(57)【要約】【課題】液体の吐出時、液体の温度変化を最小にして液体の粘度を一定に維持することにより、液体を定量吐出できるディスペンス装置を提供する。【解決手段】本発明に係るディスペンス装置は、基板に対して相対移動しながら、液体を保存するシリンジ（ｓｙｒｉｎｇｅ）から供給された液体を前記基板上に吐出するノズル、前記シリンジと前記ノズルとの間に設けられ、開閉動作により前記シリンジからの液体を前記ノズルに選択的に供給する弁ユニット、前記弁ユニットの開閉動作を制御して前記ノズルからの液体の吐出を制御する弁制御部、及び、前記弁ユニットを通過する液体の温度を設定温度に維持する定温維持ユニット、を含むことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して相対移動しながら、液体を保存するシリンジ（ｓｙｒｉｎｇｅ）から供給された液体を前記基板上に吐出するノズル、
前記シリンジと前記ノズルとの間に設けられ、開閉動作により前記シリンジからの液体を前記ノズルに選択的に供給する弁ユニット、
前記弁ユニットの開閉動作を制御して前記ノズルからの液体の吐出を制御する弁制御部、及び
前記弁ユニットを通過する液体の温度を設定温度に維持する定温維持ユニット、
を含むことを特徴とするディスペンス装置。
【請求項２】
前記定温維持ユニットは、前記弁ユニットの温度を測定する温度センサー、
前記弁ユニットから発生した熱を吸収し、あるいは、自体発熱した熱を前記弁ユニットに供給する吸熱、発熱機、
前記温度センサーで測定した温度と前記設定温度とを比較判断し、前記吸熱、発熱機の制御信号を出力して前記弁ユニットの温度を設定温度に維持する定温維持制御部、及び
定温維持制御部からの制御信号によって電源から前記吸熱、発熱機に印加される電流方向を切替えて前記吸熱、発熱機の吸熱または発熱を可能にする切替スイッチ、
からなることを特徴とする請求項１に記載のディスペンス装置。
【請求項３】
前記吸熱、発熱機は熱電素子であることを特徴とする請求項２に記載のディスペンス装置。
【請求項４】
前記弁ユニットと吸熱、発熱機との間に熱伝導部材をさらに含むことを特徴とする請求項３に記載のディスペンス装置。
【請求項５】
前記定温維持ユニットは、前記弁ユニットから伝わって前記吸熱、発熱機で吸収した熱を外部に放出するヒートシンクをさらに含むことを特徴とする請求項３に記載のディスペンス装置。
【請求項６】
前記シリンジ内の圧力を一定に維持する定圧ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のディスペンス装置。
【請求項７】
前記弁ユニットは、前記シリンジの出口に連結されて前記出口から吐出される液体が流入する流入口が一端部に設けられ、ノズルの入口に連結されて流入口から流入した液体を前記ノズルの入口に吐出する流出口が他端部に設けられ、内部には前記流入口と流出口との間を連通する流路が形成される弁本体、
前記弁本体の流路に配設され、前記流出口を開放して前記液体の流出を許容する第１位置と前記流出口を閉塞して前記液体の流出を阻止する第２位置との間を摺動しながら液体の吐出を制御するボール弁、
自体の弾性力により前記ボール弁を前記第１位置から第２位置に付勢して前記流出口を閉塞する弾性部材、及び
前記弁制御部の制御によって印加される電圧により発生した電磁気力が前記弾性部材の弾性力に抗して前記ボール弁を前記第２位置から第１位置に摺動させて前記流出口を開放するボール弁駆動部、
からなることを特徴とする請求項１に記載のディスペンス装置。
【請求項８】
前記液体は液晶であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のディスペンス装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はディスペンス装置に係り、より詳細には液体吐出時、液体温度変化を最小にして液体粘度を一定に維持することにより、液体を定量吐出できるディスペンス装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、平板ディスプレー（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＰＤ）とは、ブラウン管を採用したテレビやモニターに比べて、厚さが薄くて軽量の映像表示装置を称する。このような平板ディスプレーとしては、液晶ディスプレー（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）、プラズマディスプレー（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ、ＰＤＰ）、電界放出ディスプレー（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）、有機ＥＬディスプレー（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｓｐｌａｙ，ＯＬＥＤ）などが開発されて使用されている。
【０００３】
この中で、液晶ディスプレーはマトリックス状に配列した液晶セルに画像情報によるデータ信号を個別的に供給して各液晶セルの光透過率を調節することによって、所要の画像を表示できるようにした表示装置であり、薄膜軽量で、且つ低消費電力、低動作電圧などの長所によって広く使用されている。
このような液晶ディスプレーにおいて、一般的に採用する液晶パネルの製造方法の一例について、以下に説明する。
【０００４】
まず、上部ガラス基板をパターニングしてカラーフィルター及び共通電極のパターンを形成し、上部ガラス基板と対向する下部ガラス基板をパターニングして薄膜トランジスター（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、ＴＦＴ）及び画素電極のパターンを形成する。続いて、それぞれの基板に配向膜を塗布した後、これらの基板の間に形成される液晶層の液晶分子にプレチルト角（ｐｒｅｔｉｌｔ  ａｎｇｌｅ）と配向方向を提供するために、配向膜をラビングする。そして、これらの基板の間のギャップを維持すると共に、液晶が外部に漏洩することを阻止して両基板を密封するために、いずれかの基板にシールペーストを所定パターンに塗布する。次に、基板の間に液晶層を形成して、液晶パネルの製造が完了する。
【０００５】
この時、液晶層を形成方式の一例として、液晶滴下方式を挙げることができる。液晶滴下方式は、基板のシールペーストで規定した空間に液晶を滴下して液晶層を形成し、基板の間を封着した後、シールペーストを硬化させて封合する方式である。このような液晶滴下方式により液晶層を形成するために、液晶滴下装置であるディスペンス装置を利用している。ディスペンス装置は液晶を保存したシリンジからの液晶をノズルに供給し、ノズルは基板に対して相対移動しながら、基板上に液晶を吐出する。これによって、基板上に液晶を滴下する。
【０００６】
一般的に、このようなディスペンス装置により吐出した液晶は、粘度が温度変化に非常に敏感である。このように液晶の粘度が変われば、シリンジとノズルとの間の流路を開閉しながら、液晶に一定の吐出圧を加えて液晶を吐出する方式の場合は、液晶に加わる吐出圧の変動によって設定した一定量に液晶を吐出することができなくなる。
このような液晶の温度変化は周囲環境の温度変化によるか、特に液晶の吐出を制御するために弁ユニットの開閉過程で弁ユニットから発生した熱が液晶に伝えられて発生する。したがって、液晶の定量吐出のためには、液晶の粘度変化を引き起こす液晶の温度変化要因を除去する必要がある。
【特許文献１】特開平０６−１２１９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述した問題点を解決するためになされた本発明は、液体の吐出時液体の温度変化を最小にして液体粘度を一定に維持することにより、液体を定量吐出できるディスペンス装置を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するため、本発明に係るディスペンス装置は、基板に対して相対移動しながら、液体を保存するシリンジ（ｓｙｒｉｎｇｅ）から供給された液体を前記基板上に吐出するノズル、前記シリンジと前記ノズルとの間に設けられ、開閉動作により前記シリンジからの液体を前記ノズルに選択的に供給する弁ユニット、前記弁ユニットの開閉動作を制御して前記ノズルからの液体の吐出を制御する弁制御部、及び、前記弁ユニットを通過する液体の温度を設定温度に維持する定温維持ユニット、を含むことを特徴とする。
【０００９】
前記定温維持ユニットは、前記弁ユニットの温度を測定する温度センサー、前記弁ユニットから発生した熱を吸収し、あるいは、自体発熱した熱を前記弁ユニットに供給する吸熱、発熱機、前記温度センサーで測定した温度と前記設定温度とを比較判断し、前記吸熱、発熱機の制御信号を出力して前記弁ユニットの温度を設定温度に維持する定温維持制御部、及び、定温維持制御部からの制御信号によって電源から前記吸熱、発熱機に印加される電流方向を切替えて前記吸熱、発熱機の吸熱または発熱を可能にする切替スイッチ、からなり、前記吸熱、発熱機は熱電素子であり、前記弁ユニットと吸熱、発熱機との間に熱伝導部材をさらに含むことを特徴とする。
【００１０】
前記定温維持ユニットは、前記弁ユニットから伝わって前記吸熱、発熱機で吸収した熱を外部に放出するヒートシンクをさらに含むことを特徴とする。
【００１１】
また、前記シリンジ内の圧力を一定に維持する定圧ユニットをさらに含むことを特徴とする。
【００１２】
前記弁ユニットは、前記シリンジの出口に連結されて前記出口から吐出される液体が流入する流入口が一端部に設けられ、ノズルの入口に連結されて流入口から流入した液体を前記ノズルの入口に吐出する流出口が他端部に設けられ、内部には前記流入口と流出口との間を連通する流路が形成される弁本体、前記弁本体の流路に配設され、前記流出口を開放して前記液体の流出を許容する第１位置と前記流出口を閉塞して前記液体の流出を阻止する第２位置との間を摺動しながら液体の吐出を制御するボール弁、自体の弾性力により前記ボール弁を前記第１位置から第２位置に付勢して前記流出口を閉塞する弾性部材、及び、前記弁制御部の制御によって印加される電圧により発生した電磁気力が前記弾性部材の弾性力に抗して前記ボール弁を前記第２位置から第１位置に摺動させて前記流出口を開放するボール弁駆動部、からなり、前記液体は液晶であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、弁内に流入した液体の粘度を一定に維持できるように弁の温度を一定に維持する定温維持ユニットを備えることによって、液晶などのような液体を定量吐出できる。さらに、微量の液体吐出時も液体を定量吐出できる。したがって、各種平板ディスプレー用のパネル製造時、パネルの品質低下を防止できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施形態について詳細に説明する。
【実施例】
【００１５】
図１は本発明の一実施形態に係るディスペンス装置を示す構成図である。図１に示す通り、本発明の一実施形態に係るディスペンス装置１００は、各種平板ディスプレー用のパネル製造において、基板１０上に液晶などのような液体を滴下するためのノズル１１１を備える。
シリンジ１１２から液晶などのような液体が供給されるノズル１１１は、基板１０に対して相対移動しながら、シリンジ１１２から供給された液体を基板１０上に吐出する。このノズル１１１はヘッドユニット１１０に装着できる。ここで、ヘッドユニット１１０はフレーム１０１上に一方向に摺動可能に設けられたヘッド支持部１０２に装着できる。そして、ヘッドユニット１１０はヘッド支持部１０２の移動方向に垂直に摺動可能に設けることによって、ノズル１１１は基板１０に対して相対移動可能である。
【００１６】
このノズル１１１を通じて基板に吐出される液体を保存するシリンジ１１２は、ノズル１１１を結合した状態でヘッドユニット１１０に装着し、あるいは、配管を介してノズル１１１に連結した状態でヘッド支持部１０２などに装着できる。そして、シリンジ１１２には定圧ユニット１３０を設けることが好ましい。定圧ユニット１３０はシリンジ１１２内の圧力を一定に維持するようにシリンジ１１２内にガスを供給することによって、ノズル１１１から液体が定量吐出できるようにする。
【００１７】
シリンジ１１２とノズル１１１との間には、シリンジ１１２から液体をノズル１１１に選択的に供給する弁ユニット１２０が設けられている。また、弁ユニット１２０の開閉動作を制御してノズル１１１からの液体の吐出を制御する弁制御部１２９をさらに含んでいる。弁制御部１２９は基板１０上に液体を吐出する必要がない場合に、弁ユニット１２０を閉塞してノズル１１１からの液体の吐出を阻止する。一方、基板１０上に液体を吐出する必要がある場合、弁制御部１２９は弁ユニット１２０を開放して設定した一定量の液体がノズル１１１から吐出するように制御する。
【００１８】
前述のように、シリンジ１１２とノズル１１１との間に設けられた弁ユニット１２０は、弁制御部１２９の制御信号によってシリンジ１１２から液体をノズル１１１に選択的に供給する役割を果たす。弁ユニット１２０の開閉動作を制御する弁制御部１２９は、ディスペンス装置１００のシステム全体を制御する制御部に含んで構成することも可能である。
弁ユニット１２０は一般的な開閉可能弁が利用でき、その構成の一例を図２に示す。
図２に示した弁ユニット１２０は、弁本体１２２、ボール弁１２３、及び弾性部材１２４を備える。また、弁ユニット１２０の制御のためにボール弁駆動部１２５を示す。
【００１９】
弁本体１２２は、その一端部にシリンジ１１２の出口に連結されて出口から吐出される液体が流入する流入口１２２ａが形成され、その他端部にはノズル１１１の入口に連結されて流入口１２２ａから流入した液体をノズル１１１の入口に吐出する流出口１２２ｂが形成される。
ボール弁１２３は弁本体１２２内で流出口１２２ｂを開閉するため摺動できるように設置される。すなわち、弁本体１２２の流路に設けられたボール弁１２３は流出口１２２ｂを開放して液体の流出を許容する第１位置と、流出口１２２ｂを閉塞して液体の流出を阻止する第２位置との間を摺動しながら、液体の吐出を制御する。
【００２０】
例えば、圧縮コイルバネのような弾性部材１２４は、自体の弾性力によりボール弁１２３が流出口１２２ｂを閉塞する方向にボール弁１２３を付勢する。これによって、ボール弁駆動部１２５からの駆動力がボール弁１２３に作用しない状態では、ボール弁１２３が流出口１２２ｂを閉塞した状態である第１位置に維持される。
ボール弁駆動部１２５はボール弁１２３が弾性部材１２４により流出口１２２ｂを閉塞した状態で、外力により流出口１２２ｂを開放する方向に移動して液体の流出を許容する第１位置に維持できる。ここで、ボール弁１２３の移動のために利用する外力として、この実施形態に係るボール弁駆動部１２５では弁制御部１２９の制御信号によって印加される電圧により発生した電磁気力を例示する。
【００２１】
電磁気力を利用するボール弁駆動部１２５は、一側にボール弁１２３が固着されて他側に弾性部材１２４が弾持され、弁本体１２２内に摺動可能に配設されるプランジャー１２６と、プランジャー１２６の周りを取り囲むように弁本体１２２に埋設された電気コイル１２７とから構成される。プランジャー１２６は電気コイル１２７により発生した電磁気力により移動できるように磁性を持つ。そして、電気コイル１２７は弁制御部１２９の制御信号に基づいて電源から電流が印加されると、電磁気力を発生してプランジャー１２６を移動させる。したがって、プランジャー１２６は弾性部材１２４の弾性力に抗して弁本体１２２の内側に摺動すると同時に、プランジャー１２６に固着されたボール弁１２３も共に移動しながら、流出口１２２ｂを開放する。これによって、液体の流出を許容するようになる。
【００２２】
このように、弁ユニット１２０は電源から印加される電圧により流体の流れを開閉する動作を繰り返して行う。この時、開閉動作の過程で弁ユニット１２０から熱が発生する。このように弁ユニット１２０から発生した熱は弁ユニット１２０内に流入した液体に伝えられて液体の温度を変化させるようになり、これによって液体の粘度が変化する恐れがある。このような液体の粘度変化は弁ユニット１２０周囲の温度変化によって引き起こされる場合もある。このように液体の粘度に変化があると、液体の吐出時液体に加えられる吐出圧が変化する。これによって、液体が設定した一定量に吐出しない可能性がある。特に、微量の液体を吐出する場合、その可能性はより高くなる。
【００２３】
これを防止するために、この実施形態では定温維持ユニット１４０を用いる。この定温維持ユニット１４０は弁ユニット１２０内に流入した液体の温度を設定温度に一定に維持することによって、液体粘度を一定に維持できる。これによって、ノズル１１１からの液体の吐出時液体に加わる吐出圧は一定になって、微量の液体の吐出時にも設定した一定量の吐出が可能になる。
このような定温維持ユニット１４０は、図３及び図４に示すように構成できる。図３及び図４に示した定温維持ユニット１４０は、温度センサー１４１、吸熱、発熱機１４２  及び、定温維持制御部１４３から構成される。
【００２４】
温度センサー１４１は弁ユニット１２０の温度を測定するためのものである。温度センサー１４１は弁ユニット１２０の表面に付着することによって、弁ユニット１２０の表面から放出する熱の温度を測定できる。温度センサー１４１としては、サーミスター（ｔｈｅｒｍｉｓｔｏｒ）などを利用できる。このように温度センサー１４１で測定した温度情報は定温維持制御部１４３に提供され、定温維持制御部１４３はこの温度情報に基づいて吸熱、発熱機１４２を制御できる。
吸熱、発熱機１４２は弁ユニット１２０から発生した熱を吸収して冷却させたり、自体発熱した熱を弁ユニット１２０に供給して加熱させたりすることができる。
【００２５】
このような吸熱、発熱機１４２としては、熱電素子を利用できる。熱電素子は電流により熱を吸収するか、または熱を発生する現象であるペルティエ（Ｐｅｌｔｉｅｒ）効果を利用して、吸熱または発熱を引き起こすことができる素子である。例えば、ペルチェ素子サーやサーモーモジュールなどがある。ここで、ペルティエ効果とは、２種類の金属の端部を接続させて電流を印加すると、電流の方向によって一つの端子は吸熱し、他の端子は発熱を起こす現象である。このような熱電素子は電流の方向によって吸熱と発熱との間で切換えでき、電流量によって吸熱量または発熱量の調節が可能な特性がある。
【００２６】
この実施形態によれば、電流方向によって吸熱と発熱との間に切換えができ、電流量によって吸熱量または発熱量を調節できる熱電素子の特性を利用することによって、弁ユニット１２０から発生した熱を吸収して冷却させたり、弁ユニット１２０に熱を供給して加熱させることが可能である。すなわち、吸熱、発熱機１４２として熱電素子を利用する場合、定温維持制御部１４３は熱電素子が吸熱または発熱を起こすように、  電流の方向を切替えて供給できる一方、電流量を変化させて熱電素子の吸熱量または発熱量を調節できるように構成する。そして、定温維持制御部１４３は温度センサー１４１で測定した温度情報に基づいて、  熱電素子を制御することによって、弁ユニット１２０の温度を一定に維持できる。
【００２７】
すなわち、定温維持制御部１４３は温度センサー１４１で測定した液体の温度を設定温度と比較して、測定温度が設定した温度より高いと判断すれば、弁ユニット１２０からの熱を熱電素子が吸収するために熱電素子に電流を印加するように制御する。したがって、測定温度と設定温度との差に相応する量の電流が電源から熱電素子に供給される。反面、定温維持制御部１４３は温度センサー１４１で測定した液体の温度を設定温度と比較して、測定温度が設定温度より低いと判断すれば、熱電素子からの熱を弁ユニット１２０に供給するために熱電素子に印加される電流の方向を切替える。したがって、測定温度と設定温度との差に相応する量の電流が電源から熱電素子に供給される。
【００２８】
このように定温維持制御部１４３は熱電素子に電流を供給する過程で、温度センサー１４１の入力信号に基づいて弁ユニット１２０の温度が設定温度に到達したと判断すれば、熱電素子に供給される電流を遮断する。このような定温維持制御部１４３によりフィードバック制御を持続的に行えば、弁ユニット１２０の温度を常に一定に維持できる。
【００２９】
このような吸熱、発熱機１４２と弁ユニット１２０との間には熱伝導部材１４４をさらに配設することが好ましい。熱伝導部材１４４は弁ユニット１２０から発生した熱が吸熱、発熱機１４２に円滑に伝わるようにする一方、吸熱、発熱機１４２から生成した熱が弁ユニット１２０に円滑に伝わるようにする。それと共に、熱伝導部材１４４は弁ユニット１２０を支持する役割を兼ねることができる。
そして、吸熱、発熱機１４２の外部にはヒートシンク１４５をさらに配設することが好ましい。ヒートシンク１４５は弁ユニット１２０から伝わって吸熱、発熱機１４２で吸収した熱を外部に放出する役割を果たす。これによって、弁ユニット１２０から吸熱、発熱機１４２に吸収された熱を外部に速かに放出できる。
【００３０】
ヒートシンク１４５は放熱効果を高めるために、広い放熱面積を提供する構造であることが好ましい。その一例として、ヒートシンク１４５は空気流入孔と空気流出孔を有し、空気流入孔と空気流出孔との間に内部流路を有する構造に構成することができる。また、ヒートシンク１４５は表面を凹凸構造に構成することができ、表面には多数の放熱フィンを形成した構造にすることができる。この外にも、ヒートシンク１４５は多様な構造にすることができることは勿論である。
【００３１】
次に、このように構成したディスペンス装置１００の作用を概略的に説明する。
まず、シリンジ１１２に定圧ユニット１３０を連通してシリンジ１１２内の圧力を一定に維持させる。この状態で、ノズル１１１を通じて基板１０上に設定量の液体を吐出するために、弁制御部１２２により弁ユニット１２０を開放してシリンジ１１２からノズル１１１に液体を供給する。このようにノズル１１１を通じて液体を吐出させる過程で、既に設定した量に液体の吐出が完了すると、弁制御部１２２により弁ユニット１２０を閉塞してシリンジ１１２からノズル１１１内への液体の供給を遮断する。
【００３２】
このような弁ユニット１２０の開閉動作を繰り返して行いながら、設定量の液体を数回吐出させる過程で、または周囲温度の上昇によって弁ユニット１２０の温度が上昇すると、定温維持ユニット１４０の定温維持制御部１４３は温度センサー１４１で測定した液体の温度を設定温度と比較判断して、吸熱、発熱機１４２を制御する。これによって、弁ユニット１２０の温度を一定に維持する。
【００３３】
より詳細に説明すると、定温維持制御部１４３は測定温度が設定温度より高いと判断すれば、弁ユニット１２０から発生した熱を吸熱、発熱機１４２が吸収できるように吸熱、発熱機１４２を制御する。この時、測定温度と設定温度との差を減らすのに十分な程度に吸熱できるように電源からの電流を吸熱、発熱機１４２に供給する。これによって、弁ユニット１２０から発生した熱は熱伝導部材１４４を介して吸熱、発熱機１４２で円滑に吸収し、吸熱、発熱機１４２で吸収した熱はヒートシンク１４５を通じて速かに外部に放出される。
【００３４】
一方、定温維持制御部１４３は、測定温度が設定温度より低いと判断すれば、吸熱、発熱機１４２から弁ユニット１２０に熱を加えるように吸熱、発熱機１４２を制御する。この時、測定温度と設定温度との差を減らすのに十分な程度に発熱できるように、電源からの電流を吸熱、発熱機１４２に供給する。これによって、吸熱、発熱機１４２から発生した熱は熱伝導部材１４４を介して弁ユニット１２０に円滑に伝えられて弁ユニット１２０を加熱する。
【００３５】
このように、定温維持制御部１４３は弁ユニット１２０を冷却または加熱する過程で、温度センサー１４１からの入力信号に基づいて弁ユニット１２０の測定温度が設定温度に到達したと判断すれば、弁ユニット１２０に対する吸熱または発熱がそれ以上行われないように、吸熱、発熱機１４２に供給される電流を遮断する。このような定温維持制御部１４３によるフィードバック制御を持続的に行いながら、弁ユニット１２０の温度を一定に維持できる。したがって、弁ユニット１２０内に流入した液体の粘度を一定に維持でき、ノズル１１１から液体を吐出する時、液体に加えられる吐出圧を一定に維持できる。その結果、微量の液体の吐出時にも設定量に対応して定量吐出が可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明によれば、弁内に流入した液体の粘度を一定に維持できるように弁の温度を一定に維持する定温維持ユニットを備えることによって、液晶などのような液体を定量に吐出でき、微量の液体の吐出時も液体を定量に吐出できる。したがって、各種平板ディスプレー用のパネルの製造時パネルの品質低下を防止できる。従って、本発明の産業利用性はきわめて高いものといえる。
【００３７】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されず、本発明の属する技術範囲を逸脱しない範囲での全ての変更が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係るディスペンス装置を概略的に示す構成図である。
【図２】図１において弁の一例を示す断面図である。
【図３】図１において定温維持ユニットを拡大して示す断面図である。
【図４】図３の定温維持ユニットの構成品を分解して示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３９】
１１１    ノズル
１１２    シリンジ
１２０    弁ユニット
１２９    弁制御部
１４０    定温維持ユニット
１４１    温度センサー
１４２    吸熱、発熱機
１４３    定温維持制御部  
【図１】
2008110332.tif 000003
【図２】
2008110332.tif 000004
【図３】
2008110332.tif 000005
【図４】
2008110332.tif 000006