振動板２８の上には圧電素子６６が取り付けられている。圧電素子６６は、圧力室４４に相当する領域に接着されており、図示しないハンダを介して配線基板７４（図３（Ｆ）参照）と接続される。
【００２８】
一方、連通孔プレート２０、２２、２４には、それぞれ連通孔５０、４８、４６が形成されている。この連通孔５０、４８、４６は、連通孔プレート２０、２２、２４が積層された状態で連通し、連通孔プレート２４に圧力室プレート２６が積層された状態で、圧力室プレート２６の圧力室４４に繋がっている。
【００２９】
また、支流プレート１８には、インク支流５２が形成されており、支流プレート１８、連通孔プレート２０、２２、２４が積層された状態で、連通孔４６、４８、５０と連通している。
【００３０】
さらに、連通孔プレート２０、２２、２４、圧力室プレート２６、振動板２８には、それぞれインク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２が形成されており、支流プレート１８、連通孔プレート２０、２２、２４、圧力室プレート２６、振動板２８が積層された状態で、インク支流５２と連通し、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２を介して外部からインクがインク支流５２に供給されるようになっている。
【００３１】
また、エアダンパ室プレート１４には、エアダンパ室６４が形成されている。このエアダンパ室６４によって、インク支流５２に供給されたインクの圧力波が緩和されるようになっている。
【００３２】
以上の構成により、インク支流５２に供給されたインクは、連通孔４６、４８、５０を経て、圧力室４４へ充填されるようになっている。そして、配線基板７４（図３（Ｆ）参照）を介して駆動電圧波形が圧電素子６６に印加されると、圧電素子６６と共に振動板２８が圧力室４４側に撓み、圧力室４４内のインクを加圧する。これにより、圧力室４４内のインクが、供給孔３８、４０、４２及び連通孔３２、３４、３６を介して、ノズル３０から吐出される構成となっている。
【００３３】
ところで、振動板２８には、インク供給口６２を囲むようにして突設した周壁６８が設けられている。周壁６８は、圧電素子６６と同じ材料で形成され、且つ、圧電素子６６とほぼ同じ厚みとされている。
【００３４】
これにより、図２（Ａ）に示すように、圧電素子６６を振動板２８上に接着する際に、押圧プレート７０の下面に貼着された発泡テープ７２が、圧電素子６６を押圧すると同時に、周壁６８も押圧するようになっている。周壁６８が発泡テープ７２で押圧されると、発泡テープ７２によって周壁６８で囲まれた空間が閉塞されて、圧力室４４内の圧力が、インク供給口６２から外部へ逃げ出せなくなる。
【００３５】
次に、インクジェット記録ヘッド１０の製造工程を説明する。
【００３６】
図３（Ａ）に示すように、ノズルプレート１２の一方の面（裏面）にエアダンパ室プレート１４を接合する。そして、このエアダンパ室プレート１４に、エアダンパプレート１６を接合する。
【００３７】
次に、ノズルプレート１２の他方の面（表面）に、スピンコート法を用いて撥水膜（図示省略）を成膜すると共に、図３（Ｂ）に示すように、エキシマレーザＢでノズル３０を穿設する。
【００３８】
その後、図３（Ｃ）に示すように、エアダンパプレート１６に支流プレート１８、連通孔プレート２０、２２、２４、圧力室プレート２６を接合し、圧力室プレート２６の開口を覆うようにして振動板２８を接合する。
【００３９】
次に、図３（Ｄ）に示すように、圧電素子６６及び周壁６８が形成された押圧プレート７０を、圧電素子６６の接合面を下側に向けて、振動板２８に接着する。なお、圧電素子６６及び周壁６８の製造工程については後述する。
【００４０】
圧電素子６６及び周壁６８は、所定の温度で加熱したとき発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する発泡テープ７２を用いて押圧プレート７０に接着されている。また、圧電素子６６の両面には図示しない電極膜が予め形成されており、共通電極として兼用する振動板２８と接着することで、圧電素子６６と振動板２８とは電気的に接続される。
【００４１】
そして、図３（Ｅ）に示すように、押圧プレート７０を加熱して発泡テープ７２の接着力を低減させて押圧プレート７０を剥離し、図３（Ｆ）に示すように、圧電素子６６にハンダ（図示省略）を介して配線基板７４を接合する。
【００４２】
最後に、図示しないインク供給装置等を取付けることにより、本実施形態のインクジェット記録ヘッド１０が完成する。
【００４３】
ここで、圧電素子６６の製造工程について説明する。
【００４４】
図４（Ａ）に示すように、所定の温度で加熱したとき、発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する発泡テープ７２を介して、押圧プレート７０上に圧電プレート７６を接着する。圧電プレート７６は、両面に電極層となる電極膜がスパッタリング等で形成されている。
【００４５】
次に、図４（Ｂ）に示すように、圧電プレート７６上にレジストフィルム７８を貼り付ける。そして、図４（Ｃ）に示すように、露光によってレジストフィルム７８上に、アライメントマークとしての貫通孔８０を基準として、圧電素子６６及び周壁６８の形状に対応するパターンを形成する。
【００４６】
次に、図４（Ｄ）に示すように、エッチング処理をして、圧電プレート７６をパターンニングする。これにより、圧電プレート７６が、圧電素子６６及び周壁６８に個別化される。
【００４７】
その後、図４（Ｅ）に示すように、圧電素子６６及び周壁６８上に残ったレジストフィルム７８を剥離する。このような工程によって、圧電素子６６及び周壁６８が形成される。
【００４８】
そして、図４（Ｆ）に示すように、圧電素子６６の電極層又は振動板２８の表面に接着剤を所定の厚さで塗布し、圧電素子６６の接合面を下側に向けて、押圧プレート７０の貫通孔８０と、振動板２８に形成された貫通孔８２越しに圧力室プレート２６に形成されたアライメントマーク８３を、顕微鏡で位置合わせする方法によって、押圧プレート７０を振動板２８上に位置決めする。その後、押圧プレート７０で、圧電素子６６と振動板２８を加圧加熱して、接着固定する。
【００４９】
図２に示すように、圧電素子６６を振動板２８上に接着固定するとき、ノズルプレート１２の下面（インク吐出面）に、ノズル保護フィルム８４を貼り付け、接合ステージ８６上にノズル面を押し当てた状態で、インクジェット記録ヘッド１０がセットされる。これにより、ノズル３０はノズル保護フィルム８４によって閉塞され、ノズル３０側から空気が漏れないようにされる。
【００５０】
また、周壁６８は、圧電素子６６とほぼ同じ高さとされており、且つ、押圧プレート７０には発泡テープ７２が貼り付けられているため、押圧プレート７０が加圧されると、インク供給口６２は発泡テープ７２と周壁６８によって、閉塞された状態になる。
【００５１】
つまり、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２内は密閉状態とされ、外部へ空気が漏れないようになっている。
【００５２】
これにより、圧電素子６６を振動板２８に圧電素子６６を接着する工程において、圧電素子６６の電極層又は振動板２８に塗布された接着剤を硬化させるための熱によって、圧力室４４内の空気が膨張する。つまり、圧力室４４内に圧力が印加された状態となるので、圧力室４４を形成する振動板２８には、図５に示すように、下側（圧力室４４側）から力が掛かる。これにより、押圧プレート７０に掛けられた荷重によって振動板２８が圧力室４４に撓むことがない。  
【００５３】
したがって、圧電素子６６を振動板２８上に接着固定する工程において、圧電素子６６にクラックや割れが発生することがない。
【００５４】
また、振動板２８上には、インク供給口６２の周囲にあらかじめ周壁６８が設けられた構成とすることで、例えば、インク供給口６２をシールしたり、圧電素子６６を振動板２８上に接合する際に、インク供給口６２を閉塞する部材を配置するなどの工程を必要としない。つまり、圧電素子６６を加圧する工程中に、同時にインク供給口６２が閉塞されて、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０インク供給口６２内が密閉状態とされるので、製造工程が複雑とならない。
【００５５】
ところで、圧電素子６６は、電圧の印加により蓄えられた電荷量に応じて変形する。このため、製造工程において圧電素子６６の静電容量にばらつきが生じると、同じ電圧を印加しても蓄えられる電荷量に差を生じて、変形度合いに差が生じてしまう。これにより、各ノズル３０から吐出されるインク量にばらつきが生じてしまい、形成（印字）される画像の画質が低下する場合がある。
【００５６】
図６は、圧電素子６６を振動板２８上に接着したときの、圧電素子６６の静電容量を、各ノズル３０毎に測定した測定結果のグラフである。なお、□は、従来技術のように、図９に示すタイプの、圧力室４４内が加圧されない状態で接合されたときの圧電素子６６の静電容量の値であり、△は、本実施形態の、図１に示すタイプの、圧力室４４内が加圧された状態で接合されたときの圧電素子６６の静電容量の値である。
【００５７】
図６に示すグラフから、圧力室４４内が加圧されないときは、圧電素子６６の静電容量は、約３１０〜３７０ｐＦの間でばらついているのがわかる。一方、圧力室４４内を加圧したときは、圧電素子６６の静電容量は、約３２０〜３５０ｐＦの間に収まる。つまり、圧力室４４を加圧しないときと比較して、圧電素子６６の静電容量のばらつきが小さくなることが分かる。
【００５８】
したがって、圧力室４４内を加圧することで、各ノズル３０から吐出されるインク量のばらつきを抑えることができる。
【００５９】
なお、本実施形態では、周壁６８は圧電素子６６と同じ材料で形成したが、周壁６８の材質としては、圧電素子６６と同じ材質である必要はなく、例えばＳＵＳ等を用いてもよい。
【００６０】
また、本実施形態では、周壁６８は振動板２８上に残留させる構成としているが、振動板２８上に圧電素子６６を接着した後工程において、周壁６８を除去してもよい。
【００６１】
さらに、本実施形態では、インク供給口６２の周囲に周壁６８を設け、圧電素子６６を振動板２８に接着させる際に、圧電素子６６を押圧プレート７０に固定させている発泡テープ７２で、周壁６８を閉塞することで、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２内を密閉状態とする構成としたが、インク供給口６２周囲に周壁６８を設ける代わりに、シール部材を用いてインク供給口６２を閉塞することで、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２内を密閉状態としてもよい。
【００６２】
なお、周壁６８を形成する方法及び手順は、上記に限定されない。
【００６３】
次に、第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分については説明を割愛する。
【００６４】
図７に示すように、押圧プレート７０及び発泡テープ７２には、インク供給口６２に対応する位置に、それぞれ開口部８８、９０が形成されている。この開口部８８、９０から、周壁６８で形成された隙間を介して、インク供給口６２に空気が流入可能とされている。
【００６５】
ノズル３０は、ノズル保護フィルム８４によって閉塞されているため、開口部８８、９０から空気が流入されると、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２内が加圧される。これにより、圧力室４４内に圧力が印加された状態となるので、圧力室４４を形成する振動板２８には、図５に示すように、下側（圧力室４４側）から力が掛かって、押圧プレート７０に掛けられた荷重によって振動板２８が圧力室４４に撓むことがない。
【００６６】
次に、第３の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分については説明を割愛する。
【００６７】
図８に示すように、ノズル保護フィルム８４及び接合ステージ８６には、ノズル３０に対応する位置に、それぞれ開口部９２、９４が形成されている。この開口部９２、９４から、ノズル３０に空気が流入可能とされている。
【００６８】
インク供給口６２は、周壁６８及び発泡テープ７２によって閉塞されているため、ノズル３０から空気が流入されると、連通孔３２、３４、３６、供給孔３８、４０、４２、圧力室４４、連通孔４６、４８、５０、インク支流５２、インク供給路５４、５６、５８、６０、インク供給口６２内が加圧される。これにより、圧力室４４内に圧力が印加された状態となるので、圧力室４４を形成する振動板２８には、図５に示すように、下側（圧力室４４側）から力が掛かって、押圧プレート７０に掛けられた荷重によって振動板２８が圧力室４４に撓むことがない。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの概略構成図である。
【図２】インクジェット記録ヘッドの製造工程の概略構成図である。
【図３】インクジェット記録ヘッドの製造工程を示す側面図である。
【図４】圧電素子及び凸部の製造工程を示す側面図である。
【図５】圧電素子を振動板に接着した状態を示す部分側面図である。
【図６】圧力室内に圧力を印加した状態で、圧電素子を振動板に接合した場合と、圧力室内に圧力を印加しない状態で、圧電素子を振動板に接合した場合と、における圧電素子の静電容量を示すグラフである。
【図７】第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の概略構成図である。
【図８】第３の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の概略構成図である。
【図９】従来のインクジェット記録ヘッドの側面図であり、（Ａ）は製造工程を示す図であり、（Ｂ）は圧電素子を振動板に接着した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  インクジェット記録ヘッド
２８  振動板
３０  ノズル
４４  圧力室
５４  インク供給路（液体供給路）
５６  インク供給路（液体供給路）
５８  インク供給路（液体供給路）
６０  インク供給路（液体供給路）
６２  インク供給口   （液体供給口）
６６  圧電素子
６８  周壁（閉塞手段）
７０  押圧プレート
８６  接合ステージ
８８  開口部（空気口）
９０  開口部（空気口）
９２  開口部（ノズル空気口）
９４  開口部（ノズル空気口）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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