(57)【要約】      （修正有）【課題】メタルダイアフラムで受けた圧力を圧力検出室へ印加するようにした圧力センサにおいて、過大な圧力がメタルダイアフラムに印加されたときにメタルダイアフラムのケースへの固定部に発生するズレを極力防止し、メタルダイアフラムの変形を低減する。【解決手段】ケース１は、圧力検出室を有する第１のケース部１０と圧力検出室に対向して設けられた第２のケース部１２とが組み付けられてなり、メタルダイアフラム８１のうち圧力検出室の周囲に位置する周辺部を、これら両ケース部１０、１２に対して接着剤２を介して接着している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）を有する第１のケース部（１０）と前記圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）に対向して設けられた第２のケース部（１２、１３）とが組み付けられてなるケース（１）と、
前記ケース（１）に設けられ前記圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）内の圧力に基づいて信号を出力するセンシング部（２０）と、
前記第１のケース部（１０）と前記第２のケース部（１２、１３）との間に介在し、前記圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）を覆うように設けられ前記圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）に圧力を印加するメタルダイアフラム（８１、８２）とを備える圧力センサにおいて、
前記メタルダイアフラム（８１、８２）のうち前記圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の周囲に位置する周辺部が、前記ケース（１）に対して機械的に固定されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部は、前記第１のケース部（１０）および前記第２のケース部（１２、１３）の両方に対して機械的に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部は、前記ケース（１）のうち前記第１のケース部（１０）のみに対して機械的に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部は、前記ケース（１）のうち前記第２のケース部（１２、１３）のみに対して機械的に固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記機械的な固定は、前記ケース（１）と前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部との間に介在する接着剤（２）による接着であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記接着剤（２）は、前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部を前記ケース（１）へ接着するとともに、前記両ケース部（１０、１２、１３）同士も接着していることを特徴とする請求項５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記ケース（１）のうち前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部に対向する部位には、溝（３）が設けられており、
この溝（３）に前記接着剤（２）が充填されて配置されていることを特徴とする請求項５または６に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記溝（３）は断面矩形をなすものであることを特徴とする請求項７に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記ケース（１）のうち前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部に対向する部位には、凹凸形状をなす凹凸部（３ａ、３ｂ、３ｃ）が設けられており、
前記機械的な固定は、前記凹凸部（３ａ〜３ｃ）と前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部とのかみ合いによる係止であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記凹凸部は溝（３ａ）であり、
前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部は折り曲げられており、この折り曲げられた部位（８３）が前記溝（３ａ）内に入り込むことで、前記かみ合いによる係止がなされていることを特徴とする請求項９に記載の圧力センサ。
【請求項１１】
前記凹凸部は、前記溝（３ａ）に加えて前記ケース（１）のうち前記溝（３ａ）に対向する部位に設けられた凸部（３ｂ）を備えたものであり、
前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記折り曲げられた部位の前記溝（３ａ）内への入り込みに加えて、前記凸部（３ｂ）が、前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記折り曲げられた部位（８３）を押さえつけるように前記溝（３ａ）に入り込んでいることにより、前記かみ合いによる係止がなされていることを特徴とする請求項１０に記載の圧力センサ。
【請求項１２】
前記凹凸部は突起（３ｃ）であり、
前記メタルダイアフラム（８１、８２）の前記周辺部には、当該メタルダイアフラム（８１、８２）をその厚さ方向に貫通する貫通孔（８４）が設けられており、この貫通孔（８４）に前記突起（３ｃ）が挿入されることで、前記かみ合いによる係止がなされていることを特徴とする請求項９に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出室をメタルダイアフラムで覆うことによりメタルダイアフラムで受けた圧力を圧力検出室へ印加するようにした圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサとしては、圧力検出室を有する第１のケース部と圧力検出室に対向して設けられた第２のケース部とを組み付けることでケースを構成し、圧力検出室内の圧力に基づいて信号を出力するセンシング部を当該ケースに設け、上記ケースにおける両ケース部の間にメタルダイアフラムを介在させ、このダイアフラムによって圧力検出室を覆うとともに圧力検出室に圧力を印加させるようにしたものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、従来の圧力センサにおいては、圧力検出室の周囲に位置するメタルダイアフラムの周辺部は、第１のケース部と第２のケース部との間に挟まれている。そして、当該周辺部は、ケースを構成する両ケース部同士の組み付け力によってＯリングなどへ押し付けられることにより、当該ケースに固定されている。
【特許文献１】特開２００３−３１５１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の圧力センサにおいては、メタルダイアフラムの周辺部をケース側へ接触させて押し付けるだけでケースへ固定させていたため、センサの使用範囲を超えた過大な圧力がメタルダイアフラムに加わると、当該固定部にてメタルダイアフラムの平面方向にズレが発生し、メタルダイアフラムが変形してしまうという問題がある。
【０００５】
たとえば、上記固定部におけるズレが発生すると、メタルダイアフラムに対して皺が発生するような変形が生じ、それによって、センサ特性が大きく変動し、検出精度が低下してしまうなどの不具合が生じる。
【０００６】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、圧力検出室をメタルダイアフラムで覆うことによりメタルダイアフラムで受けた圧力を圧力検出室へ印加するようにした圧力センサにおいて、過大な圧力がメタルダイアフラムに印加されたときにメタルダイアフラムのケースへの固定部に発生するズレを極力防止し、メタルダイアフラムの変形を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は、メタルダイアフラム（８１、８２）のうち圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）の周囲に位置する周辺部を、ケース（１）に対して機械的に固定したことを特徴とする。
【０００８】
それによれば、メタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部をケース（１）に機械的に固定することで従来よりも当該周辺部の固定強度を大きくできるため、過大な圧力がメタルダイアフラム（８１、８２）に印加されたときにメタルダイアフラム（８１、８２）のケース（１）への固定部に発生するズレを極力防止し、メタルダイアフラム（８１、８２）の変形を低減することができる。
【０００９】
ここで、ケース（１）は、圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）を有する第１のケース部（１０）と圧力検出室（１１ａ、１１ｂ）に対向して設けられた第２のケース部（１２、１３）とが組み付けられてなるが、メタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部を、これら両ケース部（１０、１２、１３）の両方に対して機械的に固定してもよいし、第１のケース部（１０）のみに対して機械的に固定してもよいし、第２のケース部（１２、１３）のみに対して機械的に固定してもよい。
【００１０】
また、上記した機械的な固定としては、ケース（１）とメタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部との間に介在する接着剤（２）による接着とすることができる。
【００１１】
この場合、この接着剤（２）により、メタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部をケース（１）へ接着するとともに第１のケース部（１０）および第２のケース部（１２、１３）同士も接着するようにすれば、熱膨張などによる両ケース部（１０、１２、１３）同士のズレも抑制することができ、そのズレによるメタルダイアフラム（８１、８２）の変形も抑制できるようになる。
【００１２】
また、ケース（１）のうちメタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部に対向する部位に、溝（３）を設け、この溝（３）に接着剤（２）を充填して配置すれば、当該溝（３）が無い場合よりも強固な固定が可能となる。ここで、この溝（３）としては断面矩形をなすものにできる。
【００１３】
また、ケース（１）のうちメタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部に対向する部位に、凹凸形状をなす凹凸部（３ａ、３ｂ、３ｃ）を設け、上記した機械的な固定を、この凹凸部（３ａ〜３ｃ）とメタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部とのかみ合いによる係止としてもよい。
【００１４】
この場合、上記凹凸部を溝（３ａ）とし、メタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部を折り曲げ、この折り曲げられた部位（８３）を溝（３ａ）内に入り込ませることで、上記のかみ合いによる係止を行ってもよい。また、この溝（３ａ）としては断面矩形をなすものにできる。
【００１５】
さらに、上記凹凸部を、上記溝（３ａ）に加えてケース（１）のうち上記溝（３ａ）に対向する部位に設けられた凸部（３ｂ）を備えたものとし、メタルダイアフラム（８１、８２）の折り曲げられた部位の上記溝（３ａ）内への入り込みに加えて、凸部（３ｂ）を、当該折り曲げられた部位（８３）を押さえつけるように上記溝（３ａ）に入り込ませることにより、上記かみ合いによる係止を行ってもよい。
【００１６】
この場合、凸部（３ｂ）の折り曲げられた部位（８３）の押さえつけによって、折り曲げられた部位（８３）の溝（３ａ）への保持がより確実なものになる。
【００１７】
また、上記凹凸部を突起（３ｃ）とし、メタルダイアフラム（８１、８２）の周辺部に当該メタルダイアフラム（８１、８２）をその厚さ方向に貫通する貫通孔（８４）を設け、この貫通孔（８４）に突起（３ｃ）を挿入することで、上記のかみ合いによる係止がなされるようにしてもよい。
【００１８】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００２０】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサＳ１の概略断面構成を示す図である。この圧力センサＳ１は、被取付部材としての車両に取り付けられるオイル封止型差圧センサである。
【００２１】
限定するものではないが、本実施形態は、たとえば、車両のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために当該排気管に取り付けられ、当該ＤＰＦ前後の排気管の差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして適用することができる。
【００２２】
［センサ構成等］
図１において、第１のケース部１０は、たとえば、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料などを、成形することにより作られている。
【００２３】
この第１のケース部１０においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部としての第１の圧力検出室１１ａが形成されており、当該一面と反対の他面側（図１中の下面側）に第１の圧力検出室１１ａと連通する第２の凹部としての第２の圧力検出室１１ｂが形成されている。
【００２４】
ここで、図１に示されるように、第１の圧力検出室１１ａおよび第２の圧力検出室１１ｂは、ともにその中央部がその周囲よりも更に凹んだ２段階の凹形状となっており、この中央部にて両圧力検出室１１ａ、１１ｂを連通する穴としての穴部１１ｃが形成されている。そして、第１のケース部１０には、この穴部１１ｃを遮断するように圧力検出用のセンサ素子２０が設けられている。
【００２５】
センサ素子２０は、印加される圧力に基づいて信号を出力するセンシング部として構成されるものである。具体的には、センサ素子２０は、第１の圧力検出室１１ａ内の圧力と第２の圧力検出室１１ｂ内の圧力との差圧に応じたレベルの電気信号を発生するものである。
【００２６】
具体的に、このようなセンサ素子２０としては、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム（図示せず）を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップを採用することができる。
【００２７】
このような半導体ダイアフラム式のセンサチップは、たとえば、半導体プロセスによってシリコン半導体チップに対して、ダイアフラムおよび拡散抵抗素子などにより構成されるブリッジ回路などを形成してなるものである。そして、圧力によってセンサチップのダイアフラムが歪み、その歪みによって生じる抵抗値変化を電気信号に変換して出力する機能を有するものである。
【００２８】
そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されており、これらセンサ素子２０と台座３０とは一体化されている。ここで、センサ素子２０と台座３０とは、たとえば陽極接合などにより接合することができる。
【００２９】
そして、図１に示されるように、センサ素子２０は、この台座３０を介して、第１のケース部１０における第１の圧力検出室１１ａの中央部の底面に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着されている。それによって、センサ素子２０および台座３０は、第１のケース部１０に固定された形で設けられている。
【００３０】
ここで、台座３０には、穴部１１ｃを介して第２の圧力検出室１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。つまり、第２の圧力検出室１１ｂは、穴部１１ｃを介して台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されている。言い換えれば、このセンサ素子２０を境として、第１の圧力検出室１１ａと第２の圧力検出室１１ｂとは、遮断された形となっている。
【００３１】
また、第１のケース部１０にはターミナル１０ａが設けられており、このターミナル１０ａは、センサ素子２０からの信号を取り出すための配線部材である。本実施形態では、図１に示されるように、ターミナル１０ａは黄銅等の導電性金属よりなる棒状部材であり、たとえば、第１のケース部１０にインサート成形されることで第１のケース部１０に固定されている。
【００３２】
ターミナル１０ａの一端側はセンサ素子２０の近傍において第１の圧力検出室１１ａ内に露出しており、センサ素子２０とアルミや金などからなるワイヤ４０により結線され電気的に接続されている。このワイヤ４０は、たとえば通常のワイヤボンディング法などにより形成できるものである。
【００３３】
ここで、第１の圧力検出室１１ａ内に露出しているターミナル１０ａの一端部の周囲には、ターミナル１０ａと第１のケース部１０との隙間をシールするためのシール材５０が設けられている。このシール材５０は、たとえば、シリコーン系樹脂やエポキシ系樹脂等の樹脂などからなるものである。
【００３４】
そして、ターミナル１０ａは、その一端部から、第１のケース部１０におけるセンサ素子２０の搭載面すなわち第１の圧力検出室１１ａの底面と平行な方向に延びるように配置されている。そして、ターミナル１０ａのうちワイヤ４０との接続部とは反対側の端部が、第１のケース部１０の開口部１０ｂから外部に露出している。
【００３５】
そして、このターミナル１０ａの露出端部は、第１のケース部１０の開口部１０ｂとともに、図示しない外部配線部材に接続可能となっており、それによって、センサ素子２０は、ワイヤ４０、ターミナル１０ａを介して外部回路（たとえば、車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。
【００３６】
つまり、第１のケース部１０の開口部１０ｂの部分は、そこに露出するターミナル１０ａとともに、外部との接続を行うためのコネクタ部として構成されている。このように、本実施形態では、第１のケース部１０は、圧力検出室１１ａ、１１ｂを有するとともに、センサ素子２０が設置されるセンシング部設置部およびコネクタケースとしても機能するものである。
【００３７】
また、図１に示されるように、第２のケース部としての２個の圧力ポート１２、１３が、第１のケース部１０を挟むように第１のケース部１０に組み付けられている。第１の圧力ポート１２は、第１のケース部１０の一面側にて第１の圧力検出室１１ａに対向して設けられ、第２の圧力ポート１３は、第１のケース部１０の他面側にて第２の圧力検出室１１ｂに対向して設けられている。
【００３８】
これら圧力ポート１２、１３は、上記第１のケース部１０と同様に、たとえば、ＰＢＴやＰＰＳ等の樹脂材料などを成形することにより作られる。そして、第１の圧力ポート１２、第２の圧力ポート１３には、それぞれ、図１中において２点鎖線にて示すように、外部から圧力を導入するための導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。
【００３９】
ここで、第１のケース部１０と第１の圧力ポート１２、および、第１のケース部１０と第２の圧力ポート１３とは、ボルト６０およびナット６１を用いてネジ結合されることで、一体に組み付けられている。これらボルト６０およびナット６１は、特に材質を限定するものではないが、鉄系金属などよりなるものである。
【００４０】
そして、第１のケース部１０と第１および第２の圧力ポート１２、１３とを積層した状態で、これら３部材１０、１２、１３をボルト６０が貫通しており、このボルト６０に装着されたナット６１と当該ボルト６０との締め付け力により、これら３部材１０、１２、１３が締結されている。こうして、本圧力センサＳ１においては、第１のケース部１０と第２のケース部１２、１３とが組み付けられて１つのケース１を構成している。
【００４１】
ここで、第１のケース部１０における第１の圧力検出室１１ａおよび第２の圧力検出室１１ｂには、圧力媒体としてのオイル７０が充填されている。このオイル７０は、フッ素系オイルやシリコーン系オイルなどからなるものである。
【００４２】
そして、第１のケース部１０と第１の圧力ポート１２との間には第１のメタルダイアフラム８１が介在しており、第１のケース部１０と第２の圧力ポート１３との間には第２のメタルダイアフラム８２が介在している。
【００４３】
本実施形態では、これら第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２は、ＣｒやＮｉなどの耐食性や耐熱性にすぐれた金属からなるものであり、たとえば（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり且つＮｉを３０重量％以上含む材料からなるものにできる。そして、これら両メタルダイアフラム８１、８２は、たとえば平面円形のシート状をなすものである。
【００４４】
図１に示されるように、第１のダイアフラム８１は、第１の圧力検出室１１ａを覆うように配置され、第１の圧力検出室１１ａ内のオイル７０を封止している。一方、第２のダイアフラム８２は、第２の圧力検出室１１ｂを覆うように配置され、第２の圧力検出室１１ｂ内のオイル７０を封止している。
【００４５】
また、第１のケース部１０において、第１の圧力検出室１１ａの外周部および第２の圧力検出室１１ｂの外周部には、Ｏリング９０が設けられている。そして、上記ケース１を構成する両ケース部１０、１２、１３の組み付け力、ここでは、上記ボルト６０およびナット６１による締結力によって、第１および第２のダイアフラム８１、８２の周辺部が、Ｏリング９０に押しつけられている。
【００４６】
このＯリング９０は、ゴムなどの通常のＯリング材料からなるリング状のものである。そして、このＯリング９０の配設により、第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２による圧力検出室１１ａ、１１ｂ内のオイル７０の封止が、よりいっそう確実なものとされている。
【００４７】
このようにして、第１のケース部１０の一面側では、第１の圧力ポート１２に導入された圧力が、第１のメタルダイアフラム８１を介して第１の圧力検出室１１ａに印加され、一方、第１のケース部１０の他面側では、第２の圧力ポート１３に導入された圧力が、第２のメタルダイアフラム８２を介して第２の圧力検出室１１ｂに印加されるようになっている。
【００４８】
そして、詳細な作動は後述するが、本実施形態の圧力センサＳ１においては、第１の圧力検出室１１ａに印加された圧力と第２の圧力検出室１１ｂに印加された圧力とが、オイル７０を介して、センシング部としてのセンサ素子２０に印加され、これら両圧力の差にもとづいて圧力検出を行うようになっている。
【００４９】
ここで、本実施形態の圧力センサＳ１においては、次に述べるように、各メタルダイアフラム８１、８２とケース１との固定部において、独自の構成を採用している。図２は、上記図１中の丸で囲んだＡ部の拡大図であり、第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示す図である。
【００５０】
なお、第２のメタルダイアフラム８２とケース１との固定部については、この図２において第１の圧力ポート１２が第２の圧力ポート１３に置き換わるものの、当該図２の構成と同様である。そのため、この図２を参照して、両メタルダイアフラム８１、８２とケース１との固定部の構成について述べることとする。
【００５１】
図２に示されるように、本実施形態においては、各メタルダイアフラム８１、８２のうち各圧力検出室１１ａ、１１ｂの周囲に位置する周辺部が、ケース１に対して機械的に固定されている。
【００５２】
具体的に、本実施形態では、ケース１と各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部との間に、それぞれ接着剤２が介在し、この接着剤２による接着によって機械的な固定がなされている。
【００５３】
ここで、接着剤２としては、エポキシ樹脂やポリイミドなどの接着剤を採用することができる。また、この接着剤２は、各メタルダイアフラム８１、８２とケース１との間を接着するべく、各圧力検出室１１ａ、１１ｂの外周を取り囲むように、環状もしくは一部不連続な状態で配置されている。
【００５４】
特に、図２に示される例では、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部は、ケース１を構成する第１のケース部１０と第２のケース部１２、１３との両方に対して、接着剤２による機械的な固定がなされている。
【００５５】
つまり、第１のメタルダイアフラム８１について言えば、図２に示されるように、第１のケース部１０と第１のメタルダイアフラム８１の周辺部との間、および、第１の圧力ポート１２と第１のメタルダイアフラム８１の周辺部との間に、接着剤２が介在して接着を行うことにより、第１のメタルダイアフラム８１の周辺部は、第１および第２のケース部１０、１２の両方に対して、接着剤２により機械的に固定されている。
【００５６】
一方、第２のメタルダイアフラム８２について言えば、第１のケース部１０と第２のメタルダイアフラム８２の周辺部との間、および、第２の圧力ポート１３と第２のメタルダイアフラム８２の周辺部との間に、接着剤２が介在して接着を行うことにより、第２のメタルダイアフラム８２の周辺部は、第１および第２のケース部１０、１３の両方に対して、接着剤２により機械的に固定されている。
【００５７】
また、図２に示される例では、この接着剤２は、各メタルダイアフラム８１、８２をケース１に接着するだけでなく、このメタルダイアフラム８１、８２のケース１への接着部以外の部位にて、第１のケース部１０と各圧力ポート１２、１３とを接着して固定している。
【００５８】
具体的には、図２に示されるように、接着剤２は、メタルダイアフラム８１、８２の端部から外側にはみ出しており、このはみ出した部分の接着剤２が、両ケース部１０、１２、１３同士を接着している。
【００５９】
また、図２に示される例では、ケース１のうち各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に対向する部位に、溝３を設け、この溝３に接着剤２を充填して配置している。この溝３は、接着剤２の配置部位に対応して設けられ、溝３と同じく、環状もしくは不連続な配置パターンを有するものであり、型加工などにより形成される。
【００６０】
ここでは、溝３は、第２のケース部である各圧力ポート１２、１３側に設けられており、第１のケース部１０側には、溝は設けられていない。また、ここでは、溝３は、断面矩形をなすものである。
【００６１】
［圧力センサの製造方法等］
次に、本圧力センサＳ１の製造方法の一例について、述べる。ターミナル１０ａがインサート成形などにより保持されてなる第１のケース部１０を用意し、この第１のケース部１０において、第１の圧力検出室１１ａ内に露出したターミナル１０ａの一端部をシール材５０によってシールする。
【００６２】
次に、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、第１のケース部１０の第１の圧力検出室１１ａに接着することにより固定し、センサ素子２０とターミナル１０ａとの間でワイヤボンディングを行いワイヤ４０による結線を行う。
【００６３】
次に、第１の圧力ポート１２に対して、接着剤２を介して第１のメタルダイアフラム８１を接着するとともに、第１の圧力検出室１１ａにオイル７０を注入し、第１のケース部１０に対してＯリング９０および接着剤２をセットする。
【００６４】
そして、第１のケース部１０と第１の圧力ポート１２とを組み付け、ボルト６０とナット６１とをネジ結合させながら一体化することにより、オイル７０の封止を行うとともに、接着剤２によって第１のメタルダイアフラムを、第１のケース部１０に対しても接着していく。
【００６５】
その後、第１の圧力ポート１２と同様に、第２の圧力ポート１３についても、第２のダイアフラム８２、オイル７０、Ｏリング９０、接着剤２を介在させながら、第１のケース部１０に対してボルト６０およびナット６１を用いてネジ結合する。その後、必要に応じて、特性調整や検査などを行い、図１に示す圧力センサＳ１が完成する。
【００６６】
この圧力センサＳ１は、金属ブラケットなどを介して、被取付部材としての車両の適所に取り付けられ、車両のディーゼルエンジンにおけるＤＰＦ前後の排気管の差圧を検出することとなる。
【００６７】
［作動等］
この圧力センサＳ１の圧力検出動作について、具体的に述べておく。たとえば、上記図１において、第１の圧力ポート１２の導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側に対してゴムホースなどにより接続され、第２の圧力ポート１３の導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側に対してゴムホースなどにより接続されるようになっている。
【００６８】
それにより、第１の圧力ポート１２へＤＰＦの上流側圧力（すなわち前圧）が導入され、第２の圧力ポート１３へＤＰＦの下流側圧力（すなわち後圧）が導入される。そして、各圧力ポート１２、１３に導入された上記圧力は、メタルダイアフラム８１、８２を介してセンサ素子２０に伝達される。
【００６９】
具体的には、第１の圧力ポート１２へ導入されたＤＰＦの上流側圧力が第１のメタルダイアフラム８１に対して印加され、第２の圧力ポート１３へ導入されたＤＰＦの下流側圧力が第２のメタルダイアフラム８２に対して印加される。
【００７０】
そして、第１および第２のメタルダイアフラム８１、８２に印加された圧力がそれぞれ圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０を介して、センサ素子２０に受圧される。そして、第１のメタルダイアフラム８１側から受圧された圧力と第２のメタルダイアフラム８２側から受圧された圧力との差圧をセンサ素子２０により検出する。
【００７１】
たとえば、圧力検出室１１ａ、１１ｂに設けられているセンサ素子２０が、半導体ダイアフラム式のものである場合には、このセンサ素子２０において、図示しないダイアフラムの表面に、第１の圧力検出室１１ａ内のオイル７０から圧力が伝達されるようになっている。
【００７２】
また、第２の圧力検出室１１ｂと連通する台座３０の貫通孔３１にも、第２の圧力検出室１１ｂ内のオイル７０が入り込むことで充填されており、センサ素子２０において、当該図示しないダイアフラムの裏面に、第２の圧力検出室１１ｂ内のオイル７０から圧力が伝達されるようになっている。
【００７３】
そのため、図示しないセンサ素子２０のダイアフラムの表面に対して、第１のメタルダイアフラム８１側からオイル７０を介してＤＰＦの上流側圧力が受圧され、一方、当該ダイアフラムの裏面に対して、第２のメタルダイアフラム８２側からオイル７０を介してＤＰＦの下流側圧力が受圧される。
【００７４】
そして、センサ素子２０の上記ダイアフラムは、その表裏両面からの圧力の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０からワイヤ４０を介してターミナル１０ａから外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。
【００７５】
［効果等］
ところで、本実施形態によれば、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定しているため、メタルダイアフラム８１、８２の周辺部のケース１への固定強度を従来よりも大きくすることができる。
【００７６】
そのため、過大な圧力が各メタルダイアフラム８１、８２に印加されたときに各メタルダイアフラム８１、８２のケース１への固定部に発生するズレを極力防止し、各メタルダイアフラム８１、８２の変形を低減することができる。
【００７７】
特に、上記図２に示される例では、接着剤２は、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部をケース１へ固定するとともに、ケース１を構成する第１のケース部１０と各圧力ポート１２、１３との間も固定している。それにより、１つの接着剤２によって、熱膨張などによる第１のケース部１０と各圧力ポート１２、１３同士のズレも抑制でき、それによる各メタルダイアフラム８１、８２の変形も抑制できる。
【００７８】
ここで、図３は、本実施形態の圧力センサＳ１の具体的な効果を示す図である。この図３では、従来の圧力センサと上記図２に示した構成を有する本実施形態の圧力センサＳ１とについて、過大な圧力を印加した時のセンサの出力変動値を調査した結果を示す図である。
【００７９】
過大な圧力としては、この種の圧力センサにおける使用圧力の上限の５倍程度の圧力を印加した。その結果、従来の圧力センサにおける出力変動の平均値に対し、本実施形態の圧力センサでは、１０％から２０％程度しか出力変動しなかった。
【００８０】
また、上記図２に示される例では、ケース１のうち各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に対向する部位に、溝３を設け、この溝３に接着剤２を充填して配置しているため、これら接着剤２と溝３とが噛み合った形となり、溝３が無い場合よりも強固な固定が可能となる。
【００８１】
次に、上記第１実施形態以外の実施形態として以下の第２実施形態以降の各種実施形態を示す。ここで、以下の各実施形態の図のうち断面図については、それぞれの実施形態に係る圧力センサの要部、すなわち、第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示している。
【００８２】
そして、これらの各断面図においても、上記第１実施形態と同様に、第２のメタルダイアフラム８２とケース１との固定部については、当該各断面図に示される第１のメタルダイアフラム８１側の構成と同様の構成となっており、また、以下の各実施形態に係る圧力センサは、図示される部位以外の部分では、上記図１に示されるものと同様の構成とすることができる。
【００８３】
（第２実施形態）
図４は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、本圧力センサにおける第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示す図である。
【００８４】
本実施形態の圧力センサにおいても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定している。また、上記図２の例と同様に、ケース１を構成する第１のケース部１０と第２のケース部１２、１３との両方に対して、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部が、接着剤２により接着され機械的に固定されている。
【００８５】
しかし、図４に示されるように、本実施形態では、溝３は、第２のケース部である各圧力ポート１２、１３側だけでなく、第１のケース部１０側にも設けられており、これら両側の溝３に接着剤２が充填された形となっている。この場合、上記図２の例よりも、さらに強固な固定が期待できる。
【００８６】
（第３実施形態）
図５は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、本圧力センサにおける第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示す図である。本実施形態においても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定している。
【００８７】
しかし、図５に示されるように、本実施形態では、ケース１を構成する第１のケース部１０および第２のケース部１２、１３のうち第２のケース部である圧力ポート１２、１３のみに対して、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部が、接着剤２により接着され機械的に固定されている。
【００８８】
ここで、接着剤２は、各圧力ポート１２、１３に形成された溝３に充填され、この溝３の開口部にて接着剤２と各メタルダイアフラム８１、８２とが接着され、機械的に固定されている。
【００８９】
（第４実施形態）
図６は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、本圧力センサにおける第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示す図である。本実施形態においても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定している。
【００９０】
ここにおいて、図６に示されるように、本実施形態では、ケース１を構成する両ケース部１０、１２、１３のうち、上記図５とは反対に第１のケース部１０のみに対して、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部が、接着剤２により接着され機械的に固定されている。
【００９１】
ここで、接着剤２は、第１のケース部１０に形成された溝３に充填され、この溝３の開口部にて接着剤２と各メタルダイアフラム８１、８２とが接着され、機械的に固定されている。
【００９２】
（第５実施形態）
図７は、本発明の第５実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、本圧力センサにおける第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示す図である。本実施形態においても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定している。
【００９３】
また、本実施形態では、上記図５と同様に、第２のケース部である圧力ポート１２、１３のみに対して、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２により接着している。
【００９４】
しかし、図７に示されるように、本実施形態では、それに加えて、各メタルダイアフラム８１、８２と各圧力ポート１２、１３とを接着固定する接着剤２とは別部位に、さらに接着剤２を設けており、これによって、第１のケース部１０と各圧力ポート１２、１３とを接着固定している。
【００９５】
この場合も、熱膨張などによる第１のケース部１０および各圧力ポート１２、１３同士のズレを抑制することができ、それによる各メタルダイアフラム８１、８２の変形を抑制できる。
【００９６】
（第６実施形態）
図８は、本発明の第６実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、本圧力センサにおける第１のメタルダイアフラム８１とケース１との固定部近傍を示す図である。本実施形態においても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定している。
【００９７】
図８に示されるように、本実施形態では、上記図２および図４〜図７の例のように、ケース１に溝３を形成し、そこに接着剤２を充填するのではなく、そのような溝を形成せずに接着剤２による機械的な固定を行っている。
【００９８】
ここで、図８に示される例においては、各メタルダイアフラム８１、８２の端部よりもはみ出して接着剤２を配置しているため、各メタルダイアフラム８１、８２は、実質的に接着剤２を介して、第１のケース部１０および圧力ポート１２、１３の両方に固定された状態となっている。また、この場合、上記端部よりはみ出している接着剤２によって、第１のケース部１０および圧力ポート１２、１３同士が接着されている。
【００９９】
なお、図示しないが、本実施形態において、接着剤２を各メタルダイアフラム８１、８２の端部よりもはみ出させずに、各メタルダイアフラム８１、８２のどちらか一方の面のみに設けてもよい。その場合には、各メタルダイアフラム８１、８２は、接着剤２を介して、第１のケース部１０のみ、もしくは、圧力ポート１２、１３のみに固定された状態となる。
【０１００】
また、上記第２〜第６実施形態の圧力センサにおいても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着して機械的に固定しているため、上記第１実施形態と同様に、過大な圧力が各メタルダイアフラム８１、８２に印加されたときに各メタルダイアフラム８１、８２のケース１への固定部に発生するズレを極力防止し、各メタルダイアフラム８１、８２の変形を低減できることは、もちろんである。
【０１０１】
ところで、上記第１〜第７実施形態では、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部を、接着剤２を介してケース１に接着することで機械的に固定しているが、この機械的な固定手段としては、上記接着剤２に限るものではない。次の第７実施形態以降の実施形態において、上記接着剤２以外による機械的な固定手段を提供する。
【０１０２】
（第７実施形態）
図９は、本発明の第７実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態では、機械的な固定手段を、ケース１と各メタルダイアフラム８１、８２との係止とするものである。
【０１０３】
この図９に示されるように、本実施形態では、ケース１のうち各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に対向する部位には、凹凸形状をなす凹凸部として係止溝３ａが設けられている。この係止溝３ａは、上記図２などに示した溝３と同様に、環状もしくは不連続な配置パターンを有する溝として構成されたものであり、型加工などにより形成することができる。
【０１０４】
ここでは、係止溝３ａは、第２のケース部である各圧力ポート１２、１３側に設けられており、第１のケース部１０側には、このような係止溝は設けられていない。また、ここでは、係止溝３ａは、断面矩形をなすものである。
【０１０５】
そして、本実施形態では、機械的な固定は、係止溝３ａと各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部とのかみ合いによる係止としてなされている。具体的には、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部は、一重に折り曲げられており、この折り曲げられた部位である折り曲げ部８３が係止溝３ａ内に入り込んでいる。そして、この折り曲げ部８３と係止溝３ａとが引っかかって噛み合うことで、係止がなされている。
【０１０６】
ここで、折り曲げ部８３はプレス加工などにより容易に形成できる。また、折り曲げ部８３の配置パターンと、係止溝３ａの配置パターンとは対応しており、たとえば、係止溝３ａが環状なら折り曲げ部８３も環状に設けられ、係止溝３ａが不連続な配置ならば、折り曲げ部８３も同様である。
【０１０７】
本実施形態によれば、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部をケース１の凹凸部としての係止溝３ａに係止させることで、従来よりもメタルダイアフラム８１、８２のケース１への固定強度を大きくすることができる。そのため、過大な圧力がメタルダイアフラム８１、８２に印加されたときにメタルダイアフラム８１、８２のケース１への固定部に発生するズレを極力防止し、メタルダイアフラム８１、８２の変形を低減することができる。
【０１０８】
なお、このような係止溝３ａを備えた圧力センサは、メタルダイアフラム８１、８２を係止溝３ａへ嵌め込んだ状態で、上記第１実施形態と同様に圧力ポート１２、１３の組み付けを行うことで製造可能である。
【０１０９】
（第８実施形態）
図１０は、本発明の第８実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態においても、機械的な固定手段を、ケース１の凹凸部としての係止溝３ａと各メタルダイアフラム８１、８２との係止とするものである。
【０１１０】
図１０に示されるように、本実施形態では、断面矩形をなす係止溝３ａは、上記図８とは反対に、第１のケース部１０側に設けられており、第２のケース部である各圧力ポート１２、１３側には、係止溝は設けられていない。
【０１１１】
そして、本実施形態においても、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部のうち一重に折り曲げられた折り曲げ部８３が、凹凸部としての係止溝３ａに入り込んでいる。それにより、折り曲げ部８３と係止溝３ａとが噛み合ってメタルダイアフラム８１、８２とケース１との係止がなされ、上記第７実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１２】
（第９実施形態）
図１１は、本発明の第９実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態も、凹凸部としての係止溝３ａと折り曲げ部８３との係止による機械的な固定手段を提供するものである。
【０１１３】
ここで、図１１に示されるように、本実施形態では、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部をコの字型に折り曲げ、このコの字型をなす折り曲げ部８３を、第２のケース部である各圧力ポート１２、１３側に設けられた断面矩形をなす係止溝３ａに入り込ませている。
【０１１４】
このように、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に形成する折り曲げ部８３の折り曲げ方については、当該折り曲げ部８３が係止溝３ａに入り込んで噛み合って係止できるものであれば、特に限定するものではない。そして、本実施形態によっても、メタルダイアフラム８１、８２とケース１との係止により、上記第７実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１５】
（第１０実施形態）
図１２は、本発明の第１０実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態も、凹凸部としての係止溝３ａと折り曲げ部８３との係止による機械的な固定手段を提供するものである。
【０１１６】
図１２に示されるように、本実施形態では、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部のコの字型をなす折り曲げ部８３を、第１のケース部１０側に設けられた断面矩形をなす係止溝３ａに入り込ませている。本実施形態によっても、メタルダイアフラム８１、８２とケース１との係止により、上記第７実施形態と同様の効果が得られる。
【０１１７】
（第１１実施形態）
図１３は、本発明の第１１実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態も、凹凸部としての係止溝３ａと折り曲げ部８３との係止による機械的な固定手段を提供するものである。
【０１１８】
ここで、上記図９〜図１２に示される例では、係止溝３ａはメタルダイアフラム８１、８２の径方向に沿ってみたとき１個であったが、図１３に示されるように、本実施形態では、係止溝３ａを第２のケース部である圧力ポート１２、１３側に、メタルダイアフラム８１、８２の径方向に沿って２個設けている。つまり、本実施形態では、各メタルダイアフラム８１、８２の中心から異なる距離の部分に係止溝３ａを設けている。
【０１１９】
そして、それぞれの係止溝３ａに対応して、メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に２個の折り曲げ部８３を設け、それぞれの折り曲げ部８３を係止溝３ａに入り込ませることで、係止による機械的な固定を行っている。
【０１２０】
（第１２実施形態）
図１４は、本発明の第１２実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態も、凹凸部としての係止溝３ａと折り曲げ部８３との係止による機械的な固定手段を提供するものである。
【０１２１】
本実施形態において、図１４に示されるように、係止溝３ａをメタルダイアフラム８１、８２の径方向に沿って２個設けているが、ここでは、当該２個の係止溝３ａうちの１個を第２のケース部である圧力ポート１２、１３側に設け、他の１個を第１のケース部１０側に設けている。
【０１２２】
そして、メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に設けた折り曲げ部８３を、それぞれの係止溝３ａに入り込ませることで、係止による機械的な固定を行っており、上記第７実施形態と同様の効果が得られる。
【０１２３】
本実施形態および上記第１１実施形態に示したように、係止溝３ａと折り曲げ部８３とのかみ合いによる係止部分は、メタルダイアフラム８１、８２の径方向において２個もしくは３個以上の複数であってもよい。そして、これら複数の係止溝３ａは、第１のケース部１０および圧力ポート１２、１３のうちの一方にのみ設けてもよく、両方に分けて設けてもよい。
【０１２４】
（第１３実施形態）
図１５は、本発明の第１３実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。
【０１２５】
本実施形態も、凹凸部としての係止溝３ａと折り曲げ部８３との係止による機械的な固定手段を提供するものであるが、本実施形態の圧力センサでは、凹凸部として、係止溝３ａに加えて、さらに、ケース１のうち係止溝３ａに対向する部位に設けられた凸部３ｂを備えている。
【０１２６】
ここでは、図１５に示されるように、係止溝３ａは、第２のケース部である圧力ポート１２、１３に設けられ、凸部３ｂは第１のケース部１０に設けられている。そして、各メタルダイアフラム８１、８２の折り曲げ部８３が、係止溝３ａ内へ入り込むとともに、凸部３ｂが、この折り曲げ部８３を押さえつけるように係止溝３ａに入り込んでいる。
【０１２７】
それにより、メタルダイアフラム８１、８２の折り曲げ部８３の係止溝３ａに対する噛み合い部分が、より外れにくくなり、メタルダイアフラム８１、８２とケース１との係止による固定を、より強固なものにできる。
【０１２８】
（第１４実施形態）
図１６は、本発明の第１４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態も、上記第１３実施形態と同様に、凹凸部としての係止溝３ａ、凸部３ｂおよび折り曲げ部８３の係止による機械的な固定手段を提供するものである。
【０１２９】
本実施形態の圧力センサでは、図１６に示されるように、係止溝３ａと凸部３ｂとの形成部位を上記図１５とは逆にしたもので、係止溝３ａは第１のケース部１０に設け、凸部３ｂは第２のケース部である圧力ポート１２、１３に設けている。
【０１３０】
そして、各メタルダイアフラム８１、８２の折り曲げ部の係止溝３ａ内への入り込み、および、凸部３ｂによる折り曲げ部８３の押さえつけにより、メタルダイアフラム８１、８２とケース１との係止による機械的な固定がなされ、上記第１３実施形態と同様の効果が得られる。
【０１３１】
（第１５実施形態）
図１７は、本発明の第１５実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。
【０１３２】
本実施形態も、凹凸部と折り曲げ部８３との係止による機械的な固定手段を提供するものであるが、本実施形態の圧力センサでは、ケース１に設けられた突起３ｃを凹凸部として構成し、メタルダイアフラム８１、８２の周辺部に設けた貫通孔８４に当該突起３ｃを挿入して係止させるものである。
【０１３３】
図１７に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、突起３ｃは第１のケース部１０に設けられ、第２のケース部である圧力ポート１２、１３のうちこの突起３ｃに対向する部位には、当該突起３ｃが入り込む凹部３ｄが設けられている。
【０１３４】
また、貫通孔８４は、各メタルダイアフラム８１、８２の周辺部のうち突起３ｃと対応する部位においてメタルダイアフラム８１、８２を厚さ方向に貫通する孔である。このような貫通孔８４は、プレス加工やエッチング加工などにより形成される。
【０１３５】
そして、突起３ｃは、各メタルダイアフラム８１、８２の貫通孔８４に入り込み、これを通り抜けて凹部３ｄに入り込んでいる。それにより、突起３ｃと各メタルダイアフラム８１、８２とが噛み合って係止されている。
【０１３６】
ここで、図１８、図１９は、それぞれ本実施形態の第１のメタルダイアフラム８１の第１の例、第２の例を示す概略平面図である。なお、図示しないが、本実施形態の第２のメタルダイアフラム８２の平面構成は、これら図１８、図１９に示される第１のメタルダイアフラム８１の各例と同様である。
【０１３７】
図１８、図１９に示されるように、各メタルダイアフラム８１、８２の貫通孔８４は、周辺部に複数個設けられており、各貫通孔８４に対応してケース１の突起３ｃが挿入されて係止がなされている。
【０１３８】
なお、貫通孔８４の数については、図１８、図１９のどちらでもよく、当該数の多少は特に限定されるものではないが、複数であることが望ましい。また、複数の貫通孔８４は、図１８、図１９に示されるように、メタルダイアフラム８１、８２の中心に対して対照的に配置することが望ましい。
【０１３９】
このように、本実施形態によれば、凹凸部としての突起３ｃが、各メタルダイアフラム８１、８２の孔８４に挿入されることで、両者が係止されて機械的な固定がなされているため、上記各実施形態と同様に、過大な圧力印加時に固定部でのズレを極力防止し、メタルダイアフラム８１、８２の変形を低減することができる。
【０１４０】
（第１６実施形態）
図２０は、本発明の第１６実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図であり、ケース１と第１のメタルダイアフラム８１との固定部近傍を示す図である。本実施形態は、上記第１５実施形態と同様に、凹凸部としての突起３ｃとメタルダイアフラム８１、８２の貫通孔８４との係止による機械的な固定手段を提供するものである。
【０１４１】
ここで、図２０に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、上記図１７とは逆に、突起３ｃを第２のケース部である圧力ポート１２、１３に設け、凹部３ｄを第１のケース部１０に設けている。
【０１４２】
そして、突起３ｃを、各メタルダイアフラム８１、８２の貫通孔８４を貫通させるとともに凹部３ｄに挿入することにより、突起３ｃと各メタルダイアフラム８１、８２とを噛み合わせて係止を行っている。それにより、本実施形態においても、上記第１５実施形態と同様の効果が得られる。
【０１４３】
（他の実施形態）
なお、上記図２、図４等では、接着剤２が充填される溝３として断面矩形の溝の例を示し、上記図９〜図１２等では、係止溝３ａとして断面矩形の溝の例を示したが、これらの溝３、３ａの断面形状としては、当該溝３、３ａの機能が確保されるならば、断面三角形、断面円形、断面Ｕ字形など任意の断面形状をとることができる。
【０１４４】
たとえば、係止溝３ａの断面形状を具体的に示すと、図２１（ａ）、（ｂ）に示されるように、断面三角形の溝であってもよいし、図２２（ａ）、（ｂ）に示されるように、断面半円形の溝であってもよい。また、溝３、３ａが複数箇所に設けられている場合には、それぞれの溝３、３ａをすべて同じ断面形状としなくてもよく、互いに異なる断面形状としてもよい。
【０１４５】
また、係止溝３ａへ折り曲げ部８３を入り込ませて係止する場合、係止溝３ａ内に樹脂やゴムなどの部材を充填し、この充填物に折り曲げ部８３を食い込ませることで係止を行うようにしてもよい。さらに、係止溝３ａ内に接着剤を充填するなどにより、折り曲げ部８３と係止溝３ａの内面とを接着してもよい。
【０１４６】
また、上記した各図に示した各実施形態の機械的固定手段は、可能な範囲で適宜組み合わせて用いてもよい。たとえば、第１のメタルダイアフラム８１については接着剤２による機械的な固定を行い、第２のメタルダイアフラム８２については係止溝３ａによる機械的な固定を行ってもよい。また、たとえば、１つのメタルダイアフラムについても、内周側では接着剤２による機械的な固定を行い、その外周側では係止溝３ａによる機械的な固定を行ってもよい。
【０１４７】
また、機械的な固定とは、従来のようなメタルダイアフラムをケースへ押しつけただけのものではなく、上記したように、接着や係止による固定を意味するが、それ以外にも、機械的な固定としては、たとえば、各部の材質などを考慮した上で、溶接や溶着などであってもよい。
【０１４８】
また、上記図１に示される圧力センサＳ１におけるセンサ素子２０の電気的な取り出し構造やケース１への取付構造は、一具体例を示したものであり、上記図示例に限定されるものではない。
【０１４９】
また、センサ素子２０を構成するセンサチップとしては、センサ信号を処理する回路部が半導体プロセスなどにより一体に形成されたもの、いわゆる集積化センサチップを採用してもよい。
【０１５０】
また、上記図１に示されるような差圧センサにおけるセンシング部としては、第１および第２の圧力検出室１１ａ、１１ｂのオイル７０の圧力の差（差圧）が印加され、この差圧に基づいて信号を出力するものであればよく、上記した半導体ダイアフラム式のセンサ素子に限定されるものではない。
【０１５１】
さらには、圧力センサとしては上記したような差圧型でなくてもよい。たとえば上記図１に示される圧力センサＳ１では、圧力ポート１２、１３、圧力検出室１１ａ、１１ｂ、メタルダイアフラム８１、８２の構成は、第１のケース部１０の一面側と他面側にそれぞれ設けられていたが、この図１に示される圧力センサＳ１において、第２の圧力ポート１３および第２のメタルダイアフラム８２は無い構成であってもよい。
【０１５２】
この場合、第２の圧力検出室１１ｂも無いものとなり、メタルダイアフラムおよび圧力ポートは１つとなる。そして、この場合、センサ素子２０の裏面側（上記図１の下側）が基準圧となり、センサ素子２０の表面側（上記図１の上側）が、１つのメタルダイアフラム８１からの圧力を受ける形となり、いわゆる絶対圧型の圧力センサとして構成されることになる。
【０１５３】
また、センシング部は、圧力検出室１１ａ、１１ｂの圧力を感じて信号を出力できるならば、ケース１のうちのどこに設けられていてもよく、第１のケース部１０に設けられていなくてもよい。たとえば、第２のケース部１２、１３にセンシング部が設けられていてもよい。
【０１５４】
また、ケースとしては、圧力検出室を有する第１のケース部と圧力検出室に対向して設けられた第２のケース部とが組み付けられ、両ケース部の間にメタルダイアフラムの周辺部を固定できるものであればよく、たとえば、上記実施形態のように、必ずしも第２のケース部が圧力ポートである必要はない。
【図面の簡単な説明】
【０１５５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。
【図２】上記図１中のＡ部拡大図である。
【図３】上記第１実施形態の圧力センサの具体的な効果を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図７】本発明の第５実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図８】本発明の第６実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図９】本発明の第７実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１０】本発明の第８実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１１】本発明の第９実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１２】本発明の第１０実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１３】本発明の第１１実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１４】本発明の第１２実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１５】本発明の第１３実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１６】本発明の第１４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１７】本発明の第１５実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図１８】上記第１５実施形態の第１のメタルダイアフラムの第１の例を示す概略平面図である。
【図１９】上記第１５実施形態の第１のメタルダイアフラムの第２の例を示す概略平面図である。
【図２０】本発明の第１６実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図２１】本発明の他の実施形態として断面三角形の溝形状を示す概略断面図である。
【図２２】本発明の他の実施形態として断面半円形の溝形状を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【０１５６】
１…ケース、２…接着剤、３…溝、３ａ…凹凸部としての係止溝、
３ｂ…凹凸部としての凸部、３ｃ…凹凸部としての突起、
１０…第１のケース部、１１ａ…第１の圧力検出室、１１ｂ…第２の圧力検出室、
１２…第２のケース部としての第１の圧力ポート、
１３…第２のケース部としての第２の圧力ポート、
２０…センシング部としてのセンサ素子、
８１…第１のメタルダイアフラム、８２…第２のメタルダイアフラム、
８３…メタルダイアフラムの折り曲げ部、８４…メタルダイアフラムの孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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