(57)【要約】【課題】圧電素子の初期不良を精度良く検出し、高い信頼性を確保する。【解決手段】複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、その複数のノズルからインク液滴を吐出するインクジェット記録ヘッドに対し、低電圧と高電圧を個々の圧電素子に印加して静電容量を測定し（ステップ１０２〜１０８）、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子の撓み発生／剥離発生／正常状態を検出する（ステップ１１０〜１２０）。【選択図】図２１
2008062388.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに対し、
少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を前記個々の圧電素子に印加して静電容量を測定し、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子の撓み度合を検出する液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項２】
前記個々の圧電素子について、前記第１の電圧を印加したときの静電容量に対する前記第２の電圧を印加したときの静電容量の低下率を演算し、その低下率が第１の閾値より小さい圧電素子を撓みが発生している圧電素子と判断することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項３】
複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに対し、
少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を前記個々の圧電素子に印加して静電容量を測定し、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子の剥離を検出する液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項４】
前記個々の圧電素子について、前記第１の電圧を印加したときの静電容量に対する前記第２の電圧を印加したときの静電容量の低下率を演算し、その低下率が第２の閾値より大きい圧電素子を剥離が発生している圧電素子と判断することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項５】
少なくとも前記第２の電圧を印加して静電容量を測定する際に、測定期間中に前記圧電素子に印加される電圧の極性が一定となるように、バイアス電圧を加えた電圧を圧電素子に印加することを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは情報の記憶及び読み出しが可能な情報記憶手段を備え、前記撓みが発生している圧電素子、又は、前記剥離が発生している圧電素子の検出結果が前記情報記憶手段に記憶されることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法。
【請求項７】
撓みが発生している圧電素子、又は、剥離が発生している圧電素子の検出結果を記憶及び読み出し可能な情報記憶手段を備え、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを着脱可能に搭載可能とし、
前記個々の圧電素子に対し、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定する静電容量測定手段と、
前記静電容量測定手段によって測定された、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子を検出する検出手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの検査装置。
【請求項８】
複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法によって検出された撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報を記憶する情報記憶手段と、
前記情報記憶手段に記憶されている情報に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御する駆動制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記個々の圧電素子に、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定する静電容量測定手段と、
前記静電容量測定手段によって測定された、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子を検出する検出手段と、
前記検出手段によって検出された撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報が記憶される情報記憶手段と、
前記情報記憶手段に記憶されている情報に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御する駆動制御手段と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記静電容量測定手段による静電容量の測定と、前記検出手段による前記撓み又は剥離が発生している圧電素子の検出と、が定期的に行われることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの検査方法と装置及び液滴吐出装置に係り、詳細には、複数のノズルに設けられた個々の圧電素子の駆動により液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの検査方法と装置、及び、その液滴吐出ヘッドの検査方法と装置が適用された液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
撓みモード圧電アクチュエータ（圧電素子）の駆動電圧印加による撓み変位によってノズルからインク滴を吐出させる圧電方式のインクジェット記録装置では、圧電素子の不良検出方法として、静電容量測定やインピーダンス（アドミタンス）周波数特性測定が知られている。
【０００３】
具体的には、圧電素子の静電容量に応じて印加電圧を変える印字補正方法（例えば、特許文献１参照）、圧電素子を駆動して圧電素子に流れる電流を検出し、検出した電流が規定範囲外のときに圧電素子又は圧電素子駆動回路に故障があるものと判断する故障検出方法（例えば、特許文献２参照）、各ノズルにインピーダンスアナライザを接続し、各ノズルに対応して設けられた圧電素子の固有振動数（共振周波数）を測定し、接着状態が正常の圧電素子における固有振動数からずれた固有振動数の圧電素子を接着不良と判断する接着不良診断方法（例えば、特許文献３参照）、インクジェットプリンタに圧電素子駆動時の共振周波数を測定する測定部を設けると共に、基準となる共振周波数データを記憶部に記憶しておき、圧電素子駆動時の共振周波数の変化を測定することで、圧電素子の不良発生及び圧力室の気泡発生によるインク不吐出を検知する検査方法（例えば、特許文献４参照）などが開示されている。
【特許文献１】特開平１０−１９３６１３号公報
【特許文献２】特開２００２−１２７４０５号公報
【特許文献３】特開平１１−６４１７５号公報
【特許文献４】特開２００４−９５０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の各方法によっても、圧電素子の製造段階での初期撓みや剥離を精度良く検出することはできない。すなわち、通常行われる低電界での静電容量測定だけでは、圧電素子の厚さや面積等の製造ばらつきによって不良を十分に検出できず、インピーダンス周波数特性測定でも検出が不可能である。
【０００５】
そして、例えば、初期（製造段階）の撓み量が大きい圧電素子の場合、特に微小滴を吐出させる際に吐出しにくくなり、他の圧電素子と同様の駆動条件で駆動できず、圧電素子毎に個別の駆動手段を採用するか、不良品として扱うことになり、コストアップ要因となる。
【０００６】
また、圧電素子に撓みが発生し駆動時の応力等でその程度が大きくなると、吐出滴量が変化し、撓みが発生していない圧電素子が設けられたノズルと比較して、吐出滴量が異なることとなり、画像劣化を起こしてしまう。これは特に微小滴の吐出で顕著である。このように、撓みが発生した圧電素子では、駆動時の応力等で吐出特性が変化する、あるいは、駆動に伴い経時で剥離しやすくなることから、十分な信頼性を確保できない問題がある。
【０００７】
本発明は上記事実を考慮して、圧電素子の初期不良を精度良く検出し、高い信頼性を確保することができる液滴吐出ヘッドの検査方法と装置、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために請求項１に記載の発明は、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに対し、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を前記個々の圧電素子に印加して静電容量を測定し、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子の撓み度合を検出することを特徴としている。
【０００９】
請求項１に記載の発明では、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定し、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子の撓み度合を検出する。この検査方法により、従来の低電界のみの静電容量測定では検出しきれなかった圧電素子の撓み、特に製造段階での初期撓みなどが精度良く検出できるようになり、吐出滴量の均一化による高精度記録（高画質化）、及び信頼性の向上を図るための施策が取れるようになる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法において、前記個々の圧電素子について、前記第１の電圧を印加したときの静電容量に対する前記第２の電圧を印加したときの静電容量の低下率を演算し、その低下率が第１の閾値より小さい圧電素子を撓みが発生している圧電素子と判断することを特徴としている。
【００１１】
例えば、製造段階で初期撓みが発生している圧電素子の検出については、請求項２に記載の発明のように、個々の圧電素子について、第１の電圧を印加したときの静電容量に対する第２の電圧を印加したときの静電容量の低下率を演算し、その低下率が第１の閾値より小さい圧電素子を撓みが発生している圧電素子と判断することで実現できる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに対し、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を前記個々の圧電素子に印加して静電容量を測定し、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子の剥離を検出することを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の発明と同様の検査方法により、従来の低電界のみの静電容量測定では検出しきれなかった圧電素子の剥離、特に製造段階での初期剥離なども精度良く検出できるようになる。したがって、吐出滴量の均一化による高精度記録、及び信頼性の向上を図るための施策が取れるようになる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法において、前記個々の圧電素子について、前記第１の電圧を印加したときの静電容量に対する前記第２の電圧を印加したときの静電容量の低下率を演算し、その低下率が第２の閾値より大きい圧電素子を剥離が発生している圧電素子と判断することを特徴としている。
【００１５】
例えば、製造段階で初期剥離が発生している圧電素子の検出については、請求項４に記載の発明のように、個々の圧電素子について、前記第１の電圧を印加したときの静電容量に対する前記第２の電圧を印加したときの静電容量の低下率を演算し、その低下率が第２の閾値より大きい圧電素子を剥離が発生している圧電素子と判断することで実現できる。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法において、少なくとも前記第２の電圧を印加して静電容量を測定する際に、測定期間中に前記圧電素子に印加される電圧の極性が一定となるように、バイアス電圧を加えた電圧を圧電素子に印加することを特徴としている。
【００１７】
例えば、静電容量の測定時に個々の圧電素子に印加する第１の電圧及び第２の電圧として、電圧の大きさが一定振幅で周期的に変化する電圧を用いた場合、電圧の振幅が小さければ（例えば１Ｖ）両極性の電圧を印加しても圧電素子に悪影響を及ぼすことは無いが、電圧の振幅が大きい場合には圧電素子を破壊してしまう可能性がある。
【００１８】
そのため、請求項５に記載の発明のように、少なくとも第２の電圧を印加して静電容量を測定する際に、測定期間中に圧電素子に印加される電圧の極性が一定となるように、バイアス電圧を加えた電圧を圧電素子に印加することにより、少なくとも第２の電圧の印加期間中に、圧電素子に印加される電圧の極性が一時的に切り替わることが防止され、圧電素子に悪影響が及ぶことを防止できる。なお、第１の電圧を印加して静電容量を測定する際にも、測定期間中に圧電素子に印加される電圧の極性が一定となるように、バイアス電圧を加えた電圧を圧電素子に印加するようにしてもよい。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法において、前記液滴吐出ヘッドは情報の記憶及び読み出しが可能な情報記憶手段を備え、前記撓みが発生している圧電素子、又は、前記剥離が発生している圧電素子の検出結果が前記情報記憶手段に記憶されることを特徴としている。
【００２０】
請求項６に記載の発明では、液滴吐出ヘッドが備える情報記憶手段に、撓みが発生している圧電素子、又は、剥離が発生している圧電素子の検出結果を記憶することで、液滴吐出ヘッドの複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子の状態を認識できるようになる。
【００２１】
例えば、液滴吐出ヘッドは通常、液滴吐出装置に組み込んで使用されるが、上記のように撓み又は剥離が発生している圧電素子の検出結果を液滴吐出ヘッドに付加した情報記憶手段に記憶しておくことにより、液滴吐出ヘッドを液滴吐出装置から取り外した状態でも上記の検出結果が取得できるようになる。したがって、液滴吐出ヘッドを液滴吐出装置から取り外して再使用（リユース）する場合等にも、情報記憶手段から情報を読み出すことで上記の検出結果を容易に取得でき、取得した上記の検出結果に基づいて、撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するなど、液滴吐出ヘッドの駆動を制御することにより、吐出滴量のばらつきによる記録精度低下（画質劣化）、及び信頼性低下の抑制を容易に実現することができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明は、撓みが発生している圧電素子、又は、剥離が発生している圧電素子の検出結果を記憶及び読み出し可能な情報記憶手段を備え、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを着脱可能に搭載可能とし、前記個々の圧電素子に対し、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定する静電容量測定手段と、前記静電容量測定手段によって測定された、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子を検出する検出手段と、を備えたことを特徴としている。
【００２３】
請求項７に記載の発明では、圧電素子の状態を記憶及び読み出し可能な情報記憶手段を備えた液滴吐出ヘッドを着脱可能に搭載可能とし、個々の圧電素子に対し、静電容量測定手段により、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定し、前記静電容量測定手段によって測定された、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて、撓み又は剥離が発生している圧電素子を検出し、前記撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報は、液滴吐出ヘッドに備えられた情報記憶手段に記憶される。これにより、液滴吐出ヘッドの検査装置を提供することができる。
【００２４】
請求項８に記載の発明は、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法によって検出された撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報を記憶する情報記憶手段と、前記情報記憶手段に記憶されている情報に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴としている。
【００２５】
請求項８に記載の発明では、請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の液滴吐出ヘッドの検査方法により、例えば製造工程等で検出された、撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報が情報記憶手段に記憶されており、駆動制御手段は、情報記憶手段に記憶されている情報に基づいて、撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、液滴吐出ヘッドの駆動を制御する。これにより、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴量を均一化して記録精度（画質）を向上できると共に、信頼性を向上させることができる。
【００２６】
請求項９に記載の発明は、複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に駆動電圧が印加されることにより、前記複数のノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記個々の圧電素子に、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定する静電容量測定手段と、前記静電容量測定手段によって測定された、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子を検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報が記憶される情報記憶手段と、前記情報記憶手段に記憶されている情報に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、前記液滴吐出ヘッドの駆動を制御する駆動制御手段と、を備えたことを特徴としている。
【００２７】
請求項９に記載の発明では、静電容量測定手段は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルに対応して設けられた個々の圧電素子に、少なくとも第１の電圧と、この第１の電圧よりも高い第２の電圧と、の高低２以上の電圧を印加して静電容量を測定し、検出手段は、静電容量測定手段によって測定された、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて撓み又は剥離が発生している圧電素子を検出する。この検出手段によって検出された、撓み又は剥離が発生している圧電素子を示す情報は、情報記憶手段に記憶され、駆動制御手段は、情報記憶手段に記憶されている情報に基づいて、撓み又は剥離が発生している圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、液滴吐出ヘッドの駆動を制御する。
【００２８】
このように、上記の静電容量測定手段、検出手段、情報記憶手段、及び駆動制御手段を備えることで、装置上で、液滴吐出ヘッドの個々の圧電素子の撓みや剥離を検出、記憶し、これに基づいた駆動制御を行うことができる液滴吐出装置が提供できる。
【００２９】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の液滴吐出装置において、前記静電容量測定手段による前記第１の電圧印加時の静電容量及び前記第２の電圧印加時の静電容量の測定と、前記検出手段による前記撓み又は剥離が発生している圧電素子の検出と、が定期的に行われることを特徴としている。
【００３０】
請求項１０に記載の発明では、静電容量測定手段による静電容量の測定と、検出手段による撓み又は剥離が発生している圧電素子の検出と、を例えば液滴吐出装置の電源ＯＮ又はＯＦＦ時、メンテナンス時、及び待機時（液滴吐出動作非実行時）等に定期的に行うことで、液滴吐出装置の使用を継続している間に液滴吐出ヘッドの一部の圧電素子の状態が変化した場合等にも、この一部の圧電素子の状態の変化を検出できるようになる。これにより、その状態が変化した圧電素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するように、液滴吐出ヘッドを駆動制御することで、信頼性の高い装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の液滴吐出ヘッドの検査方法と装置、及び液滴吐出装置によれば、圧電素子の初期不良を精度良く検出でき、高い信頼性を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッド、及び、そのインクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置について説明する。
【００３３】
（第１の実施形態）
図１には、本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録装置が示されている。図１に示すように、インクジェット記録装置１０は、用紙Ｐをストックすると共に画像記録時に送り出す用紙供給部１２、用紙供給部１２から送り込まれた用紙Ｐの姿勢を制御して記録ヘッド部１６に送り出すレジ調整部１４、レジ調整部１４から送り込まれた用紙Ｐに対しインク滴を吐出して画像を記録する記録ヘッド部１６、及び、記録ヘッド部１６のメンテナンスを行うメンテナンス部１８を備えた記録部２０、記録部２０で画像記録された用紙Ｐが排出される排出部２２によって基本構成されている。
【００３４】
用紙供給部１２には、複数枚の用紙Ｐが積層されてストックされるストッカ２４と、ストッカ２４から１枚ずつ枚葉してレジ調整部１４に搬送する搬送装置２６とが設けられている。レジ調整部１４には、ループ形成部２８と、用紙の姿勢を制御するガイド部材２９とが設けられており、用紙供給部１２から送り込まれた用紙Ｐは、これらのループ形成部２８及びガイド部材２９を通過することにより、用紙Ｐのコシを利用してスキューが矯正されると共に搬送タイミングが制御されて記録部２０に送り込まれる。
【００３５】
記録部２０では、上下に対向する記録ヘッド部１６とメンテナンス部１８が設けられており、それらの間には、レジ調整部１４から送り込まれた用紙Ｐが搬送される用紙搬送路が構成されている。記録ヘッド部１６には、用紙搬送路に沿って所定の間隔で配列された複数のインクジェット記録ヘッド（ヘッドバー）３０が設けられており、用紙搬送路における各インクジェット記録ヘッド３０の上流側と下流側には、上下に対向するスターホイール１７と搬送ロール１９が複数対設けられている。
【００３６】
用紙Ｐは、これらのスターホイール１７と搬送ロール１９に挟持されつつ用紙搬送路を連続的に（停止することなく）搬送され、記録ヘッド部１６の各インクジェット記録ヘッド３０からインク滴が吐出されることにより画像が記録される。そして、排出部２２では、記録部２０で画像記録された用紙Ｐが排紙ベルト２３により搬送されてトレイ２５に収納される。
【００３７】
メンテナンス部１８は、複数のインクジェット記録ヘッド３０の各々に対向して配置された複数のメンテナンス装置２１を備えている。メンテナンス装置２１は、インクジェット記録ヘッド３０に対するキャッピングを行うキャップＣＰ（図９参照）を備えており、その他、ワイピング、更にダミージェットやバキューム等の処理を行うことができる。
【００３８】
インクジェット記録装置１０は以上の構成とされており、次に、このインクジェット記録装置１０に搭載されたインクジェット記録ヘッド３０について詳細に説明する。なお、本実施形態は、ノズルがマトリックス状に形成された特殊な平面形状の記録ヘッドユニットを、長尺基板に複数個接合固定して構成されたインクジェット記録ヘッドに関するものであり、以下、その特殊形状の記録ヘッドユニットを備える本実施形態のインクジェット記録ヘッドの構成、及び製造方法について説明する。
【００３９】
図２及び図３に示すように、インクジェット記録ヘッド３０は、紙送り方向Ｘと直交する方向（紙幅方向Ｙ）に沿って配列された、複数の記録ヘッドユニット３２を備えている。図３（Ｂ）に示すように、１つの記録ヘッドユニット３２は、平面視が略平行四辺形状（紙送り方向Ｘの中央部が平行四辺形状）で、ノズル面５２Ａの中央部にインクを吐出させるノズル５４がマトリクス状に形成されており、１つのインクジェット記録ヘッド３０では、各記録ヘッドユニット３２に設けられた複数のノズル５４が紙幅方向Ｙに沿って連続した長尺のマトリクス状に形成されている。
【００４０】
そして、各記録ヘッドユニット３２は、上記の用紙搬送路を連続的に搬送される用紙Ｐに対し、マトリクス配列のノズル５４からインク滴を吐出することで用紙Ｐ上に画像を記録し、例えば、ノズルが紙幅方向Ｙに沿ってライン状（１列状）に配列されて記録ヘッドユニットに比べて高画質化及び高速化が可能となる。なお、インクジェット記録装置１０に搭載されたこのインクジェット記録ヘッド３０は、例えば、いわゆるフルカラーの画像を記録するために、ＹＭＣＫの各色に対応して、少なくとも４つ配置されている。
【００４１】
図４に示すように、１つのインクジェット記録ヘッド３０に紙幅方向Ｙに沿ってマトリクス状に形成されたノズル５４による印字領域幅は、このインクジェット記録装置１０での画像記録が想定される用紙Ｐの用紙最大幅ＰＷよりも長くされており、インクジェット記録ヘッド３０を紙幅方向Ｙに移動させることなく用紙Ｐの全幅にわたる画像記録が可能とされている（いわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ））。ここで、印字領域とは、用紙Ｐの両端から印字しないマージンを引いた記録領域のうち最大のものが基本となるが、一般的には印字対象となる用紙最大幅ＰＷよりも大きくとっている。これは、用紙が搬送方向に対して所定角度傾斜して（スキューして）搬送されるおそれがあること、また縁無し印字の要請が高いためである。
【００４２】
このインクジェット記録ヘッド３０は、図２及び図３に示すように、長尺基板４０、上述した複数の記録ヘッドユニット３２、及び、複数のスペーサー部材４２を含んで構成されている。長尺基板４０は、紙幅方向Ｙに長尺とされ、長手方向に沿って所定の間隔で配列された複数の開口部４０Ａが形成されている。長尺基板４０の長手方向の両端部には、インクジェット記録装置１０への取り付け部材となる一対の取り付け板４１が設けられており、長尺基板４０は、この取り付け板４１の紙幅方向Ｙの内側部分の下面に架け渡されるように配置されている。また、長尺基板４０の紙送り方向Ｘの幅は、記録ヘッドユニット３２の同方向の幅よりも狭幅とされており、これによって、インクジェット記録ヘッド３０が小型に構成されている。
【００４３】
長尺基板４０の下面には、スペーサー部材４２が取り付けられている。スペーサー部材４２は、透明樹脂材料により形成されて板状とされ、各記録ヘッドユニット３２毎に、図５に示すように、紙送り方向Ｘに互いに離間して斜め向いに２個配置されている。スペーサー部材４２は、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、長尺基板４０に２箇所でねじ４６によりねじ止めされている。これにより、スペーサー部材４２は長尺基板４０から取り外し可能とされている。
【００４４】
２個のスペーサー部材４２の間には、図示しないインクタンクからインクを記録ヘッドユニット３２へ供給するインク供給ユニット４４（図５参照）が配置される。２個のスペーサー部材４２を、互いに離間して配置することにより、スペーサー部材４２自体にインク供給用の流路を設ける必要はなく、離間部分にインク供給ユニット４４を配置でき、インク供給経路を確保することが可能となる。更には、スペーサー部材４２にインク供給経路を形成する必要が無く、耐インク性を考慮しない材料選定が可能となり、スペーサー部材４２に使用する材料選定に自由度が得られる。
【００４５】
また、ここでは各記録ヘッドユニット３２毎に互いに離間した２個のスペーサー部材４２を使用する場合を記載したが、この形態に限られるものではなく、例えば、上記互いに離間した２個のスペーサー部材４２を１個のスペーサー部材とし、インク供給経路を配置する部分にはスペーサー部材４２が存在しないようにその一部が離間するような、例えば貫通孔４２Ｂとする形態とすればよい（図１３参照）。
【００４６】
また、本実施形態では、各記録ヘッドユニット３２毎にスペーサー部材４２を用いる場合を示したが、必要に応じて、複数の記録ヘッドユニット３２単位に対してスペーサー部材４２を用いる形態としても良い。この場合には、複数の記録ヘッドユニット３２単位で交換可能となり、使用するスペーサー部材４２の数を減らすことができるため、製造コストを低減させることができる（図１４参照）。
【００４７】
記録ヘッドユニット３２は、図６（Ａ）に示すように、液体中継部材５０及びヘッド基板５２で構成されている。液体中継部材５０は、スペーサー部材４２側に配置され、インク供給ユニット４４と連通されてヘッド基板５２へインクを供給する個別供給路５０Ａが形成されている。ヘッド基板５２は、インクの吐出側に配置され、ノズル面５２Ａ側にはインクを吐出させるノズル５４が紙幅方向Ｙ及び紙送り方向Ｘの２次元平面にマトリックス状に形成されている（図３（Ｂ）参照）。
【００４８】
図１５に示すように、ヘッド基板５２には、液体中継部材５０の個別供給路５０Ａと連通されたインク室５６、及び、インク室５６と一端部側が供給路５８を介して連通されると共に、他端部側がノズル５４と連通された圧力室６０が設けられている。インク室５６には、個別供給路５０Ａを通して供給されたインクが貯留され、圧力室６０は、インク室５６から供給路５８を通して供給されるインクで満たされている。
【００４９】
圧力室６０を構成するノズル面５２Ａ側とは反対側の壁面の一部は、振動板６２によって形成されており、振動板６２には圧電素子６４が接着等で接合固定されている。また、上記のインク室５６、供給路５８、圧力室６０、及び圧電素子６４は、ヘッド基板５２のノズル面５２Ａに形成された複数のノズル５４に対応してノズル５４と同数設けられている。
【００５０】
この記録ヘッドユニット３２のヘッド基板５２に設けられた圧電素子６４に駆動電圧が印加されると、圧電素子６４が撓み変位して振動板６２が振動し、振動板６２の振動が圧力波として圧力室６０内を伝播することにより、圧力室６０内のインクがノズル５４からインク滴として吐出される（矢印Ｉ）。
【００５１】
記録ヘッドユニット３２は、スペーサー部材４２を挟んで、長尺基板４０と逆側に配置されている。スペーサー部材４２と記録ヘッドユニット３２とは、ノズル面５２Ａ側からみて、紙幅方向Ｙに沿った長尺基板４０よりも外側の端辺部が、ほぼ同一形状（矩形状）とされている。記録ヘッドユニット３２は、紙幅方向Ｙに沿った両端辺部で、即ち記録ヘッドユニット３２の長手方向に沿った両端辺部で、スペーサー部材４２と接合固定されている。
【００５２】
この記録ヘッドユニット３２のスペーサー部材４２への接合固定は、記録ヘッドユニット３２とスペーサー部材４２との間の介在させたＵＶ（紫外線）硬化型の接着剤Ｕにより行われている。記録ヘッドユニット３２とスペーサー部材４２との間には、接着剤Ｕの厚み分のギャップＧが構成され、このギャップＧを調整することにより、複数の記録ヘッドユニット３２のノズル面５２Ａの高さをそろえることができる。
【００５３】
図６（Ｂ）に示すように、スペーサー部材４２の長尺基板４０が重ねられていない部分には、電気配線用の貫通孔４２Ａが形成されている。図示しない電気配線は、貫通孔４２Ａを通って記録ヘッドユニット３２と後述するコントローラーとしての駆動制御手段７８を接続している。
【００５４】
次に、本実施形態のインクジェット記録ヘッド３０の製造方法を、図７（Ａ）〜図７（Ｄ）を参照して説明する。まず、図７（Ａ）に示すように、長尺基板４０に、すべてのスペーサー部材４２を取り付ける。ここでの取り付けは、ねじ４６によるねじ止めで行う。
【００５５】
次に、図７（Ｂ）に示すように、長尺基板４０をアライメント接合装置に設けられた接合用下降アームＳＡに取り付け、取り付けられた長尺基板４０と平行に配置されたアライメント接合装置の位置決めステージＳＴ上に、１つのインクジェット記録ヘッド３０を構成するために必要な個数の記録ヘッドユニット３２を１列に並べる。このとき、記録ヘッドユニット３２は、各記録ヘッドユニット３２間でのノズル５４の位置を正確に位置決めして並べる。記録ヘッドユニット３２には、所定箇所にＵＶ硬化型の接着剤Ｕを塗布しておく。
【００５６】
次に、図７（Ｃ）に示すように、平行状態を保ちながら、接合用下降アームＳＡを位置決めステージＳＴに近づけていき、ノズル面５２Ａが所定のノズル面を構成する位置で止める。このとき、記録ヘッドユニット３２に塗布されていた接着剤Ｕは、スペーサー部材４２に押し当てられ、所定の厚み以上の厚さ部分は押しつぶされる（接合）。
【００５７】
次に、接合用下降アームＳＡと位置決めステージＳＴとの距離を上記の状態で維持したまま接着剤ＵにＵＶ光を照射して硬化処理を行い（接合固定）、図７（Ｄ）に示すように、接合用下降アームＳＡ及び位置決めステージＳＴから取り外して、インクジェット記録ヘッド３０が完成する。なお、この接着剤Ｕに照射するＵＶ光は、例えばフォーカス照射やマスク等を用いて、接着剤Ｕが塗布された所定箇所を含む所定範囲内のみに照射するよう、即ち接着剤Ｕが塗布されていない箇所には照射しないよう照射範囲を制限する。
【００５８】
上記製造方法によれば、スペーサー部材４２はねじ止めで長尺基板４０へ取り付けられるが、記録ヘッドユニット３２の接合前に長尺基板４０に取り付けられるので、スペーサー部材４２の多少の位置ずれは記録ヘッドユニット３２の位置合わせに影響しない。そして、記録ヘッドユニット３２は、長尺基板４０に取り付けられた状態のスペーサー部材４２へ接着剤Ｕを用いて接合されるので、位置決めステージＳＴ上にアライメントした状態で接合固定を行うことができ、長尺基板４０と記録ヘッドユニット３２を直接ねじ止めする場合と比較して、正確に位置合わせがなされたまま接合固定することができる。
【００５９】
なお、上記製造方法では、位置決めステージＳＴ上に、長尺基板４０を構成するために必要なすべての記録ヘッドユニット３２を並べて一度に接合固定を行ったが、記録ヘッドユニット３２の接合固定は、必ずしも一度で行う必要はない。例えば、図８に示すように、１個、２個など、一部の記録ヘッドユニット３２のみを並べて接合固定を行い（図８では２個ずつ）、同様の処理を複数回繰り返すことにより、インクジェット記録ヘッド３０を完成させてもよい。
【００６０】
次に、本実施形態のインクジェット記録装置１０の動作について説明する。インクジェット記録装置１０に印字ジョブが入力されて印字（画像記録）動作が開始されると、ストッカ２４から用紙Ｐが１枚ピックアップされ、搬送装置２６により、記録部２０へ搬送される。
【００６１】
一方、インクジェット記録ヘッド３０には、すでにインクタンクからインク供給ポートを介して記録ヘッドユニット３２のインク室５６及び圧力室６０にインクが貯留（充填）されている。このとき、ノズル５４の先端（吐出口）では、インクの表面が僅かに凹んだメニスカスが形成されている。
【００６２】
用紙Ｐを所定の搬送速度で搬送しつつ、記録ヘッドユニット３２の各圧電素子６４に駆動電圧を印加し、圧電素子６４を撓み変位させて振動板６２を振動させ、圧力室６０内を加圧し複数のノズル５４から選択的にインク滴を吐出することにより、用紙Ｐに、画像データに基づく画像を記録する。
【００６３】
記録ヘッドユニット３２をメンテナンスする際には、図９に示すように、キャップＣＰをメンテナンス位置Ｍ１に配置し、キャップＣＰで記録ヘッドユニット３２をキャップする。このとき、記録ヘッドユニット３２の長手方向（紙幅方向Ｙと同方向）に沿った端辺部ＴにはキャップＣＰが押し当てられる。これにより、インクジェット記録ヘッド３０のノズル面５２Ａ側がキャップＣＰに覆われて密閉空間Ｈが構成される。この状態で、メンテナンス装置２１の図示しないポンプが作動されて密閉空間Ｈが負圧とされ、ノズル５４を吸引することにより、ノズル５４を詰まらせているインク塊などを排出させることができる。
【００６４】
本実施形態のインクジェット記録ヘッド３０は、スペーサー部材４２と記録ヘッドユニット３２との接合が、上記メンテナンス時にキャップＣＰにより押圧される端辺部Ｔ部分で行われているので、押圧により作用される力を接合部で適切に受けることができ、インクジェット記録ヘッド３０の変形などを防止することができる。
【００６５】
また、インクジェット記録ヘッド３０は、図１０に示すように、長尺基板４０及び記録ヘッドユニット３２の両方を、スペーサー部材４２の下側に配置することもできるが、本実施形態のように配置することにより、メンテナンス時にキャップＣＰによる押圧力を、長尺基板４０とスペーサー部材４２の両方で受けることができ、強度を向上させることができる。
【００６６】
また、本実施形態では、長尺基板４０の紙送り方向Ｘの幅を、記録ヘッドユニット３２の幅よりも狭くしたが、長尺基板４０の紙送り方向Ｘの幅は、図１１に示すように、記録ヘッドユニット３２の幅と同程度にしてもよい。この場合には、電気配線用の貫通孔４２Ａは必要なく、離間されたスペーサー部材４２の間で長尺基板４０の開口部４０Ａに連通する位置に、電気配線を行えばよい。
【００６７】
また、本実施形態のスペーサー部材４２は透明樹脂製であるため、接着剤Ｕの硬化処理では、図１２に示すように、接着剤Ｕへ向けて出射されたＵＶ光がスペーサー部材４２を透過して、接着剤Ｕ全体に照射される。そして、この場合には、図１２（Ａ）のように、長尺基板４０の紙送り方向Ｘの幅を、記録ヘッドユニット３２の幅よりも狭くした構成の方が、図１２（Ｂ）のように、長尺基板４０の紙送り方向の幅を、記録ヘッドユニット３２の幅と同幅とした構成よりも光照射領域が広くなり、照射効率が向上する。
【００６８】
次に、上述したインクジェット記録ヘッド３０が備える各記録ヘッドユニット３２に設けられた個々の圧電素子６４の撓みと剥離を検出する検査方法について説明する。前述したように、従来の低電界（例えば印加電圧１Ｖ）のみの静電容量測定では、製造ばらつきに埋もれて、圧電素子の撓みや剥離を検出することができない。また、インピーダンス周波数特性測定においても同様に検出不可能である。
【００６９】
この問題に対して種々の調査、実験を行ったが、その結果と判明事項について図１６〜図１８を用いて説明する。なお、以下の説明では、撓みが発生した圧電素子（撓み量が所定の許容範囲外）を「撓み発生素子」、剥離が発生した圧電素子（剥離量が所定の許容範囲外）を「剥離発生素子」、撓み又は剥離が発生していない圧電素子（撓み量又は剥離量が所定の許容範囲内）を「未発生素子」又は「正常素子」と言う。
【００７０】
図１６は、撓み発生、剥離発生、及び未発生の各圧電素子に、所定のＤＣバイアス電圧を印加したときの撓み変位を模式的に示す比較図である。図１６（Ａ）に示すように、圧電素子自体に撓みが発生している撓み発生素子６４Ａ、あるいは、圧電素子を振動板６２に接着する接着層のむら等によって振動板６２に撓みが発生している撓み発生素子６４Ａ´では、所定電圧の印加による撓み変位量（静電容量）Δａが小さくなる。
【００７１】
これに対し、図１６（Ｂ）示す、撓み及び剥離が発生していない正常素子６４Ｂ（未発生素子）では、所定電圧の印加による撓み変位量Δｂが大きくなり（Δｂ＞Δａ）、図１６（Ｃ）示す、一部が剥離した剥離発生素子６４Ｃ（撓み無し）でも、所定電圧の印加による撓み変位量Δｃが大きくなる（Δｃ＞Δａ）。
【００７２】
図１７では、撓み発生、剥離発生、及び未発生（良品）の各圧電素子における所定のＤＣバイアス電圧印加（例えば振幅１Ｖ、周波数１ｋＨｚ）と静電容量の関係、即ち静電容量の電圧依存性をグラフ図で示している。この図１７から分かるように、グラフ線を実線で示した未発生素子に対して、グラフ線を一点鎖線で示した撓み発生素子はグラフ線の傾きが小さく、印加電圧に対する静電容量の変化が少ない。グラフ線を二点鎖線で示した剥離発生素子は、グラフ線の傾きが大きく、印加電圧に対する静電容量の変化が多い。
【００７３】
また、低電圧Ｌ（例えばバイアス電圧０Ｖ）だけ印加して静電容量値を比較する場合には、圧電素子の加工形状（厚さや面積等）のばらつきにより、静電容量値の差が形状によるものか、撓みや剥離によるものか判断し難くなり、撓みや剥離の発生を十分に検出することができない。一方、高電圧Ｈ（例えばバイアス電圧３０Ｖ）だけ印加して静電容量値を比較する場合には、各圧電素子の静電容量値の差が小さいため、撓みや剥離発生と未発生の区別が困難となる。
【００７４】
図１８では、撓み発生、剥離発生、及び未発生（良品）の各圧電素子における印加電圧と共振周波数の関係をグラフ図で示している。この図１８からは、印加する電圧レベルを上昇させて強制的に撓ませても、各圧電素子で共振周波数に変化が見られないことが分かる。
【００７５】
これらの結果から、以下の３点が判明した。
（１）撓み発生素子、剥離発生素子、及び未発生素子では、印加電圧値に対する静電容量値の変化率に違いがある（図１７参照）。
（２）撓み発生素子、剥離発生素子、及び未発生素子では、印加電圧値に対する共振周波数の変化は殆ど見られない（図１８参照）。すなわち、圧電素子の撓みや剥離を共振周波数で検出することはできない。
したがって、
（３）圧電素子に少なくとも２つの異なる（高低２以上の）電圧を印加して静電容量値を測定し比較することにより、撓みや剥離発生の有無を検出することができる。更に、撓み度合（相対的な撓みの大小）を判別することができる。
【００７６】
次に、圧電素子の撓み及び剥離発生の有無を検出する具体的な方法について説明する。例えば、圧電素子に高低２つの電圧を印加して静電容量値を測定し比較する場合、低電界静電容量（Ｃｐl）と高電界静電容量（Ｃｐh）を測定し、静電容量の低下率（例えば、電圧値変化量（ΔＶ）に対する静電容量値変化量（Ｃｐl−Ｃｐh）の割合）を下記（１）式によって算出する（図１７参照）。
【００７７】
静電容量低下率Ｒ＝（Ｃｐl−Ｃｐh）／ΔＶ×１００・・・・・・（１）
【００７８】
そして、この静電容量低下率Ｒと、現実値等から予め定めておいた、正常状態（良品）と撓み発生状態を区別する静電容量低下率の閾値Ｒａを比較し、静電容量低下率Ｒが閾値Ｒａよりも小さい場合には（Ｒ＜Ｒａ）、測定した圧電素子を撓み発生状態と判断する。また、静電容量低下率Ｒと、現実値等から予め定めておいた、正常状態（良品）と剥離発生状態を区別する静電容量低下率の閾値Ｒｂを比較し、静電容量低下率Ｒが閾値Ｒｂよりも大きい場合には（Ｒ＞Ｒｂ）、測定した圧電素子を剥離発生状態と判断する。更に、静電容量低下率Ｒが閾値Ｒａ以上で、且つ、閾値Ｒｂ以下の場合には（Ｒａ≦Ｒ≦Ｒｂ）、測定した圧電素子を正常状態と判断する。
【００７９】
以上の静電容量測定に基づいた静電容量低下率の演算、及び、その算出値と閾値の比較・判断により、圧電素子の状態（撓み発生／剥離発生／正常）を検出することができる。
【００８０】
次に、上述したインクジェット記録ヘッド３０の検査方法を適用した本実施形態の構成について説明する。なお、本実施形態は、インクジェット記録ヘッド３０の検査をインクジェット記録装置１０の製造工程等で使用前に実施する場合の例である。
【００８１】
図１９に示すように、インクジェット記録ヘッド３０は、各記録ヘッドユニット３２に設けられた個々の圧電素子６４の中から、上記の静電容量測定に基づく状態検出（撓み発生／剥離発生／正常）を行う圧電素子６４を選択するスイッチＩＣ等からなる素子選択回路７０と、検出した圧電素子６４の状態が記憶されるＲＡＭ等からなる素子状態記憶手段７２とを備えている。
【００８２】
インクジェット記録装置１０は、インクジェット記録ヘッド３０に印加する駆動電圧及び波形を生成する駆動電圧／波形生成部７４と、駆動電圧／波形生成部７４が接続されて、インクジェット記録ヘッド３０への印加電圧を、駆動電圧／波形生成部７４からの駆動電圧又は装置外部からの測定電圧に切り替えて選択する選択回路７６と、選択回路７６、素子選択回路７０、及び素子状態記憶手段７２が接続されて、素子状態記憶手段７２に記憶された情報に基づき選択回路７６及びインクジェット記録ヘッド３０を駆動制御する駆動制御手段７８とを備えている。
【００８３】
また、インクジェット記録装置１０の外部には、図中の点線で示すように、圧電素子６４の静電容量測定を行うためのインクジェット記録ヘッド３０の駆動と静電容量測定の一連の動作を制御する駆動／測定制御手段８０と、インクジェット記録ヘッド３０に印加する第１の測定電圧及び波形を生成する第１の測定電圧／波形生成部８２と、インクジェット記録ヘッド３０に印加する第２の測定電圧及び波形を生成する第２の測定電圧／波形生成部８４と、圧電素子６４の静電容量を測定する静電容量測定手段８６と、静電容量測定手段８６による静電容量の測定に基づいて圧電素子６４の状態を判断し検出する素子状態検出手段８８と、が設けられている。
【００８４】
駆動／測定制御手段８０は、第１の測定電圧／波形生成部８２、第２の測定電圧／波形生成部８４、インクジェット記録装置１０の選択回路７６、及びインクジェット記録ヘッド３０の素子選択回路７０と接続されてそれらを制御し、第１の測定電圧／波形生成部８２と第２の測定電圧／波形生成部８４は、駆動電圧／波形生成部７４と共に選択回路７６に接続されている。また、静電容量測定手段８６はインクジェット記録ヘッド３０の全ての圧電素子６４と接続されて、測定した個々の圧電素子６４の静電容量値を素子状態検出手段８８へ出力する。素子状態検出手段８８は、インクジェット記録ヘッド３０の素子状態記憶手段７２と接続されて、静電容量測定手段８６から入力された静電容量値に基づく個々の圧電素子６４の状態を素子状態記憶手段７２に記憶するよう構成されている。
【００８５】
次に、上述した構成によるインクジェット記録ヘッド３０の検査方法について説明する。インクジェット記録装置１０の製造工程等で、使用前のインクジェット記録ヘッド３０を検査するには、図２０に示す使用前ヘッド検査処理のステップ９０で、ヘッド検査処理（Ａ）を実施する。図２１に示すヘッド検査処理（Ａ）では、処理が開始されると、先ず、駆動／測定制御手段８０に制御された第１の測定電圧／波形生成部８２及び第２の測定電圧／波形生成部８４が、静電容量測定用のＤＣバイアス電圧を各々生成し、選択回路７６へ出力する。
【００８６】
ここで、第１の測定電圧／波形生成部８２は、図２２（Ａ）に示すような正弦波（例えば振幅１Ｖ、周波数１ｋＨｚ）で電圧レベルがＶｌであり、且つ、後述する静電容量の測定期間中に圧電素子６４に印加される電圧の極性が一定となるようなバイアス電圧を加えた第１のＤＣバイアス電圧（低電圧）を生成し、選択回路７６へ出力する。また、第２の測定電圧／波形生成部８４は、図２２（Ｂ）に示すような正弦波（例えば振幅１Ｖ、周波数１ｋＨｚ）で、第１のＤＣバイアス電圧よりも電圧レベルＶｈが高く（Ｖｈ＞Ｖｌ）、且つ、後述する静電容量の測定期間中に圧電素子６４に印加される電圧の極性が一定となるようなバイアス電圧を加えた第２のＤＣバイアス電圧（高電圧）を生成し、選択回路７６へ出力する。
【００８７】
そして、ステップ１００で、駆動／測定制御手段８０に制御された素子選択回路７０が、インクジェット記録ヘッド３０の各記録ヘッドユニット３２に設けられた複数の圧電素子６４の中から、処理対象となる圧電素子６４を選択し、ステップ１０２で、駆動／測定制御手段８０に制御された選択回路７６が、入力された第１のＤＣバイアス電圧を選択して素子選択回路７０へ出力し、素子選択回路７０は、ステップ１００で選択した圧電素子６４に対し、第１のＤＣバイアス電圧を印加する。
【００８８】
この低電圧の印加に伴って圧電素子６４が撓み変位し、ステップ１０４で、静電容量測定手段８６は圧電素子６４の静電容量を測定し、その測定値（低電界静電容量：Ｃｐl）を素子状態検出手段８８へ出力する。
【００８９】
次に、ステップ１０６で、選択回路７６が、入力された第２のＤＣバイアス電圧を選択して素子選択回路７０へ出力し、素子選択回路７０は、ステップ１００で選択した同じ圧電素子６４に対し、第２のＤＣバイアス電圧を印加する。
【００９０】
この高電圧の印加に伴って圧電素子６４が撓み変位し、ステップ１０８で、静電容量測定手段８６は、圧電素子６４の静電容量を測定し、その測定値（高電界静電容量：Ｃｐｈ）を素子状態検出手段８８へ出力する。
【００９１】
続くステップ１１０では、素子状態検出手段８８が、高低の各電圧レベルに応じた静電容量測定値に基づき、処理対象の圧電素子６４の状態を検出する。具体的には、前述したように、静電容量の低下率を算出する式（静電容量低下率Ｒ＝（Ｃｐl−Ｃｐh）／ΔＶ×１００）を用いた演算処理にて、静電容量の低下率を算出する。
【００９２】
そして、ステップ１１２で、現実値等から予め定めておいた、正常状態（良品）と撓み発生状態を区別する静電容量低下率の閾値Ｒａ（第１の閾値）よりも静電容量低下率Ｒが小さいか否かを判定し、肯定判定の場合には（Ｒ＜Ｒａ）、ステップ１１４へ移行して、素子状態検出手段８８は処理対象の圧電素子６４を撓み発生状態と判断し、ステップ１２２で、素子状態記憶手段７２にその圧電素子６４が撓み発生状態であることを示す情報を書き込んで記憶させる。
【００９３】
一方、ステップ１１２で否定判定の場合には（Ｒ≧Ｒａ）、ステップ１１６へ移行して、現実値等から予め定めておいた、正常状態（良品）と剥離発生状態を区別する静電容量低下率の閾値Ｒｂ（第２の閾値）よりも静電容量低下率Ｒが大きいか否かを判定し、肯定判定の場合には（Ｒ＞Ｒｂ）、ステップ１１８へ移行して、素子状態検出手段８８は処理対象の圧電素子６４を剥離発生状態と判断し、ステップ１２２で、素子状態記憶手段７２にその圧電素子６４が剥離発生状態であることを示す情報を書き込んで記憶させる。
【００９４】
また、ステップ１１６で否定判定の場合には（Ｒ≦Ｒｂ⇒Ｒａ≦Ｒ≦Ｒｂ）、ステップ１２０へ移行して、素子状態検出手段８８は処理対象の圧電素子６４を正常状態（良品）と判断し、ステップ１２２で、素子状態記憶手段７２にその圧電素子６４が正常状態であることを示す情報を書き込んで記憶させる。更に、この素子状態記憶手段７２には、圧電素子６４の検出状態に加えて、測定した低電界静電容量（Ｃｐl）及び高電界静電容量（Ｃｐｈ）を示す情報も記憶させる。
【００９５】
以上の手順で、処理対象となった１つの圧電素子６４の状態検出が完了する。続くステップ１２４では、インクジェット記録ヘッド３０の全ての圧電素子６４について、状態の検出処理が完了したか否かを判定し、否定判定の場合には、ステップ１００へ戻り、未処理の圧電素子６４に対して、ステップ１００からステップ１２２までの手順を繰り返し行う。そして、全ての圧電素子６４の状態を検出し終えると、インクジェット記録ヘッド３０の検査処理は完了し、素子状態記憶手段７２には、個々の圧電素子６４の状態（撓み発生／剥離発生／正常）を示す情報が記憶される。
【００９６】
ここで、ヘッド駆動時に、例えば撓み発生素子や剥離発生素子に対して、正常素子と同じ駆動電圧を印加すると、各素子の変位量は以下の関係となる。
【００９７】
剥離発生素子＞正常素子＞撓み発生素子・・・・・・（２）
【００９８】
これにより、各素子に対応したノズルから吐出されるインク滴の吐出量に差が出て、画像劣化を招いてしまうため、駆動電圧の変更や駆動波形の変更等により、撓み発生素子や剥離発生素子に対する制御が必要となる。
【００９９】
そこで、本実施形態のインクジェット記録装置１０では、ユーザーの使用環境で画像を記録する際に、インクジェット記録ヘッド３０の素子状態記憶手段７２に記憶された個々の圧電素子６４の状態を示す情報を駆動制御手段７８が読み出し、その情報に基づいて、駆動電圧／波形生成部７４から駆動電圧が入力された選択回路７６と素子選択回路７０を制御し、インクジェット記録ヘッド３０を以下のように駆動制御する（図２０のステップ９２）。
【０１００】
例えば、上記のインクジェット記録ヘッド３０の検査方法で検出された撓み発生素子及び剥離発生素子に対し、
（１）使用頻度を減少させ、他の正常素子に減少分を補わせる（図２３参照）。
（２）使用を停止し、他の正常素子を使用する（図２３参照）。
（３）素子毎に印加する駆動電圧を変更する（図２４参照）。
（４）波形セットを予め用意しておき、必要に応じて該当する波形セットを使用する（図２５参照）。
（５）温度補正テーブルが設けられている場合には、撓み発生素子は低温用、剥離発生素子は高温用を使用するなどして、テーブルを流用する。
【０１０１】
ここで、上記（１）、（２）のように、撓み発生素子や剥離発生素子の使用頻度を減少させる、あるいは、使用を停止する場合には、図２３に示すように、撓み／剥離発生素子に対応するノズルの隣接ノズルから吐出するインク滴量を大きくするなどにより行う。
【０１０２】
例えば、隣接した特定の３つのノズル５４に対応する３つの圧電素子６４が全て正常であれば、それらの圧電素子６４に同じ駆動電圧を印加すると、各素子の変位量はほぼ等しくなり、３つのノズル５４から吐出されるインク滴の吐出量がほぼ等しくなって、図２３（Ａ）に示すように、記録される３つの画素Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３はほぼ同じ大きさとなる。
【０１０３】
これに対し、例えば１つの圧電素子６４に撓みが発生していると、その撓み発生素子に対応するノズル５４から吐出されるインク滴の吐出量は少なくなって、図２３（Ｂ）に示すように、その画素（例えば画素２）だけ小さくなり、剥離が発生していると、インク滴の吐出量は多くなくなって、図２３（Ｃ）に示すように、その画素（例えば画素２）だけ大きくなるなどし、ドット抜けや過大、インク滴の着弾位置ずれ（画素ずれ）が生じてしまう。
【０１０４】
そこで、撓み／剥離発生素子は、使用頻度を減少又は使用を停止し、隣接するノズル５４に対応して設けられた正常素子に印加する駆動電圧を大きくして、インク滴の吐出量を多くする。これにより、図２３（Ｄ）に示すように、隣接する画素（例えば画素１、３）が大きくされ、不良画素の減少分を補うことができる。
【０１０５】
また、上記（３）のように、素子毎に印加する駆動電圧を変更する場合には、例えば図２４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、撓み発生素子に印加する駆動電圧は正常素子よりも大きくし（＋ΔＶ）、逆に、剥離発生素子に印加する駆動電圧は正常素子よりも小さくして（−ΔＶ）、各素子に印加する駆動電圧を以下の関係を満たすように設定する。
【０１０６】
剥離発生素子＜正常素子＜撓み発生素子・・・・・・（３）
【０１０７】
これにより、撓み発生／剥離発生／正常の各素子に対応する各ノズル５４から吐出されるインク滴の吐出量が揃えられ、ドット抜けや過大、インク滴の着弾位置ずれなどによる画質劣化が抑制できる。
【０１０８】
また、上記（４）のように、予め用意した波形セットを用いて素子毎の吐出インク滴量を変更する場合には、例えば図２５に示すように、素子毎に大滴波形／中滴波形／小滴波形が各々設定された波形セットなどを使用する。この波形セットにおいて、正常素子に対しては、正常素子用波形セット（大滴（Ｎ）、中滴（Ｎ）、小滴（Ｎ））を選択し、駆動する。撓み発生素子に対しては、撓み発生素子用波形セット（大滴（Ｔ）、中滴（Ｔ）、小滴（Ｔ））を選択し、駆動する。剥離発生素子に対しては、剥離発生素子用波形セット（大滴（Ｈ）、中滴（Ｈ）、小滴（Ｈ））を選択し、駆動する。また、これら波形セットは、必要に応じて、特に影響を受けやすい微小滴吐出時のみ使用するようにしてもよい。これにより、上記（３）のように、素子毎に制御する場合に比べて低コストで制御することができる。
【０１０９】
このように、本実施形態のインクジェット記録装置１０では、個々の圧電素子６４の状態を検出し、その情報に基づいてインクジェット記録ヘッド３０を駆動制御することにより、画像劣化が抑えられ、高画質化が可能となる。
【０１１０】
以上説明したように、本実施形態のインクジェット記録ヘッド３０（記録ヘッドユニット３２）の検査方法では、複数のノズル５４に対応して設けられた個々の圧電素子６４に、第１の電圧（第１のＤＣバイアス電圧）と、それよりも高い第２の電圧（第２のＤＣバイアス電圧）と、の高低２つの電圧を印加して静電容量を測定し、各電圧レベルに応じた静電容量に基づいて圧電素子６４の撓み度合及び剥離を検出しており、この検査方法によって、従来の低電界のみの静電容量測定では検出しきれなかった圧電素子の撓みや剥離、特に製造段階での初期不良が精度良く検出できるようになる。したがって、吐出するインク滴量の均一化による高画質化、及び信頼性の向上を図るための施策が取れるようになり、製造時の歩留を向上させることができる。
【０１１１】
また、このインクジェット記録ヘッド３０の検査は、使用前のインクジェット記録装置１０の製造工程等にて、インクジェット記録装置１０に組み込んだ状態で行う場合を例に説明したが、ヘッド単体の製造時にその検査工程等にて実施することもできる。
【０１１２】
また、圧電素子６４の静電容量測定では、圧電素子６４に高低２つの電圧を印加しているが、特に高電圧（第２の電圧）の印加で、測定期間中に圧電素子６４に印加される電圧の極性が一定となるようバイアス電圧を加えた電圧（ＤＣバイアス電圧）を印加していることにより、この高電圧の印加期間中に、圧電素子６４に印加される電圧の極性が一時的に切り替わることが防止され、圧電素子６４に悪影響が及ぶことを防止できる。
【０１１３】
また、本実施形態では、インクジェット記録ヘッド３０が備える素子状態記憶手段７２に、撓み発生／剥離発生／正常状態として検出した各圧電素子６４の検出結果を記憶していることにより、個々の圧電素子６４の状態を認識できるようになり、例えば、インクジェット記録ヘッド３０をインクジェット記録装置１０から取り外した状態でも上記の検出結果が取得できるようになる。したがって、インクジェット記録ヘッド３０をインクジェット記録装置１０から取り外して再使用（リユース）する場合等にも、素子状態記憶手段７２から各素子の情報を読み出すことで上記の検出結果を容易に取得でき、取得した上記の検出結果に基づいて、撓み発生素子や剥離発生素子の駆動頻度又は駆動電圧を変更するなどの駆動制御を行うことができる。
【０１１４】
（第２の実施形態）
次に、上述したインクジェット記録ヘッドの検査方法を適用した第２の実施形態の構成について説明する。なお、本実施形態も、インクジェット記録ヘッドの検査をインクジェット記録装置の製造工程等で、使用前に実施する場合の例である。
【０１１５】
図２６に示すように、本実施形態は、素子状態記憶手段７２がインクジェット記録ヘッド１３２に搭載されずに、インクジェット記録装置１３０に搭載されており、その他は第１の実施形態と同様に構成されている。
【０１１６】
このように、素子状態記憶手段７２をインクジェット記録装置１３０側に設けることも可能であり、この場合、インクジェット記録ヘッド１３２の交換時などに、新たなインクジェット記録ヘッド１３２の情報（全圧電素子の撓み発生／剥離発生／正常状態を示す情報）を素子状態記憶手段７２に書き込んで記憶させる必要はあるが、インクジェット記録ヘッド１３２のコストは低減できる。したがって、本実施形態のようなＦＷＡ（Full Width Array）の装置などのように、インクジェット記録ヘッドを複数搭載する構成においては、装置全体のコストが抑えられる。
【０１１７】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係るインクジェット記録装置の構成と、インクジェット記録ヘッドの検査方法について説明する。なお、本実施形態は、インクジェット記録ヘッドの検査をユーザーによる使用環境等でインクジェット記録装置の使用後にも実施できるようにした場合の例である。
【０１１８】
図２７に示すように、本実施形態のインクジェット記録装置１４０には、第２の実施形態で説明したインクジェット記録ヘッド１３２、及び、個別の素子状態記憶手段７２が搭載されており、更に、第１の実施形態で説明した駆動／測定制御手段８０、第１の測定電圧／波形生成部８２、第２の測定電圧／波形生成部８４、静電容量測定手段８６、及び素子状態検出手段８８も搭載されている。また、第１の実施形態で説明した駆動制御手段７８の機能は、駆動／測定制御手段８０に組み込まれており、駆動制御手段７８は駆動／測定制御手段８０に置き換えられて構成されている。
【０１１９】
このように、インクジェット記録ヘッド１３２を検査するための各手段部をインクジェット記録装置１４０側に設けることも可能であり、この構成であれば、インクジェット記録ヘッド１３２の検査を、インクジェット記録装置１４０の製造工程等に加え、ユーザーによる使用環境等でも実施できるようになる。
【０１２０】
ここで、本実施形態のインクジェット記録装置１４０における使用後のヘッド検査方法について説明する。なお、以下に説明する検査は、ヘッドの所定駆動数経過時点、又は、装置の電源ＯＮ／ＯＦＦ時やメンテナンス時、あるいは待機時（インク滴吐出動作非実行時）等に定期的に実行される。
【０１２１】
インクジェット記録装置１４０の使用環境等で、使用後のインクジェット記録ヘッド１３２を検査するには、図２８に示す使用後ヘッド検査処理のステップ１５０で、ヘッド検査処理（Ｂ）を実施する。図２９に示すヘッド検査処理（Ｂ）では、処理が開始されると、駆動／測定制御手段８０に制御された第２の測定電圧／波形生成部８４が、静電容量測定用のＤＣバイアス電圧を生成し、選択回路７６へ出力する。
【０１２２】
続くステップ１６０で、駆動／測定制御手段８０に制御された素子選択回路７０が、インクジェット記録ヘッド１３２の各記録ヘッドユニット３２に設けられた複数の圧電素子６４の中から、処理対象となる圧電素子６４を選択し、ステップ１６２で、駆動／測定制御手段８０に制御された選択回路７６が、入力された第２のＤＣバイアス電圧を素子選択回路７０へ出力し、素子選択回路７０は圧電素子６４に対し、第２のＤＣバイアス電圧を印加する。
【０１２３】
次に、ステップ１６４で、静電容量測定手段８６が圧電素子６４の静電容量を測定し、その測定値（経時の高電界静電容量：Ｃｐｈ）を素子状態検出手段８８へ出力する。ここで、素子状態検出手段８８は、素子状態記憶手段７２から、製造工程等で測定した処理対象の圧電素子６４における使用前の低電界静電容量（Ｃｐl）を読み出し、ステップ１６６で、その使用前の初期の低電界静電容量（Ｃｐl）と、使用後に測定した経時の高電界静電容量（Ｃｐｈ）とに基づいて静電容量の低下率を算出する（（１）式参照）。
【０１２４】
そして、以降のステップ１６８〜１８０により、第１の実施形態と同じ手順で処理対象の圧電素子６４の状態（撓み発生／剥離発生／正常）を検出し、検出した状態を示す情報を素子状態記憶手段７２に記憶し、全ての圧電素子６４について同様に状態の検出及び情報の記憶を行って検査処理を終了する。
【０１２５】
この検査処理を実施した後は、素子状態記憶手段７２に新たに記憶された各素子の検出状態を示す情報に基づき、駆動／測定制御手段８０が第１の実施形態と同様のヘッド駆動制御を実行して（図２８のステップ１５２）、インクジェット記録装置１４０による画像記録が行われる。
【０１２６】
このように、インクジェット記録ヘッドの検査を定期的に行うことで、経時的に特性変化する圧電素子に対して、撓みの程度や経時的な特性変化を検出できるようになる。そして、不良の程度に応じて使用頻度を減少させ、その不足分を正常素子の代替使用で補うなどのヘッド駆動制御を行うことにより、圧電素子６４の経時的な特性変化による吐出特性劣化（＝画質劣化)を低減することができて、信頼性の高い装置が得られる。また、特に本実施形態の検査方法では、初期の低電界静電容量（Ｃｐl）を利用して、経時の低電界静電容量測定を省略していることにより、検査時間を短縮することができる。
【０１２７】
（第４の実施形態）
次に、上述したインクジェット記録装置１４０において、インクジェット記録ヘッド１３２の検査方法を変更した第４の実施形態について説明する。本実施形態の場合も、第３の実施形態と同様に、ヘッドの所定駆動数経過時点、又は、装置の電源ＯＮ／ＯＦＦ時やメンテナンス時、あるいは待機時等に定期的にインクジェット記録ヘッド１３２の検査が実行される。
【０１２８】
図３０に示すように、本実施形態の使用後ヘッド検査処理では、ステップ１９０で、第１の実施形態で説明したヘッド検査処理（Ａ）を実施し（図２１参照）、その検査処理で取得した各圧電素子６４の検出状態を示す情報に基づいて、ステップ１９２で、第１の実施形態と同様のヘッド駆動制御を実行し、画像記録を行う。
【０１２９】
このヘッド検査処理（Ａ）では、インクジェット記録ヘッド１３２に設けられた個々の圧電素子６４の静電容量低下率が、使用後に測定した経時の低電界静電容量（Ｃｐｌ）及び経時の高電界静電容量（Ｃｐｈ）に基づいて算出されることになる。これにより、圧電素子６４の経時による撓み程度の変化や吐出特性の劣化をより精度良く検出できるようになり、画質劣化に対する低減効果が高められる。
【０１３０】
（第５の実施形態）
次に、第３の実施形態を一部変更した第５の実施形態に係るインクジェット記録装置の構成について説明する。図３１に示すように、本実施形態のインクジェット記録装置２００には素子状態記憶手段７２が搭載されておらず、インクジェット記録ヘッド１３２に換えて、第１の実施形態で説明した、素子状態記憶手段７２を備えたインクジェット記録ヘッド３０が搭載されている。
【０１３１】
このインクジェット記録装置２００においても、第３の実施形態と同様に、装置稼動後の定期的な検査が可能であり、圧電素子６４の状態に関する検出情報を更新できるようになる。また、第１の実施形態と同様に、その検出情報がインクジェット記録ヘッド３０側の素子状態記憶手段７２に記憶されることにより、素子状態記憶手段７２から各素子の情報を読み出すことで、ヘッド交換や再使用に容易に対応できるようになる。
【０１３２】
（第６の実施形態）
次に、第１の実施形態を一部変更した第６の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの検査装置の構成について説明する。図３２で示すように、本実施形態のインクジェット記録ヘッド３０には、素子状態記憶手段７２が搭載されており、インクジェット記録ヘッド３０は、検査装置３００に着脱可能に搭載される。検査装置３００は、駆動／測定制御手段８０、第１の測定電圧／波形生成部８２、第２の測定電圧／波形生成部８４、静電容量測定手段８６、素子状態検出手段８８により構成される。
【０１３３】
本実施形態の検査装置３００では、個々の圧電素子６４の状態を検出し、インクジェット記録ヘッド３０の素子状態記憶手段７２に圧電素子６４の状態を記憶させることができ、インクジェット記録ヘッドの製造工程等におけるインクジェット記録ヘッドの検査装置を提供することが可能となる。
【０１３４】
以上、本発明を上述した第１〜第６の実施形態により詳細に説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の形態が実施可能である。例えば、上述したインクジェット記録ヘッドの検査方法では、圧電素子６４の静電容量低下率を求めるために、高低２つの電圧を印加するようにしているが、この印加電圧は３つ以上としてもよい。
【０１３５】
例えば、低、中、高の３段階の電圧を印加する場合、静電容量低下率Ｒは、低電界静電容量（Ｃｐl）及び中電界静電容量（Ｃｐｍ）に基づいて算出した静電容量低下率（Ｒ１＝（Ｃｐl−Ｃｐｍ）／ΔＶ１×１００）と、中電界静電容量（Ｃｐｍ）及び高電界静電容量（Ｃｐｈ）に基づいて算出した静電容量低下率（Ｒ２＝（Ｃｐｍ−Ｃｐｈ）／ΔＶ２×１００）の平均値を用いる（Ｒ＝（Ｒ１＋Ｒ２）／２）、あるいは、低、中、高電界の各静電容量に対する近似直線を求めてその傾きを用いるなどができ、４段階以上の電圧を印加する場合も同様の算出方法にて対応することができる。
【０１３６】
また、上述したインクジェット記録ヘッド３０、１３２では、素子選択回路７０を含んだ場合を例に説明したが、この素子選択回路７０は、ヘッド形態に応じてインクジェット記録装置側、検査装置側に設けるようにしてもよい。
【０１３７】
また、上述の実施形態においては、フルカラー画像を記録するために、ＹＭＣＫの各色に対応して、インクジェット記録ヘッド３０を少なくとも４つ配置される例について説明したが、本発明のインクジェット記録ヘッドは、これに限定されない。例えば、１つの長尺基板４０に対し、紙幅方向Ｙと紙送り方向Ｘへ２次元配列させた複数の記録ヘッドユニット３２へ、紙幅方向Ｙ方向に配列させた複数の記録ヘッドユニットの列毎に各々ＹＭＣＫの各色を対応させ、記録ヘッドユニット３２Ｃ、３２Ｍ、３２Ｙ、３２Ｋ、とすることにも適用できる。
【０１３８】
また、上述の実施形態においては、紙幅対応のＦＷＡの例について説明したが、本発明のインクジェット記録ヘッドは、これに限定されず、主走査機構と副走査機構を有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の装置にも適用することができる。
【０１３９】
その他、上記実施例のインクジェット記録装置１０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ヘッド３０から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が用紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、用紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
【０１４０】
すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴吐出（噴射）装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成を示す概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図３】図２のインクジェット記録ヘッドの（Ａ）は正面図、（Ｂ）は下面図である。
【図４】図２のインクジェット記録ヘッドによる印字領域を示す図である。
【図５】図２のインクジェット記録ヘッドのスペーサー部材の取り付け部分の構成を示す上面図である。
【図６】図２のインクジェット記録ヘッドの記録ヘッドユニットの取り付け部分の構成を示す（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図７−１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを製造する工程（Ａ）、（Ｂ）を示す説明図である。
【図７−２】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを製造する工程（Ｃ）、（Ｄ）を示す説明図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを製造する工程の変形例を示す説明図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのメンテナンス時におけるキャップとの位置関係を示す側面図である。
【図１０】本発明の適用された他の実施形態のインクジェット記録ヘッドのメンテナンス時におけるキャップとの位置関係を示す側面図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの変形例を示す側面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの他の変形例を示す側面図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのスペーサー部材の取り付け部分の他の構成を示す上面図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドにおけるスペーサー部材の変形例を示す正面図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態に係る記録ヘッドユニットの内部構造を示す断面図である。
【図１６】（Ａ）撓み発生、（Ｂ）正常、（Ｃ）剥離発生の各圧電素子に所定のＤＣバイアス電圧を印加したときの撓み変位を模式的に示す比較図である。
【図１７】撓み発生、剥離発生、及び未発生（正常）の各圧電素子における所定のＤＣバイアス電圧印加と静電容量の関係を示すグラフ図である。
【図１８】撓み発生、剥離発生、及び未発生（正常）の各圧電素子における所定のＤＣバイアス電圧印加と共振周波数の関係を示すグラフ図である。
【図１９】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録装置、及び、インクジェット記録ヘッドを検査するための構成を示す概略ブロック図である。
【図２０】本発明の第１の実施形態に係る使用前ヘッド検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図２１】図２０におけるヘッド検査処理のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図２２】（Ａ）はバイアス電圧が付加された第１の測定電圧の波形、（Ｂ）はバイアス電圧が付加された第２の測定電圧の波形を示す線図である。
【図２３】隣接した３つのノズルからの吐出インク滴によって記録された３つの画素において、（Ａ）は３つのノズルに対応する各圧電素子が全て正常の場合、（Ｂ）は真中の圧電素子に撓みが発生した場合、（Ｃ）は真中の圧電素子が剥離が発生した場合、（Ｄ）は真中の不良素子に対し補正を行った場合、の一例を示す説明図である。
【図２４】（Ａ）は正常素子に対して印加する駆動電圧の波形、（Ｂ）は撓み／剥離発生素子に対して印加する駆動電圧の波形を示す線図である。
【図２５】撓み発生／剥離発生／正常の各素子に対し、吐出インク滴量を変更するために用いる波形セットの一例を示す表図である。
【図２６】本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録装置、及び、インクジェット記録ヘッドを検査するための構成を示す概略ブロック図である。
【図２７】本発明の第３の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの検査機能を備えたインクジェット記録装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図２８】本発明の第３の実施形態に係る使用後ヘッド検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図２９】図２８におけるヘッド検査処理のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図３０】本発明の第４の実施形態に係る使用後ヘッド検査処理の手順を示すフローチャートである。
【図３１】本発明の第５の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの検査機能を備えたインクジェット記録装置の構成を示す概略ブロック図である。
【図３２】本発明の第６の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの検査装置の構成を示す概略ブロック図である。
【符号の説明】
【０１４２】
１０        インクジェット記録装置（液滴吐出装置）
３０        インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
３２        記録ヘッドユニット
５２        ヘッド基板
５４        ノズル
６４        圧電素子
７２        素子状態記憶手段（情報記憶手段）
７８        駆動制御手段
８０        駆動／測定制御手段（駆動制御手段）
８６        静電容量測定手段
８８        素子状態検出手段（検出手段）
【図１】
2008062388.tif 000003
【図２】
2008062388.tif 000004
【図３】
2008062388.tif 000005
【図４】
2008062388.tif 000006
【図５】
2008062388.tif 000007
【図６】
2008062388.tif 000008
【図７−１】
2008062388.tif 000009
【図７−２】
2008062388.tif 000010
【図８】
2008062388.tif 000011
【図９】
2008062388.tif 000012
【図１０】
2008062388.tif 000013
【図１１】
2008062388.tif 000014
【図１２】
2008062388.tif 000015
【図１３】
2008062388.tif 000016
【図１４】
2008062388.tif 000017
【図１５】
2008062388.tif 000018
【図１６】
2008062388.tif 000019
【図１７】
2008062388.tif 000020
【図１８】
2008062388.tif 000021
【図１９】
2008062388.tif 000022
【図２０】
2008062388.tif 000023
【図２１】
2008062388.tif 000024
【図２２】
2008062388.tif 000025
【図２３】
2008062388.tif 000026
【図２４】
2008062388.tif 000027
【図２５】
2008062388.tif 000028
【図２６】
2008062388.tif 000029
【図２７】
2008062388.tif 000030
【図２８】
2008062388.tif 000031
【図２９】
2008062388.tif 000032
【図３０】
2008062388.tif 000033
【図３１】
2008062388.tif 000034
【図３２】
2008062388.tif 000035