(57)【要約】【課題】機能を分散して構造を単純化し、強度を向上させる。【解決手段】プローブカードを半導体ウエハの種類に応じて自動的に交換するプローブカード自動交換機構である。前記プローブカードを固定支持するカード固定部と、このカード固定部と外部との間で前記プローブカードを搬送するカード搬送部と、前記カード固定部に固定されたプローブカードを取り外して前記カード搬送部に移すと共に、このカード搬送部で前記カード固定部の直下まで移動された新たなプローブカードを前記カード固定部に取り付けるカード交換部とを備え、前記カード交換部が、前記カードホルダを支持するクランプと、当該クランプを上下動させる回転リングと、当該回転リングを回転駆動する回転駆動部と、前記カードホルダを回転させるホルダ回転機構とを備え、前記ホルダ回転機構が、前記カード搬送部側に設けられた。【選択図】図１
2008016676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードを検査対象板の種類に応じて自動的に交換するプローブカード自動交換機構であって、
検査装置側に設けられて前記プローブカードを固定支持するカード固定部と、
このカード固定部に固定された前記プローブカードを受け取って外部に搬送すると共に、新たなプローブカードを外部から前記カード固定部に搬送するカード搬送部と、
前記カード固定部に固定されたプローブカードを取り外して前記カード搬送部に移すと共に、このカード搬送部で前記カード固定部の直下まで移動された新たなプローブカードを前記カード固定部に取り付けるカード交換部とを備え、
前記カード交換部が、前記カードホルダを支持するクランプと、当該クランプを上下動させる回転リングと、当該回転リングを回転駆動する回転駆動部と、前記カードホルダを回転させるホルダ回転機構とを備え、
前記ホルダ回転機構が、前記カード搬送部側に設けられたことを特徴とするプローブカード自動交換機構。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブカード自動交換機構において、
前記カード搬送部が、検査装置の開閉扉から前記カード固定部の直下まで移動するガイドと、当該ガイドに取り付けられ全体を支持してスライドさせる基板と、検査対象板が載置される載置プレートと、当該載置プレートを支持する枠板と、前記載置プレートを昇降させる昇降機構と、当該昇降機構側に支持された状態で前記載置プレートを支持する支え板と、前記プローブカードを支持するカードホルダと、当該カードホルダを回転させるホルダ回転機構と、載置プレートを水平状態から垂直状態まで回動させる載置プレート回動機構とを備えて構成されたことを特徴とするプローブカード自動交換機構。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプローブカード自動交換機構において、
前記ホルダ回転機構が、前記プローブカードを支持した状態で前記載置プレートに対して回転可能に支持された回転プレートと、当該回転プレートを回転させるエアシリンダとを備えて構成されたことを特徴とするプローブカード自動交換機構。
【請求項４】
検査対象板の種類に応じたプローブカードで当該検査対象板を検査する検査装置であって、
前記請求項１乃至４のいずれか１項に記載のプローブカード自動交換機構を備えたことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブカードを自動的に交換できるプローブカード自動交換機構及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの各チップ領域上に形成された多数の半導体集積回路は、仕様書通りに製造されているか否かを判定するために、電気的検査を受ける。この種の電気的検査は、一般的にプローブカードと呼ばれるプローブ組立体が用いられる。プローブ組立体は電気的検査のためのテスターに接続され、プローブ組立体に設けられた接触子が検査テージ上のウエハの対応する各電極に押し付けられる。半導体ウエハはこのプローブカードを経てテスターに接続され、これにより電気的検査を受ける。
【０００３】
一方、多品種化が進んだ、近年の半導体製品の製造においては、その半導体製品の多品種化に対応するために、半導体ウエハの品種も増加している。これに伴いプローブカードの品種も増え、プローブカードの交換頻度も高くなっている。
【０００４】
そして、プローブカードの交換頻度が高くなると、効率の悪い手動での交換では対応できなくなるため、プローブカードを自動的に交換する検査装置が提案されている。この例としては、特許文献１に記載されているものが知られている。
【特許文献１】特開２０００−１５０５９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記特許文献１の発明では、プローブカード固定部において、プローブカードが載置されたカードホルダを搭載するための回転機構、およびカードホルダを固定する際に使用する上下方向の移動機構の双方を備えているため、構造が複雑になり、機械的強度も不足してしまうという問題点がある。
【０００６】
本発明は上述に課題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、機能を分散して構造を単純化し、強度の高いプローブカード自動交換機構及び検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明の係るプローブカード自動交換機構は、プローブカードを検査対象板の種類に応じて自動的に交換するプローブカード自動交換機構であって、検査装置側に設けられて前記プローブカードを固定支持するカード固定部と、このカード固定部に固定された前記プローブカードを受け取って外部に搬送すると共に、新たなプローブカードを外部から前記カード固定部に搬送するカード搬送部と、前記カード固定部に固定されたプローブカードを取り外して前記カード搬送部に移すと共に、このカード搬送部で前記カード固定部の直下まで移動された新たなプローブカードを前記カード固定部に取り付けるカード交換部とを備え、前記カード交換部が、前記カードホルダを支持するクランプと、当該クランプを上下動させる回転リングと、当該回転リングを回転駆動する回転駆動部と、前記カードホルダを回転させるホルダ回転機構とを備え、前記ホルダ回転機構が、前記カード搬送部側に設けられたことを特徴とする。
【０００８】
前記構成により、前記カード固定部で前記プローブカードを固定支持して、プローブを検査対象板に接触させ、検査を行う。検査対象板の種類が変わると、カード交換部で検査対象板に対応したプローブカードに交換する。このときは、まず前記カード交換部の回転駆動部で前記回転リングを回転させてクランプを降下させ、前記カード搬送部で前記プローブカードを受け取って前記ホルダ回転機構でカードホルダを回転させ、降下させて外部に搬送する。次いで、前記カード搬送部で、新たなプローブカードを外部から前記カード固定部に搬送し、前記と逆の工程で前記プローブカードを前記カード固定部に取り付ける。
【０００９】
前記カード搬送部は、検査装置の開閉扉から前記カード固定部の直下まで移動するガイドと、当該ガイドに取り付けられ全体を支持してスライドさせる基板と、検査対象板が載置される載置プレートと、当該載置プレートを支持する枠板と、前記載置プレートを昇降させる昇降機構と、当該昇降機構側に支持された状態で前記載置プレートを支持する支え板と、前記プローブカードを支持するカードホルダと、当該カードホルダを回転させるホルダ回転機構と、載置プレートを水平状態から垂直状態まで回動させる載置プレート回動機構とを備えて構成されることが望ましい。
【００１０】
前記構成により、前記カード搬送部は、前記載置プレート回動機構で垂直状態から水平状態に回動させた前記載置プレートのカードホルダに検査対象板が載置した状態で、前記ガイドで検査装置の開閉扉から前記カード固定部の直下まで移動する。次いで、前記ホルダ回転機構で前記カードホルダを回転させて、前記昇降機構で前記載置プレートを昇降させ、前記検査対象板を前記カードホルダごとカード固定部に固定する。
【００１１】
前記ホルダ回転機構は、前記プローブカードを支持した状態で前記載置プレートに対して回転可能に支持された回転プレートと、当該回転プレートを回転させるエアシリンダとを備えて構成されたことが望ましい。
【００１２】
前記構成により、前記エアシリンダで前記回転プレートを回転させて前記プローブカードの角度を調整する。
【００１３】
検査対象板の種類に応じたプローブカードで当該検査対象板を検査する検査装置であって、前記各プローブカード自動交換機構を備えたことを特徴とする。
【００１４】
前記構成により、前記各プローブカード自動交換機構の作用を行って、前記検査対象板を検査する。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００１６】
前記カード交換部が、前記カードホルダを支持するクランプと、当該クランプを上下動させる回転リングと、当該回転リングを回転駆動する回転駆動部と、前記カードホルダを回転させるホルダ回転機構とを備えて構成され、前記ホルダ回転機構が、前記カード搬送部側に設けられたので、前記カード固定部側の可動部分は前記回転リング及びそれを回転駆動する前記回転駆動部のみとなり、機能を分散して構造を単純化して機械的強度を増すことができる。この結果、強度の高いプローブカード自動交換機構及び検査装置を提供することできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態に係る検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１８】
この検査装置の全体構成を図２〜４に基づいて概説する。この検査装置１は主に、筐体２と、リニアガイド３と、検査ステージ４と、プローブカード５と、カード固定部６と、プローブカード自動交換機構７と、ウエハストッカー８とから構成されている。
【００１９】
筐体２は、検査装置１の外郭を構成する部材である。この筐体２の内部にリニアガイド３と、検査ステージ４と、プローブカード５と、プローブカード自動交換機構７とが設けられている。筐体２の一側壁には、プローブカード５を出し入れするための開閉扉２Ａが設けられている。
【００２０】
リニアガイド３は、検査ステージ４をＸ軸方向（図３中の左右方向）とＹ軸方向（図３中の前後方向）とに移動させるための装置である。このリニアガイド３は、Ｘ軸リニアガイド部１０と、Ｙ軸リニアガイド部１１とから構成されている。Ｘ軸リニアガイド部１０は、筐体２の底板であるベース１２にＸ軸方向に配設された２本のレール１３と、この２本のレール１３にそれぞれスライド可能に嵌合されたガイド１４とから構成されている。このガイド１４で支持された後述するＹ軸ベース１６は、リードスクリュー１５Ａで駆動モータ１５（図１参照）と連結され、この駆動モータ１５で検査ステージ４がＸ軸方向に移動される。
【００２１】
Ｙ軸リニアガイド部１１は、Ｘ軸リニアガイド部１０の２つのガイド１４に固定されてレール１３に沿ってスライド可能に支持されたＹ軸ベース１６と、このＹ軸ベース１６にＹ軸方向に配設された２本のレール１７と、この２本のレール１７にそれぞれスライド可能に嵌合されたガイド１８とから構成されている。そして、２つのガイド１８に、検査ステージ４が支持されている。このガイド１８で支持された検査ステージ４は、ボールねじ(図示せず)で駆動モータ(図示せず)と連結され、この駆動モータでＹ軸方向に移動される。
【００２２】
検査ステージ４は、検査対象板としての半導体ウエハ２０を支持して、この半導体ウエハ２０の各電極を、後述するプローブカード５の各プローブ２３にそれぞれ接触させるための装置である。この検査ステージ４は、半導体ウエハ２０をＺ軸方向に移動させるＺ軸移動機構２１、半導体ウエハ２０を回転させる回転機構２２、位置合わせ用のアライメントカメラ２４等を備えている。
【００２３】
プローブカード５は、半導体ウエハ２０の各電極に接触する複数のプローブ２３を一体的に支持する部材である。このプローブカード５は、ほぼ円盤状に形成され、カード固定部６に固定支持される。
【００２４】
カード固定部６は、プローブカード５を固定して支持するための装置である。このカード固定部６は、筐体２の上側壁であるベースプレート２５に設けられている。このカード固定部６にプローブカード５が取り付けられた状態で、プローブカード５の各プローブ２３が、検査ステージ４の上側面に載置された半導体ウエハ２０の各電極に接触される。このプローブカード５には、複数の品種があり、半導体ウエハ２０の種類に応じて交換されるため、カード固定部６は、プローブカード５を自動的に着脱できる構造になっている。このカード固定部６は、具体的には図１７〜２０に示すように、カード押えリング２７と、固定リング２８と、回転リング２９と、クランプ３０と、回転駆動部３１とから構成されている。
【００２５】
カード押えリング２７は、クランプ３０の回転を押さえてこのクランプ３０の上下動を支持すると共に、カードホルダ３３の上側面に当接してこのカードホルダ３３を上側から押さえて支持するための部材である。このカード押えリング２７は、肉厚円盤状に形成されて、ベースプレート２５に固定されている。カード押えリング２７の内部には昇降案内穴３５が設けられている。この昇降案内穴３５は、クランプ３０の昇降案内ピン３６をスライド可能に挿入・支持するための穴である。この昇降案内穴３５にクランプ３０の昇降案内ピン３６が挿入されて上下に移動することで、クランプ３０の回転が押さえられて上下動が許容される。
【００２６】
カード押えリング２７の径方向内側の下側面にはカードホルダ押さえ部３７が設けられている。このカードホルダ押さえ部３７は、下方へ延出して形成され、その下側面がカードホルダ３３の上側面への当接面となっている。
【００２７】
固定リング２８は、ベースプレート２５に固定されて回転リング２９を支持するための部材である。固定リング２８は、フランジ部３９と、円筒部４０とを備えて構成されている。フランジ部３９は、ベースプレート２５の上側面に載置されて、ネジ４１でベースプレート２５に固定されている。円筒部４０は、ベースプレート２５から下方へ延出されて、その内側で回転リング２９を回転可能に支持する。円筒部４０には、円周方向でかつ水平方向に延びた長溝４２が複数設けられている。この長溝４２は、後述する回転リング２９の支持ピン４４が嵌合する溝である。この長溝４２に回転リング２９の支持ピン４４がスライド可能に嵌合することで、回転リング２９がその場で回転するようになっている。即ち、回転リング２９は、上下動はせずに、その場で回転するようになっている。
【００２８】
回転リング２９は、クランプ３０を上下動させるための部材である。この回転リング２９は、円環状又は浅い円筒状に形成され、その外周面に複数の支持ピン４４が設けられている。この支持ピン４４は、固定リング２８の長溝４２にスライド可能に嵌合されている。そして、支持ピン４４が固定リング２８の長溝４２内を移動することで、回転リング２９が上下動せずに、その場で回転するようになっている。
【００２９】
回転リング２９には、６個のカム溝４６が設けられている。このカム溝４６は、クランプ３０を上下に移動させるための溝である。このカム溝４６は斜めに形成されている。そして、後述するクランプ３０のカムフォロア３８がカム溝４６に嵌合して回転リング２９が回転して、カムフォロア３８がカム溝４６に沿って移動することで、クランプ３０が回転せずに上下に移動するようになっている。
【００３０】
クランプ３０は、後述するカードホルダ３３を支持するための部材である。クランプ３０は、リング状に形成され、その内側に６個のツバ４８が設けられている。このツバ４８は、カードホルダ３３の切り欠き５０と整合する位置に、整合する形状に形成されている。クランプ３０の上側面には昇降案内ピン３６が設けられている。この昇降案内ピン３６は、カード押えリング２７の昇降案内穴３５に挿入されて、上下に移動することで、クランプ３０の回転が押さえられて上下動が許容されるようになっている。クランプ３０の外周面には、回転リング２９のカム溝４６に嵌合するカムフォロア３８（図９参照）が設けられている。このカムフォロア３８は、回転リング２９のカム溝４６の数に合わせて設けられている。これにより、各カムフォロア３８が、回転リング２９の各カム溝４６にそれぞれ嵌合して、このカム溝４６内をスライドすることで、クランプ３０が回転リング２９に対して上下に移動するようになっている。
【００３１】
回転駆動部３１は、回転リング２９を回転駆動するための機構である。この回転駆動部３１は、駆動モータ５２と、ボールねじ５３と、スライドガイド５４とから構成されている。駆動モータ５２は、ベースプレート２５側に固定されて、ボールねじ５３を介してスライドガイド５４をスライドさせる。ボールねじ５３は、回転することでスライドガイド５４を直接スライドさせる。このボールねじ５３は、駆動モータ５２に連結されて設定角度だけ回転駆動され、スライドガイド５４を介して回転リング２９を設定角度だけ回動させる。スライドガイド５４は、ネジ穴を有して、そのネジ穴にボールねじ５３がねじ込まれ、このボールねじ５３の回転によって、その回転角度に応じた量だけ移動するようになっている。このスライドガイド５４の移動が回転リング２９の回転になり、クランプ３０の上下への移動になる。
【００３２】
プローブカード自動交換機構７は、カード固定部６に取り付けられたプローブカード５を半導体ウエハ２０の種類に応じて自動的に交換するための装置である。このプローブカード自動交換機構７は、カード搬送部５６と、カード交換部５７とから構成されている。
【００３３】
カード搬送部５６は、図１，５〜８に示すように、カード固定部６に固定されたプローブカード５を受け取って筐体２の外部に搬送すると共に、新たなプローブカード５を筐体２の外部からカード固定部６に搬送するための装置である。カード搬送部５６は、Ｘ軸リニアガイド部１０のレール１３に取り付けられて、検査ステージ４と同様に移動する。カード搬送部５６は、ガイド６１と、基板６２と、枠板６３と、昇降機構６４と、支え板６５と、載置プレート６６と、ホルダ回転機構６７と、載置プレート回動機構６８と、カードホルダ３３とから構成されている。
【００３４】
ガイド６１は、カード搬送部５６を筐体２の開閉扉２Ａからカード固定部６の直下まで移動させるための部材である。ガイド６１は、Ｘ軸リニアガイド部１０のレール１３に嵌合して、Ｘ軸方向にスライド可能に支持されている。
【００３５】
基板６２は、カード搬送部５６の全体を支持してＸ軸方向にスライドさせるための部材である。基板６２は、その裏面に２つのガイド６１が取り付けられ、このガイド６１に支持されてスライドする。基板６２の上面には枠板６３が取り付けられている。
【００３６】
枠板６３は、昇降機構６４及び支え板６５を介して載置プレート６６を支持して、この載置プレート６６を回動及び昇降させるための部材である。枠板６３は、２つの側板部７１と、天板部７２とから構成されている。
【００３７】
昇降機構６４は、載置プレート６６を昇降させるための機構である。昇降機構６４は、レール７４と、ガイド７５と、昇降駆動部(図示せず)とから構成されている。
【００３８】
レール７４は、枠板６３の各側板部７１の内側にそれぞれ固定されている。ガイド７５は、レール７４にスライド可能に取り付けられて、上下方向に移動できるようになっている。ガイド７５は、支え板６５に固定されて、この支え板６５を上下に移動させるようになっている。
【００３９】
昇降駆動部は、ガイド７５をレール７４に沿って上下に昇降させるための装置である。この昇降駆動部としては、回転モータとボールねじや、リニアモータ等を用いて構成することができる。
【００４０】
支え板６５は、昇降機構６４側に支持された状態で、載置プレート６６を支持するための部材である。支え板６５は、昇降機構６４のガイド７５に固定されて、このガイド７５と共に昇降するようになっている。支え板６５の上部には軸受け６５Ａが設けられている。この軸受け６５Ａに、載置プレート６６の後述する回転軸６６Ａが嵌合されて、載置プレート６６が回動可能に支持される。
【００４１】
載置プレート６６は、ホルダ回転機構６７を介してカードホルダ３３を支持するための部材である。この載置プレート６６は、全体をＵ字状に構成され、基端の両側に回転軸６６Ａが設けられている。この回転軸６６Ａが前記支え板６５の軸受け６５Ａに嵌合されて、載置プレート６６が前記支え板６５に回動可能に支持される。載置プレート６６の下側面には、後述するエアシリンダ７９，８２を取り付けるための立て板７７が設けられている。
【００４２】
ホルダ回転機構６７は、カードホルダ３３を回転させるための装置である。このホルダ回転機構６７は主に、回転プレート７８と、エアシリンダ７９とから構成されている。回転プレート７８は、プローブカード５を支持した状態で、載置プレート６６に対して回転可能に支持されている。回転プレート７８は、全体を載置プレート６６と同様にＵ字状に構成され、外周縁が円弧状になっている。この円弧状の外周縁に当接してローラー８１が設けられている。このローラー８１で回転プレート７８が載置プレート６６に回転可能に支持されている。回転プレート７８の上側面には、カードホルダ３３側のピン穴(図示せず)に嵌合してカードホルダ３３の位置決めをする位置決めピン７８Ａが設けられている。
【００４３】
エアシリンダ７９は、回転プレート７８を回転させるための機構である。このエアシリンダ７９は、その基端部を載置プレート６６の立て板７７に係止され、先端部を回転プレート７８の裏面に係止されている。回転プレート７８の裏面には、棒状の連結部材８０が設けられ、この連結部材８０にエアシリンダ７９の先端部が係止されている。連結部材８０は、回転プレート７８の裏面に回転可能に支持されている。そして、エアシリンダ７９を伸張させることで回転プレート７８が、図８中の下側から見た状態で右回転し、エアシリンダ７９を収縮させることで回転プレート７８が左回転するようになっている。このエアシリンダ７９の圧搾空気供給手段(図示せず)は、筐体２内又は近傍に設けられている。
【００４４】
載置プレート回動機構６８は、載置プレート６６を水平状態から垂直状態まで回動させるための機構である。載置プレート回動機構６８は、エアシリンダ８２によって構成されている。エアシリンダ８２の基端部は支え板６５の下端部に回動可能に連結され、先端部は載置プレート６６の立て板７７に回動可能に連結されている。そして、エアシリンダ８２が伸張することで載置プレート６６を水平にし、エアシリンダ８２が収縮することで載置プレート６６を垂直にする。このエアシリンダ８２の圧搾空気供給手段(図示せず)は、筐体２内又は近傍に設けられている。
【００４５】
カードホルダ３３は、プローブカード５を支持するための板材である。このカードホルダ３３は、中央に大きな穴の空いたドーナツ盤状に形成されている。プローブカード５のプローブ２３は、この中央の穴から下方へ向けて設けられる。カードホルダ３３の周縁部には、複数の切り欠き５０が設けられている。この切り欠き５０は、クランプ３０のツバ４８と整合する形状に形成され、ツバ４８と整合する位置に設けられている。これにより、カードホルダ３３がクランプ３０の直下から、切り欠き５０とツバ４８の位置を整合させた状態で上昇すると、カードホルダ３３はツバ４８の上方に移動できるようになっている。
【００４６】
カード交換部５７は、カード固定部６に固定されたプローブカード５を取り外してカード搬送部５６に移すと共に、カード搬送部５６でカード固定部６の直下まで移動された新たなプローブカード５をカード固定部６に取り付けるための装置である。このカード交換部５７は、前記回転リング２９と、前記クランプ３０と、前記回転駆動部３１と、前記ホルダ回転機構６７とから構成されている。これにより、回転駆動部３１で回転リング２９を回転させてクランプ３０を降下させて、カード搬送部５６の回転プレート７８に載置させ、ホルダ回転機構６７でカードホルダ３３を回転させて切り欠き５０とツバ４８とを整合させ、昇降機構６４によって載置プレート６６を降下させることで、プローブカード５をカード固定部６から取り外すようになっている。また、新たなプローブカード５をカードホルダ３３に取り付けて、カード搬送部５６でカード固定部６の直下まで移動した状態で、ホルダ回転機構６７でカードホルダ３３を回転させて切り欠き５０とツバ４８とを整合させ、昇降機構６４によって載置プレート６６を上昇させて、ホルダ回転機構６７でカードホルダ３３を回転させて切り欠き５０とツバ４８とをずらし、回転駆動部３１で回転リング２９を回転させてクランプ３０を上昇させて、プローブカード５をカード固定部６に固定するようになっている。
【００４７】
ウエハストッカー８は、複数の半導体ウエハ２０を収納しておく部分である。このウエハストッカー８内に収納された半導体ウエハ２０が、搬送装置のアーム(図示せず)で１枚ずつ取り出され、検査ステージ４に載置されて、検査が行われる。
【００４８】
［作用］
以上のように構成された検査装置１は次のように作用する。
【００４９】
ウエハストッカー８内に格納された半導体ウエハ２０を全て検査して、新たな種類の半導体ウエハ２０を検査する場合等において、プローブカード５が交換される。
【００５０】
このプローブカード５を交換する場合は、まず、カード固定部６に固定されたプローブカード５を取り外す。回転駆動部３１で回転リング２９を回転させて、クランプ３０のカムフォロア３８がカム溝４６に嵌合した状態で、カム溝４６を移動させる。これにより、クランプ３０を降下させて、カードホルダ３３の固定を解除する。次いで、昇降機構６４で載置プレート６６を上昇させて、カードホルダ３３をカード搬送部５６の回転プレート７８に載置させ、ホルダ回転機構６７でカードホルダ３３を回転させて切り欠き５０とツバ４８とを整合させる。次いで、昇降機構６４によって載置プレート６６を降下させて、プローブカード５をカードホルダ３３と共にカード固定部６から取り外す。
【００５１】
次いで、カード搬送部５６が、プローブカード５を筐体２の開閉扉２Ａまで搬送する。筐体２の開閉扉２Ａは、手動又は自動で開かれて、カード搬送部５６の載置プレート６６を筐体２の外部に延出させる。この状態で、載置プレート６６上に取り付けられたカードホルダ３３上のプローブカード５を取り外す。そして、新たなプローブカード５をカードホルダ３３に取り付ける。この使用済みのプローブカード５を取り外して、新たなプローブカード５を取り付ける動作も、手動で行ってもよく、自動でおこなってもよい。
【００５２】
次いで、カード搬送部５６がカード固定部６の直下まで移動して、図９，１０に示すように、新たなプローブカード５をカード固定部６の直下まで搬送する。このとき、クランプ３０が降下した状態になっている。即ち、回転リング２９が回転駆動部３１で一方に回転されて、クランプ３０のカムフォロア３８がカム溝４６の下端部に位置し、クランプ３０が降下した状態になっている。
【００５３】
次いで、ホルダ回転機構６７のエアシリンダ７９を伸縮させて回転プレート７８を回転させ、この回転プレート７８に取り付けられたカードホルダ３３を回転させて、このカードホルダ３３の切り欠き５０とクランプ３０のツバ４８とを整合させる。次いで、昇降機構６４によって載置プレート６６を上昇させて、図１１，１２に示すように、カードホルダ３３をクランプ３０よりも高い位置まで移動させる。そしてこの状態で、エアシリンダ７９によって回転プレート７８を回転させて、図１５，１６に示すように、前記切り欠き５０とツバ４８とをずらし、昇降機構６４によって載置プレート６６を降下させる。これにより、図１７，１８に示すように、カードホルダ３３がクランプ３０のツバ４８に載置される。
【００５４】
次いで、図１３，１４に示すように、回転駆動部３１で回転リング２９を回転させてカム溝４６をずらし、カムフォロア３８をカム溝４６の上端位置まで移動させて、クランプ３０を上昇させる。これにより、図１９，２０に示すように、カードホルダ３３がクランプ３０と、カード押えリング２７のカードホルダ押さえ部３７とに挟まれて、プローブカード５がカード固定部６に固定される。
【００５５】
［効果］
前記カード交換部５７が、前記カードホルダ３３を支持するクランプ３０と、このクランプ３０を上下動させる回転リング２９と、この回転リング２９を回転駆動する回転駆動部３１と、前記カードホルダ３３を回転させるホルダ回転機構６７とを備えて構成され、前記ホルダ回転機構６７が、前記カード搬送部５６側に設けられたので、前記カード固定部６側の可動部分は前記回転リング２９及びそれを回転駆動する前記回転駆動部３１のみとなり、機能を分散して構造を単純化して機械的強度を増すことができる。この結果、強度の高いプローブカード自動交換機構７及び検査装置１を提供することできる。
【００５６】
［変形例］
前記本実施形態では、検査装置の検査する検査対象板を半導体ウエハ２０としたが、検査ステージ４に載置できる薄板状物であればよく、本発明を適用することができる。この場合も、上記同様の作用、効果を奏することができる。
【００５７】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブカード自動交換機構を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る検査装置をその開閉扉を開いた状態で示す側面断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る検査装置をその開閉扉を閉じた状態で示す側面断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る検査装置を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブカード自動交換機構をそのカード搬送部を待機状態にして示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブカード自動交換機構のカード搬送部をカード固定部の直下まで移動した状態を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブカード自動交換機構を上昇させた状態を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係る検査装置のプローブカード自動交換機構のカード交換部を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入する前の状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入する前の状態を示す側面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転する前の状態を示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転する前の状態を示す側面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転した後の状態を示す斜視図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転した後の状態を示す側面図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、カードホルダを回転した後の状態を示す平面図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、カードホルダを回転する前の状態を示す平面図である。
【図１７】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転する前の状態を示す側面断面図である。
【図１８】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転する前の状態を示す側面断面斜視図である。
【図１９】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転した後の状態を示す側面断面図である。
【図２０】本発明の実施形態に係る検査装置のカード交換部のクランプにカードホルダを挿入後、回転リングを回転した後の状態を示す側面断面斜視図である。
【符号の説明】
【００５９】
１：検査装置、２：筐体、３：ニアガイド、４：検査ステージ、５：プローブカード、６：カード固定部、７：プローブカード自動交換機構、８：ウエハストッカー、１０：Ｘ軸リニアガイド部、１１：Ｙ軸リニアガイド部、１３：レール、１６：Ｙ軸ベース、１７：レール、１８：ガイド、２０：半導体ウエハ、２１：Ｚ軸移動機構、２２：回転機構、２３：プローブ、２４：アライメントカメラ、２５：ベースプレート、２６：カード交換部、２７：カード押えリング、２８：固定リング、２９：回転リング、３０：クランプ、３１：回転駆動部、３３：カードホルダ、３５：昇降案内穴。３６：昇降案内ピン、３７：カードホルダ押さえ部、３８：カムフォロア、３９：フランジ部、４０：円筒部、４２：長溝、４４：支持ピン、４６：カム溝。４８：ツバ、５０：切り欠き、５２：駆動モータ、５３：ボールねじ、５４：スライドガイド、５６：カード搬送部、５７：カード交換部、６１：ガイド、６２：基板、６３：枠板、６４：昇降機構、６５：支え板、６６：載置プレート、６７：ホルダ回転機構、６８：載置プレート回動機構、７１：側板部、７２：天板部、７４：レール、７５：ガイド、７７：立て板、７８：回転プレート、７９：エアシリンダ、８０：連結部材、８２：エアシリンダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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