(57)【要約】【課題】  露光による感光性レジストの光重合を均一かつ安定的に行うことを可能とする露光装置、カラーフィルターの製造方法、この方法により製造されたカラーフィルターを提供すること。【解決手段】  露光光源と、この露光光源からの露光光を感光性レジスト膜に照射する露光光学系とを具備する露光装置において、前記露光光学系は、前記露光光から選択された第１の輝線波長帯域及び第２の輝線波長帯域を含む複数の輝線波長帯域の少なくとも１つを選択的に透過する光学的分光フィルター、及び前記光学的分光フィルターを通して前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、次いで前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御する制御手段を備えることを特徴とする露光装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光源と、この露光光源からの露光光を感光性レジスト膜に照射する露光光学系とを具備する露光装置において、前記露光光学系は、前記露光光から選択された第１の輝線波長帯域及び第２の輝線波長帯域を含む複数の輝線波長帯域の少なくとも１つを選択的に透過する光学的分光フィルター、及び前記光学的分光フィルターを通して前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、次いで前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御する制御手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記光学的分光フィルターを通して、前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、照射を停止した後、前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記光学的分光フィルターを通して、前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射したまま、前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記光学的分光フィルターは、前記第１の輝線波長帯域を透過する第１のフィルターと、前記第２の輝線波長帯域を透過する第２のフィルターとを備え、前記制御手段は、前記第１及び第２のフィルターを切替えて使用するように制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記光学的分光フィルターは、前記第１の輝線波長帯域を透過する第１のエリアと、第２の輝線波長帯域を透過する第２のエリアとを含み、前記制御手段は、前記第１及び第２のエリアを切替えて使用するように制御することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項６】
前記光学的分光フィルターは、３０２ｎｍ、３６５ｎｍ、４０５ｎｍ、及び全波長帯域を含む複数の波長帯域を選択して透過可能であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】
露光光源からの露光光を、第１の輝線波長帯域及び第２の輝線波長帯域を含む複数の輝線波長帯域を選択可能な光学的分光フィルターを通して、感光性レジスト膜に照射する工程を具備するカラーフィルターの製造方法であって、
光学的分光フィルターにより選択された第１の輝線波長帯域及を感光性レジスト膜に照射し、次いで前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
前記感光性レジスト膜の種類に対応する光学的分光フィルターを用いることを特徴とする請求項７に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれかに記載のカラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、この露光装置を用いたカラーフィルターの製造方法、及びこの方法により製造されたカラーフィルターに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フォトリソグラフィーを用いるカラーフィルターの製造プロセスにおいて、マスクを使用した露光装置が多く採用されている。このような露光装置を用いたフォトリソグラフィーでは、露光される感光性レジストに含まれる光重合開始剤の感光波長と露光光源の輝線波長との関係により、感光性レジストの重合の程度が、膜厚（ｚ）方向において左右される。
【０００３】
そのため、ガラス基板近傍の感光性レジストの光重合が不十分となる場合があり、露光処理後の現像プロセスにおいて、光重合が不十分な感光性レジストの露光部が現像液の侵食を受け、カラーフィルターの画素形状が逆台形となるという問題が発生する。
【０００４】
従来の露光装置においては、露光光源に含まれる輝線波長は通常４００ｎｍ近傍、またはそれ以下の紫外線であり、マクロ的には画素パターンの解像性には十分な範囲の輝線波長帯域を含んでおり、露光時にそれら波長帯域を同時に照射することで画素パターンの解像を行っている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、カラーフィルターは、一般に、一括全面露光法によるパターン露光により形成されることが記載されている。この特許文献１に記載されている方法は、大面積の露光領域を均一な光照度で露光するために、調整マスクを光路上に置くものである。また、逆台形のパターン端部に関する対策としては、現像後に、例えば２３０℃で１時間のポストベークを行うことにより感光性レジストを流動化させ、逆台形の側面の逆テーパーを順テーパーとしている。
【特許文献４】特開平９−８０７５８号公報  しかし、従来の露光装置によると、露光時に露光光源の輝線波長帯域全てを同時に露光しているので、上述したように、露光される感光性レジストの表面側と膜厚（ｚ）方向のガラス基板側での感光性レジストの光重合の程度に差が発生してしまう。
【０００６】
つまり、赤、緑、青の顔料色素を含む感光性レジストを用いてカラーフィルターを製造するための露光においては、各顔料色素に関係無く、同一の露光ランプや光学系、つまり同一の輝線波長帯域の露光光を用いて露光している。ミクロなレベルでは、レジスト毎に光重合に関与する輝線波長帯域が異なるため、感光性レジストの種類ごとに輝線波長帯域を変更する等の制御を行うことが望ましい。
【０００７】
一般に、光源波長に含まれる輝線波長３００ｎｍ〜４００ｎｍのうち、３００ｎｍ側の短波長は感光性レジストの膜表面を多く重合させ、４００ｎｍ側の波長は膜内部を多く重合させる作用を有する。従って、露光の際に露光光源の輝線波長帯域全てを同時に露光すると、感光性レジストの膜表面が先行して露光波長エネルギーを受けるため、それに含まれる３００ｎｍ側の輝線波長により、感光性レジスト表面が早い段階で重合を開始してしまう。
【０００８】
そのため、感光性レジスト表面の重合効果により、膜厚（ｚ）方向下部に、４００ｎｍ側の露光波長エネルギーが到達しない状態が生じ、膜厚下部の感光性レジストの光重合が不十分となる場合がある。
【０００９】
特に、感光性レジストに顔料色素を含む場合は、感光性レジスト自体が光吸収フィルターの役割を果たすため、露光波長帯域の一部が感光性レジストに吸収されることから更に膜厚下部の重合が不十分となってしまう。
【００１０】
その結果、その後の現像処理により画素パターンが膜厚（ｚ）方向で逆台形となるという問題が発生する。そのような逆台形の画素パターンの形状は、ＬＣＤ用のカラーフィルターにおいては、ＬＣＤの表示品位に大きな影響を及ぼすため、その影響を極力小さくする必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、以上のような事情の下になされ、露光による感光性レジストの光重合を均一かつ安定的に行うことを可能とする露光装置、カラーフィルターの製造方法、この方法により製造されたカラーフィルターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、露光光源と、この露光光源からの露光光を感光性レジスト膜に照射する露光光学系とを具備する露光装置において、前記露光光学系は、前記露光光から選択された第１の輝線波長帯域及び第２の輝線波長帯域を含む複数の輝線波長帯域の少なくとも１つを選択的に透過する光学的分光フィルター、及び前記光学的分光フィルターを通して前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、次いで前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御する制御手段を備えることを特徴とする露光装置を提供する。
【００１３】
このような露光装置において、前記制御手段は、前記光学的分光フィルターを通して、前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、照射を停止した後、前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御することができる。あるいは、前記制御手段は、前記光学的分光フィルターを通して、前記第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射したまま、前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御することができる。
【００１４】
また、前記光学的分光フィルターは、前記第１の輝線波長帯域を透過する第１のフィルターと、前記第２の輝線波長帯域を透過する第２のフィルターとを備え、前記制御手段は、前記第１及び第２のフィルターを切替えて使用するように制御することができる。あるいは、前記光学的分光フィルターは、前記第１の輝線波長帯域を透過する第１のエリアと、第２の輝線波長帯域を透過する第２のエリアとを含み、前記制御手段は、前記第１及び第２のエリアを切替えて使用するように制御することができる。
【００１５】
更に、前記光学的分光フィルターは、３０２ｎｍ、３６５ｎｍ、４０５ｎｍ、及び全波長帯域を含む複数の波長帯域を選択して透過可能であるものとすることができる。
【００１６】
本発明の第２の態様は、露光光源からの露光光を、第１の輝線波長帯域及び第２の輝線波長帯域を含む複数の輝線波長帯域を選択可能な光学的分光フィルターを通して、感光性レジスト膜に照射する工程を具備するカラーフィルターの製造方法であって、光学的分光フィルターにより選択された第１の輝線波長帯域及を感光性レジスト膜に照射し、次いで前記第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射することを特徴とするカラーフィルターの製造方法を提供する。
【００１７】
このようなカラーフィルターの製造方法において、前記感光性レジスト膜の種類に対応する光学的分光フィルターを用いることができる。
【００１８】
本発明の第３の態様は、上記カラーフィルターの製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルターを提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、光学的分光フィルターにより、露光光源における輝線波長を選択して露光可能であるので、感光性レジストごとに露光条件設定の自由度が拡大し、最適な露光条件での露光が可能となる。それにより、安定した画素形状のカラーフィルターを製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２１】
本発明の一態様に係る露光装置は、露光光源からの露光光を感光性レジスト膜に照射する露光光学系を具備し、この露光光学系は、露光光から選択された第１の輝線波長帯域及び第２の輝線波長帯域を含む複数の輝線波長帯域の少なくとも１つを選択的に透過する光学的分光フィルター、及び光学的分光フィルターを通して第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、次いで第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するように制御する制御手段を備えることを特徴とする。
【００２２】
第１の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射し、次いで第２の輝線波長帯域を感光性レジスト膜に照射するための方式として、複数種の波長帯域を含む露光光を順次分割して露光照射する（順次分割方式）と、複数種の波長帯域を含む露光光を順次連続して露光照射する（順次連続方式）とがある。
【００２３】
ここで、複数種の波長帯域を含む露光光を順次分割して露光照射する（順次分割方式）とは、最初に被露光体の内部及び裏面に到達して感光性物質を重合させる輝線波長を露光照射して照射を停止し、次いで被露光体の表面側の感光性物質を重合させる輝線波長を露光照射することを言う。また、複数種の波長帯域を含む露光光を順次連続して露光照射する（順次連続方式）とは、最初に被露光体の内部及び裏面に到達して感光性物質を重合させる輝線波長を露光照射したまま、照射を停止せずに途中から被露光体の表面側の感光性物質を重合させる輝線波長を露光照射することを言う。
【００２４】
このように、順次分割方式と順次連続方式のいずれの方式においても、最初に被露光体の内部ないし裏面近傍で感光性物質を重合させる輝線波長を照射することにより、被露光体の内部ないし裏面近傍において感光性物質の重合が行われ、次いで被露光体の表面近傍の感光性物質を重合させる輝線波長を照射することにより、露光体の表面近傍において感光性物質の重合が行われ、その結果、膜厚全体として均一に重合が行われる。露光光源の輝線波長帯域全てを同時に露光した場合には、被露光体の表面近傍の感光性物質の重合により、被露光体の内部ないし裏面まで露光波長エネルギーが到達し難く、膜厚下部の光重合が不十分となってしまう。
【００２５】
以上のような均一な重合を可能とする露光を実現する露光光学系の構成例を図１〜３に示す。
【００２６】
図１に示す露光光学系では、第１の光源１ａと第２の光源１ｂの２つの光源が用いられ、第１の光源１ａの光路に、３０２ｎｍ及び３３５ｎｍの輝線波長帯域を選択する第１の分光フィルター２ａ及び第１のシャッター３ａが配置され、また、第２の光源１ｂの光路に、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を選択する第２の分光フィルター２ｂ及び第２のシャッター３ｂが配置されている。
【００２７】
３０２ｎｍ及び３３５ｎｍの輝線波長帯域は、被露光体の表面側の感光性物質を重合させる作用を有し、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域は、被露光体の内部及び裏面に到達してそこの感光性物質を重合させる作用を有する。このような第１及び第２の分光フィルター２ａ，２ｂを用いた分割露光は、次のようにして行われる。
【００２８】
順次分割方式では、露光時間を５秒とした場合、第１及び第２のシャッター３ａ，３ｂを閉とした状態で、最初に第２のシャッター３ｂを開とし、第２の光源１ｂから第２の分光フィルター２ｂを通して、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を３秒間照射して、第２のシャッター３ｂを閉とすると同時に、第１のシャッター３ａを開とし、第１の光源１ａから第１の分光フィルター２ａを通して、３３５ｎｍ及び３０２ｎｍの輝線波長帯域を４秒目から照射し、５秒後に第１のシャッター３ａを閉とする。
【００２９】
順次連続方式では、露光時間を５秒とした場合、第１及び第２のシャッター３ａ，３ｂを閉とした状態で、最初に第２のシャッター３ｂを開とし、第２の光源１ｂから第２の分光フィルター２ｂを通して、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を３秒間照射し、そのまま第２のシャッター３ｂを開としたまま、第１のシャッター３ａを開とし、第１の光源１ａから第１の分光フィルター２ａを通して、３３５ｎｍ及び３０２ｎｍの輝線波長帯域を４秒目から照射し、５秒後に第１及び第２のシャッター３ａ，３ｂを閉とする。
【００３０】
図２に示す露光光学系では、１つの光源１１が用いられ、この光源１１の光路に、波長切替分光フィルター１２及びシャッター１３が配置されている。波長切替分光フィルター１２は、任意の輝線波長帯域を切り替えて照射することを可能とする。このような波長切替分光フィルター１２を用いた分割露光は、次のようにして行われる。
【００３１】
順次分割方式では、露光時間を５秒とした場合、光源１１から波長切替分光フィルター１２の所定の透過エリアを通して、例えば３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を３秒間照射して、シャッター１３を閉とすると同時に、波長切替分光フィルター１２の透過エリアを切替え、シャッター１３を開とし、例えば３３５ｎｍ及び３０２ｎｍの輝線波長帯域を４秒目から照射し、５秒後にシャッター１３を閉とする。
【００３２】
順次連続方式では、一枚のフィルター内に３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を透過するエリアと、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域と３３５ｎｍ及び３０２ｎｍの輝線波長帯域の双方を透過するエリアとを含み、その間がグラデーションとなっている波長切替分光フィルターを用い、光源１１から波長切替分光フィルター１２の所定の透過エリアを通して、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を３秒間照射した後、そのまま波長切替分光フィルター１２の透過エリアをずらし、３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域と３３５ｎｍ及び３０２ｎｍの輝線波長帯域を４秒目から照射し、５秒後にシャッター１３を閉とする。この場合、分光領域の異なるフィルターを接合して一枚のフィルターとしてもよい。また、切替えは、シャッターと連動させて行っても良い。
【００３３】
図３に示す露光光学系では、１つの光源２１が用いられ、この光源２１の光路に、第１のシャッター２２ａ、第１の分光フィルター２３ａ、第２のシャッター２２ｂ、第２の分光フィルター２３ｃ、第３のシャッター２２ｃ、第４のシャッター２２ｄ、第５のシャッター２２ｅ、反射ミラー２４が順次配置されている。
【００３４】
第１のシャッター２２ａを通過した全波長は、第１の分光フィルター２３ａにおいて３０２ｎｍの輝線波長帯域を透過し、残りの波長を反射し、第１の分光フィルター２３ａを反射した波長の光は、第２のシャッター２２ｂを通過し、第２の分光フィルター２３ｂにおいて３６５ｎｍの輝線波長帯域を反射し、残りの波長を透過し、第２の分光フィルター２３ｂを透過した波長の光は、第３のシャッター２２ｃを通過し、反射ミラー２４においてすべてが反射され、光学系に導かれる。参照符号２５は、第１の分光フィルター２３ａ及び第２の分光フィルター２３ｂで分光されずに残った全波長を示す。
【００３５】
このような露光光学系では、第２、第３、第４及び第５のシャッター２２ｂ，２２ｃ、２２ｄ、２２ｅを適宜制御することにより、３０２ｎｍの輝線波長帯域及び３６５ｎｍの輝線波長帯域を独立して、若しくは双方とも、又は３０２ｎｍの輝線波長帯域及び３６５ｎｍの輝線波長帯域を除く波長を組合わせて、被露光基板に照射することができる。
【００３６】
この場合の第１及び第２の分光フィルター波長は一例であり、感光性レジストに合わせて任意に選定できるものとする。
【００３７】
以上のいずれの露光光学系においても、必要な露光時間内に、必要な輝線波長帯域を、必要な順序で切替できるように、ソフトウエアで制御することができる。その結果、最初に感光性レジスト膜の下部近傍を重合させ、次いで感光性レジスト膜の表面近傍を重合させることが可能となり、最初に感光性レジスト膜の表面近傍を重合させることにより下部近傍の重合が不十分となって、逆台形状の画素パターンが形成されることを効果的に防止することが可能となる。
【００３８】
なお、カラーフィルターは、複数の着色層を備え、例えば、赤色感光性レジストを露光、現像することにより赤色着色層を形成し、緑色感光性レジストを露光、現像することにより緑色着色層を形成し、青色感光性レジストを露光、現像することにより青色着色層を形成することにより得ることができる。この場合、色、つまりは顔料による露光光の吸収波長及び感光性レジストに含まれる重合開始剤の有する感度波長との相関により重合し易い波長が決まる。赤色感光性レジスト、緑色感光性レジスト、及び青色感光性レジストの吸光度及び残膜感度の一例を図４、図５、及び図６にそれぞれ示す。
【００３９】
吸光度は透過し易さを示し、吸光度が低いほど透過し易く、感光性レジスト膜の内部及び下層部が重合し易い。残膜感度もまた、感光性レジストが重合し易い程度を示す。
【００４０】
図４に示すように、本例の赤色感光性レジストは、４０５ｎｍの光により最も重合し易く、本例の緑色感光性レジストは、３３５ｎｍの光により最も重合し易く、本例の青色感光性レジストは、４０５ｎｍの光により最も重合し易い。したがって、露光に際しては、これらの重合し易い波長を選択するように、分光フィルターを選定する必要がある。
【００４１】
実施例
所定の前処理を施したガラス基板表面に、光重合開始に関与する重合開始剤の輝線波長が３０２ｎｍ、３３５ｎｍ、３６５ｎｍ、４０５ｎｍにある赤色感光性レジストを、膜厚１〜２．５μｍの範囲で塗布し、露光前に必要な処理プロセスを経た後、露光処理を行う。
【００４２】
必要とされる露光時間で、始めの５０％の露光時間に３６５ｎｍ及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を順次又は同時に加算するように赤色感光性レジストを露光し、残りの５０％の露光時間に、次のいずれかの露光を行う。
【００４３】
（１）３０２ｎｍ及び３３５ｎｍの輝線波長帯域を順次又は同時に加算するように露光する。
【００４４】
（２）３０２ｎｍ、３３５ｎｍ、３６５ｎｍ、及び４０５ｎｍの輝線波長帯域を同時に露光する。
【００４５】
（３）露光光源に含まれる全ての波長帯域で露光する。
【００４６】
以上のいずれの露光も、露光時間１００％合計の露光エネルギーが８０〜３００ｍｊとなるように行う。
【００４７】
次いで、露光後の赤色感光性レジストを現像処理し、赤色画素を形成する。
【００４８】
次に、必要な前処理を施したガラス基板に光重合開始に関与する重合開始剤の輝線波長が３０２ｎｍ、３３５ｎｍ、３６５ｎｍにある緑色感光性レジストを膜厚１〜２．５μｍの範囲で塗布し、露光前に必要な処理プロセスを経た後、露光処理を行う。
【００４９】
必要とされる露光時間で始めの５０％の露光時間に３６５ｎｍの輝線波長帯域を順次又は同時に加算するように露光し、残りの５０％の露光時間に３０２ｎｍ、３３５ｎｍの輝線波長帯域を加算するように露光し、合計の露光エネルギーが８０〜３００ｍｊとなるようにする。
【００５０】
そして、露光後の緑色感光性レジストを現像処理し、緑色画素を形成する。
【００５１】
次に、所定の前処理を施したガラス基板表面に、光重合開始に関与する重合開始剤の輝線波長が３０２ｎｍ、３１２ｎｍ、３３５ｎｍ、３６５ｎｍ、４０５ｎｍにある青色感光性レジストを膜厚１〜２．５μｍの範囲で塗布し、露光前に必要な処理プロセスを経た後、露光処理を行う。
【００５２】
必要とされる露光時間で始めの３０％の露光時間に４０５ｎｍの輝線波長帯域を順次又は同時に加算するように露光し、次の３０％の露光時間に３６５ｎｍの輝線波長帯域を加算するように露光し、残りの４０％の露光時間に３０２ｎｍ、３１２ｎｍ、３３５ｎｍの輝線波長帯域を加算するように露光し、合計の露光エネルギーが８０〜３００ｍｊとなるようにする。
【００５３】
露光後の青色感光性レジストを現像処理し、青色画素を形成する。
【００５４】
以上のように形成した各赤色、緑色、青色の画素の断面形状を観察したところ、逆台形ではなく、所望の台形形状であった。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態に係る露光装置の露光光学系の一例を示す図。
【図２】本発明の一実施形態に係る露光装置の露光光学系の一例を示す図。
【図３】本発明の一実施形態に係る露光装置の露光光学系の一例を示す図。
【図４】赤色感光性レジストの吸光度曲線と各波長における残膜感度の相関を示す特性図。
【図５】緑色感光性レジストの吸光度曲線と各波長における残膜感度の相関を示す特性図。
【図６】青色感光性レジストの吸光度曲線と各波長における残膜感度の相関を示す特性図。
【符号の説明】
【００５６】
１ａ…第１の光源、１ｂ…第２の光源、２ａ，２３ａ…第１の分光フィルター、２ｂ，２３ｂ…第２の分光フィルター、３ａ，２２ａ…第１のシャッター、３ｂ，２２ｂ…第２のシャッター、１１、２１…光源、１２…分光フィルター、１３…シャッター、２２ｃ…第３のシャッター、２２ｄ…第４のシャッター、２２ｅ…第５のシャッター、２４…反射ミラー、２５…第１の分光フィルター２３ａ及び第２の分光フィルター２３ｂで分光されずに残った全波長。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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