(57)【要約】【課題】バーコード状の管理情報を記録装置の感度が不足することなく記録でき、また信号再生時にトラック横断信号の影響を受けず、正確に再生できる追記型情報記録媒体を提供すること。【解決手段】第１の光吸収性色素記録膜３６を有する第１の基板３７と第２の光吸収性色素記録膜３２を有する第２の基板３０とを接着層３４により貼り合わせ片側からの光照射により記録再生可能な２層型の情報記録媒体３００において、管理情報をバーコード状に記録するバーコード情報領域（ＢＣＡ１１，ＢＣＡ１２）に、ユーザーが情報を記録するユーザー情報領域（ＹＡ１１，ＹＡ１２）の案内溝よりも深い形状の溝またはピット列を設ける。【選択図】図３
2008016154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝が形成されている領域と、
前記ユーザーが情報を記録再生するための案内溝が形成されている領域とは異なる半径位置にバーコードとして管理情報が記録される領域とを有し、
前記案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている情報記録媒体において、
前記バーコードとして管理情報が記録される領域に、前記ユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の案内溝よりも深い同心円状或いは螺旋状の溝もしくはピット列もしくは溝とピット列の双方が形成されていることを特徴とする追記型情報記録媒体。
【請求項２】
前記バーコードとして管理情報が記録される領域に同心円状或いは螺旋状に形成された溝もしくはピット列の間隔が、前記ユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の間隔よりも狭小であることを特徴とする請求項１記載の追記型情報記録媒体。
【請求項３】
前記バーコードとして管理情報が記録される領域において、同心円状或いは螺旋状に形成された溝もしくはピット列の間隔ＴＰと、光ディスク駆動装置の記録再生光の波長λと、記録再生ピックアップレンズの開口数ＮＡとが、下記関係式を満たすことを特徴とする請求項２記載の追記型情報記録媒体。
【数１】
2008016154.tif 000007
【請求項４】
ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている第１の基板と、同様にユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている第２の基板とを、それぞれの光吸収性色素記録膜が内側になるように貼り合わせ、前記第２の基板の光吸収性色素記録膜の記録再生を前記第１の基板の光吸収性色素記録膜を透過して実施する多層情報記録媒体において、
前記第１もしくは第２の基板の少なくとも一枚は、バーコードとして管理情報が記録される領域を有し、
前記バーコードとして管理情報が記録される領域に、ユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の前記案内溝よりも深い同心円状或いは螺旋状の溝もしくはピット列もしくは溝とピット列の双方が形成されていることを特徴とする追記型多層情報記録媒体。
【請求項５】
前記第２の基板に前記バーコードとして管理情報が記録される領域を有し、
前記第１の基板における、前記第２の基板の前記バーコードとして管理情報が記録される領域の半径位置に相当する領域に、溝またはピットを有しないミラー部分を有する、
ことを特徴とする請求項４記載の追記型多層情報記録媒体。
【請求項６】
ガラス原盤上に第１のフォトレジスト薄膜を形成する工程と、
前記第１のフォトレジスト薄膜に集光レンズで集光したレーザ光を照射してバーコードとして管理情報が記録される領域に同心円状或いは螺旋状の案内溝もしくはピット列の潜像を形成する工程と、
前記第１のフォトレジスト薄膜を現像しパターンを形成する工程と、
形成したフォトレジストパターンをエッチングマスクとしてガラス原盤に第１のエッチングを行い、レジストパターンをガラス原盤に転写する工程と、
エッチング終了後にフォトレジストを除去する工程と、
バーコードとして管理情報が記録される領域にの同心円状或いは螺旋状の第１の案内溝もしくはピット列を形成したガラス原盤に第２のフォトレジスト薄膜を形成する工程と、
前記第２のフォトレジスト薄膜に集光レンズで集光したレーザ光を照射してユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の第２の案内溝の潜像を形成する工程と、
前記第２のフォトレジスト薄膜を現像しパターンを形成する工程と、
形成したフォトレジストパターンをエッチングマスクとしてガラス原盤に第２のエッチングを行い、レジストパターンをガラス原盤に転写する工程と、
エッチング終了後にフォトレジストを除去する工程と、を含み、
前記第１のエッチングで形成するパターンの深さが、前記第２のエッチングで形成するパターンの深さよりも深いことを特徴とする情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法。
【請求項７】
請求項６記載の情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法により製造した情報記録媒体用ガラス原盤表面に、金属薄膜を形成する工程と、
前記金属薄膜上に電気めっきにより金属厚膜を形成する工程と、を含むことを特徴とする情報記録媒体用スタンパの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は追記型情報記録媒体等に関し、より詳しくは、バーコードとして管理情報が記録される領域に溝またはピット列が形成されている追記型情報記録媒体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＶＤ−ＲＯＭ等の光情報記録媒体には、その最内周に、トラッキングサーボ制御を行うことなく情報を読み取れる領域を形成しているものがある。この領域には、プログラム、データ、アプリケーション情報等のユーザー情報を管理またはその著作権を保護するための管理情報等を記録している（特許文献１〜特許文献３参照）。このような管理情報は、通常、例えばＤＶＤ−ＲＯＭでは、高出力のＹＡＧレーザを反射膜に照射し、バーコード状に反射膜を除去することにより形成する（特許文献４）。
【０００３】
一方、ＤＶＤ−Ｒに見られるような追記型情報記録媒体の場合は、反射膜の除去を行うと、光吸収性色素記録層と反射膜とが剥離する問題があるため、専用のバーコード記録装置を用いて、光吸収性色素記録層を変性させて光学的な反射率の違いを利用して再生する方法が採用されている。
【０００４】
追記型情報記録媒体の場合は、このようなバーコード状に記録される管理情報（以下、「バーコード情報」と記す。）を、溝が形成されていないミラー領域に形成すると、ミラー領域に積層される色素膜厚が、ユーザーが情報を記録再生するため溝等が形成されている領域と比較して色素膜厚が薄いため、記録したバーコード情報を再生するための十分な特性を得ることが難しい。
【０００５】
この場合、ミラー領域の色素膜厚を厚くすると、ユーザー情報を記録する領域の色素膜厚が厚くなりすぎ、ユーザー情報の記録特性が確保できなくなるため、バーコード情報を記録する領域にもユーザー情報を記録する領域と同等の深さの溝を形成し、色素積層量を多くする試みがなされている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１４９４２３号公報
【特許文献２】特開２０００−２２２７８３号公報
【特許文献３】特開２００１−０４３５３３号公報
【特許文献４】特開平０６−２０３４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、光吸収性色素記録膜を有する２枚の基板を貼り合わせた多層記録媒体においては以下のような問題が生じる。即ち、多層記録媒体は、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている第１の基板と、同様にユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている第２の基板とを、それぞれの光吸収性色素記録膜が内側になるように貼り合わせた構造を有している。
【０００８】
ここで、第１の基板は、案内溝の上に、凹凸をより平滑化する光吸収性色素記録膜を形成し、この上に半透明反射膜を形成する。これに対し、第２の基板では、案内溝の上に、凹凸が再現されやすい反射膜を形成し、この上に光吸収性色素記録膜を形成する必要がある。このため、トラッキング制御用の信号振幅を確保するためには第２の基板の溝深さを第１の基板の溝深さと比較して浅くする必要がある。
【０００９】
しかし、第２の基板にバーコードとして管理情報を記録する領域を形成する場合、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝と同等の溝の深さでは、追記型情報記録媒体専用のバーコード記録装置の感度が不足するという問題点がある。
さらに、ユーザーが情報を記録・再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝と同等の溝の間隔では、トラッキングサーボ制御を行わずにバーコード情報を再生すると、偏心による案内溝の横断（クロストーク）により、再生信号が振幅変動を起こし、このため管理情報を正確に再生し難いという問題点がある。
【００１０】
本発明は、追記型情報記録媒体におけるこのような問題点を解決するためになされたものである。
即ち、本発明の目的は、バーコード状の管理情報を正確に再生できる追記型情報記録媒体を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、第２の基板にバーコード記録装置の感度が不足することなく記録が可能となる追記型多層情報記録媒体を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、ガラス原盤作成方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、スタンパ作成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した問題を解決するために本発明者は鋭意検討し本発明を完成した。
かくして本発明によれば、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝が形成されている領域（以下、この領域を「ユーザー情報領域」と記すことがある。）とユーザーが情報を記録再生するための案内溝が形成されている領域とは異なる半径位置にバーコードとして管理情報が記録される領域（以下、この領域を「バーコード情報領域」と記すことがある。）とを有し、案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている情報記録媒体において、バーコードとして管理情報が記録される領域にユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の案内溝よりも深い同心円状或いは螺旋状の溝もしくはピット列もしくは溝とピット列の双方が形成された基板を採用することにより、ユーザーが情報を記録再生するため領域に影響なく、バーコード状に記録される管理情報を記録する領域にも十分な色素積層量を確保することができ、バーコード状の管理情報の記録感度が向上する。
【００１２】
また、本発明によればバーコードとして管理情報が記録される領域に同心円状或いは螺旋状に形成された溝もしくはピット列の間隔がユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の間隔よりも狭小であることを特徴とすれば、トラッキングサーボ制御を行わずに、バーコード状の管理情報を再生しても、偏心による案内溝の横断による再生信号の振幅変動を低く抑えることができる。
【００１３】
また、バーコードとして管理情報が記録される領域に同心円状或いは螺旋状に形成された溝もしくはピット列の間隔をＴＰ、光ディスク駆動装置の記録再生光の波長をλ、記録再生ピックアップレンズの開口数をＮＡとした場合に、ＴＰ・ＮＡ／λ＝＜０．６とすることにより、バーコード状の管理情報の偏心による案内溝の横断による再生信号の振幅変動を更に抑えることが可能となり好適である。
【００１４】
また、本発明によれば、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている第１の基板と、同様にユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている第２の基板とをそれぞれの光吸収性色素記録膜が内側になるように貼り合わし、第２の基板の光吸収性色素記録膜の記録再生を第１の基板の光吸収性色素記録膜を透過して実施する多層情報記録媒体において、バーコードとして管理情報が記録される領域にユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の案内溝よりも深い同心円状或いは螺旋状の溝もしくはピット列もしくは溝とピット列の双方が形成されていることを特徴とする追記型多層情報記録媒体を採用することにより、上記多層記録媒体においても、第１の基板上に溝の凹凸をより平滑化する光吸収性色素記録膜を形成した上に、半透明反射膜を形成するのに対し、第２の基板では溝の凹凸の再現しやすい反射膜を形成した後に、光吸収性色素記録膜を形成する必要があることから、トラッキング制御用の信号振幅を確保するためには、第２の基板の溝深さを第１の基板の溝深さと比較して浅くした第２の基板に、バーコードとして管理情報が記録される領域を形成する場合にも、追記型情報記録媒体専用のバーコード記録装置の感度が不足することなく記録が可能となる。
【００１５】
ここで、本発明が適用される追記型多層情報記録媒体は、第２の基板にバーコードとして管理情報が記録される領域を有し、一方、第１の基板における、第２の基板のバーコードとして管理情報が記録される領域の半径位置に相当する領域に、溝またはピットを有しないミラー部分を有することが好ましい。
【００１６】
更に、本発明によれば、ガラス原盤上に第１のフォトレジスト薄膜を形成する工程と、第１のフォトレジスト薄膜に集光レンズで集光したレーザ光を照射してバーコードとして管理情報が記録される領域に同心円状或いは螺旋状の案内溝もしくはピット列の潜像を形成する工程と、第１のフォトレジスト薄膜を現像しパターンを形成する工程と、形成したフォトレジストパターンをエッチングマスクとしてガラス原盤に第１のエッチングを行い、レジストパターンをガラス原盤に転写する工程と、エッチング終了後にフォトレジストを除去する工程と、バーコードとして管理情報が記録される領域に同心円状或いは螺旋状の第１の案内溝もしくはピット列を形成したガラス原盤に第２のフォトレジスト薄膜を形成する工程と、第２のフォトレジスト薄膜に集光レンズで集光したレーザ光を照射してユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の第２の案内溝の潜像を形成する工程と、第２のフォトレジスト薄膜を現像しパターンを形成する工程と、形成したフォトレジストパターンをエッチングマスクとしてガラス原盤に第２のエッチングを行い、レジストパターンをガラス原盤に転写する工程と、エッチング終了後にフォトレジストを除去する工程と、を含み、第１のエッチングで形成するパターンの深さが、第２のエッチングで形成するパターンの深さよりも深いことを特徴とする情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法が提供される。
また、本発明によれば、かかる製造方法により製造したガラス原盤表面に金属薄膜を形成する工程と、金属薄膜上に電気めっきにより金属厚膜を形成する工程と含むことを特徴とする情報記録媒体用スタンパの製造方法が提供される。
【００１７】
本方法を採用することにより、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝が形成されている領域とユーザーが情報を記録再生するための案内溝が形成されている領域とは異なる半径位置にバーコードとして管理情報が記録される領域とを有し、案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜が形成されている情報記録媒体において、バーコードとして管理情報が記録される領域にユーザーが情報を記録するための同心円状或いは螺旋状の案内溝よりも深い同心円状或いは螺旋状の溝もしくはピット列もしくは溝とピット列の双方が形成されていることを特徴とする追記型情報記録媒体が作製可能となる。
【００１８】
通常、このような手法によれば、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝が形成されている領域とバーコードとして管理情報が記録される領域との間に偏心が生じてしまうが、信号再生時にトラッキングサーボ制御を行わないため、再生信号に影響を与えない。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の追記型情報記録媒体は、バーコード状の管理情報を記録装置の感度が不足することなく記録が可能となり、また信号再生時にトラック横断信号の影響を受けにくく正確に再生することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、発明の実施の形態）について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することが出来る。また、使用する図面は本実施の形態を説明するためのものであり、実際の大きさを表すものではない。
図１は、本実施の形態が適用される情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法を説明するための図である。図１には、バーコード情報領域の溝もしくはピット列の深さがユーザー情報領域の深さと比較して深いガラス原盤１０８の製造工程が示されている。
初めに、図１（ａ）に示すように、原盤１０からなるガラス原盤１００を用意する。原盤１０は、例えば、シリコンウェハー、石英ガラス、ソーダガラス、表面に導電層を形成した石英ガラス、表面に導電層を形成したソーダガラス等が使用され、特に限定されない。
【００２１】
次に、図１（ｂ）に示すように、原盤１０に適当な溶剤に希釈されたフォトレジストを塗布したガラス原盤１０１を作製する。フォトレジストは、レーザ光の照射により極性が変化し、現像によりパターンが形成できるものであれば、特に限定されない。例えば、クレゾールノボラック樹脂とナフトキノンジアジドとの混合系、ポリヒドロキシスチレン誘導体と光酸発生剤との混合系等のポジ型フォトレジスト等が挙げられる。中でも、露光開始時点と露光終了時点とにおける現像後に形成されるピット列や案内溝の幅が、より均一であることから、クレゾールノボラック樹脂とナフトキノンジアジドとの混合系が特に望ましい。
【００２２】
フォトレジストを希釈する溶剤は、酸発生剤およびバインダー樹脂を溶解できるものであれば特に限定されない。具体例としては、例えば、プロピレングリコール−２−モノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のセルソルブ類、２−ヘプタノン、メチルエチルケトン等のケトン類；乳酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、更に、これらの混合溶媒等が、スピンコート後の第１のフォトレジスト薄膜１１の膜厚均一性を向上でき好適である。
【００２３】
また、溶剤には、スピンコートにより形成する第１のフォトレジスト薄膜１１の膜厚の均一性を向上するために界面活性剤を微量添加することが好ましい。界面活性剤には、フッ素を含有するものがスピンコート時にストライエーションの発生を抑制する効果が大きく好適である。これらの溶剤により希釈されたフォトレジストを所定の回転数で上記原盤に塗布することにより表面に第１のフォトレジスト薄膜１１を形成したガラス原盤１０１を作製する。
【００２４】
続いて、図１（ｃ）に示すように、バーコード状に記録される管理情報を記録する領域（バーコード情報領域）に対応する部分を、原盤露光装置（図示せず）を用いて集光した露光ビームを照射し、第１の潜像を形成した後、続いて、極性変化の生じた露光ビーム照射領域をアルカリ現像液で溶解し、レジストパターン１２を得る。
【００２５】
露光ビームは、音響光学素子により変調が可能であり、入力信号に応じ、連続した溝やピット形状の極性の変化したフォトレジストの潜像を記録できる。このとき、原盤露光装置のスライダの速度制御で決定されるトラックピッチを、後述する第２の露光工程におけるユーザーが情報を記録再生するための同心円状或いは螺旋状の案内溝のトラックピッチと比較して狭小にすることにより、バーコード情報領域の再生信号振幅の変動を抑えることが可能となる。
【００２６】
現像液としては、極性変化の生じた第１のフォトレジスト薄膜１１を溶解できるものであれば特に限定されないが、例えば、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、燐酸緩衝液、及びこれらの混合物が挙げられる。これらの中でも、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液が、現像後のフォトレジストの側壁角が急峻であり、好適である。
【００２７】
次に、図１（ｄ）に示すように、現像により形成したレジストパターン１２をエッチングマスクとして、第１の反応性イオンエッチングによりレジストパターン１２を転写した原盤１３を得る。反応性イオンエッチングに用いる気体は、フォトレジストのエッチング速度に対する原盤１３のエッチング速度、即ちエッチング選択比が１．０以上であれば特に限定されないが、例えば、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６等の炭化フッ素ガスは、エッチング選択比が大きく好適である。中でも、Ｃ２Ｆ６はエッチング速度の面内均一性が良好となり特に好適である。
【００２８】
続いて、図１（ｅ）に示すように、原盤１３表面に残ったフォトレジストを除去し、バーコード情報領域のみに連続溝或いは変調したピット形状を転写したガラス原盤１０４が得られる。原盤１３表面に残ったフォトレジストの除去方法は、原盤１３に転写した形状を劣化させないものであれば特に限定されない。具体的には、酸素プラズマアッシング、有機溶剤による溶解、アルカリ水溶液による溶解等等を用いることが出来る。中でも、原盤１３にシリコンウェハーを用いた場合は、シリコンウェハーの化学エッチングの起こらない酸素プラズマアッシングが好適である。
【００２９】
続いて、図１（ｆ）に示すように、バーコード情報領域のみに連続溝或いは変調したピット形状を転写したガラス原盤１０４の原盤１３上に第２のフォトレジスト薄膜１４をスピンコート法により形成する。第２のフォトレジスト薄膜１４は、第１のフォトレジスト薄膜１１と同一のものに必ずしも限定されない。
【００３０】
次に、図１（ｇ）に示すように、原盤１３上の第２のフォトレジスト薄膜１４に、所定の信号により変調した集光ビームを照射し、ユーザー情報領域の同心円状或いは螺旋状の案内溝の潜像を形成し、更に極性変化の生じた露光ビーム照射領域をアルカリ現像液で溶解し、レジストパターン１５を得る。
続いて、図１（ｈ）に示すように、現像により形成したレジストパターン１５をエッチングマスクとして、第２の反応性イオンエッチングによりレジストパターン１５を転写した原盤１６を得る。このとき、第２の反応性イオンエッチングの時間を第１の反応性イオンエッチング時間よりも短くすることにより、バーコード情報領域に形成した連続溝或いは変調したピット形状の深さをユーザー情報領域に形成する同心円状或いは螺旋状の案内溝の深さよりも深くすることができる。
【００３１】
続いて、図１（ｉ）に示すように、原盤１６の表面に残ったフォトレジストを除去し、バーコード情報領域に形成した連続溝或いは変調したピット形状の深さが、ユーザー情報領域に形成した同心円状或いは螺旋状の案内溝の深さよりも深いガラス原盤１０８が完成する。
【００３２】
図２は、バーコード情報領域の溝もしくはピット列とユーザー情報領域の案内溝を説明する図である。図２（ａ）は、バーコード情報領域に形成されたピット列の形状と、ユーザー情報領域の案内溝の形状とを示す。図２（ｂ）は、バーコード情報領域に形成された溝の形状と、ユーザー情報領域の案内溝の形状とを示す。尚、図２（ａ）及び図２（ｂ）中の、ＴＰａ及びＴＰｂは、それぞれ、バーコード情報領域の溝もしくはピット列のピッチ幅と、ユーザー情報領域の案内溝のピッチ幅である。
【００３３】
さらに、このような工程を経て調製したフォトレジストパターンを有するガラス原盤１０８を用い、通常、以下の手法により、情報記録媒体を調製する。すなわち、先ず、ガラス原盤１０８の表面に導電膜を形成し、続いて、ニッケル電気めっきを行ってニッケルめっき膜を形成し、その後、ガラス原盤１０８からニッケルめっき膜を剥離し、所定の研磨処理を施すことによって情報記録媒体用スタンパを得る。
次に、この情報記録媒体用スタンパを所定のモールドに取り付け、２Ｐ法、射出成型法等により、所定のパターンを表面に形成した基板を調製し、さらに、この基板上に光吸収性色素記録膜等の所定の層を積層し、情報記録媒体を調製する。
【００３４】
本実施の形態においては、以上の操作を変調した所定の信号を用いて繰り返すことにより、第１の基板と第２の基板とが完成する。尚、本実施の形態では、石英原盤より直接転写したマスタースタンパを用いて射出成型等を行う方法について説明したが、これに限定されず、たとえば、通常のスタンパ複製法により凹凸反転したスタンパを用いて作製した基板に関しても、同様の効果が得られる。また、フォトレジストにネガ型フォトレジストを使用して凹凸反転したスタンパを作成することもできる。
【００３５】
（情報記録媒体の第１の実施形態）
図３は、本実施の形態が適用される情報記録媒体の第１の実施形態の断面構成を説明する図である。
図３に示すように、情報記録媒体３００は、光３８の入射側から見て手前側に、光透過性の第１の基板３７と、第１の基板３７上に形成した第１の光吸収性色素記録膜３６と、第１の反射層３５とを有している。また、第１の基板３７は、バーコード情報を記録するために溝またはピット列Ｐａ１が形成されたバーコード情報領域ＢＣＡ１１と、バーコード情報領域ＢＣＡ１１の外周側に設け、ユーザー情報を記録する案内溝Ｐｂ１を有するユーザー情報領域ＹＡ１１とを有している。
光入射側から見て奥側に、第２の基板３０と、第２の基板３０上に形成した第２の反射層３１と、第２の光吸収性色素記録膜３２と、誘電体層３３とを有している。また、第２の基板３０は、バーコード情報を記録するために溝またはピット列Ｐａ２が形成されたバーコード情報領域ＢＣＡ１２と、バーコード情報領域ＢＣＡ１２の外周側に設け、ユーザー情報を記録する案内溝Ｐｂ２を有するユーザー情報領域ＹＡ１２とを有している。
そして、第１の基板３７と第２の基板３０とは、それぞれの光吸収性色素記録膜（第１の光吸収性色素記録膜３６，第２の光吸収性色素記録膜３２）内側になるように、接着層３４により貼り合わされて一体化している。
【００３６】
ここで、本実施の形態が適用される情報記録媒体３００においては、第１の基板３７と第２の基板３０とにそれぞれ設けたバーコード情報領域ＢＣＡ１１とバーコード情報領域ＢＣＡ１２とに、ユーザー情報領域ＹＡ１１とユーザー情報領域ＹＡ１２とにそれぞれ形成した案内溝（Ｐｂ１，Ｐｂ２）よりも深い溝もしくはピット列（Ｐａ１，Ｐａ２）または溝とピット列の双方が形成されていることに特徴を有している。
具体的には、バーコード情報領域ＢＣＡ１１とバーコード情報領域ＢＣＡ１２とにそれぞれ形成する溝またはピット列（Ｐａ１，Ｐａ２）の深さが、ユーザー情報領域ＹＡ１１とユーザー情報領域ＹＡ１２とにそれぞれ形成する案内溝（Ｐｂ１，Ｐｂ２）の深さよりも、通常、２０ｎｍ以上深いことが好ましい。但し、通常、８０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３７】
次に、第１の基板３７と第２の基板３０とにそれぞれ設けたバーコード情報領域ＢＣＡ１１とバーコード情報領域ＢＣＡ１２とには、同心円状或いは螺旋状に形成された溝もしくはピット列（Ｐａ１，Ｐａ２）が、所定のトラックの間隔（ＴＰ）で形成されている。
ここで、バーコード情報領域ＢＣＡ１１とバーコード情報領域ＢＣＡ１２とに形成した溝またはピット列（Ｐａ１，Ｐａ２）のトラックの間隔（ＴＰ）が、ユーザー情報領域ＹＡ１１とユーザー情報領域ＹＡ１２とにそれぞれ形成した案内溝の間隔よりも狭小であることが好ましい。
具体的には、トラックの間隔（ＴＰ）と、光ディスク駆動装置の記録再生光の波長（λ）と、記録再生ピックアップレンズの開口数（ＮＡ）とが、下記関係式を満たすことが好ましい。
【００３８】
【数１】
2008016154.tif 000003
【００３９】
バーコード情報領域ＢＣＡ１１とバーコード情報領域ＢＣＡ１２とにそれぞれ形成する溝もしくはピット列（Ｐａ１，Ｐａ２）が、前述した式を満たすようにトラックの間隔（ＴＰ）を小さくすると、トラックの間隔（ＴＰ）は光学的分解能以下となる。このため、光ディスクドライブからは、バーコード情報領域ＢＣＡ１１とバーコード情報領域ＢＣＡ１２との溝またはピットがミラー部分と同様に見えるため、トラッキングをはずして再生したバーコード情報が、溝またはピットのクロストラック信号による振幅変動を実質的に影響がない程度まで低減することができる。
【００４０】
次に、情報記録媒体３００の各層について説明する。
第１の基板３７に用いる材料は、透明かつ複屈折率が小さい等の光学特性に優れ、さらに射出成形等の成形性に優れた材料が好ましい。また、吸湿性が小さいことが好ましい。具体的にはポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂等が例示できるがこれらに限定されるものではない。
【００４１】
第２の基板３０は機械的安定性が高く、剛性が大きく、さらに射出成形等の成形性に優れた材料が好ましい。また、吸湿性が小さいことが好ましい。但し、第２の基板３０は第１の基板３７のように透明性や光学特性を備える必要はない。このような材料としては、第１の基板３７に用いる材料と同じものが用い得るほか、ＡＢＳ樹脂、フィラー含有エポキシ樹脂、Ａｌを主成分とした例えばＡｌ−Ｍｇ合金等のＡｌ合金基板等を用いることができる。
【００４２】
本実施の形態が適用される情報記録媒体３００において、第１の基板３７と第２の基板３０の、それぞれの厚さは約０．６ｍｍであることが好ましい。また、第１の光吸収性色素記録膜３６及び第２の光吸収性色素記録膜３２、第１の反射層３５及び第２の反射層３１、接着層３４の膜厚に合わせて厚さを調整しても良い。
第１の基板３７と第１の光吸収性色素記録膜３６の間には、ＳｉＯ２、ＺｎＳ−ＳｉＯ２等のエンハンス層や耐溶剤層や設けてもよい。
【００４３】
第１の光吸収性色素記録膜３６と第２の光吸収性色素記録膜３２の材料は光吸収性の有機色素が望ましい。具体的にはシアニン色素、メロシアニン色素、スクアリウム色素、アントラキノン系色素、トリアリールメタン色素、ピリリウム色素、アゾ色素、含金属アゾ色素、フタロシアニン色素、ポリフィリン色素、トリアリールアミン色素、スクアリリウム色素、ピロメテン系色素、ホルマザン金属錯体系色素アヌレン系色素等が例示できるが、これらに限定されるものではない。
【００４４】
これらの有機色素は１種類のみを用いても２種類以上の色素を混ぜて使用しても良い。また、クエンチャーや他の色素、添加剤、高分子（例えばニトロセルロース等の熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー）、金属微粒子等を含んでいても良い。第１の光吸収性色素記録膜３６と第２の光吸収性色素記録膜３２は、上記の色素および任意の添加剤を公知の有機溶媒（たとえばテトラフルオロプロパノール、ケトンアルコール、アセチルアセトン、メチルセルロブ、トルエン等）で溶解・溶媒和したものを第１の基板３７上に、或いは第２の基板３０に形成した第２の反射膜３１上に形成する。
【００４５】
第１の光吸収性色素記録膜３６と第２の光吸収性色素記録膜３２の形成手段としては、スピンコート法を用いるが、スピンコート条件は内周から外周にかけて、回転数を３００ｒｐｍ〜５０００ｒｐｍの間で数条件組み合わせて行えばよく、これらのスピンコート条件、色素溶液の濃度、粘度、溶剤の乾燥速度を調節することにより、第１の光吸収性色素記録膜３６と第２の光吸収性色素記録膜３２の膜厚を制御できる。
【００４６】
第１の反射層３５は、光の吸収が小さく光の透過率が３０％以上あり、かつ適度な光の反射率があることが望ましい。たとえば反射率の高い金属膜を薄くすることで適当な透過率と反射率をバランスすることができる。また、第１の反射層３５は薄いので、耐食性のある材料が望ましい。さらに、接着層３４への色素の侵み出しを防ぐために遮蔽性を持つことが好ましい。例えば、金、銀、アルミニウム或いはこれらを含む合金を、スパッタ法等の手段により形成することができる。
【００４７】
Ａｇを主成分としているものはコストが安い点、反射率が高い点から特に好ましい。第１の反射層３５は膜の結晶粒が大きいと再生ノイズの原因となるため、結晶粒が小さい材料を用いるのが好ましい。純銀は結晶粒が大きい傾向があるためＡｇは合金として用いるのが好ましい。中でもＡｇを主成分とし、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属よりなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を０．１原子％〜５原子％含有することが好ましい。Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属のうち２種以上含む場合は、各々０．１原子％〜５原子％でもかまわないが、それらの合計が０．１原子％〜５原子％であることが好ましい。希土類金属の中では、ネオジウムが特に好ましい。具体的には、ＡｇＰｄＣｕ、ＡｇＣｕＡｕ、ＡｇＣｕＡｕＮｄ、ＡｇＣｕＮｄ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＩｎ等である。
【００４８】
Ａｕは結晶粒が小さく、耐食性に優れ好適であるが、Ａｇ合金に比べて高価である。また、第１の反射層３５としてＳｉＯ２等の金属以外の材料で低屈折率薄膜と高屈折率薄膜を交互に積み重ねて多層膜を形成し、反射層として用いることも可能である。
【００４９】
第１の光吸収性色素記録膜３６と第１の反射層３５との間に、ＳｉＯ２、ＺｎＳ−ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３等のエンハンス層や耐酸化層等の他の層を設けてもよい。また、第１の反射層３５上に保護層を形成してもよいし、保護層を形成しなくてもよい。保護層としては光吸収層、反射層を保護できる層であればよく、例えば紫外線硬化樹脂、シリコーン系樹脂等によって形成される。
【００５０】
第２の反射層３１は、反射率が高く、耐食性に優れることが望ましい。反射率を高くするために、第２の反射層３１の厚さは通常、５０ｎｍ以上が好ましい。より好適には８０ｎｍ以上である。但し、記録感度を上げるためにはある程度薄いことが好ましく、また、第２の反射層３１を厚く形成すると第２の基板３０が反るおそれがあるため、通常は３００ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは２００ｎｍ以下が望ましい。
【００５１】
第２の反射層３１の材料としては、再生光の波長で反射率の十分高いもの、例えば、Ａｕ、Ａｌ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉ、等の金属を単独或いは合金にして用いることが可能である。この中でもＡｕ、Ａｌ、Ａｇ、或いはこれらの合金が材料として適している。合金を形成する成分としてはは、Ｍｇ、Ｓｅ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｒｕ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｐｏ、Ｓｎ、Ｂｉ及び希土類金属等の金属及び半金属を挙げることができる。
【００５２】
中でもＡｇ合金はコストが安く、反射率が高く、耐食性に優れるために好ましい。Ａｇ合金としてはＡｇを主成分とし、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属よりなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を０．１〜５原子％含有することが好ましい。Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属のうち２種以上含む場合は、各々０．１〜５原子％でもかまわないが、それらの合計が０．１〜５原子％であることが好ましい。希土類金属の中では、ネオジウムが特に好ましい。具体的には、ＡｇＰｄＣｕ、ＡｇＣｕＡｕ、ＡｇＣｕＡｕＮｄ、ＡｇＣｕＮｄ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＩｎ等である。
第２の反射層３１を形成する方法としては、例えば、スパッタ法、イオンプレーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法等が挙げられるが、スパッタ法が生産性の上で好ましい。
【００５３】
誘電体層３３は第２の光吸収性色素記録膜３２の上に形成し、有機色素から構成される第２の光吸収性色素記録膜３２と接着層３４とを遮蔽し、両層の混和を防止しするために設ける。
接着層３４は、第２の光吸収性色素記録膜３２にダメージを与えない材料からなることが望ましいが、接着層３４として液状の紫外線硬化樹脂が直接に有機色素からなる第２の光吸収性色素記録膜３２と接すると有機色素と相溶する。これを防ぐために両層の間に誘電体層３３を設けることが望ましい。誘電体層３３は、形成するときに第２の光吸収性色素記録膜３２と混和せず、さらに接着層３４によって、第１の基板３７と第２の基板３０とを接着するときに、接着層３４と混和しなければ特に限定されるものではない。他の機能を兼ねていても良いし、必要に応じてさらに他の層を挟んでも良い。
【００５４】
誘電体層３３の材料は、金属または半導体、金属または半導体の酸化物、窒化物、硫化物等無機物が好ましく、さらには誘電体等透明な無機物がより好ましい。具体的には、酸化珪素、特に二酸化珪素や、酸化亜鉛、酸化セリウム、酸化イットリウム等の酸化物；硫化亜鉛、硫化イットリウム等の硫化物；窒化珪素等の窒化物；炭化珪素；酸化物とイオウとの混合物；および後述の合金等が好適である。また、酸化珪素と硫化亜鉛との３０：７０〜９０：１０程度（重量比）の混合物も好適である。また、イオウと二酸化イットリウムの混合物を酸化亜鉛との混合物（Ｙ２Ｏ２Ｓ−ＺｎＯ）も好適である。
【００５５】
誘電体層３３の厚さは３ｎｍ以上が好ましく、より好ましくは５ｎｍ以上である。誘電体層３３の厚さが過度に薄いと、遮蔽防止が不十分となる。また、１００ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは５０ｎｍ以下である。誘電体層３３が厚すぎると光の透過率を低下させる恐れがあり、また無機物からなる層の場合には成膜に時間を要し生産性が低下したり、膜応力が高くなったりする。誘電体層３３を形成する方法としては、例えば、スパッタ法、イオンプレーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法等が挙げられるが、スパッタ法が生産性の上で好ましい。
【００５６】
接着層３４は、記録再生波長で透明である他に、接着力が高く、硬化接着時の収縮率が小さく、環境保存安定性が高い材料が好ましい。本発明において、２個の光吸収性色素記録膜（第１の光吸収性色素記録膜３６，第２の光吸収性色素記録膜３２）に別々にフォーカスサーボをかけるため、接着層３４の膜厚は正確に制御することが好ましい。フォーカスサーボ機構にもよるが、接着層３４の膜厚は、好ましくは１０μｍ以上が必要であり、対物レンズの開口数が高いほどその距離は小さくてよい傾向がある。０．６ｍｍの基板を貼り合せる青色レーザの光記録媒体においては、約２０μｍが好適である。接着層３４は、第１の反射層３５にダメージを与えない材料からなることが望ましい。また、両層のあいだに公知の無機系または有機系の保護層を形成してもよい。
【００５７】
接着層３４の材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂（遅延硬化型を含む）、感圧式両面テープ等を挙げることができる。これらの中で、無溶剤タイプの紫外線硬化性樹脂は環境性に優しく、生産性に優れるために好ましい。紫外線硬化性樹脂には様々な種類があり、透明であればいずれも用いることができる。
【００５８】
接着層３４は紫外線硬化性樹脂を塗布し、紫外光を照射して硬化させることによって形成することができる。塗布方法としては、光吸収性色素記録膜と同様にスピンコート法、スクリーン印刷、キャスト法等の塗布法等の方法が用いられるが、この中でもスピンコート法が好ましい。紫外線硬化性樹脂は、１０℃〜４０℃において、粘度は２０ｍＰａ・ｓ〜１０００ｍＰａ・ｓであるものを用いると溶媒を用いることなく塗布できるために好ましい。
【００５９】
紫外線硬化性樹脂としては、ラジカル系紫外線硬化性樹脂とカチオン系紫外線硬化性樹脂があるが、いずれも使用可能である。ラジカル系紫外線硬化性樹脂としては、公知の全ての組成物を用いることができ、紫外線硬化性化合物と光重合開始剤を必須成分として含む組成物が用いられる。紫外線硬化性化合物としては、単官能アクリレート、単官能メタアクリレート、多官能アクリレート、多官能メタアクリレートを重合性モノマー成分として、各々、単独または２種類以上併用して用いることができる。
【００６０】
単官能アクリレートおよび多官能メタアクリレートとしては例えば、置換基としてメチル、エチル、プロピル、ブチル、アミル、２−エチルヘキシル、オクチル、シクロヘキシル、ベンジル、メトキシエチル、ブトキシエチル、フェノキシエチル、テトラヒドロフルフリル、グリシジル、２−ヒドロキシエチル、２−ヒドロキシプロピル、ジメチルアミノエチル、ノニルフェノキシエチルテトラヒドロフルフリル，イソボルニル，ジシクロペンタニル等の如き基を有するアクリレート、メタアクリレート等が挙げられる。
【００６１】
更に、本発明に使用する光重合開始剤は、用いる重合性モノマーが硬化できる公知のものがいずれも使用できる。光重合開始剤としては、分子開裂型または水素引き抜き型のものが本発明に好適である。
【００６２】
このような例としては、ベンゾインイソブチルエーテル、２，４−ジエチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ベンジル、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキシド等が好適に用いられ、さらにこれら以外の分子開裂型のものとして、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾインエチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オンおよび２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン等を併用しても良いし、さらに水素引き抜き型光重合開始剤である、ベンゾフェノン、４−フェニルベンゾフェノン、イソフタルフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチル−ジフェニルスルフィド等も併用できる。
【００６３】
光重合開始剤に対する増感剤として例えば、トリメチルアミン、メチルジメタノールアミン、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン等のアミン類を併用することもできる。
【００６４】
カチオン系紫外線硬化性樹脂としては公知のすべての組成物を用いることができ、カチオン重合型の光開始剤を含むエポキシ樹脂がこれに該当する。カチオン重合型の光開始剤としては、スルホニウム塩、ヨードニウム塩およびジアゾニウム塩等がある。ヨードニウム塩の例として、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、４−メチルフェニル−４−（１−メチルエチル）フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−メチルフェニル−４−（１−メチルエチル）フェニルヨードニウムテトラフルオロボレート等が挙げられる。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ−エピクロルヒドリン型、脂環式エポキシ、長鎖脂肪族型、臭素化エポキシ樹脂、グリシジルエステル型、グリシジルエーテル型、複素環式系等を挙げられる。エポキシ樹脂としては、反射層にダメージを与えないよう、遊離したフリーの塩素および塩素イオン含有率が少ないものを用いるのが好ましい。塩素量は１重量％以下が好ましく、０．５重量％以下のものがより好ましい。
【００６５】
カチオン型紫外線硬化性樹脂１００重量部当たりのカチオン重合型光開始剤の割合は通常、０．１重量部〜２０重量部であり、好ましくは０．２重量部〜５重量部である。なお、紫外線光源の波長域の近紫外領域や可視領域の波長をより有効に利用するため、公知の光増感剤を併用することができる。この際の光増感剤としては、例えばアントラセン、フェノチアジン、ベンジルメチルケタール、ベンゾフェノン、アセトフェノン等が挙げられる。
【００６６】
紫外線硬化性樹脂には、必要に応じてさらにその他の添加剤として、熱重合禁止剤、ヒンダードフェノール、ヒンダードアミン等に代表される酸化防止剤、可塑剤およびエポキシシラン、メルカプトシラン、メタアクリルシラン、アクリルシラン等に代表されるシランカップリング剤等を、各種特性を改良する目的で配合することもできる。これらは、紫外線硬化性化合物への溶解性に優れたもの、紫外線透過性を阻害しないものを選択して用いる。
【００６７】
以上、本発明の情報記録媒体の調製方法の一例について説明したが、バーコードとして管理情報が記録される領域は、第１の基板３７と第２の基板３０とのいずれかに形成されているのみでも構わない。例えば、第２の基板３０のみにバーコード情報領域を有する場合であってもよい。この場合、第１の基板３７を作成するためのガラス原盤はユーザー情報領域等を露光するのみでよい。
次に実施例において、図６を用いて情報記録媒体の第２の実施形態を更に詳細に説明する。
【実施例】
【００６８】
以下に、実施例に基づき本実施の形態をさらに詳細に説明する。なお、本実施の形態は実施例に限定されるものではない。
（実施例１）（情報記録媒体の第２の実施形態）
図６は、本実施の形態が適用される情報記録媒体の第２の実施形態の断面構成を説明する図である。
図６に示すように、情報記録媒体６００は、光６８の入射側から見て手前側に、光透過性の第１の基板６７と、第１の基板６７上に形成した第１の光吸収性色素記録膜６６と、第１の反射層６５とを有している。また、第１の基板６７は、バーコード情報を記録するための溝またはピット列が形成されていないミラー領域ＭＡ６１と、ミラー領域ＭＡ６１の外周側に設けたユーザー情報領域ＹＡ６１とを有している。
【００６９】
光入射側から見て奥側には、第２の基板６０と、第２の基板６０上に形成した第２の反射層６１と、第２の光吸収性色素記録膜６２と、誘電体層６３とを有している。また、第２の基板６０は、バーコード情報を記録するバーコード情報領域ＢＣＡ６２と、バーコード情報領域ＢＣＡ６２の外周側に設けたユーザー情報領域ＹＡ６２とを有している。
そして、第１の基板６７と第２の基板６０とは、それぞれの光吸収性色素記録膜（第１の光吸収性色素記録膜６６，第２の光吸収性色素記録膜６２）内側になるように、接着層６４により貼り合わされて一体化している。
【００７０】
ここで、本実施の形態が適用される情報記録媒体６００においては、第２の基板６０に設けたバーコード情報領域ＢＣＡ６２に、ユーザー情報領域ＹＡ６２に形成した案内溝（Ｐｂ６２）よりも深い溝またはピット列（Ｐａ６２）が形成され、一方、第１の基板６７の、第２の基板６０のバーコード情報領域ＢＣＡ６２の半径位置に相当する領域に、溝またはピットを有しないミラー部分を有することに特徴を有している。
【００７１】
次に、本実施の形態が適用される情報記録媒体６００の製造工程について説明する。
（Ｉ）第２の基板６０の調製
（１）第１のフォトレジスト薄膜を有するガラス原盤の調製
以下、図１（図１（ａ）〜図１（ｉ））に基づき説明する。初めに、クレゾールノボラック樹脂及びナフトキノンジアジド混合系ポジ型レジスト（東京応化工業製ポジ型フォトレジストＴＤＭＲ−ＡＲ８０ＨＰ）７５ｇを２−ヘプタノン４２５ｇに希釈して調製したフォトレジスト溶液を原盤（石英ガラス原盤）１０にスピンコートした後、ホットプレートで１２０℃で２分間加熱し、表面に膜厚８０ｎｍの第１のフォトレジスト薄膜１１を有するガラス原盤１０１を調製した。
【００７２】
（２）第１のフォトレジスト薄膜の第１の露光
前述した表面に第１のフォトレジスト薄膜１１を有するガラス原盤１０１を線速１．５ｍ／秒で一定となるように回転させると同時に、トラックピッチ０．３５μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動させ、集光されたレーザ光を半径位置２２．２から２３．１ｍｍの間に照射してバーコード状に記録される管理情報を記録する領域に螺旋状に配列された連続溝或いはピット列の潜像を形成した。露光ビームは、アルゴンの発振線の一つである波長５１４ｎｍのレーザ光を非線型光学素子に導き、発生した第２高調波（波長２５７ｎｍ）を用いた。
【００７３】
（３）第１の現像操作
レーザ光の照射が完了したガラス原盤１０１を現像液（東京応化工業製ＮＭＤ−３）を用いて現像し、極性変化した領域を溶解することによって、原盤１０上に形成したレジストパターン１２が得られた。
【００７４】
（４）第１のエッチング処理
続いて、レジストパターン１２をエッチングマスクとして、Ｃ２Ｆ６ガスを用いた反応性イオンエッチングを５９秒実施することにより、レジストパターン１２を転写した原盤１３を得た。次に、Ｏ２ガスを用いたアッシングを６０秒間実施することにより、残ったフォトレジストを除去し、ガラス原盤１０４を得た。原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で観察した結果、６５ｎｍの深さの溝が形成されていた。
【００７５】
（５）第２のフォトレジスト薄膜を有する原盤の調製
ガラス原盤１０４上に、前出したフォトレジスト溶液を再びスピンコートした後、ホットプレートで１２０℃で２分間加熱し、原盤１３の表面に膜厚７５ｎｍの第２のフォトレジスト薄膜１４を形成した。
【００７６】
（６）第２のフォトレジスト薄膜の第２の露光
前述した表面に第２のフォトレジスト薄膜１４を有する原盤１３を線速２．０ｍ／秒で一定となるように回転させると同時に、トラックピッチ０．４０μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動させ、集光されたレーザ光を半径位置２３．８から５８．６ｍｍの間に照射して螺旋状に配列された連続溝或いはピット列の潜像を形成した。
【００７７】
（７）第２の現像操作
レーザ光の照射が完了した原盤１３を現像液（東京応化工業製ＮＭＤ−３）を用いて現像し、極性変化した領域を溶解することによって、原盤１３上に形成したレジストパターン１５が得られた。
【００７８】
（８）第２のエッチング処理
続いて、レジストパターン１５をエッチングマスクとして、Ｃ２Ｆ６ガスを用いた第２の反応性イオンエッチングを３２秒間実施することにより、レジストパターン１５を転写した原盤１６を得た。次に、Ｏ２ガスを用いたアッシングを６０秒間実施することにより、残ったフォトレジストを除去し、光情報記録媒体の基板を調製するためのガラス原盤１０８を得た。ガラス原盤１０８を原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で観察した結果、３５ｎｍの深さの溝が形成されていた。また、バーコード状に記録される管理情報を記録する領域は側壁角度が小さくなったものの、深さは変動せず、６５ｎｍを維持していた。
【００７９】
（９）ポリカーボネート基板の調製
次に、石英製のガラス原盤１０８の表面に無電界めっき法にてニッケル燐導電皮膜を形成した後、電気めっきにより平均２９０μｍのニッケル皮膜を形成し、次いで、ガラス原盤１０８とニッケル皮膜を剥離し、光情報記録媒体用スタンパを得た。
続いて、光情報記録媒体用スタンパを用いてポリカーボネート樹脂を射出成型することにより、フォトレジストパターンを表面に形成した第２の基板６０を得た。
【００８０】
（ＩＩ）第１の基板６７の調製
図５は、第１の基板６７の製造工程を説明する図である。以下、図５に基づき説明する。
初めに、図５（ａ）に示すように、原盤５０からなるガラス原盤５０１を用意する。次に、図５（ｂ）に示すように、原盤５０上にフォトレジスト薄膜５１を形成したガラス原盤５０２を作製する。続いて、図５（ｃ）に示すように、フォトレジスト薄膜５１の半径位置２２．２から２３．１ｍｍの間を除き、原盤露光装置（図示せず）を用いて集光した露光ビームを照射して潜像を形成した後、極性変化の生じた露光ビーム照射領域をアルカリ現像液で溶解し、レジストパターン５２を得る。
【００８１】
次に、図５（ｄ）に示すように、レジストパターン５２をエッチングマスクとして、反応性イオンエッチングによりレジストパターン５２を転写した原盤５３を得る。続いて、図５（ｅ）に示すように、原盤５３表面に残ったフォトレジストを除去し、バーコード情報領域に対応する部分に溝またはピット列を形成せず、ユーザー情報領域に対応する部分のみに案内溝の形状を転写したガラス原盤５０５を得た。
【００８２】
このように調製した石英製のガラス原盤５０５の表面に無電界めっき法にてニッケル燐導電皮膜を形成した後、電気めっきにより平均２９０μｍのニッケル皮膜を形成し、次いで、ガラス原盤５０５とニッケル皮膜を剥離し、光情報記録媒体用スタンパを得た。続いて、光情報記録媒体用スタンパを用いてポリカーボネート樹脂を射出成型することにより、バーコード情報領域に対応する部分に溝またはピットを形成しない第１の基板６７を得た。
【００８３】
（ＩＩＩ）情報記録媒体の調製
（１）情報記録媒体６００の調製
第１の基板６７の溝形成面上に、下記化学式（１）で表わされるシアニン系色素０．７重量％と化学式（２）で表される添加剤０．３重量％の濃度のテトラフルオロプロパノール溶液を、スピンコート法により塗布した。なお、上記色素の溶液を塗布する際に、色素の溶液をフィルタで濾過して不純物を取り除いた。次いで、上記色素を塗布した第１の基板６７を９０℃にて１時間乾燥させ、さらに、室温にて１時間冷却した。こうして、第１の光吸収性色素記録膜６６を第１の基板６７上に形成した。さらに、第１の光吸収性色素記録膜６６上に、スパッタ法を用いて、ＡｇＣｕＮｄ合金を厚さ１２ｎｍになるように第１の反射層６５を形成した。
【００８４】
【化１】
2008016154.tif 000004
【００８５】
【化２】
2008016154.tif 000005
【００８６】
次に、第２の基板６０の溝形成面上に、スパッタ法を用いて、ＡｇＣｕＮｄ合金を厚さ１２ｎｍになるように第２の反射層６１を形成した。次に、化学式（１）で表わされるシアニン系色素０．７重量％と化学式（２）で表される添加剤０．３重量％の濃度のテトラフルオロプロパノール溶液を、スピンコート法により塗布した。なお、上記色素溶液を塗布する際に、色素溶液をフィルタで濾過して不純物を取り除いた。次いで、上記色素材料を塗布した第２の基板６０を９０℃にて１時間乾燥させ、さらに、室温にて１時間冷却した。こうして、第２の反射層６１上に第２の光吸収性色素記録膜６２を形成した。さらに、第２の光吸収性色素記録膜６２上に、スパッタ法を用いて、ＡｇＣｕＮｄ合金を厚さ１２ｎｍになるように誘電体層６３を形成した。
【００８７】
次に、第１の基板６７の第１の反射層６５上にラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、貼り合せ装置に設置した。続いて、第１の基板６７のラジカル重合型ＵＶ樹脂塗布面に第２の基板６０の誘電体層６３を対面するように貼り合せ装置に設置した。装置内を真空にして、接着層に泡が発生しないようにして第１の基板６７と第２の基板６０とを貼り合せた。貼り合せたディスクを貼り合せ装置から取り出して、第１の基板６７側からＵＶ照射を施してＵＶ樹脂を硬化し、厚さ２０μｍの接着層６４を形成した情報記録媒体６００を得た。
【００８８】
（２）バーコード状に記録される管理情報の記録
情報記録媒体６００の第２の基板６０の、半径２２．２０ｍｍ〜２３．２０ｍｍの位置（バーコード情報領域ＢＣＡ６２）にバーコード状に記録する管理情報（バーコード情報）の記録実験を行った。
バーコード情報は、レーザ波長６６８ｎｍ、ビーム径約１μｍ×約４８μｍを有する追記媒体専用バーコード記録装置を使用して記録した。記録条件は、レーザパワー９００ｍＷ、線速５ｍ／ｓ、半径方向のビーム送り量８μｍ、記録化開始位置２２．１ｍｍ、記録終了位置２３．３ｍｍに設定した。
次に、情報記録媒体６００のバーコード情報領域ＢＣＡ６２に、上述した条件で記録したバーコード情報を再生し、バーコード情報再生信号の最小振幅のＨｉｇｈ  Ｌｅｖｅｌ（ＲＨ）、バーコード情報再生信号の最小振幅のＬｏｗ  Ｌｅｖｅｌ（ＲＬ）、変調度（（ＲＨ−ＲＬ）／ＲＨ）を測定した。結果を表１に示す。
尚、記録したバーコード情報の再生は、波長４０５ｎｍのレーザ光及び開口数０．６５のレンズを有する光ピックアップを持つ光ディスク評価装置により、フォーカスサーボを機能させ、トラッキングサーボを機能させない状態で行った。結果を表１に示す。
【００８９】
（比較例１）
図４は、バーコード情報領域とユーザー情報領域とに等しい深さの溝を有するガラス原盤の作成方法を説明する図である。以下、図４に基づき説明する。
先ず、図４（ａ）に示すように、原盤４０を用意し、次に、図４（ｂ）に示すように、原盤４０の表面にフォトレジスト薄膜４１を有するガラス原盤４０２を調製し、続いて、図４（ｃ）に示すように、ガラス原盤４０２を線速１．５ｍ／秒で一定となるように回転させると同時に、トラックピッチ０．３５μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動させ、集光されたレーザ光を半径位置２２．２から２３．１ｍｍの間に照射してバーコード状に記録される管理情報を記録する領域に螺旋状に配列された連続溝或いはピット列の潜像を形成したのち、続けてフォトレジスト薄膜４１を有するガラス原盤４０２を線速２．０ｍ／秒で一定となるように回転させると同時に、トラックピッチ０．４０μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動させ、集光されたレーザ光を半径位置２３．８から５８．６ｍｍの間に照射して螺旋状に配列された連続溝或いはピット列の潜像を形成した。
【００９０】
次に、図４（ｃ）に示すように、レーザ光の照射が完了したガラス原盤４０２を、現像液（東京応化工業製ＮＭＤ−３）を用いて現像し、フォトレジスト薄膜４１の極性変化した領域を溶解することによって、ガラス原盤４０２上にレジストパターン４２を得た。続いて、図４（ｄ）に示すように、レジストパターン４２をエッチングマスクとして、Ｃ２Ｆ６ガスを用いた反応性イオンエッチングを３２秒間実施することにより、レジストパターン４２を転写した原盤４３を得た。続いて、Ｏ２ガスを用いたアッシングを６０秒間実施することにより、残ったフォトレジストを除去し、光情報記録媒体用のガラス原盤４０５を得た。ＡＦＭで観察した結果、バーコード状に記録される管理情報を記録する領域およびユーザーが情報を記録再生するための領域には３５ｎｍの深さの溝が形成されていた。
【００９１】
このように調製した石英製のガラス原盤４０５の表面に無電界めっき法にてニッケル燐導電皮膜を形成した後、電気めっきにより平均２９０μｍのニッケル皮膜を形成し、次いで、ガラス原盤４０５とニッケル皮膜を剥離し、光情報記録媒体用スタンパを得た。続いて、光情報記録媒体用スタンパを用いてポリカーボネート樹脂を射出成型することにより、バーコード情報領域とユーザー情報領域とに等しい深さの溝を有する基板Ａを得た。
【００９２】
次に、前述したバーコード情報領域とユーザー情報領域とに等しい深さの溝を有する基板Ａを第２の基板とし、一方、実施例１で作製したバーコード情報領域に対応する部分に溝またはピットを形成しない第１の基板６７として、これらにそれぞれ所定の各層を同様の手法によりに積層した後、実施例１と同様に貼り合わせ、２層の光吸収性色素記録膜を有する情報記録媒体Ｂを作成した。
次に、実施例１と同様な条件で情報記録媒体Ｂのバーコード情報領域に記録したバーコード情報を再生し、バーコード情報再生信号の最小振幅のＨｉｇｈ  Ｌｅｖｅｌ（ＲＨ）、バーコード情報再生信号の最小振幅のＬｏｗ  Ｌｅｖｅｌ（ＲＬ）、変調度（（ＲＨ−ＲＬ）／ＲＨ）を測定した。結果を表１に示す。
【００９３】
【表１】
2008016154.tif 000006
【００９４】
尚、表１中の符号は以下の通りである。
ｄ：第２の基板のバーコード状に記録される管理情報を記録する領域の深さ
ＲＨ：ＢＣＡ再生信号の最小振幅のＨｉｇｈ  Ｌｅｖｅｌ
ＲＬ：ＢＣＡ再生信号の最小振幅のＬｏｗ  Ｌｅｖｅｌ
（ＲＨ−ＲＬ）／ＲＨ：変調度
【００９５】
表１の結果から、実施例１では、十分な変調度が確保できたことが分かる。これに対して、比較例１では、変調度が２０％に満たないことが分かる。尚、再生信号の振幅変動に関しては、実施例１及び比較例１とも僅かであり、トラック横断信号の影響が少なかった。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本実施の形態が適用される情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法を説明するための図である。
【図２】バーコード情報領域の溝もしくはピット列とユーザー情報領域の案内溝を説明する図である。
【図３】本実施の形態が適用される情報記録媒体の第１の実施形態の断面構成を説明する図である。
【図４】バーコード情報領域とユーザー情報領域とに等しい深さの溝を有するガラス原盤の作成方法を説明する図である。
【図５】第１の基板の製造工程を説明する図である。
【図６】本実施の形態が適用される情報記録媒体の第２の実施形態の断面構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００９７】
１０，１３，１６，４０，４３，５０，５３…原盤、１００，１０１，１０４，１０８，４０２，４０５，５０１，５０２，５０５…ガラス原盤、１１…第１のフォトレジスト薄膜、１２，１５，４２，５２…レジストパターン、１４…第２のフォトレジスト薄膜、３０，６０…第２の基板、３１，６１…第２の反射層、３２，６２…第２の光吸収性色素記録膜、３３，６３…誘電体層、３４，６４…接着層、３５，６５…第１の反射層、３６，６６…第１の光吸収性色素記録膜、３７，６７…第１の基板、３８，６８…光、４１，５１…フォトレジスト薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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