(57)【要約】【課題】省エネルギ化を図ることができるとともに、処理対象物の状態すなわち負荷状態に応じて過熱蒸気により適切かつ迅速に処理することができる過熱蒸気発生装置および過熱蒸気処理装置を提供する。【解決手段】過熱蒸気発生装置１として、バーナ３により加熱して飽和蒸気を発生させる蒸気ボイラ４と、蒸気ボイラ４が設けられている筐体５内に蒸気ボイラ４とともに一体的に配設され、蒸気ボイラ４で発生した飽和蒸気を、蒸気ボイラ４の排ガスによって加熱して過熱蒸気を発生させる加熱器６とを備え、バーナ３の燃焼量を調整可能に構成し、バーナの燃焼量を増加させることにより、過熱蒸気の蒸気発生量が増加すると同時に過熱蒸気の温度が上昇するよう構成した。【選択図】図１
2008032235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バーナにより加熱して飽和蒸気を発生させる蒸気ボイラと、
蒸気ボイラが設けられている筐体内に蒸気ボイラとともに一体的に配設され、前記蒸気ボイラで発生した飽和蒸気を、バーナの蒸気ボイラを通過した排ガスによって加熱して過熱蒸気を発生させる加熱器とを備え、
バーナの燃焼量を調整可能に構成し、バーナの燃焼量を増加させることにより、過熱蒸気の蒸気発生量を増加させると同時に過熱蒸気の温度を上昇させる構成とした過熱蒸気発生装置。
【請求項２】
過熱蒸気に係わる温度情報に応じてバーナの燃焼量を調整する制御手段を備え、
この制御手段は、過熱蒸気に係わる温度が低下するとバーナの燃焼量を増加させて、過熱蒸気の温度を上昇させるだけでなく過熱蒸気の蒸気発生量を増加させる請求項１記載の過熱蒸気発生装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の過熱蒸気発生装置と、この過熱蒸気発生装置で発生した過熱蒸気を導入して処理対象物を処理するプロセス装置とを備えた過熱蒸気処理装置。
【請求項４】
プロセス装置の処理室内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出手段からの温度情報に応じてバーナの燃焼量を調整する制御手段とを備え、制御手段は、プロセス装置の処理室内の温度が低下するとバーナの燃焼量を増加させるように制御する請求項３記載の過熱蒸気処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、過熱蒸気を発生させる過熱蒸気発生装置と、この過熱蒸気により加熱対象物を処理する機能も付加されている過熱蒸気処理装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
過熱蒸気は、加熱・焼成・焙煎・炭化・殺菌などの様々な用途で既に用いられており、食品・医療・環境機器等、多くの分野で注目を集めている。
例えば、特許文献１、２等には、過熱蒸気を用いて調理する過熱蒸気処理装置の一種である家庭用の加熱調理装置が開示されている。この種の比較的小型の過熱蒸気処理装置（加熱調理装置）は、図３に簡略的に示すように、蒸気発生用の電気ヒータなどの第１の加熱手段５１を有して飽和蒸気を発生させる蒸気発生装置５２を内蔵しており、この蒸気発生装置５２で発生した飽和蒸気を、被調理物が収納される処理室５３内に導入し、処理室５３内に導入された飽和蒸気を、別途に設けた電気ヒータや誘電加熱器などの第２の加熱手段５４により加熱することで、処理室５３内に過熱蒸気が満たされるよう構成し、処理室５３内に入れた処理対象物を過熱蒸気で加熱調理している。
【０００３】
また、これよりも大量の過熱蒸気を発生させ、この過熱蒸気を利用して処理対象物を処理する過熱蒸気処理装置も既に知られている。この種の過熱蒸気処理装置は、図４に簡略的に示すように、飽和蒸気を発生させるボイラ７１と、ボイラ７１で作られた飽和蒸気を加熱して過熱蒸気を発生させる加熱装置７２と、加熱装置７２で作られた過熱蒸気を用いて加熱処理などの処理を行うプロセス装置８０とがそれぞれ個別に設けられた構成であり、ボイラ７１と加熱装置７２とのそれぞれに個別にバーナ７３、７４が備えられている。つまり、ボイラ７１においては、バーナ７３からの熱によって飽和蒸気を発生させ、加熱装置７２においては、バーナ７４からの熱によって加熱装置７２に設けられた加熱用配管を加熱して過熱蒸気を発生させる。そして、一般には、ボイラ７１内のボイラ容器の圧力が適切な圧力となるようにバーナ７３の燃焼量が調整されながら稼動され、過熱蒸気が、所定の排出流量および所定の温度で加熱装置７２から排出されるよう構成されている。なお、飽和蒸気を加熱させる加熱装置７２では、バーナ７４の代わりに、電気ヒータやＩＨヒータなどが用いられる場合もある。
【０００４】
また、上記構成に加えて、例えば、加熱装置７２の過熱蒸気を排出する箇所に、過熱蒸気の温度を検出する温度センサ７５を取り付け、加熱装置７２における過熱蒸気の排出箇所の温度が設定温度になるように自動制御される機能が付加されたものもある。この場合、加熱装置７２には、図示しないが、過熱蒸気の温度を設定入力するデジタル入力装置等が設けられ、この入力設定温度となるように、加熱装置７２のバーナ７４が自動制御される。なお、図４におけるＸは過熱蒸気により処理される処理対象物、７６、７７は排ガスを排出する排ガス排出管である。
【０００５】
この種の過熱蒸気処理装置を使用する際には、ボイラ７１および加熱装置７２を稼動させて過熱蒸気を処理装置８０の処理室８２に送り込む。
また、温度制御機能が付加されている加熱装置７２を用いた場合には、係員により、プロセス装置８０の処理室８２内における処理対象物Ｘの処理状態を観察し、例えば、加熱処理が不足していると判断した場合には、加熱装置７２での設定温度が上がるようにデジタル入力装置から入力して、良好な処理状態となるように調整することが可能である。
【特許文献１】特開平１１−１４１８８１号公報
【特許文献２】特開２００４−２５１４７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図３に示すような過熱蒸気処理装置や、図４に示すような過熱蒸気処理装置の何れの場合にも、飽和蒸気を発生させるための第１の加熱手段（電気ヒータ）５１やバーナ７３と、飽和蒸気を加熱するための第２の加熱手段（電気ヒータ）５４やバーナ７４とをそれぞれ必要とする（すなわち、２つの加熱手段を必要とする）ため、多くのエネルギを要してエネルギ効率が悪くなり、省エネルギ化を図れない欠点がある。
【０００７】
また、図４に示す過熱蒸気処理装置は、バーナ７４としてＩＨヒータなどを用いた場合は、ＩＨヒータにより加熱装置７２の加熱管路だけを加熱する構成であるので、過熱蒸気処理装置の運転を終了して飽和蒸気が流れない状態となると、加熱装置７２の加熱用配管が一時的に極めて高い温度となって損傷する場合がある。したがって、このような不具合を生じないように、加熱装置７２の加熱用配管を冷却する冷却装置を別途に設けて、過熱蒸気処理装置の運転を終了した後でも、加熱用配管がある程度冷却されるまで冷却運転しなければならなかった。このため、冷却装置が必要となって製造コストの増加を招くとともに、過熱蒸気処理装置の運転終了時においても、加熱装置７２の冷却をしばらく続けなければならず、過熱蒸気処理装置の運転を迅速に終了できないという課題を生じていた。
【０００８】
また、図４に示すような過熱蒸気処理装置において、過熱蒸気の排出流量および温度が決まっている過熱蒸気処理装置を用いた場合には、プロセス装置８０の処理室８２に入れられた処理対象物Ｘの大きさや状態等によって、処理時の熱量が不足したり過大であったりする不具合を生じることがあり、このような不具合を生じないように、係員が経験に基づき、処理室８２で処理する時間等を調整するなど多くの手間がかかっていた。
【０００９】
また、排出される過熱蒸気の温度を調整できる機能が付加された加熱装置７２を用いた場合でも、実際には、処理室８２に入れられた処理対象物の状態を係員が見ながら判断して、温度調整することとなるので、良好な処理状態に維持するには、係員の経験などを必要とする場合が多かった。
【００１０】
また、従来の過熱蒸気処理装置では、処理対象物Ｘに対する処理する際の熱量が不足した場合には、係員が手動で過熱蒸気の設定温度を上昇させたり、別途、ボイラ７１から発生する飽和蒸気の流量を測定する流量計や蒸気流量調節弁を設けてこの蒸気流量調節弁での流量が増加するよう係員が操作する等の手段しかなく、熱量の不足などに素早く対処することができなかった。
【００１１】
また、これに対処する方法として、前記流量計や蒸気流量調節弁などを設けるとともに、加熱装置７２のバーナ７４の燃焼量を制御する制御手段により、蒸気流量調節弁も制御して飽和蒸気の流量を自動的に調整することが考えられる。しかし、この場合には、付加した流量計や蒸気流量調節弁の分だけさらに製造コストの増加を招いてしまうととともに、制御手段により飽和蒸気の流量と、過熱蒸気の温度との両者を制御しなければならないため、制御方法が複雑になるという課題も生じる。
【００１２】
本発明は上記欠点や課題を解決するもので、省エネルギ化を良好に図ることができるとともに、処理対象物の状態、すなわち負荷状態に良好に対応させて過熱蒸気を送り込むことができて、処理対象物を過熱蒸気により適切かつ迅速に処理できる過熱蒸気発生装置および過熱蒸気処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記不具合や課題を解決するために本発明の過熱蒸気発生装置は、バーナにより加熱して飽和蒸気を発生させる蒸気ボイラと、蒸気ボイラが設けられている筐体内に蒸気ボイラとともに一体的に配設され、前記蒸気ボイラで発生した飽和蒸気を、バーナの蒸気ボイラを通過した排ガスによって加熱して過熱蒸気を発生させる加熱器とを備え、バーナの燃焼量を調整可能に構成し、バーナの燃焼量を増加させることにより、過熱蒸気の蒸気発生量を増加させると同時に過熱蒸気の温度を上昇させる構成としたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の過熱蒸気発生装置は、上記構成に加えて、過熱蒸気に係わる温度情報に応じてバーナの燃焼量を調整する制御手段を備え、この制御手段は、過熱蒸気に係わる温度が低下するとバーナの燃焼量を増加させて、過熱蒸気の温度を上昇させるだけでなく過熱蒸気の蒸気発生量を増加させることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の過熱蒸気処理装置は、前記過熱蒸気発生装置と、この過熱蒸気発生装置で発生した過熱蒸気を導入して処理対象物を処理するプロセス装置とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の過熱蒸気処理装置は、上記構成に加えて、プロセス装置の処理室内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出手段からの温度情報に応じてバーナの燃焼量を調整する制御手段とを備え、制御手段は、プロセス装置の処理室内の温度が低下するとバーナの燃焼量を増加させるように制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によると、蒸気ボイラで発生した飽和蒸気を、バーナの蒸気ボイラを通過した排ガスによって加熱して過熱蒸気を発生させる構成とすることにより、１つのバーナだけで、飽和蒸気の発生と、飽和蒸気の加熱による過熱蒸気の発生との両方の機能を果たすことができ、その結果、２つのバーナなどの加熱手段を必要とする従来構成と比較して、省エネルギ化を良好に図ることができる。また、加熱器は、蒸気ボイラを通過した排ガスが供給されて加熱される構造であるので、過熱蒸気発生装置の運転終了時に、加熱器を冷却せずに過熱蒸気発生装置全体を完全に停止させても、加熱器があまり高い温度（加熱器の加熱用配管の耐熱温度）とならないで、支障を来たすことがなく、この結果、過熱蒸気発生装置の運転終了時に、加熱器に対する冷却運転を行うことなく、運転を迅速に完全終了させることができる。また、１つのバーナにより飽和蒸気の発生と過熱蒸気の発生との両方の機能を行わせる構造であるので、バーナの燃焼量を増加させると、過熱蒸気の蒸気発生量が増加すると同時に過熱蒸気の温度が上昇する。したがって、処理対象物に対する処理する際の熱量が不足した場合に、バーナの燃焼量を増加させることで、過熱蒸気の温度が上昇するだけでなく蒸気発生量も増加し、これにより、熱量の不足を迅速に補うことができて、いわゆる良好な応答性能を得る（熱量の不足に追従してこの熱量の不足を迅速に補う）ことができる。
【００１８】
また、過熱蒸気に係わる温度情報に応じてバーナの燃焼量を調整する制御手段を備えることで、処理対象物の負荷による過熱蒸気の温度低下に応じて、バーナの燃焼量を増加させるなど良好に調整することができ、この結果、係員の経験などを必要としたり手間をかけたりすることなく、処理対象物の負荷に良好に対応して過熱蒸気を供給できて、良好に処理することができる。
【００１９】
また、過熱蒸気処理装置として、過熱蒸気発生装置で発生した過熱蒸気を導入して処理対象物を処理するプロセス装置を備え、プロセス装置の処理室内の温度を検出する温度検出手段と、この温度検出手段からの温度情報に応じてバーナの燃焼量を調整する制御手段とを設けて、制御手段により、プロセス装置の処理室内の温度が低下するとバーナの燃焼量を増加させるように制御することで、プロセス装置の処理室内に処理対象物を入れて処理した際に、処理対象物の負荷により処理室内の温度が低下した場合でも、この温度の低下を検知してバーナの燃焼量を増加させるなど良好に調整することができ、この結果、係員の経験などを必要としたり手間をかけたりすることなく、処理対象物の負荷に応じて良好に処理することができる。また、バーナの燃焼量の増加に伴って、過熱蒸気の温度が上昇するだけでなく蒸気発生量も増加するので、処理室内の温度に応じてバーナの燃焼量を制御するだけで済み、制御も比較的容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１に示すように、本発明の実施の形態に係る過熱蒸気処理装置は、過熱蒸気を発生させる過熱蒸気発生装置１と、この過熱蒸気発生装置１で発生した過熱蒸気を導入して処理対象物Ｘを処理するプロセス装置２とを備えており、過熱蒸気発生装置１には、これらを制御する制御部２０が内蔵されている。また、過熱蒸気発生装置１は、バーナ３により加熱して飽和蒸気を発生させる蒸気ボイラ４と、蒸気ボイラ４が設けられている筐体５内に蒸気ボイラ４とともに一体的に配設され、蒸気ボイラ４で発生した飽和蒸気を、蒸気ボイラ４の排ガスによって加熱して過熱蒸気を発生させる加熱器６と、前述した制御部２０とから構成されている。すなわち、１つの筐体５の内部に、蒸気ボイラ４と加熱器６とが並べられて配設され、これらの蒸気ボイラ４と加熱器６とが、１つのバーナ３により加熱される。そして、バーナ３により、蒸気ボイラ４が加熱されてこの蒸気ボイラ４内において飽和蒸気を発生させ、これと同時に蒸気ボイラ４の排ガスによって加熱器６が加熱され、この加熱器６内において過熱蒸気を発生させる。
【００２１】
なお、蒸気ボイラ４で発生した飽和蒸気は、第１の接続配管７を介して、加熱器６に流入するよう接続されている。また、９は加熱器６で発生した過熱蒸気を、プロセス装置２に流入するよう接続する第２の接続配管、１２は過熱蒸気発生装置１の排ガスを排出する排ガス排出管である。
【００２２】
また、この実施の形態では、図１に簡略的に示すように、加熱器６における排ガスが排出される領域の排ガス流れ方向上流側箇所に、加熱器６の飽和蒸気を加熱する配管の下流側部分８Ｂを配設し、加熱器６における排ガスが排出される領域の排ガス流れ方向下流側箇所に、加熱器６の飽和蒸気を加熱する配管の上流側部分８Ａを配設している。これにより、加熱器６の配管に流入した飽和蒸気は、排ガス排出領域の上流側で既に吸熱されたことで温度が低めになっている排ガス流れ方向下流側箇所にまず流れ込んで加熱され、この後、比較的温度が高い排ガス排出領域の上流側箇所に流れ込んで加熱される。すなわち、常にある程度、排熱側と吸熱側との温度差がある状態で熱を吸収するため、良好な熱効率で加熱されることとなる。なお、このような配置にすることで、特に熱効率が良好となる利点があるものの、この配置構成に限るものではない。
【００２３】
プロセス装置２には処理対象物Ｘが入れられる処理室１０が設けられ、この処理室１０に、過熱蒸気発生装置１で発生した過熱蒸気が導入されて処理対象物Ｘが処理される。ここで、処理室１０には、処理室１０内の温度を検出する温度検出手段としての温度センサ１１が配設されている。そして、制御部２０は、処理室１０の温度情報に応じてバーナ３の加熱量を調整する。また、この実施の形態では、制御部２０に、処理室１０内の処理設定温度を入力する入力部２１が設けられ、また、処理室１０の温度などの情報を表示する表示部２２も設けられている。なお、制御部２０が過熱蒸気発生装置１に内蔵されている場合を述べたが、これに限るものではなく、制御部２０を過熱蒸気発生装置１に内蔵する代わりに、プロセス装置２に設けたり、過熱蒸気発生装置１やプロセス装置２とは別個に設けたりすることも可能である。
【００２４】
制御部２０は、入力部２１から入力された設定温度と、温度センサ１１により検知した処理室１０内の温度情報とに基づいて比較判定し、処理室１０内の温度が低くて、設定温度との差が大きいとバーナ３の燃焼量を高めて発生熱量を増加させ、処理室１０内の温度が設定温度に近づくと、バーナ３の燃焼量を低減させて発生熱量を減少させるように制御する。
【００２５】
ここで、図２は、バーナ３の燃焼量（実際には燃料の消費量）と、過熱蒸気温度、過熱蒸気流量（過熱蒸気温度と過熱蒸気流量とは同じ左側の目盛りに対応した値としており、点線部分が過熱蒸気温度を示し、鎖線部分が熱蒸気流量を示している。）、蒸気ボイラ４の圧力との関係を概略的に示すものである。本発明では制御部２０によりバーナ３を制御するが、同図にも示すように、制御部２０によりバーナ３を、その燃焼量が無段階に調整可能な状態で制御する。また、加熱器６に蒸気ボイラ４の排ガスを導入し、この排ガスによって飽和蒸気を加熱して過熱蒸気を発生させる構成であるので、バーナ３の燃焼量の増加に伴って、過熱蒸気発生装置１から導入する過熱蒸気の温度を上昇させると同時に過熱蒸気の蒸気発生流量も増加させる。つまり、バーナ３の燃焼量を増大させることで、蒸気ボイラ４における吸熱量と加熱器６における吸熱量との両者が増大するため、蒸気ボイラ４での飽和蒸気の発生流量、ひいては過熱蒸気の発生流量が増加し、かつ、加熱器６で発生する過熱蒸気の温度も上昇する。すなわち、
熱量＝ｆ（過熱蒸気温度）×過熱蒸気流量
の関係を維持しながら（なお、ｆ（過熱蒸気温度）は過熱蒸気温度の関数である）、設定温度（目標温度）との温度差に応じて燃焼量を調整するよう構成されている。
【００２６】
これにより、処理室１０に処理対象物Ｘとして負荷の大きなものが導入されるなどして、処理室１０の温度が急激に低下した場合には、自動的にバーナ３の燃焼量が増加されるが、この際に、過熱蒸気発生装置１で発生する過熱蒸気の温度が上昇されるだけでなく、同時に過熱蒸気の発生流量も増加されるので、処理対象物Ｘに与える熱量も大きな量に素早く切り替えられ、処理対象物Ｘを良好かつ迅速に加熱処理などすることができ、良好な応答性能（負荷追従性能）を得ることができる。
【００２７】
また、処理室１０から処理対象物Ｘが取り出されて負荷が無くなったり、処理対象物Ｘとして負荷が極めて小さいものであった場合などには、バーナ３の燃焼量も最小限に抑えられて、過熱蒸気発生装置１で発生する過熱蒸気の温度が維持され、過熱蒸気の発生流量も少なめに維持される。したがって、このように負荷がない場合や負荷が小さい場合においても、これに良好に対応して、処理室１０室内が安定した状態に保持される。
【００２８】
また、上記構成によれば、蒸気ボイラ４で発生した飽和蒸気を、蒸気ボイラ４の排ガスによって加熱して過熱蒸気を発生させるよう構成したので、１つのバーナ３だけで、飽和蒸気の発生と、飽和蒸気の加熱による過熱蒸気の発生との両方の加熱機能を果たすことができ、その結果、２つのバーナなどの加熱手段を必要とする従来構成と比較して、製造コストを低減できるとともにバーナの燃料代なども低減できる上に、エネルギ効率が良好となり、省エネルギ化を良好に図ることができる。
【００２９】
また、プロセス装置２の処理室１０内の温度に応じてバーナ３の燃焼量を調整する構成としたので、処理室１０内に処理対象物Ｘを入れて処理した際に、処理室１０内温度が低下した場合でも、この温度低下を自動的に検知してバーナ３の燃焼量が増加されて、良好な加熱状態に調整される。すなわち、係員の経験などを必要とすることなく、処理対象物Ｘの負荷に応じて良好に処理することができ、作業能率が良好でかつ信頼性も向上する。
【００３０】
また、バーナの燃焼量の増加に伴って、過熱蒸気の温度が上昇するだけでなく蒸気発生量も増加するので、処理室内の温度に応じてバーナの燃焼量を制御するだけで蒸気発生量も自動的に調整され、この結果、制御部２０の制御を比較的容易に行うことができて、制御の複雑化によるコストの増大等を招くことがない。
【００３１】
また、加熱器６は、バーナ３の蒸気ボイラ４を通過した排ガスが供給されて加熱される構造であるので、過熱蒸気発生装置１の運転終了時に、加熱器６を冷却せずに過熱蒸気発生装置全体を完全に停止させても、加熱器６があまり高い温度（加熱器６の加熱用配管の耐熱温度以上）とならない。したがって、過熱蒸気発生装置１の運転終了時には、加熱器６の冷却などを行わずにそのまま停止させても支障を来たすことがなく、過熱蒸気発生装置１の運転を迅速に完全終了させることができる。したがって、係員なども運転終了時の作業等を迅速に行うことができ、作業能率が良好となる。
【００３２】
なお、上記実施の形態では、プロセス装置２の処理室１０内の温度に応じてバーナ３の燃焼量が自動的に調整される場合を述べたが、これに限るものではなく、例えば、バーナ３の燃焼量を百分率（％）で表示し、この燃焼量をデジタル入力、または、操作つまみ等で調節して、これに対応するように制御してもよい。
【００３３】
また、上記実施の形態では、温度センサ１１によりプロセス装置２の処理室１０内の温度を検出するよう構成し、これにより、処理対象物Ｘとして負荷の大きなものが導入されるなどした場合にも、処理対象物Ｘの負荷に応じた温度変化を素早く検知できるとともに、この温度の低下を検知して処理対象物Ｘを良好かつ迅速に加熱処理などすることができ、良好な応答性能（負荷追従性能）を得ることができる場合を述べた。しかし、上記実施の形態に限るものではなく、温度センサ１１を、過熱蒸気発生装置１で発生した過熱蒸気をプロセス装置２に流入するように接続する第２の接続配管９の途中経路に設けたり、過熱蒸気発生装置１の加熱器６に設けられた飽和蒸気を加熱する配管の下流端部分（すなわち、過熱蒸気発生装置１における過熱蒸気発生流路の出口）に配設してもよい。
【００３４】
また、上記実施の形態では、プロセス装置２として、処理対象物Ｘを処理室１０にその都度出し入れする、いわゆるバッチ式のものを採用した場合を図示したが、これに限るものではないことは申すまでも無く、コンベヤ装置等の搬送手段により連続して処理対象物を出し入れする連続式のプロセス装置の場合にも対応させることが可能である。
【００３５】
また、本発明の過熱蒸気処理装置は、あらゆるプロセス装置の過熱蒸気熱源として利用可能であり、その仕様用途としては、加熱処理以外の処理、例えば、解凍、焼成、乾燥、殺菌、脱油などの処理や、無酸素加熱や化学反応熱源としても用いることができる。
【００３６】
なお、上記実施の形態における蒸気ボイラ４とは、燃料を燃焼することで容器内の水を加熱して蒸気を発生させるものであればよく、ボイラー規則で定義されているボイラーだけでなく、簡易ボイラーや小型ボイラーなども蒸気ボイラ４として良好に用いることができることは言うまでもない。
【００３７】
また、本実施の形態では、過熱蒸気発生装置１とプロセス装置２とを備えた過熱蒸気処理装置の場合を述べたが、これに限るものではなく、販売体系として過熱蒸気発生装置１を単体で販売し、ユーザー側が準備したプロセス装置２に、過熱蒸気発生装置１を接続するよう構成してもよいことはもちろんである。この場合には、ユーザー側が準備したプロセス装置２の処理室１０に温度センサ１１等を組付けて、この温度センサ１１からの温度情報を過熱蒸気発生装置１に設けた制御部２０に入力するように構成してもよいが、これに限るものではなく、上記したように過熱蒸気発生装置１１における過熱蒸気発生流路の出口に温度センサを配設して制御するよう構成してもよい。また、この場合も、温度検出箇所の温度を表示させ、入力された設定温度になるように制御してもよいが、上述したように、バーナ３の燃焼量を百分率（％）で表示し、この燃焼量を係員などが入力することで調節可能に構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態にかかる過熱蒸気処理装置を簡略的に示した図である。
【図２】同過熱蒸気処理装置のバーナの燃焼量（実際には燃料の消費量）と、過熱蒸気温度、過熱蒸気流量、蒸気ボイラの圧力との関係を示す図である。
【図３】従来の過熱蒸気処理装置を簡略的に示した図である。
【図４】その他の従来の過熱蒸気処理装置を簡略的に示した図である。
【符号の説明】
【００３９】
１      過熱蒸気発生装置
２      プロセス装置
３      バーナ
４      蒸気ボイラ
５      筐体
６      加熱器
１０    処理室
１１    温度センサ
２０    制御部
Ｘ      処理対象物
【図１】
2008032235.tif 000003
【図２】
2008032235.tif 000004
【図３】
2008032235.tif 000005
【図４】
2008032235.tif 000006