(57)【要約】【課題】或るデータ群に属する複数の変量と別のデータ群に属する複数の変量との間で、任意の２変量を効率的に指定でき、それらの２変量間の相関関係を一目瞭然で見易く表示できるグラフ描画装置および方法を提供すること。【解決手段】ｍ×ｎ個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域４ｃと、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域４ｄとを、同一の表示画面４に設定する。第１のデータ群に属するｍ個の変量と第２のデータ群に属するｎ個の変量との間で、ｍ×ｎ個の統計量を算出して、行列表示領域４ｃにｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示する。行列要素指定部によって指定された或る行列要素３ｂに対応した、第１のデータ群に属する変量と第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像３ｃを作成して、表示画面上のグラフ表示領域４ｄに表示する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｍ、ｎをそれぞれ２以上の自然数としたとき、ｍ×ｎ個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
第１のデータ群に属するｍ個の変量と第２のデータ群に属するｎ個の変量との間で、ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域にｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備えたことを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項２】
請求項１に記載のグラフ描画装置において、
上記統計量は、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の相関係数であることを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のグラフ描画装置において、
上記第１のデータ群に属するｍ個の変量と、上記第２のデータ群に属するｎ個の変量とを、共通の識別子を用いて互いに対応付けて記憶する紐付けデータテーブルを備え、
上記統計量表示処理部は、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を参照して上記ｍ×ｎ個の統計量を算出するようになっていることを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一つに記載のグラフ描画装置において、
上記表示領域設定部は、上記行列表示領域と上記グラフ表示領域とを一つの枠に組み込んだテンプレートとして設定することを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一つに記載のグラフ描画装置において、
上記行列要素指定部は、上記行列要素のいずれか一つを上記表示画面上で指定するようになっていることを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか一つに記載のグラフ描画装置において、
上記表示領域設定部は、上記第１のデータ群に属するｍ個の変量の名前を上記行列表示領域の各列に対応して行方向に並べて表示する第１の変量名表示領域と、上記第２のデータ群に属するｎ個の変量の名前を上記行列表示領域の各行に対応して列方向に並べて表示する第２の変量名表示領域とを設定し、
上記第１、第２の変量名表示領域にそれぞれ上記ｍ個の変量の名前、上記ｎ個の変量の名前を表示させる変量名表示処理部を備えたことを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項７】
請求項６に記載のグラフ描画装置において、
上記ｍ個の変量の名前または上記ｎ個の変量の名前のいずれか一つを指定する変量名指定部と、
上記変量名指定部によって上記ｍ個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶｎ個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を行単位で並び替える一方、上記変量名指定部によって上記ｎ個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して行方向に並ぶｍ個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を列単位で並び替える並び順処理部とを備えたことを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれか一つに記載のグラフ描画装置において、
上記グラフ画像は、上記グラフ表示領域に、上記第１のデータ群に属する変量を表す第１の座標軸と、上記第２のデータ群に属する変量を表す第２の座標軸とを基準として表示され、
上記行列要素指定部によって上記或る行列要素から別の行列要素に指定が変更されたとき、上記グラフ表示処理部は、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で行または列が一致しているか否かを判断して、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で行が一致しているときは上記第２の座標軸のスケールを維持する一方、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で列が一致しているときは上記第１の座標軸のスケールを維持しながら、上記別の行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成することを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項９】
請求項３に記載のグラフ描画装置において、
上記紐付けデータテーブルに対して上記第１のデータ群に属するｍ個の変量と上記第２のデータ群に属するｎ個の変量とを定期的に配信して、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を更新するサーバを備え、
上記紐付けデータテーブルの記憶内容が更新されるのに同期して、上記統計量表示処理部は上記ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域に表示するようになっていることを特徴とするグラフ描画装置。
【請求項１０】
ｍ、ｎをそれぞれ２以上の自然数としたとき、ｍ×ｎ個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップと、
第１のデータ群に属するｍ個の変量と第２のデータ群に属するｎ個の変量との間で、ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域にｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップとを備えたことを特徴とするグラフ描画方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のグラフ描画方法を実行して、或る製品を製造する製造工程での異常発生原因を解析する歩留り解析方法であって、
上記第１のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第２のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画方法を実行して、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出する歩留り解析方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の歩留り解析方法において、
上記グラフ画像は、上記不良要因を表すデータ群に属する変量に依存した上記性能を表すデータ群に属する変量についての箱ひげ図であることを特徴とする歩留り解析方法。
【請求項１３】
請求項１から９までのいずれか一つに記載のグラフ描画装置を備えて、或る製品を製造する製造工程での異常発生原因を解消する歩留り向上支援システムであって、
上記第１のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第２のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画装置によって、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出し、
抽出された不良要因を、上記製造工程にフィードバックするように出力する不良要因フィードバック部を備えたこと特徴とする歩留り向上支援システム。
【請求項１４】
請求項１０に記載のグラフ描画方法または請求項１１に記載の歩留り解析方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１５】
請求項１４に記載のプログラムをコンピュータに実行させるためのコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はグラフ描画装置および方法に関し、より詳しくは、或る変量と別の変量との間の相関関係を表示するグラフ描画装置および方法に関する。
【０００２】
また、この発明は、そのような方法を実行してグラフ描画しながら、歩留り解析を行う歩留り解析方法および歩留り向上支援システムに関する。
【０００３】
また、この発明は、それらの方法を実行するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムに関する。
【０００４】
また、この発明は、それらの方法を記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００５】
半導体製品製造分野などでは、製品加工時の加工形状（線幅や酸化膜厚等）や処理経過時間などの多種大量のデータが収集され、製品の不良要因を抽出することを主目的の一つとしてプロセスデータ解析が行われている。
【０００６】
例えば、特許文献１（特開２００５−１２０９５号公報）には、不良要因解析のために、製造工程の製造ロット毎に紐付けた歩留りとプロセスデータとの相関分析、製品性能とプロセスデータとの相関分析などから相関係数の大きいプロセスデータを抽出する手法や、低歩留りロットの処理情報から処理した装置や製造工程、作業者とを紐付けし低歩留りロットの偏り具合を有意差として抽出する手法などが開示されている。これらの手法を用いて、不良要因である特定の一つの製造工程や製造装置を判別するようにしている。
【０００７】
通常、このようなプロセスデータの解析は、収集された全てのプロセスデータについて行われる。しかし、製品の不良要因となるものは多く、それらは複雑に絡み合っている。仮に、データ群に含まれた特定の２変量同士の間に相関関係があったとしても、対象となる変量の値が他の変量の値の影響を受けて変化してしまい、一見すると相関関係が無いように見える場合も多い。このため、通常、潜在している相関関係を抽出することは困難を伴う。
【０００８】
そこで、上述のような不良要因解析における人の判断を助けるために、データ間の相関関係を表示画面にグラフ描画することが一般的に行われている。従来は、或るデータ群に属する複数の変量と別のデータ群に属する複数の変量との間で、全ての変量同士の間の関係を画面一杯に限りなくグラフ描画するか、または、特定の２変量同士の間の相関関係を表示させたいときは、キーボードやマウスなどの入力装置を用いて各々の変量をそれぞれ指定してグラフ描画する手法が行われている。
【特許文献１】特開２００５−１２０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、数百工程もある製造工程プロセスデータ間の相関関係の特徴は一つだけではなく、複数のデータ間でトレードオフの関係となる場合もある。画面の端と端に描画されたグラフでトレードオフの関係を効率よく比較することは非常に困難であり、多くの解析時間と手間が必要となるという問題がある。
【００１０】
そこで、この発明の課題は、或るデータ群に属する複数の変量と別のデータ群に属する複数の変量との間で、任意の２変量を効率的に指定でき、それらの２変量間の相関関係を一目瞭然で見易く表示できるグラフ描画装置および方法を提供することにある。
【００１１】
また、この発明の課題は、そのような方法を実行してグラフ描画しながら、歩留り解析を行う歩留り解析方法および不良要因解析システムを提供することにある。
【００１２】
また、この発明の課題は、それらの方法を実行するためのコンピュータ読み取り可能なプログラムを提供することにある。
【００１３】
また、この発明の課題は、それらの方法を記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、この発明のグラフ描画装置は、
ｍ、ｎをそれぞれ２以上の自然数としたとき、ｍ×ｎ個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
第１のデータ群に属するｍ個の変量と第２のデータ群に属するｎ個の変量との間で、ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域にｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
「第１のデータ群」「第２のデータ群」とは、例えば、或る対象物についての性能を表すデータ群、不良要因を表すデータ群のように、異種のデータ群を採用できる。
【００１６】
この発明のグラフ描画装置では、表示領域設定部が、ｍ×ｎ個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する。統計量表示処理部が、第１のデータ群に属するｍ個の変量と第２のデータ群に属するｎ個との間で、ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域にｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示する。行列要素指定部が、上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定する。そして、グラフ表示処理部が、上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示する。
【００１７】
このようにした場合、ユーザ（この装置を操作する者を指す。作業者を含む。）は、上記行列要素指定部を介して、上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するだけで、その行列要素に対応して、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量とを同時に指定できる。そして、グラフ表示処理部によって、その指定された２変量間の関係を見易く表示させることができる。したがって、ユーザは、多種大量のデータから所望の２変量間の関係を効率的に抽出することができ、一つの画面上で一目瞭然に見易く表示することができる。この結果、上記２群の変量間の関係（例えば相関係数）による順位付けが容易にでき、多変量間のトレードオフの関係などを容易に解析できる。
【００１８】
なお、統計量表示処理部は、ｍ×ｎ個の統計量を上記行列表示領域に、ｎ行ｍ列ではなく、ｍ行ｎ列の行列要素として並べて表示しても良い。
【００１９】
一実施形態のグラフ描画装置では、上記統計量は、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の相関係数であることを特徴とする。
【００２０】
この一実施形態のグラフ描画装置では、統計量表示処理部によって、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の相関係数が、上記行列表示領域にｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示される。したがって、ユーザは、表示された相関係数の中から、例えば相関係数が大きいものを容易に選択することができる。
【００２１】
一実施形態のグラフ描画装置は、
上記第１のデータ群に属するｍ個の変量と、上記第２のデータ群に属するｎ個の変量とを、共通の識別子を用いて互いに対応付けて記憶する紐付けデータテーブルを備え、
上記統計量表示処理部は、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を参照して上記ｍ×ｎ個の統計量を算出するようになっていることを特徴とする。
【００２２】
この一実施形態のグラフ描画装置では、ユーザは、紐付けデータテーブルに様々なデータ群を記憶させておくことで、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に、それらの様々なデータ群の中から指定された２群の変量間の関係を見易く表示させることができる。
【００２３】
一実施形態のグラフ描画装置では、上記表示領域設定部は、上記行列表示領域と上記グラフ表示領域とを一つの枠に組み込んだテンプレートとして設定することを特徴とする。
【００２４】
この一実施形態のグラフ描画装置では、上記テンプレートに組み込まれた上記行列表示領域と上記グラフ表示領域とがそれぞれ常に上記表示画面上の一定の位置を占める。したがって、ユーザは、画面の表示内容を認識し易くなる。
【００２５】
一実施形態のグラフ描画装置では、上記行列要素指定部は、上記行列要素のいずれか一つを上記表示画面上で指定するようになっていることを特徴とする。
【００２６】
上記表示画面上で「指定する」とは、例えば、マウスでカーソルを或る行列要素上に移動させ、その行列要素をクリックすることによって指定するような態様である。
【００２７】
この一実施形態のグラフ描画装置では、上記第１のデータ群に属する変量と第２のデータ群に属する変量とを１回の操作（例えば１クリック）で同時に効率的に指定できる。
【００２８】
一実施形態のグラフ描画装置では、
上記表示領域設定部は、上記第１のデータ群に属するｍ個の変量の名前を上記行列表示領域の各列に対応して行方向に並べて表示する第１の変量名表示領域と、上記第２のデータ群に属するｎ個の変量の名前を上記行列表示領域の各行に対応して列方向に並べて表示する第２の変量名表示領域とを設定し、
上記第１、第２の変量名表示領域にそれぞれ上記ｍ個の変量の名前、上記ｎ個の変量の名前を表示させる変量名表示処理部を備えたことを特徴とする。
【００２９】
この一実施形態のグラフ描画装置では、ユーザは、上記第１、第２の変量名表示領域に表示された変量の名前を見ることによって、上記行列表示領域に、どのデータ群に属する変量とどのデータ群に属する変量との間の統計量が表示されているのかを容易に認識できる。
【００３０】
一実施形態のグラフ描画装置は、
上記ｍ個の変量の名前または上記ｎ個の変量の名前のいずれか一つを指定する変量名指定部と、
上記変量名指定部によって上記ｍ個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶｎ個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を行単位で並び替える一方、上記変量名指定部によって上記ｎ個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して行方向に並ぶｍ個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を列単位で並び替える並び順処理部とを備えたことを特徴とする。
【００３１】
ここで並び替えの「順」には、昇順と降順とが含まれる。
【００３２】
この一実施形態のグラフ描画装置では、ユーザは、上記変量名指定部を介して、上記ｍ個の変量の名前の一つを指定することで、上記並び順処理部によって、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶｎ個の統計量を絶対値の順に並び替えることができる。また、ユーザは、上記変量名指定部を介して、ユーザは、上記変量名指定部を介して、上記ｎ個の変量の名前の一つを指定することで、上記並び順処理部によって、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶｍ個の統計量を絶対値の順に並び替えることができる。この結果、作業者は、上記２群の変量間の関係（例えば相関係数）による順位付けを、一目瞭然で容易に把握できる。
【００３３】
一実施形態のグラフ描画装置では、
上記グラフ画像は、上記グラフ表示領域に、上記第１のデータ群に属する変量を表す第１の座標軸と、上記第２のデータ群に属する変量を表す第２の座標軸とを基準として表示され、
上記行列要素指定部によって上記或る行列要素から別の行列要素に指定が変更されたとき、上記グラフ表示処理部は、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で行または列が一致しているか否かを判断して、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で行が一致しているときは上記第２の座標軸のスケールを維持する一方、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で列が一致しているときは上記第１の座標軸のスケールを維持しながら、上記別の行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成することを特徴とする。
【００３４】
この一実施形態のグラフ描画装置では、上記行列要素指定部によって上記或る行列要素から別の行列要素に指定が変更されたとき、上記グラフ表示処理部は、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で行または列が一致しているか否かを判断して、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で行が一致しているときは上記第２の座標軸のスケールを維持しながら、上記別の行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成する。一方、上記グラフ表示処理部は、上記或る行列要素と上記別の行列要素との間で列が一致しているときは上記第１の座標軸のスケールを維持しながら、上記別の行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成する。したがって、ユーザは、上記第１のデータ群に属する変量の指定と上記第２のデータ群に属する変量の指定とのうち一方のみを変更したとき、その変更に伴う上記グラフ画像の変化の傾向を容易に認識できる。
【００３５】
一実施形態のグラフ描画装置は、
上記紐付けデータテーブルに対して上記第１のデータ群に属するｍ個の変量と上記第２のデータ群に属するｎ個の変量とを定期的に配信して、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を更新するサーバを備え、
上記紐付けデータテーブルの記憶内容が更新されるのに同期して、上記統計量表示処理部は上記ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域に表示するようになっていることを特徴とする。
【００３６】
この一実施形態のグラフ描画装置では、上記紐付けデータテーブルの記憶内容が更新されるのに同期して、上記統計量表示処理部は上記ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域に表示する。つまり、必要な演算が自動的になされる。したがって、ユーザは、必要な情報をリアルタイムで得ることができる。
【００３７】
この発明のグラフ描画方法は、
ｍ、ｎをそれぞれ２以上の自然数としたとき、ｍ×ｎ個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップと、
第１のデータ群に属するｍ個の変量と第２のデータ群に属するｎ個の変量との間で、ｍ×ｎ個の統計量を算出して、上記行列表示領域にｎ行ｍ列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップとを備えたことを特徴とする。
【００３８】
この発明のグラフ描画方法によれば、上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するだけで、その行列要素に対応して、上記第１のデータ群に属する変量と上記第２のデータ群に属する変量とを同時に指定できる。そして、その指定された２変量間の関係を見易く表示させることができる。したがって、ユーザは、多種大量のデータから所望の２変量間の関係を効率的に抽出することができ、一つの画面上で一目瞭然に見易く表示することができる。この結果、上記２群の変量間の関係（例えば相関係数）による順位付けが容易にでき、多変量間のトレードオフの関係などを容易に解析できる。
【００３９】
この発明の歩留り解析方法は、上記グラフ描画方法を実行して、或る製品を製造する製造工程での異常発生原因を解析する歩留り解析方法であって、
上記第１のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第２のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画方法を実行して、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出する。
【００４０】
この発明の歩留り解析方法では、上記グラフ描画方法を実行して、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出する。したがって、ユーザは、解析時間と手間をあまり掛けずに、簡便かつ精度良く不良要因を抽出できる。
【００４１】
一実施形態の歩留り解析方法では、上記グラフ画像は、上記不良要因を表すデータ群に属する変量に依存した上記性能を表すデータ群に属する変量についての箱ひげ図であることを特徴とする。
【００４２】
この一実施形態の歩留り解析方法では、上記不良要因を表すデータ群に属する変量に依存した上記性能を表すデータ群に属する変量についての箱ひげ図によって、作業者は、上記性能がどの不良要因によって低下しているかを、一つの画面上で一目瞭然に把握することができる。したがって、多くの解析時間と手間を掛けず、簡便かつ精度良く不良要因を抽出できる。
【００４３】
この発明の歩留り向上支援システムは、上記グラフ描画装置を備えて、或る製品を製造する製造工程での異常発生原因を解消する歩留り向上支援システムであって、
上記第１のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第２のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画装置によって、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出し、
抽出された不良要因を、上記製造工程にフィードバックするように出力する不良要因フィードバック部を備えたこと特徴とする。
【００４４】
この発明の歩留り向上支援システムでは、上記グラフ描画装置によって、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出する。したがって、多くの解析時間と手間を掛けず、簡便かつ精度良く不良要因を抽出できる。不良要因フィードバック部は、抽出された不良要因を、上記製造工程にフィードバックするように出力する。したがって、上記製造工程での異常発生原因を解消できる。この結果、上記製造工程の安定化が実現でき、歩留り向上を支援することができる。
【００４５】
この発明のプログラムは、上記グラフ描画方法または上記歩留り解析方法をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００４６】
この発明のプログラムによれば、コンピュータに上記グラフ描画方法または歩留り解析方法を実行させることができる。
【００４７】
この発明の記録媒体は、上記プログラムをコンピュータに実行させるためのコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【００４８】
この発明の記録媒体によれば、記録媒体の記録内容をコンピュータに読み取らせることで、上記コンピュータに上記グラフ描画方法または歩留り解析方法を実行させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
（第１実施形態）
図２は、後述する一実施形態のグラフ描画装置によってグラフ描画の対象となるデータを記憶した紐付けデータテーブル２の内容を例示している。この例では、紐付けデータテーブル２には、製品ロットＬｔ１，Ｌｔ２，…，ＬｔＬ毎に、第１のデータ群２ａに属するＭ個の変量としての「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭと、第２のデータ群２ｂに属するＮ個の変量としての「要因」Ｆ１，Ｆ２，…，ＦＮとが、互いに対応付け（紐付け）して記憶されている。
【００５０】
半導体製造分野での例では、「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭが表すデータは、例えばウェハテストや電気特性等で得られたデバイスの性能であり、「要因」Ｆ１，Ｆ２，…，ＦＮが表すデータは、酸化膜厚、線幅、検査のプロセスデータ等である。
【００５１】
各製品ロットは、共通の識別子２ｃとしてのＬ個の「製品ＩＤ」Ｌｔ１，Ｌｔ２，…，ＬｔＬによって、特定されている。つまり、この紐付けデータテーブル２では、Ｌ個の識別子（ロット番号）Ｌｔ１，Ｌｔ２，…，ＬｔＬによって、各行毎に、Ｍ個の変量としての「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭとＮ個の変量としての「要因」Ｆ１，Ｆ２，…，ＦＮとが関連付けされている。
【００５２】
なお、作業者は、紐付けデータテーブル２に様々なデータ群を記憶させておくことができる。
【００５３】
図１は、この発明の一実施形態のグラフ描画装置１の概略ブロック構成を示している。このグラフ描画装置は、図２で示した紐付けデータテーブル２と、後述するグラフ描画テンプレートを用いた表示を行うグラフ描画テンプレート部３と、図２で示された紐付けデータテーブル２に格納された多変量から作業者が分析対象を指定するための変数選択操作部１ｆと、後述する表示画面上で作業者が２変量を指定等するための分析操作部１ｇとを備えている。グラフ描画テンプレート部３は、変数選択操作部１ｆによって選択された分析対象となるＭ個の変量とＮ個の変量を編集するデータ編集機能部１ａと、（Ｍ×Ｎ）個の統計量（例えば相関係数）を算出する統計量算出機能部１ｂと、算出された（Ｍ×Ｎ）個の統計量をＮ行Ｍ列の行列要素として配置するデータ配置機能部１ｃと、表示画面上で分析操作部１ｇによって指定された２変量間の関係を描画するグラフ出力機能部１ｄと、多変量間の関係の分析を行う要因分析機能部１ｅとを含んでいる。
【００５４】
グラフ描画テンプレート部３の各部は、所定のプログラムによって動作するＣＰＵ（中央演算処理装置）によって構成される。紐付けデータテーブル２はハードディスクドライブなどの外部記憶装置によって構成される。変数選択操作部１ｆはマウスやキーボードなどの入力装置によって構成される。また、分析操作部１ｇは、例えばペンで表示画面の或る箇所をタッチして入力行う公知のタッチパネル式ＬＣＤ（液晶表示装置）によって構成される。なお、当然ながら、分析操作部１ｇは、マウスで表示画面上のカーソルを移動させるとともに、クリックによって表示画面中の或る箇所を指定する入力方式であっても良い。
【００５５】
図４は、上記グラフ描画テンプレート部３が表示領域設定部として働いて、表示画面上に設定するグラフ描画テンプレート４の初期状態を表している。このテンプレート４は、この例では、右下に上記（Ｍ×Ｎ）個の統計量を行列状に並べて表示するための行列表示領域４ｃ、右上に第１の変量名表示領域４ａ、左下に第２の変量名表示領域４ｂ、左上にグラフ表示領域４ｄをそれぞれ配置し、これらの領域４ａ〜４ｄを同一の表示画面に表示される一つの矩形の枠に組み込んだものである。
【００５６】
図３は、グラフ描画テンプレート４の各領域４ａ〜４ｄに表示される表示内容を例示している。
【００５７】
行列表示領域４ｃには、上記データ配置機能部１ｃと統計量算出機能部１ｂとが統計量表示処理部として働いて、（Ｍ×Ｎ）個の統計量、この例では第１のデータ群２ａに属するＭ個の変量である「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭと第２のデータ群２ｂに属するＮ個の変量である「要因」Ｆ１，Ｆ２，…，ＦＮとの間の（Ｍ×Ｎ）個の相関係数が、Ｎ行Ｍ列の行列要素として並べて表示される。これにより、作業者は、表示された相関係数の中から、例えば相関係数が大きいものを容易に選択することができる。
【００５８】
第１の変量名表示領域４ａには、上記グラフ描画テンプレート部３が変量名表示処理部として働いて、第１のデータ群２ａに属するＭ個の変量の名前、この例では「性能Ｑ１」，「性能Ｑ２」，…，「性能ＱＭ」が、行列表示領域４ｃの各列に対応して行方向に並べて表示される。同様に、第２の変量名表示領域４ｂには、第２のデータ群２ｂに属するＮ個の変量の名前、この例では「要因Ｆ１」，「要因Ｆ２」，…，「要因ＦＮ」が、行列表示領域４ｃの各行に対応して列方向に並べて表示される。これにより、作業者は、第１、第２の変量名表示領域４ａ，４ｂに表示された変量の名前を見ることによって、行列表示領域４ｃに、どのデータ群に属する変量とどのデータ群に属する変量との間の統計量が表示されているのかを容易に認識できる。
【００５９】
また、グラフ表示領域４ｄには、上記グラフ出力機能部１ｄがグラフ表示処理部として働いて、第１のデータ群２ａに属する変量と第２のデータ群２ｂに属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像が表示される。この例では、作業者が分析操作部１ｇを行列要素指定部として用いて、表示画面上の行列表示領域４ｃ内に表示された行列要素のうち第８行第４列の行列要素３ｂ（つまり相関係数「０．５５」）を指定したのに応じて、その列（第４列）に対応した性能Ｑ４とその行（第８行）に対応した要因Ｆ８との間の相関関係を表す散布図３ｃが表示されている。
【００６０】
なお、この例では、散布図３ｃは、第１のデータ群２ａに属する変量「性能Ｑ４」を表す第１の座標軸としての縦軸（Ｙ軸）と、第２のデータ群２ｂに属する変量「要因Ｆ８」を表す第２の座標軸としての横軸（Ｘ軸）とを基準として表示されている。また、散布図３ｃ中の各点３ｄは、それぞれ或る製品ロットのデータを表している。なお、縦軸と横軸とを入れ替えて表示しても良い。
【００６１】
このように、このグラフ描画装置１では、作業者が分析操作部１ｇによって行列表示領域４ｃ内の行列要素を指定する分析操作と連動して、その行列要素に対応したグラフ画像（指定された２変量間の関係）がグラフ表示領域４ｄに表示される。上述の分析操作部１ｇによって行列表示領域４ｃに表示された行列要素のいずれか一つを指定する入力方式によれば、第１のデータ群２ａに属する変量と第２のデータ群２ｂに属する変量とを１回の操作（例えば１タッチ）で同時に効率的に指定できる。
【００６２】
次に、このグラフ描画装置１によるグラフ描画方法を、図１１および図１２のフローに基づいて説明する。その前提として、紐付けデータテーブル２の内容は、作業者によって図２に例示したように予め編集されているものとする。
【００６３】
図１１に示すように、グラフ描画装置１の動作がスタートすると、まずステップＳ１で、表示画面にグラフ描画テンプレート４の初期状態（図４参照）を表示する。
【００６４】
次に、図１１中のステップＳ２で、紐付けデータテーブル２の内容に基づいて、行方向、列方向の変量名と行列要素を表示する。この例では、図５Ａ中に示したように、第１の変量名表示領域４ａに、第１のデータ群２ａに属するＭ（＝１０）個の変量の名前として、「性能Ｑ１」，「性能Ｑ２」，…，「性能Ｑ１０」を表示する。同様に、第２の変量名表示領域４ｂに、第２のデータ群２ｂに属するＮ（＝１０）個の変量の名前として、「要因Ｆ１」，「要因Ｆ２」，…，「要因Ｆ１０」を表示する。さらに、行列表示領域４ｃに、第１のデータ群２ａに属する１０個の変量である「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，Ｑ１０と第２のデータ群２ｂに属する１０個の変量である「要因」Ｆ１，Ｆ２，…，Ｆ１０との間の（Ｍ×Ｎ）＝（１０×１０）個の相関係数を、１０行１０列の行列要素として並べて表示する。
【００６５】
次に、図１１のステップＳ３で、グラフ描画テンプレート部３は、作業者による分析操作部１ｇを用いた行列要素の指定があるか否かを判断する。ここで、行列要素の指定があれば（Ｓ３でＹＥＳ）、ステップＳ４に進んで、指定された行列要素に注目したグラフを演算して、図５Ａ中に示すようにそのグラフ画像をグラフ表示領域４ｄに表示する。この例では、表示画面上の行列表示領域４ｃ内に表示された行列要素のうち第６行第４列の行列要素５ｂ（つまり相関係数「−０．４４」）が指定されたのに応じて、その列（第４列）に対応した性能Ｑ４とその行（第６行）に対応した要因Ｆ８との間の相関関係を表す散布図５ａを表示する。
【００６６】
このようにした場合、作業者は、分析操作部１ｇを介して、表示画面上の行列表示領域４ｃ内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するだけで、その行列要素に対応して、第１のデータ群２ａに属する変量と第２のデータ群２ｂに属する変量とを同時に指定できる。そして、その指定された２変量間の関係を見易く表示させることができる。したがって、作業者は、多種大量のデータから所望の２変量間の関係を効率的に抽出することができ、一つの画面上で一目瞭然に表すことができる。この結果、２群の変量間の関係（この例では相関係数）による順位付けが容易にでき、多変量間のトレードオフの関係などを容易に解析できる。
【００６７】
次に、図１１のステップＳ５で、グラフ描画テンプレート部３は、作業者による分析操作部１ｇを変量名指定部として用いた変量名の指定があるか否かを判断する。具体的には、図７Ａに例示するように第１の変量名表示領域４ａに表示された変量名７ａ（この例では「性能Ｑ８」）が指定されたか否か、または、図７Ｂに例示するように第２の変量名表示領域４ｂに表示された変量名７ｂ（この例では「要因Ｆ１」）が指定されたか否かを判断する。ここで、変量名の指定がなければ（Ｓ５でＮＯ）、直ちにステップＳ３にリターンする。一方、変量名の指定があれば（Ｓ５でＹＥＳ）、グラフ描画テンプレート部３は並び順処理部として働いて、指定された変量名について行列要素を統計量の絶対値の順に並び替える。具体的には、図７Ａに例示するように第１の変量名表示領域４ａに表示された変量名７ａが指定されたとき、その名前が指定された変量「性能Ｑ８」に関して列方向に並ぶＮ個の統計量が絶対値の順（この例では降順）になるように、行列表示領域４ｃに表示された統計量を行単位で並び替える。または、図７Ｂに例示するように第２の変量名表示領域４ｂに表示された変量名７ｂが指定されたとき、その名前が指定された変量「要因Ｆ１」に関して行方向に並ぶＭ個の統計量が絶対値の順（この例では降順）になるように、行列表示領域４ｃに表示された統計量を列単位で並び替える。この結果、作業者は、２群の変量間の関係、この例では相関係数による順位付けを、一目瞭然で容易に把握できる。
【００６８】
なお、並び替えの順は、作業者が分析操作部１ｇを操作することによって昇順または降順を切り換えることができる。作業者は、第１のデータ群２ａに属する変量と第２のデータ群２ｂに属する変量との性質に応じて、昇順または降順のいずれかを選択すれば良い。また、作業者は、分析操作部１ｇを操作することによって、並び替えの順を元に戻すこともできる。
【００６９】
図１１中のステップＳ５またはＳ６からステップＳ３を経て、ステップＳ４に再びターンが回ってきた場合、つまり、表示画面上の行列表示領域４ｃ内に表示された行列要素のうち既にいずれかの行列要素が指定されている場合、ステップＳ４では、具体的には図１２のフローに示すような処理を行う。
【００７０】
まず、図１２のステップＳ１１で、グラフ描画テンプレート部３は、既に表示中のグラフ画像に対応した行列要素（注目行列要素）と今回指定された行列要素とが同じであるか否かを判断する。両者が同じであれば（Ｓ１１でＹＥＳ）、表示中のグラフ画像を変更する必要がないので直ちにメインルーチン（図１１）へリターンする。一方、既に表示中のグラフ画像に対応した行列要素（注目行列要素）と今回指定された行列要素とが異なっていれば（Ｓ１１でＮＯ）、ステップＳ１２で、両者の行が同じであるか否かを判断する。ここで、両者の行が同じであれば（Ｓ１２でＹＥＳ）、横軸に関するスケールを維持し、縦軸に関する変量のみを変更してグラフを演算し（Ｓ１３）、得られたグラフ画像をグラフ表示領域４ｄに表示する（Ｓ１７）。次に、両者の行が同じでなければ（Ｓ１２でＮＯ）、ステップＳ１４で、両者の列が同じであるか否かを判断する。ここで、両者の列が同じであれば（Ｓ１４でＹＥＳ）、縦軸に関するスケールを維持し、横軸に関する変量のみを変更してグラフを演算し（Ｓ１５）、得られたグラフ画像をグラフ表示領域４ｄに表示する（Ｓ１７）。両者の行も列も異なっていれば（Ｓ１２でＮＯ、Ｓ１４でＮＯ）、ステップＳ１６で、縦軸に関する変量と横軸に関する変量との両方を変更してグラフを演算し（Ｓ１７）、得られたグラフ画像をグラフ表示領域４ｄに表示する（Ｓ１７）。
【００７１】
このように処理を行う場合、次のような分析操作が容易かつ迅速になる。
【００７２】
例えば作業者が、図５Ａでの注目行列要素（第６行第４列）に対して、図５Ｂに示すように今回は第６行第５列の行列要素を指定したとする。この指定では両者の行が同じ第６行であり、列が第４列から第５列へ変更されただけであるから、グラフ描画テンプレート部３は、横軸に関するスケール５ｇを維持し、縦軸に関する変量のみを性能Ｑ４から性能Ｑ５へ変更してグラフを演算し、表示を行う。続いて、作業者が、図５Ｂでの注目行列要素（第６行第５列）に対して、図５Ｃに示すように今回は第６行第７列の行列要素を指定したとする。そして再びステップＳ４にターンが回ってきた場合、この指定では両者の行が同じ第６行であり、列が第５列から第７列へ変更されただけであるから、グラフ描画テンプレート部３は、再び横軸に関するスケール５ｇを維持し、縦軸に関する変量のみを性能Ｑ５から性能Ｑ７へ変更してグラフを演算し、表示を行う。
【００７３】
また、作業者が、図６Ａでの注目行列要素（第２行第５列）に対して、図６Ｂに示すように今回は第５行第５列の行列要素を指定したとする。この指定では両者の列が同じ第５列であり、行が第２行から第５行へ変更されただけであるから、グラフ描画テンプレート部３は、縦軸に関するスケール６ｇを維持し、横軸に関する変量のみを要因Ｆ２から要因Ｆ５へ変更してグラフを演算し、表示を行う。続いて、作業者が、図６Ｂでの注目行列要素（第５行第５列）に対して、図６Ｃに示すように今回は第７行第５列の行列要素を指定したとする。そして再びステップＳ４にターンが回ってきた場合、この指定では両者の列が同じ第５列であり、行が第５行から第７行へ変更されただけであるから、グラフ描画テンプレート部３は、再び縦軸に関するスケール６ｇを維持し、横軸に関する変量のみを要因Ｆ５から要因Ｆ７へ変更してグラフを演算し、表示を行う。
【００７４】
このような列のみの変更または行のみの変更を次々と行えば、作業者は、同一の表示画面上で、その変更に伴うグラフ表示領域４ｄ上のグラフ画像の変化の傾向を容易に認識できる。したがって、製品の不良要因等の抽出を簡便に且つ高い確度で行うことができる。
【００７５】
上述のグラフ描画方法では、図１１中のステップＳ２の処理を実行するとき、グラフ表示領域４ｄにグラフ画像を表示しないものとしたが、これに限られるものではない。例えば行列表示領域４ｃ内の特定の行列要素、例えば略中央の行列要素をデフォルトで指定しておき、その行列要素に対応した列、行に対応した性能と要因との間の相関関係を表す散布図を表示しても良い。
【００７６】
なお、上述のグラフ描画方法をコンピュータに実行させるためのプログラムとして構築しても良い。
【００７７】
また、そのようなプログラムをＣＤ−ＲＯＭなどのコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して配布できるようにしても良い。上記プログラムを汎用コンピュータにインストールすることで、汎用コンピュータによって上記グラフ描画方法を実行することが可能である。
【００７８】
（第２実施形態）
半導体製品製造分野では、各製品ロットは複数の製造工程で順次処理されて、製品となる。各製造工程では、生産能力を高めるために、それぞれその製造工程を実施可能な複数の製造装置が並行して用いられることが多い。このため、製品ロットの歩留りが低下したときに、いずれの製造装置（や作業者）に不良要因があるのか、迅速に解析することが重要である。
【００７９】
図９は、グラフ描画装置１によってグラフ描画の対象となるデータを記憶した紐付けデータテーブル８の内容を例示している。この例では、紐付けデータテーブル８には、製品ロットＬｔ１，Ｌｔ２，…，ＬｔＬ毎に、第１のデータ群８ａに属するＭ個の変量としての「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭと、第２のデータ群８ｂに属するＯ個の変量としての「工程名」Ｐ１，Ｐ２，…，ＰＯとが、互いに対応付け（紐付け）して記憶されている。
【００８０】
半導体製造分野での例では、「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭが表すデータは、例えばウェハテストや電気特性等で得られたデバイスの性能である。「工程名」Ｐ１，Ｐ２，…，ＰＯが表すデータは、例えばその「工程名」が表す製造工程に使用された製造装置の機番や作業者の名前等である。この「工程名」が表すデータは、製品ロットを管理するサーバ（処理履歴情報データベースを含む。）から提供される。
【００８１】
各製品ロットは、共通の識別子２ｃとしてのＬ個の「製品ＩＤ」Ｌｔ１，Ｌｔ２，…，ＬｔＬによって、特定されている。つまり、この紐付けデータテーブル２では、Ｌ個の識別子（ロット番号）Ｌｔ１，Ｌｔ２，…，ＬｔＬによって、各行毎に、Ｍ個の変量としての「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，ＱＭとＯ個の変量としての「工程名」Ｐ１，Ｐ２，…，ＰＯとが関連付けされている。
【００８２】
この実施形態では、図９の紐付けデータテーブル８に基づいて、グラフ描画装置１によってグラフ描画を行うことにより、いずれの製造装置に不良要因があるのか、迅速に解析するのに寄与する歩留り解析方法を説明する。
【００８３】
図９の紐付けデータテーブル８を用いた場合、グラフ描画テンプレート９の行列表示領域９ｃ、第１の変量名表示領域９ａ、第２の変量名表示領域９ｂ、グラフ表示領域９ｄには、図８Ａに例示するような表示内容が表示される。なお、Ｍ＝１０、Ｏ＝１０とする。
【００８４】
行列表示領域９ｃには、上記データ配置機能部１ｃと統計量算出機能部１ｂとが統計量表示処理部として働いて、（１０×１０）個の統計量、この例では第１のデータ群２ａに属する１０個の変量である「性能」Ｑ１，Ｑ２，…，Ｑ１０と第２のデータ群２ｂに属する１０個の変量である「工程名」Ｐ１，Ｐ２，…，Ｐ１０との間の（１０×１０）個の統計量が、１０行１０列の行列要素として並べて表示される。この例では、表示される統計量は、「工程名」が表す製造工程を実施する各製造装置毎に求められた「性能」の分散比（統計量算出機能部１ｂによって重回帰分析により算出されたもの）である。これにより、作業者は、表示された分散比の中から、例えば分散比が大きいものを容易に選択することができる。
【００８５】
第１の変量名表示領域９ａには、上記グラフ描画テンプレート部３が変量名表示処理部として働いて、第１のデータ群２ａに属する１０個の変量の名前、この例では「性能Ｑ１」，「性能Ｑ２」，…，「性能Ｑ１０」が、行列表示領域９ｃの各列に対応して行方向に並べて表示される。同様に、第２の変量名表示領域９ｂには、第２のデータ群２ｂに属する１０個の変量の名前、この例では「工程名Ｐ１」，「工程名Ｐ２」，…，「工程名Ｐ１０」が、行列表示領域９ｃの各行に対応して列方向に並べて表示される。これにより、作業者は、第１、第２の変量名表示領域９ａ，９ｂに表示された変量の名前を見ることによって、行列表示領域９ｃに、どのデータ群に属する変量とどのデータ群に属する変量との間の統計量が表示されているのかを容易に認識できる。
【００８６】
また、グラフ表示領域９ｄには、上記グラフ出力機能部１ｄがグラフ表示処理部として働いて、第１のデータ群２ａに属する変量と第２のデータ群２ｂに属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像が表示される。この例では、作業者が分析操作部１ｇを行列要素指定部として用いて、表示画面上の行列表示領域９ｃ内に表示された行列要素のうち第３行第４列の行列要素８ｅ（つまり分散比「１８．７４」）を指定したのに応じて、その列の「工程名」Ｐ３が表す製造工程を実施する各製造装置ＣＳ＿０２、ＣＳ＿０３、ＣＳ＿０４毎に求められた「性能」Ｑ４が箱ひげ図として表示されている。
【００８７】
詳しくは、図８Ｂに示すように、グラフ表示領域９ｄには、指定された行列要素８ｅに対応した工程名（この例では「工程名Ｐ３」）を表す領域９１と、その行列要素８ｅである分散比（Ｆ値；この例では「１８．７４」）を表す領域９２と、その「工程名」Ｐ３が表す製造工程を実施する各製造装置ＣＳ＿０２、ＣＳ＿０３、ＣＳ＿０４の機番を表示する領域９３と、各製造装置ＣＳ＿０２、ＣＳ＿０３、ＣＳ＿０４毎の「性能」Ｑ４を箱ひげ図で表示する領域９４とが含まれている。箱ひげ図は、周知のように、最大値、第３四分位、中央値、第１四分位、最小値によって表現される。
【００８８】
図８Ａに例示したように、グラフ描画テンプレート９の行列表示領域９ｃ、第１の変量名表示領域９ａ、第２の変量名表示領域９ｂ、グラフ表示領域９ｄに、それぞれ上述の表示内容を表示した上、第１実施形態に関して図１１および図１２のフローを用いて説明したのと同様に、分析操作を実行する。
【００８９】
このようにした場合、作業者は、分析操作部１ｇを介して、表示画面上の行列表示領域９ｃ内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するだけで、その行列要素に対応して、第１のデータ群８ａに属する変量と第２のデータ群８ｂに属する変量とを同時に指定できる。そして、その指定された２変量間の関係を見易く表示させることができる。具体的には、表示画面上の行列表示領域９ｃ内に表示された行列要素を指定したのに応じて、その列の「工程名」が表す製造工程を実施する各製造装置毎に求められた「性能」を箱ひげ図として表示させることができる。したがって、作業者は、多種大量のデータから、各製造装置に依存した製品ロットの「性能」、ひいては歩留りを効率的に抽出することができる。この結果、作業者は、上記性能がどの不良要因（製造装置）によって低下しているかを、一つの画面上で一目瞭然に把握することができる。
【００９０】
また、行列表示領域９ｃ内で行列要素を指定する際に、列のみの変更または行のみの変更を次々と行えば、作業者は、同一の表示画面上で、その変更に伴うグラフ表示領域９ｄ上のグラフ画像の変化の傾向を容易に認識できる。したがって、製品の不良要因等の抽出を簡便に且つ高い確度で行うことができる。
【００９１】
この結果、ユーザは、解析時間と手間をあまり掛けずに、簡便かつ精度良く不良要因を抽出できる。
【００９２】
なお、上述の歩留り解析方法をコンピュータに実行させるためのプログラムとして構築しても良い。
【００９３】
また、そのようなプログラムをＣＤ−ＲＯＭなどのコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して配布できるようにしても良い。上記プログラムを汎用コンピュータにインストールすることで、汎用コンピュータによって上記歩留り解析方法を実行することが可能である。
【００９４】
（第３実施形態）
図１０は、図１に示したグラフ描画装置１を含む、半導体製品製造分野などの製造工程を管理するのに適した歩留り向上支援システムの全体構成を示している。
【００９５】
この歩留り向上支援システムは、製造工程を管理するサーバとしての製造工程管理装置１０ｂと、製品ロットの半導体性能（歩留り）を測定して管理するサーバとしてのテスト工程管理装置１０ｃと、既述のグラフ描画装置１を含む歩留り要因解析装置１０ａとを、データ通信経路１０ｄを介して互いに通信可能に備えている。
【００９６】
また、製造工程管理装置１０ｂは、製造工程に関する変量である処理履歴データやプロセスデータを格納するデータベース１０ｅを含む。また、テスト工程管理装置１０ｃは測定した半導体性能を格納するデータベース１０ｆを含む。
【００９７】
歩留り要因解析装置１０ａは、この例では、既述のグラフ描画方法を実行するためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体と、その記録媒体を読み出して実行する汎用コンピュータとによって、グラフ描画装置１を構成する態様になっている。
【００９８】
歩留り要因解析装置１０ａへは、テスト工程管理装置１０ｃから性能を表す変量としての半導体性能データ群Ｉ１、製造工程管理装置１０ｂから製造工程における不良要因を表す変量としてのプロセスデータ群Ｉ２が、それぞれデータ通信経路１０ｄを介して定期的に配信される。歩留り要因解析装置１０ａは、それらのデータ群Ｉ１，Ｉ２をグラフ描画装置１の紐付けデータテーブル（図２参照）に読み込ませる。
【００９９】
歩留り要因解析装置１０ａは、グラフ描画装置１によって、半導体性能データ群Ｉ１に属する変量とプロセスデータ群Ｉ２に属する変量との間の２変量間の関係を表すグラフ画像を、表示画面上のグラフ表示領域に表示させながら、製品についての不良要因を抽出する。そして、歩留り要因解析装置１０ａが不良要因フィードバック部として働いて、抽出された不良要因を表す情報Ｉ３を、データ通信経路１０ｄを介して製造工程管理装置１０ｂにフィードバックする。したがって、上記製造工程での異常発生原因を解消できる。この結果、上記製造工程の安定化が実現でき、歩留り向上を支援することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】この発明の一実施形態のグラフ描画装置の概略ブロック構成を示す図である。
【図２】上記グラフ描画装置によってグラフ描画の対象となるデータを記憶した紐付けデータテーブルの内容を例示する図である。
【図３】グラフ描画テンプレートの各領域に表示される表示内容を例示する図である。
【図４】グラフ描画テンプレートの初期状態を示す図である。
【図５Ａ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の指定を行方向に変更する仕方を説明する図である。
【図５Ｂ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の指定を行方向に変更する仕方を説明する図である。
【図５Ｃ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の指定を行方向に変更する仕方を説明する図である。
【図６Ａ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の指定を列方向に変更する仕方を説明する図である。
【図６Ｂ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の指定を列方向に変更する仕方を説明する図である。
【図６Ｃ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の指定を列方向に変更する仕方を説明する図である。
【図７Ａ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の並び順を変更する仕方を説明する図である。
【図７Ｂ】上記グラフ描画装置を用いた分析操作において、行列要素の並び順を変更する仕方を説明する図である。
【図８Ａ】上記グラフ描画装置を歩留り解析に用いる場合に、グラフ描画テンプレートの各領域に表示される表示内容を例示する図である。
【図８Ｂ】図８Ａのグラフ描画テンプレートにおけるグラフ表示領域を拡大して示す図である。
【図９】上記グラフ描画装置を歩留り解析に用いる場合の、紐付けデータテーブルの内容を例示する図である。
【図１０】上記グラフ描画装置を含む歩留り向上支援システムの全体構成を示す図である。
【図１１】上記グラフ描画装置によるグラフ描画方法のフローを示す図である。
【図１２】図１１中のステップＳ４の処理フローを詳細に示す図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１  グラフ描画装置
１ｇ  分析操作部
２  紐付けデータテーブル
４、９  グラフ描画テンプレート
４ａ、９ａ  第１の変量名表示領域
４ｂ、９ｂ  第２の変量名表示領域
４ｃ、９ｃ  行列表示領域
４ｄ、９ｄ  グラフ表示領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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