(57)【要約】【課題】取り扱いやすい流体機器ユニットを提供すること。【解決手段】第１流体機器２Ａの接続部１７Ｂと第２バルブ２Ｂの接続部１７Ａとの間にシール部材１０を介在させ、連結部材３を用いて前記第１流体機器２Ａと前記第２流体機器２Ｂとの接続部分を接続する流体機器ユニット１において、前記第１流体機器２Ａ及び前記第２流体機器２Ｂが取り付けられるレール部材５を有する。前記レール部材５は、レール溝６を有し、前記第１流体機器２Ａ及び前記第２流体機器２Ｂは、前記レール溝６にスライド可能に係合する係合部２０Ａ，２０Ｂを有する。【選択図】図２
2008240967.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流体機器の接続部と第２流体機器の接続部との間にシール部材を介在させ、連結部材を用いて前記第１流体機器と前記第２流体機器との接続部分を接続する流体機器ユニットにおいて、
前記第１及び第２流体機器が取り付けられるレール部材を有する
ことを特徴とする流体機器ユニット。
【請求項２】
請求項１に記載する流体機器ユニットにおいて、
前記レール部材は、レール溝を有し、
前記第１及び第２流体機器は、前記レール溝にスライド可能に係合する係合部を有する
ことを特徴とする流体機器ユニット。
【請求項３】
請求項２に記載する流体機器ユニットにおいて、
前記レール溝は、開口部内壁から内向きに突設された一対の突出片を有し、
前記係合部は、前記一対の突出片の間に形成される間隙に挿入可能な幅であって、前記レール溝内で向きを変えることにより前記一対の突出片に掛止される本体部を有する
ことを特徴とする流体機器ユニット。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する流体機器ユニットにおいて、
前記レール部材に取り付けられ、前記第１及び前記第２流体機器を前記レール部材に対して位置決めする位置決め部材を有する
ことを特徴とする流体機器ユニット。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか一つに記載する流体機器ユニットにおいて、
前記レール部材は、形が異なるレール部品を連結して組み合わせたものである
ことを特徴とする流体機器ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体機器を連結部材を用いて互いに連結する流体機器ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工程や液晶製造工程などの薬液制御には、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器が使用される。近年、装置のコンパクト化のため、これら流体機器の接続部同士を連結部材を用いて直接連結し、ユニット化することが行われている。図２３は、従来の流体機器ユニット１００の一例を示す。
【０００３】
従来の流体機器ユニット１００は、同一構造の第１バルブ１０１Ａと第２バルブ１０１Ｂの接続部をシール部材１０２を介して突き合わせ、第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分を連結部材１０３を用いて連結している。第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂは、樹脂製のバルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂに駆動部１０５Ａ，１０５Ｂを図示しないボルトで固定したものである。バルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂは、流路１０６Ａ，１０６Ｂが側面に開口し、各開口部の周りにフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂが突設されている。各フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続面には、シール部材１０２を装着するための装着溝１０８Ａ，１０８Ｂが流路１０６Ａ，１０６Ｂの開口部の周りに沿って形成されている。
【０００４】
連結部材１０３は、第１連結ブロック１１０と第２連結ブロック１１１とに分割されている。第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂは、装着溝１０８Ａ，１０８Ｂの間にシール部材１０２を配置してフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続面同士を突き合わせ、フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続部分の周りを覆うように第１連結ブロック１１０，１１１とを取り付ける。そして、第１及び第２連結ブロック１１０，１１１に上方から図示しないボルトを締結することにより、第１及び第２連結ブロック１１０，１１１を一体化してフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続部分を固定する。これにより、第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂは、フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続部分でシール部材１０２を押し潰してシールした状態でフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂが接続される。
【０００５】
流体機器ユニット１００は、バルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂの下面に取り付けた取付ブロック１１２Ａ，１１２Ｂを介して半導体製造装置に組み付けられる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の流体機器ユニット１００は、第１バルブ１０１Ａと第２バルブ１０１Ｂを連結部材１０３を介してのみ接続するため、接続部分の強度が弱く、取扱にくかった。
【０００８】
すなわち、流体機器ユニット１００は、例えば、作業者が出荷時に第２バルブ１０１Ｂを手でつかんで持ち上げたときに、第１バルブ１０１Ａの自重が第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分に作用し、第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分で撓むことがあった。第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分が撓むと、円周方向にほぼ均一であったシール部材１０２のシールバランスが崩れ、シール不良を招く。フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂを含むバルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂは、樹脂成形品であるため、フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続面が外力によって塑性変形しやすく、流体機器ユニット１００が見た目上もとの形状に戻っても、シール不良を起こす可能性があった。この場合、作業者は、流体機器ユニット１００が取扱時に変形してシール不良を生じても、不良品を発見することが難しかった。よって、作業者は、流体機器ユニット１００を取り扱う時に細かい注意を払わざるを得ず、流体機器ユニット１００の取扱いにかかる負担が大きかった。
【０００９】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、取り扱いやすい流体機器ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る流体機器ユニットは、次のような構成を有している。
（１）第１流体機器の接続部と第２流体機器の接続部との間にシール部材を介在させ、連結部材を用いて前記第１流体機器と前記第２流体機器との接続部分を接続する流体機器ユニットにおいて、前記第１及び第２流体機器が取り付けられるレール部材を有する。
尚、「流体機器」には、バルブやセンサ、継手ブロック、流路ブロックなど、流体制御に使用される機器を含む。
「シール部材」は、断面がＯ型やＨ型のシールリングなど、接続部をシールするものをいう。
「連結部材」は、接続部同士を個別に連結する連結ブロックや、複数の流体機器に貫き通して流体機器同士を接続するボルトなどを含む。
【００１１】
（２）（１）に記載の発明において、前記レール部材は、レール溝を有し、前記第１及び第２流体機器は、前記レール溝にスライド可能に係合する係合部を有する。
【００１２】
（３）（２）に記載の発明において、前記レール溝は、開口部内壁から内向きに突設された一対の突出片を有し、前記係合部は、前記一対の突出片の間に形成される間隙に挿入可能な幅であって、前記レール溝内で向きを変えることにより前記一対の突出片に掛止される本体部を有する。
【００１３】
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記レール部材に取り付けられ、前記第１及び前記第２流体機器を前記レール部材に対して位置決めする位置決め部材を有する。
【００１４】
（５）（１）乃至（４）の何れか一つに記載の発明において、前記レール部材は、形が異なるレール部品を連結して組み合わせたものである。
【発明の効果】
【００１５】
上記構成を有する本発明の流体機器ユニットは、シール部材が介在する接続部分を連結部材を用いて接続された第１流体機器と第２流体機器とを、レール部材に取り付けたので、第１及び第２流体機器の接続部分の強度がレール部材によって補強され、流体機器ユニットを取り扱いやすい。
【００１６】
本発明の流体機器ユニットは、第１及び第２流体機器が係合部をレール部材のレール溝にスライド可能に係合させているので、第１及び第２流体機器をレール部材に取り付けた後に簡単に位置調節できる。
【００１７】
本発明の流体機器ユニットは、第１及び第２流体機器は、レール部材に設けた一対の突出片の間に形成した間隙からレール溝へ係合部の本体部を挿入し、レール溝内で本体部の向きを変えることにより、本体部が一対の突出部に引っ掛かってレール部材から取り外せなくなる。よって、第１及び第２流体機器は、流体機器ユニットを分解しなくても、単独でレール部材に着脱できる。
【００１８】
本発明の流体機器ユニットは、位置決め部材をレール部材に取り付けることにより、レール部材に対してスライド可能に取り付けた第１及び第２流体機器の移動を制限して位置決めするので、第１及び第２流体機器をレール部材の任意の位置に保持することができる。
【００１９】
本発明の流体機器ユニットは、レール部品を連結して組み合わせることにより流体機器のレイアウトに対応したレール部材を作り上げることができるので、レール部材の在庫を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明に係る流体機器ユニットの一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
（第１実施形態）
＜全体構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る流体機器ユニット１の外観斜視図である。
流体機器ユニット１は、第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとを連結部材３を用いて接続している。また、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂには、継手ブロック４が連結部材３を用いてそれぞれ連結されている。第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂと継手ブロック４は、それぞれ「第１流体機器」と「第２流体機器」の一例になりうる。流体機器ユニット１は、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂと継手ブロック４をレール部材５に取り付けている点に特徴を有する。流体機器ユニット１は、半導体製造装置や液晶製造装置などにレール部材５を介して組み付けられる。
【００２２】
＜第１バルブ及び第２バルブの構成＞
図２は、図１に示す流体機器ユニット１の部分断面図である。
第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、同一構造をなす。第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、バルブボディ１１Ａ，１１Ｂに駆動部１２Ａ，１２Ｂが取り付けられている。駆動部１２Ａ，１２Ｂは、耐腐食性を確保するために、構成部品に樹脂成形品を使用する（但し、例えば、駆動部１２Ａ，１２Ｂがエアオペレイトタイプである場合の付勢バネのように、樹脂では機能を発揮できない構成部品を除く。）。
【００２３】
バルブボディ１１Ａ，１１Ｂは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの樹脂を略直方体形状にした樹脂成形品であり、一次側ポート１３Ａ，１３Ｂと二次側ポート１４Ａ，１４Ｂとが弁座１５Ａ，１５Ｂを介して連通している。弁座１５Ａ，１５Ｂには、駆動部１２Ａ，１２Ｂの駆動力によって往復直線運動するダイアフラム１６Ａ，１６Ｂが当接又は離間して弁の開閉を行う。
【００２４】
バルブボディ１１Ａ，１１Ｂは、対向する側面に、一次側ポート１３Ａ，１３Ｂと二次側ポート１４Ａ，１４Ｂがそれぞれ開口し、各ポート１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂの開口部外周に沿ってフランジ部１７Ａ，１７Ｂが突設されている。フランジ部１７Ａ，１７Ｂの接続面には、シール部材１０を装着するための装着溝１８Ａ，１８Ｂがそれぞれ形成されている。
【００２５】
フランジ部１７Ａ，１７Ｂは、外周面に沿って、環状凹凸条が設けられている。連結部材３は、第１連結ブロック２４と第２連結ブロック２５とを金属製のボルト２６（図１３参照）によって固定したものである。第１及び第２連結ブロック２４，２５は、フランジ部１７Ａ，１７Ｂの環状凹凸条に対応する環状凸凹状が内周面に形成されている。第１及び第２連結ブロック２４，２５は、フランジ部１７Ａ，１７Ｂの環状凹凸条に環状凸凹条を嵌め込むようにフランジ部１７Ａ，１７Ｂの外周に装着され、上方から第１及び第２連結ブロック２４，２５に締結したボルト２６（図１３参照）の締結力によって、フランジ部１７Ａ，１７Ｂの接続部を接続する。
【００２６】
フランジ部１７Ａ，１７Ｂの環状凹凸条と第１及び第２連結ブロック２４，２５の環状凸凹条には、第１及び第２連結ブロック２４，２５の環状凸凹条をフランジ部１７Ａ，１７Ｂの環状凹凸条に嵌め込むときに発生する力を接続部側に作用させるようにテーパが設けられている。尚、ボルト２６は、頭部が樹脂やゴムなどのキャップ２７に覆われて、腐食性雰囲気から遮断される（図１参照）。
【００２７】
バルブボディ１１Ａ，１１Ｂの下面には、取付ブロック１９Ａ，１９Ｂが取り付けられている。取付ブロック１９Ａ，１９Ｂは、耐腐食性を確保するために、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂を略直方体形状に成形したものである。取付ブロック１９Ａ，１９Ｂの下面には、レール部材５に形成されたレール溝６にスライド可能に係合する係合部２０Ａ，２０Ｂが設けられている。
【００２８】
図３は、図１に示す第１バルブ２Ａとレール部材５との関係を説明する図であり、（ａ）は第１バルブ２Ａの側面図を示し、（ｂ）はレール部材５の断面図を示す。図４は、図１に示す第１バルブ２Ａの下面図である。ここでは、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂが同一構造であるので、第１バルブ２Ａを例に挙げて係合部２０Ａの構成を説明する。
図３（ａ）に示すように、係合部２０Ａは、取付ブロック１９Ａの下面から下方に突き出す脚部２１Ａと、脚部２１Ａの先端部に一体形成された本体部２２Ａとからなる。
【００２９】
図３（ｂ）に示すように、レール部材５は、一対の突出片７，７が上面開口部の両側内壁から内向きに突出し、一対の突出片７，７の間に形成される間隙８の幅寸法Ｘがレール溝６の幅寸法Ｙより狭くされている。
【００３０】
図３の（ａ）及び（ｂ）に示すように、脚部２１Ａは、外径寸法Ｘ’が間隙８の幅寸法Ｘより小さく、一対の突出片７，７の間に形成される間隙８内で回転しうる大きさ形状で形成されている。
【００３１】
図４に示すように、本体部２２Ａは、底面が略菱形をなす。本体部２２Ａは、一対の突出片７，７の間を通過できるように、短手方向の幅寸法Ｙ’’が脚部２１Ａの幅寸法Ｘ’と同一であって、間隙８の寸法Ｘより小さくされている。本体部２２Ａは、レール溝６内に配置された後にレール溝６内で向きを変えることにより、両端がレール部材５の突出片７，７に掛止されるように、本体部２２Ａの長手方向の幅寸法Ｙ’を、短手方向の幅寸法Ｙ’’及び間隙８の幅寸法Ｘより大きく、レール溝６の幅寸法Ｙより小さくしている。本体部２２Ａの外周縁には、一対の係止面２３Ａが脚部２１Ａを挟んで平行に形成され、レール溝６を構成する側壁に突き当てられて係止されるようになっている。本体部２２Ａは、レール溝６の内壁と突出片７，７に摺接するように厚さが設定されている。
【００３２】
従って、第１バルブ２Ａは、係合部２０Ａの本体部２２Ａをレール部材５の間隙８からレール溝６内に挿入した後、一対の係止面２３Ａ，２３Ａがレール溝６を構成する側壁に当接して係止されるまで回転されると、本体部２２Ａの両端が突出片７，７に引っかかってレール溝６から抜けなくなり、レール部材５にスライド可能に取り付けられる。
【００３３】
＜継手ブロックの構成＞
図１に示す継手ブロック４は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂でブロック状に成形されている。継手ブロック４は、一方の側面に配管が接続される配管ポート５１が設けられ、他方の側面に配管ポート５１に連通する流路５２が開口している。流路５２の開口部には、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂのフランジ部１７Ａ，１７Ｂと同様の形状を有するフランジ部５３が設けられ、装着溝１８Ａ，１８Ｂと同様の装着溝５４がフランジ部５３の接続面に形成されている。
【００３４】
継手ブロック４は、取付ブロック５５を備え、取付ブロック５５を介してレール部材５に取り付けられる。取付ブロック５５の底面には、上記取付ブロック１９Ａの係合部２０Ａと同一形状の係合部５６が突設されている。従って、継手ブロック４も、第１バルブ２Ａと同様にして係合部５６をレール部材５に係合させ、レール部材５にスライド可能に取り付けられる。
【００３５】
＜レール部材の構成＞
図１及び図２に示すように、レール部材５は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂をストレート形状に成形した複数のＳ型レール部品３１を連結し、その両端部にレールエンド部品３２を連結して構成されている。流体機器ユニット１は、流体機器ユニット１の両側に取り付けられた位置決め部材３３，３３により、レール部材５に対して位置決めされている。
【００３６】
＜Ｓ型レール部品の構成＞
図５は、図１に示すＳ型レール部品３１の平面図である。図６は、図５に示すＳ型レール部品３１を図中Ａ方向から見た図である。図７は、図５に示すＳ型レール部品３１を図中Ｂ方向から見た図である。
Ｓ型レール部品３１は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂を、ストレート状に成形したものである。Ｓ型レール部品３１は、略矩形状の底壁３５の両端に側壁３６，３６が立設され、上方に開口するレール溝６を形成する。Ｓ型レール部品３１は、レール溝６の開口部両壁、すなわち、側壁３６，３６の先端部内壁から内向きに突出片７が垂設され、一対の突出片７，７の間の間隙８をレール溝６の幅寸法Ｙより狭くしている。
【００３７】
底壁３５は、側壁３６，３６の両端が位置する端面に、凸部３７と凹部３８が形成されている。Ｓ型レール部品３１は、凸部３７と凹部３８を他のＳ型レール部品３１等に形成された凹部３８と凸部３７に係合させ、他のＳ型レール部品３１等と連結される。Ｓ型レール部品３１は、他のＳ型レール部品３１等に対する接続方向を限定しないために、底壁３５の両端面形状を同一にしている。
【００３８】
凸部３７と凹部３８は、底壁３５の端面中心を挟んで半々に形成され、凸部３７が底壁３５の端面から突出する量と凹部３８が底壁３５の端面から凹む量とが同一にされている。凸部３７は、Ｓ型レール部品３１が他のＳ型レール部品３１等に接続される接続方向に対して直交するように、ボルト３０（図９参照）を挿通する挿通孔３９が形成されている。また、底壁３５は、凹部３８を構成する面から挿通孔３９と平行に、内周面に雌ねじが形成されたボルト孔４０が形成されている。尚、側壁３６，３６は、底壁３５の端面まで形成され、凸部３７上には側壁３６が設けられず、凹部３８の上方には側壁３６が突き出している。
【００３９】
＜レールエンド部品の構成＞
図８は、図１に示すレールエンド部品３２の外観斜視図である。
レールエンド部品３２は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂成形品である。レールエンド部品３２は、底壁４１の両側に側壁４２，４２が立設されて、レール溝６を構成する。側壁４２，４２の先端部内壁には、突出片７がそれぞれ内向きに垂設され、一対の突出片７，７の間隙８がレール溝６より狭くなっている。底壁４１の一端面には、Ｓ型レール部品３１と同様に凸部３７、凹部３８、挿通孔３９、ボルト孔４０が形成され、凸部３７の上方には側壁４２が設けられず、凹部３８の上方には側壁４２が突き出している。これに対して、底壁４１の他端面には、側壁４２，４２の間に形成されたレール溝６を塞ぐように閉鎖壁４３が立設されている。さらに、レールエンド部品３２の側面には、流体機器ユニット１を半導体製造装置などの外部装置に取り付けるための取付部４４，４４が設けられている。取付部４４，４４には、レール部材５を固定するためのボルトを貫き通す貫通孔４５が形成されている。
【００４０】
＜レール部品の連結構造＞
図９は、図１に示すＳ型レール部品３１−レールエンド部品３２間の連結構造を示す図である。
Ｓ型レール部品３１は、一端面に形成された凸部３７と凹部３８をレールエンド部品３２の凹部３８と凸部３７に当接させる。このとき、Ｓ型レール部品３１は、凸部３７がレールエンド部品３２の凹部３８上に突出する側壁４２の下側に入り込み、凹部３８にレールエンド部品３２の凸部３７が入り込み、側壁３６，３６がレールエンド部品３２の側壁４２，４２にそれぞれ当接する。そして、Ｓ型レール部品３１の挿通孔３９とボルト孔４０が、レールエンド部品３２のボルト孔４０と挿通孔３９に対してそれぞれ一直線上に並ぶ。
【００４１】
そこで、ボルト３０を各挿通孔３９からボルト孔４０に挿通して締め付ける。これにより、Ｓ型レール部品３１とレールエンド部品３２とが連結される。このとき、２本のボルト３０，３０が、Ｓ型レール部品３１とレールエンド部品３２の接続部分に反対向きに締結されて梁の役割を果たす。また、Ｓ型レール部品３１の側壁３６とレールエンド部品３２の側壁４２が、それぞれレールエンド部品３２の凸部３７とＳ型レール部品３１の凸部３７の上方に配置され、レールエンド部品３２の凸部３７とＳ型レール部品３１の凸部３７の浮き上がりを防ぐ。よって、Ｓ型レール部品３１とレールエンド部品３２の接続部分は、ねじり荷重、及び、レール溝６が開口する面に曲げ荷重が作用しても撓みにくく、強度が確保される。
【００４２】
各ボルト孔４０の開口部には、樹脂やゴム製のキャップ２９が装着され、ボルト３０が腐食性雰囲気にさらされることを防止している。
尚、Ｓ型レール部品３１同士も上記と同様に連結される。
【００４３】
＜位置決め部材の構成＞
図１０は、図１に示す位置決め部材３３の外観斜視図である。
位置決め部材３３は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂成形品である。位置決め部材３３は、レール部材５を覆うようにコの字型に成形されている。位置決め部材３３は、頂壁の内面にガイド部４６が設けられている。ガイド部４６は、レール溝６の内壁と一対の突出片７，７に摺動可能に支持されるように、Ｔ字型に形成されている。位置決め部材３３の側壁には、固定ねじ４８がねじ込まれるねじ孔４７が形成されている。ねじ孔４７の開口部には、固定ねじ４８の頭部を腐食性雰囲気から遮断するためのキャップ４９が装着される。
【００４４】
上記位置決め部材３３は、Ｓ型レール部品３１とレールエンド部品３２の連結を完了する前に、レール溝６の開放端からガイド部４６を挿入するようにして、レール部材５に装着される。そして、流体機器ユニット１をレール部材５に取り付けたら、位置決め部材３３をスライドさせて流体機器ユニット１の両端に配置し、ねじ孔４７に固定ねじ４８をねじ込んで固定ねじ４８の先端部をレール部材５の端面に押し付ける。これにより、位置決め部材３３がレール部材５に固定され、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂや継手ブロック４の移動を制限して位置決めする。
【００４５】
＜流体機器の着脱＞
第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂと継手ブロック４の着脱は、同様であるので、ここでは、第１バルブ２Ａの着脱を例に挙げて説明する。図１１〜図１４は、図１に示す流体機器ユニット１の分解説明図である。
第１バルブ２Ａをレール部材５から取り外す場合には、先ず図１１に示すように、第１バルブ２Ａと継手ブロック４との連結を解除する。具体的には、第１バルブ２Ａ側の位置決め部材３３に装着したキャップ４９，４９を外して固定ねじ４８，４８を緩め、位置決め部材３３を第１バルブ２Ａ側の継手ブロック４から離間させる。そして、継手ブロック４と第１バルブ２Ａとを連結する連結部材３からキャップ２７，２７を外し、ボルト２６，２６を抜き出す。それから、第１及び第２連結ブロック２４，２５を継手ブロック４のフランジ部５３と第１バルブ２Ａのフランジ部１７Ａとの接続部から取り外し、継手ブロック４を作業の邪魔にならない位置へレール部材５に沿って移動させる。
【００４６】
次に、図１２に示すように、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結を解除する。第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの連結解除方法は、継手ブロック４と第１バルブ２Ａとの連結解除方法と同様であるので、説明を省略する。第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂのフランジ部１７Ａ，１７Ｂの接続部から連結部材３を取り外したら、第２バルブ２Ｂ側の位置決めブロック３３からキャップ４９を取り外して固定ねじ４８を緩め、第２バルブ２Ｂを継手ブロック４及び位置決め部材３３と一緒に、邪魔にならない位置へレール部材５に沿って移動させる。
【００４７】
次に、図１３に示すように、第１バルブ２Ａを図中矢印方向に回転させた後、図１４に示すように第１バルブ２Ａを持ち上げてレール部材５から取り外す。具体的には、第１バルブ２Ａは、回転前には、本体部２２Ａが係止面２３Ａをレール部材５の側壁に当接させた状態でレール部材５に設けた一対の突出片７，７に引っ掛かっており、レール部材５から取り外せない。しかし、図１３に示すように、第１バルブ２Ａを図中矢印方向に回転させ、本体部２２Ａの短手方向の幅Ｙ’をレール部材５の間隙８の幅Ｘに合わせると、本体部２２Ａの引っかかりが解除され、本体部２２Ａ全体が間隙８内に収まる。そこで、図１４に示すように、第１バルブ２Ａを真上に持ち上げて本体部２２Ａをレール溝６から抜き出し、第１バルブ２Ａをレール部材５から取り外す。
【００４８】
尚、第１バルブ２Ａの取り付けは、上記取り外し手順と逆の手順で行えばよい。
【００４９】
＜作用効果＞
以上説明したように、第１実施形態の流体機器ユニット１は、例えば、シール部材１０を介してフランジ部１７Ａ，１７Ｂを突き合わせ、連結部材３を用いて接続部分を接続された第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとを、レール部材５に取り付けたので、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部分の強度がレール部材５によって補強され、流体機器ユニット１を取り扱いやすい。
【００５０】
具体的には、例えば、流体機器ユニット１を出荷する場合に、レール部材５の一端をつかんで持ち上げても、レール部材５が撓みにくく、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部分にねじり荷重や曲げ荷重がかからない。よって、第１実施形態の流体機器ユニット１は、出荷時の取扱いによるシール不良が生じにくく、取扱性が良い。
【００５１】
第１実施形態の流体機器ユニット１は、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂが係合部２０Ａ，２０Ｂをレール部材５のレール溝６にスライド可能に係合させているので、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂをレール部材５に取り付けた後に簡単に位置調節できる。
【００５２】
そのため、例えば、流体機器ユニット１を半導体製造装置や液晶製造装置などに組み付けた後に、組み付け先のラインレイアウトに応じて第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの位置をずらしたい場合には、位置決め部材３３の固定ねじ４８を緩めれば、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部に荷重をかけることなく第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂをレール部材５に沿って簡単に移動させて位置調節することができる。また、例えば、第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂとを接続する場合に、レール部材５に取り付けた第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂをレール部材５に沿って移動させ、第１バルブ２Ａのフランジ部１７Ａと第２バルブ２Ｂのフランジ部１７Ｂとを突き合わせれば、第１バルブ２Ａの二次側ポート１４Ａと第２バルブ２Ｂの一次側ポート１３Ａとを簡単に位置合わせできる。
【００５３】
第１実施形態の流体機器ユニット１は、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、レール部材５に設けた一対の突出片７，７の間に形成した間隙８からレール溝６へ係合部２０Ａ，２０Ｂの本体部２２Ａ，２２Ｂを挿入し、レール溝６内で本体部２２Ａ，２２Ｂの向きを変えることにより、本体部２２Ａ，２２Ｂが一対の突出部７，７に引っ掛かってレール部材から取り外せなくなる。よって、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂは、流体機器ユニット１を分解しなくても、単独でレール部材５に着脱できる。
【００５４】
このため、レール部材５に第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂなどを取り付けて流体機器ユニット１の強度を確保しても、レール部材５に流体機器を取り付けない従来品と同様に、流体機器ユニット１全体を分解せずに例えば第１バルブ２Ａのメンテナンスや交換を個別に行うことができる。
【００５５】
第１実施形態の流体機器ユニット１は、位置決め部材３３をレール部材５に取り付けることにより、レール部材５に対してスライド可能に取り付けた第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂなどの移動を制限して位置決めするので、流体機器ユニット１をレール部材５の任意の位置に保持することができる。
【００５６】
第１実施形態の流体機器ユニット１は、Ｓ型レール部品３１やレールエンド部材３２を連結して組み合わせることにより流体機器のレイアウトに対応したレール部材５を作り上げることができるので、レール部材５の在庫を減らすことができる。例えば、図１に示す流体機器ユニット１にバルブ２を３個追加する場合でも、図１に示すレールエンド部品３２の一方を取り外して、Ｓ型レール部品３１を必要な数だけ連結し、再びレールエンド部材３２を連結すれば、レール部材５を簡単に延長でき、全長が長いレール部材を別途在庫として準備する必要がない。しかも、Ｓ型レール部品３１やレールエンド部品３２は、コンパクトであるため、保管場所を取らない。
【００５７】
（第２実施形態）
続いて、本発明に係る流体機器ユニットの第２実施形態を説明する。図１５は、本発明の第２実施形態に係る流体機器ユニット６１の外観斜視図である。
第２実施形態の流体機器ユニット６１は、レール部材５がＳ型レール部品３１の他に、Ｌ型レール部品７１とＴ型レール部品８１とを備え、それらのレール部品３１，７１，８１を組み合わせて構成されている点が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、共通する点は図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００５８】
＜流体機器ユニットの全体構成＞
流体機器ユニット６１は、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂを備えるラインと、第３、第４、第５バルブ２Ｃ，２Ｄ，２Ｅを備えるラインとを並列に設けている。分岐流路ブロック６２は、第３バルブ２Ｃと第４バルブ２Ｄに連結部材３を用いて接続し、さらに、連結部材３を用いて方向転換ブロック６３に接続する。方向転換ブロック６３は、連結部材３を用いて第１バルブ２Ａに接続され、別ラインにある分岐流路ブロック６２と第１バルブ２Ａとを連通させる。各流体機器２Ａ〜２Ｅ、４は、レール部材５に取り付けられている。
【００５９】
＜レール部材＞
図１６は、図１５に示すレール部材５の外観斜視図である。
レール部材５は、Ｓ型レール部品３１とＬ型レール部品７１とＴ型レール部品８１とレールエンド部品３２とを組み合わせて、上記第１〜第５バルブ２Ａ〜２Ｅや継手ブロック４などの流体機器のレイアウトに対応する形態になっている。
【００６０】
図１７は、図１６に示すＬ型レール部品７１の平面図である。図１８は、図１７に示すＬ型レール部品７１を図中Ｃ方向から見た図である。図１９は、図１７に示すＬ型レール部品７１を図中Ｄ方向から見た図である。
Ｌ型レール部品７１は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂成形品である。Ｌ型レール部品７１は、Ｌ字型の底壁７２を備え、底壁７２の内側と外側のカーブに沿って側壁７３，７３が立設されている。側壁７３，７３は、突出片７が先端部内壁から内向きにそれぞれ垂設され、一対の突出片７，７によって間隙８がレール溝６より狭くなっている。Ｌ型レール部品７１は、２個の端面を備え、各端面にＳ型レール部品３１と同様の凸部３７、凹部３８、挿通孔３９、ボルト孔４０が設けられており、凸部３７の上方には側壁７３が設けられず、凹部３８の上方には側壁７３が突き出している。尚、Ｌ型レール部品７１は、他のレール部品に対する接続方向の制限を少なくするために、二辺を同じ長さにしている。
【００６１】
図２０は、図１６に示すＴ型レール部品８１の平面図である。図２１は、図２０に示すＴ型レール部品８１を図中Ｅ方向から見た図である。図２２は、図２０に示すＴ型レール部品８１を図中Ｆ方向から見た図である。
Ｔ型レール部品８１は、ＰＦＡやＰＰＳなどの樹脂成形品である。Ｔ型レール部品８１は、Ｔ字型の底壁８２を備え、側壁８３，８３，８４，８４が底壁８２の縁部に沿ってＴ字状に設けられている。側壁８４，８４の端部は、側壁８３の側面に接続し、側壁８４，８４と底壁８２により形成されるレール溝６が閉鎖されている。側壁８３，８３，８４，８４は、突出片７が先端部内壁から内向きにそれぞれ垂設され、一対の突出片７，７によって形成された間隙８がレール溝６より狭くなっている。Ｔ型レール部品８１は、３箇所に端面を備え、各端面にＳ型レール部品３１と同様の凸部３７、凹部３８、挿通孔３９、ボルト孔４０が設けられており、凸部３７の上方には側壁８３が設けられず、凹部３８の上方には側壁８３が突き出している。
【００６２】
＜レール部品の連結＞
Ｌ型レール部品７１とＴ型レール部品８１は、第１実施形態で説明したＳ型シール部品３１とレールエンド部材３２との連結と同様、凸部３７と凹部３８を他のレール部品の凹部３８と凸部３７に接続してボルト３０，３０を挿通孔３９からボルト孔４０に挿通して締結すれば、他のレール部品に連結できる。尚、詳細は第１実施形態で説明したので、これ以上の説明を省略する。
【００６３】
＜作用効果＞
第２実施形態の流体機器ユニット６１は、第１実施形態の流体機器ユニット１の作用効果に加え、一列のラインにはＳ型レール部品３１を連結して配置し、ラインの分岐位置にはＴ型レール部品８１を配置し、ラインのカーブ位置にはＬ型レール部品７１を配置することによって、レール部材５を任意の方向に曲げたり、延長することができ、少ないレール部品３１，３２，７１，８１の種類で多種多様なラインレイアウトに対応するレール部材５を作り上げることができる。また、流体機器ユニット６１の組み付け先のラインレイアウトの変更等に、レール部材５の形状を迅速に対応させ、流体機器の増減や配置変更を行うことができる。
【００６４】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００６５】
（１）例えば、上記実施形態では、複数のレール部品３１，３２，７１，８１によりレール部材５を構成したが、レール部材を単独の部品で構成してもよい。
【００６６】
（２）例えば、上記実施形態では、レール部材にレール溝を形成し、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂなどの係合部２０Ａ，２０Ｂを係合させて、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂなどをレール部材５に取り付けた。これに対して、レール部材にねじ孔を形成し、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂ等の流体機器をレール部材にねじ止めしてもよい。
【００６７】
（３）例えば、上記実施形態では、位置決め部材３３のねじ孔４７にねじ込んだ固定ねじ４８の先端をレール部材５の側面に押し付けて位置決め部材３３を固定した。これに対して、位置決め部材３３に貫通孔を形成する一方、レール部材５の側面にねじ孔を形成し、位置決め部材３３の貫通孔に固定ねじ４８を挿通してレール部材５のねじ孔に締め付けることにより、位置決め部材３３をレール部材５に固定するようにしてもよい。
【００６８】
（４）例えば、上記実施形態では、係合部２０の本体部２２を略菱形にしたが、レール部材５の間隙８からレール溝６へ挿入可能であって、レール溝６内で向きを変えることにより突出片７に引っ掛かる形状であれば、楕円形状等であってもよい。
【００６９】
（５）例えば、上記実施形態では、第１及び第２連結ブロック２４，２５を用いて第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂなどの接続部を連結した。これに対して、例えば、「連結部材」としてボルト等を用いてもよい。この場合、例えば、第１バルブ２Ａと第２バルブ２Ｂの接続部にシール部材１０を配置し、第１バルブ２Ａを構成するバルブボディ１１Ａの側面から第２バルブ２Ｂを構成するバルブボディ１１Ｂにボルトを挿し通して締結し、第１及び第２バルブ２Ａ，２Ｂの接続部分を連結する。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図２】図１に示す流体機器ユニットの部分断面図である。
【図３】図１に示す第１バルブとレール部材との関係を示す図である。
【図４】図１に示す第１バルブの下面図である。
【図５】図１に示すＳ型レール部品の平面図である。
【図６】図５に示すＳ型レール部品を図中Ａ方向から見た図である。
【図７】図５に示すＳ型レール部品を図中Ｂ方向から見た図である。
【図８】図１に示すレールエンド部品の外観斜視図である。
【図９】図１に示すＳ型レール部品−レールエンド部品間の連結構造を示す図である。
【図１０】図１に示す位置決め部材の外観斜視図である。
【図１１】図１に示す流体機器ユニットの分解説明図であって、継手ブロックと第１ブロックとの連結を解除した図である。
【図１２】図１に示す流体機器ユニットの分解説明図であって、第１バルブと第２バルブとの連結を解除した図である。
【図１３】図１に示す流体機器ユニットの分解説明図であって、第１バルブをレール部材に対して回転させた図である。
【図１４】図１に示す流体機器ユニットの分解説明図であって、第１バルブをレール部材から取り外した図である。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図１６】図１５に示すレール部材の外観斜視図である。
【図１７】図１６に示すＬ型レール部品の平面図である。
【図１８】図１７に示すＬ型レール部品を図中Ｃ方向から見た図である。
【図１９】図１７に示すＬ型レール部品を図中Ｄ方向から見た図である。
【図２０】図１６に示すＴ型レール部品の平面図である。
【図２１】図２０に示すＴ型レール部品を図中Ｅ方向から見た図である。
【図２２】図２０に示すＴ型レール部品を図中Ｆ方向から見た図である。
【図２３】従来の流体機器ユニットの断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  流体機器ユニット
２Ａ  第１バルブ（第１流体機器）
２Ｂ  第２バルブ（第２流体機器）
３  連結部材
５  レール部品
６  レール溝
７  突出片
８  間隙
２０Ａ，２０Ｂ  係合部
２２Ａ，２２Ｂ  本体部
３１  Ｓ型レール部品（レール部品）
３２  レールエンド部品（レール部品）
３３  位置決め部材
６１  流体機器ユニット
７１  Ｌ型レール部品（レール部品）
８１  Ｔ型レール部品（レール部品）
【図１】
2008240967.tif 000003
【図２】
2008240967.tif 000004
【図３】
2008240967.tif 000005
【図４】
2008240967.tif 000006
【図５】
2008240967.tif 000007
【図６】
2008240967.tif 000008
【図７】
2008240967.tif 000009
【図８】
2008240967.tif 000010
【図９】
2008240967.tif 000011
【図１０】
2008240967.tif 000012
【図１１】
2008240967.tif 000013
【図１２】
2008240967.tif 000014
【図１３】
2008240967.tif 000015
【図１４】
2008240967.tif 000016
【図１５】
2008240967.tif 000017
【図１６】
2008240967.tif 000018
【図１７】
2008240967.tif 000019
【図１８】
2008240967.tif 000020
【図１９】
2008240967.tif 000021
【図２０】
2008240967.tif 000022
【図２１】
2008240967.tif 000023
【図２２】
2008240967.tif 000024
【図２３】
2008240967.tif 000025