(57)【要約】【課題】圧電振動子の周波数調整を行うと共に、封止面およびパッケージ内部を洗浄することを可能とする圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイを提供する。【解決手段】イオンビームを圧電振動子の圧電振動片に照射して、前記圧電振動子の周波数を調整する圧電振動子用周波数調整装置に備えられ、前記圧電振動子が載置される加工トレイ１０であって、加工トレイ１０に前記圧電振動子パッケージの外形形状より大きな矩形状に形成された収納穴１１と、加工トレイ１０の一方の面に、前記圧電振動子パッケージが係止するように収納穴１１の四隅から突出するように形成された突起部１２と、を備える。【選択図】図１
2008011138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンビームを圧電振動子の圧電振動片に照射して、前記圧電振動子の周波数を調整する圧電振動子用周波数調整装置に備えられ、前記圧電振動子が載置される圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイであって、
前記加工トレイに前記圧電振動子の外形形状より大きな矩形状に形成された収納穴と、
前記加工トレイの一方の面に、前記圧電振動子が係止するように前記収納穴の四隅から突出するように形成された突起部と、を有することを特徴とする圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イオンエッチング技術を利用した圧電振動子の周波数調整装置に用いられ、イオンエッチングの際に圧電振動子を載置する圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧電振動子の圧電振動片に形成された励振電極にイオンビームを照射して、イオンエッチングにより励振電極を削り、圧電振動子の周波数を調整する方法が知られている。例えば、イオンエッチングによる圧電振動子用周波数調整装置（以下、ｆ調装置とも言う）が、特許文献１に開示されている。このｆ調装置は図５（ａ）に示すように、イオンビームの発生源であるイオンガン１００と、その上方に配置された圧電振動子１２０を保持してトレイ可動手段１０３によって規定の方向に移動可能な加工トレイ１１０と、イオンガン１００と加工トレイ１１０との間に配置され、イオンビームの絞りを行うマスク１０２およびイオンビームの照射を制御するシャッター１０１を備えている。
このようなｆ調装置では、イオンガン１００から照射されたイオンビームが、シャッター１０１を開くことによりマスク１０２のスリットを通過して圧電振動子１２０の圧電振動片１２６に照射される。そして、圧電振動片１２６に形成された励振電極がエッチングされて周波数が高くなる方向に調整されていく。その間、周波数を周波数測定器１０４で測定し、所望の値になったところでシャッター１０１を閉じ、圧電振動子１２０の周波数を規定値に調整している。
なお、図５（ｂ）は加工トレイ１１０を底面側から見た平面図である。加工トレイ１１０には複数の圧電振動子パッケージ１２１が収納できる収納穴１１２が設けられ、一方の面には、それぞれの圧電振動片１２６の励振電極に対応する部分に開口穴１１１が設けられており、この開口穴１１１を通して圧電振動片１２６の励振電極にイオンビームを照射している。このように、加工トレイ１１０は、圧電振動子を下向き（圧電振動片１２６がイオンガン１００と対向するように）に保持して、イオンエッチングによる周波数調整を可能としている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２２３８９３号公報（図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電振動子の製造工程では、上記のｆ調装置による周波数調整工程が終わった後に、圧電振動子パッケージに蓋体をシーム溶接などにより接合して、圧電振動片を気密封止する工程に進む。
この気密封止する工程において、封止面が汚れている場合には、良好な接合が行われず、気密が保てない問題がある。また、気密封止する圧電振動子パッケージの内部に汚れなどがある場合には、気密封止後の圧電振動子の周波数エージング特性を悪化させることがある。
これらの汚れを除去するために、気密封止工程の前にウェットまたはドライ洗浄工程を設けることも考えられるが、工数の増加となってしまう。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、圧電振動子の周波数調整を行うと共に、封止面およびパッケージ内部を洗浄することを可能とする圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明は、イオンビームを圧電振動子の圧電振動片に照射して、前記圧電振動子の周波数を調整する圧電振動子用周波数調整装置に備えられ、前記圧電振動子が載置される圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイであって、前記加工トレイに前記圧電振動子の外形形状より大きな矩形状に形成された収納穴と、前記加工トレイの一方の面に、前記圧電振動子が係止するように前記収納穴の四隅から突出するように形成された突起部と、を有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、本発明の加工トレイは、収納穴の四隅から突出する突起部により、圧電振動子が係止されるように構成されている。圧電振動子を加工トレイに載置したときに、突起部に掛かる部分を除き、圧電振動片、圧電振動子パッケージ、封止面などが露出した状態となる。この状態でイオンビームを圧電振動子に照射すると、圧電振動片に形成された励振電極をイオンエッチングすると共に、圧電振動子パッケージの内部、封止面が洗浄される。
このように、本発明は圧電振動子の周波数調整を行うと共に、圧電振動子パッケージの内部および封止面を洗浄することを可能とする圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
（実施形態）
【０００８】
図１は本実施形態の加工トレイにおける圧電振動子の収納部を示す説明図であり、図１（ａ）は概略部分平面図、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断線に沿う部分断面図である。
ステンレスなどの金属の材料からなる板状の加工トレイ１０には、圧電振動子パッケージの外形より大きく形成され、圧電振動子を収納する収納穴１１が形成されている。
そして、加工トレイ１０の一方の面には、収納穴１１の四隅から収納穴１１の中央部に向かって突出する矩形状の突起部１２が形成されている。この突起部１２は、加工トレイ１０に圧電振動子を載置したとき、この突起部１２により、圧電振動子が係止されるように構成されている。
なお、図１では収納穴１１の一つの部分を示して説明したが、加工トレイ１０には複数の収納穴１１が連設され、一つの加工トレイ１０を構成している。また、加工トレイ１０における収納穴１１の配置は、一方向に連続して設けても、マトリックス状に設けても良い。
【０００９】
次に、この加工トレイ１０に圧電振動子を載置した状態について説明する。
まず、圧電振動子について図３を用いて説明する。図３（ａ）は圧電振動子の構成を示す概略平面図であり、図３（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断線に沿う断面図である。
圧電振動子２０は、圧電振動片２５と、この圧電振動片２５を収容する圧電振動子パッケージ２１とを備えている。
圧電振動片２５は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料から形成され、その表裏の主面には励振電極２６が形成されている。
圧電振動子パッケージ２１は、セラミックスなどが積層された絶縁基板２２にコバールなどで形成された金属リング２３が固着され、圧電振動片２５を収容する凹部が形成されている。そして、この凹部の底面には接続パッド２４が設けられ、導電性接着剤２７を介して、接続パッド２４と、圧電振動片２５とが接続されている。また、金属リング２３の上面は、蓋体などを接合して気密封止するために平坦に形成されている。
なお、ここで言う圧電振動子２０は、周波数調整を行う工程における状態であり、蓋体により気密封止をする工程前のため、圧電振動片２５が露出した状態である。
【００１０】
図２は上記圧電振動子を加工トレイに載置した状態を示し、図２（ａ）は概略部分断面図であり、図２（ｂ）は加工トレイを底面側から見た部分平面図である。
加工トレイ１０には、圧電振動子２０における圧電振動片２５の露出面が下に向くように載置される。収納穴１１は圧電振動子パッケージ２１の外形より大きく形成されており、圧電振動子２０が収納されるように構成されている。また、加工トレイ１０の一方の面（底面）には収納穴１１の四隅から収納穴１１の中央部に向かって突出する突起部１２が形成されているため、突起部１２と圧電振動子パッケージ２１における金属リング２３の上面の四隅とが当接し、圧電振動子２０が係止されるように構成されている。
【００１１】
本実施形態の加工トレイ１０は、収納穴１１の四隅から突出する突起部１２により、圧電振動子パッケージ２１が係止されるように構成されている。圧電振動子パッケージ２１を加工トレイ１０に載置したときに、突起部１２に掛かる部分を除き、圧電振動片２５、圧電振動子パッケージ２１、金属リング２３の封止面などが露出した状態となる。この状態でイオンビームを加工トレイ１０に向けて照射すると、圧電振動片２５に形成された励振電極２６をイオンエッチングすると共に、圧電振動子パッケージ２１の内部、金属リング２３の封止面にイオンビームがあたり、洗浄される。
このように、本実施形態は圧電振動子２０の周波数調整を行うと共に、圧電振動子パッケージ２１の内部および封止面を洗浄することを可能とする圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイ１０を得ることができる。
【００１２】
そして、この加工トレイ１０を用いて圧電振動子２０の周波数調整を行うことで、周波数調整と共に金属リング２３の封止面が洗浄されることになる。このとき、金属リング２３の四隅は突起部１２に遮られて洗浄できないが、金属ローラを縦方向・横方向に走査して封止を行うシーム溶接などの方法では、この封止面の四隅にはローラが２回通ることになり、微小な汚れにおいては封止の接合性に影響を及ぼすことがない。このように、本実施形態の加工トレイ１０を用いることで封止の接合性を向上させることが可能である。
さらに、圧電振動子パッケージ２１の内部も同時に洗浄されることから、封止後における圧電振動子２０の周波数エージング特性を良好にすることができる。
（変形例）
【００１３】
次に、圧電振動子を係止させる加工トレイにおける突起部の形状の変形例について説明する。本変形例では、収納穴の形状は上記実施形態と同様であり、突起部の形状のみ異なる。
図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の加工トレイにおける圧電振動子を係止させる突起部の形状の変形例を示す概略平面図である。
図４（ａ）において、加工トレイ３０は、収納穴３１の四隅から突出する三角形状の突起部３２により、圧電振動子パッケージが係止されるように構成されている。
図４（ｂ）において、加工トレイ４０は、収納穴４１の四隅から突出する円弧状の突起部４２により、圧電振動子パッケージが係止されるように構成されている。
図４（ｃ）において、加工トレイ５０は、収納穴５１の四隅から突出するテーパー状の突起部５２により、圧電振動子パッケージが係止されるように構成されている。
【００１４】
このように、加工トレイにおける突起部の形状は圧電振動子パッケージを係止できるように様々な形状を考慮でき、適宜変更が可能である。
以上のように、本変形例においても上記実施形態と同様に圧電振動子の周波数調整を行うと共に、圧電振動子パッケージの内部および封止面を洗浄することを可能とする圧電振動子用周波数調整装置の加工トレイ３０，４０，５０を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の加工トレイにおける圧電振動子の収納部を示す説明図であり、（ａ）は概略部分平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断線に沿う部分断面図。
【図２】本実施形態の加工トレイに圧電振動子を載置した状態を示し、（ａ）は概略部分断面図、（ｂ）は底面側から見た部分平面図。
【図３】圧電振動子の構成を示す構成図であり、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断線に沿う断面図。
【図４】本実施形態の変形例を示す加工トレイの平面図。
【図５】従来技術を説明する説明図であり、（ａ）は圧電振動子用周波数調整装置の概略説明図、（ｂ）は圧電振動子が載置された加工トレイを底面から見た平面図。
【符号の説明】
【００１６】
１０…加工トレイ、１１…収納穴、１２…突起部、２０…圧電振動子、２１…圧電振動子パッケージ、２２…絶縁基板、２３…金属リング、２５…圧電振動片、２６…励振電極。
【図１】
2008011138.tif 000003
【図２】
2008011138.tif 000004
【図３】
2008011138.tif 000005
【図４】
2008011138.tif 000006
【図５】
2008011138.tif 000007