(57)【要約】【課題】潤滑流体の温度変化による給液状態を安定させ、適正な液量の充填及び高精度の検査が可能な動圧流体軸受の給液検査方法及び給液検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】動圧流体軸受１の給液検査装置１０において、真空容器１１に配置している潤滑流体容器２４の周辺、及びディスペンサ２３の先端のノズル２５の周辺、さらに駆動ステージ１３の上部にそれぞれ、ヒーター１４Ｃ、１４Ａ、１４Ｂを取り付けることで給液される潤滑流体２が温度コントローラ１５によって常に一定の温度状態に保つことができるようになっている。さらに真空容器１１には撮影装置１９、２２も設置され給液後の状態を確認できるようになっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受穴としての少なくとも一方に開口部を有するスリーブと、
前記スリーブとの間に潤滑流体を介して回転自在に配置される軸部と、
を備えた動圧流体軸受において、
前記潤滑流体を貯める潤滑流体容器から、所定量の前記潤滑流体を送出するディスペンサに供給され、前記ディスペンサに取り付けられたノズル部によって前記潤滑流体を前記動圧流体軸受に給液する給液方法であって、
前記ディスペンサの先端のノズル部、前記潤滑流体容器、前記動圧流体軸受を載置するパレットのうち少なくとも1つに温度調節手段を取り付けて温度調整すること
を特徴とする動圧流体軸受の給液方法。
【請求項２】
前記温度調節手段は、加熱ヒータであることを特徴とする請求項１に記載された動圧流体軸受の給液方法。
【請求項３】
前記温度調節手段は、各々異なった温度に調整可能なことを特徴とする請求項１および２に記載された動圧流体軸受の給液方法。
【請求項４】
前記動圧流体軸受を容器内に配置する第１のステップと、
前記容器内を大気圧より低い第１の気圧に減圧する第２のステップと、
前記動圧流体軸受の前記軸部と前記スリーブの開口部の近傍に前記潤滑流体を供給する第３のステップと、
前記容器内を前記第１の気圧より高い第２の気圧に昇圧する第４のステップと、
を有する請求項１から３に記載された動圧流体軸受の給液方法。
【請求項５】
潤滑流体を貯める潤滑流体容器と、
前記潤滑流体容器から前記潤滑流体の供給を受け、所定量の前記潤滑流体を送出するディスペンサと、
前記ディスペンサに取り付けられたノズルとを有し、
軸受穴としての少なくとも一方に開口部を有するスリーブと、
前記スリーブとの間に潤滑流体を介して回転自在に配置される軸部と、
を備えた動圧流体軸受において、前記潤滑流体を給液する動圧流体軸受の給液装置であ  って、
前記潤滑流体容器、前記ディスペンサおよび前記ノズルのうち、少なくとも１つは温度調節手段が取り付けられていることを特徴とする動圧流体軸受の給液装置。
【請求項６】
前記温度調節手段は、加熱ヒータであることを特徴とする請求項５に記載された動圧流体軸受の給液装置。
【請求項７】
前記温度調節手段は、各々異なった温度に調整可能なことを特徴とする請求項５および６に記載された動圧流体軸受の給液装置。
【請求項８】
前記動圧流体軸受を配置するパレットと、
前記パレットを収納する真空容器と、
前記真空容器内を大気圧より低い第１の気圧に減圧する減圧手段と、
前記容器内を前記第１の気圧より高い第２の気圧に昇圧する昇圧手段と、
前記潤滑流体を貯める潤滑流体容器と、
先端のノズルは少なくとも前記真空容器内に設置されている前記動圧流体軸受の前記軸部と前記スリーブの開口部の近傍に前記潤滑流体を供給するディスペンサから構成される
ことを特徴とする請求項５から７に記載された動圧流体軸受の給液装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク、光ディスク等の記録ディスクを回転駆動するスピンドルモータに使用される動圧流体軸受に潤滑流体を充填する工程において、潤滑流体を給液し検査する方法およびその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ、光ディスクドライブ、ポリゴンミラー搭載機器等において用いられるスピンドルモータには、動圧流体軸受が多く使用されている。
【０００３】
この動圧流体軸受は、回転部と固定部との間の間隙部に充填された潤滑流体が、液体潤滑および界面潤滑の機能を果たし、回転部の回転によって流体に発生した動圧を利用する流体すべり軸受である。
【０００４】
具体的な一例として、ハードディスクドライブのスピンドルモータ３０の構造を、図６に示す。ハードディスクドライブのベースに固定された動圧流体軸受１を回転中心とし、ベース３１と、ハードディスクを固定するハブ３２とを、ステータ３４とマグネット３３により、相対的に回転駆動する構成となっている。
【０００５】
さらに、図７は上記スピンドルモータの動圧流体軸受１の拡大図である。
【０００６】
通常、動圧流体軸受１は半径方向の負荷を支持するラジアル軸受と、軸方向の負荷を支持するスラスト軸受の２つの軸受で構成される。ラジアル軸受は、シャフト４とスリーブ３で構成され、スラスト軸受は、シャフト４に連結されたフランジ５とスラストプレート６によって構成されている。回転部となるシャフト４とフランジ５と、固定部となるスリーブ３とスラストプレート６との間隙部７には、図示しない潤滑流体が充填されている。なお、図７に示す例では、スラスト軸受が配置される側と逆側に位置する一方の間隙部のみが大気に開放される、いわゆる片袋構造をとっている。
【０００７】
このような従来の動圧流体軸受に潤滑流体を充填する装置は、動圧流体軸受の間隙部に完全に潤滑流体を充填しなければならないため、充填の妨げとなる間隙部の空気を取り除くべく、図８（ａ）に示すように、減圧雰囲気下で間隙部の開口部に適正量の潤滑流体を滴下した後、大気圧に復圧し、減圧状態の間隙部と大気圧との差圧により、間隙部に潤滑流体を充填する真空充填プロセスが採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
特に、ハードディスクドライブ用モータの部品として動圧流体軸受が使用される場合において、動圧流体軸受の回転軸と固定部で構成される間隙部が回転軸の一方向のみに開放される片袋構造の動圧流体軸受では、間隙部が完全に潤滑流体で充填されず気泡が残留した状態となっていると、製品として出荷後に航空機で運搬されるような減圧雰囲気において、間隙部に残留した気泡が膨張する。そして、間隙部より外部へ潤滑流体を押し出して潤滑流体漏れといった致命的な問題を引き起こす原因となる。そこで、間隙部に気泡を残留させないために、真空充填は十分に減圧した雰囲気中で実施することが重要である。
【０００９】
適正量の潤滑流体とは、軸受の使用環境における各部品と潤滑流体の熱膨張、熱収縮等を考慮して、潤滑流体漏れや潤滑流体不足が起こらないように規定した量である。適正量の潤滑流体が滴下されたかどうかは、図８（ｂ）および図８（ｃ）に示すように、部品の寸法や適宜加工した溝のような目印によって判定する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−１７４２４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記従来の方法によると、真空充填時には、給液装置のノズルから適正量の潤滑流体を給液する必要があるが、潤滑流体の粘度の温度変化による滴下量の変動があり、雰囲気温度によって滴下量が一定に制御できないという問題を有していた。
【００１１】
このため、吐出量が変動（空気圧方式のディスペンサでは、３℃上昇で約１０％ＵＰ）し、吐出量の変動分を見越して、高価な潤滑流体を多めに吐出していた。
【００１２】
また、低温においては粘度が増加するため、液のまわり込みが不十分となり、全数外観検査が必要となっていた。
【００１３】
さらに、軸受間隙部分への流れ込みが悪く、少量ずつ数回に分けて滴下する必要がある場合があった。
【００１４】
本発明は、上述した従来の課題を解決するためになされたものであり、動圧流体軸受への潤滑流体の充填工程において、適正な液量を充填することが可能な動圧流体軸受の給液検査方法および給液検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記従来の課題を解決するために、本発明は、
前記潤滑流体を貯める潤滑流体容器から前記潤滑流体が、所定量の前記潤滑流体を送出するディスペンサに供給され、前記ディスペンサに取り付けられたノズルによって前記潤滑流体を前記動圧流体軸受に給液する給液方法であって、
前記ディスペンサの先端のノズルに第１の温度調節手段を取り付けて、前記ノズルから給液される前記潤滑流体を所定の温度に調節することを特徴とする。
これにより、周囲環境の変化や真空容器内の減圧・昇圧に伴う潤滑流体の温度変化の影響で、注液（軸受内に潤滑流体を充填すること）状態が変動することを防ぐことができる。
また、本発明は、
前記動圧流体軸受を載置するためのパレットに第２の温度調節手段を取り付けて、前記潤滑流体を供給する前記動圧流体軸受を所定の温度に調節することを特徴とする。
これにより、周囲環境の変化や真空容器内の減圧・昇圧に伴う潤滑流体の温度変化の影響で、注液（軸受内に潤滑流体を充填すること）状態が変動することを防ぐことができる。
さらに、本発明は、
前記潤滑流体を貯める潤滑流体容器から前記潤滑流体が、所定量の前記潤滑流体を送出するディスペンサに供給され、前記ディスペンサに取り付けられたノズルによって前記潤滑流体を前記動圧流体軸受に給液する給液方法であって、
前記潤滑流体容器に第３の温度調節手段を取り付けて、前記潤滑流体容器から前記ディスペンサに供給される前記潤滑流体を所定の温度に調節することを特徴とする。
これによって、潤滑流体自身の脱気処理が促進され、給液時に潤滑流体が完全に脱気されていないことによる気泡の流入を低減することができるようになる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の動圧流体軸受装置の製造方法および製造装置では、周囲の環境温度変化に左右されず潤滑流体を給液することができるため、給液量を安定させることができるようになり、従来の方法のように余分な潤滑流体の給液が不要になる。
【００１７】
次に潤滑流体の粘度が下がることにより、潤滑流体の液回り性が良くなって潤滑流体の回りこみ不足による給液不良を解消することができるようになり、また、潤滑流体の間隙部への浸透が早まることで１回の給液量を増大し、給液回数を低減することができるようになる。さらには、先の細いディスペンサノズルの使用が可能となることでより間隙部に近い位置までノズルを近づけることで、給液位置ずれを改善することもできる。また、給液後に間隙部に浸透されず動圧流体軸受上に保持される潤滑流体の形状も安定するので、この形状の撮影による給液量判定が精度よくおこなえることになる。
【００１８】
さらに、潤滑流体が温度を上げた状態で保存されることで潤滑流体自身の脱気処理が促進され、間隙部への気泡の流入を低減することができる。
【００１９】
以上に述べたように、本発明の動圧流体軸受の給液検査方法および給液検査装置による潤滑流体の充填を行えば、量産性に優れた安価で信頼性の高い動圧流体軸受、それを備えたスピンドルモータ、およびそれらを備えた記録再生装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明の一実施形態に係る動圧流体軸受の給液検査方法および給液検査装置について説明する。
【００２１】
なお、以下の説明において、「給液」とは、第１の気圧下で動圧流体軸受に所定量の潤滑流体を滴下等により供給することを示し、「充填」とは、給液後の動圧流体軸受を第２の気圧に昇圧して供給された潤滑流体を軸受隙間部に充填することを示している。
【００２２】
本実施形態に係るスピンドルモータに搭載される動圧流体軸受１に対し、潤滑流体２を給液、検査し、気圧差を利用して間隙部８に充填する給液検査装置１０を図１に示す。
【００２３】
この装置において、真空容器１１は上部容器１１Ａと下部容器１１Ｂに分かれており、これら２つの容器をシール部材１２を介して合わせることで気密性を有する真空容器１１を構成している。上部容器１１Ａまたは下部容器１１Ｂには、減圧や復圧のために、図示しないバルブや真空ポンプ等が接続されており、真空容器１１内の気圧を任意にコントロールできるようになっている。
【００２４】
この真空容器１１上部には潤滑流体容器２４が配置されており、ここに給液前の潤滑流体２が保持される。この潤滑流体容器２４にも減圧や復圧のために、図示しないバルブや真空ポンプ等が接続されており、潤滑流体容器２４内の気圧を任意にコントロールできるようになっている。また、この潤滑流体容器２４のまわりにはヒーター１４Ｃが取り付けられ、潤滑流体２が温度コントローラ１５によって一定の高温度に保たれている。このようにすることで潤滑流体自身の脱気処理が促進され、給液時に潤滑流体２が完全に脱気されていないことによる気泡の流入を低減することができるようになる。さらに、この潤滑流体容器２４は配管を通してディスペンサ２３に繋がっており、その先端のノズル２５のまわりにもヒーター１４Ａが取り付けられ、潤滑流体２が給液される直前まで温度コントローラ１５によって一定温度に保つことができるようになっている。このようにすることで周囲の環境温度変化に左右されず潤滑流体２を給液することができるため、給液量を安定させることができるようになり、従来の方法のように余分な潤滑流体２の給液が不要になることで、高価である潤滑流体費用の削減や、後工程で行う余分な潤滑流体２の拭き取り工程に要する時間を短縮できる。また、温度設定を後述するような一定の高温度にすることで、潤滑流体２の粘度を下げることができ、潤滑流体２の液回り性が良くなって回りこみ不足による給液不良を解消することができるようになることや、潤滑流体２の間隙部への浸透が早まることで1回の給液量を増大、すなわち給液回数を低減することができるようになり、工程時間の短縮が行えること、さらには先の細いディスペンサノズルの使用が可能となることでより間隙部に近い位置までノズルを近づける、すなわち給液位置のずれによる給液不良を改善することができるようになる。
【００２５】
また、上部容器１１Ａの側面には、動圧流体軸受１の側部画像を得るための側部透視窓１７が設置されており、その近傍には側部画像を撮影するための側部照明装置１８と側部撮影装置１９とが配置されている。同様に上部容器１１Ａの天面には、動圧流体軸受１の上部画像を得るための上部透視窓２０が設置されており、その近傍には上部画像を撮影するための上部照明装置２１と上部撮影装置２２とが配置されている。ここに示す例では、上部照明装置２１および側部照明装置１８として光源を複数有する多点照明装置を利用している。この構成によって撮影された、給液時の側部画像および給液後の上部画像から給液された潤滑流体の形状を確認することで給液状態の判定を行うことができる。この給液状態の判定方法については後述する。
【００２６】
さらに、下部容器１１Ｂには位置制御できる駆動ステージ１３が組み付けられており、その上部にはヒーター１４Ｂが取り付けられ、駆動ステージ１３に乗せられるパレット１６を温度コントローラ１５によって一定の高温度に保つことができるようになっている。このパレット１６は動圧流体軸受１を複数搭載することが可能で、潤滑流体２の給液時にはどの位置に配置された動圧流体軸受１においても駆動ステージ１３により特定の給液位置への位置決めが可能になっている。こうすることで、給液作業中の動圧流体軸受１は常に一定の高温で保持されることになり、給液された潤滑流体２も低粘度のまま保持されることとなる。すなわち給液された潤滑流体２が動圧流体軸受１上で保持される形状が安定することになり、給液状態の判定の精度を上げることができる。
【００２７】
以上のように構成された装置を使って、動圧流体軸受１がどのように給液、検査されて動圧流体軸受１の間隙内に充填されるのかを以下で説明する。
【００２８】
（給液・検査方法および給液検査装置１０の動作）
動作の前には予め、潤滑流体２が潤滑流体容器２４に注入され、図示しない真空ポンプによって潤滑流体２の真空引きが行われている状態になっている。
【００２９】
まず、パレット１６に動圧流体軸受１をセットして、駆動ステージ１３に設置し、上部容器１１Ａを下降して真空容器１１を密閉させる。
【００３０】
そして、図示しない真空ポンプによって真空容器１１全体を真空引きして、第１の気圧となるように内圧を制御し、所定の減圧パターンに従って所定の真空度まで減圧する。最終の真空度は、動圧流体軸受１の種類や真空容器１１内に配置する動圧流体軸受１の数によって変わるが、例えば１０〜０．１Ｐａの範囲である。
【００３１】
真空容器１１内の真空引きが完了した後、パレット１６内の一つの動圧流体軸受１が給液位置に来るように駆動ステージ１３によって位置調整が行われ、ディスペンサ２３の先端のノズル２５から潤滑流体２が動圧流体軸受１に給液される。具体的には、例えば、パレット１６は円盤状の回転パレットであり、回転して位置決めする。ただし、この構造に限るものではない。給液後の動圧流体軸受１は側部画像および上部画像を撮影され、それらに映された潤滑流体２の形状により給液の状況の良否が判定される。
【００３２】
以上の工程がパレット１６にセットされている全ての動圧流体軸受１において繰り返された後、真空容器１１内は第１の気圧よりも高い第２の気圧に復圧される。ここでは、第２の気圧は大気圧が利用されている。なぜなら大気圧を利用することが最も経済的だからである（例えば、特許第３２０６１９１号参照）。もしこの時点で間隙部に充填されていない部分があるとすれば、この復圧工程によって未充填部内の減圧（第１の気圧）雰囲気と大気圧（第２の気圧）雰囲気で潤滑流体２を隔てて差圧が発生することとなり、動圧流体軸受１の間隙部にくまなく充填されることとなる。
【００３３】
さらに、真空容器１１内の復圧が完了してから上部容器１１Ａを上昇させて、真空容器１１内から動圧流体軸受１をパレット１６ごと取り出す。この時には、全ての動圧流体軸受１についての検査情報は個別に記憶されているので、次工程に移る前に良否判定によって選別等の処理をすることができる。
【００３４】
本実施例の給液・検査方法および装置の概要については、上述した通りであるが、さらに個別に方法および装置について以下に詳細に説明する。
【００３５】
（潤滑流体の給液判定方法）
図２は給液前の動圧流体軸受１における上部および側部照明装置から入射した光の反射状況とそれによる画像の明暗を示した模式図である。実線の矢印が動圧流体軸受１に入射する光の向きを、破線の矢印が動圧流体軸受１の表面で反射する光の向きを示している。
【００３６】
まず、上部撮影装置側では図２（ａ）の左図のように上部照明装置２１から動圧流体軸受１の方向に入射した光が上面で反射し上部撮影装置２２側に入射するため、同右図に示しているように動圧流体軸受１の上面全体が明るく見える。
【００３７】
側部撮影装置側では図２（ｂ）の上図のように側部照明装置１８から動圧流体軸受１の方向に入射した光が側面で反射し、側部撮影装置１９側には入射しないため、同下図に示しているように動圧流体軸受１の外形がシルエットとして暗く見える。
【００３８】
図３は上述した上部および側部撮影装置で撮影した動圧流体軸受１の画像の明暗状況を様々な給液状態の場合で分かりやすく示した図である。
【００３９】
まず図３（ａ）は図２で示した、給液前の状態の図である。上図が側部画像、下図が上部画像を示しており、図２で説明した通り、側部画像は動圧流体軸受１の外形がシルエットとして暗く現れ、上部画像では動圧流体軸受１の上面が全域にわたって明るく見える。
【００４０】
次に図３（ｂ）は給液された潤滑流体２の表面が円錐面形状よりも膨らんだ形で保持される理想的な給液量が供給された場合の図である。上図の側部画像では、動圧流体軸受１の外形に加え給液された潤滑流体２の外形もはっきりとシルエットとして暗く映される。下図の上部画像では、潤滑流体２の表面が円錐面形状よりも膨らんでいる部分での反射光が上部撮影装置の方向に向かなくなるため、この部分だけ明度が下がり暗く映される。
【００４１】
次に図３（ｃ）は給液された潤滑流体２の量が少なく、動圧流体軸受１のシャフト近傍にだけ保持されている状態の図である。上図の側部画像では、動圧流体軸受１の外形に加え給液された潤滑流体２の外形もはっきりとシルエットとして暗く映される。下図の上部画像では、シャフト近傍の潤滑流体２の表面が円錐面形状よりもしぼんでいる部分での反射光が上部撮影装置の方向に向かなくなるため、この部分だけ明度が下がり暗く映される。
【００４２】
次に図３（ｄ）はノズル位置がシャフト近傍から大きくスリーブ外周側にずれてしまって潤滑流体２が給液された状態の図である。上図の側部画像では、動圧流体軸受１の外形に加え給液された潤滑流体２の外形もはっきりとシルエットとして暗く映される。下図の上部画像では、図３（ｂ）および図３（ｃ）で示したように、潤滑流体２の表面が円錐面形状よりも膨らんだり、しぼんだりしている箇所での反射光が上部撮影装置の方向に向かなくなるため、この部分だけ明度が下がり暗く映される。
【００４３】
以上の説明から分かるように、給液後のシルエットの面積から給液前のシルエットの面積を差分することで潤滑流体のみのシルエットの面積を算出できるため、その値から給液された潤滑流体の量を算出することが可能であるが、潤滑流体の間隙部への浸透度合いや、動圧流体軸受の表面状態、給液位置のずれ等により、側部を撮影する方向によってシルエットの面積が異なるため、正確な潤滑流体の量を算出することは困難である。そのために前述したように、潤滑流体および動圧流体軸受を最適な温度に調整することで潤滑流体の間隙部への浸透が促進され、また保持される形状も安定するため、一方向からの面積測定であっても、より正確な潤滑流体量の算出が可能となる。
【００４４】
（設定温度の決定方法）
図４に本発明の給液検査装置で温度調整をしない状態で実際に動作させた時の真空容器内の温度変化を示す。この図からわかるように、温度コントロールをしない状態であると、真空容器内は断熱膨張やモータからの発熱により２５℃から４７℃まで変化する。これらの温度変化の影響を受けないようにするために設定温度は５０℃以上にする必要がある。
【００４５】
また、図５は今回適用している潤滑流体の粘度と密度の温度特性であり、温度を上げるほど粘度を低くすることができるが、無条件で温度を上げていくと、熱膨張の影響が大きくなって位置決め精度に影響が出ること、駆動ステージ等の設備の消耗が早まること、製品の取り扱いが困難になることが課題となる。そのためこの潤滑流体では特性の変化幅が小さくなってくる５０〜６０℃の間で温度設定を行っている。また、潤滑流体の安定性を考慮して調整範囲は±２℃以内にしている。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明に係る流体軸受装置の製造方法および製造装置によれば、動圧流体軸受に潤滑流体を気泡の混入無く充填することができ、また安定した給液状態を得られることで給液検査による充填不具合品を予め精度よく検出することができるので、信頼性の高い動圧流体軸受を必要とする記録再生装置等に広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係る潤滑流体給液検査装置を示す側断面図
【図２】（ａ）は給液前の動圧流体軸受において上部照明装置から入射した光の反射状況とそれによる上部画像の明暗を示した模式図、（ｂ）は給液前の動圧流体軸受において側部照明装置から入射した光の反射状況とそれによる側部画像の明暗を示した模式図
【図３】（ａ）は給液前の動圧流体軸受を上部および側部撮影装置で撮影した画像の明暗状況を分かりやすく示した模式図、（ｂ）は十分な量が給液された後の動圧流体軸受を上部および側部撮影装置で撮影した画像の明暗状況を分かりやすく示した模式図、（ｃ）は給液量が不足している場合の動圧流体軸受を上部および側部撮影装置で撮影した画像の明暗状況を分かりやすく示した模式図、（ｄ）はノズル位置が大きくずれた状態で給液された場合の動圧流体軸受を上部および側部撮影装置で撮影した画像の明暗状況を分かりやすく示した模式図
【図４】本発明の給液検査装置で温度調整を行わずに動作させた時の真空容器内の温度変化を示した図
【図５】本実施例にて適用している潤滑流体の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の粘度、動粘度と密度の温度特性を示した図
【図６】従来の動圧流体軸受を搭載したスピンドルモータを示す側断面図
【図７】従来の動圧流体軸受の構成を示す側断面図
【図８】従来の動圧流体軸受の給液装置および給液方法を示した図
【符号の説明】
【００４８】
１  動圧流体軸受
２  潤滑流体
３  スリーブ
４  シャフト
５  フランジ
６  スラストプレート
７  間隙部
１０  給液検査装置
１１  真空容器
１１Ａ  上部容器
１１Ｂ  下部容器
１２  シール部材
１３  駆動ステージ
１４Ａ  ヒーター（ノズル部）
１４Ｂ  ヒーター（パレット部）
１４Ｃ  ヒーター（潤滑流体容器部）
１５  温度コントローラ
１６  パレット
１７  側部透視窓
１８  側部照明装置
１９  側部撮影装置
２０  上部透視窓
２１  上部照明装置
２２  上部撮影装置
２３  ディスペンサ
２４  潤滑流体容器
２５  ノズル
３０  スピンドルモータ
３１  ベース
３２  ハブ
３３  マグネット
３４  ステータ
【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図２】
2008240855.tif 000009
【図３】
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