(57)【要約】【課題】簡単な構成及び工程で、感光性ウエブの幅寸法の変更に容易に対応することができ、作業性を良好に向上させることを可能にする。【解決手段】第１感光性ウエブ供給装置３２ａは、感光性ウエブロール２３ａを支持する第１ロール支持機構４８ａ及び第２ロール支持機構４８ｂと、使用中の感光性ウエブロール２３ａから繰り出されている感光性ウエブ２２ａの終端部を吸着保持する第１吸着機構６２と、使用前の感光性ウエブロール２３ａから引き出された感光性ウエブ２２ａの先端部を吸着保持する第２吸着機構６４と、前記感光性ウエブロール２３ａの幅方向に進退可能なケーシング５６と、前記ケーシング５６とは個別に構成され、前記感光性ウエブ２２ａの終端部を受け取って吸着保持することにより、前記ケーシング５６が前記幅方向に移動する際に、前記終端部が前記幅方向に移動することを規制する第３吸着機構９８とを備える。【選択図】図４
2008110818.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記感光性ウエブを前記基板から剥離して感光性積層体を製造する製造装置において、前記感光性ウエブがロール状に巻回された感光性ウエブロールを装填し、前記感光性ウエブロールから前記感光性ウエブを繰り出す感光性ウエブ供給装置であって、
前記感光性ウエブ供給装置は、前記感光性ウエブがロール状に巻回された感光性ウエブロールを支持する少なくとも２つのロール支持機構と、
一方の前記ロール支持機構に支持される前記感光性ウエブロールから繰り出されている前記感光性ウエブの終端部を吸着保持する第１吸着機構と、
他方の前記ロール支持機構に支持される使用前の前記感光性ウエブロールから引き出された前記感光性ウエブの先端部を吸着保持する第２吸着機構と、
少なくとも前記ロール支持機構、前記第１吸着機構及び前記第２吸着機構が装着され、前記感光性ウエブロールの幅方向に進退可能なケーシングと、
前記ケーシングとは個別に構成され、前記第１吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部を受け取って吸着保持することにより、前記ケーシングが前記幅方向に移動する際に、前記終端部が前記幅方向に移動することを規制する第３吸着機構と、
を備えることを特徴とする感光性ウエブ供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の感光性ウエブ供給装置において、前記ケーシングには、前記感光性ウエブの終端部と使用前の前記感光性ウエブの先端部とを接合する接合部材供給機構が装着されることを特徴とする感光性ウエブ供給装置。
【請求項３】
支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記感光性ウエブを前記基板から剥離して感光性積層体を製造する製造装置において、前記感光性ウエブがロール状に巻回された感光性ウエブロールを装填し、前記感光性ウエブロールから前記感光性ウエブを繰り出す感光性ウエブ供給方法であって、
一方のロール支持機構に支持される前記感光性ウエブロールから繰り出されている前記感光性ウエブの終端部を第１吸着機構により吸着保持する工程と、
他方のロール支持機構に支持される使用前の前記感光性ウエブロールから引き出された前記感光性ウエブの先端部を第２吸着機構により吸着保持する工程と、
前記第１吸着機構に吸着保持される前記感光性ウエブの幅寸法と、前記第２吸着機構に吸着保持される前記感光性ウエブの幅寸法とが異なる際、前記第１吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部を第３吸着機構により受け取って吸着保持する工程と、
前記第３吸着機構を前記幅方向に固定した状態で、少なくとも前記ロール支持機構、前記第１吸着機構及び前記第２吸着機構が装着されるケーシングを、前記感光性ウエブロールの幅方向に進退させて前記第２吸着機構に吸着保持される前記感光性ウエブの幅方向の位置調整を行う工程と、
前記位置調整が行われた後、前記第３吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部を前記第１吸着機構により受け取って吸着保持する工程と、
前記第１吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部と前記第２吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの先端部とを接合する工程と、
を有することを特徴とする感光性ウエブ供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記感光性ウエブを前記基板から剥離して感光性積層体を製造する製造装置において、前記感光性ウエブがロール状に巻回された感光性ウエブロールを装填し、前記感光性ウエブロールから前記感光性ウエブを繰り出す感光性ウエブ供給装置及び供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、感光性シートがロール状に巻回されたシートロールから前記感光性シートを繰り出すとともに、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送している。そして、基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、感光性シート体から保護フイルムを剥離し、前記感光材料層側が前記基板に向かうようにして前記基板に接着された後、可撓性プラスチック支持体を前記基板から剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付装置における原反フイルムの連続的供給装置では、支持フイルム上に感光性樹脂層及びカバーフイルムが積層されてなる連続フイルム（感光性ウエブ）をフイルム供給ロールから引き出し、前記カバーフイルムを剥離させ、搬送手段により搬送されてくる基板のフイルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーションロールによりフイルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされたフイルム張付装置における前記フイルム供給ロールからの原反フイルムを連続的に供給する装置において、セット位置にある先行フイルム供給ロールから巻き出された先行原反フイルムの終端のカバーフイルム側面を定位置で吸引保持する第１の吸着手段と、前記原反フイルムと略同一幅で、片面粘着シートの非粘着面側を吸引保持自在の第２の吸着手段と、後行フイルム供給ロールから巻き出された後行原反フイルムの先端の支持フイルム側面が、前記第２の吸着手段に吸引保持された片面粘着シートの粘着面における原反フイルム長手方向の一部に接着された状態のまま、該第２の吸着手段を、前記第１の吸着手段の位置まで送り、前記片面粘着シートの残りの粘着面に、該第１の吸着手段に吸引保持されている先行原反フイルムの終端の支持フイルム側面を圧着させる搬送手段と、を有してなることを特徴としている。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−２５８２３７号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
通常、種々の異なるサイズの液晶パネルやプラズマディスプレイ等に対応して、感光性ウエブの幅寸法も多種類の異なるサイズが設定されている。その際、上記の特許文献１では、感光性ウエブの幅寸法の変更に容易に対応することができないおそれがある。
【０００７】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な構成及び工程で、感光性ウエブの幅寸法の変更に容易に対応することができ、作業性を良好に向上させることが可能な感光性ウエブ供給装置及び供給方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、支持層と少なくとも感光材料層とが積層された感光性ウエブを、前記感光材料層側が基板に向かうようにして前記基板に接着した後、前記感光性ウエブを前記基板から剥離して感光性積層体を製造する製造装置において、前記感光性ウエブがロール状に巻回された感光性ウエブロールを装填し、前記感光性ウエブロールから前記感光性ウエブを繰り出す感光性ウエブ供給装置及び供給方法に関するものである。
【０００９】
感光性ウエブ供給装置は、感光性ウエブがロール状に巻回された感光性ウエブロールを支持する少なくとも２つのロール支持機構と、一方の前記ロール支持機構に支持される前記感光性ウエブロールから繰り出されている前記感光性ウエブの終端部を吸着保持する第１吸着機構と、他方の前記ロール支持機構に支持される使用前の前記感光性ウエブロールから引き出された前記感光性ウエブの先端部を吸着保持する第２吸着機構と、少なくとも前記ロール支持機構、前記第１吸着機構及び前記第２吸着機構が装着され、前記感光性ウエブロールの幅方向に進退可能なケーシングと、前記ケーシングとは個別に構成され、前記第１吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部を受け取って吸着保持することにより、前記ケーシングが前記幅方向に移動する際に、前記終端部が前記幅方向に移動することを規制する第３吸着機構とを備えている。
【００１０】
また、ケーシングには、感光性ウエブの終端部と使用前の感光性ウエブの先端部とを接合する接合部材供給機構が装着されることが好ましい。
【００１１】
さらに、本発明の感光性ウエブ供給方法は、一方のロール支持機構に支持される感光性ウエブロールから繰り出されている感光性ウエブの終端部を第１吸着機構により吸着保持する工程と、他方のロール支持機構に支持される使用前の感光性ウエブロールから引き出された感光性ウエブの先端部を第２吸着機構により吸着保持する工程と、前記第１吸着機構に吸着保持される前記感光性ウエブの幅寸法と、前記第２吸着機構に吸着保持される前記感光性ウエブの幅寸法とが異なる際、前記第１吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部を第３吸着機構により受け取って吸着保持する工程と、前記第３吸着機構を前記幅方向に固定した状態で、少なくとも前記ロール支持機構、前記第１吸着機構及び前記第２吸着機構が装着されるケーシングを、前記感光性ウエブロールの幅方向に進退させて前記第２吸着機構に吸着保持される前記感光性ウエブの幅方向の位置調整を行う工程と、前記位置調整が行われた後、前記第３吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部を前記第１吸着機構により受け取って吸着保持する工程と、前記第１吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの終端部と前記第２吸着機構に吸着保持されている前記感光性ウエブの先端部とを接合する工程とを有している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、使用中の感光性ウエブの幅寸法と、新たに使用される感光性ウエブの幅寸法とが異なる際、前記使用中の感光性ウエブの終端部を吸着保持する第１吸着機構から第３吸着機構に前記終端部を受け渡した後、ケーシングの移動作用下に、前記新たに使用される感光性ウエブの幅方向の位置調整が行われる。その際、使用中の感光性ウエブの終端部は、第３吸着機構に吸着保持されて幅方向への移動が規制されている。
【００１３】
このため、使用中の感光性ウエブの下流側では、前記感光性ウエブの幅方向のずれ等が惹起されることがなく、残りの感光性ウエブによるラミネート処理が良好に継続される。一方、新たな感光性ウエブでは、ケーシングを介して幅方向の位置調整がなされており、前記新たな感光性ウエブによる新たなラミネート処理が良好に開始される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る感光性ウエブ供給装置を組み込む感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００１５】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００１６】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００１７】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００１８】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００１９】
第１感光性ウエブ供給装置３２ａ及び第２感光性ウエブ供給装置３２ｂは、同様に構成されるものであり、以下に、前記第１感光性ウエブ供給装置３２ａについてのみ説明する。
【００２０】
図４に示すように、第１感光性ウエブ供給装置３２ａは、少なくとも２つの感光性ウエブロール２３ａを支持する第１ロール支持機構４８ａ及び第２ロール支持機構４８ｂを備え、前記第１ロール支持機構４８ａ及び前記第２ロール支持機構４８ｂは、２軸ターレット５０を構成する。
【００２１】
図５に示すように、第１ロール支持機構４８ａ及び第２ロール支持機構４８ｂは、受け台５２を設けており、前記受け台５２に感光性ウエブロール２３ａが装填される。この感光性ウエブロール２３ａは、長尺状の感光性ウエブ２２ａを軸５４に巻回しており、前記軸５４の両端が受け台５２に回転自在に支持される。
【００２２】
２軸ターレット５０は、図４に示すように、ケーシング５６に装着されるとともに、このケーシング５６は、レール部材５８ａ、５８ｂを介して基台６０に対し、感光性ウエブロール２３ａの幅方向（図５中、矢印Ｄ方向）に進退可能に構成される。
【００２３】
ケーシング５６には、例えば、第１ロール支持機構４８ａに支持される感光性ウエブロール２３ａから繰り出されている感光性ウエブ２２ａの終端部を吸着保持する第１吸着機構６２と、第２ロール支持機構４８ｂに支持される使用前の感光性ウエブロール２３ａから引き出された感光性ウエブ２２ａの先端部を吸着保持する第２吸着機構６４と、使用中の前記感光性ウエブ２２ａの終端部と、使用前の前記感光性ウエブ２２ａの先端部とを接合する接合部材、例えば、接合テープ６６を供給する接合テープ供給機構６８とが装着される。
【００２４】
第１吸着機構６２は、支軸７０を支点に揺動可能な揺動部材７２を備え、この揺動部材７２には、吸着台７４ａ、７４ｂが分割して形成される。吸着台７４ａ、７４ｂは、ウエブ幅方向（矢印Ｄ方向）に長尺に構成されており、図６に示すように、複数の吸着室７６に分割形成されるとともに、各吸着室７６は、それぞれ複数の孔部７８を介して外部に解放される。
【００２５】
各吸着室７６には、弁８０を介してチャンバ８２に連通自在であり、前記チャンバ８２が図示しないサクションポンプ等に連通している。弁８０は、手動あるいは自動操作されるものであり、感光性ウエブ２２ａの幅寸法に応じて切り換え制御される。吸着台７４ａ、７４ｂ間には、カッター８４が走行自在に配設される（図４参照）。
【００２６】
第２吸着機構６４は、ブラケット８６を備え、このブラケット８６は、図４に示す感光性ウエブ２２ａの先端部を吸着保持する位置と、この先端部を使用中の感光性ウエブ２２ａの後端部に接合させる位置とに移動可能である。このブラケット８６には、吸着台８８ａ、８８ｂが分割形成されており、前記吸着台８８ａ、８８ｂは、上記の吸着台７４ａ、７４ｂと同様に構成される。吸着台８８ａ、８８ｂ間には、カッター９０が走行可能に配置される。
【００２７】
接合テープ供給機構６８は、支軸９２を支点に揺動可能な揺動部材９４を備え、前記揺動部材９４の先端側には、接合テープ吸着台９６が設けられる。この接合テープ吸着台９６は、上記の吸着台７４ａと同様に構成されている。接合テープ吸着台９６に吸着保持されている接合テープ６６は、例えば、第２吸着機構６４が接合位置に配置された状態で、この第２吸着機構６４によって吸着保持されている各感光性ウエブ２２ａの先端部と後端部とに前記接合テープ６６を押しつけて接合するように構成される。
【００２８】
第１吸着機構６２の揺動位置（二点鎖線）に対向して、第３吸着機構９８がケーシング５６とは個別に設けられる。第３吸着機構９８は、ケーシング５６の外方に且つ幅方向に位置固定されて設けられる支軸１００を支点に揺動可能な揺動部材１０２を備え、この揺動部材１０２の揺動側先端には、吸着台１０４が設けられる。この吸着台１０４は、上記の吸着台７４ａと同様に構成される。第３吸着機構９８は、第１吸着機構６２が後方に揺動した際に、この第１吸着機構６２の吸着台７４ａに吸着台１０４が重なり合う位置に揺動可能である。
【００２９】
第１吸着機構６２の下流側には、ケーシング５６の外方に位置してフイルム端末位置検出器１０６が配設される。
【００３０】
図１に示すように、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対１５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃１５２を備え、この丸刃１５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００３１】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃１５２の切り込み深さが設定される。丸刃１５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。
【００３２】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００３３】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３４】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３５】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３６】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド１５４ａ〜１５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド１５４ａ〜１５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台１５６が昇降自在に配置される。
【００３７】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ１６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ１６１が配設される。
【００３８】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム１６２を備える。各サクションドラム１６２の近傍には、剥離ローラ１６３が配置されるとともに、この剥離ローラ１６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部１６４に巻き取られる。
【００３９】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構１６６ａ、１６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構１６６ａ、１６６ｂは、それぞれシリンダ１６８を備え、前記シリンダ１６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー１７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー１７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００４０】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ１７２ａ、１７２ｂを備えており、前記光電センサ１７２ａ、１７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ１７２ａ、１７２ｂは、バックアップローラ１７３ａ、１７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ１７２ａ、１７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。また、ＣＣＤカメラは、バックアップローラ１７３ａ、１７３ｂに対向しない位置に配置してもよい。
【００４１】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）１７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部１７６とを備える。搬送部１７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ローラコンベアでも行える。
【００４２】
基板加熱部１７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー１７１が設けられる。この基板ストッカー１７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット１７５のハンド部１７５ａに設けられた吸着パッド１７９に吸着されて取り出され、基板加熱部１７４に挿入される。
【００４３】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ１８０ａ、１８０ｂを備える。ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂには、バックアップローラ１８２ａ、１８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１８２ｂは、ローラクランプ部１８３を構成する加圧シリンダ１８４ａ、１８４ｂによりゴムローラ１８０ｂ側に押圧される。
【００４４】
ゴムローラ１８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ１８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部１８７が配設される。この予備加熱部１８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４５】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｂ方向に延在する搬送路１８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路１８８には、フイルム搬送ローラ１９０ａ、１９０ｂと基板搬送ローラ１９２とが配設される。ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂと基板搬送ローラ１９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４６】
貼り付け機構４６の下流に、冷却機構２００とベース自動剥離機構２０２とが設けられる。ベース自動剥離機構２０２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部２０４と比較的小径な剥離ローラ２０６と巻き取り軸２０８とを備えている。巻き取り軸２０８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ２０６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。プレ剥離部２０４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー２１０を備える。
【００４７】
ベース自動剥離機構２０２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器２１２が配設される。この測定器２１２は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ２１４を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ２１４が配設される。
【００４８】
ベース自動剥離機構２０２の下流には、複数の感光性積層体２１６が収容される感光性積層体ストッカー２１８が設けられる。ベース自動剥離機構２０２で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２１６は、ロボット２２０のハンド部２２０ａに設けられた吸着パッド２２２に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー２１８に収容される。
【００４９】
製造装置２０では、第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構１６６ａ、１６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５０】
図１に示すように、製造装置２０は、ラミネート工程制御部２３０を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２３２、基板加熱制御部２３４及びベース剥離制御部２３６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２３０は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５１】
基板加熱制御部２３４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００５２】
ラミネート制御部２３２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００５３】
ベース剥離制御部２３６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２１６を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２１６の情報をハンドリング制御する。
【００５４】
製造装置２０内は、仕切り壁２４０を介して第１クリーンルーム２４２ａと第２クリーンルーム２４２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２４２ａには、第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構１６６ａ、１６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２４２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２４２ａと第２クリーンルーム２４２ｂとは、貫通部２４４を介して連通する。
【００５５】
このように構成される製造装置２０の動作について、以下に説明する。
【００５６】
先ず、第１及び第２感光性ウエブ供給装置３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００５７】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃１５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃１５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００５８】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台１５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド１５４ａ〜１５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５９】
例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図７に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム１６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ１６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部１６４に巻き取られる（図１参照）。
【００６０】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構１６６ａ、１６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ１７２ａ、１７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００６１】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ１９０ａ、１９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ１８０ａ、１８０ｂ間に一旦配置される。
【００６２】
この状態で、バックアップローラ１８２ｂ及びゴムローラ１８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ１８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。
【００６３】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂのゴム硬度が４０度〜１９０度、該ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６４】
ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ１８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ１９２によりクランプされる。
【００６５】
そして、ゴムローラ１８０ｂが、ゴムローラ１８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ１９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ１８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００６６】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ１８０ａ、１８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ１８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂ及び基板搬送ローラ１９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００６７】
その際、貼り付け基板２４ａは、図８に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ１８０ａ、１８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００６８】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構２００を通って冷却された後、プレ剥離部２０４に移送される。このプレ剥離部２０４では、剥離バー２１０が上昇することにより、保護フイルム３０の残存部分３０ｂが隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離される。次いで、ベース自動剥離機構２０２では、巻き取り軸２０８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。
【００６９】
ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、測定器２１２に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ２１４によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【００７０】
次いで、本実施形態に係る感光性ウエブ供給方法について、以下に説明する。
【００７１】
図４に示すように、第１ロール支持機構４８ａに装着されている感光性ウエブロール２３ａから繰り出される感光性ウエブ２２ａの残量が設定量以下となると、この感光性ウエブ２２ａの後端部を切断して、新たな感光性ウエブロール２３ａから引き出される感光性ウエブ２２ａの先端部と接合する作業が行われる。
【００７２】
具体的には、第１吸着機構６２を構成する揺動部材７２が、支軸７０を支点にして二点鎖線の位置から実線の位置まで揺動する。第１吸着機構６２は、吸着台７４ａ、７４ｂを介して感光性ウエブ２２ａが吸着保持された状態で、前記吸着台７４ａ、７４ｂ間にカッター８４が走行されることにより、前記感光性ウエブ２２ａが切断される。一方、第２吸着機構６４では、使用前の感光性ウエブ２２ａの先端部が吸着台８８ａ、８８ｂを介して吸着保持された状態で、カッター９０を介して切断されている。
【００７３】
そこで、吸着台７４ｂによる感光性ウエブ２２ａの吸着作用が解除された後、２軸ターレット５０が１８０°反転されて、第２ロール支持機構４８ｂに装填されている感光性ウエブロール２３ａが、第１ロール支持機構４８ａと入れ替わって繰り出し位置に配置されるとともに、第２吸着機構６４が、第１吸着機構６２に対向する位置に配置される（図９参照）。
【００７４】
この状態で、第２吸着機構６４を構成する吸着台８８ｂが吸引される一方、第１吸着機構６２を構成する吸着台７４ａによる吸着が解除される。従って、貼り付け機構４６側に繰り出されている感光性ウエブ２２ａの後端は、吸着台８８ｂに吸着保持される。このため、第２吸着機構６４を構成する吸着台８８ａ、８８ｂには、互いに接合される各感光性ウエブ２２ａの先端部と後端部とが吸着保持される。
【００７５】
次に、第１吸着機構６２が支軸７０を支点にして退避位置に揺動した後、接合テープ供給機構６８が駆動される。このため、図１０に示すように、接合テープ供給機構６８を構成する接合テープ吸着台９６が、第２吸着機構６４を構成する吸着台８８ａ、８８ｂに対向し、前記吸着台８８ａ、８８ｂに吸着保持されている各感光性ウエブ２２ａの先端部と後端部とに接合テープ６６を供給し、前記先端部と前記後端部との接合が行われる。これにより、感光性ウエブロール２３ａの切り替え作業が遂行される。
【００７６】
ところで、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅寸法は、種々の異なる寸法に設定されている。例えば、図１１に示すように、ガラス基板２４の幅方向の寸法Ｌに対して、感光性ウエブ２２ａは、Ｌ１、Ｌ２及びＬ３の異なる幅寸法に設定される一方、感光性ウエブ２２ａは、Ｌ４、Ｌ５及びＬ６の異なる幅寸法に設定されている。
【００７７】
さらに、図示しないが、ガラス基板２４の幅寸法Ｌが異なる際には、感光性ウエブ２２ａの幅寸法及び感光性ウエブ２２ｂの幅寸法は、さらに異なる寸法に設定されている。
【００７８】
そこで、前回までのラミネート処理で使用されている感光性ウエブ２２ａの幅寸法と、次回のラミネート処理に使用される新たな感光性ウエブ２２ａとの幅寸法が異なる場合には、以下の処理が行われる。
【００７９】
先ず、図４に示すように、前回のラミネート処理に使用されている感光性ウエブ２２ａの後端部が、第１吸着機構６２に吸着保持されてカッター８４により切断される。そして、吸着台７４ｂによる吸着作用は解除された後、第１吸着機構６２は、吸着台７４ａに感光性ウエブ２２ａの後端部を吸着した状態で後方に揺動する。
【００８０】
この状態で、図１２に示すように、第３吸着機構９８が、支軸１００を支点にして第１吸着機構６２側に揺動し、この第３吸着機構９８の吸着台１０４を前記第１吸着機構６２の吸着台７４ａに対応して配置させる。そして、吸着台１０４が吸引を開始する一方、吸着台７４ａによる吸引が解除されることにより、感光性ウエブ２２ａの後端部は、第１吸着機構６２から第３吸着機構９８に受け渡される。
【００８１】
次に、ケーシング５６は、感光性ウエブ２２ａの幅方向（矢印Ｄ方向）に位置調整される。すなわち、図１１に示すように、種々の幅寸法の異なる感光性ウエブ２２ａは、常に、ガラス基板２４の一端部から所定の距離だけ離間した端面位置Ｐを基準配置位置として、前記ガラス基板２４に貼り付けられている。
【００８２】
一方、図５に示すように、第１ロール支持機構４８ａ及び第２ロール支持機構４８ｂを構成する受け台５２には、それぞれ軸５４を介して感光性ウエブロール２３ａが装着されており、それぞれ寸法の異なる感光性ウエブ２２ａでは、各端面位置が異なっている。
【００８３】
このため、例えば、前回のラミネート処理に使用されている幅寸法の小さな感光性ウエブ２２ａに、次回のラミネート処理に使用される幅寸法の大きな感光性ウエブ２２ａを接合する際には、これらの端部位置間の距離Ｗだけ位置調整する必要がある。すなわち、次回のラミネート処理に使用される幅広な感光性ウエブ２２ａを矢印Ｄ１方向に距離Ｗだけ位置調整することにより、この幅広な感光性ウエブ２２ａの端部位置を、基準配置位置である端面位置Ｐに調整することができるからである。
【００８４】
従って、上記のように、前回のラミネート処理に使用されている幅狭な感光性ウエブ２２ａの後端部を、ケーシング５６とは個別に構成されている第３吸着機構９８により吸着保持した状態で、前記ケーシング５６が矢印Ｄ１方向に距離Ｗだけ移動される。これにより、第２ロール支持機構４８ｂに装着されている感光性ウエブロール２３ａは、感光性ウエブ２２ａが端面位置Ｐに位置調整されることになる。
【００８５】
次いで、第３吸着機構９８の吸着台１０４に吸着保持されている感光性ウエブ２２ａの後端部は、第１吸着機構６２を構成する吸着台７４ａにより吸着保持された後、前記第３吸着機構９８が後方に揺動変位する。一方、第１吸着機構６２は、前方に揺動変位して、図４に示す位置に配置された後、２軸ターレット５０が旋回して第２吸着機構６４が第１吸着機構６２に対向する位置に配置される。
【００８６】
第２吸着機構６４では、予め吸着台８８ａ、８８ｂにより感光性ウエブ２２ａの先端部が吸着され、前記吸着台８８ａ、８８ｂ間がカッター９０により切断されて、前記吸着台８８ａにのみ前記感光性ウエブ２２ａの先端部が吸着保持されている。従って、上記と同様に、第２吸着機構６４の吸着台８８ｂには、第１吸着機構６２から感光性ウエブ２２ａの後端部が受け渡された後、それぞれ幅寸法の異なる感光性ウエブ２２ａ同士が接合テープ６６によって接合される。
【００８７】
これにより、第１の実施形態では、次回のラミネート処理に使用される感光性ウエブ２２ａの幅方向に調整を行うためにケーシング５６が移動される際、前回のラミネート処理に使用されている感光性ウエブ２２ａの後端部は、このケーシング５６とは個別に構成される第３吸着機構９８に吸着保持されて幅方向への移動が規制されている。このため、前回の感光性ウエブ２２ａの下流側では、この感光性ウエブ２２ａの幅方向のずれ等が惹起することがなく、残りの該感光性ウエブ２２ａによるラミネート処理が良好に継続される。
【００８８】
一方、新たな感光性ウエブ２２ａでは、ケーシング５６を介して幅方向の位置調整がなされている。従って、前記新たな感光性ウエブ２２ａの端面を、端面位置Ｐに対して正確に位置調整が行われ、該新たな感光性ウエブ２２ａによるラミネート処理が良好且つ高精度に開始されるという効果が得られる。
【００８９】
なお、第１感光性ウエブ供給装置３２ａ側についてのみ説明したが、第２感光性ウエブ供給装置３２ｂにおいても、同様の効果が得られる。
【００９０】
また、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。
【００９１】
図１３は、本発明の第２の実施形態に係る製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００９２】
製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構３０２を備える。
【００９３】
このように構成される製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構３０２は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。
【００９４】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構３０２は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体２１６が製造される。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る感光性ウエブ供給装置を組み込む製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】感光性ウエブ供給装置の説明図である。
【図５】前記感光性ウエブ供給装置を構成する受け台の説明図である。
【図６】前記感光性ウエブ供給装置を構成する吸着台の説明図である。
【図７】前記長尺状感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。
【図８】ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。
【図９】前記感光性ウエブ供給装置の動作説明図である。
【図１０】前記感光性ウエブ供給装置の動作説明図である。
【図１１】ガラス基板に貼り付けられる前記長尺状感光性ウエブの幅寸法の説明図である。
【図１２】前記感光性ウエブ供給装置の動作説明図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００９６】
２０、３００…製造装置              ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール  ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                  ３２ａ、３２ｂ…感光性ウエブ供給装置
３４…ハーフカット部位              ４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構
４４ａ、４４ｂ…剥離機構            ４５…基板搬送機構
４６…貼り付け機構                  ４８ａ、４８ｂ…ロール支持機構
５２…受け台                        ５６…ケーシング
６２、６４、９８…吸着機構          ６６…接合テープ
６８…接合テープ供給機構
７４ａ、７４ｂ、８８ａ、８８ｂ、１０４…吸着台
９６…接合テープ吸着台              １７４…基板加熱部
１７６…搬送部                      １８０ａ、１８０ｂ…ゴムローラ
１９０ａ、１９０ｂ…フイルム搬送ローラ
１９２…基板搬送ローラ              ２０２…ベース自動剥離機構
【図１】
2008110818.tif 000003
【図２】
2008110818.tif 000004
【図３】
2008110818.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008110818.tif 000007
【図６】
2008110818.tif 000008
【図７】
2008110818.tif 000009
【図８】
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【図９】
2008110818.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2008110818.tif 000013
【図１２】
2008110818.tif 000014
【図１３】
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