(57)【要約】【課題】簡単な構成で、基板サイズの変更に容易に対応することができ、作業性を良好に向上させることを可能にする。【解決手段】製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを貼り付け位置に搬送するウエブ搬送機構と、前記貼り付け位置にガラス基板２４を搬送する搬送部７６と、前記貼り付け位置で、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを前記ガラス基板２４に貼り付けて貼り付け基板２４ａを得る貼り付け機構４６と、前記貼り付け基板２４ａを搬送する貼り付け基板搬送機構８８とを備える。貼り付け基板搬送機構８８は、矢印Ｃ方向に沿って配列される搬送ユニット１００ａ〜１００ｅと、前記搬送ユニット１００ａ〜１００ｅを矢印Ｃ方向に進退可能にする搬送ユニット移動手段１０４とを備える。【選択図】図１
2008110491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも支持体上に感光材料層と保護フイルムとが積層される感光性ウエブを、貼り付け位置に搬送するウエブ搬送機構と、
前記貼り付け位置に基板を搬送する基板搬送機構と、
前記貼り付け位置で、少なくとも前記保護フイルムの一部が剥離されて露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け機構と、
前記貼り付け機構から前記貼り付け基板を搬送する貼り付け基板搬送機構と、
を備え、
前記貼り付け基板搬送機構は、貼り付け基板搬送方向に沿って配列される複数の搬送ユニットと、
前記複数の搬送ユニットの中、少なくとも１つの搬送ユニットを前記貼り付け基板搬送方向に進退可能にする搬送ユニット移動手段と、
を備えることを特徴とする貼り付け装置。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け装置において、前記搬送ユニットは、前記貼り付け基板に接触して前記貼り付け基板を搬送する複数の搬送ローラと、
前記複数の搬送ローラを駆動可能に装着する複数の架台と、
を備えることを特徴とする貼り付け装置。
【請求項３】
請求項２記載の貼り付け装置において、前記複数の架台の中、少なくとも１つの架台の前記貼り付け基板搬送方向端部には、複数の搬送ローラを前記貼り付け基板搬送方向に配列する搬送位置と、前記貼り付け基板搬送方向から離脱する退避位置とに位置変更可能な可動搬送部が設けられることを特徴とする貼り付け装置。
【請求項４】
請求項２又は３記載の貼り付け装置において、前記搬送ユニット移動手段は、前記貼り付け基板搬送方向に延在し、前記複数の架台を進退可能に一体的に支持するレール部材を備えることを特徴とする貼り付け装置。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１項に記載の貼り付け装置において、前記複数の架台の中、１つの架台には、各貼り付け基板から前記支持体を剥離する支持体剥離機構が配設されることを特徴とする貼り付け装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の貼り付け装置において、前記架台の貼り付け基板搬送面に対向して冷却機構が配設されるとともに、
前記冷却機構は、前記架台に沿って搬送される前記貼り付け基板を冷却する複数の冷却ユニットと、
前記複数の冷却ユニットを前記貼り付け基板搬送方向に進退可能にする冷却ユニット移動手段と、
を備えることを特徴とする貼り付け装置。
【請求項７】
請求項６記載の貼り付け装置において、前記冷却ユニットは、前記貼り付け基板に向かって冷却風を供給する複数の冷却風供給部を備え、
前記冷却ユニット移動手段は、前記貼り付け基板搬送方向に延在し、前記複数の冷却風供給部を進退可能に一体的に支持するレール部材を備えることを特徴とする貼り付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが積層される感光性ウエブを基板に貼り付けるための貼り付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図１０に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、通常、種々の異なるサイズの液晶パネルやプラズマディスプレイ等に対応して、多種類の基板サイズが設定されている。しかしながら、上記の特許文献１では、基板サイズの変更に容易に対応することができず、基板サイズ切り替え作業が相当に煩雑化するという問題がある。
【００１１】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成で、基板サイズの変更に容易に対応することができ、作業性を良好に向上させることが可能な貼り付け装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、少なくとも支持体上に感光材料層と保護フイルムとが積層される感光性ウエブを、貼り付け位置に搬送するウエブ搬送機構と、前記貼り付け位置に基板を搬送する基板搬送機構と、前記貼り付け位置で、少なくとも前記保護フイルムの一部が剥離されて露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けて貼り付け基板を得る貼り付け機構と、前記貼り付け機構から前記貼り付け基板を搬送する貼り付け基板搬送機構とを備えている。
【００１３】
そして、貼り付け基板搬送機構は、貼り付け基板搬送方向に沿って配列される複数の搬送ユニットと、前記複数の搬送ユニットの中、少なくとも１つの搬送ユニットを前記貼り付け基板搬送方向に進退可能にする搬送ユニット移動手段とを備えている。
【００１４】
また、搬送ユニットは、貼り付け基板に接触して前記貼り付け基板を搬送する複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラを駆動可能に装着する複数の架台とを備えることが好ましい。
【００１５】
さらに、複数の架台の中、少なくとも１つの架台の貼り付け基板搬送方向端部には、複数の搬送ローラを貼り付け基板搬送方向に配列する搬送位置と、前記貼り付け基板搬送方向から離脱する退避位置とに位置変更可能な可動搬送部が設けられることが好ましい。
【００１６】
さらにまた、搬送ユニット移動手段は、貼り付け基板搬送方向に延在し、複数の架台を進退可能に一体的に支持するレール部材を備えることが好ましい。
【００１７】
また、複数の架台の中、１つの架台には、各貼り付け基板から支持体を剥離する支持体剥離機構が配設されることが好ましい。
【００１８】
さらに、架台の貼り付け基板搬送面に対向して冷却機構が配設されるとともに、前記冷却機構は、前記架台に沿って搬送される貼り付け基板を冷却する複数の冷却ユニットと、前記複数の冷却ユニットを貼り付け基板搬送方向に進退可能にする冷却ユニット移動手段とを備えることが好ましい。
【００１９】
さらにまた、冷却ユニットは、貼り付け基板に向かって冷却風を供給する複数の冷却風供給部を備え、冷却ユニット移動手段は、貼り付け基板搬送方向に延在し、前記複数の冷却風供給部を進退可能に一体的に支持するレール部材を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明では、搬送方向のサイズの異なる貼り付け基板が製造される際に、所定の搬送ユニットが搬送ユニット移動手段を介して貼り付け基板搬送方向に沿って進退し、前記搬送ユニットの位置調整が行われる。このため、簡単な構成及び作業で、基板サイズの変更に確実に対応することができる。しかも、搬送ユニットを、例えば、貼り付け機構から離間させることにより、前記貼り付け機構のメンテナンスが容易に遂行される。これにより、汎用性に優れるとともに、作業性を良好に向上させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る貼り付け装置である感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００２２】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２３】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２４】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した各感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２５】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００２６】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。
【００２７】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２８】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２９】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００３０】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３１】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３２】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３３】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３４】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００３５】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３６】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００３７】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。また、ＣＣＤカメラは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向しない位置に配置してもよい。
【００３８】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部（基板搬送機構）７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００３９】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００４０】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００４１】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００４２】
ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４３】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から貼り付け基板搬送機構８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この貼り付け基板搬送機構８８の上流側には、ウエブ搬送機構を構成するフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂが配置されるとともに、このフイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの下流には、前記貼り付け基板搬送機構８８を構成する基板搬送ローラ９２が配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４４】
貼り付け基板搬送機構８８は、図４に示すように、貼り付け基板搬送方向（矢印Ｃ方向）に沿って配列される複数の可動型の搬送ユニット１００ａ〜１００ｅと、前記搬送ユニット１００ｅの下流に隣接する固定型の搬送部１０２と、前記複数の搬送ユニット１００ａ〜１００ｅを矢印Ｃ方向に進退可能にする搬送ユニット移動手段１０４とを備える。
【００４５】
搬送ユニット１００ａ〜１００ｅは、貼り付け基板２４ａに接触して前記貼り付け基板２４ａを搬送する複数の搬送ローラ１０６ａ〜１０６ｅと、前記複数の搬送ローラ１０６ａ〜１０６ｅを駆動可能に装着する複数の架台１０８ａ〜１０８ｅとを備える。架台１０８ａには、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ローラ９２が装着される。
【００４６】
搬送ユニット移動手段１０４は、矢印Ｃ方向に長尺に延在し、複数の架台１０８ａ〜１０８ｅを矢印Ｃ方向に進退可能に一体的に支持するレール部材（ＬＭガイド）１１０を備える。
【００４７】
複数の架台１０８ａ〜１０８ｅの中、少なくとも１つの架台１０８ｅの矢印Ｃ方向両端には、揺動アーム１１２ａ、１１２ｂがシリンダ１１３ａ、１１３ｂを介して鉛直下方向（退避位置）と水平方向（搬送位置）とに揺動自在に設けられる。揺動アーム１１２ａ、１１２ｂには、複数の搬送ローラ１０６ｆ、１０６ｇがそれぞれ個別に回転駆動可能に設けられる。
【００４８】
架台１０８ｅには、ベース自動剥離機構（支持体剥離機構）１１４が配設される。ベース自動剥離機構１１４は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１２０と剥離ローラ１２２と巻き取り軸１２４とを備えている。巻き取り軸１２４は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１２２に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。
【００４９】
プレ剥離部１２０は、搬送ローラ１２８、１３０と、剥離バー１３２とを備える。搬送ローラ１２８、１３０は、ガラス基板２４の搬送方向に進退可能である。剥離バー１３２は、ガラス基板２４間で昇降可能である。
【００５０】
また、剥離ローラ１２２又はその直前でフイルム面を３０℃〜１２０℃程度まで再加熱することにより、剥離時の色材層の剥がれが阻止されて、高品質なラミネート面を得ることができる。
【００５１】
架台１０８ｃ、１０８ｄの上方には、前記１０８ｃ、１０８ｄの貼り付け基板搬送面に対向して冷却機構１４０が配設される。冷却機構１４０は、矢印Ｃ方向に配列される複数の冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄと、前記冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄを矢印Ｃ方向に進退可能にする冷却ユニット移動手段１４４とを備える。
【００５２】
冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄは、ケーシング１４６ａ〜１４６ｄを備え、各ケーシング１４６ａ〜１４６ｄには、それぞれ冷却風供給部１４８ａ〜１４８ｄが収容される。各冷却風供給部１４８ａ〜１４８ｄは、貼り付け基板２４ａに向かって、すなわち、鉛直下方向に向かって冷却風を供給するように構成される。冷却ユニット移動手段１４４は、矢印Ｃ方向に延在し、ケーシング１４６ａ〜１４６ｄを矢印Ｃ方向に進退可能に一体的に支持するレール部材（ＬＭガイド）１５０を備える。
【００５３】
架台１０８ａ〜１０８ｅの少なくとも１つには、レール部材１１０に対して固定するためのストッパ手段（図示せず）が設けられる一方、ケーシング１４６ａ〜１４６ｄの少なくとも１つには、同様にレール部材１５０に対して固定するためのストッパ手段（図示せず）が設けられることが好ましい。
【００５４】
図１に示すように、搬送部１０２は、固定架台１５２を備え、この固定架台１５２上に複数の搬送ローラ１０６ｈが回転駆動可能に配設される。搬送部１０２には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１６０を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１６０が配設される。
【００５５】
固定架台１５２（又は固定架台１５２の下流）は、ターンコンベアを構成しており、貼り付け基板２４ａを位置決めする際に上昇させる昇降機構１７０を設ける。昇降機構１７０は、複数のシリンダ１７２を備え、各シリンダ１７２から上方に突出するロッド１７２ａには、ゴム部材（例えば、ゴムカップ）１７４が装着される。ゴム部材１７４は、貼り付け基板２４ａを持ち上げる際に、この貼り付け基板２４ａがずれることを確実に阻止することができる。
【００５６】
製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５７】
図１に示すように、ベース自動剥離機構１１４の下流には、複数の感光性積層体２０８が収容される感光性積層体ストッカー１９０が設けられる。ベース自動剥離機構１１４で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２０８は、ロボット１９２のハンド部１９２ａに設けられた吸着パッド１９４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９０に収容される。
【００５８】
製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５９】
基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００６０】
ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００６１】
ベース剥離制御部２０６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２０８を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２０８の情報をハンドリング制御する。
【００６２】
製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。
【００６３】
このように構成される製造装置２０の動作について、以下に説明する。
【００６４】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。この第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。
【００６５】
さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００６６】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６７】
例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図４に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００６８】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００６９】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００７０】
この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。
【００７１】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００７２】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。
【００７３】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００７４】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００７５】
その際、貼り付け基板２４ａは、図５に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００７６】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、貼り付け基板搬送機構８８を構成する各搬送ユニット１００ａ〜１００ｅを介して矢印Ｃ方向に搬送されるとともに、冷却機構１４０が駆動される。冷却機構１４０では、各冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄに設けられている冷却風供給部１４８ａ〜１４８ｄから下方に向かって冷却風が供給され、矢印Ｃ方向に搬送される貼り付け基板２４ａが冷却される。
【００７７】
貼り付け基板２４ａは、冷却機構１４０により冷却された後、プレ剥離部１２０に搬送される。このプレ剥離部１２０では、搬送ローラ１２８、１３０でガラス基板２４を支持した状態で、前記搬送ローラ１２８が前記ガラス基板２４と同速度で矢印Ｃ方向に移動する。
【００７８】
そして、剥離バー１３２が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。次いで、ベース自動剥離機構１１４では、巻き取り軸１２４の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。
【００７９】
ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算されるとともに、貼り付け状態が検査される。
【００８０】
この場合、第１の実施形態では、矢印Ｃ方向に配置されている複数の搬送ユニット１００ａ〜１００ｅが、搬送ユニット移動手段１０４を構成するレール部材１１０に沿って一体的に矢印Ｃ方向に進退可能に構成されている。このため、ガラス基板２４の矢印Ｃ方向のサイズが異なる際には、このガラス基板２４のサイズ変更に伴う貼り付け基板搬送機構８８の調整作業が容易且つ確実に遂行される。
【００８１】
例えば、矢印Ｃ方向の長さが比較的短尺なガラス基板２４が用いられる際、図４に示すように、揺動アーム１１２ａが退避位置に配置される一方、揺動アーム１１２ｂが搬送位置に配置されている。この状態で、ガラス基板２４の搬送を行いながら、冷却処理及びベースフイルム２６の自動剥離処理が遂行されている。
【００８２】
そこで、矢印Ｃ方向の寸法が長尺なガラス基板２４が用いられる際には、図７に示す配列状態に変更する。具体的には、搬送ユニット１００ｅの矢印Ｃ方向一端部に設けられている揺動アーム１１２ｂを鉛直下方向に揺動させ、複数の搬送ローラ１０６ｇを貼り付け基板搬送方向から離脱させる。次いで、搬送ユニット１００ｅをレール部材１１０の案内作用下に矢印Ｃ方向に移動させ、この搬送ユニット１００ｅを搬送部１０２に隣接して配置させる。
【００８３】
さらに、揺動アーム１１２ａを鉛直下方向から水平方向に揺動させて保持し、この揺動アーム１１２ａに設けられている複数の搬送ローラ１０６ｆを貼り付け基板搬送方向に配列させる。これにより、揺動アーム１１２ａが搬送位置に配置される一方、揺動アーム１１２ｂが退避位置に配置される。
【００８４】
なお、ガラス基板２４の矢印Ｃ方向の寸法に応じて、揺動アーム１１２ａ、１１２ｂを鉛直下方向に揺動させるとともに、各搬送ユニット１００ａ〜１００ｄの離間間隔を変更することもできる。その際、冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄの離間間隔は、搬送ユニット１００ａ〜１００ｄの離間間隔に対応して調整することが好ましい。
【００８５】
従って、第１の実施形態では、簡単な構成及び作業で、種々のサイズの異なるガラス基板２４に対応して、容易且つ確実に調整することができる。このため、汎用性に優れるとともに、作業性が良好に向上するという効果が得られる。
【００８６】
さらに、第１の実施形態では、図８に示すように、搬送ユニット１００ｅに設けられている揺動アーム１１２ａ、１１２ｂを鉛直下方向に揺動させた後、各搬送ユニット１００ａ〜１００ｅが搬送部１０２側に移動される。一方、冷却機構１４０を構成する各冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄが、矢印Ｃ方向に移動される。
【００８７】
これにより、貼り付け機構４６と貼り付け基板搬送機構８８との間には、作業用のスペース２２０を確保することが可能になる。従って、特に、貼り付け機構４６のメンテナンス作業が容易に遂行され、メンテナンス性の向上が図られるという利点がある。
【００８８】
なお、第１の実施形態では、５台の搬送ユニット１００ａ〜１００ｅと、４台の冷却ユニット１４２ａ〜１４２ｄとを進退可能に構成しているが、これに限定されるものではなく、それぞれの台数は必要に応じて変更可能である。さらに、架台１０８ｅの両端に揺動アーム１１２ａ、１１２ｂが装着されているが、この架台１０８ｅに前記揺動アーム１１２ａを設ける一方、搬送部１０２に前記揺動アーム１１２ｂを設けることもできる。
【００８９】
さらにまた、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。
【００９０】
図９は、本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００９１】
製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に、貼り付け基板搬送機構３０２を設けている。この貼り付け基板搬送機構３０２は、矢印Ｃ方向に沿って配列される搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃを備え、前記搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃは、搬送ユニット移動手段１０４を介して矢印Ｃ方向に進退可能である。
【００９２】
搬送ユニット３０４ａには、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８が設けられる。搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃの上方には、冷却機構３０６を構成する冷却ユニット３０８ａ〜３０８ｃが、冷却ユニット移動手段１４４を介して矢印Ｃ方向に進退可能に設けられる。
【００９３】
このように構成される製造装置３００は、ガラス基板２４の矢印Ｃ方向の寸法が変更される際には、搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃが矢印Ｃ方向に位置調整される。これにより、搬送ユニット３０４ａに設けられている基板間ウエブ切断機構４８の位置を、新たなガラス基板２４の矢印Ｃ方向の寸法に対応して位置調整することができる。一方、冷却機構３０６を構成する冷却ユニット３０８ａ〜３０８ｃは、搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃの位置に対応して位置変更することが好ましい。
【００９４】
また、貼り付け機構４６のメンテナンス等が行われる際には、搬送ユニット３０４ａ〜３０４ｃ及び冷却ユニット３０８ａ〜３０８ｃを矢印Ｃ方向に移動させる。このため、貼り付け基板搬送機構３０２と貼り付け機構４６との間には、作業用スペースを確保することができ、前記貼り付け機構４６のメンテナンスが容易に遂行される。これにより、簡単な構成及び作業でよく、汎用性に優れるとともに、作業性が良好に向上する等、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００９５】
ところで、製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に、貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。
【００９６】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体２０８が製造される。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記製造装置を構成する貼り付け基板搬送機構の説明図である。
【図５】前記長尺状感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。
【図６】ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。
【図７】長尺なガラス基板が用いられる際の前記貼り付け基板搬送機構の説明図である。
【図８】貼り付け機構のメンテナンスを行う際の前記貼り付け基板搬送機構の説明図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図１０】特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００９８】
２０、３００…製造装置            ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール
２４…ガラス基板                  ２６…ベースフイルム
２８…感光性樹脂層                ３０…保護フイルム
３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
３４…ハーフカット部位            ３６ａ、３６ｂ…加工機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構    ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板搬送機構                ４６…貼り付け機構
４７ａ、４７ｂ…検出機構          ４８…基板間ウエブ切断機構
６４…保護フイルム巻き取り部      ７４…基板加熱部
７６、１０２…搬送部                      ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
８６…接触防止ローラ              ８８、３０２…貼り付け基板搬送機構
９０ａ、９０ｂ…フイルム搬送ローラ
９２…基板搬送ローラ
１００ａ〜１００ｅ、３０４ａ〜３０４ｃ…搬送ユニット
１０２…搬送部                    １０４…搬送ユニット移動手段
１０６ａ〜１０６ｈ…搬送ローラ    １０８ａ〜１０８ｅ…架台
１１０、１５０…レール部材        １１２ａ、１１２ｂ…揺動アーム
１１４…ベース自動剥離機構        １２０…プレ剥離部
１４０、３０６…冷却機構
１４２ａ〜１４２ｄ、３０８ａ〜３０８ｃ…冷却ユニット
１４４…冷却ユニット移動手段      １４６ａ〜１４６ｄ…ケーシング
１４８ａ〜１４８ｄ…冷却風供給部
【図１】
2008110491.tif 000003
【図２】
2008110491.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008110491.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2008110491.tif 000009
【図８】
2008110491.tif 000010
【図９】
2008110491.tif 000011
【図１０】
2008110491.tif 000012