(57)【要約】【課題】超伝導体を用いた免振装置の提供【解決手段】（ａ）は側面図、（ｂ）は斜視図である（なお、（ｂ）斜視図では最上部の基板１６０を除いて示している。）。下から、第１永久磁石１２１〜１２４−第１超電導体１４１〜１４４と、第２永久磁石１５１〜１５４−第２超電導体１７１〜１７４という層状構造をそれぞれ１ユニットとする。  ２次元振動に対し、第１永久磁石と第１超電導体間で、ある方向の振動を排除し、第２永久磁石と第２超電導間で、第１永久磁石と第１超電導体間の振動方向と垂直となる方向の振動を排除することができる。超伝導体は、変位時に経験磁場が変化すると、経験磁場が変化する前の状態（位置）に戻ろうとするからである。これは、超伝導体の経験磁場が変化すると、その磁場の変化量に応じて復元力（元の位置に戻ろうとする力）が働くためである。【選択図】図１
2008038972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気浮上を利用した免振装置であって、
長手方向に磁場分布が均一な永久磁石レールと超電導体とを組み合わせたユニットが２組以上あり、
それぞれのユニットでは、該永久磁石レールと超電導体とは、磁気浮上しており、
前記２組以上のユニットを組み合わせることで、二次元の振動を免震することを特徴とする免振装置。
【請求項２】
請求項１に記載の免振装置において、
第１ユニットは、下側に第１永久磁石レール、上側に第１超電導体を有し、
該第１超電導体と位置関係が固定された第２永久磁石レールとを有し、
該第２永久磁石レール上に、第２超電導体を有して第２ユニットを形成し、
前記第１永久磁石レールと前記第２永久磁石レールとは直交していることを特徴とする免振装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の免振装置において、
永久磁石レールと超電導体とのユニット以外に、免振対象の重量を支えるための磁気反発を利用したユニットを有することを特徴とする免振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超電導体と永久磁石による磁気浮上現象を、振動伝達の排除（無振化）に利用した、建物や装置に対する無振動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の免振装置は、基本的には、免振対象物の荷重を支える「支承材」と振動エネルギーを減衰させる「減衰材」とで構成されている。このうち、「支承材」には、
１）弾性系（積層ゴム）
２）すべり系（平面すべり，球面すべり）
３）転がり系（直線レール，円弧レール等）
等がある。
また、「減衰材」には、
１）弾塑性系（鋼棒ダンパー，鉛ダンパー）
２）流体系（オイルダンパー，粘性体ダンパーなど）
等がある。
現在は、これらを免振対象物に応じて組み合わせることにより、目標とする免振性能を確保するように設計されている。しかし、実際には、支承材と減衰材とのバランスが重要となり、それぞれ個別の制約条件が存在することから、設計の自由度は決して大きくはなく、対象物によっては適切な組み合わせが困難になる場合も珍しくはない。
【０００３】
磁気浮上型免振装置については、これまでに、超電導体の特長である“ピンニング特性”を利用した、「支承」と「減衰」を併せ持つ、永久磁石と超電導体とで構成される免振装置が考案されている。これは、超電導体を永久磁石の上空に（“永久磁石を超電導体の上空に”でもよい）安定浮上させ、超電導体と永久磁石の初期位置からの相対変位に対して復元力を働かせて、振動を減衰させながら初期位置に戻すというものである。このときの「支承」は永久磁石の磁束密度に、また「減衰」は超電導体の初期位置からの変位に対する復元力にそれぞれ依存する。
しかし、このように“ピンニング特性”をフルに活用する場合は、基礎側と浮上側との磁気剛性が高くなり、基礎側の水平方向変位に対し、浮上側も同じ方向に移動する（基礎側と浮上側の相対変位が生じ、その変位がゼロになる方向に復元力が働くため）。これは、基礎側の水平方向振動を浮上側に伝達することを意味しており、浮上しているものの、浮上システムの特長（基礎側と浮上側とが非接触であること）が十分活かされているとは言い難い。ここで「磁気剛性」という言葉は、永久磁石とバルク体間の相対変位（ずれ）に対して抵抗する方向に働く電磁力（磁気的結合力）の大きさのことを言っており、 “磁気的結合力”を意味する。
【０００４】
以上の様に、これまでの超電導体を用いた磁気浮上式免振・免震装置は、超電導体の特長である“ピンニング特性（高磁気剛性）”を、従来の免振・免震装置と同様な「支承機能」と「減衰機能」の両者に活用することを目的としたものばかりであり、基礎側と浮上側の磁気剛性を小さくし、基礎側と浮上側を限りなく絶縁状態にすること（基礎側の振動が浮上側に伝達しないようにすること）を目的としたものは存在しない。
これまでに考案された超電導体を用いた磁気浮上式免振・免震装置には、特許文献１に記載されたもの等がある。
本発明も、上述の特許文献１に記載の技術も、「冷却時に記憶した磁場分布をその後も維持しようとする超電導体特有の電磁的特性」を活用したものである。
【０００５】
さて、超電導体特有の電磁的特性は大きく分けて次の２つとなる。
１）変位した時に経験磁場分布が変化すると初期位置に戻ろうとする力が働く
２）変位した時に経験磁場分布に変化が無ければ何も力が働かない
このうち、上記公知技術は、上記の１）の特長を「減衰機能」として活用しているのに対し、本発明は、上記の２）の特長を、振動発生源から免振対象物への振動伝達を排除するために活用している点が大きく異なる。
【特許文献１】特開平５−３０２４５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の免振装置は、「支承材」と「減衰材」という異なる役割を担う部材を組み合わせることによって免振効果を得るものばかりであったため、振動発生源と免振対象物とは物理的に繋がっており、振動を減衰・軽減できたとしても、免振対象物への振動伝達を排除する（無振化する）ことはできなかった。
【０００７】
そのため、従来の免振・免震装置では、「支承」と「減衰」という、相互干渉のある２つの要素をうまくバランスさせることが必要となり、以下の様な課題が存在する。
・ある程度の振動抑制は可能であるが、振動を完全に抑制する（絶縁する）ことができない。
・大きな振動に対する免振効果は大きいが、小さな振動（微振動を含む）に対しては効果が小さい。
・積層ゴム型では、支持能力を保持できる振動範囲（最大振幅）が大きくない（許容振幅が大きくない）。
・振動の減衰に時間を要する（振動がすぐに収まらない）。
・免振特性が免振対象物の重量によって異なり、免振対象物ごとの設計・最適化が必要となる。
・積層ゴム型では免振対象物の重量が小さいと、免振効果が十分得られない。
・免振対象物の固有周期を長周期化することが困難である。
・積層ゴム型では引張耐力が小さいため、引張力を生じないように設計する必要がある⇒設計上の自由度が小さい。
・平面的な剛性や荷重分布に偏りがある場合には、免振対象物に”ねじれ”が生じ、設計が困難となる。
・積層ゴム型では、経時劣化のため、装置稼動の有無に関係なく、一定期間経過後には新しいものに交換しなければならない。
上記の従来技術における課題を解決し、従来技術では適用不可能であった対象物への適用を可能とする設計自由度の大幅向上、ならびに、免振性能の大幅向上を実現するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的を達成するために、本発明は、磁気浮上を利用した免振装置であって、長手方向に磁場分布が均一な永久磁石レールと超電導体と組み合わせたユニットを２組以上あり、それぞれのユニットでは、該永久磁石レールと超電導体とは、磁気浮上しており、前記２組以上のユニットを組み合わせることで、二次元の振動を免震することを特徴とする。
第１ユニットは、下側に第１永久磁石レール、上側に第１超電導体を有し、該第１超電導体と位置関係が固定された第２永久磁石レールとを有し、該第２永久磁石レール上に、第２超電導体を有して第２ユニットを形成し、前記第１永久磁石レールと前記第２永久磁石レールとは直交していることが望ましい。
永久磁石レールと超電導体とのユニット以外に、免振対象の重量を支えるための磁気反発を利用したユニットを有してもよい、
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、超電導体の“ピンニング特性”を「支承機能」として活用するものの、「減衰機能」としては活用しない点が大きな特徴である。これは、本提案システムが、振動発生源からの振動を完全に絶縁するものであるため、「減衰機能」が不要になることに起因する。これにより、「支承機能」と「減衰機能」を必要とする従来の免振装置に比べ、「減衰機能」を省略できる分、システム構成の単純化が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、振動発生源と免振・免震対象物とを絶縁することで、「支承」と「減衰」を独立させて扱うことを可能とするものである。具体的には、免振対象物を磁気浮上させることで、振動発生源と免振対象物との物理的繋がりを無くし（絶縁し）、例えば、永久磁石―超電導体―永久磁石―超電導体の様な層状構成にすることによって、免振対象物への振動伝達を排除するものである。
以下では「免振装置」という用語を用いて説明しているが、ここでいう「免振装置」とは、振動源からの振動の伝達を排除したり、抑制したりする装置であって、振動源の種類や振動の排除・抑制の対象物の種類を特定するものではない。このため、特に地震に対して使用される「免震装置」も、「免振装置」に含まれる。
【００１１】
以下に、図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。
本発明の免振装置は、図１に示すように、複数の永久磁石と超電導体の対で構成されている。図１は、本発明の免振装置の概略図であり、図1（ａ）は側面図、図1（ｂ）は斜視図である（なお、（ｂ）斜視図では最上部の基板１６０を構造が分かるように除いて示している。）。下から、第１永久磁石１２１〜１２４−第１超電導体（第１バルク体）１４１〜１４４−第２永久磁石１５１〜１５４−第２超電導体（第２バルク体）１７１〜１７４という各層状構造を示している。ただし、下から、第１超電導体−第１永久磁石−第２超電導体−第２永久磁石の２組のユニットで構成しても構わない。しかし、以下では、下から、第１永久磁石−第１超電導体と第２永久磁石−第２超電導体の２組のユニットで構成した例で説明する。
さて、永久磁石の形状については、図１（ｃ）にように、複数の永久磁石を直線状に配置した場合に、長手方向磁場分布の均一性を確保できれば、特に制限はない。超電導体の形状についても、特に制限はない。
なお、図１では２組のユニットを用いているが、２組以上のユニットを組み合わせもよい。
【００１２】
図１に示すように、第１永久磁石と第１超電導体、ならびに、第２永久磁石と第２超電導体はともに非接触である（浮上している）が、第１超電導体と第２永久磁石は、両方とも基板１３０に固定されており、動きを共にする。
さて、永久磁石レールを構成する永久磁石の上表面の磁極は、１本の永久磁石レール内ではすべて同じとしている。これは、図１（ｃ）に示すように、レール方向の磁極を同じにするということである
この構成により、超電導体（バルク体）は、変位時に経験磁場が変化すると、経験磁場が変化する前の状態（位置）に戻ろうとする。これは、超電導体の経験磁場が変化すると、その磁場の変化量に応じて復元力（元の位置に戻ろうとする力）が働くためである。永久磁石のレール方向の振動を吸収するには（レール方向の振動に対して、浮上している超電導体に復元力を作用させないようにするには）、レール方向の変位に対して、超電導体の経験磁場が変化しないようにする（均一にする）必要がある。もし、永久磁石のレール方向の磁極が均一でない場合は、レール方向の振動が加わると、レール方向に変位が生じ、バルク体の経験磁場が変化するために、バルク体に復元力が働いてしまう。これは、レール方向の振動を浮上しているバルク体に伝達することを意味しており、これでは免振効果は得られない。
【００１３】
図１のような構成とすると、２次元振動に対し、第１永久磁石と第１超電導体間で、ある方向の振動を排除し、第２永久磁石と第２超電導体間で、第１永久磁石と第１超電導体間の振動方向と垂直となる方向の振動を排除することができる。
第１永久磁石は、複数の永久磁石を、図１（ｃ）に示すように直線状に配置したもの（以下では、それぞれを「永久磁石レール」と称す）である。これは、第２永久磁石についても同様である。ただし、永久磁石レールの本数は複数になっても構わない。また、永久磁石レールを構成する永久磁石の上表面の磁極は、図１（ｃ）に示すように、１本の永久磁石レール内ではすべて同じとする。
また、第１永久磁石または第２永久磁石において、複数の永久磁石レールが存在する場合は、永久磁石レールの横方向の磁場勾配が大きくなるように配置する。このとき、それぞれの永久磁石レールは、同一形状であったり、同一配列であったり、お互いが接していたりする必要はない。
【００１４】
永久磁石レールを作製するとき、鉄板等の磁性体を用いることにより、
１）永久磁石の位置調整が容易になる
２）永久磁石をしっかり固定できる
３）超電導体の経験磁場を大きくできる
等の効果が得られる。しかし、磁性体の使用は、本発明の必須条件ではない。
【００１５】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、第１永久磁石の上空に、第１永久磁石と対向するように第１超電導体を配置する。第１超電導体の上に、第２超電導体と対向するように第２永久磁石を配置する。第１永久磁石の永久磁石レールと第２永久磁石の永久磁石レールの長手方向は、直交するように配置する。
複数の永久磁石レールが存在する場合は、すべての第１永久磁石の永久磁石レール方向を等しくし、また、すべての第２永久磁石の永久磁石レール方向を等しくする。
また、如何なる２次元振動に対しても、振動伝達を除去できるようにするには、第１永久磁石の永久磁石レールの向きと第２永久磁石の永久磁石レールの向きを直交させている。なお、２組以上のユニットを組み合わせるときは、それぞれのユニット同士は必ずしも直交する必要はない。
【００１６】
第１，第２超電導体は、低温容器に収納され、冷媒（液体窒素など）または冷凍機を用いて冷却する。この時、超電導体と永久磁石間のギャップは、小さい方が望ましい。
超電導体の冷却は、磁場中冷却法（磁場が存在する環境下で冷却し、常電導状態から超電導状態に転移させる方法）を採用する。なお、この磁場中冷却は、超電導体と永久磁石間のギャップを最適ギャップに設定した後で行う。
ただし、ゼロ磁場冷却法（磁場が存在しない環境下で冷却する方法）も使用可能である。この場合、ゼロ磁場冷却後に、超電導体と永久磁石間のギャップを最適ギャップまで縮め、超電導体内に、永久磁石から発生する磁場を記憶させる必要がある。
【００１７】
免振対象物の重量が大きい場合は、超電導体と永久磁石間に働く浮上力だけでは対応できなくなるため、図２に示すように、第１，第２超電導体と第１，第２永久磁石とで構成されるユニット以外に、浮上力確保のためのユニットを別途用意し、例えば、永久磁石同士の吸引力、または反発力を利用して、免振用ユニットをハイブリット化して使用する。なお、図２では、４組の永久磁石１８１，１８２，１８３．１８４，１８５，１８６.１８７，１８８の反発力を利用している。
【００１８】
振動前後において、基礎側と浮上側の相対位置の変化を抑制する必要がある場合は、必要に応じて、図３（ｂ）に示すように、第１永久磁石および／または第２永久磁石の永久磁石レールに勾配をつける。なお、図３（ａ）は、図１（ａ）と同様の構成を示しており、第1永久磁石１２０，第２永久磁石１５０と第1超電導体１４０，第２超電導体１７０を示す。図３（ｂ）では、第２永久磁石の永久磁石レール１５０に傾斜をつけた例を示している。この時の勾配のつけ方は、初期位置を中心（最下点）として、初期位置から離れるに従って、永久磁石レールの最下点に対する高さが少しずつ高くなるように行う。
【実施例１】
【００１９】
本実施例は、超電導バルク体（以下では、「バルク体」と称す）と永久磁石とで構成される２組のユニットを有する磁気浮上型免振装置に関するものである。この実施例は、本願発明の構成が作動するかを調べるために作成したものであり、実際に建物や重量物を支えるものではない。
さて、実施例の免振装置は、図４〜図９に示す。図４は全体の概略構成図であり、図５は一段目（最下部）の上面図、図６は２段目の底面図（図６（ａ））と上面図（図６（ｂ））である。図７は永久磁石による永久磁石レールの構成を示し、図８は３段目のバルク体を示す。
【００２０】
図４の全体概略構成が示すように、実施例の装置は３段構成であり、１段目は、鉄板１１０と永久磁石１２５，１２６であり、２段目は、２個のバルク体１４１，１４２とバルク体冷却・支持用発泡スチロール容器１３０、鉄板１５６，永久磁石１５５、３段目は、１個のバルク体１７１ならびにバルク体冷却・支持用発泡スチロール容器１６０となっている。
【００２１】
バルク体の大きさは、直径３０ｍｍ、厚さ１０ｍｍである。永久磁石の大きさは、縦・横９ｍｍ、厚さ３ｍｍである。鉄板の大きさは、１段目に使用したものが、縦・横２４０ｍｍ、厚さ２ｍｍ、２段目に使用するものが、縦１８０ｍｍ、横３６ｍｍ、厚さ２ｍｍのものである。発泡スチロール容器の大きさは、２段目に使用するものが、縦１８０ｍｍ、横５０ｍｍ、高さ５０ｍｍ、３段目に使用するものが、縦・横５０ｍｍ、高さ５０ｍｍである。
１段目は、図５に示すように、鉄板１１０上に永久磁石を並べることで、２本の永久磁石レール１２５，１２６を作製している。このときの磁極配置は、図７に示すように、レールの長手方向には同極を、また、レール横方向にはＮ極とＳ極が交互になるように配置している。これは、バルク体と永久磁石間の磁気剛性を可能な限り高くするためである。
ただし、今回の実施例の様な永久磁石レールの構成方法が最適であるということではなく、最適配置は、浮上側のバルク体の大きさや、バルク体の配置に依存する。
【００２２】
また、本実施例では、図７に示すように、４個の永久磁石をお互いが接する様に配置したが、必ずしも永久磁石が接するように配置しなければならないということではない。あくまでも、バルク体と永久磁石間の磁気剛性を高めるように配置するということが重要となる。
この磁気剛性を高める方法としては、
１）バルク体の経験する磁束密度を大きくする（発生磁場の大きな永久磁石を使用する、鉄板などを用いて永久磁石から出る磁束を有効利用する、などによる）
２）バルク体の経験する磁束密度勾配を大きくする（複数の永久磁石を使用し、磁石位置や磁極位置（Ｎ極とＳ極の位置）を調整する、などにより）
等がある。
【００２３】
また、１段目と２段目に鉄板１１０,１５６を使用しているのは、永久磁石の配置を容易に確定するためであるとともに、バルク体に印加する磁束密度を可能な限り大きくするためである。この永久磁石の配置で重要となるのが、レール長手方向に磁気ムラ（磁束密度の変化）を作らないことである。磁気ムラが生じると、磁気ムラの大きさに応じて、振動が浮上側に伝わることになる。
【００２４】
２段目は、浮上させるために、１段目の永久磁石レール１２５，１２６の上空にバルク体１４１，１４２を配置させる。このときの、永久磁石とバルク体間に働く反発力により、バルク体が浮上する。ただし、バルク体は低温を維持する必要があるため、発泡スチロール製の容器の中に収納し、上から液体窒素を注ぐことでバルク体を超電導状態にした。
このとき、１段目の永久磁石１２５，１２６と、２段目のバルク体１４１．１４２間の距離（エアギャップ）はできるだけ小さい方が望ましい。このため、バルク体１４１．１４２は、可能な限り、発泡スチロール容器の底面に近いところで固定する。これは、エアギャップが大きくなるにつれて、バルク体が経験する磁束密度が減少し、浮上力ならびに磁気剛性が低下するためである。
【００２５】
また、本装置は簡易モデルであるため、浮上側のバランスを良くする必要がある。そこで、本装置では、１段目のレールを２本にし、それぞれのレールの上にバルク体がくるように配置するとともに、それぞれのバルク体用容器と一体化させている。
以上をユニットとすると、このユニットにより、１方向（レール長手方向）の振動の伝達を排除することが可能となる。
【００２６】
本発明の免振装置では、２次元振動の排除を目的としていることから、上記ユニットが
２つ必要となる。そのため、１段目、２段目で構成されるユニットの上に、同じユニットを配置させる必要がある。そこで、２段目の発泡スチロール容器の上に、鉄板１５６を配置し、その上に１段目と同様に永久磁石１５５をレール状に配置した（図７参照）。この時、２段目のバルク体１４１，１４２、発泡スチロール容器１３０、鉄板１５６、磁石１５５はすべて固定されており、一体化して動くようになっている。このときのレール方向は、１段目のレール方向と直交する方向とした。３段目は、２段目の永久磁石の上空にバルク体ならびに発泡スチロール容器を配置させ、レールの上に浮上させている。
【００２７】
本装置で重要となるのが、バルク体の冷却方法である。
バルク体と永久磁石間の磁気剛性は、前述の様に、バルク体が経験する磁束密度の大きさ、ならびに、磁束密度勾配の大きさに依存するが、これらを大きくする方法としては、１）バルク体を永久磁石の作る磁界（外部磁界）が存在しない位置で冷却し、超電導状態にしてから配置する
２）バルク体を外部磁界が存在する位置で冷却し、超電導状態にする
がある。
【００２８】
また、２）においては、永久磁石とバルク体間の目標エアギャップよりもギャップを大きくした状態で冷却し、目標エアギャップまで移動させるという方法もあり、それらのギャップをどのように組み合わせればよいかについては、実際に使用するバルク体や永久磁石の形状、大きさ、配置などに依存するため、その都度考慮する必要がある。
【００２９】
本装置の免振効果を決めるのは、永久磁石とバルク体間の磁気特性（磁気剛性）である。バルク体は、冷却した時（着磁時）の経験磁場分布を記憶し、変位時の経験磁場分布が変化すると、変位前の位置（磁場分布）に戻ろうとする力（これを「復元力」と称す）が働き、元の位置に戻る。この現象をより確実に実現させるには、永久磁石とバルク体間の磁気剛性を可能な限り大きくする必要がある。しかし、永久磁石とバルク体間の磁気剛性が高いということは、例え、バルク体が永久磁石上空に浮上していたとしても、永久磁石の動きが浮上しているバルク体にも確実に伝わることを意味しており、免振効果を期待できるものではない。
【００３０】
逆に、永久磁石とバルク体間の磁気剛性を小さくできれば、永久磁石の動きが浮上しているバルク体には伝わりにくくなり、免振機能を向上させることになる。
磁気剛性を小さくするには、バルク体周辺の磁場分布を、バルク体冷却時の磁場分布と同じにすることが有効である。
これは、バルク体周辺の磁場分布が同じ場合は、バルク体が変位しても、バルク体の経験磁場が変化しないため、バルク体に復元力が働かなくなる（＝永久磁石の動きがバルク体に伝わらなくなる）ことに起因する。
よって、本装置における、１段目と２段目の永久磁石配置（特に、レール長手方向）が重要となり、レール長手方向の磁気ムラを可能な限り無くすことがポイントとなる。
これより、レールを構成する永久磁石は、小型のものを多数使用するよりも、より大型のものを少数使用する方が望ましい、これは、磁気ムラが、永久磁石間の境界部上空に発生しやすいためである。
【００３１】
以上の様な構成にすることにより、本装置は以下の様に振る舞い、免振機能を発揮する。
まず、振動源からの２次元振動が１段目に加わると、１段目のレール横方向（長手方向と垂直方向）の振動に対しては、１段目の永久磁石１２５，１２６と２段目のバルク体１４１，１４２間の磁気剛性が高いため（横方向の磁場分布は均一ではないため）、１段目の振動は２段目に伝達する。
これに対し、レール長手方向の振動については、レール長手方向の磁場分布が均一であることから、１段目永久磁石１２５，１２６と２段目バルク体１４１，１４２間のレール長手方向の磁気剛性は存在しないため、レール長手方向の振動は２段目には伝達しない。
２段目と３段目についても、同様のことが起こり、２段目永久磁石レール１５５の横方向の振動は３段目に伝達するものの、レール長手方向の振動については、３段目には伝達しない。
【００３２】
本装置では、１段目のレールと２段目のレールを直交させているため、１段目と２段目間で除去可能な振動方向と、２段目と３段目間で除去可能な振動方向が直交することになる。よって、１段目から２段目に伝達された、１段目レール横方向の振動は、２段目から３段目に伝達されることなく排除される。
実際には、１次元加振装置に本装置を固定し、加振装置の振動に対する３段目の相対変位を試験した。
なお、本試験では、加振装置の１次元振動を用いて、本装置に２次元振動を与えることにしたため、本装置を加振装置に固定する際に、本装置１段目のレール長手方向が、加振装置の振動方向に対して45度になるように固定した。
【００３３】
まず、１段目と２段目のみを用いて振動試験を行った。
その結果、１段目のレール横方向の振動のみ２段目に伝達し、レール長手方向の振動については、２段目には伝達されないことを確認した。
次に、１段目〜３段目を使用した場合について、振動試験を試みた。
その結果、１段目と２段目間で、１段目レール長手方向の振動が、また２段目と３段目間で、２段目レール長手方向の振動がそれぞれ排除され、３段目は、１段目の振動とは無関係に、初期位置を維持することを確認した。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】免振装置の概略構成を示す図である。(ａ)は横から見た図、(ｂ)は斜視図（構成を示すため、最上部の基板１６０を除いて示している。）、（ｃ）永久磁石の形状を示す図
【図２】重量を支えるために、別のユニットを有する構成を示す図である。
【図３】初期位置に戻ることができる構成を示す図である。
【図４】実施例の構成を示す図である。
【図５】実施例の１段目を示す上面図である。
【図６】実施例の２段目の（ａ）底面図と（ｂ）上面図である。
【図７】実施例の永久磁石レールの構成を示す図である。
【図８】実施例の３段目の底面図である。
【図１】
2008038972.tif 000003
【図２】
2008038972.tif 000004
【図３】
2008038972.tif 000005
【図４】
2008038972.tif 000006
【図５】
2008038972.tif 000007
【図６】
2008038972.tif 000008
【図７】
2008038972.tif 000009
【図８】
2008038972.tif 000010