(57)【要約】  【課題】電解加工において安定した電気供給を確保し、且つ、給電電極における電気の供給状態を確認して加工精度を高めることができる電解加工装置を提供する。  【解決手段】ウェハＷの外周部に６個のウェハチャック４１〜４６を等間隔おきに取り付ける。各ウェハチャック４１〜４６には、電解加工時にウェハＷと接触する給電電極Ａ〜Ｆを夫々設け、給電電極Ａ〜Ｆ相互を接続する各導線１１〜１６等に夫々テスター２１〜２６等を設けて電気抵抗を測定し、各測定値に基づき各給電電極Ａ〜Ｆ相互間の導通状態をモニター表示する。各測定抵抗値が所定範囲以外であるときは、その旨をアラームにて警報する。又、電気抵抗の測定及び導通状態のモニター表示は電解加工の開始前にも行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハが載置固定される回転可能なプラテンと、前記ウェハ表面と対向する加工電極を有する加工ヘッドと、前記ウェハと加工電極の間に電解液を供給しつつ電圧を印加して、前記ウェハを回転させて電解加工を行う電解加工装置において、
前記ウェハの外周部に３個以上のウェハチャックを着脱可能に取り付けると共に、各ウェハチャックに電解加工時に前記ウェハと接触する給電電極を夫々設け、これら給電電極相互を導線で接続すると共に、各導線に夫々テスターを設けて電気抵抗を測定し、各テスターによる測定値に基づいて各給電電極相互間の導通状態を評価判定してモニター装置にて表示するように構成したことを特徴とする電解加工装置。
【請求項２】
上記テスターによる測定値が所定範囲以外であるときは、導通不良である旨をアラーム音等にて警報するように構成したことを特徴とする請求項１記載の電解加工装置。
【請求項３】
上記テスターによる測定値が所定範囲外であるとき、上記ウェハをウェハチャックからリリースし、該ウェハとチャック部分の相対的な位置関係を変えて、再度、該ウェハをチャックして導通確認を行い、導通不良が何処に起因しているかを自動で見極めることを特徴とする請求項２記載の電解加工装置。
【請求項４】
上記ウェハチャックの個数が６個ないし８個であり、且つ、該ウェハチャックは上記ウェハの外周方向にて等間隔を有して配置されていることを特徴とする請求項１,２又は３記載の電解加工装置。
【請求項５】
上記給電電極相互間の導通状態の評価判定及びモニター表示は電解加工の開始前にも実施されることを特徴とする請求項１記載の電解加工装置。
【請求項６】
上記加工電極を流れる電流は電流計により測定され、該測定された電流の積算値と対応するウェハの加工量を算出して該加工量をモニター表示することを特徴とする請求項１記載の電解加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電解加工装置に関するものであり、特に、ウェハに形成されたメタル膜を平坦化する際に好適に用いられる電解加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、此種電解加工装置において、アノード（陽極）の取り付け構造については様々な方法が提案されている。例えば、ウェハを研磨するパッド表面に球面体を埋め込み、該球面体をウェハ表面に接触させてアノードを形成し、且つ、前記パッドの下側にカソードを形成したもの（特許文献１参照）、或いは、リテーナの内周部に給電電極（陽極）を設けて、該リテーナの内周部から電気を通電するものがある（特許文献２参照）。
【特許文献１】米国特許第７６８４０６４号
【特許文献２】特開２００３−３４７２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１，２記載の従来技術はいずれも上記パッドの電極面内において電位勾配が生じるため、安定した電流を得ることができない。特に、パッド内の球面体から電気を供給する方式では、電解加工装置の動作時、電極の接触状態が一定にならないために、安定した電気供給が確保されない。また、前記リテーナの内周部の給電電極から電気を供給する方式では、該給電電極とウェハが断続的に接触するため、安定した電気の供給が不可能になる。
【０００４】
以上のことから、従来の電解加工装置の電極構造では、加工物であるウェハの側に給電電極を設けて通電しているが、安定した電気の供給が確保し難いうえに、該電気の供給状態を確認する方法もなかった。殊に、リテーナ内部又はパッド表面に電極を設けた場合、加工処理中、処理液や外気との接触により電極が劣化し易く、電極の導通状態が低下することがある。この結果、電気抵抗の変化に伴い通電量が安定せず、ウェハ表面の平坦化の加工精度が低下するという問題があった。
【０００５】
そこで、電解加工において安定した電気供給を確保し、且つ、電解加工中に電気供給状態を確認しつつ高い加工精度を得るために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、ウェハが載置固定される回転可能なプラテンと、前記ウェハ表面と対向する加工電極を有する加工ヘッドと、前記ウェハと加工電極の間に電解液を供給しつつ電圧を印加して、前記ウェハを回転させて電解加工を行う電解加工装置において、前記ウェハの外周部に３個以上のウェハチャックを着脱可能に取り付けると共に、各ウェハチャックに電解加工時に前記ウェハと接触する給電電極を夫々設け、これら給電電極相互を導線で接続すると共に、各導線に夫々テスターを設けて電気抵抗を測定し、各テスターによる測定値に基づいて各給電電極相互間の導通状態を評価判定してモニター装置にて表示するように構成した電解加工装置を提供する。
【０００７】
この構成によれば、電解加工時、前記ウェハの外周部に取り付けた各ウェハチャックに給電電極を設け、各給電電極相互間の電気抵抗をテスターにて測定する。そして、該測定値に基づいて各給電電極相互間の導通状態を評価判定して、その結果をモニター装置にて
画面表示する。これにより、電解加工中に各給電電極からウェハへの電気供給が安定しているか否かの監視が可能になる。
【０００８】
請求項２記載の発明は、上記テスターによる測定値が所定範囲以外であるときは、導通不良である旨をアラーム音等にて警報するように構成した請求項１記載の電解加工装置を提供する。
【０００９】
この構成によれば、複数のウェハチャックと対応するテスターのいずれかの測定値が所定範囲内にないときは、複数の給電電極の少なくとも１つの導通状態が正常でないと評価判断して、給電電極の導通状態が異常である旨をアラーム音又は光にて自動的に警報する。
【００１０】
請求項３記載の発明は、上記テスターによる測定値が所定範囲外であるとき、上記ウェハをウェハチャックからリリースし、該ウェハとチャック部分の相対的な位置関係を変えて、再度、該ウェハをチャックして導通確認を行い、導通不良が何処に起因しているかを自動で見極めることを特徴とする請求項２記載の電解加工装置を提供する。
【００１１】
この構成によれば、テスターによる測定値が所定範囲外である場合は、ウェハをウェハチャックからリリースしてウェハと前記チャック部分との相対的な位置関係を変更する。そして、再度、該ウェハをチャックして導通状態を確認する。これにより、ウェハに導通不良が発生しているときは、該導通不良の発生箇所もしくは発生原因が自動的に判明する。
【００１２】
請求項４記載の発明は、上記ウェハチャックの個数が６個ないし８個であり、且つ、該ウェハチャックは上記ウェハの外周方向にて等間隔を有して配置されている請求項１記載の電解加工装置を提供する。
【００１３】
この構成によれば、上記ウェハの外周部に６個〜８個のウェハチャックが等間隔おきに配設されているので、各ウェハチャックの給電電極の取り付け箇所、即ち、ウェハの外周部における６箇所ないし８箇所（等間隔地点）からウェハの中心部に向かって給電することにより、ウェハ全体として均等な電気の配給が可能になる。
【００１４】
請求項５記載の発明は、上記給電電極相互間の導通状態の評価判定及びモニター表示は電解加工の開始前にも行われる請求項１記載の電解加工装置を提供する。
【００１５】
この構成によれば、テスタ−による給電電極相互間の電気抵抗の測定値に基づく導通状態の評価判定、並びに、該導通状態の評価判定のモニター装置による表示は、電解加工中だけでなく電解加工を開始する前にも実行する。その結果、全ての給電電極相互間の導通状態が正常であれば電解加工を開始し、そうでない場合は電解加工を中止する。
【００１６】
請求項６記載の発明は、上記加工電極を流れる電流は電流計により測定され、該測定された電流の積算値と対応するウェハの加工量を算出して該加工量をモニター表示するように構成した請求項１記載の電解加工装置を提供する。
【００１７】
この構成によれば、電解加工中、加工電極を流れる電流は電流計により測定し、該測定した電流の積算値に基づいてウェハの加工量を算出し、該加工量をモニター表示して監視する。これにより、オペレータは電解加工中のウェハの加工量を随時チェックすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載の発明は、上記ウェハの外周部に取り付けた各給電電極の導通状態を電解加工中に常時モニター表示できるので、各給電電極において安定した電気の供給が行われているかを個々にチェックして、導通不良の給電電極を容易に特定することができる。更に、ウェハの外周方向における電解加工の平坦度のばらつきを最小に抑制でき、従来に比べて加工精度を高めることができる。
【００１９】
請求項２記載の発明は、全ての給電電極の導通状態が正常でない場合、即ち、給電電極からウェハに安定した電気供給がなされない場合は、アラーム音などにてオペレータに自動的に報知できるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、給電電極の導通不良時に電解加工を即時に停止して速やかに対応することができる。
【００２０】
請求項３記載の発明は、ウェハに導通不良が発生しているときは、該導通不良の発生箇所など自動的に検出できるので、請求項２記載の発明の効果に加えて、ウェハに導通不良が発生した際に該導通不良の発生原因を早期かつ確実に発見することができる。
【００２１】
請求項４記載の発明は、ウェハ外周部の６箇所ないし８箇所からウェハ中心部に向かって均等な電気が確実に供給されるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、ウェハ表面全域に亘り電気量を均等に配給することができる。
【００２２】
請求項５記載の発明は、複数の給電電極相互間の何れかが導通不良である場合は、電解加工の開始前に確認できるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、導通不良の状態のまま電解加工することを未然に防止することができる。
【００２３】
請求項６記載の発明は、オペレータは電解加工中のウェハの加工量を随時知ることができるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、ウェハ全面において一様な加工量をより確実に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明は、電解加工において安定した電気供給を確保し、且つ、該電気供給状態を確認しつつ高い加工精度を得るという目的を、ウェハが載置固定される回転可能なプラテンと、前記ウェハ表面と対向する加工電極を有する加工ヘッドと、前記ウェハと加工電極の間に電解液を供給しつつ電圧を印加して、前記ウェハを回転させて電解加工を行う電解加工装置において、前記ウェハの外周部に３個以上のウェハチャックを着脱可能に取り付けると共に、各ウェハチャックに電解加工時に前記ウェハと接触する給電電極を夫々設け、これら給電電極相互を導線で接続すると共に、各導線に夫々テスターを設けて電気抵抗を測定し、各テスターによる測定値に基づいて各給電電極相互間の導通状態を評価判定してモニター装置にて表示することによって達成した。
【実施例】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図４に従って説明する。本実施例は、導電性膜を表面に形成して成るウェハを平坦に研磨する電解加工装置に適用したものである。図１に示すように、電解加工装置１は、ウェハＷが載置固定される円盤状のプラテン２と、該プラテン２の上方に配置された加工ヘッド３とを備え、プラテン２は図示しないモータにより回転駆動される。又、前記ウェハＷの上面にはＣｕ膜等の導電性膜が形成されている。
【００２６】
図示例のウェハＷの外周部には、６個のウェハチャック４１〜４６が着脱可能に取り付けられ、これらウェハチャック４１〜４６はウェハＷの外周方向にて等間隔を有して配置されている。又、ウェハチャック４１〜４６は、プラテン２上のウェハＷ外周部に対して進退動作可能かつ上下位置調整可能に設けられている。更に、各ウェハチャック４１〜４
６の内側にはそれぞれ、ウェハＷに電気を供給するための給電電極（アノード）Ａ〜Ｆが設けられている。
【００２７】
前記給電電極Ａ〜Ｆはチャック時に処理液等が侵入しないように周囲をシールした状態で、ウェハＷに通電可能に接触している。尚、給電電極Ａ〜Ｆはシ−ル構造のカップリングを介して配線することが好ましく、配線の途中には電流計を設置することができる。前記加工ヘッド３の先端部にはカソードである加工電極（対向電極）５が設けられ、該加工電極５はウェハＷ上面に微小のギャップを有して対面している。この加工電極５及び給電電極Ａ〜Ｆの材料としては所要の電導性を有するものであれば、カーボン、銅、銀、金、プラチナ等の金属を任意に選択して使用できる。
【００２８】
又、加工ヘッド３はアーム（可動部材）６の先端部に取り付けられ、該アーム６の基端部は、高さ調整可能な鉛直軸７の上部に回動可能に連結されている。従って、加工ヘッド３は鉛直軸７を中心として円弧状に水平回動することにより、ウェハＷの半径方向に移動することができる。尚、加工ヘッド３を移動させる可動部材は、前記アーム６に限定されずスライダー等でもよい。
符号８は、前記ウェハＷと加工ヘッド３との間に電圧を印加するための直流電源である。該直流電源８の一方側は加工ヘッド３の加工電極５に接続され、且つ、直流電源８の他方側はウェハＷの給電電極Ａ〜Ｆに回転自在に構成されたスリップリング（図示せず）を介して接続されている。また、９はウェハＷの上方に設けた供給ノズルであり、この供給ノズル９は電解加工時にウェハＷ上面に電解液１０（スラリー等）を供給する。
【００２９】
相互に隣り合う給電電極Ａ〜Ｆ同士は、図２に示すように、導線１１〜１６により接続されている。又、各導線１１〜１６には電気抵抗を測定するためのテスター２１〜２６が夫々設けられている。各テスター２１〜２６による測定値はコントローラ（コンピュータ）２０に送信され、該測定値に基づいて前記給電電極Ａ〜Ｆ間の導通状態が個別に評価判定される。
【００３０】
本実施例では、各給電電極Ａ〜Ｆはその左右両隣に配置された給電電極だけでなく、各給電電極Ａ〜Ｆと対向する側に配置された他の給電電極とも接続されている。即ち、図３に示すように、例えば給電電極Ａは、その左右両隣の給電電極Ｂ，Ｆだけでなく他の給電電極Ｃ，Ｄ，Ｅとも導線１７〜１９により接続され、各導線１７〜１９に設けたテスター（図示省略）により、給電電極Ａ−Ｃ間，Ａ−Ｄ間，Ａ−Ｅ間の各電気抵抗が測定される。之と同様の配線接続により、各給電電極Ｂ−Ｄ間，Ｂ−Ｅ間，Ｂ−Ｆ間，Ｃ−Ｅ間，Ｃ−Ｆ間，Ｄ−Ｆ間の電気抵抗もテスター（図示省略）により測定される。
【００３１】
前記給電電極Ａ〜Ｆ相互間の合計１５地点で測定された電気抵抗は、コントローラ２０に随時送信され、各測定値に基づいて給電電極Ａ〜Ｆ相互間の導通状態が評価判定される。この評価判定結果はモニター装置２８にて画面表示される。
【００３２】
そして、給電電極Ａ〜Ｆ相互間の少なくとも１つが導通不良であるとき、即ち、前記１５通りの測定値の少なくとも１つが許容範囲以外であるときは、アラーム音（又は警報ランプ）を自動的に発生して、導通不良である旨がオペレータに即時報知される。本実施例では、給電電極Ａ〜Ｆ相互間の電気抵抗の測定・評価とモニター表示は、電解加工の開始中のみならず電解加工の開始前にも実行される。
【００３３】
更に、上記加工電極５を流れる電流は電流計（図示せず）により測定され、該電流計による測定値はコントローラ２０に送信され、該コントローラ２０にて電流値を積算して、該積算値と対応するウェハＷの加工量が算出される。該算出されたウェハＷの加工量は、
モニター装置２８にて画面表示される。
【００３４】
又、ウェハＷの上方には加工センサ２９がウェハＷの半径方向へ移動可能に配設され、該加工センサ２９はウェハＷ上面を指向する投光部と受光部を備える。この加工センサ２９により、電解加工中のウェハＷ表面の加工変化点（加工終点ではない）が光学的に検出される。更に、該加工センサ２９により検出された信号はコントローラ２０に送信され、該信号に基づき加工進行状況が解析され、その結果はモニター装置２８にて画面表示される。
【００３５】
上記構成の電解加工装置１は、回転するウェハＷと加工電極５との間に電解液１１を供給しつつ電圧を印加して、ウェハＷ上面のメタル膜を電解加工にて平坦に除去する。この電解加工時、前記ウェハチャック４１〜４６をウェハＷに取り付けた状態において、各給電電極Ａ〜Ｆはシール部材により封止して保護されている。このため、電解加工中、給電電極Ａ〜Ｆに電解液１１等の処理液が侵入することが防止される。
【００３６】
次に、上記電解加工装置１を用いて、ウェハＷ上面のメタル膜を除去する場合について図４を参照しつつ詳細に説明する。先ず、加工物であるウェハＷをプラテン２上に搬送した後（ステップＳ１）、ウェハＷの外周部に沿う等間隔位置に６個のウェハチャック４１〜４６を取り付け、各ウェハチャック４１〜４６の給電電極Ａ〜ＦをウェハＷに通電可能に接触させる（ステップＳ２）。
【００３７】
次に、加工ヘッド３側の加工電極５とウェハＷ側の給電電極Ａ〜Ｆとの間に所定の電圧を印加して、前記給電電極Ａ〜Ｆ相互間の導通試験を行うことにより、導通不良等の異常が発生しているか否かを点検して確認する。即ち、テスター２１〜２６等によって給電電極Ａ〜Ｆ相互間で電気抵抗を測定し、該測定された電気抵抗をコントローラ２０に送信し、各測定値に基づいて給電電極Ａ〜Ｆ相互間の導通状態を評価判定する（ステップＳ３）。
【００３８】
前記導通試験において、給電電極Ａ〜Ｆのいずれか１つ、例えば、給電電極Ｂの導通状態が不良である場合、当該導通不良箇所がモニター装置２８により画面表示されると共に、アラーム音などが作動してオペレータに警報される（ステップＳ４）。
【００３９】
例えば、［表１］に示すように、それぞれの給電電極Ａ〜Ｆ間での抵抗値の一覧が示
される形態でもよい。この場合、Cの位置が他の位置と比べて、抵抗値が大きいために、Cの位置と対応する部分のアラームがなり、オペレータに知らせる。この場合、オペレータは給電電極Ｂの導通状態を再点検して、電気抵抗が基準値になるように補正すべく調整、修理（部品交換を含む）した後、ステップＳ２のウェハチャック工程に戻る（ステップＳ５）。
【００４０】
【表１】
2008266692.tif 000003
【００４１】
又、ステップＳ３において、全ての給電電極Ａ〜Ｆの導通状態が正常である場合は、ステップＳ６に移行して電解加工を開始する。即ち、供給ノズル１０から電解液１１をウェハＷ上面に供給しつつ、プラテン２によりウェハＷを回転させると共に、加工ヘッド３を若干量だけ揺動させながら、ウェハＷの中心部に小円の膜除去領域を形成する。この後、加工ヘッド３をウェハＷの中心部から外周部に向けて徐々に移動させながら電解加工を行う。
【００４２】
この電解加工では、給電電極Ａ〜ＦとウェハＷの間に電解液１１が流入して微小なギャップが形成され、前記電圧の印加によりウェハＷ表面の凸部に電界集中が生じて、該凸部が選択的に除去加工される。
【００４３】
前記電解加工中は、引き続き給電電極Ａ〜Ｆ相互間の導通試験が実施される（ステップＳ７）。而して、前記給電電極Ａ〜Ｆの導通状態に異常がなく、ウェハＷに対し全ての電解加工が終了したら、再び前記ステップＳ１に戻る（ステップＳ８）。
【００４４】
もし、電解加工の途中で、給電電極Ａ〜Ｆのいずれか１つ、例えば、給電電極Ｂの導通状態が不良である場合は、当該導通不良箇所がモニター装置２８に画面表示されると共に、アラーム音などにてオペレータに報知され、同時に電解加工装置１の動作が自動停止する（ステップＳ９）。この後、オペレータは給電電極Ｂの導通状態を再点検して、電気抵抗が基準値になるように補正すべく調整、修理（部品交換を含む）した後、ステップＳ２のウェハチャック工程に戻る（ステップＳ１０）。
【００４５】
このように本実施例では、電解加工時、ウェハＷの外周部に取り付けた６個のウェハチャック４１〜４６にそれぞれ給電電極Ａ〜Ｆを設け、各給電電極Ａ〜Ｆ相互間の電気抵抗に基づいて各給電電極Ａ〜Ｆの導通状態を評価判定し、その結果はモニター装置２８にてリアルタイムで常時表示される。これにより、電解加工中、各給電電極Ａ〜Ｆによる電気供給が安定しているか否かを絶えず点検チェックでき、ウェハＷに対して均一な平坦加工を確実に行うことができる。又、ウェハＷの外周方向における電解加工量のばらつきを最小に抑制でき、高い平坦化加工精度を得ることができる。
【００４６】
なお、本実施例においては、図５のフローチャートに示すように、各給電電極Ａ〜Ｆの導通状態を一度評価した後、導通不良である場合は再度、ウェハチャック４１〜４６によりチェックの回転位置を所定角度だけずらして、ウェハＷをチャックし直す（ステップＴ５〜Ｔ７）。そして、再び導通チェックを行い、その結果、導通不良箇所がある場合は、その原因がウェハＷ自体に起因しているのか、或いは、ウェハＷをチャックする部分に起因しているか否かの判別が可能になる（ステップＴ８〜Ｔ１３）。
【００４７】
図６（a）に示すように、６つの給電電極Ａ〜ＦでウェハＷをチャックしている場合、ウェハＷをチャックし直すには、６つの給電電極Ａ〜Ｆの回転位置を図６中左周り方向に例えば６０度だけ移動させて、図６（b）に示すように、再度、前記給電電極Ａ〜ＦでウェハＷをチャックすればよい。その結果、導通不良の位置が変化するか否かによって、ウェハＷが導通不良であるか、或いは、チャック箇所（給電電極Ａ〜Ｆ）が導通不良であるか、その原因を容易に判別することが可能になる。
【００４８】
更に、上記テスター２１〜２６のいずれかの測定値が所定範囲内にない場合、即ち、安定した電気がウェハに供給されない場合は、給電電極Ａ〜Ｆの少なくとも１つが導通不良であると判断すると共に、導通不良の給電電極Ａ〜Ｆを具体的に特定して、その旨がアラームにて自動的に報知される。従って、全ての給電電極Ａ〜Ｆの導通状態が正常でない場合、そのことをオペレータはアラーム音にて即刻知ることができるので、導通異常時に速やかに対応することができる。
【００４９】
又、６個のウェハチャック４１〜４６はウェハ外周部における等間隔位置に配設されているので、各ウェハチャック４１〜４６の給電電極Ａ〜Ｆより、ウェハＷの外周部から中心部に向かってウェハＷ全体として均等な電気量を確実に供給できる。従って、ウェハＷ表面全域への一様な電気供給を安定して実行できる。
【００５０】
更に又、給電電極Ａ〜Ｆ相互間の電気抵抗測定及びモニター表示は、電解加工中だけでなく電解加工前にも実行して導通状態の良否をチェックできる。従って、全ての給電電極Ａ〜Ｆ相互間の導通状態が正常でない場合は、電解加工の開始を中止することにより、異常な導通状態のまま電解加工が開始されることを未然に回避できる。
【００５１】
本実施例では、上記加工電極５を流れる電流は電流計により測定され、該電流の積算値と対応するウェハＷの加工量を算出して、その結果をモニター装置２８にて表示して監視することができる。従って、オペレータは電解加工中のウェハＷの加工量を随時知ることができ、ウェハＷ全面において一様な加工量を一層安定して確保できる。
【００５２】
上記テスター２１〜２６による測定値が所定範囲外であるとき、ウェハＷをウェハチャック４１〜４６からリリースし、該ウェハＷとチャック部分の相対的な位置関係を変えて、再度、該ウェハＷをチャックして導通確認を行うことにより、導通不良が何処に起因しているかを自動で見極めることができる。斯くして、ウェハＷに導通不良が発生している時は、該導通不良の発生箇所（発生原因）を自動的に検出して速やかに対応することが出来る。
【００５３】
上記実施例ではウェハチャックの個数を６個としたが、３個以上であれば特に限定されない。又、電解加工の連続処理時に、テスターにより各給電電極の電気抵抗（ウェハ表面の加工除去された部分の電気抵抗）の変化を連続測定してモニター表示し、且つ、各給電電極の電気抵抗の変化を相互に比較することにより、ウェハ表面全域においてメタル膜の除去割合が一定であるか否かを絶えず容易に確認することができる。
また、上記実施例では、各チャック箇所の導通状態を評価判定するために、テスターを設置して各導線の電気抵抗を測定する方式を採用したが、本発明はテスターを使用しなくとも、各給電電極部分に流れる電流量をモニターすることにより、各チャック箇所の導通状態を評価判定することができる。複数の給電電極が対称位置に配置されている場合、原理上ウェハが回転すれば、加工電極が何れの位置に存在していても、複数の各給電電極に流れる夫々の電流量は平均すれば互いに同等になる。よって、各導線の電気抵抗をテスターで測定しなくても、各給電電極における電流量をモニターすることで、各チャック箇所の導通状態を評価判定するようにしても良い。図７は、６つの各給電電極における電流量Ａ〜Ｆの変化をグラフ化して、これをモニター表示した一例を示す。
【００５４】
本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施例を示し、電解加工装置の構成説明図。
【図２】一実施例に係る電解加工装置の平面図。
【図３】一実施例に係る電解加工装置を示す要部平面図。
【図４】一実施例による電解加工工程を示すフローチャート。
【図５】一実施例による他の電解加工工程を示すフローチャート。
【図６】一実施例に係るウェハのチャック状態を示し、（a）はチャック位置を１つずらす前の状態を示す平面図、（b）はチャック位置を１つずらした後の状態を示す平面図。
【図７】一実施例に係る各給電電極における加工時間と電流量の変化を示すグラフ。
【符号の説明】
【００５６】
１  電解加工装置
２  プラテン
３  加工ヘッド
５  加工電極（対向電極）
６  アーム（可動部材）
８  直流電源
１１〜１９  導線
２０  コントローラ（コンピュータ）
２１〜２６  テスター（導通試験器）
２８  モニター装置
４１〜４６  ウェハチャック
Ａ〜Ｆ  給電電極
Ｗ  ウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008266692.tif 000007
【図５】
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【図６】
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【図７】
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