(57)【要約】【課題】定量ポンプから間欠的に吐出される流体の流量を従来よりも正確に計測することが可能な電磁流量計の提供を目的とする。【解決手段】本発明の電磁流量計１０は、定量ポンプ４０の吐出動作に伴う液体の流動中は直流磁束が付与されるので、吐出動作中に１対の検知電極２３，２３で検出された、液体の流速に対する検出信号に、磁束微分ノイズが重畳することはない。これにより液体が計測管２１内を流れている期間の検出信号を欠くことなくサンプリングすることができる。また、液体の流速に対する検出信号Ｖｆに電気化学的ノイズＶｅが重畳した場合でも、ハイパスフィルターである周波数フィルター３５により、液体の流速に対する検出信号Ｖｆを電気化学的ノイズＶｅと分離して取り出すことができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
定量ポンプから間欠的に吐出される流体が流される計測管と、前記計測管内の流体に磁束を付与するための磁束付与手段と、前記計測管に固定され、前記流体の流れる方向と交差する方向で対向した１対の検知電極と、前記１対の検知電極の間に発生した電圧を前記流体の流速に対する検出信号として取り込み、その検出信号を時間積分して前記流体の流量を演算する信号処理部とを備えた電磁流量計において、
前記磁束付与手段は、前記定量ポンプの吐出動作中は前記磁束が一定方向及び一定強度に保持されるように励磁され、
前記１対の検知電極と前記信号処理部との間には、前記１対の検知電極が検出した複数種類の周波数の検出信号のうち前記定量ポンプの吐出動作後に前記計測管内の流体が前記計測管の軸方向で減衰振動する際の減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域の検出信号を取り出して前記信号処理部に付与するためのフィルター手段が備えられたことを特徴とする電磁流量計。
【請求項２】
前記フィルター手段には、前記複数種類の周波数の検出信号のうち前記減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域より小さな周波数の検出信号の通過を禁止し、前記減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域以上の検出信号の通過を許容するハイパスフィルターが含まれていることを特徴とする請求項１に記載の電磁流量計。
【請求項３】
前記磁束付与手段は、前記定量ポンプの吐出動作中と前記定量ポンプの停止中とを連続して含む期間に亘って前記磁束が一定方向及び一定強度に保持されるように励磁され、
前記ハイパスフィルターを通過した前記検出信号のうち前記定量ポンプの停止中に検出された前記検出信号からゼロオフセット値を検出するゼロオフセット値検出手段と、
前記ハイパスフィルターを通過した前記検出信号から前記ゼロオフセット値をキャンセルして前記信号処理部に付与するゼロオフセットキャンセル手段とを備えたことを特徴とする請求項２に記載の電磁流量計。
【請求項４】
前記ゼロオフセット値検出手段は、前記定量ポンプが吐出動作時に出力するトリガ信号の出力タイミングからの経過時間によって、前記定量ポンプの吐出動作中に検出された前記検出信号と、前記定量ポンプの停止中に検出された前記検出信号とを区別するように構成されたことを特徴とする請求項３に記載の電磁流量計。
【請求項５】
前記検出信号が予め定められた基準電圧に達したことをもって前記定量ポンプが吐出動作を行ったことを検出するポンプ動作検出手段を設け、
前記ゼロオフセット値検出手段は、前記ポンプ動作検出手段にて検出された前記定量ポンプの吐出動作の後の前記定量ポンプの停止中の前記検出信号から前記ゼロオフセット値を検出するように構成されたことを特徴とする請求項３に記載の電磁流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、定量ポンプから間欠的に吐出される流体の流量を計測するための電磁流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電磁流量計では、１対の検知電極が互いに異なる電気化学的環境に置かれているために、それら検知電極間に電気化学的ノイズが発生し、この電気化学的ノイズが、流体の流速に対する検出信号（電圧）に重畳する現象が起きる。この電気化学的ノイズの周波数は非常に小さいため、流体に一定方向及び一定強度の磁束を付与する直流励磁式の電磁流量計では、流速に対する検出信号と電気化学的ノイズとを分離することは不可能である。
【０００３】
この問題を解決するものとして、励磁電流の向きを所定周期で反転させて流体に付与する磁束を交番させる方形波励磁式の電磁流量計が知られている。この電磁流量計では、流速に対する検出信号が、励磁周波数と同じ周波数となるので、この周波数以上の検出信号を通過させるハイパスフィルターに通すことで、周波数の小さい電気化学的ノイズを排除して、流速に対する検出信号を取り出すことができる。しかしながら、この電磁流量計では、磁束を交番させているが故に、励磁電流の変化に比例した９０度ノイズと呼ばれる磁束微分ノイズの発生が避けられない。
【０００４】
即ち、磁束が交番する際に、電磁コイルに流れる励磁電流は、瞬時に反転して定常値になるのではなく、電磁コイルが持つインダクタンス等の影響で定常値になるまで過渡的に変化（徐変）する。そのため、励磁電流が徐変している過渡応答期間、即ち、磁束が交番する前後の所定期間は、流速に対する検出信号に磁束微分ノイズが重畳する。従って、方形波励磁式の電磁流量計は、通常、過渡応答期間における検出信号のサンプリングを禁止し、それ以外の励磁電流が定常値（磁束が一定方向でかつ一定強度）となった定常期間中の検出信号のみをサンプリングして演算を行う構成となっている（例えば、非特許文献１参照）。
【非特許文献１】松山  裕著、「実用流量測定」、第１版、財団法人省エネルギーセンター、１９９９年６月１５日、ｐ．４３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した従来の方形波励磁式の電磁流量計によって、流量がコンスタントな流体を計測した場合には、過渡応答期間中の検知電圧のデータが欠落しても、その前後の定常期間に取得した検知電圧から推定可能なので問題とはならないが、定量ポンプから間欠的に吐出される流体、即ち、流量が脈動的に変化して流れる流体を計測する場合には、以下のような問題が生じ得る。
【０００６】
即ち、実際に流体が流れている期間と励磁電流の過渡応答期間を含むサンプリング禁止期間とが重なった場合には、流体が流れているにも関わらず検出信号を取得できない期間が発生し、検出信号のデータが欠落することになる。ところが、通常、定量ポンプから吐出される流体は、短時間で大きく流量が変化するため、サンプリング禁止期間中に、実際の流量が大きく変化した場合には、欠落した検出信号のデータをその前後の定常期間に取得された検出信号から推定することは極めて困難であり、これが誤差の原因となっていた。このように、従来の電磁流量計では、何れの励磁方式であっても定量ポンプから間欠的に吐出される流体の流量を正確に計測することができなかった。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、定量ポンプから間欠的に吐出される流体の流量を従来よりも正確に計測することが可能な電磁流量計の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願発明者は、定量ポンプにより間欠的に吐出される流体の流量を従来より正確に計測することが可能な電磁流量計を開発すべく鋭意研究してきたところ、定量ポンプから吐出された流体は、定量ポンプの吐出動作後に計測管内で計測管の軸方向に減衰振動（上流側と下流側とに交互に移動）しながら流れていることを突き止め、以下に記載の構成を有する本発明を完成するに至った。
【０００９】
即ち、上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係る電磁流量計は、定量ポンプから間欠的に吐出される流体が流される計測管と、計測管内の流体に磁束を付与するための磁束付与手段と、計測管に固定され、流体の流れる方向と交差する方向で対向した１対の検知電極と、１対の検知電極の間に発生した電圧を流体の流速に対する検出信号として取り込み、その検出信号を時間積分して流体の流量を演算する信号処理部とを備えた電磁流量計において、磁束付与手段は、定量ポンプの吐出動作中は磁束が一定方向及び一定強度に保持されるように励磁され、１対の検知電極と信号処理部との間には、１対の検知電極が検出した複数種類の周波数の検出信号のうち定量ポンプの吐出動作後に計測管内の流体が計測管の軸方向で減衰振動する際の減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域の検出信号を取り出して信号処理部に付与するためのフィルター手段が備えられたところに特徴を有する。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の電磁流量計において、フィルター手段には、複数種類の周波数の検出信号のうち減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域より小さな周波数の検出信号の通過を禁止し、減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域以上の検出信号の通過を許容するハイパスフィルターが含まれているところに特徴を有する。
なお、念の為に述べておくが、請求項２の発明における「周波数帯域より小さな」とは、「周波数帯域に含まれる最小の周波数より小さな」という意味であり、「周波数帯域以上」とは、「周波数帯域に含まれる最小の周波数以上」という意味である。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項２に記載の電磁流量計において、磁束付与手段は、定量ポンプの吐出動作中と定量ポンプの停止中とを連続して含む期間に亘って磁束が一定方向及び一定強度に保持されるように励磁され、ハイパスフィルターを通過した検出信号のうち定量ポンプの停止中に検出された検出信号からゼロオフセット値を検出するゼロオフセット値検出手段と、ハイパスフィルターを通過した検出信号からゼロオフセット値をキャンセルして信号処理部に付与するゼロオフセットキャンセル手段とを備えたところに特徴を有する。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項３に記載の電磁流量計において、ゼロオフセット値検出手段は、定量ポンプが吐出動作時に出力するトリガ信号の出力タイミングからの経過時間によって、定量ポンプの吐出動作中に検出された検出信号と、定量ポンプの停止中に検出された検出信号とを区別するように構成されたところに特徴を有する。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項３に記載の電磁流量計において、検出信号が予め定められた基準電圧に達したことをもって定量ポンプが吐出動作を行ったことを検出するポンプ動作検出手段を設け、ゼロオフセット値検出手段は、ポンプ動作検出手段にて検出された定量ポンプの吐出動作の後の定量ポンプの停止中の検出信号からゼロオフセット値を検出するように構成されたところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１４】
［請求項１の発明］
請求項１の発明によれば、磁束付与手段は、定量ポンプの吐出動作中は磁束が一定方向及び一定強度に保持されるように励磁されているから、吐出動作中に１対の検知電極間に磁束微分ノイズが発生することはない。よって、吐出動作中、即ち、流体が計測管内を流れている期間の検出信号を欠くことなくサンプリングして流量を演算することができる。
【００１５】
また、１対の検知電極が検出した複数種類の周波数の検出信号のうち、定量ポンプの吐出動作後に計測管内の流体が計測管の軸方向で減衰振動する際の減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域の検出信号を取り出して、信号処理部に付与するためのフィルター手段を設けたので、流体の流速に対する検出信号に非常に周波数の小さい遅い電気化学的ノイズが重畳した場合でも、電気化学的ノイズより大きな周波数（減衰周波数）である流体の流速に対する検出信号を、電気化学的ノイズと分離して取り出すことができる。
【００１６】
このように本発明によれば、定量ポンプから間欠的に吐出される流体の流量を従来の電磁流量計よりも正確に計測することが可能である。
【００１７】
［請求項２の発明］
請求項２の発明のように、フィルター手段は、複数種類の周波数の検出信号のうち減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域より小さな周波数の検出信号の通過を禁止し、減衰周波数と同じ周波数を含む周波数帯域以上の検出信号の通過を許容するハイパスフィルターを含んでいればよい。即ち、ハイパスフィルターだけでもよいし、ハイパスフィルターに加えて、減衰周波数を含む周波数帯域より大きな周波数の検出信号の通過を禁止するローパスフィルターを含んでいてもよい。
【００１８】
［請求項３，４及び５の発明］
請求項３の発明によれば、定量ポンプの停止中にも磁束が一定方向及び一定強度に保持されるので、磁束微分ノイズが発生することはなく、定量ポンプの停止中における検出信号も取得することが可能となる。そして、ゼロオフセット値検出手段は、ハイパスフィルターを通過した検出信号のうち定量ポンプの停止中に検出された検出信号からゼロオフセット値を検出して、ハイパスフィルターを通過した検出信号からゼロオフセット値をキャンセルするから、ハイパスフィルターで排除しきれなかったノイズ成分が排除されてより正確に流量を計測することができる。
【００１９】
ここで、上記したようにゼロオフセット値検出手段にて定量ポンプの停止中に検出された検出信号からゼロオフセット値を検出するには、請求項４の発明のように、定量ポンプが吐出動作時に出力するトリガ信号の出力タイミングからの経過時間によって、ゼロオフセット値検出手段が定量ポンプの吐出動作中に検出された検出信号と、定量ポンプの停止中に検出された前記検出信号とを区別するように構成すればよい。
【００２０】
また、請求項５の発明のように、ポンプ動作検出手段によって、検出信号が予め定められた基準電圧に達したことをもって定量ポンプが吐出動作を行ったことを検出し、その吐出動作の後で定量ポンプが停止したときの検出信号からゼロオフセット値を検出してもよい。
【００２１】
或いは、過去の検出信号を所定期間分だけ記憶させておき、検出信号が予め定められた基準電圧に達したことをもって定量ポンプが吐出動作を行ったことを検出すると共に、その吐出動作が開始される以前の定量ポンプが停止していたときの検出信号からゼロオフセット値を検出してもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図１〜図４に基づいて説明する。
図１に示すように、薬液タンク５０から延びた管路５１の途中には定量ポンプ４０が備えられている。定量ポンプ４０は、例えば、ダイアフラム式の電磁定量ポンプであり、多数のメーカから市販されている公知の構造をなしている。そして、ダイアフラム４３（図２参照）の往復動により、薬液タンク５０に貯留された液体（例えば、医療分野や農業分野で使用される薬液等）が一定量ずつ吐出される。
【００２３】
図２に示すように定量ポンプ４０は、吐出動作指令Ｒ１を生成して出力するタイミング発生回路４１と、吐出動作指令Ｒ１を受けてダイアフラム４３を駆動するダイアフラム駆動回路４２とを備えている。タイミング発生回路４１は、一定周期で吐出動作指令Ｒ１を間欠的に出力しており、これにより定量ポンプ４０は、一定周期で毎回一定量の液体を間欠的に吐出する。なお、吐出動作指令Ｒ１の出力周期（液体の吐出間隔）は任意に設定することができる。
【００２４】
この定量ポンプ４０から間欠的に一定量ずつ吐出された液体の流量を計測するために、図１に示すように管路５１のうち定量ポンプ４０の下流側には、本発明に係る電磁流量計１０が設けられている。電磁流量計１０は、一般の電磁流量計と同様に検出器２０と変換器３０とから構成されている。
【００２５】
図２に示すように検出器２０は、定量ポンプ４０から吐出された液体が流れる計測管２１と、計測管２１の側方から計測管２１内を横切るように一定方向及び一定強度の磁束（以下、「直流磁束」という）を付与する電磁コイル２２と、計測管２１に固定され直流磁束及び液体の流れの向きと直交する方向に対向配置された１対の検知電極２３，２３とを備えている。
【００２６】
電磁コイル２２に対し励磁電源３６から励磁電流Ｉｅが供給され、計測管２１内の液体に直流磁束が付与された状態でその直流磁束に直交して液体が流れると、１対の検知電極２３，２３間に液体の流速に比例した電圧が発生する。ここで、１対の検知電極２３，２３間に発生する電圧には、この流速に比例した電圧の他に、検知電極２３，２３と液体との接触により発生する流速とは無関係で非常に小さい周波数の電気化学的ノイズＶｅが含まれている（図４（Ａ）参照）。
【００２７】
一方、変換器３０は、電磁コイル２２が直流磁束を発生するように直流の励磁電流を付与する励磁電源３６と、１対の検知電極２３，２３間に発生した電圧を検出信号Ｖとして取得（サンプリング）するサンプリング回路３１と、サンプリング回路３１が取得した検出信号Ｖを取り込んで液体の流量を演算する流量演算回路３２（本発明の「信号処理部」に相当する）と、サンプリング回路３１に取得された検出信号Ｖを流量演算回路３２に出力するタイミングを制御するタイミング回路３３と、サンプリング回路３１が取得した検出信号Ｖに基づいて定量ポンプ４０の吐出動作を検出するポンプ動作検出回路３４（本発明の「ポンプ動作検出手段」に相当する）とを備えている。なお、励磁電源３６と電磁コイル２２によって本発明の「磁束付与手段」が構成されている。
【００２８】
タイミング回路３３は、ポンプ動作検出回路３４によって定量ポンプ４０が吐出動作を行ったと判別された場合に限り、サンプリング回路３１に許可信号Ｒ２を出力する。すると、サンプリング回路３１から流量演算回路３２に対して検出信号Ｖが出力される。
【００２９】
ところで、本願発明者が行った実験の結果、定量ポンプ４０から吐出された液体は、図３のグラフに示すように、定量ポンプ４０の吐出動作後に計測管２１内で計測管２１の軸方向に減衰振動（上流側と下流側とに交互に移動）しながら流れていることが分かった。即ち、１対の検知電極２３，２３は、流速に対する検出信号Ｖｆの他に、低周波の電気化学的ノイズＶｅを含む複数種類の周波数の検出信号Ｖを検出し得るが、液体の流速に対する検出信号Ｖｆは、電気化学的ノイズＶｅの周波数に比べて非常に大きい減衰周波数を有していることが分かった。
【００３０】
このことに基づき、変換器３０には、１対の検知電極２３，２３にて検出された検出信号Ｖから電気化学的ノイズＶｅを除去するための周波数フィルター３５（本発明の「フィルター手段」に相当する）が備えられている。この周波数フィルター３５は、１対の検知電極２３，２３とサンプリング回路３１との間に設けられており、コンデンサと抵抗素子によって構成された、所謂、ハイパスフィルターである。
【００３１】
そして、周波数フィルター３５の時定数（コンデンサの容量値と抵抗素子の抵抗値との積）は、液体が計測管２１内を減衰振動する際の減衰周波数を中心周波数とする所定の周波数帯域（以下、「減衰周波数帯域」という）以上の検出信号Ｖの通過を許容し、減衰周波数帯域より小さな周波数の検出信号Ｖの通過を禁止するように設定されている。
【００３２】
この周波数フィルター３５によって１対の検知電極２３，２３が検出し得る複数種類の周波数の検出信号Ｖのうち、電気化学的ノイズＶｅなど、減衰周波数帯域より小さい周波数の検出信号Ｖは排除され、減衰周波数帯域以上の周波数の検出信号Ｖだけが増幅回路３８を介してサンプリング回路３１に取り込まれる。
【００３３】
なお、変換器３０は図示しない外部出力端子を備えており、ここに表示器５２（図１参照）や、その他外部機器を接続することで、流量の演算結果を外部に出力することができる。また、定量ポンプ４０に接続することで、流量の演算結果を定量ポンプ４０のフィードバック制御に使用することも可能である。
【００３４】
本実施形態の電磁流量計１０の構成は以上であり、次に、本実施形態の作用及び効果について図４を参照しつつ説明する。
【００３５】
電磁流量計１０及び定量ポンプ４０が起動すると、電磁流量計１０が計測管２１内の液体に一定方向及び一定強度の磁束を付与すると共に、定量ポンプ４０が一定周期で毎回一定量の液体を計測管２１に向けて間欠的に吐出する。
【００３６】
詳細には、タイミング発生回路４１から一定周期で吐出動作指令Ｒ１が出力され、これを受けてダイアフラム駆動回路４２がダイアフラム４３を間欠的に動作させる。これにより、一定量の液体が一定の流動期間に亘って計測管２１内を移動する。流動期間中の液体は、計測管２１内を計測管２１の軸方向に減衰振動しながら全体として下流側に流れる（図３参照）。
【００３７】
一方、電磁流量計１０に備えた１対の検知電極２３，２３では、液体の流速に対する検出信号Ｖｆ及び電気化学的ノイズＶｅを含む複数種類の周波数の検出信号Ｖが重畳した状態で検出される。周波数フィルター３５は、これら複数種類の検出信号Ｖのうち、流速に対する検出信号Ｖｆが有する減衰周波数を含む減衰周波数帯域より小さい周波数の検出信号Ｖの通過を禁止し、減衰周波数帯域以上の周波数の検出信号Ｖの通過を許容する。これにより、電気化学的ノイズＶｅを含む比較的周波数の小さい検出信号Ｖが排除され、液体の流速に対する検出信号Ｖｆを含む比較的周波数の大きい検出信号Ｖがサンプリング回路３１に取り込まれる。
【００３８】
サンプリング回路３１は、取り込んだ検出信号Ｖを直ちにポンプ動作検出回路３４に出力すると共に、所定のサンプル記憶時間分の検出信号Ｖをメモリに記憶する。このサンプル記憶時間は、定量ポンプ４０が吐出動作を開始（タイミング発生回路４１が吐出動作指令Ｒ１を出力）してから検出信号Ｖの電圧が後述する基準電圧Ｅｓに達するまでの時間Ｔ１に、所定のゼロオフセット検出期間Ｔ２を加えた時間となっている（図４（Ｂ）参照）。
【００３９】
ここで、周波数フィルター３５を通過させるだけでは、１対の検知電極２３，２３で検出された検出信号Ｖから、全てのノイズ成分を排除しきれない場合がある。また、周波数フィルター３５より後段に備えた増幅回路３８（図２参照）のアンバランスにより、周波数フィルター３５を通過した後で検出信号Ｖにノイズ成分が重畳する場合がある。このようなノイズ成分を排除するために電磁流量計１０では以下の処理を行う。
【００４０】
即ち、ポンプ動作検出回路３４は、サンプリング回路３１から取り込んだ（周波数フィルタ３５を通過し増幅回路３８で増幅された）検出信号Ｖの電圧に基づいて定量ポンプ４０の吐出動作を検出する。具体的には、検出信号Ｖの電圧が基準電圧Ｅｓに達したか否かを判別し、基準電圧Ｅｓに達したことをもって定量ポンプ４０が吐出動作を行ったことを検出する。この基準電圧Ｅｓは、計測管２１内を液体が流れている期間中に必ず到達しかつ、液体が流れていないときには到達することがない値に設定すればよい。
【００４１】
そして、検出信号Ｖの電圧が基準電圧Ｅｓに達したタイミングで、ポンプ動作検出回路３４はタイミング回路３３に信号を出力し、タイミング回路３３は直ちにサンプリング回路３１に許可信号Ｒ２を出力する。すると、サンプリング回路３１に記憶されているサンプル記憶時間分の検出信号Ｖのデータが流量演算回路３２に転送されると共に、サンプリング回路３１に取り込まれた検出信号Ｖが、少なくとも液体の流れが静止するまでの期間に亘ってリアルタイムに流量演算回路３２に出力する。
【００４２】
ここで、サンプリング回路３１から転送されたサンプル記憶時間分の検出信号Ｖのデータのうち、古い方からゼロオフセット検出期間Ｔ２分の検出信号Ｖは、定量ポンプ４０の吐出動作より前の液体が静止しているときの検出信号Ｖであるので、流量演算回路３２では、この液体が静止しているときの検出信号Ｖの平均値をゼロオフセット値Ｖ０として検出し、サンプリング回路３１から取り込んだ検出信号Ｖの電圧からこのゼロオフセット値Ｖ０を差し引く。これにより、周波数フィルター３５で排除しきれなかったノイズ成分や増幅回路３８にて重畳したノイズ成分が検出信号Ｖから排除され、この検出信号Ｖに基づいて液体の流量を演算する。即ち、検出信号Ｖを時間積分して単位時間当たりの流量を演算し、その単位時間当たりの流量を所定時間に亘って積算して積算流量を演算する。なお、図３のグラフにおいて、正の値を時間積分した積分値から、負の値を時間積分した積部値を差し引いた値が、定量ポンプ４０の吐出動作により実際に下流側に流れた液体の積算流量である。
【００４３】
以上が定量ポンプ４０の１回の吐出動作に伴って電磁流量計１０が行う動作であり、以下、定量ポンプ４０が吐出動作を行う毎にこの動作を繰り返す。なお、本実施形態において、流量演算回路３２は本発明の「ゼロオフセット値検出手段」、「ゼロオフセットキャンセル手段」に相当する。
【００４４】
このように、本実施形態の電磁流量計１０では、電磁コイル２２が直流の励磁電流により励磁され、定量ポンプ４０の吐出動作に伴う液体の流動中は磁束が一定方向及び一定強度に保持される。よって吐出動作中に１対の検知電極２３，２３で検出された液体の流速に対する検出信号Ｖｆに、磁束微分ノイズが重畳することはない。これにより、吐出動作中、即ち、液体が計測管２１内を流れている期間の検出信号Ｖを欠くことなくサンプリングすることができる。
【００４５】
また、１対の検知電極２３，２３が検出した複数種類の周波数の検出信号Ｖのうち、定量ポンプ４０の吐出動作後に計測管２１内の液体が計測管２１の軸方向で減衰振動する際の減衰周波数を含む減衰周波数帯域より小さい周波数の検出信号の通過を禁止し、減衰周波数帯域以上の検出信号の通過を許容して流量演算回路３２に入力可能とする周波数フィルター３５を設けたので、減衰周波数を有した流速に対する検出信号Ｖｆを、非常に小さい周波数の電気化学的ノイズＶｅと分離して取り出すことができる。
【００４６】
このように本発明によれば、定量ポンプ４０から間欠的に吐出される液体の流量を従来の電磁流量計よりも正確に計測することが可能である。
【００４７】
また、流量演算回路３２は、周波数フィルター３５を通過した検出信号Ｖのうち定量ポンプ４０の停止中に検出された検出信号Ｖからゼロオフセット値Ｖ０を検出して、周波数フィルター３５を通過し増幅回路３８にて増幅された検出信号Ｖからゼロオフセット値Ｖ０をキャンセルするから、周波数フィルター３５で排除しきれなかったノイズ成分や、増幅回路３８にて重畳したノイズ成分が排除されてより正確に流量を計測することができる。
【００４８】
［第２実施形態］
図５及び図６には、本発明の第２実施形態が示されている。図５に示すように、本実施形態の電磁流量計１０は、第１実施形態のポンプ動作検出回路３４に替えて、信号受信回路３７を備えており、この信号受信回路３７で定量ポンプ４０が吐出動作する際にタイミング発生回路４１が出力する吐出動作指令Ｒ１を受信している。吐出動作指令Ｒ１を受信すると、直ちにタイミング回路３３に信号が出力され、タイミング回路３３がサンプリング回路３１に許可信号Ｒ２を出力する。するとサンプリング回路３１は、所定のサンプリング期間に亘って、周波数フィルター３５を通過した検出信号Ｖを流量演算回路３２に出力し続ける。このサンプリング期間は、図６に示すように、予め実験で求めた定量ポンプ４０の吐出動作に伴う液体の流動時間Ｔ３に、所定のゼロオフセット検出期間Ｔ２を加えた時間となっている。即ち、サンプリング回路３１から取り込んだサンプリング期間分の検出信号Ｖのデータのうち、新しい方からゼロオフセット検出期間Ｔ２分の検出信号Ｖは、定量ポンプ４０の吐出動作後に、液体が静止しているときの検出信号Ｖになっている。
【００４９】
そして、流量演算回路３２では、液体が静止しているときの検出信号Ｖをゼロオフセット値Ｖ０として検出し、サンプリング回路３１から取り込んだサンプリング期間における検出信号Ｖから、このゼロオフセット値Ｖ０を一律に差し引く。その他の構成については、上記第１実施形態と同じであるので、説明を省略する。
【００５０】
本実施形態によれば、上記第１実施形態と同等の効果を奏すると共に、過去の検出信号Ｖのデータを記憶しておく必要がなくなる。
【００５１】
［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００５２】
（１）図７に示すように、サンプリング期間を、サンプリング回路３１に取り込まれた検出信号Ｖの電圧が、基準電圧Ｅｓになったタイミングから、吐出動作による液体の流れが止まるまでのディレイ時間Ｔｄと、そのディレイ時間Ｔｄの終了後から所定のゼロオフセット検出期間Ｔ２が経過するまでとして、流量演算回路３２に検出信号Ｖを取り込み、ゼロオフセット検出期間Ｔ２のときの検出信号Ｖをゼロオフセット値Ｖ０として、サンプリング期間における検出信号Ｖから、このゼロオフセット値Ｖ０を一律に差し引いてもよい。
【００５３】
（２）計測管２１内の液体には一定方向で一定強度の直流磁束を付与すればよいので、電磁コイル２２の代わりに永久磁石を用いて磁束を付与してもよい。このようにすれば励磁電源３６が不要になる。また、電磁コイル２２と永久磁石を併用してもよい。なお、励磁電源３６は、変換器３０側に備えられていたが、検出器２０側に備えていてもよい。
【００５４】
（３）周波数フィルター３５は、減衰周波数帯域より小さい周波数の検出信号Ｖの通過を禁止し、減衰周波数帯域以上の周波数の検出信号Ｖの通過を許容する、所謂、ハイパスフィルターであったが、このハイパスフィルターに加えて、減衰周波数帯域より大きな（減衰周波数帯域における最大周波数より大きな）周波数の検出信号の通過を禁止するローパスフィルターを備えていてもよい。なお、本発明の電磁流量計１０は、検出信号Ｖを積分して流量を演算しているので、減衰周波数帯域より大きな周波数のノイズ成分は、周波数が大きくなればなる程、積分操作によってキャンセルされるので、ローパスフィルターは必須ではない。
【００５５】
（４）電磁流量計１０は、定量ポンプ４０と別体であったが、一体でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態に係る電磁流量計と定量ポンプの概念図
【図２】電磁流量計及び定量ポンプのブロック図
【図３】定量ポンプから吐出された液体の流速変化を示すグラフ
【図４】（Ａ）周波数フィルタを通過する前の検出信号の概念図、（Ｂ）周波数フィルタを通過した後の検出信号の概念図
【図５】第２実施形態に係る電磁流量計及び定量ポンプのブロック図
【図６】周波数フィルタを通過した後の検出信号の概念図
【図７】変形例に係る電磁流量計の周波数フィルタを通過した後の検出信号の概念図
【符号の説明】
【００５７】
１０    電磁流量計
２１    計測管
２２    電磁コイル（磁束付与手段）
２３，２３    検知電極
３２    流量演算回路（信号処理部、ゼロオフセット値検出手段、ゼロオフセットキャンセル手段）
３４    ポンプ動作検出回路（ポンプ動作検出手段）
３５    周波数フィルター（フィルター手段、ハイパスフィルター）
３６    励磁電源（磁束付与手段）
４０    定量ポンプ
Ｅｓ    基準電圧
Ｒ１    吐出動作指令（トリガ信号）
Ｖ０    ゼロオフセット値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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