(57)【要約】【課題】高い吐出量精度で液滴を吐出することができる液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の液状体の吐出方法は、液滴吐出ヘッドの温度または液滴吐出ヘッドの周辺の雰囲気の温度を計測する計測工程（ステップＳ１）と、液滴を吐出するノズルごとに設けられたエネルギー発生手段の駆動電圧と液滴の吐出量と液滴吐出ヘッドの温度または液滴吐出ヘッドの周辺の雰囲気の温度との相関関係に従い、計測工程で計測された温度に基づいて所定の吐出量となる駆動電圧を求める演算工程（ステップＳ２）と、演算工程で求められた駆動電圧をエネルギー発生手段に印加して、ワーク上のパターン形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程（ステップＳ３）と、を備えた。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドとワークとを対向させ、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として吐出して、前記ワーク上に薄膜パターンを形成する液状体の吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドの温度または前記液滴吐出ヘッドの周辺の雰囲気の温度を計測する計測工程と、
前記液滴を吐出する前記ノズルごとに設けられたエネルギー発生手段の駆動電圧と前記液滴の吐出量と前記液滴吐出ヘッドの温度または前記液滴吐出ヘッドの周辺の雰囲気の温度との相関関係に従い、前記計測工程で計測された温度に基づいて所定の吐出量となる前記駆動電圧を求める演算工程と、
前記演算工程で求められた前記駆動電圧を前記エネルギー発生手段に印加して、前記ワーク上のパターン形成領域に前記液状体を前記液滴として吐出する吐出工程と、を備えたことを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程において、複数の前記液滴吐出ヘッドから前記液滴を吐出し、
前記計測工程では、前記液滴吐出ヘッドごとの温度または前記液滴吐出ヘッドごとの周辺の雰囲気の温度を計測し、
前記演算工程では、前記液滴吐出ヘッドごとに、前記所定の吐出量となる前記駆動電圧を求めることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
複数の前記液滴吐出ヘッドには、複数種の前記液状体が充填され、
前記演算工程では、前記液状体の種類ごとに前記所定の吐出量となる前記駆動電圧を求めることを特徴とする請求項２に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記液滴吐出ヘッドは、複数のノズルが一定の間隔で配列した複数のノズル列を有し、前記ノズル列ごとに異なる流路を経由して前記液状体が供給され、
前記演算工程では、前記ノズル列ごとに前記所定の吐出量となる前記駆動電圧を求めることを特徴とする請求項３に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む少なくとも３色の液状体をワーク上の区画された着色領域に吐出する工程と、
吐出された前記液状体を固化して少なくとも３色の着色層を形成する工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用いて、発光層形成材料を含む少なくとも１種の液状体をワーク上の区画された発光層形成領域に吐出する工程と、
吐出された前記液状体を固化して発光層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項７】
基板上の複数の画素領域にカラーフィルタを備えた電気光学装置の製造方法であって、
請求項５に記載のカラーフィルタの製造方法を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
基板上の複数の画素領域に有機ＥＬ素子を備えた電気光学装置の製造方法であって、
請求項６に記載の有機ＥＬ素子の製造方法を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出法を用いた液状体の吐出方法、この方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに対して液滴を吐出する少なくとも１つの液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドが吐出した液滴を受ける吐出量測定用液受け部とを有する液滴吐出装置と、液滴吐出装置を収容し、その内部の環境条件を調整可能なチャンバとを備えた液滴吐出システムが知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記環境条件は、チャンバ内の雰囲気の温度および湿度の少なくとも一方を含み、ワークに対して液滴を吐出する際の環境条件と、液滴の吐出量を測定する際の環境条件とが同様となるように管理を行うことを特徴としている。
【０００４】
環境条件を制御する他の液滴吐出装置としては、高粘度液状体を入れる容器と、容器から液滴吐出ヘッドに至る流路において、高粘度液状体の温度を管理するための加熱部や温度管理部を設けた液滴吐出装置が知られている（特許文献２）。
【０００５】
上記液滴吐出装置において、流路の温度管理を行う一つの目的は、高粘度液状体の供給が異常なく行われる粘度を安定的に実現しようとするものである。
【０００６】
また、温度調整用媒体の流路を有する液滴吐出ヘッドを備えた製膜装置が知られている（特許文献３）。この製膜装置は、液滴吐出ヘッドの流路に温度調整用媒体を流すことによって、液滴吐出ヘッドに充填されたインクの温度を高精度、且つ一定状態に制御して吐出重量の変動を抑制しようとするものである。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【特許文献２】特開２００４−３４７６９５号公報
【特許文献３】特開２００３−３４０３３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記液滴吐出システムにおいて、ワークに液滴を吐出する際と、液滴の吐出量を計測する際の環境条件を同様にし、計測された吐出量を基にして実際の吐出量を調整しても、液滴吐出ヘッドごとに実際の温度がわずかに異なっていた。したがって、液滴吐出ヘッドごとの液滴の吐出量にバラツキが生じていた。
【０００９】
また、上記液滴吐出装置のように、高粘度液状体を液滴として吐出するために、容器と液滴吐出ヘッドとの間の流路の温度管理を行っても、液滴吐出ヘッドの複数のノズルごとに吐出される液滴の吐出量が変動する場合があった。このように、これらの液滴吐出システムあるいは液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法では、液滴の吐出量の精度を上げることが困難であった。
【００１０】
また、複数の液滴吐出ヘッドから液状体を吐出する場合、上記温度調整用媒体を各液滴吐出ヘッドの流路に流す構成は、製膜装置が複雑になり、液滴吐出ヘッドごとに媒体の流量を管理することが難しくなるという課題を有している。
【００１１】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、高い吐出量精度で液滴を吐出することができる液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の液状体の吐出方法は、液滴吐出ヘッドとワークとを対向させ、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから機能性材料を含む液状体を液滴として吐出して、ワーク上に薄膜パターンを形成する液状体の吐出方法であって、液滴吐出ヘッドの温度または液滴吐出ヘッドの周辺の雰囲気の温度を計測する計測工程と、液滴を吐出するノズルごとに設けられたエネルギー発生手段の駆動電圧と液滴の吐出量と液滴吐出ヘッドの温度または液滴吐出ヘッドの周辺の雰囲気の温度との相関関係に従い、計測工程で計測された温度に基づいて所定の吐出量となる駆動電圧を求める演算工程と、演算工程で求められた駆動電圧をエネルギー発生手段に印加して、ワーク上のパターン形成領域に液状体を液滴として吐出する吐出工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この方法によれば、計測工程において計測された温度に対応して、エネルギー発生手段に駆動電圧が印加されるので、ノズルごとに所定の吐出量の液滴を安定して吐出することができる。すなわち、高い吐出量精度で液滴を吐出することができる。
【００１４】
上記吐出工程において、複数の液滴吐出ヘッドから液滴を吐出し、上記計測工程では、液滴吐出ヘッドごとの温度または液滴吐出ヘッドごとの周辺の雰囲気の温度を計測し、上記演算工程では、液滴吐出ヘッドごとに、所定の吐出量となる駆動電圧を求めるとしてもよい。この方法によれば、複数の液滴吐出ヘッドを用いても高い吐出量精度で液滴を吐出することができる。
【００１５】
上記複数の液滴吐出ヘッドには、複数種の液状体が充填され、演算工程では、液状体の種類ごとに所定の吐出量となる駆動電圧を求めることが好ましい。この方法によれば、複数の液滴吐出ヘッドに複数種の液状体を充填して吐出しても、液状体ごとに所定の吐出量の液滴を安定して吐出することができる。
【００１６】
上記液滴吐出ヘッドは、複数のノズルが一定の間隔で配列した複数のノズル列を有し、ノズル列ごとに異なる流路を経由して液状体が供給され、演算工程では、ノズル列ごとに所定の吐出量となる駆動電圧を求めることが好ましい。この方法によれば、ノズル列ごとに液状体の流路が異なっていても、適正な駆動電圧が印加され、ノズル列ごとに所定の吐出量の液滴を吐出することができる。
【００１７】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記発明の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む少なくとも３色の液状体をワーク上の区画された着色領域に吐出する工程と、吐出された液状体を固化して少なくとも３色の着色層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。この方法によれば、必要量の液状体が着色領域ごとに吐出され、所望の光学特性を有するカラーフィルタを製造することができる。
【００１８】
本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、上記発明の液状体の吐出方法を用いて、発光層形成材料を含む少なくとも１種の液状体をワーク上の区画された発光層形成領域に吐出する工程と、吐出された液状体を固化して発光層を形成する工程と、を備えたことを特徴とする。この方法によれば、必要量の液状体が発光層形成領域ごとに吐出され、発光ムラや輝度ムラが少ない有機ＥＬ素子を製造することができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上の複数の画素領域にカラーフィルタを備えた電気光学装置の製造方法であって、上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いることを特徴とする。この方法によれば、所望の光学特性を有するカラーフィルタを備え、安定した表示品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【００２０】
本発明の他の電気光学装置の製造方法は、基板上の複数の画素領域に有機ＥＬ素子を備えた電気光学装置の製造方法であって、上記発明の有機ＥＬ素子の製造方法を用いることを特徴とする。この方法によれば、発光ムラや輝度ムラが少ない安定した品質の電気光学装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（実施形態１）
本実施形態は、着色層形成材料を含む液状体をワーク上に吐出して、着色層を形成するカラーフィルタの製造方法を例に説明する。
【００２２】
＜液滴吐出装置＞
まず、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２３】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００２４】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構としてのθテーブル６を介して配設されたワークＷを載置するセットテーブル５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する。セットテーブル５はワークＷを吸着固定可能であると共に、θテーブル６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。
【００２５】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板（図示せず）とが設けられている。移動台３２がキャリッジ８をＹ軸方向に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００２６】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構を備えている。また、各液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体の重量を計測する重量測定機構を備えている。メンテナンス機構および重量測定機構は、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されているが図示省略した。
【００２７】
図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は概略分解斜視図、同図（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、複数のキャビティ５５に対応するエネルギー発生手段としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００２８】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有すると共に、このキャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７を有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。
【００２９】
液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００３０】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動電圧パルスが印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００３１】
液滴吐出ヘッド５０におけるエネルギー発生手段は、圧電素子（ピエゾ素子）に限らない。振動板５８を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴Ｄとして吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００３２】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００３３】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００３４】
各液滴吐出ヘッド５０は、ほぼ等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチ）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。よって、１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ａの有効長とする。以降、ノズル列５２ａとは、１８０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００３５】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００３６】
各液滴吐出ヘッド５０には、ノズル列５２ａのほぼ中央付近の側面に温度センサ１２が取り付けられている。各温度センサ１２は、後述する制御部４（図４参照）に電気的に接続されている。温度センサ１２としては、例えば、接触式の白金測温体、サーミスタ、熱電対などが挙げられる。
【００３７】
図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１０の制御系は、上位コンピュータ１１と、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０全体を統括制御する制御部４とを備えている。
【００３８】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）と、重量測定機構の各測定ユニットを駆動制御する重量測定用ドライバ（図示省略）とを備えている。
【００３９】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、吐出動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００４０】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに吐出を行うための吐出データを記憶する吐出データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４１】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。この場合、Ｘ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００４２】
また、Ｐ−ＣＯＮ４４には、各液滴吐出ヘッド５０に装着された温度センサ１２が接続されている。上位コンピュータ１１は、温度センサ１２が検出した温度に基づいて液滴吐出ヘッド５０ごとに、振動子５９に印加する駆動電圧パルスの電圧を設定することが可能となっている。詳しくは後述する。
【００４３】
図５は、液滴の吐出量と駆動電圧と温度との関係を示すグラフである。詳しくは、同図（ａ）は赤色の液状体、同図（ｂ）は緑色の液状体、同図（ｃ）は青色の液状体の液滴の吐出量と駆動電圧と温度との関係を示すグラフである。
【００４４】
本実施形態では、赤色（Ｒ）の着色層形成材料を含む液状体、緑色（Ｇ）の着色層形成材料を含む液状体、青色（Ｂ）の着色層形成材料を含む液状体をそれぞれ液滴吐出ヘッド５０を用いて吐出する。液状体の物性、特に粘度は、主に含まれる着色層形成材料や溶媒によって異なる。また、色ごとの着色層に求められる光学特性（透過率、色度、彩度など）は、必ずしも同一ではない。よって、求められる光学特性に応じて着色層形成材料が選択され、溶媒に対する割合も異なる場合がある。また、これらの光学特性と着色層の膜厚とに相関関係があることが知られており、所定の膜厚の着色層を形成するには、これに対応した必要量の液状体を着色領域に付与しなければならない。ゆえに、異なる色の液状体ごとに、適切な吐出量（体積または重量）の液滴Ｄを吐出する必要がある。
【００４５】
本実施形態の液滴吐出装置１０は重量測定機構を備えており、一定の測定条件下において液滴Ｄとして吐出された液状体の重量を測定することができる。これにより、測定された重量を吐出数で除することにより、１滴あたりの吐出量を求めることができる。この場合、吐出数は、ノズル５２の数と吐出回数で決まる。例えば、１８０個のノズル５２から１万回の吐出を行ってその重量を測定することにより、微量な液滴Ｄの吐出量Ｉｗを液滴吐出ヘッド５０ごとに求めることができる。
【００４６】
図５（ａ）に示すように、赤色（Ｒ）の着色層形成材料を含む液状体の場合、吐出量Ｉｗと駆動電圧パルスの電圧Ｖｈ（以降、駆動電圧Ｖｈとする）との関係は、１次関数ｆ１（２５）で表された。点Ｐは、駆動電圧Ｖ１のときの吐出量Ｉｗ１を示す。また、このときの温度センサ１２の温度は２５℃であることを示している。駆動電圧Ｖ１を上昇させれば、吐出量Ｉｗは増加する。この場合、１次関数ｆ１（２５）の傾きは、α（Ｒ）＝０．５６ｎｇ／Ｖであった。よって、所定の範囲ｄに吐出量Ｉｗを収めるための駆動電圧Ｖ２（Ｒ）をこの１次関数ｆ１（２５）から求めることができる。重量測定時の温度を２５℃に対して±１℃ずらして重量測定した結果から、１次関数ｆ１（２５）は、ほぼその傾きα（Ｒ）を維持して温度シフトすることが見出された。破線で示した１次関数ｆ１（２４），ｆ１（２６）は、測定温度が２４℃と２６℃に対応したものである。温度センサ１２が検出する温度は、液滴吐出ヘッド５０の温度または液滴吐出ヘッド５０の周辺の雰囲気の温度を示すと考えられ、実質的な液滴Ｄの吐出時における温度として捉えることができる。
【００４７】
図５（ｂ）および（ｃ）に示すように、緑色（Ｇ）の着色層形成材料を含む液状体、青色（Ｂ）の着色層形成材料を含む液状体の場合も同様な結果が得られた。すなわち、緑色（Ｇ）の液状体における吐出量Ｉｗと駆動電圧Ｖｈとの関係は１次関数ｆ２で表され、その傾きは、α（Ｇ）＝０．５７ｎｇ／Ｖであった。同じく、青色（Ｂ）の液状体における吐出量Ｉｗと駆動電圧Ｖｈとの関係は１次関数ｆ３で表され、その傾きは、α（Ｇ）＝０．５８ｎｇ／Ｖであった。１次関数ｆ２（２４），ｆ２（２５），ｆ２（２６），ｆ３（２４），ｆ３（２５），ｆ３（２６）は、それぞれ測定温度２４℃、２５℃、２６℃に対応したものである。
【００４８】
このような液状体ごとの１次関数ｆ１，ｆ２，ｆ３は、吐出データの一つとして上位コンピュータ１１の記憶部に格納され、本実施形態の液状体の吐出方法において活用される。
【００４９】
なお、一定の温度下においてノズル５２ごと吐出にされる液滴Ｄの吐出量（体積あるいは重量）を予め求めておけば、上記１次関数ｆ１，ｆ２，ｆ３に基づいて、ノズル５２ごとに液滴Ｄが所定の吐出量となる駆動電圧Ｖｈを設定することも可能である。
【００５０】
＜液状体の吐出方法＞
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について説明する。図６は、液状体の吐出方法を示すフローチャートである。
【００５１】
本実施形態の液状体の吐出方法は、温度を計測する計測工程（ステップＳ１）と、計測された温度に基づいて、吐出される液滴Ｄが所定の吐出量となる駆動電圧Ｖｈを求める演算工程（ステップＳ２）と、求められた駆動電圧Ｖｈを振動子５９に印加して液滴Ｄを吐出する吐出工程（ステップＳ３）とを備えている。
【００５２】
図６のステップＳ１は、計測工程である。ステップＳ１では、図４に示すように、各液滴吐出ヘッド５０に取り付けられた温度センサ１２が検出した温度をＰ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１が取り込む。温度情報を取り込むタイミング（時期）は、ワークＷに液状体を吐出する直前に設定されている。また、検出された温度が安定した状態にあるか否か判定できるようにリアルタイム（連続的）に温度検出している。温度が安定した状態にあるか否かは、温度の変動幅を予め決めておく。例えば、本実施形態の液滴吐出装置１０は、空調管理されたチャンバ内に配置されている。チャンバ内の温度は、２５℃±１℃で管理されている。よって、温度の変動幅を同様に±１℃とした。
【００５３】
温度センサ１２は、液滴吐出ヘッド５０ごとに取り付けられている。すなわち、異なる色の液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０ごとの温度またはその周辺の雰囲気の温度を検出する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００５４】
図６のステップＳ２は、演算工程である。ステップＳ２では、安定状態にあると判定した計測温度に基づき、上位コンピュータ１１は、計測温度に対応した１次関数ｆ１，ｆ２、ｆ３を参照して、異なる色の液状体ごと、また液滴吐出ヘッド５０ごとに、液滴Ｄが所定の吐出量となる駆動電圧Ｖ２（Ｒ），Ｖ２（Ｇ），Ｖ２（Ｂ）を演算して求める。そして、ステップＳ３へ進む。
【００５５】
図６のステップＳ３は、吐出工程である。ステップＳ３では、ステップＳ２で求められた駆動電圧Ｖ２（Ｒ），Ｖ２（Ｇ），Ｖ２（Ｂ）を対応する液滴吐出ヘッド５０の振動子５９に印加して複数のノズル５２から液滴Ｄを吐出する。これにより、液状体ごとに所定の吐出量の液滴Ｄが吐出される。なお、液滴ＤをワークＷに対してどのように（吐出位置、吐出回数）吐出するかは、液滴吐出ヘッド５０とワークＷとを相対移動させる主走査に対応した吐出データとしてのビットマップにより設定される。ビットマップは、液状体をワークＷ上のパターン形成領域に付与することにより形成される薄膜パターンを液滴Ｄの配置として表したものである。
【００５６】
このような液状体の吐出方法によれば、液滴吐出ヘッド５０またはその周辺の雰囲気の温度に対応して液状体ごとに所定の吐出量の液滴Ｄが必要な回数吐出される。すなわち、必要量の液状体をパターン形成領域（後述する画素領域に相当）に付与することが可能である。
【００５７】
次に、上記液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図７および図８に基づいて説明する。
【００５８】
＜液晶表示装置およびその製造方法＞
図７は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。まず、カラーフィルタを有する電気光学装置としての液晶表示装置とその製造方法について簡単に説明する。
【００５９】
図７に示すように、液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、３色の着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備する対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、対向基板５０１と素子基板５０８とによって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【００６０】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の画素領域としての着色領域をマトリクス状に区画する隔壁部としてのバンク５０４と、区画された複数の着色領域にＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。バンク５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、バンク５０４とバンク５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５は後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【００６１】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【００６２】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００６３】
なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を所定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上偏光板５１４と下偏光板５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【００６４】
上記液晶表示装置５００は、カラーフィルタ５０５を備えた対向基板５０１がマトリクス状に複数区画形成されたマザー基板と、同じく素子基板５０８がマトリクス状に複数区画形成された他のマザー基板とが液晶を挟んで接合された構造体を所定の位置で切断して取り出すことにより製造される。
【００６５】
＜カラーフィルタの製造方法＞
図８（ａ）〜（ｅ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。上記３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを有するカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０１の表面にバンク５０４を形成する工程と、バンク５０４によって区画された着色領域Ａを表面処理する工程とを備えている。また、表面処理された着色領域Ａに着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を液滴Ｄとして吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを形成する固化工程としての成膜工程とを備えている。さらにバンク５０４と着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程とを備えている。
【００６６】
バンク５０４を形成する工程では、図８（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図７参照）に対応する部分以外の膜表面をレジストで覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。
【００６７】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の着色領域Ａをマトリクス状に区画するバンク５０４が形成される。そして表面処理工程へ進む。
【００６８】
表面処理工程では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そして、吐出工程へ進む。
【００６９】
吐出工程では、図８（ｂ）に示すように、表面処理された各着色領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして吐出する。液状体８０Ｒは赤色（Ｒ）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０Ｇは緑色（Ｇ）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０Ｂは青色（Ｂ）の着色層形成材料を含むものである。液滴吐出装置１０の各液滴吐出ヘッド５０に液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを充填する。そして、ヘッドユニット９とワークＷとを相対移動させる主走査に同期して各液滴吐出ヘッド５０から液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを着色領域Ａに向けて吐出する。液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出する方法は、上記液状体の吐出方法を用いているので、液滴吐出ヘッド５０またはその周辺の雰囲気の温度に対応して、液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂごと且つ液滴吐出ヘッド５０ごとに駆動電圧Ｖｈが設定される。よって、各色の着色領域Ａに対応して必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂが付与される。
【００７０】
次に成膜工程では、図８（ｃ）に示すように、吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を除去して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そして、ＯＣ層形成工程へ進む。
【００７１】
ＯＣ層形成工程では、図８（ｄ）に示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。そして、透明電極形成工程へ進む。なお、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成された対向基板５０１の表面が比較的に平坦であれば、ＯＣ層５０６は必須ではない。
【００７２】
透明電極形成工程では、図８（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
【００７３】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記液状体の吐出方法は、液滴吐出ヘッド５０ごとに取り付けられた温度センサ１２により検出された温度と、異なる色の液状体ごとの１次関数ｆ１，ｆ２，ｆ３とに基づいて、液滴Ｄが所定の吐出量となるように、エネルギー発生手段としての振動子５９に印加する駆動電圧Ｖ２（Ｒ），Ｖ２（Ｇ），Ｖ２（Ｂ）を設定する。したがって、異なる色の液状体ごとに必要量を液滴Ｄとして吐出することができる。すなわち、液滴吐出ヘッド５０の温度またはその周辺の雰囲気の温度に対応して、高い吐出量精度で吐出を行うことができる。
【００７４】
（２）上記カラーフィルタ５０５の製造方法は、上記液状体の吐出方法を用い、３色の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを吐出する。したがって、３色の着色領域Ａごとに対応する必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂが安定して付与される。ゆえに、所望の光学特性を有するカラーフィルタ５０５を製造することができる。
【００７５】
（３）上記液晶表示装置５００の製造方法は、上記カラーフィルタ５０５の製造方法を用いているので、安定したカラー表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。
【００７６】
（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用した他の実施形態として、発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法について説明する。
【００７７】
＜有機ＥＬ表示装置およびその製造方法＞
まず、有機ＥＬ素子を有する有機ＥＬ表示装置とその製造方法について簡単に説明する。図９は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図９に示すように、有機ＥＬ表示装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが画素領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【００７８】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【００７９】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の画素領域としての発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画する隔壁部６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。隔壁部６１８は、下層バンク６１８ａと発光層形成領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、発光層形成領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【００８０】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図９ではこれらの図示を省略している。
【００８１】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、上層バンク６１８ｂおよび発光層Ｌｕを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【００８２】
有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。
【００８３】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部の製造方法について図１０に基づいて説明する。図１０（ａ）〜（ｆ）は、発光素子部の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１０（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【００８４】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に発光層形成領域Ａを区画するように上層バンク６１８ｂを形成する隔壁部形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を吐出する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを形成する固化工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。
【００８５】
電極（陽極）形成工程では、図１０（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そして隔壁部形成工程へ進む。
【００８６】
隔壁部形成工程では、図１０（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層Ｌｕに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層Ｌｕが積層されても発光を阻害することはない。
【００８７】
続いて、発光層形成領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部６１８が形成される。そして、表面処理工程へ進む。
【００８８】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、隔壁部６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【００８９】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１０（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【００９０】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の表面処理工程へ進む。
【００９１】
次の表面処理工程では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも発光層形成領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そして発光層Ｌｕの吐出工程へ進む。
【００９２】
発光層Ｌｕの吐出工程では、図１０（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂがそれぞれ対応する発光層形成領域Ａに液滴Ｄとして吐出される。そして、固化工程へ進む。
【００９３】
固化工程では、図１０（ｅ）に示すように、吐出された液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【００９４】
陰極形成工程では、図１０（ｆ）に示すように、素子基板６０１の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【００９５】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが対応する発光層形成領域Ａに付与され、成膜化後の膜厚がほぼ一定となった発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【００９６】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、発光層Ｌｕの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて素子基板６０１の発光層形成領域Ａに、必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして吐出される。したがって、成膜化後の膜厚がほぼ一定となった発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を歩留りよく製造することができる。
【００９７】
（２）上記実施形態２の有機ＥＬ表示装置の製造方法において、上記発光素子部６０３の製造方法により製造された素子基板６０１を用いれば、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの膜厚がほぼ一定であるため、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラ等が少なく、見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ表示装置６００を製造することができる。
【００９８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【００９９】
（変形例１）上記実施形態１の液滴吐出装置１０において、液滴吐出ヘッド５０はこれに限定されない。図１１は、変形例の液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は概略斜視図、同図（ｂ）はノズルプレートを示す概略平面図である。例えば、同図（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド７０は、２つの接続針７２ａ，７２ｂを有する液導入部７１と、一対のコネクタ７９を有するヘッド基板７３とヘッド本体７４と、複数のノズル７８を有するノズルプレート７６とを備えている。ノズルプレート７６のノズル面７６ａには、多連（２連）のノズル列７７ａ，７７ｂが形成されている。同図（ｂ）に示すように、ノズル列７７ａ，７７ｂは、ノズルピッチＰ１で配列した複数のノズル７８が半ノズルピッチＰ２ずれた状態で千鳥状に形成されている。接続針７２ａを経由してヘッド本体７４内部に形成された第１の流路を通過した液状体は、ノズル列７７ａの複数のノズル７８から液滴として吐出される。一方接続針７２ｂを経由してヘッド本体７４内部に形成された第２の流路を通過した液状体は、ノズル列７７ｂの複数のノズル７８から液滴として吐出される。このように異なる流路に繋がったノズル列７７ａ，７７ｂから吐出される液滴は、液状体の粘度（温度）や液滴吐出ヘッド７０のエネルギー発生手段に印加される駆動電圧Ｖｈが同一であっても、その吐出量がノズル列７７ａ，７７ｂごとに異なる場合がある。その要因の一つとしては、液状体に対する流路抵抗の違いが挙げられる。このような液滴吐出ヘッド７０を用いる場合には、上記実施形態１の液状体の吐出方法において、流路が異なるノズル列７７ａ，７７ｂごとに駆動電圧Ｖｈを設定することが望ましい。これによれば、液滴吐出ヘッド７０またはその周辺の雰囲気の温度に対応して、ノズル列７７ａ，７７ｂが異なっても複数のノズル７８から所定の吐出量の液滴を吐出することができる。
【０１００】
（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、液滴吐出ヘッド５０またはその周辺の雰囲気の温度を計測し、その計測結果を吐出工程にフィードバックする方法は、これに限定されない。例えば、ワークＷに液滴Ｄを吐出する主走査を複数回に渡って繰り返す場合は、リアルタイムに計測された計測結果を基に所定の吐出量の液滴Ｄが吐出されるように主走査ごとに駆動電圧Ｖｈの設定を行ってもよい。これによれば、より高い吐出量精度で液滴Ｄを吐出することができる。
【０１０１】
（変形例３）上記液滴吐出装置１０において、液滴吐出ヘッド５０またはその周辺の雰囲気の温度を計測する方法は、接触式の温度センサ１２に限定されない。例えば、非接触式の感熱センサを用いてもよい。
【０１０２】
（変形例４）上記実施形態１のカラーフィルタ５０５の製造方法および上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、着色領域Ａおよび発光層形成領域Ａの配置は、ストライプ方式に限定されない。デルタ方式や、モザイク方式の配置であっても、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用することができる。また、３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂに限定されず、ＲＧＢ３色に他色を加えた多色のカラーフィルタ５０５の製造方法においても適用可能である。
【０１０３】
（変形例５）上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタ５０５の製造方法、発光素子部６０３の製造方法に限定されない。例えば、図７の液晶表示装置５００や図９の有機ＥＬ表示装置６００において、画素領域ごとに形成されるスイッチング素子の製造方法や画素電極の製造方法についても適用可能である。また、液状体の種類は、複数種に限定されず、例えば、図７の液晶表示装置５００の製造において、配向膜形成材料を含む液状体を配向膜形成領域に付与して配向膜を形成する方法、シール材により区画された塗布領域に液状体としての液晶を液滴として塗布する塗布方法についても適用可能である。
【０１０４】
（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、液滴吐出ヘッド５０を用いた駆動電圧Ｖｈと液滴Ｄの吐出量Ｉｗと液滴吐出ヘッド５０の温度または液滴吐出ヘッド５０の周辺の雰囲気の温度との相関関係は、１次関数に限定されない。予測される温度範囲において、液状体の種類に応じて相関関係を求めておけばよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は液滴の吐出量と駆動電圧と温度との関係を示すグラフ。
【図６】液状体の吐出方法を示すフローチャート。
【図７】液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図８】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１０】（ａ）〜（ｆ）は発光素子部の製造方法を示す概略断面図。
【図１１】（ａ）は変形例の液滴吐出ヘッドを示す概略斜視図、（ｂ）は同図（ａ）のノズルプレートを示す概略平面図。
【符号の説明】
【０１０６】
５０，７０…液滴吐出ヘッド、５２，７８…ノズル、５２ａ，７７ａ，７７ｂ…ノズル列、８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂ…着色層形成材料を含む３色の液状体、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、５０５…カラーフィルタ、５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂ…着色層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…パターン形成領域または画素領域としての着色領域または発光層形成領域、Ｄ…液滴、Ｉｗ…液滴の吐出量、Ｖｈ…駆動電圧、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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