(57)【要約】【課題】  記録媒体の移動時にその表面に形成される空気流によって浮上姿勢となる磁気ヘッド装置において、使用環境の空気密度に変化が生じたときにも、スライダの浮上姿勢を安定させて磁気機能部の浮上量を安定させることができる磁気ヘッド装置を提供する。【解決手段】  磁気ヘッド装置のスライダ１０の記録媒体Ｄとの対向側では、押圧力の作用支点７ａよりも前方に前方正圧面２１が、後方に後方正圧面２２が、それらの中間で作用支点７ａよりも後方に中間正圧面４１が形成されている。中間正圧面４１は、前方正圧面２１および後方正圧面３１よりも記録媒体Ｄ側へ突出した位置にある。空気密度が低下すると、前方正圧面２１に作用する浮上圧力が低下し、ピック角θｐが低下する。しかし、中間正圧面４１が記録媒体Ｄに接近し正圧が発生するための磁気機能部２の低下を抑制できる。【選択図】図４
2008293568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体への対向側と、記録媒体へ向けての押圧力が作用する押圧側とを有するスライダと、スライダのトレーリング側に設けられて磁気記録と磁気再生の少なくとも一方の機能を発揮する磁気機能部とを有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダの対向側には、リーディング側に位置する前方正圧面と、トレーリング側に位置する後方正圧面と、前記前方正圧面と前記後方正圧面との間に位置する中間正圧面とが形成されており、前記中間正圧面は、前記後方正圧面よりも記録媒体側へ突出した位置に形成されていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
前記中間正圧面は、前記スライダのリーディング側からトレーリング側へ延びる中心線を挟んで左右に離れて位置している請求項１記載の磁気ヘッド装置。
【請求項３】
前記スライダを支持する支持機構には、前記スライダの押圧側の一箇所に記録媒体側への押圧力を作用させる作用支点が設けられており、前記中間正圧面は、前記作用支点よりもトレーリング側に位置している請求項１または２記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
前記中間正圧面と前記後方正圧面との高さの差が、２ｎｍ以上で１０ｎｍ以下である請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクなどの磁気記録媒体に対向するスライダに磁気機能部が設けられた磁気ヘッド装置に係り、特に、使用環境の空気密度が変化したときに、記録媒体からの浮上距離の変動を抑制できるようにした磁気ヘッド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクなどの磁気記録媒体に磁気信号を記録し、また磁気記録媒体に記録された磁気信号を読み取る磁気ヘッド装置として、磁気記録媒体に対向するスライダを有し、このスライダのトレーリング側端部に磁気機能部が設けられたものが使用されている。磁気機能部は、ＭＲ効果やＧＭＲ効果あるいはＴＭＲ効果を利用した再生機能部と、磁性材料のヨークおよびコイルなどが薄膜で形成された記録機能部とを有している。
【０００３】
磁気ヘッド装置のスライダは、ロードビームなどと称される弾性部材によって、磁気記録媒体の表面に押圧される。磁気記録媒体が回転すると、その表面とスライダとの間に流入する空気流（エアーベアリング）により、スライダが記録媒体から浮き上がり、その結果、磁気機能部と記録媒体との間に所定の浮上量が設定される。
【０００４】
この種の磁気ヘッド装置では、スライダにおける記録媒体との対向側に、空気流により浮上圧力を発生させる正圧面と、記録媒体に接近する力を発揮させる負圧発生面とが形成されており、正圧面に作用する浮上力と負圧発生面に生じる下降力とのバランスによって、スライダの浮上姿勢と浮上量とが設定されている。
【０００５】
また、磁気記録媒体への磁気記録密度の向上や、磁気信号の記録速度および再生速度の高速化を達成するために、最近では、磁気機能部の記録媒体からの浮上量が極力低くなるように設定されている。
【０００６】
以下の特許文献１には、ハードディスクなどの記録媒体からの浮上量を低下させるとともに、磁気ヘッドを記録媒体の内周側と外周側との間で移動させるシーク動作の際の浮上量の変動を安定させ、特にヨー角の変動を抑制することを目的とした磁気ヘッド装置が開示されている。
【０００７】
この磁気ヘッド装置では、スライダに、前方動圧発生部と後方動圧発生部が設けられ、前方動圧発生部に浮上力を作用させ、後方動圧発生部に負圧を発生させるとともに、中間部に実質的に浮上力が作用せず負圧も発生しない深い窪みを形成し、主に前方動圧発生部の浮上力と、後方動圧発生部の負圧とによってヘッドの動的姿勢を安定させようというものである。
【０００８】
最近の磁気ヘッド装置では、スライダの低浮上化に伴ない、空気密度の変化による浮上量の変動が問題となってきている。磁気記録媒体に対するスライダの浮上距離を低くすると、標高差に基づく空気密度の低下に応じて浮上量が低下しやすくなり、その結果、高地で使用しているときや航空機内で使用しているときに、スライダが記録媒体の表面に接触しやすくなる。
【０００９】
特許文献１に記載の磁気ヘッド装置は、前方動圧発生部に浮上力を作用させ、後方動圧発生部に負圧を作用させて磁気ヘッドの動的姿勢を安定させようとしているが、負圧を発生させる負圧発生面がスライダのトレーリング側の端部にのみ設けられているものであるため、使用環境の空気密度が低下したときに、スライダ全体が記録媒体に接近しやすく、浮上量が極端に低下するおそれがある。
【００１０】
次に、特許文献２に記載の磁気ヘッド装置は、スライダの記録媒体との対向側に、前方正圧面と後方正圧面とが突出して形成されている。そして、記録媒体に向けて荷重を与える作用点が、前方正圧面の上方に対向する位置に設定されている。この磁気ヘッド装置は、前方正圧面と後方正圧面に作用する正圧が低下したときに、スライダにリーディング側を下降させるモーメントが作用するために、再生素子などが設けられているトレーリング側端部の低下量が抑制されるというものである。
【００１１】
しかしながら、前方正圧面の上に記録媒体方向への押圧力が作用しているために、高地や飛行機などで使用されて、空気密度が低下し、前方正圧面に作用する正圧が低下したときに、スライダ全体の浮上量の低下が激しくなり、トレーリング側端部の浮上量の低下を十分抑制できるとは考えられない。
【特許文献１】特開平１０−２８３６２２号公報
【特許文献２】特開２００５−３０２１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、磁気機能部の記録媒体からの低浮上を実現するとともに、使用環境の空気密度が変化したときの浮上量の変動を抑制できるようにした磁気ヘッド装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、記録媒体への対向側と、記録媒体へ向けての押圧力が作用する押圧側とを有するスライダと、スライダのトレーリング側に設けられて磁気記録と磁気再生の少なくとも一方の機能を発揮する磁気機能部とを有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダの対向側には、リーディング側に位置する前方正圧面と、トレーリング側に位置する後方正圧面と、前記前方正圧面と前記後方正圧面との間に位置する中間正圧面とが形成されており、前記中間正圧面は、前記後方正圧面よりも記録媒体側へ突出した位置に形成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の磁気ヘッド装置は、スライダの記録媒体との対向側に前方正圧面と後方正圧面とが形成されており、通常は前方正圧面の面積が後方正圧面の面積よりも広い。よって、リーディング側からトレーリング側へ空気が流れると、スライダは、リーディング側がトレーリング側よりも記録媒体から離れる傾斜姿勢となる。使用環境の空気密度が低下すると、前方正圧面に作用する正圧と後方正圧面に作用する正圧が低下し、スライダ全体の浮上量が低下しようとする。このとき、中間正圧面が記録媒体に接近するが、中間正圧面は記録媒体側へ突出しているので、スライダの浮上量が低下するときに、中間正圧面に作用する正圧はさほど極端に低下しない。よって、スライダのピッチ角が低下しても、トレーリング側端部の浮上距離の低下を抑制できる。
【００１５】
また、本発明は、前記中間正圧面は、前記スライダのリーディング側からトレーリング側へ延びる中心線を挟んで左右に離れて位置していることが好ましい。中間正圧面を左右に離れた配置することにより、スライダのロール姿勢を安定させることができる。
【００１６】
さらに、本発明は、前記スライダを支持する支持機構には、前記スライダの押圧側の一箇所に記録媒体側への押圧力を作用させる作用支点が設けられており、前記中間正圧面は、前記作用支点よりもトレーリング側に位置していることが好ましい。
【００１７】
使用環境の空気密度が低下すると、前方正圧面に作用する正圧が低下し、リーディング側端部が記録媒体に接近してピッチ角が小さくなろうとするが、作用支点よりもトレーリング側に位置する中間正圧面は、記録媒体側に突出しており、中間正圧面の部分でその浮上量の低下が抑制される。よって、このとき、スライダには、中間正圧面を支点としてリーディング側が下がろうとするモーメントが作用する。よって、スライダのトレーリング側端部は、前記作用支点を支点として、記録媒体からむしろ離れるような挙動を示すようになり、トレーリング側端部の極端な低下を抑制できる。
【００１８】
例えば、本発明は、前記中間正圧面と前記後方正圧面との高さの差が、２ｎｍ以上で１０ｎｍ以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、空気密度が変化したときに、磁気ヘッドの浮上姿勢を安定させ、前記磁気機能部の浮上量の極端な低下を抑制できるようになる。そのため、高地や航空機内のように、空気密度の低い環境で使用したときに、磁気機能部と記録媒体との浮上量を確保でき、記録媒体の損傷や磁気機能部の損傷などの危険性を回避しやすくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１（Ａ）は、本発明の実施の形態の磁気ヘッド装置を、記録媒体との対向側を手前に向けて示す平面図、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＢ矢視の側面図である。図２（Ａ）は、比較例の磁気ヘッド装置を、記録媒体との対向側を手前に向けて示す平面図、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＢ矢視の側面図である。図３は記録媒体と磁気ヘッド装置の対向状態を示す平面図、図４はスライダを支持する支持装置を示す側面図である。図５は実施の形態と比較例とでの浮上量の変動を説明する線図である。
【００２１】
図１には、本発明の実施の形態の磁気ヘッド装置１に設けられたスライダ１０が示されている。スライダ１０は、アルミナ・チタンカーバイトなどで立方体形状に形成されており、このスライダ１０のトレーリング側端部に磁気機能部２が設けられている。
【００２２】
磁気機能部２は、磁気抵抗効果（ＭＲ効果）や巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ効果）あるいはトンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ効果）を利用して、記録媒体Ｄに記録された磁気信号を読み取る読み取り機能部と、磁性材料のヨークや、導電性材料のコイルが薄膜プロセスで形成されて、記録媒体Ｄに磁気信号を書き込む記録機能部とを有している。
【００２３】
図１（Ａ）では、スライダ１０の記録媒体Ｄと対向する対向側１０ａが手前に向けて示されている。図１（Ｂ）に示すように、記録媒体Ｄとの対向側１０ａと逆側が押圧側１０ｂであり、この押圧側１０ｂに、記録媒体Ｄへ押圧する押圧力Ｆが作用する。スライダ１０は、記録媒体Ｄの表面に発生する空気流の流入側に向くリーディング側端面１０ｃと、前記空気流が流出するトレーリング側端面１０ｄを有しており、前記磁気機能部２はトレーリング側端面１０ｄに設けられている。
【００２４】
また、スライダ１０は、図３に示すハードディスクなどの磁気記録方式の記録媒体Ｄの回転中心側に向けられる内周側（ＩＤ側）の側面１０ｅと、記録媒体の外周に向けられる外周側（ＯＤ側）の側面１０ｆとを有している。
【００２５】
本明細書では、リーディング側端面１０ｃに向く方向を前方、またはリーディング側端面１０ｃに向く端部を前端と呼び、トレーリング側端面１０ｄに向く方向を後方、またはトレーリング側端面１０ｄに向く端部を後端と呼ぶことがある。また、リーディング側端面１０ｃおよびトレーリング側端面１０ｄと平行な方向を左右方向と呼び、内周側の側面１０ｅに向く側を左側、外周側の側面１０ｆに向く側を右側と呼ぶことがある。
【００２６】
図１（Ａ）では、リーディング側端面１０ｃおよびトレーリング側端面１０ｄをそれぞれ二分して前後方向へ延びる中心線をＯ−Ｏで示している。前記磁気機能部２の中心は、この中心線Ｏ−Ｏ上に位置している。
【００２７】
図４に示すように、磁気ヘッド装置１では、スライダ１０の押圧側１０ｂの背面が支持装置によって支持されている。この支持装置には、弾性支持部材であるロードビーム５が設けられている。このロードビーム５の基部には弾性変形部が設けられており、この弾性変形部の弾性力によって、スライダ１０に対して記録媒体Ｄ方向への押圧力Ｆが与えられる。ロードビーム５の先部には、ロードビーム５よりも薄く且つばね性を発揮する弾性板で形成されたフレキシャ６が固定されており、このフレキシャ６に折り曲げられた支持片６ａに、スライダ１０の押圧側１０ｂに向く背面が接着固定されている。
【００２８】
ロードビーム５の先部には下向きに突出したピボット７が一体に形成されており、このピボット７が、スライダ１０の押圧側１０ｂの背面に当接し、または前記支持片６ａに当接している。前記ロードビーム５で発揮される弾性押圧力は、ピボット７とスライダ１０の押圧側１０ｂの面との当接点である作用支点７ａに集中して作用する。
【００２９】
前記フレキシャ６の支持片６ａは各方向へ変形可能であり、支持片６ａに固定されているスライダ１０は、前記ピボット７との当接点である作用支点７ａを支点として、姿勢が変化できるように支持されている。この姿勢変化の主な方向は、前記中心線Ｏ−Ｏが傾くピッチ方向、および中心線Ｏ−Ｏ回りに左右へ傾くロール方向である。図４には、リーディング側端面１０ｃが持ち上げられた浮上姿勢において記録媒体Ｄの表面との成す角度をピッチ角θｐで示している。
【００３０】
図１（Ａ）には、ピボット７とスライダ１０との作用支点７ａが投影されて示されている。この作用支点７ａは、前記中心線Ｏ−Ｏ上に位置し、且つリーディング側端面１０ｃとトレーリング側端面１０ｄとのほぼ中点に位置している。
【００３１】
図１（Ａ）（Ｂ）に示すように、スライダ１０の対向側１０ａでは、前記作用支点７ａよりも前方に、前方正圧面２１が形成されている。前方正圧面２１は、記録媒体Ｄに対面する平面であり、前後方向の長さ寸法よりも左右方向の幅寸法が広く形成されている。前方正圧面２１の前縁部２１ａは、スライダ１０のリーディング側端面１０ｃと平行であり、前縁部２１ａはリーディング側端面１０ｃよりも後方に離れて位置している。前縁部２１ａの左右両側部には、左右方向に向かうにしたがって後方へ徐々に後退する傾斜縁２１ｃ，２１ｃが形成されている。また前方正圧面２１の左右両側縁２１ｄ，２１ｄは、スライダ１０のそれぞれの側面１０ｅ，１０ｆと接近した位置にある。前方正圧面２１の後縁部２１ｅは、前縁部２１ａと平行であり、この後縁部２１ｅは、前記作用支点７ａよりも前方に位置している。
【００３２】
スライダ１０のリーディング側端面１０ｃと、前方正圧面２１の前縁部２１ａとの間には前方ステップ面２２が形成されている。前方ステップ面２２は、前方正圧面２１よりも、記録媒体Ｄから離れており、前方ステップ面２２と前方正圧面２１との段差は、０．１μｍ程度である。
【００３３】
前方正圧面２１の後方には、後方に延びるレール部２２ａ，２２ａが形成されている。このレール部２２ａ，２２ａは、前方ステップ面２２と同じ高さの平面である。前方正圧面２１の後縁部２１ｅよりも後方には、負圧面２５が形成されている。この負圧面２５は、前方ステップ面２２およびレール部２２ａ，２２ａの表面よりも、さらに記録媒体Ｄから１〜３μｍ程度後退した位置に形成されている平面であり、この負圧面２５は、スライダ１０のトレーリング側端面１０ｄおよび両側面１０ｅ，１０ｆまで延びている。
【００３４】
図４に示すように、スライダ１０の対向側１０ａが記録媒体Ｄに対向した状態で、記録媒体Ｄが回転すると、記録媒体Ｄの表面に形成される空気流（エアーベアリング）が、リーディング側端面１０ｃから、記録媒体Ｄとスライダ１０との間に入る。そして、空気流は、前方ステップ面２２から前方正圧面２１に導かれ、前方正圧面２１と記録媒体Ｄとの間に流れる空気流により、前方正圧面２１に、記録媒体Ｄから離れる方向へ持ち上げようとする浮上圧力が作用する。
【００３５】
また、前方正圧面２１の後縁部２１ｅの後方には、前方正圧面２１と負圧面２５との段差が大きくなっており、この段差部分の左右両側部には、レール部２２ａ，２２ａが位置している。よって、後縁部２１ｅよりも後方でレール部２２ａ，２２ａで囲まれている領域が負圧発生領域２３となる。前方正圧面２１の表面を流れた空気流が負圧発生領域２３内に流れ込むことで、負圧発生領域２３では、記録媒体Ｄとの間を接近させようとする負圧が発生する。前方正圧面２１に作用する正圧と、負圧発生領域２３に作用する負圧とで、スライダ１０のリーディング側端縁１０ｃの記録媒体Ｄの表面からの浮上量が調整される。
【００３６】
スライダ１０の対向側１０ａでは、作用支点７ａよりもさらに後方で、トレーリング側端面１０ｄに直近した位置に後方正圧面３１が設けられている。後方正圧面３１は、前方正圧面２１と同じ高さ位置の平面であり、後方正圧面３１の面積は、前方正圧面２１の面積よりも十分に小さい。また、後方正圧面３１の左右両側部の前方には後方ステップ面３２，３２が形成されている。この後方ステップ面３２，３２は、前方ステップ面２２と同じ高さ位置に形成されている。
【００３７】
後方正圧面３１の後方には、後方ステップ面３２と同じ高さの後方突出面３２ａが形成されており、磁気機能部２は、後方突出面３２ａに配置されている。
【００３８】
前方正圧面２１と後方正圧面３１との間には、中間正圧面４１，４１が設けられている。中間正圧面４１，４１は、中心線Ｏ−Ｏを挟んで左右に離れる位置にそれぞれ形成されている。左右両側の中間正圧面４１，４１は、その前縁部４１ａ，４１ａが、作用支点７ａよりも後方に離れて位置している。また、２つの中間正圧面４１，４１の面積の合計は、前方正圧面２１の面積よりも小さい。
【００３９】
それぞれの中間正圧面４１，４１は平面であり、それぞれの中間正圧面４１，４１は、前方正圧面２１と後方正圧面３１よりも記録媒体Ｄへ向けて接近する側へ突出している。中間正圧面４１，４１と、前方正圧面２１または後方正圧面３１との段差ｈは、２〜１０ｎｍ程度である。なお、中間正圧面４１，４１の前方には中間ステップ面４２，４２が形成されている。この中間ステップ面４２，４２は、前方ステップ面２２および後方ステップ面３２と同じ高さ位置に形成されている。
【００４０】
なお、各正圧面とステップ面および負圧面は、平面であるが、ここでの平面とは、曲率半径が無限大の純粋な平面はもとより、曲率半径が非常に大きい曲面をも含む概念である。
【００４１】
図１（Ａ）（Ｂ）に示す形状のスライダ１０は、対向側１０ａからミリング処理が施されて、中間正圧面４１，４１が一番削り代が小さく、他の部分が深く削されるようにして、中間正圧面４１，４１が最も記録媒体Ｄに近い形状となるように加工される。または、中間正圧面４１，４１を、前方正圧面２１および後方正圧面３１と同じ面上となるように加工し、その後に中間正圧面４１，４１の表面にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）などの硬質無機膜をスパッタなどで手段で形成して、前記段差ｈを形成してもよい。
【００４２】
実施の形態の磁気ヘッド装置１では、スライダ１０と記録媒体Ｄとの間で、リーディング側からトレーリング側に空気が流れると、前述のように、広い面積の前方正圧面２１に大きな正圧が発生する。また、後方正圧面３１と記録媒体Ｄとの間の空気流により後方正圧面３１にも正圧が作用する。その結果、図４に示すように、スライダ１０の対向側１０ａに当たる空気の圧力を受けて、スライダ１０は、リーディング側端面１０ｃが上向きに持ち上げられて、記録媒体Ｄの表面に対してピッチ各θｐを有する傾斜姿勢となる。また、後方正圧面３１に作用する浮上力を受けて、トレーリング側端面１０ｄが記録媒体Ｄの表面から所定の寸法で浮き上がり、トレーリング側端面１０ｄに設けられた磁気機能部２と記録媒体Ｄとの間のスペーシングが保たれる。
【００４３】
また、スライダ１０の対向側１０ａに与えられる空気流により、中間正圧面４１，４１に正圧が作用する。中間正圧面４１，４１は、中心線Ｏ−Ｏから左右に離れて位置しているため、両中間正圧面４１，４１に作用する正圧により、スライダ１０のロール方向への傾斜姿勢が安定させられる。
【００４４】
さらに、図１（Ｂ）に示すように、中間正圧面４１，４１は、後方正圧面３１よりも段差ｈだけ記録媒体Ｄに近づくように突出しているため、スライダ１０が記録媒体Ｄの表面に接近すると、この後方正圧面３１と記録媒体Ｄとの間の空気流により、中間正圧面４１に大きな浮上力が作用し、磁気機能部２を有するトレーリング側端部１０ｄが記録媒体に向かって下降するのが抑制される。よって、記録媒体Ｄの表面からの磁気機能部２の浮上距離を安定させることができる。
【００４５】
この磁気ヘッド装置１が高地で使用され、または飛行機内で使用されると、使用環境の空気密度が低下し、その結果、前方正圧面２１に作用する正圧と、後方正圧面３１に作用する正圧が低下する。よって、スライダ１０全体が記録媒体Ｄの表面に向かって下降する。しかし、前記のように突出している中間正圧面４１が記録媒体Ｄの表面に接近することで、中間正圧面４１に浮上力が作用し、それよりも後方に位置するトレーリング側端面１０ｄが記録媒体Ｄに向けて下降するのを抑制できる。そのため、使用環境の空気密度が低下しても、磁気機能部２の浮上距離が極端に低下するのを防止できる。
【００４６】
さらに、図４に示すように、前方正圧面２１は作用支点７ａよりも前方に位置し、中間正圧面４１は作用支点７ａよりも後方に位置している。そのため、空気密度が低下し、前方正圧面２１に作用する浮上力が低下すると、スライダ１０の傾斜姿勢のピッチ角θｐが低下する。このとき、中間正圧面４１は記録媒体Ｄに向けて突出しており、記録媒体Ｄに接近した中間正圧面４１に正圧が優先的に作用する。作用支点７ａはそれよりも前方に位置しているために、スライダ１０には、中間正圧面４１と記録媒体Ｄとの対向部を支点として、リーディング側端面１０ｃが下降しようとするモーメントＭが作用する。このモーメントＭにより、トレーリング側端面１０ｄは、中間正圧面４１を支点として、むしろ記録媒体Ｄから離れる方向へ持ち上げられようとする。よって、空気密度が低下したときに、ピッチ角θｐは低下するが、磁気機能部２の浮上距離は低下せず安定したものとなる。
【実施例】
【００４７】
（実施例）
図１（Ａ）（Ｂ）に示すスライダ１０を用いたものであり、中間正圧面４１と後方正圧面３１との段差ｈを、２ｎｍとしたものが実施例１であり、ｈ＝５ｎｍとしたものが実施例２、ｈ＝７ｎｍとしたものが実施例３、ｈ＝１０ｎｍとしたものが実施例４である。
【００４８】
（比較例１）
実施例と同じスライダを使用した磁気ヘッド装置であり、中間正圧面４１を、前方正圧面２１および後方正圧面３１と同一面上に形成したもの、すなわち前記段差ｈ＝０としたものを比較例１とした。
【００４９】
（比較例２）
図２（Ａ）（Ｂ）に示すスライダ１００を使用した磁気ヘッド装置を比較例２とした。
【００５０】
図２（Ａ）（Ｂ）に示すスライダ１００では、中間正圧面１４１と後方正圧面３１が、図１（Ａ）に示すスライダ１０と同じパターンで形成されている。ただし、中間正圧面１４１と後方正圧面３１は、同一面上に形成されている。図２（Ａ）に示すように、前方正圧面１２１は、図１（Ａ）に示す前方正圧面２１の中央部分を除去したパターンに相当する形状となるように形成されている。そして、前方正圧面１２１よりも前方、および左右の前方正圧面１２１，１２１の間に、前方ステップ面１２２が形成されている。
【００５１】
前方正圧面１２１，１２１は、後方正圧面３１および中間正圧面４１よりも記録媒体Ｄに近い側に位置しており、前方正圧面１２１と、後方正圧面３１および中間正圧面４１との段差ｈｓは５ｎｍである。
【００５２】
（評価）
各実施例の磁気ヘッド装置および各比較例の磁気ヘッド装置と同じ構造のスライダを想定したコンピュータ解析によるシミュレーションを行った。このシミュレーションでは、磁気ヘッド装置１のスライダ１０の長辺を１．２４ｍｍ、短辺を１．００ｍｍとし、前方正圧面２１と前方ステップ面２２との段差を１．１０μｍ、前方正圧面２１と負圧面２５との段差を２．１０μｍとした。作用支点７ａに作用する記録媒体Ｄ方向への押圧力（ロード圧）Ｆを、１９．６ｍＮとし、記録媒体Ｄの回転数を５４００ｒｐｍとした。
【００５３】
図５はその評価結果を示している。横軸のＯＤは、図３に示すようにスライダが、記録媒体Ｄの記録領域の最も外周側に位置しているとき、ＩＤは最も内周側に位置しているとき、ＯＤはその中間に位置しているときである。ＩＤは、記録媒体の回転中心からスライダの中心線Ｏ−Ｏまでの距離が１４．３ｍｍであり、ＭＤは１９．７ｍｍ、ＯＤは２９．７ｍｍである。
【００５４】
図５の縦軸は、空気密度の変化による浮上量の率を示している。これは１気圧のときの、記録媒体Ｄから磁気機能部２の浮上距離を１００としたときの、０．７気圧のときの浮上距離を％で示している。
【００５５】
図５のＯＤ，ＭＤ，ＩＤのそれぞれにおいて、比較例１が（ａ）、実施例１，２，３，４が、それぞれ（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）、比較例２が（ｆ）である。
【００５６】
図５によれば、それぞれの実施例では、浮上量の低下が比較例１と２に比べて小さいことが解る。また図１（Ｂ）に示す段差ｈが大きいほど、浮上量の低下が少ないことが解る。図５から、少なくとも段差ｈが２ｎｍ以上で１０ｎｍ以下であれば、空気密度が低下したときの浮上距離の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】（Ａ）は、本発明の実施の形態の磁気ヘッド装置を対向側を手前に向けて示す平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視の側面図、
【図２】（Ａ）は、比較例の形態の磁気ヘッド装置を対向側を手前に向けて示す平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ矢視の側面図、
【図３】記録媒体と磁気ヘッドとの対向位置を示す平面図、
【図４】磁気ヘッド装置を支持する支持装置の側面図、
【図５】実施例と比較例の評価結果を示す線図、
【符号の説明】
【００５８】
１  磁気ヘッド装置
２  磁気機能部
７ａ  作用支点
１０  スライダ
１０ａ  対向側
１０ｂ  押圧側
１０ｃ  リーディング側端面
１０ｄ  トレーリング側端面
２１  前方正圧面
２２  前方ステップ面
３１  後方正圧面
４１  中間正圧面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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