(57)【要約】【課題】レジスト液をスピンコーティングにより塗布するにあたって、レジスト液の消費量を抑え、かつレジスト膜の膜厚について高い面内均一性を得る。【解決手段】ウェハＷを回転させつつ、ウェハＷの表面に溶剤Ｓを供給する。続いてウェハＷを第１の回転数まで加速回転させて、この加速回転中及び第１の回転数で回転中に、ウェハＷの中心部へレジスト液Ｒを吐出する。その後、ウェハＷを第２の回転数まで減速回転させて、第２の回転数に達した後、ウェハＷにレジスト液Ｒを吐出する。その後、ウェハＷを第２の回転数よりも高い第３の回転数まで加速させて、第３の回転数でウェハＷを回転させる。【選択図】図１
2008071960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にレジスト液の溶剤を供給して基板の表面を溶剤で濡らした後に、当該基板に対してレジスト液を塗布する方法であって、
前記溶剤を供給した後、前記基板を第１の回転数まで加速回転させ、少なくともこの加速回転中又は第１の回転数で回転中に前記基板の中心部へレジスト液を供給する第１の工程と、
その後、前記基板を第２の回転数まで減速回転させて、少なくともこの減速回転中又は第２の回転数で回転中に前記基板にレジスト液を供給する第２の工程と、
その後、前記基板を第２の回転数よりも高い第３の回転数まで加速させて、第３の回転数で前記基板を回転させる第３の工程と、
を有することを特徴とする、塗布処理方法。
【請求項２】
前記第２の工程におけるレジスト液の供給は、前記基板の回転数が第２の回転数に達した後に行われることを特徴とする、請求項１に記載の塗布処理方法。
【請求項３】
前記第２の工程で供給されるレジスト液は、第１の工程において使用したレジスト液用のノズルとは別のノズルから供給されることを特徴とする、請求項１又は２のいずれかに記載の塗布処理方法。
【請求項４】
前記第２の工程で供給されるレジスト液は、基板の中心部からずれた位置に供給されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の塗布処理方法。
【請求項５】
前記第２の工程におけるレジスト液の供給は、前記第１の工程におけるレジスト液の供給から連続して行われることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の塗布処理方法。
【請求項６】
前記第２の工程で供給されるレジスト液は、前記第１の工程で供給されるレジスト液より粘性の低いレジスト液であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の塗布処理方法。
【請求項７】
前記第２の工程においては、レジスト液に代えて、レジスト液の溶剤を供給することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の塗布処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェハ等の基板の塗布処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体デバイスの製造におけるフォトリソグラフィー工程では、例えば半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という。）上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成するレジスト塗布処理が行われている。この塗布処理としては、一般にスピンコーティング法が採用されている。スピンコーティング方法は、図１２に示すようにスピンチャック１０にウェハＷを吸着した状態で、レジスト液Ｒをノズル１１からウェハＷの表面の中心部に供給すると共にスピンチャック１０を高速回転させ、レジスト液Ｒを遠心力によってウェハＷの径方向外方に向かって拡げる手法である。
【０００３】
このようなレジスト塗布を行うにあたっては、高い面内均一性をもってレジスト液をウェハ上に塗布することが必要である。
【０００４】
ところで、半導体デバイスのパターンの微細化と薄膜化とが要求されることから、そのようなフォトリソグラフィーに適応できるレジスト液が種々開発されているが、レジスト液に厳しい物性が要求されることから、レジスト液のコストが以前に増して高騰しつつあり、現状ではレジスト液は極めて高価のものとなっている。このためレジスト液の消費量をより一層抑えなければならない状況にあり、省レジスト化を図ることができ、かつ膜厚について高い面内均一性を確保できる塗布方法が望まれている。
【０００５】
そこで従来から提案されているレジスト塗布方法によると、ウェハ上をレジスト液の溶剤によってプリウエットし、ウェハを第１の回転数で回転させつつウェハにレジスト液を供給して、レジスト液をウェハの径方向外方に拡げながら塗布する。そしてレジスト液供給停止直後に、ウェハを第２の回転数まで一旦減速して膜厚を整え、その後、第３の回転数まで加速して残余のレジスト液を振り切る。（特許文献１）具体的には、第１の回転数は４５００ｒｐｍ、第２の回転数は５００ｒｐｍ、第３の回転数は３０００ｒｐｍである。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２６０７１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、レジスト液の供給量を少量にした場合、レジスト液にかかる遠心力が弱いため、ウェハを第１の回転数で回転させる間にレジスト液がウェハの端まで完全に拡がらないことがあった。この場合、ウェハを第３の回転数で回転させる間にレジスト液を更に拡げてウェハ全体にレジスト液を塗布させていた。このように２段階に分けてレジスト液を拡げる場合、ウェハを第２の回転数で回転させている間にレジスト液が乾燥して流動性が低下するため、ウェハを第１の回転数で回転させた場合と第３の回転数で回転させた場合とでは、レジスト液がウェハ上を拡がる速度が異なる。すなわち、例えば直径が３００ｍｍのウェハの場合、半径が１２０ｍｍとなる円周を境に、外側と内側ではレジスト膜の膜圧が異なり（いわゆる、膜厚の二極化が生じ）、膜厚の面内均一性が低くなることがあった。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、レジスト液をスピンコーティングにより塗布するにあたって、レジスト液の消費量を抑え、かつレジスト膜の膜厚について高い面内均一性を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するため、本発明によれば、基板にレジスト液の溶剤を供給して基板の表面を溶剤で濡らした後に、当該基板に対してレジスト液を塗布する方法であって、前記溶剤を供給した後、前記基板を第１の回転数まで加速回転させ、少なくともこの加速回転中又は第１の回転数で回転中に前記基板の中心部へレジスト液を供給する第１の工程と、その後、前記基板を第２の回転数まで減速回転させて、少なくともこの減速回転中又は第２の回転数で回転中に前記基板にレジスト液を供給する第２の工程と、その後、前記基板を第２の回転数よりも高い第３の回転数まで加速させて、第３の回転数で前記基板を回転させる第３の工程と、を有することを特徴とする、塗布処理方法が提案される。
【００１０】
本発明によれば、第２の工程中に基板を第２の回転数まで減速回転させて第２の回転数で回転させることにより、基板上のレジスト液の乾燥が抑制される。同時にこの第２の工程中にレジスト液を基板に供給することにより、基板上のレジスト液の流動性が向上する。したがって、レジスト液の供給量を少量にした場合に、第１の工程でレジスト液が基板の端まで完全に拡がらない場合でも、第３の工程中にレジスト液が円滑に基板の端まで拡がる。そうすると、基板上に形成されるレジスト膜の分布が従来のように膜圧の二極化が発生せず、レジスト膜の膜厚の面内均一性が高くなる。すなわち、少量のレジスト液でありながら膜厚の面内均一性の高い塗布処理を行うことができる。
【００１１】
前記第２の工程におけるレジスト液の供給は、前記基板の回転数が第２の回転数に達した後に行われてもよい。第２の工程において、基板を第１の回転数から第２の回転数に減速回転させる間は、基板を第２の回転数で回転させる間と比べて、レジスト液が早く乾燥する。第２の工程におけるレジスト液の供給は基板の回転数が第２の回転数に達した後に行われるため、レジスト液が上述の減速回転中に乾燥しない。したがって、第３の工程において、レジスト液の流動性が高くなり、レジスト液がより円滑に基板の端まで拡がる。
【００１２】
前記第２の工程で供給されるレジスト液は、第１の工程において使用したレジスト液用のノズルとは別のノズルから供給されてもよい。例えば第２の工程で供給されるレジスト液が、第１の工程で供給されるレジスト液と異なる場合、第１の工程において使用したレジスト液用のノズルと別のノズルを新たに設けることによって、第２の工程において基板に円滑にレジスト液を供給することができる。
【００１３】
前記第２の工程で供給されるレジスト液は、基板の中心部からずれた位置に供給されてもよい。レジスト液が基板の端により近い位置に供給されるため、第３の工程において、レジスト液がより円滑に基板の端まで拡がる。
【００１４】
前記第２の工程におけるレジスト液の供給は、前記第１の工程におけるレジスト液の供給から連続して行われてもよい。すなわち、第１の工程において供給されるレジスト液が、第２の工程に入っても継続して供給されてもよい。
【００１５】
前記第２の工程で供給されるレジスト液は、前記第１の工程で供給されるレジスト液より粘性の低いレジスト液であってもよい。このレジスト液は、レジスト液に含まれる溶剤の比率を変更して粘性を低くしている。したがって、第３の工程において、レジスト液の流動性がより高くなる。
【００１６】
前記第２の工程で供給されるレジスト液に代えて、レジスト液の溶剤を供給してもよい。溶剤は、第１の工程で供給されるレジスト液より粘性が極めて低い。したがって、第３の工程において、レジスト液の流動性が更に高くなる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、基板に供給されるレジスト液の流動性が向上して円滑に基板に拡がるため、レジスト液の供給量を少量にした場合でも、基板上に形成されるレジスト膜の膜厚の面内均一性を高くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の実施の形態に係るレジスト塗布装置について図１及び図２を参照しながら説明する。
【００１９】
図１中の２０は基板保持部をなすスピンチャックであり、真空吸着によりウェハＷを水平に保持するように構成されている。このスピンチャック２０はモータなどを含む回転駆動部２１により鉛直回りに回転でき、かつ昇降できる。スピンチャック２０の下方側には断面形状が山形のガイドリング２２が設けられており、このガイドリング２２の外周縁は下方側に屈曲して延びている。前記スピンチャック２０及びガイドリング２２を囲むようにカップ体２３が設けられている。
【００２０】
このカップ体２３は上面にスピンチャック２０が昇降できるようにウェハＷよりも大きい開口部が形成されていると共に、側周面とガイドリング２２の外周縁との間に排出路をなす隙間２４が形成されている。前記カップ体２３の下方側は、ガイドリング２２の外周縁部分と共に屈曲路を形成して気液分離部を構成している。カップ体２３の底部の内側領域には排気口２５が形成されており、この排気口２５には排気管２５ａが接続されている。さらに前記カップ体２４の底部の外側領域には排液口２６が形成されており、この排液口２６には排液管２６ａが接続されている。
【００２１】
またレジスト塗布装置は、ウェハＷ表面の中心部にレジスト液Ｒを供給するためのレジスト液ノズル３０とウェハＷ表面の中心部に溶剤Ｓ、例えばシンナーを供給するための溶剤ノズル４０を備えている。レジスト液ノズル３０は、レジスト液供給管３１を介してレジスト液Ｒを供給するレジスト液供給源３２に接続されている。またレジスト液供給管３１にはバルブや流量調整部等を含む供給機器群３３が介設されている。溶剤ノズル４０は、溶剤供給管４１を介して溶剤Ｓ、例えばシンナーを供給する溶剤供給源４２に接続されている。また前記溶剤供給管４１にはバルブや流量調整部等を含む供給機器群４３が介設されている。この例では、レジスト液供給源３２及び供給機器群３３がレジスト液供給部に相当し、また溶剤供給源４２及び供給機器群４３が溶剤供給部に相当する。
【００２２】
レジスト液ノズル３０は、図２に示すようにＬ字状に屈曲したアーム３４を介して移動機構３５に接続されている。アーム３４は移動機構３５により、処理容器５０の長さ方向（Ｙ方向）に沿って設けられたガイドレール３６に沿って、カップ体２３の一端側（図２では右側）の外側に設けられた待機領域３７から他端側に向かって移動できると共に、上下方向に移動できるように構成されている。
【００２３】
溶剤ノズル４０は、図２に示すようにＬ字状に屈曲したアーム４４を介して移動機構４５に接続されている。アーム４４は移動機構４５により、ガイドレール３６に沿ってカップ体２３の他端側（図２では左側）の外側に設けられた待機領域４７から一端側に向かって移動できると共に、上下方向に移動できる。処理容器５０の側面には、搬送手段である搬送アームの搬入領域に臨む面にウェハＷの搬入出口５１が形成され、搬入出口５１には、開閉シャッタ５２が設けられている。
【００２４】
レジスト塗布装置は、図１に示すように後述する一連の動作を制御するコンピュータプログラムを有する制御部６を備えており、制御部６は回転駆動部２１、供給機器群３３、４３等を制御するように構成されている。このコンピュータプログラムは、記憶媒体例えばフレキシブルディスク（ＦＤ）、メモリーカード、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、ハードディスク等に格納され、制御部６であるコンピュータにインストールされている。
【００２５】
次に上述の実施の形態の作用について説明を行う。図３は、本発明の実施の形態の塗布方法に係るウェハＷの回転数のプロファイル（レシピ）を示し、図４は、図３に示した各タイミングにおけるウェハ表面上の液膜の状態を模式的に示している。なお図３における各プロセスの時間の長さは、技術の理解の容易さを優先させるため、必ずしも実際の時間の長さに対応していない。
【００２６】
先ずウェハＷを保持した、レジスト塗布装置の外部の搬送アーム（例えば図１０の搬送アームＡ２、Ａ３）が搬入出口５１（図２参照）を介して容器５０内に進入し、その搬送アームからスピンチャック２０に１２インチサイズのウェハＷを受け渡す。この受け渡しはスピンチャック２０を上昇させてもよいが、図示しない昇降ピンを介して行ってもよい。そしてウェハＷをスピンチャック２０に吸着して保持すると共に溶剤ノズル４０がウェハＷの中心部の上方に移動し、停止しているウェハＷの中心部にこの溶剤ノズル４０から溶剤Ｓ、例えばシンナーを例えば２．０ｍｌ供給する。
【００２７】
続いて溶剤ノズル４０をウェハＷの中心部上方から移動させ、代わりにレジスト液ノズル３０をウェハＷの中心部上方に移動させると共に、回転駆動部２１を制御してウェハＷを回転させ、その回転数を１００００ｒｐｍ／秒の加速度で１０００ｒｐｍまで上昇させる。回転数が１０００ｒｐｍになった時点で、レジスト液ノズル３０からウェハＷの中心部にレジスト液Ｒの吐出を開始し、かつ第１の回転数である２２００ｒｐｍまで加速させる。ここで、ウェハＷの回転数が１０００ｒｐｍから第１の回転数に達するまでの工程を第１の工程とする。
【００２８】
ここまでのウェハＷの表面上の状態を図４（i）、（ii）、（iii）に示す。ウェハＷの回転数が１０００ｒｐｍに至るまでの時間は０．１秒であり、ウェハＷはこのように一瞬で１０００ｒｐｍで回転するため、ウェハＷの中心部に供給された溶剤Ｓは外部に向かって拡げられ、即ちプリウエットが行われ、ウェハＷの表面が溶剤Ｓで濡れた状態になる。（図４（i））
【００２９】
そして回転数が１０００ｒｐｍに達した時点からウェハＷの中心部へレジスト液Ｒが滴下されるので、レジスト液Ｒは円滑に無理なく拡散され、筋状に広がることに基づく塗布むらが起こりにくくなると共に、ウェハＷの回転数は更に上昇し、この上昇過程（加速中）にてレジスト液ＲがウェハＷの中心部に滴下され続ける（図４（ii））。ウェハＷの回転数が１０００ｒｐｍから２２００ｒｐｍに至りその後２２００ｒｐｍを維持して回転する時間は１．６秒であり、一方レジスト液ノズル４０からは０．４ｍｌのレジスト液Ｒが１．６秒かけて吐出される。しかし、この第１の工程において、吐出されるレジスト液Ｒが少量であるため、ウェハＷの回転数が２２００ｒｐｍに達したときにレジスト液ＲがウェハＷの全面に拡がっていない場合がある（図４（iii））。
【００３０】
このままウェハＷを第１の回転数で高速回転させると、レジスト液Ｒは乾燥してしまう。そこでウェハＷの回転数が２２００ｒｐｍに達した後、制御上は瞬時に減速状態に移行し、乾燥が殆ど進まない第２の回転数まで減速させる。この減速はできるだけ早く行うことが好ましく、例えば３００００ｒｐｍ／秒の加速度（負の加速度）で第２の回転数、例えば１００ｒｐｍまで減速される。第１の回転数から第２の回転数まで減速する時間は、例えば０．２秒以内であることが好ましい。なお第２の回転数は、１００ｒｐｍに限られないが、５００ｒｐｍ以下であることが好ましい。また第１の回転数から第２の回転数まで減速され第２の回転数が維持される時間は、例えば０．６秒であるが、この時間はレジスト液Ｒの粘度などに応じて調整すればよい。ここで、ウェハＷの回転数が第１の回転数から第２の回転数まで減速され、ウェハＷを第２の回転数で回転させる工程を第２の工程とする。
【００３１】
第２の工程において、ウェハＷの回転数が第２の回転数に達すると、図４（iv）に示すように再びレジスト液ノズル３０から０．１ｍｌのレジスト液Ｒを０．４秒かけて吐出する。乾燥していないレジスト液Ｒを吐出することにより、ウェハＷ上のレジスト液Ｒの流動性が向上する。
【００３２】
ウェハＷを第２の回転数で回転させた後、ウェハＷの回転数を例えば第１の回転数よりも低い第３の回転数まで加速し、第３の回転数にしばらく例えば２０秒間維持する。ここで、ウェハＷの回転数が第２の回転数から第３の回転数まで加速され、ウェハＷを第３の回転数で回転させる工程を第３の工程とする。この第３の工程において、レジスト液ＲはウェハＷの全面に拡がると共に残余のレジスト液Ｒも振り切られて、膜厚が調整される。第３の回転数及びその維持時間は、目標膜厚やレジスト液Ｒの粘度などに応じて決定されるが、１２インチサイズウェハであれば２０００ｒｐｍ以下であることが好ましく例えば７５０ｒｐｍ〜２０００ｒｐｍに設定される。その後、ウェハＷは、裏面のリンス処理が行われた後、先の搬入と逆の動作により外部の搬送アームに受け渡される。
【００３３】
以上のように本実施の形態によれば、第２の工程中にウェハＷを第２の回転数まで減速回転させてさらに第２の回転数で回転させることにより、ウェハＷ上のレジスト液Ｒの乾燥が抑制される。同時にこの第２の工程中にレジスト液Ｒが吐出されることにより、レジスト液Ｒの流動性が上昇する。したがって、レジスト液Ｒの供給量を少量にした場合に、第１の工程でレジスト液ＲがウェハＷの端まで完全に拡がらない場合でも、第３の工程中にレジスト液Ｒが円滑にウェハＷの端まで拡がる。そうすると、ウェハＷ上に形成されるレジスト膜の分布が従来のように二極化せず、レジスト膜の膜厚の面内均一性が高くなる。すなわち、少量のレジスト液Ｒでありながら膜厚の面内均一性の高い塗布処理を行うことができる。
また第２の工程において、ウェハＷを第１の回転数から第２の回転数に減速回転させる間は、ウェハＷを第２の回転数で回転させる間と比べて、レジスト液Ｒが早く乾燥する。本実施の形態においては、第２の工程におけるレジスト液Ｒの吐出はウェハＷの回転数が第２の回転数に達した後に行われるため、レジスト液Ｒがこの減速回転中に乾燥しない。したがって、第３の工程において、レジスト液Ｒの流動性が高くなり、レジスト液Ｒをより円滑に基板の端まで拡げることができる。
さらに発明者が調べたところ、従来の方法を用いて本実施の形態と同程度の面内均一性を得るために必要なレジスト液の供給量と比較して、本実施の形態のレジスト液の供給量は２０％程度削減できる。
【００３４】
なお１２インチサイズのウェハＷにおいては、第１の回転数は４０００ｒｐｍ以下であることが好ましく、２０００ｒｐｍ〜４０００ｒｐｍであることがより好ましい。また８インチサイズのウェハＷにおいては、第１の回転数は６０００ｒｐｍ以下であることが好ましく、３０００ｒｐｍ〜５０００ｒｐｍであることがより好ましい。更に８インチサイズのウェハＷにおいては、第３の回転数は４０００ｒｐｍ以下であることが好ましい。
【００３５】
前記実施の形態において、第２の工程中に吐出されるレジスト液Ｒに代えて、第１の工程で吐出されるレジスト液Ｒより粘性の低いレジスト液Ｒを用いてもよい。この第２の工程中に吐出されるレジスト液Ｒは、レジスト液Ｒに含まれる溶剤の比率を変更して粘性を低くしている。この場合、レジスト塗布装置には、図５に示すように第２の工程中にレジスト液Ｒを吐出するレジスト液ノズル６０が更に設けられている。レジスト液ノズル６０は、レジスト液供給管６１を介してレジスト液Ｒを供給するレジスト液供給源６２に接続されている。またレジスト液供給管６１にはバルブや流量調整部等を含む供給機器群６３が介設されている。この供給機器群６３は制御部６に接続され、制御部６において、レジスト液ノズル６０より吐出されるレジスト液Ｒの流量あるいは吐出されるタイミング等が制御されている。
【００３６】
レジスト液ノズル６０は、図６に示すようにＬ字状に屈曲したアーム６４を介して移動機構６５に接続されている。アーム６４は移動機構６５により、ガイドレール３６に沿って、カップ体２３の外側に設けられた待機領域６７、６８から水平方向（Ｙ方向）に移動できると共に、上下方向に移動できるように構成されている。待機領域６７はカップ体２３の外側（図６では右側）と待機領域３７との間に設けられ、待機領域６８はカップ体２３の外側（図６では左側）と待機領域４７との間に設けられている。
【００３７】
次にこのレジスト液ノズル６０からレジスト液Ｒを吐出する方法について説明する。第１の工程においてレジスト液ノズル３０からウェハＷにレジスト液Ｒが吐出される間、レジスト液ノズル６０は待機領域６８で待機している。レジスト液ノズル３０からのレジスト液Ｒの吐出が終了すると、レジスト液ノズル３０は待機領域３７に移動する。そして第２の工程が始まるとレジスト液ノズル６０はウェハＷの中心部に移動し、ウェハＷの回転数が第２の回転数に達したときにレジスト液Ｒが吐出される。レジスト液ノズル６０からのレジスト液Ｒの吐出が終了すると、レジスト液ノズル６０は待機領域６７に移動し、第３の工程中は待機領域６７で待機している。
【００３８】
このように第２の工程で吐出されるレジスト液Ｒは、第１工程で吐出されるレジスト液Ｒより粘性が低いため、第３の工程においてレジスト液Ｒの流動性がより高くなり、第３の工程中にレジスト液Ｒが円滑にウェハＷの端まで拡がる。したがって、レジスト膜の膜厚の面内均一性がより高くなる。
【００３９】
また、前記実施の形態において、第２の工程中に吐出されるレジスト液Ｒに代えて、溶剤Ｓを用いてもよい。この場合、第２の工程において、溶剤Ｓは溶剤ノズル４０から吐出される。この溶剤Ｓは、第１の工程で供給されるレジスト液Ｒより粘性が極めて低い。したがって、第３の工程において、レジスト液Ｒの流動性が更に高くなり、レジスト膜の膜厚の面内均一性が更に高くなる。
【００４０】
また、第２の工程で吐出されるレジスト液Ｒあるいは溶剤Ｓは、ウェハＷの中心部からずれた位置に吐出されてもよい。すなわち、第２の工程において、レジスト液ノズル３０、レジスト液ノズル６０、あるいは溶剤ノズル４０は、ウェハＷの中心部からずれた位置まで移動して、レジスト液Ｒあるいは溶剤Ｓを吐出する。この場合、レジスト液Ｒあるいは溶剤ＳはウェハＷの端により近い位置に吐出されるため、第３の工程においてレジスト液Ｒをより円滑に基板の端まで拡げることができる。
【００４１】
さらに、第２の工程におけるレジスト液Ｒの吐出は、第１の工程におけるレジスト液Ｒの吐出から連続して行われてもよい。すなわち、図７に示すとおり、第１の工程でレジスト液ノズル３０から吐出されるレジスト液Ｒは、ウェハＷの回転数が第１の回転数から第２の回転数まで減速され第２の回転数を維持している間も、継続して吐出される。具体的には、ウェハＷの回転数が第１の回転数から減速され始めると、第２の工程におけるレジスト液Ｒは、０．１ｍｌの量を０．４秒かけて吐出される。この場合でも、後述の実施例１で明らかなように、従来の方法でレジスト液を塗布する場合に比べて、レジスト膜の膜厚の面内均一性を高くすることができる。
【００４２】
また、第１の工程におけるレジスト液Ｒの吐出については、ウェハＷが第１の回転数まで加速回転中に吐出開始してから、第１の回転数に達するまでの間に吐出停止してもよく、あるいは第１の回転数で回転中に吐出開始してもよい。
さらに本発明では、ウェハＷの回転数が第１の回転数に達した後、第１の回転数を少しの時間維持することに限定されるものではなく、図８に示すように、第１の回転数に達した後、ただちに第２の回転数まで減速するようにしてもよい。
【００４３】
次に参考までに、前記レジスト塗布装置が組み込まれる露光装置が接続された塗布、現像装置の全体構成について図９及び図１０を参照しながら説明する。図９及び図１０中、Ｂ１は複数のウェハＷ、例えば１３枚のウェハＷが密閉収納されたキャリア８を搬入出するためのキャリアステーションであり、このキャリアステーションＢ１にはキャリア８を複数個並べて載置可能な載置部８０と、前記載置部８０から見て前方の壁面に設けられる開閉部８１と、開閉部８１を介してキャリア８からウェハＷを取り出すための受け渡し手段Ａ１とが設けられている。
【００４４】
キャリアステーションＢ１の奥側には筐体８２によって囲まれる処理ブロックＢ２が接続されており、この処理ブロックＢ２には手前側から順に加熱・冷却系等のユニットを多段化した棚ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３及び液処理ユニットＵ４、Ｕ５の各ユニット間のウェハＷの受け渡しを行う基板搬送手段をなすメインアームＡ２、Ａ３とが交互に配列して設けられている。またメインアームＡ２、Ａ３は、キャリアステーションＢ１から見て前後方向に配置される棚ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３側の一面部と、後述する例えば右側の液処理ユニットＵ４、Ｕ５側の一面側と、左側の一面側をなす背面部とで構成される区画壁８３により囲まれる空間内に置かれている。また図９及び図１０中、８４、８５は各ユニットで用いられる処理液の温度調節装置や温湿度調節用のダクト等を備えた温湿度調節ユニットである。
【００４５】
前記液処理ユニットＵ４、Ｕ５は、例えば図１０に示すようにレジスト液Ｒや現像液等の薬液収納部８６の上に、ウェハＷの表面にレジスト液Ｒを塗布するための上述したレジスト塗布装置（ＣＯＴ）９０、ウェハＷの表面に現像液を塗布するための現像ユニット（ＤＥＶ）８７及び反射防止膜形成ユニット（ＢＡＲＣ）等を複数段例えば５段に積層した構成にある。また既述の棚ユニットＵ１、Ｕ２、Ｕ３は、液処理ユニットＵ４、Ｕ５にて行われる処理の前処理及び後処理を行うための各種ユニットを複数段例えば１０段に積層した構成にあり、その組み合わせはウェハＷを加熱（ベーク）する加熱ユニット、ウェハＷを冷却する冷却ユニット等が含まれる。
【００４６】
前記処理ブロックＢ２における棚ユニットＵ３の奥側には、第１の搬送室８８ａ及び第２の搬送室８８ｂからなるインターフェイス部Ｂ３を介して露光装置Ｂ４が接続されている。インターフェイス部Ｂ３の内部には、処理ブロックＢ２と露光装置Ｂ４との間でウェハＷの受け渡しを行うための２つの受け渡し手段Ａ４、Ａ５の他、ウェハＷのエッジ部のみを選択的に露光するための周縁露光装置（ＷＥＥ）、複数枚例えば２５枚のウェハＷを一次的に収納するバッファカセット（ＳＢＵ）、ウェハＷを受け渡すための受け渡しユニット（ＴＲＳ２）、例えば冷却プレートを有する高精度温調ユニット（ＣＰＬ）等が設けられている。
【００４７】
この装置におけるウェハＷの流れについて一例を示すと、先ず外部からウェハＷの収納されたキャリア８が載置台８０に載置されると、開閉部８１と共にキャリア８の蓋体が外されて受け渡し手段Ａ１によりウェハＷが取り出される。そしてウェハＷは棚ユニットＵ１の一段をなす受け渡しユニット（図示せず）を介して主搬送手段Ａ２へと受け渡され、棚ユニットＵ１〜Ｕ３内の一の棚にて、塗布処理の前処理として例えば疎水化処理、冷却処理が行われ、しかる後、レジスト塗布装置（ＣＯＴ）９０にてウェハＷの表面にレジスト液Ｒが塗布された後、保護膜形成部である保護膜形成ユニット（ＴＣ）３にてレジスト膜が形成されたウェハＷの表面に撥水性の保護膜が成膜される。次いでウェハＷは棚ユニットＵ１〜Ｕ３の一の棚をなす加熱ユニット（ＰＡＢ）で加熱（ベーク処理）され、更に冷却された後、棚ユニットＵ３の受け渡しユニット（ＴＲＳ１）を経由してインターフェイス部Ｂ３へと搬入される。このインターフェイス部Ｂ３においてウェハＷは受け渡し手段Ａ４によって例えば周縁露光装置（ＷＥＥ）からバッファカセット（ＳＢＵ）、次いで高精度温調ユニット（ＣＰＬ）と搬送され、高精度温調ユニット（ＣＰＬ）に載置されたウェハＷは受け渡し手段Ａ５によって露光装置Ｂ４へ搬送され、当該露光装置Ｂ４で露光処理が行われる。露光されたウェハＷは受け渡し手段Ａ５によって受け渡しユニット（ＴＲＳ２）に搬送され、続いて受け渡し手段Ａ５よって受け渡しユニット（ＴＲＳ２）から棚ユニットＵ３の加熱ユニット（ＰＥＢ）に搬送される。そしてウェハＷは棚ユニットＵ５の一の棚をなす現像ユニット（ＤＥＶ）にてウェハＷの表面に現像液を供給してレジストが現像されることで所定のパターン形状のレジストマスクが形成される。しかる後、受け渡し手段Ａ１によりウェハＷは載置台８０上の元のキャリア８へと戻される。
【００４８】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に相到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【実施例１】
【００４９】
以下、本発明の塗布処理方法の効果について、従来の塗布処理方法と比較して説明する。両方法を行う装置には、図１及び図２に示すレジスト塗布装置を用いた。
【００５０】
本発明の塗布処理方法で実験する際には、レジスト液Ｒの塗布のレシピとして、上述の図７に示すレシピを用いた。
また、従来の塗布処理方法で実験する際には、レジスト液Ｒの塗布のレシピとして、図１１に示すレシピを用いた。図１１に示すレシピでは、第１の回転数を２０５０ｒｐｍとしている。ウェハＷの回転数が１０００ｒｐｍから２０５０ｒｐｍに至りその後２０５０ｒｐｍを維持する時間は１．５秒であり、この間に０．５ｍｌのレジスト液Ｒが１．５秒かけて吐出される。その後第１の回転数から第２の回転数である１００ｒｐｍまで減速され、第２の回転数が維持されるが、この時間は１秒であり、この間にレジスト液Ｒが吐出されることはない。その他のレシピは、図７に示すレシピと同様である。
なお、両実験を行う際に、ウェハＷへのレジスト液Ｒの供給量は共に０．５ｍｌであり、ウェハＷ上に２５０ｎｍの膜圧のレジスト膜を形成する。また、それぞれ１３枚のウェハＷに対して、上述のレシピを用いて両実験を行った。
【００５１】
以上のように実験を行い、ウェハＷ上に形成されたレジスト膜の膜厚分布を３シグマ法で表してその分布のバラツキを評価した。従来の塗布処理方法を用いて実験した場合、レジスト膜の膜厚分布はその３シグマが１．８ｎｍ〜２．０ｎｍであった。一方、本発明の塗布処理方法を用いて実験した場合、レジスト膜の膜厚分布はその３シグマが０．６ｎｍ〜０．７ｎｍとなった。すなわち、本発明の塗布処理方法が従来の方法に比べて、膜圧の分布のバラツキが小さいことが分かった。したがって、本発明の塗布処理方法は従来時の方法に比べて、高い面内均一性をもってレジスト液ＲをウェハＷに塗布できることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、例えば半導体ウェハ等の基板の塗布処理方法に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す概略断面図である。
【図２】本実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す概略平面図である。
【図３】本実施の形態において、ウェハの回転数のプロファイルとレジスト液の供給のタイミングとを対応付けたレシピの一例を示す説明図である。
【図４】図３に示したレシピの各タイミングにおける状態を模式的に示す作用説明図である。
【図５】他の実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す概略断面図である。
【図６】他の実施の形態に係るレジスト塗布装置を示す概略平面図である。
【図７】他の実施の形態において、ウェハの回転数のプロファイルとレジスト液の供給のタイミングとを対応付けたレシピの一例を示す説明図である。
【図８】他の実施の形態において、ウェハの回転数のプロファイルとレジスト液の供給のタイミングとを対応付けたレシピの一例を示す説明図である。
【図９】本実施の形態のレジスト塗布装置を組み込んだ塗布、現像装置を示す平面図である。
【図１０】本実施の形態のレジスト塗布装置を組み込んだ塗布、現像装置を示す概略構成図である。
【図１１】従来の実施の形態において、ウェハの回転数のプロファイルとレジスト液の供給のタイミングとを対応付けたレシピの一例を示す説明図である。
【図１２】従来例において、ウェハの表面において、滴下されたレジスト液の拡がりの様子を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
６    制御部
２０  スピンチャック
２１  回転駆動部
２３  カップ体
３０  レジスト液ノズル
３２  レジスト液供給源
３３  供給機器群
４０  溶液ノズル
４２  溶剤供給源
４３  供給機器群
６０  レジスト液ノズル
６２  レジスト液供給源
６３  供給機器群
９０  レジスト塗布装置
Ｒ    レジスト液
Ｓ    溶剤
Ｗ    ウェハ
【図１】
2008071960.tif 000003
【図２】
2008071960.tif 000004
【図３】
2008071960.tif 000005
【図４】
2008071960.tif 000006
【図５】
2008071960.tif 000007
【図６】
2008071960.tif 000008
【図７】
2008071960.tif 000009
【図８】
2008071960.tif 000010
【図９】
2008071960.tif 000011
【図１０】
2008071960.tif 000012
【図１１】
2008071960.tif 000013
【図１２】
2008071960.tif 000014