(57)【要約】【課題】凹凸が形成された部材を接着剤を介して他の部材に固定する工程において、凹部の底面に接着剤が付着した状態で他の部材に固定した場合に生じ得る問題を抑制する。【解決手段】シート１０２上に接着層１０５を形成する。次に、インク分配部８０のアンダープレート８３の凹部８３ａの底面８３ｄと接着層１０５の表面１０５ａとの間に隙間１０６を確保しつつ凸部８３ｂ，８３ｃを接着層１０５に接触させる。次に、凸部８３ｂ，８３ｃを接着層１０５の表面１０５ａに沿ってＸ及びＹ方向に移動させる。そして、凸部８３ｂ，８３ｃに付着した接着剤を介して、流路ユニットの表面にインク分配部８０を固定する。【選択図】図１３
2008137269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに積層された複数のプレートを有し且つ内部に第１液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの前記表面に固定され且つ前記第１液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するアクチュエータと、互いに積層された複数のプレートを有し、前記流路ユニットの前記表面に固定され且つ前記第１液体流路に供給される液体を一時的に貯溜するリザーバを含む第２液体流路が形成されたリザーバユニットとを有し、前記流路ユニットに含まれる前記複数のプレート及び前記リザーバユニットに含まれる前記複数のプレートのうちの一又は複数のプレートが、当該プレートと隣接する他の部材と対向する表面に凹部と前記凹部を画定する凸部とが形成された凹凸部材である液体吐出ヘッドの製造方法において、
接着剤保持体上に接着層を形成する接着層形成工程と、
前記凹凸部材の前記凹部の底面と前記接着層の表面との間に隙間を確保しつつ前記凸部を前記接着層に接触させる接触工程と、
前記凸部と前記接着層とが接触した状態で、前記接着剤保持体に対して前記凹凸部材を前記接着層の前記表面に沿って相対的に移動させる移動工程と、
前記凸部に付着した接着剤を介して、前記凹凸部材を前記他の部材に固定する固定工程とを備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記移動工程において、前記接着剤保持体に対して前記凹凸部材を前記接着層の前記表面に沿う一方向と前記一方向と交差する方向との両方向に相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記移動工程において、前記接着剤保持体に対して前記凹凸部材を前記接着層の前記表面に沿った円周上を相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記凹凸部材が前記リザーバユニットに含まれる前記複数のプレートの１つであって、前記凹部が平面視で前記流路ユニットの前記表面における前記アクチュエータの固定領域を含むように形成され、前記凸部に前記第２液体流路と前記第１液体流路とを連通させる連通孔が形成されており、
前記固定工程において、前記凹部内に前記アクチュエータが含まれるように且つ前記凸部が前記流路ユニットの前記表面に当接して前記第２液体流路と前記第１液体流路とが連通するように、前記凹凸部材を前記流路ユニットに固定することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記凹凸部材と、前記凹凸部材の前記凸部が形成された面とは反対側の面に固定され前記リザーバを構成する流路が形成されたリザーバプレートと、前記凹凸部材の長手方向に関して前記凹凸部材よりも長尺であって、前記凹凸部材の長手方向両端から突出するように前記リザーバプレートの前記凹凸部材が固定された面とは反対側の面に固定されたリザーバベースプレートとから構成された、前記リザーバユニットの一部を構成する部分ユニットを形成する部分ユニット形成工程と、
支持台上において前記凸部が前記支持台に接触した状態で載置された前記部分ユニットを保持装置によって保持する保持工程とを前記接触工程前にさらに備えており、
前記保持工程において、前記保持装置が、前記リザーバベースプレートの長手方向両端を厚み方向に関して狭持することを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記保持装置が、前記リザーバベースプレートと対向する領域に前記リザーバベースプレートを吸着する吸着機構を有していることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に開示されているインクジェットヘッドは、共通インク室と当該共通インク室の出口から圧力室を経てノズルに至る個別インク流路とが形成された流路ユニットと、流路ユニットにおける圧力室が形成された表面に固定され且つ圧力室の容積を変化させるアクチュエータと、流路ユニットの共通インク室に供給されるインクを一時的に貯溜するリザーバユニットとを有する。リザーバユニットは互いに積層された４枚のプレートを有しており、最下層のプレートは、その流路ユニットと対向する面にアクチュエータの固定領域を形成する凹部を有し、凹部内にアクチュエータが含まれるように且つ凹部を画定する凸部が流路ユニットの表面に当接するようにして流路ユニットに固定されている。また、流路ユニットは互いに積層された９枚のプレートを有している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−０５９４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成のインクジェットヘッドを製造するにあたって、リザーバユニットの最下層のプレートを流路ユニットの表面に固定する際、予め当該プレートにおける凸部に接着剤を塗布しておく。凸部に接着剤を塗布する方法としては、例えば、転写シート上に引き延ばされた接着剤と凸部とを対向させ、転写シートの接着剤が形成された面とは反対の面をローラでプレート側に押圧し、プレートの凸部に接着剤を押し当てて転写する。その後、凸部に付着した接着剤を介してプレートを流路ユニットに固定する。
【０００５】
しかしながら、上記のように凸部に接着剤を塗布すると、同一面内に形成されている凹部の底面にも接着剤が塗布されてしまうことがある。そのような状態でプレートを流路ユニットに固定すると、凹部に対向するよう配置されたアクチュエータに接着剤が付着して、アクチュエータの動作が阻害されるという問題が生じ得る。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、凹凸が形成された部材を接着剤を介して他の部材に固定する工程において、凹部の底面に接着剤が付着した状態で他の部材に固定した場合に生じ得る問題を抑制することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、互いに積層された複数のプレートを有し且つ内部に第１液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの前記表面に固定され且つ前記第１液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するアクチュエータと、互いに積層された複数のプレートを有し、前記流路ユニットの前記表面に固定され且つ前記第１液体流路に供給される液体を一時的に貯溜するリザーバを含む第２液体流路が形成されたリザーバユニットとを有し、前記流路ユニットに含まれる前記複数のプレート及び前記リザーバユニットに含まれる前記複数のプレートのうちの一又は複数のプレートが、当該プレートと隣接する他の部材と対向する表面に凹部と前記凹部を画定する凸部とが形成された凹凸部材である液体吐出ヘッドの製造方法において、接着剤保持体上に接着層を形成する接着層形成工程と、前記凹凸部材の前記凹部の底面と前記接着層の表面との間に隙間を確保しつつ前記凸部を前記接着層に接触させる接触工程と、前記凸部と前記接着層とが接触した状態で、前記接着剤保持体に対して前記凹凸部材を前記接着層の前記表面に沿って相対的に移動させる移動工程と、前記凸部に付着した接着剤を介して、前記凹凸部材を前記他の部材に固定する固定工程とを備えている。
【０００８】
これによると、移動工程において、凹部の底面と接着層の表面との間には隙間が存在するので凹部の底面に接着剤を付着させることなく、凸部にのみ所定量の接着剤を付着させることができる。そのため、凹部の底面に接着剤が付着していない状態で他の部材に固定することができるので、凹部に接着剤が付着した状態で固定した場合に生じる問題を抑制することが可能である。
【０００９】
本発明においては、前記移動工程において、前記接着剤保持体に対して前記凹凸部材を前記接着層の前記表面に沿う一方向と前記一方向と交差する方向との両方向に相対的に移動させることが好ましい。これにより、移動工程において、接着剤保持体に対して凹凸部材を２方向に相対的に移動させるので、所定量の接着剤を凸部に確実に付着させることができる。
【００１０】
また、本発明においては、前記移動工程において、前記接着剤保持体に対して前記凹凸部材を前記接着層の前記表面に沿った円周上を相対的に移動させることが好ましい。これにより、移動工程において、接着剤保持体に対して凹凸部材を円周上に相対的に移動させるので、接着剤を凸部に満遍なく付着させることができる。
【００１１】
また、本発明においては、前記凹凸部材が前記リザーバユニットに含まれる前記複数のプレートの１つであって、前記凹部が平面視で前記流路ユニットの前記表面における前記アクチュエータの固定領域を含むように形成され、前記凸部に前記第２液体流路と前記第１液体流路とを連通させる連通孔が形成されており、前記固定工程において、前記凹部内に前記アクチュエータが含まれるように且つ前記凸部が前記流路ユニットの前記表面に当接して前記第２液体流路と前記第１液体流路とが連通するように、前記凹凸部材を前記流路ユニットに固定することが好ましい。これにより、凹部の底面に接着剤が付着していない状態で凹凸部材を流路ユニットに固定することができるため、アクチュエータに接着剤が付着することがなく、アクチュエータの動作の阻害を抑制することができる。
【００１２】
また、このとき、前記凹凸部材と、前記凹凸部材の前記凸部が形成された面とは反対側の面に固定され前記リザーバを構成する流路が形成されたリザーバプレートと、前記凹凸部材の長手方向に関して前記凹凸部材よりも長尺であって、前記凹凸部材の長手方向両端から突出するように前記リザーバプレートの前記凹凸部材が固定された面とは反対側の面に固定されたリザーバベースプレートとから構成された、前記リザーバユニットの一部を構成する部分ユニットを形成する部分ユニット形成工程と、支持台上において前記凸部が前記支持台に接触した状態で載置された前記部分ユニットを保持装置によって保持する保持工程とを前記接触工程前にさらに備えている。そして、前記保持工程において、前記保持装置が、前記リザーバベースプレートの長手方向両端を厚み方向に関して狭持していてもよい。これにより、移動工程により凹凸部材の凸部に接着剤を付着させた後、凸部を接着層から離隔させるために、凹凸部材を保持装置によって厚み方向に移動させたとき、凹凸部材が保持装置から脱落しなくなる。
【００１３】
また、このとき、前記保持装置が、前記リザーバベースプレートと対向する領域に前記リザーバベースプレートを吸着する吸着機構を有していてもよい。これにより、保持装置が吸着機構を有しているので、保持工程において部分ユニットを吸着機構により吸着することが可能になる。そのため、移動工程において凹凸部材の移動方向とは逆方向に凹凸部材が移動しにくくなり、凸部に所定量の接着剤を付着させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態による製造方法によって製造されたインクジェットヘッドの斜視図である。図２は図１のII−II線に沿った断面図であり、この図には単に直線的な切断では表せない断面も示されている。図３（ａ）はインクジェットヘッド１に含まれるリザーバユニット９０のフィルター部７０の上面図であり、図３（ｂ）はフィルター部７０の下面図である。図４は、リザーバユニット９０のインク分配部８０を形成する各プレートの下面図である。図５は、インクジェットヘッド１に含まれるヘッド本体６０を示す平面図である。
【００１６】
インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）１は、主走査方向に沿って細長な形状であり、下側から順に、ヘッド本体６０及びリザーバユニット９０を有する。ヘッド本体６０は、流路ユニット４及び流路ユニット４の上面に貼り付けられた４つのアクチュエータユニット２１（図５参照）を含む。リザーバユニット９０は、上側から順に、樹脂製のフィルター部７０及び金属製のインク分配部８０を含む。フィルター部７０とインク分配部８０とはネジ９１によって互いに固定されている。
【００１７】
フィルター部７０は、樹脂で一体成形により作製されたものであって、その上面７０ｆ（図１参照）の長手方向一端に筒状突起７１を有する。筒状突起７１の内部には導入口７１ａが形成されており、筒状突起７１にチューブ等が取り付けられ、インクタンク等のインク供給源からのインクが導入口７１ａからフィルター部７０内に導入される。
【００１８】
フィルター部７０内には、図２に示すように、導入口７１ａから流出口７２に至るインク流路が形成されている。導入口７１ａから導入されたインクは先ず第１の穴７４に流入する。第１の穴７４は平面視において図３（ｂ）に示すダンパー膜７４ａと同形状であり、第１の穴７４の下側はダンパー膜７４ａにより塞がれている。ダンパー膜７４ａは、インクの振動に応じて変位できるよう、インク分配部８０の上面、即ち後述するリザーバベースプレート８１の上面と僅かな隙間を介しており、導入口７１ａからインクが導入されることにより生じる振動を吸収する役割を担っている。第１の穴７４に流入したインクは、フィルター７５ａを通って第２の穴７５に流れ込み、さらに上側にダンパー膜７６ａが形成された空間７６を通った後下降し、フィルター部７０の下面７０ｅに開口するよう形成された流出口７２からインク分配部８０へと流出される。
【００１９】
図２に示すように、フィルター部７０の流出口７２を取り囲む位置に凹部が形成されており、当該凹部内に弾性材料からなるＯリング７７が配置されている。Ｏリング７７は弾性変形状態にあり、流出口７２と流入口８４との間からのインク漏れを効果的に防止する役割を担っている。
【００２０】
また、図１に示すように、フィルター部７０には、流出口７２の近傍であって流出口７２を挟んで副走査方向の両側に、ネジ９１用の孔（図示せず）が厚み方向に貫通するように形成されている。
【００２１】
インク分配部（部分ユニット）８０は、図４に示すように、いずれも金属製のリザーバベースプレート８１、リザーバプレート８２、及びアンダープレート８３を有し、これら３枚の金属プレート８１，８２，８３を積層し且つ互いに接着剤で接着固定することにより形成されている。プレート８１〜８３はいずれも主走査方向（図１参照）に細長な略矩形状の平面を有すると共に、同じ幅を有している。リザーバベースプレート８１は他の２枚のプレート８２，８３より若干長く図１に示すように長手方向両端が突出しているが、これはリザーバベースプレート８１においてヘッド１を記録装置側のホルダ（図示せず）に固定するためである。
【００２２】
インク分配部８０にも、流入口８４から連通口（連通孔）８８に至るインク流路（第２液体流路）が形成されている。リザーバベースプレート８１の中央には、フィルター部７０の流出口７２と連通する流入口８４が形成されており、流出口７２から流出したインクが流入する。副走査方向（図１参照）に関して流入口８４の両側には孔８５ａが対称に形成されている。２つの孔８５ａは、フィルター部７０を厚み方向に貫通するネジ９１用の孔と対応して配置されている。流入口８４及び孔８５ａは共にリザーバベースプレート８１の厚み方向に貫通している。
【００２３】
リザーバプレート８２には、流入口８４から流入したインクをアンダープレート８３に形成された各連通口８８へと分配するように、主インク室８６及び主インク室８６から分岐した分岐流路８７に対応する穴が厚み方向に貫通するように形成されている。主インク室８６は、リザーバプレート８２の長手方向に延在しており、流入口８４からのインクを一時的に貯留するリザーバとなっている。流入口８４から主インク室８６の中央に流入したインクは、そこからリザーバプレート８２の長手方向に流れて各分岐流路８７に流れ込む。リザーバプレート８２においてリザーバベースプレート８１の孔８５ａに対応する位置には、それぞれリザーバプレート８２を厚み方向に貫通する孔８５ｂが形成されている。
【００２４】
孔８５ｂは、対応する孔８５ａ及びネジ９１用の孔に比べて径が小さく、且つ、内面に雌ネジが切られている。ネジ９１がフィルター部７０に形成された貫通孔及び孔８５ａに挿入され、孔８５ｂに螺合されることにより、フィルター部７０とインク分配部８０とが互いに固定される。
【００２５】
アンダープレート８３の下面にはハーフエッチングによって凹凸が形成されており、図４においてハッチングされた部分が凹部８３ａとなっている。凹部８３ａは流路ユニット４の上面におけるアクチュエータユニット２１の固定領域（図５参照）を含むサイズ及び形状となるよう形成されている。そして、凹部８３ａを画定するように、アクチュエータユニット２１に対応する部分を避けるようにアンダープレート８３の長手方向に関して千鳥状に配置された２つの凸部８３ｂ、及び、アンダープレート８３の長手方向両端に配置された２つの凸部８３ｃが形成されている。
【００２６】
各凸部８３ｂには、略円形の連通口８８が２つずつ貫通するように形成されている。そして、各凸部８３ｃには、同様の連通口８８が３つずつ貫通するように形成されている。凸部８３ｃに形成された隣接する２つの連通口８８及び凸部８３ｂに形成された隣接する２つの連通口８８がそれぞれ一組となってアンダープレート８３の長手方向に関して千鳥状に配置されている。これら計１０個の連通口８８はアンダープレート８３の中心に関して略点対称に配置されている。各連通口８８は流路ユニット４の各開口３ａ（図５参照）に連通するものであり、リザーバプレート８２の主インク室８６から各分岐流路８７に流れ込んだインクは、各分岐流路８７の先端から連通口８８に流入し、開口３ａを介して流路ユニット４に供給される。
【００２７】
後に詳述するように、アンダープレート８３は、凹部８３ａ内に４つのアクチュエータユニット２１が含まれるように且つ凸部８３ｂ，８３ｃが流路ユニット４の上面に当接するように、流路ユニット４に固定されている。このとき凹部８３ａの底面と流路ユニット４の上面との間に空間が形成され、流路ユニット４の上面における当該空間に対応する部分にアクチュエータユニット２１が貼り付けられている（図２及び図５参照）。各アクチュエータユニット２１とアンダープレート８３の底面８３ｄとの間には、わずかの間隙が確保されている。
【００２８】
次に、図１〜図５に加えて図６及び図７を参照しつつ、ヘッド本体６０について説明する。図６は、図５における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、ここでは図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１２、及びノズル８の開口を実線で描いている。図７は、図６のＶII−ＶII線に沿った断面図である。
【００２９】
流路ユニット４は、図１に示すように、主走査方向に細長な略直方体形状を有し、その平面視における大きさ及び形状はインク分配部８０のリザーバベースプレート８１を除く２枚のプレート８２，８３と略同じである。
【００３０】
流路ユニット４の上面には、図５に示すように、アクチュエータユニット２１を避けるように、主走査方向に沿って２列に、各列５個、計１０個の開口３ａが形成されている。一方、４つのアクチュエータユニット２１は、台形の平面形状を有し、開口３ａと逆のパターンで、主走査方向に沿って２列の千鳥状に配列されている。台形の互いに平行な上底辺及び下底辺が、主走査方向に沿って配置され、１つのアクチュエータユニット２１を挟んで隣接するアクチュエータユニット２１と一直線状に並んで配列されている。後述の、圧力室１０の列やノズル８の列についても、主走査方向に関して同様の形態でそれぞれ配列されている。なお、各アクチュエータユニット２１は、副走査方向（主走査方向と直交方向）に互いに離隔し、副走査方向に見たときに隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士が重なっている。
【００３１】
流路ユニット４内には、各開口３ａに連通するマニホールド流路５が形成されており、各マニホールド流路５は主走査方向に延在する複数の副マニホールド流路５ａに分岐している。図５に示すように、アクチュエータユニット２１と対向する部分に、４つの副マニホールド流路５ａが延在している。各副マニホールド流路５ａには、アパーチャ（絞り）１２及び圧力室１０を介してノズル８に至る個別インク流路７（図７参照）が多数接続されている。個別インク流路７は、各ノズル８に対して形成されたものであって、副マニホールド流路５ａから上方へ向かい、アパーチャ１２にて水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。このように、流路ユニット４には、開口３ａからノズル８に至るインク流路（第１液体流路）が形成されている。
【００３２】
リザーバユニット９０に貯留されているインクは、各開口３ａを介して、マニホールド流路５、副マニホールド流路５ａへと供給される。さらに、インクは、副マニホールド流路５ａから各個別インク流路７に分配され、ノズル８から吐出されることになる。
【００３３】
流路ユニット４の下面には、各アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する領域に、微小径を有する多数のノズル８がマトリクス状に配列されている（図６及び図７参照）。流路ユニット４の上面におけるアクチュエータユニット２１の接着領域には、各ノズル８に対応する圧力室１０がマトリクス状に配列されている。圧力室１０の平面形状は略菱形である。図６に示すように、圧力室１０は流路ユニット４の長手方向に沿って等間隔に配置されて列をなし、１つのアクチュエータユニット２１の接着領域において計１６列となる圧力室１０の列が互いに平行に配列されている。ノズル８も圧力室１０と同様に配置されている。
【００３４】
アクチュエータユニット２１の上面には、圧力室１０より一回り小さい個別電極３５がそれぞれ各圧力室１０に対応する位置に形成されている（図６参照）。各アクチュエータユニット２１にはフレキシブルプリント配線基板（図示せず）が接続されており、当該フレキシブルプリント配線基板を介して伝達された駆動信号に基づいて、各個別電極３５とアクチュエータユニット２１の領域全体に形成された共通電極（図示せず）との間の電圧が制御される。このような制御によってアクチュエータユニット２１における個別電極３５が形成された部分を変形させることで、圧力室１０内のインクに吐出エネルギーが付与され、圧力室１０内のインクがノズル８から吐出される。
【００３５】
流路ユニット４は、図７に示すように、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、３枚のマニホールドプレート２６〜２８、カバープレート２９、及びノズルプレート３０の計９枚のＳＵＳ４３０等からなる金属プレートを積層し且つ互いに接着固定することにより形成されている。
【００３６】
キャビティプレート２２には、圧力室１０に対応する略菱形の孔が多数形成されている。ベースプレート２３には、各圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されている。アパーチャプレート２４には、アパーチャ１２に対応する孔と各圧力室１０からノズル８への連絡孔とが形成されている。サプライプレート２５には、各アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとの連絡孔及び各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されている。マニホールドプレート２６〜２８には、副マニホールド流路５ａに対応する貫通孔と、各圧力室１０からノズル８への連絡孔とが形成されている。カバープレート２９には、各圧力室１０からノズル８への連絡孔が形成されている。ノズルプレート３０には多数のノズル８が形成されている。そして、プレート２２〜３０は、図７に示す個別インク流路７が形成されるよう位置合わせして積層され、接着剤により互いに固定されている。
【００３７】
図７から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１２とは異なるレベルに設けられている。これにより、図６に示すようにアクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室１０に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着してより高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００３８】
続いて、インクジェットヘッド１の製造方法について、以下に説明する。図８は、インクジェットヘッドの製造工程のフロー図である。
【００３９】
インクジェットヘッド１を製造するには、流路ユニット４、アクチュエータユニット２１及びリザーバユニット９０に含まれるインク分配部８０などの部品を別々に作成し、それから各部品を組み付ける。まず、流路ユニット４の製造工程から説明する。流路ユニット４を作製するには、図８に示すように、ステップ１（Ｓ１）において、これを構成する各プレート２２〜３０に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチングを施して、図７に示すような孔を各プレート２２〜３０に形成する。
【００４０】
次に、ステップ２（Ｓ２）において、ノズルプレート３０を除く各プレート２２〜２９の下面（ノズルプレート３０側の面）に熱硬化性接着剤を塗布する。そして、ステップ３（Ｓ３）において、９枚のプレート２２〜３０を、マニホールド流路５、副マニホールド流路５ａ及び個別インク流路７が形成されるように積層する。
【００４１】
次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ３で形成された９枚のプレート２２〜３０からなる流路ユニット前躯体を、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して９枚のプレート２２〜３０が互いに接合され、図７に示すような流路ユニット４の作製が完了する。
【００４２】
次に、ステップ５（Ｓ５）において、上述のように作製した流路ユニット４の上面に、周知の方法により作製された４つのアクチュエータユニット２１を、流路ユニット４の長手方向に関して千鳥状に配置し、熱硬化性接着剤を介して積層してヘッド本体前躯体とする。このとき、各アクチュエータユニット２１は、多数の圧力室１０に跨るように、且つ、個別電極３５が流路ユニット４の圧力室１０と一対一で対向するように、位置合わせされる。そして、ステップ６（Ｓ６）において、ヘッド本体前躯体を、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。こうして、熱硬化性接着剤が硬化して流路ユニット４上にアクチュエータユニット２１が固定されたヘッド本体６０が完成する。そして、各アクチュエータユニット２１の表面にフレキシブルプリント配線基板（図示せず）の一端を接続し、他端近傍をヘッドの側面から延出させておく。このとき、フレキシブルプリント配線基板の配線端部とアクチュエータユニット２１の個別電極３５とがそれぞれハンダ接合される。
【００４３】
次に、リザーバユニット９０に含まれるインク分配部８０を作製するには、まず、ステップ７において、インク分配部８０を構成する３枚のプレート８１〜８３に、パターニングされたフォトレジストをマスクとしてエッチングを施して、図４に示すような孔及び凹部８３ａを形成する。
【００４４】
次に、ステップ８（Ｓ８）において、アンダープレート８３を除く２枚のプレート８１，８２の下面に熱硬化性接着剤を塗布する。このとき、リザーバベースプレート８１の両端部であってリザーバプレート８２と対向しない領域には、熱硬化性接着剤を塗布せず、それ以外の下面部分に熱硬化性接着剤を塗布する。そして、ステップ９（Ｓ９）において、３枚のプレート８１〜８３を、内部にインク流路（第２液体流路）が形成されるように積層してインク分配部前躯体とする。この段階で、リザーバベースプレート８１は、他の２枚のプレート８２，８３から両端がほぼ均等に延出して積層されている。
【００４５】
次に、ステップ１０（Ｓ１０）において、インク分配部前躯体を、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱しつつ加圧する。こうして、熱硬化性接着剤が硬化して３枚のプレート８１〜８３からなるインク分配部８０が完成する（部分ユニット形成工程）。
【００４６】
次に、インク分配部８０の凸部に接着剤を付着させる方法について、以下に説明する。図９は、インク分配部８０とヘッド本体６０とを接合する接合装置１２０の概略構成図である。図１０は、シート１０２上に接着層を形成するときの状況図である。図１１は、インク分配部８０を保持する保持装置の概略斜視図である。図１２は、保持装置によってインク分配部８０を保持するときの状況図である。図１３は、インク分配部８０の凸部に接着剤を付着させるときの状況図である。図１４は、ヘッド本体６０とインク分配部８０とを積層するときの状況図である。
【００４７】
インク分配部８０に接着剤を付着させるには、まず、接合装置１２０に含まれる接着層形成装置１２１で接着層１０５を形成する。接合装置１２０は、図９に示すように、図中右端に、接着層形成装置１２１が配置されており、接着層形成装置１２１から図中左方に向かって、作製されたインク分配部８０が載置される支持台１４０、作製されたヘッド本体６０が載置される支持台１３０、及び、加圧加熱装置１２２が順に配置されて構成されている。また、接合装置１２０は、すべての台１０５，１３０，１４０と対向することができるように移動可能に支持された保持装置１５０を有している。また、支持台１４０は固定台であり、支持台１３０は加圧加熱装置１２２内に侵入可能にスライダ１０９に移動可能に支持されている。加圧加熱装置１２２は、加圧シリンダ１１０と、加圧シリンダ１１０のシリンダロッド１１１の先端に固定された上側ヒータ１１２と、下側ヒータ１１３とを有している。上側ヒータ１１２は、支持台１３０に載置された後述の積層体を直接加熱するものであり、下側ヒータ１１３は、支持台１３０及びその上の積層体を周囲近傍から加熱するものである。この構成で、上側ヒータ１１２と対向する位置に支持台１３０が配置されたときに、各ヒータ１１２，１１３が加熱され、上側ヒータ１１２が支持台１３０に向かって下降し支持台１３０とで支持台１３０上の積層体を加圧する。
【００４８】
接着層形成装置１２１は、図９及び図１０に示すように、平坦な台１０１と、台１０１上に載置されたフィルム状のシート（例えば、ルミラーシート：接着剤保持体）１０２と、シート１０２上に接着剤を供給する接着剤供給部１０３と、スキージ１０４と、台１０１を図中左右方向に水平移動させるスライダ１０７と、スキージ１０４を上下方向に移動させる昇降装置１０８とを含んでいる。シート１０２は、図示しないシート送り出し装置及びシート巻き取り装置によって台１０１上を水平に移動可能になっている。
【００４９】
インク分配部８０の凸部８３ｂ，８３ｃに接着剤を付着させる手順を説明する。まず、ステップ１１（Ｓ１１）において、図１０（ａ）に示すように、台１０１上に載置されたシート１０２上に、接着剤供給部１０３から接着剤を供給する。続いて、スキージ１０４の先端とシート１０２との離隔距離が所定距離となるように、昇降装置１０８によってスキージ１０４を下方（図中矢印の方向）に移動させる。
【００５０】
次に、ステップ１２（Ｓ１２）において、スライダ１０７によって台１０１を、シート巻き取り装置（不図示）によってシート１０２を、図１０（ａ）中左方に同時に移動させ、図１０（ｂ）に示すように、シート１０２とスキージ１０４との離隔距離が厚みとなる接着層１０５をシート１０２上に形成する（接着層形成工程）。そして、スキージ１０４を上方（図中矢印の方向）に移動させて退避させる。こうして、接着層形成装置１２１によって接着層１０５が形成される。
【００５１】
次に、ステップ１０で形成されたインク分配部８０を保持する保持装置１５０について説明する。図１１に示すように、保持装置１５０は、インク分配部８０を保持する保持部１５１と、保持部１５１をＹ方向（図１１中矢印Ａ方向）に往復移動可能に支持するＹステージ１５２と、保持部１５１及びＹステージ１５２をＸ方向に（図１１中矢印Ｂ方向）に往復移動可能に支持するＸステージ１５３と、保持部１５１、Ｙステージ１５２及びＸステージ１５３をＺ方向（図１１中矢印Ｃ方向）に往復移動可能に支持するＺステージ１５４と、Ｚステージ１５４をＺ方向に移動可能にガイドするガイド部材１５５とを含んでいる。保持装置１５０のガイド部材１５５は、Ｘ方向と平行な方向に延在する（図９中左右方向に延在する）ガイドレール１５６によって、Ｘ方向に往復移動可能に支持されている。
【００５２】
Ｘステージ１５３上には、Ｘステージ１５３をＸ方向に往復移動可能に支持するガイド部材１５７が配置されている。Ｘステージ１５３の一端には、Ｘステージ１５３をＸ方向に往復移動させる移動モータ１５８が設置されている。ガイド部材１５７上には、Ｚステージ１５４とガイド部材１５７とに固定された接続部１５９が設けられている。つまり、ガイド部材１５７とＺステージ１５４とが接続部１５９を介して接続されている。
【００５３】
Ｙステージ１５２上には、Ｙステージ１５２をＹ方向に往復移動可能に支持するガイド部材１６１が配置されている。ガイド部材１６１はＸステージ１５３の下面に固定されている。Ｙステージ１５２の下面には、Ｙステージ１５２と保持部１５１とに固定された接続部１６０が設けられている。Ｙステージ１５２の一端には、Ｙステージ１５２をＹ方向に往復移動させる移動モータ１６２が設置されている。両移動モータ１５８，１６２は、モータコントローラ１６３にケーブル１６３ａ，１６３ｂによって接続されており、モータコントローラ１６３からの駆動指令によって各移動モータ１５８，１６２がそれぞれ独立又は同時に駆動し、Ｙステージ１５２及びＸステージ１５３をＹ及びＸ方向にそれぞれ移動させる。
【００５４】
なお、Ｚステージ１５４は、図示しないシリンダに接続されており、シリンダコントローラ（図示せず）からの指令によってシリンダが伸縮し、Ｚステージ１５４がＺ方向に移動する。また、ガイド部材１５５には、図示しない移動モータが設置されており、図示しないモータコントローラからの駆動指令によって移動モータが駆動し、ガイド部材１５５をＸ方向に移動させる。
【００５５】
保持部１５１は、Ｘ方向に長手方向を有する略直方体形状を有している。保持部１５１の長手方向（Ｘ方向）の両端には、シリンダ１７１がそれぞれ設けられている。これら２つのシリンダ１７１は、図１２（ａ）に示すように、シリンダロッド１７１ａが保持部１５１を厚み方向に貫通して配置されている。シリンダロッド１７１ａの先端には、図１２（ａ）中紙面手前又は奥側に延在した板状の支持片１７１ｂが固定されている。また、シリンダロッド１７１ａは、図１２（ｂ）に示すように、保持部１５１でインク分配部８０を保持するときに、リザーバベースプレート８１の両端より外側に位置するような位置に配置されている。なお、シリンダ１７１は、そのシリンダロッド１７１ａが伸縮及び回転可能な機能を有している。
【００５６】
保持部１５１には、シリンダ１７１と接続部１６０との間であってリザーバベースプレート８１の両端部と対向する位置に４つの吸着部材１６４が設けられている。これら吸着部材１６４は、弾性材料から形成されており、保持部１５１を貫通して配置されている。また、吸着部材１６４は、図１２（ａ）に示すように、中空形状を有しており、保持部１５１の下面から飛び出した下端が外側に広がっている。吸着部材１６４の上端には、図示しない吸引ポンプに繋がったチューブ１６５と接続されており、この吸引ポンプを駆動することで、外部の空気が吸着部材１６４に吸引される。つまり、吸着部材１６４は、吸引ポンプの駆動により吸着力が生じる。このように、保持装置１５０には、吸着部材１６４、チューブ１６５及び吸引ポンプで構成された吸着機構を有している。
【００５７】
次に、ステップ１３（Ｓ１３）において、図１２（ａ）に示すように、凸部８３ｂ，８３ｃが支持台１４０の上面に接触するように配置されたインク分配部８０のリザーバベースプレート８１と対向する位置に保持装置１５０の保持部１５１を配置させる。
【００５８】
次に、ステップ１４（Ｓ１４）において、図１２（ｂ）に示すように、吸着部材１６４の下端がリザーバベースプレート８１の両端部と接触するまで保持装置１５０のＺステージ１５４を下方に移動させた後、吸引ポンプを駆動して吸着部材１６４によりリザーバベースプレート８１を吸着する。なお、２つのシリンダ１７１のシリンダロッド１７１ａは、図１２（ｂ）に示すように、支持台１４０に接触しない程度にまで伸ばされている。次に、ステップ１５（Ｓ１５）において、図１２（ｃ）に示すように、支持片１７１ｂとリザーバベースプレート８１の両端部とが対向するように、２つのシリンダ１７１のシリンダロッド１７１ａを約９０°回転させる。そして、ステップ１６（Ｓ１６）において、リザーバベースプレート８１が支持片１７１ｂと保持部１５１との間で狭持されるように、シリンダロッド１７１ａを縮め、保持装置１５０でインク分配部８０を保持する（保持工程）。
【００５９】
本実施形態では、インク分配部８０が、弾性材料からなる吸着部材１６４によって吸着され、支持片１７１ｂによって機械的に狭持される。このインク分配部８０は、先に吸着保持されることから、これに続く支持片１７１ｂによる狭持時に、狭持動作による振動やショックで位置ずれすることがない。また、インク分配部８０は、後述の接着剤転写時に、比較的粘度の高い接着剤に対して、接着剤の面と平行に相対移動される。このとき、相対移動方向に接着剤から反力を受けることになるが、吸着部材１６４が摩擦部材として働き、インク分配部８０の面方向の横滑りが防止される。
【００６０】
次に、ステップ１７（Ｓ１７）において、保持装置１５０のＺステージ１５４を上方に移動させた後、図１３（ａ）に示すように、インク分配部８０と接着層１０５とが対向するように、ガイド部材１５５をガイドレール１５６に沿ってＸ方向に移動させる。
【００６１】
次に、ステップ１８（Ｓ１８）において、図１３（ｂ）に示すように、インク分配部８０の凹部８３ａの底面８３ｄと接着層１０５の表面１０５ａとの間に隙間１０６を確保しつつ、凸部８３ｂ，８３ｃの先端と接着層１０５とが接触するように、Ｚステージ１５４を下方に移動させる（接触工程）。
【００６２】
次に、ステップ１９（Ｓ１９）において、凸部８３ｂ，８３ｃの先端と接着層１０５とが接触した状態で、接着層１０５に対してインク分配部８０を接着層１０５の表面１０５ａに沿って相対的に移動するように、Ｘステージ１５３をＸ方向に所定距離だけ往復移動、すなわち、揺動させる揺動工程（移動工程）が行われる。そして、ステップ２０（Ｓ２０）において、凸部８３ｂ，８３ｃの先端と接着層１０５とが接触した状態で、Ｙステージ１５２をＹ方向に所定距離だけ揺動（往復移動）させる揺動工程（移動工程）が行われる。このように、凸部８３ｂ，８３ｃの先端を接着層１０５に接触させるだけではなく、インク分配部８０をＸ及びＹ方向の２方向に揺動させることで、凹部８３ａの底面８３ｄに接着剤を付着させることなく、凸部８３ｂ，８３ｃの先端部に所定量の接着剤を確実に付着させることができる。そして、ステップ２１（Ｓ２１）において、図１３（ｃ）に示すように、保持装置１５０のＺステージ１５４を上方に移動させて、接着層１０５とインク分配部８０の凸部８３ｂ，８３ｃとを離隔する。このとき、インク分配部８０は、その両端を支持片１７１ｂによって狭持されているので、接着剤の粘度やインク分配部８０のサイズに係わらず、保持装置１５０との位置関係を保って接着層１０５から分離される。
【００６３】
なお、本実施形態におけるステップ１９，２０の揺動工程においては、インク分配部８０をＸ及びＹ方向の２方向に揺動させているが、接着層１０５に対してインク分配部８０を接着層１０５の表面１０５ａに沿った円周方向に移動させていてもよい。この場合、凸部８３ｂ，８３ｃと接着層１０５とがはじめに接触した点が、始点及び終点となる原点となり、凸部８３ｂ，８３ｃは、Ｙステージ１５２がＹ方向にＸステージ１５３がＸ方向に交互に微動することで、円周方向に沿って移動する。なお、Ｙステージ１５２及びＸステージ１５３は互いに独立して構成されているので、ＸＹステージ１５２，１５３の両方を同時に動かすことも可能である。このような凸部８３ｂ，８３ｃの円周方向の移動によって、凸部８３ｂ，８３ｃ上に接着剤を満遍なく付着させることができる。
【００６４】
次に、ステップ２２（Ｓ２２）において、図１４（ａ）に示すように、ヘッド本体６０の下面（ノズルプレート３０の下面）が支持台１３０の上面と接触するように支持台１３０上に載置されたヘッド本体６０の上面（流路ユニット４の上面）と、インク分配部８０の凸部８３ｂ，８３ｃとが対向するように、ガイド部材１５５をガイドレール１５６に沿ってＸ方向に移動させる。このとき、対応するヘッド本体６０の開口３ａとインク分配部８０の連通口８８とがそれぞれ対向する位置にインク分配部８０が配置される。
【００６５】
次に、ステップ２３（Ｓ２３）において、図１４（ｂ）に示すように、インク分配部８０の凹部８３ａ内にアクチュエータユニット２１が配置されるように且つ凸部８３ｂ，８３ｃが流路ユニット４の上面と当接するように、保持装置１５０のＺステージ１５４を下方に移動させる。こうして、流路ユニット４内のインク流路（第１液体流路）とインク分配部８０内のインク流路（第２液体流路）とが連通した積層体となる。
【００６６】
次に、ステップ２４（Ｓ２４）において、２つのシリンダ１７１のシリンダロッド１７１ａを伸ばして支持片１７１ｂと保持部１５１とによるリザーバベースプレート８１の狭持を解除する。このとき、吸引ポンプの駆動を停止して吸着部材１６４によるリザーバベースプレート８１の吸着も解除する。そして、ステップ２５（Ｓ２５）において、シリンダロッド１７１ａを約９０°回転させた後、図１４（ｃ）に示すように、Ｚステージ１５４を上方に移動させる。
【００６７】
次に、ステップ２６（Ｓ２６）において、ヘッド本体６０とインク分配部８０との積層体が載置された支持台１３０を、加圧加熱装置１２２内に侵入させるように、図９中左方に移動させ、各ヒータ１１２，１１３を加熱するとともに、上側ヒータ１１２を下降させて支持台１３０とで積層体を加圧する。このとき、各ヒータは、ヘッド本体６０とインク分配部８０との積層体が、熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加熱されるように加熱する。こうして、ヘッド本体６０とインク分配部８０との間の接着剤が硬化してヘッド本体６０とインク分配部８０との積層体が完成する。この後、完成した積層体を自然冷却し加圧加熱装置１２２から取り出す。
【００６８】
次に、ステップ２７（Ｓ２７）において、公知の射出成形法によってフィルター部７０の樹脂部分を形成後、フィルタ７５ａ及びダンパー膜７４ａを所定箇所に貼り付け、フィルター部７０を作製する。なお、フィルター部７０を作製するステップ２７は独立して行われるため、ステップ２６以前に行われていてもよいし、ステップ１〜ステップ２６と並行して行われていてもよい。
【００６９】
次に、ステップ２８（Ｓ２８）において、流出口７２と流入口８４とが連通するように位置合わせしつつフィルター部７０をインク分配部８０上に配置する。そして、フィルター部７０とインク分配部８０とをネジ９１で固定する。こうして、ヘッド本体６０とリザーバユニット９０とからなるインクジェットヘッド１が完成する。
【００７０】
以上のように、本実施形態におけるインクジェットヘッド１の製造方法によると、ステップ１８の接触工程後のステップ１９，２０の揺動工程において、凹部８３ａの底面８３ｄと接着層１０５の表面１０５ａとの間には、隙間１０６を設けているので、凹部８３ａの底面８３ｄに接着剤を付着させることなく、凸部８３ｂ，８３ｃにのみ所定量の接着剤を付着させることができる。そのため、凹部８３ａの底面８３ｄに接着剤が付着していない状態でヘッド本体６０の流路ユニット４の上面にインク分配部８０を固定することができる。したがって、ヘッド本体６０とインク分配部８０との固定時に、凹部の底面に付着した接着剤がアクチュエータユニット２１に付着してアクチュエータユニット２１の動作が阻害されるのがなくなる。
【００７１】
また、ステップ１８の接触工程前であるステップ１４〜１６における保持工程において、リザーバベースプレート８１が支持片１７１ｂと保持部１５１との間で狭持され、インク分配部８０が保持装置１５０に保持されているので、ステップ１９，２０の揺動工程により、凸部８３ｂ，８３ｃに接着剤を付着させた後、ステップ２１で凸部８３ｂ，８３ｃを接着層１０５から離隔させたときに、インク分配部８０が保持装置１５０からの脱落を防止できる。つまり、インク分配部８０のリザーバベースプレート８１が支持片１７１ｂによって下方から支持されている状態と同じになるので、凸部８３ｂ，８３ｃと接着層１０５との接着力がインク分配部８０に生じても保持装置１５０からインク分配部８０の脱落を防止できる。
【００７２】
また、保持装置１５０が吸着部材１６４を有し、吸着部材１６４とチューブ１６５を介して繋がった吸引ポンプを駆動させることで、吸着部材１６４に吸着力を生じさせることできる。そのため、ステップ１４において、吸着部材１６４によりリザーバベースプレート８１を吸着することができ、ステップ１９，２０の揺動工程において、インク分配部８０の移動方向とは逆方向にインク分配部８０が移動しにくくなり、凸部８３ｂ，８３ｃに所定量の接着剤を付着させることができる。
【００７３】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述の実施形態においては、凹凸部材が、リザーバユニット９０のアンダープレート８３であり、その凹凸部材と固定される他の部材が流路ユニット４のキャビティプレート２２であったが、流路ユニット４を構成する複数のプレートのいずれかが凹部及び凸部を有する凹凸部材から構成されているときにおいても、同様な方法でその凹凸部材の凹部の底面に接着剤を付着させることなく凸部に接着剤を付着させることができる。この凹凸部材がマニホールドプレートであり凹部が副マニホールド流路（共通インク室）を画定する場合、凹部の底面に接着剤が付着していないので、凹部の底面に付着した接着剤が剥がれて副マニホールド流路や個別インク流路内に混入したり、接着剤が副マニホールド流路の出口に付着して出口の径が小さくなったりして、インクの流れが悪くなるという問題が抑制される。
【００７４】
また、揺動工程においては、インク分配部８０を一方向だけに移動してもよい。また、凸部８３ｂ，８３ｃと接着層１０５とを接触している状態から離隔させるときに、インク分配部８０が保持部１５１から脱落しなければ、単にリザーバベースプレート８１の両端側面を挟むようにして把持していてもよい。また、吸着部材１６４、チューブ１６５及び吸引ポンプは設けられていなくてもよい。また、上述した実施形態は、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法に本発明を適用した一例であるが、本発明を適用可能な対象はこのようなインクジェットヘッドの製造方法に限られない。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小電子デバイスを形成するための、液体吐出ヘッドの製造方法に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施形態による製造方法によって製造されたインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】図１のII−II線に沿った断面図である。
【図３】（ａ）はインクジェットヘッドに含まれるリザーバユニットのフィルター部の上面図であり、（ｂ）はフィルター部の下面図である。
【図４】リザーバユニットのインク分配部を形成する各プレートの下面図である。
【図５】インクジェットヘッドに含まれるヘッド本体を示す平面図である。
【図６】図５における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図である。
【図７】図６のＶII−ＶII線に沿った断面図である。
【図８】インクジェットヘッドの製造工程のフロー図である。
【図９】インク分配部とヘッド本体とを接合する接合装置の概略構成図である。
【図１０】シート上に接着層を形成するときの状況図である。
【図１１】インク分配部を保持する保持装置の概略斜視図である。
【図１２】保持装置によってインク分配部を保持するときの状況図である。
【図１３】インク分配部の凸部に接着剤を付着させるときの状況図である。
【図１４】ヘッド本体とインク分配部とを積層するときの状況図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
２１  アクチュエータユニット（アクチュエータ）
２２  キャビティプレート２２
８０  インク分配部（部分ユニット）
８１  リザーバベースプレート
８２  リザーバプレート
８３  アンダープレート（凹凸部材）
８３ａ  凹部
８３ｂ，８３ｃ  凸部
８３ｄ  底面
８６  主インク室（リザーバ）
８８  連通口（連通孔）
９０  リザーバユニット
１０２  シート（接着剤保持体）
１０５  接着層
１０５ａ  表面
１０６  隙間
１４０  支持台
１５０  保持装置
【図１】
2008137269.tif 000003
【図２】
2008137269.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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