(57)【要約】【課題】液晶セルに液晶を注入する際に、液晶の組成変化を抑止しつつ、短時間で液晶セルに液晶を注入することができる液晶注入装置を提供する。【解決手段】吊り下げアーム部２２は、キャリア２３を支持する。キャリア２３には、開口部が下方を向くように配置された空セル５１が挿入されている。シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じた状態で、ヒータ２１は、加温室２０を加熱する。また、第１真空ポンプ６１および第２真空ポンプ７１は、それぞれ加温室２０、注入室３０を真空状態にする。その後、シャッタ４０ａ，４０ｂが開き、吊り下げアーム部２２がキャリア２３を注入室３０に移動させ、キャリア２３を開放する。載置アーム部３１は、そのキャリア２３を支持する。吊り下げアーム部２２が加温室２０に戻り、シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じた後、第２気体供給バルブ７４は、注入室３０内の気圧を大気圧に戻す。【選択図】図１
2008032890.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置であって、
中空空間を有するチャンバと、
前記中空空間を第１室および第２室に区切る開閉可能なシャッタと、
第１室を加熱する加熱手段と、
液晶セルを保持する保持部材を支持し、第１室から第２室に保持部材を移動させて保持部材を開放する保持部材移動手段と、
保持部材移動手段によって開放された保持部材を支持する保持部材支持手段と、
第２室で液晶を収容する液晶収容手段と、
第１室内の気体を排出する第１気体排出手段と、
気体が排出された第１室内の気圧を大気圧に戻す第１気圧上昇手段と、
第２室内の気体を排出する第２気体排出手段と、
気体が排出された第２室内の気圧を大気圧に戻す第２気圧上昇手段とを備えた
ことを特徴とする液晶注入装置。
【請求項２】
チャンバは、第１室の壁面および第２室の壁面にそれぞれ開閉可能な扉を有する
請求項１に記載の液晶注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶セルの内部に液晶を注入する液晶注入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶セルは、２枚の透明基板間およびシール材によって液晶を封止する。このような液晶セルを作製する場合、まず液晶が注入されていない液晶セル（以下、空セルと記す。）に液晶を注入し、注入口を閉じる。図８は、空セルの例を示す説明図である。空セル５１は、電極（図示せず。）が設けられた透明基板１０２，１０３の外周等にシール材１０４を塗布し、透明基板１０２，１０３を重ね合わせることによって作製される。この結果、空セル５１は、液晶が注入される中空空間１０５を有する。また、シール材１０４には、液晶の注入口となる開口部１０６が設けられる。
【０００３】
この空セル５１に液晶を注入する場合、空セル５１の雰囲気を真空状態とし、空セル５１の開口部１０６を液晶中に浸す。そして、空セル５１および液晶の雰囲気を大気圧に戻すことで、中空空間１０５に液晶を注入することができる。ただし、空セルの雰囲気を真空にし、その後、雰囲気を大気圧に戻すだけでは、液晶の注入に要する時間がかかる。
【０００４】
また、液晶と空セルとをチャンバ内に収め、チャンバ内を真空にするだけでなく、液晶および空セルに対して加熱処理を行い、その後、空セルを液晶に浸してチャンバ内を大気圧に戻す液晶注入装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。液晶および空セルに対して加熱処理を行うことで、液晶の粘性が低下し、液晶を空セルに注入する時間を短縮することができる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−５２００号公報（段落００１０−００２２、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、液晶を加熱すると、液晶の組成成分が変化してしまう。例えば、加熱により、液晶の揮発性成分が揮発してしまうことがあった。
【０００７】
そこで、本発明は、液晶セルに液晶を注入する際に、液晶の組成変化を抑止しつつ、短時間で液晶セルに液晶を注入することができる液晶注入装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の態様１は、液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置であって、
中空空間を有するチャンバ（例えば真空チャンバ５）と、中空空間を第１室（例えば加温室２０）および第２室（例えば注入室３０）に区切る開閉可能なシャッタ（例えばシャッタ４０ａ，４０ｂ）と、第１室を加熱する加熱手段（例えばヒータ２１）と、液晶セルを保持する保持部材（例えばキャリア２３）を支持し、第１室から第２室に保持部材を移動させて保持部材を開放する保持部材移動手段（例えば吊り下げアーム部２２）と、保持部材移動手段によって開放された保持部材を支持する保持部材支持手段（例えば載置アーム部３１）と、第２室で液晶を収容する液晶収容手段（例えば液晶ボート３２）と、第１室内の気体を排出する第１気体排出手段と（例えば第１真空ポンプ６１）、気体が排出された第１室内の気圧を大気圧に戻す第１気圧上昇手段（例えば第１気体供給ポンプ６３）と、第２室内の気体を排出する第２気体排出手段（例えば第２真空ポンプ７１）と、気体が排出された第２室内の気圧を大気圧に戻す第２気圧上昇手段（例えば第２気体供給ポンプ７３）とを備えたことを特徴とする液晶注入装置を提供する。
【０００９】
本発明の態様２は、態様１において、チャンバが、第１室の壁面および第２室の壁面にそれぞれ開閉可能な扉を有する液晶注入装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、液晶の組成変化を抑止しつつ、短時間で液晶セルに液晶を注入することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の液晶注入装置の構成例を示す模式的断面図である。本発明の液晶注入装置１は、真空チャンバ５と、シャッタ４０ａ，４０ｂと、つり下げアーム部２２と、ヒータ２１と、載置アーム部３１と、液晶ボート３２とを備える。また、液晶注入装置１は、第１真空ポンプ６１と、第１真空バルブ６２と、第１気体供給ポンプ６３と、第１気体供給バルブ６４と、第２真空ポンプ７１と、第２真空バルブ７２と、第２気体供給ポンプ７３と、第２気体供給バルブ７４とを備える。
【００１２】
真空チャンバ５は、内部に中空空間を有する。真空チャンバ５の中空空間は、シャッタ４０ａ，４０ｂによって加温室２０と注入室３０に区切られる。
【００１３】
シャッタ４０ａ，４０ｂは、真空チャンバ５の中空空間を加温室２０と注入室３０とに区切る（分離する）。また、シャッタ４０ａ，４０ｂは、開閉可能なシャッタである。図２は、図１に示す一点鎖線Ａ−Ａ’におけるシャッタ４０ａ，４０ｂの模式的断面図である。シャッタ４０ａは、回転軸４１ａを中心に回転する。同様に、シャッタ４０ｂも、回転軸４１ｂを中心に回転する。シャッタ４０ａ，４０ｂがそれぞれ、回転軸４１ａ，４１ｂを中心に回転することにより、開いたり、閉じたりする。図１および図２では、いずれもシャッタ４０ａ，４０ｂが閉じている状態を示している。図１に示す状態から、シャッタ４０ａ，４０ｂがそれぞれ、回転軸４１ａ，４１ｂを中心にして注入室３０の方向に回転することで、シャッタ４０ａ，４０ｂは開いた状態になる。開くときとは逆向きにシャッタ４０ａ，４０ｂがそれぞれ回転すれば、図１に示す状態に戻り、シャッタ４０ａ，４０ｂは閉じた状態になる。
【００１４】
シャッタ４０ａ，４０ｂは、それぞれ外周に沿ってパッキン４３を備えている。パッキン４３は、真空チャンバ５の内壁と接する。従って、シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じているときには、シャッタ４０ａ，４０ｂは、加温室２０および注入室３０の気密性を保ち、真空チャンバ５の中空空間を加温室２０と注入室３０とに区切る（分離する）ことができる。
【００１５】
また、シャッタ４０ａ，４０ｂは、ヒータ２１を動作させたときに注入室３０が加熱されないように、ヒータ２１による加熱を遮断する。
【００１６】
ヒータ２１は、加温室２０に配置され、加温室２０を加熱する。ただし、ヒータ２１が停止状態のときには、ヒータ２１は、加温室２０に対する加熱を停止する。ヒータ２１による加熱温度は、空セル５１に注入する液晶の組成によるが、ヒータ２１は加温室２０を３０〜８０℃に加温する。
【００１７】
吊り下げアーム部２２は、液晶セル５１を保持するキャリア２３を支持する。キャリア２３は、スリット２４が設けられた板状部材であり、スリット２４に空セル（液晶が注入されていない液晶セル）５１が挿入される。空セル５１には、開口部１０６（図１において図示せず。図８参照。）が設けられている。空セル５１は、開口部１０６が下方を向くようにしてスリット２４に挿入される。キャリア２３は、スリット２４に挿入された空セル５１を保持する。なお、図１では、キャリア２３が５枚の空セル５１を保持している場合を示しているが、キャリア２３が保持する空セルの数は限定されない。
【００１８】
吊り下げアーム部２２は、キャリア２３を開放可能な態様で支持する。例えば、吊り下げアーム部２２は、複数（図１に示す例では２本）のアーム２１ａ，２１ｂを備え、そのアーム２１ａ，２１ｂでキャリア２３を挟んだ状態で支持し、キャリア２３を挟んでいるアーム２１ａ，２１ｂ間の間隔を広げることでキャリア２３を開放する。また、例えば、吊り下げアーム部２２の個々のアーム２１ａ，２１ｂの先端部がＬ字型形状に形成されていてもよい。そして、吊り下げアーム部２２は、キャリア２３を挟んだ状態で、各アームのＬ字型形状の先端部でキャリア２３を下面から支持し、アーム２１ａ，２１ｂ間の間隔を広げることでキャリア２３を開放してもよい。
【００１９】
また、吊り下げアーム部２２が備える各アーム２２ａ，２２ｂは、伸縮する。吊り下げアーム部２２の各アーム２２ａ，２２ｂは、キャリア２３を支持した状態で伸びることによって、加温室２０から注入室３０にキャリア２３を移動させる。また、吊り下げアーム部２２は、注入室３０内でキャリア２３を開放する。
【００２０】
載置アーム部３１は、吊り下げアーム部２２によって開放されたキャリア２３を支持する。図３は、載置アーム部３１がキャリア２３を支持している状態を示す斜視図である。図３では、キャリア２３のスリット２４に挿入される空セルの図示を省略している。載置アーム部３１は、例えば複数（図１、図３に示す例では２本）のアーム３１ａ，３１ｂを備え、そのアーム３１ａ，３１ｂでキャリア２３を下面から支持する。
【００２１】
載置アーム部３１が備える各アーム３１ａ，３１ｂは、液晶ボート３２に対して近づいたり、離れたりするように移動する。また、載置アーム部３１が備える各アーム３１ａ，３１ｂは、一方のアーム３１ａの高さともう一方のアーム３１ｂの高さが同じ高さになるように同時に移動する。従って、載置アーム部３１の各アーム３１ａ，３１ｂは、キャリア２３を水平に支持する。
【００２２】
液晶ボート３２は、液晶を収容する容器であり、載置アーム部３１によって支持されるキャリア２３に挿入された液晶セル５１の開口部を液晶に浸すことができるように、上方（載置アーム部３１の存在する方向）が開口されている。
【００２３】
第１真空ポンプ６１は、第１真空バルブ６２が開かれると、加温室２０内の気体を外部に排出し、加温室２０内を真空状態にする。また、第１真空ポンプ６１は、第１真空バルブ６２が閉じられると、加温室２０内の気体の排出を停止する。
【００２４】
第１気体供給ポンプ６３は、第１気体供給バルブ６４が開かれると、加温室２０内の気圧が大気圧になるまで、加温室２０内に気体を送出する。第１気体供給ポンプ６３は、第１真空ポンプ６１によって気体が排出された加温室２０内に気体を送出して、加温室２０内の気圧を大気圧に戻す。また、第１気体供給ポンプ６３は、第１気体供給バルブ６４が閉じられているときには、加温室２０内への気体の送出を停止する。
【００２５】
第２真空ポンプ７１は、第２真空バルブ７２が開かれると、注入室３０内の気体を外部に排出し、注入室３０内を真空状態にする。また、第２真空ポンプ７１は、第２真空バルブ７２が閉じられると、注入室３０内の気体の排出を停止する。
【００２６】
第２気体供給ポンプ７３は、第２気体供給バルブ７４が開かれると、注入室３０内の気体が大気圧になるまで、注入室３０内に気体を送出する。第２気体供給ポンプ７３は、第２真空ポンプ７１によって気体が排出された注入室３０内に気体を送出して、注入室３０内の気圧を大気圧に戻す。また、第２気体供給ポンプ７３は、第２気体供給バルブ７４が閉じられているときには、注入室３０内への気体の送出を停止する。
【００２７】
また、真空チャンバ５は、加温室２０の壁面および注入室３０の壁面にそれぞれ開閉可能な扉（図示略。）を備えている。加温室２０の壁面および注入室３０にそれぞれ別々に開閉可能な扉（図示略。）が設けられていることによって、注入室３０内の載置アーム部３１にキャリア２３が支持されているときに、加温室３０の扉を開け、別のキャリア２３を加温室２０内に入れて、吊り下げアーム部２２にその別のキャリア２３を支持させることができる。また、加温室３０において吊り下げアーム部２２にキャリア２３が支持されているときに、注入室３０の扉を開け、注入室３０内の載置アーム部３１に支持されている別のキャリア２３を取り出すことができる。
【００２８】
また、図示を省略しているが、液晶注入装置１は、注入室３０内に、注入室３０内の温度の上昇を防ぐ温度維持手段を備えていることが好ましい。温度維持手段は、注入室３０内の温度を常温（約２５℃）に保ち、注入室３０内の温度が常温よりも高くなったときには常温まで冷却する。温度維持手段は、例えば、以下のように実現してもよい。例えば、温度維持手段として、冷却水を流す冷却水管を注入室３０内部の壁面に設けてもよい。この場合、冷却水の温度は、例えば２５℃にすればよい。上記の冷却水管は、温度維持手段の例示であり、他の冷却装置によって温度維持手段を実現してもよい。
【００２９】
空セル５１が挿入されたキャリア２３を加温室２０内で吊り下げアーム部２２が支持し、シャッタ４０ａ，４０ｂおよび各扉（図示せず。）が閉じた状態で、ヒータ２１が加温室２０を加熱する。このとき、シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じているので、液晶ボート３２内に収容されている液晶は、ヒータ２１によって加熱されない。また、第１真空バルブ６２および第２真空バルブ７２が開かれ、第１真空ポンプ６１が加温室２０内の気体を排出して、加温室２０を真空状態にし、第２真空ポンプ７１が注入室３０内の気体を排出して、注入室３０を真空状態にする。その後、シャッタ４０ａ，４０ｂが開き、吊り下げアーム部２２は、各アーム２２ａ，２２ｂを伸ばすことによりキャリア２３を注入室３０移動し、注入室３０でキャリア２３を開放する。開放されたキャリア２３は載置アーム部３１によって支持される。キャリア２３を開放した吊り下げアーム部２２の各アーム２２ａ，２２ｂは、縮むことによって加温室３０に戻り、シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じる。そして、載置アーム部３１が下降し、空セル５１の開口部が液晶に浸る。このとき、空セル５１の内部も真空になっている。その後、第２気体供給バルブ７４が開かれ、第２気体供給ポンプ７３が、注入室３０内に気体を送出して、注入室３０内の気圧を大気圧に戻す。すると、空セル５１の内部（真空状態）よりも空セル５１の外部の気圧が高くなり、液晶ボート３２に収容された液晶が空セル５１の内部に注入される。
【００３０】
空セル５１は加温室２０で加熱されているので、空セル５１の開口部が液晶に浸されることによって空セル５１の開口部付近の液晶も温められ、その結果液晶の粘性が低下し、液晶の注入時間は短くて済む。また、液晶は、空セル５１によって温められるが、加温室２０のヒータ２１によって直接加熱されるわけではない。従って、液晶を過剰に加熱することがなく、液晶の組成変化を抑えることができる。
【００３１】
次に、液晶注入装置１の動作について、より詳細に説明する。なお、図４から図７では、図１と同一の構成要素については、図１と同一の符号を付して示す。
【００３２】
第１真空バルブ６２、第１気体供給バルブ６４、第２真空バルブ７２、および第２気体供給バルブ７４は閉じた状態である。シャッタ４０ａ，４０ｂも閉じている。また、加温室２０の扉および注入室３０の扉も閉じているものとする。さらに、液晶ボート３２には、液晶が収容されている。
【００３３】
まず、加温室２０の扉が開かれ、空セル５１を保持しているキャリア２３が加温室２０に入れられる。吊り下げアーム部２２は、加温室２０に入れられたキャリア２３を支持する。吊り下げアーム部２２は、例えば図１に例示するように、キャリア２３を挟むようにしてキャリア２３を支持する。なお、空セル５１は開口部が下方を向くようにしてスリット２４に挿入され、キャリア２３はスリット２４に挿入された空セル５１を保持する。吊り下げアーム部２２がキャリア２３を支持した後、加温室２０の扉が閉じられる。
【００３４】
続いて、ヒータ２１が、加温室２０を加熱する。なお、既に説明したように、ヒータ２１による加熱温度は、空セル５１に注入する液晶の組成によるが、ヒータ２１は加温室２０を３０〜８０℃に加温する。
【００３５】
ヒータ２１が加温室２０を加熱することによって、吊り下げアーム部２２によって支持されるキャリア２３に挿入された空セル５１も加熱される。一方、注入室３０はシャッタ４０ａ，４０ｂによって遮られているので、注入室３０内の液晶ボート３０に収容されている液晶は、ヒータ２１によって加熱されない。
【００３６】
続いて、第１真空バルブ６２および第２真空バルブ７２が開かれる。すると、第１真空ポンプ６１が加温室２０内の気体を排出して、加温室２０を真空状態にする。空セル５１が備える中空空間１０５（図８参照。）は封止されておらず、空セル５１には開口部１０６（図８参照。）が設けられている。従って、第１真空ポンプ６１が加温室２０を真空状態にすることで、空セル５１が備える中空空間１０５（図８参照。）も真空状態になる。また、第２真空ポンプ７１は、第２真空バルブ７２が開かれると、注入室３０を真空状態にする。
【００３７】
加温室２０および注入室３０が真空状態になった後、シャッタ４０ａ，４０ｂがそれぞれ、回転軸４１ａ，４１ｂを中心にして注入室３０の方向に回転し、シャッタ４０ａ，４０ｂが開く。図４は、シャッタ４０ａ，４０ｂが開いたときの液晶注入装置を示す模式的断面図である。シャッタ４０ａ，４０ｂが開く前に注入室３０は真空状態にされているので、シャッタ４０ａ，４０ｂが開いても、空セル５１が備える中空空間１０５（図８参照。）は、真空状態のままである。
【００３８】
次に、吊り下げアーム部２２は、各アーム２２ａ，２２ｂを伸ばすことによって、キャリア２３を加温室２０から注入室３０に移動させる。図５は、吊り下げアーム部２２がキャリア２３を注入室３０に移動させたときの液晶注入装置を示す模式的断面図である。吊り下げアーム部２２は、例えば、キャリア２３が載置アーム部３１に接触するまでキャリア２３を移動させる。あるいは、吊り下げアーム部２２は、キャリア２３と載置アーム部３１とを接触させずに、キャリア２３を載置アーム部３１の近傍まで移動させて移動を停止してもよい。
【００３９】
吊り下げアーム部２２は、キャリア２３を載置アーム部３１と接触するまで（あるいは載置アーム部３１の近傍まで）移動させた後、アーム２２ａ，２２ｂの間隔を開くことによってキャリア２３を開放する。すると、載置アーム部３１が、そのキャリア２３を支持する。吊り下げアーム部２２の各アーム２２ａ，２２ｂは、キャリア２３を開放した後、縮むことによって加温室３０に戻る。続いて、シャッタ４０ａ，４０ｂがそれぞれ、回転軸４１ａ，４１ｂを中心にして、開くときとは逆方向に回転し、閉じた状態になる。図６は、吊り下げアーム部２２が縮み、シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じたときの液晶注入装置を示す模式的断面図である。このとき、図６に示すように、キャリア２３は載置アーム部３１によって支持され、真空チャンバ５の内部の中空空間は、加温室２０と注入室３０とに区切られる（分離される）。
【００４０】
続いて、載置アーム部３１が下降し、空セル５１の開口部を液晶ボート３２内の液晶に浸す。図７は、載置アーム部３１が下降したときの液晶注入装置を示す模式的断面図である。図７に示すように、空セル５１の一部が液晶に浸ると、空セル５１は温められた状態であるので、空セル５１の近傍の液晶も温められる。その結果、空セル５１の近傍の液晶の粘性が低下する。ただし、液晶はヒータ２１によって直接加熱されるわけではないので、液晶の組成変化を防止することができる。
【００４１】
続いて、第２気体供給バルブ７４が開かれる。すると、第２気体供給ポンプ７３が、注入室３０内に気体を送出して、注入室３０内の気圧を大気圧に戻す。空セル５１の中空空間は真空状態であるので、空セル５１の周囲の気圧が大気圧になると液晶が空セル５１の開口部から空セル５１の中空空間に注入される。このとき、液晶は空セル５１によって温められて粘性が低下しているので、注入時間は液晶を温めない場合よりも短縮することができる。
【００４２】
そして、第１気体供給バルブ６４が開かれ、第１気体供給ポンプ６３が加温室２０内に気体を送出して、加温室２０内の気体を大気圧に戻す。
【００４３】
空セル５１への液晶の注入が完了した後、載置アーム部３１は、元の高さ（載置アーム部３１がキャリア２３を支持する前の高さ）まで上昇する。その後、注入室３０の扉が開かれ、液晶が注入された液層セルを保持するキャリア２３が注入室３０から取り出される。
【００４４】
本発明によれば、加温室２０で空セルを温め、その温められた空セルの開口部を液晶に浸す。従って、液晶の粘性を低下させることができる。その結果、加熱を行わない従来の液晶注入方法（すなわち、空セルの雰囲気を真空状態とし、空セルの開口部を液晶中に浸して、空セルおよび液晶の雰囲気を大気圧に戻す方法）よりも空セルへの液晶注入時間を短縮することができる。
【００４５】
また、本発明によれば、シャッタ４０ａ，４０ｂが加温室２０と注入室３０とに区切った状態で、加温室２０内のヒータ２１が加温室２０内を加熱する。従って、注入室３０の液晶ボート３２内の液晶は、ヒータ２１によって直接加熱されることがなく、加熱による液晶組成の変化を抑えることができる。
【００４６】
なお、以上の説明では、載置アーム部３１がキャリアを支持した後に下降して、空セル５１の開口部を液晶に浸す場合を例示した。載置アーム部３１は、キャリア２３を支持したときに空セル５１の開口部が液晶ボート３２内の液晶に浸る高さに配置さていてもよい。すなわち、吊り下げアーム部２２に開放されたキャリア２３を載置アーム部３１が支持したときに、直ちに空セル５１の開口部が液晶ボート３２内の液晶に浸るようにしてもよい。
【００４７】
また、キャリア２３を開放した吊り下げアーム部２２の各アーム２２ａ，２２ｂが縮み、シャッタ４０ａ，４０ｂが閉じた後（図６に例示する状態になった後）に、第１気体供給バルブ６４が開かれ、第１気体供給ポンプ６３が加温室２０内に気体を送出して、加温室２０内の気体を大気圧に戻してもよい。そして、注入室３０内の気圧が大気圧に戻され、注入室３０において空セル５１への液晶の注入が行われている間に、加温室２０の扉が開かれて加温室２０に別のキャリア２３（空セルを保持した別のキャリア）が入れられ、吊り下げアーム部２２がその別のキャリア２３を支持してもよい。さらに、加温室２０の扉が閉じられ、ヒータ２１が加温室２０を加熱し、第１真空バルブ６２が開かれて第１真空ポンプ６１が加温室２０を真空状態にしてもよい。このように、注入室３０において空セル５１への液晶の注入が行われている間に、吊り下げアーム部２２が別のキャリア２３を支持した状態で、ヒータ２１による加熱処理や、第１真空ポンプ６１が加温室２０を真空状態にする処理を行ってもよい。
【００４８】
また、加温室２０において、加熱処理や、第１真空ポンプ６１が加温室２０を真空状態にする処理を行っている間に、注入室３０内における空セル５１への液晶の注入が完了したならば、第２気体供給バルブ７４が開かれ、第２気体供給ポンプ７３が、注入室３０内に気体を送出して、注入室３０内の気圧を大気圧に戻してもよい。そして、加温室２０において、加熱処理や、第１真空ポンプ６１が加温室２０を真空状態にする処理を行っている間であっても、注入室３０の扉が開けられ、液晶が注入された液晶セルを保持するキャリア２３が注入室３０から取り出されてもよい。
【００４９】
真空チャンバ５が、加温室２０の壁面および注入室３０の壁面にそれぞれ開閉可能な扉（図示略。）を備えているので、上記のように、加温室２０にキャリア２３を入れて、加熱したり、加温室２０を真空状態に処理と、注入室３０内の気圧を大気圧に戻して、注入室３０からキャリアを取り出すこととを、それぞれ別々に並行して行うことができる。従って、加温室２０での処理と、注入室３０での処理とを並行して行うことができ、加温室２０と注入室３０のいずれか一方をキャリアがないまま待ち状態にする必要がない。よって、多くの空セルに対する液晶注入を連続的に行うことができ、タクトを向上させることができる。すなわち、多くの空セルに液晶を注入する時間を短縮することができる。
【実施例１】
【００５０】
図１に示す構成の液晶注入装置１を作製し、上述の動作によって、空セル５１に液晶を注入させた。ただし、ヒータ２１による加温室２０への加熱温度は４０℃とした。
【００５１】
加熱を行わない従来の液晶注入方法（すなわち、空セルの雰囲気を真空状態とし、空セルの開口部を液晶中に浸して、空セルおよび液晶の雰囲気を大気圧に戻す方法）と、空セルへの液晶注入時間を比較した。本発明の液晶注入装置１によって液晶を注入した場合、従来の液晶注入方法と比較して、空セルへの液晶注入時間は約１／２に短縮された。
【００５２】
また、本発明の液晶注入装置１を用いた場合、液晶組成の変化はほとんどなかった。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、空セルに液晶を注入する液晶注入装置として好適に適用される。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の液晶注入装置の構成例を示す模式的断面図。
【図２】シャッタの模式的断面図。
【図３】載置アーム部がキャリアを支持している状態を示す斜視図。
【図４】シャッタが開いたときの液晶注入装置を示す模式的断面図。
【図５】吊り下げアーム部がキャリアを注入室に移動させたときの液晶注入装置を示す模式的断面図。
【図６】吊り下げアーム部が縮み、シャッタが閉じたときの液晶注入装置を示す模式的断面図。
【図７】載置アーム部が下降したときの液晶注入装置を示す模式的断面図。
【図８】空セルの例を示す説明図。
【符号の説明】
【００５５】
１  液晶注入装置
５  真空チャンバ
２０  加温室
２１  ヒータ
２２  吊り下げアーム部
２３  キャリア
３０  注入室
３１  載置アーム部
３２  液晶ボート
４０ａ，４０ｂ  シャッタ
５１  空セル
６１  第１真空ポンプ
６２  第１真空バルブ
６３  第１気体供給ポンプ
６４  第１気体供給バルブ
７１  第２真空ポンプ
７２  第２真空バルブ
７３  第２気体供給ポンプ
７４  第２気体供給バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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