(57)【要約】【課題】基板に対する照明光の照射方向の切り替えを短時間で行うこと。【解決手段】ホルダ本体１の略真上に配置された第１の照明系４に対してホルダ本体１の左右両側に第２の照明系として左側照明系７と右側照明系８とを配置する。【選択図】図１
2008170153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持し検査者の目視視察に適した所定の角度に回動可能なホルダ本体と、
前記ホルダ本体を前記所定の角度に回動させた状想で、前記基板に対して斜め上方の照肘方向と、前記斜め上方の照射方向に対して左側または右側に回転した照射方向とから照明光を照射する照明系とを、
備えたことを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項２】
前記照明系は、前記基板に対して前記斜め上方の照射方向から前記照明光を照射する第１の照明系を前記ホルダの上方に配置し、前記斜め上方の照射方向に対して左側または右側に回転した照射方向とから前記照明光を照射する第２の照明系を前記ホルダの左側または右側のいずれかの位置に配置したことを特赦とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項３】
前記第１の照明系および前記第２の照明系は、光束を放射する光源と、この光源から放射された前記照明光を収束させる収束レンズをそれぞれ備えたこと特徴とする請求項２記載のマクロ検査装置。
【請求項４】
前記第１の照明系及び前記第２の照明系は、前記各照明系の各光軸に移動可能に設けられた光源と、前記各照明系の各光軸上に配置され前記光源からの前記照明光を収束させる収束レンズとを備えたことを特徴とする請求項２記載のマクロ検査装置。
【請求項５】
前記第１の照明系は、光束を放射する光源と、この光源から放射された前記照明光を収束させる収束レンズとを備え、前記第２の照明系は、該照明系の光軸上に前記光源から放射された前記照明光を導く折り返しミラーと、前記折り返しミラーで反射した前記照明光を収束させる収束レンズとを備え、前記光源を前記折り返しミラーに向くように回動可能に設けたことを特徴とする請求項２記載のマクロ検査装置。
【請求項６】
前記第２の照明系は、前記第１の照明系の照射方向に対して前記左側又は右側に９０°回転した位置に配置されることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項記載のマクロ検査装置。
【請求項７】
前記照明系は、光束を放射する光源と、この光源から放射された前記照明光を収束させる収束レンズとを備え、これら光源および収束レンズを前記基板に対して斜め上方の照射方向と、前記斜め上方の照射方向に対して左側または右側に回転した照射方向との間に移動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板などの基板面上に照射角度を変えて照明光を照射して欠陥部を検査するマクロ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶ディスプレイのガラス基板のマクロ検査は、ガラス基板面上に観察用のマクロ照明光を照射し、ガラス基板面上からの反射光の変化を目視により観察し、ガラス基板面上に生じているパターンの傷や欠け、基板表面上の膜圧むらやダストの付着を検出する。
【０００３】
ガラス基板面上には、例えばライン状又は縦横比の異なる長方形状のパターンが規則性を持って形成されている。具体的には、例えば縦横比の異なる長方形状のＴＦＴ（thin film trasistor）が格子状に規則正しく形成されている。このように規則性のあるＴＦＴパターンに対してマクロ照明光の入射方向を変えると、パターンからの回折光によりパターン発生した欠陥部の見え方が変わる。例えば、マクロ照明光の入射方向に対してパターンを９０°回転させると、長方形状のＴＦＴパターン上の欠陥からの反射条件、例えば散乱光や回折光の発生条件が変わる。これにより、ＴＦＴパターンや配線パターンに対してマクロ照明光の入射方向を変えると、パターンの長手方向から照射したマクロ照明光では観察されなかったガラス基板面上の欠陥部がパターンの長手方向と直交する方向からマクロ照明光を照射することにより観察できるようになる。液晶ディスプレイ用のマザーガラス基板は、生産性を高めるために多面取りの基板を用いているが、例えば多面取り基板の一部のパターンが９０°向きを変えて形成されていることがある。このような多面取りのマザーガラス基板は、マクロ照明光の入射方向に対して９０°に回転させることによりパターン方向の異なる多面取り基板を良好に観察することができる。
【０００４】
特許文献１は、複数の円弧状の開口部を同心円状に形成したホルダ本体上に液晶ディスプレイ等のガラス基板を載置し、回転機構の各リフトピンを円弧状の各開口部を通すことによりガラス基板をホルダ本体の上方に持ち上げ、この状態で各リフトピンを介してガラス基板を略９０°回転させ、この後に各リフトピンを下降させてガラス基板をホルダ本体上に再度載置するホルダ装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−０１２３４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液晶ディスプレイを多面取りで製造するマザーガラス基板は、半導体製造の技術の進歩と共に大型化が進み、例えば一辺が２０００×３０００ｍｍを超える大型サイズが出現している。このような大型ガラス基板のマクロ検査を行うのに特許文献１のホルダ装置を用いるとすれば、検査者が目視観察し易い角度に基板ホルダ本体を立ち上げた状態でマクロ照明光を照射してマクロ検査を行い、次に基板ホルダ本体を水平な状態まで戻した後、基板ホルダ本体上に吸着保持された大型ガラス基板の吸着を解除し、各リフトピンにより支持して上方に持ち上げて略９０°回転させ、この後に各リフトピンを下降させてガラス基板をホルダ本体上に載置し、吸着保持した後、再び基板ホルダ本体を目視観察に適した角度に立ち上げた状態でマクロ照明光を大型ガラス基板に照射してマクロ検査を行うことになる。
【０００６】
このため、大型ガラス基板を９０°回転させて目視観察するためには、大型で重量のあるホルダ本体を回転させる回転機構が大型化するばかりでなく、ホルダ本体を水平状態に戻して大型ガラス基板を略９０°回転しなければならないために時間がかかる。タクトタイムを出来るだけ小さくしたい液晶ディスプレイのガラス基板の製造工程では、ガラス基板を製造した後に欠陥検査を行う一連の工程があり、欠陥検査に要する時間も短縮したい要求がある。しかしながら、特許文献１では、ホルダ本体を水平位置まで戻した後に大型ガラス基板を持ち上げて略９０°回転させてからホルダ本体上に載置し、再度、ホルダ本体を目視観察のために立ち上げる目視検査には不要な時間がかかり、検査タクトタイムの大きな損失となっている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板を保持し検査者の目視視察に適した所定の角度に回動可能なホルダ本体と、ホルダ本体を所定の角度に回動させた状想で、基板に対して斜め上方の照肘方向と、斜め上方の照射方向に対して左側または右側に回転した照射方向とから照明光を照射する照明系とを備えたマクロ検査装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、基板に対する照明光の照射方向の切り替えを短時間で行うことができるマクロ検査装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。  
図１乃至図３はマクロ検査装置の構成図であって、図１は正面図、図２は上面図、図３は側面図である。ホルダ本体１上には、例えばＦＰＤ基板として液晶ディスプレイを多面取りするガラス基板２が載置されている。このガラス基板２は、図４に示すように縦横比の異なる長方形状のＴＦＴ３が格子状に複数規則正しく形成されている。ホルダ本体１は、図３に示すように検査者が目視で観察する観察位置Ｃとなる検査装置の正面側に向って矢印Ａ方向に揺動可能に設けられている。
【００１０】
第１の照明系４は、ホルダ本体１の上方に配置されている。この第１の照明系４は、検査者の目視観察に適した所定の角度に立ち上げられたホルダ本体１に保持されたガラス基板２に対しての斜め上方の照射方向から第１の照明光をガラス基板２の面上に照射する。この第１の照明系４は、光束を放射する例えばメタルハライドランプ、ナトリウムランプ、蛍光灯などの第１の光源５と、この第１の光源５から放射された照明光（光束）を収束させて第１の照明光としてガラス基板２の面上に照射するフレネルレンズ等からなる第１の収束レンズ６とを有する。
【００１１】
これら第１の光源５と第１の収束レンズ６とは、ホルダ本体１上に載置されたガラス基板２に対する光軸（入射光軸）Ｑ１上に一列に配置されている。本実施の形態では、第１の照明系４の光軸Ｑ１を図３に示すように下方に垂直に設けてあるが、検査装置の正面側に対して前後方向に傾斜させてもよい。又、図５に示すように第１の収束レンズ６の後側焦点距離か長い場合には、反射ミラー３０で照明光路を折り曲げることも可能である。
【００１２】
第１の照明系４は、例えば図３に示すようにホルダ本体１が傾斜している状態で、第１の光源５から発した第１の照明光を光軸Ｑ１に沿って第１の収束レンズ６を通してガラス基板２に対して斜め上方の照明方向Ｉ１から照射する。第１の収束レンズ６で収束された第１の照明光は、図５に示すように検査者の観察位置Ｃに向くようにガラス基板２上で反射される。このときの第１の照明光の照射方向Ｉ１は、図４に示すように例えばＴＦＴ３の長手方向と平行である。
【００１３】
又、検査者は、第１の照明光がガラス基板２の面上に照射したときの反射光が検査者の観察位置Ｃに向くように、ホルダ本体１の傾き角度を調整する。このとき、検査者は、ガラス基板２上で反射した収束光の外側からガラス基板２上の欠陥部を良好に観察し易い角度に立ち上げる。なお、ガラス基板２の面上からの反射光が検査者の観察位置Ｃに到達するためには、第１の照明光を光軸Ｑ１の傾き角度とホルダ本体１の傾斜角度とを相互に調整してもよく、検査者の背の高さ（身長）に応じてホルダ本体１の傾斜角度を予め設定してもよい。
【００１４】
図１に示すようにホルダ本体１の正面側に対して左右両側には、それぞれ左側の第２の照明系（以下、左側照明系と称する）７と右側の第２の照明系（以下、右側照明系と称する）８とが配置されている。左側照明系７は、目視観察と易い所定の角度に回動されたホルダ本体１の左側の斜め上方に設けられている。この左側照明系７は、光束を放射する例えばメタルハライドランプ、ナトリウムランプ、蛍光灯などの第２の左側光源９と、この第２の左側光源９から放射された光束を集光して第２の左側照明光として左側斜め上方からガラス基板２の面上に照射する左側の第２の左側収束レンズ１０とを有し、光軸Ｑ２上に一列に配置されている。
【００１５】
左側照明系７は、図３に示すようにホルダ本体１が傾斜している状態で、第２の左側照明光を光軸Ｑ２に沿って左斜め上方からガラス基板２の左側面内に照射する。このときの第２の左側照明光は、図４に示すように例えばＴＦＴ３の長手方向と直交する左側斜め上方の照射方向Ｉ２から入射する。すなわち、第２の左側照明光の照射方向Ｉ２は、第１の照明系４により第１の照明光をガラス基板２の面上に照射する照射方向Ｉ１に対してガラス基板２の入射角度が略同じになるようにして左側方向に所定の角度回転、例えば略９０°回転させた方向である。
【００１６】
右側照明系８は、ホルダ本体１の右側の斜め上方に設けられた点を除いて左側照明系７と同様である。第２の右側光源１１と第２の右側収束レンズ１２とは、光軸Ｑ３上に一列に配置されている。  
右側照明系８は、図３に示すようにホルダ本体１が傾斜している状態で、第２の右側照明光を光軸Ｑ３に沿って右斜め上方からガラス基板２の右側面内に照射する。このときの第２の右側照明光の照射方向Ｉ３は、図４に示すように第１の照明系４により第１の照明光をガラス基板２上のパターンに照射する照射方向Ｉ１に対して右側方向に略９０°回転させた方向である。
【００１７】
第１の照明系４の第１の光源５、左側照明系７の左側光源９、右側照明系８の右側光源１１は、いずれか１つが点灯されていればよく、他の２つも必要に応じて点灯することも可能である。  
図５はマクロ検査装置の第１の照明系４の具体的な構成図を示す。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。検査装置本体２０内には、ベース２１が設けられている。このベース２１上には、ホルダ本体１を備えた基板支持台２２が設けられている。ホルダ本体１は、基板支持台２２上で矢印Ａ方向に回動可能であり、かつ検査者が観察に適した所定の傾斜角度に係止させることが可能である。ベース２１上には、ミクロ検査用として顕微鏡ユニットを門型アーム（ガントリー）に搭載した顕微鏡装置２３が矢印Ｂ方向に移動可能に設けられている。
【００１８】
検査装置本体２０の上部には、第１の照明系４として光源カバー２５内に収納された第１の光源５を備える光源ユニット２４が配置されている。第１の光源５から放射される光束Ｌ１の光路上には、熱線吸収フィルタ２６、調光ユニット２７及びフィルタ２８が設けられている。  
光源ユニット２４から放射される光束Ｌ１の光路上には、取付け枠２９に固定された反射ミラー３０が配置されている。この反射ミラー３０は、その反射方向が下方のガラス基板２に向くように光束Ｌ１の光路に対して傾斜するように設けられている。この反射ミラー３０は、光源ユニット２４から放射された光束Ｌ１を光軸Ｑ１上に沿って斜め下方に反射する折り返し光路を構成するもので、ガラス基板２の大型化に適用するために折り返し光路を採用している。
【００１９】
第１の収束レンズ６は、第１のフレネルレンズ３１、第２のフレネルレンズ３２及び液晶散乱板３３を有する。第１のフレネルレンズ３１は、第１の光源５から出射された照明光を平行光束に成形するものである。第２のフレネルレンズ３２は、第１のフレネルレンズ３１で平行光束に成形された照明光を収束し、第１の照明光Ｌ１としてホルダ本体１上のガラス基板２の面上に対してパターンの長手方向と平行となる上方向からパターンエッジからの回折光や欠陥部からの散乱光が発生し易い入射角度で照射する。液晶散乱板３３は、通常、光を透過しない散乱状態にあり、電圧印加により光透過状態になる。光源ユニット２４は、液晶散乱板３３を散乱状態にすることで面光源として使用し、透過状態にすることで収束光源として使用する。
【００２０】
図６は左側照明系７及び右側照明系８の具体的な構成図である。なお、左側照明系７及び右側照明系８は、同一構成を有するので、一方の左側照明系７について説明する。第２の照明系である左側照明系７（右側照明系８）の各光源ユニット４０は、光源カバー４１内に収納された左側光源９（右側光源１１）を備える。各光源ユニット４０は、左側光源９（右側光源１１）から放射される各光束Ｌ２の光路上には、熱線吸収フィルタ４２、調光ユニット４３及びフィルタ４４が設けられている。
【００２１】
各光源ユニット４０から放射される光束Ｌ２の光路上には、取付け枠４５に固定された反射ミラー４６が配置されている。反射ミラー４６は、その反射方向が第１の照明系の光軸Ｑ１に対して左右方向に略９０°回転した方向から下方のガラス基板２に向くように光束Ｌ２の光路に対して傾斜するように設けられている。これら反射ミラー４６は、各光源ユニット４０から放射された各光束Ｌ２をそれぞれ各光軸Ｑ２、Ｑ３上に沿って斜め下方に反射する折り返し光路を構成する。
【００２２】
各第２の収束レンズ１０、１２は、それぞれ第１のフレネルレンズ４７、第２のフレネルレンズ４８及び液晶散乱板４９を有する。第１のフレネルレンズ４７は、左側光源９（右側光源１１）から出射された照明光を平行光束に成形させるものである。第２のフレネルレンズ４８は、第１のフレネルレンズ４７で平行光束に成形された照明光を収束し、第２の照明光Ｌ２としてホルダ本体１上のガラス基板２の面上に対してパターンの長手方向と直交する左側上方（右側上方）からパターンエッジからの回折光や欠陥部からの散乱光が発生し易い入射角度でそれぞれ照射する。液晶散乱板４９は、第１の照明系４の散乱板３３と同じである。
【００２３】
照明切換部５０は、第１の照明系４の第１の光源５、左側照明系７の左側光源９を点灯制御するもので、検査条件に応じて第１の光源５、左側光源９又は右側光源１１のいずれか１つを点灯制御したり、第１の光源５と左側光源９、第１の光源５と右側光源１１、左側光源９と右側光源１１のいずれかの組み合わせで点灯制御する。
【００２４】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。  
第１の照明系４の第１の光源５が照明切換部５０によって点灯されると、この第１の光源５から放射された光束Ｌ１は、反射ミラー３０で斜め下方に反射される。この反射ミラー３０で反射された光束Ｌ１は、第１のフレネルレンズ３１及び第２のフレネルレンズ３２により収束され、液晶散乱板３３を通って第１の照明光Ｌ１としてホルダ本体１上のガラス基板２の上方向から所定の入射角度で照射される。これにより、ガラス基板２は、第１の照明光Ｌ１の収束光によって例えば図４に示すようにＴＦＴ３の例えば長手方向と平行な照射方向Ｉ１から照明される。
【００２５】
このとき、ホルダ本体１は、図３に示すように検査装置の正面側（検査者側）に向って検査者が目視観察し易い角度まで矢印Ａ方向に回動させて起き上がらせる。ホルダ本体１が所定の傾斜角度に停止して保持されたとき、ホルダ本体１上のガラス基板２が第１の照明光Ｌ１の光束によりマクロ照明される。このときのガラス基板２の面上からの散乱光や回折光等の反射光は、検査者の観察位置Ｃに到達する。検査者は、観察位置Ｃにおいてガラス基板２の面上からの反射光の変化を目視観察し、ガラス基板２の面上に露光機により形成されたパターンのみだれによる傷、欠けなどの欠陥、パターンの膜厚むらやガラス基板２上に付着したダストなどの欠陥を検出する。
【００２６】
照明切換部５０によって第１の照明系４の第１の光源５が消灯され、左側照明系７の左側光源９が点灯されると、この左側光源９から放射された光束Ｌ２は、反射ミラー４６に入射し、第１のフレネルレンズ４７及び第２のフレネルレンズ４８と、液晶散乱板４９を通って第２の照明光Ｌ２としてホルダ本体１上のガラス基板２を左側斜め上方から照射する。これにより、第２の照明光Ｌ２は、例えば図４に示すようにＴＦＴ３の長手方向と直交する第１の照明系４の照射方向Ｉ１に対して左側方向に略９０°回転した照射方向Ｉ２から第２の照明光Ｌ２により照明される。
【００２７】
このように第１の照明系４から第２の照明系７に切り換えることによりＴＦＴパターンに対して照明光の入射角度を９０°変えることができ、第１の照明系４の照明方向では観察できなかったガラス基板２の面上の欠陥が観察できるようになる。  
照明切換部５０によって左側照明系７の左側光源９が消灯され、右側照明系８の右側光源１１が点灯されると、第２の照明光Ｌ２がホルダ本体１上のガラス基板２を右側斜め上方から照射される。これにより、第２の照明光Ｌ２は、例えば図４に示すようにＴＦＴ３に対する第１の照明系４の照射方向Ｉ１に対して右側方向に略９０°回転した照射方向Ｉ３から第２の照明光Ｌ２を照明する。
【００２８】
このように配列方向に規則性のあるＴＦＴパターンに対して照明光の入射方向を９０°変えてガラス基板２を目視観察することにより、ある特定の照射方向Ｉ１からの第１の照明光Ｌ１により観察できなかったガラス基板２の面上の方向性のある欠陥からの回折条件や散乱条件が変わり良好に検出することが可能になる。
【００２９】
このように上記第１の実施の形態によれば、ホルダ本体１の略真上に配置された第１の照明系４に対してホルダ本体１の左右両側に第２の照明系として左側照明系７と右側照明系８とを配置することで、従来のようにガラス基板２をホルダ４５上で回転させたり、ホルダ本体１自体を回転させることなく、第１の光源５と左側光源９、右側光源１１とを点灯、消灯するだけで、ガラス基板２面上に例えば０°、４５°、９０°と異なる方向に形成されたＴＦＴ３や配線パターンに対して異なる照射角度、例えば照射方向Ｉ１と、この照射方向Ｉ１に対して左側又は右側の方向に略９０°回転した各照射方向Ｉ２、Ｉ３に照明光を短時間に切り換えることができる。これにより、異なる方向のパターンに対して各照射方向Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３からそれぞれ照明光を照射することにより、パターン上の欠陥からの反射条件、例えば散乱光や回折光の発生条件を変えて、ガラス基板２面上の欠陥部の検査精度を向上させることができると共に、各照明光源５、９、１１を点灯、消灯制御するだけで高速でガラス基板２に対する照射方向をでき、液晶ディスプレイのガラス基板２の製造工程での検査タクトタイムを短縮できる。
【００３０】
又、各照射方向Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３で照射したときのガラス基板２で反射した収束光は、全て検鏡者の観察位置Ｃに到達するので、検査者は、観察位置Ｃを変えることなく同一観察位置Ｃでガラス基板２を目視観察することができる。  
ガラス基板２は、又は所定の角度に立ち上げられたホルダ本体１上に位置決めされた状態で固定保持されるため、従来のようにガラス基板２をホルダ本体１から持ち上げて回転させるものと比べてガラス基板２を位置決めした位置からずれることはなく、照射方向Ｉ１と略９０°回転させた各照射方向Ｉ２、Ｉ３との照明により検出した各欠陥部の各座標に誤差が生じることがない。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。  
図７はマクロ検査装置の構成図である。このマクロ検査装置は、第１の実施の形態に記載された左側光源９及び右側光源１１を省き、第１の光源５を第１の照明系４の光軸Ｑ１上と左側照明系７の光軸Ｑ２上と右側照明系８の光軸Ｑ３上との間に移動可能に設けたものである。第１の光源５の移動機構６０は、例えば各光軸Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３間に敷設された軌道と、この軌道上を移動可能なステージとを有し、このステージ上に第１の光源５を設ける。他の構成は、第１の実施の形態と同じである。
【００３２】
第１の照明系４から照明光をガラス基板２上に照射するときは、移動機構６０によって第１の光源５が第１の照明系４の光軸Ｑ１上に設けられる。左側照明系７から照明光をガラス基板２上に照射するときは、移動機構６０によって第１の光源５が左側照明系７の光軸Ｑ２上に設けられる。右側照明系８から照明光をガラス基板２上に照射するときは、移動機構６０によって第１の光源５が右側照明系８の光軸Ｑ３上に設けられる。  
このように上記第２の実施の形態によれば、上述の第１の実施の形態と同様の効果を奏することが出来る。第１の光源５を第２の照明系の光源として流用することにより構成を簡略化することが出来る。
【００３３】
次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。  
図８はマクロ検査装置の構成図である。このマクロ検査装置は、第２の実施の形態と同様に左側光源９及び右側光源１１を省き、第２の照明系７、８の各光軸Ｑ２、Ｑ３上とにそれぞれ第１の折返しミラー６１、６２を設け、第１の光源５を第１と第２の折返しミラー６１、６２に向くように回動可能に設けたものである。第１の折返しミラー６１は、左側照明系７の光軸Ｑ２上に設けられ、第１の光源５からの第１の照明光を光軸Ｑ２上に折り曲げる。第１の折返しミラー６２は、右側照明系８の光軸Ｑ３上に設けられ、第１の光源５からの第１の照明光を光軸Ｑ３上に折り曲げる。
【００３４】
なお、第１の光源５は、図示しない自転機構により矢印Ｄ方向に自転可能とし、第１の光源５から放射される光束Ｌ１の出射方向を第１の照明系４の光軸Ｑ１の方向と、第１の折返しミラー６１の設置された方向Ｅ１と、第１の折返しミラー６２の設置された方向Ｅ２とに変更可能である。  
第１の照明系４から照明光をガラス基板２上に照射するときは、第１の光源５から放射された光束Ｌ１を第１の照明系４の光軸Ｑ１上に沿って伝播させ、第１の収束レンズ６を通して第１の照明光としてガラス基板２面上に照射する。  
左側照明系７から照明光をガラス基板２上に照射するときは、例えば第１の光源５を回転させて光束Ｌ１の伝播方向を第１の折返しミラー６１の設置された方向Ｅ１に設定する。第１の光源５から放射された光束Ｌ１は、第１の折り返しミラー６１で反射し、さらに第２の折り返しミラー４６で反射して左側照明系７の光軸Ｑ２上に沿って伝播し、第２の照明光Ｌ２としてホルダ本体１上のガラス基板２を左側斜め上方から照射する。
【００３５】
右側照明系８から照明光をガラス基板２上に照射するときは、例えば第１の光源５を回転させて光束Ｌ１の伝播方向を第２の折返しミラー５２の設置された方向Ｅ２に設定する。第１の光源５から放射された光束Ｌ１は、第１の折り返しミラー６１で反射し、さらに第２の折り返しミラー４６で反射して右側照明系８の光軸Ｑ３上に沿って伝播し、第２の照明光Ｌ２としてホルダ本体１上のガラス基板２における右側半面を右側斜め上方から照射する。
【００３６】
このように上記第３の実施の形態においても上記第２の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。なお、第１の折返しミラー６１、６２に限らず、複数の折返しミラーを設け、これら折返しミラーによって液晶ディスプレイのガラス基板２やその他の検査対象に形成されたパターンの方向に応じて欠陥部を観察しやすい傾斜角度で照明光をガラス基板２等の検査対象に照射するようにしてもよい。
【００３７】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものではなく、各種変形してもよい。例えば、照明系は、第１の光源を複数備えるようにしてもよい。  
ガラス基板２面上に照射する照明光の照射方向は、第１の照明系の照射方向Ｉ１に対して左側又は右側略９０°回転させた各照射方向Ｉ２又はＩ３とに限らず、液晶ディスプレイのガラス基板２やその他の検査対象に形成されたパターンの方向に応じて少なくとも第１の照明系４の照射方向Ｉ１に対して第２の照明系７、８の照射方向Ｉ２又はＩ３を９０°の回転範囲内に設定してもよい。
【００３８】
第２の照明系として左側照明系７及び右側照明系８を設けているが、これら左側照明系７と右側照明系８とのうちいずれか一方のみを設ける構成としてもよい。この構成であっても、一つの照射方向だけでは観察されなかったガラス基板２面上の欠陥部を検査することができる。
【００３９】
又、上記各実施の形態では、第１の照明系と第２の照明系とを別体にしたが、光束を放射する光源と、この光源から放射された照明光を収束させる収束レンズとを一つのユニットに構成する。この照明系を第１の照明系の光軸Ｑ１に相当する基板に対して斜め上方の照射方向と、第２の照明系の光軸Ｑ２又はＱ３に相当する斜め上方の照射方向に対して左側又は右側に回転した照射方向との間に移動可能に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に係るマクロ検査装置の第１の実施の形態を示す正面図。
【図２】同装置の上面図。
【図３】同装置の側面図。
【図４】同装置の検査対象であるガラス基板上の格子パターンを示す摸式図。
【図５】同装置における第１の反射照明系の具体的な構成図。
【図６】同装置における第２の左側反射照明系及び第２の右側反射照明系の具体的な構成図。
【図７】本発明に係るマクロ検査装置の第２の実施の形態を示す正面図。
【図８】本発明に係るマクロ検査装置の第３の実施の形態を示す正面図。
【符号の説明】
【００４１】
１：ホルダ本体、２：ガラス基板、３：ＴＦＴ、４：第１の照明系、５：第１の光源、６：第１の収束レンズ、３０：反射ミラー、７：第２の照明系（左側照明系）、８：右側の第２の照明系（右側照明系）、９：第２の左側光源、１０：第２の左側収束レンズ、１１：第２の右側光源、１２：第２の右側収束レンズ、２０：検査装置本体、２１：ベース、２２：基板支持台、２３：顕微鏡装置、２５：光源カバー、２４：光源ユニット、２６：熱線吸収フィルタ、２７：調光ユニット、２８：フィルタ、２９：取付け枠、３１：第１のフレネルレンズ、３２：第２のフレネルレンズ、３３：液晶散乱板、４０：光源ユニット、４１：光源カバー、４２：熱線吸収フィルタ、４３：調光ユニット、４４：フィルタ、４５：取付け枠、４６：反射ミラー、４７：第１のフレネルレンズ、４８：第２のフレネルレンズ、４９：液晶散乱板、５０：照明切換部、６０：移動機構、６１，６２：折返しミラー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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