(57)【要約】【課題】３個以上の情報記録層を有する多層型光記録媒体の各中間層の厚みを予め設定した設定値の範囲内で正確に形成する光記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】ディスク状の基板上に光透過性を有する中間層を挟んで少なくとも３層の情報記録層を形成する工程を有し、基板３側から数えて第２番目以降の情報記録層を形成する面上に、記録膜及び反射膜を形成しない中間層モニター領域を設け、第２番目以降の情報記録層側から中間層モニター領域を透過して基板３側から数えて第１番目の情報記録層を照射するモニター用光ビーム１７により中間層の厚みを測定することを特徴とする光記録媒体の製造方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の基板上に光透過性を有する中間層を挟んで少なくとも３層の情報記録層を形成する工程を有し、
前記基板側から数えて第２番目以降の前記情報記録層を形成する面上に、記録膜及び反射膜を形成しない中間層モニター領域を設け、
前記第２番目以降の前記情報記録層側から前記中間層モニター領域を透過して前記基板側から数えて第１番目の前記情報記録層を照射するモニター用光ビームにより、前記中間層の厚みを測定する
ことを特徴とする光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記基板の前記情報記録層を形成する側の面に当該基板と接する前記反射膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記モニター用光ビームは、波長４００ｎｍ〜４１０ｎｍの範囲において単一波長の平行ビームであることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記モニター用光ビームにより測定した前記中間層の前記厚みと予め設定した当該中間層の厚みとの差が所定の許容範囲である場合に、さらに、当該中間層上に前記情報記録層を形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記モニター用光ビームの入射側から見て最も遠い前記情報記録層に照射し、当該情報記録層の表面から反射する第１の反射光と、当該モニター用光ビームの入射側から見て最も近い前記中間層の表面から反射する第２の反射光との干渉スペクトラムに基き、当該中間層の厚みを測定することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記中間層モニター領域は、前記基板側から数えて第２番目以降の前記情報記録層を形成する前記面の内周側に、ディスク状の前記基板の円周方向に沿って所定の幅で少なくとも１箇所設けることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記基板上の前記情報記録層を形成する面の内周部に、バーコード情報を記録するためのバーストカッティングエリア（ＢＣＡ）を設け、
前記中間層モニター領域を前記バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法。
【請求項８】
ディスク状の基板と、
前記基板に入射する光の入射面側に設けられ、光透過性の中間層を挟んで形成される少なくとも３層の情報記録層と、
形成された前記情報記録層上に他の層を介して形成される光透過性のカバー層と、
前記光が入射する前記カバー層側から見て最も遠い位置に形成する前記情報記録層に、他の前記情報記録層を透過せずに、当該光を照射することが可能な中間層モニター領域と、を有することを特徴とする光記録媒体。
【請求項９】
前記情報記録層を形成する面の内周部に設けられ、管理情報をバーコード情報として記録するためのバーストカッティングエリア（ＢＣＡ）をさらに有し、
前記バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に少なくとも１個の前記中間層モニター領域を設けることを特徴とする請求項８に記載の光記録媒体。
【請求項１０】
前記基板の前記光が入射する面に接して形成された反射膜を有することを特徴とする請求項８に記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体等に関し、より詳しくは、光透過性の中間層（中間層）を介して積層した３層以上の情報記録層を有する光記録媒体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マルチメディア（ｍｕｌｔｉ  ｍｅｄｉａ）化に対応して、大量のデータを高密度で記録し、かつ迅速に記録再生する情報記録媒体としての光記録媒体（光ディスク）が注目されている。このような光ディスクとしては、例えば、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ）又はＬＤ（Ｌａｓｅｒｄｉｓｃ）等のように、光ディスクの基板の製作時に刻まれた情報の再生のみが行われる再生専用型ディスク；ＣＤ−Ｒ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）等のように、一回だけの記録を可能とした追記型ディスク；光磁気記録方式や相変化記録方式を用いて、何回もデータの書き換え又は消去が可能な書き換え型ディスク等が知られている。
【０００３】
一方、光ディスクにデータを記録し、記録されたデータを再生する方法は、レーザ光を対物レンズを用いて回折限界にまで絞り込んだ光スポットを照射して行われる。この光スポットの径（スポット径）は、レーザ光の波長λと対物レンズの開口数ＮＡとを用いて（λ／ＮＡ）程度となる。近年の光ディスクの大容量化の要求に応え、上述した光ディスク製品は高密度化されている。また、高密度化された光ディスク製品に情報を記録・再生するための光ヘッド装置は、光ディスク面上に集光するスポット径を小さくする必要がある。このため、レーザ光源の波長を６５０ｎｍ又は６３５ｎｍとしたり、対物レンズの開口数ＮＡを０．６にしている。さらに、次世代の光記録においてはレーザ光源の波長を４００ｎｍ程度、対物レンズの開口数ＮＡを０．６５以上とすることにより、より大きな記録密度を得ることが提案されている。
【０００４】
さらに、レーザ光源の短波長化や対物レンズの高開口数ＮＡ化が限界に達すると、新しい大容量化技術として、情報記録媒体の深さ方向へ情報を記録することにより更なる大容量化を図る方法が考えられている。このような大容量化の方法としては、例えば、バルク状態の情報記録媒体に３次元的に記録再生を行う方法と、複数の情報記録層を積み重ねた多層型光記録媒体を利用する方法とが挙げられる。
【０００５】
このうち多層型光記録媒体としては、２層再生専用型ディスク（２層ＤＶＤ−ＲＯＭ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ））や２層追記型ディスク（２層ＤＶＤ−Ｒ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ））等がすでに商品化されている。同様に、２層書き換え型ディスクも開発が進められている。また、特許文献１に記載されているように、３層以上の情報記録層を有する多層型光記録媒体において、情報記録層間での多重反射による影響を低減するために、隣り合う情報記録層間に設ける光透過性の中間層の厚みを変える方式も検討されている。例えば、４層の場合には３つの中間層の厚みをすべて変えることにより、情報記録層間での多重反射、いわゆる層間クロストークを効果的に抑制している。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２１３７２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、多層型光記録媒体は、チルトマージンや球面収差補正の観点から、レーザ光が入射する側であるカバー層表面から一番奥に形成される情報記録層までの距離を、現状では１００μｍ程度にする必要がある。このために、隣り合う情報記録層間の中間層の厚みをそれぞれ薄くしている。更に、層間クロストーク（再生層以外からの反射光）を抑制するために、各中間層の厚みの差が、最小で２μｍ程度と小さくなる場合がある。
【０００８】
従って、このような多層型光記録媒体の製造過程では、各中間層の厚みを正確にモニターし、最終的な製造歩留まりを高める必要がある。ここで、モニターとは、多層型光記録媒体の製造過程において、各中間層の厚みを測定し、その測定値が予め設定した設定値の範囲内であるかどうかを判断する操作をいう。
【０００９】
このような多層型光記録媒体の製造過程において、光透過性の各中間層の厚みをモニターする場合には、光の干渉を利用する干渉計を用いる。例えば、基板上に２個の情報記録層を有する２層型光記録媒体の１個の中間層の厚みは、以下のように求める。即ち、空気と光の入射側から見た中間層の表面とで反射した光と、中間層を通り抜けた後、基板もしくは基板上の記録膜又は反射膜で反射した光と、が干渉することにより得られる干渉スペクトラムを測定し、この測定した干渉スペクトラムに基づき、中間層の厚みを計算により求める。
【００１０】
しかし、３個以上の情報記録層を有する多層型光記録媒体の場合は、通常、中間層の数が２個以上となるため、上述した干渉計を用いて各中間層の厚みを求めると、以下の問題が生じる。
（１）各中間層の両側に形成した記録膜又は反射膜等の間で生じる多重反射の影響により、得られる干渉スペクトラムの最大吸収スペクトラム（中間層の厚みに対応）の幅が広がり、各中間層の厚みの切り分けが難しくなる。
（２）各中間層の厚みの差が小さいと、ほぼ同じようなところに最大吸収スペクトラムが出るため、各中間層の厚みの切り分けが難しくなる。
このため、多層型光記録媒体の中間層の数が増えるほど、各中間層の厚みを正確に求めることが困難となる。
【００１１】
本発明の課題は、３個以上の情報記録層を有する多層型光記録媒体において、各中間層の厚みを予め設定した設定値の範囲内で正確に形成し、製造工程における多層型光記録媒体の最終的な製造歩留まりが向上する光記録媒体の製造方法及び光記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
かかる課題を解決するために、本発明では３層以上の情報記録層を有する光記録媒体の製造方法において、中間層が形成される所定の場所に中間層モニター領域を設け、この中間層モニター領域にモニター用光ビームを情報記録層側から照射して中間層の厚みを測定する方法を採用している。
【００１３】
即ち、請求項１に係る発明は、ディスク状の基板上に光透過性を有する中間層を挟んで少なくとも３層の情報記録層を形成する工程を有し、前記基板側から数えて第２番目以降の前記情報記録層を形成する面上に、記録膜及び反射膜を形成しない中間層モニター領域を設け、前記第２番目以降の前記情報記録層側から前記中間層モニター領域を透過して前記基板側から数えて第１番目の前記情報記録層を照射するモニター用光ビームにより、前記中間層の厚みを測定することを特徴とする光記録媒体の製造方法である。
【００１４】
ここで、中間層モニター領域は、モニター用光ビームの入射側から見て最も近い中間層と最も遠い中間層の間に記録膜及び反射膜が無い状態で形成される。このため、中間層モニター領域を透過させて第１の情報記録層にモニター用光ビームを照射すると、記録膜等による多重反射の影響を受けることなく中間層の厚みを正確に測定することができる。
【００１５】
請求項２に係る発明は、前記基板の前記情報記録層を形成する側の面に当該基板と接する前記反射膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法である。モニター用光ビームの入射側から見て最も遠い第１の情報記録層の基板と接する面側に反射膜を設け、第１の情報記録層に照射するモニター用光ビームの反射率を高めることができる。
請求項３に係る発明は、前記モニター用光ビームは、波長４００ｎｍ〜４１０ｎｍの範囲において単一波長の平行ビームであることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法である。
【００１６】
請求項４に係る発明は、前記モニター用光ビームにより測定した前記中間層の前記厚みと予め設定した当該中間層の厚みとの差が所定の許容範囲である場合に、さらに、当該中間層上に前記情報記録層を形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法である。ここで、各中間層を形成する度にその厚みを測定することで製造歩留まりを高くすることができる。
【００１７】
請求項５に係る発明は、前記モニター用光ビームの入射側から見て最も遠い前記情報記録層に照射し、当該情報記録層の表面から反射する第１の反射光と、当該モニター用光ビームの入射側から見て最も近い前記中間層の表面から反射する第２の反射光との干渉スペクトラムに基き、当該中間層の厚みを測定することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法である。
ここで、形成された各中間層の厚み（Ｍｍ）は、積層されたｍ個の中間層の厚みの合計Ｄｍから、積層された（ｍ−１）個の中間層の厚みの合計Ｄｍ−１を減じて求められる。
【００１８】
請求項６に係る発明は、前記中間層モニター領域は、前記基板側から数えて第２番目以降の前記情報記録層を形成する前記面の内周側に、ディスク状の前記基板の円周方向に沿って所定の幅で少なくとも１箇所設けることを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法である。
請求項７に係る発明は、前記基板上の前記情報記録層を形成する面の内周部に、バーコード情報を記録するためのバーストカッティングエリア（Ｂｕｒｓｔ  Ｃｕｔｔｉｎｇ  Ａｒｅａ：ＢＣＡ）を設け、前記中間層モニター領域を前記バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に形成することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体の製造方法である。
【００１９】
ここで、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に、ディスク状の基板の円周方向に沿って、中間層モニター領域とバーコード情報の記録再生領域（ＢＣＡ記録再生領域）とが交互になるように設けてもよい。これにより、新たに中間層モニター領域を設ける必要がない。
ただし、ＢＣＡ記録再生領域の反射率と中間層モニター領域の反射率とが異なるため、予めＢＣＡ記録再生領域の円周方向の少なくとも前後どちらかにＢＣＡ記録再生領域を示す目印となる信号を付加することが好ましい。
【００２０】
請求項８に係る発明は、ディスク状の基板と、前記基板に入射する光の入射面側に設けられ、光透過性の中間層を挟んで形成される少なくとも３層の情報記録層と、形成された前記情報記録層上に他の層を介して形成される光透過性のカバー層と、前記光が入射する前記カバー層側から見て最も遠い位置に形成する前記情報記録層に、他の前記情報記録層を透過せずに、当該光を照射することが可能な中間層モニター領域と、を有することを特徴とする光記録媒体である。
請求項９に係る発明は、前記情報記録層を形成する面の内周部に設けられ、管理情報をバーコード情報として記録するためのバーストカッティングエリア（ＢＣＡ）をさらに有し、前記バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に少なくとも１個の前記中間層モニター領域を設けることを特徴とする請求項８に記載の光記録媒体である。
請求項１０に係る発明は、前記基板の前記光が入射する面に接して形成された反射膜を有することを特徴とする請求項８に記載の光記録媒体である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、多重反射の影響を受けずに各中間層の厚みの測定が可能となり、このため多層型光記録媒体の製造過程における製造歩留まりを高くすることができる。
本発明の製造方法によれば、特に、３層以上の情報記録層を有する多層型光記録媒体の製造歩留まりが向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、発明の実施の形態）について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することが出来る。また、使用する図面は本実施の形態を説明するためのものであり、実際の大きさを表すものではない。
【００２３】
図１は、光記録媒体を説明する図である。
図１に示すように、光記録媒体１は、中央部に中心孔１ａを設けた平面ディスク状の基板３を有する。後述するように、情報記録層を構成する記録膜及び反射膜を有しない部分である中間層モニター領域２は、基板３の内周部に設けた中心孔１ａの全周に亘り円周方向に沿って形成されている。
【００２４】
図２は、図１におけるＡ−Ｂの断面図である。中心から右半分の断面図を示した。ここでは、光記録媒体の一例として、記録／再生光として４０５ｎｍの青色レーザ光を使用するＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ（ＢＤ）を例に挙げて説明する。
図２に示す光記録媒体１は、５個の光透過性の中間層を挟んで６個の情報記録層を有している。図２に示すように、光記録媒体１は、厚み１．１ｍｍの平面ディスク状の基板３と、基板３の記録／再生光Ｌが入射する面側に接して形成された反射層（反射膜）４とを有する。反射層４上には、記録／再生光Ｌにより情報を記録又は再生するための第１の情報記録層５（Ｌ０）と光透過性を有する第１の中間層６（Ｓ１）が順に形成されている。
第１の中間層６（Ｓ１）上には、第２の情報記録層７（Ｌ１）及び第２の中間層８（Ｓ２）と、第３の情報記録層９（Ｌ２）及び第３の中間層１０（Ｓ３）と、第４の情報記録層１１（Ｌ３）及び第４の中間層１２（Ｓ４）と、第５の情報記録層１３（Ｌ４）及び第５の中間層１４（Ｓ５）と、が順に積層されている。
さらに、第５の中間層１４（Ｓ５）上には、第６の情報記録層１５（Ｌ５）が形成され、記録／再生光Ｌが入射する側から見て最も近い表面側には、カバー層１６を有する。
【００２５】
図２に示すように、光記録媒体１は、第１の中間層６（Ｓ１）上に順に積層される第２の情報記録層７（Ｌ１）〜第６の情報記録層１５（Ｌ５）において、それぞれの情報記録層を形成する面の内周側に、記録膜及び反射膜を有しない中間層モニター領域２（２１，２２，２３，２４，２５）が設けられている。各情報記録層における中間層モニター領域２１，２２，２３，２４，２５は、その半径方向の幅（Ｗ）が略同じになるように、５個の情報記録層（第２の情報記録層７（Ｌ１）〜第６の情報記録層１５（Ｌ５））が基板３の略同じ半径位置から外周に向けて半径方向に形成されている。
各情報記録層における中間層モニター領域２１，２２，２３，２４，２５には記録膜及び反射膜が形成されないので、カバー層１６側から見て最も遠い位置に形成されている第１の情報記録層５（Ｌ０）に、他の５個の情報記録層（第２の情報記録層７（Ｌ１）〜第６の情報記録層１５（Ｌ５））を透過せずに、モニター用光ビーム１７を照射することが可能である。
【００２６】
図２に示す光記録媒体１において、基板３を形成するための材料としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等が挙げられる。基板３の記録／再生光Ｌが入射する側の面には、ピット又はグルーブから構成される凹凸パターンが形成されている。凹凸パターンは、光記録媒体１が、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）型の場合はピットが形成され、Ｒ（Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ）型又はＲＷ（Ｒｅｗｒｉｔａｂｌｅ）型の場合はグルーブが形成される。ここで、「グルーブ」、「ピット」は、通常、情報の記録／再生のために使用される凹部という意味で用いられる。尚、本実施の形態では、情報の記録／再生のために使用される部位が記録／再生光Ｌが入射する側に突出する凸部についても「グルーブ」、「ピット」という用語を用いる。
【００２７】
反射層４は、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｇｅ、Ａｇ、Ｐｔ等を使用し、スパッタにより形成する。
６個の情報記録層（第１の情報記録層５（Ｌ０）〜第６の情報記録層１５（Ｌ５））は、例えば、酸化物系記録膜の両面を誘電体層で挟んだ形態で形成されている。酸化物系記録膜の材料としては、例えば、ＢｉＯ、ＧｅＯ等の酸化物が挙げられる。誘電体層の材料としては、例えば、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＺｎＯ、ＣｅＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＳｉＮ、ＡｌＮ、ＧｅＮ、ＧｅＣｒＮ、ＺｎＳ等が挙げられる。
【００２８】
５個の中間層（第１の中間層６（Ｓ１）〜第５の中間層１４（Ｓ５））は、例えば、光透過性の紫外線硬化樹脂を用いて形成される。各中間層の形成方法としては、例えば、各情報記録層上に所定の紫外線硬化樹脂の前駆体を塗布し、次に、光透過性スタンパを載置し、その後、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂の前駆体を硬化させるフォトポリメリゼーション法（Ｐｈｏｔｏ  Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ：２Ｐ法）；シート状の光透過性樹脂を用いるナノプリント法等が挙げられる。本実施の形態では、５個の中間層の各厚みは、通常、１０μｍ〜３０μｍ程度である。また、各中間層のカバー層１６側の表面には、基板３と同様に、ピット又はグルーブから構成される凹凸パターンが形成されている。
【００２９】
カバー層１６は、光透過性材料を用いて形成される。光透過性材料としては、例えば、アクリル系紫外線硬化性樹脂、エポキシ系紫外線硬化性樹脂等が挙げられる。また、前述した、ポリカーボネート樹脂のシートを貼着しても良い。本実施の形態では、カバー層１６の厚みは、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度である。
【００３０】
図３は、光記録媒体の製造方法を説明する図である。
初めに、図３（ａ）に示すように、基板３のピット又はグルーブから構成される凹凸パターンが形成されている面上に、Ａｌ系合金をターゲットとしたスパッタにより反射層４を形成する。続いて、反射層４上に、誘電体層／酸化物系記録膜／誘電体層をスパッタにより積層し、第１の情報記録層５（Ｌ０）を形成する。続いて、第１の情報記録層５（Ｌ０）上に紫外線硬化樹脂から構成される第１の中間層６（Ｓ１）を２Ｐ法により形成する。第１の中間層６（Ｓ１）の表面には、ピット又はグルーブから構成される凹凸パターンが形成されている。
【００３１】
次に、基板３上に反射層４を介して形成した第１の情報記録層５（Ｌ０）に、第１の中間層６（Ｓ１）側から第１の中間層６（Ｓ１）を透過させてモニター用光ビーム１７を照射し、第１の情報記録層５（Ｌ０）の表面から反射する第１の反射光と、第１の中間層６（Ｓ１）の表面から反射する第２の反射光との干渉スペクトラムに基き、第１の中間層６（Ｓ１）の厚みを測定する。モニター用光ビーム１７により測定した第１の中間層６（Ｓ１）の厚み（Ｄ１）と、予め設定した第１の中間層６（Ｓ１）の厚みとの差が所定の許容範囲である場合に、さらに、第１の中間層６（Ｓ１）上に情報記録層を形成する工程に進む。
ここで、モニター用光ビーム１７は、波長４００ｎｍ〜４１０ｎｍの範囲において単一波長の平行ビームであることが好ましい。本実施の形態では、４０５ｎｍの青色レーザ光を使用する。
【００３２】
次に、図３（ｂ）に示すように、第１の中間層６（Ｓ１）の表面に第２の情報記録層７（Ｌ１）を形成し、続いて、第２の中間層８（Ｓ２）を形成する。ここで、第２の情報記録層７（Ｌ１）を形成する面の内周側に、半径方向の幅（Ｗ）で中心孔１ａ（図１参照）の円周方向に沿って全周に亘り、記録膜及び反射膜を有しない中間層モニター領域２１を設ける。本実施の形態では、中間層モニター領域２１の半径方向の幅（Ｗ）は、２ｍｍである。
中間層モニター領域２１は、第１の中間層６（Ｓ１）を形成したディスク状の基板３の中心付近を、例えば、中心孔１ａ（図１参照）と同心円状の形状を有する押さえ治具で覆い、続いて、酸化物系記録膜等をスパッタすることにより形成する。このとき、押さえ治具で覆った部分は、第１の中間層６（Ｓ１）上に記録膜及び反射膜を有しない中間層モニター領域２１として設けられる。
図６は、中間層モニター領域２１を形成する際に用いる押さえ治具の図である。図６（ａ）は、中心孔１ａ（図１参照）と同心円状の形状を有する押さえ治具２ａであり、図６（ｂ）は、後述するように、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に中間層モニター領域を設ける際に使用する押さえ治具２ｂである。
【００３３】
続いて、中間層モニター領域２１に第２の中間層８（Ｓ２）の表面から第２の中間層８（Ｓ２）及び第１の中間層６（Ｓ１）を透過させて、基板３上に反射層４を介して形成した第１の情報記録層５（Ｌ０）にモニター用光ビーム１７を照射する。次に、第１の情報記録層５（Ｌ０）の表面から反射する第１の反射光と、第２の中間層８（Ｓ２）の表面から反射する第２の反射光との干渉スペクトラムに基き、第１の中間層６（Ｓ１）及び第２の中間層８（Ｓ２）の２個の中間層の合計の厚み（Ｄ２）を測定する。そして、測定した第１の中間層６（Ｓ１）及び第２の中間層８（Ｓ２）の合計の厚み（Ｄ２）から、前述した第１の中間層６（Ｓ１）の厚み（Ｄ１）を減じて（Ｄ２−Ｄ１）、第２の中間層８（Ｓ２）の厚み（Ｍ２＝Ｄ２−Ｄ１）を求める。
モニター用光ビーム１７により測定した第２の中間層８（Ｓ２）の厚み（Ｍ２）と、予め設定した第２の中間層８（Ｓ２）の厚みとの差が所定の許容範囲である場合に、さらに、第２の中間層８（Ｓ２）上に情報記録層を形成する工程に進む。
【００３４】
次に、図３（ｃ）に示すように、第２の情報記録層７（Ｌ１）の場合と同様な操作により、第２の中間層８（Ｓ２）の表面に第３の情報記録層９（Ｌ２）を形成し、続いて、第３の中間層１０（Ｓ３）を形成する。ここで、第３の情報記録層９（Ｌ２）を形成する面の内周側に、半径方向の幅（Ｗ）で中心孔１ａ（図１参照）の円周方向に沿って全周に亘り、記録膜及び反射膜を有しない中間層モニター領域２２を設ける。
続いて、前述した第２の中間層８（Ｓ２）の厚み（Ｓ２）を求めるのと同じ操作により、中間層モニター領域２２に第３の中間層１０（Ｓ３）の表面から３個の中間層（第３の中間層１０（Ｓ３）〜第１の中間層６（Ｓ１））を透過させて、基板３上に形成した第１の情報記録層５（Ｌ０）にモニター用光ビーム１７を照射し、干渉スペクトラムに基き、３個の中間層の合計の厚み（Ｄ３）を測定する。そして、測定した３個の中間層の合計の厚み（Ｄ３）から、前述した２個の中間層（第１の中間層６（Ｓ１）、第２の中間層８（Ｓ２））の合計の厚み（Ｄ２）を減じて（Ｄ３−Ｄ２）、第３の中間層１０（Ｓ３）の厚み（Ｍ３＝Ｄ３−Ｄ２）を求める。
モニター用光ビーム１７により測定した第３の中間層１０（Ｓ３）の厚み（Ｍ３）と、予め設定した第３の中間層１０（Ｓ３）の厚みとの差が所定の許容範囲である場合に、さらに、第３の中間層１０（Ｓ３）上に情報記録層を形成する工程に進む。
【００３５】
同様に、図３（ｄ）に示すように、第３の中間層１０（Ｓ３）上に第４の情報記録層１１（Ｌ３）及び第４の中間層１２（Ｓ４）を形成し、続いて、図３（ｅ）に示すように、第４の中間層１２（Ｓ４）上に第５の情報記録層１３（Ｌ４）及び第５の中間層１４（Ｓ５）と、第６の情報記録層１５（Ｌ５）とをそれぞれ形成する。
また、第４の情報記録層１１（Ｌ３）を形成する面と、第５の情報記録層１３（Ｌ４）を形成する面及び第６の情報記録層１５（Ｌ５）を形成する面の内周側に、それぞれ、半径方向の幅（Ｗ）で記録膜及び反射膜を有しない中間層モニター領域２３，２４，２５を設ける。
【００３６】
そして、モニター用光ビーム１７を、中間層モニター領域２３，２４，２５及び中間層モニター領域２１を透過させて第１の情報記録層５（Ｌ０）に照射し、干渉スペクトラムに基いて測定した第４の中間層１２（Ｓ４）及び第５の中間層１４（Ｓ５）の厚みと、予め設定した第４の中間層１２（Ｓ４）及び第５の中間層１４（Ｓ５）の厚みとの差が所定の許容範囲である場合に、さらに、次の工程に進む。
最後に、第６の情報記録層１５（Ｌ５）上に、接着剤によりカバー層１６（図２参照）を貼着する（図示せず）。
【００３７】
図３（ａ）〜図３（ｄ）に示すように、５個の中間層（第１の中間層６（Ｓ１）〜第５の中間層１４（Ｓ５））の記録／再生光Ｌの照射側から見て近い側のそれぞれの面には、それぞれ記録膜及び反射膜を形成しない中間層モニター領域２１，２２，２３，２４，２５を設ける。このため、各中間層を形成する毎に、中間層モニター領域２１，２２，２３，２４，２５にモニター用光ビーム１７を入射すると、各工程におけるモニター用光ビーム１７が入射する側から見て最も遠い位置に形成する第１の情報記録層５（Ｌ０）に、モニター用光ビーム１７が入射する側から見て近い側に形成する他の情報記録層を透過せずにモニター用光ビーム１７を照射することが可能となる。
【００３８】
その結果、各中間層を形成する毎に、他の情報記録層が存在することによる多重反射の影響を受けずに各中間層の厚みの測定が可能となる。このとき、形成した各中間層の厚みと予め設定した厚みとの差が許容範囲から逸脱する場合には、それ以降の工程を中止する。このような中間層の厚みの検査（モニター）を各中間層を形成する毎に行うことにより、すべての中間層を形成した後で不良品を除くという従来の製造方法における製造歩留まりの低下が抑えられる。
【００３９】
尚、図３（ａ）〜図３（ｄ）では、中間層モニター領域２１，２２，２３，２４，２５を、第２の情報記録層７（Ｌ１）〜第６の情報記録層１５（Ｌ５）を形成する面のそれぞれ内周側に、基板３の円周方向に沿って所定の幅（Ｗ）で設けているが、必ずしもこれに限定されない。即ち、記録膜及び反射膜を形成しない中間層モニター領域は、基板３側から数えて第２番目以降の情報記録層を形成する面に、所定の幅（Ｗ）で少なくとも１箇所設けることができる。
【００４０】
次に、他の実施の形態について説明する。
図４は、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０内に中間層モニター領域２を設けた例を示す図である。図４に示すように、光記録媒体１は、平面ディスク状の基板３の中心孔１ａの周囲にバーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０を有している。ここで、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）は、ユーザー情報を管理又は著作権を保護するための管理情報等が、例えばＹＡＧレーザによりディスクに刻まれたバーコードゾーンである。ユーザー情報としては、プログラム、データ、アプリケーション情報等が挙げられる。
【００４１】
図４に示すように、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０内に、記録膜及び反射膜を形成しない中間層モニター領域２が４箇所（２６，２７，２８，２９）設けられている。これら４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）は、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０におけるバーコード情報を記録した４個のＢＣＡ記録再生領域３１，３２，３３，３４と交互に配置されている。
このようにバーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０は、バーコード情報を記録する領域として、光記録媒体１のユーザーデータを記録する領域の内側に、独立に専用の領域として設けられているので、この領域内に中間層モニター領域２を設けることにより、新たに情報記録層の半径方向に中間層モニター領域を設ける必要がない。
【００４２】
図５は、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０を円周方向に展開した断面構造を示す図である。図２と同様な部分については同じ符号を用いて説明を省略する。図５に示すように、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０内に設けた４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）は、５個の中間層（第１の中間層（Ｓ１）〜第５の中間層（Ｓ５））の記録／再生光Ｌの照射側から見て近い側の面には、それぞれ記録膜及び反射膜を形成されていない。
このため、各中間層を形成する毎に、４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）のいずれか１箇所にモニター用光ビーム１７を入射すると、モニター用光ビーム１７が入射する側から見て最も遠い位置に形成する第１の情報記録層（Ｌ０）に、他の５個の情報記録層（第２の情報記録層（Ｌ１）〜第６の情報記録層（Ｌ５））を透過せずにモニター用光ビーム１７を照射し、他の情報記録層が存在することによる多重反射の影響を受けずに各中間層の厚みの測定が可能となる。
【００４３】
ここで、４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）は、第１の情報記録層（Ｌ０）及び第１の中間層（Ｓ１）を形成したディスク状の基板３の中心付近を、専用の押さえ治具で覆い、続いて、酸化物系記録膜等をスパッタすることにより形成する。このとき、押さえ治具で覆った部分は、記録膜及び反射膜を有しない４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）として各中間層上に設けられる。
押さえ治具としては、例えば図６（ｂ）に示すように、中心孔１ａ（図４参照）と同心円状の形状を有する本体部２ｂ０と、本体部２ｂ０の周囲に、４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）に対応する形状の４個の爪部２ｂ１，２ｂ２，２ｂ３，２ｂ４を有するものが挙げられる。
【００４４】
このように、バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）３０内に４箇所の中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）を設ける場合は、ＢＣＡ記録再生領域３１，３２，３３，３４に記録されたバーコード情報の記録再生方法を変更するだけで従来ディスクとの互換性を取ることが可能となる。
このとき、ＢＣＡ記録再生領域３１，３２，３３，３４の反射率と中間層モニター領域２（２６，２７，２８，２９）の反射率とが異なるため、予めＢＣＡ記録再生領域３１，３２，３３，３４の円周方向の少なくとも前後どちらかにＢＣＡ記録再生領域３１，３２，３３，３４を示す目印となる信号を付加することが好ましい。
【００４５】
以上のように、中間層モニター領域２にモニター用光ビーム１７を入射する場合、モニター用光ビーム１７の入射側から見て最も近い側の中間層と最も遠い側の中間層の間に記録膜及び反射膜が無いので、複数の情報記録層が存在することによる多重反射の影響がほとんど無い状態で、各中間層の厚みを正確に検査（モニター）することができる。その結果、光記録媒体の製造過程での歩留まりを高くすることができ、最終的に安価な多層光記録媒体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】光記録媒体を説明する図である。
【図２】図１におけるＡ−Ｂの断面図である。
【図３】光記録媒体の製造方法を説明する図である。
【図４】バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）内に中間層モニター領域を設けた例を示す図である。
【図５】バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）を円周方向に展開した断面構造を示す図である。
【図６】中間層モニター領域を形成する際に用いる押さえ治具の図である。
【符号の説明】
【００４７】
１…光記録媒体、２…中間層モニター領域、３…基板、４…反射層、５…第１の情報記録層（Ｌ０）、６…第１の中間層（Ｓ１）、７…第２の情報記録層（Ｌ１）、８…第２の中間層（Ｓ２）、９…第３の情報記録層（Ｌ２）、１０…第３の中間層（Ｓ３）、１１…第４の情報記録層（Ｌ３）、１２…第４の中間層（Ｓ４）、１３…第５の情報記録層（Ｌ４）、１４…第５の中間層（Ｓ５）、１５…第６の情報記録層（Ｌ５）、１６…カバー層、１７…モニター用光ビーム、３０…バーストカッティングエリア（ＢＣＡ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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