(57)【要約】【課題】基板間距離を一定に保持することが可能で、かつ、隣り合うセル同士を連通する隙間を形成することが可能な隔壁の簡便な製造方法及び、その隔壁を備えた電気泳動表示パネルを提供すること。【解決手段】電気泳動表示パネルの隔壁を以下の製造方法により製造する。まずギャップ材混在レジスト層形成工程において、第一基板と第二基板との間隔を一定に保持するためのギャップ材とレジストとが混在するギャップ材混在レジスト層を第一基板上に形成する（Ｓ１０）。露光工程において、このギャップ材混在レジスト層形成工程後及びギャップ材混在レジスト層形成工程中の少なくともいずれか一方において、隔壁のパターンを露光するための開口パターンを有するマスクを介して、ギャップ材混在レジスト層又はレジストを露光する（Ｓ３０）。露光工程後の現像工程において、ギャップ材混在レジスト層を現像する（Ｓ５０）。【選択図】図７
2008170633.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板の前記第二基板と対向する側の面に立設され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに内包され、電界の作用により移動する帯電粒子とを備えた電気泳動表示パネルの前記隔壁の製造方法において、
前記第一基板と前記第二基板との間隔を一定に保持するためのギャップ材とレジストとが混在するギャップ材混在レジスト層を前記第一基板上に形成するギャップ材混在レジスト層形成工程と、
前記ギャップ材混在レジスト層形成工程後及び前記ギャップ材混在レジスト層形成工程中の少なくともいずれか一方において、前記隔壁のパターンを露光するための開口パターンを有するマスクを介して、前記ギャップ材混在レジスト層又は前記レジストを露光する露光工程と、
前記露光工程に後に、露光された前記ギャップ材混在レジスト層を現像する現像工程と
を備えることを特徴とする電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項２】
前記ギャップ材混在レジスト層形成工程では、前記ギャップ材が混合された前記レジストを前記第一基板に塗布することにより、前記ギャップ材混在レジスト層を形成することを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項３】
前記ギャップ材混在レジスト層形成工程は、
前記第一基板上に前記レジストを含むレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
前記レジスト膜形成工程後に、前記レジスト膜の表面に前記ギャップ材を配置するギャップ材配置工程と、
前記ギャップ材配置工程後に、前記レジスト膜の表面上に配置された前記ギャップ材を前記レジスト膜側に押圧し、当該ギャップ材を前記レジスト膜に押し込んで前記ギャップ材混在レジスト層を形成する押圧工程と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項４】
前記ギャップ材混在レジスト層形成工程は、
前記第一基板上に前記レジストを含むレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
前記レジスト膜形成工程後に、前記レジスト膜の表面に前記ギャップ材を配置するギャップ材配置工程と、
前記ギャップ材配置工程後に、前記ギャップ材が配置されている側の面を所定の中心点に向けた前記第一基板を、当該中心点を中心として円運動させ、遠心力により当該ギャップ材を前記レジスト膜に押し込んで前記ギャップ材混在レジスト層を形成する遠心工程と
を備えることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項５】
前記レジスト膜形成工程において、前記第一基板の前記第二基板に対向する側の面に垂直な方向の前記ギャップ材の長さ未満の厚みを有するレジスト膜を形成することを特徴とする請求項３又は４に記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項６】
前記現像工程後に、前記ギャップ材混在レジスト層をエッチングして、前記ギャップ材の一部を前記第二基板側に突出させるエッチング工程を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項７】
前記露光工程では、前記第一基板側及び前記第二基板側の双方から露光を行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法により製造された前記隔壁を備えることを特徴とする電気泳動表示パネル。
【請求項９】
互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板の前記第二基板と対向する側の面に立設され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに内包され、電界の作用により移動する帯電粒子とを備えた電気泳動表示パネルにおいて、
前記隔壁は、前記第一基板と当接するとともに、前記第二基板と非接触の状態で対向するレジスト対向面を備えたレジスト部と、前記レジスト対向面よりも前記第二基板側に突出した状態で当該レジスト部に自身の一部が埋没されたギャップ材とを備え、前記ギャップ材は少なくとも前記第二基板と当接することを特徴とする電気泳動表示パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法及び、電気泳動表示パネルに関し、詳細には、帯電粒子を包含する分散液を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法及び、電気泳動表示パネルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から画像を表示するためのパネルとして、電気泳動表示パネルが知られている。この電気泳動表示パネルは、透明又は半透明の表示面となる第一基板とこの第一基板と対になる第二基板からなる一対の基板間に、帯電粒子を含む分散媒を充填した構成を有している。この分散媒を挟み、対向して設けられる電極に加えられる電圧により、帯電粒子を第一基板側もしくは第二基板側へ移動させることができ、この帯電粒子が分散媒と異なる色を有している場合には、電圧印加によって帯電粒子を表示基板側へ移動させたときには帯電粒子の色が観察でき、帯電粒子が第二基板側に移動したときには分散媒の色が観察できる。このように画素ごとに異なる色を表示することで、任意の画像を表示することができる。
【０００３】
この電気泳動表示パネル全体を１つのセルとして帯電粒子を泳動させる場合には、帯電粒子の横方向への移動により帯電粒子を均一に基板上に移動させることができず、表示ムラが生じてしまう。そこで一般には、基板上に隔壁を形成して基板間の空間を複数のセルに分割し、それらのセルに帯電粒子を封入することによって粒子の横方向への移動を制限している。この複数のセルに分割するための隔壁を有する電気泳動表示パネルとして、隔壁が第一基板と第二基板との双方と当接し、密閉されたセルに分割するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、隔壁でセルが完全に密閉されるような構造ではなく、隣り合うセル同士を連通するための隙間を備えた電気泳動表示パネルが種々提案されている。隣り合うセル同士を連通するための隙間を備えた電気泳動表示パネルが提案されている理由は様々である。例えば、特許文献２には分散媒や粒子に互いに隣り合うセルを移動させることで、分散媒や粒子の変色に起因する見栄えの低下を防止することが考えられている電気泳動表示パネルが提案されている。
【０００５】
このような電気泳動表示パネルの製造方法として、まず一方の基板に隔壁を形成し、その基板の上に粒子を分散した分散媒を滴下し、さらにその上から他方の基板を配置する方法がある。この製造方法では、基板間に誤って気泡が混入してしまう虞がある。このとき、セルが完全に密閉されている電気泳動表示パネルでは、基板間に混入してしまった気泡を除去することが困難である。これに対し、隣り合うセル同士を連通するための隙間を備えた電気泳動表示パネルのうち、気泡が通過できる程度の隙間が形成された電気泳動表示パネルでは、この隙間を介して気泡の除去を容易に行うことができる。
【特許文献１】特開昭５９−１７１９３０号公報
【特許文献２】特許第３１８９９５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような隣り合うセル同士を連通する隙間を有する電気泳動表示パネルにおいては、隔壁が第一基板及び第二基板のいずれか一方にのみ当接しているため、基板間距離を一定に保持することが難しかった。例えば、特許文献２に記載の電気泳動表示パネルでは、第一基板と第二基板との間の間隔（以下、「基板間距離」と言う。）は、電気泳動表示パネルの外周部に設けられたスペーサ（封止材）により規定されるため、基板間距離を一定に保持することが困難であるという問題点があった。
【０００７】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、基板間距離を一定に保持することが可能で、かつ、隣り合うセル同士を連通する隙間を形成することが可能な隔壁の簡便な製造方法及び、その隔壁を備えた電気泳動表示パネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板の前記第二基板と対向する側の面に立設され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに内包され、電界の作用により移動する帯電粒子とを備えた電気泳動表示パネルの前記隔壁の製造方法において、前記第一基板と前記第二基板との間隔を一定に保持するためのギャップ材とレジストとが混在するギャップ材混在レジスト層を前記第一基板上に形成するギャップ材混在レジスト層形成工程と、前記ギャップ材混在レジスト層形成工程後及び前記ギャップ材混在レジスト層形成工程中の少なくともいずれか一方において、前記隔壁のパターンを露光するための開口パターンを有するマスクを介して、前記ギャップ材混在レジスト層又は前記レジストを露光する露光工程と、前記露光工程に後に、露光された前記ギャップ材混在レジスト層を現像する現像工程とを備えている。
【０００９】
また、請求項２に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え、前記ギャップ材混在レジスト層形成工程では、前記ギャップ材が混合された前記レジストを前記第一基板に塗布することにより、前記ギャップ材混在レジスト層を形成することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え、前記ギャップ材混在レジスト層形成工程は、前記第一基板上に前記レジストを含むレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、前記レジスト膜形成工程後に、前記レジスト膜の表面に前記ギャップ材を配置するギャップ材配置工程と、前記ギャップ材配置工程後に、前記レジスト膜の表面上に配置された前記ギャップ材を前記レジスト膜側に押圧し、当該ギャップ材を前記レジスト膜に押し込んで前記ギャップ材混在レジスト層を形成する押圧工程とを備えている。
【００１１】
また、請求項４に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え、前記ギャップ材混在レジスト層形成工程は、前記第一基板上に前記レジストを含むレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、前記レジスト膜形成工程後に、前記レジスト膜の表面に前記ギャップ材を配置するギャップ材配置工程と、前記ギャップ材配置工程後に、前記ギャップ材が配置されている側の面を所定の中心点に向けた前記第一基板を、当該中心点を中心として円運動させ、遠心力により当該ギャップ材を前記レジスト膜に押し込んで前記ギャップ材混在レジスト層を形成する遠心工程とを備えている。
【００１２】
また、請求項５に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、請求項３又は４に記載の発明の構成に加え、前記レジスト膜形成工程において、前記第一基板の前記第二基板に対向する側の面に垂直な方向の前記ギャップ材の長さ未満の厚みを有するレジスト膜を形成することを特徴とする。
【００１３】
また、請求項６に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記現像工程後に、前記ギャップ材混在レジスト層をエッチングして、前記ギャップ材の一部を前記第二基板側に突出させるエッチング工程を備えている。
【００１４】
また、請求項７に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記露光工程では、前記第一基板側及び前記第二基板側の双方から露光を行うことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項８に係る発明の電気泳動表示パネルは、請求項１乃至７のいずれかに記載の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法により製造された前記隔壁を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項９に係る発明の電気泳動表示パネルは、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板の前記第二基板と対向する側の面に立設され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに内包され、電界の作用により移動する帯電粒子とを備えた電気泳動表示パネルにおいて、前記隔壁は、前記第一基板と当接するとともに、前記第二基板と非接触の状態で対向するレジスト対向面を備えたレジスト部と、前記レジスト対向面よりも前記第二基板側に突出した状態で当該レジスト部に自身の一部が埋没されたギャップ材とを備え、前記ギャップ材は少なくとも前記第二基板と当接することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、ギャップ材を含むギャップ材混在レジスト層を第一基板上に形成し、隔壁のパターンを露光するための開口パターンを有するマスクを介して露光されたギャップ材混在レジスト層を現像して隔壁を形成する。ギャップ材混在レジスト層の厚みや、露光、現像条件を、ギャップ材の大きさやレジストに用いる材料等に応じて適宜調整することにより、ギャップ材の一部が第二基板側に突出した隔壁を製造することができる。本発明の製造方法により、基板間距離を一定に保持することが可能で、かつ、セル間を連通する隙間を有する隔壁を簡便に製造することができる。
【００１８】
また請求項２に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、ギャップ材が混合されたレジストを第一基板に塗布することにより、ギャップ材混在レジスト層を形成できる。したがって、セルとセルとの間を連通させる隙間を形成するとともに、第一基板と第二基板との双方に当接することができる隔壁を少ない工程で容易に製造することができる。また、セルとセルとの間を連通させる隙間の大きさは、ギャップ材の添加量を調節することにより容易に調整可能である。
【００１９】
また請求項３に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、レジスト膜の表面上に配置されたギャップ材を前記レジスト膜側に押圧して、ギャップ材をレジスト膜に押し込むことにより、容易にギャップ材混在レジスト層を形成することができる。また、ギャップ材がレジスト膜に押し込まれる量は、押圧量（圧力の大きさと、圧力を加える時間と、押し込む距離）により調節することができるため、第二基板側へのギャップ材の突出量は容易に調整可能である。
【００２０】
また、レジスト膜形成工程で形成されるレジスト膜の膜厚を、ギャップ材を備える隔壁により規定される基板間距離よりも薄くなるように形成することにより、ギャップ材を第二基板側に確実に突出させることができる。即ち、本発明の製造方法で製造された隔壁は、第一基板と第二基板との双方に当接しつつ、セルとセルとの間を連通させる隙間を形成でき、その隙間の大きさは、ギャップ材の添加量、押圧量及び、レジスト膜の膜厚を調節することにより容易に調整可能である。さらに、各ギャップ材を押圧する際に、表面が平らな板片等の押圧面を備える機材を用いることにより、ギャップ材の突出高さが均一になるように調整することができる。このため、大きさの均一性が低いギャップ材を用いた場合にも、ギャップ材の第二基板側への突出高さを均一にすることができる。
【００２１】
また請求項４に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、レジスト膜の表面上に配置されたギャップ材を遠心力によりレジスト膜に押し込むことにより、容易にギャップ材混在レジスト層を形成することができる。ギャップ材がレジスト膜に押し込まれる量は、ギャップ材に加える遠心力の大きさや遠心力を加える時間により調節することができるため、ギャップ材を第二基板側に突出させる量は容易に調整可能である。
【００２２】
また、レジスト膜形成工程で形成されるレジスト膜の膜厚を、ギャップ材を備える隔壁により規定される基板間距離より薄くなるように形成することにより、ギャップ材を第二基板側に確実に突出させることができる。即ち、本発明の製造方法で製造された隔壁は、第一基板と第二基板との双方に当接しつつ、セルとセルとの間を連通させる隙間を形成でき、その隙間の大きさは、ギャップ材の添加量、遠心力及び、レジスト膜の膜厚を調節することにより容易に調整可能である。
【００２３】
また請求項５に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、請求項３又は４に記載の発明の効果に加え、レジスト膜形成工程で形成されるレジスト膜の膜厚は、第一基板の第二基板に対向する側の面に垂直な方向のギャップ材の長さ未満に形成されるので、後段の工程においてエッチング等の特別な処理を施すことなく、ギャップ材の一部を第二基板側に確実に突出させることができる。
【００２４】
また請求項６に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の効果に加え、ギャップ材混在レジスト層の第二基板と対向する側の表面のうち、レジストにより形成される表面よりもギャップ材の一部を第二基板側に突出させるように、エッチングしているので、セルとセルとの間を連通させる間隙を確実に形成することができる。
【００２５】
また請求項７に係る発明の電気泳動表示パネルの隔壁の製造方法によれば、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明の効果に加え、露光工程において、第一基板側及び第二基板側の双方から露光を行うようにしているので、第一基板側及び第二基板側のいずれか一方から露光した場合にギャップ材の存在により光線が遮断され露光されない部分のレジストを確実に露光することができる。
【００２６】
また請求項８に係る発明の電気泳動表示パネルによれば、第一基板に立設された隔壁は、隔壁が備えるギャップ材を介して第二基板とも当接することになるため、ギャップ材を備える隔壁により基板間距離を保持することができる。このため、基板間距離が一定に保持されないことに起因する表示ムラが生じる虞を回避することができる。
【００２７】
また請求項９に係る発明の電気泳動表示パネルによれば、第一基板に立設された隔壁は、隔壁が備えるギャップ材を介して第二基板とも当接することになるため、ギャップ材を備える隔壁により基板間距離を保持することができる。このため、基板間距離が一定に保持されないことに起因する表示ムラが生じる虞を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明に係る電気泳動表示パネルを具体化した電気泳動表示パネル１の第１及び第２の実施形態について図面を参照して順に説明する。第１及び第２の実施形態として例示する電気泳動表示パネル１は、携帯用の電子機器等の電気泳動表示装置１００に具備可能な小型の表示パネルである。尚、本明細書中の「平均粒子径」とは、体積平均粒子径を言い、レーザー回折散乱法を利用したマイクロトラック３１００（マイクロトラック社製）により計測した。
【００２９】
まず、第１及び第２の実施形態に共通する電気泳動表示パネル１の構成について、図１〜図４を参照して説明する。図１は、電気泳動表示装置１００が備える電気泳動表示パネル１の外観を示す斜視図である。図２は、図１に示す電気泳動表示パネル１のＺ−Ｚ線における矢視方向部分断面を模式的に表した図である。また図３は、図２に示す電気泳動表示パネル１の模式的な部分断面図のＸ−Ｘ線における矢視方向断面を模式的に表した図であり、図４は、図３に示す電気泳動表示パネル１の模式的な部分断面図のＹ−Ｙ線における矢視方向断面を模式的に表した図である。尚、図２〜図４においては、電気泳動表示パネル１が備える各構成を模式的に説明するために、各断面図の一部を本明細書中において例示する寸法とは異なる寸法にて図示している。
【００３０】
図１〜図４に示すように、電気泳動表示装置１００が備える電気泳動表示パネル１は、第一基板１１と第二基板１２とが、封止材１４を介して対向するように保持されており、第一基板１１の第二基板１２と対向する側の面である対向面には、第一基板１１と第二基板１２とにより挟まれた空間を複数のセル１７に区画する隔壁１３が立設されている。また、図２に示すように、セル１７には、分散媒１６及び複数の帯電粒子１５を含む分散液が封入されている。以下、電気泳動表示パネル１の各構成について詳述する。
【００３１】
第一基板１１は、所定の厚みを有する板状の基板であり、画素単位で形成される画像を表示する表示面を形成するものである。この第一基板１１の厚みは、電気泳動表示パネル１の材料、用途等により適宜設定可能であり、例えば、３００μｍの厚みを有する。この第一基板１１は、透明又は半透明なガラスやポリエチレンテレフタレート、ポリイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等の樹脂を含む材料により形成されている。
【００３２】
一方、第二基板１２は、所定の厚みを有する板状の基板であり、表示面を形成する第一基板１１と対をなす基板である。この第二基板１２は、表示面側の基板ではないので、必ずしも透明でなくてよく、第一基板１１を形成する透明な材料の他、例えば、表面に絶縁層を設けたステンレスやアルミ等の透明でない材料を用いて形成されていてもよい。
【００３３】
封止材１４は、隔壁１３を囲むように矩形に形成され、第一基板１１と第二基板１２とを所定の間隔で保持するとともに、後述する分散媒１６及び帯電粒子１５が外部に漏れ出さないように封止する役割を担っている。第１及び第２の実施形態においては、基板間距離が封止材１４及び後述する隔壁１３により３０μｍとなるように保持されている。一方、この封止材１４の幅は、電気泳動表示パネル１の材料、用途等に応じて適宜設定可能であり、例えば、１ｍｍの幅を有する。この封止材１４の材料として、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等が用いられる。
【００３４】
分散媒１６は、帯電粒子１５を分散させるための溶媒であり、電気抵抗が高く、透明性の高い液体が用いられる。例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素溶媒、ヘキサン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素溶媒、ポリシロキサン、高純度石油等の絶縁性有機溶媒が用いられる。尚、電気泳動表示パネル１は、上記のような各分散媒を単独で用いても、２種以上の混合物として用いてもよい。さらに、分散媒１６には、必要に応じて他の成分を含有させることができる。他の成分としては、例えば、帯電粒子１５の分散を補助するために用いられる界面活性剤等の分散剤、分散媒中における帯電粒子の電気泳動性を調整するために用いられるアルコール等の電荷制御剤、分散媒中における帯電粒子の沈降を防止するために用いられる高分子樹脂等の粘度調整剤等が挙げられる。
【００３５】
帯電粒子１５は、画素ごとに印加された電界に応じて第一基板１１又は第二基板１２側に泳動し、表示面に表示画像を形成する粒子である。帯電粒子１５は、例えば、有機化合物や無機化合物からなる顔料や染料、顔料や染料を合成樹脂で包んだ粒子及び、合成樹脂からなる粒子を顔料や染料で着色した粒子等を用いることができる。尚、帯電粒子１５は、上記のような各帯電粒子を単独で用いても、２種以上の混合物を用いてもよい。本実施形態では図２に示すように、帯電粒子１５として、分散媒１６に分散された状態において負に帯電している黒色帯電粒子１５１と、正に帯電している白色帯電粒子１５２との２種類の帯電粒子を備えている。
【００３６】
第一基板１１が備える共通電極２６及び第二基板１２が備える駆動電極２７は、電気泳動表示パネル１に電界を与えるための極性を担うものであり、好ましくは、フッ素化合物を有するコーティング剤等を用いた保護膜（図示せず）により覆われている。第一基板１１に備えられている共通電極２６は、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等の光透過性導電性の薄膜から構成されている。一方、第二基板１２の第一基板１１と対向する側の面にマトリックス状に配列された駆動電極２７は、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等の光透過性導電性の薄膜の他、光透過性を有しない金や銅等の導電材料の薄膜によって構成されていてもよい。尚、駆動電極２７の周縁には、スイッチ素子として機能する薄膜トランジスタ（図示せず）が設けられ、各駆動電極２７を制御する駆動回路（図示せず）からマトリックスの行ごとに選択信号が印加され、さらにマトリックスの列ごとに制御信号と薄膜トランジスタからの出力が印加されて、個々のセル内の帯電粒子１５及び分散媒１６に対して所望の電界を印加することができる。この１画素に対応する駆動電極２７の数は特に限定されるものではない。また、駆動電極２７の平面形状には特に限定はなく、正方形、長方形、円形等、任意の形状が適用可能である。
【００３７】
ここで、本発明の重要な構成要素である隔壁１３の構造について、図２〜図４を参照して説明する。図３に部分的に示すように、隔壁１３は平面視格子状の形状で所定の高さ及び厚さを有し、第一基板１１と第二基板１２とに挟まれた空間を一辺の長さが５００μｍの略正方形の平面形状を有する複数のセル１７に区画している。この隔壁１３により、帯電粒子１５が泳動可能な領域が当該セル１７の内部に制限されることになるため、分散媒１６における帯電粒子１５の濃度の偏りを防ぎ、表示ムラが発生するのを防ぐことができる。尚、この隔壁１３の厚さ、高さ、形状及び間隔等は、材料、用途等により適宜変更可能であり、上述の寸法に限定されない。
【００３８】
この隔壁１３は、基板間距離に対応する所定径を持つ球状のギャップ材１３１とレジストを含むレジスト部１３２とを備えている。ギャップ材１３１は基板間距離を一定に保持するための部材であり、図３に模式的に示すように、レジスト部１３２中にほぼ均一に配置されている。ギャップ材１３１は第二基板１２と当接しているため、ギャップ材１３１とレジスト部１３２とを備える隔壁１３は第一基板１１と第二基板１２との双方に当接する。このため、ギャップ材１３１により基板間距離を表示領域全域に亘って一定に保持することができる。尚、表示領域全面に亘って均一に基板間距離を保持するため、隣り合うギャップ材１３１の間隔は一定である方が好ましいが、ギャップ材１３１の間隔は異なっていてもよい。同様に、ギャップ材１３１の配置パターンは、規則性を有していてもよいし、不規則であってもよい。また、ギャップ材１３１の全てが第二基板１２に当接していなくてもよいが、基板間距離を表示領域全域に亘って一定に保持するためには、第二基板１２に当接しているギャップ材１３１の割合が多い方が好ましい。
【００３９】
隔壁１３の第二基板１２と対向する側の面は、図２及び図４に模式的に示すように、ギャップ材１３１の一部が第二基板１２側に突出している。ギャップ材１３１の突出している部分である突出部１３４と、レジスト部１３２の第二基板１２に対向する側の面であるレジスト対向面１３５と、第二基板１２の第一基板１１に対向する側の面とにより囲まれる空間は、セル１７間を連通させる隙間であるセル連通部１８となっている。このため、分散媒１６はこのセル連通部１８を介してセル１７間を移動可能である。このセル連通部１８及び隔壁１３の大きさは、帯電粒子１５の大きさや電気泳動表示パネル１の製造方法に応じて、適切な大きさに定められる。
【００４０】
例えば、電気泳動表示パネル１の製造方法として、第一基板１１と第二基板１２とを重ねた後に、電気泳動表示パネル１の側面から平均粒子径が５μｍの帯電粒子１５を分散させた分散媒１６を注入する場合は、第一基板１１及び第二基板１２の双方に当接する粒子状のギャップ材１３１の平均粒子径を３０μｍ，レジスト部１３２の高さを２０μｍ，レジスト部１３２の幅を５０μｍとし、レジスト対向面１３５と第二基板１２との間隔を１０μｍとする。この場合には、各セル連通部１８の幅のうち最も狭い部分の幅（図４においては矢印３０で示すギャップ材１３１の突出部１３４の突出高さ）は、帯電粒子１５の平均粒子径よりも大きい。このため、帯電粒子１５はセル連通部１８を介してセル１７間を移動可能であり、分散液は各セル１７に均一に分散される。
【００４１】
一方、第一基板１１と第二基板１２とを重ねる前に平均粒子径が５μｍの帯電粒子１５のみを隔壁１３が形成された第一基板１１上に散布した後に、第一基板１１と第二基板１２と重ね、続いて、電気泳動表示パネル１の側面から分散媒のみを注入する場合は、第一基板１１及び第二基板１２の双方に当接する粒子状のギャップ材１３１の平均粒子径を３０μｍ，レジスト部１３２の高さを２６μｍ，レジスト部１３２の幅を５０μｍとし、レジスト対向面１３５と第二基板１２との間隔を４μｍとする。この場合には、各セル連通部１８の幅のうち最も狭い部分の幅（図４においては矢印３０で示すギャップ材１３１の突出部１３４の突出高さ）は、帯電粒子１５の平均粒子径よりも小さい。このため、分散媒１６はセル連通部１８を介してセル１７を移動でき、各セル１７に均一に分散媒１６を注入することができる。一方で、帯電粒子１５はセル１７間を自由に移動しないため、帯電粒子１５が偏ることに起因する表示ムラが生じることを回避することができる。尚、セル連通部１８の大きさは、後述する隔壁１３の製造工程において、ギャップ材１３１の大きさ、形状並びに、添加量及び、ギャップ材１３１の突出部１３４の突出高さ（図４において矢印３０で図示）を調整することにより調整可能である。
【００４２】
隔壁１３が備えるギャップ材１３１として、無機粒子、樹脂粒子、ガラスファイバー等を用いることができ、上記のような各ギャップ材を単独で用いても、２種以上の混合物として用いてもよい。また、ギャップ材１３１の形状は、図２〜図４に示すような球状である場合の他、立方体状、直方体状、筒状等任意の形状を採用可能である。さらに、ギャップ材の大きさは、基板間距離や、隔壁１３の製造方法に応じて任意に定めることが可能である。また、必要に応じて、ギャップ材を顔料や染料で着色することも可能である。
【００４３】
また、ギャップ材１３１が表示面側から視認される場合には、ギャップ材１３１が表示に与える影響を考慮して、ギャップ材１３１の色は次のいずれかの色とされるのが好ましい。まずギャップ材１３１の色は、隔壁１３の材料として用いられるレジストと同色とするのが好ましい。この場合には、隔壁１３を形成するレジスト部１３２とギャップ材１３１との間でコントラストを生じないので、ギャップ材１３１が表示に与える影響を低減できる。またギャップ材１３１の色は、帯電粒子１５として複数の色の粒子を用いる場合にはいずれかの色の帯電粒子１５と同色又は、いずれか２色の帯電粒子１５の中間の色と同色であることが好ましい。この場合には、帯電粒子１５とギャップ材１３１との間のコントラストを低減できるので、ギャップ材１３１が表示に与える影響を低減できる。またギャップ材１３１の色は、分散媒１６の色と同色であることが好ましい。この場合には、分散媒１６とギャップ材１３１との間のコントラストを低減できるので、ギャップ材１３１が表示に与える影響を低減できる。またギャップ材１３１の色は、分散媒１６と帯電粒子１５との中間色であることが好ましい。この場合には、分散媒１６及び帯電粒子１５とギャップ材１３１との間のコントラストを低減できるので、ギャップ材１３１が表示に与える影響を低減できる。
【００４４】
一方、隔壁１３が備えるレジスト部１３２の材料としては、製造方法に応じて適宜設定可能であり、ネガ型レジスト、ポジ型レジストのいずれを用いるようにしてもよい。また、レジスト部１３２の厚みは、基板間距離、ギャップ材１３１の第二基板１２側への突出高さ等を考慮して定められる。
【００４５】
尚、本発明の「第一基板」とは、基板のみならず、基板の表面に各種電極や各種膜が備えられている場合には、それらを含む趣旨である。したがって、第１及び第２の実施形態においては、本発明の「第一基板」には、第一基板１１と、その第二基板１２に対向する側の面に設けられた共通電極２６と、保護膜等の各種膜とが含まれる。第１及び第２の実施形態において、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面には共通電極２６が所定の厚みで設けられており、隔壁１３は、厳密には共通電極２６の第二基板１２側の面に立設されている。しかし上述の趣旨から、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面に設けられた共通電極２６や保護膜等の各種膜の表面上に隔壁１３が立設された場合にも、隔壁１３が第一基板１１に立設されたものとしている。
【００４６】
次に、電気泳動表示パネル１における表示の切換え動作について図５及び図６を参照して説明する。図５は、第一基板１１の表示面の表示領域全域に黒色が表示された状態を表す説明図であり、図６は、第一基板１１の表示面の表示領域全域に白色が表示された状態を表す説明図である。
【００４７】
図５では、第一基板１１が備える共通電極２６に０Ｖの電圧が印加され、第二基板１２に設けられた全ての駆動電極２７に−５０Ｖが印加され、負の電荷を有する黒色帯電粒子１５１が第一基板１１側に移動し、正の電荷を有する白色帯電粒子１５２が第二基板１２側に移動している。そして、黒色帯電粒子１５１が第一基板１１に付着して、第一基板１１の表示面には黒色が表示される。
【００４８】
尚、帯電粒子１５を移動させるために共通電極２６及び駆動電極２７に電圧を印加したが、仮にこの電圧が落とされて両方の電圧が０Ｖになっても、帯電粒子１５の各基板に付着した状態が維持される。
【００４９】
一方図６では、共通電極２６に０Ｖの電圧が印加され、駆動電極２７に５０Ｖの電圧が印加され、負の電荷を有する黒色帯電粒子１５１が第二基板１２側に移動し、正の電荷を有する白色帯電粒子１５２が第一基板１１側に移動している。そして、白色帯電粒子１５２が第一基板１１に付着して、第一基板１１の表示面には白色が表示される。尚、各電極に印加する電圧は電極間の距離や、帯電粒子１５の帯電性等に応じて種々変更可能である。
【００５０】
次に、第１の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法について、図７〜図１１を参照して詳細に説明する。図７は、第１の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造工程を説明するためのフローチャートであり、図８は、第１の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程を説明するためのフローチャートである。また図９は、ギャップ材混在レジスト層形成工程において形成されたギャップ材混在レジスト層５０を説明するための説明図であり、図１０は、露光工程を説明するための説明図である。また図１１は、現像工程を経て残っているギャップ材１３１及びレジスト部１３２を表す説明図である。尚、各工程を模式的に説明するために、図９〜図１１に示す各構成は、電気泳動表示パネル１の断面の一部を模式的に示している。
【００５１】
第１の実施形態では、ギャップ材１３１とレジストとを所定の割合で混合してギャップ材混在レジストを調製し、そのギャップ材混在レジストを第一基板１１に塗布してギャップ材混在レジスト層５０を形成するようにしている。以下、電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法の各工程について詳述する。
【００５２】
まず、ギャップ材混在レジスト層形成工程において、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面に、ギャップ材とレジストとを含むレジスト材料が所定の厚みで塗布され、ギャップ材混在レジスト層が形成される（Ｓ１０）。第１の実施形態ではギャップ材混在レジスト層形成工程において、図８に示すように、まず、レジスト５１にギャップ材１３１を加えて混合させるギャップ材混合工程を行う（Ｓ１０１）。レジスト５１は、塗布するタイプのレジストであれば、ポジ型のレジストでも、ネガ型のレジストでもよい。第１の実施形態では、一例として、レジスト５１としてネガ型のレジストを用いるものとする。
【００５３】
一方、ギャップ材１３１は、大きさがそろっている材料を用いるのが好ましく、形状は任意の形状の材料を用いることができる、第１の実施形態のようにギャップ材１３１の形状が球状である場合には、ギャップ材１３１が配置されている向きによらず、ギャップ材１３１によって確保される第一基板１１と第二基板１２との間隔は一定となる。このため、後段の工程であるギャップ材混在レジスト塗布工程において、ギャップ材混在レジストを均一の厚みを有するように容易に塗布することができる。また、第一基板１１と第二基板１２との隙間に合う厚さに形成された板状の材料を用いてもよい。このようなギャップ材１３１を用いた場合には、ギャップ材１３１は第一基板１１及び第二基板１２にそれぞれ面で接する。このため、第一基板１１及び第二基板１２を確実に支えることができ、基板間距離を確実に確保することができる。また、ギャップ材１３１の添加量は、ギャップ材１３１の種類、セル連通部１８の大きさ等を考慮して適宜定められ、例えば、平均粒子径が３０μｍの樹脂粒子であるミクロパールＳＰ−２３０（積水化学工業株式会社製）がレジストに対して０．１〜５．０重量％の割合で混合される。ギャップ材１３１は、好ましくは、０．５〜２．０重量％の割合で添加される。ギャップ材１３１の添加量が０．５重量％よりも少ない場合には、基板間距離の均一性が出にくく、２．０重量％よりも多いと、ギャップ材１３１の凝集比率が高くなり、ギャップ材１３１を均一に配置することが困難となる。
【００５４】
続くギャップ材混在レジスト塗布工程において、ギャップ材混合工程でレジスト５１中にギャップ材１３１がほぼ均一に混合されたギャップ材混在レジストを、第一基板１１に所定の厚みで塗布してギャップ材混在レジスト層５０を形成する（Ｓ１０２）。このとき、スピンコート法によりギャップ材混在レジストを塗布した場合には、ギャップ材１３１が遠心力により第一基板１１上に偏在してしまうため好ましくない。したがって、例えば、ダイコータやバーコータ等の塗工装置を用いてギャップ材混在レジスト層５０を形成する。ギャップ材混在レジスト層５０の厚みは、ギャップ材１３１が第一基板１１と第二基板１２との双方に当接する厚み、即ち、図２に示す第１の実施形態のように、ギャップ材１３１が球状である場合には、その平均粒子径の厚さとするのが好ましい。ギャップ材１３１を第二基板１２側に突出させるための後段の工程を容易にするためである。以上説明したギャップ材混在レジスト層形成工程において、図９に示すように、第一基板１１上にギャップ材混在レジスト層５０が形成される。
【００５５】
図８のフローチャートに示すギャップ材混在レジスト層形成工程後、好ましくは、ギャップ材混在レジスト層を加熱処理するプリベーク工程を行い、残存溶媒量を調整する（Ｓ２０）。このプリベーク工程において、ギャップ材混在レジスト層５０は、例えば９５℃で１０分間加熱処理される。尚、このプリベーク工程は必要に応じて省略してもよいし、より低い温度で時間をより長くしても良い。
【００５６】
続く露光工程において、レジスト５１としてネガ型レジストを用いた場合には、図１０に示すように、隔壁１３が立設される領域の上部以外の領域を覆うマスク６１を介して、ギャップ材混在レジスト層５０に紫外線等の所定波長又は所定エネルギーの光線（矢印７１で図示）が照射される（Ｓ３０）。露光条件はレジストの感光波長に応じて定められ、例えば、波長３６５ｎｍ（ｉ線）が所定時間照射される。第１の実施形態では、レジスト５１としてネガ型のレジストを用いているため、露光工程を行うことにより、隔壁１３が形成される領域のレジスト５１が、後述する現像液に不溶となる。尚、このレジスト５１がポジ型のレジストからなる場合には、ギャップ材混在レジスト層５０のうち、隔壁１３を形成する領域以外の領域に光線が照射される。
【００５７】
図２に示すように、第１の実施形態では、ギャップ材１３１の形状は球状であるため、露光を第二基板１２側からのみ行った場合には、ギャップ材１３１の存在により光線が遮断され露光されない部分が生じる虞がある。このような場合には、第一基板１１側からも露光するのが好ましい。第１の実施形態においては、第一基板１１は表示面を形成する側の基板であり、前述のように透明又は半透明の材料で形成され、光線を通過させるため、第一基板１１側からレジスト５１を露光可能である。このように、第一基板１１側及び第二基板１２側の双方から露光した場合には、ギャップ材の存在により光線が遮断され露光されない部分のレジスト５１を確実に露光することができる。尚、第一基板１１側及び第二基板１２側の双方から露光を行う場合、同時に双方から露光するようにしてもよいし、片側ずついずれかの順に露光するようにしてもよい。
【００５８】
続くＰＥＢ工程において、露光によって固められた部分の側面を滑らかにするため、ギャップ材混在レジスト層５０に対して露光後加熱処理ＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）を行う（Ｓ４０）。この工程を行うことにより、溶剤が蒸発され、潜像が滑らかになり、現像後に得られる隔壁の側面を平状にする効果がある。このＰＥＢ工程では、ギャップ材混在レジスト層５０を、例えば、９５℃で４分間加熱する処理を行う。尚、このＰＥＢ工程は必要に応じて省略してもよいし、より低い温度で時間をより長くしても良い。
【００５９】
続いて、現像工程において、隔壁１３が形成される領域を除く領域のレジストを、現像液で溶かす処理を行う（Ｓ５０）。この工程で用いる現像液としては、テトラメチルアンモニウムハイドライド（ＴＭＡＨ）等の有機アルカリ溶液や、炭酸ナトリウム等の無機アルカリ溶液が用いられる。また、現像方式としては、水平に載置されたレジスト表面上に形成した現像液溜まりにより現像するパドル処理、現像液にレジストを浸漬して現像するディップ処理、レジストに現像液を噴霧して現像するスプレー処理等が用いられる。現像工程後を経たギャップ材混在レジスト層５０のレジスト５１は、図１１に示すように隔壁１３となる領域のレジスト部１３２のみが残る。
【００６０】
現像工程後、好ましくは、ポストベーク工程を行う（Ｓ６０）。この処理は、残存する現像液やリンス液を除去するとともに、レジスト部１３２と第一基板１１との密着性と次工程のエッチング耐性を向上させるための処理である。このポストベーク工程では、例えば、１５０℃で３０分間加熱する処理を行う。尚、このポストベーク工程は必要に応じて省略してもよいし、より低い温度で時間をより長くしても良い。
【００６１】
続いて、エッチングによりギャップ材１３１が第二基板１２側に突出するように、レジスト５１の表面部分を除去するエッチング工程を必要に応じて行う（Ｓ７０）。エッチングに用いる溶液は、レジスト部１３２に用いるレジスト５１，ギャップ材１３１の材料に応じて種々定められ、エッチング液中に浸積するか又はエッチング液をスプレーすることによりエッチングが行われる。この処理により、ギャップ材１３１の一部を第二基板１２に確実に突出させることができる。尚、レジスト５１の種類によっては、露光工程、現像工程、現像工程後の加熱処理時のいずれか、あるいはそれぞれの工程において膜減りする場合がある。それらの工程後、ギャップ材１３１が、第二基板１２側に所望の量だけ突出している場合には、このエッチング工程を省略するようにしてもよい。例えば、平均粒子径３０μｍの球状のギャップ材と、レジストとして化薬マイクロケム株式会社製「ＳＵ−８  ３０００」とを混合したギャップ材混在レジストを、厚さ３０μｍで塗布してギャップ材混在レジス層を形成し、第１の実施形態の製造方法で隔壁を製造した場合、一連の加熱処理（プリベーク工程、ＰＥＢ工程、ポストベーク工程）により、レジストは２μｍ程度膜減りする。ギャップ材の突出高さが２μｍでよい場合には、エッチング工程を省略することができる。
【００６２】
以上の製造工程を備えた電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法により、隔壁１３が製造される。以上詳述した電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法によれば、ギャップ材１３１を含むギャップ材混在レジスト層５０を第一基板１１上に形成し、隔壁１３のパターンを露光するための開口パターンを有するマスク６１を介して露光されたギャップ材混在レジスト層５０を現像して隔壁１３を形成する。このギャップ材混在レジスト層５０は、ギャップ材１３１が混合されたレジストを第一基板１１に塗布することにより少ない工程で容易に形成することができる。ギャップ材混在レジスト層５０の厚みや、露光、現像条件を、ギャップ材１３１の大きさやレジストに用いる材料等に応じて適宜調整することにより、ギャップ材１３１の一部が第二基板１２側に突出した隔壁１３を製造することができる。本発明の製造方法により、基板間距離を一定に保持することが可能で、かつ、セル１７間を連通するセル連通部１８を有する隔壁１３を簡便に製造することができる。
【００６３】
また、ギャップ材混在レジスト層５０の第二基板１２と対向する側の表面のうち、レジストにより形成される表面よりもギャップ材１３１の一部を第二基板側に突出させるようにエッチングしているので、セルとセルとの間を連通させる間隙を確実に形成することができる。さらに、露光工程において、第一基板１１側及び第二基板１２側の双方から露光を行うようにした場合には、第一基板１１側及び第二基板１２側のいずれか一方から露光した場合にギャップ材１３１の存在により光線が遮断され露光されない部分のレジストを確実に露光することができる。
【００６４】
また第１の実施形態の製造方法で製造した隔壁１３を備えた電気泳動表示パネル１は、第一基板１１に立設された隔壁１３が備えるギャップ材１３１を介して第二基板１２とも当接することになるため、ギャップ材１３１を備える隔壁１３により基板間距離を一定に保持することができる。このため、基板間距離が一定に保持されないことに起因する表示ムラが生じる虞を回避することができる。
【００６５】
尚、本発明は、以上詳述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。まず、第１の実施形態は、携帯用の電子機器に具備可能な小型のパネルとして説明したが、電気泳動表示パネル１の大きさや用途等は、種々選択可能であり、これに限定されない。
【００６６】
また、第１の実施形態においては、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面に共通電極２６が設けられ、第二基板１２の第一基板１１に対向する側の面に駆動電極２７が設けられていたが、これに限定されない。したがって例えば、共通電極２６は第一基板１１の表示面側に設けられていてもよいし、駆動電極２７は第二基板１２の第一基板１１と対向する側でない面に設けられていてもよい。また、外部から電極が供給される場合には、第一基板１１に共通電極２６を設けなくてもよいし、第二基板１２に駆動電極２７を設けなくてもよい。
【００６７】
また第１の実施形態においては、第一基板１１が表示面を形成する場合について説明したが、第二基板１２が表示面を形成してもよい。その場合には、第二基板１２を透明又は半透明の材料で形成し、第一基板１１及び共通電極２６は、透明及び半透明でない材料を用いて形成してもよい。ただし、第二基板１２が表示面を形成する場合であっても、隔壁１３が表示に影響を与える場合には、隔壁１３を構成するギャップ材１３１及びレジスト部１３２は視認性の低い色で形成されることが望ましい。
【００６８】
また第１の実施形態では、隔壁１３は格子状の形状を有していたが、これらに限定されることなく、第一基板１１と第二基板１２とにより挟まれた空間を区画する種々の形状を採用可能である。例えば、隔壁１３の形状を平面視長方形、円状又は楕円状に区画してもよい。また、第１の実施形態においては、隔壁１３は各駆動電極２７に対応するセルを形成するように設けられていたが、複数の駆動電極２７に対応するセルを形成するように隔壁を設けてもよい。
【００６９】
また第１の実施形態では、１つのセル１７に対して駆動電極２７が対応するものとして説明したが、１つのセルに対して複数組の駆動電極が対応するものであってもよいし、複数のセルに対して一組のセルが対応するものであってもよい。
【００７０】
また第１の実施形態では、ギャップ材１３１とレジストとを所定の割合で混合してギャップ材混在レジストを調製し、そのギャップ材混在レジストを第一基板１１に塗布してギャップ材混在レジスト層５０を形成するようにしていたが、別の方法によりギャップ材混在レジスト層を形成してもよい。例えば、ギャップ材がほぼ均一に散布された平面板に、第一基板１１の第二基板１２と対向する側の面に所定の厚みで形成されたレジスト膜を押しつけてギャップ材混在レジスト層を形成するようにしてもよい。また例えば、後述する第２の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程のようにしてもよい。
【００７１】
次に、第２の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法を、図１２〜図１７を参照して説明する。図１２は、第２の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造工程を説明するためのフローチャートであり、図１３は、第２の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程を説明するためのフローチャートである。また図１４は、ギャップ材混在レジスト層形成工程が備えるレジスト膜形成工程において、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面に形成されたレジスト膜１５４を説明するための説明図である。また図１５は、ギャップ材混在レジスト層形成工程が備えるギャップ材配置工程において、レジスト膜１５４上にギャップ材１３１が配置された状態を説明するための説明図である。また図１６は、ギャップ材混在レジスト層形成工程が備える露光工程を説明するための説明図である。また図１７は、ギャップ材混在レジスト層形成工程が備える押圧工程において形成されたギャップ材混在レジスト層１５０を説明するための説明図である。尚、各工程を模式的に説明するために、図１２〜図１７に示す各構成は、電気泳動表示パネル１の断面の一部を模式的に示している。
【００７２】
第２の実施形態では、図１２及び図１３のフローチャートに示すように、ギャップ材混在レジスト層形成工程と、ギャップ材混在レジスト層形成工程後にプリベーク工程及び露光工程が行われない点で第１の実施形態と異なる。第１の実施形態と同様の工程については説明を省略し、以下、第１の実施形態とは異なるギャップ材混在レジスト層形成工程について図１３を参照して説明する。第２の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程では、レジスト膜１５４の表面にギャップ材１３１をほぼ均一に散布した後、そのギャップ材１３１を押圧してレジスト膜１５４内に押し込み、ギャップ材混在レジスト層１５０を形成するようにしている。
【００７３】
そこで図１３のフローチャートに示すように、まず、レジスト膜形成工程において、第一基板１１の第二基板１２と対向する側の面に、所定の厚みでレジスト膜１５４（図１４参照）が形成される（Ｓ１１１）。レジスト膜１５４を形成するレジストとして、ネガ型のレジスト及びポジ型のレジストのいずれのレジストを用いてもよく、さらに、塗布するタイプのレジストの他、フィルムタイプのレジストを用いてもよい。レジスト膜１５４の材料として、塗布するタイプのレジストを用いる場合には、第１の実施形態とは異なり、レジスト膜１５４を形成するレジストにはギャップ材１３１が混在していないので、塗布するタイプのレジストを回転塗布してレジスト膜１５４を形成してもよい。またレジスト膜１５４の材料として、フィルムタイプのレジストを用いる場合には、ラミネーターを用い、第一基板１１の第二基板１２と対向する側の面に貼り付けることにより、レジスト膜１５４を形成する。このとき、貼り付け圧力、ローラー温度、ローラー回転速度を調整することにより、所望のレジスト膜１５４が得られる。また、レジスト膜形成工程で形成されるレジスト膜１５４の膜厚は、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面に垂直な方向のギャップ材の長さ（以下、「ギャップ材長さ」と言う。）未満となるように形成されるのが好ましい。ギャップ材が球状である場合は平均粒子径が、ギャップ材長さとなる。また、ギャップ材が球状ではなく、例えば、２５μｍ×２５μｍ×３５μｍの直方体状であり、第二基板１２とギャップ材１３１との接触面積が大きくなるように配置される場合には、ギャップ材長さは２５μｍとなる。このような膜厚を有するレジスト膜１５４を形成することにより、後段の工程においてエッチング等の特別な処理を施すことなく、ギャップ材１３１の一部を第二基板１２側に確実に突出させることができる。
【００７４】
続くギャップ材配置工程において、レジスト膜形成工程において形成されたレジスト膜１５４の第二基板１２に対向する側の面に、ギャップ材１３１を配置する（Ｓ１１２）。ギャップ材１３１は、例えば、ギャップ材散布装置によりレジスト膜１５４の第二基板１２に対向する側の面に均一に散布されることにより、図１５に示すように、レジスト膜１５４上に配置される。上述のように、表示領域全面に亘って均一に基板間距離を保持するため、レジスト膜１５４上に配置された隣り合うギャップ材１３１の間隔は一定である方が好ましいが、ギャップ材１３１の間隔は異なっていてもよい。同様に、ギャップ材１３１の配置パターンは、規則性を有していてもよいし、不規則であってもよい。
【００７５】
ギャップ材配置工程後、好ましくは、ギャップ材混在レジスト層を加熱処理するプリベーク工程（Ｓ１１３）を行い、残存溶媒量を調整する。このプリベーク工程において、レジスト膜１５４は、例えば９５℃で１０分間加熱処理される。尚、このプリベーク工程は必要に応じて省略してもよいし、より低い温度で時間をより長くしても良い。
【００７６】
続く露光工程において、レジスト膜１５４の材料としてネガ型レジストを用いる場合には、図１６に示すように、隔壁１３が立設される領域の上部以外の領域を覆うマスク１６１を介して、ギャップ材１３１が配置されたレジスト膜１５４に所定波長又は所定エネルギーの光線（矢印１７１で図示）が照射される（Ｓ１１４）。露光条件はレジストの感光波長に応じて定められ、例えば、波長３６５ｎｍ（ｉ線）が所定時間照射される。この露光工程の処理により、隔壁１３が形成される領域のうち、ギャップ材１３１により光線が遮断されない領域のレジスト膜１５４が、後述する現像液に不溶となる。尚、図１６はレジスト膜１５４が、ネガ型のレジストからなる場合を示しているが、このレジスト５１がポジ型のレジストからなる場合には、レジスト膜１５４のうち、隔壁１３を形成する領域以外の領域に光線が照射される。尚、第２の実施形態のようにネガ型レジストをレジスト膜１５４の材料として用いる場合、続いて行われる押圧工程（Ｓ１１５）を考慮し、Ｓ１１４における露光工程においては、第１の実施形態の露光工程のように第一基板１１側及び第二基板１２側の双方からは露光しないようにしている。
【００７７】
続く押圧工程において、レジスト膜１５４上に配置されたギャップ材１３１が押圧され、ギャップ材１３１がレジスト膜１５４に押し込まれ、レジスト膜１５４中にギャップ材１３１が混在したギャップ材混在レジスト層１５０が形成される（Ｓ１１５）。ギャップ材１３１を押し込む量、即ちギャップ材１３１の第二基板１２側への突出高さは、押圧量（圧力の大きさ、圧力をかける時間、押し込む距離）を調整することにより調整される。また、表面が平らな板片等の押圧面を備える機材を用いてギャップ材１３１を押圧する場合には、ギャップ材１３１の第二基板１２側への突出高さが均一になるように容易に調整することができる。このため、大きさが均一ではないギャップ材１３１を用いた場合にも、ギャップ材１３１の第二基板１２側への突出高さを均一にすることができる。
【００７８】
以上の製造方法により、第２の実施形態のギャップ材混在レジスト層１５０が形成される。以上詳述した電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法によれば、レジスト膜１５４の表面上に配置されたギャップ材１３１をレジスト膜１５４側に押圧して、ギャップ材１３１をレジスト膜１５４に押し込むことにより、容易にギャップ材混在レジスト層１５０を形成することができる。また、ギャップ材１３１がレジスト膜１５４に押し込まれる量は、押圧量（圧力の大きさと、圧力を加える時間、押し込む距離）により調節することができるため、第二基板１２側へのギャップ材１３１の突出量は容易に調整可能である。
【００７９】
また、レジスト膜形成工程（図１３に示すフローチャートのＳ１１１）で形成されるレジスト膜１５４の膜厚を、ギャップ材１３１を備える隔壁１３により規定される基板間距離よりも薄くなるように形成することにより、ギャップ材１３１を第二基板側に確実に突出させることができる。したがって、本発明の製造方法で製造された隔壁１３は、第一基板１１と第二基板１２との双方に当接しつつ、セル１７とセル１７との間を連通させるセル連通部１８を形成でき、そのセル連通部１８の大きさは、ギャップ材１３１の添加量、押圧量及び、レジスト膜１５４の膜厚を調節することにより容易に調整可能である。さらに、押圧工程（図１３に示すフローチャートのＳ１１５）において各ギャップ材１３１を押圧する際に、表面が平らな板片等の押圧面を備える機材を用いることにより、ギャップ材１３１の突出高さが均一になるように調整することができる。このため、大きさの均一性が低いギャップ材１３１を用いた場合にも、ギャップ材１３１の第二基板１２側への突出高さを均一にすることができる。レジスト膜１５４の材料としてポジ型のレジストを用いる場合にも、必要に応じて第２の露光工程を備えるようにしてもよい。
【００８０】
尚、本発明は、以上詳述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。例えば、上記第２の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法では、露光工程においてギャップ材１３１により光線が遮断された領域のネガ型のレジストが十分に硬化していないと判断される場合には、図１２に示すフローチャートのＳ１１とＳ４０との間の工程として、再度第一基板１１側又は第二基板１２から露光する第２の露光工程を備えるようにしてもよい。
【００８１】
また第２の実施形態では、図１２のフローチャートに示すように、ポストベーク工程（Ｓ６０）後にエッチング工程を行わなかったが、ポストベーク工程を行った後に、ギャップ材１３１が第二基板１２側に突出していない場合には、第１の実施形態の場合と同様のエッチング工程を行うようにしてもよい。
【００８２】
また第２の実施形態では、図１３に示すフローチャートのＳ１１５において、ギャップ材１３１を押圧して、レジスト膜１５４へ押し込んでいた。この押圧工程に代えて、遠心力によりギャップ材１３１をレジスト膜１５４に押し込んでギャップ材混在レジスト層１５０を形成する遠心工程を行うようにしてもよい。この遠心工程は、ギャップ材が配置されている側を所定の中心点に向けた第一基板１１を、その中心点を中心として円運動させることにより行われる。押圧工程に代えて遠心工程を行う場合には、ギャップ材がレジスト膜に押し込まれる量は、ギャップ材に加える遠心力の大きさや遠心力を加える時間により調整することができるため、ギャップ材を第二基板側に突出させる量を容易に調整可能である。
【００８３】
この押圧工程又は遠心工程は、図７のフローチャートに示す第１の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程において行うようにしてもよい。この場合を変形例１として、図７及び図１８に示すフローチャートを参照して説明する。図１８は、変形例１のギャップ材混在レジスト層形成工程を説明するためのフローチャートである。図７に示すフローチャートのギャップ材混在レジスト層形成工程において、図１８に示すフローチャートのように、レジスト膜形成工程（Ｓ１１１）ギャップ材配置工程（Ｓ１１２）を行った後、押圧工程又は遠心工程（Ｓ１２５）を行うようにすればよい。これらの工程は図１３に示す第２の実施形態の各工程と同様であるので説明を省略する。
【００８４】
この変形例１の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造方法によれば、第２の実施形態と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】電気泳動表示装置１００が備える電気泳動表示パネル１の外観を示す斜視図である。
【図２】図１に示す電気泳動表示パネル１のＺ−Ｚ線における矢視方向部分断面を模式的に表した図である。
【図３】図２に示す電気泳動表示パネル１の模式的な部分断面図のＸ−Ｘ線における矢視方向断面を模式的に表した図である。
【図４】図３に示す電気泳動表示パネル１の模式的な部分断面図のＹ−Ｙ線における矢視方向断面を模式的に表した図である。
【図５】第一基板１１の表示面の表示領域全域に黒色が表示された状態を表す説明図である。
【図６】第一基板１１の表示面の表示領域全域に白色が表示された状態を表す説明図である。
【図７】第１の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造工程を説明するためのフローチャートである。
【図８】第１の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程を説明するためのフローチャートである。
【図９】ギャップ材混在レジスト層形成工程において形成されたギャップ材混在レジスト層５０を説明するための説明図である。
【図１０】露光工程を説明するための説明図である。
【図１１】現像工程を経て残っているギャップ材１３１及びレジスト部１３２を表す説明図である。
【図１２】第２の実施形態の電気泳動表示パネル１の隔壁１３の製造工程を説明するためのフローチャートである。
【図１３】第２の実施形態のギャップ材混在レジスト層形成工程を説明するためのフローチャートである。
【図１４】ギャップ材混在レジスト層形成工程が備えるレジスト膜形成工程において、第一基板１１の第二基板１２に対向する側の面に形成されたレジスト膜１５４を説明するための説明図である。
【図１５】ギャップ材混在レジスト層形成工程が備えるギャップ材配置工程において、レジスト膜１５４上にギャップ材１３１が配置された状態を説明するための説明図である。
【図１６】ギャップ材混在レジスト層形成工程が備える露光工程を説明するための説明図である。
【図１７】ギャップ材混在レジスト層形成工程が備える押圧工程において形成されたギャップ材混在レジスト層１５０を説明するための説明図である。
【図１８】変形例１のギャップ材混在レジスト層形成工程を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００８６】
１    電気泳動表示パネル
１１    第一基板
１２    第二基板
１３    隔壁
１５    帯電粒子
１６    分散媒
１７    セル
２６    共通電極
５０，１５０    ギャップ材混在レジスト層
５１    レジスト
１３１    ギャップ材
１５１    黒色帯電粒子
１５２    白色帯電粒子
１５４    レジスト膜
【図１】
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【図２】
2008170633.tif 000004
【図３】
2008170633.tif 000005
【図４】
2008170633.tif 000006
【図５】
2008170633.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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