(57)【要約】【課題】簡易な構成で、凹部内の微細な破片を容易に除去する。【解決手段】水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取って、該音叉型水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレート６を備え、該治具プレート６が、凹部の側壁を構成する切欠１０ａを有する平板状のプレート部材１０と、凹部の底面を構成する粘着テープ１２と、該粘着テープ１２を巻き取る巻き取り装置１６とを備え、プレート部材１０と粘着テープ１２とが、該粘着テープ１２をプレート部材１０から離間させる方向に相対移動可能に設けられている音叉型水晶振動子の製造装置を提供する。【選択図】      図４
2008199485.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取って、該音叉型水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、
該治具プレートが、前記凹部の側壁を構成する切欠を有する平板状のプレート部材と、前記凹部の底面を構成する粘着テープと、該粘着テープを巻き取る巻き取り装置とを備え、
前記プレート部材と前記粘着テープとが、該粘着テープを前記プレート部材から離間させる方向に相対移動可能に設けられている音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項２】
前記プレート部材に設けられた切欠が一方向に開口し、
前記プレート部材と前記粘着テープとが、前記切欠の開口方向に相対移動可能に設けられている請求項１に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項３】
前記プレート部材と前記粘着テープとが、該粘着テープの表面に交差する方向に相対移動可能に設けられている請求項１に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項４】
前記プレート部材と前記粘着テープとが、音叉型水晶片の厚さ寸法より小さい隙間をあけて配置されることにより前記凹部を構成している請求項１から請求項３のいずれかに記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項５】
前記プレート部材に、４フッ化エチレン樹脂コーティングまたはダイヤモンドライクカーボン薄膜が施され、
該プレート部材と前記粘着テープとが、密着させられた状態で前記凹部を構成している請求項１から請求項３のいずれかに記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型水晶振動子の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、音叉型水晶振動子の製造装置としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
この特許文献１に開示されている音叉型水晶振動子の製造装置は、フォトリソグラフィで水晶ウェハに形成した音叉型水晶片の先端部を受けピンとタガネとの間に板厚方向に挟んで板厚方向に移動させることにより、片持ち梁状に支持された音叉型水晶片を弾性変形させていき、弾性限界を超える変位を与えることで根元部を破断して音叉型水晶振動子を製造し、製造した音叉型水晶振動子を凹部に位置決め状態に収容するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−６８７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の製造装置は、音叉型水晶振動子を水晶ウェハから分離する際に、板厚方向に加えた押圧力によって、音叉型水晶片の根元部に応力集中を発生させるものである。
しかしながら、フォトリソグラフィにより水晶ウェハに音叉型水晶片を切り出す方法では、水晶ウェハを板厚方向に貫通する切り込みを形成するが、板厚を変化させることはない。すなわち、板厚方向に凹む切欠を有しないので、板厚方向に曲げる押圧力で応力集中を生じさせる特許文献１の製造装置では、応力集中部位が比較的広範囲に分布することになる。その結果、破断箇所が安定せず、バラツキを生じたり、破断により水晶ウェハが剥離することによる微細な破片が発生したりする不都合がある。
【０００５】
発生した微細な破片は、非常に軽くて小さいため、金属製の製造装置に静電気により付着しやすく、一旦付着するとエアブローやブラッシング等によっても除去することが困難であるという不都合がある。その結果、製造された音叉型水晶振動子を収容する凹部内に残留し、次回に製造される音叉型水晶振動子が凹部内で傾いて精度よく位置決めできないという問題が生ずる可能性がある。また、製造された音叉型水晶振動子に破片が付着した場合には、これを用いて製造される水晶振動子の不具合の発生の原因ともなるので、微細な破片を凹部内に残さないようにすることが必要である。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で、凹部内の微細な破片を容易に除去することが可能な音叉型水晶振動子の製造装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、水晶ウェハに形成された板厚方向に貫通する切り込みにより片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を折り取って、該音叉型水晶片を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートを備え、該治具プレートが、前記凹部の側壁を構成する切欠を有する平板状のプレート部材と、前記凹部の底面を構成する粘着テープと、該粘着テープを巻き取る巻き取り装置とを備え、前記プレート部材と前記粘着テープとが、該粘着テープを前記プレート部材から離間させる方向に相対移動可能に設けられている音叉型水晶振動子の製造装置を提供する。
【０００８】
本発明によれば、水晶ウェハに切り出された音叉型水晶片を折り取って音叉型水晶振動子とし、治具プレートの凹部に収容することにより、音叉型水晶振動子が位置決め状態に配置される。位置決め状態に配置された音叉型水晶振動子に対しては端子の溶接等の他の作業を容易に行うことができる。
【０００９】
この場合において、本発明によれば、水晶ウェハから折り取られて凹部に収容される音叉型水晶片は、凹部の側壁を構成している切欠によって位置決めされ、かつ、底面を構成している粘着テープに粘着し、安定して収容状態に保持される。音叉型水晶片を折り取る際に発生する水晶ウェハの微細な破片も、粘着テープに粘着するので、音叉型水晶片を凹部から取り去った後に凹部内に残留する。
【００１０】
そこで、プレート部材と粘着テープとを相対移動させて離間させ、巻き取り装置を作動させることにより、使用によって粘着力が低下した粘着テープの部分を、それに付着している微細な破片とともに巻き取って回収し、未使用の新たな部分を露出させることができる。そして、プレート部材と粘着テープとを相対移動させて近接させることにより、微細な破片が残留していない凹部を容易に再構築することができ、次の音叉型水晶振動子を継続して製造することができる。
その結果、凹部内における音叉型水晶振動子の位置決め不良や、音叉型水晶振動子に破片が付着したまま製品となる不都合を未然に防止することができる。
【００１１】
上記発明においては、前記プレート部材に設けられた切欠が一方向に開口し、前記プレート部材と前記粘着テープとが、前記切欠の開口方向に相対移動可能に設けられている構成としてもよい。
このように構成することで、凹部内に微細な破片が残留している状態で、プレート部材と粘着テープとを相対移動させると、微細な破片をプレート部材の切欠に引っかけることなく粘着テープとともに開口から切欠外に移動させることができる。そして、プレート部材と粘着テープとを完全に離間する位置まで相対移動させた後に、巻き取り装置を作動させることにより、使用済みの粘着テープを、付着している微細な破片とともに巻き取って回収し、未使用の新たな粘着テープを露出させることができる。
【００１２】
また、上記発明においては、前記プレート部材と前記粘着テープとが、該粘着テープの表面に交差する方向に相対移動可能に設けられている構成としてもよい。
このように構成することによっても、凹部内に微細な破片が残留している状態で、プレート部材と粘着テープとを相対移動させると、微細な破片をプレート部材の切欠に引っかけることなくプレート部材と粘着テープとを離間させることができる。そして、プレート部材と粘着テープとを完全に離間する位置まで相対移動させた後に、巻き取り装置を作動させることにより、使用済みの粘着テープを、付着している微細な破片とともに巻き取って回収し、未使用の新たな粘着テープを露出させることができる。
【００１３】
また、上記発明においては、前記プレート部材と前記粘着テープとが、音叉型水晶片の厚さ寸法より小さい隙間をあけて配置されることにより前記凹部を構成させてもよい。
このように構成することで、プレート部材が粘着テープに接着状態となることが防止され、プレート部材と粘着テープとの相対移動を容易に行うことができる。
【００１４】
また、上記発明においては、前記プレート部材に、４フッ化エチレン樹脂コーティングまたはダイヤモンドライクカーボン薄膜などの低凝着性膜が施され、該プレート部材と前記粘着テープとが、密着させられた状態で前記凹部を構成してもよい。
このように構成することで、プレート部材が粘着テープに密着していても、プレート部材と粘着テープとが接着してしまうことが防止され、プレート部材と粘着テープとの相対移動を容易に行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る音叉型水晶振動子の製造装置によれば、簡易な構成で、水晶ウェハの微細な破片を容易に除去することができ、凹部内における音叉型水晶振動子の位置決め不良や、音叉型水晶振動子に破片が付着したまま製品となる不都合を未然に防止することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置について、図１〜図８を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置１は、図１および図３に示されるように、薄肉の平板状の水晶ウェハ２から、音叉型水晶振動子を分離する装置であって、水晶ウェハ２を下面に吸着し水平状態に保持する吸着プレート３と、該吸着プレート３に設けた貫通孔４を介して、鉛直下方に向けた先端面５ａにより水晶ウェハ２の音叉型水晶片２ａの上面を鉛直下方（板厚方向）に押圧する押圧部材５と、水晶ウェハ２の下方に隣接配置される治具プレート６と、同じく水晶ウェハ２の下方に隣接配置されるローラ７と、吸着プレート３および治具プレート６を水平方向に沿って音叉型水晶片２ａの幅方向に移動させる駆動装置（図示略）とを備えている。
【００１７】
前記水晶ウェハ２には、図２に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術により形成された、板厚方向に貫通する切り込み２ｂにより、複数の音叉型水晶片２ａが櫛歯状に配列されるように形成されている。各音叉型水晶片２ａは、その一端を水晶ウェハ２に接続することにより、それぞれ片持ち梁状に構成されている。
【００１８】
また、各音叉型水晶片２ａの水晶ウェハ２に接続する根元部には、同様に切り込みにより細く形成された切欠部２ｃが設けられ、応力集中が生じ易いように構成されている。
隣接する音叉型水晶片２ａどうしは、微細な切り込みにより微小間隙をあけて配列されている。
【００１９】
前記吸着プレート３には、前記水晶ウェハ２を位置決め状態に吸着する位置決め手段および吸着手段（いずれも図示略）が備えられ、水晶ウェハ２を精度よく位置決め固定するようになっている。
また、吸着プレート３に設けられた貫通孔４は、例えば、水晶ウェハ２における音叉型水晶片２ａのパターンに合わせて、複数の音叉型水晶片２ａにわたり、該音叉型水晶片２ａの配列方向に延びるように設けられている。
【００２０】
前記押圧部材５は、上下動可能に設けられ、鉛直下方に向けた先端面５ａが、水晶ウェハ２の音叉型水晶片２ａの長手方向のほぼ中央位置を押圧するように配置されている。押圧部材５の先端面５ａは、水晶ウェハ２の長手方向に沿う所定長さにわたって延び、水晶ウェハ２の先端側に向かって下降するように傾斜している。
【００２１】
前記治具プレート６は、図４に示されるように、音叉型水晶片２ａより厚さ寸法の大きなプレート部材１０と、該プレート部材１０を固定するベース部材１１と、前記プレート部材１０の下方に微少隙間をあけて配置される粘着テープ１２と、該粘着テープ１２を支持するテープ支持部材１３と、前記ベース部材１１に対してテープ支持部材１３を相対移動させる移動機構１４（図５参照。）とを備えている。プレート部材１０には、前記音叉型水晶片２ａを位置決め状態に収容可能な開口寸法を有し、一方向の端縁に開口する複数の切欠１０ａが端縁に沿って配列して設けられている。
【００２２】
前記プレート部材１０と粘着テープ１２との隙間は、音叉型水晶片２ａの厚さ寸法より小さく設定されている。これにより、プレート部材１０の切欠１０ａ内面を側壁とし、粘着テープ１２上面を底面とする複数の凹部６ａが形成されている。これら凹部６ａは、水晶ウェハ２から切り離された音叉型水晶振動子２Ａを収容した状態で、音叉型水晶振動子２Ａの根元部を露出させるように開口し、後段の溶接工程において、音叉型水晶振動子２Ａの電極（図示略）への端子の溶接を容易にしている。
【００２３】
凹部６ａは、音叉型水晶振動子２Ａを収容したときに、音叉型水晶振動子２Ａの側面に近接して位置決めする内側面部分と、音叉型水晶振動子２Ａの側面から離間するニゲ部とが設けられ、位置決めに必要最小限の面積で接触させることにより、凹部６ａ内への音叉型水晶振動子２Ａの収容を容易にしている。
また、凹部６ａどうしの間隔寸法は、水晶ウェハ２における音叉型水晶片２ａどうしの間隔寸法よりも十分に広く構成されており、溶接工程における隣接する音叉型水晶振動子２Ａの端子どうしの接触を回避できるようになっている。
【００２４】
前記粘着テープ１２は、図４に示されるように、前記切欠１０ａの配列方向に延びて配置され、全ての凹部６ａの底面に粘着面を露出させている。そして、粘着テープ１２の両端には、未使用の粘着テープ１２を巻いた状態に収容する巻き出し部１５と、使用済みの粘着テープ１２を巻き取る巻き取り部１６とが設けられている。
【００２５】
前記移動機構１４は、図５に示されるように、ベース部材１１に対して、テープ支持部材１３を粘着テープ１２の幅方向に移動可能に支持するリニアガイド１４ａと、駆動力を発生するシリンダ１４ｂとを備えている。シリンダ１４ｂの駆動によりロッドを突出させることで、ベース部材１１に対してテープ支持部材１３を粘着テープ１２とともに、粘着テープ１２の幅方向に離間させることができるようになっている。
【００２６】
前記ローラ７は、音叉型水晶片２ａの根元部近傍において吸着プレート３との間に水晶ウェハ２を板厚方向に挟む位置に配置されている。また、ローラ７は、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの長さ方向と平行な回転軸７ａを有している。また、ローラ７は鉛直方向に揺動可能な揺動アーム８の先端に設けられ、水晶ウェハ２の下面に接触する位置と下方に離間する位置との間で移動できるようになっている。
【００２７】
前記駆動装置は、公知のモータおよびボールネジ等からなる直線駆動装置であって、吸着プレート３および治具プレート６のそれぞれに設けられ、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの幅方向に直線移動させることができるようになっている。吸着プレート３および治具プレート６の水平方向動作はそれぞれ別々に行うことができ、吸着プレート３を静止させた状態で治具プレート６を水平方向に移動させることにより、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対変位させることができるようになっている。
【００２８】
このように構成された本実施形態に係る製造装置１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る製造装置１を用いて音叉型水晶振動子２Ａを製造するには、図２に示されるように、フォトリソグラフィ技術による切り込み２ｂにより、複数の音叉型水晶片２ａが櫛歯状に形成された水晶ウェハ２を用意する。次いで、用意した水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着し、図１（ａ）に示されるように、治具プレート６上面に近接する位置に配置する。また、これとともに、音叉型水晶振動片２ａの根元部近傍に配される水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に板厚方向に挟む。
【００２９】
この状態で、駆動装置の作動により治具プレート６を吸着プレート３および水晶ウェハ２に対して音叉型水晶片２ａの配列方向に水平移動させ、次に音叉型水晶振動子２Ａを収容することとなる凹部６ａを、収容しようとする音叉型水晶片２ａの下方に位置決めする。そして、図６に示されるように、吸着プレート３に設けられた貫通孔４を介して、鉛直上方から押圧部材５を下降させ、その先端面５ａにより音叉型水晶片２ａの上面を下方に押圧する。
【００３０】
これにより、図１（ｂ）に示されるように、片持ち梁状に形成された音叉型水晶片２ａは、押圧部材５の先端面５ａによって押圧されることによって、先端を下降させるように弾性変形させられる。
すなわち、図６および図７に示されるように、音叉型水晶片２ａは、その先端部分を部分的に治具プレート６の凹部６ａ内に挿入した状態に配される。この段階では、曲げによる応力は弾性限界を超えておらず、音叉型水晶片２ａの根元部が破断することはない。また、この状態で、押圧部材５の先端は、治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されている。
【００３１】
そして、本実施形態においては、この状態から、図７に矢印Ａで示される方向に、治具プレート６を水平移動させる。これにより、凹部６ａの側面が、凹部６ａ内に部分的に挿入されている音叉型水晶片２ａの幅方向の側面に接触し、図８に矢印Ｂで示される位置に、水平方向に向かう押圧力Ｆを付与するようになる。
【００３２】
音叉型水晶片２ａの根元部には切欠部２ｃが形成されているので、比較的小さな押圧力Ｆによっても、切欠部２ｃには、極めて狭小な範囲において大きな応力集中を生ずる。その結果、切欠部２ｃの位置で正確に切断され、水晶ウェハ２から、精度よく、かつ、微細な破片を生ずることなく、音叉型水晶振動子２Ａを折り取ることができる。
【００３３】
そして、音叉型水晶振動子２Ａが折り取られた後には、押圧部材５を上昇させ、吸着プレート３を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉型水晶片２ａを押圧部材５の鉛直下方に配置するとともに、治具プレート６を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉型水晶振動子２Ａを収容する凹部６ａを音叉型水晶片２ａの鉛直下方に配置する。以下、上記工程を繰り返す。
【００３４】
このように、本実施形態に係る音叉型水晶振動子２Ａの製造装置１によれば、押圧部材５により音叉型水晶片２ａを弾性変形させて、その先端部を水晶ウェハ２の表面から突出させることで、治具プレート６の凹部６ａに係合させ、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対移動させることで、音叉型水晶片２ａに幅方向の押圧力Ｆを加えて、簡単に、精度よく、かつ、チッピング等の不都合を生ずることなく、複数の音叉型水晶振動子２Ａを順次折り取って、凹部６ａに収容状態に製造していくことができる。
【００３５】
この場合に、押圧部材５の先端が治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されているので、治具プレート６を水平移動させても、治具プレート６と押圧部材５とが干渉することがない。
また、本実施形態に係る製造装置１においては、押圧部材５の先端面５ａを傾斜させているので、音叉型水晶片２ａを弾性変形させて水晶ウェハ２から折り取る際に、先端面５ａを音叉型水晶片２ａの表面に添わせて広い接触面積で接触させることができる。その結果、音叉型水晶片２ａが折り取られる際の衝撃によって、折り取られて構成された音叉型水晶振動子２Ａが飛び跳ねて、凹部６ａから飛び出してしまわないように保持することができる。
【００３６】
さらに、本実施形態に係る製造装置１においては、凹部６ａの底面が粘着テープ１２の粘着面により構成されているので、折り取られることにより凹部６ａに収容された音叉型水晶振動子２Ａは、粘着テープ１２の粘着面によりそのほぼ全面において吸着される。その結果、音叉型水晶振動子２Ａが飛び跳ねて凹部６ａから飛び出すことをより確実に防止し、安定して凹部６ａ内に収容状態に保持することができる。また、仮に微細な破片が発生した場合においても、粘着テープ１２の粘着面によりこれを吸着するので、音叉型水晶振動子２Ａへの破片の付着を抑制できる。
【００３７】
そして、使用されることにより粘着力が弱くなったり、破片が付着したりした場合には、図４（ａ）に示される状態から、移動機構１４を作動させ、テープ支持部材１３をベース部材１１に対して粘着テープ１２の幅方向に離間するように移動させる。これにより、凹部６ａの底面を構成していた粘着テープ１２が、プレート部材１０の端縁よりも外側に移動させられて完全に露出させられる。この状態で、巻き取り部１６を作動させて使用済みの粘着テープ１２を巻き取り、巻き出し部１５を作動させて未使用の粘着テープ１２を供給する。そして、移動機構１４を逆方向に作動させ、テープ支持部材１３をベース部材１１に近接する方向に移動させる。
【００３８】
これにより、未使用の粘着テープ１２をプレート部材１０の下方に配置することができ、粘着力を簡易に回復することができるとともに、継続して音叉型水晶振動子２Ａを製造することができる。
【００３９】
この場合に、粘着テープ１２の粘着面とその上方のプレート部材１０とが微少隙間をあけて配置されているので、両者の相対移動を容易に行うことができる。また、隙間寸法が音叉型水晶振動子２Ａの厚さ寸法より小さく設定されているので、折り取られた音叉型水晶振動子２Ａが隙間に入り込む不都合が発生することはない。
【００４０】
また、粘着テープ１２の巻き取り時に、粘着テープ１２をプレート部材１０に設けられた切欠１０ａの開口方向にスライドさせて、プレート部材１０の端縁の外側に移動させるので、粘着テープ１２に比較的大きな破片が付着していても、切欠に引っかかることなくプレート部材１０の端縁の外側に移動させることができる。
さらに、プレート部材１０の端縁の外側に配置した状態で粘着テープ１２を巻き取るので、粘着テープ１２に付着した破片が切欠内に止まることなく、より確実に回収することができる。
【００４１】
また、本実施形態に係る製造装置１においては、水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着しているので、従来のように、治具プレートを貫通してくる受けピンとタガネとによって音叉型水晶片２ａを挟んで搬送する必要がない。したがって、受けピンを治具プレートに抜き差しする時間および受けピンとタガネとに挟んで、少なくとも吸着プレートの厚さ分だけ搬送する時間が不要となり、１つの音叉型水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムを大幅に短縮することができる。また、凹部６ａまでの搬送工程を省略でき、搬送中の位置ずれによるチッピング等の問題の発生を未然に防止することができる。その結果、製造効率を向上し、微細な破片の発生を防止して、品質を向上することができる。
【００４２】
さらに、本実施形態に係る製造装置１においては、吸着プレート３に設けた貫通孔４が複数の音叉型水晶片２ａに跨って、それらの配列方向に延びているので、一の音叉型水晶片２ａの折り取り後、隣接する他の音叉型水晶片２ａを折り取る迄の間に、押圧部材５を貫通孔４から抜き出す必要がない。したがって、１つの音叉型水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムをさらに短縮することができる。
【００４３】
また、本実施形態に係る製造装置１によれば、水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に挟むので、音叉型水晶振動子２Ａを折り取る際に、根元部を確実に支持することができるとともに、治具プレート６を水平移動させて音叉型水晶片２ａに押圧力Ｆを付与する際にも、ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転動させて、継続的に支持することができる。ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転がすことにより、水晶ウェハ２に与える摩擦を低減し、水晶ウェハ２の健全性を維持することができる。
【００４４】
なお、本実施形態に係る製造装置１においては、音叉型水晶片２ａに幅方向の押圧力Ｆを付与して簡易かつ精度よく折り取る方法としたが、これに代えて、図９に示されるように、従来と同様に、音叉型水晶片２ａに板厚方向に付与する押圧力Ｆにより、水晶ウェハ２から折り取る方法でもよい。図９においては、図１よりも凹部６ａの深さが深く、音叉型水晶片２ａを大きく変形させることができるようになっている。
【００４５】
この場合においても、本実施形態におけるように、吸着プレート３の下面に水晶ウェハ２を配置することにより、折り取られた後に収容される凹部６ａを水晶ウェハ２の直近に配置することができ、折り取り後即座に位置決め状態に収容できる。したがって、製造のタクトタイムを短縮し、また、微細な破片の発生する機会を低減して品質を向上することができるという利点がある。
【００４６】
また、本実施形態においては、粘着テープ１２の巻き取り時にプレート部材１０と接着して巻き取りが阻害される不都合を防止するために、粘着テープ１２とプレート部材１０とを微少隙間を形成して配置する構成としたが、これに代えて、あるいは、これとともに、少なくとも粘着テープ１２の粘着面に対向するプレート部材１０の表面に４フッ化エチレン樹脂製のコーティングやダイヤモンドライクカーボン薄膜などの低凝着性膜を形成する構成にしてもよい。これにより、粘着テープ１２とプレート部材１０とが接触しても両者の接着が回避されるので、巻き取りが阻害されることがない。
【００４７】
また、本実施形態においては、ベース部材１１に対してテープ支持部材１３を粘着テープ１２の幅方向に移動させることで、プレート部材１０と粘着テープ１２とを離間させる構成としたが、これに代えて、図１０に示されるように構成してもよい。すなわち、移動機構１４として、粘着テープ１２を支持するテープ支持部材１３を、プレート部材１０を固定したベース部材１１に対して上下方向、すなわち、粘着テープ１２の粘着面の法線方向に移動させるものを採用してもよい。そして、図１０（ａ）に示されるように、粘着テープ１２をプレート部材１０に近接させた状態で、音叉型水晶片２ａを折り取る作業を行い、その終了後に、図１０（ｂ）に示されるように、プレート部材１０から粘着テープ１２を下方に離間させて、巻き出し部１５および巻き取り部１６の作動により、使用済みの粘着テープ１２を回収することにすればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置を示す部分的な縦断面図であり、（ａ）は押圧部材が上昇した状態、（ｂ）は押圧部材が下降した状態をそれぞれ示している。
【図２】図１の製造装置において音叉型水晶振動子を切り出す水晶ウェハを示す部分的な斜視図である。
【図３】図１の製造装置を示す部分的な斜視図である。
【図４】図１の製造装置の治具プレートを示す斜視図であり、（ａ）はプレート部材に粘着テープを近接させた状態、（ｂ）はプレート部材から粘着テープを離間させた状態をそれぞれ示している。
【図５】図４の治具プレートを駆動する移動装置の動作を説明する縦断面図であり、（ａ）はプレート部材に粘着テープを近接させた状態、（ｂ）はプレート部材から粘着テープを離間させた状態をそれぞれ示している。
【図６】図１の製造装置に水晶ウェハを装着した状態を示す部分的な斜視図である。
【図７】図４の製造装置の押圧部材近傍を拡大して示す斜視図である。
【図８】図１の製造装置における治具プレートの凹部と音叉型水晶片との関係を示す部分的な平面図である。
【図９】図１の製造装置の変形例を示す部分的な縦断面図である。
【図１０】図４の治具プレートの変形例を示す縦断面図であり、（ａ）はプレート部材に粘着テープを近接させた状態、（ｂ）はプレート部材から粘着テープを離間させた状態をそれぞれ示している。
【符号の説明】
【００４９】
１  製造装置
２  水晶ウェハ
２Ａ  音叉型水晶振動子
２ａ  音叉型水晶片
２ｂ  切り込み
６  治具プレート
６ａ  凹部
１０ａ  切欠
１０  プレート部材
１２  粘着テープ
１６  巻き取り部（巻き取り装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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