(57)【要約】【課題】大型の被検査基板であっても、検査精度を確保して効率良く検査することが可能なマクロ検査装置を提供する。【解決手段】マクロ検査装置１は、被検査基板Ｗに照明光Ｌを照射して検査者Ｍによって反射光Ｌ４を観察することで、被検査基板Ｗの欠陥検査を行うもので、被検査基板Ｗを保持する基板ホルダ２と、基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗの少なくとも一部に照明光Ｌを照射する照明装置４と、照明装置４による照明光Ｌの照射方向を一定の状態として、被検査基板Ｗに対する照射範囲Ｌ３を移動させることが可能な照明移動手段１５と、  検査者Ｍによる被検査基板Ｗの検査位置Ｍ１を検知する検査位置検知手段２３と、検査位置検知手段２３の検知結果に応じて、照明移動手段１５によって照明装置４の照射範囲Ｌ３を検査位置Ｍ１に移動させる制御部２２とを備える。【選択図】図１
2008064667.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板に照明光を照射して検査者によって反射光を観察することで、前記被検査基板の欠陥検査を行うマクロ検査装置であって、
前記被検査基板を保持する基板ホルダと、
該基板ホルダに保持された前記被検査基板の少なくとも一部に前記照明光を照射する照明装置と、
該照明装置による前記照明光の照射方向を一定の状態として、前記被検査基板に対する照射範囲を移動させることが可能な照明移動手段と、
前記検査者による前記被検査基板の検査位置を検知する検査位置検知手段と、
該検査位置検知手段の検知結果に応じて、前記照明移動手段によって前記照明装置の前記照射範囲を前記検査位置に移動させる制御部とを備えることを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のマクロ検査装置において、
前記検査位置検知手段は、前記検査者の位置情報を検出する位置センサであり、該位置情報に基づいて前記検査位置を検知することを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載のマクロ検査装置において、
前記位置センサは、前記検査者の重量を検出する圧力センサが、複数配列して構成されていることを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項４】
請求項２に記載のマクロ検査装置において、
前記位置センサは、所定の方向に検出光を照射する発光部と該発光部から照射された検出光を検出する受光部とで対をなす光センサが、複数配列して構成されていることを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載のマクロ検査装置において、
各種操作を行うことが可能な操作パネルと、
前記検査者とともに該操作パネルを移動させることが可能なスライド機構とを備え、
前記検査位置検知手段は、前記操作台の位置情報を検出する位置センサであり、該位置情報に基づいて前記検査位置を検知することを特徴とするマクロ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板に照明光を照射して検査者によって反射光を観察することで、被検査基板の欠陥検査を行うマクロ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶ディスプレイに使用されるガラス基板などを被検査基板として、目視によって被検査基板の欠陥検査を行うマクロ検査装置が知られている。このようなマクロ検査装置は、被検査基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダに保持された被検査基板に照明光を照射する照明装置とを備えている（例えば、特許文献１参照）。そして、照明装置によって被検査基板を照明し、その反射光の変化を検査者が目視で観察することによって、被検査基板の傷やむらなどを検出することができる。
【０００３】
ところで、近年、ガラス基板としては、大型のフラットパネルディスプレイを４面取りや６面取り等することが可能に、１辺が２０００ｍｍ以上の大型のガラス基板が開発されてきている。このため、ガラス基板を被検査基板とするマクロ検査装置も大型化され、被検査基板を照明する照明装置も被検査基板全体を照明可能なものが要求されてきている。しかしながら、単一の光源を有する照明装置で被検査基板全体を均一に照明するには限界があり、一方、複数の光源を有するものとすれば、装置スペースやコスト上の限界があった。このため、このような問題を解消すべく、照明装置を移動させる移動手段を有するマクロ検査装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。このようなマクロ検査装置では、移動手段によって照明装置を移動させることができるため、検査者が目視によって観察を行う範囲のみを適時移動させながら照明すれば良く、それ故に最小限の照明装置で、装置スペース及びコストの低減を図ることができるとされている。
【特許文献１】特開平５−１０９８４９号公報
【特許文献２】国際公開第０３／０６６７２号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献２のようなマクロ検査装置で被検査基板全体を均一な条件で検査するためには、被検査基板のいずれの検査位置においても常に略一定の角度で反射される反射光を観察するする必要がある。このため、大型の被検査基板を検査する場合、検査者は、被検査基板の検査位置に応じて移動するとともに、移動手段によって照明装置による照射範囲を検査位置と対応するように移動させる必要があった。すなわち、検査者は、被検査基板の観察、自分自身の位置調整、及び、照明装置の位置調整を全て同時に行う必要があり、被検査基板の観察に集中できなく検査精度が低下してしまう、あるいは、検査効率が低下してしまうという問題があった。
【０００５】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、大型の被検査基板であっても、検査精度を確保して効率良く検査することが可能なマクロ検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明は、被検査基板に照明光を照射して検査者によって反射光を観察することで、前記被検査基板の欠陥検査を行うマクロ検査装置であって、前記被検査基板を保持する基板ホルダと、該基板ホルダに保持された前記被検査基板の少なくとも一部に前記照明光を照射する照明装置と、該照明装置による前記照明光の照射方向を一定の状態として、前記被検査基板に対する照射範囲を移動させることが可能な照明移動手段と、  前記検査者による前記被検査基板の検査位置を検知する検査位置検知手段と、該検査位置検知手段の検知結果に応じて、前記照明移動手段によって前記照明装置の前記照射範囲を前記検査位置に移動させる制御部とを備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のマクロ検査装置によれば、検査位置検知手段と、検査位置検知手段の検知結果に応じて照明装置による照射範囲を調整可能な制御部とを備えることで、検査者は、照明装置による照射範囲の位置調整を自らする必要が無く、所望の検査位置において、常に一定の方向に反射する反射光を観察して、被検査基板の検査を行うことができる。すなわち、検査者は、被検査基板の観察にのみ集中して、いずれの検査位置においても常に均一の検査条件で検査することができるので、検査精度を確保して、効率良く被検査基板を検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の第１実施形態におけるマクロ検査装置について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態としてのマクロ検査装置１を示したものである。本実施形態のマクロ検査装置１は、液晶ディスプレイを複数枚製造するマザーガラス基板など、例えば一辺の長さが２ｍ以上となるような大型の被検査基板の表面欠陥を検査者の目視観察により検査することが可能なものである。図１に示すように、マクロ検査装置１は、被検査基板Ｗを保持する基板ホルダ２と、基板ホルダ２に保持された状態で被検査基板Ｗを検査者の目視観察に適した角度で回動させる回動機構３と、基板ホルダ２の上方に配置され、基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗに照明光Ｌを照射する照明装置４とを備える。図２に示すように、基板ホルダ２は、被検査基板Ｗよりも小さい矩形状の開口部５ａを有する枠体５と、枠体５の載置面５ｂ上に被検査基板Ｗを吸着する複数の吸着パッド６と、枠体５の載置面５ｂ上で被検査基板Ｗを位置決め保持する複数のクランプ７と備えている。
【０００９】
図１に示すように、回動機構３は、ベース８と、回動軸９ａによってベース８に対して鉛直軸回りに回動可能に設けられた略コの字状の支持アーム９と、回動軸１０ａによって支持アーム９に対して水平軸回りに回動可能に設けられた一対のスライダ１０とを備える。一対のスライダ１０は、基板ホルダ２の枠体５を、載置面５ｂに沿って回動軸１０ａと略直交する方向に摺動可能に支持している。スライダ１０のそれぞれには、基板ホルダ２を移動させるリニアモータやボールネジなどの一端に回転モータを連結した図示しない直線駆動モータが設けられていて、これにより基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗを、一対のスライダ１０に沿って上下方向Ｙに移動させること可能である。また、回動軸９ａ、１０ａのそれぞれには、図示しない駆動モータが設けられていて、これにより基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗを、鉛直軸回りの回転方向Ｐへの回動である左右回動及び水平軸回りの回転方向Ｑへの回動である前後回動させることが可能である。
【００１０】
また、図３に示すように、照明装置４は、光源１１と、光源１１から照射された照明光Ｌを集束させる集束レンズ１２と、集束レンズ１２を通過した照明光Ｌを集束光と散乱光とに切り替える液晶散乱板１３とを備える。集束レンズ１２としては、フレネルレンズが使用されるが、大口径の凸レンズや、小口径の凸レンズを複数マトリックス状に配列したものとしても良い。また、本実施形態では、集束レンズ１２として、１枚のフレネルレンズを配置したが、フレネルレンズを２枚組として平行光から集束光へと段階的に集束させるものとしても良い。また、液晶散乱板１３は、半透明な状態として透過する照明光Ｌを散乱させて散乱光Ｌ１として出力させることが可能であるとともに、透明な状態に切り替えることで透過する照明光Ｌを集束光Ｌ２としてそのまま出力させることが可能である。そして、図１に示すように、照明装置４は、集束光または散乱光いずれかの照明光Ｌを、基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗの一部を照射範囲Ｌ３として、上方から被検査基板Ｗに落射照明することが可能である。このため、検査者Ｍは、照射範囲Ｌ３と対向して位置し、照射範囲Ｌ３を検査位置Ｍ１として目視することで、照明光Ｌの反射光Ｌ４の変化に基づいて被検査基板Ｗの欠陥等を観察することができる。また、図１に示すように、マクロ検査装置１は、基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗに対して左右方向Ｘに照明装置４を移動させる照明移動手段１５を備えている。照明移動手段１５は、左右方向Ｘに配設されたフレーム１６と、フレーム１６に沿って照明装置４を案内するガイド１７と、照明装置４に螺合した状態で、フレーム１６上に左右方向Ｘに沿って設けられたボールネジ１８と、ボールネジ１８を回転駆動する駆動部１９とを備える。すなわち、駆動部１９を駆動してボールネジ１８を回転させることで、照明装置４をガイド１７に沿って左右方向Ｘに移動させることが可能であり、これにより被検査基板Ｗを左右方向Ｘ全体に亘って照明することが可能である。なお、本実施形態においては、回動機構３のスライダ１０に沿って基板ホルダ２を上下方向Ｙへ移動させることによって、照明装置４により基板ホルダ２上に吸着保持された被検査基板Ｗを、上下方向Ｙ全体に亘って照明可能としている。
【００１１】
また、図１及び図４に示すように、マクロ検査装置１は、検査者Ｍが検査時に位置する検査台２０と、検査者Ｍが検査時に各種操作を行う操作パネル２１と、回動機構３、照明装置４、照明移動手段１５などを制御する制御部２２とを備える。検査台２０は、左右方向Ｘに沿って設けられている。また、検査台２０の検査者Ｍが載る上面２０ａには、検査者Ｍによる被検査基板Ｗの検査位置を検知する検査位置検知手段として、検査者Ｍの位置情報を検出する位置センサ２３が設けられている。より詳しくは、位置センサ２３は、検査台２０の上面２０ａに、左右方向Ｘに複数の圧力センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄが配列して構成されたものである。圧力センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄは、人間の重量を感知可能な感度を有するものであり、検出された信号は、制御部２２に出力される。なお、本実施形態では、位置センサ２３は、４枚の圧力センサで構成されているが、これに限定されるものではなく、さらに多数の圧力センサを配列するものとしても良い。
【００１２】
また、図５に示すように、操作パネル２１は、ホルダー操作ジョイスティック２５と、回動動作切替ボタン２６とを備える。ホルダー操作ジョイスティック２５は、前後に傾倒させることで、回動機構３のリニアモータを駆動させて基板ホルダ２を上下方向Ｙに移動させることが可能である。また、ホルダー操作ジョイスティック２５は、左右に傾倒させることで、回動動作切替ボタン２６による切替によって、回転方向Ｐへの左右回動及び回転方向Ｑへの前後回動を行うことが可能である。なお、操作パネル２１には、その他、ボタン群２７が設けられていて、これらの操作によって、基板ホルダ２による被検査基板Ｗの保持及び解除、照明装置４による照明光ＬのＯＮ／ＯＦＦ、集束光と散乱光の切替、あるいは、照明移動手段１５の手動操作などを行うことが可能である。
【００１３】
次に、マクロ検査装置１の作用及び制御部２２による制御の詳細について説明する。図６に示すように、まず、検査者Ｍが４枚の圧力センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄの内、最も左側の圧力センサ２４ａ上に立って検査を開始したとする。この場合、圧力センサ２４ａのみで圧力が検出されることから、制御部２２は、圧力センサ２４ａから出力される電気信号によって、検査者Ｍが圧力センサ２４ａの位置に存在するという位置情報を得ることができ、これに基づいて圧力センサ２４ａと対向する位置が検査位置Ｍ１であると検知することができる。そして、制御部２２は、照明移動手段１５の駆動部１９を駆動して、照明装置４を左右方向Ｘに移動させることによって、照明装置４による照射範囲Ｌ３と、検査位置Ｍ１が一致するようにさせる。このため、検査者Ｍは、自身と対向する被検査基板Ｗの一部の範囲を検査位置Ｍ１として反射光Ｌ４を観察して、検査位置Ｍ１における欠陥の有無を検査することができる。また、検査者Ｍは、必要に応じて操作パネル２１を操作して照明装置４の照明光Ｌを集束光と散乱光とに切り替えて観察し、また、被検査基板Ｗを左右回動及び上下回動させながら観察を行う。次に、検査位置Ｍ１での検査が完了したら、図７に示すように、検査者Ｍは、操作パネル２１を操作して被検査基板Ｗを上下方向Ｙに移動させて同様の操作を行う。これにより、上下方向Ｙ全体に亘って被検査基板Ｗの検査を行うことができる。
【００１４】
次に、検査者Ｍは、検査台２０上で左右方向Ｘに順次移動し、自身と対向する位置を検査位置として同様の検査を繰り返す。この際、図８に示すように、検査者Ｍが、例えば圧力センサ２４ａと圧力センサ２４ｂとの間に移動したとすれば、制御部２２は、圧力センサ２４ａ及び圧力センサ２４ｂから出力される電気信号によって、検査者Ｍが圧力センサ２４ａと圧力センサ２４ｂとの間の位置に存在するという位置情報を得ることができ、これに基づいて圧力センサ２４ａと圧力センサ２４ｂとの中間位置と対向する位置が検査位置Ｍ２であると検知することができる。そして、制御部２２は、この検知結果に基づいて、照明移動手段１５の駆動部１９を駆動して照明装置４を左右方向Ｘに移動させることによって、照明装置４による照射範囲Ｌ３と、検査位置Ｍ２が一致するようにさせる。このため、検査者Ｍは、上記同様に検査位置Ｍ２における欠陥の有無を検査することができる。
【００１５】
以上のように、本実施形態のマクロ検査装置１では、検査者Ｍが、自身と対向する位置を検査位置として被検査基板Ｗの一部を検査しようとすれば、制御部２２及び照明移動手段１５によって照明装置４による照射範囲Ｌ３を検査位置に自動的に移動させることができる。また、照明装置４は、照明移動手段１５のフレーム１６に沿って左右方向Ｘに平行移動するだけで、照射方向を変化させずに移動するので、被検査基板Ｗのいずれの範囲においても、常に同じ方向から照明することができる。すなわち、検査者Ｍは、照明装置４による照射範囲Ｌ３の位置調整を自らする必要が無く、所望の検査位置において、常に一定の方向に反射する反射光Ｌ４を観察して、被検査基板Ｗの検査を行うことができる。このため、検査者Ｍは、被検査基板Ｗの観察にのみ集中して、いずれの検査位置においても常に均一の検査条件で検査することができるので、検査精度を確保して、効率良く被検査基板を検査することができる。なお、本実施形態においては、検査者Ｍの自重によって圧力を検出する圧力センサで位置センサ２３を構成したが、単に検査者Ｍの自重でＯＮ／ＯＦＦ切替可能なフットパネルとしても良い。
【００１６】
図９は、この実施形態の第１の変形例を示している。この変形例のマクロ検査装置３０は、検査台２０上で、左右方向Ｘに４列、被検査基板Ｗと対向する方向である前後方向に３列の計１２枚の圧力センサ３１が配列している。このマクロ検査装置３０では、上記同様に検査者Ｍが検査台２０上で左右方向Ｘに移動することでその位置情報を検出し照明装置４を移動させることができるだけでなく、検査者Ｍが検査台２０上で前後方向に移動することで、回動機構３によって被検査基板Ｗを上下方向Ｙに移動させることができる。例えば、図９に示すように、前後方向中央に位置する圧力センサ３１ａ上に検査者Ｍが位置していた状態から前方の圧力センサ３１ｂ上に移動したとすれば、制御部２２は回動機構３を駆動して、被検査基板Ｗを下方へ一定量移動させる。このため、検査者Ｍは、操作パネル２１を操作することなく、被検査基板Ｗの上側を検査することができるようになる。同様に、検査者Ｍが後方の圧力センサ３１ｃ上に移動すれば、被検査基板Ｗは上方へ一定量移動し、操作パネル２１を操作することなく、被検査基板Ｗの下側を検査することができる。
【００１７】
なお、本変形例では、前後方向にいずれの圧力センサ３１で検出されるかによって、被検査基板Ｗを上下方向Ｙに一定量移動させるものとしたが、これに限られるものでは無い。例えば、中央に位置する圧力センサ３１ａに検査者Ｍが位置し、この状態から圧力センサ３１ｂ、３１ｃのいずれかに、検査者Ｍの自重を圧力として入力した時間に応じて、回動機構３によって基板ホルダ２を移動させるものとしても良い。また、検査者の位置に応じて回動機構３によって基板ホルダ２を上下方向Ｙに移動させるものとしたが、これに限るものでは無い。例えば、照明移動手段１５を、左右方向Ｘだけでなく、前後方向にも移動可能とする二軸ステージとして、圧力センサの出力に応じて照明装置４を前後左右に移動させるものとしても良い。また、被検査基板Ｗが左右方向Ｘに細長で上下方向Ｙに照明装置４による照射方向を変化したとしても検査精度に影響が無い場合には、圧力センサ３１の出力に応じて照明装置４による照射方向を前後方向に変化させて被検査基板Ｗを上下方向Ｙ全体に亘って照明可能な構成としても良い。
【００１８】
図１０は、この実施形態の第２の変形例を示している。この変形例のマクロ検査装置４０は、検査者Ｍの位置情報を検出する位置センサ４１（検査位置検知手段）として、検出光Ｂを照射する発光部４３と、発光部４３から照射された検出光Ｂを検出する受光部４４とで対をなす複数の光センサ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄで構成されたものを備えている。検出光Ｂとしては、可視光や赤外光など様々なものが選択可能である。光センサ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄの各々の発光部４３と受光部４４とは検査台２０を挟んで対向配置され、これら光センサ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄは、検査台２０に沿って左右方向Ｘに等間隔に配列されている。このような位置センサ４１を有するマクロ検査装置４０でも、光センサ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄのいずれかの受光部４４で発光部４３からの検出光Ｂが検出されなかったかに基づいて検査者Ｍの位置情報を検出することができ、これに応じて検査者Ｍによる検査位置Ｍ１を検知することができる。
【００１９】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図１１は、本発明の第２の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２０】
図１１に示すように、本実施形態のマクロ検査装置５０は、操作パネル５１を左右方向Ｘに移動させることが可能なスライド機構５２を備えている。なお、操作パネル５１は、第１の実施形態と同様の構成であるので、説明を省略する。また、スライド機構５２上には、検査者Ｍによる被検査基板Ｗの検査位置Ｍ１を検知する検査位置検知手段として、左右方向Ｘにライン状に、操作パネル５１の位置情報を検出する位置センサ５３が設けられている。位置センサ５３は、例えば、左右方向Ｘに沿って配列した複数の電極で、いずれかの電極が操作パネル５１側の電極と導通されているかによって操作パネル５１の左右方向Ｘの位置を検出することができるものであり、その検出結果は制御部２２に出力される。
【００２１】
このようなマクロ検査装置５０においては、検査者Ｍは、検査台２０上で自身が左右方向Ｘに移動する際に操作パネル５１を把持することで、操作パネル５１を容易に追従させて移動させることができる。このため、被検査基板Ｗの対向する範囲を検査位置Ｍ１として検査する際に、操作パネル５１を常に自身の正面に配置することができて、操作パネル５１の操作を容易なものとすることができる。さらに、操作パネル５１を検査者Ｍの正面に配置させることで、位置センサ５３によって操作パネル５１の位置が検出され、これに基づいて操作パネル５１と対向する位置を検査位置Ｍ１として検知することができる。このため、制御部２２は、照明装置４を移動させて、照明装置４による照射範囲Ｌ３と、検査位置Ｍ１が一致するようにさせることができ、第１の実施形態同様に検査精度を確保しつつ効率良く検査することができる。
【００２２】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の全体図である。
【図２】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の基板ホルダの拡大図である。
【図３】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の照明装置の詳細図である。
【図４】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置のブロック図である。
【図５】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の操作パネルの詳細図である。
【図６】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の被検査基板を検査する際の説明図である。
【図７】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の被検査基板を検査する際の説明図である。
【図８】本発明の第１の実施形態のマクロ検査装置の被検査基板を検査する際の説明図である。
【図９】本発明の第１の実施形態の第１の変形例のマクロ検査装置の全体図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態の第２の変形例のマクロ検査装置の全体図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態のマクロ検査装置の全体図である。
【符号の説明】
【００２４】
１、３０、４０、５０  マクロ検査装置
２  基板ホルダ
３  回動機構
４  照明装置
１５  照明移動手段
２１、５１  操作パネル
２２  制御部
２３、４１  位置センサ（検査位置検知手段）
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、３１、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ  圧力センサ
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ  光センサ
４３  発光部
４４  受光部
５２  スライド機構
５３  位置センサ（検査位置検知手段）
Ｌ  照明光
Ｌ３  照射範囲
Ｌ４  反射光
Ｍ  検査者
Ｍ１、Ｍ２  検査位置
Ｗ  被検査基板
【図１】
2008064667.tif 000003
【図２】
2008064667.tif 000004
【図３】
2008064667.tif 000005
【図４】
2008064667.tif 000006
【図５】
2008064667.tif 000007
【図６】
2008064667.tif 000008
【図７】
2008064667.tif 000009
【図８】
2008064667.tif 000010
【図９】
2008064667.tif 000011
【図１０】
2008064667.tif 000012
【図１１】
2008064667.tif 000013