(57)【要約】【課題】アナログ信号を精度良く入力する。【解決手段】アナログ信号の信号入出力装置であって、与えられた入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を出力端子へ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、入力端子を介して入力したアナログ信号をＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをＤＡ変換部に与え、入力端子からのアナログ信号に代えてＤＡ変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、ＡＤ変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える信号入出力装置を提供する。【選択図】図１
2008286699.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アナログ信号の信号入出力装置であって、
与えられた入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、
前記ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を出力端子へ伝達する出力回路と、
与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、
入力端子を介して入力したアナログ信号を前記ＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、
特性測定時において、前記入力波形データに代えて予め定められた基準波形データを前記ＤＡ変換部に与え、前記入力端子からのアナログ信号に代えて前記ＤＡ変換部と前記出力回路との間の信号を前記入力回路に供給する切替制御部と、
前記特性測定時において、前記ＡＤ変換部により出力された前記出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、
前記基準波形データおよび前記測定波形データに基づき、前記入力回路および前記ＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部と
を備える信号入出力装置。
【請求項２】
前記入力回路および前記ＡＤ変換部の伝達特性の逆特性に応じて、前記出力波形データを補正する補正部を更に備える請求項１に記載の信号入出力装置。
【請求項３】
前記切替制御部は、前記入力波形データに代えて、マルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを前記ＤＡ変換部に与え、
前記算出部は、前記入力回路および前記ＡＤ変換部の周波数成分毎の伝達特性を算出する
請求項１に記載の信号入出力装置。
【請求項４】
前記入力回路は、前記伝達特性を変更可能であり、
前記入力回路の増幅率に応じて、前記ＤＡ変換部から出力するアナログ信号の振幅を制御する振幅制御部を更に備える
請求項１に記載の信号入出力装置。
【請求項５】
前記ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を減衰する減衰部を更に備え、
前記振幅制御部は、前記減衰部による減衰率を制御する
請求項４に記載の信号入出力装置。
【請求項６】
前記ＤＡ変換部は、前記ＡＤ変換部のサンプリングレートよりも高いサンプリングレートにより、デジタルデータをアナログ信号に変換する
請求項１に記載の信号入出力装置。
【請求項７】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスに供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、
前記ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を前記被試験デバイスへ伝達する出力回路と、
与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、
前記被試験デバイスから出力されたアナログ信号を前記ＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、
前記入力回路および前記ＡＤ変換部の伝達特性の逆特性に応じて、前記出力波形データを補正する補正部と、
補正された前記出力波形データに基づき、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と、
特性測定時において、前記入力波形データに代えて予め定められた基準波形データを前記ＤＡ変換部に与え、前記被試験デバイスからのアナログ信号に代えて前記ＤＡ変換部と前記出力回路との間の信号を前記入力回路に供給する切替制御部と、
前記特性測定時において、前記ＡＤ変換部により出力された前記出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、
前記基準波形データおよび前記測定波形データに基づき、前記入力回路および前記ＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部と
を備える試験装置。
【請求項８】
電子デバイスであって、
被試験回路と、
前記被試験回路を試験する試験回路とを備え、
前記試験回路は、
前記被試験回路に供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、
前記ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を前記被試験回路へ伝達する出力回路と、
与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、
前記被試験回路から出力されたアナログ信号を前記ＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、
前記入力回路および前記ＡＤ変換部の伝達特性の逆特性に応じて、前記出力波形データを補正する補正部と、
補正された前記出力波形データに基づき、前記被試験回路の良否を判定する判定部と、
特性測定時において、前記入力波形データに代えて予め定められた基準波形データを前記ＤＡ変換部に与え、前記被試験回路からのアナログ信号に代えて前記ＤＡ変換部と前記出力回路との間の信号を前記入力回路に供給する切替制御部と、
前記特性測定時において、前記ＡＤ変換部により出力された前記出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、
前記基準波形データおよび前記測定波形データに基づき、前記入力回路および前記ＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部と
を備える電子デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号入出力装置、試験装置および電子デバイスに関する。特に本発明は、アナログ信号の信号入出力装置、試験装置および電子デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
任意波形のアナログ信号を被試験デバイスに供給する信号発生装置と、被試験デバイスから出力されたアナログ信号の波形を取り込んでデジタル化するデジタイザとを備える試験装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。このような試験装置によれば、アナログ信号を入出力する電子デバイスを試験することができる。
【０００３】
また、このような試験装置は、アナログ信号を入力する入力端子からデジタイザ内のＡＤ変換器までの経路の伝達特性に応じて、当該デジタイザにより取り込んだ波形データを補正する。これにより、試験装置によれば、デジタイザの入力端子からＡＤ変換器までの経路において生じる信号劣化を、取り込んだ波形データから除去することができる。
【特許文献１】特開２００６−３３７１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、デジタイザの入力端子からＡＤ変換器までの経路の伝達特性は、ネットワークアナライザによって予め測定されていなければならない。従って、使用者は、例えばキャリブレーション時に、当該試験装置の入力端子およびＡＤ変換器にネットワークアナライザのプローブを接続し、伝達特性を測定しなければならなかった。このため、このような試験装置によれば、伝達特性の測定のための作業工数が多かった。
【０００５】
また、ネットワークアナライザは、プローブを接続することができないような部分までの経路の伝達特性（例えばＩＣ内部の途中までの経路の伝達特性）を測定することはできない。従って、ネットワークアナライザは、ＡＤ変換器の内部回路を含めた経路の伝達特性を測定することができなかった。
【０００６】
また、ネットワークアナライザは、差動信号を入力することが困難である。従って、ＡＤ変換器が差動入力となっており、ＡＤ変換器の前段にシングルエンド信号を差動信号に変換する差動増幅器が設けられている場合、ネットワークアナライザは、当該差動増幅器を含めた経路の伝達特性を確度良く測定することが困難であった。
【０００７】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる信号入出力装置、試験装置および電子デバイスを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、アナログ信号の信号入出力装置であって、与えられた入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を出力端子へ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、入力端子を介して入力したアナログ信号をＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをＤＡ変換部に与え、入力端子からのアナログ信号に代えてＤＡ変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、ＡＤ変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える信号入出力装置を提供する。
【０００９】
本発明の第２の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスに供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を被試験デバイスへ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、被試験デバイスから出力されたアナログ信号をＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、入力回路およびＡＤ変換部の伝達特性の逆特性に応じて、出力波形データを補正する補正部と、補正された出力波形データに基づき、被試験デバイスの良否を判定する判定部と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをＤＡ変換部に与え、被試験デバイスからのアナログ信号に代えてＤＡ変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、ＡＤ変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える試験装置を提供する。
【００１０】
本発明の第３の形態においては、電子デバイスであって、被試験回路と、被試験回路を試験する試験回路とを備え、試験回路は、被試験回路に供給すべき試験信号の波形を表す入力波形データに応じたアナログ信号を出力するＤＡ変換部と、ＤＡ変換部により出力されたアナログ信号を被試験回路へ伝達する出力回路と、与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力するＡＤ変換部と、被試験回路から出力されたアナログ信号をＡＤ変換部へ伝達する入力回路と、入力回路およびＡＤ変換部の伝達特性の逆特性に応じて、出力波形データを補正する補正部と、補正された出力波形データに基づき、被試験回路の良否を判定する判定部と、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをＤＡ変換部に与え、被試験回路からのアナログ信号に代えてＤＡ変換部と出力回路との間の信号を入力回路に供給する切替制御部と、特性測定時において、ＡＤ変換部により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する取得部と、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路およびＡＤ変換部の伝達特性を算出する算出部とを備える電子デバイスを提供する。
【００１１】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１３】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を、被試験デバイス３００と共に示す。図２は、図１に示された出力回路３６の構成の一例を示す。
【００１４】
試験装置１０は、アナログ信号を入出力する被試験デバイス３００を試験する。より詳しくは、試験装置１０は、アナログの試験信号を被試験デバイス３００に供給し、試験信号に応じて被試験デバイス３００から出力されたアナログの出力信号を取り込む。そして、試験装置１０は、取り込んだ出力信号の波形と期待波形とを比較して、当該被試験デバイス３００の良否を判定する。
【００１５】
試験装置１０は、波形メモリ１２と、転送部１４と、判定部１６と、信号入出力装置２０とを備える。波形メモリ１２は、被試験デバイス３００に供給すべき試験信号の波形を表す波形データ（入力波形データ）を記憶する。試験装置１０は、一例として、正弦波およびランプ波等の任意波形を所定ピッチでサンプルした信号値の系列を、入力波形データとして記憶する。
【００１６】
転送部１４は、波形メモリ１２に記憶されている入力波形データを順次に読み出して信号入出力装置２０に転送する。転送部１４は、一例として、リストに従った順序で入力波形データを読み出してよい。判定部１６は、信号入出力装置２０により取り込まれた被試験デバイス３００の出力信号の波形と期待波形とを比較する。そして、判定部１６は、比較結果に基づき被試験デバイス３００の良否を判定する。
【００１７】
信号入出力装置２０は、第１切替部３２と、ＤＡ変換部３４と、出力回路３６と、第２切替部４２と、入力回路４４と、ＡＤ変換部４６と、補正部４８と、基準波形発生部５２と、切替制御部５４と、取得部５６と、算出部５８とを有する。信号入出力装置２０は、試験時において、転送部１４から与えられた入力波形データに応じた波形のアナログの試験信号を生成し、出力端子２６を介して被試験デバイス３００に供給する。また、信号入出力装置２０は、試験時において、被試験デバイス３００から出力されたアナログの出力信号を入力端子２８を介して入力し、入力した出力信号をデジタル化し、当該出力信号の波形を取り込む。
【００１８】
さらに、信号入出力装置２０は、例えば一定期間毎または試験開始前等に、例えばキャリブレーションを目的として当該信号入出力装置２０の特性を測定する。特性測定時において、信号入出力装置２０は、入力端子２８からＡＤ変換部４６の出力端までの信号経路の伝達特性を測定する。
【００１９】
第１切替部３２は、転送部１４から出力された入力波形データまたは基準波形発生部５２から出力された基準波形データの一方を選択して、ＤＡ変換部３４に与える。より詳しくは、第１切替部３２は、試験時において入力波形データを選択してＤＡ変換部３４に与え、特性測定時において基準波形データを選択してＤＡ変換部３４に与える。
【００２０】
ＤＡ変換部３４は、与えられた波形データに応じたアナログ信号を出力する。より詳しくは、ＤＡ変換部３４は、試験時において、転送部１４から与えられた入力波形データをＤＡ変換することにより、入力波形データに応じたアナログ信号を出力する。また、ＤＡ変換部３４は、特性測定時において、入力波形データに代えて、基準波形発生部５２から与えられた基準波形データをＤＡ変換することにより、基準波形データに応じたアナログ信号を出力する。
【００２１】
ＤＡ変換部３４は、一例として、差動ＤＡＣ３４２と、トランス３４４とを含んでよい。差動ＤＡＣ３４２は、与えられた波形データに応じた差動信号を出力する。トランス３４４は、差動ＤＡＣ３４２から出力された差動信号をシングルエンド信号に変換する。
【００２２】
出力回路３６は、ＤＡ変換部３４により出力されたアナログ信号を出力端子２６を介して被試験デバイス３００へ伝達する。出力回路３６は、一例として、帯域制限回路であってよい。すなわち、出力回路３６は、一例として、ＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号の帯域を制限した信号を、被試験デバイス３００に供給してよい。
【００２３】
出力回路３６は、一例として、図２に示されるような、第１アテネータ６２と、フィルタ回路６４と、第２アテネータ６６と、増幅器６８とを含む帯域制限回路６０を有してよい。第１アテネータ６２は、ＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号を減衰する。フィルタ回路６４は、第１アテネータ６２により減衰されたアナログ信号をフィルタリングする。第２アテネータ６６は、フィルタ回路６４によりフィルタリングされたアナログ信号を減衰する。増幅器６８は、第２アテネータ６６により減衰されたアナログ信号を増幅する。これにより、帯域制限回路６０によれば、ＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号を帯域制限した信号を被試験デバイス３００に与えることができる。
【００２４】
第２切替部４２は、被試験デバイス３００から出力されたアナログ信号またはＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号の一方を選択して、入力回路４４に与える。より詳しくは、第２切替部４２は、試験時において被試験デバイス３００から出力されたアナログ信号を選択して入力回路４４に与え、特性測定時においてＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号を選択して入力回路４４に与える。
【００２５】
入力回路４４は、第２切替部４２を介して入力したアナログ信号をＡＤ変換部４６へ伝達する。より詳しくは、入力回路４４は、試験時において、被試験デバイス３００から出力されたアナログ信号を入力端子２８を介して入力し、入力したアナログ信号をＡＤ変換部４６へ伝達する。入力回路４４は、特性測定時において、ＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号を入力し、入力したアナログ信号をＡＤ変換部４６へ伝達する。入力回路４４は、一例として、伝達するアナログ信号の帯域を制限してよい。すなわち、入力回路４４は、一例として、被試験デバイス３００から出力されたアナログ信号またはＤＡ変換部３４から出力されたアナログ信号の帯域を制限した信号を、ＡＤ変換部４６に供給してよい。
【００２６】
ＡＤ変換部４６は、入力回路４４から与えられたアナログ信号に応じた出力波形データを出力する。より詳しくは、ＡＤ変換部４６は、試験時において、被試験デバイス３００から出力され、入力回路４４を通過したアナログ信号をＤＡ変換し、ＤＡ変換の結果得られた出力波形データを出力する。また、ＡＤ変換部４６は、特性測定時において、ＤＡ変換部３４から出力され、入力回路４４を通過したアナログ信号をＤＡ変換し、ＤＡ変換した結果得られた出力波形データを出力する。
【００２７】
ＡＤ変換部４６は、一例として、差動アンプ４６２と、差動ＡＤＣ４６４とを含んでよい。差動アンプ４６２は、入力回路４４から出力されたシングルエンド信号を差動信号に変換する。差動ＡＤＣ４６４は、差動アンプ４６２から出力された差動信号に応じたデジタル信号を出力する。
【００２８】
補正部４８は、入力回路４４およびＡＤ変換部４６の伝達特性の逆特性に応じて、出力波形データを補正する。すなわち、補正部４８は、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路の伝達特性の逆特性に応じて、ＡＤ変換部４６から出力された出力波形データを補正する。
【００２９】
補正部４８は、一例として、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路のＳパラメータにより出力波形データを補正してよい。補正部４８は、一例として、出力波形データを周波数成分毎に分解し、各周波数成分を対応する周波数のＳパラメータにより補正してよい。補正部４８は、一例として、出力波形データの周波数成分を、対応する周波数のＳパラメータの係数Ｓ２１により除算することにより補正してよい。これにより、補正部４８によれば、入力回路４４およびＡＤ変換部４６において生じる信号劣化を補正した出力波形データを出力することができる。
【００３０】
そして、補正部４８は、補正した出力波形データを判定部１６に供給する。これにより、判定部１６によれば、補正部４８により補正された出力波形データに基づき、被試験デバイス３００の良否を判定することができる。
【００３１】
基準波形発生部５２は、特性測定時において、予め定められた基準波形データを発生する。本実施形態においては、基準波形発生部５２は、複数の周波数成分を含む波形（マルチトーン信号）の信号値の系列を、基準波形データとして発生する。
【００３２】
切替制御部５４は、第１切替部３２および第２切替部４２を制御する。より詳細には、切替制御部５４は、試験時において、転送部１４から出力された入力波形データをＤＡ変換部３４に与えるように第１切替部３２を切り替え、被試験デバイス３００からのアナログ信号を入力回路４４に供給するように第２切替部４２を切り替える。また、切替制御部５４は、特性測定時において、入力波形データに代えて予め定められた基準波形データをＤＡ変換部３４に与えるように第１切替部３２を切り替え、被試験デバイス３００からのアナログ信号に代えてＤＡ変換部３４と出力回路３６との間の信号を入力回路４４に供給するように第２切替部４２を切り替える。
【００３３】
取得部５６は、特性測定時において、ＡＤ変換部４６により出力された出力波形データを測定波形データとして取得する。すなわち、取得部５６は、ＤＡ変換部３４から出力され、入力回路４４を通過したアナログ信号をＡＤ変換部４６によりサンプルした結果得られた信号値の系列を、測定波形データとして取得する。
【００３４】
算出部５８は、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路４４およびＡＤ変換部４６の伝達特性を算出する。すなわち、算出部５８は、基準波形データおよび測定波形データに基づき、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路の伝達特性を算出する。算出部５８は、一例として、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路のＳパラメータを、伝達特性として算出してよい。
【００３５】
そして、算出部５８は、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路の伝達特性の逆特性を算出し、算出した逆特性を補正部４８に与える。算出部５８は、一例として、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路のＳパラメータを補正部４８に与えてよい。
【００３６】
以上の構成の試験装置１０によれば、ネットワークアナライザを用いずに入力端子２８から補正部４８の出力端までの伝達特性を測定することができる。これにより、試験装置１０によれば、伝達特性の測定の自動化をすることができ、作業工程を少なくすることができる。
【００３７】
また、試験装置１０によれば、補正部４８の内部回路を含めた経路の伝達特性を測定することができる。さらに、試験装置１０によれば、補正部４８内に差動ＡＤＣ４６４および差動アンプ４６２を含む場合であっても、これらを含めた伝送特性を測定することができる。これにより、試験装置１０によれば、入力端子２８から補正部４８の出力端までの伝達特性を精度良く測定することができる。
【００３８】
図３は、特性測定時において形成される２ポートネットワーク７０を示す。特性測定時において、信号入出力装置２０内には、ＤＡ変換部３４、入力回路４４およびＡＤ変換部４６を含む２ポートネットワーク７０が形成される。２ポートネットワーク７０の入力ポート７２に対する入力信号のレベルをａ１、出力信号のレベルをｂ１とし、出力ポート７４に対する入力信号のレベルをａ２、出力信号のレベルをｂ２とした場合、当該２ポートネットワーク７０のＳパラメータは式（１）のように表される。
【００３９】
【数１】
2008286699.tif 000003
【００４０】
ここで、ＤＡ変換部３４は、ＡＤ変換部４６のサンプリングレートよりも十分に高いサンプリングレートにより、デジタルデータをアナログ信号に変換する。この結果、ＤＡ変換部３４は、ＡＤ変換部４６と比較して、高速に動作し、動作帯域も広い。また、ＤＡ変換部３４の出力段の回路（例えば、トランス３４４）も、周波数特性が広い。従って、ＤＡ変換部３４の周波数特性は、ＡＤ変換部４６の動作帯域において理想的（ゲイン１、位相０）に近い。
【００４１】
ＤＡ変換部３４の周波数特性が理想的である場合、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路のＳパラメータは、２ポートネットワーク７０のＳパラメータに一致する。従って、算出部５８は、式（１）に表された２ポートネットワーク７０のＳパラメータを算出することによって、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路のＳパラメータを算出することができる。
【００４２】
また、２ポートネットワーク７０において、入力ポート７２からの出力信号ｂ１および出力ポート７４に対する入力信号ａ２は、０である。従って、式（１）におけるＳ１１、Ｓ１２、Ｓ２２は、０である。そして、式（１）におけるＳ２１は、下記式（２）のように表される。
【００４３】
【数２】
2008286699.tif 000004
【００４４】
従って、算出部５８は、入力波形データおよび測定波形データに基づき、上記式（２）を演算することにより、入力回路４４およびＡＤ変換部４６のＳパラメータを算出することができる。すなわち、算出部５８は、測定波形データにより表される波形のレベルを、入力波形データにより表される波形のレベルにより除算することにより、入力回路４４およびＡＤ変換部４６のＳパラメータ（係数Ｓ２１）を算出することができる。本実施形態においては、算出部５８は、周波数毎に、Ｓパラメータを算出する。そして、算出部５８は、特性測定時において算出した周波数毎のＳパラメータを、補正部４８に与える。
【００４５】
補正部４８は、試験時において、与えられた周波数毎のＳパラメータに基づき、ＡＤ変換部４６から出力された測定波形データを補正して、判定部１６に供給する。より具体的には、補正部４８は、周波数毎に、与えられたＳパラメータ（係数Ｓ２１）に基づき、ＡＤ変換部４６から出力された信号を下記式（３）に表されるように補正する。すなわち、補正部４８は、出力波形データを周波数成分毎に分解し、周波数成分毎に、ＡＤ変換部４６から出力された信号値ＢＡＤＣを、対応する周波数のＳパラメータの係数Ｓ２１により除算することにより、補正をする。なお、式（３）において、ＢＡＤＣ（ｆ）は、ＡＤ変換部４６から出力された信号の周波数ｆの成分を表し、ＢＯ（ｆ）は、補正後の信号値の周波数ｆの成分を表し、Ｓ２１（ｆ）は、Ｓパラメータの係数Ｓ２１の周波数ｆの成分を表す。
【００４６】
【数３】
2008286699.tif 000005
【００４７】
図４は、算出部５８により算出されるＳパラメータ（係数Ｓ２１）の一例を示す。算出部５８は、周波数毎に、入力回路４４およびＡＤ変換部４６のＳパラメータ（係数Ｓ２１）を測定して、記憶する。算出部５８は、一例として、所定周波数帯域（例えば、４０ＭＨｚ〜８０ＭＨｚ）における所定周波数毎に、入力回路４４およびＡＤ変換部４６のＳパラメータの係数Ｓ２１の実数成分および虚数成分を測定して、記憶してよい。そして、算出部５８は、測定した入力回路４４およびＡＤ変換部４６の周波数毎のＳパラメータを、補正部４８に与える。
【００４８】
図５は、基準波形発生部５２から発生される基準波形データとして発生されるマルチトーン信号の周波数特性の一例を示す。基準波形発生部５２は、一例として、マルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを発生してよい。マルチトーン信号は、複数の周波数成分が合成された信号である。マルチトーン信号は、一例として、所定周波数帯域（例えば、４０ＭＨｚ〜８０ＭＨｚ）における所定周波数毎に、所定のレベルの信号を含んでよい。
【００４９】
切替制御部５４は、特性測定時において、入力波形データに代えて、基準波形発生部５２により発生されたマルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを、ＤＡ変換部３４に与える。算出部５８は、入力回路４４およびＡＤ変換部４６の周波数毎の伝達特性を算出する。算出部５８は、一例として、取得部５６により取得された測定波形データをＦＦＴ演算等により周波数成分に分解し、周波数毎に、Ｓパラメータを算出してよい。これにより、信号入出力装置２０によれば、入力回路４４およびＡＤ変換部４６の周波数毎の伝達特性を短時間で測定することができる。
【００５０】
なお、基準波形発生部５２は、時間領域における最大値と最小値との差がより小さくなるように各周波数成分のレベルが調整されたマルチトーン信号を発生してよい。これにより、基準波形発生部５２によれば、ＤＡ変換部３４からＡＤ変換部４６までの伝送路中において生じるマルチトーン信号の歪を小さくすることができる。
【００５１】
更に、基準波形発生部５２は、ＤＡ変換部３４における０次ホールドによる高周波成分の減衰を予め補正したマルチトーン信号をデジタル化した基準波形データを発生してよい。これにより、基準波形発生部５２によれば、ＤＡ変換部３４において生じる誤差を除去し、入力回路４４およびＡＤ変換部４６の伝達特性をより正確に算出することができる。
【００５２】
図６は、本実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した同一符号の部材と略同一の構成および機能を採るので、以下相違点を除き説明を省略する。
【００５３】
本変形例に係る入力回路４４は、伝達特性を変更可能である。入力回路４４は、一例として、経路中の増幅器、減衰器、フィルタ回路等の係数および組み合わせを切替可能となっており、これらを切り替えることにより伝達特性を変更することができる。本変形例に係る切替制御部５４は、ユーザ等の制御に応じて、入力回路４４の伝達特性を変更する。
【００５４】
本変形例に係る取得部５６は、特性測定時において、入力回路４４内の経路毎に、測定波形データを取得する。また、算出部５８は、入力回路４４内の経路毎に、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路の伝達特性を算出する。算出部５８は、入力回路４４内の経路毎に、入力回路４４の入力端からＡＤ変換部４６の出力端までの経路の伝達特性の逆特性を算出し、算出した逆特性を補正部４８に与える。
【００５５】
そして、補正部４８は、試験時において、入力回路４４内の経路毎に、対応する経路の伝達特性の逆特性に応じて出力波形データを補正する。これにより、補正部４８によれば、入力回路４４の伝達特性が変更可能な場合であっても、それぞれの経路に対応して出力波形データを正確に補正することができる。
【００５６】
また、本変形例に係る試験装置１０は、減衰部８０と、振幅制御部８２とを更に備える。減衰部８０は、ＤＡ変換部３４により出力されたアナログ信号を減衰する。減衰部８０は、減衰させたアナログ信号を第２切替部４２に供給する。そして、切替制御部５４は、特性測定時において、被試験デバイス３００からのアナログ信号に代えて、減衰部８０から出力された信号を入力回路４４に供給するように第２切替部４２を切り替える。
【００５７】
振幅制御部８２は、入力回路４４の増幅率に応じて、ＤＡ変換部３４から出力するアナログ信号の振幅を制御する。本例においては、振幅制御部８２は、減衰部８０による減衰率を制御することにより、ＤＡ変換部３４から出力するアナログ信号の振幅を制御する。
【００５８】
ここで、振幅制御部８２は、入力回路４４から出力された信号がＡＤ変換部４６の入力電圧範囲に含まれるように、入力回路４４の増幅率に応じて減衰部８０の減衰率を制御する。より詳しくは、振幅制御部８２は、入力回路４４から出力される信号の振幅が、少なくともＡＤ変換部４６の分解能よりも大きく、ＡＤ変換部４６の入力可能最大値以下となるように、減衰部８０の減衰率を制御する。これにより、振幅制御部８２によれば、入力回路４４の増幅率が変更した場合であっても、ＡＤ変換部４６により波形をデジタル化させることができる。
【００５９】
図７は、本変形例に係る入力回路４４の構成の一例を示す。入力回路４４は、一例として、帯域制限部９２と、増幅部９４と、フィルタ部９６と、パス切替部９８とを含んでよい。
【００６０】
帯域制限部９２は、第２切替部４２により出力されたアナログ信号を帯域制限した信号を出力する。帯域制限部９２は、複数の帯域制限回路１０２と、第１帯域制限部内スイッチ１０４と、第２帯域制限部内スイッチ１０６とを含む。複数の帯域制限回路１０２は、互いに異なる伝達特性を有する回路である。複数の帯域制限回路１０２のそれぞれは、一例として、図２に示す帯域制限回路６０と略同一の回路構成であってよい。第１帯域制限部内スイッチ１０４および第２帯域制限部内スイッチ１０６は、パス切替部９８からの選択信号に応じて複数の帯域制限回路１０２のうちのいずれか１つを選択し、選択した帯域制限回路１０２に第２切替部４２により出力されたアナログ信号を通過させる。
【００６１】
増幅部９４は、複数の増幅回路１１２と、第１増幅部内スイッチ１１４と、第２増幅部内スイッチ１１６とを含む。複数の増幅回路１１２は、互いに異なる増幅率を有する回路である。第１増幅部内スイッチ１１４および第２増幅部内スイッチ１１６は、パス切替部９８からの選択信号に応じて複数の増幅回路１１２のうちのいずれか１つを選択し、選択した増幅回路１１２に帯域制限部９２により出力されたアナログ信号を通過させる。
【００６２】
フィルタ部９６は、増幅部９４により出力されたアナログ信号をフィルタリングして出力する。パス切替部９８は、切替制御部５４からの制御に応じて、帯域制限部９２および増幅部９４に選択信号を供給する。以上のような入力回路４４によれば、伝達特性の異なる経路を変更可能とすることができる。
【００６３】
なお、以上説明した試験装置１０は、試験対象となる被試験回路と共に同一の電子デバイスに設けられた試験回路であってもよい。当該試験回路は、電子デバイスのＢＩＳＴ回路等として実現され、被試験回路を試験することにより電子デバイスの診断等を行う。これにより、当該試験回路は、被試験回路となる回路が、電子デバイスが本来目的とする通常動作を行うことができるかどうかをチェックすることができる。
【００６４】
また、試験装置１０は、試験対象となる被試験回路と同一のボード又は同一の装置内に設けられた試験回路であってもよい。このような試験回路も、上述したように被試験回路が本来目的とする通常動作を行うことができるかどうかをチェックすることができる。
【００６５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を、被試験デバイス３００と共に示す。
【図２】図２は、図１に示された出力回路３６の構成の一例を示す。
【図３】図３は、特性測定時において形成される２ポートネットワーク７０を示す。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る算出部５８により算出されるＳパラメータ（係数Ｓ２１）の一例を示す。
【図５】図５は、本発明の実施形態に係る基準波形発生部５２から発生される基準波形データとして発生されるマルチトーン信号の周波数特性の一例を示す。
【図６】図６は、本発明の実施形態の第１変形例に係る試験装置１０の構成を示す。
【図７】図７は、本発明の実施形態の第１変形例に係る入力回路４４の構成の一例を示す。
【符号の説明】
【００６７】
１０  試験装置
１２  波形メモリ
１４  転送部
１６  判定部
２０  信号入出力装置
２６  出力端子
２８  入力端子
３２  第１切替部
３４  ＤＡ変換部
３６  出力回路
４２  第２切替部
４４  入力回路
４６  ＡＤ変換部
４８  補正部
５２  基準波形発生部
５４  切替制御部
５６  取得部
５８  算出部
６０  帯域制限回路
６２  第１アテネータ
６４  フィルタ回路
６６  第２アテネータ
６８  増幅器
７０  ２ポートネットワーク
７２  入力ポート
７４  出力ポート
８０  減衰部
８２  振幅制御部
９２  帯域制限部
９４  増幅部
９６  フィルタ部
９８  パス切替部
１０２  帯域制限回路
１０４  第１帯域制限部内スイッチ
１０６  第２帯域制限部内スイッチ
１１２  増幅回路
１１４  第１増幅部内スイッチ
１１６  第２増幅部内スイッチ
３００  被試験デバイス
３４２  差動ＤＡＣ
３４４  トランス
４６２  差動アンプ
４６４  差動ＡＤＣ
【図１】
2008286699.tif 000006
【図２】
2008286699.tif 000007
【図３】
2008286699.tif 000008
【図４】
2008286699.tif 000009
【図５】
2008286699.tif 000010
【図６】
2008286699.tif 000011
【図７】
2008286699.tif 000012