(57)【要約】【課題】簡単な構造にもかかわらず洗浄能力が高いスクラブ洗浄装置及びそれに用いられるロールスポンジを提供する。【解決手段】スクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリは、ロールスポンジを保持する支持体部及びこの支持体部の両側に回転軸が一体に形成される支持体、ロールスポンジの中空孔内にこの支持体の前記支持体部が嵌め込まれることで支持体に保持されるロールスポンジを備えている。このロールスポンジアセンブリの支持体の支持体部は、その外径が長手方向に漸次拡大するように連続的に変化するように形成され、他方支持体に保持されるロールスポンジは、その外径及びその中空孔の内径が前記支持体部の外径の変化に合わせて連続的に変化するように形成される。また、スクラブ洗浄装置は、洗浄対象物を回転している前記一対のロールスポンジアセンブリの間で長手方向に移動させることにより、洗浄対象物を洗浄する。【選択図】図２
2008282865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有するロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に漸次拡大するように連続的に変化し、
前記ロールスポンジの外径及び前記中空孔の内径は、前記支持体部の外径の変化に合わせて連続的に変化することを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項２】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有するロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に漸次拡大するように連続的に変化し、
前記ロールスポンジの外径及び前記中空孔の内径は、長手方向に一定であることを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項３】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有するロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に一定であり、
前記ロールスポンジの外径は、長手方向に漸次拡大するように連続的に変化し、
前記ロールスポンジの中空孔の内径は、長手方向に一定であることを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項４】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有する複数のロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に段階的に拡大するように変化し、
前記複数のロールスポンジは、それぞれの外径及び中空孔の内径が前記支持体部の段階的に変化する複数の外径に対応し、且つ、それぞれの外径及び中空孔の内径が長手方向に一定であるように形成されていることを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項５】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有するロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に段階的に拡大するように変化し、
前記ロールスポンジの外径及び中空孔の内径は、前記支持体部の段階的に変化する複数の外径に対応して段階的に変化することを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項６】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有するロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に段階的に拡大するように変化し、
前記ロールスポンジの外径及び中空孔の内径は、長手方向に一定であることを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項７】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有する複数のロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に一定であり、
前記複数のロールスポンジは、それぞれの外径が段階的に変化し、且つ、それぞれの外径及び中空孔の内径が長手方向に一定であるように形成されていることを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項８】
支持体部と該支持体部の両端に回転軸を有する支持体と、
該支持体の前記支持体部が嵌め込まれることにより支持体に保持される中空孔を有するロールスポンジと
を備えるスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおいて、
前記支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に一定であり、
前記ロールスポンジの外径は、長手方向に段階的に変化し、前記ロールスポンジの中空孔の内径は、長手方向に一定であることを特徴とするロールスポンジアセンブリ。
【請求項９】
洗浄対象物を垂直に支持し、該洗浄対象物を回転させる複数のローラと、
対をなして水平に且つ平行に配置される、請求項１ないし８のいずれかに記載のロールスポンジアセンブリと、
を少なくとも備えるスクラブ洗浄装置において、
前記洗浄対象物を、回転している前記一対のロールスポンジアセンブリの間で長手方向に移動させることにより洗浄することを特徴とするスクラブ洗浄装置。
【請求項１０】
複数のローラにより洗浄対象物を垂直に支持しつつ回転させるステップ、
対をなし水平且つ平行に配置されている、請求項１ないし８のいずれかに記載のロールスポンジアセンブリを回転させるステップ、
前記複数のローラにより回転している洗浄対象物を、前記回転している一対のロールスポンジアセンブリの間をロールスポンジアセンブリの長手方向に移動させるステップ、
を少なくとも備えることを特徴とする洗浄対象物のスクラブ洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク用の金属やガラスなどの基板または半導体ウエハなどのような円形状あるいは矩形状の板体のスクラブ洗浄装置及びそれに用いられるロールスポンジアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスクドライブは、使用用途の拡大や小型化の流れの中にあり、ドライブに搭載される磁気ディスクにおいても、益々の高記録密度化が求められている。磁気ディスクは、アルミニウムなどの金属やガラスからなる基板上に磁性層等の薄膜を形成して構成されている。当該磁気ディスクにおいては、上記の要求に応じて、磁気ヘッドと磁気ディスクとの間の距離（磁気スペーシング）をより小さくすることが可能な基板の開発が急速に進められている。例えば、特許文献１に開示されるように、基板の表面を微細な研磨砥粒で精密研磨した後、表面粗さＲａが０．３ｎｍ以下の超平滑基板が得られている。
【０００３】
しかし、いくら高精度に基板を研磨しても、基板上に異物が付着していては高い平滑性を得ることはできず、精密研磨後の洗浄方法が極めて重要になっている。高平滑性の要求に伴って、精密研磨で用いられる研磨砥粒のサイズは小さくなっており、近年では、大きいものでも１μｍ程度、小さなものでは数１０ｎｍ程度と極めて小さい。したがって、求められる洗浄レベル及び除去対象となる異物のサイズの両面から、洗浄品質を常に高いレベルに保つことが非常に困難な状況にある。
【０００４】
精密研磨した後の基板の洗浄方法として、一般的には、超音波洗浄やスクラブ洗浄が知られている。特許文献２に開示されるように、超音波洗浄のみでは、比較的大きい研磨剤付着物を取り除くことができても、上述したような微小砥粒を確実に落とし切ることは困難であり、複数の洗浄槽を用意する必要があり、それにより洗浄時間も長くなるなど生産上の欠点があった。一方、スクラブ洗浄においては、図１（ａ）、（ｂ）に示されるように、ロールスポンジ３が物理的に基板１の表面を擦ることで異物を除去できるので、基板１上に大量に異物が付着している場合にそれらをある程度一気に除去することが可能であり、上記複数の洗浄槽を必要とする超音波洗浄に比べて効果的である。現状、特許文献２に開示されるように、上記２つの洗浄方法を併用することで、より効率の高い基板の洗浄が行われている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２４１１４４号公報
【特許文献２】特開２００２−７４６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記したスクラブ洗浄の問題点としては、以下の３つが挙げられる。
（１）スポンジの基板への押し付け力を最適化することの困難性
（２）スポンジへの汚れの蓄積による基板への再汚染
（３）上記（１）、（２）の問題点を考慮したスクラブ洗浄の多段化による装置の大型化
問題点（１）については、洗浄対象基板にいろいろな材質あるいは大きさの異物が付着していることに起因する。特許文献２に記載されているように、精密研磨工程では目的とする平滑品質に応じて砥粒の材質やサイズを変えており、基板材料と砥粒との付着力、言い換えれば、基板からの砥粒の除去の難易は、それぞれの場合で異なる。また、研磨中に発生する基板の削り屑や研磨パッド屑、装置駆動部の発塵なども加わり、基板に付着する異物の種類、サイズ、形状は多種多様である。
【０００７】
スクラブ洗浄時、洗浄力を挙げるために、ロールスポンジを基板に押し当てる力を強くすることが考えられる。しかしながら、図１（ｃ）に示されるように、ロールスポンジ３の基板１に対する押し付け力を強くすることで、付着した異物の形状や材質によっては、異物がスポンジに擦り取られる際に逆に基板１を傷つけてしまう恐れがある。すなわち、図５（ａ）に示されるように、基板１の平滑性を損なう欠陥を発生させる可能性が極めて高くなる。
【０００８】
問題点（２）については、スクラブ洗浄では、装置に取り付けられたロールスポンジが大量の基板を処理するため、ロールスポンジには徐々に汚れが蓄積していく。汚れの蓄積が多くなるにしたがい、洗っているはずの基板へ再び汚れを戻してしまい、所定の洗浄品質が得られなくなる。また、上記問題点（１）で述べたように、ロールスポンジには大きさ、形状、材質の様々な異物が捕捉されるため、捕捉される異物によっては、それ以降処理する基板の表面に傷などの欠陥を発生させ続け、歩留まりを悪化させる。
【０００９】
問題点（３）については、上記問題点（１）、（２）を考慮して、スクラブ洗浄の多段化も試みられているが、駆動部を備えた装置が連なることで装置がかなりの大きさを占め、メンテナンス性をも悪化させるというのが現状である。これらのことから、よりスマートで効率的な洗浄の工夫が強く求められている。
【００１０】
本発明の目的は、上記問題点（１）〜（３）の問題点を解決することが可能なスクラブ洗浄装置及びそれに用いられるロールスポンジを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係るスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリは、ロールスポンジを保持する支持体部及びこの支持体部の両側に回転軸が一体に形成される支持体、ロールスポンジの中空孔内にこの支持体の前記支持体部が嵌め込まれることで支持体に保持されるロールスポンジを備えている。このロールスポンジアセンブリの支持体の支持体部は、その外径が長手方向に漸次拡大するように連続的に変化するように形成され、他方支持体に保持されるロールスポンジは、その外径及びその中空孔の内径が前記支持体部の外径の変化に合わせて連続的に変化するように形成されることを特徴としている。
【００１２】
あるいは、本発明に係るスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリは、例えば、支持体に保持されるロールスポンジの外径及び中空孔の内径が一定であってもよい。
【００１３】
さらに、本発明に係るスクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリは、複数のロールスポンジを保持する支持体部及びこの支持体部の両側に回転軸が一体に形成される支持体、複数のロールスポンジの中空孔内にこの支持体の前記支持体部が嵌め込まれることで支持体に保持される複数のロールスポンジを備えている。このロールスポンジアセンブリの支持体の前記支持体部の外径は、長手方向に段階的に拡大するように変化し、複数のロールスポンジは、それぞれの外径及び中空孔の内径が前記支持体部の段階的に変化する複数の外径に対応し、且つ、それぞれの外径及び中空孔の内径が長手方向に一定であるように形成されていてもよい。
【００１４】
また、本発明に係るスクラブ洗浄装置は、洗浄対象物を垂直に支持し、該洗浄対象物を回転させる複数のローラと、対をなして水平に且つ平行に配置されるロールスポンジアセンブリとを少なくとも備える。そして、このスクラブ洗浄装置は、洗浄対象物を回転している前記一対のロールスポンジアセンブリの間で長手方向に移動させることで、洗浄対象物を洗浄することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係るスクラブ洗浄方法は、複数のローラにより洗浄対象物を垂直に支持しつつ回転させるステップ、対をなし水平且つ平行に配置されているロールスポンジアセンブリを回転させるステップ、複数のローラにより回転している洗浄対象物を、回転している一対のロールスポンジアセンブリの間をロールスポンジアセンブリの長手方向に移動させるステップを少なくとも備えている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明においては、スクラブ洗浄装置用ロールスポンジアセンブリにおけるロールスポンジの外径を変化させることで、ロールスポンジの洗浄対象物である基板への押し付け力を基板の移動に伴い連続的に変化させることができる。言い換えれば、スクラブ洗浄の進行に応じて、洗浄対象物である基板がロールスポンジの長手方向に送られることで、ロールスポンジの間で洗浄の段階に応じた押し付け力が提供され得る。また、本発明においては、基板が長手方向に送られることで、洗浄の段階に応じてロールスポンジの使用部位を変えて行くことができる。
【００１７】
さらに、本発明は、スクラブ洗浄装置用ロールスポンジの外径を変化させるだけであり、装置を複雑にすることがなく、基板の洗浄中、その段階に応じた効果的で清浄度の高いスクラブ洗浄を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付の図面を用いて本発明の好ましい実施態様について説明する。
【００１９】
（実施例１）
図２（ａ）、（ｂ）に本発明の実施例１に係るスクラブ洗浄装置の概略図が、図３（ａ）〜（ｃ）にスクラブ洗浄装置により基板の洗浄工程が、図５（ａ）、（ｂ）に実施例１における洗浄の効果を示す従来と比較した図が、また、図６（ａ）にスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００２０】
本実施例におけるスクラブ洗浄装置は、概略、洗浄対象物１を支持回転させるための複数のローラ２０２及び洗浄対象物１を洗浄するための一対のロールスポンジアセンブリ２０１を備えている。
【００２１】
本実施例におけるスクラブ洗浄装置においては、洗浄対象物１は、円環状の磁気ディスク基板である。洗浄対象物である基板１は、図２（ｂ）に明瞭に示されているように、複数（本実施例では３つ）のローラ２０２によりその周縁に沿って複数の支持点（本実施例では３箇所）で垂直に支持されている。本実施例のようにローラ２０２の数が３つである場合、図２（ｂ）に示されるように、２つは基板１の下側に水平に配置され、残りの１つは水平に配置された２つのローラ２０２の支持点を結ぶ線分の垂直２等分線上であって基板１の周縁に交わる位置に支持点が位置するように配置されていることが好ましい。さらに、本実施例の場合、３つのローラ２０２の支持点が正三角形になるように基板１の周縁に沿って配置されることが最も好ましい。
【００２２】
複数のローラ２０２のうち、少なくとも１つは回転駆動し、その駆動力が支持点を介して基板１を回転させる。その他のローラ２０２は、連れ回って回転し、基板１を垂直に支持しつつ基板１の回転を助ける。複数のローラ２０２は、図示しない軸やアーム等によって支持されており、ローラ同士の相対的位置関係が変わらない状態で、ロールスポンジ２０３の長手方向（矢印２０５方向）に、基板１を把持し、回転させながら移動することができるように構成されている。なお、基板１の支持あるいは搬送方法は、基板の構造や装置構成により様々に変更が可能であり、本実施例に限られるものではない。
【００２３】
本実施例において、ロールスポンジアセンブリ２０１は、図６（ａ）に示されるように、基板１を洗浄するためのロールスポンジ２０３及び該ロールスポンジ２０３を支持し、回転させる回転軸としての支持体２０４を含んでいる。
【００２４】
本実施例のロールスポンジ２０３の外側輪郭は、図２（ｂ）に示されるように、基板１の移動方向（矢印２０５方向）に従い漸次外径がＤ2からＤ1（Ｄ1＞Ｄ2）に拡大する円錐台形状をなしている。該ロールスポンジ２０３の長手方向（矢印２０５方向）中心部には、外径と同様に、基板１の移動方向に従い漸次内径がＤ3からＤ4（Ｄ4＞Ｄ3）に拡大する円錐台形状の中空孔２０３ｃが形成されている。中空孔２０３ｃは、外側輪郭と同心に形成されている。また、本実施例の場合、ロールスポンジ２０３は、（Ｄ１−Ｄ４）＝（Ｄ２−Ｄ３）となるように、すなわち、ロールスポンジ２０３の肉厚が長手方向（矢印２０５方向）に一定になるように形成されている。しかしながら、ロールスポンジ２０３の肉厚は、必ずしもこれに限定されなくてもよい。ロールスポンジ２０３は、さらに、特開２０００−２４６１８７号公報や特開２０００−３１２８６３号公報に開示されるように、ポリビニルアセタール（ＰＶＡ）樹脂で作られることが好ましい。該ＰＶＡ樹脂は、湿潤状態で軟化し、吸水性及び保水性に優れ、柔軟性と反発弾性を示し、耐摩耗性にも優れている。
【００２５】
支持体２０４は、支持体部２０４ｂと該支持体部２０４ｂの両端に配置される回転軸２０４ａを含んでいる。
【００２６】
支持体部２０４ｂは、ロールスポンジ２０３の中空孔２０３ｃの形状とほぼ同じ形状を有する。すなわち、図６（ａ）において、右から左へ（図２（ａ）においては、矢印２０５方向に）漸次外径がＤ3からＤ4に拡大する円錐台形状をなしている。支持体部２０４ｂの長手方向（図２（ａ）において矢印２０５方向）の長さは、これに限られるものではないが、ロールスポンジ２０３の長さと同じであることが好ましい。支持体部２０４ｂは、ロールスポンジ２０３の中空孔２０３ｃ内に嵌め込まれ、ロールスポンジ２０３を固定、保持する。
【００２７】
回転軸２０４ａは、本実施例では、図６（ａ）に示されるように、支持体部２０４ｂの最小外径Ｄ3と同じ外径を有し、支持体部２０４ｂと同軸で、該支持体部２０４ｂの両端に一体に形成されている。支持体部２０４ｂの両側に配置される回転軸２０４ａの少なくとも一方は、図示されていない回転駆動部に連結され、それにより、ロールスポンジアセンブリ２０１を回転駆動し得る。なお、回転軸２０４ａの外径は、本実施例のように支持体部２０４ｂの最小外径Ｄ3と同じである必要はなく、例えば、最小外径Ｄ3より小さくてもよい。
【００２８】
本実施例におけるスクラブ洗浄装置は、図２（ａ）に示されるように、ロールスポンジアセンブリ２０１が基板１の両面を挟むように対をなして配置されている。また、対をなすロールスポンジアセンブリ２０１、２０１は、本実施例では、それらの支持体２０４、２０４の中心軸がロールスポンジ２０３の最大外径（Ｄ1）より小さい所定の間隔をあけて互いに平行になるように配置されている。なお、支持体２０４、２０４の間隔は、これに限られるものではなく、基板の厚さや要求される洗浄能力などの様々な条件に応じて適宜設定される。また、ロールスポンジアセンブリ２０１の回転軸と基板１を垂直に支持するローラ２０２の回転軸は上から見て直角をなすように配置されている。
【００２９】
洗浄対象物である基板１は、上述したように、ローラ２０２により自転しながら、対をなす回転しているロールスポンジアセンブリ２０１、２０１の間を図２（ａ）において右から左へ移動する。基板１の移動速度は、基板１の形状、大きさなどに応じて適宜制御される。
【００３０】
以上の構成を有するスクラブ洗浄装置による基板１の洗浄動作およびその効果について図３（ａ）から（ｃ）及び図５を用いて説明する。
【００３１】
図３（ａ）に示されるように、洗浄前の基板１の表面には、様々な形状、大きさ、材質の異物が付着している。このような状態にある基板１を、対をなすロールスポンジアセンブリ２０１、２０１間内に進入させ、スクラブ洗浄を開始させる。
【００３２】
図３（ｂ）に示されるように、洗浄初期段階では、相対するロールスポンジ２０３、２０３の外径が小さいため、ロールスポンジ２０３、２０３の基板１の両面に対する接触圧力（押し込み力）が小さい。それにより、基板１の表面１に対して付着が軽微な異物や弱い押し込み力でもロールスポンジ２０３に捕捉され易い大きな異物が基板１から除去される。また、捕捉された異物も押し込み力が小さいためロールスポンジ２０３から離脱し易い状態にあり、回転するロールスポンジ２０３から遠心力などの作用により簡単に離脱し、ロールスポンジ２０３に付着したままで残っていることがほとんどない。
【００３３】
その後、図３（ｃ）に示されるように、基板１は、矢印２０５で示されるロールスポンジ２０３の外径が大きい側に送られる。ロールスポンジ２０３の外径が増加するにつれ、基板１の両面に対するロールスポンジ２０３、２０３の押し付け力が増し、それにより、基板１のより強力なスクラブ洗浄が行われる。ロールスポンジ２０３の押し付け力に応じた大きさ、付着力の異物が順次除去されていくため、押し付け力が増しても、図５（ｂ）に示されるように、大きな異物による傷などの欠陥が基板１表面に生じることがない。加えて、前段階で取り除けなかった小さな異物に対して効果的な洗浄力を発揮できる。また、ロールスポンジ２０３の外径が増加することで、ロールスポンジ２０３の外周表面における遠心力が大きくなり、付着した小さな異物のロールスポンジ２０３表面からの離脱を助ける。
【００３４】
また、基板１の汚れの段階に応じてロールスポンジ２０３の使用部位が長手方向に変わることから、ロールスポンジ２０３への汚れの蓄積が従来に比べて分散され、ロールスポンジ２０３のメンテナンス寿命を長くできる。また、従来のように、同一部位で使い続けた場合に比べて、発生する基板１への再汚染や傷などの欠陥が発生することを回避することが可能となる。
【００３５】
さらに、ロールスポンジアセンブリ２０１は、一対で済むため、装置の回転駆動部もそれに対応したもの良く、装置のメンテナンス性もよい。また、従来の複数ユニットによる多段化の必要性がなく、このような多段化に比べて少ないスペースで同じ効果を実現することができる。
【００３６】
（実施例２）
図６（ｂ）に、本発明の実施例２に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００３７】
本実施例は、基本的に上記実施例１に準拠するが、消耗品であるロールスポンジ２０３の生産性を考慮し、従来の生産方法である同一径ロールスポンジを単に切断して使えるように工夫されている。すなわち、本実施例は、上記実施例１と比べてロールスポンジの構造が異なるのみで、その他の構成は実施例１と全く同じである。
【００３８】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ４０１は、図６（ｂ）に示されるように、基板を洗浄するためのロールスポンジ４０３及び該ロールスポンジ４０３を支持する支持体４０４を含んでいる。
【００３９】
本実施例におけるロールスポンジ４０３の外側輪郭の外径は、長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の最小外径Ｄ2に等しい。また、その中空孔４０３ｃの内径も長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の中空孔２０３ｃの最小内径Ｄ3と同じである。したがって、ロールスポンジ４０３の肉厚も長手方向に一定である。
【００４０】
このように、ロールスポンジ４０３は、その外径及び内径が長手方向に一定の中空円筒体として形成されているので、大量生産が可能であり、ロールスポンジ４０３がスクラブ洗浄装置において消耗品であることを考慮すれば、該洗浄装置の製造コストを低く抑えることを可能とする。
【００４１】
本実施例における支持体４０４は、上記実施例１と全く同じ形状を有し、支持体部４０４ｂ及び該支持体部４０４ｂの両端に配置される回転軸４０４ａを含んでいる。
【００４２】
支持体部４０４ｂは、図６（ｂ）において、右から左へ漸次外径がＤ3からＤ4に拡大する中実の円錐台形状をなしている。支持体部４０４ｂの長手方向の長さは、これに限られるものではないが、ロールスポンジ４０３の長さとほぼ同じであることが好ましい。支持体部４０４ｂは、ロールスポンジ４０３の中空孔４０３ｃ内に嵌め込まれ、ロールスポンジ４０３を固定、保持する。
【００４３】
本実施例の場合、ロールスポンジ４０３の中空孔４０３ｃ内に支持体部４０４ｂが嵌め込まれると、ロールスポンジ４０３が柔軟性を有していることにより、該ロールスポンジ４０３の外側輪郭も、支持本体４０４ｂの外側輪郭に倣い、漸次外径が拡大する円錐台形状をなすことになる。結果として、本実施例におけるロールスポンジアセンブリ４０１は、上記実施例１のロールスポンジアセンブリ２０１（図２（ｂ）参照）とほぼ同じ形状を呈することになる。
【００４４】
したがって、本実施例のロールスポンジアセンブリ４０１をスクラブ洗浄装置に適用することで、基板洗浄において上記実施例１と全く同様の作用効果を得ることができる。
【００４５】
（実施例３）
図６（ｃ）に、本発明の実施例３に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００４６】
本実施例も、上記実施例１に準拠するが、ロールスポンジの形状及び該ロールスポンジを固定、支持する支持体を改良している。したがって、本実施例は、上記実施例１と比べてロールスポンジアセンブリの構造が異なるのみで、その他の構成は実施例１と全く同じである。
【００４７】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ５０１は、図６（ｃ）に示されるように、基板を洗浄するためのロールスポンジ５０３及び該ロールスポンジ５０３を支持する支持体５０４を含んでいる。
本実施例におけるロールスポンジ５０３の外側輪郭は、実施例１のロールスポンジ２０３と同様に、右から左へ漸次外径がＤ2からＤ1に拡大する円錐台形状をなしている。該ロールスポンジ５０３の中心部には、中空孔５０３ｃが形成されている。該中空孔５０３ｃの内径は、実施例１のロールスポンジ２０３とは異なり、長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の中空孔２０３ｃの最小内径Ｄ3と同じである。したがって、ロールスポンジ５０３の肉厚は、右から左へ漸次厚くなっている。
【００４８】
このように、本実施例のロールスポンジ４０３は、その内径が長手方向に一定の中空円筒体として形成されているので、実施例１のロールスポンジ２０３と比べて製造が容易であり、該洗浄装置の製造コストを低く抑えることができる。
【００４９】
本実施例における支持体５０４は、ロールスポンジ５０３を支持するとともに、ロールスポンジアセンブリ５０１の回転軸としても機能する。図６（ｃ）に示されるように、支持体５０４は、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体（円柱）として形成されており、ロールスポンジ５０３の内径とほぼ同じ外径Ｄ３を有する。支持体５０４の長さは、ロールスポンジ５０３の長さより回転軸として使用される分の長さだけ大きく設定される。本実施例における支持体５０４は、図示されるとおり単純な円柱構造であり、製造が容易である。なお、本実施例では、支持体５０４のロールスポンジ支持体部と回転軸を同一径としたが、これらの径を必要に応じて異ならせてもよい。
【００５０】
支持体５０４は、ロールスポンジ５０３の中空孔５０３ｃ内に嵌め込まれ、ロールスポンジ５０３を固定、保持する。また、ロールスポンジ５０３を貫通し、両端より突出する部分は回転軸として使用される。結果として、本実施例におけるロールスポンジアセンブリ５０１は、上記実施例１のロールスポンジアセンブリ２０１（図２（ｂ）参照）とほぼ同じ形状を呈することになる。
【００５１】
したがって、本実施例のロールスポンジアセンブリ５０１をスクラブ洗浄装置に適用することで、基板１の洗浄において上記実施例１と同等の作用効果を得ることができる。
【００５２】
（実施例４）
図４（ａ）〜（ｃ）に本発明の実施例４に係るスクラブ洗浄装置が、また、図７（ａ）にそれに用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００５３】
本実施例は、基本的に上記実施例１に準拠するが、上記実施例２と同様、消耗品であるロールスポンジの生産性を考慮し、従来の生産方法である同一径ロールスポンジを単に切断して使えるように工夫されている。すなわち、本実施例も、実質的に、上記実施例１と比べてロールスポンジアセンブリの構造が異なるのみで、その他の構成は実施例１と全く同じである。したがって、その奏する作用効果にも格別の差異はない。
【００５４】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ３０１は、図７（ａ）に示されるように、基板１を洗浄するための２つのロールスポンジ３０３ａ、３０３ｂを備えるロールスポンジ３０３及び該２つのロールスポンジ３０３ａ、３０３ｂを支持する支持体３０４を含んでいる。本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ３０１は、図７（ａ）に示されるように、外側輪郭の外径を段階的に変化させる構造を有している。
【００５５】
本実施例における小径のロールスポンジ３０３ａの外側輪郭の外径は、長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の最小外径Ｄ2に等しい。また、その中空孔３０３ｃの内径も長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の中空孔２０３ｃの最小内径Ｄ3と同じである。したがって、小径のロールスポンジ３０３ａの肉厚も長手方向に一定である。他方、大径のロールスポンジ３０３ｂの外側輪郭の外径は、上記小径のロールスポンジ３０３ａと同様に長手方向に一定ではあるが、実施例１のロールスポンジ２０３の最大外径Ｄ1に等しい。大径のロールスポンジ３０３ｂの中心孔３０３ｄの内径は、外側輪郭の外径と同じく長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の最大内径Ｄ4に等しい。
【００５６】
このように、ロールスポンジ３０３は、その外径及び内径が長手方向に一定の中空円筒体として形成されているので、大量生産が可能であり、ロールスポンジ３０３がスクラブ洗浄装置において消耗品であることを考慮すれば、該洗浄装置の製造コストを低く抑えることを可能とする。
【００５７】
本実施例における支持体３０４は、図７（ａ）に示されるように、左から回転軸３０４ａ、第１の支持体部３０４ｂ、第２の支持体部３０４ｃを含んでいる。
【００５８】
回転軸３０４ａは、図７（ａ）に示されるように、長手方向（図４（ａ）において矢印２０５方向）に一定の外径を有する中実円筒体として形成されている。回転軸３０４ａは、後述する第２の支持体部３０４ｃの外径と同じ外径Ｄ3を有し、第１の支持体部３０４ｂと同軸に配置される。回転軸３０４ａは、図示されていない回転駆動部に連結され、それにより、第２の支持体部３０４ｃと協働してロールスポンジアセンブリ３０１を回転駆動し得る。
【００５９】
第１の支持体部３０４ｂは、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体として形成されており、大径のロールスポンジ３０３ｂの中空孔３０３ｄの内径とほぼ同じ外径Ｄ4を有する。第１の支持体部３０４ｂの長手方向の長さは、これに限られるものではないが、大径のロールスポンジ３０３ｂの長さと同じであることが好ましい。第１の支持体部３０４ｂは、大径のロールスポンジ３０３ｂの中空孔３０３ｄ内に嵌め込まれ、大径のロールスポンジ３０３ｂを固定、保持する。
【００６０】
第２の支持体部３０４ｃは、小径のロールスポンジ３０３ａを支持するとともに、ロールスポンジアセンブリ３０１の回転軸としても機能する。図７（ａ）に示されるように、第２の支持体部３０４ｃは、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体として形成されており、小径のロールスポンジ３０３ａの内径とほぼ同じ外径Ｄ３を有する。第２の支持体部３０４ｃの長手方向の長さは、該第２の支持体部３０４ｃが回転軸としても機能することを考慮して、小径のロールスポンジ３０３ａの長さより回転軸としての長さ（回転軸３０４ａと同じ長さ）分長く設定される。第２の支持体部３０４ｃは、小径のロールスポンジ３０３ａの中空孔３０３ｃ内に嵌め込まれ、該ロールスポンジ３０３ａを固定、保持するとともに、該ロールスポンジ３０３ａを貫通し、突出した右側部分が回転軸として利用される。なお、第１及び第２の支持体部３０４ｂ、３０４ｃにそれぞれ固定、保持される大径のロールスポンジ３０３ｂ及び小径のロールスポンジ３０３ａは、図４（ａ）に示されるように、スポンジ間に隙間を作らないように連続的に配置されることが好ましい。
【００６１】
本実施例のロールスポンジアセンブリ３０１では、外径を２段に変化させているものとして説明されているが、これに限られるものではなく、外径が３段以上に変化するものであってもよい。また、ロールスポンジ３０３の外径や内径あるいは支持体の外径などの設定は、上述したものに限定されるものではないことは言うまでもない。
【００６２】
本実施例におけるスクラブ洗浄装置は、図４（ａ）に示されるように、上記実施例１と同じく、ロールスポンジアセンブリ３０１が基板１の両面を挟むように対をなして配置されている。また、対をなすロールスポンジアセンブリ３０１、３０１は、それらの支持体３０４、３０４の中心軸が大径のロールスポンジ３０３の外径Ｄ1より小さい所定の間隔をあけて互いに平行になるように配置されている。しかしながら、支持体３０４、３０４の間隔は、これに限られるものではなく、基板の厚さや要求される洗浄能力などの様々な条件に応じて適宜設定される。
【００６３】
洗浄対象物である基板１は、上記実施例１と同様に、複数のロールにより自転しながら、対をなす回転しているロールスポンジアセンブリ３０１、３０１の間を図４（ａ）において右から左へ移動する。
【００６４】
以上の構成を有する本実施例のスクラブ洗浄装置による基板１の洗浄動作およびその効果について、概ね上記実施例１と同じではあるが、図４（ａ）から（ｃ）を用いて簡単に説明する。
【００６５】
図４（ａ）に示されるように、洗浄前の基板１の表面には、様々な形状、大きさ、材質の異物が付着している。このような状態にある基板１を、対をなすロールスポンジアセンブリ３０１、３０１間内に進入させ、スクラブ洗浄を開始させる。
【００６６】
図４（ｂ）に示されるように、洗浄初期段階では、相対する小径のロールスポンジ３０３ａ、３０３ａの外径が小さいため、該ロールスポンジ３０３ａ、３０３ａの基板１の両面に対する接触圧力（押し込み力）が小さい。それにより、基板１の表面１に対して付着が軽微な異物や弱い押し込み力でもロールスポンジ３０３ａに捕捉され易い大きな異物が基板１から除去される。また、捕捉された異物も押し込み力が小さいためロールスポンジ３０３ａから離脱し易い状態にあり、回転するロールスポンジ３０３ａから遠心力などの作用により簡単に離脱し、ロールスポンジ３０３ａに付着したままで残っていることがほとんどない。
【００６７】
その後、図４（ｃ）に示されるように、基板１は、矢印２０５で示されるように、対をなす大径のロールスポンジ３０３ｂ、３０３ｂ間に送られる。図４（ｃ）の状態においては、ロールスポンジ３０３ｂの外径が大きく、基板１の両面に対するロールスポンジ３０３ｂ、３０３ｂの押し付け力が増し、それにより、基板１のより強力なスクラブ洗浄が行われる。大きな異物は、小径のロールスポンジ３０３ａ、３０３ａ間での洗浄で取り除かれているため、押し付け力が増しても、この段階での大きな異物による傷などの欠陥が基板１表面に生じることがない。加えて、前段階で取り除けなかった小さな異物に対して効果的な洗浄力を発揮できる。また、ロールスポンジ３０３ｂの外径が大きいことで、ロールスポンジ３０３ｂの外周表面における遠心力が大きくなり、付着した小さな異物のロールスポンジ３０３ｂ表面からの離脱を助ける。
【００６８】
また、基板１の洗浄の段階に応じてロールスポンジ３０３の使用部位が３０３ａ、３０３ｂを通して長手方向に変わることから、実施例１と同様に本実施例においても、ロールスポンジ３０３のメンテナンス寿命を長くできる。さらに、従来のように、同一部位で使い続けた場合に比べて、発生する基板１への再汚染や傷などの欠陥が発生することを回避することが可能となる。
【００６９】
さらに、ロールスポンジアセンブリ３０１は、一対で済むため、装置の回転駆動部もそれに対応したもので良く、装置のメンテナンス性もよい。また、従来の複数ユニットによる多段化の必要性がなく、このような多段化に比べて少ないスペースで同じ効果を実現することができる。
【００７０】
（実施例５）
図７（ａ）に本発明の実施例５に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００７１】
本実施例に係るロールスポンジアセンブリは、基本的に上記実施例４に準拠する。すなわち、本実施例のロールスポンジアセンブリも、実質的に、上記実施例４と同じ構造を備え、したがって、その奏する作用効果にも上記実施例４と比べて格別の差異はない。
【００７２】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ６０１は、図７（ｂ）に示されるように、基板１を洗浄するためのロールスポンジ６０３及び該ロールスポンジ６０３を支持する支持体７０４を含んでいる。本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ３０１は、上記実施例４と同様に、外側輪郭の外径を段階的に変化させる構造を有している。
【００７３】
本実施例におけるロールスポンジ６０３は、小径部分６０３ａと大径部分６０３ｂとを有し、小径部分６０３ａと大径部分６０３ｂとは一体に連続して形成されている。ロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａの外側輪郭の外径は、長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の最小外径Ｄ2に等しい。また、その中空孔６０３ｃの内径も長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の中空孔２０３ｃの最小内径Ｄ3より若干大きい内径Ｄ5に設定されている。本実施例では、小径部分６０３ａの内径Ｄ5を、実施例４と異ならせているが、実施例４と同じく小径部分６０３ａの内径をＤ3としてもよい。
【００７４】
他方、ロールスポンジ６０３の大径部分６０３ｂの外側輪郭の外径は、上記小径のロールスポンジ６０３ａと同様に長手方向に一定ではあるが、実施例１のロールスポンジ２０３の最大外径Ｄ１に等しい。大径部分３０３ｂの中空孔６０３ｄの内径は、外側輪郭の外径と同じく長手方向に一定であり、実施例１のロールスポンジ２０３の最大内径Ｄ４に等しい。
【００７５】
本実施例における支持体３０４は、図７（ｂ）に示されるように、左から左回転軸６０４ａ、第１の支持体部６０４ｂ、第２の支持体部６０４ｃ及び右回転軸６０４ａを含んでいる。
【００７６】
左右の回転軸６０４ａは、図７（ｂ）に示されるように、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体（円柱）として形成されている。左右の回転軸６０４ａは、上記実施例１ないし４の回転軸の外径と同じ外径Ｄ3を有し、第１の支持体部６０４ｂ及び第２の支持体部６０４ｃと同軸に配置される。左右の回転軸６０４ａは、上記実施例１ないし４と同様に、図示されていない回転駆動部に連結され、それにより、第１及び第２の支持体部６０４ｂ及び６０４ｃと協働してロールスポンジアセンブリ６０１を回転駆動し得る。
【００７７】
第１の支持体部６０４ｂは、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体（円柱）として形成されており、ロールスポンジの大径部分６０３ｂの中空孔６０３ｄの内径とほぼ同じ外径Ｄ4を有する。第１の支持体部６０４ｂの長手方向の長さは、これに限られるものではないが、ロールスポンジの大径部分６０３ｂの長さと同じであることが好ましい。第１の支持体部６０４ｂは、ロールスポンジ６０３の大径部分３０３ｂの中空孔３０３ｄ内に嵌め込まれ、ロールスポンジの大径部分６０３ｂを固定、保持する。
【００７８】
第２の支持体部６０４ｃは、ロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａを固定、支持する。図７（ｂ）に示されるように、第２の支持体部６０４ｃも、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体として形成されており、ロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａの内径とほぼ同じ外径Ｄ5を有する。第２の支持体部６０４ｃの長手方向の長さは、ロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａの長さと同じであることが好ましい。第２の支持体部６０４ｃは、ロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａの中空孔６０３ｃ内に嵌め込まれ、ロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａを固定、保持する。
【００７９】
なお、本実施例のロールスポンジアセンブリ６０１においても、外径を２段に変化させているものとして説明されているが、これに限られるものではなく、外径が３段以上に変化するものであってもよい。また、ロールスポンジ６０３の外径や内径あるいは支持体の外径などの設定は、上述したものに限定されるものではないことは言うまでもない。
【００８０】
結果として、本実施例におけるロールスポンジアセンブリ６０１は、上記実施例４のロールスポンジアセンブリ３０１とほぼ同じ形状を呈することになる。したがって、本実施例のロールスポンジアセンブリ６０１をスクラブ洗浄装置に適用することで、基板１の洗浄において上記実施例４と同等の作用効果を得ることができる。
【００８１】
（実施例６）
図７（ｃ）に、本発明の実施例６に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００８２】
本実施例は、基本的に上記実施例４、５に準拠し、単一の同一径ロールスポンジを使えるように工夫されている。すなわち、本実施例は、上記実施例５と比べてロールスポンジの構造が異なるのみで、その他の構成は実施例５と全く同じである。
【００８３】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ７０１は、図７（ｃ）に示されるように、基板を洗浄するためのロールスポンジ７０３及び該ロールスポンジ７０３を支持する支持体７０４を含んでいる。
【００８４】
本実施例におけるロールスポンジ７０３の外側輪郭の外径は、長手方向に一定であり、実施例５のロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａの外径Ｄ2に等しい。また、その中空孔７０３ｃの内径も長手方向に一定であり、実施例５のロールスポンジ６０３の小径部分６０３ａの中空孔６０３ｃの内径Ｄ5と同じである。したがって、ロールスポンジ７０３の肉厚も長手方向に一定である。
【００８５】
このように、ロールスポンジ７０３は、その外径及び内径が長手方向に一定の中空円筒体として形成されているので、上記実施例２、４と同様に、大量生産が可能であり、ロールスポンジ７０３がスクラブ洗浄装置において消耗品であることを考慮すれば、該洗浄装置の製造コストを低く抑えることを可能とする。
【００８６】
本実施例における支持体７０４は、上記実施例５と全く同じ形状を有するので説明を省略する。
【００８７】
第１の支持体部７０４ｂ及び第２の支持体部７０４ｃは、ロールスポンジ７０３の中空孔７０３ｃ内に嵌め込まれ、ロールスポンジ４０３を固定、保持する。
【００８８】
本実施例の場合、実施例２と同様に、ロールスポンジ７０３が柔軟性を有していることにより、該ロールスポンジ７０３の外側輪郭は、第１の支持体部７０４ｂ及び第２の支持体部７０４ｃの外側輪郭に倣い、その外径が複数段に変化する。結果として、本実施例におけるロールスポンジアセンブリ７０１は、上記実施例４のロールスポンジアセンブリ３０１とほぼ同じ形状を呈することになる。
【００８９】
したがって、本実施例のロールスポンジアセンブリ７０１をスクラブ洗浄装置に適用することで、基板洗浄において上記実施例４と全く同様の作用効果を得ることができる。
【００９０】
（実施例７）
図７（ｄ）に、本発明の実施例７に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００９１】
本実施例は、基本的に上記実施例４に準拠し、それぞれのロールスポンジの中空孔の内径が同一である複数のロールスポンジを使えるように工夫されている。したがって、本実施例は、上記実施例５と比べてロールスポンジ及び支持体の構造がより単純化されているのみで、その他の構成は実施例４と全く同じである。
【００９２】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ８０１は、図７（ｄ）に示されるように、基板を洗浄するための２つのロールスポンジ８０３ａと８０３ｂを有するロールスポンジ８０３及び該２つのロールスポンジ８０３ａ及び８０３ｂを支持する支持体８０４を含んでいる。
【００９３】
本実施例におけるロールスポンジ８０３は、小径のロールスポンジ８０３ａ及び大径のロールスポンジ８０３ｂを備えている。小径のロールスポンジ８０３ａの外側輪郭の外径は、長手方向に一定であり、実施例４のロールスポンジ３０３ａの外径Ｄ2に等しい。また、その中空孔８０３ｃの内径も長手方向に一定であり、後述する支持体８０４の外径Ｄ3と同じである。小径のロールスポンジ８０３ａの肉厚は長手方向に一定である。他方、大径のロールスポンジ８０３ｂの外側輪郭の外径は、上記小径のロールスポンジ８０３ａと同様に長手方向に一定ではあるが、実施例４のロールスポンジ３０３ｂの外径Ｄ１に等しい。大径のロールスポンジ８０３ｂの中空孔８０３ｄの内径は、外側輪郭の外径と同じく長手方向に一定であり、後述する支持体８０４の外径Ｄ3と同じである。
【００９４】
このように、ロールスポンジ８０３は、その外径及び内径が長手方向に一定の中空円筒体として形成されているので、大量生産が可能であり、ロールスポンジ８０３がスクラブ洗浄装置において消耗品であることを考慮すれば、該洗浄装置の製造コストを低く抑えることを可能とする。
【００９５】
本実施例における支持体８０４は、実施例３と同様に、ロールスポンジ８０３（より具体的には、小径のロールスポンジ８０３ａ及び大径のロールスポンジ８０３ｂ）を支持するとともに、ロールスポンジアセンブリ８０１の回転軸としても機能する。図７（ｄ）に示されるように、支持体８０４は、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体（円柱）として形成されており、小径のロールスポンジ８０３ａ及び大径のロールスポンジ８０３ｂの内径とほぼ同じ外径Ｄ3を有する。支持体８０４の長さは、小径のロールスポンジ８０３ａ及び大径のロールスポンジ８０３ｂの長さをあわせた長さより、回転軸として使用される分の長さだけ大きく設定される。本実施例における支持体８０４は、図示される通り単純な円柱構造であり、製造が容易である。なお、本実施例では、支持体８０４のロールスポンジ支持部分と回転軸部分を同一径としたが、これらの部分の径を適宜異ならせてもよい。
【００９６】
支持体８０４は、小径のロールスポンジ８０３ａの中空孔５０３ｃ及び大径のロールスポンジ８０３ｂの中空孔８０３ｄ内に嵌め込まれ、小径のロールスポンジ８０３ａ及び大径のロールスポンジ８０３ｂを固定、保持する。また、ロールスポンジ８０３を貫通し、両端より突出する部分は回転軸として使用される。
【００９７】
結果として、本実施例におけるロールスポンジアセンブリ７０１は、上記実施例４のロールスポンジアセンブリ３０１とほぼ同じ形状を呈することになる。したがって、本実施例のロールスポンジアセンブリ８０１をスクラブ洗浄装置に適用することで、基板洗浄において上記実施例４と全く同様の作用効果を得ることができる。
【００９８】
（実施例８）
図７（ｅ）に、本発明の実施例８に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの分解図が示されている。
【００９９】
本実施例は、基本的に上記実施例４、５、及び７に準拠している。
【０１００】
本実施例においては、ロールスポンジアセンブリ９０１は、図７（ｅ）に示されるように、基板を洗浄するための２つのロールスポンジ８０３ａと８０３ｂを有するロールスポンジ８０３及び該２つのロールスポンジ８０３ａ及び８０３ｂを支持する支持体８０４を含んでいる。
【０１０１】
本実施例におけるロールスポンジ９０３は、小径部分６０３ａと大径部分６０３ｂとを有し、小径部分９０３ａと大径部分９０３ｂとは一体に連続して形成されている。ロールスポンジ９０３の小径部分９０３ａの外側輪郭の外径は、長手方向に一定であり、実施例４の小径のロールスポンジ３０３ａの外径Ｄ2に等しい。他方、ロールスポンジ９０３の大径部分９０３ｂの外側輪郭の外径は、上記小径のロールスポンジ６０３ａと同様に長手方向に一定ではあるが、実施例４の大径のロールスポンジ３０３ｂの外径Ｄ1に等しい。ロールスポンジ９０３の中空孔９０３ｃの内径は、外側輪郭の外径と同じく長手方向に一定であり、後述する支持体９０４の外径Ｄ3に等しい。
【０１０２】
このように、本実施例のロールスポンジ９０３は、その内径が長手方向に一定の中空円筒体として形成されているので、実施例５のロールスポンジ６０３と比べて製造が容易であり、該洗浄装置の製造コストを低く抑えることができる。
【０１０３】
本実施例における支持体９０４は、実施例３と同様に、ロールスポンジ９０３を支持するとともに、ロールスポンジアセンブリ８０１の回転軸としても機能する。図７（ｅ）に示されるように、支持体９０４は、長手方向に一定の外径を有する中実円筒体（円柱）として形成されており、上記したように、ロールスポンジ９０３の中空孔９０３ｃの内径とほぼ同じ外径Ｄ3を有する。支持体９０４の長さは、ロールスポンジ９０３の長さより、回転軸として使用される分の長さだけ大きく設定される。本実施例における支持体９０４は、図示される通り単純な円柱構造であり、製造が容易である。なお、本実施例では、支持体９０４のロールスポンジ支持体部と回転軸を同一径としたが、これらの部分の径を適宜異ならせてもよい。
【０１０４】
支持体９０４は、ロールスポンジ９０３の中空孔９０３ｃ内に嵌め込まれ、ロールスポンジ９０３を固定、保持する。また、ロールスポンジ９０３を貫通し、両端より突出する部分は回転軸として使用される。
【０１０５】
結果として、本実施例におけるロールスポンジアセンブリ９０１は、上記実施例４のロールスポンジアセンブリ３０１とほぼ同じ形状を呈することになる。したがって、本実施例のロールスポンジアセンブリ９０１をスクラブ洗浄装置に適用することで、基板洗浄において上記実施例４と全く同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】従来の模式的スクラブ洗浄装置を示し、（ａ）は、該スクラブ洗浄装置の要部概略垂直断面図であり、（ｂ）は、洗浄開始時における基板及び（ａ）に示すスクラブ洗浄装置の要部概略水平断面図であり、（ｃ）は、洗浄中における基板及び基板への押し付け力を大きくした（ｂ）と同じスクラブ洗浄装置の要部概略水平断面図である。
【図２】本発明の１つの実施例に係る模式的スクラブ洗浄装置を示し、（ａ）は、該スクラブ洗浄装置の要部概略水平断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すスクラブ洗浄装置の要部側面図である。
【図３】図２に示す模式的スクラブ洗浄装置による基板の洗浄過程を説明するための図であり、（ａ）は、基板の洗浄開始直前の状態、（ｂ）は、基板の洗浄初期段階の状態、（ｃ）は、洗浄の終了段階の状態を示す。
【図４】本発明の別の実施例に係る模式的スクラブ洗浄装置による基板の洗浄過程を説明するための図であり、（ａ）は、基板の洗浄開始直前の状態、（ｂ）は、基板の洗浄初期段階の状態、（ｃ）は、洗浄の終了段階の状態を示す。
【図５】本発明と従来装置による洗浄効果の比較結果を示す図である。
【図６】図２及び図３に示される本発明に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの例を示し、（ａ）は、実施例１に係るロールスポンジアセンブリの分解図、（ｂ）は、実施例２に係るロールスポンジアセンブリの分解図、（ｃ）は、実施例３に係るロールスポンジアセンブリの分解図である。
【図７】図４に示される本発明に係るスクラブ洗浄装置に用いるロールスポンジアセンブリの例を示し、（ａ）は、実施例４に係るロールスポンジアセンブリの分解図、（ｂ）は、実施例５に係るロールスポンジアセンブリの分解図、（ｃ）は、実施例６に係るロールスポンジアセンブリの分解図、（ｄ）は、実施例７に係るロールスポンジアセンブリの分解図、（ｅ）は、実施例８に係るロールスポンジアセンブリの分解図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１                  洗浄対象物（基板）
２０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例１）
２０３              ロールスポンジ
２０４              支持体
２０４ａ            回転軸
２０４ｂ            支持体部
３０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例４）
３０３（３０３ａ、３０３ｂ）  ロールスポンジ
３０４              支持体
３０４ａ            回転軸
３０４ｂ            第１の支持体部
３０４ｃ            第２の支持体部
４０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例２）
５０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例３）
６０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例５）
７０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例６）
８０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例７）
９０１              ロールスポンジアセンブリ（実施例８）
【図１】
2008282865.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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