(57)【要約】【課題】物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースを極力小さくできる物品搬送設備の提供。【解決手段】物品載置体２８が、移動経路側に突出する物品授受用の突出位置と移動経路から離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、物品搬送体２８が、物品移載箇所に停止した状態において、突出位置の物品載置体２８に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成され、物品載置体２８の出退方向に可動ガイド４０を案内支持する固定ガイド３９が、物品載置体２８の引退位置に対応して設けられ、物品載置体２８が、その出退方向に出退自在に可動ガイド４０に案内支持されている。【選択図】図５
2008214073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品載置体に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、
前記物品載置体が、前記移動経路側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、
前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備であって、
前記物品載置体の出退方向に可動ガイドを案内支持する固定ガイドが、前記物品載置体の前記引退位置に対応して設けられ、
前記物品載置体が、その出退方向に出退自在に前記可動ガイドに案内支持されている物品搬送設備。
【請求項２】
前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品載置体を前記突出位置と前記引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられている請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記物品移載箇所に停止した前記物品搬送体に接近する接近位置と前記物品移載箇所に停止した前記物品搬送体から離間する離間位置とに揺動軸心周りに揺動自在な被操作体が設けられ、
前記出退操作手段が、前記物品搬送体から突出する側の移動により前記被操作体を前記接近位置から前記離間位置に操作し、且つ、前記物品搬送体に引退する側の移動により前記被操作体を前記離間位置から前記接近位置に操作する操作部を備えて構成され、
前記被操作体が前記接近位置に位置するときには前記物品載置体を前記引退位置に操作し、且つ、前記被操作体が前記離間位置に位置するときには前記物品載置体を前記突出位置に操作すべく、前記被操作体に連係された揺動リンクが前記物品載置体の出退方向に揺動軸心周りで揺動するように設けられ、
前記揺動リンクの先端側との係合部が、前記物品載置体にその出退方向に直交する方向に沿う状態で備えさせた被係合部に摺動自在に係合するように構成されている請求項２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記物品搬送体が、前記物品載置体よりも上方の前記移動経路に沿って移動するように構成され、且つ、前記物品載置体に対する物品受け渡し及び受け取りのために昇降操作自在な物品保持部を備えるように構成されている請求項１〜３の何れか１項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品載置体に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、前記物品載置体が、前記移動経路側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送設備は、物品の移載対象となる物品移載用のステーションが移動経路に沿って複数設けられ、物品搬送体が移動経路に沿って移動することによりステーション間での物品搬送を行うものである。
そして、ステーションに搬送する物品を一時的に保管するために物品載置体が設けられている。この物品載置体は、通常、移動経路から離間する側に引退する引退位置に位置しており、物品搬送体の移動等を邪魔しないようにしている。物品載置体に物品を保管する場合や物品載置体にて保管している物品を搬送する場合に、物品載置体を引退位置から移動経路側に突出する突出位置に位置変更させて、その物品搬送体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行う。
【０００３】
従来の物品搬送設備では、移動経路としての案内レールが天井側に設置され、物品載置体を突出位置と引退位置とに出退させるべく、上端部が天井部に連結された揺動リンクが物品載置体の出退方向に水平軸心周りで揺動するように設けられ、天井部と揺動リンクとの間に設置されて物品載置体を突出位置と引退位置とに出退操作するための油圧シリンダが設けられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−４５２１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような物品搬送設備では、物品載置体の出退方向において物品載置体同士が背中合わせになるように隣接配置したり、物品載置体の出退方向において物品載置体と他の装置とを隣接配置する場合があるので、物品載置体の設置スペースは、物品載置体の出退方向において極力小さいものが求められる。
しかしながら、従来の物品搬送設備では、揺動リンクを物品載置体の出退方向に水平軸心周りで揺動させることにより物品載置体を突出位置と引退位置とに出退させているので、物品載置体の出退方向において揺動リンクを揺動させる大きなスペースを確保しなければならず、物品載置体の出退方向において物品載置体を出退させるための部材の設置スペースが大きなものとなっている。したがって、従来の物品搬送設備では、物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースが大きくなる虞がある。
【０００６】
また、物品載置体を出退させるための部材として、物品載置体の出退方向に物品載置体を出退自在に案内支持する固定ガイドを設けることが考えられる。しかしながら、この場合にも、固定ガイドは物品載置体の出退方向において物品載置体を突出位置と引退位置とに出退させるだけの大きさが必要であり、物品載置体の出退方向において固定ガイドの設置スペースが大きなものとなる虞がある。
【０００７】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースを極力小さくできる物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送設備の第１特徴構成は、物品載置体に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、前記物品載置体が、前記移動経路側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備において、
前記物品載置体の出退方向に可動ガイドを案内支持する固定ガイドが、前記物品載置体の前記引退位置に対応して設けられ、前記物品載置体が、その出退方向に出退自在に前記可動ガイドに案内支持されている点にある。
【０００９】
すなわち、物品載置体が引退位置から突出位置に突出するときには、可動ガイドが固定ガイドに対して物品載置体の出退方向の突出する側に可動するとともに、物品載置体がその可動ガイドに対して物品載置体の出退方向の突出する側に移動することになる。物品載置体が突出位置から引退位置に引退するときには、物品載置体が可動ガイドに対して物品載置体の出退方向の引退する側に移動するとともに、可動ガイドが固定ガイドに対して物品載置体の出退方向の引退する側に可動することになる。このように、物品載置体を突出位置と引退位置とに出退させるときに、可動ガイドが固定ガイドに対して物品載置体の出退方向に可動するので、それだけ固定ガイドを物品載置体の出退方向において小さなものとできる。しかも、物品載置体が引退位置に位置するときに、物品載置体の出退方向において固定ガイドと可動ガイドとを重複するように設けることができる。
したがって、物品載置体の出退方向においては、物品載置体を出退させるための部材の設置スペースとして固定ガイドの設置スペースを確保すればよいので、物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースを極力小さくできる物品搬送設備を提供できるに至った。
【００１０】
本発明に係る物品搬送設備の第２特徴構成は、前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品載置体を前記突出位置と前記引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられている点にある。
【００１１】
すなわち、物品載置体を突出位置と引退位置とに出退操作する出退操作手段を物品搬送体に設けているので、物品載置体に突出位置と引退位置とに出退操作するための油圧シリンダ等を設ける必要がなく、物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースの縮小化を図ることができる。
そして、物品載置体に物品を保管する場合や物品載置体にて保管している物品を物品搬送体にて搬送する場合には、物品搬送体を物品移載箇所に停止させた状態で、出退操作手段が物品載置体を引退位置から突出位置へ操作することができる。その後、物品搬送体から物品載置体への物品の受け渡し又は物品載置体から物品搬送体への物品の受け取りを行うと、出退操作手段が物品載置体を突出位置から引退位置へ操作することができる。したがって、物品搬送体に設けた出退操作手段によって物品載置体を突出位置と引退位置とに適切に位置変更させることができる。
【００１２】
本発明に係る物品搬送設備の第３特徴構成は、前記物品移載箇所に停止した前記物品搬送体に接近する接近位置と前記物品移載箇所に停止した前記物品搬送体から離間する離間位置とに揺動軸心周りに揺動自在な被操作体が設けられ、前記出退操作手段が、前記物品搬送体から突出する側の移動により前記被操作体を前記接近位置から前記離間位置に操作し、且つ、前記物品搬送体に引退する側の移動により前記被操作体を前記離間位置から前記接近位置に操作する操作部を備えて構成され、前記被操作体が前記接近位置に位置するときには前記物品載置体を前記引退位置に操作し、且つ、前記被操作体が前記離間位置に位置するときには前記物品載置体を前記突出位置に操作すべく、前記被操作体に連係された揺動リンクが前記物品載置体の出退方向に揺動軸心周りで揺動するように設けられ、前記揺動リンクの先端側との係合部が、前記物品載置体にその出退方向に直交する方向に沿う状態で備えさせた被係合部に摺動自在に係合するように構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、出退操作手段の操作部が被操作体を接近位置から離間位置に操作すると、揺動リンクが物品載置体の出退方向に揺動軸心周りで揺動して物品載置体を引退位置から突出位置に操作する。また、出退操作手段の操作部が被操作体を離間位置から接近位置に操作すると、揺動リンクが物品載置体の出退方向に揺動軸心周りで揺動して物品載置体を突出位置から引退位置に操作する。このように、操作部が被操作体を操作することにより、物品載置体を突出位置と引退位置とに出退させることができる。
そして、揺動リンクの先端部における物品載置体との係合部が、物品載置体の出退方向に直交する方向に沿う状態で備えられた被係合部に摺動自在に係合しているので、揺動リンクが物品載置体の出退方向に揺動軸心周りで揺動するときに、揺動リンクの係合部が被係合部を物品載置体の出退方向に直交する方向に沿って摺動して物品載置体を突出位置と引退位置とに出退させることができる。したがって、揺動リンクの係合部が被係合部を摺動する距離に対応して物品載置体の出退方向において揺動リンクを短くでき、物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースの縮小化を図ることができる。
【００１４】
本発明に係る物品搬送設備の第４特徴構成は、前記物品搬送体が、前記物品載置体よりも上方の前記移動経路に沿って移動するように構成され、且つ、前記物品載置体に対する物品受け渡し及び受け取りのために昇降操作自在な物品保持部を備えるように構成されている点にある。
【００１５】
すなわち、物品搬送体が、物品載置体よりも上方の移動経路に沿って移動して物品移載箇所に停止した状態において、物品保持部を昇降操作することにより突出位置の物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うことができる。したがって、物品載置体に物品の受け渡し及び受け取りを行うための部材等を設ける必要がなく、それだけ物品載置体の出退方向において物品載置体の設置スペースの縮小化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
この物品搬送設備は、図１及び図２に示すように、複数の物品処理部１を経由する状態で移動経路としての案内レール２が設置され、この案内レール２に沿って移動自在な物品搬送用の物品搬送体としての移動車３が設けられている。そして、半導体基板を収納した容器５を物品として、移動車３が複数の物品処理部１の間で容器５を搬送するように構成されている。物品処理部１では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。
【００１７】
前記移動車３は、容器５を吊り下げ状態で把持する物品保持部としての把持部４を昇降自在に備えている。把持部４は、移動車３が停止した状態において、ワイヤ６を巻き取り又は巻き出すことにより、移動車３に近接位置させる上昇位置と移動車３よりも下方側に設置された物品移載用のステーション７との間で物品移載を行う下降位置とに昇降自在に設けられている。
ちなみに、図２では、把持部４が上昇位置から下降位置に下降する場合を上方側に示し、把持部４を下降位置から上昇位置に上昇させる場合を下方側に示している。
【００１８】
前記ステーション７は、容器５を載置支持する載置台にて構成されている。そして、ステーション７は、物品処理部１にて所定の処理を行う容器５を移動車３から受け取る又は物品処理部１にて所定の処理を行った容器５を移動車３に受け渡すためのものであり、複数の物品処理部１の夫々に対応して配置されている。
そして、移動車３は、把持部４を上昇位置に位置させた状態で案内レール２に沿って移動し、複数のステーション７のうち、移載対象のステーション７に対応する停止位置に停止した状態で把持部４を上昇位置と下降位置との間で昇降させることにより、ステーション７との間で容器５の授受を行うように構成されている。
【００１９】
案内レール２は、図２〜図４に示すように、案内レール用ブラケット８により天井部に固定状態で設置されている。移動車３は、案内レール２の内方空間部に位置する上方車体９と案内レール２の下方に位置する下方車体１２とを前後の連結扞１０，１１にて連結して構成されている。
【００２０】
前記上方車体９は、案内レール２の内方空間部に設けられるマグネット１３に近接対向させる状態で一次コイル１４を備えている。そして、上方車体９は、マグネット１３と一次コイル１４とからなるリニアモータにより推進力を得るリニアモータ式であり、移動車３は、この推進力によって案内レール２に沿って移動するように構成されている。
前記案内レール２の内方空間部には、上方車体９に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、上方車体９に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
また、案内レール２には給電線１９が設けられ、上方車体９には受電コイル２０が設けられている。交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００２１】
この実施形態では、上方車体９を駆動させる方式として、リニアモータにより推進力を得て駆動させるリニアモータ式を例示しているが、例えば、走行輪１５を回転駆動する電動モータを設け、この電動モータにて走行輪１５を回転駆動させることにより上方車体９を駆動させる方式を用いることもできる。
【００２２】
前記下方車体１２は、移動車３の前後方向に延びる前後枠体２１、前後枠体２１の前端箇所及び後端箇所から下方側に延びる前後一対の縦枠体２２から構成されている。そして、下方車体１２は、側面視において、下方側が開放されたコ字状に形成され、前後方向の中央部に把持部４を配置している。
【００２３】
前記把持部４は、上方車体９に対して昇降自在な昇降体２３に設けられ、この昇降体２３は、前後枠体２１に設けられた昇降操作機構２４によって昇降操作自在に支持されている。
前記昇降操作機構２４は、ドラム駆動用モータ２５により回動自在な回転ドラム２６に４本のワイヤ６を巻き掛けて構成されている。そして、昇降操作機構２４は、回転ドラム２６を正逆回転させて４本のワイヤ６を同時に巻き取り及び巻き出しすることによって、昇降体２３を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。
【００２４】
この実施形態では、回転ドラム２６にワイヤ６を巻き掛けた例を示しているが、例えば、回転ドラム２６にベルトを巻き掛けて昇降体２３を昇降操作することもでき、ワイヤ６に限らず、ベルトを用いることもできる。
【００２５】
前記把持部４には、容器５のフランジ５ａを把持する一対の把持具４ａが設けられている。そして、一対の把持具４ａが把持動作用モータ２７の正逆回転により互いに近づく方向に揺動してフランジ５ａを把持する把持姿勢（図３中実線）と、一対の把持具４ａが互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢（図３中点線）とに切り換え自在に構成されている。
また、把持部４は、縦軸芯周りで旋回自在に昇降体２３に設けられ、図示は省略するが、把持部４を旋回操作する旋回用モータが設けられている。
【００２６】
前記ステーション７に搬送する容器５を一時的に保管するために、案内レール２の側脇には、図１に示すように、案内レール２に対して左右両側に物品保管用の物品載置体２８が設けられている。そして、物品載置体２８は、案内レール２に沿って並ぶ状態で複数設けられている。
【００２７】
以下、図５〜図１０に基づいて、物品載置体２８について説明する。
複数の物品載置体２８の夫々は、それに対する物品移載箇所に停止した移動車３の把持部４からの容器５の受け取り及び把持部４への容器５の受け渡しを行う突出位置（図７及び図９参照）と引退位置（図６及び図８参照）とに位置変更自在に設けられている。
以下、物品移載箇所に停止した移動車３の前後方向を「前後方向」と略称し、且つ、物品移載箇所に停止した移動車３に対する遠近方向を「遠近方向」と略称して説明する。
【００２８】
前記物品移載箇所は、複数の物品載置体２８の夫々に対応して定められている。そして、前後方向において物品載置体２８の幅は移動車３における前後一対の縦枠体２２の間隔よりも小さくなるように形成されている。したがって、物品移載箇所に移動車３が停止した状態において、移動車３における前後一対の縦枠体２２の間に物品載置体２８を挿脱できるように構成されている。
【００２９】
前記引退位置は、物品載置体２８が引退位置に位置するときに、自己及び自己が載置支持する容器５が移動車３の移動や把持部４の昇降の邪魔にならないように、案内レール２の存在箇所から遠近方向の離間する側に引退した案内レール２の側脇に定められている。
前記突出位置は、物品載置体２８が突出位置に位置するときに、物品移載箇所に停止した移動車３において上昇位置に近接する位置に位置する把持部４との間で容器５を授受できるように、案内レール２の存在箇所側に突出して物品移載箇所に停止した移動車３における把持部４と上下方向に重複する位置に定められている。
【００３０】
前記物品載置体２８は、図５〜図７に示すように、引退位置に対応して天井側に設置された固定枠体２９と、その固定枠体２９に対して遠近方向に移動自在に支持された移動枠体３０とから構成されている。
前記固定枠体２９は、遠近方向に長尺状に形成された一対の側面枠部２９ａから構成され、一対の側面枠部２９ａの夫々から上方に向って延設された吊り下げ支持具３１により天井側に吊り下げ支持されている。一対の側面枠部２９ａは、遠近方向に間隔を隔てて配設された複数の枠体用連結体３２により連結されている。枠体用連結体３２は、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側を連結する第１枠体用連結体３２ａと、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３から離れる側を連結する第２枠体用連結体３２ｂとから構成されている。
複数の物品載置体２８における固定枠体２９の夫々を各別に天井側に吊り下げ支持することにより、物品載置体２８を１つずつ取り付け又は取り外しすることができ、物品載置体２８の増設又は取り外しを容易に行うことができるようにしている。
【００３１】
前記移動枠体３０は、遠近方向に伸びる形状に形成された左右一対の支持アーム体３３と、その左右一対の支持アーム体３３に対して遠近方向に間隔を隔てて位置させて且つその左右一対の支持アーム体３３を接続する状態で設けられた接続枠体３４とを備えて構成されている。
接続枠体３４には、容器５の底部の被係合部に係合する突起状の複数の位置決めピン３５が支持されており、この位置決めピン３５により容器５を位置決めした状態で載置支持するようにしている。また、接続枠体３４には、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側に伸びて上方側に起立する起立壁部３６が設けられている。この起立壁部３６は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側への容器５の移動を規制するように構成されている。
【００３２】
前記支持アーム体３３は、遠近方向に沿って延びる下端部３３ａ、遠近方向において下端部３３ａの移動車３から離れる側の端部から上方に延びる中間部３３ｂ、その中間部３３ｂの上端から移動車３から離れる側に遠近方向に沿って延びる上端部３３ｃから形成されている。
前記支持アーム体３３において下端部３３ａ及び中間部３３ｂには、その長手方向に間隔を隔てて複数の孔部が形成されており、支持アーム体３３の軽量化が図られている。
【００３３】
前記左右一対の支持アーム体３３は、接続枠体３４だけでなく、複数の連結用枠体３７によっても接続されている。前記連結用枠体３７は、左右一対の支持アーム体３３の下端部３３ａにおいて物品移載箇所に停止した移動車３から離間する側の端部を接続する第１連結用枠体３７ａと、左右一対の支持アーム体３３の中間部３３ｂを接続する第２連結用枠体３７ｂと、左右一対の支持アーム体３３の上端部３３ｃを接続する第３連結用枠体３７ｃとから構成されている。
【００３４】
前記固定枠体２９に対して遠近方向に移動枠体３０を引退位置（図６及び図８参照）と突出位置（図７及び図９参照）とに位置変更自在に支持するスライド案内機構３８が設けられている。
前記スライド案内機構３８は、物品載置体２８の引退位置に対応するように固定枠体２９に設けられた固定ガイド３９、及び、その固定ガイド３９に物品載置体２８の出退方向に可動自在に案内支持されるように移動枠体３０に設けられた可動ガイド４０を備えて構成されている。そして、移動枠体３０が物品載置体２８の出退方向に出退自在に可動ガイド４０に案内支持されている。
【００３５】
前記固定ガイド３９は、左右一対の側面枠部２９ａの夫々に形成され、物品載置体２８の引退位置に対応して設けられている。固定ガイド３９は、移動枠体３０に水平軸心周りに回転自在に設けられたガイドローラ４１を物品載置体２８の出退方向に移動自在に案内支持している。ガイドローラ４１は、左右一対の支持アーム体３３に亘って前後方向に伸びるように形成された可動ガイド用枠体４２に設けられている。ガイドローラ４１は、前後方向において可動ガイド用枠体４２の両端部において、接近方向に間隔を隔てて２つずつ設けられている。
前記可動ガイド４０は、その断面が凸状に形成され、可動ガイド用枠体４２に設けられている。可動ガイド４０は、前後方向においてガイドローラ４１の配設位置よりも内側になるように左右一対設けられている。
そして、可動ガイド用枠体４２には、ガイドローラ４１及び可動ガイド４０が設けられており、ガイドローラ４１が固定ガイド３９を物品載置体２８の出退方向に移動することにより、可動ガイド４０が固定ガイド３９に対して物品載置体２８の出退方向に可動自在に設けられている。
【００３６】
図１０に示すように、左右一対の支持アーム体３３の上端部３３ｃを連結する第３連結用枠体３７ｃには、凸状の可動ガイド４０にて摺動自在に案内支持された下方側を開口した凹状の摺動部４５が設けられている。可動ガイド４０が左右一対設けられているので、摺動部４５も左右一対設けられている。
そして、摺動部４５が可動ガイド４０を摺動することにより、左右一対の支持アーム体３３が物品載置体２８の出退方向に出退自在に可動ガイド４０に案内支持されており、物品載置体２８がその出退方向に出退自在に可動ガイド４０に案内支持されている。
【００３７】
可動ガイド用枠体４２には、可動ガイド４０に対する摺動部４５の突出位置側への移動を規制する第１突出位置側ストッパ部４３と、可動ガイド４０に対する摺動部４５の引退位置側への移動を規制する第１引退位置側ストッパ部４４とが設けられている。一方、第３連結用枠体３７ｃには、第１突出位置側ストッパ部４３と当接する突出位置側当接部４６と、第１引退位置側ストッパ部４４と当接する引退位置側当接部４７とが設けられている。
また、固定枠体２９には、可動ガイド用枠体４２に設けられた左右一対の被接当部６０に接当して固定ガイド３９に対する可動ガイド用枠体４２の突出位置側への移動を規制する第２突出位置側ストッパ部６１、及び、左右一対の被接当部６０に接当して固定ガイド３９に対する可動ガイド用枠体４２の引退位置側への移動を規制する第２引退位置側ストッパ部６２が設けられている。
【００３８】
前記固定枠体２９には、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する接近位置（図６及び図８参照）と物品移載箇所に停止した移動車３から離間する離間位置（図７及び図９参照）とに移動自在に支持された被操作体４８が設けられている。
【００３９】
前記被操作体４８は、その長手方向の中央部が一方の側面枠部２９ａの上部に設けられた基台４９に枢支連結されて、その連結箇所である第１揺動軸心Ｐ１周りに揺動自在に設けられている。そして、被操作体４８は、接近位置に位置する状態において、第１揺動軸心Ｐ１から移動車３に接近する側に延びる第１被操作部分４８ａと第１揺動軸心Ｐ１から移動車３から離れる側に延びる第２被操作部分４８ｂとを上下に段差をつけて一体的に形成されている。
【００４０】
前記被操作体４８は、第１揺動軸心Ｐ１周りでの揺動により接近位置と離間位置とに切換自在で且つ接近位置（図６及び図８参照）においては第１被操作部分４８ａが第１揺動軸心Ｐ１よりも物品移載箇所に停止した移動車３に接近する姿勢となるように設けられている。そして、被操作体４８の第１被操作部分４８ａに、被操作体４８が接近位置に位置する状態において、遠近方向に対して交差する方向に沿って第１揺動軸心Ｐ１側に延びる溝部５０が設けられている。この溝部５０は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側の先端を遠近方向に沿って開口させた形状に形成されている。
【００４１】
そして、被操作体４８が接近位置に位置すると、図６及び図８に示すように、物品載置体２８を引退位置に位置させ、且つ、被操作体４８が離間位置に位置すると、図７及び図９に示すように、物品載置体２８を突出位置に位置させるように、被操作体４８の動きと物品載置体２８の動きとを連係させる連係機構５１が設けられている。
【００４２】
前記連係機構５１は、一端部（先端部）が物品載置体２８の移動枠体３０に係合され且つ他端部（基端部）が基台４９に枢支連結された揺動リンク５２と、その揺動リンク５２の中間部と被操作体４８の第２操作部分４８ａの先端部とを連結する連結リンク５３とから構成されている。揺動リンク５２は、連結リンク５３により被操作体４８に連係されており、物品載置体２８の出退方向に基台４９との連結箇所である第２揺動軸心Ｐ２周りに揺動自在に設けられている。左右一対の支持アーム体３３の上端部３３ｃを連結する第３連結用枠体３７ｃには、前後方向に沿う状態で備えさせた被係合部としての細長溝部５５が設けられている。そして、揺動リンク５２の先端部に設けた係合部としての係合ローラ５４が、細長溝部５５に係合するように構成されている。
【００４３】
前記移動車３には、物品載置体２８を引退位置と突出位置とに出退操作する出退操作手段Ｓが設けられている。
前記出退操作手段Ｓは、移動車３に固定されて遠近方向に長尺状のベース５６と、そのベース５６に対して遠近方向に移動自在に設けられた長尺状の操作体５７と、その操作体５７の先端部の下面側に設けられた操作部としての操作用係合ローラ５８とを備えて構成されている。そして、出退操作手段Ｓは、図示を省略したアクチュエータの作動によりベース５６に対して操作体５７を出退させて、操作用係合ローラ５８を遠近方向に移動させる突出作動及び引退作動を行うように構成されている。
ちなみに、移動車３には、移動車３の走行方向において右側に位置する物品載置体２８を変更操作するための出退操作手段Ｓと、移動車３の走行方向において左側に位置する物品載置体２８を変更操作するための出退操作手段Ｓとが設けられている。
【００４４】
前記操作用係合ローラ５８は、前後方向において被操作体４８の溝部５０の幅と同じ又はその幅よりも小さい直径に形成されており、操作用係合ローラ５８が、遠近方向での移動により被操作体４８の溝部５０に係脱自在に構成されている。
そして、出退操作手段Ｓが、突出作動により操作用係合ローラ５８を溝部５０に係合させて被操作体４８を接近位置から離間位置に押し操作し、且つ、引退作動により操作用係合ローラ５８を溝部５０に係合させて被操作体４８を離間位置から接近位置に引き操作し、その後操作用係合ローラ５８を溝部５０から離脱させる押し引き式に構成されている。
【００４５】
前記出退操作手段Ｓが突出作動により操作用係合ローラ５８にて被操作体４８を接近位置から離間位置に操作すると、被操作体４８の離間位置への移動により連係機構５１が物品載置体２８を突出位置に操作して、物品載置体２８を引退位置から突出位置に位置変更させる。また、出退操作手段Ｓが引退作動により操作用係合ローラ５８にて被操作体４８を離間位置から接近位置に操作すると、被操作体４８の接近位置への移動により連係機構５１が物品載置体２８を引退位置に操作して、物品載置体２８を突出位置から引退位置に位置変更させることになる。
【００４６】
前記物品載置体２８を引退位置と突出位置とに位置変更させるときの動きについて説明する。
図６及び図８に示すように、被操作体４８が接近位置に位置すると、溝部５０の開口部分が遠近方向に開口しているので、出退操作手段Ｓが突出作動を行うことにより、操作用係合ローラ５８が遠近方向において移動車３から突出する側に移動して溝部５０の開口から溝部５０に嵌り込んで溝部５０に係合する。そして、操作用係合ローラ５８が溝部５０に係合した状態で遠近方向において移動車３から突出する側に移動することにより、操作用係合ローラ５８が溝部５０の側壁部を押圧しながら溝部５０を移動して被操作体４８を接近位置から離間位置に押し操作する。被操作体４８が接近位置から離間位置に揺動すると、揺動リンク５２の係合ローラ５４が細長溝部５５の側壁部を物品載置体２８の突出位置側に押圧しながら、揺動リンク５２が物品載置体２８の出退方向に第２揺動軸心Ｐ２周りで揺動する。この揺動リンク５２の揺動により第３連結用枠体３７ｃを物品載置体２８の突出位置側に押圧して、固定ガイド３９に対して可動ガイド４０を物品載置体２８の突出位置側に移動させるとともに、可動ガイド４０に対して左右一対の支持アーム体３３を物品載置体２８の突出位置側に移動させて、物品載置体２８を突出位置に位置変更させる。
【００４７】
固定ガイド３９に対する可動ガイド４０の動き、及び、可動ガイド４０に対する左右一対の支持アーム体３３の動きについて説明を加える。
図１１に示すように、物品載置体２８が引退位置に位置するときには、ガイドローラ４１が固定ガイド３９の遠近方向の離間する側に位置し且つ摺動部４５が可動ガイド４０において前後方向の離間する側に位置する。このとき、第１引退位置側ストッパ部４４が引退位置側当接部４７と当接し、且つ、第２引退位置側ストッパ部６２が被接当部６０と当接することにより、固定ガイド３９に対する可動ガイド４０の引退位置側への移動、及び、可動ガイド４０に対する左右一対の支持アーム体３３を連結する第３連結用枠体３７ｃの引退位置側への移動が規制されている。
【００４８】
揺動リンク５２の揺動により第３連結用枠体３７ｃが物品載置体２８の突出位置側に押圧されると、可動ガイド４０を遠近方向の接近する側に摺動部４５が摺動する。そして、図１２に示すように、第１突出位置側ストッパ部４３が突出位置側当接部４６と当接して、可動ガイド４０に対する第３連結用枠体３７ｃの突出位置側への移動が規制される。したがって、その後は、ガイドローラ４１が固定ガイド３９にて案内支持されて第３連結用枠体３７ｃと可動ガイド用枠体４２とが一体的に移動して、第３連結用枠体３７ｃの突出位置側への移動が継続される。このようにして、可動ガイド４０が固定ガイド３９に対して物品載置体２８の出退方向の突出する側に可動するとともに、可動ガイド４０に対して左右一対の支持アーム体３３が物品載置体２８の出退方向の突出する側に移動することにより、図１３に示すように、物品載置体２８が引退位置から突出位置に突出される。このとき、第１突出位置側ストッパ部４３が突出位置側当接部４６と当接し、且つ、第２突出位置側ストッパ部６１が被接当部６０と当接することにより、固定ガイド３９に対する可動ガイド４０の突出位置側への移動、及び、可動ガイド４０に対する第３連結用枠体３７ｃの突出位置側への移動が規制されている。
【００４９】
図７及び図９に示すように、被操作体４８が離間位置に位置するときに、出退操作手段Ｓが引退作動を行うと、操作用係合ローラ５８が溝部５０に係合した状態で移動車３に接近する側に移動することになり、操作用係合ローラ５８が溝部５０の側壁部を押圧しながら溝部５０を移動して被操作体４８を離間位置から接近位置に引き操作する。そして、被操作体４８が離間位置から接近位置に揺動すると、揺動リンク５２の係合ローラ５４が細長溝部５５の側壁部を物品載置体２８の引退位置側に押圧しながら、揺動リンク５２が物品載置体２８の出退方向に第２揺動軸心Ｐ２周りで揺動する。この揺動リンク５２の揺動により第３連結用枠体３７ｃを物品載置体２８の引退位置側に押圧して、固定ガイド３９に対して可動ガイド４０を物品載置体２８の引退位置側に移動させるとともに、可動ガイド４０に対して左右一対の支持アーム体３３を物品載置体２８の引退位置側に移動させて、物品載置体２８を引退位置に位置変更させる。そして、図６及び図８に示すように、被操作体４８が接近位置に位置すると、溝部５０の開口部分が遠近方向に開口しているので、操作用係合ローラ５８が移動車３に接近する側に移動することにより、操作用係合ローラ５８が溝部５０を離脱して移動車３に引退する。
【００５０】
物品載置体２８を突出位置から引退位置に位置変更させるときの固定ガイド３９に対する可動ガイド４０の動き、及び、可動ガイド４０に対する左右一対の支持アーム体３３の動きについては、物品載置体２８を引退位置から突出位置に位置変更させるときの動きと逆の動きであるので、説明は省略する。
【００５１】
前記移動車３には、移動車３の動作を制御する台車用制御部が設けられている。そして、台車用制御部は、物品搬送設備全体の動作を管理する管理用コンピュータからの指令、及び、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の移動及び把持部４の昇降作動を制御するとともに、把持動作用モータ２７及び出退操作手段Ｓの作動を制御するように構成されている。
【００５２】
例えば、管理用コンピュータから、複数のステーション７のうちから搬送元及び搬送先のステーション７を特定した状態で搬送元のステーション７から搬送先のステーション７に容器５を搬送する搬送指令が指令された場合には、台車用制御部が、搬送元のステーション７から容器５を受け取り、搬送先のステーション７に容器５を卸すべく、移動車３の動作を制御するように構成されている。
【００５３】
前記搬送元のステーション７から容器５を受け取る場合には、まず、台車用制御部は、搬送元のステーション７に対応する停止位置に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。次に、台車用制御部は、搬送元のステーション７に対応する停止位置に移動車３を停止させた状態で、上昇位置から下降位置に把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御する。そして、台車用制御部は、把持部４が下降位置に位置すると、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを把持姿勢に切り換え、容器５のフランジ５ａを一対の把持具４ａにて把持して容器５を受け取る。その後、台車用制御部は、下降位置から上昇位置に把持部４を上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、搬送先のステーション７に対応する停止位置に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。
そして、台車用制御部は、搬送先のステーション７に対応する停止位置に移動車３が停止すると、搬送元のステーション７から容器５を受け取る場合と同様に、把持部４の昇降作動や把持動作用モータ２７の作動を制御することにより、搬送先のステーション７に容器５を卸すように構成されている。
【００５４】
また、管理用コンピュータから、複数の物品載置体２８のうち移載対象の物品載置体２８が特定された状態で物品載置体２８に容器５を保管する保管指令が指令された場合について説明する。
前記台車用制御部が、まず、移載対象の物品載置体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。次に、台車用制御部は、移載対象の物品載置体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、出退操作手段Ｓを突出作動させる。そして、出退操作手段Ｓが突出作動を行うことにより、物品載置体２８を引退位置から突出位置に位置変更させる。そして、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置に把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを解除姿勢に切り換え、把持部４から突出位置に位置する物品載置体２８に容器５を卸す。その後、台車用制御部は、把持部４を上昇位置まで上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、物品載置体２８を突出位置から引退位置に位置変更させる。
【００５５】
前記管理用コンピュータから、複数の物品載置体２８のうち移載対象の物品載置体２８が特定された状態で物品載置体２８にて保管している容器５を取り出す取出指令が指令された場合について説明する。
前記台車用制御部は、保管指令が指令された場合と同様に、移動車３の移動を制御することにより、移載対象の物品載置体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を停止させる。そして、台車用制御部は、出退操作手段Ｓを突出作動させることにより、物品載置体２８を引退位置から突出位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置へ把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを把持姿勢に切り換え、物品載置体２８から把持部４に容器５を受け取る。そして、台車用制御部は、上昇位置まで把持部４を上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、出退操作手段Ｓを引退作動させる。そして、出退操作手段Ｓが引退作動を行うことにより、物品載置体２８を突出位置から引退位置に位置変更させる。
【００５６】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、移動車３に出退操作手段Ｓを設けているが、物品載置体２８に出退操作手段を設けることもできる。
【００５７】
（２）上記実施形態では、揺動リンク５２の先端側の係合ローラ５４が、第３連結用枠体３７ｃに設けた細長溝部５５に摺動自在に係合するように設けられているが、例えば、揺動リンク５２の先端側を第３連結用枠体３７ｃに枢支連結して実施することもできる。
【００５８】
（３）上記実施形態では、物品載置体２８が、突出位置において、上昇位置に近接する位置に位置する把持部４との間で容器５を授受するように設けられているが、突出位置の物品載置体２８が把持部４との間で容器５を授受する上下方向での位置については、上昇位置に近接する位置又は上昇位置に限らず、上昇位置よりも設定高さだけ下降した位置であってもよい。この場合には、物品載置体２８を突出位置に位置させた状態で、把持部４を上昇位置から設定高さだけ下降させることにより、物品載置体２８と把持部４との間での容器５の授受を行うことができることになる。
【００５９】
（４）上記実施形態では、物品載置体２８を案内レール２に沿って並ぶ状態で複数設けているが、物品載置体２８を設置する数については適宜変更が可能である。また、物品載置体２８の設置位置についても、案内レール２に対して左右両側に設けているが、案内レール２の片側のみに設置することも可能である。
【００６０】
（５）上記実施形態では、移動車３に、移動車３の走行方向において右側に位置する物品載置体２８を変更操作するための出退操作手段Ｓと、移動車３の走行方向において左側に位置する物品載置体２８を変更操作するための出退操作手段Ｓとの２つの出退操作手段Ｓを設けているが、例えば、出退操作手段Ｓが、移動車３の走行方向に対して右側及び左側の両側に操作用係合ローラ５８を出退自在に備えることにより、移動車３に１つの出退操作手段Ｓを設けて実施することもできる。
【００６１】
（６）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器５を搬送する物品搬送設備を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】物品搬送設備の平面図
【図２】移動車とステーションとの側面図
【図３】移動車の側面図
【図４】移動車の縦断正面図
【図５】物品載置体の分解斜視図
【図６】引退位置における物品載置体の斜視図
【図７】突出位置における物品載置体の斜視図
【図８】引退位置における物品載置体の平面図
【図９】突出位置における物品載置体の平面図
【図１０】物品載置体の遠近方向視での縦断面図
【図１１】物品載置体の要部を示す平面図
【図１２】物品載置体の要部を示す平面図
【図１３】物品載置体の要部を示す平面図
【符号の説明】
【００６３】
２          移動経路
３          物品搬送体
４          物品保持部
２８        物品載置体
３９        固定ガイド
４０        可動ガイド
４８        被操作体
５２        揺動リンク
５４        係合部
５５        被係合部
５８        操作部
Ｓ          出退操作手段
【図１】
2008214073.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008214073.tif 000009
【図８】
2008214073.tif 000010
【図９】
2008214073.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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