(57)【要約】【課題】  被検査基板上に形成される複数の配線パターンに予め設定される複数の被検査点を所定順序で選択することによって行われる配線パターン間の絶縁検査において、該被検査点の離間距離に応じて検査条件の電圧を変化させて検査を行う絶縁検査装置及び絶縁検査方法の提供。【解決手段】  被検査点間の絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、検査対象の被検査点と他の被検査点の間に電位を与える電源手段と、電源手段が電位を与えた際の検査対象間の電気的特性を検出する検出手段と、この電気的特性から検査対象間の抵抗値を算出する算出手段と、算出手段の算出結果から検査対象間の絶縁の良否を判定する判定手段と、電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、制御手段は記憶手段に記憶される距離情報にしたがって、電位の大きさを調整することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、配線パターン間の絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、
選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、
前記被検査点間に電位を与える電源手段と、
前記電源手段が電位を与えた際の前記被検査点間の電気的特性を検出する検出手段と、
前記検出手段が検出する電気的特性から、前記被検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、
前記算出手段の算出結果から前記被検査点間の絶縁の良否を判定する判定手段と、
前記電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、
前記制御手段は、前記記憶手段に記憶される距離情報を基に、前記電位の大きさを決定することを特徴とする絶縁検査装置。
【請求項２】
前記制御手段は、
前記記憶手段が、全ての被検査点間の距離を記憶する複数の距離情報から、最短の距離情報を有する距離情報を選出し、
前記最短の距離情報に対応する大きさの電位もしくはこの大きさよりも小さい電位を、前記被検査点間に与えるように設定する請求項1記載の絶縁検査装置。
【請求項３】
前記記憶手段は、全ての被検査点間の距離を複数の距離情報として記憶し、前記制御手段が、全ての距離情報に基づき被検査点間の距離に応じた電圧を設定する請求項１記載の絶縁検査装置。
【請求項４】
前記制御手段が調整する電位は、前記距離が長い場合には該電位が高く、該距離が短い場合には低くなるよう相対的に調整されていることを特徴とする請求項１記載の絶縁検査装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記記憶手段の距離情報を所定群に区分し、前記区分に応じる電位を設定することを特徴とする請求項１記載の絶縁検査装置。
【請求項６】
前記絶縁検査装置は、更に、
前記被検査点として一点の被検査点を第一組として選択し、前記一点の被検査点以外の全ての被検査点を第二組として選択する選択手段を有し、
前記制御手段は、前記第一組の被検査点と、前記第二組に属する被検査点のうち前記第一組の被検査点と最も近い距離にある被検査点との距離を距離情報として、前記第一組と前記第二組の電位を調整することを特徴とする請求項１記載の絶縁検査装置。
【請求項７】
複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、該被検査点の絶縁検査を行う絶縁検査方法であって、
前記複数の被検査点における二点の被検査点間の距離を距離情報として記憶し、
前記距離情報を基にして、前記二点の被検査点間の電位を調整して印加することを特徴とする絶縁検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁検査装置及び絶縁検査方法に関し、より詳しくは、被検査基板上に形成される複数の配線パターンに予め設定される複数の被検査点を所定順序で選択することによって行われる配線パターン間の絶縁検査において、該被検査点の離間距離に応じて検査条件の電圧を変化させて検査を行う絶縁検査装置及び絶縁検査方法に関する。
【０００２】
尚、本発明は、プリント配線パターン基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線パターン基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線パターンの検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線パターン基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００３】
従来、複数の配線パターンを有する基板（回路基板）は、絶縁検査装置で各配線パターンについて、検査対象の配線パターンと他の配線パターンの絶縁状態の良否（十分な絶縁性が確保されているか否か）の判定を行うことにより、基板が良品であるか否かを検査する絶縁検査が行われている。
【０００４】
この絶縁検査とは、一方の配線パターンに電圧を印加して、他方の配線パターンに流れる電流を測定することにより、これら配線パターン間の抵抗値を算出して、この抵抗値から絶縁状態を検査するものである。
【０００５】
例えば、特許文献１に記載される公報には、検査対象の配線パターンの絶縁検査（短絡検査）を行う技術が開示されており、具体的には、検査対象の配線パターンと他の配線パターンとの間で所定電圧を印加することにより、配線パターン間の抵抗値を算出して、配線パターン間の絶縁状態の検査を行っている。
【０００６】
この種の検査方法では、配線パターン上に予め設けられているこの被検査点に導通接触する接触子を各被検査点にそれぞれ植設させることによって電流を供給したり、電圧を印加したり、さらに電気的信号を受信することで、配線パターン間の電気的特性を求めている。  
【０００７】
【特許文献１】特許第３５４６０４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この特許文献１に開示されるような従来の絶縁検査の技術では、検査対象の配線パターンの絶縁状態を検査するために使用される電圧は、予め設定される一定の大きさの電圧を印加することにより絶縁検査が行われていた。つまり、この絶縁検査は、一定電圧を印加することにより検査が行われるものであり、配線パターン上の被検査点間の離間距離に応じるものではなかった。
【０００９】
特に近年では、基板の微細化が進み、配線パターン同士が近密に形成されるため、基板内部の配線パターン間の絶縁環境よりも、基板表面上の被検査点間の絶縁環境の方が低絶縁の環境である場合が生じている。このような場合、配線パターン間の絶縁環境により電圧が設定されると、この電圧を印加した際に、絶縁検査対象となる被検査点間又は被検査点に導通接触する接触子間で、空中放電が起こる可能性があり、適切な絶縁検査が行われないという問題もある。
【００１０】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、被検査点の離間距離に応じて検査条件の電圧を変化させて検査を行う絶縁検査装置及び絶縁検査方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明は、複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、配線パターン間の絶縁検査を行う絶縁検査装置であって、選択された被検査点間の距離が距離情報として記憶される記憶手段と、前記被検査点間に電位を与える電源手段と、前記電源手段が電位を与えた際の前記被検査点間の電気的特性を検出する検出手段と、前記検出手段が検出する電気的特性から、前記被検査点間の抵抗値を算出する算出手段と、前記算出手段の算出結果から前記被検査点間の絶縁の良否を判定する判定手段と、前記電源手段が与える電位の大きさを制御する制御手段を有し、前記制御手段は、前記記憶手段に記憶される距離情報を基に、前記電位の大きさを決定することを特徴とする絶縁検査装置を提供する。
【００１２】
請求項２記載の発明は、前記制御手段は、前記記憶手段が、全ての被検査点間の距離を記憶する複数の距離情報から、最短の距離情報を有する距離情報を選出し、前記最短の距離情報に対応する大きさの電位もしくはこの大きさよりも小さい電位を、前記被検査点間に与えるように設定する請求項1記載の絶縁検査装置を提供する。
【００１３】
請求項３記載の発明は、前記記憶手段は、全ての被検査点間の距離を複数の距離情報として記憶し、前記制御手段が、全ての距離情報に基づき被検査点間の距離に応じた電圧を設定する請求項１記載の絶縁検査装置を提供する。
【００１４】
請求項４記載の発明は、前記制御手段が調整する電位は、前記距離が長い場合には該電位が高く、該距離が短い場合には低くなるよう相対的に調整されていることを特徴とする請求項１記載の絶縁検査装置を提供する。
【００１５】
請求項５記載の発明は、前記制御手段は、前記記憶手段の距離情報を所定群に区分し、前記区分に応じる電位を設定することを特徴とする請求項１記載の絶縁検査装置を提供する。
【００１６】
請求項６記載の発明は、前記絶縁検査装置は、更に、前記被検査点として一点の被検査点を第一組として選択し、前記一点の被検査点以外の全ての被検査点を第二組として選択する選択手段を有し、前記制御手段は、前記第一組の被検査点と、前記第二組に属する被検査点のうち前記第一組の被検査点と最も近い距離にある被検査点との距離を距離情報として、前記第一組と前記第二組の電位を調整することを特徴とする請求項１記載の絶縁検査装置を提供する。
【００１７】
請求項７記載の発明は、複数の被検査点が予め設定される配線パターンが複数形成される被検査基板において、前記複数の被検査点から異なる配線パターン上の被検査点が選択され、該被検査点の絶縁検査を行う絶縁検査方法であって、前記複数の被検査点における二点の被検査点間の距離を距離情報として記憶し、前記距離情報を基にして、前記二点の被検査点間の電位を調整して印加することを特徴とする絶縁検査方法を提供する。
【００１８】
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１又は７に記載の発明によれば、各被検査点の距離情報が格納され、検査対象の配線パターンの絶縁検査が行われる場合には、この被検査点間の距離情報を基にして、この被検査点間に印加される電位の大きさが決定されることになる。
【００２０】
このため、被検査点間の距離に応じた電位を印加して絶縁検査を行うことができるようになり、被検査点間の絶縁検査を検査精度の高い電位で検査を行うことができ、被検査点間又は被検査点に接触配置される接触子間における空中放電の危険性を防止することができるる。
また、本発明によれば、被検査基板上の被検査点間の距離を用いて絶縁検査が行われることになるので、被検査基板の表面の被検査点の位置情報を把握することによって精度の高い検査を実施することができる。このため、基板の内部情報（配線パターンの形状や配置情報）を用いることなく、効果的な絶縁検査を行うことができる。
【００２１】
請求項２記載の発明によれば、被検査基板に設定される被検査点間の距離のうち最短の距離を有する距離情報を基に絶縁検査の電位が設定されることになるため、被検査基板の絶縁検査が行われるうえで、最も空気放電を防止することができる電位を印加することができ、空中放電を防止して効率よく絶縁検査を行うことができる。
【００２２】
請求項３記載の発明によれば、全ての被検査点間の距離を距離情報として記憶し、検査対象となる被検査点間の距離情報に応じて、その都度電位を変更することができ、空中放電を防止して効率よく絶縁検査を行うことができる。
【００２３】
請求項４記載の発明によれば、被検査点間の距離が長くなれば高電位を印加し、一方で、被検査点間の距離が短くなれば低電位を印加して絶縁検査を行うので、被検査点間の距離に応じて電位の大きさを適宜に調整して絶縁検査を行うため、高精度な絶縁検査を行うことができる。
【００２４】
請求項５記載の発明によれば、距離情報を所定群に区分して、その区分に応じる大きさの電位を印加することになるので、電位を与える電源手段の制御の回数を少なくして絶縁検査を行うことができ、検査時間を短縮することができる。
【００２５】
請求項６記載の発明によれば、複数の被検査点を検査対象となる一つの被検査点を第一組とし、この被検査点以外の全ての被検査点である残りの被検査点を第二組とし、この第一組の被検査点と第二組の被検査点のうち第一組の被検査点と最も距離の近い被検査点との距離を第一組と第二組の被検査点間の距離として絶縁検査を行うので、絶縁検査を効率よく時間を短縮して行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２７】
図１は、本発明に係る絶縁検査装置の概略構成図である。
【００２８】
この図１で示される絶縁検査装置１は、電源手段２、電圧検出手段３、検出手段４、算出手段５３、判定手段５４、制御手段５２、記憶手段５１、切替手段７、第一端子８、第二端子９や表示手段１０を有している。
【００２９】
また、この絶縁検査装置１は、基板ＣＢに形成される複数の被検査点Ｐに圧接するためのプローブ（コンタクトプローブ）ＣＰが用いられている。このプローブＣＰにより、所定の被検査点に対して所定電位を与えたり、所定の被検査点から電気的特性を検出したりすることができる。図１の基板ＣＢは表面Ｆと裏面Ｂを有する基板が示されており、表面Ｆは比較的配線ピッチ（被検査点間距離）が狭いフリップフロップ面が示されており、裏面Ｂは比較的配線ピッチ（被検査点間距離）が広いボールグリッド面が示されている。図１の配線パターンは、一端が表面Ｆに形成され、他端が裏面Ｂに形成される配線パターンが示されているが、一端が表面Ｆに形成され、他端が表面Ｆに形成される配線パターンでもよい。この場合、絶縁検査には、どちらかの被検査点が用いられることになる。
【００３０】
尚、図１では、基板ＣＢに４つの被検査点Ｐ１〜Ｐ４が示されているが、特に限定されるものではなく、説明の都合上これらの数や形状が示されている。
【００３１】
これら被検査点Ｐに対して夫々プローブＣＰが一本ずつ示されているが、被検査点の数や位置は限定されるものではなく、被検査点の数や位置に応じて設定され、被検査点の絶縁検査が行われる場合には、少なくとも一つの被検査点に一本のプローブが接触する必要がある。この図１で示される実施形態では、配線パターンＰの一端が表面Ｆに配置され、この一端を被検査点として用いる場合を説明する。
【００３２】
この図１で示される絶縁検査装置１では、二端子測定法を用いて被検査点間の抵抗値を算出するが、四端子測定法を用いて被検査点間の抵抗値を算出しても構わない。
【００３３】
電源手段２は、検査対象の被検査点と他の被検査点の間である被検査点間（検査対象間）に、絶縁検査を行うための電位差（電圧）を与える。この電源手段２は、例えば、可変電圧源を用いることができ、絶縁検査を行うため所定電位を与える電圧を適宜に調整して供給する。
【００３４】
この電源手段２は、後述する制御手段５２に接続されており、制御手段５２により電源手段２の出力値である電圧が調整される。
【００３５】
尚、この電源手段２は、検査対象間に0〜500Ｖ程度の大きさの電圧を与えることができるように設定される。
【００３６】
電圧検出手段３は、検査対象間の電位差（電圧）を検出する。この電圧検出手段３は、例えば、電圧計を用いるこができるが特に限定されるものではない。この電圧検出手段３は、検査対象間の電圧を検出することができるので、電源手段２が印加する検査対象間の電圧を管理することができる。
【００３７】
検出手段４は、電源手段２が検査対象間に所定の電位を供給した場合の検査対象間での電気的特性を検出する。この検出手段４は、検査対象間の電気的特性を検出するが、より具体的には、電源手段２が所定電位を与えた場合の検査対象間の電流の大きさを検出する。このため、検出手段４は電流計を用いることができる。この電流計の検出値によって、検査対象間に流れる電流値を検出することができる。
【００３８】
記憶手段５１は、検査対象の基板上に形成された配線パターンに設定される被検査点に関する情報が記憶されており、被検査点と被検査点の間の距離に関する距離情報が記憶されている。この被検査点は、実際にコンタクトプローブＣＰが接触する検査対象の基板に形成されるランドの位置情報を用いることもできる。また、被検査点はコンタクトプローブＣＰが接触する位置でもあるので、被検査点に導通接触するコンタクトプローブの各位置情報を用いることもできる。このため、検査対象の基板の表面の情報（被検査点に関する位置情報）さえ把握することができれば、容易に絶縁検査を実施することができる。
【００３９】
例えば、図１で示される基板ＣＢでは、4つの被検査点Ｐが設定されており、被検査点Ｐ１に対して被検査点Ｐ２が距離ｄ１を有して配置され、被検査点Ｐ２と被検査点Ｐ３が距離ｄ２を有して配置され、被検査点Ｐ３と被検査点Ｐ４が距離ｄ３を有して配置されている。この場合、記憶手段５１には、この基板ＣＢの情報として以下のように記憶される。被検査点Ｐ１の情報として、被検査点Ｐ２に対して距離情報ｄ１、被検査点Ｐ３に対して距離情報ｄ１＋ｄ２、さらに、被検査点Ｐ４に対して距離情報ｄ１＋ｄ２＋ｄ３を有していると記憶されることになる（ｄ３＞ｄ２＞ｄ１）。
【００４０】
また、この記憶手段５１には、被検査点Ｐ２の情報として、被検査点Ｐ１に対して距離情報ｄ１、被検査点Ｐ３に対して距離情報ｄ２、被検査点Ｐ４に対して距離情報ｄ２＋ｄ３が記憶される。このように、基準となる被検査点から各被検査点までの距離情報が夫々記憶されることになる。
【００４１】
尚、被検査点Ｐ１は、被検査点Ｐ２と距離ｄ１を有して配置されているため、被検査点Ｐ２は被検査点Ｐ１と距離ｄ１を有して配置されることになる。また、この距離は、二つの被検査点の最も接近する距離を定義しており、検査対象間の距離はこの被検査点間の距離が設定されている。
【００４２】
この記憶手段５１に記憶される距離情報は、一つの被検査点を基準として、各被検査点との距離を距離情報として記憶することもできる。例えば、図１で示される基板ＣＢでは、被検査点Ｐ１に対して、被検査点Ｐ２との距離情報が距離ｄ１、被検査点Ｐ３との距離情報が距離ｄ２と被検査点Ｐ４との距離情報が距離ｄ３として記憶される。また、同様に被検査点Ｐ２乃至被検査点Ｐ４に関して記憶され、例えば、被検査点Ｐ４に対して、被検査点Ｐ１との距離情報が距離ｄ３、被検査点Ｐ２との距離情報が距離ｄ５と被検査点Ｐ３との距離情報が距離ｄ４として記憶されている。また、この記憶手段５１に記憶される距離情報は、上記の如き全ての被検査点間の距離を距離情報として記憶させずに、予め被検査点と最も近距離にある被検査点を特定し、この近距離の距離情報のみを記憶させることもできる。たとえば、図１で示される基板ＣＢでは、被検査点Ｐ１に対しては距離情報ｄ１が記憶され、被検査点Ｐ２に対しては距離情報ｄ１が記憶され、被検査点Ｐ３に対しては距離情報ｄ２が記憶され、被検査点Ｐ４に対しては距離情報ｄ３が記憶されるようにする。
【００４３】
制御手段５２は、電源手段２の制御を行うことができ、電源手段２が与える電位の大きさを調整する信号を電源手段２へ送信する。この制御手段５２の制御信号によって、電源手段２はその出力電位（検査対象間に印加する電圧）が調整されることになる。
【００４４】
この制御手段５２は、記憶手段５１と情報の送受信ができるように接続されており、検査対象間の距離をこの記憶手段５１に問い合わせを行い、検査対象間の距離である距離情報を取得することができる。
【００４５】
このため、後述する選出手段６により検査対象となる被検査点Ｐが選択された場合には、制御手段５２はこの被検査点Ｐに関する距離情報を記憶手段５１から得ることになる。このため、制御手段５２は検査対象間の距離情報を基に電源手段２の出力制御（電圧の大きさ制御）を行うことができる。
【００４６】
この制御手段５２が行う電源手段２に対する調整は、絶縁検査を行う検査対象間の距離情報を記憶手段５１から受け取り、この距離情報に応じて電源手段２が印加する電圧を調整するが、距離情報（距離）が大きければ電圧を大きくし、距離情報（距離）が小さければ電圧を小さくなるように相対的に調整する。
【００４７】
具体的には、この制御手段５２に、ｙ＝ａｘ＋ｂ（ａ，ｂは任意に設定しておく）となるような一次関数を設定しておき、最大の距離情報（＝ｘ）の場合に300V（＝ｙ）が印加されるように条件設定し、距離情報に応じて電圧を算出するように設定することもできる。
【００４８】
この制御手段５２は、さらに、記憶手段５１に記憶される複数の距離情報を所定群に区分けして、所定群に応じた電位を設定する。
【００４９】
この制御手段５２が行う区分けは、所定の群に所属するように全ての距離情報が区分けされる。例えば、第一群、第二群、第三群と第四群を設定し、例えば、10μｍ未満の距離（距離情報）は第一群、10μｍ以上15μｍ未満の距離は第二群、15μｍ以上20μｍ未満の距離は第三群、20μｍ以上の距離は第四群というグループ化を行うことが可能である。
【００５０】
このように複数の所定群を設定することにより、設定される群の数だけ、絶縁検査を行う電圧の大きさを変化させればよい（第四群まで存在するので、4種類の電圧の大きさを設定する）。この場合、同じ群に所属する被検査点から順番に検査対象とすることによって、所定群毎に検査することが可能となり、電圧可変回数を4回に低減して検査時間を短縮することができる。
【００５１】
また、検査処理される第一群乃至第四群は、絶縁検査を行う低電圧から高電圧となるように、また高電圧から低電圧となるように検査の順番を設定することもできる。
【００５２】
尚、被検査点Ｐの距離情報を予め記憶手段５１に所定群となるように記憶しておき、絶縁検査が実施される際に、群毎に検査が実施されるように設定することもできる。
【００５３】
算出手段５３は、検出手段４が検出する電気的特性から、検査対象の被検査点と他の被検査点の間である検査対象間の抵抗値を算出する。
【００５４】
この算出手段５３が行う具体的な抵抗値の算出方法は、電圧検出手段３が検出する電圧値と検出手段４が検出する電流値から、検査対象間の抵抗値を算出する。このように、算出することによって、検査対象間の抵抗値を算出することができ、検査対象間の絶縁状態を判定することが可能となる。
【００５５】
判定手段５４は、算出手段５３の算出結果（抵抗値）から、検査対象の被検査点と他の被検査点の間である検査対象間の絶縁の良否を判定する。
【００５６】
この判定手段５４が行う判定は、予め良品の場合の抵抗値を基準値として設定しておき、この算出結果と基準値とを比較することにより、その良否を判定することができる。
【００５７】
絶縁検査の場合、検査対象間の絶縁性が確実に維持されているかどうかが問題であるため、基準値よりも算出結果が大きい場合には絶縁状態が良好であり、基準値よりも算出結果が小さい場合には絶縁状態が不良であると判断される。尚、この基準値は、検査対象間毎又は所定群毎に設定されることができる。
【００５８】
この判定手段５４が基板ＣＢに対して良品・不良品の判定を行った後には、後述する表示手段１０に良品又は不良品の表示が行われる。
【００５９】
選出手段６は、基板ＣＢの複数の被検査点Ｐから検査対象間となる２組の被検査点を選出し、検査対象の被検査点Ｐを特定する。この選出手段６が検査対象の被検査点Ｐを特定することにより、順次、絶縁検査が行われるように被検査点が選出される。
【００６０】
本発明での検査対象の被検査点Ｐとは、複数の被検査点Ｐから特定の一つの被検査点Ｐを示しており、例えば、電源手段２の上流側（プラス電極側）に接続される被検査点Ｐを示すこともできるし、電源手段２の下流側（マイナス電極側）に接続される被検査点Ｐを指し示すことができる。
【００６１】
例えば、電源手段２の上流側に接続される被検査点Ｐを検査対象とする場合には、残りの全ての被検査点Ｐが並列に接続されるとともに、電源手段２の下流側に接続されることになる。また、電源手段２の下流側に接続される被検査点Ｐを検査対象とする場合には、残り全ての被検査点Ｐが並列に接続されるとともに、電源手段２の上流側に接続される。このように接続されることにより、検査対象の被検査点Ｐとその他残りの被検査点群の検査対象間を設定することになる。
【００６２】
このように選出手段６が、検査対象となる一つの被検査点を第一組とし、残りの被検査点を第二組として組み分けし、第一組と第二組を検査対象間として、選出することになるので、被検査点の絶縁検査を効率良く検査することができ、検査時間を短縮することができる。
【００６３】
この選出手段６が行う検査対象の被検査点の選出方法は、予め記憶手段５１に検査対象となる被検査点の順番が設定され、この順番に従って検査対象の被検査点が選出される方法を例示することができる。この選出方法は特に限定されるものではなく、検査対象となる被検査点が順序良く選出される方法であれば特に限定されない。
【００６４】
この選出手段６が行う具体的な被検査点の選出は、後述する切替手段７を用いることにより実施される。例えば、切替手段７の各スイッチ素子ＳＷのON/OFF制御を行うことにより、検査対象となる被検査点を選出することができる。
【００６５】
本絶縁検査装置１では、検査対象となる被検査点が電源手段２と接続されるための上流側電源供給端子８１と接続されるように、スイッチ素子ＳＷ１がONされることになる。また同時に、上流側電圧検出手段９１とこの被検査点が接続されるようにスイッチ素子ＳＷ３がONされる。
【００６６】
例えば、図１で示される実施形態では、被検査点Ｐ１を検査対象とする場合、選出手段６が、被検査点Ｐ１に接続する上流側電源供給端子８１と上流側電圧検出端子９１を選出し、これら端子８１、９１のスイッチ素子ＳＷ１とスイッチ素子ＳＷ３をONさせるように促す信号を送信する。この信号を切替手段７が受信することにより、スイッチ素子ＳＷ１とスイッチ素子ＳＷ３が動作することになる。
【００６７】
また、この場合、検査対象の被検査点以外の被検査点Ｐ２〜Ｐ４（残りの被検査点）に対応するスイッチ素子ＳＷ２とスイッチ素子ＳＷ４がONされるように促す信号が送信される。
【００６８】
この選出手段６によって、基板ＣＢの複数の被検査点Ｐから検査対象となる被検査点Ｐが一つずつ選択され、全ての被検査点Ｐに関して絶縁検査が行われることになる。
【００６９】
このように、被検査点Ｐが選出されることにより、絶縁検査を効率良く処理することができる。
【００７０】
この選出手段６が検査対象の被検査点Ｐを選出する場合には、制御手段５２は検査対象の被検査点Ｐの距離情報を記憶手段５１から受け取るとともに、最も被検査点間の距離が小さい距離情報を選択し、この距離情報に応じて電源手段２を調整する。
【００７１】
このため、検査対象間は、検査対象の一つの被検査点Ｐ（第一組）と残り複数の被検査点群（第二組）が形成されるが、この検査対象間の距離は、検査対象の被検査点Ｐとこの検査対象の被検査点と最も近い距離にある被検査点Ｐとの距離情報が用いられることになる。
【００７２】
例えば、図１の基板ＣＢでは、被検査点Ｐ１と3つの被検査点Ｐ２〜Ｐ４によって、検査対象間が形成されるが、被検査点Ｐ１とこの被検査点Ｐ１と最も距離の近い被検査点Ｐ２の距離（ｄ１）が検査対象間の距離情報として用いられることになる。
【００７３】
尚、予め記憶手段５１に、被検査点毎に最も近い距離の被検査点とこの距離を距離情報として記憶させておくこともできる。
【００７４】
切替手段７は、各コンタクトプローブＣＰに導通接続される複数のスイッチ素子ＳＷから構成されている。この切替手段７は、選出手段６からの動作信号により、ON/OFFの動作が制御される。このため、この切替手段７のスイッチング動作により、検査対象となる被検査点の選択を行うことができる。
【００７５】
電源供給端子８は、検査対象間の電圧を供給するために、各被検査点ＰとコンタクトプローブＣＰを介して接続される。
【００７６】
この電源供給端子８は、電源手段２の上流側（正極側）と被検査点を接続する上流側電源供給端子８１と、電源手段２の下流側（負極側）又は検出手段４と被検査点Ｐとを接続する下流側電源供給端子８２を有している。
【００７７】
図１で示される如く、この電源供給端子８の上流側電源供給端子８１及び下流側電源供給端子８２は、保護抵抗Ｒを介して被検査点Ｐに対して設けられている。
【００７８】
これらの上流側電源供給端子８１と下流側電源供給端子８２は、夫々に切替手段７のスイッチ素子ＳＷを有しており、この切替手段７のスイッチ素子ＳＷのON/OFF動作により、接続状態／未接続状態が設定されることになる。
【００７９】
この保護抵抗Ｒは、静電気放電（electro-static discharge）保護用の抵抗である。
【００８０】
電圧検出端子９は、検査対象間の電気的特性を検出するための電圧を検出するために、各被検査点ＰとコンタクトプローブＣＰを介して接続される。
【００８１】
この電圧検出端子９は、電圧検出手段３の上流側（正極側）と被検査点Ｐを接続する上流側電圧検出端子９１と、電圧検出手段３の下流側（負極側）と被検査点Ｐを接続する下流側電圧検出端子９２を有してなる。
【００８２】
図１で示される如く、この電圧検出端子９の上流側電圧検出端子９１及び下流側電圧検出端子９２は、保護抵抗Ｒを介して被検査点Ｐに対して設けられている。
【００８３】
これらの上流側電圧検出端子９１と下流側電圧検出端子９２は、電源供給端子８と同様、夫々に切替手段７のスイッチ素子ＳＷを有しており、この切替手段７のスイッチ素子ＳＷのON/OFF動作により、接続状態／未接続状態が設定されることになる。
【００８４】
電源供給端子８と電圧検出端子９は、図１で示される如く、被検査点Ｐに導通接触する一本のコンタクトプローブＣＰに対して、4つの端子が配置されることになるとともに、各端子のON/OFF制御を行う4つのスイッチ素子ＳＷが備えられることになる。
【００８５】
尚、図１では、上流側電源供給端子８１の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ１とし、上流側電圧検出端子９１の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ３とし、下流側電源供給端子８２の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ２とし、下流側電圧検出端子９２の動作を制御するスイッチ素子を符号ＳＷ４として示している。
【００８６】
表示手段１０は、絶縁検査結果を表示する。この表示手段１０が表示する絶縁検査の表示方法は、例えば、検査を行った基板に対して「良品」又は「不良品」を表示するように機能させることができる。
【００８７】
以上が本発明に係る絶縁検査装置１の構成の説明である。
【００８８】
次に、本発明に係る絶縁検査装置１の動作の説明を行う。
【００８９】
まず、絶縁検査装置１の記憶手段５１に検査対象となる基板ＣＢの全ての被検査点Ｐ間の距離を示す距離情報が記憶される（Ｓ１）。
【００９０】
記憶手段５１に基板ＣＢの被検査点間の距離情報が記憶され、基板ＣＢが検査を行うことのできる検査台（図示せず）に配置される。
【００９１】
このとき、記憶手段５１には、距離情報以外に基板ＣＢの被検査点Ｐを検査するに必要な情報（例えば、被検査点の数情報、その被検査点の位置情報や被検査点の選択順番情報）などがさらに記憶される。
【００９２】
記憶手段５１に距離情報が記憶され、所定の検査位置に基板ＣＢが配置されると、基板ＣＢに対して良不良検査が実施される。
【００９３】
基板ＣＢの検査としては、まず、各被検査点Ｐが設定された配線パターンの導通検査が行われ、被検査点Ｐが設定された配線パターンの導通確認が行われる。この導通検査は、絶縁検査が実施される前に検査されることが好ましい。尚、この導通検査時において、不良が発見された基板ＣＢは不良品として回収され、絶縁検査は行われない。
【００９４】
基板ＣＢの導通検査が行われ、良品として判断された基板ＣＢは、絶縁検査が行われる。
【００９５】
この絶縁検査では、まず、複数の被検査点Ｐから検査対象となる被検査点Ｐが第一組として選択される。また同時に、基板ＣＢの他の残り全ての被検査点Ｐが第二組として選択される（Ｓ２）。
【００９６】
このとき、第一組と第二組の間が、抵抗値を算出するための検査対象間となる。
【００９７】
第一組と第二組の被検査点Ｐが夫々選出されると、まず、第一組の被検査点Ｐに対して、検査対象間に所定の電圧を印加することができるように、スイッチ素子ＳＷの制御が行われる。
【００９８】
例えば、図３では、被検査点Ｐ１が検査対象である第一組として選出された場合を示している。この被検査点Ｐ１に接続されるスイッチ素子ＳＷ１とスイッチ素子ＳＷ３がＯＮとなるように動作される。また一方で、被検査点Ｐ２乃至被検査点Ｐ４に接続されるスイッチ素子ＳＷ２とスイッチ素子ＳＷ４がONとなるように夫々動作される。
【００９９】
次に、選択された第一組の被検査点Ｐ１に関する距離情報が、記憶手段５１から取り出される。この場合、第一組の被検査点Ｐ１と、第二組の被検査点群のうちこの第一組の被検査点Ｐ１と最も近い距離にある被検査点（図３の実施例では被検査点Ｐ２）との距離が距離情報として設定される（Ｓ３）。
【０１００】
尚、この図３で示される場合において、被検査点Ｐ２を第一組として選択した場合、被検査点Ｐ１、被検査点Ｐ３と被検査点Ｐ４が第二組として選択され、距離情報は被検査点Ｐ１の距離ｄ１となる。
【０１０１】
検査対象間の距離情報が決定されると、この距離情報に応じる電圧が選出される（Ｓ４）。
【０１０２】
この電圧は、距離情報に応じて設定されるものであり、記憶手段５１に記憶されることになる。
【０１０３】
検査対象間の電圧が決定されると、この電圧に応じるように電源手段２により検査対象間に絶縁検査のための電圧が印加される（Ｓ５）。
【０１０４】
そして、この検査対象間での絶縁検査が実施される。このとき、第一組と第二組の間で所定の電圧が印加されるように、第一組の被検査点Ｐ１に電流が供給される。次いで、第一組と第二組の間が所定電圧に設定されると、第一組と第二組との検査対象間の電流値を測定する（Ｓ６）。
【０１０５】
検査対象間の電流値が測定されると、所定電圧値とこの電流値により検査対象間の抵抗値が算出される（Ｓ７）。
【０１０６】
検査対象間の抵抗値が算出されると、この抵抗値と絶縁状態の良否を判定する基準値と比較され、絶縁状態の良否が判定される（Ｓ８）。
【０１０７】
このとき、絶縁状態に問題がなければ（良品と判定されれば）、未だ検査対象として第一組に選択されていない被検査点Ｐが第一組として選択され、絶縁検査が実施される。
【０１０８】
そして、基板ＣＢに設けられる全ての被検査点Ｐが検査対象となるまで繰り返し実施される。
【０１０９】
図３では、検査対象の被検査点（第一組に選択された被検査点）を電源手段２の上流側（正極側）に接続して、絶縁検査を行う方法を示しているが、検査対象の被検査点を電源手段２の下流側（負極側）に接続して、絶縁検査を行うようにしてもよい。
【０１１０】
尚、上記にも説明したが、この絶縁検査装置１が行う検査対象の被検査点の順番は、検査対象となる被検査点の距離情報に応じて群に組分け（グループ化）されて行われることもできる。この場合、この群毎に電圧が設定され、この群に所属する被検査点がまず検査対象として絶縁検査され、その後、他の新たなる群に応じる電圧が設定され、この新たなる群に所属する被検査点が検査対象となり絶縁検査されることになる。
【０１１１】
このように、印加される電圧に応じて群分けされることによって、電圧の変化数を低減することができ、検査時間を短縮することが可能となる。
【０１１２】
以上が本発明に係る絶縁検査装置の動作の説明である。
【０１１３】
また、これまでに述べた実施例では、記憶手段に記憶された距離情報に基づき、各被検査点間の距離に応じた電位を与えるとしているが、各被検査点間の距離にそれぞれ応じる電位でなく、特定の被検査点間の距離を基に固定の電位を設定して、絶縁検査を行うてよい方法もある。
【０１１４】
この場合、記憶手段には全ての被検査点間の距離情報を記憶させ、この記憶手段から、被検査点間の距離が最短である距離情報を選出する。そしてし、この最短の距離情報に応じた大きさの電位もしくはこの大きさよりも小さい電位を与えるという方法で絶縁検査することも可能である。
【０１１５】
この方法によっても、被検査点間又は被検査点に接触するコンタクトプローブ間の空中放電を防止することができ、効果的な絶縁検査を行うことができる。電位を与える電源手段の制御の回数を少なくして絶縁検査を行うことができ、検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明に係る絶縁検査装置の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】本発明に係る絶縁検査方法のフローチャートを示す。
【図３】被検査点Ｐ１が検査対象として選択された場合の絶縁検査装置のスイッチングの状態を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１・・・・・絶縁検査装置
２・・・・・電源手段
３・・・・・電圧検出手段
４・・・・・検出手段
５１・・・・記憶手段
５３・・・・算出手段
５４・・・・判定手段
５５・・・・制御手段
Ｐ・・・・・被検査点
ＣＢ・・・・基板
ｄ１〜ｄ３５・被検査点間の距離
【図１】
2008164445.tif 000003
【図２】
2008164445.tif 000004
【図３】
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