(57)【要約】【課題】被搬送物の安定な載置を確保しつつ装置全体の重量を抑制し、室内に気流がある場合にはその気流を妨げにくい。【解決手段】棚ユニット１２０は、棒形状のフレーム部材１２１〜１２５から構成されている。フレーム部材１２１〜１２４は軌道９２に平行に配置されており、互いに離隔している。フレーム部材１２１〜１２４の間には、棚ユニット１２０を鉛直方向に貫通する貫通領域１２０ａ〜１２０ｃが形成されている。フレーム部材１２１及び１２２の間は被搬送物の幅より小さく離隔しており、フレーム部材１２１及び１２２の上面に被搬送物が載置される。棚ユニット１２０を軌道９２に固定する固定ユニット１１０も、一方向に長尺なフレーム部材１１１〜１１４で構成されており、固定ユニット１１０同士も離隔して配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を把持しつつ天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの前記被搬送物を保管する保管装置であって、
長尺状に延在する第１、第２のフレームからなり、前記第１、第２のフレーム上面で構成される水平面に前記被搬送物が載置される棚部と、
長尺状に延在する第３〜第５のフレームからなり、前記第３〜第５のフレームが概略コの字形状に構成され、前記軌道の下方に前記棚部が位置するように、前記棚部を前記軌道及び天井の少なくともいずれかに固定するための複数の棚固定部材とを備えており、
前記コの字形状の両端部を構成する前記第３及び第４のフレームが、それぞれ前記延在する方向が鉛直方向に沿い且つ前記搬送台車が走行する領域を水平方向に関して互いに挟むように、前記軌道及び天井の前記いずれかに固定されており、
前記第５のフレームが、前記延在する方向が前記第３のフレームから前記第４のフレームへと向かう方向に沿うように、前記第３及び第４のフレームの両方と前記軌道の下方において固定されており、
前記第１及び第２のフレームが、
前記上面が水平方向に関して前記被搬送物の幅より小さい距離だけ互いに離隔するように、前記第５のフレームに固定されており、
前記複数の棚固定部材が前記軌道に沿って互いに離隔するように配列されており、
前記第１及び第２のフレームの間に前記棚部を鉛直方向に貫通する貫通領域が形成されていることを特徴とする保管装置。
【請求項２】
前記第３のフレームが、前記軌道に交差する平面に沿って鉛直方向及び前記軌道から離隔する方向の両方向に延在する板部を有していることを特徴とする請求項１に記載の保管装置。
【請求項３】
前記棚固定部材が、
水平方向に長尺に延在し、前記軌道と平面視において交差するように前記軌道の上面に固定された第６のフレームをさらに有しており、
前記第３及び第４のフレームが、
前記第６のフレーム上の前記軌道を平面視において互いに挟む位置に固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の保管装置。
【請求項４】
前記軌道に沿って互いに隣り合う２つの前記棚固定部材に両端が固定された斜交い部材をさらに備えていることを特徴とする請求項２又は３に記載の保管装置。
【請求項５】
前記第３のフレーム同士を結ぶ線分、並びに、前記第３のフレーム及び斜交い部材間を結ぶ線分が、いずれも平面視において前記軌道と交差しないことを特徴とする請求項４に記載の保管装置。
【請求項６】
前記第１及び第２のフレームが、いずれも前記軌道に沿って延在しており、
前記棚部が、
前記軌道に沿って延在する第７及び第８のフレームをさらに有しており、
前記第７及び第８のフレームが、
前記第１のフレームから前記第２のフレームに向かう方向に関して前記第１及び第２のフレームの両方を互いに挟み、且つ、前記第１及び第２のフレームのいずれからも離隔するように、前記第５のフレームに固定されており、
前記第７及び第８のフレームと前記第１及び第２のフレームとの間に前記棚部を貫通する貫通領域が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の保管装置。
【請求項７】
前記第１及び第２のフレームの両方または一方に前記被搬送物を載置する際の位置合わせ部材が固定されていることを特徴とする請求項６に記載の保管装置。
【請求項８】
前記棚部の上面の一端近傍に固定されており、前記棚部の上面から上方へと延在する板部材をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の保管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの被搬送物を保管する保管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場において、半導体基板が収容されたフープ（ＦＯＵＰ；Front Opening Unified Pod）などの被搬送物を、天井に敷設された軌道上を走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などの搬送台車に搬送させる搬送システムが設けられていることがある。
【０００３】
また、かかる搬送システムに付随して、搬送台車が被搬送物を一時的に載置するための装置が軌道や天井に設置される場合がある。例えば特許文献１に記載のストレージラックは、軌道の直下に吊り下げられた水平なラックを有しており、天井走行車によって搬送されたボックスがこのラックに載置される。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１０９８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のように被搬送物を一時的に載置するための装置において、被搬送物を安定に載置するため、被搬送物を載置する棚部に板材などの幅の広いものが使用されることが多い。しかし、棚部が板材などで構成されていると、装置全体の重量が増す。重量が大きい装置は天井近くに固定するのが困難であったり、不安定であったりするおそれがある。
【０００６】
また、例えば半導体製造工場で装置が用いられる場合には、クリーンルーム内に設置されることが多くなる。クリーンルーム内においては室内を清浄に保つために気流を発生させるが、棚部が板材などで構成されていると、かかる気流が妨げられ、その効果が損なわれるおそれがある。また、これによって気流が乱れると、装置や搬送台車に付着した塵埃が飛散し、半導体基板などの歩留まりに影響を及ぼすおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、被搬送物の安定な載置を確保しつつ装置の重量を抑制し、室内に気流がある場合にはその気流を妨げにくい、被搬送物の保管装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の保管装置は、被搬送物を把持しつつ天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの前記被搬送物を保管する保管装置であって、長尺状に延在する第１、第２のフレームからなり、前記第１、第２のフレーム上面で構成される水平面に前記被搬送物が載置される棚部と、長尺状に延在する第３〜第５のフレームからなり、前記第３〜第５のフレームが概略コの字形状に構成され、前記軌道の下方に前記棚部が位置するように、前記棚部を前記軌道及び天井の少なくともいずれかに固定するための複数の棚固定部材とを備えており、前記コの字形状の両端部を構成する前記第３及び第４のフレームが、それぞれ前記延在する方向が鉛直方向に沿い且つ前記搬送台車が走行する領域を水平方向に関して互いに挟むように、前記軌道及び天井の前記いずれかに固定されており、前記第５のフレームが、前記延在する方向が前記第３のフレームから前記第４のフレームへと向かう方向に沿うように、前記第３及び第４のフレームの両方と前記軌道の下方において固定されており、前記第１及び第２のフレームが、前記上面が水平方向に関して前記被搬送物の幅より小さい距離だけ互いに離隔するように、前記第５のフレームに固定されており、前記複数の棚固定部材が前記軌道に沿って互いに離隔するように配列されており、前記第１及び第２のフレームの間に前記棚部を鉛直方向に貫通する貫通領域が形成されている。
【０００９】
本発明の保管装置によると、棚部が２本のフレームを有しており、これらのフレームの間に被搬送物の幅より小さい貫通領域が形成されている。したがって、被搬送物の安定な載置を確保しつつ、重量を抑制した保管装置が実現する。また、例えばクリーンルーム内においては、下方に向かう気流を棚部が妨げにくい保管装置が実現する。さらに、棚固定部材の全体が長尺状に延在するフレームから構成されており、棚固定部材同士も離隔されているため、保管装置全体として重量が抑制されており、気流を妨げにくい構成が実現している。
【００１０】
また、本発明においては、前記第３のフレームが、前記軌道に交差する平面に沿って鉛直方向及び前記軌道から離隔する方向の両方向に延在する板部を有していることが好ましい。上記のように保管装置全体として重量が抑制された構成においては、装置の変形に対してその強度が十分に確保されないおそれがある。上記の構成によると、第３のフレームが軌道に交差する平面に沿って軌道から離隔する方向に延在する板部を有している。したがって、上記の平面に沿った方向に関する装置の変形が抑制される。これによって、例えば搬送台車の進行方向に対して左右方向に関する棚部の揺れ等が抑制される。
【００１１】
また、本発明においては、前記棚固定部材が、水平方向に長尺に延在し、前記軌道と平面視において交差するように前記軌道の上面に固定された第６のフレームをさらに有しており、前記第３及び第４のフレームが、前記第６のフレーム上の前記軌道を平面視において互いに挟む位置に固定されていることが好ましい。この構成によると、棚固定部材が第６のフレームによって軌道の上面に固定されるため、保管装置を軌道に安定且つ確実に固定することができる。
【００１２】
また、本発明においては、前記軌道に沿って互いに隣り合う２つの前記棚固定部材に両端が固定された斜交い部材をさらに備えていることが好ましい。この構成によると、軌道に平行で鉛直方向に平行な平面に沿った方向に関する装置の変形が抑制される。これによって、上記の平面に沿った棚部の揺れ等が抑制される。
【００１３】
また、本発明においては、前記第３のフレーム同士を結ぶ線分、並びに、前記第３のフレーム及び斜交い部材間を結ぶ線分が、いずれも平面視において前記軌道と交差しないことが好ましい。この構成は、平面視において、第３のフレーム同士が軌道を挟まず、且つ、第３のフレームと斜交い部材とが軌道を挟まないように配置されていることに相当する。つまり、第３のフレーム及び斜交い部材のいずれも、軌道上を走行する搬送台車から見て左右方向のいずれかのみに配置されていることを意味している。したがって、軌道上を走行する搬送台車から見て第３のフレームや斜交い部材が配置されていない方に、製造装置や他の保管装置を棚部に隣接させて配置することが可能である。
【００１４】
また、本発明においては、前記第１及び第２のフレームが、いずれも前記軌道に沿って延在しており、前記棚部が、前記軌道に沿って延在する第７及び第８のフレームをさらに有しており、前記第７及び第８のフレームが、前記第１のフレームから前記第２のフレームに向かう方向に関して前記第１及び第２のフレームの両方を互いに挟み、且つ、前記第１及び第２のフレームのいずれからも離隔するように、前記第５のフレームに固定されており、前記第７及び第８のフレームと前記第１及び第２のフレームとの間に前記棚部を貫通する貫通領域が形成されていることが好ましい。この構成によると、棚部が第１及び第２のフレームに加えてさらに２本のフレームを有している。そして、これらのフレームはいずれも第１及び第２のフレームとの間に貫通領域を有している。したがって、棚部の強度をさらに確保しつつ、重量が抑制されており、気流を妨げない構成が実現する。
【００１５】
また、本発明においては、前記第１及び第２のフレームの両方または一方に前記被搬送物を載置する際の位置合わせ部材が固定されていることが好ましい。この構成によると、第１及び第２のフレームのみに位置合わせ部材が固定されている。例えば第３〜第８のフレームを軌道又は天井に固定した後に位置合わせを行う場合には、第１及び第２のフレームを第５のフレームに固定する位置を調整するだけでよい。したがって、位置合わせの作業を簡易且つ速やかに完了することが可能である。
【００１６】
また、本発明においては、前記棚部の上面の一端近傍に固定されており、前記棚部の上面から上方へと延在する板部材をさらに備えていることが好ましい。この構成によると、棚部の一端から下方へと被搬送物が転落するのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施形態の一例であるバッファ１００について図面を参照しつつ説明する。図１〜図３は、バッファ１００（保管装置）の構成を示す図である。
【００１８】
バッファ１００は、例えば半導体製造工場に設置されたクリーンルーム内で用いられる。図１〜図３に示されているように、バッファ１００は軌道９２に設置されている。軌道９２はクリーンルームの天井９９に沿って、クリーンルーム内に設置された各種の製造装置の上方に敷設されている。軌道９２上には搬送台車９１が設置されている。搬送台車９１は、図示されていない制御装置に制御されて軌道９２上を図１の方向Ａに沿って走行する。そして、容器９３を図１の方向Ｂに沿って鉛直方向に移動させる。これによって、各製造装置間で容器９３を搬送する。容器９３内には半導体基板等が収容されており、容器９３が製造装置に搬送されると、容器９３内の半導体基板に各種の製造処理が施される。
【００１９】
バッファ１００は、容器９３が載置される棚ユニット１２０を有している。棚ユニット１２０は、図２に示されているように平面視において長方形の概略形状を有しており、長尺方向が軌道９２に沿うように配置されている。棚ユニット１２０は、フレーム部材１２１〜１２５（第１、第２、第７及び第８のフレーム）を有している。棚ユニット１２０のうち、フレーム部材１２１及び１２２からなる部分が上面に容器９３が載置される棚部として機能する。
【００２０】
棚ユニット１２０は、フレーム部材１２１〜１２４をそれぞれ１本ずつ有している。フレーム部材１２１〜１２４は、方向Ａに沿って直線状に延在するように配置された、棒形状を有する部材である。フレーム部材１２３及び１２４は、水平面に平行で方向Ａに垂直な方向Ｃに関して最も外側に配置されている。フレーム部材１２１及び１２２は、方向Ｃに関してフレーム部材１２３及び１２４の内側に配置されている。フレーム部材１２５は方向Ｃに沿って延在するように４本配置されている。フレーム部材１２５の両端はフレーム部材１２１及び１２２に固定されている。
【００２１】
フレーム部材１２１〜１２４は、方向Ｃに関して互いに離隔している。また、フレーム部材１２５同士は方向Ａに関して互いに離隔している。これによって、フレーム部材１２１〜１２５同士の間には、鉛直方向に棚ユニット１２０を貫通する貫通領域が形成されている。例えば、フレーム部材１２１、１２２及び１２５同士の間には貫通領域１２０ａが形成されている。フレーム部材１２１及び１２３同士の間には貫通領域１２０ｂが形成されている。フレーム部材１２２及び１２４の間には貫通領域１２０ｃが形成されている。
【００２２】
フレーム部材１２１及び１２２は平面に沿った上面１２１ａ及び１２２ａを有しており、これらの上面１２１ａ及び１２２ａが同一の水平面に含まれるように配置されている。フレーム部材１２１及び１２２は、互いの離隔距離が方向Ｃに関して容器９３の幅より小さくなるように配置されている。容器９３は、フレーム部材１２１及び１２２の間の貫通領域１２０ａを跨ぐように上面１２１ａ及び１２２ａ上に載置される。棚ユニット１２０上には、図１の破線で示されているように容器９３の載置領域が８個分用意されている。
【００２３】
上面１２１ａ及び１２２ａ上には、図２のように複数の突起１２６が固定されている。上面１２１ａ上には８個の突起１２６が固定されており（不図示）、上面１２２ａ上には１６個の突起１２６が固定されている。上面１２１ａ上の各突起１２６は容器９３の各載置領域内に配置されており、方向Ａに沿って互いに等間隔に配列されている。また、上面１２２ａ上の突起１２６は、２つを１組として、各組が容器９３の各載置領域内に配置されている。つまり、各載置領域内には上面１２１ａ上の１つの突起１２６と上面１２２ａ上の２つの突起１２６との、合計で３つの突起１２６が配置されている。そして、これら３つの突起１２６は、水平方向に関して所定の位置関係を互いに有するように配置されている。
【００２４】
一方で、容器９３の下面には突起１２６が嵌合するような形状を有する３つの位置合わせ穴が形成されている（不図示）。これらの３つの位置合わせ穴も、上記の所定の位置関係と同じ位置関係を有するように形成されており、容器９３が棚ユニット１２０上に載置される場合には、互いに対応する位置合わせ穴と突起１２６とが嵌合するように位置合わせがなされる。
【００２５】
棚ユニット１２０の周囲には、複数の転落防止板１０３が固定されている。転落防止板１０３は正方形の概略形状を有している。これらの転落防止板１０３のうちの８枚は方向Ｃに関して棚ユニット１２０の最も外側の一方の側面に固定されている。この側面は、フレーム部材１２３の側面に相当する。これら８枚の転落防止板１０３は、図１に示されているように棚ユニット１２０上の容器９３の載置位置に正面視で重なり合うように配置されている。
【００２６】
また、転落防止板１０３のうちの他の８枚は、方向Ｃに関して棚ユニット１２０の最も外側の他方の側面に固定されている。この側面は、フレーム部材１２４の側面に相当する。これら８枚の転落防止板１０３は、フレーム部材１２３に固定された別の８枚の転落防止板１０３と、方向Ａに関して同じ位置に配置されている。つまり、フレーム部材１２３に固定された各転落防止板１０３とフレーム部材１２４に固定された各転落防止板１０３とは、方向Ｃに関して容器９３の各載置領域を互いに挟むように配置されている。
【００２７】
さらに、棚ユニット１２０の方向Ａに関する両側面にも、転落防止板１０３がそれぞれ固定されている。これらの転落防止板１０３はフレーム部材１２５に固定されており、方向Ａに関して容器９３の８つの載置領域を互いに挟むように配置されている。
【００２８】
バッファ１００は４つの固定ユニット１１０を有している。これらの固定ユニット１１０は軌道９２に沿った方向（方向Ａ）に関して互いに離隔して配列されている。各固定ユニット１１０の上端は軌道９２の上面に固定されており、固定ユニット１１０の下端には棚ユニット１２０が固定されている。これによって、棚ユニット１２０は軌道９２の下方に吊り下げられている。以下、固定ユニット１１０の構成について説明する。なお、４つの固定ユニット１１０は全て同じ構成を有しており、以下の説明は全ての固定ユニット１１０について同様である。
【００２９】
図１〜図３に示されているように、固定ユニット１１０はフレーム部材１１１〜１１４（第３〜第６のフレーム）を有している。フレーム部材１１１は概略的に長方形の平板形状を有する部材であり、長尺方向が鉛直方向に沿うように配置されている。また、その平板形状の面方向が鉛直方向及び方向Ｃに沿うように配置されている（図３参照）。フレーム部材１１２は、鉛直方向に沿って直線状に延在するように配置された、棒形状を有する部材である。フレーム部材１１１及び１１２のいずれも、その上端がフレーム部材１１４に固定されており、下端がフレーム部材１１３に固定されている。フレーム部材１１１〜１１３は図３に示されるように概略形状がコの字状に構成されており、フレーム部材１１１及び１１３がコの字の両端部を構成している。フレーム部材１１１〜１１３は、軌道に棚部を固定するための棚固定部材として機能する。
【００３０】
フレーム部材１１１及び１１２は、フレーム部材１１３及び１１４の方向Ｃに関して両端の近傍にそれぞれ固定されている。これによって、フレーム部材１１１及び１１２は、その下部において棚ユニット１２０を方向Ｃに関して挟みつつ、その上部において軌道９２及び搬送台車９１の走行領域を方向Ｃに関して挟むように配置されている。また、全ての固定ユニット１１０について、フレーム部材１１１は図３においてバッファ１００の左端近傍の同一の位置に配置されている。さらに、全ての固定ユニット１１０について、フレーム部材１１２は図３においてバッファ１００の右端近傍の同一の位置に配置されている。
【００３１】
フレーム部材１１３及び１１４はいずれも、方向Ｃに沿って直線状に延在するように配置されている。そして、いずれも方向Ｃに垂直な断面に関してコの字型の形状を有している。フレーム部材１１３は、上記断面に関してコの字型が下方に開口するように配置されている。フレーム部材１１４は、上記断面に関してコの字型が上方に開口するように配置されている。フレーム部材１１３の上面にはフレーム部材１１１、１１２及び１２１〜１２４が固定されている。フレーム部材１１４の下面にはフレーム部材１１１及び１１２が固定されている。
【００３２】
図１〜図３に示されているように、バッファ１００は２本の斜交い部材１０２を有している。いずれの斜交い部材１０２も、図３においてバッファ１００の左端近傍に配置されている。斜交い部材１０２の一端１０２ａは、方向Ａに関して最も外側の固定ユニット１１０において、フレーム部材１１４の方向Ｃに関する一端に固定されている。斜交い部材１０２の他端１０２ｂは、一端１０２ａが固定された固定ユニット１１０の隣の固定ユニット１１０において、フレーム部材１１３の方向Ｃに関する一端に固定されている。これによって、いずれの斜交い部材１０２も、バッファ１００の方向Ｃに関する一側面に沿って斜めに延在するように、互いに隣り合う２つの固定ユニット１１０に固定されている。
【００３３】
以下、フレーム部材１１１〜１１４及びフレーム部材１２１〜１２５のさらに詳細な構成について図４及び図５を参照しつつ説明する。図４（ａ）は、フレーム部材１２１の長さ方向に垂直な断面を示している。なお、フレーム部材１２１〜１２４はいずれも同じ断面形状を有しているため、フレーム部材１２１以外の構成については省略する。フレーム部材１２１は、概略的に正方形の断面形状を有している。フレーム部材１２１内には空洞１２１ｂ〜１２１ｄが形成されている。空洞１２１ｂ〜１２１ｄは、フレーム部材１２１の図４（ａ）において左側面、下面及び右側面のそれぞれに開口している。かかる空洞１２１ｂ〜１２１ｄは、フレーム部材１２１の長さ方向に沿って延在している。フレーム部材１２１は、上記の断面形状において左右対称に形成されている。
【００３４】
図４（ｂ）は、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿ったバッファ１００下部の断面図である。フレーム部材１２１〜１２４はいずれも、ボルト１３１を介してフレーム部材１２３の上面に固定されている。ボルト１３１は、フレーム部材１１３の上板１１３ａを下方から貫通し、フレーム部材１２１〜１２４の下面に形成された空洞の開口に固定されている。
【００３５】
また、フレーム部材１２３の図４（ｂ）において左側面には、ボルト１３３を介して転落防止板１０３が固定されている。ボルト１３３は、転落防止板１０３を左方から貫通して、フレーム部材１２３の左側面に形成された空洞の開口に固定されている。フレーム部材１２４の図４（ｂ）において右側面には、ボルト１３３を介して転落防止板１０３が固定されている。ボルト１３３は、転落防止板１０３を右方から貫通して、フレーム部材１２４の右側面に形成された空洞の開口に固定されている。
【００３６】
さらに、フレーム部材１２１及び１２２には、２本のボルト１３２を介してフレーム部材１２５が固定されている。ボルト１３２の一方はフレーム部材１２１の左側面に形成された開口から右側面の開口まで貫通し、さらにフレーム部材１２５の左端に固定されている。ボルト１３２の他方はフレーム部材１２２の右側面に形成された開口から左側面の開口まで貫通し、さらにフレーム部材１２５の右端に固定されている。
【００３７】
なお、図４（ｂ）においてはフレーム部材１１１及び１１２の図示を省略しているが、これらの部材もフレーム部材１２１〜１２４と同様に、ボルトを介してフレーム部材１１３の上面に固定されている。
【００３８】
以下、フレーム部材１１４と軌道９２との固定箇所について説明する。フレーム部材１１４は、図３に示されているように２本のボルト１４１を介して軌道９２に固定されている。図５は、図３の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。図５には軌道９２の断面と、フレーム部材１１４内の一部とが示されている。フレーム部材１１２の上端には螺子部１４４が形成されている。螺子部１４４は２つのナット１４５を介してフレーム部材１１４の底板１１４ａを貫通している。フレーム部材１１２は、これらの螺子部１４４及び２つのナット１４５によってフレーム部材１１４に固定されている。
【００３９】
軌道９２の上面には、上方に向かって突出する突起部９２ａが形成されている。突起部９２ａ内には空洞９２ｂが形成されており、空洞９２ｂは上方に向かって突起部９２ａの上面に開口し、開口９２ｃが形成されている。空洞９２ｂは、軌道９２の長さ方向（図５に向かって手前から奥へと向かう方向）に沿って直線状に延在している。空洞９２ｂの断面形状は、ボルト１４１のボルト頭１４１ａが収容され、ボルトの本体が開口９２ｃを介して上方へと突出するように調整されている。これによって、突起部９２ａは、空洞９２ｂ内にボルト頭１４１ａが収容されたまま、ボルト１４１が軌道９２に沿って移動可能になるように構成されている。フレーム部材１１４は、空洞９２ｂ内にボルト頭１４１ａが収容されたボルト１４１とナット１４２とを介して、軌道９２に固定されている。なお、図３においてもう一方のボルト１４１周辺の構成も、図５に示されている構成と同様であるので、その説明を省略する。
【００４０】
以上の構成を有する本実施形態によって、以下の効果が奏される。固定ユニット１１０や棚ユニット１２０は、概略的にフレーム部材１１１〜１１４及び１２１〜１２５のような、主に棒形状を有する部材によって構成されている。そして、固定ユニット１１０やフレーム部材同士は互いに離隔して配置されており、全体として非常に通気性の良い構成を有している。したがって、バッファ１００全体の重量が抑制されていると共に、クリーンルーム内の気流を妨げにくい構成が実現している。
【００４１】
特に、棚ユニット１２０は、主に、軌道９２の延在方向（方向Ａ）に沿って延在するように配置されたフレーム部材１２１〜１２４によって構成されている。そして、これらのフレーム部材同士の間には棚ユニット１２０を鉛直方向に貫通する貫通領域１２０ａ、１２０ｂ及び１２０ｃが形成されている。したがって、クリーンルーム内において天井から下方に向かうダウンフローを棚ユニット１２０が妨げることが抑制されている。また、棚ユニット１２０が棒形状を有するフレーム部材で構成されていることにより、各貫通領域を広く確保することが可能となっている。したがって、ダウンフローをより妨げにくい構成が実現している。
【００４２】
また、上記のように主に棒形状のフレーム部材から構成されていると、バッファ１００の変形に対してその強度が十分に確保されないおそれもある。しかし、本実施形態においては、フレーム部材１１１が、方向Ａに垂直な平面に沿って延在する平板の形状を有している（図３参照）。したがって、方向Ａに垂直な平面に沿った方向に関するバッファ１００の変形が防止される。例えば方向Ｃに沿って棚ユニット１２０が揺れるのが防止される（図２及び図３参照）。さらに、本実施形態においては、２本の斜交い部材１０２が設置されている。これによって、方向Ｃに垂直な平面に沿った方向に関するバッファ１００の変形が防止される。例えば方向Ａに沿って棚ユニット１２０が揺れるのが防止される（図２及び図３参照）。
【００４３】
また、本実施形態によると、斜交い部材１０２及びフレーム部材１１１のいずれも図３においてバッファ１００の左端近傍に配置されており、バッファ１００の右端近傍にはフレーム部材１１２が配置されている。したがって、バッファ１００の右端に斜交い部材１０２やフレーム部材１１１が配置されている場合と比べて、棚ユニット１２０上の容器９３の載置領域からバッファ１００の右端までの距離を短くすることができる。したがって、図３の破線９９９に示されているように、バッファ１００上の容器９３に近接した範囲に製造装置等を配置することが可能である。
【００４４】
また、本実施形態によると、全ての位置合わせ用の突起１２６がフレーム部材１２１及び１２２上に固定されている。そして、図４において中２つのボルト１３１を締めたり外したりすることによって、フレーム部材１２１及び１２２のみをフレーム部材１１３に着脱することができる。したがって、容器９３の載置位置を軌道９２に沿った方向（方向Ａ）に関して調整する際には、フレーム部材１２１、１２２及び１２５を互いに固定したフレームユニットを組み立て、かかるフレームユニットを位置合わせしてフレーム部材１１３に固定することにより、全ての載置位置に関して位置合わせを完了することができる。これによって、載置位置ごとに位置合わせ用の突起を位置合わせして固定する場合と比べて、位置合わせの作業が簡易且つ速やかに完了する。また、一旦フレーム部材１２１〜１２５をバッファ１００に固定した後に位置合わせをする場合にも、フレーム部材１２１、１２２及び１２５からなるフレームユニットのみをフレーム部材１１３から取り外し、軌道９２に沿ってスライドして再びフレーム部材１１３に固定することにより、全ての載置位置に関して位置合わせが完了する。したがって、載置位置を再調整する場合などの作業が簡易且つ速やかに完了する。
【００４５】
また、本実施形態によると、転落防止板１０３が棚ユニット１２０上に設置されている。これによって、棚ユニット１２０上に載置された容器９３が、棚ユニット１２０から下方へと転落するのが防止される。
【００４６】
また、本実施形態によると、ナット１４２を緩め、ボルト頭１４１ａを空洞９２ｂ内で軌道９２に沿って移動させることにより、フレーム部材１１４を軌道９２に沿って移動させることができる（図５参照）。これによって、固定ユニット１１０を軌道９２に沿って移動させることができ、バッファ１００を軌道９２に固定する際の位置合わせを容易に行うことが可能になっている。
【００４７】
＜変形例＞
以上は、本発明の好適な実施形態についての説明であるが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された範囲の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【００４８】
例えば、上述の実施形態においては、固定ユニット１１０が軌道９２に固定されているが、固定ユニット１１０が直接天井９９に固定されていてもよい。
【００４９】
また、上述の実施形態において、フレーム部材１１１〜１１４及び１２１〜１２５の一部は棒形状を有している。しかし、それぞれ一方向に沿って長尺に延在する形状を有しており、互いに離隔するように固定することでバッファを構成可能であれば、どのような形状を有していてもよい。例えば板形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施形態に係るバッファの側面図及びバッファの周辺図である。
【図２】図１のバッファの斜視図である。
【図３】図１のバッファの正面図である。
【図４】図４（ａ）は図１〜図３のバッファを構成する一のフレーム部材の長さ方向に垂直な縦断面図であり、図４（ｂ）は図３のＩＶ−ＩＶ線に沿ったバッファの縦断面図である。
【図５】図３の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である。
【符号の説明】
【００５１】
９１    搬送台車
９２    軌道
９３    容器
９９    天井
１００  バッファ
１０２  斜交い部材
１０３  転落防止板
１１０  固定ユニット
１１１〜１１４  フレーム部材
１２０  棚ユニット
１２０ａ〜１２０ｃ  貫通領域
１２１〜１２５  フレーム部材
【図１】
2008247561.tif 000003
【図２】
2008247561.tif 000004
【図３】
2008247561.tif 000005
【図４】
2008247561.tif 000006
【図５】
2008247561.tif 000007