(57)【要約】      （修正有）【課題】外囲器およびゲッター室の形成において、それらの部材の組み立てに精度よい位置合わせを必要としない表示装置の製造方法を提供。【解決手段】少なくとも表示部を内包し第１シール剤によって封止された空間を有する外囲器と、この外囲器内と通じ第２シール剤によって封止された空間を有するゲッター室を有する表示装置において、  前記外囲器の第１シール剤の熱硬化はオーブン内で行い、前記ゲッター室の第２シール剤の熱硬化は高周波誘導加熱コイルを用いて行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも表示部を内包し第１シール剤によって封止された空間を有する外囲器と、この外囲器内と通じ第２シール剤によって封止された空間を有するゲッター室を有する表示装置において、
前記外囲器の第１シール剤の熱硬化はオーブン内で行い、前記ゲッター室の第２シール剤の熱硬化は高周波誘導加熱コイルを用いて行うことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記外囲器の第１シール剤の熱硬化を行った後に、前記ゲッター室の第２シール剤の熱硬化を行うことを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
少なくとも表示部を内包し第１シール剤によって封止された空間を有する外囲器と、この外囲器内と通じ第２シール剤によって封止された空間を有するゲッター室を有し、
前記第２シール剤は第１シール剤よりも低温で硬化するシール剤で形成されていることを特徴とする表示装置。
【請求項４】
前記第２シール剤にはフェライトが含まれていることを特徴とする請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第２シール剤にはカーボンあるいはスチールが含まれていることを特徴とする請求項３に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表示装置およびその製造方法に係り、特に、その外囲器にゲッター室を備える表示装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば電子放出形表示装置は、フェースプレート、リアプレート、およびこれらフェースプレートとリアプレートの間に配置される側壁部材とで囲まれた薄型の箱体からなる外囲器を備える。
【０００３】
そして、この外囲器内において、リアープレートのフェースプレートと対向する側の面にマトリックス状に配置される各電子源を備え、これら各電子源と対向するフェースプレートの面に各電子源からの電子によって励起されて発光する蛍光体層が形成されている。
【０００４】
このことから、該外囲器の内部は真空状態に保持され、これにより、該電子源から効率的に電子が放出されるようにし、あるいは蛍光体層の表面に付着する有機汚染物質を軽減させるようにしている。
【０００５】
そして、該外囲器の内部の真空状態を保持するため、該外囲器の一部に該外囲器内の空間と通じた空間を有しいわゆるゲッターを配置させるゲッター室を設け、該ゲッターによって外囲器内に発生するガスを吸着させるようにしたものが知られている。
【０００６】
このような構成からなる表示装置はたとえば下記特許文献１に詳細に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−３１４３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、このような構成からなる表示装置は、従来、フェースプレート、リアプレート、側壁部材、ゲッター室をそれぞれシール剤を介して組み立て、熱処理室からなるオーブン内で加熱することにより該シール剤を熱硬化させることによって、外囲器とゲッター室を同時に形成していた。
【０００８】
このため、シール剤を介したフェースプレート、リアプレート、側壁部材、ゲッター室等の各部材の組み立てに要する精度よい位置合わせが困難であるという不都合が生じていた。
【０００９】
また、外囲器と同温度で加熱されるゲッター室は、熱膨張による熱歪み等を軽減させるため、その材料の選定に制限が付されるという不都合が生じていた。
【００１０】
本発明の目的は、外囲器およびゲッター室の形成において、それらの部材の組み立てに精度よい位置合わせを必要としない表示装置の製造方法を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、ゲッター室の材料の選定にその制限を軽減できる表示装置を提供することある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１３】
（１）本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、少なくとも表示部を内包し第１シール剤によって封止された空間を有する外囲器と、この外囲器内と通じ第２シール剤によって封止された空間を有するゲッター室を有する表示装置において、
前記外囲器の第１シール剤の熱硬化はオーブン内で行い、前記ゲッター室の第２シール剤の熱硬化は高周波誘導加熱コイルを用いて行うことを特徴とする。
【００１４】
（２）本発明による表示装置の製造方法は、たとえば、（１）の構成を前提とし、前記外囲器の第１シール剤の熱硬化を行った後に、前記ゲッター室の第２シール剤の熱硬化を行うことを特徴とする。
【００１５】
（３）本発明による表示装置は、たとえば、少なくとも表示部を内包し第１シール剤によって封止された空間を有する外囲器と、この外囲器内と通じ第２シール剤によって封止された空間を有するゲッター室を有し、
前記第２シール剤は第１シール剤よりも低温で硬化するシール剤で形成されていることを特徴とする。
【００１６】
（４）本発明による表示装置は、たとえば、（３）の構成を前提とし、前記第２シール剤にはフェライトが含まれていることを特徴とする。
【００１７】
（５）本発明による表示装置は、たとえば、（３）の構成を前提とし、前記第２シール剤にはカーボンあるいはスチールが含まれていることを特徴とする。
【００１８】
なお、本発明は以上の構成に限定されず、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【発明の効果】
【００１９】
このように構成された表示装置の製造方法は、外囲器およびゲッター室の形成において、それらの部材の組み立てに精度よい位置合わせを必要としないようにできる。
【００２０】
また、このように構成された表示装置は、ゲッター室の材料の選定にその制限を軽減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明が適用される表示装置の一実施例を図面を用いて説明をする。
【００２２】
[外囲器１の構成]
図２は、本発明の一実施例である電界放出形表示装置の外観を示す概略構成図である。
【００２３】
図２は、該電界放出形表示装置の外囲器１が示され、この外囲器１は、図中前方に配置されるフェースプレート（アノード基板）２と、図中後方に配置されるリアプレート（カソード基板）３と、該フェースプレート２とリアプレート３との間に配置され該外囲器１の側面を構成する側壁部材４とで構成されている。
【００２４】
フェースプレート２とリアプレート３はたとえば２ｍｍ以下の間隔で形成され、これにより該外囲器１は薄型の箱体として構成されている。
【００２５】
フェースプレート２はガラス等の透光性からなる矩形の絶縁板で構成され、該フェースプレート２のリアプレート３側の面には後述する表示部５が形成され、この表示部５は、後に詳述するが、その画像表示領域においてマトリックス状に配置される各画素の領域には少なくとも蛍光体層を備えて構成されている。
【００２６】
リアプレート３はフェースプレート１とほぼ同型の絶縁板で構成され、該リアプレート３のフェースプレート２側の面には後述する電子放出部６が形成され、この電子放出部は、後に詳述するが、前記表示部の各画素にそれぞれ対向した電子源を備えて構成されている。
【００２７】
なお、フェースプレート２とリアプレート３は、たとえば、それらの面方向に若干位置をずらして対面しており、これにより、それぞれ互いに対面していない非対面部分を有するようになっている。フェースプレート２の前記表示部に形成した電極をその非対面部分にまで引き出すためであり、リアプレート３の前記電子放出部に形成した電極をその非対面部分にまで引き出すためである。
【００２８】
側壁部材４は、フェースプレート２とリアプレート３が対面している部分を囲むようにしてこれらフェースプレート２とリアプレート３の間に配置され、該側壁部材４とフェースプレート３の間に介在された後述の第１シール剤７および該側壁部材４とリアプレート３の間に介在された第２シール剤８によって、該フェースプレート２とリアプレート３を固着させている。これにより、前記表示部５および電子放出部６は外囲器１に収納されることになる。
【００２９】
この外囲器１の前記表示部５および電子放出部６が収納された空間部は高真空状態に保持されるようになっている。前記電子放出部６から電子を効率的に放出させるためである。
【００３０】
そして、前記外囲器１の外側であってたとえばリアプレート３の前記画像表示領域を回避した一角部に箱形のゲッター室１０が取り付けられ、このゲッター室１０はリアープレート３に形成された孔によって外囲器１内と連通された構成となっている。このゲッター室１０は、後に詳述するが、その内部においてゲッター膜が蒸着形成されており、前記外囲器１内を高真空状態にすることにより該外囲器１内に発生するガスを前記ゲッター膜によって吸着させるようになっている。ゲッター室１０を外囲器１の外側に設けているのは、上述のように外囲器１自体が極めて薄型に形成されているため、外囲器１内に設けることが困難なためである。
【００３１】
[電子放出部６の構成]
図３（ａ）は、前記リアプレート３のフェースプレート２に対向する面に形成された電子放出部６を示した平面図である。
【００３２】
この電子放出部６は画像表示領域内にマトリックス状に配置させた多数の電子源１２から構成されている。
【００３３】
すなわち、前記リアプレート３の表面に、まず、図中ｘ方向に伸張しｙ方向に並設される帯状のｘ方向電極（カソード電極）１３が形成されている。
【００３４】
リアプレート３の表面には該ｘ方向電極１３をも被ってたとえばＳｉＯ２からなる絶縁膜１４が形成されている。
【００３５】
該絶縁膜１４の表面には、図中ｙ方向に伸張しｘ方向に並設される帯状のｙ方向電極（ゲート電極）１５が形成されている。
【００３６】
これらｙ方向電極１５には、前記ｘ方向電極１３と交叉する領域であって該領域の中央部に、孔１６が形成されている。
【００３７】
前記絶縁膜１４にも、ｙ方向電極１５の各孔１６と同心状に配置される孔１８が形成され、該孔１８によって前記ｘ方向電極１３の一部を露出できるようになっている。
【００３８】
そして、それぞれの絶縁膜１４の孔１８（ｙ方向電極１５の孔１６）から露出されたｘ方向電極１３の表面には、たとえば円錐状の導電材からなる前記電子源（エミッタ電極）１２が形成されている。
【００３９】
[表示部５の構成]
図３（ｂ）は、フェースプレート２のリアプレート３と対向する面に形成された表示部５を示した平面図である。
【００４０】
この表示部５は画像表示領域内であって前記電子放出部６の各電子源１２にそれぞれ対向する部分において画素として機能し、したがってマトリックス状に配置される多数の画素から構成されている。
【００４１】
すなわち、前記フェースプレート２の表面に、まず、前記画像表示領域の全域にわたって透明材料からなる面状電極（アノード電極）２０が形成されている。
【００４２】
前記面状電極２０の表面には、図中ｙ方向に伸張しｘ方向に並設される帯状の蛍光体層２１が形成されている。
【００４３】
各蛍光体層２１は、前記ｙ方向電極１５と対向するようにして形成されるとともに、たとえば、図中ｘ方向へかけて、赤（Ｒ）発光用の蛍光体層２１、緑（Ｇ）発光用の蛍光体層２１、青（Ｂ）発光用の蛍光体層２１、がそれぞれその順番を繰り返して配置されている。
【００４４】
ｘ方向へ互いに隣接して配置される３個の赤、緑、青の各蛍光体層２１をカラー表示用の単位画素として用いるようになっている。
【００４５】
なお、ｙ方向へ伸張する蛍光体層２１はそれが同色発光用であることから、該ｙ方向に各画素毎に分離させることなく、互いに接続させて形成している。
【００４６】
前記フェースプレート２の表面には該各蛍光体層２１をも被ってたとえばアルミニュウムからなるメタルバック２２が形成されている。このメタルバック２２は、たとえば、蛍光体層２１から発生した光のうち、前記電子源１２の方向に進む光をフェースプレート２の方向に反射させて輝度を向上させる機能を有する。
【００４７】
[外囲器１の内部の構成]
図４は図２のVI−VI線における断面図を示している。また、この断面個所は、図３（ａ）に示す電子放出部６にあっては同図に示すVI−VI線に対応し、図３（ｂ）に示す表示部２にあっては同図に示すVI−VI線に対応する。
【００４８】
リアプレート３とフェースプレート２は側壁部材４を介して対向配置され、これらリアプレート３、フェースプレート２、側壁部材４によって前記外囲器１が構成されている。
【００４９】
側壁部材４とリアプレート３は第１シール剤３０ａによって固着され、該側壁部材４とフェースプレート２は第１シール剤３０ｂによって固定されている。
【００５０】
リアプレート３のフェースプレート２と対向する面であって画像表示領域となる部分には前記電子放出部６が形成されている。この電子放出部６は、まず、図中ｘ方向に伸張するｘ方向電極１３上にその伸張方向に並設される電子源１２が形成され、該電子源１２は前記ｘ方向電極１３をも被ってリアプレート３上を被覆する絶縁膜１４に形成された孔１８の内部に位置づけられており、前記絶縁膜１４の表面には該各孔１８と同心状の孔１６を有して図中ｙ方向に伸張するｙ方向電極１５が形成されて構成されている。
【００５１】
一方、フェースプレート２のリアプレート３と対向する面であって画像表示領域になる部分には前記表示部５が形成されている。この表示部５は、フェースプレート２面側から、透明材料からなる面状電極（アノード電極）２０、前記ｙ方向電極１５にそれぞれほぼ対向して配置される各蛍光体層２１、これら蛍光体層２１をも被って形成されるメタルバック２２が順次積層されて構成されている。
【００５２】
[ゲッター室１０の構成]
図５は前記ゲッター室１０の構成の一実施例を示す図で、図２のV−V線における断面を示す図である。
【００５３】
ゲッター室１０は、外囲器１を構成するフェースプレート２、側壁部材４、リアプレート３のうち、該リアプレート３の外方の面の一部、すなわち、画像表示領域を回避したリアプレート３の一角部に形成され、枠体部材３０を介して平板蓋部材３１を取り付けることによって構成されている。
【００５４】
枠体部材３０とリアプレート３は第２シール剤３３ａによって固着され、該枠体部材３０と平板蓋部材３１は第２シール剤３３ｂによって固着されている。
【００５５】
リアプレート３、枠体部材３０、平板蓋部材３１によって囲まれるゲッター室１０内の空間部は、リアプレート３に形成された孔３ａによって外囲器１の空間部と連通され、これら各空間部の気体は、前記平板蓋部材３１に取り付けられた排気管３５を通して排気できるようになっている。
【００５６】
そして、ゲッター室１０内にはゲッター３６が配置されている。このゲッター３６は、外囲器１を組み立てる際のオーブン工程の際や蛍光体層２１に電子を射突させる際に発生するＣＯ２、ＣＯ、Ｈ２Ｏ等のガスを吸着させるための材料で、たとえば、Ｂａ−Ａｉ等による蒸着型の材料、あるいはＴｉ−Ｚｒ−Ａｌ、Ｔｉ−Ｚｒ−Ｖ−Ｆｅ合金等による非蒸発型の材料等が用いられる。
【００５７】
なお、該ゲッター３６が蒸発型の材料である場合、該ゲッター３６によって前記ガスを吸着させるためには、加熱によって、ゲッター室１０の内側面にゲッター蒸着膜を形成する工程を要する。
【００５８】
[第１シール剤３０ａ、３０ｂと第２シール剤３３ａ、３３ｂ]
前記外囲器１においてフェースプレート２、リアプレート３のそれぞれと側壁部材４との固着に要する第１シール剤３０ａ、３０ｂと、前記ゲッター室１０においてリアプレート３、平板蓋部材３１のそれぞれと枠体部材３０との固着に要する第２シール剤３３ａ、３３ｂは異なる材料からなり、前記第２シール剤３３ａ、３３ｂは第１シール剤３０ａ、３０ｂよりも低温で硬化する特性を有するようになっている。
【００５９】
これは、前記フェースプレート２、リアプレート３、および側壁部材４との組み立てによって外囲器１を形成する工程と、前記リアプレート３、平板蓋部材３１、および枠体部材３０との組み立てによってゲッター室１０を形成する工程を別にし、それらの形成による熱処理の温度を異ならしめるためである。
【００６０】
すなわち、前記フェースプレート２、リアプレート３、および側壁部材４との組み立てによって外囲器１を形成する場合において、たとえば約４００℃の熱処理を必要とし、この熱処理の温度に相応して硬化する第１シール剤３０ａ、３０ｂの材料を選択している。このように外囲器１の形成において、約４００℃の熱処理を必要とするのは、該外囲器１のベーキングに似たいわゆるガス出しを行なわなければならないからである。そして、外囲器１はその大きさが比較的大きいことから、加熱処理室であるオーブンに入れて熱処理が行われ、該オーブンにおいて約４００℃の熱処理は容易となる。このことから、第１シール剤３０ａ、３０ｂとしてはたとえばフリットガラス等を用いることが適当であるが、この材料に限定されることはない。
【００６１】
一方、前記リアプレート３、平板蓋部材３１、および枠体部材３０との組み立てによってゲッター室１０を形成する場合において、たとえば約１００℃の熱処理を必要とし、この熱処理の温度に相応して硬化する第２シール剤３３ａ、３３ｂの材料を選択している。既に外囲器１のガス出しのための熱処理は完了しており、該ゲッター室１０が外囲器１と比較して小さい容積で構成されているため、外囲器１の形成に要する熱処理よりも低い温度による熱処理で充分となるからである。このことから、第２シール剤３３ａ、３３ｂとしてはたとえばシリコンレジン等を用いることが適当である。シリコンレジンはその加熱硬化によって架橋化されエポキシ樹脂のように不溶化し、真空シール性に優れた性質を有するからである。しかし、第２シール剤３３ａ、３３ｂとしてこの材料に限定されることはない。
【００６２】
このようなゲッター室１０は、前記外囲器１において部分的に構成されているため、その熱処理にあっては、たとえば、高周波加熱コイルを用いて行うことが極めて便利となる。高周波加熱コイルに電流を流す装置に対して該高周波加熱コイル（ワークコイル）自体は自由な位置に配置することができることから、前記外囲器１における部分的な加熱に好適となるからである。
【００６３】
そして、このようにゲッター室１０の形成において、高周波加熱コイルを用いる場合に、該ゲッター室１０における第２シール剤３３ａ、３３ｂにはフェライト、カーボン、あるいはスチールの何れか、あるいはそれら２種以上のものを含ませるようにしてもよい。このようにした場合、高周波加熱コイルによる高周波加熱を効率的なものとすることができるからである。
【００６４】
特に、第２シール剤３３ａ、３３ｂとしてシリコン系材料を用いた場合、該シリコン系材料は高周波帯域まで誘電体損失が小さく、それ自体では自己発熱を起こしにくいことから、フェライトあるいは電気的抵抗の比較的高い材料を添加（１〜１０％）することにより上記不都合を解消することができる。
【００６５】
なお、外囲器１を形成する工程とゲッター室１０を形成する工程を別個にすることによって、それら外囲器１とゲッター室１０の形成をたとえば同時に行う場合と比べて、熱処理前の各部材の位置合わせを容易にできるという効果を奏する。すなわち、外囲器１とゲッター室１０の形成を同時に行う場合、フェースプレート２、リアプレート３、側壁部材４、枠体部材３０、平板蓋部材３１の各部材の位置合わせを行う必要があるからである。
【００６６】
また、ゲッター室１０の形成は比較的低い温度の熱処理で行うことができることから、熱膨張率の相異からくる歪み等を憂慮する度合いが少なく、したがって、枠体部材３０あるいは平板蓋部材３１の材料的見地から広い範囲内で選択できる効果を奏する。
【００６７】
[製造方法]
このように構成された電界放出形表示装置は、たとえば、以下に示す手順に従って製造される。
【００６８】
まず、リアプレート３の主面に電子放出部６を形成し、フェースプレート２の主面に表示部５を形成する。
【００６９】
次に、リアープレート３とフェースプレート２とを側壁部４を介して封着して外囲器１を組み立てる。この場合、図４に示したように、該側壁部材４とフェースプレート２の間に第１シール剤３０ｂを介在させ、該側壁部材４とリアプレート３の間に第１シール剤３０ａを介在させ、オーブン（図示せず）に入れて加熱することにより、前記第１シール剤３０ａ、３０ｂを硬化させて該フェースプレート２とリアプレート３とを該側壁部４を介して固着させる。前記オーブン内の温度はたとえば約４００℃である。
【００７０】
そして、前記外囲器１のリアプレート３に枠体部材３０を介して平板蓋部材３１を取り付けることによりゲッター室１０を組み立てる。この場合、図５に示したように、該枠体部材３０とリアプレート３の間に第２シール剤３３ａを介在させ、該枠体部材３０と平板蓋部材３１の間に第２シール剤３３ｂを介在させ、高周波誘導加熱コイルを用いて加熱することにより、該平板蓋部材３１とリアプレート３とを該枠体部材３０を介して固着させる。
【００７１】
図１は、高周波誘導加熱コイル４０を用いて、平板蓋部材３１とリアプレート３とを該枠体部材３０を介して固着させる方法を示した説明図である。なお、図１は図２に示した外囲器１をリアプレート３側から観た図であり、ゲッター室１０が前記リアプレート３上に枠体部材３０と平板蓋部材３１が第２シール剤（図示せず）を介して配置されることにより組み立てられている。
【００７２】
高周波誘電加熱コイル４０はたとえばその中心軸方向に複数巻線されたコイルから構成され、そのコイル径は前記ゲッター室１０の平板蓋部材３１を囲む程に充分大きなものとなっている。なお、前記コイルは、同図では明確となっていないが、たとえば導電性パイプから構成され、その内部は冷却水を通すための通路となっている。
【００７３】
そして、図４のVI−VI線における断面を示す図６に示すように、前記高周波誘導加熱コイル４０をゲッター室１０の枠体部材３０の周囲に位置づけ、図示しない電力供給装置から該高周波誘導加熱コイル４０に交流電流を流す。これにより該高周波誘導加熱コイル４０には磁界が発生され、この磁界によって第２シール剤３３ａ、３３ｂの材料中に渦電流が発生し、加熱がなされるようになる。これにより、第２シール剤３３ａ、３３ｂが熱硬化され、外囲器１およびゲッター室１０が構成される。
【００７４】
次に、外囲器１内の排気をゲッター室１０に設けられた排気管３５を通して行い、外囲器１内をたとえば約１０−６Ｔｏｒｒの真空状態に保持して該排気管３５を封止する。
【００７５】
その後、ゲッター室１０の壁面にゲッター３６を蒸着させたゲッター膜を形成する。次に該電界放出形表示装置をオーブンに入れてたとえば約２００℃で加熱する。
【００７６】
これにより、外囲器１内に発生するガスを前記ゲッター膜に吸着させて外囲器１内をたとえば約１０−７Ｔｏｒｒの高真空状態に保持する。その後、該電界放出形表示装置を発光駆動するエージング工程を経て該電界放出形表示装置の完成に至る。
【００７７】
上述した実施例では、ゲッター室１０はリアプレート３面の一部に設けられた構成としたものである。しかし、フェースプレート２面の一部に設けた構成としても本発明を適用できるものである。また、リアプレート３とフェースプレート２とに跨って形成されるゲッター室１０を設ける構成においても本発明を適用できるものである。要は、少なくとも表示部を内包し第１シール剤によって封止された空間を有する外囲器と、この外囲器内と通じ第２シール剤によって封止された空間を有するゲッター室を有する表示装置において本発明を適用できるものである。
【００７８】
上述した各実施例はそれぞれ単独に、あるいは組み合わせて用いても良い。それぞれの実施例での効果を単独であるいは相乗して奏することができるからである。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明による表示装置の製造方法の一工程を示した説明図である。
【図２】本発明の一実施例である電界放出形表示装置の外観を示す概略構成図である。
【図３】本発明による表示装置の電子放出部と表示部とをそれぞれ示す平面図である。
【図４】本発明による表示装置の画像表示部における断面を示した図である。
【図５】本発明による表示装置のゲッター室における断面を示した図である。
【図６】本発明による表示装置の製造方法の一工程を示した断面図である。
【符号の説明】
【００８０】
１……外囲器、２……フェースプレート、３……リアプレート、４……側壁部材、５……表示部、６……電子放出部、７……第１シール剤、８……第２シール剤、１０……ゲッター室、１２……電子源、１３……ｘ方向電極、１４……絶縁膜、１５……ｙ方向電極、１６、１８……孔、２０……面状電極、２１……蛍光体層、２２……メタルバック、３０……枠体部材、
３０ａ、３０ｂ……第１シール剤、３１……平板蓋部材、３３ａ、３３ｂ……第２シール剤、３５……排気管、３６……ゲッター、４０……高周波誘導加熱コイル。
【図１】
2008071660.tif 000003
【図２】
2008071660.tif 000004
【図３】
2008071660.tif 000005
【図４】
2008071660.tif 000006
【図５】
2008071660.tif 000007
【図６】
2008071660.tif 000008