(57)【要約】【課題】対象物の形状、重量あるいは材質のバラツキがある場合でも対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが可能な欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供する。【解決手段】焼結品１０に打撃を付与し、焼結品１０から発せられる振動を収集し、収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換し、変換された周波数毎の強度を表す信号に含まれる複数のピークのうち、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピークのピーク周波数（ｙ）、および、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピークのピーク周波数（ｘ）、の関係に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に打撃を付与する打撃付与手段と、
前記打撃付与手段により打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集手段と、
前記振動収集手段により収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換手段と、
前記振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークのうち、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピークのピーク周波数、および、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピークのピーク周波数、の関係に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定手段と、
を具備する欠陥検出装置。
【請求項２】
打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集工程と、
前記振動収集工程において収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換工程と、
前記振動変換工程において変換された信号に含まれる複数のピークのうち、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピークのピーク周波数、および、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピークのピーク周波数、の関係に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、
を具備する欠陥検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の欠陥を検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、非破壊で対象物の欠陥（例えば、クラックやピンホール等）の有無を検出する技術としては、対象物の打撃音を利用する技術が知られている。例えば、特許文献１および特許文献２に記載の如くである。
特許文献１および特許文献２に記載の技術は、対象物をハンマ等で打撃して打音を発生し、発生した打音を振動信号として検出し、振動信号の特徴量、例えば周波数帯域毎の瞬間的な最大値を抽出し、これを予め設定された基準データと比較することにより欠陥の有無を判定するものである。
このような対象物の打撃音を利用する技術の多くは、欠陥が有る対象物は欠陥が無い対象物に比べて打撃音に含まれる特定の周波数成分のピーク周波数が低周波数側にシフトする傾向があることを利用するものであり、一般に対象物の一個あたりの検査に要する時間が短く、対象物の全数検査を行う用途等への適用が有望視される。
【０００３】
しかし、従来の技術は、対象物の形状、重量あるいは材質等のバラツキによる振動信号の特徴量の変化が欠陥の有無による振動信号の特徴量の変化よりも大きい場合には、欠陥が無い対象物について欠陥が有ると判定したり欠陥が有る対象物について欠陥が無いと判定したりするといった過検出の頻度が高くなり、対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが困難であるという問題がある。
【特許文献１】特開２０００−１３１２９４号公報
【特許文献２】特開２００２−３３３４３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は以上の如き状況に鑑み、対象物の形状、重量あるいは材質のバラツキがある場合でも対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが可能な欠陥検出装置および欠陥検出方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００６】
即ち、請求項１においては、
対象物に打撃を付与する打撃付与手段と、
前記打撃付与手段により打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集手段と、
前記振動収集手段により収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換手段と、
前記振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークのうち、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピークのピーク周波数、および、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピークのピーク周波数、の関係に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定手段と、
を具備するものである。
【０００７】
請求項２においては、
打撃が付与された対象物から発せられる振動を収集する振動収集工程と、
前記振動収集工程において収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する信号変換工程と、
前記振動変換工程において変換された信号に含まれる複数のピークのうち、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピークのピーク周波数、および、ピーク周波数と前記対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピークのピーク周波数、の関係に基づいて前記対象物の欠陥の有無を判定する判定工程と、
を具備するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、対象物の形状、重量あるいは材質のバラツキがある場合でも対象物の欠陥の有無を精度良く検出することが可能である、という効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下では、図１乃至図５を用いて本発明に係る欠陥検出装置の実施の一形態である欠陥検出装置１００について説明する。
図１に示す如く、欠陥検出装置１００は焼結品１０の欠陥の有無を検出する装置であり、主として電磁インパクタ１１０、マイクロホン１２０、ＦＦＴアナライザ１３０、制御装置１４０等を具備する。
【００１０】
焼結品１０は本発明に係る対象物の実施の一形態であり、欠陥検出装置１００による欠陥の有無の検出の対象となる物品である。焼結品１０は、例えば無加圧焼結法（雰囲気焼結法）、通電加熱焼結法、放電プラズマ焼結法等の方法を用いて粉末状の材料（主として金属材料）を所定の型に収容して加圧し、所定の形状とした後加熱する、あるいは所定の型に収容して加圧した状態で加熱することにより得られる。
なお、本実施例の対象物は焼結品１０であるが、本発明はこれに限定されず、クラックやピンホール等の種々の欠陥を有する物品に適用可能である。
【００１１】
電磁インパクタ１１０は本発明に係る打撃付与手段の実施の一形態であり、焼結品１０に打撃を付与するものである。
電磁インパクタ１１０は、電磁コイルを収容する本体１１１、および当該電磁コイルが発生する電磁力により本体１１１の側方に突出および没入するハンマ１１２を具備する。ハンマ１１２が突出するとハンマ１１２の先端部が焼結品１０に衝突し、焼結品１０に打撃が付与される。
なお、本発明に係る打撃付与手段は本実施例の電磁インパクタ１１０に限定されず、他の構成でも良い。他の構成としては、例えば振り子式のインパクタ等が挙げられる。
【００１２】
マイクロホン１２０は本発明に係る振動収集手段の実施の一形態であり、電磁インパクタ１１０により打撃が付与された焼結品１０から発せられる振動を収集するものである。
ここで、「振動」には、人間が聴覚により知覚可能な周波数（可聴域）の弾性波である音波、音波よりも高い周波数帯の弾性波である超音波、音波よりも低い周波数帯の弾性波である超低周波音が含まれる。
本実施例のマイクロホン１２０はいわゆる音響センサであり、周波数が４０ｋＨｚ以下程度の周波数帯の振動（弾性波）を収集することが可能である。マイクロホン１２０は電磁インパクタ１１０により打撃が付与される焼結品１０の上方、かつ所定の間隔を空けた位置に配置される。
【００１３】
ＦＦＴ（Ｆａｓｔ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ；高速フーリエ変換）アナライザ１３０は本発明に係る信号変換手段の実施の一形態であり、マイクロホン１２０により収集された振動（本実施例の場合、４０ｋＨｚ以下程度の周波数帯の弾性波）を図２に示す如き周波数毎の強度を表す信号に変換するものである。
ここで、「高速フーリエ変換」は離散フーリエ変換を高速で計算するためのアルゴリズムを指す。
ＦＦＴアナライザ１３０はマイクロホン１２０に接続され、マイクロホン１２０により収集された振動に係る情報を取得することが可能である。
ＦＦＴアナライザ１３０は、内部に格納された所定のアルゴリズムに従ってマイクロホン１２０から取得した振動に係る情報に高速フーリエ変換処理を施し、周波数毎の強度を表す信号に変換する。
図２に示す如く、マイクロホン１２０により収集された振動（弾性波）を周波数毎の強度を表す信号に変換すると、当該信号には複数のピーク（（Ａ）乃至（Ｑ）で示す）が含まれる。これら複数のピークは焼結品１０の材質や形状により特定の周波数帯に現れる。
【００１４】
制御装置１４０は主として制御部１４１、入力部１４２、表示部１４３等を具備する。
【００１５】
制御部１４１は欠陥検出装置１００の一連の動作を制御するものである。
制御部１４１は、種々のプログラム等（例えば、後述する検出動作制御プログラム、判定プログラムおよび各種データ等）を格納し、これらのプログラム等を展開し、これらのプログラム等に従って所定の演算を行い、演算結果等を保管（記憶）することができる。
【００１６】
制御部１４１は、実体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等がバスで接続される構成であっても良く、あるいはワンチップのＬＳＩ等からなる構成であっても良い。
本実施例の制御部１４１は専用品であるが、市販のパーソナルコンピュータやワークステーション等に上記プログラム等を格納したもので達成することも可能である。
【００１７】
制御部１４１は電磁インパクタ１１０に接続され、電磁インパクタ１１０の動作を制御する（ハンマ１１２の突出および没入を行う、ひいては焼結品１０への打撃の付与を行う）ことが可能である。
制御部１４１はＦＦＴアナライザ１３０に接続され、ＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号を取得することが可能である。
【００１８】
入力部１４２は制御部１４１に接続され、制御部１４１に欠陥検出装置１００の動作に係る種々の情報・指示等を入力するものである。
本実施例の入力部１４２は専用品であるが、市販のキーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、スイッチ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。
【００１９】
表示部１４３は欠陥検出装置１００の動作状況、入力部１４２から制御部１４１への入力内容、欠陥検出装置１００による検出結果等を表示するものである。
本実施例の表示部１４３は専用品であるが、市販のモニターや液晶ディスプレイ等を用いても同様の効果を達成することが可能である。
【００２０】
また、市販のタッチパネル等を用いて入力部１４２としての機能と表示部１４３としての機能を一体化したものを達成することが可能である。
【００２１】
以下では、制御部１４１の詳細構成について説明する。
制御部１４１は、機能的には検出動作制御部１４１ａ、判定部１４１ｂを具備する。
【００２２】
検出動作制御部１４１ａは欠陥検出装置１００の動作を制御するものである。
実体的には、制御部１４１が、予め格納された検出動作制御プログラムに従って所定の演算等を行うことにより、検出動作制御部１４１ａとしての機能を果たす。
【００２３】
本実施例では、検出動作制御部１４１ａは電磁インパクタ１１０の動作を制御して焼結品１０に打撃を付与する。そして、検出動作制御部１４１ａはＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号を取得する。
【００２４】
判定部１４１ｂは本発明に係る判定手段の実施の一形態であり、ＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号に含まれる複数のピーク（図２中の（Ａ）乃至（Ｑ））のうち、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる「第一グループ」から選択された一つのピーク（本実施例の場合、図２中の（Ｉ））のピーク周波数、および、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる「第二グループ」から選択された一つのピーク（本実施例の場合、図２中の（Ｎ））のピーク周波数、の関係に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定するものである。
【００２５】
「ピーク周波数」は、振動変換手段により変換された信号に含まれる複数のピークのそれぞれについて、その強度が最大となるときの周波数を指す。
【００２６】
「ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低い」とは、予め他の方法（対象物を切断して切断面を観察する、対象物のＸ線透過画像により欠陥の有無を検出する等）により欠陥が有ることが判明している対象物のピーク周波数の分布の大部分または全部が、予め他の方法により欠陥が無いことが判明している対象物のピーク周波数の分布と重複しており、ピーク周波数の値で欠陥の有無を検出することが困難である状態を指す。
図３に示す如く、図２中の（Ｉ）のピークについてのピーク周波数とピーク強度（ピーク周波数における信号の強度）との関係を見ると、欠陥が有る焼結品のピーク周波数の分布は、やや低周波側にシフトしているものの欠陥が無い焼結品のピーク周波数の分布と完全に重複している。従って、このままではピーク周波数の値の大きさ（またはピーク周波数の値の大きさとピーク周波数における信号の強度との組み合わせ）で欠陥の有無を判定することができない。
本実施例の場合、実験の結果、図２中の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｊ）、（Ｌ）および（Ｍ）の計７つのピークについては図３に示す（Ｉ）と略同様の分布となり、これらのピークに（Ｉ）のピークを加えた計８つのピークが「第一グループ」を形成する。
【００２７】
「ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高い」とは、前記「ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低い」場合に比べて、予め他の方法により欠陥が有ることが判明している対象物のピーク周波数の分布が予め他の方法により欠陥が無いことが判明している対象物のピーク周波数の分布と重複していない部分があるものの、残りの部分は相互に重複しているため、仮にピーク周波数の値で欠陥の有無を検出した場合には高い検出精度を達成することが困難である状態を指す。
なお、ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高い周波数帯において欠陥が有る対象物と欠陥が無い対象物との間で一部ピーク周波数が重複する理由としては、対象物の重量や形状のバラツキによるピーク周波数のバラツキが、対象物の欠陥に起因するピーク周波数の低周波側へのシフト量と同等もしくはそれよりも大きい場合が挙げられる。
図４に示す如く、図２中の（Ｎ）のピークについてのピーク周波数とピーク強度（ピーク周波数における信号の強度）との関係を見ると、欠陥が有る焼結品のピーク周波数の分布は低周波側にシフトしており、欠陥が有る焼結品のピーク周波数の一部については欠陥が無い焼結品のピーク周波数の分布と重複していないが、残りの部分については欠陥が無い焼結品のピーク周波数の分布と重複している（図４中の混在領域を参照）。従って、このままではピーク周波数の値の大きさ（またはピーク周波数の値の大きさとピーク周波数における信号の強度との組み合わせ）で欠陥の有無を精度良く判定することができない。
本実施例の場合、実験の結果、図２中の（Ｄ）、（Ｆ）、（Ｇ）、（Ｈ）、（Ｋ）、（Ｏ）、（Ｐ）および（Ｑ）の計８つのピークについては図４に示す（Ｎ）と略同様の分布となり、これらのピークに（Ｎ）のピークを加えた計９つのピークが「第二グループ」を形成する。
【００２８】
しかし、図５に示す如く、同一の焼結品１０についての縦軸を図２中の（Ｉ）のピークについてのピーク周波数をＹとし、横軸を図２中の（Ｎ）のピークについてのピーク周波数をＸとして、複数の焼結品１０・１０・・・についてプロットすると、予め他の方法により欠陥が有ることが判明している焼結品１０・１０・・・の分布は欠陥が無いことが判明している焼結品１０・１０・・・の分布と重複せず、関数Ｙ＝ｆ（Ｘ）を境界条件として両者をはっきりと切り分ける、すなわち焼結品１０・１０・・・の欠陥の有無を精度良く判別（判定）することが可能である。ここで、本実施例の場合、関数Ｙ＝ｆ（Ｘ）は予め他の方法により欠陥が無いことが判明している焼結品１０・１０・・・について最小二乗法により求められたものであるが、本発明はこれに限定されるものではない。
なお、本実施例においては、「第一グループ」から選択した１つのピークと「第二グループ」から選択した１つのピークの全ての組み合わせ（８×９＝７２通り）についてプロットし、欠陥が有る対象物の分布と欠陥が無い対象物の分布が最も明確に分離されている（重複していない）組み合わせとして、図２中の（Ｉ）および（Ｎ）のピークをそれぞれ選択した。従って、対象物の形状、重量あるいは材質等が異なる場合には、「第一グループ」および「第二グループ」を形成するピークの数やそれぞれの周波数帯も変化し、欠陥が有る対象物の分布と欠陥が無い対象物の分布が最も明確に分離されている（重複していない）組み合わせも変化し得る。
【００２９】
制御部１４１は予め実験により算出されたＹ＝ｆ（Ｘ）に係る情報を格納しており、判定部１４１ｂは、ＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号に含まれる複数のピークのうち、図２中の（Ｉ）のピーク周波数をｙとし、図２中の（Ｎ）のピーク周波数をｘとして、座標（ｘ，ｙ）が図２中のＹ＝ｆ（Ｘ）に測定バラツキを考慮した所定の範囲内にあるとき（ｆ（ｘ）−α≦ｙ≦ｆ（ｘ）＋αを満たすとき、なおαは測定バラツキにより定まる値（α≧０））には検出対象である焼結品１０には欠陥が無いと判定し、座標（ｘ，ｙ）が図２中のＹ＝ｆ（Ｘ）に測定バラツキを考慮した所定の範囲外にあるとき（通常はｙ＞ｆ（ｘ）＋αのとき）には検出対象である焼結品１０には欠陥が有ると判定する。
【００３０】
なお、本実施例では直線からなる関数Ｙ＝ｆ（Ｘ）を境界条件として欠陥の有無を判定する構成としたが、本発明はこれに限定されず、ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低い周波数（第一グループ）から選択された一つのピークの周波数およびピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高い周波数（第二グループ）から選択された一つのピークの周波数をそれぞれ縦軸および横軸とする二次元平面における曲線（例えば二次関数、指数関数等）を境界条件として欠陥の有無を判定する構成としても良く、あるいは二次元平面上の複数の関数を境界条件として欠陥の有無を判定する構成としても良い。
上記境界条件となる関数が直線となるか曲線となるか、あるいは複数の関数の組み合わせとなるかは対象物の性状（材質、形状等）により変動し得るものであることから、対象物に応じて予め実験等により求めておく必要がある。
【００３１】
以上の如く、欠陥検出装置１００は、
焼結品１０に打撃を付与する電磁インパクタ１１０と、
電磁インパクタ１１０により打撃が付与された焼結品１０から発せられる振動を収集するマイクロホン１２０と、
マイクロホン１２０により収集された振動（弾性波）を周波数毎の強度を表す信号に変換するＦＦＴアナライザ１３０と、
ＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号に含まれる複数のピークのうち、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピーク（本実施例の場合、図２中の（Ｉ））のピーク周波数、および、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピーク（本実施例の場合、図２中の（Ｎ））のピーク周波数、の関係に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定する判定部１４１ｂと、
を具備するものである。
このように構成することにより、焼結品１０の形状や重量のバラツキがある場合でも焼結品１０の欠陥の有無を精度良く検出することが可能である。
また、目視では検出が困難な焼結品１０の表面または内部の欠陥を非接触かつ高速に検出可能であり、製造ラインにおける全数検査にも適用することが可能である。
【００３２】
以下では、図６を用いて本発明に係る欠陥検出方法の実施の一形態について説明する。
図６に示す如く、本発明に係る欠陥検出方法の実施の一形態は欠陥検出装置１００を用いて焼結品１０の欠陥の有無を検出する方法であり、主として振動収集工程Ｓ１１００、信号変換工程Ｓ１２００、判定工程Ｓ１３００を具備する。
【００３３】
振動収集工程Ｓ１１００は打撃が付与された焼結品１０から発せられる振動（弾性波）を収集する工程である。
振動収集工程Ｓ１１００において、電磁インパクタ１１０により焼結品１０に打撃が付与され、マイクロホン１２０により焼結品１０から発せられる振動（弾性波）が収集される。
振動収集工程Ｓ１１００が終了したら、信号変換工程Ｓ１２００に移行する。
【００３４】
信号変換工程Ｓ１２００は振動収集工程Ｓ１１００において収集された振動を周波数毎の強度を表す信号に変換する工程である。
信号変換工程Ｓ１２００において、ＦＦＴアナライザ１３０はマイクロホン１２０により収集された振動（弾性波）を図２に示す如き周波数毎の強度を表す信号に変換する。
信号変換工程Ｓ１２００が終了したら、判定工程Ｓ１３００に移行する。
【００３５】
判定工程Ｓ１３００は信号変換工程Ｓ１２００において変換された周波数毎の強度を表す信号に含まれる複数のピーク（図２中の（Ａ）乃至（Ｑ））のうち、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークからなる第一グループから選択された一つのピーク（本実施例の場合、図２中の（Ｉ））のピーク周波数、および、ピーク周波数と焼結品１０の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークからなる第二グループから選択された一つのピーク（本実施例の場合、図２中の（Ｎ））のピーク周波数、の関係に基づいて焼結品１０の欠陥の有無を判定する工程である。
【００３６】
判定工程Ｓ１３００において、判定部１４１ｂはＦＦＴアナライザ１３０により変換された周波数毎の強度を表す信号に含まれる複数のピークのうち、図２中の（Ｉ）のピーク周波数をｙとし、図２中の（Ｎ）のピーク周波数をｘとして、座標（ｘ，ｙ）が図２中のＹ＝ｆ（Ｘ）に測定バラツキを考慮した所定の範囲内にあるとき（ｆ（ｘ）−α≦ｙ≦ｆ（ｘ）＋αを満たすとき）には検出対象である焼結品１０には欠陥が無いと判定し、座標（ｘ，ｙ）が図２中のＹ＝ｆ（Ｘ）に測定バラツキを考慮した所定の範囲外にあるとき（通常はｙ＞ｆ（ｘ）＋αのとき）には検出対象である焼結品１０には欠陥が有ると判定する。
【００３７】
以上の如く本発明に係る欠陥検出方法の実施の一形態を構成することにより、焼結品１０の形状や重量のバラツキがある場合でも焼結品１０の欠陥の有無を精度良く検出することが可能である。
また、目視では検出が困難な焼結品１０の表面または内部の欠陥を非接触かつ高速に検出可能であり、製造ラインにおける全数検査にも適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る欠陥検出装置の実施の一形態を示す図。
【図２】周波数帯毎の強度を表す信号を示す図。
【図３】ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークについてのピーク周波数と当該ピーク周波数における強度との関係を示す図。
【図４】ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークについてのピーク周波数と当該ピーク周波数における強度との関係を示す図。
【図５】ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に低いことが分かっているピークのピーク周波数Ｘと、ピーク周波数と対象物の欠陥の有無との相関が相対的に高いことが分かっているピークのピーク周波数Ｙと、の関係を示す図。
【図６】本発明に係る欠陥検出方法の実施の一形態を示すフロー図。
【符号の説明】
【００３９】
１０        焼結品（対象物）
１１０      電磁インパクタ（打撃付与手段）
１２０      マイクロホン（振動収集手段）
１３０      ＦＦＴアナライザ（信号変換手段）
１４１ｂ    判定部（判定手段）
【図１】
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【図２】
2008224253.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008224253.tif 000006
【図５】
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【図６】
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