(57)【要約】【課題】欠陥を精度よく検出できる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。【解決手段】輝度取得手段３１は、カメラ２による撮影画像に基づいて、画面１Ａの輝度分布を取得する。合成手段３２は、輝度取得手段３１により取得された複数の輝度分布を合成する。欠陥抽出手段３３は、合成手段３２により得られた輝度分布に基づいて画面１Ａの欠陥を抽出する。動作制御手段３４は、パネル駆動装置１１を制御する。【選択図】図１
2008170288.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
輝度情報に基づいて被検査領域における欠陥を抽出する欠陥検査装置において、
所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布を取得する輝度取得手段と、
前記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布と、前記輝度取得手段により取得された前記実際の輝度分布とを合成する合成手段と、
前記合成手段により得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
互いに補完し合うことで被検査領域を構成する複数の分割領域のそれぞれにおける欠陥を、輝度情報に基づいて抽出する欠陥検査装置において、
前記複数の分割領域の輝度分布を取得する輝度取得手段と、
前記輝度取得手段により取得された複数の前記輝度分布を合成する合成手段と、
前記合成手段により得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項３】
前記合成手段は、複数の前記分割領域の輝度を均一化する補正を行ったうえで、前記輝度分布を合成することを特徴とする請求項２に記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記分割領域ごとに検査対象物を動作させる動作制御手段を備え、
前記輝度取得手段は、前記動作制御手段により動作状態にある前記分割領域の輝度分布を個々に取得することを特徴とする請求項２または３に記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記輝度取得手段は、前記被検査領域全体の輝度分布を、撮像光学装置を用いて一括して取得し、当該輝度分布を光学的に分離することで前記複数の分割領域の輝度分布を取得することを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記分割領域は、それぞれ特定色相の画素の集合として構成されることを特徴とする請求項２〜５のいずれか１項に記載の欠陥検査装置。
【請求項７】
輝度情報に基づいて被検査領域における欠陥を抽出する欠陥検査方法において、
所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布を取得するステップと、
前記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布と、前記輝度分布を取得するステップにより取得された前記実際の輝度分布とを合成するステップと、
前記合成するステップにより得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出するステップと、
を備えることを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項８】
互いに補完し合うことで被検査領域を構成する複数の分割領域のそれぞれにおける欠陥を、輝度情報に基づいて抽出する欠陥検査方法において、
前記複数の分割領域の輝度分布を取得するステップと、
前記輝度分布を取得するステップにより取得された複数の前記輝度分布を合成するステップと、
前記合成するステップにより得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出するステップと、
を備えることを特徴とする欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、輝度情報に基づいて被検査領域における欠陥を抽出する欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の画素の欠陥を検出する検査装置として、カメラによって表示画像を取り込み、画像処理によって欠陥を検出するものが知られている。検査装置は、被検査対象物を撮影するカメラと、カメラから画像を取り込み、被検査対象物の検査領域全体の輝度情報を数値的に処理することで、点状や線状の欠陥、ムラなどを抽出する画像処理装置と、を備える。
【０００３】
画像処理装置では、画像を取り込んだ後、必要に応じて取り込んだ画像に微分系の強調フィルタを掛ける。次に、画像を二値化して欠陥候補を抽出し、それぞれに番号を付ける。次に、欠陥候補のひとつひとつについて特徴量を計算する。特徴量は、欠陥を判定するための数値であり、例えば、平均輝度、最大輝度、輝度体積、平均コントラスト、最大コントラストなどがある。この特徴量を予め設定した閾値と比較、識別し、欠陥として出力する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶表示装置の検査では、全色点灯画像に現れない欠陥を検査するために、赤（Ｒ）色、緑（Ｇ）色、および青（Ｂ）色の画素をそれぞれ全点灯させ、各色について個別に検査を行っている。しかし、検査対象以外の色の部分が暗部となるため、検査領域に明部と暗部が混在し、欠陥の抽出が困難となるという問題がある。例えば、他色の非点灯部分を欠陥として誤検出したり、他色の非点灯部分と隣り合った暗欠陥を見逃したりする場合がある。また、発光色ごとに検査を行うため、検査に長時間を要するという問題もある。
【０００５】
本発明の目的は、欠陥を精度よく検出できる欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の欠陥検査装置は、輝度情報に基づいて被検査領域における欠陥を抽出する欠陥検査装置において、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布を取得する輝度取得手段と、前記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布と、前記輝度取得手段により取得された前記実際の輝度分布とを合成する合成手段と、前記合成手段により得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、を備えることを特徴とする。
この欠陥検査装置によれば、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布と、上記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布とを合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【０００７】
本発明の欠陥検査装置は、互いに補完し合うことで被検査領域を構成する複数の分割領域のそれぞれにおける欠陥を、輝度情報に基づいて抽出する欠陥検査装置において、前記複数の分割領域の輝度分布を取得する輝度取得手段と、前記輝度取得手段により取得された複数の前記輝度分布を合成する合成手段と、前記合成手段により得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、を備えることを特徴とする。
この欠陥検査装置によれば、複数の分割領域の輝度分布を合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【０００８】
前記合成手段は、複数の前記分割領域の輝度を均一化する補正を行ったうえで、前記輝度分布を合成してもよい。
【０００９】
前記分割領域ごとに検査対象物を動作させる動作制御手段を備え、前記輝度取得手段は、前記動作制御手段により動作状態にある前記分割領域の輝度分布を個々に取得してもよい。
【００１０】
前記輝度取得手段は、前記被検査領域全体の輝度分布を、撮像光学装置を用いて一括して取得し、当該輝度分布を光学的に分離することで前記複数の分割領域の輝度分布を取得してもよい。
【００１１】
前記分割領域は、それぞれ特定色相の画素の集合として構成されてもよい。
【００１２】
本発明の欠陥検査方法は、輝度情報に基づいて被検査領域における欠陥を抽出する欠陥検査方法において、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布を取得するステップと、前記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布と、前記輝度分布を取得するステップにより取得された前記実際の輝度分布とを合成するステップと、前記合成するステップにより得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出するステップと、を備えることを特徴とする。
この欠陥検査方法によれば、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布と、上記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布とを合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【００１３】
本発明の欠陥検査方法は、互いに補完し合うことで被検査領域を構成する複数の分割領域のそれぞれにおける欠陥を、輝度情報に基づいて抽出する欠陥検査方法において、前記複数の分割領域の輝度分布を取得するステップと、前記輝度分布を取得するステップにより取得された複数の前記輝度分布を合成するステップと、前記合成するステップにより得られた輝度分布に基づいて前記被検査領域の欠陥を抽出するステップと、を備えることを特徴とする。
この欠陥検査方法によれば、複数の分割領域の輝度分布を合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の欠陥検査装置によれば、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布と、上記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布とを合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【００１５】
本発明の欠陥検査装置によれば、複数の分割領域の輝度分布を合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【００１６】
本発明の欠陥検査方法によれば、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布と、上記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布とを合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【００１７】
本発明の欠陥検査方法によれば、複数の分割領域の輝度分布を合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明による欠陥検査装置の実施形態について説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１は、本実施例の欠陥検査装置の構成を示すブロック図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施例の欠陥検査装置は、被検査対象物としてのマトリクス表示型液晶表示パネル１の画面１Ａを撮像するモノクロカメラ２と、カメラ２の撮像信号に基づいて液晶表示パネル１の欠陥画素を抽出する画像処理装置３と、を備える。画像処理装置３は、パーソナルコンピュータ等により構成することができる。
【００２１】
液晶表示パネル１は、赤（Ｒ）色、緑（Ｇ）色、および青（Ｂ）色の画素を備えるカラーパネルであり、図１に示すように、検査中はパネル駆動装置１１が接続される。
【００２２】
画像処理装置３は、カメラ２による撮影画像に基づいて、画面１Ａの輝度分布を取得する輝度取得手段３１と、輝度取得手段３１により取得された複数の輝度分布を合成する合成手段３２と、合成手段３２により得られた輝度分布に基づいて画面１Ａの欠陥を抽出する欠陥抽出手段３３と、パネル駆動装置１１を制御する動作制御手段３４と、を構成する。
【００２３】
図２は、画像処理装置３の動作を示すフローチャートである。
【００２４】
図２のステップＳ１〜ステップＳ３では、液晶表示パネル１の画素を１色ずつ発光させ、画面１Ａの輝度分布を取得する処理を実行する。
【００２５】
ステップＳ１では、動作制御装置３４において発光色を１つ選択し、パネル駆動装置１１により、液晶表示装置１の画素のうち、選択された発光色の画素のみを全点灯させる。次に、ステップＳ２では、画像輝度取得手段３１により、カメラ２での画面１Ａの撮像信号に基づいて画面１Ａの輝度分布を取り込む。
【００２６】
次に、ステップＳ３では、すべての発光色について輝度分布の取得が終了したか否か判断する。ステップＳ３の判断が肯定されればステップＳ４へ進む。判断が否定されればステップＳ１へ戻り、次の発光色についてステップＳ１〜ステップＳ２の処理を繰り返す。
【００２７】
このように、ステップＳ１〜ステップＳ３の処理では、すべての発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）について画面１Ａの輝度分布を取得し、次の処理に移行する。
【００２８】
なお、液晶表示パネル１およびカメラ２を固定した状態で各発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）について撮像することにより、後述する合成処理における画像の位置合わせが不要となる。
【００２９】
図２のステップＳ４では、合成手段３２により輝度分布の合成処理を実行する。
【００３０】
図３は、ステップＳ４における輝度分布の合成処理の具体的内容を例示するフローチャートである。
【００３１】
図３のステップＳ４１では、ステップＳ１〜ステップＳ３の処理で取得された輝度分布に基づき、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色について、それぞれ画面１Ａの分割領域毎の発光の輝度平均値を算出する。
【００３２】
図４は、画面１Ａの分割領域の例を示す図である。図４の例では、画面１Ａを縦方向、横方向に、それぞれ１０分割することで、画面１Ａを１００個の分割領域（分割領域Ｒ００〜領域９９）に分割している。ステップＳ４１では、このような分割領域ごとに、Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色について、発光の輝度平均値を算出する。
【００３３】
次に、ステップＳ４２では、ステップＳ４１の算出結果を用いて、分割領域ごとにＢ色と、Ｒ色の発光の輝度平均値の比率を算出する。
【００３４】
次に、ステップＳ４３では、ステップＳ４２の算出結果に基づいて、すべての分割領域についてＲ色の発光の輝度を均等に補正する。ここでは、例えば、ステップＳ４２において算出されたすべての分割領域についての輝度平均値の比率のうち、標準的な比率を選択する。次いで、この選択された比率に従って、すべての分割領域についてＲ色の発光の輝度を補正する。これにより、画面１Ａの中で標準的な領域において、Ｒ色の平均輝度がＢ色の平均輝度に一致するように、画面１Ａ全体についてＲ色の発光の輝度分布を補正することができる。
【００３５】
次に、ステップＳ４４では、ステップＳ４１の算出結果を用いて、分割領域ごとにＢ色と、Ｇ色の発光の輝度平均値の比率を算出する。
【００３６】
次に、ステップＳ４５では、ステップＳ４２の算出結果に基づいて、すべての分割領域についてＧ色の発光の輝度を均等に補正する。ここでは、例えば、ステップＳ４２において算出されたすべての分割領域についての輝度平均値の比率のうち、標準的な比率を選択する。次いで、この選択された比率に従って、すべての分割領域についてＧ色の発光の輝度を補正する。これにより、画面１Ａの中で標準的な領域において、Ｇ色の平均輝度がＢ色の平均輝度に一致するように、画面１Ａ全体についてＧ色の発光の輝度分布を補正することができる。
【００３７】
次に、ステップＳ１〜ステップＳ３で取得されたＢ色の発光の輝度分布と、ステップＳ４３で補正されたＲ色の発光の輝度分布と、ステップＳ４５で補正されたＧ色の発光の輝度分布と、を合成した画像を作成し、ステップＳ５（図２）へリターンする。
【００３８】
次に、図２のステップＳ５では、シェーディング補正によりカメラ２の光学系２１などの光学特性を補完し、合成した画像を補正する。
【００３９】
次に、ステップＳ６〜ステップＳ８では、欠陥検出手段３３により、欠陥部位の候補を抽出する。
【００４０】
まず、ステップＳ６では、合成された輝度分布の画像に微分系の強調フィルタを掛ける。次に、ステップＳ７では、画像を二値化して欠陥候補を抽出する。ここでは、予め設定してある閾値よりも高いレベルを「１」、低いレベルを「０」として画像を二値化し、高いレベルの部分を欠陥の候補として抽出する。次に、ステップＳ８では、欠陥候補のそれぞれに番号を付ける。
【００４１】
次に、ステップＳ９〜ステップＳ１０では、欠陥検出手段３３により、欠陥候補について欠陥か否かを判定する。
【００４２】
ステップＳ９では、欠陥候補のひとつひとつについて特徴量を計算する。特徴量は、欠陥を判定するための数値であり、例えば、平均輝度、最大輝度、輝度体積、平均コントラスト、最大コントラストなどがある。ステップＳ１０では、この特徴量を予め設定した閾値と比較、識別する。特徴量が閾値を越える欠陥候補を欠陥として判定する。特徴量は、検出すべき欠陥に応じて適宜、定義される。
【００４３】
次に、ステップＳ１１では、判定結果（ステップＳ１０）に基づいて欠陥を出力し、処理を終了する。
【００４４】
このように、本実施例では、各発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）について、輝度分布を個々に取得し、Ｒ色およびＧ色の輝度を補正したうえでこれらの輝度分布を合成している。
【００４５】
図５は輝度分布の合成を概念的に示す図である。
【００４６】
図５に示す例では、Ｇ色の画素に暗欠陥５１がある場合を示している。しかし、Ｇ色の輝度分布の画像５Ｇに基づいて暗欠陥５１を抽出しようとしても、明部と暗部の混在により、欠陥の抽出が妨害されうる。これに対し、Ｒ色の輝度分布の画像５Ｒ、Ｇ色の輝度分布の画像５Ｇ、およびＢ色の輝度分布の画像５Ｂを合成して得た画像５０では、画像５Ｇの暗部が画像５Ｒおよび画像５Ｂにより補間され、全体として画像がフラットとなる。このため、暗欠陥５１を容易に抽出可能となり、検査精度を向上させることができる。
【００４７】
また、本実施例では、合成後の画像に対する画像処理により、各発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）について欠陥を一度に抽出できる。このため検査時間を短縮することができる。
【００４８】
上記実施例では、２次元的に光電変換素子が配置されたエリアセンサであるカメラ２を用いた例を示したが、検査用センサはエリアセンサに限定されず、光電変換素子が１次元（直線上）に配置されたラインセンサを用いた検査装置に対しても本発明を適用できる。
【００４９】
上記実施例では、発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）ごとの点灯パターンで輝度分布を取得しているが、互いに補完し合う任意の点灯パターンを用いることができる。
【００５０】
撮像を光学的に色分解し、別々のＣＣＤで捉える３ＣＣＤカメラを用いることもできる。すなわち、上記実施例では、発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）ごとに液晶表示パネル１を点灯させ、カメラ２により３回撮像しているが、全点灯（白色点灯）させた液晶表示パネル１を３ＣＣＤカメラで撮像し、各ＣＣＤで得られた３つの画像を合成してもよい。また、Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色のフィルタを切り換え可能なカメラで全点灯（白色点灯）させた液晶表示パネル１を撮像し、それぞれのフィルタを用いて光学的に色分解して得られた画像を合成してもよい。
【実施例２】
【００５１】
本実施例は、イメージセンサの欠陥検査に、本発明の欠陥検査装置を適用したものである。
【００５２】
図６は、本実施例の欠陥検査装置の構成を示すブロック図である。
【００５３】
図６に示すように、画像処理装置４は、イメージセンサ６１の撮影画像の輝度分布を取得する輝度取得手段４１と、輝度取得手段４１により取得された複数の輝度分布を合成する合成手段４２と、合成手段４２により得られた輝度分布に基づいてイメージセンサ６１の画素欠陥を抽出する欠陥抽出手段４３と、光源６２を制御する動作制御手段４４と、を構成する。
【００５４】
光源６２は、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色の透過フィルタを備え、フィルタの切り換えによりＲ色、Ｇ色、Ｂ色の単色光源として機能する。
【００５５】
図７は、画像処理装置４の動作を示すフローチャートである。
【００５６】
図７のステップＳ２１〜ステップＳ２３では、光源６２からＲ色、Ｇ色、Ｂ色の光を順次、照射し、イメージセンサ６１の撮影画像の輝度分布を取得する処理を実行する。
【００５７】
ステップＳ２１では、動作制御装置４４においてＲ色、Ｇ色、Ｂ色の１つを選択し、光源６２から選択された色の光を照射する。次に、ステップＳ２２では、画像輝度取得手段４１により、イメージセンサ６１の撮像信号に基づいて撮影画像の輝度分布を取り込む。
【００５８】
次に、ステップＳ２３では、すべての色について輝度分布の取得が終了したか否か判断する。ステップＳ２３の判断が肯定されればステップＳ２４へ進む。判断が否定されればステップＳ２１へ戻り、次の発光色についてステップＳ２１〜ステップＳ２２の処理を繰り返す。
【００５９】
このように、ステップＳ２１〜ステップＳ２３の処理では、すべての色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）についてイメージセンサ６１の撮影画像の輝度分布を取得し、次の処理に移行する。
【００６０】
次に、ステップＳ２４では、合成手段４２により輝度分布の合成処理を実行する。ここでは、各色の信号強度を揃えた上で、各色の輝度分布を加算した画像を作成する。
【００６１】
次に、ステップＳ２６〜ステップＳ２８では、欠陥抽出手段４３により、欠陥部位の候補を抽出する。
【００６２】
まず、ステップＳ２６では、合成された輝度分布の画像に微分系の強調フィルタを掛ける。次に、ステップＳ２７では、画像を二値化して欠陥候補を抽出し、ステップＳ２８では、欠陥候補のそれぞれに番号を付ける。
【００６３】
次に、ステップＳ２９〜ステップＳ３０では、欠陥抽出手段４３により、欠陥候補について欠陥か否かを判定する。
【００６４】
ステップＳ２９では、欠陥候補のひとつひとつについて特徴量を計算する。特徴量は、欠陥を判定するための数値であり、例えば、平均輝度、最大輝度、輝度体積、平均コントラスト、最大コントラストなどがある。ステップＳ３０では、この特徴量を予め設定した閾値と比較、識別する。特徴量が閾値を越える欠陥候補を欠陥として判定する。
【００６５】
次に、ステップＳ３１では、判定結果（ステップＳ３０）に基づいて欠陥を出力し、処理を終了する。
【００６６】
このように、本実施例では、各発光色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）について、輝度分布を個々に取得し、輝度を補正したうえでこれらの輝度分布を合成している。このため、図５を用いて説明したように、画素欠陥を容易に抽出可能となり、検査精度を向上させることができる。また、合成後の画像に対する画像処理により、各色（Ｒ色，Ｇ色，Ｂ色）の画素について欠陥を一度に抽出できる。このため検査時間を短縮することができる。
【実施例３】
【００６７】
本実施例の欠陥検査装置は、実際に撮像された画像と、あらかじめ用意された画像とを合成した後、欠陥を抽出する例を示す。
【００６８】
図８は、本実施例の欠陥検査装置の構成を示すブロック図である。実施例１（図１）と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００６９】
画像処理装置７は、カメラ２による撮影画像に基づいて、特定パターンで点灯させた画面１Ａの輝度分布を取得する輝度取得手段７１と、輝度取得手段７１により取得された輝度分布と、上記特定パターンと逆パターンの輝度分布とを合成する合成手段７２と、合成手段７２により得られた輝度分布に基づいて画面１Ａの欠陥を抽出する欠陥抽出手段７３と、を構成する。
【００７０】
図９は、画像処理装置７の動作を示すフローチャートである。
【００７１】
図９のステップＳ５１〜ステップＳ５２では、液晶表示パネル１の画素を特定パターンで発光させ、画面１Ａの輝度分布を取得する処理を実行する。
【００７２】
ステップＳ５１では、液晶表示パネル１をパネル駆動装置１１によって駆動し、液晶表示装置１の画素を特定パターンで発光させる。例えば、Ｇ色の画素のみを発光させる。
【００７３】
ステップＳ５２では、画像輝度取得手段７１により、カメラ２での画面１Ａの撮像信号に基づいて画面１Ａの輝度分布を取り込む。次に、ステップＳ５３では、シェーディング補正によりカメラ２の光学系２１などの光学特性を補完し、輝度分布を補正する。
【００７４】
次に、ステップＳ５４では、合成手段７２により輝度分布の合成処理を実行する。ここでは、ステップＳ５３で補正された輝度分布と、予め用意されている仮想輝度分布とを合成した画像を作成する。仮想輝度分布は上記特定パターンで発光させた場合の理想的な輝度分布に対して反転した輝度分布である。上記の理想的な輝度分布と、仮想輝度分布とを合成すると、画面１Ａ全体にわたり均等な輝度が得られる。したがって、合成後の画像では欠陥のみが浮かび上がることになる。
【００７５】
次に、ステップＳ５５〜ステップＳ５７では、欠陥抽出手段７３により、欠陥部位の候補を抽出する。
【００７６】
まず、ステップＳ５５では、合成された輝度分布の画像に微分系の強調フィルタを掛ける。次に、ステップＳ５６では、画像を二値化して欠陥候補を抽出する。ここでは、予め設定してある閾値よりも高いレベルを「１」、低いレベルを「０」として画像を二値化し、高いレベルの部分を欠陥の候補として抽出する。次に、ステップＳ５７では、欠陥候補のそれぞれに番号を付ける。
【００７７】
次に、ステップＳ５８〜ステップＳ５９では、欠陥抽出手段７３により、欠陥候補について欠陥か否かを判定する。
【００７８】
ステップＳ５８では、欠陥候補のひとつひとつについて特徴量を計算する。特徴量は、欠陥を判定するための数値であり、例えば、平均輝度、最大輝度、輝度体積、平均コントラスト、最大コントラストなどがある。ステップＳ５９では、この特徴量を予め設定した閾値と比較、識別する。特徴量が閾値を越える欠陥候補を欠陥として判定する。特徴量は、検出すべき欠陥に応じて適宜、定義される。
【００７９】
次に、ステップＳ６０では、判定結果（ステップＳ５９）に基づいて欠陥を出力し、処理を終了する。
【００８０】
このように、本実施例では、撮像により得られた輝度分布と、予め用意された仮想輝度分布とを合成することで、画像を均一化し、欠陥の抽出を容易なものとしている。
【００８１】
本発明は、輝度情報を利用した検査対象物の検査について、広く適用される。例えば、ＴＦＴ素子が配置された液晶パネル基板、各種カラーフィルタ、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）やその基板、ＩＣパターンが形成されたシリコンウエハなどの検査にも適用可能である。
【００８２】
以上説明したように、本発明の欠陥検査装置によれば、複数の分割領域の輝度分布を合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。また、本発明の欠陥検査装置によれば、所定の輝度分布が期待される被検査領域の実際の輝度分布と、上記所定の輝度分布に対して逆転した輝度分布とを合成し、合成により得られた輝度分布に基づいて被検査領域の欠陥を抽出するので、欠陥を精度よく検出できる。
【００８３】
本発明の適用範囲は上記実施形態に限定されることはない。本発明は、輝度情報に基づいて被検査領域における欠陥を抽出する欠陥検査装置および欠陥検査方法に対し、広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】実施例１の欠陥検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】画像処理装置の動作を示すフローチャート。
【図３】輝度分布の合成処理の具体的内容を例示するフローチャート。
【図４】画面の分割領域の例を示す図。
【図５】輝度分布の合成を概念的に示す図。
【図６】実施例２の欠陥検査装置の構成を示すブロック図。
【図７】画像処理装置の動作を示すフローチャート。
【図８】実施例３の欠陥検査装置の構成を示すブロック図。
【図９】画像処理装置の動作を示すフローチャート。
【００８５】
１Ａ    画面（被検査領域）
３１    輝度取得手段
３２    合成手段
３３    欠陥抽出手段
３４    動作制御手段
４１    輝度取得手段
４２    合成手段
４３    欠陥抽出手段
４４    動作制御手段
６１    イメージセンサ（被検査領域）
７１    輝度取得手段
７２    合成手段
７３    欠陥抽出手段
【図１】
2008170288.tif 000003
【図２】
2008170288.tif 000004
【図３】
2008170288.tif 000005
【図４】
2008170288.tif 000006
【図５】
2008170288.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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