(57)【要約】【課題】光透過性紫外線硬化シートに良好な情報面を形成する情報記録媒体の製造装置を提供する。また、その製造装置を用いて良好な再生信号が得られる情報記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】本発明の情報記録媒体の製造装置であるプレス転写装置４０ａ、４０ｂによれば、金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５から基板２の光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を維持しながら紫外線を照射して光透過性紫外線硬化シート５の硬化を行うことが可能なため、光透過性紫外線硬化シート５に良好な情報面を形成することができる。また、このプレス転写装置４０ａ、４０ｂを用いた、本発明の情報記録媒体の製造方法によれば、作製される情報記録媒体の再生信号のジッタ値もしくはノイズに大きなばらつきは生じない。【選択図】図１
2008016160.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を透過可能な基板の一面側に形成され前記紫外線によって硬化する樹脂シートに、原盤の一面に形成された凹凸パターンを転写し、該凹凸パターンが転写された樹脂シートを硬化することによって、該樹脂シートに前記凹凸パターンが転写されてなる情報記録面を形成する情報記録媒体の製造装置であって、
前記原盤を保持する原盤保持部と、
前記樹脂シートが一面側に形成された基板を前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが間隙を有して対向するように保持する基板保持部と、
該基板保持部を前記原盤保持部に接近する方向に移動させて前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とを当接させる基板保持部駆動手段と、
前記基板の他面と間隙を有して対向する対向面を備え紫外線を透過可能な板状部を有するカバー部と、
前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが当接した状態で、前記基板保持部及び前記原盤保持部を前記カバー部の前記板状部に接近する方向に移動させて前記基板の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記樹脂シートと前記原盤とを押圧する押圧手段と、
前記板状部における対向面とは反対の面から入射して前記板状部及び前記基板を通過して前記樹脂シートに到達する紫外線を出射する紫外線照射手段と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の情報記録媒体の製造装置を用いて情報記録媒体を製造する情報記録媒体の製造方法であって、
前記原盤保持部に前記原盤を保持する原盤保持工程と、
前記基板保持部に前記樹脂シートが一面側に形成された基板を前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが対向するように保持する基板保持工程と、
前記基板保持部駆動手段により、前記基板保持部を前記原盤保持部に接近する方向に移動させて前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とを当接させる当接工程と、
前記カバー部を前記基板の他面と前記板状部の前記対向面とが対向するように配置するカバー部配置工程と、
前記押圧手段により、前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが当接した状態で前記基板保持部及び前記原盤保持部を前記カバー部の前記板状部に接近する方向に移動させて前記基板の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記樹脂シートと前記原盤とを押圧する押圧工程と、
該押圧工程により前記樹脂シートと前記原盤とが押圧された状態で、前記紫外線照射手段から紫外線を出射して前記樹脂シートを硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
基板の一面側に形成され紫外線によって硬化する樹脂シートに、前記紫外線を透過可能な原盤の一面に形成された凹凸パターンを転写し、該凹凸パターンが転写された樹脂シートを硬化することによって、該樹脂シートに前記凹凸パターンが転写されてなる情報記録面を形成する情報記録媒体の製造装置であって、
前記樹脂シートが一面側に形成された基板を保持する基板保持部と、
前記原盤をその一面と前記樹脂シートとが間隙を有して対向するように保持する原盤保持部と、
該原盤保持部を前記基板保持部に接近する方向に移動させて前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとを当接させる原盤保持部駆動手段と、
前記原盤の他面と間隙を有して対向する対向面を備え紫外線を透過可能な板状部を有するカバー部と、
前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとが当接した状態で、前記原盤保持部及び前記基板保持部を前記カバー部の前記板状部に接近する方向に移動させて前記原盤の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記原盤と前記樹脂シートとを押圧する押圧手段と、
前記板状部における対向面とは反対の面から入射して前記板状部及び前記原盤を通過して前記樹脂シートに到達する紫外線を出射する紫外線照射手段と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造装置。
【請求項４】
請求項３記載の情報記録媒体の製造装置を用いて情報記録媒体を製造する情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板保持部に前記樹脂シートが一面側に形成された基板を保持する基板保持工程と、
前記原盤保持部に前記原盤をその一面と前記樹脂シートとが対向するように保持する原盤保持工程と、
前記原盤保持部駆動手段により、前記原盤保持部を前記基板保持部に接近する方向に移動させて前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとを当接させる当接工程と、
前記カバー部を前記原盤の他面と前記板状部の前記対向面とが対向するように配置するカバー部配置工程と、
前記押圧手段により、前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとが当接した状態で前記原盤保持部及び前記基板保持部を前記板状部に接近する方向に移動させて前記原盤の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記原盤と前記樹脂シートとを押圧する押圧工程と、
該押圧工程により前記原盤と前記樹脂シートとが押圧された状態で、前記紫外線照射手段から紫外線を出射して前記樹脂シートを硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は外部からレーザ光を照射することにより情報信号の再生もしくは記録を行うための情報記録媒体を製造するための情報記録媒体の製造装置及び情報記録媒体の製造方法に関し、特に、このレーザ光を透過する光透過性紫外線硬化シートに所定のピットや案内溝を凹凸状の情報面として形成する情報記録媒体の製造装置及び情報記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を照射して情報信号の記録、再生等を行うための情報記録媒体は記録容量が大きく、非接触で記録、再生が可能なことから、再生専用型ディスクとしてはＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖａｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）等が、また、記録再生型ディスクとしては１回のみ記録が可能なＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、何度でも記録が可能なＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ等が、幅広く利用されている。
【０００３】
一般的にこれら情報記録媒体であるディスクは、一方の面がレーザ光を入射させる入射面となり、内部の情報面にピットやグルーブ及びランドが同心円状もしくは螺旋状に、微細な凹凸パターンとして形成されている。また、前記情報面上にはその凹凸パターンに沿って、情報記録媒体に応じた機能層が成膜されることによってこの機能層は情報信号を再生もしくは記録するための情報層となる。これら情報記録媒体に記録された情報信号を再生する場合は、その入射面から入射するレーザ光を情報層を構成する反射膜もしくは半透過反射膜により反射させ、その反射光の光強度の変化から情報層に記録された情報信号を読み出し再生する。
【０００４】
近年の情報通信及び画像処理技術の急速な発展に伴い、これら情報記録媒体においても更なる記録容量の向上が要求されている。情報記録媒体の記録容量を向上させる主な手法としては、情報記録媒体に情報信号を記録する情報層を複数形成するというものがある。また、情報面に形成される案内溝のトラックピッチやピット等を更に微細化し、情報面における記録密度を高めることで情報記録媒体の高記録容量化を図るという手法も用いられている。更にまた、これら２つの手法を組み合わせて、更なる高記録容量化を図る試みもなされている。
【０００５】
案内溝やピット等を微細化し情報面における記録密度を高める手法においては、照射するレーザ光のスポット径も微細化した案内溝やピット等に合わせて小径化する必要がある。一般的にレーザ光のスポット径を小径化するためには、レーザ光の短波長化やレーザ光を照射するための対物レンズの開口数ＮＡを大きくするという手法がとられる。
【０００６】
照射するレーザ光の短波長化に関しては、従来のレーザ光の波長λが６３５ｎｍ〜６８５ｎｍの赤色半導体レーザから、レーザ光の波長λが４０５ｎｍ、４３５ｎｍ付近の青色半導体レーザを用いる技術が開発され実用化が進んでいる。しかしながら、これ以上レーザ光の短波長化を行うとレーザ光が紫外線領域に入るため、基板材料の選択が困難であり実用化にはまだ時間を要する。
【０００７】
また、対物レンズの開口率ＮＡを大きくした場合、レーザ光の焦点深度が浅くなるとともに、光ピックアップの光軸に対して情報記録媒体の情報層が垂直からずれる角度（チルト角）の許容量が小さくなるという問題が生じる。このチルト角は情報記録媒体におけるレーザ光の入射面から情報層までの距離による収差や複屈折の影響を受け易いため、チルト角の許容量を従来レベルに維持するためには情報記録媒体の入射面から情報層までの距離を短くする必要がある。
【０００８】
例えば、ＣＤの入射面から情報層までの距離は約１．２ｍｍであるのに対し、記録容量がＣＤの６〜８倍であるＤＶＤは、ＣＤに比べて開口数ＮＡの大きな対物レンズを用いているので、そのままでは許容されるチルト角が小さくなる。このためＤＶＤでは入射面から情報層までの距離を０．６ｍｍと短くすることで、ＣＤと同程度のチルト角が許容できるようにしている。
【０００９】
更に、２３ＧＢの大記録容量を有する次世代型情報記録媒体であるＢＤ（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）は、波長λが４０５ｎｍの青色レーザ光と開口数ＮＡが０．８５の対物レンズとを用い、入射面から情報層までの距離を０．１ｍｍと短くしている。
【００１０】
従来、製造工程を簡略化しかつ高品質な情報記録媒体を得るために、情報記録媒体の情報面は、一方の面が入射面であるディスクのもう一方の面側に形成されてきた。このため、従来の方法により入射面から情報層までの距離が０．１ｍｍであるようなＢＤ等に対応するとしたならば、基板の厚さを０．１ｍｍまで薄くする必要がある。しかしながら、基板の作製に一般的に用いられる射出成型法では、このような薄い基板に情報面を形成することは極めて困難である。この問題は情報面を有する基板を複数貼り合わせて情報層を多層化する情報記録媒体においても共通のものである。
【００１１】
このため、上記問題を解決するための情報記録媒体の作製方法が幾つか提案されており、その１つとして、下記［特許文献１］には、図７に示すような光ディスクの製造方法に関する発明が開示されている。
【００１２】
図７に示す光ディスクは、片面に凹凸状の第１情報面３（特許文献１における第１の情報信号）が形成された基板２が射出成型により作製され、第１情報面３上に機能層としての反射膜４が成膜されている。また、反射膜４上には光透過性紫外線硬化シート５が貼り付けられ、この光透過性紫外線硬化シート５に所定の凹凸パターンが転写された後、紫外線照射により硬化され第２情報面６（特許文献１における第２の情報信号）が形成されている。更に第２情報面６上には機能層として半透明反射膜７が、また、半透明反射膜７上には光透過性接着剤８を介して光透過性保護層１２（特許文献１における光透過性保護シート）が形成されている。
【００１３】
この図７に示す光ディスクのレーザ光の入射面は基板２側ではなく、光透過性保護層１２側とされる。このため、入射面から第１情報面３及び第２情報面６までの距離が短くなったとしても、基板２の厚みを薄くする必要はない。従って、基板２は従来どおり射出成型法により作製することが可能となる。また、第２情報面６は従来のように基板上に射出成型法により形成されるのではなく、光透過性紫外線硬化シート５に所定の凹凸パターンを転写し形成されるため、射出成型法を用いずとも第２情報面６の形成が可能となる。以上のことから、［特許文献１］に開示された発明によれば、基板作製に射出成型法を用いたまま、入射面から情報面までの距離が短い情報記録媒体を作製することができる。
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−３１７０５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、本発明者が［特許文献１］に開示された発明に則って再生専用型の情報記録媒体及び記録再生型の情報記録媒体を作製したところ、再生専用型の情報記録媒体では、光透過性紫外線硬化シート５に形成された記録層から得られる再生信号のジッタ値にばらつきが大きいことが判明した。また、記録再生型の情報記録媒体では、同じく光透過性紫外線硬化シート５に形成された記録層から得られる再生信号のノイズにばらつきが大きいことが判明した。
【００１６】
本発明者がこの再生信号のジッタ値及びノイズにばらつきの原因を調査したところ、再生専用型の情報記録媒体におけるジッタ値のばらつきの増大は、光透過性紫外線硬化シート５上に形成されたピット長のばらつきが大きいことに起因することが分かった。また、記録再生型の情報記録媒体におけるノイズばらつきの増大は、これも光透過性紫外線硬化シート５上に形成された案内溝の側壁の表面粗さのばらつきが大きいことに起因することが分かった。これら、ピット長や案内溝側壁の表面粗さのばらつきの増大は、光透過性紫外線硬化シート５に凹凸状の情報面を形成する際に生じるものと考えられる。即ち、［特許文献１］に開示された製造方法では凹凸パターンをプレッシャプレートによる加圧により光透過性紫外線硬化シート５に転写した後、プレッシャプレートによる加圧を解除してからではないと、紫外線照射による光透過性紫外線硬化シート５の硬化が行えない。このため、加圧を解除してから紫外線照射による硬化を行うまでの間に、光透過性紫外線硬化シート５の弾性復元力により転写された凹凸パターンが弾性変形してしまい、この弾性変形量が光透過性紫外線硬化シート５の平面内で一定でないことにより、ピット長や案内溝側壁の表面粗さのばらつきが増大すると推察される。
【００１７】
以上のことから、［特許文献１］に開示された発明では、基板２を薄くすることなく入射面から情報面までの距離を短くすることが可能ではあるが、光透過性紫外線硬化シート５に形成される情報面から得られる再生信号のジッタ値やノイズに大きなばらつきが生じるという問題があり、更なる改善が望まれる。
【００１８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、光透過性紫外線硬化シートにピット長や案内溝側壁の表面粗さのばらつきの少ない良好な情報面を形成する情報記録媒体の製造装置を提供することを目的とする。また、その製造装置を用いて良好な再生信号が得られる情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、紫外線を透過可能な基板２の一面側に形成され前記紫外線によって硬化する樹脂シートに、原盤の一面に形成された凹凸パターンを転写し、該凹凸パターンが転写された樹脂シートを硬化することによって、該樹脂シートに前記凹凸パターンが転写されてなる情報記録面を形成する情報記録媒体の製造装置であって、
前記原盤を保持する原盤保持部と、
前記樹脂シートが一面側に形成された基板２を前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが間隙を有して対向するように保持する基板保持部と、
該基板保持部を前記原盤保持部に接近する方向に移動させて前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とを当接させる基板保持部駆動手段と、
前記基板の他面と間隙を有して対向する対向面を備え紫外線を透過可能な板状部を有するカバー部１９と、
前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが当接した状態で、前記基板保持部及び前記原盤保持部を前記カバー部１９の前記板状部に接近する方向に移動させて前記基板２の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記樹脂シートと前記原盤とを押圧する押圧手段と、
前記板状部における対向面とは反対の面から入射して前記板状部及び前記基板を通過して前記樹脂シートに到達する紫外線を出射する紫外線照射手段と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造装置を提供することにより、上記課題を解決する。
【００２０】
また、上記の情報記録媒体の製造装置を用いて情報記録媒体を製造する情報記録媒体の製造方法であって、
前記原盤保持部に前記原盤を保持する原盤保持工程と、
前記基板保持部に前記樹脂シートが一面側に形成された基板２を前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが対向するように保持する基板保持工程と、
前記基板保持部駆動手段により、前記基板保持部を前記原盤保持部に接近する方向に移動させて前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とを当接させる当接工程と、
前記カバー部１９を前記基板２の他面と前記板状部の前記対向面とが対向するように配置するカバー部配置工程と、
前記押圧手段により、前記樹脂シートと前記原盤の前記一面とが当接した状態で前記基板保持部及び前記原盤保持部を前記カバー部１９の前記板状部に接近する方向に移動させて前記基板２の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記樹脂シートと前記原盤とを押圧する押圧工程と、
該押圧工程により前記樹脂シートと前記原盤とが押圧された状態で、前記紫外線照射手段から紫外線を出射して前記樹脂シートを硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。
【００２１】
更に、基板２の一面側に形成され紫外線によって硬化する樹脂シートに、前記紫外線を透過可能な原盤の一面に形成された凹凸パターンを転写し、該凹凸パターンが転写された樹脂シートを硬化することによって、該樹脂シートに前記凹凸パターンが転写されてなる情報記録面を形成する情報記録媒体の製造装置であって、
前記樹脂シートが一面側に形成された基板２を保持する基板保持部と、
前記原盤をその一面と前記樹脂シートとが間隙を有して対向するように保持する原盤保持部と、
該原盤保持部を前記基板保持部に接近する方向に移動させて前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとを当接させる原盤保持部駆動手段と、
前記原盤の他面と間隙を有して対向する対向面を備え紫外線を透過可能な板状部を有するカバー部１９と、
前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとが当接した状態で、前記原盤保持部及び前記基板保持部を前記カバー部１９の前記板状部に接近する方向に移動させて前記原盤の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記原盤と前記樹脂シートとを押圧する押圧手段と、
前記板状部における対向面とは反対の面から入射して前記板状部及び前記原盤を通過して前記樹脂シートに到達する紫外線を出射する紫外線照射手段と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造装置を提供することにより、上記課題を解決する。
【００２２】
更にまた、上記の情報記録媒体の製造装置を用いて情報記録媒体を製造する情報記録媒体の製造方法であって、
前記基板保持部に前記樹脂シートが一面側に形成された基板２を保持する基板保持工程と、
前記原盤保持部に前記原盤をその一面と前記樹脂シートとが対向するように保持する原盤保持工程と、
前記原盤保持部駆動手段により、前記原盤保持部を前記基板保持部に接近する方向に移動させて前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとを当接させる当接工程と、
前記カバー部１９を前記原盤の他面と前記板状部の前記対向面とが対向するように配置するカバー部配置工程と、
前記押圧手段により、前記原盤の前記一面と前記樹脂シートとが当接した状態で前記原盤保持部及び前記基板保持部を前記板状部に接近する方向に移動させて前記原盤の他面と前記板状部の対向面とを当接させ、さらに前記原盤と前記樹脂シートとを押圧する押圧工程と、
該押圧工程により前記原盤と前記樹脂シートとが押圧された状態で、前記紫外線照射手段から紫外線を出射して前記樹脂シートを硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とする情報記録媒体の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る情報記録媒体の製造装置によれば特に、上記の構成により、
光透過性紫外線硬化シートに凹凸状のピットもしくは案内溝からなる情報面を形成する際に、そのピット長もしくは案内溝側壁における表面粗さのばらつきの少ない良好な情報面を形成することができる。
【００２４】
また、本発明に係る情報記録媒体の製造方法によれば特に、上記の手順により、
光透過性紫外線硬化シートにピット長もしくは案内溝側壁における表面粗さのばらつきが少ない情報面を形成することができるため、再生信号のジッタ値やノイズのばらつきが少ない良好な情報記録媒体を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明に係る情報記録媒体の製造装置及び情報記録媒体の製造方法の実施の形態について図面に基づいて説明する。尚、従来技術と同様の部材に関しては同符号にて示す。図１は本発明に係る転写プレス装置の第１の実施の形態を示す断面図である。図２は本発明に係る転写プレス装置の第１の実施の形態の動作を説明する図である。図３は本発明に係る転写プレス装置の第２の実施の形態を示す断面図である。図４は本発明に係る転写プレス装置の第２の実施の形態の動作を説明する図である。図５は本発明に係る情報記録媒体の製造工程の概略を示す工程フローチャートである。図６は本発明に係る情報記録媒体の製造方法を説明する図である。
【００２６】
図１は、本発明に係る情報記録媒体の製造装置である、光透過性紫外線硬化シートへ情報面を形成するための転写プレス装置の第１の実施の形態を示す断面図である。尚、図１においては、加圧もしくは減圧を保つために使用されるパッキンやオーリング等の記載は省略するものとする。
【００２７】
図１に示す転写プレス装置４０ａはプレス部３８ａとカバー部１９とで構成される。プレス部３８ａのベース９の中心には、センター孔９ａが形成されており、センター孔９ａにはセンターピン１０ａが、センター孔９ａをガイドとして図１における上下方向に可動な状態で嵌入されている。センターピン１０ａは中心軸が同一であり径の異なるセンターピン大径部１０ｂとセンターピン小径部１０ｃとで構成されており、センターピン小径部１０ｃの直径は前述した基板２の中心孔の直径と同等となるように、また、センターピン小径部１０ｃの長さは基板２の厚みより短くなるように形成されている。尚、このセンターピン小径部１０ｃ及びセンターピン１０ａが転写プレス装置４０ａの基板保持部となる。
【００２８】
ベース９上には円板状のマグネットプレート１１が載置されており、マグネットプレート１１の中心孔にはセンターピン大径部１０ｂが可動な状態で嵌入されておりマグネットプレート１１を、センターピン大径部１０ｂをガイドとして上下方向に移動することが可能である。尚、このセンターピン大径部１０ｂ及びマグネットプレート１１が転写プレス装置４０ａの原盤保持部となる。
【００２９】
ベース９にはセンター孔９ａの外側にシャフト孔９ｂが４箇所形成されており、このシャフト孔９ｂにはシャフト１４がシャフト孔９ｂをガイドとして図１における上下方向に可動な状態で嵌入されている。また、シャフト１４の上端はマグネットプレート１１に固定され、下端はアンダープレート１３に固定されている。尚、図１では４つのシャフト孔９ｂ及びシャフト１４のうちの各２つを示す。
【００３０】
アンダープレート１３には第１エアシリンダ１５が固定されており、第１エアシリンダ１５のロッド１６はアンダープレート１３に形成された孔を通してセンターピン１０ａの下端に固定される。従って、第１エアシリンダ１５にエアが供給されるなどして第１エアシリンダ１５のロッド１６が上下方向に移動すれば、それに伴ってセンターピン１０ａも上下方向に移動することとなる。尚、この第１エアシリンダ１５及びロッド１６が転写プレス装置４０ａの基板保持部駆動手段となる。
【００３１】
更に、ベース９には２本の第２エアシリンダ１７がシャフト１４の外側の位置に固定されており、第２エアシリンダ１７のロッド１８はベース９に形成されたロッド孔９ｃを通してマグネットプレート１１に固定されている。尚、第２エアシリンダ１７は２本同時に図１にける上下方向に移動するように構成されており、従って、第２エアシリンダ１７にエアが供給されるなどして第２エアシリンダ１７のロッド１８が上下方向に移動すれば、ロッド１８に固定されたマグネットプレート１１もこのロッド１８の移動に応じて上下方向に移動することとなる。マグネットプレート１１が上下方向に移動すれば、マグネットプレート１１に固定されたシャフト１４を介して、アンダープレート１３、第１エアシリンダ１５、センターピン１０ａも上下方向に移動する。尚、この第２エアシリンダ１７及びロッド１８が転写プレス装置４０ａの押圧手段となる。
【００３２】
プレス部３８ａにはベース９上に着脱可能なカバー部１９が取り付けられている。カバー部１９はプレス部３８ａの上面側を覆うように光透過性を有し、かつ基板２との対向面を備える板状部としての石英ガラス製のトッププレート２１と、筒状のサイドカバー２０とから構成されており、このカバー部１９によりプレス部３８ａのベース９より上の部材は隙間無く完全に覆われることとなる。
【００３３】
トッププレート２１には給排気口２１ａが設けられており、また、カバー部１９、プレス部３８ａの可動部等にはカバー部１９内を密閉するための、図示しないパッキンやオーリング等が適宜取り付けられているため、この給排気口２１ａ通じて空気や窒素ガスを導入することによりカバー部１９内を加圧することも、また給排気口２１ａに真空ポンプ等を接続してカバー部１９内を減圧することもできる。更に、カバー部１９の上方には、紫外線照射手段として紫外線ランプ２３が配置される。
【００３４】
また、トッププレート２１の下面には作製する情報記録媒体の直径と同等もしくはそれよりも大きい透明ゴムシート２２がマグネットプレート１１に対向するように接着されている。透明ゴムシート２２の材料としては光透過性及び弾性を有するエチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、ポリウレタンゴム等を用いることができる。尚、透明ゴムシート２２は、前述の光透過性紫外線硬化シート５に凹凸状の情報面を形成する際に、基板２の厚みのばらつきに起因する転写ばらつきを防止するものであり、基板２の厚みが十分に均一であれば設けなくとも良い。
【００３５】
次に、上述した転写プレス装置４０ａを用いて基板２上の光透過性紫外線硬化シート５に凹凸状の情報面を形成する方法を図２に基づいて説明する。
【００３６】
図２（ａ）に示すように、先ず、転写プレス装置４０ａのカバー部１９を取り外し、プレス部３８ａの第１エアシリンダ１５を動作させ、ロッド１６を図２における上方の所定の位置に移動する。この動作に伴いロッド１６に固定されたセンターピン１０ａも上方の所定の位置に移動する。次に、原盤保持工程として、センターピン大径部１０ｂに、後述する方法により作製された金属原盤３４の中心孔を、情報面を形成するための凹凸パターンが形成された面が上を向くように嵌入し、マグネットプレート１１上に固定する。その後、基板保持工程として、紫外線の照射によって硬化する樹脂シートとしての光透過性紫外線硬化シート５が貼り付けられた基板２の中心孔を、光透過性紫外線硬化シート５が金属原盤３４と向き合うようにして、センターピン小径部１０ｃに嵌入し、センターピン大径部１０ｂとの段差部に載置する。現段階ではセンターピン１０ａが上方に位置にしているため、金属原盤３４と光透過性紫外線硬化シート５とは非接触の状態である。
【００３７】
次に、カバー部配置工程として、カバー部１９をプレス部３８ａのマグネットプレート１１、基板２、金属原盤３４、を覆い、かつ基板２の光透過性紫外線硬化シート５が形成されていない面と、トッププレート２１下面の対向面とが対向するように載置した後、サイドカバー２０の下面をベース９に固定する。次に、給排気口２１ａに接続された図示しない真空ポンプを稼動しカバー部１９内を所定の圧力になるまで減圧する。次に、当接工程として、第１エアシリンダ１５を動作させ、ロッド１６を下方の所定の位置に移動する。この動作に伴いロッド１６に固定された基板保持部であるセンターピン１０ａが原盤保持部であるマグネットプレート１１に接近する方向に移動することとなり、センターピン大径部１０ｂとの段差部に載置された基板２の光透過性紫外線硬化シート５が金属原盤３４上の凹凸パターンと当接した状態となる（図２（ｂ））。次に、カバー部１９内を大気圧に戻した後、給排気口２１ａを通して空気もしくは窒素ガスを導入することで、カバー部１９内を所定の圧力まで加圧する。
【００３８】
一定時間加圧した後、押圧工程として、図２（ｃ）に示すように、第２エアシリンダ１７を動作させ、ロッド１８を上方の所定の位置に移動する。これによりマグネットプレート１１、シャフト１４、アンダープレート１３、第１エアシリンダ１５、ロッド１６、センターピン１０ａがカバー部１９のトッププレート２１に接近する方向に移動することとなる。この動作により、基板２は光透過性紫外線硬化シート５と金属原盤３４の凹凸パターンとが当接した状態のまま、トッププレート２１の下面に設けられた透明ゴムシート２２に当接する。このとき、ロッド１８の移動量とカバー部１９の高さ寸法とを適切な値とすることで、金属原盤３４は基板２へ第２エアシリンダ１７の圧力により押し付けられ、その結果、金属原盤３４上に形成された凹凸パターンが光透過性紫外線硬化シート５に転写される。
【００３９】
上記の基板２への加圧状態を一定時間保持した後、硬化工程として、この加圧状態を保持したまま、トッププレート２１の上方に設置された紫外線ランプ２３から、図２（ｃ）中の矢印に示されるように、紫外線をトッププレート２１、透明ゴムシート２２、基板２を通して光透過性紫外線硬化シート５に照射する。これにより、基板２の光透過性紫外線硬化シート５は金属原盤３４上の凹凸パターンが押し付けられた状態のまま硬化される。
【００４０】
光透過性紫外線硬化シート５が硬化した後、カバー部１９内を大気圧に戻し第２エアシリンダ１７を動作させ、ロッド１８を下方の所定の位置に移動する。これにより、基板２は透明ゴムシート２２から離れ、第２エアシリンダ１７による基板２への加圧状態は解除される。その後、カバー部１９をプレス部３８ａから取り外し、基板２を金属原盤３４から剥離することで、基板２の光透過性紫外線硬化シート５に金属原盤３４の凹凸パターンが転写されてなる凹凸状の情報面が形成される。
【００４１】
尚、上記のように、情報面は光透過性紫外線硬化シート５に金属原盤３４が押し付けられてから、紫外線照射による光透過性紫外線硬化シート５の硬化完了時まで、第２エアシリンダ１７からの加圧状態を保持しながら形成されるため、光透過性紫外線硬化シート５の復元力による弾性変形は生じ得ず、よって光透過性紫外線硬化シート５に形成された凹凸パターンには、ピット長もしくは案内溝側壁の表面粗さに大きなばらつきが生じることはない。
【００４２】
図３は、本発明に係る情報記録媒体の製造装置である、光透過性紫外線硬化シートへ情報面を形成するための転写プレス装置の第２の実施の形態を示す断面図である。尚、図３においても、加圧もしくは減圧を保つために使用されるパッキンやオーリング等の記載は省略するものとする。
【００４３】
図３に示す転写プレス装置４０ｂはプレス部３８ｂとカバー部１９とで構成される。プレス部３８ｂのベース９の中心には、転写プレス装置４０ａのセンター孔９ａよりも径の小さなセンター孔９ｄが形成されている。センター孔９ｄにはセンターピン１０ｄが、センター孔９ｄをガイドとして図３における上下方向に可動な状態で嵌入されている。センターピン１０ｄは中心軸が同一で、センターピン大径部１０ｂよりも径の小さなセンターピン大径部１０ｅとセンターピン小径部１０ｃよりも径の小さなセンターピン小径部１０ｆとで構成されており、センターピン大径部１０ｅの直径は基板２の中心孔の直径と同等となるように、また、センターピン小径部１０ｆの直径は後述する樹脂原盤２５の中心孔の直径と同等でかつ、その長さは樹脂原盤２５の厚みより短くなるように形成されている。尚、このセンターピン小径部１０ｆ及びセンターピン１０ｄが転写プレス装置４０ｂの原盤保持部となる。
【００４４】
ベース９上にはマグネットプレート１１に替わって円板状のテーブル２４が載置されており、テーブル２４の中心孔にはセンターピン大径部１０ｅが可動な状態で嵌入され、センターピン大径部１０ｅをガイドとして上下方向に移動する。尚、このセンターピン大径部１０ｅ及びテーブル２４が転写プレス装置４０ｂの基板保持部となる。
【００４５】
ベース９のシャフト孔９ｂには、シャフト１４がシャフト孔９ｂをガイドとして図３における上下方向に可動な状態で嵌入される。尚、シャフト１４の上端はテーブル２４に固定され、下端はアンダープレート１３に固定されている。アンダープレート１３には第１エアシリンダ１５が固定されており、第１エアシリンダ１５のロッド１６はアンダープレート１３に形成された孔を通してセンターピン１０ｄの下端に固定されている。従って、第１エアシリンダ１５にエアが供給されるなどして第１エアシリンダ１５のロッド１６が上下方向に移動すれば、それに伴ってセンターピン１０ｄも上下方向に移動することとなる。尚、この第１エアシリンダ１５及びロッド１６が転写プレス装置４０ｂの原盤保持部駆動手段となる。
【００４６】
更に、ベース９には２本の第２エアシリンダ１７がシャフト１４の外側の位置に固定されており、第２エアシリンダ１７のロッド１８はベース９に形成されたロッド孔９ｃを通してテーブル２４に固定される。従って、第２エアシリンダ１７にエアが供給されるなどして第２エアシリンダ１７のロッド１８が上下方向に移動すれば、ロッド１８に固定されたテーブル２４も上下方向に移動することとなる。テーブル２４が上下方向に移動すれば、テーブル２４に固定されたシャフト１４を介して、アンダープレート１３、第１エアシリンダ１５、センターピン１０ｄも上下方向に移動する。尚、この第２エアシリンダ１７及びロッド１８が転写プレス装置４０ｂの押圧手段となる。
【００４７】
プレス部３８ｂには、ベース９上に転写プレス装置４０ａと同様の板状部であるトッププレート２１を有する着脱可能なカバー部１９が取り付けられている。このカバー部１９によりプレス部３８ｂのベース９より上の部材は隙間無く完全に覆われることとなる。また、カバー部１９に設けられた給排気口２１ａを通じてカバー部１９内の気体を給排気することでカバー部１９内を加圧もしくは減圧することができる。更に、カバー部１９の上方には、紫外線照射手段として紫外線ランプ２３が配置される。
【００４８】
次に、転写プレス装置４０ｂを用いて基板２上の光透過性紫外線硬化シート５に凹凸状の情報面を形成する方法を図４に基づいて説明する。
【００４９】
図４（ａ）に示すように、先ず、転写プレス装置４０ｂのカバー部１９を取り外し、プレス部３８ｂの第１エアシリンダ１５を動作させ、ロッド１６を図４における上方の所定の位置に移動する。この動作に伴いロッド１６に固定されたセンターピン１０ｄも上方の所定の位置に移動する。次に、基板保持工程として、センターピン大径部１０ｅに、光透過性紫外線硬化シート５が貼り付けられた基板２の中心孔を、光透過性紫外線硬化シート５が上になるように嵌入しテーブル２４上に固定する。その後、原盤保持工程として、後述する方法により作製された紫外線を透過可能な原盤としての樹脂原盤２５の中心孔を、凹凸パターンが形成された面が前述の光透過性紫外線硬化シート５と向かい合うようにセンターピン小径部１０ｆに嵌入し、センターピン大径部１０ｅとの段差部に載置する。現段階ではセンターピン１０ｄが上方に位置にしているため、樹脂原盤２５と光透過性紫外線硬化シート５とは非接触の状態である。
【００５０】
次に、カバー部配置工程として、カバー部１９をプレス部３８ｂのテーブル２４、基板２、樹脂原盤２５を覆い、かつ樹脂原盤２５の凹凸パターンが形成されていない面と、トッププレート２１下面の対向面とが対向するように載置した後、サイドカバー２０の下面をベース９に固定する。次に、給排気口２１ａに接続された図示しない真空ポンプを稼動しカバー部１９内を所定の圧力になるまで減圧する。次に、当接工程として、第１エアシリンダ１５を動作させ、ロッド１６を下方の所定の位置に移動する。この動作に伴いロッド１６に固定された原盤保持部であるセンターピン１０ｄが基板保持部であるテーブル２４に接近する方向に移動することとなり、センターピン大径部１０ｅとの段差部に載置された樹脂原盤２５の凹凸パターンが基板２の光透過性紫外線硬化シート５に当接した状態となる（図４（ｂ））。次に、カバー部１９内を大気圧に戻した後、給排気口２１ａを通して空気もしくは窒素ガスを導入することで、カバー部１９内を所定の圧力まで加圧する。
【００５１】
一定時間加圧した後、押圧工程として、図４（ｃ）に示すように、第２エアシリンダ１７を動作させ、ロッド１８を上方の所定の位置に移動する。これにより、テーブル２４、シャフト１４、アンダープレート１３、第１エアシリンダ１５、ロッド１６、センターピン１０ｄ、がカバー部１９のトッププレート２１に接近する方向に移動することとなる。この動作により、樹脂原盤２５は基板２の光透過性紫外線硬化シート５と樹脂原盤２５の凹凸パターンとが当接した状態のまま、トッププレート２１の下面に設けられた透明ゴムシート２２に当接する。このとき、ロッド１８の移動量とカバー部１９の高さ寸法とを適切な値とすることで、基板２は樹脂原盤２５へ第２エアシリンダ１７の圧力により押し付けられ、その結果、樹脂原盤２５上に形成された凹凸パターンが光透過性紫外線硬化シート５に転写される。
【００５２】
上記の基板２への加圧状態を一定時間保持した後、硬化工程として、この加圧状態を保持したまま、トッププレート２１の上方に設置された紫外線ランプ２３から、図４（ｃ）中の矢印に示されるように、紫外線をトッププレート２１、透明ゴムシート２２、樹脂原盤２５を通して光透過性紫外線硬化シート５に照射する。これにより、基板２の光透過性紫外線硬化シート５は樹脂原盤２５の凹凸パターンが押し付けられたまま硬化される。
【００５３】
光透過性紫外線硬化シート５が硬化した後、カバー部１９内を大気圧に戻し第２エアシリンダ１７を動作させ、ロッド１８を下方の所定の位置に移動する。これにより、基板２は透明ゴムシート２２から離れ、第２エアシリンダ１７による基板２への加圧状態は解除される。その後、カバー部１９をプレス部３８ｂから取り外し、基板２を樹脂原盤２５から剥離することで、基板２の光透過性紫外線硬化シート５上に樹脂原盤２５の凹凸パターンが転写された凹凸状の情報面が形成される。
【００５４】
転写プレス装置４０ｂにおいても転写プレス装置４０ａと同様、情報面は、光透過性紫外線硬化シート５に樹脂原盤２５が押し付けられてから、紫外線照射による光透過性紫外線硬化シート５の硬化完了時まで、第２エアシリンダ１７による加圧状態を保持しながら形成されるので、光透過性紫外線硬化シート５の復元力による弾性変形は生じ得ず、よって光透過性紫外線硬化シート５に形成された凹凸パターンには、ピット長もしくは案内溝の側壁の表面粗さに大きなばらつきが生じることはない。
【００５５】
更に、転写プレス装置４０ｂによれば、光透過性紫外線硬化シート５を硬化するための紫外線がトッププレート２１、透明ゴムシート２２、樹脂原盤２５を通してこの光透過性紫外線硬化シート５に照射されるため、基板２上に形成された機能層が紫外線の透過を妨げる場合でも、光透過性紫外線硬化シート５を硬化して情報面を形成することができる。
【００５６】
尚、樹脂原盤２５の中心孔を、転写プレス装置４０ａのセンターピン大径部１０ｂの径と同等に形成すれば、樹脂原盤２５を転写プレス装置４０ａに用いることも可能である。
【００５７】
次に、本発明の転写プレス装置４０ａ、４０ｂを用いた情報記録媒体の製造工程の概略を図５の工程フローチャートを基に説明する。
【００５８】
先ず、原盤作製工程１００において、基板２上に情報面を形成するための所定のピットもしくは案内溝の母型が凹凸パターンとして形成された基板用金属原盤が作製される。また、光透過性紫外線硬化シート５上に情報面を形成するための金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５が作製される。尚、情報面を複数層有する情報記録媒体を作製する際には、基本的にその情報面の数だけ金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５は作製される。
【００５９】
次に、基板作製工程１１０において、原盤作製工程１００にて作製された基板用金属原盤を成形型として用いて、基板用金属原盤の凹凸パターンが転写された凹凸状の第１情報面３が片面に形成された基板２が作製される。次に、機能層成膜工程１２０ａにおいて第１情報面３上に所定の機能層がスパッタリング法等により成膜され第１情報層３ａが形成される。次に、光透過性紫外線硬化シート貼付工程１３０において、基板２の第１情報層３ａ上に光透過性紫外線硬化シート５が貼り付けられる。
【００６０】
次に、情報面形成工程１４０において、原盤作製工程１００にて作製された金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５を用いて、光透過性紫外線硬化シート貼付工程１３０にて貼り付けられた光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６が形成される。光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６を形成する際には、前述の転写プレス装置４０ａもしくは４０ｂを用いる。このため、形成される情報面のピット長もしくは案内溝側壁の表面粗さに大きなばらつきは生じない。尚、第１情報層３ａの機能層が光透過性紫外線硬化シート５の硬化に足る光量の紫外線を透過できない場合には、転写プレス装置４０ｂを用いることが好ましい。
【００６１】
次に、機能層成膜工程１２０ｂにおいて、光透過性紫外線硬化シート５に形成された第２情報面６上に所定の機能層がスパッタリング法等により成膜され、第２情報層６ａが形成される。尚、更に情報層を多層化する場合には、上記の光透過性紫外線硬化シート貼付工程１３０、情報面形成工程１４０、機能層成膜工程１２０ｂを繰り返すことで、第２情報層６ａ上に、第３の情報層、第４の情報層等が順次形成することができる。ただしその場合、各情報層が光透過性紫外線硬化シート５の硬化に足る光量の紫外線を透過可能であることが必要である。
【００６２】
最後に、光透過性保護層形成工程１６０において、第２情報層６ａ上に光透過性保護層１２が形成され、情報記録媒体が製造される。尚、更に情報層が多層化されたものについてはその最外層の情報層上に光透過性保護層１２が形成される。
【００６３】
尚、情報記録媒体の作製方法としては、基板作製工程１１０ではなく情報面形成工程１４０において第１情報面３を形成する方法もある。この場合には、基板作製工程１１０では両面が平滑な基板２が作製され、機能層成膜工程１２０ａを経ずに光透過性紫外線硬化シート貼付工程１３０に行き、情報記録面形成工程１４０にて光透過性紫外線硬化シート５に第１情報面３ａが形成される。その後は同様の工程に則って情報記録媒体が作製される。
【００６４】
上記の情報記録媒体の製造方法を図６を用いて更に詳しく説明する。尚、図６においては、片面に情報面３ａが形成された基板２を用いて、情報層を２層有する情報記録媒体の作製を例にして説明を行う。
【００６５】
先ず、第１情報面３を形成するための基板用金属原盤の作製を行う。基板用金属原盤の作製には、ガラス等の材料からなる原盤用基板を用意し、その原盤用基板上にスピンコート法等でフォトレジスト層を形成する。このフォトレジスト層に、再生専用型の情報記録媒体の場合は、記録する情報信号に従ってレーザ光を照射しピットの潜像を形成する所謂カッティングを行う。また、記録再生型の情報記録媒体の場合は、所定の寸法の同心円状もしくは螺旋状の案内溝の潜像を形成する。次に、カッティングされたフォトレジスト層に現像処理を施すことにより、カッティングによって形成されたピットもしくは案内溝の潜像を除去する。これにより、原盤用基板上には、ピットもしくは案内溝が凹凸パターンとして形成される。
【００６６】
次に、原盤用基板上の凹凸パターンに沿ってスパッタ、あるいは無電解メッキ等の方法により導電性膜を成膜した後、この導電性膜上に電解メッキ法等によりニッケル等の金属層を形成する。この金属層を原盤用基板から剥離することで、この金属層が所定の凹凸パターンを有するマスタ原盤となる。再生専用型の情報記録媒体の場合はこのマスタ原盤に洗浄、裏面研磨、内外周トリミング等を施すことで第１情報面３を形成するための基板用金属原盤となる。また、記録再生型の情報記録媒体の場合は、上記のマスタ原盤に剥離処理を施した後に、このマスタ原盤上に再度電解メッキ法等で第２の金属層を析出させ、この第２の金属層をマスタ原盤から剥離した後、洗浄、裏面研磨、内外周トリミング等を施すことで第１情報面３を形成するための基板用金属原盤となる。尚、これと同様の手順により、第２情報面６を形成するための金属原盤３４も作製する。
【００６７】
尚、樹脂原盤２５を用いて光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６を形成する場合には、金属原盤３４を作製する際のマスタ原盤（再生専用型の情報記録媒体の場合には金属原盤３４）を成形型として用いて射出成型法等により樹脂原盤２５を作製する。尚、再生専用型の情報記録媒体の場合には、樹脂原盤２５の凹凸パターンは金属原盤３４の凹凸パターンが反転したパターンとなるが、どちらのパターンを使用するかはその目的や用途により適宜使い分けるものとする。樹脂原盤２５の材料としては光透過性を有するポリカーボネート樹脂、ポリメチル・メタクリレート、ポリスチレン、ポリカーボネート・ポリスチレン共重合体、ポリビニルクロライド、脂環式ポリオレフィン、アクリル等の合成樹脂が用いられる。
【００６８】
上記のようにして作製された基板用金属原盤を図示しない射出成型機の金型に取り付け、ポリカーボネート樹脂を材料として射出成型を行い、図６（Ａ）に示すように、基板用金属原盤の凹凸パターンが転写された凹凸状のピットもしくは案内溝からなる第１情報面３を片面に有する基板２を作製する。基板２の材料としてはポリカーボネート樹脂の他に、樹脂原盤２５と同様のポリメチル・メタクリレート、ポリスチレン、ポリカーボネート・ポリスチレン共重合体、ポリビニルクロライド、脂環式ポリオレフィン、アクリル等の合成樹脂を使用することができる。
【００６９】
次に、スパッタリング法等を用いて第１情報面３上に機能層を成膜することにより、図６（Ｂ）に示すように、基板２に第１情報層３ａを形成する。成膜する機能層は、再生専用型の情報記録媒体の場合は主に照射されるレーザ光を反射する反射膜であり、記録再生型の情報記録媒体の場合は照射されるレーザ光により情報信号の記録再生を行うための記録膜、反射膜等を含む複数の膜から構成される。
【００７０】
次に、図６（Ｃ）に示すように、基板２の第１情報層３ａ上に光透過性紫外線硬化シート５を貼りつける。次に、前述した転写プレス装置４０ａと金属原盤３４もしくは転写プレス装置４０ｂと樹脂原盤２５とを用いて、図６(Ｄ)に示すように、光透過性紫外線硬化シート５に金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５の凹凸パターンが転写された凹凸状の第２情報面６を形成する。
【００７１】
次に、スパッタリング法等を用いて第２情報面６上に機能層を成膜することにより、図６（Ｅ）に示すように、第２情報層６ａを形成する。成膜する機能層は、再生専用型の情報記録媒体の場合は主に照射されるレーザ光に応じて透過又は反射する半透過反射膜であり、記録再生型の情報記録媒体の場合は照射されるレーザ光に応じて情報信号の記録再生を行うための記録膜、半透過反射膜等を含む複数の膜で構成される。
【００７２】
最後に、図６（Ｆ）に示すように、第２情報層６ａ上に光透過性保護層１２を、光透過性保護シートを光透過性接着剤等を用いて接着するなどして形成し、２層の情報層を有する情報記録媒体を得る。尚、光透過性保護層１２の形成方法は、紫外線硬化樹脂を所定の厚さになるよう第２情報層６ａ上にコートした後、紫外線を照射することにより硬化させて形成しても良いし、紫外線硬化樹脂により光透過性保護シートを接着して形成しても良い。
【００７３】
このようにして作製された情報記録媒体のレーザ光の入射面は基板２側ではなく光透過性保護層１２側であるため、レーザ光のスポット径の小径化に対応するために、入射面から情報層までの厚みを薄くする必要が生じたとしても、基板２の厚みを薄くする必要はなく、基板２は従来どおり射出成型法により形成することができる。また、第２情報面６の形成には、前述した転写プレス装置４０ａ、４０ｂを用いて、基板２の光透過性紫外線硬化シート５に金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５の凹凸パターンを押し付けたまま、紫外線が照射され光透過性紫外線硬化シート５の硬化が行われるため、光透過性紫外線硬化シート５の復元力による弾性変形は生じ得ず、光透過性紫外線硬化シート５に形成された第２情報面６にはピット長もしくは案内溝側壁の表面粗さに大きなばらつきが生じることはない。
【実施例１】
【００７４】
フォトレジスト層が形成された原盤用基板上に、所定の情報信号に基づいてレーザ光の照射を行うカッティングを行った後、この原盤用基板に現像処理、無電解メッキ、電解メッキを施して、原盤用基板上にニッケル金属層を析出させ、このニッケル金属層を剥離することによりマスタ原盤を作製した。このマスタ原盤を洗浄、裏面研磨、内外周トリミングを施して、情報信号がトラックピッチ０．３２μｍ、最短ピッチ長１４９ｎｍの凹凸パターンとして片面に形成された外径φ１３８ｍｍ、中心孔径φ２０ｍｍ、厚み０．３ｍｍのニッケル製の基板用金属原盤を作製した。また、これと同様な方法で金属原盤３４を作製した。尚、基板用金属原盤と金属原盤３４とはトラックピッチと最短ピッチ長は同等ではあるが、記録されている情報信号のパターンは異なっている。
【００７５】
次に基板用金属原盤を射出成型機の金型に取付け、樹脂温度３８０℃、金型温度１２０℃の条件で射出成型を行い、片面に基板用金属原盤の凹凸パターンが転写されて形成された凹凸状の第１情報面３を有する外径φ１２０ｍｍ、中心孔径φ１５ｍｍ、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂製の基板２を作製した。
【００７６】
この基板２の第１情報面３上にスパッタリング装置を用いて、３０ｎｍのＡｇ膜を反射膜（機能層）として成膜し、第１情報層３ａを形成した。この第１情報層３ａ上に外径φ１１９．５ｍｍ、中心孔径φ２２ｍｍ、厚み２５μｍの光透過性紫外線硬化シート５（リンテック社製、ＯＰＴＥＲＩＡ  Ｈ−７０４  Ｐ１７Ｇ１）を貼り付けた。
【００７７】
次に、金属原盤３４の中心孔に、転写プレス装置４０ａのセンターピン大径部１０ｂを金属原盤３４の凹凸パターンが上を向くように挿入しマグネットプレート１１に固定した。また、光透過性紫外線硬化シート５が貼り付けられた基板２の中心孔に、光透過性紫外線硬化シート５が下になるようにプレス部３８ａのセンターピン小径部１０ｃを挿入し、センターピン大径部１０ｂとの段差部に載置した。
【００７８】
次に、プレス部３８ａにカバー部１９を固定し、給排気口２１ａに接続した真空ポンプを稼動させ、カバー部１９内を１０ｋＰａまで減圧した。次に、転写プレス装置４０ａの第１エアシリンダ１５のロッド１６を下方に移動させ、基板２上の光透過性紫外線硬化シート５と金属原盤３４の凹凸パターンとを密着させた。その後、一旦カバー部１９内を大気圧に戻した後、給排気口２１ａを通してエアを導入しカバー部１９内を０．７ＭＰａまで加圧し、３０ｓｅｃ保持した。次に、転写プレス装置４０ａの第２エアシリンダ１７のロッド１８を上方に移動させ、第２エアシリンダ１７の圧力により光透過性紫外線硬化シート５と金属原盤３４の凹凸パターンとを密着させた状態のまま加圧し、光透過性紫外線硬化シート５に金属原盤３４の凹凸パターンを転写した。
【００７９】
この第２エアシリンダ１７による加圧状態を保持したまま、紫外線ランプ２３（ウシオ社製マルチライト  1ｋＷ）を用い、トッププレート２１、透明ゴムシート２２、基板２を通して、紫外線を光透過性紫外線硬化シート５に照射し硬化させた。次に、第２エアシリンダ１７のロッド１８を下方に移動し、カバー部１９を取り外した後、金属原盤３４と基板２上の光透過性紫外線硬化シート５とを剥離することで、光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６を形成した。
【００８０】
次に、第２情報面６上にスパッタリング装置を用いて、１５ｎｍのＡｇ膜を半透過反射膜（機能層）として成膜し、第２情報層６ａを形成した。
【００８１】
この第２情報層６ａ上にスピンコート法により紫外線硬化樹脂（大日本インキ社製  ＥＸ−２１０）を塗布した後、紫外線を照射することにより硬化させ、厚み７５μｍの光透過性保護層１２を形成した。これにより、２層の情報層を有する再生専用型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【実施例２】
【００８２】
実施例１と同様にして、基板用金属原盤及び、金属原盤３４の作製、及び基板２の作製、並びに機能層の成膜を行い、実施例１と同様の片面に第１情報層３ａが形成された基板２を作製した。この第１情報層３ａ上に実施例１と同等の光透過性紫外線硬化シート５を貼り付けた。
【００８３】
次に、金属原盤３４を成形型として用い、実施例１の基板２の作製と同様の条件により、トラックピッチ０．３２μｍ、最短ピッチ長１４９ｎｍの凹凸パターンを片面に有する、外径φ１２０ｍｍ、中心孔径φ１０ｍｍ、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート製の樹脂原盤２５を作製した。
【００８４】
次に、光透過性紫外線硬化シート５が貼り付けられた基板２の中心孔に、転写プレス装置４０ｂのセンターピン大径部１０ｅを光透過性紫外線硬化シート５が上になるように挿入しテーブル２４に固定した。また、樹脂原盤２５の中心孔に、樹脂原盤２５の凹凸パターンが下を向くようにプレス部３８ｂのセンターピン小径部１０ｆに挿入し、センターピン大径部１０ｅとの段差部に載置した。
【００８５】
次に、プレス部３８ｂにカバー部１９を固定し、給排気口２１ａに接続した真空ポンプを稼動させ、カバー部１９内を１０ｋＰａまで減圧した。次に、転写プレス装置４０ｂの第１エアシリンダ１５のロッド１６を下方に移動させ、基板２上の光透過性紫外線硬化シート５と樹脂原盤２５の凹凸パターンとを密着させた。その後、一旦カバー部１９内を大気圧に戻した後、給排気口２１ａを通してエアを導入しカバー部１９内を０．７ＭＰａまで加圧し、３０ｓｅｃ保持した。次に、転写プレス装置４０ｂの第２エアシリンダ１７のロッド１８を上方に移動させ、第２エアシリンダ１７の圧力により光透過性紫外線硬化シート５と樹脂原盤２５の凹凸パターンとを密着させた状態のまま加圧し、光透過性紫外線硬化シート５に樹脂原盤２５の凹凸パターンを転写した。
【００８６】
この第２エアシリンダ１７による加圧状態を保持したまま、紫外線ランプ２３を用い、トッププレート２１、透明ゴムシート２２、樹脂原盤２５を通して、紫外線を光透過性紫外線硬化シート５に照射し硬化させた。次に、第２エアシリンダ１７のロッド１８を下方に移動し、カバー部１９を取り外した後、樹脂原盤２５と基板２上の光透過性紫外線硬化シート５とを剥離することで、光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６を形成した。
【００８７】
第２情報面６が形成された基板２に実施例１と同様の方法にて、第２情報層６ａ及び光透過性保護層１２を形成することで、２層の情報層を有する再生専用型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【実施例３】
【００８８】
フォトレジスト層が形成された原盤用基板上に、レーザ光の照射によるカッティングを行い所定の寸法の案内溝の潜像を形成した。その後、この原盤用基板に現像処理、無電解メッキ、電解メッキを施して、原盤用基板上に金属層を析出させ、この金属層を剥離することによりマスタ原盤を作製した。このマスタ原盤に剥離処理を施した後、再度電解メッキを行い第２のニッケル金属層を析出させ、この第２のニッケル金属層をマスタ原盤から剥離した。この第２のニッケル金属層に、洗浄、裏面研磨、内外周トリミングを施して、案内溝がトラックピッチ０．３２μｍ、グルーブ幅０．１６μｍ、溝深さ２０ｎｍの凹凸パターンとして片面に形成された外径φ１３８ｍｍ、中心孔径φ２０ｍｍ、厚み０．３ｍｍのニッケル製の金属原盤３４を作製した。
【００８９】
また、両面が平滑な外径φ１２０ｍｍ、中心孔径φ１５ｍｍ、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂製の基板２を射出成型により作製した。
【００９０】
この基板２の片面に実施例１と同等の光透過性紫外線硬化シート５を貼り付けた。この基板２の光透過性紫外線硬化シート５に、実施例１と同様に、転写プレス装置４０ａを用いて金属原盤３４の凹凸パターンを転写し、第１情報面３を形成した。
【００９１】
次に、第１情報面３上にスパッタリング装置を用いて、反射膜として２００ｎｍのＡｇＰｄＣｕ膜、第１の誘電体膜として１０ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２膜、記録膜として１３ｎｍのＧｅＳｂＴｅ膜、第２の誘電体膜として３６ｎｍのＺｎＳ−ＳｉＯ２膜を順次成膜して機能層とし、第１情報層３ａを形成した。
【００９２】
この第１情報層３ａ上に、実施例１と同様に光透過性保護層１２を形成した後、第１情報層３ａのイニシャライズを行い、単層の情報層を有する記録再生型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【実施例４】
【００９３】
実施例３と同様な方法でマスタ原盤を作製した。このマスタ原盤に洗浄、裏面研磨、内外周トリミングを施して、射出成型機の金型に取付け、樹脂温度３８０℃、金型温度１２０℃の条件で射出成型を行い、片面に案内溝がトラックピッチ０．３２μｍ、グルーブ幅０．１６μｍ、溝深さ２０ｎｍの凹凸パターンとして形成された外径φ１２０ｍｍ、中心孔径φ１０ｍｍ、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂製の樹脂原盤２５を作製した。
【００９４】
また、両面が平滑な外径φ１２０ｍｍ、中心孔径φ１５ｍｍ、厚み１．１ｍｍのポリカーボネート樹脂製の基板２を射出成型により作製した。
【００９５】
この基板２の片面に実施例１と同等の光透過性紫外線硬化シート５を貼り付けた。この基板２の光透過性紫外線硬化シート５に、実施例２と同様に、転写プレス装置４０ｂを用いて樹脂原盤２５の凹凸パターンを転写し、第１情報面３を形成した。
【００９６】
次に、第１情報面３上にスパッタリング装置を用いて、実施例３と同様の機能層を成膜し、第１情報層３ａを形成した。
【００９７】
この第１情報層３ａ上に、実施例１と同様に光透過性保護層１２を形成した後、第１情報層３ａのイニシャライズを行い、単層の情報層を有する記録再生型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【００９８】
（比較例１）
光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６を形成する際に、金属原盤３４から光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を解除してから紫外線を照射して光透過性紫外線硬化シート５の硬化を行った他は実施例１と同様にして２層の情報層を有する再生専用型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【００９９】
（比較例２）
光透過性紫外線硬化シート５に第２情報面６を形成する際に、樹脂原盤２５から光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を解除してから紫外線を照射して光透過性紫外線硬化シート５の硬化を行った他は実施例２と同様にして２層の情報層を有する再生専用型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【０１００】
（比較例３）
光透過性紫外線硬化シート５に第１情報面３を形成する際に、金属原盤３４から光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を解除してから紫外線を照射して光透過性紫外線硬化シート５の硬化を行った他は実施例３と同様にして単層の情報層を有する記録再生型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【０１０１】
（比較例４）
光透過性紫外線硬化シート５に第１情報面３を形成する際に、樹脂原盤２５から光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を解除してから紫外線を照射して光透過性紫外線硬化シート５の硬化を行った他は実施例４と同様にして単層の情報層を有する記録再生型の情報記録媒体を得た。尚、上記の方法により、同様の情報記録媒体を１０枚作製した。
【０１０２】
実施例１、２、及び比較例１、２で得られた各１０枚の情報記録媒体の第２情報層６ａを再生し、その再生信号のジッタ値を１枚につき２０箇所（合計２００箇所）タイムインターバルアナライザを用いて測定した。その測定したジッタ値の最大値と最小値及びその差を表１に示す。
【０１０３】
また、実施例３、４、及び比較例３、４で得られた各１０枚の情報記録媒体の第１情報層３ａを再生し、その再生信号に含まれるノイズを１枚につき２０箇所（合計２００箇所）スペクトラムアナライザを用いて測定した。その測定したノイズの最大値と最小値及びその差を表２に示す。
【０１０４】
【表１】
2008016160.tif 000003
【０１０５】
【表２】
2008016160.tif 000004
表１より、第２情報層６ａの再生信号のジッタ値の最大値と最小値との差は、実施例１、実施例２がともに０．３％と小さいのに対し、比較例１は２．２％、比較例２は２．３％と大きな値をとっている。このことは、比較例１、比較例２のジッタ値のばらつきが、実施例１、実施例２に比べ大きいことを示している。
【０１０６】
表２より、第１情報層３ａの再生信号のノイズの最大値と最小値との差は、実施例３、実施例４がともに１ｄＢと小さいのに対し、比較例３は７ｄＢ、比較例４は１０ｄＢと大きな値をとっている。このことは、比較例３、比較例４のノイズのばらつきが、実施例３、実施例４に比べ大きいことを示している。
【０１０７】
比較例１〜４は金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５から光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を解除してから紫外線を照射して情報面を形成しており、表１、表２の結果から、この製造方法で形成された情報記録層から得られる再生信号はジッタ値もしくはノイズのばらつきが大きいことが分かる。これに対し、実施例１〜４は金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５から光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を維持しながら紫外線を照射して情報面を形成しており、表１、表２の結果から、この製造方法で形成された情報記録層からはジッタ値もしくはノイズのばらつきが小さい良好な再生信号が得られることが分かる。
【０１０８】
以上のことから、本発明の情報記録媒体の製造装置であるプレス転写装置４０ａ、４０ｂによれば、金属原盤３４もしくは樹脂原盤２５から基板２の光透過性紫外線硬化シート５に凹凸パターンを転写した後、加圧状態を維持しながら紫外線を照射して光透過性紫外線硬化シート５の硬化を行うことが可能なため、光透過性紫外線硬化シート５にピット長もしくは案内溝側壁の表面粗さのばらつきが小さい良好な情報面を形成することができる。
【０１０９】
また、このプレス転写装置４０ａ、４０ｂを用いた、本発明の情報記録媒体の製造方法によれば、光透過性紫外線硬化シート５にピット長もしくは案内溝側壁の表面粗さのばらつきが小さい良好な情報面を形成することができるため、作製される情報記録媒体の再生信号のジッタ値もしくはノイズに大きなばらつきは生じない。
【０１１０】
尚、本発明はＢＤ、ＣＤ、ＣＤ-Ｒ、ＣＤ-ＲＷ、ＤＶＤ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ等の情報記録媒体の作製に応用することが可能である。また、本例ではプレス転写装置４０ａ、４０ｂの上下動にエアシリンダを用いた例を示したが、モータ等を用いても良い他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更して実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明に係る転写プレス装置の第１の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係る転写プレス装置の第１の実施の形態の動作を説明する図である。
【図３】本発明に係る転写プレス装置の第２の実施の形態を示す断面図である。
【図４】本発明に係る転写プレス装置の第２の実施の形態の動作を説明する図である。
【図５】本発明に係る情報記録媒体の製造工程の概略を示す工程フローチャートである。
【図６】本発明に係る情報記録媒体の製造方法を説明する図である。
【図７】従来の情報記録媒体の模式断面図である。
【符号の説明】
【０１１２】
２    基板
３    第１情報面
５    光透過性紫外線硬化シート
６    第２情報面
９    ベース
１０ａ、１０ｄ    センターピン
１０ｂ、１０ｅ    センターピン大径部
１０ｃ、１０ｆ    センターピン小径部
１１    マグネットプレート
１３    アンダープレート
１４    シャフト
１５    第１エアシリンダ
１６    第１エアシリンダのロッド
１７    第２エアシリンダ
１８    第２エアシリンダのロッド
１９    カバー部
２０    サイドカバー
２１    トッププレート
２１ａ    給排気口
２２    透明ゴムシート
２３    紫外線ランプ
２４    テーブル
２５    樹脂原盤
３４    金属原盤
３８ａ、３８ｂ    プレス部
４０ａ、４０ｂ    転写プレス装置
【図１】
2008016160.tif 000005
【図２】
2008016160.tif 000006
【図３】
2008016160.tif 000007
【図４】
2008016160.tif 000008
【図５】
2008016160.tif 000009
【図６】
2008016160.tif 000010
【図７】
2008016160.tif 000011