(57)【要約】【課題】電極間に発生する静電容量を減少させたタッチパネル装置を提供する【解決手段】本発明は、入力面１０ａを有する基板１０と、入力面１０ａの外周に設けられ、入力面１０ａに表面弾性波を発信させる送信子１２と、入力面１０ａの外周に設けられ、入力面１０ａに発信された表面弾性波を検出する受信子とを有し、受信子が検出した表面弾性波に基づいて入力面１０ａに接触した物体の位置を計測するタッチパネル装置であって、送信子１２及び受信子の少なくとも一方が、共通電極２０と、共通電極２０と対向すると共に互いに間隔Ｓを空けて設けられ、独立して駆動可能な第１電極１６及び第２電極２４と、共通電極２０と第１電極１６及び第２電極２４との間に設けられた圧電体層とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力面を有する基板と、前記入力面において異なる方向に表面弾性波を発信させる送信子と、前記表面弾性波を検出する受信子とを有し、前記受信子が検出した前記表面弾性波に基づいて前記入力面に接触した物体の位置を計測するタッチパネル装置であって、
前記送信子及び前記受信子の少なくとも一方が、
前記基板上に設けられた共通電極と、
前記共通電極上に設けられた圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられ、第１電極指を有する第１電極と、
前記圧電体層上に前記第１電極指と交差せず、平面視で間隔を空けて設けられ、前記第１電極指と所定の角度をもって形成される第２電極指を有する第２電極と、
を備えていることを特徴とするタッチパネル装置。
【請求項２】
前記第１電極指は、前記第１電極全体の延在方向に対して斜めに配置され、前記第２電極指は、前記第２電極全体の延在方向に対して斜めに配置されていることを特徴とする請求項１に記載のタッチパネル装置。
【請求項３】
前記圧電体層が、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、及びニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）の群から選択される少なくとも一種以上の材料を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のタッチパネル装置。
【請求項４】
前記送信子に駆動信号を供給する制御手段を備え、
前記制御手段が、前記送信子の前記第１電極及び前記第２電極のそれぞれに独立かつ異なる周期で前記駆動信号を供給することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のタッチパネル装置。
【請求項５】
前記制御手段が、前記第１電極に前記駆動信号を供給し、前記受信子が前記駆動信号に基づいた表面弾性波を検出した後、前記第２電極に前記駆動信号を供給することを特徴とする請求項４に記載のタッチパネル装置。
【請求項６】
前記圧電体層が、平面視で前記第１電極と前記第２電極との間において分離されていることを特徴とする請求項５に記載のタッチパネル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）、パーソナルコンピュータ等の小型情報電子機器の普及に伴い、表示画面上に指又はペンなどの物体を接触させることにより入力操作を行う、いわゆるタッチパネル機能が付加された表示装置が広く利用されている。
【０００３】
ここで、指，ペンなどの物体の接触位置を検出する方法としては、抵抗膜を用いた装置と超音波を用いた方法が良く知られている。前者の抵抗膜を用いた装置では、抵抗膜に物体が接触することによって生じるその抵抗膜の抵抗値の変化を検知し、物体の接触位置を検出する。一方、後者の超音波を用いた装置では、表示画面上に弾性表面波を伝播させ、表示面に物体が接触する際の弾性表面波の減衰を検知して、物体の接触位置を検出する。両方法とも優れた面を有するが、特に超音波を用いたタッチパネル装置は、応答時間、検出性能、及び耐久性の面で、抵抗膜を用いた装置よりも優れている。
【０００４】
以下に、超音波を用いたタッチパネル装置の構成について説明する。
タッチパネル装置は、ガラスからなる表面波が搬送される基板を有し、表面波が搬送される矩形状の基板上の周縁の額縁部には、２方向へ弾性表面波を励振する励振素子が対向する辺側にそれぞれ設けられる。さらに、２方向からの弾性表面波を受信する受信素子が励振素子が設けられていない対向する辺側にそれぞれ設けられる。励振素子又は受信素子は、櫛型電極と共通電極とに挟持された圧電素子から構成されている。櫛型電極は、途中で屈曲させてＶ字状をなす複数の電極指から構成されている。このような構成にあっては、励振素子にて弾性表面波が２方向に励振され、励振された弾性表面波が非圧電基板の対角２方向に伝播されて受信素子で受信され、その受信結果に基づいて、物体の接触の有無及びその接触位置が検出される（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−３００８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように、櫛形電極は途中で屈曲させてＶ字状をなす複数の電極指から構成されている。これは、表面弾性波を基板面の２方向に分配することにより、基板上の入力面の全面に表面弾性波を伝播させるためである。
しかしながら、電極指をＶ字状に形成する場合には、第１方向及び第２方向に表面弾性波を発信する電極が連続して形成されるため、第１方向及び第２方向に対応する駆動信号が同時に電極指に供給される。これにより、第１方向の表面弾性波を発生させる電極間と第２方向の表面弾性波を発生させる電極間とに同時に静電容量が発生し、タッチパネル装置全体として静電容量が大きくなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、電極間に発生する静電容量を減少させたタッチパネル装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のタッチパネル装置は、上記課題を解決するために、入力面を有する基板と、前記入力面において異なる方向に表面弾性波を発信させる送信子と、前記表面弾性波を検出する受信子とを有し、前記受信子が検出した前記表面弾性波に基づいて前記入力面に接触した物体の位置を計測するタッチパネル装置であって、前記送信子及び前記受信子の少なくとも一方が、前記基板上に設けられた共通電極と、前記共通電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層上に設けられ、第１電極指を有する第１電極と、前記圧電体層上に前記第１電極指と交差せず、平面視で間隔を空けて設けられ、前記第１電極指と所定の角度をもって形成される第２電極指を有する第２電極と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
ここで、従来の電極は、中央部で屈曲して２方向に延びるＶ字状に形成されており、第１方向及び第２方向に表面弾性波を発信する電極が連続して構成されていた。
これに対し、本発明では、一方向に表面弾性波を伝播させる第１電極と、第１電極とは異なる方向に表面弾性波を伝播させる第２電極とは、圧電体層上で交差せず、平面視で一定の間隔を空けて独立して設けられている。そのため、第１電極と第２電極とを独立に駆動することができる。これにより、従来と比較して、発生する静電容量を少なくすることができ、瞬時駆動電流（消費電力）を少なくすることができ、携帯機器などの場合に問題となる電池の重放電を抑制する事が可能となり、長寿命化を図ることが可能となる。
【０００９】
また、前記第１電極指は、前記第１電極全体の延在方向に対して斜めに配置され、前記第２電極指は、前記第２電極全体の延在方向に対して斜めに配置されていることが望ましい。
この構成によれば、額縁部の幅を狭くしつつ、第１電極指及び第２電極指の交差幅を一定に維持することができる。これにより、２つの方向の表面弾性波の回折を防止することができる。
【００１０】
また本発明のタッチパネル装置は、前記圧電体層が、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、及びニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）の群から選択される少なくとも一種以上の材料を有することも好ましい。
【００１１】
また本発明のタッチパネル装置は、前記送信子に駆動信号を供給する制御手段を備え、前記制御手段が、前記送信子の前記第１電極及び前記第２電極のそれぞれに独立かつ異なる周期で前記駆動信号を供給することも好ましい。
【００１２】
従来の電極指がＶ字状に連続して構成される場合には、第１方向及び第２方向の駆動信号が同時に電極指に供給されるため、静電容量が大きくなってしまった。これに対し、本発明によれば、第１電極及び第２電極が同一平面上に独立して形成されるため、駆動信号を異なる周期で供給することができる。従って、第１電極及び共通電極間、第２電極及び共通電極間の静電容量が同時に発生することがないため、駆動信号を同時に供給する場合と比較して、タッチパネル装置に生じる静電容量の総量を低減させることができる。これにより、瞬間的な消費電流の低減を図ることができる。
【００１３】
また本発明のタッチパネル装置は、前記制御手段が、前記第１電極に前記駆動信号を供給し、前記受信子が前記駆動信号に基づいた表面弾性波を検出した後、前記第２電極に前記駆動信号を供給することも好ましい。
【００１４】
この構成によれば、第１電極及び共通電極間に生じる静電容量と、第２電極及び共通電極に生じる静電容量とが重複して生じない。従って、タッチパネル装置に生じる静電容量の総量を低減させることができ、瞬間的な消費電流の低減を図ることができる。
【００１５】
また、前記圧電体層が、平面視で前記第１電極と前記第２電極との間において分離されていることが好ましい。
この構成によれば、第１電極及び第２電極間にて圧電体層が分離されているため、圧電体層間のリーク成分を極力減じることが可能となり、検出精度の向上や消費電流の低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１７】
図１は、タッチパネル装置１００の座標入力面１０ａ側の概略構成を示す平面図である。図２は、図１に示すタッチパネル装置１００の領域Ｔ（二点鎖線で囲まれた部分）の拡大図であり、図３は、タッチパネル装置１００の領域Ｔの断面図である。
【００１８】
図１に示すように、タッチパネル装置１００は、ガラス等の透明材料からなる平面視矩形状の基板１０を有する。基板１０の一面側には、ユーザが実際に指などで入力を行う座標入力面１０ａ（図１中一点差線で囲まれた領域（入力面））が設けられている。
【００１９】
基板１０の座標入力面１０ａの外周の額縁部１０ｂには、図１に示すように、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の表面弾性波を座標入力面１０ａ上に発信する送信側トランスデューサー１２（送信子）と、座標入力面１０ａを伝播された表面弾性波を検出する受信側トランスデューサー１４（受信子）とが設けられている。送信側トランスデューサー１２は基板１０の左辺側及び右辺側のそれぞれに対向して設けられ、受信側トランスデューサー１４は基板１０の上辺側及び下辺側のそれぞれに対向して設けられている。なお、第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２は、矩形状の座標入力面１０ａの隣接する辺の比率に基づいて規定される。本実施形態においては、座標入力面１０ａが正方形であり、隣接する辺の比率が１：１である。そのため、第１方向Ｄ１は基板１０の下辺１０ｃに対して−４５°傾いた角度の方向であり、第２方向Ｄ２は基板１０の下辺１０ｃに対して＋４５°傾いた角度の方向である。
【００２０】
次に、送信側トランスデューサー１２及び受信側トランスデューサー１４の概略構成について図２及び図３を参照して説明する。
図２は、図１に示す送信側トランスデューサー１２及び受信側トランスデューサー１４の要部構成を拡大した平面図である。図３は、送信側トランスデューサー１２及び受信側トランスデューサー１４の断面図である。なお、図２においては、電極１６，２４の構成を詳細に説明するため圧電膜１８については説明を省略する。
【００２１】
図２、図３に示すように、送信側トランスデューサー１２及び受信側トランスデューサー１４は、共通電極２０と、圧電膜１８（圧電体層）と、第１電極１６と、第２電極２４とを備えている。
【００２２】
平面的に見ると、図２に示すように、第１電極１６は、基板１０の各辺に沿って延びる第１バス電極２６と、第１バス電極２６から第１方向Ｄ１に対して垂直方向に延びる複数の第１電極指３０とを有する。複数の第１電極指３０は第１バス電極２６の延びる方向に等間隔に配置され、隣接する第１電極指３０，３０同士が互いに平行となっている。このように、第１電極１６は、第１バス電極２６と第１電極指３０とにより一体的に構成され、平面視櫛形構造を有する。
【００２３】
第２電極２４は、第１電極１６と同様に、基板１０の各辺に沿って延びる第２バス電極２８と、第２バス電極２８から第２方向Ｄ２に対して垂直方向に延びる第２電極指３２とを有する。第２バス電極２８は、第１バス電極２６よりも座標入力面１０ａ側に、第１電極指３０及び第２電極指３２の長さだけ間隔を空けて形成されている。複数の第２電極指３２は、第１電極指３０と接触しないように、第１電極指３０と一定の間隔Ｓを空けて形成されている。つまり、第１電極指３０と第２電極指３２とは互いに独立しており、連続していない。また、複数の第２電極指３２は、第２バス電極２８の延びる方向に第１電極指３０と同じ間隔で配置され、隣接する第２電極指３２，３２同士が互いに平行となっている。このように、第２電極２４は、第２バス電極２８と第２電極指３２とにより一体的に構成され、平面視櫛形構造を有する。
【００２４】
共通電極２０は、第１バス電極２６と第２バス電極２８との間の全面に、第１電極指３０と第２電極指３２と平面視で重なるようにして形成されている。これにより、第１電極指３０と共通電極２０との重なる部分で一対の電極が構成され、第２電極指３２と共通電極２０との重なる部分で一対の電極が構成される。
【００２５】
断面的に見ると、図３に示すように、ガラスからなる基板１０上には共通電極２０が形成されている。共通電極２０の材料としては、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｍｏ、Ｔａ、又はＷが好適に用いられる。
【００２６】
共通電極２０上には圧電膜１８が形成されている。圧電膜１８の材料としては、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）の群から選択される少なくとも一種以上の材料が好適に用いられる。このとき、圧電膜１８の上面は、第１電極指３０の厚みが反映されて凹凸となる。そのため、圧電膜１８の上面には平坦化処理が施される。この圧電膜１８は、パターニングされた共通電極２０上にスパッタ法により圧電材料を成膜し、この圧電材料をフォトリソグラフィー法により矩形状にパターニングして形成される。
【００２７】
圧電膜１８上には、第１バス電極２６と第１電極指３０を有する第１電極１６と、第２バス電極２８と第２電極指３２を有する第２電極２４とが形成されている。第１電極１６及び第２電極２４の材料としては、共通電極２０と同様に、Ａｌ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｍｏ、Ｔａ、又はＷが好適に用いられる。第１電極１６及び第２電極２４は、圧電膜１８上にスパッタ法により金属材料を成膜し、この金属材料をフォトリソグラフィー法により櫛型にパターニングすることにより形成される。つまり、第１電極１６及び第２電極２４は同一工程で形成される。
【００２８】
図１に戻り、左辺側の送信側トランスデューサー１２の第１バス電極２６、第２バス電極２８、及び共通電極２０の下端部には引き廻し配線３４が接続されている。各引き廻し配線３４の端部には駆動信号が入力及び出力される入力部及び出力部が設けられ、この入力部及び出力部には後述する駆動回路が接続されている。右辺側の送信側トランスデューサー１２、上辺側及び下辺側の受信側トランスデューサー１４についても同様である。なお、引き廻し配線３４は基板１０の周縁の一箇所に集約しても良い。
【００２９】
次に、タッチパネル装置１００の駆動回路５０について図１、図４及び図５を参照して説明する。
図４はタッチパネル装置１００の駆動回路５０のブロック図であり、図５は送信側トランスデューサー１２が発信した包絡線波形及び受信側トランスデューサー１４が検出した包絡線波形を示すグラフである。
【００３０】
タッチパネル装置１００の駆動回路５０（制御手段）は、図４に示すように、ＣＰＵ５２と、第１発信器５４と、第２発信器５６と、マルチプレクサ５８と、Ａ／Ｄ変換器６０とを有する。
【００３１】
図４に示すように、ＣＰＵ５２は、第１発信器５４及び第２発信器５６のそれぞれに接続されている。第１発信器５４は送信側トランスデューサー１２の第１電極１６に接続され、第２発信器５６は送信側トランスデューサー１２の第２電極２４に接続されている。また、受信側トランスデューサー１４の第１電極１６及び第２電極２４のそれぞれは、図４に示すように、マルチプレクサ５８に接続され、マルチプレクサ５８はＡ／Ｄ変換器６０に接続され、Ａ／Ｄ変換器６０はＣＰＵ５２に接続されている。
【００３２】
まず、ＣＰＵ５２は、第１発信器５４に駆動信号を供給する。第１発信器５４は、ＣＰＵ５２から供給された駆動信号に基づいて、数ＭＨｚ〜数十ＭＨｚの正弦波形のバースト駆動信号を第１電極１６に供給する。このとき、マルチプレクサ５８は、ＣＰＵ５２の第１発信器５４への駆動信号の出力に基づいて、受信側トランスデューサー１４の第１電極１６側にスイッチを合わせる。
【００３３】
第１電極１６に駆動信号が供給されると、第１電極１６及び共通電極２０間に電圧が印加され、図５に示すように、圧電膜１８から座標入力面１０ａ上に第１方向Ｄ１の弾性表面波（発信信号Ｓ１）が発信される。第１方向Ｄ１の表面弾性波は、座標入力面１０ａ上の対角方向に伝播され、受信側トランスデューサー１４の第１電極１６に検出される。
【００３４】
受信側トランスデューサー１４の第１電極１６は、図５に示すように、送信側トランスデューサー１２の第１電極１６から発信された表面弾性波（受信信号Ｓ１）を検出する。検出された表面弾性波は、マルチプレクサ５８を介して増幅器により増幅された後、復調器によって交流成分が除去され、交流成分が除去された包絡線波形がＡ／Ｄ変換器６０に供給される。Ａ／Ｄ変換器６０は、供給された包絡線波形をサンプリング化、及び量子化して電気信号に変換し、変換した電気信号をＣＰＵ５２に供給する。
【００３５】
ＣＰＵ５２は、第１電極１６に対応する電気信号を検出すると、続けて、第２発信器５６に正弦波形のバースト駆動信号を供給する。このとき、マルチプレクサ５８は、ＣＰＵ５２の第２発信器５６への駆動信号の出力に基づいて、受信側トランスデューサー１４の第２電極２４側にスイッチを合わせる。
【００３６】
第２電極２４に駆動信号が供給されると、第２電極２４及び共通電極２０間に電圧が印加され、図５に示すように、圧電膜１８から座標入力面１０ａ上に第２方向Ｄ２の弾性表面波（発信信号Ｓ２）が発信される。なお、第１電極１６から発信される発信信号Ｓ１と第２電極２４から発信される発信信号Ｓ２との間隔は例えば１０ｍｓｅｃである。第２方向Ｄ２の表面弾性波は、座標入力面１０ａ上の対角方向に伝播され、受信側トランスデューサー１４の第２電極２４に検出される。
【００３７】
受信側トランスデューサー１４の第２電極２４は、図５に示すように、送信側トランスデューサー１２の第２電極２４から発信された表面弾性波（受信信号Ｓ２）を検出する。検出された表面弾性波は、上述したように、電気信号に変換され、ＣＰＵ５２に供給される。
【００３８】
このように、本実施形態に係るタッチパネル装置１００の駆動回路５０は、図５に示すように、送信側トランスデューサー１２の第１電極１６が発信した発信信号Ｓ１を受信側トランスデューサー１４の第１電極１６が受信信号Ｓ１として検出した後に、送信側トランスデューサー１２の第２電極から発信信号Ｓ２を発信させる。つまり、駆動回路５０は、各信号が互いに重複しないように異なる周期で制御する。
【００３９】
なお、上記実施形態では、各信号が互いに重複しないように制御したが、これに限定されることはない。具体的には、送信側トランスデューサー１２の発信信号Ｓ１及び受信信号Ｓ１と、受信側トランスデューサー１４の発信信号Ｓ２及び受信信号Ｓ２とが一部重複しても位相がずれていれば良い。
【００４０】
本実施形態によれば、第１方向Ｄ１に表面弾性波を伝播させる第１電極１６と、第２方向Ｄ２に表面弾性波を伝播させる第２電極２４とは、圧電体層上に一定の間隔を空けて独立して設けられている。そのため、第１電極１６と第２電極２４とを独立に異なる周期で駆動信号を供給することができる。従って、第１電極１６及び共通電極２０間、第２電極２４及び共通電極２０間の静電容量が同時に発生することがないため、駆動信号を同時に供給する場合と比較して、タッチパネル装置１００に生じる静電容量の総量を低減させることができる。これにより、瞬時駆動電流（消費電力）の低減を図ることができる。
【００４１】
［電子機器］
次に、本発明の電子機器の一例について説明する。
図６は、上述したタッチパネル装置を備える携帯電話（電子機器）を示した斜視図である。
図６に示すように、携帯電話６００は、ヒンジ１２２を中心として折り畳み可能な第１ボディ１０６ａと第２ボディ１０６ｂとを備えている。そして、第１ボディ１０６ａには、タッチパネル装置を有する液晶装置６０１と、複数の操作ボタン１２７と、受話口１２４と、アンテナ１２６とが設けられている。また、第２ボディ１０６ｂには、送話口１２８が設けられている。
本実施形態に係る電子機器によれば、静電容量を低減したタッチパネル装置を備えるため、電子機器の消費電力を低減させることができる。
【００４２】
なお、上述したタッチパネル機能を有するタッチパネル装置１００は、上記携帯電話以外にも種々の電子機器に適用することができる。例えば、液晶プロジェクタ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）及びエンジニアリング・ワークステーション（ＥＷＳ）、ページャ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置などの電子機器に適用することが可能である。
【００４３】
なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上記実施形態では、送信側トランスデューサー及び受信側トランスデューサーを第１電極及び第２電極のそれぞれを一定の間隔を空けて独立に形成した。これに代えて、送信側トランスデューサーを本実施形態のように独立した構造とし、受信側トランスデューサーを従来のように第１電極と第２電極とが同一平面上に連続して形成されるＶ字状の電極としても良い。
また、上記実施形態では、基板側から共通電極、圧電膜、及び第１電極（第２電極）をこの順に積層してトランスデューサー形成した。これに代えて、基板側から第１電極（第２電極）、圧電膜、及び共通電極をこの順に積層してトランスデューサーを形成しても良い。
さらに、圧電体層が、平面視において第１電極と第２電極との間において分離されていても良い。この場合、圧電体層間のリーク成分を極力減じることが可能となり、検出精度の向上や消費電流の低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】タッチパネル装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】トランスデューサーの要部を示す拡大平面図である。
【図３】トランスデューサーの要部を示す拡大断面図である。
【図４】駆動回路の構成ブロック図である。
【図５】トランスデューサーが発信及び検出した表面弾性波の包絡線波形を示すグラフである。
【図６】携帯電話の概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０…基板、  １０ａ…座標入力面（入力面）、  １２…送信側トランスデューサー（送信子）、  １４…受信側トランスデューサー（受信子）、  １６…第１電極、  １８…圧電膜（圧電体層）、  ２０…共通電極、  ２４…第２電極、  ３０…第１電極指、  
３２…第２電極指、  ５０…駆動回路（制御手段）
【図１】
2008015587.tif 000003
【図２】
2008015587.tif 000004
【図３】
2008015587.tif 000005
【図４】
2008015587.tif 000006
【図５】
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【図６】
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