(57)【要約】【課題】  部品点数及び製造工数を削減し、更には製造工程を単純化することにより、熱交換装置の小型コンパクト化の実現及びコストダウンを図るとともに、熱交換効率の向上を図る。【解決手段】  フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３を所定間隔おきに順次湾曲し又はフッソ系樹脂素材Ｆにより形成した複数の熱交換管３ｐ…を継手３ｃ…により順次接続することにより、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成し、この熱交換管ユニットＵの一部又は全部を伝熱ブロック２内に埋設する。また、熱交換管ユニットＵの上流側に薬液Ｌを循環させる送液ポンプ１３を接続する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材により形成した伝熱ブロック及びこの伝熱ブロック内に埋設して内部に流通する薬液に対して熱交換を行う熱交換管を備える薬液用熱交換装置において、フッソ系樹脂素材により形成した熱交換管を所定間隔おきに順次湾曲し又はフッソ系樹脂素材により形成した複数の熱交換管を継手により順次接続することにより、ジグザグ状の流通経路を有する熱交換管ユニットを構成し、この熱交換管ユニットの一部又は全部を前記伝熱ブロック内に埋設したことを特徴とする薬液用熱交換装置。
【請求項２】
前記熱交換管ユニットにおける少なくとも非直線部は、断熱性を有する断熱材により形成した断熱ブロックにより覆うことを特徴とする請求項１記載の薬液用熱交換装置。
【請求項３】
前記熱交換管ユニットにおける少なくとも非直線部は、外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材により形成した伝熱補助ブロックにより覆うことを特徴とする請求項１記載の薬液用熱交換装置。
【請求項４】
外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱ブロック及びこの伝熱ブロック内に埋設して内部に流通する薬液に対して熱交換を行う熱交換管を備える薬液用熱交換装置において、フッソ系樹脂素材により形成した熱交換管を所定間隔おきに順次湾曲し又はフッソ系樹脂素材により形成した複数の熱交換管を継手により順次接続することにより、ジグザグ状の流通経路を有する熱交換管ユニットを構成し、この熱交換管ユニットの一部又は全部を前記伝熱ブロック内に埋設するとともに、前記熱交換管ユニットの上流側に薬液を循環させる送液ポンプを接続したことを特徴とする薬液用熱交換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、伝熱ブロック内に埋設して内部に流通する薬液に対して熱交換を行う熱交換管を備える薬液用熱交換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材により形成した伝熱ブロック及びこの伝熱ブロック内に埋設して内部に流通する薬液に対して熱交換を行う熱交換管を備える薬液用熱交換装置は知られており、既に、本出願人もこの種の薬液用熱交換装置に用いて好適な薬液温度調節用熱交換器を、特開平８−１９３７６６号公報により提案した。
【０００３】
この薬液温度調節用熱交換器（薬液用熱交換装置）は、熱電変換素子を挟んで、その両側に、熱良導性素材から成る伝熱ブロック体と放熱体とを、熱電変換素子と熱授受可能に配設し、伝熱ブロック体には、複数のフッ素樹脂製薬液導管を伝熱ブロック体と熱授受可能に貫通して設けて、薬液導管の一側開口を、温度調節すべき薬液の流入口を持つ薬液分流室に連通させるとともに、薬液導管の他側開口を、薬液の流出口を備えた薬液合流室に連通させ、放熱体には、冷却液流路を設けたものである。
【特許文献１】特開平８−１９３７６６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した従来の薬液用熱交換装置（薬液温度調節用熱交換器）は、次のような問題点があった。
【０００５】
第一に、複数（８本程度）のフッ素樹脂製薬液導管を、薬液流入側の薬液分流室及び薬液流出側の薬液合流室に接合する構成のため、部品点数の増加を招くとともに、製造工程の煩雑化、更には製造工数の増加を招く。したがって、熱交換装置における小型コンパクト化の阻害要因となるとともに、部品コスト及び製造コストに係わるコストアップ要因となる。
【０００６】
第二に、伝熱ブロック体に薬液導管を貫通して設けることに伴う接触熱抵抗が発生するとともに、薬液導管の流出側に薬液合流室を追加することに伴う外乱影響要因が発生する。したがって、熱交換装置における熱交換効率の無視できない低下要因となり、熱交換効率を高めるにも限界がある。
【０００７】
本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した薬液用熱交換装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る薬液用熱交換装置１は、上述した課題を解決するため、外面に形成した熱交換面Ｃｕ，Ｃｄが冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材Ｓにより形成した伝熱ブロック２及びこの伝熱ブロック２内に埋設して内部に流通する薬液Ｌに対して熱交換を行う熱交換管３を備える薬液用熱交換装置であって、フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３を所定間隔おきに順次湾曲し又はフッソ系樹脂素材Ｆにより形成した複数の熱交換管３ｐ…を継手３ｃ…により順次接続することにより、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成し、この熱交換管ユニットＵの一部又は全部を伝熱ブロック２内に埋設したことを特徴とする。
【０００９】
一方、本発明の他の形態に係る薬液用熱交換装置１は、上述した課題を解決するため、外面に形成した熱交換面Ｃｕ，Ｃｄが冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材Ｓにより形成した伝熱ブロック２及びこの伝熱ブロック２内に埋設して内部に流通する薬液Ｌに対して熱交換を行う熱交換管３を備える薬液用熱交換装置であって、フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３を所定間隔おきに順次湾曲し又はフッソ系樹脂素材Ｆにより形成した複数の熱交換管３ｐ…を継手３ｃ…により順次接続することにより、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成し、この熱交換管ユニットＵの一部又は全部を伝熱ブロック２内に埋設するとともに、熱交換管ユニットＵの上流側に薬液Ｌを循環させる送液ポンプ１３を接続したことを特徴とする。
【００１０】
いずれの場合も、発明の好適な態様により、熱交換管ユニットＵにおける少なくとも非直線部Ｕｅ…は、断熱性を有する断熱材Ｍにより形成した断熱ブロック１１ａ，１１ｂにより覆うことができる。また、熱交換管ユニットＵにおける少なくとも非直線部Ｕｅ…は、外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材Ｓにより形成した伝熱補助ブロック１２ａ，１２ｂにより覆うこともできる。
【発明の効果】
【００１１】
このような構成を有する本発明に係る薬液用熱交換装置１によれば、次のような顕著な効果を奏する。
【００１２】
（１）  フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３を所定間隔おきに順次湾曲し又は複数の熱交換管３ｐ…を継手３ｃ…により順次接続することにより、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成し、この熱交換管ユニットＵを伝熱ブロック２内に埋設したため、部品点数及び製造工数の大幅な削減、更には製造工程の単純化により、熱交換装置１の小型コンパクト化を実現できるとともに、部品コスト及び製造コストに係わるコストダウンを図ることができる。しかも、薬液合流室などの外乱影響要因が排除されるため、熱交換効率の向上に寄与できる。
【００１３】
（２）  ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを伝熱ブロック２内に埋設するとともに、熱交換管ユニットＵの上流側に薬液Ｌを循環させる送液ポンプ１３を接続したため、送液ポンプ１３から付与される液圧は、フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３（３ｐ…）を拡げる（膨らます）方向に作用し、熱交換管ユニットＵと伝熱ブロック２間における接触熱抵抗を低減できる。これにより、更なる熱交換効率の向上に寄与できる。
【００１４】
（３）  好適な態様により、熱交換管ユニットＵにおける少なくとも非直線部Ｕｅ…を、断熱性を有する断熱材Ｍにより形成した断熱ブロック１１ａ，１１ｂにより覆うようにすれば、外乱に伴う無用な放熱（吸熱）を防止できるとともに、熱交換管ユニットＵの傷付きを防止することができる。
【００１５】
（４）  好適な態様により、熱交換管ユニットＵにおける少なくとも非直線部Ｕｅ…を、外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材Ｓにより形成した伝熱補助ブロック１２ａ，１２ｂにより覆うようにすれば、外乱に伴う無用な放熱（吸熱）を防止できることに加え、熱交換面積を増加させることにより熱交換能力をより高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係る最良の実施形態を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【００１７】
まず、本実施形態に係る薬液用熱交換装置１の構成部品（構成部材）について、図１〜図３を参照して説明する。
【００１８】
３は断面を円形に形成した熱交換管である。この熱交換管３は、フッソ系樹脂素材Ｆにより一体形成するとともに、図３に示すように、所定間隔（一定間隔）おきに、１８０〔゜〕に折り返した湾曲部（非直線部）Ｕｅ…を形成することにより、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成する。このため、順次形成される湾曲部Ｕｅ…の湾曲方向は、交互に反対方向となる。フッソ系樹脂素材Ｆとしては、侵食性の強い弗化アンモニウムや弗化水素酸などを含む薬液Ｌに対しても侵食されることのないＰＴＦＥ，ＰＦＡ等を用いることができる。なお、フッソ系樹脂素材Ｆは、必ずしも伝熱性が良好な素材ではないため、この観点からはできるだけ薄いことが望ましいが、湾曲部Ｕｅ…を形成するには、皺の発生などを防止するため、ある程度の厚さが必要となる。したがって、熱交換管３に対する実際の厚さ選定は、これら双方の条件を満たすように選定する必要がある。また、熱交換管３に湾曲部Ｕｅ…を形成する際には、湾曲部Ｕｅ…の潰れを防止するため、充填材（インサート材）を使用し、高温に加熱しながらベンダー加工機により曲げ加工を行えばよい。
【００１９】
２は伝熱ブロックである。この伝熱ブロック２は、図２及び図１に示すように、熱交換管ユニットＵの一部を埋設する機能を有し、外面となる上面と下面には、偏平な熱交換面Ｃｕ，Ｃｄを形成する。この熱交換面Ｃｕ，Ｃｄが後述するサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…により冷却又は加熱される。伝熱ブロック２は、熱交換管ユニットＵを埋設するため、上下に二分割したブロック半体２ｕ，２ｄにより構成する。ブロック半体２ｄは、図４に示すように、偏平な直方体形をなすプレート状に成形し、上面（衝合面）には、熱交換管ユニットＵにおける湾曲部Ｕｅ…を除く直線部が嵌合する断面半円形の直線嵌合溝２１…を熱交換管ユニットＵに対応させて形成する。ブロック半体２ｄの形成素材としては、伝熱性を有する、例えば、カーボングラファイト，アモルファスカーボン，アルミニウム，銅，炭化珪素等を用いることができる。そして、このようなブロック半体２ｄを二枚用意し、一方をブロック半体２ｕとし、他方をブロック半体２ｄとして用いる。
【００２０】
１１ａ，１１ｂは断熱ブロックである。断熱ブロック１１ａ，１１ｂは、断熱性を有する断熱材Ｍにより形成することができ、例えば、ウレタン素材等の安価な断熱素材であってもよい。伝熱ブロック２に熱交換管ユニットＵを埋設した場合、伝熱ブロック２からは、湾曲部Ｕｅ…（及び直線部の一部）が外部に露出する。断熱ブロック１１ａ，１１ｂは、伝熱ブロック２から露出した熱交換管ユニットＵを覆うものであり、これら断熱ブロック１１ａ，１１ｂも伝熱ブロック２と同様に、ブロック半体１１ａｕ，１１ａｄ，１１ｂｕ，１１ｂｄにより構成する（図５参照）。したがって、各ブロック半体１１ａｕ，１１ａｄ，１１ｂｕ，１１ｂｄにおける衝合面には、熱交換管ユニットＵの形状に対応する断面半円形の嵌合溝を設ける。なお、断熱ブロック１１ａ，１１ｂに柔らかい素材を用いれば、嵌合溝は不要であり、貼り合わせるだけでよい。このような断熱ブロック１１ａ，１１ｂを用いることにより、外乱に伴う無用な放熱（吸熱）を防止できるとともに、熱交換管ユニットＵの傷付きを防止することができる。
【００２１】
次に、このような構成部品（構成部材）を用いた本実施形態に係る薬液用熱交換装置１の組付方法について、図１〜図５を参照して説明する。
【００２２】
まず、予め製造した熱交換管ユニットＵに対して伝熱ブロック２を装着する。この場合、ブロック半体２ｕ，２ｄにおける各直線嵌合溝２１…に、熱交換管ユニットＵにおける湾曲部Ｕｅ…を除く直線部を嵌合し、図２に示すように、ブロック半体２ｕ，２ｄを衝き合わせて組付ける。この際、各直線嵌合溝２１…には、必要により、シリコングリース等の不定形性伝熱媒体を塗布することができる。また、伝熱ブロック２と同様に、熱交換管ユニットＵに対して断熱ブロック１１ａ，１１ｂを装着する。
【００２３】
一方、図５に示すように、伝熱ブロック２の一方の熱交換面Ｃｕに、ペルチェ素子を用いたサーモモジュール２１ｕ…を付設するとともに、さらに、このサーモモジュール２１ｕ…の放熱面（吸熱面）に冷却部２２ｕを付設する。同様に、伝熱ブロック２の他方の熱交換面Ｃｄに、ペルチェ素子を用いたサーモモジュール２１ｄ…を付設するとともに、さらに、このサーモモジュール２１ｄ…の放熱面（吸熱面）に冷却部２２ｄを付設する。冷却部２２ｕ，２２ｄは、水冷式クーラを用いることができる。図５中、２３ｕ，２３ｄは、冷却部２２ｕ，２２ｄに冷却水を循環させる配水管を示す。なお、これらの各部品は、不図示の固定部材（金具等）及び固定具（ボルトナット等）などにより固定される。
【００２４】
これにより、図５に示す薬液用熱交換装置１が得られる。このような薬液用熱交換装置１によれば、フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３を所定間隔おきに順次湾曲することにより、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵが構成し、この熱交換管ユニットＵの一部を伝熱ブロック２内に埋設したため、部品点数及び製造工数の大幅な削減、更には製造工程の単純化により、熱交換装置１の小型コンパクト化を実現できるとともに、部品コスト及び製造コストに係わるコストダウンを図ることができる。しかも、薬液合流室などの外乱影響要因が排除されるため、熱交換効率の向上に寄与できる。なお、熱交換管ユニットＵは、一本の管部材のみで形成されることから薬液Ｌの液溜まり（淀み）を生じることがなく、ゴミ等が溜まりにくくなる利点もある。
【００２５】
他方、図１に示すように、熱交換管ユニットＵの上流側には、薬液Ｌを循環させる送液ポンプ１３を接続する。この構成が本発明の他の形態に係る薬液用熱交換装置１となる。このような構成、即ち、ジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵの一部を伝熱ブロック２内に埋設するとともに、熱交換管ユニットＵの上流側に薬液Ｌを循環させる送液ポンプ１３を接続すれば、送液ポンプ１３から付与される液圧は、フッソ系樹脂素材Ｆにより形成した熱交換管３（３ｐ…）を拡げる（膨らます）方向に作用し、熱交換管ユニットＵと伝熱ブロック２間における接触熱抵抗を低減できる。この結果、更なる熱交換効率の向上に寄与できる。なお、熱交換管ユニットＵの下流側に送液ポンプ１３を接続した場合には、熱交換管３を縮める方向に液圧が作用するため、長時間運転を行う際などには反って接触熱抵抗を増加させてしまう。
【００２６】
次に、本実施形態に係る薬液用熱交換装置１の機能について、図１〜図５を参照して説明する。
【００２７】
薬液用熱交換装置１により薬液Ｌを冷却する場合には、図５に示すサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…に通電して伝熱ブロック２の熱交換面Ｃｕ，Ｃｄを冷却する。この際、サーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…の放熱面からの放熱は、冷却部２２ｕ，２２ｄにより吸収される。
【００２８】
また、送液ポンプ１３を作動させ、図１に示すように、薬液Ｌを熱交換管ユニットＵの上流側となる流入口Ｕｉに供給する。流入口Ｕｉに供給された薬液Ｌは、熱交換管ユニットＵの流通経路Ｒｇをジグザグ状に流通し、熱交換管ユニットＵの流出口Ｕｏに至る。そして、流出口Ｕｏに至った薬液Ｌは、供給配管３１を介して薬液Ｌの使用される機器等に供給（循環）される。この際、熱交換管ユニットＵを流通する薬液Ｌは、熱交換面Ｃｕ，Ｃｄを介して熱交換、即ち、冷却される。
【００２９】
このように、本実施形態に係る薬液用熱交換装置１の場合、薬液Ｌは、接合部分が存在しない熱交換管ユニットＵを流通するため、Ｏリング等のシールリングを排除できる。通常、この種のシールリングは、薬液Ｌに強いフッソ系樹脂素材により形成されるため、シールリングが排除されることにより熱膨張率の転移点の考慮が不要となる。したがって、本実施形態に係る薬液用熱交換装置１では、−２０〜２００〔℃〕程度の広い調温範囲を確保できるとともに、液圧の使用圧力範囲を３〔ＭＰａ〕程度（ただし、正圧のみ）まで高めることができる。
【００３０】
次に、本発明の変更実施形態に係る薬液用熱交換装置１について、図６〜図９を参照して説明する。
【００３１】
図６は熱交換管ユニットＵの変更例を示す。図１〜図５に示した実施形態では、一本の熱交換管３を所定間隔おきに順次湾曲することによりジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成したが、図６に示す熱交換管ユニットＵは、直線に形成した複数の熱交換管３ｐ…を継手３ｃ…により順次接続することによりジグザグ状の流通経路Ｒｇを有する熱交換管ユニットＵを構成したものである。この場合、伝熱ブロック２は、必ずしも上下に二分割したブロック半体２ｕ，２ｄにより構成する必要なく、一体化した伝熱ブロック２に、熱交換管３ｐ…を挿通させる挿通孔を設けて構成してもよい。なお、継手３ｃ…には、フッソ系樹脂を接続する専用の継手、例えば、日本ピラー工業株式会社製などから販売されているフッソ系樹脂の専用継手を用いることができる。
【００３２】
図７は薬液用熱交換装置１の全体構成の変更例であり、二つの熱交換管ユニットＵ…を重ね合わせて用いる態様を示す。この場合、上側の熱交換管ユニットＵの伝熱ブロック２における上面の熱交換面Ｃｕに、サーモモジュール２１ｕ…を付設するとともに、下側の熱交換管ユニットＵの伝熱ブロック２における下面の熱交換面Ｃｄに、サーモモジュール２１ｄ…を付設する。これにより、熱交換管ユニットＵ…の使用数量が倍増するため、処理能力を高めることができるとともに、二つの熱交換管ユニットＵ…を並列接続することにより、圧力損失を低減できる。なお、３１…は、スプリング３２…及びボルトナット３３…を用いた複数の加圧部を示し、伝熱ブロック２…と各冷却部２２ｕ，２２ｄに挟まれるサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…に対する圧力管理（圧力調節）を行う。
【００３３】
図８は、薬液用熱交換装置１の組立に係わる変更例を示す。通常、薬液用熱交換装置１には、複数の加圧部３１…を付設し、伝熱ブロック２…と各冷却部２２ｕ，２２ｄに挟まれるサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…に対して適度な接触圧力が付加されるように維持されている。この加圧部３１…は、図７に示したように、スプリング３２…及びボルトナット３３…を用いている。しかし、薬液用熱交換装置１は、シールレス型として構成されるため、温度制御範囲を広くすることができ、この結果、伝熱ブロック２…の膨張又は収縮の繰り返しによりサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…に位置ズレを生じる虞れがある。このため、図８に示すように、加圧部３１…を、少なくともサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…の端辺を規制して位置ズレを阻止する位置に配した。これにより、様々な使用環境下であってもサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…の位置ズレを防止でき、無用な能力低下を回避することができる。このように、加圧部３１…は、サーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…に対する圧力設定機能と位置ズレ防止機能を兼用する。
【００３４】
図９は、薬液用熱交換装置１のサイズ変更例を示す。この薬液用熱交換装置１は、伝熱ブロック２の長手方向に沿って五列のサーモモジュール２１ｕ…を配したサイズを示す。このように、本実施形態に係る薬液用熱交換装置１を用いれば、熱交換管ユニットＵ及び伝熱ブロック２のサイズ変更のみで薬液用熱交換器１の能力を容易に変更でき、コストメリットを得ることができる。
【００３５】
なお、図６〜図９において、他の構成及び機能等は、図１〜図５に示した実施形態に準じて実施することができる。このため、図６〜図９の実施形態において、図１〜図５に示した実施形態と同一部分には同一符号を付してその構成を明確にするとともに、その詳細な説明は省略する。
【００３６】
以上、最良の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、このような実施形態に限定されるものではなく、細部の構成，形状，数量，数値等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更，追加，削除することができる。
【００３７】
例えば、熱交換管ユニットＵにおける少なくとも非直線部Ｕｅ…を、断熱材Ｍにより形成した断熱ブロック１１ａ，１１ｂにより覆った場合を示したが、少なくとも非直線部Ｕｅ…を、外面に形成した熱交換面が冷却又は加熱される伝熱性を有する伝熱材Ｓにより形成した伝熱補助ブロック１２ａ，１２ｂにより覆ってもよい。伝熱材Ｓとしては、伝熱ブロック２と同一の素材を用いることが望ましい。また、断熱ブロック１１ａ，１１ｂの場合と同様、上下に二分割したブロック半体１２ａｕ，１２ａｄ，１２ｂｕ，１２ｂｄにより構成することができる（図５参照）。したがって、伝熱補助ブロック１２ａ，１２ｂは、伝熱ブロック２に対して一体形成し、熱交換管ユニットＵの全部を伝熱ブロック２内に埋設するようにしてもよい。これにより、図５に示したサーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…に対する熱交換面積を伝熱補助ブロック１２ａ，１２ｂにおける熱交換面まで拡大させることができるため、外乱に伴う無用な放熱（吸熱）を防止できることに加え、熱交換面積の増加による熱交換能力をより高めることができる。なお、薬液Ｌには、例示した弗化アンモニウムや弗化水素酸などを含む薬液Ｌをはじめ、各種薬液を適用できるとともに、必要により水等の薬液以外の溶液にもそのまま利用することができる。また、サーモモジュール２１ｕ…，２１ｄ…の代わりに他の熱源（冷却源）を用いてもよく、熱源としては、例えば、ニクロム線式のヒータ等を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の最良の実施形態に係る薬液用熱交換装置における主要部の一部を破断した平面構成図、
【図２】同薬液用熱交換装置における熱交換管ユニット及び伝熱ブロックを示す断面正面図、
【図３】同薬液用熱交換装置における熱交換管ユニットの一部断面平面図、
【図４】同薬液用熱交換装置における伝熱ブロック半体を示す斜視図、
【図５】同薬液用熱交換装置の全体を示す外観側面図、
【図６】本発明の変更実施形態に係る薬液用熱交換装置の主要部の平面図、
【図７】本発明の変更実施形態に係る薬液用熱交換装置の主要部の正面図、
【図８】本発明の変更実施形態に係る薬液用熱交換装置の主要部の正面図、
【図９】本発明の変更実施形態に係る薬液用熱交換装置の主要部の平面図、
【符号の説明】
【００３９】
１：薬液用熱交換装置，２：伝熱ブロック，３：熱交換管，３ｐ…：熱交換管，３ｃ…：継手，１１ａ：断熱ブロック，１１ｂ：断熱ブロック，１２ａ：伝熱補助ブロック，１２ｂ：伝熱補助ブロック，１３：送液ポンプ，Ｃｕ：熱交換面，Ｃｄ：熱交換面，Ｃｕｅ：熱交換面，Ｃｄｅ：熱交換面，Ｌ：薬液，Ｆ：フッソ系樹脂素材，Ｒｇ：流通経路，Ｕ：熱交換管ユニット，Ｕｅ…：熱交換管ユニットの非直線部，Ｍ：断熱材，Ｓ：伝熱材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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