(57)【要約】【課題】本発明は、基板上に蒸着形成した白金薄膜でセンシング用抵抗体を構成し、溶接等を用いることなく、高精度の抵抗体を得ることを目的とする。【解決手段】本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、基板(10)の四角部(40)の電極パッド(50)と、前記各四角部(40)間の細状接続部(41)に設けたセンシング用抵抗体(51)と、を蒸着成膜した白金薄膜で形成した構成である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング(2)内に設けられたセンサ(4)に対し、前記ケーシング(2)内に設けられた気体ポンプ(3)からのガス流(17)を供給し、外部からの角速度入力時の前記ガス流(17)の偏流を前記センサ(4)の抵抗値変化として検出するようにしたガスレートセンサの検出部構造において、
前記センサ(4)は、前記ケーシング(2)内に設けられた基板(10)と、前記基板(10)に形成された開口(18)と、前記基板(10)に形成され前記開口(18)を横断して接続する状態で配設された少なくとも一対の接続部(42)と、前記各接続部(42)上に蒸着で形成され白金薄膜よりなるセンシング用抵抗体(51)と、からなることを特徴とするガスレートセンサの検出部構造。
【請求項２】
前記各接続部(42)は、前記各接続部(42)の両端に形成された四角部(40)と、前記各四角部(40)間に一体接続され前記四角部(40)の第１幅(W1)よりも小さい第２幅(W2)の細状接続部(41)と、からなることを特徴とする請求項１記載のガスレートセンサの検出部構造。
【請求項３】
前記センシング用抵抗体(51)は、直線状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のガスレートセンサの検出部構造。
【請求項４】
前記センシング用抵抗体(51)は、矩形波状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のガスレートセンサの検出部構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスレートセンサの検出部構造に関し、特に、センサのセンシング用抵抗体を、蒸着で形成された白金薄膜で構成することにより、安定した抵抗値のセンサを得るための新規な改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、用いられていたこの種のガスレートセンサの検出部構造としては、特許文献１及び非特許文献１に開示されている構成を、図６から図９で示している。
すなわち、図６で示される構成は、ガスレートセンサ１を示しており、このガスレートセンサ１の円筒状のケーシング２内には、気体ポンプ３及びセンサ４が内設されている。
【０００３】
前記センサ４は、図７及び図８で示されるように構成されている。
すなわち、図７のセンサ４は、基板１０上に４本の電極１１〜１４を介して一対のワイヤ１５、１６が設けられ、この基板１０には、ガス流１７を通過させるための貫通孔１８が形成されている。
【０００４】
また、図８のセンサ４は、前述の図７の１軸型のセンサ４に対し、２軸型とする構成であり、電極２０〜２３を追加すると共に、ワイヤ３０、３１を追加し、他の部分は図７と同一であるため、同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【０００５】
また、図９のセンサ４は、前述のように棒状の電極を用いるのではなく、平板状の一対の輪状となる第１、第２電極板４０、４１を用い、各電極板４０、４１は４個の電極片４０ａ〜４０ｄと４１ａ〜４１ｄよりなり、各電極片４０ａ〜４０ｄと４１ａ〜４１ｄに突出して形成された各突出電極５０、５１及び５２、５３間には、各々ワイヤ３０、３１及び１５、１６が張設されている。
従って、図９のセンサ４においては、前記各電極板４０、４１を矢印Ｂで示す方向に重合させることにより、各ワイヤ１５、１６及び３０、３１が互いに直交配置となり、２軸型のセンサ４を構成することができる。
【０００６】
【特許文献１】特公平１−５６２７５号公報
【非特許文献１】多摩川精機（株）編、「ジャイロ活用技術入門」、工業調査会発行、５６頁〜５９頁、２００２年１月２０日初版発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のガスレートセンサの検出部構造は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、図６のガスレートセンサに用いる図７及び図８で示されるセンサの場合、各電極は棒状であり、軸方向の厚さが厚くなると共に、各電極間に設けるセンシング用のワイヤを溶接で固定しなければならず、数ミクロンのワイヤを固定すると、その時の溶接のバラツキによって抵抗値にバラツキが生じることもあった。
また、図９のセンサの場合、軸方向の厚さは薄くすることができるが、ワイヤを突出電極に溶接接続することは同じであるため、前述と同様の課題が存在していた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、ケーシング内に設けられたセンサに対し、前記ケーシング内に設けられた気体ポンプからのガス流を供給し、外部からの角速度入力時の前記ガス流の偏流を前記センサの抵抗値変化として検出するようにしたガスレートセンサの検出部構造において、前記センサは、前記ケーシング内に設けられた基板と、前記基板に形成された開口と、前記基板に形成され前記開口を横断して接続する状態で配設された少なくとも一対の接続部と、前記各接続部上に蒸着で形成され白金薄膜よりなるセンシング用抵抗体と、からなる構成であり、また、前記各接続部は、前記各接続部の両端に形成された四角部と、前記各四角部間に一体接続され前記四角部の第１幅よりも小さい第２幅の細状接続部と、からなる構成であり、また、前記センシング用抵抗体は、直線状に形成されている構成であり、また、前記センシング用抵抗体は、矩形波状に形成されている構成である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によるガスレートセンサの検出部構造は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、センシング用抵抗体が、基板の開口を横断して接続する状態で配設された少なくとも一対の接続部上に蒸着形成された白金薄膜で構成されているため、従来のように、ワイヤを溶接接続する必要がなく、従来の手作業による接続工程と比べると工程間のバラツキがない分だけ安定した抵抗値を有するホットワイヤを製作することができる。
【００１０】
また、前述の効果により、センサ性能の安定化、信頼性の向上を図ることができる。また、センシング用抵抗体の蒸着は、バッチプロセスにも向いているため、基板アレイの適用等による大量生産が可能となり、工数低減による低価格化も可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、センサのセンシング用抵抗体を、蒸着形成された白金薄膜で構成することにより、安定した抵抗値のセンサを得るようにしたガスレートセンサの検出部構造を提供することを目的とする。
【実施例】
【００１２】
以下、図面と共に本発明によるガスレートセンサの検出部構造の好適な実施の形態について説明する。
尚、従来例と同一又は同等部分については同一符号を用いて説明すると共に、ガスレートセンサ１については、図６の構成を援用するものとする。
図１において符号１０で示されるものは全体形状が円板状をなし、その中央位置に開口された開口１８を有する基板であり、この基板１０の開口１８の内壁１８ａには内方へ突出して形成された四個の四角部４０が一体に形成されている。
【００１３】
前記各四角部４０間には、この四角部４０を接続し、かつ、前記開口１８を横断して内面１８ａ間を接続するように形成された一対の細状接続部４１が一体に形成されており、各四角部４０と細状接続部４１により接続部４２が形成されている。
【００１４】
前記接続部４２には、図２で示されるように、周知の蒸着による白金薄膜による電極パッド５０及びセンシング用抵抗体５１が形成され、前記電極パッド５０は前記各四角部４０上に形成されていると共に、前記センシング用抵抗体５１は前記細状接続部４１上に形成されている。
【００１５】
前記四角部４０及び細状接続部４１は、図３で示されるように、前記四角部４０の第１幅Ｗ１は、前記細状接続部４１の第２幅Ｗ２よりも数倍大に形成され、前記細状接続部４１に形成されたセンシング用抵抗体５１は直線状に形成されて前記電極パッド５０に一体接続されている。
【００１６】
また、図４に示される他の形態においては、前記センシング用抵抗体５１が、前述の直線状とは異なり、矩形波状に形成され、図３のセンシング用抵抗体５１よりも抵抗値が大きくなるように構成されている。
また、図５に示される他の形態においては、図４よりもさらに大きい抵抗値が得られるように、前記センシング用抵抗体５１の曲折数が多くなるように構成されている。
従って、前記センシング用抵抗体５１の抵抗値は、白金薄膜の厚さ、幅、長さ等の調整によって任意に設定することができる。
【００１７】
前記白金薄膜は、周知のＪＩＳ  Ｃ  １６０４に基づいて市販されている温度センシング用の構成を、そのまま適用することも可能であり、前記各電極パッド５０に接続線６０を介して接続されたブリッジ回路（図示せず）を含む信号処理回路１００により各センシング用抵抗体５１で検出された角速度入力を抵抗値差として検出することができる。尚、図２のセンサ４は、図６のセンサ４としてケーシング２内に内設されて用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明によるガスレートセンサの検出部構造の基板を示す平面図である。
【図２】図１の基板に電極パッドとセンシング用抵抗体を形成した状態を示す平面図である。
【図３】図２のＡ部を示す拡大図である。
【図４】図３の他の形態を示す拡大図である。
【図５】図４の他の形態を示す拡大図である。
【図６】従来のガスレートセンサを示す一部切欠き斜視図である。
【図７】図６の基板を示す斜視図である。
【図８】図７の他の形態を示す斜視図である。
【図９】図８の他の形態を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    ガスレートセンサ
２    ケーシング
３    気体ポンプ
４    センサ
１０    基板
１８    開口
４０    四角部
４１    細状接続部
４２    接続部
５０    電極パッド
５１    センシング用抵抗体
６０    接続線
１００    信号処理回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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