(57)【要約】 【課題】微細パーティクルを混入させずに、液体を運搬することができ、かつ、液体を取り出す際にも、前記液体を安全に取り扱うことのできる運搬容器を提供することを目的とする。【解決手段】液体を貯蔵する容器Ａの開口部に装着される蓋体Ｂであり、前記開口部に装着される蓋部５と、前記蓋部５に取り付けられて前記容器の内部に挿入可能な棒状の胴体部６とからなり、前記胴体部６の上部側面には孔部８が設けられるとともに、前記胴体部６の内部には、前記孔部８と連通して前記液体を貯蔵可能な空洞部９が設けられていることを特徴とする蓋体Ｂを用いることにより、上記課題を解決できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯蔵する容器の開口部に装着される蓋体であり、
前記開口部に装着される蓋部と、
前記蓋部に取り付けられて前記容器の内部に挿入可能な棒状の胴体部とからなり、
前記胴体部の上部側面には孔部が設けられるとともに、前記胴体部の内部には前記孔部と連通して前記液体を貯蔵可能な空洞部が設けられていることを特徴とする蓋体。
【請求項２】
前記空洞部には、前記液体の逆流を防止する逆止弁が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の蓋体。
【請求項３】
前記蓋部が、その内側に雌ねじ部が設けられているキャップであることを特徴とする請求項１もしくは請求項２のいずれか１項に記載の蓋体。
【請求項４】
請求項１に記載の蓋体が装着される液体貯蔵用の容器であり、
液体を貯蔵する容器本体部と、
前記容器本体部の上部に設けられた円筒部とからなり、
前記円筒部の上部には前記蓋体が装着される開口部が設けられ、前記蓋体が装着された際に、前記蓋体の孔部が前記円筒部内に配置されるように構成されてなることを特徴とする液体貯蔵容器。
【請求項５】
請求項１に記載の蓋体が、請求項４に記載の液体貯蔵容器に装着されてなることを特徴とする液体運搬容器。
【請求項６】
請求項１に記載の蓋体と、請求項４に記載の液体貯蔵容器とを用いた液体運搬容器の使用方法であり、
液体が前記容器本体部に貯蔵された前記液体運搬容器の前記開口部から、前記蓋部の前記胴体部を挿入して、前記胴体部を前記液体に浸漬させるとともに、前記液体の液面を前記胴体部に設けた孔部まで上昇させ、
さらに、前記孔部を通じて前記液体を前記胴体部の空洞部に流入させ、その後、前記蓋部を前記開口部に装着することを特徴とする液体運搬容器の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レジストや半導体に関わる液体、その他工業、医療、化粧品、飲料等の液体を運送、持運びする際の容器キャップ、その容器キャップを用いた容器およびその容器の使用方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体産業においては、半導体回路の微細化技術の発展に伴い、これまで問題とはならなかった微細なパーティクルが問題となり始めている。製造現場においては、クリーンルーム内はもとより半導体製造装置内においても、前記微細パーティクル対策を行う必要が生じるとともに、半導体製造において使用する各種溶液内に含まれる微細パーティクルに対しても様々な対策が必要となり始めている。
【０００３】
たとえば、半導体製造の現場においては、様々な溶液を運搬容器に入れて持ち運ぶが、その際、前記運搬容器内で溶液が震盪（しんとう）されることにより、前記運搬容器内の空気が溶液内に混入され、同時に、前記空気中に存在する微細パーティクルも溶液内に混入されるという問題があった。
前記微細パーティクルを除外するために、まず、前記運搬容器内から空気自体を除去し、運搬により運搬容器が震盪（しんとう）されても、微細パーティクルが混入されないようにする方法が検討された。その方法の一つに、前記運搬容器を溶液で満たす方法があり、こうすることにより前記運搬容器中から空気を除去することができ、前記溶液中に微細パーティクルを混入させないようにすることができた。
しかし、この場合、前記運搬容器が溶液で満たされているので、溶液を使用する時に溶液が床やテーブルなどにこぼれ、安全性の面で問題となる場合があった。
さらに、溶液がこぼれた場所では、新たなパーティクルが発生するという問題もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、微細パーティクルを混入させずに、液体を運搬することができ、かつ、液体を取り出す際にも、前記液体を安全に取り扱うことのできる運搬容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の蓋体は、液体を貯蔵する容器の開口部に装着される蓋体であり、前記開口部に装着される蓋部と、前記蓋部に取り付けられて前記容器の内部に挿入可能な棒状の胴体部とからなり、前記胴体部の上部側面には孔部が設けられるとともに、前記胴体部の内部には前記孔部と連通して前記液体を貯蔵可能な空洞部が設けられていることを特徴とする。
本発明の蓋体は、前記空洞部には、前記液体の逆流を防止する逆止弁が備えられていることを特徴とする
本発明の蓋体は、前記蓋部が、その内側に雌ねじ部が設けられているキャップであることを特徴とする。
本発明の液体貯蔵容器は、先に記載の蓋体が装着される液体貯蔵用の容器であり、液体を貯蔵する容器本体部と、前記容器本体部の上部に設けられた円筒部とからなり、前記円筒部の上部には前記蓋体が装着される開口部が設けられ、前記蓋体が装着された際に、前記蓋体の孔部が前記円筒部内に配置されるように構成されてなることを特徴とする。
本発明の液体運搬容器は、先に記載の蓋体が、先に記載の液体貯蔵容器に装着されてなることを特徴とする。
本発明の液体運搬容器の使用方法は、先に記載の蓋体と、先に記載の液体貯蔵容器とを用いた液体運搬容器の使用方法であり、液体が前記容器本体部に貯蔵された前記液体運搬容器の前記開口部から、前記蓋部の前記胴体部を挿入して、前記胴体部を前記液体に浸漬させるとともに、前記液体の液面を前記胴体部に設けた孔部まで上昇させ、さらに、前記孔部を通じて前記液体を前記胴体部の空洞部に流入させ、その後、前記蓋部を前記開口部に装着することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、微細パーティクルを混入させずに、液体を運搬することができ、かつ、液体を取り出す際にも、前記液体を安全に取り扱うことのできる運搬容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態である液体運搬容器Ｃの一例を示す断面概略図である。液体運搬容器Ｃは、蓋体Ｂと、液体貯蔵容器Ａとから構成されている。
図２は、前記蓋体Ｂの一例を示す断面概略図である。前記蓋体Ｂは、断面形状が凹形状である蓋部５と、前記蓋部５の凹部５ａに設けられた棒状の胴体部６とからなり、前記蓋部５の内面５ｂには雌ねじ部７が設けられている。また、前記胴体部６の上部側面６ａに孔部８が設けられ、前記孔部８と連通して前記胴体部６の内部に、液体を貯蔵できる空洞部９が設けられ、前記空洞部９の内壁部９ａには逆止弁１０が設けられている。
【０００８】
前記蓋部５と前記胴体部６は、アルミニウム、ステンレスなどの金属およびそれらを含有する合金を用いて、接合して形成される。しかしながら、貯蔵する液体の種類によっては、耐薬品性、耐剛性などが優れた有機樹脂材料などを用いて形成することもできる。
前記蓋部５の凹部５ａにおいて、前記胴体部６は接合して取り付けられているが、スクリュー式の接合部を設けて、蓋部５と胴体部６を取り外すことができるようにしてもかまわない。蓋部５と胴体部６が容易に取り外すことができれば、空洞部に溜まった液体を容易に出すことができるとともに、空洞部内の清掃を容易に行うことができる。
【０００９】
前記蓋部５の内面５ｂには、雌ねじ部７が設けられている。前記雌ねじ部７は、後述する液体貯蔵容器Ａの上部に取り付けられた円筒部の外面に設けられた雄ねじ部４と係合する構成となっている。
【００１０】
前記孔部８は、たとえば、前記胴体部６の上部側面６ａのおける対称となる４箇所の位置に設けられている。
前記孔部８の数は、いくつ形成してもかまわないが、２個〜１０個形成するのが好ましい。孔部８の大きさ、形状についても特に制限はない。
また、孔部８は、棒状の胴体部６の表面から空洞部９側に向けて上方に傾斜するように設けることが好ましい。運搬の際に、液面が揺れて、前記孔部８より空洞部９へ液体が流れ落ちるが、孔部８を前記のように傾斜させ形成することによって、液面の面積を広くすることができるので、液体の表面張力の働きで、空洞部９への液体の過剰な排出を妨げることができるためである。
【００１１】
前記空洞部９は、前記孔部８と連通して前記胴体部６の内部に設けられ、液体を貯蔵できる容量を有する。
前記逆止弁１０は、前記空洞部９の内壁部９ａに設けられている。前記空洞部９において前記逆止弁１０より下の空間領域が、排出された液体を貯蔵する空間領域となるので、逆止弁１０を取り付ける位置は、排出する液体の量をどのくらいにするかという当該液体運搬装置の使用形態を考慮して決定する。
前記逆止弁１０は、どのような形状の逆止弁を用いてもかまわないが、Ｌ字型の逆止弁であれば、図２に示すように、長手側を下部に向けて取り付けるのが好ましい。このようにＬ字型の逆止弁を取り付ければ、運搬の際、当該液体運搬容器が揺れて、空洞部９に排出された液体が、孔部８から容器本体部１に逆流し、容器本体部１に貯蔵された液体と混ざり合うということがない。
【００１２】
図３は、本発明の実施形態である液体貯蔵容器Ａの一例を示す断面概略図である。液体貯蔵容器Ａは、液体を貯蔵する容器本体部１と、前記容器本体部１の上部に設けられた円筒部２とからなり、前記円筒部２の上部２ａに開口部３が設けられ、前記上部２ａの外面２ｂに雄ねじ部４が設けられている。
前記円筒部の側面には取手１１が取り付けられ、人がこの取手１１を手のひらでつかみ、当該液体貯蔵容器Ａを持ち運んだり、当該液体貯蔵容器Ａの内部に貯蔵した液体を、前記円筒部２の上部２ａに設けられた開口部３から取り出したりすることができる構成となっている。
前記円筒部２の上部２ａの外面２ｂに設けられた雄ねじ部４は、先に記載した蓋体Ｂの蓋部５の内面５ｂに設けられた雌ねじ部７と係合する構成となっている。また、前記雄ねじ部４と前記雌ねじ部７を完全に係合させても、前記雄ねじ部４と前記雌ねじ部７との間に形成される隙間から空気が外部に抜けるので、液体運搬容器Ｃの内部に圧力はかからない。
【００１３】
前記容器本体部１の形状は、図３においては、樽型の形状を用いたが、ドラム缶型、あるいはボンベ型などでもかまわない。半導体製造に用いる特殊な液体を貯蔵し、運搬するための用途を考慮して、安定感のある形状となればどのような形状でもかまわない。
【００１４】
前記取手１１の形状は、図３においては、コの字型の取手を用いたが、Ｃ字型などどのような形状でもかまわない。また、前記取手１１の数は、図３においては、１個の取手を用いたが、２個取り付けてもかまわない。
【００１５】
次に、本発明の実施形態である液体運搬容器Ｃの使用方法について説明する。
当該液体運搬容器Ｃは、たとえば、あるクリーンルームの半導体製造装置で使用する液体を、別のクリーンルーム内の液体貯蔵装置から、この液体貯蔵容器Ａにくみ出し、蓋体Ｂで栓をして液体運搬容器Ｃとした後、該クリーンルーム内の半導体製造装置に運搬し、蓋体Ｂの栓をはずし、該半導体製造装置に液体を流入させるという工程で用いる。
図４は、液体運搬容器Ｃの使用方法を示す工程概略図である。
図４（ａ）は、液体貯蔵容器Ａに液体１２が貯蔵されていることを示している。液体１２は、容器本体部１の９割ほどの空間容量を占めている。液面Ｌは、容器本体部１の肩部近くに達している。
【００１６】
図４（ｂ）は、前記液体貯蔵容器Ａに、蓋体Ｂの胴体部６を差し込み始めた時点の工程概略を示している。前記蓋体Ｂの胴体部６は、液体貯蔵容器Ａの円筒部２の上部２ａに設けられた開口部３から、静かに、ゆっくりと挿入され、容器本体部１の液体１２にその先端が浸漬される。それとともに、液面Ｌは、矢印に示すように、静かに、ゆっくりと、円筒部２内部を上昇する。
【００１７】
図４（ｃ）は、蓋体Ｂの胴体部６がさらに差し込まれ、それとともに、液体１２が孔部８から空洞部９に流れ落ち始めた時点の工程概略を示している。蓋体Ｂの胴体部６が液体１２中により差し込まれるとともに、液体１２の液面Ｌの位置が上昇し、蓋体Ｂの胴体部６に設けられた孔部８の位置が液面Ｌの位置と同じとなった時点から、前記孔部８を介して空洞部９へと液体１２が流れ落ち始める。ここで、前記空洞部９の下部に排出された液体は１２ａで示されている。
【００１８】
図４（ｄ）は、前記液貯蔵容器Ａを前記蓋体Ｂで栓をした時点の工程概略を示している。蓋体Ｂを液体貯蔵容器Ａの容器本体部１に差し込んでいくと、液体貯蔵容器Ａの雌ねじ部７と、蓋体Ｂの雌ねじ部７とが接触する。その時点から、静かに、ゆっくりと、前記雌ねじ部７と前記雌ねじ部７とを係合させる。このようにして、液体貯蔵容器Ａの開口部３が閉じられ、前記液体貯蔵容器Ａは前記蓋体Ｂで栓がされたことになる。液体１２の液面Ｌは、蓋体Ｂの胴体部６の上部に設けられた孔部８の位置にあり、空洞部９には、排出された液体１２ａが溜まっている。
また、液面Ｌのヘッドスペースとなる空間は、胴体部６の上部側面と、容器の円筒部２の上部内面とから区画された微小な空間となる。
【００１９】
クリーンルーム内の所定の液体貯蔵装置から半導体製造装置へと、この液体運搬容器Ｃを用いて、液体１２を運搬する際には、まず、先に記載したように液体運搬容器Ｃに液体１２を貯蔵し、その液体運搬容器Ｃを、その取手１１を持って運搬する。
その際、運搬の途中で、多少揺れた場合には、孔部８を介して、液体１２がさらに空洞部９へ排出される。そのため、液面１２は、運搬を終了した時点では、孔部８の位置より低くなっている。逆に、空洞部９の下部に排出された液体１２ａは、いくら当該液体運搬容器Ｃを揺らして運搬させたとしても、逆止弁１０により孔部８まで達することはないので、容器本体部１に貯蔵されている液体１２に混じることはない。
また、移動した別の半導体製造装置において、この液体１２を使用する際にも、蓋体Ｂを取り外すことにより、液面Ｌは図４（ａ）で示した液面よりも低くなっているので、液体貯蔵容器の取手１１を手で持って、この液体１２を前記半導体製造装置へ流し込むのが容易となっている。
【００２０】
また、遠距離の輸送にも、この液体運搬容器Ｃを用いることができる。たとえば、日本国内の所定の半導体工場から、韓国国内の所定の半導体工場に、液体１２を運搬する際には、先に記載したように液体運搬容器Ｃに液体１２を貯蔵し、栓をした後、その液体運搬容器Ｃを所定の台車に固定する。前記半導体工場内で、前記台車をクリーン仕様とした収納コンテナに収納した後、前記収納コンテナをトラックに積み込み、国内の空港へ運ぶ。前記国内空港で前記コンテナを飛行機に積み込み、韓国の空港へ運ぶ。韓国の空港で、前記収納コンテナをトラックへ積み替え、韓国の所定の半導体工場に運び、半導体工場内で前記台車を運び出す。前記台車で所定の半導体ブース内に移動し、台車からの固定を解除し、液体運搬容器Ｃの栓をはずし、液体１２を使用する。
【００２１】
以下、効果について説明する。
本発明の実施形態である蓋体は、前記空洞部に、前記液体の逆流を防止する逆止弁が備えられている構成なので、前記孔部から一旦、前記空洞部に液体を貯蔵した場合、多少揺らした程度では、孔部から容器本体部へ液体を戻すことがない。
【００２２】
本発明の実施形態である液体運搬容器は、その内側に雌ねじ部が設けられているキャップを有する蓋部と、その外側に雄ねじ部を設けられてある液体貯蔵容器とからなるので、前記蓋体と前記液体貯蔵容器とを装着した場合、前記雌ねじ部と前記雄ねじ部の係合部分から、内部の空気を抜くことが出来、液体に余分な圧力負荷を与えることがない。
【００２３】
本発明の実施形態である液体運搬容器は、先に記載の蓋体が、先に記載の液体貯蔵容器に装着される構成なので、蓋体の棒状の胴体部に設けられた孔部より空洞部へ液体を排出し、空洞部に前記排出した液体を貯蔵することができる。
【００２４】
本発明の実施形態である液体運搬容器において、蓋体の棒状の胴体部に設けられた孔部が、液体貯蔵容器の円筒部に配置されるように設けられているので、排出する液体の量は、少量とすることができる。
【００２５】
本発明の実施形態である液体運搬容器において、液面上部に形成されるヘッドスペースの空間容量が小さいので、運搬の際に液面が揺れても、液体中に空気中から微細パーティクルが混入させることはない。
【００２６】
本発明の実施形態である液体運搬容器の使用方法において、前記のようにして運搬した液体運搬容器から蓋体を取り外した際に、液面が液体貯蔵容器の容器本体部内にまで下降するので、使用する際に安全に取り扱うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、半導体レジストや半導体に関わる液体など微細パーティクルを特に問題とする半導体産業において、有用性が高いが、どのような液体でも、容易にまた、安全に、パーティクルを液体に取り込ませること無く、液体を運搬することができるので、運搬中に混入する液体中の微細パーティクルを問題とする、その他の産業、たとえば、工業、医療、化粧品、飲料等の産業においても利用可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態である液体運搬容器の一例を示す断面模式図である。
【図２】本発明の実施形態である蓋体の一例を示す断面模式図である。
【図３】本発明の実施形態である液体貯蔵容器の一例を示す断面模式図である。
【図４】本発明の実施形態である液体運搬容器の使用方法の一例を示す工程概略図であって、（ａ）は液体貯蔵容器に液体を貯蔵した時点の断面模式図、（ｂ）は液体貯蔵容器に蓋体を差し込み始めた時点の断面模式図、（ｃ）は液体貯蔵容器に蓋体をさらに差し込んだ時点の断面模式図、（ｄ）は液体貯蔵容器を蓋体で栓をした時点の断面模式図である。
【符号の説明】
【００２９】
Ａ…液体貯蔵容器、Ｂ…蓋体、Ｃ…液体運搬容器、１…容器本体部、２…円筒部、２ａ…上部、２ｂ…外面、３…開口部、４…雄ねじ部、５…蓋部、５ａ…凹部、５ｂ…内面、６…胴体部、７…雌ねじ部、８…孔部、９…空洞部、９ａ…内壁部、１０…逆止弁、１１…取手、１２…液体、Ｌ…液面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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