(57)【要約】【課題】大きな電磁力に耐える強固な超電導コイルを備えた超電導電磁石を得る。【解決手段】一対の超電導コイル１と、超電導コイル１をその冷媒と共に内部に収納するヘリウム容器３と、ヘリウム容器３を収納する円筒状の真空容器４と、ヘリウム容器３を包囲する熱シールド５とを有する超電導電磁石であって、超電導コイル１は、超電導線１４を長円状に巻回し樹脂で固着して形成した平板状のコイルを単位コイル１５とし、コイル積層治具２２を使用して、単位コイル１５を長軸又は短軸方向に湾曲させたものを複数個積層し、単位コイル１５の層間に例えば樹脂を含浸させた絶縁シート２７を挟み込み、積層後硬化させて一体に形成し、全体を鞍形の超電導コイル１に形成して超電導電磁石に組み込んだ。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の超電導コイルと、上記超電導コイルをその冷媒と共に内部に収納するヘリウム容器と、上記ヘリウム容器を収納する円筒状の真空容器と、上記真空容器内に配設されて上記ヘリウム容器を包囲する熱シールドとを有し、上記真空容器の軸線に直交する方向に磁場を発生させる超電導電磁石において、
上記超電導コイルは、超電導線が長円状に巻回されて形成された平板状のコイルを単位コイルとし、複数個の上記単位コイルが長軸又は短軸方向に曲げられて積層され、樹脂で一体に固着されて鞍形に形成されていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項２】
請求項１記載の超電導電磁石において、上記単位コイルは、加熱融着性の樹脂が塗布された超電導線によって巻回され、巻線後の加熱によって一体化されていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の超電導電磁石において、複数個の上記単位コイルは、上記単位コイル間に加熱融着性の樹脂を介在させ、積層後の加熱によって一体化されていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の超電導電磁石において、上記単位コイルは、２個の単位コイルがその中間点を巻始めとし、それぞれ終端方向に逆方向に巻回されて、連続する２層の単位コイルとして形成されていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の超電導電磁石において、上記超電導コイルは、離形処理をしたコイル積層治具によって上記複数の単位コイルが積層されて鞍形に一体的に加熱成形された後、上記ヘリウム容器のコイル支持枠に組み込まれていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項６】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の超電導電磁石において、上記超電導コイルは、予め湾曲させた複数の上記単位コイルが上記ヘリウム容器のコイル支持枠に積層され、コイル押え部材で固定された後、加熱融着されて一体的に形成されていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項７】
請求項６記載の超電導電磁石において、積層された上記単位コイルの外周面と上記コイル支持枠及び上記コイル押え部材との間にシールフィルムが挿入されていることを特徴とする超電導電磁石。
【請求項８】
請求項６記載の超電導電磁石において、積層された上記単位コイルに面する上記コイル支持枠及び上記コイル押え部材の面に、シリコン系樹脂がコーティングされていることを特徴とする超電導電磁石。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、単結晶引上装置等に用いられ、水平磁場を発生する超電導電磁石に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、シリコン単結晶引上装置では、良質な単結晶を得るために、円筒型炉を内蔵する真空チャンバの外周部に磁場を印加して、シリコンの対流を抑制する方法が採用されている。従来から、磁場を印加する方法として、１対の鞍形のコイルを持つ常電導電磁石を単結晶引上げ用炉の周りに設置し、０.２テスラ程度の水平な磁場を発生するものが知られている。しかし、常電導電磁石を使用した単結晶引上げ装置では常電導コイルを使用しているため、消費電力が数十ｋＷと大きく、効率的な運転が難しかった。
そこで、常電導電磁石に替えて、超電導電磁石を使用する技術として、例えば、磁界発生部が、結晶引上部の両側に設けられた一対の超電導コイルからなる主コイルと、これらの主コイルより直径が小さく同軸で励磁方向が逆の一対の副コイルとで構成され、主コイル及び副コイルがルツボ側に湾曲した鞍形コイルである磁界印加式単結晶製造装置が開示されている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−７４８６号公報（第２頁、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
超電導コイルを用いた超電導電磁石の場合、超電導線に電流が流れると磁場を発生すると共に、発生した磁場により超電導線自体に大きな電磁力が働く。この電磁力により超電導線の変形量が大きくなると超電導線の相互間に緩みが生じるなどによって、超電導コイルがクエンチしやすくなり、十分な電流を流せなくなるという問題が発生する。特に、鞍形の超電導コイルの場合、その構造上強固なコイルを形成することが困難であった。上記の特許文献１に示す単結晶製造装置では、ルツボ領域での磁界均一度の改善を図るために、主コイル及び副コイルを鞍形超電導コイルで構成したものであるが、鞍形超電導コイルを強固に形成する手段についての言及は無く、いかにして電磁力に対して変形しない強固なコイルを形成するかが依然として重要な課題であった。
【０００５】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、大きな電磁力に耐える強固な超電導コイルを備えた超電導電磁石を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の超電導電磁石は、一対の超電導コイルと、超電導コイルをその冷媒と共に内部に収納するヘリウム容器と、ヘリウム容器を収納する円筒状の真空容器と、真空容器内に配設されてヘリウム容器を包囲する熱シールドとを有し、真空容器の軸線に直交する方向に磁場を発生させる超電導電磁石において、超電導コイルは、超電導線が長円状に巻回されて形成された平板状のコイルを単位コイルとし、複数個の単位コイルが長軸又は短軸方向に曲げられて積層され、樹脂で一体に固着されて鞍形に形成されているものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の超電導電磁石によれば、超電導線を長円状に巻回して形成した平板状の単位コイルを、長軸又は短軸方向に曲げて複数個積層し、樹脂で一体に固着して全体を鞍形の超電導コイルに形成したので、大きな電磁力に対しても変形しない強固な鞍形超電導コイルを得ることができ、安定して強い水平磁場を供給する超電導電磁石を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図1は、実施の形態１による超電導電磁石を示す断面図である。先ず、図に基づいて超電導電磁石の概略構成から説明する。図のように、超電導電磁石は、水平磁場を発生させる一対の超電導コイル１と、超電導コイル１をその冷媒である液体ヘリウム２と共に内部に収納するヘリウム容器３と、ヘリウム容器３を真空断熱空間内に格納する円筒状の真空容器４と、ヘリウム容器３を包囲して真空容器４内に配設され、ヘリウム容器３に浸入する輻射熱を低減する熱シールド５とを備えている。
【０００９】
ヘリウム容器３は、円筒状のコイル支持枠６と、その外周側を覆う外筒７とが一体になって構成されており、このコイル支持枠６に、鞍形をした１対の超電導コイル１が左右に対向配置されて支持されている。更に、超電導コイル１を固定するために、コイル支持枠６にコイル押え部材８が設けられており、このコイル押え部材８は、超電導コイル１に発生する電磁力のうち、外周面に対し面方向の電磁力を支持する側枠部８ａと、外周面に対し法線方向の電磁力を支持する押え板部８ｂとで構成されている。超電導コイル１の詳細については後述する。
【００１０】
真空容器４の外部には、ヘリウム容器３及び熱シールド５を冷却する冷凍機９が、真空容器４に設けられた冷凍機取付ジャケット１０を介して取付けられている。冷凍機９は、６０Ｋ程度の温度に冷却される６０Ｋステージ１１と、４Ｋ程度の温度に冷却される４Ｋステージ１２とを備え、６０Ｋステージ１１は、熱シールド５を６０Ｋ程度に冷却し、４Ｋステージ１２は、ヘリウム容器３に接続して４Ｋ程度に冷却し、内部に充填されている液体ヘリウム３を再凝縮させるように構成されている。
更に、冷凍機９は、別に設置されている圧縮機（図示せず）に接続されて、２．３ＭＰａ程度の高圧ガスの供給を受け、１ＭＰａ程度の低圧のガスを返している。
【００１１】
超電導電磁石は以上のように構成されており、超電導コイル１はヘリウム容器３に充填された液体ヘリウム２により冷却され、超電導になる温度に維持される。ヘリウム容器３を収容する真空容器４は、内部が真空引されて空気の対流が絶たれ、更にヘリウム容器３と真空容器４との間に設けられた熱シールド５が冷凍機９により冷却されているので、真空容器４側からの輻射熱が遮蔽され、非常に良い断熱がなされている。
このため、超電導電磁石として強力な水平磁場を発生することができるので、例えば、単結晶引上装置に使用された場合、単結晶原料が充填された炉に水平磁場を提供して、良質な単結晶の引上げに供することができる。
【００１２】
本実施の形態の発明は、上記のように構成した超電導電磁石の超電導コイル１の構成に特徴を有するものなので、以下、この超電導コイル１について更に詳しく説明する。
超電導電磁石は前述のように鞍形の超電導コイル１を有しており、この超電導コイル１は次のような３段階の手順で製作される。
第１段階：平板のパンケーキ状にコイルを巻く。
第２段階：パンケーキ状のコイルを鞍形に曲げると共に積層して一体化する。
第３段階：一体化した鞍形コイルをコイル支持枠に取付けると共に、口出しリードを接続する。
そこで、次に上記の製作手順に沿って説明する。
【００１３】
先ず、第１段階では、巻線機（図示せず）に取付けた巻線治具を利用し、超電導線を所定のターン数だけ巻線する。図２はその巻線治具の一例を示す図である。巻線治具１３は巻芯部１３ａとそれを挟むように設けられた巻枠フランジ部１３ｂとが取り外し可能に組み合わされて構成されている。巻線治具１３の巻芯部１３ａに断面がほぼ矩形状の超電導線１４をセットし、巻線治具１３を回転させて内側から外側へ巻回していく。巻き上がったコイルを図３に示す。図のように、平面から見て長円状（レーストラック状）に巻回された平たいパンケーキ状のコイルとなっている。以下、この状態のものを「単位コイル」と称する。単位コイル１５は、巻始め部分を所定の長さだけ引き出して巻き始めリード線１５ａとしておき、同じように巻き終わり部分を所定の長さだけ引き出して巻き終わりリード線１５ｂとする。
このような単位コイル１５を、右巻きに巻回したものと、左巻きに巻回したものを同数個だけ用意する。
【００１４】
単位コイル１５の素材である超電導線１４には、予め加熱すると軟らかくなり、冷えると接着する樹脂を塗布しておき、巻線治具１３に巻回した状態で加熱融着させ、硬化させた後、巻枠フランジ部１３ｂを巻芯部１３ａから外し、単位コイル１５を取り出す。こうすることで、樹脂が接着剤となって超電導線１４がばらばらになるのを防止している。
【００１５】
樹脂は超電導線１４に予め塗布しておく以外に、例えば、図４に示すような塗布具１６を用いて塗布しても良い。すなわち、図のように、巻線機（図示せず）の前段に、樹脂を貯蔵した樹脂容器１７を設置し、樹脂容器１７の前後の壁面に設けた貫通穴１７ａに超電導線１４を貫通させて走行させる。樹脂容器１７内を走行中に樹脂が付着し、出口側の貫通穴１７ａでしごかれて超電導線１４の表面に均一に塗布される。貫通穴１７ａ部から漏れる樹脂は、下部に設置した受け皿１８で回収するようになっている。なお、このときの樹脂は、加熱硬化形型の樹脂を使用し、巻線完了後に加熱硬化さる。
【００１６】
次に、第２段階について説明する。第２段階ではコイル積層治具を使用してコイルを積層していくが、これに先立ち、単位コイル１５を予め鞍形に成形しておく。図５は単位コイル１５の成形を示す概念図である。図５に示すように、平板状に巻回された単位コイル１５を成形機１９の型枠２０とローラ２１間に挿入し、ローラ２１を型枠２０に沿って回転させることにより所定の曲率に単位コイル１５を成形する。
なお、図５の成形機は一例を示すものであり、これに限定するものではない。
【００１７】
湾曲させた単位コイル１５を、コイル積層治具を用いて成形する。図６はコイル積層治具の斜視図で、一部を断面で示している。コイル積層治具２２は、円筒型をしたコイル受け部２３と、積層する単位コイル１５の幅側を規制する側板部２４と、外周方向から押圧する押え板部２５とで構成されている。
このコイル積層治具２２に所定の枚数の単位コイル１５を、右巻きのものと左巻きのものを交互にはめ込み積層していく。このとき、積層した単位コイル１５が上層になるほど曲げ半径が大きくなるため、曲げ方向の両端がずれてくるので、発生する隙間に合わせた大きさの、ガラスエポキシ等でできたスペーサ２６を、幅方向の片側又は両側に詰めていく。
なお、単位コイル１５の曲げ方向は、超電導コイル１の形状によっては、短軸方向の場合もある。
【００１８】
積層した単位コイル１５がばらばらにならないように、積層する単位コイル１５間に樹脂を介在させて、単位コイル１５同士をその樹脂により接着して一体化する。
この方法としては、例えば、積層する段階で１層ごとに単位コイル１５の表面に樹脂を塗布すればよい。別の方法として、樹脂を塗布又は含浸した絶縁シート２７を単位コイル間に挿入しながら積層する。更に別の方法として、コイル積層治具２２の側板部２４に貫通孔２４ａを設け、単位コイル１５を積層した後、単位コイル１５が積層されている内部空間を真空引きして樹脂を注入し、加熱炉に入れて加熱硬化させてもよい。この場合は、真空引きができるよう側板部２４と押え板部２５間にシール２８を挟んでボルト等により締め付けてシール構造とする。
これらの作業において、コイル受け部２３のコイル当接部、側板部２４の内側、及び、押え板部２５の内側には、コイル接着に用いた樹脂が接着しないように、例えば、シリコン系樹脂を塗布して離形処理を施しておく。
【００１９】
樹脂を加熱硬化させた後、コイル積層治具２２を解体し、積層され単位コイル１５を取り出すと、図７に示すように鞍形に成形された超電導コイル１が完成する。超電導コイル１は、図に示すように巻き始めリード線１５ａと巻き終わりリード線１５ｂが導出した形状となっている。
【００２０】
次に、第３段階では、図８に示すように単位コイル１５を一体化した鞍形の超電導コイル１を超電導電磁石のコイル支持枠６に取付ける。コイル支持枠６には、超電導コイル１の形状に合わせたコイル押え部材８の側枠部８ａが溶接等によって固着されているので、側枠部８ａの内側に鞍形の超電導コイル１を挿入し、外周側からコイル押え部材８の押え板部８ｂをボルト等で締め付けて固定する。この、コイル支持枠６や側枠部８ａ，押え板部８ｂの材料としては、強度的に優れ且つ非磁性である、例えばステンレス鋼が用いられている。
なお、コイル支持枠６，側枠部８ａ，押え板部８ｂの内側には、超電導コイル１と接着しないように、例えば、シリコン系樹脂をコーティングして離型処理をしておく。
【００２１】
超電導コイル１をコイル支持枠６に取り付け後、隣接する単位コイル１５の、巻き始めリード線１５ａ同士、及び、巻き終わりリード線１５ｂ同士を、例えば半田付け等で順に接続して一対の超電導コイル１を完成させる。
これ以降は、コイル支持枠６に外筒７を組み合わせてヘリウム容器３を形成させ、図１に示すように、熱シールド５で包囲して真空容器４に収納し、冷凍機９、及びその他の部品を組み立てて超電導電磁石を完成させる。
【００２２】
以上のように、本実施の形態の発明によれば、超電導線を長円状に巻回して形成した平板状の単位コイルを、長軸又は短軸方向に曲げて複数個積層し、樹脂で一体に固着して全体を鞍形の超電導コイルに形成したので、大きな電磁力に対しても変形しない強固な鞍形超電導コイルを得ることができ、安定して強い水平磁場を供給する超電導電磁石を提供することができる。
【００２３】
また、超電導線に、加熱融着性の樹脂が塗布されたものを使用し、巻線後に加熱することにより樹脂を硬化させて単位コイルを形成したので、一体的に強固に固着した単位コイルを得ることができ、強固な超電導コイルを形成することができる。
【００２４】
また、積層する複数個の単位コイル間に加熱融着性の樹脂を介在させ、積層後に加熱させて一体化させるようにしたので、簡単な構成で強固な超電導コイルを容易に得ることができる。
【００２５】
更にまた、超電導コイルは、離形処理をしたコイル積層治具によって、積層された複数の単位コイルを鞍形に一体的に形成した後、コイル支持枠に組み込むようにしたので、専用の治具を用いて効率よく強固な超電導コイルを製作でき、また、超電導電磁石の他の部分と並行して組立作業ができるため作業性が向上する。
【００２６】
実施の形態２．
以下、この発明の実施の形態２による超電導電磁石を図に基づいて説明する。超電導電磁石の全体構成については、実施の形態１の図１と同等なので、装置全体の説明は省略し、実施の形態１との相違点を中心に説明する。相違点は、単位コイルを積層して超電導コイルとする構成部分である。
【００２７】
単位コイルを複数段積み重ね、超電導線が連続して巻回された１個の超電導コイルに形成するが、実施の形態１では、右巻きコイルと左巻きコイルを交互に積み重ね、隣り合う上下の単位コイルの、内側の口出しリード同士、及び外側の口出しリード同士を接続した。本実施の形態の超電導コイルでは、この右巻きと左巻きの２個（２層）の単位コイルを一体に形成したものである。すなわち、２個の単位コイルをその中間点を巻はじめとし、それぞれ終端方向に逆方向に巻回して、連続する２層の単位コイルとして形成したものである。以下、図に基づいて説明する。
【００２８】
図９は、本実施の形態の単位コイルの巻線治具２９を示す図である。巻線治具２９は中仕切り部３０を挟んで２つの巻芯部３１ａ，３１ｂがあり、その外側には巻枠フランジ部３２ａ，３２ｂが着脱できるように設けられている。上側の巻枠フランジ部３２ｂと中仕切り部３０にはスリットが形成されており、中仕切り部３０のスリットの部分が２個の単位コイルの内渡りリード部となる。また、巻枠フランジ部３２ｂの上部に、仮巻ドラム３３が着脱自在に固定されている。
【００２９】
次に、この巻線治具２９を使用した巻線作業について説明する。
先ず、巻線治具２９を巻線機（図示せず）に取付け、超電導線１４を単位コイルの１個分の長さだけ、予め仮巻ドラム３３に巻き取っておく。この超電導線１４を切らずに繋げたまま、仮巻ドラム３３の巻き終わり部分を巻線治具２９の中仕切り部３０のスリットに通し、下側の巻芯部３１ａの中心側から巻始めて外側に巻き上げていく。こうして下側の単位コイルが巻き終われば口出しリード線を残し超電導線１４を切断し、ばらばらにならないように固定する。
次に仮巻ドラム３３を外して図示しない巻線機のドラム側にセットし、巻線治具２９の上側の巻芯部３１ｂの内側から外側へ、上側の単位コイルを巻上げて、巻き終わりの口出しリードを固定する。
【００３０】
図１０は、巻き上がって２層が１組となったペアコイル３４の平面図である。また、図１１は図１０のXI−XIから見た断面図である。図に示すように、下側の単位コイル３４ａと上側の単位コイル３４ｂは内周側の渡りリード線で繋がって、この部分が内渡り部３４ｃとなっている。従って、２層の単位コイル３４ａ，３４ｂの各外周側のみに、口出しリード線３４ｄ，３４ｅが引き出された状態となる。
なお、巻線したペアコイル３４を鞍形の超電導コイル１の形状に一体的に成形し、コイル支持枠６に組み込んで超電導電磁石とする、これ以降の作業については、実施の形態１と同等なので、説明は省略する。
【００３１】
以上のように、本実施の形態の発明によれば、２層分の単位コイルの下側と上側の中間点を超電導線の巻始めとし、各単位コイルを終端方向に逆方向に巻回して、２層を連続して形成したので、実施の形態１の効果に加え、２層分の単位コイルを一度に巻くことができるため、巻線作業時間が短縮でき、また、口出しリードの本数が少なくなるので、接続作業時間を短縮することができると共に、接続部が減り信頼性が向上する。
【００３２】
実施の形態３．
図１２はこの発明の実施の形態３による超電導電磁石の超電導コイルの要部を示す断面図である。超電導電磁石の全体構成、及び超電導コイルの外形形状については、実施の形態１の図１と同等なので、それらの説明は省略し、実施の形態１との相違点を中心に説明する。実施の形態１においては、単位コイルを積層する際に、コイル積層治具を使用して積層し、一体化して超電導コイルに成形したのち装置本体に組み込んだが、本実施の形態では、超電導電磁石のヘリウム容器３を構成するコイル支持枠６に単位コイルを直接積層して組み立てるものである。
【００３３】
コイル支持枠６に積層するとき、単位コイル１５がコイル支持枠６の曲面に沿うように、例えば、実施の形態１の図５で説明した成形機を用いて、予め単位コイル１５を鞍形に成形しておく。成形した単位コイル１５を、図１２のコイル断面図に示すように、コイル支持枠６に所定の個数だけ積層する。このとき、単位コイル間には樹脂を含浸させた絶縁シート３５を挿入する。なお、絶縁シート３５に替えて、予め単位コイル１５の表面に樹脂を塗布しておいても良い。
積層した単位コイル１５の外周とコイル支持枠６及びコイル押え部材８の側枠部８ａ，押え板部８ｂとの間にも絶縁材３６を挿入している。
【００３４】
更に、超電導コイルの全体を包むように、樹脂の浸透しないシールフィルム３７で覆っている。
このシールフィルムの作用について説明する。上記のように積層後、全体を加熱融着させることにより、強固な超電導コイル１に仕上げるが、このとき、シールフィルム３７が無い場合は、超電導コイル１が樹脂によってコイル支持枠６及び側枠部８ａ，押え板部８ｂに接着する。接着した状態に放置すると、低温に冷却された際の熱応力と超電導コイル１を励磁した際に発生する電磁力により樹脂が割れる虞があり、これが超電導破壊の原因に繋がる。シールフィルム３７はこれを回避するためのものである。
【００３５】
なお、接着剤の役目をする樹脂を、上記では単位コイル１５の層間に絶縁シートを挟み込み、更に、外周に絶縁材を挿入したが、シールフィルム３７を袋状にし、内部を真空引きして樹脂を真空含浸させても良い。
また、超電導コイル１とコイル支持枠６及び側枠部８ａ，押え板部８ｂとが接着するのを防止する方法として、シールフィルム３７に替えて、コイル支持枠６，側枠部８ａ，押え板部８ｂにシリコン系樹脂を塗布するなどにより離形処理を施しても良い。
また、単位コイルは、実施の形態２で説明したようなペアコイルであっても良い。
【００３６】
以上のように、本実施の形態の発明によれば、超電導コイルは、コイル支持枠に予め湾曲させた単位コイルを積層し、コイル押え部材で固定し、樹脂を硬化させて一体化したので、コイル形状が変わった際にも新たな治具を製作する必要が無く、また、コイル支持枠に添った形状で超電導コイルの樹脂部が含浸されるので、超電導コイルをコイル支持枠に取付ける際にも製作誤差等による変形が少なく、超電導状態の安定性を向上させることができる。
【００３７】
また、積層した単位コイルの外周面とコイル支持枠及びコイル押え部材との間にシールフィルムを挿入したので、単位コイル側に施した樹脂がコイル支持枠及びコイル押え部材に付着することがないため、低温に冷却された際の熱応力と超電導コイルを励磁した際に発生する電磁力により樹脂が割れるのを防止でき、信頼性の高い超電導電磁石を得ることができる。
【００３８】
更にまた、コイル支持枠及びコイル押え部材の単位コイルが接する面に、シリコン系樹脂をコーティングしたので、簡単な構成で上記と同様の効果を得ることができる。
【００３９】
なお、実施の形態１〜３では、超電導コイル１をコイル支持枠６の外周側に取り付けた場合を説明したが、ヘリウム容器３の外筒７の内周側に取り付けても良い。そうすれば、超電導コイルに発生する電磁力を外筒で受け止めることができるので、コイル押え部材が薄いもので良く、締結も簡単となるため、作業時間が短縮でき、コスト低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の実施の形態１による超電導電磁石を示す断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の巻線治具を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の単位コイルの平面図である。
【図４】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の超電導線に樹脂を塗布する塗布具の概念図である。
【図５】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の単位コイルの成形を示す概念図である。
【図６】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の単位コイルのコイル積層治具を示す斜視図である。
【図７】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の超電導コイルを示す斜視図である。
【図８】この発明の実施の形態１による超電導電磁石の超電導コイルの取り付け状態を示す斜視図である。
【図９】この発明の実施の形態２による超電導電磁石の巻線治具である。
【図１０】この発明の実施の形態２による超電導電磁石の単位コイルの斜視図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩから見た部分断面図である。
【図１２】この発明の実施の形態３による超電導電磁石の超電導コイルの要部断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  超電導コイル                    ２  液体ヘリウム
３  ヘリウム容器                    ４  真空容器
５  熱シールド                      ６  コイル支持枠
７  外筒                            ８  コイル押え部材
８ａ  側枠部                        ８ｂ  押え板部
９  冷凍機                        １０  冷凍機取付ジャケット
１１  ６０Ｋステージ                １２  ４Ｋステージ
１３  巻線治具                      １３ａ  巻芯部
１３ｂ  巻枠フランジ部              １４  超電導線
１５  単位コイル                    １５ａ  巻き始めリード線
１５ｂ  巻き終わりリード線          １６  塗布具
１７  樹脂容器                      １７ａ  貫通穴
１８  受け皿                        １９  成形機
２０  型枠                          ２１  ローラ
２２  コイル積層治具                ２３  コイル受け部
２４  側板部                        ２４ａ  貫通穴
２５  押え板部                      ２６  スペーサ
２７  絶縁シート                    ２８  シール
２９  巻線治具                      ３０  中仕切り部
３１ａ，３１ｂ  巻芯部              ３２ａ，３２ｂ  巻枠フランジ部
３３  仮巻ドラム                    ３４  ペアコイル
３４ａ，３４ｂ  単位コイル          ３４ｃ  内渡り部
３４ｄ，３４ｅ  口出しリード線      ３５  絶縁シート
３６  絶縁材                        ３７  シールフィルム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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