(57)【要約】【課題】被検査物に作用する磁束の外乱の影響を排除し、被検査物を精度良く検査することが可能な検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】検査装置１に、励磁極１１および回収極１２を備え、これらの間に正負が断続的に変化する磁束を発生する磁束発生部１０と、励磁極１１および回収極１２の間に配置された金属板２・３の接合部４から漏洩する漏洩磁束を検出する漏洩磁束検出部３０と、磁束発生部１０により発生する磁束が正のときに検出された第一の漏洩磁束の検出値と磁束発生部１０により発生する磁束が負のときに検出された第二の漏洩磁束の検出値との差を算出する制御部４１と、を具備する。【選択図】図１
2008032570.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励磁極および回収極を備え、これらの間に正負が断続的に変化する磁束を発生する磁束発生部と、
前記磁束発生部の励磁極および回収極の間に配置された被検査物から漏洩する漏洩磁束を検出する漏洩磁束検出部と、
前記磁束発生部により発生する磁束が正のときに検出された第一の漏洩磁束の検出値と前記磁束発生部により発生する磁束が負のときに検出された第二の漏洩磁束の検出値との差を算出する制御部と、
を具備することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記励磁極に巻回されたコイルに印加する電圧の正負を断続的に変化することにより、前記磁束発生部が発生する磁束の正負を断続的に変化することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記漏洩磁束検出部は、単数の磁気センサまたは相互に異なる位置に配置された複数の磁気センサを備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記被検査物が二枚以上の金属板の接合部であって、
前記磁束発生部は前記二枚以上の金属板の一方の板面に対向し、
前記漏洩磁束検出部が前記二枚以上の金属板の他方の板面に対向することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
励磁極および回収極の間に断続的に正負が変化する磁束を発生し、前記励磁極および回収極の間に配置された被検査物から漏洩する漏洩磁束を検出する漏洩磁束検出工程と、
前記励磁極および回収極の間に発生する磁束が正のときに検出された第一の漏洩磁束の検出値と前記励磁極および回収極の間に発生する磁束が負のときに検出された第二の漏洩磁束の検出値との差を算出する漏洩磁束算出工程と、
を具備することを特徴とする検査方法。
【請求項６】
前記励磁極に巻回されたコイルに印加する電圧の正負を断続的に変化することにより、励磁極および回収極の間に発生する磁束の向きを断続的に変化することを特徴とする請求項５に記載の検査方法。
【請求項７】
単数の磁気センサまたは相互に異なる位置に配置された複数の磁気センサにより前記被検査物から漏洩する漏洩磁束を検出することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
前記被検査物が二枚以上の金属板の接合部であって、
前記励磁極および回収極は前記二枚以上の金属板の一方の板面に対向し、
前記漏洩磁束検出部が前記二枚以上の金属板の他方の板面に対向することを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物から漏洩する漏洩磁束に基づいて被検査物の検査を行う検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属板等の接合部の状態を検査する方法としては、超音波を用いる方法や、磁粉を用いる方法が知られている。例えば、特許文献１および特許文献２に記載の如くである。
【０００３】
特許文献１に記載の方法は、検査対象たるワークの接合部に超音波を照射し、反射波に基づいて接合部の状態を検査するものである。
また、特許文献２に記載の方法は、検査対象たるワークを磁化してワークの接合部の表面に磁粉を振りかけ、当該磁粉が形成する模様に基づいてワークの接合部の状態を検査するものである。
【０００４】
しかし、超音波を用いる方法は、媒質をワークに塗布したりあるいはワークを媒質に浸漬する必要があるため、作業性が良くないという問題がある。また、接合部の表面に開口した穴等の欠陥がある場合、当該欠陥に媒質が侵入すると超音波が当該欠陥を通過してしまい、精度良く検査することが困難であるという問題がある。
また、磁粉を用いる方法は、例えば自動車の車体等、検査対象が大きい場合に適用することが困難であり、工程も大掛かりになる上専用の装置も必要となり、コストが増大するという問題がある。
【０００５】
このような問題を解消する方法として、被検査物から漏洩する漏洩磁束に基づいて被検査物、特に被検査物の内部品質等の検査を行う検査装置および検査方法は公知となっている。例えば、特許文献３および特許文献４に記載の如くである。
【０００６】
しかし、一般に被検査物からの漏洩磁束を検出する方法は、被検査物に外乱磁束が作用すると、漏洩磁束の検出値に誤差が含まれることとなり、被検査物を精度良く検査することが困難であるという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−２１４２０７号公報
【特許文献２】特開２００４−２８７５５号公報
【特許文献３】特開２００１−３２４４７９号公報
【特許文献４】特開昭５６−８２４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は以上の如き状況に鑑み、被検査物に作用する磁束の外乱の影響を排除し、被検査物を精度良く検査することが可能な検査装置および検査方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００９】
即ち、請求項１においては、
励磁極および回収極を備え、これらの間に正負が断続的に変化する磁束を発生する磁束発生部と、
前記磁束発生部の励磁極および回収極の間に配置された被検査物から漏洩する漏洩磁束を検出する漏洩磁束検出部と、
前記磁束発生部により発生する磁束が正のときに検出された第一の漏洩磁束の検出値と前記磁束発生部により発生する磁束が負のときに検出された第二の漏洩磁束の検出値との差を算出する制御部と、
を具備するものである。
【００１０】
請求項２においては、
前記励磁極に巻回されたコイルに印加する電圧の正負を断続的に変化することにより、前記磁束発生部が発生する磁束の正負を断続的に変化するものである。
【００１１】
請求項３においては、
前記漏洩磁束検出部は、単数の磁気センサまたは相互に異なる位置に配置された複数の磁気センサを備えるものである。
【００１２】
請求項４においては、
前記被検査物が二枚以上の金属板の接合部であって、
前記磁束発生部は前記二枚以上の金属板の一方の板面に対向し、
前記漏洩磁束検出部が前記二枚以上の金属板の他方の板面に対向するものである。
【００１３】
請求項５においては、
励磁極および回収極の間に断続的に正負が変化する磁束を発生し、前記励磁極および回収極の間に配置された被検査物から漏洩する漏洩磁束を検出する漏洩磁束検出工程と、
前記励磁極および回収極の間に発生する磁束が正のときに検出された第一の漏洩磁束の検出値と前記励磁極および回収極の間に発生する磁束が負のときに検出された第二の漏洩磁束の検出値との差を算出する漏洩磁束算出工程と、
を具備するものである。
【００１４】
請求項６においては、
前記励磁極に巻回されたコイルに印加する電圧の正負を断続的に変化することにより、励磁極および回収極の間に発生する磁束の向きを断続的に変化するものである。
【００１５】
請求項７においては、
単数の磁気センサまたは相互に異なる位置に配置された複数の磁気センサにより前記被検査物から漏洩する漏洩磁束を検出するものである。
【００１６】
請求項８においては、
前記被検査物が二枚以上の金属板の接合部であって、
前記励磁極および回収極は前記二枚以上の金属板の一方の板面に対向し、
前記漏洩磁束検出部が前記二枚以上の金属板の他方の板面に対向するものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明においては、被検査物に作用する磁束の外乱の影響を排除し、被検査物を精度良く検査することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下では、図１乃至図４を用いて、本発明に係る検査装置の実施の一形態である検査装置１について説明する。
【００１９】
検査装置１は金属板２・３の接合部４の接合状態を検査する、言い換えれば接合状態の良否判定を行う装置である。
【００２０】
金属板２・３の接合部４は「被検査物」の実施の一形態である。本実施例の金属板２・３は自動車の車体を構成する鋼板であり、接合部４は金属板２・３のシーム溶接による接合部分である。金属板２・３の板面の対向する部分を局所的に接触させて通電することにより接合部４が形成される。
なお、本発明に係る検査装置はシーム溶接の接合部に限らず、レーザ溶接、スポット溶接、アーク溶接、ＦＳＷ（Ｆｒｉｃｔｉｏｎ  Ｓｔｉｒ  Ｗｅｌｄｉｎｇ；摩擦撹拌接合）、ろう付け等の各種接合方法に係る接合部の検査に適用可能である。また、本発明に係る検査装置は金属材料の接合部に限らず、金属材料のバルク部分の検査にも適用可能である。
【００２１】
検査装置１は主として磁束発生部１０、電源部２０、漏洩磁束検出部３０、制御部４１入力部４２、表示部４３等を具備する。
【００２２】
磁束発生部１０は励磁極１１、回収極１２、励磁コイル１３、磁気シールド１４を備え、励磁極１１および回収極１２の間に正負が断続的に変化する磁束を発生するものである。
ここで、「励磁極および回収極の間」は、励磁極から回収極に向かう磁束が発生し得る領域を広く指し、物理的に励磁極および回収極に挟まれた領域のみを指すものではない。また、磁束の「正負」は磁束の向きを指すものとする。
励磁極１１および回収極１２は鉄芯等の強磁性体からなり、所定の間隔を開けて配置される。
励磁コイル１３は励磁極１１に巻回されるコイルであり、後述する電源部２０により通電される。励磁コイル１３に通電すると、励磁極１１および回収極１２の間に磁束が発生する。
磁気シールド１４は励磁極１１および回収極１２の間に生じる磁束の漏れを遮蔽するものである。
【００２３】
磁束発生部１０の励磁極１１および回収極１２はいずれも金属板２・３の一方の板面である上面に対向し、かつ、接合部４は金属板２・３の上面に垂直な方向から見て励磁極１１および回収極１２の間となる位置に配置される。
従って、励磁極１１および回収極１２の間に生じる磁束の大半は、励磁極１１から接合部４の内部を経て回収極１２に回収される。
【００２４】
電源部２０は磁束発生部１０に電力を供給するものである。電源部２０は電源装置２１、スイッチ２２・２３・２４・２５等を具備する。
電源装置２１は所定の電圧Ｖｅを発生する。スイッチ２２の一端は電源装置２１に接続され、スイッチ２２の他端は励磁コイル１３の一端に接続される。スイッチ２３の一端は励磁コイル１３の一端とスイッチ２２の他端とを接続する配線の中途部に接続され、スイッチ２３の他端はグラウンドに接続される。スイッチ２４の一端は電源装置２１に接続され、スイッチ２４の他端は励磁コイル１３の他端に接続される。スイッチ２５の一端は励磁コイル１３の他端とスイッチ２４の他端とを接続する配線の中途部に接続され、スイッチ２５の他端はグラウンドに接続される。
【００２５】
漏洩磁束検出部３０は磁束発生部１０の励磁極１１および回収極１２の間に配置された金属板２・３の接合部４から漏洩する漏洩磁束を検出するものである。
漏洩磁束検出部３０は主として磁気センサ３１・３２・３３、アナログセレクタ３４、アンプ３５、ＡＤコンバータ３６等を具備する。
【００２６】
磁気センサ３１・３２・３３は磁気（ひいては磁束）を検出するセンサであり、いずれも金属板２・３の他方の板面である下面に対向し、かつ、金属板２・３の上面に垂直な方向から見て励磁極１１および回収極１２の間となる位置に配置される。
磁束発生部１０により発生し、励磁極１１から接合部４の内部を経て回収極１２に回収される磁束の一部は、接合部４の下方（金属板２・３の下面側）、すなわち磁気センサ３１・３２・３３が配置されている位置に漏洩する。磁気センサ３１・３２・３３はこのような接合部４から漏洩する磁束の大きさ（磁束密度）を検出する。
磁気センサ３１・３２・３３は専用品に限らず、市販の磁気センサ等を用いて達成することができる。磁気センサ３１・３２・３３としては、ホール素子（Ｈａｌｌ  Ｅｌｅｍｅｎｔ）、磁気抵抗素子（Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  Ｅｌｅｍｅｎｔ）、光ファイバー磁気センサ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｆｉｂｅｒ  Ｍａｇｎｅｔ  Ｓｅｎｓｏｒ）等の既知の磁気センサを用いることが可能である。
また、本実施例は三つの磁気センサ３１・３２・３３を備える構成としたが、本発明に係る検査装置はこれに限定されず、漏洩磁束検出部が単数の磁気センサを備える構成としても、相互に異なる位置に配置された複数の磁気センサを備える構成としても良い。
例えば、複数の磁気センサを被検査物の板面に沿ってマトリックス状に配置することにより、被検査物から漏洩する漏洩磁束の分布を検出することも可能である。このように構成することにより、被検査物をより詳細に検査することが可能である。
【００２７】
アナログセレクタ３４は磁気センサ３１・３２・３３およびアンプ３５に接続され、磁気センサ３１・３２・３３のいずれかからの出力信号（アナログ信号）を選択してアンプ３５に入力するものである。
【００２８】
アンプ３５は入力信号（磁気センサ３１・３２・３３のいずれかから出力されたアナログ信号）を増幅して出力するものである。
ＡＤコンバータ３６はアンプ３５からの出力信号（アナログ信号）を所定のデジタル信号に変換するものである。
【００２９】
制御部４１は検査装置１の各種動作を制御するものである。制御部４１は専用品でも良いが、市販のパーソナルコンピュータやワークステーションを用いて達成することが可能である。
制御部４１は電源装置２１、スイッチ２２・２３・２４・２５、アナログセレクタ３４、ＡＤコンバータ３６等に接続される。制御部４１は電源装置２１を起動することが可能であるとともに、スイッチ２２・２３・２４・２５をそれぞれ切り替える（オンまたはオフの状態とする）ことが可能である。また、制御部４１はアナログセレクタ３４における接続（アンプ３５に磁気センサ３１・３２・３３のいずれを接続するか）の切り替えを行うことが可能であるとともに、ＡＤコンバータ３６からの出力信号を取得することが可能である。
【００３０】
図２（ａ）に示す如く、制御部４１は、（１）スイッチ２２・２５をオンとし、スイッチ２３・２４をオフとする、（２）スイッチ２２・２３・２４・２５をいずれもオフとする、（３）スイッチ２２・２５をオフとし、スイッチ２３・２４をオンとする、（４）スイッチ２２・２３・２４・２５をいずれもオフとする、という（１）〜（４）の一連のサイクルを繰り返すようにスイッチ２２・２３・２４・２５の切り替えを行うことにより、励磁極１１に巻回された励磁コイル１３に印加する電圧の正負を断続的に変化する（＋Ｖｅ→０→−Ｖｅ→０→＋Ｖｅ→・・・）。
その結果、図２（ｂ）に示す如く、磁束発生部１０の励磁極１１および回収極１２の間には、正負（向き）が断続的に変化する磁束が発生する（＋Φ→０→−Φ→０→＋Φ→・・・）。
以下、（１）の状態に保持されているときを「正の勾配電圧負荷時」、（３）の状態に保持されているときを「負の勾配電圧負荷時」という。
【００３１】
なお、励磁極１１および回収極１２の間に発生する磁束は励磁コイル１３に印加する電圧に対して指数関数的に追従して発生するため、コイル電圧Ｖｅ（−Ｖｅ）に対応する磁束Φ（−Φ）が実際に発生するまでには所定のタイムラグが存在する。
従って、正の勾配電圧負荷時、および負の勾配電圧負荷時の周期（（１）または（３）の状態に保持されている時間）は当該タイムラグよりも長く設定する必要がある。
【００３２】
磁気センサ３１・３２・３３は励磁極１１および回収極１２の間、すなわち断続的に正負が変化する磁束が発生する位置に配置された金属板２・３の接合部４から漏洩する漏洩磁束を検出する。
ただし、実際には磁気センサ３１・３２・３３の検出信号に基づいて算出される磁束の検出値は、（Ａ）漏洩磁束に起因する成分（漏洩磁束成分）と（Ｂ）外乱に起因する成分（外乱磁束成分）の和となっている。
ここで、磁束の検出値の外乱の要因としては、地磁気（０．５ガウス程度）、被検査物たる接合部４の残留磁束（加工歪みや内部応力によるものを含む、０〜数十ガウス程度）、被検査物たる接合部４以外の金属板２・３や検査装置１の周囲の構造物等による磁束等が挙げられる。
【００３３】
磁気センサ３１・３２・３３からの出力信号はアナログセレクタ３４を経てアンプ３５にて増幅され、さらにＡＤコンバータ３６にてデジタル信号に変換された後、制御部４１に入力される。
【００３４】
制御部４１は、ＡＤコンバータ３６から入力されたデジタル信号に基づいて、磁束発生部１０が発生する磁束が正のとき（より厳密には、正の勾配電圧負荷時において磁束発生部１０の励磁極１１および回収極１２の間に発生する磁束がΦで安定した時刻ｔ１）に検出される第一の検出値φ１と磁束発生部１０が発生する磁束が負のとき（より厳密には、負の勾配電圧負荷時において磁束発生部１０の励磁極１１および回収極１２の間に発生する磁束が−Φで安定した時刻ｔ３）に検出される第二の検出値φ３との差Δφ（＝φ１−φ３）を算出し（図２（ｂ）および図２（ｃ）を参照）、これを漏洩磁束の計測値とする。
【００３５】
制御部４１は、漏洩磁束の計測値の大きさに基づいて接合部４の良否を判定することができる。
【００３６】
以上の如く構成することにより、検査装置１は漏洩磁束検出部３０の検出値に外乱磁束成分が含まれていても、これと漏洩磁束成分とを分離し、接合部４からの漏洩磁束を精度良く計測することが可能である。ひいては、検査装置１による接合部４の検査の精度（信頼性）が向上する。
【００３７】
入力部４２は作業者が検査装置１の動作についての指示や各種データ等を入力するものである。入力部４２は制御部４１に接続される。
入力部４２は専用品でも良いが、市販のキーボードやマウス、スイッチ等で達成することが可能である。
【００３８】
表示部４３は入力部４２により入力された指示やデータ、あるいは検査装置１による計測結果や動作状況等を表示するものである。
表示部４３は専用品でも良いが、市販の液晶ディスプレイやＣＲＴ等で達成することが可能である。
なお、本実施例では入力部４２と表示部４３とを別体としたが、これらを一体としたタッチパネル等を用いて達成することも可能である。
【００３９】
以上の如く、検査装置１は、金属板２・３の接合部４に作用する磁束の外乱の影響を排除し、金属板２・３の接合部４を精度良く検査することが可能である。
【００４０】
検査装置１は超音波を用いた計測装置のように水やゲル状物等の媒質を必要としないので、作業性に優れる。また、Ｘ線を用いる検査装置のようにＸ線を遮蔽するための大掛かりな設備を必要としないので製造工程内への導入も容易である。
【００４１】
検査装置１の漏洩磁束検出部３０が異なる位置に配置された複数の磁気センサ３１・３２・３３を備えることにより、被検査物たる金属板２・３の接合部４の位置が励磁極１１と回収極１２の間で多少ずれても磁気センサ３１・３２・３３のうちいずれにより漏洩磁束を検出することが可能であり、作業性に優れる。
また、複数の磁気センサ３１・３２・３３を用いた場合、これらのセンサのいずれかが故障した場合に、故障したセンサの検出値と正常なセンサの検出値とを比較することにより当該故障を即時に察知することが可能である。
さらに、故障したセンサをすぐに修理・交換せずとも残りのセンサを用いて検査することが可能であり、作業性に優れる。
【００４２】
検査装置１の磁気センサ３１・３２・３３と金属板２・３の接合部４との間の距離は０．１ｍｍから５ｍｍ程度であることが望ましく、当該距離を安定に保つ装置構成が好ましい。
これらの距離が５ｍｍよりも大きい場合、磁気センサ３１・３２・３３により検出される漏洩磁束が相対的に減少し、検査装置１による漏洩磁束の検出が困難となるからである。
【００４３】
検査装置１の励磁極１１および回収極１２と金属板２・３の接合部４との間の距離は０．１ｍｍから５ｍｍ程度であることが望ましく、当該距離を安定に保つ装置構成が好ましい。
これらの距離が５ｍｍよりも大きい場合、接合部４の内部を通過しない励磁極１１および回収極１２の間の磁束が多くなり、ひいては磁気センサ３１・３２・３３により検出される漏洩磁束が減少して検査装置１による漏洩磁束の検出が困難となるからである。
【００４４】
図３に示す如く、励磁極１１および回収極１２が金属板２・３の接合部４を跨ぐように配置することも可能である。
このように構成することにより、励磁極１１および回収極１２が表面に凹凸が多い接合部４に対向しないため、接合部４の表面の凹凸の影響による外乱を極力排除することが可能であり、検査装置１による検査の精度、信頼性が向上する。
【００４５】
図３に示す如く、励磁極１１および回収極１２が金属板２・３の接合部４の長手方向に垂直な方向から所定の角度（θ）を成して接合部４を跨いだ場合、励磁極１１および回収極１２が金属板２・３の接合部４の長手方向に垂直な方向に跨ぐ場合よりも励磁極１１および回収極１２の間に発生する磁束が接合部４を通過する長さを相対的に長くとることが可能であり、ひいては接合部４からの漏洩磁束を相対的に大きくして検査装置１による検査の精度、信頼性を向上することが可能である。
また、励磁極１１および回収極１２が金属板２・３の接合部４の長手方向に垂直な方向から所定の角度（θ）を成して接合部４を跨いだ場合、励磁極１１および回収極１２が金属板２・３の接合部４の長手方向に垂直な方向に跨ぐ場合よりも励磁コイル１３の巻き数を多くすることが可能であり、励磁極１１および回収極１２の間の磁束を大きくする（強い磁界を発生する）ことが可能である。
【００４６】
また、被検査物が金属板１０２・１０３の重ね隅肉溶接（またはろう付け）の接合部１０４の場合、励磁極１１および回収極１２が接合部１０４を跨ぐように配置しようとすると、励磁極１１および回収極１２の一方が金属板１０２の上面に対向し、他方が金属板１０３の上面に対向することとなり、励磁極１１および回収極１２の高さが異なるため励磁極１１および回収極１２と金属板１０２または金属板１０３の上面との距離を一定に保持することが困難である。
このような場合には、図４に示す如く、励磁極１１および回収極１２を金属板１０２の上面に対向させ、かつ、励磁極１１および回収極１２が接合部１０４の長手方向に沿って並ぶように配置するとともに、磁気センサ３１・３２・３３を金属板１０３の下面において接合部１０４に対応する位置に対向するように配置する。
このように構成することにより、励磁極１１および回収極１２の間に発生する磁束が接合部１０４の内部を効果的に通過する。従って、磁気センサ３１・３２・３３により検出された接合部１０４から漏洩する漏洩磁束に基づいて接合部１０４を検査することが可能である。
【００４７】
以下では、図１乃至図５を用いて本発明に係る検査方法の実施の一形態について説明する。
本発明に係る検査方法の実施の一形態は、検査装置１を用いて金属板２・３の接合部４を検査する方法であり、図５に示す如く、漏洩磁束検出工程Ｓ１００、漏洩磁束算出工程Ｓ２００等を具備する。
【００４８】
漏洩磁束検出工程Ｓ１００は励磁極１１および回収極１２の間に断続的に正負が変化する磁束を発生し、励磁極１１および回収極１２の間に配置された金属板２・３の接合部４から漏洩する漏洩磁束を検出する工程である。
漏洩磁束検出工程Ｓ１００が終了したら、漏洩磁束算出工程Ｓ２００に移行する。
【００４９】
漏洩磁束算出工程Ｓ２００は励磁極１１および回収極１２の間に発生する磁束が正のときに検出された第一の漏洩磁束の検出値φ１と前記励磁極および回収極の間に発生する磁束が負のときに検出された第二の漏洩磁束の検出値φ３との差Δφ（＝φ１−φ３）を算出する工程である。
漏洩磁束算出工程Ｓ２００において、制御部４１はΔφを算出し、これを接合部４からの漏洩磁束の計測値とする。
【００５０】
以上の如く、本発明に係る検査方法の実施の一形態を用いることにより、金属板２・３の接合部４に作用する磁束の外乱の影響を排除し、金属板２・３の接合部４を精度良く検査することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る検査装置の実施の一形態を示す図。
【図２】本発明に係る検査装置の実施の一形態の励磁コイルの電圧、磁束発生部により発生する磁束密度、漏洩磁束検出部により検出される漏洩磁束の時間変化を示す図。
【図３】本発明に係る検査装置の実施の一形態における励磁極および回収極と被検査物との位置関係の別実施例を示す図。
【図４】同じく本発明に係る検査装置の実施の一形態における励磁極および回収極と被検査物との位置関係の別実施例を示す図。
【図５】本発明に係る検査方法の実施の一形態を示すフロー図。
【符号の説明】
【００５２】
１        検査装置
２・３    金属板
４        接合部（被検査物）
１０      磁束発生部
２０      電源部
３０      漏洩磁束検出部
４１      制御部
【図１】
2008032570.tif 000003
【図２】
2008032570.tif 000004
【図３】
2008032570.tif 000005
【図４】
2008032570.tif 000006
【図５】
2008032570.tif 000007