(57)【要約】【課題】容易に板側面に付着する異物を除去することにより安定した品質を保つことが可能であるとともに、製造が容易でかつ安価な洗浄装置を提供する。【解決手段】水平搬送された基板を洗浄する装置において、前記基板を積載して水または薬品を満たした槽に浸漬し、前記基板の側面方向に超音波発振板を備え、超音波により基板端面を洗浄する基板の洗浄装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平搬送された基板を洗浄する装置において、前記基板を積載して水または薬品を満たした槽に浸漬し、前記基板の側面方向に超音波発振板を備え、超音波により基板端面を洗浄することを特徴とする基板の洗浄装置。
【請求項２】
基板が、印刷配線板又は銅張積層板である請求項１に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷配線板又は銅張積層板の洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷配線板又は銅張積層板は、エポキシあるいはフェノール等のプラスチック樹脂を使用されることから、切断時に樹脂粉が発生し前記板側面に付着し、後工程で欠落し異物となり各種欠陥の原因となる。しかしながら、印刷配線板又は銅張積層板の洗浄装置は、水平搬送と同時に水または薬品を搬送される板に対し上及び下方からスプレー噴霧することにより前記板を洗浄する装置の構造が一般的であるため、板側面に付着する異物の除去率が極めて低いという不具合があり、異物や塵埃により品質悪化を招く工程特に回路加工工程等においては不向きである。
【０００３】
そのため特開２００３−２８３１１１に記されるような、異物や塵埃除去性を重視した洗浄装置として、ゴム性ロール等により洗浄槽を密閉化して水または薬品を貯め、同槽内に超音波発信機を設置し槽内にある板に振動を与えることにより印刷配線板又は銅張積層板表裏及び側面に付着する異物、塵埃を除去する装置、あるいは側面より水又は薬品を噴霧する固定ノズルを配し、側面に付着する異物、塵埃を除去する装置が考案されている。また特開２００３−３２４２６９号公報に記されるように、印刷配線板又は銅張積層板の上下及び側面から洗浄液を噴霧し、側面より薬品を噴霧するノズルが印刷配線板又は銅張積層板の搬送を妨げないよう、噴霧方向が変動することを特徴とする洗浄装置が考案されている。
【０００４】
他の手段としては特開平５−２７５８５２号公報、特開平４−１９６２９１号公報に記されるように印刷配線板又は銅張積層板側面を樹脂層で被覆することにより異物、塵埃発生を防止する方法も採用されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３２４２６９号公報
【特許文献２】特開平５−２７５８５２号公報
【特許文献３】特開平４−１９６２９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
印刷配線板又は銅張積層板を水平搬送すると同時に、水又は薬品をスプレー噴霧することにより前記板を洗浄する装置においては、搬送される被洗浄体に対し上及び下方からスプレー噴霧し板表裏に付着する異物、塵埃を除去する方式が簡単であり装置設計及び製造が容易でかつ安価であるという長所があるが、被洗浄体側面に付着する異物の除去率が極めて低く、異物や塵埃により品質悪化を招く工程における使用は不向きである。
【０００７】
異物や塵埃除去性を重視した洗浄装置として、ゴム性ロール等により洗浄槽を密閉化して水または薬品を蓄え、同槽内に超音波発信機を設置し槽内にある板に振動を与えることにより被洗浄体表裏及び側面部に付着する異物、塵埃を除去する水平搬送式洗浄装置においては、被洗浄体側面に付着する異物の除去も容易であるが、十分な洗浄効果を得るためには長時間の処理時間が必要となるため搬送時間が長くなり生産性の低下、または装置の大型化が必要となり高価な設備となる。また装置の構造が複雑化することから前記構造の洗浄装置に比較し高価な装置になり、さらには設備保全性が悪化するという短所がある。
側面より洗浄液を噴霧する固定ノズルを配し、側面に付着する異物、塵埃を除去する装置では、厚みが０．２ｍｍ、あるいは０．１ｍｍといった薄い銅張積層板においては側面からの噴霧により板があおられ搬送時の折れ、搬送コンベア間での引っかかり等の不具合が発生する。
【０００８】
また、特開平５−２７５８５２号公報、特開平４−１９６２９１号公報に記されるように被洗浄体側面を樹脂層で被覆することにより異物、塵埃発生を防止する方法においては、被覆する工程が増加し工程が複雑化するといった欠点がある。本発明はこうした問題点を解消し、容易に板側面に付着する異物を除去することにより安定した品質を保つことが可能であるとともに、製造が容易でかつ安価な洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は以下に関する。
（１）水平搬送された基板を洗浄する装置において、前記基板を積載して水または薬品を満たした槽に浸漬し、前記基板の側面方向に超音波発振板を備え、超音波により基板端面を洗浄することを特徴とする基板の洗浄装置。
（２）基板が、印刷配線板又は銅張積層板である（１）に記載の洗浄装置。
【発明の効果】
【００１０】
容易に板側面に付着する異物を除去することにより安定した品質を保つことが可能であるとともに、製造が容易でかつ安価な洗浄装置を提供することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は印刷配線板又は銅張積層板を水平搬送する装置に付帯する投入装置において、前記板を積載して水または薬品を満たした槽に浸漬し、前記板の側面方向に超音波発振板を備え、超音波により印刷配線板又は銅張積層板端面を洗浄することを特徴とする印刷配線板の洗浄装置である。本発明によれば水平搬送に至る前の待機時間に十分な端面の洗浄効果が得られることから、品質の安定化が可能となる。
【００１２】
さらに、水平搬送する処理装置、洗浄装置においては、一般的な装置で対応可能であるため、装置の複雑化、高額化を伴わず、また厚みが０．１ｍｍの薄い銅張積層板において搬送時の折れ、搬送コンベア間での引っかかり等による歩留悪化は発生しない。超音波は、側面に付着する異物、塵埃の除去効率を向上させるため、２０ｋＨｚ〜５０ｋＨｚの周波数とし、超音波発振板の長さは処理すべき印刷配線板又は銅張積層板の片の長さ以上、かつ高さを前記板の積載高さ以上とするのが好ましい。また前記板から超音波発振版までの距離は５〜２０ｃｍ、さらには５〜１０ｃｍの距離に備えるのが好ましい。洗浄液は廃液処理性を考慮し、水を用いるのが好ましい。また洗浄時間は２分以上が好ましく、さらに好ましくは５分以上である。
【００１３】
図１に示すように、印刷配線板又は銅張積層板の投入装置において、前記板を積載し、板の側面方向に超音波発振板を備え、水または薬品を満たした槽に浸漬し、超音波により印刷配線板又は銅張積層板端面を洗浄することで、側面部に付着する被洗浄体切断粉等の異物、塵埃の除去性が向上される。
【実施例】
【００１４】
（実施例１）
厚み１．０ｍｍで銅箔厚みが１８μｍのガラスエポキシ基材の両面銅張積層板「ＭＣＬ−Ｅ−６７」（日立化成工業株式会社製、商品名）を切断圧２０トンで３０ｃｍ×３０ｃｍの大きさに切断した。ついで、前記銅張積層板を１００枚重ねた後槽に浸漬し、大きさ縦１５ｃｍ×横３０ｃｍ、周波数３５ｋＨｚの超音波振動板４枚を銅張積層板の端面４辺と平行となり、前記板から１０ｃｍの位置に配置し５分間洗浄を行った。
【００１５】
その後、図３の水平搬送式洗浄装置を用いて、銅張積層板の上下から０．２ＭＰａの圧力で工業用水を１分間噴霧洗浄し、８０℃の熱風により１５秒間乾燥した。なお、噴霧には噴角９０度、均等圧力のフラット型スプレーを使用し、吐出量は７．８Ｌ／分として、処理試料端部より１５ｃｍの距離から噴霧した。積層板を水平に置いたガラス板上に高さ５ｃｍから垂直に落下させ、ガラス板上に脱落した樹脂粉を倍率１００倍の実体顕微鏡で計測して付着樹脂粉の数を求めた。積層板の周囲長あたりの付着樹脂粉を表１に示す。なお、試料５個を用いて行った。
【００１６】
（比較例１）
実施例１と同様にして切断した銅張積層板を、図３の従来の水平搬送式洗浄装置を用いて、実施例１と同様にして洗浄を行い、付着樹脂粉の数を求めた。結果を表１に示した。
【００１７】
（比較例２）
図４の従来の水平搬送式超音波洗浄機を用いて、実施例１と同様にして切断した銅張積層板を工業用水に浸漬し、超音波による洗浄を行った。超音波発信機は大きさが３０ｃｍ×３０ｃｍ、振動数３５ｋＨｚのものを用いた。搬送時間は１分間とした。実施例１と同様に付着樹脂粉を求めた。結果を表１に示した。
【００１８】
（比較例３）
図５の従来の水平搬送式洗浄装置を用いて、側面からの工業用水噴霧を銅張積層板に対し側方９０度からの固定噴霧としたほかは実施例１と同様にして洗浄を行ったが、搬送コンベア間の引っかかりにより試料作製不可能であった。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
本発明による洗浄装置により、厚み０．１ｍｍ以下の薄い銅張積層板おいても折れ、引っかかり等の不具合なく、側面部に付着する切断粉等の異物、塵埃を容易に除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明による洗浄装置の概略説明図である。
【図２】本発明による、洗浄装置の詳細説明図である。
【図３】従来装置による比較例１の洗浄装置の概略説明図である。
【図４】従来装置による比較例２の洗浄装置の概略説明図である。
【図５】従来装置による比較例３の洗浄装置の概略説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
１：超音波発振板
２：印刷配線板又は銅張積層板
３：水又は薬品を満たした槽
４：搬送コンベア被洗浄体側面洗浄用可動式
５：スプレーノズル
６：被洗浄体側面洗浄用スプレーノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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