(57)【要約】【課題】長時間健全に高温下で使用できる耐食性皮膜の形成方法及びそれを用いた高温装置部材を提供する。【解決手段】この耐食性皮膜の形成方法は、Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材１０の表面にＮｉめっきを施して表面にＮｉ層１２を形成する工程と、Ｎｉ層が形成された表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌからなる保護層１８を形成する工程とを有する。Ａｌ拡散処理が施された場合に、Ｎｉ−Ａｌ層と基材との界面の位置ではＣｒ当量がほぼ０であり、Ａｌ拡散処理によってその界面においてα−Ｃｒ層が形成されることがなく、その成長に伴ってボイドが形成されることもない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材の表面にＮｉめっきを施して表面にＮｉ層を形成する工程と、Ｎｉ層が形成された表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌからなる保護層を形成する工程とを有することを特徴とする耐食性皮膜の形成方法。
【請求項２】
前記Ｎｉ層を形成する工程の後に、ゾルゲル法を用いて表面にＺｒＯ２層を形成し、形成されたＺｒＯ２層の上から前記Ａｌ拡散処理を行うことを特徴とする請求項１に記載の耐食性皮膜の形成方法。
【請求項３】
Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材の表面にＮｉ−Ｂめっきを施して表面にＮｉ−Ｂ層を形成する工程と、Ｎｉ−Ｂ層が形成された表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ（Ｂ）からなる保護層を形成する工程とを有することを特徴とする耐食性皮膜の形成方法。
【請求項４】
前記Ｎｉ−Ｂ層を形成する工程の後に、ゾルゲル法を用いて表面にＺｒＯ２層を形成し、形成されたＺｒＯ２層の上から前記Ａｌ拡散処理を行うことを特徴とする請求項３に記載の耐食性皮膜の形成方法。
【請求項５】
Ｎｉ基合金からなる基材の表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層を形成する方法において、基材の表面にゾルゲル法を用いてＺｒＯ２層を形成した後に、前記Ａｌ拡散処理工程を行うことにより、前記Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒを拡散させることを特徴とする耐食性皮膜の形成方法。
【請求項６】
Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材の表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層を形成する方法において、基材の表面にゾルゲル法を用いてＺｒＯ２層を形成した後に、前記Ａｌ拡散処理工程を行うことにより、前記Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒを拡散させることを特徴とする耐食性皮膜の形成方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の保護層を形成したことを特徴とする高温装置部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ガスタービンやジェットエンジン、マイクロガスタービン、エンジン、熱交換器、燃焼器など高温で用いられる耐食性皮膜の形成方法及び耐食性皮膜を用いた高温装置部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用ガスタービン翼や、ボイラ管などの高温装置部材は、耐熱性および耐食性を向上させるために、表面にコーティングを施して使用する場合が多い。一般に、耐熱性を向上させるには、熱遮蔽コーティング（ＴＢＣ）と呼ばれるセラミックスコーティングがなされる。一方、耐食性を向上させるには、ＣｒあるいはＡｌの拡散浸透処理や、高Ｎｉ−高Ｃｒ合金の溶射などが施されている。溶射法は、成膜速度が大きいため比較的厚い膜（１００μｍ以上）の形成に向いているが、溶射ガンの形状や大きさの制限から、複雑形状品への施工、薄膜の施工には向かない。
【０００３】
これに対して、ＣｒあるいはＡｌ拡散処理によって保護層を形成する方法は、気相拡散方法であるため、ある程度複雑な物品にも適用が可能である。従来のＡｌ拡散浸透処理は、図１３に示すように、ＡｌまたはＡｌ＋Ｍ（ＭはＮｉ、Ｃｏ又はＣｒ）とＡｌ２Ｏ３とＮＨ４Ｃｌとの混合粉末中に基材を埋没させ、水素あるいは不活性雰囲気中で７００〜９００℃で加熱する方法が採られている。基材がＮｉ基合金の場合、表面にはＮｉ−Ａｌ化合物が形成されるが、混合粉末中のＡｌの濃度によって、表面に形成されるＮｉ−Ａｌ化合物の組成が変化する。
【０００４】
このようにして形成された表面のＡｌリッチな保護層は、高温装置部材として用いられた場合に、高温下で表面にＡｌ２Ｏ３皮膜を形成する。このＡｌ２Ｏ３皮膜の中は、物質の拡散速度が小さいため、良好な保護性皮膜として働く。しかしながら、Ａｌ２Ｏ３皮膜は熱応力などで剥離しやすいという欠点を併せ持つ。従って、Ａｌ２Ｏ３皮膜を形成する場合にはＡｌ２Ｏ３皮膜の剥離防止技術を併用する必要がある。Ａｌ２Ｏ３皮膜の剥離を防止するには、微量のＺｒ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｌａ、またはＹなどの活性元素をＡｌリッチな保護層に添加することが有効であることが知られている。これらの活性元素は、溶射や物理蒸着などの物理的方法で添加されている。しかし、これら物理的な方法では、複雑な形状を有する部材には添加が困難な場合がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
発明者等が、従来の方法でＮｉ−２０Ｃｒ−１０Ｍｏ−１８Ｆｅ(ｍａｓｓ％)合金からなる高温装置部材にＡｌ拡散処理を施して１０００℃で１０００時間以上使用したところ、表面のＡｌ２Ｏ３皮膜の剥離のみならず、Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層そのものが剥離する現象が見られた。保護層の剥離箇所近傍の断面を観察したところ、図１４に示すように、保護層と基材の界面にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層が形成されており、更にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層と基材の界面に多数のボイドが形成されていた。
【０００６】
このＣｒ（Ｍｏ）リッチ層の形成は、模式的に図１５のＮｉ−Ｃｒ−Ａｌ三元系状態図を用いて説明することができる。すなわち、Ｎｉ−５０ａｔ％ＡｌからＮｉ−約３５ａｔ％Ｃｒ（Ｍｏ，Ｆｅ）（Ｃｒの一部がＭｏとＦｅで置換されていても同様）へＡｌが拡散すると、α−Ｃｒ相／γ−ＮｉＣｒ相の二相共存域となるので、基材とＮｉ−Ａｌ保護層の界面にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層が形成される。このＣｒ（Ｍｏ）層が成長すると、各元素の拡散速度の差異に起因してボイドが発生し、ボイドが保護層の剥離の起点となるものと考えられる。
また、Ｎｉ−Ａｌ保護層そのものの剥離防止に加え、保護層表面に生成するＡｌ２Ｏ３皮膜の密着性を確保することも、部材の寿命延伸には重要である。
【０００７】
上記のような保護層の剥離は、基材合金の組成と、Ａｌの拡散条件によって決まってくる。しかし、Ａｌ拡散条件は、成膜速度などの制約から変更しない方が望ましい。
そこで本発明は、α−Ｃｒ相形成を抑制し、Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層が剥離するのを防止するとともに、Ａｌ２Ｏ３皮膜の剥離を防止することで、長時間健全に高温下で使用できる耐食性皮膜の形成方法及び耐食性皮膜を用いた高温装置部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の耐食性皮膜の形成方法は、Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材の表面にＮｉめっきを施して表面にＮｉ層を形成する工程と、Ｎｉ層が形成された表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌからなる保護層を形成する工程とを有することを特徴とする。Ｎｉめっきは、電気めっきによっても良いし、Ｎｉ−ＰやＮｉ−Ｂなどの無電解めっきによっても良い。なお、ここでは、Ｃｒを２０ｍａｓｓ％以上含んだＮｉ基合金をＮｉ−Ｃｒ系合金と呼ぶ。
【０００９】
請求項１に記載の発明においては、基材の表面にＮｉめっきを施して表面にＮｉ層を形成しているので、Ａｌ拡散処理が施された場合に、Ｎｉ−Ａｌ層と基材との界面の位置ではＣｒ当量（Ｎｉ基合金中でα相を形成する金属元素の総量）はほぼ０である。従って、Ａｌ拡散処理によってその界面においてα−Ｃｒ層が形成されることがなく、α−Ｃｒ層の成長に伴ってボイドが形成されることもない。
【００１０】
Ｎｉめっき層の厚さは５〜５０μｍの範囲が好ましい。厚さが５μｍより小さいと、Ａｌ拡散処理後のＮｉ−Ａｌ層と基材との界面の位置が基材内に達してしまう可能性がある。また、Ｎｉ−Ａｌ層は比較的脆いため、Ｎｉめっき層の厚さが５０μｍを超えると例えば熱サイクルによってクラックが入る可能性が高くなる。Ｎｉめっき層の厚さは、より好ましくは１０〜３０μｍである。
【００１１】
請求項２に記載の耐食性皮膜の形成方法は、請求項１に記載の発明において、前記Ｎｉめっき層を形成する工程の後に、ゾルゲル法を用いて表面にＺｒＯ２層を形成し、形成されたＺｒＯ２層の上から前記Ａｌ拡散処理を行うことを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の発明においては、ゾルゲル法を用いて形成されたＺｒＯ２層の上からＡｌ拡散処理を行うという簡便な方法で、Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒが拡散し、Ｎｉ−Ａｌ合金保護層と後にＮｉ−Ａｌ合金保護層表面に形成されたＡｌ２Ｏ３皮膜との固着性が高められる。ゾルゲル処理溶液中のＺｒ４＋の濃度は、０．０１〜１．０ｍｏｌ／Ｌの範囲が好ましい。０．０１ｍｏｌ／Ｌよりも濃度が低いと、Ｎｉ−Ａｌ合金保護層とＡｌ２Ｏ３皮膜との密着性を高める効果が現れない。また、１．０ｍｏｌ／Ｌよりも濃度が高いと、高温下での使用中に、Ｎｉ−Ａｌ合金保護層中において多量のＺｒＯ２を形成してしまい、腐食が加速されてしまう。より好ましくは０．０３〜０．３ｍｏｌ／Ｌである。
【００１３】
請求項３に記載の耐食性皮膜の形成方法は、Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材の表面にＮｉ−Ｂめっきを施して表面にＮｉ−Ｂ層を形成する工程と、Ｎｉ−Ｂ層が形成された表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ（Ｂ）からなる保護層を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の発明においては、基材の表面にＮｉ−Ｂめっきを施して表面にＮｉ−Ｂ層を形成しているので、Ａｌ拡散処理が施された場合に、Ｎｉ−Ａｌ層と基材との界面の位置ではＣｒ当量（Ｎｉ基合金中でα相を形成する金属元素の総量）はほぼ０である。従って、Ａｌ拡散処理によってその界面においてα−Ｃｒ層が形成されることがなく、α−Ｃｒ層の成長に伴ってボイドが形成されることもない。  また、Ｎｉ−Ｂめっきを施す際に形成されるホウ素（Ｂ）化合物は比較的高融点のものが多いため、高温用途においても問題が起きることがない。
【００１５】
Ｎｉ−Ｂ層の厚さは５〜５０μｍの範囲が好ましい。厚さが５μｍより小さいと、Ａｌ拡散処理後のＮｉ−Ａｌ層と基材との界面の位置が基材内に達してしまう可能性がある。また、Ｎｉ−Ａｌ層は比較的脆いため、Ｎｉ−Ｂ層の厚さが５０μｍを超えると熱サイクルによってクラックが入る可能性が高くなる。Ｎｉ−Ｂ層の厚さは、より好ましくは１０〜３０μｍである。
【００１６】
請求項４に記載の耐食性皮膜の形成方法は、請求項３に記載の発明において、前記Ｎｉ−Ｂ層を形成する工程の後に、ゾルゲル法を用いて表面にＺｒＯ２層を形成し、形成されたＺｒＯ２層の上から前記Ａｌ拡散処理を行うことを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の発明においては、ゾルゲル法を用いて形成されたＺｒＯ２層の上からＡｌ拡散処理を行うという簡便な方法で、Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒが拡散し、Ｎｉ−Ａｌ合金保護層と後にＮｉ−Ａｌ合金保護層表面に形成されたＡｌ２Ｏ３皮膜との固着性が高められる。
【００１８】
請求項５に記載の耐食性皮膜の形成方法は、Ｎｉ基合金からなる基材の表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層を形成する方法において、基材の表面にゾルゲル法を用いてＺｒＯ２層を形成した後に、前記Ａｌ拡散処理工程を行うことにより、前記Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒを拡散させることを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の耐食性皮膜の形成方法は、Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材の表面にＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層を形成する方法において、基材の表面にゾルゲル法を用いてＺｒＯ２層を形成した後に、前記Ａｌ拡散処理工程を行うことにより、前記Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒを拡散させることを特徴とする。
【００２０】
請求項５および６に記載の発明においては、ゾルゲル法を用いて形成されたＺｒＯ２層の上からＡｌ拡散処理を行うという簡便な方法で、Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層の少なくとも一部にＺｒが拡散し、Ｎｉ−Ａｌ合金保護層と後に保護層の表面に形成されたＡｌ２Ｏ３皮膜との固着性が高められる。
【００２１】
請求項７に記載の高温装置部材は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のＮｉ−Ａｌ（Ｂ）またはＮｉ−Ａｌからなる保護層を形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、Ａｌ拡散処理を施して形成されたＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層の剥離を防止して、保護層を長時間健全に高温下で使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態を説明する。
図１は、この発明の耐食性皮膜の形成方法の１つの実施の形態を模式的に示すもので、耐食性皮膜の形成方法は以下の工程からなる。（１）Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材１０の表面に、Ｎｉ−Ｂ層１２を形成する。（２）密閉容器１４内で、基材表面をＡｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末１６で被覆し、所定の雰囲気中で、所定温度において、所定時間のＡｌ拡散処理を行う。（３）これにより、Ｎｉ−Ｂ層中にＡｌが拡散し、Ｎｉ−Ａｌ合金からなる保護層１８が形成される。
【００２４】
また、図２は、この発明の耐食性皮膜の形成方法の他の実施の形態を模式的に示すもので、耐食性皮膜の形成方法は以下の工程からなる。（１）Ｎｉ−Ｃｒ系合金からなる基材１０の表面に、Ｎｉ−Ｂ層１２を形成する。（２）ゾルゲル法によってＮｉ−Ｂ層１２の表面にＺｒＯ２層２０を形成する。（３）密閉容器１４内で、基材表面をＡｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末１６で被覆し、所定の雰囲気中で、所定温度において、所定時間のＡｌ拡散処理を行う。（４）これにより、Ｎｉ−Ｂ層中にＡｌが拡散し、かつその少なくとも一部にＺｒが拡散したＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層１８Ａが形成される。
【００２５】
上記、Ｎｉ−Ｂ層を形成する過程において、Ｎｉ−Ｂ無電解めっきの代わりに、Ｎｉ電気めっき、あるいは無電解Ｎｉ−Ｐめっきを行っても良い。
【００２６】
［実施例１］
Ｎｉ−２０Ｃｒ−１８Ｆｅ−１０Ｍｏ(ｍａｓｓ％)合金からなる基材（試験片）に、Ｎｉ−Ｂ無電解めっきを施して膜厚が約２０μｍのＮｉ−Ｂめっき膜を形成した後、基材をＡｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末に埋め込み、Ａｒ雰囲気中、８００℃で４時間のＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ（Ｂ）保護層を形成した。処理後の保護層の断面を図３に示す。この図に示すように、基材とＮｉ−Ａｌ（Ｂ）層の界面にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層は形成されていなかった。
【００２７】
［実施例２］
Ｎｉ−２０Ｃｒ−１８Ｆｅ−１０Ｍｏ(ｍａｓｓ％)合金からなる基材（試験片）に、Ｎｉ電気めっきを施して膜厚が約２０μｍのＮｉめっき膜を形成した後、基材をＡｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末に埋め込み、Ａｒ雰囲気中、８００℃で４時間のＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ合金からなる保護層を形成した。処理後の保護層の断面を図１７に示す。この図に示すように、基材とＮｉ−Ａｌ保護層の界面にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層は形成されていなかった。
【００２８】
［比較例１］
実施例１で使用された基材と同じＮｉ−２０Ｃｒ−１８Ｆｅ−１０Ｍｏ(ｍａｓｓ％)合金からなる基材（試験片）を直接Ａｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末に埋め込み、Ａｒ雰囲気中、８００℃で４時間のＡｌ拡散処理を施しＮｉ−Ａｌ保護層を形成した。処理後の保護層の断面の金属組織を図４に示す。この図に示すように、基材とＮｉ−Ａｌ層の界面にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層が形成されており、実機での使用の際には、図１４に示すような保護層の早期の剥離が予想される。
【００２９】
［実施例３〜実施例５］
Ｎｉ−２０Ｃｒ−１８Ｆｅ−１０Ｍｏ(ｍａｓｓ％)合金からなる各基材（試験片）に、Ｎｉ−Ｂ無電解めっきを施して膜厚が約３０μｍのＮｉ−Ｂめっき膜を形成した後、ゾルゲル法によって各Ｎｉ−Ｂ層の表面にＺｒＯ２層を形成した。なお、ゾルゲル処理に用いた処理液のＺｒの各濃度を０．０１ｍｏｌ／Ｌ（実施例３）、０．０５ｍｏｌ／Ｌ（実施例４）、０．１ｍｏｌ／Ｌ（実施例５）の３水準とした。その後、２つの層を形成した各試験片を、Ａｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末に埋め込み、Ａｒ雰囲気中、８００℃で４時間のＡｌ拡散処理を施してＮｉ−Ａｌ（Ｂ）保護層を形成した。処理後の保護層断面は、実施例１の場合（図３）と同様に、基材とＮｉ−Ａｌ（Ｂ）層の界面にＣｒ（Ｍｏ）リッチ層は形成されていなかった。
【００３０】
Ａｌ拡散処理によるＡｌおよびＺｒの存在状態を調べるために、Ｚｒ添加量が最も多い実施例５において、保護層の断面の組成分析を行った。図５および図６に、Ａｌ拡散処理の前後の試験片断面の走査型電子顕微鏡による組織写真を示し、図７に、保護層部分の組成分析を示す。
この結果、図７に示すように、Ｎｉ−Ｂめっき層の外側にほぼ４０ａｔ％Ｎｉ−６０ａｔ％(原子％)Ａｌの組成のＡｌ拡散層が形成され、Ａｌ拡散層のごく表面部分にＺｒリッチな層が薄く形成されていることが分かる。
【００３１】
［高温腐食試験］
実施例１，３〜５について、１１００℃で７５０時間の熱サイクル下で、高温腐食試験をした際の試験片の重量変化を図８に示す。図８において、高温下で保護層表面にアルミナ(Ａｌ２Ｏ３)皮膜が成長すると、試験片の重量は増加するが、そのアルミナ皮膜が剥離すると剥離量に応じて試験片の重量が減少する。さらに、保護層と合金基材の界面におけるα−Ｃｒ相の成長によって保護層そのものが剥離すると、著しい重量減少が生じることが予想できる。従って、重量減少の少ない試料は保護層およびアルミナ皮膜の密着性が良好であることを示す。
いずれの試験片においても、保護層の剥離に起因するような急激な減量は見られなかった。
しかしながら、実施例１の試験片では、アルミナ皮膜表面の剥離に伴うと思われる重量減少が見られた。一方、実施例３〜５においては、Ｚｒの添加量が増加するとともに、試験片の重量減少がみられなくなり、実施例５では６００時間を超えても試験片の減量が見られなかった。
これら実施例１，３〜５における試験片の、高温腐食試験後の断面の組織写真をそれぞれ図９ないし図１２に示す。図９に示すように、Ｚｒを添加していない試料は、試験片表面全体にわたってアルミナ皮膜が剥離して、表面は非保護性の酸化物に覆われていたが、図１０〜１２に示すように、ゾルゲル法によってＺｒを添加した試料は保護性のアルミナ皮膜で覆われていた。これにより、本発明の方法による保護層へのＺｒ添加が実効性を持つことが確認された。
【００３２】
［実施例６］
Ｎｉ−８Ｃｒ−１０Ｃｏ−３Ｔａ−５．５Ａｌ−１Ｔｉ−１．５Ｈｆ(ｍａｓｓ％)合金からなる基材（試験片）に、ゾルゲル法によってその表面にＺｒＯ２層を形成した。その後、実施例３〜５と同様のＡｌ拡散処理を施した。なお、ゾルゲル法に用いた処理液のＺｒの濃度は０．１ｍｏｌ／Ｌとした。Ａｌ拡散処理後の試験片表面の写真と電子線プローブマイクロアナリシス（ＥＰＭＡ）による元素分析結果を図１８に示す。表面には１．７ａｔ％のＺｒを含有しており、上記実施例３〜５と同様に保護性酸化物皮膜（Ａｌ２Ｏ３皮膜）の剥離抑制に有効と思われる。
【００３３】
図１６に示すようなＮｉ−Ａｌ保護層が例えばＮｉ−２０Ｃｒ−１８Ｆｅ−１０Ｍｏ(ｍａｓｓ％)合金製のマイクロガスタービンの燃焼器に対して本発明の方法により処理を施すことで、Ｎｉ−Ａｌ保護層および保護層表面に形成されるＡｌ２Ｏ３皮膜の剥離が抑制され、燃焼器の寿命を延伸できるものと考えられる。図１６は本発明を適用するのに好適なマイクロガスタービンにおける燃焼器ライナ１の燃料噴射ノズル２を示す。これらのノズルは燃焼器ライナの内表面から突出している。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】この発明の第１の実施の形態の耐食性皮膜の形成方法を模式的に説明する図である。
【図２】この発明の第２の実施の形態の耐食性皮膜の形成方法を模式的に説明する図である。
【図３】この発明の実施例１における処理後の試験片の断面を示す顕微鏡写真である。
【図４】比較例１における処理後の試験片の断面を示す顕微鏡写真である。
【図５】この発明の実施例５におけるＡｌ拡散処理前の試験片の表面を示す顕微鏡写真である。
【図６】この発明の実施例５におけるＡｌ拡散処理後の試験片の表面を示す顕微鏡写真である。
【図７】この発明の実施例５における試験片の保護層部分の断面組成分析を示すグラフである。
【図８】この発明の実施例１，３〜５における試験片について高温腐食試験をした際の重量変化を示すグラフである。
【図９】この発明の実施例１について高温腐食試験をした際の試験後の試験片の表面の組織写真である。
【図１０】この発明の実施例３について高温腐食試験をした際の試験後の試験片の表面の組織写真である。
【図１１】この発明の実施例４について高温腐食試験をした際の試験後の試験片の表面の組織写真である。
【図１２】この発明の実施例５について高温腐食試験をした際の試験後の試験片の表面の組織写真である。
【図１３】従来のＡｌ拡散浸透処理を示す図である。
【図１４】従来の方法でＡｌ拡散処理を施した保護層の剥離箇所近傍の断面を観察した組織写真である。
【図１５】図１４の保護層の剥離を説明するためのＮｉ−Ｃｒ−Ａｌ系の３元系状態図である。
【図１６】本発明に係るマイクロガスタービンの燃焼器ライナの斜視図である。
【図１７】実施例２における処理後の試験片の断面を示す顕微鏡写真である。
【図１８】実施例６における処理後の試験片の表面を示す写真および電子線プローブマイクロアナリシス（ＥＰＭＡ）による元素分析結果である。
【符号の説明】
【００３５】
１    燃焼器ライナ
２    燃料噴射ノズル
１０  基材
１２  Ｎｉ−Ｂ層
１６  Ａｌ＋Ａｌ２Ｏ３＋ＮＨ４Ｃｌの混合粉末
１８  保護層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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