(57)【要約】【課題】交差部の周辺で被覆膜が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるスタンプ装置を提供すること。【解決手段】スタンプ面２ｅは、弾性体で形成されているため、スタンプ面２ｅが、基板１４の基板表面１６に密着した場合は、交差部１０ｇ近辺にある第２スタンプ部１０ｂと、第４スタンプ部１０ｄと、第６スタンプ部１０ｆとは、交差部１０ｇ以外の領域に比べ、同一圧力に対する弾性変形が大きくなる。そこで、本実施形態のスタンプ装置１によれば、第２スタンプ部１０ｂの幅を、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１から幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第２スタンプ部１０ｂを、Ｘ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部１０ｇ近辺の弾性変形を、２本の第１の延長線Ｅ１に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性材料で構成されるスタンプ部と、そのスタンプ部に所定パターンで形成され基板上に形成する被覆膜の材料が付着されるスタンプ面とを備え、そのスタンプ面を基板上にコンタクトさせて前記基板上に所定パターンの被覆膜をマイクロコンタクトプリント方式によって形成するスタンプ装置において、
前記スタンプ面は、
第１の方向に向かって第１の幅で帯状に延びる第１スタンプ部と、
その第１スタンプ部の前記第１の方向に沿った両縁部を前記第１の方向に沿って延長した２本の第１の延長線よりも内側の領域内において、前記第１スタンプ部の端部から連続して前記第１の方向に向かって延びる第２スタンプ部と、
前記第１の方向と交差する第２の方向に向かって第２の幅で帯状に延びる第３スタンプ部と、
その第３スタンプ部の前記第２の方向に沿った両縁部を前記第２の方向に沿って延長した２本の第２の延長線よりも内側の領域内において、前記第３スタンプ部の端部から連続して前記第２の方向に向かって延び、その先端部が前記第２スタンプの先端部と交差する第４スタンプ部とを備えていることを特徴とするスタンプ装置。
【請求項２】
前記第２スタンプの先端部と前記第４スタンプの先端部とが交差して形成される交差部に向かう方向であって、前記第１の方向と前記第２の方向とを除く、少なくとも一以上の互いに異なる第３の方向に向かって第３の幅で帯状に延びる少なくとも一以上の第５スタンプ部と、
その第５スタンプ部の前記第３の方向に沿った両縁部を前記第３の方向に沿って延長した２本の第３の延長線よりも内側の領域内において、前記第５スタンプ部の端部から連続して前記第３の方向に向かって延び、その先端部が前記交差部と交差する少なくとも一以上の第６スタンプ部とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のスタンプ装置。
【請求項３】
前記第２スタンプ部は前記第１スタンプ部を前記第１の方向に沿って２等分する第１の中心線に対して、または、前記第４スタンプ部は前記第３スタンプ部を前記第２の方向に沿って２等分する第２の中心線に対して、または、前記第６スタンプ部は前記第５スタンプ部を前記第３の方向に沿って２等分する第３の中心線に対して左右対称に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のスタンプ装置。
【請求項４】
前記第２スタンプ部は前記第１スタンプ部の端部から前記第１の方向に向かって、または、前記第４スタンプ部は前記第３スタンプ部の端部から前記第２の方向に向かって、または、前記第６スタンプ部は前記第５スタンプ部の端部から前記第３の方向に向かって、その幅がテーパー状に細く変化するテーパー部を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のスタンプ装置。
【請求項５】
前記第２スタンプ部の前記第１の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の前記第１の延長線に向けて突出する第１突出部、または、前記第４スタンプ部の前記第２の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の前記第２の延長線に向けて突出する第２突出部、または、前記第６スタンプ部の前記第３の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の前記第３の延長線に向けて突出する第３突出部を備えていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のスタンプ装置。
【請求項６】
前記第１突出部は、その先端が前記第１の延長線を超えないように、または、前記第２突出部は、その先端が前記第２の延長線上を超えないように、前記第３突出部は、その先端が前記第３の延長線を超えないように延びる櫛状に形成されていることを特徴とする請求項５に記載のスタンプ装置。
【請求項７】
弾性材料で構成されるスタンプ部と、そのスタンプ部に所定パターンで形成され基板上に形成する被覆膜の材料が付着されるスタンプ面とを備え、そのスタンプ面を基板上にコンタクトさせて前記基板上に所定パターンの被覆膜をマイクロコンタクトプリント方式によって形成するスタンプ装置において、
前記スタンプ面は、
第１の方向に向かって第１の幅で帯状に延びる第１スタンプ部と、
前記第１の方向と交差する第２の方向に向かって第２の幅で帯状に延びる第２スタンプ部と、
その第２スタンプ部の先端部と前記第１スタンプの先端部とが交差して形成される交差部を少なくとも二以上に分割する溝とを備えていることを特徴とするスタンプ装置。
【請求項８】
前記交差部に向かう方向であって、前記第１の方向と前記第２の方向とを除く、少なくとも一以上の互いに異なる第３の方向に向かって第３の幅で延び、その先端部が前記交差部において交差する少なくとも一以上の第３スタンプ部を備えていることを特徴とする請求項７に記載のスタンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成する被覆膜の屈曲部分または枝分かれ部分が肥大化して形成されるのを抑制することができるスタンプ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板上に所定パターンの被覆膜を形成する方式の一つとしてマイクロコンタクトプリント方式が知られている。このマイクロコンタクトプリント方式は、所定パターンで形成されているスタンプ面に被覆膜を構成する材料としてのインク（分子）を塗布し、そのインク（分子）が塗布されたスタンプ面を基板上にコンタクトさせることで、所定パターンの被覆膜を基板上に形成するものである。
【０００３】
このマイクロコンタクトプリント方式において使用されるスタンプ装置に関し、次の特許文献１には、スタンプ面（印刷用の前面）の周囲に、へり（ｍａｒｇｉｎ）を設けることで、基板表面に対する均一な接触を可能にする技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００６−１４０４９３号公報（段落第「００１４」）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したへりを備えたスタンプ装置であっても、次の問題点があった。この問題点を図８を参照して説明する。図８（ａ）は、従来のスタンプ面のＴ字状に枝分かれする枝分かれ部を模式的に示す平面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す枝分かれ部によって基板上に形成される被覆膜を模式的に示す平面図である。
【０００５】
図８（ａ）と図８（ｂ）とを見比べれば明らかなように、３方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺において、被覆膜が肥大化して形成され、所望するパターンで被覆膜を形成することができないという問題点があった。
【０００６】
また、図８（ｃ）は、従来のスタンプ面のＬ字状に屈曲する屈曲部を模式的に示す平面図であり、図８（ｄ）は、図８（ｃ）に示す屈曲部によって基板上に形成される被覆膜を模式的に示す平面図である。
【０００７】
図８（ｃ）と図８（ｄ）とを見比べれば、明らかなように、２方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺において、被覆膜が肥大化して形成され、所望するパターンで被覆膜を形成することができないという問題点があった。
【０００８】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、交差部の周辺で被覆膜が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるスタンプ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、請求項１記載のスタンプ装置は、弾性材料で構成されるスタンプ部と、そのスタンプ部に所定パターンで形成され基板上に形成する被覆膜の材料が付着されるスタンプ面とを備え、そのスタンプ面を基板上にコンタクトさせて前記基板上に所定パターンの被覆膜をマイクロコンタクトプリント方式によって形成するものであって、前記スタンプ面は、第１の方向に向かって第１の幅で帯状に延びる第１スタンプ部と、その第１スタンプ部の前記第１の方向に沿った両縁部を前記第１の方向に沿って延長した２本の第１の延長線よりも内側の領域内において、前記第１スタンプ部の端部から連続して前記第１の方向に向かって延びる第２スタンプ部と、前記第１の方向と交差する第２の方向に向かって第２の幅で帯状に延びる第３スタンプ部と、その第３スタンプ部の前記第２の方向に沿った両縁部を前記第２の方向に沿って延長した２本の第２の延長線よりも内側の領域内において、前記第３スタンプ部の端部から連続して前記第２の方向に向かって延び、その先端部が前記第２スタンプの先端部と交差する第４スタンプ部とを備えている。
【００１０】
請求項２記載のスタンプ装置は、請求項１に記載のスタンプ装置において、前記第２スタンプの先端部と前記第４スタンプの先端部とが交差して形成される交差部に向かう方向であって、前記第１の方向と前記第２の方向とを除く、少なくとも一以上の互いに異なる第３の方向に向かって第３幅で帯状に延びる少なくとも一以上の第５スタンプ部と、その第５スタンプ部の前記第３の方向に沿った両縁部を前記第３の方向に沿って延長した２本の第３の延長線よりも内側の領域内において、前記第５スタンプ部の端部から連続して前記第３の方向に向かって延び、その先端部が前記交差部と交差する少なくとも一以上の第６スタンプ部とを備えている。
【００１１】
請求項３記載のスタンプ装置は、請求項１又は２に記載のスタンプ装置において、前記第２スタンプ部は前記第１スタンプ部を前記第１の方向に沿って２等分する第１の中心線に対して、または、前記第４スタンプ部は前記第３スタンプ部を前記第２の方向に沿って２等分する第２の中心線に対して、または、前記第６スタンプ部は前記第５スタンプ部を前記第３の方向に沿って２等分する第３の中心線に対して左右対称に構成されている。
【００１２】
請求項４記載のスタンプ装置は、請求項１から３のいずれかに記載のスタンプ装置において、前記第２スタンプ部は前記第１スタンプ部の端部から前記第１の方向に向かって、または、前記第４スタンプ部は前記第３スタンプ部の端部から前記第２の方向に向かって、または、前記第６スタンプ部は前記第５スタンプ部の端部から前記第３の方向に向かって、その幅がテーパー状に細く変化するテーパー部を備えている。
【００１３】
請求項５記載のスタンプ装置は、請求項１から４のいずれかに記載のスタンプ装置において、前記第２スタンプ部の前記第１の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の前記第１の延長線に向けて突出する第１突出部、または、前記第４スタンプ部の前記第２の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の前記第２の延長線に向けて突出する第２突出部、または、前記第６スタンプ部の前記第３の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の前記第３の延長線に向けて突出する第３突出部を備えている。
【００１４】
請求項６記載のスタンプ装置は、請求項５に記載のスタンプ装置において、前記第１突出部は、その先端が前記第１の延長線を超えないように、または、前記第２突出部は、その先端が前記第２の延長線上を超えないように、前記第３突出部は、その先端が前記第３の延長線を超えないように延びる櫛状に形成されている。
【００１５】
請求項７記載のスタンプ装置は、弾性材料で構成されるスタンプ部と、そのスタンプ部に所定パターンで形成され基板上に形成する被覆膜の材料が付着されるスタンプ面とを備え、そのスタンプ面を基板上にコンタクトさせて前記基板上に所定パターンの被覆膜をマイクロコンタクトプリント方式によって形成するものであって、前記スタンプ面は、第１の方向に向かって第１の幅で帯状に延びる第１スタンプ部と、前記第１の方向と交差する第２の方向に向かって第２の幅で帯状に延びる第２スタンプ部と、その第２スタンプ部の先端部と前記第１スタンプの先端部とが交差して形成される交差部を少なくとも二以上に分割する溝とを備えている。
【００１６】
請求項８記載のスタンプ装置は、請求項７に記載のスタンプ装置において、前記交差部に向かう方向であって、前記第１の方向と前記第２の方向とを除く、少なくとも一以上の互いに異なる第３の方向に向かって第３の幅で延び、その先端部が前記交差部において交差する少なくとも一以上の第３スタンプ部を備えている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載のスタンプ装置によれば、被覆膜の２方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【００１８】
本願発明では、第２スタンプ部が、第１スタンプ部の端部から連続して第１の方向に向かって延び、第４スタンプ部が、第３スタンプ部の端部から連続して第１の方向と交差する第２の方向に向かって延び、その先端部が第２スタンプ部の先端部と交差している。よって、本願発明では、第２スタンプ部と第４スタンプ部とによって被覆膜の２方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が形成されることになる。
【００１９】
そして、本願発明では、この第２スタンプ部は、第１スタンプ部の第１の方向に沿った両縁部を第１の方向に沿って延長した２本の第１の延長線よりも内側の領域内において構成されている。よって、この第２スタンプ部が第１スタンプ部と同じ第１の幅で帯状に形成されている場合に比べれば、第２スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の幅が、第１スタンプ部によって基板上に形成される帯状の被覆膜の幅よりも肥大化するのは抑制される。
【００２０】
同様に、第４スタンプ部は、第３スタンプ部の第２の方向に沿った両縁部を第２の方向に沿って延長した２本の第２の延長線よりも内側の領域内において構成されている。よって、この第４スタンプ部が第３スタンプ部と同じ第２の幅で帯状に形成されている場合に比べれば、第２スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の幅が、第１スタンプ部によって基板上に形成される帯状の被覆膜の幅よりも肥大化するのは抑制される。
【００２１】
従って、第２，４スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の２方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が、第１，３スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の幅よりも肥大化するのを抑制することができ、所望するパターンの被覆膜を基板上に形成することができるという効果がある。
【００２２】
請求項２記載のスタンプ装置によれば、請求項１に記載のスタンプ装置の奏する効果に加え、被覆膜の３方向以上から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【００２３】
本願発明では、第６スタンプ部が、第２スタンプの先端部と第４スタンプの先端部とが交差して形成される交差部に向かう方向であって、第１の方向と第２の方向とを除く、少なくとも一以上の互いに異なる第３の方向に向かって延びる第５スタンプ部の端部から連続して第３の方向に向かって延び、その先端部が交差部と交差している。よって、この第６スタンプ部と、第２スタンプ部と、第４スタンプ部とによって被覆膜の３方向以上から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が形成されることになる。
【００２４】
そして、本願発明では、第６スタンプ部は、第５スタンプ部の第３の方向に沿った両縁部を第３の方向に沿って延長した２本の第３の延長線よりも内側の領域内において構成されている。よって、この第６スタンプ部が第５スタンプ部と同じ第３の幅で帯状に形成されている場合に比べれば、第６スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の幅が、第５スタンプ部によって基板上に形成される帯状の被覆膜の幅よりも肥大化するのは抑制される。
【００２５】
従って、第２，４，６スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の３方向以上から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が、第１，３，５スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の幅よりも肥大化するのを抑制するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【００２６】
請求項３記載のスタンプ装置によれば、請求項１又は２に記載のスタンプ装置の奏する効果に加え、第２スタンプ部は第１スタンプ部を前記第１の方向に沿って２等分する第１の中心線に対して、または、第４スタンプ部は前記第３スタンプ部を第２の方向に沿って２等分する第２の中心線に対して、または、第６スタンプ部は第５スタンプ部を第３の方向に沿って２等分する第３の中心線に対して左右対称に構成されているので、第２スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の第１方向に延びる両縁部と、２本の第１の延長線との間隔、または、第４スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の第２方向に延びる両縁部と、２本の第２の延長線との間隔、または、第６スタンプ部によって基板上に形成される被覆膜の第３方向に延びる両縁部と、２本の第３の延長線との間隔を左右均一にすることができるという効果がある。
【００２７】
請求項４記載のスタンプ装置によれば、請求項１から３のいずれかに記載のスタンプ装置の奏する効果に加え、第２スタンプ部は第１スタンプ部の端部から前記第１の方向に向かって、または、第４スタンプ部は第３スタンプ部の端部から第２の方向に向かって、または、第６スタンプ部は前記第５スタンプ部の端部から第３の方向に向かって、その幅がテーパー状に細く変化するテーパー部を備えているので、第１スタンプ部と第２スタンプ部とによって基板上に形成される被覆膜のうち、第１スタンプ部と第２スタンプ部との連結部分において、または、第３スタンプ部と第４スタンプ部とによって基板上に形成される被覆膜のうち、第３スタンプ部と第４スタンプ部との連結部分において、または第５スタンプ部と第６スタンプ部とによって基板上に形成される被覆膜のうち、第５スタンプ部と第６スタンプ部との連結部分において極端に形状が変化するのを抑制することができるという効果がある。
【００２８】
請求項５記載のスタンプ装置によれば、請求項１から４のいずれかに記載のスタンプ装置の奏する効果に加え、第２スタンプ部の第１の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の第１の延長線に向けて突出する第１突出部、または、第４スタンプ部の第２の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の第２の延長線に向けて突出する第２突出部、または、第６スタンプ部の第３の方向に沿った両縁部の少なくとも一方から直近の第３の延長線に向けて突出する第３突出部を備えているので、交差部に向けて集中する圧力が第１突出部または第２突出部または第３突出部の両側に拡散され、被覆膜の交差部の周囲が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【００２９】
請求項６記載のスタンプ装置によれば、請求項５に記載のスタンプ装置の奏する効果に加え、第１突出部は、その先端が第１の延長線を超えないように、または、第２突出部は、その先端が第２の延長線上を超えないように、第３突出部は、その先端が前記第３の延長線を超えないように延びる櫛状に形成されているので、交差部に向けて集中する圧力は各櫛歯の両側に拡散され、かかる圧力をより分散して拡散させることができるので、被覆膜の交差部の周囲が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【００３０】
請求項７記載のスタンプ装置によれば、被覆膜の２方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。本願発明では、第１スタンプ部が第１の方向に向かって第１の幅で帯状に延び、第２スタンプ部が第１の方向と交差する第２の方向に向かって第２の幅で帯状に延びているので、第１スタンプ部の先端部と第２スタンプ部の先端部とが交差して交差部が形成されるが、その交差部は溝によって少なくとも二以上に分割されているので、交差部に向けて集中する圧力を溝によって吸収することができるので、被覆膜の２方向から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【００３１】
請求項８記載のスタンプ装置によれば、請求項７に記載のスタンプ装置の奏する効果に加え、被覆膜の３方向以上から延びる部分が交差して形成される交差部の周辺が肥大化するのを抑制し、基板上に所望するパターンの被覆膜を形成することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の好ましい実施形態について、添付図面を参照して説明する。図１は、本発明のスタンプ装置１を模式的に示す断面図である。スタンプ装置１は、基板１４（図２参照）の基板表面１６に所定形状のパターン（以下、「所定パターン」と称する）の有機分子膜１８を形成するための装置である。
【００３３】
具体的には、スタンプ装置１のスタンプ面２ｅに、有機分子膜１８を形成するインク（分子）を塗布し（図２（ａ）参照）、スタンプ面２ｅを基板１４に接触（コンタクト）させ、筐体３を介してスタンプ本体２に圧力を加えることで、スタンプ面２ｅに塗布されたインクが基板１４の基板表面１６に転写され、所定パターンの有機分子膜１８が形成される（図２（ｂ）参照）。なお、図１は模式的な図であるので、図示された各部材の厚みの相対関係は、実物の厚みを正確に反映していない。
【００３４】
スタンプ装置１には、筐体３に固着されたスタンプ本体２が設けられている。スタンプ本体２は、有機分子膜１８を形成するためのインクが塗布され、基板１４の基板表面１６に接触されるスタンプ面２ｅを形成するものであり、弾性体、例えば、シリコーンゴムの一種であるポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）で構成されている。
【００３５】
具体的に、スタンプ本体２には、一方の面が筐体３に固着されている板状のベース部２ａと、そのベース部２ａの他方の面における周縁から立設するフランジ部２ｂと、そのフランジ部２ｂによって囲まれているベース部２ａの他方の面から所定パターンで立設するスタンプ部（パターン形成部）２ｃとが設けられている。
【００３６】
フランジ部２ｂは、圧力分散面２ｄを形成するものであり、フランジ部２ｂのベース部２ａとは反対側の端面によって圧力分散面２ｄが形成されている。また、この圧力分散面２ｄにインクが塗布されることはない。圧力分散面２ｄは、スタンプ面２ｅと同一平面上に形成されており、スタンプ面２ｅを基板１４の基板表面１６に接触させた場合に、この圧力分散面２ｄを基板表面１６に接触させることで、スタンプ面２ｅ全体に加わる圧力を分散もしくは低減させることができる。スタンプ部（パターン形成部）２ｃは、所定パターンのスタンプ面２ｅを形成するものであり、スタンプ部（パターン形成部）２ｃのベース部２ａとは反対側の端面によってスタンプ面２ｅが形成されている。
【００３７】
基板１４の基板表面１６に有機分子膜１８をパターニングする場合には、まず、図２（ａ）に示すように、インクパッド１０とスタンプ装置１のスタンプ面２ｅとを接触させる。筐体３を介してスタンプ本体２に圧力を加えることで、スタンプ面２ｅにインクを塗布させる。
【００３８】
スタンプ面２ｅに塗布されるインクには、基板１４の基板表面１６に付着すると、有機単分子膜を形成する有機分子と有機溶液とを用いている。有機単分子膜は、厚み方向には一分子のみで幅方向に有機分子が配列した膜であるため、膜厚が極めて薄い（図２（ｂ）拡大図参照）。本実施形態において、有機分子膜１８は、有機単分子膜で構成されるものとして説明する。この有機単分子膜は、基板表面１６への結合部位である官能基Ｓが基板表面１６に化学吸着し、有機単分子が規則的に配列して自己組織的に形成されるので、自己組織化単分子膜（Ｓｅｌｆ−ａｓｓｅｍｂｌｅｄ  ｍｏｎｏｌａｙｅｒ：以下「ＳＡＭ」と称す）とも称されている。ＳＡＭは最上表面に露出する官能基Ｍを任意に選択することで様々な性能（例えば親水性や疎水性）を持つ薄膜が形成されることが知られている。
【００３９】
次に、図２（ｂ）に示すように、予め用意された基板１４の基板表面１６に、インクが塗布されたスタンプ面２ｅを接触させる。基板１４は、板状部材であって、その材質として、プラスチック、天然樹脂、紙、セラミックス、ガラス、金属などが挙げられる。
【００４０】
そして、筐体３を介してスタンプ本体２に圧力を加えることで、スタンプ装置１のスタンプ面２ｅと基板表面１６とが密着するとともに、その周縁に設けられたフランジ部２ｂの圧力分散面２ｄによって、スタンプ面２ｅに加わる圧力が全体に分散する。この密着により、スタンプ面２ｅに塗布されたインクが基板１４の基板表面１６に転写され、スタンプ装置１を基板１４から離すと、基板１４の基板表面１６に所定パターンの有機分子膜１８が形成される。このスタンプ面２ｅにインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に密着させる処理を繰り返すことによって、基板１４の基板表面１６全体に、所定パターンの有機分子膜１８が形成される。
【００４１】
次に、図３（ａ），（ｂ）を参照して、本実施形態を適用したスタンプ面２ｅと、そのスタンプ面２ｅが接触されて形成される有機分子膜１８との一例について説明する。図３（ａ）は、スタンプ装置１におけるスタンプ面２ｅのある一部を拡大した拡大図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示すスタンプ面２ｅに対応して基板１４の基板表面１６に形成される有機分子膜１８の拡大図である。
【００４２】
図３（ａ）に示すスタンプ面２ｅにインクを塗布して、基板１４の基板表面１６に接触させ、筐体３を介してスタンプ本体２に圧力を加えることで、スタンプ面２ｅに塗布されたインクが基板１４の基板表面１６に転写されて、図３（ｂ）に示すパターンの有機分子膜１８が形成される。
【００４３】
このスタンプ面２ｅにおいて、パターンがＴ字状に交差する部分をＴ字交差部１０と称し、そのＴ字交差部１０に対応して基板１４の基板表面１６に形成される有機分子膜１８のパターンをＴ字パターン２０と称することとする。
【００４４】
次に、図４を参照して、本実施形態を適用したスタンプ面２ｅの形状について説明する。図４（ａ）は、図３（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＴ字交差部１０を拡大した拡大図である。図４（ｂ）は、図３（ｂ）に示す基板１４の基板表面１６に形成された有機分子膜１８のＴ字パターン２０を拡大した拡大図であり、Ｔ字交差部１０に対応して形成される有機分子膜１８のパターンを示している。
【００４５】
図４（ａ）は、図３（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＴ字交差部１０を拡大した拡大図である。このＴ字交差部１０にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図４（ｂ）に示すＴ字パターン２０が形成される。
【００４６】
Ｔ字交差部１０は、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１で帯状に延びる第１スタンプ部１０ａと、第１スタンプ部１０ａと連続してＸ方向に向かって延びる第２スタンプ部１０ｂと、Ｘ方向と９０度に交差するＹ方向に向かって幅Ｗ２で帯状に延びる第３スタンプ部１０ｃと、第３スタンプ部１０ｃと連続してＹ方向に向かって延びる第４スタンプ部１０ｄと、Ｙ方向と９０度に交差するＺ方向に向かって幅Ｗ３で帯状に延びる第５スタンプ部１０ｅと、第５スタンプ部１０ｅと連続してＺ方向に向かって延びる第６スタンプ部１０ｆとが設けられている。
【００４７】
第２スタンプ部１０ｂは、第１スタンプ部１０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域内に設けられており、且つ、第１スタンプ部１０ａの端部と連続し、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化している。また、第２スタンプ部１０ｂは、第１スタンプ部１０ａをＸ方向に沿って２等分する第１の中心線Ｃ１に対して対称に構成されている。
【００４８】
第４スタンプ部１０ｄは、第３スタンプ部１０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域に設けられており、且つ、第３スタンプ部１０ｃの端部と連続し、Ｙ方向に向かって幅Ｗ２’となるまでテーパー状に細く変化している。そして、第４スタンプ部１０ｄの先端部と第２スタンプ部１０ｂの先端部とが交差されて、交差部１０ｇが形成されている。また、第４スタンプ部１０ｄは、第３スタンプ部１０ｃをＹ方向に沿って２等分する第２の中心線Ｃ２に対して対称に構成されている。
【００４９】
第６スタンプ部１０ｆは、第５スタンプ部１０ｅのＺ方向に沿った両縁部をＺ方向に沿って延長した２本の第３の延長線Ｅ３よりも内側の領域に設けられており、且つ、第５スタンプ部１０ｅの端部と連続し、Ｚ方向に向かって幅Ｗ３’となるまでテーパー状に細く変化している。そして、第６スタンプ部１０ｆの先端部が、交差部１０ｇと交差している。また、第６スタンプ部１０ｆは、第５スタンプ部１０ｅをＺ方向に沿って２等分する第３の中心線Ｃ３に対して対称に構成されている。
【００５０】
スタンプ面２ｅは、弾性体で形成されているため、スタンプ面２ｅが、基板１４の基板表面１６に密着した場合は、交差部１０ｇ近辺にある第２スタンプ部１０ｂと、第４スタンプ部１０ｄと、第６スタンプ部１０ｆとは、交差部１０ｇ以外の領域に比べ、同一圧力に対する弾性変形が大きくなり、塗布されたインクが、その弾性変形した形状を反映してパターニングされるため、交差部１０ｇは局所的に肥大化し、所定のパターンが得られなかった。
【００５１】
本実施形態のスタンプ装置１によれば、弾性変形の大きくなりやすい第２スタンプ部１０ｂが、第１スタンプ部１０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域において構成されているので、第２スタンプ部１０ｂによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第１スタンプ部１０ａによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００５２】
同様に、第４スタンプ部１０ｄが、第３スタンプ部１０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域において構成されているので、第４スタンプ部１０ｄによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第３スタンプ部１０ｃによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。また、第６スタンプ部１０ｆが、第５スタンプ部１０ｅのＺ方向に沿った両縁部をＺ方向に沿って延長した２本の第３の延長線Ｅ３よりも内側の領域において構成されているので、第６スタンプ部１０ｆによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第５スタンプ部１０ｅによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００５３】
さらに、第２スタンプ部１０ｂは、第１スタンプ部１０ａをＸ方向に沿って２等分する第１の中心線Ｃ１に対して対称に構成されているので、第２スタンプ部１０ｂによって形成されるパターンが、第１の中心線Ｃ１から第１の延長線Ｅ１に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。
【００５４】
同様に、第４スタンプ部１０ｄは、第３スタンプ部１０ｃをＹ方向に沿って２等分する第２の中心線Ｃ２に対して対称に構成されているので、第４スタンプ部１０ｄによって形成されるパターンが、第２の中心線Ｃ２から第２の延長線Ｅ２に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。また、第６スタンプ部１０ｆは、第５スタンプ部１０ｅをＺ方向に沿って２等分する第３の中心線Ｃ３に対して対称に構成されているので、第６スタンプ部１０ｆによって形成されるパターンが、第３の中心線Ｃ３から第３の延長線Ｅ３に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。
【００５５】
加えて、第２スタンプ部１０ｂは、その幅をＸ方向に向かって幅Ｗ１から幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第２スタンプ部１０ｂの幅を、Ｘ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部１０ｇ近辺の弾性変形を、２本の第１の延長線Ｅ１に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。
【００５６】
同様に、第４スタンプ部１０ｄは、その幅をＹ方向に向かって幅Ｗ２から幅Ｗ２’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第４スタンプ部１０ｄの幅を、Ｙ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部１０ｇ近辺の弾性変形を、２本の第２の延長線Ｅ２に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。また、第６スタンプ部１０ｆは、その幅をＺ方向に向かって幅Ｗ３から幅Ｗ３’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第６スタンプ部１０ｆの幅を、Ｚ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部１０ｇ近辺の弾性変形を、２本の第３の延長線Ｅ３に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ３となるパターンを形成することができる。
【００５７】
このように、本実施形態のスタンプ装置１によれば、基板表面１６との接触の圧力によって交差領域のスタンプ部が局所的に弾性変形した場合に形成される有機分子膜１８がＴ字状となるように、スタンプ面２ｅのパターンの形状を制御することにより、スタンプ部の局所的弾性変形によるパターンの肥大化や歪みの発生が抑制され、図４（ｂ）に示すように歪みの抑制されたＴ字パターン２０を形成することができる。
【００５８】
次に、図５（ａ），（ｂ）を参照して、図４（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＴ字交差部１０の形状の変形例について説明する。図５（ａ），（ｂ）は、図４（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＴ字交差部１０の変形例を示した図である。図５（ａ），（ｂ）において、図４（ａ）に示すＴ字交差部１０と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００５９】
まず、図５（ａ）について説明する。図５（ａ）は、図４（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＴ字交差部１０の変形例であるＴ字交差部１１を示した図である。このＴ字交差部１１にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図４（ｂ）に示すＴ字パターン２０が形成される。
【００６０】
Ｔ字交差部１１は、第１スタンプ部１０ａと、第３スタンプ部１０ｃと、第５スタンプ部１０ｅと、第１スタンプ部１０ａと連続してＸ方向に向かって延びる第２スタンプ部１１ｂと、第３スタンプ部１０ｃと連続してＹ方向に向かって延びる第４スタンプ部１１ｄと、第５スタンプ部１０ｅと連続してＺ方向に向かって延びる第６スタンプ部１１ｆとが設けられている。
【００６１】
第２スタンプ部１１ｂは、第１スタンプ部１０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域内に設けられており、且つ、第１スタンプ部１０ａの端部と連続して、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１’で帯状に延びている。そして、Ｘ方向に沿った両縁部から、それぞれに対向する第１の延長線Ｅ１に向かって、且つ、延長線Ｅ１を超えないように、矩形状に突出する第１突起部１１ｈが形成されており、その第１突起部１１ｈは、Ｘ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されている。
【００６２】
第４スタンプ部１１ｄは、第３スタンプ部１０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域に設けられており、且つ、第３スタンプ部１０ｃの端部と連続して、Ｙ方向に向かって幅Ｗ２’で帯状に延びている。そして、Ｙ方向に沿った両縁部から、それぞれに対向する第２の延長線Ｅ２に向かって、且つ、延長線Ｅ２を超えないように、矩形状に突出する第２突起部１１ｉが形成されており、その第２突起部１１ｉは、Ｙ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されている。そして、第４スタンプ部１１ｄの先端部と第２スタンプ部１１ｂの先端部とが交差されて、交差部１１ｇが形成されている。
【００６３】
第６スタンプ部１１ｆは、第５スタンプ部１０ｅのＺ方向に沿った両縁部をＺ方向に沿って延長した２本の第３の延長線Ｅ３よりも内側の領域に設けられており、且つ、第５スタンプ部１０ｅの端部と連続して、Ｚ方向に向かって幅Ｗ３’で帯状に延びている。そして、Ｚ方向に沿った両端部から、それぞれに対向する第３の延長線Ｅ３に向かって、且つ、延長線Ｅ３を超えないように、矩形状に突出する第３突起部１１ｊが形成されており、その第３突起部１１ｊは、Ｚ方向にむかって所定間隔毎に繰り返し配設されている。そして、第６スタンプ部１１ｆの先端部が、交差部１１ｇと交差している。
【００６４】
本変形例のスタンプ装置１によれば、上述した実施形態と同様の効果が得られ、さらに、第２スタンプ部１１ｂの第１突起部１１ｈは、Ｘ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されているので、交差部１１ｇ近辺の局所的な弾性変形を、第１突起部１１ｈの間隙によって抑制することができる。よって、第２スタンプ部１１ｂによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第１スタンプ部１０ａによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００６５】
同様に、第４スタンプ部１１ｄの第２突起部１１ｉにより、第４スタンプ部１１ｄによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第３スタンプ部１０ｃによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。また、第６スタンプ部１１ｆの第３突起部１１ｊにより、第６スタンプによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第５スタンプ部１０ｅによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００６６】
次に、図５（ｂ）について説明する。図５（ｂ）は、図４（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＴ字交差部１０の変形例であるＴ字交差部１２を示した図である。このＴ字交差部１２にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図４（ｂ）に示すＴ字パターン２０が形成される。図５（ｂ）において、図４（ａ）に示すＴ字交差部１０と同一の部分については、同一の符号を付して説明する。
【００６７】
Ｔ字交差部１２は、第１スタンプ部１０ａと、第３スタンプ部１０ｃと、第５スタンプ部１０ｅとが設けられている。
【００６８】
そして、第１スタンプ部１０ａの先端部と、第３スタンプ部１０ｃの先端部と、第５スタンプ部１０ｅの先端部とが交差されて、交差部１２ｇが形成されている。この交差部１２ｇには、交差部１２ｇをＸ方向およびＹ方向に沿って複数に分割する溝１２ｋが格子状に所定間隔で形成されている。この変形例では、格子状の溝１２ｋにより、交差部１２ｇを複数の正方形に分割しているが、複数の長方形に分割しても良い。
【００６９】
本変形例のスタンプ装置１によれば、交差部１２ｇに、交差部１２ｇをＸ方向およびＹ方向に沿って複数に分割する溝１２ｋを格子状に所定間隔で形成しているので、交差部１２ｇに生じる局所的な弾性変形を抑制することができる。よって、パターンの幅が肥大化することを抑制することができる。
【００７０】
次に、図６を参照して、本実施形態を適用したスタンプ面２ｅの形状の変形例について説明する。図６（ａ），（ｃ），（ｄ）は、スタンプ面２ｅにおいて、パターンがＬ字状に交差するＬ字交差部３０〜３２を拡大した拡大図である。図６（ｂ）は、図６（ａ），（ｃ），（ｄ）に示すＬ字交差部３０〜３２に対応して基板１４の基板表面１６に形成される有機分子膜１８のＬ字パターン４０を拡大した拡大図を示している。
【００７１】
まず、図６（ａ）について説明する。図６（ａ）は、スタンプ面２ｅにおいて、パターンがＬ字状に交差するＬ字交差部３０を拡大した拡大図である。このＬ字交差部３０にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図６（ｂ）に示すＬ字パターン４０が形成される。
【００７２】
Ｌ字交差部３０は、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１で帯状に延びる第１スタンプ部３０ａと、第１スタンプ部３０ａと連続してＸ方向に向かって延びる第２スタンプ部３０ｂと、Ｘ方向と９０度に交差するＹ方向に向かって幅Ｗ２で帯状に延びる第３スタンプ部３０ｃと、第３スタンプ部３０ｃと連続してＹ方向に向かって延びる第４スタンプ部３０ｄとが設けられている。
【００７３】
第２スタンプ部３０ｂは、第１スタンプ部３０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域内に設けられており、且つ、第１スタンプ部３０ａの端部と連続し、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化している。また、第２スタンプ部３０ｂは、第１スタンプ部３０ａをＸ方向に沿って２等分する第１の中心線Ｃ１に対して対称に構成されている。
【００７４】
第４スタンプ部３０ｄは、第３スタンプ部３０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域に設けられており、且つ、第３スタンプ部３０ｃの端部と連続し、Ｙ方向に向かって幅Ｗ２’となるまでテーパー状に細く変化している。そして、第４スタンプ部３０ｄの先端部と第２スタンプ部３０ｂの先端部とが交差されて、交差部３０ｇが形成されている。また、第４スタンプ部３０ｄは、第３スタンプ部３０ｃをＹ方向に沿って２等分する第２の中心線Ｃ２に対して対称に構成されている。
【００７５】
スタンプ面２ｅは、弾性体で形成されているため、スタンプ面２ｅが、基板１４の基板表面１６に密着した場合は、交差部３０ｇ近辺にある第２スタンプ部３０ｂと、第４スタンプ部３０ｄとは、交差部３０ｇ以外の領域に比べ、同一圧力に対する弾性変形が大きくなる。
【００７６】
本変形例のスタンプ装置１によれば、局所的な弾性変形の大きい第２スタンプ部３０ｂが、第１スタンプ部３０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域において構成されているので、第２スタンプ部３０ｂによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第１スタンプ部３０ａによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００７７】
同様に、第４スタンプ部３０ｄによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第３スタンプ部３０ｃによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００７８】
さらに、第２スタンプ部３０ｂは、第１スタンプ部３０ａをＸ方向に沿って２等分する第１の中心線Ｃ１に対して対称に構成されているので、第２スタンプ部３０ｂによって形成されるパターンが、第１の中心線Ｃ１から第１の延長線Ｅ１に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。
【００７９】
同様に、第４スタンプ部３０ｄは、第３スタンプ部３０ｃをＹ方向に沿って２等分する第２の中心線Ｃ２に対して対称に構成されているので、第４スタンプ部３０ｄによって形成されるパターンが、第２の中心線Ｃ２から第２の延長線Ｅ２に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。
【００８０】
加えて、第２スタンプ部３０ｂは、その幅をＸ方向に向かって幅Ｗ１から幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第２スタンプ部３０ｂの幅を、Ｘ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部３０ｇ近辺の弾性変形を、２本の第１の延長線Ｅ１に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。
【００８１】
同様に、第４スタンプ部３０ｄは、その幅をＹ方向に向かって幅Ｗ２から幅Ｗ２’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第４スタンプ部３０ｄ幅を、Ｙ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部３０ｇ近辺の弾性変形を、２本の第２の延長線Ｅ２に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。
【００８２】
このように、本変形例のスタンプ装置１によれば、基板表面１６との接触の圧力によって交差領域のスタンプ部が局所的に弾性変形した場合に形成される有機分子膜１８がＬ字状となるように、スタンプ面２ｅのパターンの形状を制御することにより、スタンプ部の局所的弾性変形によるパターンの肥大化や歪みの発生が抑制され、図６（ｂ）に示すように歪みの抑制されたＬ字パターン４０を形成することができる。
【００８３】
次に、図６（ｃ），（ｄ）を参照して、スタンプ面２ｅのＬ字交差部３０の形状の変形例について説明する。図６（ｃ），（ｄ）はスタンプ面２ｅのＬ字交差部３０の変形例を示した図である。図６（ｃ），（ｄ）において、図６（ａ）に示すＬ字交差部３０と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００８４】
まず、図６（ｃ）について説明する。図６（ｃ）は、図６（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＬ字交差部３０の変形例であるＬ字交差部３１を示した図である。このＬ字交差部３１にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図６（ｂ）に示すＬ字パターン４０が形成される。
【００８５】
Ｌ字交差部３１は、第１スタンプ部３０ａと、第２スタンプ部３１ｂと、第１スタンプ部３０ａと連続してＸ方向に向かって延びる第２スタンプ部３１ｂと、第３スタンプ部３０ｃと連続してＹ方向に向かって延びる第４スタンプ部３１ｄとが設けられている。
【００８６】
第２スタンプ部３１ｂは、第１スタンプ部３０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域内に設けられており、且つ、第１スタンプ部３０ａの端部と連続して、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１’で帯状に延びている。そして、Ｘ方向に沿った両縁部から、それぞれに対向する第１の延長線Ｅ１に向かって、且つ、延長線Ｅ１を超えないように、矩形状に突出する第１突起部３１ｈが形成されており、その第１突起部３１ｈは、Ｘ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されている。
【００８７】
第４スタンプ部３１ｄは、第３スタンプ部３０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域に設けられており、且つ、第３スタンプ部３０ｃの端部と連続して、Ｙ方向に向かって幅Ｗ２’で帯状に延びている。そして、Ｙ方向に沿った両縁部から、それぞれに対向する第２の延長線Ｅ２に向かって、且つ、延長線Ｅ２を超えないように、矩形状に突出する第２突起部３１ｉが形成されており、その第２突起部３１ｉは、Ｙ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されている。そして、第４スタンプ部３１ｄの先端部と第２スタンプ部３１ｂの先端部とが交差されて、交差部３１ｇが形成されている。
【００８８】
本変形例のスタンプ装置１によれば、図６（ａ）で示した変形例と同様の効果が得られ、さらに、第２スタンプ部３１ｂの第１突起部３１ｈは、Ｘ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されているので、交差部３１ｇ近辺の局所的な弾性変形を、第１突起部３１ｈの間隙によって抑制することができる。よって、第２スタンプ部３１ｂによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第１スタンプ部３０ａによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００８９】
同様に、第４スタンプ部３１ｄの第２突起部３１ｉにより、第４スタンプ部３１ｄによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第３スタンプ部３０ｃによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【００９０】
次に、図６（ｄ）について説明する。図６（ｄ）は、図６（ａ）に示すスタンプ面２ｅのＬ字交差部３０の変形例であるＬ字交差部３２を示した図である。このＬ字交差部３２にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図６（ｂ）に示すＬ字パターン４０が形成される。図６（ｄ）において、図６（ａ）に示すＬ字交差部３０と同一の部分については、同一の符号を付して説明する。
【００９１】
Ｌ字交差部３２は、第１スタンプ部３０ａと、第３スタンプ部３０ｃとが設けられている。そして、第１スタンプ部３０ａの先端部と、第３スタンプ部３０ｃの先端部とが交差されて、交差部３２ｇが形成されている。この交差部３２ｇには、交差部３２ｇをＸ方向およびＹ方向に沿って複数に分割する溝３２ｊが格子状に所定間隔で形成されている。この変形例では、格子状の溝３２ｊにより、交差部３２ｇを複数の正方形に分割しているが、複数の長方形に分割しても良い。
【００９２】
本変形例のスタンプ装置１によれば、交差部３２ｇに、交差部３２ｇをＸ方向およびＹ方向に沿って複数に分割する溝３２ｊを格子状に所定間隔で形成しているので、交差部３２ｇに生じる局所的な弾性変形を抑制することができる。よって、パターンの幅が肥大化することを抑制することができる。
【００９３】
次に、図７を参照して、本実施形態を適用したスタンプ面２ｅの形状の変形例について説明する。図７（ａ），（ｃ），（ｄ）は、スタンプ面２ｅにおいて、パターンが十字状に交差する十字交差部５０〜５２を拡大した拡大図である。図７（ｂ）は、図７（ａ），（ｃ），（ｄ）に示す十字交差部５０〜５２に対応して基板１４の基板表面１６に形成される有機分子膜１８の十字パターン５０を拡大した拡大図を示している。
【００９４】
まず、図７（ａ）について説明する。図７（ａ）は、スタンプ面２ｅにおいて、パターンが十字状に交差する十字交差部５０を拡大した拡大図である。この十字交差部５０にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図７（ｂ）に示す十字パターン６０が形成される。
【００９５】
十字交差部５０は、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１で帯状に延びる第１スタンプ部５０ａと、第１スタンプ部５０ａと連続してＸ方向に向かって延びる第２スタンプ部５０ｂと、Ｘ方向と９０度に交差するＹ方向に向かって幅Ｗ２で帯状に延びる第３スタンプ部５０ｃと、第３スタンプ部５０ｃと連続してＹ方向に向かって延びる第４スタンプ部５０ｄと、Ｙ方向と９０度に交差するＺ方向に向かって幅Ｗ３で帯状に延びる第５スタンプ部５０ｅと、第５スタンプ部５０ｅと連続してＺ方向に向かって延びる第６スタンプ部５０ｆと、Ｚ方向と９０度に交差するＷ方向に向かって幅Ｗ４で帯状に延びる第７スタンプ部５０ｇと、第３スタンプ部５０ｃと連続してＷ方向に向かって延びる第８スタンプ部５０ｈとが設けられている。
【００９６】
第２スタンプ部５０ｂは、第１スタンプ部５０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域内に設けられており、且つ、第１スタンプ部３０ａの端部と連続し、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化している。また、第２スタンプ部５０ｂは、第１スタンプ部５０ａをＸ方向に沿って２等分する第１の中心線Ｃ１に対して対称に構成されている。
【００９７】
第４スタンプ部５０ｄは、第３スタンプ部５０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域に設けられており、且つ、第３スタンプ部５０ｃの端部と連続し、Ｙ方向に向かって幅Ｗ２’となるまでテーパー状に細く変化している。そして、第４スタンプ部５０ｄの先端部と第２スタンプ部５０ｂの先端部とが交差されて、交差部５０ｉが形成されている。また、第４スタンプ部５０ｄは、第３スタンプ部５０ｃをＹ方向に沿って２等分する第２の中心線Ｃ２に対して対称に構成されている。
【００９８】
第６スタンプ部５０ｆは、第５スタンプ部５０ｅのＺ方向に沿った両縁部をＺ方向に沿って延長した２本の第３の延長線Ｅ３よりも内側の領域に設けられており、且つ、第５スタンプ部５０ｅの端部と連続し、Ｚ方向に向かって幅Ｗ３’となるまでテーパー状に細く変化している。そして、第６スタンプ部５０ｆの先端部が、交差部５０ｉと交差している。また、第６スタンプ部５０ｆは、第５スタンプ部５０ｅをＺ方向に沿って２等分する第３の中心線Ｃ３に対して対称に構成されている。
【００９９】
第８スタンプ部５０ｈは、第７スタンプ部５０ｇのＷ方向に沿った両縁部をＷ方向に沿って延長した２本の第４の延長線Ｅ４よりも内側の領域に設けられており、且つ、第７スタンプ部５０ｇの端部と連続し、Ｗ方向に向かって幅Ｗ４’となるまでテーパー状に細く変化している。そして、第８スタンプ部５０ｈの先端部が、交差部５０ｉと交差している。また、第８スタンプ部５０ｈは、第７スタンプ部５０ｇをＷ方向に沿って２等分する第４の中心線Ｃ４に対して対称に構成されている。
【０１００】
スタンプ面２ｅは、弾性体で形成されているため、スタンプ面２ｅが、基板１４の基板表面１６に密着した場合は、交差部５０ｉ近辺にある第２スタンプ部５０ｂと、第４スタンプ部５０ｄと、第６スタンプ部５０ｆと、第８スタンプ部５０ｈとは、交差部５０ｉ以外の領域に比べ、同一圧力に対する弾性変形が大きくなる。
【０１０１】
本変形例のスタンプ装置１によれば、弾性変形の大きくなりやすい第２スタンプ部５０ｂが、第１スタンプ部５０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域において構成されているので、第２スタンプ部５０ｂによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第１スタンプ部５０ａによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【０１０２】
同様に、第４スタンプ部５０ｄによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第３スタンプ部５０ｃによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。また、第６スタンプ部５０ｆによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第５スタンプ部５０ｅによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。また、第８スタンプ部５０ｈによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第７スタンプ部５０ｇによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【０１０３】
さらに、第２スタンプ部５０ｂは、第１スタンプ部５０ａをＸ方向に沿って２等分する第１の中心線Ｃ１に対して対称に構成されているので、第２スタンプ部５０ｂによって形成されるパターンが、第１の中心線Ｃ１から第１の延長線Ｅ１に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。
【０１０４】
同様に、第４スタンプ部５０ｄは、第３スタンプ部５０ｃをＹ方向に沿って２等分する第２の中心線Ｃ２に対して対称に構成されているので、第４スタンプ部５０ｄによって形成されるパターンが、第２の中心線Ｃ２から第２の延長線Ｅ２に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。また、第６スタンプ部５０ｆは、第５スタンプ部５０ｅをＺ方向に沿って２等分する第３の中心線Ｃ３に対して対称に構成されているので、第６スタンプ部５０ｆによって形成されるパターンが、第３の中心線Ｃ３から第３の延長線Ｅ３に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。また、第８スタンプ部５０ｈは、第７スタンプ部５０ｇをＷ方向に沿って２等分する第４の中心線Ｃ４に対して対称に構成されているので、第８スタンプ部５０ｈによって形成されるパターンが、第４の中心線Ｃ４から第４の延長線Ｅ４に向かって対称の幅に形成され、パターンの歪みを抑制することができる。
【０１０５】
加えて、第２スタンプ部５０ｂは、その幅をＸ方向に向かって幅Ｗ１から幅Ｗ１’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第２スタンプ部５０ｂの幅を、Ｘ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部近辺の弾性変形を、２本の第１の延長線Ｅ１に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。
【０１０６】
同様に、第４スタンプ部５０ｄは、その幅をＹ方向に向かって幅Ｗ２から幅Ｗ２’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第４スタンプ部５０ｄの幅を、Ｙ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部５０ｉ近辺の弾性変形を、２本の第２の延長線Ｅ２に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ１となるパターンを形成することができる。また、第６スタンプ部５０ｆは、その幅をＺ方向に向かって幅Ｗ３から幅Ｗ３’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第６スタンプ部５０ｆの幅を、Ｚ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部１０ｉ近辺の弾性変形を、２本の第３の延長線Ｅ３に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ３となるパターンを形成することができる。また、第８スタンプ部５０ｈは、その幅をＷ方向に向かって幅Ｗ３から幅Ｗ３’となるまでテーパー状に細く変化させている。つまり、第８スタンプ部５０ｈの幅を、Ｗ方向に向かって徐々に大きくなる弾性変形に応じて、徐々に狭くすることにより、交差部１０ｉ近辺の弾性変形を、２本の第４の延長線Ｅ４に沿って変形させることができ、幅が幅Ｗ４となるパターンを形成することができる。
【０１０７】
このように、本変形例のスタンプ装置１によれば、基板表面１６との接触の圧力によって交差領域のスタンプ部が局所的に弾性変形した場合に形成される有機分子膜１８が十字状となるように、スタンプ面２ｅのパターンの形状を制御することにより、スタンプ部の局所的弾性変形によるパターンの肥大化や歪みの発生が抑制され、図７（ｂ）に示すように歪みの抑制された十字パターン６０を形成することができる。
【０１０８】
次に、図７（ｃ），（ｄ）を参照して、スタンプ面２ｅの十字交差部５０の形状の変形例について説明する。図７（ｃ），（ｄ）はスタンプ面２ｅの十字交差部５０の変形例を示した図である。図７（ｃ），（ｄ）において、図７（ａ）に示す十字交差部５０と同一の部分については、同一の符号を付してその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【０１０９】
まず、図７（ｃ）について説明する。図７（ｃ）は、図７（ａ）に示すスタンプ面２ｅの十字交差部５０の変形例である十字交差部５１を示した図である。この十字交差部５１にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図７（ｂ）に示す十字パターン６０が形成される。
【０１１０】
十字交差部５１は、第１スタンプ部５０ａと、第３スタンプ部５０ｃと、第５スタンプ部５０ｅと、第７スタンプ部５０ｇと、第１スタンプ部５０ａと連続してＸ方向に向かって延びる第２スタンプ部５１ｂと、第３スタンプ部５０ｃと連続してＹ方向に向かって延びる第４スタンプ部５１ｄと、第５スタンプ部５０ｅと連続してＺ方向に向かって延びる第６スタンプ部５１ｆと、第７スタンプ部５０ｇと連続してＷ方向に向かって延びる第８スタンプ部５１ｈとが設けられている。
【０１１１】
第２スタンプ部５１ｂは、第１スタンプ部１０ａのＸ方向に沿った両縁部をＸ方向に沿って延長した２本の第１の延長線Ｅ１よりも内側の領域内に設けられており、且つ、第１スタンプ部５０ａの端部と連続して、Ｘ方向に向かって幅Ｗ１’で帯状に延びている。そして、Ｘ方向に沿った両縁部から、それぞれに対向する第１の延長線Ｅ１に向かって、且つ、延長線Ｅ１を超えないように、矩形状に突出する第１突起部５１ｊが形成されており、その第１突起部５１ｊは、Ｘ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されている。
【０１１２】
第４スタンプ部５１ｄは、第３スタンプ部５０ｃのＹ方向に沿った両縁部をＹ方向に沿って延長した２本の第２の延長線Ｅ２よりも内側の領域に設けられており、且つ、第３スタンプ部５０ｃの端部と連続して、Ｙ方向に向かって幅Ｗ２’で帯状に延びている。そして、Ｙ方向に沿った両縁部から、それぞれに対向する第２の延長線Ｅ２に向かって、且つ、延長線Ｅ２を超えないように、矩形状に突出する第２突起部５１ｋが形成されており、その第２突起部５１ｋは、Ｙ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されている。そして、第４スタンプ部５１ｄの先端部と第２スタンプ部５１ｂの先端部とが交差されて、交差部５１ｉが形成されている。
【０１１３】
第６スタンプ部５１ｆは、第５スタンプ部５０ｅのＺ方向に沿った両縁部をＺ方向に沿って延長した２本の第３の延長線Ｅ３よりも内側の領域に設けられており、且つ、第５スタンプ部５０ｅの端部と連続して、Ｚ方向に向かって幅Ｗ３’で帯状に延びている。そして、Ｚ方向に沿った両端部から、それぞれに対向する第３の延長線Ｅ３に向かって、且つ、延長線Ｅ３を超えないように、矩形状に突出する第３突起部５１ｌが形成されており、その第３突起部５１ｌは、Ｚ方向にむかって所定間隔毎に繰り返し配設されている。そして、第６スタンプ部５１ｆの先端部が、交差部５１ｉと交差している。
【０１１４】
第８スタンプ部５１ｈは、第７スタンプ部５０ｇのＷ方向に沿った両縁部をＷ方向に沿って延長した２本の第４の延長線Ｅ４よりも内側の領域に設けられており、且つ、第７スタンプ部５０ｇの端部と連続して、Ｗ方向に向かって幅Ｗ４’で帯状に延びている。そして、Ｗ方向に沿った両端部から、それぞれに対向する第４の延長線Ｅ４に向かって、且つ、延長線Ｅ４を超えないように、矩形状に突出する第４突起部５１ｍが形成されており、その第３突起部５１ｍは、Ｚ方向にむかって所定間隔毎に繰り返し配設されている。そして、第８スタンプ部５１ｈの先端部が、交差部５１ｉと交差している。
【０１１５】
本変形例のスタンプ装置１によれば、図７（ａ）で示した変形例と同様の効果が得られ、さらに、第２スタンプ部５１ｂの第１突起部５１ｊは、Ｘ方向に向かって所定間隔毎に繰り返し配設されているので、交差部５１ｉ近辺の局所的な弾性変形を、第１突起部５１ｊの間隙によって抑制することができる。よって、第２スタンプ部５１ｂによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第１スタンプ部５０ａによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【０１１６】
同様に、第４スタンプ部５１ｄの第２突起部５１ｋにより、第４スタンプ部５１ｄによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第３スタンプ部５０ｃによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。また、第６スタンプ部５１ｆの第３突起部５１ｋにより、第６スタンプ部５１ｆによって基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第５スタンプ部５０ｅによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。また、第８スタンプ部５１ｈの第４突起部５１ｍより、第８スタンプ５１ｈにより基板１４の基板表面１６に形成されるパターンの幅が、第７スタンプ部５０ｇによって形成されるパターンの幅よりも肥大化することを抑制することができる。
【０１１７】
次に、図７（ｄ）について説明する。図７（ｄ）は、図７（ａ）に示すスタンプ面２ｅの十字交差部５０の変形例である十字交差部５２を示した図である。この十字交差部５２にインクを塗布し、基板１４の基板表面１６に転写させることにより、図７（ｂ）に示す十字パターン６０が形成される。図７（ｄ）において、図７（ａ）に示す十字交差部５２と同一の部分については、同一の符号を付して説明する。
【０１１８】
十字交差部５２は、第１スタンプ部５０ａと、第３スタンプ部５０ｃと、第５スタンプ部５０ｅと、第７スタンプ部５０ｇとが設けられている。そして、第１スタンプ部５０ａの先端部と、第３スタンプ部５０ｃの先端部と、第５スタンプ部５０ｅの先端部と、第８スタンプ部５０ｇとが交差されて、交差部５２ｉが形成されている。この交差部５２ｉには、交差部５２ｉをＸ方向およびＹ方向に沿って複数に分割する溝５２ｎが格子状に所定間隔で形成されている。この変形例では、格子状の溝５２ｎにより、交差部５２ｉを複数の正方形に分割しているが、複数の長方形に分割しても良い。
【０１１９】
本変形例のスタンプ装置１によれば、交差部５２ｉに、交差部５２ｉをＸ方向およびＹ方向に沿って複数に分割する溝５２ｎを格子状に所定間隔で形成しているので、交差部５２ｉに生じる局所的な弾性変形を抑制することができる。よって、パターンの幅が肥大化することを抑制することができる。
【０１２０】
以上、実施形態に基づき本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変更が可能であることは容易に推察できるものである。
【０１２１】
例えば、上記実施形態では、スタンプ本体２が１種類の弾性体で形成されているが、スタンプ本体２を複数の弾性体で形成し、例えば、局所的に弾性変形しやすい交差部を中心とする部分の弾性を周囲よりも低くすること（周囲よりもヤング率の大きな材料を用いる）によって局所的な弾性変形を回避しても良い。
【０１２２】
また、本実施形態のスタンプ装置１の用途は、所望のパターンの成膜を要する種々の用途に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明の実施形態におけるスタンプ装置の断面図である。
【図２】スタンプ装置が用いられて、基板の表面に有機分子膜をパターニングする工程の概略を示した概略図である。
【図３】（ａ）は、スタンプ装置におけるスタンプ面のある一部を拡大した拡大図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すスタンプ面に対応して基板の表面に形成される有機分子膜の拡大図である。
【図４】（ａ）は、図３（ａ）に示すスタンプ面のＴ字交差部を拡大した拡大図であり、（ｂ）は、図３（ｂ）に示す基板の表面に形成された有機分子膜のＴ字パターンを拡大した拡大図であり、Ｔ字交差部に対応して形成される有機分子膜のパターンを示している。
【図５】（ａ），（ｂ）は、図４（ａ）に示すスタンプ面のＴ字交差部の変形例を示した図である。
【図６】（ａ），（ｃ），（ｄ）は、スタンプ面において、パターンがＬ字状に交差するＬ字交差部を拡大した拡大図であり、（ｂ）は、（ａ），（ｃ），（ｄ）に示すＬ字交差部に対応して形成される有機分子膜のＬ字パターンの拡大図を示している。
【図７】（ａ），（ｃ），（ｄ）は、スタンプ面において、パターンが十字状に交差する十字交差部を拡大した拡大図であり、（ｂ）は、（ａ），（ｃ），（ｄ）に示す十字交差部に対応して形成される有機分子膜の十字パターンの拡大図を示している。
【図８】従来のスタンプ装置のスタンプ面と、そのスタンプ面に対応して形成される有機分子膜のパターンを拡大した拡大図である。
【符号の説明】
【０１２４】
１        スタンプ装置
２ｅ      スタンプ面
１０ａ    第１スタンプ部
１０ｂ    第２スタンプ部
１０ｃ    第３スタンプ部
１０ｄ    第４スタンプ部
１０ｅ    第５スタンプ部
１０ｆ    第６スタンプ部
１０ｇ    交差部
１１ｈ    第１突出部
１１ｉ    第２突出部
１１ｊ    第３突出部
１８      有機分子膜（被覆膜）
Ｃ１      第１の中心線
Ｃ２      第２の中心線
Ｃ３      第３の中心線
Ｃ４      第４の中心線
Ｅ１      第１の延長線
Ｅ２      第２の延長線
Ｅ３      第３の延長線
Ｅ４      第４の延長線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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