(57)【要約】【課題】経時的な劣化や吸引用のチューブの配置などに起因する吸引量の低下に拘らず、精度の高い計測が可能な安価なパーティクル計測装置を提供する。【解決手段】予め、同じ計測対象箇所を、吸引量が一定に制御される計測精度の高い基準計測装置と本発明のパーティクル計測装置とでそれぞれ計測し、基準計測装置で計測された計測値を、スケール値（基準値）として当該パーティクル計測装置に設定することにより、当該パーティクル計測装置で計測された計測値と前記スケール値との関係を示すスケール係数（補正係数）を演算格納し、以後の計測モードでは、当該パーティクル計測装置で計測される計測値を、スケール係数で補正することにより、基準計測装置で計測した場合の計測値に換算補正する。【選択図】図８
2008002812.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測対象の気体を吸引口から吸引し、吸引した気体に光を照射して該気体に含まれるパーティクルからの散乱光を検出して前記パーティクルを計測する装置であって、
吸引口から吸引された気体の吸引量に基づく制御を行うことなく、吸引部に対して一定の動作条件を与える吸引駆動部と、
吸引駆動部から与えられた動作条件に従って吸引口から気体を吸引する吸引部と、
計測値を補正する補正係数を予め算出する算出手段と、
前記補正係数によって、計測値を補正する補正手段と、
補正した計測値を出力する出力手段とを備え、
前記算出手段は、基準値が設定される設定部と、前記基準値および該基準値に対応する補正前の計測値とに基づいて、前記補正係数を算出する算出部とを含むことを特徴とするパーティクル計測装置。
【請求項２】
計測対象の気体を前記吸引口に導くための屈曲可能な吸引用チューブをさらに有する請求項１に記載のパーティクル計測装置。
【請求項３】
前記出力手段は、補正した計測値を出力する計測値出力部を有し、
前記設定部は、前記基準値を入力するための入力部と、を有する請求項１に記載のパーティクル計測装置。
【請求項４】
前記吸引部の動作条件と前記補正係数とを対応させて保持する記憶部を有する請求項１に記載のパーティクル計測装置。
【請求項５】
前記出力手段は、補正した計測値を表示する計測値表示部を有し、
前記設定部は、前記基準値を設定するために操作される操作部と、設定される基準値を表示する基準値表示部とを有する請求項１に記載のパーティクル計測装置。
【請求項６】
前記補正係数が、前記基準値と前記補正前の計測値との比である請求項１〜５のいずれか１項に記載のパーティクル計測装置。
【請求項７】
前記基準値が、当該パーティクル計測装置とは別の基準となる基準計測装置によって計測される計測対象箇所の計測値であり、
基準値に対応する補正前の前記計測値が、当該パーティクル計測値によって計測される前記計測対象箇所の補正前の計測値である請求項１〜６のいずれか１項に記載のパーティクル計測装置。
【請求項８】
前記基準値および基準値に対応する前記補正前の計測値が、前記基準計測装置および当該パーティクル計測装置によって同時にそれぞれ計測される計測値である請求項７に記載のパーティクル計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、クリーンルームやクリーンブース内に、浮遊するパーティクル（微粒子）を計測する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体、FPD分野だけでなく、電子部品、デジタル家電、データストレージ分野などの生産現場でもクリーンルームやクリーンブースなどが使用されるようになってきている。また、それに伴い、製品の信頼性向上や、歩留まり向上のため、クリーンルームやクリーンブース内の気中のパーティクルの計測および常時監視の要求が高まってきている。
【０００３】
従来から、かかるパーティクルを計測する装置として、ポンプなどで計測対象箇所の空気等の気体を吸引してサンプリングし、その吸引した気体に光を照射し、気体中のパーティクルからの散乱光を受光素子で受光し、その受光信号をカウントして、パーティクルの数を計測するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−２６４２３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
パーティクルを計測するクリーンルームの清浄度は、単位容積当りのパーティクル数で定義されており、パーティクル計測装置のサンプリングの際の気体の吸引量が変動すると、気体の単位時間当たりのサンプリング容積が変わるため、計測結果が変化する。
【０００５】
気体の吸引力が変動する原因にはパーティクル計測装置が設定される環境によって影響される。例えば、気体を吸引する計測箇所の気圧や、吸引した気体が排出される領域の気圧、温度等も変動の要因である。
【０００６】
さらに、パーティクルの計測箇所は、クリーンルームやクリーンブース内でも、製品の近くや、作業する場所のより近くにすることが望ましいが、パーティクル計測装置本体が大きいため、近くに設置すると生産工程の邪魔になる。このため、計測装置本体をクリーンブース内の端やクリーンブース外に設置し、実際に計測したい箇所の気体を吸引するためのチューブの一端を計測装置本体に接続し、前記チューブの他端を計測したい箇所に設置して計測する場合がある。かかる場合には、チューブの長さや、途中のチューブの配置の仕方によって、流量損失が変わって吸引量が変化することになる。
【０００７】
また、ポンプやファン等の吸引源の経時的な劣化によって生じる吸引量の変動は計測誤差となるので、１年あるいはそれ以上のような長期間の使用によっては計測誤差が無視できない程度になる場合もある。
【０００８】
そのため、流量センサを備え、該流量センサによって吸引量を測定し、一定になるように吸引量をフィードバック制御するパーティクル計測装置もあるが、流量センサおよび流量制御システムにコストがかかり、パーティクル計測装置が高価になるという難点がある。
【０００９】
また、従来から特に清浄度が要求される分野では、上述のような高価なパーティクル計測装置を既に保有しているものの、台数が少ないために、一つの生産現場で複数の計測箇所を定期的に計測するといった使い方をするユーザも多い。かかるユーザにおいては、既に保有しているパーティクル計測装置の或る計測値を管理値として清浄度を管理しているような場合も多く、複数の計測箇所を、安価なパーティクル計測装置を用いて、既に保有しているパーティクル計測装置と同じ管理値で管理できるようにすることが望まれる。
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、上記課題を解決するパーティクル計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明のパーティクル計測装置は、計測対象の気体を吸引口から吸引し、吸引した気体に光を照射して該気体に含まれるパーティクルからの散乱光を検出して前記パーティクルを計測する装置であって、吸引口から吸引された気体の吸引量に基づく制御を行うことなく、吸引部に対して一定の動作条件を与える吸引駆動部と、吸引駆動部から与えられた動作条件に従って吸引口から気体を吸引する吸引部と、計測値を補正する補正係数を予め算出する算出手段と、前記補正係数によって、計測値を補正する補正手段と、補正した計測値を出力する出力手段とを備え、前記算出手段は、基準値が設定される設定部と、前記基準値および該基準値に対応する補正前の計測値とに基づいて、前記補正係数を算出する算出部とを含むものである。
【００１１】
「吸引量に基づく制御を行なうことなく」とは、流量センサなどによって吸引量を検出し、それに基づいて吸引量を制御するものでないことをいう。
【００１２】
一定の動作条件とは、例えば、ファンやポンプなどの吸引部が駆動される動作条件が一定であることをいい、例えば、ファンやポンプなどの駆動電圧が一定であることをいう。
基準値とは、補正の基準となる値をいい、例えば、経時的な劣化や吸引用のチューブに起因する吸引量の低下のない状態で、基準とするパーティクル計測装置（以下「基準計測装置」という）によって計測される計測値であるのが好ましい。    
【００１３】
この基準計測装置は、吸引量を一定に制御することができる計測精度の高いパーティクル計測装置であるのが好ましいが、例えば、ユーザが、既に保有しているパーティクル計測装置などであってもよい。
【００１４】
基準値に対応する補正前の計測値とは、基準値に対応する本発明のパーティクル計測装置の補正前の計測値をいい、例えば、基準値として基準計測装置によって計測された計測対象箇所を、本発明のパーティクル計測装置で計測したときの補正前の計測値とするのが好ましい。
【００１５】
補正係数は、基準値と該基準値に対応する補正前の計測値との関係を示す係数であり、本発明のパーティクル計測装置による計測値を、基準計測装置による計測値に換算できる係数であるのが好ましい。
【００１６】
基準値の設定は、通信によって行なってもよいし、直接、設定操作によって行なってもよい。
【００１７】
補正係数による計測値の補正を行なうことなく、そのまま補正前の計測値を出力できるようにしてもよく、この場合、補正係数による計測値の補正を行なって出力するか、あるいは、補正係数による計測値の補正を行なうことなく、そのまま出力するかを選択設定できるようにするのが好ましい。
【００１８】
本発明のパーティクル計測装置によると、流量センサなどを用いて吸引量に基づく制御を行なうものではないので、構成が簡素化されて安価な装置となる。
【００１９】
更に、基準値と該基準値に対応する補正前の計測値とに基づく補正係数を予め算出し、この補正係数によって計測値を補正するので、基準値を、例えば、経時的な劣化や吸引用のチューブに起因する吸引量の低下のない状態の計測値として補正係数を予め算出し、この補正係数によって計測値を補正することにより、経時的な劣化や吸引用のチューブに起因する吸引量の低下による誤差を補正して計測精度を高めることができる。
【００２０】
また、例えば、ユーザが既に保有しているパーティクル計測装置を基準計測装置とし、この基準計測装置で計測される計測値を基準値として補正係数を予め算出し、この補正係数によって本発明のパーティクル計測装置の計測値を補正することにより、基準計測装置の計測値、すなわち、ユーザが既に保有しているパーティクル計測装置の計測値に換算するといったことが可能となる。
【００２１】
（２）本発明のパーティクル計測装置の一つの実施形態では、計測対象の気体を前記吸引口に導くための屈曲可能な吸引用チューブをさらに有してもよい。
この実施形態によると、当該パーティクル計測装置を、生産工程の邪魔にならない箇所に設置し、計測したい箇所の気体を、吸引用チューブを介して吸引してパーティクルを計測することができる。
【００２２】
（３）本発明のパーティクル計測装置の他の実施形態では、前記出力手段は、補正した計測値を出力する計測値出力部を有し、前記設定部は、前記基準値を入力するための入力部とを有するようにしてもよい。
この実施形態によると、計測値を、計測値出力部から外部のパソコン等の機器に通信で出力したり、外部の機器から入力部を介して基準値を通信で設定するといったことが可能となる。
【００２３】
（４）本発明のパーティクル計測装置の一つの実施形態では、前記吸引部の動作条件と前記補正係数とを対応させて保持する記憶部を有するようにしてもよい。
【００２４】
この実施形態によると、例えば、ファンやポンプなどの動作条件と補正係数とを対応付けて記憶部に保持するので、動作条件、例えば、ファンやポンプの駆動電圧を変更したときに、変更した駆動電圧に応じた補正係数を用いて補正することが可能となる。
【００２５】
（５）本発明のパーティクル計測装置の一つの実施形態では、前記出力手段は、補正した計測値を表示する計測値表示部を有し、前記設定部は、前記基準値を設定するために操作される操作部と、設定される基準値を表示する基準値表示部とを有している。
【００２６】
この実施形態によると、基準値表示部の表示を見ながら操作部を操作して基準値を設定することができ、また、補正されて計測値表示部に表示出力される計測値を、目視確認することができる。
【００２７】
（６）本発明のパーティクル計測装置の好ましい実施形態では、前記補正係数が、前記基準値と前記補正前の計測値との比である。
【００２８】
（７）本発明のパーティクル計測装置の他の実施形態では、前記基準値が、当該パーティクル計測装置とは別の基準となる基準計測装置によって計測される計測対象箇所の計測値であり、基準値に対応する補正前の前記計測値が、当該パーティクル計測値によって計測される前記計測対象箇所の補正前の計測値である。
【００２９】
この実施形態によると、計測対象箇所を、基準計測装置および当該パーティクル計測装置（本発明のパーティクル計測装置）でそれぞれ計測して得られた基準値および該基準値に対応する補正前の計測値によって補正係数を算出するので、この補正係数を用いて当該パーティクル計測装置の計測値を補正することにより、
基準計測装置で計測した場合の計測値に換算できることになる。
【００３０】
（８）上記（７）の実施形態では、前記基準値および基準値に対応する前記補正前の計測値を、前記基準計測装置および当該パーティクル計測装置によって同時にそれぞれ計測される計測値としてもよい。
【００３１】
基準計測装置および当該パーティクル計測装置を、近接配置することにより、両装置の計測対象箇所が同じになるようにするのが好ましい。
【００３２】
計測対象箇所を、時間をずらして基準計測装置および当該パーティクル計測装置でそれぞれ順番に計測して基準値および対応する補正前の計測値を得る場合には、その時間をずらした間に、計測対象箇所のパーティクルが数が変動して正確な対応関係が得られない虞があるが、この実施形態によると、計測対象箇所を同時に計測して基準値および対応する補正前の計測値を得るので、正確な対応関係が得られ、精度の高い補正が可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によると、流量センサなどを用いて気体の吸引量に基づく制御を行なうものではないので、構成が簡素化されて安価な装置となる。設定される基準値と該基準値に対応する補正前の計測値とに基づく補正係数によって計測値を補正するので、経時的な劣化や吸引用のチューブに起因する吸引量の低下による計測誤差を補正することができる。また、計測値を、基準計測装置、例えば、ユーザが既に保有している計測装置の計測値に換算補正するといったことも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下に、本発明の好適な実施の形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３５】
図１は、本発明に係るパーティクル計測装置が設置されたクリーンブースの概略構成図である。
【００３６】
クリーンブース１の天井には、フィルタおよび送風機を内蔵したファンフィルタユニット２が設置されており、このファンフィルタユニット２は、天井の開口からクリーンブース２内に、上方から清浄な空気を供給する。      
【００３７】
クリーンブース１の壁面には、本発明に係るパーティクル計測装置３が設置されており、このパーティクル計測装置３によって、クリーンブース１内の気中に含まれるパーティクルが計測され、その計測値が、例えば、図示しないコントローラに出力され、ファンフィルタユニット２の送風量が制御されてクリーンブース１内の清浄度が管理される。
【００３８】
このパーティクル計測装置３は、図２のブロック図に示すように、気体を吸引して計測するヘッドユニット４と、設定に応じた制御を行なうとともに、計測結果を出力アンプユニット５とを備えている。
【００３９】
ヘッドユニット４は、図３の斜視図に示すように、アンプユニット５に接続するための丸型のコネクタ７を有するケーブル８がケース９から引き出され、このケース９には、計測対象箇所の気体を吸引するための吸引口６が設けられる。また、ケース９の上面には、例えば、パーティクルの数に応じたレベル表示などを行なうための表示部１０が設けられる。
【００４０】
一方、アンプユニット５は、図４の斜視図に示すように、直方体状のケース１１と、該ケース１１の上面を覆う開閉可能なカバー１２とを備え、ケース１１の前面側からはヘッドユニット４を接続するための丸型のコネクタ１３を有するケーブル１４が引き出される一方、後面側からは当該ユニット５に電源を供給する電源線等を含むケーブル１５が引き出される。
【００４１】
アンプユニット５の上面の前記カバー１２を開放すると、図５に示すように、当該アンプユニット５における各種の指令操作や動作表示などを行うための操作部３６および表示部３７が、外部に臨む。表示部３７は、７セグメント５桁のメイン表示部１６と、同じく７セグメント５桁のサブ表示部１７とを備える。操作部３６は、設定項目切替や桁上げ用の左方向キー１８と、数値を上げるアップキー１９と、設定項目切替や桁下げ用の右方向キー２０と、数値を下げるダウンキー２１と、後述のようにモードを切り替えるモード切替スイッチ２２と、操作を確定させる確定キー２３とを備えている。
【００４２】
これらのキー１８〜２１，２３およびモード切替スイッチ２２を適宜操作しつつ、メイン表示部１６およびサブ表示部１７に計測値などを表示させることによって、設定処理の選択や設定データの選択さらには各種の操作指令を与えることができる。
【００４３】
アンプユニット５の側面には、図４に示すようにスライド蓋２４が設けられており、このスライド蓋２４を開くとコネクタが露出し、このコネクタを介して、ファンフィルタユニット２の送風量を制御する上述のコントローラなどが接続できるように構成されている。
【００４４】
再び、図２を参照して、ヘッドユニット４は、吸引口６からパーティクル４５を含む気体を吸引するための吸引部としてのファン２５と、このファン２５を駆動する吸引駆動部としてのファン駆動回路２６と、吸引口６から吸引されて計測領域２７を通過する気体に対して、投光レンズ２８を介して光を投射する半導体レーザなどの光源２９と、この光源２９を駆動する光源駆動回路３０と、受光レンズ３１を介して散乱光を受光する受光素子３２と、増幅器３３で増幅された受光素子３２の受光出力を閾値と比較する比較器３４と、上述の表示部１０とを備えている。ファン駆動回路２６は、アンプユニット５のＣＰＵ３５の指令に応じた一定の動作条件でファン２５を駆動するものであり、この実施形態では、一定の駆動電圧でファン２５を駆動する。
【００４５】
アンプユニット５は、ＣＰＵ３５と、上述の操作部３６および表示部３７と、ＥＥＰＲＯＭ３８とを備えており、操作部３６の設定操作に応じて各部を制御するとともに、比較器３４の出力に基づいて、パーティクルの数を計測し、計測結果を上述のコントローラ等に出力するとともに、表示部３７に出力する。なお、計測結果と予め設定された警報値とを比較し、警報値を超えるときには、警報出力を与えることもできる。
【００４６】
この実施形態のパーティクル計測装置３では、吸引口６から吸引されて計測領域２７を通過する気体に対して、光源２９からの光を投光レンズ２８を介して投射し、気体に含まれるパーティクルが通過することにより発生する散乱光を、受光レンズ３１を介して受光素子３２で受光し、増幅器３３で増幅した図６（ａ）に示す受光出力を、比較器３４で閾値ＳＬと比較し、図６（ｂ）に示す閾値ＳＬを越える出力を計数することによって、パーティクルの数を計測するものである。  
【００４７】
このパーティクル計測装置３は、ファン２５による吸引量を流量センサで検出して吸引量を一定になるようにフィードバック制御する構成を備えていないので、その分、安価なものとなる。
【００４８】
このように吸引量をフィードバック制御しない安価なパーティクル計測装置３は、長期間使用していると、ファン２５の経年変化に伴う吸引量の低下によるパーティクルの計測精度の低下が生じることになる。
【００４９】
また、例えば、図７に示すように、クリーンブース１内で、半導体ウェハや液晶デバイスなどの被処理物３９を処理する処理装置４０の近傍のパーティクルを計測するような場合には、処理装置４０による処理の妨げとならないように、パーティクル計測装置３を、処理装置４０から離れた位置に設置するとともに、処理装置４０の近傍の気体を吸引するための吸引用のチューブ４１の一端をパーティクル計測装置３の吸引口６に接続し、チューブ４１の他端を処理装置４０の近傍に設置して計測することになる。
【００５０】
かかる場合にも、吸引用のチューブ４１の長さや、途中のチューブ４１の配置の仕方によって、流量損失が変わって吸引量が低下し、パーティクルの計測精度が低下することになる。
【００５１】
この実施形態では、ファン２５の経時的な劣化や吸引用のチューブ４１に起因して吸引量が低下しても、精度の高い計測ができるように次のようにしている。
【００５２】
すなわち、この実施形態では、予め、パーティクル計測装置３と、基準とするパーティクル計測装置（以下「基準計測装置」という）とによって、同じ計測対象箇所をそれぞれ計測し、基準計測装置によって得られた計測値を、パーティクル計測装置３に基準値として設定することにより、パーティクル計測値３は、当該パーティクル計測装置３で得られた計測値と基準値との関係を示す補正係数を算出してＥＥＰＲＯＭ３８に格納する。
【００５３】
このようにして予め補正係数を算出した後の実際の計測では、パーティクル計測装置３は、その補正係数を用いて計測値を補正し、補正した計測値を出力するものである。
【００５４】
なお、ファン２５の動作条件である駆動電圧を変更する場合に対応できるように、駆動電圧に応じた補正係数を予め算出し、駆動電圧と補正係数とを対応付けてＥＥＰＲＯＭ３８に格納し、駆動電圧に応じた補正係数で補正するようにしてもよい。
【００５５】
この補正は、基準計測装置による計測値である基準値と、パーティクル計測装置３による基準値に対応する補正前の計測値との関係を示す補正係数を用いて、パーティクル計測装置３で計測される計測値を、基準計測装置で計測したとしたときの計測値に換算するものである。
【００５６】
基準計測装置としては、例えば、吸引量を流量センサで検出して吸引量を一定にフィードバック制御する高価なパーティクル計測装置を用いることができる。
【００５７】
以下、この基準計測装置を用いた補正について、更に詳細に説明する。
【００５８】
先ず、基準計測装置で計測した計測値を、基準値として当該パーティクル計測装置３に設定して補正係数を算出するためのモードであるスケーリングモードを設定する。
【００５９】
図８は、このスケーリングモード設定時のフローチャートである。
【００６０】
先ず、図５の操作部３６のモード切替スイッチ２２を操作してモード設定に切り替え、更に、右方向キー２０を指定回数押して、スケーリングモードを設定する（ステップｎ１）。これによって、メイン表示部１６には、図９（ａ）に示すように、「ＳＣＡＬＥ」の文字が表示される。
【００６１】
次に、操作部３６の確定キー２３を操作してスケーリングモードを確定して計測を開始し、現在の計測値を図９（ｂ）に示すように計測値表示部としてのメイン表示部１６およびサブ表示部１７に表示するとともに、スケーリングのための基準値であるスケール値の入力を促すために、基準値表示部としてのサブ表示部１７の設定対象桁である、例えば、最上位桁を点滅表示する（ステップｎ２）。図９では、現在の計測値が、「１３８０５」である例を示している。
【００６２】
このスケーリングモードにおけるパーティクル計測装置３による計測と同時に、基準計測装置で同じ計測対象箇所を計測する。
【００６３】
例えば、図１に示すように、パーティクル計測装置３でクリーンブース１の壁面付近のパーティクルを計測する場合には、基準計測装置を、パーティクル計測装置３に近接させて配置し、同じ壁面付近のパーティクルを同時に計測する。
【００６４】
また、例えば、図７に示すように、パーティクル計測装置３で処理装置４０の近傍の気体を吸引用のチューブ４１を使って計測する場合には、基準計測装置を、処理装置４０の近傍に配置し、処理装置４０の近傍のパーティクルを同時に計測する。
【００６５】
なお、同時に計測するのではなく、同じ計測対象箇所を、順番に計測してもよい。
【００６６】
次に、基準計測装置によって計測された計測値を、図８に示すように、基準値であるスケール値として入力する（ステップｎ３）。この入力は、操作部３６の左方向キー１８、アップキー１９、右方向キー２０およびダウンキー２１を操作してサブ表示部１７に表示される数値を、基準計測装置の計測値であるスケール値に合わせることにより行なう。このとき、サブ表示部１７に、図９（ｃ）に示すように、入力されるスケール値を表示するとともに、設定対象桁、例えば、最下位桁を点滅表示して入力を促す。
【００６７】
この図９では、基準計測装置の計測値であるスケール値が、「１５０６０」である例を示している。
【００６８】
スケール値を入力した後、操作部３６の確定キー２３を操作してスケーリングを確定し、これによって、図９（ｄ）に示すように、設定されたスケール値がサブ表示部１７に表示される。
【００６９】
この実施形態では、補正係数としてのスケール係数を、基準計測装置で計測された基準値であるスケール値と、同じ計測対象箇所を計測した当該パーティクル計測装置３の計測値とに基づいて、次式に従って算出する（ステップｎ４）。
【００７０】
スケール係数（補正係数）
＝サブ表示部１７のスケール値（基準値）／メイン表示部１６の計測値
この算出したスケール係数を記憶部に格納保存する（ステップｎ５）。
【００７１】
最後に、モード切替スイッチ２２を切替操作して計測モードに移行して終了する（ステップｎ６）。
【００７２】
上述のように、補正係数であるスケール係数は、同じ計測対象箇所を、基準計測装置およびパーティクル計測装置３でそれぞれ計測した計測値の比であるから、このスケール係数を用いて、パーティクル計測装置３で計測される計測値を、基準計測装置で計測した場合の計測値に換算補正することができる。
【００７３】
例えば、パーティクル計測装置３のファン２５の経年劣化によって、吸引量が低下して計測値に誤差が生じたとしても、吸引量が一定に制御される計測精度の高い基準計測装置で計測した基準値で補正係数を定期的に更新し、この補正係数によってパーティクル計測装置３の計測値を補正することにより、ファン２５の経年劣化に起因する誤差を補正することができる。
【００７４】
また、吸引用のチューブを使用してパーティクル計測装置３でパーティクルを計測する場合には、チューブを使用しないで基準計測装置で同じ計測対象箇所を直接計測した計測値を、基準値として補正係数を算出し、パーティクル計測装置３で計測される計測値を前記補正係数で補正することにより、チューブに起因する吸引量の低下に伴う誤差を補正することができる。
【００７５】
更に、パーティクル計測装置を既に保有し、そのパーティクル計測装置の或る計測値を、管理値として清浄度を管理しているようなユーザにとっては、既に保有しているパーティクル計測装置と、新たに購入したパーティクル計測３とで同じ計測対象箇所を計測し、既に保有しているパーティクル計測装置で計測された計測値を基準値としてパーティクル計測装置３に設定して補正係数を算出することにより、パーティクル計測装置３の計測値を、前記補正係数によって、既に保有しているパーティクル計測装置の計測値に換算補正できることになり、清浄度の管理が容易となる。また、多くのパーティクル計測装置を使用する場合の計測装置毎のばらつきを補正することもできる。
【００７６】
図８および図９のようにしてスケーリングが終了した後の計測モードにおける計測処理の動作を、図１０のフローチャートに基づいて説明する。
【００７７】
上述のように算出されて格納されているスケール係数を読み込み（ステップｎ１１）、パーティクルの計測処理を行い（ステップｎ１２）、計測結果を、スケール係数を用いて補正処理、具体的には、計測値にスケール係数を乗算し（ステップｎ１３）、補正した計測値をメイン表示部１６に表示するとともに、コントローラ等に出力し（ステップｎ１４）、ステップｎ１２に戻る。
【００７８】
このようにして、補正係数で補正された計測値が、当該パーティクル計測装置３の計測値して表示されるとともに、コントローラ等の外部へ出力される。
【００７９】
この実施形態では、補正係数を算出するスケーリングモードの設定を行なうことなく、計測モードに移行した場合には、補正を行なうことなく、パーティクル計測装置３の計測値をそのまま出力することもできる。
【００８０】
本発明の他の実施形態として、図１１に示すように、アンプユニット５に入力インタ−フェース５０および出力インターフェース５１を設け、計測値を、出力インターフェース５１を介してパソコン等の外部機器に出力したり、あるいは、外部機器から入力インターフェースを介して基準値等を設定できるようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、クリーンルームやクリーンブースのパーティクルの計測に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明に係るパーティクル計測装置が設置されたクリーンブースの概略構成図である。
【図２】本発明に係るパーティクル計測装置のブロック図である。
【図３】ヘッドユニットの斜視図である。
【図４】アンプユニットの斜視図である。
【図５】アンプユニットの上面のカバーを開放した状態の図である。
【図６】受光出力および比較器出力を示す図である。
【図７】吸引用チューブを用いた場合の概略構成図である。
【図８】スケーリングモード設定時のフローチャートである。
【図９】図８に対応する表示部の表示例を示す図である。
【図１０】計測モードのフローチャートである。
【図１１】本発明の他の実施形態のブロック図である。
【符号の説明】
【００８３】
１      クリーンブース      ３      パーティクル計測装置
４      ヘッドユニット      ５      アンプユニット
６      吸引口              ３６    操作部
３７    表示部              ４１    チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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