(57)【要約】【課題】乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体が過乾燥することを防止する。【解決手段】高湿雰囲気でハニカム成形体１０にマイクロ波を照射することによりハニカム成形体１０を乾燥するハニカム成形体の製造方法において、セラミック成形材料と、成形補助剤としてのバインダと、水とを含んで混合、および混練りしてハニカム状に形成し、ハニカム成形体１０を形成するハニカム成形体形成工程と、ハニカム成形体１０を乾燥する乾燥工程とを備え、乾燥工程では、マイクロ波の照射領域内に、液体が循環する過乾燥保護部材５５を配置している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高湿雰囲気でハニカム成形体にマイクロ波を照射することにより前記ハニカム成形体を乾燥するハニカム成形体の製造方法において、
セラミック成形材料と、成形補助剤と、水とを含んで混合、および混練りしてハニカム状に形成し、ハニカム成形体を形成するハニカム成形体形成工程と、
前記ハニカム成形体を乾燥する乾燥工程と
を備え、
前記乾燥工程では、前記マイクロ波の照射領域内に、液体が循環する過乾燥保護部材を配置していることを特徴とするハニカム成形体の製造方法。
【請求項２】
前記過乾燥保護部材は、内部に液体を流通する配管を備え、
前記マイクロ波に対する誘電率または誘電損失係数が、乾燥前のハニカム成形体＞前記配管＞乾燥完了となる所定量の水含有率を有するハニカム成形体の関係にあることを特徴とする請求項１に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項３】
前記配管は、耐熱性を有する樹脂材からなることを特徴とする請求項２に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項４】
前記配管は、前記ハニカム成形体を載置する乾燥槽内に設けられ、
前記液体は、前記乾燥槽内を少なくとも一方方向に流出入することを特徴とする請求項２または請求項３に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項５】
前記乾燥槽は、バッチ式であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項６】
前記乾燥槽には、複数の前記ハニカム成形体を載置し、載置した前記ハニカム成形体を回転駆動する回転体を有し、
前記回転体に設けた貫通穴より、水蒸気を前記ハニカム成形体内に流通させることを特徴とする請求項５に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項７】
前記乾燥工程は、
前記マイクロ波の照射により前記ハニカム成形体を乾燥する第１乾燥工程と、
前記マイクロ波により乾燥した前記ハニカム成形体を、更に熱風により乾燥する第２乾燥工程と
を備え、
前記第２乾燥工程は、熱風を投入するとともに、水蒸気を排出することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項８】
前記乾燥工程は、乾燥前のハニカム成形体を乾燥する過程において前記マイクロ波の照射出力を調整する出力調整手段を備え、
前記出力調整手段は、前記ハニカム成形体の乾燥を開始し所定時間が経過すると、前記マイクロ波の前記照射出力を減じることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のハニカム成形体の製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のハニカム成形体の製造方法で乾燥させた前記ハニカム成形体を、焼成する工程を含むことを特徴とするセラミックハニカム構造体の製造方法。
【請求項１０】
高湿雰囲気でハニカム成形体にマイクロ波を照射することにより前記ハニカム成形体を乾燥するハニカム成形体の乾燥装置において、
前記ハニカム成形体を収納する乾燥槽と、
前記乾燥槽内を高湿雰囲気に加湿する加湿装置と、
前記乾燥槽内の前記ハニカム成形体に向けてマイクロ波を供給するマイクロ波発生装置と、
前記乾燥槽内に設けられ、内部を液体が循環する過乾燥保護部材と、
を備えていることを特徴とするハニカム成形体の乾燥装置。
【請求項１１】
前記過乾燥保護部材は、内部に液体を流通する配管を備え、
前記配管の前記マイクロ波に対する誘電率または誘電損失係数は、少なくとも乾燥前のハニカム成形体に比べて小さいことを特徴とする請求項１０に記載のハニカム成形体の乾燥装置。
【請求項１２】
前記配管の材料は、耐熱性を有する樹脂材からなることを特徴とする請求項１１に記載のハニカム成形体の乾燥装置。
【請求項１３】
前記乾燥槽は、バッチ式であって、複数の前記ハニカム成形体を載置し、載置した前記ハニカム成形体を回転駆動する回転体を備え、
前記回転体は、前記ハニカム成形体内に水蒸気を流通させる貫通穴を設けていることを特徴とする請求項１０から請求項１２のいずれか一項に記載のハニカム成形体の乾燥装置。
【請求項１４】
前記貫通穴は、前記ハニカム成形体より小さいことを特徴とする請求項１３に記載のハニカム成形体の乾燥装置。
【請求項１５】
前記ハニカム成形体と、前記回転体の前記貫通穴との間には、前記ハニカム成形体内を通気可能にし、かつ乾燥により膨張または収縮する前記ハニカム成形体に摺接可能な板状体が挟み込まれていることを特徴とする請求項１３または請求項１４に記載のハニカム成形体の乾燥装置。
【請求項１６】
前記板状体は、前記ハニカム成形体の端面に沿う面の一部に樹脂層を有する多孔質体であることを特徴とする請求項１５に記載のハニカム成形体の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム成形体の製造方法および製造装置に関し、例えば内燃機関の排気ガス浄化装置における触媒担体やフィルタに用いるセラミックハニカム構造体を得るためのハニカム成形体の乾燥方法およびその乾燥装置に適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、内燃機関の排気ガス浄化装置における触媒担体やフィルタとして、セラミックハニカム構造体が用いられている。このセラミックハニカム構造体は、タルクなどのコージェライト形成原料と、成形補助材としてのバインダ等とから調製された原料混合物を押出し成形機によりハニカム状に成形し、そのハニカム成形体を乾燥し、その後、ガス炉等の成形炉にて焼成することによって得ることができる。
【０００３】
この乾燥時において、ハニカム成形体（以下、ワーク）の外周縁部（以下、外周スキン部）の割れやしわ等が生じるおそれがあるため、各種の乾燥方法が提案されている（特許文献１等）。
【０００４】
特許文献１の開示する技術では、押出し成形により形成された軟質なワークを、湿度が７０％以上の高湿度雰囲気にさらすと共に、周波数３００ＭＨｚ〜３０ＧＨｚ領域のマイクロ波による電磁波エネルギを照射することにより、ワークの外周スキン部側が変形するような急激な乾燥を防止している。この技術では、乾燥前のワーク中の水分の１０〜２０％がまだ残存している程度までの乾燥を、乾燥槽内にて高湿度雰囲気でのマイクロ波加熱によって行ない、その後、乾燥槽の外部で、水分含有量が５％以下となるように熱風で乾燥を行っている。
【０００５】
また、この技術では、ベルト式等のコンベアによりなる搬送装置を用いて、乾燥槽内に、軟質なワークを、連続的に投入し、排出しつつ乾燥させている。
【０００６】
なお、上記押出し成形機において、原料混合物の混合し混練された状態に応じて押出し速度が変化するため、例えばワイヤ切断により切断されるワーク寸法、すなわち軟質なワークの長さがばらつくので、乾燥槽へ投入前のワークの重量自体もばらついている。
【特許文献１】特開２００２−２８３３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来技術は、例えばワークの重量すなわち熱容量にばらつきがあるため、そのワークが乾燥した状態において、余分な上記エネルギによりワークが過乾燥する場合があるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体が過乾燥することを防止する。
【０００９】
また、別の目的は、乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体が過乾燥するとともに、エネルギ損失を抑制して優れた生産性が図れるハニカム成形体の製造方法および乾燥装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を備える。
【００１１】
即ち、請求項１乃至８に記載の発明では、高湿雰囲気でハニカム成形体にマイクロ波を照射することによりハニカム成形体を乾燥するハニカム成形体の製造方法において、
セラミック成形材料と、成形補助剤と、水とを含んで混合、および混練りしてハニカム状に形成し、ハニカム成形体を形成するハニカム成形体形成工程と、ハニカム成形体を乾燥する乾燥工程とを備え、
乾燥工程では、マイクロ波の照射領域内に、液体が循環する過乾燥保護部材を配置していることを特徴とする。
【００１２】
これによると、マイクロ波の照射領域内に、液体が循環する過乾燥保護部材を配置しているので、過乾燥保護部材によって過剰なマイクロ波のエネルギを吸収することが可能である。したがって、マイクロ波による乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体が過乾燥することが防止される。
【００１３】
また、過乾燥保護部材は、請求項２に記載の発明の如く、内部に液体を流通する配管を備え、マイクロ波に対する誘電率または誘電損失係数が、乾燥前のハニカム成形体＞配管＞乾燥完了となる所定量の水含有率を有するハニカム成形体の関係にあることが好ましい。
【００１４】
これにより、予め設定した乾燥完了となる所定量の水含有率を有するハニカム成形体と比較してこれ以下の誘電率または誘電損失係数となるハニカム成形体に対しては、過乾燥保護部材は、過剰なマイクロ波のエネルギを有効に吸収することができる。したがって、乾燥工程前でのハニカム成形体の製造ばらつきによりハニカム成形体の熱容量がばらつきを生じたとしても、乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体が過乾燥することを防止することができる。
【００１５】
特に、配管は、請求項３に記載の発明の如く、テフロン（登録商標）などの耐熱性を有する樹脂材から形成することができる。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明では、配管は、ハニカム成形体を載置する乾燥槽内に設けられ、液体は、前記乾燥槽内を少なくとも一方方向に流出入することを特徴とする。
【００１７】
これによると、液体が循環する配管を、複雑な配管構造にすることなく、乾燥槽に設けることができる。これにより、乾燥槽内に載置されるハニカム成形体に照射するマイクロ波を過乾燥保護部材の設置により損なうエネルギ損失を抑制するとともに、乾燥のための余分なエネルギを吸収可能に過乾燥保護部材を配置するのが容易となる。
【００１８】
特に、乾燥槽は、請求項５に記載の発明の如く、バッチ式であることが好ましい。
【００１９】
乾燥槽は、一般に、乾燥前のハニカム成形体を連続的に投入し、かつ連続的に排出するいわゆる連続式（コンベア方式）と、乾燥前の複数のハニカム成形体を乾燥槽内に投入し、投入したハニカム成形体が乾燥した後に取り出すいわゆるバッチ式とがある。
【００２０】
例えばベルト式による連続式の場合には、マイクロ波が過乾燥保護部材に吸収させず、ベルトに吸収されるおそれがある。このような連続式では、乾燥前のハニカム成形体（以下、ワークとも呼ぶ）の熱容量がばらついたまま、連続的に乾燥槽内に投入されるため、各ワークの乾燥状態がばらつき易い。また、乾燥前のワーク熱容量のばらつきに応じて乾燥槽内で乾燥させた各ワークの乾燥状態が連動してばらつくため、乾燥槽内へ照射するマイクロ波の出力制御が難しい。
【００２１】
これに対して請求項５に記載の発明では、乾燥槽をバッチ式とすることによって、ワーク数が限定されて乾燥槽内へ同時に投入されるので、そのワーク数によりマイクロ波の出力制御が容易となるため、上記過乾燥保護部材の設置による乾燥状態の均一化に加えて、更に一層、乾燥状態を一定にすることができる。
【００２２】
また、このようなバッチ式の乾燥槽には、請求項６に記載の発明の如く、複数のハニカム成形体を載置し、載置したハニカム成形体を回転駆動する、いわゆるターンテーブルなどの回転体を有し、回転体に設けた貫通穴より、水蒸気をハニカム成形体内に流通させることが好ましい。
【００２３】
一般に、ハニカム成形体の内部には、ハニカム状に設けられた隔壁によって仕切られて軸方向に延びたセルが多数設けられているため、例えばハニカム成形体の中心部側のセルは、表面部側のセルに比べてセル内部へ導けれる乾燥槽内の雰囲気の量が不足するおそれがある。不足してしまうと、ハニカム成形体の基材の乾燥速度が遅くなるおそれがある。
【００２４】
これに対して請求項６に記載の発明では、回転体に設けた貫通穴よりハニカム成形体内に、高湿雰囲気を形成する水蒸気を流通させるので、水蒸気がハニカム成形体の基材内を通過し易く、基材を速く乾燥することが可能となる。
【００２５】
また、請求項７に記載の発明では、乾燥工程は、マイクロ波の照射によりハニカム成形体を乾燥する第１乾燥工程と、マイクロ波により乾燥したハニカム成形体を、更に熱風により乾燥する第２乾燥工程とを備え、
第２乾燥工程は、熱風を投入するとともに、水蒸気を排出することを特徴とする。
【００２６】
一般に、マイクロ波によりハニカム成形体内に含まれる水分を全て蒸発、除去しようとすると、マイクロ波がセラミック成形原料等に吸収されるようになるため、ハニカム成形体が過度に加熱されて乾燥工程として好ましくない。
【００２７】
これに対して請求項７に記載の発明では、第２乾燥工程は、熱風を投入するとともに、水蒸気を排出するので、第１乾燥工程のマイクロ波による乾燥終了後は、第２乾燥工程において、高湿雰囲気を排除することにより、熱風による乾燥を効率的に行なうことができる。
【００２８】
また、ここで、乾燥工程は、請求項８に記載の発明の如く、乾燥前のハニカム成形体を乾燥する過程においてマイクロ波の照射出力を調整する出力調整手段を備え、
出力調整手段は、ハニカム成形体の乾燥を開始し所定時間が経過すると、マイクロ波の照射出力を減じることが好ましい。
【００２９】
これによると、ハニカム成形体の乾燥を開始し所定時間が経過すると、マイクロ波の照射出力を減じるので、乾燥工程における各ハニカム成形体の乾燥化が進んだ状態で、マイクロ波の出力を弱めて過乾燥を効果的に抑制することができる。
【００３０】
また、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のハニカム成形体の製造方法で乾燥させたハニカム成形体は、ハニカム成形体の割れやしわを生じさせることなく乾燥するとともに、過乾燥の防止が図れるので、ハニカム成形体を乾燥する工程の後に、請求項９に記載の如く、ハニカム成形体を焼成する工程を備えたセラミックハニカム構造体の製造方法に適用して好適である。
【００３１】
これにより、焼成する前のハニカム成形体に割れやしわ等の欠陥もなく、過乾燥も防止されているので、焼成過程において、例えば成形補助剤（バインダ）等の添加剤を除去する際に生じるおそれのある割れや変形を抑制することができる。
【００３２】
また、請求項１０乃至１６に記載の発明では、高湿雰囲気でハニカム成形体にマイクロ波を照射することによりハニカム成形体を乾燥するハニカム成形体の乾燥装置において、
ハニカム成形体を収納する乾燥槽と、乾燥槽内を高湿雰囲気に加湿する加湿装置と、乾燥槽内のハニカム成形体に向けてマイクロ波を供給するマイクロ波発生装置と、乾燥槽内に設けられ、内部を液体が循環する過乾燥保護部材とを備えていることを特徴とする。
【００３３】
これによると、乾燥槽内に設けられ、内部を液体が循環する過乾燥保護部材とを備えているので、乾燥槽内でマイクロ波を照射することにより乾燥するハニカム成形体に対して過剰なマイクロ波のエネルギを、過乾燥保護部材によって吸収することが可能である。
【００３４】
また、乾燥槽内に設ける過乾燥保護部材は、請求項１１に記載の発明の如く、内部に液体を流通する配管を備え、配管のマイクロ波に対する誘電率または誘電損失係数は、少なくとも乾燥前のハニカム成形体に比べて小さいことを特徴とする。
【００３５】
これによると、乾燥槽内に載置されるハニカム成形体に照射するマイクロ波を、過乾燥保護部材の設置により損なうエネルギ損失を抑制するとともに、乾燥のための余分なエネルギを吸収することが可能である。
【００３６】
また、配管は、請求項１２に記載の発明の如く、テフロン（登録商標）などの耐熱性を有する樹脂材から形成されていることが好ましい。これにより、乾燥槽内に配置する配管を耐熱性を有する樹脂材で形成するので、乾燥槽内の余裕空間に応じた形状に、樹脂製の配管を形成できる。これにより、乾燥槽内に載置されるハニカム成形体に照射するマイクロ波を損なうエネルギ損失を抑制するとともに、乾燥のための余分なエネルギを吸収可能に過乾燥保護部材を配置するのが容易となる。
【００３７】
また、請求項１３に記載の発明では、乾燥槽は、バッチ式であって、複数のハニカム成形体を載置し、載置したハニカム成形体を回転駆動する回転体を備え、回転体は、ハニカム成形体内に水蒸気を流通させる貫通穴を設けていることを特徴とする。
【００３８】
これによると、回転体に設けた貫通穴よりハニカム成形体内に、高湿雰囲気を形成する水蒸気を流通させるので、水蒸気がハニカム成形体の基材内を通過し易く、基材を速く乾燥することが可能となる。
【００３９】
特に、複数のハニカム成形体を載置する回転体の貫通穴は、請求項１４に記載の発明の如く、ハニカム成形体より小さいことが好ましい。これにより、ハニカム成形体より小さい貫通穴を設けた回転体に、ハニカム成形体の数を可変してハニカム成形体を載置することが可能である。
【００４０】
また、請求項１５に記載の発明の如く、ハニカム成形体と、回転体の貫通穴との間には、ハニカム成形体内を通気可能にし、かつ乾燥により膨張または収縮するハニカム成形体に摺接可能な板状体が挟み込まれていることが好ましい。これによると、ハニカム成形体内を通気可能にし、かつ乾燥により膨張または収縮するハニカム成形体に摺接可能な板状体に、ハニカム成形体が載置されているので、ハニカム成形体が乾燥により膨張または収縮する場合があったとしても、膨張または収縮したハニカム成形体と板状体間の摩擦を抑制でき、従ってハニカム成形体自体の変形を抑制できる。
【００４１】
したがって、ハニカム成形体の基材内に水蒸気を通過し易くして基材を速く乾燥するようにするとともに、ハニカム成形体の乾燥状態が進む過程において膨張または収縮によるハニカム成形体自体の変形を抑制することができる。
【００４２】
特に、板状体は、請求項１６に記載の発明の如く、ハニカム成形体の端面に沿う面の一部に樹脂層を有する多孔質体であることが好ましい。
【００４３】
これにより、板状体は多孔質体であることによりハニカム成形体内に通気が可能であるとともに、多孔質体の摩擦抵抗が比較的大きい両端面のうち、ハニカム成形体の端面に沿う面の一部に樹脂層を設けるので、膨張または収縮によりハニカム成形体の大きさが変化しても、その大きさの変化に伴なうハニカム成形体の端面と樹脂層の間の摩擦力を比較的小さく抑えることができる。したがって、ハニカム成形体自体の変形を効果的に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
本発明のハニカム成形体の製造方法および乾燥装置を、セラミックハニカム構造体の製造方法に適用して具体化した実施形態を図面に従って説明する。
【００４５】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態のハニカム成形体の乾燥装置を示す模式的縦断面図である。図２は、図１中のIIからみた模式的横断面図である。図３は、図１中のIIIからみた模式的横断面図である。図４は、本実施形態のハニカム成形体の製造方法を適用するセラミックハニカム構造体の製造方法の一例を示す製造工程の流れ図である。図５は、本実施形態のハニカム成形体の製造方法を適用するハニカム成形体およびセラミックハニカム構造体の一例を示す斜視図である。図６は、図５中のＶＩからみた斜視断面図である。図７は、図５中のセラミックハニカム構造体の内部を示す縦断面図である。図８は、図５中のハニカム成形体のセル壁の厚さを示す部分平面図である。
【００４６】
なお、図１は、図２中のIからみた縦断面図である。また、図３においては、説明の簡便のため、ハニカム成形体等の図示を省略している。
【００４７】
本実施例では、自動車の排ガス浄化装置の担体用のセラミック製のハニカム構造体であって、軸方向に貫通する多数のセル１１を隔壁（以下、セル壁）３により区画するとともに、軸方向の両端面１２においてその端面１２に位置するセル端部の一部を閉塞してなるセラミックハニカム構造体１を製造する方法である。
【００４８】
本発明の製造方法の適用対象となるハニカム成形体１０は、セラミックハニカム構造体１を得るための、未乾燥のハニカム成形体である。未乾燥のハニカム成形体とは、セラミック形成原料と、水とを含んで混合し混練して押出成形等によりハニカム状に形成したものや、一つ乃至複数のセルを有するハニカムセグメントを押出成形等により形成した後、複数のハニカムセグメントを接合したハニカム状のハニカム積層体からなるものであってもよい。
【００４９】
なお、以下、本実施例では、ハニカム成形体１０は、押出成形によりハニカム状に形成されたものであるとして説明する。
【００５０】
ハニカム成形体１０を製造するに当たり、セラミック形成原料と、形成補助剤としてのバインダと、可燃性物質等の添加成分を準備する。次いで、セラミック形成原料、バインダ、および可燃性物質等を混合し、適量の水を加えて混練する。次いで混練した原料を周知のハニカム押出成形機にてハニカム状に押出成形することによって、軟質なハニカム成形体１０が得られる（図４中の押出成形工程）。次いで、この軟質なハニカム成形体１０を所定寸法に切断した（図４中の切断工程）。その後、乾燥することによって比較的硬くて脆いハニカム成形体１０が得られる（図４中の乾燥工程）。乾燥したハニカム成形体１０をセル端部の一部を栓材４で閉塞した後に焼成することによりセラミックハニカム構造体１が得られる（図４中の焼成工程）。
【００５１】
セラミック形成原料（以下、形成原料）は、セラミックハニカム構造体（焼成体）の主たる構成原料である。この形成原料は特に限定されないが、コージェライト化原料、ムライト、アルミナ、シリカ、ジルコニア、炭化ケイ素、窒化ケイ素等が挙げられる。本実施例では、形成原料をコージェライト化原料とした。
【００５２】
なお、このような形成原料としては、例えばタルクを必須成分とするものであり、その他の原料では、出願人が出願の特開平９−７７５７３号公報に記載の配合原料および調合割合が適用できる。例えば、コージェライトの組成であるＳｉＯ２：４５〜５５重量％、Ａｌ２Ｏ３：３３〜４２重量％、ＭｇＯ：１２〜１８重量％の領域になるように、所定のタルク、水酸化アルミニウム等を基本原料として配合する。また、この基本原料に、バインダ、上記可燃性物質を所定の範囲で添加している。
【００５３】
なお、ここで、ハニカム成形体１０に含まれる添加成分としては、グラファイト等のカーボンや、カーボンを含む有機物質などのカーボン成分を含んだものであってもよい。グラファイト等のカーボンは、可燃性物質であり、ハニカム成形体１０を焼成する際に、消失して気孔を形成する気孔剤（造孔剤）として添加されていている。
【００５４】
また、本実施例でいうハニカム成形体１０のハニカム状は、例えば図６および図８に示すハニカム成形体１０のように、極めて薄いセル壁３により区画されることによって、軸方向に延びる流路となるセル１１を形成する形状である。ハニカム成形体の全体形状は、特に限定されるものではなく、例えば図６に示すように円筒状のものの他、四角柱状、三角柱状等の形状であってもよい。また、ハニカム成形体のセル形状は、特に限定されるものではなく、例えば図６に示すように四角状、三角状、六角状等のセル形状であってもよい。
【００５５】
また、本実施形態のハニカム成形体１０は、外周スキン部２とセル壁３を、一体成形して得られている。外周スキン部２の壁厚保さｔ２に比べてセル壁３の厚さｔ１は薄く形成されている（ｔ２＞ｔ１）。
【００５６】
このようなハニカム成形体１０は、図４中のステップＳ２００の切断工程で所定の長さに切断され、図４中のステップＳ３００の乾燥工程でマイクロ波等を用いて乾燥される。次いで、図示しない栓詰め工程でハニカム成形体１０の両端面１２における所定のセル１１の端部に、上記栓材４を充填する。その後、図４中のステップＳ４００の焼成工程で焼成を行なって、セラミックハニカム構造体１を得る。
【００５７】
上記押出形成により得られた軟質のハニカム成形体１０を、図１に示す乾燥装置５を用いて乾燥した。乾燥装置５は、図１および図２に示す如く、ハニカム成形体１０を収容する乾燥槽５０と、乾燥槽５０内の湿度を所定量以上（本実施例では、７０％以上）の高湿度雰囲気とする加湿装置５３と、乾燥槽５０内のハニカム成形体１０に向けてマイクロ波を供給するマイクロ波発生装置５２と、過乾燥保護部材５５とを備えている。
【００５８】
乾燥槽５０は、ハニカム成形体１０を複数個（本実施例では、４個）分を収納できる大きさを有し、バッチ式である。この乾燥槽５０内には、受け台５１が設けられており、受け台５１はターンテーブル状の回転体に形成され、乾燥台５９を介して複数個のハニカム成形体１０を支持できる大きさを有する。この受け台５１は、乾燥台５９を介してハニカム成形体１０が載置される受け面領域に、図１中の上下方向に貫通穴を有し通気性を有している。具体的には、図２に示すように、受け台５１の外周部５１には、上記受け面領域に対応する領域（以下載置領域）５１２内に、複数の貫通穴が設けられている。
【００５９】
乾燥台５９は、通気可能な多孔質体からなる板状体に形成され、ハニカム成形体１０の端面１２より大きい載置端面を有している。このような乾燥台５９を介してハニカム成形体１０を受け台５１に載置する場合には、上記貫通穴は載置領域内に複数の貫通穴を設けるものに限らず、載置領域全体を例えば一つの貫通穴で形成してもよい。
【００６０】
また、乾燥台５９の載置端面は、ハニカム成形体１０の端面１２に沿って滑らかに当接するように、載置端面の一部に、テフロン（登録商標）などの樹脂層が設けられていることが好ましい。これにより、乾燥過程において膨張または収縮によりハニカム成形体の大きさが変化する場合があったとしても、その大きさの変化に伴なう軟質なハニカム成形体の端面と、乾燥台の樹脂層の間の摩擦力を比較的小さく抑えることができる。
【００６１】
なお、上記乾燥台５９の載置端面の一部に樹脂層を設けるとは、ハニカム成形体１０が載置される載置端面の重心を中心に十字帯状にテフロン（登録商標）等の樹脂コーティング層を設けるものである。これに限らず、上記載置端面内に数箇所のコーティング層部やテフロンテープを貼付するものであってもよい。
【００６２】
なお、上述のように構成されている受け台５１の内周部５１３には、軽量化目的のために、肉盗み穴５１４を設けてもよい。受け台５１を軽量化することで、受け台５１の慣性モーメントの低減が図れるので、受け台を回転駆動する駆動源が比較的小さな駆動出力であっても、ハニカム成形体１０を載置した受け台５１を回転駆動させることができる。
【００６３】
マイクロ波発生装置５２は、乾燥槽５０の側壁５０５のうち、ハニカム成形体１０を乾燥槽５０内へ投入する投入部としての扉５０１のある側壁を除く、各側壁に設けられている。具体的には本実施例では、マイクロ波発生装置５２は、図２に示すように、乾燥槽５０内の左右の側壁５０５にそれぞれ３台、扉５０１のある側壁とは反対にある奥側の側面５０５に２台配置されている。
【００６４】
また、マイクロ波発生装置５２は、各マイクロ波発生装置５２から延設された導波管５２０を乾燥槽５０内に開口させ、その開口部（以下、マイクロ波導入口）５２１は、複数のハニカム成形体１０に向けてマイクロ波を照射可能にしている。
【００６５】
加湿装置５３は、ボイラ等を蒸気供給源とし、ボイラから延設された蒸気配管５３０を乾燥槽５０内の下方側に開口させ、その開口部（以下、蒸気導入口）５３１から高温蒸気を供給可能である。本実施例では、高温蒸気を、８０°Ｃ以上で湿度７０％以上の蒸気とした。
【００６６】
熱風発生装置５４は、熱風配管５４０を介して、乾燥槽５０内の受け台５１の下側の壁５０５に吹出口５４１を開口しており、この吹出口５４１から、受け台５１の載置のハニカム成形体１０内に向けて熱風の供給を可能にしている。即ち、吹出口５４１から吹き出す熱風を、ハニカム成形体１０内に多数設けられているセル１１内部（図７参照）へ流通させるようにしている。
【００６７】
熱風発生装置５４の熱風は、マイクロ波による乾燥（図４中のステップＳ３１０の第1工程）が終了した後、乾燥槽５０内へ供給が開始される。すなわち、ハニカム成形体１０の乾燥工程では、マイクロ波乾燥による第１工程が開始し所定時間（Ｔ1）経過し後に、マイクロ波による乾燥を中止し、熱風による乾燥に切換えられる。
【００６８】
なお、ここで、マイクロ波による乾燥完了状態とは、本実施例では、ハニカム成形体１０の乾燥状態が、水含有率の範囲で１％〜３％の範囲に達した状態のことである。
【００６９】
また、過乾燥保護部材５５は、ハニカム成形体１０を乾燥するためには過剰なマイクロ波のエネルギを吸収するものである。過乾燥保護部材５５は、マイクロ波の上記照射領域内に配置され、液体(冷却水)が循環することによってマイクロ波の余分なエネルギを吸収する。この過乾燥保護部材５５は、マイクロ波による加熱され易さの指標となる、誘電率または誘電損失係数の大きさが、少なくとも、乾燥前のハニカム形成体１０＞過乾燥保護部材５５との関係を満たすように設定されている。
【００７０】
なお、上記過乾燥保護部材５５とハニカム成形体１０との誘電率または誘電損失係数の大小関係が、乾燥前のハニカム形成体１０＞過乾燥保護部材５５＞マイクロ波による乾燥完了となる所定量（本実施例では、１％〜３％の範囲内）の水含有率を有するハニカム形成体１０になるように、過乾燥保護部材５５が構成されていることが好ましい。マイクロ波による加熱は、被乾燥物の誘電損で発生するため、誘電損失係数（誘電率）の大きなものに選択的にマイクロ波が吸収され、誘電損失係数（誘電率）の有意な部分（対象物）だけを加熱するからである。
【００７１】
上記過乾燥保護部材５５は、内部に液体（冷却水）を流通する配管５５０を有し、この配管５５０とハニカム成形体１０との誘電率または誘電損失係数の大小関係が、少なくとも、乾燥前のハニカム形成体１０＞配管５５０との関係を満たすような配管であればよい。また、乾燥前のハニカム形成体１０＞配管５５０＞上記所定量の水含有率を有するハニカム形成体１０との関係を満たすような配管であることが好ましい。
【００７２】
上記配管５５０としては、テフロン（登録商標）などの耐熱性を有する樹脂材から形成することができる。
【００７３】
また、過乾燥保護部材５５は、乾燥槽５０内の奥側の両角部に配置され、乾燥槽５０内を少なくとも一方方向（本実施例では、図３に示すように二方方向）に液体が流出入する。このように構成することにより、過乾燥保護部材５５内を液体が流れる流れ構造、すなわち配管内の流れ構造が複雑になることはなく、比較的簡素な配管構造を乾燥槽５０に設けることができる。
【００７４】
具体的には、過乾燥保護部材５５は、図３に示す如く、液体導入配管部５５１と、液体導出配管部５５１と、液体導入配管部５５１と液体導出配管部５５１の間を接続する槽内配管部５５２を有し、各配管内を液体が一方方向に流れる程度の比較的簡素な配管構造で構成される。
【００７５】
以上説明した本実施形態では、未乾燥のハニカム成形体１０を乾燥するための乾燥槽５０内には、マイクロ波発生装置５２から供給されるマイクロ波の照射領域内に、液体を循環する過乾燥保護部材５５を配置しているので、過乾燥保護部材によって過剰なマイクロ波のエネルギを吸収することが可能である。したがって、マイクロ波による乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体が過乾燥することが防止される。
【００７６】
上記過乾燥保護部材５５は、マイクロ波による選択加熱を実施するため、少なくとも未乾燥のハニカム成形体１０の誘電率または誘電損失係数に比べて十分小さいことが好ましい。なお、過乾燥保護部材５５の配管５５０の誘電率または誘電損失係数が、少なくとも未乾燥のハニカム成形体１０の誘電率または誘電損失係数に比べて十分小さいことが好ましいと言い換えてもよい。分子状態にある液体に比べて、液体を内部に覆おっている例えば樹脂製の配管５５０の方が、マイクロ波加熱による被加熱物としての誘電損特性（誘電率または誘電損失係数）に支配的である。
【００７７】
これにより、乾燥槽内に載置されるハニカム成形体に照射するマイクロ波を、過乾燥保護部材を設置することによって損なうエネルギ損失を抑制するとともに、乾燥のための余分なエネルギを吸収することが可能である。
【００７８】
以上説明した本実施形態では、過乾燥保護部材５５の配管５５０とハニカム成形体１０との誘電率または誘電損失係数の大小関係が、乾燥前のハニカム形成体１０＞配管５５０＞マイクロ波による乾燥完了となる所定量（本実施例では、１％〜３％の範囲内）の水含有率を有するハニカム形成体１０になるように、配管５５０が構成されていることが好ましい。
【００７９】
これにより、予め設定した乾燥完了となる上記所定量の水含有率を有するハニカム成形体１０と比較して、これ以下の誘電率または誘電損失係数となる即ち過乾燥のおそれがあるハニカム成形体に対しては、過乾燥保護部材５５によって、過剰なマイクロ波のエネルギを有効に吸収することができる。したがって、切断工程における切断寸法ばらつきなど、乾燥工程前でのハニカム成形体１０の製造ばらつきによりハニカム成形体１０の熱容量がばらつきを生じたとしても、乾燥のための余分なエネルギによりハニカム成形体１０が過乾燥することを防止することができる。
【００８０】
上記配管５５０は、テフロン（登録商標）などの耐熱性を有する樹脂材から形成することが好ましい。これにより、乾燥槽５０内に配置する配管５５０を耐熱性を有する樹脂材で形成するので、乾燥槽５５０内の余裕空間に応じた形状に、樹脂製の配管を形成できる。したがって、ハニカム成形体に照射するマイクロ波を、過乾燥保護部材５５の配置により損なうエネルギ損失を抑制しつつ、乾燥のための余分なエネルギを吸収可能に過乾燥保護部材５５０を配置するのが容易となる。
【００８１】
また、以上説明した本実施形態において、上記乾燥槽５０は、バッチ式であることが好ましい。
【００８２】
乾燥槽は、一般に、乾燥前のハニカム成形体１０を連続的に投入し、かつ連続的に排出するいわゆる連続式（コンベア方式）と、乾燥前の複数のハニカム成形体１０を乾燥槽内に投入し、投入したハニカム成形体１０が乾燥した後に取り出すいわゆるバッチ式とがある。
【００８３】
例えばベルト式による連続方式の場合には、マイクロ波が過乾燥保護部材５５に吸収させず、ベルトに吸収されるおそれがある。このような連続方式では、乾燥前のハニカム成形体１０の熱容量がばらついたまま、連続的にコンベア式乾燥槽内に投入されるため、各ワークの乾燥状態がばらつき易い。また、乾燥前のハニカム成形体１０の熱容量のばらつきに応じてコンベア式乾燥槽内で乾燥させた各ハニカム成形体１０の乾燥状態が連動してばらつくため、コンベア式乾燥槽内へ照射するマイクロ波の出力制御が難しい。
【００８４】
これに対して本実施形態では、乾燥槽５５０をバッチ式とすることによって、投入するハニカム成形体数が限定されてバッチ式乾燥槽５０内へ投入されるので、そのハニカム成形体数によりマイクロ波の出力制御が容易となるため、上記過乾燥保護部材５５の設置による乾燥状態の均一化に加えて、更に一層、乾燥状態を一定にすることができる。
【００８５】
また、以上説明した本実施形態では、過乾燥保護部材５５は、乾燥槽５０内の奥側の両角部に配置され、乾燥槽５０内を少なくとも一方方向に液体が流出入する。このように構成することにより、過乾燥保護部材５５内を液体が流れる流れ構造、すなわち液体が循環する配管５５０内の流れ構造が複雑になることはなく、比較的簡素な配管構造を乾燥槽５０に設けることができる。
【００８６】
このように配管５５０の構造が簡素であるため、乾燥槽５０内での過乾燥保護部材５５の配置自由度を比較的高められるので、ハニカム成形体１０に照射するマイクロ波を過乾燥保護部材５５の設置により損なうエネルギ損失を抑制しつつ、乾燥のための余分なエネルギを吸収可能に過乾燥保護部材５５を配置するのが容易となる。
【００８７】
また、以上説明した本実施形態において、上記バッチ式乾燥槽５０内には、複数のハニカム成形体１０を載置し、載置したハニカム成形体１０を回転駆動する、いわゆるターンテーブルなどの回転体としての受け台５１を有し、その受け台５１に設けた貫通穴より、水蒸気をハニカム成形体１０内に流通させることが好ましい。
【００８８】
一般に、ハニカム成形体１０の内部には、ハニカム状に設けられたセル壁３によって仕切られて軸方向に延びたセル１１が多数設けられているため、例えばハニカム成形体１０の中心部（以下、基材中央部）１０１側のセル１１は、表面部（以下、基材表面部）１０２側のセル１１に比べてセル内部へ導けれる乾燥槽５０内の雰囲気の量が不足するおそれがある。不足してしまうと、ハニカム成形体１０の基材の乾燥速度が遅くなるおそれがある。
【００８９】
これに対して本実施形態では、受け台５１に設けた貫通穴よりハニカム成形体１０内に、高湿雰囲気を形成する水蒸気を流通させるので、水蒸気がハニカム成形体１０の基材内を通過し易く、基材を速く乾燥することが可能となる。
【００９０】
なお、上記受け台５１に設けた貫通穴は、ハニカム成形体１０より小さいことが好ましい。これにより、ハニカム成形体１０より小さい貫通穴を設けた受け台５１に、ハニカム成形体１０の数を可変してハニカム成形体１０を載置することが可能である。
【００９１】
また、上記ハニカム成形体１０と、受け台５１の貫通穴との間には、ハニカム成形体１０内を通気可能にし、かつ乾燥により膨張または収縮するハニカム成形体に摺接可能な乾燥台５９が挟み込まれていることが好ましい。これによると、ハニカム成形体１０内を通気可能にし、かつ乾燥により膨張または収縮するハニカム成形体１０に摺接可能な乾燥台５９に、ハニカム成形体が載置されているので、ハニカム成形体１０が乾燥により膨張または収縮する場合があったとしても、膨張または収縮したハニカム成形体１０と乾燥台５９間の摩擦を抑制でき、従ってハニカム成形体１０自体の変形を抑制できる。
【００９２】
したがって、ハニカム成形体１０の基材内に水蒸気を通過し易して基材を速く乾燥するようにするとともに、ハニカム成形体１０の乾燥状態が進む過程に従って膨張または収縮するハニカム成形体１０自体の変形を抑制することができる。
【００９３】
特に、上記乾燥台５９は、ハニカム成形体１０の端面１２に沿う載置面の一部に樹脂層を有する多孔質体であることが好ましい。
【００９４】
これにより、乾燥台５９は多孔質体であることによりハニカム成形体１０内に通気が可能であるとともに、多孔質体の摩擦抵抗が比較的大きい両端面のうち、ハニカム成形体１０の端面１２に接する載置面の一部に樹脂層を設けているので、膨張または収縮によりハニカム成形体１０の大きさが変化しても、その大きさの変化に伴なうハニカム成形体１０の端面１２と載置面に間に働く摩擦力を、樹脂層によって比較的小さく抑えることができる。したがって、ハニカム成形体１０自体の変形を効果的に抑制することができる。
【００９５】
（第２実施形態）
以下、本発明を適用した他の実施形態を説明する。なお、以下の実施形態においては、第１の実施形態と同じもしくは均等の構成には同一の符号を付し、説明を繰返さない。
【００９６】
第２の実施形態では、乾燥工程における、マイクロ波による乾燥を行う第１工程において、図９に示すように、所定時間Ｔ０経過後は、マイクロ波の照射出力（以下、マイクロ波出力）を減じるようにマイクロ波発生装置を制御する。図９は、本実施形態に係わる乾燥工程での乾燥条件の一例を示す図であって、乾燥スケジュールを示す説明図である。図１０は、本実施形態に係わる乾燥装置の一例を示す図であって、乾燥槽内への水蒸気、熱風の流れを説明する模式図である。図９は、縦軸をマイクロ波出力、横軸を時間を示している。図９中の時間Ｔ１の区間は、図４中のマイクロ波により乾燥する第１工程（Ｉ）に対応し、また時間Ｔ２の区間は、熱風により乾燥する第２工程（II）に対応し、時間Ｔ１＋Ｔ２は、ハニカム成形体１０の乾燥に係わる時間である。また、時間Ｔ２の区間は、マイクロ波および熱風の乾燥処理が終了し、乾燥槽５０内より、マイクロ波、蒸気および熱風を除去する冷却ステップである。
【００９７】
マイクロ波発生装置５２は、図示しないマイクロ波出力を調整する出力調整手段を有している。出力調整手段は、図９に示す如く、上記時間Ｔ０、Ｔ１、Ｔ２に対応してそれぞれマイクロ波出力を、Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３に可変に減じることが可能である。なお、出力調整手段は、マイクロ波発生装置５２内の装置構成として設けられてものとして説明したが、これに限らず、マイクロ波発生装置５２、加湿装置５３、熱風発生装置５４を駆動制御する制御装置（図示せず）に出力調整手段を有するものであってもよい。
【００９８】
ここで、本実施例では、第２工程（II）では、乾燥槽５０内へ熱風のみを供給し、マイクロ波の供給は停止するので、実際に乾燥処理を行なう場合には、マイクロ波出力Ｑ３は零（Ｑ３＝０）に設定されている。
【００９９】
このように構成することにより、所定出力Ｑ１のマイクロ波による乾燥処理を開始し所定時間Ｔ０が経過すると、マイクロ波出力をＱ２に減じる（Ｑ１＞Ｑ２）ので、乾燥工程における各ハニカム成形体１０の乾燥化が進んだ状態で、マイクロ波出力を弱めて過乾燥を効果的に抑制することができる。
【０１００】
（第３実施形態）
また、第３の実施形態に係わる乾燥槽５０内への高温蒸気（水蒸気）および熱風の流れを、図１０に従って説明する。図１０は、本実施形態に係わる乾燥装置の一例を示す図であって、乾燥槽５０内への水蒸気、熱風の流れを説明する模式図である。なお、図１０において、マイクロ波発生装置５２および過乾燥保護部材５５の図示は省略している。
【０１０１】
この第３実施形態は、第１実施形態および第２実施形態のいずれにも適用できる。以下の実施例では、説明便宜上、第２の実施形態で説明した乾燥工程での乾燥スケジュールとの関係で説明する。
【０１０２】
加湿装置５３は、図示しないボイラから供給された水蒸気の流れを流通および流通停止する切換え弁５３３を有しており、加湿装置５３から供給される水蒸気は、切換え弁５３３を介して乾燥槽５０内へ供給される。
【０１０３】
熱風発生装置５４は、送風用ブロア５４３、加熱装置（以下、ヒータ）５４４、熱風配管５４０、流れ方向や流れを断続させるための切換え手段としてのリークダンパ５４６、５４７、５４８、および排出用ブロア５４９を有している。
【０１０４】
送風用ブロア５４３および排出用ブロア５４９は周知の送風機である。また、ヒータ５４４は空気を加熱する周知の加熱器である。
【０１０５】
熱風配管５４０は、送風用ブロア５４３およびヒータ５４４の熱風発生源から供給された熱風を分岐する第１熱風経路５４０ａと第２熱風経路５４０ｂを有している。第１熱風経路５４０ａと第２熱風経路５４０ｂの流れ方向の切換えは、第１リークダンパ５４６で行なう。
【０１０６】
第１熱風経路５４０ａは排出用ブロア５４９に接続しており、その経路途中で乾燥槽５０内と連通する第５熱風経路５４０ｅが接続している。第１リークダンパ５４６により第１熱風経路５４０ａへの流れ方向に切換える（以下、第１リークダンパ５４６の閉状態）場合には、熱風供給源から供給されている熱風は、乾燥槽５０に供給されることなく、排出用ブロア５４９により排出される。一方、第１リークダンパ５４６を開状態に切換える場合には、熱風供給源から供給されている熱風は第２熱風経路５４０ｂが接続している乾燥槽５０内へ供給される。
【０１０７】
第２熱風経路５４０ｂは、吹出口５４１が受け台５１に向けて配置されており、乾燥槽５０内へ供給された熱風は、受け台５１の貫通穴５１２を通じてハニカム成形体１０内に流通する。また、乾燥槽５０内へ接続する第２熱風経路５４０ｂの途中には、外気雰囲気を導入可能な第３熱風経路５４０ｃが接続されており、熱風経路５４０ａ内には、流れを断続する第２リークダンパ５４７が配置されている。
【０１０８】
また、乾燥槽５０内の側壁５０５の上部側には、冷却のための第４熱風経路５４０ｄが設けられており、熱風経路５４０ａ内には、外気雰囲気の流れを断続する第３リークダンパ５４８が配置されている。
【０１０９】
次に、乾燥工程の乾燥スケジュールに従って水蒸気および熱風の流れを説明する。マイクロ波により乾燥する第１工程（Ｉ）では、熱風は不要であり、第１リークダンパ５４６は閉状態に設定されている。このとき、仮に熱風発生源より供給される場合があっても、第１熱風経路５４０ａに熱風は流れて、排出用ブロア５４９により排出される。
【０１１０】
一方、水蒸気は、切換え弁５３３が流通状態に切換えられて、加湿装置５３より乾燥槽５０内に高温蒸気として供給される。このとき、第３リークダンパ５４８は閉じられている（流れ停止状態）ので、乾燥槽５０内へ供給された水蒸気は速やかに乾燥槽５０内を満たす。
【０１１１】
また、第２リークダンパ５４７は開かれている（外気雰囲気の流れ流通状態）ので、吹出口５４１から乾燥槽５０内へ外気が導かれて、乾燥槽５０内の水蒸気に対流を生じさせる。この水蒸気の対流は、受け台５９の下部へ向かうように形成されるので、受け台５９に載置されたハニカム成形体１０内に効果的に水蒸気を流通させることができる。
【０１１２】
また、受け台５１は回転駆動されており、受け台５９に載置された各ハニカム成形体１０にマイクロ波が均一に照射されるとともに、水蒸気の流れが各ハニカム成形体１０内に均一に導けられる。
【０１１３】
次に、熱風により乾燥する第２工程（II）では、マイクロ波の乾燥槽５０内への供給は停止され、熱風発生源より熱風の供給が開始される。
【０１１４】
なお、このとき、熱風の乾燥槽５０への投入とともに、水蒸気の供給を停止することが好ましい。これにより、第２工程（II）は、熱風を投入するとともに、水蒸気を排出するので、第１工程（Ｉ）のマイクロ波による乾燥終了後は、第２工程（II）において、高湿雰囲気を排除することにより、熱風による乾燥を効率的に行なうことができる。
【０１１５】
第１リークダンパ５４６は開状態に設定されるので、熱風は、第２熱風経路５４０ａを通じて吹出口５４１より乾燥槽５０内へ供給される。このとき、第２リークダンパ５４７は閉じられるので、熱風発生源より供給される熱風は全て乾燥槽５０内に導かれ、速やかにハニカム成形体１０を熱風で加熱乾燥することができる。
【０１１６】
また、このとき、第３リークダンパ５４８は開かれるので、排出用ブロア５４９で乾燥槽５０内の水蒸気を排出するとともに、高温蒸気(水蒸気)を含まない外気を第４熱風経路５４０ｄより取り入れることができる。したがって、乾燥槽５０内の水蒸気の排出を速めることができる。
【０１１７】
次に、冷却ステップでは、乾燥処理は不要なため、マイクロ波および熱風のいずれも乾燥槽５０内への供給を停止している。第２リークダンパ５４７および第３リークダンパ５４８は、それぞれ、閉、開状態にあるので、排出用ブロア５４９によって乾燥槽５０内の水蒸気および熱風が排出される。これにより、乾燥槽５０の扉５０１から乾燥したハニカム成形体１０を取り出すときに、乾燥槽５０内の水蒸気および熱風が除去または低減されているので、乾燥したハニカム成形体１０の取り出しと、次の乾燥処理予定の未乾燥のハニカム成形体１０の乾燥槽５０内への載置が速やかに実施でき、生産性向上が図れる。
【０１１８】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、かかる実施形態に限定して解釈されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態に適用可能である。
【０１１９】
（１）以上説明した本実施形態では、本発明のハニカム成形体の製造方法で乾燥させたハニカム成形体１０は、ハニカム成形体１０の割れやしわを生じさせることなく乾燥するとともに、過乾燥の防止が図れる。このため、ハニカム成形体１０を乾燥する工程の後に、ハニカム成形体１０を焼成する工程を備えたセラミックハニカム構造体の製造方法に適用して好適である。これにより、焼成する前のハニカム成形体に割れやしわ等の欠陥もなく、過乾燥も防止されているので、焼成過程において、例えば成形補助剤（バインダ）等の添加剤を除去する際に生じるおそれのある割れや変形を抑制することができる。
【０１２０】
（２）以上説明した本実施形態では、過乾燥保護部材５５の配管を、テフロン（登録商標）で形成したが、これに限らず耐熱性を有する樹脂材であれば、いずれの樹脂材料であってもよい。
【０１２１】
（３）以上説明した本実施形態では、過乾燥保護部材５５内を循環する液体を、冷却水としたが、これに限らず、オイル等の液体であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の第１実施形態のハニカム成形体の乾燥装置を示す模式的縦断面図である。
【図２】図１中のIIからみた模式的横断面図である。
【図３】図１中のIIIからみた模式的横断面図である。
【図４】第１実施形態のハニカム成形体の製造方法を適用するセラミックハニカム構造体の製造方法の一例を示す製造工程の流れ図である。
【図５】第１実施形態のハニカム成形体の製造方法を適用するハニカム成形体およびセラミックハニカム構造体の一例を示す斜視図である。
【図６】図５中のＶＩからみた斜視断面図である。
【図７】図５中のセラミックハニカム構造体の内部を示す縦断面図である。
【図８】図５中のハニカム成形体のセル壁の厚さを示す部分平面図である。
【図９】第２の実施形態に係わる乾燥工程での乾燥条件の一例を示す図であって、乾燥スケジュールを示す説明図である。
【図１０】第３の実施形態に係わる乾燥装置の一例を示す図であって、乾燥槽内への水蒸気、熱風の流れを説明する模式図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１  セラミックハニカム構造体
１０  ハニカム成形体（基材）
１０１  基材中央部（基材中心部）
１０２  基材周縁部（基材表面部）
１１  セル
１２  端面
３  セル壁（隔壁）
４  栓材
５  乾燥装置
５０１  扉（ワーク投入部）
５０５  槽内壁（側壁）
５１  受け台（回転体）
５１２  貫通穴
５２  マイクロ波発生装置
５２０  導波管
５２１  マイクロ波導入口（開口部）
５３  加湿装置
５４  熱風発生装置
５５  過乾燥保護部材
５５０  配管
５５１  液体導入用槽外配管部
５５２  槽内配管部
５５３  液体導出用槽外配管部
５９  乾燥台（板状体）
【図１】
2008110541.tif 000003
【図２】
2008110541.tif 000004
【図３】
2008110541.tif 000005
【図４】
2008110541.tif 000006
【図５】
2008110541.tif 000007
【図６】
2008110541.tif 000008
【図７】
2008110541.tif 000009
【図８】
2008110541.tif 000010
【図９】
2008110541.tif 000011
【図１０】
2008110541.tif 000012