(57)【要約】【課題】超音波を利用し、被検体の検査を確実且つ迅速に行うことが可能な超音波探傷検査方法を提供する。【解決手段】被検体に超音波を照射し、被検体の内部に伝搬して反射したエコーＥを捉えて被検体の内部欠陥の有無を判別する超音波探傷検査方法において、被検体の内部に伝搬した超音波が伝搬径路を往復するように被検体の底面で反射して検出される底面エコーＥ２に対し、被検体の内部で複数回反射し、遅れて検出される遅れエコーＥ３を捉え、遅れエコーＥ３の強さの大小を基に被検体の内部欠陥の有無を判別する。【選択図】図２
2008197003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体に超音波を照射し、該被検体の内部に伝搬して反射したエコーを捉えて前記被検体の内部欠陥の有無を判別する超音波探傷検査方法において、
前記被検体の内部に伝搬した前記超音波が伝搬径路を往復するように前記被検体の底面で反射して検出される底面エコーに対し、前記被検体の内部で複数回反射し、遅れて検出される遅れエコーを捉え、該遅れエコーの強さの大小を基に前記被検体の内部欠陥の有無を判別することを特徴とする超音波探傷検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の超音波探傷検査方法において、
前記被検体が超硬質合金あるいはセラミックスであることを特徴とする超音波探傷検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の超音波探傷検査方法において、
前記遅れエコーとともに前記底面エコーの強さの大小を基に前記被検体の内部欠陥の有無を判別することを特徴とする超音波探傷検査方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の超音波探傷検査方法において、
前記超音波を発信して前記被検体に照射するとともに前記エコーを受信する探触子と、前記被検体とを相対的に回転させることを特徴とする超音波探傷検査方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の超音波探傷検査方法において、
前記超音波を発信して前記被検体に照射するとともに前記エコーを受信する探触子を、前記被検体の周方向に複数並設することを特徴とする超音波探傷検査方法。
【請求項６】
請求項５記載の超音波探傷検査方法において、
前記被検体が円柱棒状に形成されており、前記複数の探触子が、前記被検体の軸線方向一端側から他端側に向かうに従い漸次前記被検体の周方向に５度〜４５度の角度毎に配置されて、らせん状に配設されていることを特徴とする超音波探傷検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば切削工具の素材として用いられる超硬質合金やセラミックスなどの被検体に対し、巣やクラックなどの内部欠陥の有無を確認するための超音波探傷検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばドリルやエンドミル等の切削工具の素材として超硬質合金やセラミックスなどが用いられている。切削工具は、その使用時に折損などの発生を防止するため、加工前の工具素材の段階で例えば巣やクラックなどの欠陥を見付け出し、不良の工具素材を排除して品質を確保するようにしている。一般に、この種の工具素材（被検体）の検査は、検査者が目視で欠陥の有無を確認する外観検査によって行われ、この外観検査で不良品が検出された場合には、その工具素材と同工程で製造した工具素材の全数検査や、工具素材の物理的、機械的性質を曲げ試験や抗折試験などで確認して、不良品を排除するようにしている。しかしながら、このような外観検査では、工具素材の内部に生じた欠陥を検出することができず、不良品の検査漏れが生じたり、また、検査に多大な時間を要するという問題があった。このため、工具素材の内部欠陥を確実に且つ迅速に検出可能な検査方法が強く望まれていた。
【０００３】
これに対し、従来、金属材料や溶接部などの欠陥を検出する非破壊検査方法として超音波探傷検査方法が多用されている。この超音波探傷検査方法は、例えば特許文献１や非特許文献１に示されるように、探触子から被検体に超音波（超音波ビーム）を例えばパルス波として照射する。そして、被検体の表面で反射した反射波を表面エコーとして検出し、また、被検体の内部に伝搬し被検体の底面（裏面）で反射した反射波を表面エコーよりも時間的に遅れる底面エコーとして検出する。このとき、被検体の内部に欠陥がある場合には、内部に伝搬した超音波が底面に達する前に欠陥で反射するため、表面エコーと底面エコーの間に、欠陥で反射した欠陥エコーが検出される。そして、この欠陥エコーの強さ（欠陥エコーの高さ）が予め設定した閾値を超える大きさで検出された場合には、被検体の内部に欠陥が存在すると判断される。
【特許文献１】特開２００４−２０９５１６号公報
【非特許文献１】超音波探傷試験Ｉ、２．１  探傷のしくみ、ｐ．３〜ｐ．５、社団法人日本非破壊検査協会
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の超音波探傷検査方法においては、内部欠陥の位置や形状、数などによって、検出される欠陥エコーの高さが大きく異なってしまう。すなわち、例えば被検体の内部に複数の欠陥が存在するような場合には、複数の欠陥や被検体の裏面で複数回反射して検出される欠陥エコーが発生し、高さの小さい欠陥エコーが複数の林状エコーとして検出されたり、底面エコーよりも時間的に遅れて検出される欠陥エコーが発生してしまう。このため、欠陥有無の判別指標となる閾値の設定が難しくなり、すなわち欠陥エコーとノイズが区別できなくなって、やはり不良品の検査漏れが生じるおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記事情を鑑み、超音波を利用し、被検体の検査を確実且つ迅速に行うことが可能な超音波探傷検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【０００７】
本発明の超音波探傷検査方法は、被検体に超音波を照射し、該被検体の内部に伝搬して反射したエコーを捉えて前記被検体の内部欠陥の有無を判別する超音波探傷検査方法において、前記被検体の内部に伝搬した前記超音波が伝搬径路を往復するように前記被検体の底面で反射して検出される底面エコーに対し、前記被検体の内部で複数回反射し、遅れて検出される遅れエコーを捉え、該遅れエコーの強さの大小を基に前記被検体の内部欠陥の有無を判別することを特徴とする。
【０００８】
この発明においては、例えば工具素材などの断面円形（円柱棒状）の被検体の検査を行った場合、内部欠陥が存在しない被検体では、被検体に内接する正三角形や二等辺三角形、星形などの多角形の辺を径路としたエコー（遅れエコー）が発生し、この遅れエコーが底面エコーに対して時間的に遅れて検出され、且つ強さが大きい（高さが大きい）エコーとして検出される。一方、内部欠陥が存在する場合には、内部欠陥で反射しその径路が複雑化したエコーが検出される。すなわち、内部欠陥が存在する場合には、遅れエコーが時間的に前後に分散して検出され、強さが小さい（高さが小さい）エコーとして検出される。このため、遅れエコーの強さの大小を確認することによって、被検体の内部欠陥の有無を確実に判別することができる。
【０００９】
なお、本発明において、被検体の形状を断面円形に限定する必要はない。すなわち、例えば被検体が断面方形である場合においても、この被検体の形状や超音波の照射方向（超音波ビームの入射角度）から、内部欠陥が存在しない場合の遅れエコーの検出時間（路程）が予想可能である。このため、内部欠陥が存在しない場合の遅れエコーの強さとの比較によって、種々の形状の被検体に対し、その内部欠陥の有無を判別することが可能である。
【００１０】
また、本発明の超音波探傷検査方法においては、前記被検体が超硬質合金あるいはセラミックスであることが望ましい。
【００１１】
この発明においては、被検体が超硬質合金あるいはセラミックスであることによって、被検体内部における超音波の減衰が小さくなり、内部欠陥が存在しない場合の遅れエコーを確実に大きな強さ（大きな高さ）で検出することができる。これにより、内部欠陥の有無による遅れエコーの強さの差異が大きくなり、被検体の内部欠陥の有無を確実に判別することができる。
【００１２】
さらに、本発明の超音波探傷検査方法においては、前記遅れエコーとともに前記底面エコーの強さの大小を基に前記被検体の内部欠陥の有無を判別することが望ましい。
【００１３】
この発明においては、遅れエコーと合わせて底面エコーの強さの大小を確認することで、より正確に内部欠陥の有無を判別することができる。すなわち、前述のように被検体が例えば断面円形の場合、遅れエコーとして検出される超音波が多角形の径路で伝搬するため、被検体の中心部付近に小さな欠陥が存在する場合には、この欠陥が径路上から外れてしまうおそれがある。一方、底面エコーは、伝搬径路を往復するように被検体の底面で反射して検出されるエコーであるため、この底面エコーとなる超音波を、中心部付近を通るように伝搬させることによって、中央部付近の欠陥の有無による底面エコーの強さを大小変化させることができる。これにより、遅れエコーに加えて底面エコーの強さの大小を確認することで被検体の内部に生じた欠陥を漏れなく検出することが可能になり、より正確に検査を行うことが可能になる。
【００１４】
また、本発明の超音波探傷検査方法においては、前記超音波を発信して前記被検体に照射するとともに前記エコーを受信する探触子と、前記被検体とを相対的に回転させることがより望ましい。
【００１５】
この発明においては、回転とともに超音波を被検体の全外周に照射でき、このように照射した超音波を確実に被検体の内部を網羅して伝搬させることができる。これにより、欠陥の検出漏れをなくしてより正確に検査することが可能になる。また、時間を短縮して効率的に検査を行うことが可能になる。
【００１６】
また、本発明の超音波探傷検査方法においては、前記超音波を発信して前記被検体に照射するとともに前記エコーを受信する探触子を、前記被検体の周方向に複数並設してもよい。
【００１７】
この発明においては、周方向の複数の位置から超音波を照射することによって、上記の被検体を相対的に回転させながら検査を行う場合と同様、確実に被検体の内部を網羅して超音波を伝搬させることができる。これにより、欠陥の検出漏れをなくして正確に検査を行うことが可能になるとともに、検査時間を短縮して効率的に検査を行うことが可能になる。
【００１８】
さらに、本発明の超音波探傷検査方法においては、前記被検体が円柱棒状に形成されており、前記複数の探触子が、前記被検体の軸線方向一端側から他端側に向かうに従い漸次前記被検体の周方向に５度〜４５度の角度毎に配置されて、らせん状に配設されていることがより望ましい。
【００１９】
この発明においては、周方向に５度〜４５度の角度でらせん状に探触子を配置することによって、確実に上記効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の超音波探傷検査方法によれば、従来の超音波探傷検査方法に対し、底面エコーが検出された後にエコー検出を継続して行なって、底面エコーよりも遅れて検出される遅れエコーを捉えることにより、被検体の内部欠陥の有無を確実に判別することが可能であるため、検査を確実に且つ迅速に行うことが可能になる。特に、従来、外観検査で品質管理を行なっていた工具素材の検査に適用した場合には、検査を確実に且つ迅速に行なうことができることで、生産性及び製品の信頼性の向上を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図１から図４を参照し、本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法について説明する。本実施形態は、超硬質合金あるいはセラミックスを円柱棒状（断面円形）に形成し、ドリルやエンドミルなどの切削工具の素材として用いられる工具素材（被検体）に対して、巣やクラックなどの内部欠陥の有無を確認するための超音波探傷検査方法に関するものである。
【００２２】
本実施形態の超音波探傷検査に用いる超音波探傷装置Ａは、図１に示すように、振動子（超音波振動子）及び受信子を備えた探触子１と、探触子１の振動子に繋がりこの探触子１から被検体３の表面（探傷面、外面）３ａに向けて超音波Ｓをビーム状（束状）に発信（照射）させるためのパルス発信部４と、被検体３に照射した超音波Ｓの反射波（エコー）を受信する探触子１の受信子に繋がり、受信子の電圧を増幅して出力する受信部５と、受信部５に繋がりこの受信部５からの出力信号を基にエコーの時間的変化を表示する表示部６とを備えて構成されている。また、超音波探傷装置Ａには、円柱棒状の被検体３を軸線Ｏ１方向に横移動させる図示せぬ横送り機構が具備されている。
【００２３】
本実施形態において、探触子１は、略円板状に形成されるとともに、超音波Ｓを発信するとともに反射波を受信する受発信面１ａが中心軸Ｏ２方向内側に凹む断面円弧状に形成されている。また、探触子１は、例えば、その外径（直径）ｄ１が９ｍｍ、超音波ビームＳの焦点距離が２５．４ｍｍとなるように受発信面１ａが形成されており、例えば４ｍｍの直径ｄ２で形成された被検体３よりも大きく形成されている。また、このような探触子１の中心軸Ｏ２が被検体３の軸線Ｏ１に直交するように探触子１が配置され、本実施形態では、この探触子１と被検体３の離間ｄ３が例えば１２ｍｍとなるように配置されている。また、探触子１と被検体３の間には、照射した超音波ビームＳの減衰を防止するために、例えば水、機械油、水ガラス、グリース、ワセリンなどの媒質が介装されている。そして、本実施形態では、例えば、媒質として水を用い、１０ＭＨｚの広帯域の超音波Ｓが、１４８０ｍ／ｓの音速で被検体３に照射される。また、このように被検体３に対し探触子１が構成されることによって、探触子１の受発信面１ａから発信した超音波ビームＳは、被検体３の軸線Ｏ１を中心とした周方向の約３０度の角度範囲θの広い表面３ａ領域に照射される。
【００２４】
ついで、上記の超音波探傷装置Ａを用いて被検体３の検査を行なう方法を説明し、本実施形態の超音波探傷検査方法の作用及び効果について説明する。
【００２５】
上記のように配置した探触子１から超音波ビームＳを照射して検査を開始する。このとき、被検体３の内部に欠陥（内部欠陥）がない場合（すなわち被検体３が良品の場合）には、例えば図２に示すようなエコー（波形）Ｅが表示部６に表示される。一方、被検体３に内部欠陥がある場合（すなわち被検体３が不良品の場合）には、例えば図３に示すようなエコー（波形）Ｅが表示される。ここで、図２及び図３において、縦軸は、エコーＥの高さ（エコーＥの強さ）を百分率で示し、横軸は、超音波ビームＳの路程を示している。なお、被検体３の内部で複数回反射した超音波ビームＳはその路程が長くなり、この超音波ビームＳのエコーＥが検出されるまでの時間が長くなる。このため、横軸は、超音波ビームＳの路程を示すとともに、時間軸を示している。
【００２６】
図２に示すように、被検体３に内部欠陥がない場合には、照射した超音波ビームＳの一部が、はじめに被検体３の表面３ａで反射し、探触子１と被検体３の離間ｄ３に応じた路程で表面エコーＥ１として検出される。また、図４に示すように、被検体３の内部に伝搬した超音波ビームＳのうち、探触子１の中心軸Ｏ２方向に照射された超音波ビームＳ１は、被検体３の中心部（すなわち被検体３の軸線Ｏ１）を通る伝搬径路で伝搬し、この伝搬径路を往復するように被検体３の底面３ｂで反射する。そして、このように超音波ビームＳ１が反射したエコーは、図２に示すように、被検体３の直径ｄ２と、探触子１と被検体３の離間ｄ３とを合わせた路程で底面エコーＥ２として検出される。なお、図２においては、表面エコーＥ１のビーム路程を０として目盛を付している。
【００２７】
ここで、従来の超音波探傷検査方法においては、被検体３よりも小さな探触子１を用いて、超音波ビームＳを被検体３の狭い表面３ａ領域に照射するようにし、表面エコーＥ１が検出され、さらに底面エコーＥ２が検出された時点で検査を終了するようにしていた。そして、底面エコーＥ２となる超音波ビームＳ１が底面３ｂに到達する前に内部欠陥で反射することを利用して、表面エコーＥ１と底面エコーＥ２の間に検出されたエコーが予め設定した閾値を超えた場合には、そのエコーを欠陥エコーとし、内部欠陥の有無を判別していた。しかしながら、このような検査方法では、例えば複数の内部欠陥が存在して超音波ビームＳ１が複雑な径路で反射する場合もあり、表面エコーＥ１と底面エコーＥ２の間に複数の高さの異なるエコーが林状のエコーとして検出され、予め設定した閾値を超えないこれらエコーがノイズによるものか、欠陥によるものか判別できなくなるという問題があった。
【００２８】
これに対し、本実施形態の超音波探傷検査方法では、探触子１が被検体３に対して大きく形成されているため、底面エコーＥ２となる超音波ビームＳ１に対して異なる入射角度の超音波ビームＳ２、Ｓ３が被検体３に照射される。そして、超音波ビームＳ２、Ｓ３は、被検体３の内部に伝搬した際に、被検体３の裏面（円柱面）で複数回反射し、図４に示すように、被検体３に内接する正三角形や二等辺三角形、星形など（図４では星形）の多角形の辺を径路として伝搬する。このため、このように伝搬した超音波ビームＳ２、Ｓ３は、その路程が底面エコーＥ２となる超音波ビームＳ１の路程よりも長くなり、図２に示すように、底面エコーＥ２よりも時間的に遅れた遅れエコー（円柱面エコー）Ｅ３として検出される。このとき、遅れエコーＥ３は、超音波ビームＳ２、Ｓ３等の路程の数が多いことによって、底面エコーＥ２よりも大きな高さ（大きな強さ）で検出される。
【００２９】
一方、本実施形態において、被検体３に内部欠陥が存在する場合には、遅れエコーＥ３となる超音波ビームＳ２、Ｓ３の少なくとも一部が内部欠陥で反射し、その径路が複雑化する。このため、被検体３に内部欠陥が存在する場合には、遅れエコーＥ３が時間的に前後に分散して検出され、図３に示すように、内部欠陥が存在しない図２の遅れエコーＥ３よりも小さな強さ（小さな高さ）で検出される。
【００３０】
したがって、本実施形態の超音波探傷検査方法において、内部欠陥が存在しない被検体３では、底面エコーＥ２に対して時間的に遅れて検出され、且つ強さが大きい遅れエコーＥ３が検出され、内部欠陥が存在する場合には、強さが小さい遅れエコーＥ３が検出されるため、遅れエコーＥ３の強さの大小を確認することによって、被検体３の内部欠陥の有無を判別することができる。
【００３１】
また、本実施形態のように、工具素材として用いられる超硬質合金あるいはセラミックスの被検体３の検査に適用することによって、被検体３の内部での路程が長い超音波ビームＳ２、Ｓ３の減衰が小さく抑えられ、内部欠陥が存在しない場合の遅れエコーＥ３を確実に大きな強さで検出することができる。これにより、内部欠陥の有無による遅れエコーＥ３の強さの差異を大きくすることができ、被検体３の内部欠陥の有無を確実に判別することができる。
【００３２】
そして、被検体３を横送り機構で軸線Ｏ１方向に横移動させながら順次エコーを捉えてゆくことによって、被検体３全体の内部欠陥の有無を判別することができる。
【００３３】
一方、本実施形態のように被検体３が断面円形の場合、遅れエコーＥ３として検出される超音波ビームＳ２、Ｓ３が多角形の径路で伝搬するため、被検体３の中心部付近に小さな欠陥が存在する場合には、この欠陥が径路上から外れてしまうおそれがある。しかしながら、図２に示した内部欠陥が存在しない場合の底面エコーＥ２に対し、図３に示すように、中心部に内部欠陥が存在する場合には、底面エコーＥ２が小さく検出される。このため、本実施形態のように、底面エコーＥ２となる超音波ビームＳ１は、中心部付近を通るため、遅れエコーＥ３とともに底面エコーＥ２の強さの大小を確認することで被検体３の内部に生じた欠陥を漏れなく検出することが可能になり、正確に検査を行うことが可能になる。
【００３４】
よって、本実施形態の超音波探傷検査方法によれば、従来の超音波探傷検査方法に対し、底面エコーＥ２が検出された後にエコー検出を継続して行なって、底面エコーＥ２よりも遅れて検出される遅れエコーＥ３を捉えることにより、被検体３の内部欠陥の有無を確実に判別することが可能であり、検査を確実に且つ迅速に行うことが可能になる。また、従来、外観検査で品質管理を行なっていた工具素材の検査に適用することで、検査を確実に且つ迅速に行なうことができるため、生産性及び製品の信頼性の向上を図ることが可能になる。
【００３５】
なお、本発明は、上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、本実施形態では、被検体３が超硬質合金あるいはセラミックスを円柱棒状に形成した切削工具の工具素材であるものとして説明したが、被検体３の形状を断面円形に限定する必要はない。例えば被検体３が断面方形である場合においても、この被検体３の形状や超音波Ｓの照射方向（超音波ビームＳの入射角度）から、内部欠陥が存在しない場合の遅れエコーＥ３の検出時間（路程）が予想可能である。このため、内部欠陥が存在しない場合の遅れエコーＥ３の強さとの比較によって、種々の形状の被検体３に対し、その内部欠陥の有無を判別することが可能である。また、遅れエコーＥ３を検出することができれば、超硬質合金やセラミックス以外の素材で形成した被検体３に適用してもよい。
【００３６】
さらに、本実施形態では、被検体３を１つの探触子１を用いて検査するように説明したが、例えば図５に示すように被検体３の軸線方向の平面視で被検体３の周方向に複数の探触子１を周方向に５度〜４５度の角度毎に配置し、それぞれの探触子１から被検体３に超音波Ｓを発信して、各探触子１で複数のエコーＥを同時に検出するようにしてもよい。この場合には、確実に被検体３の内部を網羅して超音波Ｓを伝搬させることができ、欠陥の検出漏れをなくしてより正確に検査を行うことが可能になる。また、このように複数の探触子１を用いることによって、検査時間を短縮し効率的に検査を行うことが可能になる。さらに、このとき、図６に示すように、被検体３の軸線Ｏ１方向一端３ｃ側から他端３ｄ側に向かうに従い漸次周方向にずらして、複数の探触子１をらせん状に配置することで、本実施形態のように被検体３が断面円形（円柱棒状）である場合に上記効果を確実に得ることが可能である。
【００３７】
また、本実施形態では、固定した探触子１に対し、被検体３を横送り機構によって軸線Ｏ１方向に横移動することで、被検体３全体の内部欠陥の有無を判別することができるとしたが、例えば図７（ａ）に示すように、固定した探触子１に対し、被検体３を軸線Ｏ１回りに回転させながら超音波Ｓを照射してもよい。また、逆に被検体３に対し、図７（ｂ）に示すように、探触子１を回転させながら超音波Ｓを照射してもよい。この場合には、回転とともに超音波Ｓを被検体３の全外周に照射することができ、このように照射した超音波Ｓを確実に被検体３の内部を網羅して伝搬させることができる。これにより、欠陥の検出漏れをなくしてより正確に検査することが可能になる。また、さらなる時間の短縮を図り効率的に検査を行うことが可能になる。さらに、このとき、探触子１と被検体３を相対的に回転させるとともに、本実施形態と同様、探触子１と被検体３を相対的に軸線Ｏ１方向に横移動することで、さらなる迅速な検査が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法に用いる超音波探傷装置を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法で得られる被検体に内部欠陥が存在しない場合のエコーを示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法で得られる被検体に内部欠陥が存在する場合のエコーを示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法において、被検体に内部欠陥が存在しない場合の超音波の径路を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法の変形例を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法の変形例を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る超音波探傷検査方法の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    探触子
３    被検体
３ａ  表面
３ｂ  底面（裏面、円柱面）
３ｃ  一端
３ｄ  他端
Ａ    超音波探傷装置
ｄ１  探触子の直径
ｄ２  被検体の外径
ｄ３  被検体と探触子の離間
Ｏ１  被検体の軸線
Ｏ２  探触子の中心軸
Ｓ    超音波（超音波ビーム）
Ｅ    エコー
Ｅ１  表面エコー
Ｅ２  底面エコー
Ｅ３  遅れエコー
【図１】
2008197003.tif 000003
【図２】
2008197003.tif 000004
【図３】
2008197003.tif 000005
【図４】
2008197003.tif 000006
【図５】
2008197003.tif 000007
【図６】
2008197003.tif 000008
【図７】
2008197003.tif 000009