(57)【要約】【課題】樹脂製の本体に形成された挿入溝に嵌まり込んでいる樹脂製シール部材を容易に離脱することのできる取外し工具を提供すること。【解決手段】樹脂製本体１１０に形成された流路と、樹脂製弁１０１に形成された弁孔流路１２１とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材３０１を取り外すための取外し工具１であって、樹脂製シール部材３０１が、中空円筒形状であって、樹脂製本体１１０に形成された挿入溝１１３、及び樹脂製弁１０１に形成された挿入溝１２３に圧入されることにより、シールする構造と、内周面の円周上に断続的に形成された凸部３３とを備え、外周上に断続的に形成され、凸部３３と係合する係合爪２０を有する。【選択図】図５
2008002564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具において、
前記樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、前記樹脂製本体に形成された周状突起及び前記樹脂製弁に形成された周状突起が圧入によりシールする構造と、内周面の円周上に断続的に形成された凸部とを備え、
外周上に断続的に形成され、前記凸部と係合する係合爪を有することを特徴とする取外し工具。
【請求項２】
樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具において、
前記樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、前記樹脂製本体に形成された周状突起及び前記樹脂製弁に形成された周状突起が圧入によりシールする構造を備え、
前記樹脂製シール部材の内周面または外周面に食い込む係止爪と、
前記係止爪をラジアル方向に移動させることにより、前記樹脂製シール部材に食い込ませる係止爪移動手段を有することを特徴とする取外し工具。
【請求項３】
請求項２に記載する取外し工具において、
前記係止爪が複数に分割されており、
前記係止爪移動手段が、工具本体に螺着されたつまみ部を手で回転させることにより、前記分割された係止爪を内方向または外方向に移動させることを特徴とする取外し工具。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載する取外し工具において、
前記樹脂製シール部材の内周面または外周面に凹部が形成されており、
前記係止爪が前記凹部と係合することを特徴とする取外し工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程等で使用される樹脂製の薬液弁で使用される樹脂製シール部材を取外すための取外し工具に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、ガスを供給するためのガス弁と、薬液を供給するための薬液弁が使用されている。ガス弁のシール構造においては、金属ガスケットが使用されている。金属ガスケットの取外し工具として、特許文献１、特許文献２に記載されているものが公知である。
【０００３】
薬液弁としては、腐食性の高い薬液を供給するためにフッ素樹脂等の樹脂製薬液弁が使用されている。樹脂製の薬液弁を樹脂製のマニホールド本体に取り付ける場合に、金属ガスケットをシールに使用できないため、中空円筒形状の樹脂製シール部材を使用している。
そして、樹脂製シール部材に形成された溝に、マニホールド本体に形成された周状突起、及び薬液弁に形成された周状突起を圧入することにより、シールを行っている。
【０００４】
【特許文献１】特開平10-296653号公報
【特許文献２】特開平08-085586号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術には以下のような問題があった。
すなわち、ガス弁では、マニホールド本体等が金属製であり、同じく金属製のガスケットを、マニホールド本体で挟み込んで押しつぶすことでシールが行われているので、マニホールド本体を解体したときに、ガスケットは容易にマニホールド本体から離脱させることができる。
【０００６】
それに対して、薬液弁においては、薬液弁及びマニホールド本体が共に樹脂製であり、シール部材も樹脂製のため、薬液弁及びマニホールド本体に形成された周状突起が樹脂製シール部材に形成された溝に圧入されているので、薬液弁をマニホールド本体から取り外したときに、樹脂製シール部材がどちらかの周状突起に嵌まり込んでしまい、圧入で嵌め込まれたシール部材を手作業で離脱させることが困難であった。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、樹脂製の本体に形成された周状突起に嵌まり込んでいる樹脂製シール部材を容易に離脱することのできる取外し工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するために、本発明の取外し工具は、次のような構成を有している。
（１）樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具であって、樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、樹脂製本体に形成された周状突起、及び樹脂製弁に形成された周状突起を圧入することにより、シールする構造と、内周面の円周上に断続的に形成された凸部とを備え、外周上に断続的に形成され、凸部と係合する係合爪を有することを特徴とする。
【０００９】
（２）樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具であって、樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、樹脂製本体に形成された周状突起、及び樹脂製弁に形成された周状突起を圧入することにより、シールする構造を備え、樹脂製シール部材の内周面または外周面に食い込む係止爪と、係止爪をラジアル方向に移動させることにより、樹脂製シール部材に食い込ませる係止爪移動手段を有する。
【００１０】
（３）（２）に記載する取外し工具において、前記係止爪が複数に分割されており、前記係止爪移動手段が、工具本体に螺着されたつまみ部を手で回転させることにより、前記分割された係止爪を内方向または外方向に移動させることを特徴とする。
【００１１】
（４）（２）または（３）に記載する取外し工具において、前記樹脂製シール部材の内周面または外周面に凹部が形成されており、前記係止爪が前記凹部と係合することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
次に、上記構成を有する取外し工具の作用・効果について説明する。
樹脂製本体と樹脂製弁とを解体すると、樹脂製本体に形成された周状突起に、樹脂製のＨ型シール部材が、圧入された状態で残存する。Ｈ型シール部材は、圧入により嵌め込まれているので、取り外すのが容易でない。
【００１３】
本発明の（１）に記載する取外し工具によれば、樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具であって、樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、樹脂製本体に形成された周状突起、及び樹脂製弁に形成された周状突起をに圧入することにより、シールする構造と、内周面の円周上に断続的に形成された凸部とを備え、外周上に断続的に形成され、凸部と係合する係合爪を有するので、Ｈ型シール部材の凸部の無い箇所で係止爪を挿入した後、工具を回転させて、係止爪と凸部とを係合させ、工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を樹脂製本体、または樹脂製弁から取り外すことができる。
【００１４】
本発明の（２）に記載する取外し工具によれば、中空円筒状の樹脂製のＨ型シール部材の中空部に係止爪を挿入し、係止爪がＨ型シール部材の中央より下側の位置で、係止爪移動手段により、係止爪を外向きに移動させ、係止爪をＨ型シール部材の内周面に食い込ませる。十分食い込ませた状態で、取外し工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を樹脂製本体から離脱させることができる。使い捨てであるＨ型シール部材のみが傷が付いて、繰り返し使用する樹脂製本体は、傷つくことがない。
【００１５】
また、係止爪を中空円筒形状のＨ型シール部材の外周の外側に装着し、係止爪が、Ｈ型シール部材の中央より下側の位置で、係止爪移動手段により、係止爪を内向きに移動させ、係止爪をＨ型シール部材の外周面に食い込ませる。十分食い込ませた状態で、取り出し工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を樹脂製本体から離脱させることができる。使い捨てであるＨ型シール部材のみが傷が付いて、繰り返し使用する樹脂製本体は、傷つくことがない。
【００１６】
このとき、（３）に記載する取外し工具によれば、前記係止爪が複数に分割されており、前記係止爪移動手段が、工具本体に螺着されたつまみ部を手で回転させることにより、前記分割された係止爪を内方向または外方向に移動させることにすれば、簡単な構造で安定してＨ型シール部材を取り外すことができる。
【００１７】
また、（４）に記載する取外し工具によれば、前記樹脂製シール部材の内周面または外周面に凹部が形成されており、前記係止爪が前記凹部と係合させることにより、係止爪を強く食い込ませなくても、Ｈ型シール部材を取り外すことができる。さらに、凹部を深く形成すれば、食い込ませなくて、単に係合させるだけで、Ｈ型シール部材を取り外すことができる。
【００１８】
上記（１）に記載する取外し工具を使用する場合に、工具を回転させずに、係止爪を凸部を超えて挿入後、係止爪をラジアル方向に移動させて凸部と係合させ、工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を取り外すこともできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の一実施の形態である取外し工具について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は、本発明の第１実施形態に係る取外し工具を用いて取り外すシール部材を取り付けたバルブユニット１００の外観斜視図であり、図２は、図１に示すバルブユニット１００の縦断面図である。図３は、図２の（イ）部の拡大断面図である。
【００２１】
バルブユニット１００は、第１マニホールドブロック１１０（請求項の「樹脂製本体」に相当）と、該第１マニホールドブロック１１０にＨ型リング（請求項の「樹脂製シール部材」に相当）３０１を介して取り付けられる第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと、該第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃの、第１マニホールドブロック１１０と反対側に取り付けられる薬液弁１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃとを備え、第１マニホールドブロック１１０の、第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと反対側に取り付けられた取付プレート１５０Ａ，１５０Ｂ，１５０Ｃを介して半導体製造装置に組み付けられる。
【００２２】
第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと薬液弁１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃとにより樹脂製弁１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃが形成される。
第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃには継手５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃが、第１マニホールドブロック１１０には継手５０Ｄがそれぞれ異なる方向へ向いて取り付けられている。
【００２３】
第２マニホールドブロック１２０は１個の薬液弁１３０に対して１個ずつ設けられ、第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃは、互いの側面を接触又は近接させて第１マニホールドブロック１１０上に配置されて省スペース化を計っている。
第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃは、同一形状をなすため、ここでは第２マニホールドブロック１２０Ａについてのみ説明し、第２マニホールドブロック１２０Ｂ、１２０Ｃの説明を割愛する。
【００２４】
第２マニホールドブロック１２０Ａは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）など耐熱性や耐腐食性の高い樹脂を略直方体のブロック状に成形したものである。第２マニホールドブロック１２０Ａは、薬液弁１３０Ａが取り付けられる上面（取付面）と、第１マニホールドブロック１１０に接触する下面（接触面）が同一の正方形状に形成され、４つの外側側面が取付面と接触面に垂直に接続している。外側側面の１つには、継手５０Ａが中央に設けられている。
【００２５】
第２マニホールドブロック１２０Ａは、薬液弁１３０Ａとの間に弁室を形成するための弁室形成部１２５Ａが上面から円柱状に開設され、弁室形成部１２５Ａの開口部にダイアフラム弁体１２２Ａが取り付けられている。
第２マニホールドブロック１２０Ａは、弁室形成部１２５Ａと同軸上に第２流路（請求項の「弁孔流路」に相当）１２１Ａが図中の上下方向に貫通して形成されており、第２流路１２１Ａが弁室形成部１２５Ａに開口する開口部の周りに弁座が設けられている。
【００２６】
一方、第１マニホールドブロック１１０は、ＰＴＦＥやＰＦＡなど耐熱性や耐腐食性の高い樹脂を略直方体のブロック状に成形したものである。第１マニホールドブロック１１０は、第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃに接触する上面（接触面）と、取付プレート１５０Ａ、１５０Ｂ、１５０Ｃが取り付けられる下面（取付面）とが同一の長方形状をなし、４つの外側側面が上面と下面に垂直に接続する。
【００２７】
第１マニホールドブロック１１０は、上面の幅が第２マニホールドブロック１２０Ａの下面の一辺と同一寸法に設定され、第１流路（請求項の「流路」に相当）１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃが長手方向に等間隔に穿設されている。第１流路１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃは、上面中央位置から垂直方向にそれぞれ穿設されている。
第１マニホールドブロック１１０は、外側側面の中央位置から水平方向に共通流路１１２が穿設され、第１流路１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃにそれぞれ連通する。継手５０Ｄは、共通流路１１２が開設される端面に一体的に設けられ、共通流路１１２に連通する。
【００２８】
このような第１マニホールドブロック１１０には、３個の同一構造のＨ形リング３０１、３０１、３０１を介して第２マニホールドブロック１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃが取り付けられ、第２流路１２１Ａと第１流路１１１Ａの接続部分をシールする。
図３は、シール部分の拡大断面図であって、（Ａ）はＨ形リング３０１の装着前の状態を示し、（Ｂ）はＨ形リング３０１の装着後の状態を示す。
【００２９】
Ｈ形リング３０１は、ＰＴＦＥよりやや硬いＰＦＡや変性ＰＴＦＥにより形成され、その断面がＨ形の中空円筒形状をなす。Ｈ形リング３０１は、肉厚なリング形状をなし、その下面において、肉厚方向（半径方向）中央に第１周溝３１が形成され、リング状の第１凹凸条をなしている。同じく、Ｈ形リング３０１は、その上面において、肉厚方向（半径方向）中央に第２周溝３２が形成され、リング状の第２凹凸条をなしている。
本第１の実施の形態で使用されるＨ形リング３０１の内周面の上下方向中央部には、該内周面から内側に突出する凸部３３ａ（図４参照）が、円周を３等分する位置に設けられている。
【００３０】
一方、第２マニホールドブロック１２０Ａの下面には、第２流路１２１Ａの開口部外側に第２シール溝（挿入溝）１２３Ａが環状に形成されている。第２シール溝１２３Ａの底部には、第１マニホールドブロック１１０側へ延びる第２周状突起１２４Ａが突設され、第２凸凹条を形成する。第２凸凹条は、Ｈ形リング３０１の第２周溝３２に対応する第２周状突起１２４Ａを有し、円環状に構成される。
【００３１】
また、第１マニホールドブロック１１０の上面には、第１流路１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃの開口部外側に第１シール溝（挿入溝）１１３Ａ、１１３Ｂ、１１３Ｃがそれぞれ環状に形成されている。第１シール溝１１３Ａ、１１３Ｂ、１１３Ｃは同一構造をなすので、ここでは第１シール溝１１３Ａを例に挙げて説明し、第１シール溝１１３Ｂ、１１３Ｃの説明を割愛する。
第１シール溝１１３Ａの底部には、第２マニホールドブロック１２０Ａ側へ延びる第１周状突起１１４Ａが突設され、第１凸凹条を形成する。第１凸凹条は、Ｈ形リング３０１の第１周溝３１に対応する第１周状突起１１４Ａを有し、円環状に構成される。
【００３２】
以上のように構成されたバルブユニット１００を分解するに当たり、Ｈ形リング３０１を第１マニホールドブロック１１０から取り外すための、第１の実施の形態に係る取外し工具の構成を説明する。
第１実施の形態の取外し工具１を用いて取り外すＨ形リング３０１は、図４に示すように、Ｈ形リング３０１の内周面３０１ｎの円周上に円周を３等分する位置に、中心に向かって突出する凸部３３ａを断続的に形成したものである。
【００３３】
上記のようなＨ形リング３０１を取り外す取外し工具１は、図５に示すように、金属製あるいは樹脂製の丸棒状のボディ１０と、その下端に一体的に形成した係合爪２０とを備えるものである。
ボディ１０は、その上部に形成された、取外し工具１を人手で回転しやすいように外周にローレット加工を施したつまみ部１１と、該つまみ部１１から連続してつまみ部１１より小径の軸部１３とを備えている。
【００３４】
軸部１３の下端には、該軸部１３より大径で、Ｈ形リング３０１の中空円筒部より若干小径の係合爪２０が一体的に形成されている。係合爪２０は、図６に示すように、円周を３等分する位置に凹部２１と凸部２３と、凸部２３の上面から所定の高さで凹部２１と連続するように削られた段部２３１とを備えている。
すなわち、凹部２１と凸部２３と段部２３１とは、係合爪２０の円周上で軸心から略４０°づつの角度で形成されている。
【００３５】
以上のように構成された第１の実施の形態の取外し工具１を用いてＨ形リング３０１を取り外す動作について説明する。このとき、Ｈ形リング３０１は第１マニホールドブロック１１０に残されているものとする（以下の実施の形態でも同一とする）。
図７（Ａ）に示すように、先ず係合爪２０の凹部２１にＨ形リング３０１の内周面３０１ｎに設けられた凸部３３ａが入るように、取外し工具１を回転させてＨ形リング３０１の上部から係合爪２０を挿入する。
【００３６】
そして、図７（Ｂ）に示すように、係合爪２０の上面が凸部３３の下部からさらに下方に位置するまで挿入する。この状態で、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、係合爪２０の凸部３３ａが段部２３１の上部に位置するように取外し工具１を回転させる（本実施の形態では時計方向）。
すると、図９（Ａ）に示すように、段部２３１に凸部３３ａが係合するので、図９（Ｂ）に示すように、取外し工具１を上方に引き上げる。段部２３１と凸部３３ａが係合した状態でＨ形リング３０１が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０１が取り外される。
【００３７】
この第１の実施の形態の取外し工具１によれば、Ｈ形リング３０１の中空円筒部に取外し工具１を挿入して、約４０°回転させるだけで係合爪２０の段部２３１とＨ形リング３０１の凸部３３ａを係合させることができ、容易にＨ形リング３０１を取り外すことができる。
【実施例２】
【００３８】
つぎに、第２の実施の形態の取外し工具６の構成について説明する。第２実施の形態の取外し工具６を用いて取り外すＨ形リング３０２は、図１０に示すように、Ｈ形リング３０２の中空円筒部の内周面３０２ｎには何も設けられていないものである。
【００３９】
上記のようなＨ形リング３０２を取り外す取外し工具６は、図１１に示すように、金属製あるいは樹脂製の棒状のボディ（請求項の「係止爪移動手段」に相当）６０と、その外周に螺合する係止爪６５とを備えるものである。
ボディ６０は、その上部に形成された、取外し工具６を人手で回転しやすいように外周にローレット加工を施したつまみ部６１と、該つまみ部６１から連続してつまみ部６１より小径の雄ネジ部６２と、該雄ネジ部６２よりさらに小径のガイド軸６３とを備えている。
ガイド軸６３の先端部６３１は先細状に傾斜面が形成されている。
【００４０】
係止爪６５は、ボディ６０の雄ネジ部６２に螺合する雌ネジ部６５２が内周面に形成され、つまみ部６１と略同一外径を有する厚肉筒状のつまみ部６５１と、該つまみ部６５１から連続し、ガイド軸６３の外周に沿う小径で薄肉の筒部６６と、筒部６６の下部で外周方向に張り出す鍔部６７と、該鍔部６７より下部で先細状の先端部６８とを備える。
【００４１】
筒部６６から先端部６８には、円筒を４等分するスリット６６１が設けられている。
先端部６８の外周面６８１は、先細状の傾斜面に形成され、その上端は筒部６６の外径より若干大径となり、突起６８２が形成されている。
先端部６８の内周面６８３は、鍔部６７と突起６８２との高さ方向略中間部で、筒部６６の内周面より内側に突出し、さらに先細状の傾斜面に形成されている。
【００４２】
以上のように構成された第２の実施の形態の取外し工具６を用いてＨ形リング３０１を取り外す動作について説明する。取外し工具６の初期状態は、図１１に示すように、係止爪６５の内周面６８３に対してボディ６０の先端部６３１が十分上方にあり、突起６８２の外径がＨ形リング３０２の内周面３０２ｎの内径より僅かに小さい状態となっている。
【００４３】
このような状態の取外し工具６を、図１２に示すように、先端部６８からＨ形リング３０２の中空円筒部に挿入する。そして、図１３に示すように、鍔部６３の下面がＨ形リング３０２の上面に当接するまで挿入する。
この状態では、先端部６８の突起６８２がＨ形リング３０２の内周面３０２ｎの高さ方向の略中間部に対峙している。
【００４４】
そして、一方の手でつまみ部６５１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でボディ６０のつまみ部６１を回転させる。すると、ボディ６０が係止爪６５に対して徐々に下方にねじ込まれ、ガイド軸６３の先端部６３１が下降し、やがて先端部６３１が筒部６６の先端部６８の内周面６８３の上部に当接する。
さらにボディ６０をねじ込むと、図１４に示すように、筒部６６がスリット６６１により分割されているので、ガイド軸６３の先端部６３１により先端部６８がラジアル方向（図１４の矢印方向）に押し広げられる。すると、突起６８２がＨ形リング３０２の内周面３０２ｎに強制的に食い込む。
【００４５】
この状態で、図１５に示すように、取外し工具６を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０２の内周面３０２ｎに突起６８２が食い込んだ状態でＨ形リング３０２が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０２が取り外される。
この第２の実施の形態の取外し工具６によれば、Ｈ形リング３０２の中空円筒部に取外し工具６を挿入して、ボディ６０を回転させるだけで突起６８２をＨ形リング３０２の内周面３０２ｎに食い込ませることができ、容易にＨ形リング３０２を取り外すことができる。
【実施例３】
【００４６】
つぎに、第３の実施の形態の取外し工具７の構成について説明する。第３の実施の形態の取外し工具７を用いて取り外すＨ形リング３０２は、第２の実施の形態のものと同様に図１０に示すＨ形リング３０２の内周面３０２ｎには何も設けられていないものである。
【００４７】
上記のようなＨ形リング３０２を取り外す取外し工具７は、図１６に示すように、金属製あるいは樹脂製のボディ７０のつまみ部７１と、上端外周をつまみ部７１に固定され、内部にガイド軸７３を上下動可能に支持した係止爪７５と、該係止爪７５の上部外周に形成した雄ネジ部７５２に螺合する雌ネジ部７９１を上部内周に形成し、下部内周で係止爪７５の外周に当接しているつまみネジ（請求項の「係止爪移動手段」に相当）７９とを備えるものである。
【００４８】
つまみ部７１は、外周面にローレット加工が施され、下方に開口する断面コ字形の厚肉円筒状のものである。
係止爪７５は、外周に、上部をつまみ部７１の内周面にビス７１９により固定された軸部７５１と、該軸部７５１と略同径の雄ネジ部７５２と、該雄ネジ部７５２から傾斜面７５３を介して外側に広がり、後述する先端部７８がＨ形リング３０２の外径より大きく形成された筒部７６とを備え、内周に、軸部７５１で後述するガイド軸７３の上部の細径部７３３が上下に摺動可能に嵌合する摺動孔７５１ａと、該摺動孔７５１ａより大径で雄ネジ部７５２の内側でバネ７３９を収納する収納孔７５２ａと、傾斜面７５３と平行に外側に広がり、筒部７６を形成する内壁７６ａと、該筒部７６の下端の先端部７８とを備えている。
【００４９】
筒部７６の外周面は先端部７８で僅かに大径となる緩やかな傾斜面となっている。
先端部７８は、下端面７８１がわずかに内側に突出して、その先端に突起７８２が形成されている。筒部７６から先端部７８には、円筒を４等分するスリット７６１が設けられている。
つぎに、ガイド軸７３は、上半部の細径部７３３と、下半部で収納孔７５２ａを上下に摺動可能な外径を有する大径部７３５と、該大径部７３５の先端で先細状の傾斜面で形成された先端部７３１とを備えている。
【００５０】
上半部の細径部７３３の上端は摺動孔７５１ａより突出し、Ｃリング７５９で抜け留めされている。ガイド軸７３の細径部７３３と収納孔７５２ａとの間の空隙には、係止爪７５に対してガイド軸７３を常時下方に付勢するバネ７３９が収納されている。
バネ７３９の付勢力でガイド軸７３が下限にあるときは、該ガイド軸７３の先端部７３１は係止爪７５の下端面７８１より突出した状態にある。
【００５１】
つまみネジ７９は、外径が略ボディ７０のつまみ部７１と同径の厚肉円筒状で、上部内面に形成され、係止爪７５の雄ネジ部７５２に螺合する雌ネジ部７９１と、該雌ネジ部７９１の下部の内径が該雌ネジ部７９１より若干大きく形成された内周面７９２とを備え、該内周面７９２の下部が係止爪７５の筒部７６に接触している。
【００５２】
以上のように構成された第３の実施の形態の取外し工具７を用いて、Ｈ形リング３０２を取り外す動作について説明する。取外し工具７の初期状態は、図１６に示すように、ガイド軸７３がバネ７３９の付勢力により下方に押圧され、細径部７３３の上端のＣリング７５９が軸部７５１の上面に当接した下限にあり、つまみネジ７９の内周面７９２の下部が筒部７６の上部に当接した状態にある。
【００５３】
このような状態の取外し工具７を、図１７に示すように、ガイド軸７３の先端部７３１をＨ形リング３０２の中空部に挿入する。そして、図１８に示すように、筒部７６の先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０２の外周を包むようにさらに挿入し、下端面７８１を第２マニホールドブロック１４０の上面に当接させる。このとき、ガイド軸７３は上下方向で固定され、つまみ部７１と係止爪７５とつまみネジ７９とがバネ７３９の付勢力に抗して一体的に下方に摺動する。この状態では、先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０２の外周面に対峙している。
【００５４】
そして、一方の手でつまみ部７１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でつまみネジ７９を回転させる。すると、つまみネジ７９が係止爪７５に対して徐々に下方にねじ込まれ、つまみネジ７９の内周面７９２が筒部７６の外周に沿って下降する。筒部７６の外周面が先端部７８で僅かに大径となる緩やかな傾斜面となっているため、筒部７６が内周面７９２によって内側に押圧される。
筒部７６が内側に押圧されるとスリット７６１により係止爪７５がラジアル方向に移動し、その結果、図１９に示すように、突起７８２がＨ形リング３０２の外周面に食い込む。
この状態で、図２０に示すように、取外し工具７を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０２の外周面に突起７８２が食い込んだ状態でＨ形リング３０２が第２マニホールドブロック１４０の第２シール溝１４３から離脱し、Ｈ形リング３０２が取り外される。
【００５５】
この第３の実施の形態の取外し工具７によれば、Ｈ形リング３０２の中空円筒部に取外し工具７のガイド軸７３を挿入して、つまみネジ７９を回転させるだけで、ガイド軸７３と係止爪７５とによりＨ形リング３０２を狭持するように、突起７８２をＨ形リング３０２の外周面に食い込ませることができ、容易にＨ形リング３０２を取り外すことができる。
【実施例４】
【００５６】
つぎに、第４の実施の形態について説明する。この第４の実施の形態では、第２の実施の形態で説明した取外し工具６を用いる。そして、取り外すＨ形リング３０３が、図２１に示すように、その内周面の上下方向略中央部に、凹溝３４を設けたものである。
したがって、この第４の実施の形態は、第２の実施の形態の図１２から図１５において、Ｈ形リング３０２をＨ形リング３０３に置き換えたものであるので、図２２、図２３により異なる部分のみを説明する。
【００５７】
取外し工具６の初期状態は、図１２に示すような状態となっている。
このような状態の取外し工具６を、図１２に示すように、先端部６８からＨ形リング３０３の中空円筒部に挿入する。そして、図１３に示すように、鍔部６３の下面をＨ形リング３０３の上面に当接させる。
この状態では、先端部６８の突起６８２がＨ形リング３０３の凹溝３４に対峙している。
【００５８】
そして、一方の手でつまみ部６５１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でボディ６０のつまみ部６１を回転させる。すると、ボディ６０が係止爪６５に対して徐々に下方にねじ込まれ、ガイド軸６３の先端部６３１が下降し、やがて先端部６３１が筒部６６の先端部６８の内周面６８３に当接する。
さらにボディ６０をねじ込むと、図２２に示すように、筒部６６がスリット６６１により分割されているので、ガイド軸６３の先端部６３１により先端部６８が外方に押し広げられ、突起６８２がラジアル方向に移動する。すると、図２３の拡大図に示すように、突起６８２がＨ形リング３０３の凹溝３４に係合する。
【００５９】
この状態で、図１５に示すように、取外し工具６を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０３の凹溝３４に突起６８２が係合した状態でＨ形リング３０３が第２マニホールドブロック１４０の第２シール溝１４３から離脱し、Ｈ形リング３０３が取り外される。
【００６０】
この第４の実施の形態によれば、Ｈ形リング３０３の凹溝３４に取外し工具６の突起６８２を係合させることができ、係合状態を確実に保持しながらＨ形リング３０３を取り外すことができる。
【実施例５】
【００６１】
つぎに、第５の実施の形態について説明する。この第５の実施の形態では、第３の実施の形態で説明した取外し工具７を用いる。そして、取り外すＨ形リング３０４が、図２４に示すように、その外周面の上面および下面からそれぞれ同一の高さ位置に２本の凹溝３４ａ、３４ｂを設けたものである。凹溝３４ａ、３４ｂを上面および下面からそれぞれ同一の高さ位置に設けるのは、Ｈ形リング３０４をどのような上下の位置で取り付けても同一になるようにするためである。
したがって、この第５の実施の形態は、第３の実施の形態の図１６から図２０において、Ｈ形リング３０２をＨ形リング３０４に置き換えたものであるので、図２５、図２６により異なる部分のみを説明する。
【００６２】
取外し工具７の初期状態は、図１６に示すような状態となっている。
このような状態の取外し工具７を、図１７に示すように、ガイド軸７３の先端部７３１をＨ形リング３０４の中空部に挿入する。そして、図１８に示すように、筒部７６の先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０４の外周を包むようにさらに挿入し、下端面７８１を第２マニホールドブロック１４０の上面に当接させる。このとき、ガイド軸７３は上下方向で固定され、つまみ部７１と係止爪７５とつまみネジ７９とがバネ７３９の付勢力に抗して一体的に下方に摺動する。この状態では、先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０４の外周面に対峙している。
【００６３】
そして、一方の手でつまみ部７１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でつまみネジ７９を回転させる。すると、つまみネジ７９が係止爪７５に対して徐々に下方にねじ込まれ、つまみネジ７９の内周面７９２が筒部７６の外周に沿って下降する。筒部７６の外周面が先端部７８で僅かに大径となる緩やかな傾斜面となっているため、内周面７９２によって内側に押圧される。
【００６４】
筒部７６が内側に押圧されるとスリット７６１により内側に変位し、その結果、図２５、図２６に示すように、突起７８２がＨ形リング３０４の凹溝３４ａに嵌合する。
この状態で、図２０に示すように、取外し工具７を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０４の凹溝３４ａに突起７８２がに嵌合した状態でＨ形リング３０４が第２マニホールドブロック１４０の第２シール溝１４３から離脱し、Ｈ形リング３０４が取り外される。
【００６５】
この第５の実施の形態の取外し工具７によれば、Ｈ形リング３０４の中空円筒部に取外し工具７のガイド軸７３を挿入して、つまみネジ７９を回転させるだけで突起７８２をＨ形リング３０４の凹溝３４ａに嵌合させることができ、容易にＨ形リング３０４を取り外すことができる。
【実施例６】
【００６６】
つぎに、第６の実施の形態について説明する。この第６の実施の形態では、第２の実施の形態で説明した取外し工具６を用いる。そして、取り外すＨ形リング３０５が、図２７に示すように、その内周面の上下方向略中央部で円周を４等分する位置（９０°）に、４個の凸部３３ｂを設けたものである。
したがって、この第６の実施の形態は、第２の実施の形態の図１２から図１５において、Ｈ形リング３０２をＨ形リング３０５に置き換えたものであるので、図２８、図２９により異なる部分のみを説明する。
【００６７】
取外し工具６の初期状態は、図１２に示すような状態となっている。
このような状態の取外し工具６を、図１２に示すように、先端部６８からＨ形リング３０５の中空部に挿入する。そして、図１３に示すように、鍔部６３の下面をＨ形リング３０５の上面に当接させる。
この状態では、先端部６８の突起６８２がＨ形リング３０５の凸部３３ｂより下方に位置している。
【００６８】
そして、一方の手でつまみ部６５１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でボディ６０のつまみ部６１を回転させる。すると、ボディ６０が係止爪６５に対して徐々に下方にねじ込まれ、ガイド軸６３の先端部６３１が下降し、やがて先端部６３１が筒部６６の先端部６８の内周面６８３に当接する。
さらにボディ６０をねじ込むと、図２８に示すように、筒部６６がスリット６６１により分割されているので、ガイド軸６３の先端部６３１により先端部６８が外方に押し広げられる。すると、図２９の拡大図に示すように、突起６８２がＨ形リング３０５の凸部３３ｂの下面に入り込む。
この状態で、図１５に示すように、取外し工具６を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０５の凸部３３ｂに突起６８２が係合した状態でＨ形リング３０５が第２マニホールドブロック１４０の第２シール溝１４３から離脱し、Ｈ形リング３０５が取り外される。
【００６９】
この第６の実施の形態によれば、Ｈ形リング３０５の凸部３３ｂに取外し工具６の突起６８２を係合させることができ、係合状態を確実に保持しながらＨ形リング３０５を取り外すことができる。
【００７０】
なお、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施の形態では、取外し工具をエアオペレイト式開閉弁である薬液弁に適用したもので説明したが、手動式開閉弁、流量計、レギュレータなどに適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の各実施の形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材を取り付けたバルブユニットの外観斜視図である。
【図２】本発明の各実施の形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材を取り付けたバルブユニットの縦断面図である。
【図３】図２の（イ）部の拡大断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材の、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の側面図である。
【図６】図５のVI−VI線に沿う断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入した状態の、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入して回転した状態の、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部から引き上げる状態の、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図１０】本発明の第２、第３実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材の、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は底面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入する状態の縦断面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入した状態の縦断面図である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入して、係止爪が樹脂製シール部材の中空円筒部に食い込んだ状態の縦断面図である。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部から引き上げる状態の縦断面図である。
【図１６】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の縦断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態に係る取外し工具のガイド軸を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入した状態の縦断面図である。
【図１８】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の外周部に対峙させた状態の縦断面図である。
【図１９】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、ラジアル方向に移動させて、係止爪が樹脂製シール部材の外周部に食い込んだ状態の縦断面図である。
【図２０】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の円周部から引き上げる状態の縦断面図である。
【図２１】本発明の第２実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す第４実施形態の樹脂製シール部材の断面図である。
【図２２】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に設けた溝に嵌合させた状態の縦断面図である。
【図２３】図２２の（ロ）部の拡大断面図である。
【図２４】本発明の第３実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す第５実施形態の樹脂製シール部材の、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は断面図である。
【図２５】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の外周部に設けた溝に嵌合させた状態の縦断面図である。
【図２６】図２５の（ハ）部の拡大断面図である。
【図２７】本発明の第２実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す第６実施形態の樹脂製シール部材の、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図２８】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に設けた凸部に嵌合させた状態の縦断面図である。
【図２９】図２８の（ニ）部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１、６、７    取外し工具
１０、６０、７０  ボディ（係止爪移動手段）
１１、６１、７１  つまみ部
１３              軸部
２０              係合爪
２１              凹部
２３              凸部
２３１            段部
３０１、３０２、３０３、３０４、３０５  Ｈ型リング（樹脂製シール部材）
３１              第１周溝
３２              第２周溝
３３              凸部
３４              凹溝
６２、７５２      雄ネジ部
６３、７３        ガイド軸
６５、７５        係止爪
６５１            つまみ部
６５２、７９１    雌ネジ部
６６、７６        筒部
６６１、７６１    スリット
６７              鍔部
６８、７８        先端部
６８２、７８２    突起
７３９            バネ
１００            バルブユニット
１０１            樹脂製弁
１１０            第１マニホールドブロック（樹脂製本体）
１１１            第１流路（流路）
１１３            第１シール溝（挿入溝）
１１４            第１周状突起
１２０            第２マニホールドブロック
１２１            第２流路（弁孔流路）
１２３            第２シール溝（挿入溝）
１２４            第２周状突起
１３０            薬液弁
【図１】
2008002564.tif 000003
【図２】
2008002564.tif 000004
【図３】
2008002564.tif 000005
【図４】
2008002564.tif 000006
【図５】
2008002564.tif 000007
【図６】
2008002564.tif 000008
【図７】
2008002564.tif 000009
【図８】
2008002564.tif 000010
【図９】
2008002564.tif 000011
【図１０】
2008002564.tif 000012
【図１１】
2008002564.tif 000013
【図１２】
2008002564.tif 000014
【図１３】
2008002564.tif 000015
【図１４】
2008002564.tif 000016
【図１５】
2008002564.tif 000017
【図１６】
2008002564.tif 000018
【図１７】
2008002564.tif 000019
【図１８】
2008002564.tif 000020
【図１９】
2008002564.tif 000021
【図２０】
2008002564.tif 000022
【図２１】
2008002564.tif 000023
【図２２】
2008002564.tif 000024
【図２３】
2008002564.tif 000025
【図２４】
2008002564.tif 000026
【図２５】
2008002564.tif 000027
【図２６】
2008002564.tif 000028
【図２７】
2008002564.tif 000029
【図２８】
2008002564.tif 000030
【図２９】
2008002564.tif 000031
【手続補正書】
【提出日】平成18年6月26日(2006.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程等で使用される樹脂製の薬液弁で使用される樹脂製シール部材を取外すための取外し工具に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、ガスを供給するためのガス弁と、薬液を供給するための薬液弁が使用されている。ガス弁のシール構造においては、金属ガスケットが使用されている。金属ガスケットの取外し工具として、特許文献１、特許文献２に記載されているものが公知である。
【０００３】
薬液弁としては、腐食性の高い薬液を供給するためにフッ素樹脂等の樹脂製薬液弁が使用されている。樹脂製の薬液弁を樹脂製のマニホールド本体に取り付ける場合に、金属ガスケットをシールに使用できないため、中空円筒形状の樹脂製シール部材を使用している。
そして、樹脂製シール部材に形成された溝に、マニホールド本体に形成された周状突起、及び薬液弁に形成された周状突起を圧入することにより、シールを行っている。
【０００４】
【特許文献１】特開平10-296653号公報
【特許文献２】特開平08-085586号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術には以下のような問題があった。
すなわち、ガス弁では、マニホールド本体等が金属製であり、同じく金属製のガスケットを、マニホールド本体で挟み込んで押しつぶすことでシールが行われているので、マニホールド本体を解体したときに、ガスケットは容易にマニホールド本体から離脱させることができる。
【０００６】
それに対して、薬液弁においては、薬液弁及びマニホールド本体が共に樹脂製であり、シール部材も樹脂製のため、薬液弁及びマニホールド本体に形成された周状突起が樹脂製シール部材に形成された溝に圧入されているので、薬液弁をマニホールド本体から取り外したときに、樹脂製シール部材がどちらかの周状突起に嵌まり込んでしまい、圧入で嵌め込まれたシール部材を手作業で離脱させることが困難であった。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、樹脂製の本体に形成された周状突起に嵌まり込んでいる樹脂製シール部材を容易に離脱することのできる取外し工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するために、本発明の取外し工具は、次のような構成を有している。（１）樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具であって、樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、樹脂製本体に形成された周状突起、及び樹脂製弁に形成された周状突起を圧入することにより、シールする構造と、内周面の円周上に断続的に形成された凸部とを備え、外周上に断続的に形成され、凸部と係合する係合爪を有することを特徴とする。
【０００９】
（２）樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具であって、樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、樹脂製本体に形成された周状突起、及び樹脂製弁に形成された周状突起を圧入することにより、シールする構造を備え、樹脂製シール部材の内周面または外周面に食い込む係止爪と、係止爪をラジアル方向に移動させることにより、樹脂製シール部材に食い込ませる係止爪移動手段を有する。
【００１０】
（３）（２）に記載する取外し工具において、前記係止爪が複数に分割されており、前記係止爪移動手段が、工具本体に螺着されたつまみ部を手で回転させることにより、前記分割された係止爪を内方向または外方向に移動させることを特徴とする。
【００１１】
（４）（２）または（３）に記載する取外し工具において、前記樹脂製シール部材の内周面または外周面に凹部が形成されており、前記係止爪が前記凹部と係合することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
次に、上記構成を有する取外し工具の作用・効果について説明する。
樹脂製本体と樹脂製弁とを解体すると、樹脂製本体に形成された周状突起に、樹脂製のＨ型シール部材が、圧入された状態で残存する。Ｈ型シール部材は、圧入により嵌め込まれているので、取り外すのが容易でない。
【００１３】
本発明の（１）に記載する取外し工具によれば、樹脂製本体に形成された流路と、樹脂製弁に形成された弁孔流路とを連通させて取り付けるときに使用される樹脂製シール部材を取り外すための取外し工具であって、樹脂製シール部材が、中空円筒形状であって、両端面の各々に設けられた周状溝に、樹脂製本体に形成された周状突起、及び樹脂製弁に形成された周状突起をに圧入することにより、シールする構造と、内周面の円周上に断続的に形成された凸部とを備え、外周上に断続的に形成され、凸部と係合する係合爪を有するので、Ｈ型シール部材の凸部の無い箇所で係止爪を挿入した後、工具を回転させて、係止爪と凸部とを係合させ、工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を樹脂製本体、または樹脂製弁から取り外すことができる。
【００１４】
本発明の（２）に記載する取外し工具によれば、中空円筒状の樹脂製のＨ型シール部材の中空部に係止爪を挿入し、係止爪がＨ型シール部材の中央より下側の位置で、係止爪移動手段により、係止爪を外向きに移動させ、係止爪をＨ型シール部材の内周面に食い込ませる。十分食い込ませた状態で、取外し工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を樹脂製本体から離脱させることができる。使い捨てであるＨ型シール部材のみが傷が付いて、繰り返し使用する樹脂製本体は、傷つくことがない。
【００１５】
また、係止爪を中空円筒形状のＨ型シール部材の外周の外側に装着し、係止爪が、Ｈ型シール部材の中央より下側の位置で、係止爪移動手段により、係止爪を内向きに移動させ、係止爪をＨ型シール部材の外周面に食い込ませる。十分食い込ませた状態で、取り出し工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を樹脂製本体から離脱させることができる。使い捨てであるＨ型シール部材のみが傷が付いて、繰り返し使用する樹脂製本体は、傷つくことがない。
【００１６】
このとき、（３）に記載する取外し工具によれば、前記係止爪が複数に分割されており、前記係止爪移動手段が、工具本体に螺着されたつまみ部を手で回転させることにより、前記分割された係止爪を内方向または外方向に移動させることにすれば、簡単な構造で安定してＨ型シール部材を取り外すことができる。
【００１７】
また、（４）に記載する取外し工具によれば、前記樹脂製シール部材の内周面または外周面に凹部が形成されており、前記係止爪が前記凹部と係合させることにより、係止爪を強く食い込ませなくても、Ｈ型シール部材を取り外すことができる。さらに、凹部を深く形成すれば、食い込ませなくて、単に係合させるだけで、Ｈ型シール部材を取り外すことができる。
【００１８】
上記（１）に記載する取外し工具を使用する場合に、工具を回転させずに、係止爪を凸部を超えて挿入後、係止爪をラジアル方向に移動させて凸部と係合させ、工具を引っぱり上げることにより、Ｈ型シール部材を取り外すこともできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の一実施の形態である取外し工具について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は、本発明の第１実施形態に係る取外し工具を用いて取り外すシール部材を取り付けたバルブユニット１００の外観斜視図であり、図２は、図１に示すバルブユニット１００の縦断面図である。図３は、図２の（イ）部の拡大断面図である。
【００２１】
バルブユニット１００は、第１マニホールドブロック１１０（請求項の「樹脂製本体」に相当）と、該第１マニホールドブロック１１０にＨ型リング（請求項の「樹脂製シール部材」に相当）３０１を介して取り付けられる第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと、該第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃの、第１マニホールドブロック１１０と反対側に取り付けられる薬液弁１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃとを備え、第１マニホールドブロック１１０の、第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと反対側に取り付けられた取付プレート１５０Ａ，１５０Ｂ，１５０Ｃを介して半導体製造装置に組み付けられる。
【００２２】
第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃと薬液弁１３０Ａ、１３０Ｂ、１３０Ｃとにより樹脂製弁１０１Ａ、１０１Ｂ、１０１Ｃが形成される。
第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃには継手５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃが、第１マニホールドブロック１１０には継手５０Ｄがそれぞれ異なる方向へ向いて取り付けられている。
【００２３】
第２マニホールドブロック１２０は１個の薬液弁１３０に対して１個ずつ設けられ、第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃは、互いの側面を接触又は近接させて第１マニホールドブロック１１０上に配置されて省スペース化を計っている。
第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃは、同一形状をなすため、ここでは第２マニホールドブロック１２０Ａについてのみ説明し、第２マニホールドブロック１２０Ｂ、１２０Ｃの説明を割愛する。
【００２４】
第２マニホールドブロック１２０Ａは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）など耐熱性や耐腐食性の高い樹脂を略直方体のブロック状に成形したものである。第２マニホールドブロック１２０Ａは、薬液弁１３０Ａが取り付けられる上面（取付面）と、第１マニホールドブロック１１０に接触する下面（接触面）が同一の正方形状に形成され、４つの外側側面が取付面と接触面に垂直に接続している。外側側面の１つには、継手５０Ａが中央に設けられている。
【００２５】
第２マニホールドブロック１２０Ａは、薬液弁１３０Ａとの間に弁室を形成するための弁室形成部１２５Ａが上面から円柱状に開設され、弁室形成部１２５Ａの開口部にダイアフラム弁体１２２Ａが取り付けられている。
第２マニホールドブロック１２０Ａは、弁室形成部１２５Ａと同軸上に第２流路（請求項の「弁孔流路」に相当）１２１Ａが図中の上下方向に貫通して形成されており、第２流路１２１Ａが弁室形成部１２５Ａに開口する開口部の周りに弁座が設けられている。
【００２６】
一方、第１マニホールドブロック１１０は、ＰＴＦＥやＰＦＡなど耐熱性や耐腐食性の高い樹脂を略直方体のブロック状に成形したものである。第１マニホールドブロック１１０は、第２マニホールドブロック１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃに接触する上面（接触面）と、取付プレート１５０Ａ、１５０Ｂ、１５０Ｃが取り付けられる下面（取付面）とが同一の長方形状をなし、４つの外側側面が上面と下面に垂直に接続する。
【００２７】
第１マニホールドブロック１１０は、上面の幅が第２マニホールドブロック１２０Ａの下面の一辺と同一寸法に設定され、第１流路（請求項の「流路」に相当）１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃが長手方向に等間隔に穿設されている。第１流路１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃは、上面中央位置から垂直方向にそれぞれ穿設されている。
第１マニホールドブロック１１０は、外側側面の中央位置から水平方向に共通流路１１２が穿設され、第１流路１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃにそれぞれ連通する。継手５０Ｄは、共通流路１１２が開設される端面に一体的に設けられ、共通流路１１２に連通する。
【００２８】
このような第１マニホールドブロック１１０には、３個の同一構造のＨ形リング３０１、３０１、３０１を介して第２マニホールドブロック１２０Ａ，１２０Ｂ，１２０Ｃが取り付けられ、第２流路１２１Ａと第１流路１１１Ａの接続部分をシールする。
図３は、シール部分の拡大断面図であって、（Ａ）はＨ形リング３０１の装着前の状態を示し、（Ｂ）はＨ形リング３０１の装着後の状態を示す。
【００２９】
Ｈ形リング３０１は、ＰＴＦＥよりやや硬いＰＦＡや変性ＰＴＦＥにより形成され、その断面がＨ形の中空円筒形状をなす。Ｈ形リング３０１は、肉厚なリング形状をなし、その下面において、肉厚方向（半径方向）中央に第１周溝３１が形成され、リング状の第１凹凸条をなしている。同じく、Ｈ形リング３０１は、その上面において、肉厚方向（半径方向）中央に第２周溝３２が形成され、リング状の第２凹凸条をなしている。
本第１の実施の形態で使用されるＨ形リング３０１の内周面の上下方向中央部には、該内周面から内側に突出する凸部３３ａ（図４参照）が、円周を３等分する位置に設けられている。
【００３０】
一方、第２マニホールドブロック１２０Ａの下面には、第２流路１２１Ａの開口部外側に第２シール溝（挿入溝）１２３Ａが環状に形成されている。第２シール溝１２３Ａの底部には、第１マニホールドブロック１１０側へ延びる第２周状突起１２４Ａが突設され、第２凸凹条を形成する。第２凸凹条は、Ｈ形リング３０１の第２周溝３２に対応する第２周状突起１２４Ａを有し、円環状に構成される。
【００３１】
また、第１マニホールドブロック１１０の上面には、第１流路１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃの開口部外側に第１シール溝（挿入溝）１１３Ａ、１１３Ｂ、１１３Ｃがそれぞれ環状に形成されている。第１シール溝１１３Ａ、１１３Ｂ、１１３Ｃは同一構造をなすので、ここでは第１シール溝１１３Ａを例に挙げて説明し、第１シール溝１１３Ｂ、１１３Ｃの説明を割愛する（符号「Ａ」も省略する。）。
第１シール溝１１３の底部には、第２マニホールドブロック１２０Ａ側へ延びる第１周状突起１１４が突設され、第１凸凹条を形成する。第１凸凹条は、Ｈ形リング３０１の第１周溝３１に対応する第１周状突起１１４を有し、円環状に構成される。
【００３２】
以上のように構成されたバルブユニット１００を分解するに当たり、Ｈ形リング３０１を第１マニホールドブロック１１０から取り外すための、第１の実施の形態に係る取外し工具の構成を説明する。
第１実施の形態の取外し工具１を用いて取り外すＨ形リング３０１は、図４に示すように、Ｈ形リング３０１の内周面３０１ｎの円周上に円周を３等分する位置に、中心に向かって突出する凸部３３ａを断続的に形成したものである。
【００３３】
上記のようなＨ形リング３０１を取り外す取外し工具１は、図５に示すように、金属製あるいは樹脂製の丸棒状のボディ１０と、その下端に一体的に形成した係合爪２０とを備えるものである。
ボディ１０は、その上部に形成された、取外し工具１を人手で回転しやすいように外周にローレット加工を施したつまみ部１１と、該つまみ部１１から連続してつまみ部１１より小径の軸部１３とを備えている。
【００３４】
軸部１３の下端には、該軸部１３より大径で、Ｈ形リング３０１の中空円筒部より若干小径の係合爪２０が一体的に形成されている。係合爪２０は、図６に示すように、円周を３等分する位置に凹部２１と凸部２３と、凸部２３の上面から所定の高さで凹部２１と連続するように削られた段部２３１とを備えている。
すなわち、凹部２１と凸部２３と段部２３１とは、係合爪２０の円周上で軸心から略４０°づつの角度で形成されている。
【００３５】
以上のように構成された第１の実施の形態の取外し工具１を用いてＨ形リング３０１を取り外す動作について説明する。このとき、Ｈ形リング３０１は第１マニホールドブロック１１０に残されているものとする（以下の実施の形態でも同一とする）。
図７（Ａ）に示すように、先ず係合爪２０の凹部２１にＨ形リング３０１の内周面３０１ｎに設けられた凸部３３ａが入るように、取外し工具１を回転させてＨ形リング３０１の上部から係合爪２０を挿入する。
【００３６】
そして、図７（Ｂ）に示すように、係合爪２０の上面が凸部３３ａの下部からさらに下方に位置するまで挿入する。この状態で、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、係合爪２０の凸部３３ａが段部２３１の上部に位置するように取外し工具１を回転させる（本実施の形態では時計方向）。
すると、図９（Ａ）に示すように、段部２３１に凸部３３ａが係合するので、図９（Ｂ）に示すように、取外し工具１を上方に引き上げる。段部２３１と凸部３３ａが係合した状態でＨ形リング３０１が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０１が取り外される。
【００３７】
この第１の実施の形態の取外し工具１によれば、Ｈ形リング３０１の中空円筒部に取外し工具１を挿入して、約４０°回転させるだけで係合爪２０の段部２３１とＨ形リング３０１の凸部３３ａを係合させることができ、容易にＨ形リング３０１を取り外すことができる。
【実施例２】
【００３８】
つぎに、第２の実施の形態の取外し工具６の構成について説明する。第２実施の形態の取外し工具６を用いて取り外すＨ形リング３０２は、図１０に示すように、Ｈ形リング３０２の中空円筒部の内周面３０２ｎには何も設けられていないものである。
【００３９】
上記のようなＨ形リング３０２を取り外す取外し工具６は、図１１に示すように、金属製あるいは樹脂製の棒状のボディ（請求項の「係止爪移動手段」に相当）６０と、その外周に螺合する係止爪６５とを備えるものである。
ボディ６０は、その上部に形成された、取外し工具６を人手で回転しやすいように外周にローレット加工を施したつまみ部６１と、該つまみ部６１から連続してつまみ部６１より小径の雄ネジ部６２と、該雄ネジ部６２よりさらに小径のガイド軸６３とを備えている。
ガイド軸６３の先端部６３１は先細状に傾斜面が形成されている。
【００４０】
係止爪６５は、ボディ６０の雄ネジ部６２に螺合する雌ネジ部６５２が内周面に形成され、つまみ部６１と略同一外径を有する厚肉筒状のつまみ部６５１と、該つまみ部６５１から連続し、ガイド軸６３の外周に沿う小径で薄肉の筒部６６と、筒部６６の下部で外周方向に張り出す鍔部６７と、該鍔部６７より下部で先細状の先端部６８とを備える。
【００４１】
筒部６６から先端部６８には、円筒を４等分するスリット６６１が設けられている。
先端部６８の外周面６８１は、先細状の傾斜面に形成され、その上端は筒部６６の外径より若干大径となり、突起６８２が形成されている。
先端部６８の内周面６８３は、鍔部６７と突起６８２との高さ方向略中間部で、筒部６６の内周面より内側に突出し、さらに先細状の傾斜面に形成されている。
【００４２】
以上のように構成された第２の実施の形態の取外し工具６を用いてＨ形リング３０１を取り外す動作について説明する。取外し工具６の初期状態は、図１１に示すように、係止爪６５の内周面６８３に対してボディ６０の先端部６３１が十分上方にあり、突起６８２の外径がＨ形リング３０２の内周面３０２ｎの内径より僅かに小さい状態となっている。
【００４３】
このような状態の取外し工具６を、図１２に示すように、先端部６８からＨ形リング３０２の中空円筒部に挿入する。そして、図１３に示すように、鍔部６７の下面がＨ形リング３０２の上面に当接するまで挿入する。
この状態では、先端部６８の突起６８２がＨ形リング３０２の内周面３０２ｎの高さ方向の略中間部に対峙している。
【００４４】
そして、一方の手でつまみ部６５１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でボディ６０のつまみ部６１を回転させる。すると、ボディ６０が係止爪６５に対して徐々に下方にねじ込まれ、ガイド軸６３の先端部６３１が下降し、やがて先端部６３１が筒部６６の先端部６８の内周面６８３の上部に当接する。
さらにボディ６０をねじ込むと、図１４に示すように、筒部６６がスリット６６１により分割されているので、ガイド軸６３の先端部６３１により先端部６８がラジアル方向（図１４の矢印方向）に押し広げられる。すると、突起６８２がＨ形リング３０２の内周面３０２ｎに強制的に食い込む。
【００４５】
この状態で、図１５に示すように、取外し工具６を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０２の内周面３０２ｎに突起６８２が食い込んだ状態でＨ形リング３０２が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０２が取り外される。
この第２の実施の形態の取外し工具６によれば、Ｈ形リング３０２の中空円筒部に取外し工具６を挿入して、ボディ６０を回転させるだけで突起６８２をＨ形リング３０２の内周面３０２ｎに食い込ませることができ、容易にＨ形リング３０２を取り外すことができる。
【実施例３】
【００４６】
つぎに、第３の実施の形態の取外し工具７の構成について説明する。第３の実施の形態の取外し工具７を用いて取り外すＨ形リング３０２は、第２の実施の形態のものと同様に図１０に示すＨ形リング３０２の内周面３０２ｎには何も設けられていないものである。
【００４７】
上記のようなＨ形リング３０２を取り外す取外し工具７は、図１６に示すように、金属製あるいは樹脂製のボディ７０のつまみ部７１と、上端外周をつまみ部７１に固定され、内部にガイド軸７３を上下動可能に支持した係止爪７５と、該係止爪７５の上部外周に形成した雄ネジ部７５２に螺合する雌ネジ部７９１を上部内周に形成し、下部内周で係止爪７５の外周に当接しているつまみネジ（請求項の「係止爪移動手段」に相当）７９とを備えるものである。
【００４８】
つまみ部７１は、外周面にローレット加工が施され、下方に開口する断面コ字形の厚肉円筒状のものである。
係止爪７５は、外周に、上部をつまみ部７１の内周面にビス７１９により固定された軸部７５１と、該軸部７５１と略同径の雄ネジ部７５２と、該雄ネジ部７５２から傾斜面７５３を介して外側に広がり、後述する先端部７８がＨ形リング３０２の外径より大きく形成された筒部７６とを備え、内周に、軸部７５１で後述するガイド軸７３の上部の細径部７３３が上下に摺動可能に嵌合する摺動孔７５１ａと、該摺動孔７５１ａより大径で雄ネジ部７５２の内側でバネ７３９を収納する収納孔７５２ａと、傾斜面７５３と平行に外側に広がり、筒部７６を形成する内壁７６ａと、該筒部７６の下端の先端部７８とを備えている。
【００４９】
筒部７６の外周面は先端部７８で僅かに大径となる緩やかな傾斜面となっている。
先端部７８は、下端面７８１がわずかに内側に突出して、その先端に突起７８２が形成されている。筒部７６から先端部７８には、円筒を４等分するスリット７６１が設けられている。
つぎに、ガイド軸７３は、上半部の細径部７３３と、下半部で収納孔７５２ａを上下に摺動可能な外径を有する大径部７３５と、該大径部７３５の先端で先細状の傾斜面で形成された先端部７３１とを備えている。
【００５０】
上半部の細径部７３３の上端は摺動孔７５１ａより突出し、Ｃリング７５９で抜け留めされている。ガイド軸７３の細径部７３３と収納孔７５２ａとの間の空隙には、係止爪７５に対してガイド軸７３を常時下方に付勢するバネ７３９が収納されている。
バネ７３９の付勢力でガイド軸７３が下限にあるときは、該ガイド軸７３の先端部７３１は係止爪７５の下端面７８１より突出した状態にある。
【００５１】
つまみネジ７９は、外径が略ボディ７０のつまみ部７１と同径の厚肉円筒状で、上部内面に形成され、係止爪７５の雄ネジ部７５２に螺合する雌ネジ部７９１と、該雌ネジ部７９１の下部の内径が該雌ネジ部７９１より若干大きく形成された内周面７９２とを備え、該内周面７９２の下部が係止爪７５の筒部７６に接触している。
【００５２】
以上のように構成された第３の実施の形態の取外し工具７を用いて、Ｈ形リング３０２を取り外す動作について説明する。取外し工具７の初期状態は、図１６に示すように、ガイド軸７３がバネ７３９の付勢力により下方に押圧され、細径部７３３の上端のＣリング７５９が軸部７５１の上面に当接した下限にあり、つまみネジ７９の内周面７９２の下部が筒部７６の上部に当接した状態にある。
【００５３】
このような状態の取外し工具７を、図１７に示すように、ガイド軸７３の先端部７３１をＨ形リング３０２の中空部に挿入する。そして、図１８に示すように、筒部７６の先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０２の外周を包むようにさらに挿入し、下端面７８１を第１マニホールドブロック１１０の上面に当接させる。このとき、ガイド軸７３は上下方向で固定され、つまみ部７１と係止爪７５とつまみネジ７９とがバネ７３９の付勢力に抗して一体的に下方に摺動する。この状態では、先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０２の外周面に対峙している。
【００５４】
そして、一方の手でつまみ部７１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でつまみネジ７９を回転させる。すると、つまみネジ７９が係止爪７５に対して徐々に下方にねじ込まれ、つまみネジ７９の内周面７９２が筒部７６の外周に沿って下降する。筒部７６の外周面が先端部７８で僅かに大径となる緩やかな傾斜面となっているため、筒部７６が内周面７９２によって内側に押圧される。
筒部７６が内側に押圧されるとスリット７６１により係止爪７５がラジアル方向に移動し、その結果、図１９に示すように、突起７８２がＨ形リング３０２の外周面に食い込む。
この状態で、図２０に示すように、取外し工具７を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０２の外周面に突起７８２が食い込んだ状態でＨ形リング３０２が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０２が取り外される。
【００５５】
この第３の実施の形態の取外し工具７によれば、Ｈ形リング３０２の中空円筒部に取外し工具７のガイド軸７３を挿入して、つまみネジ７９を回転させるだけで、ガイド軸７３と係止爪７５とによりＨ形リング３０２を狭持するように、突起７８２をＨ形リング３０２の外周面に食い込ませることができ、容易にＨ形リング３０２を取り外すことができる。
【実施例４】
【００５６】
つぎに、第４の実施の形態について説明する。この第４の実施の形態では、第２の実施の形態で説明した取外し工具６を用いる。そして、取り外すＨ形リング３０３が、図２１に示すように、その内周面の上下方向略中央部に、凹溝３４を設けたものである。
したがって、この第４の実施の形態は、第２の実施の形態の図１２から図１５において、Ｈ形リング３０２をＨ形リング３０３に置き換えたものであるので、図２２、図２３により異なる部分のみを説明する。
【００５７】
取外し工具６の初期状態は、図１２に示すような状態となっている。
このような状態の取外し工具６を、図１２に示すように、先端部６８からＨ形リング３０３の中空円筒部に挿入する。そして、図１３に示すように、鍔部６７の下面をＨ形リング３０３の上面に当接させる。
この状態では、先端部６８の突起６８２がＨ形リング３０３の凹溝３４に対峙している。
【００５８】
そして、一方の手でつまみ部６５１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でボディ６０のつまみ部６１を回転させる。すると、ボディ６０が係止爪６５に対して徐々に下方にねじ込まれ、ガイド軸６３の先端部６３１が下降し、やがて先端部６３１が筒部６６の先端部６８の内周面６８３に当接する。
さらにボディ６０をねじ込むと、図２２に示すように、筒部６６がスリット６６１により分割されているので、ガイド軸６３の先端部６３１により先端部６８が外方に押し広げられ、突起６８２がラジアル方向に移動する。すると、図２３の拡大図に示すように、突起６８２がＨ形リング３０３の凹溝３４に係合する。
【００５９】
この状態で、図１５に示すように、取外し工具６を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０３の凹溝３４に突起６８２が係合した状態でＨ形リング３０３が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０３が取り外される。
【００６０】
この第４の実施の形態によれば、Ｈ形リング３０３の凹溝３４に取外し工具６の突起６８２を係合させることができ、係合状態を確実に保持しながらＨ形リング３０３を取り外すことができる。
【実施例５】
【００６１】
つぎに、第５の実施の形態について説明する。この第５の実施の形態では、第３の実施の形態で説明した取外し工具７を用いる。そして、取り外すＨ形リング３０４が、図２４に示すように、その外周面の上面および下面からそれぞれ同一の高さ位置に２本の凹溝３４ａ、３４ｂを設けたものである。凹溝３４ａ、３４ｂを上面および下面からそれぞれ同一の高さ位置に設けるのは、Ｈ形リング３０４をどのような上下の位置で取り付けても同一になるようにするためである。
したがって、この第５の実施の形態は、第３の実施の形態の図１６から図２０において、Ｈ形リング３０２をＨ形リング３０４に置き換えたものであるので、図２５、図２６により異なる部分のみを説明する。
【００６２】
取外し工具７の初期状態は、図１６に示すような状態となっている。
このような状態の取外し工具７を、図１７に示すように、ガイド軸７３の先端部７３１をＨ形リング３０４の中空部に挿入する。そして、図１８に示すように、筒部７６の先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０４の外周を包むようにさらに挿入し、下端面７８１を第１マニホールドブロック１１０の上面に当接させる。このとき、ガイド軸７３は上下方向で固定され、つまみ部７１と係止爪７５とつまみネジ７９とがバネ７３９の付勢力に抗して一体的に下方に摺動する。この状態では、先端部７８の突起７８２がＨ形リング３０４の外周面に対峙している。
【００６３】
そして、一方の手でつまみ部７１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でつまみネジ７９を回転させる。すると、つまみネジ７９が係止爪７５に対して徐々に下方にねじ込まれ、つまみネジ７９の内周面７９２が筒部７６の外周に沿って下降する。筒部７６の外周面が先端部７８で僅かに大径となる緩やかな傾斜面となっているため、内周面７９２によって内側に押圧される。
【００６４】
筒部７６が内側に押圧されるとスリット７６１により内側に変位し、その結果、図２５、図２６に示すように、突起７８２がＨ形リング３０４の凹溝３４ａに嵌合する。
この状態で、図２０に示すように、取外し工具７を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０４の凹溝３４ａに突起７８２がに嵌合した状態でＨ形リング３０４が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０４が取り外される。
【００６５】
この第５の実施の形態の取外し工具７によれば、Ｈ形リング３０４の中空円筒部に取外し工具７のガイド軸７３を挿入して、つまみネジ７９を回転させるだけで突起７８２をＨ形リング３０４の凹溝３４ａに嵌合させることができ、容易にＨ形リング３０４を取り外すことができる。
【実施例６】
【００６６】
つぎに、第６の実施の形態について説明する。この第６の実施の形態では、第２の実施の形態で説明した取外し工具６を用いる。そして、取り外すＨ形リング３０５が、図２７に示すように、その内周面の上下方向略中央部で円周を４等分する位置（９０°）に、４個の凸部３３ｂを設けたものである。
したがって、この第６の実施の形態は、第２の実施の形態の図１２から図１５において、Ｈ形リング３０２をＨ形リング３０５に置き換えたものであるので、図２８、図２９により異なる部分のみを説明する。
【００６７】
取外し工具６の初期状態は、図１１に示すような状態となっている。
このような状態の取外し工具６を、図１２に示すように、先端部６８からＨ形リング３０５の中空部に挿入する。そして、図１３に示すように、鍔部６７の下面をＨ形リング３０５の上面に当接させる。
この状態では、先端部６８の突起６８２がＨ形リング３０５の凸部３３ｂより下方に位置している。
【００６８】
そして、一方の手でつまみ部６５１を固定して上記の状態を維持させながら、他方の手でボディ６０のつまみ部６１を回転させる。すると、ボディ６０が係止爪６５に対して徐々に下方にねじ込まれ、ガイド軸６３の先端部６３１が下降し、やがて先端部６３１が筒部６６の先端部６８の内周面６８３に当接する。
さらにボディ６０をねじ込むと、図２８に示すように、筒部６６がスリット６６１により分割されているので、ガイド軸６３の先端部６３１により先端部６８が外方に押し広げられる。すると、図２９の拡大図に示すように、突起６８２がＨ形リング３０５の凸部３３ｂの下面に入り込む。
この状態で、図１５に示すように、取外し工具６を上方に引き上げると、Ｈ形リング３０５の凸部３３ｂに突起６８２が係合した状態でＨ形リング３０５が第１マニホールドブロック１１０の第１シール溝１１３から離脱し、Ｈ形リング３０５が取り外される。
【００６９】
この第６の実施の形態によれば、Ｈ形リング３０５の凸部３３ｂに取外し工具６の突起６８２を係合させることができ、係合状態を確実に保持しながらＨ形リング３０５を取り外すことができる。
【００７０】
なお、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
（１）例えば、上記実施の形態では、取外し工具をエアオペレイト式開閉弁である薬液弁に適用したもので説明したが、手動式開閉弁、流量計、レギュレータなどに適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の各実施の形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材を取り付けたバルブユニットの外観斜視図である。
【図２】本発明の各実施の形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材を取り付けたバルブユニットの縦断面図である。
【図３】図２の（イ）部の拡大断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材の、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の側面図である。
【図６】図５のVI−VI線に沿う断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入した状態の、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入して回転した状態の、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部から引き上げる状態の、（Ａ）は横断面図、（Ｂ）は縦断面図である。
【図１０】本発明の第２、第３実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す樹脂製シール部材の、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の、（Ａ）は縦断面図、（Ｂ）は底面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入する状態の縦断面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入した状態の縦断面図である。
【図１４】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入して、係止爪が樹脂製シール部材の中空円筒部に食い込んだ状態の縦断面図である。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部から引き上げる状態の縦断面図である。
【図１６】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の縦断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態に係る取外し工具のガイド軸を、樹脂製シール部材の中空円筒部に挿入した状態の縦断面図である。
【図１８】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の外周部に対峙させた状態の縦断面図である。
【図１９】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、ラジアル方向に移動させて、係止爪が樹脂製シール部材の外周部に食い込んだ状態の縦断面図である。
【図２０】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の円周部から引き上げる状態の縦断面図である。
【図２１】本発明の第２実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す第４実施形態の樹脂製シール部材の断面図である。
【図２２】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に設けた溝に嵌合させた状態の縦断面図である。
【図２３】図２２の（ロ）部の拡大断面図である。
【図２４】本発明の第３実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す第５実施形態の樹脂製シール部材の、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は断面図である。
【図２５】本発明の第３実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の外周部に設けた溝に嵌合させた状態の縦断面図である。
【図２６】図２５の（ハ）部の拡大断面図である。
【図２７】本発明の第２実施形態に係る取外し工具を用いて取り外す第６実施形態の樹脂製シール部材の、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図である。
【図２８】本発明の第２実施形態に係る取外し工具の係止爪を、樹脂製シール部材の中空円筒部に設けた凸部に嵌合させた状態の縦断面図である。
【図２９】図２８の（ニ）部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１、６、７    取外し工具
１０、６０、７０  ボディ（係止爪移動手段）
１１、６１、７１  つまみ部
１３              軸部
２０              係合爪
２１              凹部
２３              凸部
２３１            段部
３０１、３０２、３０３、３０４、３０５  Ｈ型リング（樹脂製シール部材）
３１              第１周溝
３２              第２周溝
３３              凸部
３４              凹溝
６２、７５２      雄ネジ部
６３、７３        ガイド軸
６５、７５        係止爪
６５１            つまみ部
６５２、７９１    雌ネジ部
６６、７６        筒部
６６１、７６１    スリット
６７              鍔部
６８、７８        先端部
６８２、７８２    突起
７３９            バネ
１００            バルブユニット
１０１            樹脂製弁
１１０            第１マニホールドブロック（樹脂製本体）
１１１            第１流路（流路）
１１３            第１シール溝（挿入溝）
１１４            第１周状突起
１２０            第２マニホールドブロック
１２１            第２流路（弁孔流路）
１２３            第２シール溝（挿入溝）
１２４            第２周状突起
１３０            薬液弁
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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