(57)【要約】【課題】第１、第２の周波数以外の他の周波数を有する共振信号を取り出すことができなかった。【解決手段】第１、第２の櫛形電極間に弾性表面波を励起するための入力信号を印加し、かつ、第３、第４の櫛形電極間に入力信号を実質的に印加しないことにより、第１、第２の周波数間に位置する第３の周波数を有する共振信号を生成する工程を含む。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであって、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子と、
外部から信号が入力される第１の端子及び第２の端子と、
を備えた弾性表面波デバイスであって、
前記第１の端子と前記第１の櫛形電極とが、電気的に接続されており、
前記第２の端子と前記第２の櫛形電極とが、電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第３の櫛形電極とが、第１の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第４の櫛形電極とが、第２の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第２の端子と前記第３の櫛形電極とが、第３の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第４の櫛形電極とが、第４の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第１の可変抵抗器、前記第２の可変抵抗器、前記第３の可変抵抗器、及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値の調整により、前記弾性表面波素子の共振周波数が変わることを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項２】
請求項１記載の弾性表面波デバイスにおいて、
（１）前記第１の可変抵抗器の抵抗値及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値を実質的に０とし、前記第２の可変抵抗器の抵抗値及び前記第３の可変抵抗器の抵抗値を実質的に無限大として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第１の周波数にする第１の状態と、（２）前記第１の可変抵抗器の抵抗値及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値を実質的に無限大とし、前記第２の可変抵抗器の抵抗値及び前記第３の可変抵抗器の抵抗値を実質的に０として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第２の周波数にする第２の状態と、（３）前記第１の可変抵抗器の抵抗値、前記第２の可変抵抗器の抵抗値、前記第３の可変抵抗器の抵抗値及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値を実質的に無限大とし、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第３の周波数にする第３の状態と、を切り替える切替ユニットを更に備えたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項３】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであって、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子と、
外部から信号が入力される第１の端子及び第２の端子と、
を備えた弾性表面波デバイスであって、
前記第１の櫛形電極及び前記第３の櫛形電極は前記第１の端子に接続されており、
前記第２の櫛形電極及び前記第４の櫛形電極は前記第２の端子に接続されており、
前記弾性表面波素子の共振周波数が、前記第１の端子と前記第３の櫛形電極との間の抵抗値である第１の抵抗値、前記第１の端子と前記第４の櫛形電極との間の抵抗値である第２の抵抗値、前記第２の端子と前記第３の櫛形電極との間の抵抗値である第３の抵抗値、及び前記第１の端子と前記第４の櫛形電極との間の抵抗値である第４の抵抗値に基づき、決定された共振周波数であることを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項４】
請求項１に記載の弾性表面波デバイスにおいて、
（１）前記第１の抵抗値及び前記第４の抵抗値を実質的に０とし、前記第２の抵抗値及び前記第３の抵抗値を実質的に無限大として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第１の周波数にする第１の状態と、（２）前記第１の抵抗値及び前記第４の抵抗値を実質的に無限大とし、前記第２の抵抗値及び前記第３の抵抗値を実質的に０として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第２の周波数にする第２の状態と、（３）前記第１の抵抗値、前記第２の抵抗値、前記第３の抵抗値及び前記第４の抵抗値を実質的に無限大とし、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第３の周波数にする第３の状態と、を切り替える切替ユニットを更に備えたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項５】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであって、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子と、
外部から信号が入力される第１の端子及び第２の端子と、
前記第３の櫛形電極、前記第４の櫛形電極、及び開放端のいずれかを、前記第１の端子に電気的に接続する第１のスイッチ部と、
前記第４の櫛形電極、前記第３の櫛形電極、及び開放端のいずれかを、前記第２の端子に電気的に接続する第２のスイッチ部と、
（１）前記第１のスイッチ部において前記第１の端子と前記第３の櫛形電極との間を電気的に接続し、前記第２のスイッチ部において前記第２の端子と前記第４の櫛形電極との間を電気的に接続する第１の状態と、（２）前記第１のスイッチ部において前記第１の端子と前記第４の櫛形電極との間を電気的に接続し、前記第２のスイッチ部において前記第２の端子と前記第３の櫛形電極との間を電気的に接続する第２の状態と、（３）前記第１のスイッチ部において前記第１の端子と前記開放端とを接続し、前記第２のスイッチ部において前記第２の端子と前記開放端とを接続する第３の状態と、のいずれかの状態になるように前記第１のスイッチ部及び前記第２のスイッチ部を制御するスイッチ制御部と、を備えたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項６】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットを備え、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子の使用方法であって、
前記第１、第２の櫛形電極間に前記弾性表面波素子を励起するための入力信号を印加し、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間に前記入力信号を実質的に印加しないことにより、前記第１、第２の櫛形電極間及び前記第３、第４の櫛形電極間への前記入力信号の印加を前記第１の櫛形電極の電圧及び前記第２の櫛形電極の電圧間の第１の関係と前記第３の櫛形電極の電圧及び前記第４の櫛形電極の電圧間の第２の関係とが実質的に同相になるように行うことにより得られる第１の共振信号の第１の周波数と、前記第１の関係と前記第２の関係とが実質的に逆相になるように行うことにより得られる第２の共振信号の第２の周波数との間に位置する第３の周波数を有する第３の共振信号を生成する生成工程を含むことを特徴とする弾性表面波素子の使用方法。
【請求項７】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであり、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子の使用方法であって、
前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への、前記弾性表面波素子を励起するための入力信号の印加を、前記第１の櫛形電極の電圧と前記第２の櫛形電極の電圧との第１の関係が、前記第３の櫛形電極の電圧と前記第４の櫛形電極の電圧との第２の関係と実質的に同相となるように行うことにより、第１の周波数を有する第１の共振信号を生成する第１の生成工程と、
前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への前記入力信号の印加を、前記第１関係が、前記第２の関係と実質的に逆相となるように行うことにより、前記第１の周波数より高い第２の周波数を有する第２の共振信号を生成する第２の生成工程と、
前記第１、第２の櫛形電極間に前記入力信号を印加し、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間に前記入力信号を実質的に印加しないことにより、前記第１の周波数及び前記第２の周波数間に位置する第３の周波数を有する第３の共振信号を生成する第３の生成工程と、のうちのいずれかを選択的に実行することを特徴とする弾性表面波素子の使用方法。
【請求項８】
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであり、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子の使用方法であって、
前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への、前記弾性表面波素子を励起するための入力信号の印加を、前記第１の櫛形電極の電圧と前記第２の櫛形電極の電圧との関係が、前記第３の櫛形電極の電圧と前記第４の櫛形電極の電圧との関係と実質的に同相又は逆相となり、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間の第１のインピーダンスが、前記第１、第２の櫛形電極間の第２のインピーダンスより大きくなるように行うことにより、前記第１のインピーダンスにより規定される周波数を有する共振信号を生成する生成工程を含むことを特徴とする弾性表面波素子の使用方法。
【請求項９】
前記第１の櫛形電極ユニットと、前記第２の櫛形電極ユニットは、実質的に同一の構造であることを特徴とする請求項４、５記載の弾性表面波素子の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Acoustic Wave）素子の使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１に示され、また、図１４（Ａ）に示されるような従来の弾性表面波素子ＳＤ１００では、圧電基板ＳＢ１００に、対をなす第１、第２の櫛形電極ＣＥ１０１、ＣＥ１０２、及び、前記第１、第２の櫛形電極ＣＥ１０１、ＣＥ１０２に対応して対をなす第３、第４の櫛形電極ＣＥ１０３、ＣＥ１０４が設けられており、当該第１〜第４の櫛形電極ＣＥ１０１〜ＣＥ１０４を挟む位置に、対をなす第１、第２の反射器ＲＦ１０１、ＲＦ１０２が設けられている。
【０００３】
上記した構成を有する弾性表面波素子ＳＤ１００の使用方法について説明する。図１４（Ａ）に示されるように、端子Ｔ１０１ａ、端子１０１ｂから、弾性表面波を励起するための交流入力信号Ｓｉｎを印加する。より詳しくは、第１、第２の櫛形電極ＣＥ１０１、ＣＥ１０２間の第１の電圧関係と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ１０３、ＣＥ１０４間の第２の電圧関係とが「同相」になるように交流入力信号Ｓｉｎを印加し、これにより、圧電基板ＳＢ１００は、変位強度分布が「モードＳ０」になるように振動し、その結果として、当該モードＳ０に対応する、第１の周波数を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０）が生成され、当該共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０）を、前記端子Ｔ１０１ａ、Ｔ１０１ｂに接続された電流電圧変換回路のような検出器（図示せず。）から取り出すことができる。なお、図１４（Ａ）は、端子Ｔ１０１ａが＋電圧になっており、端子Ｔ１０１ｂが−になっている時を示す。
【０００４】
また、上記とは対照的に、図１４（Ｂ）に示されるように、前記第１の電圧関係と前記第２の電圧関係とが、「逆相」になるように交流入力信号Ｓｉｎを印加した場合、圧電基板ＳＢ１００は、変位強度分布が「モードＡ０」になるように振動し、その結果として、当該モードＡ０に対応する、前記第１の周波数より高い第２の周波数を有する共振信号Ｓｏｕｔが生成され、当該共振信号Ｓｏｕｔ（Ａ０）を取り出すことができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１−２５２０１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した従来の弾性表面波素子ＳＤ１００の使用方法では、モードＳ０に対応する前記第１の周波数を有する共振信号Ｓｏｕｔ、及びモードＡ０に対応する前記第２の周波数を有する共振信号Ｓｏｕｔという２つの共振信号しか取り出すことができず、他の周波数を有する共振信号を取り出すことができないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記した課題を解決すべく、本発明に係る第１の弾性表面波デバイスは、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであって、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子と、
外部から信号が入力される第１の端子及び第２の端子と、
を備えた弾性表面波デバイスであって、
前記第１の端子と前記第１の櫛形電極とが、電気的に接続されており、
前記第２の端子と前記第２の櫛形電極とが、電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第３の櫛形電極とが、第１の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第４の櫛形電極とが、第２の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第２の端子と前記第３の櫛形電極とが、第３の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第１の端子と前記第４の櫛形電極とが、第４の可変抵抗器を介して電気的に接続されており、
前記第１の可変抵抗器、前記第２の可変抵抗器、前記第３の可変抵抗器、及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値の調整により、前記弾性表面波素子の共振周波数が変わる。
【０００８】
上記した第１の弾性表面波デバイスでは、
（１）前記第１の可変抵抗器の抵抗値及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値を実質的に０とし、前記第２の可変抵抗器の抵抗値及び前記第３の可変抵抗器の抵抗値を実質的に無限大として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第１の周波数にする第１の状態と、（２）前記第１の可変抵抗器の抵抗値及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値を実質的に無限大とし、前記第２の可変抵抗器の抵抗値及び前記第３の可変抵抗器の抵抗値を実質的に０として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第２の周波数にする第２の状態と、（３）前記第１の可変抵抗器の抵抗値、前記第２の可変抵抗器の抵抗値、前記第３の可変抵抗器の抵抗値及び前記第４の可変抵抗器の抵抗値を実質的に無限大とし、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第３の周波数にする第３の状態と、を切り替える切替ユニットを更に備える。
【０００９】
本発明に係る第２の弾性表面波デバイスは、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであって、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子と、
外部から信号が入力される第１の端子及び第２の端子と、
前記第３の櫛形電極、前記第４の櫛形電極、及び開放端のいずれかを、前記第１の端子に電気的に接続する第１のスイッチ部と、
前記第４の櫛形電極、前記第３の櫛形電極、及び開放端のいずれかを、前記第２の端子に電気的に接続する第２のスイッチ部と、
（１）前記第１のスイッチ部において前記第１の端子と前記第３の櫛形電極との間を電気的に接続し、前記第２のスイッチ部において前記第２の端子と前記第４の櫛形電極との間を電気的に接続する第１の状態と、（２）前記第１のスイッチ部において前記第１の端子と前記第４の櫛形電極との間を電気的に接続し、前記第２のスイッチ部において前記第２の端子と前記第３の櫛形電極との間を電気的に接続する第２の状態と、（３）前記第１のスイッチ部において前記第１の端子と前記開放端とを接続し、前記第２のスイッチ部において前記第２の端子と前記開放端とを接続する第３の状態と、のいずれかの状態になるように前記第１のスイッチ部及び前記第２のスイッチ部の接続動作を制御するスイッチ制御部と、を備える。
【００１０】
本発明に係る第３の弾性表面波デバイスは、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであって、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子と、
外部から信号が入力される第１の端子及び第２の端子と、
を備えた弾性表面波デバイスであって、
前記第１の櫛形電極及び前記第３の櫛形電極は前記第１の端子に接続されており、
前記第２の櫛形電極及び前記第４の櫛形電極は前記第２の端子に接続されており、
前記弾性表面波素子の共振周波数が、前記第１の端子と前記第３の櫛形電極との間の抵抗値である第１の抵抗値、前記第１の端子と前記第４の櫛形電極との間の抵抗値である第２の抵抗値、前記第２の端子と前記第３の櫛形電極との間の抵抗値である第３の抵抗値、及び前記第１の端子と前記第４の櫛形電極との間の抵抗値である第４の抵抗値に基づき、決定された共振周波数である。
【００１１】
上記した本発明に係る第１の弾性表面波デバイスでは、
（１）前記第１の抵抗値及び前記第４の抵抗値を実質的に０とし、前記第２の抵抗値及び前記第３の抵抗値を実質的に無限大として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第１の周波数にする第１の状態と、（２）前記第１の抵抗値及び前記第４の抵抗値を実質的に無限大とし、前記第２の抵抗値及び前記第３の抵抗値を実質的に０として、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第２の周波数にする第２の状態と、（３）前記第１の抵抗値、前記第２の抵抗値、前記第３の抵抗値及び前記第４の抵抗値を実質的に無限大とし、前記弾性表面波素子の前記共振周波数を第３の周波数にする第３の状態と、を切り替える切替ユニットを更に備える。
【００１２】
上記した本発明に係る第１、第２、第３の弾性表面波デバイスによれば、上記したように前記抵抗値を調整することにより、又は、接続状態を切り替えることにより、所望の共振周波数を有する信号を得ることが可能となる。
【００１３】
本発明に係る第１の弾性表面波素子の使用方法は、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであり、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子の使用方法であって、
前記第１、第２の櫛形電極間に前記弾性表面波素子を励起するための入力信号を印加し、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間に前記入力信号を実質的に印加しないことにより、前記第１、第２の櫛形電極間及び前記第３、第４の櫛形電極間への前記入力信号の印加を前記第１の櫛形電極の電圧及び前記第２の櫛形電極の電圧間の第１の関係と前記第３の櫛形電極の電圧及び前記第４の櫛形電極の電圧間の第２の関係とが実質的に同相になるように行うことにより得られる第１の共振信号の第１の周波数と、前記第１の関係と前記第２の関係とが実質的に逆相になるように行うことにより得られる第２の共振信号の第２の周波数との間に位置する第３の周波数を有する第３の共振信号を生成する生成工程を含む。
【００１４】
本発明に係る第２の弾性表面波素子の使用方法は、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであり、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子の使用方法であって、
前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への、前記弾性表面波素子を励起するための入力信号の印加を、前記第１の櫛形電極の電圧と前記第２の櫛形電極の電圧との第１の関係が、前記第３の櫛形電極の電圧と前記第４の櫛形電極の電圧との第２の関係と実質的に同相となるように行うことにより、第１の周波数を有する第１の共振信号を生成する第１の生成工程と、
前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への前記入力信号の印加を、前記第１関係が、前記第２の関係と実質的に逆相となるように行うことにより、前記第１の周波数より高い第２の周波数を有する第２の共振信号を生成する第２の生成工程と、
前記第１、第２の櫛形電極間に前記入力信号を印加し、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間に前記入力信号を実質的に印加しないことにより、前記第１の周波数及び前記第２の周波数間に位置する第３の周波数を有する第３の共振信号を生成する第３の生成工程と、のうちのいずれかを選択的に実行する。
【００１５】
上記本発明に係る第１、第２の弾性表面波素子の使用方法によれば、前記第３の工程では、前記第１、第２の櫛形電極間に前記入力信号を印加し、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間に前記入力信号を実質的に印加しないことにより、前記第１の周波数及び前記第２の周波数間に位置する第３の周波数を有する第３の共振信号を生成することから、前記第１の周波数を有する第１の共振信号及び前記第２の周波数を有する第２の共振信号という２つの共振信号以外の共振信号を得ることができる。
【００１６】
本発明に係る第３の弾性表面波素子の使用方法は、
圧電基板と、
前記圧電基板上に配置された第１、第２の櫛形電極ユニットであり、当該第１の櫛形電極ユニットが第１、第２の櫛形電極からなり、当該第２の櫛形電極ユニットが、前記第１、第２の櫛形電極に対応する第３、第４の櫛形電極からなる前記第１、第２の櫛形電極ユニットと、
前記圧電基板上で前記第１、第２の櫛形電極ユニットを挟む位置に設けられた一対の反射器と、を有する弾性表面波素子の使用方法であって、
前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への、前記弾性表面波素子を励起するための入力信号の印加を、前記第１の櫛形電極の電圧と前記第２の櫛形電極の電圧との関係が、前記第３の櫛形電極の電圧と前記第４の櫛形電極の電圧との関係と実質的に同相又は逆相となり、かつ、前記第３、第４の櫛形電極間の第１のインピーダンスが、前記第１、第２の櫛形電極間の第２のインピーダンスより大きくなるように行うことにより、前記第１のインピーダンスにより規定される周波数を有する共振信号を生成する生成工程を含む。
【００１７】
上記本発明に係る第３の弾性表面波素子の使用方法によれば、前記第１、第２の櫛形電極間、及び、前記第３、第４の櫛形電極間への前記入力信号の印加を、前記両電圧関係が実質的に同相又は逆相となり、かつ、前記第１のインピーダンスが、前記第２のインピーダンスより大きくなるように行うことにより、前記第１のインピーダンスにより規定される周波数を有する共振信号を生成することから、当該第１のインピーダンスを変えることにより、前記第１、第２の周波数以外の周波数を有する共振信号を得ることができる。
【００１８】
上記した本発明に係る第１、第２の弾性表面波素子の使用方法では、
前記第１の櫛形電極ユニットと、前記第２の櫛形電極ユニットは、実質的に同一の構造である。
【００１９】
これにより、前記第３の周波数を、実質的に、前記第１の周波数及び前記第２の周波数間の中間に設定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明に係る弾性表面波素子の使用方法の実施例について図面を参照して説明する。
【００２１】
《実施例１》
図１は、実施例１の弾性表面波素子の構成を示す。実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１は、図１に示されるように、圧電基板ＳＢ１と、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２と、第１、第２の反射器ＲＦ１、ＲＦ２とを含む。
【００２２】
圧電基板ＳＢ１は、例えば、レイリー型表面波で動作可能な面内回転ＳＴカット水晶板である。
【００２３】
第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２は、いわゆる「横結合」されており、第１の櫛形電極ユニットＣＥＵ１は、一対の第１、第２の櫛形電極ＣＥ１、ＣＥ２からなり、また、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ２もまた、一対の第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４からなる。そして第１の櫛形電極ユニットＣＥＵ１と第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ２は、弾性表面波の伝搬方向に直角に互いに隣接するように配置されている。第１の櫛形電極ＣＥ１は、３つの電極指ＥＦ１、ＥＦ２、ＥＦ３と、それら電極指ＥＦ１〜ＥＦ３を電気的に接続するバスバーＢＢ１とを備えている。電極指ＥＦ１〜ＥＦ３は、圧電基板ＳＢ１の幅方向に延びる形状であるとともに、圧電基板ＳＢ１の長手方向すなわち弾性表面波の伝搬方向に向かって周期的に配置されている。物理的な構成（配置及び形状）並びに電気的な機能の観点から、第１の櫛形電極ＣＥ１と第３の櫛形電極ＣＥ３とが対応し、また、第２の櫛形電極ＣＥ２と第４の櫛形電極ＣＥ４とが対応する。より具体的には、前記圧電基板ＳＢ１の長手方向の位置について、第１の櫛形電極ＣＥ１の電極指のそれぞれと、第３の櫛形電極ＣＥ３の電極指のそれぞれとが対応している。そして、前記圧電基板ＳＢ１の長手方向の位置について、第２の櫛形電極ＣＥ２の電極指のそれぞれと、第４の櫛形電極ＣＥ４の電極指のそれぞれとが対応している。
【００２４】
第１、第２の反射器ＲＦ１、ＲＦ２は、圧電基板ＳＢ１上で、前記第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２を挟む位置に設けられている。
【００２５】
図２、図３、及び図４は、実施例１の弾性表面波素子の使用方法を示す。実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１の使用方法は、より正確には、弾性表面波素子ＳＤ１及び端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂからなる弾性表面波デバイスＳＤＥＶ１の使用方法は、（１）第１の周波数ｆ１を有する第１の共振信号を生成する第１の使用態様、（２）前記第１の周波数ｆ１より高い第２の周波数ｆ２を有する第２の共振信号を生成する第２の使用態様、（３）前記第１の周波数ｆ１と前記第２の周波数ｆ３との間に位置する第３の周波数ｆ３を有する第３の共振信号を生成する第３の使用態様からなる。
【００２６】
〈第１の使用態様〉
第１の使用態様では、図２に示されるように、入力信号源ＩＳから与えられる交流入力信号Ｓｉｎを印加するための端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂについて、端子Ｔ１ａと、第２、第４の櫛形電極ＣＥ２、ＣＥ４とが電気的に接続されており、かつ、端子Ｔ１ｂと、第１、第３の櫛形電極ＣＥ１、ＣＥ３とが電気的に接続されている。
【００２７】
弾性表面波素子ＳＤ１に端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂから交流入力信号Ｓｉｎを印加すると、第１の櫛形電極ＣＥ１に供給される交流信号と「同相」の交流信号が、第３の櫛形電極ＣＥ３に印加される。また、第２の櫛形電極ＣＥ２に供給される交流信号と「同相」の交流信号が、第４の櫛形電極ＣＥ４に印加される。より具体的には、第１の櫛形電極ＣＥ１の電極指に印加される交流信号の位相と、第３の櫛形電極ＣＥ３の電極指に印加される交流信号の位相とが、同じである。更に、第２の櫛形電極ＣＥ２の電極指に印加される交流信号の位相と、第４の櫛形電極ＣＥ４の電極指に印加される交流信号の位相とが、同じである。例えば、第１の櫛形電極ＣＥ１の電圧値が−Ｖ１であり第２の櫛形電極ＣＥ２の電圧値が＋Ｖ１であるときに、第３の櫛形電極ＣＥ３の電圧値が−Ｖ１であり第４の櫛形電極ＣＥ４の電圧値が＋Ｖ１である。これにより、圧電基板ＳＢ１は、変位強度分布が「モードＳ０」になるように共振する。この結果、端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂに接続された電流電圧変換器のような検出器（図示せず。）で、出力信号として、モードＳ０に対応する第１の周波数ｆ１を有する共振信号Ｓｏｕｔを取り出すことができる。
【００２８】
〈第２の使用態様〉
第２の使用態様では、図３に示されるように、第１の使用態様のときと異なり、端子Ｔ１ａと、第２、第３の櫛形電極ＣＥ２、ＣＥ３とが電気的に接続されており、かつ、端子Ｔ１ｂと、第１、第４の櫛形電極ＣＥ１、ＣＥ４とが電気的に接続されている。
【００２９】
第１の使用態様のときと同様に、弾性表面波素子ＳＤ１に端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂから、交流入力信号Ｓｉｎを印加すると、第１の使用態様のときと異なり、第１の櫛形電極ＣＥ１に供給される交流信号と「逆相」の交流信号が、第３の櫛形電極ＣＥ３に印加される。また、第２の櫛形電極ＣＥ２に供給される交流信号と「逆相」の交流信号が、第４の櫛形電極ＣＥ４に印加される。より具体的には、第１の櫛形電極ＣＥ１の電極指に印加される交流信号の位相と、第３の櫛形電極ＣＥ３の電極指に印加される交流信号の位相との間に、１８０°の差がある。更に、第２の櫛形電極ＣＥ２の電極指に印加される交流信号の位相と、第４の櫛形電極ＣＥ４の電極指に印加される交流信号の位相との間に、１８０°の差がある。例えば、第１の櫛形電極ＣＥ１の電圧値が−Ｖ１であり第２の櫛形電極ＣＥ２の電圧値が＋Ｖ１であるときに、第３の櫛形電極ＣＥ３の電圧値が＋Ｖ１であり第４の櫛形電極ＣＥ４の電圧値が−Ｖ１である。これにより、圧電基板ＳＢ１は、変位強度分布が「モードＡ０」になるように共振する。この結果、端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂに接続された前記検出器で、出力信号として、第１の周波数ｆ１より高い第２の周波数ｆ２を有し、モードＡ０に対応した共振信号Ｓｏｕｔを取り出すことができる。
【００３０】
〈第３の使用態様〉
第３の使用態様では、図４に示されるように、第１、第２の使用態様のときと異なり、端子Ｔ１ａと第２の櫛形電極ＣＥ２とが電気的に接続されており、端子Ｔ１ｂと第１の櫛形電極ＣＥ１とが電気的に接続されており、かつ、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４は、開放されている。より正確には、第１、第２の櫛形電極ＣＥ１、ＣＥ２間の入力インピーダンスに比して、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４間の入力インピーダンスが高くなっている。
【００３１】
第１、第２の使用態様のときと同様に、弾性表面波素子ＳＤ１に端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂから、交流入力信号Ｓｉｎを印加すると、第１、第２の使用態様のときと異なり、圧電基板ＳＢ１は、変位強度分布がモード（Ｓ０＋Ａ０）になるように共振する。モード（Ｓ０＋Ａ０）は、モードＳ０の変位強度分布とモードＡ０の変位強度分布とを足し合わせた変位強度分布を有する。この結果、端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂに接続された前記検出器で、出力信号として、前記第１の周波数ｆ１及び前記第２の周波数ｆ２間に位置する第３の周波数ｆ３を有する第３の共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を取り出すことができる。
【００３２】
実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１の使用方法では、図４を参照して説明したように、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４間の入力インピーダンスが、第１、第２の櫛形電極ＣＥ１、ＣＥ２間の入力インピーダンスに比して大きい条件下で、前記第１、第２の櫛形電極ＣＥ１、ＣＥ２に交流入力信号Ｓｉｎを与えることにより、圧電基板ＳＢ１の変位強度分布がモード（Ｓ０＋Ａ０）となる。これにより、前記モード（Ｓ０＋Ａ０）に対応する、従来の第１、第２の周波数ｆ１、ｆ２と異なる前記第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることが可能となる。なお、図４にて説明した弾性表面波素子ＳＤ１の使用方法では、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４間は、電気的に開放されているため、その間の入力インピーダンスが著しく大きな値となっている。
【００３３】
〈変形例１〉
上記した第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２が、物理的に、例えば、大きさ、形状、向き等が同一であり、かつ、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４間の入力インピーダンスが著しく大きな値である場合、前記第３の周波数ｆ３は、前記第１の周波数ｆ１及び前記第２の周波数ｆ２間の中間、即ち、（ｆ１＋ｆ２）／２になり、当該（ｆ１＋ｆ２）／２である第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることが可能となる。なお、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４間の入力インピーダンスを著しく大きな値とするには、図４にて説明したように、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４間を電気的に開放することによって実現できる。
【００３４】
〈変形例２〉
上記した実施例１の第１〜第４の櫛形電極ＣＥ１〜ＣＥ４についての配線は、図５に示される構成における抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ、Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの抵抗値を変えることと等価である。より詳しくは、（ａ）端子Ｔ１ａと第２の櫛形電極ＣＥ２とが接続されており、（ｂ）第２の櫛形電極ＣＥ２と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４との間に、それぞれ、抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ２ａが設けられており、また、（ｃ）端子Ｔ１ｂと第１の櫛形電極ＣＥ１とが接続されており、（ｄ）第１の櫛形電極ＣＥ１と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ３、ＣＥ４との間に、それぞれ、抵抗器Ｒ２ｂ、Ｒ１ｂが設けられている。
【００３５】
上記のような構成の下に、（Ａ１）抵抗器Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの抵抗値を「０」にし、他方で、抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの抵抗値を「∞」（実質的には、図６のグラフ上での抵抗値Ｒ∞（例えば、約５００Ω）以上。以下同様。）にすることにより、上記した第１の使用態様のときの配線と同一になり、図６に示されるように、前記第１の周波数ｆ１を有する前記共振信号Ｓｏｕｔを生成することができる。
【００３６】
また、（Ａ２）抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの抵抗値を「０」にし、他方で、抵抗器Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第２の使用態様のときの配線と同一になり、図６に示されるように、第２の周波数ｆ２を有する前記共振信号Ｓｏｕｔを生成することができる。
【００３７】
更に、（Ａ３）抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ１ｂ、Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの４つの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第３の使用態様のときの配線と同一となり、図６に示されるように、第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔを生成することができる。
【００３８】
〈変形例３〉
上記した変形例２と異なり、より具体的には、上記した（Ａ１）との比較で、（Ｂ１）抵抗器Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの抵抗値を「０」にするものの、抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの抵抗値を「∞」にせずに、「０」から「∞」までの範囲内で変えることにより（例えば、可変抵抗器を用い、又は、トリミング技術による。）、図６に示されるように、第１の周波数ｆ１から第３の周波数ｆ３までの範囲の周波数ｆ４を有する共振信号を生成することができる。
【００３９】
また、上記した（Ａ２）との比較で、（Ｂ２）抵抗器Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの抵抗値を「０」にするものの、抵抗器Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの抵抗値を「∞」にせずに、「０」から「∞」までの範囲内で変えることにより、図６に示されるように、第２の周波数ｆ２から第３の周波数ｆ３までの範囲内の周波数ｆ５を有する共振信号を生成することができる。
【００４０】
図７は、実施例１の弾性表面波素子を備える弾性表面波デバイスを含む発振装置の構成を示し、図８は、実施例１の弾性表面波デバイスの動作を示す。
【００４１】
上記した実施例１の第１〜第４の櫛形電極ＣＥ１〜ＣＥ４についての配線は、図７に示される構成における切替ユニットＳＷＵの第１のスイッチ部ＳＷ１及び第２のスイッチ部ＳＷ２の接続状態をスイッチ制御部ＳＷＣＮＴによって切り替えることが可能な弾性表面波デバイスＳＤＥＶ１により実現できる。
【００４２】
第１のスイッチ部ＳＷ１は、第３の櫛形電極ユニットＣＥ３に接続されたノードＮＤ１（３）、第４の櫛形電極ユニットＣＥ４に接続されたノードＮＤ１（４）、及び開放端ＯＴ１のいずれかを、端子Ｔ１ａに電気的に接続するスイッチである。
【００４３】
第２のスイッチ部ＳＷ２は、第４の櫛形電極ユニットＣＥ４に接続されたノードＮＤ２（４）、第３の櫛形電極ユニットＣＥ３に接続されたノードＮＤ２（３）、及び開放端ＯＴ２のいずれかを、端子Ｔ１ｂに電気的に接続するスイッチである。
【００４４】
そして、スイッチ制御部ＳＷＣＮＴは、第１のスイッチ部ＳＷ１の接続状態及び第２のスイッチ部ＳＷ２の接続状態を同期して切り替える制御部である。スイッチ制御部ＳＷＣＮＴは、次の３つの接続状態を有する。
【００４５】
第１の接続状態は、図８（Ａ）に示されるように、第１のスイッチ部ＳＷ１において第１の端子Ｔ１ａと第３の櫛形電極ユニットＣＥ３に接続されたノードＮＤ１（３）との間を電気的に接続し、かつ、第２のスイッチ部ＳＷ２において第２の端子Ｔ１ｂと第４の櫛形電極ユニットＣＥ４に接続されたノードＮＤ２（４）との間を電気的に接続した状態である（モードＳ０）。このとき、Ｒ２ａ＝Ｒ２ｂ＝０（Ｒ１ａ＝Ｒ１ｂ＝∞）と等価になり、図６に示したように弾性表面波素子の共振周波数はｆ１となる。
【００４６】
第２の接続状態は、図８（Ｂ）に示されるように、第１のスイッチ部ＳＷ１において第１の端子Ｔ１ａと第４の櫛形電極ユニットＣＥ４に接続されたノードＮＤ１（４）との間を電気的に接続し、かつ、第２のスイッチ部ＳＷ２において第２の端子Ｔ１ｂと第３の櫛形電極ユニットＣＥ３に接続されたノードＮ２（３）との間を電気的に接続した状態である（モードＡ０）。このとき、Ｒ１ａ＝Ｒ１ｂ＝０（Ｒ２ａ＝Ｒ２ｂ＝∞）と等価になり、図６に示したように弾性表面波素子の共振周波数はｆ２となる。
【００４７】
第３の接続状態は、図８（Ｃ）に示されるように、第１のスイッチ部ＳＷ１において第１の端子Ｔ１ａと開放端ＯＴ１とを接続し、第２のスイッチ部ＳＷ２において第２の端子Ｔ１ｂと開放端ＯＴ２とを接続する状態である（モード（Ｓ０＋Ａ０））。このとき、Ｒ１ａ＝Ｒ１ｂ＝Ｒ２ａ＝Ｒ２ｂ＝∞と等価になり、図６に示したように弾性表面波素子の共振周波数はｆ３となる。
【００４８】
スイッチ制御部ＳＷＣＮＴによって、第１のスイッチ部ＳＷ１と第２のスイッチ部ＳＷ２の接続状態を、第１〜第３の接続状態のいずれかに切り替えることにより、弾性表面波素子ＳＤ１の共振周波数をｆ１、ｆ２及びｆ３のいずれかに切り替えることを実現している。これにより、圧電体基板上に２つの櫛歯電極ユニットＣＥ１及びＣＥ２を構成した１つの弾性表面波素子を使用して、３つの周波数ｆ１、ｆ２及びｆ３のいずれかの共振周波数で共振する弾性表面波デバイスを実現できる。
【００４９】
なお図７の弾性表面波デバイスＳＤＥＶ１の端子Ｔ１ａ、Ｔ１ｂに、増幅器として反転増幅器ＩＮを接続することにより、１つの弾性表面波素子ＳＤ１を用いて３つの周波数の発振信号を出力することができる発振装置ＯＳＣ１を構成している。
【００５０】
《実施例２》
図９は、実施例２の弾性表面波素子の構成及び使用方法を示す。実施例２の弾性表面波素子ＳＤ１０は、実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１と同様に、圧電基板ＳＢ１０と、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１１、ＣＥＵ１２と、反射器ＲＦ１１、ＲＦ１２とからなる。
【００５１】
実施例１の第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２と同様に、実施例２でもまた、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１１、１２は、「横結合」（櫛形電極ユニットが弾性表面波の伝搬方向に対し垂直な方向に沿って配置されているタイプ）されており、更に、第１の櫛形電極ユニットＣＥＵ１１は、第１、第２の櫛形電極ＣＥ１１、ＣＥ１２を有し、同様に第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１２は、第３、第４の櫛形電極ＣＥ１３、ＣＥ１４を有する。
【００５２】
他方で、実施例１の反射器ＲＦ１、ＲＦ２と異なり、反射器ＲＦ１１は、サブ反射器ＲＦ１１ａ、ＲＦ１１ｂからなり、また、反射器ＲＦ１２は、サブ反射器ＲＦ１２ａ、ＲＦ１２ｂからなる。
【００５３】
反射器ＲＦ１１については、サブ反射器ＲＦ１１ｂが、第４の櫛形電極ＣＥ１４に接続されており、サブ反射器ＲＦ１１ｂへの電圧の印加により、第４の櫛形電極ＣＥ１４の電位を前記サブ反射器ＲＦ１１ｂに印加した電圧と同一にすることができる。
【００５４】
同様にして、反射器ＲＦ１２については、サブ反射器ＲＦ１２ａが、第２の櫛形電極ＣＥ１２に接続されており、これにより、サブ反射器ＲＦ１２ａへの電圧の印加により、第２の櫛形電極ＣＥ１２の電位を前記サブ反射器ＲＦ１２ａに印加した電圧と同一にすることができる。
【００５５】
実施例２の弾性表面波素子ＳＤ１０の使用方法は、実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１の使用方法と同様に、第１の使用態様、第２の使用態様、及び、第３の使用態様からなり、実施例２の各使用態様により得られる効果は、実施例１での対応する使用態様により得られる効果と同様である。以下、実施例２の使用態様を、実施例１の使用態様との差異を中心に説明する。
【００５６】
〈第１の使用態様〉
端子Ｔ１０ａと、第１、第３の櫛形電極ＣＥ１１、１３とが接続されており、端子Ｔ１０ｂと、サブ反射器ＲＦ１１ｂ、ＲＦ１２ａとが接続されている。
【００５７】
図９（Ａ）に示されるように、端子Ｔ１０ａ、Ｔ１０ｂから交流入力信号Ｓｉｎを印加することにより、例えば、「＋」電圧の入力信号Ｓｉｎが、第１、第３の櫛形電極ＣＥ１１、ＣＥ１３に直接印加され、また、「−」電圧の入力信号Ｓｉｎが、第２の櫛形電極ＣＥ１２にサブ反射器ＲＦ１２ａを介して印加され、第４の櫛形電極ＣＥ１４にサブ反射器ＲＦ１１ｂを介して印加される。この結果、実施例１での第１の使用態様と同様に、第１、第２の櫛形電極ＣＥ１１、ＣＥ１２間の電圧関係と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ１３、１４間の電圧関係とが「同相」になり、これにより、実施例１の第１の使用態様と同様に、第１の周波数ｆ１を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０）を得ることができる。
【００５８】
〈第２の使用態様〉
端子Ｔ１０ａと、第１の櫛形電極ＣＥ１１及びサブ反射器ＲＦ１１ｂとが接続されており、端子Ｔ１０ｂと、第３の櫛形電極ＣＥ１３及びサブ反射器ＲＦ１２ａとが接続されている。
【００５９】
図９（Ｂ）に示されるように、端子Ｔ１０ａ、Ｔ１０ｂから入力信号Ｓｉｎを印加することにより、例えば、「＋」電圧の入力信号Ｓｉｎが、第１の櫛形電極ＣＥ１１に直接印加され、第４の櫛形電極ＣＥ１４にサブ反射器ＲＦ１１ｂを介して印加され、また、「−」電圧の入力信号Ｓｉｎが、第３の櫛形電極ＣＥ１３に直接印加され、第２の櫛形電極ＣＥ１２にサブ反射器ＲＦ１２ａを介して印加される。この結果、実施例１での第２の使用態様と同様に、第１、第２の櫛形電極ＣＥ１１、ＣＥ１２間の電圧関係と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ１３、１４間の電圧関係とが「逆相」になり、これにより、実施例１の第２の使用態様と同様に、第２の周波数ｆ２を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ａ０）を得ることができる。
【００６０】
〈第３の使用態様〉
端子Ｔ１０ａと第１の櫛形電極ＣＥ１１とが接続されており、端子Ｔ１０ｂとサブ反射器ＲＦ１２ａとが接続されており、第３の櫛形電極ＣＥ１３及びサブ反射器ＲＦ１１ｂは、開放されている。
【００６１】
図９（Ｃ）に示されるように、端子Ｔ１０ａ、Ｔ１０ｂから入力信号Ｓｉｎを印加することにより、例えば、「＋」電圧の入力信号Ｓｉｎが、第１の櫛形電極ＣＥ１１に直接印加され、「−」電圧の入力信号Ｓｉｎが、第２の櫛形電極ＣＥ１２にサブ反射器ＲＦ１２ａを介して印加され、他方で、入力信号Ｓｉｎは、第３、第４の櫛形電極ＣＥ１３、ＣＥ１４には印加されない。この結果、実施例１の第３の使用態様と同様に、第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることができる。
【００６２】
上述したように、実施例２の弾性表面波素子ＳＤ１０の使用方法では、実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１の使用方法と同様に、第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることができる。
【００６３】
〈変形例１〉
実施例１の変形例１と同様に、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１１、ＣＥＵ１２が、物理的に同一であるときには、前記第３の周波数ｆ３は、前記第１の周波数ｆ１及び前記第２の周波数ｆ２間の中間、即ち、（ｆ１＋ｆ２）／２になり、当該（ｆ１＋ｆ２）／２である第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることが可能となる。
【００６４】
〈変形例２〉
図１０は、実施例２の変形例２の弾性表面波素子の配線を示す。上記した実施例２の第１〜第４の櫛形電極ＣＥ１１〜ＣＥ１４についての配線は、図１０に示される構成における抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１１ｂ、Ｒ１２ａ、Ｒ１２ｂの抵抗値を変えることと等価である。より詳しくは、（ａ）端子Ｔ１０ａと第１の櫛形電極ＣＥ１１とが接続されており、（ｂ）端子Ｔ１０ａと、サブ反射器ＲＦ１１ｂ、第３の櫛形電極ＣＥ１３との間には、それぞれ、抵抗器Ｒ１２ｂ、Ｒ１１ｂが設けられており、また、（ｃ）端子Ｔ１０ｂとサブ反射器ＲＦ１２ａとが接続されており、（ｄ）端子Ｔ１０ｂと、サブ反射器ＲＦ１１ｂ、第３の櫛形電極ＣＥ１３との間には、それぞれ、抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１２ａが設けられている。
【００６５】
上記のような構成の下に、（Ａ１）抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１１ｂの抵抗値を「０」にし、他方で、抵抗器Ｒ１２ａ、Ｒ１２ｂの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第１の使用態様のときの配線と同一になり、前記第１の周波数ｆ１を有する前記共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０）を生成することができる。
【００６６】
また、（Ａ２）抵抗器Ｒ１２ａ、Ｒ１２ｂの抵抗値を「０」にし、他方で、抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１１ｂの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第２の使用態様のときの配線と同一になり、前記第２の周波数ｆ２を有する前記共振信号Ｓｏｕｔ（Ａ０）を生成することができる。
【００６７】
更に、（Ａ３）抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１１ｂ、Ｒ１２ａ、Ｒ１２ｂの４つの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第３の使用態様のときと配線と同一となり、前記第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を生成することができる。
【００６８】
〈変形例３〉
上記した変形例２と異なり、実施例１の変形例３と同様にして、上記した（Ａ１）との比較で、（Ｂ１）抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１１ｂの抵抗値を「０」にするものの、抵抗器Ｒ１２ａ、Ｒ１２ｂの抵抗値を「∞」にせずに、「０」から「∞」までの範囲内で変えることにより、第１の周波数ｆ１から第３の周波数ｆ３までの範囲の第４の周波数ｆ４（図６に図示。）を有する共振信号を生成することができる。
【００６９】
また、上記した（Ａ２）との比較で、（Ｂ２）抵抗器Ｒ１２ａ、Ｒ２１ｂの抵抗値を「０」にするものの、抵抗器Ｒ１１ａ、Ｒ１１ｂの抵抗値を「∞」にせずに、「０」から「∞」までの範囲内で変えることにより、第２の周波数ｆ２から第３の周波数ｆ３までの範囲内の第５の周波数ｆ５（図６に図示。）を有する共振信号を生成することができる。
【００７０】
実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１を備えた実施例１の弾性表面波デバイスＳＤＥＶ１（図７、図８に図示。）及び発振装置ＯＳＣ１（図７に図示。）と同様に、実施例２の弾性表面波素子ＳＤ１０と、第１、第２のスイッチ部ＳＷ１、ＳＷ２と、端子Ｔ１０ａ、Ｔ１０ｂを設けることにより実施例２の弾性表面波デバイス（図示せず。）を構成することができ、加えて、当該実施例２の弾性表面波デバイス（より正確には、第１、第２のスイッチ部ＳＷ１、ＳＷ２に代えて切替ユニットＳＷＵを有する実施例２の弾性表面波デバイス）と、反転増幅器ＩＮとにより、実施例２の発振装置（図示せず。）を構成することができる。
【００７１】
《実施例３》
図１１は、実施例３の弾性表面波素子の構成を示す。実施例３の弾性表面波素子ＳＤ２０は、実施例１、実施例２の弾性表面波素子ＳＤ１、ＳＤ１０と同様に、圧電基板ＳＢ２０と、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ２１、ＣＥＵ２２と、反射器ＲＦ２１、ＲＦ２２とを含む。
【００７２】
また、実施例１、実施例２の第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２、ＣＥＵ１１、ＣＥＵ１２と同様に、実施例３でもまた、第１の櫛形電極ユニットＣＥＵ２１は、第１、第２の櫛形電極ＣＥ２１、ＣＥ２２を有し、同様に第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ２２は、第３、第４の櫛形電極ＣＥ２３、ＣＥ２４を有する。
【００７３】
他方で、実施例１、実施例２の第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ１、ＣＥＵ２、ＣＥＵ１１、ＣＥＵ１２の「横結合」と異なり、実施例３では、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ２１、ＣＥＵ２２は、いわゆる「縦結合」（櫛形電極ユニットが弾性表面波の伝搬方向に沿って配置されているタイプ）されている。
【００７４】
実施例３の弾性表面波素子ＳＤ２０の使用方法は、実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１の使用方法と同様に、第１の使用態様、第２の使用態様、及び、第３の使用態様からなり、実施例３の各使用態様により得られる効果は、実施例１での対応する使用態様により得られる効果と同様である。以下、実施例３の弾性表面波素子ＳＤ２０の使用態様を、実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１の使用態様との差異を中心に説明する。
【００７５】
〈第１の使用態様〉
図１２（Ａ）に示されるように、弾性表面波素子ＳＤ２０に交流入力信号Ｓｉｎを印加することにより、即ち、例えば、「＋」電圧の入力信号Ｓｉｎを第１、第３の櫛形電極ＣＥ２１、２３に印加し、かつ、「−」電圧の入力信号Ｓｉｎを第２、第４の櫛形電極ＣＥ２２、２４に印加することにより、実施例１の第１の使用態様と同様に、第１、第２の櫛形電極ＣＥ２１、ＣＥ２２間の電圧関係と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ２３、２４間の電圧関係とが「同相」になり、これにより、実施例１の第１の使用態様と同様に、第１の周波数ｆ１を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０）を得ることができる。
【００７６】
〈第２の使用態様〉
図１２（Ｂ）に示されるように、弾性表面波素子ＳＤ２０に入力信号Ｓｉｎを印加することにより、即ち、例えば、「＋」電圧の入力信号Ｓｉｎを第１、第４の櫛形電極ＣＥ２１、２４に印加し、かつ、「−」電圧の入力信号Ｓｉｎを第２、第３の櫛形電極ＣＥ２２、２３に印加することにより、実施例１の第２の使用態様と同様に、第１、第２の櫛形電極ＣＥ２１、ＣＥ２２間の電圧関係と、第３、第４の櫛形電極ＣＥ２３、２４間の電圧関係とが「逆相」になり、これにより、実施例１の第２の使用態様と同様に、第２の周波数ｆ２を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ａ０）を得ることができる。
【００７７】
〈第３の使用態様〉
図１２（Ｃ）に示されるように、弾性表面波素子ＳＤ２０に入力信号Ｓｉｎを印加することにより、即ち、例えば、「＋」電圧の入力信号Ｓｉｎを第１の櫛形電極ＣＥ２１に印加し、「−」電圧の入力信号Ｓｉｎを第２の櫛形電極ＣＥ２２に印加し、他方で、入力信号Ｓｉｎを第３、第４の櫛形電極ＣＥ２３、ＣＥ２４に印加しないことにより、実施例１の第３の使用態様と同様に、第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることができる。
【００７８】
〈変形例１〉
実施例１の変形例１と同様に、第１、第２の櫛形電極ユニットＣＥＵ２１、ＣＥＵ２２が、物理的に同一であるときには、前記第３の周波数ｆ３は、前記第１の周波数ｆ１及び前記第２の周波数ｆ２間の中間、即ち、（ｆ１＋ｆ２）／２になり、当該（ｆ１＋ｆ２）／２である第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を得ることが可能となる。
【００７９】
〈変形例２〉
図１３は、実施例３の変形例２の弾性表面波素子の配線を示す。上記した実施例３の第１〜第４の櫛形電極ＣＥ２１〜ＣＥ２４についての配線は、図１３に示される構成における抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２１ｂ、Ｒ２２ａ、Ｒ２２ｂの抵抗値を変えることと等価である。より詳しくは、（ａ）入力信号源ＩＳの一端（一）と第１の櫛形電極ＣＥ２１とが接続されており、（ｂ）入力信号源ＩＳの一端（一）と第３の櫛形電極ＣＥ２３、第４の櫛形電極ＣＥ２４との間には、それぞれ、抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２２ｂが設けられており、また、（ｃ）入力信号源ＩＳの他端（他）と第２の櫛形電極ＣＥ２２とが接続されており、（ｄ）入力信号源ＩＳの他端（他）と第３の櫛形電極ＣＥ２３、第４の櫛形電極ＣＥ２４との間には、それぞれ、抵抗器Ｒ２２ａ、Ｒ２１ｂが設けられている。
【００８０】
上記のような構成を前提として、（Ａ１）抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２１ｂの抵抗値を「０」にし、他方で、抵抗器Ｒ２２ａ、Ｒ２２ｂの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第１の使用態様のときの配線と同一になり、前記第１の周波数ｆ１を有する前記共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０）を生成することができる。
【００８１】
また、（Ａ２）抵抗器Ｒ２２ａ、Ｒ２２ｂの抵抗値を「０」にし、他方で、抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２１ｂの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第２の使用態様のときの配線と同一になり、前記第２の周波数ｆ２を有する前記共振信号Ｓｏｕｔ（Ａ０）を生成することができる。
【００８２】
更に、（Ａ３）抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２１ｂ、Ｒ２２ａ、Ｒ２２ｂの４つの抵抗値を「∞」にすることにより、上記した第３の使用態様のときと配線と同一となり、前記第３の周波数ｆ３を有する共振信号Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）を生成することができる。
【００８３】
〈変形例３〉
上記した変形例２と異なり、実施例１の変形例３と同様にして、上記した（Ａ１）との比較で、（Ｂ１）抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２１ｂの抵抗値を「０」にするものの、抵抗器Ｒ２２ａ、Ｒ２２ｂの抵抗値を「∞」にせずに、「０」から「∞」までの範囲内で変えることにより、第１の周波数ｆ１から第３の周波数ｆ３までの範囲の周波数ｆ４（図６に図示。）を有する共振信号を生成することができ、また、上記した（Ａ２）との比較で、（Ｂ２）抵抗器Ｒ２２ａ、Ｒ２１ｂの抵抗値を「０」にするものの、抵抗器Ｒ２１ａ、Ｒ２１ｂの抵抗値を「∞」にせずに、「０」から「∞」までの範囲内で変えることにより、第２の周波数ｆ２から第３の周波数ｆ３までの範囲内の周波数ｆ５（図６に図示。）を有する共振信号を生成することができる。
【００８４】
実施例１の弾性表面波素子ＳＤ１を備えた実施例１の弾性表面波デバイスＳＤＥＶ１及び発振装置ＯＳＣ１と同様に、実施例３の弾性表面波素子ＳＤ２０と、第１、第２のスイッチ部ＳＷ１、ＳＷ２と、端子Ｔ２０ａ、Ｔ２０ｂを設けることにより実施例３の弾性表面波デバイス（図示せず。）を構成することができ、加えて、当該実施例２の弾性表面波デバイス（より正確には、第１、第２のスイッチ部ＳＷ１、ＳＷ２に代えて切替ユニットＳＷＵを有する実施例２の弾性表面波デバイス）と、反転増幅器ＩＮとにより、実施例３の発振装置（図示せず。）を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】実施例１の弾性表面波素子の構成を示す図。
【図２】実施例１の弾性表面波素子の使用方法を示す図（その１）。
【図３】実施例１の弾性表面波素子の使用方法を示す図（その２）。
【図４】実施例１の弾性表面波素子の使用方法を示す図（その３）。
【図５】実施例１の変形例２の弾性表面波素子の配線を示す図。
【図６】実施例１の変形例２の使用方法での抵抗値と周波数との関係を示す図。
【図７】実施例１の発振装置の構成を示す図。
【図８】実施例１の弾性表面波デバイスの動作を示す図。
【図９】実施例２の弾性表面波素子の構成及び使用方法を示す図。
【図１０】実施例２の変形例２の弾性表面波素子の配線を示す図。
【図１１】実施例３の弾性表面波素子の構成を示す図。
【図１２】実施例３の弾性表面波素子の使用方法を示す図。
【図１３】実施例３の変形例２の弾性表面波素子の配線を示す図。
【図１４】従来の弾性表面波素子の構成及び使用方法を示す図。
【符号の説明】
【００８６】
ＳＤ１…弾性表面波素子、ＣＥ１、ＣＥ２…第１、第２の櫛形電極、Ｓｉｎ…交流入力信号、Ｓｏｕｔ（Ｓ０＋Ａ０）…共振信号。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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