(57)【要約】【課題】装置面積が小さく、動作が単純で一回の作業により移載作業が完了し、機構部から発生する塵埃の影響を受け難くく、加えてピッチを無段階に調節可能にする。【解決手段】同数のワークを多段に積載可能であると共に、その積載ピッチが異なる一方のカセットから他方のカセットに前記ワークを移載するための移載装置である。装置要部は、昇降テーブル３１及び該昇降テーブル上に移動可能に設けられて前記カセットを載置した状態で待機位置と移載位置との間を往復移動するスライドテーブル３２と、昇降テーブル３１に隣接しかつ移載位置上に略対向して設けられた縦ロッド５３及び、該縦ロッドに沿って昇降可能に支持されているワークＷの積載枚数に対応した複数の移載用ハンド３５と、各ハンド３５を縦ロッド５３に沿って、上側ハンドから下側ハンドに行くほど移動量を少なくて各ハンドの高さ及び積載ピッチを調節するピッチ変換機構３４とを備えている。【選択図】図１
2008282996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同数の板状ワークを多段に積載可能であると共に、その積載ピッチが異なる一方のカセットから他方のカセットに前記ワークを移載するための移載装置において、
昇降テーブル及び、該昇降テーブル上に移動可能に設けられて前記カセットを載置した状態で待機位置と移載位置との間を往復移動するスライドテーブルと、
前記昇降テーブルに隣接しかつ前記移載位置上に略対向して設けられたガイド用縦ロッド及び、前記縦ロッドに沿って昇降可能に支持されている前記ワークの積載枚数に対応した複数の移載用ハンドと、
前記各ハンドを前記縦ロッドに沿って、上側ハンドから下側ハンドに行くほど移動量を少なくて各ハンドの高さ及び積載ピッチを調節するピッチ変換機構と
を備えていることを特徴とするワークのカセット間移載装置。
【請求項２】
前記ピッチ変換機構は、角度制御用モータに連繋して回動する駆動軸と、前記駆動軸に固定された階段状の偏心ブロックと、前記偏心ブロックにおける階段状の各段と前記各ハンドとを連結している複数のリンクとを備え、前記駆動軸に対する前記偏心ブロックの最上高さ位置で前記各ハンドの高さ及び積載ピッチを最大とし、前記最上高さ位置からの前記駆動軸の回動により、前記偏心ブロックの傾き角度に応じて前記各ハンドの高さ及び配置ピッチを順次縮小することを特徴とする請求項１に記載のワークのカセット間移載装置。
【請求項３】
前記各ハンドは、前記縦ロッドを通す挿通孔を形成しているハンドベース、及び前記ハンドベースから突出して前記ワークを保持するハンドフィンガーを有し、
前記偏心ブロックは、前記ハンドベース側下方で前後に配設されて前記駆動軸に同期して回動可能な一方側偏心ブロックと他方側偏心ブロックとを有しているとともに、前記一方側偏心ブロックには前記各ハンドのうち最上位置から下部側に向けて奇数番のハンドが前記各リンクを介して回動可能に連結され、前記他方側偏心ブロックには前記各ハンドの最上位置から下部側に向けて偶数番のハンドが前記各リンクを介して回動可能に連結されていることを特徴とする請求項２に記載のワークのカセット間移載装置。
【請求項４】
同数の板状ワークを多段に積載可能であると共に、その積載ピッチが異なる一方のカセットから他方のカセットに前記ワークを移載する移載方法において、
請求項１から３の何れかに記載のワークのカセット間移載装置を使用して、
前記一方カセットを前記スライドテーブルを介し退避位置から移載位置へ移動することで、前記ハンドを前記一方カセット内に挿入した後、前記一方カセットを前記昇降テーブルで上昇して該カセット内の各ワークを前記ハンド上に保持するワーク保持工程と、
前記一方カセットを前記スライドテーブルを介し移載位置から退避位置へ移動し、該退避位置で前記他方カセットと交換するとともに、前記各ハンドの高さ及び配置ピッチを前記他方カセットに対応して前記ピッチ変換機構により調節するピッチ変更工程と、
前記他方カセットを前記スライドテーブルを介し退避位置から移載位置へ移動することで、前記ハンドを前記他方カセット内に挿入した後、前記他方カセットを前記昇降テーブルで下降して前記ハンド上の各ワークを他方カセット内に移載するワーク移替工程
とを経ることを特徴とするワークのカセット間移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状ワークを積載ピッチの異なるカセット（キャリアやポート或いはフープ（ＦＯＵＰ）等とも称されることもある）間に移載するためのカセット間移載装置及び方法に関する。なお、本発明において、「板状ワーク」とは、例えば半導体ウエーハ、ＣＤ、ＤＶＤなどの板状の被加工物や搬送物を指している。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造等においては、例えば、加工途中のウエーハを移送する態様として、効率移送、塵埃の付着防止、一度に多数枚の加工や処理を行う目的で、カセット内に多数のウエーハを所定ピッチで積載した状態で移送したり、加工待機位置でウエーハ数に応じた複数のハンドにより取り出して加工位置に移送し、加工終了後は再びハンドによりカセット内に積載して次工程に移送することが多い。この場合、各ウエーハは、一方カセットから他方カセットへ積載ピットを変更して移載されることもある。
【０００３】
図６（ａ），（ｂ）は一般的なウエーハのカセット間移載装置を示している。この装置構造では、通常の積載ピッチのカセット（以下スタンダードカセットと言う）ａと、積載ピッチを通常の積載ピッチの１／２としたカセット（以下ハーフピッチカセットと称する）ｂを用意しておき、搬送経路中に移載装置ｃを設け、ウエーハＷをスタンダードカセットａからハーフピッチカセットｂに移載したり、その逆にハーフピッチカセットｂからスタンダードカセットａへの移載を行う。
【０００４】
この移載装置ｃは、４軸の水平多関節形ロボットであり、その各アームの末端軸に、ウエーハＷを保持して移し替える移載用ハンドｄを多段に設けたもので、ハンドｄの枚数は各カセットａ，ｂにおけるウエーハＷの積載数の半分であり、また、その配置ピッチはスタンダードカセットａの積載ピッチと同じである。
【０００５】
このハンドｄを用いた移載方法は、移載装置ｃを挟む両側に対向配置された１対の設置台ｅ上に各カセットａ，ｂを対向設置した状態で、移載装置ｃの昇降動作と、そのアームの各関節部を回動させて、一方のカセットａの開口部よりハンドｄを挿入し、次いで上昇して持上げることにより、ウエーハＷをハンドｄ上に保持し、この状態で後退させ、次いで他方のカセットｂに向けてハンドｄを挿入し、次いで下降させて他方のカセットｂに受渡す動作を、高さ位置を変更して２回繰返すことにより、移載作業を終了するようになっている。
【０００６】
なお、他のピッチ変換機構としては、特許文献１に開示されているように、ハンド同士を短冊形リンクにより連携可能にするとともに、各ウエーハの間隔を調整手段（各ハンドを貫通して駆動モータ等により回転されるねじ付き駆動軸及び何れかのハンドに取り付けられて前記駆動軸に螺合された被動ナットなど）により変更するパンタグラフ式が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−２１０６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記図６の移載装置では、設置台ｅを含む装置全体の長さスペースがカセットの少なくとも４倍は必要であり、設置面積が大きく、またハンドｄの動きも、両カセットａ，ｂに対する干渉を避けるために、昇降動作や、各アームの回動を含むため、動作及び制御が複雑化する。しかも、厳密に半分の積載ピッチのカセットにしか対応できず、スタンダードカセットに対し、そのピッチの縮み率が、例えば４０％や６０％ピッチのカセットには適用できなかった。
【０００８】
なお、特許文献１のピッチ変換機構は、ピッチを無段階に調節できるものの構造が複雑であり、また間隔を可変する調整手段がねじ付き駆動軸及び該駆動軸に螺合された被動ナットをハンドに貫通配置しなければならないため、機構部から発生する塵埃が最も嫌われるハンドや該ハンドに保持されているウエハへ付着しやすい等という問題がある。
【０００９】
本発明の目的は、以上のような課題を解決し、装置面積が小さく、動作が単純で、一回の作業により移載作業が完了し、しかも機構部から発生する塵埃の影響を受け難くく、加えてピッチを無段階に可変調節できるワークのカセット間移載装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、請求項１の発明（ワークのカセット間移載装置）は、図面を参照して特定すると、同数の板状ワーク（Ｗ）を多段に積載可能であると共に、その積載ピッチが異なる一方のカセット（１）から他方のカセット（２）に前記ワークを移載するための移載装置（３）において、昇降テーブル（３１）及び、該昇降テーブル上に移動可能に設けられて前記カセットを載置した状態で待機位置と移載位置との間を往復移動するスライドテーブル（３３）と、前記昇降テーブルに隣接しかつ前記移載位置上に対向し設けられたガイド用縦ロッド５３及び、前記縦ロッド５３に沿って昇降可能に支持されている前記ワークの積載枚数に対応した複数の移載用ハンド３５と、前記各ハンドを前記縦ロッドに沿って、上側ハンドから下側ハンドに行くほど移動量を少なくて各ハンドの高さ及び積載ピッチを調節するピッチ変換機構（３４）とを備えていることを特徴としている。
【００１１】
以上の発明は、請求項２〜４のように展開されることが好ましい。すなわち、
（請求項２）前記ピッチ変換機構は、前記ピッチ変換機構は、角度制御用サーボモータ（５８）に連繋して回動する駆動軸（５６）と、前記駆動軸に固定された階段状の偏心ブロック（５７）と、前記偏心ブロックにおける階段状の各段と前記各ハンド（３５）とを連結している複数のリンク（６２）とを備え、前記駆動軸（５６）に対する前記偏心ブロックの最上高さ位置で前記各ハンドの高さ及び積載ピッチを最大とし、前記最上高さ位置からの前記駆動軸の回動により、前記偏心ブロックの傾き角度に応じて前記各ハンドの高さ及び配置ピッチを順次縮小することを特徴としている。
【００１２】
（請求項３）前記各ハンド（３５）は、前記縦ロット（５３）を通す挿通孔を形成しているハンドベース（７０）、及び前記ハンドベースから突出して前記ワークを保持するハンドフィンガー（７１）を有し、前記偏心ブロック（６２）は、前記ハンドベース側下方で前後に配設されて前記駆動軸に同期して回動可能な一方側偏心ブロックと他方側偏心ブロックとを有しているとともに、前記一方側偏心ブロックには前記各ハンドのうち最上位置から下部側に向けて奇数番のハンドが前記各リンクを介して回動可能に連結され、前記他方側偏心ブロックには前記各ハンドの最上位置から下部側に向けて偶数番のハンドが前記各リンクを介して回動可能に連結されていることを特徴としている。
【００１３】
（請求項４）以上の移載装置を用いた移載方法を特定したもので、同数の板状ワーク（Ｗ）を多段に積載可能であると共に、その積載ピッチが異なる一方のカセット（１）から他方のカセット（２）に前記ワークを移載する移載方法において、請求項１から３の何れかに記載のワークのカセット間移載装置（３）を使用して、前記一方カセット（１）を前記スライドテーブル（３３）を介して退避位置から移載位置へ移動することで、前記ハンド（３５）を前記一方カセット内に挿入した後、該一方カセットを前記昇降テーブル（３１）で上昇して該カセット内の各ワークを前記ハンド上に保持するワーク保持工程と、前記一方カセットを前記スライドテーブル（３３）を介して移載位置から退避位置へ移動し、該退避位置で前記他方カセットと交換するとともに、前記各ハンドの高さ及び配置ピッチを前記他方カセットに対応して前記ピッチ変換機構により調節するピッチ変更工程と、前記他方カセットを前記スライドテーブルを介して退避位置から移載位置へ移動することで、前記ハンドを前記他方カセット内に挿入した後、前記他方カセットを前記昇降テーブルで下降して前記ハンド上の各ワークを他方カセット内に移載するワーク移替え工程とを経ることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１と４の発明では、水平方向に動かないハンドに対し各カセットをスライドテーブル及び昇降テーブルを介して相対的に位置移動する構成と、各ハンドの高さ及び積載ピッチを駆動軸及び偏心ブロック等を介して調節するピッチ変換機構とにより、移載装置の設置面積として少なくともカセットの２倍程度あればよく設置面積が小さく、かつ一回の交換作業によりワークの全数を一方のカセットから他方のカセットに移載できるため、作業能率が良く、しかも移載のための動作も単純であるため制御が簡単となる。
【００１５】
請求項２の発明は、ピッチ変換機構として、偏心ブロックの傾動角度に応じて各ハンドの高さ及びピッチ間隔が定るため、ピッチを任意の縮み率とすることができ、しかも特許文献１に比べてハンド周りにはリンク及び縦ロッドだけが配置される関係で機構部の摩耗で生じる塵埃の影響を受け難くいため装置及び移載作業の信頼性を向上できる。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項２の作用効果に加え、複数のリンクをハンドベースの前後に分けて配置できるため、ワークの積載段数が多くなっても各リンクを錯綜することなく、間隔を保って配置でき、それにより設計自由度を拡大できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の最良の形態を図１〜図５を参照して説明する。図１はウエーハのカセット間移載装置を模式的に示す側面図、図２はその模式正面図、図３は上から見た模式平面図、図４は図１のＩＶ−ＩＶ線に沿った模式断面図（右側がハンド積載ピッチを最大にした状態、左側がハンド積載ピッチを最小にした状態）、図５は移載用ハンドのハンドベース外観とその模式断面図である。なお、各図では、作図上の制約から一部を省略したり簡略化している。
【００１８】
図１において、移載装置３は、カセットとしてスタンダードカセット１内のウエーハＷを、ピッチが異なるハーフピッチカセット２に移載する例であり、中央に配置されている昇降テーブル３１及び、該昇降テーブル３１上に設けられて水平方向に往復移動するスライドテーブル３３と、昇降テーブル３１の片側に隣接し、かつウエーハ移載位置（以下、移載位置と称する）上に対向して設けられた複数のガイド用縦ロッド５３及び、各縦ロッド５３に沿って昇降可能に支持されている複数の移載用ハンド３５と、各ハンド３５を縦ロッド５３に沿って、上側ハンドから下側ハンドに行くほど移動量を少なくて各ハンドの高さ及び積載ピッチを調節するピッチ変換機構３４とを備えている。
【００１９】
ここで、図１では、スタンダードカセット１を移載位置に配置した状態と、ハーフピッチカセット２をスライドテーブル３３を介してウエーハ待機位置（以下、待機位置と称する）に配置した状態とを示している。しかし、実際には、何れか一方のカセットがスライドテーブル３３を介して位置決め配置された状態では他方のカセットがスライドテーブル３３から撤去されている。また、各カセット１，２は、容器状をなし、一側面が出入口用として開口し、不図示の扉で開閉されるようになっているとともに、両内側面に対向しかつ所定ピッチに多段に設けられたラック部１１，１２を有している。この場合、ラック部１２のピッチはラック部１１の１／２ピッチに設定されている。すなわち、各図では説明を簡略化するため、ウエーハＷの積載枚数を１２枚に設定、つまり各ラック部１１、２１の段数を１２段としているが、段数は任意に設定されることは勿論である。
【００２０】
昇降テーブル３１は、側面視逆Ｌ形をなし、逆Ｌ形の上水平板部に固定された１対のガイドレール３２と、逆Ｌ形の垂直板部に固定された上下のスライドブロック４０と、前記垂直板部に固定されて各スライドブロック４０と反対方向へ突出しているボールねじ用ブロック４３とを備え、各スライドブロック４０が縦フレーム４１に固定された１対の昇降用ガイドレール４２に嵌合された状態で昇降可能に支持されている。
【００２１】
また、ブロック４３は、上下に貫通した雌ねじを形成しており、縦フレーム４１と対向した縦フレーム４４に固定された側面視コ字形の軸受部４５の上下片部に回動可能に軸支されたねじ部材４６に螺合した状態で上下動される。すなわち、ねじ部材４６は、下端部が連結軸部に形成され、該連結軸部が軸受部４５の下片部を貫通して真下に設置されたモータ４８の出力部に連結されている。そして、昇降テーブル３１は、モータ４８の正逆転動作に応じてガイドレール４２に沿って昇降可能に精密送りされる。
【００２２】
なお、前記スライドテーブル３３は、図示していないが、ボールねじ送り機構などにより待機位置と移載位置との間を水平移動可能となっている。移載位置は昇降テーブル３１の水平板部上に対応し、待機位置は昇降テーブル３１の水平板部より後側に対応している。待機位置付近には、例えば、対象カセットをスライドテーブル３３に載せたり、逆にスライドテーブル３３上のカセットを次工程へ送る手段が付設されることもある。
【００２３】
昇降テーブル３１の水平板部上の先端側には、下固定テーブル５０及び上固定テーブル５１が所定距離を保って対向して設けられているとともに、昇降ガイド用縦ロッド５３が両固定テーブル５０，５１に上下端を支持した状態で前後に２列、左右にそれぞれ３行の配置で合計１２本設けられている。また、各ハンド３５は、図３に示されるように、ハンドベース７０及びハンドベース７０から突出してワークＷを保持するハンドフィンガー７１とからなる。そして、ハンドベース７０には、各ロッド５３に対応して前後２列−左右３行の片側６個、両側で１２個の挿通孔が設けられている。各挿通孔は、図５に示されるように、左右の滑り軸受７２が係合される２個の取付孔７３と、取付孔７３を除いて滑り軸受７２が遊嵌される１０個の大径孔７４とで構成されている。
【００２４】
ピッチ変換機構３４は、図１及び図４に示されるように、マウントベース５４上に設置された角度制御用のサーボモータ５８と、マウントベース５４上に左右対向して立設されている両側の軸受フレーム５５，５５と、両軸受フレーム５５に支持されている前後一対の駆動軸５６，５６と、各駆動軸５６の両端にそれぞれ装着されている偏心ブロック５７と、各駆動軸５６の軸部に装着されて互いに噛み合っている歯車６０，６１と、前記サーボモータ５８の出力軸に装着されて一方の歯車６０と噛み合っている歯車５９と、各偏心ブロック５７における階段状の各段と前記各ハンド３５のハンドベース７０とを連結している複数のリンク６２とを備えている。
【００２５】
このうち、各歯車６０，６１は、同形かつ同じ歯数の伝達ギヤであり、例えば、一方が駆動側歯車５９を介して逆時計回りに回動（対応する駆動軸５６も回動）されると、他方が時計回りに回動（対応する駆動軸５６も回動）されるようにする。各リンク６２は、下端が偏心ブロック５７の各段差部に回動自在に枢支され、上端が対応するハンド３５のハンドベース７０に回動自在に枢支されている。そして、以上のピッチ変換機構３４は、駆動軸５６に対する偏心ブロック５７の最上高さ位置（図４の右側の状態）で各ハンド３５の高さ及び積載ピッチを最大とし、又、駆動軸５６がサーボモータ５８を介し最上高さ位置から回動されて、偏心ブロック５７の傾き角度に応じて各ハンド３５の高さ及びピッチを順次縮小する。
【００２６】
詳述すると、ピッチ変換機構３４において、左右及び前後の合計４つの偏心ブロック５７のうち、図１の右側に示される偏心ブロック（縦フレーム４４に近い側の駆動軸５６の両端に装着されている各偏心ブロック）５７は、各ハンド３５のうち、上から順に奇数番のハンド３５に対し対応するリンク６２を介して連繋するもので、図４に向って、その上部から順に一つおき、つまり１番目、３番目、５番目・・・と言うように、対応リンク６２が奇数番のハンド３５（のハンドベース７０）に上端を回動可能に軸支し、下端を図４の円内に拡大して示すように、偏心ブロック５７の階段状の各段側端に上段から順に回動可能に軸支された合計６つのリンク６２により、各ハンド３５と対応偏心ブロック５７の各段とを連結している。これに対し、図１の左側に示される偏心ブロック（縦フレーム４４から離れる側の駆動軸５６の両端に装着されている偏心ブロック）５７は、各ハンド３５のうち、上から順に偶数番のハンド３５に対し対応するリンク６２を介して連繋するもので、図４に向って、その上部から順に一つおき、つまり２番目、４番目、６番目・・・と言うように、対応リンク６２が偶数番のハンド３５（のハンドベース７０）に上端を回動可能に軸支し、下端を前記と同様に偏心ブロック５７の階段状の各段側端に上段から順に回動可能に軸支された合計６つのリンク６２により、各ハンド３５と対応偏心ブロック５７の各段とを連結している。
【００２７】
なお、図２と図４において、右側偏心ブロック５７は駆動軸５６の上側に位置し、各ハンド３５の配列がスタンダードカセット１の高さと積載ピッチに対応しており、左側偏心ブロック５７はこれから１８０°回動した駆動軸５６の下側に位置し、各ハンド３５の配列がハーフピッチカセット２の高さと積載ピッチに対応した状態を示している。
【００２８】
すなわち、両側の偏心ブロック５７が駆動軸５６の上位置にあるときは、各ハンド３５の高さと積載ピッチはスタンダードカセット１の高さと、ウエーハＷの積載ピッチに応じた上下配列となり、この状態からサーボモータ５８の回動により各偏心ブロック５７は互いに反転しつつ回動して、順次その高さを低めつつピッチ間隔も狭め、１８０°回動位置では、ハーフピッチカセット５７の高さと積載ピッチに応じた上下配列となる。但し、偏心ブロック５７の回動角はこの例に限られず、微調整する上で１８０°以下に設定されることもある。
【００２９】
図５（ａ），（ｂ）は各ハンド３５を構成しているハンドベース７０と、各ハンドベース７０が両側の縦ロッド５３に対し両側の滑り軸受７２を介して水平状態を維持しながら精度よく上下動されるようにする構成例を示している。各ハンドベース７０に形成された挿通孔のうち任意の左右一対の挿通孔は、前記した両側の縦ロッド５３に１対の滑り軸受７２を介して嵌合される取付孔７３であり、他の挿通孔（この例では片側５個つづつ、両側で１０個）は該滑り軸受７２が遊嵌される程度の大径孔７４となっている。各ハンドベース７０には、左右一対の取付孔７３が異なる位置に形成されている。また、各滑り軸受７２は上周囲に取付フランジ部を有している。滑り軸受７２の長さは、各ハンドベース７０がハーフピッチ間隔となった状態で、それよりも下側にある他の５枚のハンドベース７０に形成された大径孔７４を貫通する程度の寸法となっている。そして、以上の構造では、例えば、同図のごとく最上段のハンドベース７０（の取付孔７３）に取り付けられた滑り軸受７２は下側にある５枚のハンドベース７０の大形孔７４に遊嵌されているため、各ハンドベース７０を上記した対応するリンク６２及び偏心ブロック５７を介して高さを変更する過程で、縦ロッド５３に沿って精度よく昇降ガイドされるようにし、また他のハンドベース７０も同様にして左右の異なる位置に１対の滑り軸受７２を装着することにより、互いに干渉することなく縦ロッド５３に沿って精度よく昇降ガイドされるようにする。
【００３０】
次に、以上の移載装置３を用いて同数のウエーハＷをスタンダードカセット１からハーフピッチカセット２に移載するための動作手順について説明する。なお、各部の駆動は、不図示の検出用センサやシーケンス制御手段などよって設計通りに制御される。
【００３１】
この移載方法では、手順を大別すると、スタンダードカセット１内のウエーハＷを各ハンド３５にて保持するワーク保持工程と、各ウエーハＷのピッチを調節するピッチ変換工程と、各ウエーハＷをハーフピッチカセット２に移載するワーク移替工程とを経る。
【００３２】
ここで、初期設定では、各偏心ブロック５７が駆動軸５６を介して上側に位置し、各ハンド３５の上下配列がスタンダードカセット１の高さと積載ピッチに対応、つまり各ハンド３５がスタンダードカセット１に保持されている対応するウエーハＷの下面に位置するよう調節されている。この状態で、ワーク保持工程では、スタンダードカセット１がガイドレール３２と嵌合しているスライドテーブル３３を介して退避位置から移載位置へ移動されると同時に、各ハンド３５がスタンダードカセット１内に挿入される。その後、スタンダードカセット１が昇降テーブル３１により上昇されることで、各ハンド３５（のハンドフィンガー７１）上にスタンダードカセット内の各ウエーハＷを保持する。
【００３３】
ピッチ変更工程では、前記スタンダードカセット１つまり空になったスタンダードカセット１がガイドレール３２と嵌合しているスライドテーブル３３を介して移載位置から退避位置へ移動され、該退避位置でハーフピッチカセット２と手動ないしは自動にて交換される。同時に、各ハンド３５は、ハンドフィンガー７１上にウエーハＷを保持した状態で、上記したピッチ変換機構３４を介して高さ及びピッチがハーフピッチカセット２に対応して調節される。 つまり、各ハンド３５（及びウエーハＷ）は、上記したピッチ変換機構３４を介してハーフピッチカセット２の対応ラック部２１の上側に位置するよう調節される。
【００３４】
ワーク移替工程では、ハーフピッチカセット２がガイドレール３２と嵌合しているスライドテーブル３３を介して退避位置から移載位置へ移動されると同時に、各ハンド３５（及び保持しているウエーハＷ）がハーフピッチカセット２内に挿入される。その後、ハーフピッチカセット２が昇降テーブル３１により僅かに下降されることで、各ハンド３５（のハンドフィンガー７１）上に保持されていた各ウエーハＷを対応ラック部２１に移載する。その後は、ハーフピッチカセット２がスライドテーブル３３を介して移載位置から退避位置へ移動され、該退避位置で次のスタンダードカセット１と手動ないしは自動にて交換されて、次の移載操作が繰り返されることになる。
【００３５】
以上の移載方法では、特に、各ハンド３５に対し各カセット１，２をスライドテーブル３３及び昇降テーブル３１を介して相対的に位置移動する構成と、各ハンド３５の高さ及び積載ピッチを駆動軸５６及び偏心ブロック５７とリンク６２を介して調節するピッチ変換機構３４とにより、移載装置の設置面積として少なくともカセットの２倍程度あればよく設置面積を大幅に小さくでき、しかも一回の交換作業によりワークの全数を一方のカセットから他方のカセットに移載できるため、作業能率が良く、しか簡明なピッチ変換機構３４により信頼性を向上できる。
【００３６】
なお、待機位置でのカセット１，２の設置及び撤去作業は人手で行ってもよいし、自動化する場合には、各カセット１，２の搬送路と本移載装置３の間に移し替え用のロボットハンドなどを介在すればよい。
【００３７】
また、以上の形態例では、スタンダードカセット１における積載ピッチの半分の積載ピッチとしたハーフピッチカセット２に受渡す場合を示したが、各ハンド３５は、任意のピッチに調整可能であり、例えばその積載ピッチが４０〜６０％程度のハーフピッチカセットに受渡す場合にも適用でき、その高さ及びピッチの縮み率は偏心ブロック５７の傾動角度に応じて定るので、サーボモータ５８の回動量をそれに応じて調整すればよい。しかも前記と同様な動作により、ハーフピッチカセット２からスタンダードカセット１への移載や、同一ピッチのカセット間への移載にも適用できることも勿論である。
【００３８】
さらに、上記形態例では、本発明の移載装置をウエーハをピッチの異なるカセット間の移載に適用した場合を示したが、他の板状要素、例えばＤＶＤ，ＣＤなどの円盤状被加工物を積載したピッチの異なるカセット間に移載する場合などにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明形態に係るウエーハのカセット間移載装置の模式側面図である。
【図２】上記移載装置の模式正面図である。
【図３】上記移載装置の模式平面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線に沿った模式断面図である。
【図５】（ａ）は移載用ハンド基部側の斜視図、（ｂ）はその模式断面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は従来の移載装置の平面及び側面を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…スタンダードカセット（一方側のカセットに相当し、１１はラック部）
２…ハーフピッチカセット（他方側のカセットに相当し、２１はラック部）
３…移載装置
３１…昇降テーブル
３２…スライドテーブル
３３…ガイドレール
３４…ピッチ変換機構
３５…移載用ハンド（７０はハンドベース、７１はハンドフィンガー）
５３…ガイド用縦ロッド
５７…偏心ブロック
５８…ＤＣサーボモータ（制御用モータ）
６２…リンク  
７２…滑り軸受
Ｗ…ウエーハ（板状のワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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