(57)【要約】【課題】フイルム付シートの移送通路途中の狭い空間にでも容易に組み込むことができる据付スペース幅の小さなフイルム剥離装置を提供する。【解決手段】仮接合ステーション５と積層ステーション６間の剥離開始ステーションＡから剥離完了ステーションＢへ、第２昇降テーブル１３を第２昇降テーブル１３上のフイルム付シート２の一辺に沿う方向へ移動可能に設ける。また、剥離開始ステーションＡにフイルム剥離装置１の剥離ヘッド２５を第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向へ移動可能に設ける。剥離ヘッド２５の粘着テープをフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａに接着し、剥離ヘッド２５と第２昇降テーブル１３の連動により、剥離ヘッド２５をフイルム付シート２に対してフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａから剥離終端側隅角部２ｂの対角線に沿う方向に相対移動させてフイルム２６を剥離するように構成した。【選択図】図４
2008110510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル上に保持した矩形のフイルム付シートのフイルムをフイルム把持手段を用いてシートから剥離するようにしたフイルム剥離装置において、テーブルをテーブル移動装置によって剥離開始ステーションから剥離完了ステーションへテーブル上のフイルム付シートの一辺に沿う方向へ移動可能に設けると共に、剥離開始ステーションに位置されるテーブルの移動軌跡の上方に剥離ヘッドをヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設け、その剥離ヘッドにフイルム把持手段をテーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持可能でかつフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能に備え、テーブル移動装置とヘッド移動装置を剥離ヘッドがフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動するように連動可能に構成して成るフイルム剥離装置。
【請求項２】
フイルム把持手段は、フイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルム上に接着可能な粘着体であり、粘着体移動装置によって移動可能に構成して成る請求項１記載のフイルム剥離装置。
【請求項３】
ヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能な剥離ヘッドの一方の移動端側に剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器を備え、シートから剥がされたフイルムをヘッド移動装置によってフイルム回収容器上に搬送して回収するようにした請求項１または２記載のフイルム剥離装置。
【請求項４】
剥離ヘッドのヘッド本体にフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動可能に備えた移動体とその移動体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能な直線駆動装置によって粘着体移動装置を構成し、その移動体に粘着体を備えて成る請求項２または３記載のフイルム剥離装置。
【請求項５】
粘着体を下側が粘着面の粘着テープで構成し、その粘着テープの剥離終端側隅角部側の端部をヘッド本体に、粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部を移動体に夫々保持させ、粘着テープをフイルムの剥離始端側隅角部に接着させた状態で移動体を剥離終端側隅角部方向へ移動させて粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部のみを剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能にした請求項１乃至４の何れかに記載のフイルム剥離装置。
【請求項６】
下側が粘着面の粘着テープの一端側に繋がる粘着テープ巻付体を回転可能に支持するテープ支持装置を移動体に、粘着テープの他端側に繋がる粘着テープ巻取体を巻取り回転可能な巻取り装置をヘッド本体に夫々備え、粘着テープ巻取体を巻取り回転させて粘着テープ巻付体の粘着テープを引き出し、フイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させる粘着テープの接着部を新しくできるようにした請求項５記載のフイルム剥離装置。
【請求項７】
剥離ヘッドに、粘着テープの接着位置より剥離終端側の粘着テープが下側へ弛むのを防止する弛み防止手段を備えて成る請求項５または６記載のフイルム剥離装置。
【請求項８】
剥離ヘッドに、粘着テープの剥離始端側部分を剥離終端側方向へ移動させることでフイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部がシートから剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器を備えて成る請求項５乃至７の何れかに記載のフイルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、積層チップコンデンサー等の積層電子部品を製造するセラミックグリーンシート等のフイルム付シートからフイルムを剥離するフイルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のフイルム剥離装置には、特許文献１〜４に記載のものが提案されている。
特許文献１には、グリーンセラミックス基板を保持する保持台の上方位置に水平方向に移動できる台車を設け、その台車にフイルムの耳を剥離する粘着ローラを備えたアームと、粘着ローラにより剥離されたフイルムの耳を開閉爪で把持して斜め上方へ引き上げる引上げ機構とを設け、粘着ローラをフイルム付基板の端部に接触させた状態で台車を移動させ、粘着ローラが回転することで基板端部のフイルムの耳を剥離し、そのフイルムの耳を引上げ機構の開閉爪で把持して引上げると共に台車を移動させてフイルムを剥離し、開閉爪がフイルムの把持を開放するようにしたフイルム剥離装置が記載されている。
【０００３】
特許文献２には、ドラムを回転させる回転駆動機構と、ドラムを周速と等速度で径方向に移動させるリニア駆動機構と、ドラムを上下させる上下動機構とを備え、ドラムの円周面の一部に設けた平坦な吸着面をセラミックグリーンシートの端縁部に当ててその端縁部を吸着し、その状態でドラムを他方の端縁部に向かって移動させると共に転がり回転させ、キャリアフイルムをドラムの周面で押えた状態でそのキャリアフイルムを剥離し、吸着面での吸着を解除してキャリアフイルムを廃棄するようにしたキャリアフイルム剥離装置が記載されている。
【０００４】
特許文献３には、フイルム付シート体を固定支持する支持手段と、粘着部を有し、シート体のフイルム端部に接着した状態で振動しながら回転してフイルムを巻き取る剥しローラと、剥しローラをシート体に沿って移動させる走査スライダと、剥しローラを上下動させる上下スライダと、剥しローラからフイルムを回収する回収ローラを備え、シート体端部のフイルムに接着させた剥しローラを回転させてフイルムを巻き取り、剥しローラを逆転させてフイルムを巻戻して回収ローラに挟持させ、回収ローラの回転によってフイルムを剥しローラの粘着部から剥離して回収するようにしたフイルム剥離装置が記載されている。
【０００５】
特許文献４には、シートを固定するための保持部材と、粘着性の外周面を有してキャリアフイルムの一部をセラミックグリーンシートから剥離する剥がし代形成用粘着ロールと、粘着性の外周面を有してキャリアフイルムをセラミックグリーンシートから除去するための除去用粘着ロールから成るロール部と、ロール部のシートに対する相対的な位置を調整する位置調整機構とを備え、キャリアフイルムに押し当てた粘着ロールを転動させることでキャリアフイルムの一部を巻取って剥離する部分剥離工程と、粘着ロールを転動の逆向きに回転させてキャリアフイルムから離す工程とを含む剥がし代形成工程と、剥がし代の領域のうち端部を避けた位置に粘着ロールを押し当てて回転させてキャリアフイルムを引き剥がすキャリアフイルム除去工程と、セパレータにより粘着ロールの外周面からキャリアフイルムを剥ぎ取って回収筒に回収する工程を行うキャリアフイルム剥離装置が記載されている。
【０００６】
【特許文献１】実開平５−１６２２０号公報
【特許文献２】特開平６−２５５８８０号公報
【特許文献３】特開平９−２６７４２３号公報
【特許文献４】特開平２００４−１７６２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載のものでは、粘着ローラをグリーンセラミックス基板の端部に接触させた状態で大型の台車を移動させることで粘着ローラを回転させてフイルムの耳を剥離するようになっているので、フイルム剥離の為に台車移動用の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、基板の粘着ローラ接着部に台車移動方向の力が作用して基板を損傷させたり変形させる問題があり、しかも、フイルムの耳を開閉爪で把持して引上げるので、装置の構造が複雑になったり誤作動を起こし易い問題がある。
【０００８】
特許文献２に記載のものでは、ドラムの吸着面でセラミックグリーンシートの端縁部を吸着した状態でドラムを他方の端縁部に向かって移動させると共に転がり回転させてキャリアフイルムを剥離するようにしているので、ドラムをシートの全長に亘って転がす為の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、ドラムの移動と回転によってセラミックグリーンシートを損傷させ易い問題がある上に、ドラムの移動と回転を同期させるための装置が複雑になってコスト高になる問題がある。
【０００９】
特許文献３に記載のものでは、特許文献２と同様に、フイルム付シート体の端部に接着させた剥しローラを回転させると共にシート体に沿って移動させてフイルムを巻き取るようにしているので、剥しローラをシート体に沿って移動させる為の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、剥しローラの回転と移動によってシート体を損傷させ易い問題がある上に、剥しローラの移動と回転を同期させるための装置が複雑になってコスト高になり、しかも、剥しローラの粘着力の低下により誤作動を起こし易い問題がある。
【００１０】
特許文献４に記載のものでは、キャリアフイルムに押し当てた粘着ロールをセラミックグリーンシートの移動により転動させることでキャリアフイルムの端部を剥がした後、キャリアフイルムの端部を避けた部分に粘着ロールを再び押し当て、セラミックグリーンシートの移動により転動させることでキャリアフイルムの全体を巻取って剥離するようにしているので、セラミックグリーンシートの移動通路の途中に剥離したキャリアフイルムを処理する為の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、特許文献１と同様に、セラミックグリーンシートの粘着ロール接着部にシート移動方向の力が作用してシートを損傷させたり変形させる問題がある。また、剥がし代形成用粘着ロールと除去用粘着ロールとでキャリアフイルムを剥離するようにしているので、工程が複雑になって処理時間が長くなったり機構が複雑になる問題があり、しかも、セパレータによって粘着ロールの外周面からキャリアフイルムを剥ぎ取るようにしているので、粘着ロールからのキャリアフイルムの剥ぎ取りが不安定で誤作動を起こし易い問題がある。
【００１１】
そこで、本発明は、前記各特許文献の課題に鑑み、フイルム付シートの移送通路途中の狭い空間にでも容易に組み込むことができる据付スペース幅の小さなフイルム剥離装置を提供することや、シートに損傷や変形を加えることなくフイルムを円滑に確実に剥離できるようにした簡易な構成のフイルム剥離装置を提供することや、シートから剥離したフイルムを容易に回収できるようにしたフイルム剥離装置を提供すること等を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願の請求項１の発明は、前記課題を達成するため、テーブル上に保持した矩形のフイルム付シートのフイルムをフイルム把持手段を用いてシートから剥離するようにしたフイルム剥離装置において、テーブルをテーブル移動装置によって剥離開始ステーションから剥離完了ステーションへテーブル上のフイルム付シートの一辺に沿う方向へ移動可能に設けると共に、剥離開始ステーションに位置されるテーブルの移動軌跡の上方に剥離ヘッドをヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設け、その剥離ヘッドにフイルム把持手段をテーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持可能でかつフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能に備え、テーブル移動装置とヘッド移動装置を剥離ヘッドがフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動するように連動可能に構成して成ることを特徴とする。
【００１３】
また、請求項２の発明は、フイルム把持手段は、フイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルム上に接着可能な粘着体であり、粘着体移動装置によって移動可能に構成して成ることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項３の発明は、ヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能な剥離ヘッドの一方の移動端側に剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器を備え、シートから剥がされたフイルムをヘッド移動装置によってフイルム回収容器上に搬送して回収するようにしたことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項４の発明は、剥離ヘッドのヘッド本体にフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動可能に備えた移動体とその移動体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能な直線駆動装置によって粘着体移動装置を構成し、その移動体に粘着体を備えて成ることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項５の発明は、粘着体を下側が粘着面の粘着テープで構成し、その粘着テープの剥離終端側隅角部側の端部をヘッド本体に、粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部を移動体に夫々保持させ、粘着テープをフイルムの剥離始端側隅角部に接着させた状態で移動体を剥離終端側隅角部方向へ移動させて粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部のみを剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能にしたことを特徴とする。
【００１７】
また、請求項６の発明は、下側が粘着面の粘着テープの一端側に繋がる粘着テープ巻付体を回転可能に支持するテープ支持装置を移動体に、粘着テープの他端側に繋がる粘着テープ巻取体を巻取り回転可能な巻取り装置をヘッド本体に夫々備え、粘着テープ巻取体を巻取り回転させて粘着テープ巻付体の粘着テープを引き出し、フイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させる粘着テープの接着部を新しくできるようにしたことを特徴とする。
【００１８】
また、請求項７の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの接着位置より剥離終端側の粘着テープが下側へ弛むのを防止する弛み防止手段を備えて成ることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項８の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの剥離始端側部分を剥離終端側方向へ移動させることでフイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部がシートから剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器を備えて成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本願の請求項１の発明は、テーブルをテーブル移動装置によって剥離開始ステーションから剥離完了ステーションへテーブル上のフイルム付シートの一辺に沿う方向へ移動可能に設けると共に、剥離開始ステーションに位置されるテーブルの移動軌跡の上方に剥離ヘッドをヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設け、その剥離ヘッドにフイルム把持手段をテーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持可能でかつフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能に備え、テーブル移動装置とヘッド移動装置を連動させて剥離ヘッドがフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動するようにしてあるので、剥離ヘッドやヘッド移動装置のテーブル移動軌跡方向の据付スペース幅を小さくでき、テーブル移動軌跡上方の狭いスペース幅に装置を容易に組む込むことができ、その結果、例えば、積層機の作業ステーション間の狭いスペース幅に容易に設置できて装置全体の省スペース化を図ることができる利点がある。
また、剥離ヘッドに備えたフイルム把持手段によりフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持させた後、フイルム把持手段をフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動させることで、フイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部を確実に剥離でき、その後、テーブル移動装置とヘッド移動装置を連動させて剥離ヘッドを剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動させることで、フイルム付シートのフイルムの全体を確実に剥離でき、しかも、剥離ヘッドをテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設けているので、剥離後のフイルムをテーブルの移動軌跡の側方へ搬送して容易に回収できる効果を奏する。
【００２１】
請求項２の発明は、フイルム把持手段は、フイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルム上に接着可能な粘着体であり、粘着体移動装置によって移動可能に構成してあるので、簡易な構成で、粘着テープがフイルム付シートに無理な力を加えることなくフイルムの剥離始端側角隅部を引上げるので、シートを破損させたり変形させることなく確実に剥離でき、シートの品質を高く維持できる。
【００２２】
また、請求項３の発明は、ヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能な剥離ヘッドの一方の移動端側に剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器を備え、シートから剥がされたフイルムをヘッド移動装置によってフイルム回収容器上に搬送して回収するようにしたので、剥離ヘッドのヘッド移動装置を利用して剥離したフイルムをテーブル移動軌跡の側方へ搬送してフイルム回収容器に回収でき、フイルムの後処理を容易にできる。
【００２３】
また、請求項４の発明は、剥離ヘッドのヘッド本体にフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動可能に備えた移動体とその移動体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能な直線駆動装置によって粘着体移動装置を構成し、その移動体に粘着体を備えているので、移動体を移動させて粘着体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動させることで剥離始端側隅角部のフイルムを確実に剥離できる。
【００２４】
また、請求項５の発明は、粘着体を下側が粘着面の粘着テープで構成し、その粘着テープの剥離終端側隅角部側の端部をヘッド本体に、粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部を移動体に夫々保持させ、粘着テープをフイルムの剥離始端側隅角部に接着させた状態で移動体を剥離終端側隅角部方向へ移動させて粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部のみを剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能にしたので、フイルム剥離の接着部として粘着テープを有効に利用できる。
【００２５】
また、請求項６の発明は、下側が粘着面の粘着テープの一端側に繋がる粘着テープ巻付体を回転可能に支持するテープ支持装置を移動体に、粘着テープの他端側に繋がる粘着テープ巻取体を巻取り回転可能な巻取り装置をヘッド本体に夫々備え、粘着テープ巻取体を巻取り回転させて粘着テープ巻付体の粘着テープを引き出し、フイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させる粘着テープの接着部を新しくできるようにしたので、粘着テープの巻取りにより粘着テープの中間部の接着部を新たな粘着部に変更でき、フイルム剥離に市販の巻付け粘着テープを長期間使用でき、また、粘着テープの消費量を必要最小限に少なくでき、粘着テープの交換時間を少なくして装置の稼働率を良くできる。
【００２６】
また、請求項７の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの接着位置より剥離終端側の粘着テープが下側へ弛むのを防止する弛み防止手段を備えているので、接着部より剥離始端側の粘着テープを剥離終端側方向へ大きく移動させる場合でも粘着テープの剥離終端側がフイルム付シートに接着するトラブルを防止でき、剥離ヘッドの移動のみで粘着テープを移動させてフイルムを剥離でき、簡易な構成にできる。
【００２７】
また、請求項８の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの剥離始端側部分を剥離終端側方向へ移動させることでフイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部がシートから剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器を備えているので、フイルム付シートのフイルム剥離の誤作動を未然に防止でき、フイルム付シートの損傷を阻止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明の最良の実施形態について、図に基づいて詳細に説明する。図１、図２は、本願発明のフイルム剥離装置１を備えたシート積層体の製造装置３を示したものである。シート積層体の製造装置（以下、単に積層装置という）３は、セラミックグリーンシート（以下、単にシートという）２を１枚ずつ搬入するための搬入ステーション４と、搬送されたシート２を積層して先のシート２に仮接合するための仮接合ステーション５と、仮接合した積層シートを加熱すると共に加圧して熱圧着するための積層ステーション６と、熱圧着されたシート積層体を搬出するための搬出ステーション７とが、一列に順に配置されている。
【００２９】
また、積層装置３のフレーム３Ａの支持板８上には、搬入ステーション４と仮接合ステーション５の間を往復移動可能な第１搬送装置９と、仮接合ステーション５と積層ステーション６の間を往復移動可能な第２搬送装置１０と、積層ステーション６と搬出ステーション７の間を往復移動可能な第３搬送装置１１とが設けられている。第１搬送装置９には、シート２の下面を吸着保持可能な第１昇降テーブル１２が設けられており、第２搬送装置１０には、同様にシート２の下面を吸着保持可能な第２昇降テーブル１３が設けられている。一方、第３搬送装置１１には、積層ステーション６に移動された状態で積層ステーション６の第２昇降テーブル１２の上方へ張り出し、第２昇降テーブル１２上の熱圧着されたシート積層体の四隅際を保持して搬出ステーション７の搬出テーブル１４上に搬出するための図示しない保持手段が設けられている。
【００３０】
上記した第１搬送装置９、第２搬送装置１０は、夫々案内レール１５と端部にサーボモータ１６Ｂ，１７Ｂが連結されたねじ軸１６Ａ，１７Ａとから成る第１テーブル移動装置１６、第２テーブル移動装置１７を備えている。このテーブル移動装置１６により第１昇降テーブル１２が搬入ステーション４と仮接合ステーション５とに往復案内されるようになっており、テーブル移動装置１７により第２昇降テーブル１３が仮接合ステーション５と積層ステーション６とに往復案内されるようになっている。また、第１昇降テーブル１２、第２昇降テーブル１３は、図示しない昇降手段により昇降可能に構成されている。また、仮接合ステーション５において、支持板８上に立設された４本の支柱１９の上部に固着された支持部材２０には、仮接合装置２１が設けられている。仮接合装置２１は、図示しない適宜な機構により位置決め移動可能なアライメントテーブルを備え、アライメントテーブルに受け渡されてアライメントテーブルにより位置決めされたシート２を先に位置決めされた第２昇降テーブル１３上のシート２の上面に重ねて伝熱コテ等により仮接合可能となっている。一方、積層ステーション６においては、支持板８上に立設された４本の支柱２２の上部に固着された支持部材２３に、仮接合された第２昇降テーブル１３の上の複数のシート２からなる積層シートを加熱可能な図示しない加熱装置と、加熱した積層シートを上側から加圧可能なプレス装置２４とが設けられている。
【００３１】
また、仮接合ステーション５と積層ステーション６との間には、剥離開始ステーションＡが配置されている。剥離開始ステーションＡでは、フイルム剥離装置１の剥離ヘッド２５が剥離開始ステーションＡに位置した第２昇降テーブル１３上のフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａに対応して位置し、フイルム付シート２のフイルム２６の剥離を開始可能となっている。また、仮接合ステーション５は剥離完了ステーションＢとなっている。この剥離開始ステーションＡから剥離完了ステーションＢへ前記の第２昇降テーブル１３を第２昇降テーブル１３上のフイルム付シート２の一辺に沿う方向へ移動可能に設けてある。剥離開始ステーションＡから剥離完了ステーションＢへの第２昇降テーブル１３の移動と連動して、剥離ヘッド２５が第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向へ移動することにより、剥離ヘッド２５がフィルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａから剥離終端側隅角部２ｂに相対移動してフイルム２６の剥離を終了するようになっている。
【００３２】
フイルム剥離装置１は、図１、図２に示すように、仮接合装置２１とプレス装置２４との間で支持部材２０上に設けられており、第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌの上方に位置している。フイルム剥離装置１は、図３〜図５に示すように、第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向に支持されているヘッド移動装置２９と、そのヘッド移動装置２９によって、第２昇降テーブル１３の上方で第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向へ往復移動可能にしてある剥離ヘッド２５を備えている。また、フイルム剥離装置１は、剥離ヘッド２５の一方の移動端側である剥離終端側（図３において上側）の剥離回収ステーションＣ付近に剥離後のフイルム２６を収容可能なフイルム回収容器３０と、剥離ヘッド２５の剥離回収ステーションＣへの移動によってシート２から剥がされたフイルム２６を保持可能なフイルム保持手段３１と、そのフイルム保持手段３１をフイルム回収容器３０の上方へ移動可能な図１に示す移動手段３２とを備えている。
【００３３】
前記ヘッド移動装置２９は、モータ駆動の長いアクチュエータ３３によって構成されている。アクチュエータ３３は、長いアクチュエータ本体３４と、アクチュエータ本体３４内に回転自在に支承されている図示しないねじ軸と、アクチュエータ本体３４の端部に固着されてねじ軸を回転駆動するサーボモータ３６と、アクチュエータ本体３４に固着された案内レール３５に案内されてねじ軸の回転によって長手方向へ移動されるスライダ３７を備えている。尚、ヘッド移動装置２９は、モータによって移動されるベルトによってスライダ３７を移動させるように構成した装置等の他の手段でも良い。
【００３４】
剥離ヘッド２５は、図１〜図５に示すように、ヘッド移動装置２９のスライダ３７に移動軌跡Ｌに対して４５度傾いた状態で固着されてシート２の剥離始端側隅角部２ａから対角位置の剥離終端側隅角部２ｂ方向に向き、アクチュエータ本体３４の一端から中間の接着ステーションＤを介して他端の剥離回収ステーションＣとの間を往復移動可能なヘッド本体３８を備えている。ヘッド本体３８には、図６〜図８に示すように、直線駆動装置としてのエアシリンダ３９と移動体４０とから構成されるフイルム把持手段移動装置としての粘着体移動装置４１を備えている。エアシリンダ３９は、ヘッド本体３８に移動軌跡Ｌに対して４５度傾いた状態で剥離始端側隅角部２ａから対角位置の剥離終端側隅角部２ｂ方向に向けて固着されている。移動体４０は、エアシリンダ３９に設けられ、移動軌跡Ｌに対して４５度傾いた方向、即ちフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａから対角位置の剥離終端側角隅部２ｂ方向に沿って所定量往復移動可能とされている。移動体４０には、フイルム把持手段としての下側が粘着部の片面粘着テープ４２で構成された粘着体を備えてある。エアシリンダ３９は、ヘッド本体３８に軸線が剥離始端側隅角部２ａから対角位置の剥離終端側隅角部２ｂ方向に沿うように固着されているシリンダ本体４３と、シリンダ本体４３に設けた案内レール４４に案内されて図示しないピストンロッドによって移動可能な摺動体４５を備え、その摺動体４５に移動体４０が固着されている。シリンダ本体４３には、摺動体４５に設けられた当接片４６を受け止めるストッパ４７と摺動体４５の端面を受け止めるストッパ４９が装着され、摺動体４５に設けた移動体４０を図６に示す初期剥離開始位置と図８に示す初期剥離終了位置とに移動させて保持するようになっている。
【００３５】
移動体４０には、図６に示すように、粘着部が下側の片面粘着テープ４２の剥離始端側の端部に繋がる粘着テープ巻付体５０を回転可能に支持するテープ支持装置５１と、片面粘着テープ４２の中間部を案内するガイドローラ５２と、片面粘着テープ巻付体５０の巻戻し回転を阻止する為の回転阻止装置５３と、片面粘着テープ４２の一部を押下げてフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａ上のフイルム２６に接着可能な押圧手段５４と、移動体４０が剥離終端側へ移動する際に片面粘着テープ４２をガイドローラ５２の下端部近くに保持可能なテープ保持片５５とが装着されている。また、ヘッド本体３８には、粘着テープ４２の剥離終端側の端部に繋がる粘着テープ巻取体５６を巻取り回転可能な巻取り装置５７と、粘着テープ４２の中間部を案内するガイドローラ５８と、粘着テープ４２の中間部の押圧手段５４による押下げ位置より剥離終端側部分が下側へ弛むのを防止する弛み防止手段５９が装着されている。弛み防止手段５９は、粘着テープ４２の中間部が弛んで粘着テープ４２がフイルム２６に接着するのを防止するためのもので、粘着テープ４２のフイルム２６への接着の恐れがないときは省略しても良い。ガイドローラ５２とガイドローラ５８は、第２昇降テーブル１３の上方に僅かな間隔をあけてほぼ同じ高さに配置され、ガイドローラ５２とガイドローラ５８間の粘着テープ４２を第２昇降テーブル１３の上方でほぼ水平に支持するようになっている。ガイドローラ５２は回転自在でも固定的でも何れでも良い。
【００３６】
テープ支持装置５１は、図６に示すように、移動体４０に一端部が枢軸６０により揺動自在に枢着されている揺動アーム６１と、その揺動アーム６１の他端部に図示しない支軸を介して回転自在に支承されている回転体６２を備え、回転体６２には粘着テープ巻付体５０が嵌着され、その粘着テープ巻付体５０がガイドローラ５２に自重で当接されている。回転阻止装置５３は、粘着テープ巻付体５０をガイドローラ５２に押付け可能なエアシリンダ６３によって構成され、エアシリンダ６３のシリンダ本体６３ａが移動体４０に固着された支持プレート６４に固着され、エアシリンダ６３のピストンロッド６３ｂに弾性部材から成る押当具６３ｃが固着されている。
【００３７】
押圧手段５４は、粘着テープ４２の一部を押下げ可能なエアシリンダ６５によって構成され、エアシリンダ６５のシリンダ本体６５ａが移動体４０に固着された支持プレート６４に固着され、エアシリンダ６５のピストンロッド６５ｂに弾性部材から成る押圧具６５ｃがフイルム付シート２の剥離始端側隅角部２ａに対向するように固着されている。ピストンロッド６５ｂは移動体４０に固着された案内具６６によって摺動自在に案内されている。
【００３８】
巻取り装置５７は、図６に示すようにヘッド本体３８に固着されている支承体６７に回転自在に支承されている回転体６８と、回転体６８を巻取り方向へ所定量ずつ間欠回転可能な回転駆動装置６９を備えている。回転体６８には、ラチェット歯車６８ａが設けられ、また、粘着テープ巻取体５６を取付ねじ７０によって着脱自在に嵌着可能となっている。ラチェット歯車６８ａは、ヘッド本体３８に枢着されて自重によって垂下している逆止爪７１に係合され、巻取り方向と逆方向への回転を阻止し、巻取り方向への回転を許すようになっている。回転駆動装置６９は、ラチェット歯車６８ａに係合する可動逆止爪７２を所定量往復移動可能なエアシリンダ７３によって構成され、エアシリンダ７３のシリンダ本体７３ａがヘッド本体３８に固着されている取付板７４に固着され、エアシリンダ７３のピストンロッド７３ｂに可動逆止爪７２が枢着されている。可動逆止爪７２は、自重によってラチェット歯車６８ａに当接し、往復移動されることでラチェット歯車６８ａを爪ピッチ分回動させて回転体６８を巻取り方向へ所定量回転させるようになっている。回転体６８が巻取り方向へ所定量回転すると、粘着テープ巻取体５６が粘着テープ４２を所定長さ分巻取ると共に、テープ支持装置５１の粘着テープ巻付体５０を巻戻し回転させて粘着テープ４２を引き出し、その結果、押圧手段５４によって押下げる粘着テープ４２の中間部の接着部が新しい部分に変更されるようになっている。
【００３９】
弛み防止手段５９は、ヘッド本体３８に固着されている枢軸７５に回動自在に装着されて図示しない付勢ばねまたはウエイトによって図６において反時計回り方向へ付勢されている引張りレバー７６によって構成されている。引張りレバー７６の先端部は押圧手段５４による押下げ位置より剥離終端側部分の粘着テープ４２を引っ掛けて側方へ引っ張り移動させるようになっている。尚、弛み防止手段５９は、エアシリンダ等の弱いエア圧によって移動する移動部材によって粘着テープ４２を引っ張り移動させるように構成しても良い。
【００４０】
フイルム保持手段３１は、移動手段３２により移動可能な吸引パッド８１を備えており、吸引力の作用により吸引パッド８１でフイルム２６を吸着するように構成されている。吸引パッド８１は、図５に実線で示す剥離回収ステーションＣに向いた吸着保持位置Ｅに移動可能になっており、剥離ヘッド２５の剥離回収ステーションＣへの移動によってシート２から剥がされて垂れ下がるフイルム２６の前面に対向させてフイルム２６を確実に吸着保持できるようになっている。また、フイルム保持手段３１は、次に示すフイルム回収容器３０の上方の保持開放位置Ｆに移動可能になっており、この保持開放位置Ｆで吸引パッド８１からの空気吸引を停止、または、空気吐出してフイルム２６の吸着保持を開放できるようになっている。フイルム保持手段３１の吸引パッド８１は、移動手段３２により図２〜図４に実線で示す退避位置と吸引パッド８１を図５に示す吸着保持位置Ｅとフイルム回収容器３０の上方の図２に仮想線で示す保持開放位置Ｆに移動されるようになっている。
【００４１】
図１に示すように支持部材２０の下面には取付部材８２が固着され、その取付部材８２に図８に示すようにシート２のフイルム２６の隅角部２６ａがシート２から剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器８３が取着されている。検出器８３は、例えば押圧手段５４による押下げ位置より剥離始端側の粘着テープ４２を剥離終端側方向へ所定量移動させた時点におけるフイルム２６迄の距離を光学的または電波的に測定することでフイルム２６の隅角部２６ａの剥離を検出できるようになっている。
【００４２】
次に、前記積層装置３におけるフイルム剥離装置１の作動について説明する。以下の説明では、積層装置３により初めから必要な枚数のシート２を積層したシート積層体を製造するものとする。積層装置３において、先ず、搬入ステーション４に位置する第１搬送装置９の第１昇降テーブル１２上に１枚目のフイルム付シート２を載せて吸着保持させる。そして、第１搬送装置９によりフイルム付シート２は仮接合ステーション５に搬送される。第１昇降テーブル１２が仮接合ステーション５に搬送されると、第１昇降テーブル１２が上昇し、フイルム付シート２が仮接合装置２１の下面に吸着固定されて受け渡され、その後、第１昇降テーブル１２が下降を開始すると共に搬入ステーション４に復帰移動する。仮接合ステーション５では、受け渡されたフイルム付シート２をアライメント位置決めする。搬入ステーション４では２枚目のフイルム付シート２が第１昇降テーブル１２上に載置される。また、フイルム付シート２が仮接合装置２１に受け渡されると、第２搬送装置１０の第２昇降テーブル１３が仮接合ステーション５まで移動される。仮接合ステーション５で第２昇降テーブル１３は上昇してフイルム付シート２を吸引固定し、フイルム付シート２を仮接合装置２１から受け渡される。フイルム付シート２が第２昇降テーブル１３に受け渡されると、下降すると共に剥離開始ステーションＡに移動する。
【００４３】
１枚目のフイルム付シート２が第２搬送装置１０により仮接合ステーション５から剥離開始ステーションＡへ移動すると、２枚目のフイルム付シート２が載置された第１昇降テーブル１２が搬入ステーション４から仮接合ステーション５に搬送され、仮接合装置２１にフイルム付シート２が受け渡される。仮接合装置２１にフイルム付シート２が受け渡されると、第１昇降テーブル１２が搬入ステーション４に移動する。
【００４４】
第２昇降テーブル１３が剥離開始ステーションＡへ移動すると、図３に示すようにアクチュエータ３３の一端側に待機していた剥離ヘッド２５が接着ステーションＤに移動し、接着ステーションＤで剥離ヘッド２５のエアシリンダ３９を動作させて図６に示すように摺動体４５を剥離始端側の移動端に移動させ、移動体４０を第２昇降テーブル１３のフイルム付シート２上方で剥離始端側の初期剥離開始位置に位置し、剥離ヘッド２５のガイドローラ５２とガイドローラ５８間の粘着テープ４２がフイルム付シート２の上方において剥離始端側隅角部２ａ側から剥離終端側隅角部２ｂ側へ延びるように位置され、また、押圧手段５４の押圧具６５ｃがシート２の剥離始端側隅角部２ａの上方に粘着テープ４２を挟んで位置される。ここで剥離始端側とは、第２昇降テーブル１３が剥離開始ステーションＡに位置するときの剥離始端側隅角部２ａ側であり、また、剥離終端側隅角部２ｂ側を剥離終端側とする。
【００４５】
この状態で、押圧手段５４のエアシリンダ６５が作動されて押圧具６５ｃが下降され、この押圧具６５ｃがガイドローラ５２とガイドローラ５８間に延びている粘着テープ４２の中間部を図７に示すように押下げ、粘着テープ４２の接着部をフイルム付シート２のフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａ上に接着させる。押圧具６５ｃがガイドローラ５２とガイドローラ５８間の粘着テープ４２を押下げるとき、ガイドローラ５２とガイドローラ５８間の粘着テープ４２が僅かに引き延ばされることになるが、この粘着テープ４２の延び分は、弛み防止手段５９の引張りレバー７６が引き戻されることで与えられる。
【００４６】
粘着テープ４２の接着部をフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａに接着させた後は、押圧手段５４のエアシリンダ６５を作動させて押圧具６５ｃを上昇位置に保持させる。その後、回転阻止装置５３のエアシリンダ６３を作動させて押当具６３ｃを粘着テープ巻付体５０に当接させ、粘着テープ巻付体５０をガイドローラ５２に押圧させて粘着テープ巻付体５０の自由回転を阻止する。尚、回転阻止装置５３による粘着テープ巻付体５０の押圧は、押圧手段５４による粘着テープ４２の押下げより前に行っても良い。
【００４７】
次に、図８に示すように、エアシリンダ３９を作動させて摺動体４５を剥離終端側の移動端に移動させ、摺動体４５に固着されている移動体４０を初期剥離終了位置に移動させる。この移動体４０の剥離終端側方向への移動により、テープ支持装置５１やガイドローラ５２やテープ保持片５５が図８に示すように同方向へ移動され、フイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａに接着された粘着テープ４２の接着部より剥離始端側の粘着テープ４２の端部がテープ保持片５５によってシート２に近い位置に保持されたまま剥離終端側方向へ引張り移動（第１剥離移動）され、その結果、フイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａが急激に折り返されてフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａがシート２から剥離され、折り返されたフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａを剥離終端側方向へ引張り移動させてフイルム２６をシート２から剥がしていく。この場合、ヘッド本体３８は剥離終端側方向へ移動されることなく位置保持されているので、フイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａに接着された粘着テープ４２の接着部より剥離終端側の粘着テープ４２の端部が剥離終端側方向へ移動することがなく、フイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａに接着されている粘着テープ４２の接着部に剥離終端側方向への引張力が作用することがない。従って、フイルム２６がシート２を変形させたり破損させるトラブルが防止される。
【００４８】
次に、第２テーブル移動装置１７とヘッド移動装置２９とを連動して、第２昇降テーブル１３を第２テーブル移動装置１７により剥離完了ステーションＢ即ち仮接合ステーション５に向けて移動させると共に、ヘッド移動装置２９のアクチュエータ３３を作動させてスライダ３７を第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向へ剥離回収ステーションＣに向けて移動させる。この第２テーブル移動装置１７による第２昇降テーブル１３の移動とヘッド移動装置２９による剥離ヘッド２５の移動の連動により、剥離ヘッド２５が剥離始端側隅角部２６ａから対角位置の剥離終端側隅角部２６ｂに向けてフイルム付シート２の対角線上を相対移動する。この剥離ヘッド２５の剥離終端側隅角部２６ｂへ向けての相対移動により、図８に示す状態の剥離ヘッド２５のテープ支持装置５１やガイドローラ５２や巻取り装置５７やガイドローラ５８が剥離終端側方向へ移動され、その結果、フイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａに接着された粘着テープ４２の接着部より剥離始端側の粘着テープ４２の端部がテープ保持片５５によってシート２に近い位置に保持されたまま剥離終端側方向へ引き続き引張り移動され、シート２から剥離されて折り返されたフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａが更に剥離終端側方向へ移動されてフイルム２６をシート２から剥離していく。尚、この場合、粘着テープ４２は、フイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａに接着された粘着テープ４２の接着部より剥離終端側の粘着テープ４２が弛みそうな状態になっても、弛み防止手段５９の引張りレバー７６が粘着テープ４２を引っ掛けて側方へ引っ張っているので、ガイドローラ５２とガイドローラ５８間の粘着テープ４２が弛むことがなく、粘着テープ４２の下側の粘着面がシート２のフイルム２６に接着してフイルム２６を引っ張り移動させるトラブルを防止できる。
【００４９】
前記のように、第２テーブル移動装置１７とヘッド移動装置２９とを連動して、第２昇降テーブル１３を剥離完了ステーションＢに移動させると共に、スライダ３７を第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向へ剥離回収ステーションＣに移動させると、接着部より剥離始端側と剥離終端側の粘着テープ４２の両端部が剥離終端側方向へ移動（第２剥離移動）され、剥離ヘッド２５が剥離回収ステーションＣに位置し、フイルム２６の全面がシート２から剥がされ、図９に示すように剥離されたフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａが粘着テープ４２に接着された状態で垂れ下がる。この場合、フイルム接着部より剥離終端側の粘着テープ４２は、弛み防止手段５９の引張りレバー７６が粘着テープ４２を引っ掛けて側方へ引っ張り移動することで弛みが吸収され、ガイドローラ５２とガイドローラ５８間の粘着テープ４２は略水平に維持される。次に、剥離ヘッド２５のエアシリンダ３９を作動させて移動体４０を剥離始端側へ移動させる。その結果、ガイドローラ５２、５８間の粘着テープ４２を剥離始端側へ引張って弛み防止手段５９の引張りレバー７６を引き戻し、図６に示す初期の状態になり、粘着テープ４２に接着されて図９の位置Ｇで垂れ下がっているフイルム２６が図９に示すように剥離始端側の位置Ｈへ移動される。
【００５０】
次に、フイルム保持手段３１を移動させるため移動手段３２を作動し、フイルム保持手段３１の吸引パッド８１をフイルム回収容器３０上方の退避位置から剥離ヘッド２５の剥離回収ステーションＣ下方の吸着保持位置Ｅに移動させる。その結果、フイルム保持手段３１の吸引パッド８１は、粘着テープ４２から垂れ下がっているフイルム２６の後面に対向し、この状態で吸引を開始して剥離ヘッド２５から垂れ下がっている剥離後のフイルム２６を吸着保持する。即ち、粘着テープ４２の移動によりシート２から剥がされて略水平状態の粘着テープ４２の中間部分から垂れ下がっているフイルム２６をフイルム保持手段３１によって保持する。
【００５１】
その後、剥離回収ステーションＣにおいて、再び剥離ヘッド２５のエアシリンダ３９を作動させて移動体４０を剥離終端側へ移動させ、図１０に示すフイルム分離位置とする。移動体４０のフイルム分離位置への移動により、粘着テープ４２の剥離始端側の端部が第２剥離移動と同方向（フイルム２６から遠去かる方向）へ移動され、その結果、粘着テープ４２がフイルム２６を折り返した状態で引き離され、粘着テープ４２の接着部がフイルム２６からスムーズに剥離され、フイルム２６が粘着テープ４２から分離される。この場合、粘着テープ４２の剥離始端側の端部はフイルム保持手段３１の吸引パッド８１に対して接近する関係になるので、フイルム２６を引っ張ることがなく、前記粘着テープ４２の移動によるフイルム２６の分離を確実にできる。尚、前記説明では、シート２から剥がされたフイルム２６をフイルム保持手段３１によって保持させた状態で、移動体４０を第２剥離移動と同方向へ移動させて接着部より剥離終端側の粘着テープ４２をフイルム２６から遠去けることで粘着テープ４２とフイルム２６の接着を剥がしているが、フイルム保持手段３１を図示しない移動手段により剥離始端側方向または下方へ移動させてフイルム２６を粘着テープ４２から剥がすようにしても良い。また、図６の状態で、図１１に示すように、剥離ヘッド２５をヘッド移動装置２９の作動により剥離回収ステーションＣから更に剥離完了ステーションＪに移動し（更に後方へ移動し）、テープ４２から剥離しても良い。
【００５２】
次に、フイルム保持手段３１の吸引パッド８１が移動手段３２によって図５に実線で示す吸着保持位置Ｅからフイルム回収容器３０上方の図２に仮想線で示す保持開放位置Ｆに移動される。吸引パッド８１がフイルム回収容器３０の上方に移動されると、吸引パッド８１の吸引力が解除され、吸引パッド８１が吸着保持していたフイルム２６はフイルム回収容器３０内に落下されて回収される。この場合、吸引パッド８１から空気を吐出して吸引パッド８１からフイルム２６を積極的に分離するようにすると、フイルム２６の回収動作を速くすることができる。吸引パッド８１は、フイルム２６の吸着保持を解除した後、移動手段３２によって再び図３、図４に示すように退避位置に移動され、次に剥離されてくるフイルム２６の保持に備える。また、剥離ヘッド２５は、ヘッド移動装置２９によって再び図３に示すアクチュエータ３３の一端側に移動され、第２昇降テーブル１３が剥離開始ステーションに位置されるのに備える。尚、剥離ヘッド２５を接着ステーションＤへ移動して、次のシート２のフイルム剥離に備えても良い。
【００５３】
次に、必要に応じて、回転阻止装置５３のエアシリンダ６３を作動させて押当具６３ｃを上昇位置に保持させ、この状態で、巻取り装置５７のエアシリンダ７３を作動させて可動逆止爪７２を一時的に所定量突出させ、その結果、可動逆止爪７２がラチェット歯車６８ａを次の爪が逆止爪７１に係合される位置まで爪の１ピッチ分以上回動させて回転体６８を巻取り方向へ所定量回転させる。回転体６８の巻取り方向への回転によって、粘着テープ巻取体５６が粘着テープ４２を所定長さ分巻き取り、テープ支持装置５１の粘着テープ巻付体５０を巻戻し回転させ、押圧手段５４によって押下げる粘着テープ４２の接着部が新しい部分に変更される。従って、粘着テープ４２を各シート２のフイルム２６の剥離始端側隅角部２６ａ上に確実に接着させることができる。粘着テープ４２の巻取りは各シート２のフイルム２６を剥離する度に行なっても良いし、所定枚数のシート２のフイルム２６を剥離したときや任意枚数のシート２のフイルム２６を剥離したときに行なうようにしても良い。
【００５４】
第２昇降テーブル１３上の１枚目のシート２からフイルム２６が剥離されると、仮接合ステーション５では、第２昇降テーブル１３が上昇して前記フイルム２６が剥離された１枚目のシート２が２枚目のフイルム付シート２に重合された後、２枚のシート２が仮接合装置２１により仮接合される。１枚目のシート２と２枚目のフイルム付シート２が仮接合されると、第２昇降テーブル１３は積層シート２を吸着保持した状態で下降すると共に積層ステーション６に移動し、仮接合された１枚目のシート２と２枚目のフイルム付シート２が、プレス装置２４により熱圧着される。仮接合された１枚目のシート２と２枚目のフイルム付シート２が積層ステーション６においてプレス装置２４により熱圧着される際、２枚目のシート２にフイルム２６が付いた状態で熱圧着することで、シート２の熱変位を小さく抑える効果があり、また、プレス装置２４にシート２が貼り付くことを防止することができる効果がある。また、シート２に塵埃が付着することを防止できる。これにより、積層精度を高精度に維持できて最終的に製造されるシート積層体の品質を高くすることができる。
【００５５】
一方、そのように１枚目のシート２と２枚目のフイルム付シート２が熱圧着されている間に、３枚目のフイルム付シート２が搬入ステーション４の第１搬送装置９の第１昇降テーブル１２上に載置され、仮接合ステーション５に搬送されて仮接合装置２１に３枚目のフイルム付シート２が吸引固定されて受け渡される。３枚目のフイルム付シート２が受け渡されると第１昇降テーブル１２は搬入ステーション４に移動する。
【００５６】
次に、熱圧着された１枚目のシート２と２枚目のフイルム付シート２を吸着保持した第２昇降テーブル１３が剥離開始ステーションＡに移動する。第２昇降テーブル１３には、２枚目のフイルム付シート２が最上部に位置しており、前記１枚目のフイルム付シート２のフイルム２６の剥離と同様に、第２昇降テーブル１３の剥離開始ステーションＡから剥離完了ステーションＢへの移動と剥離ヘッド２５の第２昇降テーブル１３の移動軌跡Ｌを横切る方向への移動により、２枚目のフイルム付シート２からフイルム２６が剥離される。２枚目のシート２からフイルム２６が剥離されると、前記１枚目のフイルム２６が剥離されたシート２と同様な動作が行われ、仮接合装置２１により１、２枚目のシート２，２と３枚目のフイルム付シート２が仮接合された後、積層ステーション６でプレス装置２４によって熱圧着される。そして、上記したような搬入、仮接合、熱圧着、フイルム剥離を所定回数だけ繰り返すことによって、最終的に必要な枚数のシート２を積層したシート積層体が形成される。しかる後、形成されたシート積層体は第３搬送装置１１に保持され、積層ステーション６から搬出ステーション７へ搬送された後、積層装置３から搬出される。尚、複数のシート２が積層されることでシートが厚くなるが、押圧具６５ｃが弾性部材から成ることで粘着テープ貼付け時に積層されたシート２の厚さの変化にあまり影響されない。
【００５７】
上記実施の形態では、フイルム付シート２を吸引固着した状態の第２昇降テーブル１３を剥離開始ステーションＡから剥離完了ステーションＢへ向けて移動することで、剥離ヘッド２５との相対移動でフイルム２６を剥離しているが、搬入ステーション４と仮接合ステーション５間に剥離開始ステーションＡと剥離終了ステーションＢを設けてその剥離開始ステーションＡにフイルム剥離装置１を配置し、第１昇降テーブル１２にフイルム付シート２を吸着固定した状態で第１昇降テーブル１２を剥離開始ステーションＡから剥離完了ステーションＢへ向けて移動することでフイルム２６を剥離するようにしても良い。また、フイルム把持手段としての粘着体を粘着テープ４２で構成したが、負圧により吸着する負圧吸着手段で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明のフイルム剥離装置を備えた積層装置の正面図である。
【図２】図１のフイルム剥離装置を備えた積層装置の平面図である。
【図３】第２搬送ステージを仮接合ステーションとした平面図である。
【図４】第２搬送ステージを剥離開始ステーションとした平面図である。
【図５】第２搬送ステージを剥離完了ステーションとした平面図である。
【図６】図２のＶＩ視図である。
【図７】図６の剥離ヘッドの作動状態を示す剥離ヘッドの部分図である。
【図８】図６の剥離ヘッドの作動状態を示す剥離ヘッドの正面図である。
【図９】フイルム剥離装置の作動状態を示す部分正面図である。
【図１０】フイルム剥離装置の作動状態を示す部分正面図である。
【図１１】他のフイルム剥離装置からのフィルムの剥離を説明する図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  フイルム剥離装置
２  フイルム付シート
２ａ  剥離始端側隅角部
２ｂ  剥離終端側隅角部
１３  第２昇降テーブル
１７  第２テーブル移動装置
２５  剥離ヘッド
２６  フイルム
２９  ヘッド移動装置
３０  フイルム回収容器
３８  ヘッド本体
３９  エアシリンダ（直線駆動装置）
４１  粘着体移動装置
４２  粘着テープ（フイルム把持手段）
５０  粘着テープ巻付体
５１  テープ支持装置
５６  粘着テープ巻取体
５７  巻取り装置
５９  弛み防止手段
８３  検出器
Ａ  剥離開始ステーション
Ｂ  剥離完了ステーション
Ｌ  移動軌跡
【図１】
2008110510.tif 000003
【図２】
2008110510.tif 000004
【図３】
2008110510.tif 000005
【図４】
2008110510.tif 000006
【図５】
2008110510.tif 000007
【図６】
2008110510.tif 000008
【図７】
2008110510.tif 000009
【図８】
2008110510.tif 000010
【図９】
2008110510.tif 000011
【図１０】
2008110510.tif 000012
【図１１】
2008110510.tif 000013