(57)【要約】【課題】簡単な構造によって、水や粉塵等の異物の侵入による電気式リニアアクチュエータの不具合を完全に防止出来て、且つ、電気式リニアアクチュエータの高精度な加振力による優れた制振効果を安定して実現出来る、新規な構造の能動型制振器を提供すること。【解決手段】取付部材２０に対して固定的にカバー部材７８，８０，１００を設けて、カバー部材７８，８０，１００によって形成された密閉収容空間１０４に対して電気式リニアアクチュエータ１２と弾性連結ゴム７４を収容配置すると共に、密閉収容空間１０４において、弾性連結ゴム７４を挟んだ一方の側に画成されて電気式リニアアクチュエータ１２が収容配置された第一の空気室１０６を、他方の側に画成された第二の空気室１０８に連通する空気連通路１１０を形成した【選択図】図１
2008002551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子に対して相対変位可能に組み付けられた可動子を備えており、それら固定子と可動子の何れか一方にコイルを組み付けて該コイルへの通電によって生ぜしめられる磁界の作用で該可動子を該固定子に対して相対駆動するようにした電気式リニアアクチュエータを採用して、所定の制振対象に取り付けられる取付部材に対して該電気式リニアアクチュエータの該固定子を固定すると共に、該電気式リニアアクチュエータの該可動子を含んでマス部材を構成して、該マス部材を該固定子に対して弾性連結ゴムで連結せしめ、該弾性連結ゴムに対して該可動子の該固定子に対する相対変位方向の一方の側に該電気式リニアアクチュエータを配設して、該電気式リニアアクチュエータによって該可動子に及ぼされる駆動力により、該マス部材を加振駆動するようにした能動型制振器において、
前記取付部材に対して固定的にカバー部材を設けて、該カバー部材によって形成された密閉収容空間に対して前記電気式リニアアクチュエータと前記弾性連結ゴムを収容配置すると共に、該密閉収容空間において、該弾性連結ゴムを挟んだ一方の側に画成されて該電気式リニアアクチュエータが収容配置された第一の空気室を、他方の側に画成された第二の空気室に連通する空気連通路を形成したことを、特徴とする能動型制振器。
【請求項２】
前記固定子に固定的に組み付けられる固定子側インナ部材と前記可動子に固定的に組み付けられる可動子側アウタ筒部材を軸直角方向で相互に離隔して同一中心軸上に配設し、該固定子側インナ部材と該可動子側アウタ筒部材の対向面間に前記弾性連結ゴムを配設して該固定子と該可動子を弾性的に連結すると共に、軸方向に延びる固定軸部材を設けて該固定軸部材の軸方向両端部を前記カバー部材に固定して、該固定軸部材に該固定子側インナ部材を固定的に組み付けた請求項１に記載の能動型制振器。
【請求項３】
前記可動子を前記カバー部材から軸直角方向内方に離隔せしめて隙間を形成すると共に、それら可動子とカバー部材の対向面間の隙間を利用して前記空気連通路を形成した請求項２に記載の能動型制振器。
【請求項４】
前記固定子側インナ部材において軸方向に延びる透孔を形成することにより、前記空気連通路を構成した請求項２又は３に記載の能動型制振器。
【請求項５】
前記可動子に固定的に組み付けられる可動子側インナ部材と前記固定子に固定的に組み付けられる固定子側アウタ筒部材を軸直角方向で相互に離隔して同一中心軸上に配設し、それら可動子側インナ部材と固定子側アウタ筒部材の対向面間に前記弾性連結ゴムを配設して該可動子と該固定子を弾性的に連結すると共に、前記空気連通路を該可動子側インナ部材に形成された透孔を利用して構成した請求項１に記載の能動型制振器。
【請求項６】
前記可動子を構成して軸方向に延びる内筒部材を前記可動子側インナ部材に対して固定的に組み付けて、該内筒部材の軸方向一方の開口を前記第一の空気室に連通せしめると共に、該内筒部材の軸方向他方の開口を該可動子側インナ部材の前記透孔を通じて前記第二の空気室に連通せしめることにより、該内筒部材の内孔と該可動子側インナ部材の該透孔を利用して前記空気連通孔を構成した請求項５に記載の能動型制振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制振対象部材に取り付けられて、制振対象となる振動を能動的乃至は相殺的に低減する能動型制振器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば自動車の車体等のような、振動が問題となる制振対象部材の振動を低減するための一つの手段として、制振対象部材に取り付けられて制振対象となる振動に応じた加振力を発生することにより、振動を能動的に低減する能動型制振器が知られている。このような能動型制振器としては、例えば、特許文献１（特開２００４−４４６８０号公報）に記載されているようなものがある。
【０００３】
このような能動型制振器は、制振対象振動に応じた加振力を発生するためのアクチュエータを備えている。より詳細には、アクチュエータは、制振対象部材に固定される固定子と、固定子に対して加振力の出力方向で相対的に変位可能とされた可動子を備えており、それら固定子と可動子が弾性連結ゴムで弾性的に連結された構造を有している。かかるアクチュエータとしては、空気圧を利用して可動子を駆動せしめる空気式のアクチュエータ等も提案されているが、能動型制振器には電気式のリニアアクチュエータが好適に採用される。蓋し、能動型制振器では、有効な制振効果を発揮するために制振対象振動に応じた加振力を高精度に発揮し得るアクチュエータが必要であり、固定子に対する可動子の相対的な初期位置を高精度に位置合わせすることにより目的とする加振力を安定して得ることが可能な電気式リニアアクチュエータを採用することで、優れた制振効果を実現出来るからである。
【０００４】
このような電気式のリニアアクチュエータとしては、各種構造のものが公知となっているが、例えば、特許文献１に採用されているリニアアクチュエータ等がある。即ち、固定子に筒状のコイル部材が配設されていると共に、可動子にはコイル部材と同軸上に配設されてコイル部材に差し入れられるヨーク部材と、コイル部材の外周側に位置する永久磁石が配設されており、コイル部材のコイルへの通電による磁界の作用によって可動子が固定子に対して相対的に駆動変位せしめられて、所期の加振力が発生するようになっている。
【０００５】
ところで、このような電気式のリニアアクチュエータを採用した能動型制振器では、安定した発生力によるマス部材の加振によって優れた制振効果を得ることが可能となる一方で、コイルへの通電によって作動する電気式であることから、水や埃等の異物がアクチュエータ内部へ侵入することによる故障等が問題となり易い。そこで、特許文献１にも示されているように、電気式のリニアアクチュエータは、有底円筒形状を呈する能動型制振器のケースと該ケースの開口を覆うように配設される弾性連結ゴムで外部空間から仕切られることで形成されて、外部空間に対して密閉状態とされた収容空間（空気室）に収容配置されている場合もある。これによって外部からの水や粉塵等がリニアアクチュエータに侵入するのを有利に防ぐことが出来て、異物の侵入に起因する故障や作動精度の低下等を回避することが出来る。
【０００６】
しかしながら、電気式のリニアアクチュエータでは、コイルへの通電によって熱が生じることから、密閉された収容空間（ケースと弾性連結ゴムの間の密閉領域）の空気がコイルの発熱によって温められて膨張し、収容空間内の圧力が外部空間の圧力に比して高くなる場合がある。このような場合には、可動子と固定子を弾性連結する弾性連結ゴムが、弾性連結ゴムを挟んだ両側の空気の圧力差によって収容空間とは反対側に向かって膨出変形する場合もある。
【０００７】
このような弾性連結ゴムの予期しない変形によって、弾性連結ゴムで連結される固定子と可動子の非加振状態下における相対的な位置がずれる場合がある。このような場合には、目的とする加振力を精度良く得ることが困難となって、能動型制振器の制振効果が所期のとおりには発揮され得ない。更に、弾性連結ゴムの予期しない弾性変形により可動子の駆動方向での弾性連結ゴムのばね定数が変化するおそれもあり、これによって目的とする制振効果が有効に発揮されなくなるおそれもある。更にまた、収容空間に密封される空気のばね作用により可動子のスムーズな駆動変位が妨げられて、目的とする加振力延いては制振効果を有効に得られないことも考えられる。
【０００８】
一方、弾性連結ゴムやケース等の収容空間の壁部を構成する部材に通気孔を設けて、該通気孔を通じて収容空間を外部空間に連通せしめると、収容空間を外部空間に対して密閉状態とすることによって実現されている水や粉塵等のリニアアクチュエータ内への侵入を完全には回避できなくなり、リニアアクチュエータの故障や発生力の不安定化等が再び問題となるおそれがある。
【０００９】
そこで、これらの問題を解決するための一つの手段として、特許文献２（特開２００１−２２７５８１号公報）には、収容空間（空気室）を外部空間に連通する通気孔を収容空間の壁部に形成すると共に、該通気孔を通気性防水膜で覆って、収容空間と外部空間の間での空気の流通を許容しつつ、水や粉塵等のアクチュエータ内への侵入を防ぐことを可能にした構造が示されている。
【００１０】
しかしながら、このような特許文献２に示された構造では、通気性と防水性を兼ね備えた通気性防水膜を特別に用意する必要があり、部品点数の増加や構造の複雑化等が問題となり易いと共に、能動型制振器に通気性防水膜を組み付ける作業が必要なることから製造上の工程数が増加するおそれもある。
【００１１】
【特許文献１】特開２００４−４４６８０号公報
【特許文献２】特開２００１−２２７５８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ここにおいて、本発明は、上述の如き事情を背景として為されたものであって、その解決課題とするところは、簡単な構造によって、水や粉塵等の異物の侵入による電気式リニアアクチュエータの不具合を完全に防止し、且つ、電気式リニアアクチュエータの高精度な加振力による優れた制振効果を安定して実現出来る、新規な構造の能動型制振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
以下、このような課題を解決するために為された本発明の態様を記載する。なお、以下に記載の各態様において採用される構成要素は、可能な限り任意な組み合わせで採用可能である。また、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに限定されることなく、明細書全体および図面に記載されたもの、或いはそれらの記載から当業者が把握することの出来る発明思想に基づいて認識されるものであることが理解されるべきである。
【００１４】
すなわち、本発明に係る能動型制振器が特徴とするところは、固定子に対して相対変位可能に組み付けられた可動子を備えており、それら固定子と可動子の何れか一方にコイルを組み付けて該コイルへの通電によって生ぜしめられる磁界の作用で該可動子を該固定子に対して相対駆動するようにした電気式リニアアクチュエータを採用して、所定の制振対象に取り付けられる取付部材に対して該電気式リニアアクチュエータの該固定子を固定すると共に、該電気式リニアアクチュエータの該可動子を含んでマス部材を構成して、該マス部材を該固定子に対して弾性連結ゴムで連結せしめ、該弾性連結ゴムに対して該可動子の該固定子に対する相対変位方向の一方の側に該電気式リニアアクチュエータを配設して、該電気式リニアアクチュエータによって該可動子に及ぼされる駆動力により、該マス部材を加振駆動するようにした能動型制振器において、前記取付部材に対して固定的にカバー部材を設けて、該カバー部材によって形成された密閉収容空間に対して前記電気式リニアアクチュエータと前記弾性連結ゴムを収容配置すると共に、該密閉収容空間において、該弾性連結ゴムを挟んだ一方の側に画成されて該電気式リニアアクチュエータが収容配置された第一の空気室を、他方の側に画成された第二の空気室に連通する空気連通路が形成されていることにある。
【００１５】
このような本発明に従う構造とされた能動型制振装置においては、カバー部材によって形成される密閉収容空間に電気式リニアアクチュエータが収容されており、該密閉収容空間がカバー部材によって外部に対して密閉状態とされている。それ故、電気式のリニアアクチュエータに対する水や粉塵等の異物の侵入を防ぐことが出来て、故障等の不具合を完全に防ぐことが出来る。
【００１６】
特に電気式リニアアクチュエータでは、発生力を有利に得るために各部材間の隙間（特に、固定子と可動子の間の隙間）が小さくされており、粉塵等がそれら部材間の隙間に入り込むと、引っ掛かり等を生じて作動が妨げられるおそれがある。ここにおいて、本発明によれば、リニアアクチュエータが密閉収容空間に配設されることにより、外部からの粉塵等の侵入を高度に回避出来る。従って、部材（固定子と可動子）の間に形成される隙間を充分に小さくして出力効率の向上等を安定した出力性能をもって図ることも出来る。
【００１７】
また、電気式リニアアクチュエータへの通電による発熱で、電気式リニアアクチュエータが収容配置された第一の空気室内の空気が温められて膨張する場合にも、第一の空気室と第二の空気室が空気連通路で相互に連通されていることにより、第一の空気室と第二の空気室の間で生じる圧力差を可及的速やかに解消することが出来る。それ故、第一の空気室と第二の空気室を隔てる弾性連結ゴムが、それら両室の圧力差によって予期しない変形を生じるのを有利に防ぐことが出来る。これにより、固定子と可動子の相対的な位置を高精度に位置決めすることが出来て、目的とする加振力を精度良く得ることが出来る。従って、制振対象振動に応じた高精度な制振を実現することが可能となる。特に、通気性疎水膜等の特殊な部品を用いることなく、２つの空気室を相互に連通させるという簡単な構造で上述の如き優れた効果を得ることが出来る。
【００１８】
しかも、弾性連結ゴムの予期しない弾性変形を防ぐことによって、弾性連結ゴムの形状変化によるばね特性の変化を回避することも可能となって、目的とする加振力を高精度に発生させて、所期の制振効果を有効に得ることが出来る。
【００１９】
さらに、弾性連結ゴムの両側に形成される第一の空気室と第二の空気室が、それぞれ外部空間に対して密閉されている場合にも、それら密閉状態の第一の空気室と第二の空気室を空気連通路を通じて相互に連通させることにより、空気ばねの作用によって可動子の作動が妨げられるのを低減乃至は回避出来て、目的とする制振効果を有効に発揮させることが出来る。
【００２０】
なお、カバー部材は、充分な耐久性の実現等を目的として、金属等の硬質材で形成することが望ましいが、ケース部材の一部乃至は全体を軟質材で形成することにより、密閉収容空間内の圧力の上昇を軽減するようにしても良い。
【００２１】
また、本発明においては、前記固定子に固定的に組み付けられる固定子側インナ部材と前記可動子に固定的に組み付けられる可動子側アウタ筒部材を軸直角方向で相互に離隔して同一中心軸上に配設し、該固定子側インナ部材と該可動子側アウタ筒部材の対向面間に前記弾性連結ゴムを配設して該固定子と該可動子を弾性的に連結すると共に、軸方向に延びる固定軸部材を設けて該固定軸部材の軸方向両端部を前記カバー部材に固定して、該固定軸部材に該固定子側インナ部材を固定的に組み付けた構造が好適に採用される。
【００２２】
これによれば、カバー部材に対して軸方向両端部を固定することで強固に組み付けられる固定軸部材に対して固定子（固定子側インナ部材）を固定的に組み付けることにより、固定子をカバー部材、延いては制振対象部材に対して、安定して固定することが出来る。それ故、電気式リニアアクチュエータによって発生する加振力を制振対象部材に対して安定して伝達して、制振効果を有利に得ることが出来る。
【００２３】
更に、本発明において、より好適には、前記可動子を前記カバー部材から軸直角方向内方に離隔せしめて隙間を形成すると共に、それら可動子とカバー部材の対向面間の隙間を利用して前記空気連通路を形成することも可能である。即ち、固定子側インナ部材が内周側に配設された固定子側に固定されると共に、可動子側アウタ筒部材が外周側に配設された可動子側に固定される構造の電気式リニアアクチュエータを採用する場合には、可動子の固定子に対する相対的な駆動を実現するために、固定子側に組み付けられるカバー部材と可動子の間に隙間が形成される。それ故、この隙間を利用して空気連通路を形成することによって、空気連通路のための特別なスペースを確保する必要がなく、本発明に係る能動型制振器をスペース効率良くコンパクトに実現することが出来る。
【００２４】
更にまた、本発明においては、前記固定子側インナ部材において軸方向に延びる透孔を形成することにより、前記空気連通路を構成した構造も採用できる。これによれば、固定子側インナ部材に形成された透孔を利用することにより、特に固定子（固定子側インナ部材）側にコイル等の通電部分が組み付けられている場合に、第一の空気室と第二の空気室の間での温度差を有効に低減することが出来る。
【００２５】
また、本発明においては、前記可動子に固定的に組み付けられる可動子側インナ部材と前記固定子に固定的に組み付けられる固定子側アウタ筒部材を軸直角方向で相互に離隔して同一中心軸上に配設し、それら可動子側インナ部材と固定子側アウタ筒部材の対向面間に前記弾性連結ゴムを配設して該可動子と該固定子を弾性的に連結すると共に、前記空気連通路を該可動子側インナ部材に形成された透孔を利用して構成した構造が好適に採用される。
【００２６】
これによれば、電気式リニアアクチュエータとカバー部材の間に隙間を必要としない外周側に固定子が配設された電気式リニアアクチュエータを採用する場合に、内周側に配設される可動子に対して固定的に組み付けられる可動子側インナ部材側に空気連通路を形成することによって、軸直角方向での装置サイズの大型化を回避してコンパクトに本発明に係る能動型制振器を実現することが可能となる。
【００２７】
さらに、本発明において、より好適には、前記可動子を構成して軸方向に延びる内筒部材を前記可動子側インナ部材に対して固定的に組み付けて、該内筒部材の軸方向一方の開口を前記第一の空気室に連通せしめると共に、該内筒部材の軸方向他方の開口を該可動子側インナ部材の前記透孔を通じて前記第二の空気室に連通せしめることにより、該内筒部材の内孔と該可動子側インナ部材の該透孔を利用して前記空気連通孔を構成した構造が採用される。
【００２８】
これによれば、軸方向に延びる内筒部材を利用して空気連通孔を構成することによって、温度変化の原因となる発熱体（電気式リニアアクチュエータの通電部分等）の位置に応じて、第一の空気室側の空気の流入口の位置を調節することが出来る。それ故、第一の空気室と第二の空気室の間で生じる温度差を低減することが出来て、両室間の温度差に起因する作動精度の低下等の問題を軽減することが可能となる。蓋し、内筒部材の軸方向長さ等を調節することによって、第一の空気室内において温められた空気が速やかに第二の空気室内に流入するように、空気連通路の第一の空気室側の開口位置を調節することが可能となるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００３０】
先ず、図１，図２には、本発明の第一の実施形態としての能動型制振器１０が示されている。この能動型制振器１０は、電気式リニアアクチュエータとしての電磁加振器１２を備えており、電磁加振器１２に備えられた固定子１４に対して相対的に加振変位せしめられる可動子１６の発生力によって、可動子１６とマス金具１８で構成されるマス部材が軸方向で加振駆動されるようになっている。そして、電磁加振器１２の固定子１４側に取り付けられた取付部材として取付金具２０が車両ボデー等の図示しない制振対象部材に取り付けられることによって制振対象部材に対して加振力が及ぼされて、能動的乃至は相殺的な制振効果が発揮されるようになっている。なお、以下の説明において、上下方向とは、駆動軸方向となる図１中の上下方向を言うものとする。
【００３１】
より詳細には、電磁加振器１２は、固定子１４と可動子１６を備えており、固定子１４が取付金具２０を介して制振対象部材に取り付けられていると共に、可動子１６が固定子１４に対して相対変位可能とされている。
【００３２】
固定子１４は、ヨーク金具２２と、ヨーク金具２２に巻回されるコイル２４，２４と、ヨーク金具２２に固着される四つの永久磁石２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを含んで構成されている。ヨーク金具２２は、図１，図２に示されているように、略厚肉の円板形状を呈していると共に、径方向中央部分には、略一定の矩形断面で軸方向に貫通するように延びる空所２８が形成されている。また、ヨーク金具２２には径方向内方の空所２８に向かって突出する一対のコイル巻回部３０，３０が形成されており、それら一対のコイル巻回部３０が径方向一方向で所定距離を隔てて対向位置せしめられている。
【００３３】
また、ヨーク金具２２のコイル巻回部３０には、コイル巻回部３０の周方向（コイル巻回部３０の軸回り方向）に巻回された矩形枠形状のコイル２４が組み付けられている。なお、コイル２４は、その内周面がヨーク金具２２に重ね合わされている一方、他の面が電気絶縁性の絶縁カバー３２によって覆われている。また、コイル２４は、リード線３４によって外部の図示しない電源に接続されている。
【００３４】
また、ヨーク金具２２のコイル巻回部３０の突出方向先端面には、永久磁石２６が固着されている。永久磁石２６は、一対のコイル巻回部３０，３０の突出先端面にそれぞれ固着されており、各コイル巻回部３０の突出先端面において、上下（電磁加振器１２の軸方向）に隣接するようにそれぞれ二つの永久磁石２６ａ，２６ｂ（２６ｃ，２６ｄ）が固着されている。更に、永久磁石２６は、コイル巻回部３０の軸方向（コイル巻回部３０の突出方向である軸直角方向）で各磁極が形成されるように配設されていると共に、上下方向で隣接して配設される永久磁石２６ａ（２６ｃ）と永久磁石２６ｂ（２６ｄ）は、コイル巻回部３０の突出先端側に位置する磁極が互いに異種となるように配設されている。更に、対向位置する一対のコイル巻回部３０，３０では、一対のコイル巻回部３０，３０の突出方向で対向する永久磁石２６ａ，２６ｂと永久磁石２６ｃ，２６ｄの二組が、それぞれ突出先端側に向かって互いに異種の磁極が位置するように配設されている。これにより、永久磁石２６によって形成される磁界において、一対のコイル巻回部３０，３０の対向面間での磁力線が、一対のコイル巻回部３０，３０が対向する軸直角方向一方向で延びており、且つ、上側の永久磁石２６ａ，２６ｃによって形成される磁界の磁力線と、下側の永久磁石２６ｂ，２６ｄによって形成される磁界の磁力線が互いに反対の軸直角方向に向かって延びている。なお、本実施形態では、コイル巻回部３０の突出先端面が凹形状の円形湾曲面とされていると共に、永久磁石２６がコイル巻回部３０の突出先端面の湾曲形状に沿って湾曲せしめられている。
【００３５】
また、ヨーク金具２２の外周部分には、上固定金具３６と下固定金具３８が軸方向両側から挟み込むように重ね合わされている。上固定金具３６は、円筒形状とされており、軸方向中間部分の内周側に形成される段差を挟んで軸方向上側の内径寸法が軸方向下側の内径寸法に比して大径とされている。また、下固定金具３８は、円筒形状とされており、軸方向中間部分の内周側に形成される段差を挟んで軸方向下側の内径寸法が軸方向上側の内径寸法に比して大径とされている。
【００３６】
このような上固定金具３６と下固定金具３８は、ヨーク金具２２の外周部分に対して軸方向で重ね合わされていると共に、それら重ね合わされた上下の固定金具３６，３８とヨーク金具２２の周上の複数箇所には軸方向で貫通するボルト孔４０が形成されており、ボルト孔４０に挿通される固定ボルト４２によってヨーク金具２２に対して上固定金具３６と下固定金具３８が上側と下側からそれぞれ固定的に組み付けられている。
【００３７】
一方、可動子１６は、内筒部材としての内筒金具４４を備えている。内筒金具４４は、軸方向で延びる小径の円筒形状を呈しており、その中央孔４５が軸方向に直線的に延びて内筒金具４４の軸方向両端に開口している。また、内筒金具４４には、リング状の磁性金具４６が外嵌固定されている。磁性金具４６は、鉄等の強磁性材で形成されており、内筒金具４４の軸方向略中央部分に外嵌されて、全周に亘って軸直角方向外方に突出している。
【００３８】
また、磁性金具４６の軸方向両側には、上筒金具４８と下筒金具５０が配設されている。上筒金具４８は、軸方向で所定の長さに亘って直線的に延びており、磁性金具４６の軸方向上側において内筒金具４４に外挿されている。また、下筒金具５０は、軸方向で所定の長さに亘って直線的に延びており、磁性金具４６の軸方向下側において内筒金具４４に外挿されている。なお、本実施形態では、内筒金具４４と上筒金具４８、下筒金具５０は、何れも非磁性材で形成されている。
【００３９】
そして、このような構造とされた固定子１４と可動子１６は、互いに同一中心軸上に配設されており、一対のコイル巻回部３０，３０の対向面間（永久磁石２６ａ，２６ｂと永久磁石２６ｃ，２６ｄの軸直角方向での対向面間）に可動子１６が所定距離を隔てて配設されている。また、固定子１４に配設される永久磁石２６と可動子１６に配設される磁性金具４６が軸直角方向で所定距離を隔てて対向位置せしめられている。
【００４０】
また、それら固定子１４と可動子１６は、上下一対の板ばね５２，５４によって相互に連結されている。上下一対の板ばね５２，５４は、薄肉の略円板形状とされており、中央部分には内筒金具４４の外径寸法に応じた円形の中央孔が形成されている。また、本実施形態における板ばね５２，５４には、軸方向でのばね特性を調節するために、内周側から外周側に向かって渦巻状に延びる複数の図示しない貫通孔が厚さ方向で貫通して形成されている。なお、板ばね５２，５４に中央孔を形成することにより、板ばね５２，５４を挟んだ軸方向両側の領域が、該中央孔を通じて相互に連通されている。
【００４１】
そして、上下一対の板ばね５２，５４の外周縁部が、上下の固定金具３６，３８の段差に重ね合わされて固定ボルト４２で固定子１４側に固定されていると共に、板ばね５２，５４の内周縁部が、内筒金具４４に外挿されると共に、上筒金具４８の上端面と下筒金具５０の下端面にそれぞれ重ね合わされて可動子１６側に固定されている。これにより、固定子１４と可動子１６が上下一対の板ばね５２，５４によって連結されている。
【００４２】
このような本実施形態に従う構造とされた能動型制振器１０では、コイル２４への非通電状態下において、磁性金具４６がヨーク金具２２の軸方向中央部分に位置するようになっている。換言すれば、コイルへの非通電状態下において、磁性金具４６の軸方向での中心が軸方向上下で隣り合う永久磁石２６ａ，２６ｂ（２６ｃ，２６ｄ）の境界と軸直角方向で対向位置するようになっている。
【００４３】
また、コイル２４に対してリード線３４を通じて給電すると、電流の流れる方向に応じて電流の磁気作用による磁界が発生して、軸方向上下に配設された永久磁石２６ａ，２６ｂと永久磁石２６ｃ，２６ｄの何れか一方によって形成される磁界を補強すると共に、何れか他方によって形成される磁界を打ち消す。これにより、可動子１６に設けられた磁性金具４６が磁界を補強された永久磁石２６ａ，２６ｃ（２６ｂ，２６ｄ）によって引き寄せられて、その結果、可動子１６が軸方向の何れか一方の側に駆動変位せしめられるようになっている。なお、このようなアクチュエータの駆動原理は、特開２００５−３２８６８５号公報等の公知の文献に記載されているものと略同様である。
【００４４】
また、可動子１６には、マス金具１８が組み付けられている。マス金具１８は、上下方向に延びる中心軸を備えた厚肉の円形ブロック形状とされている。このマス金具１８の上端面には、上方に向かって開口する嵌着凹所５６が形成されている。嵌着凹所５６は、略一定の小径円形断面で軸方向に所定の深さで延びて形成された有底の円形穴であって、可動子１６における内筒金具４４の外径と略同一か僅かに小さい径寸法をもって形成されている。そして、嵌着凹所５６に対して内筒金具４４の下端部分が圧入されて組み付けられることにより、マス金具１８が可動子１６に対して固定的に組み付けられている。なお、本実施形態におけるマス部材は、可動子１６とマス金具１８を含んで構成されており、可動子１６とマス金具１８の質量の合計を利用して目的とする発生力が得られるようになっている。そして、後述する支持ゴム弾性体７４を介して制振対象部材に対して弾性的に連結されるマス部材（可動子１６およびマス金具１８）を制振対象となる振動の周波数に応じて加振変位せしめることにより、制振対象部材における制振対象の振動を能動的乃至は相殺的に低減せしめることが出来るようになっている。
【００４５】
また、マス金具１８の軸方向下端部には、軸直角方向外方に延び出すフランジ状のストッパ当接部５８が一体形成されている。更に、マス金具１８の下端面には、軸方向下方に向かって突出する小径円柱形状の嵌着突部６０が一体形成されている。また、マス金具１８の中心軸上には、軸方向に延びる連通孔６２が形成されている。この連通孔６２は、マス金具１８を軸方向に貫通して形成される小径の円形孔であって、軸方向上側の開口が嵌着凹所５６の底壁面に開口していると共に、下側の開口が嵌着突部６０の突出先端面に開口している。
【００４６】
また、マス金具１８の下方に突出する嵌着突部６０には、可動子側インナ部材としてのインナ金具６４が嵌着固定されている。インナ金具６４は、軸方向上方に向かって開口する薄肉の略有底円筒形状を呈していると共に、その開口周縁部には、軸直角方向外方に広がる当接フランジ６６が一体形成されている。また、インナ金具６４の底壁部には、透孔６８が形成されている。この透孔６８は、インナ金具６４の中心軸上に位置せしめられており、インナ金具６４の底壁部を貫通して形成されている。そして、インナ金具６４は、マス金具１８の嵌着突部６０に軸方向下方から外嵌固定されることにより、マス金具１８に対して同一中心軸上で組み付けられている。また、インナ金具６４の当接フランジ６６がマス金具１８の下端面に重ね合わされることによって、インナ金具６４がマス金具１８に対して軸方向で位置決めされている。なお、本実施形態では、インナ金具６４がマス金具１８に対して組み付けられた状態下において、マス金具１８の下端面とインナ金具６４の底壁部上面との軸方向対向面間には隙間が形成されている。また、マス金具１８の下端面とインナ金具６４の底壁部上面の間の隙間を介して、マス金具１８の連通孔６２とインナ金具６４の透孔６８が相互に接続されている。
【００４７】
また、インナ金具６４に対して軸直角方向で所定距離を隔てて固定子側アウタ筒部材としてのアウタ筒金具７０が配設されている。アウタ筒金具７０は、全体として薄肉大径の略円筒形状を呈しており、軸方向上端が僅かに内周側に屈曲せしめられていると共に、軸方向下端が外周側に屈曲せしめられた固定部７２とされている。このアウタ筒金具７０はインナ金具６４に比して大径とされており、同一中心軸上に配設されることによってインナ金具６４に対して軸直角方向で所定距離を隔てている。なお、本実施形態では、アウタ筒金具７０がインナ金具６４よりも僅かに軸方向下方に偏倚して位置せしめられている。
【００４８】
また、インナ金具６４とアウタ筒金具７０の対向面間には、弾性連結ゴムとしての支持ゴム弾性体７４が配設されている。支持ゴム弾性体７４は、全体として略円環板形状とされており、特に本実施形態では、径方向で外周側に向かって次第に薄肉となっている。また、支持ゴム弾性体７４の内周面がインナ金具６４の外周面と当接フランジ６６の下面に加硫接着されていると共に、外周面がアウタ筒金具７０の内周面に加硫接着されている。これにより、軸直角方向で所定距離だけ離隔するインナ金具６４（マス金具１８及び可動子１６）とアウタ筒金具７０（固定子１４）が支持ゴム弾性体７４で相互に弾性連結されている。また、本実施形態では、支持ゴム弾性体７４の内周縁部の下端には、筒状のバウンドストッパゴム７６が一体形成されており、インナ金具６４の底壁部の外周部分に加硫接着されて軸方向下方に向かって突出している。なお、インナ金具６４の底壁部の中央部分は、筒状とされたバウンドストッパゴム７６の中央孔を通じて軸方向下方に露出しており、インナ金具６４の底壁部中央に形成された透孔６８がバウンドストッパゴム７６の中央孔を通じて下方に開口している。
【００４９】
また、アウタ筒金具７０は、取付金具２０に組み付けられている。この取付金具２０は、筒状カバー金具７８と底板金具８０を含んで構成されている。筒状カバー金具７８は、全体として略円筒形状とされており、複数の段差によって軸方向上方よりも軸方向下方が大径とされた段付き円筒形状を呈している。そして、筒状カバー金具７８に対してアウタ筒金具７０が下方から圧入されて固定されていると共に、筒状カバー金具７８の段差の一つにアウタ筒金具７０の固定部７２が軸方向下方から重ね合わされてアウタ筒金具７０が筒状カバー金具７８に対して軸方向で位置決めされている。
【００５０】
また、筒状カバー金具７８の軸方向上端部には、軸直角方向内方に向かって延び出す内フランジ状のストッパ支持部８２が一体形成されており、マス金具１８のストッパ当接部５８に対して軸方向で所定距離を隔てて上方に対向位置せしめられている。このストッパ支持部８２の上方から電磁加振器１２の下固定金具３８が重ね合わされており、固定子１４が筒状カバー金具７８（取付金具２０）に載置されて配設されている。これにより、支持ゴム弾性体７４の軸方向上方に電磁加振器１２が配設されている。
【００５１】
さらに、筒状カバー金具７８の上端部分には、略円環形状のストッパ部材８４が内挿状態で圧入固定されている。このストッパ部材８４は、固定金具８６とリバウンドストッパゴム８８を備えている。固定金具８６は、略円筒形状の周壁部と、該周壁部の上端から軸直角方向内方に向かって延び出す内フランジ状のゴム固着部９０を備えている。ゴム固着部９０の下面には、略一定の矩形断面で周方向に連続して延びる円環形状のリバウンドストッパゴム８８が固着されており、ゴム固着部９０の下面から軸方向下方に向かって突出している。また、図１に示されているように、ストッパ部材８４が筒状カバー金具７８に対して組み付けられた状態下において、リバウンドストッパゴム８８の下端面とマス金具１８のストッパ当接部５８との軸方向間には、所定の隙間が形成されている。そして、マス金具１８（インナ金具６４）が筒状カバー金具７８（アウタ筒金具７０）に対して軸方向で上方に向かって過大に相対変位せしめられると、ストッパ当接部５８がリバウンドストッパゴム８８を介してストッパ支持部８２に当接せしめられる。これにより、インナ金具  （可動子１６）のアウタ筒金具７０（固定子１４）に対するリバウンド方向（軸方向上）での相対変位量を制限するリバウンドストッパ機構が構成されている。
【００５２】
また、底板金具８０は、軸方向の中間部分に段差を有する浅底の逆向き皿形状を呈している。また、本実施形態における底板金具８０は、上底壁部の径方向中央部分に下方に向かって開口する凹所が形成されている。これにより、底板金具８０の径方向中央部分における上底壁部が、軸方向上方に向かって突出せしめられている。
【００５３】
そして、底板金具８０は、筒状カバー金具７８の軸方向下側の開口から圧入されて筒状カバー金具７８に固定されている。特に本実施形態では、底板金具８０の周壁部に形成される段差と筒状カバー金具７８の周壁部に形成される段差が軸方向で重ね合わされることにより、筒状カバー金具７８と底板金具８０が軸方向で相対的に位置決めされるようになっている。更に、相互に重ね合わされる筒状カバー金具７８の段差と底板金具８０の段差の軸方向間には、リング状のシールゴム９２が配設されており、底板金具８０と筒状カバー金具７８の重ね合せ面間の隙間がシールゴム９２によって流体密にシールされている。
【００５４】
また、底板金具８０における上底壁部の外周部分には、アウタ筒金具７０の下端に形成される固定部７２が軸方向上方から重ね合わされており、筒状カバー金具７８の段差と底板金具８０の上底壁部の軸方向間にアウタ筒金具７０の固定部７２が挟み込まれて保持されている。
【００５５】
特に本実施形態では、上述の如き組付け状態下において、底板金具８０の上底壁部の上方に離隔してインナ金具６４が配置されており、インナ金具６４の底壁部下面に固着されたバウンドストッパゴム７６が底板金具８０の上底壁部に対して軸方向上方に所定距離だけ離隔せしめられている。そして、インナ金具６４が底板金具８０（アウタ筒金具７０）に対して軸方向下方に向かって過大に相対変位せしめられると、インナ金具６４の底部がバウンドストッパゴム７６を介して底板金具８０の上底壁部に当接せしめられるようになっており、インナ金具６４（可動子１６）のアウタ筒金具７０（固定子１４）に対する相対的な変位量を制限するバウンドストッパ機構が構成されている。なお、特に本実施形態では、底板金具８０の上底壁部の中央部分を上方に向かって凸となるように曲げて突出させることにより、バウンドストッパゴム７６と底板金具８０の上底壁部との離隔距離を適当に調節している。
【００５６】
さらに、底板金具８０の下端開口縁部には、軸直角方向外方に広がるフランジ状の取付フランジ９４が一体形成されている。この取付フランジ９４には、図２に示されているように、周上の複数箇所にボルト孔９６が形成されており、ボルト孔９６に挿通される図示しない取付ボルトによって、図示しない車両ボデー等の制振対象部材に取り付けられるようになっている。これにより、筒状カバー金具７８に組み付けられる固定子１４が底板金具８０を介して制振対象部材に固定的に組み付けられている。
【００５７】
また、筒状カバー金具７８の上方には蓋金具１００が配設されている。蓋金具１００は、逆向きの略有底円筒形状を呈しており、電磁加振器１２の軸方向上方と軸直角方向外方を略全面に亘って覆うように配設されている。また、蓋金具１００の下側の開口部が筒状カバー金具７８の上端部に外挿状態で圧入されると共に、蓋金具１００の下端に形成された段差と筒状カバー金具７８の上端部に形成された段差が軸方向で重ね合わされており、もって、軸方向で相対的に位置決めされた状態で蓋金具１００が筒状カバー金具７８に組み付けられている。また、本実施形態では、筒状カバー金具７８の段差と蓋金具１００の段差の軸方向間には、リング状のシールゴム１０２が挟み込まれており、かかるシールゴム１０２によって筒状カバー金具７８と蓋金具１００の重ね合せ面間が流体密にシールされている。なお、コイル２４に接続されたリード線３４は、蓋金具１００の周壁部を貫通して形成される貫通孔を通じて外部に延び出している。この貫通孔は、リード線３４が挿通せしめられた状態でシール材が充填されて密閉されている。
【００５８】
また、蓋金具１００における上底壁部の外周縁部は、上固定金具３６の外周部分に対して軸方向上方から重ね合わされている。そして、軸方向で重ね合わされた上固定金具３６とヨーク金具２２と下固定金具３８が、筒状カバー金具７８の上端に形成されるストッパ支持部８２と蓋金具１００の上底壁部の軸方向対向面間に挟み込まれて位置決め固定されている。これにより、電磁加振器１２の固定子１４が取付金具２０に対して固定されており、固定子１４が取付金具２０を介して制振対象部材に対して取り付けられている。
【００５９】
このような本実施形態に従う構造とされた能動型制振器１０では、略円筒形状とされた筒状カバー金具７８の軸方向上側の開口が蓋金具１００によって流体密に閉塞せしめられていると共に、軸方向下側の開口が底板金具８０によって流体密に閉塞せしめられており、もって、蓋金具１００と底板金具８０の対向面間には、筒状カバー金具７８と底板金具８０と蓋金具１００によって外部空間から密閉された密閉空気室１０４が形成されている。なお、このことからも明らかなように、筒状カバー金具７８と、筒状カバー金具７８に対して流体密に組み付けられた蓋金具１００および底板金具８０によって、本実施形態におけるカバー部材が構成されている。また、本実施形態では、底板金具８０によって制振対象部材に取り付けられる取付部材が構成されており、取付部材とカバー部材が一体的に構成されている。
【００６０】
また、密閉空気室１０４には、電磁加振器１２が収容配置されている。そして、マス金具１８（可動子１６）に組み付けられるインナ金具６４と筒状カバー金具７８（固定子１４）に内嵌固定されるアウタ筒金具７０が軸直角方向で広がる支持ゴム弾性体７４で連結されていることにより、密閉空気室１０４が支持ゴム弾性体７４を挟んで軸方向に二分されている。即ち、支持ゴム弾性体７４を挟んで軸方向上側には、蓋金具１００と支持ゴム弾性体７４の軸方向対向面間に広がって、電磁加振器１２及びマス金具１８が収容配置された第一の空気室１０６が形成されていると共に、軸方向下側には、支持ゴム弾性体７４と底板金具８０の軸方向対向面間に広がる第二の空気室１０８が形成されている。
【００６１】
また、図１に示されているように、電磁加振器１２の中心軸上を延びるように空気流路１１０が形成されている。この空気流路１１０は、支持ゴム弾性体７４を挟んで軸方向両側に形成された第一の空気室１０６と第二の空気室１０８を相互に連通している。また、本実施形態では、内筒金具４４の中央孔４５と、マス金具１８に貫通形成される連通孔６２と、インナ金具６４の底壁部に形成される透孔６８が軸方向で接続されることにより、空気流路１１０が軸方向で直線的に延びて形成されている。そして、内筒金具４４の中央孔４５の一方の開口が第一の空気室１０６に連通せしめられることによって空気流路１１０の一方の側の開口が第一の空気室１０６に連通せしめられていると共に、透孔６８が第二の空気室１０８に開口せしめられることによって空気流路１１０の他方の側の開口が第二の空気室１０８に連通せしめられている。なお、本実施形態では、支持ゴム弾性体７４が略円環板形状とされていると共に、インナ金具６４の底壁部の中央部分まで至らない範囲においてインナ金具６４に対して固着されていることから、インナ金具６４の底壁部に形成された透孔６８が第二の空気室１０８に連通せしめられている。
【００６２】
このような本実施形態に従う構造の能動型制振器１０においては、上述の如くコイル２４に給電して電磁加振器１２を作動せしめると、通電による熱が生じる。この通電による熱は、コイル２４を含む電磁加振器１２が収容されている第一の空気室１０６内で発生する。また、第一の空気室１０６は、上述の如く、外部空間に対して密閉されている。
【００６３】
したがって、第一の空気室１０６は、電磁加振器１２の作動による発熱に起因して次第に室内温度が上昇することとなる。これにより、発熱体（電磁加振器１２）を収容している第一の空気室１０６と発熱体を収容していない第二の空気室１０８との間で相対的な温度差が生じる。このような第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の温度差は、第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の内圧差を生ぜしめる。即ち、発熱体によって温度が上昇し易い第一の空気室１０６では、室内に密封された空気の膨張によって、室内の圧力が上昇し易く、第一の空気室１０６内の圧力が第二の空気室１０８の圧力に比して高くなり易い。
【００６４】
ここにおいて、能動型制振器１０では、中心軸上を延びる空気流路１１０によって第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の間での空気の流動が許容されている。それ故、支持ゴム弾性体７４を挟んだ軸方向両側に形成される第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の間で圧力差が生じると、室内の空気がそれら両室１０６，１０８間の圧力差に基づいて空気流路１１０を通じて流動せしめられる。これにより、第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の間で生じる圧力差を速やかに解消することが出来て、それら両室１０６，１０８間での圧力差によって支持ゴム弾性体７４が高圧側（第一の空気室１０６側）から低圧側（第二の空気室１０８側）に膨出するように弾性変形せしめられるのを防ぐことが出来る。従って、コイル２４への非通電状態下における固定子１４と可動子１６の相対位置（非通電状態下における、固定子１４と可動子１６の軸直角方向での離隔距離や固定子１４に対する可動子１６の軸方向位置）を高精度に維持して、目的とする加振力を発生せしめ、有効な制振効果を有利に得ることが可能となるのである。また、支持ゴム弾性体７４の弾性変形に起因する軸方向でのばね定数の変化を回避することも出来ることから、より高精度な発生力を実現することが出来て、所期の制振効果を安定して得ることが出来る。
【００６５】
しかも、外部空間から密閉された密閉空気室１０４内において、支持ゴム弾性体７４の両側に位置する第一の空気室１０６と第二の空気室１０８を空気流路１１０を通じて相互に連通することによって両室１０６，１０８間での圧力差を解消している。それ故、外部空間から水や粉塵等の異物が侵入するのを完全に回避しつつ圧力差の解消を実現することが出来るのであって、電磁加振器１２の耐久性の向上と、電磁加振器１２の安定した出力による優れた制振効果を両立して実現可能となっている。特に電気式のリニアアクチュエータ（電磁加振器１２）においては、加振力を効率良く得るために、固定子１４と可動子１６の間の隙間が非常に小さく設定される。それ故、外部からの埃等の異物がそれら固定子１４と可動子１６の微小な隙間に入り込むと可動子１６のスムーズな加振駆動が妨げられるおそれがある。そこにおいて、本実施形態に係る能動型制振器１０では、固定子１４と可動子１６の間の隙間に対する外部からの異物の侵入が完全に防がれていることから、固定子１４と可動子１６の隙間を充分に小さくすることによって、加振力を高効率で得ることが出来ると共に、固定子１４に対する可動子１６のスムーズな作動を確保して、出力の安定化を実現することが出来る。
【００６６】
また、空気流路１１０によって支持ゴム弾性体７４の両側に形成された第一，第二の空気室１０６，１０８が相互に連通されていることにより、コイル２４に給電されて可動子１６が軸方向で変位する場合にも、駆動変位に伴う第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の間で空気ばねが作用するのを防いで、より高精度な作動を実現することが出来る。
【００６７】
また、剛性材で形成された内筒金具４４とマス金具１８とインナ金具６４によって空気流路１１０の壁部が構成されていることから、空気流路１１０の流路断面積を安定して得ることが出来て、第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の間での空気の流動による圧力差の解消を容易に実現出来る。それ故、目的とする制振効果をより有効に得ることが出来る。
【００６８】
さらに、可動子１６が固定子１４の内周側に位置するタイプの電磁加振器１２において、中心軸上を延びるように空気流路１１０を形成したことにより、外周部分に特別に空気流路を形成するよりもスペース効率良く空気流路１１０を形成することが出来る。それ故、能動型制振器１０の小型化を有利に図ることが出来る。
【００６９】
次に、図３には、本発明の第二の実施形態としての能動型制振器１１２が示されている。この能動型制振器１１２は、電気式リニアアクチュエータとしての電磁加振器１１４を備えている。なお、以下の説明において、上下方向とは、駆動軸方向となる図３中の上下方向を言うものとする。
【００７０】
より詳細には、電磁加振器１１４は、図示しない制振対象部材に固定的に組み付けられる固定子１１５と、固定子１１５に対して相対的な駆動変位を許容される可動子１１６を備えている。
【００７１】
固定子１１５は、コイル部材１１７を含んで構成されている。コイル部材１１７は、略有底円筒形状のボビン１１８に対してコイル１２０が巻回されて構成されている。ボビン１１８は、硬質の合成樹脂材等の非磁性材で形成されて、全体として略有底円筒形状を呈している。また、周壁部には、外周面に開口する凹溝が周方向で連続して延びるように形成されており、該凹溝に収容されるようにコイル１２０がボビン１１８に巻回されている。また、ボビン１１８の底壁部中央には、軸方向上下に突出する固定筒部１２２が一体形成されており、固定筒部１２２の中央孔がボビン１１８の底壁部を軸方向で貫通して形成されている。なお、コイル１２０は、リード線１２４によって外部電源１２６に接続されている。
【００７２】
また、ボビン１１８の固定筒部１２２には、固定軸部材としての軸金具１２８が挿通せしめられて固定されている。軸金具１２８は、軸方向上下に直線的に延びるロッド形状を呈しており、それぞれ非磁性材で形成された上下のロッド金具１３０，１３２を軸方向で連結することにより構成されている。
【００７３】
また、軸金具１２８の軸方向両端部は、カバー部材としてのケース金具１３４に固定されている。ケース金具１３４は、上下に組み合わされる底金具１３６と蓋金具１３８で構成されている。底金具１３６は、薄肉大径の略有底円筒形状とされており、開口周縁部には軸直角方向外方に広がるフランジ部１４０が一体形成されている。また、底金具１３６の径方向中央部分には、小径の円形凹所状に曲げられた下嵌着凹所１４２が形成されている。一方、蓋金具１３８は、薄肉大径とされた逆向きの略有底円筒形状とされており、底金具１３６と同一の直径とされている。また、蓋金具１３８の開口周縁部には、軸直角方向外方に広がるかしめ片１４４が一体形成されている。更に、蓋金具１３８における上底壁部の径方向中央部分が、小径の円形凹所状に曲げられており、かかる凹所が上嵌着凹所１４６とされている。
【００７４】
そして、底金具１３６の下嵌着凹所１４２と蓋金具１３８の上嵌着凹所１４６に軸金具１２８の軸方向両端部が圧入固定されると共に、底金具１３６と蓋金具１３８の各開口部同士が軸方向で重ね合わされて、底金具１３６のフランジ部１４０が蓋金具１３８のかしめ片１４４でかしめ固定されることにより、底金具１３６と蓋金具１３８が相互に組み付けられている。また、フランジ部１４０とかしめ片１４４の重ね合せ面間にはリング状のシールゴム１４８が圧縮された状態で配設されており、底金具１３６と蓋金具１３８の間が流体密にシールされている。これにより、底金具１３６と蓋金具１３８の内周側において、外部空間に対して密閉状態とされた密閉空気室１０４が形成されている。なお、本実施形態では、コイル１２０に接続されるリード線１２４が底金具１３６の底壁部を貫通して延びる貫通孔を通じて外部に延び出している。この貫通孔は、前記第一の実施形態における貫通孔と同様に、リード線１２４が挿通せしめられた状態でシール材が充填されて密閉されている。
【００７５】
また、底金具１３６には、取付部材としての取付脚部１５２が外嵌固定されている。取付脚部１５２は、全体として略円筒形状とされており、軸方向上部が底金具１３６に外挿状態で固着されていると共に、軸方向下部が底金具１３６よりも下方に延び出している。また、取付脚部１５２の軸方向下端部には、軸直角方向外方に向かって広がる取付フランジ１５４が形成されている。取付フランジ１５４には、周上の複数箇所にボルト孔１５６が貫設されており、ボルト孔１５６に挿通される図示しない取付ボルトによって取付フランジ１５４が制振対象部材に固定的に取り付けられるようになっている。このことから明らかなように、ケース金具１３４に固定される各部材（コイル部材１１７、軸金具１２８、後述するインナ金具１５８、後述するストッパ金具１６２等）によって、本実施形態における固定子１１５が構成されている。
【００７６】
また、軸金具１２８には、固定子側インナ部材としてのインナ金具１５８が組み付けられる。インナ金具１５８は、略円形ブロック形状とされており、径方向中央には軸方向で貫通する挿通孔１６０が形成されている。また、挿通孔１６０は、段付きの円形孔とされており、軸方向中間の一部よりも上側が下側に比して大径とされている。そして、インナ金具１５８の挿通孔１６０には、軸金具１２８が挿通されていると共に、大径部分にはボビン１１８における固定筒部１２２の下端部が挿入されており、インナ金具１５８が軸金具１２８およびボビン１１８に対して外嵌固定されている。
【００７７】
さらに、インナ金具１５８の下面に重ね合わされるようにして、ストッパ金具１６２が組み付けられている。ストッパ金具１６２は、高剛性の非磁性材料で形成されており、浅底の略皿形状を呈している。また、ストッパ金具１６２の開口周縁部には、軸直角方向内方に屈曲せしめられて延び出す当接部１６４が一体形成されている。更に、ストッパ金具１６２の底壁部の径方向中央部分には、軸方向で貫通する中央孔が形成されており、該中央孔に対して軸金具１２８が挿通されるようになっている。更にまた、ストッパ金具１６２の底壁部と底金具１３６の底壁部の対向面間には、スペーサ金具１６６が配設されている。このスペーサ金具１６６は、略円環板形状とされており、軸金具１２８に外挿状態で組み付けられていると共に、軸方向両面がストッパ金具１６２の底壁部下面と底金具１３６の底壁部上面に重ね合わされている。
【００７８】
一方、可動子１１６は、可動子側アウタ筒部材としてのアウタ筒金具１６８を含んで構成されている。アウタ筒金具１６８は、インナ金具１５８よりも大径で、且つストッパ金具１６２よりも小径とされた薄肉の略円筒形状を呈している。また、アウタ筒金具１６８は、インナ金具１５８及びストッパ金具１６２と同一中心軸上に配設されており、インナ金具１５８とストッパ金具１６２の周壁部の軸直角方向対向面間を延びるように、インナ金具１５８とストッパ金具１６２の何れからも離隔して配設されている。また、アウタ筒金具１６８の軸方向上端部と下端部には、それぞれ軸直角方向外方に向かって屈曲せしめられた固定フランジ１７０とストッパ当接部１７２が一体形成されている。なお、アウタ筒金具１６８のストッパ当接部１７２は、ストッパ金具１６２の底壁外周縁部と当接部１６４との軸方向対向面間に位置せしめられていると共に、それらストッパ金具１６２の底壁外周縁部と当接部１６４の何れからも軸方向で所定距離だけ離隔せしめられている。
【００７９】
また、インナ金具１５８とアウタ筒金具１６８の対向面間には、弾性連結ゴムとしての支持ゴム弾性体１７４が配設されている。支持ゴム弾性体１７４は、略円環板形状を呈しており、内周面がインナ金具１５８の外周面及び上面外周縁部に加硫接着されていると共に、外周面がアウタ筒金具１６８の内周面に加硫接着されている。また、本実施形態では、インナ金具１５８がアウタ筒金具１６８よりも僅かに軸方向下方に位置せしめられており、支持ゴム弾性体１７４が中央側に向かって緩やかに下方に傾斜する凹形状となっている。これにより、固定子１１５と可動子１１６が支持ゴム弾性体１７４で弾性的に連結されている。
【００８０】
さらに、本実施形態では、アウタ筒金具１６８の内周面と外周面を略全面に亘って覆う被覆ゴム層１７６が支持ゴム弾性体１７４と一体形成されており、該被覆ゴム層１７６によってアウタ筒金具１６８の周壁部が略全面に亘って覆われている。
【００８１】
また、アウタ筒金具１６８のストッパ当接部１７２の下面及び上面には、被覆ゴム層１７６に比して厚肉とされたバウンドストッパゴム１７８とリバウンドストッパゴム１８０が固着されている。これらバウンドストッパゴム１７８とリバウンドストッパゴム１８０は、何れも被覆ゴム層１７６、延いては支持ゴム弾性体１７４と一体形成されている。そして、アウタ筒金具１６８がインナ金具１５８に対して軸方向で過大に相対変位せしめられると、アウタ筒金具１６８のストッパ当接部１７２が、ストッパ金具１６２の底壁外周縁部又は当接部１６４に対して、バウンドストッパゴム１７８又はリバウンドストッパゴム１８０を介して軸方向で弾性的に当接せしめられる。これにより、インナ金具１５８に対するアウタ筒金具１６８の軸方向両側への相対変位量を制限するバウンドストッパ機構およびリバウンドストッパ機構が構成されている。
【００８２】
また、アウタ筒金具１６８は、筒状ハウジング１８２に組み付けられている。筒状ハウジング１８２は、アウタ筒金具１６８よりも僅かに大径の略円筒形状を呈している。また、筒状ハウジング１８２における軸直角方向中間部分の内周面には、厚肉円筒形状のマス金具１８４が固着せしめられている。マス金具１８４は強磁性材で形成されて、筒状ハウジング１８２と同一中心軸上に配設されている。
【００８３】
さらに、マス金具１８４の内周面には、永久磁石１８６が重ね合わされて固着されている。永久磁石１８６は、略円筒形状とされており、マス金具１８４の軸方向中間部分に固定されている。また、永久磁石１８６は、軸直角方向両面に磁極が形成されている。
【００８４】
また、永久磁石１８６の内周側には、所定距離を隔てて、ヨーク金具１８８が配設されている。ヨーク金具１８８は、全体として円形ブロック形状を呈している。また、ヨーク金具１８８の軸直角方向中央部分には、軸方向で延びる挿通孔１９０が貫通形成されている。この挿通孔１９０は、軸方向中間の一部よりも下側が下方に向かって次第に拡径すると共に、軸方向上部が上方に向かって次第に拡径する円形孔とされている。そして、挿通孔１９０には、軸金具１２８が遊挿状態で挿通せしめられている。更に、ヨーク金具１８８の上端部には、軸直角方向外方に向かって延び出す嵌着部１９２が一体形成されている。嵌着部１９２は、略円環板形状を呈しており、その外周面が筒状ハウジング１８２の内周面に重ね合わされていると共に、外周部分の下面が永久磁石１８６の上端面に重ね合わされている。
【００８５】
また、ヨーク金具１８８の上方には、板ばね１９４が配設されている。板ばね１９４は、薄肉の略円板形状を呈しており、径方向中央部分には中央孔が貫通形成されている。また、本実施形態における板ばね１９４には、前記第一の実施形態の板ばね５２，５４と同様に、軸方向でのばね特性を調節するために、内周側から外周側に向かって渦巻状に延びる複数の貫通孔が厚さ方向で貫通して形成されている。なお、板ばね１９４に該貫通孔を形成することにより、板ばね１９４を挟んだ両側の領域が、該貫通孔を通じて相互に連通されている。この板ばね１９４は、その外周縁部がヨーク金具１８８の嵌着部１９２の上面に重ね合わされると共に、内周縁部が軸金具１２８に固定されている。更に、板ばね１９４の外周縁部には、円環形状の当接金具１９８が重ね合わされており、板ばね１９４の外周縁部がヨーク金具１８８と当接金具１９８によって軸方向で挟み込まれている。なお、板ばね１９４の内周縁部は、軸金具１２８を構成する上ロッド金具１３０と下ロッド金具１３２の連結部分に挟み込まれていると共に、上ロッド金具１３０から突出する連結ボルトが、板ばね１９４の中央孔に挿通されて下ロッド金具１３２の上端面に形成されたボルト孔に螺着されることにより、軸金具１２８に固定されている。
【００８６】
さらに、筒状ハウジング１８２の軸方向上下端には、軸直角方向内方に向かって屈曲せしめられた内方突出部２００とかしめ部２０２が形成されている。そして、これら内方突出部２００とかしめ部２０２の軸方向対向面間に対して、軸方向で相互に重ね合わされたアウタ筒金具１６８のかしめ片１４４と、マス金具１８４と、ヨーク金具１８８の嵌着部１９２と、板ばね１９４と、当接金具１９８が挟圧保持されるようになっている。これにより、固定子１１５に対して相対変位可能とされた可動子１１６が、アウタ筒金具１６８と、ヨーク金具１８８と、永久磁石１８６と、ヨーク金具１８８とを含んで構成されている。また、本実施形態におけるマス部材は、マス金具１８４やヨーク金具１８８、永久磁石１８６を含んで可動子１１６と一体的に構成されており、所定の質量を有する可動子１１６が加振されることにより、目的とする発生力が得られるようになっている。なお、以上の説明からも明らかなように、インナ金具１５８が固定子１１５側に組み付けられていると共に、アウタ筒金具１６８が可動子１１６側に組み付けられており、それらインナ金具１５８とアウタ筒金具１６８が支持ゴム弾性体１７４で弾性的に連結されることにより、固定子１１５と可動子１１６が支持ゴム弾性体１７４で相互に弾性連結されている。
【００８７】
これら固定子１１５と可動子１１６が組み付けられて構成される電磁加振器１１４では、コイル１２０への非通電状態下において、固定子１１５のコイル１２０が可動子１１６のヨーク金具１８８と永久磁石１８６の軸直角方向対向面間に挿し入れられている。なお、コイル１２０は、ヨーク金具１８８と永久磁石１８６の何れからも離隔して配設されている。
【００８８】
また、コイル１２０に対して外部電源１２６から給電すると、永久磁石１８６によって形成される磁界内を電流が流れることによって力が発生する。そして、この発生力によって、可動子１１６が固定子１１５に対して軸方向一方の側に相対変位せしめられる。また、発生力の向きは、永久磁石１８６の磁極の向きとコイル１２０に流れる電流の向きに応じて決まることから、固定的に永久磁石１８６が配設された状態下において、コイル１２０に通電される電流の向きを正逆方向で交互に変化させる（コイル１２０に通電する電流を交流とする）ことにより可動子１１６を軸方向の両側に変位せしめることが出来る。従って、制振対象振動の周波数に応じて制御された交流電流のコイル１２０に対する給電や、コイル１２０への通電のＯＮ／ＯＦＦ制御等によって、目的とする加振力を得ることが可能である。
【００８９】
そして、コイル１２０に対して制御された交流電流や脈動電流を通電し、或いはコイルへの通電のＯＮ／ＯＦＦを制御することでマス部材を一体的に備えた可動子１１６が軸方向で加振変位せしめられて、目的とする発生力が生ぜしめられる。これにより、目的とする加振力を制振対象部材に及ぼすことが出来て、制振対象部材の振動を能動的乃至は相殺的に低減することが出来るのである。
【００９０】
このような本実施形態に従う構造とされた能動型制振器１１２では、略有底円筒形状とされた底金具１３６と、逆向きの略有底円筒形状とされた蓋金具１３８が流体密に組み合わされていると共に、それら底金具１３６と蓋金具１３８の間にシールゴム１４８が介在せしめられていることにより、底金具１３６と蓋金具１３８の対向間には、外部空間に対して密閉された密閉空気室１０４が形成されている。
【００９１】
さらに、密閉空気室１０４は、インナ金具１５８とアウタ筒金具１６８が支持ゴム弾性体１７４で相互に連結されることにより、支持ゴム弾性体１７４を挟んで軸方向上側に位置して、コイル１２０を含む電磁加振器１１４が収容配置された第一の空気室１０６と、支持ゴム弾性体１７４を挟んで軸方向下側に位置する第二の空気室１０８に略二分されている。
【００９２】
ここにおいて、本実施形態に従う構造とされた能動型制振器１１２では、第一の空気室１０６と第二の空気室１０８が空気連通路としての空気流路２０８によって相互に連通されている。より詳細には、本実施形態における空気流路２０８は、ケース金具１３４と筒状ハウジング１８２（可動子１１６）の対向面間に形成された隙間２１０と、アウタ筒金具１６８（可動子１１６）とストッパ金具１６２の対向面間に形成された隙間２１２を利用して形成されており、それらの隙間２１０，２１２が相互に接続されることによって第一の空気室１０６と第二の空気室１０８を相互に連通する空気流路２０８が構成されている。
【００９３】
このような本実施形態に係る能動型制振器１１２においても、前記第一の実施形態と同様に、コイル１２０等の発熱体を収容する第一の空気室１０６と第二の空気室１０８の相対的な温度差に基づく圧力差が、空気流路２０８を通じての空気の流動によって可及的速やかに解消される。それ故、それら両室１０６，１０８間の圧力差に起因する支持ゴム弾性体１７４の変形等によって、所期の加振力が得られなくなること防ぎ、目的とする制振効果を有効に発揮せしめることが可能となる。
【００９４】
また、本実施形態では、アウタ筒金具１６８側が可動子１１６に連結されたタイプの電磁加振器１１４を採用していることから、ケース金具１３４と筒状ハウジング１８２の軸直角方向間には、可動子１１６の作動のための隙間２１０，２１２が形成される。そこにおいて、本実施形態では、可動子の作動を実現するために設けられる隙間２１０，２１２を巧く利用して空気流路２０８が形成されており、空気流路２０８を備えた能動型制振器１１２がスペース効率良く実現されている。それ故、空気流路２０８を設けることによる優れた制振効果を発揮する能動型制振器１１２をコンパクトに実現することが出来る。
【００９５】
以上、本発明の幾つかの実施形態について説明してきたが、これはあくまでも例示であって、本発明は、かかる実施形態における具体的な記載によって、何等、限定的に解釈されるものではない。
【００９６】
例えば、電気式リニアアクチュエータとしては、前記第一，第二の実施形態に示されている電磁加振器１２，１１４と同じ構造の電気式リニアアクチュエータだけでなく、各種公知の電気式リニアアクチュエータを採用することが可能である。
【００９７】
また、前記第一，第二の実施形態に示された能動型制振器１０，１１２では、空気連通路を一つだけ備えた構造を示したが、空気連通路は一つの能動型制振器に複数形成されていても良い。具体的には、例えば、インナ部材を貫通するように形成される内周側の空気連通路とアウタ筒部材とカバー部材の対向面間に形成される外周側の空気連通路を併せて備えていても良い。勿論、前記第一の実施形態に示されているようにインナ部材側が可動子とされた場合に、固定子とカバー部材の間を延びるように外周側に空気連通路を形成しても良い。更に、図４に示されているように、前記第二の実施形態と同様にアウタ筒金具１６８が可動子１１６側に組み付けられた電磁加振器１１４を採用する場合に、固定子１１５側（図４では、例えば、インナ金具１５８及び支持ゴム弾性体１７４）に透孔２１４を貫通形成して、透孔２１４を利用して電磁加振器１１４の内周側を延びる空気連通路を形成しても良い。
【００９８】
さらに、空気連通路は、必ずしもインナ部材に形成される透孔やアウタ筒部材とカバー部材の対向面間の隙間を利用して形成されていなくても良い。具体的には、例えば、空気連通路を弾性連結ゴムに形成することも可能である。即ち、円環形状でインナ部材に固着される内周ゴムと、内周ゴムよりも大径の円環形状で内周ゴムと同一中心軸上に配設される外周ゴムを、周方向で互いに離隔して径方向に延びる複数の連結部で相互に連結することによって、弾性連結ゴムを構成して、それら複数の連結部の周方向間の隙間を空気連通路として利用することも可能である。
【００９９】
また、前記第二の実施形態からも明らかなように、空気連通路の断面形状（孔形状）は、何等限定されるものではない。また、空気連通路は、必ずしも一定の断面形状で延びて形成されていなくても良い。更に、空気連通路は、好適には、金属等で形成された硬質の部材によって形成されるが、例えば、ゴムホース等の軟質の部材で形成することも可能である。
【０１００】
また、前記第一，第二の実施形態では、第一の空気室内に配設された発熱体（電気式リニアアクチュエータ）による温度差に基づいて生じる圧力差が空気連通路を通じての空気の流動によって解消されることが示されているが、例えば、外部環境の違い等による第一の空気室と第二の空気室の温度差等に基づいて生じる圧力差も有効に解消されることは言うまでもない。
【０１０１】
また、固定子側に組み付けられるインナ部材およびアウタ部材の制振対象部材（カバー部材）への固定手段は、前記第一，第二の実施形態に示された具体的な構造によって何等限定的に解釈されるものではない。
【０１０２】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更，修正，改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の第一の実施形態としての能動型制振器を示す縦断面図であって、図２におけるＩ−Ｉ線断面図。
【図２】同能動型制振器の図１におけるＩＩ−ＩＩ線断面図。
【図３】本発明の第二の実施形態としての能動型制振器を示す縦断面図。
【図４】本発明の別の一実施形態としての能動型制振器を示す縦断面図。
【符号の説明】
【０１０４】
１０：能動型制振器、１２：電磁加振器、１４：固定子、１６：可動子、１８：マス金具、２０：取付金具、２４：コイル、４４：内筒金具、４５：中央孔、６２：連通孔、６４：インナ金具、６８：透孔、７０：アウタ筒金具、７４：支持ゴム弾性体、７８：筒状カバー金具、８０：底板金具、１００：蓋金具、１０４：密閉空気室、１０６：第一の空気室、１０８：第二の空気室、１１０：空気流路、１２８：軸金具、２１４：透孔
【図１】
2008002551.tif 000003
【図２】
2008002551.tif 000004
【図３】
2008002551.tif 000005
【図４】
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