(57)【要約】【課題】ダイシングウエハ上のウエハ保護シートの挿入時にダイシングウエハ表面に傷を付けることなく挿入する。【解決手段】ウエハ保護シート１の挿入時に、その端部が曲線状に加工されたウエハ保護シート１を用いる。これにより、挿入時にウエハ保護シート１の外周部がダイシングウエハ２の表面を擦った場合でも、端部はダイシングウエハ２の表面の凸部に引っ掛からないためダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウエハと、複数枚重ねた前記ダイシングウエハの上下両端部に配置したクッション材とを収納する輸送容器で用いる前記ダイシングウエハ間に介在したウエハ保護シートであって、
前記ウエハ保護シートの端部を滑らかな曲線状としたことを特徴とするウエハ保護シート。
【請求項２】
ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウエハと、複数枚重ねた前記ダイシングウエハの上下両端部に配置したクッション材とを収納する輸送容器で用いる前記ダイシングウエハ間に介在したウエハ保護シートであって、
前記ウエハ保護シートの外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込みを入れたことを特徴とするウエハ保護シート。
【請求項３】
ウエハ保護シート材料を電熱線を取り付けた打ち抜き刃で円周状に外周部をくり抜き、くり抜いた直後に前記電熱線で前記打ち抜き刃を加熱することでウエハ保護シートの外周部の端部を溶融して滑らかな曲線状に加工することを特徴とするウエハ保護シートの製造方法。
【請求項４】
ウエハ保護シート材料を円周打ち抜き刃で円周状に外周部をくり抜くと同時に、前記円周打ち抜き刃に沿った内側に取り付けた切り込み刃で前記ウエハ保護シートの外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込みを入れて加工することを特徴とするウエハ保護シートの製造方法。
【請求項５】
ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウエハと、複数枚重ねた前記ダイシングウエハ間に介在したウエハ保護シートと、複数枚重ねた前記ダイシングウエハの上下両端部に配置したクッション材とを収納する輸送容器であって、
前記ダイシングウエハの上部に可動な２枚のシャッターを備え、前記シャッターに載せた前記ウエハ保護シートを滑らせて、前記ダイシングウエハの上に載せることを特徴とする輸送容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハのダイシング工程において、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態の半導体ウエハ（以下、ダイシングウエハという）を複数枚まとめて搬送する際などに使用するダイシングウエハ収納構造に関し、詳しくは、ダイシングウエハの収納、取り出し等の作業に好適なウエハ保護シートおよびその製造方法と輸送容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、シリコンなどの半導体インゴットからワイヤーソー等によりスライスされた半導体ウエハ（ダイシングウエハ）は、両面が平面研削された後、少なくとも片側の表面が鏡面にポリッシング加工され、その表面に回路パターンが形成される。そして、このダイシングウエハは、ダイシング工程において、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態で多数のチップにダイシングされる。
【０００３】
ここで、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持された状態のダイシングウエハを収納するには、例えば特許文献１に記載のような専用の収納容器に複数枚積み重ねて収納され、この状態で輸送、保管される。
【０００４】
従来の収納構造について、図１３（ａ）〜（ｆ）を用いて詳しく説明する。図１３（ｆ）に示すように、この輸送容器２１は、容器本体２２と、蓋体２３と、容器本体２２に蓋体２３が覆われた（被せられた）状態で、蓋体２３を容器本体２２に保持（固定）するための固定具２４とから構成されている。なお、この固定具２４は側面視がコの字形状に形成されたもので、容器本体２２と蓋体２３の周囲に複数箇所（例えば、２〜４箇所）に設けられて両者を上下から一体的に把持するものである。
【０００５】
前記の容器本体２２は、円形の底板（支持板でもある）３１と、この底板３１の上面の左右にそれぞれ所定高さでもって立設された平面視が円弧状の保持部材（位置決め部材ともいえる）３２とから構成されている（図１３（ａ），（ｂ）参照）。これら両保持部材３２の内側に、複数個のダイシングウエハ２が積層して収納されるよう形成にされている。
【０００６】
また、蓋体２３は、円形の蓋板３５と、この蓋板３５の下面に設けられて前述した左右の保持部材３２を外側から、かつ全周囲に亘って囲うように形成された円筒状の側壁部材３６とから構成されている（図１３（ｅ）参照）。なお、この側壁部材３６は、容器本体２２の保持部材３２と略同一高さにされている。
【０００７】
図１３（ｃ），（ｄ）に示すように、ダイシングフレーム４は、例えば厚さが１〜３ｍｍ程度のステンレス鋼鈑を円環状に打ち抜き加工したものであり、その内径は、公称５インチ，６インチ，８インチ，１２インチのダイシングウエハ２を内側に嵌合できる寸法に設定されている。
【０００８】
また、ダイシングフィルム３は、ダイシングフレーム４の下面に張設されており、ダイシングフレーム４の内側に嵌合される未加工のダイシングウエハ２に接合してこれを支持する。このダイシングウエハ２は、両面が平面研削された後、少なくとも片側の表面が鏡面にポリッシング加工され、その表面に回路パターンが形成されたものであり、裏面を前記ダイシングフィルム３に接合してダイシングフレーム４の内側に固定される。
【０００９】
次に、輸送容器２１にダイシングウエハ２を収納する方法について、図１３（ａ）〜（ｆ）に基づき説明する。まず、図１３（ａ），（ｂ）に示すように、空状態の容器本体２２を準備し、そして、図１３（ｃ），（ｄ）に示すように、その底板３１の上面（容器内底面である）にポリエチレンフォームなどで構成された円形の下部クッション材４１をチップ割れ防止用として配置した後、ダイシングウエハ２を、その表面が上側となるように、両保持部材３２，３２同士間に収納する。さらに、ウエハ保護シート７１をダイシングウエハ２の上に載せる。これを繰り返し、ウエハ保護シート７１をダイシングウエハ２間に挟みサンドイッチ状態にして、所定数のダイシングウエハ２を積み重ねて収納する。
【００１０】
次に、図１３（ｅ）に示すように、積層された最上部のウエハ保護シート７１の上面に円形の上部クッション材４２を配置した後、蓋体２３で積層されたダイシングウエハ２の全体を覆う（蓋体を被せる）。もちろん、蓋体２３は、その側壁部材３６が両保持部材３２の外周を覆うように配置される。
【００１１】
次に、図１３（ｆ）に示すように、複数個の固定具２４により、蓋体２３を容器本体２２に対して固定する（把持させる）。
【００１２】
ウエハ保護シートの役割は、ダイシングフィルム裏面に付着したダストがダイシングウエハ表面への付着を防止する役割をしており、一般的には、一度の使用で使い捨てである。
【特許文献１】特開２００２−２４０８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、このような従来の収納構造においては、積層されたダイシングウエハ２間で、その上部を覆うウエハ保護シート７１は、通常、合成樹脂フィルムにより形成され、一般に厚さ１００μｍから３００μｍの円形のシート状となっており、剛性がなく、ウエハ保護シート７１の一部（図１４（ａ），（ｂ）に示す破線囲み部Ｘ）を片手で持ち上げると、支持されていない外周部が垂れ下がる。そのため、ウエハ保護シート７１をダイシングウエハ２の上に載せるときには、ダイシングウエハ２の表面上を滑らすように移動させる。そのため、ウエハ保護シート７１の外周部がダイシングウエハ２の表面を擦ることとなる。ウエハ保護シート７１は、カッターや円形に形成された打ち抜き刃物により裁断されるため、図１５（ａ），（ｂ）に示すように端部は鋭利な角が形成されている。そのため、ウエハ保護シート７１の外周部がダイシングウエハ２の表面を擦ると、図１６に示すように、鋭利な角がダイシングウエハ２の表面に形成された凸部に引っ掛かり、その凸部を破壊させてしまうという問題があった。
【００１４】
また、図１７（ａ）に示すように、ウエハ保護シート７１を両手で取り扱う場合には、外周部が垂れ下がらないように両手でウエハ保護シート７１の破線囲み部Ｗの２箇所を持ち上げて、ウエハ保護シート７１の中心が下に凸となるようにした後に、ダイシングウエハ２の中央ラインにウエハ保護シート７１の中央ラインを接触した後に、両手を斜め下に下げ、順次ウエハ保護シート７１を下ろしていけば、片手で扱ったような外周部の接触はなくなる。しかし、その両手で持ち上げるときに、両手間の距離が離れる方向に変化すると、両手間にあるウエハ保護シート７１に張力がかかり、図１７（ｂ）に示すように支持されていない外周部が垂れ下がってしまうため、両手間の距離を微妙に調節しなければならない。
【００１５】
本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、ウエハ保護シートの挿入時にダイシングウエハ表面に傷を付けず、また外周部が垂れ下がることがなく、ダイシングウエハ表面とウエハ保護シートの外周部とが接触することなく挿入できるウエハ保護シートおよびその製造方法と輸送容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記の目的を達成するために、本発明に係る請求項１に記載したウエハ保護シートは、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウエハと、複数枚重ねたダイシングウエハの上下両端部に配置したクッション材とを収納する輸送容器で用いるダイシングウエハ間に介在したウエハ保護シートであって、ウエハ保護シートの端部を滑らかな曲線状としたことにより、ウエハ保護シートをダイシングウエハ表面上に載せるため挿入する際に、ウエハ保護シート端部がダイシングウエハ表面を擦っても、ダイシングウエハ表面に傷を発生させることなく挿入できる。
【００１７】
また、請求項２に記載したウエハ保護シートは、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウエハと、複数枚重ねたダイシングウエハの上下両端部に配置したクッション材とを収納する輸送容器で用いるダイシングウエハ間に介在したウエハ保護シートであって、ウエハ保護シートの外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込みを入れたことにより、切り込みにより切り離された外周部の一部を持ち上げることで、ウエハ保護シートの中心部が垂れ下がり、ウエハ保護シートの外周部の垂れ下がりがなくダイシングウエハ表面に傷を発生させることなく挿入できる。
【００１８】
また、請求項３に記載したウエハ保護シートの製造方法は、ウエハ保護シート材料を電熱線を取り付けた打ち抜き刃で円周状に外周部をくり抜き、くり抜いた直後に電熱線で打ち抜き刃を加熱することでウエハ保護シートの外周部の端部を溶融して滑らかな曲線状に加工することにより、簡単に端部を曲線状にすることができる。
【００１９】
また、請求項４に記載したウエハ保護シートの製造方法は、ウエハ保護シート材料を円周打ち抜き刃で円周状に外周部をくり抜くと同時に、円周打ち抜き刃に沿った内側に取り付けた切り込み刃でウエハ保護シートの外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込みを入れて加工することにより、切り込みで切り離された外周部の一部を持ち上げると中心部が垂れ下がり、外周部の垂れ下がりが生じないウエハ保護シートができる。
【００２０】
また、請求項５に記載した輸送容器は、ダイシングフレームにダイシングフィルムを介して支持されたダイシングウエハと、複数枚重ねたダイシングウエハ間に介在したウエハ保護シートと、複数枚重ねたダイシングウエハの上下両端部に配置したクッション材とを収納する輸送容器であって、ダイシングウエハの上部に可動な２枚のシャッターを備え、シャッターの上に載せたウエハ保護シートを滑らせて、ダイシングウエハの上に載せることにより、ウエハ保護シートを、シャッターを開くことでウエハ保護シートの外周部をほぼ水平に落下させて、外周部がダイシングウエハ表面に接触することなく載せることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ウエハ保護シートの挿入時にダイシングウエハ表面に傷を付けることなく、また外周部がダイシングウエハ表面と接触することなくダイシングウエハ上に載せるウエハ保護シートの挿入をすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
【００２３】
図１（ａ），（ｂ）は本発明の実施形態１におけるウエハ保護シートを示す図、図２はウエハ保護シートとダイシングウエハ表面との接触している状態を示す図、図３（ａ），（ｂ）と図４（ａ）〜（ｄ）はウエハ保護シートを作製する治具、およびウエハ保護シートの作製方法を示す図、また図５（ａ）〜（ｆ）はウエハ保護シートを用いたダイシングウエハの収納方法を示す図である。
【００２４】
本実施形態１のウエハ保護シート１は図１に示すように、円形形状であり、外周部の端部の断面が滑らかな曲線となっていることが特徴となっている。
【００２５】
ここで、ウエハ保護シート１の端部を曲線状に加工する製造方法について説明する。本実施形態１のウエハ保護シート１を作製するため、合成樹脂フィルム８の材料としては、高密度ポリエチレン等がある。合成樹脂フィルム８からウエハ保護シート１を切り抜くために使用する打ち抜き刃５には電熱線６が取り付けられている（図３（ａ），（ｂ）参照）。
【００２６】
また、図４（ａ）〜（ｄ）に、合成樹脂フィルム８からウエハ保護シート１を切り抜く工程を示す。打ち抜き治具７を打ち抜き装置（図示せず）に装着し（図４（ａ））、打ち抜き台９上に複数枚重ねられた合成樹脂フィルム８の上面から打ち抜き刃５を下降することにより（図４（ｂ））、合成樹脂フィルム８から、ウエハ保護シート１が円周状にくり抜かれる。
【００２７】
そして、従来は、そのまま、打ち抜き刃５は上昇して作業を終了するが、本実施形態１においては、打ち抜き刃５を上昇する前に電熱線６に電流を流し打ち抜き刃５を加熱する。加熱された打ち抜き刃５は、打ち抜き刃５に接しているウエハ保護シート１の外周部の端部を溶融させるため、従来、打ち抜かれたままでは鋭角になっている端部が、曲線状に滑らかとなる（図４（ｃ））。
【００２８】
その後、電熱線６の電流を停止し、打ち抜き刃５の温度が低下してから打ち抜き刃５を上昇させる（図４（ｄ））。この製造方法により、一連の打ち抜き工程中にウエハ保護シート１の端部を曲線状に加工ができ、薬品などを使って端部を溶かし曲線状にする方法などに比べて、製造時間が短縮できる。
【００２９】
次に、前述のように作製されたウエハ保護シート１を用いたダイシングウエハ２の収納方法について、図５（ａ）〜（ｆ）を用いて説明する。
【００３０】
図５（ａ）〜（ｆ）に示すように、この輸送容器２１は、容器本体２２と、蓋体２３と、容器本体２２に蓋体２３が覆われた（被せられた）状態で、蓋体２３を容器本体２２に保持（固定）するための固定具２４とから構成されている。なお、この固定具２４は側面視がコの字形状にされたもので、容器本体２２と蓋体２３の周囲に複数箇所（例えば、２〜４箇所）に設けられて両者を上下から一体的に把持するものである。
【００３１】
前述の容器本体２２は、円形の底板（支持板でもある）３１と、この底板３１の上面の左右にそれぞれ所定高さでもって立設された平面視が円弧状の保持部材（位置決め部材ともいえる）３２とから構成されている。これら両保持部材３２の内側に、複数個のダイシングウエハ２が積層して収納されるように構成されている。
【００３２】
また、蓋体２３は、円形の蓋板３５と、この蓋板３５の下面に設けられて前記左右の保持部材３２を外側から、かつ全周囲に亘って囲うようにされた円筒状の側壁部材３６とから構成されている。なお、この側壁部材３６は、容器本体２２の保持部材３２と略同一高さにされている。
【００３３】
ダイシングフレーム４は、例えば厚さが１〜３ｍｍ程度のステンレス鋼鈑を円環状に打ち抜き加工したものであり、その内径は、公称５インチ，６インチ，８インチ，１２インチのウエハを内側に嵌合できる寸法に設定されている。
【００３４】
前記ダイシングフィルム３は、ダイシングフレーム４の下面に張設されており、ダイシングフレーム４の内側に嵌合される未加工のダイシングウエハ２に接合してこれを支持する。このダイシングウエハ２は、両面が平面研削された後、少なくとも片側の表面が鏡面にポリッシング加工され、その表面に回路パターンが形成されたものであり、裏面をダイシングフィルム３に接合してダイシングフレーム４の内側に固定される。
【００３５】
次に、輸送容器２１内にダイシングウエハ２を収納する方法について、図５（ａ）〜（ｆ）に基づき説明する。まず、図５（ａ），（ｂ）に示すように、空状態の容器本体２２を準備し、そして、図５（ｃ），（ｄ）に示すように、その底板３１の上面（容器内底面である）にポリエチレンフォームなどで構成された円形の下部クッション材４１をチップ割れ防止用として配置した後、ダイシングウエハ２を、その表面が上側となるように、両保持部材３２，３２同士間に収納する。さらに、端部が曲線状に加工されたウエハ保護シート１をダイシングウエハ２の上に載せる。これを繰り返し、ウエハ保護シート１をダイシングウエハ２間に挟みサンドイッチ状態にして、所定数のダイシングウエハ２を積み重ねて収納する。
【００３６】
次に、図５（ｅ）に示すように、積層された最上部のウエハ保護シート１の上面に円形の上部クッション材４２を配置した後、蓋体２３で積層されたダイシングウエハ２の全体を覆う（蓋体を被せる）。もちろん、蓋体２３は、その側壁部材３６が両保持部材３２の外周を覆うように配置される。
【００３７】
次に、図５（ｆ）に示すように、複数個の固定具２４により、蓋体２３を容器本体２２に対して固定する（把持させる）。
【００３８】
このように、端部が曲線状に加工されたウエハ保護シート１を用いているので、図２に示すように、ウエハ保護シート１の外周部がダイシングウエハ２の表面を擦った場合でも、端部はダイシングウエハ２の表面の凸部に引っ掛からないためダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがない。
【００３９】
図６（ａ），（ｂ）は本発明の実施形態２におけるウエハ保護シートを示す図である。図６（ａ）に示すようにウエハ保護シート１３は、円形形状であり、外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込み１４を入れた状態となっていることが特徴となっている。
【００４０】
ここで、ウエハ保護シート１３の外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込み１４を入れた状態に加工する製造方法について説明する。
【００４１】
本実施形態２におけるウエハ保護シート１３を作製するための合成樹脂フィルム８の材料としては、高密度ポリエチレン等がある。合成樹脂フィルム８からウエハ保護シート１３を切り抜くために使用する打ち抜き治具１２には、ウエハ保護シートの円周に位置する場所に円周打ち抜き刃１０を設置すると共に、その円周打ち抜き刃１０に沿って、５ｍｍ〜１０ｍｍ内側に、切り込み刃１１を設置する（図７（ａ），（ｂ）参照）。
【００４２】
また、図８（ａ）〜（ｃ）に、合成樹脂フィルム８からウエハ保護シート１３を切り抜く工程を示す。打ち抜き治具１２を打ち抜き装置（図示せず）に装着し（図８（ａ））、打ち抜き台９上に複数枚重ねられた合成樹脂フィルム８の上面から打ち抜き治具１２を下降（図８（ｂ））、上昇する（図８（ｃ））ことにより、合成樹脂フィルム８から、ウエハ保護シート１３が円周状にくり抜かれるとともに、外周部の一部を、円周方向に沿って直径の両端を残して切り込み１４を入れた状態となる。
【００４３】
このウエハ保護シート１３の切り込み１４により切り離された外周部の一部（図６（ａ）に示す破線囲み部Ｚ）を持ち上げると、支持されていないウエハ保護シート１３の中心部が必ず垂れ下がる。図６に示すウエハ保護シート１３を示す矢印Ｃ方向からの側面視が図９（ａ）、同様に矢印Ｄ方向からの側面視が図９（ｂ）である。また、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、ダイシングウエハ２上にウエハ保護シート１３を載せるため挿入するときに、両手間の距離を微妙に調節する必要がなくなり、ウエハ保護シート１３の外周部の垂れ下がりは起こらないためダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがない。
【００４４】
また、本実施形態２において、前述の実施形態１で説明した打ち抜き治具７のように、抜き打ち治具１２においても電熱線６を設けても良く、これにより、ダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがなくなる。
【００４５】
図１１（ａ），（ｂ）は本発明の実施形態３におけるダイシングウエハの輸送容器を示す図である。図１１（ａ），（ｂ）に示すように、この輸送容器５１は、容器本体５２と、蓋体５３と、容器本体５２に蓋体５３が覆われた（被せられた）状態で、蓋体５３を容器本体５２に保持（固定）するための固定具２４とから構成されている。なお、この固定具２４は側面視がコの字形状にされたもので、容器本体５２と蓋体５３の周囲に複数箇所（例えば、２〜４箇所）に設けられて両者を上下から一体的に把持するものである。
【００４６】
前記の容器本体５２は、円形の底板（支持板でもある）６１と、この底板６１の上面の左右にそれぞれ所定高さでもって立設された平面視が円弧状の保持部材（位置決め部材ともいえる）６２とから構成されている。これら両保持部材６２の内側に、複数個のダイシングウエハ２が積層して収納されるようにされている。
【００４７】
また、蓋体５３は、円形の蓋板６５と、この蓋板６５の下面に設けられて前述した左右の保持部材６２を外側から、かつ全周囲に亘って囲うようにされた円筒状の側壁部材６６とから構成されている。なお、この側壁部材６６は、容器本体５２の保持部材６２と略同一高さにされている。
【００４８】
容器本体５２の保持部材６２には、切り込み部６２ａが形成され、そこを通る２枚のシャッター６７が具備されている。２枚のシャッター６７は円弧状であり、回転軸６７ａを中心に回転する。また切り込み部６２ａは、各シャッター６７が通る分だけあればよく、破線囲み部Ｙのように切り込みがない部分がある。
【００４９】
次に、輸送容器５１にダイシングウエハ２を収納する方法について、図１２−１（ａ）〜（ｆ）、図１２−２（ｇ）〜（ｌ）、図１２−３（ｍ），（ｎ）に基づき説明する。まず、図１２−１（ａ），（ｂ）に示すように、空状態の容器本体５２を準備し、シャッター６７を開けた状態にする。そして、図１２−１（ｃ），（ｄ）に示すように、その底板６１の上面（容器内底面である）にポリエチレンフォームなどで構成された円形の下部クッション材４１をチップ割れ防止用として配置した後、ダイシングウエハ２を、その表面が上側となるように、両保持部材６２，６２同士間に収納する。さらに、図１２−１（ｅ），（ｆ）に示すように、シャッター６７を閉じ、図１２−２（ｇ），（ｈ）に示すように、ウエハ保護シート７１をシャッター６７の上に載せる。
【００５０】
その後、図１２−２（ｉ），（ｊ）に示すように、２枚のシャッター６７を開けていくと、破線囲み部Ｙのように切り込みがない部分でウエハ保護シート７１が止められ、その後はシャッター６７とウエハ保護シート７１との界面でウエハ保護シート７１が滑っていく。そして、ウエハ保護シート７１が止められた破線囲み部Ｙの反対側から、ウエハ保護シート７１がダイシングフレーム４上に滑り落ち、最終的にシャッター６７が全て開いたときには、図１２−２（ｋ），（ｌ）に示すようにウエハ保護シート７１は、ダイシングウエハ２上に載った状態となる。
【００５１】
これを繰り返し、ウエハ保護シート７１をダイシングウエハ２間に挟みサンドイッチ状態にして、所定数のダイシングウエハ２を積み重ねて収納する。
【００５２】
次に、図１２−３（ｍ）に示すように、積層された最上部のウエハ保護シート７１の上面に円形の上部クッション材４２を配置した後、蓋体５３でダイシングウエハ２の全体を覆う（蓋体を被せる）。もちろん、蓋体５３は、その側壁部材６６が両保持部材６２の外周を覆うように配置される。
【００５３】
次に、図１２−３（ｎ）に示すように、複数個の固定具２４により、蓋体５３を容器本体５２に対して固定する（把持させる）。
【００５４】
このように、ダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることなくウエハ保護シート７１を挿入できるシャッター６７を具備している輸送容器５１を使うことにより、ウエハ保護シート７１の外周部がダイシングウエハ２の表面を擦ることを防ぐことができ、ダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがない。
【００５５】
本実施形態３において、従来と同様の形状のウエハ保護シート７１を用いて説明したが、前述の実施形態１において説明したウエハ保護シート１を用いても良く、この場合には、さらにダイシングウエハ２の表面に傷を発生させることがなくなる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明に係るウエハ保護シートおよびその製造方法、輸送容器は、ウエハ保護シートの挿入時にダイシングウエハ表面に傷を付けることなく、また外周部がダイシングウエハ表面と接触することなくダイシングウエハ上に載せるウエハ保護シートの挿入をすることができ、ダイシングウエハの収納、取り出し等の作業に好適な複数枚まとめて搬送する際などに使用するダイシングウエハ収納構造として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施形態１におけるウエハ保護シートを示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図２】ウエハ保護シートとダイシングウエハ表面の接触状態を示す図
【図３】ウエハ保護シートを作製する治具を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図４】（ａ）〜（ｄ）はウエハ保護シートの作製方法を示す図
【図５】（ａ）〜（ｆ）は輸送容器内にダイシングウエハを収納する方法を示す図
【図６】本発明の実施形態２におけるウエハ保護シートを示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図７】ウエハ保護シートを作製する治具を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図８】（ａ）〜（ｃ）はウエハ保護シートの作製方法を示す図
【図９】図６（ａ）の破線囲み部Ｚを持ち上げたときウエハ保護シートの（ａ）はＣ方向、（ｂ）はＤ方向の側面視を示す図
【図１０】ダイシングウエハ上のウエハ保護シート挿入時を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図
【図１１】本発明の実施形態３におけるダイシングウエハの輸送容器を示す（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図
【図１２−１】（ａ）〜（ｆ）は輸送容器内にダイシングウエハを収納する方法を示す図
【図１２−２】（ｇ）〜（ｌ）は輸送容器内にダイシングウエハを収納する方法を示す図
【図１２−３】（ｍ），（ｎ）は輸送容器内にダイシングウエハを収納する方法を示す図
【図１３】従来の（ａ）〜（ｆ）は輸送容器内にダイシングウエハを収納する方法を示す図
【図１４】ダイシングウエハ上のウエハ保護シート挿入時を示す（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図
【図１５】ウエハ保護シートを示す（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図
【図１６】ウエハ保護シートとダイシングウエハ表面の接触状態を示す図
【図１７】ダイシングウエハ上のウエハ保護シート挿入時を示す別の例で（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図
【符号の説明】
【００５８】
１，１３，７１  ウエハ保護シート
２  ダイシングウエハ
３  ダイシングフィルム
４  ダイシングフレーム
５  打ち抜き刃
６  電熱線
７，１２  打ち抜き治具
８  合成樹脂フィルム
９  打ち抜き台
１０  円周打ち抜き刃
１１  切り込み刃
１４  切り込み
２１，５１  輸送容器
２２，５２  容器本体
２３，５３  蓋体
２４  固定具
３１，６１  底板
３２，６２  保持部材
３５，６５  蓋板
３６，６６  側壁部材
４１  下部クッション材
４２  上部クッション材
６２ａ  切り込み部
６７  シャッター
６７ａ  回転軸
【図１】
2008062989.tif 000003
【図２】
2008062989.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２−１】
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【図１２−２】
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【図１２−３】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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