(57)【要約】【課題】本発明はモーターにより駆動すると共に磁場が作用する環境下で使用される蓄冷式冷凍機の駆動制御を行う蓄冷式冷凍機の駆動制御装置に関し、強い磁場が作用する環境下においても蓄冷式冷凍機のモーターの停止を確実に防止することを課題とする。【解決手段】モーターＭによりディスプレーサー３をシリンダー２内で往復移動させることにより寒冷を発生させるＧＭ冷凍機１の駆動制御を行う蓄冷式冷凍機の駆動制御装置であって、磁場発生源からモーターＭに印加される磁場の強さを求める磁場センサー１７と、求められた磁場の強さが大きくなるほどモータートルクが大きくなるようモーターＭを駆動制御する駆動制御装置１６とを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モーターによりディスプレーサーをシリンダー内で往復移動させることにより寒冷を発生させる蓄冷式冷凍機の駆動制御を行う蓄冷式冷凍機の駆動制御装置であって、
磁場発生源から前記モーターに印加される磁場の強さを求める磁場検出手段と、
求められた前記磁場の強さに基づき、前記磁場の強さが大きくなるほどモータートルクが大きくなるよう前記モーターを駆動制御する駆動制御手段と
を有することを特徴とする蓄冷式冷凍機の駆動制御装置。
【請求項２】
前記磁場検出手段は、前記モーターの筐体外部に配設された印加磁場検出センサーであることを特徴とする請求項１記載の蓄冷式冷凍機の駆動制御装置。
【請求項３】
前記検出手段は、前記磁場発生源が発生する発生磁場の強さを検出する発生磁場検出センサーであることを特徴とする請求項１記載の蓄冷式冷凍機の駆動制御装置。
【請求項４】
前記磁場発生手段は超電導マグネットであり、前記出力磁場検出センサーは前記超電導マグネットに供給される電流を測定する電流検出センサーであることを特徴とする請求項３記載の蓄冷式冷凍機の駆動制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は蓄冷式冷凍機の駆動制御装置に係り、特にモーターにより駆動すると共に磁場が作用する環境下で使用される蓄冷式冷凍機の駆動制御を行う蓄冷式冷凍機の駆動制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は、従来の一例である蓄冷式冷凍機の駆動制御装置を説明するための図である。同図に示す蓄冷式冷凍機５０は、ギフォード・マクマホン式冷凍機（以下、ＧＭ冷凍機という）である。一般に、ＧＭ冷凍機５０は、冷凍温度が４０Ｋ以上である単段式のものと、冷凍温度を２０Ｋ以下の極低温としうる２段式のものが知られているが、同図では単段式のＧＭ冷凍機５０を示している。
【０００３】
ＧＭ冷凍機５０は、大略するとシリンダー５２，ディスプレーサー５３，蓄冷材５４，ガス供給装置５５、駆動制御装置６６、及びモーターＭ等により構成されている。ディスプレーサー５３は、シリンダー５２内に配設されている。このディスプレーサー５３は軸部材Ｓを介してクランク機構６に接続されており、またその内部には蓄冷材５４が配設されている。
【０００４】
クランク機構６はモーターＭにより回転され、モーターＭの回転力を軸部材Ｓの上下方向の移動力に変換する。よって、モーターＭが駆動することにより、ディスプレーサー５３はシリンダー５２内を図中上下方向に往復移動する。このモーターＭは、駆動制御装置６６によりその駆動が制御される構成とされている。
【０００５】
また、ディスプレーサー５３の図中上部にはガス流通孔５９が形成されると共に、下部にはガス流通孔６０が形成されている。よって、ガス供給装置５５から供給されるヘリウム等の作動ガスは、このガス流通孔５９，１０を通ってディスプレーサー５３の下端とシリンダー５２の底面との間に形成される膨張室６１に供給される。また、作動ガスがシリンダー５２の内周面とディスプレーサー５３の外周面との間の間隙を介して流れないよう、シリンダー５２とディスプレーサー５３との間にはスリッパーシール６２及びウエアリング６５が設けられている。
【０００６】
一方、ガス供給装置５５は、コンプレッサー５７，吸気弁Ｖ１，及び排気弁Ｖ２とにより構成されている。ディスプレーサー５３が下死点にあるとき、コンプレッサー５７で生成された高圧の作動ガスは、吸気弁Ｖ１を開弁すると共に排気弁Ｖ２を閉弁することによりガス流路５８を介してシリンダー５２の内部に供給される。これにより、シリンダー５２内の圧力は上昇する。
【０００７】
この状態において、モーターＭを駆動することによりディスプレーサー５３を上死点まで上動させる。これにより高圧の作動ガスは、ガス流通孔５９、蓄冷材５４、及びガス流通孔６０を通り膨張室６１内に進入する。続いて、吸気弁Ｖ１を閉弁すると共に排気弁Ｖ２を開弁する。これにより、膨張室６１内の作動ガスは膨張し、これに伴い寒冷が発生する。
【０００８】
続いて、モーターＭを駆動してディスプレーサー５３を再び下死点まで移動させる。これにより、膨張した作動ガスは、ガス流通孔６０、蓄冷材５４、ガス流通孔５９、及びガス流路５８を通り、再びガス供給装置５５に回収される。以上のサイクルを繰り返し行うことにより、膨張室６１では３０Ｋ程度の寒冷を発生することができる。
【０００９】
ところで、上記構成とされたＧＭ冷凍機５０は、超電導磁石装置等の強い磁場（磁界）が発生する環境下で使用されることがある。超電導磁石装置に設けられた超電導コイルからの漏れ磁場がモーターＭに作用した場合、モーターＭが停止してしまうことが知られている。このため、従来ではモーターＭを強磁性体よりなる磁気シールド部材により覆うことにより、漏れ磁場によるモーターＭの停止を防止することが行われていた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０６−１８８４６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来のようにモーターＭを強磁性体よりなる磁気シールド部材により覆う構成では、部品点数が増大し、またＧＭ冷凍機及びこれが設けられる超電導磁石装置等の構成が複雑化してしまうという問題点があった。また、モーターＭを磁気シールド部材により覆っても完全に覆うことは困難で、磁気シールド部材内に漏れ磁場が侵入し、モーターＭの駆動に悪影響を及ぼすという問題点があった。
【００１１】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、強い磁場が作用する環境下においても蓄冷式冷凍機のモーターの停止を確実に防止しうる蓄冷式冷凍機の駆動制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項１記載の発明は、
モーターによりディスプレーサーをシリンダー内で往復移動させることにより寒冷を発生させる蓄冷式冷凍機の駆動制御を行う蓄冷式冷凍機の駆動制御装置であって、
磁場発生源から前記モーターに印加される磁場の強さを求める磁場検出手段と、
求められた前記磁場の強さに基づき、前記磁場の強さが大きくなるほどモータートルクが大きくなるよう前記モーターを駆動制御する駆動制御手段とを有することを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項２記載の発明は、
請求項１記載の蓄冷式冷凍機の駆動制御装置において、
前記磁場検出手段は、前記モーターの筐体外部に配設された印加磁場検出センサーであることを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項３記載の発明は、
請求項１記載の蓄冷式冷凍機の駆動制御装置において、
前記検出手段は、前記磁場発生源が発生する発生磁場の強さを検出する発生磁場検出センサーであることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項４記載の発明は、
請求項３記載の蓄冷式冷凍機の駆動制御装置において、
前記磁場発生手段は超電導マグネットであり、前記出力磁場検出センサーは前記超電導マグネットに供給される電流を測定する電流検出センサーであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、磁場検出手段により求められる磁場発生源からモーターに印加される磁場の強さに基づき、駆動制御手段によりモーターに印加される磁場の強さが大きくなるほどモータートルクが大きくなるようモーターを駆動制御するため、印加される磁場によりモーターが停止することを防止でき、蓄冷式冷凍機の駆動の安定性及び信頼性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
【００１９】
図１は本発明の第１実施例である蓄冷器式冷凍機１を示している。ヘリウム等の作動ガスを用い、蓄冷材を収容した蓄冷器を有する蓄冷器式冷凍機としては、ギフォード・マクマホン（ＧＭ）サイクル冷凍機、（逆）スターリングサイクル冷凍機等が知られている。本実施例では、ギフォード・マクマホン冷凍機（以下、ＧＭ冷凍機１という）を例にとって説明するものとする。
【００２０】
ＧＭ冷凍機１は、大略するとシリンダー２、ディスプレーサー３、蓄冷材４、及びガス供給装置５、駆動制御装置１６、磁場センサー１７、及びモーターＭ等により構成されている。
【００２１】
ガス供給装置５を構成するコンプレッサー７は、作動ガス（ヘリウムガス）を所定圧力（例えば、２０数Ｋｇｆ／ｃｍ2程度）に圧縮する。この高圧の作動ガスは、吸気弁Ｖ１を開弁し、排気弁Ｖ２を閉弁することにより、ガス流路８を介してシリンダー２内に供給される。
【００２２】
シリンダー２は、ステンレス等の熱伝導率が低く、気密性の高い剛性材料で形成されている。本実施例に係るＧＭ冷凍機１は、単段式の蓄冷器式冷凍機であるため、シリンダー２も一つのみ配設された構成とされている。また、シリンダー２の外形は、円筒形状とされている。
【００２３】
このシリンダー２の内部には、ディスプレーサー３が図中上下方向に往復移動可能な構成で収納されている。ディスプレーサー３の上部からは軸部材Ｓが上方に延在し、駆動用モーターＭ（駆動手段）に結合したクランク機構６と結合している。従って、モーターＭが回転すると、この回転はクランク機構６により軸部材Ｓの上下運動に変換され、これによりディスプレーサー３はシリンダー２内を往復移動する。
【００２４】
モーターＭは駆動制御装置１６に接続されており、この駆動制御装置１６により駆動制御される構成とされている。具体的には、駆動制御装置１６はモーターＭに供給する供給電流を可変できる構成とされており、よって駆動制御装置１６はモーターＭに供給する供給電流を変化させることにより、モーターＭで発生するモータートルクを制御できる。
【００２５】
また、駆動制御装置１６には磁場センサー１７が接続されている。磁場センサー１７は、磁場（磁界）の強さを検出するセンサーであり、本実施例ではモーターＭのハウジング（筐体）の外部に近接配設されている。
【００２６】
このように磁場センサー１７をモーターＭの外部に配設することにより、メンテナンス性の向上を図ることができる。また、磁場センサー１７をモーターＭの金属製ハウジング（筐体）の内部に設ける構成に比べ、金属製ハウジングの外部の近傍位置に配設した方がモーターＭに印加される磁場の強さの変化をいち早く検出することができる。尚、この磁場センサー１７としては、例えばホール素子を用いることができる。
【００２７】
次に、上記構成とされたＧＭ冷凍機１の動作について説明する。
【００２８】
いま、駆動制御装置１６によりモーターＭを駆動し、これによりディスプレーサー３がシリンダー２内の最下位置（この最下位置を下死点という）に移動したとする。この状態おいて、ガス供給装置５の吸気弁Ｖ１を開弁すると共に排気弁Ｖ２を閉弁すると、コンプレッサー７で生成された高圧の作動ガスはガス流路８を介してシリンダー２の内部に供給される。これにより、シリンダー２内の圧力は上昇する。
【００２９】
この状態において、モーターＭによりディスプレーサー３をシリンダー２内の最上位置（この最上位置を上死点という）まで上動させる。これにより高圧の作動ガスは、ガス流通孔９、蓄冷材４、及びガス流通孔１０を通り膨張室１１内に流入する。
【００３０】
続いて、吸気弁Ｖ１を閉弁すると共に排気弁Ｖ２を開弁する。これにより、膨張室１１内の作動ガスは膨張し、これに伴い膨張室１１で寒冷が発生する。このように膨張室１１で発生した寒冷により冷凍処理が行われると、モーターＭを駆動してディスプレーサー３を再び下死点まで移動させる。これにより、膨張室１１内の作動ガスは、ガス流通孔１０、蓄冷材４、ガス流通孔９、及びガス流路８を通り、再びガス供給装置５のコンプレッサー７に回収される。
【００３１】
この際、膨張室１１で膨張した作動ガスは冷却されているため、この冷却された作動ガスが蓄冷材４を通過することにより蓄冷材４は冷却される。よって、次の吸気工程で供給される作動ガスは、蓄冷材４を通る際に冷却されるため、効率のよい冷却処理を行うことが可能となる。上記した処理を１サイクルとして、ＧＭ冷凍機１は作動ガスの膨張室１１への流入及び膨張処理を繰り返し実施し、これにより例えば３０Ｋの極低温を実現することができる。
【００３２】
上記のように、ＧＭ冷凍機１を適正に駆動するには、モーターＭが正常に駆動する必要がある。しかしながら、ＧＭ冷凍機１が強い磁場が発生する環境化に配置され、これによりＧＭ冷凍機１のモーターＭに強い磁場が作用した場合、モーターＭが停止して駆動しなくなることがあることは前述した通りである。
【００３３】
このように、強い磁場環境下においてモーターＭが停止してしまうのは、モーターＭ内に配設されている永久磁石とコイル（例えば、三相コイル）との間でモーターＭの回転軸を回転させるために発生させる磁場（磁界）の強さに比べ、上記の環境の磁場の強さが大きくなり、モーターＭの回転軸を回転させるに足るモータートルクを発生できなくなるからである。
【００３４】
従って、モーターＭに作用する環境の磁場の強さ以上のモータートルクをモーターＭに発生させれば、モーターＭは環境の磁場の強さに係らず駆動を維持することができる。また、環境の磁場の強さに係らずモータートルクを一律に高く設定すると、環境の磁場が弱い場合にはモーターＭの出力を不要に高めることとなり、消費電力が大きくなってしまう。
【００３５】
そこで、本実施例に係るＧＭ冷凍機１は、磁場発生源からモーターＭに印加される磁場の強さを検出する磁場検出手段として磁場センサー１７を設け、この磁場センサー１７により検出されるモーターＭが配設された環境の磁場の強さに基づき、駆動制御装置１６によりモーターＭが出力するモータートルクを可変させるよう構成したことを特徴としている。具体的には、モーターＭに印加される磁場の強さが大きくなるほど、駆動制御装置１６によりモーターＭに供給する供給電流を増大させ、これによりモータートルクが大きくなるようモーターＭの駆動制御を行う。
【００３６】
図２は、駆動制御装置１６に格納されている、磁場と供給電流との二元マップである。同図で、横軸はモーターＭに印加される磁場であり、縦軸はモーターＭに供給する供給電流を示している。同図に示すように、モーターＭに印加される磁場が０〜Ｈ１（A/m）の強さである場合は、この磁場がモーターＭに印加されてもモーターＭは通常の駆動を維持できる。このため、モーターＭに印加される磁場が０〜Ｈ１（A/m）である場合、図２に示すマップより、モーターＭには通常の供給電流Ａ１が設定される。
【００３７】
これに対し、モーターＭに印加される磁場がＨ１〜Ｈ２（A/m）の強さである場合は、通常の供給電流Ａ１をモーターＭに供給するのでは、磁場によりモーターＭが停止するおそれがある。また、モーターＭが停止するおそれは、モーターＭに印加される磁場が大きくなるほど増大する。このため、モーターＭに印加される磁場がＨ１〜Ｈ２（A/m）である場合、図２に示すマップより、モーターＭには磁場の強さに基づき、供給電流Ａ１〜Ａ２（Ａ１＜Ａ２）が設定される。即ち、磁場の強さが大きくなるほど、モータートルクが大きくなるようモーターＭに供給する供給電流を増大させる。
【００３８】
また、供給電流Ａ２は、モーターＭに供給しうる最大供給電流である。このため、モーターＭに印加される磁場がＨ２（A/m）を超えたとしても、モーターＭには供給電流Ａ２以上の供給電流が供給されないよう設定している。
【００３９】
図３は、駆動制御装置１６が実施するモーターＭの駆動制御処理を示している。
【００４０】
同図に示すモーターＭの駆動制御処理が起動すると、先ずステップ１０（図では、ステップをＳと略称している）において、駆動制御装置１６は磁場センサー１７からの出力を読み込む。前記のように、磁場センサー１７はモーターＭの金属製ハウジング（筐体）の外部近傍位置に配設されているため、モーターＭに印加される磁場の強さ及び変化をいち早く検出することができる。
【００４１】
ステップ１２では、駆動制御装置１６は磁場センサー１７の出力に基づき、モーターＭに印加される磁場の強さを演算する。また、続くステップ１４では、モーターＭに印加される磁場の強さが求められると、駆動制御装置１６は図２に示した二元マップに基づき、モーターＭに印加される磁場の強さに対応したモーターＭの駆動電流を演算する。そして、駆動制御装置１６は、ステップ１４で演算された駆動電流をモーターＭに供給し、これによりモーターＭの駆動を行う（ステップ１６）。
【００４２】
上記のように本実施例によれば、磁場センサー１７によりモーターＭに直接印加されている磁場の強さを検出し、この検出結果に基づきモーターＭに印加される磁場の強さが大きくなるほどモータートルクが大きくなるようモーターＭを駆動制御するため、印加される磁場によりモーターＭが停止することを確実に防止することができる。よって、蓄冷式冷凍機１の駆動の安定性及び信頼性を高めることができる。
【００４３】
また、モーターＭに印加されている磁場の強さに対応してモーターＭに供給する供給電流を増減するため、不要に消費電量が増大することを防止できる。更に、モーターＭを強磁性体よりなる磁気シールド部材により覆う従来の構成に比べ、漏れ磁場がモーターＭに影響することを防止できると共に部品点数の削減を図ることができる。
【００４４】
次に、本発明の第２実施例について説明する。
【００４５】
図４は、本発明の第２実施例であるＧＭ冷凍機２３を示している。本実施例では、ＧＭ冷凍機２３を超電導磁石装置２０に適用した例を示している。この超電導磁石装置２０は、後述するようにシリコン単結晶を磁界印加式チョクラルスキー法（ＭＣＺ法）を用いて成長させる際に用いられるものである。この超電導磁石装置２０は、大略すると真空容器本体２１，ＧＭ冷凍機２３，熱シールド板２６，超電導コイル２８，駆動制御装置２７、及び供給電流制御装置３５等により構成されている。
【００４６】
熱シールド板２６は真空容器本体２１に内設されており、この真空容器本体２１にはＧＭ冷凍機２３が配設されている。ＧＭ冷凍機２３は、図示しない冷媒を圧縮する冷凍機コンプレッサーに接続されており、冷凍機コンプレッサーで高圧に圧縮された冷媒（例えば、ヘリウムガス）はＧＭ冷凍機２３に供給される。
【００４７】
この高圧冷媒は、ＧＭ冷凍機２３に配設されているモーターＭにより駆動されるディスプレーサ（図示せず）によりシリンダー２４Ａ，２４Ｂ内で膨張され、これによりＧＭ冷凍機２３に内設された蓄冷材は冷却される。また、膨張することにより低圧となった冷媒は、冷凍機コンプレッサー１７に戻されて再び高圧化される。
【００４８】
本実施例に係るＧＭ冷凍機２３は、１段目冷却シリンダー２４Ａと２段目冷却シリンダー２４Ｂとを有している。１段目冷却シリンダー２４Ａは天板２６Ａに熱的に接続され、２段目冷却シリンダー２４Ｂは冷却ステージ２５と熱的に接続されている。
【００４９】
よって、ＧＭ冷凍機２３が熱シールド板２６を冷却することにより外部の熱が熱シールド板２６内に侵入するのを防止し、かつ超電導コイル２８は冷却ステージ２５を介してＧＭ冷凍機２３（２段目冷却シリンダ２４Ｂ）により臨界温度以下に冷却される。これにより超電導コイル２８は、超電導状態を実現する。
【００５０】
真空容器本体２１は、その中央に円筒状の中空円筒３２を形成している。超電導コイル２８は、この中空円筒３２を囲繞するよう複数個配置されている。また、超電導コイル２８は、リード３１を介して電流が供給される。このリード３１には配線２９が接続しており、この配線２９は供給電流制御装置３５を介して図示しない電源に接続されている。また、リード３１の他端は熱シールド板２６の内部まで延出し、超電導コイル２８と電気的に接続されている。
【００５１】
よって、電源から供給電流制御装置３５、配線２９，リード３１を介して超電導コイル２８に電流が供給されて超電導コイル２８が励磁すると、真空容器本体２１に形成された中空円筒３２には所定の磁場（磁界）が発生し、よってこの中空円筒３２は常温強磁場空間３３として機能する。尚、図示しないが、リード３１は外部の熱が超電導コイル２８に伝わらないような構成とされている。
【００５２】
一方、ＭＣＺ法によるシリコン単結晶を製造するシリコン単結晶製造装置４０は、この常温強磁場空間３３内に配設され、超電導コイル２８が発生する磁場内でシリコン単結晶４６（インゴッド）が製造される。ここで、シリコン単結晶製造装置４０について簡単に説明しておく。
【００５３】
本実施例に係る超電導磁石装置２０は、常温強磁場空間２３にシリコン単結晶製造装置４０を設けた構成としている。この超電導磁石装置２０は、加熱炉４１内にルツボ４２,ヒータ４３，ピアノ線４５等を設けた構成とされている。
【００５４】
この超電導磁石装置２０を用いてシリコン単結晶４６のインゴットを製造するには、先ずシリコン単結晶の原料となる他結晶シリコン片（ナゲット）をルツボ４２に装填し、ヒータ４３により加熱溶融させる。そして、ピアノ線４５の先端に予め種結晶４４を設けておき、これを溶融した他結晶シリコンに接触させ、回転させながらピアノ線４５を引き上げる。これにより、種結晶４４の下部にはシリコン単結晶４６が形成される。
【００５５】
この際、ＭＣＺ法では、ルツボ４２内の融液に対して強磁界を印加することが行われる。これは、ルツボ４２内の融液を磁場（磁界）内に置くことにより、ルツボ４２内での融液の対流を抑制し、これによりシリコン単結晶４６に溶け込む酸素量を低減させるためである。超電導磁石装置２０は、このルツボ４２内の融液に印加する磁場を発生するのに用いられている。
【００５６】
上記構成とされた超電導磁石装置２０では、超電導コイル２８で強い磁場が発生する。また、超電導磁石装置２０のコンパクト化の面より、超電導コイル２８とＧＭ冷凍機２３とは近接して配置されている。従って、超電導コイル２８で発生する磁場は、その一部が漏れ磁場としてＧＭ冷凍機２３のモーターＭに印加されてしまう。このように漏れ磁場がモーターＭに印加された場合、モーターＭが停止するおそれがあることは前述した通りである。
【００５７】
本実施例では、モーターＭに印加される磁場の強さを、供給電流制御装置３５から得られる超電導コイル２８の駆動電流から求めることを特徴としている。供給電流制御装置３５は、超電導コイル２８が一定の磁場を安定して発生するよう、超電導コイル２８に供給するコイル供給電流を制御する装置である。
【００５８】
よって、供給電流制御装置３５は、超電導コイル２８を駆動するのに必要とする各種条件に基づき超電導コイル２８に供給するコイル供給電流を演算する。本実施例では、供給電流制御装置３５と駆動制御装置２７は接続されており、よって供給電流制御装置３５で演算される超電導コイル２８のコイル供給電流の値は駆動制御装置２７に送信される構成とされている。
【００５９】
超電導磁石装置２０内における超電導コイル２８とモーターＭの配設位置は固定されているため、よって超電導コイル２８で発生する磁場の強さが求められれば、超電導コイル２８（磁場発生源）が発生する磁場がどの程度の強さでモーターＭに印加されるかを知ることができる。
【００６０】
従って、供給電流制御装置３５から供給されるコイル供給電流に基づき、コイル供給電流が大きくなるほど（換言すれば、モーターＭに印加される磁場の強さが大きくなるほど）、モータートルクが大きくなるようモーターＭを駆動制御することにより、印加される磁場によりモーターＭが停止することを確実に防止することができ、本実施例においても、蓄冷式冷凍機１及び超電導磁石装置２０の駆動の安定性及び信頼性を高めることができる。
【００６１】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、ＧＭ式冷凍機に限らず、スターリング冷凍機やその他の蓄冷器を用いた冷凍機に本発明を適用することが可能である。
【００６２】
また、上記した各実施例では第１実施例では単段式のＧＭ冷凍機１に本願発明を適用した例について説明し、第２実施例では２段式のＧＭ冷凍機２３に本願発明を適用した例について説明したが、本願発明の適用は単段式或いは２段式の式冷凍機に限定されるものではなく、多段式冷凍機の中の一部として適用することも可能なものである。その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１は、本発明の第１実施例である蓄冷式冷凍機の駆動制御装置を説明するための図である。
【図２】図２は、駆動制御装置が蓄冷式冷凍機の駆動制御に用いるマップの一例を示す図である。
【図３】図３は、駆動制御装置が実施するモーターの駆動制御処理を示すフローチャートである。
【図４】図４は、本発明の第１実施例である蓄冷式冷凍機の駆動制御装置を超電導磁石装置に適用した例を示す図である。
【図５】図５は、従来の一例である蓄冷式冷凍機の駆動制御装置を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６４】
１  ＧＭ冷凍機
２  シリンダー
３  ディスプレーサー
４  蓄冷材
５  ガス供給装置
６  クランク機構
７  コンプレッサー
１１  膨張室
１６    駆動制御装置
１７  磁場センサー
２０  超電導磁石装置
２１  真空容器本体
２３  ＧＭ冷凍機
２４Ａ  １段目冷却シリンダー
２４Ｂ  １段目冷却シリンダー
２５  冷却ステージ
２６  熱シールド板
２７  駆動制御装置
２８  超電導コイル
２９  配線
３１  リード
３３  常温強磁場空間
３５  供給電流制御装置
４０  シリコン単結晶製造装置
Ｍ  モーター
Ｓ  軸部材
Ｖ１  吸気弁
Ｖ２  排気弁
【図１】
2008002712.tif 000003
【図２】
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【図３】
2008002712.tif 000005
【図４】
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【図５】
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