(57)【要約】      （修正有）【課題】接着膜貼付装置で搬送される接着膜テープの搬送経路を高い自由度で設定して、接着膜貼付装置の構成変更等に柔軟に対応することを可能にする接着膜テープ送り機構を提供する。【解決手段】供給リール１１から巻き出されて、大ローラ２３により幅方向への移動が規制された状態で搬送された後、大ローラ２３の下流側近傍に設けられた小ローラ２４により捻りが加えられた状態で搬送される。第１テープ送り機構２１により捻りが加えられた状態で搬送されたＡＣＦテープ５１は、第２テープ送り機構２２にて、第２の平面Ｐ２内に位置付けられた大ローラ２６の上流側近傍に設けられた小ローラ２５により捻りが戻されながら搬送された後、大ローラ２６により幅方向への移動が規制された状態で搬送される。大ローラ２３，２６は、断面が矩形状の凹型溝を有している。小ローラ２４，２５は、断面が逆台形状の逆台形型溝を有している。【選択図】図１
2008110878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構であって、供給リールから巻き出された接着膜テープを加圧機構に送り出す、または、加圧機構によって接着対象部材に圧着された後の接着膜テープを排出機構に送り出すための接着膜テープ送り機構において、
第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら前記第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送する第１テープ送り機構と、
前記第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが前記第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送する第２テープ送り機構と、を備え、
前記第１テープ送り機構は、前記第１の平面内に位置付けられ、前記第１の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第１の平面内であって、前記大ローラよりも下流側にて前記第１の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記大ローラから送り出されて第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加え、前記第１の平面に対して傾斜した平面内に接着膜テープを搬送する比較的小径の小ローラとを有し、
前記第２テープ送り機構は、前記第２の平面内に位置付けられ、前記第２の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第２の平面内であって、前記大ローラよりも上流側にて前記第２の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記第１テープ送り機構の小ローラから送り出される接着膜テープの捻りを戻しながら、前記第２の平面内に位置付けられた大ローラに捻りの戻った接着膜テープを送り出す比較的小径の小ローラとを有し、
前記大ローラは、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝を有し、
前記小ローラは、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝を有することを特徴とする、接着膜テープ送り機構。
【請求項２】
テープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構であって、供給リールから巻き出された接着膜テープを加圧機構に送り出す、または、加圧機構によって接着対象部材に圧着された後の接着膜テープを排出機構に送り出すための接着膜テープ送り機構において、
第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら前記第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送する第１テープ送り機構と、
前記第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが前記第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送する第２テープ送り機構と、を備え、
前記第１テープ送り機構は、前記第１の平面内に位置付けられ、前記第１の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第１の平面内であって、前記大ローラよりも下流側にて前記第１の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記大ローラから送り出されて第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加え、前記第１の平面に対して傾斜した平面内に接着膜テープを搬送する比較的小径の小ローラとを有し、
前記第２テープ送り機構は、前記第２の平面内に位置付けられ、前記第２の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第２の平面内であって、前記大ローラよりも上流側にて前記第２の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記第１テープ送り機構の小ローラから送り出される接着膜テープの捻りを戻しながら、前記第２の平面内に位置付けられた大ローラに捻りの戻った接着膜テープを送り出す比較的小径の小ローラとを有し、
前記接着膜テープの接着膜は、第１テープ送り機構および第２テープ送り機構に接触しない態様で搬送されることを特徴とする接着膜テープ送り機構。
【請求項３】
テープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構において、
第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら前記第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送する第１テープ送り機構と、
前記第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが前記第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送する第２テープ送り機構とを備え、
前記第１テープ送り機構は、比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも下流側にて位置付けられた比較的小径の小ローラとを有し、
前記第２テープ送り機構は、比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも上流側にて位置付けられた比較的小径の小ローラとを有し、
前記接着膜テープの接着膜は、第１テープ送り機構および第２テープ送り機構に接触しない態様で搬送され、
前記大ローラは、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝を有し、
前記小ローラは、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝を有することを特徴とする、接着膜テープ送り機構。
【請求項４】
前記第１テープ送り機構及び前記第２テープ送り機構により搬送される接着膜テープは、その上流側の部分と下流側の部分とが互いに立体的に交差していることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の接着膜テープ送り機構。
【請求項５】
前記接着膜テープは、テープ状の異方性導電膜を含む異方性導電膜テープであることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の接着膜テープ送り機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル基板や電子部品等の接着対象部材上に異方性導電膜（ＡＣＦ）等の接着膜を貼り付ける接着膜貼付装置に係り、とりわけ、貼り付け対象となるテープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、この種の接着膜貼付装置として、ＡＣＦ部材とカバーテープとからなる異方性導電膜（ＡＣＦ）テープが収容された供給リールから、ＡＣＦテープを所要の長さ（接着対象部材上に貼り付けられるべき長さ）分だけ引き出し、このようにして引き出された所要の長さ分のＡＣＦテープのうち貼り付け対象となるＡＣＦ部材の一部を接着対象部材であるパネル基板又は電子部品上に位置付けて圧着するＡＣＦ貼付装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
図６に示すように、このような従来のＡＣＦ貼付装置６０において、ＡＣＦテープ５１は、供給側駆動軸１２により回転駆動される供給リール１１から巻き出され、供給側可動ローラ１３及び固定ローラ１４を経由してバックアップ２０上に設けられた接着対象部材５２上に位置付けられるように搬送される。なお、ＡＣＦテープ５１は、図７に示すように、ＡＣＦ部材５１ａとカバーテープ５１ｂとからなっており、接着対象部材５２上に位置付けられたＡＣＦテープ５１のうちテープ切断機構（図示せず）により切り込みが入れられたＡＣＦ部材５１ａの一部のみが加圧機構１９により接着対象部材５２上に圧着され、カバーテープ５１ｂはそのまま残される。そして、ＡＣＦ部材５１ａが圧着されることでカバーテープ５１ｂのみが残された使用済みのＡＣＦテープ５１は、固定ローラ１５及び回収側可動ローラ１６を経由して搬送され、最終的に、回収側駆動軸１８により回転駆動される回収リール１７に巻き取られて回収される。なお、供給側可動ローラ１３及び回収側可動ローラ１６は、錘（図示せず）の作用により上方向に引っ張り力が付与された状態で上下方向に移動自在に保持されており、それぞれ供給側テンション機構及び回収側テンション機構として機能している。
【０００４】
ここで、供給側可動ローラ１３、固定ローラ１４，１５及び回収側可動ローラ１６により搬送されるＡＣＦテープ５１は、接着対象部材５２に対するＡＣＦ部材５１ａの貼り付けが精度良く行われるよう、所定の平面（接着対象部材５２に対するＡＣＦ部材５１ａの貼り付け位置を含む平面）内でその幅方向への移動が規制された状態で搬送される必要がある。また、このようにして搬送されるＡＣＦテープ５１は、当該ＡＣＦテープ５１のうち接着面をなすＡＣＦ部材５１ａが外側を向いた態様で、すなわち、ＡＣＦ部材５１ａが供給側可動ローラ１３、固定ローラ１４，１５及び回収側可動ローラ１６に接触しない態様で搬送される必要がある。
【０００５】
このため、図６に示すような従来のＡＣＦ貼付装置６０で搬送されるＡＣＦテープ５１は、そのとり得る搬送経路に自由度がなく、ＡＣＦ貼付装置６０に対して各種の構成変更（予備の供給リールのＡＣＦテープを現在の供給リールのＡＣＦテープに自動接合するための接合機構の追加や、使用済みのＡＣＦテープを真空吸引等により回収するための排出機構の追加等）が行われた場合に、そのような構成変更に対して柔軟に対応することができないという問題がある。
【特許文献１】特開２００３−１０３４９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、接着膜貼付装置で搬送される接着膜テープの搬送経路を高い自由度で設定して、接着膜貼付装置の構成変更等に柔軟に対応することを可能にする接着膜テープ送り機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、テープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構であって、供給リールから巻き出された接着膜テープを加圧機構に送り出す、または、加圧機構によって接着対象部材に圧着された後の接着膜テープを排出機構に送り出すための接着膜テープ送り機構において、
第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら前記第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送する第１テープ送り機構と、
前記第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが前記第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送する第２テープ送り機構と、を備え、
前記第１テープ送り機構が、前記第１の平面内に位置付けられ、前記第１の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第１の平面内であって、前記大ローラよりも下流側にて前記第１の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記大ローラから送り出されて第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加え、前記第１の平面に対して傾斜した平面内に接着膜テープを搬送する比較的小径の小ローラとを有し、
前記第２テープ送り機構が、前記第２の平面内に位置付けられ、前記第２の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第２の平面内であって、前記大ローラよりも上流側にて前記第２の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記第１テープ送り機構の小ローラから送り出される接着膜テープの捻りを戻しながら、前記第２の平面内に位置付けられた大ローラに捻りの戻った接着膜テープを送り出す比較的小径の小ローラとを有し、
前記大ローラが、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝を有し、
前記小ローラが、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝を有することを特徴とする、接着膜テープ送り機構を提供する。
また、本発明は、テープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構であって、供給リールから巻き出された接着膜テープを加圧機構に送り出す、または、加圧機構によって接着対象部材に圧着された後の接着膜テープを排出機構に送り出すための接着膜テープ送り機構において、
第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら前記第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送する第１テープ送り機構と、
前記第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが前記第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送する第２テープ送り機構と、を備え、
前記第１テープ送り機構が、前記第１の平面内に位置付けられ、前記第１の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第１の平面内であって、前記大ローラよりも下流側にて前記第１の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記大ローラから送り出されて第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加え、前記第１の平面に対して傾斜した平面内に接着膜テープを搬送する比較的小径の小ローラとを有し、
前記第２テープ送り機構が、前記第２の平面内に位置付けられ、前記第２の平面内に接着膜テープを搬送する比較的大径の大ローラと、前記第２の平面内であって、前記大ローラよりも上流側にて前記第２の平面に対して傾斜した状態で位置付けられ、前記第１テープ送り機構の小ローラから送り出される接着膜テープの捻りを戻しながら、前記第２の平面内に位置付けられた大ローラに捻りの戻った接着膜テープを送り出す比較的小径の小ローラとを有し、
前記接着膜テープの接着膜が、第１テープ送り機構および第２テープ送り機構に接触しない態様で搬送されることを特徴とする接着膜テープ送り機構を提供する。
さらに、本発明は、テープ状の接着膜を含む接着膜テープを搬送する接着膜テープ送り機構において、
第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら前記第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送する第１テープ送り機構と、
前記第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが前記第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送する第２テープ送り機構とを備え、
前記第１テープ送り機構が、比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも下流側にて位置付けられた比較的小径の小ローラとを有し、
前記第２テープ送り機構が、比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも上流側にて位置付けられた比較的小径の小ローラとを有し、
前記接着膜テープの接着膜が、第１テープ送り機構および第２テープ送り機構に接触しない態様で搬送され、
前記大ローラが、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝を有し、
前記小ローラが、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝を有することを特徴とする、接着膜テープ送り機構を提供する。
【０００８】
なお、本発明において、前記第１テープ送り機構は、前記第１の平面内に位置付けられた比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも下流側にて前記第１の平面に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラとを有することが好ましい。また、前記第２テープ送り機構は、前記第２の平面内に位置付けられた比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも上流側にて前記第２の平面に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラとを有することが好ましい。
【０００９】
また、本発明において、前記大ローラは、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝を有することが好ましい。また、前記小ローラは、接着膜テープの幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝を有することが好ましい。
【００１０】
さらに、本発明において、前記第１テープ送り機構及び前記第２テープ送り機構により搬送される接着膜テープは、その上流側の部分と下流側の部分とが互いに立体的に交差していることが好ましい。
【００１１】
さらにまた、本発明において、前記接着膜テープは、テープ状の異方性導電膜を含む異方性導電膜テープであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、第１テープ送り機構により、第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加えながら第１の平面とは異なる第２の平面へ向けて当該接着膜テープを搬送した後、第２テープ送り機構により、第１テープ送り機構により捻りが加えられた状態で搬送される接着膜テープが第２の平面内で搬送されるよう当該接着膜テープに加えられた捻りを戻しながら当該接着膜テープを搬送するようにしているので、第１テープ送り機構及び第２テープ送り機構により搬送される接着膜テープの搬送経路が互いに異なる２つの平面（第１の平面及び第２の平面）内に位置することとなり、接着膜テープは、その上流側の部分と下流側の部分とが互いに立体的に交差した状態で搬送することが可能となる。このため、接着膜貼付装置等で搬送される接着膜テープの搬送経路を高い自由度で設定することができ、接合機構や排出機構等が設けられて接着膜テープの搬送経路に変更が生じた場合であっても、そのような構成変更に対して柔軟に対応することができる。
【００１３】
また、本発明によれば、第１テープ送り機構において、第１の平面内に位置付けられた比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも下流側にて第１の平面に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラと用いて、第１の平面内で搬送される接着膜テープに捻りを加え、また、第２テープ送り機構において、第２の平面内に位置付けられた比較的大径の大ローラと、この大ローラよりも上流側にて第２の平面に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラとを用いて、第１テープ送り機構により捻りが加えられた接着膜テープの捻りを戻すようにすれば、接着膜テープの搬送経路の変更を安定的に行うことができる。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１５】
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係る接着膜テープ送り機構４５，４６は、接着膜であるテープ状の異方性導電膜（ＡＣＦ）を含むＡＣＦテープ（接着膜テープ）５１を搬送するものであり、パネル基板や電子部品等の接着対象部材５２上にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼付装置（接着膜貼付装置）１０に組み込まれて用いられる。
【００１６】
まず、図１により、本実施の形態に係る接着膜テープ送り機構４５，４６を備えたＡＣＦ貼付装置１０の概要について説明する。
【００１７】
図１に示すように、ＡＣＦ貼付装置１０において、ＡＣＦテープ５１は、供給側駆動軸１２により回転駆動される供給リール１１から巻き出され、固定ローラ３３，３４、供給側可動ローラ１３及び固定ローラ１４を経由してバックアップ２０上に設けられた接着対象部材５２上に位置付けられるように搬送される。なお、ＡＣＦテープ５１は、図７に示すように、ＡＣＦ部材５１ａとカバーテープ５１ｂとからなっており、接着対象部材５２上に位置付けられたＡＣＦテープ５１のうちテープ切断機構（図示せず）により切り込みが入れられたＡＣＦ部材５１ａの一部のみが加圧機構１９により接着対象部材５２上に圧着され、カバーテープ５１ｂはそのまま残される。そして、ＡＣＦ部材５１ａが圧着されることでカバーテープ５１ｂのみが残された使用済みのＡＣＦテープ５１は、固定ローラ１５及び回収側可動ローラ１６を経由して搬送され、最終的に、排出機構３６により真空吸引等により回収される。なお、供給側可動ローラ１３及び回収側可動ローラ１６は、錘（図示せず）の作用により上方向に引っ張り力が付与された状態で上下方向に移動自在に保持されており、それぞれ供給側テンション機構及び回収側テンション機構として機能している。
【００１８】
ここで、ＡＣＦ貼付装置１０の供給側の搬送経路のうち供給リール１１と供給側可動ローラ１３との間には、予備の供給リール（図示せず）のＡＣＦテープ（図示せず）を現在の供給リール１１のＡＣＦテープ５１に自動接合するための接合機構３５が設けられている。また、ＡＣＦ貼付装置１０の回収側の搬送経路のうち回収側可動ローラ１６の下流側の位置（固定ローラ１５と回収側可動ローラ１６との間に延びる搬送経路から外側にずれた位置）には、使用済みのＡＣＦテープ５１を真空吸引等により回収するための排出機構３６が設けられている。
【００１９】
なお、接合機構３５と供給側可動ローラ１３との間には、接着膜テープ送り機構４５が設けられており、供給リール１１から巻き出されたＡＣＦテープ５１が搬送される平面を変えながらＡＣＦテープ５１を立体的に搬送することができるようになっている。また、回収側可動ローラ１６と排出機構３６との間には、接着膜テープ送り機構４６が設けられており、回収側可動ローラ１６から送り出されたＡＣＦテープ５１が搬送される平面を変えながらＡＣＦテープ５１を立体的に搬送することができるようになっている。
【００２０】
以下、図１及び図２(a)(b)により、ＡＣＦ貼付装置１０の供給側に設けられた接着膜テープ送り機構４５の詳細について説明する。なお、図２(a)は図１に示す接着膜テープ送り機構４５の詳細を示す平面図であり、図２(b)は図１及び図２(a)に示す接着膜テープ送り機構４５におけるＡＣＦテープ５１の搬送経路を示す概略図である。
【００２１】
図１及び図２(a)(b)に示すように、接着膜テープ送り機構４５は、第１の平面Ｐ１内で搬送されるＡＣＦテープ５１に捻りを加えながら第１の平面Ｐ１とは異なる第２の平面Ｐ２へ向けて当該ＡＣＦテープ５１を搬送する第１テープ送り機構２１と、第１テープ送り機構２１により捻りが加えられた状態で搬送されるＡＣＦテープ５１が第２の平面Ｐ２内で搬送されるよう当該ＡＣＦテープ５１に加えられた捻りを戻しながら当該ＡＣＦテープ５１を搬送する第２テープ送り機構２２とを備えている。
【００２２】
このうち、第１テープ送り機構２１は、第１の平面Ｐ１内に位置付けられた比較的大径の大ローラ２３と、この大ローラ２３よりも下流側にて第１の平面Ｐ１に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラ２４とを有している。また、第２テープ送り機構２２は、第２の平面Ｐ２内に位置付けられた比較的大径の大ローラ２６と、この大ローラ２６よりも上流側にて第２の平面Ｐ２に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラ２５とを有している。なお、第１テープ送り機構２１の大ローラ２３及び小ローラ２４はそれぞれ、支持体３７に固定された支軸２３ａ，２４ａにより回動自在に支持されている。また、第２テープ送り機構２２の大ローラ２６及び小ローラ２５はそれぞれ、支持体３８に固定された支軸２６ａ，２５ａにより回動自在に支持されている。
【００２３】
ここで、第１テープ送り機構２１及び第２テープ送り機構２２に含まれる各大ローラ２３，２６は、図４に示すように、ＡＣＦテープ５１の幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝４１を有している。また、第１テープ送り機構２１及び第２テープ送り機構２２に含まれる各小ローラ２４，２５は、図５に示すように、ＡＣＦテープ５１の幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝４２を有している。
【００２４】
次に、このような構成からなる接着膜テープ送り機構４５の作用について説明する。
【００２５】
まず、供給リール１１から巻き出されて第１の平面Ｐ１内で搬送されるＡＣＦテープ５１は、第１テープ送り機構２１において、第１の平面Ｐ１内に位置付けられた大ローラ２３により搬送された後、大ローラ２３の下流側近傍に設けられた小ローラ２４により搬送される。ここで、小ローラ２４は、第１の平面Ｐ１に対して傾斜した状態で位置付けられており、大ローラ２３から送り出されたＡＣＦテープ５１が、それに捻りが加えられた状態で第２テープ送り機構２２に送り出される。なお、大ローラ２３及び小ローラ２４からＡＣＦテープ５１が外れてしまうことを防止するため、大ローラ２３からＡＣＦテープ５１が送り出される位置と小ローラ２４にＡＣＦテープ５１が送り込まれる位置とはともに同一の平面（第１の平面Ｐ１）内にあることが好ましい（図２(a)参照）。
【００２６】
次いで、第１テープ送り機構２１の小ローラ２４から捻りが加えられた状態で送り出されたＡＣＦテープ５１は、第２テープ送り機構２２において、第２の平面Ｐ２内に位置付けられた大ローラ２６の上流側近傍に設けられた小ローラ２５により搬送された後、大ローラ２６により搬送される。なお、大ローラ２６により搬送されたＡＣＦテープ５１は、第２の平面Ｐ２内に位置付けられた供給側可動ローラ１３へ向けて送り出される。ここで、小ローラ２５は、第２の平面Ｐ２に対して傾斜した状態で位置付けられており、第１テープ送り機構２１の小ローラ２４から送り出されたＡＣＦテープ５１は、それに加えられた捻りが戻されながら大ローラ２６に送り出される。なお、小ローラ２５及び大ローラ２６からＡＣＦテープ５１が外れてしまうことを防止するため、小ローラ２５からＡＣＦテープ５１が送り出される位置と大ローラ２６にＡＣＦテープ５１が送り込まれる位置とはともに同一の平面（第２の平面Ｐ２）内にあることが好ましい（図２(a)参照）。
【００２７】
なお、以上のようにして第１テープ送り機構２１及び第２テープ送り機構２２により搬送されるＡＣＦテープ５１は、その搬送経路が互いに異なる２つの平面（第１の平面Ｐ１及び第２の平面Ｐ２）内に位置することとなるので、ＡＣＦテープ５１の上流側の部分と下流側の部分とが互いに立体的に交差した状態で搬送することが可能となる。
【００２８】
次に、図１及び図３(a)(b)により、ＡＣＦ貼付装置１０の回収側に設けられた接着膜テープ送り機構４６の詳細について説明する。なお、図３(a)は図１に示す接着膜テープ送り機構４６の詳細を示す平面図であり、図３(b)は図１及び図３(a)に示す接着膜テープ送り機構４６におけるＡＣＦテープ５１の搬送経路を示す概略図である。
【００２９】
図１及び図３(a)(b)に示すように、接着膜テープ送り機構４６は、第１の平面Ｐ３内で搬送されるＡＣＦテープ５１に捻りを加えながら第１の平面Ｐ３とは異なる第２の平面Ｐ４へ向けて当該ＡＣＦテープ５１を搬送する第１テープ送り機構２７と、第１テープ送り機構２７により捻りが加えられた状態で搬送されるＡＣＦテープ５１が第２の平面Ｐ４内で搬送されるよう当該ＡＣＦテープ５１に加えられた捻りを戻しながら当該ＡＣＦテープ５１を搬送する第２テープ送り機構２８とを備えている。
【００３０】
このうち、第１テープ送り機構２７は、第１の平面Ｐ３内に位置付けられた比較的大径の大ローラ２９と、この大ローラ２９よりも下流側にて第１の平面Ｐ３に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラ３０とを有している。また、第２テープ送り機構２８は、第２の平面Ｐ４内に位置付けられた比較的大径の大ローラ３２と、この大ローラ３２よりも上流側にて第２の平面Ｐ４に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラ３１とを有している。なお、第１テープ送り機構２７の大ローラ２９及び小ローラ３０はそれぞれ、支持体３９に固定された支軸２９ａ，３０ａにより回動自在に支持されている。また、第２テープ送り機構２８の大ローラ３２及び小ローラ３１はそれぞれ、支持体４０に固定された支軸３２ａ，３１ａにより回動自在に支持されている。
【００３１】
ここで、第１テープ送り機構２７及び第２テープ送り機構２８に含まれる各大ローラ２９，３２は、図４に示すように、ＡＣＦテープ５１の幅に対応する大きさを持つ、断面が矩形状の凹型溝４１を有している。また、第１テープ送り機構２７及び第２テープ送り機構２８に含まれる各小ローラ３０，３１は、図５に示すように、ＡＣＦテープ５１の幅に対応する大きさを持つ、断面が逆台形状の逆台形型溝４２を有している。
【００３２】
次に、このような構成からなる接着膜テープ送り機構４６の作用について説明する。
【００３３】
まず、回収側可動ローラ１６を経由して第１の平面Ｐ３内で搬送されるＡＣＦテープ５１は、第１テープ送り機構２７において、第１の平面Ｐ３内に位置付けられた大ローラ２９により搬送された後、大ローラ２９の下流側近傍に設けられた小ローラ３０により搬送される。ここで、小ローラ３０は、第１の平面Ｐ３に対して傾斜した状態で位置付けられており、大ローラ２９から送り出されたＡＣＦテープ５１は、それに捻りが加えられた状態で第２テープ送り機構２８に送り出される。なお、大ローラ２９及び小ローラ３０からＡＣＦテープ５１が外れてしまうことを防止するため、大ローラ２９からＡＣＦテープ５１が送り出される位置と小ローラ３０にＡＣＦテープ５１が送り込まれる位置とはともに同一の平面（第１の平面Ｐ３）内にあることが好ましい（図３(a)参照）。
【００３４】
次いで、第１テープ送り機構２７の小ローラ３０から捻りが加えられた状態で送り出されたＡＣＦテープ５１は、第２テープ送り機構２８において、第２の平面Ｐ４内に位置付けられた大ローラ３２の上流側近傍に設けられた小ローラ３１により搬送された後、大ローラ３２により搬送される。なお、大ローラ３２により搬送されたＡＣＦテープ５１は、第２の平面Ｐ４内に位置付けられた排出機構３６へ向けて送り出される。ここで、小ローラ３１は、第２の平面Ｐ４に対して傾斜した状態で位置付けられており、第１テープ送り機構２７の小ローラ３０から送り出されたＡＣＦテープ５１が、それに加えられた捻りが戻されながら大ローラ３２に送り出される。なお、小ローラ３１及び大ローラ３２からＡＣＦテープ５１が外れてしまうことを防止するため、小ローラ３１からＡＣＦテープ５１が送り出される位置と大ローラ３２にＡＣＦテープ５１が送り込まれる位置とはともに同一の平面（第２の平面Ｐ４）内にあることが好ましい（図３(a)参照）。
【００３５】
なお、以上のようにして第１テープ送り機構２７及び第２テープ送り機構２８によりＡＣＦテープ５１が搬送される場合、ＡＣＦテープ５１の搬送経路が互いに異なる２つの平面（第１の平面Ｐ３及び第２の平面Ｐ４）内に位置付けられるので、ＡＣＦテープ５１は、その上流側の部分と下流側の部分とが互いに立体的に交差した状態で搬送することが可能となる。
【００３６】
このように本実施の形態によれば、ＡＣＦ貼付装置１０の供給側及び回収側に設けられた接着膜テープ送り機構４５，４６において、第１テープ送り機構２１，２７により、第１の平面Ｐ１，Ｐ３内で搬送されるＡＣＦテープ５１に捻りを加えながら第１の平面Ｐ１，Ｐ３とは異なる第２の平面Ｐ２，Ｐ４へ向けて当該ＡＣＦテープ５１を搬送した後、第２テープ送り機構２２，２８により、第１テープ送り機構２１，２７により捻りが加えられた状態で搬送されるＡＣＦテープ５１が第２の平面Ｐ２，Ｐ４内で搬送されるよう当該ＡＣＦテープ５１に加えられた捻りを戻しながら当該ＡＣＦテープ５１を搬送するようにしているので、第１テープ送り機構２１，２７及び第２テープ送り機構２２，２８により搬送されるＡＣＦテープ５１の搬送経路が互いに異なる２つの平面（第１の平面Ｐ１，Ｐ３及び第２の平面Ｐ２，Ｐ４）内に位置することとなり、ＡＣＦテープ５１は、その上流側の部分と下流側の部分とが互いに立体的に交差した状態で搬送することが可能となる。このため、ＡＣＦ貼付装置１０で搬送されるＡＣＦテープ５１の搬送経路を高い自由度で設定することができ、ＡＣＦ貼付装置１０の供給リール１１と供給側可動ローラ１３との間に接合機構３５が設けられてＡＣＦテープ５１の搬送経路に変更が生じた場合や、ＡＣＦ貼付装置１０の回収側に排出機構３５が設けられてＡＣＦテープ５１の搬送経路に変更が生じた場合であっても、そのような構成変更に対して柔軟に対応することができる。
【００３７】
また、本実施の形態によれば、接着膜テープ送り機構４５，４６の第１テープ送り機構２１，２７において、第１の平面Ｐ１，Ｐ３内に位置付けられた比較的大径の大ローラ２３，２９と、この大ローラ２３，２９よりも下流側にて第１の平面Ｐ１，Ｐ３に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラ２４，３０と用いて、第１の平面Ｐ１，Ｐ３内で搬送されるＡＣＦテープ５１に捻りを加え、また、接着膜テープ送り機構４５，４６の第２テープ送り機構２２，２８において、第２の平面Ｐ２，Ｐ４内に位置付けられた比較的大径の大ローラ２６，３２と、この大ローラ２６，３２よりも上流側にて第２の平面Ｐ２，Ｐ４に対して傾斜した状態で位置付けられた比較的小径の小ローラ２５，３１とを用いて、第１テープ送り機構２１，２７により捻りが加えられたＡＣＦテープ５１の捻りを戻すようにしているので、ＡＣＦテープ５１の搬送経路の変更を安定的に行うことができる。
【００３８】
また、本実施の形態によれば、接着膜テープ送り機構４５，４６の第１テープ送り機構２１，２７において、第１の平面Ｐ１，Ｐ３内に位置付けられた大ローラ２３，２９の凹型溝４１に沿ってＡＣＦテープ５１を搬送した後、大ローラ２３，２９の下流側近傍に設けられた小ローラ２４，３０の逆台形型溝４２に沿ってＡＣＦテープ５１を搬送するようにしているので、断面が矩形状の凹型溝４１を有する大ローラ２３，２９によりＡＣＦテープ５１の幅方向への移動を規制した状態で当該ＡＣＦテープ５１の安定的な搬送を確保するとともに、断面が逆台形状の逆台形型溝４２（特にその側面に形成された勾配（Ｖ型面））を有する小ローラ２４，３０によりＡＣＦテープ５１に対して十分な角度を付けてＡＣＦテープ５１に捻りを加えることができる。また同様に、接着膜テープ送り機構４５，４６の第２テープ送り機構２２，２８において、第２の平面Ｐ２，Ｐ４に位置付けられた大ローラ２６，３２の上流側近傍に設けられた小ローラ２５，３１の逆台形型溝４２に沿ってＡＣＦテープ５１を搬送した後、大ローラ２６，３２の凹型溝４１に沿ってＡＣＦテープ５１を搬送するようにしているので、断面が矩形状の凹型溝４１を有する大ローラ２６，３２によりＡＣＦテープ５１の幅方向への移動を規制した状態で当該ＡＣＦテープ５１の安定的な搬送を確保するとともに、断面が逆台形状の逆台形型溝４２（特にその側面に形成された勾配（Ｖ型面））を有する小ローラ２５，３１によりＡＣＦテープ５１に対して十分な角度を付けてＡＣＦテープ５１に加えられた捻りを戻すことができる。
【００３９】
なお、上述した実施の形態においては、接着膜テープ送り機構４５，４６が図１に示すＡＣＦ貼付装置１０に組み込まれて用いられる場合を例に挙げて説明したが、接着膜であるテープ状のＡＣＦを含むＡＣＦテープ５１を搬送するものであれば、図６に示す従来のＡＣＦ貼付装置６０も含めて、図１に示すＡＣＦ貼付装置１０以外の任意のＡＣＦ貼付装置に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態に係る接着膜テープ送り機構を備えた接着膜貼付装置を示す概略図。
【図２】図１に示す接着膜貼付装置の供給側に設けられた接着膜テープ送り機構の詳細を示す図。
【図３】図１に示す接着膜貼付装置の回収側に設けられた接着膜テープ送り機構の詳細を示す図。
【図４】図２及び図３に示す接着膜テープ送り機構に含まれる大ローラを示す図。
【図５】図２及び図３に示す接着膜テープ送り機構に含まれる小ローラを示す図。
【図６】従来の接着膜貼付装置を示す概略図。
【図７】接着膜貼付装置で搬送される接着膜テープを示す部分拡大断面図。
【符号の説明】
【００４１】
１０  ＡＣＦ貼付装置（接着膜貼付装置）
１１  供給リール
１２  供給側駆動軸
１３  供給側可動ローラ
１４，１５  固定ローラ
１６  回収側可動ローラ
１７  回収リール
１８  回収側駆動軸
１９  加圧機構
２０  バックアップ
２１  第１テープ送り機構
２２  第２テープ送り機構
２３，２６  大ローラ
２４，２５  小ローラ
２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａ  支軸
２７  第１テープ送り機構
２８  第２テープ送り機構
２９，３２  大ローラ
３０，３１  小ローラ
２９ａ，３０ａ，３１ａ，３２ａ  支軸
３３，３４  固定ローラ
３５  接合機構
３６  排出機構
３７，３８，３９，４０  支持体
４１  凹型溝
４２  逆台形型溝
４５，４６  接着膜テープ送り機構
５１  ＡＣＦテープ（接着膜テープ）
５１ａ  ＡＣＦ部材
５１ｂ  カバーテープ
５２  接着対象部材
６０  ＡＣＦ貼付装置（接着膜貼付装置）
【図１】
2008110878.tif 000003
【図２】
2008110878.tif 000004
【図３】
2008110878.tif 000005
【図４】
2008110878.tif 000006
【図５】
2008110878.tif 000007
【図６】
2008110878.tif 000008
【図７】
2008110878.tif 000009