(57)【要約】【課題】金属異物が混入せず、組み立て・分解作業が容易なバルブを提供する。【解決手段】輸送流体の流路と弁体収容室を内部に備えたバルブ本体と、前記バルブ本体内に回転可能な状態で支持され、前記流路を開閉し、回動の操作部を備えた弁体と、からなるバルブであって、前記バルブ本体は金属製であり、前記弁体が非金属製であるバルブ。【選択図】図１
2008115927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
輸送流体の流路と弁体収容室を内部に備えたバルブ本体（１）と、前記バルブ本体内に回転可能な状態で支持され、前記流路を開閉し、回動の操作部を備えた弁体（２）と、からなるバルブであって、前記バルブ本体は金属製であり、前記弁体が非金属製であるバルブ。
【請求項２】
前記弁体の形状が、円柱、円錐、円錐台のいずれかであり、弁体が、流路となる穴または溝をもつ弁体である、請求項１記載のバルブ。
【請求項３】
前記バルブ本体が接液部（３）を備えており、前記接液部が弾性と耐溶剤性を持つ樹脂により被覆されている請求項１または請求項２記載のバルブ。
【請求項４】
前記弁体が耐溶剤性を持つ弁体である、請求項１から請求項３いずれかに記載のバルブ。
【請求項５】
前記バルブ本体と前記弁体が摺動する部分にシール部材（４）を備えており、前記シール部材が、弾性変形し、輸送流体が流路以外へ流れることを防ぐシール部材である、請求項１から請求項４いずれかに記載のバルブ。
【請求項６】
半導体ペーストの製造工程に用いられる請求項１から請求項５いずれかに記載のバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はバルブに関し、詳しくはストップバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
ストップバルブは配管やタンク等に取付けられ、流路を流れる流体の制御に広く使用されている。このストップバルブは一般的にボールバルブといったボール収容室とその両側部に設けられた一対の流体流路を有するバルブ本体と、前記バルブ本体に配設された一対の環状弁座と、前記一対の環状弁座間において回転軸の回りに回転可能に前記ボール収容室に収容され前記回転軸に対して直交する方向に貫通孔を有するボールと、前記ボールの上端部と連結され前記ボールを前記回転軸の回りに回転駆動する弁棒とから構成され、前記ボールを０度から約９０度まで回動させることによって、弁を全開から全閉まで操作できる構造のものである。
【０００３】
ここで上記ボールバルブは一般的に一旦ボールをバルブ本体のボール収容室に収容し前記環状弁座を配設することで組み立てると、再び分解するためには専用工具等が必要となる複雑な構造であった。また上記ボールバルブはバルブ本体がボール収容室の両側部で分離可能な組み立て後に再び分解するために専用工具等が必要とならない構造のものもあったが、輸送流体が流路以外へ流れることを防ぐためにシール部材の点数が多かった。また上記ボールバルブの材質は一般的に金属であり、一部で樹脂製のものもあったが強度が低かった。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−９５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記ボールバルブは金属製の場合はたとえば半導体封止用材料等の金属異物が含まれてはならない流体に金属異物が混入したり、樹脂製の場合は１０ｋｇ程度の重量物に耐えられず変形したり破損してしまったりする問題があった。また、前記バルブ本体と弁体の隙間から輸送流体が流路以外へ流れることがあった。また、輸送流体によって前記バルブ本体や弁体が侵され変形することがあった。また、前述の通り分解するために専用工具等が必要とならないボールバルブは部品点数が多く、分解・組み立てが煩雑になる問題もあった。本発明は、以上のような課題を解決しようとするものであって、金属の異物が発生せず分解・組み立てが容易なバルブ（ストップバルブ）を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下に関する。
１．  輸送流体の流路と弁体収容室を内部に備えたバルブ本体１と、前記バルブ本体内に回転可能な状態で支持され、前記流路を開閉し、回動の操作部を備えた弁体２と、からなるバルブであって、前記バルブ本体は金属製であり、前記弁体が非金属製であるバルブ。
２．  前記弁体の形状が、円柱、円錐、円錐台のいずれかであり、弁体が、流路となる穴または溝をもつ弁体である、項１記載のバルブ。
３．  前記バルブ本体が接液部３を備えており、前記接液部が弾性と耐溶剤性を持つ樹脂により被覆されている項１または項２記載のバルブ。
４．  前記弁体が耐溶剤性を持つ弁体である、項１から項３いずれかに記載のバルブ。
５．  前記バルブ本体と前記弁体が摺動する部分にシール部材４を備えており、前記シール部材が、弾性変形し、輸送流体が流路以外へ流れることを防ぐシール部材である、項１から項４いずれかに記載のバルブ。
６．  半導体ペーストの製造工程に用いられる項１から項５いずれかに記載のバルブ。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のバルブ（ストップバルブ）によれば樹脂製バルブよりも強度が必要な場面で使用することができ、金属異物が混入せず、組み立て・分解作業が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明のバルブは、輸送流体の流路と弁体収容室を内部に備えたバルブ本体と、前記バルブ本体内に回転可能に支持され、前記流路を開閉し、回動の操作部を備えた弁体からなるバルブであって、前記バルブ本体は金属製であって、前記弁体が非金属製であるバルブである。更に好ましくは、弁体の形状が円柱、円錐、円錐台のいずれかであり、流路となる穴または溝をもつバルブであり、さらにバルブ本体の接液部が弾性と耐溶剤性を持つ樹脂により被覆されているバルブであり、さらに弁体が耐溶剤性を持つバルブであり、さらにバルブ本体と弁体が摺動する部分に弾性変形し、輸送流体が流路以外へ流れることを防ぐシール部材を有するバルブである。さら本発明のバルブは、半導体用ペーストの製造工程に好適に利用される。本発明によれば、輸送流体中に金属異物が混入することなく、分解・洗浄・組み立てが容易となる。
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図１は本発明のストップバルブの一例を示したものである。本発明のストップバルブは主としてバルブ本体１，弁体２，バルブ本体の接液部被覆樹脂３，シール部材４，蓋体とハンドル６からなる。以下、本発明のバルブは、ストップバルブまたはバルブと表す。
【００１０】
バルブ本体１の金属種類は用途により選定することが好ましい。輸送流体による腐食がないことが好ましいが、後述の被覆樹脂の被覆部分等によっては腐食性があっても構わない。たとえばステンレス等が挙げられる。また弁体収容室の形状は断面が弁体の外形以上の径を持つ円柱、円錐または円錐台形状が好ましい。
【００１１】
弁体２の材質は、好ましくは樹脂製であり、輸送流体への耐腐食性を持つことが好ましい。また分解・洗浄・組み立て等を可能とするため、耐摩耗性等を考慮して耐久性が高いことが好ましくこの要件を満足した材質を選定すればよい。弁体収容室の断面形状が円形であれば円柱、円錐または円錐台形状のいずれでも構わないが、バルブ本体への組み立て作業性から円錐台形状の方がより好ましい。さらに弁体は回動用のハンドルを装着するための凸部を併せ持つことが部品点数を少なくするために特に好ましい。
【００１２】
バルブ本体の接液部被覆樹脂３は輸送流体による腐食がないことが好ましく、さらにバルブ本体の弁体収容室と弁体を密着させる機能を併せ持たせるために弾性を持つことが特に好ましい。また弁体と摺動するため耐摩擦性を持つことが好ましい。たとえばフッ素系樹脂コーティングや樹脂シートの焼付け等が挙げられる。
【００１３】
シール部材４は弁体やバルブ本体に、例えば、配設用の溝を加工し設置する。材質は弾性変形し輸送流体による腐食がないことが好ましい。
【００１４】
蓋体は、例えば、ハンドル装着側の蓋体５Ａ、蓋体５Ｂ、ガスケット５Ｃ、クランプ５Ｄからなる。ハンドル装着側の蓋体５Ａは凸部のための穴があることが好ましい。
【実施例】
【００１５】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこの実施例に制限されるものではない。
【００１６】
実施例１
ステンレスでバルブ本体と蓋体、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂で円柱形状の弁体を作成し、さらにバルブ本体の弁体接触部のみフッ素樹脂シートを焼付けて長さ１４０ｍｍのストップバルブを作成した。
【００１７】
（１）本発明のストップバルブの組み立て、分解時の金属異物発生数とこのときの作業時間を評価した。まず測定前にクリーンブース（クラス１０００）内でアセトンを用いて全ての部品を洗浄し、組み立て・分解後に各部品を再洗浄した。再洗浄に使用したアセトンを目開き１０μｍのナイロンフィルターで濾過し、フィルタ残渣物を顕微鏡で観察した。残渣物の成分分析を行い金属残渣物の数を測定することで１回の組み立て・分解作業で発生する金属異物数の評価を行った。尚、評価は３回の平均値を用いた。実施例１では金属異物が平均１．３個発生した。発生箇所を確認したところ、蓋体の固定に使用するクランプの摺動部から発生していた。また作業時間は平均１８３秒であった。
【００１８】
（２）また組み立て時に発生した金属異物が輸送流体に混入する数を計測した。輸送流路に輸送流体としてアセトンを用い流路の開閉を１０回行った。回収したアセトンを（１）と同様に観察し評価を行った。評価には３回の平均値を用いた。実施例１では金属異物の混入は見られなかった。さらに流路を鉛直方向にし、流路上部への耐荷重について評価を行った。実施例１では５０ｋｇの荷重をかけても問題が起こらなかった。
【００１９】
実施例２
ステンレスでバルブ本体と蓋体、アセタール樹脂で円錐台形状の弁体、バルブ本体の接液部全体をフッ素樹脂でコーティングして長さ１００ｍｍのストップバルブを作成した。
【００２０】
実施例２では組み立て、分解時に金属異物が平均１．０個発生していた。発生箇所を確認したところ、実施例１と同様に蓋体の固定に使用するクランプの摺動部から発生していた。また作業時間は平均１４５秒であった。これは後述比較例１のおよそ１／８に相当することになる。実施例２では金属異物の混入は見られなかった。実施例２では５０ｋｇの荷重をかけても問題が起こらなかった。
【００２１】
比較例１
実施例と同じ評価を従来用いられているボールバルブ（大阪サニタリー社製）を対象に行った。
【００２２】
比較例１では組み立て、分解時に金属異物が平均９．３個発生していた。発生箇所はクランプ、ハンドルとボールの接触部、ハンドルとバルブ本体の接触部など多岐に渡っていた。また比較例のボールバルブの組み立て、分解には一般工具が必要であり、工具とバルブの接触部からも金属異物が発生していた。作業時間は１０８０秒であった。比較例１では平均２．７個の金属異物混入が見られた。比較例１では５０ｋｇの荷重をかけても問題が起こらなかった。
【００２３】
比較例２
本発明のストップバルブと同形のバルブをＰＰ製で製作し、耐加重強度について評価を行った。比較例２のＰＰ製ストップバルブでは１０ｋｇの荷重をかけたところ、流路とバルブ本体の接続部に変形が見られた。
【００２４】
以上の結果を表１にまとめて示した。
【００２５】
【表１】
2008115927.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のストップバルブであり、（ａ）は正面断面図である。
【図２】本発明のストップバルブであり、（ｂ）は、（ａ）のＥ−Ｅにおける横面断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  バルブ本体
２  弁体
３  接液部被覆樹脂（接液部）
４  シール部材
５Ａ  ハンドル側蓋体
５Ｂ  蓋体
５Ｃ  ガスケット
５Ｄ  クランプ
６  ハンドル
【図１】
2008115927.tif 000004
【図２】
2008115927.tif 000005