(57)【要約】【課題】試料の防眩性を測定する。【解決手段】  試料１１をステージ１２にセットする。ステージ１２をステージ移動機構１４で移動させ、試料１１の非擦傷領域を測定位置に位置させる。投光器１５は、平行光を検査光として入射角θ１で試料１１または基準反射板１３に照射する。受光器１６は、試料で反射した光を受光し、その受光量に応じた信号を出力する。この受光器１６を正反射光を測定する測定位置を中心に所定の角度範囲で回動させて、試料１１の非擦傷領域をからの反射光を測定し、防眩性を示す値を求める。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
投光側光学系で平行光とした検査光を測定位置に配された試料の表面に対して所定の入射角で照射する投光器と、光軸方向から入射する光のうちの光軸と平行な光成分を取り出す受光側光学系を有し、この受光側光学系で取り出した光を受光し、その受光量に応じた受光信号を出力するとともに、受光側光学系の光軸が前記測定位置を通り、前記測定位置を中心に入射面内で回動自在にされた受光器とを用い、
試料の測定点に検査光を照射しながら、前記検査光の正反射光を受光する回動位置を挟む所定の角度範囲で前記受光器を回動させ、この所定の角度範囲における各角度の受光量を受光信号に基づき測定する変角測定ステップと、
この変角測定ステップで得られる受光量に基づき、受光量のピーク値の半分の値となる前記受光器の角度幅を求め、この角度幅から測定対象の試料の防眩性に関する値を求めるステップを有することを特徴とする防眩性の評価方法。
【請求項２】
試料上の「２ｍ＋１」個（ｍ＝１，２・・・）の測定点について、前記受光器を検査光の正反射光を受光する回動位置としたときの受光量をそれぞれ測定する正反射光測定ステップを有し、
この正反射光測定ステップで得られる各受光量のうちの「ｍ＋１」番目の大きさの受光量となる測定点を変角測定ステップの測定点とすることを特徴とする請求項１記載の防眩性の評価方法。
【請求項３】
前記投光側光学系及び前記受光側光学系は、テレセントリック光学系であることを特徴とする請求項１または２記載の防眩性の評価方法。
【請求項４】
試料を平坦に保持するステージと、
光源からの検査光を平行光にする投光側光学系を有し、この投光側光学系からの検査光を測定位置に配された試料の表面に対して所定の入射角で照射する投光器と、
光軸方向から入射する光のうちの光軸と平行な光成分を取り出す受光側光学系を有し、この受光側光学系で取り出された光を受光し、その受光量に応じた受光信号を出力するとともに、受光側光学系の光軸が前記測定位置を通り、前記測定位置を中心に入射面内で回動自在に設けられた受光器と、
前記検査光の正反射光を受光する回動位置を挟む所定の角度範囲で前記受光器を回動させる回動手段と、
前記所定の角度範囲で前記受光器を回動させた際の受光信号に基づき受光量のピーク値の半分の値となる前記受光器の角度幅を求め、この角度幅から測定対象の試料の防眩性に関する値を求める算出手段を備えたことを特徴とする防眩性の測定装置。
【請求項５】
前記ステージを移動させる移動手段を備え、前記算出手段は、前記移動手段を介して前記ステージを移動させて、「２ｍ＋１」個（ｍ＝１，２・・・）の測定点について、前記受光器を検査光の正反射光を受光する回動位置としたときの受光量をそれぞれ測定し、この測定で得られる各受光量のうちの「ｍ＋１」番目の大きさの受光量となる測定点について前記受光量のピーク値の半分の値となる角度幅を求めることを特徴とする請求項４記載の防眩性の測定装置。
【請求項６】
前記投光側光学系及び前記受光側光学系は、テレセントリック光学系であることを特徴とする請求項４または５のいずれか１項に記載の防眩性の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止フィルム等の防眩性を測定・評価する防眩性の評価方法及び測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータのモニタやテレビ等のディスプレイの表示面の多くには、表示されている画像の視認性を高めるために、その表面に入射する入射光を拡散させて反射させることにより、映り込みを防止する防眩性（アンチグレア）や反射光を互い干渉させることで反射光量を低減する反射防止性を付与した反射防止フィルムが設けられている。
【０００３】
防眩性は、例えば特許文献１のように透明フィルムの表面に微細な凹凸構造を有する防眩層を形成する手法が知られており、シリカ，樹脂ビーズ等の光透過性拡散材を光透過性バインダ樹脂に分散した塗工液をフィルム表面に塗布して防眩層を作成される。また、反射性は、例えばフィルム表面に一層以上の薄膜層を形成し、入射する光を薄膜層の表面及び裏面で反射させ、それらの各光を干渉させて互いに打ち消すことにより実現するものが知られている（例えば特許文献２）。
【特許文献１】特開２００２−１８２００５号公報
【特許文献２】特開平１１−１７４９７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のように反射防止フィルム等の防眩性を評価を目視で評価する官能評価する方法が採用されるが、官能評価では検査者の個人差により評価にバラツキが生じやすいほか、同じ検査者であっても体調等によって検査結果にバラツキが生じやすく、客観的な評価ができないといった問題があった。。
【０００５】
本発明は上記問題を解消するためになされたもので、容易に反射防止フィルム等の防眩性を測定し、客観的に評価することができる防眩性の評価方法及び測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の防眩性の評価方法では、投光側光学系で平行光とした検査光を測定位置に配された試料の表面に対して所定の入射角で照射する投光器と、光軸方向から入射する光のうちの光軸と平行な光成分を取り出す受光側光学系を有し、この受光側光学系で取り出した光を受光し、その受光量に応じた受光信号を出力するとともに、受光側光学系の光軸が前記測定位置を通り、前記測定位置を中心に入射面内で回動自在にされた受光器とを用い、試料の測定点に検査光を照射しながら、前記検査光の正反射光を受光する回動位置を挟む所定の角度範囲で前記受光器を回動させ、この所定の角度範囲における各角度の受光量を受光信号に基づき測定する変角測定ステップと、この変角測定ステップで得られる受光量に基づき、受光量のピーク値の半分の値となる前記受光器の角度幅を求め、この角度幅から測定対象の試料の防眩性に関する値を求めるステップを有するものである。
【０００７】
請求項２記載の防眩性の評価方法では、試料上の「２ｍ＋１」個（ｍ＝１，２・・・）の測定点について、前記受光器を検査光の正反射光を受光する回動位置としたときの受光量をそれぞれ測定する正反射光測定ステップを有し、この正反射光測定ステップで得られる各受光量のうちの「ｍ＋１」番目の大きさの受光量となる測定点を変角測定ステップの測定点とするものである。また、請求項３記載の防眩性の評価方法では、投光側光学系及び受光側光学系を、テレセントリック光学系としたものである。
【０００８】
請求項４記載の防眩性の測定装置では、試料を平坦に保持するステージと、光源からの検査光を平行光にする投光側光学系を有し、この投光側光学系からの検査光を測定位置に配された試料の表面に対して所定の入射角で照射する投光器と、光軸方向から入射する光のうちの光軸と平行な光成分を取り出す受光側光学系を有し、この受光側光学系で取り出された光を受光し、その受光量に応じた受光信号を出力するとともに、受光側光学系の光軸が前記測定位置を通り、前記測定位置を中心に入射面内で回動自在に設けられた受光器と、前記検査光の正反射光を受光する回動位置を挟む所定の角度範囲で前記受光器を回動させる回動手段と、前記所定の角度範囲で前記受光器を回動させた際の受光信号に基づき受光量のピーク値の半分の値となる前記受光器の角度幅を求め、この角度幅から測定対象の試料の防眩性に関する値を求める算出手段を備えたものである。
【０００９】
請求項５記載の防眩性の測定装置では、ステージを移動させる移動手段を備え、算出手段を、前記移動手段を介して前記ステージを移動させて、「２ｍ＋１」個（ｍ＝１，２・・・）の測定点について、受光器を検査光の正反射光を受光する回動位置としたときの受光量をそれぞれ測定し、この測定で得られる各受光量のうちの「ｍ＋１」番目の大きさの受光量となる測定点について前記受光量のピーク値の半分の値となる角度幅を求めるようにしたものである。請求項６記載の防眩性の測定装置では、投光側光学系及び受光側光学系を、テレセントリック光学系としたものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１に本発明を実施した測定装置の概略を示す。測定装置１０は、検査対象のフィルムである試料１１の耐擦傷性、反射防止性，防眩性の測定を行う。ステージ１２の上面には、試料１１を固定できるようにしてあるとともに、基準反射板１３を取り付けてある。ステージ１２は、水平面内で移動自在であり、ステージ移動機構１４により移動される。このステージ１２の移動により、投光器１５，受光器１６による測定位置に試料１１，基準反射板１２の任意の点を移動して測定点とすることができる。
【００１１】
検査対象としての試料１１は、図２に一例を示すように、透明なフィルムＬ１の表面に反射防止機能，防眩機能を有する反射防止膜Ｌ２が形成されており、この反射防止膜Ｌ２の耐擦傷性、反射防止性，防眩性を測定する。耐擦傷性について測定する必要がある場合には、測定時に試料１１として後述するように擦傷領域を部分的に形成したものを用いる。なお、試料１１としては、図２に限られるものではなく、種々のフィルムを用いることができる。
【００１２】
ステージ１２の上方に、一定の強さの検査光を測定位置に向けて照射する投光器１５と、その測定位置の試料１１，基準反射板１３の表面で反射された検査光を受光する受光器１６とを配してある。投光器１５は、支持部材１８に取り付けられ、水平面に対して入射角θ１となるように、試料１０，基準反射板１３に検査光を照射する。なお、この例では、ステージ１２を水平に配し、上方より測定を行うが、これらの位置関係は相対的なものであり、ステージ１２を垂直に配したりしてもよい。
【００１３】
受光器１６は、角度調節器１９を介して支持部材１８に取り付けられており、試料１１，基準反射板１３で反射された検査光（以下、反射検査光という）のうち、検査光を含む垂直な面すなわち入射面内で水平面の法線Ｎとのなす角度（以下、受光方向角度という）θ２方向に射出される反射検査光を受光する。
【００１４】
角度調節器１９は、測定位置（測定点）を中心にして受光器１６を入射面内で回動することにより、受光器１６の受光方向角度θ２を変化させることができる。受光方向角度θ２は、後述の変角測定動作では、この角度調節器１９によって、試料１１で正反射した検査光を受光する角度（θ２＝θ１）を中心に±Δθの範囲で変化させる。角度調節器１９は、駆動モータ２１によって駆動される。
【００１５】
この例においては、入射角θ１を３０°，Δθを５°としてあり、受光方向角度θ２は２５〜３０°の範囲で、０．２°ステップで変化する。なお、投光器１５と受光器１６とは、試料１０の表面で正反射した検査光を受光する角度を挟んだ角度範囲で検査光を受光するようになっていることが重要である。また、入射角θ１が「３０°」に限定されるものではないが、２０°〜４５°の範囲内で設定することが好ましい。また、Δθは、５°に限られるものではなく、試料の特性などに応じて適宜設定することができる。
【００１６】
制御部２２は、この測定装置１０を統括的に制御し、測定シーケンスを実行させる。評価部２３は、受光器１６からの受光信号に基づいて、試料１１の反射防止性，防眩性，耐擦傷性を示す値を算出する。
【００１７】
図３に投光器１５の構成を示す。投光器１５内には、検査光の光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）２５を設けてある。ＬＥＤ２５は、検査光としての白色の光を出力する。なお、検査光の色ないし波長は、任意に選択することができ、また光源としてはＬＥＤに限られず、ランプ等を用いてもよい。
【００１８】
ＬＥＤ２５の前方に、ＬＥＤ２５側から順番に平凸レンズ２６，ピンホール板２７，平凸レンズ２８，絞り板２９を配してある。各平凸レンズ２６，２８の光軸は一致し、その光軸上にピンホール板２７に形成したピンホール２７ａと絞り板２９に形成した絞り開口２９ａの中心が配されるようになっている。平凸レンズ２６，２８の光軸と法線Ｎのなす角度が入射角θ１となる。
【００１９】
平凸レンズ２６は、ＬＥＤ２５から出力される検査光を集光する。この検査光が集光される位置にピンホール２７ａを配してある。ピンホール板２７と平凸レンズ２８とは、ピンホール２７ａが平凸レンズ２８の前側焦点の位置となるように配された周知のテレセントリック光学系を構成しており、ＬＥＤ２５から出力された検査光から平行光を取り出して射出する。絞り開口２９ａは、検査光の光束の径を調節する。この絞り開口２９ａを通過した検査光が投光器１５から試料１１または基準反射板１３に照射される。
【００２０】
なお、ピンホール２７ａの径は、この例においては直径０．４ｍｍとしてあるが、小さくするほど取り出される検査光の平行度を高くすることができる。また、絞り開口２９ａは、直径３ｍｍとしたが、これについては適宜に設定できる。
【００２１】
図４に受光器１６の構成を示す。受光器１６は、試料側から順番に、絞り板３１，平凸レンズ３２，ピンホール板３３，平凸レンズ３４，受光素子３５を配してある。平凸レンズ３２，３４の光軸は一致し、その光軸上に絞り開口２６ａとピンホール２８ａの中心が配されている。平凸レンズ２７，２９の光軸と法線Ｎのなす角度が受光方向角度θ２となり、この光軸が測定位置を通るようにしてある。
【００２２】
絞り板３１には、受光する反射検査光の光束の径を調整する絞り開口３１ａを形成してあり、この絞り開口３１ａを通った反射検査光が平凸レンズ３２に入射する。平凸レンズ３２は、絞り開口３１ａからの反射検査光を集光する。この平凸レンズによる反射検査光の集光位置にピンホール３３ａが配してある。ピンホール３３ａと平凸レンズ３４とは、ピンホール３３ａが平凸レンズ３４の前側焦点の位置となるように配されたテレセントリック光学系であり、光軸方向から入射する反射検査光のうちの光軸と平行な光成分を取り出す。
【００２３】
なお、絞り開口３１ａは、その直径を１ｍｍとしてあるが適宜に調整できる。また、ピンホール３３ａの径を小さくするほど取り出される反射検査光の平行度を高くすることができ、この例では直径を０．４ｍｍとしてある。
【００２４】
受光素子３５は、平凸レンズ３４から射出される反射検査光を受光し、その受光量に応じた信号レベルの受光信号を出力する。受光素子３５としては、この例ではＰＭＴ（光電子増倍管）を用いているが、フォトダイオード，フォトトランジスタ等の各種のものを採用することができる。
【００２５】
図５にステージ上面に試料１１を取り付けた状態を示す。ステージ１２の上面には、基準反射板１３と、試料１１を位置決めするための一対の試料枠３７とを設けてある。基準反射板１３としては、反射率が既知であるものを用いており、この基準反射板１３に対する測定結果を基準にして試料１１の反射率を求める。
【００２６】
試料１１としては、所定サイズ、この例では１２５ｍｍ×３５ｍｍの長方形にカットされたものを用いる。試料１１は、各試料枠３７に押し付けることにより位置決めされてステージ１２上に載置される。このようして試料１１が載置されるステージ１２の部分には、試料１１の周縁に沿うようにして溝３９を形成してあり、その溝３９の底部には複数の吸気孔３９ａを設けてある。各吸気孔３９ａは、図示しない排気ポンプに接続されている。これにより、試料１１をステージ１２上の所定位置に載置してから排気ポンプを作動させると、試料１１が吸着されてステージ１２上に固定される。
【００２７】
試料１１は、そのほぼ中央に擦傷領域１１ａが形成され、それ以外の領域分は非擦傷領域１１ｂとなっている。擦傷領域１１ａは、種々の手法で形成することができるが、この例では試料１１の表面を「プラスチック消しゴム」または「スチールウール」を用いて所定の押圧力で擦ることによって形成する。
【００２８】
なお、試料１１に検査光を照射した際に、試料１１の裏面やステージ１１の表面で検査光の反射があると、その反射した光成分が受光信号のノイズとなり正確な測定を行えなくなる。このため、試料１１の裏面あるいはステージ１１の表面に無反射塗装をする等して反射率を十分に低くすることが好ましい。また、反射率が十分に低い粘着性のあるシートを試料１１の裏面に密着させることによっても、ノイズとなる反射を効果的に低減することができる。
【００２９】
この測定装置１０では、１個の試料１１について、基準反射板１３に対する基準反射率測定シーケンスと、擦傷領域１１ａに対する擦傷領域測定シーケンスと、非擦傷領域１１ｂに対する非擦傷領域測定シーケンスとを行う。また、測定動作として、１個の測定点について、受光方向角度θ２を入射角θ１と同じ大きさにして、正反射される反射検査光を測定する正反射光測定動作と、所定の角度範囲すなわち「θ１−Δθ」〜「θ１＋Δθ」の範囲で受光方向角度θ２を変化させて、各角度について反射検査光を測定する変角測定動作とがある。
【００３０】
基準反射率測定シーケンスは、既知の反射率に対する受光量を取得するためのシーケンスであり、測定位置に基準反射板１３を移動させ、この基準反射板１３について正反射光測定動作を行い、受光信号の信号レベル（以下、受光信号レベルという）を取得する。
【００３１】
擦傷領域測定シーケンス，非擦傷領域測定シーケンスは、いずれもシーケンスに対応する領域内から任意に選ばれる複数の測定点のそれぞれについて正反射光測定動作を行う第１サブシーケンスと、この第１サブシーケンスの測定結果から決められる１個の代表測定点に対して変角測定動作を行う第２サブシーケンスとを行う。
【００３２】
図６に評価部２３を機能ブロックで示す。代表点決定手段２３ａは、第１サブシーケンスで得られる各測定点の受光信号レベルに基づいて代表測定点を決定し、その代表測定点の情報を制御部２２に送る。制御部２２は、この代表測定点が第２サブシーケンスでの測定点となるようにステージ移動機構１４を介してステージ１２を移動させる。
【００３３】
上記のように複数の測定点を測定し、それらから１個の代表測定点を決定することにより、試料１１をステージ１２に吸着して固定した際に、試料１１の下に埃等を巻き込んでしまい正しい測定が行われない測定点の測定を排除し、適正に測定を行うことができる代表測定点を決定する。代表測定点の決定の手法としては、種々のものを採用できるが、この例では、１５個の測定点について正反射光測定動作を行い、レベルの中央すなわち大きい方（または小さい方）から８番目の受光信号レベルとなる測定点を代表測定点としている。
【００３４】
なお、測定点は、１５点に限るものではなく、例えば擦傷領域内については、「２ｎ＋１」個（ｎ＝１，２・・・）の測定点について正反射光測定動作を行い、得られる「２ｎ＋１」個の受光量のうちの「ｎ＋１」番目の大きさの受光量となる測定点を代表測定点に決定すればよい。同様に、非擦傷領域内についても「２ｍ＋１」個（ｎ＝１，２・・・）の測定点について正反射光測定動作を行い、「ｍ＋１」番目の大きさの受光量となる測定点を代表測定点に決定すればよい。また、擦傷領域，非擦傷領域の測定数が異なっていてもかまわない。測定点の個数は、少なくてもよいが、１５点あるいはこれ以上の測定母数から１点の代表測定点を決定することが好ましい。さらには、いずれの位置を測定点とするかは、例えば任意に選んだ適当な位置を予め決めておいてもよく、その都度ランダムに決定してもよい。さらに、正しい測定が行われない測定点を排除するために、他の手法により代表測定点を決定してもよい。
【００３５】
反射率算出手段２３ｂは、試料１１の反射防止性を示す値として反射率を算出するものであり、非擦傷領域測定シーケンスの第１サブシーケンスで決定される代表測定点の受光信号レベルと、基準反射率測定シーケンスので得られる受光信号レベルと、既知の基準反射板１３の反射率とを用いて試料１１の反射率を算出する。具体的には、試料１１の反射率をＲｍとし、基準反射板１３の反射率をＲｓ（％），基準反射率測定シーケンスの正反射光測定動作で得られる受光信号レベルをＶｓ、非擦傷領域１１ｂの代表測定点に対する正反射光測定動作で得られる受光信号レベルをＶｍとしたときに、反射率算出式「Ｒｍ＝Ｒｓ・（Ｖｍ／Ｖｓ）」によって求める。
【００３６】
官能値算出手段２３ｃは、試料１１の耐擦傷性を示す値（以下、擦傷官能値）を算出する。官能値算出手段２３ｃは、擦傷領域測定シーケンスの第２サブシーシーケンスで得られる各受光信号レベルの和をＳ１、非擦傷領域測定シーケンスの第２サブシーシーケンスで得られる各受光信号レベルの和をＳ２としたときに、官能値算出式「Ｐ＝（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ２」で擦傷官能値Ｐを求める。
【００３７】
耐擦傷性はどの程度つき易いかを示すものであり、これは一定の条件で擦傷領域を形成したときの擦傷領域の傷付きの程度といえる。図７に示すように、擦傷領域１１ａは、擦傷の程度が高くなるほど反射防止性が弱まって反射光の強度が強くなるため、擦傷領域１１ａの受光方向角度θ２と光強度（受光量）との関係を示す曲線Ｃａは、非擦傷領域１１ｂの曲線Ｃｂよりも上方になる。そして、曲線Ｃｂの積分値に対する曲線Ｃａの積分値と曲線Ｃｂの積分値の差の比が擦傷領域１１ａと非擦傷領域１１ｂの見た目の光量差、すなわちコントラストに比例した値となる。各曲線Ｃａ，Ｃｂの積分値は、各領域１１ａ，１１ｂについて変角測定動作を行ったときの受光量の和であり、これは受光信号レベルの和として求めることができるので、上記のように擦傷官能値Ｐを算出している。
【００３８】
このように算出される擦傷官能値Ｐは、図８に示すように目視結果とほぼ合致する結果を得ることができる。なお、図８では、測定装置１０で算出する擦傷官能値と目視での擦傷官能値とを比較するために、擦傷官能値Ｐに適当な係数を乗算してある。また、いずれの擦傷官能値も数字が小さいほど傷が付き目立ちにくく、耐擦傷性が高いことを意味する。
【００３９】
防眩性比算出部２３ｄは、試料１１の防眩性を示す防眩性比を算出する。防眩性は、試料表面に入射した平行な検査光が正反射角度からどの程度広がって拡散反射したかによって評価できる。このため、図７に示されるように、非擦傷領域１１ｂの受光方向角度θ２と光強度との関係を示す曲線Ｃｂの半値幅、すなわち光強度がピーク値に対して１／２となる各受光方向角度θ２の幅をθｈとしたときに、防眩性比算出式「Ｇ＝θｈ／１０°」によって防眩性比Ｇを求める。
【００４０】
次に上記構成の作用について説明する。測定を行う場合には、まず試料１１に擦傷領域１１ａを形成し、その試料１１を試料枠３７で位置決めしてステージ１２に載置してから、排気ポンプ作動させて固定する。
【００４１】
試料１１の固定後に基準反射率測定シーケンスが開始される。このシーケンスが開始されると、ステージ１２の移動により、測定位置に基準反射板１３がセットされる。次に、制御部２２の制御の下で駆動モータ２１により角度調節器１９が駆動され、受光器１６が正反射した反射検査光を受光する位置に回動される。すなわち、受光方向角度θ２が入射角θ１と同じ大きさとなる回動位置に受光器１６が回動される。
【００４２】
上記のように受光器１６を回動した後に、平行光とされた検査光が投光器１５から基準反射板１３に入射角θ１で照射され、基準反射板１３の表面で正反射した反射検査光が受光器１６によって受光される。そして、この受光器１６が受光した反射検査光の受光量に応じた受光信号が評価部２３に送られ、その受光信号レベルが基準反射受光信号レベルとして保持され、基準反射率測定シーケンスが終了する。
【００４３】
基準反射率測定シーケンスに続いて非擦傷領域測定シーケンスの第１サブシーケンスが開始される。第１サブシーケンスでは、受光方向角度θ２が入射角θ１と同じ大きさとなる回動位置に受光器１６を維持したまま、ステージ１２の移動により測定位置に試料１１の非擦傷領域１１ｂの第１測定点がセットされる。第１測定点がセットされると、平行光とされた検査光が投光器１５から第１測定点に照射されて、その第１測定点で正反射した反射検査光が受光器１６によって受光される。そして、このようにして非擦傷領域１１ｂの第１測定点について正反射光測定動作を行って得られる受光信号レベルが評価部２３に保持される。
【００４４】
非擦傷領域１１ｂの第１測定点に対する正反射光測定動作が完了すると、再びステージ１２が移動され、測定位置には第１測定点とは異なる位置の非擦傷領域１１ｂ内の第２測定点がセットされる。この後、投光器１５からの検査光がその第２測定に照射されて反射検査光が受光器１６によって受光され、得られる受光信号レベルが評価部２３に保持される。以降同様にして、ステージ１２を移動させて測定点を非擦傷領域１１ｂ内で変えながら第３〜第１５測定点の受光信号レベルを取得して保持する。
【００４５】
第１５測定点の受光信号レベルを取得した後、評価部２３によって１５個の受光信号レベルのうちの中間（大きい方または小さいほうから８番目）の受光信号レベルに対応する測定点の情報が代表測定点の情報として制御部２２に送られ、第１サブシーケンスが終了し、第２サブシーケンスが開始される。
【００４６】
制御部２２は、代表測定点の情報を受け取ると、その情報に基づき代表測定点とされた非擦傷領域１１ｂ内の測定点を再び測定位置とするようにステージ１２を移動させ、また受光方向角度θ２が角度「θ１−Δθ」となるように角度調節器１９を駆動してから、変角測定動作を開始する。
【００４７】
まず、「θ１−Δθ」において、検査光を代表測定点に照射してその反射検査光を受光し、そのときの受光信号レベルを評価部２３で取得して保持する。次に、受光方向角度θ２を０．２°増やした位置に受光器１６を回動し、この位置で反射検査光を受光した受光信号レベルを取得して保持する。以降同様に、受光方向角度θ２を「θ１＋Δθ」まで０．２°ステップで順次に増やしていき、各角度で得られる反射検査光を受光した受光信号レベルを取得して保持する。
【００４８】
受光方向角度θ２を「θ１＋Δθ」として得られる受光信号レベルを取得することにより、非擦傷領域測定シーケンスの第２サブシーケンスが終了し、また非擦傷領域測定シーケンスが終了して、擦傷領域測定シーケンスが開始される。
【００４９】
擦傷領域測定シーケンスの第１，第２サブシ−ケンスは、測定点が擦傷領域１１ａ内とされる点で非擦傷領域測定シーケンスとは異なるが、非擦傷領域測定シーケンスの第１，第２サブシ−ケンスと同様にして行われる。したがって、第１サブシーケンスによって擦傷領域１１ａ内から代表測定点が決定され、その代表測定点について受光方向角度θ２を「θ１−Δθ」から「θ１＋Δθ」まで０．２°ステップで変化させた際の各受光信号レベルが評価部２３に取得されて保持される。
【００５０】
上記のようにして擦傷領域測定シーケンスが完了すると、最初に行った基準反射率測定シーケンスで取得した基準反射受光信号レベルと、非擦傷領域測定シーケンスの第１サブシーケンスで取得している非擦傷領域１１ｂの代表測定点の受光信号レベルと、予め設定されている基準反射板１３の反射率Ｒｓとを上記反射率算出式に適用し、試料１１の反射率Ｒｍを評価部２３が算出する。また、擦傷領域測定シーケンスの第２サブシーシーケンスで得られる各受光信号レベルの和をＳ１、非擦傷領域測定シーケンスの第２サブシーシーケンスで得られる各受光信号レベルの和をＳ２として、上記の官能値算出式で擦傷官能値Ｐが評価部２３によって求められる。
【００５１】
さらには、非擦傷領域測定シーケンスの第２サブシーシーケンスで得られる各受光信号レベルからピーク値を抽出し、このピーク値の１／２となる各受光方向角度θ２の幅をθｈとして上記防眩性比算出式で防眩性比Ｇが求められる。なお、ピーク値の１／２となる各受光方向角度θ２が必ずしも測定されているとは限らないので、各受光信号レベルを用いて補間処理を行ってθｈを算出してもよい。
【００５２】
なお、非擦傷領域、擦傷領域の各測定点に対して変角測定動作をそれぞれ行った測定結果をそれぞれ保持し、測定結果のうちの入射角θ１と同じ受光方向角度θ２の各測定点の測定値から代表測定点を決定し、その代表測定点について保持されている測定結果を用いて、反射率Ｒｍ，擦傷官能値Ｐ，防眩性比Ｇを求めるようにしてもよい。このようにすれば、代表測定点とした試料１１上の測定点を測定位置に再度セットさせる必要がなく、代表測定点に再移動することによる位置ずれの影響をなくすことができる。
【００５３】
図９，図１０に実測結果の例を示す。なお、図９，図１０では、図７と同様に、擦傷領域１１ａの代表測定点における受光方向角度θ２と光強度との関係を曲線Ｃａで、非擦傷領域１１ｂの代表測定点における受光方向角度θ２と光強度とを曲線Ｃｂで示してある。
【００５４】
図９示す試料Ａでは、非擦傷領域１１ｂについての曲線Ｃｂの半値幅が１°程度と小さく、このため防眩性比Ｇが小さくなるので防眩性が低いという評価結果が得られた。また図１０に示す試料Ｂでは、半値幅が４°程以上と大きく、防眩性Ｇが大きくなることから防眩性が高いという評価結果が得られた。さらには、試料Ｂに比べて試料Ａの方が曲線Ｃａと曲線Ｃｂの各積分値の差が大きく耐擦傷性が低いとの評価になった。そして、これらは、実際の目視による結果とほぼ合致するものであった。
【００５５】
上記実施形態では、平行光を用いて測定を行っているが、耐擦傷性の測定を行う場合には拡散光を照射してもよい。なお、以下に説明する他は上記実施形態と同じであるから、同じ構成部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５６】
図１１に示すように、投光器４１は、光源（図示省略）からの光を拡散する拡散板４２を設けてある。投光器４１の試料側端部には、開口４３を設けてあり、この開口４３から拡散板４２によって拡散光とされた検査光が試料１１に向けて照射される。開口４３は、直径が６ｍｍの円形とし、試料１１（測定位置）から開口を臨む開口角θ３を約７°としてある。なお、開口４３の径などは適宜設定できるが、開口角θ３は７°よりも大きいときに測定能力が低下するので７°以下とするのが好ましい。なお、平行光の検査光を照射する投光器に、このように検査光を拡散させて拡散光に変換するアダプタを着脱できるように構成してもよい。
【００５７】
この投光器４１は、スチールウールを使用して試料１１に擦傷領域１１ａを形成した場合で、耐擦傷性を測定するために用いられる。すなわち、スチールウールを使用して擦傷領域１１ａを形成した試料１１について耐擦傷性を測定する場合には、拡散光を用いて擦傷領域１１ａ，非擦傷領域１１ｂのそれぞれについて投光器４１で拡散光である検査光を照射して、変角測定動作を行う。
【００５８】
スチールウールを使用して試料１１に擦傷領域１１ａを形成した場合には、擦傷が深い溝状に形成されるため、その溝の表面で検査光の反射が生じる。このため、例えば検査光として平行光を照射した状態で、受光部１６で試料１１からの正反射光を受光するようにすると、擦傷領域１１ａ内で受光量が大きくバラツキ、非擦傷領域１１ｂ内の受光量よりも小さくなったり大きくなったりすることがある。しかしながら、上記のように検査光として拡散光を用いた場合には、擦傷領域１１ａ内で受光量が非擦傷領域１１ｂの受光量よりも常に大きくすることができ、耐擦傷性の測定を行うことができる。
【００５９】
上記各実施形態では、反射防止性能，防眩性能，耐擦傷性のそれぞれを測定・評価しているが、これらのうちのいずれか１つあるいは２つの組み合せだけを測定するように、一部の機能，シーケンス，測定動作を省略して構成することもできる。したがって、例えば防眩性能あるいは耐擦傷性を測定する測定装置とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明を実施した測定装置の構成を示すブロック図を含む概略の正面図である。
【図２】試料としてのフィルムの層構造を示す断面図である。
【図３】投光器の構成を示す概略の断面図である。
【図４】受光器の構成を示す概略の断面図である。
【図５】ステージ上に試料をセットした状態を示す平面図である。
【図６】評価部を示す機能ブロック図である。
【図７】擦傷部と非擦傷部の射出方向角度との光強度の関係を示すグラフである。
【図８】測定装置で得られる擦傷官能値と目視による目視官能値との対応を示すグラフである。
【図９】防眩性の低い試料の測定結果を示すグラフである。
【図１０】防眩性の高い試料の測定結果を示すグラフである。
【図１１】拡散光を試料に照射するようにした例を示す概略の部分断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  測定装置
１１  試料
１２  ステージ
１３  基準反射板
１４  ステージ移動機構
１５  投光器
１６  受光器
１９  角度調節器
２３  評価部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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