(57)【要約】【課題】剥がした保護フィルムとワークとの再干渉を抑制できる装置を提供する。【解決手段】ワーク９０のフィルム９１が貼り付けられた第１の面９０ａが立った状態になるようにワーク９０を支持可能なワーク支持手段３と、フィルム９１の一部を保持可能なヘッド４と、ワーク９０とともに立った状態となっている保護フィルム９１の縁部の一部をヘッド４により保持するための状態から、ヘッド４によりフィルム９１の縁部の一部が保持された状態で第１の面９０ａからフィルム９１を剥がす状態へ、ワーク支持手段３および／またはヘッド４を移動させる移動手段５とを有する。【選択図】図１
2008032964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに貼り付けられたフィルムを剥ぐための装置であって、
前記ワークの前記フィルムが貼り付けられた第１の面が立った状態になるように前記ワークを支持可能なワーク支持手段と、
前記フィルムの一部を保持可能なヘッドと、
前記ワークとともに立った状態となっている前記フィルムの縁部の一部を前記ヘッドにより保持するための状態から、前記ヘッドにより前記フィルムの縁部の一部が保持された状態で前記第１の面から前記フィルムを剥がす状態へ、前記ワーク支持手段および／または前記ヘッドを移動させる移動手段とを有する装置。
【請求項２】
請求項１において、前記ワークは平板状または膜状であって、前記ワーク支持手段は、前記ワークを立った状態に保持し、前記ヘッドは、前記フィルムのいずれかのコーナー部を保持する、装置。
【請求項３】
請求項１において、前記移動手段は、前記ヘッドを、前記第１の面に対して垂直な第１の方向を含めた方向に移動させる第１の移動装置を備える、装置。
【請求項４】
請求項３において、前記第１の移動装置は、前記ヘッドを、前記第１の方向と、鉛直な第２の方向とを含む２次元方向に移動させ、
前記移動手段は、さらに、前記ワーク支持手段を前記第１の方向および前記第２の方向の双方と直交する第３の方向に移動させる第２の移動装置を備える、装置。
【請求項５】
請求項１において、前記ワークを前記第１の面が横たわった状態となる第１のポジションと、前記ワークを前記第１の面が立った状態となる第２のポジションとの間で、前記ワークを回動させるための手段を、さらに有する装置。
【請求項６】
請求項１において、前記ヘッドは、前記ワークと前記フィルムとの粘着力よりも前記フィルムとの粘着力の高い粘着剤が表面に塗布された、ロール状に巻かれてなる粘着テープを備えており、
前記フィルムの縁の一部に前記粘着テープを貼り付けた状態で、前記ワーク支持手段と前記ヘッドとの相対位置を３次元的に変化させながら、前記ヘッドにより前記ワークから前記フィルムを剥がす、装置。
【請求項７】
請求項１において、前記ワークから剥がされ、前記ヘッドに保持された状態の前記フィルムを、前記ヘッドと前記フィルムとの保持力よりも強い力で保持可能な手段であって、前記ヘッドとの相対位置を変化させることにより、前記ヘッドから前記フィルムを引き剥がす手段をさらに有する、装置。
【請求項８】
ワークに貼り付けられたフィルムを剥がす方法であって、
前記ワークの前記フィルムが貼り付けられた第１の面が横たわった状態となる第１のポジションから、前記第１の面が立った状態となる第２のポジションに、前記ワークを回動させることと、
前記ワークに貼り付けられた前記フィルムの縁の一部を、前記フィルムの一部を保持可能なヘッドにより保持させることと、
前記ワークと前記ヘッドとの相対位置を３次元的に変化させながら、前記ヘッドにより前記ワークから前記フィルムを剥がすこととを含む、方法。
【請求項９】
フィルムが貼り付けられたワークを支持可能なワーク支持手段であって、前記ワークを倒伏位置と起立位置との間で回動させる手段を備えるワーク支持手段と、
前記フィルムの一部を保持可能なヘッドと、
前記ワーク支持手段および／または前記ヘッドを移動させ、前記ワーク支持手段と前記ヘッドとの相対位置を３次元的に変化させる移動手段とを有する装置の制御方法であって、
前記ワーク支持手段により、前記倒伏位置にある前記ワークを保持する第１の工程と、
前記ワーク支持手段により、前記ワークを前記倒伏位置から前記起立位置に移動させる第２の工程と、
前記ヘッドにより、前記ワークに貼り付けられた前記フィルムの縁部の一部を保持させる第３の工程と、
前記ワーク支持手段および／または前記ヘッドを移動させることにより、前記ワークと前記ヘッドとの相対位置を３次元的に変化させながら、前記ヘッドにより前記ワークから前記フィルムを剥がす第４の工程と、
前記ワーク支持手段により、前記ワークを前記起立位置から前記倒伏位置に移動させる第５の工程と、
前記ワーク支持手段による前記ワークの保持を解除する第６の工程とを含む、制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相差フィルムや偏向フィルムなどを含むワークの表面に貼着されたフィルム、例えば保護フィルムを、そのワークの表面から剥ぐための装置、およびフィルムを剥がす方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ用のガラス板には、位相差フィルム（位相差板）と偏向フィルム（偏光板）とが貼り付けられている。位相差フィルムや偏向フィルムなどのワークの表面には、接着剤層を介して、薄い保護フィルムが貼着されている。液晶ディスプレイの製造過程においては、位相差フィルムや偏向フィルムの表面から保護フィルムを剥ぎ取った後、位相差フィルムと偏向フィルムとを、接着剤層を介して、互いに重ね合わせ、この重ね合わされたフィルムを液晶ディスプレイ用のガラス板に貼り付けている。
【０００３】
位相差フィルムや偏向フィルムなどのワークの表面から保護フィルムを剥ぎ取る作業を手作業で行おうとすると、多大な手数と時間を要する。特許文献１および２には、保護フィルムをワークから剥ぎ取る作業を、人手を用いずに、自動的に行うための装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−９４５２７号公報
【特許文献２】特開２００５−３０５７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フィルムを剥ぐための装置としては、コンパクトで構造が簡単なものが求められている。また、フィルムが貼り付けられている側が上側を向くようにワークを水平方向に横たわった状態で保持し、フィルム剥離手段により保護フィルムを剥がす場合、一旦除去したフィルムが自重によりワーク側に垂れ下がり、フィルムとワークとの間に再干渉が起こる可能性がある。このような干渉を抑止するためには、フィルム剥離手段を上方に退避させながらフィルムを剥がす必要があるため、フィルム剥離手段の移動距離が長くなり易い。フィルム剥離手段の移動距離が長いほど、装置が大型化したり、構造が複雑化し易い。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様は、ワークに貼り付けられたフィルムの少なくとも一部を、ワークから剥ぐための装置である。この装置は、ワークのフィルムが貼り付けられた第１の面が立った状態になるようにワークを支持可能なワーク支持手段と、フィルムの一部を保持可能なヘッド（フィルム剥離手段）と、ワークとともに立った状態となっているフィルムの縁部の一部をヘッドにより保持するための状態から、ヘッドによりフィルムの縁部の一部が保持された状態で第１の面からフィルムを剥がす状態へ、ワーク支持手段および／またはヘッドを移動させる移動手段とを有している。
【０００６】
この装置によれば、ワークの第１の面を立った状態として、移動手段により、ワーク支持手段および／またはヘッドを移動させながら、ワークからフィルムを剥がす。ワーク（ワークピース、処理片）の典型的なものは、基板あるいはフィルムのような平板状または膜状の基材であり、第１の面と反対側を吸着支持するなどの方法によりワークを立った状態に保持できる。フィルムが付いた第１の面を立てることにより、剥がしたフィルムは自重により鉛直方向に垂れ下がり、鉛直方向に沿った状態のワークの第１の面とは自然に分離されやすい。このため、ワークと剥がされたフィルムとは再干渉し難い。したがって、ワーク支持手段および／またはヘッドの移動距離を短くすることが可能であり、結果として、フィルムを剥がすための装置の小型化、構造の簡易化が可能である。
【０００７】
ワークを横たえた状態で、ヘッド（フィルム剥離手段）により、保護フィルムを剥がす構成の装置の典型的なものは、門型クレーンのようにヘッドを支持するものである。すなわち、ワークが横たわった状態の場合、ヘッドをワークの上方、すなわち鉛直上方向から下方向に向かってアクセスさせなくてはならない。このため、ワークとヘッドが鉛直方向に重なった配置となる。一方、ヘッドをサポートする支持部材は、ワークおよびフィルムを通して立てることはできないため、結果として、ヘッドを支持するための部材はワークを跨ぐような配置あるいは門型の構造が必要になる。すなわち、ヘッドが保護フィルムの上方に位置するように、ヘッドを吊る水平方向に延びる支持部材が必要である。このため、装置が複雑であり、大型化し易い。
【０００８】
これに対し、この装置によれば、フィルムが貼り付けられた第１の面が立った状態になる。したがって、ヘッドは水平方向に動いてワークにアクセスできる。このため、ワークを支持する部材と、ヘッドを支える部材とが、鉛直方向に重ならない配置が可能となる。したがって、ヘッドを支持するためにワークを跨ぐような構成は不要であり、鉛直方向に延びる部材を主とした簡易な構成により、それぞれを支持できる。したがって、フィルムを剥がすための装置の簡易化が可能である。
【０００９】
この装置において、ワークは平板状または膜状である場合、ワーク支持手段は、ワークを立った状態に保持し、ヘッドは、フィルムのいずれかのコーナー部を保持するものであることが好ましい。ヘッドによりコーナー部を保持し、ヘッドがフィルムの対角方向に位置するように、ワーク支持手段および／またはヘッドを移動させる（ワーク支持手段とヘッドとの相対位置を変化させる）ことにより、ワークからフィルムをより良好に剥がすことができる。
【００１０】
また、この装置において、移動手段は、ヘッドを、第１の面に対して垂直な第１の方向を含めた方向に移動させる第１の移動装置を備えていることが好ましい。さらに好ましくは、移動手段は、ヘッドを、第１の面に対して垂直な第１の方向と、鉛直な第２の方向とを含む２次元方向に移動させる第１の移動装置と、ワーク支持手段を第１の方向および第２の方向の双方と直交する第３の方向に移動させる第２の移動装置を備えているとよい。このようにすることにより、ヘッドを３次元的に移動させる手段を用いることなく、ワーク支持手段とヘッドとの相対位置を３次元的に変化させることができる。したがって、ヘッドの移動距離を短くすることが可能であり、結果として、装置の小型化および簡易化が可能となる。
【００１１】
さらに、この装置において、ワーク支持手段は、ワークを第１の面が横たわった状態となる第１のポジションと、ワークを第１の面が立った状態となる第２のポジションとの間で、ワークを回動させるための手段を含むことが好ましい。このようにすることにより、第１のポジションにあるワークを、第２のポジションに移動させ、フィルムを剥がして、再び第１のポジションに移動させるといった一連の動作を自動で行うことができる。
【００１２】
この装置に設けられるヘッドの好適な一例としては、ワークとフィルムとの粘着力よりもフィルムとの粘着力の高い粘着剤が表面に塗布された、ロール状に巻かれてなる粘着テープを備えているものを挙げることができる。この場合、フィルムの縁の一部に粘着テープを貼り付けた状態で、ワーク支持手段とヘッドとの相対位置を３次元的に変化させながら、ヘッドによりワークからフィルムを剥がすようにするとよい。
【００１３】
また、ワークから剥がされ、ヘッドに保持された状態のフィルムを、ヘッドとフィルムとの保持力よりも強い力で保持可能な手段であって、ヘッドとの相対位置を変化させることにより、ヘッドからフィルムを引き剥がす手段をさらに有することが好ましい。このようにすることにより、ワークから除去され、ヘッドに保持しているフィルムを、このヘッドから自動的に引き剥がすことができ、フィルムを剥がして破棄するまでの工程を自動化できる。上述のようにヘッドが粘着テープを備えている場合、上記手段は、ヘッドとフィルムとの粘着力よりも強い力で保持可能な手段であれば良い。
【００１４】
本発明の他の態様は、ワークに貼り付けられたフィルムを剥がす方法であって、以下の工程を含む。
（ａ１）ワークのフィルムが貼り付けられた第１の面が横たわった状態となる第１のポジションから、第１の面が立った状態となる第２のポジションに、ワークを回動させる。
（ａ２）ワークに貼り付けられたフィルムの縁の一部を、フィルムの一部を保持可能なヘッドにより保持させる。
（ａ３）ワークとヘッドとの相対位置を３次元的に変化させながら、ヘッドによりワークからフィルムを剥がす。
【００１５】
本発明のさらに他の態様は、フィルムが貼り付けられたワークを支持可能なワーク支持手段であって、ワークを倒伏位置と起立位置との間で回動させる手段を備えるワーク支持手段と、フィルムの一部を保持可能なヘッドと、ワーク支持手段および／またはヘッドを移動させ、ワーク支持手段とヘッドとの相対位置を３次元的に変化させる移動手段とを有する装置の制御方法であって、以下の工程を含む。
（ｂ１）ワーク支持手段により、倒伏位置にあるワークを保持する。
（ｂ２）ワーク支持手段により、ワークを倒伏位置から起立位置に移動させる。
（ｂ３）ヘッドにより、ワークに貼り付けられたフィルムの縁部の一部を保持させる。
（ｂ４）ワーク支持手段および／またはヘッドを移動させることにより、ワークとヘッドとの相対位置を３次元的に変化させながら、ヘッドによりワークからフィルムを剥がす。
（ｂ５）ワーク支持手段により、ワークを起立位置から倒伏位置に移動させる。
（ｂ６）ワーク支持手段によるワークの保持を解除する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して本発明の一実施形態について詳しく説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る装置の一例の概略構成を示している。図１では、手前側から紙面（図示の面）奥側に向かう方向をＸ方向（プラス方向）、紙面左側から右側に向かう方向をＹ方向（プラス方向）、紙面下側から上側に向かう方向をＺ方向（プラス方向）として説明する。また、ここでは、外形矩形状の平板状または膜状のワークからフィルムを剥ぎ取るための装置（フィルム剥離装置）を例に説明する。
【００１７】
フィルム剥離装置１は、この装置１に搬入および／または搬出されるワークをストックするためのストッカー２と、保護フィルム９１が貼り付けられたワーク（基板、基材）９０を、ワーク９０の姿勢を変えた状態で支持可能なワーク支持装置３と、保護フィルム９１の一部を保持可能なヘッド４と、ワーク支持装置３およびヘッド４を移動させる移動装置５と、ヘッド４から保護フィルム９１を引き剥がす引き剥がし機構６とを有している。
【００１８】
ストッカー２は、保護フィルム９１が貼り付けられた第１の面９０ａがほぼ水平に横たわった状態となる第１のポジションでワーク９０をストックするためのものである。ストッカー２は、上下方向に移動可能である。ワーク９０は、初期状態においては、第１の面９０ａが下方を向くように、ストッカー２に搬入される。
【００１９】
ワーク支持装置３は、ストッカー２の上方に設けられている。ワーク支持装置３は、ワーク９０の一方の面を吸着することによりワーク９０を支持（保持）する。また、ワーク支持装置３は、ストッカー２に支持されたワーク９０を受け取り、このワーク９０を支持したまま、保護フィルム９１が貼り付けられた第１の面９０ａがほぼ水平に横たわった状態となる第１のポジション（倒伏位置）と、保護フィルム９１が貼り付けられた第１の面９０ａがほぼ鉛直となるように立った状態（第１の面９０ａが鉛直方向Ｚに沿った状態、すなわち、第１の面９０ａの法線が水平な方向に向く状態）となる第２のポジション（起立位置）との間で、ワーク９０を回動させるための回動装置７を備えている。
【００２０】
ヘッド４は、図２を参照して以下にさらに詳しく示すように、ワーク９０と保護フィルム９１との粘着力よりも保護フィルム９１との粘着力の高い粘着剤が表面に塗布された、ロール状に巻かれてなる粘着テープ１０２を備えており、矩形状の保護フィルム９１の一部を粘着保持可能である。本例では、ヘッド４は、保護フィルム９１の４つのコーナー部のうちの１つのコーナー部９１ａを保持するようになっている。
【００２１】
移動装置５は、ヘッド４を、第１の面９０ａに対して垂直な第１の方向（本例ではＹ方向）と、鉛直な第２の方向（本例ではＺ方向）とを含む２次元方向に移動させる第１の移動装置５１と、ワーク支持装置３を第１の方向および第２の方向の双方と直交する第３の方向（本例ではＸ方向）に移動させる第２の移動装置５２を含む。具体的には、第１の移動装置（ヘッド移動装置）５１は、Ｙ軸方向に延びる第１の支持部材（Ｙ軸サポート）５１ｙと、Ｚ軸方向に延びる第２の支持部材（Ｚ軸サポート）５１ｚとを有し、Ｙ軸サポート５１ｙは、Ｚ軸サポート５１ｚに支持され、全体として、方持ちあるいはＴ字形のＺ軸サポート５１ｚを主とした構成となっている。Ｙ軸サポート５１ｙは、Ｚ軸サポート５１ｚに対して上下方向に走行する移動機構５１ｚｍを介して支持されており、Ｚ軸方向に動く。また、ヘッド４は、Ｙ軸サポート５１ｙに沿ってＹ方向に移動（走行）する移動機構５１ｙｍを介して支持されている。このため、ヘッド４は、Ｙ軸サポート５１ｙに沿ってＹ方向に移動可能であるとともに、Ｚ軸サポート５１ｚに沿ってＺ方向に移動可能である。また、Ｚ軸サポート５１ｚの中間には、ヘッド４から保護フィルム９１を引き剥がす引き剥がし機構６が配置されている。
【００２２】
第２の移動装置（ワーク移動装置）５２は、Ｘ方向に延びる第３の支持部材（Ｘ軸サポート）５２ｘと、Ｘ軸サポート５２ｘに沿ってＸ方向に走行可能な移動機構５２ｘｍとを有している。この移動機構５２ｘｍから延びたアーム５２ｂを介して、アーム５２ａを旋回するための回動装置７が支持されている（吊り下げられている）。ワーク支持装置３は、アーム５２の先端に搭載されている。したがって、ワーク支持装置３は、ワーク９０を保持した状態でＸ軸サポート５２ｘに沿ってＸ方向に移動可能である。また、ワーク９０をワーク支持装置３により保持した状態で、回動機構７により、ワーク９０を第１のポジションから第２のポジションに、あるいはその逆方向に回動させることができる。
【００２３】
図２は、フィルム剥離装置１が備えるヘッド４の一例の概略構成を示している。ヘッド４は、粘着テープ１０２と、第１のテープ支持手段１０５と、フリクション手段１０７と、押さえローラ１０１と、第２のテープ支持手段１０９と、テープ回転手段１１１と、第１および第２のガイドローラ１０８および１１２と、余裕形成手段１１３と、第１および第２のテンション付与手段１１７および１１８と、クランプ手段１０３とを有している。
【００２４】
粘着テープ１０２の外側となる一面（表面）には、ワーク９０と保護フィルム９１との粘着力よりも保護フィルム９１との粘着力の高い粘着剤が塗布されている。第１のテープ支持手段１０５は、ロール状に巻かれた粘着テープ１０２を巻き戻し可能に支持する巻き戻し棒１０６を備えている。フリクション手段１０７は、巻き戻し棒１０６が、粘着テープ１０２とともに巻き戻し方向に回転しないように、巻き戻し棒１０６の回転にブレーキをかけるためのものである。押さえローラ１０１には、粘着テープ１０２が、粘着剤が塗布された側を外側に向けて、ほぼＵ字状に巻き掛けられている。第２のテープ支持手段１０９は、押さえローラ１０１の周囲から、第１のテープ支持手段１０５側とは反対側に延びる粘着テープ１０２の先端をロール状に巻き取る巻き取り棒１１０を備えている。テープ回転手段１１１は、巻き取り棒１１０を回転させて、巻き取り棒１１０に粘着テープ１０２の先端を巻き取るためのものである。
【００２５】
第１および第２のガイドローラ１０８および１１２は、粘着テープ１０２が押さえローラ１０１から外れるのを抑止するためのものである。余裕形成手段１１３は、押さえローラ１０１と第２の支持手段１０９との間の粘着テープ１０２をほぼくの字状（ほぼＬ字状）に曲げて、押さえローラ１０１と第２の支持手段１０９との間の粘着テープ部分１０２ａに余裕を持たせるためのものである。
【００２６】
第１のテンション付与手段１１７は、上記粘着テープ部分１０２ａに、粘着テープ１０２が保護フィルム９１から剥がれない程度の弱いテンションを与えるためのものである。第２のテンション付与手段１１８は、上記粘着テープ部分１０２ａに、粘着テープ１０２に粘着させた保護フィルム９１をワーク９０から剥がすことが出来る程度の強いテンションを与えるためのものである。第２のテンション付与手段１１８は、上記粘着テープ部分１０２ａにテンションを与えて、粘着テープ１０２が粘着された保護フィルム９１をワーク９０から剥ぎ取って、押さえローラ１０１に巻き掛けた状態とするためのものである。クランプ手段１０３は、押さえローラ１０１の周囲に、粘着テープ１０２に巻き掛けた保護フィルム９１を外側から押し当てて、上記粘着テープ部分１０２ａおよび保護フィルム９１の一部分（本例ではコーナ部分）を押さえ、ローラ１０１との間に挟みこむためのものである。その一方でクランプ手段１０３は、保護フィルム９１を剥がし終わった段階などの適当なタイミングにおいては、クランプ手段１０３を逆方向に動かすことにより、保護フィルム９１を粘着テープ１０２に粘着および／または挟みこみに保持する力を解放することができ、保護フィルム９１をヘッド４から開放あるいは取り外すことを可能にするものである。
【００２７】
図３に、このヘッド４の動作を示してある。図２に一点鎖線で示すように、押さえローラ１０１を、粘着テープ１０２を介して、保護フィルム９１の表面のコーナー部９１ａ近傍に押し付け、粘着テープ１０２を保護フィルム９１に粘着させる。そして、図３（ａ）に示すように、上記粘着テープ部分１０２ａを余裕形成手段１１３のローラ１１４により押して、上記粘着テープ部分１０２ａを、ほぼ「く」の字状（ほぼＬ字状）に曲げて上記粘着テープ部分１０２ａに余裕を持たせる。その後、上記粘着テープ部分１０２ａを、余裕形成手段１１３の力を弱めるなどして、粘着テープ１０２が保護フィルム９１から剥がれない程度の弱いテンションを与える。
【００２８】
そして、図３（ｂ）に示すように、押さえローラ１０１を、保護フィルム９１の剥ぎ取り方向とは反対側に回転させながら、保護フィルム９１上において、保護フィルム９１のコーナー部９１ａまで移動させる。次いで、上記粘着テープ部分１０２ａに、保護フィルム９１をワーク９０から剥ぎ取ることができる程度の大きなテンションを加える。これとともに、図３（ｃ）に示すように、押さえローラ１０１を、粘着テープ１０２を介して、保護フィルム９１の表面に押し付けた状態で、保護フィルム９１上を、その剥ぎ取り方向にあたる保護フィルム９１の内方に回転させながら移動させる。このようにすることにより、ヘッド４は、ワーク９０から保護フィルム９１のコーナー部９１ａを剥ぎ取り、保持できる。
【００２９】
剥離装置１は、さらに、剥離装置１の各部の動きを制御するためのコントローラ１００を備えている。コントローラ１００は、典型的には、ストッカー２と、ワーク支持装置３と、ワーク移動装置５２と、回動機構７と、ヘッド４と、ヘッド移動装置５１とを制御する。コントローラ１００は、適当な制御機構、典型的には、ＣＰＵと、プログラムを格納したメモリとを備えたコンピュータを中心とするハードウェアを備えている。そして、所定のプログラムに従って、剥離装置１の動作を制御する。
【００３０】
図４ないし図１５に、このフィルム剥離装置１を用いた保護フィルム９１の剥離方法を示している。これらの動きは、具体的には、コントローラ１００のプログラムにより制御される。なお、図４から図７は、ヘッド４に関連する部分は省いて示している。まず、図４に示すように、第１の面９０ａを下方に向けた状態で、ストッカー２にワーク９０を載せる（搬入する）。次に、図５に示すように、ストッカー２を上方に移動させ、ワーク９０をワーク支持装置３に支持させる。ワーク支持装置３は、ワーク９０の背面（フィルム９１が貼り付けられた第１の面９０ａとは反対側の面）の周囲（縁または縁に近い部分）を、連続的に、または断続的（選択的）に吸着することにより、膜状あるいは薄板状のワーク９０を平らな、歪みが少ない状態で支持する。吸着力は典型的には、ワーク支持装置３のワーク９０に接する部分に連続的な吸引スリット、あるいは断続的な吸引口を設け、吸引スリットあるいは吸引口を負圧により得ることができる。接着力、静電力などの他の方法により吸着力を得ることも可能である。このワーク９０のポジションは、第１の面９０ａがほぼ水平となるように横たわった状態となる第１のポジション（倒伏位置）である。
【００３１】
その後、図６に示すように、ストッカー２を下方に移動（退避）させる。そして、図７に示すように、回動装置７により、ワーク支持装置３を回動（９０度）させる。これにより、ワーク９０は、上記第１のポジションから、第１の面９０ａがほぼ鉛直に立った状態となる第２のポジションに移動する。
【００３２】
次に、図８に示すように、ヘッド４により保護フィルム９１のコーナー部９１ａを粘着保持する。そのため、ヘッド４の粘着テープ１０２をワーク９０のコーナー部９１ａ近傍に粘着させ、上述したように、ヘッド４をコーナー部９１ａで動かし、保護フィルム９１のコーナー部９１ａを捲り、クランプ手段１０３によりその状態を保持する。
【００３３】
その後、移動装置５により、ワーク支持装置３とヘッド４との相対位置を３次元的に変化させながら、ヘッド４によりワーク９０から保護フィルム９１を剥がす。具体的には、図９に示すように、ワーク支持装置３をワーク移動機構５２によりＸ方向プラス側に移動させるとともに、ヘッド４をヘッド移動機構５１によりＹ方向プラス側およびＺ方向マイナス側に２次元的に移動させる。これにより、ワーク９０とヘッド４との相対位置が全体として３次元的に変化する。
【００３４】
図１５に、フィルム９１が剥がされる様子を示している。保護フィルム９１は、Ｚ軸上のある位置で、ヘッド４によりコーナー部９１ａを保持される。ヘッド４は、ＺＹ面内を２次元方向に移動し、ワーク９０は、ＺＸ面内をＸ方向に移動する。このため、保護フィルム９１は、コーナー部９１ａがヘッド４により保持された状態で、対角位置にあるコーナー部９１ｂの方向に引き剥がされる。ヘッド４は、ＺＹ面内を基本的には任意の方向に任意のスピードで移動できる。また、ワーク９０はＸ方向に任意のスピードで移動できる。結果として、保護フィルム９１をワーク９０から引き剥がす方向および速度は任意に設定することが可能である。例えば、コントローラ１００を制御するプログラムをワーク９０および／またはフィルム９１の形状、構成、性質などにより変えることにより、最適な方法でフィルム９１を剥がすことができる。
【００３５】
図１０に示すように、保護フィルム９１は、ワーク９０から引き剥がされると、ヘッド４から鉛直方向に垂れ下がった状態になり、ワーク９０から自動的に分離される。ヘッド４をＺ方向プラスあるいはマイナス側に移動させ、Ｚ軸サポート５１ｚの略中央部にある引き剥がし機構（クランプ機構）６により、保護フィルム９１の一部をクランプさせる。クランプ機構６は、ヘッド４に保持されている保護フィルム９１の一部をヘッド４と保護フィルム９１との粘着力よりも強い力でクランプする。また、ヘッド４においては、クランプ手段１０３を動かしてフィルム９１を開放させる。この状態で、ヘッド４をさらにＺ方向および／またはＹ方向に移動させる。
【００３６】
図１１に示すように、ヘッド４とクランプ機構６の相対位置が変化し、ヘッド４から保護フィルム９１が引き剥がされる。そして、保護フィルム９１は、ヘッド４からクランプ機構６に引き渡され、ヘッド４は、次のフィルムを保持する状態にリセットされる。
【００３７】
一方、保護フィルム９１が剥離されたワーク９０は、その後、図１２に示すように、ワーク支持装置３により上記第２のポジションから、上記第１のポジションに回動させ、ワーク９０は倒伏位置になる。これと同時または前後して、クランプ機構６のクランプを解除する。クランプ機構６に保持されたフィルム９１は、クランプ機構６がフィルム９１を開放すると、保護フィルム９１は自重により落下し、下方の廃棄エリアに放棄される。
【００３８】
図１３に示すように、ストッカー２が上昇されると、保護フィルム９１が除去され、第２のポジションにあるワーク９０はストッカー２の上に載せられる。この状態で、ワーク支持装置３の保持（吸着）を解除すると、ストッカー２にワーク９０が移される。図１４に示すように、ストッカー２を下降させ、ワーク９０をストッカー２から取り除く。このような一連の動作により、ワーク９０から保護フィルム９１を剥ぎ取ることができる。
【００３９】
図１６に、このフィルム剥離装置１の制御方法を説明するためのフローチャートを示してある。ステップ２０１において、ワーク支持装置３により、倒伏位置にあるワーク９０を保持する。ステップ２０２において、ワーク支持装置３により、ワーク９０を倒伏位置から起立位置に移動させる。ステップ２０３において、ヘッド４により、ワーク９０に貼り付けられた保護フィルム９１の縁部の一部（好ましくはコーナー部９１ａ）を保持させる。ステップ２０４において、ワーク支持装置３およびヘッド４を移動させ、ワーク９０とヘッド４との相対位置を３次元的に変化させながら、ヘッド４によりワーク９０から保護フィルム９１を剥がす。ステップ２０５において、ワーク支持装置３により、ワーク９０を起立位置から倒伏位置に移動させる。ステップ２０６において、ワーク支持装置３によるワーク９０の保持を解除する。このような制御により、このフィルム剥離装置１を用いて、ワーク９０から保護フィルム９１を剥ぎ取ることができる。
【００４０】
以上のように、このフィルム剥離装置１によれば、ワーク９０をほぼ垂直に立った状態として、移動装置５により、ワーク支持装置３およびヘッド４を移動させながら、ワーク９０から保護フィルム９１を剥がす。このため、剥がした保護フィルム９１が自重により垂れ下がっても、ワーク９０に再干渉し難い。したがって、ワーク支持装置３およびヘッド４のトータルの移動距離を短くすることが可能であり、結果として、装置の小型化、構造の簡易化が可能である。
【００４１】
しかも、このフィルム剥離装置１によれば、ワーク支持装置３をＸ方向に動かし、ヘッド４をＹ方向およびＺ方向に動かすことにより、ワーク支持装置３とヘッド４との相対位置を３次元的に変化させながら、ヘッド４によりワーク９０から保護フィルム９１を剥ぎ取る。したがって、種々の形状のワークから保護フィルムを剥がすための微調整をフレキシブルに変化させることができる。しかも、ヘッドを支持する機構（本例では、第１の移動装置５１が兼ねている）を簡易にすることができる。さらに、ヘッド４の移動距離を短くすることが可能である。結果として、装置の小型化および簡易化が可能となる。
【００４２】
さらに、このフィルム剥離装置１、ワークに貼り付けられたフィルムを剥がす方法、および装置１の制御方法によれば、ワーク支持装置３は、ワーク９０を第１の面９０ａがほぼ水平に横たわった状態となる第１のポジションと、ワーク９０を第１の面９０ａがほぼ垂直に立った状態となる第２のポジションとの間で、ワーク９０を回動させるための回動装置７を含んでいる。したがって、第１のポジションにあるワーク９０を、第２のポジションに移動させ、保護フィルム９１を剥がして、再び第１のポジションに移動させるといった一連の動作を自動で行うことができる。
【００４３】
また、このフィルム剥離装置１によれば、ワーク９０から剥がされ、ヘッド４に粘着された状態の保護フィルム９１を、ヘッド４と保護フィルム９１との粘着力よりも強い力で保持可能な引き剥がし機構６を有している。この引き剥がし機構６は、ヘッド４との相対位置を変化させることにより、ヘッド４から保護フィルム９１を引き剥がす。したがって、ワーク９０から除去され、ヘッド４に粘着している保護フィルム９１を、このヘッド４から容易に除去できる。
【００４４】
なお、この実施形態では、移動装置として、ワーク支持装置およびヘッドの双方を移動させるものを採用しているが、移動装置は、ワークまたはヘッドの一方のみを３次元的に移動させるものであってもよい。また、この実施形態では、ヘッドとして、粘着により保護フィルムを保持するものを採用しているが、ヘッドは、保護フィルムの一部を保持可能なものであれば、どのようなものであってもよい。例えば、ヘッドは、保護フィルムを吸着したり把持したりするようなものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】ワークに貼り付けられた保護フィルムを剥ぐための装置の一例の概略構成を示す図。
【図２】図１の装置が備えるヘッドの一例の概略構成を示す図。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は図２のヘッドの動作を説明するための図。
【図４】保護フィルムを剥がす方法の第１の過程を説明する図。
【図５】保護フィルムを剥がす方法の第２の過程を説明する図。
【図６】保護フィルムを剥がす方法の第３の過程を説明する図。
【図７】保護フィルムを剥がす方法の第４の過程を説明する図。
【図８】保護フィルムを剥がす方法の第５の過程を説明する図。
【図９】保護フィルムを剥がす方法の第６の過程を説明する図。
【図１０】保護フィルムを剥がす方法の第７の過程を説明する図。
【図１１】保護フィルムを剥がす方法の第８の過程を説明する図。
【図１２】保護フィルムを剥がす方法の第９の過程を説明する図。
【図１３】保護フィルムを剥がす方法の第１０の過程を説明する図。
【図１４】保護フィルムを剥がす方法の第１１の過程を説明する図。
【図１５】保護フィルムを剥ぎ取る際のワーク支持装置とヘッドとの相対的な３次元の動きを模式的に示す図。
【図１６】図１の装置の制御方法を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
【００４６】
１    フィルム剥離装置（フィルムを剥ぐための装置）
３    ワーク支持装置（ワーク支持手段）
４    ヘッド、      ５    移動装置（移動手段）
６    引き剥がし機構（ヘッドからフィルムを引き剥がす手段）
７    回動装置（ワークを回動させるための手段）
５１    第１の移動装置、  ５２    第２の移動装置
９０    ワーク、  ９０ａ    第１の面
９１    保護フィルム（フィルム）
【図１】
2008032964.tif 000003
【図２】
2008032964.tif 000004
【図３】
2008032964.tif 000005
【図４】
2008032964.tif 000006
【図５】
2008032964.tif 000007
【図６】
2008032964.tif 000008
【図７】
2008032964.tif 000009
【図８】
2008032964.tif 000010
【図９】
2008032964.tif 000011
【図１０】
2008032964.tif 000012
【図１１】
2008032964.tif 000013
【図１２】
2008032964.tif 000014
【図１３】
2008032964.tif 000015
【図１４】
2008032964.tif 000016
【図１５】
2008032964.tif 000017
【図１６】
2008032964.tif 000018