(57)【要約】      （修正有） 【課題】薄膜水晶板を最終的に使用するサイズの薄片にするのに機械加工することなく得ることが出来るようになった。【解決手段】複数個の凹部が形成され、該凹部の底面に単結晶基板が載置固着された搬送用トレイを使用して、該単結晶基板上に薄膜水晶板を形成することで、薄膜水晶板を貼り付けたまま輸送するようにしたもので、破損もなく安全に輸送できるようになり、高周波化、小型化した水晶板を製作できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶エピタキシャル薄膜で製造される薄膜水晶板の製造方法において、複数個の凹部が形成され、該凹部の底面に単結晶基板が載置固着され、該単結晶基板周辺に溝が形成され、大気圧下で珪素を源として気相結晶成長法により該単結晶基板上に反応させて薄膜水晶板を形成することを特徴とする薄膜水晶板の製造方法。
【請求項２】
複数個の凹部が形成され、該凹部の底に単結晶基板が載置固着され、該単結晶基板上に薄膜水晶板が形成され、該単結晶基板に薄膜水晶板を貼り付いたままで輸送することを特徴とする薄膜水晶板の搬送用トレイ。
【請求項３】
請求項２の該単結晶基板がサファイアからなることを特徴とする薄膜水晶板の搬送用トレイ。
【請求項４】
請求項２の搬送用トレイが、サファイアの一体構造であることを特徴とする搬送用トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エピタキシャル法で製造する薄膜水晶板の製造方法とその輸送用トレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やデジタル家電の機器に欠かせない電子部品である水晶振動子が広く利用されている。水晶振動子は正確な信号源やタイミングデバイスとしていろいろな分野で利用されている。水晶振動子用の水晶板を製造するには人工水晶からウエハにした水晶板を使用するが、周波数の高周波化により水晶板をウエハにするのに時間と工程が非常に多く係る欠点がある。
【０００３】
しかし、水晶片を切断、研磨、ポリッシュ加工するには大変な労力と工数を要す。そこで単結晶基板上に水晶をエピタキシャル成長させ、薄膜水晶板を形成する方法が提案されている。特許第３５９２２１８号公報「水晶薄膜の製造方法」によれば、大気圧下で珪素を源としてアルキドを気化して単結晶基板上にバッファ層を設け、さらにそのバッファ層上にエピタキシャル成長させて水晶薄膜を形成している。そのため従来の研磨加工が不要で良質な薄膜水晶板を得ることが出来る。
【０００４】
しかし単結晶基板、例えばサファイア基板上に薄膜水晶板を形成しても、使用するサイズの水晶板に加工するのが薄いため加工が非常に難しい。小型化した際には、外形形状のばらつきが特性に影響し、品質のばらつきに関わってくる。そのため最終的に使用するサイズの水晶板が簡単に製造できる方法が求められていた。またその水晶板の輸送が薄膜であり、ばらばらになっていると、周辺外形にチッピングが発生するおそれもあり、輸送が困難なため、安全な薄膜水晶板の輸送が求められていた。
【０００５】
【特許文献１】特許第３５９２２１８号公報
【０００６】
なお出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。 
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、薄膜水晶板を最終的に利用するサイズに正確なサイズでかつ簡単に加工が出来、さらにその薄膜水晶板を破壊せずに運ぶ輸送手段が求められていた。
【０００８】
特許文献１には、薄膜水晶板を作る方法が記載されている。図３は、薄膜水晶板を製作する図を示す断面図で、例えばサファイアや水晶等の単結晶板１０の上に特許文献１等の方法により気相成長で水晶膜を形成する。まず単結晶板１０上にバッファ層１１を形成する。さらに水晶薄膜１２を形成する。バッファ層１１はアモルファス層と単結晶の中間の状態であり、温度差をつくることによって、単結晶板１０から水晶薄膜１２を引き剥がすことができる。水晶薄膜は、例えば厚みすべり振動子の場合、周波数は厚みで決定するため、薄い場合には高い周波数を、厚みが増すごとに低い周波数を発振させることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、水晶エピタキシャル薄膜で製造される薄膜水晶板の製造方法において、複数個の凹部が形成され、該凹部の底面に単結晶基板が載置固着され、該単結晶基板周辺に溝が形成され、大気圧下で珪素を源としてアルキシドを気化して該単結晶基板上に反応させて薄膜水晶板を形成することを特徴とする薄膜水晶板の製造方法であり、また複数個の凹部が形成され、該凹部の底に単結晶基板が載置固着され、該単結晶基板上に薄膜水晶板が形成され、該単結晶基板に薄膜水晶板を貼り付いたままで輸送することを特徴とする薄膜水晶板の搬送用トレイである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によって、薄膜水晶板を最終的に使用するサイズの薄片にするのに機械加工することなく得ることが出来るようになった。また薄膜水晶板を輸送する際に生じる破損がなく、安心して輸送することができるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながら実施例を説明する。
図１は、本発明の実施例を示す１つのセルの拡大断面図である。枠部１と水晶薄片を形成する単結晶基板がほしい薄片のサイズで枠部底部に載置している。単結晶基板の周りには段がある。薄膜水晶板は、枠部上部または横方向に珪素源が流れてきて、単結晶基板上で反応して水晶薄膜が形成される。水晶薄片は単結晶基板サイズに合わせて成長し、厚み方向に成長する単結晶基板のエッジには水晶薄膜は成長しないので、単結晶基板と同じサイズの薄膜水晶板が形成される。その後枠部や単結晶基板周辺に付いた不要な水晶薄片を除去する。
【００１２】
そしてそのまま輸送するか、次工程に搬送する際には、単結晶基板に貼り付いたまま、輸送できる。そのため薄片を輸送するのにトレイにいれる必要もなく、薄片にチッピングや欠けが生じるおそれもなく、安心して薄片を輸送することが出来る。
そして薄片として使用する際には、温度差を生じさせて、単結晶基板と直接貼り付いているバッファ層から剥がして薄膜水晶板個体として利用することが出来る。
【００１３】
図２は、トレイの全体斜視図で、トレイ１には複数個のセル４が作られている。トレイ１の材料は、本実施例ではサファイアをくり抜いてあり、サファイアからなる一体構造である。また単結晶シリコンの一体構造であってもよい。セルの数は、必要に応じて用意される。またトレイは、他の材料、例えば無機物の基板の石英ガラス、ソーダガラス、ファインセラミックなどでもよいが、少なくとも各セルの底部に突出した部分は単結晶基板であるサファイア、単結晶シリコンであることが必要である。
【００１４】
図示していないが、セルの開口面積よりやや小さい面積の単結晶基板がそれぞれのセルの底面に設置されている。単結晶基板の周辺には、セルの底辺より単結晶基板の厚み分段差が出来るのでセルの周辺壁面からの隙間が出来る。その隙間で薄膜水晶板の外形寸法が単結晶基板の寸法とほぼ一致するので、外形寸法が単結晶基板で決定される。トレイの上面やセルと単結晶基板との隙間に付いた余分な薄膜水晶板またはその素材の残さは、薄膜水晶板の取り外し前または後に除去される。
【００１５】
本発明によって、外形加工せずに最終寸法の外形寸法を持つ薄膜水晶板をつくることが出来るようになった。また本発明によるトレイを用いて単結晶基板に貼り付けたまま輸送出来るため、破損もなく安全に輸送出来るようになった。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
本発明は、高周波化、小型化した水晶板を製作出来るもので、小型する水晶振動子、水晶発振器用水晶振動板を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の輸送と例の１つのセルを拡大した拡大断面図である。
【図２】図２は、搬送用トレイの外観斜視図である。
【図３】図３は、薄膜水晶板を単結晶基板に形成したときの断面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１  トレイ
２  単結晶基板
３  水晶薄膜
４  セル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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