(57)【要約】【課題】真空処理装置における排ガスから、固化成分及び固形物を効率よく除去すると共に、比較的簡単かつ安価な構成で連続使用可能な時間を長期化できる排ガス濾過装置を提供する。【解決手段】周壁外周がフィルタエレメントによって囲繞されていると共に、一端側が閉鎖され、他端側が開口し、前記周壁に複数のガス通過孔を備えている管部材が、一端側に第一のガス通過口、他端側に第二のガス通過口を有する中空筒状容器の内部に、ガスが、当該中空筒状容器の第一のガス通過口と第二のガス通過口との間を、前記管部材の他端側の開口と、前記管部材の周壁に備えられている複数のガス通過孔とを介して流動できるように配置されてなる濾過ユニットをガスの流動方向に少なくとも２個以上直列に配置している。【選択図】図２
2008194548.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周壁外周がフィルタエレメントによって囲繞されていると共に、一端側が閉鎖され、他端側が開口し、前記周壁に複数のガス通過孔を備えている管部材が、
一端側に第一のガス通過口、他端側に第二のガス通過口を有する中空筒状容器の内部に、
ガスが、当該中空筒状容器の第一のガス通過口と第二のガス通過口との間を、前記管部材の他端側の開口と、前記管部材の周壁に備えられている複数のガス通過孔とを介して流動できるように配置されてなる濾過ユニットを、
ガスの流動方向に少なくとも２個以上直列配置したことを特徴とする排ガス濾過装置。
【請求項２】
ガスの流動方向に直列配置されている少なくとも２個以上の濾過ユニットは、ガス流動方向の上流側に配置される濾過ユニットにおける前記フィルタエレメントの密度の方が、ガス流動方向の下流側に配置される濾過ユニットにおける前記フィルタエレメントの密度より低いことを特徴とする請求項１記載の排ガス濾過装置。
【請求項３】
濾過ユニットの中空筒状容器が当該濾過ユニットの外部に備えられている冷却機構と熱伝導可能に接続されていることを特徴とする請求項１又は２記載の排ガス濾過装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガス濾過装置に関し、特に電子部品などの製造に用いられる真空処理装置の排気経路に設けられ、その製造処理プロセスで生成された固化成分及び固形物を除去するための排ガス濾過装置に好適に利用できるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から化学気相成長（以下、本明細書において「ＣＶＤ」という）法を利用する真空処理装置が電子部品などの製造に用いられている。ＣＶＤ法は、シリコンウェハやガラス基板などの被処理物を載置したＣＶＤ装置の処理室に、所望のガスを導入し、プラズマ或いは熱のエネルギーを利用して被処理物上に配線材料や保護膜を形成する方法である。
【０００３】
ここで、プラズマを利用した真空処理装置、例えば、プラズマを利用したＣＶＤ装置では、その処理工程で、被処理物以外の処理室内壁にも生成物が堆積してしまう。この処理室内壁に堆積された生成物は、パーテイクルの発生原因となるため、適宜、これを除去する作業が行われる。ａ−Ｓｉ成膜やＳｉＮ成膜などが行われるＣＶＤ装置の場合、この種の除去作業にＮＦ３ガスによるプラズマクリーニング法が好適に用いられている。このプラズマクリーニング法では、処理室内にＮＦ３を導入してプラズマクリーニングを行うと、Ｓｉ２ Ｆ６ （ＮＨ４）３・Ｆ※を主体とするガス状の生成物（固化成分）が生ずる。この固化成分は、処理中及びその直後にはプラズマのエネルギーによって熱を帯び、気相状態となっているが、排気の過程で冷えて固相状態となる。そのため、処理室と連結された排気経路には、Ｓｉ２ Ｆ６ （ＮＨ４）３・Ｆ※を主体とした粉末状の固形物が堆積及び蓄積する。
【０００４】
これら固形物の蓄積によって配管詰まりが起こらないように、通常、その排気経路に排ガス濾過装置を設け排ガス中の固化成分及び固形物を除去している。
【０００５】
従来用いられている排ガス濾過装置には、図４（ａ）、（ｂ）図示のようなトラップ機構がある。この種のトラップ機構は、図４（ａ）、（ｂ）に示す如く、一端にガス流入口５３を有し、他端にガス流出口５４を有する中空筒状容器５１を備えている。この中空筒状容器５１の内部には、一端側が閉鎖され他端側が開口している管部材からなる遮蔽板５２が設けられ、さらに遮蔽板５２の内側に冷却管５５が設けられている。この冷却管５５は、中空筒状容器５１を貫通するように設けられ、その中空筒状容器５１の外部で水などの冷媒を流入及び流出する流入口及び流出口を備えている。また、中空筒状容器５１の外部にも、水などの冷媒が内部を流通する冷却管５６が備えられている。
【０００６】
ＣＶＤ装置などの処理室から排気された排ガスは、中空筒状容器５１のガス流入口５３からその内部に導入される。そして、中空筒状容器２１の内壁と遮蔽板２２との間を通ってガス流出口５４から流出される。この排ガスは、ＣＶＤ及びプラズマクリーニングなどの処理によって熱を帯びている。一方、中空筒状容器５１及び遮蔽板５２は、水などの冷媒が内部を循環している冷却管５５、５６を介して冷却されている。そのため、このトラップ装置内を流通する排ガスは冷却され、その固化成分が中空筒状容器５１の内壁、遮蔽板５２及び冷却管５５上に凝結する。
【０００７】
一方、排ガス中の固形物を除去するものに、図５（ａ）、（ｂ）図示のようなフィルタ機構がある。このフィルタ機構は、図５（ａ）、（ｂ）に示す如く、一端側にガス流入口６１、他端側にガス流出口６２が設けられた中空筒状容器の内部にフィルタメッシュ６３が配置されているものである。フィルタメッシュ６３は、ステンレス製の平織混合線径メッシュ６４（以下、単に「メッシュ６４」という）を、ステンレス製の中空筒状フレーム６５の外側に巻き付けたものである。例えば、図５（ｂ）図示のように、中空筒状フレーム６５に図中の矢印方向６６にメッシュ６４を挿入したものが好適に用いられている。
【０００８】
この種のフィルタ機構をＣＶＤ装置の排気経路に設けると、その処理室から排気された排ガスは、ガス流入口６１よりフィルタ機構内部に流入し、そして、メッシュ６４を通過した後にガス流出口６２を介してフィルタ機構外部へ排出される。従って、排ガス中の固形物はフィルタメッシュ６３で捕獲され、除去される。当然のことながら、メッシュ６４の目（網目）を細かくすればするほど、固形物除去の効果は向上する。
【０００９】
なお、排ガス濾過装置としては、上記のようなトラップ機構及びフィルタ機構の両方を備えたものが好適に用いられている。
【特許文献１】特開２００５−１３８６６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の排ガス濾過装置には次のような問題がある。すなわち、トラップ機構の場合、トラップ機構の内部を流通する排ガスは、その中の固化成分が十分に除去されないままトラップ装置外へ流出することがある。この理由としては、トラップ機構内部の冷却された構成部品近傍を流通せず十分に冷却されない排ガス（固化成分）がある、トラップ装置内を流通する排ガスの流通速度が速すぎる、などが挙げられる。
【００１１】
また、フィルタ機構の場合、排ガス中の固形物は、フィルタを通過しようとする際に捕獲（除去）されるが、僅かな捕獲（除去）量でメッシュに目詰まりが起こり、排気経路のコンダクタンスを著しく低下させてしまう。通常、コンダクタンスの低下がある程度まで進行すると、フィルタ機構の洗浄或いは交換が行われる。
【００１２】
フィルタ機構の連続使用可能な時間は、そのメッシュの目の細かさや固形物除去に係る有効的な表面積によって決まる。すなわち、メッシュの目を粗くする、若しくはメッシュの有効的な表面積を大きくすることで、その連続使用可能時間をある程度延はずことができる。ここでメッシュの有効的な表面積とは、排ガスが通過する領域を含めたメッシュ外形の大きさを意味している。しかし、当然のことながら、目を粗くすれば、その目よりも細かい固形物を捕獲することができず、またメッシュ部の有効的な表面積を大きくすれば、フィルタ機構全体が大型化するなどの新たな問題が生じる。
【００１３】
上述のトラップ機構、フィルタ機構に関する問題は、これらトラップ機構及びフィルタ機構の両方を備えた排ガス濾過装置においても発生する。従って、排ガス中の固形物に加えて、トラップ機構で除去できなかった固化成分がフィルタ機構に達し、そのメッシュ部で固化成分及び固形物が捕獲（除去）されるが、メッシュの目詰まりに起因して、この種の排ガス濾過装置を連続して長時間使用することができなかった。
【００１４】
よって、例えば電子部品などの製造にＣＶＤ装置などの真空処理装置が利用される場合であって、このような装置の処理室からの排気経路にこの種の従来の排ガス濾過装置が用いられると、排ガス濾過装置を連続して長時間使用することができないために、その真空処理装置を連続使用できる時間も短いものになっていた。
【００１５】
上述の問題に鑑み、本発明は、例えばＣＶＤ装置等の真空処理装置における排ガスから、固化成分及び固形物を効率よく除去すると共に、比較的簡単かつ安価な構成で連続使用可能な時間を長期化できる排ガス濾過装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述の目的を達成するために、本発明が提案する排ガス濾過装置は、周壁外周がフィルタエレメントによって囲繞されていると共に、一端側が閉鎖され、他端側が開口し、前記周壁に複数のガス通過孔を備えている管部材が、一端側に第一のガス通過口、他端側に第二のガス通過口を有する中空筒状容器の内部に、ガスが、当該中空筒状容器の第一のガス通過口と第二のガス通過口との間を、前記管部材の他端側の開口と、前記管部材の周壁に備えられている複数のガス通過孔とを介して流動できるように配置されてなる濾過ユニットを、ガスの流動方向に少なくとも２個以上直列して配置したことを特徴とするものである。
【００１７】
ここで、フィルタエレメントとは、帯状及び／又は糸状の金属部材を多数集めた綿密構造部材、又は多孔室部材からなり、当該綿密構造部材、多孔室部材をガスが通過するときに、ガス分子が、帯状及び／又は糸状の金属部材に衝突しながら流通する構成のものをいう。
【００１８】
上記本発明の排ガス濾過装置によれば、例えば、濾過ユニットを構成する中空筒状容器の第一のガス通過口、又は第二のガス通過口から中空筒状容器内に流入した排ガスは、中空筒状容器内の内部空間である程度拡散した後にフィルタエレメントを通過して濾過され、その後、管部材の周壁に設けられている複数のガス通過孔を介して管部材の内側に入る。そして、管部材の開口している側から、中空筒状容器の第二のガス通過口、又は第一のガス通過口を介して濾過ユニットの外側へ排出されていく。あるいは、例えば、濾過ユニットを構成する中空筒状容器の第一のガス通過口、又は第二のガス通過口から中空筒状容器内に流入する排ガスは、ただちに、管部材の開口している側から、管部材の内側に入り、管部材の周壁に設けられている複数のガス通過孔を介して管部材の周壁外へ排出され、フィルタエレメントを通過して濾過される。そして、中空筒状容器内の内部空間である程度拡散した後、中空筒状容器の第二のガス通過口、又は第一のガス通過口を介して濾過ユニットの外側へ排出されていく。
【００１９】
こうして本発明の排ガス濾過装置を構成する上流側の濾過ユニットから排出された排ガスは、本発明の排ガス濾過装置を構成する下流側の次位の濾過ユニットを構成する中空筒状容器の第一のガス通過口、又は第二のガス通過口からその中空筒状容器内に流入し、前記と同様に濾過されて、下流側へ排出されていく。
【００２０】
そこで、本発明の排ガス濾過装置によれば、排ガス中の固化成分及び固形物を捕獲する領域を十分に確保するとともに、フィルタエレメントを通過するごとに排ガス中の固化成分及び固形物を効率良く除去できる。
【００２１】
前述した本発明の排ガス濾過装置は、好適には、ガスの流動方向に直列配置されている少なくとも２個以上の濾過ユニットにおいて、ガス流動方向の上流側に配置される濾過ユニットの前記フィルタエレメントの密度の方が、ガス流動方向の下流側に配置される濾過ユニットの前記フィルタエレメントの密度より低く（低密度となるように）構成することが望ましい。
【００２２】
例えば、フィルタエレメントが帯状及び／又は糸状の金属部材を多数集めてなる綿密構造部材で構成される場合、上流側の濾過ユニットのフィルタエレメントを、下流側の濾過ユニットのフィルタエレメントよりも線幅が太く加工されたものとすることによって、下流側のフィルタエレメントよりも低密度にするものである。このようにすると、排ガス中のガス分子が、下流側のフィルタエレメントの帯状及び／又は糸状の金属部材に衝突する回数よりも、上流側のフィルタエレメントの帯状及び／又は糸状の金属部材に衝突する回数の方が多くなる。
【００２３】
これにより、濾過ユニット内のガス滞在時間フィルタエレメント排ガス中の固化成分及び固形物を、その大きさごとに分散して捕獲（除去）し、濾過装置の連続使用時間を長期化することができる。
【００２４】
さらに、濾過ユニットの中空筒状容器が当該濾過ユニットの外部に備えられている冷却機構と熱伝導可能に接続されている構成にすることができる。これにより、特に、排ガス中の固化成分に対して凝結作用を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る排ガス濾過装置は、比較的簡単かつ安価な構成で排ガス中の固化成分及び固形物を効率よくかつ十分に除去することができる。
【００２６】
また、それぞれの濾過ユニットのフィルタエレメントを排ガスの流通経路の上流側で粗く、下流側で細かくすることにより、排ガス中の固化成分及び固形物をその大きさに応じて分散して捕獲・蓄積でき、排ガス濾過装置の連続使用可能な時間を長期化することができる。
【００２７】
さらにまた、複数の濾過ユニットによって排ガス濾過装置が構成されるようにすることにより、洗浄及び交換が必要となった濾過ユニットのみを、蓄積された固化成分及び固形物の量に応じて選択することでき、その洗浄及び交換に係るメンテナンス性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付図を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、図示の構成及び配置関係については本発明が理解できる程度に概略的に示したものに過ぎず、また各構成の材質（組成）等については例示に過ぎない。従って、本発明は、以下の実施の形態に限定されず、特許請求の範囲の記載から把握される技術的範囲において様々な形態に変更可能である。
【００２９】
図１は、２つの濾過ユニットＡ、Ｂが排気ガスの流動方向に直列に配置されている本発明の排ガス濾過装置の一例を示す概略図であり、図２はその断面図である。
【００３０】
図１及び図２に示す如く、本発明の排ガス濾過装置を構成する濾過ユニットＡは、一端側に第一のガス通過口（図示の場合、ガス流入口４）、他端側に第二のガス通過口（図示の場合、ガス流出口５）を有する中空筒状容器１を備えている。図２図示の実施形態では、中空筒状容器１の両端側には、底板２と、頂板３とがそれぞれ備えられており、ガス流出口５は、頂板３の中央部に穿設されている。中空筒状容器１の内部には、周壁７の外周がフィルタエレメント８によって囲繞され、一端側が底板９によって閉鎖され、他端側に開口１０を備え、周壁７に複数のガス通過孔１１を備えている管部材１２が配置されている。
【００３１】
管部材１２は、周壁７の外周がフィルタエレメント８によって囲繞されている状態で、排ガスが、中空筒状容器１の第一のガス通過口（ガス流入口４）と第二のガス通過口（ガス流出口５）との間を、管部材１２の開口１０と、周壁７に備えられている複数のガス通過孔１１とを介して流動できるように中空筒状容器１内に配置されている。
【００３２】
なお、図２図示の実施形態においては、管部材１２の開口１０は中空筒状容器１の頂板３の中央に穿設されているガス流出口５に嵌合されており、管部材１２の開口１０と、中空筒状容器１のガス流出口５とが実質的に同一になっている。
【００３３】
図２中、符号１４で示されているのは、フィルタエレメント８が管部材１２の外周から離脱しないように保持する支持部材である。図２図示の例では、支持部材１４は無底の円筒状であり、その周壁に矢示１６方向、あるいはその逆方向への排ガスの流動を可能ならしめるように、複数のガス通過孔１５を備えている。すなわち、排ガスは、複数のガス通過孔１５を介して、図２中、矢示１７方向、あるいはその逆方向へ流動可能となっている。
【００３４】
図２図示の排ガス濾過装置は、前述した濾過ユニットＡと同様の構成からなる濾過ユニットＢが、ガスの流動方向に、直列に配置されているものである。
【００３５】
濾過ユニットＢは、一端側に第一のガス通過口（図示の場合、ガス流入口２４であって、図２図示の実施形態においては、これは、濾過ユニットＡのガス流出口５を兼ねている）、他端側に第二のガス通過口（図示の場合、ガス流出口２５）を有する中空筒状容器２１を備えている。図２図示の実施形態では、中空筒状容器２１の両端側には、底板２２（これは、図２図示の実施形態においては、濾過ユニットＡの頂板３を兼ねている）と、頂板２３とがそれぞれ備えられており、ガス流出口２５は、頂板２３の中央部に穿設されている。中空筒状容器２１の内部には、周壁２７の外周がフィルタエレメント２８によって囲繞され、一端側が底板２９によって閉鎖され、他端側に開口３０を備え、周壁２７に複数のガス通過孔３１を備えている管部材３２が配置されている。
【００３６】
管部材３２は、周壁２７の外周がフィルタエレメント２８によって囲繞されている状態で、排ガスが、中空筒状容器２１の第一のガス通過口（ガス流入口２４）と第二のガス通過口（ガス流出口２５）との間を、管部材３２の開口３０と、周壁２７に備えられている複数のガス通過孔３１とを介して流動できるように中空筒状容器２１内に配置されている。
【００３７】
なお、図２図示の実施形態においては、管部材３２の開口３０が中空筒状容器２１のガス流出口２５に嵌合されており、管部材３２の開口３０と、中空筒状容器２１のガス流出口２５とが実質的に同一になっている。
【００３８】
図２中、符号３４で示されているのは、フィルタエレメント２８が管部材３２の外周から離脱しないように保持する支持部材である。図２図示の例では、支持部材３４は無底の円筒状であり、その周壁に排ガスの矢示３６方向、あるいはその逆方向への流動を可能ならしめるように、複数のガス通過孔３５を備えている。そこで、排ガスは、図２中、矢示３７方向、あるいはその逆方向へ流動可能となっている。
【００３９】
フィルタエレメント８、２８は、帯状及び／又は糸状の金属部材を多数集めた綿密構造部材、又は多孔室部材からなり、当該綿密構造部材、多孔室部材を排ガスが通過するときに、ガス分子が、帯状及び／又は糸状の金属部材に衝突しながら流通する構造になっているものである。
【００４０】
管部材１２、３２の周壁７、２７に設けられている複数のガス通過孔１１、３１は、フィルタエレメント８、２８による固化成分、固形物の補足、除去が均等にかつ効果的に行われるように、管部材１２、３２の径方向及び長手方向に対して所定の間隔を有して対称的に設けておくことが望ましい。
【００４１】
支持部材１４、３４の周壁に設けられているガス通過孔１５、３５も、フィルタエレメント８、２８による固化成分、固形物の補足、除去が均等にかつ効果的に行われるように、支持部材１４、３４の径方向及び長手方向に対して所定の間隔を有して対称的に設けておくことが望ましい。
【００４２】
濾過ユニットＡ、Ｂは前述したように、同様の構成からなるものであるが、濾過ユニットＡ、Ｂに備えられているフィルタエレメント８、２８は、その密集する割合（密度）が異なり、その密度は、ガス流動方向の上流に配置される濾過ユニットＡのフィルタエレメント８の方が小さくなっている。すなわち、フィルタエレメント８の方が密集状態が粗く、フィルタエレメント２８の方が密集状態が細かくなっている。
【００４３】
なお、この排ガス濾過装置の各構成部材は、ステンレス鋼などの金属で構成することができる。
【００４４】
図１、２図示の本発明の排ガス濾過装置を、電子部品などの製造装置に使用されるＣＶＤ装置等の真空処理装置の排気経路に設けると、真空処理装置の処理室からの排ガスは、排ガス濾過装置内を図２の矢印４０の方向へ流れる。
【００４５】
すなわち、排ガスは、まず、濾過ユニットＡの中空筒状容器１のガス流入口４から中空筒状容器１内に流入し、中空筒状容器１内の内部空間１３において、ある程度拡散した後、フィルタエレメント８を通過して濾過され、その後、管部材１２の周壁７に設けられている複数のガス通過孔１１を介して管部材１２の内側に入る。そして、管部材１２の開口１０、すなわち、中空筒状容器１のガス流出口５から排出される。
【００４６】
この中空筒状容器１のガス流出口５からの排出は、同時に、下流側（図２中右側）の濾過ユニットＢの中空筒状容器２１のガス流入口２４からの、中空筒状容器２１内への排ガスの流入となる。
【００４７】
なお、図２図示の実施形態では、濾過ユニットＡを構成する中空筒状容器１の頂板３が、濾過ユニットＢを構成する中空筒状容器２１の底板２２を兼用しており、濾過ユニットＡを構成する管部材１２の開口１０と、中空筒状容器１のガス流出口５、濾過ユニットＢを構成する中空筒状容器２１のガス流入口２４とが実質的に同一になる構造になっている。
【００４８】
こうして、濾過ユニットＢの中空筒状容器２１内に流人した排ガスは、中空筒状容器２１内の内部空間３３において、ある程度拡散した後、フィルタエレメント２８を通過して濾過され、その後、管部材３２の周壁２７に設けられている複数のガス通過孔３１を介して管部材３２の内側に入る。そして、管部材３２の開口３０、すなわち、中空筒状容器２１のガス流出口２５から排出され、排ガス濾過装置外部（排ガス濾過装置の下流側）へと流出していくのである。
【００４９】
排ガス濾過装置を流通した排ガスは、濾過ユニットＡのフィルタエレメント８を通過する際に、その排ガス中に含まれる大きめの固化成分及び固形物が除去され、その後、濾過ユニットＢのフィルタエレメント２８でより小さい固化成分及び固形物が除去される。従って、排ガス中の固化成分及び固形物をその大きさに応じて効率よく分散して除去することができ、フィルタエレメント８、２８の洗浄及び交換までの連続使用可能時間を長期化することができる。
【００５０】
図１、図２中、符号１８、１９で示されているものは、濾過ユニットＢの支持部材３４を安定的に支持するための支持手段である。基端が濾過ユニットＡを構成する中空筒状容器１の頂板３（すなわち、濾過ユニットＢを構成する中空筒状容器２１の底板２２）に固定されている支持脚１９の先端に、支持部材３４の図２中左端側に取り付けられている支持環（あるいは支持円板）１８が取り付け、固定される。
【００５１】
濾過ユニットＡにおいては、支持部材１４の図２中右端を、中空筒状容器１の頂板３の内壁に取り付け、取り外し可能なようにして、あるいは固着されているようにして支持部材１４の安定的な支持を図っている。
【００５２】
濾過ユニットＢにおいても、濾過ユニットＡの場合のように、支持部材３４の図２中右端を、中空筒状容器２１の頂板２３の内壁に取り付け、取り外し可能に、あるいは固着して支持部材１４を安定的に支持するようにすれば、図１、図２中、符号１８、１９で示されている支持手段を用いないようにすることが可能である。
【００５３】
図１、図２図示の実施形態においては、濾過ユニットＢを構成する中空筒状容器２１は、濾過ユニットＡを構成する中空筒状容器１の周壁部を下流方向に向けて延ばしたものになっている。すなわち、底板２と頂板２３を両端部に有する一本の中空筒の、底板２が備えられている端部側に第一のガス通過口（ガス流入口４）、頂板２３が備えられている端部側に第二のガス通過口（ガス流出口２５）が開口され、この一本の中空筒の内部空間を中央部にガス流出口５とガス流入口２４とを兼用する開口を備えている仕切板（中空筒状容器１の頂板３と中空筒状容器２１の底板２２とを兼用している）で仕切り、この上流側が濾過ユニットＡ、下流側が濾過ユニットＢを構成するものとなっている。
【００５４】
本発明の排ガス濾過装置をこのような構成にすればコンパクトなものにすることができるが、中空筒状容器１の頂板３と中空筒状容器２１の底板２２とを一枚の板体によって兼用させず、上流側の濾過ユニットＡを構成する中空筒状容器１の頂板３に穿設されているガス流出口５と、下流側の濾過ユニットＢを構成する中空筒状容器２１の底板２２に穿設されているガス流入口２４との間を、排ガスが内部を通過する管体で接続して本発明の排ガス濾過装置とすることも当然可能である。
【００５５】
また、管部材１２の周壁７、管部材３２の周壁２７の外周をそれぞれ囲繞するフィルタエレメント８、２８がそれのみでその形態を維持できるものでるならば、とくに、支持部材１４、３４を設ける必要はなくなる。
【００５６】
更に、図１、図２図示の実施形態においては、フィルタエレメント８、２８の外周と、中空筒状容器１、２１の内周壁との間に内部空間１３、３３が存在している構造としたが、内部空間１３、３３が存在していない構造にすることも可能である。濾過ユニットを構成する中空筒状容器の上流側に位置する第一のガス通過口、又は第二のガス通過口から中空筒状容器内に流入した排ガスが、管部材の開口と、管部材の周壁に設けられている複数のガス通過孔とを介して、下流側の第二のガス通過口、又は第一のガス通過口ヘと流動していってそこから排出されるまでの過程で、フィルタエレメントを通過して濾過されるものであれば十分だからである。
【００５７】
ただし、図１、図２図示の実施形態にすれば、排ガスは、内部空間１３、３３において、ある程度拡散してからフィルタエレメント８、２８を通過して濾過されるようになるので、排ガスの中に含まれる固化成分及び固形物の除去をより効果的に行う上では、図１、図２図示の実施形態のように、内部空間１３、３３が存在し、排ガスは各濾過ユニット中で、この内部空間においてある程度拡散してからフィルタエレメントを通過して濾過され、下流側へ排出される構造にされていることが望ましい。
【００５８】
図１、図２図示の実施形態においては、濾過ユニットＡの下流に濾過ユニットＢを接続して本発明の排ガス濾過装置としたが、下流にいくに従ってフィルタエレメントの密度が高くなるようにしつつ、図２図示の濾過ユニットＢの下流に引き続いて濾過ユニットＡを接続する構成、図２図示の濾過ユニットＢの下流に引き続いて濾過ユニットＡ、濾過ユニットＢを連続させて接続する構成にすることが可能である。
【００５９】
また、濾過ユニットを構成する中空筒状容器の上流側に位置する第一のガス通過口、又は第二のガス通過口から中空筒状容器内に流入した排ガスが、管部材の開口と、管部材の周壁に設けられている複数のガス通過孔とを介して、下流側に位置する第二のガス通過口、又は第一のガス通過口ヘと流動していってそこから排出されるまでの過程で、フィルタエレメントを通過して濾過される構成であれば良いので、図１、図２の実施形態において、濾過ユニットＢのフィルタエレメント２８の密度を、濾過ユニットＡのフィルタエレメント８の密度より小さくして、排ガスを図２中、矢印４０とは反対の方向から流す（すなわち、図２図示の配置状態のままで、濾過ユニットＢを上流側にする）ことも可能である。
【００６０】
この場合、濾過ユニットを構成する中空筒状容器２１、１の上流側のガス通過口から中空筒状容器内２１、１に流入した排ガスは、管部材３２、１２の開口３０、１０から、管部材３２、１２の内側に入り、管部材３２、１２の周壁２７、７に設けられている複数のガス通過孔３１、１１を介して、矢印１６の方向とは反対に、管部材３２、１２の周壁外へ排出される。そして、フィルタエレメント２８、８を通過して濾過され、矢印１７の方向とは反対に、内部空間３３、１３内へ排出され、内部空間３３、１３である程度拡散した後、中空筒状容器２１、１の下流側のガス通過口から下流側へ排出されていくことになる。
【００６１】
更に、図２中、濾過ユニットＢが濾過ユニットＡへ接続される方向を、図２図示の状態とは左右逆にすることもできる。この場合、濾過されるべき排ガスは、図１、図２を用いて前述した要領で濾過ユニットＡを通過する。そして、濾過ユニットＡのガス流出口５（すなわち、管部材１２の開口１０）から、濾過ユニットＡで濾過済みの排ガスが、濾過ユニットＢの中空筒状容器内２１が備えているガス流入用のガス通過口（管部材３２の開口３０が嵌合されている）に入り、管部材３２の内部から管部材３２の周壁２７に設けられている複数のガス通過孔３１を介して管部材３２の周壁外へ排出される。そして、フィルタエレメント２８を通過して濾過され、内部空間３３を経て、濾過ユニットＢの中空筒状容器内２１が備えているガス流出用のガス通過口から下流側に排出されていくことになる。
【００６２】
ただし、前述したように、排ガスの中に含まれる固化成分及び固形物の除去をより効果的に行う上では、図１、図２図示の実施形態のように、排ガスが、内部空間１３、３３において、ある程度拡散してからフィルタエレメント８、２８を通過して濾過されることが望ましいので、複数の濾過ユニットＡ、Ｂを下流方向に向けて接続する形態は、図１、図２を用いて前述した形態とすることがより好ましい。
【００６３】
図３は、本発明の他の実施形態における図２図示の状態に対応する図である。濾過ユニットＡ、Ｂを構成する中空筒状容器長２１の外周に銅などの熱伝達性に優れた材質からなる配管４１が接触するように配置され、この配管４１内に水などの冷媒が流動、例えば、循環流動できるようにしたものである。すなわち、濾過ユニットの中空筒状容器が濾過ユスットの外部に備えられている冷却機構と熱伝導可能に接続されているものである。
【００６４】
配管４１内に水を流動させると中空筒状容器１、２１の周壁が冷却される。これによって、ステンレス鋼などの金属からなる中空筒状容器１、２１の底板２、頂板３（底板２２）、頂板２３、支持部材１４、３４、支持脚１９、支持環（あるいは支持円板）１８、フィルタエレメント８、２８が順次冷却されていく。これによって、排ガス中の固化成分の除去性能を向上させることができる。
【００６５】
その他の構成要素、その作用については、図１、図２を用いて前述したものと同様であるので、図３中、図１、図２に登場したものと同一の構成要素には、図１、図２の場合と同一の参照符号を付してその説明を省略する。
【００６６】
なお、濾過ユニットの中空筒状容器が濾過ユニットの外部に備えられている冷却機構と熱伝導可能に接続される構成にすることができるならば、図３図示のように、中空筒状容器１、２１の外周に銅などの熱伝達性に優れた材質からなる配管４１が接触するように配置されている構造・構成に限られず、種々の形態を採用することができる。
【００６７】
また、以上説明した本発明の排ガス濾過装置は、従来のトラップ装置及びフィルタ装置で構成される排ガス濾過ユニットに代用できるものであるが、本発明の排ガス濾過装置の上流側又は下流側もしくはその両方の排気経路に、従来のようなトラップ装置及びフィルタ装置を配置して固化成分及び固形物除去の更なる向上を図ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】濾過ユニットを２つ備えた場合の本発明に係る排ガス濾過装置の一部を破切して現した概略正面図。
【図２】図１図示の排ガス濾過装置の断面図。
【図３】更に冷却手段を備えた場合の本発明に係る排ガス濾過装置の断面図。
【図４】従来のトラップ装置の構造を説明する図であって、（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図。
【図５】従来のフィルタ装置の構造を説明する図であって、（ａ）は一部を破切して現した概略正面図、（ｂ）はフィルタメッシュの構造を説明する正面図。
【符号の説明】
【００６９】
Ａ、Ｂ      濾過ユニット
１、２１    中空筒状容器
２、２２    底板
３、２３    頂板
４、２４    ガス流入口
５、２５    ガス流出口
７、２７    周壁
８、２８    フィルタエレメント
９、２９    底板
１０、３０  開口
１１、３１  ガス通過孔
１２、３２  管部材
１４、３４  支持部材
１５、３５  ガス通過孔
４１        配管
【図１】
2008194548.tif 000003
【図２】
2008194548.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008194548.tif 000007