(57)【要約】【課題】チャックからガラス基板を取り外すときにチャック上のガラス基板が静電気により害されないように保護するフォトレジストスピンコータのためのチャックを提供すること。【解決手段】フォトレジスタスピンコータのためのチャックは、ブラケットとディスクとを含む。ブラケットは導電性を有する。ディスクはベース上に据えられ、ガラス基板を保持し、また導電性を有する。前記ディスクは、ガラス基板がチャックから除去されるとき、静電気によって害されないようにガラス基板を保護すべくディスク上の静電気を放出可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電気伝導材料で形成されたブラケットと、
静電気伝導材料で形成された、前記ブラケット上に据え付けられたディスクとを含む、フォトレジストスピンコータ。
【請求項２】
請求項１に記載のフォトレジストスピンコータのためのチャックであって、
前記ディスクが炭素製である、チャック。
【請求項３】
請求項１に記載のフォトレジストスピンコータのためのチャックであって、
前記ディスクが黒鉛製である、チャック。
【請求項４】
請求項１に記載のフォトレジストスピンコータのためのチャックであって、
前記ディスクが金属製である、チャック。
【請求項５】
請求項１ないし４に記載のフォトレジストスピンコータのためのチャックであって
前記ディスクの抵抗率が単位面積当たり１０３ないし１０５オームである、チャック。
【請求項６】
前記ブラケットが底部を有し、また
前記ブラケットの底部から下方に突出するスリーブであって回転シャフトの周囲に配置され、前記スリーブ内に軸線方向に形成された空洞を有するスリーブと、
前記スリーブに放射状に形成され前記空洞に連通する位置決め穴と、
前記位置決め穴に取り外し可能に取り付けられたボルトとを有する、請求項５に記載のチャック。
【請求項７】
前記ブラケットは、さらに、中心と、前記ブラケットの中心を通るように形成されかつ管を介して真空ポンプに連通するように適合された中心穴とを含み、
前記ディスクは、さらに、中心と、前記ディスクの中心を通るように形成され前記ブラケットの中心穴と連通する貫通穴を含む、請求項６に記載のチャック。
【請求項８】
前記ディスクは、さらに、頂部と、前記ディスクの頂部に形成され前記貫通穴と連通する複数の半径方向の隙間と、前記ディスクの頂部上に形成され前記半径方向の隙間に連通する複数の環状の隙間とを含む、請求項７に記載のチャック
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はチャックに関し、特にガラス基板が前記チャックから取り外されるときに静電気による被害を受けないように前記チャック上のガラス基板を保護するフォトレジストスピンコータのためのチャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）は、これが薄く軽量でありまたガラス基板を有することから、次第にディスプレイ市場を支配するようになってきた。液晶ディスプレイを製造するための方法は、フォトリソグラフィ法によりガラス基板上に薄膜トランジスタと回路とを形成することを含む。このフォトリソグラフィ法ではガラス基板上にフォトレジスト層を均質に塗布し、次いで現像処理を行う前に前記フォトレジスト層にマスクからパターンを移す。
【０００３】
図５を参照すると、ガラス基板上にフォトレジストを塗布するための従来方法はフォトレジストスピンコータに依っている。このフォトレジストスピンコータは、モータと、真空ポンプと、シャフト９０と、チャック９１とを含む。シャフト９０は前記モータに回転可能に接続され、該モータにより駆動される。吸引ディスクであり、絶縁体で形成されたチャック９１は、シャフト９０上に取り付けられ、管を介して前記真空ポンプに接続され、これに連通している。前記真空ポンプはチャック９１に吸引作用を及ぼす。
【０００４】
フォトレジストで塗布されるとき、ガラス基板９２がチャック９１の頂面上に置かれ、フォトレジストがガラス基板９２の中心に供給される。次に、前記真空ポンプがガラス基板９２を引き、これを所定位置に保持し、前記モータは、チャック９１がガラス基板９２と共に回転するようにシャフト９０を回転させるように作動させる。これにより、遠心力のために前記フォトレジストが前記中心からガラス基板９２の全表面へと半径方向へ広がる。
【０００５】
ガラス基板９２上に前記フォトレジスト液を塗布した後、ガラス基板９２がチャック９１から取り外される。しかし、チャック９１から離れるガラス基板９２は、チャック９１の頂部に約１５ないし１６キロボルト(ＫＶ)の静電気を生じさせる。高電圧の前記静電気は、ガラスプレート９２上の回路を害し、このためガラス基板９２の生産率が低減する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、チャックからガラス基板を取り外すとき、前記チャック上の前記ガラス基板が静電気により害されないように保護するフォトレジストスピンコータのためのチャックを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的を達成するため、本発明に従うフォトレジストスピンコータのためのチャックは、ブラケットとディスクとを含む。前記ブラケットは静電気に対する伝導性を有する。前記ディスクはベースに据えられ、ガラス基板を保持しまた静電気に対する伝導性を有する。したがって、前記ディスクは、該ディスク上の静電気を放出し、前記ガラス基板が前記チャックから取り外されるとき、前記静電気による害から前記ガラス基板を保護することを可能にする。
【０００８】
本発明の他の目的、利点及び新規な特徴は、添付図面を参照しての以下の詳細な説明によりさらに明らかとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１ないし図３を参照すると、本発明に係るチャックがフォトレジストスピンコータに据えられている。前記フォトレジストスピンコータは、接地されたベース８０上に据えられており、モータと、シャフト１０と、真空ポンプとを有する。前記モータと前記真空ポンプとはベース８０に固定されている。シャフト１０は静電気に対して伝導性があり、ベース８０上に据えられ、前記モータに回転可能に接続されまた前記モータにより駆動され、上端部と、該上端部に近接してシャフト１０に横切るように形成された取付スロット１１とを有する。
【００１０】
図２及び図３を参照すると、前記チャックがシャフト１０の上端部に取り付けられており、ブラケット２０とディスク３０とを含む。
【００１１】
ブラケット２０は電気を通す金属のような静電気伝導材料で形成されている。ブラケット２０はシャフト１０の上端部上に取り外し可能に取り付けられており、中心と、底部と、中心穴２１と、スリーブ２２とを含む。中心穴２１はブラケット２０の中心を通るように形成され、前記真空ポンプが中心穴２１に吸引作用を及ぼすように管を介して前記前記真空ポンプに連通している。スリーブ２２は、ブラケット２０の底部から下方へ突出しており、シャフト１０の上端部の周りに据えられ、空洞２２１と、位置決め穴２２３と、ボルト２２５とを含む。空洞２２１は前記スリーブ内に軸方向に形成され、シャフト１０の上端部を受け入れている。位置決め穴２２３はスリーブ２２に半径方向に形成され、空洞２２１と連通し、またねじ溝が設けられている。ボルト２２５は位置決め穴２２３に取り外し可能に取り付けられ、シャフト１０とブラケット２０とが互いに固定されるようにシャフト１０の取付スロット１１内に伸びている。
【００１２】
ディスク３０はブラケット２０上に取り付けられ、ガラス基板に接しまたこれを保持することができ、電気を通す炭素、黒鉛、金属等のような静電気伝導性材料で形成されている。好ましくは、ディスク３０の抵抗率は単位面積当たり１０３ないし１０５Ωである。ディスク３０は中心と、頂部と、貫通穴３１と、複数の半径方向の隙間３２と、複数の環状の隙間３３とを備える。貫通穴３１はディスク３０の中心を通るように形成され、ブラケット２０の中心穴２１に連通している。半径方向の隙間３２はディスク３０の頂部に形成され貫通穴３１に連通している。環状の隙間３３はディスク３０の頂部に形成され、半径方向の隙間３２と連通し、同心的に配列されている。前記真空ポンプが作動されるとき、該真空ポンプにより与えられる吸引作用が半径方向及び環状の隙間３２，３３に及び、ガラス基板を前記チャック上に強く保持する。
【００１３】
図２及び図４を参照すると、ディスク３０と、ブラケット２０と、シャフト１０と、前記モータと、ベース８０とが、静電気放出路として形成されている。前記ガラス基板にフォトレジストが塗布された後、ディスク３０上の静電気が前記静電気放出路を経て大地に至り、前記ガラス基板が前記チャックから取り外されるときに前記静電気による害を受けないように保護する。
【００１４】
したがって、ディスク３０と、ブラケット２０と，ディスク３０を有する前記チャックとは前記静電気放出路を通して前記静電気の放出を可能とし、これにより、前記ディスク上のガラス基板は前記静電気による害を受けない。したがって、前記ガラス基板の生産率が増大する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】ベース上の本発明に係るフォトレジストスピンコータのためのチャックの斜視図である。
【図２】図１のチャックを有するフォトレジストスピンコータの拡大斜視図である。
【図３】ベース上の図２のチャックを有するフォトレジストスピンコータの部分断面側面図である。
【図４】ベース上の図２のチャックを有するフォトレジストスピンコータの部分断面側面図であり、矢が電気伝導路を示している。
【図５】従来のフォトレジストスピンコータの斜視図である。
【符号の説明】
【００１６】
１０  シャフト
２０  ブラケット
２２  スリーブ
３０  ディスク
３１  貫通穴
３２  半径方向の隙間
３３  環状の隙間
８０  ベース
２２１  空洞
２２３  位置決め穴
２２５  ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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