(57)【要約】【課題】移動体（ハンドラ）の揺れを少なくし、インデキシングに関わる機構の簡素化をはかる。【解決手段】コンタクトヘッドに保持した被測定デバイスを搬送する搬送手段と、前記被測定デバイスの電気的特性を測定するテストサイトと、デバイストレイに載置した前記被測定デバイスを間欠的に移動させるインデキシング手段と、を備えたデバイス搬送装置において、  前記搬送手段は２つのコンタクトヘッドが同時に逆方向に水平移動するように構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンタクトヘッドに保持した被測定デバイスを搬送する搬送手段と、前記被測定デバイスの電気的特性を測定するテストサイトと、デバイストレイに載置した前記被測定デバイスを間欠的に移動させるインデキシング手段と、を備えたデバイス搬送装置において、
前記搬送手段は２つのコンタクトヘッドが同時に逆方向に水平移動するように構成したことを特徴とするデバイス搬送装置。
【請求項２】
前記２つのコンタクトヘッドは互いに高さを違えてすれ違えるように構成したことを特徴とする請求項１記載のデバイス搬送装置。
【請求項３】
前記搬送手段を構成するテストヘッドは、空きトレイを有するデバイストレイと、このデバイストレイの近傍に配置されたテストサイトの間を逆方向にすれ違いながら往復するように構成したことを特徴とする請求項１または２に記載のデバイス搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定デバイスをテストサイトで測定するために供給し、測定した前記被測定デバイスを収容するためのデバイス搬送装置に関し、コンタクトヘッドの移動によって生じる振動の減少をはかったデバイス搬送装置に関するものでる。
【背景技術】
【０００２】
デバイス搬送装置に関する先行技術としては下記の特許文献が知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２９３４３４号公報
【特許文献２】特開平７−２３９３６７号公報
【特許文献３】特開平１１−２８１７０４号公報
【０００４】
上記特許文献のうち、特開平６−２９３４３４号公報に記載された従来技術によるデバイス（以下、ＩＣという）搬送装置の構成を図３を用いて説明する。
図３において、５は測定部（テストサイト）、５Ａと５ＢはＩＣソケット、１０はＩＣ、１１は供給ステージ、１２は収容ステージ、１６は搬送機構、１６Ａと１６Ｂは吸着ハンド、１６Ｃと１６Ｄは吸着パッドである。
【０００５】
図３では、供給ステージ１１は第１の列Ｙ１に配置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ１１は複数の行に配置された凹部１１Ａ・１１Ｂをもつ。凹部１１Ａ・１１ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正される。収容ステージ１２は第２の列Ｙ２に配置され、Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ１２は複数の行に配置された凹部１２Ａ・１２Ｂをもつ。凹部１２Ａ・１２ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正される。
【０００６】
図３の凹部１１Ａ・１１Ｂと凹部１２Ａ・１２Ｂは同形状であり、ＩＣ１０の外形より僅かに大きい矩形の溝が形成されている。前記溝の入口部は傾斜が設けられているので、傾斜に案内されＩＣ１０に姿勢が補正される。ＩＣ１０が正確に位置決めされることにより、供給ステージ１１から後述するＩＣソケット５Ａ・５Ｂへの位置決めを容易にする。または、収容ステージ１２から次の工程への搬送を容易にする。
【０００７】
測定部（テストサイト）５はＩＣソケット５Ａ・５Ｂをもち、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂは第１の列Ｙ１と第２の列Ｙ２から等距離の列ＹＭ上に配置される。ＩＣソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離は凹部１１Ａ・１１Ｂおよび凹部１２Ａ・１２Ｂの行間距離と同じである。
【０００８】
搬送機構１６は、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄを備えている。吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂは、ＩＣ１０の上面を負圧により吸着する吸着パッドが内包され、前記吸着パッドの周囲にはＩＣ１０のリードに接触する圧接体が取り付けられる。吸着ハンド１６Ａ・１６ＢがＩＣ１０を吸着保持した状態で、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂに押下すると、前記圧接体はＩＣ１０のリードをＩＣソケット５Ａ・５Ｂの接触子に圧接する。吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂに内包される吸着パッドと同じものである。
【０００９】
図３では、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＺ軸方向に昇降する。吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄの列間距離は、第１の列Ｙ１と列ＹＭの距離と同じであり、吸着ハンド１６Ａと吸着ハンド１６Ｂの行間距離および吸着パッド１６Ｃと吸着パッド１６Ｄの行間距離は、ＩＣソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離と同じである。搬送機構１６は吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄを一体にしてＸ軸方向に移動する。
【００１０】
次に、図３の動作を図４から図６の状態変化図により説明する。図４から図６は図３の正面図である。図４の６０は移動体であり、移動体６０はシリンダ１６Ｅとシリンダ１６Ｆが取り付けられている。シリンダ１６Ｅが駆動されると、移動体６０の側壁に取り付けられたリニアガイドに案内されて、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂは昇降する。シリンダ１６Ｆが駆動されると、移動体６０の側壁に取り付けられたリニアガイドに案内されて、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは昇降する。モータ６０Ａはボールねじと連結し、前記ボールねじは移動体６０に取り付けられるボールナットと結合する。モータ６０Ａが回転すると、移動体６０をＸ軸方向に移動させる。
【００１１】
図４（ａ）の状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６ＢによりＩＣ１０がＩＣソケット５Ａ・５Ｂに搬送され、供給ステージ１１に次のＩＣ１０が待機している。なお、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上のＩＣ１０は測定が完了している。
【００１２】
図４（ａ）の状態から、移動体６０は供給ステージ１１側に移動し、図４（ｂ）の状態になる。図４（ｂ）の状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂは供給ステージ１１上に位置し、吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上に位置する。
【００１３】
図４（ｂ）の状態から、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは降下し、図５（ａ）の状態になる。図５（ａ）では、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂが供給ステージ１１のＩＣ１０を吸着するとともに、吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上のＩＣ１０を吸着する。図５（ａ）の状態から、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはそれぞれＩＣ１０を吸着保持して上昇し、図５（ｂ）の状態になる。
【００１４】
図５（ｂ）の状態から、移動体６０は収容ステージ１２側に移動し、図６（ａ）の状態になる。図６（ａ）の状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６ＢはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上に位置し、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは収容ステージ１２上に位置する。
【００１５】
図６（ａ）の状態から、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは降下し、図６（ｂ）の状態になる。図６（ｂ）では、吸着ハンド１６Ａ・１６ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接するとともに、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは収容ステージ１２上の凹部１２Ａ・１２ＢにＩＣ１０を解放する。
【００１６】
図６（ｂ）の状態から、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上のＩＣ１０が測定終了し、収容ステージ１２上のＩＣ１０が次の工程に搬送され、供給ステージ１１に次のＩＣ１０が搬送されると、図４（ａ）の状態に戻り、一連の搬送サイクルが完了する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
図４〜図６に示す搬送機構のコンタクトヘッドに保持されたデバイスの動きのみに注目すると図７に示すようなものとなる。即ち、移動体６０に取り付けられた吸着バンドと吸着パッドに吸着されたコンタクトヘッドは同時に矢印ＡまたはＢで示すＸ方向に同時に移動する。
このようにテストサイト２５を挟んでコンタクトヘッドへのＩＣの供給または収納ステージがあり、吸着ハンドは供給ステージとＩＣソケットの間を移動し、吸着パッドはＩＣソケットと収納ステージの間をそれぞれ同時に往復する。
【００１８】
ところで、コンタクトヘッドのインデキシングにおいて２つのコンタクトヘッドが同時に同方向に水平移動すると、２つのコンタクトヘッドの加速に必要な力の反力がハンドラにかかり、移動体（ハンドラ）が揺れ、テスタとの接続に悪影響を及ぼすという課題があった。また、コンタクトヘッドへのＩＣの供給またはコンタクトヘッドからのデバイスのステージが２箇所必要となり、インデキシングに関わる機構の構成が大きくなってコスト高になる。という課題があった。
【００１９】
本発明は上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、移動体（ハンドラ）の揺れを少なくし、インデキシングに関わる機構の簡素化をはかることによりコストの安いデバイス搬送装置を実現することに（ａ）る。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
このような課題を達成するための本発明のデバイス搬送装置の構成は、請求項１においては、
コンタクトヘッドに保持した被測定デバイスを搬送する搬送手段と、前記被測定デバイスの電気的特性を測定するテストサイトと、デバイストレイに載置した前記被測定デバイスを間欠的に移動させるインデキシング手段と、を備えたデバイス搬送装置において、
前記搬送手段は２つのコンタクトヘッドが同時に逆方向に水平移動するように構成したことを特徴とする。
【００２１】
請求項２においては、請求項１記載のデバイス搬送装置において、
前記２つのコンタクトヘッドは互いに高さを違えてすれ違えるように構成したことを特徴とする。
【００２２】
請求項３においては、請求項１または２に記載のデバイス搬送装置において、
前記搬送手段を構成するテストヘッドは、空きトレイを有するデバイストレイと、このデバイストレイの近傍に配置されたテストサイトの間を逆方向にすれ違いながら往復するように構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したことから明らかなように、本発明の請求項１乃至３によれば、
搬送手段は２つのコンタクトヘッドが同時に逆方向に水平移動するように、互いに高さを違えてすれ違えるように構成し、搬送手段を構成するテストヘッドは、空きトレイを有するデバイストレイと、このデバイストレイの近傍に配置されたテストサイトの間を逆方向にすれ違いながら往復するように構成したので、２つのコンタクトヘッドの加速に必要な力の反力が互いに逆方向に作用して、互いに打ち消しあうこととなる。その結果、搬送手段の揺れを防止することができテスタとの接続に悪影響を及ぼすことがない。
また、コンタクトヘッドへのデバイスを供給及び収容するデバイストレイが一列で済むので、インデキシングに関わる機構の構成をコンパクトで低コストにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１（ａ）は本発明の一実施例を示す搬送手段の要部の正面図、図１（ｂ）〜（ｆ）は搬送手段の動作を示す斜視図である。
なお、これらの図において、第１、第２搬送体２０、２１は図示しない駆動手段および制御手段により図１（ｂ）に示すＸＹＺ方向のうちＸ及びＺ方向へ駆動される。
【００２５】
また、第１，第２コンタクトヘッド２８，２９は第１，第２デバイス２３，２２を保持するための吸着手段等を備えているが図では省略している。また、第１コンタクトヘッド２８を搬送する第１搬送体２０の幅Ｌが、第２コンタクトヘッド２９を搬送する第２搬送体２１の幅Ｌ１よりも大きく形成されており、すれ違い可能となるように構成されている。
【００２６】
更に、第１，第２搬送体２１，２２のＸ方向にテストサイト（ＩＣソケット）とデバイストレイが配置されるが、図では省略している。また、図１（ｂ）〜（ｆ）ではコンタクトヘッドは省略して示している。
【００２７】
図１（ａ），（ｂ）は第１、第２搬送体２０、２１に取付けられたコンタクトヘッド２８，２９が第１，第２デバイス２３，２２を保持した状態で、紙面の奥方向と手前方向に高さＡを保って移動している途中の状態を示している。なお、この状態では第１搬送体のコンタクトヘッドに保持された第２デバイス２２は測定が終了し、第２搬送体２１のコンタクトヘッドに保持された第1デバイス２３は未測定の状態にあるものとする。
【００２８】
図１（ｃ）は，例えば第１搬送体２０がテストサイト（ＩＣソケット）の上まで、第２搬送体２１がデバイストレイの上まで高さＡを保持したまま移動した状態を示している。
次に図１（ｄ）に示すように第１、第２搬送体２０、２１は同時に降下を始め、高さＡプラスαのＢの高さ降りた状態で未測定の第２デバイス２３はテストサイトにコンタクトして測定が行われる。
【００２９】
一方、測定済みの第１デバイス２２はデバイストレイの空きトレイに載置され、次に、わずかにコンタクトヘッドが上昇し、その間にデバイスが載置されたデバイストレイが一つ移動する。次にコンタクトヘッドが下降して未測定のデバイスを保持し所定の位置まで第２搬送体が上昇し、図１（ｃ）に示す状態に戻る。
【００３０】
次に、図１（ｅ）に示すように第１，第２搬送体２０，２１はＡの高さを保ったまま互いにＸ方向に逆向きに移動し、未測定の第２デバイス２２がテストサイト上に、測定済みの第１デバイス２３がデバイストレイ上に移動する。
【００３１】
そしてこの状態で第１、第２搬送体２０、２１は同時に降下を始め、高さＡプラスαのＢの高さ降りた状態で未測定の第２デバイス２２はテストサイトにコンタクトして測定が行われ、測定済みの第１デバイス２３はデバイストレイの空きトレイに載置され、前述と同様にわずかにコンタクトヘッドが上昇し、その間にデバイストレイが一つ移動する。次にコンタクトヘッドが下降して未測定のデバイスを保持し所定の位置まで第１、第２搬送体２０、２１が上昇し、図１（ａ），（ｂ）に示す状態に戻る。
【００３２】
図２は図１に示す第１，第２搬送機構のコンタクトヘッドに保持されたデバイスの動きのみに注目したもので、第１，第２デバイスは同時に互いに逆方向に移動する。その結果、動作方向の衝撃がキャンセルされ搬送手段の揺れを減少させることができ、ＩＣソケット（図示省略）に接続されたテスタとの接続に悪影響を及ぼすことがない。
また、コンタクトヘッドへのデバイスを供給及び収容するデバイストレイが一列で済むので、インデキシングに関わる機構の構成をコンパクトで低コストにすることができる。
【００３３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。図では省略したが搬送体の機構やコンタクトヘッドの形状は公知のものを用いることができる。要は２つの搬送体のコンタクトヘッドに保持された２つのデバイスが同時に互いに水平方向に逆向きに移動する構成であればよい。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明を適用した搬送体の動作を示す要部構成図である。
【図２】コンタクトヘッドに保持されたデバイスの動きを示す説明図である。
【図３】従来のデバイス搬送装置の要部構成図である。
【図４】従来のデバイス搬送装置の動作説明図である。
【図５】従来のデバイス搬送装置の動作説明図である。
【図６】従来のデバイス搬送装置の動作説明図である。
【図７】従来のコンタクトヘッドに保持されたデバイスの動きを示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
５      測定部
５Ａ    ＩＣソケット
１０    ＩＣ
１１    供給ステージ
１１Ａ、１１Ｂ、１２Ａ、１２Ｂ  凹部
１２    収容ステージ
１６    搬送機構
１６Ａ、１６Ｂ  吸着ハンド
１６ｃ、１６Ｄ  吸着パッド
１６Ｅ、１６Ｆ  シリンダ
２０    第１搬送体
２１    第２搬送体
２２    第２デバイス
２３    第１デバイス
２８    第１コンタクトヘッド
２９    第２コンタクトヘッド
６０    移動体
６０Ａ    モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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