(57)【要約】【課題】イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供する。【解決手段】除塵器１００は、相互に対向して配置されている一対の電極１１０であって、当該電極間に発生させた放電により、当該電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、前記電極１１０と対向して配置され、イオン化された空気を放出するノズル１０２と、ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット１２０と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に対向して配置されている一対の電極であって、前記電極間に発生させた放電により、前記電極間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極と、
前記電極と対向して配置され、イオン化された前記空気を放出するノズルと、
前記ノズルとは反対側において前記電極と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニットと、
を備える除塵器。
【請求項２】
全体としてピストル形状をなしていることを特徴とする請求項１に記載の除塵器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気を所望の極性（プラスまたはマイナス）のイオンに変化させ、このイオンをワークの表面に吹き付け、ワークの表面に付着した微細な塵を除去する除塵器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワーク（例えば、半導体装置その他の電子部品）の表面に付着した塵は静電気の力により静電付着していることが多いため、単に、空気を吹き付けても、塵を除去することは不可能である。
【０００３】
このため、従来は、一対の電極間にコロナ放電を発生させ、このコロナ放電により空気をイオン化させ、イオン化した空気をワークの表面に吹き付けることにより、ワークの表面に存在している静電気を電気的に中和させ、ワークの表面に静電付着している塵を除去する除電式除塵器が用いられてきた。
【０００４】
このような除電式除塵器の一例として、特開平５−１５８６２号公報に記載されている除塵器がある。
【０００５】
図４は同公報に記載されている除塵器５００の全体図である。
【０００６】
図４に示すように、除塵器５００は、突出するノズル５１０を有するイオン化エアー発生器５２０と、高電圧を発生する高圧電源５３０と、高圧電源５３０が発生した高電圧をイオン化エアー発生器５２０に供給する高圧電線５４０と、送風装置５５０と、送風装置５５０が発生した空気流をイオン化エアー発生器５２０に送る送風パイプ５６０と、から構成されている。
【０００７】
図５はイオン化エアー発生器５２０の正面図、図６はイオン化エアー発生器５２０の側面図である。
【０００８】
図５及び図６に示すように、イオン化エアー発生器５２０は、密封状態にあるボックス５２１と、ボックス５２１の内部において相互に対向して配置されている一対の電極５２２と、ボックス５２１から外側に突出しているノズル５１０と、を備えている。
【０００９】
一対の電極５２２には、高圧電線５４０を介して、高圧電源５３０から高電圧が印加される。一対の電極５２２に高電圧が印加されると、一対の電極５２２の間にコロナ放電が発生し、このコロナ放電によって、一対の電極５２２の間に存在している空気が所望の極性（プラスまたはマイナス）のイオンに変わる。
【００１０】
このようにして発生したイオン化空気は送風装置５５０から送風パイプ５６０を介して送られてくる空気流に乗って、ノズル５１０からワーク（図示せず）に向かって放出される。
【００１１】
送風装置５５０には空気流の発生を制御する制御装置（図示せず）が内蔵されている。この制御装置により、送風装置５５０の駆動スイッチをオン・オフさせ、送風圧、すなわち、ノズル５１０から放出されるイオン化空気のワークへの吹き付け圧力が鋸波形になるようにしている。この鋸波形の吹き付け圧力においては、ピーク値（最大値）が除塵に最も適する圧力に等しくなるように設定されており、一のピーク値から次のピーク値までの時間が最適な時間間隔になるように設定されている。
【００１２】
ピーク値の圧力によっても除去されない塵であっても、イオン化空気の吹き付け圧力が弱まると、ピーク値の吹き付け圧力により押さえつけられていたことの反作用によって、浮き上がってしまい、次のピーク値の吹き付け圧力により、吹き飛ばされる。このように、強弱が付けられた吹き付け圧力によって、ワークの表面に付着している塵を効果的に除去することができる。
【特許文献１】特開平５−１５８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、送風装置５５０において、イオン化空気の吹き付け圧力が鋸波形になるように調整されたとしても、そのような吹き付け圧力を有する空気流が送風パイプ５６０の中を進むにつれて、吹き付け圧力の鋸波形が鈍化してしまうという問題点があった。このため、送風装置５５０から放出された空気流がイオン化エアー発生器５２０に達し、さらに、ノズル５１０から放出される時点においては、鋸波形のピーク値はかなり小さくなっており、送風装置５５０において発生した時点のピーク値と比較して、約半分の値しかなかった。
【００１４】
本発明はこのような従来の除塵器における問題点に鑑みてなされたものであり、イオン化空気の吹き付け圧力が有する鋸波形の鈍化を防止することができる除塵器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
以下に、「発明の実施の形態」において使用される参照符号を用いて、上述の課題を解決するための手段を説明する。これらの参照符号は、「特許請求の範囲」の記載と「発明の実施の形態」の記載との間の対応関係を明らかにするためにのみ付加されたものであり、「特許請求の範囲」に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いるべきものではない。
【００１６】
この目的を達成するため、本発明は、相互に対向して配置されている一対の電極（１１０）であって、前記電極（１１０）間に発生させた放電により、前記電極（１１０）間の空気をプラスまたはマイナスの極性のイオンにする一対の電極（１１０）と、前記電極（１１０）と対向して配置され、イオン化された前記空気を放出するノズル（１０２）と、前記ノズル（１０２）とは反対側において前記電極（１１０）と対向して配置され、空気に脈流を生じさせた状態で前記電極（１１０）に直接的に前記空気を送る電磁弁ユニット（１２０）と、を備える除塵器（１００）を提供する。
【００１７】
この除塵器（１００）は全体としてピストル形状をなしていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
従来の除塵器においては、イオン化空気の吹き付け圧力が鋸波形になるように調整されたとしても、そのような吹き付け圧力を有する空気流が送風パイプ５６０の中を進むにつれて、吹き付け圧力の鋸波形が減衰し、ノズル５１０から放出される時点においては、鋸波形のピーク値がかなり小さくなってしまっていた。
【００１９】
これに対して、本発明に係る除塵器によれば、電磁弁ユニットにより鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流は直接的に一対の電極に送られる。このため、鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流が一対の電極に送られるまでの時間を従来の除塵器と比較して飛躍的に短縮することができる。これにより、従来の除塵器のように、吹き付け圧力のピーク値が鈍化することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明の一実施形態に係る除塵器１００の縦断面図であり、図２は本発明の一実施形態に係る除塵器１００を後方から見たときの分解斜視図である。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態に係る除塵器１００は全体としてガンまたはピストルの外形形状をなしている。
【００２２】
除塵器１００のボディは下半分において把手１０１を形成し、上半分の先端にはノズル１０２を形成している。さらに、除塵器１００のボディの最上端には吊り下げ用のフック１０３が設けられている。
【００２３】
除塵器１００のボディの内部には、図１に示すように、ノズル１０２と対向して、一対の電極１１０が配置されている。
【００２４】
さらに、ノズル１０２とは反対側において、一対の電極１１０と対向して、電磁弁ユニット１２０が配置されている。
【００２５】
一対の電極１１０は相互に対向して配置されている。一対の電極１１０には、電極用コード１１１を介して、電圧源（図示せず）から所定の高電圧が印加される。一対の電極１１０に高電圧が印加されると、一対の電極１１０の間にコロナ放電が発生し、このコロナ放電により、一対の電極１１０の間に存在している空気がプラスまたはマイナスの極性のイオンに変わる。
【００２６】
電磁弁ユニット１２０には電磁弁用コード１３０を介して電圧源（図示せず）から所定の駆動電圧が印加される。
【００２７】
また、電磁弁ユニット１２０には空気ホース１３１が接続されており、空気源（図示せず）から空気流が供給される。
【００２８】
電磁弁ユニット１２０には一対の電極１１０に向かって延びる空気パイプ１３２が取りつけられており、空気源（図示せず）から供給された空気流は電磁弁ユニット１２０を経て空気パイプ１３２を介して一対の電極１１０に送られる。
【００２９】
すなわち、空気源（図示せず）から供給された空気流は、図１の矢印Ａに示すように、空気ホース１３１、電磁弁ユニット１２０、空気パイプ１３２、一対の電極１１０を通過して、ノズル１０２から放出される。
【００３０】
さらに、除塵器１００のボディにはトリガー１４０が設けられている。トリガー１４０はスイッチ１４１に電気的に接続しており、トリガー１４０を付勢することにより、スイッチ１４１のオン・オフが制御される。
【００３１】
電極用コード１１１及び電磁弁用コード１３０はスイッチ１４１を経由している。このため、一対の電極１１０への電圧の印加及び電磁弁ユニット１２０への電圧の印加はトリガー１４０の付勢により制御される。
【００３２】
具体的には、トリガー１４０を押すと、スイッチ１４１がオンとなり、一対の電極１１０及び電磁弁ユニット１２０に対して電圧が印加される。トリガー１４０を離すと、トリガー１４０は元の位置に戻り（トリガー１４０はバネ（図示せず）により、スイッチ１４１から離れる方向に常に付勢されている）、スイッチ１４１はオフとなり、一対の電極１１０及び電磁弁ユニット１２０に対する電圧の印加は停止される。
【００３３】
なお、一対の電極１１０への電圧の供給は連続的に行い、空気源（図示せず）から供給される空気流のオン・オフのみを電磁弁ユニット１２０により制御するようにすることもできる。一対の電極１１０へ電圧を連続的に供給する場合には、一対の電極１１０を電極用コード１１１を介して、スイッチ１４１を経由せずに、直接に電圧源に接続させる。
【００３４】
この場合には、トリガー１４０による一対の電極１１０のオン・オフ制御が行われることはなく、単に、電圧源をオンにすれば、一対の電極１１０もオンになり、電圧源をオフにすれば、一対の電極１１０もオフになる。
【００３５】
なお、図２に示すように、除塵器１００のボディの一部はカバー１５０として取り外し可能に形成されている。カバー１５０は電磁弁ユニット１２０を覆う形状を有しており、カバー１５０を取り外すことにより、図２に示すように、電磁弁ユニット１２０のみを取り出すことが可能になっている。
【００３６】
以上のような構造を有する除塵器１００は以下のように作動する。
【００３７】
まず、空気源（図示せず）を作動させる。これにより、空気源から供給された空気流は、図１の矢印Ａに示すように、空気ホース１３１、電磁弁ユニット１２０、空気パイプ１３２、一対の電極１１０を通過して、ノズル１０２から放出される。
【００３８】
次いで、トリガー１４０を付勢し、スイッチ１４１をオンにする。
【００３９】
この結果として、電極用コード１１１及び電磁弁用コード１３０を介してそれぞれ一対の電極１１０及び電磁弁ユニット１２０に対して電圧が印加される。
【００４０】
図３は電磁弁ユニット１２０のオン・オフと、それにより発生する空気の吹き付け圧力との関係を示すタイムチャートである。
【００４１】
電磁弁ユニット１２０に駆動電圧が印加されると、電磁弁ユニット１２０は高速でオン・オフを繰り返す。その結果、空気源から供給された空気の内部に脈流が発生する。すなわち、図３に示すように、空気源から供給された空気流の吹き付け圧力は鋸波形となる。
【００４２】
鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流は空気パイプ１３２を介して一対の電極１１０に送られる。
【００４３】
一対の電極１１０に高電圧が印加されると、一対の電極１１０の間にコロナ放電が発生する。このコロナ放電により、空気パイプ１３２を通過してきた鋸波形の吹き付け圧力を有する空気はプラスまたはマイナスの極性のイオンに変わる。
【００４４】
このようにしてイオン化された鋸波形の吹き付け圧力を有する空気はノズル１０２からワーク（図示せず）に向けて放出される。
【００４５】
以上のように、本実施形態に係る除塵器１００によれば、電磁弁ユニット１２０により鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流は空気パイプ１３２を介して直接的に一対の電極１１０に送られる。
【００４６】
すなわち、本実施形態に係る除塵器１００によれば、鋸波形の吹き付け圧力を有するに至った空気流が一対の電極１１０に送られるまでの時間を従来の除塵器と比較して飛躍的に短縮することができる。このため、従来の除塵器のように、吹き付け圧力のピーク値が鈍化することを防止することができる。
【００４７】
なお、本実施形態に係る除塵器１００はピストル（ガン）型の外形を有するものとして形成したが、除塵器１００の外形はこれには限定されない。用途に応じて、任意の形状をとることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態に係る除塵器の縦断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る除塵器を後方から見たときの分解斜視図である。
【図３】電磁弁ユニットのオン・オフと、それにより発生する空気の吹き付け圧力との関係を示すタイムチャートである。
【図４】従来の除塵器の全体図である。
【図５】従来の除塵器におけるイオン化エアー発生器の正面図である。
【図６】図５に示したイオン化エアー発生器の側面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００  本発明の一実施形態に係る除塵器
１０１  把手
１０２  ノズル
１０３  フック
１１０  一対の電極
１２０  電磁弁ユニット
１３０  電磁弁用コード
１３１  空気ホース
１３２  空気パイプ
１４０  トリガー
１４１  スイッチ
１１１  電極用コード
１５０  カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008062153.tif 000007
【図６】
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