(57)【要約】【課題】簡単に所望の精度を満たすように複数のインクジェットヘッドを組み合わせたインクジェットヘッドモジュールおよびその製造方法を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドモジュールは、１以上のノズル孔２３からなるノズル孔群を複数有する１枚のノズルプレート２５と、１以上のインク出口４０からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッド１０と、前記複数のインクジェットヘッド１０を収容するヘッド収容領域２４を有し、ノズルプレート２５に対して固定された枠体２０とを備え、複数のインクジェットヘッド１０は、各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、ノズルプレート２５に対して接着されている。【選択図】図２
2008126484.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１以上のノズル孔からなるノズル孔群を複数有する１枚のノズルプレートと、
１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドと、
前記複数のインクジェットヘッドを収容するヘッド収容領域を有し、前記ノズルプレートに対して固定された枠体とを備え、
前記複数のインクジェットヘッドは、各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、前記ノズルプレートに対して接着されている、インクジェットヘッドモジュール。
【請求項２】
前記枠体は、前記複数のインクジェットヘッドに対して供給されるべきインクを一旦貯めるための共通インク室を、前記ヘッド収容領域の内部に有する、請求項１に記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項３】
前記枠体は、外部からインクを受け入れるためのインク供給口と、前記ノズル孔とは別にインクを排出するためのインク排出口とを有する、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項４】
前記ヘッド収容領域内において、前記複数のインクジェットヘッドは１以上のスペーサ部材を間に挟んで平面的に配列されている、請求項１から３のいずれかに記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項５】
前記インクジェットヘッドの厚みと前記スペーサ部材の厚みとはほぼ等しい、請求項４に記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項６】
前記スペーサ部材には、前記スペーサ部材の両隣りに配列された２つの前記インクジェットヘッド間のインクの行き来を仲介するための貫通溝または貫通孔が設けられている、請求項４または５に記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項７】
前記複数のインクジェットヘッドはいずれもトップシュータ型である、請求項１から６のいずれかに記載のインクジェットヘッドモジュール。
【請求項８】
１以上のノズル孔からなるノズル孔群を複数有する１枚のノズルプレートを用意する工程と、
前記ノズルプレートに対して、１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドを、前記複数のインクジェットヘッドの各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、搭載する工程とを含む、インクジェットヘッドモジュールの製造方法。
【請求項９】
前記搭載する工程の後に、前記複数のインクジェットヘッドを収容するためのヘッド収容領域を有する枠体を、前記ノズルプレートに対して固定する工程を含む、請求項８に記載のインクジェットヘッドモジュールの製造方法。
【請求項１０】
前記複数のインクジェットヘッドはいずれもトップシュータ型である、請求項８または９に記載のインクジェットヘッドモジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドモジュールおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタは、インクジェットヘッドを備えており、このインクジェットヘッドに設けられた微小なノズル孔から印字データに応じてインクの微小な液滴を噴出することで、紙などの媒体に画像を印刷する。最近では、このインクジェットヘッドを生産装置に組み込むことで、配線パターンやカラーフィルタなどを作製することも盛んに行なわれるようになっている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドの方式の一つに圧電方式がある。圧電方式のインクジェットヘッドは、その構造により、インクジェットヘッドの基板の厚み方向と直交する方向にインクを吐出するタイプと基板の厚み方向にインクを吐出するタイプとに分類することができる。前者はサイドシュータ型のインクジェットヘッドと分類され、後者はトップシュータ型のインクジェットヘッドと分類されている。
【０００４】
まず、従来のサイドシュータ型のインクジェットヘッドの構造の第１の例を図２２、図２３に示す。図２２は、圧電方式のインクジェットヘッドの正面図、図２３は圧電方式のインクジェットヘッドの内部構成を示すための図であり、図２２のＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ線に関する矢視断面図である。
【０００５】
インクジェットヘッド２０１においてインクの液滴が噴出されるノズル孔１０７は、ノズルプレート１０６に複数個配置されている。そして、このノズル孔１０７のそれぞれに対応してインク室１０４が設けられている。このインク室１０４は、図２３に示すように圧電基板１０１、カバー部材１０２、ノズルプレート１０６によって囲まれて形成されており、このインク室１０４の内壁には電極１０８が形成されている。インク室１０４の後端部には、電極１０８と電気的に接続されるように導電材１１２が充填されており、この導電材１１２に外部接続端子１０９が接続されている。インク室１０４の後部すなわち上流側には、カバー部材１０２によって構成される共通インク室１０３が設けられている。この共通インク室１０３は、図２２に示すように、複数あるインク室１０４のすべてと連通している。インクは、図２３における右端からまず共通インク室１０３に供給され、さらに共通インク室１０３から各インク室１０４へ流れ込むようになっている。
【０００６】
外部接続端子１０９および導電材１１２を通じて電極１０８に、印字データに応じた電圧を印加すると、このインク室１０４の壁部が内側に凸となるように変形し、インク室１０４内のインクを加圧する。その結果、このインク室１０４内にあったインクがノズル孔１０７から吐出される。
【０００７】
インク室１０４内へのインクの供給は、電極１０８にインク室加圧時とは逆の電圧を印加することでなされる。すなわち、インク室加圧時とは逆の電圧を印加するとインク室１０４の壁部が外側に凸となるように変形し、インク室１０４内が負圧となる。その結果、共通インク室１０３からこのインク室１０４にインクが流入する。
【０００８】
従来のサイドシュータ型のインクジェットヘッドの構造の第２の例を図２４に示す。このインクジェットヘッド２０２では、外部接続端子１０９の引出し方向がインク室１０４の溝方向と平行となっている。
【０００９】
次に、トップシュータ型のインクジェットヘッドの構造の一例を図２５、図２６に示す。図２６は図２５のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ線に関する矢視断面図である。このインクジェットヘッド３０１においては、基板厚み方向に分極された圧電基板１０１の上面に、ダイシングによる溝加工で複数のインク室１０４が形成されている。インク室１０４の溝の長手方向の一方の端部（図２６の右端）には、電極を引き出すために浅溝部１０５が設けられている。このインク室１０４および浅溝部１０５の内壁には電極１０８が形成されている。インク室１０４の長手方向は、図２６における左右方向であるが、各インク室１０４に対してインクを供給するための共通インク室１０３ａ，１０３ｂがインク室１０４の長手方向に直交するように形成されている。すなわち、共通インク室１０３ａ，１０３ｂは複数のインク室１０４を横切るように図２６において紙面奥手前方向に延在している。インク室１０４、浅溝部１０５の内壁に形成された電極１０８を覆うように電極保護膜（図示せず）が１０μｍ以下の厚みで形成されている。各浅溝部１０５に対応するように配置された端子を有する外部基板１０９ｚが浅溝部１０５に対して接続されている。ノズル孔１０７を有するノズルプレート１０６はインク室１０４、浅溝部１０５および外部基板１０９ｚの一部を覆うように圧電基板１０１に接着されている。
【００１０】
このインクジェットヘッド３０１においては、インクは、共通インク室１０３ａ，１０３ｂからインク室１０４を通り、ノズル孔１０７から吐出される。外部基板１０９ｚに印字データに応じた電圧を印加すると、対応するインク室１０４の壁部が内側に凸となるように変形し、インク室１０４内のインクを加圧する。その結果、このインク室１０４内のインクがノズル孔１０７から吐出される。このようなインクの吐出に寄与する領域をアクティブエリアといい、図２６においてはＡ１およびＡ２で示す。このような圧電方式では、電圧を加減し、圧電体の変形を制御することによってインクの加圧量およびインク噴出滴量をコントロールできるため、階調印刷が容易であるという特徴がある。
【００１１】
トップシュータ型のインクジェットヘッド３０１は、サイドシュータ型のインクジェットヘッド２０１と比較して、インクの吐出に寄与する領域がＡ１，Ａ２の２つ存在するため、吐出電圧が低くても足り、発熱、消費電力の面で有利であるという特徴を有している。
【００１２】
さらに近年、印字速度を上げるために、インクジェットヘッドの分野ではノズル数を増加させる傾向にある。このようなインクジェットヘッドを生産装置へ組み込み、配線パターンやカラーフィルタなどを作製する場合においては、インクジェットヘッドのノズル孔が高密度に一定ピッチで配列されるように、インクジェットヘッドを複数個並べて配置する方式が採用されている。
【００１３】
インクジェットヘッドを複数個並べて配置する方式は、たとえば特開２００２−２６４３２２号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１に記載された方式では、保持部材に複数のインクジェットヘッド（特許文献１では「インクヘッドモジュール」と称されている。）が配列されている。ここで用いられる保持部材は、セラミック、アルミニウム、ステンレスなどの剛性が高い材料で作製され、両面が高い平行度となるように加工されている。インクジェットヘッドは保持部材の表裏に交互に配列されており、側方から見て千鳥状になるように保持されている。隣接したインクジェットヘッドの最も端のインク吐出口同士の副走査方向のピッチは、１つのインクジェットヘッドの中でのインク吐出口のピッチｄと同じピッチになるように調整して取り付けられている。ノズルプレートは、１枚の平板状の部材で構成され、インクジェットヘッドのインク吐出口の列と同様のピッチｄならびに個数を有するように配置されたノズル列を有している。このノズルプレートが全インクジェットヘッドを覆い得るように位置調整して取り付けられている。
【特許文献１】特開２００２−２６４３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上述した従来技術には、以下に示す問題があった。
まず第１の問題は、発熱、消費電力に関してである。インクジェットヘッドを生産装置に組み込む場合、印字速度を上げるために、インクジェットヘッドの１個当たりのノズル数は増加の傾向にあり、また、複数のインクジェットヘッドを１つの保持部材に搭載して使用する場合の搭載個数も増加する傾向にある。これにより、インクジェットヘッドのノズル列の総長さが長くなっている。そのため、このようなインクジェットヘッドを駆動させる場合、発熱、消費電力が著しく増大するという問題がある。この問題に対しては、吐出電圧が低いトップシュータ型のインクジェットヘッドが有望視されている。
【００１５】
第２の問題は、１枚のノズルプレートに対してインク吐出口のピッチがいずれの箇所でも等しくなるように、複数のインクジェットヘッドを保持部材に対して高精度に位置決めするのが困難であるということである。
【００１６】
特許文献１の技術を参考にして、図２７に示すように保持部材１１０に対してインクジェットヘッド２０１を配置する場合について検討する。図２７に示すように、Ｘ，Ｙ，Ｚの３方向の座標軸とこれら３軸のそれぞれの周りの回転を規定する回転軸α，β，γを定める。Ｘ軸はノズル孔の配列方向である。Ｚ軸はインク吐出方向である。
【００１７】
保持部材１１０に対してインクジェットヘッド２０１を配置するに当たって、Ｙ，α，γの３軸は保持部材１１０により一義的に規制されるが、Ｘ，Ｚ，βの３軸については、高精度に各インクジェットヘッド２０１を位置調整し、固定する必要がある。
【００１８】
Ｘ軸に関するずれについて、図２８を参照して説明する。Ｘ軸に関するずれは、ノズルプレートの主面に平行な方向すなわち矢印９１で示す方向でのノズルプレート１２５のノズル孔１０７とインクジェットヘッド２０１のインク吐出口１１１との間の相対位置に関わるものである。Ｘ軸方向である程度以上の誤差が生じるとノズルプレート１２５のノズル孔１０７とインクジェットヘッド２０１のインク吐出口１１１とが一致しなくなる。ノズルプレート１２５においてノズル孔１０７のピッチとして設定されている値Ｐがたとえば１４１μｍであるとして、インクジェットヘッド２０１におけるインク室自体の幅Ｑと隔壁厚みＲとの比率が１：１だった場合、インク室自体の幅Ｑは約７０μｍである。一方、ノズルプレート１２５に設けられたノズル孔１０７は通常インク吐出方向（図２８における左側）に向かってテーパ状に徐々に狭くなるように加工されており、テーパ角度は約１２°程度である。ノズルプレートの厚さを５０μｍとし、ノズル孔１０７のインク出口径Ｓを２５μｍとした場合、ノズル孔１０７のインク入口径Ｔは約４６μｍであり、（７０−４６）／２＝１２であることから、ノズル貼付け精度は±１２μｍとなる。ノズルプレート１２５とインクジェットヘッド２０１との相対位置のずれは１２μｍ以下にする必要がある。
【００１９】
Ｚ軸に関するずれは、ノズルプレートの主面に垂直な方向でのノズルプレートに対する各インクジェットヘッドの相対位置すなわち各インクジェットヘッドのいわゆる「突出し」である。ノズルプレートとインクジェットヘッドとの固定は、接着剤を用いて行なうのが一般的であり、接着剤の厚さは１０μｍ以下になるようにコントロールされている。したがって、このＺ軸方向の相対位置ばらつきは１０μｍ以下に抑えなければ、ノズルプレートとインクジェットヘッドとを接着することができない。
【００２０】
β軸に関するずれは、ノズルプレートの主面に平行な方向でのノズルプレートのノズル孔とインクジェットヘッドのインク吐出口との相対位置と、ノズルプレートに対する各インクジェットヘッドの突出しとの両方に影響を及ぼす。
【００２１】
したがって、Ｘ，Ｚ，βの３軸については、１０μｍ程度以下の高精度で位置決めを行なう必要がある。保持部材１１０に対してインクジェットヘッド２０１が増えるほど、相対位置を調整する作業の回数が増加し、精度を維持することは困難となる。また、上述の精度が満たされていなければノズルプレートの接着も困難となる。
【００２２】
そこで、本発明は、簡単に所望の精度を満たすように複数のインクジェットヘッドを組み合わせたインクジェットヘッドモジュールおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するため、本発明に基づくインクジェットヘッドモジュールは、１以上のノズル孔からなるノズル孔群を複数有する１枚のノズルプレートと、１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドと、前記複数のインクジェットヘッドを収容するヘッド収容領域を有し、前記ノズルプレートに対して固定された枠体とを備える。前記複数のインクジェットヘッドは、各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、前記ノズルプレートに対して接着されている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、枠体はノズルプレートに対して固定されており、インクジェットヘッドはノズルプレートに対して接着されているので、作製が容易となり、簡単に所望の精度を満たすことができる。しかも枠体内に設けられたヘッド収容領域をインク流路として活用できるので、簡単な構造で複数のインクジェットヘッドへのインクの供給系を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（実施の形態１）
（構成）
図１〜図５を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドモジュールについて説明する。図１に示すように、本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュール１００は、１枚のノズルプレート２５に対して複数のインクジェットヘッドを搭載し、複数のインクジェットヘッドの部分が枠体２０に収まるようにノズルプレート２５に枠体２０を取り付けたものである。図１におけるＩＩ−ＩＩ線に関する矢視断面図を図２に示す。内部構造をわかりやすくするために、図１に示したインクジェットヘッドモジュール１００からノズルプレート２５を取り去ったところを図３に示す。さらに、構造を説明するために、図３の状態から複数のインクジェットヘッド１０をすべて取り去ったところを図４に示す。インクジェットヘッド１０の単独の外観を図５に示す。
【００２６】
図１に示すように、インクジェットヘッドモジュール１００は、１以上のノズル孔２３からなるノズル孔群４３を複数有する１枚のノズルプレート２５を備える。さらに、インクジェットヘッドモジュール１００は、ノズルプレート２５の下には、図２、図３に示すように複数のインクジェットヘッド１０と、ノズルプレート２５に対して接着固定された枠体２０とを備える。図４に示すように、枠体２０は、複数のインクジェットヘッド１０を収容するヘッド収容領域２４を有する。図５に示すように、インクジェットヘッド１０は、１以上のインク出口４０からなるインク出口群８０をそれぞれ有する。複数のインクジェットヘッド１０は、各々のインク出口群８０（図５参照）が、複数のノズル孔群４３（図１参照）のいずれかと個別に重なり合って連通するように（図２参照）、ノズルプレート２５に対して接着されている。
【００２７】
なお、図３、図４に示すように、ヘッド収容領域２４は枠体２０にザグリ加工で形成された長円形の凹部である。したがって、両端は半円形となっているが、一方の端の半円形部分の底面にはインク供給口４１ａが開口しており、他方の端の半円形部分の底面にはインク排出口４１ｂが開口している。インク供給口４１ａから下方へはインク供給管２１ａが延在している。インク排出口４１ｂから下方へはインク排出管２１ｂが延在している。
【００２８】
（作用・効果）
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールによれば、枠体はノズルプレートに対して固定されており、インクジェットヘッドはノズルプレートに対して接着されているので、作製が容易となり、簡単に所望の精度を満たすことができる。しかも枠体内に設けられたヘッド収容領域をインク流路として活用できるので、簡単な構造で複数のインクジェットヘッドへのインクの供給系を実現することができる。本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールにおいては、複数のインクジェットヘッドは、枠体によって位置決めされているので、ワイパブレード（図示せず）によりノズルプレート表面をクリーニングする際に、ノズルプレートが剛性の低いフィルム状のものであったとしても、ワイパブレードによる拭き残しが発生しにくく、ノズルプレート表面のクリーニングを良好に行なうことが可能である。
【００２９】
なお、上述の構成において、枠体２０は、好ましいことに、複数のインクジェットヘッド１０に対して供給されるべきインクを一旦貯めるための共通インク室を、ヘッド収容領域２４の内部に有する。ここでいう「共通インク室」とは、ヘッド収容領域２４の内部空間のうち、複数のインクジェットヘッド１０を配置した際に平面的に見て余白となった部分である余白部７ｈ，７ｉ，７ｊ，７ｋ，７ｍ，７ｎ（図３参照）と、各インクジェットヘッド１０の複数のチャンネル溝を横断するように延在する空間である横断連通部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ（図２参照）との両方を合わせたものを指す概念である。このような共通インク室をヘッド収容領域２４の内部に有することにより、複数のインクジェットヘッド１０同士でインクを共有化することができ、その結果、各インクジェットヘッド１０に過不足なく均等にインクを配分しやすくなるので、好ましい。
【００３０】
さらに好ましいことに、枠体２０は、外部からインクを受け入れるためのインク供給口４１ａと、ノズル孔２３とは別にインクを排出するためのインク排出口４１ｂとを有する。このような構成となっていることにより、複数のインクジェットヘッド１０に対する新しいインクの供給および余ったインクの排出が容易となる。この構成によれば、インクジェットヘッドモジュール内にエアが入り込んだ場合にも、ノズル孔２３ではないインク排出口４１ｂからインクとともにエアを押し出すことが可能となり、エア排出が容易となる。さらに、インクがインクジェットヘッドモジュール内部に滞留することにより、インクの構成材料の一部が沈殿したり、分散状態が変化したりするような性質のインクを使用する場合は、本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールでは、インク供給口４１ａおよびインク排出口４１ｂを利用して滞留を防止するようにインクを循環させることもできるので、信頼性の高いインクジェットヘッドモジュールとすることができる。
【００３１】
（実施の形態２）
（製造方法）
図６〜図１４を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法について説明する。このインクジェットヘッドモジュールの製造方法は、１以上のノズル孔からなるノズル孔群を複数有する１枚のノズルプレートを用意する工程と、前記ノズルプレートに対して、１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドを、前記複数のインクジェットヘッドの各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、搭載する工程とを含む。
【００３２】
（インクジェットヘッドを用意する工程）
まず、これらの工程より前の段階、すなわち複数のインクジェットヘッドを作製する工程から説明する。図６に示すように、圧電基板１に対する加工を行なう。圧電基板１は、分極方向が互いに異なる厚さ０．２２ｍｍと厚さ０．８ｍｍとの２枚の圧電基板を貼り合わせて厚さ１．０２ｍｍの基板としたものである。この圧電基板１に複数のインク室４を加工する。
【００３３】
図６における圧電基板１の手前を前端、奥を後端とすると、インク室４として十分な深さで加工されるのは、圧電基板１の中間部分であり、圧電基板１の前後両端近傍においてはインク室４は浅溝部５に連なる。圧電基板１の前後両端面に対しては浅溝部５はそのまま開口している。このような深さの変化を含む溝加工はダイシングブレード３０の上下動を利用した加工方法、すなわちいわゆるチョッパ加工によって行なうことができる。チョッパ加工においてダイシングブレード３０は図６に矢印で示すような動きを行なう。インク室４と浅溝部５とのつなぎ目には、溝の底面が曲面、すなわちいわゆるアール形状となっている部分があるが、この曲面はダイシングブレード３０の外形が転写されたものである。インク室４の深さは約２５０μｍで、浅溝部５の深さは２５μｍである。インク室４の幅は８０μｍ、ピッチは１６９．３μｍとすることで、このインクジェットヘッドは１５０ｄｐｉ（dot per inch）のノズル密度として構成される予定である。浅溝部５はのちに外部接続端子に接続するための内部端子が形成される部分であるが、この内部端子の端子幅はインク室４の溝幅に相当する。内部端子の端子幅を大きくするため、浅溝部５の区間でのみ溝幅方向にダイシングブレード３０の軌道をずらして複数回の溝加工を行なうことで、インク室４に比べて浅溝部５のみ溝幅を広げることも可能である。このように浅溝部５の溝幅を広げて内部端子の端子幅を大きくすることとすれば、さらに接続信頼性を確保することができる。本実施の形態における圧電基板１のレイアウトの場合、インク室４のピッチを狭くしても、内部端子を圧電基板１の両端部に形成することと内部端子の端子幅を大きくすることにより接続信頼性を確保することができる。
【００３４】
次に、このインク室４の内壁に蒸着、スパッタ、めっき法などにより電極６を形成する。電極６を形成する際には、インク室４および浅溝部５の内壁だけでなく圧電基板１の上面全体にも電極６と同様の金属膜が形成される。この状態では各インク室４同士が短絡した状態となってしまうため、圧電基板１の上面への金属膜の形成後、ダイシングマシンを使用して圧電基板１の最上面に研削加工を行ない、深さ２０μｍまで削り取る。こうして、最上面から一部を削り取った結果、圧電基板１は厚さ１．０ｍｍとなり、電極６は各インク室４ごとに分離された状態となる。この状態では、インク室４から浅溝部５にかけての内壁には連続して電極６が形成されている。この研削加工を行なう際に、圧電基板１の裏面と表面との平行度を１μｍ以下にすることが可能である。電極６のうち浅溝部５の内壁に形成された部分は「内部端子」となる。
【００３５】
続いて図７に示すように、ダイシングブレード３１を用いて共通インク室の一部をなす横断連通部７ａ，７ｂを加工する。横断連通部７ａ，７ｂは、浅溝部５を避けたインク室４の途中の位置において、インク室４に直交するように溝状に形成される。横断連通部７ａ，７ｂの溝としての深さはインク室４よりも浅くなっている。このように加工することでインク室４の内壁に形成した電極６は横断連通部７ａ，７ｂの位置で途切れることなく電気的に連続することとなるので、インク室４の中央における電極６から内部端子への導通は確保される。共通インク室の横断連通部７ａ，７ｂは、すべてのインク室４に対してインクを供給するためのものであるので、横断連通部７ａ，７ｂの溝幅は広くしたほうが流路抵抗を小さくすることができるが、横断連通部７ａ，７ｂに挟まれる区間の長さが短くなれば、その分、アクティブエリアが減ってしまうので、適当な長さにしておくのがよい。
【００３６】
図６、図７では、インクジェットヘッドの１つ分に相当する面積の圧電基板１のみを示して説明したが、実際には、図８（ａ）に示すように、より広い圧電基板すなわちウエハ状基板１ｗを用いて複数のインクジェットヘッドに相当する構造を一斉に作製することが好ましい。その場合、ダイシングブレード３０は図８（ａ）に矢印９２で示すように上下動を繰り返しながら溝加工を行なうこととなる。
【００３７】
ここまでの工程により、１枚のウエハ状基板１ｗ上に個々のインクジェットヘッドのための構造が多数配列された状態を得ることができる。このウエハ状態からダイシングマシンで切断することによりインクジェットヘッドの１個１個に対応する領域を分割する。たとえば図８（ａ）における部分Ｚ１を分割することによって、図８（ｂ）に示すようにインクジェットヘッドの１個分に対応する圧電基板１が得られる。１枚のウエハ状基板１ｗからは多数の圧電基板１が得られる。
【００３８】
次に、図９に示すように、フレキシブル配線基板を利用して形成された外部接続端子２２の接続を行なう。インクジェットヘッドの１個分に対応する大きさの圧電基板１の端面に対して開口する浅溝部５の内面の電極６すなわち内部端子に対して、それぞれ外部接続端子２２を接続する。この接続はシート状の異方性導電樹脂２７を介して行なわれる。外部接続端子２２は表面に金属配線部２９が配列された構造となっており、金属配線部２９が異方性導電樹脂２７を介してそれぞれ内部端子に押し付けられる構造となっている。こうすることにより、図５に示したインクジェットヘッド１０が得られる。インクジェットヘッド１０では、個々の金属配線部２９と各浅溝部５の内部端子とが異方性導電樹脂２７を介してそれぞれ独立に電気的に接続されることとなるので、インクジェットヘッド１０のインク室４の内壁に形成された電極６に対して外部から所望の電位を与えることが可能となる。したがって、インクジェットヘッド１０を外部から駆動することが可能となる。
【００３９】
外部接続端子２２の接続方法に関しては、上述のような異方性導電樹脂を介した接続方法のほかに、各内部端子にフレキシブル配線基板のリードをそれぞれ直接接続する方法や、ワイヤーボンディングで接続する方法など、が考えられる。
【００４０】
次に、インクジェットヘッド１０のインク室４の内壁に形成された電極６をインクから保護する目的で、電極保護膜（図示せず）を約１０μｍの厚さで成膜する。この電極保護膜はインクジェットヘッド１０の圧電基板１だけでなくフレキシブル配線基板である外部接続端子２２にも付着する。
【００４１】
（ノズルプレートを用意する工程）
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法は、上述したように、１以上のノズル孔からなるノズル孔群を複数有する１枚のノズルプレートを用意する工程を含む。ここでいうノズルプレートは、たとえば図１にも示されていたノズルプレート２５であってよい。図１０にノズルプレート２５の単独の状態を示す。このようなノズルプレートを自ら作製することによって用意する場合、以下のようにして作製することができる。ノズルプレート２５の材料となるプレートは、ポリイミドフィルム、ポリエーテルサルフォンなどの高分子材料からなる。このプレートの表裏両面のうちインクの吐出面となる側の面に、インクに対して撥水効果のある撥水膜（図示せず）を成膜する。次にこの撥水膜の保護のために保護テープを貼り付ける。このプレートの接着面となる側の面からエキシマレーザ光の照射により孔加工を行なう。
【００４２】
まず、１以上のノズル孔２３からなるノズル孔群４３に対応するパターンを有するマスクを用いてエキシマレーザ光を照射する。エキシマレーザ光を、ポリイミドフィルム、ポリエーテルサルフォンなどの高分子材料、撥水膜を通過し、保護テープの一部に達するまで照射することで、高分子材料の分子結合が切断され、高分子材料は分子あるいは原子状態に分解し、蒸発する。こうすることにより、マスクのパターンを反映した形状を得ることが可能となる。ノズル孔２３を形成すべき領域においては、撥水膜まで完全に除去加工することができる。この孔加工はパルス制御のエキシマレーザ装置を使用してパルス数を制御することで行なう。こうすることによって、再現性良く安定した配列でノズル孔２３を、インクジェットヘッド１０のインク室４に対応するピッチで、複数個のインクジェットヘッド１０のインク室４に対応する数だけ形成する。すなわち、インクジェットヘッド１０の個数と同じ数だけのノズル孔群４３が形成される。ノズルプレート２５の外形サイズは、１つの枠体２０のヘッド収容領域２４に収められる複数のインクジェットヘッド１０の全体を囲む外形サイズよりも大きく、ヘッド収容領域２４の外側においてさらに枠体２０の最上面の一部を覆う大きさとなっている。
【００４３】
（ノズルプレートに複数のインクジェットヘッドを搭載する工程）
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法は、上述のように、前記ノズルプレートに対して、１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドを、前記複数のインクジェットヘッドの各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、搭載する工程も含んでいる。そこで、この「搭載する工程」について説明する。
【００４４】
「１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッド」とは、複数個のインクジェットヘッド１０である。図１１はインクジェットヘッド１０をノズルプレート２５に搭載する工程の説明図である。圧電基板１と外部接続端子２２とを含む複数のインクジェットヘッド１０が１枚のノズルプレート２５に搭載される。
【００４５】
（ノズルプレート接着装置）
この作業は従来のノズルプレート接着装置を転用して行なうことができる。ここでいうノズルプレート接着装置とは、平板状の固定部と、対象物吸着機能を有し、変位可能な加圧ツールと、対象物のアライメントのための第１，第２のカメラとを備えるものである。このノズルプレート接着装置は、従来、１つのインクジェットヘッドにインクジェットヘッド１つ分に対応する大きさのノズルプレートを貼り付けるために使用されるものである。
【００４６】
このノズルプレート接着装置の従来の使われ方は以下のとおりである。まず、インクジェットヘッドを固定部に固定して支持し、第１のカメラでインクジェットヘッドの目印となる開口部を撮像して座標位置を求めることによってインクジェットヘッドの中心座標を求める。一方、ノズルプレートを加圧ツールに吸着支持し、第２のカメラでノズルプレートのノズル孔を撮像して座標位置を求めることによってノズルプレートの中心座標を求める。次に加圧ツールを変位させることによってインクジェットヘッドとノズルプレートとの中心座標同士を一致させるようにして、両者を重ね、加圧して接着させる。
【００４７】
このような使われ方をしてきた従来のノズルプレート接着装置を利用して、本実施の形態におけるノズルプレートに対して複数のインクジェットヘッドを搭載する工程を行なう。この場合、まず、固定部１５１によってノズルプレート２５を固定支持し、加圧ツール１５８によってインクジェットヘッド１０を吸着支持する。こうして、１枚のノズルプレート２５に対してインクジェットヘッド１０を順次アライメントして搭載し、加圧ツールによる加圧によって接着していく。その結果、図１２に示すように１枚のノズルプレート２５の表面に複数のインクジェットヘッド１０が接着された状態の構造体５０が得られる。これを図４に示した枠体２０の凹部に嵌め込んで接着する。
【００４８】
ここでいうノズルプレート接着装置は、ノズルプレートの接着に専用の装置に限らず、一般的なＣＯＢ（Chip On Board）装置であってもよい。ＣＯＢ装置とは、配線基板などの上にＩＣチップなどチップ状部品を高精度に位置決めして搭載するための装置である。ＣＯＢ装置は、通常、配線基板を設置するためのステージと、配線基板側およびチップ状部品側のアライメントマークを検出するためのカメラと、チップ状部品を吸着することによってピックアップするためのツールとを備えている。
【００４９】
（より詳しい説明）
以下により詳しく説明する。まず、図１１に示すように、ノズルプレート２５をノズルプレート接着装置の固定部１５１上に配置し、固定する。
【００５０】
次に、インクジェットヘッド１０のインク室４がある側の面に接着剤を塗布する。この塗布の工程には、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すバーコータ装置１５２を用いる。バーコータ装置１５２は図１３（ａ），（ｂ）に示すように円柱状の部材の外周面に細かい凹凸を設けたものである。図１３（ｂ）における部分Ｚ２を拡大したところを図１３（ｃ）に示す。このバーコータ装置１５２で対象面を擦過する際には図１３（ｃ）における隙間１５３を接着剤が通過する。このバーコータ装置１５２を用いて、図１４に示すようにポリイミドフィルム１５４上に直線状に塗布されたエポキシ系接着剤１５５を押し広げる。こうしてポリイミドフィルム１５４の表面に厚み４μｍの均一な接着剤の層を形成する。さらに、接着剤を塗布したポリイミドフィルム１５４上にインクジェットヘッド１０のインク室４がある側の面を押し当てスタンプ転写することで、インクジェットヘッド１０のインク室４の領域にポリイミドフィルム１５４上に塗布された厚さ４μｍの均一なエポキシ系接着剤の半分の厚さである２μｍの均一な厚みの接着剤を塗布することが可能である。
【００５１】
次に、接着剤が塗布されたインクジェットヘッド１０と固定部１５１上に固定されたノズルプレート２５とを接着する。そのためには、図１１に示すように、先ほど接着剤を塗布した側が下向きになるようにインクジェットヘッド１０を加圧ツール１５８に吸着固定する。ノズルプレート２５のノズル孔群４３を同様に第１アライメントカメラ１５６で撮像して座標位置を求める。加圧ツール１５８に吸着固定されたインクジェットヘッド１０の各インク室４を第２アライメントカメラ１５７で撮像して座標位置を求める。その後、１つのインクジェットヘッド１０に存在する全てのインク室４の中心座標とノズルプレート２５の１つのノズル孔群４３の中心の座標をそれぞれ計算する。両方の中心座標同士が合致するように加圧ツール１５８を水平方向に変位させた後に、加圧ツール１５８を降下させる。こうすることによってノズルプレート２５に対して、インクジェットヘッド１０の接着剤層が転写されたインク室４を当接させ、加圧する。その結果、ノズルプレート２５に対してインクジェットヘッド１０が接着される。
【００５２】
図５に示したようにインクジェットヘッド１０においてインク室４が圧電基板１の上面に対して開口する領域はインク出口４０であり、複数のインク室４にわたるインク出口４０を合わせたものがインク出口群８０である。第１，第２アライメントカメラ１５６，１５７によって各インク室４の座標を割り出し、加圧ツール１５８で位置を合わせて接着しているので、複数のインクジェットヘッド１０の各々のインク出口群８０はノズルプレート２５上に設けられた複数のノズル孔群４３のいずれかと個別に重なり合って連通することとなる。
【００５３】
このようにして、ノズルプレート２５に対して、１以上のインク出口からなるインク出口群をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドを、前記複数のインクジェットヘッドの各々の前記インク出口群が、前記複数のノズル孔群のいずれかと個別に重なり合って連通するように、搭載する工程が完了する。
【００５４】
上述の作業をインクジェットヘッドの個数分だけ、順次繰り返し行なうことで、図１２に示すように、１枚のノズルプレート２５に対して、複数のインクジェットヘッド１０が搭載された構造体５０が得られる。
【００５５】
（作用・効果）
本実施の形態では、複数のインクジェットヘッドの相互間の相対位置をそれぞれ調整しておいてから、１枚のノズルプレートをかぶせるようにして一括して接着するわけではないので、複数のインクジェットヘッドの相互間の相対位置調整を行なう必要がなく、従来のノズルプレート接着装置を流用することが可能であるので、新たな接着装置や治具などを必要としないという利点がある。
【００５６】
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法によれば、インクジェットヘッド１０をノズルプレート２５に接着することによって、インクジェットヘッド１０はＸ，Ｙ，Ｚ，α，β，γの６軸すべてがノズル接着装置の搭載精度により一義的に規定される。さらにこうして得られる構造体５０に対して、枠体２０を接着することにより、Ｚ軸に関する位置を確実に規制することができる。
【００５７】
ノズル孔が高密度で並ぶノズル孔群が複数あって、これらのノズル孔群が広い領域の中に一定ピッチで配列されるように、インクジェットヘッド１０を複数個並べて配置されるインクジェットヘッドモジュール１００（図１参照）が求められている場合でも、本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法によれば、従来のノズルプレート接着装置を流用し、簡単に高精度なインクジェットヘッドモジュールを作製することができる。
【００５８】
（枠体の作製）
次に図４に示した枠体２０を作製する方法について説明する。この枠体２０は、複数のインクジェットヘッド１０を収めるためのヘッド収容領域２４を有する。
【００５９】
枠体２０を得るには、厚さ３ｍｍのアルミ、ステンレス、セラミックスなどの板材を用意し、この板材の一方の表面に対して０．９５ｍｍの深さで図１５に示すように長円形にザグリ加工を行なう。このザグリ加工によって得られる凹部をヘッド収容領域２４とする。ヘッド収容領域２４の両端の半円形の領域の底面に対して穴加工を行ない、貫通穴を形成する。この穴加工によって図４に示すようにインク供給口４１ａ、インク排出口４１ｂが形成される。さらに、この板材の下面に、図４に示すようにインク供給口４１ａ、インク排出口４１ｂにそれぞれ連通するように管を接続し、インク供給管２１ａ、インク排出管２１ｂとする。
【００６０】
この枠体２０のヘッド収容領域２４は、インクジェットヘッド１０が収められ、接着されるためのものである。上述のように、インクジェットヘッド１０は、研削加工により厚さが１．０ｍｍになるように仕上げられており、枠体２０のヘッド収容領域２４のザグリ深さは、インクジェットヘッド１０をヘッド収容領域２４内に収めたときにインクジェットヘッド１０が厚み方向に５０μｍだけヘッド収容領域２４外に突出するように設定されている。
【００６１】
（枠体とノズルプレートとの接着）
続いて、図１２に示した構造体５０において、インクジェットヘッド１０に含まれる圧電基板１の裏面すなわちノズルプレート２５と反対側の面に接着剤を塗布する。図１６に示すように、ヘッド収容領域２４が下側になるように枠体２０を支持し、ノズルプレート２５が下側になる姿勢で支持された構造体５０に対して、上側からかぶせるように接着する。こうして図１に示した状態となる。この接着は、構造体５０の複数のインクジェットヘッド１０がヘッド収容領域２４内に嵌まり込むように位置を合わせて行なう。
【００６２】
すなわち、本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法は、前記「搭載する工程」の後に、複数のインクジェットヘッド１０を収容するためのヘッド収容領域２４を有する枠体２０を、ノズルプレート２５に対して固定する工程を含む。
【００６３】
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法においては、前記複数のインクジェットヘッドはいずれもトップシュータ型であることが好ましい。本実施の形態で示したインクジェットヘッド１０のように、トップシュータ型のインクジェットヘッドであれば、圧電基板１の裏面の広い面積の面を基準面として利用することが可能となり、枠体２０に設けられたヘッド収容領域２４に確実に接着固定することができるからである。こうすることにより、枠体２０表面からの高さ方向で見た複数のインクジェットヘッド１０の突き出しばらつきは５μｍ以下に抑えることができる。
【００６４】
図１に示すように、ノズルプレート２５の外形サイズは、複数のインクジェットヘッド１０を合わせた外形サイズよりも大きく、さらに枠体２０の表面の一部を覆う程度の大きさとなっており、しかも、インクジェットヘッド１０が枠体２０の表面より５０μｍ突出しているので、枠体２０の表面とノズルプレート２５との間には５０μｍの間隙が生じる。ノズルプレート２５が枠体２０の表面を覆うこととなる領域において、枠体２０およびノズルプレート２５のうち少なくとも一方に予め接着剤を塗布しておけば、毛細管現象により５０μｍの間隙全体に接着剤が浸透するので、これを利用して封止を行なうことができる。
【００６５】
このとき、外部接続端子２２と枠体２０との間の間隙、ノズルプレート２５と外部接続端子２２との間の間隙にも接着剤を流し込み、封止する。
【００６６】
外部接続端子２２となっているフレキシブル配線基板の厚さがもし問題であれば、予め枠体２０のうちフレキシブル配線基板が配置される部位をフレキシブル配線基板の厚さ分だけ凹ませるように加工すればよい。こうすることで、隙間なく接着剤で封止することが可能となる。このように接着剤を塗布することによって、ノズルプレート２５と枠体２０との段差部分には、接着剤による緩やかなテーパ形状が形成され、ワイピング動作の際、ワイパブレードによる拭き残しの発生や、ワイパブレードの磨耗を軽減することができる。
【００６７】
ノズルプレート２５の外形サイズに関しては、枠体２０に接着される領域があればよく、枠体２０と同じサイズであってもよく、場合によっては枠体２０よりも大きくてもよい。
【００６８】
インクは、インク供給管２１ａから流入し、枠体２０とノズルプレート２５とで規定される空間であるヘッド収容領域２４に流れ込む。ヘッド収容領域２４内ではインクはまず上述した共通インク室に入り込み、複数のインクジェットヘッド１０の横断連通部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄから各インクジェットヘッド１０の各インク室４へと流れ込む、インク室４が駆動されることによって、インクは対応するノズル孔２３から吐出される。
【００６９】
枠体２０は、インク供給管２１ａおよびインク排出管２１ｂを備えているため、インクジェットヘッド内部に入り込んだエアを取り除く場合には、これらの管やノズル孔からインクを加圧することにより、インクと共に、エアを押し出すことが可能となり、内部に入り込んだエアを容易に排出することが可能である。また、インクの種類によっては、インクジェットヘッド内部に滞留することにより、インク構成材料の一部が沈殿するなどして、分散状態が変化する場合があるが、そのようなタイプのインクを使用する場合は、インク供給管２１ａおよびインク排出管２１ｂを利用して、インクを循環させることができるので、インクの滞留を防止することができ、信頼性の高いインクジェットヘッドとすることができる。
【００７０】
（実施の形態３）
（構成）
図１７〜図２１を参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールについて説明する。図１７に示すように、本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュール１００ｈは、１枚のノズルプレート２５に対して複数のインクジェットヘッドを搭載し、複数のインクジェットヘッドの部分が枠体２０に収まるようにノズルプレート２５に枠体２０を取り付けたものであるという点では、実施の形態１で示したインクジェットヘッドモジュール１００と共通している。インクジェットヘッドモジュール１００ｈは、インクジェットヘッドモジュール１００と外観は同じであるが、内部構造は異なる。内部構造をわかりやすくするために、インクジェットヘッドモジュール１００ｈからノズルプレート２５を取り去ったところを図１８に示す。
【００７１】
図１８に示すように、ヘッド収容領域２４には複数のインクジェットヘッド１０が収まっているが、インクジェットヘッド１０同士の間に、スペーサ部材２６が配置されている。すなわち、前記ヘッド収容領域２４内において、前記複数のインクジェットヘッド１０は１以上のスペーサ部材２６を間に挟んで平面的に配列されている。スペーサ部材２６は、図１９に示すように直方体の部材において上面に２本の貫通溝２６ｅを設けたものであり、スペーサ部材２６の長さＬ、厚みＨはインクジェットヘッド１０に含まれる圧電基板１の長さ、厚みとほぼ同じであり、幅Ｗのみが異なる。すなわち、前記インクジェットヘッド１０の厚みと前記スペーサ部材２６の厚みＨとはほぼ等しい。
【００７２】
前記スペーサ部材２６には、前記スペーサ部材２６の両隣りに配列された２つの前記インクジェットヘッド１０間のインクの行き来を仲介するための貫通溝または貫通孔が設けられている。図１８、図１９に示した例では貫通溝２６ｅが設けられている。スペーサ部材２６の上面における貫通溝２６ｅの位置と幅は図５に示したインクジェットヘッド１０の上面における横断連通部７ａ，７ｂの位置と幅に等しい。図１８に示すように、インクジェットヘッド１０同士の間にスペーサ部材２６が配置されることによってインクジェットヘッド１０同士の間の隙間はほぼ完全に埋められており、インクジェットヘッド１０の上面の横断連通部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄはスペーサ部材２６の上面の貫通溝２６ｅと連通している。
【００７３】
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュール１００ｈを組み立てる際には、図１２に示した構造体５０に代えて図２０に示す構造体５１が得られるように圧電基板１とスペーサ部材２６とを組み合わせる。本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールは構造体５１を含んでいる。たとえインクジェットヘッドの圧電基板とスペーサ部材とで外形寸法が異なっていても、あるいは、インクジェットヘッドの中に圧電基板の外形寸法が異なるものが混じっていても、これらを同一平面内で組み合わせてヘッド収容領域２４に収まるようにすればよい。
【００７４】
本実施の形態におけるインクジェットヘッドモジュール１００ｈにおいて、インクジェットヘッド１０同士の間にスペーサ部材２６が配置されたということ以外の部分の構成は、実施の形態１で説明したインクジェットヘッドモジュール１００と同じである。
【００７５】
（作用・効果）
本実施の形態では、インクジェットヘッド１０同士の間の隙間を埋めるようにスペーサ部材２６を配置することとしているので、インクジェットヘッド１０同士の間の部分におけるノズルプレート２５の変形を抑えることができる。
【００７６】
インクの吐出を繰り返していくに伴い、ノズルプレート２５にはインクが付着するようになる。このインクやその他の付着物がノズル孔２３に付着するとインクの着弾劣化の原因となるので、これを避けるために、周期的にノズルプレート２５表面を弾性体からなるワイパブレードでワイプして付着物を排除するという作業が行なわれる。この作業の際に、インクジェットヘッド１０同士の間の隙間がもし空洞であれば、ワイパブレードによる押圧でノズルプレート２５が沈み込むように変形してしまう場合があるが、本実施の形態では、インクジェットヘッド１０同士の間の隙間を埋めるようにスペーサ部材２６が配置されているので、ノズルプレート２５が変形するのを防止することができ、その結果、ワイパブレードとノズルプレート２５とが密着するので拭き残しの発生を低減でき、付着物をより完全に排除することが可能となる。特に、スペーサ部材２６の厚みとインクジェットヘッド１０の厚みとが等しい場合にはワイパブレードによる押圧を連続して一定の高さで受けることができるので好ましい。
【００７７】
また、ノズル吸引、エア排出のためのインク押出しなどの動作によりノズルプレート２５に内外の圧力がかかった場合にもノズルプレート２５が変形したり剥離したりすることを防止できるので、信頼性の高いインクジェットヘッドまたはインクジェットヘッドモジュールとすることが可能である。
【００７８】
スペーサ部材２６の上面には図１９に示したように貫通溝２６ｅが形成されているので、インク供給経路を遮断することなく複数のインクジェットヘッド１０にインクを供給することができる。したがって、インク供給系を別途作製する必要がなく、非常にシンプルな構造でインク供給を行なうことができる。
【００７９】
本実施の形態では、インクジェットヘッド１０の圧電基板１とスペーサ部材２６とは、外形寸法に関して、長さ、厚みが等しく幅のみが異なるとしたが、圧電基板１とスペーサ部材２６とで長さ、幅、厚みのすべてが等しくてもよい。
【００８０】
なお、インクジェットヘッド１０の上面の横断連通部と連通できるのであれば、スペーサ部材に設けるのは上面の貫通溝に代えて上面近傍の貫通孔であってもよい。たとえば、スペーサ部材２６に代えて、図２１に示すスペース部材２６ｈのようなものであってもよい。
【００８１】
実施の形態１または３で示したようなインクジェットヘッドモジュールであれば、広い面積に対して高精度に一斉に印刷することができるので、このようなインクジェットヘッドモジュールを生産装置に組み込めば、配線パターンやカラーフィルタなどをインクジェット印刷方式で効率良く高精度に作製することができる。
【００８２】
好ましいことに、実施の形態１および３におけるインクジェットヘッドモジュール１００，１００ｈが備える複数のインクジェットヘッド１０はいずれもトップシュータ型である。このような構成となっていることにより、インクジェットヘッドの広い面を基準面として枠体のヘッド収容領域に確実に接着固定することが可能となる。
【００８３】
なお、上記各実施の形態では、１つのヘッド収容領域２４に６個のインクジェットヘッド１０を千鳥状に配置する例を示したが、１つのヘッド収容領域の内部に配置されるインクジェットヘッドの個数は６以外でもよく、その配列の仕方は千鳥状以外であってもよい。
【００８４】
上記各実施の形態では、１つのインクジェットヘッドの中に横断連通部が２本の貫通溝として設けられた例を示したが、このような横断連通部の本数は２以外であってもよい。
【００８５】
上記各実施の形態では、各インクジェットヘッドがトップシュータ型であることを前提に説明したが、トップシュータ型以外のインクジェットヘッドにおいても本発明は適用してよい。
【００８６】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドモジュールの斜視図である。
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ線に関する矢視断面図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドモジュールからノズルプレートを取り去った状態の斜視図である。
【図４】図３の状態からさらに複数のインクジェットヘッドをすべて取り去った状態の斜視図である。
【図５】本発明に基づく実施の形態１におけるインクジェットヘッドモジュールに含まれるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図６】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法の第１の工程の説明図である。
【図７】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法の第２の工程の説明図である。
【図８】（ａ）は、本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法において用い得るウエハ状基板の説明図であり、（ｂ）はウエハ状基板からインクジェットヘッドの１個１個に対応する領域を分割する様子の説明図である。
【図９】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法の中で、圧電基板に外部接続端子を接続する様子の説明図である。
【図１０】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法で用いるノズルプレートの斜視図である。
【図１１】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法の中で、インクジェットヘッドをノズルプレートに搭載する工程の説明図である。
【図１２】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法の途中段階で得られる構造体の斜視図である。
【図１３】（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれバーコータ装置の正面図、側面図、部分拡大図である。
【図１４】ポリイミドフィルム上に塗布された接着剤を押し広げる工程の説明図である。
【図１５】枠体となるべき板材の表面にザグリ加工を行なう工程の説明図である。
【図１６】本発明に基づく実施の形態２におけるインクジェットヘッドモジュールの製造方法の中で、枠体を構造体に接着する工程の説明図である。
【図１７】本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールの斜視図である。
【図１８】本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールからノズルプレートを取り去った状態の斜視図である。
【図１９】本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールに含まれるスペーサ部材の斜視図である。
【図２０】本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールに含まれる構造体の斜視図である。
【図２１】本発明に基づく実施の形態３におけるインクジェットヘッドモジュールの変形例に含まれるスペーサ部材の斜視図である。
【図２２】従来のサイドシュータ型のインクジェットヘッドの構造の第１の例の正面図である。
【図２３】図２２のＸＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ線に関する矢視断面図である。
【図２４】従来のサイドシュータ型のインクジェットヘッドの構造の第２の例の断面図である。
【図２５】従来のトップシュータ型のインクジェットヘッドの一例の斜視図である。
【図２６】図２５のＸＸＶＩ−ＸＸＶＩ線に関する矢視断面図である。
【図２７】従来技術により保持部材に対してインクジェットヘッドを配置した構造体の斜視図である。
【図２８】従来技術におけるＸ軸方向のずれの説明図である。
【符号の説明】
【００８８】
１  圧電基板、１ｗ  ウエハ状基板、４  インク室、５  浅溝部、６  電極、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ  横断連通部、７ｈ，７ｉ，７ｊ，７ｋ，７ｍ，７ｎ  余白部、２０  枠体、３０，３１  ダイシングブレード、１０  インクジェットヘッド、２１ａ  インク供給管、２１ｂ  インク排出管、２２，１０９  外部接続端子、２３，１０７  ノズル孔、２４  ヘッド収容領域、２５，１２５  ノズルプレート、２６，２６ｈ  スペーサ部材、２６ｅ  貫通溝、２９  金属配線部、４０  インク出口、４１ａ  インク供給口、４１ｂ  インク排出口、４３  ノズル孔群、５０，５１  構造体、８０  インク出口群、９１，９２  矢印、１００，１００ｈ  インクジェットヘッドモジュール、１０１  圧電基板、１０２  カバー部材、１０４  インク室、１０６  ノズルプレート、１０８  電極、１０９ｚ  外部基板、１１０  保持部材、１１１  インク吐出口、１１２  導電材、１５１  固定部、１５２  バーコータ装置、１５３  隙間、１５４  ポリイミドフィルム、１５５  エポキシ系接着剤、１５６  第１アライメントカメラ、１５７  第２アライメントカメラ、１５８  加圧ツール、２０１，２０２，３０１  （従来の）インクジェットヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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