(57)【要約】【課題】本発明は、検査対象物の曲げ、垂れなどによる歪み現象を防止し得る光学検査装置を提供する。【解決手段】本発明の光学検査装置は、検査対象物が載置されるステージと、前記ステージに載置された検査対象物を撮影する撮影ユニットと、前記検査対象物に光を照射する照明ユニットと、撮影領域の平坦度を維持するために、前記撮影ユニットによって撮影される領域のエッジを支持するローリング部材（ｒｏｌｌｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物が載置されるステージと、
前記ステージに載置された検査対象物を撮影する撮影ユニットと、
前記検査対象物に光を照射する照明ユニットと、
撮影領域の平坦度を維持するために、前記撮影ユニットによって撮影される領域のエッジを支持するローリング部材（ｒｏｌｌｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）と、を含むことを特徴とする光学検査装置。
【請求項２】
前記ローリング部材は、前記検査対象物とローリング接触するボールを有するボールキャスターであることを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項３】
前記光学検査装置は、前記撮影ユニットが前記検査対象物を連続撮影するように、前記ステージを前後方向に移動させる直線移動ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項４】
前記撮影ユニットは、ラインスキャン（ｌｉｎｅ  ｓｃａｎ）方式で撮影するラインスキャンカメラを含み、
前記ローリング部材は、前記ラインスキャンカメラによって撮影される前記撮影領域の両端を支持することを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項５】
前記撮影ユニットは、エリアスキャン（ａｒｅａ  ｓｃａｎ）方式で撮影するエリアカメラを含み、
前記ローリング部材は、前記エリアカメラによって撮影される前記撮影領域の角を支持することを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項６】
前記照明ユニットは、前記検査対象物に透過光を照射する透過照明と、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項７】
前記ステージは、前記検査対象物の左右側のエッジを支持し、前記ローリング部材が前記検査対象物の下に位置するように前後移動方向に開放された空間を有することを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項８】
前記ステージは、前記ローリング部材が前記検査対象物の下に位置するように前後移動方向に開放された空間を有するボディと、
前記ボディの上段に提供され、前記検査対象物の左右側エッジを支持するサポーターと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項９】
前記ステージは、前記サポーターに載置された前記検査対象物の位置を整列させる位置決定部材をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の光学検査装置。
【請求項１０】
前記光学検査装置は、前記ステージの前後移動方向に水平に設けられ、前記ステージの開放された空間を通過し、前記ローリング部材が設けられる水平支持台をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査装置。
【請求項１１】
検査対象物が載置されるステージと、
前記ステージに載置された検査対象物を撮影する撮影ユニットと、
前記検査対象物に光を照射する照明ユニットと、を含み、
前記ステージは、検査対象物の平坦度維持のために検査対象物とローリング接触するローリング部材を含むことを特徴とする光学検査装置。
【請求項１２】
前記ローリング部材は、前記撮影ユニットによって撮影される検査対象物の撮影領域エッジを所定間隔ごとに支持する複数のボールを含むことを特徴とする請求項１１に記載の光学検査装置。
【請求項１３】
前記光学検査装置は、前記撮影ユニットが検査対象物を連続撮影するように、前記ローリング部材と共に前記ステージを前記撮影ユニットの撮影領域に移動させる直線移動ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の光学検査装置。
【請求項１４】
前記照明ユニットは、前記検査対象物に透過光を照射する透過照明と、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明と、を含むことを特徴とする請求項１２に記載の光学検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント回路基板の光学検査装置に関し、さらに具体的には、検査対象物（プリント回路基板）に形成されたパターンを撮像し、撮像された映像情報を処理して、検査対象物に形成されたパターンの欠陥の有無を検査する光学検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種のプリント回路基板は、既存のリジッドプリント回路基板から、最近の電子製品の軽薄短小化によって、回路基板の線幅がさらに小さくなり、多様な形態の製品に適用できるようにフレキシブルプリント回路基板へと急速に変化している。従って、線幅が小さくなるにつれて、肉眼による検査が次第に難しくなり、それによる生産性低下の問題が発生して、この問題を克服するための自動光学検査システムの導入が必須になる。
【０００３】
即ち、プリント回路基板の生産企業で行われる製品出荷前の検査において、製品の鍍金領域、ソルダレジスト（ｓｏｌｄｅｒ  ｒｅｓｉｓｔ）領域、半導体ウェハなどが実装される領域（ｉｎｎｅｒ  ｌｅａｄ）などの外観検査項目の効果的且つ迅速な検査が、生産性及び品質管理における核心となっている。特に、大型ガラス基板（回路基板）を検査する場合には、安定的な検査のための平坦度維持が重要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、回路基板の安定的な検査が可能な光学検査装置を提供することにある。
【０００５】
本発明の目的は、回路基板の平坦度を維持しながら検査可能な光学検査装置を提供することにある。
【０００６】
本発明の目的は、透過光と反射光を利用して回路基板の検査が可能な光学検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、本発明の光学検査装置は、検査対象物が載置されるステージと、前記ステージに載置された検査対象物を撮影する撮影ユニットと、前記検査対象物に光を照射する照明ユニットと、撮影領域の平坦度を維持するために、前記撮影ユニットによって撮影される領域のエッジを支持するローリング部材（ｒｏｌｌｉｎｇ  ｍｅｍｂｅｒ）と、を備える。
【０００８】
本発明の実施の形態によると、前記ローリング部材は、前記検査対象物とローリング接触するボールを有するボールキャスターである。
【０００９】
本発明の実施の形態によると、前記光学検査装置は、前記撮影ユニットが前記検査対象物を連続撮影するように、前記ステージを前後方向に移動させる直線移動ユニットをさらに含む。
【００１０】
本発明の実施の形態によると、前記撮影ユニットは、ラインスキャン（ｌｉｎｅ  ｓｃａｎ）方式で撮影するラインスキャンカメラを含み、前記ローリング部材は、前記ラインスキャンカメラによって撮影される前記撮影領域の両端を支持する。
【００１１】
本発明の実施の形態によると、前記撮影ユニットは、エリアスキャン（ａｒｅａ  ｓｃａｎ）方式で撮影するエリアカメラを含み、前記ローリング部材は、前記エリアカメラによって撮影される前記撮影領域の角を支持する。
本発明の実施の形態によると、前記照明ユニットは、前記検査対象物に透過光を照射する透過照明と、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明のうち少なくとも一つを含む。
【００１２】
本発明の実施の形態によると、前記ステージは、前記検査対象物の左右側のエッジを支持し、前記ローリング部材が前記検査対象物の下に位置するように前後移動方向に開放された空間を有する。
【００１３】
本発明の実施の形態によると、前記ステージは、前記ローリング部材が前記検査対象物の下に位置するように前後移動方向に開放された空間を有するボディと、前記ボディの上段に提供され、前記検査対象物の左右側エッジを支持するサポーターと、を含む。
【００１４】
本発明の実施の形態によると、前記ステージは、前記サポーターに載置された前記検査対象物の位置を整列させる位置決定部材をさらに含む。
【００１５】
本発明の実施の形態によると、前記光学検査装置は、前記ステージの前後移動方向に水平に設けられ、前記ステージの開放された空間を通過し、前記ローリング部材が設けられる水平支持台をさらに含む。
【００１６】
上記目的を達成すべく、本発明の光学検査装置は、検査対象物が載置されるステージと、前記ステージに載置された検査対象物を撮影する撮影ユニットと、前記検査対象物で光を照射する照明ユニットと、を含み、前記ステージは、検査対象物の平坦度維持のために検査対象物とローリング接触するローリング部材を含む。
【００１７】
本発明の実施の形態によると、前記ローリング部材は、前記撮影ユニットによって撮影される検査対象物の撮影領域エッジを所定間隔ごとに支持する複数のボールを含む。
【００１８】
本発明の実施の形態によると、前記光学検査装置は、前記撮影ユニットが検査対象物を連続撮影するように、前記ローリング部材と共に前記ステージを前記撮影ユニットの撮影領域に移動させる直線移動ユニットをさらに含む。
【００１９】
本発明の実施の形態によると、前記照明ユニットは、前記検査対象物に透過光を照射する透過照明と、前記検査対象物に反射光を照射する反射照明とを含む。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、検査対象物の撮影領域に対する屈曲、曲げ（垂れ）による歪み現象を防止することができる。
【００２１】
本発明によれば、安定された焦点を有するイメージを得ることができる。
【００２２】
本発明によれば、検査対象物の平坦度を維持しながら検査することができる。
【００２３】
本発明によれば、検査対象物に対してより高い検査品質を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施の形態は、多様な形態に変形することができ、本発明の範囲が下述の実施の形態によって限定されることに解釈されてはならない。本発明の実施の形態は、当業界で平均的な知識を有する者に、本発明をより完全に説明するために提供されるものである。従って、図面での要素の形象などは、より明確な説明のために誇張されている。
【００２５】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付の図１乃至図７に基づき詳細に説明する。また、前記図面で同一の機能を行う構成要素に対しては同一の参照番号を付ける。
【００２６】
本発明の検査装置は、大型回路基板の検査に適している。特に、自重による曲がりが発生して平坦度維持が難しい大型回路基板の検査に適している。検査対象物は、底面にグラスが付着補強された回路基板、回路パターンが形成されたガラス基板、広幅の回路基板であり得る
（第１実施の形態）
図１は、本発明の第１実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための正面図であり、図２は、本発明の第１実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための側面図である。
【００２７】
図１及び図２を参照すると、本発明の光学検査装置１０は、ステージ１００、直線移動ユニット２００、撮影ユニット３００、照明ユニット４００、ローリング部材５００を含む。
【００２８】
（ステージ）
ステージ１００は、底面１１２、第１側面１１４、第２側面１１６を有するボディ１１０を含む。ボディ１１０の上段、即ち、第１，２側面１１４，１１６の上段には、サポーター１２０と位置決定部材１３０が設けられる。検査対象物Ｓは、両側エッジがサポーター１２０に支持された状態で載置される。位置決定部材１３０は、サポーター１２０に載置された検査対象物Ｓの両側整列のためのシリンダーであり、検査対象物Ｓの両側面を加圧して左右位置を補正（整列）する。ボディ１１０の第１，２側面１１４，１１６の間に空間が提供され、前記空間は上部及び前後方向に開放される。
【００２９】
ステージ１００は、直線移動ユニット２００によってベースプレート２０上で前後方向に移動する。直線移動ユニット２００は、ＬＭガイド２１０とリニアモータ２２０を含む。ステージ１００は、ベースプレート２０に設けられたＬＭガイド２１０により案内され、リニアモータ２２０の駆動によって前後方向に移動する。本実施の形態では、直線移動ユニット２００がＬＭガイド２１０とリニアモータ２２０からなると図示及び説明したが、モータの回転力によりチェーンやベルト、または、ボールスクリューなどを利用して直線移動する多様なメカニズムが適用され得る。
【００３０】
（撮影ユニット）
撮影ユニット３００は、ＣＣＤラインセンサのようなイメージセンサとレンズ（図示せず）を有するＣＣＤカメラで、検査対象物Ｓの表面（パターンなど）を撮影して検査対象物Ｓに対する映像データを獲得する。前記のように獲得された映像データは、映像処理部（図示せず）に提供される。図示してはいないが、光学検査装置１０は、撮影ユニット３００から撮影されたイメージが提供される映像処理部を有する。映像処理部は、典型的なコンピューターシステム（通称、マイコン）で構成され、自動光学検査に伴う諸般の動作を制御及び処理する。例えば、撮影ユニット３００としてラインスキャンカメラが使用でき、検査対象物の検査条件及びユーザの要求事項によって、ラインスキャンカメラまたはエリアカメラが追加に設けられ得る。撮影ユニット３００は、垂直フレーム３０に左右方向に移動可能に設けられる。垂直フレーム３０に設けられたガイドレール３２には、移動板３４が設けられ、移動板３４には、撮影ユニット３００であるラインスキャンカメラが設けられる。即ち、撮影しようとする領域によって左右に撮影ユニット３００の位置を調整することができる。
【００３１】
（照明ユニット）
照明ユニット４００は、検査対象物Ｓに透過光を照射する透過照明４１０と、検査対象物Ｓに反射光を照射する反射照明４２０と、を含む。反射照明４２０は検査対象物Ｓの上部に配置され、透過照明４１０は検査対象物Ｓの撮影領域の下に配置される。透過照明４１０と反射照明４２０は、検査対象物Ｓの撮影領域に対する映像データを獲得するための光を出力する。透過照明４１０と反射照明４２０の光源には、線形配列された多数の発光ダイオード、線形チューブ蛍光ランプ、ハロゲン、金属ハロゲン化物などが使用され得る。前記の光源上部には、光の均一度を向上させるための拡散板などが設けられ得る。反射照明４２０は移動板３４に設けられ、透過照明４１０は水平支持台６００に固定設置される。透過照明４１０と反射照明４２０は高低を調節することができる。
【００３２】
（ローリング部材）
本発明で最も重要な構成要素であるローリング部材５００は、検査対象物Ｓの撮影領域の屈曲、曲げ（垂れ）による歪み現象を最小化するためのものであり、検査対象物Ｓの撮影領域Ｗのエッジと直接的に接触するボール５１０を有するボールキャスターを含む。ローリング部材５００は、撮影ユニット３００の下に位置するように水平支持台６００に設けられる。ローリング部材５００は、ステージ１００が検査のために撮影ユニット３００の下に位置する時、検査対象物Ｓの底面にローリング接触し得る高さに位置するように、垂直な一対の台５２０の上部に位置する。一対の台５２０は、ローリング部材５００の高さ調節のために、水平支持台６００に高低の調節が可能であるように設けられることが好ましい。図２に示すように、一対の台５２０の間には透過照明４１０が位置し、前記透過照明４１０の下には、水平支持台６００が位置する。
【００３３】
（水平支持台）
水平支持台６００は、前後方向に移動するステージ１００の開放された空間にローリング部材５００と透過照明４１０が位置するように固定する構造物である。水平支持台６００は、ステージ１００の前後移動方向に水平に、そしてステージ１００の開放された空間を横切るように位置し、両端がベースプレート２０に設けられた固定台６１０に設けられる。水平支持台６００には、ローリング部材５００と透過照明４１０が設けられる。
【００３４】
図３は、一対のローリング部材５００が撮影領域Ｗの両端を支持している状態を示す図である。図３に示すように、撮影ユニット３００はラインスキャン方式で撮影するカメラであるので、一対のローリング部材５００が撮影領域Ｗの両端に該当する検査対象物Ｓの底面をローリング接触で支持し、撮影ユニット３００は、矢印方向（前後方向）に移動する検査対象物Ｓを連続撮影する。この場合、撮影ユニット３００による撮影は、一対のローリング部材５００によって平坦度を維持した状態で行われる。本発明の形態では、一対のローリング部材だけを示したが、必要によって複数のローリング部材が設け得る。
【００３５】
図４は、エリアスキャンカメラを使用する場合、ローリング部材５００の設置例を示す図である。
【００３６】
図４に示すように、撮影ユニット３００がエリアスキャン方式で撮影するカメラである場合、四つのローリング部材５００が四角の撮影領域Ｗの四箇所のコーナーに各々配置されて検査対象物Ｓの底面をローリング接触で支持する。前記のように、撮影領域Ｗの平坦度が維持された状態で撮影が行われるので信頼性のある検査が可能になる。
【００３７】
本実施の形態では、ステージがスキャン移動しながら撮影されると示したが、他の例として、検査対象物が載置されるステージは固定された状態で、撮影ユニット、照明ユニット、ローリング部材がスキャン移動しながら固定されている検査対象物を撮影することも可能である。例えば、撮影ユニット、照明ユニット、ローリング部材は、検査対象物の検査条件及びユーザの要求事項によって追加に設けられ得る。
【００３８】
（第２実施の形態）
図５は、本発明の第２実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための正面図であり、図６は、本発明の第２実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための側面図である。
【００３９】
撮影ユニット、照明ユニット、ローリング部材が固定された状態で、ステージだけ移動しながら検査対象物を検査する第１実施の形態とは異なって、第２実施の形態では、撮影ユニット、照明ユニットが固定された状態でローリング部材とステージが共に移動しながら検査対象物を検査する。
【００４０】
図５及び図６を参照すると、本発明の光学検査装置１０ａは、ステージ１００ａ、直線移動ユニット２００ａ、撮影ユニット３００ａ、照明ユニット４００ａ、ローリング部材５００ａなどを含む。
【００４１】
ステージ１００ａは、底面１１２、第１側面１１４及び第２側面１１６を有するボディ１１０を含む。ボディ１１０の上段、即ち、第１，２側面１１４，１１６の上段には、サポーター１２０と位置決定部材１３０が設けられる。検査対象物Ｓは、両側エッジがサポーター１２０に支持された状態で載置される。位置決定部材１３０は、サポーター１２０に載置された検査対象物Ｓの両側整列のためのシリンダーであり、検査対象物Ｓの両側面を加圧して左右位置を補正（整列）する。ボディ１１０の第１，２側面１１４，１１６の間に空間が提供され、前記空間は上部及び前後方向に開放される。
【００４２】
一方、ローリング部材５００ａは、ステージ１００ａに設けられる。ローリング部材５００ａは、ステージ１００ａに載置される検査対象物Ｓの底面を支持し得るように検査対象物Ｓが位置する線上の真下に配置され、ローリング部材５００ａは、第１，２側面１１４，１１６から延長されて形成されたブラケット１９０に設けられる。
【００４３】
ローリング部材５００ａは、ステージ１００ａに載置される検査対象物Ｓの撮影領域の屈曲、曲げ（垂れ）による歪み現象を最小化するためのもので、検査対象物Ｓの撮影領域Ｗのエッジと直接的に接触するボール５１０を有するボールキャスターを含む。ローリング部材５００ａは、検査対象物Ｓの下に位置するようにステージ１００ａに設けられ、ステージ１００ａと共に移動する。従って、ローリング部材５００ａのボール５１０は、所定間隔で検査対象物Ｓと点接触した状態を維持するようになり、第１実施の形態のようにボール５１０と検査対象物Ｓの相対移動による摩擦などの発生を防止することができる。ローリング部材５００ａは、検査対象物Ｓがステージ１００ａに載置される時、検査対象物Ｓの底面にローリング接触し得る高さに位置するように、ブラケット１９０に設けられる。図示してはいないが、ブラケット１９０は、ローリング部材５００ａの高さ調節のために、ステージ１００ａの第１，２側面１１４，１１６に高低の調節が可能であるように設けられることが好ましい。
【００４４】
図７に示すように、ローリング部材５００ａの多数のボール５１０は、所定間隔ごとに設けられ、検査対象物Ｓを全体的に支持する。例えば、四方に配置される四つのボール５１０が平坦度を維持し得る領域が１００ｍｍだとすると、イメージを撮影する領域（検査対象物の長さ）が例えば５００ｍｍである場合、１００ｍｍ間隔で六つのボール５１０が二列に配置されるので、全部１２個のボールが必要になる。
【００４５】
図７を参照すると、両側に二列に六つのボール５１０が撮影する領域Ｗの両端に該当する検査対象物Ｓの底面をローリング接触で支持し、撮影ユニット３００ａは、矢印方向（前後方向）に移動する検査対象物Ｓを連続撮影するようになる。この場合、撮影ユニット３００ａによる撮影は、１２個のボール５１０によって平坦度を維持した状態で行われる。
【００４６】
ローリング部材５００ａとステージ１００ａは、直線移動ユニット２００ａによってベースプレート２０上で前後方向に移動する。直線移動ユニット２００ａは、ＬＭガイド２１０とリニアモータ２２０を含む。ステージ１００ａは、ベースプレート２０に設けられたＬＭガイド２１０により案内され、リニアモータ２２０の駆動によって前後方向に移動する。本実施の形態では、直線移動ユニット２００ａがＬＭガイド２１０とリニアモータ２２０からなる場合を図示及び説明したが、モータの回転力によりチェーンやベルト、または、ボールスクリューなどを利用して直線移動する多様なメカニズムが適用され得る。
【００４７】
撮影ユニット３００ａは、ＣＣＤラインセンサのようなイメージセンサとレンズ（図示せず）を有するＣＣＤカメラで、検査対象物Ｓの表面（パターンなど）を撮影して検査対象物Ｓに対する映像データを獲得する。獲得された映像データは、映像処理部（図示せず）に提供される。図示してはいないが、光学検査装置１０は、撮影ユニット３００ａから撮影されたイメージが提供される映像処理部を有する。映像処理部は、典型的なコンピューターシステム（通称、マイコン）で構成され、自動光学検査に伴う諸般の動作を制御及び処理する。例えば、撮影ユニット３００ａとして、ラインスキャンカメラが使用でき、検査対象物Ｓの検査条件及びユーザの要求事項によって、ラインスキャンカメラまたはエリアカメラが追加に設けられ得る。撮影ユニット３００ａは、垂直フレーム３０に左右方向に移動可能に設けられる。垂直フレーム３０に設けられたガイドレール３２には、移動板３４が設けられ、移動板３４には、撮影ユニット３００ａであるラインスキャンカメラが設けられる。即ち、撮影しようとする領域によって左右に撮影ユニット３００ａの位置を調整することができる。
【００４８】
照明ユニット４００ａは、検査対象物Ｓに透過光を照射する透過照明４１０と、検査対象物Ｓに反射光を照射する反射照明４２０と、を含む。反射照明４２０は検査対象物Ｓの上部に配置され、透過照明４１０は検査対象物Ｓの撮影領域の下に配置される。透過照明４１０と反射照明４２０は、検査対象物Ｓの撮影領域に対する映像データを獲得するための光を出力する。透過照明４１０と反射照明４２０の光源には、線形配列された多数の発光ダイオード、線形チューブ蛍光ランプ、ハロゲン、金属ハロゲン化物などが使用され得る。前記の光源上部には、光の均一度を向上させるための拡散板などが設けられ得る。反射照明４２０は移動板３４に設けられ、透過照明４１０は、水平支持台６００ａに固定設置される。透過照明４１０と反射照明４２０は高低を調節することができる。
【００４９】
水平支持台６００ａは、前後方向に移動するステージ１００ａの開放された空間に透過照明４１０が位置するように固定する構造物である。水平支持台６００ａは、ステージ１００ａの前後移動方向に水平に、そしてステージ１００ａの開放された空間を横切るように位置し、両端がベースプレート２０に設けられた固定台６１０に設けられる。水平支持台６００ａには、透過照明４１０が設けられる。
【００５０】
以上、本発明による光学検査装置の構成及び作用を前記の説明及び図面によって示したが、これは例を挙げて説明したことに過ぎない。また、本発明の技術的な思想を離脱しない範囲内で多様な変化及び変更ができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための正面図である。
【図２】本発明の第１実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための側面図である。
【図３】本発明の第１実施の形態による一対のローリング部材が撮影領域Ｗの両端を支持している状態を示す図である。
【図４】本発明の第１実施の形態によるエリアスキャンカメラを使用する場合のローリング部材の設置例を示す図である。
【図５】本発明の第２実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための正面図である。
【図６】本発明の第２実施の形態による光学検査装置の構成を説明するための側面図である。
【図７】本発明の第２実施の形態による１２個のボールが撮影領域Ｗの両端を支持している状態を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１００ ステージ
２００ 直線移動ユニット
３００ 撮影ユニット 
４００ 照明ユニット
５００ ローリング部材
【図１】
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【図２】
2008286796.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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