(57)【要約】【課題】電磁変換特性と相関の良い磁性粉末の分散状態の評価方法を提供する。【解決手段】周期的信号が記録された基準試料を基準プローブで走査して得られる第１の周期的スペクトルの第１の半値幅Ｗ１と、第１の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第１のパワスペクトルのＳ１／Ｎ１比とを求め、基準試料を測定プローブで走査して得られる第２の周期的スペクトルの第２の半値幅Ｗ２が第１の半値幅Ｗ１と同等となる参照測定視野範囲を求めるとともに、第２の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第２のパワスペクトルのＳ２／Ｎ２比がＳ１／Ｎ１比と同等となる測定プローブの参照リフト高さを求め、測定プローブで磁性層を走査するときの走査範囲を参照測定視野範囲に、測定プローブのリフト高さを参照リフト高さに設定し、得られる磁気力顕微鏡像の磁気クラスタサイズを評価する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子磁性粉末が結合剤中に分散された磁性層の微粒子磁性粉末の分散状態を磁気力顕微鏡により評価する塗布型磁気記録媒体の評価方法であって、
周期的信号が記録された基準試料を基準プローブで走査して第１の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得し、
前記第１の周期的スペクトルのピークの第１の半値幅Ｗ１を求めるとともに、前記第１の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第１のパワスペクトルのピーク値Ｓ１とバックグラウンドノイズの積分値Ｎ１との比（Ｓ１／Ｎ１比）を求め、
前記基準試料を測定プローブで走査して第２の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得し、
前記第２の周期的スペクトルのピークの第２の半値幅Ｗ２が前記第１の半値幅Ｗ１と同等となる参照測定視野範囲を求めるとともに、前記第２の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第２のパワスペクトルのピーク値Ｓ２とバックグラウンドノイズの積分値Ｎ２との比（Ｓ２／Ｎ２比）が、前記Ｓ１／Ｎ１比と同等となる測定プローブの参照リフト高さを求め、
交流消磁状態の前記磁性層を前記測定プローブで走査するにあたって、走査範囲を前記参照測定視野範囲に設定するとともに、測定プローブのリフト高さを前記参照リフト高さに設定し、
前記走査範囲及びリフト高さで測定された前記磁性層の磁気力顕微鏡像の磁化強度データから磁化強度の中心値Ｃと標準偏差δとを算出し、
前記磁化強度の中心値Ｃと標準偏差δとの和（Ｃ＋δ）より大きな磁化強度を有する磁気クラスタを２値化処理することにより表示し、
前記磁気クラスタの大きさを測定して微粒子磁性粉末の分散状態を評価する評価方法。
【請求項２】
前記磁性層は静電除去処理されている請求項１に記載の評価方法。
【請求項３】
前記中心値Ｃ及び標準偏差δを算出する磁化強度データとして、走査初期から一定距離の磁化強度データは除外する請求項１または２に記載の評価方法。
【請求項４】
前記測定プローブのリフト高さを走査初期において前記参照リフト高さよりも高くし、走査初期から一定距離走査後に前記参照リフト高さに低減するよう設定する請求項１〜３のいずれか１項に記載の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微粒子磁性粉末が結合剤中に分散された磁性層を有する塗布型磁気記録媒体の評価方法に関し、より詳しくは磁性層中の微粒子磁性粉末の分散状態を磁気力顕微鏡により評価する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ビデオテープ、コンピュータテープ等の磁性粉末が結合剤中に分散された磁性層を有する塗布型磁気記録媒体において、電磁変換特性には磁性層中の磁性粉末の分散状態が大きく影響する。すなわち、電磁変換特性を向上するためには、磁性層中の磁性粉末を一次粒子近くまで分散させて、高充填、高配向させ、磁性粉末の凝集（磁気クラスタ）に起因する媒体ノイズを低減する必要がある。
【０００３】
磁性粉末の分散状態を評価する方法としては、残留磁束密度、角型等の磁気特性を評価する方法があるが、このような磁気特性は磁性層全体の磁化量を測定するマクロ的な評価であるため、微細な磁性粉末の分散状態の評価としては不十分である。
【０００４】
そこで、磁性粉末の分散状態の評価の１つとして、カンチレバーの先端に取り付けられた磁化された測定プローブで磁性層表面を走査して測定プローブに作用する引力、斥力を測定し、磁性層の磁気的な状態を画像化した磁気力顕微鏡像を観察することが行われている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
上記磁気力顕微鏡を用いた評価方法によれば、磁性層の微細な範囲の磁化強度の変化を観察することができるため、磁気特性よりも詳細な磁性粉末の分散状態を評価することができる。
【特許文献１】特開２００４−１０３１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、磁気力顕微鏡像の測定にあたっては、測定試料の表面形状の情報と磁気情報との分離を良くするため、まず測定プローブを測定試料表面に接触させた状態で測定視野の一定範囲を走査することにより表面形状データを取得する。そして、測定試料表面から測定プローブをＺ軸方向に一定のリフト高さ離間させた状態で、取得した表面形状のトレースに従って測定プローブを変化させながら測定プローブと磁性体との間に作用する磁気力を検出している。このため、測定回数に従い測定プローブの先端形状及び磁気特性が劣化して、分解能及び感度が低下する。従って、通常測定プローブは一定回数使用した後、新たな測定プローブと取り換えられ、劣化の少ない状態で使用される。
【０００７】
しかしながら、同一の磁性材料を用いて作製された測定プローブであっても、完全に同一の磁気特性を有する測定プローブを作製することや、先端形状が完全に同一の測定プローブを作製することは困難である。このため、市販プローブのスペックは、一定の範囲内の磁気特性及び先端曲率直径で定められており、測定プローブごとでそれぞれ分解能及び感度が異なっている。
【０００８】
一方、塗布型磁気記録媒体においては、記録密度の向上にあたり、短波長記録に対応するため、年々磁性粉末の微粒子化が図られており、現在では長軸が０．１μｍ以下の微粒子磁性粉末が用いられている。また、高充填、高配向の磁性層を形成するため、磁性層中で微粒子磁性粉末が高度に分散されている。従って、磁性粉末の凝集体である磁気クラスタも微小化していることから、微粒子磁性粉末を有する磁性層中の磁気クラスタを観察するためには、微細な磁化強度の変化を検知する必要がある。また、塗布型磁気記録媒体の磁性層は磁性粉末と結合剤等の固形材料とが溶剤中に分散された磁性塗料を基材上に塗布することにより形成されるため、その表面形状はハードディスク等の磁気記録媒体のそれに比べて粗い。このため、表面形状に起因するノイズの影響が大きく、測定プローブを共振周波数近傍で加振し、磁性層からの磁気力の作用による振動数の変化を測定する場合、正確な磁気力の測定が困難となる。
【０００９】
従来の粒径の大きな磁性粉末を含有し、磁性粉末の分散状態が低い磁性層は磁気クラスタも大きいため、上記のような測定プローブ間の分解能及び感度の相違による影響も少ないが、微小な磁気クラスタの相違まで評価する必要がある場合には、前記相違による測定値のズレが大きくなる。このため、電磁変換特性と相関のとれた微粒子磁性粉末の分散状態の情報が得られ難い。
【００１０】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、磁気力顕微鏡により微粒子磁性粉末が結合剤中に分散された磁性層中の微粒子磁性粉末の分散状態を評価する場合に、測定プローブの特性の相違による測定値のズレを低減しうる評価方法を提供し、もって電磁変換特性と相関のとれた微粒子磁性粉末の分散状態を評価することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、微粒子磁性粉末が結合剤中に分散された磁性層の微粒子磁性粉末の分散状態を磁気力顕微鏡により評価する塗布型磁気記録媒体の評価方法であって、
周期的信号が記録された基準試料を基準プローブで走査して第１の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得し、
前記第１の周期的スペクトルのピークの第１の半値幅Ｗ１を求めるとともに、前記第１の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第１のパワスペクトルのピーク値Ｓ１とバックグラウンドノイズの積分値Ｎ１との比（Ｓ１／Ｎ１比）を求め、
前記基準試料を測定プローブで走査して第２の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得し、
前記第２の周期的スペクトルのピークの第２の半値幅Ｗ２が前記第１の半値幅Ｗ１と同等となる参照測定視野範囲を求めるとともに、前記第２の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第２のパワスペクトルのピーク値Ｓ２とバックグラウンドノイズの積分値Ｎ２との比（Ｓ２／Ｎ２比）が、前記Ｓ１／Ｎ１比と同等となる測定プローブの参照リフト高さを求め、
交流消磁状態の前記磁性層を前記測定プローブで走査するにあたって、走査範囲を前記参照測定視野範囲に設定するとともに、測定プローブのリフト高さを前記参照リフト高さに設定し、
前記走査範囲及びリフト高さで測定された前記磁性層の磁気力顕微鏡像の磁化強度データから磁化強度の中心値Ｃと標準偏差δとを算出し、
前記磁化強度の中心値Ｃと標準偏差δとの和（Ｃ＋δ）より大きな磁化強度を有する磁気クラスタを２値化処理することにより表示し、
前記磁気クラスタの大きさを測定して微粒子磁性粉末の分散状態を評価する評価方法である。
上記評価方法によれば、基準プローブの分解能に基づいて、各測定プローブの分解能、すなわち走査範囲が設定され、また基準プローブの感度に基づいて各測定プローブの感度、すなわち測定プローブのリフト高さが設定される。これにより、いずれの測定プローブで磁性層を走査する場合にも、分解能及び感度を基準プローブを基準とする同等の条件下で磁気力顕微鏡像を取得することができる。このため、測定プローブごとの先端形状及び磁気特性の相違による測定値のズレを低減することができる。また、交流消磁状態の磁性層を測定試料として用い、その磁気力顕微鏡像を取得することにより、未磁化状態の微粒子磁性粉末の分散状態を観察することができる。そして、磁化強度の中心値Ｃと標準偏差δとの和（Ｃ＋δ）より大きな磁化強度を有する部分は他の部分に比べて微粒子磁性粉末が凝集した部分であるから、該部分を磁気クラスタとしてその大きさを評価することにより微粒子磁性粉末の分散状態を評価することができる。
【００１２】
上記磁性層は、静電除去処理されていることが好ましい。塗布型磁気記録媒体の磁性層は帯電しているため、帯電ノイズが得られる磁化強度に影響する場合がある。このため、上記評価方法によれば、帯電ノイズの影響の少ない状態で測定することができる。
【００１３】
また、上記中心値Ｃ及び標準偏差δを算出する磁化強度データとして、走査初期から一定距離の磁化強度データは除外することが好ましい。塗布型磁気記録媒体を測定試料とする場合、走査初期において磁化強度が大きく変動する傾向がある。従って、上記評価方法によれば、測定プローブ間で測定値のズレが少ない中心値Ｃ及び標準偏差δを算出することができる。
【００１４】
さらに、上記測定プローブのリフト高さは、走査初期において前記参照リフト高さよりも高くし、走査初期から一定距離走査後に前記参照リフト高さに低減するよう設定することが好ましい。上記評価方法によれば、測定プローブ間で測定値のズレが少ない中心値Ｃ及び標準偏差δを算出することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の評価方法によれば、測定プローブの特性の相違による測定値のズレを低減することができる。このため、微細な範囲の微粒子磁性粉末の分散状態を正確に評価することができる。従って、電磁変換特性と相関性の良い微粒子磁性粉末の分散状態を評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、磁気力顕微鏡の概略構成図である。この磁気力顕微鏡は、測定試料２が配置される試料台１と、測定試料２を走査するプローブ３が先端に取り付けられたカンチレバー４と、カンチレバー４を所定の共振周波数近傍（５０〜８０ｋＨｚ）で加振させるピエゾ加振器５と、プローブ３の変位を検出する変位検出器６とを備えている。変位検出器６は、例えばレーザ光をカンチレバー４のプローブ３が取り付けられている反対面に照射し、プローブ３を測定試料１上でＹ軸方向に走査させたときに測定試料２の磁場によるカンチレバー４の振動数の増減をレーザ光の反射光量の変化によって検出する機能を備えている。なお、磁気力顕微鏡像の測定にあたっては、１回目の走査でプローブ３を測定試料２に接触させた状態で走査することにより測定試料２の表面形状データを取得し、次に２回目の走査でプローブ３をＺ軸方向に一定高さリフトした状態で得られた測定試料の表面形状に従って走査する。
【００１７】
本実施の形態においては、まず、周期的信号が記録された基準試料を試料台に設置し、この基準試料を基準プローブで走査することにより、第１の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得する。周期的信号が記録された基準試料としては、例えば、一定の周波数の正弦波信号や矩形波信号が記録された磁気記録媒体を用いることができ、特に、ハードディスクは表面性に優れているため、表面形状に起因するノイズが低く、また磁区が明確であるため好ましい。なお、同一の基準試料であれば、半値幅とＳ／Ｎ比の測定には異なる周期的信号が記録された試料を用いてもよい。例えば、半値幅を測定する場合に正弦波信号を記録した基準試料を用い、Ｓ／Ｎ比を測定する場合に矩形波信号が記録された基準試料を用いてもよい。基準プローブとしては、先端形状及び磁気特性の劣化の少ないプローブが用いられる。例えば、ハードディスクが基準試料として用いられる場合、塗布型磁気記録媒体用の測定プローブと同種のプローブで上記劣化の少ないプローブを基準プローブとして用いることができる。このようなプローブとしては、先端曲率半径が２５〜５０ｎｍで、保磁力が約４００Ｏｅ、磁気モーメントが約１×１０−１３ｅｍｕのプローブが挙げられる。なお、この基準プローブを走査する場合の測定視野範囲は、通常５μｍ四方に、リフト高さは、１５ｎｍ程度に設定される。
【００１８】
図２は、基準プローブで矩形波信号が記録された基準試料（ハードディスク）を走査したときの磁気力顕微鏡像である。この取得した磁気力顕微鏡像の第１の周期スペクトルの各ピークの半値幅Ｗの平均値から第１の半値幅Ｗ１が求められる。図３は、図２に示される磁気力顕微鏡像の第１の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第１のパワスペクトルである。図２に示すように、磁気力顕微鏡像のスペクトルには表面性ノイズ等のノイズが重畳されている。このため、この第１の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第１のパワスペクトルのピーク値Ｓ１とバックグラウンドノイズの積分値Ｎ１とから基準プローブの基準試料に対するＳ１／Ｎ１比を求めることができる。バックグラウンドノイズの積分値Ｎ１は直流成分の周波数範囲を除く周波数範囲のノイズを積算することにより求められる値である。
【００１９】
磁気力顕微鏡像を測定する場合の分解能は、測定視野範囲である走査範囲、すなわちプローブでの測定点の検出頻度によって変動し、感度は、測定プローブに作用する磁気力を検知するための測定プローブのリフト高さよって変動する。従って、先端形状及び磁気特性の劣化の少ない基準プローブで周期的信号が記録された基準試料を走査して得られる磁気力顕微鏡像から基準プローブの基準試料に対する第１の半値幅Ｗ１とＳ１／Ｎ１比を求めることにより、基準プローブの基準試料に対する分解能及び感度が決定される。
【００２０】
次に、上記と同様にして基準試料を測定プローブで走査することにより、図２と同様の形状で周期の異なる第２の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得する。既述したように、先端形状及び磁気特性の相違により、各測定プローブの分解能及び感度は、測定プローブごとで異なる。このため、この測定プローブで基準試料を走査することにより得られる磁気力顕微鏡像の第２の周期的スペクトル及びそれをフーリエ変換することにより得られる第２のパワスペクトルは、各測定プローブの特性の相違から、通常それぞれで異なっている。従って、基準プローブの場合と同様にして、得られた第２の周期的スペクトルの各ピークの半値幅の平均値から第２の半値幅Ｗ２を求め、該第２の半値幅Ｗ２が上記で測定された第１の半値幅Ｗ１と同等となる測定視野範囲を決定する。また、第２の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第２のパワスペクトルのピーク値Ｓ２とバックグラウンドノイズの積分値Ｎ２とから測定プローブの基準試料に対するＳ２／Ｎ２比を求め、該Ｓ２／Ｎ２比が上記測定されたＳ１／Ｎ１比と同等となる測定プローブのリフト高さを決定する。
【００２１】
すなわち、上記のように測定プローブで基準試料を走査することによって得られる第２の半値幅Ｗ２及びＳ２／Ｎ２比が、基準プローブで基準試料を走査することによって得られる第１の半値幅Ｗ１及びＳ１／Ｎ１比と同等となる参照測定視野範囲及び測定プローブの参照リフト高さを決定し、各測定プローブの走査範囲及びリフト高さを参照測定視野範囲及び参照リフト高さに設定すれば、基準プローブの分解能及び感度を基準として測定プローブ間の先端形状及び磁気特性の相違による分解能及び感度の相違を調整することができる。従って、測定プローブを新たな測定プローブに取り換えた場合でも、分解能及び感度が同等の条件で微粒子磁性粉末の分散状態を測定することができ、これにより測定プローブ間の特性の相違による測定値のズレを低減することができる。各測定プローブ間で分解能及び感度を一致させるために、各測定プローブで測定された第２の半値幅Ｗ２及びＳ２／Ｎ２比は第１の半値幅Ｗ１及びＳ１／Ｎ１比と完全に一致させることが好ましいが、いずれも±５％以内であれば電磁変換特性と相関のよい磁気クラスタサイズを測定することができる。
【００２２】
次に、走査範囲を上記のようにして求められた参照測定視野範囲に、リフト高さを参照リフト高さに設定して、交流消磁状態の磁性層を測定プローブで走査する。磁化された磁性層は磁気的な作用により磁化強度が大きくなるため、交流消磁状態の磁性層を測定試料として用い、未磁化状態の微粒子磁性粉末の磁気力を測定することにより、磁性層中の微粒子磁性粉末の微細な分散状態を評価することができる。なお、上記磁性層は予め静電除去処理することが好ましい。塗布型磁気記録媒体の磁性層は帯電しているため、帯電ノイズが得られる磁気力顕微鏡像に影響する場合がある。このため、磁性層を静電除去処理することにより帯電ノイズの影響の少ない状態で測定することができる。
【００２３】
図４において、（ａ）は、測定プローブで磁性層を走査することにより得られた３次元の磁気力顕微鏡像であり、（ｂ）は、一走査における２次元の磁気力顕微鏡像である。測定試料は交流消磁状態の磁性層であるため、微粒子磁性粉末の分散状態により磁化強度が変位した磁気力顕微鏡像が得られる。このため、走査範囲における磁化強度データの中心値Ｃと標準偏差δの和（Ｃ＋δ）より大きな磁化強度を有する部分は、他の部分に比べて微粒子磁性粉末が凝集した磁気クラスタＫとして評価することができる。図５は、図４の磁気力顕微鏡像を２値化処理することにより磁気クラスタを表示した図である。図中、黒く見える部分が磁気クラスタを示している。従って、この磁気クラスタの大きさ（例えば、円相当径）を測定することにより、微粒子磁性粉末の凝集の大きさを評価することができる。
【００２４】
上記中心値Ｃ及び標準偏差δの算出にあたっては、塗布型磁気記録媒体を測定試料とする場合、走査初期において磁化強度が大きく変動する傾向があるため、走査初期から一定距離の磁化強度データは、中心値Ｃ及び標準偏差δを算出する磁化強度データから除外することが好ましい。また、上記と同様の理由により、走査初期の変動の大きな磁化強度データを除外するため、走査初期の測定プローブのリフト高さを参照リフト高さよりも高くし、走査初期から一定距離走査後に参照リフト高さに低減するよう設定してもよい。上記一定距離は、例えば走査距離の１０％程度に設定することが好ましい。
【実施例】
【００２５】
磁気力顕微鏡として、Ｎａｎｏ  Ｓｃｏｐｅ  III（デジタルインスツルメント社製）を用いて周波数検出法（走査速度：５μｍ／ｓｅｃ）で各測定を行った。基準プローブ、測定プローブはいずれもコバルトアロイコートを有するスペック内の市販プローブ（先端曲率半径：２５〜４０ｎｍ，保磁力：約４００Ｏｅ，磁気モーメント：約１×１０−１３ｅｍｕ）を用いた。
【００２６】
まず、基準プローブで周波数１μｍの矩形波信号を記録したハードディスクを走査することにより第１の周期的スペクトルを有する磁気力顕微鏡像を取得した（測定視野範囲：５μｍ四方，リフト高さ：１５ｎｍ）。この磁気力顕微鏡像の第１の半値幅Ｗ１及びＳ１／Ｎ１比は以下の通りである。
第１の半値幅Ｗ１：３００ｎｍ
Ｓ１／Ｎ１比：２１．０ｄＢ
【００２７】
次に、測定プローブとして、３つの測定プローブを用い、各測定プローブで基準プローブと同じ測定視野範囲及びリフト高さで基準試料を走査した。このときの第２の半値幅Ｗ２及びＳ２／Ｎ２比は以下の通りである。
【００２８】
【表１】
2008293603.tif 000003
上記表から分かるように、各測定プローブは、同種のプローブであるが、得られる半値幅及びＳ／Ｎ比が異なっている。このため、各測定プローブで測定した第２の半値幅Ｗ２及びＳ２／Ｎ２比が、第１の半値幅Ｗ１及びＳ１／Ｎ１比と同等となる測定視野範囲及びリフト高さを求め、以下の参照測定視野範囲及び参照リフト高さを決定した。
【００２９】
【表２】
2008293603.tif 000004
次に、上記のようにして求められた参照測定視野範囲を走査範囲に、参照リフト高さを測定プローブのリフト高さに設定し、各測定プローブで交流消磁状態の磁性層を走査することにより、磁気力顕微鏡像を取得した。測定プローブのリフト高さは、走査初期から１０％の距離までは参照リフト高さの３０倍で走査し、それ以後は参照リフト高さに下げて走査するように設定した。測定試料には、微粒子磁性粉末及びその分散状態の異なる磁性層を設けたａ〜ｅの５種類の塗布型磁気記録媒体を用いた。なお、磁気記録媒体ａに用いた微粒子磁性粉末は平均長軸長が１００ｎｍの針状の磁性粉末であり、磁気記録媒体ｂに用いた微粒子磁性粉末は平均長軸長が６０ｎｍの針状の磁性粉末であり、磁気記録媒体ｃに用いた微粒子磁性粉末は平均長軸長が４５ｎｍの針状の磁性粉末であり、磁気記録媒体ｄに用いた微粒子磁性粉末は平均粒子径が１５ｎｍの球状の磁性粉末であり、磁気記録媒体ｅに用いた微粒子磁性粉末は平均粒子径が１２ｎｍの球状の磁性粉末である。この各磁気力顕微鏡像の磁化強度の中心値Ｃと標準偏差δとの和（Ｃ＋δ）より大きな磁化強度を有する部分を２値化処理することにより表示し、該部分を磁気クラスタとして、その円相当径の平均値を測定した。中心値Ｃ及び標準偏差の算出にあたっては、走査初期から１０％の距離の磁化強度データは算出データから除外した。
【００３０】
上記とは別に、測定プローブＡ及びＢを用い、上記の参照測定視野範囲及び参照リフト高さを利用せず、走査範囲及びリフト高さを基準プローブのそれらを基に変更し、各測定プローブで磁性層を走査して、磁気力顕微鏡像をそれぞれ取得し、得られた磁気力顕微鏡像の磁気クラスタサイズを測定した。
【００３１】
また、各測定試料の電磁変換特性（Ｓ／Ｎ比）を以下により測定した。
［電磁変換特性］
ドラムテスタに電磁誘導型ヘッド（トラック幅２５μｍ、ギャップ０．２μｍ）とＭＲヘッド（トラック幅５．５μｍ、シールド間隔０．１７μｍ）とを装着し、回転ドラムに一定長の測定試料を巻きつけて、誘導型ヘッドで信号を記録し、ＭＲヘッドで信号を再生して、Ｓ／Ｎ比を測定した。
表３はこれらの結果を示す。
【００３２】
【表３】
2008293603.tif 000005
【００３３】
図６は、上記実施例及び比較例で測定された磁気クラスタサイズと電磁変換特性の関係を示す図である。図に示すように、走査範囲及びリフト高さを調整して測定された磁気力顕微鏡像の磁気クラスタサイズは、電磁変換特性との相関性に優れていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態に係る磁気力顕微鏡の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基準プローブで基準試料を走査したときの磁気力顕微鏡像である。
【図３】図２に示される磁気力顕微鏡像の第１の周期的スペクトルをフーリエ変換することにより得られる第１のパワスペクトルである。
【図４】本発明の実施の形態に係る測定プローブで磁性層を走査したときの磁気力顕微鏡像であり、（ａ）は３次元の磁気力顕微鏡像、（ｂ）は一走査における２次元の磁気力顕微鏡像である。
【図５】図４の磁気力顕微鏡像を２値化処理することにより磁気クラスタを表示させた図である。
【図６】本発明の実施例に係る磁気力顕微鏡像の磁気クラスタサイズと電磁変換特性との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  試料台
２  測定試料
３  プローブ
４  カンチレバー
５  ピエゾ加振器
６  変位検出器
Ｃ  中心値
δ  標準偏差
Ｋ  磁気クラスタ
【図１】
2008293603.tif 000006
【図２】
2008293603.tif 000007
【図３】
2008293603.tif 000008
【図４】
2008293603.tif 000009
【図５】
2008293603.tif 000010
【図６】
2008293603.tif 000011