(57)【要約】【課題】定盤に対する取り付け作業が容易であって、製造の無駄を低減できる被加工物保持枠材およびそれを用いた被加工物保持具を提供する。【解決手段】一対の真っ直ぐな分割枠材６，７；８，９の組を、少なくとも二組備え、一方の組の分割枠材６，７は、定盤から突出する複数の位置決めピン１６それぞれに嵌合する位置決め穴１２を有し、各分割枠材６〜９の両端部には、一方の組の分割枠材６，７を、他方の組の分割枠材８，９と連結して被加工物を保持する保持凹部１５を構成するための凸状または凹状の連結部１３，１４がそれぞれ形成されている。【選択図】図３
2008137108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置の定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材において、
一対の真っ直ぐな分割枠材の組を、少なくとも二組備え、少なくとも一方の組の分割枠材は、前記定盤から突出する複数の位置決めピンそれぞれに嵌合する位置決め穴を有し、
各分割枠材の両端部には、一方の組の分割枠材を、他方の組の分割枠材と連結するための連結部が形成されていることを特徴とする被加工物保持枠材。
【請求項２】
一方の組の一対の分割枠材が、互いに平行に配置されて横枠部とされるとともに、他方の組の一対の分割枠材が、前記一方の組の分割枠材に直交する方向に、互いに平行に配置されて縦枠部とされ、前記各分割枠材の対向面によって、被加工物を取り囲む保持凹部が構成され、
前記加工装置が前記被加工物を研磨加工するものである請求項１に記載の被加工物保持枠材。
【請求項３】
前記一方の組および前記他方の組に加えて、一対の真っ直ぐな分割枠材からなる追加の組を備え、
前記追加の組は、その分割枠材を、前記横枠部または前記縦枠部として互いに平行に配置したときの対向面の間隔が、前記一方の組および前記他方の組の分割枠材の対向面の間隔と異なるものであり、
前記一方の組または前記他方の組の分割枠材が、前記追加の組の分割枠材に交換されて前記保持凹部のサイズが変更される請求項２に記載の被加工物保持枠材。
【請求項４】
一方の組の分割枠材は、凸状の前記連結部を有し、他方の組の分割枠材は、前記凸状に対応した凹状の前記連結部を有し、前記凸状の連結部と前記凹状の連結部とが嵌合されて連結される請求項１ないし３のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材。
【請求項５】
各分割枠材は、一端部に凸状の連結部を、他端部に凹状の連結部をそれぞれ有し、前記定盤の回転方向側に凸状の連結部が、回転方向とは逆側に凹状の連結部が位置するように配置される請求項１ないし３のいずれか１項に記載の被加工保持枠材。
【請求項６】
一方の組の分割枠材および他方の組の分割枠材は、互いに嵌め合わされる段差状の前記連結部をそれぞれ有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材。
【請求項７】
一方の組の分割枠材および他方の組の分割枠材は、互いに係止される鉤型の前記連結部をそれぞれ有する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材。
【請求項８】
一方の組の分割枠材は、任意形状に切り欠かれた前記連結部を有し、他方の組の分割枠材は、前記任意形状の前記連結部を有し、前記他方の組の連結部が、前記一方の組の連結部に嵌め込まれて連結される請求項１ないし３のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材。
【請求項９】
前記位置決めピンの形状が円柱状であり、
前記位置決め穴の形状が矩形状である請求項１ないし８のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材。
【請求項１０】
前記定盤上に固定されて前記被加工物の裏面を吸着保持するバッキング材と、前記請求項１ないし９のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材とを備えることを特徴とする被加工物保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の被加工物の外周を囲むようにして保持する被加工物保持枠材およびそれを用いた被加工物保持具に関し、更に詳しくは、研磨加工される被加工物を保持するのに好適な被加工物保持枠材および被加工物保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工装置、例えば、研磨装置には上下方向に相対回転可能に対向配置された一対の定盤を用いて被加工物を研磨加工するものがある（例えば、特許文献１参照）。このような研磨装置において、ガラス基板等の被加工物を研磨加工するに際しては、被加工物はその裏面側が保持具により、例えば下側定盤に保持される。被加工物の被加工面（表面）を研磨加工する研磨パッドは、対向する上側定盤に貼り付けられる。被加工物の表面を研磨加工するに際しては、被加工物の表面を研磨パッドに圧接させつつ両定盤間に研磨液を供給しながら両定盤を相対回転させるようになっている。
【特許文献１】特開平９−５７５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記研磨装置にあって、保持具は、下側定盤に配置されて被加工物の裏面を吸着保持するバッキング材に加えて、下側定盤に配置されて被加工物を、その外周を取り囲む形態で保持し、被加工物が研磨中に下側定盤から位置ずれしないよう保持する保持枠材を備える。保持枠材は下側定盤に両面テープで固定される。
【０００４】
被加工物が、矩形のガラス基板の場合には、例えば、図１５に示すように、矩形枠状の保持枠材３０が用いられる。
【０００５】
かかる保持枠材３０には、複数の位置決め穴３１が形成されており、下側定盤に出没自在に設けられている複数の位置決めピンに、前記位置決め穴３１をそれぞれ嵌合させて位置合わせして両面テープによって、下側定盤に固定するのであるが、大型のガラス基板では、その外周を取り囲む保持枠材３０も大きくなるために、保持枠材３０の下側定盤に対する取り付け作業が容易でないという難点がある。
【０００６】
このため、図１６に示すように、保持枠材を、平面視が「コ」の字形状に２分割したタイプもあるが、かかる２分割の分割枠材３３，３４では、横方向（図の左右方向）の中央部に、分割枠材３３，３４の突合せ部分が生じることになる。
【０００７】
この突合せ部分が、各分割枠材３３，３４の位置決め穴３５を、上述の位置決めピンに位置合わせして取り付ける際に加わる応力によって、歪んだり、反ったりして平行にならない場合がある。
【０００８】
例えば、分割枠材３３，３４の突合せ部分が、外方に広がっているような場合には、研磨加工中に被加工物を位置ずれすることなく保持するのが困難となり、また、前記突合せ部分が、内方に入り込んでいるような場合には、被加工物の外周面と、突合せ部分の端縁とが衝突して、被加工物にクラックや割れなどが発生するという課題がある。
【０００９】
更に、図１５の保持枠材３０および図１６の分割枠材３３，３４は、例えば、平板状の積層板から、矩形枠状あるいは「コ」の字状に切り出されて製造されるので、切り出された後の残余の積層板は、サイズ的に他の保持枠材に用いることができず、積層板が無駄になるという課題もある。
【００１０】
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、定盤に対する取り付け作業が容易であって、製造の無駄を低減できる保持枠材およびそれを用いた被加工物保持具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）本発明の被加工物保持枠材は、加工装置の定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材において、一対の真っ直ぐな分割枠材の組を、少なくとも二組備え、少なくとも一方の組の分割枠材は、前記定盤から突出する複数の位置決めピンそれぞれに嵌合する位置決め穴を有し、各分割枠材の両端部には、一方の組の分割枠材を、他方の組の分割枠材と連結するための連結部が形成されている。
【００１２】
本発明によると、被加工物保持枠材は、真っ直ぐな分割枠材によって構成されるので、従来の矩形枠状や「コ」の字状の屈曲部分を有する保持枠材に比べて、定盤への取り付け作業が容易となる。また、分割枠材を、例えば、平板状の積層板から切り出して製造する場合に、真っ直ぐに切り出せばよいので、矩形枠状あるいは「コ」の字状に切り出す従来例に比べて、無駄になる積層板の量を低減することができるとともに、切り出し寸法の精度が向上する。
【００１３】
（２）本発明の被加工物保持枠材の好ましい実施形態では、一方の組の一対の分割枠材が、互いに平行に配置されて横枠部とされるとともに、他方の組の一対の分割枠材が、前記一方の組の分割枠材に直交する方向に、互いに平行に配置されて縦枠部とされ、前記各分割枠材の対向面によって、被加工物を取り囲む保持凹部が構成され、前記加工装置が前記被加工物を研磨加工するものである。
【００１４】
なお、本明細書において「縦」「横」の意義は、作業者から見た縦横の意味に限定するものではなく、一方向と他方向とが直角に交わる場合のいずれか一方を縦方向、いずれか他方を横方向という意である。
【００１５】
この実施形態によると、保持凹部を形成する横枠部および縦枠部には、その途中に、従来の「コ」の字状の分割枠材のような突合せ部分が存在しないので、研磨加工中に、被加工物が枠材から飛び出したり、被加工物に割れやクラックが発生することを低減することができる。
【００１６】
（３）本発明の被加工物保持枠材の一つの実施形態では、前記一方の組および前記他方の組に加えて、一対の真っ直ぐな分割枠材からなる追加の組を備え、前記追加の組は、その分割枠材を、前記横枠部または前記縦枠部として互いに平行に配置したときの対向面の間隔が、前記一方の組および前記他方の組の分割枠材の対向面の間隔と異なるものであり、前記一方の組または前記他方の組の分割枠材が、前記追加の組の分割枠材に交換されて前記保持凹部のサイズが変更されるものである。
【００１７】
この実施形態によると、一方の組または他方の組の一対の分割枠材を、追加の組の一対の分割枠材に交換することによって、被加工物のサイズの変更に容易に対応できることになる。
【００１８】
（４）本発明の被加工物保持枠材の他の実施形態では、一方の組の分割枠材は、凸状の前記連結部を有し、他方の組の分割枠材は、前記凸状に対応した凹状の前記連結部を有し、前記凸状の連結部と前記凹状の連結部とが嵌合されて連結されるものである。
【００１９】
この実施形態によると、凸状の連結部と凹状の連結部とを嵌合させることによって、分割枠材を容易に連結することができる。
【００２０】
（５）本発明の被加工物保持枠材の一つの実施形態では、各分割枠材は、一端部に凸状の連結部を、他端部に凹状の連結部をそれぞれ有し、前記定盤の回転方向側に凸状の連結部が、回転方向とは逆側に凹状の連結部が位置するように配置されるものである。
【００２１】
定盤の回転による応力は、横枠部と縦枠部との連結部である角部に集中することになるが、この実施形態によると、回転による応力が、凸状の連結部を凹状の連結部に嵌合させる方向に作用して連結状態が安定したものとなる。
【００２２】
（６）本発明の被加工物保持枠材の他の実施形態では、一方の組の分割枠材および他方の組の分割枠材は、互いに嵌め合わされる段差状の前記連結部をそれぞれ有するものである。
【００２３】
この実施形態では、段差状の部分を突き合わせるだけで連結できるので、定盤への取り付け作業が一層容易となる。
【００２４】
（７）本発明の被加工物保持枠材の更に他の実施形態では、一方の組の分割枠材および他方の組の分割枠材は、互いに係止される鉤型の前記連結部をそれぞれ有するものである。
【００２５】
この実施形態では、鉤型の連結部同士を係止させて連結するので、ずれの少ない強固な連結が可能となる。
【００２６】
（８）本発明の被加工物保持枠材の一つの実施形態では、一方の組の分割枠材は、任意形状に切り欠かれた前記連結部を有し、他方の組の分割枠材は、前記任意形状の前記連結部を有し、前記他方の組の連結部が、前記一方の組の連結部に嵌め込まれて連結されるものである。
【００２７】
この実施形態によると、任意形状の連結部を、前記任意形状の切り欠き部分に嵌め込んで連結するので、ずれの少ない強固な連結が可能となる。
【００２８】
（９）本発明の被加工物保持枠材の他の実施形態では、前記位置決めピンの形状が円柱状であり、前記位置決め穴の形状が矩形状である。
【００２９】
この実施形態によると、定盤の円柱形状の位置決めピンに、矩形の位置決め穴を嵌合させて位置決めする際に、精度よく位置合わせして定盤に固定することができるので、後述のように、当該被加工物保持枠材に歪みや反り等が生じるのを抑制することができ、これによって、研磨加工中に、被加工物が枠材から飛び出したり、被加工物に割れやクラックが発生することを低減することができる。
【００３０】
（１０）本発明の被加工物保持具は、前記定盤上に固定されて前記被加工物の裏面を吸着保持するバッキング材と、前記（１）ないし（９）のいずれかの被加工物保持枠材とを備えるものである。
【００３１】
本発明の被加工物保持具によると、バッキング材によって被加工物の裏面を吸着保持するとともに、被加工物保持枠材によって被加工物の外周を保持して位置ずれを防止して被加工物を安定に保持することができ、しかも、被加工物保持枠材を定盤に固定する際の取り付け作業が容易になる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によると、被加工物保持枠材は、真っ直ぐな分割枠材によって構成されるので、従来の矩形枠状や「コ」の字状の屈曲部を有する保持枠材に比べて、定盤への取り付け作業が容易となる。
【００３３】
また、分割枠材を、例えば、平板状の積層板から切り出して製造する場合に、真っ直ぐに切り出せばよいので、矩形枠状あるいは「コ」の字状に切り出す従来例に比べて、無駄になる積層板の量を低減することができるとともに、切り出し寸法の精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施の形態に係る被加工物保持枠材および被加工物保持具について説明する。
【００３５】
（実施形態１）
図１を参照して、１は、本発明の実施の形態に係る被加工物保持具を示す図である。この被加工物保持具１は、研磨加工される被加工物であるガラス基板２を、加工装置である研磨装置の下側定盤３に保持するものである。
【００３６】
被加工物保持具１は、ガラス基板２の裏面を吸着保持するバッキング材４に加えて、ガラス基板２が位置ずれしないようにその外周を囲んで該ガラス基板２を保持する本発明に係る被加工物保持枠材５を備える。
【００３７】
バッキング材４と被加工物保持枠材５とは、共に、図示しない両面接着テープにより下側定盤３に接着されて固定されるようになっている。
【００３８】
バッキング材４は、例えば、ポリウレタン樹脂製の発泡シートで構成される。バッキング材４は、下側定盤３に固定されている被加工物保持枠材５で囲まれてなる保持凹部内に露出する下側定盤３に上記した両面接着テープにより接着される。
【００３９】
ガラス基板２はバッキング材４で裏面が保持され、被加工物保持枠材５でその外周が保持された状態で下側定盤３上に保持される。
【００４０】
研磨パッド１０は、下側定盤３の上方で対向配置されている上側定盤１１の下面に貼り付けられて保持されている。
【００４１】
以上の構成を備えた加工装置においては、下側定盤３と上側定盤１１との間への研磨砥粒を含む研磨液の供給と共に、両定盤３，１１の相対回転により、ガラス基板２の表面（被加工面）を研磨パッド１０により研磨することができる。
【００４２】
図２は、被加工物保持枠材５の平面図である。被加工物保持枠材５は、一対の分割枠材の組の二組を備えており、第１の組は、第１，第２の分割枠材６，７からなり、第２の組は、第３，第４の分割枠材８，９からなり、各分割枠材６〜９は、両端部を除いて真っ直ぐに延びる板状に形成される。
【００４３】
第１，第２の分割枠材６，７は、同一形状であって、折り返した状態、すなわち、線対称に配置され、第３，第４の分割枠材８，９も同一形状であって、線対称に配置される。
【００４４】
第１の組の各分割枠材６，７には、下側定盤に、出没自在に設けられた円柱状の位置決めピンに対応する円形の位置決め穴１２が二箇所にそれぞれ形成されている。また、第１の組の各分割枠材６，７の両端部には、第２の組の各分割部材８，９を連結するための連結部１３がそれぞれ形成されている。各連結部１３は、平面視で矩形状に突出した凸状に形成されている。
【００４５】
第２の組の各分割枠材８，９の両端部には、第１の組の各分割枠材６，７の凸状の連結部１３に対応した凹状の連結部１４がそれぞれ形成されている。
【００４６】
第１の組の第１，第２の分割枠材６，７は、互いに平行に配置されて横枠部を構成し、第２の組の第３，第４の分割枠材８，９は、第１，第２の分割枠材６，７に直交する方向に、互いに平行に配置されて縦枠部を構成している。
【００４７】
これによって、各分割枠材６〜９の対向面間には、矩形状の保持凹部１５が構成され、この保持凹部１５は、例えば、縦横寸法が１ｍ×１ｍ以上の大型矩形状のガラス基板を嵌め込んで保持することができる程度の大きさである。
【００４８】
各分割枠材６〜９は、ポリカーボネート、ユニレート、ポリエーテルケトン樹脂、結晶化ポリエステル（ガラス繊維入り）ユニレート、高分子量ポリエチレン等からなる単層の高分子材料で構成してもよいし、あるいは、布や紙、アラミド繊維、ガラス、テトロンエポキシ、カーボンファイバー等からなる繊維基材と、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂等の樹脂とを、何層か積層してプレス成形した積層板で構成してもよい。
【００４９】
各分割枠材６〜９の厚みは、例えば、数ｍｍ程度である。
【００５０】
各分割枠材６〜９は、次のようにして、下側定盤に取り付けられる。
【００５１】
まず、下側定盤から、複数の位置決めピンを突出させ、例えば、第１の組の第１の分割枠材６の各位置決め穴１２を、図３（ａ）に示すように、対応する各位置決めピン１６に嵌合させて位置決めし、同様に、第２の分割枠材７の各位置決め穴１２を、対応する各位置決めピン１６に嵌合させて位置決めし、両面接着テープによって、第１、第２の分割枠材６，７を下側定盤に接着固定する。
【００５２】
次いで、第１，第２の分割枠材６，７の凸状の連結部１３，１３に対して、第３，第４の分割枠材８，９の凹状の連結部１４，１４を、外方から嵌合させて、図３（ｂ）に示すように、第３，第４の分割枠材８，９を位置決めし、両面接着テープによって、第３，第４の分割枠材８，９を下側定盤に接着固定する。
【００５３】
この位置決め固定の後は、第１，第２の各分割枠材６，７の位置決め穴１２から各位置決めピン１６をそれぞれ退出させて下側定盤内部に退避させる。
【００５４】
この実施形態では、真っ直ぐに延びる各分割枠材６〜９を、下側定盤に位置合わせして固定するので、上述の図１５に示す矩形枠状の屈曲した保持枠材３０や図１６に示す「コ」の字状に屈曲した分割枠材３３，３４に比べて、取り付け作業が容易となる。
【００５５】
また、図１６に示す２分割タイプの分割枠材３３，３４では、横枠部の中央付近で分割枠材３３，３４の突合せ部分が生じ、この突合せ部分が、平行にならないときに、被加工物が位置ずれしたり、あるいは、被加工物にクラックや割れが生じるが、この実施形態の分割枠材６〜９では、突合せ部分が生じないので、かかる問題も生じない。
【００５６】
さらに、この実施形態の分割枠材６〜９は、直線状に形成されているので、例えば、平板状の積層板から、直線状に切り出して製造することができ、これによって、矩形枠状の保持枠材３０や「コ」の字状の分割枠材３３，３４を切り出して製造するのに比べて、無駄になる積層板の量を大幅に低減することができるとともに、切り出しの際の寸法精度が向上する。
【００５７】
更に、この実施形態では、二組の分割枠材の一方の組を交換することにより、サイズの異なるガラス基板を保持することも可能である。
【００５８】
すなわち、図４（ａ）に示される第２の組の第３，第４の分割枠材８，９を、例えば、図４（ｂ）に示すように、追加の組としての第３の組の第５，第６の分割枠材１８，１９に交換することにより、保持凹部１５−１の横方向のサイズを、第３，第４の分割枠材８，９を用いたときの保持凹部１５に比べて、小さくすることができる。
【００５９】
すなわち、第３の組の第５，第６の分割枠材１８，１９は、第２の組の第３，第４の分割枠材８，９に比べて、その幅が、内方に広く形成されており、これによって、保持凹部１５−１の横方向のサイズを小さくすることができる。
【００６０】
このように、位置決めされる第１の組の分割枠材６，７は、そのままで、第２の組の分割枠材８，９を、第３の組の分割枠材１８，１９に交換するだけで、サイズの異なるガラス基板を保持するこができる。
【００６１】
したがって、保持すべきガラス基板のサイズが多種に亘るときには、サイズに応じて、上述の第３の組に加えて、更に多くの追加の組の分割枠材を準備すればよい。
【００６２】
なお、図４では、第２の組の分割枠材８，９を交換したけども、他の実施形態として、第１の組の分割枠材６，７を交換するようにしてもよい。
【００６３】
（実施例）
以下本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明する。
【００６４】
上述の図２の被加工物保持枠材６〜９を実施例とし、図１６の従来例の２分割の分割枠材３３，３４を比較例とし、ガラス基板を保持して研磨を行なってガラス基板のクラックの発生頻度を評価した。
【００６５】
実施例および比較例のいずれの枠材もガラス繊維強化エポキシ樹脂板で構成し、バッキング材にはニッタ・ハース社製Ｒ６０１を使用した。研磨パッドはニッタ・ハース社製ＭＨＣ１４Ｂを用い、研磨圧力３００ｇｆ／ｃｍ２下で５分３０秒（内１５秒間水のみ）間ライムガラス（厚さ  ０．７ｍｍ）の研磨を行なった。
【００６６】
その結果、クラックの発生頻度は、実施例では２．０％であり、比較例では２．３％であった。また、実施例では、比較例に比べて、ガラスの飛び出しや割れなども減少した。
【００６７】
このように実施例の被加工物保持枠材では、従来例に比べて、ガラス基板の不良率が改善されていることが分かる。
【００６８】
（実施形態２）
上述の実施形態１では、第１の組の分割枠材６，７の位置決め穴１２の形状は、円柱状の位置決めピン１６に対応した円形に形成されたけれども、この実施形態２では、図５に示すように、第１の組の分割枠材６−１，７−１の位置決め穴１２−１を、正方形に形成している。  
【００６９】
上述の実施形態１の円形の位置決め穴１２は、例えば、細いドリルの刃を分割枠材６，７に突き刺して円周に沿って１周移動させて円形にくり抜き加工することにより形成している。
【００７０】
この場合、円周に沿うくり抜き加工開始点付近と、当該くり抜き加工開始点に戻るくり抜き加工終了点付近とでは、ドリルの刃先にぶれが生じるのを避け難く、位置決め穴１２を真円形に形成することが困難であった。そのため、くり抜き加工開始点とくり抜き加工終了点付近において位置決め穴の形状が歪んで形成されてしまい位置決め穴１２は真円形ではなく楕円形等の歪んだ非円形の形状に仕上げられてしまっている。
【００７１】
このように非円形の形状を有する位置決め穴１２に向けて位置決めピン１６を進入させる際には、位置決め穴１２の穴内周面に位置決めピン１６の外周面が強く押し当たりつつ進入させられて、分割枠材６，７には、位置決めピン１６から加わる強い力により歪んだり反り返ったりする等の変形が発生する。
【００７２】
これに対して、この実施形態では、位置決め穴１２−１を、正方形状に形成している。この位置決め穴１２−１は、実施形態１と同様に、例えば、細いドリルの刃先を各分割枠材６−１，７−１に突き刺して位置決め穴の形状である正方形の各辺に順次沿うように移動させるくり抜き加工することにより、各分割枠材に位置決め穴を形成する。この加工に際しては、上述のようにくり抜き加工開始点付近とくり抜き加工終了点付近においてドリルの刃先のぶれを回避することが困難である。
【００７３】
このため、図６の一部拡大図に示すように、位置決め穴１２−１の内周面における４つの隅部のうち任意の１つの隅部１２−１ａをくり抜き加工開始点とし、この隅部をくり抜き加工終了点としてドリルの刃先で位置決め穴１２−１を正方形の形状にくり抜き加工すると、前記隅部１２−１ａは、ドリルの刃先のぶれによって歪んだ形状となってしまう可能性が極めて高くなる。
【００７４】
しかしながら、実施の形態では位置決めピン１６の円柱状の外周面を位置決め穴１２−１の正方形状の内周面に嵌合させて位置決めする際には、位置決めピン１６は、その外周が位置決め穴１２−１の任意の隅部を除いた内周面に当接することにより、位置決めされる。その結果、前記隅部１２−１ａは前記位置決めに殆ど寄与しないので、隅部１２−１ａが歪んだ形状であっても前記位置決めの精度に影響しなくなる。
【００７５】
位置決め穴１２−１の正方形状の内周面が、前記任意の一つの隅部１２−１ａを除いて高精度に加工されているので、位置決め穴１２−１に位置決めピン１６を嵌合させる際に、歪んだ形状の位置決め穴１２を、位置決めピン１６に嵌合させたときのように、無理に嵌合させる必要がなくなる。これによって、分割枠材６−１，７−１に無理な力が加わって歪みや反りが生じるといったことを無くすことができる。
【００７６】
その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。
【００７７】
（その他の実施形態）
各分割枠材の連結部は、上述の実施形態に限らす、種々の形態を採用することができる。
【００７８】
例えば、図７に示すように、一方の分割枠材２０の一方の連結部２１を、幅方向（図の上下方向）の中央部で凸状に突出させる形状とし、他方の分割枠材２２の一方の連結部２２を対応する凹状としてもよく、また、図８に示すように、一方の分割枠材２０−１の凸状の連結部２１−１および他方の分割枠材２２−１の凹状の連結部２３−１の各隅部を面取り加工してもよく、更に、図９に示すように、凸状および凹状の連結部２１−２，２３−２を、複数形成してもよい。
【００７９】
また、凸状の連結部および凹状の連結部は、矩形状に限らず、例えば、図１０に示すように、三角状の連結部２１−３，２３−３としてもよい。
【００８０】
また、図１１に示すように、各分割枠材２０−４，２２−４の連結部２１−４，２３−４を、段差状に切り欠いて、段差状の部分を突き合わせて連結するようにしてもよく、あるいは、図１２に示すように、各分割枠材２０−５，２２−５の連結部２１−５，２３−５を、Ｌ状に屈曲した鉤型に形成し、鉤型の連結部２１−５，２３−５同士を係止させるようにしてもよく、あるいは、図１３に示すように、一方の分割枠材２０−６の連結部２１−６を、任意の形状とし、他方の分割枠材２２−６の連結部２３−６を、前記任意の形状に切欠き、連結部２１−６を、連結部２３−６に嵌め込んで連結するようにしてもよい。
【００８１】
また、上述の図３（ａ）に対応する図１４に示すように、各分割枠材６−２，７−２；８−１，９−１は、凸状の連結部１３および凹状の連結部１４をそれぞれ有し、矢符Ａで示される下側定盤の回転方向側に、凸状の連結部１３が、回転方向の逆側に凹状の連結部１４が位置するように配置してもよい。
【００８２】
この場合、下側定盤の回転による応力は、各分割枠材６−２，７−２；８−１，９−１の連結部１３，１４に集中することになるが、この実施形態によると、回転による応力が、凸状の連結部１３を凹状の連結部１４に嵌合させる方向に作用して連結状態が安定したものとなる。
【００８３】
なお、互いに連結される連結部の端面を傾斜面とし、傾斜面同士を突き合わせるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明は、液晶ディスプレイ用のガラス基板などの研磨において、生産性の向上に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】図１は本発明の実施の形態に係る被加工物保持具によって被加工物を下側定盤上に保持した状態の断面図である。
【図２】図２は被加工物保持枠材の平面図である。
【図３】図３は被加工物保持枠材の取り付け手順を説明するための平面図である。
【図４】図４は分割枠材の交換によるサイズの変更を説明するための平面図である。
【図５】図５は他の実施形態の被加工物保持枠材の平面図である。
【図６】図６は位置決め穴の形成を説明するための図である。
【図７】図７は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図８】図８は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図９】図９は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図１０】図１０は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図１１】図１１は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図１２】図１２は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図１３】図１３は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図１４】図１４は本発明の連結部の他の例を示す平面図である。
【図１５】図１５は従来例の被加工物保持枠の平面図である。
【図１６】図１６は他の従来例の被加工物保持枠材の平面図である。
【符号の説明】
【００８６】
１  被加工物保持具
２  ガラス基板（被加工物）
３  下側定盤
４  バッキング材
５  被加工物保持枠材
６  第１分割枠材
７  第２分割枠材
８  第３分割枠材
９  第４分割枠材
１２  位置決め穴
１３，１４  連結部
１６  位置決めピン
１８  第５分割枠材
１９  第６分割枠材
【図１】
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【図２】
2008137108.tif 000004
【図３】
2008137108.tif 000005
【図４】
2008137108.tif 000006
【図５】
2008137108.tif 000007
【図６】
2008137108.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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