(57)【要約】【課題】補正ゲインを簡単に調整することができ、自動調整にも対応可能な光学的情報記録再生装置を提供する。【解決手段】メインビームによるメインプッシュプル信号を生成するＭＰＰ生成部２３、サブビームによるサブプッシュプル信号を生成するＳＰＰ生成部２４、サブプッシュプル信号の出力振幅を調整する可変ゲインアンプ２７を具備する。また、メインプッシュプル信号と可変ゲインアンプの出力からトラッキング誤差信号を生成する減算器２６、メインプッシュプル信号とサブプッシュプル信号の振幅を検出する振幅測定部２５を具備する。検出されたメインプッシュプル信号振幅とサブプッシュプル信号振幅に基づいて可変ゲインアンプのゲインを調整する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からのメインビームとサブビームを対物レンズによって光ディスク上に集光し、前記メインビームとサブビームの光ディスクによる反射光からトラッキング誤差信号を生成する光学的情報記録再生装置において、
前記メインビームによるメインプッシュプル信号を生成する手段と、
前記サブビームによるサブプッシュプル信号を生成する手段と、
前記サブプッシュプル信号の出力振幅を調整する手段と、
前記メインプッシュプル信号と前記振幅調整手段の出力から前記トラッキング誤差信号を生成する手段と、
前記メインプッシュプル信号の振幅を検出する手段と、
前記サブプッシュプル信号の振幅を検出する手段とを備え、
前記メインプッシュプル振幅検出手段で検出された振幅値と前記サブプッシュプル振幅手段で検出された振幅値に基づいて前記振幅調整手段のゲインを調整することを特徴とする光学的情報記録再生装置。
【請求項２】
前記ゲイン調整後に前記トラッキング誤差信号の出力振幅を調整することを特徴とする請求項１に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項３】
前記対物レンズを光ディスクの半径方向へ駆動し、前記光ディスクに照射する光ビームとトラックとの相対速度が一定になるように速度制御を行なう手段を具備し、前記速度制御中に前記メインプッシュプル信号とサブプッシュプル信号の振幅を検出し、その検出結果に基づいて前記ゲインを調整することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学的情報記録再生装置。
【請求項４】
前記光ディスクの装着時に前記ゲインを調整することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光学的情報記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクに情報を記録又は再生する光学的情報記録再生装置、特に、トラッキング誤差信号の生成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＤ等の光ディスク装置では光ディスク上に光スポットを集光し、この光スポットを光ディスクのトラックに追従させて情報の記録や再生を行なう。トラックに光スポットを追従させる為のトラッキング制御は光ディスクからの信号を対物レンズアクチュエータに帰還することにより行なう。トラッキング誤差信号の生成方法としては、差動プッシュプル法が知られている。これは、特許文献１に開示されている。
【０００３】
次に、差動プッシュプル方式によるトラッキング誤差信号の生成方法を説明する。図６は従来例の光ピックアップを示す。光ピックアップは半導体レーザ７１、グレーティング７２、ビームスプリッタ７３、対物レンズ７４、対物レンズアクチュエータ７５、受光素子７６等から構成されている。
【０００４】
半導体レーザ７１の出射光は、グレーティング７２によってメインビームと２つのサイドビームに分離され、ビームスプリッタ７３及び対物レンズ７４を介して光ディスク７７上に集光される。
【０００５】
光ディスク７７からの反射光は対物レンズ７４に入射し、ビームスプリッタ７３を介して受光素子７６に導かれる。受光素子７６の受光信号から光ディスク７７の情報を再生することができる。この時、対物レンズ７４は対物レンズアクチュエータ７５によって電磁的に駆動され、光ディスク７７のフォーカス方向及びトラッキング方向に移動できるように構成されている。
【０００６】
グレーティング７２によって３つのビームに分離された光は対物レンズ７４を介して図７に示すように光ディスク上に３つの光スポットＬＭ、ＬＥ、ＬＦとして集光される。光スポットＬＭはメインビームによるスポットである。
【０００７】
その際、図示しないトラッキング制御回路はアクチュエータ７５を制御し、光スポットＬＭが図７に示すように情報トラックの中心を走査するようにトラッキング制御を行なう。光スポットＬＭ及びＬＦはメインビームによる光スポットＬＭに対して光ディスク７７の半径方向にそれぞれ左右１／２トラック分だけずれている。
【０００８】
トラッキング制御を行なう為の受光素子７６は図８に示すように中央に配置された２分割の受光部Ｍと、受光部Ｍの両側に間隔を空けて配置された２分割の受光部Ｅと受光部Ｆから構成されている。
【０００９】
受光素子７６の受光部Ｍ、Ｅ、Ｆには、光ディスク７７上で図７に示す光スポットＬＭ、ＬＥ、ＬＦの反射光がそれぞれ入射する。光スポットＬＭ、ＬＥ、ＬＦの反射光により受光部Ｍ、Ｅ、Ｆのそれぞれに入射する光スポットが、図８に示す光スポットＬＬＭ、ＬＬＥ、ＬＬＦである。
【００１０】
受光部Ｍ、Ｅ、Ｆの各々は、図８に示すように光ディスク７７上の情報トラックの方向に対して平行方向に２分割され、領域Ｍ１、Ｍ２、Ｅ１、Ｅ２及びＦ１、Ｆ２にそれぞれ分かれている。
【００１１】
このように光ディスクのトラックと平行方向に２分割された受光素子の差信号から光ディスク上のビームがトラックを横切る度に交流的に変化するプッシュプル信号が得られる。これは、例えば、特許文献２に開示されている。
【００１２】
各受光部Ｍ、Ｅ、Ｆで得られる差動信号はそれぞれのプッシュプル信号となる。受光部Ｍから得られるプッシュプル信号をメインプッシュプル信号ＭＰＰ、受光部Ｅ、Ｆのそれぞれから得られるプッシュプル信号をサブプッシュプル信号ＳＰＰ１及びサブプッシュプル信号ＳＰＰ２とする。
【００１３】
次に、差動プッシュプル信号によるトラッキング誤差信号の生成方法を図９を用いて説明する。図９に示すようにトラッキング誤差信号を生成する場合、差動アンプ７８〜８１、加算器８２、８３、アンプ８４、８５が用いられる。アンプ８４、８５のゲインは共に所定の値ｋとする。
【００１４】
メインプッシュプル信号ＭＰＰは、受光素子７６の受光部Ｍの領域Ｍ１、Ｍ２の出力差であり、差動アンプ８０の出力から得られる。サブプッシュプル信号ＳＰＰ１は受光部Ｅの領域Ｅ１、Ｅ２の出力差であり、差動アンプ７８の出力から得られる。同様にサブプッシュプル信号ＳＰＰ２は受光部Ｆ１、Ｆ２の出力差であり、差動アンプ７９の出力から得られる。
【００１５】
サブプッシュプル信号ＳＰＰ１とＳＰＰ２は加算器８２によって加算された後、アンプ８５でｋ倍に増幅され、差動アンプ８１でメインプッシュプル信号ＭＰＰとの差動がとられ、トラッキング誤差信号ＴＥが生成される。即ち、トラッキング誤差信号ＴＥは、
ＴＥ＝ＭＰＰ−ｋ（ＳＰＰ１＋ＳＰＰ２）  …式（１）
で得られる。
【００１６】
また、加算器８２の出力はアンプ８４へ入力されてｋ倍に増幅された後、加算器８３によりメインプッシュプルＭＰＰと加算され、対物レンズ７４の移動量に相当するレンズ位置信号ＢＰが生成される。即ち、レンズ位置信号ＢＰは、
ＢＰ＝ＭＰＰ＋ｋ（ＳＰＰ１＋ＳＰＰ２）  …式（２）
で得られる。
【００１７】
図１０（ａ）はメインプッシュプル信号ＭＰＰ、図１０（ｂ）はサブプッシュプル信号ＳＰＰ１とＳＰＰ２の加算信号（ＳＰＰ）、図１０（ｃ）はトラッキング誤差信号ＴＥ、図１０（ｄ）はレンズ位置信号ＢＰを示す。
【００１８】
図１０において横線は各信号の基準レベルを示す。また、縦線は光ディスク７７のトラックの中心位置を示し、横線で示す基準レベルとの交点がトラッキング制御の目標点に相当する。
【００１９】
メインプッシュプル信号ＭＰＰに対してサブプッシュプル信号の加算信号ＳＰＰ（ＳＰＰ１＋ＳＰＰ２）は位相が１８０度ずれている。また、対物レンズ７４の半径方向の移動に伴い、受光素子７６上の光スポットが移動するため、各プッシュプル信号の振幅の中心は基準レベルよりもオフセット量Δだけずれている。
【００２０】
ここで、式（１）によりトラッキング誤差信号ＴＥはアンプ８５のゲインの値ｋを最適に選択することで、対物レンズ７４の移動に伴うオフセットを除去できる。そして、基準レベルを振幅中心として光ディスク７７のトラック毎に交流的に変動するトラッキング誤差信号が得られる。
【００２１】
また、式（２）によりレンズ位置信号ＢＰは各プッシュプル信号の持つオフセット分が加算され、基準レベルよりもオフセットした信号が得られる。このレンズ位置信号ＢＰにおける基準レベルからのオフセット量が、対物レンズ７４の中心からのずれに相当する信号となる。
【００２２】
ここで、トラッキング誤差信号ＴＥを用いて対物レンズアクチュエータ７５を制御するトラッキング制御により、図７に示すようにメインビームの光スポットＬＭを光ディスク７７の目的のトラックに追従させることができる。レンズ位置信号ＢＰはレンズ揺動の抑圧等に用いられる。
【特許文献１】特開平７−９３７６４号公報
【特許文献２】特開平２−２３６８２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
従来の構成において、差動プッシュプルにおける補正ゲインの調整、即ち、アンプ８５のゲイン値ｋの調整は対物レンズ７４の移動に伴うトラッキング誤差信号ＴＥのオフセットを低減するように行なわれる。
【００２４】
従って、従来の構成におけるゲイン調整は装置の製造時又は出荷前の調整時に対物レンズ７４の移動を強制的に発生させて行なわなければならない。更に、調整に時間がかかるためにユーザによって装置に光ディスクを挿入する毎に装置が自動的に調整を行なう、いわゆる自動調整には適さないという問題もあった。
【００２５】
本発明の目的は、補正ゲインを簡単に調整することができ、自動調整にも対応可能な光学的情報記録再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明は、メインビームによるメインプッシュプル信号を生成する手段と、サブビームによるサブプッシュプル信号を生成する手段と、サブプッシュプル信号の出力振幅を調整する手段とを具備する。また、メインプッシュプル信号と振幅調整手段の出力からトラッキング誤差信号を生成する手段と、メインプッシュプル信号の振幅を検出する手段と、サブプッシュプル信号の振幅を検出する手段とを具備する。そして、メインプッシュプル振幅検出手段で検出された振幅値とサブプッシュプル振幅手段で検出された振幅値に基づいて振幅調整手段のゲインを調整する。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、差動プッシュプル法における補正ゲインを簡単且つ短時間で調整でき、自動調整にも対応可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明に係る光学的情報記録再生装置の一実施形態を示すブロック図である。なお、図１では主に本発明に係るトラッキング誤差信号生成に関する構成を示す。そのため、光ディスクに情報を記録するのに必要な回路、情報を再生するのに必要な回路、フォーカス制御を行なう回路、或いは光ディスクを回転駆動する回路や機構等は省略している。
【００２９】
光ディスク２１にピックアップ（ＰＵ）２２からレーザ光を照射し、その反射光をピックアップ２２内の受光素子７６により検出する。ピックアップ２２は、例えば、図６と同様の構成とし、受光素子７６も図８と同様とする。
【００３０】
上述したように受光素子７６の出力からメインプッシュプル信号ＭＰＰ及びサブプッシュプル信号ＳＰＰが生成される。即ち、ＭＰＰ生成部２３は受光素子７６の信号からメインプッシュプル信号ＭＰＰを生成し、ＳＰＰ生成部２４は受光素子７６の信号からサブプッシュプル信号ＳＰＰ（ＳＰＰ１＋ＳＰＰ２）を生成する。
【００３１】
サブプッシュプル信号ＳＰＰには可変ゲインアンプ部２７にて係数ｋが乗算され、減算器２６にてメインプッシュプル信号ＭＰＰとの減算を行い、トラッキング誤差信号が生成される。
【００３２】
また、ＤＰＰ生成部２９にて減算器２６の出力のトラッキング誤差信号の出力振幅を調整するため、所定のゲインが与えられる。通常、トラッキング制御時にはトラッキング誤差信号は位相補償部３２で位相補償され、ドライバ３４により対物レンズアクチュエータを駆動することによりトラッキング制御を行なう。トラッキング誤差信号を調整する際には、後述する速度検出部３０及び速度制御部３１を経てドライバ３４を駆動し、トラッキング誤差信号を調整する。
【００３３】
振幅測定部２５はメインプッシュプル信号ＭＰＰとサブプッシュプル信号ＳＰＰの信号振幅を検出する。コントローラ２８は振幅測定部２５の出力から可変ゲインアンプ２７の係数ｋの設定やＤＰＰ生成部２９のゲイン設定を行なう。また、コントローラ２８はセレクタ（ＳＥＬ）３３の制御を行なう。セレクタ３３は速度制御部３１と位相補償部３２の出力の切り換えを行なう。
【００３４】
図２はメインプッシュプル信号ＭＰＰとサブプッシュプル信号ＳＰＰの振幅を測定する振幅検出部２５の構成を示す。メインプッシュプル信号ＭＰＰの振幅を測定する場合には、ＨＰＦ６０にてメインプッシュプル信号ＭＰＰの直流分をカットし、全波整流回路６１にて全波整流を行い、更に積分器６２を通して振幅を測定する。メインプッシュプル信号ＭＰＰの直流成分はＨＰＦ６０前後の信号を減算器６３にて減算して直流成分を検出し、積分器６４を通して直流成分を測定する。直流成分はメインプッシュプル信号ＭＰＰのオフセット調整に用いられる。
【００３５】
サブプッシュプル信号ＳＰＰの振幅及び直流成分も同様にＨＰＦ６６、全波整流回路６６、減算器６８、積分器６７、６９を用いて測定する。直流成分はサブプッシュプル信号ＳＰＰのオフセット調整に用いられる。
【００３６】
図３は速度検出部３０及び速度制御部３１の構成を示す。トラッキング誤差信号はピーク電圧検出回路４０及びボトム電圧検出回路４１に入力され、トラッキング誤差信号のピーク値及びボトム値を検出する。センター値算出回路４２はそのピーク値とボトム値とのセンター値を算出する。
【００３７】
２値化回路４３はトラッキング誤差信号をセンター値算出回路４２にて算出されたセンター値（ゼロクロス）で２値化を行なう。速度検出回路４４は２値化されたトラッキング誤差信号の立ち上がりから立ち下りまでの時間を測定する。例えば、ＤＶＤのトラックピッチは０．７４μｍであり、２値化されたトラッキング誤差信号の立ち上がりから立ち下りまでの時間にトラックピッチの半分の０．３７μｍだけビームとトラックの位置が相対的に移動する。
【００３８】
速度検出回路４４はトラックピッチの半分の０．３７μｍと上述のトラッキング誤差信号の２値化信号の立ち上がりから立ち下がりまでの時間からビームとトラックとの相対速度を検出する。検出されたビームとトラックとの相対速度は目標速度４５にある目標速度と比較され、ビームとトラックとの相対速度が一定になるように減算器４６からドライバ３４へ駆動電圧を出力する。
【００３９】
図４はトラッキング誤差信号調整時のトラッキング誤差信号とトラック駆動信号の波形を示す。トラック駆動信号は、例えば、図６に示すピックアップにおいて対物レンズアクチュエータ７５に駆動信号を印加して対物レンズ７４をトラッキング方向に駆動する信号である。トラック駆動信号はドライバ３４からピックアップ２２内の対物レンズアクチュエータに供給する。
【００４０】
まず、トラッキング制御をしていない状態で、図３の速度検出回路４４により対物レンズとトラックの相対速度を検出する。例えば、相対速度が１．５ｍｍ／ｓ以下の時に対物レンズを駆動し（図４のトラック駆動開始）、対物レンズを光ディスクの半径方向に加速する。
【００４１】
対物レンズを加速する方向はトラッキング誤差信号とＲＦ信号のエンベロープ等の位相差から、方向を検出して対物レンズとトラックとの横断方向と同じ方向に対物レンズを駆動することが望ましい。次に、例えば、約０．１ｍｓだけ対物レンズを加速後、図４に示すように速度制御を開始し、ビームとトラックとの相対速度が一定速度になるように速度制御を行なう。ＲＦ信号は図１では図示していないが、光ディスクから再生された再生信号である。
【００４２】
速度制御を行なうのは、光ディスクの偏心が少ない場合に測定時間が長くなるので、確実にビームがトラックを横断するためである。また、ビームとトラックの相対速度がある速度以上でないと、振幅測定部２５のＨＰＦ６０及びＨＰＦ６５で振幅が減衰して測定誤差が大きくなる場合があるからである。
【００４３】
対物レンズとトラックとの相対速度を一定に速度制御している速度制御期間中に振幅測定部２５にてメインプッシュプル信号ＭＰＰとサブプッシュプル信号ＳＰＰの振幅を測定する。測定時間は、例えば、速度制御中のトラック１０本分の横断時間であり、目標速度が３．７ｍｍ／ｓの場合は２ｍｓで測定が終了する。そのため、短時間でトラッキング誤差信号の調整が可能になる。
【００４４】
次に、図５に示すフローチャートを用いてトラッキング誤差信号を調整する動作を説明する。まず、Ｓ４０１で光ディスク２１が装着されたか否かを判定する。光ディスク２１が装着されると、Ｓ４０２で図示しないスピンドルモータを駆動することで光ディスク２１を回転駆動する。また、ピックアップ２２内の光源の半導体レーザを点灯し、図示しないフォーカス制御回路でフォーカス制御を開始する。
【００４５】
次に、Ｓ４０３で上述したようにトラッキング制御を行なわない状態で、対物レンズがトラックを横断する相対速度を監視して、１．５ｍｍ／ｓ以下になるまで待つ。Ｓ４０３で相対速度が１．５ｍｍ／ｓ以下になるとＳ４０４に進み、上述のようにトラック駆動を開始し、速度制御を開始する。
【００４６】
その際、コントローラ２８はトラック駆動を開始する時点でセレクタ３３により速度制御部３１側を選択し、図４に示すようにトラック駆動信号を速度制御部３１からセレクタ３３を介してドライバ３４に供給する。その後、速度制御部３１は上述のような方法で速度制御を行ない、ピックアップ２２からのビームとトラックとの相対速度が一定となるように速度制御を行なう。
【００４７】
速度制御期間中に振幅測定部２５にてメインプッシュプル信号ＭＰＰとサブプッシュプル信号ＳＰＰの振幅を測定し（Ｓ４０５）、１０本分のトラックを横断したら対物レンズの速度制御を停止して、トラック方向の駆動を停止する（Ｓ４０６）。
【００４８】
次いで、Ｓ４０７でメインプッシュプル信号ＭＰＰの振幅値とサブプッシュプル信号ＳＰＰの振幅値に基づいて可変ゲインアンプ２７の係数ｋを算出する。例えば、サブプッシュプル信号ＳＰＰの振幅値に可変ゲインアンプ２７の係数ｋを乗算したものが、メインプッシュプル信号ＭＰＰの振幅値と等しくなるように係数ｋを算出し、可変ゲインアンプ２７に係数ｋを設定する。
【００４９】
次に、Ｓ４０８で減算器２６の出力のトラッキング誤差信号を所定振幅に調整するためのトラッキングゲインの算出を行なう。例えば、トラッキングゲインはトラッキング誤差信号振幅が３ＶになるようなトラッキングゲインをＤＰＰ生成部２９に設定する。その場合、メインプッシュプルＭＰＰ信号とサブプッシュプルＳＰＰ信号は位相が１８０度ずれており、メインプッシュプルＭＰＰ信号振幅を２倍にするとトラッキング誤差信号振幅が分かる。従って、振幅測定部２５で測定された結果に基づいてトラッキング誤差信号の振幅調整を行なう。もちろん、減算器２６からのトラッキング誤差信号振幅を直接測定することも可能である。
【００５０】
トラッキング誤差信号出力の調整が終わると、トラッキング制御をかけることが可能になり、安定した光ディスクのサーボ動作が可能になる。その際、コントローラ２８はトラッキング誤差信号の調整が終了すると、セレクタ３３により位相補償部３２の出力側を選択してトラッキング制御を開始する。
【００５１】
以上のように本発明に係る光学的情報記録再生装置は、光源（半導体レーザ）からのメインビームとサブビームを対物レンズ７４によって光ディスク２１上に集光する。そして、メインビームとサブビームの光ディスク２１による反射光からトラッキング誤差信号を生成するものである。
【００５２】
また、本発明はメインビームによるメインプッシュプル信号を生成する手段（ＭＰＰ生成部）と、サブビームによるサブプッシュプル信号を生成する手段（ＳＰＰ生成部）と、サブプッシュプル信号の出力振幅を調整する手段（可変ゲインアンプ）とを具備する。更に、メインプッシュプル信号と振幅調整手段の出力からトラッキング誤差信号を生成する手段（減算器）と、メインプッシュプル信号の振幅を検出する手段（振幅測定部）と、サブプッシュプル信号の振幅を検出する手段（振幅測定部）とを具備する。そして、メインプッシュプル振幅検出手段で検出された振幅値とサブプッシュプル振幅手段で検出された振幅値に基づいて振幅調整手段のゲインを調整する。
【００５３】
更に、本発明は、ゲイン調整後にトラッキング誤差信号の出力振幅を調整する。また、本発明は、対物レンズを光ディスクの半径方向へ駆動し、光ディスクに照射する光ビームとトラックとの相対速度が一定になるように速度制御を行なう手段（速度制御部）を具備する。そして、速度制御中にメインプッシュプル信号とサブプッシュプル信号の振幅を検出し、その検出結果に基づいてゲインを調整する。更に、本発明は、光ディスクの装着時にゲインを調整する。
【００５４】
以上のように対物レンズを半径方向に速度制御し、速度制御中に測定したメインプッシュプル信号ＭＰＰとサブプッシュプル信号ＳＰＰのそれぞれの振幅値から、サブプッシュプル信号の出力振幅やトラッキングエラー信号の出力振幅を調整する。そのため、差動プッシュプル法における補正ゲインを簡単且つ短時間で調整することができ、自動調整にも対応可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る光学的情報記録再生装置の一実施形態を示すブロック図である。
【図２】図１の振幅測定部の一例を示す図である。
【図３】図１の速度検出部及び速度制御部の一例を示す図である。
【図４】トラッキング誤差信号調整時の動作を示す波形図である。
【図５】トラッキング誤差信号調整の動作を説明するフローチャートである。
【図６】従来例の光ピックアップの概略構成を示す図である。
【図７】従来の光ピックアップから照射される光ビームによって光ディスク上に形成される光スポットを示す斜視図である。
【図８】従来の光ピックアップの受光素子を示す図である。
【図９】従来例のトラッキング誤差信号生成装置を示す回路図である。
【図１０】従来のトラッキング誤差信号生成におけるメインプッシュプル信号、サブプッシュプル信号、トラッキング誤差信号、レンズ位置信号を示す波形図である。
【符号の説明】
【００５６】
２１  光ディスク
２２  ピックアップ
２３  ＭＰＰ生成部
２４  ＳＰＰ生成部
２５  振幅測定部
２６  減算器
２７  可変ゲインアンプ
２８  コントローラ
２９  ＤＰＰ生成部
３０  速度検出部
３１  速度制御部
３２  位相補償部
３３  セレクタ
３４  ドライバ
４０  ピーク電圧検出回路
４１  ボトム電圧検出回路
４２  センター値算出回路
４３  ２値化回路
４４  速度検出回路
４５  目標速度設定部
４６  減算器
６０  ＨＰＦ
６１、６６  全波整流回路
６２、６４、６７、６９  積分器
６３、６８  減算器
６０、６５  ＨＰＦ
７１  半導体レーザ
７４  対物レンズ
７５  対物レンズアクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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