(57)【要約】【課題】残存領域の変形を防ぐことを課題とする。【解決手段】圧電素子４６のプレートに共通電極４８及び個別電極５０が形成された圧電体プレート５８が、残存領域４４を切り残されて各圧力室１４毎に個別化された圧電体４２を備えるインクジェット記録ヘッド７４において、圧電体４２を構成する圧電素子４６の連結片４６Ａが残存領域４４と連結され、残存領域４４の個別電極５０は一部又は全部が取り除かれている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートを加工して、各圧力室毎に個別化された圧電体と切り残された残存領域とを備える液滴吐出ヘッドにおいて、
前記圧電体を構成する圧電素子は前記残存領域と連結され、該残存領域の電極は一部又は全部が取り除かれていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記残存領域は、隣接する他の残存領域と連結されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートを、固定基板に貼り付ける第１工程と、
各圧力室毎に個別化された圧電体に切り分けると共に、前記圧電体と連結された残存領域を残す第２工程と、
前記圧電体及び前記残存領域を、前記圧力室を構成する振動板に接合する第３工程と、
前記圧電体と連結している前記残存領域の電極の一部又は全部を除去する第４工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートから、圧電体と連結している残存領域の電極の一部又は全部を除去する第１工程と、
前記圧電体プレートの前記残存領域の電極が除去された側を固定基板に貼り付ける第２工程と、
各圧力室毎に個別化された圧電体に切り分けると共に、前記圧電体と連結された残存領域を残す第３工程と、
前記圧電体及び前記残存領域を、前記圧力室を構成する振動板に接合する第４工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出するノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドの製造方法と、この液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のノズルからインク滴を吐出し、記録用紙等の記録媒体に画像（文字を含む）を記録するインクジェット記録装置（液滴吐出装置）は、インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）の圧力室を構成する振動板を変位させることによって、その圧力室内に充填されているインクをノズルから吐出させるようになっている。
【０００３】
振動板上には圧電素子が設けられており、圧電素子に電圧を印加することで、圧電素子が変形して振動板を変位させる構成となっている。この圧電素子は、各圧力室に対応させて個別化することによって、圧電素子の変形効率が良くなることが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３５２２１６３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートをブラスト加工し、個別化してから圧電体を形成する場合、各圧電体プレートの加工領域を均一にするため、圧電体と隣接して残存領域を形成する。
【０００５】
本発明は、この残存領域の変形を防ぐことを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の本発明は、圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートを加工して、各圧力室毎に個別化された圧電体と切り残された残存領域とを備える液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電体を構成する圧電素子は前記残存領域と連結され、該残存領域の電極は一部又は全部が取り除かれていることを特徴徴としている。
【０００７】
請求項２に記載の本発明は、前記残存領域は、隣接する他の残存領域と連結されていることを特徴としている。
【０００８】
請求項３に記載の本発明は、圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートを、固定基板に貼り付ける第１工程と、各圧力室毎に個別化された圧電体に切り分けると共に、前記圧電体と連結された残存領域を残す第２工程と、前記圧電体及び前記残存領域を、前記圧力室を構成する振動板に接合する第３工程と、前記圧電体と連結している前記残存領域の電極の一部又は全部を除去する第４工程と、を有することを特徴としている。
【０００９】
請求項４に記載の本発明は、圧電素子プレートの上下面に電極が形成された圧電体プレートから、圧電体と連結している残存領域の電極の一部又は全部を除去する第１工程と、前記圧電体プレートの残存領域の電極が除去された側を固定基板に貼り付ける第２工程と、各圧力室毎に個別化された圧電体に切り分けると共に、前記圧電体と連結された残存領域を残す第３工程と、前記圧電体及び前記残存領域を、前記圧力室を構成する振動板に接合する第４工程と、を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項５に記載の本発明は、請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に記載の発明では、残存領域は圧電体を構成する圧電素子と連結されているため、本構成を有していない場合と比較して、ブラスト加工によって圧電体を個別化するとき、ブラストマスクがずれて、残存領域が剥離したり形状が変形したりする恐れがない。
【００１２】
請求項２に記載の発明では、残存領域同士を連結させることで、本構成を有していない場合と比較して、残存領域を形成するブラストマスクの剛性が高まり、個々の残存領域の形状が変形するのをさらに防げる。
【００１３】
請求項３に記載の発明では、圧電体と残存領域を連結させた状態で、ブラスト加工によって圧電体と残存領域を圧電体プレートから切り分けた後、振動板に接合して、圧電体と連結している残存領域の一部又は全部の電極を除去するので、本構成を有していない場合と比較して、加工時に残存領域の形状が変形しない。
【００１４】
請求項４に記載の発明では、圧電体と連結する残存領域の一部又は全部の電極を除去してから、圧電体と残存領域を連結させた状態で、ブラスト加工によって圧電体と残存領域を圧電素子プレートから切り分けるので、本構成を有していない場合と比較して、振動板に圧電体と残存領域を接合した後、電極を取り除く作業が不要となる。
【００１５】
請求項５に記載の発明では、本構成を有していない場合と比較して、残存領域の形状が変形していない液滴吐出ヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の第１の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッド７４について説明する。まず、インクジェット記録ヘッド７４が搭載されたインクジェット記録装置７０の概要を説明する。
【００１７】
なお、記録媒体は記録紙Ｐとし、記録紙Ｐのインクジェット記録装置７０における搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。
【００１８】
図１に示すように、インクジェット記録装置７０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ユニット７２を搭載するキャリッジ７６を備えている。このキャリッジ７６の記録紙Ｐの搬送方向上流側には、ブラケット７８が突設されており、このブラケット７８には円形状の開孔７８Ａが穿設されている。そして、この開孔７８Ａに、主走査方向に架設されたシャフト８０が挿通されている。
【００１９】
主走査方向の両端側には、主走査機構８２を構成する駆動プーリー８４と従動プーリー８６が配設されている。この駆動プーリー８４と従動プーリー８６にはタイミングベルト８８が巻回されており、タイミングベルト８８の一部にキャリッジ７６に固定され、キャリッジ７６が主走査方向に往復移動可能となっている。
【００２０】
また、インクジェット記録装置７０には、搬送ローラ９０及び排出ローラ９２からなる副走査機構９４が設けられており、画像印刷前の記録紙Ｐが束の状態で置かれる給紙トレイ９６から、記録紙Ｐが１枚ずつ給紙され、所定のピッチで副走査方向へ搬送される。
【００２１】
さらに、図２に示すように、各色のインクジェット記録ユニット７２は、インクジェット記録ヘッド７４と、それにインクを供給するインクタンク９８とが一体に構成されたものであり、インクジェット記録ヘッド７４の下面に形成された複数のノズル１０（図３（Ｂ）参照）が、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ７６（図１参照）上に搭載される。
【００２２】
したがって、インクジェット記録ヘッド７４が主走査機構８２（図１参照）によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル１０から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域ＢＥに対して画像データに基づく画像の一部が記録される。
【００２３】
そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構９４（図１参照）によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド７４（インクジェット記録ユニット７２）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっている。このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。
【００２４】
次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成について説明する。
【００２５】
図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、インクジェット記録ヘッド７４には、インクタンク９８（図２参照）からインクが供給される共通インク室２０が備えられている。この共通インク室２０には開口部１８が設けられており、インク供給路１６を介して圧力室１４が連通し、共通インク室２０内のインクが供給されるようになっている。
【００２６】
また、インクジェット記録ヘッド７４には、マトリックス状に配置された複数のノズル１０が備えられており、ノズル連通室１２を介して圧力室１４と連通している。この圧力室１４の上面には上下方向に弾性を有する振動板３０が設けられており、圧力室１４に対応する振動板３０の上面には、図５に示すように、圧電体４２がマトリックス状に配置されている。
【００２７】
この圧電体４２は、全て略同一形状を成しており、図４（Ａ）に示すように、長方形状の圧力室１４よりも一回り小さく形成され、圧力室１４の上方に位置する長方形部４２Ａと、長方形部４２Ａと繋がり長方形部４２Ａの端部から屈曲して形成された長方形部４２Ａよりも小さい円形状を成す円形部４２Ｂと、で構成されている。
【００２８】
また、図５に示すように、列方向で隣接する圧電体４２の長方形部４２Ａ間には残存領域４４が切り残されており、隣接する圧電体４２間及び圧電体４２と残存領域４４の間に形成される貫通部４０で、圧電体４２が個別化されている。
【００２９】
この貫通部４０が、圧電体４２の全周部分において同一の幅となるように、残存領域４４は長方形部４２Ａ間で細長の長尺部４４Ａを有し、長尺部４４Ａの両端（円形部４２Ｂ近傍）には、長尺部４４Ａよりも幅広とされた幅広部４４Ｂ、４４Ｃが形成されている。
【００３０】
幅広部４４Ｂは、長尺部４４Ａの上方に位置している圧電体４２の円形部４２Ｂに、長尺部４４Ａとほぼ同じ幅の連結部１５０によって連結されている。また、幅広部４４Ｃは、この圧電体４２の隣に設けられた圧電体４２の円形部４２Ｂに、長尺部４４Ａとほぼ同じ幅の連結部１５２によって連結されている。
【００３１】
図１３（Ｃ）に示すように、この連結部１５０、１５２は、圧電素子４６から延びて圧電体４２と残存領域４４の間に位置する連結部４６Ａと、共通電極４８から延びて連結部４６Ａの下面に形成される電極部４８Ａからなり、圧電体４２と残存領域４４は、連結部１５０、１５２を構成する連結部及び電極部によって構造的に連結されてはいるものの、上部の電極は取り除かれ、電気的には非接続状態とされている。
【００３２】
一方、図４（Ａ）に示す円形部４２Ｂは、電気接続を行う電気パット部となり、ボール半田３４（図６（Ｆ）参照）を介してフレキシブル基板３６が接合され、円形部４２Ｂに電圧が印加されると、圧力室１４の上方に位置する長方形部４２Ａは電歪作用によって変形し、圧力室１４内のインクを加圧する駆動部となる。このように、圧力室１４内のインクが加圧されると、ノズル１０からインク滴が吐出する。
【００３３】
なお、前述したように、残存領域４４と圧電体４２は連結部１５０、１５２で部分的に繋がっているが、残存領域４４と圧電体４２との間には貫通部４０が設けられており、圧電体４２に電圧が印加されても、残存領域４４は圧電体４２と一緒に変形しない。
【００３４】
次に、本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッド７４の製造方法について説明する。
【００３５】
このインクジェット記録ヘッド７４は、図６（Ａ）に示すように、ノズル１０（図６（Ｂ）参照）が形成されるノズルプレート２１と、ノズル連通室１２と共通インク室２０とを形成するインクプールプレート２２、２３と、共通インク室２０の開口部１８とノズル連通室１２とを形成するスループレート２４と、インク供給路１６が形成されたインク供給路プレート２６、２７と、圧力室１４が形成された圧力室プレート２８と、を順番に積層し接合して形成する。
【００３６】
そして、図６（Ｂ）に示すように、ノズルプレート２１の表面に、撥水コート膜１９を被覆すると共に、エキシマレーザによってノズル１０を形成し、図６（Ｃ）に示すように、ノズル１０の形成後に圧力室プレート２８に振動板３０を接着する。
【００３７】
尚、ノズルプレート２１の材質はポリイミドであり、インクプールプレート２２、２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６、２７、圧力室プレート２８、振動板３０の材質はＳＵＳである。
【００３８】
また、これら、ノズルプレート２１、インクプールプレート２２、インクプールプレート２３、スループレート２４、インク供給路プレート２６、２７、圧力室プレート２８、振動板３０は、接着剤を用いて接着され、これらが接着されたものを、流路プレートユニット５２という。
【００３９】
ここで、別途、電圧が印加される圧電体４２と、電圧が印加されない残存領域４４（図５参照）と、を備えた圧電ユニット５４を作成する。この圧電ユニット５４の製造方法について、図７に示すフローチャートの手順に従って説明する。
【００４０】
先ず、ステップ１００では、圧電材料ブロックにラップ加工を施し、所望の厚さの圧電素子プレート４６Ｐを形成する。
【００４１】
次に、ステップ１０２で、図８（Ａ）に示すように、スパッタリングなどで圧電素子プレート４６Ｐの上面及び下面に電極を形成する。そして、図８（Ｂ）に示すように、矩形状にダイシングして、圧電体プレート５８とする。
【００４２】
次に、ステップ１０４で、ダイシングされた圧電体プレート５８を、図８（Ｃ）に示すように、剥離可能な接着剤、例えば熱発泡性接着フィルム５７（接着後に所定の温度で加熱すると発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する）を介して固定基板５６に仮接着する。
【００４３】
そして、ステップ１０６で、仮接着した圧電体プレート５８の電極の上に、ブラストマスク６２を貼り付ける。
【００４４】
図９に示すように、ブラストマスク６２は、シートに圧電体４２（図５参照）と残存領域４４の形状をしたマスク６４、６６が貼り付けられて構成されており、マスク６４、６６の間には隙間６８が形成されている。
【００４５】
横方向に隣接するマスク６４とマスク６６は、連結部６７、６９によって連結されている。これにより、マスク６６は完全に個別化された状態になく、隣接するマスク６４に、部分的に連続した状態とされている。
【００４６】
このブラストマスク６２を、図１０（Ａ）に示すように、圧電体プレート５８上に貼り付ける。そして、ステップ１０８で、図１０（Ｂ）に示すように、ブラストマスク６２の上方からブラスト砥粒を吹き付け、ブラスト加工を行う。
【００４７】
これにより、図１０（Ｃ）に示すように、圧電体プレート５８のブラストマスク６２で覆われた部分（圧電体４２と残存領域４４）は研削が行われず、隙間６８（図９参照）に対応した部分が研削されて、圧電体４２及び残存領域４４が形成される。このとき、圧電体４２と残存領域４４の間には、これらを連結する連結部１５０、１５２も形成される。
【００４８】
そして、ステップ１１０で、図１０（Ｄ）に示すように、圧電体プレート５８上のブラストマスク６２を除去する。
【００４９】
ブラストマスク６２を圧電体プレート５８上から除去した後、ステップ１１２で、圧電体プレート５８に接着剤を塗布し、図１１（Ａ）に示すように、この面を流路プレートユニット５２の振動板３０に対向させて積層し、加熱しながら固定基板５６を加圧する。
【００５０】
そして、図１１（Ｂ）に示すように、固定基板５６を除去する。これにより、図１１（Ｃ）に示すように、振動板３０上に圧電体プレート５８が圧着され、個別化された圧電体４２、残存領域４４及び連結部１５０、１５２が、振動板３０に接着される。
【００５１】
ここで、連結部１５０、１５２は、圧電素子４６から延びて圧電体４２と残存領域４４の間に位置する連結部４６Ａと、共通電極４８から延びて連結部４６Ａの両面（上下面）に形成された電極（以下、説明の便宜上、上面にある電極を「個別電極５０」、下面にある電極を「共通電極４８」という。）からなり、圧電体４２と残存領域４４は、連結部１５０、１５２によって電気的に連結された状態となっている。
【００５２】
そこで、ステップ１１４で、連結部１５０、１５２の個別電極５０のみを除去するためのマスクを形成し、このマスクを圧電体４２と残存領域４４上に貼り付けてエッチング処理を行う。これにより、図１１（Ｄ）及び図１２（Ｂ）に示すように、連結部１５０、１５２の個別電極５０のみがエッチング除去されて、圧電体４２と残存領域４４は、電気的に非接続状態となる。
【００５３】
上記製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッド７４を、図１３に示す。図１３（Ａ）は、インクジェット記録ヘッド７４の平面図であり、図１３（Ｂ）は、図１３（Ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１３（Ｃ）は、図１３（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【００５４】
図１３（Ｂ）に示すように、圧電体４２は、圧力室１４毎にほぼ完全に個別化されている。また、図１３（Ｃ）に示すように、残存領域４４は、連結部１５０、１５２を構成する圧電素子４６から延びる連結片４６Ａによって、圧電体４２と連結されているが、連結部１５０、１５２の個別電極５０が除去されているため、圧電体４２と残存領域４４は、電気的には非接続状態とされている。
【００５５】
このような構成により、ブラスト加工によって圧電体４２を形成するとき、ブラストマスクがずれて、残存領域４４が剥離したり形状が変形したりする恐れがない。
【００５６】
なお、本実施形態では、連結部１５０、１５２の個別電極５０を除去することで、圧電体４２と残存領域４４を電気的に非接続状態としているが、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）に示すように、連結部１５０、１５２上だけでなく、残存領域４４の全体の個別電極５０も除去することで、圧電体４２と残存領域４４を電気的に非接続状態としてもよい。
【００５７】
次に、本発明の第２実施の形態に係るインクジェット記録ヘッド７４を構成する圧電ユニット５４の製造方法について、図１５に示すフローチャートの手順に従って説明する。なお、第１の実施形態と同様の構成については、第１の実施形態と同符号を付与し、その説明を省略する。
【００５８】
先ず、ステップ１２０では、図１６（Ａ）に示すように、圧電材料ブロックにラップ加工を施し、所望の厚さの圧電素子プレート４６Ｐを形成する。
【００５９】
次に、ステップ１２２で、図１６（Ｂ）に示すように、スパッタリングなどで圧電素子プレート４６Ｐの上面及び下面に電極を形成する。
【００６０】
そして、ステップ１２４で、個別電極５０の連結部１５０、１５２となる部分を除去するためのマスクを形成して、このマスクを個別電極５０上に貼り付けてエッチング処理を行う。
【００６１】
これにより、図１６（Ｃ）及び図１７に示すように、連結部１５０、１５２（図５参照）に対応する領域を取り囲むようにして個別電極５０が除去され、個別電極５０が除去された部分から、圧電素子４６から延びて圧電体４２と残存領域４４の間に位置する連結片４６Ａが露出する。なお、図１７は、上面に共通電極４８が形成され、下面に個別電極５０が形成された圧電素子プレート４６Ｐを、個別電極５０側から見た状態を示す図である。そして、この圧電素子プレート４６Ｐを、矩形状にダイシングして、圧電体プレート５８とする。
【００６２】
次に、ステップ１２６で、ダイシングされた圧電体プレート５８を、図１６（Ｄ）に示すように、剥離可能な接着剤、例えば熱発泡性接着フィルム５７（接着後に所定の温度で加熱すると発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する）を介して固定基板５６に仮接着する。
【００６３】
そして、ステップ１２８で、仮接着した圧電体プレート５８の共通電極４８の上に、ブラストマスク６２を貼り付け、ステップ１３０で、図１６（Ｅ）に示すように、ブラストマスク６２の上方からブラスト砥粒を吹き付けて、ブラスト加工を行う。
【００６４】
これにより、図１６（Ｆ）に示すように、圧電体プレート５８のブラストマスク６２で覆われた部分（圧電体４２と残存領域４４）は研削が行われず、隙間６８（図９参照）に対応した部分が研削されて、圧電体４２及び残存領域４４が形成される。このとき、圧電体４２と残存領域４４の間には、これらを連結する連結部１５０、１５２も形成される。
【００６５】
そして、ステップ１３２で、圧電体プレート５８上のブラストマスク６２を除去する。
【００６６】
ブラストマスク６２を圧電体プレート５８上から除去した後、ステップ１３４で、圧電体プレート５８に接着剤を塗布し、この面を流路プレートユニット５２の振動板３０に対向させて積層し、加熱しながら固定基板５６を加圧し、固定基板５６を除去する。
【００６７】
上記製造方法によって製造されたインクジェット記録ヘッド７４を、図１８に示す。図１８（Ａ）は、インクジェット記録ヘッド７４の平面図であり、図１８（Ｂ）は、図１８（Ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、図１８（Ｃ）は、図１８（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【００６８】
図１８（Ｂ）に示すように、圧電体４２は、圧力室１４毎にほぼ完全に個別化されている。また、図１８（Ｃ）に示すように、残存領域４４は、連結部１５０、１５２を構成する連結部４６Ａによって、圧電体４２と連結されているが、連結部１５０、１５２の個別電極５０が除去されているため、圧電体４２と残存領域４４は、電気的には非接続状態とされている。
【００６９】
このように、圧電体４２と連結する残存領域４４の一部の個別電極５０（連結部１５０、１５２上の個別電極５０）を除去してから、圧電体４２と残存領域４４を連結させた状態で、ブラスト加工によって圧電体４２と残存領域４４を圧電素子プレート４６Ｐから切り分けるので、振動板３０に圧電体４２と残存領域４４を接合した後、個別電極５０を取り除く作業が不要となる。
【００７０】
なお、本実施形態では、ブラスト加工法によって、圧電体４２及び残存領域４４を形成する構成で説明しているが、エッチング法を用いてこれらを形成してもよい。
【００７１】
また、上記実施例のインクジェット記録装置７０では、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各色のインクジェット記録ユニット７２がそれぞれキャリッジ７６に搭載され、それら各色のインクジェット記録ヘッド７４から画像データに基づいて選択的にインク滴が吐出されてフルカラーの画像が記録紙Ｐに記録されるようになっているが、本発明におけるインクジェット記録は、記録紙Ｐ上への文字や画像の記録に限定されるものではない。
【００７２】
すなわち、記録媒体は紙（記録紙Ｐ）に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインク滴を吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成するなど、工業的に用いられる液滴噴射装置全般に対して、本発明に係るインクジェット記録ヘッド７４を適用することができる。
【００７３】
また、上記実施例のインクジェット記録装置７０では、主走査機構８２と副走査機構９４を有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の例で説明したが、本発明におけるインクジェット記録は、これに限定されず、紙幅対応のいわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ）であってもよい。むしろ、本発明は、高密度ノズル配列を実現するのに有効なものであるため、１パス印字を必要とするＦＷＡには好適である。
【００７４】
さらに、ブラストマスクの形状としては、本実施形態の図９に示したものに限定されず、例えば、図１９（Ａ）に示すように、マスク１５４とマスク１５６を、幅広の連結部１５８で連結させた形状としてもよい。また、図１９（Ｂ）及び図１９（Ｃ）に示すように、圧電体部１６０を矩形状としたとき、列方向で隣接する圧電体部１６０の間に設けられた残存領域部１６２同士を連結し、この残存領域部１６２と圧電体部１６０を、連結部１６４、１６６で連結させた形状としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図２】インクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録ユニット示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は、インクジェット記録ヘッドの構成を示す斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）の部分拡大図である。
【図４】（Ａ）は、インクジェット記録ヘッドの圧電体を示す拡大図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】インクジェット記録ヘッドの圧電体を示す平面図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｆ）は、インクジェット記録ヘッドの製造工程を模式的に表す工程図である。
【図７】インクジェット記録ヘッドの圧電体を製造する工程を示すフローチャートである。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、圧電プレートの製造方法を示す説明図である。
【図９】圧電体の製造工程に用いられるマスクを示す平面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｄ）は、圧電プレートへのサンドブラスト加工の工程を模式的に表す工程図である。
【図１１】（Ａ）〜（Ｃ）は、圧電プレートを振動板に取り付ける工程を示す説明図である。
【図１２】（Ａ）、（Ｂ）は、振動板に取り付けられた圧電体を個別化する工程を示す説明図である。
【図１３】（Ａ）は、インクジェット記録ヘッドの平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１４】他の形態のインクジェット記録ヘッドの平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電体を製造する工程を示すフローチャートである。
【図１６】（Ａ）〜（Ｃ）は、圧電プレートの製造方法を示す説明図であり、（Ｄ）〜（Ｆ）は、圧電プレートへのサンドブラスト加工の工程を模式的に表す工程図である。
【図１７】インクジェット記録ヘッドを個別電極側から見た状態を示す説明図である。
【図１８】（Ａ）は、インクジェット記録ヘッドの平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ断面図であり、（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１９】他の形態のインクジェット記録ヘッドの圧電体の製造工程に用いられるマスクを示す平面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１４  圧力室
３０  振動板
４２  圧電体
４４  残存領域
４６  圧電素子
４６Ｐ  圧電素子プレート
４８  共通電極（電極）
５０  個別電極（電極）
５８  圧電体プレート
７０  インクジェット記録装置（液滴吐出装置）
７４  インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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