(57)【要約】 【構成】  天井走行車２２はポッドバッファ１６との間でポッド１８をやりとりし、移載装置２８付きの台車２６でポッド１８をバッファ１６とロードポート１４，１５の間でやりとりする。ロードポート１４，１５からは、ソーター４，６でウェハーをポッド１８から出し入れし、処理待ちや処理済みのウェーハをバッファ８，９で保管する。【効果】  処理装置を遊ばせずに、かつウェハーの処理順序やポッドへの組み合わせを適宜に変更できる。【選択図】    図２
2008172062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の物品を収容する容器から物品を取り出して、処理装置へ供給する装置であって、
容器を保管するための容器保管棚と、
容器から取り出した物品を保管するための物品保管棚と、
容器から物品を出し入れして、物品を容器と物品保管棚との間で搬送するための移載手段と、
前記移載手段と容器保管棚との間で容器を搬送するための搬送手段と、
物品保管棚から所要の物品を取り出して処理装置へ供給すると共に、処理装置からの物品を物品保管棚へ供給するための供給手段、とを設けたことを特徴とする、物品供給装置。
【請求項２】
供給手段は物品保管棚から所要物品をランダムに処理装置へ供給自在であることを特徴とする、請求項１の物品供給装置。
【請求項３】
移載手段は物品保管棚から所要物品をランダムに容器へ収納自在であることを特徴とする、請求項１の物品供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は半導体ウェハーなどの物品を処理装置へ供給する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板などをトレイに収容し、処理装置へ供給する装置を提案した（特許文献１：特開２００４−１６８４８３）。この装置ではトレイをコンベヤで搬送して、処理装置前でストックし、基板をトレイから取り出して処理装置へ供給する。
【０００３】
ところで半導体ウェハーなどを処理装置に供給する場合、複数のウェハーが１つのポッドに収容されて搬送される。ここで、タイミング良く処理装置へウェハーが供給されないと、処理装置の効率が低下する。特にポッドの収容枚数と処理装置で一括して処理する枚数とが異なる場合でも、処理装置へ必要枚数のウェハーを供給する必要がある。またポッドが到着する順序と処理装置でウェハーを処理する優先度とが異なる場合に備えて、処理装置へウェハーを供給する順序をポッドの到着順から変更する仕組みが必要である。さらにポッド内のウェハーの組み合わせを次の処理装置に合わせて変更する必要が生じることがあるので、処理済みのウェハーをポッドへ供給する際に、ウェハーの組み合わせを変更する仕組みが必要である。そこで発明者は上記の課題を解決するためにこの発明に到った。
【特許文献１】特開２００４−１６８４８３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、処理装置で一括して処理する物品の数が、容器に収容された物品の数より多い場合でも、処理装置に必要な数の物品を供給できるようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、処理の優先度の高い物品を、処理装置への到着順よりも優先して処理できるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、次の処理装置に合わせて、容器に収納する物品の組み合わせを変更できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、複数の物品を収容する容器から物品を取り出して、処理装置へ供給する装置であって、
容器を保管するための容器保管棚と、
容器から取り出した物品を保管するための物品保管棚と、
容器から物品を出し入れして、物品を容器と物品保管棚との間で搬送するための移載手段と、
前記移載手段と容器保管棚との間で容器を搬送するための搬送手段と、
物品保管棚から所要の物品を取り出して処理装置へ供給すると共に、処理装置からの物品を物品保管棚へ供給するための供給手段、とを設けたことを特徴とする。
【０００６】
好ましくは、供給手段は物品保管棚から所要物品をランダムに処理装置へ供給自在である。
また好ましくは、移載手段は物品保管棚から所要物品をランダムに容器へ収納自在である。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、容器を一旦容器保管棚に保管し、容器から取り出した物品を物品保管棚に保管するので、処理装置が必要とする物品をこれらの棚にストックして、速やかに供給できる。
また容器保管棚を外部の搬送装置とのバッファにできるので、外部の搬送装置に対しても効率的である。さらに容器保管棚から取り出す順序を制御することにより、容器の到着順と、処理装置での処理順を容器の単位で変更できる。  
【０００８】
ここで、供給手段を物品保管棚から所要物品をランダムに処理装置へ供給自在にすると、物品保管棚から物品を処理装置へ供給する順序を変更し、物品の優先度に従って処理できる。
また移載手段を物品保管棚から所要物品をランダムに容器へ収納自在にすると、次の処理装置などに合わせて、容器にセットする物品の組み合わせを変更できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１０】
図１〜図３に、クリーンルーム内での半導体ウェハーの搬送と供給を例に、実施例を示す。各図において、２は処理装置で、半導体ウェハーに対する加工や検査などの処理を行う。処理装置２の前面には例えば一対のソーター４，６があり、半導体ウェハーを複数枚収容したポッド１８から半導体ウェハーを１枚ずつ出し入れする。ソーター４，６は移載手段と供給手段とを兼用し、移載手段と供給手段とを別個の部材で構成しても良い。８，９はウェハーバッファで、ポッド１８から取り出したウェハーを保管し、物品保管棚の例である。ウェハーバッファ８に対して、ソーター４はランダムな位置にウェハーを１枚ずつ出し入れできる。同様に、ウェハーバッファ９に対して、ソーター６はランダムな位置にウェハーを１枚ずつ出し入れできる。ウェハーバッファ８，９に収容された複数枚の半導体ウェハーを、１０，１１で示す。ソーター４，６とロードポート１４，１５の間に、図示しないシャッタ付きの出入口１２，１３がある。またロードポート１４，１５の上部や下部などに、例えば鉛直視で重なるようにポッドバッファ（容器保管棚）１６，１７がある。
【００１１】
クリーンルームの天井付近に走行レール２１を設け、装置間の搬送手段としての天井走行車２２を走行させる。そして天井走行車２２は、ポッドバッファ１６との間でポッド１８を受け渡しする。処理装置２の例えば前面側の床面に走行レール２４を設け、移載装置２８を備えた台車２６を設ける。移載装置２８は例えばスカラアームやスライドフォークなどから成り、台車２６に設けたマスト２９に沿って昇降自在である。そして移載装置２８はポッドバッファ１６，１７間や、ポッドバッファ１６，１７とロードポート１４，１５間で、ポッド１８を搬送する。移載装置２８と台車２６で、処理装置内の搬送装置を構成するが、これらを複数の処理装置で共用しても良い。同様にポッドバッファ１６，１７を、複数の処理装置で共用しても良い。
【００１２】
図３に、実施例での物品の流れを示す。処理装置２間の搬送手段として天井走行車２２があり、天井走行車２２がポッドバッファ１６との間でポッドを受け渡しする。台車に昇降自在に設けた移載装置２８で、ポッドバッファ１６，１７間や、ロードポート１４，１５間でポッドをやりとりする。このためソータ４，６が必要とするときに、ポッドを移載装置２８でロードポート１４，１５へ搬送できる。ロードポート１４，１５には図示しないコンベヤなどを設けて、ソーター４，６との間でポッドを搬送する。そしてソーター４でポッドからウェハーを出し入れし、直ちに必要なウェハーをそのまま処理装置２へ供給し、他のウェハーはウェハーバッファ８で一時保管する。そして処理装置２が必要とするウェハーをソーター４でウェハーバッファ８から任意に取り出し、処理装置２へ供給する。なお全てのウェハーを、一旦ウェハーバッファ８で保管するようにしても良い。
【００１３】
処理装置２で処理後のウェハーをソーター６で処理装置から取り出し、ウェハーバッファ９に一時保管する。ここで直ちに搬出する必要のあるウェハーが有れば、ウェハーバッファ９を経由せずに、ソーター６でポッドに収納する。ウェハーバッファ９から必要なウェハーをランダムに、言い換えると選択的に取り出して、ポッドに収納する。ウェハーを収納したポッドは、ポッドバッファ１６，１７に保管し、天井走行車で搬出する。
【００１４】
実施例では、以下の効果が得られる。
(1)  処理装置２が必要とするウェハーを、ウェハーバッファ８にストックできる。またポッドバッファ１６，１７を、天井走行車２２と処理装置２との間のポッドのバッファとする。そしてウェハーバッファ８から、必要なウェハーを選択的に処理装置２に供給する。このため処理装置２は常に必要枚数のウェハーを供給される。例えばポッド１８でのウェハーの搬送枚数と、処理装置２が必要とするウェハーの枚数が異なっても問題が生じない。
(2)  処理装置２へ供給するウェハーの順序は、ポッドバッファ１６，１７からソーター４へ供給するポッドの順序、並びにウェハーバッファ８などからソーター４で処理装置２へ供給するウェハーの順序で、２段階に変更できる。このためウェハー毎に処理の優先度が異なる場合、優先度に従って処理できる。
(3)  処理装置２で処理済みのウェハーは、ウェハーバッファに一旦蓄えられ、ソーター６でランダムに必要なウェハーを取り出し、ポッドに収納する。従って次の工程の処理装置に合わせて、ポッドに収納するウェハーの組み合わせを変更できる。このため複数の処理装置を経由し、途中で用いる処理装置が異なるような組み合わせでも、同じポッドに収容して搬送できる。
【００１５】
実施例ではポッドバッファ１７をロードポート１４，１５とポッドバッファ１６の間に例えば１段設けたが、ロードポート１４，１５の下段にさらに多数の段を設けてもよい。またポッドバッファ１６，１７の保管能力が不足する場合、図１での処理装置２の反対側にも、ポッド保管用の棚を設けるとよい。ポッドバッファ１６，１７とロードポート１４，１５間の搬送装置として、レール２４上を走行する台車２６に昇降自在に移載装置２８を設けたが、その種類や構造は任意である。ソーター４，６の処理能力が不足する場合、ウェハーバッファ８，９と処理装置２の間に、ウェハーバッファに対してランダムにウェハーを出し入れできるソーターを追加すると良い。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例の物品供給装置の平面図
【図２】実施例の物品供給装置の正面図
【図３】実施例での物品の供給ルートを示す図
【符号の説明】
【００１７】
２          処理装置
４，６      ソーター
８，９      ウェハーバッファ
１０，１１  ウェハー
１２，１３  出入口
１４，１５  ロードポート
１６，１７  ポッドバッファ
１８        ポッド
２１，２４  走行レール
２２        天井走行車
２６        台車
２８        移載装置
２９        マスト
【図１】
2008172062.tif 000003
【図２】
2008172062.tif 000004
【図３】
2008172062.tif 000005