(57)【要約】【課題】手間をかけず簡単にマスクを保持でき、かつマスクが確実に保持されているか否かの検出機能を備えた印刷装置を提供することを目的とする。【解決手段】印刷装置本体９に設けられ水平な支持面を有するベース部６０と、ベース部６０の支持面と向かい合うように配置され、上下動可能とされた可動クランプ片１００とからなるマスク保持装置５０により、枠状をなすマスクフレーム５の下面側にステンシル７を張りつけたマスクＭを、印刷装置本体９に固定するようにした印刷装置Ｓであって、可動クランプ片１００を上下方向に変位させて前記マスクフレーム５をベース部６０の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッド９０を有するシリンダ装置８０と、シリンダ装置８０の作動に伴って上下方向に位置変位する可動クランプ片１００の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサ１２０とを設けた。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷装置本体に設けられ水平な支持面を有するベース部と、
前記ベース部の支持面と向かい合うように配置され上下動可能とされた可動クランプ片と、からなるマスク保持装置により、
枠状をなすマスクフレームの下面側にステンシルを張りつけたマスクを、印刷装置本体に固定するようにした印刷装置であって、
前記可動クランプ片を上下方向に変位させて前記マスクフレームを前記ベース部の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッドを有するシリンダ装置と、
前記シリンダ装置の作動に伴って前記上下方向に位置変位する可動クランプ片の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサと、を設けたことを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記位置センサは、前記可動クランプ片、或いは前記ピストンロッドに設けた被検出部との距離に応じた物理量の変化を捉える非接触式のセンサであることを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記位置センサとして、前記可動クランプ片が前記マスクフレームを押圧保持した状態にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第１の位置センサを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記ピストンロッドが上昇端或いは下降端にあるときには、前記ベース部と前記可動クランプ片との対向間隔が前記マスクフレームの高さ以上となってマスクフレームをリリースするか、或いはマスクフレームの高さ以下となるものにおいて、
前記ピストンロッドが上昇端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第２の位置センサと、
前記ピストンロッドが下降端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第３の位置センサと、を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記被検出部はマグネットであり、前記位置センサは磁気の変化を検出する磁気検出素子を備えた磁気センサであることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか一項に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記被検出部としてのマグネットを前記ピストンロッドのピストンに設置する一方、前記磁気センサを前記ピストンロッドを覆うシリンダ本体の外周部に設置したことを特徴とする請求項５に記載の印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、マスク枠（マスクフレーム）の下面側に薄板状のステンシルを張りつけたマスクを用いて、基板上にクリーム半田などのペーストを印刷する印刷装置が広く知られている。この種の印刷装置においては、スキージをステンシル上に圧接させた状態で印刷動作を行うから、印刷装置本体にマスク枠を緩みなく保持しておく必要がある。
【０００３】
この種の保持装置の一例として、下記の文献には、螺軸を手動によりねじ回しすることで、マスク枠を支える保持台を上下動させつつ、マスク枠を印刷装置本体に緩みなく保持するものが開示されている。
【特許文献１】実用新案登録第２５８７４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成によれば、螺軸を手動によりねじ回しすることでマスク枠を固定しているが、ねじ回しなどの操作を手動により行うことは煩わしさがあり、更にはマスク交換などの段替え作業に必要とされる作業時間の短縮化を図る上で障害となる。
【０００５】
また、印刷装置の信頼性を高めるには、マスクの保持状態を人の目視などに頼らず機械的に確認できるように装置を構成することが望ましく、この点も配慮する必要があった。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、手間をかけず簡単にマスクを保持でき、かつマスクが確実に保持されているか否かの検出機能を備えた印刷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１に記載の発明は、印刷装置本体に設けられ水平な支持面を有するベース部と、前記ベース部の支持面と向かい合うように配置され、上下動可能とされた可動クランプ片とからなるマスク保持装置により、枠状をなすマスクフレームの下面側にステンシルを張りつけたマスクを、印刷装置本体に固定するようにした印刷装置であって、前記可動クランプ片を上下方向に変位させて前記マスクフレームを前記ベース部の支持面との間に挟みつける押圧保持動作を行わせるピストンロッドを有するシリンダ装置と、前記シリンダ装置の作動に伴って前記上下方向に位置変位する可動クランプ片の停止位置、或いはピストンロッドの停止位置を特定する位置情報を検出する位置センサと、を設けたところに特徴を有する。
【０００８】
尚、ここでいう、位置情報というのは停止位置を特定可能な情報であればよく、例えば、停止位置に対応して出力がＯＮしたり、あるいはＯＦＦするなどのディジタル的な情報の他、所定の基準位置(基準値）からの変位量をアナログ的に表す情報であってもよい。
【０００９】
本発明の実施態様として、以下の構成とすることが好ましい。
・位置センサを、前記可動クランプ片、或いは前記ピストンロッドに設けた被検出部との距離に応じた物理量の変化を捉える非接触式のセンサとする。非接触式のものであれば、接触式のものに比べて、耐久性に優れる。
【００１０】
・前記位置センサとして、前記可動クランプ片が前記マスクフレームを押圧保持した状態にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第１の位置センサを設ける構成とする。このようにしてやれば、第１の位置センサの出力が検出状態であることをもって、可動クランプ片がマスクフレームを押圧保持していると確認できる。
【００１１】
・前記ピストンロッドが上昇端或いは下降端にあるときには、前記ベース部と前記可動クランプ片との対向間隔が前記マスクフレームの高さ以上となってマスクフレームをリリースするか、或いはマスクフレームの高さ以下となるものにおいて、前記ピストンロッドが上昇端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第２の位置センサと、前記ピストンロッドが下降端にあるときに、前記被検出部がセンサの検出領域内に位置して検出状態となり、それ以外の状態では前記被検出部がセンサの検出領域外に外れて非検出状態となる第３の位置センサと、を備える構成とする。このようにしてやれば、第２の位置センサ、第３の位置センサの出力がいずれも非検出状態であることをもって、可動クランプ片がマスクフレームを押圧保持していると確認できる。
【００１２】
・前記被検出部をマグネットとし、前記位置センサを磁気の変化を検出する磁気検出素子を備えた磁気センサとする。
【００１３】
・前記被検出部としてのマグネットを前記ピストンロッドのピストンに設置する一方、前記磁気センサを前記ピストンロッドを覆うシリンダ本体の外周部に設置する。
【発明の効果】
【００１４】
マスクを印刷装置本体に保持させるには、まず、可動クランプ片とベース部との間にマスクを装着させてやる。そして、装着作業が完了したら、次に、シリンダ装置を作動させてやれば、後はピストンロッドが自動的に上下動する結果、ロッドに固定された可動クランプ片がベース部との対向距離を縮めるべく接近動作を行いマスクフレームをベース部と共に上下に挟みこんで保持（押圧保持動作）する。このように、本発明では、マスクを保持する押圧保持動作が自動化されているので、従前の構成に比べて、マスクの取り付け作業を手間を掛けずに簡単に行うことが出来る。
【００１５】
また、本発明によれば、位置センサの出力に基づいて、シリンダ駆動に伴う可動クランプ片（あるいはピストンロッド）の停止位置を特定することが出来る。従って、位置センサの出力に応じて所定処理を施すことで、マスクがマスク保持装置により保持されたか否かを、人の目視（ここでいう、目視とは作業者がマスクの保持状態を自らの目で直接確認するという意味である）などに頼らず機械的に確認出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図１０によって説明する。
以下の説明において、基板搬送方向（図１における左右方向）をＸ軸方向と呼ぶものとする。また、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向をそれぞれ図１、図２の向きに定める。
【００１７】
１．印刷装置の全体構成と、印刷動作
実施形態１に適用の印刷装置Ｓは、上面がフラットな基台１０を備える。基台１０の外周部にはフレーム１０Ａが設けられると共に、基台１０上にはフレーム１０Ａの内側に位置して、支持部材２０が設けられている。
【００１８】
図２に示すように、支持部材２０はＸ軸方向の両側に一対設置されると共に、基台１０上においてＹ軸方向に延びておりＹ軸方向の前後両端部を支柱１５によって支えられている。尚、基台１０、支柱１５、支持部材２０などを総称して印刷装置本体９と呼ぶものとする。
【００１９】
両支持部材２０の上面壁にはＹ軸方向に延びるレール２３が設置されている。これら左右の支持部材２０上には、レール２３に端部下面の受け部４３を嵌合させつつ、スキージヘッド支持フレーム４０が横向きに設置されている。そして、図２において左方側の支持部材２０上には、モータ２５と同モータ２５を駆動源とするＹ軸移動装置（ボールねじ２８とボールナットからなる）２７が設置されている。
【００２０】
これにより、モータ２５を通電操作するとＹ軸移動装置２７が作動して、スキージヘッド支持フレーム４０をレール２３に沿ってＹ軸方向に進退させるようになっている。
【００２１】
尚、図２では省略してあるが、上記スキージヘッド支持フレーム４０のＸ軸方向の中央には、スキージヘッド３１に支持されつつスキージ３５が取り付けられている（図１参照）。スキージ３５はＸ軸方向に水平に延びる横長な形状をなし、昇降可能とされている。
【００２２】
スキージ３５の下方にはマスク保持装置５０を介してマスクＭが取り付けられるようになっている。マスクＭは、金属製の角パイプを枠状に形成したマスク枠５の底面側に、テンショナー６を介してステンシル７を固定したものである(図３参照）。尚、ステンシル７は平板状の薄板に、半田ペーストを基板上面に印刷するための印刷用の開口（図略）を形成したものである。
【００２３】
マスク保持装置５０は図２に示すように左右一対のベース板６０と、クランプ装置７０とから構成される。ベース板６０は支持部材２０の内面下部に端部をボルトなどで固定して止められており、左右のものが同じ高さで向かい合っている。
【００２４】
本例において左右の両ベース板６０は、上面６１が支持面として機能するべく水平な板状をなすとともに、全長（Ｙ軸方向の全長）は、図２に示すようにＹ軸方向の前側から中央に至るような長さをもっている。
【００２５】
また、ベース板６０におけるＹ軸方向前側の先端部６２は図示下方に屈曲される一方、Ｙ軸方向の奥端寄りの位置にはマスクストッパ６３が設けられている。先端部６２を下方に折り曲げてあるのは、マスクＭをベース板６０上に装着させるときに、枠後端がベース板６０の先端部６２に引っかかることがないように配慮したものである。また、マスクストッパ６３はベース板６０上に装着されたマスク枠５の後端に当接して、マスクＭをＹ軸方向に位置決めするためのものである。
【００２６】
クランプ装置７０は各ベース板６０ごとに前後２個（より詳しくはＹ軸方向に前後２個）、装置全体としては４個設置されている。クランプ装置７０は可動クランプ片１００をシリンダ装置８０により昇降させるものであり、支持部材２０の上面壁にブラケット７１を介して取り付けられている（図３参照）。
【００２７】
ブラケット７１上には中央にシリンダ装置８０が配置され、これとＸ軸方向に並ぶようにしてスライドシャフト７５が左右一対配置されている。両スライドシャフト７５は軸受け部材７６により軸受けされ上下動可能とされると共に、シャフト下端を可動クランプ片１００のＸ軸方向の両端部にそれぞれ連結させている。
【００２８】
可動クランプ片１００はＸ軸方向に延びる横長な形状をなし、幅寸法（Ｘ軸方向の幅）はベース板６０の板幅とほぼ等しい幅に設置されている。また、可動クランプ片１００の前面壁には目盛り１０１が刻まれている。目盛り１０１はベース板６０上にセットされたマスクＭをＸ軸方向に位置合わせする目的に使用されるものである。
【００２９】
シリンダ装置８０の構成については後に詳しく説明を行うものとするが、本シリンダ装置８０はいわゆる復動式のエアシリンダであり、往復駆動するピストンロッド９０を内部に備え、ピストンロッド９０の先端に可動クランプ片１００を連結させている。
【００３０】
以上の構成により、シリンダ装置８０を作動させると、可動クランプ片１００がスライドシャフト７５による案内作用を受けつつ、水平な姿勢を保って昇降し、図４に示すようにベース板６０上におかれたマスク枠５の上面を押さえる押圧保持動作を実行したり、あるいは図４に示す状態から上昇してマスク枠５の上面から離間してマスクＭをリリースする。
【００３１】
尚、図５に示すように、上記押圧保持動作を全４つのクランプ装置７０について行うことでマスク枠５、ひいてはマスクＭの４隅を均等に押さえることができるようになっている。
【００３２】
次に、基板支持ユニット２００の説明を行う。基板支持ユニット２００はテーブル２１０、テーブル２２０、テーブル２３０、テーブル２４０、テーブル２５０を下から順に積み上げた構成とされる（図１参照）。
【００３３】
図６に示すように、４段目のテーブル２４０上には、最上段の５段目のテーブル２５０を間に挟むようにしてＹ軸方向の両側に基板搬送レール２７０が設置されている。両基板搬送レール２７０は共にＸ軸方向に水平に延びており、レール支持部２８０Ａ、２８０Ｂによって支持されている。係る基板搬送レール２７０は循環駆動する搬送ベルト（図略）と共に、印刷対象の基板ＰをＸ軸方向に搬送する搬送コンベアを構成している。
【００３４】
尚、本実施形態のものは、装置奥側（図６において上側）に位置するレール支持部２８０Ｂが、不図示のシリンダ装置の動力を得て、Ｙ軸方向に可動できるようになっている。このような構成とすることで、印刷対象となる基板の基板サイズに応じて両基板搬送レール２７０の対向間隔（すなわち、レール幅）を調整出来るようになっている。
【００３５】
また、両レール支持部２８０Ａ、２８０Ｂ上には、基板クランプ片２８０Ｃ、２８０Ｄがそれぞれ設置されている。図６において上側に位置する装置奥側の基板クランプ片２８０Ｄはレール支持部２８０Ｂに対してＹ軸方向にスライド可能とされており、テーブル２５０上に運ばれてきた基板Ｐを相手側の基板クランプ片２８０Ｃと共にＹ軸方向の両側から挟んで保持する機能（図７の（ａ）、（ｂ）参照）を担っている。
【００３６】
図６に戻って説明を続けると、最上段にあたる５段目のテーブル２５０上には、ピン保持孔（不図示）を行列状に配置したマトリクスプレート２９０が設置されている。このマトリクスプレート２９０上には、ピン保持孔にピン端部を挿通させつつ、バックアップピン２９５が複数本起立保持されている。
【００３７】
さて、基板支持ユニット２００を構成する５つのテーブル２１０〜２５０はいずれも可動テーブルとなっている。順に説明してゆくと、基台１０上にはＹ軸方向に延びるＹレール１１が４本設置されている（図２、図５では省略してある）。そして、これらＹレール１１上に、テーブル下面に設けられたレール受け部２１３を嵌合させつつ、初段のテーブル２１０が乗っている。これにより、図外のＹ軸サーボ機構を作動させると、初段のテーブル２１０を含む基板支持ユニット２００の全体をＹレール１１に沿ってＹ軸方向に移動できる。
【００３８】
初段のテーブル２１０はＸ軸方向に延びる横長な形状とされ、テーブル上面にはＸ軸方向に延びるＸレール２１５が２本設置されている。そして、これらＸレール２１５上に、テーブル下面に設けられたレール受け部２２３を嵌合させつつ、２段目のテーブル２２０が乗っている。
【００３９】
これにより、図外のＸ軸サーボ機構を作動させると、２段目のテーブル２２０をレールに沿ってＸ軸方向に移動できる。以上のことから、初段のテーブル２１０と２段目のテーブル２２０を複合的に動作させることで、基板支持ユニット２００を基台１０上における任意の位置に水平移動させることが出来る。
【００４０】
２段目のテーブル２２０上には回転機構２２５が設けられている。回転機構２２５は回転用サーボ機構（図略）の動力を得て駆動し、３段目のテーブル２３０を回転させる。また、３段目のテーブル２３０と４段目のテーブル２５０の間、４段目のテーブル２４０と５段目のテーブル２５０の間にそれぞれ昇降装置（不図示）が設けられており、４段目のテーブル２４０、５段目のテーブル２５０がそれぞれ独立して昇降できるようになっている。
【００４１】
そして、当実施形態のものは、４段目のテーブル２４０、５段目のテーブル２５０をいずれも下降した状態（以下、基板搬送姿勢と呼ぶ）にセットしておくと、バックアップピン２９５が基板搬送レール２７０の下方に位置すると共に、基板搬送レール２７０のレール高さが、当印刷装置Ｓに隣接する他の装置（検査装置や、実装機など）に設けられるレールと同じ高さとなる。
【００４２】
従って、基板搬送姿勢にある基板支持ユニット２００を水平移動させつつ、基台１０の端に移動させると、基板搬送レール２７０を隣接する装置に設けられるレール（不図示）に段差なく連続させることができ、同レールを通じて印刷対象の基板Ｐを、隣接する他の装置との間で受け渡すことが出来る。
【００４３】
次に、図７を参照して、基板受け渡し後に実施される当印刷装置Ｓによる印刷動作を簡単に説明する。印刷対象の基板Ｐは上流側の装置より搬入された後、ベルト駆動によって基板搬送レール２７０上をＸ軸方向左側へと運ばれ、基板ユニット中央の基板停止位置に停止される（図７の（ａ））。
【００４４】
基板Ｐが上記位置に停止されると、続いて５段目のテーブル２４０を昇降させる処理が行われ、下降状態にあったテーブル２５０、ひいてはバックアップピン２９５を上昇させる。
【００４５】
そして、上昇動作の過程でバックアップピン２９５の上端が、基板停止位置にある基板Ｐの下面に当接し、印刷対象の基板Ｐを持ち上げる。これにより、印刷対象の基板Ｐは、基板搬送レール２７０から浮いた状態となり、搬送コンベアから切り離される。
【００４６】
そして、テーブル２５０の昇降量が所定量に達し、印刷対象の基板Ｐが図７の（ｂ）に示すように、基板クランプ片２８０Ｃ、２８０Ｄの上面と面一となる高さまで持ち上げられると、テーブル２５０はその高さで停止される。
【００４７】
テーブル２５０の上昇動作が停止されると、今度は不図示のシリンダ装置が駆動し、基板クランプ片２８０Ｄが、相手側の基板クランプ片２８０Ｃとの対向距離を狭めるようにＹ軸方向（図７では右側）に移動する。これにより、バックアップピン２９５により下面を支持された印刷対象の基板Ｐは、両基板クランプ片２８０Ｃ、２８０ＤによってＹ軸方向の両側から挟み込まれて保持される（図７の（ｂ）参照）。
【００４８】
かくして、印刷対象の基板Ｐが保持されると、基板支持ユニット２００は基台１０上を水平移動してカメラ下方の撮影位置に至る。そして、カメラによる基板Ｐの撮影が行われ、これが完了すると、マスクＭの下方に移動し、印刷対象の基板Ｐをステンシル下方の印刷位置にセットさせる（図７の（ｃ））。
【００４９】
尚、このとき、先のカメラ撮影により得られる基板画像に基づいて基板Ｐの保持姿勢が調べられ、基板Ｐの保持が正規状態に対してずれていれば、位置ずれを補正する処理（例えば、ずれを抑えるように３段目のテーブル２３０を回転させるなど）が併せて行われる。
【００５０】
かくして、印刷対象の基板Ｐが印刷位置にセットされると、今度は、４段目のテーブル２４０を昇降させる処理が行われ、下降状態にあったテーブル２４０を上昇させる。
【００５１】
これにより、保持状態にある印刷対象の基板Ｐはステンシル７に接近してゆく。そして、テーブル２４０の昇降量が所定量に達すると、テーブル２４０の上昇動作は停止され、このときには、印刷対象の基板Ｐが図７の（ｄ）に示すようにステンシル７の下面に重装された状態となる。
【００５２】
あとは、スキージ３５を下降させてステンシル７の上面に当接させつつ、半田供給装置によってステンシル７上にペースト状の半田を供給する。そして、スキージ３５をＹ軸方向に往復移動させ、ペースト状の半田を引き延ばしてやれば、ステンシル７の印刷用開口に半田が埋め込まれ、印刷対象の基板Ｐ上の所望位置に半田を印刷することが出来る。
【００５３】
そして、半田の印刷が完了したら、上記した動作を逆に辿ることで、基板支持ユニット２００を基台中央まで移動させることが出来、また、基板支持ユニット２００を基板搬送姿勢（すなわち、図１に示すように４段目のテーブル２４０、５段目のテーブル２５０をいずれも下降させた状態）に戻すことが出来る。
【００５４】
従って、あとは、基板搬送姿勢にある基板支持ユニット２００を下流側の装置側、すなわち図１における左端側に移動させつつ基板搬送レール２７０の一部を装置外に突出させると、突出した基板搬送レール２７０が下流側の装置のレール（不図示）に段差なく連続する。これにより、同レールを通じて印刷済みの基板Ｐを、下流側の装置に搬出できる。
【００５５】
２．シリンダ装置の内部構造と、ピストンロッドの停止位置を検出する位置センサ
【００５６】
図８は可動クランプ装置の正面図、図９はシリンダ装置の断面図（図８中のＡ−Ａ線断面図）である。図９に示すように、シリンダ装置８０はピストン収容室８３を有するシリンダ本体８１を備える。シリンダ本体８１のピストン収容室８３にはピストン９３が収容され、同ピストン収容室８３を上室８５と下室８６の２室に仕切っている。
【００５７】
係るピストン９３は図９において下向きに延びるロッド９１を一体的に形成するとともに、ピストン外周部には、後述する位置センサ１２０の検出対象となるマグネットＭｇが埋め込まれている。
【００５８】
そして、シリンダ本体８１には壁面を貫通するようにして、上室８５に連なるエア通路８５Ａと、下室８６に連なるエア通路８６Ａが設けられている。
【００５９】
これにより、制御弁Ｊ１を開放して上室８５を排気させる一方、制御弁Ｊ２を閉止して下室８６に給気させることでピストンロッド（当実施例ではピストン９３とロッド９１を総称してピストンロッドと呼んでいる）９０を上昇させることができ、また、これとは反対に、制御弁Ｊ２を開放して下室８６を排気させる一方、制御弁Ｊ１を閉止して上室８５に給気させることでピストンロッド９０を下降できる。
【００６０】
本実施形態のものは、ピストンロッド９０の可動範囲が図１０のように設定されており、図１０の（ａ）に示す上昇位置（本発明の「上昇端」に相当する位置であって、ロッドのストッパ９５が上室８５の天井に突き当たる位置）にピストンロッド９０を位置させると、可動クランプ片１００の下面とベース板６０の上面との対向間隔Ｄが、マスク枠５の高さＤｏより広い状態（以下、リリース状態とも言う）になる。
【００６１】
そして係る図１０の（ａ）に示す状態からエアの給排によりシリンダ装置８０を作動させると、ピストンロッド９０は下降動作を行い、最終的には図１０の（ｂ）に示す中間位置、或いは図１０の（ｃ）に示す下降位置のいずれかで停止する。
【００６２】
すなわち、ベース板６０上にマスクＭがセットされていれば、下降動作の途中で可動クランプ片１００がマスク枠５の上面に当接し、その位置でピストンロッド９０の下降動作が停止され、ピストンロッド９０は図１０の（ｂ）に示す中間位置に留まった状態となる。
【００６３】
一方、ベース板６０上にマスクＭがセットされていなければ、ピストンロッド９０はストッパ９６が下室８６の底壁に突き当たるまで下降して、図１０の（ｃ）に示す下降位置（本発明の「下降端」に相当する位置であって、可動クランプ片１００とベース板６０の上面との対向間隔Ｄがマスク枠５の高さＤｏより狭くなる位置）において停止する。
【００６４】
従って、マスクＭが可動クランプ片１００によって押圧保持された状態にあるか、否かを判別するには、ピストンロッド９０の停止位置が図１０の（ｂ）に示す中間位置にあるか、それ以外の位置（上昇位置／下降位置）にあるかを検出してやればよく、この検出機能を以下に説明する位置センサ１２０が担っている。
【００６５】
ピストンロッド９０を覆うシリンダ本体８１の外周壁（より詳しく言えば、外周壁全４面）には、図８に示すようにセンサ取付溝８６Ａ、８６Ｂが設けられている。センサ取付溝８６Ａ、８６Ｂは上下に延びる縦長な形状をなし、２本が左右に並ぶようにして形成されている。そして、これらセンサ取付溝８６Ａ、８６Ｂの溝下部には、位置センサ１２０を固定するための螺子孔８７がそれぞれ設けられている。
【００６６】
位置センサ（本発明の「第一の位置センサ」に相当）１２０はケーシング１２１内に、検出素子として磁気検出素子（ホール素子や、ＭＲ素子など）１２５を収容した磁気センサである。位置センサ１２０はセンサ取付溝８６に嵌合可能な大きさをなし、また上部からは検出結果を出力するための信号線１２７が引き出されている。
【００６７】
これにより、信号線１２７が引き出された側の側面をセンサ取付溝８６の反対側（図９に示す右側）に向けつつ、センサ全体をセンサ取付溝８６に嵌め合わせ、その状態からねじ止めするとシリンダ本体８１に位置センサ１２０を固定できるようになっている。本実施形態のものは、図８に示す右側のセンサ取付溝８６Ｂを用いて、シリンダ本体８１に位置センサ１２０を１つだけ取り付けている。また、図８に示す符号１２３はセンサの検出状態を表示する表示灯である。
【００６８】
シリンダ本体８１に設置された位置センサ１２０の検出領域は、図１０に示す通りであり、ピストンロッド９０が図１０の（ａ）に示す上昇位置、及び図１０の（ｃ）に示す下降位置にあるときには、ピストン９３に設けられたマグネットＭｇが位置センサ１２０の検出領域から外れて、位置センサ１２０の出力がいずれもＯＦＦ状態（非検出状態）となる。
【００６９】
その一方、ピストンロッド９０が図１０の（ｂ）に示す中間位置、すなわち可動クランプ片１００がマスクＭのマスク枠５を押圧保持した状態にあるときには、マグネットＭｇが位置センサ１２０の検出領域内に入り、位置センサ１２０の出力がＯＮ状態（検出状態）となる。
【００７０】
このように、可動クランプ片１００がマスク枠５を押圧保持している場合にのみ位置センサ１２０の出力がＯＮ状態となるので、センサの出力に応じて所定処理を行なうことで、マスクＭが保持状態にあるか、否かを人の目視（ここでいう、目視とは作業者がマスクの保持状態を自らの目で直接確認するという意味である）などに頼らず、機械的に確認出来る。
【００７１】
次に、印刷対象の基板Ｐを切り換えるときに行われるマスクＭの交換作業について、簡単に説明する。まず、使用済みのマスクＭを印刷装置本体９から取り外すには、マスクＭの４隅を押圧保持している可動クランプ片１００を図１０の（ｂ）に示す中間位置から、図１０の（ａ）に示す上昇位置に変位させ、マスクＭをリリースする必要がある。
【００７２】
これを行うには、印刷装置Ｓに設けられる不図示の操作部に対しパネル操作などにより解除指令を与えてやればよく、これを実行すると制御弁Ｊ１、Ｊ２の切り換え制御が実行される。
【００７３】
具体的には、制御弁Ｊ１が開放され、制御弁Ｊ２が閉止される、これにより、上室８５が排気される一方、下室８６が給気されるから、図１０の（ｂ）に示す中間位置にあったピストンロッド９０は上昇し、マスク枠５の上面から離間する（リリース）。
【００７４】
上昇したピストンロッド９０は、ストッパ９５が上室８５の天井に突き当たるまで上昇を続け、最終的には、図１０の（ａ）に示す上昇位置で停止する。
【００７５】
この状態においては、ピストンロッド９０の下端に設置された可動クランプ片１００と、マスク枠５の上面との間には、十分なクリアランスが確保されており、使用済みのマスクＭを印刷装置本体９から装置手前に引き出しつつ取り出すことができる。
【００７６】
そして、使用済みのマスクＭの取り出しが終わったら、今度は新しいマスクＭを印刷装置Ｓにセットしてやればよい。具体的には、Ｘ軸方向に並ぶ両ベース板６０の前縁にマスクＭの下面後端を載せつつ、マスクＭを装置の奥方に押し込んでやればよい。
【００７７】
係る押し込み操作を行うと、マスクＭはベース板６０上を移動しつつ、Ｙ軸方向奥側へと押し込まれ、やがて、マスク後端がベース板６０上に設けられるマスクストッパ６３に突き当たり、その位置でマスクＭのＹ軸方向に関する移動が規制され、該マスクＭはＹ軸方向に位置規制された状態となる。
【００７８】
かくして、マスクＭをＹ軸方向に位置決めすることができたら、次に、可動クランプ片１００の前面壁に刻み印された目盛り１０１を参照しつつ、Ｘ軸方向の位置を調整してやれば、マスクＭをＸ軸方向について位置合わせでき、これにて、作業者が負担する作業が完了する。
【００７９】
尚、このときには、既に述べてあるように、ピストンロッド９０は図１０の（ａ）に示す上昇位置にあって、ピストン９３に設けられたマグネットＭｇが位置センサ１２０の検出領域から外れた状態にあるから、位置センサ１２０の出力はＯＦＦ状態になる。
【００８０】
さて、上述のようにマスクＭのセット作業が完了したら、作業者は、印刷装置Ｓに設けられる不図示の操作部に対しパネル操作などによりクランプ指令を与えてやればよく、これを実行すると、制御弁Ｊ１、Ｊ２の切り換え制御が実行される。
【００８１】
具体的には、開放状態にある制御弁Ｊ１は閉止され、これとは反対に、閉止状態にある制御弁Ｊ２は開放される。これにより、上室８５が給気される一方、下室８６が排気されるから、図１０の（ａ）に示す上昇位置にあったピストンロッド９０は下降をはじめ、ベース板６０上にセットされたマスク枠５の上面に可動クランプ片１００が接近してゆく。
【００８２】
下降する可動クランプ片１００はやがて、マスク枠５の上面に突き当たり、マスク枠５を押圧する。このような可動クランプ片１００による押圧保持動作がマスク枠５の４隅に対して行われることで、マスクＭはベース板６０、ひいては印刷装置本体９に対して緩みなく固定される。
【００８３】
そして、このときには、ピストンロッド９０が図１０の（ｂ）に示す中間位置にあって、ピストン９３のマグネットＭｇが位置センサ１２０の検出領域内に位置するので、位置センサ１２０の出力がＯＮ状態となる。
【００８４】
これにより、位置センサ１２０の出力に応じて所定処理を行なうことで、マスクＭが保持されているか、否かを目視などに頼らず機械的に確認できる。
【００８５】
あとは、ＲＵＮスイッチなど次のパネル操作を行うことで、新たな基板Ｐについて印刷動作を開始できる。
【００８６】
尚、本実施形態の印刷装置Ｓは、位置センサ１２０から出力される検出信号が、不図示の制御装置に取り込まれるように構成されている。これにより、作業者が上記したクランプ指令を行った後、所定時間を経過しても、位置センサ１２０の出力がＯＦＦ状態である場合には、マスクＭがクランプされていないと判断し、エラーメッセージを発するようになっている。
【００８７】
このように、本実施形態によれば、マスクＭを保持する押圧保持動作が自動化されているので、従前の構成に比べて、マスクＭの交換作業（取り付け作業）を手間を掛けずに簡単に行うことが出来る。また、マスクＭが保持されているか、どうかを人の目視などに頼らず機械的に確認出来るので、装置の信頼性が高まる。
【００８８】
加えて、位置センサ１２０として非接触式のものを使用している。このような構成であれば、接触式のセンサに比べて耐久性が高くなるから、マスクＭの保持確認について信頼性が高まる。
【００８９】
また、ピストン９３は、シリンダ本体８１のピストン収容室８３の内壁面に摺接しつつ往復運動する。本実施形態のものは、係る摺動部品の一方側（ピストン９３）にマグネットＭｇを配置する一方、他方側（シリンダ本体８１）に位置センサ１２０を設置させている。このような構成であれば、マグネットＭｇと位置センサ１２０を接近配置することが可能となり、センサの検出精度が高くなる。
【００９０】
尚、本実施形態のものは、マスクＭの４隅に対応してクランプ装置７０を４箇所設置しているが、上記位置センサ１２０を全４つのクランプ装置７０のうちの、いずれか一の装置のみに設置することとしている。
【００９１】
このような構成としてやれば、センサの搭載個数が少なくて済みコストメリットがある。しかし、マスク保持の確認について、信頼性をより高く設定したい要請があれば、各クランプ装置７０のそれぞれに位置センサ１２０を設ける構成とすることが好ましい。
【００９２】
＜実施形態２＞
本発明の実施形態２を図１１によって説明する。
実施形態１では、位置センサ１２０を１つ使用する例を挙げた。これ対して、実施形態２では、位置センサ（実施形態１と同様の磁気センサ）３１０、３２０を２つ使用して、実施形態１と同様の効果を得るようにしたものである。
【００９３】
具体的に説明すると、本実施形態のものは、位置センサ３１０、３２０を、それぞれ検出領域が図１１の位置になるように、シリンダ本体８１に設置させている。
【００９４】
このような設定としてやれば、ピストンロッド９０が図１１の（ａ）に示す上昇位置にあるときには、位置センサ３１０の出力がＯＮ状態、位置センサ３２０の出力がＯＦＦ状態となる。
【００９５】
また、ピストンロッド９０が図１１の（ｂ）に示す中間位置にあるときには、位置センサ３１０、位置センサ３２０の出力がいずれもＯＦＦ状態となる。
【００９６】
そして、ピストンロッド９０が、図１１の（ｃ）に示す下降位置にあるときには、位置センサ３１０がＯＦＦ状態になり、位置センサ３２０の出力がＯＮ状態となる。
【００９７】
以上のことから、両位置センサ３１０、３２０がいずれもＯＦＦ状態にあることをもって、マスクＭの保持を確認できる。
【００９８】
尚、図１１のように、位置センサ３１０、位置センサ３２０の検出領域を高さ方向で異なる位置に設定するには、例えば、センサ取付溝８６Ａ、８６Ｂの螺子孔８７を高さ方向に複数個設けておき、位置センサ３１０、３２０をねじ止めする際に、螺子孔８７を選択使用してやればよい。
【００９９】
＜実施形態３＞
本発明の実施形態３を図１２によって説明する。
実施形態３のものは、実施形態１の構成をやや変形させたものであり、実施形態１の構成に位置センサ３１０を追加し、図１２に示すようにセンサの検出領域を設定している。
【０１００】
このような設定としてやれば、ピストンロッド９０が図１２の（ａ）に示す上昇位置にあるときには、位置センサ３１０の出力がＯＮ状態となり、その状態からピストンロッド９０が下降動作を始めれば、動作後には位置センサ３１０の出力がＯＦＦ状態となる。
【０１０１】
従って、位置センサ３１０の出力がＯＮ状態であることをもって、可動クランプ片１００が下降動作を行っていないと確認できる。
【０１０２】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１０３】
（１）上記実施形態１〜３では、いずれもピストンロッドの停止位置を検出する構成をとったが、可動クランプ片にマグネットなどを設けて可動クランプ片の停止位置を検出する構成としてもよい。
【０１０４】
（２）上記実施形態では、いずれも、ピストンロッドの停止位置を検出する位置センサとして磁気センサを用いたが、これに代えて、例えば、検出光の透過／遮へいに基づいて位置検出を行う光センサなどが使用可能であり、更には、リミットスイッチなど接点式のものを使用することも可能である。
【０１０５】
（３）上記実施形態１〜３ではシリンダ装置８０として、いずれも復動式のエアシリンダを用いたが、単動式のエアシリンダも使用可能である。
【０１０６】
（４）実施形態１〜３では、ピストンロッドの停止位置の検出に磁気を検出する位置センサを使用したが、たとえば、係る位置センサに空気圧センサなどを組み合わせることも可能である。ここでいう空気圧センサとは、エアの給排に伴って変動する上室／下室の圧力を検出するものであり、これを用いることで、空気圧センサの出力に基づいていずれの室が給気状態、あるいは排気状態にあるかを特定することができ、これをもって、図１０に示す（ａ）の状態と、図１０に示す（ｃ）の状態との判別が可能となる。従って、位置センサ３１０／３２０の機能を、空気圧センサで代用するなどが可能となる。
【０１０７】
（５）上記実施形態１〜３では、いずれもピストンロッド（可動クランプ片）を下降動作させてマスクを押圧保持する構成を採用したが、構成を上下反転させ、ピストンロッド（可動クランプ片）の上昇動作によりマスクを押圧保持することも無論可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】実施形態１に適用された印刷装置の正面図
【図２】印刷装置本体の構成を示す、斜視図
【図３】マスクの取り付け構造を示す図（押圧保持前）
【図４】マスクの取り付け構造を示す図（押圧保持後）
【図５】マスクの取り付け状態を示す平面図
【図６】基板支持ユニットの平面図
【図７】印刷動作を示す図
【図８】クランプ装置の正面図
【図９】図８中のＡ−Ａ線断面図
【図１０】位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の関係を示す図
【図１１】実施形態２における、位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の位置関係を示す図
【図１２】実施形態３における、位置センサの検出領域と、ピストンロッドの停止位置の位置関係を示す図
【符号の説明】
【０１０９】
５…マスク枠（本発明の「マスクフレーム」に相当）
７…ステンシル
９…印刷装置本体
５０…マスク保持装置
６０…ベース板（本発明の「ベース部」に相当）
６１…上面（本発明の「支持面」に相当）
７０…クランプ装置
８０…シリンダ装置
８１…シリンダ本体
９０…ピストンロッド
９３…ピストン
１００…可動クランプ片
１２０…位置センサ（本発明の「第１の位置センサ」に相当）
３１０…位置センサ（本発明の「第２の位置センサ」に相当）
３２０…位置センサ（本発明の「第３の位置センサ」に相当）
Ｓ…印刷装置
Ｍ…マスク
Ｍｇ…マグネット（本発明の「被検出部」に相当）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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