(57)【要約】【課題】小型化が十分に図られる駆動装置、を提供する。【解決手段】駆動装置は、圧電素子１７と、駆動部材２１と、移動部材３１および移動部材３６と、制御部とを備える。圧電素子１７は、電圧が印加されることにより伸縮する。駆動部材２１は、圧電素子１７に対して固定され、圧電素子１７の伸縮に伴って駆動する。移動部材３１および移動部材３６は、駆動部材２１に摩擦係合される。制御部は、圧電素子１７に電気的に接続され、駆動部材２１の駆動を制御する。【選択図】図４
2008199701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止部材に一部を固定され、電圧が印加されることにより伸縮する圧電素子と、
前記圧電素子に対して固定され、前記圧電素子の伸縮に伴って駆動する駆動部材と、
前記駆動部材に摩擦係合された第１移動部材および第２移動部材と、
前記圧電素子に電気的に接続され、前記駆動部材の駆動を制御する制御部とを備える、駆動装置。
【請求項２】
前記駆動部材と前記第１移動部材との間に生じる摩擦力と、前記駆動部材と前記第２移動部材との間に生じる摩擦力とが、異なる、請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記圧電素子を伸長させ、前記駆動部材を駆動させる伸長ステップと、前記圧電素子を短縮させ、前記駆動部材を駆動させる短縮ステップとを実行し、
前記伸長ステップ時に前記圧電素子を伸長させる速度と、前記短縮ステップ時に前記圧電素子を短縮させる速度とが、異なる、請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
静止部材に一部を固定され、電圧が印加されることにより伸縮する圧電素子と、
前記圧電素子に対して固定され、前記圧電素子の伸縮に伴って互いに異なる方向に駆動する第１駆動部材および第２駆動部材と、
前記第１駆動部材に摩擦係合された第１移動部材と、前記第２駆動部材に対して摩擦係合された第２移動部材とを含む被駆動部材と、
前記圧電素子に電気的に接続され、前記第１駆動部材および前記第２駆動部材の駆動を制御する制御部とを備える、駆動装置。
【請求項５】
前記第１駆動部材と前記被駆動部材とは、前記第２駆動部材の駆動方向に相対移動可能に設けられ、前記第２駆動部材と前記被駆動部材とは、前記第１駆動部材の駆動方向に相対移動可能に設けられる、請求項４に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記第１駆動部材と前記第１移動部材との間に生じる摩擦力と、前記第２駆動部材と前記第２移動部材との間に生じる摩擦力とが、異なる、請求項４または５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記圧電素子を伸長させ、前記第１駆動部材および前記第２駆動部材を駆動させる伸長ステップと、前記圧電素子を短縮させ、前記第１駆動部材および前記第２駆動部材を駆動させる短縮ステップとを実行し、
前記伸長ステップ時に前記圧電素子を伸長させる速度と、前記短縮ステップ時に前記圧電素子を短縮させる速度とが、異なる、請求項４から６のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記圧電素子に印加する電圧の大きさを変化させる、請求項１から７のいずれか１項に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記圧電素子に印加する電圧の駆動周波数を変化させる、請求項１から８のいずれか１項に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的には、駆動装置に関し、より特定的には、圧電素子などの電気機械変換素子を用いて移動部材を移動させるための駆動装置に関する。この発明は、たとえば、カメラの撮影レンズやオーバーヘッドプロジェクタなどの投影レンズ、双眼鏡のレンズ、複写機のレンズなど、光学装置におけるレンズの駆動の他、プロッタやＸ−Ｙ駆動テーブルのような装置など、駆動部を有する装置一般に用いられる駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の駆動装置に関して、たとえば、特開平４−６９０７０号公報には、小型かつ軽量で、しかも高精度の位置決めおよび移動量制御を可能とし、製造コストを安価にすることを目的とした駆動装置が開示されている（特許文献１）。図１１は、特許文献１に開示された駆動装置を示す斜視図である。図１２は、図１１中の駆動装置において、圧電素子に印加される駆動パルスの波形を示す図である。
【０００３】
図１１および図１２を参照して、特許文献１では、圧電素子２０１に対して、ゆっくりとした立ち上がりで電圧を印加し、一定電圧を与えた後、急速に印加電圧を解除する。圧電素子２０１に印加される電圧がゆるやかに変化するパルス立ち上がり部では、圧電素子２０１がゆっくりと伸びる。これに伴って、鏡筒２０２が駆動棒２０３と一体となって図１１中の左方向へ動く。電圧が一定に保持され、圧電素子２０１の伸びが終了した時点で、駆動棒２０３の動きは停止するが、鏡筒２０２は慣性により動き続け、やがて停止する。圧電素子２０１に印加される電圧が急速に変化するパルス立ち下がり部では、圧電素子２０１が急激に縮む。これに伴って、駆動棒２０３が図１１中の右方向に動くが、鏡筒２０２は、自身の質量による慣性等によって、静止した状態を保つ。したがって、図１２中に示す駆動パルスを圧電素子２０１に印加することにより、鏡筒２０２は、図１１中の左方向に動かされていく。
【０００４】
また、特開２００６−７４６５２号公報には、手振れ補正性能と静音性能とのバランスを適切にとることを目的とした撮像装置が開示されている（特許文献２）。図１３は、特許文献２に開示された撮像装置を示す分解斜視図である。
【０００５】
図１３を参照して、撮像装置であるデジタルカメラは、ＣＣＤ（charge-coupled device）３０３と、Ｘ軸方向に延設される第１アクチュエータ３０１と、Ｙ軸方向に延設される第２アクチュエータ３０２と備える。第１アクチュエータ３０１および第２アクチュエータ３０２に与えられる駆動信号に基づいて、ＣＣＤ３０３は、Ｚ軸に直交するＸＹ平面内にて移動する。
【特許文献１】特開平４−６９０７０号公報
【特許文献２】特開２００６−７４６５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
駆動装置をモバイル機器に搭載する場合、小型化する必要がある。しかしながら、上述の特許文献１に開示された構造を用いて、複数の移動部材を異なる挙動で駆動させようとすると、各移動部材に応じて複数の圧電素子が必要となる。また、上述の特許文献２では、ＣＣＤ３０３をＸＹ平面内にて駆動させるために、２つの圧電素子が用いられている。これらの場合、駆動装置の小型化を十分に図ることができない。
【０００７】
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、小型化が十分に図られる駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の１つの局面に従った駆動装置は、圧電素子と、駆動部材と、第１移動部材および第２移動部材と、制御部とを備える。圧電素子は、静止部材に一部を固定され、電圧が印加されることにより伸縮する。駆動部材は、圧電素子に対して固定され、圧電素子の伸縮に伴って駆動する。第１移動部材および第２移動部材は、駆動部材に摩擦係合される。制御部は、圧電素子に電気的に接続され、駆動部材の駆動を制御する。
【０００９】
このように構成された駆動装置によれば、駆動部材に第１移動部材および第２移動部材を摩擦係合させ、制御部によって駆動部材の駆動を制御する。これにより、１つの圧電素子によって、複数の移動部材を駆動させることができる。このため、駆動装置の小型化を図ることができる。
【００１０】
また好ましくは、駆動部材と第１移動部材との間に生じる摩擦力と、駆動部材と第２移動部材との間に生じる摩擦力とが、異なる。このように構成された駆動装置によれば、第１移動部材および第２移動部材を互いに異なる挙動で駆動させることができる。
【００１１】
また好ましくは、制御部は、圧電素子を伸長させ、駆動部材を駆動させる伸長ステップと、圧電素子を短縮させ、駆動部材を駆動させる短縮ステップとを実行する。伸長ステップ時に圧電素子を伸長させる速度と、短縮ステップ時に圧電素子を短縮させる速度とが、異なる。このように構成された駆動装置によれば、第１移動部材および第２移動部材の移動方向を制御することができる。
【００１２】
この発明の別の局面に従った駆動装置は、圧電素子と、第１駆動部材および第２駆動部材と、被駆動部材と、制御部とを備える。圧電素子は、静止部材に一部を固定され、電圧が印加されることにより伸縮する。第１駆動部材および第２駆動部材は、圧電素子に対して固定され、圧電素子の伸縮に伴って互いに異なる方向に駆動する。被駆動部材は、第１駆動部材に摩擦係合された第１移動部材と、第２駆動部材に対して摩擦係合された第２移動部材とを含む。制御部は、圧電素子に電気的に接続され、第１駆動部材および第２駆動部材の駆動を制御する。
【００１３】
このように構成された駆動装置によれば、互いに異なる方向に駆動する第１駆動部材および第２駆動部材にそれぞれ第１移動部材および第２移動部材を摩擦係合させ、制御部によって第１駆動部材および第２駆動部材の駆動を制御する。これにより、１つの圧電素子によって、複数の方向において被駆動部材を駆動させることができる。このため、駆動装置の小型化を図ることができる。
【００１４】
また好ましくは、第１駆動部材と被駆動部材とは、第２駆動部材の駆動方向に相対移動可能に設けられる。第２駆動部材と被駆動部材とは、第１駆動部材の駆動方向に相対移動可能に設けられる。このように構成された駆動装置によれば、被駆動部材を、第１駆動部材の駆動方向および第２駆動部材の駆動方向の双方に移動可能とできる。
【００１５】
また好ましくは、第１駆動部材と第１移動部材との間に生じる摩擦力と、第２駆動部材と第２移動部材との間に生じる摩擦力とが、異なる。このように構成された駆動装置によれば、複数の方向において被駆動部材をそれぞれ異なる挙動で駆動させることができる。
【００１６】
また好ましくは、制御部は、圧電素子を伸長させ、第１駆動部材および第２駆動部材を駆動させる伸長ステップと、圧電素子を短縮させ、第１駆動部材および第２駆動部材を駆動させる短縮ステップとを実行する。伸長ステップ時に圧電素子を伸長させる速度と、短縮ステップ時に圧電素子を短縮させる速度とが、異なる。このように構成された駆動装置によれば、第１移動部材および第２移動部材の移動方向を制御することができる。
【００１７】
また好ましくは、制御部は、圧電素子に印加する電圧の大きさを変化させる。また好ましくは、制御部は、圧電素子に印加する電圧の駆動周波数を変化させる。このように構成された駆動装置によれば、圧電素子に印加する電圧の大きさや駆動周波数を通じて、駆動部材の駆動を制御することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、この発明に従えば、小型化が十分に図られる駆動装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００２０】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１における駆動装置を示す図である。図１を参照して、駆動装置１０は、たとえば、カメラの撮影レンズやオーバーヘッドプロジェクタなどの投影レンズ、双眼鏡のレンズ、複写機のレンズなど、光学装置におけるレンズの駆動に用いられる。さらには、駆動装置１０は、ズーム制御機構とフォーカス制御機構とを同軸方向に行なう小型カメラモジュールに好適に適用される。
【００２１】
駆動装置１０は、圧電素子１７と、駆動部材２１と、移動部材３１および３６と、制御部１２とを含む。圧電素子１７は、電圧を印加することにより機械的歪みが生じる素子である。圧電素子１７は、その一部を静止部材１５に対して固定されている。圧電素子１７は、電圧が印加されることにより伸縮する。圧電素子１７は、図中のＸ軸方向に伸縮する。圧電素子１７は、静止部材１５に対して固定された部分を起点に伸縮する。
【００２２】
駆動部材２１は、圧電素子１７に接続されている。駆動部材２１は、圧電素子１７から圧電素子１７の伸縮方向に延出する。駆動部材２１は、圧電素子１７の伸縮に伴って、圧電素子１７の伸縮方向であるＸ軸方向に駆動する。駆動部材２１の駆動方向と、圧電素子１７の伸縮方向とは、必ずしも一致しなくてよい。駆動部材２１は、別の接合部材を介在させて圧電素子１７に接続されてもよい。駆動部材２１は、載置面２１ａを含む。載置面２１ａは、略水平方向に延在する。
【００２３】
移動部材３１と移動部材３６とは、別部材である。移動部材３１および移動部材３６は、それぞれ駆動部材２１に対して摩擦係合されている。移動部材３１および３６は、載置面２１ａに載置されている。移動部材３１および３６の自重が、載置面２１ａに負荷する。移動部材３１と移動部材３６とは、圧電素子１７の伸縮方向であるＸ軸方向に離れて位置決めされている。たとえば、駆動装置１０が小型カメラモジュールに適用される場合、移動部材３１はズーム制御を行なう部材であり、移動部材３６はオートフォーカス制御を行なう部材である。
【００２４】
図２は、図１中の移動部材が駆動部材に対して摩擦係合される形態の変形例を示す断面図である。図中には、図１中のＩＩ−ＩＩ線上に沿った位置に対応する断面が示されている。
【００２５】
図２（Ａ）を参照して、駆動部材２１には、溝部２１ｂが形成されている。本変形例では、移動部材３１が、溝部２１ｂに嵌合された状態で駆動部材２１に対して摩擦係合されている。図２（Ｂ）を参照して、移動部材３１には、孔３１ｅが形成されている。本変形例では、孔３１ｅに駆動部材２１が挿入された状態で、移動部材３１が駆動部材２１に対して摩擦係合されている。図２（Ｃ）を参照して、移動部材３１には、溝３１ｇが形成されている。本変形例では、駆動部材２１が溝３１ｇに嵌合された状態で、移動部材３１が駆動部材２１に対して摩擦係合されている。
【００２６】
なお、移動部材３１についてのみ説明したが、同様の形態で移動部材３６が駆動部材２１に対して摩擦係合されてもよい。移動部材３１および３６が駆動部材２１に対して摩擦係合される形態は、上記形態に限られず、適宜変更される。駆動部材２１と移動部材３１および３６との間で生じる摩擦力は、駆動部材２１の駆動方向に依存しなくてもよい。
【００２７】
再び図１を参照して、駆動部材２１と移動部材３１との間に生じる摩擦力と、駆動部材２１と移動部材３６との間に生じる摩擦力とは、異なる。本実施の形態では、駆動部材２１と移動部材３６との間に生じる摩擦力が、駆動部材２１と移動部材３１との間に生じる摩擦力よりも大きい。
【００２８】
移動部材３１および３６の表面粗度、重さ、材料などを制御することにより、両者の摩擦力に差を設けることができる。たとえば、移動部材３１と移動部材３６とが同一形状を有する場合であっても、移動部材３１を相対的に小さい密度を有する材料から形成し、移動部材３６を相対的に大きい密度を有する材料から形成することによって、駆動部材２１と移動部材３６との間に生じる摩擦力は、駆動部材２１と移動部材３１との間に生じる摩擦力よりも大きくなる。また、駆動部材２１と接触する移動部材３６の表面を粗く仕上げ、駆動部材２１と接触する移動部材３１の表面を滑らかに仕上げることによって、駆動部材２１と移動部材３６との間に生じる摩擦力は、駆動部材２１と移動部材３１との間に生じる摩擦力よりも大きくなる。
【００２９】
図３は、駆動部材および移動部材間の摩擦力を制御する方法の一形態を示す断面図である。図３を参照して、駆動装置１０は、押圧部材としてのばね４０を含んでもよい。ばね４０の弾性力によって、移動部材３１および３６が駆動部材２１に対して押圧されている。この場合、移動部材３１および移動部材３６間でばね４０のばね定数や個数を異なる条件とすることにより、両者で発生する摩擦力に差を設けることができる。
【００３０】
図４は、図１中の駆動装置の挙動例を示す図である。図４を参照して、制御部１２は、圧電素子１７を伸長させる伸長ステップ（時間０〜ｔ２）と、伸長ステップの後、圧電素子１７を短縮させる短縮ステップ（時間ｔ２〜ｔ３）とを順に実行する。
【００３１】
伸長ステップ（時間０〜ｔ２）では、圧電素子１７を緩やかに伸長させる（速度ｖ１）。この場合、移動部材３１および３６は、載置面２１ａ上で滑らず、駆動部材２１の駆動に追従して圧電素子１７の伸長方向に移動する。短縮ステップ（時間ｔ２〜ｔ３）では、圧電素子１７を急速に短縮させる（速度ｖ２＞速度ｖ１）。この場合、相対的に小さい摩擦力が発生する移動部材３１は、載置面２１ａ上で滑ることにより、静止した状態を保つ。一方、相対的に大きい摩擦力が発生する移動部材３６は、載置面２１ａ上で滑らず、駆動部材２１の駆動に追従して圧電素子１７の短縮方向に移動する。この結果、移動部材３６を移動させず、移動部材３１のみを移動させることができる。
【００３２】
図５は、図１中の駆動装置の別の挙動例を示す図である。図５を参照して、制御部１２は、圧電素子１７を伸長させる伸長ステップ（時間０〜ｔ１）と、伸長ステップの後、圧電素子１７を短縮させる短縮ステップ（時間ｔ１〜ｔ２）とを順に実行する。
【００３３】
伸長ステップ（時間０〜ｔ１）では、圧電素子１７を急速に伸長させる（速度ｖ３）。この場合、相対的に小さい摩擦力が発生する移動部材３１は、載置面２１ａ上で滑り、静止した状態を保つ。一方、相対的に大きい摩擦力が発生する移動部材３６は、載置面２１ａ上で滑らず、駆動部材２１の駆動に追従して圧電素子１７の伸長方向に移動する。短縮ステップ（時間ｔ１〜ｔ２）では、圧電素子１７を、伸長ステップ（時間０〜ｔ１）よりも急速に短縮させる（速度ｖ４＞速度ｖ３）。この場合、移動部材３１および３６はともに、載置面２１ａ上で滑り、静止した状態を保つ。この結果、移動部材３１を移動させず、移動部材３６のみを移動させることができる。
【００３４】
このように移動部材３１および３６を駆動部材２１に対して摩擦係合させ、両者の間で摩擦力に差を設けることによって、移動部材３１および３６を別々の挙動で駆動させることができる。
【００３５】
続いて、圧電素子が発生する推力からなる駆動力と、圧電素子に印加される電圧との関係について説明を行なう。駆動力と電圧および伝達関数との関係を（１）式に示し、伝達関数と駆動周波数との関係を（２）式に示す。式中、Ｆは駆動力、Ｅはヤング率、Ｌは圧電素子の長さ、ΔＬは変位量、Ｓは圧電素子の断面積、Ｇ（ｆｄ）は伝達関数、ｆｄは駆動周波数、Ｖは電圧、Ａは変位に対する電圧係数、ｆｓは共振周波数、Ｑｍは機械品質係数である。
【００３６】
【数１】
2008199701.tif 000003
【００３７】
【数２】
2008199701.tif 000004
【００３８】
図６は、圧電素子に印加する電圧の大きさと駆動力との関係を示すグラフである。図７は、圧電素子に印加する電圧の駆動周波数と伝達関数との関係を示すグラフである。（１）式および図６から、駆動力と電圧および伝達関数とは比例関係であることが分かる。（２）式および図７から、駆動周波数によって伝達関数が変化することが分かる。つまり、圧電素子に印加する電圧の大きさや駆動周波数を制御することによって、駆動力を制御することができる。
【００３９】
駆動力の制御について一例を挙げると、図１中の駆動装置１０において、ヤング率を５．５×１０１０Ｎ／ｍ２、圧電素子１７の長さを５ｍｍ、圧電素子１７の断面積を６ｍｍ２、変位に対する電圧係数を０．０３μｍ/Ｖ、共振周波数を２６１ｋＨｚ、機械品質係数を０．６８とする。さらに、駆動周波数を１８２．７ｋＨｚ、電圧を３Ｖとすると、駆動力は１．９Ｎとなる。この値は、電圧または駆動周波数を制御することによって変化する。
【００４０】
図８は、図１中の駆動装置において駆動力と摩擦力との関係を説明するためのグラフである。図８を参照して、縦軸は力を示し、点線Ａおよび点線Ｂは、それぞれ移動部材３１および移動部材３６で発生する摩擦力の大きさを表わす。横軸は、駆動力を制御するパラメータであり、電圧の大きさや伝達関数に寄与する駆動周波数である。
【００４１】
駆動力が点線Ａよりも小さい領域５１にある場合、移動部材３１および３６で発生する摩擦力が駆動力よりも大きいため、移動部材３１および３６は滑ることなく、駆動部材２１とともに駆動する。駆動力が点線Ａよりも大きく点線Ｂよりも小さい領域５２にある場合、移動部材３１は、駆動部材２１上を滑ることにより、静止した状態を保つ。一方、移動部材３６は、滑ることなく駆動部材２１とともに駆動する。駆動力が点線Ｂよりも大きい領域５３にある場合、移動部材３１および３６は、駆動部材２１上を滑ることにより、静止した状態を保つ。このように、電圧および駆動周波数を変化させて駆動力を制御することによって、移動部材３１および移動部材３６を別々に移動させることができる。
【００４２】
この発明の実施の形態１における駆動装置１０は、圧電素子１７と、駆動部材２１と、第１移動部材としての移動部材３１および第２移動部材としての移動部材３６と、制御部１２とを備える。圧電素子１７は、静止部材１５に一部を固定され、電圧が印加されることにより伸縮する。駆動部材２１は、圧電素子１７に対して固定され、圧電素子１７の伸縮に伴って駆動する。移動部材３１および移動部材３６は、駆動部材２１に摩擦係合される。制御部１２は、圧電素子１７に電気的に接続され、駆動部材２１の駆動を制御する。
【００４３】
このように構成された、この発明の実施の形態１における駆動装置１０によれば、１つの圧電素子１７によって、２つの移動部材３１および３６を別々に駆動させることができる。このため、駆動装置１０を、小型化の要求が強い機器に対して好適に利用することができる。
【００４４】
（実施の形態２）
図９は、この発明の実施の形態２における駆動装置を示す平面図である。図１０は、図９中のＸ−Ｘ線上に沿った駆動装置の断面図である。本実施の形態では、実施の形態１における駆動装置１０と比較して重複する構造については、説明は繰り返さない。
【００４５】
図９および図１０を参照して、駆動装置１１０は、Ｘ軸およびＹ軸の２軸駆動を行なう駆動装置である。駆動装置１１０は、たとえば、携帯電話あるいはデジタルカメラの手ぶれ補正を行なう際に、補正レンズや撮像素子などを移動させるために用いられる。
【００４６】
駆動装置１１０は、圧電素子１７と、駆動部材１２１および１２６と、被駆動部材１３１と、制御部１２とを含む。圧電素子１７は、図９中のＸ軸とＹ軸との間の所定の軸方向に伸縮する。本実施の形態では、圧電素子１７が、Ｘ軸およびＹ軸にそれぞれ４５°で交わる軸方向（矢印９９に示す方向）に伸縮する。
【００４７】
駆動部材１２１は圧電素子１７からＸ軸方向に延出し、駆動部材１２６は圧電素子１７からＹ軸方向に延出する。圧電素子１７の伸縮方向と、駆動部材１２１および１２６の駆動方向とは、一致しない。駆動部材１２１と駆動部材１２６とは、一体に設けられている。駆動部材１２１および１２６は、Ｙ字の形状を有し、圧電素子１７に接続されている。駆動部材１２１と駆動部材１２６とは、別部材であってもよい。この場合、棒形状を有する駆動部材１２１および駆動部材１２６が、それぞれ圧電素子１７に接続される。駆動部材１２１および１２６は、別の接合部材を介在させて圧電素子１７に接続されてもよい。駆動部材１２１の駆動方向と駆動部材１２６の駆動方向とは、必ずしも直交しなくてもよい。
【００４８】
被駆動部材１３１は、移動部材１３４および１３９を含む。移動部材１３４は、駆動部材１２１に対して摩擦係合されている。移動部材１３９は、駆動部材１２６に対して摩擦係合されている。駆動部材１２１と移動部材１３４との間に生じる摩擦力と、駆動部材１２６と移動部材１３９との間に生じる摩擦力とは、異なる。
【００４９】
被駆動部材１３１は、接続部材１３２および１３７を含む。接続部材１３２および接続部材１３７には、溝１３２ｈおよび溝１３７ｈが形成されている。溝１３２ｈおよび溝１３７ｈは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に延びる。溝１３２ｈおよび溝１３７ｈには、それぞれ移動部材１３４および移動部材１３９が嵌合されている。このような構成により、被駆動部材１３１がＸ軸方向に駆動する場合に、移動部材１３９は、接続部材１３７との嵌合によって駆動部材１２６に対して摩擦係合した状態を保持できる。被駆動部材１３１がＹ軸方向に駆動する場合に、移動部材１３４は、接続部材１３２との嵌合によって駆動部材１２１に対して摩擦係合した状態を保持できる。
【００５０】
本実施の形態では、移動部材１３４で生じる摩擦力と移動部材１３９で生じる摩擦力とが異なるため、Ｘ軸方向およびＹ軸方向において、被駆動部材１３１を異なる挙動で駆動させることができる。また、圧電素子１７に印加する電圧の大きさや駆動周波数を変化させることによって、被駆動部材１３１をＸ−Ｙ平面内で任意に駆動させることができる。
【００５１】
この発明の実施の形態２における駆動装置１１０は、圧電素子１７と、第１駆動部材としての駆動部材１２１および第２駆動部材としての駆動部材１２６と、被駆動部材１３１と、制御部１２とを備える。圧電素子１７は、静止部材１５に一部を固定され、電圧が印加されることにより伸縮する。駆動部材１２１および駆動部材１２６は、圧電素子１７に対して固定され、圧電素子１７の伸縮に伴って互いに異なる方向に駆動する。被駆動部材１３１は、駆動部材１２１に摩擦係合された第１移動部材としての移動部材１３４と、駆動部材１２６に対して摩擦係合された第２移動部材としての移動部材１３９とを含む。制御部１２は、圧電素子１７に電気的に接続され、駆動部材１２１および駆動部材１２６の駆動を制御する。
【００５２】
このように構成された、この発明の実施の形態２における駆動装置１１０によれば、１つの圧電素子１７によって、被駆動部材１３１をＸ−Ｙ平面内で駆動させることができる。このため、駆動装置１１０を、小型化の要求が強い機器に対して好適に利用することができる。
【００５３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】この発明の実施の形態１における駆動装置を示す図である。
【図２】図１中の移動部材が駆動部材に対して摩擦係合される形態の変形例を示す断面図である。
【図３】駆動部材および移動部材間の摩擦力を制御する方法の一形態を示す断面図である。
【図４】図１中の駆動装置の挙動例を示す図である。
【図５】図１中の駆動装置の別の挙動例を示す図である。
【図６】圧電素子に印加する電圧の大きさと駆動力との関係を示すグラフである。
【図７】圧電素子に印加する電圧の駆動周波数と伝達関数との関係を示すグラフである。
【図８】図１中の駆動装置において駆動力と摩擦力との関係を説明するためのグラフである。
【図９】この発明の実施の形態２における駆動装置を示す平面図である。
【図１０】図９中のＸ−Ｘ線上に沿った駆動装置の断面図である。
【図１１】特許文献１に開示された駆動装置を示す斜視図である。
【図１２】図１１中の駆動装置において、圧電素子に印加される駆動パルスの波形を示す図である。
【図１３】特許文献２に開示された撮像装置を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０，１１０  駆動装置、１２  制御部、１５  静止部材、１７  圧電素子、２１，１２１，１２６  駆動部材、３１，３６，１３４，１３９  移動部材、１３１  被駆動部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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