(57)【要約】【課題】マグネットヨークを通る磁束を３つに分流できるようにマグネットを配置することにより、マグネットヨークの薄肉化を可能にして可動部の軽量化を図ったリニアモータおよびそれを備えた工具移動装置を提供する。【解決手段】複数のマグネット構成体２１は、マグネットヨーク２２の周面と直交する方向に並設され互いに磁極の極性を逆にして配設された少なくとも一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄからなり、マグネットヨークの周方向に配設された一対のマグネット体の第１列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設され、マグネットヨークの周方向に配設された一対のマグネット体の第２列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設されている。【選択図】図３
2008199726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空状をなす可動のマグネットヨークと、該マグネットヨークの周面に等角度間隔に取付けられた複数のマグネット構成体と、前記マグネットヨークに対して相対移動可能なコイルヨークと、該コイルヨークに取付けられ前記複数のマグネット構成体にそれぞれ対向するように配置された複数のコイルとを備え、
前記複数のマグネット構成体は、前記マグネットヨークの前記周面と直交する方向に並設され互いに磁極の極性を逆にして配設された少なくとも一対のマグネット体からなり、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第１列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設され、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第２列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
請求項１において、前記マグネットヨークは、周面に４つのマグネット取付け面を有する四角形状に構成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、前記コイルは、前記一対のマグネット体に跨るループ形状に構成されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
中空状をなす可動のマグネットヨーク、および該マグネットヨークの両端部に設けられた支持部とによって構成された可動体と、該可動体に対して相対移動可能な支持台と、該支持台に設けられ前記可動体の両端支持部を移動可能に静圧支持する流体軸受と、前記マグネットヨークの周面に等角度間隔に取付けられた複数のマグネット構成体と、前記支持体に取付けられたコイルヨークと、該コイルヨークに取付けられ前記複数のマグネット構成体にそれぞれ対向するように配置された複数のコイルと、前記可動体の移動変位を検出する変位検出手段と、前記可動体に取付けられた工具保持装置とを備え、
前記複数のマグネット構成体は、前記マグネットヨークの前記周面と直交する方向に並設され互いに磁極の極性を逆にして配設された少なくとも一対のマグネット体からなり、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第１列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設され、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第２列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設されていることを特徴とする工具移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動マグネット型のリニアモータおよびそれを備えた工具移動装置に関し、特にマグネットヨークの薄肉化を可能にして可動部の軽量化を図ったリニアモータおよびそれを備えた工具移動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、リニアモータは、例えば、特許文献１に記載されているように、軌道台（１）上に軌道台の全長に亘って延在するように設けられた矩形板状のコイルヨーク（１５）と、このコイルヨーク上に一列に並べて配設された多数の電機子コイル（１６）とを有する一次側と、軌道台上をスライドするスライドユニット（３）の下面側に固定されたマグネットヨーク（２２）と、このマグネットヨークの下面側に固定され電機子コイルに各々対向する矩形板状の界磁マグネット（２３）とを有する二次側とによって構成されている。
【０００３】
かかる界磁マグネットは、スライドユニットのスライド方向に沿って、ＮおよびＳの磁極が複数、交互に並ぶように着磁されており、電機子コイルに所定の電流を供給することにより、一次側および二次側の両者間にフレミングの左手の法則による推力が生じ、スライドユニットが軌道台上をスライドされるようになっている。
【特許文献１】特開平５−２２７７２９号公報（段落００１７、００２１、図３、４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種のリニアモータにおいては、可動体（スライドユニット）に働く推力は、コイルに供給される電流の方向および大きさによって決定されるが、上記した特許文献１に記載されているような従来のリニアモータにおいては、コイルに供給した電流に応じた全磁束がマグネットヨークを通るため、マグネットヨークとしては、磁束による磁気飽和が生じない最低限の断面積が必要となり、マグネットヨークを通る磁束の大きさに応じてマグネットヨークの肉厚を確保しなければならず、リニアモータが大型になるとともに、重量が増加する。しかも、リニアモータのパワーを上げるためには、マグネット体を複数列配置する必要があるため、マグネット可動型のリニアモータにおいては、リニアモータがますます大型化かつ大重量となる問題があった。
【０００５】
本発明は、上記した従来の問題点を解消するためになされたもので、マグネットヨークを通る磁束を分流できるようにマグネットを配置することにより、マグネットヨークの薄肉化を可能にして可動部の軽量化を図ったリニアモータおよびそれを備えた工具移動装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の特徴は、中空状をなす可動のマグネットヨークと、該マグネットヨークの周面に等角度間隔に取付けられた複数のマグネット構成体と、前記マグネットヨークに対して相対移動可能なコイルヨークと、該コイルヨークに取付けられ前記複数のマグネット構成体にそれぞれ対向するように配置された複数のコイルとを備え、前記複数のマグネット構成体は、前記マグネットヨークの前記周面と直交する方向に並設され互いに磁極の極性を逆にして配設された少なくとも一対のマグネット体からなり、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第１列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設され、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第２列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設されていることである。
【０００７】
請求項２に係る発明の特徴は、請求項１において、前記マグネットヨークは、周面に４つのマグネット取付け面を有する四角形状に構成されていることである。
【０００８】
請求項３に係る発明の特徴は、請求項１または請求項２において、前記コイルは、前記一対のマグネット体に跨るループ形状に構成されていることである。
【０００９】
請求項４に係る発明の特徴は、中空状をなす可動のマグネットヨーク、および該マグネットヨークの両端部に設けられた支持部とによって構成された可動体と、該可動体に対して相対移動可能な支持台と、該支持台に設けられ前記可動体の両端支持部を移動可能に静圧支持する流体軸受と、前記マグネットヨークの周面に等角度間隔に取付けられた複数のマグネット構成体と、前記支持体に取付けられたコイルヨークと、該コイルヨークに取付けられ前記複数のマグネット構成体にそれぞれ対向するように配置された複数のコイルと、前記可動体の移動変位を検出する変位検出手段と、前記可動体に取付けられた工具保持装置とを備え、前記複数のマグネット構成体は、前記マグネットヨークの前記周面と直交する方向に並設され互いに磁極の極性を逆にして配設された少なくとも一対のマグネット体からなり、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第１列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設され、前記マグネットヨークの周方向に配設された前記一対のマグネット体の第２列は、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設されていることである。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に係る発明によれば、マグネットヨークの周面にそれぞれ取付けられたマグネット構成体が、マグネットヨークの周面と直交する方向に並設され互いに磁極の極性を逆にして配設された少なくとも一対のマグネット体からなり、マグネットヨークの周方向に配設された一対のマグネット体の第１列および第２列が、周方向に隣合うマグネット体相互が磁極の極性を逆にして配設されているので、コイルへの電流の供給によって発生される磁束を、マグネットヨークの周面に沿った２方向およびそれに直角な方向に分流して、マグネットヨークを通る磁束を３つに分散することができ、これによって、マグネットヨークの肉厚を薄くでき、可動マグネット型でありながら、リニアモータを小型化かつ軽量化することができる。
【００１１】
請求項２に係る発明によれば、マグネットヨークは、周面に４つのマグネット取付け面を有する四角形状に構成されているので、簡単な形状で、しかも、最少数のマグネット体によって、上記したと同様な作用効果を奏することができる。
【００１２】
請求項３に係る発明によれば、コイルは、一対のマグネット体に跨るループ形状に構成されているので、コイルへの電流の供給によって各マグネット体に磁力線が発生され、可動体に推力を発生させることができる。
【００１３】
請求項４に係る発明によれば、中空状をなす可動のマグネットヨークおよびマグネットヨークの両端部に設けられた支持部とによって構成された可動体と、可動体に対して相対移動可能な支持台と、支持台に設けられ可動体の両端支持部を移動可能に静圧支持する流体軸受と、マグネットヨークの周面に等角度間隔に取付けられた複数のマグネット構成体と、支持体に取付けられたコイルヨークと、コイルヨークに取付けられ複数のマグネット構成体にそれぞれ対向するように配置された複数のコイルと、可動体の移動変位を検出する変位検出手段と、可動体に取付けられた工具保持装置とを備え、複数のマグネット構成体は、請求項１と同様に構成されているので、請求項１と同様に、マグネットヨークを通る磁束を３つに分散でき、マグネットヨークの肉厚を薄くでき、工具移動装置の小型、軽量化を達成することができる。しかも、可動体の両端部を流体軸受によって静圧支持することにより、可動体を高剛性で支持でき、可動体がリニアモータによって高速で移動される場合においても、安定した作動が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、可動マグネット型のリニアモータ１０を備えた工具移動装置２０を示すものである。リニアモータ１０は、固定側の一次側要素と、一次側要素に対して相対移動可能な可動側の二次側要素とから構成されたボイスコイルモータからなっている。
【００１５】
工具移動装置２０は、磁性体からなる中空箱形形状のマグネットヨーク２２と、マグネットヨーク２２の外周面に取付けられた永久磁石からなる複数のマグネット構成体２１（２１ａ〜２１ｄ）と、マグネットヨーク２２の両端開口部にそれぞれ取付けられた角型の支持部２３、２４とからなる可動体２５を備え、この可動体２５によってリニアモータ１０の二次側要素を構成している。可動体２５の一方の支持部２３の端部には、工作物を高精度に切削加工するバイト等を保持した工具保持装置２６が取付けられている。
【００１６】
また、工具移動装置２０は、可動体２５に対して固定設置された例えば非磁性体からなる支持台２７を備えており、支持台２７には、可動体２５の各支持部２３、２４を油の静圧力によってＸ軸方向（可動体２５の中空軸線方向）に摺動のみ可能に支持する流体軸受２９、３０が設けられている。支持体２７には、マグネットヨーク２２を取り囲むように空洞２７ａが形成され、この空洞２７ａの内面にマグネットヨーク２２の周面に対応して複数のコイルヨーク３２がそれぞれ取付けられている。これらコイルヨーク３２には、各マグネット構成体２１に対向して固定コイル３１がそれぞれ取付けられている。固定コイル３１を取付けたコイルヨーク３２によって、リニアモータ１０の二次側要素を構成している。
【００１７】
可動体２５のＸ軸方向の変位量は、固定スケール３３ａと、この固定スケール３３ａに対して相対変位可能な可動スケール３３ｂとからなるリニアスケール３３によって検出されるようになっており、固定スケール３３ａは支持台２７に固定され、可動スケール３３ｂは可動体２５の支持部２４の中心部に取付けられている。
【００１８】
中空箱形形状のマグネットヨーク２２は、実施の形態においては断面正４角形に構成され、その外周４面には、第１ないし第４のマグネット構成体２１ａ〜２１ｄがそれぞれ取付けられている。各マグネット構成体２１ａ〜２１ｄは、図１および図３に示すように、磁極の極性が反対になるようにＸ軸方向に所定間隔を存して並設された一対のマグネット体４１ａ、４２ａ、４１ｂ、４２ｂ、４１ｃ、４２ｃ、４１ｄ、４２ｄ、と、これら一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄの各間に配置された補助マグネット４３ａ〜４３ｄからなっている。一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄは、Ｘ軸方向を短辺とする直方体形状をなし、全て同一形状に形成されている。
【００１９】
すなわち、マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに取付けられる第１のマグネット構成体２１ａの一対のマグネット体４１ａ、４２ａの一方（図１の右側のマグネット体４１ａ）は、Ｎ極側をマグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに対面するように貼付けられ、Ｓ極側を固定コイル３１側に対向されている。また、一対のマグネット体４１ａ、４２ａの他方（図１の左側のマグネット体４２ａ）は、Ｓ極側をマグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに対面するように貼付けられ、Ｎ極側を固定コイル３１側に対向されている。一対のマグネット体４１ａ、４２ａ間に配置された補助マグネット４３ａは、一対のマグネット体４１ａ、４２ａ間を通る磁力線の拡散を防止し、磁場を強くするように作用する。
【００２０】
なお、以下においては、説明の便宜上、Ｘ軸方向に間隔を存して並設された一対のマグネット体４１ａ、４２ａのうち、図１の右側（工具保持装置２６側）を第１列マグネット体と称し、図１の左側（リニアスケール３３側）を第２列マグネット体と称することにする。
【００２１】
マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに対して、Ｘ軸の周りに隣合う第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄにそれぞれ取付けられる第２および第４のマグネット構成体２１ｂ、２１ｄの一対のマグネット体４１ｂ、４２ｂ、４１ｄ、４２ｄも、上記した一対のマグネット体４１ａ、４２ａと同一形状をなし、磁極の極性が互いに反対になるようにＸ軸方向に所定間隔を存して並設されている。しかも、第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄに取付けられる一対のマグネット体４１ｂ、４２ｂ、４１ｄ、４２ｄの各第１列マグネット体４１ｂ、４１ｄは、Ｓ極側をマグネットヨーク２２の第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄに対面するように貼付けられ、Ｎ極側を固定コイル３１側に対向され、また、各第２列マグネット体４２ｂ、４２ｄは、Ｎ極側をマグネットヨーク２２の第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄに対面するように貼付けられ、Ｓ極側を固定コイル３１側に対向されている。
【００２２】
さらに、マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに対向する第３マグネット取付け面２２ｃ、すなわち、第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄに対してＸ軸の周りに相互に隣合う第３マグネット取付け面２２ｃに取付けられる第３のマグネット構成体２１ｃの一対のマグネット体４１ｃ、４２ｃの第１列マグネット体４１ｃは、Ｎ極側をマグネットヨーク２２の第３マグネット取付け面２２ｃに対面するように貼付けられ、Ｓ極側を固定コイル３１側に対向され、第２列マグネット体４２ｃは、Ｓ極側をマグネットヨーク２２の第３マグネット取付け面２２ｃに対面するように貼付けられ、Ｎ極側を固定コイル３１側に対向されている。
【００２３】
このように、マグネットヨーク２２の４つのマグネット取付け面２２ａ〜２２ｄに配設された第１ないし第４のマグネット構成体２１ａ〜２１ｄの各第１列マグネット体４１ａ〜４１ｄおよび各第２列マグネット体４２ａ〜４２ｄは、Ｘ軸方向に隣合うもの相互およびＸ軸の周りに隣合うもの相互が、磁極の極性を互いに反対にして配設されている。
【００２４】
固定コイル３１は、図２に示すように、第１ないし第４のマグネット構成体２１ａ〜２１ｄの各一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄにそれぞれ対向する第１ないし第４のコイル体３１ａ〜３１ｄからなり、各コイル体３１ａ〜３１ｄは、図４に示すように、Ｘ軸方向に並設された各一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄに跨る矩形のループ形状に平角線を積層状態で巻回したものである。
【００２５】
次に、上記した実施の形態におけるリニアモータ１０およびそれを備えた工具移動装置２０の動作について説明する。固定コイル３１の各コイル体３１ａ〜３１ｄに所定の電流を供給すると、マグネット構成体２１ａ〜２１ｄの各一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄに磁力線が作用され、フレミングの左手の法則に従って、可動体２５に推力が発生され、可動体２５は電流の供給方向に応じて、流体軸受２９、３０に静圧支持されながらＸ軸方向に移動される。
【００２６】
この際、各コイル体３１ａ〜３１ｄへの電流の供給によって、例えば、マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに取付けられた第１のマグネット構成体２１ａの一対のマグネット体４１ａ、４２ａのうち、Ｎ極を第１マグネット取付け面２２ａ側に対面して取付けられた第１列マグネット体４１ａより発せられた磁力線は、図５（Ａ）に示すように、マグネットヨーク２２内を、第１マグネット取付け面２２ａより第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄ側に向かって両側に分流（矢印φ１、φ２）され、これら磁力線によって、第２および第４マグネット取付け面２２ｂ、２２ｄ側をＳ極にして取付けられた第１列マグネット体４１ｂ、４１ｄを通る磁気回路が形成される。同時に、マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａに作用された磁力線は、図５（Ｃ）に示すように、マグネットヨーク２２をＸ軸方向に沿って第１列側から第２列側を通り（矢印φ３）、マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａにＳ極側を取付けられた第１のマグネット構成体２１ａの第２列マグネット体４２ａを通る磁気回路が形成される。
【００２７】
すなわち、第１のマグネット構成体２１ａの第１列マグネット体４１ａの一つの磁極（Ｎ極）から発生された磁束は、マグネットヨーク２２の第１マグネット取付け面２２ａよりＸ軸方向およびそれに直角な２方向の３つに分流され、これによって、マグネットヨーク２２の各部を通る磁束は全磁束のほぼ１／３ずつとなり、磁束密度を一定にするうえで必要なマグネットヨーク２２の肉厚をほぼ１／３にすることができ、可動体２５の軽量化を達成できるようになる。
【００２８】
上記した説明は、第１のマグネット構成体２１ａの第１列マグネット体４１ａより発生された磁束について述べたが、第２のマグネット構成体２１ｂの第２列マグネット体４２ｂ、第３のマグネット構成体２１ｃの第１列マグネット体４１ｃ、ならびに第４のマグネット構成体２１ｄの第２列マグネット体４２ｄより発生された磁束についても、上記したと同様な磁気回路が形成される。これによって、マグネットヨーク２２の全ての部位において、マグネットヨーク２２を通る磁束を、各マグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄを通る全磁束のほぼ１／３ずつにすることができる。
【００２９】
例えば、第２のマグネット構成体２１ｂの第２列マグネット体４２ａより発せられた磁束は、図５（Ｂ）に示すように、１つ目は、第２のマグネット構成体２１ｂの第２列マグネット体４２ａより、マグネットヨーク２２を介して第３のマグネット構成体２１ｃの第２列マグネット体４２ｃを通る磁束φ４となり、２つ目は、第２のマグネット構成体２１ｂの第２列マグネット体４２ａより、マグネットヨーク２２を介して第１のマグネット構成体２１ａの第２列マグネット体４２ａを通る磁束φ５となり、３つ目は、図５（Ｄ）に示すように、第２のマグネット構成体２１ｂの第２列マグネット体４２ａよりマグネットヨーク２２内をＸ軸方向に沿って第２列側から第１列側を通る磁束φ６となる。
【００３０】
可動体２５の移動量は、リニアスケール３３によって検出され、リニアスケール３３の検出信号は、図略のコントローラに入力され、コントローラに予めプログラムされた目標値と比較され、可動体２５が目標位置まで移動されると、固定コイル３１に供給される電流の方向が反転され、可動体２５が所定の位置に位置決めされたり、あるいは前記と逆方向に移動される。
【００３１】
このように、可動体２５は、固定コイル３１に供給される電流の方向および大きさに応じて発生する推力により、Ｘ軸方向に移動されるとともに、リニアスケール３３の検出信号に基づいて位置制御され、可動体２５に取付けられた工具保持装置２６に保持されたバイト等を微細にかつ高速で移動させ、工作物を高精度に切削加工する。この際、可動体２５は流体軸受２９、３０によって静圧支持されているので、バイト等を微細かつ高速で安定的に移動制御できるようになり、工作物の精度を向上できるようになる。
【００３２】
上記した実施の形態においては、本発明のリニアモータ１０を、工具保持装置２６に保持されたバイト等を微細かつ高速に移動させる工具移動装置２０に適用した例について述べたが、本発明のリニアモータ１０は、工具移動装置２０に限定されることなく、可動体２５を進退させる広範な移動装置に適用できるものである。
【００３３】
また、上記した実施の形態においては、マグネットヨーク２２の各マグネット取付け面２２ａ〜２２ｄに、一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄを並設した例について述べたが、図６に示すように、各一対のマグネット体を、マグネットヨーク２２のＸ軸方向に沿って２組並設、すなわち、各マグネット取付け面２２ａ〜２２ｄに、４つのマグネット体４１ａ１、４２ａ１、４１ａ２、４２ａ２〜４１ｄ１、４２ｄ１、４１ｄ２、４２ｄ２を配設することもできる。ただし、この場合には、２組の各一対のマグネット体のそれぞれ内側に配置されるマグネット体４２ａ１、４１ａ２〜４２ｄ１、４１ｄ２は、これら２つのマグネット体４２ａ１、４１ａ２〜４２ｄ１、４１ｄ２間で磁束の漏洩が起こり難いように、磁極の極性を同じにして配置することが望ましい。
【００３４】
これにより、可動体２５に同一方向の推力を発生させるように、２組の各一対のマグネット体にそれぞれ対応する図略の２組のコイル体に電流を供給することにより、可動体２５に付与される推力のパワーをほぼ倍増することができるようになる。勿論、一対のマグネット体をマグネットヨーク２２のＸ軸方向に３組以上配設してもよい。
【００３５】
上記した実施の形態においては、外周に４つのマグネット取付け面２２ａ〜２２ｄを有する正四角形状のマグネットヨーク２２を用いて、このマグネットヨーク２２の各マグネット取付け面２２ａ〜２２ｄに、各一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄを並設した例について述べたが、マグネットヨーク２２の形状は正四角あるいは四角形状に限定されるものではなく、例えば、外周に６つあるいは８つのマグネット取付け面を有する六角形状あるいは八角形状のマグネットヨークを用い、このマグネットヨークの６つあるいは８つのマグネット取付け面に、上記したと同様に少なくとも一対のマグネット体を、マグネットヨーク２２の周方向に磁極の極性が互いに逆になるようにそれぞれ並設するようにしてもよい。
【００３６】
また、マグネットヨーク２２の形状は、例えば、図７に示すように、外形形状が四角形で、中心部に円筒状の中空穴５１を形成し、四隅に重量軽減用の貫通穴５２を形成したものであってもよく、さらには、マグネットヨーク２２の形状は、角形に限定されるものではなく、中空円筒状に構成し、その円周上に一対の円弧状マグネット体を例えば４組等角度間隔に配置したものであってもよい。
【００３７】
さらに、上記した実施の形態においては、マグネットヨーク２２の周面と直交する方向に並設された一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄの各間に補助マグネット４３ａ〜４３ｄを配置した例について述べたが、補助マグネット４３ａ〜４３ｄは、本発明にとって必ずしも必要な要件ではなく、一対のマグネット体４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄを空隙を有して並設するようにしてもよい。
【００３８】
なお、上記した実施の形態においては、可動体２５の変位量を、リニアスケール３３によって検出するようにしたが、リニアスケール３３に限定されることなく、他の変位検出器を用いることもできる。
【００３９】
以上、本発明を実施の形態に即して説明したが、本発明はこれらに制限されるものではなく、本発明の技術的思想に反しない限り、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態に係るリニアモータを備えた工具移動装置を示す概略図である。
【図２】図１の２−２線に沿って切断した断面図である。
【図３】図１のリニアモータの可動部分を示す斜視図である。
【図４】図２の４−４線に沿って切断した断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るリニアモータの作用を説明する説明図である。
【図６】リニアモータの変形例を示す図である。
【図７】リニアモータのさらに別の変形例を示す図である
【符号の説明】
【００４１】
１０・・・リニアモータ、１１・・・工具移動装置、２１・・・マグネット構成体、２２・・・マグネットヨーク、２２ａ〜２２ｄ・・・マグネット取付け面、２３、２４・・・支持部、２５・・・可動体、２６・・・工具保持装置、２７・・・支持台、２９、３０・・・流体軸受、３１・・・固定コイル、３１ａ〜３１ｄ・・・コイル体、３２・・・コイルヨーク、３３・・・リニアスケール、４１ａ、４２ａ〜４１ｄ、４２ｄ・・・一対のマグネット体。
【図１】
2008199726.tif 000003
【図２】
2008199726.tif 000004
【図３】
2008199726.tif 000005
【図４】
2008199726.tif 000006
【図５】
2008199726.tif 000007
【図６】
2008199726.tif 000008
【図７】
2008199726.tif 000009