(57)【要約】【課題】回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが可能なスピンドルモータを提供する。 【解決手段】筒状筐体１１０と、モータ１２０と、モータ１２０と一体になって回転可能な基端側回転体１３０と、基端側回転体１３０とともに回転可能な先端側回転体１４０と、先端側回転体１４０と一体になって回転可能な穿孔工具把持部１５０と、基端側回転体１３０の回転力を先端側回転体１４０に伝達する回転力伝達部材１６０と、回転力伝達部材１６０の捩れ変形に基づいて回転負荷を測定する静電容量測定方式の回転負荷測定装置１７０とを有するスピンドルモータ１００。【選択図】図１
2008126395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状筐体と、
前記筒状筐体内で回転可能なモータと、
前記筒状筐体内で前記モータと一体になって回転可能な基端側回転体と、
前記筒状筐体内で前記基端側回転体とともに回転可能な先端側回転体と、
前記先端側回転体と一体になって回転可能な穿孔工具把持部と、
前記基端側回転体と前記先端側回転体との間の回転力伝達経路途中に配設され、回転方向に沿って捩れ変形可能な回転力伝達部材と、
前記回転力伝達部材の捩れ変形に基づいて前記基端側回転体に対する前記先端側回転体の回転負荷を測定する回転負荷測定装置とを有するスピンドルモータであって、
前記回転負荷測定装置は、
前記基端側回転体の先端側に固定され、外周部に第１外周電極面を有する円筒状の第１回転電極体と、
前記第１回転電極体から先端側に向けて突出し、第１対向電極面を有する第１突起部と、
前記第１回転電極体の外周側に配置され、前記第１外周電極面に対向する第１内周電極面を有する第１固定電極体と、
前記先端側回転体の基端側に固定され、外周部に第２外周電極面を有する円筒状の第２回転電極体と、
前記第２回転電極体から基端側に向けて突出し、前記第１対向電極面に対向する第２対向電極面を有する第２突起部と、
前記第２回転電極体の外周側に配置され、前記第２外周電極面に対向する第２内周電極面を有する第２固定電極体と、
前記第１内周電極面と前記第１外周電極面との間に形成される第１コンデンサ、前記第１対向電極面と前記第２対向電極面との間に形成される第２コンデンサ及び前記第２外周電極面と前記第２内周電極面との間に形成される第３コンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量を測定する静電容量測定回路とを有する静電容量測定方式の回転負荷測定装置であることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のスピンドルモータにおいて、
前記第１内周電極面と前記第１外周電極面とが対向する部分の面積をＳ１とし、
前記第１対向電極面と前記第２対向電極面とが対向する部分の面積をＳ２とし、
前記第２内周電極面と前記第２外周電極面とが対向する部分の面積をＳ３としたとき、
Ｓ１はＳ２の１０倍よりも大きく、かつ、Ｓ３はＳ２の１０倍よりも大きいことを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のスピンドルモータにおいて、
前記第１突起部として、ｎ個（但し、ｎは２以上の整数。）の第１突起部が前記第１固定電極体から突出し、前記第２突起部として、ｎ個の第２突起部が前記第２固定電極体から突出し、前記ｎ個の第１突起部及び前記ｎ個の第２突起部は、それぞれ回転方向に沿って（３６０／ｎ）°おきに配置されていることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のスピンドルモータにおいて、
前記筒状筐体における前記基端側回転体との対向面及び前記筒状筐体における前記先端側回転体との対向面には、空気静圧軸受が配設されていることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のスピンドルモータにおいて、
前記回転力伝達部材は、前記基端側回転体と前記先端側回転体との間に機械的遊びの無い状態で配設されている回転力伝達棒であることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のスピンドルモータにおいて、
前記穿孔工具把持部からの送り負荷を測定する送り負荷測定装置をさらに有することを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項７】
請求項６に記載のスピンドルモータにおいて、
前記送り負荷測定装置は、
送り方向に沿って前記穿孔工具把持部と一体となって移動する測定電極と、
前記筒状筐体に固定され、前記測定電極に対向配置された固定電極と、
前記固定電極と前記測定電極との間の静電容量を測定する第２静電容量測定回路とを有することを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のスピンドルモータにおいて、
前記送り負荷に対抗して前記穿孔工具把持部を先端側に向けて押圧する押圧装置をさらに有することを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のスピンドルモータと、
所定の送り動作によって前記スピンドルモータを送り方向に沿って移動させる送り駆動装置と、
穿孔加工対象物品を把持する穿孔加工対象物品把持部とを有することを特徴とする穿孔加工装置。
【請求項１０】
請求項６〜８のいずれかに記載のスピンドルモータと、
所定の送り動作によって前記スピンドルモータを送り方向に沿って移動させる送り駆動装置と、
穿孔加工対象物品を把持する穿孔加工対象物品把持部とを有する穿孔加工装置であって、
前記回転負荷測定装置により測定された回転負荷と、前記送り負荷測定装置により測定された送り負荷とによって表される負荷データが、回転負荷と送り負荷とを変数とする所定の負荷限界値を超えた場合に、前記所定の送り動作を中断するように構成されていることを特徴とする穿孔加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドルモータ及び穿孔加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１６は、従来の穿孔加工装置９００を説明するために示す図である。図１６（ａ）は穿孔加工装置９００の全体構成を示す図であり、図１６（ｂ）は穿孔加工装置９００の回転変形部９２５を示す図であり、図１６（ｃ）は穿孔加工装置９００の回転状態測定手段９５４を示す図である。
【０００３】
従来の穿孔加工装置９００は、図１６に示すように、穿孔工具Ｄを回転させる回転駆動装置９２０と、穿孔工具Ｄを送り方向（図１６（ａ）の左右方向。）に沿って移動させる送り駆動装置９１０と、回転駆動装置９２０の駆動力（回転力）を伝達する回転力伝達経路途中（回転駆動軸９２４とスピンドル９１７との間）に配置され、回転方向に捩れ変形可能な回転変形部９２５（図１６（ｂ）参照。）と、回転変形部９２５の前後における回転位相のずれに基づいて回転負荷を光学的に測定する回転負荷測定装置９５０（回転状態測定手段９５２，９５４（図１６（ａ）及び図１６（ｃ）参照。））と、送り駆動装置９１０による駆動力を伝達する送り伝達経路途中に配置され、送り方向に変形可能な送り変形部９４８と、送り変形部９４８の前後における送り量のずれに基づいて送り負荷を測定する歪センサ９４９とを有している。そして、回転負荷測定装置９５０により測定された回転負荷と、歪センサ９４９により測定された送り負荷とによって表される負荷データが、回転負荷と送り負荷とを変数とする所定の負荷限界値を超えた場合に、穿孔工具Ｄの送り動作を中断するように構成されている。従来の穿孔加工装置９００においては、回転変形部９２５は、図１６（ｂ）に示すように、回転方向に大きく捩れ変形することが可能な帯状片からなる。
【０００４】
このため、従来の穿孔加工装置９００によれば、回転変形部９２５の捩れ変形と送り変形部９４８の撓み変形とに基づいて回転負荷と送り負荷とを測定することが可能となるため、穿孔工具Ｄの破損を的確に予測することにより穿孔工具Ｄの折損をより確実に防止することが可能となり、信頼性が高く、かつ、効率的な穿孔加工を実現することが可能となる。
【０００５】
また、従来の穿孔加工装置９００によれば、回転変形部９２５が回転方向に大きく捩れ変形することが可能な帯状片からなるため、高精度の捩れ変形特性を得ることが可能となる。また、従来の穿孔加工装置９００によれば、回転変形部９２５の前後における回転位相のずれに基づいて回転負荷を光学的に測定しているため、回転負荷を非接触で測定することが可能となる。このため、従来の穿孔加工装置９００によれば、回転負荷を高精度で測定することが可能となる。 
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３４１０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の穿孔加工装置９００においては、回転変形部９２５の前後における回転位相のずれに基づいて回転負荷を光学的に測定するためには、それぞれが、発光素子、受光素子及び信号処理回路を有する２つの回転状態測定手段（回転状態測定手段９５２，９５４）を用いることが必要であり、回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが困難であるという問題（第１の問題）がある。
【０００８】
また、従来の穿孔加工装置９００においては、回転負荷を従来よりも高精度で測定して微細な穴（例えば、内径３０μｍ以下。）を形成することが可能となる反面、微細な穴から比較的大きな穴までの比較的広い範囲の穴を形成することが困難であるという問題（第２の問題）がある。
その理由は、従来の穿孔加工装置９００において、微細な穴を形成するためには、帯状片の厚さを薄くして帯状片の捩れ変形量を大きくする必要があるが、帯状片の厚さを薄くすると帯状片の剛性が低下するため、同じ穿孔加工装置を用いて比較的大きな穴（例えば、５００μｍ以上。）を形成することが困難となるからである。
【０００９】
そこで、本発明は、上記のような問題を解決するためになされたものであり、上記した２つの問題のうち少なくとも第１の問題を解決することが可能なスピンドルモータ、すなわち回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが可能なスピンドルモータを提供することを目的とする。また、本発明は、上記した第２の問題を解決することが可能なスピンドルモータ、すなわち微細な穴から比較的大きな穴までの比較的広い範囲の穴を形成することが可能なスピンドルモータを提供することをも目的とする。また、そのように優れたスピンドルモータを有する穿孔加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明のスピンドルモータは、筒状筐体と、前記筒状筐体内で回転可能なモータと、前記筒状筐体内で前記モータと一体になって回転可能な基端側回転体と、前記筒状筐体内で前記基端側回転体とともに回転可能な先端側回転体と、前記先端側回転体と一体になって回転可能な穿孔工具把持部と、前記基端側回転体と前記先端側回転体との間の回転力伝達経路途中に配設され、回転方向に沿って捩れ変形可能な回転力伝達部材と、前記回転力伝達部材の捩れ変形に基づいて前記基端側回転体に対する前記先端側回転体の回転負荷を測定する回転負荷測定装置とを有するスピンドルモータであって、前記回転負荷測定装置は、前記基端側回転体の先端側に固定され、外周部に第１外周電極面を有する円筒状の第１回転電極体と、前記第１回転電極体から先端側に向けて突出し、第１対向電極面を有する第１突起部と、前記第１回転電極体の外周側に配置され、前記第１外周電極面に対向する第１内周電極面を有する第１固定電極体と、前記先端側回転体の基端側に固定され、外周部に第２外周電極面を有する円筒状の第２回転電極体と、前記第２回転電極体から基端側に向けて突出し、前記第１対向電極面に対向する第２対向電極面を有する第２突起部と、前記第２回転電極体の外周側に配置され、前記第２外周電極面に対向する第２内周電極面を有する第２固定電極体と、前記第１内周電極面と前記第１外周電極面との間に形成される第１コンデンサ、前記第１対向電極面と前記第２対向電極面との間に形成される第２コンデンサ及び前記第２外周電極面と前記第２内周電極面との間に形成される第３コンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量を測定する静電容量測定回路とを有する静電容量測定方式の回転負荷測定装置であることを特徴とする。
【００１１】
このため、上記（１）に記載のスピンドルモータによれば、回転力伝達部材の捩れ変形に基づいて回転負荷を測定することが可能となるため、穿孔工具の破損を的確に予測することにより穿孔工具の折損をより確実に防止することが可能となり、信頼性が高く、かつ、効率的な穿孔加工を実現することが可能となる。
【００１２】
また、上記（１）に記載のスピンドルモータによれば、基端側回転体と先端側回転体との間の回転方向に沿った位相差によって変化する静電容量を測定することにより回転負荷を測定することが可能となるため、回転負荷を非接触で測定することが可能となり、回転負荷を高精度で測定することが可能となる。また、回転負荷の測定を行うことに起因する回転抵抗を極めて小さいレベルにまで低減することが可能となるため、安定した回転状態を維持できるようになり、高速かつ高精度で穿孔加工を行うことが可能となる。
【００１３】
また、上記（１）に記載のスピンドルモータによれば、上記したように、３つのコンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量を測定するだけで回転負荷を測定することが可能となるため、また、その際、当該電気回路の合成静電容量を、第１回転電極体及び第２回転電極体に接触することなく測定することが可能となるため、回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが可能となり、本発明の第１の目的が達成される。
【００１４】
なお、上記（１）に記載のスピンドルモータにおいて、３つのコンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量を測定するだけで回転負荷を測定することが可能となる理由は以下のとおりである。
すなわち、上記（１）に記載のスピンドルモータにおいては、回転負荷が変化すると、基端側回転体と先端側回転体との間の回転方向に沿った位相差が発生するため、第１対向電極面と第２対向電極面との間隔が変化して、第２コンデンサの静電容量が変化する。その結果、３つのコンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量も変化するからである。
【００１５】
（２）上記（１）に記載のスピンドルモータにおいて、前記第１内周電極面と前記第１外周電極面とが対向する部分の面積をＳ１とし、前記第１対向電極面と前記第２対向電極面とが対向する部分の面積をＳ２とし、前記第２内周電極面と前記第２外周電極面とが対向する部分の面積をＳ３としたとき、通常、Ｓ１はＳ２の１０倍よりも大きく、かつ、Ｓ３はＳ２の１０倍よりも大きいことが好ましい。
【００１６】
このように構成することにより、３つのコンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量は、最も静電容量の小さい第２コンデンサの静電容量が支配的になる。このため、３つのコンデンサの直列接続により構成される電気回路の合成静電容量を測定すれば、実質的には第１コンデンサの静電容量及び第３コンデンサの静電容量の影響を受けずに第２コンデンサの静電容量を測定することとなり、基端側回転体と先端側回転体との間の回転方向に沿った位相差を高精度に測定することが可能となる。その結果、回転負荷を高精度で測定することが可能となり、 従来の穿孔加工装置よりも微細な穴を形成することが可能となる。
【００１７】
（３）上記（１）又は（２）に記載のスピンドルモータにおいては、前記第１突起部として、ｎ個（但し、ｎは２以上の整数。）の第１突起部が前記第１固定電極体から突出し、前記第２突起部として、ｎ個の第２突起部が前記第２固定電極体から突出し、前記ｎ個の第１突起部及び前記ｎ個の第２突起部は、それぞれ回転方向に沿って（３６０／ｎ）°おきに配置されていることが好ましい。
【００１８】
このように構成することにより、第１回転電極体や第２回転電極体にごくわずかの軸ぶれが存在していたとしても、この軸ぶれが静電容量に与える影響を少なくすることが可能となる。このため、基端側回転体と先端側回転体との間の回転方向に沿った位相差をさらに高精度に測定することが可能となり、ひいては回転負荷をさらに高精度で測定することが可能となる。 
【００１９】
（４）上記（１）〜（３）のいずれかに記載のスピンドルモータにおいては、前記筒状筐体における前記基端側回転体との対向面及び前記筒状筐体における前記先端側回転体側との対向面には、空気静圧軸受が配設されていることが好ましい。
【００２０】
このように構成することにより、筒状筐体に対する基端側回転体の回転抵抗及び筒状筐体に対する先端側回転体の回転抵抗をともに極めて小さなレベルにまで低減することが可能となり、回転負荷の値が変化するのに応じて基端側回転体と先端側回転体との間の回転位相差が変化し易くなる。このため、回転負荷をさらに高精度で測定することが可能となる。
【００２１】
空気静圧軸受としては、多孔質絞り、オリフィス絞り、自成絞り、表面絞りなどからなる空気静圧軸受を用いることができるが、軸受内部に空気を均一に供給することができ剛性が高く負荷容量の高い多孔質絞りからなる空気静圧軸受を特に好適に用いることができる。
【００２２】
（５）上記（１）〜（４）のいずれかに記載のスピンドルモータにおいては、前記回転力伝達部材は、前記基端側回転体と前記先端側回転体との間に機械的遊びの無い状態で配設されている回転力伝達棒であることが好ましい。
【００２３】
このため、上記（５）に記載のスピンドルモータによれば、基端側回転体の回転力を先端側回転体に伝達するのに回転力伝達棒を用いているため、回転負荷を従来よりも高精度で測定するために回転力伝達棒の太さを比較的細くしたとしても、従来のように帯状片の厚さを薄くする場合と比べれば、回転力伝達棒の剛性の低下を十分に抑制することが可能となる。その結果、上記（５）に記載のスピンドルモータによれば、微細な穴から比較的大きな穴までの比較的広い範囲（例えば、３０μｍ〜５００μｍ。）の穴を形成することが可能となり、本発明の第２の目的が達成される。
【００２４】
また、上記（５）に記載のスピンドルモータによれば、上記したように、回転力伝達棒の太さを比較的細くしたとしても、回転力伝達棒の剛性の低下を十分に抑制することが可能となるため、穴を高速かつ高精度で形成することが可能となる。
【００２５】
上記（５）に記載のスピンドルモータにおいては、回転力伝達棒の断面形状は、円又は正多角形（正三角形、正方形、正五角形、正六角形、正八角形等）であることが好ましい。回転力伝達棒の断面形状がこれらの形状である場合には、回転力伝達棒の太さを比較的細くしても剛性が低下しにくいからである。
【００２６】
（６）上記（１）〜（５）のいずれかに記載のスピンドルモータにおいては、前記穿孔工具把持部からの送り負荷を測定する送り負荷測定装置をさらに有することが好ましい。
【００２７】
このように構成することにより、上記（６）に記載のスピンドルモータを用いて穿孔加工装置を構成する場合に外付けの送り負荷測定装置を別途設ける必要がなくなるため、穿孔加工装置の構成を簡易なものにして穿孔加工装置を小型化することが可能となる。また、穿孔加工装置を使用する際の作業性やメンテナンス性が向上する。
【００２８】
（７）上記（６）に記載のスピンドルモータにおいては、前記送り負荷測定装置は、送り方向に沿って前記穿孔工具把持部と一体となって移動する測定電極と、前記筒状筐体に固定され、前記測定電極に対向配置された固定電極と、前記固定電極と前記測定電極との間の静電容量を測定する第２静電容量測定回路とを有することが好ましい。
【００２９】
このように構成することにより、送り負荷を非接触で測定することが可能となり、送り負荷を高精度で測定することが可能となる。 
【００３０】
（８）上記（６）又は（７）に記載のスピンドルモータにおいては、前記送り負荷に対抗して前記穿孔工具把持部を先端側に向けて押圧する押圧装置をさらに有することが好ましい。
【００３１】
送り負荷を高精度で測定するためには、送り負荷を受ければ穿孔工具把持部が容易に後退するような比較的柔軟な支持構造を採用することが好ましいが、このような場合には、当該支持構造の剛性が不足しがちになる。これに対して、上記（８）に記載のスピンドルモータによれば、このような支持構造の剛性の不足を補うことが可能となる。
【００３２】
（９）本発明の穿孔加工装置は、上記（１）〜（８）のいずれかに記載のスピンドルモータと、所定の送り動作によって前記スピンドルモータを送り方向に沿って移動させる送り駆動装置と、穿孔加工対象物品を把持する穿孔加工対象物品把持部とを有することを特徴とする。
【００３３】
このため、上記（９）に記載の穿孔加工装置によれば、上記（１）〜（８）のいずれかに記載のスピンドルモータを有するため、回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが可能となり、また、微細な穴から比較的大きな穴までの比較的広い範囲の穴を形成することが可能となる。
【００３４】
（１０）本発明の穿孔加工装置は、上記（６）〜（８）のいずれかに記載のスピンドルモータと、所定の送り動作によって前記スピンドルモータを送り方向に沿って移動させる送り駆動装置と、穿孔加工対象物品を把持する穿孔加工対象物品把持部とを有する穿孔加工装置であって、前記回転負荷測定装置により測定された回転負荷と、前記送り負荷測定装置により測定された送り負荷とによって表される負荷データが、回転負荷と送り負荷とを変数とする所定の負荷限界値を超えた場合に、前記所定の送り動作を中断するように構成されていることを特徴とする。
【００３５】
このため、上記（１０）に記載の穿孔加工装置によれば、上記（９）に記載の穿孔加工装置が有する効果に加えて、以下の効果を有する。すなわち、外付けの送り負荷測定装置を別途設ける必要がなくなるため、穿孔加工装置の構成を簡易なものにして穿孔加工装置を小型化することが可能となる。また、穿孔加工装置を使用する際の作業性やメンテナンス性が向上する。
【００３６】
また、回転負荷測定装置の測定結果と送り負荷測定装置の測定結果とに基づいて回転負荷と送り負荷とを精度良く測定することが可能となるため、穿孔工具の破損を的確に予測することにより穿孔工具の折損をより確実に防止することが可能となり、信頼性が高く、かつ、効率的な穿孔加工を実現することが可能となる。 
【００３７】
上記（１０）に記載の穿孔加工装置においては、前記負荷データが前記負荷限界値を超えた場合に、前記所定の送り動作を中断するとともに前記所定の送り動作についての送り方向とは逆方向に所定量だけ前記スピンドルモータを戻し、その後、前記所定の送り動作を中断したときの送り位置よりも所定量手前の位置まで前記スピンドルモータを高速で送り、さらにその後、所定の送り動作を行うように構成されていることが好ましい。
【００３８】
このように構成することにより、穿孔加工再開までにおける穿孔工具の破損事故を防止しながら、穿孔作業の中断時間を短縮化して穿孔加工の生産性を向上することが可能となる。 
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明のスピンドルモータ及び穿孔加工装置について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
【００４０】
［実施形態１］
実施形態１は、本発明のスピンドルモータを説明するための実施形態である。
【００４１】
図１は、実施形態１に係るスピンドルモータ１００を説明するために示す縦断面図である。図２及び図３は、回転負荷測定装置１７０を説明するために示す図である。図２（ａ）は回転負荷測定装置１７０の縦断面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）の符号Ｂ１で示す部分の拡大図であり、図２（ｃ）は図２（ａ）の符号Ｂ２で示す部分の拡大図である。図３（ａ）は回転負荷測定装置１７０の横断面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）の符号Ｂ３で示す部分の拡大図であり、図３（ｃ）は図３（ａ）の符号Ｂ４で示す部分の拡大図である。なお、図３（ａ）は図２（ａ）のＡ１−Ａ１断面を示している。
【００４２】
図４は、第１コンデンサＣ１、第２コンデンサＣ２及び第３コンデンサＣ３とが直列接続されている様子を示す図である。図５は、回転負荷が変化したときに第１突起部１７６の第１対向電極面１７６ａと第２突起部１７７の第２対向電極面１７７ａとの間隔が変化する様子を示す図である。図６は、実施形態１に係るスピンドルモータ１００における回転負荷と合成静電容量との関係を示す図である。図７は、電気回路５０における第１電極Ｅ１−第２電極Ｅ２間の合成静電容量の時間変化を示す図である。
【００４３】
図８は、送り負荷測定装置１８０を説明するために示す図である。図８（ａ）は送り負荷測定装置１８０の縦断面図であり、図８（ｂ）は図８（ａ）の符号Ｂ５で示す部分の拡大図であり、図８（ｃ）は図８（ａ）の符号Ｂ６で示す部分の拡大図であり、図８（ｄ）は送り負荷測定装置１８０の横断面図である。なお、図８（ｄ）は図８（ａ）のＡ２−Ａ２断面を示している。
【００４４】
図９は、第４コンデンサＣ４及び第５コンデンサＣ５が直列接続されている様子を示す図である。図１０は、実施形態１に係るスピンドルモータ１００における送り負荷と合成静電容量との関係を示す図である。図１１は、電気回路５２における第４電極Ｅ４−第５電極Ｅ５間の合成静電容量の時間変化を示す図である。
【００４５】
なお、以下の説明においては、特に説明のない限り、「基端側」とは図１の右側（送り負荷測定装置１８０側）のことをいい、「先端側」とは図１の左側（穿孔工具把持部１５０側）のことをいう。
【００４６】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００は、図１に示すように、穿孔加工装置（後述する実施形態２及び図１２参照。）に用いるためのスピンドルモータである。
【００４７】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００は、図１に示すように、筒状筐体１１０と、筒状筐体１１０内で回転可能なモータ１２０と、筒状筐体１１０内でモータ１２０と一体になって回転可能な基端側回転体１３０と、筒状筐体１１０内で基端側回転体１３０とともに回転可能な先端側回転体１４０と、先端側回転体１４０と一体になって回転可能な穿孔工具把持部１５０と、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間の回転力伝達経路途中に配設され、基端側回転体１３０の回転力を先端側回転体１４０に伝達する回転力伝達部材１６０と、回転力伝達部材１６０の捩れ変形に基づいて基端側回転体１３０に対する先端側回転体１４０の回転負荷を測定する回転負荷測定装置１７０と、穿孔工具把持部１５０からの送り負荷を測定する送り負荷測定装置１８０と、送り負荷に対抗して穿孔工具把持部１５０を先端側に向けて押圧する押圧装置１９０とを有する。
【００４８】
なお、筒状筐体１１０、モータ１２０、基端側回転体１３０、先端側回転体１４０、穿孔工具把持部１５０、回転力伝達部材１６０などは、単一の部材からなっていてもよいし、複数の部材からなっていてもよい。
【００４９】
回転負荷測定装置１７０は、図２、図３及び図５に示すように、基端側回転体１３０の先端側に固定され、外周部に第１外周電極面１７４ａ（図２（ｃ）参照。）を有する円筒状の第１回転電極体１７４と、第１回転電極体１７４から先端側に向けて突出し、第１対向電極面１７６ａ（図３（ｂ）参照。）を有する第１突起部１７６と、第１回転電極体１７４の外周側に配置され、第１外周電極面１７４ａに対向する第１内周電極面１７２ａ（図２（ｃ）参照。）を有する第１固定電極体１７２と、先端側回転体１４０の基端側に固定され、外周部に第２外周電極面１７５ａ（図２（ｂ）参照。）を有する円筒状の第２回転電極体１７５と、第２回転電極体１７５から基端側に向けて突出し、第１対向電極面１７６ａに対向する第２対向電極面１７７ａ（図３（ｂ）参照。）を有する第２突起部１７７と、第２回転電極体１７５の外周側に配置され、第２外周電極面１７５ａに対向する第２内周電極面１７３ａ（図２（ｂ）参照。）を有する第２固定電極体１７３と、静電容量測定回路（図示せず。）とを有する静電容量測定方式の回転負荷測定装置である。
【００５０】
静電容量測定回路は、第１内周電極面１７２ａと第１外周電極面１７４ａとの間に形成される第１コンデンサＣ１（図２（ｃ）参照。）、第１対向電極面１７６ａと第２対向電極面１７７ａとの間に形成される第２コンデンサＣ２（図３（ｂ）参照。）及び第２外周電極面１７５ａと第２内周電極面１７３ａとの間に形成される第３コンデンサＣ３（図２（ｂ）及び図３（ｃ）参照。）の直列接続により構成される電気回路５０（図４参照。）における電極Ｅ１-電極Ｅ２間の合成静電容量を測定する静電容量測定回路である。
【００５１】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、第１内周電極面１７２ａと第１外周電極面１７４ａとが対向する部分の面積をＳ１とし、第１対向電極面１７６ａと第２対向電極面１７７ａとが対向する部分の面積をＳ２とし、第２内周電極面１７３ａと第２外周電極面１７５ａとが対向する部分の面積をＳ３としたとき、通常、Ｓ１はＳ２の１０倍よりも大きく、かつ、Ｓ３はＳ２の１０倍よりも大きく形成されている。
【００５２】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、図２（ａ）、図３（ａ）及び図５に示すように、第１突起部として２個の第１突起部１７６が第１固定電極体１７４から突出し、第２突起部として２個の第２突起部１７７が第２固定電極体１７５から突出し、２個の第１突起部１７６及び２個の第２突起部１７７は、それぞれ回転方向に沿って１８０°おきに配置されている。
【００５３】
第１外周電極面１７４ａ及び第２外周電極面１７５ａは、それぞれ適正な公差管理が行われている加工工程で成形加工がなされており、また、第１内周電極面１７２ａ及び第２内周電極面１７３ａも、それぞれ適正な公差管理が行われている加工工程で成形加工がなされている。 
【００５４】
第１対向電極面１７６ａと第２対向電極面１７７ａとの間隔ｄ（図示せず。）は、例えば、回転負荷がなくて位相差がないときに１０μｍとなり、回転負荷が大きくなって位相差が大きくなったときに１０μｍよりも大きくなるように設定する。  
【００５５】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、回転負荷が大きくなると、第１対向電極面１７６ａと第２対向電極面１７７ａとの間隔ｄが大きくなり、第２コンデンサＣ２の静電容量が小さくなるため、図６に示すように、電気回路５０の合成静電容量も小さくなる。
【００５６】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００を用いて穿孔作業中に「回転負荷１」がかかった場合には、図７に示すように、電気回路５０の合成静電容量が小さくなるため、これに対応して即座に穿孔工具を後退させることにより穿孔工具の破損を免れることが可能となる。なお、実施形態１に係るスピンドルモータ１００を用いて穿孔作業中に「回転負荷２」がかかった場合にも、電気回路５０の合成静電容量が小さくなるが、これに対応して即座に穿孔工具を後退させないと穿孔工具の破損を招来することとなる。
【００５７】
筒状筐体１１０の内周面における基端側回転体１３０との対向面には、図１に示すように、多孔質絞りからなる第１空気静圧軸受１１２が配設されており、筒状筐体１１０の内周面における先端側回転体側１４０との対向面には、多孔質絞りからなる第２空気静圧軸受１１４が配設されている。先端側回転体１４０は鍔部１４２を有し、筒状筐体１１０における鍔部１４２との対向面には、多孔質絞りからなる第３空気静圧軸受１１６及び第４空気静圧軸受１１８が配設されている。
【００５８】
回転力伝達部材１６０は、図１に示すように、円柱状の細径部１６２と、細径部１６２の両端に一体化された基端側太径部１６４及び先端側太径部１６６とを有し、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間に機械的遊びの無い状態で配設されている。
【００５９】
回転力伝達部材１６０は、回転方向に沿って捩れ変形可能な部材、例えば、金属（例えば、ステンレス鋼、各種工具鋼その他の比較的剛性が高く、弾性降伏点の高い金属。）製の丸棒（例えば外径１．０ｍｍ。）からなる。
【００６０】
送り負荷測定装置１８０は、図８に示すように、送り方向に沿って穿孔工具把持部１５０と一体となって移動する測定電極１８２と、筒状筐体１１０に固定され、測定電極１８２に対向配置された固定電極としての第１固定電極１８４及び第２固定電極１８５と、第２静電容量測定回路（図示せず。）とを有する静電容量測定方式の送り負荷測定装置である。測定電極１８２は、駆動軸１８１を介して穿孔工具把持部１５０に固定されており、第１固定電極１８４及び第２固定電極１８５は、固定電極支持部１８３の内部に収納されている。
【００６１】
第２静電容量測定回路は、第１固定電極１８４の第１固定電極面１８４ａと測定電極１８２の測定電極面１８２ａとの間に形成される第４コンデンサＣ４（図８（ｂ）参照。）及び測定電極１８２の測定電極面１８２ａと第２固定電極１８５の第２固定電極面１８５ａとの間に形成される第５コンデンサＣ５（図８（ｃ）参照。）の直列接続により構成される電気回路５２（図９参照。）における第４電極Ｅ４−第５電極Ｅ５間の合成静電容量を測定する。
【００６２】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、送り負荷が大きくなると、間隔ｄが小さくなり、図１０に示すように、第４コンデンサＣ４及び第５コンデンサＣ５の合成静電容量が大きくなる。
【００６３】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００を用いて穿孔作業中に「送り負荷１」がかかった場合には、図１１に示すように、電気回路５２の合成静電容量が大きくなるため、これに対応して即座に穿孔工具を後退させることにより穿孔工具の破損を免れることが可能となる。なお、実施形態１に係るスピンドルモータ１００を用いて穿孔作業中に「送り負荷２」がかかった場合にも、電気回路５２の合成静電容量が大きくなるが、これに対応して即座に穿孔工具を後退させないと、穿孔工具の破損を招来することとなる。
【００６４】
以上のように構成された実施形態１に係るスピンドルモータ１００によれば、回転力伝達部材１６０の捩れ変形に基づいて回転負荷を測定することが可能となるため、穿孔工具の破損を的確に予測することにより穿孔工具の折損をより確実に防止することが可能となり、信頼性が高く、かつ、効率的な穿孔加工を実現することが可能となる。
【００６５】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００によれば、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間の回転方向に沿った位相差によって変化する静電容量を測定することにより回転負荷を測定することが可能となるため、回転負荷を非接触で測定することが可能となり、回転負荷を高精度で測定することが可能となる。また、回転負荷の測定を行うことに起因する回転抵抗を極めて小さいレベルにまで低減することが可能となるため、安定した回転状態を維持できるようになり、高速かつ高精度で穿孔加工を行うことが可能となる。
【００６６】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００によれば、上記したように、３つのコンデンサ（第１コンデンサＣ１、第２コンデンサＣ２及び第３コンデンサＣ３）の直列接続により構成される電気回路の合成静電容量を測定するだけで回転負荷を測定することが可能となるため、また、その際、当該電気回路５０の合成静電容量を、第１回転電極体１７４及び第２回転電極体１７５に接触することなく測定することが可能となるため回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが可能となる。
【００６７】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００によれば、第２コンデンサＣ２の静電容量が第１コンデンサＣ１の静電容量又は第３コンデンサＣ３の静電容量よりも極めて小さいため、３つのコンデンサの直列接続により構成される電気回路５０の合成静電容量は、第２コンデンサＣ２の静電容量が支配的になる。このため、電気回路５０の合成静電容量を測定すれば、実質的には第１コンデンサＣ１の静電容量及び第３コンデンサＣ３の静電容量の影響を受けずに第２コンデンサＣ２の静電容量を測定することとなり、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間の回転方向に沿った位相差を高精度に測定することが可能となる。その結果、回転負荷を高精度で測定することが可能となり、従来の穿孔加工装置よりも微細な穴（例えば、内径３０μｍ以下。）を形成することが可能となる。
【００６８】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、２個の第１突起部１７６及び２個の第２突起部１７７は、それぞれ回転方向に沿って１８０°おきに配置されているため、第１回転電極体１７４や第２回転電極体１７５にごくわずかの軸ぶれが存在していたとしても、この軸ぶれが静電容量に与える影響を少なくすることが可能となる。このため、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間の回転方向に沿った位相差をさらに高精度に測定することが可能となり、ひいては回転負荷をさらに高精度で測定することが可能となる。 
【００６９】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、第１外周電極面１７４ａ及び第２外周電極面１７５はそれぞれ適正な公差管理が行われている加工工程で成形加工がなされており、また、第１内周電極面１７２ａ及び第２内周電極面１７３ａもそれぞれ適正な公差管理が行われている加工工程で成形加工がなされているため、電気回路５０の合成静電容量を安定して測定することが可能となる。このため、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間の回転方向に沿った位相差をさらに高精度に測定することが可能となり、ひいては回転負荷をさらに高精度で測定することが可能となる。 
【００７０】
実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、筒状筐体１１０における基端側回転体１３０との対向面には第１空気静圧軸受１１２が配設されており、筒状筐体１１０における先端側回転体１４０との対向面には第２空気静圧軸受１１４が配設されているため、筒状筐体１１０に対する基端側回転体１３０の回転抵抗及び筒状筐体１１０に対する先端側回転体１４０の回転抵抗をともに極めて小さなレベルにまで低減することが可能となり、回転負荷の値が変化するのに応じて基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間の回転位相差が変化し易くなる。このため、回転負荷をさらに高精度で測定することが可能となる。
【００７１】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、回転力伝達部材１６０は、基端側回転体１３０と先端側回転体１４０との間に機械的遊びの無い状態で配設されている回転力伝達棒であるため、回転力伝達棒の太さを比較的細くしたとしても、従来のように帯状片の厚さを薄くする場合と比べれば、回転力伝達棒の剛性の低下を十分に抑制することが可能となる。その結果、実施形態１に係るスピンドルモータ１００によれば、微細な穴から比較的大きな穴までの比較的広い範囲（例えば、３０μｍ〜５００μｍ。）の穴を形成することが可能となる。
【００７２】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００によれば、上記したように、回転力伝達部部材１６０の太さを比較的細くしたとしても、回転力伝達棒の剛性の低下を十分に抑制することが可能となるため、穴を高速かつ高精度で形成することが可能となる。
【００７３】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、穿孔工具把持部１５０からの送り負荷を測定する送り負荷測定装置１８０をさらに有するため、スピンドルモータ１００を用いて穿孔加工装置を構成する場合に外付けの送り負荷測定装置を別途設ける必要がなくなる。このため、穿孔加工装置の構成を簡易なものにして穿孔加工装置を小型化することが可能となる。また、穿孔加工装置を使用する際の作業性やメンテナンス性が向上する。
【００７４】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、送り負荷測定装置１８０は、送り方向に沿って穿孔工具把持部１５０と一体となって移動する測定電極１８２と、筒状筐体１１０に固定され、測定電極１８２に対向配置された固定電極としての第１固定電極１８４及び第２固定電極１８５と、第２静電容量測定回路（図示せず。）とを有する静電容量測定方式の送り負荷測定装置であるため、送り負荷を非接触で測定することが可能となり、送り負荷を高精度で測定することが可能となる。 
【００７５】
また、実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、送り負荷に対抗して穿孔工具把持部１５０を先端側に向けて押圧する押圧装置１９０をさらに有するため、穿孔工具把持部１５０を支持するための支持構造の剛性の不足を補うことが可能となる。
【００７６】
［実施形態２］
実施形態２は、本発明の穿孔加工装置を説明するための実施形態である。
【００７７】
図１２は、実施形態２に係る穿孔加工装置１０を説明するために示す図である。図１３は、実施形態２に係る穿孔加工装置１０における負荷限界直線Ｆに基づいて制御された負荷データを示すグラフである。図１４は、実施形態２の穿孔加工装置１０における制御系の構成を示すブロック図である。図１５は、実施形態２の穿孔加工装置１０における送り動作を説明するために示す図である。
【００７８】
実施形態２に係る穿孔加工装置１０は、図１２に示すように、スピンドルモータ１００と、所定の送り動作によってスピンドルモータ１００を送り方向（図１２の左右方向。）に沿って移動させる送り駆動装置２０と、穿孔加工対象物品Ｗを把持する穿孔加工対象物品把持装置４０とを有する穿孔加工装置である。
【００７９】
スピンドルモータ１００は、実施形態１で説明したとおりのスピンドルモータである。
【００８０】
送り駆動装置２０は、ベース２２と、送り駆動モータ２４と、送り駆動モータ２４によって回転可能な送りねじ２６と、送りねじ２６と螺合して送り方向に移動可能な移動台２８と、移動台２８に固定されているスピンドルモータ固定部３０とを有する。
【００８１】
穿孔加工対象物品把持装置４０は、基台部４２と、穿孔加工対象物品把持部４４とを有し、穿孔加工対象物品把持部４４には穿孔加工対象物品Ｗが取り付けられる。ここで、穿孔加工対象物品把持部４４は、基台部４２に内蔵された図示しない回転駆動モータによって回転駆動されるように構成されている。なお、穿孔加工対象物品把持部４４の位置を上下、左右、前後方向に調整可能に構成してもよい。
【００８２】
スピンドルモータ１００の穿孔工具把持部１５０には、穿孔工具Ｄが取り付けられている。
【００８３】
実施形態２に係る穿孔加工装置１０は、スピンドルモータ１００における回転負荷測定装置１７０により測定された回転負荷と、スピンドルモータ１００における送り負荷測定装置１８０により測定された送り負荷とによって表される負荷データが、回転負荷と送り負荷とを変数とする負荷限界直線Ｆを超えた場合に、所定の送り動作を中断するように構成されている（図１３参照。）。
【００８４】
以上のように構成された実施形態２に係る穿孔加工装置１０によれば、実施形態１に係るスピンドルモータ１００を有するため、回転負荷測定装置の構成を単純にして信頼性を高くするとともに製造コストを低減することが可能な穿孔加工装置となる。また、微細な穴から比較的大きな穴までの比較的広い範囲の穴を形成することが可能な穿孔加工装置となる。
【００８５】
また、実施形態２に係る穿孔加工装置１０によれば、回転負荷測定装置１７０の測定結果と送り負荷測定装置１８０の測定結果とに基づいて回転負荷と送り負荷とを精度良く測定することが可能となるため、穿孔工具Ｄの破損を的確に予測することにより穿孔工具Ｄの折損をより確実に防止することが可能となり、信頼性が高く、かつ、効率的な穿孔加工を実現することが可能となる。 
【００８６】
実施形態２に係る穿孔加工装置１０においては、図１４に示すように、ＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）などからなる制御装置２１０が設けられ、制御装置２１０は、回転負荷測定装置１７０からの測定信号及び送り負荷測定装置１８０からの測定信号を受け、これらの測定信号の値に応じて上記の回転負荷（ラジアル方向負荷）及び送り負荷（スラスト方向負荷）を求め、これらの負荷値に応じて送り駆動モータ２４を駆動制御するように構成されている。この場合に、負荷値に応じた制御態様として、送り駆動モータ２４に加えてスピンドルモータ１００におけるモータ１２０の回転量を制御するようにしてもよい。例えば、送り駆動モータ２４による送り動作を中断し、若しくは、逆方向に送る際には、スピンドルモータ１００におけるモータ１２０の回転量を低下させたり、或いは、回転方向を逆転させたりすることができる。
【００８７】
実施形態２に係る穿孔加工装置１０においては、制御装置２１０は、穿孔加工対象物品Ｗに穿孔工具Ｄが近接するまで図１５に示す高速送りモードＨで穿孔工具Ｄを送り、その後、低速送りモードＩで穿孔加工対象物品Ｗに対して接触し穿孔加工を行いながら送り続ける。この低速送りモードＩは、図１３に示す負荷限界直線Ｆを越えない負荷データが得られている間は継続される。その後、図１３中の負荷限界直線Ｆを超えた負荷データが得られた時点で、穿孔工具Ｄの送り動作を中断し、高速戻しモードＪで穿孔工具Ｄを穿孔加工対象物品Ｗ内から脱出するまで引き戻す。さらにその後、再び高速送りモードＨで穿孔加工対象物品Ｗ内に入るように送り、先ほど加工した最先端位置（加工穴の最深部）よりも少し手前で低速送りモードＩに移行し、加工を再開する。以後、上記と同様の送り動作の中断、戻り、再加工の繰り返し動作を、負荷限界直線Ｆを超えた負荷データが発生する都度同様に実施して、断続的な加工を行っていく。
【００８８】
最終的に目的の穿孔深さが得られると送り動作は停止され、高速戻しモードＪで穿孔工具Ｄは穿孔加工対象物品Ｗから離反される。また、目的の穿孔深さが得られない時点でも、異常な状況が生じた場合、すなわち、穿孔工具Ｄの寿命が尽きたと考えられる場合及び加工状態に異常が発生したと考えられる場合には、加工を終了して、高速戻しモードＪで穿孔加工対象物品Ｗから穿孔工具Ｄを離反させる。
【００８９】
上記の穿孔工具Ｄの寿命が尽きたと考えられる場合とは、図１３に示す負荷限界直線Ｆを超える負荷データが得られたときになされる送り動作の中断が頻繁になり、加工がほとんど進まなくなった場合である。また、加工状態に異常が発生したと考えられる場合とは、穿孔時に穿孔工具Ｄに切りくずなどが絡み、切りくずが排出されない状態が何らかの理由で解消されず、良好な穿孔加工ができなくなった場合である。いずれの場合にも、そのまま穿孔加工を継続しても穿孔加工が進まないか、或いは、穿孔工具Ｄが破損する可能性が極めて高いため、穿孔加工を終了させるのである。
【００９０】
以上、本発明のスピンドルモータ及び穿孔加工装置を上記の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【００９１】
（１）実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、第１外周電極面１７４ａ及び第２外周電極面１７５ａは、それぞれ適正な公差管理が行われている加工工程で成形加工がなされており、また、第１内周電極面１７２ａ及び第２内周電極面１７３ａは、それぞれ適正な公差管理が行われている加工工程で成形加工がなされているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、第１外周電極面１７４ａ及び第２外周電極面１７５ａは、同一加工工程で成形加工がなされていてもよい。また、第１内周電極面１７２ａ及び第２内周電極面１７３ａも、同一加工工程で成形加工がなされていてもよい。
【００９２】
（２）実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、回転負荷が大きくなると合成静電容量が小さくなる構成の回転負荷測定装置１７０を有しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、回転負荷が大きくなると合成静電容量が大きくなる構成の回転負荷装置を有していてもよい。
【００９３】
（３）実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、第１空気静圧軸受１１２、第２空気静圧軸受１１４、第３空気静圧軸受１１６及び第４空気静圧軸受１１８として多孔質絞りからなる空気静圧軸受を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、オリフィス絞り、自成絞り、表面絞りなどからなる空気静圧軸受を用いることもできる。
【００９４】
（４）鍔部実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、先端側回転体１４０が鍔部１４２を有しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、基端側回転体が鍔部を有していてもよい。
【００９５】
（５）実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、回転力伝達部材１６０として、円柱状（断面が円形状）の細径部を有する回転力伝達棒を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、断面が正多角形（正三角形、正方形、正五角形、正六角形、正八角形等）の形状の細径部を有する回転力伝達棒を用いることもできる。
【００９６】
（６）実施形態１に係るスピンドルモータ１００においては、送り負荷が大きくなると合成静電容量が大きくなる構成の送り負荷測定装置１８０を有しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、送り負荷が大きくなると合成静電容量が小さくなる構成の送り負荷測定装置を有していてもよい。
【００９７】
（７）実施形態２に係る穿孔加工装置１０においては、送り負荷測定装置１８０を有するスピンドルモータ１００を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、外付けの送り負荷測定装置を用いる場合には、送り負荷測定装置を有しないスピンドルモータを用いることもできる。
【００９８】
（８）実施形態２に係る穿孔加工装置１０においては、スピンドルモータ１００を横置きにした場合を例にとって本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、スピンドルモータ１００を縦置きにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】実施形態１に係るスピンドルモータ１００を説明するために示す縦断面図である。
【図２】回転負荷測定装置１７０を説明するために示す図である。
【図３】回転負荷測定装置１７０を説明するために示す図である。
【図４】第１コンデンサＣ１、第２コンデンサＣ２及び第３コンデンサＣ３が直列接続されている様子を示す図である。
【図５】回転負荷が変化したときに第１突起部１７６の第１対向電極面１７６ａと第２突起部１７７の第２対向電極面１７７ａとの間隔が変化する様子を示す図である。
【図６】実施形態１に係るスピンドルモータ１００における回転負荷と合成静電容量との関係を示す図である。
【図７】電気回路５０における第１電極Ｅ１−第２電極Ｅ２間の合成静電容量の時間変化を示す図である。
【図８】送り負荷測定装置１８０を説明するために示す図である。
【図９】第４コンデンサＣ４及び第５コンデンサＣ５が直列接続されている様子を示す図である。
【図１０】実施形態１に係るスピンドルモータ１００における送り負荷と合成静電容量との関係を示す図である。
【図１１】電気回路５２における第４電極Ｅ４−第５電極Ｅ５間の合成静電容量の時間変化を示す図である。
【図１２】実施形態２に係る穿孔加工装置１０を説明するために示す図である。
【図１３】実施形態２に係る穿孔加工装置１０における負荷限界直線Ｆに基づいて制御された負荷データを示すグラフである。
【図１４】実施形態２の穿孔加工装置１０における制御系の構成を示すブロック図である。
【図１５】実施形態２の穿孔加工装置１０における送り動作を説明するために示す図である。
【図１６】従来の穿孔加工装置９００を説明するために示す図である。
【符号の説明】
【０１００】
１０，９００…穿孔加工装置、２０，９１０…送り駆動装置、２２，９１１…ベース、２４，９１３…送り駆動モータ、２６，９１２…送りねじ、２８…移動台、３０…スピンドルモータ固定部、４０，９３０…穿孔加工対象物品把持装置、４２，９３１…基台部、４４，５０，５２…電気回路、９３２…加工対象物品把持部、１００…スピンドルモータ、１１０…筒状筐体、１１２…第１空気静圧軸受、１１４…第２空気静圧軸受、１１６…第３空気静圧軸受、１１８…第４空気静圧軸受、１２０…モータ、１２２…ステータ、１２４…ロータ、１３０…基端側回転体、１４０…先端側回転体、１４２…鍔部、１５０…穿孔工具把持部、１６０…回転力伝達部材、１６２…細径部、１６４…基端側太径部、１６６…先端側太径部、１７０，９５０…回転負荷測定装置、１７１…回転負荷測定装置支持体、１７２…第１固定電極体、１７２ａ…第１内周電極面、１７３…第２固定電極体、１７３ａ…第２内周電極面、１７４…第１回転電極体、１７４ａ…第１外周電極面、１７５…第２回転電極体、１７５ａ…第１外周電極面、１７６…第１突起部、１７６ａ…第１対向電極面、１７７…第２突起部、１７７ａ…第２対向電極面、１８０…送り負荷測定装置、１８１…駆動軸、１８２…測定電極、１８２ａ…測定電極面、１８３…固定電極支持体、１８４…第１固定電極、１８４ａ…第１固定電極面、１８５…第２固定電極、１８５ａ…第２固定電極面、１９０…押圧装置、２００…圧縮空気供給装置、２０２…圧縮空気供給路、２１０…制御装置、９１４…螺合部、９１５…送り台、９１６，９２３…軸支部、９１７…スピンドル、９１７ａ，９２４ａ…反射面、９１７ｂ，９２４ｂ…スリット、９１８…チャック、９２０…回転駆動装置、９２１…回転駆動モータ、９２２…駆動ベルト、９２３…軸支部、９２４…回転駆動軸、９２５…回転変形部、９２５ａ，９２５ｂ…端部、９４１，９４２…支持枠、９４３，９４４…発光素子、９４５，９４６…受光素子、９４７…軸受体、９４８…送り変形部、９４９…歪センサ、９５２，９５４…回転状態測定手段、Ｃ１…第１コンデンサ、Ｃ２…第２コンデンサ、Ｃ３…第３コンデンサ、Ｃ４…第４コンデンサ、Ｃ５…第５コンデンサ、Ｄ…穿孔工具、Ｅ１…第１電極、Ｅ２…第２電極、Ｅ４…第４電極、Ｅ５…第５電極、Ｆ…負荷限界直線、Ｗ…穿孔加工対象物品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図５】
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