(57)【要約】【課題】低発塵、低アウトガスの高レベルの要求に応えることができる転がり軸受を提供する。【解決手段】この玉軸受では、内輪１と外輪２とシール部５,６とで囲まれた空間において、内輪１の外周面１Ｂ,１Ｃに形成された吸着材コーティング２２,２７と外輪２の内周面２Ｂ,２Ｃに形成された吸着材コーティング１８,２３、および、シール部５,６の内側面に形成された吸着材コーティング１８,２３と保持器７の非保持面に形成された吸着材コーティング３０,３１が配置されている。これらの吸着材コーティング１８〜３１によって、内輪１,外輪２,玉３,保持器７,シール部５,６等から生じる摩耗粉および潤滑剤の蒸発によるアウトガスを吸着できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪と、
外輪と、
転動体と、
上記内輪と外輪との間の空間を密封する密封部とを備え、
上記内輪と外輪と密封部とで囲まれた空間の一部に吸着材を配置したことを特徴とする転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、転がり軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、転がり軸受の使用環境の一例としての半導体製造装置、液晶製造装置、ハードディスク製造装置などの装置では、益々、回路線幅が微細化しており、歩留まり向上のために、装置自体からの発塵やアウトガスを低減することが求められている。
【０００３】
そこで、従来、軸受からの発塵およびアウトガスを低減するために、潤滑剤を通常のグリースや油に替えて、低蒸気圧を有する潤滑油を採用した転がり軸受が提案されている(特許文献１(特開２００６−９７８８２号公報)参照)。
【０００４】
ところで、転がり軸受の使用環境としては、近年、益々、低発塵、低アウトガスの要求が高まっており、さらなる低発塵,低アウトガス(例えばクラス１０以上)の要求に応えることが求められている。
【０００５】
ところが、従来のように、潤滑剤自身の低発塵特性,低アウトガス特性のみに頼るだけでは、高まる低発塵,低アウトガスの要求に応えることが困難になってきている。
【特許文献１】特開２００６−９７８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、この発明の課題は、低発塵、低アウトガスの高レベルの要求に応えることができる転がり軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、この発明の転がり軸受は、内輪と、外輪と、転動体と、上記内輪と外輪との間の空間を密封する密封部とを備え、
上記内輪と外輪と密封部とで囲まれた空間の一部に吸着材を配置したことを特徴としている。
【０００８】
この発明の転がり軸受によれば、内輪と外輪と密封部とで囲まれた空間の一部に配置した吸着材で、内輪,外輪,転動体,保持器,密封部等から生じる摩耗粉や潤滑剤の蒸発によるアウトガスを吸着する。よって、本発明によれば、従来に比べて、低発塵、低アウトガスの高レベルの要求に応えることができる。また、本発明によれば、潤滑剤を増量して潤滑剤の蒸発量が増加しても、潤滑剤の蒸発によるアウトガスを吸着剤で吸着するので、軸受外へアウトガスが漏れ出すことを防ぐことができる。よって、潤滑剤を増量したことによる長寿命化を図れる。
【発明の効果】
【０００９】
この発明の転がり軸受によれば、内輪と外輪と密封部とで囲まれた空間の一部に配置した吸着材で、内輪,外輪,転動体,保持器,密封部等から生じる摩耗粉や潤滑剤の蒸発によるアウトガスを吸着する。よって、本発明によれば、従来に比べて、低発塵、低アウトガスの高レベルの要求に応えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００１１】
図１に、この発明の転がり軸受の一実施形態としての玉軸受の半断面を示す。この実施形態は、内輪１と外輪２と、転動体としての玉３と、玉３を保持する保持器７と、内輪１と外輪２との間の空間を密封する密封部として環状のシール部５,６を備える。この玉軸受の内輪１の軌道面１Ａ、外輪２の軌道面２Ａ、玉３には、潤滑剤が塗布される。
【００１２】
上記シール部５は、一端部５Ａが外輪２の軸方向の一方の肩部８に形成された環状溝１０に密に嵌合されて固定されていると共に、他端部５Ｂは内輪１の軸方向の一方の肩部１１に形成された環状溝１２に摺動可能に嵌合している。一方、上記シール部６は、一端部６Ａが外輪２の軸方向の他方の肩部１３に形成された環状溝１５に密に嵌合されて固定されていると共に、他端部６Ｂは内輪１の軸方向の他方の肩部１６に形成された環状溝１７に摺動可能に嵌合している。なお、この実施形態では密封部の一例として、芯金と芯金を被覆するエラストマー製のシール材とで構成されるシール部５、６を具備しているが、上記密封部は、ラビリンスシールでもよく、鋼製のシールドでもよい。
【００１３】
また、この実施形態では、外輪２の軌道面２Ａに対して軸方向の一方に隣接する内周面２Ｂに吸着材料からなる吸着材コーティング１８が形成されている。また、シール部５の内側面に吸着材からなる吸着材コーティング２１が形成されている。また、内輪１の軌道面１Ａに対して軸方向の一方に隣接する外周面１Ｂに吸着材からなる吸着材コーティング２２が形成されている。そして、上記吸着材コーティング１８と２１と２２とはつながっていて一続きになっている。
【００１４】
また、この実施形態では、外輪２の軌道面２Ａに対して軸方向の他方に隣接する内周面２Ｃに吸着材料からなる吸着材コーティング２３が形成されている。また、シール部６の内側面に吸着材からなる吸着材コーティング２６が形成されている。また、内輪１の軌道面１Ａに対して軸方向の他方に隣接する内周面１Ｃに吸着材からなる吸着材コーティング２７が形成されている。そして、上記吸着材コーティング２３と２６と２７とはつながっていて一続きになっている。なお、内輪１の軌道面１Ａおよび外輪２の軌道面２Ａには、吸着材コーティングを形成していない。
【００１５】
また、この実施形態では、保持器７の保持面７Ａに隣接する非保持面に吸着材料からなる吸着材コーティング３０,３１が形成されている。
【００１６】
上記吸着材コーティング１８〜３１をなす吸着材としては、化学吸着特性または物理吸着特性のいずれか一方を備えたものでも、化学吸着特性と物理吸着特性の両方を兼ね備えたものでもよい。具体的な吸着材としては、例えば、活性炭、シリカゲル、ゼオライト、アルミナ、シリカ、ボリア、チタニア、セピオライト、活性白土、高分子化合物(例えば、スチレン系重合体、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体)、ガラス材、フッ素化合物、イオン交換体、グラファイト、カーボンナノチューブなどを用いる。
【００１７】
上記ゼオライトとしては、例えば、ホウフッ石、ハクリュウ石、ホウソーダ石、フォージャス石、リョウフッ石、脱水カルシウムリョウフッ石、グメリンフッ石、ソーダフッ石、メンフッ石、スコレスフッ石、トムソンフッ石、エジントンフッ石、ゴナルドフッ石、ジュウジュウジフッ石、カイジュウジフッ石、ジスモンドフッ石、モルデンフッ石、ダキアルドフッ石、キフッ石、クリノプチロルフッ石、タバフッ石、ハワフッ石、ブリュースターフッ石、ダクフッ石、ユガワラフッ石、リョクチュウ石、キンセイ石、ミラー石、オウスミ石、カスミ石、カンクリン石等の天然ゼオライト類や、ゼオライトＡ型、ゼオライトＮ−Ａ型、ゼオライトＸ型、ゼオライトＹ型、ゼオライトＨＳ型、ゼオライトＺＫ−５型、ゼオライトＢ型、ゼオライトΩ型、ゼオライトＲ型、ゼオライトＧ型、ゼオライトＤ型、ゼオライトＴ型、ゼオライトＬ型、ゼオライトＷ型、ゼオライトＣ型等の合成ゼオライトが挙げられる。
【００１８】
また、上記活性白土としては、例えば、モンモリロン石、マグネシアンモンモリロン石、テツモンモリロン石、テツマグネシアンモンモリロン石、バイデライト、アルミニアンバイデライト、ノントロン石、アルミニアンノントロナイト、サポー石、アルミニアンサポー石、ヘクトライト、ソーコナイト、ボルコンスコアイト等のスメクタイト群鉱物類(酸性白土)を、塩酸、硫酸等の鉱酸で処理してアルミニウム、マグネシウム、鉄等の塩基性成分の一部を溶出させたものが挙げられる。
【００１９】
また、上記ガラス材としては、例えばケイ酸塩ガラス、リン酸塩ガラスが挙げられ、このガラス表面にＴｉ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｒなどの金属薄膜を被覆したものでも良い。
【００２０】
また、上記フッ素化合物としては、例えば四フッ化樹脂、四−六フッ化樹脂、ＰＦＡ樹脂、三フッ化エチレン樹脂、四フッ化エチレン−エチレン共重合体、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂、フッ化黒鉛、テフロン（登録商標）などが挙げられる。
【００２１】
また、上記イオン交換体としては、例えばフェノールスルホン酸−ホルムアルデヒド樹脂、フェノール−ベンズアルデヒドスルホン酸樹脂、スチレン−ジビニルベンゼン共重合体のスルホン酸誘導体、カルボン酸型樹脂、ホスホン酸樹脂、フェノール樹脂、メタクリル酸−ジビニルベンゼン共重合体等の陽イオン交換樹脂や第４級アンモニウム塩型スチレン−ジビニルベンゼン共重合体、芳香族アミン型樹脂、ポリエチレンアミン型樹脂、第１アミン型樹脂等の陰イオン交換樹脂が挙げられる。
【００２２】
この実施形態の玉軸受によれば、内輪１と外輪２とシール部５,６とで囲まれた空間において、内輪１の外周面１Ｂ,１Ｃに形成された吸着材コーティング２２,２７と外輪２の内周面２Ｂ,２Ｃに形成された吸着材コーティング１８,２３、および、シール部５,６の内側面に形成された吸着材コーティング１８,２３と保持器７の非保持面に形成された吸着材コーティング３０,３１が配置されている。これらの吸着材コーティング１８〜３１によって、内輪１,外輪２,玉３,保持器７,シール部５,６等から生じる摩耗粉および潤滑油の蒸発によるアウトガスを吸着することができる。
【００２３】
よって、この実施形態によれば、従来に比べて、低発塵、低アウトガスの高レベルの要求に応えることができる。また、この実施形態によれば、潤滑剤を増量して潤滑剤の蒸発量が増加しても、潤滑剤の蒸発によるアウトガスを吸着剤で吸着するので、軸受外へアウトガスが漏れ出すことを防ぐことができる。よって、潤滑剤を増量したことによる長寿命化を図れる。
【００２４】
尚、上記実施形態では、吸着材料からなる吸着材コーティングを、内輪１の外周面１Ｂ、外周面１Ｃ、外輪２の内周面２Ｂ、内周面２Ｃ、シール部５の内側面、シール部６の内側面、保持器７の非保持面の全てに形成したが、いずれか１つあるいは複数の面に吸着材コーティングを形成してもよい。また、上記各面に部分的に吸着材コーティングを形成してもよい。また、上記実施形態では、転がり軸受を一例として玉軸受としたが、円筒ころ軸受、円すいころ軸受であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】この発明の転がり軸受の実施形態としての玉軸受を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  内輪
１Ａ  軌道面
１Ｂ,１Ｃ  外周面
２  外輪
２Ａ  軌道面
２Ｂ,２Ｃ  内周面
３  玉
５,６  シール部
７  保持器
８,１１,１３,１６  肩部
１０,１２,１５,１７  環状溝
１８,２１,２２,２３,２６,２７,３０,３１  吸着材コーティング
【図１】
2008240960.tif 000003