(57)【要約】【課題】ウェハー形状等のシート状のワークにめっきを行うめっき装置システムに関するものであり、品種間違いが発生しにくく、時間のロスが少なく、短時間で品種切換ができるめっき装置システムである。【解決手段】第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａにハンガー２０をセットすると必ず同じ場所である第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａに処理済のハンガー２０が戻ってきて、品種間違いが発生しないようにし、第１めっき槽１２に第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａと第１めっき槽用ローダー・アンローダーＢ１ｂのように、一方のローダー・アンローダーのハンガー２０のめっき中にハンガー２０をもう一方のローダー・アンローダーにセットできるよう１台のめっき槽に２台のローダー・アンローダーＡ１ａ、Ｂ１ｂを設け、時間ロスを少なくし、品種切り替え用スイッチ部２２ｂを設け、簡単に品種切換をできるようにしている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被めっき物を保持するハンガーと、前記ハンガーを各種めっき処理槽に移動させるロボットと、各種めっき処理槽にてめっき処理する前後に前記ハンガーを各種めっき処理槽から待機させるローダー・アンローダーと、シート状の被めっき物となるワークを各種めっき槽でめっきするめっき装置システムにおいて、ワークをハンガーにセットし、ローダー・アンローダーにセットすると、前記ロボットは、自動的にハンガーを取り出し、脱脂槽、回収槽、水洗槽、酸活性槽、回収槽、水洗槽、めっき槽、回収槽、水洗槽等の各処理槽を通り、元のローダー・アンローダーにハンガーを戻すことを特徴としためっき装置システム。
【請求項２】
複数のめっき槽１槽につきローダー・アンローダーを２台設け、どちらか一方のローダー・アンローダーにハンガーをセットし、めっき槽でめっきをしている間に、残りの一方にハンガーをセットし、事前に準備ができ、最初にめっきを行っていたハンガーのめっきが完了すると、ロボットでハンガーを元のローダー・アンローダーに返し、残りの一方にセットしているハンガーをロボットがハンガーを取り出し、めっき槽に自動的にセットするようにしたことを特徴とする請求項１のめっき装置システム。
【請求項３】
ローダー・アンローダーの上部に、電流値・めっき時間等のめっき条件を変更するスイッチを設けたことを特徴とする請求項１に記載のめっき装置システム。
【請求項４】
複数のめっき槽に対し、ローダー・アンローダーを各２台設けたことを特徴とする請求項１のめっき装置システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハー形状等のシート状のワークにめっきを行うめっき装置システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のめっき装置システムは、図６に示されるような構成を有していた。
【０００３】
図６は従来のめっき装置システムの斜視図である。
【０００４】
図６において、４６はハンガー２０をセットするローダー、６は脱脂槽、７は脱脂液回収槽、８ａは第１脱脂液水洗槽、８ｂは第２脱脂液水洗槽、９は酸活性槽、１０は酸活性液回収槽、１１ａは第１酸活性液水洗槽、１１ｂは第２酸活性液水洗槽、１２は第１めっき槽、１３は第２めっき槽、１４は第３めっき槽、１５は第４めっき槽、１６は第５めっき槽、１７はめっき液回収槽、１８ａは第１めっき液水洗槽、１８ｂは第２めっき液水洗槽、１９はエアー乾燥、２０はハンガー、２１はロボットでハンガーを上下、設備の長手方向に動かせるようになっている。
【０００５】
図３はワークの斜視図で、めっきを行うウェハー形状のワーク２９である。
【０００６】
図４はハンガーの斜視図で、２９はワーク、３０はフレーム、３１はプレートでフレーム３０にボルトで取り付けられている。３２はピンでプレート３１につけられており、ピン３２を図６のロボット２１で引っ掛けるようになっている。３３はプレート、３４はプレートで、フレーム３０とプレート３４をプレート３３でボルト締めし固定させている。２９はワーク、３５はワーク押え、３６はワーク押え３５を押えるための押え、３７は押え３６を固定させるためのボルト、３８ａ、３８ｂは給電部、３９ａ、３９ｂは銅線、４０ａ、４０ｂは給電部３８ａ、３８ｂから銅線３９ａ、３９ｂを通ってきた電気をワーク２９に伝えるための導体で、絶縁皮膜されており、ワーク２９と銅線３９ａ、３９ｂと接触する部分のみ絶縁皮膜がはがれている。
【０００７】
図５はローダー・アンローダーの斜視図で、４１はローダー４６及びアンローダー４７のフレーム、４２は固定側スライドでフレーム４１に取り付けられている。４３は可動側スライドで固定側スライド４２上をスライドできるようになっている。４４は可動側スライド４３に取り付けられている取手、４５ａ、４５ｂはハンガー２０を乗せるための受けである。
【０００８】
図６の従来のめっき装置システムの動作を説明すると、ワーク２９をハンガー２０にセットし、ローダー４６に入れると、ロボット２１がローダー４６にハンガー２０を取りに行く。ロボット２１がハンガー２０を引っ掛け持ち上げると脱脂槽６に行き槽内に入れる。順次、脱脂液回収槽７、第１脱脂液水洗槽８ａ、第２脱脂液水洗槽８ｂ、酸活性槽９、酸活性液回収槽１０、第１酸活性液水洗槽１１ａ、第２酸活性液水洗槽１１ｂに入れ、第１めっき槽１２でめっきを行う。所定の時間めっきを行った後、順次、めっき液回収槽１７、第１めっき液水洗槽１８ａ、第２めっき液水洗槽１８ｂ、エアー乾燥１９後、アンローダー４７に入れ、ハンガー２０を取り出し完了する。また、めっきを行うためには時間がかかるため、めっき槽を、第１めっき槽１２、第２めっき槽１３、第３めっき槽１４、第４めっき槽１５、第５めっき槽１６、計５台用意し、ハンガー２０を合計５台めっきできるようにしている。尚、めっき槽は５台より、多くても、少なくても良い。
【０００９】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特許第２９１５８４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の構成では、めっきの膜厚を変更し、各種切換を行った時に、ローダー４６にハンガー２０をセットし、アンローダー４７でハンガー２０を取り出すため、品種管理がしにくいため、各種間違いが発生するという問題点を有していた。
【００１１】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、品種管理が実施しやすいめっき装置システムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために本発明は、ウェハー形状等のシート状のワークをめっきするめっき装置システムにおいて、ワークをハンガーにセットし、ローダー・アンローダーにセットすると、ロボットが自動的にハンガーを取り出し、脱脂槽、回収槽、水洗槽、酸活性槽、回収槽、水洗槽、めっき槽、回収槽、水洗槽等の各処理槽を通り、元のローダー・アンローダーにハンガーが戻って来て、ハンガーをローダー・アンローダーから取り出し、ハンガーからワークを取り外すと、ワークのめっきが完成することを特徴とする。また、各々のめっき槽にローダー・アンローダーを２台設け、どちらか一方のローダー・アンローダーにハンガーをセットし、めっき槽でめっきをしている間に、残りの一方にハンガーをセットし、事前に準備ができ、最初にめっきを行っていたハンガーのめっきが完了すると、ロボットでハンガーを元のローダー・アンローダーに返し、残りの一方にセットしているハンガーをロボットが取り出し、めっき槽に自動的にセットするようにしたことを特徴とする。また、ローダー・アンローダーの上部に、電流値・めっき時間等のめっき条件を変更するスイッチを設けたことを特徴とし、めっき槽のみを２槽以上の複数槽設け、また、ローダー・アンローダーは、めっき槽の倍設け、大量生産ができるようにした構成である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のめっき装置システムは、ウェハー形状等のシート状のワークをめっきするめっき装置システムにおいて、ワークをハンガーにセットし、ローダー・アンローダーにセットすると、ロボットが自動的にハンガーを取り出し、脱脂槽、回収槽、水洗槽、酸活性槽、回収槽、水洗槽、めっき槽、回収槽、水洗槽等の各処理槽を通り、元のローダー・アンローダーにハンガーが戻って来て、ハンガーをローダー・アンローダーから取り出し、ハンガーからワークを取り外すと、ワークのめっきが完成する。各々のめっき槽にローダー・アンローダーを２台設け、どちらか一方のローダー・アンローダーにハンガーをセットし、めっき槽でめっきをしている間に、残りの一方にハンガーをセットし、事前に準備ができ、最初にめっきを行っていたハンガーのめっきが完了すると、ロボットでハンガーを元のローダー・アンローダーに返し、残りの一方にセットしているハンガーをロボットがハンガーを取り出し、めっき槽に自動的にセットするようにしたことを特徴とし、ローダー・アンローダーの上部に、電流値・めっき時間等のめっき条件を変更できるスイッチを設けたことを特徴とし、めっき槽のみを２槽以上の複数槽設け、また、ローダー・アンローダーは、めっき槽の倍設け、大量生産ができるようにした構成であるため、品種管理が実施しやすいため、品種間違いが発生しにくく、簡単にめっきの電流値、めっき時間のめっき条件が簡単に設定できるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１におけるめっき装置システムについて図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態１におけるめっき装置システムの斜視図、図２は同実施の形態における品種切り替え用スイッチの斜視図である。
【００１６】
図１において、２２ａは、各種めっき槽にてめっき処理する前後に被めっき物を保持したハンガーを各種めっき槽から退避、待機させるローダー・アンローダー部で、１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂの１０台のローダー・アンローダーからなっている。１ａはハンガー２０をセットし取り出すことができる第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ、１ｂはハンガー２０をセットし取り外すことができる第１めっき槽用ローダー・アンローダーＢ、２ａはハンガー２０をセットし取り出すことができる第２めっき槽用ローダー・アンローダーＡ、２ｂはハンガー２０をセットし取り外すことができる第２めっき槽用ローダー・アンローダーＢ、３ａはハンガー２０をセットし取り出すことができる第３めっき槽用ローダー・アンローダーＡ、３ｂはハンガー２０をセットし取り外すことができる第３めっき槽用ローダー・アンローダーＢ、４ａはハンガー２０をセットし取り出すことができる第４めっき槽用ローダー・アンローダーＡ、４ｂはハンガー２０をセットし取り外すことができる第４めっき槽用ローダー・アンローダーＢ、５ａはハンガー２０をセットし取り出すことができる第５めっき槽用ローダー・アンローダーＡ、５ｂはハンガー２０をセットし取り外すことができる第５めっき槽用ローダー・アンローダーＢである。また、６から１９は各種めっき槽であり、６は脱脂槽、７は脱脂液回収槽、８ａは第１脱脂液水洗槽、８ｂは第２脱脂液水洗槽、９は酸活性槽、１０は酸活性液回収槽、１１ａは第１酸活性液水洗槽、１１ｂは第２酸活性液水洗槽、１２は第１めっき槽、１３は第２めっき槽、１４は第３めっき槽、１５は第４めっき槽、１６は第５めっき槽、１７はめっき液回収槽、１８ａは第１めっき液水洗槽、１８ｂは第２めっき液水洗槽、１９はエアー乾燥である。また、２０は被めっき物を保持するハンガー、２１はロボットでハンガー２０を上下、設備の長手方向に動かして各種めっき処理槽に移動できるようになっている。２２ｂは品種切り替え用スイッチ部である。
【００１７】
図２において、２２ｂは品種切り替え用スイッチ部で、ローダー・アンローダー部２２ａ１０台に、各１台、合計１０台設けられている。２３は電流値設定スイッチで任意の電流値に設定できるようになっている。２４はめっき時間設定用スイッチで任意のめっき時間に設定できるようになっている。２５はめっき時間表示板、２６はめっき準備完了スイッチでハンガー２０をローダー・アンローダー部２２ａにセットすると押すスイッチである。２７はハンガーセットランプで、ハンガー２０がローダー・アンローダー部２２ａでセットしてあると各々点灯するようになっている。２８はめっき完了ランプで、めっき完了時点灯するようになっている。
【００１８】
図３はワークの斜視図で、めっきを行うウェハー形状のワーク２９である。
【００１９】
図４はハンガーの斜視図で、２９は被めっき物となるワーク、３０はフレーム、３１はプレートでフレーム３０にボルトで取り付けられている。３２はピンでプレート３１につけられており、ピン３２を図１のロボット２１で引っ掛けるようになっている。３３はプレート、３４はプレートで、フレーム３０とプレート３４をプレート３３でボルト締めし固定させている。２９はワーク、３５はワーク押え、３６はワーク押え３５を押えるための押え、３７は押え３６を固定させるためのボルト、３８ａ、３８ｂは給電部、３９ａ、３９ｂは銅線、４０ａ、４０ｂは給電部３８ａ、３８ｂから銅線３９ａ、３９ｂを通ってきた電気をワーク２９に伝えるための導体で、絶縁皮膜されており、ワーク２９と銅線３９ａ、３９ｂと接触する部分のみ絶縁皮膜がはがれている。
【００２０】
図５はローダー・アンローダーの斜視図で、４１はローダー・アンローダー部２２ａのフレーム、４２は固定側スライドでフレーム４１に取り付けられている。４３は可動側スライドで固定側スライド４２上をスライドできるようになっている。４４は可動側スライド４３に取り付けられている取手、４５ａ、４５ｂはハンガー２０を乗せるための受けである。
【００２１】
以上のような構成において、図１を用い動作を説明すると、ワーク２９をハンガー２０にセットし、第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａに入れ、めっき準備完了スイッチ２６を押すと、ハンガーセットランプ２７が点灯し、ロボット２１が第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａに取りに行く。ロボット２１がハンガー２０を引っ掛け持ち上げると脱脂槽６に行き入れる。順次、脱脂液回収槽７、第１脱脂液水洗槽８ａ、第２脱脂液水洗槽８ｂ、酸活性槽９、酸活性液回収槽１０、第１酸活性液水洗槽１１ａ、第２酸活性液水洗槽１１ｂに入れ、第１めっき槽１２でめっきを行う。所定の時間めっきを行った後、順次、めっき液回収槽１７、第１めっき液水洗槽１８ａ、第２めっき液水洗槽１８ｂ、エアー乾燥１９後、第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａに戻って行き、めっき完了ランプ２８が点灯し、ハンガー２０を取り出しめっき完了ランプ２８が消灯し完了する。前記動作中に、第１めっき槽用ローダー・アンローダーＢ１ｂにハンガー２０をセットしておくと、第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａのハンガー２０のめっき作業完了後に自動で第１めっき槽用ローダー・アンローダーＢ１ｂにハンガー２０を取りに行き、待ち時間無しに次のめっき動作ができるようになっている。また、めっきを行うためには時間がかかるため、めっき槽を、第１めっき槽１２、第２めっき槽１３、第３めっき槽１４、第４めっき槽１５、第５めっき槽１６、計５台用意している。第１めっき槽１２には、第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ１ａと第１めっき槽用ローダー・アンローダーＢ１ｂが対応して使用するようになっている。第２めっき槽１３には、第２めっき槽用ローダー・アンローダーＡ２ａと第２めっき槽用ローダー・アンローダーＢ２ｂが対応するようになっている。第３めっき槽１４には、第３めっき槽用ローダー・アンローダーＡ３ａと第３めっき槽用ローダー・アンローダーＢ３ｂが対応するようになっている。第４めっき槽１５には、第４めっき槽用ローダー・アンローダーＡ４ａと第４めっき槽用ローダー・アンローダーＢ４ｂが対応するようになっている。第５めっき槽１６には、第５めっき槽用ローダー・アンローダーＡ５ａと第５めっき槽用ローダー・アンローダーＢ５ｂが対応するようになっている。そして、ハンガー２０をセットしたローダー・アンローダーと同じ場所のローダー・アンローダーに必ず戻ってくるようになっている。本構成では、ハンガー２０を合計５台、めっきできるようにしている。めっき槽は５台より、多くても、少なくても良い。
【００２２】
以上のような構成において、ハンガー２０をセットしたローダー・アンローダーと同じ場所のローダー・アンローダーに必ず戻ってくるようになっているので品種間違いが発生しにくく、各めっき槽１槽につきローダー・アンローダーが２台あるため、一方のめっき動作中に次の他方のハンガー２０が用意できるため時間のロスが少なく、品種切り替え用スイッチ部２２ｂで、短時間で品種切換ができるという効果が得られる。
【００２３】
なお、本実施の形態では、ワーク２９を円盤状のウェハーを用いて説明を行ったが、四角形等の多角形等である任意形状のシート状の被めっき物についても同様の効果を得ることができる。また、本実施の形態では、電解めっきで説明を行ったが、無電解めっきにおいても同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明のめっき装置システムは、ハンガーが元あったローダー・アンローダーと同じ場所のローダー・アンローダーに必ず戻ってくるようになっているので品種間違いが発生しにくく、各めっき槽１槽につきローダー・アンローダーが２台あるため、めっき動作中に次のハンガーを用意できるため時間のロスが少なく、品種切り替え用スイッチ部で、短時間で品種切換ができるという効果を有し、めっきの大量生産に用いられるめっき装置システムなどの用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態１におけるめっき装置システムの斜視図
【図２】同実施の形態における品種切り替え用スイッチの斜視図
【図３】ワークの斜視図
【図４】ハンガーの斜視図
【図５】ローダー・アンローダーの斜視図
【図６】従来のめっき装置システムの斜視図
【符号の説明】
【００２６】
１ａ  第１めっき槽用ローダー・アンローダーＡ
１ｂ  第１めっき槽用ローダー・アンローダーＢ
２ａ  第２めっき槽用ローダー・アンローダーＡ
２ｂ  第２めっき槽用ローダー・アンローダーＢ
３ａ  第３めっき槽用ローダー・アンローダーＡ
３ｂ  第３めっき槽用ローダー・アンローダーＢ
４ａ  第４めっき槽用ローダー・アンローダーＡ
４ｂ  第４めっき槽用ローダー・アンローダーＢ
５ａ  第５めっき槽用ローダー・アンローダーＡ
５ｂ  第５めっき槽用ローダー・アンローダーＢ
６  脱脂槽
７  脱脂液回収槽
８ａ  第１脱脂液水洗槽
８ｂ  第２脱脂液水洗槽
９  酸活性槽
１０  酸活性液回収槽
１１ａ  第１酸活性液水洗槽
１１ｂ  第２酸活性液水洗槽
１２  第１めっき槽
１３  第２めっき槽
１４  第３めっき槽
１５  第４めっき槽
１６  第５めっき槽
１７  めっき液回収槽
１８ａ  第１めっき液水洗槽
１８ｂ  第２めっき液水洗槽
１９  エアー乾燥
２０  ハンガー
２１  ロボット
２２ａ  ローダー・アンローダー部
２２ｂ  品種切り替え用スイッチ部
２３  電流値設定スイッチ
２４  めっき時間設定用スイッチ
２５  めっき時間表示板
２６  めっき準備完了スイッチ
２７  ハンガーセットランプ
２８  めっき完了ランプ
２９  ワーク
３０  フレーム
３１  プレート
３２  ピン
３３  プレート
３４  プレート
３５  ワーク押え
３６  押え
３７  ボルト
３８ａ、３８ｂ  給電部
３９ａ、３９ｂ  銅線
４０ａ、４０ｂ  導体
４１  フレーム
４２  固定側スライド
４３  可動側スライド
４４  取手
４５ａ、４５ｂ  受け
４６  ローダー
４７  アンローダー
【図１】
2008038226.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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