(57)【要約】【課題】  被検査物を移動させながら行うＸ線検査において、被検査物中の異物を検出するための管電流や管電圧等の強度レベル等を適切に容易に決定することができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線源１とＸ線検出器３との間で、基準検査物又は被検査物７を搬送する搬送機構５と、第一設定時と、第二設定時と、第三設定時とに、検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成して記憶させるＸ線透過像データ記憶制御部３２と、置換表を作成して記憶させる第一設定部３８と、管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定部３５と、閾値パラメータを作成して記憶させる第三設定部３７とを備えるＸ線検査装置８０であって、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２が、Ｘ線透過像データを作成して記憶させているときには、搬送機構５の駆動を停止する駆動停止信号を出力する搬送機構制御部３６を備えることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源と対向配置され、検出信号を出力するＸ線検出器と、
前記Ｘ線源とＸ線検出器との間で、基準検査物又は被検査物を搬送する搬送機構と、
検査時のＸ線源の管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定するための置換表を作成する第一設定時と、検査時のＸ線源の管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定時と、検査時の被検査物の検査の判定を決定するための閾値パラメータを作成する第三設定時とに、前記検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させるＸ線透過像データ記憶制御部と、
前記第一設定時に記憶された基準検査物のＸ線透過像データと、管電流及び／又は管電圧の強度レベルとの関係を示す置換表を作成する第一設定部と、
前記第二設定時に記憶された被検査物のＸ線透過像データと、前記置換表とを用いて管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定部と、
前記第二設定部により決定された管電流及び／又は管電圧の強度レベルで第三設定時に記憶された被検査物のＸ線透過像データに基づいて、前記閾値パラメータを作成する第三設定部とを備えるＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線透過像データ記憶制御部が、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、前記搬送機構の駆動を停止する駆動停止信号を搬送機構に出力する搬送機構制御部を備えることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
検査時に、前記検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部と、
検査時に得られた被検査物のＸ線透過像データと、前記閾値パラメータとを用いて、前記被検査物の検査の判定を決定する判定部とを備えることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
第一設定時、第二設定時、第三設定時の少なくとも一つの時に、前記Ｘ線透過像データ記憶制御部は、一の基準検査物又は被検査物のＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させることを、複数の基準検査物又は被検査物について行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記基準検査物は、それぞれＸ線の透過量が異なるものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記判定部は、前記被検査物中に異物が混入しているか否かの判定を実行することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物に対し、Ｘ線を照射したときのＸ線の透過量から被検査物中の異物を検出するＸ線検査装置に関し、特に、被検査物を移動させながら被検査物中の異物を検出するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物中（表面も含む）の異物（金属、骨、ガラス、石、合成樹脂材等）を検出するためにＸ線検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。図６は、Ｘ線検査装置の一部の構成を示す図である。このようなＸ線検査装置１１０においては、ベルトコンベア５の上方に配置されたＸ線管１でＸ線を発生させ、そのＸ線をコリメータ（図示せず）を用いて扇状に広がるＸ線ビームとし、そのＸ線ビームを、上側になっている搬送ベルト５ｂの下方に配置された多数のＸ線検出素子からなる直線状のＸ線検出器３で検出する。
【０００３】
ベルトコンベア５は、２つ以上のローラ５ａの間に掛け回された搬送ベルト５ｂとを有する。そして、上側になっている搬送ベルト５ｂの上面に、被検査物７は載置されることになる。よって、モータ等の駆動手段（図示せず）によっていずれかのローラ５ａが駆動することにより、搬送ベルト５ｂが循環して移動して、被検査物７が移動することになる。
なお、コリメータは、ベルトコンベア５が移動させる被検査物７の移動方向と直交するように、扇状に広がるＸ線ビームを形成し、直線状のＸ線検出器３は、扇状に広がるＸ線ビームを検出できるように、ベルトコンベア５が移動させる被検査物７の移動方向と直交するように配置されている。
【０００４】
これにより、Ｘ線検査装置１１０では、ベルトコンベア５に載置されて移動してくる被検査物７にＸ線を照射し、コンピュータ１０９で被検査物７のＸ線透過像データを作成する。そのＸ線透過像データを収集して時間軸に沿って並べると、２次元的なＸ線透過画像を得ることができる。このとき、被検査物７中に異物が存在し、その異物のＸ線吸収率が被検査物７自体のＸ線吸収率と異なれば、Ｘ線透過画像に異物が陰として表れることになる。したがって、操作者が、モニタ画面に映し出されたＸ線透過画像を観察すること、またはＸ線透過画像を用い被検査物の判定を行うことで、被検査物７中に異物が混入したものを出荷しないようにしている。
【０００５】
このようなＸ線検査装置１１０で、検査を始める前に、予め、検査時のＸ線管１の管電流や管電圧等の強度レベルを決定する必要がある。そこで、従来のＸ線検査装置１１０においては、被検査物７中に異物が混入しているか否かの判定を実行する場合には、被検査物７のＸ線透過画像をモニタ画面に映して、操作者が、被検査物７中の異物を確認できるように、Ｘ線管１の管電流や管電圧を手動で設定して、例えば、強中弱の強度レベルの中からそれぞれ選択して決定していた。
【特許文献１】特開２００６−２７５８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、経験が不足している操作者が、管電流や管電圧等の強度レベルを手動で設定すると、最良でない入力をしてしまい、その結果、適正な検査が行われないことがあった。また、経験が充分な操作者でも、管電流や管電圧等の強度レベルを決定するのには、手間がかかった。
そこで、本件発明者らは、上記課題を解決するために、管電流や管電圧等の強度レベルを自動で設定できるように検討を行った。その結果、まず、検査対象の被検査物でなく、それぞれＸ線の透過量が異なる複数の基準検査物のＸ線透過像データと、管電圧の強度レベルとの関係を示す置換表を作成する第一設定時の作業を行い、その後、この置換表と、検査対象となる被検査物のＸ線透過像データとを用いて管電圧の強度レベルを決定する第二設定時の作業を行う方法を見出した。
【０００７】
このような置換表を作成するためには、多くの基準検査物のＸ線透過像データを得る必要があった。一般的に、基準検査物を搬送するベルトコンベア５は、常に駆動し続けているため、次から次へ基準検査物を連続して搬送することができる。しかし、コンピュータ１０９がＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、新たなＸ線透過像データを作成することができない。よって、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、操作者が、ベルトコンベア５上に基準検査物を載置しないように注意しなければならなかった。
【０００８】
しかしながら、操作者は、作業を急ぐあまり、コンピュータ１０９がＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときに、あやまってベルトコンベア５上に次の基準検査物を載置してしまい、その結果、基準検査物からＸ線透過像データを得ずに作業を進めるような入力ミス等を起こすことがあった。このような入力ミスを起こした場合には、再度、作業をやり直すこととなり、非常に手間がかかった。
【０００９】
また、本件発明者らは、検査時の被検査物の検査の判定を自動で決定できるように検討を行った。一般に良品とする被検査物のＸ線透過像データにより、閾値パラメータを作成して記憶させる第三設定時の作業を行い、その後、この閾値パラメータと、検査対象となる被検査物のＸ線透過像データとを用いて検査時の作業を行う方法がある。
しかし、このような閾値パラメータを作成するためにも、良品のバラツキを考慮し、多くの良品とする被検査物のＸ線透過像データを得る必要が出てきた。しかし、このときにも、上述したように、コンピュータ１０９がＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、新たなＸ線透過像データを作成することができない。よって、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、操作者が、ベルトコンベア５上に被検査物を載置しないように注意しなければならなかった。
【００１０】
そこで、本発明は、被検査物を移動させながら行うＸ線検査において、被検査物中の異物を検出するための管電流や管電圧等の強度レベル等を適切に容易に決定することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線を照射するＸ線源と、前記Ｘ線源と対向配置され、検出信号を出力するＸ線検出器と、前記Ｘ線源とＸ線検出器との間で、基準検査物又は被検査物を搬送する搬送機構と、検査時のＸ線源の管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定するための置換表を作成する第一設定時と、検査時のＸ線源の管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定時と、検査時の被検査物の検査の判定を決定するための閾値パラメータを作成する第三設定時とに、前記検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させるＸ線透過像データ記憶制御部と、前記第一設定時に記憶された基準検査物のＸ線透過像データと、管電流及び／又は管電圧の強度レベルとの関係を示す置換表を作成する第一設定部と、前記第二設定時に記憶された被検査物のＸ線透過像データと、前記置換表とを用いて管電流及び／又は管電圧の強度レベルを決定する第二設定部と、前記第二設定部により決定された管電流及び／又は管電圧の強度レベルで第三設定時に記憶された被検査物のＸ線透過像データに基づいて、前記閾値パラメータを作成する第三設定部とを備えるＸ線検査装置であって、前記Ｘ線透過像データ記憶制御部が、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、前記搬送機構の駆動を停止する駆動停止信号を搬送機構に出力する搬送機構制御部を備えるようにしている。
【００１２】
ここで、「管電流」とは、Ｘ線源の陰極から陽極に流す電流をいう。管電流の量に比例して放射されるＸ線の量が変化する。
また、「管電圧」とは、Ｘ線源の陽極と陰極との間に印加する電圧のことをいう。高電圧になるに従って、Ｘ線の波長が短くなり、透過力が強くなる。
【００１３】
本発明のＸ線検査装置によれば、例えば、第一設定時に、Ｘ線透過像データ記憶制御部が、検出信号に基づいて、一の基準検査物のＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させることを、Ｘ線吸収率の異なる複数の基準検査物について行う。（注：Ｘ線吸収率の異なる基準検査物とは、密度または厚みの異なる検査物を意味する）このとき、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、搬送機構の駆動を停止する駆動停止信号を搬送機構に出力する。
【００１４】
第一設定時の作業として、まず、操作者またはシステム管理者が、管電圧の強度レベルが弱であるＸ線を照射しながら、基準検査物をベルトコンベアに載置せずにベルトコンベア（搬送機構）を駆動させることにより、Ｘ線透過像データ記憶制御部は、得られる検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成する（図５（ａ）参照）。その後、作成されたＸ線透過像データを記憶させる。このとき、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させているので、ベルトコンベアの駆動を停止する駆動停止信号を出力する。そして、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させ終えたときには、ベルトコンベアの駆動を再開させる。次に、操作者は、第一の基準検査物をベルトコンベアに載置することにより、Ｘ線透過像データ記憶制御部は、得られる検出信号に基づいて、第一の基準検査物のＸ線透過像データを作成する（図５（ｂ）参照）。その後、作成された第一の基準検査物のＸ線透過像データを記憶させる。このとき、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させているので、ベルトコンベアの駆動を停止する駆動停止信号を出力する。そして、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させ終えたときには、搬送機構の駆動を再開させる。
【００１５】
次に、操作者またはシステム管理者は、第一の基準検査物のときと同様に、第二の基準検査物及び第三の基準検査物をベルトコンベアに載置することにより、Ｘ線透過像データ記憶制御部は、得られる検出信号に基づいて、第二の基準検査物及び第三の基準検査物のＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させる（図５（ｃ）及び（ｄ）参照）。
【００１６】
このようにして、操作者が第一設定時の作業を終えたときには、第一設定部は、管電圧の強度レベルと、基準検査物のＸ線透過像データとの関係を示す置換表を作成する。
例えば、置換表として、第一の基準検査物、第二の基準検査物、第三の基準検査物を載置したときのＸ線透過像データの各最小値と、基準検査物を載置しなかったときのＸ線透過像データの平均値の差Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３をそれぞれ算出する。これにより、後述する差Ｌ’が、差Ｌ１以下である場合には、管電圧の強度レベルを弱に設定し、差Ｌ１を越えて、かつ、差Ｌ２以下である場合には、管電圧の強度レベルを中に設定し、差Ｌ２を越えて、差Ｌ３以下である場合には、管電圧の強度レベルを強に設定するように、後述する第二設定部が、管電圧の強度レベルを決定するようにする。
ここまでの作業はコンピュータ１０９の制御ソフト作成段階において、一度行っておけばよい。
【００１７】
そして、その後、第二設定時の作業として、操作者が、管電圧の強度レベルが弱であるＸ線を照射しながら、良品とする被検査物をベルトコンベアに載置してベルトコンベアを駆動させることにより、第二設定部は、置換表を用いて、検査時の管電圧の強度レベルを決定する。
例えば、被検査物を載置したときのＸ線透過像データの最小値と、被検査物を載置しなかったときのＸ線透過像データの平均値の差Ｌ’を算出する。これにより、差Ｌ’が、差Ｌ１以下である場合には、管電圧の強度レベルを弱に設定し、差Ｌ１を越えて、かつ、差Ｌ２以下である場合には、管電圧の強度レベルを中に設定し、差Ｌ２を越えて、差Ｌ３以下である場合には、管電圧の強度レベルを強に設定するように、管電圧の強度レベルを決定する。
【００１８】
さらに、本発明のＸ線検査装置によれば、例えば、第三設定時に、Ｘ線透過像データ記憶制御部が、検出信号に基づいて、一の被検査物のＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させることを、複数の被検査物について行う。このとき、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、ベルトコンベアの駆動を停止する駆動停止信号を出力する。
【００１９】
第三の設定時の作業として、操作者は、第二設定部により決定された強度レベルの管電圧であるＸ線を照射しながら、良品とする被検査物をベルトコンベアに載置してベルトコンベアを駆動させることにより、Ｘ線透過像データ記憶制御部は、得られる検出信号に基づいて、１個目の被検査物のＸ線透過像データを作成する。その後、作成されたＸ線透過像データを記憶させる。このとき、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させているので、ベルトコンベアの駆動を停止する駆動停止信号を出力する。そして、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させ終えたときには、ベルトコンベアの駆動を再開させる。
【００２０】
次に、操作者が、２個目の基準とする被検査物をベルトコンベアに載置することにより、Ｘ線透過像データ記憶制御部は、得られる検出信号に基づいて、２個目の被検査物のＸ線透過像データを作成する。その後、作成されたＸ線透過像データを記憶させる。このとき、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させているので、ベルトコンベアの駆動を停止する駆動停止信号を出力する。そして、搬送機構制御部は、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させ終えたときには、ベルトコンベアの駆動を再開させる。
【００２１】
このようにして、操作者が第三設定時の作業を終えたときには、第三設定部は、検査時の検査対象となる被検査物の検査の判定を決定するための閾値パラメータを作成して記憶部に記憶させる。
例えば、閾値パラメータとして、１個目の被検査物を載置させたときに作成されたＸ線透過像データの最小値と、２個目の被検査物を載置させたときに作成されたＸ線透過像データの最小値とを比較することにより、値が小さくなるＸ線透過像データの値を閾値パラメータに設定するように決定する。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように、本発明のＸ線検査装置によれば、操作者が手動で管電流や管電圧等の強度レベルを決定する必要がない。
また、基準検査物を移動させながら行う第一設定時の作業において、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、搬送機構の駆動を停止する駆動停止信号を出力するので、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させている最中に、搬送機構上に一の基準検査物を載置することにより、Ｘ線源とＸ線検出器との間を搬送させて、一の基準検査物からＸ線透過像データを得ずに第一設定時の作業を進めるような入力ミス等を起こすことなく、置換表を適切に容易に作成することができる。
さらに、操作者が手動で閾値パラメータも決定することはない。
また、被検査物を移動させながら行う第三設定時の作業においても、Ｘ線透過像データを作成して記憶部に記憶させているときには、搬送機構の駆動を停止する駆動停止信号を出力するので、Ｘ線透過像データ記憶制御部がＸ線透過像データを記憶させている最中に、搬送機構上に一の被検査物を載置することにより、Ｘ線源とＸ線検出器との間を搬送させて、一の被検査物からＸ線透過像データを得ずに第三設定時の作業を進めるような入力ミス等を起こすこともなく、閾値パラメータを適切に容易に作成することができる。
【００２３】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
また、本発明のＸ線検査装置においては、検査時に、前記検出信号に基づいて、Ｘ線透過像データを作成するＸ線透過像データ作成部と、検査時に得られた被検査物のＸ線透過像データと、前記閾値パラメータとを用いて、前記被検査物の検査の判定を決定する判定部とを備えるようにしてもよい。
本発明のＸ線検査装置によれば、検査時の作業として、操作者が、第二設定部により決定された強度レベルの管電圧であるＸ線を照射しながら、検査対象の被検査物を搬送機構に載置してベルトコンベアを駆動させることにより、判定部は、被検査物の検査の判定を決定する。
例えば、Ｘ線透過像データ作成部は、得られる検出信号に基づいて、被検査物のＸ線透過像データを作成する。このとき、判定部は、Ｘ線透過像データと、閾値パラメータとを比較することにより、被検査物中に異物が混入しているか否かの判定を実行する。その結果、Ｘ線透過像データの値が閾値パラメータの値より小さくなったときには、被検査物中に異物が存在すると判定し、一方、Ｘ線透過像データの値が閾値パラメータの値以上であるときには、被検査物中に異物が存在しないと判定する。
【００２４】
また、本発明のＸ線検査装置においては、第一設定時、第二設定時、第三設定時の少なくとも一つの時に、前記Ｘ線透過像データ記憶制御部は、一の基準検査物又は被検査物のＸ線透過像データを作成して記憶部に記憶させることを、複数の基準検査物又は被検査物について行うようにしてもよい。
そして、本発明のＸ線検査装置においては、前記基準検査物は、それぞれＸ線の透過量が異なるものであるようにしてもよい。
さらに、本発明のＸ線検査装置においては、前記判定部は、前記被検査物中に異物が混入しているか否かの判定を実行するようにしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００２６】
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の外観を示す斜視図であり、図２は、Ｘ線検査装置の一部の構成を示すブロック図である。Ｘ線検査装置８０は、本体７０と、入口ベルトコンベア６０と、出口ベルトコンベア５０と、Ｘ線検査装置８０全体の制御を行う制御系（コンピュータ）２０とにより構成される。
入口ベルトコンベア６０は、本体７０の入口部６ａに設けられるとともに、出口ベルトコンベア５０は、本体７０の出口部６ｂに設けられる。
【００２７】
本体７０は、入口部６ａと出口部６ｂとを有する防護箱６と、Ｘ線管１と、Ｘ線管１からのＸ線を検出するＸ線検出器３と、Ｘ線管１とＸ線検出器３との間を基準検査物７ａ又は被検査物７ｂが通過するように基準検査物７ａ又は被検査物７ｂを搬送するためのベルトコンベア（搬送機構）５と、ベルトコンベア５を駆動する駆動機構（図示せず）とを備える。
【００２８】
防護箱６は、入口部６ａから基準検査物７ａ又は被検査物７ｂを入れるとともに、出口部６ｂから基準検査物７ａ又は被検査物７ｂを出すものである。また、防護箱６の内部から有害な量のＸ線が防護箱６の外部に漏洩しないように、放射線遮蔽材料を用いて形成されている。さらに、入口部６ａと出口部６ｂとには、防護箱６の内部から有害な量のＸ線が防護箱６の外部に漏洩しないように、防護のれん８が下げられている。
【００２９】
ベルトコンベア５は、一対のローラ５ａの間に掛け回された搬送ベルト５ｂとを有する。そして、上側になっている搬送ベルト５ｂの上面に、基準検査物７ａ又は被検査物７ｂが載置される。よって、駆動機構でいずれかのローラ５ａが駆動することにより、搬送ベルト５ｂが循環して移動して、基準検査物７ａ又は被検査物７ｂが、入口部６ａから出口部６ｂに移動することになる。
【００３０】
駆動機構は、例えば、回転駆動用モータを有する。なお、駆動機構の制御は、後述する搬送機構制御部３６から出力された駆動開始信号及び駆動停止信号が与えられることによって実行される。
【００３１】
Ｘ線管１は、防護箱６の上部に配置され、防護箱６の下部に配置されるＸ線検出器３に向けてＸ線を照射する。このとき、発生させたＸ線を、コリメータ（図示せず）を用いて、ベルトコンベア５が移動させる基準検査物７ａ又は被検査物７ｂの移動方向と直交するように、扇状に広がるＸ線ビームとして形成する。
また、Ｘ線管１では、管電圧の強度レベルが強中弱と設定可能であり、管電圧を大きくすることで、Ｘ線の波長が短くなり、Ｘ線の透過力が強くなり、一方、管電圧を小さくすることで、Ｘ線の波長が長くなり、Ｘ線の透過力が弱くなる。管電圧の強度レベルの制御は、後述するＸ線管制御部３４から出力された駆動信号が与えられることによって実行される。
【００３２】
図３は、Ｘ線検出器３の平面図であり、図４は、図３に示すＡ−Ａ線の断面図である。Ｘ線検出器３は、Ｘ線を光に変換する蛍光体９１と光ダイオード列９２と支持体９３とからなる。また、Ｘ線検出器３は、上側になっている搬送ベルト５ｂの下方に配置されるとともに、下側になっている搬送ベルト５ｂの上方に配置される。光ダイオード列９２は、１画素（１ｃｈ）を構成する光ダイオード（９２ａ、９２ｂ、・・）を多数個（例えば、２５６個）直線状に並べてあり、蛍光体９１からの光を電気信号（検出信号）に変換する。この電気信号が、後述するコンピュータ２０に出力される。
Ｘ線検出器３は、Ｘ線管１からの扇状に広がるＸ線ビームを検出できるように、ベルトコンベア５が移動させる基準検査物７ａ又は被検査物７ｂの移動方向と直交するように配置されている。
【００３３】
コンピュータ２０においては、ＣＰＵ２１を備え、さらに、Ｘ線透過像データや設定データ（置換表や閾値パラメータ）等を記憶するメモリ２５と、モニタ画面２３ａを有する表示装置２３と、入力装置であるキーボード２２ａやマウス２２ｂとが連結されている。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線透過像データ作成部３１と、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２と、Ｘ線透過像データ表示部３３と、搬送機構制御部３６と、第一設定部３８と、第二設定部３５と、第三設定部３７と、判定部３９と、Ｘ線管制御部３４とを有する。また、メモリ２５は、設定データ記憶領域４１と、検出信号記憶領域４２とを有する。
なお、本実施形態では、検査時のＸ線管１の管電圧の強度レベルを決定するための置換表を作成する第一設定時、検査時のＸ線源１の管電圧の強度レベルを決定する第二設定時、検査時の被検査物７ｂの検査の判定を決定するための閾値パラメータを作成する第三設定時、被検査物７ｂの検査の判定を決定する検査時に、キーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって、それぞれ入力される第一設定信号、第二設定信号、第三設定信号、検査開始信号を受信することで作業を行う場合を例に説明する。
【００３４】
搬送機構制御部３６は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって入力される第一設定信号、第二設定信号、第三設定信号、検査開始信号又は計算終了信号を受信することによって、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力する制御を行う。さらに、搬送機構制御部３６は、後述するＸ線透過像データ記憶制御部３２が、Ｘ線透過像データを作成して検出信号記憶領域４２に記憶させているとき、又は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって入力される検査終了信号を受信したときには、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する制御を行う。
具体的には、第一設定時の作業、第二設定時の作業、第三設定時の作業及び検査時の作業の開始時に、第一設定信号、第二設定信号、第三設定信号及び検査開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力して、その後、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２から計算開始信号を受信したときには、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力し、さらにその後、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２から計算終了信号を受信したときには、再び、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力する。
【００３５】
Ｘ線管制御部３４は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって入力される第一設定信号、第二設定信号、第三設定信号又は検査開始信号を受信することによって、設定データ記憶領域４１に記憶された管電圧の強度パラメータＳに基づいて、所定の強度レベルの管電圧に設定する駆動信号をＸ線管１に出力する制御を行うものである。
例えば、設定データ記憶領域４１に記憶された管電圧の強度パラメータＳが０、１、２のいずれかに設定されるものとする。そして、Ｓ＝０である場合には、管電圧の強度レベルを弱とする駆動信号をＸ線管１に出力する。一方、Ｓ＝１である場合には、管電圧の強度レベルを中とする駆動信号をＸ線管１に出力する。さらに、Ｓ＝２である場合には、管電圧の強度レベルを強とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
【００３６】
Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって入力される第一設定信号、第二設定信号又は第三設定信号を受信することによって、Ｘ線検出器３の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号（Ｘ線透過像データ）を取得して、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させるとともに、計算開始信号及び計算終了信号を搬送機構制御部３６に出力する制御を行う。
例えば、時間ｔ１のときに、光ダイオード９２ａ、９２ｂ、・・・からのデジタル信号の値をそれぞれ収得し、時間ｔ２のときにも、各光ダイオードからのデジタル信号の値をそれぞれ取得して、デジタル信号の値を検出信号記憶領域４２に記憶させ始めたときには、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力し、その後、デジタル信号の値を検出信号記憶領域４２に記憶させ終わったときには、搬送機構制御部３６に計算終了信号を出力する。
【００３７】
Ｘ線透過像データ作成部３１は、キーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって入力される検査開始信号を受信することによって、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号（Ｘ線透過像データ）を取得する制御を行う。
例えば、時間ｔ１’のときに、光ダイオード９２ａ、９２ｂ、・・・からのデジタル信号の値をそれぞれ取得し、時間ｔ２’のときにも、各光ダイオードからのデジタル信号の値をそれぞれ取得する。
【００３８】
Ｘ線透過像データ表示部３３は、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２又はＸ線透過像データ作成部３１で作成されたＸ線透過像データに基づいて、モニタ画面２３ａにＸ線透過画像の画像表示を行う制御を行うものである。なお、Ｘ線透過像データは、ある瞬間の一次元的なものであるので、Ｘ線透過像データを時間軸に沿って並べると、基準検査物７ａ又は被検査物７ｂの二次元的なＸ線透視画像が得られる。
【００３９】
第一設定部３８は、第一設定時、検出信号記憶領域４２に記憶された基準検査物７ａのＸ線透過像データと、Ｘ線管１の管電圧の強度レベルとの関係を示す置換表を作成して、設定データ記憶領域４１に記憶させる制御を行う。
ここで、置換表を作成する方法の一例について説明する。図７及び図８は、置換表を作成する方法について説明するためのフローチャートである。ここでは、３個の基準検査物７ａ（基準検査物の個数パラメータＸ＝１〜３）を用い、各基準検査物７ａは、それぞれＸ線の透過量が異なるものであるものとする。また、Ｘ＝０は、基準検査物７ａを載置しないときを表す。
まず、ステップＳ１０１の処理において、操作者のキーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって第一設定信号が入力される。
次に、ステップＳ１０２の処理において、基準検査物の個数パラメータＸ＝０、管電圧の強度パラメータＳ＝０を関数として設定データ記憶領域４１に記憶させる。
【００４０】
次に、ステップＳ１０３の処理において、搬送機構制御部３６は、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ１０４の処理において、Ｘ線管制御部３４は、Ｓは何であるかを判定する。Ｓ＝０であると判定した場合には、ステップＳ１０５の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを弱とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
一方、Ｓ＝１であると判定した場合には、ステップＳ１０６の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを中とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
さらに、Ｓ＝２であると判定した場合には、ステップＳ１０７の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを強とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
【００４１】
次に、ステップＳ１０８の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号（Ｘ線透過像データ）を取得する。
次に、ステップＳ１０９の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力するとともに、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させ始める。
【００４２】
次に、ステップＳ１１０の処理において、搬送機構制御部３６は、計算開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ１１１の処理において、Ｘ線透過像データ記憶部３１は、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させ終えると、搬送機構制御部３６に計算終了信号を出力する。
【００４３】
次に、ステップＳ１１２の処理において、第一設定部３８は、Ｘ＝３であるか否かを判定する。Ｘ＝３でないと判定した場合には、ステップＳ１１３の処理に進むことにより、Ｘ＝Ｘ＋１と記憶され、さらにステップＳ１０３の処理に戻る。つまり、Ｘ＝３であると判定するときまで、ステップＳ１０３〜Ｓ１１２の処理は繰り返し実行されて、３個の基準検査物７ａのＸ線透過像データを記憶させることになる。
【００４４】
一方、Ｘ＝３であると判定した場合には、ステップＳ１１４の処理において、第一設定部３８は、３個の基準検査物７ａのＸ線透過像データに基づいて、管電圧の強度レベルを強中弱のいずれかに決定するための置換表を作成して設定データ記憶領域４１に記憶させて、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力する。
例えば、３個の基準検査物７ａのＸ線透過像データにおいて、Ｘ＝１の基準検査物７ａを載置したときのＸ線透過像データの最小値と、基準検査物７ａを載置しなかったとき（Ｘ＝０）のＸ線透過像データの値の平均値との差Ｌ１を算出し（図５（ｂ）参照）、同様に、Ｘ＝２、３の基準検査物７ａを載置したときのＸ線透過像データの各最小値と、基準検査物７ａを載置しなかったときのＸ線透過像データの値の平均値との差Ｌ２、Ｌ３をそれぞれ算出する（図５（ｃ）、（ｄ）参照）。
これにより、後述する差Ｌ’が、差Ｌ１以下である場合には、管電圧の強度レベルを弱に設定し、差Ｌ１を越えて、かつ、差Ｌ２以下である場合には、管電圧の強度レベルを中に設定し、差Ｌ２を越えて、かつ、差Ｌ３以下である場合には、管電圧の強度レベルを強に設定するように、管電圧の強度レベルを決定するようにする。
【００４５】
次に、ステップＳ１１５の処理において、搬送機構制御部３６は、計算開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する。
そして、ステップＳ１１５の処理を終了した場合には、本フローチャートを終了させることになる。
【００４６】
第二設定部３５は、第二設定時、検出信号記憶領域４２に記憶された被検査物７ｂのＸ線透過像データと、設定データ記憶領域４１に記憶された置換表とを用いて、Ｘ線管１の管電圧の強度レベルを決定して、設定データ記憶領域４１に記憶させる制御を行う。
ここで、Ｘ線管１の管電圧の強度レベルを決定する方法の一例について説明する。図９及び図１０は、Ｘ線管１の管電圧の強度レベルを決定する方法について説明するためのフローチャートである。ここでは、３個の良品とする被検査物７ｂ（被検査物の個数パラメータＸ＝１〜３）を用いるものとする。また、Ｘ＝０は、被検査物７ｂを載置しないときを表す。
まず、ステップＳ２０１の処理において、操作者のキーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって第二設定信号が入力される。
次に、ステップＳ２０２の処理において、被検査物の個数パラメータＸ＝０、管電圧の強度パラメータＳ＝０を関数として設定データ記憶領域４１に記憶させる。
【００４７】
次に、ステップＳ２０３の処理において、搬送機構制御部３６は、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ２０４の処理において、Ｘ線管制御部３４は、Ｓは何であるかを判定する。Ｓ＝０であると判定した場合には、ステップＳ２０５の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを弱とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
一方、Ｓ＝１であると判定した場合には、ステップＳ２０６の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを中とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
さらに、Ｓ＝２であると判定した場合には、ステップＳ２０７の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを強とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
【００４８】
次に、ステップＳ２０８の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、Ｘ線検出器３の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号（Ｘ線透過像データ）を取得する。
次に、ステップＳ２０９の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力するとともに、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させ始める。
【００４９】
次に、ステップＳ２１０の処理において、搬送機構制御部３６は、計算開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ２１１の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させ終えると、搬送機構制御部３６に計算終了信号を出力する。
【００５０】
次に、ステップＳ２１２の処理において、第二設定部３５は、Ｘ＝３であるか否かを判定する。Ｘ＝３でないと判定した場合には、ステップＳ２１３の処理に進むことにより、Ｘ＝Ｘ＋１と記憶され、さらにステップＳ２０３の処理に戻る。つまり、Ｘ＝３であると判定するときまで、ステップＳ２０３〜Ｓ２１２の処理は繰り返し実行されて、３個の被検査物７ｂのＸ線透過像データを記憶させることになる。
【００５１】
一方、Ｘ＝３であると判定した場合には、ステップＳ２１４の処理において、第二設定部３５は、３個の被検査物７ｂのＸ線透過像データに基づいて、管電圧の強度レベルを強中弱のいずれかに決定して設定データ記憶領域４１に記憶させて、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力する。
例えば、３個の被検査物７ｂのＸ線透過像データにおいて、Ｘ＝０の被検査物７ｂを載置したときのＸ線透過像データの最小値と、被検査物７ｂを載置しなかったとき（Ｘ＝０）のＸ線透過像データの値の平均値との差Ｌ１’を算出し、同様に、Ｘ＝２、３の被検査物７ｂを載置したときのＸ線透過像データの各最小値と、被検査物７ｂを載置しなかったときのＸ線透過像データの値の平均値との差Ｌ２’、Ｌ３’をそれぞれ算出する。
これにより、差Ｌ１’、Ｌ２’、Ｌ３’の平均値である差Ｌ’が、上述したように、差Ｌ１以下である場合には、管電圧の強度レベルを弱に設定し、差Ｌ１を越えて、かつ、差Ｌ２以下である場合には、管電圧の強度レベルを中に設定し、差Ｌ２を越えて、差Ｌ３以下である場合には、管電圧の強度レベルを強に設定するように、管電圧の強度レベルを決定して、設定データ記憶領域４１に記憶させる。
【００５２】
次に、ステップＳ２１５の処理において、搬送機構制御部３６は、計算開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する。
そして、ステップＳ２１５の処理を終了した場合には、本フローチャートを終了させることになる。
【００５３】
第三設定部３７は、第二設定部３５により決定された管電圧の強度レベルで第三設定時に検出信号記憶領域４２に記憶された被検査物７ｂのＸ線透過像データに基づいて、被検査物７ｂの検査の判定を決定するための閾値パラメータを作成して、設定データ記憶領域４１に記憶させる制御を行うものである。
ここで、閾値パラメータを作成する方法の一例について説明する。図１１及び図１２は、閾値パラメータを作成する方法について説明するためのフローチャートである。ここでは、３個の良品とする被検査物７ｂ（被検査物の個数パラメータＸ＝１〜３）を用いるものとする。また、Ｘ＝０は、被検査物７ｂを載置しないときを表す。
まず、ステップＳ３０１の処理において、操作者のキーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって第三設定信号が入力される。
次に、ステップＳ３０２の処理において、Ｘ＝０、Ｓ＝（第二設定部３５により決定された管電圧の強度レベル）を関数として設定データ記憶領域４１に記憶させる。
【００５４】
次に、ステップＳ３０３の処理において、搬送機構制御部３６は、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ３０４の処理において、Ｘ線管制御部３４は、Ｓは何であるかを判定する。Ｓ＝０であると判定した場合には、ステップＳ３０５の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを弱とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
一方、Ｓ＝１であると判定した場合には、ステップＳ３０６の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを中とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
さらに、Ｓ＝２であると判定した場合には、ステップＳ３０７の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを強とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
【００５５】
次に、ステップＳ３０８の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号（Ｘ線透過像データ）を取得する。
次に、ステップＳ３０９の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力するとともに、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させ始める。
【００５６】
次に、ステップＳ３１０の処理において、搬送機構制御部３６は、計算開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ３１１の処理において、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２は、取得した時間とともにデジタル信号を検出信号記憶領域４２に記憶させ終えると、搬送機構制御部３６に計算終了信号を出力する。
【００５７】
次に、ステップＳ３１２の処理において、第三設定部３７は、Ｘ＝３であるか否かを判定する。Ｘ＝３でないと判定した場合には、ステップＳ３１３の処理に進むことにより、Ｘ＝Ｘ＋１と記憶され、さらにステップＳ３０３の処理に戻る。つまり、Ｘ＝３であると判定するときまで、ステップＳ３０３〜Ｓ３１２の処理は繰り返し実行されて、３個の被検査物７ｂのＸ線透過像データを記憶させることになる。
【００５８】
一方、Ｘ＝３であると判定した場合には、ステップＳ３１４の処理において、第三設定部３７は、Ｘ＝１〜３の被検査物７ｂのＸ線透過像データに基づいて、被検査物７ｂの検査の判定を決定するための閾値パラメータを作成して、設定データ記憶領域４１に記憶させて、搬送機構制御部３６に計算開始信号を出力する。
例えば、３個の被検査物７ｂのＸ線透過像データにおいて、Ｘ＝０の被検査物７ｂを載置したときのＸ線透過像データの最小値と、被検査物７ｂを載置しなかったとき（Ｘ＝０）のＸ線透過像データの値の平均値との差Ｌ１’を算出し、同様に、Ｘ＝２、３の被検査物７ｂを載置したときのＸ線透過像データの各最小値と、被検査物７ｂを載置しなかったときのＸ線透過像データの値の平均値との差Ｌ２’、Ｌ３’をそれぞれ算出する。
これにより、差Ｌ１’、Ｌ２’、Ｌ３’のうちの最大値が、閾値パラメータとなるように設定して、Ｘ線透過像データの差Ｌ’が閾値パラメータの値より大きくなったときには、被検査物７ｂ中に異物が存在すると判定し、一方、Ｘ線透過像データの差Ｌ’が閾値パラメータの値以下であるときには、被検査物７ｂ中に異物が存在しないと判定するようにする。
次に、ステップＳ３１５の処理において、搬送機構制御部３６は、計算開始信号を受信することによって、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力する。
そして、ステップＳ３１５の処理を終了した場合には、本フローチャートを終了させることになる。
【００５９】
判定部３９は、検査時に得られた被検査物７ｂのＸ線透過像データと、閾値パラメータとに基づいて、被検査物７ｂ中に異物が混入しているか否かの判定を実行する制御を行う。
ここで、被検査物７ｂの検査の判定を実行する方法の一例について説明する。図１３は、被検査物７ｂの検査の判定を実行する方法について説明するためのフローチャートである。ここでは、検査対象の被検査物７ｂを次々と用いるものとする。
まず、ステップＳ４０１の処理において、操作者のキーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって検査開始信号が入力される。
次に、ステップＳ４０２の処理において、Ｓ＝（第二設定部３５により決定された管電圧の強度レベル）を関数として設定データ記憶領域４１に記憶させる。
【００６０】
次に、ステップＳ４０３の処理において、搬送機構制御部３６は、ベルトコンベア５を駆動する駆動開始信号を駆動機構に出力する。
次に、ステップＳ４０４の処理において、Ｘ線管制御部３４は、Ｓは何であるかを判定する。Ｓ＝０であると判定した場合には、ステップＳ４０５の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを弱とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
一方、Ｓ＝１であると判定した場合には、ステップＳ４０６の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを中とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
さらに、Ｓ＝２であると判定した場合には、ステップＳ４０７の処理に進むことにより、Ｘ線管制御部３４は、管電圧の強度レベルを強とする駆動信号をＸ線管１に出力する。
【００６１】
次に、ステップＳ４０８の処理において、Ｘ線透過像データ作成部３１は、Ｘ線検出器１２の各光ダイオードから出力された電気信号（アナログ信号）から変換されたそれぞれのデジタル信号（Ｘ線透過像データ）を取得する。
次に、ステップＳ４０９の処理において、判定部３９は、Ｘ線透過像データと閾値パラメータとに基づいて、被検査物７ｂ中に異物が混入しているか否かの判定を実行する。
例えば、Ｘ線透過像データの差Ｌ’と、閾値パラメータの値とを比較することにより、Ｘ線透過像データの差Ｌ’が閾値パラメータの値より大きくなったときには、ステップＳ４１０の処理に進むことにより、判定部３９は、被検査物７ｂ中に異物が存在すると判定する。
一方、Ｘ線透過像データの差Ｌ’が閾値パラメータの値より小さいときには、ステップＳ４１１の処理に進むことにより、判定部３９は、被検査物７ｂ中に異物が存在しないと判定する。
【００６２】
次に、ステップＳ４１２の処理において、操作者のキーボード２２ａやマウス２２ｂの操作によって検査終了信号が入力されたか否か判断する。
検査終了信号が入力されていない場合には、ステップＳ４０８の処理に戻る。つまり、検査終了信号が入力されるときまで、ステップＳ４０８〜Ｓ４１２の処理は繰り返し実行されることになる。
一方、検査終了信号を入力した場合には、本フローチャートを終了させることになる。
【００６３】
以上のように、Ｘ線検査装置８０によれば、操作者が手動で管電圧の強度レベルを設定することなく、第一設定部３８により置換表が作成される。
また、基準検査物７ａを移動させながら行う第一設定時の作業において、Ｘ線透過像データを作成して検出信号記憶領域４２に記憶させているときには、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力するので、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２がＸ線透過像データを記憶させている最中に、ベルトコンベア５上に一の基準検査物７ａを載置することにより、Ｘ線管１とＸ線検出器３との間を搬送させて、一の基準検査物７ａからＸ線透過像データを得ずに第一設定時の作業を進めるような入力ミス等を起こすことなく、置換表を適切に容易に作成することができる。
さらに、操作者が手動で閾値パラメータを設定することもなく、第三設定部３７により閾値パラメータが作成される。
また、被検査物７ｂを移動させながら行う第三設定時の作業においても、Ｘ線透過像データを作成して検出信号記憶領域４２に記憶させているときには、ベルトコンベア５の駆動を停止する駆動停止信号を駆動機構に出力するので、Ｘ線透過像データ記憶制御部３２がＸ線透過像データを記憶させている最中に、搬送機構上に一の被検査物７ｂを載置することにより、Ｘ線管１とＸ線検出器３との間を搬送させて、一の被検査物７ｂからＸ線透過像データを得ずに第三設定時の作業を進めるような入力ミス等を起こすこともなく、閾値パラメータを適切に容易に作成することができる。
【００６４】
（他の実施形態）
（１）上述したＸ線検査装置８０において、Ｘ線透過像データの差Ｌ’が閾値パラメータの値より大きくなったときには、警告音を出力するような構成としてもよい。
（２）上述したＸ線検査装置８０において、さらに、Ｘ線管１の管電流の強度レベルの置換表や、画像コントラストの置換表を作成して、設定データ記憶領域４１に記憶させるような構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、例えば、生肉、魚、加工食品、医薬等の被検査物に対し、Ｘ線を照射したときのＸ線の透過量から被検査物中の異物を検出するＸ線検査装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の外観を示す斜視図である。
【図２】Ｘ線検査装置の一部の構成を示すブロック図である。
【図３】Ｘ線検出器の平面図である。
【図４】図３に示すＡ−Ａ線の断面図である。
【図５】検出信号に基づいて、得られたＸ線透過像データの一例である。
【図６】従来のＸ線検査装置の一部の構成を示す図である。
【図７】置換表を作成する方法について説明するためのフローチャートである。
【図８】置換表を作成する方法について説明するためのフローチャートである。
【図９】管電圧の強度レベルを決定する方法について説明するためのフローチャートである。
【図１０】管電圧の強度レベルを決定する方法について説明するためのフローチャートである。
【図１１】閾値パラメータを作成する方法について説明するためのフローチャートである。
【図１２】閾値パラメータを作成する方法について説明するためのフローチャートである。
【図１３】被検査物の検査の判定を実行する方法について説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６７】
１：  Ｘ線源
３：  Ｘ線検出器
５：  ベルトコンベア（搬送機構）
７ａ：  基準検査物
７ｂ：  被検査物
２０：  制御系（コンピュータ）
２２：  入力装置
２３：  表示装置
２５：  メモリ（記憶部）
３１：  Ｘ線透過像データ作成部
３２：  Ｘ線透過像データ記憶制御部
３３：  Ｘ線透過像データ表示部
３５：  第二設定部
３６：  搬送機構制御部
３７：  第三設定部
３８：  第一設定部
３９：  判定部
８０：  Ｘ線検査装置
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図３】
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【図４】
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