(57)【要約】【課題】燐光材料を用いた有機ＥＬ装置において、ダークスポット等の発生を防止し、高輝度且つ長寿命な有機ＥＬ装置が得られるようにする。【解決手段】本発明の有機ＥＬ装置の製造装置は、燐光材料を含む機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去し、前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を１０ｐｐｍ以下に減少させる液体処理装置４と、前記液体処理装置４から供給された前記機能性液体を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で基体１００上に塗布し、前記基体１００上に前記燐光材料を含む機能層を形成する液滴吐出装置２とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燐光材料を含む発光層を備えた機能層と、前記機能層を挟持する一対の電極とを有してなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、
前記発光層の形成工程が、前記燐光材料を含む機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去し、前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を１０ｐｐｍ以下に減少させる工程と、
前記機能性液体を前記一対の電極のうちの一方の電極上に塗布し、前記一方の電極上に前記燐光材料を含む発光層を形成する工程とを含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項２】
前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去する工程を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行うことを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項３】
前記一方の電極上に前記発光層を形成する工程から前記機能層上に他方の電極を形成する工程までの工程をそれぞれ水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行うことを特徴とする請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項４】
前記機能性液体を前記一方の電極上に塗布する工程を液滴吐出装置を用いて行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
【請求項５】
燐光材料を含む発光層を備えた機能層と、前記機能層を挟持する一対の電極とを有してなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置であって、
前記燐光材料を含む機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去し、前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を１０ｐｐｍ以下に減少させる液体処理装置と、
前記液体処理装置から供給された前記機能性液体を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で前記一対の電極のうちの一方の電極上に塗布し、前記一方の電極上に前記燐光材料を含む機能層を形成する液滴吐出装置とを備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置。
【請求項６】
前記液滴吐出装置を収用する収用槽と、前記収用槽の内部の雰囲気を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下となるように制御する給排気装置とを備えたことを特徴とする請求項５に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置。
【請求項７】
前記液体処理装置を収用する収用槽と、前記収用槽の内部の雰囲気を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下となるように制御する給排気装置とを備えたことを特徴とする請求項５又は６に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、自発光型のディスプレイとして、発光層に有機発光材料を用いた有機エレクトロルミネセンス素子（以下、有機ＥＬ素子と称する）の開発が進められている。有機ＥＬ素子は、有機発光材料を含む機能層を一対の電極間で挟持し、該一対の電極から注入したキャリアを機能層中で再結合させることによって発光を行う素子である。このような有機ＥＬ素子を多数備えてなる有機ＥＬ装置は、薄型・軽量といった特徴を有し、次世代のフラットパネルディスプレイとして期待されている。また、下記特許文献１，２に記載された湿式成膜法によって塗布・成膜を行うようにすれば、機能層を広範囲に均一に成膜することができ、ディスプレイの大型化が可能になる。
【０００３】
また、近年では、発光材料の三重項励起状態に起因する燐光を発光に用いるようにした高効率な有機ＥＬ素子が提案されており、より消費電力の小さいディスプレイへの応用が期待されている。燐光材料が特に注目されているのは、燐光材料が原理的に高効率化を実現し易い材料と考えられているからである。その理由は、次の通りである。すなわち、キャリア再結合により生成される励起子は１重項励起子と３重項励起子とからなり、その確率は１：３である。１重項を利用した有機ＥＬ素子は、１重項励起子から基底状態に遷移する際の蛍光を発光として取り出していたが、原理的にその発光収率は生成された励起子数に対して２５％であり、これが原理的上限であった。しかし、３重項から発生する励起子からの燐光を用いれば、原理的に少なくとも３倍の収率が期待され、さらに、エネルギー的に高い１重項から３重項への項間交差による転移を考え合わせれば、原理的には４倍の１００％の発光収率が期待できる。
【特許文献１】特開２００２−３５２９５４号公報
【特許文献２】特開２００５−３０２５１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
燐光材料を用いた有機ＥＬ素子をディスプレイに応用するためには、高効率で高輝度な光出力を有すると同時に高耐久性を十分に確保する必要がある。しかしながら、現状ではこれらの問題に関して未だ十分な特性が得られていない。例えば、湿式成膜法で発光層を形成する場合、成膜雰囲気を酸素や水分が除去された乾燥雰囲気に制御する必要があるが、現状ではこのような問題について十分な対策がとられておらず、酸素や水分の混入によるダークスポットの発生が問題となっている。
【０００５】
この問題に対して、特許文献１では、発光層の成膜雰囲気を窒素雰囲気又は不活性ガス雰囲気とする技術が開示されている。この技術によれば、有機ＥＬ素子の劣化を招く酸素や水分を排除することで、発光特性の低下を抑えることができる。また、特許文献２では、発光層の塗布に用いる機能性液体をモレキュラーシーブス及び不活性ガスバブリングにより乾燥し、機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を２０ｐｐｍ以下に制御する技術が開示されている。
【０００６】
しかしながら、これらの条件はいずれも蛍光材料を発光層として用いる場合の条件であって、その条件をそのまま燐光材料の発光層に適用することはできない。燐光材料は蛍光材料と比べて水分及び酸素による劣化が著しいことが指摘されており、従来の脱気・脱水条件では十分な特性が得られないからである。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、燐光材料を用いた有機エレクトロルミネッセンス装置において、ダークスポット等の発生を防止し、高輝度且つ長寿命な有機エレクトロルミネッセンス装置を提供することのできる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法は、燐光材料を含む発光層を備えた機能層と、前記機能層を挟持する一対の電極とを有してなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法であって、前記発光層の形成工程が、前記燐光材料を含む機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去し、前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を１０ｐｐｍ以下に減少させる工程と、前記機能性液体を前記一対の電極のうちの一方の電極上に塗布し、前記一方の電極上に前記燐光材料を含む発光層を形成する工程とを含むことを特徴とする。この方法によれば、発光層の製造に用いる機能性液体として、水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された液体を用いるため、燐光材料を用いた発光層を形成した場合であっても、ダークスポット等の発生を防止でき、信頼性に優れた有機エレクトロルミネッセンス装置を提供できる。
【０００９】
本発明においては、前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去する工程を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行うことが望ましい。この方法によれば、機能性液体から除去された水分及び酸素が再び機能性液体中に溶解するのを防止でき、機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を十分に低減することができる。また、このような処理に要する時間を短縮できるため、生産効率が向上する。
【００１０】
本発明においては、前記一方の電極上に前記発光層を形成する工程から前記機能層上に他方の電極を形成する工程までの工程をそれぞれ水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行うことが望ましい。この方法によれば、機能層中に水分や酸素が混入するのを確実に防止でき、信頼性の高い有機エレクトロルミネッセンス装置を提供できる。
【００１１】
本発明においては、前記機能性液体を前記一方の電極上に塗布する工程を液滴吐出装置を用いて行うことが望ましい。この方法によれば、機能性液体の吐出量を高い精度で調整でき、吐出量のバラツキによる膜厚の不均一性等を防止できる。また、吐出する液体材料の無駄も少なくなるため、製造コストも低減できる。なお、液滴吐出法のようにノズルの液体に対して微小な圧力を加えて液滴を吐出する場合には、液体中に水分や酸素が含まれると、液体に十分な圧力が加わらずに、吐出不良が発生する場合がある。また、液体中に芳香族溶媒等の非極性溶媒が含まれる場合には、吐出前にノズル内の溶媒と水分との間で相分離が生じ、また水分によってノズルと液体との濡れ性が変化することにより、吐出不良が発生する場合がある。さらに、液体が高沸点溶媒を含む場合には、液体を乾燥して薄膜を形成する場合に、水分が急激に蒸発し、薄膜に欠陥が発生する場合がある。これに対して、本発明では、機能性液体中の水分及び酸素を十分に除去しているので、これらの問題が発生せず、均一且つ高機能な機能層が形成できる。
【００１２】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置は、燐光材料を含む発光層を備えた機能層と、前記機能層を挟持する一対の電極とを有してなる有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置であって、前記燐光材料を含む機能性液体中に含まれる水分及び酸素を除去し、前記機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を１０ｐｐｍ以下に減少させる液体処理装置と、前記液体処理装置から供給された前記機能性液体を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で前記一対の電極のうちの一方の電極上に塗布し、前記一方の電極上に前記燐光材料を含む機能層を形成する液滴吐出装置とを備えたことを特徴とする。この構成によれば、発光層の製造に用いる機能性液体として、水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された液体を用いるため、燐光材料を用いた発光層を形成した場合であっても、ダークスポット等の欠陥を低減でき、信頼性に優れた有機エレクトロルミネッセンス装置を提供できる。
【００１３】
本発明においては、前記液滴吐出装置を収用する収用槽と、前記収用槽の内部の雰囲気を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下となるように制御する給排気装置と、を有することが望ましい。この構成によれば、電極上に吐出された機能性液体に水分及び酸素が混入することを確実に防止できる。
【００１４】
本発明においては、前記液体処理装置を収用する収用槽と、前記収用槽の内部の雰囲気を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下となるように制御する給排気装置と、を有することが望ましい。この構成によれば、機能性液体から除去された水分及び酸素が再び機能性液体中に溶解するのを防止でき、機能性液体中に含まれる水分及び酸素の濃度を十分に低減することができる。また、このような処理に要する時間を短縮できるため、生産効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００１６】
［有機ＥＬ装置の製造装置］
図１は、本発明の有機ＥＬ装置の製造装置の一実施形態を示す概略斜視図である。同図に示すように、製造装置１は、基体１００を支持するステージ８と、ステージ８に支持された基板１００上に機能性液体を配置する液体塗布装置である液滴吐出装置２と、液滴吐出装置２に機能性液体を供給する液体タンク３と、機能性液体に含まれる水分及び酸素を除去して液体タンク３に処理済の機能性液体を供給する液体処理装置と、これらステージ８、液滴吐出装置３、液体タンク３及び液体処理装置４を内部に収用する収用槽５と、収用槽５の内部の雰囲気を水分及び酸素の濃度が所定値以下となるように制御する給排気装置６と、これらの装置を統括的に制御する制御装置７と、を備えている。
【００１７】
液滴吐出装置２は、機能性液体を基体上に吐出する液滴吐出ヘッド２０を備えている。液滴吐出ヘッド２０には、揺動位置決め装置としてのモータ２１，２２，２３が設けられている。モータ２１を作動すると、液滴吐出ヘッド２０はＹ軸回りのβ方向に沿って揺動し、その位置決めをなすようになっており、モータ２２を作動すると、Ｘ軸回りのγ方向に揺動し、その位置決めをなすようになっている。また、モータ２３を作動すると、液滴吐出ヘッド２０はＺ軸回りのα方向に揺動し、その位置決めをなすようになっている。また、液滴吐出ヘッド２０とステージ８との相対位置は、液滴吐出ヘッド２０又はステージ８に設けられた図示略の移動装置によって制御されるようになっており、これにより、液滴吐出ヘッド２０を基体１００上で走査しながら液滴を吐出できるようになっている。
【００１８】
図２は、液滴吐出ヘッド２０を示す分解斜視図である。同図に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル２１１が設けられたノズルプレート２１０及び振動板２３０が設けられた圧力室基板２２０が、筐体２５０に嵌め込まれて形成されたものである。この液滴吐出ヘッド２０の主要部は、図３の斜視図一部断面図に示すように、圧力室基板２２０がノズルプレート２１０と振動板２３０とで挟み込まれた構造となっている。
【００１９】
ノズルプレート２１０には、圧力室基板２２０に貼り合わせられた際にキャビティ（圧力室）２２１と対応する位置に、ノズル２１１が形成されている。圧力室基板２２０には、シリコン単結晶基板等がエッチングされたことにより、各々が圧力室として機能するようににキャビティ２２１が複数形成されている。キャビティ２２１間は側壁（隔壁）２２２で分離されており、各キャビティ２２１は、供給口２２４を介して共通の流路であるリザーバ２２３に連通している。
【００２０】
振動板２３０は、例えば熱酸化膜等によって形成されている。この振動板２３０には開口２３１が形成されており、この開口２３１には液体タンク３からの流路である配管３１（図１参照）を介して任意の機能性液体が供給されるようになっている。振動板２３０上のキャビティ２２１に相当する位置には、圧電体素子２４０が形成されている。圧電体素子２４０は、ＰＺＴ素子等の圧電体膜を、上部電極と下部電極とで挟んだ構造のものである。この圧電体素子２４０は、制御装置７から供給される吐出信号に対応して撓み、これによって振動板２３０を撓ませ、変形させるようになっている。
【００２１】
液滴吐出ヘッド２０から機能性液体を吐出するには、まず、制御装置７が機能性液体を吐出させるための吐出信号を液滴吐出ヘッド２０に与える。液滴吐出ヘッド２０では、予め液状体が液滴吐出ヘッド２０のキャビティ２２１に充填されている。吐出信号が与えられた液滴吐出ヘッド２０では、その圧電体素子２４０が上部電極と下部電極との間に電圧が印加されることで振動板２３０を変形させ、これによりキャビティ２２１の体積を変化させる。この結果、そのキャビティ２２１のノズル孔２１１から機能性液体の液滴が吐出される。また、液滴吐出後、振動板２３０が元の形状に戻ることによってキャビティ２２１の体積が元に戻り、これによってキャビティ２２１には吐出によって減った分の液状体が新たに供給されるようになっている。
【００２２】
なお、前記の液滴吐出ヘッド２０では、圧電体素子によって体積変化を起こさせ、機能性液体を吐出させる構成としたが、発熱体によって機能性液体に熱を加え、その膨張によって液滴を吐出させるようなヘッド構成としてもよい。
【００２３】
図１に戻って、液滴吐出装置２の液滴吐出ヘッド２０には、配管（流路）３１を介して機能性液体を収容する液体タンク３が接続されている。また、液体タンク３には、配管４２を介して機能性液体を脱水及び脱酸素処理する液体処理装置４が接続されている。
【００２４】
図４に示すように、液体処理装置４は、処理前の機能性液体Ｌ１を収用する液体タンク４０と、該液体タンク４０を加熱する加熱装置４１と、液体タンク４０の上部に挿通された配管４２の経路上に設けられた冷却装置４３とを備えている。この液体処理装置４では、処理前の機能性液体Ｌ１は、加熱装置４１で加熱されることにより、機能性液体の蒸気となる。この蒸気には、水分及び酸素は殆ど含まれない。この蒸気は、配管４３に導入されると冷却装置４３で冷却され、再び液体に戻され、下流側の液体タンク３に供給される。ここで、液体処理装置４は図１に示した収用槽５に収用されており、機能性液体Ｌ１の処理雰囲気を制御されている。この処理雰囲気は、例えば、水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下となるように制御されている。このため、機能性液体から除去された水分及び酸素が再び機能性液体に溶解されることがなく、液体タンク３には水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に低減された機能性液体のみが供給されるようになっている。
【００２５】
図５に示すように、液体処理装置４で処理された機能性液体Ｌ１は、液体タンク３の上部に挿通された配管４２を介して液体タンク３の内部に収容される。液体タンク３の下部には配管３１が挿通されており、該配管３１を介して液体吐出装置２（図１参照）に水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された機能性液体Ｌ１が供給されるようになっている。
【００２６】
図１に戻って、収用槽５には、排気ポンプ６１及び給排気用バルブ６２，６３を備えた給排気装置６が設けられている。収用槽５の内部の雰囲気は、この給排気装置６によって制御される。給排気装置６では、排気ポンプ６３及びバルブ６２を用いて収用槽内のガスを排気すると共に、バルブ６３及び図示略の給気装置を用いて収用槽５の内部に水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された不活性ガス（例えば窒素ガス）を供給する。こうすることで、液滴吐出装置２及び液体処理装置４を稼動させているときの収用槽５内の雰囲気を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気に制御することができる。
【００２７】
［有機ＥＬ装置の製造方法］
次に、図６及び図７を用いて、製造装置１を用いた有機ＥＬ装置の製造方法について説明する。図６は有機ＥＬ装置の第１電極上に燐光材料を含む機能層１０７を形成する工程の説明図、図７は機能層１０７上に第２電極を形成する工程の説明図である。
【００２８】
まず、図６（ａ）に示すように、公知の方法を用いてガラス基板等からなる基体１００上に、第１電極である陽極１０１、無機バンク（第１隔壁層）１０２及び有機バンク（第２隔壁層）１０３を形成する。そして、無機バンク１０２及び有機バンク１０３の開口部１０４に、必要に応じてＯ２プラズマ処理及びＣＦ４プラズマ処理等の表面処理を施した後、無機バンク１０２及び有機バンク１０３の開口部１０４に液滴吐出ヘッド２０から正孔注入層形成材料を含む機能性液体Ｄ１を吐出する。そして、図６（ｂ）に示すように、開口部１０４内に配置された機能性液体Ｄ１を乾燥及び焼成することにより、陽極１０１上に正孔注入層１０５を形成する。
【００２９】
ここで、正孔注入層形成材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン等のポリチオフェン誘導体とポリスチレンスルホン酸等の混合物を用いることができる。また、この他にも、特に限定されることなく公知の様々な材料が使用可能であり、例えばピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等が挙げられる。さらに、正孔注入層形成材料として、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）や、ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等も用いることができる。このような正孔注入層形成材料を含む機能性液体Ｄ１としては、予め図２に示した液体処理装置４によって水分及び酸素を十分に除去したものを用いる。
【００３０】
次に、図６（ｃ）に示すように、無機バンク１０２及び有機バンク１０３の開口部１０４に液滴吐出ヘッド２０から燐光材料を含む機能性液体Ｄ２を吐出する。そして、開口部１０４内に配置された機能性液体Ｄ２を乾燥及び焼成することにより、正孔注入層１０５上に燐光材料を含む発光層１０６を形成する。
【００３１】
ここで、燐光材料としては、下記の文献に示したものを用いることができる。また、このような燐光材料を含む機能性液体Ｄ２としては、予め図２に示した液体処理装置４によって水分及び酸素を十分に除去したものを用いる。
文献１：Improved energy transfer in electrophosphorescent device（D．F．O‘Brienら，Applied Physics Letters Vol 74，No3 p422（1999））
文献２：Very high-efficiency green organic LIGHT−Emitting devices basd On electrophosphorescence(m．A．Baldoら，Applied Physics Letters Vol 75，No1 p4(1999))
【００３２】
以上により、正孔注入層１０５及び発光層１０６を含む機能層１０７が形成される。この機能層１０７の形成工程は、図１に示した液滴吐出装置２を用いて行われる。液滴吐出装置２は収用槽５の内部に収用され、給排気装置６によって吐出雰囲気を水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下の雰囲気に制御される。また、機能層１０７の形成工程は一貫して収用槽５の内部で行なわれ、基体１００が大気に暴露されることはない。したがって、形成される機能層１０７の水分及び酸素の濃度も１０ｐｐｍ以下に制御されたものとなる。なお、機能層１０７には、正孔注入層１０５及び発光層１０６以外の層を設けてもよい。例えば、発光層１０６上に電子輸送層、電子注入層等を形成したり、正孔注入層と発光層との間に正孔輸送層等を設けることができる。この場合も、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層等の層は、図１に示した液滴吐出装置２０を用いて形成され、その吐出雰囲気は給排気装置６により水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気とされる。また、機能性液体として、図１の液体処理装置で十分に水分及び酸素の濃度を低減されたものが用いられる。
【００３３】
以上により機能層１０７が形成されたら、図７に示すように、基体１００を蒸着装置に導入し、機能層１０７上に第２電極である陰極１０８を形成する。ここで、蒸着装置の内部は、水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御されている。また、基体１００を蒸着装置に搬送する際には、搬送経路は水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気とされる。こうすることで、機能層１０７に水分及び酸素が混入することを防止することができる。その後、必要に応じて陰極１０８上に封止層１０９を形成し、有機ＥＬ装置１１０を完成する。
【００３４】
以上のように、本実施形態においては、機能層の製造に用いる機能性液体として、水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された液体を用いるため、燐光材料を用いた発光層１０７を形成する場合であっても、ダークスポット等の発生を防止でき、表示品質の高い有機ＥＬ装置が製造される。特に、本実施形態では、陽極１０１上に発光層１０６を形成する工程から機能層１０７上に陰極１０８を形成する工程までの工程を、それぞれ水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行うため、機能層１０７への水分及び酸素の混入を確実に防止でき、信頼性に優れた有機ＥＬ装置が提供できる。
【００３５】
また、機能性液体から水分及び酸素を十分に除去しているので、液滴吐出法で形成した機能層１０７の均一性等を向上でき、表示品質に優れた有機ＥＬ装置が提供できる。例えば、液滴吐出法のようにノズルの液体に対して微小な圧力を加えて液滴を吐出する場合、液体中に水分や酸素が含まれると、液体に十分な圧力が加わらずに、吐出不良が発生する場合がある。また、液体中に芳香族溶媒等の非極性溶媒が含まれる場合には、吐出前にノズル内の溶媒と水分との間で相分離が生じ、また水分によってノズルと液体との濡れ性が変化することにより、吐出不良が発生する場合がある。さらに、液体が高沸点溶媒を含む場合には、液体を乾燥して薄膜を形成する場合に、水分が急激に蒸発し、薄膜に欠陥が発生する場合がある。これに対して、本実施形態では、機能性液体中の水分及び酸素を十分に除去しているので、これらの問題が発生せず、均一且つ高機能な機能層１０７が形成できる。
【００３６】
なお、本実施形態では、液滴吐出装置２と液体処理装置４が共通の収用槽５に収用される構成としたが、液滴吐出装置２と液体処理装置４は必ずしも共通の収用槽に収用されている必要はない。液滴吐出装置２と液体処理装置４について別々の収用槽及び給排気装置を設け、それぞれの処理雰囲気を独立に制御するようにしてもよい。この場合、液体タンク３と液体タンク４０との間は配管４２で接続することが望ましい。これにより処理後の機能性液体を大気に暴露することなく液滴吐出装置２に供給することができる。
【００３７】
［実施例］
以下、実施例について説明する。図８は、液体処理装置による機能性液体の脱水処理及び脱酸素処理が発光素子の素子特性に与える影響を示す図である。図８には、機能性液体に脱水処理及び脱酸素処理を行わずに吐出を行った場合と脱水処理及び脱酸素処理を行ってから吐出を行った場合との比較が示されている。なお、いずれの場合も機能性液体の吐出は給排気装置によって水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行っている。同図に示すように、機能性液体に脱水処理及び脱酸素処理を行わずに吐出を行った場合には、十分な発光効率が得られず、発光寿命も十分なものが得られなかったが、脱水処理を行って吐出を行った場合には、ダークスポットは殆ど発生せず、発光効率、発光寿命も十分に長く実用に耐え得るものが得られた。また、機能性液体の脱水処理及び脱酸素処理は水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行わない場合、十分な水分・酸素濃度が得られない。そのため機能性液体の脱水処理及び脱酸素処理は水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行うことが望ましい。
【００３８】
図９は、給排気装置による吐出雰囲気の制御が発光素子の素子特性に与える影響を示す図である。図９には、機能性液体の吐出を大気中で行った場合と水分及び酸素の濃度が１０ｐｐｍ以下に制御された雰囲気で行った場合との比較が示されている。なお、いずれの場合も機能性液体の水分及び酸素の濃度は液体処理装置によって１０ｐｐｍ以下に制御されたものを用いている。同図に示すように、機能性液体の吐出を大気中で行った場合には、発光素子に多数のダークスポットが発生し発光寿命も十分なものが得られなかったが、吐出雰囲気を制御した状態で吐出を行った場合には、ダークスポットは殆ど発生せず、発光寿命も十分に長く実用に耐え得るものが得られた。
【００３９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の有機ＥＬ装置の製造装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】同製造装置に備えられる液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図３】同液滴吐出ヘッドの要部を示す部分構成図である。
【図４】同製造装置に備えられる液体処理装置の概略構成図である。
【図５】同製造装置に備えられる液体タンクの概略構成図である。
【図６】有機ＥＬ装置の製造工程を示す説明図である。
【図７】有機ＥＬ装置の製造工程を示す説明図である。
【図８】機能性液体に含まれる水分等と発光素子の素子特性との関係を示す図である。
【図９】機能性液体の吐出雰囲気と発光素子の素子特性との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…有機ＥＬ装置の製造装置、２…液滴吐出装置、４…液体処理装置、５…収用槽、６…給排気装置、１００…基体、１０１…陽極（第１電極）、１０６…発光層、１０７…機能層、１０８…陰極（第２電極）、１１０…有機ＥＬ装置、Ｄ１，Ｄ２…機能性液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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