(57)【要約】【課題】基板を傾斜させたり、傾斜した状態から水平に戻すとき、基板に衝撃を与えずに比較的速い速度で行なうことができる角度変換装置を提供することにある。【解決手段】上面に基板が載置されるコンベアユニット３１を、アーム５５を介して支軸５６を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構６１を具備し、駆動機構は、第１のガイド体６２に沿って移動する第１の可動体６３と、第２のガイド体７３に沿って移動する第２の可動体７４と、駆動シリンダ６５によって第１の可動体が第１のガイド体に沿う方向に駆動されたときに第１の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で第２の可動体を第２のガイド体に沿って駆動する第１のリンク７１と、第１のリンクによって第２の可動体が第２のガイド体に沿って駆動されたときに、第２の可動体とともに第２のガイド体に沿って移動しながら他端に連結されたアームを介してコンベアユニットを回動させる第２のリンク７７を具備する。【選択図】      図５
2008282985.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に変換する基板の角度変換装置であって、
上面に上記基板が載置される基板支持体と、
この基板支持体の下面に上端を連結して設けられたアームと、
このアームを中途部を支点として回動可能に支持した支軸と、
上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構を具備し、
上記駆動機構は、
上記支軸の軸線と平行に配置された第１のガイド体と、
この第１のガイド体に沿って移動可能に設けられた第１の可動体と、
上記第１のガイド体と直交する角度で配置された第２のガイド体と、
この第２のガイド体に移動可能に設けられた第２の可動体と、
上記第１の可動体を上記第１のガイド体に沿って駆動する駆動手段と、
上記第１の可動体に一端が枢着され他端が上記第２の可動体に枢着されていて、上記駆動手段によって上記第１の可動体が上記第１のガイド体に沿う方向に駆動されたときに上記第１の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で上記第２の可動体を上記第２のガイド体に沿って駆動する第１のリンクと、
上記第２の可動体に一端が枢着され他端が上記アームの下端に枢着されていて、上記第１のリンクによって上記第２の可動体が上記第２のガイド体に沿って駆動されたときに、上記第２の可動体とともに上記第２のガイド体に沿って移動しながら上記他端に連結された上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として回動させる第２のリンクと
を具備したことを特徴とする基板の角度変換装置。
【請求項２】
同一直線上に位置する複数の第１の可動体が連結部材によって連結されていて、この連結部材が１つの上記駆動源によって上記第１のガイド体に沿って駆動される構成であることを特徴とする請求項１記載の基板の角度変換装置。
【請求項３】
基板を傾斜させて搬送しながら処理液によって処理する基板の処理装置であって、
傾斜して搬送される上記基板を処理液によって処理する処理チャンバと、
この処理チャンバの上記基板が搬入される搬入側及び搬出側に設けられ水平な状態で搬送されてくる基板を受けて所定の角度で傾斜させて上記処理チャンバに供給するとともに、上記処理チャンバ内で処理液によって処理された基板を所定の角度で傾斜した状態から水平な状態に戻す角度変換装置を具備し、
上記角度変換装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板を所定の角度で傾斜させて処理する場合に、基板を水平な状態から傾斜させたり、傾斜した状態から水平にするための基板の角度変換装置及びこの角度変換装置が用いられた基板の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングし、エッチング後にレジストを除去するなどの一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらにリンス液によって洗浄する工程などがあり、洗浄後には基板に付着残留したリンス液を除去する乾燥工程が必要となる。
【０００５】
従来、基板に対して上述した一連の処理を行う場合、上記基板は軸線を水平にして配置された搬送ローラによって水平な状態でそれぞれの処理チャンバに順次搬送し、そこで処理液によって処理し、処理後に圧縮気体を噴射して乾燥処理するようにしている。
【０００６】
ところで、最近では液晶表示装置に用いられるガラス製の基板が大型化及び薄型化する傾向にある。そのため、基板を水平搬送すると、搬送ローラ間における基板の撓みが大きくなるため、各処理チャンバでの処理が基板の板面全体にわたって均一に行えなくなるということが生じる。
【０００７】
さらに、基板が大型化すると、その基板を搬送する搬送ローラが設けられた搬送軸が長尺化する。しかも、基板が大型化することで、基板上に供給される処理液が増大し、基板上の処理液の量に応じて上記搬送軸に加わる荷重が大きくなるから、それらのことによって搬送軸の撓みが増大する。そのため、基板は搬送軸が撓むことによっても撓みが生じ、均一な処理が行えなくなるということがある。
【０００８】
そこで、最近では基板を所定の角度で傾斜させて搬送することで、基板の板面に供給された処理液を円滑に流れるようにしている。それによって、基板とともに処理チャンバから持ち出される処理液の量を少なくしたり、基板の板面全体を均一に処理できるようにするということが行なわれている。
【０００９】
処理チャンバで基板を傾斜させて搬送しながら処理する場合、水平な状態で搬送されてきた基板を所定の傾斜角度に傾斜させて処理チャンバに供給する。そして、基板が処理チャンバで処理されたならば、傾斜状態から水平に戻して次工程に受け渡すようにすることになる。
【００１０】
このような従来技術は特許文献１に示されている。すなわち、特許文献１では処理チャンバの搬入側と搬出側とに、それぞれ搬入コンベア及び搬出コンベアが設けられている。各コンベアは基板の搬送方向と直交する幅方向の中途部が架台に設けられた支持部材に支軸によって回動可能に支持されている。
【００１１】
上記架台には上記コンベアの幅方向一端部に対向する位置に駆動シリンダが軸線を垂直にして設けられている。駆動シリンダの駆動軸の先端部にはローラが設けられている。上記駆動シリンダが作動してその駆動軸が突出方向に駆動されれば、ローラを介して上記コンベアの幅方向一端部が押し上げられる。
【００１２】
それによって、コンベアは幅方向中心部を支点として幅方向一端部が他端部よりも高くなる方向に傾動するようになっている。コンベアの傾動角度は、処理チャンバ内を搬送される基板の傾斜角度と同じになるよう設定されている。
【特許文献１】特開２００５−３４３６３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記コンベアを水平な状態から傾斜させたり、傾斜した状態から水平に戻す場合、このコンベア上に載置された基板に衝撃を与えると、基板は薄いガラス製であるため、欠けや割れが生じるということがある。
【００１４】
コンベアを水平な状態から傾斜させたり、傾斜した状態から水平に戻すなどして回動駆動する場合、タクトタイムの短縮を図るためには上記コンベアの駆動速度を速くすることが望ましい。
【００１５】
しかしながら、コンベアの駆動速度を速くすると、所定の傾斜角度でコンベアの駆動を停止させたとき、コンベアが受ける衝撃が大きくなるから、その衝撃によってコンベア上の基板が損傷するということがある。
【００１６】
特許文献１では、コンベアの駆動を駆動シリンダで行なうようにしている。駆動シリンダの駆動軸は突出方向及び没入方向に対して一定速度で駆動される。そのため、タクトタイムの短縮を図るために駆動速度を速くすると、所定の傾斜角度でコンベアの駆動を停止させるときの衝撃が大きくなり、逆に駆動を停止させるときの衝撃を小さくするために駆動速度を遅くすると、タクトタイムが長くなり、生産性の低下を招くということになる。
【００１７】
この発明は、基板が載置される基板支持体を所定の角度で傾斜させるとき、駆動範囲の終端部分では駆動速度を十分に遅くすることで、基板を損傷させることなく、タクトタイムを短縮することができるようにした基板の角度変換装置、及びその角度変換装置が用いられた基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明は、基板を所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に変換する基板の角度変換装置であって、
上面に上記基板が載置される基板支持体と、
この基板支持体の下面に上端を連結して設けられたアームと、
このアームを中途部を支点として回動可能に支持した支軸と、
上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として所定の傾斜角度から水平状態或いはその逆に回動させる駆動機構を具備し、
上記駆動機構は、
上記支軸の軸線と平行に配置された第１のガイド体と、
この第１のガイド体に沿って移動可能に設けられた第１の可動体と、
上記第１のガイド体と直交する角度で配置された第２のガイド体と、
この第２のガイド体に移動可能に設けられた第２の可動体と、
上記第１の可動体を上記第１のガイド体に沿って駆動する駆動手段と、
上記第１の可動体に一端が枢着され他端が上記第２の可動体に枢着されていて、上記駆動手段によって上記第１の可動体が上記第１のガイド体に沿う方向に駆動されたときに上記第１の可動体に枢着された一端を支点として回動しながら他端で上記第２の可動体を上記第２のガイド体に沿って駆動する第１のリンクと、
上記第２の可動体に一端が枢着され他端が上記アームの下端に枢着されていて、上記第１のリンクによって上記第２の可動体が上記第２のガイド体に沿って駆動されたときに、上記第２の可動体とともに上記第２のガイド体に沿って移動しながら上記他端に連結された上記アームを介して上記基板支持体を上記支軸を支点として回動させる第２のリンクと
を具備したことを特徴とする基板の角度変換装置にある。
【００１９】
同一直線上に位置する複数の第１の可動体が連結部材によって連結されていて、この連結部材が１つの上記駆動源によって上記第１のガイド体に沿って駆動される構成であることが好ましい。
【００２０】
この発明は、基板を傾斜させて搬送しながら処理液によって処理する基板の処理装置であって、
傾斜して搬送される上記基板を処理液によって処理する処理チャンバと、
この処理チャンバの上記基板が搬入される搬入側及び搬出側に設けられ水平な状態で搬送されてくる基板を受けて所定の角度で傾斜させて上記処理チャンバに供給するとともに、上記処理チャンバ内で処理液によって処理された基板を所定の角度で傾斜した状態から水平な状態に戻す角度変換装置を具備し、
上記角度変換装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置にある。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、第１のリンクの第１の可動体に連結された一端は、駆動源によって第１のガイド体に沿って等速度運動する。第１のリンクの第２の可動体に連結された他端は、一端を支点とする回動運動の回動角度が大きくなるにつれて第２のガイド体に沿う直線運動の速度が遅くなる。第２のガイド体には第２のリンクの一端が連結され、この第２のリンクの他端は基板支持体を回動させるアームに連結されている。
【００２２】
そのため、基板支持体は第１のアームの回動角度が大きくなるにつれて回動速度が遅くなるから、比較的短い時間で所定の回動範囲を駆動し、しかも回動範囲の終端部分では駆動速度が十分に遅くなるから、基板に衝撃を与えることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は基板Ｗの処理装置１の概略的構成を示す。この処理装置１は図１に矢印方向に搬送される基板Ｗを処理液によって処理する処理チャンバ２を有する。この処理チャンバ２の搬入側には基板Ｗを水平に搬送する搬入水平コンベア３及びこの搬入水平コンベア３によって水平搬送された基板Ｗを所定の角度に傾斜させる第１の角度変換装置４が配設されている。
【００２５】
上記処理チャンバ２で処理された基板Ｗは第２の角度変換装置５によって所定の角度で傾斜した状態から水平な状態に角度変換され、搬出水平コンベア６によって次工程に搬送されるようになっている。
【００２６】
図２は上記処理チャンバ２の縦断面図である。この処理チャンバ２は基板Ｗの搬送方向に沿う一端面に鎖線で示す搬入口７が形成され、他端面に搬出口（図示せず）が形成されている。処理チャンバ２内には基板Ｗの搬送方向と交差する幅方向の両端部にそれぞれ受け部材８が設けられている。これら受け部材８には上記基板Ｗを搬送方向と交差する方向である、幅方向に対して所定の角度、この実施の形態では１０度の角度で傾斜して搬送する傾斜搬送部９が設けられている。
【００２７】
上記傾斜搬送部９は上記受け部材８に幅方向の両端部が支持されるフレーム１１を有する。このフレーム１１の幅方向一端部は上記受け部材８に直接支持され、幅方向他端部は角度調整部材１０を介して支持されている。それによって、上記フレーム１１は上記幅方向に対して所定の角度である、１０度で傾斜している。なお、フレーム１１の傾斜角度は１０度の範囲内に限定されず、それ以下であっても、それ以上であっても差し支えない。
【００２８】
上記フレーム１１には、フレーム１１の幅方向に軸線を沿わせた複数の搬送軸１２（１本のみ図示）が幅方向と交差する基板Ｗの搬送方向に沿って所定間隔で回動可能に設けられている。搬送軸１２には基板Ｗの下面を支持する複数の搬送ローラ１３が所定間隔で設けられている。したがって、搬送ローラ１３に下面が支持された基板Ｗはフレーム１１と同じ角度で傾斜して搬送される。
【００２９】
上記フレーム１１の傾斜方向の上端側に位置する幅方向一側の外面には、伝達軸１４が軸線を基板Ｗの搬送方向に沿わせて回動可能に架設されている。この伝達軸１４の中途部には従動歯車１５が設けられている。この従動歯車１５には駆動歯車１６が噛合している。この駆動歯車１６は処理チャンバ２の外部に設けられた駆動源１７の出力軸１８に嵌着されている。
【００３０】
詳細は図示しないが、上記搬送軸１２の上記伝達軸１４側に位置する一端部には第１のかさ歯車が設けられている。第１のかさ歯車は上記搬送軸１２に設けられた第２のかさ歯車が噛合している。したがって、上記駆動源１７が作動して上記駆動歯車１６及び従動歯車１５を介して上記伝達軸１４が回動されれば、上記第１、第２のかさ歯車を介して上記搬送軸１２が回動駆動される。それによって、搬送ローラ１３に支持された基板Ｗが搬送されるようになっている。
【００３１】
なお、フレーム１１内には、搬送軸１２の傾斜方向両端部に対応する位置に基板Ｗの傾斜方向である、搬送方向と交差する幅方向の両端を支持するラジアルローラ１９が設けられている。
【００３２】
処理チャンバ２内を搬送される基板Ｗの上方には、基板Ｗの幅方向に沿う複数のシャワーパイプ２１（１つのみ図示）が基板Ｗの搬送方向に対して所定間隔で配置されている。各シャワーパイプ２１には複数のノズル２２が所定間隔で設けられている。上記シャワーパイプ２１はヘッダパイプ２３に連通管２４を介して接続されている。このヘッダパイプ２３はエッチング液などの処理液の供給源（図示しない）に連通している。それによって、処理チャンバ２内を搬送される基板Ｗの上面には上記ノズル２２から処理液が噴射されるようになっている。
【００３３】
上記処理チャンバ２の搬入側には上記第１の角度変換装置４が設けられ、搬出側には上記第２の角度変換装置５が設けられている。各角度変換装置４，５には図３と図４に示すコンベアユニット３１が設けられている。コンベアユニット３１は矩形枠状のフレーム３６を有する。このフレーム３６は上記処理チャンバ２内に設けられた傾斜搬送部９のフレーム１１と同じ幅寸法に設定されていて、その枠内の幅方向両端部には支持板３７が幅方向と直交する方向に沿って架設されている。
【００３４】
一対の支持板３７には両端部が軸受３８によって回動可能に支持された複数の搬送軸３９が所定間隔で架設されている。各搬送軸３９には軸方向に所定間隔で複数の搬送ローラ４１が設けられている。一方の支持板３７から突出した各搬送軸３９の一端部には第１のかさ歯車４２が設けられている。
【００３５】
上記フレーム３６の上記搬送軸３９の一端部側には、搬送軸３９の配置方向に沿って伝動軸４３が回動可能に支持されている。この伝動軸４３には上記第１のかさ歯車４２に噛合する第２のかさ歯車４４が設けられている。
【００３６】
上記伝動軸４３の軸方向中途部には従動プーリ４５が設けられている。上記フレーム３６の外側面で、上記従動プーリ４５に対応する部位には駆動源４６が設けられている。この駆動源４６の出力軸４７には駆動プーリ４８が設けられ、この駆動プーリ４８と上記従動プーリ４５とには図３に鎖線で示すチェーン４９が張設されている。
【００３７】
したがって、上記駆動源４６が作動すれば、駆動プーリ４８と従動プーリ４５に張設されたチェーン４９を介して上記伝動軸４３が回動駆動されるから、この伝動軸４３に設けられた第２のかさ歯車４４及びこの第２のかさ歯車４４に噛合した第１のかさ歯車４２を介して搬送軸３９が所定方向に回動駆動される。それによって、各搬送軸３９に設けられた搬送ローラ４１によって支持された基板Ｗが所定方向に搬送されることになる。
【００３８】
図４に示すように、上記フレーム３６の幅方向と直交する長手方向の両端部であって、上記搬送軸３９の軸方向中央部に対応する部分にはそれぞれアーム５５が上端を連結して垂設されている。
【００３９】
一対のアーム５５の上端部寄りの中途部には支軸５６が貫通している。支軸５６はアーム５５に固定されている。この支軸５６の図４に示す両端部は架台５７の上面に立設された一対の支持片５８（１つだけ図示）に回動可能に支持されている。  
なお、支軸５６の両端部を支持片５８に固定し、上記アーム５５に対して上記支軸５６を回転可能に貫通させてもよい。
【００４０】
一対のアーム５５は上記架台５７の上面に設けられた駆動機構６１によって上記支軸５６とともに回動駆動されるようになっている。図５と図６は第２の角度変換装置５に設けられた駆動機構６１を示し、この駆動機構６１は、図５に示すようにそれぞれのアーム５５に対応する位置に同図に矢印Ｘで示す基板Ｗの搬送方向と平行、つまりコンベアユニット３１の幅方向と直交する長手方向に平行に配置された直線状の一対の第１のガイド体６２を有する。この第１のガイド体６２には第１の可動体６３が移動可能に係合して設けられている。
【００４１】
一対の第１の可動体６３には帯板状の連結部材６４の長手方向一端部と他端部とが連結されている。上記連結部材６４の一側には駆動手段としての駆動シリンダ６５が平行に配置されている。この駆動シリンダ６５は上記架台５７の上面に設けられた固定部材６６に取付け固定されていて、そのロッド６７は上記連結部材６４の長手方向一端部の側面に連結具６８によって連結固定されている。
【００４２】
上記第１の可動体６３には第１のリンク７１の一端が軸線を垂直にした第１のピン７２によって枢着されている。上記第１のリンク７１の他端は第２のガイド体７３に移動可能に係合して設けられた第２の可動体７４の上面の一端部に軸線を垂直にした第２のピン７５によって枢着されている。上記第２のガイド体７３は上記第１のガイド体６２に対して直交する方向である、基板Ｗの搬送方向と直交する方向に平行に配置されている。
【００４３】
上記第２の可動体７４の上面の他端部には支持片７６が立設されている。この支持片７６には第２のリンク７７の一端が軸線を水平にした第３のピン７８によって枢着されている。上記第２のリンク７７の他端は上記アーム５５の下端に軸線を水平にした第４のピン７９によって枢着されている。
【００４４】
上記駆動シリンダ６５が作動してそのロッド６７が突出方向（前進方向）に駆動されると、そのロッド６７とともに連結部材６４が図５に矢印ａで示す方向へ移動する。連結部材６４の移動に一対の第１の可動体６３が連動し、図５に示す第１のガイド体６２の一端側から図６に示す他端に移動する。
【００４５】
第１の可動体６３が矢印ａで示すように第１のガイド体６２の一端から他端に向かって移動すると、第１のリンク７１は一端を第１の可動体６３とともに移動させながら、その一端の第１のピン７２を支点として矢印ｂで示す方向に回動する。
【００４６】
第１のリンク７１が矢印ｂの方向に回動すると、その回動角度に応じて上記第１のリンク７１の他端に第２のピン７５を介して連結された第２の可動体７４が第２のガイド体７３に沿って矢印ｃで示す方向に移動する。
【００４７】
第２の可動体７４が矢印ｃで示す方向に移動すると、この第２の可動体７４の移動に一端が第３のピン７８によって連結された第２のリンク７７が連動する。第２のリンク７７の他端はコンベアユニット３１のフレーム３６から垂設されたアーム５５に第４のピン７９によって連結されているから、一対のアーム５５は上記第２のリンク７７によって回動可能に支持された支軸５６とともに矢印ｄで示す方向に回動することになる。
【００４８】
上記第２の角度変換装置５は、駆動シリンダ６５が作動する前、つまりアーム５５が図５に示すように回動する前の状態では、上記アーム５５が垂設されたコンベアユニット３１が所定の角度αで傾斜した状態にあり、アーム５５が第２のリンク７７によって回動させられることで、上記駆動シリンダ６５のロッド６７のストロークに応じて水平となる方向へ駆動される。この実施の形態では、上記ロッド６７のストロークはコンベアユニット３１が１０度の角度で傾斜した状態から水平となるまで回動するように設定されている。
【００４９】
コンベアユニット３１が水平に回動すると、このコンベアユニット３１の駆動源４６が作動して搬送軸３９が回転駆動される。それによって、処理チャンバ２からコンベアユニット３１に受け渡された基板Ｗは搬出水平コンベア６によって次工程に搬送される。
【００５０】
なお、上記第１の角度変換装置４の駆動機構６１は、図５に示す第２の角度変換装置５の駆動機構６１とほぼ同じ構成であるが、駆動シリンダ６５が作動する前、つまりアーム５５が回動する前の状態では上記コンベアユニット３１が水平な状態にあり、上記駆動シリンダ６５のロッド６７が前進方向に駆動されてアーム５５が回動することで、上記ロッド６７のストロークに応じて傾斜する方向に駆動されるという点で異なっている。
【００５１】
つまり、第１の角度変換装置４のコンベアユニット３１は、第１のリンク７１が駆動シリンダ６５によって一端を支点として回動する方向へ駆動されることで、第２のリンク７７によってコンベアユニット３１が水平な状態から１０度の角度で傾斜する状態に駆動されるよう設定されている。
【００５２】
上記駆動シリンダ６５のロッド６７は等速度で前進方向に駆動され、その等速度運動に第１の可動体６３が連動する。それに対して、第２の可動体７４は一端を支点として回動する第１のリンク７１の他端によって第２のガイド体７３に沿って移動する。つまり、第１のリンク７１の回動運動が第２の可動体７４の直線運動に変換されて第２のリンク７７に伝達される。
【００５３】
そのため、第１の可動体６３が第１のガイド体６２に沿って移動するにつれて図５にθで示す第１のガイド体６２に対する第１のリンク７１がなす角度が大きくなる。角度θが大きくなるにつれて第１の可動体６３が第１のガイド体６２に沿って駆動される速度に比べて第２の可動体７４が第２のガイド体７３に沿って駆動される速度が次第に低下することになる。
【００５４】
図７は縦軸に第２の可動体７４の駆動速度を示し、横軸に第１のガイド体６２と第１のリンク７１とがなす角度θを示している。つまり、角度θが４５度から、第１の可動体６３が駆動されて次第に大きくなってゆくときの第２の可動体７４の第２のガイド体７３に沿う駆動速度の変化を算出したものである。
【００５５】
図７から分かるように、第１のリンク７１が第１の可動体６３に連結された一端を支点として回動して上記角度θが４５度から次第に大きくなると、その角度θの増大につれて第２の可動体７４の駆動速度が低下する。そして、角度θが９０度になってコンベアユニット３１の支軸５６を支点とする旋回動作が停止するときには駆動速度は“０”となる。
【００５６】
したがって、第１の角度変換装置４においてはコンベアユニット３１が水平な状態から傾斜する方向へ駆動されるにつれてコンベアユニット３１の駆動速度が低下し、傾斜角度が１０度になる旋回動作の最後ではその駆動速度が “０”になる。
【００５７】
そのため、第１の角度変換装置４は搬入水平コンベア３から水平な状態で受け渡された基板Ｗを、処理チャンバ２内の傾斜搬送部９によって傾斜して搬送される角度と同じ傾斜角度になるよう、コンベアユニット３１上に供給された基板Ｗを１０度の角度で傾斜させるとき、その基板Ｗに衝撃を与えることなく静かに角度変換することができる。
【００５８】
第１の角度変換装置４によって所定の角度に傾斜させられた基板Ｗは処理チャンバ２内に送られて傾斜搬送部９で傾斜した状態で搬送されながら、シャワーパイプ２１のノズル２２から噴射される処理液によって処理される。そして、処理された基板Ｗは処理チャンバ２から搬出されて第２の傾斜変換装置５に受け渡される。
【００５９】
上記第２角度変換装置５では、コンベアユニット３１が図５にαで示す１０度の角度で傾斜した状態から図６に示すように水平になるよう駆動される。このときも、コンベアユニット３１は旋回動作の最後ではその駆動速度が“０”になる。
【００６０】
そのため、第２の角度変換装置５のコンベアユニット３１は、処理チャンバ２から所定の角度で傾斜した状態で搬出された基板Ｗを受けた後、この基板Ｗに衝撃を与えることなく静かに水平な状態に角度変換することができる。
【００６１】
このように、処理チャンバ２の搬入側に設けられた第１の角度変換装置４と、搬出側に設けられた第２の角度変換装置５とは、それぞれ駆動機構６１によって基板Ｗの角度を変換するようにしている。
【００６２】
上記駆動機構６１は、等速度運動する駆動シリンダ６５のロッド６７によって第１のリンク７１が駆動され、この第１のリンク７１に連動してコンベアユニット３１の角度を変換する第２のリンク７７を連動させるようにしている。そして、第２のリンク７７による上記コンベアユニット３１の旋回方向への駆動速度は、上記第１のリンク７１が駆動されてその回動角度が４５度から９０度の近づくにつれて遅くなり、９０度になると０となる。
【００６３】
そのため、コンベアユニット３１が所定の角度に駆動されるとき、所定角度に近づくにつれて遅くなり、所定角度になるときには０になるから、コンベアユニット３１上に載置された基板Ｗに衝撃を与えることなく、この基板Ｗを水平な状態から傾斜した状態或いはその逆に角度変換することができる。
【００６４】
しかも、コンベアユニット３１は、駆動されるにつれて徐々に駆動速度が低下するから、駆動範囲の全体を低速度で駆動する場合に比べ、基板Ｗを所定の角度に変換するために要するタクトタイムを十分に短縮することができる。つまり、生産性を大きく低下させることなく、基板Ｗを角度変換することができる。
【００６５】
上記一実施の形態では駆動機構を作動させる駆動源として駆動シリンダを例に挙げて説明したが、駆動シリンダに代わりリニアモータやモータによって回転駆動されるねじ軸を用いるようにしてもよく、要は第１の可動体を等速度運動させる駆動源であればよい。
【００６６】
また、駆動機構はコンベアユニットのフレームから垂設されたアーム体の数に対応してそれぞれ一対の第１の可動体及び第２の可動体を有する構成として説明したが、各角度変換装置に複数のコンベアユニットが設けられている場合や１つのコンベアユニットが長尺なために３つ或いはそれ以上のアームが垂設されているような場合には、それに応じて第１の可動体及び第２の可動体の数を設定すればよい。  
つまり、駆動機構の第１の可動体及び第２の可動体の数は２つに限定されず、１つ或いは３つ以上であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】この発明の基板の処理装置の概略的構成を示す模式図。
【図２】処理チャンバの縦断面図。
【図３】角度変換装置に設けられるコンベアユニットの一部破断した平面図。
【図４】コンベアユニットが揺動可能に取付けられた状態を説明するための角度変換装置の側面図。
【図５】コンベアユニットを回動駆動する第２の角度変換装置に設けられた駆動機構の概略的構成を示す斜視図。
【図６】上記駆動機構の第１のリンクと第２のリンクが駆動された状態を示す斜視図。
【図７】第１のリンクの角度と第２の可動体の駆動速度との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
【００６８】
２…処理チャンバ、３…搬入水平コンベア、４…第１の角度変換装置、５…第２の角度変換装置、６…第２の角度変換装置、３１…コンベアユニット（基板支持体）、５５…アーム、５６…支軸、６１…駆動機構、６２…第１のガイド体、６３…第１の可動体、６４…連結部材、６５…駆動シリンダ（駆動手段）、７１…第１のリンク、７３…第２のガイド体、７４…第２の可動体、７７…第２のリンク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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