(57)【要約】【課題】  被コーティング部品が微細な場合に、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくい構造の蒸着コーティング装置用バレルを提供する。【解決手段】  被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備え、前記回転軸を中心とする略円周上に、その長手方向を前記回転軸と平行な方向としている複数の筒体を配設しているバレルであって、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している蒸着コーティング装置用バレルとした。【選択図】図６
2008031559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備え、前記回転軸を中心とする略円周上に、その長手方向を前記回転軸と平行な方向としている複数の筒体を配設しているバレルであって、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、前記回転軸を中心とする略円周上に配設している複数の筒体それぞれを、前記回転軸と平行な方向において分割されていて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している蒸着コーティング装置用バレル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電気・電子部品等の製造に際して、コーティング皮膜の形成に使用される蒸着コーティング装置に使用する被コーティング部品を収納するバレルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、上記の蒸着コーティング装置用バレルとしては、図７に示されるようなバレル１が知られている（例えば特開平７−７０７３８号公報）。図７に示される従来のバレル１は、断面が円形であり、筒壁面が金属製の網状材料で形成された筒体２を複数本、回転軸３を中心とする略円周上に備えている。図７で４は筒体受板、５はストッパ板を示している。このようなバレル１を使用して鉄芯等の被コーティング部品の表面にコーティング皮膜を形成する手順としては、まず、バレル１に備わる筒体２に被コーティング部品６を収納する（図８参照）。この場合、図８に示すように被コーティング部品６を開口部２ａから投入して、筒体２の内側に収納する。次いで、このバレル１を図９に示す真空蒸着装置８にセットする。一方、図９に示すように、原料物質Ａ、Ｂをそれぞれセットした蒸発管Ｅ、Ｆを、導入管Ｇ、Ｈに装着する。次いで、真空ポンプＩを用いて所定圧力まで排気し、蒸着槽Ｊ内を真空状態にすると共に、ヒータＫ、Ｌにより原料物質Ａ、Ｂを加熱しながら、モータＭによりバレル１の回転軸３を駆動して、バレル１に備わる筒体２（図７参照）を、回転軸３を中心にして回動させる。そうすると、原料物質の蒸気が導入管Ｇ、Ｈを経由して蒸着槽Ｊ内に導入されて、筒体内に収納されている被コーティング部品の表面に原料物質Ａ、Ｂが蒸着（堆積）する。そして、原料物質Ａ、Ｂの蒸着と共に、蒸着槽Ｊを加熱して、蒸着した原料物質Ａ、Ｂを重合させて、被コーティング部品６の表面にコーティング皮膜を形成する。
【０００３】
ここで、従来のバレル１に備わる筒体２内の被コーティング部品６は、図１０の筒体２の概略断面図で示すように、筒体２の回動に伴って攪拌されることにより、被コーティング部品６の全面にコーティング皮膜が形成されるようになっている。
【特許文献１】特開平７−７０７３８号公報
【特許文献２】特開平８−１３１３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の従来のバレルでは、２つの問題がありその改良が望まれている。
【０００５】
第１番目の問題としては、従来、バレルに備わる筒体の胴部の筒壁は鉄等の金属製の網状材料で形成されているために、被コーティング部品がセラミック、燒結金属（フェライト等）、ガラス等の耐衝撃性に劣る素材で形成されている場合や、金属部品でもかしめ部分のある部品の場合には、回転軸を中心として筒体を回動させた際に、被コーティング部品が攪拌されて筒体の胴部の筒壁に衝突して割れや欠け、あるいは、かしめ部分の分離等が生じるという問題があった、特に、被コーティング部品の攪拌をよくして、蒸着コーティングの膜厚をより均一にすることを狙って、バレルを速く回転させた場合に、この割れや欠け、あるいは、かしめ部分の分離が生じるという問題は顕著であった。
【０００６】
第２番目の問題としては、図７に示すように、その長手方向の長さが長い筒体を、バレルの回転軸を中心とする略円周上に複数配設している従来のバレルでは、被コーティング部品の大きさが、例えば最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と、極めて微細な場合には、筒体の長さが長いために、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入することが困難であったり、あるいは取り出すときに被コーティング部品が飛散しやすいという問題があった。
【０００７】
上記の事情のうち第２番目の問題に鑑みて本発明はなされたものである。すなわち、被コーティング部品の大きさが、例えば最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と、極めて微細な場合に、限られたスペースである真空蒸着装置内で、一度に処理する被コーティング部品の処理量を少なくする程度が小さくて、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、且つ被コーティング部品を取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくい構造の蒸着コーティング装置用バレルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明の蒸着コーティング装置用バレルは、被コーティング部品を収納する筒体とこの筒体を回動させる回転軸とを備え、前記回転軸を中心とする略円周上に、その長手方向を前記回転軸と平行な方向としている複数の筒体を配設しているバレルであって、前記筒体に被コーティング部品を収納し、真空状態とした蒸着槽内で、前記筒体を回動させながら、前記被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成する蒸着コーティング装置に使用するバレルにおいて、前記回転軸を中心とする略円周上に配設している複数の筒体それぞれを、前記回転軸と平行な方向において分割されていて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している蒸着コーティング装置用バレルである。
【０００９】
この請求項１に係る発明の蒸着コーティング装置用バレルでは、バレルの回転軸を中心とする略円周上に配設している複数の筒体それぞれを、前記回転軸と平行な方向において分割されていて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで形成している。このように、小型筒体にすることにより、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、且つ被コーティング部品を取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくくなる。そして、単に筒体の長さを短くしただけでなく、バレルの回転軸と平行な方向において分割されていて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで、従来の単に長い１個の筒体の代わりをしているので、真空蒸着装置内で処理する被コーティング部品の処理量を少なくする程度が小さいという利点も備えている。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に係る発明の蒸着コーティング装置用バレルによれば、被コーティング部品の大きさが極めて微細な場合であっても、限られたスペースである真空蒸着装置内で、一度に処理する被コーティング部品の処理量を少なくする程度が小さくて、被コーティング部品を筒体内に均一に分布するように投入でき、且つ被コーティング部品を筒体内から取り出すときに被コーティング部品が飛散しにくくなるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態を説明する。なお、同一名称の部材に関しては、上述の従来の技術で用いた符号と同じ符号を、本発明の実施の形態の説明でも使用する。
【００１２】
請求項１記載の発明におけるバレルは、従来の技術の欄で説明した図９に示すような真空蒸着装置８で使用する、被コーティング部品を収納するバレルに関するものである。（図９の真空蒸着装置８では、バレル１の詳細な構造は省略している。）そして、請求項１記載の発明におけるバレルは、図７に示されるような従来のバレル１と同様に、被コーティング部品を収納する筒体２とその筒体２を回動させる回転軸３とを備えるものである。さらに、この発明におけるバレルは、従来のバレルと同様に、図９に示すような真空蒸着装置８の蒸着槽Ｊの内部を真空にした状態で、被コーティング部品をバレル１が備える筒体に収納し、モーターＭによってバレル１全体を回転軸３を中心にして回転させながら、被コーティング部品の表面に、コーティング皮膜形成用の原料物質Ａ、Ｂ（一方の原料物質のみ、又は３種以上の原料物質の場合であってもよい。）を蒸着させると共に、これを重合させてコーティング皮膜を形成するのに使用するバレルである。そして、この原料物質については特に制限はないが、例えば各種のポリイミド樹脂の原料（例えば酸無水物とジアミン等）やポリ尿素樹脂の原料等が例示できる。
【００１３】
次に、実施の形態を順に説明する。
【００１４】
まず、本発明に関係するバレルに備える筒体２の第１の例示形態を説明する。この第１の例示形態においては、バレルに備える筒体２（図１に側面図を示す。）の胴部２ｂの筒壁を、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度に耐える樹脂材料製の網又は織布で形成する。このように、筒壁を形成する材料を従来の金属製ではなく、樹脂材料製とすると、回転軸を中心としてバレルに備わる筒体２を回動させた際に、被コーティング部品６が攪拌されて筒体の胴部の筒壁に衝突しても割れや欠け、あるいは、かしめ部分の分離等が生じにくくなる。特に被コーティング部品６がセラミック、フェライト等の燒結金属、あるいはガラス等の耐衝撃性に劣る素材で形成されている場合や、金属部品でもかしめ部分のある部品の場合に、この効果は顕著になる。そして、網又は織布を形成する素材については、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度に耐えるものであればよい。なお、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度とは、完全な反応終結に要する温度である必要はなく、コーティング皮膜が真空蒸着装置の蒸着槽内で形成される温度であればよい。なぜならば、コーティング皮膜が形成された被コーティング部品を、蒸着槽内から取り出して別途さらに必要な加熱を加えるようにすることもできるからである。さらに、筒体の胴部の筒壁を形成するのに、織布で形成していると、網の場合よりも空隙が小さい筒壁にすることが容易であり、被コーティング部品の大きさが、例えば最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と、極めて微細な場合でも部品が落下しないバレルを容易に作製することができる。この織布を形成する繊維としてはアラミド繊維、フッ素樹脂繊維及びポリエステル繊維の少なくともいずれかを使用するようにすると、これらは耐熱性が優れるので、各種のコーティング皮膜形成用の原料物質に対応できるので好ましい。
【００１５】
次に、本発明に関係するバレルに備える筒体２の第２の例示形態を説明する。この例示形態では、バレルに備える筒体２が図２及び図３に示すように、筒体２の骨格を形成する支柱７を備えていて、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度に耐える樹脂材料製の網又は織布を、この支柱７で支持するようにしている。この支柱７を形成する材料については特に限定はなく、金属や各種の樹脂等が使用できる。このように、筒体２の骨格を形成する支柱７を備えていると、筒体２の胴部２ｂの筒壁を樹脂材料製の網又は織布で形成しても筒体２の形状が自己保持され、バレルへの筒体２の装着性が損なわれることがない。また、この支柱７を形成する位置が、図４に示すように筒体２の筒壁の内周面に露出するように形成すると、筒体２を回動させたときに支柱７に被コーティング部品６が当たってよく攪拌されるので好ましい。
【００１６】
次に、本発明に関係するバレルに備える筒体２の第３の例示形態を説明する。この例示形態では、バレルに備える筒体２の胴部の筒壁を、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度に耐える樹脂材料製の網又は織布で形成すると共に、図５の斜視図で示すように、筒体２の断面形状が、多角形状であるために、円筒状の筒体に比べ、回転軸を中心として筒体２を回動させた際に、被コーティング部品がよく攪拌されるという効果をも奏する。
【００１７】
次に、請求項１の発明に関係する実施形態を図６に基づいて説明する。
【００１８】
この実施形態では、図７に示すような、従来のバレル１では、バレル１の回転軸３を中心とする略円周上に配設している複数の筒体２、２・・それぞれが、回転軸３と平行な方向では分割されていることがなかった点について、新たな創作を盛り込むようにしている。すなわち、この実施形態では、図６に示すように、バレル１の回転軸３を中心とする略円周上に配設している複数の筒体それぞれが、回転軸３と平行な方向において分割されていて、分離可能である複数個の小型筒体２−１、２−２、２−３の組み合わせで形成するようにしている。このように、小型筒体２−１、２−２、２−３の組み合わせで、従来の長い筒体の代わりをするようにすると、被コーティング部品の大きさが、例えば最大長さで０．１〜２ｍｍ程度と、極めて微細な場合であっても、分離可能な小型筒体内に被コーティング部品を均一に分布するように投入することは容易に達成でき、また、被コーティング部品を小型筒体内から取り出すときに、微細な被コーティング部品が飛散することもなくなる。そして、単に筒体の長さを短くしただけでなく、バレルの回転軸と平行な方向において分割されていて、分離可能である複数個の小型筒体の組み合わせで、従来の単に長い１個の筒体の代わりをしているので、真空蒸着装置内で処理する被コーティング部品の処理量を少なくする程度が小さいという利点も備えている。なお、このような小型筒体の筒壁を形成する材料については、特に限定はなく、ステンレススチール等の金属製でもよいし、コーティング皮膜形成用の原料物質を重合させる温度に耐える樹脂材料製とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のバレルに備える筒体の第1の例示形態を説明するための筒体の側面図である。
【図２】本発明のバレルに備える筒体の第２の例示形態を説明するための筒体の側面図である。
【図３】同上の断面図である。
【図４】本発明のバレルに備える筒体の第３の例示形態を説明するための被コーティング部品を収納して回動している筒体の断面図である。
【図５】本発明のバレルに備える筒体の第４の例示形態を説明するための筒体の斜視図である。
【図６】本発明の実施形態を説明するためのバレルの側面図である。
【図７】従来のバレルの斜視図である。
【図８】従来のバレルに備わる筒体の側面図である。
【図９】真空蒸着装置の概略断面図である。
【図１０】従来のバレルに備わる筒体中の被コーティング部品の動きを説明するための被コーティング部品を収納して回動している筒体の断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  バレル
２  筒体
２ａ  開口部
２ｂ  胴部
２−１、２−２、２−３  小型筒体
３  回転軸
６  被コーティング部品
７  支柱
８  真空蒸着装置
Ａ、Ｂ  原料物質
Ｊ  蒸着槽
【図１】
2008031559.tif 000003
【図２】
2008031559.tif 000004
【図３】
2008031559.tif 000005
【図４】
2008031559.tif 000006
【図５】
2008031559.tif 000007
【図６】
2008031559.tif 000008
【図７】
2008031559.tif 000009
【図８】
2008031559.tif 000010
【図９】
2008031559.tif 000011
【図１０】
2008031559.tif 000012