(57)【要約】【課題】第１及び第２の黒基準信号出力要素の出力を選択可能にすることにより、出力データ数を削減し、単位時間当たりの撮影コマ数を増大せしめることを課題とする。【解決手段】入射光に応じて発生した電荷を蓄積して出力する光電変換信号出力要素と、暗電流を蓄積可能な蓄積領域を有し、遮光されている第１の黒基準信号出力要素と、前記蓄積領域を有さない第２の黒基準信号出力要素とを有し、前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号は第１の制御信号に応じて選択的に出力されることを特徴とする撮像システムが提供される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光に応じて発生した電荷を蓄積して出力する光電変換信号出力要素と、
暗電流を蓄積可能な蓄積領域を有し、遮光されている第１の黒基準信号出力要素と、
前記蓄積領域を有さない第２の黒基準信号出力要素とを有し、
前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号は第１の制御信号に応じて選択的に出力されることを特徴とする撮像システム。
【請求項２】
前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号は第１の制御信号に応じて行単位で選択的に出力されることを特徴とする請求項１記載の撮像システム。
【請求項３】
前記第２の黒基準信号出力要素の信号は第２の制御信号に応じてレベルシフトされることを特徴とする請求項１又は２記載の撮像システム。
【請求項４】
前記第２の黒基準信号出力要素の信号は、第２の制御信号に応じて前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号の差分レベルにレベルシフトされることを特徴とする請求項３記載の撮像システム。
【請求項５】
さらに、前記レベルシフトされた前記第２の黒基準信号出力要素の信号をクランプする信号処理回路を有することを特徴とする請求項３又は４記載の撮像システム。
【請求項６】
入射光に応じて発生した電荷を蓄積して出力する光電変換信号出力要素と、
暗電流を蓄積可能な蓄積領域を有し、遮光されている第１の黒基準信号出力要素と、
前記蓄積領域を有さない第２の黒基準信号出力要素とを有する撮像システムの処理方法であって、
前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号を第１の制御信号に応じて選択的に出力するステップを有することを特徴とする撮像システムの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にビデオカメラ、デジタルスチルカメラ、イメージスキャナ用のイメージ入力装置等に用いられる撮像システム及びその処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、固体撮像素子には信号レベルの基準信号となる信号（黒基準信号）を得るために光に反応しない黒基準領域を備えており、有効画素信号はその黒基準領域で得たレベルを基準として演算処理される。このような固体撮像素子をデジタルスチルカメラ等に用い、長時間露光モードで撮影を行った場合、画素に蓄積された暗電流が増加し、画素毎に暗電流値がばらつくことによって信号レベルのばらつきが大きくなる。各行の有効画素信号の基準信号を得るために、黒基準領域をクランプすることによって黒基準信号を得るわけであるが、上記信号レベルのばらつきによって、各行ごとの黒基準信号がばらつき、結果として画面に横筋が生じるといった弊害が発生する。
【０００３】
また、黒基準領域を構成する遮光膜に光透過を生ずる欠陥があった場合の対策として、特許文献１に黒基準領域（オプティカルブラック領域）には電荷を蓄積するための不純物領域を形成しない固体撮像素子が開示されている。この固体撮像素子の黒基準領域においては暗電流による電荷の蓄積がないため、上記弊害は対策される。しかし、特に長時間露光モードで撮影した場合に、有効画素領域と黒基準領域のダークレベルの差が生じ、黒基準レベルがずれるという問題が発生する。
【０００４】
このような問題の対策が特許文献２に開示されている。特許文献２では、黒基準領域として半導体基板に不純物を注入して形成された第１の黒基準領域と、半導体基板に不純物を注入しない第２の黒基準領域を有する。第２の黒基準領域から出力されるアナログ信号でクランプし、デジタル信号に変換した後に第１の黒基準領域から出力されるデジタル信号でクランプする。これによって、不要な暗電流を含まない安定したクランプが行えるとともに、有効画素領域と黒基準領域のダークレベルの差分を正確に補正できるとしている。
【０００５】
【特許文献１】特許第２９１７３６１号公報
【特許文献２】特開２００２−６４１９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら前記構成によれば、第１の黒基準領域の出力と、第２の黒基準領域の出力とでは暗電流による出力電圧分の差が存在する。そのため、アナログクランプを行う回路およびアナログデジタル変換器のダイナミックレンジ、アナログデジタル変換器のデジタル出力のダイナミックレンジとして、前記差分だけダイナミックレンジを大きくすることが必要となる。この問題は、特許文献２で開示されている手段によっても回避することが出来ない。
【０００７】
また、第１の黒基準領域と第２の黒基準領域とをもつ固体撮像素子の場合、双方が出力する黒基準領域を共に固体撮像素子の信号として出力させた場合、出力画素数の増加に伴うデータ出力レートの低下を招くことにもなる。
【０００８】
さらに、第１の黒基準領域の信号レベルと第２の黒基準領域の信号レベルとの差分を、固体撮像装置で使用する場合においては、夫々適切に第１の黒基準領域信号と第２の黒基準信号とを選択的に固体撮像素子より出力させる必要が生ずる。
【０００９】
本発明の目的は、第１及び第２の黒基準信号出力要素の出力を選択可能にすることにより、出力データ数を削減し、単位時間当たりの撮影コマ数を増大せしめることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の撮像システムは、入射光に応じて発生した電荷を蓄積して出力する光電変換信号出力要素と、暗電流を蓄積可能な蓄積領域を有し、遮光されている第１の黒基準信号出力要素と、前記蓄積領域を有さない第２の黒基準信号出力要素とを有し、前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号は第１の制御信号に応じて選択的に出力されることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の撮像システムの処理方法は、入射光に応じて発生した電荷を蓄積して出力する光電変換信号出力要素と、暗電流を蓄積可能な蓄積領域を有し、遮光されている第１の黒基準信号出力要素と、前記蓄積領域を有さない第２の黒基準信号出力要素とを有する撮像システムの処理方法であって、前記第１及び第２の黒基準信号出力要素の信号を第１の制御信号に応じて選択的に出力するステップを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
第１の黒基準信号出力要素と第２の黒基準信号出力要素のどちらの信号を出力させるかを選択可能にすることにより、出力データ数を削減し、単位時間当たりの撮影コマ数を増大させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１０は、本発明の実施形態による固体撮像装置（撮像システム）の構成例を示すブロック図である。制御回路１００２は、水平同期信号ＨＤ、黒基準領域選択信号ＰＮＳＥＬ及びオフセット制御信号ＰＬＶＳＨＦＴを固体撮像素子１００１に出力し、黒基準領域同期信号ＯＢＰを信号処理回路１００３に出力する。固体撮像素子１００１は、画素出力信号ＯＵＴを信号処理回路１００３に出力する。
【００１４】
図３は、固体撮像素子１００１の構成例を示す概念図である。３０１は固体撮像素子１００１の水平部分に配置された第１の黒基準（オプティカルブラック）領域である。３０４は固体撮像素子１００１の垂直部分に配置された第１の黒基準領域である。３０２は固体撮像素子１００１の水平部分に配置された第２の黒基準領域である。３０３は固体撮像素子１００１の開口行有効画素領域である。第１の黒基準領域には複数の第１の黒基準信号出力要素が配され、第２の黒基準領域には複数の第２の黒基準信号出力要素が配されている。また有効画素領域には、複数の光電変換信号出力要素が配されている。
【００１５】
領域３０１、３０３及び３０４は、電荷を蓄積する為の半導体領域を有する。有効画素領域（光電変換信号出力要素）３０３は、入射光に応じて発生した電荷を蓄積して出力する開口された開口画素領域である。第１の黒基準領域（第１の黒基準信号出力要素）３０１及び３０４は、暗電流を蓄積可能な蓄積領域（半導体領域）を有し、遮光されている領域である。第２の黒基準領域（第２の黒基準信号出力要素）３０２は、電荷（暗電流）を蓄積可能な蓄積領域（半導体領域）を有しない。
【００１６】
本実施形態の理解を容易にする為に、固体撮像素子１００１からの画像信号の読み出し動作の概略を説明する。垂直部分の第１の黒基準領域３０４のレベルが固体撮像素子１００１から出力される期間において、固体撮像素子１００１の後段に接続される信号処理回路１００３は、固体撮像素子１００１が出力する黒レベルを検出し、クランプする動作を行う。これにより、信号処理回路１００３は、固体撮像素子１００１が出力する電圧レベルが、黒レベルからどれだけ大きな値であるか、すなわちどれだけ明るい値であるかの判断を行い、その黒基準を基にデジタル値に変換する動作を行うことができる。黒基準領域３０４は比較的大きい領域であり、その期間において適切に黒レベルの決定を行う。
【００１７】
一方で、第１の黒基準領域３０１は行方向に並んだ黒基準領域であり、本来の目的は、第１の黒基準領域３０４で合わせ込んだ黒レベルの行方向でのわずかな変化に追従し、行毎に変わる黒レベルを適切に得ることにより正しい画像信号を得ることである。
【００１８】
しかし、［背景技術］の項で示したように、この第１の黒基準領域に発生したばらつきやさらに大きな欠陥は、画質に縞模様に認識されるような不具合を発生させてしまう。
【００１９】
この問題を解決する手段として、第２の黒基準領域３０２の信号を使用する方法がある。しかし、この場合においては、先に示したように第１の黒基準領域の値と第２の黒基準領域の値とで黒レベルの差があり、その差分が画像信号のダイナミックレンジを削減してしまう。
【００２０】
本実施形態では、第１の黒基準領域で得た第１の黒基準レベルと第２の黒基準領域３０２で得た第２の黒基準レベルとの差分を、後段の信号処理回路１００３で計算させ、第２の黒基準レベルに、その差分を加える処理を行うことが可能な制御信号を生成する。
【００２１】
本実施形態は、黒基準領域選択信号ＰＮＳＥＬにより、固体撮像素子１００１の行単位で第１の黒基準領域、又は第２の黒基準領域を選択する。さらに、固体撮像素子１００１の行単位で出力信号ＯＵＴにオフセットレベルを与える信号ＰＬＶＳＨＦＴを設けることで、出力される黒基準領域の直流オフセットを制御する。さらに、固体撮像素子１００１が出力する黒基準信号を後段の信号処理回路１００３が適切にクランプし、デジタル信号に変換する為の同期信号ＯＢＰを出力する。信号ＰＮＳＥＬ、ＰＬＶＳＨＦＴ及びＯＢＰを適切に設定することにより、最適な画像信号を得ることができる。
【００２２】
図１は、本実施形態の信号波形を示す図である。図には一水平期間のタイミングを簡略に示してある。図中の水平同期信号ＨＤは、一水平期間の先頭を意味する信号で、二次元画像の同期を取るための一般的な信号として表記してある。
【００２３】
画素出力信号ＯＵＴは、前記水平同期信号ＨＤに同期して生成される信号に従って、出力される画像データのアナログ信号である。画素出力信号ＯＵＴの高さ（レベル）の低い部分は、黒基準領域の信号レベルを示し、レベルの高い部分は画像信号そのものを示している。
【００２４】
図中の信号ＯＢＰは黒基準領域の位置を固体撮像素子１００１の後段の信号処理回路１００３に知らしめる為の信号であり、重要な構成の一部をなす。図中の信号ＰＮＳＥＬは黒基準領域として、第１の黒基準領域又は第２の黒基準領域を選択するための信号である。図１においては信号ＰＮＳＥＬはハイレベルであり、第２の黒基準領域を選択出力する状態の波形を示している。すなわち、黒基準領域のレベルは暗電流による出力電圧分が含まれない低いレベルとなっている。
【００２５】
図２は、本実施形態の別の信号波形を示す図である。図には一水平期間のタイミングを簡略に示してある。図中の水平同期信号ＨＤは、一水平期間の先頭を意味する信号で、二次元画像の同期を取るための一般的な信号として表記してある。
【００２６】
画素出力信号ＯＵＴは、前記水平同期信号ＨＤに同期して生成される信号に従って、出力される画像データのアナログ信号である。画素出力信号ＯＵＴの高さ（レベル）の低い部分は、黒基準領域の信号レベルを示し、レベルの高い部分は画像信号そのものを示している。
【００２７】
図中の信号ＯＢＰは黒基準領域の位置を固体撮像素子１００１の後段の信号処理回路１００３に知らしめる為の信号であり、重要な構成の一部をなす。図中の信号ＰＮＳＥＬは黒基準領域として、第１の黒基準領域又は第２の黒基準領域を選択するための信号である。図２においては信号ＰＮＳＥＬはローレベルであり、第１の黒基準領域を選択出力する状態の波形を示している。すなわち、黒基準領域のレベルは暗電流による出力電圧分を含む高いレベルとなっている。
【００２８】
図１と図２を比較して明らかなように、黒基準領域におけるレベルは、不純物領域を含まない第２の黒基準領域は不純物領域を含む第１の黒基準領域よりも低いレベルとなる。さらにこの傾向は長時間露光を行った場合に顕著となる。
【００２９】
図４は、信号ＰＮＳＥＬをローレベルとして第１の黒基準領域３０４を選択出力させてその黒基準信号ＯＵＴをクランプするタイミングを示している。水平方向に長い黒基準領域３０４をタイミング図に記載していない複数行に渡って信号ＯＢＰによってクランプすることで、黒基準レベルを得ることが出来る。
【００３０】
図５は、信号ＰＮＳＥＬをハイレベルとして第２の黒基準領域３０２を選択出力させ、信号ＯＢＰをローレベルのままとして画像信号ＯＵＴとして取り込みを行うタイミングを示している。これにより、後段の信号処理回路１００３は第２の黒基準領域３０２の信号のレベルと第１の黒基準領域の信号のレベル差を計算することが出来る。
【００３１】
図６は、第２の黒基準領域に第１の黒基準領域の出力電圧差分を加算した状態での黒レベルのクランプ動作を示したタイミング図である。制御回路１００２は、信号ＰＮＳＥＬをハイレベルにするとともに信号ＰＬＶＳＨＦＴをハイレベルとする。固体撮像素子１００１は、信号処理回路１００３が計算した差分を第２の黒基準領域３０２の信号のレベルに加算したレベルを出力する。信号処理回路１００３は、信号ＯＢＰによりノイズ成分や傷による影響のない黒基準信号により、十分な電圧レベルをもった黒レベルをクランプする。これにより、信号処理回路１００３は、ダイナミックレンジを損なうことなく固体撮像素子１００１が出力する信号ＯＵＴを処理することができる。
【００３２】
図７は、適切なＯＢクランプ動作をする為の手順を示したフローチャートである。適切なＯＢクランプに至る動作シーケンスを説明する為に本フローチャートをもとに説明する。
【００３３】
ステップ７０１では、制御回路１００２は、固体撮像素子１００１に対して、信号ＰＮＳＥＬをローレベルとし、信号ＰＬＶＳＨＦＴをローレベルとして出力する。固体撮像素子１００１は、信号ＰＮＳＥＬがローレベルになると第１の黒基準領域を選択し、信号ＰＬＶＳＨＦＴがローレベルになることにより、その選択した第１の黒基準領域の信号ＯＵＴをレベルシフトすることなく出力する。
【００３４】
ステップ７０２では、制御回路１００２は、固体撮像素子１００１の後段に接続されている信号処理回路１００３に対してクランプさせる目的で制御信号ＯＢＰを出力する。すると、信号処理回路１００３は、ステップ７０１で固体撮像素子１００１から出力された第１の黒基準領域の出力レベルをＯＢレベルとしてクランプする。このステップにより、第１の黒基準領域のレベルを適切な黒レベルとしてクランプすることができる。
【００３５】
ステップ７０３では、制御回路１００２は、固体撮像素子１００１に対して、信号ＰＮＳＥＬをハイレベルにし、信号ＰＬＶＳＨＦＴをローレベルにして出力する。固体撮像素子１００１は、信号ＰＮＳＥＬがハイレベルになると第２の黒基準領域を選択し、信号ＰＬＶＳＨＦＴがローレベルになることにより、その選択した第２の黒基準領域の信号ＯＵＴをレベルシフトすることなく出力する。
【００３６】
ステップ７０４では、制御回路１００２は、固体撮像素子１００１の後段に接続されている信号処理回路１００３に対して制御信号ＯＢＰを出力しない。すると、信号処理回路１００３は、ステップ７０３で固体撮像素子１００１から出力された第２の黒基準領域のレベルを信号レベルとして処理する。
【００３７】
ステップ７０５では、信号処理回路１００３は、第２の黒基準領域のレベルをステップ７０２でクランプした第１の黒基準領域のレベルと比較した差分レベルを計算し、その差分レベルを直接または制御回路１００２を介して固体撮像素子１００１に出力する。
【００３８】
ステップ７０６では、制御回路１００２は、固体撮像素子１００１に対して、信号ＰＮＳＥＬをハイレベルにし、信号ＰＬＶＳＨＦＴをハイレベルにして出力する。固体撮像素子１００１は、信号ＰＮＳＥＬがハイレベルになると第２の黒基準領域を選択する。そして、固体撮像素子１００１は、信号ＰＬＶＳＨＦＴがハイレベルになることにより、その選択した第２の黒基準領域のレベルをステップ７０５で出力されたレベルにレベルシフトした第２の黒基準領域の電圧レベルを出力する。
【００３９】
ステップ７０７では、制御回路１００２は、固体撮像素子１００１の後段に接続されている信号処理回路１００３に対してクランプ動作をさせる目的で制御信号ＯＢＰを出力する。すると、信号処理回路１００３は、ステップ７０６で固体撮像素子１００１から出力されたレベルシフトされた第２の黒基準領域のレベルをＯＢレベルとしてクランプする。
【００４０】
図７で示したフローチャートの流れに従えば、光信号によるノイズ成分を持った第１の黒基準領域の信号を使用することなく、かつ、不純物領域を持たないが故のダイナミックレンジの抑圧の影響を受けることも無い固体撮像装置を構成することが可能となる。
【００４１】
図８には、図３に示した固体撮像素子１００１の水平部分の第１の黒基準領域と、第２の黒基準領域の順序が逆に配置された構成を示している。８０４は固体撮像素子１００１の垂直部分に配置された第１の黒基準領域である。８０２は固体撮像素子の水平部分に配置された第１の黒基準領域である。８０１は固体撮像素子の水平部分に配置された第２の黒基準領域である。８０３は固体撮像素子１００１の開口行有効画素領域である。この様な構成の固体撮像素子１００１においても同様の効果を得ることが可能である。
【００４２】
図９は、図３と図８とに示した構成の固体撮像素子１００１に対して、水平方向の第１の黒基準領域と第２の黒基準領域とが行単位で交互に配置された構成を示している。９０３は固体撮像素子１００１の垂直部分に配置された第１の黒基準領域である。９０１は固体撮像素子１００１の水平部分に交互に配置された第１の黒基準領域と第２の黒基準領域である。９０２は固体撮像素子１００１の開口行有効画素領域である。この様な構成の固体撮像素子１００１においても同様の効果を得ることが可能である。但しこの場合においては信号ＰＮＳＥＬによる第１の黒基準領域と第２の黒基準領域の選択の自由度は失われる事になる一方で、固体撮像素子１００１を小型化できるという効果をもつ。
【００４３】
本実施形態によれば、制御回路１００２は、制御信号ＰＮＳＥＬ、ＰＬＶＳＨＦＴ、ＯＢＰを出力する。制御信号ＰＮＳＥＬは、固体撮像素子１００１に対して、第１の黒基準領域と第２の黒基準領域の信号を選択して出力させるための制御信号である。固体撮像素子１００１は、制御信号ＰＮＳＥＬに応じて、第１及び第２の黒基準領域の電荷信号を行単位で選択的に出力する。制御信号ＰＬＶＳＨＦＴは、固体撮像素子１００１に対して、第２の黒基準領域のレベルを第１の黒基準領域のレベルまでレベルシフトさせるための制御信号である。固体撮像素子１００１は、制御信号ＰＬＶＳＨＦＴに応じて、第２の黒基準領域の電荷信号を、第１及び第２の黒基準領域の電荷信号の差分レベルにレベルシフトする。制御信号ＯＢＰは、信号処理回路１００３に対して、黒レベルとしてクランプすべきか否かを示す制御信号である。信号処理回路１００３は、信号ＯＢＰに応じて、第１の黒基領域の信号をクランプし、第２の黒基準領域の信号をクランプせず、第１及び第２の黒基準領域の電荷信号の差分レベルにレベルシフトした第２の黒基準領域の電荷信号をクランプする。
【００４４】
本実施形態によれば、信号ＰＮＳＥＬ、信号ＰＬＶＳＨＦＴ、信号ＯＢＰを設けることにより、第１の黒基準領域と第２の黒基準領域とを有する固体撮像素子１００１に対して、好適なタイミングを生成することが可能となる。
【００４５】
さらに、第１の黒基準領域のレベルと第２の黒基準領域のレベルを固体撮像素子１００１の後段に接続された信号処理装置１００３に信号ＯＢＰによる制御で判断させる。これにより、適切な差分レベルを得ることが可能となり、最適なダイナミックレンジを有する固体撮像装置の構成を得ることが可能となる。
【００４６】
また、信号ＰＮＳＥＬにより、第１の黒基準領域と第２の黒基準領域を有する固体撮像素子１００１に対して、選択的にどちらの黒基準領域を出力させるかを選択可能にする。これにより、出力データ数を削減し、単位時間当たりの撮影コマ数を増大させることができる。
【００４７】
また、第１の黒基準領域と第２の黒基準領域とを選択的に出力させ、かつ第２の黒基準領域のレベルを変更せしめる為の信号ＰＬＶＳＨＦＴを供給する。これにより、第１の黒基準領域のレベルと同じレベルでなおかつ、光の影響を全く受けない第２の黒基準領域のレベルを出力させることができる。
【００４８】
また、固体撮像素子１００１の後段に接続されている信号処理回路１００３に対して、黒基準領域のレベルをクランプする信号ＯＢＰを適切に供給する。これにより、第１の黒基準領域のレベルと、レベル変換を受けていない第２の黒基準領域のレベルを認知せしめ、適切なレベルシフト量を知らせることができる。
【００４９】
なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】第２の黒基準領域を選択した制御によるタイミング図である。
【図２】第１の黒基準領域を選択した制御によるタイミング図である。
【図３】第１の黒基準領域と第２の黒基準領域を有する固体撮像素子の構成例を示す図である。
【図４】固体撮像素子が有する垂直部分の第１の黒基準領域を用いた、黒レベルのクランプ動作を示したタイミング図である。
【図５】第２の黒基準領域の信号を選択して出力させた場合のタイミング図である。
【図６】第２の黒基準領域に第１の黒基準領域の出力電圧差分を加算した状態での黒レベルのクランプ動作を示したタイミング図である。
【図７】第２の黒基準領域のレベルを黒レベルのクランプに使用しつつ、ダイナミックレンジの損失を排除する為の流れを示したフローチャートである。
【図８】第１の黒基準領域と第２の黒基準領域を有する固体撮像素子の別の構成例を示す図である。
【図９】第１の黒基準領域と第２の黒基準領域を有する固体撮像素子の別の構成例を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態による固体撮像装置（撮像システム）の構成例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５１】
３０１  第１の黒基準領域
３０２  水平部分の第２の黒基準領域
３０３  開口行有効画素領域
３０４  垂直部分の第１の黒基準領域
８０１  水平部分の第２の黒基準領域
８０２  水平部分の第１の黒基準領域
８０３  開口行有効画素領域である。
８０４  垂直部分の第１の黒基準領域
９０１  水平部分の第１の黒基準領域及び第２の黒基準領域
９０２  開口行有効画素領域
９０３  垂直部分の第１の黒基準領域
１００１  固体撮像素子
１００２  制御回路
１００３  信号処理回路
【図１】
2008136115.tif 000003
【図２】
2008136115.tif 000004
【図３】
2008136115.tif 000005
【図４】
2008136115.tif 000006
【図５】
2008136115.tif 000007
【図６】
2008136115.tif 000008
【図７】
2008136115.tif 000009
【図８】
2008136115.tif 000010
【図９】
2008136115.tif 000011
【図１０】
2008136115.tif 000012