(57)【要約】【課題】低消費電力化が可能で、大面積化にも対応可能であり、しかも本来の表示機能とは別に、表示画面上に直接入力することで表示画面に下線やメモ等の表示もできるようにした、表示装置及び電子ペーパーを提供する。【解決手段】表示の保持性を有する複数の画素を備えたアクテブマトリクス駆動の表示装置１である。複数の画素にはそれぞれ、データ線５２に接続し、対応する画素を選択するための選択スイッチング素子５と、データ線５２あるいは電源線に接続し、外部からの入力動作に感応してデータ線５２あるいは電源線からの信号を対応する画素に供給するための外部入力スイッチ７と、が設けられている。【選択図】図１
2008164671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示の保持性を有する複数の画素を備えたアクテブマトリクス駆動の表示装置であって、
前記複数の画素にはそれぞれ、データ線に接続し、対応する画素を選択するための選択スイッチング素子と、データ線あるいは電源線に接続し、外部からの入力動作に感応して前記データ線あるいは電源線からの信号を対応する画素に供給するための外部入力スイッチと、が設けられていることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記外部入力スイッチが、前記選択スイッチング素子と並列に配設されていることを特徴とする請求項１記載の表示装置。
【請求項３】
前記外部入力スイッチが、前記選択スイッチング素子と並列に配設された薄膜トランジスタのゲート部となっていることを特徴とする請求項１記載の表示装置。
【請求項４】
前記外部入力スイッチが、電源線に接続されていることを特徴とする請求項１記載の表示装置。
【請求項５】
前記外部入力スイッチは、感圧スイッチング素子であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の表示装置。
【請求項６】
前記感圧スイッチング素子は、マイクロ電気機械スイッチであることを特徴とする請求項５記載の表示装置。
【請求項７】
前記表示装置は、電気泳動分散液を封入してなるマイクロカプセルを一対の基板間に挟持して構成されたもので、前記一対の基板のうちの表示側の基板の外面に、保護フィルムが貼着されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の表示装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の表示装置からなることを特徴とする電子ペーパー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直接入力によって表示させる機能を有した表示装置と、電子ペーパーに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶材料や電気泳動材料など、各種の電気光学材料を用いた表示装置が提供されている。
また、従来では、例えば発光ダイオードを用いたディスプレイパネル（表示装置）に対するデジタイジングタブレット（デジタイジング装置）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。なお、デジタイジング装置としては、前記特許文献１における従来の技術においても開示されているように、いくつかのタイプのものが知られている。
【０００３】
デジタイザ装置は、ユーザが文字や図を書いたり、デジタイザアレイに対してスタイラスの位置を指示したりすることにより、格子上に直接データ入力できるようにしたものである。具体的には、以下に示すようなタイプのものが知られている。
（１）容量性−抵抗性アレイに対してスタイラスの先端部を直接接触させるタイプ。
（２）ユーザがデータを入力し、所望の動作を実行する際に磁気先端構造のスタイラスあるいは電磁界発生型のスタイラスと相互作用する電磁デジタイザを用いるタイプ。
（３）デジタイジングアレイに信号を送信するためのＲＦ送信器を備えるスタイラスからなるタイプ。
（４）パッドから反射するようにスタイラスの先端部内に配置される可視光源あるいは赤外光源のような光源を組み込むタイプ。
【０００４】
このようなデジタイザ装置は、表示装置となるモニタに直接設けられ、あるいはモニタとは別に設けられている。一般に、表示装置の大きさに比べて大きな作業表面を必要とするデジタイザ装置は、表示装置とは別に用意され、可搬性やコンパクト性が重要な場合には、表示装置に直接組み込まれて一体型のデジタイザ装置として構成されている。
【特許文献１】特開２００３−２２３２７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、前記のデジタイジング装置やこれを一体に備えた表示装置では、処理速度がプロセッサの能力に比例することから原理的に大面積化に対応することが困難であり、また、待機時にも電力を必要とすることなどから低消費電力化が困難である。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、低消費電力化が可能で、大面積化にも対応可能であり、しかも本来の表示機能とは別に、表示画面上に直接入力することで表示画面に下線やメモ等の表示もできるようにした、表示装置及び電子ペーパーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため本発明に係る表示装置は、表示の保持性を有する複数の画素を備えたアクテブマトリクス駆動の表示装置であって、前記複数の画素にはそれぞれ、データ線に接続し、対応する画素を選択するための選択スイッチング素子と、データ線あるいは電源線に接続し、外部からの入力動作に感応して前記データ線あるいは電源線からの信号を対応する画素に供給するための外部入力スイッチと、が設けられていることを特徴としている。
【０００７】
この表示装置によれば、選択スイッチング素子とは別に外部入力スイッチを設けているので、選択スイッチング素子によって通常の表示がなされた表示画面上に、外部入力スイッチを介して直接入力することにより、前記通常の表示に対して下線やメモ等の別の表示をなさせることが可能になる。
また、各画素の座標位置を常に検出する必要がないためプロセッサが不要になり、さらに画素が表示の保持性を有しているので、待機時においても電力を必要とすることなく表示を保持することができ、したがって低消費電力化が可能になる。
また、外部入力スイッチが画素それぞれに対して設けられ、したがって個々に独立して機能するようになっているので、表示画面の大面積化に伴い素子数が増えても、前記したようにプロセッサが不要であることなどから従来のような困難性を有することなく、大面積化への対応が容易になる。
また、外部入力スイッチをオンにしておく時間は直接入力の際に直感的に調整できるので、オン時間を長くすることで、この外部入力スイッチに対応する画素への電荷のチャージ量を多くすることができる。したがって、外部入力スイッチのオン時間を調節することで、直接入力による表示濃淡（階調）を表現することが可能になる。
【０００８】
また、前記表示装置においては、前記外部入力スイッチが、前記選択スイッチング素子と並列に配設されていてもよい。
このようにすれば、外部入力スイッチによって直接入力されたデータに基づく表示を、選択スイッチング素子によって通常の表示がなされた表示画面上に直接表示させることができる。
【０００９】
また、前記表示装置においては、前記外部入力スイッチが、前記選択スイッチング素子と並列に配設された薄膜トランジスタのゲート部となっていてもよい。
このようにすれば、外部入力スイッチのオンオフ特性にバラツキがある場合でも、直接入力特性（書き込み特性）のばらつきを薄膜トランジスタ側で吸収することが可能になる。
【００１０】
また、前記表示装置においては、前記外部入力スイッチが、電源線に接続されていてもよい。
このようにすれば、通常の表示をなすための駆動と、直接入力による駆動とを、それぞれ異なる表示特性となるように調整することが可能になる。
また、直接入力を行う際、データ線への電圧印加をオフにしておくことで、選択スイッチング素子が原因のリーク電流を抑えることができる。逆に、通常の表示をなす際、外部入力スイッチへの電圧印加をオフにしておくことで、外部入力スイッチが原因のリーク電流を抑えることができる。
【００１１】
また、前記表示装置においては、前記外部入力スイッチは、感圧スイッチング素子であるのが好ましく、その場合に、前記感圧スイッチング素子はマイクロ電気機械スイッチであるのが好ましい。
外部入力スイッチを感圧スイッチング素子とすることにより、直接入力する際の書き込みペンとして、電源等を必要としない、単なる加圧が可能なペンを用いることができる。
また、感圧スイッチング素子をマイクロ電気機械スイッチとすることで、アクテイブマトリクス回路基板を公知の手法で製造する際、特殊な工程を必要とすることなく一般的な工程で感圧スイッチング素子（マイクロ電気機械スイッチ）を製造することができる。
【００１２】
また、前記表示装置は、電気泳動分散液を封入してなるマイクロカプセルを一対の基板間に挟持して構成されたもので、前記一対の基板のうちの表示側の基板の外面に、保護フィルムが貼着されているのが好ましい。
このようにすれば、直接入力として前記の感圧スイッチング素子を押圧した際、入力面となる表示側基板の外面に保護フィルムが貼着されて保護されているので、直接入力の際の押圧力でマイクロカプセルが破壊されてしまうことが防止される。
【００１３】
本発明の電子ペーパーは、前記の表示装置からなることを特徴としている。
この電子ペーパーによれば、前記したように通常の表示に対して下線やメモ等の別の表示を追加することができ、しかも低消費電力化が可能な表示装置からなっているため、一般的な表示装置としてはもちろん、通常の紙と同様に機能させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下で参照する各図面においては、理解を容易にするために、各構成要素の寸法等を適宜変更して表示している。
図１は、本発明の表示装置の第１実施形態を示す要部断面図であって、図１中符号１は表示装置である。この表示装置１は、本実施形態では表示素子として電気泳動素子を有して構成されたもので、素子基板２と透明基板３を有し、これら基板２、３間に電気泳動分散液を封入してなるマイクロカプセル４を挟持したものである。図２（ａ）、（ｂ）は、素子基板２の概略構成を示す図であって、図２（ａ）は素子基板２についての要部平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＡ−Ａ’線で断面視した要部断面図である。なお、図１は、図２（ａ）のＡ−Ａ’線で断面視した位置における、表示装置１全体の要部断面図である。
【００１５】
図３は、表示装置１の等価回路図であり、図３中において符号５０は単一の画素を示し、符号５は、前記画素５０を選択するための選択スイッチング素子である。この選択スイッチング素子５は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）からなるもので、そのゲート電極に走査線５１が接続されている。走査線５１は、複数の選択スイッチング素子５の各ゲート電極に対して、制御部（図示せず）からの走査信号（選択信号）を与えるようになっている。また、選択スイッチング素子５のソース電極には、データ線５２が接続されており、このデータ線５２は、複数の選択スイッチング素子５の各ソース電極に対して、制御部（図示せず）からのデータ信号を与えるようになっている。
【００１６】
選択スイッチング素子５のドレイン電極（画素電極６）側には、容量素子５４が設けられており、この容量素子５４は、マイクロカプセル４中の電気泳動分散液の電気分極状態を保持するようになっている。なお、画素５０は、選択スイッチング素子５のドレイン電極となる画素電極６と、後述する共通電極１７との間に、マイクロカプセル４を挟持するものである。
【００１７】
また、本実施形態では、選択スイッチング素子５と並列に、外部入力スイッチ７が設けられている。この外部入力スイッチ７は、選択スイッチング素子５と同様にデータ線５２に接続し、かつ画素電極６（ドレイン電極）に接続して、これらデータ線５２と画素電極６との間の接続のオンオフをなすもので、後述するように外部からの加圧（押圧）による入力動作に感応して、データ線５２からの信号を対応する画素５０に供給するためのものである。
【００１８】
図１、図２（ａ）、（ｂ）に示したように素子基板２は、ガラスや石英などの耐熱性のの基板２ａの内面に、下地絶縁膜８を介してＴＦＴ（薄膜トランジスタ）からなる選択スイッチング素子５を多数形成し、さらにこれら選択スイッチング素子５にそれぞれ対応して画素電極６を形成したもので、これによってアクティブマトリクス基板として構成されたものである。選択スイッチング素子５は、前記の下地絶縁膜８の上に設けられた半導体膜９と、この半導体膜９上にゲート絶縁膜１０を介して設けられたゲート電極１１と、半導体９のソース領域（図示せず）に接続するソース電極１２と、半導体９のドレイン領域（図示せず）に中継電極１３を介して接続する画素電極（ドレイン電極）６とを有して構成されたものである。
【００１９】
ここで、ゲート電極１１は、前記したように走査線５１に接続しており、ソース電極１２は、データ線５２に接続している。また、ソース電極１２の一部、すなわちデータ線５２の一部は、後述するように本発明における外部入力スイッチ７の一部を構成するものとなっている。
なお、半導体９のドレイン領域には、容量線５３に接続する容量素子５４が形成されている。
【００２０】
また、ゲート電極１１や容量線５３の上には、これらを覆って第１層間絶縁膜１４が形成されており、ソース電極１２は、第１層間絶縁膜１４に形成されたコンタクトホール（図示せず）を通って該第１層間絶縁膜１４上に電気的に引き出され、ここに形成されている。中継電極１３も、該ソース電極１２と同様に、コンタクトホール（図示せず）を通って該第１層間絶縁膜１４上に電気的に引き出され、該第１層間絶縁膜１４上に形成されている。
【００２１】
また、第１層間絶縁膜１４上には、ソース電極１２、中継電極１３を覆って第２層間絶縁膜１５が形成され、この第２層間絶縁膜１５上には、画素電極６が、コンタクトホール（図示せず）を通って電気的に引き出されたことにより、中継電極１３に導通した状態に形成されている。
【００２２】
また、この素子基板２には、前記したように選択スイッチング素子５と並列に、外部入力スイッチ７が設けられている。この外部入力スイッチ７は、データ線５２（ソース電極１２）の一部と、第２層間絶縁膜１５に形成され、かつその底部にデータ線５２（ソース電極１２）の一部を露出させる空隙部１６と、画素電極６の一部と、からなる感圧型の機械スイッチである。
【００２３】
すなわち、この外部入力スイッチ７は、後述するようにペン等によって表示面側となる透明基板３側が押圧（加圧）されることにより、図１中に二点鎖線で示すように空隙部１６上に位置する画素電極６が凹み、空隙部１６内に露出するデータ線５２（ソース電極１２）の一部に接触する。すると、これらの間が導通し、データ線５２が画素電極６に導通することにより、データ線５２からの信号が画素電極６に供給され、したがってデータ線５２からの信号が対応する画素５０に供給されるようになる。なお、図１における空隙部１６の幅と深さとの関係は、理解を容易にするため実際の寸法より深さを大幅に深くしているが、実際には、画素電極６の僅かな撓みにより、撓んだ画素電極６とデータ線５２（ソース電極１２）の一部とが接触するように、その深さが浅く形成されている。
【００２４】
ここで、空隙部１６は、図２（ａ）に示すようにその開口形状が矩形であって、平面視した状態でそのほとんどが画素電極６の直下に形成されているが、後述するように工程上の理由により、その一部は画素電極６の外側に開口したものとなっている。また、外部入力スイッチ７は、前記したように空隙部１６の直上に位置する画素電極６の一部が、入力部として機能する感圧部となっている。この感圧部の面積としては、画素５０の寸法によっても変わるものの、例えば画素５０の面積の３０％から７０％程度となるように形成されている。３０％未満では、画素５０に占める感圧部（外部入力スイッチ７）の面積が小さくなりすぎ、感圧感度が低くなってしまうからである。また、７０％を超えると、これに合わせてデータ線５２の面積も大きくする必要があることから、他の構成要素の形成領域が狭くなり、製造条件が厳しくなるからである。
【００２５】
図１に示したように透明基板３は、透明樹脂等からなるフィルム状で可撓性の透明基板３ａの内面に、ＩＴＯ等からなる透明の共通電極１７を形成したもので、その外面側を表示面（観測面）側とするものである。ここで、この透明基板３ａとしては、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネイト（ＰＣ）などが好適に用いられる。
なお、可撓性の基板に限定されるものではなく、薄く形成された無機ガラスや、硬質樹脂などを用いた構成であってもよい。
【００２６】
このような構成からなる素子基板２と透明基板３との間には、特に前記の画素電極６上にマイクロカプセル４が配置されており、これによってマイクロカプセル４は、表示装置１の表示領域を形成している。マイクロカプセル４は、前述したように表示材料としての電気泳動分散液を封入したもので、全てがほぼ同一の直径に形成されたものであり、直径が例えば約３０μｍ程度に形成されたものである。なお、本実施形態では、図１に示すように、マイクロカプセル４は予め加圧された状態で素子基板２と透明基板３との間に挟持されており、これによって各マイクロカプセル４は、球状でなく、側面が楕円状となる偏平な形状となっている。
【００２７】
電気泳動分散液は、電気泳動粒子と、これを分散させる液相分散媒とからなるものである。液相分散媒としては、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブ等のアルコール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル等の各種エステル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ぺンタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素、シクロへキサン、メチルシクロへキサン等の脂環式炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘブチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼン等の長鎖アルキル基を有するベンゼン類等の芳香族炭化水素、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化炭化水素、カルボン酸塩又はその他の種々の油類等の単独、またはこれらの混合物に界面活性剤等を配合したものを用いることができる。
【００２８】
また、電気泳動粒子は、液相分散媒中で電位差による電気泳動により移動する性質を有する有機あるいは無機の粒子（高分子あるいはコロイド）である。
この電気泳動粒子としては、例えば、アニリンブラック、カーボンブラック、チタンブラック等の黒色顔料、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモン等の白色顔料、モノアゾ、ジイスアゾン、ポリアゾ等のアゾ系顔料、イソインドリノン、黄鉛、黄色酸化鉄、カドミウムイエロー、チタンイエロー、アンチモン等の黄色顔料、モノアゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料、キナクリドンレッド、クロムバーミリオン等の赤色顔料、フタロシアニンブルー、インダスレンブルー、アントラキノン系染料、紺青、群青、コバルトブルー等の青色顔料、フタロシアニングリーン等の緑色顔料等の１種又は２種以上を用いることができる。
【００２９】
さらに、これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンド等の粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤等の分散剤、潤滑剤、安定化剤等を添加することができる。
マイクロカプセル４の壁膜を形成する材料としては、アラビアゴム・ゼラチンの複合膜、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、尿素樹脂などの化合物が使用できる。
【００３０】
なお、この第１実施形態の表示装置１においては、マイクロカプセル４に電気泳動粒子が二種類封入されており、一方が負に、他方が正に帯電している。これら二種類の電気泳動粒子としては、例えば白色顔料である二酸化チタンと、黒色顔料であるカーボンブラックが用いられる。そして、このような白色、黒色の二種類の電気泳動粒子を用いることにより、例えば文字等の表示をなす場合に、黒色の電気泳動粒子によって文字等を表示し、白色の電気泳動粒子によってその背景を表示することができる。
また、電気泳動粒子を一種類のみ用い、これを共通電極１７側、あるいは画素電極６側に泳動させることで、表示をなすようにしてもよい。
【００３１】
また、これらマイクロカプセル４は、例えば透明基板３に対して、その共通電極１７上にてバインダ１８により固定されている。このバインダ１８としては、マイクロカプセル４の壁膜に対する親和性が良好で、共通電極１７に対する密着性に優れ、かつ絶縁性を有するものが使用可能である。例えば、ポリエチレン、塩素化ポリエチレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、シリコーン樹脂等を用いることができる。
【００３２】
一方、これらマイクロカプセル４は、素子基板２に対して、その画素電極６上にて例えば両面接着シート（図示せず）により固定されている。この両面接着シートは、例えば厚さが約２５μｍ程度に形成されたゴム系やアクリル系などの粘着性を有するもので、素子基板２の画素電極６上に固着され、かつマイクロカプセル４に固着することにより、マイクロカプセル４を素子基板２上に保持固定している。なお、このような両面接着シートを用いることなく、この素子基板２側についても、前記のバインダ１８を用いて接着するようにしてもよい。
このような構成によってマイクロカプセル４は、素子基板２と透明基板３との間に挟着され、表示装置１を構成している。
【００３３】
また、本実施形態では、特に透明基板３の外面に透明な保護フィルム１９が貼着されている。この保護フィルム１９としては、各種の透明フィルムが使用可能であり、前記した透明基板３ａと同様の材料、すなわちポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネイト（ＰＣ）なども使用可能である。
【００３４】
この保護フィルム１９は、直接入力のため透明基板３側を押圧し、前記の外部入力スイッチ７を加圧することでオンした際、透明基板３側への押圧力によってマイクロカプセル４が破壊されてしまうのを防止するためのものである。すなわち、外部入力スイッチ７をオンにすべく、透明基板３側を押圧した際、この押圧力をマイクロカプセル４も受けることになる。その際、透明基板３側の許容曲率半径ｒ１が、マイクロカプセル４の許容できる曲率半径ｒ２を下回らないように、ｒ１≧ｒ２となるように設計する必要がある。そして、透明基板３単独ではこの条件が満たされないような場合には、保護フィルム１９を貼着することで透明基板３を補強し、これによって過剰な押圧によるマイクロカプセル４の破壊を防止しているのである。
【００３５】
例えば、外部入力スイッチ７の空隙部１６の最小幅をＷ、外部入力スイッチ７の空隙部１６の最大深さをｈ、マイクロカプセル４が許容できる曲率半径をｒ（＝ｒ２）とすると、空隙部１６の深さｈは、（１次までのマクローリン展開に基づき）以下の式を満たすようにして設計される。
ｈ＜Ｗ２／８ｒ    …式
具体的には、空隙部１６の最小幅Ｗが２００μｍであり、マイクロカプセル４が許容できる（耐えうる）曲率半径ｒ（＝ｒ２）が１ｃｍである場合、Ｗ２／８ｒ＝５００ｎｍとなるため、空隙部１６の深さを、マージンをとって例えば４５０ｎｍに設計すればよいことになる。
そして、このような条件のもとで、マイクロカプセル４が耐えうる曲率半径ｒ（＝ｒ２）を、透明基板３側の曲率半径ｒ１が下回らないように、保護フィルム１９を貼着し、透明基板３と補強フィルム１９を合わせた基板全体の曲率半径ｒ１が、ｒ２以上となるように補強すればよいのである。
【００３６】
また、この表示装置１には、前記した走査線５１やデータ線５２に駆動信号を供給するための制御部（図示せず）が設けられており、この制御部に表示データが入力され、あるいは予めメモリ（図示せず）に記憶された表示データに基づき、表示を行うようになっている。すなわち、一般の表示装置が備える通常の表示機能を有したものとなっているのである。
【００３７】
次に、このような構成からなる表示装置１の製造方法を説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、後述するレーザーアニール工程での熱に耐えうる基板２ａ（ガラス基板、石英基板など）を用意し、その表面（内面）にＳｉＯ２等からなる下地絶縁膜８を形成する。続いて、下地絶縁膜８上にポリシリコンからなる半導体膜９を形成する。この半導体膜９の形成方法としては、例えばＣＶＤ法等によってアモルファスシリコンを堆積し、レーザーアニール法で多結晶化してポリシリコンとした後、公知のリソグラフィー技術、エッチング技術を用いて所望形状にパターニングすることにより、所望の形状の半導体膜９を得る。
【００３８】
次に、図４（ｂ）に示すように、半導体膜９を覆ってゲート絶縁層１０を形成し、さらにその上にＡｌ等からなる導電膜（図示せず）を形成する。そして、公知のリソグラフィー技術、エッチング技術を用いてこの導電膜をパターニングすることにより、ゲート電極１１を含む走査線５１と、容量線５３とを形成する。次いで、ゲート電極１１（走査線５１）をマスクにして半導体膜９に例えばＮ型不純物をイオン注入し、ソース領域（図示せず）、ドレイン領域（図示せず）をそれぞれ形成する。
【００３９】
次いで、図４（ｃ）に示すように、半導体膜９および走査線５１、容量線５３を覆ってＳｉＯ２等からなる第１層間絶縁膜１４を形成する。続いて、ソース領域、ドレイン領域にそれぞれ通じるコンタクトホール２０を形成する。
次いで、このコンタクトホール２０を埋め込んだ状態でＡｌ等からなる導電膜（図示せず）を形成し、さらにこの導電膜をパターニングすることにより、図５（ａ）に示すようにソース電極１２を含むデータ線５２と、中継電極１３とを形成する。
【００４０】
次いで、ソース電極１２、中継電極１３を覆って、ＣＶＤ法等でＳｉＯ２やＳｉＮ等からなる第２層間絶縁膜１５を形成する。続いて、公知のリソグラフィー技術、エッチング技術を用いて第２層間絶縁膜１５をパターニングし、図５（ｂ）に示すようにデータ線５２（ソース電極１２）の直上に空隙部１６を形成する。これにより、空隙部１６の底部にデータ線５２（ソース電極１２）を露出させる。
【００４１】
次いで、第２層間絶縁膜１５、及び後工程で形成する画素電極６との間で選択比がとれる材料を、ＣＶＤ法等によって成膜し、図５（ｃ）に示すように空隙部１６を埋め込む。具体的には、ＣＶＤ法によってアモルファスシリコンを堆積し、空隙部１６を埋め込んだ状態に犠牲層２１を形成する。
【００４２】
続いて、ＣＭＰ（化学機械研磨）法等により、第２層間絶縁膜１５上の犠牲層２１を除去し、空隙部１６内にのみ犠牲層２１を残す。その後、第２層間絶縁膜１５をパターニングし、図６（ａ）に示すように中継電極１３に通じるコンタクトホール２２を形成する。
【００４３】
なお、犠牲層２１の形成に関しては、前記のＣＶＤ法等の気相法によることなく、例えばインクジェット法（液滴吐出法）等の液相法を採用することもできる。特に、インクジェット法を採用すれば、犠牲層の材料を選択的に配することができるため、空隙部１６内にのみ犠牲層２１を形成することが可能になり、ＣＭＰ法等の処理が不要になる。空隙部１６が、犠牲層の形成材料を受けてこれを外に流れ出させることなく、空隙部１６内に溜めるように機能するため、第２層間絶縁膜１５上に犠牲層が形成されてしまうことが容易に防止できるからである。
【００４４】
次いで、このコンタクトホール２２を埋め込んだ状態でＡｌ等からなる導電膜（図示せず）を形成し、さらにこの導電膜をパターニングすることにより、図６（ｂ）に示すように画素電極６を形成する。この画素電極６の厚さについては、例えば２００ｎｍ〜３００ｎｍ程度とされる。このような厚さにすれば、十分な可撓性と強度とを併せ持つようになる。すなわち、後述するように外部入力スイッチ７では、透明基板３側が押圧（加圧）されて弾性変形した際、画素電極６も空隙部１６内に容易に撓んでデータ線５２に接触するようになる。また、押圧力が解除されたことによる透明基板３側の弾性復帰に伴い、データ線５２から容易に離間するようになる。そして、例えば前記厚さとすることで画素電極６は、前記した弾性変形・弾性復帰が、多数回（例えば数万回から数十万回）に亘って支障なく繰り返し動作可能となるのである。
【００４５】
なお、この画素電極６については、図２（ａ）に示したように、空隙部１６の開口部内、すなわち該空隙部１６内の犠牲層２１が外側に露出するように形成する。具体的には、空隙部１６の矩形状開口部の短辺１６ａとなる両方の側を、外側に露出させる。寸法については、例えば両方にそれぞれ露出する細長い矩形状の長辺（空隙部１６の開口部の短辺１６ａ）が２００μｍ程度、細長い矩形状の短辺１６ｂが３μｍ程度とされる。
次いで、空隙部１６内の犠牲層２１をエッチングし、図６（ｃ）に示すように空隙部１６内の犠牲層２１を除去する。エッチングとしては、例えばエッチンガスとしてＸｅＦ２を用いたドライエッチングが好適に採用される。ただし、他のエッチャントを用いたドライエッチングや、ウエットエッチングも採用可能である。
【００４６】
なお、このようなエッチングによる犠牲層２１の除去に要する時間を短縮するため、外側に露出する空隙部１６内の犠牲層２１の面積を大きくする目的で、空隙部１６上に位置する画素電極６に多数の小さな貫通孔（図示せず）を開けるようにしてもよい。このような貫通孔を形成することで、例えば空隙部１６の中心部における犠牲層２１についても当初からエッチング除去することができ、犠牲層２１除去に要する時間を短縮することができる。
このようにして、素子基板２が得られる。また、特に外部入力スイッチ７については、いわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）からなるスイッチ、すなわちマイクロ電気機械スイッチとなる。
【００４７】
また、このような素子基板２とは別に、透明基板３ａの内面に共通電極１７を形成した透明基板３を用意する。次いで、共通電極１７の内面に、バインダ１８を用いてマイクロカプセル４を均一に固着するとともに、この透明基板３の外面に、保護フィルム１９を貼着する。
そして、このようにして形成した透明基板３側を、両面接着シート（図示せず）を介して素子基板２の画素電極６側に接着・固定することにより、図１に示した表示装置１を得る。
【００４８】
図１に戻る。
次に、この表示装置１による表示方法について説明する。
この表示装置１は、画素電極６と共通電極１７との間に印加する電圧（電界）の方向を変えることにより、マイクロカプセル４中の電気泳動粒子を所望の電極側に集め、これによって所望の表示が行えるようになっている。
【００４９】
つまり、電気泳動粒子として例えば前記したように白色と黒色の二種類のものを用い、一方の粒子、例えば白色の粒子を負に帯電させ、他方の粒子となる黒色の粒子を正に帯電させておく。そして、表示を行うとき、所望の画素電極６に対して信号を入力することで、表示面となる透明基板３側（共通電極１７側）が、画素電極６側に対して相対的に負になるように電界をかける（電圧を印加する）。すると、黒色の粒子が透明基板３側に、また白色粒子が素子基板２側にそれぞれ泳動する。したがって、文字等の実質的な表示をなす部分が黒色の粒子によって透明基板３側に表示され、その背景となる部分が白色の粒子によって透明基板３側に表示されることにより、所望の表示がなされる。
【００５０】
また、このような電気泳動粒子を分散させた電気泳動分散液を有してなる電気泳動素子は、表示の保持性を有している。すなわち、一旦所望の表示を行うと、その後電源を切って画素電極６と共通電極１７との間に印加される電圧をゼロにしても、電気泳動粒子はそのままの状態に保持され、したがって電源が入っていたときの表示状態がそのままに保持される。また、再度電源を入れ、新たに表示データを入力することにより、保持していた表示をキャンセルして新規な表示を行うことができる。
なお、この表示装置１においては、電源として例えば電池などを有していてもよく、専用のアダプターを介して外部電源から電力が供給されるように構成されていてもよい。もちろん、切換手段を有することにより、電源が選択できるようになっていてもよい。
【００５１】
このような表示装置１により、例えば通常の表示機能で表示を行う場合、制御部から走査線５１やデータ線５２に電気信号を出力し、選択スイッチング素子５を介して各画素５０の表示（黒表示または白表示）を調整し、表示面となる透明基板３側に所望の表示を行わせる。
【００５２】
また、このように所望の表示をなさせた状態で、この表示内容に対して下線やメモ等を加えたい場合には、適宜な書き込みペンを用い、表示装置１の透明基板３側、本実施形態では保護フィルム１９上に、書き込みを行う。なお、書き込みペンとしては、電源等を必要とせず、また磁気等による特別な機能を有する専用のものを用いることなく、そのペン先が適宜な太さ（幅）のもので、保護フィルム１９を損傷しないようなものであれば、任意のものが使用可能である。また、適当なものが無い場合には、指先で書き込むことも可能である。
【００５３】
このようにしてペン等で書き込みを行うと、表示装置１は、書き込みによる押圧（加圧）がなされた画素５０のみにおいて、例えば黒色の粒子が透明基板３側に、また白色粒子が素子基板２側にそれぞれ泳動することにより、黒色の表示がなされる。
すなわち、書き込みによる押圧がなされた画素５０では、外部入力スイッチ７を構成する空隙部１６上の画素電極６がその押圧力を受け、空隙部１６内に撓んでデータ線５２に接触し、導通する。すると、データ線５２からの信号が画素電極６に供給されることにより、この画素５０が黒色の表示をなすようになる。
【００５４】
なお、この画素５０がもともと黒色の表示をなすようになっている場合には、外部入力スイッチ７の動作によって表示は変わることなく、そのままに保持され、この画素５０がもともと白色の表示をなすようになっている場合には、外部入力スイッチ７の動作によって表示が変わり、黒色の表示をなすようになる。
【００５５】
したがって、多数の画素から表示面全体で考えた場合に、文字等を表示している部分の余白、すなわち白色を表示している部分に対し、ペン等によって下線等を書き込むことで、書き込んだ部分を白色表示から黒色表示に変化させることができる。よって、元々の表示に加えて、新たに直接書き込んだ部分を、併せて表示させることができるのである。なお、新たに書き込んだ部分についても、各画素５０が表示の保持性を有していることから、書き込みが終了した後にも、その表示は消えることなくそのままに保持される。
【００５６】
また、書き込みを行う際、外部入力スイッチ７をオンにしておく時間を変化させることで、この書き込み（直接入力）による表示に関して、その濃淡（階調）を表現することができる。すなわち、書き込みを行う際に例えばゆっくりと線を引き、一つの一つの外部入力スイッチ７に対して長いオン動作をなさせることにより、これら外部入力スイッチ７に対応する画素電極６への電荷のチャージ量を多くすることができる。このようにすることにより、比較的多くの黒色粒子を透明基板３に泳動させ、かつ同程度の白色粒子を画素電極６側に泳動させることにより、比較的濃い（黒い）色の表示をなすことができる。
【００５７】
また、速く線を引き、一つの一つの外部入力スイッチ７に対して短いオン動作をなさせた場合には、これら外部入力スイッチ７に対応する画素への電荷のチャージ量を少なくすることができる。その場合、比較的少ない数の黒色粒子を透明基板３に泳動させ、かつ同程度の白色粒子を画素電極６側に泳動させることにより、この画素については比較的淡い色（灰色）の表示をなすことができる。
【００５８】
また、外部入力スイッチ７がオンされたときに、白色粒子が透明基板３に、黒色粒子が画素電極６側に、それぞれ泳動するように印加電圧を反転させるための部分消去ボタンを表示装置１に設けておくこともできる。この構成によれば、表示がなされた状態で、当該表示における所望の部分をペンによってなぞることで「消しゴム」のように消去することができる。なお、この場合、ペン先の太目のペンを用いると、部分消去の効率が良くなる。
【００５９】
また、所望の表示をなさせた状態でこの表示内容に対して加筆するのでなく、白紙の状態から直接入力で新たに書き込みたい場合には、例えば表示装置１に設けられたオールクリアーのボタンを押圧し、表示画面を全て白色表示にする。そして、その状態で前記したように書き込みを行うことにより、所望の表示をなさせることができる。なお、前記のオールクリアーのボタンについても、外部入力スイッチ７と同様に、感圧式のマイクロ電気機械スイッチによって形成してもよい。
【００６０】
このような表示装置１にあっては、選択スイッチング素子５とは別に外部入力スイッチ７を設けているので、選択スイッチング素子５によって通常の表示がなされた表示画面上に、外部入力スイッチ７を介して直接入力（書き込み）を行うことにより、通常の表示に対して下線やメモ等の別の表示をなさせることができる。
また、各画素５０の座標位置を常に検出する必要がないためプロセッサが不要になり、さらに画素５０が表示の保持性を有しているので、待機時においても電力を必要とすることなく表示を保持することができる。したがって、低消費電力化が可能になる。
【００６１】
また、外部入力スイッチ７が画素５０のそれぞれに対応して設けられ、したがって個々に独立して機能するようになっているので、表示画面の大面積化に伴い素子数が増えても、前記したようにプロセッサが不要であることなどから従来のような困難性を有することなく、大面積化への対応が容易になる。
また、外部入力スイッチ７が感圧スイッチング素子からなっているため、直接入力する際の書き込みペンとして、電源等を必要としない、単なる加圧が可能なペンを用いることができる。
【００６２】
次に、本発明の表示装置の第２実施形態を、図７（ａ）、（ｂ）、図８を参照して説明する。なお、図７（ａ）、（ｂ）は、素子基板３０の概略構成を示す図であって、図７（ａ）は素子基板３０についての要部平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ａ’線で断面視した要部断面図である。また、図８は、表示装置の等価回路図である。
【００６３】
この第２実施形態の表示装置が第１実施形態の表示装置１と異なるところは、図８の等価回路図に示すように、外部入力スイッチ３１を、選択スイッチング素子５と並列に配設され薄膜トランジスタ３２のゲート部としている点である。
本実施形態では、選択スイッチング素子５とは別に、外部入力用の薄膜トランジスタ３２が設けられている。この薄膜トランジスタ３２は、その半導体膜９におけるソース領域（図示せず）がデータ線６０に接続している。また、半導体膜９におけるドレイン領域（図示せず）側には、容量素子５４が設けられている。
【００６４】
また、この薄膜トランジスタ３２のゲート部は、前記したように外部入力スイッチ３１によって構成されている。この外部入力スイッチ３１は、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、データ線６０に接続する受圧電極３３と、空隙部３４と、この空隙部３４の底部に露出する感圧電極３５と、この感圧電極３５に接続するサブゲート電極３６と、を備えて構成されたものである。また、薄膜トランジスタ３２は、そのドレイン領域（図示せず）側に、（図７（ｂ）には示されないものの）中継電極３７を介して画素電極６に接続している。なお、前記の受圧電極３３は、画素電極６と同一工程で第２層間絶縁膜１５上に形成されたもので、パターニングによって該画素電極６から切り離されて独立した島状に形成されたものである。
【００６５】
このような構成のもとに第２実施形態の外部入力スイッチ３１では、受圧電極３３が押圧され、空隙部３４内に露出する感圧電極３５に接触すると、受圧電極３３に接続するデータ線６０からの信号が、受圧電極３３、感圧電極３５を介してサブゲート電極３６に流れる。すると、薄膜トランジスタ３２では、半導体膜９におけるソース領域側からドレイン領域側に信号が流れるようになる。すなわち、ソース領域に接続するデータ線６０からの信号が、ドレイン領域を介して中継電極３７に流れ、さらに画素電極６に流れるようになる。
【００６６】
また、この表示装置における選択スイッチング素子５は、半導体膜９におけるソース領域（図示せず）にデータ線６０が接続し、ドレイン領域（図示せず）に中継電極３８を介して画素電極６が接続されている。また、この選択スイッチング素子５におけるゲート電極３９は、走査線６１に接続している。このような構成によって選択スイッチング素子５は、走査線６１によってそのゲート電極３９が選択されると、データ線６０からソース領域に流れる信号を、ドレイン領域側の中継電極３８を介して画素電極６に流すようになっている。
【００６７】
したがって、本実施形態の表示装置にあっても、通常の表示機能で表示を行う場合、制御部から走査線６１やデータ線６０に電気信号を出力し、選択スイッチング素子５を介して各画素５０の表示（黒表示または白表示）を調整することにより、表示面となる透明基板３側に所望の表示を行わせることができる。
【００６８】
また、このように表示をなさせた状態で書き込みを行いたい場合には、前記実施形態と同様に、ペン等で表示面となる透明基板３に直接書き込みを行う。すると、書き込みによる押圧（加圧）がなされた画素５０では、前記したようにサブゲート電極３６に信号が流れることにより、データ線６０からの信号が中継電極３７を介して画素電極６に流れ、これによってこの画素５０は黒色の表示をなすようになる。よって、前記の通常表示機能による表示とは別に、直接入力による新たな表示がなされるようになる。
なお、所望の表示をなさせた状態でこの表示内容に対して加筆するのでなく、白紙の状態から直接入力で新たに書き込みたい場合にも、前記表示装置１と同様に表示画面を全て白色表示にし、その後、前記した書き込みを行うことにより、所望の表示をなさせることができる。
【００６９】
このような表示装置にあっては、選択スイッチング素子５とは別に外部入力スイッチ３１を設けているので、選択スイッチング素子５によって通常の表示がなされた表示画面上に、外部入力スイッチ３１を介して直接入力（書き込み）を行うことにより、通常の表示に対して下線やメモ等の別の表示をなさせることができる。
また、前記表示装置１と同様に、低消費電力化が可能になり、大面積化への対応が容易になり、さらに書き込みペンとして、電源等を必要としない、単なる加圧が可能なペンを用いることが可能になる。
【００７０】
また、外部入力スイッチ３１を、選択スイッチング素子５と並列に配設された薄膜トランジスタ３２のゲート部としているので、外部入力スイッチ３１のオンオフ特性にバラツキがある場合でも、直接入力特性（書き込み特性）のばらつきを、薄膜トランジスタ３２側で吸収することができる。
【００７１】
なお、この第２実施形態では、外部入力スイッチ３１のゲート部における受圧電極３３をデータ線６０に接続したが、他に例えば、図７（ａ）中に二点鎖線で示すように、データ線６０とは別の、したがってデータ線６０に対して独立した電源電圧線６２に、受圧電極３３を接続するようにしてもよい。
【００７２】
このように構成しても、受圧電極３３が感圧電極３５に接触した際、制御部から電源電圧線６２を通って送られてきた信号がサブゲート電極３６に流れ、これによってソース領域に接続するデータ線６０からの信号が、ドレイン領域を介して中継電極３７に流れ、さらに画素電極６に流れるようになる。
そして、このように受圧電極３３をデータ線６０でなく電源電圧線６２に接続することにより、例えば外部入力スイッチ３１が壊れた場合にも、表示装置はその通常の表示機能がそのままに保持されるようになる。
【００７３】
次に、本発明の表示装置の第３実施形態を、図９（ａ）、（ｂ）、図１０を参照して説明する。なお、図９（ａ）、（ｂ）は、素子基板４０の概略構成を示す図であって、図９（ａ）は素子基板４０についての要部平面図、図９（ｂ）は図７（ａ）のＡ−Ａ’線で断面視した要部断面図である。また、図１０は、表示装置の等価回路図である。
【００７４】
この第３実施形態の表示装置が前記第１実施形態の表示装置１と異なるところは、図１０の等価回路図に示すように、外部入力スイッチ４１を、データ線に代えて電源線６３に接続している点にある。
本実施形態の外部入力スイッチ４１は、前記選択スイッチング素子５と異なり、電源線６３に接続するとともにドレイン電極６に接続することにより、これら電源線６３とドレイン電極６との間の接続のオンオフをなすものである。そして、このような構成により、後述するように外部からの加圧（押圧）による入力動作に感応して、電源線６３からの信号を対応する画素５０に供給するものである。すなわち、この外部入力スイッチ４１は、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、空隙部１６上に位置する画素電極６と、空隙部１６の底部に露出する電源線６３とからなるものである。なお、本発明において電源線６３とは、データ線や走査線とは別に配設されたもので、これらデータ線や走査線に対し独立して駆動するものである。
【００７５】
また、この表示装置における選択スイッチング素子５は、半導体膜９におけるソース領域（図示せず）にデータ線６４が接続し、ドレイン領域（図示せず）に中継電極４２を介して画素電極６が接続されている。また、この選択スイッチング素子５におけるゲート電極４３は、走査線６５に接続している。このような構成によって選択スイッチング素子５は、走査線６５によってそのゲート電極４３が選択されると、データ線６４からソース領域に流れる信号を、ドレイン領域側の中継電極４２を介して画素電極６に流すようになっている。
なお、この選択スイッチング素子５のドレイン領域には、容量線６６に接続する容量素子６７が形成されている。
【００７６】
本実施形態の表示装置にあっても、通常の表示機能で表示を行う場合、制御部から走査線６５やデータ線６４に電気信号を出力し、選択スイッチング素子５を介して各画素５０の表示（黒表示または白表示）を調整することにより、表示面となる透明基板３側に所望の表示を行わせることができる。
【００７７】
また、このように表示をなさせた状態で書き込みを行いたい場合には、前記実施形態と同様に、ペン等で表示面となる透明基板３に直接書き込みを行う。すると、書き込みによる押圧（加圧）がなされた画素５０では、電源線６３からの信号が画素電極６に流れ、これによってこの画素５０は黒色の表示をなすようになる。よって、前記の通常表示機能による表示とは別に、直接入力による新たな表示がなされるようになる。
なお、所望の表示をなさせた状態でこの表示内容に対して加筆するのでなく、白紙の状態から直接入力で新たに書き込みたい場合にも、前記表示装置１と同様に表示画面を全て白色表示にし、その後、前記した書き込みを行うことにより、所望の表示をなさせることができる。
【００７８】
このような表示装置にあっても、選択スイッチング素子５とは別に外部入力スイッチ４１を設けているので、選択スイッチング素子５によって通常の表示がなされた表示画面上に、外部入力スイッチ４１を介して直接入力（書き込み）を行うことにより、前記通常の表示に対して下線やメモ等の別の表示をなさせることができる。
また、前記表示装置１と同様に、低消費電力化が可能になり、大面積化への対応が容易になり、さらに書き込みペンとして、電源等を必要としない、単なる加圧が可能なペンを用いることが可能になる。
【００７９】
また、外部入力スイッチ４１を、データ線６４でなく電源線６３に接続しているので、通常の表示をなすための駆動と、直接入力による駆動とを、それぞれ異なる表示特性となるように調整することができる。
また、直接入力を行う際、データ線６４への電圧印加をオフにしておくことで、選択スイッチング素子５が原因のリーク電流を抑えることができる。逆に、通常の表示をなす際、電源線６３への電圧印加をオフにし、これによって外部入力スイッチ４１への電圧印加をオフにしておくことで、外部入力スイッチ４１が原因のリーク電流を抑えることができる。
【００８０】
次に、本発明の電子ペーパーを説明する。
図１１は、本発明の電子ペーパーの一態様を示す斜視図である。この電子ペーパー１１０は、前記表示装置からなる表示ユニット１と、本体部１１１と、操作部１１２などから構成されたものである。
電子ペーパー１１０は、内蔵する記憶部のデータなどを表示ユニット１に表示するとともに、当該データが表示された状態で、ペン１１３により所望の内容を加筆することが可能な、いわゆる「電子お絵かきボード」である。また、操作部１１２には、前述のオールクリアボタンや、部分消去ボタンが含まれている。
このような電子ペーパー１１０は、営業マンが少人数の商談において商品説明をする際に用いるのに好適であり、例えば、商品のカタログが表示されている状態で、商品のアッピールポイントを強調しながら説明することができる。
【００８１】
図１２は、本発明における異なる態様の電子ペーパー１２０を示す図である。電子ペーパー１２０は、前記表示装置１の基板２ａを可撓性材料によって構成した表示ユニット１３１と、当該表示ユニットと同等の柔軟性を有する本体部１２１と、複数のメンブレンスイッチから構成された操作部１２２などから構成されている。なお、ポリオレフィン系樹脂フィルムなどの可撓性材料によって基板２ａを構成するためには、例えば、本出願人による特開平１０−１２５９２９や、特開平１０−１２５９３１などに記載されている技術を好適に用いることができる。
操作部１２２には、前述のオールクリアボタンや、部分消去ボタンなどが含まれており、当該ボタン部分をペン１１３や、指で押すことにより希望する機能を実現することができる。また、複数のボタンは、外部入力スイッチ７によって形成しても良い。この場合、表示ユニット１３１の外周部に前述したプロセスにより、必用な数量の外部入力スイッチ７を形成する。
電子ペーパー１２０の態様は、紙に近いものであり、例えば、１ｍｍ以下の厚さに構成することができる。このため、軽量で持ち易く、例えば、薄手のペーパフォルダによって持ち歩き、必要な場面で取り出して、その場で要点をマーキングしながら説明するなど、使い勝手に優れている。
【００８２】
このような電子ペーパー１１０、電子ペーパー１２０によれば、前述したように直接入力による書き込みが可能であり、また、低消費電力化、大面積化への対応が可能になり、さらに、書き込みペンとして、電源等を必要としない、単なる加圧が可能なペンを用いることが可能になる。
なお、本発明の表示装置の応用としては、前記電子ペーパー以外にも、例えば電子ノートや電子ブック、パーソナルコンピュータ、携帯電話などの、表示部を備えた機器等を挙げることができる。
【００８３】
また、本発明の表示装置は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば、前記実施形態では、マイクロカプセル４の保護等を目的として透明基板３の外面に保護フィルム１９を貼着したが、本発明はこれに限定されることなく、透明基板３の強度が十分であれば、保護フィルム１９の貼着を省略することもできる。
また、前記実施形態では電気泳動分散液を封入してなるマイクロカプセル４を用いたが、マイクロカプセル４を用いることなく、電気泳動分散液を直接基板間に挟持し、封止するようにしてもよい。
【００８４】
また、前記実施形態では、表示装置の各画素を構成する表示素子が電気泳動素子である例を示したが、特に表示の保持性を有するものであれば、電気泳動素子以外の表示素子を用いた表示装置にも適用可能である。例えば、コレステリック液晶を用いた液晶素子からなる表示装置や、酸化還元反応を用いたエレクトロクロミック素子からなる表示装置、さらには、異なる二つの色を有する粒子を反転させることで表示を行う素子からなる表示装置などにも、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の表示装置の第１実施形態の、概略構成を示す要部断面図図である。
【図２】（ａ）は要部平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線要部断面図である。
【図３】図１、図２に示した表示装置の等価回路図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は図１に示した表示装置の製造工程説明図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は図１に示した表示装置の製造工程説明図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は図１に示した表示装置の製造工程説明図である。
【図７】（ａ）は要部平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線要部断面図である。
【図８】図７に示した表示装置の等価回路図である。
【図９】（ａ）は要部平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線要部断面図である。
【図１０】図９に示した表示装置の等価回路図である。
【図１１】本発明の電子ペーパーの概略構成を示す斜視図である。
【図１２】本発明の異なる態様の電子ペーパーの概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８６】
１…表示装置、２、３０、４０…素子基板、３…透明基板、４…マイクロカプセル、５…選択スイッチング素子、６…画素電極、７、３１、４１…外部入力スイッチ、１６、３４…空隙部、１７…共通電極、１９…保護フィルム、３２…薄膜トランジスタ、３３…受圧電極、３５…感圧電極、５０…画素、５１、６１、６５…走査線、５２、６０、６４…データ線、５３、６６…容量線、５４、６７…容量素子、６２…電源電圧線、６３…電源線、１１０、１２０…電子ペーパー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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