(57)【要約】【課題】応答が高速できめ細かな液供給を可能とし、より省資源なマスク洗浄が可能な印刷マスク洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄液循環経路Ｌに、洗浄液供給部３１と、洗浄液タンク３２と、洗浄液循環ポンプ３３と、流路遮断弁３４とを介在して構成する。  前記洗浄液供給部３１において、クリーンペーパ２３に接する洗浄液供給ノズル３７を形成し、前記第１空間３８と第２空間３９との間における第３空間４０には、背圧バルブ機構４１としてバルブシート４２、第２空間３９側には、ばね部材４３により、常時、前記バルブシート４２に押し付けられた洗浄液供給バルブ４４を構成する。前記バルブシート４２にはオリフィス穴４２ｈ、洗浄液供給バルブ４４には中央穴４４ｈを形成する。【選択図】図１
2008126534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
はんだ印刷使用後の印刷用マスク（２）を、洗浄液を含ませたクリーンペーパ（２３）により摺擦することで、フラックスを拭き落とすウエット洗浄と、乾燥したクリーンペーパ（２３）で印刷用マスク（２）に残った洗浄液を拭き取るドライ洗浄とを行う印刷マスク洗浄装置（３０）であって、
洗浄液タンク（３２）から洗浄液を、前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する洗浄液供給部（３１）に供給する一方、この洗浄液供給部（３１）を介して前記洗浄液タンク（３２）に戻す洗浄液循環回路を構成し、
前記洗浄液供給部（３１）は、循環する洗浄液の通流圧の変動に応じて前記クリーンペーパ（２３）への洗浄液の供給通路を開放／遮断する構成としたことを特徴とする印刷マスク洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄液循環回路には、前記洗浄液タンク（３２）から洗浄液を、前記洗浄液供給部（３１）に供給する洗浄液循環ポンプ（３３）を設ける一方、前記洗浄液供給部（３１）の下流側に、洗浄液の循環を遮断する流路遮断弁（３４）を設けたことを特徴とする請求項１に記載の印刷マスク洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄液供給部（３１）には、前記流路遮断弁（３４）により洗浄液の循環を遮断することで、前記洗浄液タンク（３２）から前記洗浄液供給部（３１）に至る洗浄液の管圧の上昇により、前記洗浄液供給部（３１）から前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する通路を開放する背圧バルブ機構（４１）を設けたことを特徴とする請求項２に記載の印刷マスク洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄液供給部（３１）には、洗浄液を流入させる第１の循環口（３５）と、吐出させる第２の循環口（３６）と、前記クリーンペーパ（２３）に接する洗浄液供給ノズル（３７）とを形成し、
前記第１循環口（３５）と第２循環口（３６）とは、第１の空間（３８）と第２の空間（３９）を介して連通させ、
前記第１空間（３８）と第２空間（３９）との間には、第３の空間（４０）を形成し、
この第３空間（４０）と前記洗浄液供給ノズル（３７）とを連通させて、洗浄液の通路となるようにし、
前記背圧バルブ機構（４１）は、前記第３空間（４０）に配置して、前記第１空間（３８）と前記第３空間（４０）とを遮断するバルブシート（４２）と、
前記第２空間（３９）側に、第２空間（３９）から前記第３空間（４０）側に向かって、ばね部材（４３）により突出させて前記バルブシート（４２）を押圧するように設けた洗浄液供給バルブ（４４）とを備え、
前記バルブシート（４２）にはオリフィス穴（４２ｈ）、洗浄液供給バルブ（４４）には中央穴（４４ｈ）を形成して、これらオリフィス穴（４２ｈ）および中央穴（４４ｈ）は、互いに中心軸を一致させるように配置する構成としたことを特徴とする請求項３に記載の印刷マスク洗浄装置。
【請求項５】
はんだ印刷使用後の印刷用マスク（２）を、クリーンペーパ（２３）により摺擦することで洗浄を行う際、洗浄液タンク（３２）から洗浄液を、洗浄液供給部（３１）を介して前記洗浄液タンク（３２）に戻す洗浄液の循環運転時、前記洗浄液供給部（３１）から前記洗浄液タンク（３２）に戻す洗浄液の流路を遮断することで、前記洗浄液供給部（３１）から前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する通路を開放して前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給して、洗浄液を含ませたクリーンペーパ（２３）により印刷用マスク（２）を摺擦してフラックスを拭き落とすウエット洗浄を行う一方、前記洗浄液の循環運転により、前記洗浄液供給部（３１）から前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する通路を遮断して乾燥したクリーンペーパ（２３）で印刷用マスク（２）に残った洗浄液を拭き取るドライ洗浄を行うようにしたことを特徴とする印刷マスクの洗浄方法。
【請求項６】
洗浄液の循環運転を、印刷用マスク（２）を、クリーンペーパ（２３）により摺擦することで洗浄を行う洗浄運転に先立って行うようにしたことを特徴とする請求項５に記載の印刷マスクの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液の供給するノズルを洗浄液の循環管内の圧力変化による背圧で開く構造にすることで、下流に設けた電磁バルブによりノズル開閉動作を制御するようにした、印刷マスク洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体の高機能化、高集積化の流れから、パッケージ基板のはんだバンプを形成するはんだ印刷機においても、印刷バンプのますますの微細化が求められている。
例えばはんだ印刷機としては、印刷用マスクを用いて基板上のパッドや、ランドにクリームはんだからなる導電性パターンを印刷し、この導電性パターン上に、表面実装品をマウントした後、炉内でクリームハンダを溶融させ、さらに、冷却により、クリームハンダを硬化させて、電子回路部品を基板上に固定する構成のものがある。
このような印刷マスクは、印刷終了後放置すると、マスクに付着したペーストに含まれるフラックス成分が、再度の使用に支障を来たす要因となるので、使用終了後は、速やかに洗浄することが望ましい。
【０００３】
従来、印刷用マスクの洗浄方法としては、フロンからなる洗浄液を用いて行われてきたが、近年では、環境保全の観点上、洗浄液を印刷用マスクに噴射して洗浄を行う、シャワー洗浄方法や、超音波洗浄方法が用いられるようになってきた。
しかしながら、特許文献１では、このような超音波洗浄によって、印刷用マスクに付着した不要な物質を除去するだけでなく、印刷用マスクと薄膜など、必要な貼り合わせのための接着剤をも除去してしまう恐れがあることから、特別な波形の超音波を出力させるとした手法を提案している。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３０１０８８号公報
【０００５】
他方、はんだ印刷機１としては、図３で示すように、印刷パターンに合わせて穴が開けられた印刷マスク２を、ワーク３上に載せ、印刷ヘッド４によりはんだペーストをマスク２の穴に充填し、穴パターンではんだをワーク３に転写印刷を行う装置がある。
【０００６】
ここで前記はんだ印刷機１について説明する。はんだ印刷機１は、本体枠５に設けた、ワーク治具６を介してワーク３を搭載してなるワーク架台７と、本体枠５の上部側に配設して、印刷ヘッド４を、ヘッド往復駆動部８とヘッド上下駆動部９とを介して、上下動、往復動可能に支持する構成としている。
また、前記本体枠５には、前記印刷マスク２を、マスク上下駆動部１０を介して、上下動可能に支持する構成としている。
そして、前記本体枠５には、印刷マスク洗浄装置１１を、前記ワーク架台７に替わって配置する構成としている。
【０００７】
前記印刷ヘッド４を支持する、ヘッド往復駆動部８は、本体枠５を構成する上部梁枠５Ｈに設けた、例えば直動駆動機構（ボールねじなど、）で構成し、ヘッド往復駆動部８は、前記上部梁枠５Ｈに平行に配置したガイド１２に沿って移動可能な移動子１３に前記ヘッド上下駆動部９を搭載し、ヘッド上下駆動部９に、駆動源８ａ（モータ）によって回転するねじ軸８ｂに螺入したナット部材８ｃを結合している。
一方、前記ヘッド上下駆動部９（例えば油圧、空圧シリンダ）は、シリンダ部９ａと、シリンダロッド９ｂとを有し、シリンダロッド９ｂ先端に前記印刷ヘッド４を装着している。
前記印刷ヘッド４下端には、ワーク３上に載置した、印刷パターンに合わせて穴が開けられた印刷マスク２に対し、はんだペーストを摺擦させることでマスク２の穴に充填するスキージ１４を取付けている。スキージ１４はここでは例えばブレード形状であり、周知の合成樹脂素材（例えばウレタン樹脂等）によって構成している。
【０００８】
前記印刷マスク２を上下動可能に支持するマスク上下駆動部１０（例えば油圧、または空圧シリンダ）は、本体枠５を構成する縦枠５Ｖに沿って昇降可能に装着した昇降枠１５に動力的に連結している。この昇降枠１５には、前記印刷マスク２を把持する把持部１６を設けている。
【０００９】
以上のような構成のはんだ印刷機１の工程は次の通りである。
（１）ワーク治具６を介してワーク３を搭載したワーク架台７を、印刷マスク２の位置に合わせるようにもたらす。
（２）印刷マスク２を、マスク上下駆動部１０を起動して縦枠５Ｖに沿って昇降枠１５を下降させて、前記印刷マスク２を、前記ワーク架台７上のワーク３上に密接させる。
（３）印刷ヘッド４を、ヘッド往復駆動部８とヘッド上下駆動部９とを適宜動作させて、前記印刷ヘッド４を下降させると共に、ワーク３上の印刷マスク２に印刷ヘッド４下端のスキージ１４を接触させ、はんだペーストＰをスキージ１４により摺擦させることでマスク２の穴に充填し、穴パターンではんだをワーク３に転写印刷を行う。
【００１０】
以上のような工程の後、マスク２下に洗浄装置１１を配置し、マスク２下面の付着物を定期的に洗浄するようにしている。
付着物は主にはんだペーストに含まれるフラックス成分で、印刷でマスク２穴にはんだペーストが充填される際に、マスク２とワーク３の隙間に染み込んだものであるが、これが次印刷の際に印刷バンプに付着し、粘度を下げ、印刷だれを引き起こす。
近年の印刷バンプの微細化により、わずかな印刷だれもバンプ形状不良の原因となるため、品質保持のために、洗浄がより重要な作業となり、定期洗浄の頻度が増加している。
【００１１】
ここで、前記洗浄装置１１について概略説明する。すなわち、洗浄装置１１は、図示するように、洗浄液（揮発性洗浄液）を貯留したタンク１７からポンプ１８で、供給管１９を介してペーパ送り機構２０に洗浄液を送り込み、ノズル２１で滴下または噴霧して、ペーパ送り機構２０におけるペーパ送りローラ２２により移動可能にセットしたクリーンペーパ２３に供給する構成としている。
【００１２】
洗浄は、前記洗浄装置１１において、ペーパ送り機構２０を作動して始めに洗浄液（揮発性の高いアルコール系の洗浄剤）を含ませたクリーンペーパ２３をマスク２下面に擦り付けることで、フラックスを拭き落とすウエット洗浄と、次に乾燥したクリーンペーパ２３でマスク２下面に残った洗浄液を拭き取るドライ洗浄の２工程で行われるが、２つの洗浄工程は、ペーパ送りローラ２２で送られてくるクリーンペーパ２３への洗浄液塗布の有無で切換えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
以上のように、上述の洗浄装置１では、タンク１７からポンプ１８で送った洗浄液を、ノズル２１で滴下または噴霧してペーパ１２に供給するが、マスク２下という配置場所の制約上、ノズル２１を開閉する制御機構を設けることが困難であるため、ポンプ１８のオンオフによって洗浄液の供給／遮断を行っている。
そのため洗浄液の供給量はポンプ１８のオン時間で制御することになるが、ポンプ１８稼動開始から、洗浄液がペーパ１２に供給されるまでには、応答の遅れが生じるため、洗浄液の供給量のきめ細かな制御が困難であり、洗浄不良を避けるためには過剰気味に供給を行う必要がある。
過剰に供給されたクリーンペーパ２３は、次のドライ洗浄へ切り換える際には廃棄されるため、洗浄液とクリーンペーパ２３の使用歩留りを低下させていると同時に、切り換え時間が長くなるなど生産性の低下要因ともなっている。
近年の印刷バンプの微細化傾向から、今後洗浄動作の頻度がますます増加すると考えられることから、より効率的で省資源な洗浄方法が求められている。
本発明はこのような背景から提案されたものであって、循環する洗浄液配管の回路内に管内圧力の変動を利用して開く背圧バルブ機構を設けることにより、応答が高速できめ細かな液供給を可能とし、より省資源なマスク洗浄を実現するようにした、印刷マスク洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するために、本発明における請求項１では、洗浄液タンク（３２）から洗浄液を、前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する洗浄液供給部（３１）に供給する一方、この洗浄液供給部（３１）を介して前記洗浄液タンク（３２）に戻す洗浄液循環回路を構成し、前記洗浄液供給部（３１）は、循環する洗浄液の通流圧の変動に応じて前記クリーンペーパ（２３）への洗浄液の供給通路を開放／遮断可能に構成したことで、洗浄液循環回路の洗浄液の通流圧をコントロールすることで、速やかに前記クリーンペーパ（２３）へ洗浄液を供給したり、遮断したりすることができる。
【００１５】
なお、上記各構成要素、並びに以下に記載する各構成要素に付した括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００１６】
また本発明における請求項２では、前記洗浄液循環回路には、前記洗浄液タンク（３２）から洗浄液を、前記洗浄液供給部（３１）に供給する洗浄液循環ポンプ（３３）を設ける一方、前記洗浄液供給部（３１）の下流側に、洗浄液の循環を遮断する流路遮断弁（３４）を設けたことで、流路遮断弁（３４）により、洗浄液の循環を遮断すると、前記洗浄液タンク（３２）から前記洗浄液供給部（３１）に至る洗浄液の通流圧が高まり、前記洗浄液供給部（３１）からクリーンペーパ（２３）に至る洗浄液の供給通路を開放することができる。
【００１７】
また本発明における請求項３では、前記流路遮断弁（３４）により洗浄液の循環を遮断することで、前記洗浄液タンク（３２）から前記洗浄液供給部（３１）に至る洗浄液の管圧の上昇により背圧バルブ機構（４１）が動作して、前記洗浄液供給部（３１）から前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する通路が開放され、クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給することができる。
【００１８】
また本発明における請求項４では、第３空間（４０）にはバルブシート（４２）を配置して、第２空間（３９）側には洗浄液供給バルブ（４４）を設けて、洗浄液供給バルブ（４４）をばね部材（４３）により前記バルブシート（４２）を押圧することで、第１空間（３８）と前記第３空間（４０）とは遮断されているが、前記バルブシート（４２）にはオリフィス穴（４２ｈ）、洗浄液供給バルブ（４４）には中央穴（４４ｈ）を形成して、これらオリフィス穴（４２ｈ）および中央穴（４４ｈ）は、互いに中心軸を一致させるように配置しているので、洗浄液循環回路において、洗浄液の循環運転がなされているときは、洗浄液は、洗浄液供給部（３１）における第１循環口（３５）から洗浄液供給部（３１）内の第１空間（３８）、第３空間（４０）、第２空間（３９）を通って第２循環口（３６）を介し流通するので、通常の洗浄液の循環を妨げることはない。
この状態においては、前記バルブシート（４２）により、クリーンペーパ（２３）に接する洗浄液供給ノズル（３７）に至る流通路は遮断されるので、クリーンペーパ（２３）へは洗浄液は供給されない。
ここで、前記洗浄液循環回路において、洗浄液の循環運転が遮断されると、洗浄液循環回路における管圧が高まり、洗浄液タンク（３２）から前記洗浄液供給部（３１）に至る洗浄液の通流圧が上昇する。
すると、ばね部材（４３）により前記洗浄液供給バルブ（４４）を介し押圧されていたバルブシート（４２）には、上昇した通流圧がかかり、この通流圧がばね部材（４３）による押圧力を超えるようになると、バルブシート（４２）および洗浄液供給バルブ（４４）は、下流側である第２空間（３９）側に押し込まれる。
この結果、第１空間（３８）と第３空間（４０）とが連通して、第３空間（４０）から洗浄液供給ノズル（３７）への通路は形成され、洗浄液は、クリーンペーパ（２３）に供給される。
【００１９】
また本発明における請求項５では、はんだ印刷使用後の印刷用マスク（２）に、クリーンペーパ（２３）を摺擦することで洗浄を行う際、洗浄液タンク（３２）から洗浄液を、洗浄液供給部（３１）を介して前記洗浄液タンク（３２）に戻す洗浄液の循環運転時、前記洗浄液供給部（３１）から前記洗浄液タンク（３２）に戻す洗浄液の流路を遮断することで、前記洗浄液供給部（３１）から前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する通路を開放して前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給して、洗浄液を含ませたクリーンペーパ（２３）を印刷用マスク（２）に摺擦してフラックスを拭き落とすウエット洗浄を行う一方、前記洗浄液の循環運転により、前記洗浄液供給部（３１）から前記クリーンペーパ（２３）に洗浄液を供給する通路を遮断して乾燥したクリーンペーパ（２３）で印刷用マスク（２）に残った洗浄液を拭き取るドライ洗浄を行うようにしたので、クリーンペーパ（２３）への洗浄液の供給、遮断を速やかに実行することができる。
【００２０】
さらに本発明における請求項６では、洗浄液の循環運転を、印刷用マスク（２）を、クリーンペーパ（２３）により摺擦することで洗浄を行う洗浄運転に先立って行うようにしたので、洗浄液供給部（３１）内部には安定した洗浄液循環がなされ、流路遮断弁（３４）の閉動作により瞬時に洗浄液が供給され、流路遮断弁（３４）の開時間で供給量のきめ細かな制御が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明にかかる印刷マスク洗浄装置につき、一つの実施の態様を示し、添付の図面に基づいて説明する。
図１、図２に、本発明にかかる印刷マスク洗浄装置３０を、系統的、且つ模式的に示す。なお、印刷マスク洗浄装置３０は上述したはんだ印刷機１に用いられる。
すなわち、印刷マスク洗浄装置３０は、ドライ洗浄とウエット洗浄とを実行可能に構成したものであり、この印刷マスク洗浄装置３０は、洗浄液循環回路として洗浄液循環経路Ｌに、洗浄液供給部３１と、洗浄液タンク３２と、洗浄液循環ポンプ３３と、流路遮断弁３４とを介在して構成している。なお、洗浄液循環ポンプ３３は、供給圧力として２００ｋＰａのものを採用している。また、流路遮断弁３４は、周知の電磁弁を用いることができる。
【００２２】
前記洗浄液供給部３１には、洗浄液を流入させる第１の循環口３５と、吐出させる第２の循環口３６と、クリーンペーパ２３に接する洗浄液供給ノズル３７とを形成している。
また前記洗浄液供給部３１の内部において、前記第１循環口３５と第２循環口３６とは、第１の空間３８と第１空間３８に比較して内径の大きい第２の空間３９を介して連通させている。また、前記第１空間３８の内径は前記第１循環口３５の内径に比較して大としている。また、前記第１空間３８と第２空間３９との間には、後述する背圧バルブ機構であるバルブシートの動作ストロークを確保するための第３の空間４０を形成している。そしてこの第３空間４０と前記洗浄液供給ノズル３７とを連通させ、洗浄液の通路となるようにしている。
【００２３】
前記第１空間３８と第２空間３９との間における第３空間４０には、背圧バルブ機構４１として、バルブシート４２が配置され、第２空間３９側には、第２空間３９から前記第３空間４０側に向かって、ばね部材４３により、摺動突出可能に洗浄液供給バルブ４４を設けて、常時、前記バルブシート４２に押し当てられた状態とした構成としている。この場合、洗浄液供給バルブ４４の外径はφ１０ｍｍとしており、ばね部材４３にはスプリング力２Ｎのものを採用している。
前記バルブシート４２は、平坦なディスク状部材であり、適宜な弾性素材によって構成して、外縁部を第３空間４０外周部に固定している。
これによって前記バルブシート４２は第１空間３８の第３空間４０側の開口端面を便座として山形状に変形して密接している。
前記洗浄液供給バルブ４４は、外径が前記第２空間３９の内径に略等しく、前記第２空間３９を摺動自在としている。
そして前記バルブシート４２にはオリフィス穴４２ｈ、洗浄液供給バルブ４４には中央穴４４ｈを形成して、これらオリフィス穴４２ｈおよび中央穴４４ｈは、内径が等しく、互いに中心軸を一致させるように配置している。
【００２４】
なお、以上のような印刷マスク洗浄装置３０は、洗浄工程の際に、洗浄液供給部３１には、ペーパ送り機構２０におけるペーパ送りローラ２２により移動可能にセットしたクリーンペーパ２３を接触させた状態で、前記印刷マスク２の裏面側に圧接させている。
【００２５】
本発明にかかる印刷マスク洗浄装置３０は、以上のように構成されるものであり、次にはんだ印刷機１による、はんだ印刷工程の説明と共に、印刷マスク洗浄装置３０の洗浄動作、作用を概略説明する。
はんだ印刷機１において、ワーク治具６を介してワーク３を搭載したワーク架台７を、本体枠５の基部ガイドに沿って、印刷マスク２の位置に合わせるようにもたらす。
次に、昇降枠１５における把持部１６により把持した印刷マスク２を、マスク上下駆動部１０を起動して縦枠５Ｖに沿って昇降枠１５を下降させて、前記印刷マスク２を、前記ワーク架台７上のワーク３上に密接させる。
そして、印刷ヘッド４を、ヘッド往復駆動部８とヘッド上下駆動部９とを適宜動作させて、前記印刷ヘッド４を下降させると共に、ワーク３上の、印刷パターンに合わせて穴が開けられた印刷マスク２に印刷ヘッド４下端のスキージ１４を接触させ、はんだペーストＰをスキージ１４により摺擦させることでマスク２の穴に充填し、穴パターンではんだをワーク３に転写印刷を行うことができる（図３参照）。
はんだをワーク３に転写印刷を行ったら、マスク上下駆動部１０を逆駆動して昇降枠１５を上動させて、印刷マスク２をワーク架台７上のワーク３から離脱させると共に、ワーク架台７を基部ガイドに沿って移動させる。
そして、前記印刷マスク２を洗浄するべく、印刷マスク洗浄装置３０を、前記ワーク架台７に替わって所定の位置にもたらす。この際、印刷マスク洗浄装置３０における洗浄液供給部３１を、ペーパ送り機構２０におけるペーパ送りローラ２２により移動可能にセットしたクリーンペーパ２３に接触させた状態で、前記印刷マスク２の裏面側に圧接させることで洗浄工程の準備が完了する。
【００２６】
次に、印刷マスク洗浄装置３０による、印刷マスク２の洗浄工程について説明する。
先ず、印刷マスク洗浄装置３０によるドライ洗浄工程を図１を基に説明する。
ドライ洗浄工程においては、周知の駆動手段により流路遮断弁３４を開弁させると、洗浄液循環経路Ｌの流路が開放され、洗浄液は、洗浄液循環ポンプ３３により、洗浄液循環経路Ｌを通じて洗浄液タンク３２から洗浄液供給部３１、流路遮断弁３４を通って、再び洗浄液タンク３２に戻り、循環する。
【００２７】
洗浄液は、洗浄液供給部３１内部に、第１循環口３５から流入して、第１空間３８、第３空間４０、第２空間３９を介して第２循環口３６から吐出される。すなわち洗浄液はバルブシート４２のオリフィス穴４２ｈ、洗浄液供給バルブ４４の中央穴４４ｈを通って第２循環口３６から吐出される。
その際、洗浄液はバルブシート４２を加圧し、洗浄液供給バルブ４４を開ける力が作用するが、ばね部材４３により、前記バルブシート４２に押し当てられた状態であり、バルブシート４２が開いて、第１空間３８と第３空間４０とが連通することはないため、第３空間４０から洗浄液供給ノズル３７への通路は形成されず、クリーンペーパ２３に洗浄液は供給されることはない。
そして、ペーパ送り機構２０を駆動して、ペーパ送りローラ２２によりクリーンペーパ２３を移動させ、印刷マスク２の裏面を摺擦し、印刷マスク２に付着したフラックス等をぬぐうことができる。
【００２８】
次にウエット洗浄工程を説明する。
この場合、図２に示すように、流路遮断弁３４を閉弁させると、洗浄液循環経路Ｌの流路が遮断される。すると、洗浄液の循環は停止して、洗浄液循環経路Ｌの配管内の洗浄液の圧力が上がり、洗浄液供給部３１の内部でも洗浄液がバルブシート４２を押して、洗浄液供給バルブ４４を押し戻す力が増加する。やがてその力がばね部材４３の付勢力を上回ると、バルブシート４２と共に洗浄液供給バルブ４４は第２空間３９内を摺動して押し戻され、第１空間３８と第３空間４０とが連通して、第３空間４０から洗浄液供給ノズル３７への通路は形成され、洗浄液は、クリーンペーパ２３に供給される。
【００２９】
被洗浄部位に接触したクリーンペーパ２３に裏面から、直接洗浄液を適量供給することが可能となり、マスクパターンに合わせた供給ノズルと併用することで、従来のようなクリーンペーパ２３全体に洗浄液を広げてしまうロスはない上に、選択的に洗浄液の供給量を制御することが可能となる。
そして、ペーパ送り機構２０を駆動して、ペーパ送りローラ２２によりクリーンペーパ２３を移動させ、印刷マスク２の裏面を摺擦し、印刷マスク２に付着したフラックス等をぬぐうことができる。
【００３０】
以上のように、洗浄液循環経路Ｌの配管における流路遮断弁３４の取付位置は、洗浄液供給部３１の下流であればよいので、設置場所に制約はなく、印刷機のマスク下に限らず、任意の位置に設置することができる。
また洗浄液循環ポンプ３３を洗浄液供給開始前に稼動することにより、洗浄液供給部３１内部には安定した洗浄液循環がなされるため、流路遮断弁３４の閉動作により瞬時に洗浄液が供給され、流路遮断弁３４の開時間で供給量のきめ細かな制御が可能となる。そのため、過剰な洗浄液供給を抑え、省資源化を実現することができる。
【００３１】
以上、本発明にかかる印刷マスク洗浄装置３０について一つの実施形態を挙げ、説明したが、洗浄液供給ノズル３７は、一つに限られない。すなわち、印刷マスク洗浄装置３０は、循環配管内圧力を駆動力とするために、ノズルを分散配置しても、同様の高速応答が可能となるため、大型の印刷マスクの洗浄についても、印刷部位に選択的にノズルを配置し、効率のよい洗浄が可能となる。
さらに、洗浄液の使用量が洗浄部位に選択的に供給できることから、ドライ洗浄に切り換える際にも、シートの送り量を最小限に抑えることが可能となり、切替時間の最小化により省資源と合わせて、洗浄時間の大幅短縮による生産性の向上を実現化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明にかかる印刷マスク洗浄装置においてドライ洗浄を行う際の一例を示す、系統的、且つ模式的な機構構成図である。
【図２】図１に示す印刷マスク洗浄装置においてウェット洗浄を行う際の一例を示す、系統的、且つ模式的な機構構成図である。
【図３】従来の印刷マスク洗浄装置をはんだ印刷機に用いた一例を示す、模式的機構構成図である。
【符号の説明】
【００３３】
３０    印刷マスク洗浄装置
３１    洗浄液供給部
３２    洗浄液タンク
３３    洗浄液循環ポンプ
３４    流路遮断弁
３５    第１循環口
３６    第２循環口
３７    洗浄液供給ノズル
３８    第１空間
３９    第２空間
４０    第３空間
４１    背圧バルブ機構
４２    バルブシート
４２ｈ    オリフィス穴
４３    ばね部材
４４    洗浄液供給バルブ
４４ｈ    中央穴
【図１】
2008126534.tif 000003
【図２】
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【図３】
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