(57)【要約】【課題】簡単な工程及び構成で、ラミネート後の基板から、保護フイルムの残存部分が支持体と一体に剥離されたか否かを確実に検出することができ、効率的且つ高品質なラミネート処理を遂行可能にする。【解決手段】保護フイルム残存検出機構１５０は、ガラス基板２４から剥離されたベースフイルム２６の一方の面２６ａ側に配置される受け台１５４を備える。この受け台１５４には、面２６ａを当接させる基準面１５４ａが形成される。基準面１５４ａに対向してベースフイルム２６の他方の面２６ｂ側には、接触式の厚さ検出器１５６が、一軸ロボット１５８を介して前記ベースフイルム２６の搬送方向に進退可能に配設される。厚さ検出器１５６は、残存部分３０ｂに接触することにより、ベースフイルム２６に前記残存部分３０ｂが貼り付けられていることを検出する。【選択図】図４
2008110487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、
送り出された前記長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工機構と、
前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる剥離機構と、
前記残存部分を基板間に配設するとともに、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けして貼り付け基板を得る貼り付け機構と、
前記貼り付け基板から前記支持体を剥離する支持体剥離機構と、
前記貼り付け基板から剥離された前記支持体に前記残存部分が貼り付けられているか否かを検出する保護フイルム残存検出機構と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の製造装置において、前記保護フイルム残存検出機構は、前記支持体の積層部位の厚さを検出する厚さ検出手段を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項３】
請求項２記載の製造装置において、前記保護フイルム残存検出機構は、前記支持体の一方の面側に配置される基準面と、
前記基準面に当接する基準部材と、
前記支持体の積層部位が設けられた他方の面側に配置され、前記基準部材が前記基準面に当接する際に、前記支持体の積層部位に接触して前記基準面からの距離を検出する接触式の前記厚さ検出手段と、
を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の製造装置において、前記保護フイルム残存検出機構は、前記貼り付け基板から剥離された前記支持体の搬送方向に進退可能な駆動部を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の製造装置において、前記保護フイルム残存検出機構は、前記貼り付け基板から剥離された前記支持体の搬送方向に交差する幅方向に進退可能な幅方向駆動部を備えることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項６】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すウエブ送り出し工程と、
送り出された前記長尺状感光性ウエブの前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工工程と、
前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる剥離工程と、
前記残存部分を基板間に配設するとともに、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けして貼り付け基板を得る貼り付け工程と、
前記貼り付け基板から前記支持体を剥離する支持体剥離工程と、
前記貼り付け基板から剥離された前記支持体に前記残存部分が貼り付けられているか否かを検出する保護フイルム残存検出工程と、
を有することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【請求項７】
請求項６記載の製造方法において、前記保護フイルム残存検出工程は、前記支持体の積層部位の厚さを検出することを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すとともに、前記保護フイルムの剥離により露出した感光材料層を基板に貼り付けた後、前記支持体を前記基板から剥離する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図７に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム１４は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記の従来技術では、基板１１に積層体フイルム１ａがラミネートされた後に、この基板１１から透光性支持フイルム１４が良好且つ確実に剥離されたか否かを検出することが望まれている。
【００１１】
本発明はこの種の要請に対応するものであり、簡単な工程及び構成で、ラミネート後の基板から、保護フイルムの残存部分が支持体と一体に剥離されたか否かを確実に検出することができ、効率的且つ高品質なラミネート処理が遂行可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すウエブ送り出し機構と、送り出された前記長尺状感光性ウエブの少なくとも前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工機構と、前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる剥離機構と、前記残存部分を基板間に配設するとともに、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けして貼り付け基板を得る貼り付け機構と、前記貼り付け基板から前記支持体を剥離する支持体剥離機構と、前記貼り付け基板から剥離された前記支持体に前記残存部分が貼り付けられているか否かを検出する保護フイルム残存検出機構とを備えている。
【００１３】
また、保護フイルム残存検出機構は、支持体の積層部位の厚さを検出する厚さ検出手段を備えることが好ましい。
【００１４】
さらに、保護フイルム残存検出機構は、支持体の一方の面側に配置される基準面と、前記基準面に当接する基準部材と、前記支持体の積層部位が設けられた他方の面側に配置され、前記基準部材が前記基準面に当接する際に、前記支持体の積層部位に接触して前記基準面からの距離を検出する接触式の厚さ検出手段とを備えることが好ましい。なお、保護フイルムと剥離部との段差を検出する非接触式変位計を用いてもよい。
【００１５】
さらにまた、保護フイルム残存検出機構は、貼り付け基板から剥離された支持体の搬送方向に進退可能な駆動部を備えることが好ましい。
【００１６】
さらに、保護フイルム残存検出機構は、貼り付け基板から剥離された支持体の搬送方向に交差する幅方向に進退可能な幅方向駆動部を備えることが好ましい。
【００１７】
また、本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層される長尺状感光性ウエブを送り出すウエブ送り出し工程と、送り出された前記長尺状感光性ウエブの前記保護フイルムに、剥離部分と残存部分との境界位置に対応して幅方向に切断可能な加工部位を形成する加工工程と、前記剥離部分を前記残存部分を残して各長尺状感光性ウエブから剥離させる剥離工程と、前記残存部分を基板間に配設するとともに、前記剥離部分が剥離されて露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けして貼り付け基板を得る貼り付け工程と、前記貼り付け基板から前記支持体を剥離する支持体剥離工程と、前記貼り付け基板から剥離された前記支持体に前記残存部分が貼り付けられているか否かを検出する保護フイルム残存検出工程とを有している。
【００１８】
さらに、保護フイルム残存検出工程は、支持体の積層部位の厚さを検出することが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、貼り付け基板から剥離された支持体に、保護フイルムの残存部分が貼り付けられているか否かが検出される。このため、簡単な工程及び構成で、ラミネート後の基板から、保護フイルムの残存部分が支持体と一体に剥離されたか否かを確実に検出することができ、効率的且つ高品質なラミネート処理が遂行可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００２１】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２２】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２３】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２４】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００２５】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。
【００２６】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２７】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。
【００２８】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００２９】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３０】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３１】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３２】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３３】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００３４】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３５】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００３６】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。また、ＣＣＤカメラは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向しない位置に配置してもよい。
【００３７】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。
【００３８】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００３９】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００４０】
ゴムローラ８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ８０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４１】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｂ方向に延在する搬送路８８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂと基板搬送ローラ９２とが配設される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂと基板搬送ローラ９２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００４２】
貼り付け機構４６の下流に、冷却機構１２２とベース自動剥離機構（支持体剥離機構）１４２とが設けられる。ベース自動剥離機構１４２は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と比較的小径な剥離ローラ１４６と巻き取り軸１４８とを備えるとともに、前記ベース自動剥離機構１４２には、保護フイルム残存検出機構１５０が配設される。
【００４３】
プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５２を備え、前記ガラス基板２４間に露呈する保護フイルム３０の残存部分３０ｂを剥離する。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１４６に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。
【００４４】
図４に示すように、保護フイルム残存検出機構１５０は、ガラス基板２４から剥離されたベースフイルム２６の一方の面２６ａ側に配置される受け台１５４を備える。この受け台１５４には、面２６ａを当接させる基準面１５４ａが形成される。基準面１５４ａに対向してベースフイルム２６の他方の面２６ｂ側には、接触式の厚さ検出器（検出手段）１５６が、一軸ロボット（駆動部）１５８を介して前記ベースフイルム２６の搬送方向（矢印Ｄ方向）に進退可能に配設される。厚さ検出器１５６は、さらに一軸ロボット（幅方向駆動部）１５９を介してベースフイルム２６の搬送方向に交差する幅方向（図５中、矢印Ｅ方向）に進退可能である。
【００４５】
図５に示すように、厚さ検出器１５６は、一軸ロボット１５８に固着されるシリンダ１６０を備え、このシリンダ１６０から延在するロッド１６０ａには、支持部材１６２が連結される。支持部材１６２は、屈曲する板状を有するとともに、前記支持部材１６２には、基準面１５４ａに当接する基準ピン（基準部材）１６４と、積層部位である残存部分３０ｂに当接するリニアゲージ１６６とが装着される。
【００４６】
リニアゲージ１６６は、基準ピン１６４が基準面１５４ａに当接することにより、ベースフイルム２６、感光性樹脂層２８及び残存部分３０ｂを含む積層部位の厚さを正確に検出することができる。
【００４７】
図４に示すように、厚さ検出器１５６の上流側には、この厚さ検出器１５６に搬送されてくるベースフイルム２６に貼り付けられている残存部分３０ｂ又は感光性樹脂層２８である積層部位を、例えば、光の透過の変化によって検出するセンサ１７０が配設される。このセンサ１７０により積層部位が検出されることにより、厚さ検出器１５６に対応して前記積層部位が配置される位置が算出される。
【００４８】
図１に示すように、ベース自動剥離機構１４２の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１８０が配設される。この測定器１８０は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１８２を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１８２が配設される。
【００４９】
ベース自動剥離機構１１４の下流には、複数の感光性積層体２０８が収容される感光性積層体ストッカー１９０が設けられる。ベース自動剥離機構１１４で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２０８は、ロボット１９２のハンド部１９２ａに設けられた吸着パッド１９４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９０に収容される。
【００５０】
製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５１】
図１に示すように、製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５２】
基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、このガラス基板２４を所望の温度まで加熱して貼り付け機構４６に供給する動作及び該ガラス基板２４の情報のハンドリング等を制御する。
【００５３】
ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００５４】
ベース剥離制御部２０６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２０８を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２０８の情報をハンドリング制御する。
【００５５】
製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。
【００５６】
このように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。
【００５７】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００５８】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００５９】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６０】
例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図６に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００６１】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００６２】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。一方、ガラス基板２４は、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００６３】
この状態で、バックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ８０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。
【００６４】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６５】
ゴムローラ８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ９２によりクランプされる。
【００６６】
そして、ゴムローラ８０ｂが、ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００６７】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ８０ｂが上昇して、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ及び基板搬送ローラ９２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００６８】
その際、貼り付け基板２４ａは、図７に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００６９】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、ガラス基板２４間に剥離バー１５２が進入して上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。次いで、ベース自動剥離機構１４２では、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。
【００７０】
この場合、本実施形態では、図４に示すように、ベースフイルム２６の巻き取り搬送途上に、センサ１７０が配設されている。このセンサ１７０は、ベースフイルム２６に張り付いてガラス基板２４から剥離された保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（積層部位）を検出する。このため、厚さ検出器１５６に対応して残存部分３０ｂが配置される位置が算出され、この残存部分３０ｂの配置位置に対応して一軸ロボット１５８が駆動される。従って、厚さ検出器１５６は、残存部分３０ｂが検出位置に配置されるタイミングを得ることができる。
【００７１】
そこで、厚さ検出器１５６では、残存部分３０ｂが配置されるタイミングに合わせて、シリンダ１６０が駆動される。図５に示すように、シリンダ１６０のロッド１６０ａが受け台１５４側に突出すると、このロッド１６０ａに連結された支持部材１６２が変位する。支持部材１６２には、基準ピン１６４が固着されており、この基準ピン１６４が受け台１５４の基準面１５４ａに当接する。
【００７２】
支持部材１６２には、リニアゲージ１６６が装着されており、このリニアゲージ１６６は、ベースフイルム２６の面２６ｂ側に、すなわち、残存部分３０ｂに当接する。従って、リニアゲージ１６６は、基準面１５４ａから当接部位までの距離を正確に検出することができ、この検出された厚さデータに基づいて、残存部分３０ｂの有無が確実に判断される。そして、検出された厚さデータにより一方、残存部分３０ｂがないと判断された際には、ガラス基板２４に前記残存部分３０ｂが張り付いた状態であり、該残存部分３０ｂを有する感光性積層体２０８は、不良品として排出される。
【００７３】
これにより、本実施形態では、簡単な工程及び構成で、ラミネート後のガラス基板２４から、保護フイルム３０の残存部分３０ｂがベースフイルム２６と一体に剥離されたか否かを確実に検出することができ、効率的且つ高品質なラミネート処理が遂行可能になるという効果が得られる。なお、リニアゲージ１６６は、一軸ロボット１５９を介してベースフイルム２６の幅方向に対して正確に位置調整可能である。
【００７４】
ところで、ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、図１に示すように、測定器１８０に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１８２によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算されるとともに、良品であると判断された感光性積層体２０８は、ロボット１９２を介して感光性積層体ストッカー１９０に収容される。
【００７５】
なお、本実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の実施形態に係る感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記製造装置を構成する保護フイルム残存検出機構の概略説明図である。
【図５】前記保護フイルム残存検出機構の構成説明図である。
【図６】前記長尺状感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。
【図７】ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。
【図８】特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００７７】
２０…製造装置                        ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール    ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                  ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                    ３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
３４…ハーフカット部位                ３６ａ、３６ｂ…加工機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構        ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板搬送機構                    ４６…貼り付け機構
５６、１５４…受け台                  ６３、１４６…剥離ローラ
６４…保護フイルム巻き取り部          ７４…基板加熱部
７６…搬送部                          ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
９２…基板搬送ローラ                  １４２…ベース自動剥離機構
１４４…プレ剥離部                    １４８…巻き取り軸
１５０…保護フイルム残存検出機構      １５４ａ…基準面
１５６…厚さ検出器                    １５８、１５９…一軸ロボット
１６４…基準ピン                      １６６…リニアゲージ
１７０…センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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