(57)【要約】【課題】  外観検査の精度を向上させることのできる技術を提供する。【解決手段】  予め、基準となる製品を撮影して取得した画像データを分割し、所定の形式で変換したファイルのサイズを取得しておく。検査対象の製品を撮影した画像を分割し、おなじ形式で変換する。基準製品のファイルサイズと、検査対象製品のファイルサイズとを比較し、差分が所定値以上であれば、不合格の可能性有りと判定する。【選択図】  図１
2008224490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準となる物の画像データを第１の方式で変換した場合の画像データのデータ量（以下、第１の基準データ量）と、前記第１の方式で変換した場合の画像データを前記第１の方式とは異なる第２の方式で変換した場合の画像データのデータ量（以下、第２の基準データ量）とを記憶する記憶装置と、
検査対象の物を撮影するカメラと、
前記カメラにより撮影された画像データを、前記第１の方式で変換する第１の変換手段と、
前記第１の方式で変換された画像データのデータ量と、前記第１の基準データ量との差分を取得し、該各差分が所定値以上であるか否か判定する第１の比較手段と、
前記判定の結果、差分が所定値以上である場合、前記変換された画像データを、前記第２の方式で変換する第２の変換手段と、
前記第２の方式で変換された画像データのデータ量と、前記第２の基準データ量との差分を取得し、該各差分が所定値以上であるか否か判定する第２の比較手段と、
前記判定結果を出力装置に出力する出力処理手段と、を有すること
を特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
基準となる物の画像データを複数の領域に分割し、分割した領域の各々の画像データを第１の方式で変換した場合の画像データのデータ量（以下、第１の基準データ量）と、前記第１の方式で変換した場合の画像データの各々を複数の領域に分割し、該分割した領域の各々の画像データを前記第１の方式とは異なる第２の方式で変換した場合の画像データのデータ量（以下、第２の基準データ量）とを記憶する記憶装置と、
検査対象の物を撮影するカメラと、
前記カメラにより撮影された画像データを、前記基準となる物と同じ複数の領域に分割する第１の分割手段と、
前記分割した領域の各々の画像データを、前記第１の方式で変換する第１の変換手段と、
前記分割した領域毎に、前記第１の方式で変換された画像データのデータ量と、前記第１の基準データ量との差分を取得し、該各差分が所定値以上であるか否か判定する第１の比較手段と、
前記差分が所定値以上である領域の画像データの各々を、前記基準となる物と同じ複数の領域に分割する第２の分割手段と、
前記分割した領域の各々の画像データを、前記第２の方式で変換する第２の変換手段と、
前記分割した領域毎に、前記第２の方式で変換された画像データのデータ量と、前記第２の基準データ量との差分を取得し、該各差分が所定値以上であるか否か判定する第２の比較手段と、
前記領域毎の判定結果を出力装置に出力する出力手段と、を有すること
を特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品の外観検査に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、工場等では、製品の外観検査を外観検査機により行なっている。この外観検査機は、製品の検査対象部を撮影した画像と、予め設定してあるＣＡＤデータ等から作成したデータとを比較することにより検査している。
【０００３】
特許文献１には、被検査製品を撮影した画像データから外観検査を行なう技術が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−４８１４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の外観検査技術は、虚報が多く、不良でないものが不良と判定される場合もある。また、不良であっても、見つけることができない場合もある。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、外観検査の精度を向上させることのできる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記の目的を達成するためになされたもので、基準となる物の画像データを第１の方式で変換した場合の画像データのデータ量（以下、第１の基準データ量）と、前記第１の方式で変換した場合の画像データを前記第１の方式とは異なる第２の方式で変換した場合の画像データのデータ量（以下、第２の基準データ量）とを記憶する記憶装置と、検査対象の物を撮影するカメラと、前記カメラにより撮影された画像データを、前記第１の方式で変換する第１の変換手段と、前記第１の方式で変換された画像データのデータ量と、前記第１の基準データ量との差分を取得し、該各差分が所定値以上であるか否か判定する第１の比較手段と、前記判定の結果、差分が所定値以上である場合、前記変換された画像データを、前記第２の方式で変換する第２の変換手段と、前記第２の方式で変換された画像データのデータ量と、前記第２の基準データ量との差分を取得し、該各差分が所定値以上であるか否か判定する第２の比較手段と、前記判定結果を出力装置に出力する出力処理手段と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の技術によれば、異なる方式で変換した各々の画像データのデータ量を比較することにより、外観検査の精度を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
まず、図１を参照し、本実施形態の構成例について説明する。検査装置１００は、プリント基板１８０の画像データから、外観検査を行なう。ここでは、複数のプリント基板１８０がベルトコンベア等の任意の搬送装置により、固定された検査装置１００の前を一旦停止して通過し、一旦停止したときに、検査装置１００がプリント基板１８０の撮影を行なうものとする。
【００１１】
検査装置１００の構成例について説明する。
【００１２】
検査装置１００は、演算装置１０１、メモリ１０２、記憶装置１０３、入力装置１０４、出力装置１０５、カメラ１０６等を有する。これらはバス１０７により接続される。
【００１３】
演算装置１０１は、例えば、ＣＰＵ（central processing unit）等である。記憶装置１０３は、例えば、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、シリコンディスク等の書き込み及び読出し可能な記録媒体等である。入力装置１０４は、例えば、キーボード、マウス、スキャナ等である。出力装置１０５は、例えば、ディスプレイ、プリンタ、スピーカ等である。カメラ１０６は、プリント基板１８０を撮影するためのものである。
【００１４】
記憶装置１０３は、プログラム１３１、基準情報テーブル１３２、結果情報テーブル１３３、画像テーブル１３４等を有する。プログラム１３１は、後述する機能を実現する。基準情報テーブル１３２は、プリント基板１８０の外観検査の基準となるデータを格納する。結果情報テーブル１３３は、検査結果を格納する。画像テーブル１３４は、プリント基板１８０を撮影した画像データを格納する。これらのテーブルの詳細は後述する。
【００１５】
演算装置１０１は、メモリ１０２にロードしたプログラム１３１を実行することにより、撮影制御部１１１、第１分割部１１２、第１変換部１１３、第１比較部１１４、第２分割部１１５、第２変換部１１６、第２比較部１１７、出力制御部１１８等を実現する。
【００１６】
撮影制御部１１１は、カメラ１０６を制御して、プリント基板１８０を撮影した画像データを取得する。第１分割部１１２は、撮影した画像データから検査対象の領域を抽出して分割する。第１変換部１１３は、分割した領域毎の画像データを変換する。第１比較部１１４は、変換した画像データの各々のファイルサイズと、基準情報テーブル１３２内の基準となるファイルサイズとを比較して、差分が所定閾値以上であるか否か判定する。第２分割部１１５は、差分が所定閾値以上である領域の画像データをさらに分割する。第２変換部１１６は、分割した画像データの各々を変換する。第２比較部１１７は、変換した画像データの各々のファイルサイズと、基準情報テーブル１３２内の基準となるファイルサイズとを比較して、差分が所定閾値以上であるか否か判定する。出力制御部１１８は、判定結果を出力装置１０５等に出力する。
【００１７】
ここで、図２を参照し、本実施形態の技術について説明する。
【００１８】
図２において、画像２０１は、プリント基板１８０の全体を撮影した画像データの一部の例である。この画像２０１のファイルサイズは、３０９バイトであるものとする。検査装置１００は、画像２０１を、他のデータ形式に変換する。画像２０２は、この画像２０１の画像データを他のデータ形式に変換した場合の例である。画像２０２のファイルサイズは、２９２バイトとなる。検査装置１００は、画像２０２を他のデータ形式に変換する。画像２０３は、この画像２０２の画像データを他のデータ形式に変換した場合の例である。画像２０３のファイルサイズは、３８４バイトとなる。
【００１９】
このように、画像データを他のファイル形式に変換することで、リファレンスとなる画像データのファイルサイズとの差分が拡大する。本実施形態の検査装置１００は、このような技術を適用したものである。
【００２０】
なお、画像データを他のファイル形式に変換する技術は従来技術と同じでよく、特に限定するものではない。ここでは、検査装置１００は、図２に一例を示す画像２０１を画像２０２に変換する場合、例えば、ＺＩＰ、ＣＡＢ等で可逆変換する。また、検査装置１００は、画像２０２を画像２０３に変換する場合、例えば、ＪＰＥＧ等で不可逆変換する。
【００２１】
次に、記憶装置１０３の有するテーブルの一例を説明する。
【００２２】
まず、図３を参照し、基準情報テーブル１３２の一例を説明する。
【００２３】
図３（ａ）、（ｂ）は、プリント基板１８０を説明するための図である。プリント基板１８０の領域の全てが、外観検査対象であるわけではない。従って、検査装置１００は、プリント基板１８０を、少なくとも、検査対象領域と、検査対象外の領域とに分割する。ここで、検査装置１００は、検査対象領域を、さらに複数の領域に分割してもよい。
【００２４】
図３（ａ）において、領域３０１（斜線部）は、検査対象外である。検査装置１００は、図３（ａ）に一例を示すように、検査対象領域を、領域Ａ〜Ｅに分割するものとする。
【００２５】
図３（ｂ）において、領域３１１は、図３（ａ）に一例を示す領域「Ａ」を、さらに分割する例である。検査装置１００は、図３（ｂ）に一例を示すように、領域「Ａ」を、領域Ａ-１〜Ａ-４に分割するものとする。
【００２６】
図３（ｃ）は、基準情報テーブル１３２の一例である。基準情報テーブル１３２は、複数のレコードを有する。各レコードは、プリント基板１８０を分割した各領域の基準となるデータを格納する。
【００２７】
各レコードは、領域３２１、変換形式３２２、ファイルサイズ３２３、領域３２４、変換形式３２５、ファイルサイズ３２６等を有する。各レコードの領域３２１、変換形式３２２、ファイルサイズ３２３、領域３２４、変換形式３２５、ファイルサイズ３２６等は互いに対応付けられている。
【００２８】
領域３２１は、プリント基板１８０の領域を示す。変換形式３２２は、対応する領域３２１の領域の画像データの変換形式を示す。ファイルサイズ３２３は、対応する領域３２１の領域の画像データを、対応する変換形式３２２で変換した場合のファイルサイズである。領域３２４は、対応する領域３２１の領域をさらに分割したものである。各レコードには、領域３２４毎の変換形式３２５、ファイルサイズ３２６等が含まれる。変換形式３２５は、領域３２４の領域の画像データの変換形式を示す。ファイルサイズ３２６は、領域３２４の領域の画像データを、対応する変換形式３２５で変換した場合のファイルサイズである。
【００２９】
なお、ファイルサイズ３２３、ファイルサイズ３２４の各々の値は、予め、基準となるプリント基板１８０を撮影した画像データを、上述の図３（ａ）、（ｂ）に一例を示した領域に分割し、分割した領域の各々を、同じレコードの変換形式３２２、変換形式３２５の各々の形式で変換しておき、この変換したデータのサイズを用いるとよい。
【００３０】
また、１つのプリント基板１８０において、異なる領域を変換する形式は、おなじでもよく、異なっていても良い。例えば、領域「Ａ」の画像データを「ＺＩＰ」形式に変換し、領域「Ｃ」の画像データを「ＣＡＢ」形式で変換してもよい。また、例えば、領域「Ａ」、「Ｃ」の画像データの各々を「ＺＩＰ」形式で変換してもよい。即ち、変換形式は、基準情報テーブル１３２の変換形式３２２と、変換形式３２５とが異なっていれば良い。
【００３１】
次に、図４を参照し、結果情報テーブル１３３の一例を説明する。
【００３２】
図４において、結果情報テーブル１３３は、複数のレコードを有する。各レコードは、シリアルNo.４０１、領域４０２、結果４０３、総合判定４０４等を有する。各レコードのシリアルNo.４０１、領域４０２、結果４０３、総合判定４０４等は互いに対応付けられている。
【００３３】
シリアルNo.４０１は、プリント基板１８０の識別情報である。領域４０２は、プリント基板１８０の領域である。結果４０３は、プリント基板１８０の領域毎の検査結果である。総合判定４０４は、プリント基板１８０の外観検査結果である。即ち、プリント基板１８０の領域毎の検査結果にＮＧであるものが含まれる場合でも、出荷可能となる場合がある。総合判定４０４は、プリント基板１８０そのものが出荷可能か否かを示すものである。
【００３４】
次に、図５を参照し、画像テーブル１３４の一例を説明する。
【００３５】
図５において、画像テーブル１３４は、複数のレコードを有する。各レコードは、シリアルNo.５０１、画像データ５０２、撮影日時５０３等を有する。各レコードのシリアルNo.５０１、画像データ５０２、撮影日時５０３は互いに対応付けられている。
【００３６】
シリアルNo.５０１は、プリント基板１８０の識別情報である。画像データ５０２は、プリント基板１８０全体を撮影した画像データである。撮影日時５０３は、画像データを撮影した日時である。
【００３７】
次に、図６を参照し、検査装置１００の動作例を説明する。
【００３８】
撮影制御部１１１は、カメラ１０３を制御して画像データを取得し、取得した画像データを画像テーブル１３４に格納する（Ｓ６０１）。そのために、撮影制御部１１１は、任意のタイミングでカメラ１０３を制御して撮影し、画像データを取得する。ここでは、上述のように、複数のプリント基板１８０がベルトコンベア等の任意の搬送装置により、固定された検査装置１００の前を一旦停止して通過する。撮影制御部１１１は、一旦停止したときに、カメラ１０３によりプリント基板１８０の撮影を行なう。撮影制御部１１１は、画像テーブル１３４に新たなレコードを追加し、このレコードのシリアルNo.５０１、画像データ５０２、撮影日時５０３に、撮影したプリント基板１８０のシリアルNo.、撮影した画像データ、現在の日時等を格納する。ここで、撮影制御部１１１がシリアルNo.を取得する技術は任意でよく、例えば、入力装置１０４により入力される、記憶装置１０３に予め格納されている、図示しない他装置から入力される、撮影した画像データから抽出する等が考えられる。
【００３９】
次に、第１分割部１１２は、上述のＳ６０１で撮影した画像データから、検査対象領域を抽出し、抽出した領域を分割する（Ｓ６０２）。ここで抽出する領域は、予め定められているものとする。次に、第１分割部１１２は、抽出した領域を分割し、分割した各領域の画像を拡大する。
【００４０】
具体的には、例えば、第１分割部１１２は、プリント基板１８０の画像データから、上述の図３（ａ）に一例を示す領域３０１を除く領域を抽出し、抽出した領域を、領域Ａ〜Ｅに分割し、各々の領域を拡大する。
【００４１】
次に、第１変換部１１３は、上述のＳ６０２の処理で分割した画像データの各々を、他の形式に変換する（Ｓ６０３）。そのために、第１変換部１１３は、まず、分割した領域のうち１つを選択する。次に、第１変換部１１３は、基準情報テーブル１３２を参照し、選択した領域と一致する領域３２１を含むレコードから変換形式３２２を抽出する。第１変換部１１３は、選択した領域の画像データを、抽出した変換形式３２２で変換する。第１変換部１１３は、この処理を、分割した全ての領域の各々に対し行なう。
【００４２】
具体的には、例えば、図３（ａ）に一例を示す領域Ａを選択した場合、第１変換部１１３は、図３（ｃ）に一例を示す基準情報テーブル１３２の、領域３２１「Ａ」を含むレコードから変換形式３２２「ＺＩＰ」を抽出する。第１変換部１１３は、領域「Ａ」の画像データを、変換形式「ＺＩＰ」で変換する。
【００４３】
次に、第１比較部１１４は、上述のＳ６０３の処理で変換した画像データのファイルサイズの各々と、基準情報テーブル１３２の基準ファイルサイズの各々とを比較する（Ｓ６０４）。そのために、例えば、第１比較部１１４は、まず、分割した領域のうち１つを選択する。次に、第１比較部１１４は、基準情報テーブル１３２を参照し、選択した領域と一致する領域３２１を含むレコードからファイルサイズ３２３を抽出する。第１比較部１１４は、選択した領域を上述のＳ６０３の処理で変換した画像データのファイルサイズと、抽出したファイルサイズ３２３との差分を算出する。次に、第１比較部１１４は、この差分が閾値以上であるか否か判定する。この閾値は任意でよいが、例えば、上述の基準情報テーブル１３２内の情報を取得したプリント基板１８０の画像データを変換したデータのファイルサイズの標準偏差から取得するよい。第１比較部１１４は、この処理を、分割した全ての領域の各々に対し行なう。なお、この差分と比較する閾値は、プリント基板１８０を分割した領域毎に異なる値でもよく、また、同じ値でもよい。
【００４４】
具体的には、例えば、図３（ａ）に一例を示す領域「Ａ」を選択した場合、第１比較部１１４は、図３（ｃ）に一例を示す基準情報テーブル１３２の、領域３２１「Ａ」を含むレコードからファイルサイズ３２３「ｙ１」を抽出する。第１比較部１１４は、領域「Ａ」を上述のＳ６０３の処理で変換した画像データのファイルサイズと、抽出したファイルサイズ３２３「ｙ１」との差分を算出する。
【００４５】
次に、第２分割部１１５は、上述のＳ６０４の比較の結果、差分が閾値以上である領域があるか否か判定する（Ｓ６０５）。
【００４６】
Ｓ６０５の判定の結果、差分が閾値以上である領域が無い場合、後述するＳ６０９の処理に移行する。
【００４７】
Ｓ６０５の判定の結果、差分が閾値以上である領域がある場合、第２分割部１１５は、その領域の画像データをさらに分割する（Ｓ６０６）。具体的には、例えば、差分が閾値以上である領域が領域「Ａ」である場合、第２分割部１１５は、プリント基板１８０の領域「Ａ」の画像データを、上述の図３（ｂ）に一例を示す領域Ａ-１〜Ａ-４に分割する。
【００４８】
次に、第２変換部１１６は、上述のＳ６０６の処理で分割した画像データの各々を、他の形式に変換する（Ｓ６０７）。そのために、第２変換部１１６は、まず、分割した領域のうち１つを選択する。次に、第２変換部１１６は、基準情報テーブル１３２を参照し、選択した領域と一致する領域３２４の変換形式３２５を抽出する。第２変換部１１６は、選択した領域の画像データを、抽出した変換形式３２５で変換する。第２変換部１１６は、この処理を、分割した全ての領域の各々に対し行なう。
【００４９】
具体的には、例えば、図３（ｂ）に一例を示す領域「Ａ-１」を選択した場合、第２変換部１１６は、図３（ｃ）に一例を示す基準情報テーブル１３２の、領域３２４「Ａ-１」を含むレコードから変換形式３２５「ＪＰＥＧ」を抽出する。第２変換部１１６は、領域「Ａ-１」の画像データを、変換形式「ＪＰＥＧ」で変換する。
【００５０】
次に、第２比較部１１７は、上述のＳ６０７の処理で変換した画像データのファイルサイズの各々と、基準情報テーブル１３２の基準ファイルサイズの各々とを比較する（Ｓ６０８）。そのために、例えば、第２比較部１１７は、まず、分割した領域のうち１つを選択する。次に、第２比較部１１７は、基準情報テーブル１３２を参照し、選択した領域と一致する領域３２４のファイルサイズ３２５を抽出する。第２比較部１１７は、選択した領域を上述のＳ６０７の処理で変換した画像データのファイルサイズと、抽出したファイルサイズ３２５との差分を算出する。第２比較部１１７は、この処理を、分割した全ての領域の各々に対し行なう。
【００５１】
具体的には、例えば、図３（ｂ）に一例を示す領域「Ａ-１」を選択した場合、第２比較部１１７は、図３（ｃ）に一例を示す基準情報テーブル１３２の、領域３２４「Ａ-１」のファイルサイズ３２５「ａｘ１」を抽出する。第２比較部１１７は、領域「Ａ-１」を上述のＳ６０３の処理で変換した画像データのファイルサイズと、抽出したファイルサイズ３２３「ａｘ１」との差分を算出する。次に、第２比較部１１７、この差分が閾値以上であるか否か判定する。この閾値については上述とおなじである。第２比較部１１７は、この処理を、分割した全ての領域の各々に対し行なう。
【００５２】
次に、出力制御部１１８は、検査結果を結果情報テーブル１３３に格納し、出力装置１０５に出力する（Ｓ６０９）。そのために、出力制御部１１８は、結果情報テーブル１３３に新たなレコードを追加し、このレコードのシリアルNo.４０１に、検査対象のプリント基板１８０のシリアルNo.を格納する。さらに、このレコードの領域４０２、結果４０３に、上述のＳ６０２、Ｓ６０６の処理で分割した領域と、その領域に対して上述のＳ６０４、Ｓ６０８の処理で行なった閾値との比較結果を格納する。さらに、出力制御部１１８は、そのレコードの領域４０４に、総合判定結果を格納する。この総合判定結果を取得する技術は任意である。例えば、検査対象のプリント基板１８０の結果４０３が「ＮＧ」であるものが所定数以下である場合は総合判定「ＯＫ」というような判定規則を含むテーブル（図示略）を記憶装置１０３に格納しておき、出力制御部１１８が、このテーブルを参照して総合判定結果を取得してもよく、また、検査対象のプリント基板１８０の結果４０３をディスプレイ等の出力装置１０５に出力し、検査担当者等がその結果４０３を参照等して判断した結果が入力装置１０４等から入力されることにより取得しても良い。出力制御部１１８は、作成した結果情報テーブル１３３を、出力装置１０５に出力する。
【００５３】
ここで、図７を参照し、結果情報テーブル１３３を出力装置１０５のディスプレイ等に出力した場合の例を示す。なお、図７の例では、結果情報テーブル１３３の総合判定４０４を、検査担当者等が入力する場合の画面例である。
【００５４】
図７において、画面７０１は、１つのプリント基板１８０の外観検査結果を表示する例である。画面７０１は、基板領域７１１、結果表示領域７１２、画像表示領域７１３等を有する。基板領域７１１は、上述の図３（ａ）、（ｂ）に一例を示すような、プリント基板１８０を分割した各領域を示す。結果表示領域７１２は、プリント基板１８０を分割した領域毎の検査結果である。出力制御部１１８は、結果情報テーブル１３３から、表示対象のプリント基板１８０のシリアルNo.４０１の領域４０２、結果４０３等を抽出し、抽出した情報を結果表示領域７１２に表示させる。画像表示領域７１３は、プリント基板１８０を撮影した画像データが表示される。出力制御部１１８は、画像テーブル１３４から、表示対象のプリント基板１８０のシリアルNo.５０１の画像データ５０２等を抽出し、抽出したデータを画像表示領域７１３に表示させる。ここで、検査担当者等が入力装置１０４を用いて画面７０１上のボタンを押下等することにより、画像表示領域７１３に表示されている画像の拡大、縮小、移動等できるようにしてもよい。検査担当者等が入力装置１０４を用いてラジオボタン７２１の何れかをチェックして登録を指示すると、出力制御部１１８は、チェックされたラジオボタン７２１に示される情報を、表示対象のプリント基板１８０のシリアルNo.４０１の総合判定４０４に格納する。
【００５５】
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００５６】
例えば、上述の実施形態では、静止画を撮影する場合の例を説明したが、動画でもよい。動画を撮影する場合の変換形式は任意であるが、例えば、ＭＰＥＧ、ＡＶＩ等が考えられる。
【００５７】
また、例えば、上述の実施形態では、分割する領域が矩形の例のみを示したが、領域の形は任意でよく、これに限られるわけではない。
【００５８】
また、例えば、上述の実施形態では、プリント基板の外観検査の場合の例を説明したが、本実施形態の検査装置はこれに限られるわけではない。外観検査をおこなう物は任意である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態における構成例を示す図である。
【図２】本実施形態の技術を説明する図である。
【図３】同実施形態において、基準情報テーブルの一例を説明する図である。
【図４】同実施形態において、結果情報テーブルの一例を説明する図である。
【図５】同実施形態において、画像テーブルの一例を説明する図である。
【図６】同実施形態において、検査装置の動作例を説明するフロー図である。
【図７】同実施形態において、結果を出力する画面例を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１：検査装置、１０１：演算装置、１１１：撮影制御部、１１２：第１分割部、１１３：第１変換部、１１４：第１比較部、１１５：第２分割部、１１６：第２変換部、１１７、第２比較部、１１８：出力制御部、１０２：メモリ、１０３：記憶装置、１３１：プログラム、１３２：基準情報テーブル、１３３：結果情報テーブル、１３４：画像テーブル、１０４：入力装置、１０５：出力装置、１０６：カメラ、１０７：バス
【図１】
2008224490.tif 000003
【図２】
2008224490.tif 000004
【図３】
2008224490.tif 000005
【図４】
2008224490.tif 000006
【図５】
2008224490.tif 000007
【図６】
2008224490.tif 000008
【図７】
2008224490.tif 000009