(57)【要約】【課題】高品位なカラー共焦点画像を取得可能な光学装置を提供する。【解決手段】光学装置１は、照明光を出射する照明光源２と、照明光源から出射された光を共焦点用微小開口３４ａを介して被検物８に照射し、被検物８で反射され共焦点用微小開口を通過した通過光を得る共焦点光学系３と、共焦点光学系３において得た通過光を検出する光検出部４と、光検出部４から通過光の検出データを読み込んで処理する処理部５０とを備える。照明光源２は三色の単色光を出射可能に構成され、光検出部４はモノクロームの構成である。処理部５０は、照明光源が出射した三色の単色光ごとに光検出部４から読み込んだ検出データを合成して被検物８のカラーの像を得るように構成される。【選択図】図１
2008032951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を出射する照明光源と、
前記照明光源から出射された前記照明光を共焦点用微小開口を介して被検物に照射し、前記被検物で反射され前記共焦点用微小開口を通過した通過光を得る共焦点光学系と、
前記共焦点光学系において得られた前記通過光を検出する光検出部と、
前記光検出部から前記通過光の検出データを読み込んで処理する処理部とを備え、
前記照明光源は三色の単色光を出射可能に構成され、
前記処理部は、前記照明光源が出射した前記三色の単色光ごとに前記光検出部から読み込んだ前記検出データを合成して、前記被検物のカラーの像を得るように構成したことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記被検物に対する前記共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部を備え、
前記処理部は、前記照明光源が出射した前記三色の単色光それぞれについて、前記変位部により前記共焦点光学系の焦点位置を変位させた複数の位置で前記光検出部から前記検出データを読み込んで取得し、当該複数の各位置において取得された前記三色の単色光の検出データを合成して前記カラーの像を得るように構成したことを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記被検物に対する前記共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部を備え、
前記処理部は、前記変位部により前記共焦点光学系の焦点位置を変位させながら、前記照明光源から前記三色の単色光を順次出射させる出射作動と前記光検出部から検出データを読み込んで取得する取得作動とを同期させて時分割の単色光の検出データを取得し、取得された前記単色光の検出データを合成して前記カラーの像を得るように構成したことを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記三色の単色光の波長の相違に基づいて生じる前記検出データの前記光軸方向の位置の差異を、予め設定された設定値に基づいて補正するように構成したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光学装置。
【請求項５】
前記共焦点光学系は、前記共焦点用微小開口が円盤上に多数設けられ回転駆動されるディスクと前記ディスクを介して前記被検物を照明する光源とを備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共焦点光学系を備え被検物の表面形状を観察する光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
共焦点光学系を備え被検物の表面形状を観察する光学装置として、例えば、半導体ウェハ基板や、集積素子(ＩＣ)、液晶表示パネルなどの微細パターンを検査する共焦点顕微鏡やエリア高さ測定機などの検査装置がある。これらの検査装置に用いられる共焦点光学系は、照明光を共焦点用微小開口を介して被検物に照射し、被検物からの反射光(点像)を再び共焦点用微小開口を通過させて観測する。共焦点光学系の焦点位置を被検物の表面近傍に設定して焦点位置を光軸方向に相対変位させると、被検物からの反射光のうち共焦点用微小開口を通過する反射光（通過光）の光強度が増減し、焦点位置が被検物の表面と一致したときに通過光の光強度が最大になる。
【０００３】
このため、共焦点光学系を備えた検査装置では、視野範囲の中で共焦点光学系の焦点位置と合致した合焦領域のみを表示したシャープな二次元の像（共焦点像）を得ることができる。また、複数の高さ位置で共焦点像を取得し、これを合成することにより視野範囲全体が合焦状態の画像（全焦点画像）を表示させたり、得られた二次元の像及び高さデータを処理して三次元の立体画像を表示させることができる。
【０００４】
ここで、上記のような検査装置として、従来から白色光源とカラーの撮像素子（三色ＣＣＤ）を用いたカラー共焦点の検査装置が知られている。ところが、カラーの撮像素子はモノクロの撮像素子と比べて一般的に感度やＳ/Ｎ比が低く、被検物の反射率の影響を受けやすい。また、色収差の存在により高品位の共焦点像を得ることが難しく、理想的な共焦点用微小開口よりも径を大きくする等の対応が必要となる。このようなことから、共焦点光学系を用いた検査装置の中でも高い精度で高さ測定を行うものは、照明光として単色光を用いモノクロームの撮像素子で撮像するように構成される。レーザ光を走査して高さ測定を行うスキャニング方式の共焦点顕微鏡も知られているが、光源が単色光である点において同様である。一方、高精度の検査装置においても、被検物の表面状態を観察する際には、モノクロ画像よりも視覚的に認識容易なカラー画像を望まれることが多い。このため、単色で得られた共焦点像を擬似的にカラー表示する方法が種々考案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−５６４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、モノクローム構成の共焦点光学系で被検物の高さ測定を行い、共焦点像をカラー表示する従来の検査装置には、以下のような問題があった。例えば、全焦点画像のうち高さが高い領域を赤色、低い領域を青色のように、高さに応じて赤色〜青色の複数色に分けて表示する表示方法では、被検物の各部が現実と全く異なった色彩で表示される。このため、被検物の形状が複雑なパターンになると分かりにくいという問題や、同一高さにある領域が現実の材質や色彩の相違に拘わらず全て同一色で表示されるため、判読するのが容易でないという問題があった。
【０００７】
また、共焦点光学系で得た共焦点像に、一般的な明視野光学系で撮像された色彩情報を合成してカラー画像を表示する検査装置では、例えば領域内に段差がある場合に、合焦位置の色彩情報とピンぼけした位置の色彩情報とが混じり合って合成されることとなり、正確性に欠けるという問題があった。すなわち、このような方法で得られるカラー画像は、あくまでも擬似的に色彩を付加した色付きの共焦点画像にすぎず、厳密なカラーの共焦点画像ではなかった。
【０００８】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、高品位なカラーの共焦点画像を取得可能な光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的達成のため、請求項１に係る発明は、照明光を出射する照明光源と、照明光源から出射された照明光を共焦点用微小開口を介して被検物に照射し、被検物で反射され共焦点用微小開口を通過した通過光を得る共焦点光学系と、共焦点光学系において得られた通過光を検出する光検出部と、光検出部から通過光の検出データを読み込んで処理する処理部とを備え、照明光源は三色の単色光を出射可能に構成され、処理部は、照明光源が出射した三色の単色光ごとに光検出部から読み込んだ検出データを合成して、被検物のカラーの像を得るように光学装置を構成する。
【００１０】
請求項２に係る発明は、請求項１の光学装置において、被検物に対する共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部を備え、処理部は、照明光源が出射した三色の単色光それぞれについて、変位部により共焦点光学系の焦点位置を変位させた複数の位置で光検出部から検出データを読み込んで取得し、当該複数の各位置において取得された三色の単色光の検出データを合成してカラーの像を得るように構成される。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項１の光学装置において、被検物に対する共焦点光学系の焦点位置を光軸方向に変位させる変位部を備え、処理部は、変位部により共焦点光学系の焦点位置を変位させながら、照明光源から三色の単色光を順次出射させる出射作動と光検出部から検出データを読み込んで取得する取得作動とを同期させて時分割の単色光の検出データを取得し、取得された単色光の検出データを合成してカラーの像を得るように構成される。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれかの光学装置において、処理部は、三色の単色光の波長の相違に基づいて生じる検出データの光軸方向の位置の差異を、予め設定された設定値に基づいて補正するように構成したことを特徴とする。
【００１３】
請求項５に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれかの光学装置において、共焦点光学系は、共焦点用微小開口が円盤上に多数設けられ回転駆動されるディスクとディスクを介して被検物を照明する光源とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、モノクロームの光検出部を用いて高品位なカラーの共焦点画像を取得可能な光学装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。本発明を適用した光学装置の一例として、被検物表面の微細形状を観測する検査装置１の概要構成を図１に示しており、まずこの検査装置１の構成について説明する。
【００１６】
検査装置１は、照明光学系２と、照明光源から出射された照明光を共焦点ピンホール（共焦点用微小開口）３４ａを介して被検物８に照射し、被検物８で反射され共焦点ピンホールを通過した通過光を得る共焦点光学系３と、共焦点光学系３において得た通過光を検出する撮像装置（光検出部）４と、撮像装置４から検出データを読み込んで処理する処理装置（処理部）５０を含み各部の作動制御を行う制御装置５とを有して構成される。
【００１７】
照明光学系２は、共焦点光学系３の側方に位置し、偏光ビームスプリッタ２３から側方に延びる光軸上に、コンデンサレンズ２２と照明光源２１を有して構成される。共焦点光学系３は、被検物８から上方に延びる光軸上に並んで、１／４λ板３１、第１対物レンズ３２、第２対物レンズ３３、ピンホールディスク３４、偏光ビームスプリッタ２３、リレーレンズ３５を有して構成され、撮像装置４はリレーレンズ３５の結像位置に設けられた撮像カメラ４１を有して構成される。被検物８はステージ７に載置されて共焦点光学系３の下方に配置されている。なお、照明光源２１及び撮像カメラ４１については後に詳述する。
【００１８】
照明光源２１から出射された光線はコンデンサレンズ２２で平行光に変換され、偏光ビームスプリッタ２３に入射する。偏光ビームスプリッタ２３は、入射した光のうちＰ偏光成分を透過し、Ｓ偏光成分を反射する機能を有しており、反射したＳ偏光の照明光がピンホールディスク３４の上面に照射される。
【００１９】
ピンホールディスク３４は、薄い円板状をなし、反射防止処理が施された遮光性の薄膜に、光を透過する共焦点ピンホール３４ａが多数螺旋状に配列されて形成されている（このような構成のピンホールディスクはニッポウディスクとも称される）。ピンホールディスク３４は、偏光ビームスプリッタ２３で反射された照明光を遮るように、共焦点光学系３の光軸に対して直交して配置される。ピンホールディスク３４はモータ３４ｍにより所定の回転速度で回転されており、共焦点ピンホール２４ａを通過した照明光が第２対物レンズ３３及び第１対物レンズ３２を介してステージ７に載置された被検物８に共焦点ピンホール３４ａの像（点像）として集光照射される。なお、図１では２つの共焦点ピンホール３４ａを例示している。
【００２０】
被検物８に集光照射された共焦点ピンホール３４ａの像は、被検物８の表面（以下、「物体面Ｏ」と称する）で反射されて再び第１対物レンズ３２に入射し、この第１対物レンズ３２及び第２対物レンズ３３により集光されてピンホールディスク３４の下面に被検物８の表面の像をつくり、共焦点ピンホール３４ａを通過する。ここで、共焦点ピンホール３４ａを通過した反射光（前記同様に「通過光」という）は、偏光ビームスプリッタ２３によりＳ偏光とされた照明光が１／４λ板２１を２回透過することでＰ偏光に変換されており、偏光ビームスプリッタ２３を透過してリレーレンズ３５により集光され、撮像カメラ４１の撮像面に共焦点ピンホール３４ａの反射像として結像する。
【００２１】
なお、１／４λ板２１と偏光ビームスプリッタ２３とを設け、反射光の偏光成分（Ｐ偏光の光）を撮像カメラ４１に撮影させるように構成することにより、微弱な光強度の反射光を全量透過させる一方、偏光ビームスプリッタ２３よりも被検物側に位置する光学部材の表面反射によるフレア光を遮断することができ、これによりクリアな共焦点像を得ることができる。
【００２２】
そして、多数の共焦点ピンホール３４ａが形成されたピンホールディスク３４をモータ３４ｍにより所定の速度で高速回転させることにより、各共焦点ピンホール３４ａを通過した照明光がスポット光として被検物８の物体面Ｏをスキャンすることとなり、この共焦点ピンホール３４ａを通過した被検物８の反射像（共焦点像）を撮像カメラ４１で撮影し、制御装置５内の処理装置５０で処理することにより、被検物８の各部の高さ情報を含んだ共焦点画像を得ることができる。
【００２３】
すなわち、共焦点光学系３では、物体面Ｏ（被検物の表面）が対物レンズ３２，３３の焦点面の高さ位置にあるときに、反射光がピンホールディスク３４のピンホール形成面に結像し、反射光のほぼ全量が共焦点ピンホール３４ａを通過するが、物体面Ｏが対物レンズ３２，３３の焦点面の高さ位置からわずかでもずれると、反射光はピンホール形成面に結像せず、一部しか共焦点ピンホール３４ａを通過することができない。従って、所定の高さ位置における共焦点像を撮像カメラ４１で撮影することにより、焦点面が物体面Ｏと一致した合焦部分の輝度が高く他が暗いシャープな共焦点画像を取得することができる。
【００２４】
また、被検物８及び共焦点光学系３（例えば第１対物レンズ３２）の少なくともいずれか一方を光軸方向（高さ方向）に変位させて、物体面Ｏに対する焦点面の高さを相対変位させ、このとき撮像カメラ４１に到達する通過光の強度がピークとなる高さ位置を、撮像カメラ４１の画素ごとに求めることにより、各画素に対応する被検物各部の高さ位置を高精度に検出することができる。そして、複数の高さで撮像カメラ４１により撮影した共焦点画像の画像データから、各画素に対応する輝度を積算した画像を合成することにより、撮影範囲全体が合焦状態の共焦点画像（全焦点画像）を得ることができる。なお、適宜ブラックレベルのオフセット等を行うことが望ましい。
【００２５】
本実施形態の検査装置１では、ステージ７がステージ駆動部３７により光軸方向に昇降作動される形態としており、制御装置５が、ステージ駆動部３７の作動を制御して被検物８が載置されたステージ７を変位させるとともに、複数の高さで撮像カメラ４１に共焦点像を撮影させて、得られた複数の共焦点画像の画像データから画素ごとに輝度を積算して、撮影範囲全体が合焦状態の共焦点画像（全焦点画像）を得るように構成している。
【００２６】
なお、本構成の検査装置１では、多数の共焦点ピンホールが形成されたピンホールディスク３４を所定の速度で高速回転させて複数のスポット光が被検物８をスキャンする構成のため、被検物８の複数のポイントを同時に測定することができる。また、Ｘ，Ｙ方向のガルバノミラー等の複雑な機構構成を用いない簡明な構成で、長期信頼性の高い高さ検出光学系を構成できる。
【００２７】
このように概要構成される検査装置１において、照明光源２１は三色の単色光を出射可能に構成され、撮像カメラ４１はモノクロームの構成になっている。
【００２８】
図示する照明光源２１は、白色光を出射する光源２１０と、円盤を角度方向に３分割した各領域にＲ(赤),Ｇ(緑),Ｂ(青)の波長をそれぞれ選択的に透過させるバンドパスフィルタを設けたフィルタ２１２と、フィルタ２１２を回動させるモータ２１３、フィルタの角度位置を検出して出射される単色光の色彩を検出するフィルタセンサ２１４などからなり、フィルタ２１２をモータ２１３により回動してＲ,Ｇ,Ｂいずれかのバンドパスフィルタを照明光の光軸上に位置させることで、赤色,緑色,青色の単色光を出射可能に構成されている。なお、このような構成に代えて、Ｒ,Ｇ,Ｂ各色の発光ダイオードを用い、その発光を制御するように構成しても良い。
【００２９】
撮像カメラ４１は、例えば、モノクロームのＣＣＤ（個体撮像素子）を用いた白黒の撮像カメラを用いて構成することができ、これにより、カラーの撮像カメラよりも高感度かつ高Ｓ／Ｎ比の特性を利用して高精度の測定を行うことができる。なお、撮像カメラは個体撮像素子を用いたカメラに限らず撮像管を用いるものであっても良い。
【００３０】
次に、検査装置１において、画像撮影の処理を行う処理装置５０のブロック図を図２に示しており、以下これらの両図を含めて参照しながら処理装置の構成、及び検査装置１の作動について説明する。
【００３１】
処理装置５０は、ＣＰＵ５１、ステージ駆動部３７の作動を制御する駆動制御部５２、撮像カメラ４１から入力された画像データを記憶する画像データ記憶部５３、画像データ記憶部５３に記憶された画像データから合焦部分のデータを抽出する画像データ抽出部５４、抽出された単色の画像データを合成してカラーの共焦点画像を生成する画像合成部５５などから構成される。
【００３２】
処理装置５０には、撮像カメラ４１から画像データが入力され、ステージ駆動部３７からステージ７の光軸方向位置すなわち被検物８に対する焦点面の高さデータが入力されている。また処理装置５０には画像合成部において合成された共焦点画像を出力する出力部５６が設けられ、液晶表示パネルやＣＲＴ等の画像表示装置６１、プリンタ６２等に出力される。
【００３３】
共焦点画像の取得処理が開始されると、処理装置５０は、まず照明光源２１におけるフィルタ２１２を第１の単色光の角度位置、例えばＲ(赤)のバンドパスフィルタが照明光の光軸上に位置するように制御してフィルタ２１２を固定し、照明光源２１から赤色の単色光が出射されるように設定する。そして駆動制御部５２からステージ駆動部３７に指令信号を出力してステージ７の移動を開始させ、画像データの取得開始位置から順次予め設定された所定の高さ間隔ごとに撮像カメラ４１から共焦点像の画像データを読み込んで、各高さ位置の赤色照明での画像データを画像データ記憶部５３に記憶させる。
【００３４】
第１の単色光照明による画像データの取得が、予め設定された所定の高さ範囲（あるいは所定枚数）について終了すると、処理装置５０は、フィルタ２１２の角度位置設定を第２の単色光の角度位置、例えばＧ(緑)のバンドパスフィルタを照明光の光軸上に位置させて固定し、照明光源２１から緑色の単色光が出射されるように設定する。そして第１の単色光照明と同様にステージ７を移動させて同一位置、同一間隔で撮像カメラ４１から画像データを読み込み、各高さ位置の緑色照明での画像データを画像データ記憶部５３に記憶させる。第３の単色光Ｇ(青)についても同様の処理を行い、各高さ位置の青色照明での画像データを画像データ記憶部５３に記憶させる。こうして、三回のスキャンにより三色の単色光照明における画像データの取得が終了すると、処理装置５０は画像データ記憶部５３に記憶された各画像データから、全焦点のカラー画像の合成処理を行う。
【００３５】
ここで、撮像カメラ４１から読み込まれ画像データ記憶部５３に記憶された画像データは、撮像カメラ４１の撮像素子を構成する多数の画素をインターレース走査した信号であり、各画素ごとに検出される反射光の強度に比例した輝度信号の集合体である。従って同一の画素について、画像データ記憶部に記憶された複数枚の画像データから輝度を積算した積算画像を求めることにより、当該画素が撮影した被検物の微細部分の合焦画像データを抽出することができる。
【００３６】
このため、処理装置５０では、画像データ抽出部５４において、画像データ記憶部５３に記憶された複数の画像データから積算画像を求める。この抽出処理は照明光の各色ごとに行われる。これにより、各照明光の色ごとに撮影範囲の全域が合焦状態の共焦点画像の画像データが生成される。
【００３７】
そして、各単色の共焦点画像データが、画像合成部５５において合成され、カラーの共焦点画像が生成される。ここで、各色の共焦点画像データは、照明光の波長の相違から軸上色収差の影響を受けて高さ方向にシフトする。このシフト量は、共焦点光学系３を構成する各レンズの材質や組み合わせによって異なる。検査装置１では、色に対してニュートラルでありかつ十分に平面度の高い基準鏡面を用いて反射像を撮影することにより、全画素の高さ情報が予め取得される。そして、各色ごとに撮像範囲内の像面湾曲成分の補正量、各色ごとの相対的な高さ位置のシフト量、撮像素子における各色の受光感度の補正量が求められ、これらが補正値として処理装置内のメモリにパラメータ設定されている。
【００３８】
このため、画像合成部５５では、三色の共焦点画像データを合成する際に、設定された各補正値を用いて画像データが補正され、これらの影響が除去されて、撮像範囲全体が合焦状態のカラーの共焦点画像（全焦点画像）が生成される。またカラーの画像合成の際に、いわゆるホワイトバランスの調整が可能になっており、Ｇ(緑)の画像データに対するＢ(青)、Ｒ(赤)の混合時のゲイン設定ができるようになっている。なお、公知の適切なアルゴリズムを用いてホワイトバランスの自動調整を行うように構成しても良い。
【００３９】
生成されたカラーの全焦点画像は、出力部５６から出力され、ＣＲＴや液晶表示パネル等の画像表示装置６１に表示される。このようにして生成されたカラーの全焦点画像は、被検物８の現実の色彩で表示されるカラー画像であり、かつ全ての画像データが共焦点光学系３を用いて取得された厳密な高精細のカラー共焦点画像である。
【００４０】
次に、第２実施形態の検査装置１′について説明する。この検査装置１′は、図１と同様の概要構成図を図３に示すように、照明光源２１′と処理装置５０による処理のみが前述した検査装置１と相違し、他の構成は同様であるため、同一部分について同一番号を付して重複説明を省略し、処理装置５０による処理を中心として詳細に説明する。
【００４１】
検査装置１′における照明光源２１′は、それぞれＲ(赤),Ｇ(緑),Ｂ(青)の波長の光を出射する各単色の発光ダイオード２１５（２１５Ｒ，２１５Ｇ，２１５Ｂ）からなり、各発光ダイオードの点滅タイミングが処理装置５０により制御される。
【００４２】
共焦点画像の取得処理が開始されると、処理装置５０は、駆動制御部５２からステージ駆動部３７に指令信号を出力してステージ７の移動を開始させる。また撮像カメラ４１のインターレース走査のタイミングに同期してＲ(赤),Ｇ(緑),Ｂ(青)の各色の発光ダイオード２１５Ｒ，２１５Ｇ，２１５Ｂを順次点灯させる。具体的には、撮像カメラ４１の１フレームごとに赤色の発光ダイオード２１５Ｒ、緑色の発光ダイオード２１５Ｇ、青色の発光ダイオード２１５Ｂを順に発光させる。
【００４３】
そして、画像データの取得開始位置に到達したときに、撮像カメラ４１から入力されている画像データを読み込み、１フレームごとの、Ｒ(赤)の単色光照明による共焦点像の画像データ、Ｇ(緑)の単色光照明による共焦点像の画像データ、Ｂ(青)の単色光照明による共焦点像の画像データを、それぞれ画像データ記憶部５３に記憶させる。すなわち、各色の画像データは、所定高さ位置において時分割された単色の共焦点像の画像データである。      
【００４４】
処理装置５０は、ステージ７を移動させながら上記画像取得を順次所定の高さ間隔ごとに繰り返して行い、各高さ位置において時分割された赤色,緑色,青色の各単色照明での画像データを画像データ記憶部５３に記憶させる。こうして、一回のスキャンで三色の単色光照明における画像データの取得が終了すると、処理装置５０は画像データ記憶部５３に記憶された各画像データから、全焦点のカラー画像の合成処理を行う。
【００４５】
ここで、画像データ記憶部５３に記憶された各画像データは、データ構造上の記録領域が各色ごとの時系列か、各色が順時繰り返される時分割かの違いがあるが、記憶されている画像データ自身は同様である。従って離散的に記憶された各色ごとの画像データから同一の画素について、輝度信号が最大のデータを抽出することにより、前述した実施形態と同様に、各画素が撮影した被検物の微細部分の合焦画像データを抽出することができる。
【００４６】
処理装置５０では、画像データ抽出部５４において、画像データ記憶部５３に記憶された複数の画像データから各色ごとの画像データを読み出し、各画素ごとに輝度信号が最大のデータを抽出する。これにより、各照明光の色ごとに撮影範囲の全域が合焦状態の共焦点画像の画像データが生成される。そして、各単色の共焦点画像データを、画像合成部５５において前述同様に合成し、カラーの共焦点画像を生成させる。
【００４７】
従って、本構成の検査装置１′によって得られたカラーの全焦点画像も、前述した実施形態の検査装置１によって得られたカラーの全焦点画像と同様に、被検物８の現実の色彩で表示されるカラー画像であり、かつ全ての画像データが共焦点光学系３を用いて取得された厳密な高精細のカラー共焦点画像である。さらに、本構成の検査装置１′では、観察範囲を１スキャンさせるだけで三色の単色光照明による共焦点像の画像データが取得されるため、処理時間を短縮して短時間でカラーの全焦点画像を取得することができる。なお所定の高さ位置ごとにステージの移動を停止させて三色の画像データを順次取得する作動形態、ステージの移動を停止させることなく三色の画像データを順次取得してステージの移動に伴う高さ方向の補正を行う作動形態のいずれであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施形態の光学装置の概要構成図である。
【図２】上記検査装置における処理装置のブロック図である。
【図３】本発明の第２実施形態の光学装置の概要構成図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  検査装置（光学装置）                      ２  照明光学系（照明光源）
３  共焦点光学系                              ４  撮像装置（光検出部）
８  被検物                ３４ｍ  共焦点ピンホール（共焦点用微小開口）
３７  ステージ駆動部（変位部）                ５０  処理装置（処理部）
【図１】
2008032951.tif 000003
【図２】
2008032951.tif 000004
【図３】
2008032951.tif 000005