(57)【要約】【課題】装置を小型化するとともに、処理ステージの作業領域に対する塵埃の飛散を防止し、テープと保護シートをバランスよく巻取ることができる搬送装置を提供する。【解決手段】鉛直方向に沿って設けられた露光ステージ１４にテープＴを搬送するとともに、露光ステージ１４を境に一方側に配置される搬送装置Ａにおいて、テープＴを送り出す供給リール２と、供給リール２の下方に設けられ、テープＴを巻き取る巻取リール５と、露光ステージ１４を介して供給リール２から巻取リール５にテープＴを搬送する保護シート搬送系４と、を有し、供給リール２には、テープＴと対面するように設けられた保護シートＳが巻回され、露光ステージ１４とは異なる方向に迂回して供給リール２から巻取リール５に保護シートＳを搬送する保護シート搬送系４を有する。【選択図】図１
2008028358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に沿って設けられた処理ステージにテープ状のワークを搬送するとともに、前記処理ステージを境に一方側に配置される搬送装置において、
巻回された前記ワークとこのワークと対面するように巻き回された保護シートとを送り出す供給リールと、
前記供給リールの下方に設けられ、前記供給リールから送り出された前記ワークを巻き取る巻取リールと、
前記処理ステージを介して前記供給リールから前記巻取リールに前記ワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記供給リールを基点に前記処理ステージとは異なる方向に迂回して前記供給リールから前記巻取リールに前記保護シートを搬送する保護シート搬送手段と
を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記保護シート搬送手段は、前記供給リールから送り出された前記保護シートを案内する第１ローラと、前記巻取ローラに前記保護シートを案内する第２ローラと、前記第１ローラと前記第２ローラとの間の前記保護シートの張力を調整する第１エアダンサと、からなる保護シート張力調整手段を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記供給リールから前記処理ステージを介して前記巻取リールに搬送される前記ワークと、前記供給リールから前記巻取リールに搬送される前記保護シートが、前記供給リールと前記巻取リールを介して閉ループを構成していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記処理ステージから前記巻取リールへ搬送される前記ワークの幅方向の位置を検出する第１検出器と、前記供給リールから前記巻取リールへ搬送される前記保護シートの幅方向の位置を検出する第２検出器とをさらに有し、
前記第１検出器と前記第２検出器との結果に基づいて、前記巻取リールに巻き取られる前記ワークと保護シートとの幅方向を一致させることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記ワーク搬送手段は、前記供給リールと前記処理ステージとの間に設けられ、前記処理部に供給される前記ワークの張力を調整する第１張力調整手段と、前記処理部と前記巻取リールとの間に設けられ、前記巻取リールに巻き取られる前記ワークの張力を調整する第２張力調整手段と、を備え、
前記第１張力調整手段は、前記供給リールから送り出された前記テープを案内する第３ローラと、前記処理ステージ側に前記テープを案内する第４ローラと、前記第３ローラと前記第４ローラとの間の前記テープの張力を調整する第２エアダンサと、を有し、
前記第２張力調整手段は、前記処理ステージ側からの前記テープを案内する第５ローラと、前記巻取リールに前記テープを案内する第６ローラと、前記第５ローラと前記第６ローラとの間の前記テープの張力を調整する第３エアダンサと、を有すことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を搭載するテープ状の搬送装置に係り、特に、テープと保護シートが対面するように巻回されたリールから、テープと保護シートとを分離して搬送する搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品を搭載する基板は薄層化しており、利用範囲の拡大に伴って、その寸法も厚さ１２．５〜５０μｍ、幅３５〜２５０ｍｍと多様化している。このような基板は、取扱いの容易さや生産性の高さから、長尺かつフィルム状のテープとして形成されている。このテープは、長尺であるために、露光・洗浄・エッチング・検査・組立等の各処理工程間は、リールに巻回された状態で取り扱われているが、テープの表面には、各処理工程でレジストや回路用金属薄膜が塗布されたり、電子部品が実装されたりしている。そこで、リールに巻回されるテープ間には、テープの表面に対する異物の付着の防止、テープに実装された電子部品のリードの変形・損傷等の防止のため、テープと略同形状の保護シートが介装されるようになっている。
【０００３】
一方、各処理工程における処理対象はテープのみであり、保護シートは不要である。そのため、テープを各処理工程に搬送する搬送装置では、テープと保護シートが巻回された供給リールから、テープと保護シートを分離して送り出し、テープのみを処理工程に搬送する。そして、処理を終えたテープを巻取リールに巻き取る際は、再び、テープ間に保護シートを介装するようになっている。
【０００４】
図５は、第１従来技術に係る搬送装置の概略図である。
第１従来技術としては、図５に示すように、巻回されるテープＴ１間に保護シートＳ１が介装された状態で、テープＴ１と保護シートＳ１が巻回された供給リール１０１と、この供給リール１０１から送り出されたテープＴ１を巻き取る巻取リール１０２と、供給リール１０１から送り出された保護シートＳ１をテープＴ１とは分離して巻き取る巻取リール１０３と、巻取リール１０２に巻き取るテープＴ１間に介装するための保護シートＳ２が巻回された供給リール１０４と、テープＴ１の搬送系である供給リール１０１と巻取リール１０２との間に設けられた処理部１０５と、を備えた搬送装置１００がある（例えば、特許文献１〜３）。この搬送装置１００では、テープＴ１と保護シートＳ１を分離して搬送することで、処理部１０５においてテープＴ１のみを処理できるようになっている。
【０００５】
搬送装置１００では、供給リール１０１から巻取リール１０３に保護シートＳ１を巻き取る際、その張力を調整するようになっている。具体的には、（１）特許文献１では、供給リール１０１と保護シート用の巻取リール１０３の間にニップローラを設けたり、（２）特許文献２では、保護シート用の巻取リール１０３の駆動軸にクラッチを介してモータを連結したりしている。また、巻取リール１０３側で巻き取る保護シートＳ２の張力を調整するため、（３）特許文献３では、保護シートＳ２にバネによる弾性力を用いてテープＴ１に張力を付加するようになっている。
【０００６】
図６は、第２従来技術に係る搬送装置の概略図である。
第２従来技術としては、図６に示すように、テープＴ１と保護シートＳ１が巻回された供給リール２０１と、この供給リール２０１から送り出されたテープＴ１と保護シートＳ１を巻き取る巻取リール２０２と、供給リール２０１から巻取リール２０２に至るテープＴ１の搬送系２０３と、供給リール２０１から巻取リール２０２に至る保護シートＳ１の搬送系２０４と、搬送系２０３に設けられた検査装置２０５と、を備えた装置２００がある（例えば、特許文献４参照）。この装置２００では、供給リールから送り出されるテープＴ１と保護シートＳ１をそれぞれの搬送系２０３，２０４で別々に搬送し、検査装置２０５でテープＴ１のみを検査できるようになっている。
【特許文献１】特許第３６６３４２１号公報
【特許文献２】特開２００４−１９３２５９号公報
【特許文献３】特開２００５−９３９５８号公報
【特許文献４】特開２００５−５５８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、第１従来技術では、図５に示すように、供給リール１０１から送り出される保護シートＳ１を巻き取るための専用の巻取リール１０３が必要になるとともに、この巻取リール１０３に巻き取られる保護シートＳ１の張力調整装置として、ニップローラ、クラッチ、バネ等も必要となり、付帯設備が多くなるという問題があった。処理後のテープＴ１を巻き取る際、テープＴ１間に保護シートＳ２を介装すべく、巻取リール１０２の近傍に保護シート用の供給リール１０４を設置する作業が別途必要になるため、作業効率が悪いという問題があった。
【０００８】
一方、第２従来技術では、図６に示すように、供給リール２０１から送り出された保護シートＳ１をそのまま巻取リール２０２で巻き取るため、付帯設備（図５の巻取リール１０３等）が不要になる。しかしながら、供給リール２０１、検査装置２０５、巻取リール２０２が、水平方向に並べられているので、装置が大型化し、広い設置スペースが必要になるという問題があった。
【０００９】
また、装置２００では、検査装置２０５の上方に搬送系２０４が配置されているので、保護シートＳ１に付着している塵埃が検査装置２０５の作業領域に飛散するという問題があった。
【００１０】
さらに、装置２００は、搬送系２０３においては、供給リール２０１と検査装置２０５との間、検査装置２０５と巻取リール２０２との間等でテープＴ１を弛ませてその張力を調整している一方で、搬送系２０４においては、巻取リール２０２の直前でのみ保護シートＳ１の張力を調整しているため、テープＴ１の走行と保護シートＳ１の走行を同期させるのが困難となっている。従って、巻取リール２０２におけるテープＴ１と保護シートＳ１の巻取りのバランスが悪化するという問題があった。
【００１１】
そこで、本発明では、問題を解決し、付帯設備を設けることなく、かつ、従来技術よりも装置を小型化するとともに、処理ステージの作業領域に対する塵埃の飛散を防止する搬送装置を提供することを課題とする。また、テープと保護シートをバランスよく巻取ることができる搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
これらの課題を解決するため、第一の観点の搬送装置は、鉛直方向に沿って設けられた処理ステージにテープ状のワークを搬送するとともに、処理ステージを境に一方側に配置される搬送装置において、巻回されたワークとこのワークと対面するように巻き回された保護シートとを送り出す供給リールと、供給リールの下方に設けられ、供給リールから送り出されたワークを巻き取る巻取リールと、処理ステージを介して供給リールから巻取リールにワークを搬送するワーク搬送手段と、供給リールを基点に処理ステージとは異なる方向に迂回して供給リールから巻取リールに保護シートを搬送する保護シート搬送手段と、を有する。
【００１３】
このような構成によれば、供給リールから送り出されたワークは、ワーク搬送手段で、処理ステージにより表面を処理されつつ、巻取リールまで搬送される。また、供給リールから送り出された保護シートは、保護シート搬送手段で、巻取リールまで搬送される。つまり、供給リールから送り出されたワークと保護シートは、別々の搬送手段で搬送された後、再び合わせた状態で、巻取リールに巻き取られるようになっている。従って、保護シートを巻き取るための専用のリールを不要とすることができる。
また、供給リールの下方に巻取リールが設けられているため、従来技術よりもワーク搬送系の水平方向の長さが短くなっており、装置を小型化することができる。
さらに、保護シート搬送手段は、供給リールおよび巻取リールまで処理ステージとは異なる方向に迂回して設けられているため、保護シートに塵埃が付着している場合でも、処理ステージの作業領域に塵埃が飛散することを防止することができる。
【００１４】
第二の観点の搬送装置は、保護シート搬送手段が供給リールから送り出された保護シートを案内する第１ローラと、巻取ローラに保護シートを案内する第２ローラと、第１ローラと第２ローラとの間保護シートの張力を調整する第１エアダンサと、からなる保護シート張力調整手段を有する。
このような構成によれば、保護シート張力調整手段でテープの張力を調整し、保護シートを安定した張力の下で搬送することができる。
【００１５】
第三の観点の搬送装置は、供給リールから処理ステージを介して巻取リールに搬送されるワークと、供給リールから巻取リールに搬送される保護シートが、供給リールと巻取リールを介して閉ループを構成している
このような構成によれば、保護シートを巻き取るための専用のリールを不要とすることができる。
【００１６】
第四の観点では、処理ステージから巻取リールへ搬送されるワークの幅方向の位置を検出する第１検出器と、供給リールから巻取リールへ搬送される保護シートの幅方向の位置を検出する第２検出器とをさらに有し、第１検出器と第２検出器との結果に基づいて、巻取リールに巻き取られるワークと保護シートとの幅方向を一致させる。
このような構成によれば、テープＴの幅方向と保護シートＳの幅方向とを正確に合わせた状態で、両者を巻取リールに巻き取ることができる。
【００１７】
第五の観点では、ワーク搬送手段は、供給リールと処理ステージとの間に設けられ、処理ステージに供給されるワークの張力を調整する第１張力調整手段と、処理ステージと巻取リールとの間に設けられ、巻取リールに巻き取られるワークの張力を調整する第２張力調整手段と、を備え、第１張力調整手段は、供給リールから送り出されたテープを案内する第３ローラと、処理ステージ側にテープを案内する第４ローラと、第３ローラと第４ローラとの間のテープの張力を調整する第２エアダンサと、を有し、第２張力調整手段は、処理ステージ側からのテープを案内する第５ローラと、巻取リールにテープを案内する第６ローラと、第５ローラと第６ローラとの間のテープの張力を調整する第３エアダンサと、を有する。
このような構成によれば、第１張力調整手段と第２張力調整手段で張力を調整し、テープを安定した張力で搬送することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る搬送装置によれば、次のような優れた効果を奏する。
（１）供給リールから送り出したワークと保護シートを、再び合わせた状態で巻取リールに巻き取るように構成されているため、保護シート専用の巻取リール等の付帯設備を不要とすることができる。
（２）供給リールの下方に巻取リールが設けられているため、従来技術よりも装置を小型化することができる。
（３）保護シート搬送手段が、処理ステージとは異なる方向に迂回していることで、保護シートに塵埃が付着している場合でも、処理ステージの作業領域に塵埃が飛散することを防止することができる。
（４）保護シートとワークとを幅方向に一致させて巻取リールに巻き取ることができる。
（５）保護シート搬送手段が保護シート張力調整手段を有し、ワーク搬送手段が第１，２の張力調整手段を有することで、ワークと保護シートの張力を安定させることができ、ワークと保護シートをバランスよく巻取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る搬送装置と露光装置を示す全体斜視図であり、図２は、本実施形態に係る搬送装置と露光装置を示す概略図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態に係る搬送装置Ａは、送り出すテープＴ（ワーク）と保護シートＳのうち、テープＴのみを露光装置Ｅ（処理部）の露光ステージ１４（処理ステージ）に搬送する装置である。まず、テープＴと保護シートＳ、露光装置Ｅについて順番に説明する。
【００２１】
＜テープＴ、保護シートＳの構成＞
テープＴは、フィルム状の基板であり、露光、洗浄、エッチング、検査等の各処理工程を経て電子部品を搭載する基板となる。ここでは、露光工程において露光装置Ｅにかけられるテープとして説明するが、テープＴがかけられる処理工程はこれに限定されるものではない。このテープＴは、例えば、幅２５０ｍｍ、厚み２５μｍ、長さ２００ｍの寸法を有しており、幅方向両側に長さ方向に沿って、所定間隔で形成された複数のパーフォレーションホールｆが設けられている場合もある。
また、保護シートＳは、テープＴの表面を保護する薄い紙などで形成されたシートであり、リールに巻回されるテープＴの間に介装されるものである。この保護シートＳは、テープＴと略同一の形状に形成されている。
【００２２】
＜露光装置Ｅの構成＞
露光装置Ｅは、搬送装置Ａによって１単位である１ブロックずつ搬送されるテープＴに、マスクＭのパターンを露光する装置である。この露光装置Ｅは、光源系１１と、この光源系の光軸上に配置するマスクＭを保持するマスク保持枠１２と、このマスク保持枠１２から所定距離をあけて配置される投影光学系１３と、この投影光学系１３から送られてくる照射光の光路上に配置された露光ステージ１４とを備えている。さらに露光装置Ｅは、露光に先行してテープＴとマスクＭとの整合マーク（図示せず）の位置を合わせるための撮像装置１５と、撮像した整合マークを画像処理する画像処理装置１６と、装置制御装置１７と、を備えている。
【００２３】
光源系１１は、所定波長の紫外線を含む光をマスクＭに向けて照射する。光源系１１は、ランプ１１ａと、このランプ１１ａの下面側を覆うように設けられる楕円ミラー１１ｂと、この楕円ミラー１１ｂで反射された照射光の方向を変える反射鏡１１ｃと、この反射鏡１１ｃで反射された照射光の照度分布を調整するレンズ１１ｄとから構成されている。
【００２４】
マスク保持枠１２は、マスクＭを鉛直方向に立てた状態で保持する支持枠であり、投影光学系１３に対向するように設置されている。マスク保持枠１２は、マスクＭを投影光学系１３の入射光軸に対して直交する垂直方向に移動させるための駆動機構を有している。マスクＭには、テープＴに投影する１ブロック分の回路パターンが描画されており、その他、テープＴと位置合わせを行なう整合マーク、マスク自身を識別する識別マーク等が所定位置に設けられている。
【００２５】
投影光学系１３は、入射光および出射光の光軸がレンズ中心に一致するように設けられた入射側凸レンズ１３ａおよび出射側凸レンズ１３ｂを備えている。この投影光学系１３によれば、入射された照射光は、入射側凸レンズ１３ａと出射側凸レンズ１３ｂとを透過して出射側凸レンズ１３ｂから出射し、テープＴに照射される。なお、本実施形態では、投影光学系１３としたが、本発明を適用する光学系は特に限定されるものではない。
【００２６】
露光ステージ１４は、投影光学系１３から所定距離離れた位置に位置決めされており、ステージ面１４ａが、鉛直方向に沿うように配置され、投影光学系１３からの照射光の光軸に対して直交するようになっている。このように配置されることで、搬送系と光学系の据え付け位置の水平方向の長さを短くすることができ、搬送装置Ａが小型化される。
また、露光ステージ１４は、図示しない真空ポンプの配管が接続されており、テープＴを吸着して固定するように構成されている。露光ステージ１４では、テープＴが１ブロック搬送され、テープＴとマスクＭの位置合わせが終了した後、露光が行われるようになっている。
【００２７】
撮像装置１５は、テープＴの位置決めマークとマスクＭの位置決めマークとを取得するための手段であり、ハーフミラーおよびＣＣＤカメラ等で構成されている。この撮像装置１５は露光時には退避して、光路から外れた位置に配置されるようになっている。
【００２８】
画像処理装置１６は、撮像装置１５から入力された位置決めマークの画像データを装置制御装置１７に出力する。
また、装置制御装置１７は、画像処理装置１６からの画像データに基づいて、テープＴとマスクＭのマークの位置を整合させるように、テープ搬送系３のガイドローラ３１ｃ、ステージガイドローラ３２，３２およびガイドローラ３３ｂを制御する。さらに、装置制御装置１７は、マスク保持枠１２のマクスＭの駆動機構も制御する。また、装置制御装置１７は、保護シートＳとテープＴとが巻取リール５に巻き取られる際に、幅方向に両者がずれないように保護シート搬送系４のガイドローラ４１ｃを制御する。
【００２９】
＜搬送装置Ａの構成＞
次に、搬送装置Ａの構成について説明する。以下においては、図２に示す搬送装置Ａの状態を基準にして、上下左右の方向を定めて説明する。
図１および図２に示すように、搬送装置Ａは、供給リール２と、テープＴが搬送されるテープ搬送系３（テープ搬送手段）と、保護シートＳが搬送される保護シート搬送系４（保護シート搬送手段）と、巻取リール５と、を備えている。
【００３０】
≪供給リール２≫
供給リール２には、テープＴが巻回されるとともに、このテープＴに対面するように保護シートＳが巻回されている。この供給リール２は、例えば、直径６００ｍｍのリールである。この供給リール２は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動され、時計回りに回転するようになっている。これにより、供給リール２から送り出されたテープＴと保護シートＳは、別々の搬送系（テープ搬送系３、保護シート搬送系４）を介して、巻取リール５に至るようになっている。
【００３１】
≪テープ搬送系３≫
図２に示すように、テープ搬送系３は、供給リール２から巻取リール５までテープＴを搬送する系であり、その途中に露光装置Ｅが配置されている。このテープ搬送系３には、供給リール２と搬送装置Ａとの間に設けられる第１張力調整手段３１と、露光装置Ｅの露光ステージ１４にテープＴを案内する一対のステージガイドローラ３２，３２と、露光装置Ｅと巻取リール５との間に設けられる第２張力調整手段３３と、を備えている。
【００３２】
第１張力調整手段３１は、供給リール２の右斜め下方に配置されており、一対のガイドローラ３１ｂ，３１ｃ（第３ローラ、第４ローラ）と、この間に設けられたテープＴの張力を調整する第２エアダンサ３１ａと、から構成される。第２エアダンサ３１ａは、ボックス状に形成され、その内部にガイドローラ３１ｂ，３１ｃに巻き掛けられたテープＴを自重でＵ字形に弛ませることで、露光装置Ｅに送られるテープＴの張力を調整するようになっている。これにより、テープＴに過度の負荷や弛みが発生しないようになっている。
ガイドローラ３１ｃは、露光ステージ１４にテープＴの姿勢が正確に送られるように、軸方向に移動できる構造としてもよい。
【００３３】
ステージガイドローラ３２，３２は、露光ステージ１４の上方および下方に配置されており、テープＴを露光装置Ｅの露光ステージ１４のステージ面１４ａに案内するようになっている。つまり、このステージガイドローラ３２，３２間のテープＴの搬送方向は、ステージ面１４ａに沿うように、鉛直方向になっている。なお、上方に配置されたステージガイドローラ３２は、ガイドローラ３１ｃよりも右斜め下方に配置されている。ステージガイドローラ３２，３２は、ステージガイドローラ３２，３２に正確なテープＴを送り出す必要があり、ステージガイドローラ３２，３２とテープＴとの間ですべりが生じて送り量にずれが生じないようにしなければならない。従って、ステージガイドローラ３２，３２は、テープＴを真空吸引する構造であることが好ましい。また、ステージガイドローラ３２，３２は、微小振動を吸収するように、ローラ自体がＡＢＳなどの樹脂製であることが好ましい。
【００３４】
図２に示すように、第２張力調整手段３３は、第１張力調整手段３１の下方に配置されており、一対のガイドローラ３３ｂ，３３ｃ（第５ローラ、第６ローラ）と、この間に設けられたテープＴの張力を調整する第３エアダンサ３３ａとから構成される。第３エアダンサ３３ａは、ボックス状に形成され、その内部にガイドローラ３３ｂ，３３ｃに巻き掛けられたテープＴを自重によりＵ字形に弛ませることで、巻取リール５に搬送されるテープＴの張力を調整するようになっている。これにより、テープＴに過度の負荷や弛みが発生しないようになっている。なお、上流側のガイドローラ３３ｂは、下側のステージガイドローラ３２よりも左斜め上方に配置されている。
ガイドローラ３３ｂは、露光ステージ１４にテープＴの姿勢が正確に送られるように、軸方向に移動できる構造としてもよい。上述したガイドローラ３１ｃと対になって軸方向に移動することで、テープＴの幅方向のずれ量を直したり、テープＴの傾き（姿勢）を直したりすることができる。
【００３５】
≪保護シート搬送系４≫
保護シート搬送系４は、供給リール２から、テープ搬送系３が繰出する方向とは異なる方向（左方向）かつ下方向に繰出するように設けられている。保護シートＳに塵埃が付着していたとしても、その塵埃がテープ搬送系３に設けられた露光装置Ｅの露光ステージ１４に飛散することを防止することができるようになっている。
この保護シート搬送系４は、供給リール２から巻取リール５まで保護シートＳを搬送する系であり、第３張力調整手段４１を有している。
【００３６】
第３張力調整手段４１（保護シート張力調整手段）は、供給リール２の左斜め下方に配置されており、一対のガイドローラ４１ｂ，４１ｃ（第１ローラ、第２ローラ）と、この間に設けられる保護シートＳの張力を調整する第１エアダンサ４１ａと、から構成される。第１エアダンサ４１ａは、ボックス状に形成され、その内部にガイドローラ４１ｂ，４１ｃに巻き掛けられたテープＴを自重によりＵ字形に弛ませることで、巻取リール５に搬送される保護シートＳの張力を調整するようになっている。これにより、保護シートＳに過度の負荷や弛みが発生しないようになっている。なお、第１エアダンサ４１ａでは、第２エアダンサ３１ａおよび第３エアダンサ３３ａよりもテープＴを長めに弛ませることができるように構成されている。また、上流側のガイドローラ４１ｂは供給リール２の左斜め下方に設置されるとともに、下流側のガイドローラ４１ｃは巻取リール５の左斜め上方に設置される。なお、保護シート搬送系４は、第３張力調整手段４１の他に、複数のガイドローラを有していてもよい。
【００３７】
≪ガイドローラ４１ｃの構成≫
図３は、第３張力調整手段４１におけるガイドローラ４１ｃを示す拡大断面図である。
図３に示すガイドローラ４１ｃは、保護シートＳを第１エアダンサ４１ａから巻取リール５に向けて送ると共に（図２参照）、保護シートＳを矢印ｂの幅方向（矢印ａの軸方向）に移動させることができるワーク位置調整手段１４２を備えたローラである。ガイドローラ４１ｃは、保護シートＳを搬送するための回転自在なローラ本体１４１と、ボールねじ１４４の回転によって軸方向に移動するナット１４５と、このナット１４５と一体に動くスプライン軸１４６と、このスプライン軸１４６と一体に動く支軸１４７と、この支軸１４７とローラ本体１４１との間に介在されたベアリング１４８と、を備えている。
【００３８】
ワーク位置調整手段１４２は、ローラ本体１４１の位置を軸方向（保護シートＳの幅方向）に移動させて、処理部５１における保護シートＳの位置を調整する。このワーク位置調整手段１４２は、モータＭ１と、ボールねじ１４４と、ナット１４５と、スプライン軸１４６と、支軸１４７とを備えている。
【００３９】
ローラ本体１４１を回転させながら、図３に示すモータＭ１は、装置制御装置１７の制御信号によって正転および反転して矢印ａの軸方向（保護シートＳの幅方向）にローラ本体１４１を移動させる。これにより、ローラ本体１４１に巻き掛けられた保護シートＳは矢印ｂの幅方向に移動する。正転および反転量は、後述するテープＴの幅方向の位置を検出する第１センサ５１ａおよび保護シートＳの幅方向の位置を検出する第２センサ５１ｂからの位置信号によって演算して求められる。
装置筐体１４３は、モータＭ１を保持してモータ軸Ｍ１ａが挿通される部材であり、適宜な位置に固定されている。ガイドローラ４１ｃは、この装置筐体１４３によって所定の位置に保持されている。
【００４０】
ボールねじ１４４は、モータＭ１のモータ軸Ｍ１ａに連結されて一体に回転する。なお、このボールねじ１４４とモータ軸Ｍ１ａとの間には、減速歯車機構を介在してもよい。
ナット１４５は、中央部の雌ねじ部がボールねじ１４４に螺合される。ナット１４５の外周面は、スプライン溝が形成された円筒状のスプライン軸１４６内に装着され、このボールねじ１４４の回転で矢印ａの軸方向に移動する。
【００４１】
図３に示すスプライン軸１４６は、ナット１４５の外周部に装着されて一体に回転すると共に、矢印ａの軸方向に移動する。
支軸１４７は、スプライン軸１４６の底面部に固着されてスプライン軸１４６と共に軸方向に移動しながら回転し、両端部がベアリング１４８で軸支されている。
ローラ本体１４１は、ベアリング１４８と共に矢印ａの軸方向に移動し、保護シートＳを巻き取り、両端部にフランジ部を有するボビン形状をしている。このローラ本体１４１は、少なくともローラ表面１４１ａが合成樹脂によって形成されて、微振動を吸収する。
【００４２】
以上のように構成されたガイドローラ４１ｃは、モータＭ１を回転させることによって、ボールねじ１４４とスプライン軸１４６と支軸１４７とベアリング１４８とからなる介在部材を回転および直進運動させることによって、ローラ本体１４１を軸方向に移動させ、保護シートＳの位置を調整できる。このように軸方向に移動可能なローラ本体１４１を備えたガイドローラ４１ｃは、ローラ本体１４１の位置を軸方向に移動させて、テープＴの幅方向と保護シートＳの幅方向とを正確に合わせることができる。
【００４３】
なお、図３に示すガイドローラ４１ｃは、モータＭ１で直接支軸１４７を回転させるだけのものとし、ガイドローラ４１ｃ全体を、別のモータ又はリニアスライド機構等（図示せず）によって軸方向に移動させる構造にしてもよい。
また、上述したガイドローラ３１ｃとガイドローラ３３ｂとは、このガイドローラ４１ｃと同一構造としても良い。
【００４４】
≪巻取リール５≫
巻取リール５は、供給リール２とともに露光ステージ１４に対して水平方向の一方（露光ステージ１４の左側）に配置されており、かつ、供給リール２の下方に配置されている。これにより、搬送装置Ａの水平方向の長さ寸法を短くでき、装置を小型化することができる。巻取リール５は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動されることで、時計回りに回転するようになっている。これにより、巻取リール５は、テープ搬送系３から搬送されたテープＴと、保護シート搬送系４から搬送された保護シートＳとを、交互に巻き取る。
【００４５】
なお、この巻取リール５に巻き取られるテープＴと保護シートＳは、それぞれ第２張力調整手段３３と第３張力調整手段４１とで張力を均一に調整されているため、巻取リール５での巻姿が正確な円形に近くなる。
ちなみに、このようにテープＴと保護シートＳが供給リール２と巻取リール５を介して閉ループを構成することで、従来技術の保護シート専用の巻取リール等が不要となっている。
【００４６】
巻取リール５の周囲には、テープＴの幅方向の位置を検出する第１センサ５１ａと、保護シートＳの幅方向の位置を検出する第２センサ５１ｂとが設けられている。巻取リール５に巻き取られるテープＴと保護シートＳとが幅方向にずれていてはテープＴが傷つく原因となり、また巻姿の側面に段差が生じてホコリが溜まりやすくなる。このため、第１センサ５１ａおよび第２センサ５１ｂでテープＴと保護シートＳとの幅方向の位置を検出する。そして、ガイドローラ４１ｃをローラの軸方向に移動させることによって、テープＴの幅方向と保護シートＳの幅方向とを正確に合わせる。
【００４７】
＜露光装置Ｅおよび搬送装置Ａの動作＞
次に、テープＴおよび保護シートＳの搬送経路に沿って、各装置の動作について説明する。まず、搬送装置Ａには、テープＴと保護シートＳが巻回された供給リール２が設置されるとともに、空の巻取リール５が設置される。そして、供給リール２からテープ搬送系３にテープＴが送り出されるとともに、保護シート搬送系４に保護シートＳが送り出される。
【００４８】
供給リール２から送り出されたテープＴは、右斜め下方の第１張力調整手段３１に搬送される。テープＴは、第１張力調整手段３１ではガイドローラ３１ｂ，３１ｃによって、その搬送方向が右向きに案内されている。そして、テープＴは、第２エアダンサ３１ａでその張力を調整されてから、露光装置Ｅに搬送される。これにより、露光装置Ｅの上流側で、自重などに起因したテープＴの張力の不均衡を防止することができる。
【００４９】
露光装置Ｅでは、テープＴは、ステージガイドローラ３２，３２によって、搬送方向が鉛直方向に変換されている。露光装置Ｅでは、露光光学系の性能によって露光可能な面積があることから、テープＴはその面積に相当するブロックずつ露光光学系に整合するように搬送される。具体的には、ステージガイドローラ３２，３２等を個別に回転制御することで、ステージガイドローラ３２，３２がテープＴを保持する位置を調整し、位置を整合する。ここで、テープＴが薄く幅広であることから、露光するブロックごとに搬送・停止するとその進捗度合いが少しずつ変化し、位置の整合ができなくなるという問題を生じうるところ、第１張力調整手段３１でテープＴの張力を調整することで、このような問題を解消できる。また、テープＴの傾き（姿勢）が生じている場合には、ガイドローラ３１ｃ及びガイドローラ３３ｂを軸方向に移動させることで、調整することができる。
【００５０】
そして、テープＴは、露光装置Ｅの露光ステージ１４でその位置を整合された後、一時固定され、投影光学系１３から露光光を照射される。これにより、テープＴの露光工程が完了する。そして、露光処理がなされたテープＴは、次のテープの露光処理に影響しない位置まで搬送される。
【００５１】
続けて、テープＴは、下側のステージガイドローラ３２とガイドローラ３３ｂに案内されることで、左斜め上方向に搬送方向が変換され、第２張力調整手段３３に搬送される。テープＴは、第２張力調整手段３３ではガイドローラ３３ｂ，３３ｃによって、その搬送方向が左向きに案内されている。そして、テープＴは、第３エアダンサ３３ａでその張力を調整されてから、巻取リール５に巻き取られる。テープＴが巻取リール５に巻き取られる際に、第１センサ５１ａがテープＴの幅方向の位置を検出する。
【００５２】
一方、供給リール２から送り出された保護シートＳは、左斜め下方の第３張力調整手段４１に搬送される。保護シートＳは、第３張力調整手段４１ではガイドローラ４１ｂ，４１ｃによって、その搬送方向が右向きに案内されている。そして、保護シートＳは、第１エアダンサ４１ａでその張力を調整されてから、向きが右斜め下方に変換され、巻取リール５に向かう。保護シートＳが巻取リール５に巻き取られる際に、第２センサ５１ｂが保護シートＳの幅方向の位置を検出する。装置制御装置１７は、保護シートＳの幅方向とテープＴの幅方向とが一致するようにガイドローラ４１ｃのモータＭ１に制御信号を送る。ガイドローラ４１ｃが軸方向に移動することによって保護シートＳも幅方向に移動する。幅方向の位置が調整された保護シートＳは、テープＴ間に介装されるように、テープＴとともに巻取リール５に巻き取られる。
【００５３】
このようにして、テープＴと保護シートＳとが均一な張力の下で巻取リール５に巻き取られる。これにより、両者の巻取りバランスを良好に保持することができる。
なお、テープＴの張力は、露光処理でテープＴの位置を制御されたり、テープＴ間に保護シートＳを介装したりすることで、不均一になるが、本実施形態では、第２張力調整手段３３で、テープＴの張力が調整されているので、テープＴの巻取りを安定して行うことができる。これにより、巻姿を楕円状ではなく、円形にすることができる。また、テープＴと保護シートＳとが幅方向に一致して巻き取られるので、巻姿の側面が均一となる。
また、保護シートＳを送り出すときに、保護シートＳに張力を強くかけると、肝心のテープＴの送り出し量に影響し、露光処理後のテープＴを安定して巻き取ることができなくなるが、本実施形態では、第３張力調整手段４１でテープＴの張力を調整するので、巻取リール５の巻取り動作に影響を与えないようにすることができる。
【００５４】
以上によれば、本実施形態に係る搬送装置Ａにおいて以下の効果を得ることができる。
本実施形態に係る搬送装置Ａでは、供給リール２から送り出されたテープＴと保護シートＳは、別々の搬送系（テープ搬送系３、保護シート搬送系４）で搬送された後、再び合わされた状態で、巻取リール５に巻き取られるようになっている。これにより、従来技術のような付帯設備を不要とすることができる。
【００５５】
搬送装置Ａにおいては、供給リール２と巻取リール５が、露光ステージ１４に対して水平方向の一方に配置されているため、供給リール２と巻取リール５を水平方向に設ける従来技術よりも、寸法（水平方向の長さ）を小さくでき、装置を小型化することができる。
【００５６】
搬送装置Ａにおいては、保護シート搬送系４が、供給リール２から、テープ搬送系３が繰出する方向とは異なる方向かつ下方向に繰出していることで、保護シートＳに塵埃が付着していたとしても、その塵埃がテープ搬送系３に設けられた露光ステージ１４の作業領域に飛散することを防止することができる。
【００５７】
テープＴは、露光装置Ｅに搬送される前に、第１張力調整手段３１により張力を調整されているため、品質の高い露光処理を行うことができ、品質の高い製品を安定して製造することができる。また、第２張力調整手段３３と第３張力調整手段４１により、均一な張力に調整されたテープＴと保護シートＳが、巻取リール５に巻き取られるため、安定した張力の下で、両者の巻取りバランスを良好にすることができる。また、テープＴと保護シートＳとが幅方向にきれいに一致して巻き取ることができる。
【００５８】
搬送装置Ａにおいては、テープ搬送系３と保護シート搬送系４とが別々に設けられているため、保護シートＳが途中で事故により切断等されても、テープＴの搬送動作に影響しないので、品質の高い製品を安定して製造できる。
【００５９】
以上、本実施形態に係る搬送装置Ａについて説明したが、本発明は実施形態に限定されず種々の形態で実施することができる。
【００６０】
図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の変形例に係る搬送装置および露光装置の一部を示す概略図である。実施形態では、搬送装置Ａにおいて供給リール２と巻取リール５をそれぞれ時計回りに回転させる構成としたが（図２参照）、各リールの回転方向は限定されるものではなく、図４（ａ）に示すように、搬送装置Ａ１において、供給リール２Ａを時計回り、巻取リール５Ａを反時計回りに回転させる構成してもよい。また、図４（ｂ）に示すように、搬送装置Ａ２において、供給リール２Ｂおよび巻取リール５Ｂをともに反時計回りに回転させる構成としてもよい。さらに、図４（ｃ）に示すように、搬送装置Ａ３において、供給リール２Ｃを反時計回り、巻取リール５Ｃを時計回りに回転させる構成としてもよい。
【００６１】
また、実施形態では、テープＴを搬送するガイドローラ３１ｃ及びガイドローラ３３ｂ、並びに保護シートＳを搬送するガイドローラ４１ｃがローラの軸方向に移動できるようにした。しかし、他の全てのローラも軸方向に移動できるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本実施形態に係る搬送装置と露光装置を示す全体斜視図である。
【図２】本実施形態に係る搬送装置と露光装置の一部を示す概略図である。
【図３】本実施形態に係る搬送機構におけるガイドローラ４１ｃを示す拡大断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の変形例に係る搬送装置および露光装置の一部を示す概略図である。
【図５】第１従来技術に係る搬送装置の概略図である。
【図６】第２従来技術に係る搬送装置の概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
２      供給リール
３      テープ搬送系
４      保護シート搬送系
５      巻取リール
３１    第１張力調整手段
３１ａ  第２エアダンサ
３１ｂ，３１ｃ  ガイドローラ
３２    ステージガイドローラ
３３    第２張力調整手段
３３ａ  第３エアダンサ
３３ｂ，３３ｃ  ガイドローラ
４１    第３張力調整手段
４１ａ  第１エアダンサ
４１ｂ，４１ｃ  ガイドローラ
５１ａ，５１ｂ  第１、第２センサ
Ａ      搬送装置
Ｅ      露光装置
Ｓ      保護シート
Ｔ      テープ
【図１】
2008028358.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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