(57)【要約】【課題】ブレード型プローブの交換を容易に、かつ安全に行うことができる。【解決手段】ブレード型プローブを支持するプローブ組立体である。前記プローブ組立体に、ブロック片と、前記ブレード型プローブを一定間隔を空けて支持する２つのスリットバーと、各ブレード型プローブを一体的に支持するガイドバーと、当該ガイドバーを支持するサイドカバーと、前記ブレード型プローブの交換作業時に前記ブレード型プローブが当該スリットバーから抜け落ちないように抑える交換シャフトと、前記ブレード型プローブ及び前記スリットバーを覆うと共に前記交換シャフトを支持するインナーカバーと、前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた嵌合部と、前記各ブレード型プローブに設けられ当該嵌合部に嵌合して当該ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めする被嵌合部とを備えた。【選択図】図１
2008286601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体であって、
複数の前記ブレード型プローブを一体的に支持するブロック片と、
当該ブロック片の先端側と基端側とにそれぞれ設けられ複数の前記ブレード型プローブの先端側と基端側とを一定間隔を空けてそれぞれ支持する２つのスリットバーと、
複数の前記ブレード型プローブにそれぞれ貫通して各ブレード型プローブを一体的に支持する１つ以上のガイドバーと、
前記ブロック片に固定されて前記ガイドバーを支持するサイドカバーと、
複数の前記ブレード型プローブの先端側又は基端側を前記スリットバーとで挟むように配設されて、前記ブレード型プローブの交換作業時に前記スリットバーに嵌合した前記ブレード型プローブの先端側又は基端側が当該スリットバーから抜け落ちないように抑える交換シャフトと、
前記ブロック片に取り付けられて前記ブレード型プローブ及び前記スリットバーを覆うと共に前記交換シャフトを支持するインナーカバーと、
基端側又は先端側の前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた嵌合部と、
前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられ当該嵌合部に嵌合して当該ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めする被嵌合部と
を備えて構成されたことを特徴とするプローブ組立体。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブ組立体において、
前記嵌合部が、前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた凸条によって構成され、
前記被嵌合部が、前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられた凹状切り欠きによって構成されたことを特徴とするプローブ組立体。
【請求項３】
被検査体の検査に用いる検査装置であって、
被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備え、
前記測定部のプローブユニットに、請求項１又は２に記載のプローブ組立体を組み込んだことを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル、集積回路等の平板状の被検査体の検査に用いるプローブ組立体及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の平板状の被検査体は、一般にプローブユニットを用いて検査される。この種のプローブユニットとしては、薄い板状のブレード型プローブを複数枚並べて構成するタイプのものがある。この例としては特許文献１がある。この特許文献１の発明を以下に概説する。
【０００３】
プローブ組立体１は、図２及び図３に示すように、ブロック２と、ブロック２の下側に並列的に配置された帯状の複数のプローブ３と、プローブ３を貫通する細長い一対のガイドバー４と、プローブ３の一部を受け入れる一対のスリットバー５と、プローブ３の後端側に針先の位置を安定化させる長尺のガイド部材６と、ガイドバー４をブロック２に支持させる一対のサイドカバー７とを含んで構成されている。
【０００４】
各プローブ３は、帯状の中央領域３Ａと、該中央領域の先端および後端から前方および後方へ伸びる一対の針先領域３Ｂおよび３Ｃとを備える。中央領域３Ａは、ガイドバー４が貫通するガイド穴３Ｄを各端部に有する。各プローブ３は、そのガイド穴３Ｄにガイドバー４が通され、各針先領域３Ｂおよび３Ｃがスリットバー５に嵌合されて、ブロック２の下側に配設されている。
【０００５】
これにより、針先領域３Ｂのプローブが液晶パネル上に設けられた電極に接触されて電気的に接続され、制御信号送信等が行われる。
【特許文献１】特開平１０−１３２８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記プローブは消耗品であり、交換する必要がある。この交換作業においては、一部のプローブだけ交換する場合がある。例えば、プローブが１つ折れてこの１つのプローブだけを交換する場合がある。この場合は、プローブの交換作業に慎重を要する。プローブ１つ１つは、非常に軽くてばらばらになりやすいため、多数並んだプローブのうちの一部だけを交換する場合、プローブにちょっと当たっただけでもばらけたり、破損したりすることがある。このため、プローブの交換作業は慎重に行う必要があり、作業効率が悪いという問題がある。
【０００７】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、プローブの交換を容易に、かつ安全に行うことができるプローブユニット及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために本発明に係るプローブ組立体は、ブレード型プローブを支持して被検査体の電極に電気的に接触させるプローブ組立体であって、複数の前記ブレード型プローブを一体的に支持するブロック片と、当該ブロック片の先端側と基端側とにそれぞれ設けられ複数の前記ブレード型プローブの先端側と基端側とを一定間隔を空けてそれぞれ支持する２つのスリットバーと、複数の前記ブレード型プローブにそれぞれ貫通して各ブレード型プローブを一体的に支持する１つ以上のガイドバーと、前記ブロック片に固定されて前記ガイドバーを支持するサイドカバーと、複数の前記ブレード型プローブの先端側又は基端側を前記スリットバーとで挟むように配設されて、前記ブレード型プローブの交換作業時に前記スリットバーに嵌合した前記ブレード型プローブの先端側又は基端側が当該スリットバーから抜け落ちないように抑える交換シャフトと、前記ブロック片に取り付けられて前記ブレード型プローブ及び前記スリットバーを覆うと共に前記交換シャフトを支持するインナーカバーと、基端側又は先端側の前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた嵌合部と、前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられ当該嵌合部に嵌合して当該ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めする被嵌合部とを備えて構成されたことを特徴とする。
【０００９】
前記構成により、複数のブレード型プローブのうちの一部を交換する場合は、前記各ブレード型プローブをばらして、各ブレード型プローブの一端の被嵌合部を前記スリットバーの嵌合部に嵌合させて位置決めして仮止めし、他端を前記交換シャフトと前記スリットバーとで挟んで、各ブレード型プローブがばらけるのを抑える。この状態で、交換対象のブレード型プローブを抜き取って新しいブレード型プローブと交換する。
【００１０】
前記嵌合部は、前記スリットバーの前記ブレード型プローブ側に面して設けられた凸条によって構成し、前記被嵌合部は、前記各ブレード型プローブのうち前記スリットバーの嵌合部側に面して設けられた凹状切り欠きによって構成することが望ましい。
【００１１】
被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えた検査装置であって、前記測定部のプローブユニットに、前記プローブ組立体を組み込むことが望ましい。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、前記各ブレード型プローブの一端の被嵌合部を前記スリットバーの嵌合部に嵌合させて当該各ブレード型プローブを当該スリットバーに対して位置決めして仮止めし、その端部を前記スリットバーと交換シャフトとの間に挟んで支持して、各ブレード型プローブの交換を行うため、各ブレード型プローブがばらけるのを抑えて、プローブの交換を容易に、かつ安全に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態に係るプローブ組立体及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。本実施形態の検査装置は、被検査体の検査に用いる検査装置であって、被検査体を外部から搬入し、検査終了後に外部へ搬送するセット部と、当該セット部から渡された被検査体を支持して試験する測定部とを備えものである。この検査装置の前記測定部のプローブ組立体として、本実施形態に係るプローブ組立体を用いる。なお、本実施形態の検査装置は、前記従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここではプローブ組立体を中心に説明する。また、本発明に係る検査装置としては、本実施形態に係るプローブ組立体を用いることができる装置すべてに適用することができる。
【００１４】
本実施形態のプローブユニット１１は、図４に示すように、被検査体としての液晶パネル１２の検査装置に用いられる装置である。液晶パネル１２は、長方形の形状をしており、また複数の電極(図示せず)を長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。
【００１５】
プローブユニット１１は主に、プローブベース１３と、プローブ組立体１４とを備えて構成されている。
【００１６】
プローブベース１３は、検査装置の本体フレーム側に固定される部材である。プローブベース１３は、本体フレーム側に固定された状態で、プローブ組立体１４を支持している。
【００１７】
プローブ組立体１４は、プローブを支持して液晶パネル１２の電極に電気的に接触させるための装置である。プローブ組立体１４は図５に示すように主に、サスペンションベース１６と、スライドブロック１７と、プローブプレート１８と、ＦＰＣベース１９と、プローブブロック２０とを備えて構成されている。
【００１８】
サスペンションベース１６は、スライドブロック１７等を介して後述するプローブブロック２０のブレード型プローブ３８を支持するための部材である。サスペンションベース１６は、全体をほぼ立方体状に形成されてプローブベース１３に固定されている。サスペンションベース１６の先端側には、スライドブロック１７を上側から付勢するための庇部１６Ａが設けられている。庇部１６Ａにはボルト穴２２が設けられ、ボルト２３がねじ込まれている。このボルト２３の先端側が後述するスライドブロック１７のスプリング穴１７Ｂに挿入されている。サスペンションベース１６の先端側面の前記庇部１６Ａの下側には、スライドブロック１７を上下方向にスライド可能に案内するレール２４が設けられている。
【００１９】
スライドブロック１７は、上下へスライドしてプローブブロック２０を支持するための部材である。スライドブロック１７はおおむね立方体状に形成されている。スライドブロック１７の下部には、プローブプレート１８を覆う大きさの庇部１７Ａが形成されている。プローブプレート１８は、この庇部１７Ａを含むスライドブロック１７の下側面に当接して支持される。スライドブロック１７の基端面（図５中の右側面）には、サスペンションベース１６のレール２４に嵌合してスライドブロック１７の上下への移動を支持するガイド２６が取り付けられている。スライドブロック１７の上側面には、スプリング２８を挿入するためのスプリング穴１７Ｂが設けられている。スプリング２８は、ボルト２３に支持されてスプリング穴１７Ｂ内に挿入され、スライドブロック１７を下方へ付勢している。このスプリング２８による付勢力によって、後述する各接触子５６が液晶パネル１２の各電極に接触した状態で各接触子５６を各電極側に付勢している。
【００２０】
プローブプレート１８は、スライドブロック１７に支持された状態で、ＦＰＣベース１９とプローブブロック２０とを支持するための部材である。プローブプレート１８は、その上側面がスライドブロック１７の下側面に固定された状態で、下側面にＦＰＣベース１９とプローブブロック２０とが固定されている。
【００２１】
ＦＰＣベース１９は、ＦＰＣケーブル２７を支持して外部装置と後述するブレード型プローブ３８とを電気的に接続するための部材である。ＦＰＣケーブル２７は、その基端部がプローブベース１３の下側面に取り付けられた中継基板２９に接続され、先端部がＦＰＣベース１９の下側面に取り付けられている。ＦＰＣベース１９の先端部には、後述するブレード型プローブ３８のＦＰＣ側の接触子５７に電気的に接触する端子(図示せず)、この端子を保護するガイドフィルム(図示せず)、駆動用集積回路(図示せず)等が設けられている。
【００２２】
プローブブロック２０は、液晶パネル１２の回路(図示せず)に検査信号送信等を行うために液晶パネル１２の電極に電気的に接触するための部材である。プローブブロック２０は、図１に示すように、ブロック片３３と、スリットバー３４と、ガイドバー３５と、サポートピン３６と、サイドカバー３７と、ブレード型プローブ３８とを備えて構成されている。
【００２３】
ブロック片３３は、その下側面に複数のブレード型プローブ３８を一定間隔を空けて一体的に支持するための部材である。ブロック片３３は、その下側面がブレード型プローブ３８の上側面形状に合わせて凹ませて形成されている。ブロック片３３の左右両側（図１中の左上右下方向の両側）には、サイドカバー３７を固定するためのネジ穴(図示せず)が複数設けられている。ブロック片３３の上側面には、プローブブロック２０をプローブプレート１８に固定するためのネジ穴４１が複数設けられている。
【００２４】
スリットバー３４は、多数配設されるブレード型プローブ３８のうち後述する各先端側腕部５１と各ＦＰＣ側腕部５２とをそれぞれ正確に位置決めして支持するための部材である。このスリットバー３４は、セラミックスで形成され、熱による影響を受けずにブレード型プローブ３８を正確に支持するようになっている。先端側スリットバー３４Ａはブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１を支持し、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂはブレード型プローブ３８の各ＦＰＣ側腕部５２を支持する。各スリットバー３４Ａ，３４Ｂは、多数のスリット４３を設けて構成されている。各スリット４３は、ブレード型プローブ３８の各先端側腕部５１及び各ＦＰＣ側腕部５２を設定間隔を空けて支持するためのスリットである。先端側スリットバー３４Ａの各スリット４３の間隔は、各スリット４３に嵌合する先端側腕部５１の後述する接触子５６が液晶パネル１２の各電極の間隔に整合するように設定されている。ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂのスリット４３の間隔は、各スリット４３に嵌合するＦＰＣ側腕部５２の後述する接触子５７がＦＰＣケーブル２７の端子の間隔に整合するように設定されている。
【００２５】
先端側スリットバー３４Ａのうちブレード型プローブ３８側に面した位置には嵌合部４５が設けられている。この嵌合部４５は、ブレード型プローブ３８側に面して設けられた凸条によって構成されている。この嵌合部４５は、スリットバー３４の全長に亘って設けられ、全てのブレード型プローブ３８の後述する被嵌合部４６が嵌合するようになっている。この嵌合部４５にブレード型プローブ３８の被嵌合部４６が嵌合することで、交換作業時のブレード型プローブ３８の上下前後（図６中の上下左右）の位置決めと仮止めをするようになっている。
【００２６】
ガイドバー３５は、ブレード型プローブ３８を支持するための部材である。ガイドバー３５は大径円柱状に形成されている。大径円柱状のガイドバー３５の直径は、ブレード型プローブ３８の後述するガイドバー穴５３の内径に整合する寸法に設定されている。これは、ガイドバー３５を介してブレード型プローブ３８の位置決めをするためである。即ち、ブレード型プローブ３８のガイドバー穴５３にガイドバー３５が嵌合した状態でこのガイドバー３５を位置決めすると、このガイドバー３５の中心軸に直交する方向のブレード型プローブ３８の位置が正確に決まる。このため、ガイドバー３５の直径をブレード型プローブ３８のガイドバー穴５３の内径に整合する寸法に設定して、ガイドバー３５を位置決めすることで、このガイドバー３５の中心軸に直交する方向のブレード型プローブ３８の位置決めが正確にできるようになっている。
【００２７】
サポートピン３６は、ガイドバー３５と共に、ブレード型プローブ３８を支持するための部材である。サポートピン３６は円形棒状に形成されている。このサポートピン３６の直径は、ブレード型プローブ３８の後述するサポートピン穴５４の内径に整合する寸法に設定されている。これは、ガイドバー３５と共にサポートピン３６を介してブレード型プローブ３８の位置決めをするためである。
【００２８】
サイドカバー３７は、ガイドバー３５とサポートピン３６を支持するための板材である。サイドカバー３７は２枚用いられ、ブロック片３３の両側に取り付けられている。サイドカバー３７には、カバー固定用ネジ穴、ガイドバー固定用ネジ穴、サポートピン固定用ネジ穴（いずれも図示せず）等が設けられている。各ネジ穴は正確に位置決めして設けられ、ブロック片３３に対してガイドバー３５とサポートピン３６を正確に位置決めして支持するようになっている。
【００２９】
ブレード型プローブ３８は、液晶パネル１２の回路の電極に直接に接触して検査信号送信等を行うため部材である。ブレード型プローブ３８は、図１，６に示すように、本体板部５０と、先端側腕部５１と、ＦＰＣ側腕部５２とから構成されている。
【００３０】
本体板部５０は、ガイドバー３５とサポートピン３６とを通すためのガイドバー穴５３と、サポートピン穴５４とが設けられている。ガイドバー穴５３は、その内径がガイドバー３５の外径寸法と整合する寸法に設定されている。サポートピン穴５４は、その内径がサポートピン３６の外径寸法と整合する寸法に設定されている。これにより、本体板部５０は、正確に位置決めされて支持される。
【００３１】
先端側腕部５１は、その先端部で下側に向いた接触子５６を支持するための部材である。先端側腕部５１では、液晶パネル１２の電極に整合する先端位置に接触子５６が設けられている。
【００３２】
ＦＰＣ側腕部５２は、その基端部（図６中の右側端部）で上側に向いた接触子５７を支持するための部材である。ＦＰＣ側腕部５２では、ＦＰＣケーブル２７の端子に整合する位置に接触子５７が設けられている。
【００３３】
さらに、ブレード型プローブ３８のうち前記スリットバー３４の嵌合部４５側に面した位置には被嵌合部４６が設けられている。被嵌合部４６は、嵌合部４５に嵌合することで、ブレード型プローブ３８をスリットバー３４に対して位置決めして仮止めするための部分である。被嵌合部４６は、各ブレード型プローブ３８のうちスリットバー３４の嵌合部４５に面した位置に設けられた凹状切り欠きによって構成されている。この被嵌合部４６が嵌合部４５に嵌合することで、ブレード型プローブ３８がスリットバー３４に対して位置決めされて仮止めされるようになっている。
【００３４】
さらに、前記プローブブロック２０には、交換シャフト６１とインナーカバー６２とが、ブレード型プローブ３８の交換作業時にのみ設けられる。
【００３５】
交換シャフト６１は、前記ブレード型プローブ３８の交換作業時に前記スリットバー３４のスリット４３に嵌合したブレード型プローブ３８の基端側であるＦＰＣ側腕部５２がこのスリット４３から抜け落ちないように抑えるためのシャフトである。交換シャフト６１は、図１、７に示すように、複数の前記ブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２を前記スリットバー３４とで挟むように、スリットバー３４に面する位置に配設される。交換シャフト６１は、スリットバー３４と接触させて、スリット４３内に挿入されたブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２を挟んでもよく、スリットバー３４との間に僅かな空間を空けて、スリット４３内に挿入されたブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２がスリット４３から抜け落ちないようにして挟んでもよい。
【００３６】
インナーカバー６２は、前記ブロック片３３に取り付けられて前記ブレード型プローブ３８及び前記スリットバー３４を覆うと共に前記交換シャフト６１を支持するための板材である。インナーカバー６２は、サイドカバー３７と同様に、ブロック片３３の両側にネジで固定されてスリットバー３４とブレード型プローブ３８を覆うようになっている。インナーカバー６２には、ガイドバー穴６３と、サポートピン穴６４と、交換シャフト穴６５とが設けられている。
【００３７】
ガイドバー穴６３は、ガイドバー３５を通すための穴で、ガイドバー３５の直径よりも大きく形成されている。ブレード型プローブ３８の交換作業の際に、インナーカバー６２がブロック片３３に取り付けられた後、ガイドバー３５がガイドバー穴６３から抜き取られる。
【００３８】
サポートピン穴６４は、サポートピン３６を通すための穴で、サポートピン３６の直径よりも大きく形成されている。ブレード型プローブ３８の交換作業の際に、インナーカバー６２がブロック片３３に取り付けられた後、サポートピン３６がサポートピン穴６４から抜き取られる。
【００３９】
交換シャフト穴６５は、交換シャフト６１を通すための穴である。交換シャフト穴６５は、交換シャフト６１とほぼ同じ直径に設定され、交換シャフト６１が通された状態で、交換シャフト６１をがたつかないように支持する。交換シャフト６１は、交換シャフト穴６５に通された状態で、スリットバー３４と対峙して配設される。このとき、交換シャフト６１は、上述したように、スリットバー３４と接触する場合と接触しない場合とがある。これにより、交換シャフト６１とスリットバー３４とで、このスリットバー３４のスリット４３に挿入されたブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２を間隔を空けて挟んで支持するようになっている。これにより、各ブレード型プローブ３８がばらけるのを抑えて、任意のブレード型プローブ３８を１つずつ出し入れできるようになっている。
【００４０】
以上のように構成されたプローブユニット１１は次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は従来の検査装置と同様であるため、ここでは、ブレード型プローブ３８の交換作業を中心に説明する。
【００４１】
ブレード型プローブ３８がガイドバー３５とサポートピン３６とに通されて、ガイドバー３５とサポートピン３６が２つのサイドカバー３７に固定され、さらに、各サイドカバー３７がブロック片３３に固定されてプローブ組立体１４が構成される。そして、プローブ組立体１４がプローブベース１３に固定されて、プローブ組立体１４のブレード型プローブ３８の接触子５６が液晶パネル１２の各電極に接触され、検査信号送信等が行われる。この液晶パネル１２の検査において、一部のブレード型プローブ３８の接触子５６が折れる等の問題が生じた場合は、そのブレード型プローブ３８の交換を行う。
【００４２】
この場合はまずプローブブロック２０を取り外す。そして、図１、７、８に示すように、サイドカバー３７をはずしてインナーカバー６２を取り付け、このインナーカバー６２の交換シャフト穴６５に交換シャフト６１を通す。次いで、インナーカバー６２のガイドバー穴６３及びサポートピン穴６４からガイドバー３５及びサポートピン３６を抜き取って各ブレード型プローブ３８をばらす。この状態で、各ブレード型プローブ３８は、その被嵌合部４６がスリットバー３４の嵌合部４５に嵌合して、このブレード型プローブ３８がスリットバー３４を介して、プローブブロック２０に対して位置決めして仮止めされている。ブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２側は、交換シャフト６１とスリットバー３４とで挟んで支持されている（図８（ａ）の状態）。
【００４３】
この状態で、交換対象のブレード型プローブ３８を、その被嵌合部４６をスリットバー３４の嵌合部４５から外して（図８（ｂ）の状態）、ＦＰＣ側腕部５２をスリットバー３４と交換シャフト６１との間から抜き取る（図８（ｃ）の状態）。次いで、新しいブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２をスリットバー３４と交換シャフト６１との間に挿入し、ブレード型プローブ３８の被嵌合部４６をスリットバー３４の嵌合部４５に嵌合させて、ブレード型プローブ３８を位置決めして仮止めする。
【００４４】
次いで、ガイドバー３５を各ブレード型プローブ３８のガイドバー穴５３に貫通させ、サポートピン３６をサポートピン穴５４に貫通させて各ブレード型プローブ３８を一体的に支持し、インナーカバー６２を取り外してサイドカバー３７を取り付ける。そして、このサイドカバー３７にガイドバー３５とサポートピン３６とを取り付けて、プローブブロック２０をプローブ組立体１４に組み込み、プローブ組立体１４をプローブベース１３に取り付ける。
【００４５】
このように、各ブレード型プローブ３８の被嵌合部４６をスリットバー３４の嵌合部４５に嵌合させて各ブレード型プローブ３８をスリットバー３４に対して位置決めして仮止めし、ブレード型プローブ３８のＦＰＣ側腕部５２側をスリットバー３４と交換シャフト６１との間に挟んで支持して、ブレード型プローブ３８の交換を行うため、交換対象のブレード型プローブ３８以外の各ブレード型プローブ３８がばらけるのを抑えて、ブレード型プローブ３８の交換を容易に、かつ安全に行うことができる。
【００４６】
さらに、交換作業時に、ブロック片３３のインナーカバー６２を取り付けてスリットバー３４とブレード型プローブ３８を覆うため、ものがスリットバー３４やブレード型プローブ３８に接触して破損するのを防止することができる。
【００４７】
［変形例］
前記実施形態では、スリットバー３４の嵌合部４５を凸状に、ブレード型プローブ３８の被嵌合部４６を凹状に形成したが、これと逆に嵌合部４５を凹状に、被嵌合部４６を凸条にしてもよい。また、先端側スリットバー３４Ａ側に嵌合部４５を、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂ側に交換シャフト６１を設けたが、これと逆に先端側スリットバー３４Ａ側に交換シャフト６１を、ＦＰＣ側スリットバー３４Ｂ側に嵌合部４５を設けるようにしてもよい。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。
【００４８】
前記実施形態では、交換シャフト６１を丸い棒状にしたが、四角棒状や平板棒状等の他の形状でもよい。この場合も、前記同様の作用、効果を奏することができる。
【００４９】
前記実施形態では、ガイドバー３５と共にサポートピン３６を設けたが、サポートピン３６は設けない場合もある。精度を高める必要がある場合にサポートピン３６を設ける。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体を示す分解斜視図である。
【図２】従来の検査装置のプローブ組立体を示す斜視図である。
【図３】従来の検査装置のプローブ組立体を示す側面断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す一部破断側面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るプローブユニットのブレード型プローブを示す側面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブブロックをその裏面から示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係るプローブユニットのブレード型プローブの交換作業を示す側面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１１：プローブユニット、１２：液晶パネル、１３：プローブベース、１４：プローブ組立体、１６：サスペンションベース、１７：スライドブロック、１８：プローブプレート、１９：ＦＰＣベース、２０：プローブブロック、２２：ボルト穴、２３：ボルト、２４：レール、２６：ガイド、２７：ＦＰＣケーブル、２８：スプリング、２９：中継基板、３３：ブロック片、３４：スリットバー、３４Ａ：先端側スリットバー、３４Ｂ：ＦＰＣ側スリットバー、３５：ガイドバー、３６：サポートピン、３７：サイドカバー、３８：ブレード型プローブ、４５：嵌合部、４６：被嵌合部、５０：本体板部、５１：先端側腕部、５２：各ＦＰＣ側腕部、５３：ガイドバー穴、５４：サポートピン穴、５６：接触子、５７：接触子、６１：交換シャフト、６２：インナーカバー、６３：ガイドバー穴、６４：サポートピン穴、６５：交換シャフト穴。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008286601.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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