(57)【要約】【課題】  複数の基板がマトリクス状に形成されてなるシート基板に対して、より効果的に基板検査を行う基板検査装置の提供。【解決手段】  複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置であって、前記シート基板内の前記各単位基板の位置情報を検出するための位置検出手段と、前記単位基板の複数の所定検査点に導通接触する複数の接触子を備えてなる検査治具を複数有するとともに、該複数の検査治具を互いに相対的に移動させる移動手段を有する検査ユニットと、前記位置検出手段が検出する位置情報を受け取り、該位置情報を基に前記移動手段の制御を行う制御手段と、を有することを特徴とする。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置であって、
前記シート基板内の前記各単位基板の位置情報を検出するための位置検出手段と、
前記単位基板の複数の所定検査点に導通接触する複数の接触子を備えてなる検査治具を複数有するとともに、該複数の検査治具を互いに相対的に移動させる移動手段を有する検査ユニットと、
前記位置検出手段が検出する位置情報を受け取り、該位置情報を基に前記移動手段の制御を行う制御手段と、を有することを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記検査ユニットは、基準となる一の検査治具が基準治具として設定されており、
前記制御手段は、
前記位置検出手段が検出する各単位基板の位置情報から、前記基準治具に対応する単位基板における基準位置情報を選出し、
他の単位基板に対応する位置情報と該基準位置情報を比較し、その離間距離を算出し、
前記離間距離を前記移動手段の動作距離とすることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記検査ユニットは、前記シート基板の一列又は一行に配置される複数の単位基板に対応する検査治具を有するように具備されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置に用いられる検査ユニットであって、
一端が前記単位基板の配線パターン上に設けられる検査点に導通接触するとともに、他端が前記基板検査装置の電極部に導通接触する複数の接触子と、前記複数の接触子を保持する保持体からなる検査治具を複数有し、
前記複数の検査治具は、該検査治具同士を相対的に移動させる移動手段を介して接続されていることを特徴とする検査ユニット。
【請求項５】
前記移動手段は、一の検査治具に対して他の検査治具が相対的に移動するように設けられていることを特徴とする請求項４記載の検査ユニット。
【請求項６】
複数の配線パターンが形成される単位基板が複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板に対して、該単位基板の配線パターン上に設定される複数の検査点に電気的に接触する複数の接触子を備えてなる検査治具を複数有する検査ユニットを用いて、各単位基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査方法であって、
前記シート基板内の複数の単位基板の各位置情報を測定し、
前記各位置情報から、前記検査ユニット内の一の検査治具に対応する単位基板の位置情報を基準位置情報と定め、
前記基準位置情報と残りの位置情報との離間距離情報を算出し、
前記離間距離情報を基に前記検査ユニットの検査治具間の距離を調整することを特徴とする基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置、検査ユニット及び基板検査方法に関し、より詳しくは、複数の基板がマトリクス状に形成されてなるシート基板に対して、より効果的に基板検査を行う基板検査装置、検査ユニット及び基板検査方法に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板検査技術として、検査対象となる複数の単位基板が複数行複数列のマトリクス状に形成されてシート基板が作成され、隣接する複数の単位基板の検査点に対応して複数の検査治具を配置し、そのシート基板内の複数の単位基板に対して一度に検査を行うようにしたものがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２１８６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、複数の単位基板がマトリクス状に配置されたシート基板では、積層工程において、シート基板内の各単位基板の検査点に設計上の理想位置からのずれが生じる。
これは、ビルドアップ構造により製造される基板は、各層を積層する際に、高温圧着により固着されるため、基板を構成する基材が収縮することになるが、この収縮の際に生じる収縮誤差によるため、必ずしも設計どおりに製作されない問題点がある。
このような検査点の位置ずれがあると、プローブが検査点から外れてしまい、正確な検査ができないため、検査点の位置ずれに如何に対処するかが技術的課題となっている。そして、この課題は、配線パターンの細密化に伴いより深刻化している。
【０００５】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、複数の単位基板がマトリクス状に形成されてなるシート基板に対して、より効果的にシート基板上の単位基板の検査を行うことができる基板検査装置、検査ユニット及び基板検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置であって、前記シート基板内の前記各単位基板の位置情報を検出するための位置検出手段と、前記単位基板の複数の所定検査点に導通接触する複数の接触子を備えてなる検査治具を複数有するとともに、該複数の検査治具を互いに相対的に移動させる移動手段を有する検査ユニットと、前記位置検出手段が検出する位置情報を受け取り、該位置情報を基に前記移動手段の制御を行う制御手段と、を有することを特徴とする基板検査装置を提供する。
請求項２記載の発明は、前記検査ユニットは、基準となる一の検査治具が基準治具として設定されており、前記制御手段は、前記位置検出手段が検出する各単位基板の位置情報から、前記基準治具に対応する単位基板における基準位置情報を選出し、他の単位基板に対応する位置情報と該基準位置情報を比較し、その離間距離を算出し、前記離間距離を前記移動手段の動作距離とすることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
請求項３記載の発明は、前記検査ユニットは、前記シート基板の一列又は一行に配置される複数の単位基板に対応する検査治具を有するように具備されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
請求項４記載の発明は、複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置に用いられる検査ユニットであって、一端が前記単位基板の配線パターン上に設けられる検査点に導通接触するとともに、他端が前記基板検査装置の電極部に導通接触する複数の接触子と、前記複数の接触子を保持する保持体からなる検査治具を複数有し、前記複数の検査治具は、該検査治具同士を相対的に移動させる移動手段を介して接続されていることを特徴とする検査ユニットを提供する。
請求項５記載の発明は、前記移動手段は、一の検査治具に対して他の検査治具が相対的に移動するように設けられていることを特徴とする請求項４記載の検査ユニットを提供する。
請求項６記載の発明は、複数の配線パターンが形成される単位基板が複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板に対して、該単位基板の配線パターン上に設定される複数の検査点に電気的に接触する複数の接触子を備えてなる検査治具を複数有する検査ユニットを用いて、各単位基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査方法であって、前記シート基板内の複数の単位基板の各位置情報を測定し、前記各位置情報から、前記検査ユニット内の一の検査治具に対応する単位基板の位置情報を基準位置情報と定め、前記基準位置情報と残りの位置情報との離間距離情報を算出し、前記離間距離情報を基に前記検査ユニットの検査治具間の距離を調整することを特徴とする基板検査方法を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置において、単位基板に応じる検査治具が、検査治具同士を相対的に移動させる移動手段により接続されている。この移動手段は、位置検出手段が検出する検査対象となる単位基板の位置情報により制御されることになる。このため、検査ユニットの検査治具が、単位基板の位置に応じて移動することが可能となるので、複数の単位基板を有するシート基板を検査する場合であっても、単位基板に対して正確に且つ精度良く検査治具を接触させることができる。
請求項２記載の発明によれば、検査ユニットが基準となる一の検査治具が基準治具として設定され、位置検出手段が検出する各単位基板の位置情報から、基準治具に対応する単位基板における基準位置情報を選出し、他の単位基板に対応する位置情報と該基準位置情報を比較し、そのずれ量を算出し、ずれ量分を移動手段の動作距離とするので、基準単位基板と他の単位基板との相対的な距離を算出して、検査ユニットをシート基板に押圧することになる。このため、単位基板に対して正確に且つ精度良く検査治具を押圧することができる。
請求項３記載の発明によれば、検査ユニットが、シート基板の一列又は一行に配置される複数の単位基板に対応する検査治具を有するように具備されているので、シート基板の一列又は一行毎に検査を行うことができるので、シート基板に対して効率よく検査ユニットを押圧させることができる。
【０００８】
請求項４記載の発明によれば、複数の配線パターンが形成される単位基板を複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査装置に用いられる検査ユニットにおいて、一端が前記単位基板の配線パターン上に設けられる検査点に導通接触するとともに、他端が前記基板検査装置の電極部に導通接触する複数の接触子と、前記複数の接触子を保持する保持体からなる検査治具を複数有し、これら複数の検査治具は、該検査治具同士を相対的に移動させる移動手段を介して接続されているので、移動手段を調整することによって検査治具間の調整を行うことができる。このため、複数の単位基板が形成されるシート基板を効率よく検査することができる。
請求項５記載の発明によれば、移動手段は一の検査治具に対して他の検査治具が相対的に移動するように設けられているので、一の検査治具からのずれ量を算出することにより位置補正を行うことができる。このため、複数の単位基板が形成されるシート基板を効率よく検査することができる。
【０００９】
請求項６記載の発明によれば、複数の配線パターンが形成される単位基板が複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板に対して、該単位基板の配線パターン上に設定される複数の検査点に電気的に接触する複数の接触子を備えてなる検査治具を複数有する検査ユニットを用いて、各単位基板の電気的特性を測定し、該単位基板の良否を検査する基板検査方法であって、シート基板内の複数の単位基板の各位置情報を測定して、各位置情報から前記検査ユニット内の一の検査治具に対応する単位基板の位置情報を基準位置情報と定める。そして、基準位置情報と残りの位置情報との差分情報を算出して、差分情報を基に前記検査ユニットの検査治具間の距離を調整するので、複数の単位基板が形成されるシート基板を効率よく検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本発明に係る基板検査装置は、複数の配線パターンが形成される単位基板が複数のマトリクス状に配置して形成されるシート基板を検査対象としている。
このシート基板１は、図１に示される如く、検査対象となる複数の単位基板２が複数行複数列のマトリクス状に形成される。このシート基板１は、検査処理等が行われた後に、単位基板２ごとに分割されるようになっている。
各単位基板２は同様の複数の配線パターンを有して形成されている。図１に示すシート基板１では、単位基板２が３行、１２列の構成で形成されている。単位基板２が形成される行数については、後述する検査ユニットがシート基板１に導通接触した際に、中央位置に配置される（基準となる）単位基板２を決定しやすいように奇数行（３行、５行等）のものが好ましい。
なお、本明細書及び各図では説明の便宜のため、シート基板１の列方向をｘ方向とし、列方向に直交する行方向をｙ方向とし、シート基板１の平面に対して垂直方向（法線方向）をｚ方向とすることとする。
また、シート基板１の各列の３つの単位基板２について、中央の単位基板を指すときは符号「２Ｂ」を用い、左側（ｘ方向マイナス側）の単位基板を指すときは符号「２Ａ」を用い、右側（ｘ方向プラス側）の単位基板を指すときは符号「２Ｃ」を用いることとする。
【００１１】
各単位基板２には、図２に示すように、銅等の金属を用いたプリント配線や、薄い金属シートの挟み込み等により、複数の配線パターンが設けられている。そして、配線パターンにおける単位基板２の表面に設けられる端子部が検査点３となっており、この検査点３を介して各配線パターンの電気的特性（抵抗値、短絡、断線の有無等）が検査されるようになっている。このため、各単位基板２上には複数の検査点３が所定の配置形態で位置することとなる。このような各検査点３の配置形態は細密化が進んできており、検査点３の縦横のサイズは例えば数十μｍ（例えば、５０μｍ）程度に設定され、検査点３間の間隔も例えば数十μｍ（例えば、３０μｍ）程度に設定される。
【００１２】
本発明に係る基板検査装置１は、上記の如き単位基板２がマトリクス状に形成されるシート基板１に対して用いられる。
この基板検査装置は、図３に示される位置検出手段１０と、図４に示される検査部２０とを備えており、位置検出手段１０において単位基板２毎の位置を検出して、この検査した位置情報を基に検査部２０で用いられる検査ユニット２１の位置補正を行い、検査ユニット２１を精度良く且つ正確に単位基板２の検査点に導通接触させることを目的にしている。
【００１３】
この位置検出手段１０は、図３に示されるように、単位基板２の位置検出のための撮像カメラ１１が備えられ、基板保持機構３０に保持されたシート基板１中の各単位基板２の検査点３の位置が撮像カメラ１１の撮像画像等に基づいて検出される。
この位置検出手段１０が検出した位置情報は、制御手段（図示せず）に送信される。
尚、基板保持機構３０は、その保持部３１によりシート基板１を保持した状態で、シート基板１をｘ方向、ｙ方向、ｚ方向に移送するとともにｚ軸回りθ回転させる機能を有していてもよい。
【００１４】
この位置検出手段１０では、シート基板１の複数の単位基板２の夫々の位置を検出する。
この位置検出手段１０が行う位置検出の方法は、単位基板２毎に形成されている所定の点（アライメントマーク）の位置検出を行う。
例えば、図２で示されるシート基板２では、単位基板２の角部近傍に形成される配線パターンの一部であるマーク４０を用いることができる。2つのマーク４０は、図２で示される如く、単位基板２の角部で対称の位置にあることが好ましい。角部の対称の位置に配置されるマーク４０を用いることによって、単位基板２の位置を、ｘ座標位置、ｙ座標位置、ｚ軸回りθ回転位置を求めることができるからである。
尚、このマーク４０は、2つを用いることにより単位基板２の回転位置を検出することができれば、その位置は特に限定されない。
【００１５】
位置検出手段１０は、全ての単位基板２に対して、位置情報を検出するが、基準となる単位基板２を設定して、他の単位基板２がこの基準となる単位基板２（基準単位基板）との相対的な位置情報を検出（取得）することもできる。
たとえば、図２で示されるシート基板１の横列3つの単位基板２の場合であれば、中央の単位基板２Ｂとその左右に配置される単位基板２Ａと単位基板２Ｃとの位置情報を検出する。この場合、中央の単位基板２Ｂを基準位置として、単位基板２Ａと単位基板２Ｃとの位置関係を取得する。このため、取得される位置情報は、基準となる単位基板２Ｂの位置情報と、この基準となる単位基板２Ｂから2つの単位基板２Ａと２Ｃの位置情報（基準単位基板以外の単位基板の相対的な位置情報）を取得することになる。
このように、位置検出手段１０は、基準となる単位基板２が有する位置情報と、他の単位基板２が有する基準単位基板からの位置情報を取得することになる。
なお、この実施形態の説明では、図２で示される横3列に配置される単位基板２を1つの検査単位に設定するとともに真ん中の単位基板２を基準単位基板とする場合の説明を行っているが、縦横に配列される数は限定されるものではなく、さらに、基準となる一の単位基板２を設定すれば、他の単位基板２の数は特に限定されるものではなく、任意に設定される。
【００１６】
この単位基板２の位置情報検出のための具体的手段は、たとえば、撮像カメラ１１により撮像するシート基板１や単位基板２又は単位基板２上に形成されるマーク４０の撮像画像を用いて行われる。この撮像画像を基に、各単位基板２内に設定された2つのマーク４０の位置情報を夫々検出する。2つのマーク４０を検出することによって、単位基板２の位置情報を検出することができるとともに、単位基板２又はシート基板１の回転座標θを検出することができる。
尚、この撮像カメラ１１による位置情報を検出する方法は、撮像カメラ１１がシート基板１又は単位基板２の全体を撮像した撮像画像からマーク４０を画像認識技術によって、マーク４０の位置を検出するように設定することもできるし、撮像カメラ１１自体に位置情報を検出するように設定し、撮像カメラ１１がマーク４０を検出した場合に、その位置をこのマーク４０の位置情報として検出するように設定することもできる。
尚、具体的な位置検出手順では、シート基板１の各列内における単位基板２毎の2つのマーク４０に基づいて、単位基板２の位置情報が検出され、基準単位基板２（図２では単位基板２Ｂ）を基準とした位置情報が、他の単位基板２毎に求められる。
【００１７】
この図２に示される如きシート基板１では、シート基板１の列ごとに配置される中央の単位基板２Ｂを基準単位基板として位置情報が検出され、左右に配置される単位基板２の位置情報が相対的な位置情報として検出されることになる。
位置検出手段１０が検出した位置情報は、後述する制御手段へ送信される。
【００１８】
検査部２０では、図４に示されるように、位置検出手段１０により得られた各単位基板２の位置情報に基づき、基板保持機構３０に保持されたシート基板１の各単位基板２に対し、配線パターンの電気的特性の検査が行われる。この検査部２０には、シート基板１に対する検査を列ごとに行うことが可能な検査ユニット２１が備えられている。
【００１９】
この検査ユニット２１には、図５に示されるように、シート基板１の横１列分の単位基板２の数と同数（例えば3つ）の検査治具２２が一列に設けられている。各検査治具２２は、各単位基板２の検査点３の配置形態に対応する複数のプローブ２３が備えられている。このため、この検査ユニット２１は、シート基板１の横１列分の単位基板２に対して、同時に電気的検査を行うことができる。
この検査ユニット２１は、図示しない駆動機構によって、シート基板１と接触・離反されるようになっている。
なお、この検査ユニット２１は、シート基板１の裏側表面に配置され、シート基板１の裏側表面の検査点に対しても導通接触するように設けられることもできる。
【００２０】
この検査ユニット２１は、複数のプローブ２３により構成される検査治具２２を複数有するとともに、これら検査治具２２を互いに相対的に移動させる移動手段２４を有している。
一の検査治具２２は、上記の如く、シート基板１の一の単位基板２に対応するように設けられている。この検査治具２２は、単位基板２の検査点３に導通接触するプローブ２３を有している。
このプローブ２３は、可撓性及び導電性を備える針状又は棒状に形成されており、一端が検査点３と導通接触し、他端が制御手段と電気的に接続される電極部（図示せず）と導通接触する。プローブ２３は、単位基板２の検査点３毎に配置されており、検査点３の数だけプローブ２３が存在することになる。
この検査治具２２は、複数のプローブ２３を保持するために、プローブ２３の一端近傍においてプローブ２３を保持する保持孔が形成される第一保持板と、プローブ２３の他端近傍においてプローブ２３を保持する保持孔が形成される第二保持板を有している。なお、プローブ２３は、第一保持板と第二保持板の間に形成される空間において、検査点３と電極部との間で押圧されることによって、接触状態となる撓んだ湾曲形状に形成されることになる。
【００２１】
移動手段２４は、検査治具２２を相互に接続するとともに相対的に移動させる。この移動手段２４は、制御手段と接続されており、移動手段２４の動作を制御している。移動手段２４は、たとえば、2つの検査治具２２を接続するとともにその検査治具２２間の距離を調整する。この移動手段２４が検査治具２２間の距離を調整することによって、検査対象の単位基板２間の距離と同調するように調整することができる。
【００２２】
検査ユニット２１は、検査対象の単位基板２を複数に且つ同時に検査を行う。このため、検査ユニット２１は、複数の検査治具２２とこの検査治具２２を接続して相対的に移動させる移動手段２４を有している。この図５で示される検査ユニット２１では、3つの検査治具２２を備えてなるとともに、真ん中に配置される検査治具２２Ｂが基準治具として設定されている。移動手段２４は、この基準治具２２Ｂを中心として、左右の検査治具２２Ａ，２２Ｃを夫々相対的に移動させる。図５に示される検査ユニット２１では、3つの検査治具２２を横一列に配列して形成されている。
【００２３】
図５に示される検査ユニット２１の検査治具２２では、3つの検査治具２２が示され、真ん中の検査治具２２が基準治具として設定されているが、この検査治具２２の個数や基準治具の配置は、特に限定されず、検査治具２２の数は2つでも4つ以上でも構わず、また、基準治具も真ん中の位置に設定される必要はなく、どの位置にある単位基板２を用いることもできる。
さらに、図５で示される検査ユニット２１では、横一列に配列される検査ユニット２１を説明したが、縦一列または、正方形や長方形などのマトリクス状に検査治具２２を配列することもできる。
なお、基準治具が配置される位置は、上記の如き特に限定されないが、検査ユニット２１が形成される形状の中心に位置する検査治具２２を基準治具に設定することが好ましい。このように、検査ユニット２１に配置される複数の検査治具２２のうち中心に配置される検査治具２２を基準治具に設定することによって、検査対象の単位基板２間の離反距離を、検査治具２２間に調整し易くなるからである。
【００２４】
この移動手段２４は、検査治具２２同士を接続するとともに検査治具２２を基準治具に対して相対的に移動させることができる機構を有している。
図６は、検査ユニットの一実施形態を示す図であり、図６（ａ）では検査治具間の隙間の幅を調整することができるようにスライド機構が設けられている。このスライド機構は、後述する制御手段に接続されて、スライド機構の幅の増減を調整する。このため、このスライド機構の幅の増減によって、検査治具２２Ｂと検査治具２２Ａの離間距離と、検査治具２２Ｂと検査治具２２Ｃとの離間距離を調整することができる。
【００２５】
図６（ａ）で示される実施形態では、基準治具２２Ｂと検査治具２２Ａの間の移動手段２４が収縮することによって、基準治具２２Ｂと検査治具２２Ａの間の距離が短くなっている状態を示しており、一方で、基準治具２２Ｂと検査治具２２Ｃの間の異動手段２４が伸長することによって、基準治具２２Ｂと検査治具２２Ｃの間の距離が長くなっている状態を示している。
このようなスライド機構は、その長さを調整して伸縮することのできる機構であれば特に限定されるものではなく、例えば、印加電圧の大きさに応じて可変長（体積変化）するピエゾ素子を用いることができる。
この場合、ピエゾ素子に印加される電圧が制御手段によって制御されることになり、この電圧制御を行うことにより検査治具と基準治具の距離の制御を行うことができる。
【００２６】
この移動手段２４は、上記実施形態以外にも、図６（ｂ）で示される如き機構を用いることもできる。この図６（ｂ）で示される構造は、回転駆動により、基準治具２２Ｂからの距離を変更することができる。
この図６（ｂ）では、回転螺子２４Ａ１が、内部に螺旋状溝（図示せず）を有する保持体２４Ａ２に螺合されて収容されるとともに、検査治具２２Ａと接続されている。この回転螺子２４Ａ１が回転することによって、検査基板２２Ａが矢印２４Ａ方向に可動することになる。また、この回転螺子２４Ａ１は回転駆動機構２４Ａ３（例えば、モータ）に接続されており、この回転駆動機構２４Ａ３の回転数により検査治具２２Ａの移動距離を調整制御することができる。
また、検査治具２２Ｃも同様に、回転螺子２４Ｃ１、保持体２４Ｃ２や回転駆動機構２４Ｃ３を有しており、検査治具２２Ｃも基準治具２２Ｂに対して所定の距離を有するように、矢印２４Ｃ方向に移動する距離を調整制御されている。
この場合、回転駆動機構の回転を制御手段が制御することによって、検査治具の移動距離を制御することになる。
【００２７】
移動手段２４は、基準治具を基準として所定の距離を移動するように、制御手段により移動することになるが、この移動距離は、シート基板１に形成される複数の単位基板２に対応することになる。より具体的には、シート基板１に形成される複数の単位基板２から基準単位基板を設定し、この基準単位基板から残りの単位基板２の離間距離に対応する。
尚、この離間距離は、特に限定されるものではなく、その製造されるシート基板１に左右されるが、約50μｍを有している。
【００２８】
図１や図２で示されるシート基板１では、3つの単位基板２が横に配列され、その真ん中の単位基板２が基準単位基板として設定され、検査ユニット２１は3つの検査治具２２が横に配列され、その真ん中の検査治具が基準治具として設定される。この場合、基準単位基板の左右の単位基板２の離間距離が測定され、この離間距離が制御手段に送信され、検査ユニット２２の基準治具の左右の検査治具の離間距離が調整制御される。
【００２９】
制御手段は、位置検出手段が検出する位置情報を受け取り、位置情報を基に移動手段の制御を行う。
この制御手段は、位置検出手段１０が検出した位置情報を記憶する記憶手段と、記憶手段に記憶される位置情報などを用いて移動手段２４を駆動させる距離を算出する算出手段を少なくとも有している。
制御手段の具体的動作は、記憶手段に記憶される位置情報を基に算出手段が、移動手段２４が移動するための距離を算出することになる。
【００３０】
検査ユニット２１が複数の検査治具２２を有し、複数の検査治具２２のうち一の検査治具２２が基準治具として設定されている場合には、制御手段は、位置検出手段１０が検出した複数の位置情報から、まず、基準となる基準単位基板の位置情報を求める。
次に、制御手段は、検査ユニット２１によって基準単位基板と同時に検査される全ての他の単位基板の位置情報を求め、基準単位基板の位置情報（基準位置情報）と他の単位基板との位置情報（他の位置情報）が夫々確認される。このとき、制御手段は、基準位置情報と他の位置情報を確認することによって、基準位置情報と他の位置情報との離間距離を把握する。このことによって、シート基板１上の基準単位基板と他の単位基板の離間距離を把握することができる。
【００３１】
制御手段により基準単位基板と他の単位基板の離間距離（離間距離情報）が把握されると、制御手段は検査ユニット２１の基準治具と他の検査治具を、対応するシート基板１の基準単位基板と他の単位基板との離間距離と同じになるように、移動手段を調整制御する。
このため、制御手段は、基準治具と検査治具が、対応する基準単位基板と単位基板と同じ離間距離となるように、移動手段へその動作を促す調整制御を行うことになる。
尚、この制御手段が行う制御調整は、基準治具と検査治具毎に行われる。このため、図５や図６で示される如き検査ユニットであれば、真ん中の基準治具２２Ｂと左側の検査治具２２Ａの離間距離が調整されるとともに、基準治具２２Ｂと右側の検査治具２２Ｃの離間距離が調整されることになる。
【００３２】
この制御手段が移動手段を調整制御する方法は、上記の如く、基準位置情報と他の位置情報との離間距離により移動距離が制御されるが、基準単位基板と他の単位基板は初期に設定される離間距離（初期離間距離）を有しており、この初期離間距離に対してどのように変化（伸縮）しているかを算出するように設定することで、移動手段２４の制御を行うことができる。
具体的には、基準位置情報と他の位置情報との離間距離が、初期離間距離よりも短ければ、その短い距離分だけ移動手段が基準治具と検査治具を近づけるように動作する。また一方で、基準位置情報と他の位置情報との離間距離が、初期離間距離よりも長ければ、その長い距離分だけ移動手段が基準治具と検査治具を遠ざけるように動作する。
【００３３】
この移動手段２４は、上記の説明の如く、一の検査治具（基準治具）に対して他の検査治具が相対的に移動するように設けられていることが好ましい。このように基準治具に対して他の検査治具が相対的に移動するように設けられることによって、基準治具（基準単位基板）の位置情報と、他の単位基板のそのずれ量（離間距離）分の情報を用いることができ、容易に位置情報を検査ユニットに反映させることができる。
以上が本発明の基板検査装置及び基板検査ユニットの説明である。
【００３４】
次に本発明にかかる基板検査方法について説明する。
図７は、本発明にかかる基板検査方法についてのフローチャートである。
まず、検査対象となるシート基板１を準備する。このシート基板１には、単位基板２が複数マトリクス状に配置して形成されている（図１参照）。
この場合、検査ユニット２１は、シート基板１に対して、一回の検査において、シート基板１の横一列に配置される3つの単位基板２を検査することができるように、3つの検査治具２２が横一列に配置される（図５参照）。
またこの場合、シート基板１の横一列の3つの単位基板２のうち中心に位置する単位基板（中央にある単位基板２Ｂ）が基準単位基板として設定されるとともに、検査ユニットにおいて複数の検査治具の中心に配置されることになる検査治具（図５では、真ん中に位置する検査治具２２Ｂ）が基準治具として設定される（Ｓ１）。
【００３５】
基準単位基板と基準治具が設定されると、次いで、基板検査装置は、位置検出部１０において、検査ユニット２１で検査が行われる単位基板２の位置情報を取得する（Ｓ２）。
このとき、シート基板１の横一列に配置される3つの単位基板２の位置情報を一つの検査単位として取得する。この場合、横一列の中央の単位基板を基準単位基板の位置情報として取得するとともに、左右の単位基板２の位置情報をその基準単位基板と同時に検査される単位基板の位置情報として取得する。
尚、これら取得された位置情報は、制御手段の記憶手段へ送信される。
【００３６】
シート基板１上の単位基板２の位置情報が全て把握されると、シート基板１は検査部２０へ運ばれる。この検査部２０において、単位基板２の導通及び短絡検査が実施される。
このとき、検査部２０の検査ユニット２１は、シート基板１の横一列の3つの単位基板２を同時に検査するための3つの検査治具２２を備えている。このため、検査部２０では3つの単位基板２を同時に検査することになる。
ここで、制御手段は、検査対象となる3つの単位基板の位置情報を把握するとともに、基準となる基準単位基板の位置情報（基準位置情報）を特定し、検査ユニット２１で同時に検査される基準単位基板以外の単位基板の位置情報を把握し、基準位置情報と他の位置情報との離間距離を求める（Ｓ３）。
制御手段が離間距離を求めると、その離間距離情報を基に、移動手段を駆動させるための信号を移動手段へ送信する。
【００３７】
制御手段からの離間距離情報が求められ、移動手段へ離間距離情報が送信されると、移動手段２４はこの離間距離情報を基に、基準治具と検査治具との離間距離がこの離間距離情報と同様に設定されるように、移動手段２４を駆動させる（Ｓ４）。
このとき、図５で示される検査ユニット２１は、3つの検査治具を有しており、真ん中の検査治具が基準治具２２Ｂとして設定されている。このため、左側の検査治具２２Ａと基準治具２２Ｂとの離間距離情報に応じて、移動手段２４が離間距離を調整する。また同時に、右側の検査治具２２Ｃと基準治具２２Ｂとの離間距離情報に応じて、移動手段２４が離間距離を調整する。
この場合、検査対象のシート基板１上の基準単位基板２Ｂと左側に配置される単位基板２Ａとの離間距離と、検査ユニット２１の基準治具２２Ｂと検査治具２２Ａとの離間距離が等しくなる。また同時に、検査対象のシート基板１上の基準単位基板２Ｂと右側に配置される単位基板２Ｃとの離間距離と、検査ユニット２１の基準治具２２Ｂと検査治具２２Ｃとの離間距離が等しくなる。
【００３８】
検査ユニット２１の基準治具と検査治具２２の離間距離が調整されると、基準治具が基準単位基板の所定の検査点に導通接触するように、位置合わせが行われる。
このとき、基準治具と基準単位基板のみが位置合わせされるが、他の検査治具と単位基板は基準からの離間距離により位置合わせがなされていることになる。このため、基準治具と基準単位基板の位置合わせが行われることによって、他の検査治具と単位基板との位置合わせを行う手間を省くことができる。
【００３９】
基準治具と基準単位基板との位置合わせが行われると、検査ユニット２１は、検査対象となる単位基板２のシート基板１へ導通接触され、導通及び短絡の検査が実施されることになる。
尚、検査が実施されて終了すると、検査ユニット２１がシート基板１から離され、次の検査対象となる基準単位基板と他の単位基板の検査のために、これらの位置情報を基に制御手段から送信された制御信号によって、移動手段が調整制御される。
そして、この調整制御により、検査ユニット２１の検査治具２２が検査対象の単位基板と同様の離間距離を有するように設定されることになる。
尚、シート基板１上の検査対象となる横一列に配置される単位基板２が全ての検査が終了するまで、上記の如き検査が繰り返し行われることになる。
本実施例では、検査治具が横一列に配列される検査ユニットの場合を説明したが、検査治具が縦一列に配置される検査ユニットや、検査治具が横数列で縦数列のマトリクス状に配列される検査ユニットに形成される場合も、ある基準の検査治具を設定することで同様に検査を行うことができる。
このように治具を可動式に形成することによって、検査対象に対して検査ユニットが接触する場合の接触パス率（一回目で所定の検査点に接触子を接触させる確立）を極めて向上させることができる。
以上が本発明にかかる基板検査方法の説明である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明が検査対象とするシート基板の平面図である。
【図２】図１で示されるシート基板の拡大図を示す。
【図３】位置検出部の様子を示す概略側面図である。
【図４】検査部の様子を示す概略側面図である。
【図５】本発明にかかる検査ユニットの一実施形態を示す平面図である。尚、表面側が基板と接触する。
【図６】本発明にかかる検査ユニットが有する移動手段の一実施形態を示す。
【図７】本発明にかかる基板検査方法についてのフローチャートである。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・・シート基板
１０・・・位置検出部
２・・・・単位基板（基準単位基板）
２０・・・検査部
２１・・・検査ユニット
２２・・・検査治具（基準治具）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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