(57)【要約】【課題】新品のテープカセットを装着してから研磨テープが終了するまで、研磨テープに作用するテンション力が所定の値に維持され、研磨不良の発生が有効に防止された突起欠陥補修装置を実現する。【解決手段】研磨テープを収納する収納リール（８）と連結するテンションモータ（１０）は、供給される駆動電流に応じて回転トルクを発生するDCモータで構成する。制御回路(３０)は、研磨テープの走行速度を検出する第２のエンコーダ（１９）からの出力に基づいてテープの走行速度を所定の速度に維持すると共に、テンションモータ（１０）の回転速度を検出する第１のエンコーダ（１４）からの出力に基づき研磨テープに作用するテンションが一定になるようにテンションモータの駆動電流を制御する。この結果、研磨テープの使用開始時から終了するまで良好な研磨性能が維持される。また、研磨終了後所定のテープ長だけ巻き戻してから次の突起欠陥を研磨するので、テープを空送りしても、研磨テープが無駄に消費される不具合が解消される。【選択図】図１
2008093740.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨テープを収納した収納リール及び研磨テープを巻き取る巻取りリールを有するテープカセットが装着される研磨ヘッドと、補修されるべき基板を支持するステージと、ステージ上に載置された基板に対して研磨ヘッドを昇降させる昇降機構と、研磨テープの走行を制御する制御手段とを具える突起欠陥補修装置において、
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力と回転速度検出手段からの出力とに基づいて、研磨テープに所定のテンションが作用するように、前記テンションモータに供給される駆動電流量を制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。
【請求項２】
請求項１に記載の突起欠陥補修装置において、前記制御手段は、前記テンションモータに対して当該テンションモータの回転角速度ωに反比例する駆動電流が供給されるように制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の突起欠陥補修装置において、前記テンションモータにはロータリダンパが装着されていることを特徴とする突起欠陥補修装置。
【請求項４】
研磨テープを収納した収納リール及び研磨テープを巻き取る巻取りリールを有するテープカセットが装着される研磨ヘッドと、補修されるべき基板を支持するステージと、ステージ上に載置された基板に対して研磨ヘッドを昇降させる昇降機構と、研磨テープの走行を制御する制御手段とを具える突起欠陥補修装置において、
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段と、
基板と研磨ヘッドとの間のギャップを検出してギャップ信号を発生するギャップ検出手段とを有し、
前記制御手段は、突起欠陥の補修に際し、研磨ヘッドを基板に向けて降下させた後、前記テンションモータ及び巻取りモータに駆動電流を供給して研磨テープの巻取り方向の走行を開始させ、突起欠陥の研磨が終了した後研磨ヘッドを所定の位置まで上昇させると共に研磨テープの走行を停止させ、その後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを所定のテープ長だけ巻き戻すように制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。
【請求項５】
請求項４に記載の突起欠陥補修装置において、前記制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力信号に基づいて、研磨テープの走行開始後前記ギャップセンサから出力されるギャップ信号を受け取るまでの時間期間中に研磨テープが走行したテープ走行長を求め、研磨テープの走行を停止させた後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを前記テープ走行長だけ巻き戻すように制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板、透明電極基板、ガラス基板等の各種基板上に存在する突起欠陥を補修する突起欠陥補修装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ基板や透明電極基板等の各種基板表面に存在する微小な突起欠陥を除去又は補修する方法として、研磨テープを走行させることにより微小な突起欠陥を研磨する突起欠陥補修装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。この突起欠陥補修装置では、研磨テープを収納した収納リールと研磨テープを巻き取る巻取りリールとの間に研磨テープを走行させ、走行する研磨テープにより突起欠陥が研削されている。突起を研磨する際、研磨テープは、モータ及び制御装置によりトルク制御され、研磨テープは常時テンションが与えられた状態で走行するように構成されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２６７２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の突起欠陥修正装置では、走行する研磨テープにテンションを与える手段として、テープ収納リールを巻き戻し方向に駆動するテンションモータが用いられている。このテンションモータは、積極的に駆動電流が供給されてテンションを作用させるものではなく、発電ブレーキとして用いることにより研磨テープにテンションが与えられている。しかしながら、テンションモータを発電ブレーキとして用いる制御方式では、研磨テープに作用するテンション力は収納リールに巻かれている研磨テープのテープ径に反比例するため、収納リールに収納されている研磨テープのテープ径が小さくなるにつれてテンション力が増大し、研磨テープの巻取り位置に応じて研磨テープに作用するテンション力が変化してしまう。実際には、テープ終了時のテンションは、新品のテープカセット装着時のテンションよりも約３倍程度増大する。また、研磨テープの走行経路中にピンチローラを取付け、研磨テープに一定のトルクを与えることによりテープ径の変化に依存せず研磨テープに一定のテンションを作用させることが可能である。しかし、研磨テープの走行経路中にピンチローラを配置すると、テープの走行中に研磨テープから塵や埃が発生してしまい、実際にはピンチローラを使用することはできない。
【０００５】
一方、本発明者が走行する研磨テープのテンションと研磨性能との関係について種々の実験及び解析を行った結果、研磨性能の良否は研磨テープに作用するテンション力と密接に関係し、最良の研磨性能を得るためには適正なテンションを作用させた状態で走行させる必要があることが判明した。すなわち、カセットの装着時に最良の研磨が行われるようにテンションを調整しても、テープ終了時にはテンションが強くなりすぎてしまい研磨性能が著しく低下し、研磨不良が生じてしまう。この場合、走行する研磨テープのテンションを検出するテンションセンサを用いて研磨テープのテンションを検出し、検出されたテンションに基づいてテンションモータを制御することも可能である。しかしながら、テンションセンサは高価であるため、突起欠陥補修装置の製造コストが高価になってしまう。また、テープカセットを交換する際、研磨テープをガイドローラ間に装着する面倒な作業がオペレータにより行われているが、テンションセンサ及びその関連部品が取り付けられると、テープ装着作業が一層面倒になり、テープカセット交換時の作業性が著しく低下する。
【０００６】
さらに、従来の突起欠陥補修装置では、テンションモータが発電ブレーキとして動作するため、巻取りリールの駆動中には研磨テープにテンション力が作用するが、巻取りリールが停止状態にある場合研磨テープにテンションが作用せず、研磨テープが緩んだ状態になってしまう。このため、テープ走行開始時に緩んだ研磨テープのエッジが基板表面を擦ってしまい、基板表面に損傷（エッジ傷）を与え、新たな欠陥が生ずる不具合も生じている。
【０００７】
さらに重要なことに、従来の突起欠陥修正装置では、研磨を開始する際、巻取りモータへの駆動電流の供給開始後研磨テープの走行状態が安定するまでの期間中テープを空送りしている。この空送りは良好な研磨性能を得るためには必要であるが、研磨テープの利用効率が悪く、研磨テープを無駄に消費する欠点があった。すなわち、テープが走行開始後安定した走行速度になるまで約５００mSec程度の時間が必要であり、その期間中研磨テープが空送りされるため、テープ全長の約半分程度の研磨テープが無駄に消費されているのが実情である。
【０００８】
本発明の目的は、新品のテープカセットを装着してから研磨テープが終了するまで、研磨テープに作用するテンション力が所定の値に維持され、研磨不良の発生が有効に防止された突起欠陥補修装置を実現することにある。
本発明の別の目的は、安定したテープ走行状態が維持されると共に研磨テープの利用効率が大幅に改善された突起欠陥補修装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による突起欠陥補修装置は、研磨テープを収納した収納リール及び研磨テープを巻き取る巻取りリールを有するテープカセットが装着される研磨ヘッドと、補修されるべき基板を支持するステージと、ステージ上に載置された基板に対して研磨ヘッドを昇降させる昇降機構と、研磨テープの走行を制御する制御手段とを具える突起欠陥補修装置において、
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力と回転速度検出手段からの出力とに基づいて、研磨テープに所定のテンションが作用するように、前記テンションモータに供給される駆動電流量を制御することを特徴とする。
【００１０】
本発明では、テープカセットの収納リールと連結するテンションモータに積極的に駆動電流を供給して回転トルクを発生させ、発生したトルクを研磨テープに対してテンションとして作用させる。この結果、収納リールに残存する研磨テープのテープ径にかかわらず、研磨テープに常時一定のテンションを作用させることが可能になり、研磨テープの使用開始時から終了時にいたるまで良好な研磨性能が維持される。
【００１１】
本発明による突起欠陥補修装置の好適実施例は、テンションモータにはロータリダンパが装着されていることを特徴とする。ロータリダンパは衝撃吸収装置として機能するため、研磨テープの速度変化やテンション変化を緩和する作用がある。この緩和作用により、研磨テープのエッジが基板表面と接触することにより発生するエッジ傷の発生が大幅に改善される。
【００１２】
本発明による突起欠陥補修装置は、研磨テープを収納した収納リール及び研磨テープを巻き取る巻取りリールを有するテープカセットが装着される研磨ヘッドと、補修されるべき基板を支持するステージと、ステージ上に載置された基板に対して研磨ヘッドを昇降させる昇降機構と、研磨テープの走行を制御する制御手段とを具える突起欠陥補修装置において、
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段と、
基板と研磨ヘッドとの間のギャップを検出してギャップ信号を発生するギャップ検出手段とを有し、
前記制御手段は、突起欠陥の補修に際し、研磨ヘッドを基板に向けて降下させた後、前記テンションモータ及び巻取りモータに駆動電流を供給して研磨テープの巻取り方向の走行を開始させ、突起欠陥の研磨が終了した後研磨ヘッドを所定の位置まで上昇させると共に研磨テープの走行を停止させ、その後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを所定のテープ長だけ巻き戻すように制御することを特徴とすることを特徴とする。
【００１３】
研磨テープを安定走行させるためには、駆動電流供給開始後約５００m秒程度の空送り時間が必要であり、このテープ空送りにより研磨テープを無駄に消費してしまう。この課題を解決するため、本発明では、テンションモータが供給される駆動電流に応じて回転トルクを発生する特性を積極的に利用し、テープ研磨が終了した後、テンションモータに巻き戻し方向の駆動電流を供給して空送りされたテープ長だけ研磨テープを巻き戻す。このように、研磨テープを巻き戻すことにより、研磨テープが無駄に消費される欠点が解消される。
【００１４】
本発明による突起欠陥補修装置の好適実施例は、制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力信号に基づいて、研磨テープの走行開始後前記ギャップセンサから出力されるギャップ信号を受け取るまでの時間期間中に研磨テープが走行したテープ走行長を求め、研磨テープの走行を停止させた後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを前記テープ走行長だけ巻き戻すように制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、収納リールに残存する研磨テープのテープ径にかかわらず常時一定のテンションが研磨テープに作用するため、研磨テープ使用開始時から終了時にいたるまで良好な研磨性が維持される。
また、制御回路は、研磨処理が終了した後、空送りしたテープ長だけ巻き戻す構成を採用しているため、研磨テープの使用効率が格段に向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は本発明による突起欠陥補修装置の一例を示す線図であり、図１Ａは線図的側面図、図１Ｂはテンションモータ及び巻取りモータの取付け状態を示す線図的平面図である。本発明による突起欠陥補修装置は研磨ヘッド１を有し、この研磨ヘッド１は、ベース部材（図示せず）に昇降自在に取り付けられ、ベース部材に連結されている昇降機構２により基準の高さ位置から所定の距離にわたって昇降する。研磨ヘッド１の下側にｘｙステージ３が配置され、ｘｙステージ３上に補修されるべき基板４が載置される。補修されるべき基板として、例えばカラーフィルタ基板を対象とする。ｘｙステージ３は、既に検出された突起欠陥のアドレス情報に基づいて、突起欠陥が研磨ヘッドの下側に位置するように２次元移動する。
【００１７】
研磨ヘッド１はヘッド本体５を有し、研磨テープが収納されたテープカセット６はヘッド本体５に着脱自在に装着される。テープカセット６は、通常のテープカセットと同様な構成であり、研磨テープ７が巻回されている収納リール８と研磨テープを巻き取る巻取りリール９とを有する。
【００１８】
図１Ｂに示すように、ヘッド本体５には、テンションモータ１０及び巻取りモータ１１を取り付ける。本例では、テンションモータ１０は、供給される駆動電流に対応したトルクを発生するDCモータで構成され、研磨テープに対して巻き戻し方向のテンションを与える。また、巻取りモータ１１も同様にDCモータで構成され、研磨テープを巻取る方向に回転する。テンションモータ及び巻取りモータは共に回転軸の先端側にプーリ１２及び１３がそれぞれ装着され、これらプーリは、テープカセット６を研磨ヘッド１に装着した際テープカセットの収納リール８及び巻取りリール９の内周に形成されているギィヤとそれぞれ係合する。テンションモータ１０は、エンコーダ１４が搭載されたモータとして構成され、当該第１のエンコーダ１４によりテンションモータの回転速度に対応したパルスが回転速度情報として出力され、後述する制御回路に供給される。さらに、テンションモータには、ロータリーダンパ（衝撃吸収装置）１５が装着され、テンションモータの急激な揺動が吸収される。
【００１９】
ヘッド本体５には、研磨テープが張架される３個のガイドローラ１６〜１８と、研磨テープの走行速度を検出する第２のエンコーダ１９と、ヘッド先端部２０とが設けられている。第２のエンコーダ１９により検出された走行速度情報は制御回路に供給され、制御回路は、検出された速度情報（エンコーダから出力されるパルス数）を計数して走行速度を求め、研磨テープが一定の速度で走行するように巻取りモータを制御する。ヘッド先端部２０は、ガイドローラ１７と１８との間に位置し、摩擦係数の小さい金属部材で構成され、研磨テープがヘッド先端部を通過するときに基板４に形成された突起欠陥が研磨される。ヘッド先端部２０には、研磨テープの走行経路からわずかに変位した位置に、圧縮空気を放出するエァ放出孔（図示せず）が形成されていると共に、放出される圧縮空気の流路には流量センサ（図示せず）が設けられ、流量センサの出力に基づいて研磨ヘッド１と基板４との間のギャップが検出され、検出されたギャップ情報も制御回路に供給する。尚、圧縮空気の放出流量変化に基づいて研磨ヘッドと基板との間の距離ないしギャップの変化を検出する手法は、すでに周知の技術であるため、その詳細な説明は省略する。
【００２０】
テープカセット６の収納リール８に収納された研磨テープは、ガイドローラ１６，１７、ヘッド先端部２０、ガイドローラ１８、第２のエンコーダ１９を経て巻取りリール９に巻き取れる。その間、テンションモータが駆動し、研磨テープに常時一定のテンションが与えられた状態で巻取りリールに巻き取られ、ヘッド先端部２０を通過する際に基板４上に存在する突起欠陥を研削する。
【００２１】
次に、本発明による研磨テープの定テンション制御について説明する。研磨テープの走行速度は第２のエンコーダ１９により検出され、制御回路の制御のもとで常時一定の走行速度ｖとなるように巻取りモータ１１が制御される。テンションモータ１０の角速度ω（rad/Sec）は、第１のエンコーダ１４から出力されるパルス数を計数することにより検出される。研磨テープが巻かれている収納リールのテープ半径ｒ（収納リールに残存する研磨テープの巻取り半径）は以下の式により求められる。
ｒ＝ｖ／ω                                          （１）
研磨テープに作用するテンションＴ（Ｎ）は、テンションモータに作用するトルクをＭ（Ｎ・ｍ）とすると、以下の式で与えられる。
Ｔ＝Ｍ／ｒ                                          （２）
テンションモータから発生するトルクＭは、摩擦の影響を無視すると、テンションモータに供給される電流量Ｉに比例し、以下の式で与えられる。
Ｍ＝Ｋm×Ｉ    ここで、Ｋmは係数である。
上式より、テンションモータに供給される電流量Ｉは以下の式で与えられる。
Ｉ＝（Ｔ・ｖ／Ｋm）／ω                            （３）
（３）式において、研磨テープに作用するテンションＴは研磨性能の観点より定めた力所定の値に維持され、研磨テープの走行速度ｖも一定値に維持される。従って、研磨テープに作用するテンションＴを、収納リールに残存する研磨テープのテープ径にかかわらず一定値に維持するためには、第１のエンコーダ１４により検出されるテンションモータの角速度ωに反比例した駆動電流をテンションモータに供給すればよいことになる。上述した観点に基づき、本発明では、研磨テープの走行速度を第２のエンコーダ１１により検出し、エンコーダからの出力に基づき一定の走行速度となるように制御すると共に、テンションモータの回転速度を第２のエンコーダ１４により検出し、検出された回転速度情報に基づいて研磨テープに作用するテンションが所定の値に維持されるように制御する。      
【００２２】
図２は本発明による突起欠陥補修装置の制御回路の一例を示す線図である。第２のエンコーダ１９により検出された研磨テープの走行速度情報は制御回路３０に供給する。制御回路３０は、検出され走行速度情報（エンコーダから出力されるパルス数）を計数して研磨テープの走行速度を求める。そして、求めた走行速度情報に基づき、研磨テープの走行速度を所定の値に維持する駆動信号を発生して駆動回路３１に出力し、駆動回路３１は対応した駆動電流を巻取りモータ１１供給する。さらに、制御回路は、第２のエンコーダからの出力されるパルス数を計数してテープの走行長も計数する。第１のエンコーダ１４により検出されたテンションモータの回転速度情報も制御回路３０に供給する。制御回路は、検出された回転速度情報に基づき、テンションモータの角速度を算出し、得られた角速度に反比例する駆動信号を駆動回路３２に供給し、駆動回路は対応した駆動電流をテンションモータ１０に供給する。
さらに、ギャップセンサ（図示せず）により検出されたギャップ情報（研磨ヘッドと基板との間の距離ないしギャップを示す情報）も制御回路３０に供給し、駆動回路３３により駆動信号を発生して昇降機構２の駆動を制御する。
【００２３】
次に、図３を参照しながら突起欠陥補修装置の動作について説明する。図３は、１つの突起欠陥を処理する際の研磨ヘッドの位置、ギャップセンサ信号、テープ走行速度、及びテープ送り量の変化を示す。初めに、欠陥検出装置（図示せず）により突起欠陥及びそのアドレスが検出される。ｘｙステージ３は、検出された突起欠陥のアドレス情報に基づき、検出された突起欠陥が研磨ヘッド１のヘッド先端部２０の直下に位置するように駆動する。
【００２４】
次に、昇降機構２が駆動を開始し、研磨ヘッドを所定の速度で降下させる。研磨ヘッドは、補修される基板表面から約２ｍｍ程度上方に位置するように設定される。研磨ヘッドが降下し、基板表面と研磨ヘッド先端部との間のギャップが約２００μｍ程度に近づくと、ギャップセンサの感度領域に到達し、ギャップセンサからの出力信号が制御回路に供給され、その後ギャップセンサからの出力信号に基づいて研磨ヘッドの最低降下位置が規定される。研磨ヘッドが最低降下位置まで降下すると、研磨は終了し、昇降機構２は研磨ヘッドを上昇させ、待機位置に到達して停止する。
【００２５】
研磨ヘッドが降下を開始してから、例えば２００mSec程度のディレイタイムを設け、このディレイタイムが経過した後、制御回路は、テンションモータ１０及び巻取りモータ１１を駆動する駆動信号を発生する。そして、所定のテンションが作用した状態で巻取りが開始され、研磨テープはテンションがかかった状態で走行を開始する。テンションモータ及び巻取りモータが駆動を開始した後、研磨テープは約５００mSec程度の時間期間中不安定な状態で走行するため、約５００mSec程度の期間中テープを空送りさせ、安定な走行状態に移行してから突起を研磨する必要がある。
【００２６】
研磨ヘッドが基板４に近づくにつれ、研磨ヘッドと基板との間のギャップが２００μｍ程度になると、ギャップセンサの感度内に位置し、ギャップセンサからの出力信号に基づいて研磨ヘッドと基板との間の距離が制御され、走行する研磨テープにより突起欠陥が研磨される。そして、研磨終了後、制御回路は、研磨ヘッドを上昇させると共にテープ送りを終了する。この際、エッジ傷等の発生を防止するため、テープを空送りして緩やかにテープ走行を停止させる。
【００２７】
上述したように、巻取りモータ及びテンションモータが駆動を開始した後約５００mSec程度の時間期間中研磨テープは不安定な状態で走行するため、当該期間中テープを空送りする必要があり、テープ全長の約半分程度の研磨テープが無駄に消費されることになる。この空送りによる無駄を解消するため、本発明では、テンションモータが供給される電流量に応じた回転トルクを発生することを有効に利用する。すなわち、１個の突起欠陥の補修が終了した後、テンションモータ及び巻取りモータを制御して空送りしたテープ長だけ巻き戻す。そして、次の突起欠陥を補修する際、巻き戻されたテープ位置からテープ走行を開始する。この場合、テープ送りの開始後ギャップセンサからの出力信号が制御回路により受信されるまでの時間期間のテープ走行量を、第２のエンコーダ１８から出力されるパルス数を計数することにより計測する。そして、計測された走行量だけテンションモータを駆動して巻き戻すことができる。また、巻き戻し量を予め求めておき、予め設定されたテープ長だけ巻き戻すように構成してよい。図４は、補修後の研磨テープの状態を示す図であり、図４Ａはテープの巻き戻しを行わない場合の研磨テープの状態を示し、図４Ｂは巻き戻しを行ってから補修を行う場合の研磨テープの状態を示す。図４から明らかなように、巻き戻しを行った場合、空送りによる無駄をテープ消費が大幅に改善されている。
【００２８】
本発明のテンションモータは、供給される駆動電流に応じて回転トルクを発生するため、研磨終了後においてもテンションモータに所定の駆動電流を供給し続け、次の突起欠陥を補修するための待機中（停止中）においても研磨テープにテンションが作用するように設定する。このように構成すれば、巻取りモータが駆動していない期間中にも研磨テープに所定のテンションが作用するため、研磨テープに緩みが生じてテープエッジが基板表面と接触してエッジ傷を発生する不具合が解消される。
【００２９】
次に、テンションモータに装着されたロータリダンパの効果について説明する。ロータリダンパは、例えばオイルの粘性抵抗により発生する制動力を利用した回転系のダンパであり、シリコンオイル等が封入されたディスク状部材として構成され、テンションモータの回転軸に装着される。このロータリダンパは、衝撃吸収装置として機能し、研磨テープの走行速度の急激な変化やテープに生ずるテンションの瞬間的な変化が吸収され、テープ走行速度の急激な変化に起因するエッジ傷等の発生が防止される。
【００３０】
ロータリダンパの有無とエッジ傷の発生量との関係について説明する。研磨テープを用いて突起欠陥を除去ないし補修する場合、テープエッジが基板表面と接触して基板表面を擦ってしまい、エッジ傷が発生する場合がある。そこで、テンションモータにロータリダンパを装着した場合と装着しない場合とでエッジ傷の発生回数を実験により求めた。実験は、エッジ傷の発生し易い状態、すなわち研磨後に基板表面にくぼみが形成されるような意図的に過剰研磨となる実験条件のもとで行った。テープ走行速度は１０mm/sec、２０mm/sec、及び３０mm/secの3種類の走行速度について実験した。実験結果を以下に示す。
2008093740.tif 000003
ダンパが装着されていない場合いずれの走行速度でもエッジ傷が発生した。これに対して、ロータリダンパが装着された場合、エッジ傷の発生は皆無であった。このように、供給される駆動電流量に対応した回転トルクを発生するテンションモータにロータリダンパを装着した場合、エッジ傷の発生は皆無であり、エッジ傷の発生防止に対して極めて効果的である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による突起欠陥補修装置の一例を示す線図である。
【図２】本発明による突起欠陥補修装置の制御回路を示す図である。
【図３】本発明による突起欠陥補修装置の動作を説明する線図である。
【図４】研磨テープの補修後の状態を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  研磨ヘッド
２  昇降機構
３  ｘｙステージ
４  カラーフィルタ基板
５  ヘッド本体
６  テープカセット
７  研磨テープ
８  収納リール
９  巻取りリール
１０  テンションモータ
１１  巻取りモータ
１２，１３  プーリー
１４  第１のエンコーダ
１５  ロータリダンパ
１６〜１８  ガイドローラ
１９  第２のエンコーダ
２０  ヘッド先端部
３０  制御回路
３１〜３３  駆動回路
【図１】
2008093740.tif 000004
【図２】
2008093740.tif 000005
【図３】
2008093740.tif 000006
【図４】
2008093740.tif 000007