(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドを用いて形成される複数の堆積層間での厚さの差を低減すること。【解決手段】光学装置が、基体と、前記基体に形成された第１凹部と、第２凹部と、を有している。ここで、前記第１凹部には第１堆積層が形成されており、前記第２凹部には第２堆積層が形成されている。そして、前記第１堆積層と前記第２堆積層とは、同じ材料から形成されており、かつ異なる体積を有している。さらに、少なくとも、前記第１堆積層の中央部の膜厚と前記第２堆積層の中央部の膜厚とは略等しい。【選択図】図２
2008243517.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、前記基体に形成された第１凹部と、第２凹部と、を有し、
前記第１凹部には第１堆積層が形成されており、
前記第２凹部には第２堆積層が形成されており、
前記第１堆積層と前記第２堆積層とは、同じ材料から形成されており、かつ異なる体積を有し、
少なくとも、前記第１堆積層の中央部の膜厚と前記第２堆積層の中央部の膜厚とは略等しいことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備え、
前記第１凹部の深さと前記第２凹部の深さとは略等しく、かつ前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは互いになることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
それぞれの下地を露出する第１開口部と第２開口部とを縁取る第１バンクパターンと、
前記第１バンクパターン上に形成され、前記第１開口部を露出する第３開口部と、前記第２開口部を露出する第４開口部とを縁取る第２バンクパターンと、
をさらに有し、
前記第１凹部は、前記第１開口部と、前記第３開口部と、によって規定され、
前記第２凹部は、前記第２開口部と、前記第４開口部と、によって規定され、
前記第１堆積層の体積は前記第２堆積層の体積よりも大きく、
前記第１開口部の面積は前記第２開口部の面積よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
それぞれの下地を露出する第１開口部と第２開口部とを縁取る第１バンクパターンと、
前記第１バンクパターン上に形成され、前記第１開口部を露出する第３開口部と、前記第２開口部を露出する第４開口部とを縁取る第２バンクパターンと、
をさらに有し、
前記第１凹部は、前記第１開口部と、前記第３開口部と、によって規定され、
前記第２凹部は、前記第２開口部と、前記第４開口部と、によって規定され、
前記第１堆積層の体積は前記第２堆積層の体積よりも大きく、
前記第３開口部の面積は前記第４開口部の面積よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
【請求項５】
前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備え、
前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは略等しく、かつ前記第１開口部を縁取る部分での前記バンクパターンの厚さと、前記第２開口部を縁取る部分での前記バンクパターンの厚さとが、互いに異なり、
前記第１堆積層が前記バンクパターンに接する面積と前記第２堆積層の前記バンクパターンに接する面積とは互いに異なることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項６】
前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備え、
前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは略等しく、かつ前記第１凹部の深さと前記第２凹部の深さとは略等しく、
前記第１凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの材質と前記第２凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの材質とが互いに異なり、
前記第１堆積層が前記バンクパターンに接する面積と前記第２堆積層が前記バンクパターンに接する内表面の面積とは互いに異なることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項７】
前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備え、
前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは略等しく、かつ前記第１凹部の深さと前記第２凹部の深さとは略等しく、
前記第１凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの撥液性の程度と前記第２凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの撥液性の程度とは互いに異なり、
前記第１堆積層が前記バンクパターンに接する面積と前記第２堆積層が前記バンクパターンに接する面積とは互いに異なることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項８】
所定方向に並んだ複数の凹部を有し、
前記複数の凹部は、前記所定方向に連続して並んだ所定数の凹部からなる第１凹部群と、前記所定方向に連続して並んだ前記所定数の凹部からなる第２凹部群と、を有し、
前記第１凹部群及び前記第２凹部群の各々は、前記第１凹部と前記第２凹部とを含み、
前記第１凹部群に含まれる前記第１凹部の配列順番と、前記第２凹部群に含まれる前記第１凹部の配列順番と、は等しく、
前記第１凹部群に含まれる前記第２凹部の配列順番と、前記第２凹部群に含まれる前記第２凹部の配列順番と、は等しいことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載の光学装置を備えた有機ＥＬ装置。
【請求項１０】
請求項１から８のいずれか１項に記載の光学装置を備えたカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学装置、有機ＥＬ装置並びにカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドにおけるノズル間での吐出量のばらつきを補正する技術が知られている。特許文献１は、ノズル列を複数のノズルグループに分割し、それぞれのノズルグループに異なる駆動波形を与えて、このことでノズル間での吐出量の差を抑えることを記載している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１９６１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１による解決策では、駆動回路の回路構成が複雑になってしまい、このためコストが増加するという問題がある。
【０００５】
また、ノズル間での吐出量に差があるインクジェットヘッドを用いて、互いから分離された複数の堆積層を形成すると、得られる複数の堆積層の厚さが、堆積層ごとに異なってしまう。最終的に得られる堆積層として、有機ＥＬ装置の発光層があり得るし、カラーフィルタ基板のカラーフィルタ層等があり得る。どちらの場合にも、厚さの差が、表示装置としての輝度のムラに繋がる。
【０００６】
本発明は上記課題を鑑みてなされ、その目的の一つは、インクジェットヘッドを用いて形成される複数の堆積層間での厚さの差を低減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のある態様によれば、光学装置が、基体と、前記基体に形成された第１凹部と、第２凹部と、を有している。ここで、前記第１凹部には第１堆積層が形成されており、前記第２凹部には第２堆積層が形成されており、前記第１堆積層と前記第２堆積層とは、同じ材料から形成されており、かつ異なる体積を有し、少なくとも、前記第１堆積層の中央部の膜厚と前記第２堆積層の中央部の膜厚とは略等しい。
【０００８】
他の態様によれば、上記光学装置が、前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備えている。そして、前記第１凹部の深さと前記第２凹部の深さとは略等しく、かつ前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは互いになる。
【０００９】
さらに他の態様によれば、上記光学装置が、それぞれの下地を露出する第１開口部と第２開口部とを縁取る第１バンクパターンと、前記第１バンクパターン上に形成され、前記第１開口部を露出する第３開口部と、前記第２開口部を露出する第４開口部とを縁取る第２バンクパターンと、をさらに有している。ここで、前記第１凹部は、前記第１開口部と、前記第３開口部と、によって規定されていて、前記第２凹部は、前記第２開口部と、前記第４開口部と、によって規定されている。そして、前記第１堆積層の体積は前記第２堆積層の体積よりも大きい。さらに、前記第１開口部の面積は前記第２開口部の面積よりも大きい。
【００１０】
さらに他の態様によれば、上記光学装置が、それぞれの下地を露出する第１開口部と第２開口部とを縁取る第１バンクパターンと、前記第１バンクパターン上に形成され、前記第１開口部を露出する第３開口部と、前記第２開口部を露出する第４開口部とを縁取る第２バンクパターンと、をさらに有している。ここで、前記第１凹部は、前記第１開口部と、前記第３開口部と、によって規定されていて、前記第２凹部は、前記第２開口部と、前記第４開口部と、によって規定されている。そして、前記第１堆積層の体積は前記第２堆積層の体積よりも大きい。さらに、前記第３開口部の面積は前記第４開口部の面積よりも大きい。
【００１１】
さらに他の態様によれば、上記光学装置が、前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備えている。ここで、前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは略等しく、かつ前記第１開口部を縁取る部分での前記バンクパターンの厚さと、前記第２開口部を縁取る部分での前記バンクパターンの厚さとが、互いに異なる。さらに、前記第１堆積層が前記バンクパターンに接する面積と前記第２堆積層の前記バンクパターンに接する面積とは互いに異なる。
【００１２】
さらに他の態様によれば、上記光学装置が、前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備えている。ここで、前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは略等しく、かつ前記第１凹部の深さと前記第２凹部の深さとは略等しい。さらに、前記第１凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの材質と前記第２凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの材質とが互いに異なり、前記第１堆積層が前記バンクパターンに接する面積と前記第２堆積層が前記バンクパターンに接する内表面の面積とは互いに異なる。
【００１３】
さらに他の態様によれば、上記光学装置が、前記第１凹部と前記第２凹部とを縁取る少なくとも１層のバンクパターンを備えている。ここで、前記第１凹部の内面積と前記第２凹部の内面積とは略等しく、かつ前記第１凹部の深さと前記第２凹部の深さとは略等しい。さらに、前記第１凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの撥液性の程度と前記第２凹部を縁取る部分での前記バンクパターンの撥液性の程度とは互いに異なり、前記第１堆積層が前記バンクパターンに接する面積と前記第２堆積層が前記バンクパターンに接する面積とは互いに異なる。
【００１４】
さらに他の態様によれば、上記光学装置が、所定方向に並んだ複数の凹部を有している。ここで、前記複数の凹部は、前記所定方向に連続して並んだ所定数の凹部からなる第１凹部群と、前記所定方向に連続して並んだ前記所定数の凹部からなる第２凹部群と、を有している。そして、前記第１凹部群及び前記第２凹部群の各々は、前記第１凹部と前記第２凹部とを含む。さらに、前記第１凹部群に含まれる前記第１凹部の配列順番と、前記第２凹部群に含まれる前記第１凹部の配列順番と、は等しく、前記第１凹部群に含まれる前記第２凹部の配列順番と、前記第２凹部群に含まれる前記第２凹部の配列順番と、は等しい。なお、配列順番が同じであるとは、分布の仕方が同じであることを意味している。
【００１５】
本発明のさらに他の態様によれば、有機ＥＬ装置が上記光学装置を備えていてもよいし、カラーフィルタが上記光学装置を備えていてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（実施形態１）
（Ａ．インクジェットヘッド）
図１（ａ）および（ｂ）は、本実施形態で用いられるインクジェットヘッド１の一例を模式的に示している。インクジェットヘッド１は、ノズルプレート３と、複数のノズル４と、複数のノズル４に１対１で導通した複数の吐出機構５と、共通インク室１１と、共通流路１２と、を備えている。なお、ノズルプレート３は、複数のノズル４の開口を縁取っている。
【００１７】
このインクジェットヘッド１のノズル４の数は、例えば３０個である。これら３０個のノズル４は、ノズルプレート３上でノズル列を構成するように一列に並んでいる。このことから、インクジェットヘッド１はノズル列を備えているとも表記される。ところで、ノズル列の両端側の数ノズルからの液状体の吐出が極端に不安定な場合がある。このような場合には、それら両端側の数ノズルがダミーノズルとして設定され、用いられないことがある。いずれにせよダミーノズルの有無に関係なく、ここでの「ノズル４」はダミーノズルを含まない。
【００１８】
さて、インクジェットヘッド１のノズルピッチＨＸは約１４０μｍである。「ノズルピッチＨＸ」とは、１つのインクジェットヘッド１上で分布した複数のノズル４のＸ軸方向に沿ったピッチである。本実施形態のインクジェットヘッド１の場合には、「ノズルピッチＨＸ」は、ノズル列のノズルピッチＮＬＰに等しい。ただし、図１０に示すように、互いに同じノズルピッチＮＬＰで規定される２つのノズル列を備えたインクジェットヘッドであって、それら２つのノズル列が互いに半ピッチだけずれているインクジェットヘッドの場合には、「ノズルピッチＨＸ」は、ノズル列のノズルピッチＮＬＰの半分になる。
【００１９】
また、後述する「分布範囲ＸＴ」で定義されるノズル列の幅は、概ね、インクジェットヘッド１上のノズル４の数ＮＡと、ノズルピッチＨＸと、の積で表される。
【００２０】
なお、本明細書では、ノズル列が延びる方向を、便宜上、Ｘ軸方向として表記している。また、Ｘ軸方向に対して垂直な２方向をＹ軸方向およびＺ軸方向としている。また、ノズル４の開口は、ほぼＺ軸方向に沿ってノズルプレート３を貫いている。そして、後述する液滴吐出装置８０（図３）によって、基体３０（図５）に対するノズル４の相対位置が、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに平行な面内で変化させられることになる。
【００２１】
図１（ｂ）に示すように、複数の吐出機構５のそれぞれは、振動板６と、振動板６上に位置した振動素子７と、振動板６を介して振動素子７の振動が伝わる圧力室８と、振動板６とともに圧力室８を規定する隔壁構造９と、圧力室８内へ液状体を供給するインク流路１０と、を備えている。それぞれの圧力室８内へは、それぞれのインク流路１０を介して、共通インク室１１からの液状体が導かれている。また、共通インク室１１へは、共通流路１２を介して、外部のタンク１３（図３）から液状体が供給されている。
【００２２】
振動素子７は、振動板６上に位置している。本実施形態での振動素子７は、一対の電極７Ａ，７Ｂと、一対の電極７Ａ，７Ｂ間に位置したピエゾ素子７Ｃと、を備えたアクチュエータである。そして、一対の電極７Ａ，７Ｂへは、図示しない駆動回路からの駆動信号が与えられるように、吐出機構５は構成されている。このような構成を備えた吐出機構５は、駆動信号における駆動波形に応じて、振動板６を撓ませることで、圧力室８内の液状体をノズル４から液滴として吐出する。なお、他の形態によれば、振動素子７は、一対の電極間に働く静電力（クーロン力）を利用して、液状体をノズル４から吐出する構成を有していてもよい。
【００２３】
ここで、インクジェットヘッド１に含まれる複数の吐出機構５のすべてへ共通の液状体を供給し、かつ共通の駆動波形を印加する場合には、吐出機構５（またはノズル４）間で、ノズル４からの吐出量が異なってしまう。これは主に、吐出機構５のインクジェットヘッド１内部での相対位置に応じて、吐出機構５とその周囲とを含めた部分の剛性が異なるからである。しかも、本実施形態では、複数の吐出機構５は互いに接している。また、複数の吐出機構５は、振動板６と、ノズルプレート３と、を共有部分として共有している。さらに、複数の吐出機構５間での振動素子７の性能差もあり得る。これらのことも、ノズル４間での吐出量の差を生じる原因になり得る。
【００２４】
図２に示すように、具体的には、ノズル列を備えたインクジェットヘッド１の場合には、ノズル列の両端側に位置したノズル４からの吐出量が、それら両端側のノズル４の間に位置したノズル４からの吐出量よりも大きくなる。このような傾向は、複数の吐出機構５に同時に駆動波形を与える場合でも、複数の吐出機構５の１つずつに駆動波形を与える場合でも、現れる。
【００２５】
ここで、本実施形態での「吐出量」は、規定数（例えば５００回）の吐出によって１つのノズル４から吐出された液滴の合計質量で表されている。ただし、「吐出量」は、この合計質量を上記既定数で割った平均質量で表されてもよい。さらに、液状体の比重が既知ならば、「吐出量」は、液状体の比重に基づいて、合計質量または平均質量から換算された合計体積または平均体積で表されてもよい。いずれにせよ、複数のノズル４間で共通の計測・導出方法が適用される限り、どのような計測・導出方法を用いて「吐出量」が計測・導出されてもよい。
【００２６】
以下の説明では、複数のインクジェットヘッド１が説明されているが、いずれのインクジェットヘッド１も、図２に示す吐出量のプロファイルを有すると仮定されている。
【００２７】
（Ｄ．液滴吐出装置）
光学装置の一例として有機ＥＬ装置を製造する装置を説明する。具体的には、本実施形態では、４つの液滴吐出装置が用いられる。そのうちの１つは、正孔輸送層を形成するために用いられる液滴吐出装置である。この液滴吐出装置は、正孔輸送層を形成するための液状体を所定部位に配置する。他の３つの液滴吐出装置は、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）に対応したそれぞれの主発光層を形成するために用いられる。例えば、これら３つのうちの１つの液滴吐出装置は、Ｂ（青）の主発光層を形成するための液状体を、所定部位に配置する。
【００２８】
なお、これら４つの液滴吐出装置の構造は基本的に互いに同じなので、以下では、重複を避ける目的で、正孔輸送層のために用いられる液滴吐出装置８０の構造のみを説明する。
【００２９】
図３に示す液滴吐出装置８０は、基本的にインクジェット装置である。具体的には、液滴吐出装置８０は、複数のインクジェットヘッド１と、基体３０（図６）が載置されるステージ８３と、Ｚ軸方向に所定の距離を置いてノズル４の開口が基体３０に対面するようにインクジェットヘッド１を保持するキャリッジ８４と、インクジェットヘッド１と基体３０との少なくとも一方が他方に対してＸ軸方向およびＹ軸方向に相対移動するように、ステージ８３および／またはキャリッジ８４の位置を変えるＸＹ走査装置８５と、インクジェットヘッド１からの液滴の吐出を制御する制御装置８６と、複数のインクジェットヘッド１のそれぞれに液状体を供給するタンク１３と、を備えている。
【００３０】
図６（ｂ）に示すように、本実施形態では、キャリッジ８４上で、同じ構造を有する６つのインクジェットヘッド１が、少なくともＸ軸方向に周期的に並んでいる。例えば、同じ構造を有する６つのインクジェットヘッド１が、Ｘ軸方向に沿って互いにずれて位置しているとともにＹ軸方向に沿っても互いにずれて位置している。ただし、６つのインクジェットヘッド１のそれぞれのノズル列が延びる方向は、いずれもＸ軸方向に平行である。そして、隣り合う任意の２つのインクジェットヘッド１の互いに最も近い２つのノズル４の間のＸ軸方向に沿った距離が、ノズルピッチＨＸに等しくなるように、これら隣り合う任意の２つのインクジェットヘッド１が配置されている。このため、６つのインクジェットヘッド１のすべてのノズル４を、ＸＹ平面上で、Ｙ軸方向に沿ってＸ軸上に写像すると、１８０（３０×６）個のノズル４が、１つのインクジェットヘッド１のノズルピッチＨＸと等しいピッチで並んでいるように見える。
【００３１】
（Ｂ．凹部の構造）
図４および図５を参照しながら、基体３０を説明する。図４は基体３０の上面を示しており、図５は、図４のＢ−Ｂ断面を示している。
【００３２】
図４に示すように、基体３０は、複数の凹部３１を備えている。本実施形態では、基体３０は、後述する工程を経て有機ＥＬ装置４０（図９）となる構造体である。そして、複数の凹部３１のそれぞれは、最終的に青、赤、および緑のいずれかに対応した「発光層」を規定することになる。具体的には、これら複数の凹部３１のそれぞれの内へは、インクジェット法によって、正孔輸送層２０（図９）と、青色蛍光材料、赤色蛍光材料、および緑色蛍光材料のいずれかからなる主発光層２１（図９）と、が設けられることになる。なお、本実施形態では、上述の「発光層」は、正孔輸送層２０と主発光層２１とからなる層であるが、有機ＥＬ装置４０から正孔輸送層２０を省略する場合には、「発光層」は主発光層２１である。
【００３３】
本実施形態によれば、凹部３１内に形成された「発光層」は、「堆積層」の一例である。さらに、「発光層」に含まれる正孔輸送層２０および主発光層も、それぞれ「堆積層」の一例である。なお、基体３０は、カラーフィルタ基板であってもよい。この場合、複数の凹部３１のそれぞれの内へは、カラーフィルタ材料を含有した液状体が配置されて、複数の凹部３１のそれぞれ内にカラーフィルタ層が設けられることになる。なお、この場合のカラーフィルタ層は「堆積層」の他の一例である。
【００３４】
図５に示すように、基体３０は、下地層（不図示）上に形成された画素電極（陽極）３２と、画素電極３２上に形成された第１バンクパターン３３と、第１バンクパターン３３上に形成された第２バンクパターン３４と、を備えている。ここで、第１バンクパターン３３は、下地としての画素電極３２の一部を露出させる開口部３３Ａを縁取っている。また、第２バンクパターン３４は、開口部３３Ａを露出する開口部３４Ａを縁取っている。なお、開口部３４Ａの大きさは、開口部３３Ａの大きさより大きいので、開口部３４Ａによって、画素電極３２の上記一部と、第１バンクパターン３３の上面の一部も露出している。
【００３５】
画素電極３２はＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）から構成されている。一方、第１バンクパターン３３はＳｉＯ2から形成されている。また、第２バンクパターン３４はアクリル系樹脂から形成されている。そして、凹部３１は、少なくとも１層のバンクパターンによって縁取られているが、ここでは、互いに積層された第１バンクパターン３３と第２バンクパターン３４とによって縁取られている。このため、本実施形態での凹部３１は、開口部３３Ａと、開口部３４Ａと、によって規定される。
【００３６】
再び図４を参照して、インクジェットヘッド１と基体３０との間の位置関係を説明する。本実施形態では、基体３０上で複数の凹部３１が、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行なマトリクス状に配置されている。そして、図４に示すように、Ｙ軸方向に並んだ複数の凹部３１からなる１つの列に、１つのノズル４が対応する。
【００３７】
先の図２に示した通り、複数のノズル４間で吐出量に差がある。このため、Ｘ軸方向に並んだ凹部３１間で、配置される液状体の量（体積）に差が生じる。そして、配置される液状体の量が異なれば、最終的に得られる正孔輸送層２０の厚さが異なるし、主発光層２１の厚さも異なってしまい、そしてこのため、輝度のばらつきが生じる。
【００３８】
そこで本実施形態によれば、Ｘ軸方向に並んだ複数の凹部３１に亘って、少なくとも複数の凹部３１の中央部においてはほぼ同じ厚さの正孔輸送層２０が得られ、かつほぼ同じ厚さの主発光層２１が得られるように、Ｘ軸方向に並んだ複数の凹部３１に亘ってノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内面積が異なっている。具体的には、開口部３３ＡのＸ軸方向に沿った幅ＧＥ１が、Ｘ軸方向に並んだ複数の凹部３１に亘って異なってもよいし、開口部３４ＡのＸ軸方向に沿った幅ＧＢ１が異なっていてもよいし、その両方が異なっていてもよい。ただし、第１バンクパターン３３の厚さは均一であり、かつ第２バンクパターン３４の厚さも均一なので、凹部３１の深さは、Ｘ軸方向に並んだ複数の凹部３１に亘って同じである。なお、ここでいう「凹部３１のほぼ中央部」または「堆積層のほぼ中央部」とは、凹部３１に形成された堆積層（正孔輸送層２０および主発光層２１の少なくとも一方）が基体３０に対してほぼ平坦（基体面に対してほぼ平行）になる領域を指す。
【００３９】
さて、ノズル４に亘ってノズル４の吐出量が異なれば、Ｘ軸方向に並んだ複数の堆積層に亘って堆積層の体積が異なってしまう。しかしながら本実施形態では、Ｘ軸方向に並んだ複数の凹部３１が上記のように構成されているので、Ｘ軸方向に並んだ複数の堆積層に亘って堆積層の体積が異なっても、堆積層のほぼ中央部での堆積層の厚さは均一になる。
【００４０】
（Ｃ．液状体）
正孔輸送層２０を形成する場合には、液状体２０Ａ（図７）が用いられる。液状体２０Ａは、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルと、純水と、を含有している。ＰＥＤＯＴとＰＳＳとの濃度比は、１：５０である。また、液状体２０Ａにおいて、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの固形分濃度は０．５重量％であり、ジエチレングリコールモノブチルエーテルの濃度は５０重量％であり、残りは純水である。ＰＥＤＯＴは機能性材料の一つであり、最終的に得られる正孔輸送層２０を構成する材料である。
【００４１】
主発光層２１を形成する場合には、液状体２１Ａ（図８）が用いられる。液状体２１Ａは、青色蛍光材料と、シクロヘキシルベンゼンと、を含有している。青色蛍光材料は機能性材料の一つであり、最終的な主発光層２１を構成する材料である。なお、主発光層２１は、Ｂ（青）に対応しているが、他の色に対応する主発光層を形成するための液状体は、青色蛍光材料に代えて、対応する色の蛍光材料を含有している。
【００４２】
（Ｄ．有機ＥＬ装置の製造方法）
まず、それぞれのノズル４からの吐出量を測定する。この測定から吐出量のプロファイル（図２）を得る。そして、吐出量のプロファイルに基づいて、基体３０上の複数の凹部３１のそれぞれの内面積を決定する。
【００４３】
図２に示した吐出量のプロファイルによると、ノズル列の両端側に属するノズル４の吐出量が、両端側のノズル４の間に位置したノズル４の吐出量よりも多い。この結果を受けて、図６（ａ）に示すように、ノズル列の両端側に対応した２つの領域３０Ｒ，３０Ｔに属する凹部３１の内面積が、これら２つの領域３０Ｒ，３０Ｔの間に位置した領域３０Ｓに属する凹部３１の内面積よりも大きくなるように、公知のパターニング技術を利用して、基体３０を製造する。本実施形態においては、具体的には、図２の左から３つのノズル４に対応したそれぞれの凹部３１の幅と、図２の右から２つのノズル４に対応したそれぞれの凹部３１の幅とを、それらの間の凹部３１の幅よりも大きくする。より具体的には、凹部３１の幅として、開口部３３Ａの幅ＧＥ１（図５）と、開口部３４Ａの幅ＧＢ１（図５）と、の少なくとも一方を変更する。
【００４４】
さて、基体３０上のいくつかの凹部３１の内面積を変える場合には、Ｘ軸方向に沿った複数の凹部３１間のピッチが一定を維持できるように、第１バンクパターン３３と第２バンクパターン３４の幅を変更する。例えば、インクジェットヘッド１のノズルピッチＨＸは約１４０μｍである。そこで、基体３０上のいくつかの凹部３１の内面積が変わっても、Ｘ軸方向に沿った凹部３１のピッチが１４０μｍを維持するように、Ｘ軸方向に隣り合った２つの凹部３１間で、第１バンクパターン３３および／または第２バンクパターン３４の幅を変更する。そうすれば、ノズル４と、Ｘ軸方向に並んだ凹部３１との位置関係は、１対１（図４）を維持する。なお、凹部３１のＸ軸方向に沿ったピッチは、例えば、隣り合う２つの凹部３１の中心間の距離によって表される。
【００４５】
図６（ａ）では、３つの領域３０Ｒ，３０Ｓ，３０Ｔは、Ｘ軸方向の一方の側から他方の側へ、この順番に隣り合っている。そして、３つの領域３０Ｒ，３０Ｓ，３０Ｔからなる一つの帯領域３０ＬのＸ軸方向に沿った長さは、一つのインクジェットヘッド１のノズル列幅に対応している。具体的には本実施形態では、３つの領域３０Ｒ，３０Ｓ，３０Ｔからなる一つの帯領域３０ＬのＸ軸方向に沿った長さが、一つのインクジェットヘッド１上でのノズル４の分布範囲ＸＴ（図１）にほぼ一致している。
【００４６】
さらに、図６（ｂ）に示すように、このような帯領域３０Ｌが、基体３０上でＸ軸方向に沿って周期的に並んでいる。ここで、上述の通り、キャリッジ８４上には複数のインクジェットヘッド１がＸ軸方向に周期的に並んでいるため、このようなキャリッジ８４を用いれば、基体３０を同時に処理できる。
【００４７】
複数の帯領域３０Ｌのそれぞれは、「凹部群」とも表記される。そして、複数の帯領域３０Ｌ（すなわち複数の凹部群）のいずれにおいても、内面積が大きい凹部３１と、内面積が小さい凹部３１とが、同じ配列順番（すなわち同じ分布の仕方）で配置されている。このため、複数の帯領域３０Ｌはどれも同じ表面形状を有している。
【００４８】
次に、第１バンクパターン３３と第２バンクパターン３４とによって縁取られた凹部３１の表面に所定の表面処理を施す。具体的には以下の通りである。
【００４９】
まず、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体３０を親液化する。この処理によって、画素電極３２の表面と、第１バンクパターン３３および第２バンクパターン３４の表面とが、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０に対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、凹部３１の内表面を構成する表面のうち、有機物からなる第２バンクパターン３４の表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで第２バンクパターン３４の表面が撥液性を呈するようになる。なお、本実施形態では、凹部３１の内表面は、第１バンクパターン３３の表面と、第２バンクパターン３４の表面と、を含んでいる。
【００５０】
４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極３２の表面および無機物からなる第１バンクパターン３３の表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。なお、画素電極３２の材質、第１バンクパターン３３、第２バンクパターン３４のそれぞれの材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくてよい。
【００５１】
次に、図７に示すように、基体３０に対してインクジェットヘッド１をＹ軸方向に沿って相対的に平行移動させる。そして、この平行移動の期間中に、複数の凹部３１のそれぞれへ、それぞれのノズル４から液状体２０Ａの液滴Ｄを吐出する。そうすると、開口部３３Ａによって露出した画素電極３２上に、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを含有した前駆層が形成される。なお、複数の凹部３１のそれぞれへ吐出される液滴Ｄの数は、いずれも同じである。
【００５２】
その後、この前駆層を真空乾燥し、さらに２００℃の温度で約１０分間乾燥して、前駆層から、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳからなる正孔輸送層２０を得る。なお、本実施形態では、最終的に得られる正孔輸送層２０の厚さが約５０ｎｍとなる。また、本実施形態では、第１バンクパターン３３の厚さは約５０ｎｍなので、第１バンクパターン３３の上面と正孔輸送層２０の上面とがほぼ同じレベルに位置するようになる。
【００５３】
次に、図８に示すように、基体３０に対して他のインクジェットヘッド１をＹ軸方向に沿って相対的に平行移動させる。そして、この平行移動の期間中に、複数の凹部３１のそれぞれへ、それぞれのノズル４から液状体２１Ａの液滴Ｄを吐出する。そうすると、先ほど得られた正孔輸送層２０上と、開口部３４Ａによって露出している第２バンクパターン３４上とに、青色蛍光材料を含有した前駆層が形成される。なお、同じ色の蛍光材料が配置されることになる複数の凹部３１のそれぞれへ吐出される液滴Ｄの数は、いずれも同じである。
【００５４】
その後、この前駆層を真空乾燥し、さらに窒素雰囲気下で１３０℃の温度で約１時間乾燥すると、この前駆層から青色蛍光材料からなる主発光層２１を得る。なお、上述の液状体２１Ａの吐出は、最終的に得られる主発光層２１の厚さが約１００ｎｍとなるように、調整されている。
【００５５】
さらに、赤色蛍光材料を含有した液状体と、緑色蛍光材料を含有した液状体とを、それぞれ対応する凹部３１へ配置して、同様な後処理をすることで、赤色蛍光材料からなる主発光層２１と、緑色蛍光材料からなる主発光層２１と、を得る。
【００５６】
その後、５ｎｍのＣａを蒸着して、主発光層２１を覆う電子注入層２２（図９）を形成する。そして、電子注入層２２上に、３００ｎｍのＡｌを蒸着して、Ａｌからなる対向電極（陰極）２３を形成する。さらに、接着剤２４を用いて、対向電極２３上にガラス２５を接着し、下地層から対向電極２３までを含んだ構造を封止することで、図９に示す有機ＥＬ装置４０を得た。
【００５７】
本実施形態によれば、基体３０の表面上で、凹部３１の内面積が、ノズル４の吐出量に応じて変更されている。このため、ノズル４間での吐出量の差が、最終的に得られる正孔輸送層２０の厚さに影響しにくく、また主発光層の厚さに影響しにくい。このため、画素領域間での輝度のばらつきが低減された有機ＥＬ装置４０が得られる。
【００５８】
本実施形態では凹部３１に液状体２０Ａ、２１Ａの吐出を、それぞれ１度のインクジェットヘッドの走査で行う場合について説明したが、これに限らずインクジェットヘッドを複数回走査することで行ってもよい。この場合、ｎを正の整数として、ｎ回目と（ｎ＋１）回目の走査とでＸ軸方向に沿ったインクジェットヘッドの位置を異ならせても良い。Ｘ軸方向に沿ったインクジェットヘッドの位置を異ならせる場合には、配置される液状体の体積の差は、図２の吐出パターンから異なってくるので、あらかじめ図２のパターンとインクジェットヘッドの移動量とを考慮して、Ｘ軸方向に並んだ複数の凹部３１間で膜厚が同じになるようにバンクのパターン（面積）を定める。
【００５９】
（実施形態２）
実施形態１では、第１バンクパターン３３の厚さは均一であり、第２バンクパターンの厚さも均一である。ここで、上述のように第１バンクパターン３３が親液性を有するので、本実施形態では、ノズル４の吐出量に応じて第１バンクパターン３３の厚さを部分的に異ならせる。そのうえで、凹部３１の内面積がいずれも同じになるように、第２バンクパターン３４の厚さを部分的に異ならせている。ただし、これらの点を除くと、本実施形態は実施形態１と基本的に同じである。そして、本実施形態の構成によっても、複数の堆積層に亘って堆積層の体積が異なる場合に、堆積層のほぼ中央部での厚さが均一になり得る。具体的には以下の通りである。
【００６０】
親液性を有する第１バンクパターン３３の厚さが異なると、凹部３１を縁取る部分の第１のバンクパターン３３に張り付く液状体の量（面積）が異なり、そしてこのため、得られる堆積層と第１バンクパターン３３とが互いに接する面積が異なる。このようなことから、親液性を有する第１バンクパターン３３の厚さを変えることで、最終的に得られる堆積層のほぼ中央部の膜厚を制御できる。したがって、第１バンクパターン３３の厚さを吐出量に応じて異ならせることで、複数の凹部３１に亘って中央部の厚さがほぼ同じである正孔輸送層２０が得られ、かつ複数の凹部３１に亘って中央部の厚さがほぼ同じである主発光層２１が得られる。なお、部分的に厚さが異なるバンクパターンは、例えば、部分的に厚さが異なったバンクパターンの反転形状を規定するスタンプを用いたマイクロエンボス処理によって得られる。
【００６１】
なお、先の実施形態１の凹部３１は、互いに積層された第１バンクパターン３３と第２バンクパターン３４とによって縁取られている。しかしながら、他の形態では、凹部３１は、１層のバンクパターンによって縁取られてもよいし、積層された３層以上のバンクパターンによって縁取られてもよい。さらに、バンクパターンは、実施形態１の場合のように、ＸＹ平面内で連続した構造を有してもよいし、凹部３１を縁取る毎に分離された構造を有してもよい。
【００６２】
（実施形態３）
実施形態１では、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内面積が異なっている。しかしながら、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内表面の材質が異なる場合には、内面積がいずれも同じでもよい。そこで、本実施形態では、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内表面の材質が異なるが、凹部３１の内面積はいずれも同じである。ただし、この点を除くと、本実施形態は実施形態１と基本的に同じである。そして、本実施形態の構成によっても、複数の堆積層に亘って堆積層の体積が異なる場合に、堆積層のほぼ中央部での厚さが均一になり得る。
【００６３】
本実施形態では具体的には、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内表面の材質が異なるように、第１バンクパターン３３および／または第２バンクパターンの材質が部分的に異なっている。凹部３１の内表面の材質が異なると、内表面のうちの側面に張り付く液状体の量（面積）が異なる。そしてこのため、得られる堆積層と凹部３１の内表面とが互いに接する面積が異なる。このようなことから、凹部３１の内表面の材料を変えることで、最終的に得られる堆積層のほぼ中央部の厚さを制御できる。したがって、凹部３１の内表面の材質を吐出量に応じて異ならせることで、複数の凹部３１に亘って中央部の厚さがほぼ同じである正孔輸送層２０が得られ、かつ複数の凹部３１に亘って中央部の厚さがほぼ同じである主発光層２１が得られる。
【００６４】
より具体的には本実施形態では、第２バンクパターン３４のうち、吐出量が少ない凹部３１を縁取る部分での第２バンクパターン３４をフッ素材料含有アクリル樹脂から形成し、吐出量が多い凹部３１を縁取る部分での第２バンクパターン３４をアクリル樹脂から形成した。
【００６５】
（実施形態４）
実施形態１では、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内面積が異なっている。しかしながら、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内表面の撥液性が異なる場合には、内面積がいずれも同じでもよい。そこで、本実施形態では、ノズル４の吐出量に応じて凹部３１の内表面の撥液性が異なるが、凹部３１の内面積はいずれも同じである。ただし、この点を除くと、本実施形態は実施形態１と基本的に同じである。そして、本実施形態の構成によっても、複数の堆積層に亘って堆積層の体積が異なる場合に、堆積層のほぼ中央部での厚さが均一になり得る。具体的には以下の通りである。
【００６６】
凹部３１の内表面の撥液性が異なると、凹部３１の内表面に張り付く液状体の量（面積）が異なる。そしてこのため、得られる堆積層と凹部の内表面とが互いに接する面積が異なる。このようなことから、凹部３１の内表面の撥液性を調整することで、最終的に得られる堆積層のほぼ中央部の厚さを制御することができる。したがって、凹部３１の内表面の撥液性の程度を吐出量に応じて異ならせることで、複数の凹部３１に亘って中央部の厚さがほぼ同じである正孔輸送層２０が得られ、かつ複数の凹部３１に亘って中央部の厚さがほぼ同じである主発光層２１が得られる。
【００６７】
より具体的には本実施形態では、吐出量が少ない凹部３１を縁取る部分での第２バンクパターン３４へ前記４フッ化メタンを用いたプラズマ処理を長時間施し、吐出量が多い凹部３１を縁取る部分での第２バンクパターン３４へは前記４フッ化メタンを用いたプラズマ処理を短時間施す。プラズマ処理が短時間施される部分へは、長時間施される部分がプラズマに曝されている期間うちの所定期間、マスクで覆われればよい。
【００６８】
なお、本実施形態では、ノズル４間の吐出量の差の原因の一つとして、主に、吐出機構５（ノズル４）の位置の違いが説明された。ただし、上述のように、ノズル４間の吐出量の差の原因の他の一つには、振動素子７自体の性能ばらつきがある。そして、本実施形態によれば、このような原因による吐出量の差も低減できる。さらに、振動素子７に代えて、電気熱変換素子によってノズルから液滴を吐出する構成を有したインクジェットヘッドへも、本実施形態は適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】（ａ）本実施形態のインクジェットヘッドの平面を示す模式図であり、（ｂ）は（ａ）のインクジェットヘッド内部の吐出機構の断面を示す模式図である。
【図２】インクジェットヘッドの吐出量をノズルごとに示すグラフ。
【図３】実施形態１，２の液滴吐出装置を示す模式図。
【図４】実施形態１，２の基体の上面を示す模式図。
【図５】実施形態１，２の基体の断面を示す模式図。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、実施形態１に関して、１つのインクジェットヘッドに対応する範囲が、３つの領域に区分された基体を示す模式図である。
【図７】図６の基体に液状体の液滴を配置する工程を説明する図。
【図８】図６の基体に液状体の液滴を配置する工程を説明する図。
【図９】実施形態１，２の有機ＥＬ装置の断面を示す模式図。
【図１０】２つのノズル列を備えたインクジェットヘッドの平面を示す模式図。
【符号の説明】
【００７０】
Ｄ…液滴、１…インクジェットヘッド、３…ノズルプレート、４…ノズル、５…吐出機構、６…振動板、７…振動素子、８…圧力室、９…隔壁構造、１０…インク流路、１１…共通インク室、１２…共通流路、１３…タンク、２０Ａ，２１Ａ…液状体、３０…基体、３０Ｒ，３０Ｓ，３０Ｔ…領域、３１…凹領域、３２…画素電極、３３…第１バンクパターン、３４…第２バンクパターン、３３Ａ，３４Ａ…開口部、８０…液滴吐出装置、８３…ステージ、８４…キャリッジ、８５…ＸＹ走査装置、８６…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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