(57)【要約】      （修正有）【課題】塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口に隣接する面に付着した塗布液の清掃において、付着残存する塗布液や、その乾燥固着物を容易にしかも短時間で除去する。【解決手段】塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口２７をスリットノズル２０の長手方向に具備した吐出口面２６および該吐出口面に隣接する面を有する塗布用スリットノズルを清掃する方法であって、第１の清掃部材を該吐出口面および該吐出口面に隣接する面に接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査させて該吐出口面およびそれに隣接する面に付着した塗布液を除去し、次いで長尺布材を有する第２の清掃部材を該吐出口面に隣接する面にのみ接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査させて該吐出口面に隣接する面に付着残存する塗布液を除去することを特徴とする塗布用スリットノズルの清掃方法。【選択図】図１
2008136897.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口をスリットノズルの長手方向に具備した吐出口面および該吐出口面に隣接する面を有する塗布用スリットノズルを清掃する方法であって、第１の清掃部材を該吐出口面および該吐出口面に隣接する面に接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査させて該吐出口面およびそれに隣接する面に付着した塗布液を除去し、次いで長尺布材を有する第２の清掃部材を該吐出口面に隣接する面にのみ接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査させて該吐出口面に隣接する面に付着残存する塗布液を除去することを特徴とする塗布用スリットノズルの清掃方法。
【請求項２】
前記長尺布材に洗浄液を含浸させて残存する塗布液を除去することを特徴とする請求項１に記載の塗布用スリットノズルの清掃方法。
【請求項３】
請求項１及び２項のいずれかに記載の塗布用スリットノズルの清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項４】
塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口をスリットノズルの長手方向に具備した吐出口面および該吐出口面に隣接する面を有する塗布用スリットノズルを清掃する清掃装置であって、（Ａ）塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面に接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査する清掃装置と、（Ｂ）巻き出しおよび巻き取りローラを有し長尺布材を備えた布拭き取り装置と、（Ｃ）該長尺布材を該吐出口面に隣接する面にのみ接触させる布押し当て部材と、（Ｄ）該清掃装置および布拭き取り装置をスリットノズルの長手方向に移動させる駆動手段、を有することを特徴とする塗布用スリットノズルの清掃装置。
【請求項５】
前記長尺布材に洗浄液を含浸させる洗浄液供給手段を備えたことを特徴とする請求項４に記載の塗布用スリットノズルの清掃装置。
【請求項６】
前記長尺布の布押し当て部材は弾性部材で形成され、前記塗布用スリットノズルの吐出口面に隣接する面にのみ接する形状を有することを特徴とする請求項４及び５のいずれかに記載の塗布用スリットノズルの清掃装置。
【請求項７】
前記長尺布材が無塵布からなることを特徴とする請求項４〜６に記載の塗布用スリットノズルの清掃装置。
【請求項８】
請求項４〜７のいずれかに記載の塗布用スリットノズルの清掃装置を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用製造部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルタ並びにＴＦＴ用アレイ基板、光学フィルタ、ＰＤＰ背面板、前面板等のディスプレイ用部材を製造する分野に主として使用されるものであり、詳しくはガラス基板などの被塗布部材表面に塗布液を吐出して、均一な塗布膜を形成する塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面の清掃を行う塗布用スリットノズルの清掃方法および清掃装置、並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶用ディスプレイは、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板などにより構成されているが、カラーフィルタ、ＴＦＴ用アレイ基板ともに、低粘度の液体材料を塗布して乾燥させ、塗布膜を形成する製造工程が多く含まれている。例えば、カラーフィルタの製造工程では、ガラス基板上に黒色のフォトレジスト材の塗布膜を形成し、フォトリソ法により塗布膜を格子状に加工した後に、格子間に赤色、青色、緑色のフォトレジスト材の塗布膜を同様の手法により順次形成していく。その他にも、フォトレジスト材を塗布して塗布膜を形成後、カラーフィルタとＴＦＴ用アレイ基板との間に注入される液晶のスペースを形成する柱にしたり、カラーフィルタ上の表面の凹凸を平滑化するためのオーバコート塗布膜を形成する製造工程などもある。
【０００３】
この塗布膜形成のための塗布装置としては、従来はスピナー、バーコータなどが使用されていたが、塗布液の使用量削減や消費電力削減、さらに塗布基板の大型化に伴う装置の大型化が困難であることなどにより、近年に至ってスリットコータ（例えば特許文献１）の使用が増加してきている。この公知のスリットコータは塗布ヘッドとしてスリットノズルを有し、このスリットノズルに設けられたスリット状の吐出口から塗布液を吐出しながら、一方向に走行するガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布膜を形成するものとなっている。
【０００４】
このスリットコータを使用して、ガラス基板などの枚葉状の被塗布部材に塗布を行う場合、一度塗布液の塗布を行うと、塗布用スリットノズル吐出口の幅方向に複数の液玉が連ねられた形の液ダレ現象や吐出口面および該吐出口面に隣接する面に塗布液の一部が付着する。再び塗布を行う際に、吐出口での液ダレや吐出口面および該吐出口面に隣接する面に塗布液が付着したままであると、塗布用スリットノズルから吐出される塗布液と共に、液ダレ部の塗液や付着していた塗布液もガラス基板に塗布されるため、均一な塗布面が得られなくなる。又、塗布液が感光性アクリル系ペースト、フォトレジスト等の揮発性の高いものであると液ダレ部の塗布液や、塗布用スリットノズルに付着した塗布液が乾燥して容易に固着物となり、スジむらなどの塗布欠点や固着物が塗布面に落下してパーティクル欠点などが発生することがある。
【０００５】
以上の不都合を回避するために、一回の塗布が終了するごとに、塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面を清掃部材により清掃して、付着した塗布液を除去することが行われている（例えば特許文献２）。また、この方法では、清掃部材に付着した塗布液が吐出口面および該吐出口面に隣接する面の清掃部材との摺接開始部に転写されるため、多数回に亘って清掃を行うと摺接開始部に転写された塗布液が次第に蓄積していくが、この問題に対しては、清掃のたびに清掃部材を洗浄するなどの改善がなされている（例えば特許文献３）。
【０００６】
又、これらの方法で塗布液が付着している塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面を清掃しても、吐出口面および該吐出口面に隣接する面に付着している塗布液の量が多いと、清掃部材の摺接経路外に塗布液がせり上がって残存することがある。このせり上がりにより残存した塗布液は、多数回に亘る清掃によって次第に蓄積、乾燥し、乾燥した固着物片の落下による塗布欠点や、固着物との磨耗による清掃部材の耐久性低下および磨耗粉による塗布欠点などを引き起こし、ディスプレイの品質低下の一因となっている。この問題に対しては、清掃部材の摺接経路外に残存した塗布液や、その乾燥固着物を除去する残存塗布液除去工程を設けるなどの改善がされている（例えば特許文献４）。
【０００７】
又、塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面を清掃するための他の清掃方法として、硬質の清掃部を持つ清掃部材を吐出口面および該吐出口面に隣接する面に摺接させて付着塗布液を清掃除去後、スリットノズル長手方向の略直交方向に回転軸を有するロールを介して布材を吐出口面および該吐出口面に隣接する面に接触させ、スリットノズル長手方向に布材を摺接させて清掃を行う方法（例えば特許文献５）が提案されている。
【特許文献１】特開平６−３３９６５６号公報（第５欄１８行目〜第９欄１３行目、図１）
【特許文献２】特開平７−１６８０１５号公報（第２欄２６行目〜第２欄３８行目、第３欄８行目〜第４欄２５行目、図１、図３）
【特許文献３】特開平１１−３００２６１号公報（第５欄２０行目〜第７欄３３行目、図２）
【特許文献４】特開２００６−１６７５０８号公報（第５欄２６行目〜第１０欄１行目、図１〜図５）
【特許文献５】特開２００１−１１３２１３号公報（第６欄１６行目〜第１０欄２行目、図２、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
スリットコータにおいて、塗布工程のタクトタイムを短縮するために高速で清掃を行おうとすると、上記何れの清掃方法を用いた場合も、塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面の残存塗布液の完全除去には至らず、残存塗布液やその乾燥固着物による塗布面でのスジ欠点や、乾燥固着物の塗布面への落下によるパーティクル欠点が発生する。
【０００９】
より詳細に言うと、特許文献４の清掃方法で清掃部材の摺接経路外に残存した塗布液や、その乾燥固着物の除去を別の清掃部材で高速で清掃を行うと、別の清掃部材の摺接経路外に塗布液が更に残存する以外に、清掃部材をすり抜けてスリットノズルの吐出口面に隣接する面に残存付着する塗布液がある。このすり抜け残存塗布液が多数回に亘る清掃によって次第に蓄積、乾燥し、乾燥固着物片の落下による塗布欠点や、乾燥固着物との磨耗による清掃部材の耐久性低下、および磨耗粉による塗布欠点などを引き起こす問題が有る。特に揮発性が高く乾燥し易い感光性アクリル系ペースト、フォトレジスト等の塗布液を高速で清掃しようとすると、この問題が発生しやすい。
【００１０】
又、特許文献５の硬質の清掃部材と布材をスリットノズル長手方向に吐出口面および該吐出口面に隣接する面に摺接させて清掃を行う清掃方法では、１〜１０ｍＰａ・ｓの低粘度の塗液を使用する液晶ディスプレイ用部材の製造の場合、スリットノズルの吐出口面に接触する布材により、スリットノズル吐出口の内面に満たされている塗布液の吸い出し作用が生じ、布材表面に塗布液が多量に付着する。布材表面に付着した塗布液はスリットノズル吐出口面および該吐出口面に隣接する面へ再付着して、清掃不良を生じる問題が有る。
【００１１】
以上の従来の清掃手段で、高速で清掃を行わせると清掃状態が不十分であり、それを補うため溶剤を布に湿らせて残存した塗布液やその乾燥固着物を人手で拭き取ることが行われている。この作業は一定間隔ごとに装置を停止して行う必要があることから、生産性低下の一因にもなっている。
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面に付着した塗布液の清掃において、付着残存する塗布液や、その乾燥固着物を容易にしかも短時間で除去することが可能な清掃方法および清掃装置、並びにこれらを用いて塗布品位に優れたディスプレイ用部材を高い生産性で製造可能なディスプレイ用部材の製造方法および製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記本発明の目的は、以下に述べる手段により達成される。
本発明に係る清掃方法は、塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口をスリットノズルの長手方向に具備した吐出口面および該吐出口面に隣接する面を有する塗布用スリットノズルを清掃する方法であって、第１の清掃部材を該吐出口面および該吐出口面に隣接する面に接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査させて該吐出口面およびそれに隣接する面に付着した塗布液を除去し、次いで長尺布材を有する第２の清掃部材を該吐出口面に隣接する面にのみ接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査させて該吐出口面に隣接する面に付着残存する塗布液を除去することを特徴とする。 ここで、前記長尺布材に洗浄液を含浸させて残存する塗布液を除去することが好ましい。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法は、上記に記載の塗布用スリットノズルの清掃方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【００１４】
又、本発明に係る清掃装置は、塗布液を吐出するための一方向に延在する吐出口をスリットノズルの長手方向に具備した吐出口面および該吐出口面に隣接する面を有する塗布用スリットノズルを清掃する清掃装置であって、（Ａ）塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面に接触させつつ塗布用スリットノズルの長手方向に走査する清掃装置と、（Ｂ）巻き出しおよび巻き取りローラを有し長尺布材を備えた布拭き取り装置と、（Ｃ）該長尺布材を該吐出口面に隣接する面にのみ接触させる布押し当て部材と、（Ｄ）該清掃装置および布拭き取り装置をスリットノズルの長手方向に移動させる駆動手段を有することを特徴とする。ここで、前記長尺布材に洗浄液を含浸させる洗浄液供給手段を備えることが好ましい。又、前記長尺布の布押し当て部材は弾性部材で形成され、前記塗布用スリットノズルの吐出口面に隣接する面にのみ接する形状を設けて構成することが好ましい。更に、前記長尺布材が無塵布からなることが好ましい。
本発明に係るディスプレイ用部材の製造装置は、上記に記載の塗布用スリットノズルの清掃装置を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る清掃方法および清掃装置を用いれば、塗布用スリットノズルの吐出口面および該吐出口面に隣接する面に付着した塗布液を、第１の清掃部材による清掃に加えて、長尺布材を有する第２の清掃部材を該吐出口面に隣接する面にのみ接触させて清掃を行うのであるから、スリットノズルに付着した塗布液やその乾燥固着物を高速度で清掃しても完全に除去できる。このため、残存塗布液や乾燥固着物片の落下による塗布欠点の発生や、乾燥固着物との磨耗による清掃部材の耐久性低下、及び磨耗粉による塗布欠点の発生を解消できる。更に従来手段で必要であった一定間隔ごとに装置を停止して残存塗布液や乾燥固着物を人手で清掃除去することが不要であるので、タクトタイムの短縮化が可能となる。
【００１６】
本発明に係るディスプレイ用部材の製造方法および製造装置によれば、上記の優れた清掃方法および清掃装置を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、優れた品位のディスプレイ用部材を低コストで製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は本発明の清掃装置を備えたスリットコータの概略正面図、図２は本発明の清掃装置の概略正面図、図３は清掃状況を示す拭き取りゴム清掃部材とスリットノズルの側面図、図４は布拭き取り装置の清掃ヘッド部の概略斜視図、図５は別の発明になる清掃装置の概略正面図、図６は図４の矢印Ａから見た布押し当て部材の側面図である。
【００１８】
まず図１を参照すると、本発明の清掃装置３０を装備したスリットコータ１が示されている。このスリットコータ１は基台２を備えており、基台２上には、被塗布部材であるガラス基板５の載置台、すなわちステージ４が配置されている。ステージ４の上面は図示しない吸着孔からなる真空吸着面となっており、ガラス基板５を吸着保持することができる。基台２上には、さらに一対のガイドレール３が設けられており、このガイドレール３上には、門型ガントリー６がＸ方向に案内自在に搭載されている。門型ガントリー６には、昇降ユニット７を介してスリットノズル２０がステージ４の上方の位置に来るように取り付けられている。門型ガントリー６は図示しないリニアモータで駆動されるので、これに搭載されているスリットノズル２０は、図１に矢印で示されているＸ方向に自在に往復動することができる。
【００１９】
尚、スリットノズル２０は、Ｘ方向に直交する方向（紙面に垂直な方向）に延びているフロントリップ２１、及びリアリップ２２を、シム２３を介してＸ方向に重ね合わせ、図示しない複数の連結ボルトにより一体的に結合して構成されている。スリットノズル２０内の中央部にはマニホールド２４が形成されており、このマニホールド２４もスリットノズル２０の長手方向（Ｘ方向に直交する方向）にのびている。マニホールド２４の下方には、スリット２５が連通して形成されている。このスリット２５もスリットノズル２０の長手方向にのびており、その下端がスリットノズル２０の最下端面である吐出口面２６で開口して、吐出口２７を形成する。なおスリット２５はシム２３によって形成されるので、スリット２５の間隙（Ｘ方向に測定）は、シム２３の厚さと等しくなる。スリットノズル２０には、Ｘ方向の両隣に隣接して斜め上方に切り上がっているリップ斜面２８、すなわちスリットノズルの吐出口面に隣接する面が設けられている。
【００２０】
このスリットノズル２０を昇降させる昇降ユニット７は、スリットノズル２０を吊り下げる形で保持する吊り下げ保持台８、吊り下げ保持台８を昇降させる昇降台９、昇降台９をＺ方向に案内するガイド１０、モータ１１の回転運動を昇降台９の直線運動に変換するボールネジ１２より構成されている。昇降ユニット７はスリットノズル２０の長手方向の両端部を支持するよう左右１対あって、各々が独立に昇降できるので、スリットノズル２０の長手方向の水平に対する傾き角度を任意に設定することができる。これによってスリットノズル２０の吐出口面２６とガラス基板５を、スリットノズル２０の長手方向にわたって略平行にすることができる。さらに、この昇降ユニット７によって、ステージ４上のガラス基板５とスリットノズル２０の吐出口面２６の間に隙間、即ちクリアランスを任意の大きさに設けることができる。
【００２１】
次に、本発明に係る塗布用スリットノズルの清掃装置３０の一例の構成を図1〜図４を用いて説明する。図１で基台２の左側端部を見ると、スリットノズル２０の拭き取りゴム清掃装置３１と布拭き取り装置３２からなる清掃装置３０が、基台２上に取り付けられている。スリットノズル２０は、門型ガントリー６の移動によって拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３３や、布拭き取り装置３２の清掃ヘッド部３４の上方まで移動することができる。さて拭き取りゴム清掃装置３１は、スリットノズル２０から塗布液を吐出後、吐出口２７の周辺部である吐出口面２６とリップ斜面２８に残存する塗布液を除去して、なおかつ吐出口まで塗布液が満たされた状態にする、すなわちスリットノズル２０の初期化を行うものである。この初期化を毎回の塗布前に必ず実施することで、スリットノズル２０は常に同じ状態で塗布を開始することができ、多数枚の基板に塗布を行ってもすべての基板で同じ均一な塗布膜を再現性よく形成することができる。
図２を参照すると、拭き取りゴム清掃装置３１はゴム拭き取り部４２、拭き取りゴム駆動部４３、洗浄液供給部４４で構成される。
【００２２】
ゴム拭き取り部４２は、スリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に係合する形状を有するゴム清掃部材３３、それを保持する清掃部材保持台６２、及び清掃部材保持台６２をＺ方向に往復動自在な弾性体６０を介して連結保持する保持台３５、により構成されている。清掃部材保持台６２は、ゴム清掃部材３３の外形に合わせた凹みが設けられており、そこにゴム清掃部材３３をはめ込み、プレート６３を介してプレート固定ボルト６４によりゴム清掃部材３３を固定する。ゴム清掃部材３３の材質としては、摺接するスリットノズル２０に傷を付けないようにシリコーンゴム、エチレンプロピレン共重合体ゴム、フッ素ゴム、テフロン（登録商標）等の高分子樹脂を用いることが好ましいが、スリットノズル２０に密着できるよう弾性を有するゴム弾性体が特に好ましく、さらに、使用する塗布液及び洗浄液に対して薬品耐性を有する材質を選択することがより好ましい。尚、弾性体６０は、その縮み量に応じた略均一の圧力でゴム清掃部材３３をスリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に押し当てることが必要であることから、バネ、ゴム、エアーバネ等を用いることが好ましい。
【００２３】
次に、拭き取りゴム駆動部４３には、ゴム清掃部材３３を保持する前記保持台３５をスリットノズル２０の長手方向、すなわちＸ方向に直行する方向に自在に移動可能な駆動装置３６が備えられている。駆動装置３６はボールネジ駆動装置、エアーシリンダ駆動装置など一方向の往復動を可能とするものであれば如何なるものを用いてもよいが、ゴム清掃部材３３の位置決め及び移動を迅速かつ正確に行えるリニアモータ駆動装置がより好ましい。
【００２４】
次に洗浄液供給部４４の洗浄ノズル５０は、拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３３の洗浄を行うものである。洗浄ノズル５０には、洗浄液配管５２を介して洗浄ノズル用バルブ５５、圧空源５３により加圧された洗浄液タンク５４、が接続されているため、洗浄ノズル用バルブ５５の開閉により、洗浄液タンク５４内の洗浄液５１を洗浄ノズル５０から任意に吐出させることができる。したがって、洗浄ノズル５０の吐出口の直下にゴム清掃部材３３が配置されるように拭き取りゴム清掃装置３１を移動させれば、洗浄ノズル５０から洗浄液５１を吐出させることでゴム清掃部材３３の洗浄が可能となる。又、洗浄ノズル５０から吐出させる洗浄液５１は、塗布液を溶解させる必要があることから、塗布液と可溶な溶剤が好ましい。その他塗布液を溶解させるものであれば、塗布液の構成溶剤そのものでも、アルカリ液であっても良い。
又、図３に示すスリットノズル２０の吐出口面２６とゴム清掃部材３３とが作る角度θは、１０°〜１７０°であることが好ましく、より好ましくは３０°〜８０°である。特に角度θを３０°〜８０°にすることにより、ゴム清掃部材３３をスリットノズル２０に対して対抗して摺接させることになり、除去される塗布液を重力を利用して効率よく下方に落下させることができる。
【００２５】
再び図２を参照すると、布拭き取り装置３２がある。布拭き取り装置３２は、拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３３を高速で摺接させる時に、摺接経路外に付着残存する塗布液６８及び、ゴム清掃部材３３をすり抜けてスリットノズル２０のリップ斜面２８に付着残存する塗布液６８の除去を、洗浄液５１を含侵させた長尺布材３７でリップ斜面２８を摺接することにより行うものである。
布拭き取り装置３２の構成は、清掃ヘッド部３４、布搬送部４６、布拭き取り装置駆動部４７、溶剤供給部４８からなる。
【００２６】
清掃ヘッド部３４は、長尺布材３７をスリットノズル２０の吐出口面２６には接触させず、リップ斜面２８のみに摺接させる構成としている。吐出口面２６に長尺布材３７を接触させてスリットノズル２０の長手方向に摺接清掃を行うと、長尺布材３７によりスリットノズル２０の吐出口内面に満たされている塗布液の吸出し作用が生じ、長尺布材３７表面に吸出し塗布液が多量に付着し、この塗布液がスリットノズル２０の吐出口面２６及びリップ斜面２８に再付着するためである。
【００２７】
布搬送部４６には、長尺布材３７の供給を行う巻き出しロール８０、長尺布材３７の巻き取りロール８１、長尺布材３７の定量搬送を行う布送り駆動部８２、長尺布材３７によるスリットノズル２０の摺接拭き取り時に長尺布材３７の搬送方向保持を行う長尺布材ニップ部８３、巻き出しロール８０から長尺布材ニップ部８３及び清掃ヘッド部３４、布送り駆動部８２を経て巻き取りロール８１に至る間の長尺布材３７の搬送ガイドを行う各ガイドロール９０、各部材を保持する筐体８４、が備えられている。巻き出しロール８０及び巻き取りロール８１には、巻き出しモータ８５及び巻き取りモータ８６が各々連結されている。巻き出しモータ８５は、布搬送時に張力を付与するためのブレーキとして作用し、巻き取りモータ８６は、巻き取りと搬送張力付与を行う。巻き出し及び巻き取りロール径は、それぞれ長尺布材３７による拭き取りの実施とともに順次変わるが、図示していない制御装置により長尺布材３７の走行量に応じて巻き出しモータ８５及び巻き取りモータ８６を制御して、巻き出しブレーキ張力及び、巻き取り張力が適正値となるようにコントロールされている。
布送り駆動部８２は、布送り駆動モータ８７が連結された駆動ロール軸８８とニップロール８９とで構成され、駆動ロール軸８８の回転により清掃実施後の長尺布材３７を清掃ヘッド部３４位置から一定量移動させ、その代わりに清掃ヘッド部３４に清浄な長尺布材３７を供給する。長尺布材ニップ部８３は、ガイドロール９０とニップロール９１で構成される。ニップロール９１は内部に一方向クラッチが内蔵されていて長尺布材３７の搬送方向（図２、矢印Ａ方向）には回転しない。このため、長尺布材３７によるスリットノズル２０の摺接拭き取り時に、清掃ヘッド部３４位置で長尺布材３７の張力が保持され、均一な摺接ができる。又、ニップロール９１はエアーシリンダ９２に連結されていて、長尺布材３７の搬送は、ニップロール９１が開放方向に移動してから行われる。
布拭き取り装置駆動部４７には、布拭き取り装置３２を保持する保持台３８をスリットノズル２０の長手方向、すなわちＸ方向に直行する方向に自在に移動可能な駆動装置３９が備えられている。駆動装置３９はボールネジ駆動装置、エアーシリンダ駆動装置など一方向の往復動を可能とするものであればいずれのものを用いても良いが、布拭き取り装置３２の位置決め及び移動を迅速かつ正確に行えるリニアモータ駆動装置がより好ましい。
【００２８】
又、洗浄液供給部４８には、洗浄液吐出ノズル５６が布拭き取り装置３２の清掃ヘッド部３４の移動開始位置近傍に設けられており、清掃ヘッド部３４上の長尺布材３７に洗浄液を供給する。洗浄液吐出ノズル５６は、洗浄液配管５７を介して洗浄液吐出バルブ５８、圧空源５３により加圧された洗浄液タンク５４に接続されており、洗浄液吐出用バルブ５８の開閉により、洗浄液５１を洗浄液吐出ノズル５６から任意のタイミングで吐出させることができる。
布拭き取り装置３２に使用する長尺布材３７は、塵や埃の発生を防止できる無塵布が好ましく、更に吸湿性を備えた例えば東レ（株）製クリーンクロスのトレシーＭＥタイプやＭＫタイプ等が好適である。
又、洗浄液吐出ノズル５６から吐出させる洗浄液５１は、塗布液が乾燥固着したものを溶解させる必要があることから、塗布液と可溶な溶剤が好ましいが、その他塗布液を溶解させるものであれば、塗布液の構成溶剤やアルカリ液であっても良い。
又、溶剤吐出ノズル５６と洗浄ノズル５０からは別の洗浄液を吐出するために、洗浄液供給ラインを共通化せずに別々にしても良い。
【００２９】
ここで、清掃ヘッド部３４の構成について、図４と図６を参照して詳細に説明する。清掃ヘッド部３４は、筐体８４の支持部材９３の上に設置された布押し当て部材９４、ガイド部材９５、ガイド部材９５の保持金具９６、及び長尺布材３７で構成される。布押し当て部材９４の中央部には、長尺布材３７をスリットノズル２０のリップ斜面２８に面で押し当てる一対の押し当て部９７がある。一対の押し当て部９７はガイド部材９５を中心に対称形となって一対の押し当て部間で、スリットノズル２０のリップ角度φと略等しい角度のＶ形状をなしている。更に一対の押し当て部９７の中央下部には溝９８が設けられている。この溝９８の中に長尺布材３７のガイド部材９５が設けられている。破線で示すように、長尺布材３７の下面が一対の押し当て部９７、上面がガイド部材９５の下側部で案内されているので、ガイド部材９５は、長尺布材３７がスリットノズル２０の吐出口面２６に接触しない様にガイドする。ガイド部材９５は小径のロールであり、回転フリーに保持金具９６に支持されており、保持金具９６によって支持部材９３に固定されている。
【００３０】
又、布押し当て部材９４は洗浄液や、塗布液に対して対薬品性を備えると共に、好ましくは硬度Ｈｓ２０〜Ｈｓ５０、より好ましくはＨｓ３０〜Ｈｓ４０の弾性を有しており、例えばシリコーンゴム、エチレンプロピレン共重合体ゴム、フッ素ゴム等の高分子樹脂が好適である。この硬度より低いと、押し当て部９７による長尺布材３７のスリットノズル２０のリップ斜面２８への押し付け力が不足し、この硬度より高いと、押し当て部９７がリップ斜面２８に倣わなくなって長尺布材３７がリップ斜面２８に均一に接触せず、拭き取りが不十分になる。又、図６で示す布押し当て部材９４の長尺布材３７の搬送方向に直交な布幅方向の寸法Ｗは、長尺布材３７の布幅より狭くするとともに、布押し当て部材９４のスリットノズル２０長手方向の両側部に角度αが３０°〜４５°をなす傾斜面９９を設ける。これによって、長尺布材３７が破線に示すように布押し当て部材９４に係合する時に、長尺布材３７がスリットノズル２０長手方向には布押し当て部材９４を包み込むようになり、スリットノズル２０のリップ斜面２８を摺接時に、長尺布材３７が布押し当て部材９４からスリットノズル２０長手方向にずれること無く摺接される。尚、図６で示す傾斜面９９のＬ部寸法は５〜３０ｍｍの長さを有することが好ましい。更に、布拭き取り時のスリットノズル２０と清掃ヘッド部３４のＺ方向係合位置は、スリットノズル２０を清掃ヘッド部３４が直下となる位置で下降させ、リップ斜面２８が長尺布材３７を介して布押し当て部材９４の一対の押し当て部９７に接触して合致後、更に０．５〜２ｍｍ下降させる位置とすることが好ましい。この係合位置によって、布押し当て部材９４の弾性力により好適な長尺布材３７のスリットノズル２０への押し付け力が得られる。長尺布材３７は、布押し当て部材９４の押し付け力によりリップ斜面２８に密着するが、スリットノズル２０の吐出口面２６には、長尺布材３７がガイド部材９５によって吐出口面２６から遠ざかる様にガイドされているので、長尺布材３７が接触することは無い。吐出口面２６に長尺布材３７が接触しないのであるから、吐出口２７内の塗布液２９が長尺布材３７で吸引されることが無く、長尺布材３７面の塗布液汚れによる吐出口面２６及びリップ斜面２８への塗布液の再付着による汚れ発生がない。この様に布押し当て部材９４を使用して、長尺布材３７をリップ斜面２８にのみ接触させてスリットノズル２０の長手方向に摺接させることにより、リップ斜面２８に残存する塗布液や乾燥固着物を効率良く清掃することができる。
【００３１】
再び図２において、トレイ４０はスリットノズル２０の長手方向長さとほぼ同じ長さを有しており、基台２上にある台４１上に固定されている。拭き取りゴム清掃装置３１によるスリットノズル２０の摺接清掃により、スリットノズル２０から除去された塗布液はトレイ４０に落下し蓄積される。トレイ４０の内部にたまった塗布液は、排出口６５、廃液用配管６６を介して外部に排出し、図示しない回収タンクに回収される。またトレイ４０は、スリットノズル２０からエアー抜き等で吐出される塗布液を回収するためにも使用される。
【００３２】
次に、本発明の塗布用スリットノズルの清掃装置３０を用いて、スリットノズル２０を清掃する清掃方法の一例について説明する。図１において、まず拭き取りゴム清掃装置３１の洗浄ノズル５０のノズル孔延長上に、ゴム清掃部材３３が配置されるように、駆動装置３６により拭き取りゴム清掃装置３１を移動させる。なお、この配置を拭き取りゴム清掃部材３３の原点位置とする。又、布拭き取り装置３２についても洗浄液吐出ノズル５６のノズル孔延長線上に清掃ヘッド部３４を配置する様に駆動装置３９を駆動する。この時の清掃ヘッド部３４の位置を清掃ヘッド部３４の原点位置とする。この時布拭き取り装置３２のニップロール９１は、長尺布材３７をニップしている。
【００３３】
次に、洗浄ノズル用バルブ５５を一時的に開き、洗浄液５１を洗浄ノズル５０から吐出させ、ゴム清掃部材３３を洗浄液５１により洗浄する。これにより、ゴム清掃部材３３に付着していたパーティクルなどを除去することが可能となる。ゴム清掃部材３３の洗浄が終わると、ゴム清掃部材３３をスリットノズル２０の吐出口２７端部よりもスリットノズル２０の長手方向に一番離れた位置にある拭き取りゴム清掃装置３１の原点位置から、原点位置と吐出口２７の間で吐出口２７の近くに設けられた清掃開始位置まで、駆動装置３６によりスリットノズル２０長手方向に移動させる。次に、スリットノズル２０の吐出口面２６が、ゴム清掃部材３３の中心位置にくるまでスリットノズル２０を搭載した門型ガントリー６をＸ方向に移動させる。そして、スリットノズル２０の吐出口２７まで塗布液２９を充満させるため、吐出口２７から塗布液をスリットノズル２０の長手方向長さ１ｍあたり２００μｌ〜２０００μｌの微少量吐出後、昇降ユニット７によりスリットノズル２０を下降させ、吐出口面２６及びリップ斜面２８を、図２に示すようにゴム清掃部材３３に隙間無く密着させる。このとき、ゴム清掃部材３３をスリットノズル２０へ押し付ける力は弾性体６０の収縮量によって定まるから、適切な押付け力とするようスリットノズル２０の下降位置を定める。ゴム清掃部材３３のスリットノズル２０への押付け力は好ましくは０．１Ｎ〜１０Ｎ、より好ましくは０．２Ｎ〜４Ｎである。押付け力が上記範囲より大きいとゴム清掃部材３３の磨耗が発生しやすくなるほか、吐出口２７内部の塗布液をも除去してしまうことがあり、上記範囲より小さいとゴム清掃部材３３による塗布液の除去効果が得られにくい。
次に、駆動装置３６によりゴム清掃部材３３を、スリットノズル２０の清掃開始位置から清掃終了位置までスリットノズル２０の長手方向に摺接させて、ゴム清掃部材３３により吐出口面２６及びリップ斜面２８の図３に示す付着塗布液６７を除去するとともに、なおかつ吐出口２７まで塗布液が満たされた状態にする、すなわちスリットノズル２０の初期化を行う。
【００３４】
ここで除去された塗布液はトレイ４０へ落下蓄積され、排出口６５、廃液用配管６６を介して外部に排出し、図示しない回収タンクに回収される。ゴム清掃部材３３が清掃終了部に達したら、スリットノズル２０を上昇させて、ゴム清掃部材３３をスリットノズル２０から離し、ゴム清掃部材３３を原点位置に復帰させる。原点位置までの復帰が完了したら、再び洗浄ノズル用バルブ５５を一時的に開き、洗浄液５１を洗浄ノズル５０から吐出させ、ゴム清掃部材３３に付着した塗布液やパーティクルを洗浄し、以降の清掃作業に備える。
続いて、布拭き取り装置３２での清掃作業が行えるように、洗浄液吐出ノズル５６に接続されている洗浄液吐出用バルブ５８を一時的に開き、洗浄液５１を清掃ヘッド部３４の原点位置で待機している清掃ヘッド部３４に吐出して、長尺布材３７に洗浄液５１を供給終了後、清掃ヘッド部３４をスリットノズル２０の吐出口２７端部よりスリットノズル２０の長手方向に一番離れた位置にある清掃ヘッド部３４の原点位置から、原点位置と吐出口２７の間で吐出口２７の近くに設けた清掃開始位置まで、駆動装置３９によりスリットノズル２０長手方向に移動させる。続いてスリットノズル２０の吐出口面２６が清掃ヘッド部３４の中心位置に来るまで、スリットノズル２０を搭載した門型ガントリー６をＸ方向に移動させる。次に昇降ユニット７によりスリットノズル２０を下降させ、リップ斜面２８のみを清掃ヘッド部３４を係合させた状態で、駆動装置３９により清掃ヘッド部３４を、スリットノズル２０の清掃開始位置から清掃終了位置までスリットノズル２０長手方向に摺接させる。これによって拭き取りゴム清掃装置３１による清掃、初期化の後も、リップ斜面２８に付着残存していた塗布液６８を長尺布材３７で除去したり、塗布液が乾燥した乾燥固着物を溶解除去する。
【００３５】
一方、清掃ヘッド部３４が清掃終了位置に達したらスリットノズル２０を上昇させて、清掃ヘッド部３４をスリットノズル２０から離す。次にスリットノズル２０は門型ガントリー６のＸ方向の移動により塗布工程に進む。これと同時に布拭き取り装置３２は、エアーシリンダ９２を作動させてニップロール９１によるニップを開放し、巻き取りロール８１、布送り駆動部８２の駆動により長尺布材３７を搬送して巻き取りロール８１に巻き取ると共に、清掃ヘッド部３４上の清掃実施後の長尺布材３７を移動させ、清掃ヘッド部３４に清浄な長尺布材３７を出現させる。この後に、清掃ヘッド部３４を原点位置に復帰させて、以降の清掃作業に備える。
【００３６】
上記の清掃ヘッド部３４の摺接移動速度は、５ｍ／ｍｉｎ〜４０ｍ／ｍｉｎが好ましく、より好ましくは１０ｍ／ｍｉｎ〜３０ｍ／ｍｉｎである。これは、移動速度が５ｍ／ｍｉｎより遅いと、清掃作業に多大な時間を要するため生産性が低下し、移動速度が４０ｍ／ｍｉｎより速いと、付着した残存塗布液が十分に除去できないためである。また、洗浄液吐出ノズル５６から清掃ヘッド部３４に吐出される洗浄液５１の量は、１０μｌ〜１００００μｌが好ましく、より好ましくは１００μｌ〜１０００μｌである。洗浄液５１の吐出量が１０μｌより少ないと、リップ斜面２８に残存する乾燥固着物の溶解除去が不十分になったり、一方１００００μｌより多いと、長尺布材３７の洗浄液５１の含浸量が多くなりすぎ、布拭き取り清掃後のリップ斜面２８に付着した洗浄液５１がリップ斜面２８から吐出口面２６に流れ、吐出口２７内面の塗布液に混入する不具合が生じるためである。
さらに、清掃ヘッド部３４によるリップ斜面２８の清掃は、ゴム清掃部材３３による清掃毎に実施することが好ましいが、ゴム清掃部材３３による清掃を２〜５０回実施毎に行っても良い。これは、清掃ヘッド部３４による清掃周期が短いと残存塗布液６８の清掃に要する時間が多大となり生産性を低下させてしまう。逆に上記範囲より長いと、残存塗布液６８の乾燥による固化が強固となって、洗浄液５１による溶解が容易に行えないために、乾燥固着物の残存や乾燥固着物の落下による塗布欠点などが発生してしまう。
【００３７】
又、清掃ヘッド部３４による布拭き取り1回の清掃後にリップ斜面２８に塗布液が残留する場合は、布拭き取り回数を更に増やせばよい。この場合、新たな清掃毎に清掃ヘッド部３４に清浄な長尺布材３７を出現させて洗浄液５１を付着させてから拭き取るようにする事が好ましい。さらに又、清掃ヘッド部３４の原点位置にある洗浄液吐出ノズル５６と同様のノズルを、洗浄液吐出ノズル５６に対してスリットノズル長手方向に対称な位置にも設置する事が好ましい。この場合に、清掃終了して清掃終了位置付近に有る清掃ヘッド部３４上に清浄な長尺布材３７を出現させてから、この対称配置のノズルで洗浄液５１を供給する。その後に、清掃ヘッド部３４を原点位置に向かって摺接移動させる事が出来、これによって布拭き取りを清掃終了後も引き続き繰り返して早く行う事が出来る。
【００３８】
尚、洗浄ノズル５０から吐出される洗浄液５１の量は、塗布液が付着したゴム清掃部材３３の洗浄が十分に行える１０μｌ〜１０００００μｌが好ましく、より好ましくは１００μｌ〜１００００μｌである。ゴム清掃部材３３の摺接移動速度は、タクトタイムの短縮化のため５ｍ／ｍｉｎ〜４０ｍ／ｍｉｎの高速移動が好ましい。
布拭き取り清掃装置３２と組み合わせる事により、拭き取りゴム清掃装置３１では清掃性が不十分な高速移動でも十分な清掃性が得られる。
図５は、ゴム清掃部材３３と清掃ヘッド部３４をスリットノズル２０長手方向に並べた実施態様例である清掃装置１１０の概略正面図である。
図５において、清掃装置１１０は拭き取りゴム清掃装置３１の保持台３５を駆動装置３６に取り付ける代わりに、布拭き取り装置３２の駆動装置３９に取り付けたものであり、更に保持台３５に布拭き取り装置３２の保持台３８を載せて固定したものである。
ここで、ゴム清掃部材３３と清掃ヘッド部３４はＸ方向に同じ位置に有る。Ｚ方向には、スリットノズル２０がゴム清掃部材３３と清掃ヘッド部３４の位置に下降して係合した時に、スリットノズル２０の吐出口面２６やリップ斜面２８に、ゴム清掃部材３３や清掃ヘッド部３４が共に好適な押し付け力で押し当てられる位置に設定されている。又スリットノズル２０の長手方向である清掃方向において、ゴム清掃部材３３が清掃ヘッド部３４よりも清掃時に先行するように取り付けられている。
以上の配置によって、ゴム清掃部材３３と清掃ヘッド部３４による清掃を各々行う時に、スリットノズル２０をＸ方向に移動させる必要が無く、ゴム清掃部材３３による清掃に続けて清掃ヘッド部３４による清掃を行う事ができるので、清掃タクトタイムの短縮化が行える。
さらに上記清掃装置１１０において、布拭き取り装置３２の保持台３８を水平面内で回転可能な回転テーブルに置き換え、Ｘ方向及び、スリットノズル２０の長手方向にはゴム清掃部材３３と清掃ヘッド部３４を同じ位置で、Ｚ方向にはゴム清掃部材３３を清掃ヘッド部３４の下方となる位置に設けても良い。この実施態様例では、ゴム清掃部材３３でスリットノズル２０の清掃を行う時は、回転テーブルにより清掃ヘッド部３４を９０度回転させ、清掃ヘッド部３４をスリットノズル２０と干渉しないように退避させる。一方布拭き取り装置３２の清掃ヘッド部３４でリップ斜面２８の清掃を行う時は、回転テーブルを９０度逆方向に回転させ、スリットノズル２０を清掃ヘッド部３４に係合させて行う。
【００３９】
この実施態様例では、上記スリットノズル２０をＸ方向に移動させる必要が無いのでタクトタイムを短縮する事が出来る。又清掃ヘッド部３４による清掃を、所定のゴム清掃部材３３の清掃回数毎に実施できるので、長尺布材３７の消費量を少なくする事が出来る。
又、上記清掃装置の回転テーブルに代えてエアーシリンダ等で清掃ヘッド部３４を昇降可能とし、ゴム清掃部材３３による清掃と清掃ヘッド部３４による清掃を任意に選択出来る。
【００４０】
次に本発明の清掃装置を備えたスリットコータ１での塗布方法の一例を図１で説明する。
まず、スリットコータ１の各動作部の原点復帰が行われると、スリットノズル２０は門型ガントリー６の移動により図１の左側にあるゴム清掃部材３３の真上の位置に移動する。次に図示しない圧送、ポンプ等の送液手段を用いてスリットノズル２０の内部に塗布液２９を充填する。この時、吐出口２７から余剰の塗布液が吐出されるが、この塗布液は清掃装置３０の下部に設けられたトレイ４０に落下、蓄積され、排出口６５、廃液用配管６６を介して図示しない回収タンクに回収される。
【００４１】
以上の準備作業が完了すると、図示しないローダによりステージ４上にガラス基板５を移載し、図示しない位置決め装置により位置決めを行った状態で、ガラス基板５をステージ４に吸着保持する。このとき同時に、スリットノズル２０より塗布液を微少量吐出させ、吐出口面２６に塗布液を付着させてから、上述した拭き取りゴム清掃装置３１と布拭き取り装置３２を用いてスリットノズル２０の清掃、初期化を行う。清掃終了後、スリットノズル２０を昇降ユニット７で上昇させ、門型ガントリー６をＸ方向左に移動させて、スリットノズル２０をガラス基板５の塗布開始位置の真上に移動させて停止させる。そして、スリットノズル２０の吐出口面２６とガラス基板５との間に所定の隙間が設けられるまで昇降ユニット７によりスリットノズル２０を下降させる。次いで、スリットノズル２０に塗布液を一定量供給し、スリットノズル２０の吐出口面２６とガラス基板５との間にビードを形成する。このとき、直前に行ったスリットノズル２０の清掃、初期化作業が終了してからビードが形成されるまでの時間は２０秒以内であることが好ましく、より好ましくは１０秒以内とする。これより時間が長いと、吐出口２７内部に充填された塗布液が揮発、固化しやすくなるので、ビードがスリットノズル２０の長手方向に均一とならず、塗膜に塗布抜けやスジむら等の塗布欠点が発生するようになる。
【００４２】
続いて、スリットノズル２０に塗布液を所定の膜厚が得られるように連続的に供給し、吐出口２７から塗布液を吐出させながら、門型ガントリー６を一定速度で移動させてガラス基板５に塗膜を形成する。そして、スリットノズル２０の吐出口２７がガラス基板５の塗布終了位置に達したら、塗布液の吐出を停止し、スリットノズル２０を上昇させる。
【００４３】
塗布終了後も門型ガントリー６は動きつづけ、終点位置にきたら一旦停止し、さらに原点位置に向かって逆方向に門型ガントリー６を移動させ、スリットノズル２０がゴム清掃部材 ３３の上方の位置に来たら停止させる。以降前述の拭き取りゴム清掃および布拭き取り清掃を行う。一方、ステージ４上のガラス基板５の吸着を解除して、図示しないアンローダによりガラス基板５を取り出し、次工程に搬送する。以降、同様の塗布方法およびスリットノズル２０の清掃方法で連続してガラス基板５への塗布を行う。
【００４４】
本発明のスリットノズル２０の清掃方法および清掃装置は、ガラス基板５表面に塗布液を塗布するスリットノズル２０の清掃に有効であり、液晶ディスプレイの製造工程での各種塗布液、特にカラーフィルタ用レジスト液、ブラックマトリックス用レジスト液、カラムスペーサ用レジスト液、アレイ基板用レジスト液、オーバコート材など、粘度が０．５〜１００ｍＰａ・ｓ、より好ましくは１〜１０ｍＰａ・ｓの低粘度かつ揮発性の高い塗布液を枚葉塗布するスリットノズル２０の清掃に好適に用いることができる。
又、本発明のスリットコータ１による塗布液の塗布方法は、ディスプレイの製造工程において、上述した低粘度かつ揮発性の高い各種塗布液を枚葉塗工する際に好適に用いることができる。
【実施例】
【００４５】
以下実施例により本発明を具体的に説明する。
カラーフィルタ製造工程で、吐出口の間隙が１００μｍ、長手方向の長さが３６０ｍｍ、図４に示すリップ斜面の角度φが９０度のスリットノズルを用いてカラーフィルタ用塗布液の塗布を行うスリットコータに、図１に示すスリットノズルの清掃装置３０を適用した。なお、塗布液としてブラックマトリックス、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色の各塗布液を用意した。ブラックマトリックス用塗布液は、チタン酸窒化物を遮光材、アクリル樹脂をバインダー、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を溶剤にそれぞれ用い、固形分濃度を１０％、粘度を１０ｍＰａ・ｓに調整した。同様に、Ｒ色用塗布液はアクリル樹脂をバインダー、ＰＧＭＥＡを溶媒、ピグメントレッド１７７を顔料にして固形分濃度１５％で混合し、粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｇ色用塗布液はＲ色用塗布液で顔料をピグメントグリーン３６にして固形分濃度１５％で粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したもの、Ｂ色用塗布液にはＲ色用塗布液で顔料をピグメントブルー１５にして固形分濃度１５％で粘度を５ｍＰａ・ｓに調整したものである。これらの塗布液はいずれも感光性特性を有するものであった。
【００４６】
拭き取りゴム清掃装置３１のゴム清掃部材３３として、硬度Ｈｓ７０のシリコーンゴム製の成型品を用い、図３に示す角度θが６０度となるように取り付けた。また、清掃部材保持台６２に、ポリエチレンテレフタレート製の成型品を用い、更に弾性体６０としてバネ定数０．２Ｎ／ｍｍのバネ４本で上下方向に弾性支持した。洗浄液としては、塗布液の構成溶媒とお互いに可溶であったプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を用いて、洗浄液供給部４４の洗浄ノズル５０から吐出される洗浄液の量は１０００μｌとした。
【００４７】
布拭き取り装置３２においては、長尺布材３７は、無塵布である東レ（株）クリーンクロスのトレシーＭＥタイプを使用し、長尺布材３７に含浸させる洗浄液はＰＧＭＥＡ、洗浄液吐出ノズル５６からの吐出量は５００μｌとした。又、布押し当て部材９４は硬度Ｈｓ３５のシリコンスポンジを使用し、スリットノズル２０との係合部は、一対の押し当て部９７間のなす角度をリップ斜面２８の角度φと同じ９０度とすると共に、押し当て部９７の下部に回転フリーな直径２ｍｍのロールをガイド部材９５として設け、更にそれが入る幅４ｍｍの溝９８を設けた。
【００４８】
リップ斜面２８との布押し当て部材９４の係合位置は、リップ斜面２８が布押し当て部材９４の押し当て部９７に合致後、更にスリットノズル２０を１ｍｍ下降させる位置に設定した。ゴム清掃部材３３および清掃ヘッド部３４の摺接移動速度はいずれも１５ｍ／ｍｉｎとし、塗布前には拭き取りゴム清掃装置３１による清掃、初期化及び布拭き取り装置３２による清掃を毎回実施した。
以上のスリットノズル２０の清掃装置３０を備えたスリットコータ１により、カラーフィルタの製造を次の手順で行った。
【００４９】
まず、３６０×４６５ｍｍで厚さ０．７ｍｍのガラス基板上に、ブラックマトリックス用塗布液を、塗布膜厚１０μｍ、塗布速度３ｍ／分にて連続して塗布した。塗布した基板は１００℃のホットプレートで１０分乾燥して、露光・現像・剥離を行なった後、２６０度のホットプレートで３０分加熱してキュアし、基板の幅方向にピッチが２５４μｍ、基板の長手方向にピッチが８５μｍ、線幅が２０μｍ、ＲＧＢ画素数が４８００（基板長手方向）×１２００（基板幅方向）、対角の長さが５０８ｍｍとなる格子形状で、厚さが１μｍとなるブラックマトリックスパターンを作成した。
【００５０】
次に、Ｒ色用塗布液を塗布膜厚が１３μｍにする以外はブラックマトリックス用塗布液と全く同じ条件でスリットコータにて、ブラックマトリックスが形成された基板に対して、連続して塗布を行った。塗布した基板は、９０℃のホットプレートで１０分乾燥後、露光・現像・剥離を行って、Ｒ画素部にのみ厚さ２μｍのＲ色塗布膜を残し、２６０度のホットプレートで３０分加熱して、キュアを行なった。
次に、Ｒ色用塗布液と同様の操作をＧ色用塗布液、Ｂ色用塗布液にも順次適用し、最後にＩＴＯをスパッタリングで付着させ、カラーフィルタを作成した。
【００５１】
上記手順によるカラーフィルタを１０００枚製造したところ、本発明によるスリットノズルの清掃装置および清掃方法を適用したので、スリットノズルに塗布液が残存して多量の乾燥固着物が発生する事もなく、良好な清掃を行うことが可能であった。また、ガラス基板上の塗布面も残存塗布液の乾燥固着物片の落下やゴム清掃部材の磨耗粉による塗布欠点が無かったため、全数に亘って高品質のカラーフィルタが得られた。又、塗布液の残存固化による塗布欠点の発生が無くなったため、装置を一時停止しての人手によるリップ斜面の布拭き清掃作業も無くなり、生産性が３０％向上した。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の清掃装置を備えたスリットコータの概略正面図である。
【図２】本発明の清掃装置の概略正面図である。
【図３】清掃状況を示す拭き取りゴム清掃部材とスリットノズルの側面図である。
【図４】布拭き取り装置の清掃ヘッド部の概略斜視図で有る。
【図５】別の発明になる清掃装置の概略正面図である。
【図６】図４の矢印Ａから見た布押し当て部材の側面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  スリットコータ
２  基台
３  ガイドレール
４  ステージ
５  ガラス基板
６  門型ガントリー
７  昇降ユニット
８  吊り下げ保持台
９  昇降台
１０  ガイド
１１  モータ
１２  ボールネジ
２０  スリットノズル
２１  フロントリップ
２２  リアリップ
２３  シム
２４  マニホールド
２５  スリット
２６  吐出口面
２７  吐出口
２８  リップ斜面
２９  塗布液
３０  清掃装置
３１  拭き取りゴム清掃装置
３２  布拭き取り装置
３３  ゴム清掃部材
３４  清掃ヘッド部
３５  保持台
３６  駆動装置
３７  長尺布材
３８  保持台
３９  駆動装置
４０  トレイ
４１  台
４２  ゴム拭き取り部
４３  拭き取りゴム駆動部
４４  洗浄液供給部
４６  布搬送部
４７  布拭き取り装置駆動部
４８  洗浄液供給部
５０  洗浄ノズル
５１  洗浄液
５２  洗浄液配管
５３  圧空源
５４  洗浄液タンク
５５  洗浄ノズル用バルブ
５６  洗浄液吐出ノズル
５７  洗浄液配管
５８  洗浄液吐出バルブ
６０  弾性体
６２  清掃部材保持台
６３  プレート
６４  プレート固定ボルト
６５  排出口
６６  廃液用配管
６７  付着塗布液
６８  残存塗布液
６９  洗浄液吐出ノズル
７０  洗浄液吐出バルブ
８０  巻出しロール
８１  巻き取りロール
８２  布送り駆動部
８３  長尺布材ニップ部
８４  筐体
８５  巻出しモータ
８６  巻き取りモータ
８７  布送り駆動モータ
８８  駆動ロール軸
８９  ニップロール
９０  ガイドロール
９１  ニップロール
９２  エアーシリンダ
９３  支持部材
９４  布押し当て部材
９５  ガイド部材
９６  保持金具
９７  押し当て部
９８  溝
９９  傾斜面
１１０  清掃装置
【図１】
2008136897.tif 000003
【図２】
2008136897.tif 000004
【図３】
2008136897.tif 000005
【図４】
2008136897.tif 000006
【図５】
2008136897.tif 000007
【図６】
2008136897.tif 000008