(57)【要約】【課題】限られた空間で壁面に沿って配置される場合であっても十分な量の浄化気体を安定して供給できる浄化気体供給装置を提供する。【解決手段】気体を吸入して浄化するとともに、浄化された気体を排出する浄化気体供給装置であって、浄化された気体を排出する胴部２０と、前記胴部２０に吸入される気体を浄化するフィルタ３０であって、前記胴部２０の幅Ｗ方向内側に傾斜しつつ前記胴部２０の上流側Ａに延びる少なくとも一つのフィルタ３０と、を備えた浄化気体供給装置１とする。【選択図】図１
2008194626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を吸入して浄化するとともに、浄化された気体を排出する浄化気体供給装置であって、
浄化された気体を排出する胴部と、
前記胴部に吸入される気体を浄化するフィルタであって、前記胴部の幅方向内側に傾斜しつつ前記胴部の上流側に延びる少なくとも一つのフィルタと、
を備えた
ことを特徴とする浄化気体供給装置。
【請求項２】
前記フィルタは、前記胴部の上流側に延びる一対のフィルタであって、上流に向かって互いに近づくよう傾斜している
ことを特徴とする請求項１に記載の浄化気体供給装置。
【請求項３】
前記フィルタは、前記胴部の幅方向一方側の外面に沿った方向に対して傾斜しつつ前記胴部の上流側に延びる
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の浄化気体供給装置。
【請求項４】
前記胴部の幅方向一方側の外面には、浄化された気体が排出される排出口が形成されている
ことを特徴とする請求項３に記載の浄化気体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浄化気体供給装置に関し、特に、気体を浄化するフィルタを備えた浄化気体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
空気中の微粒子や化学汚染物質の除去等のために用いられる浄化気体供給装置としては、例えば、ファンフィルタユニット、空気清浄機、空調装置が挙げられる。
【０００３】
すなわち、例えば、半導体ウェハの処理装置においては、空気中の塩基性物質や酸性物質による当該処理装置内の好ましくない化学反応等を回避するため、当該処理装置外の空気から塩基性物質や酸性物質を除去し、浄化された空気を当該処理装置内に供給する装置が搭載される。
【０００４】
また、例えば、食品や医薬品等の製造工場においては、食品や医薬品の化学物質による汚染防止、工場内の異臭発生防止、除菌等の目的で、ファンフィルタユニットや空気清浄機が用いられる。また、例えば、一般家屋、病院等の施設においては、シックハウス症候群の予防、異臭発生防止、除菌等の目的で、空気清浄機や空気清浄機能を備えた空調装置が用いられる。
【０００５】
このような浄化気体供給装置は、目的に応じて様々な態様で設置されるが、その設置可能な空間が限られる場合もある。そこで、従来、例えば、天井に吊り下げられるファンフィルタユニットであって、当該天井に対向しない外装体の側面にプレフィルタを設けたもの（特許文献１参照）や、扁平なパネル状のユニットの扁平面にプレフィルタを設けたファンフィルタユニット（特許文献２参照）があった。
【特許文献１】特開昭６２−２０２９４７号公報
【特許文献２】特許第３０６２６９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術においては、気体の吸入口に設けられたフィルタが外装体やユニットの外面に沿って設けられていたため、例えば、当該外装体や当該ユニットが限られた空間内で壁面に沿って配置される場合には、以下のような問題点があった。
【０００７】
まず、上記特許文献１に記載のような従来技術においては、例えば、壁面に対する方向における外装体の高さを低減しつつ気体の吸入量を増加させようとする場合には、吸入口のフィルタの表面積も低減されるため、当該フィルタの単位面積あたりの風速が増加するとともに、気体を吸入する際の通気抵抗が増加する。このような場合にフィルタとして、例えば、脱臭フィルタやケミカルフィルタのように触媒や吸着剤によって気体を浄化するフィルタを使用すると、次のような問題点があった。
【０００８】
すなわち、脱臭フィルタやケミカルフィルタにおいては、気体がその内部を通過するのに要する時間（気体がフィルタ内に滞留する時間）が長いほど、触媒反応や物理吸着、化学吸着が起こりやすいため、気体中の汚染物質は除去されやすく、いわゆる除去効率が高くなる。したがって、フィルタの単位面積あたりの風速は低いほど有利である。しかしながら、上記従来技術では吸入口のフィルタの表面積が低減されるために、単位面積あたりの風速が高くなり、その結果、除去効率が低くなるという問題があった。
【０００９】
また、単位面積あたりの風速が高くなり、除去効率が低くなると、フィルタの寿命、例えば、気体中の汚染物質の除去率が９０％を下回るまでの使用時間を示す９０％破過寿命等が短くなるという問題点があった。
【００１０】
このように、吸入口に脱臭フィルタやケミカルフィルタを設けた場合には、当該フィルタを通過する気体の速度が大きくなると、当該フィルタの劣化が早期に進行するといった問題があった。
【００１１】
また、上記特許文献２に記載のような従来技術においては、例えば、対向する壁面に挟まれた空間にユニットを配置する場合には、吸入口に設けられたフィルタが当該壁面に沿って配置されることとなるため、当該フィルタへの吸入抵抗が増加し、又は吸入が困難になるといった問題があった。
【００１２】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであって、限られた空間で壁面に沿って配置される場合であっても十分な量の浄化気体を安定して供給できる浄化気体供給装置を提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するための本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置は、気体を吸入して浄化するとともに、浄化された気体を排出する浄化気体供給装置であって、浄化された気体を排出する胴部と、前記胴部に吸入される気体を浄化するフィルタであって、前記胴部の幅方向内側に傾斜しつつ前記胴部の上流側に延びる少なくとも一つのフィルタと、を備えたことを特徴とする。こうすれば、限られた空間で壁面に沿って配置される場合であっても十分な量の浄化気体を安定して供給することができる。
【００１４】
また、前記フィルタは、互いに近づくよう傾斜しつつ前記胴部の上流側に延びる一対のフィルタであることとしてもよい。こうすれば、気体を吸入する面積を十分に確保することができるため、十分な量の浄化気体を安定して供給することができる。
【００１５】
また、前記フィルタは、前記胴部の幅方向一方側の外面に沿った方向に対して傾斜しつつ前記胴部の上流側に延びることとしてもよい。こうすれば、胴部が壁面に沿って配置される場合であっても、十分な量の浄化気体を安定して供給することができる。
【００１６】
また、前記胴部の幅方向一方側の外面には、浄化された気体が排出される排出口が形成されていることとしてもよい。こうすれば、胴部の排出口の形成された外面が壁面に沿って配置される場合であっても、十分な量の浄化気体を安定して供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置について、図面を参照しつつ説明する。図１及び図２は、それぞれ本実施形態に係る浄化気体供給装置（以下、「本装置１」という）の側面図及び平面図である。
【００１８】
図１及び図２に示すように、本装置１は、気体を吸入して浄化する入口部１０と、当該入口部１０において浄化された気体を排出する胴部２０と、を備えている。
【００１９】
入口部１０は、胴部２０の上流側（図１に示す矢印Ａの指す側）において、当該胴部２０から更に上流側に延び出すよう設けられている。この入口部１０には、当該入口部１０を介して胴部２０に吸入される気体を浄化する入口フィルタ３０が設けられている。
【００２０】
入口フィルタ３０は、図１に示すように、胴部２０の幅Ｗ方向内側に傾斜しつつ、当該胴部２０の上流側に延びている。ここで、胴部２０の幅Ｗとは、図１に示すように、入口部１０から胴部２０への気体の主な流入方向Ｃ（以下、「送風方向Ｃ」という）に略直行する方向（幅方向）における、当該胴部２０の一方側の外面２３（以下、「上面２３」という）と、当該上面２３に対向する当該胴部２０の他方側の外面２４（以下、「下面２４」という）と、の距離である。
【００２１】
本実施形態において、入口フィルタ３０は、図１に示すように、本装置１の側面視においてＶ字を為すように配置される一対の入口フィルタ３１，３２を有している。すなわち、上面２３側の入口フィルタ３１（以下、「上側フィルタ３１」という）と、下面２４側の入口フィルタ３２（以下、「下側フィルタ３２」という）と、は互いに近づくよう鋭角を為して当該胴部２０の上流側に延びている。そして、上側フィルタ３１の外表面３１ａと下側フィルタ３２の外表面３２ａとは、Ｖ字を為すよう、いずれも胴部２０の幅Ｗ方向内側に傾斜しつつ、当該胴部２０の上流側に延びている。
【００２２】
また、入口フィルタ３０は、胴部２０の幅Ｗ方向における一方側の外面である上面２３に沿った方向、及び当該上面２３に対向する他方側の外面である下面２４に沿った方向、に対して傾斜するよう延びている。すなわち、上側フィルタ３１は、胴部２０の上流側の端部であって上面２３側の端部付近から下面２４側に向けて傾斜し、下側フィルタ３２は、胴部２０の上流側の端部であって下面２４側の端部付近から上面２３側に向けて傾斜している。
【００２３】
また、入口フィルタ３０は、胴部２０の上流側において、当該胴部２０の幅Ｗ内に設けられている。すなわち、一対の入口フィルタ３１，３２は、上面２３を上流側に仮想的に延長した面Ｓ１（以下、「仮想上面Ｓ１」という）と、下面２４を上流側に仮想的に延長した面Ｓ２（以下、「仮想下面Ｓ２」という）と、の間に配置されている。そして、上側フィルタ３１は、仮想上面Ｓ１から遠ざかるように傾斜しつつ上流側に延び、下側フィルタ３２は、仮想下面Ｓ２から遠ざかるように傾斜しつつ上流側に延びている。
【００２４】
また、入口フィルタ３０は入口部１０に着脱可能に設けられている。すなわち、上側フィルタ３１及び下側フィルタ３２は、互いに独立して入口部１０から取り外し、又は入口部１０に取り付けることができる。
【００２５】
なお、図２に示すように、上側フィルタ３１及び下側フィルタ３２は、並列に配置された２つのフィルタをそれぞれ有している。また、これら上側フィルタ３１及び下側フィルタ３２は平板形状に成形されている。
【００２６】
また、本実施形態においては、入口フィルタ３０としてケミカルフィルタを用いている。このケミカルフィルタとしては、気体中の化学汚染物質を除去するものであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができるが、例えば、空隙を多く有する無機繊維を骨格とした構造体に、気体中の有機物を物理吸着する活性炭やゼオライト、酸性物質や塩基性物質が効果的に化学吸着するイオン交換樹脂、活性炭やゼオライト等の多孔質体に塩基性物質や酸性物質を担持した化学吸着剤等の機能剤を高密度に担持したものを好適に用いることができる。
【００２７】
入口部１０内には、入口フィルタ３０を介して吸入された気体が一時的に蓄積されるとともに混合される空間として入口内空１１が形成されている。この入口内空１１は、離間して対向する上側フィルタ３１と下側フィルタ３２との間に形成され、当該上側フィルタ３１及び当該下側フィルタ３２を介して入口部１０の外部に連通している。
【００２８】
更に、入口部１０には、入口フィルタ３０における気体の流入抵抗の偏りを低減するための整流板４０が設けられている。この整流板４０は、入口フィルタ３０の下流側部分における流入抵抗を上流側部分に比して増加させるよう、入口内空１１における当該入口フィルタ３０の下流側の一部に対応する位置に配置されている。
【００２９】
すなわち、整流板４０は、一対の入口フィルタ３１，３２に対応して設けられた一対の整流板４１，４２を有している。そして、一対の整流板４１，４２は、胴部２０の幅Ｗ方向内側に、入口フィルタ３１，３２の傾斜角度よりも大きな角度で傾斜しつつ、対応する一対の入口フィルタ３１，３２の下流端部付近から上流側に向けて延びている。なお、図２に示すように、一対の整流板４１，４２の各々は、一対の入口フィルタ３１，３２の各々が有する２つのフィルタに対応して、それぞれ並列に配置された２つの整流板を有している。
【００３０】
胴部２０は、入口部１０の下流側に直列に設けられている。この胴部２０の上流側部分には送風機５０が設けられている。本実施形態において、送風機５０は、送風方向Ｃに沿って延びる回転軸５１と、当該回転軸５１を中心に回転可能に支持された羽根部５２と、を有する軸流ファンである。
【００３１】
この送風機５０は、図示しないモータ部を駆動させて、羽根部５２を回転軸５１周りに回転させることによって、本装置１内の気体を当該回転軸５１に沿った方向（すなわち、送風方向Ｃ）に流通させることができる。なお、図２に示すように、送風機５０は、一対の入口フィルタ３１，３２の各々が有する２つのフィルタに対応して、当該２つのフィルタの各々の下流側に並列に配置された２つの軸流ファンを有している。
【００３２】
胴部２０の送風機５０より下流側部分には、胴部内空２１と、出口フィルタ６０が設けられた排出口２２と、が形成されている。胴部内空２１は、入口部１０に吸入された気体を、本装置１の下流側に導く流路を構成する空間として形成されている。この胴部内空２１は、送風機５０を介して入口内空１１と連通し、排出口２２及び出口フィルタ６０を介して外部と連通している。
【００３３】
排出口２２は、胴部２０の送風機５０より下流側の下面２４の一部に、当該胴部２０から気体を排出するための開口として形成されている。そして、出口フィルタ６０は、排出口２２を塞ぐように配置されている。この出口フィルタ６０は、その外表面６０ａが下面２４と略平行になるよう設けられ、排出口２２から排出される気体を浄化する。
【００３４】
また、本実施形態においては、出口フィルタ６０として、平板状に成形された、気体中の粒子を除去する集塵フィルタを用いている。この集塵フィルタとしては、目的に応じて気体中の所望の種類や大きさの粒子を除去できるものであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができるが、例えば、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）やＵＬＰＡフィルタ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）等を好適に用いることができる。
【００３５】
図３は、このような本装置１を用いた浄化気体供給構造（以下、「本構造２」という）の一例についての説明図である。図４は、図３に示す本構造２の一部についての拡大図である。
【００３６】
本構造２においては、浄化された気体を供給すべき第一の部屋７０が、第二の部屋８０内に設置されている。そして、本装置１は、第一の部屋７０を構成する外壁７１の外面７２と、第二の部屋８０を構成する外壁８１の内面８２と、の間に配置されて、当該第一の部屋７０内に形成された空間である内空７４に浄化された気体を供給する。
【００３７】
第一の部屋７０の外壁７１の一部には、当該第一の部屋７０内に浄化された気体を供給するための開口７３（以下、「供給口７３」という）が形成されている。そして、本装置１は、第一の部屋７０の外面７２の一部であって供給口７３が形成された面７２ａ（以下、「外面７２ａ」という）と、第二の部屋８０の内面８２の一部であって当該外面７２ａに対向する面（以下、「天井８２ａ」という）と、の間において、当該外面７２ａに取り付けられている。
【００３８】
すなわち、本装置１の胴部２０は、外面７２ａに沿って配置されている。具体的に、胴部２０は、その下面２４が第一の部屋７０の外面７２ａに沿って延びるとともに、その上面２３が天井８２ａに沿って延びるように配置される。
【００３９】
また、胴部２０の排出口２２は、第一の部屋７０の供給口７３に重なるように位置合わせされる。この結果、胴部内空２１と第一の部屋７０の内空７４とは、出口フィルタ６０及び排出口２２を介して連通する。
【００４０】
本構造２において、本装置１の入口部１０は、第一の部屋７０の外面７２に沿った方向において、胴部２０から更に上流側に延び出すよう設けられている。そして、入口フィルタ３０は、第一の部屋７０の外面７２ａと天井８２ａとの間で、当該外面７２ａ及び当該天井８２ａに対して傾斜しつつ、当該外面７２ａ及び当該天井８２ａに沿った方向における胴部２０の上流側に延びている。すなわち、天井８２ａに対向する上側フィルタ３１は、当該天井８２ａから遠ざかるように傾斜しつつ上流側に延び、外面７２ａに対向する下側フィルタ３２は、当該外面７２ａから遠ざかるように傾斜しつつ上流側に延びている。
【００４１】
この結果、胴部２０の上面２３は天井８２ａに沿って配置されるが、当該天井８２ａと上側フィルタ３１との間に、気体を吸入するための空間を十分に確保することができる。同様に、胴部２０の下面２４は第一の部屋７０の外面７２ａに沿って配置されるが、当該外面７２ａと下側フィルタ３２との間に、気体を吸入するための空間を十分に確保することができる。
【００４２】
このような本構造２において、本装置１の送風機５０を駆動させると、入口部１０は、浄化の対象とする気体（すなわち、第一の部屋７０と第二の部屋８０との間であって本装置１外に存在する気体）を入口フィルタ３０から吸入する。
【００４３】
ここで、上述のように、入口フィルタ３１，３２はＶ字を為すよう傾斜することで大きな面積の外表面３１ａ，３２ａを有すると共に、上側フィルタ３１と天井８２ａとの間及び下側フィルタ３２と外面７２ａとの間にはそれぞれ気体を吸入するための空間が十分に確保されているため、本装置１は、入口部１０の外面７２ａ側及び天井８２ａ側の両方向から十分な量の気体を効率よく吸入することができる。なお、図１及び図４に示す２つの矢印の指す方向Ｂ１，Ｂ２は、それぞれ上側フィルタ３１及び下側フィルタ３２を介した気体の主な吸入方向を示している。
【００４４】
入口フィルタ３０を通過して、当該入口フィルタ３０によって化学汚染物質の濃度が低減された気体は、入口内空１１に流入した後、送風機５０によって更に下流側に送られる。すなわち、入口フィルタ３０によって浄化された気体は、送風機５０を介して入口内空１１から胴部内空２１に流入する。
【００４５】
そして、胴部内空２１に流入した気体は、最終的に、出口フィルタ６０を介して排出口２２から胴部２０外に排出される。この結果、入口フィルタ３０によって化学汚染物質の濃度が低減され、更に出口フィルタ６０によって微粒子が除去された浄化気体は、第一の部屋７０の供給口７３から内空７４に供給される。なお、図１及び図４に示す矢印の指す方向Ｄは、胴部２０からの気体の主な排出方向を示している。
【００４６】
このように、本装置１は、第一の部屋７０の外面７２ａと第二の部屋８０の天井８２ａとに挟まれた空間において、当該外面７２ａ及び当該天井８２ａに沿って配置された場合であっても、当該外面７２ａ及び当該天井８２ａと入口フィルタ３０との間に吸気用の空間を十分に確保することができるため、当該第一の部屋７０に十分な量の浄化気体を効率よく安定して供給することができる。
【００４７】
［実施例］
次に、本装置１を用いた気体の浄化について具体的な例を説明する。本実施例では、入口フィルタ３１，３２としてＶ字を為す一対の有機ガス除去用ケミカルフィルタ（ケミカルガードＴＸ、ニチアス株式会社製）を備え、送風機５０として軸流ファンを備え、出口フィルタ６０として微粒子を除去するＵＬＰＡフィルタを備えたファンフィルタユニットを本装置１として用いた。
【００４８】
本装置１において、ケミカルフィルタは、気体が吸入される外表面３１a，３２ａの寸法が４３０×４３０ｍｍであり、厚さ（気体の流入方向Ｂ１，Ｂ２の長さ）が４０ｍｍであった。また、ＵＬＰＡフィルタは、気体が排出される外表面６０ａの寸法が５５０×５５０ｍｍであり、厚さ（気体の排出方向Ｄの長さ）が６５ｍｍであった。
【００４９】
また、比較の対象として、図５に示すようなファンフィルタユニット３（以下、「第一対照装置３」という）及び図６に示すようなファンフィルタユニット４（以下、「第二対照装置４」という）を用いた。
【００５０】
すなわち、図５に示すように、第一対照装置３には、入口部１０を設けることなく、胴部２０の上流端面を塞ぐケミカルフィルタ１００を設けた。この第一対照装置３のケミカルフィルタ１００は、気体が吸入される外表面１００ａの寸法が２５０×５００ｍｍであり、厚さが４０ｍｍであった。
【００５１】
また、図６に示すように、第二対照装置４には、胴部２０の幅方向内側に傾斜することなく、胴部２０の上流側に直線的に延び出す一対のケミカルフィルタ１０１，１０２を設けた。この第二対照装置４のケミカルフィルタ１０１，１０２は、気体が吸入される外表面１０１ａ，１０２ａの寸法が３８６×４８０ｍｍであり、厚さが４０ｍｍであった。
【００５２】
浄化の対象とする気体としては、温度が２３℃、湿度が５０％ＲＨであって、ｎ−デカンを５０μg／ｍ３の濃度で含む空気を用いた。
【００５３】
また、以下の特性の測定及び評価において、装置からの浄化気体の排出流量は８．８ｍ３/分とした。ケミカルフィルタの単位面積当たりの空気の吸入速度は、本装置１において０．４０ｍ/秒、第一対照装置３において１．１７ｍ/秒、第二対照装置４において０．７９ｍ/秒であった。また、ＵＬＰＡフィルタの単位面積当たりの空気の排出速度は、いずれの装置においても０．５ｍ/秒であった。
【００５４】
そして、これらの装置に用いたケミカルフィルタの圧力損失を、次のような方法で測定した。すなわち、内寸が１００ｍｍ×１００ｍｍで奥行きが所定長さの風洞に、吸入面積が１００ｍｍ×１００ｍｍ、厚さ４０ｍｍのケミカルフィルタを隙間が生じないように設置した。この風洞を構成する外壁のうち、ケミカルフィルタの上流側及び下流側の一部に１箇所ずつ穴をあけて、当該穴から直管を引き出した。そして、この直管に差圧計を設置して、風洞内におけるケミカルフィルタの上流側と下流側との差圧を測定した。また、この差圧の測定と同時に、ケミカルフィルタの下流側で超音波流量計を用いて空気の流量を測定した。そして、測定した流量に基づいて、ケミカルフィルタの単位面積当たりの空気の平均通過速度を算出した。
【００５５】
また、本装置１、第一対照装置３、及び第二対照装置４について、次のような方法でフィルタ初期除去性能を測定した。すなわち、ケミカルフィルタを通過する前の空気中のｎ−デカン濃度Ｃ０と、当該ケミカルフィルタを通過した後の空気中のｎ−デカン濃度Ｃ１と、をガスクロマトグラフィーによって測定した。このｎ−デカン濃度の測定は、測定開始後１〜２時間以内の複数のタイミングで行った。そして、各測定タイミングについて、通過前濃度Ｃ０から通過後濃度Ｃ１を減じた除去濃度Ｃ２の、当該通過前濃度Ｃ０に対する１００％分率をフィルタ除去性能として算出し、これらの平均値をフィルタ初期除去性能とした。
【００５６】
また、これらの装置について、次のような方法でフィルタ９０％除去予測寿命及びフィルタ８０％除去予測寿命を評価した。すなわち、フィルタ９０％除去予測寿命及びフィルタ８０％除去予測寿命は、ケミカルフィルタを通過する前の対象気体中ｎ−デカン濃度Ｃ０を１００％とした場合において、使用に伴い当該ケミカルフィルタの除去性能が低下することにより、当該ケミカルフィルタを通過した後の対象気体中に残存しているｎ−デカンの濃度が上昇してそれぞれ１０％及び２０％になるまでの使用時間（ｎ−デカンの除去率が９０％及び８０％に低下するまでの使用時間）として評価した。具体的には、フィルタ９０％除去予測寿命及びフィルタ８０％除去予測寿命は、上述の測定条件に加え、ケミカルフィルタのハニカム構造の有効表面積、ｎ−デカンの物質移動係数等を用い、Ｆｉｃｋの法則に従った拡散現象の理論モデル式に基づいて、差分法による数値解析により算出した。
【００５７】
上述の方法により測定した圧力損失は、本装置１において３２Ｐａ、第一対照装置３において９３Ｐａ、第二対照装置４において６２Ｐａであった。すなわち、本装置１においては、第一対照装置３及び第二対照装置４に比して圧力損失を低減することができた。
【００５８】
上述の方法により測定したフィルタ初期除去性能は、本装置１において９８．３％、第一対照装置３において７６．５％、第二対照装置４において８７．５％であった。すなわち、本装置１においては、第一対照装置３及び第二対照装置４に比してフィルタ初期除去性能を向上させることができた。
【００５９】
上述の方法により評価したフィルタ９０％除去予測寿命は、本装置１において６３４７時間であった。第一対照装置３及び第二対照装置４については、測定開始時において既にｎ−デカンの除去率が９０％未満であったため、フィルタ９０％除去予測寿命を評価することができなかった。すなわち、本装置１においては、第一対照装置３及び第二対照装置４に比してフィルタ９０％除去予測寿命を延長させることができると評価された。
【００６０】
上述の方法により評価したフィルタ８０％除去予測寿命は、本装置１において８２２０時間、第二対照装置４において２４８９時間であった。第一対照装置３については、測定開始時において既にｎ−デカンの除去率が８０％未満であったため、フィルタ８０％除去予測寿命を評価することができなかった。すなわち、本装置１においては、第一対照装置３及び第二対照装置４に比してフィルタ８０％除去予測寿命を延長させることができると評価された。
【００６１】
なお、本発明に係る浄化気体供給装置は上述の例に限られない。すなわち、入口フィルタ３０は、Ｖ字を為す一対の入口フィルタ３１，３２に限られず、例えば、１つ又は３つ以上のフィルタであってもよい。また、例えば、入口フィルタ３０は、Ｖ字を為すフィルタを複数対組合せたもの（例えば、Ｗ字を為す２対のフィルタ）でもよい。また、例えば、一対の入口フィルタ３１，３２が用いられる場合には、フィルタ同士の為す角度は、鋭角であれば、図に例示されたものに限られない。
【００６２】
また、入口フィルタ３０としては、目的に応じて、任意の種類のものを用いることができ、例えば、気体中の酸性物資や塩基性物質等の化学汚染物質を吸着等によって除去できるケミカルフィルタ、気体中の異臭成分を吸着等によって除去できる脱臭フィルタ、気体中の化学汚染物質を分解除去できる触媒フィルタ等を用いることができる。この場合、入口フィルタ３０に用いられる機能剤として、例えば、活性炭、イオン交換樹脂、ゼオライト、光触媒、マンガン触媒、銅マンガン触媒等を用いることができる。また、入口フィルタ３０としては、例えば、気体中の所望の径の粒子を捕捉して除去できる集塵フィルタを用いることもできる。また、入口フィルタ３０としては、目的に応じて、任意の形状のものを用いることができ、例えば、ハニカム構造体、プリーツ構造体、ペレット、押し出し成形体、発泡体等を用いることができる。例えば、圧力損失が小さく汚染物質の除去寿命が長いという点から、入口フィルタ３０としてハニカム構造体を好適に用いることができる。
【００６３】
また、出口フィルタ６０としても、上述の入口フィルタ３０の場合と同様に、目的に応じて任意の種類及び形状のフィルタを用いることができる。また、入口フィルタ３０と出口フィルタ６０との組み合わせは、上述の例に限られず、目的に応じて任意のフィルタを適宜組み合わせて用いることができる。例えば、入口フィルタ３０としてハニカム構造体のケミカルフィルタを使用し、出口フィルタ６０としてプリーツ構造の除塵フィルタを使用する場合には、気体中の化学汚染物質及び塵埃を効果的に除去することができる。
【００６４】
また、上述の例では、入口フィルタ３０の下流側に出口フィルタ６０を１つ設けた２重の浄化構造について説明したが、これに限られず、例えば、入口フィルタ３０のみを備えて出口フィルタ６０を備えないものであってもよく、また、入口フィルタ３０より下流側に更に複数のフィルタを設けた３重以上の浄化構造を用いることもできる。
【００６５】
また、胴部２０の形状は立方体や直方体に限られず、例えば、ダクトのように円筒状であってもよい。また、送風機５０は、上述のような軸流ファンに限られず、例えば、回転する羽根部の回転軸方向に気体を吸入して当該羽根部の円周接線方向に気体を排出するブロワや、シロッコファン、ターボファン等であってもよい。また、送風機５０は、入口フィルタ３０の下流側に設けられるものに限られず、例えば、入口フィルタ３０の上流側に設けられて、気体を当該入口フィルタ３０に向けて圧送するものであってもよい。
【００６６】
また、本発明に係る浄化気体供給構造において、第一の部屋７０は、浄化された気体を供給する必要のある空間が形成されたものであれば特に限られず、例えば、半導体や液晶の製造装置、無菌操作や半導体処理が行われるクリーンルーム、食品や医薬品の製造工場等を用いることができる。また、本発明に係る浄化気体供給装置が設置される態様は、上述の例に限られず、例えば、胴部２０が部屋の内壁面に沿って設置され、当該部屋内に浄化気体を供給することとしてもよい。また、本発明に係る浄化気体供給装置が浄化の対象とする気体は、上述の例に限られず、例えば、第一の部屋７０から再循環される気体であってもよい。なお、この場合も、少なくとも入口フィルタ３０は、第一の部屋７０外に設置され、当該第一の部屋７０外で当該入口フィルタ３０による気体の浄化が行われる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置の側面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置の平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る浄化気体供給構造についての説明図である。
【図４】図３に示す浄化気体供給構造の一部についての拡大図である。
【図５】対照とするファンフィルタユニットの側面図である。
【図６】対照とする他のファンフィルタユニットの側面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  浄化気体供給装置、２  浄化気体供給構造、３  第一対照装置、４  第二対照装置、１０  入口部、１１  入口内空、２０  胴部、２１  胴部内空、２２  排出口、２３  上面、２４  下面、３０  入口フィルタ、３１  上側フィルタ、３２  下側フィルタ、４０，４１，４２  整流板、５０  送風機、５１  回転軸、５２  羽根部、６０  出口フィルタ、７０  第一の部屋、７１  外壁、７２  外面、７３  供給口、７４  内空、８０  第二の部屋、８１  外壁、８２  内面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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