(57)【要約】【課題】被着体に対して十分な粘着力を有し、耐熱性に優れ、特に、引き剥がす際に被着体に粘着剤残りを生じることなく簡単に剥離する事が可能な、粘着テープを提供する。【解決手段】本発明の粘着テープは、親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層を基材シート上に有し、該層状粘土鉱物が剥離分散しており、該層状粘土鉱物の層間距離が５０Å以上である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層を基材シート上に有し、該層状粘土鉱物が剥離分散しており、該層状粘土鉱物の層間距離が５０Å以上である、粘着テープ。
【請求項２】
前記層状粘土鉱物が、スメクタイト系粘度鉱物および／またはマイカ系粘度鉱物である、請求項１に記載の粘着テープ。
【請求項３】
前記粘着剤層が、炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー組成物から形成されるアクリル系粘着剤組成物から形成される、請求項１または２に記載の粘着テープ。
【請求項４】
前記アクリル系粘着剤組成物１００重量部に対して、前記層状粘土鉱物が０．１〜２０重量部含まれる、請求項３に記載の粘着テープ。
【請求項５】
前記粘着剤層が、シリコーン系粘着剤組成物から形成される、請求項１または２に記載の粘着テープ。
【請求項６】
前記シリコーン系粘着剤組成物１００重量部に対して、前記層状粘土鉱物が０．１〜２０重量部含まれる、請求項５に記載の粘着テープ。
【請求項７】
電子部品製造に用いられる、請求項１から６までのいずれかに記載の粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着テープに関する。より詳細には、本発明は、被着体に対して十分な粘着力を有し、耐熱性に優れ、特に、引き剥がす際に被着体に粘着剤残りを生じることなく簡単に剥離する事が可能な、粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、粘着テープの使用用途は多岐に渡っている。例えば、電子部品製造用、構造用、自動車用など広範囲の分野で使用されている。これらの用途の多くにおいては、粘着テープの使用時に、粘着テープに大きな応力がかかり、また、高温下で粘着テープが用いられる。このため、粘着テープに用いられる粘着剤層には、高凝集力や耐熱性が要求される。特に、電子部品、半導体デバイス、ＬＣＤやＰＤＰなどのフラットディスプレイの製造においては、１００℃以上の高温下で稼動するプロセスが多いため、高温下で十分な粘着力と凝集力を発揮し、使用後には被着体から容易に剥離除去できる粘着テープが強く求められている。
【０００３】
しかしながら、これまでの粘着テープの粘着剤層においては、高温下での粘着力や凝集力に劣るという問題がある。
【０００４】
そこで、粘着剤層に各種の無機充填材を配合して耐熱性を向上させる検討が行われている。例えば、無機充填材として親油性の層状粘土鉱物を用い、親油性の層状粘土鉱物を粘着剤層中に分散させた場合に、高温下での粘着力や凝集力が向上することが報告されている（特許文献１、２参照）。
【０００５】
上記のように、親油性の層状粘土鉱物を粘着剤層中に分散させる手法は、高温下での粘着力や凝集力を向上させる手法としては有効である。しかしながら、リワーク時や製造プロセス終了後に粘着テープを被着体から剥離除去する場合、親油性の層状粘土鉱物を含んだ粘着剤層が凝集破壊を起こし、被着体に粘着剤残り（糊残り）を生じてしまうという問題がある。
【特許文献１】特開２００５−３４４００８号公報
【特許文献２】特開２００５−１５４５８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、被着体に対して十分な粘着力を有し、耐熱性に優れ、特に、引き剥がす際に被着体に粘着剤残りを生じることなく簡単に剥離する事が可能な、粘着テープを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
粘着テープを被着体から剥離除去する場合に、親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層が凝集破壊する原因について検討した。その結果、粘着剤層中での親油性の層状粘土鉱物の層状構造の状態が、粘着テープを被着体から剥離除去する際の凝集破壊に大きく影響を与えることが判明した。
【０００８】
そこで、粘着剤層中での親油性の層状粘土鉱物に関し、粘着テープを被着体から剥離除去する際の凝集破壊が低減できるような層状構造について検討を重ねた結果、層状粘土鉱物を剥離分散した状態にするとともに、該層状粘土鉱物の層間距離を所定量以上とすることにより、上記課題が解決できることを見出した。本発明はこのようにして完成するに至った。
【０００９】
本発明の粘着テープは、親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層を基材シート上に有し、該層状粘土鉱物が剥離分散しており、該層状粘土鉱物の層間距離が５０Å以上である。
【００１０】
好ましい実施形態においては、上記層状粘土鉱物が、スメクタイト系粘度鉱物および／またはマイカ系粘度鉱物である。
【００１１】
好ましい実施形態においては、上記粘着剤層が、炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー組成物から形成されるアクリル系粘着剤組成物から形成される。
【００１２】
好ましい実施形態においては、上記アクリル系粘着剤組成物１００重量部に対して、上記層状粘土鉱物が０．１〜２０重量部含まれる。
【００１３】
好ましい実施形態においては、上記粘着剤層が、シリコーン系粘着剤組成物から形成される。
【００１４】
好ましい実施形態においては、上記シリコーン系粘着剤組成物１００重量部に対して、上記層状粘土鉱物が０．１〜２０重量部含まれる。
【００１５】
好ましい実施形態においては、本発明の粘着テープは、電子部品製造に用いられる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、被着体に対して十分な粘着力を有し、耐熱性に優れ、特に、引き剥がす際に被着体に粘着剤残りを生じることなく簡単に剥離する事が可能な、粘着テープを提供することが可能となる。
上記のような効果は、親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層を基材シート上に有する粘着テープにおいて、該層状粘土鉱物を剥離分散した状態にするとともに、該層状粘土鉱物の層間距離を５０Å以上とすることにより、効果的に発現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の粘着テープは、親油性の層状粘土鉱物を含む粘着剤層を基材シート上に有している。粘着剤層の厚みは、任意の適切な厚みを採用し得る。粘着剤層の厚みは、好ましくは２〜５０μｍである。
【００１８】
上記粘着剤層としては、例えば、炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主成分とするモノマー組成物から形成されるアクリル系粘着剤組成物、シリコーン系粘着剤組成物が挙げられる。
【００１９】
上記アクリル系粘着剤組成物の原料となるモノマー組成物中の、炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有割合は、好ましくは５０〜１００重量％、より好ましくは７０〜１００重量％、さらに好ましくは８０〜１００重量％、さらに好ましくは８５〜１００重量％、さらに好ましくは９０〜１００重量％、さらに好ましくは９５〜１００重量％、特に好ましくは９７〜１００重量％、最も好ましくは１００重量％である。上記含有割合が５０重量％未満であると、粘着力が十分に発揮できないなどのおそれがある。
【００２０】
上記炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ヘキシル基、プチル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基などのアルキル基を有するアクリル酸またはメタクリル酸のアルキルエステル、あるいはそのアルキル基の一部をヒドロキシル基で置換した化合物が挙げられる。
【００２１】
上記アクリル系粘着剤組成物の原料となるモノマー組成物中には、上記炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステル以外の、任意の適切な他のモノマーを含んでいても良い。上記他のモノマーとしては、例えば、極性基含有の共重合性モノマーが挙げられる。上記極性基含有の共重合性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、２−アクリルアミドプロパンスルホン酸などの不飽和酸；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなどの水酸基含有モノマー；が挙げられる。
【００２２】
上記アクリル系粘着剤組成物の原料となるモノマー組成物中に、上記炭素数が４〜１４個のアルキルアルコールの（メタ）アクリル酸アルキルエステルと上記極性基含有の共重合性モノマーが含まれる場合は、それらの含有割合は、重量比で、好ましくは８５〜９７／１５〜３、より好ましくは９０〜９５／１０〜５である。上記範囲から外れると、破断伸びが低下するおそれや、所望の粘着性が得られないおそれがある。
【００２３】
上記アクリル系粘着剤組成物には、カップリング剤が含まれていても良い。カップリング剤は極性基を有する充填材とモノマーを相互作用させるために有効である。カップリング剤は１種のみを用いても良いし２種以上を併用しても良い。カップリング剤の選択は、相溶性、増粘性、ゲル化の有無などを考慮して、適宜決定すればよい。
【００２４】
上記カップリング剤としては、任意の適切なカップリング剤を採用し得る。好ましくは、分子中に２個以上の異なつた反応基を持つ有機珪素単量体が挙げられる。この有機珪素単量体において、２個の反応基の一つは無機質と化学結合する反応基であり、もう一つは有機材料と化学結合する反応基である。無機質と化学結合する反応基としては、メトキシ基、エトキシ基、シラノール基などがあり、有機材料と化学結合する反応基としては、ビニル基、エポキシ基、メタクリル基、アミノ基、メルカプト基などがある。
【００２５】
上記カップリング剤としては、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フエニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β−（アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシランが挙げられる。
【００２６】
上記カップリング剤の含有割合は、上記モノマー組成物１００重量部に対し、好ましくは０．０５〜２０重量部、より好ましくは０．１〜１０重量部、さらに好ましくは０．５〜５重量部である。０．０５重量部未満ではカップリング剤としての効果が発揮されないおそれがあり、２０重量部以上では粘着剤層が脆くなるおそれがある。
【００２７】
上記シリコーン系粘着剤組成物としては、市販のシリコーン系粘着剤など、任意の適切な組成物を採用し得る。シリコーン系粘着剤組成物を用いる場合、耐熱性が高いことに加えて、高温下における貯蔵弾性率や粘着力が適切な値となりやすい。
【００２８】
上記親油性の層状粘土鉱物は、結晶構造中に交換性陽イオンを有する層状珪酸塩鉱物を親油化処理したものをいう。
【００２９】
上記層状珪酸塩鉱物としては、任意の適切な層状珪酸塩鉱物を採用し得る。上記層状珪酸塩鉱物としては、例えば、モンモリロナイト、サポナイト、ヘクトライト  スチーブンサイトなどのスメクタイト系粘土鉱物；フッ素四ケイ素雲母などのマイカ系粘土鉱物；が挙げられる。これらは１種のみ用いても良いし２種以上を併用しても良い。好ましくは、マイカ系粘土鉱物である。良好な強靭性を得ることができるからである。
【００３０】
上記親油性の層状粘土鉱物の形状は、好ましくは板状である。この場合、厚さは、好ましくは約０．１〜１０ｎｍ、より好ましくは０．５〜５ｎｍである。また、幅は、好ましくは１０〜１００００ｎｍ、より好ましく２０〜７０００ｎｍ、さらに好ましくは５０〜５０００ｎｍである。ここでいう厚さや幅は、平均長のことである。この平均長は、電子顕微鏡（ＴＥＭ）写真の実測によって求めることができる。上記幅が１００００ｎｍを超えると伸びが低下するおそれがあり、１０ｎｍ未満では破断応力が高くなるおそれがある。
【００３１】
上記親油性の層状粘土鉱物は、層間の交換性陽イオンを有機カチオンなどでイオン交換処理し、層間を親油化したものが好ましい。
【００３２】
上記交換性陽イオンとは、層状珪酸塩鉱物の結晶層の表面に存在するナトリウムやカルシウムなどの金属イオンのことである。これらのイオンは親水性であるため、親油性のモノマーは層状珪酸塩鉱物の層間に侵入することができない。このため良好な分散物を得ることができない。モノマーを層間に侵入させるためには、交換性陽イオンを親油性のカチオン性界面活性剤などでイオン交換することが必要である。
【００３３】
上記カチオン性界面活性剤としては、例えば、４級アンモニウム塩、４級ホスホニウム塩が挙げられる。
【００３４】
上記４級アンモニウム塩としては、例えば、ラウリルトリメチルアンモニウム塩、ステアリルトリメチルアンモニウム塩、トリオクチルアンモニウム塩、ジステアリルジメチルアンモニウム塩、ジステアリルジベンジルアンモニウム塩、置換プロピレンオキサイド骨格を有するアンモニウム塩が挙げられる。これらは、１種のみ用いても良いし２種以上を併用しても良い。
【００３５】
上記４級ホスホニウム塩としては、例えば、デシルトリフェニルホスホニウム塩、メチルトリフェニルホスホニウム塩、ラウリルトリメチルホスホニウム塩、ステアリルトリメチルホスホニウム塩、ジステアリルジメチルホスホニウム塩、ジステアリルジベンジルホスホニウム塩が挙げられる。これらは、１種のみ用いても良いし２種以上を併用しても良い。
【００３６】
本発明の粘着テープにおいては、上記親油性の層状粘土鉱物について、十分に層同士を剥離分散しておくことが重要である。本明細書において、層状粘土鉱物の「剥離分散」とは、層状粘土鉱物をそのシリケート層の重なりが減るように剥離し、当該剥離物を分散させること、すなわち、他の物質（１成分でも多成分の混合物でも良い）中に散在させることをいう。層同士を剥離分散する方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。例えば、超音波剥離、高圧せん断剥離、超高速攪拌、超臨界ＣＯ２攪拌が用いられ得る。親油性の層状粘土鉱物を破砕することなく層同士を剥離分散できるからである。中でも、高圧せん断剥離法が好ましい。高圧せん断剥離法を用いた場合、押出圧力、繰り返し数をコントロールすることにより、所望の剥離分散が可能となるためである。親油性の層状粘土鉱物の剥離状態は、層状粘土鉱物のシリケート層の平均重なりが６層以下になるまで剥離するのが好ましい。６層を超えると、層状粘土鉱物の総表面積が低下し、有機成分との相互作用が低下して粘着剤の強靭性が低下するおそれがある。平均重なりの分析は、電子顕微鏡（ＴＥＭ）にて行なうことができる。
【００３７】
本発明の粘着テープにおいては、上記親油性の層状粘土鉱物について、層間距離が５０Å以上であることが重要である。好ましくは５０〜１０００Å、より好ましくは６０〜２５０Åである。上記層間距離は、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）によって測定される角度のピーク値から求めることができる。上記層間距離は、下記の式（１）より算出できる。本発明では、式（１）より求められた層間距離の値を適用する。
Ｙ＝８８．２７Ｘ−０．９９９７  ・・・（１）
Ｙ：層間距離（Å）
Ｘ：Ｘ線回折装置より得られたピークの角度（°）
例として、ピーク角度Ｘに１．７５（°）を代入すると、層間距離Ｙは約５０（Å）となる。
【００３８】
上記親油性の層状粘土鉱物の含有割合は、上記アクリル系粘着剤組成物あるいは上記シリコーン系粘着剤組成物の１００重量部に対して、好ましくは０．１〜２０重量部、より好ましくは０．５〜２０重量部、さらに好ましくは１〜１０重量部である。上記含有割合が０．１重量部未満であると、本発明の効果が十分に発揮できないおそれがある。上記含有割合が２０重量部より多いと、粘着剤層の粘度が増大してしまい、塗布外観が低下するおそれがある。
【００３９】
上記基材シートとしては、任意の適切な基材シートを採用し得る。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ） フィルム、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）フィルム、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）フィルム、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）フィルム、ポリサルフォン（ＰＳＦ）フィルム、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）フィルム、ポリアリレート（ＰＡＲ）フィルム、アラミドフィルム、ポリイミドフィルム、液晶ポリマー（ＬＣＰ）フィルムが挙げられる。耐熱性を考慮する場合には、ポリイミド材料からなるフィルムが好ましい。
【００４０】
基材シートの厚みとしては、任意の適切な厚みを採用し得る。好ましくは、１０〜２５０μｍである。
【００４１】
本発明の粘着テープの作製方法は、任意の適切な方法が採用し得る。例えば、上記親油性の層状粘土鉱物を含んだ粘着剤組成物（アクリル系粘着剤組成物やシリコーン系粘着剤組成物など）をまず任意の基板上にコーティングし乾燥させて、粘着シートを作製する。これを数層重ね合わせて積層シート化し、基材シート上に形成させる方法が用いられる。また、上記親油性の層状粘土鉱物を含んだ粘着剤組成物（アクリル系粘着剤組成物やシリコーン系粘着剤組成物など）を、全くシェアをかけずに基材シート上に形成して乾燥させることで、粘着テープとすることも可能である。
【００４２】
本発明の粘着テープにおいては、粘着剤層を保護するために保護フィルムを用いても良い。保護フィルムとしては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理されたポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムが挙げられる。また、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン樹脂系のフィルムについては、離型処理剤を用いなくとも離型性を有するので、それ単体を保護フィルムとして使用することもできる。このような保護フィルムの厚みは、好ましくは、１０〜１００μｍ程度である。
【００４３】
本発明の粘着テープは、任意の適切な用途に適用し得る。例えば、電子部品製造用、構造用、自動車用など、耐熱性や凝集力が求められる用途に好適に用いられる。特に、被着体から引き剥がす場合の粘着剤残りの問題が生じないので、電子部品、半導体デバイス、ＬＣＤやＰＤＰなどのフラットディスプレイなどの電子部品製造用の、剥離が必要となる用途に好適に用いられる。
【実施例】
【００４４】
以下、実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。また、実施例における「部」は重量基準である。
【００４５】
＜粘着剤層中の層状粘土鉱物の剥離分散性＞
粘着剤層中の層状粘土鉱物の剥離分散性は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により確認した。
○：剥離分散性が良好である。
×：剥離分散性が悪い。
【００４６】
＜粘着剤層中の層状粘土鉱物の層間距離測定＞
粘着剤層中の層状粘土鉱物の層間距離は、リガク製のＸ線回折装置（ＸＲＤ）にて角度１．５〜１０度まで測定を行い確認した。
【００４７】
＜粘着剤残りの評価方法＞
ステンレス板に２ｋｇのローラーを１往復させて、粘着テープを圧着し貼り合わせた。この試験片を、１７５℃で１時間放置した後、ステンレス板から９０度の方向に粘着テープを引き剥がし、ステンレス板に粘着剤を残すことなく剥離可能かを調べた。
○：粘着剤を残すことなく良好に剥離できた。
×：粘着剤残りがあった。
【００４８】
〔参考例１〕層状粘土鉱物分散液の作製
層状粘土鉱物としてコープケミカル製ソマシフＭＡＥ、ルーセンタイトＳＡＮ、ルーセンタイトＳＰＮを用いた。また、剥離手法としては吉田機械興業製ナノマイザーを用いて高圧せん断により層間剥離を行い、層状粘土鉱物分散液を作製した。
【００４９】
〔参考例２〕アクリル系粘着剤溶液の調製
アクリル酸ブチル１００部及びアクリル酸３部からなるモノマー混合液から得たアクリルポリマー１００部に対して、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業製、商品名：コロネートＬ）２部、エポキシ系化合物（三菱瓦斯化学製、商品名：テトラッドＣ）０．６部を均一に混合して、アクリル系粘着剤溶液を調製した。
【００５０】
〔実施例１〕
参考例２で調製したアクリル系粘着剤溶液のアクリルポリマー１００部に対して、層状粘土鉱物「ルーセンタイトＳＰＮ」が１部となるように参考例１で作製した層状粘土鉱物分散液を配合し、吉田機械興業製ナノマイザーにて攪拌させ、粘着剤溶液（１）を作製した。
上記粘着剤溶液（１）を２５μｍ厚のポリイミドフィルム（東レデュポン製、カプトン１００Ｈ）上に粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように塗工して乾燥させた。さらに片面がシリコーン系離型剤にて処理されたポリエステルフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム製、商品名：ＭＲＦ５０、厚み５０μｍ、幅２５０ｍｍ）のシリコーン離型処理面を貼り合せ、粘着テープ（１）を作製した。
ＸＲＤ測定により、層状粘土鉱物に起因するピークは１０度以下では確認されなかった。
得られた粘着テープ（１）について、層状粘土鉱物の層間距離、剥離分散性、粘着剤残りを評価した。結果を表１に示す。
【００５１】
〔実施例２〕
参考例２で調製したアクリル系粘着剤溶液のアクリルポリマー１００部に対して、層状粘土鉱物「ルーセンタイトＳＰＮ」を２．５部配合した以外は、実施例１と同様に行い、粘着テープ（２）を作製した。
ＸＲＤ測定により、層状粘土鉱物に起因するピークは１０度以下では確認されなかった。
得られた粘着テープ（２）について、層状粘土鉱物の層間距離、剥離分散性、粘着剤残りを評価した。結果を表１に示す。
【００５２】
〔比較例１〕
参考例２で調製したアクリル系粘着剤溶液のアクリルポリマー１００部に対して、層状粘土鉱物「ソマシフＭＡＥ」が５部となるように参考例１で作製した層状粘土鉱物分散液を配合し、特殊機化工業製ＴＫ  ＲＯＢＯＭＩＣＳにて攪拌させ、粘着剤溶液（Ｃ１）を作製した。
上記粘着剤溶液（Ｃ１）を２５μｍ厚のポリイミドフィルム（東レデュポン製、カプトン１００Ｈ）上に粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように塗工して乾燥させた。さらに片面がシリコーン系離型剤にて処理されたポリエステルフィルム（三菱化学ポリエステルフィルム製、商品名：ＭＲＦ５０、厚み５０μｍ、幅２５０ｍｍ）のシリコーン離型処理面を貼り合せ、粘着テープ（Ｃ１）を作製した。
ＸＲＤ測定により、層状粘土鉱物に起因するピークは３．２度付近に確認された。
得られた粘着テープ（Ｃ１）について、層状粘土鉱物の層間距離、剥離分散性、粘着剤残りを評価した。結果を表１に示す。
【００５３】
〔比較例２〕
特殊機化工業製ＴＫ  ＲＯＢＯＭＩＣＳに代えて、吉田機械興業製ナノマイザーを用いた以外は比較例１と同様に行い、粘着テープ（Ｃ２）を作製した。
ＸＲＤ測定により、層状粘土鉱物に起因するピークは３．２度付近に確認された。
得られた粘着テープ（Ｃ２）について、層状粘土鉱物の層間距離、剥離分散性、粘着剤残りを評価した。結果を表１に示す。
【００５４】
〔比較例３〕
参考例２で調製したアクリル系粘着剤溶液のアクリルポリマー１００部に対して、層状粘土鉱物「ルーセンタイトＳＡＮ」を２．５部配合した以外は、実施例１と同様に行い、粘着テープ（Ｃ３）を作製した。
ＸＲＤ測定により、層状粘土鉱物に起因するピークは３．０度付近に確認された。
得られた粘着テープ（Ｃ３）について、層状粘土鉱物の層間距離、剥離分散性、粘着剤残りを評価した。結果を表１に示す。
【００５５】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明の粘着テープは、例えば、電子部品製造用、金属製リードフレームを用いる半導体装置の製造用、構造用、自動車用など、耐熱性や凝集力が求められる用途に好適に用いられる。特に、電子部品、半導体デバイス、ＬＣＤやＰＤＰなどのフラットディスプレイなどの電子部品製造用に好適に用いられる。