(57)【要約】      （修正有）【課題】試験装置の異常の発見や除去を支援する。【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、インターフェイス部と複数の試験ユニットのそれぞれとをリング状に接続し、コマンドをリングの一方向に伝播させるリングネットワークとを備え、インターフェイス部は、制御装置と接続される第１インターフェイス２００と、リングネットワークに接続される第２インターフェイス２１０と、リングネットワークへと出力したコマンドがリングネットワーク上でタイムアウトしたことに応じて、制御装置からのコマンドをタイムアウトさせるタイムアウト処理部２２０と、リングネットワークの異常を検出する異常検出部２５０と、リングネットワークの異常が検出された後に制御装置から受信したコマンドを、リングネットワークへと出力することなく完了させる異常処理部２４０とを有する試験装置を提供する。【選択図】図２
2008064695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験する複数の試験ユニットと、
前記複数の試験ユニットのそれぞれに対してコマンドを送信して、前記複数の試験ユニットのそれぞれの動作を制御する制御装置と、
前記制御装置と前記複数の試験ユニットとの間に接続するインターフェイス部と、
前記インターフェイス部と前記複数の試験ユニットのそれぞれとをリング状に接続して、前記コマンドをリングの一方向に伝播させるリングネットワークと
を備え、
前記インターフェイス部は、
前記制御装置と接続される第１インターフェイスと、
前記リングネットワークに接続される第２インターフェイスと、
前記リングネットワークへと出力した前記コマンドが前記リングネットワーク上でタイムアウトしたことに応じて、前記制御装置からの前記コマンドをタイムアウトさせるタイムアウト処理部と、
前記リングネットワークの異常を検出する異常検出部と、
前記リングネットワークの異常が検出された後に前記制御装置から受信した前記コマンドを、前記リングネットワークへと出力することなく完了させる異常処理部と
を有する試験装置。
【請求項２】
前記異常検出部は、前記第２インターフェイスを介して前記リングネットワークへと出力された、前記リングネットワーク上のそれぞれの前記試験ユニットを経由して前記第２インターフェイスへと戻るべき信号の異常を検出したことに応じて、前記リングネットワークの異常を検出する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記異常検出部は、前記第２インターフェイスを介して前記リングネットワークへと出力された、前記コマンドの取得タイミングを示すクロック信号が前記第２インターフェイスへと入力されなかったことに応じて、前記リングネットワークの異常を検出する請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記異常検出部は、前記第２インターフェイスを介して前記リングネットワークへと出力された前記コマンドが、前記リングネットワーク上のそれぞれの前記試験ユニットを経由して前記第２インターフェイスへと戻らなかったことに応じて、前記リングネットワークの異常を検出する請求項２に記載の試験装置。
【請求項５】
前記第２インターフェイスは、予め指定された時間間隔でダミーコマンドを生成して前記リングネットワークへと出力し、
前記異常検出部は、前記ダミーコマンドが前記リングネットワーク上のそれぞれの前記試験ユニットを経由して前記第２インターフェイスへと戻らなかったことに応じて、前記リングネットワークの異常を検出する
請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記複数の試験ユニットのそれぞれは、当該試験ユニットを宛先とする前記コマンドを受け付けたことに応じて、前記リングネットワークにアクノレッジ信号を出力し、
前記リングネットワークは、前記アクノレッジ信号を前記コマンドとは逆方向に伝播して前記インターフェイス部へ入力し、
前記第２インターフェイスは、前記複数の試験ユニットの中から一の試験ユニットを順番に選択して当該試験ユニットを宛先とする前記ダミーコマンドを順次送信し、
前記異常検出部が前記リングネットワークの異常を検出した場合において、前記一の試験ユニットから当該ダミーコマンドを受け付けたことを示す前記アクノレッジ信号を受信しなかったことに応じて、当該一の試験ユニットに対するコマンド送信に支障があることを検出する異常箇所検出部を更に備える
請求項５に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置に関する。特に本発明は、複数の試験ユニットを備えた試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の試験装置は、試験パターンを発生させるパターン発生器、および、タイミング信号を発生させるタイミング発生器などの、複数の試験ユニットを有することで、高性能の被試験デバイスの効率的な試験を可能としている。複数の試験ユニットを有する試験装置は、試験ユニットを制御するための制御装置を有している。制御装置は、予め設定されたプログラムに従って動作し、それぞれの試験ユニットに対し試験ユニットを制御するためのコマンドやデータなどを送信する。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−５７３０５号公報
【特許文献２】特開２００３−１０８５１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
コマンドの伝送路や試験ユニットに障害が発生すると、制御装置から試験ユニットに対するコマンドの応答が検出されなくなる場合がある。このような場合には、制御装置は、コマンドがタイムアウトするのを待って、再送処理などの次の処理を行う。しかしながら、複数の試験ユニットと制御装置とがリングネットワークで接続されている場合には、一旦障害が発生するとその後は他の試験ユニットとの通信も正常に行えない場合が多い。このため、制御装置がコマンドを何度も送信すると、タイムアウトが連続して発生し、制御装置による他の処理を阻害してしまっていた。この結果、例えば、障害の発見や障害対応の処理が遅れるおそれがあった。
【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する複数の試験ユニットと、複数の試験ユニットのそれぞれに対してコマンドを送信して、複数の試験ユニットのそれぞれの動作を制御する制御装置と、制御装置と複数の試験ユニットとの間に接続するインターフェイス部と、インターフェイス部と複数の試験ユニットのそれぞれとをリング状に接続して、コマンドをリングの一方向に伝播させるリングネットワークとを備え、インターフェイス部は、制御装置と接続される第１インターフェイスと、リングネットワークに接続される第２インターフェイスと、リングネットワークへと出力したコマンドがリングネットワーク上でタイムアウトしたことに応じて、制御装置からのコマンドをタイムアウトさせるタイムアウト処理部と、リングネットワークの異常を検出する異常検出部と、リングネットワークの異常が検出された後に制御装置から受信したコマンドを、リングネットワークへと出力することなく完了させる異常処理部とを有する試験装置を提供する。
【０００７】
また、異常検出部は、第２インターフェイスを介してリングネットワークへと出力された、リングネットワーク上のそれぞれの試験ユニットを経由して第２インターフェイスへと戻るべき信号の異常を検出したことに応じて、リングネットワークの異常を検出してもよい。
また、異常検出部は、第２インターフェイスを介してリングネットワークへと出力された、コマンドの取得タイミングを示すクロック信号が第２インターフェイスへと入力されなかったことに応じて、リングネットワークの異常を検出してもよい。
【０００８】
また、異常検出部は、第２インターフェイスを介してリングネットワークへと出力されたコマンドが、リングネットワーク上のそれぞれの試験ユニットを経由して第２インターフェイスへと戻らなかったことに応じて、リングネットワークの異常を検出してもよい。
また、第２インターフェイスは、予め指定された時間間隔でダミーコマンドを生成してリングネットワークへと出力し、異常検出部は、ダミーコマンドがリングネットワーク上のそれぞれの試験ユニットを経由して第２インターフェイスへと戻らなかったことに応じて、リングネットワークの異常を検出してもよい。
【０００９】
また、複数の試験ユニットのそれぞれは、当該試験ユニットを宛先とするコマンドを受け付けたことに応じて、リングネットワークにアクノレッジ信号を出力し、リングネットワークは、アクノレッジ信号をコマンドとは逆方向に伝播してインターフェイス部へ入力し、第２インターフェイスは、複数の試験ユニットの中から一の試験ユニットを順番に選択して当該試験ユニットを宛先とするダミーコマンドを順次送信し、異常検出部がリングネットワークの異常を検出した場合において、一の試験ユニットから当該ダミーコマンドを受け付けたことを示すアクノレッジ信号を受信しなかったことに応じて、当該一の試験ユニットに対するコマンド送信に支障があることを検出する異常箇所検出部を更に備えてもよい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
図１は、試験装置１０の機能構成を示す。試験装置１０は、制御ユニット２０と、タイミング発生器３０と、パターン発生器４０と、電源ユニット５０と、テストヘッド６０と、リングネットワーク７０とを備え、被試験デバイス１００の良否を判定することを目的とする。タイミング発生器３０、パターン発生器４０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０のそれぞれは、被試験デバイス１００を試験するための試験ユニットであり、互いに協調動作して被試験デバイス１００を試験する。例えば、タイミング発生器３０は、所定のクロック信号を生成してパターン発生器４０に供給する。パターン発生器４０は、被試験デバイス１００に供給する試験パターンを、与えられるクロック信号に応じてテストヘッド６０に対し出力する。また、パターン発生器４０は、期待値パターンをテストヘッド６０に対し出力する。テストヘッド６０は、入力を受けた試験パターンを被試験デバイス１００に対し供給する。また、テストヘッド６０は、被試験デバイス１００から出力される試験パターンを取得して期待値パターンと比較させることで被試験デバイス１００の良否を判定させる。電源ユニット５０は、これらの試験ユニットに対し電源を供給する。
【００１２】
制御ユニット２０は、予め入力された制御プログラム８０に従って、これら複数の試験ユニットのそれぞれに対してコマンドを送信して、これら複数の試験ユニットのそれぞれの動作を制御する。例えば、制御ユニット２０は、試験開始前に試験ユニットに対し所定の初期設定を行ってもよいし、試験ユニット中のレジスタに対し所定のパラメータを設定してもよい。具体的には、制御ユニット２０は、制御装置２２と、インターフェイス部２４とを有する。制御装置２２は、タイミング発生器３０、パターン発生器４０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０に対し、インターフェイス部２４を介してコマンドを送信する。インターフェイス部２４は、制御装置２２と複数の試験ユニットとの間に接続される。具体的には、インターフェイス部２４は、ＰＣＩバス等の汎用バスによって制御装置２２に接続される。また、インターフェイス部２４は、専用の信号伝送路であるリングネットワーク７０によって、タイミング発生器３０、パターン発生器４０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０に接続される。リングネットワーク７０は、インターフェイス部２４と複数の試験ユニットのそれぞれとをリング状に接続して、コマンドをリングの一方向に伝播させる。
【００１３】
図２は、インターフェイス部２４の機能構成を示す。インターフェイス部２４は、第１インターフェイス２００と、第２インターフェイス２１０と、タイムアウト処理部２２０と、異常検出部２３０と、異常処理部２４０と、異常箇所検出部２５０と、選択部２６０とを有する。第１インターフェイス２００は、制御装置２２に接続され、制御装置２２からコマンドなどの信号を受信する第１受信回路２０２と、制御装置２２に対しコマンドなどの信号を送信する第１送信回路２０４とを有する。第２インターフェイス２１０は、リングネットワーク７０に接続される。そして、第２インターフェイス２１０は、リングネットワーク７０上に出力されるべきコマンドを、第１受信回路２０２から取得して一時的に格納するバッファ２１２と、バッファ２１２からコマンドを取り出してリングネットワーク７０上に送信する第２送信回路２１４と、リングネットワーク７０からコマンドを受信する第２受信回路２１６とを有する。第１インターフェイス２００および第２インターフェイス２１０によって各試験ユニットに対しコマンドが送信される第１の処理例を以下に示す。
【００１４】
図３は、第１の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。制御装置２２は、タイミング発生器３０に対する書込コマンド（Ｗｒｉｔｅ  ＴＧ，ＤＡＴＡ１）を発行する（Ｓ３００）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、バッファ２１２に一時的に格納され、第２インターフェイス２１０によってリングネットワーク７０上に出力される。このコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に戻る。タイミング発生器３０は、このコマンドを受信すると、その内容に応じた書込み処理を行う（Ｓ３１０）。そして、タイミング発生器３０は、書込み処理が完了した旨のアクノレッジ信号を、リングネットワーク７０上においてコマンドとは逆方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力する。
【００１５】
これらの処理とは独立に、制御装置２２は、電源ユニット５０に対する書込コマンド（Ｗｒｉｔｅ  ＤＰＵ，ＤＡＴＡ２）を発行する（Ｓ３２０）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、バッファ２１２に格納される。第２インターフェイス２１０は、アクノレッジ信号をタイミング発生器３０から受信すると、次のコマンドをバッファ２１２から取り出す（Ｓ３３０）。そして、第２インターフェイス２１０は、取り出したコマンドをリングネットワーク７０上に出力する。このコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に戻る。電源ユニット５０は、このコマンドを受信すると、その内容に応じた書込み処理を行う（Ｓ３５０）。そして、電源ユニット５０は、書込み処理が完了した旨のアクノレッジ信号を、リングネットワーク７０上においてコマンドとは逆方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力する。
【００１６】
これらの処理とは独立に、制御装置２２は、パターン発生器４０に対する読出コマンド（Ｒｅａｄ  ＰＧ）を発行する（Ｓ３４０）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、バッファ２１２に格納される。第２インターフェイス２１０は、アクノレッジ信号を電源ユニット５０から受信すると、次のコマンドをバッファ２１２から取り出す（Ｓ３６０）。そして、第２インターフェイス２１０は、取り出したコマンドをリングネットワーク７０上に出力する。このコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に戻る。パターン発生器４０は、このコマンドを受信すると、その内容に応じた読出処理を行う（Ｓ３７０）。そして、パターン発生器４０は、読み出したデータを、リングネットワーク７０上においてコマンドと同一方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力する。このデータは、第１インターフェイス２００を介して制御装置２２に対し返信される。制御装置２２は、データの返信を受けると、次の処理を行う（Ｓ３８０）。
【００１７】
図２に戻る。タイムアウト処理部２２０は、リングネットワーク７０へと出力したコマンドがリングネットワーク７０上でタイムアウトしたことに応じて、制御装置２２からのコマンドをタイムアウトさせる。タイムアウトした旨の情報は、選択部２６０および第１インターフェイス２００を介して制御装置２２に対し通知されてもよいし、異常検出部２３０および異常箇所検出部２５０に対して出力されてもよい。タイムアウトが発生する処理の一例を図４に示す。
【００１８】
図４は、第２の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。制御装置２２は、タイミング発生器３０に対する書込コマンド（Ｗｒｉｔｅ  ＴＧ，ＤＡＴＡ１）を発行する（Ｓ４００）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、バッファ２１２に一時的に格納され、第２インターフェイス２１０によってリングネットワーク７０上に出力される。このコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のネットワークが切断されているために正常に返信されない。しかしながら、宛先であるタイミング発生器３０は切断箇所より手前側に接続されているのでこのコマンドを受信できる。したがって、タイミング発生器３０は、このコマンドに応じた書込み処理を行う（Ｓ４１０）。そして、タイミング発生器３０は、書込み処理が完了した旨のアクノレッジ信号を、リングネットワーク７０上においてコマンドとは逆方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力する。
【００１９】
これらの処理とは独立に、制御装置２２は、電源ユニット５０に対する書込コマンド（Ｗｒｉｔｅ  ＤＰＵ，ＤＡＴＡ２）を発行し（Ｓ４２０）、パターン発生器４０に対する読出コマンド（Ｒｅａｄ  ＰＧ）を発行する（Ｓ４４０）。これらのコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、バッファ２１２に格納される。第２インターフェイス２１０は、アクノレッジ信号をタイミング発生器３０から受信すると、次のコマンドをバッファ２１２から取り出す（Ｓ４３０）。そして、第２インターフェイス２１０は、取り出したコマンドをリングネットワーク７０上に出力する。このコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のネットワークが切断されているために正常に返信されない。このため、このコマンドは、宛先である電源ユニット５０に対して正常に到達しない。したがって、アクノレッジ信号も返信されない。
【００２０】
タイムアウト処理部２２０は、コマンドが出力されてから予め定められた期間が経過すると、リングネットワーク７０へと出力したコマンドがリングネットワーク７０上でタイムアウトしたと判断する（Ｓ４５０）。そして、第２インターフェイス２１０は、バッファ２１２から次のコマンドを取り出す（Ｓ４６０）。このコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０およびテストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のネットワークが切断されているために正常に返信されない。しかしながら、宛先であるパターン発生器４０は切断箇所より手前側に接続されているのでこのコマンドを受信できる。したがって、パターン発生器４０は、コマンドに応じた読出処理を行う（Ｓ４７０）。読み出されたデータは、リングネットワーク７０上においてコマンドと同一方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力されるべきであるが、切断によって第２インターフェイス２１０にまでは到達しない。
【００２１】
この場合、タイムアウト処理部２２０は、リングネットワーク７０へと出力したコマンドがリングネットワーク７０上でタイムアウトしたと判断する。タイムアウトしたと判断したことに応じ、タイムアウト処理部２２０は、制御装置２２からのコマンドをタイムアウトさせるべく、タイムアウトした旨を制御装置２２に対し通知する（Ｓ４８０）。これを受けて、制御装置２２は、次の処理を行う（Ｓ４９０）。
このように、図４に示す処理は、リングネットワーク７０の切断をタイムアウトしたかどうかにより判断するため、判断に長時間を要する。したがって、制御装置２２において次の処理の開始が遅れ、障害の発見や解消が困難になる場合がある。
【００２２】
図２に戻る。異常検出部２３０は、リングネットワーク７０の異常を検出する。異常処理部２４０は、リングネットワーク７０の以上が検出された後に制御装置２２から受信したコマンドを、リングネットワーク７０へと出力することなく完了させる。この処理の一例を図５に示す。
図５は、第３の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。異常検出部２３０は、第２インターフェイス２１０を介してリングネットワーク７０へと出力された、リングネットワーク７０上のそれぞれの試験ユニットを経由して第２インターフェイス２１０へと戻るべき信号の異常を検出したことに応じて、リングネットワーク７０の異常を検出する（Ｓ５００）。ここでいう戻るべき信号とは、例えば、第２インターフェイス２１０を介してリングネットワーク７０へと出力されたコマンドの取得タイミングを示すクロック信号であり、具体的には、タイミング信号自体（ＴＣＬＫ信号）またはタイミング信号の出力開始を示すＴＳＴＡＲＴ信号などである。これに代えて、戻るべき信号とは、第２インターフェイス２１０を介してリングネットワーク７０へと出力されたコマンドを示す信号であってもよいし、第２インターフェイス２１０によって予め指定された時間間隔で生成されリングネットワーク７０に対し出力されるダミーコマンドであってもよい。
【００２３】
リングネットワーク７０の異常を検出すると、異常検出部２３０は、その旨を異常処理部２４０に通知する。さらには、異常検出部２３０は、異常検出時のバッファ２１２の状態を保持するべく、その後のバッファ２１２に対する書込みを禁止することが望ましい。これにより、異常検出時の状況を維持できるので、試験装置１０の動作終了後に障害原因を追究する作業を支援することができる。
【００２４】
この処理とは独立に、制御装置２２は、タイミング発生器３０に対する書込コマンド（Ｗｒｉｔｅ  ＴＧ，ＤＡＴＡ１）を発行する（Ｓ５１０）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、正常時であればバッファ２１２に一時的に格納される。しかしながら、異常検出部２３０は、異常を検出した旨の通知を受けているので、第１インターフェイス２００によって受信されたこのコマンドを、リングネットワーク７０へと出力することなく完了させ、完了した旨の通知を第１インターフェイス２００を介して制御装置２２に対し送信する（Ｓ５２０）。
【００２５】
また、制御装置２２は、電源ユニット５０に対する書込コマンド（Ｗｒｉｔｅ  ＤＰＵ，ＤＡＴＡ２）を発行する（Ｓ５３０）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、正常時であればバッファ２１２に格納される。しかしながら、異常検出部２３０は、異常を検出した旨の通知を受けているので、第１インターフェイス２００によって受信されたこのコマンドを、リングネットワーク７０へと出力することなく完了させ、完了した旨の通知を第１インターフェイス２００を介して制御装置２２に対し送信する（Ｓ５４０）。
【００２６】
また、制御装置２２は、パターン発生器４０に対する読出コマンド（Ｒｅａｄ  ＰＧ）を発行する（Ｓ５５０）。このコマンドは、第１インターフェイス２００によって受信され、正常時であればバッファ２１２に格納される。しかしながら、異常検出部２３０は、異常を検出した旨の通知を受けているので、第１インターフェイス２００によって受信されたこのコマンドを、リングネットワーク７０へと出力することなく完了させ、完了した旨の通知を第１インターフェイス２００を介して制御装置２２に対し送信する（Ｓ５６０）。
【００２７】
これを受けて、制御装置２２は、次の処理を行う（Ｓ５７０）。このように、図５を参照して説明した処理によれば、異常が一旦検出された後に受信したコマンドは、タイムアウト処理を待たずに直ちに終了するので、制御装置２２は、異常終了時に行うべき次の処理に直ちに移行することができる。この結果、異常の検出やその対応を迅速にすすめることができる。
【００２８】
図２に戻る。異常検出部２３０は、第２インターフェイス２１０に対し、送信したクロック信号がリングネットワーク７０から返信されることを検出した場合には、異常が除去されたと判断し、異常処理部２４０に対し異常検出時の処理を解除するように指示してもよい。この指示を受けると、異常処理部２４０は、第１インターフェイス２００が制御装置２２からその後に受信するコマンドをバッファ２１２に格納させ、第２インターフェイス２１０によってリングネットワーク７０に対し送信させる。また、異常箇所検出部２５０は、異常検出部２３０がリングネットワーク７０の異常を検出した場合において、何れの試験ユニットに対するコマンド送信に支障があったかをさらに検出してもよい。図６を参照して、この処理の詳細を説明する。
【００２９】
図６は、第４の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。リングネットワーク７０の異常が検出された場合において、第２インターフェイス２１０は、複数の試験ユニットの中から一の試験ユニットを順番に選択して当該選択した試験ユニットを宛先とするダミーコマンドを送信する。即ち、まず、第２インターフェイス２１０は、パターン発生器４０を選択して、パターン発生器４０に対しダミーコマンドを送信する（Ｓ６００）。送信されたダミーコマンドは、パターン発生器４０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０、および、テストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のリングネットワーク７０が切断されているために正常に返信されない。しかしながら、宛先であるパターン発生器４０は切断箇所より手前側に接続されているのでこのダミーコマンドを受信できる。したがって、パターン発生器４０は、このダミーコマンドに応じてアクノレッジ信号を生成し、リングネットワーク７０上においてダミーコマンドとは逆方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力する（Ｓ６０５）。このアクノレッジ信号の受信は異常箇所検出部２５０に対し通知される。
【００３０】
次に、第２インターフェイス２１０は、タイミング発生器３０を選択して、タイミング発生器３０に対しダミーコマンドを送信する（Ｓ６１０）。送信されたダミーコマンドは、タイミング発生器３０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０、および、テストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のリングネットワーク７０が切断されているために正常に返信されない。しかしながら、宛先であるタイミング発生器３０は切断箇所より手前側に接続されているのでこのダミーコマンドを受信できる。したがって、タイミング発生器３０は、このダミーコマンドに応じてアクノレッジ信号を生成し、リングネットワーク７０上においてダミーコマンドとは逆方向に伝播させて第２インターフェイス２１０へ入力する（Ｓ６１５）。このアクノレッジ信号の受信は異常箇所検出部２５０に対し通知される。
【００３１】
次に、第２インターフェイス２１０は、電源ユニット５０を選択して、電源ユニット５０に対しダミーコマンドを送信する（Ｓ６２０）。送信されたダミーコマンドは、タイミング発生器３０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０、および、テストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のリングネットワーク７０が切断されているために正常に返信されない。さらに、宛先である電源ユニット５０は切断箇所より奥側に接続されているのでこのダミーコマンドを受信できない。したがって、電源ユニット５０からはアクノレッジ信号も返信されない。
【００３２】
次に、第２インターフェイス２１０は、テストヘッド６０を選択して、テストヘッド６０に対しダミーコマンドを送信する（Ｓ６３０）。送信されたダミーコマンドは、タイミング発生器３０、タイミング発生器３０、電源ユニット５０、および、テストヘッド６０を順次経由して第２インターフェイス２１０に返信されるべきであるが、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のリングネットワーク７０が切断されているために正常に返信されない。さらに、宛先であるテストヘッド６０は切断箇所より奥側に接続されているのでこのダミーコマンドを受信できない。したがって、電源ユニット５０からはアクノレッジ信号も返信されない。
【００３３】
異常箇所検出部２５０は、アクノレッジ信号の返信を受けた旨の通知に基づき、何れの試験ユニットに対するコマンド送信に支障があるかを検出する（Ｓ６４０）。例えば、図６の例では、異常箇所検出部２５０は、パターン発生器４０およびタイミング発生器３０に対するコマンド送信のみが成功したので、電源ユニット５０およびテストヘッド６０に対するコマンド送信に支障があると判断し、さらには、予め与えられたリングネットワーク７０上の試験ユニットの接続配置の情報に基づき、タイミング発生器３０および電源ユニット５０間のリングネットワーク７０に障害発生が疑われると判断してもよい。
【００３４】
以上、本実施形態に示す試験装置１０によれば、リングネットワーク７０に通信障害が発生した場合には、その後のコマンドを自動的に失敗させて制御装置２２による次の処理を迅速に開始させることができる。この機能は、制御装置２２内の制御プログラム８０ではなく制御装置２２とリングネットワーク７０とを接続するインターフェイス部２４で実現されるので、制御装置２２内で動作する従来の制御プログラム８０の改造を必要とせず、従来資産を有効利用できる。さらに、異常検出時には異常時にバッファリングされているコマンドを維持し、また、異常発生箇所として疑われる部分を自動的に検出することができ、その後の障害対応を効率化させることができる。
【００３５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、試験装置１０の機能構成を示す。
【図２】図２は、インターフェイス部２４の機能構成を示す。
【図３】図３は、第１の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。
【図４】図４は、第２の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。
【図５】図５は、第３の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。
【図６】図６は、第４の処理例における試験装置１０の動作を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
【００３７】
１０  試験装置
２０  制御ユニット
２２  制御装置
２４  インターフェイス部
３０  タイミング発生器
４０  パターン発生器
５０  電源ユニット
６０  テストヘッド
７０  リングネットワーク
８０  制御プログラム
１００  被試験デバイス
２００  第１インターフェイス
２０２  第１受信回路
２０４  第１送信回路
２１０  第２インターフェイス
２１２  バッファ
２１４  第２送信回路
２１６  第２受信回路
２２０  タイムアウト処理部
２３０  異常検出部
２４０  異常処理部
２５０  異常箇所検出部
２６０  選択部
【図１】
2008064695.tif 000003
【図２】
2008064695.tif 000004
【図３】
2008064695.tif 000005
【図４】
2008064695.tif 000006
【図５】
2008064695.tif 000007
【図６】
2008064695.tif 000008