(57)【要約】【課題】インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することのできる転動装置部品の製品欠陥検査方法及び製品欠陥検査装置を提供する。【解決手段】インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを検査する際に、転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイル１６ａと、励磁コイル１６ａから転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイル１６ｂと、誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力を検出するインダクタンス変化検出回路１７と、インダクタンス変化検出回路１７で検出された誘導起電力の大きさを閾値と比較して製品欠陥の有無を判定する比較判定回路１８とを備えてなる検査装置を用いて製品欠陥の有無を判定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを検査する方法であって、前記製品欠陥を検出するセンサとして、前記転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイルと、該励磁コイルから前記転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサを用い、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して前記製品欠陥の有無を検査することを特徴とする転動装置部品の製品欠陥検査方法。
【請求項２】
前記転動装置部品が主部の内部に金属板をインサート成形により製造された樹脂保持器であり、前記製品欠陥が前記主部と前記金属板との密着度、前記主部に対する前記金属板の位置ずれ、前記主部に発生した内部欠陥、前記金属板に発生した内部欠陥のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法。
【請求項３】
前記転動装置部品が合成樹脂材またはエラストマー材からなる主部の内部に芯金を有するシールであり、前記製品欠陥が前記主部と前記芯金との密着度、前記主部に対する芯金の位置ずれ、前記主部に発生した内部欠陥、前記金属板に発生した内部欠陥のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法。
【請求項４】
前記転動装置部品が金属からなる環状体の内周面または外周面に合成樹脂製の絶縁層を有する転動装置部品であり、前記製品欠陥が前記環状体と前記絶縁層との密着度、前記環状体に対する絶縁層の位置ずれ、前記環状体に発生した内部欠陥、前記絶縁層に発生した内部欠陥のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法により製品欠陥が管理されていることを特徴とする転動装置部品。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか一項記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法において、転動装置が転がり軸受であることを特徴とする転動装置部品の製品欠陥検査方法。
【請求項７】
インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを検査する装置であって、前記転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイルと、該励磁コイルから前記転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサを具備し、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して前記製品欠陥の有無を検査することを特徴とする転動装置部品の製品欠陥検査装置。
【請求項８】
前記電磁誘導センサ及び前記転動装置部品のうち少なくとも一方が回転、直動、揺動可能であることを特徴とする請求項７記載の転動装置部品の製品欠陥検査装置。
【請求項９】
前記電磁誘導センサの出力をデータ処理するデータ処理部と、このデータ処理部の出力を予め設定された閾値と比較して前記製品欠陥の有無を判定する判定部とを具備したことを特徴とする請求項７または８記載の転動装置部品の製品欠陥検査装置。
【請求項１０】
前記判定部の判定結果を表示する表示手段と前記電磁誘導センサの出力を記憶する記憶手段のうちの少なくとも一方を有することを特徴とする請求項９記載の転動装置部品の製品欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インサート成形により製造された転動装置部品（例えば転がり軸受の保持器やシール、電食防止用転がり軸受の軌道輪等）に製品欠陥があるか否かを検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
玉軸受に使用される冠型保持器は円環状に形成された主部の片面に複数の弾性片を突設してポケットを形成しており、主部及び弾性片が合成樹脂材で成形されている場合が多い。このため、このような冠型保持器を高温且つ高速の条件下で使用すると、弾性片が遠心力の作用により主部の直径方向外方に弾性変形し、内輪の内周面と擦れ合うことによって焼付きが生じやすくなるという問題がある。そこで、冠型保持器の弾性片が遠心力の作用により主部の直径方向外方に弾性変形することを抑制するために、弾性片が設けられていない側の主部の片面に円環状の金属板を、主部及び弾性片の射出成形時にインサートすることによって、主部に対して非分離に且つ主部の全周にわたって添設したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−１４５０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような冠型保持器は金属板が射出成形時に位置ずれを起したとしても位置ずれ等の製品欠陥を目視により確認することが難しい。このため、主部に対する金属板の位置ずれを切断などの破壊を伴わずに確認することが求められている。
本発明は上述した点に着目してなされたものであり、その目的は、インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することのできる転動装置部品の製品欠陥検査方法及び製品欠陥検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査方法は、インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを検査する方法であって、前記製品欠陥を検出するセンサとして、前記転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイルと、該励磁コイルから前記転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサを用い、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して前記製品欠陥の有無を検査することを特徴とする。
【０００５】
請求項２記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査方法は、請求項１記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法において、前記転動装置部品が主部の内部に金属板をインサート成形により製造された樹脂保持器であり、前記製品欠陥が前記主部と前記金属板との密着度、前記主部に対する前記金属板の位置ずれ、前記主部に発生した内部欠陥、前記金属板に発生した内部欠陥のいずれかであることを特徴とする。
【０００６】
請求項３記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査方法は、請求項１記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法において、前記転動装置部品が合成樹脂材またはエラストマー材からなる主部内に芯金を有するシールであって、前記製品欠陥が前記主部と前記芯金との密着度、前記主部に対する芯金の位置ずれ、前記主部に発生した内部欠陥、前記金属板に発生した内部欠陥のいずれかであることを特徴とする。
【０００７】
請求項４記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査方法は、請求項１記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法において、前記転動装置部品が金属からなる環状体の内周面または外周面に合成樹脂製の絶縁層を有する転動装置部品であって、前記製品欠陥が前記環状体と前記絶縁層との密着度、前記環状体に対する絶縁層の位置ずれ、前記環状体に発生した内部欠陥、前記絶縁層に発生した内部欠陥のいずれかであることを特徴とする。
【０００８】
請求項５記載の発明に係る転動装置部品は、請求項１〜４のいずれか一項記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法により製品欠陥が管理されていることを特徴とする。
請求項６記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査方法は、請求項１〜４のいずれか一項記載の転動装置部品の製品欠陥検査方法において、転動装置が転がり軸受であることを特徴とする。
【０００９】
請求項７記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査装置は、インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを検査する装置であって、前記転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイルと、該励磁コイルから前記転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイルとを有する電磁誘導センサを具備し、前記誘導コイルに発生した誘導起電力の振幅と位相のうち少なくとも一方の変化量を測定して前記製品欠陥の有無を検査することを特徴とする。
【００１０】
請求項８記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査装置は、請求項７記載の転動装置部品の製品欠陥検査装置において、前記電磁誘導センサ及び前記転動装置部品のうち少なくとも一方が回転、直動、揺動可能であることを特徴とする。
請求項９記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査装置は、請求項７または８記載の転動装置部品の製品欠陥検査装置において、前記電磁誘導センサの出力をデータ処理するデータ処理部と、このデータ処理部の出力を予め設定された閾値と比較して製品欠陥の有無を判定する判定部とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
請求項１０記載の発明に係る転動装置部品の製品欠陥検査装置は、請求項９記載の転動装置部品の製品欠陥検査装置において、前記判定部の判定結果を表示する表示手段と前記電磁誘導センサの出力を記憶する記憶手段のうちの少なくとも一方を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、インサート成形により製造された転動装置部品に製品欠陥があるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
玉軸受の玉を保持する冠型保持器の一例を図１に示す。同図に示される冠型保持器１は合成樹脂材からなる円環状の主部２を有しており、この主部２の軸方向一端には、玉軸受の玉（転動体）９を保持するためのポケット４を形成する複数の弾性片３が主部２と一体に樹脂成形されている。また、冠型保持器１は主部２及び弾性片３の樹脂成形時にインサートされる円環状の金属板５を有しており、この金属板５は弾性片３と反対側の主部２の軸方向他端部に埋設されている。
【００１４】
図２は、本発明の第１の実施形態に係る転動装置部品用製品欠陥検査装置（以下「製品欠陥検査装置」と略記する）の概略構成を示す図である。同図に示される製品欠陥検査装置は検査対象物である転動装置部品１５に交流磁界を付与する励磁コイル１６ａと、この励磁コイル１６ａから転動装置部品１５に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイル１６ｂとを備えており、これらの両コイル１６ａ，１６ｂは電磁誘導センサ１６を構成している。
【００１５】
また、図２に示される製品欠陥検査装置は誘導コイル１６ｂのインダクタンス変化（誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさ）を検出するインダクタンス変化検出回路（データ処理部）１７と、このインダクタンス変化検出回路１７で検出された誘導コイル１６ｂのインダクタンス変化を予め設定された閾値と比較して製品欠陥の有無を判定する判定部としての比較判定回路１８と、この比較判定回路１８の判定結果を表示する表示装置１９とを備えており、比較判定回路１８では、誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の振幅変化量または位相変化量が閾値より大きい場合に製品欠陥が転動装置部品１５に存在すると判定するようになっている。また、図２に示される製品欠陥検査装置は比較判定回路１８の判定結果を記録用紙等の記録媒体に記録する記録装置２０と、電磁誘導センサ１６の出力を記憶する記憶装置２１とを備えている。なお、図２において符号２２は電磁誘導センサ１６の励磁コイル１６ａに交流電流を供給する交流電源である。
【００１６】
図３は電磁誘導センサ１６の概略構成を示す図であり、同図に示されるように、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂは、その一部を励磁コイル１６ａに接触させて励磁コイル１６ａと同軸に巻回されている。
図２に示した製品欠陥検査装置を用いて、図１に示した冠型保持器１に製品欠陥があるか否かを検査する場合は、先ず、図４に示すように、冠型保持器１の表面に電磁誘導センサ１６を近づける。そして、この状態で電磁誘導センサ１６の励磁コイル１６ａに交流電流を供給し、図５に示す交流磁界２３を励磁コイル１６ａから冠型保持器１に付与すると、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに誘導起電力が発生する。このとき、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力は冠型保持器１に付与された交流磁界２３の磁束密度に応じて変化し、交流磁界２３の磁束密度は冠型保持器１に発生した製品欠陥（例えば主部２と金属板５との密着度、金属板５の位置ずれ、主部２または金属板５に発生した内部欠陥等）の大きさに応じて変化する。
【００１７】
したがって、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の振幅変化量または位相変化量をインダクタンス変化検出回路１７で検出し、インダクタンス変化検出回路１７で検出された誘導起電力の振幅変化量または位相変化量を予め設定された閾値と比較することで、冠型保持器１に製品欠陥があるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することができる。
【００１８】
図２に示した本発明の第１の実施形態では、比較判定回路１８の判定結果を表示する表示装置１９と、比較判定回路１８の判定結果を記録用紙等の記録媒体に記録する記録装置２０と、電磁誘導センサ１６の出力を記憶する記憶装置２１とを備えたものを例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、表示装置１９、記録装置２０及び記憶装置２１のうちの少なくとも１つを備えた構成のものでもよい。
【００１９】
次に、本発明の第２の実施形態に係る製品欠陥検査装置の概略構成を図６に示す。同図に示される製品欠陥検査装置は冠型保持器等の転動装置部品を載置するためのターンテーブル２６と、このターンテーブル２６の上方に設けられた電磁誘導センサ１６と、この電磁誘導センサ１６をターンテーブル２６の上面に対して垂直に支持する支持軸２７とを備えており、電磁誘導センサ１６は、図３に示すように、転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイル１６ａと、この励磁コイル１６ａから転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイル１６ｂとから構成されている。
【００２０】
また、第２の実施形態に係る製品欠陥検査装置は支持軸２７を介して電磁誘導センサ１６をＸ軸回り（図中矢印θＸ方向）に揺動駆動するセンサ揺動機構２８と、このセンサ揺動機構２８を介して電磁誘導センサ１６を図中Ｚ軸方向に昇降駆動するセンサ昇降機構２９と、電磁誘導センサ１６を図中Ｘ軸方向及びＹ軸方向に動かして電磁誘導センサ１６を位置決めするセンサ位置決め機構３０とを備えており、ターンテーブル２６は検査対象物を位置決めする位置決め機構３１により図中Ｘ軸方向に移動可能となっている。
【００２１】
このように構成される製品欠陥検査装置を用いて図１に示した冠型保持器１に製品欠陥があるか否かを検査する場合は、先ず、冠型保持器１をターンテーブル２６上に載置する。次に、センサ揺動機構２８、センサ昇降機構２９、センサ位置決め機構３０及び位置決め機構３１を駆動して電磁誘導センサ１６を冠型保持器１の端面に近づけた後、電磁誘導センサ１６の励磁コイル１６ａに交流電流を供給して冠型保持器１に交流磁界を付与すると、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに誘導起電力が発生する。このとき、誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさは冠型保持器１に付与された交流磁界の磁束密度に応じて変化し、交流磁界の磁束密度は冠型保持器１に発生した製品欠陥（例えば主部２と金属板５との密着度、金属板５の位置ずれ、主部２または金属板５に発生した内部欠陥等）の大きさに応じて変化する。
【００２２】
したがって、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさを予め設定された閾値と比較することで、製品欠陥が冠型保持器１にあるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することができる。
次に、本発明の第３の実施形態に係る製品欠陥検査装置の概略構成を図７に示す。同図に示される製品欠陥検査装置は冠型保持器等の転動装置部品を載置するためのターンテーブル２６と、このターンテーブル２６の上方に設けられた電磁誘導センサ１６と、この電磁誘導センサ１６をターンテーブル２６の上面に対して水平に支持する支持軸３２とを備えており、電磁誘導センサ１６は、図３に示すように、転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイル１６ａと、この励磁コイル１６ａから転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイル１６ｂとから構成されている。
【００２３】
また、第３の実施形態に係る製品欠陥検査装置は支持軸３２を介して電磁誘導センサ１６をＺ軸回り（図中矢印θＺ方向）に揺動駆動するセンサ揺動機構３３と、このセンサ揺動機構３３を介して電磁誘導センサ１６を図中Ｚ軸方向に昇降駆動するセンサ昇降機構２９と、電磁誘導センサ１６を図中Ｘ軸方向及びＹ軸方向に動かしてセンサ１６を位置決めするセンサ位置決め機構３０とを備えており、ターンテーブル２６は検査対象物を位置決めする位置決め機構３１により図中Ｘ軸方向に移動可能となっている。
【００２４】
このように構成される製品欠陥検査装置を用いて図１に示した冠型保持器１に製品欠陥があるか否かを検査する場合は、先ず、冠型保持器１をターンテーブル２６上に載置する。次に、センサ揺動機構３３、センサ昇降機構２９、センサ位置決め機構３０及び位置決め機構３１を駆動して電磁誘導センサ１６を冠型保持器１の内周面に近づけた後、電磁誘導センサ１６の励磁コイル１６ａに交流電流を供給して冠型保持器１に交流磁界を付与すると、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに誘導起電力が発生する。このとき、誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさは冠型保持器１に付与された交流磁界の磁束密度に応じて変化し、交流磁界の磁束密度は冠型保持器１に発生した製品欠陥（例えば主部２と金属板５との密着度、金属板５の位置ずれ、主部２または金属板５に発生した内部欠陥等）の大きさに応じて変化する。
【００２５】
したがって、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさを予め設定された閾値と比較することで、製品欠陥が冠型保持器１にあるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することができる。
図８は、玉軸受のシールに製品欠陥があるか否かを検査する場合の一例を示す断面図である。同図に示される玉軸受６は外輪７及び内輪８を有しており、外輪７と内輪８との間には、複数個の玉９が組み込まれているとともに、玉９を保持する保持器１０が設けられている。また、玉軸受６は外輪７と内輪８との間をシールする一対のシール１１を有している。これらのシール１１は合成樹脂材またはエラストマー材からなる円環状の主部１１ａを有しており、この主部１１ａの内部には、円環状の芯金１１ｂがインサート成形により埋設されている。
【００２６】
図２に示した製品欠陥検査装置を用いて図８に示した玉軸受６のシール１１に製品欠陥があるか否かを検査する場合は、先ず、図８に示すように、シール１１の表面に電磁誘導センサ１６を押し当てる。そして、この状態で電磁誘導センサ１６の励磁コイル１６ａに交流電流を供給してシール１１に交流磁界を付与すると、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに誘導起電力が発生する。このとき、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力はシール１１に付与された交流磁界の磁束密度に応じて変化し、シール１１に付与された交流磁界の磁束密度はシール１１に発生した製品欠陥（例えば主部１１ａと芯金１１ｂとの密着度、芯金１１ｂの位置ずれ、主部１１ａまたは芯金１１ｂに発生した内部欠陥等）の大きさに応じて変化する。
【００２７】
したがって、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の振幅変化量または位相変化量をインダクタンス変化検出回路１７で検出し、インダクタンス変化検出回路１７で検出された誘導起電力の振幅変化量または位相変化量を予め設定された閾値と比較することで、シール１１に製品欠陥があるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することができる。
【００２８】
図９は電食防止転がり軸受の一例を示す断面図であり、同図に示される電食防止転がり軸受は外輪７を有している。この外輪７は軸受鋼等の鉄鋼材料で形成されており、その端面７ａ，７ｂと外周面７ｃは合成樹脂材からなる絶縁被膜（絶縁層）１２で被覆されている。
また、図９に示される電食防止転がり軸受は外輪７と同様の素材からなる内輪８を有しており、この内輪８の端面８ａ，８ｂ及び内周面８ｃは合成樹脂材からなる絶縁被膜（絶縁層）１３で被覆されている。なお、図中９は外輪７と内輪８との間に組み込まれた玉を示している。
【００２９】
図１０は、本発明の第４の実施形態に係る製品欠陥検査装置の概略構成を示す図である。同図に示される製品欠陥検査装置は外輪等の転動装置部品を載置するためのターンテーブル２６と、このターンテーブル２６の上方に設けられた電磁誘導センサ１６と、この電磁誘導センサ１６をターンテーブル２６の上面に対して水平に支持する支持軸３２とを備えており、電磁誘導センサ１６は、図３に示すように、転動装置部品に交流磁界を付与する励磁コイル１６ａと、この励磁コイル１６ａから転動装置部品に付与された交流磁界の磁束密度の変化を検出するための誘導コイル１６ｂとから構成されている。
【００３０】
また、第４の実施形態に係る製品欠陥検査装置は支持軸３２を介して電磁誘導センサ１６をＺ軸回り（図中矢印θＺ方向）に揺動駆動するセンサ揺動機構３３と、このセンサ揺動機構３３を介して電磁誘導センサ１６を図中Ｚ軸方向に昇降駆動するセンサ昇降機構２９と、電磁誘導センサ１６を図中Ｘ軸方向及びＹ軸方向に動かしてセンサ１６を位置決めするセンサ位置決め機構３０とを備えている。
【００３１】
このように構成される製品欠陥検査装置を用いて図９に示した外輪７に製品欠陥があるか否かを検査する場合は、先ず、外輪７をターンテーブル２６上に載置する。次に、センサ揺動機構３３、センサ昇降機構２９及びセンサ位置決め機構３０を駆動して電磁誘導センサ１６を外輪７の外周面に近づけた後、電磁誘導センサ１６の励磁コイル１６ａに交流電流を供給して外輪７に交流磁界を付与すると、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに誘導起電力が発生する。このとき、誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさは外輪７に付与された交流磁界の磁束密度に応じて変化し、交流磁界の磁束密度は外輪７に発生した製品欠陥（例えば外輪７と絶縁層１２との密着度、絶縁層１２の位置ずれ、外輪７または絶縁層１２に発生した内部欠陥等）の大きさに応じて変化する。
【００３２】
したがって、電磁誘導センサ１６の誘導コイル１６ｂに発生した誘導起電力の大きさを予め設定された閾値と比較することで、製品欠陥が外輪７にあるか否かを切断などの破壊を伴わずに精度よく検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】玉軸受の玉を保持する冠型保持器の一例を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る転動装置部品用製品欠陥検査装置の概略構成を示す図である。
【図３】電磁誘導センサの概略構成を示す図である。
【図４】冠型保持器に製品欠陥があるか否かを検査する場合の方法を説明するための図である。
【図５】電磁誘導センサの励磁コイルから検査対象物に付与される交流磁界を説明するための図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る製品欠陥検査装置の概略構成を示す図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係る製品欠陥検査装置の概略構成を示す図である。
【図８】玉軸受のシールに製品欠陥があるか否かを検査する場合の一例を示す断面図である。
【図９】電食防止転がり軸受の一例を示す断面図である。
【図１０】本発明の第４の実施形態に係る製品欠陥検査装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  冠型保持器
２  主部
３  弾性片
４  ポケット
５  金属板
６  玉軸受
７  外輪
８  内輪
９  玉
１０  保持器
１１  シール
１１ａ  主部
１１ｂ  芯金
１２，１３  絶縁被膜（絶縁層）
１５  転動装置部品
１６  電磁誘導センサ
１６ａ  励磁コイル
１６ｂ  誘導コイル
１７  インダクタンス変化検出回路（データ処理部）
１８  比較判定回路（判定部）
１９  表示装置
２０  記録装置
２１  記憶装置
２６  ターンテーブル
２７，３２  支持軸
２８，３３  センサ揺動機構
２９  センサ昇降機構
３０  センサ位置決め機構
【図１】
2008032679.tif 000003
【図２】
2008032679.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008032679.tif 000006
【図５】
2008032679.tif 000007
【図６】
2008032679.tif 000008
【図７】
2008032679.tif 000009
【図８】
2008032679.tif 000010
【図９】
2008032679.tif 000011
【図１０】
2008032679.tif 000012