(57)【要約】【課題】表面粗さ測定装置において、曲面を含む被測定面の表面粗さを現場で簡単かつ正確に測定できるようにする。【解決手段】測定部７を有する装置筐体２に、姿勢監視用光学系３と、測定用光学系４と、演算ユニット５と、表示ユニット１３と、知覚ユニット１４とを設ける。測定者は、装置筐体２を把持して測定部７をプレス用金型等の被測定面Ｓに押付け、測定領域Ａを支点として装置筐体２を揺動させる。これにより、演算ユニット５は、姿勢監視用光学系３によって装置筐体２が測定姿勢にあることを検知したとき、自動的に測定用光学系４の出力信号に基づいて被測定面Ｓの表面粗さの演算を開始し、また、演算開始を知覚ユニット１４によって測定者に知らせる。そして、演算した表面粗さを表示ユニット１３に表示する。【選択図】図１
2008032675.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定面に押付けられる測定部を有する装置筐体と、該装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる姿勢監視用発光素子及びその反射光を受光して前記装置筐体の前記被測定面に対する姿勢を表す信号を出力する姿勢監視用受光素子を含む姿勢監視用光学系と、前記装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる測定用発光素子及びその反射光を受光して前記被測定面の表面粗さを表す信号を出力する測定用受光素子を含む測定用光学系と、前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さを演算する演算手段とを備え、前記姿勢監視用受光素子の出力信号が前記装置筐体が所定の測定姿勢にあることを表しているとき、前記演算手段が前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さの演算を開始するようにしたことを特徴とする表面粗さ測定装置。
【請求項２】
被測定面に押付けられる測定部を有する装置筐体と、該装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる姿勢監視用発光素子及びその反射光を受光して前記装置筐体の前記被測定面に対する姿勢を表す信号を出力する姿勢監視用受光素子を含む姿勢監視用光学系と、前記装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる測定用発光素子及びその反射光を受光して前記被測定面の表面粗さを表す信号を出力する測定用受光素子を含む測定用光学系と、前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さを演算する演算手段と、該演算手段が演算した表面粗さを表示する表示部とを備え、前記姿勢監視用受光素子の出力信号が前記装置筐体が所定の測定姿勢にあることを表しているとき、前記演算手段が前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さの演算を開始するようにしたことを特徴とする表面粗さ測定装置。
【請求項３】
前記演算手段は、前記姿勢監視用受光素子の出力信号に基づいて、前記装置筐体の前記測定姿勢に対する変位を検出し、前記表示部は、前記装置筐体の前記測定姿勢に対する変位を表示することを特徴とする請求項２に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項４】
前記演算手段は、前記姿勢監視用受光素子の出力信号が前記装置筐体が前記測定姿勢にあることを表しているとき、自動的に前記被測定面の表面粗さの演算を開始することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項５】
前記装置筐体は、測定者が把持して前記測定部を前記被測定面に押付けられる寸法であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項６】
装置本体と、該装置本体とは別体で、被測定面に押付けられる測定部を有する測定筐体と、該測定筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる発光部及びその反射光を受光する受光部と、前記装置本体に設けられ、光を発光する発光素子及び受光した光の強さの分布を表す信号を出力する受光素子と、前記発光素子から前記発光部に光を伝送する光ファイバ及び前記受光部から前記受光素子に光を伝送する光ファイバを含む接続ケーブルと、前記装置本体に設けられ、前記受光素子の出力信号に基づいて、前記被測定面に対する前記測定筐体の姿勢を検知し、また、前記被測定面の表面粗さを演算する演算手段とを備え、前記演算手段は、前記測定筐体が所定の測定姿勢にあることを検知したとき、前記被測定面の表面粗さの演算を開始することを特徴とする表面粗さ測定装置。
【請求項７】
前記演算手段は、前記測定筐体が所定の測定姿勢にあることを検知したとき、自動的に前記被測定面の表面粗さの演算を開始することを特徴とする請求項６に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項８】
前記演算手段は、前記受光素子の出力信号に基づいて、前記測定筐体の前記測定姿勢に対する変位を検出し、検出された前記測定筐体の前記測定姿勢に対する変位を表示する表示部を備えていることを特徴とする請求項６又は７に記載の表面粗さ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレス用金型等の被測定面の表面粗さを現場で簡単に測定することができる表面粗さ測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属部材等の表面粗さ（表面状態）を測定する表面粗さ測定装置として、例えば特許文献１に記載されているように、レーザー光を利用したものが知られている。この表面粗さ測定装置は、発光素子によって被測定面にレーザー光を入射させ、その反射光を受光素子によって受光し、受光した光の強さの分布、すなわち、被測定面の凹凸による反射光の散乱状態に基づいて被測定面の表面粗さを演算している。このように、レーザー光を利用して被測定面の表面粗さを光学的に測定することにより、短時間で正確な測定を行うことができる。
【特許文献１】特開２０００−１１１４９３号公報
【０００３】
しかしながら、上記従来のレーザー光を利用した表面粗さ測定装置では、次のような問題がある。被測定面に対するレーザー光の入射角度が一定の角度になるように測定装置を正確に位置決めして固定する必要があるため、専用の固定治具を必要としたり位置決め、固定に非常に手間がかかったりすることが多い。特に、被測定面が曲面である場合には、測定装置を正確に位置決めして固定することが困難である。
【０００４】
一方、生産設備において、プレス用金型等の表面粗さは、製品品質に重大な影響を及ぼすことから、定期的に測定することが望まれており、プレス用金型等の曲面を含む被測定面の表面粗さを現場で簡単かつ正確に測定することができる表面粗さ測定装置が要求されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、曲面を含む被測定面の表面粗さを現場で簡単かつ正確に測定することができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明に係る表面粗さ測定装置は、被測定面に押付けられる測定部を有する装置筐体と、該装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる姿勢監視用発光素子及びその反射光を受光して前記装置筐体の前記被測定面に対する姿勢を表す信号を出力する姿勢監視用受光素子を含む姿勢監視用光学系と、前記装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる測定用発光素子及びその反射光を受光して前記被測定面の表面粗さを表す信号を出力する測定用受光素子を含む測定用光学系と、前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さを演算する演算手段とを備え、前記姿勢監視用受光素子の出力信号が前記装置筐体が所定の測定姿勢にあることを表しているとき、前記演算手段が前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さの演算を開始するようにしたことを特徴とする。
請求項２の発明に係る表面粗さ測定装置は、被測定面に押付けられる測定部を有する装置筐体と、該装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる姿勢監視用発光素子及びその反射光を受光して前記装置筐体の前記被測定面に対する姿勢を表す信号を出力する姿勢監視用受光素子を含む姿勢監視用光学系と、前記装置筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる測定用発光素子及びその反射光を受光して前記被測定面の表面粗さを表す信号を出力する測定用受光素子を含む測定用光学系と、前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さを演算する演算手段と、該演算手段が演算した表面粗さを表示する表示部とを備え、前記姿勢監視用受光素子の出力信号が前記装置筐体が所定の測定姿勢にあることを表しているとき、前記演算手段が前記測定用受光素子の出力信号に基づいて前記被測定面の表面粗さの演算を開始するようにしたことを特徴とする。
請求項３の発明に係る表面粗さ測定装置は、上記請求項２の構成において、前記演算手段は、前記姿勢監視用受光素子の出力信号に基づいて、前記装置筐体の前記測定姿勢に対する変位を検出し、前記表示部は、前記装置筐体の前記測定姿勢に対する変位を表示することを特徴とする。
請求項４の発明に係る表面粗さ測定装置は、上記請求項１乃至３のいずれかの構成において、前記演算手段は、前記姿勢監視用受光素子の出力信号が前記装置筐体が前記測定姿勢にあることを表しているとき、自動的に前記被測定面の表面粗さの演算を開始することを特徴とする。
請求項５の発明に係る表面粗さ測定装置は、上記請求項１乃至４のいずれかの構成において、前記装置筐体は、測定者が把持して前記測定部を前記被測定面に押付けられる寸法であることを特徴とする。
【０００７】
請求項６の発明に係る表面粗さ測定装置は、装置本体と、該装置本体とは別体で、被測定面に押付けられる測定部を有する測定筐体と、該測定筐体に設けられ、前記被測定面に光を入射させる発光部及びその反射光を受光する受光部と、前記装置本体に設けられ、光を発光する発光素子及び受光した光の強さの分布を表す信号を出力する受光素子と、前記発光素子から前記発光部に光を伝送する光ファイバ及び前記受光部から前記受光素子に光を伝送する光ファイバを含む接続ケーブルと、前記装置本体に設けられ、前記受光素子の出力信号に基づいて、前記被測定面に対する前記測定筐体の姿勢を検知し、また、前記被測定面の表面粗さを演算する演算手段とを備え、前記演算手段は、前記測定筐体が所定の測定姿勢にあることを検知したとき、前記被測定面の表面粗さの演算を開始することを特徴とする。
請求項７の発明に係る表面粗さ測定装置は、上記請求項６の発明において、前記演算手段は、前記測定筐体が所定の測定姿勢にあることを検知したとき、自動的に前記被測定面の表面粗さの演算を開始することを特徴とする。
請求項８の発明に係る表面粗さ測定装置は、上記請求項６又は７の構成において、前記演算手段は、前記受光素子の出力信号に基づいて、前記測定筐体の前記測定姿勢に対する変位を検出し、検出された前記測定筐体の前記測定姿勢に対する変位を表示する表示部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る表面粗さ測定装置によれば、装置筐体を被測定面に押付けて適当に移動させることにより、姿勢監視用光学系によって装置筐体が測定姿勢にあることを検知して、測定用光学系によって被測定面の表面粗さを測定することができる。
【０００９】
また、装置本体と測定筐体を別体とし、これらを接続ケーブルによって互いに接続することにより、測定筐体を小型化することが可能になり、操作性が向上して狭小部分の表面粗さの測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の第１実施形態について、図１乃至図４を参照して説明する。
図１に示すように、本実施形態に係る表面粗さ測定装置１は、装置筐体２に、装置筐体２の被測定面Ｓ（凸面状及び凹面状のものを示す）に対する姿勢を監視するための姿勢監視用光学系３と、被測定面Ｓの表面粗さを測定するための測定用光学系４と、姿勢監視用光学系３及び測定用光学系４からの出力信号を演算処理するための演算ユニット５（演算手段）と、演算ユニット５による演算結果を表示するための表示部６とが設けられている。
【００１１】
装置筐体２は、図３に示すように、略矩形の本体の一端部に、半割円柱状の測定部７が形成されている。測定部７の中心部には姿勢監視用光学系３及び測定用光学系４のレーザー光を透過させるための窓部８が設けられている。窓部８は、被測定面Ｓの測定領域Ａ（例えば直径３ｍｍ程度）に対して充分な大きさとする。なお、装置筐体２は、測定者が片手で把持して測定部７を被測定面Ｓに押付けられる程度の寸法であり、図１において縦１５０ｍｍ以下、横１５０ｍｍ以下及び厚さ７５ｍｍ以下であることが望ましい。
【００１２】
姿勢監視用光学系３は、測定部７の窓部８に対向して略垂直方向に配置された姿勢監視用発光素子９及び姿勢監視用受光素子１０で構成されている。姿勢監視用発光素子９は、レーザー光を発生させて窓部８を通して被測定面Ｓに入射させ、姿勢監視用受光素子１０は、その反射光を受光したとき、所定の電気信号を出力する。姿勢監視用発光素子９及び姿勢監視用受光素子１０は、装置筐体２が所定の測定姿勢にあるとき、すなわち、測定部７が被測定面Ｓに押付けられ、窓部８の中心を通る法線が被測定面Ｓに対して垂直になったとき、姿勢監視用発光素子９から被測定面Ｓに入射されたレーザー光の反射光が姿勢監視用受光素子１０によって受光されるように配置されている。このとき、姿勢監視用光学系３の入射光と反射光との角度θを小さくすることにより、姿勢監視用発光素子９と姿勢監視用受光素子１０との間隔を小さくすることができ、装置筐体２の幅を小さくすることができる。この他、装置筐体２の姿勢は、装置筐体２における一定の基準位置の被測定面Ｓに対する相対的な３次元位置を２点測定することによって一般的に求めることが可能である。
【００１３】
測定用光学系４は、レーザー光を発生させて窓部８の中心を通して被測定面Ｓに入射させる測定用発光素子１１及びその反射光を受光する測定用受光素子アレイ１２（測定用受光素子）で構成されている。測定用発光素子１１及び測定用受光素子アレイ１２は、装置筐体２が上述の測定姿勢にあるとき、レーザー光が被測定面Ｓに所定の入射角αで入射し、その反射光が測定用受光素子アレイ１２の中心部で受光されるように配置されている。測定用受光素子アレイ１２は、被測定面Ｓで反射されてその凹凸によって散乱された反射光をＣＣＤアレイ等で受光し、その光の強さの分布を電気信号として出力するようになっている。ここで、入射角αを大きくすることにより、測定用光学系４の入射光と反射光とのなす角度を小さくすることができ、装置筐体２の幅を小さくすることができる。
【００１４】
演算ユニット５は、姿勢監視用受光素子１０及び測定用受光素子アレイ１２の出力信号を受信し、所定の論理規則に従ってこれらを処理して、表示部６へ信号を出力する。演算ユニット５は、姿勢監視用受光素子９から所定の出力信号を受信したとき、すなわち、窓部８の中心を通る法線が被測定面Ｓに対して垂直になって、姿勢監視用発光素子９から被測定面Ｓに入射されたレーザー光の反射光が姿勢監視用受光素子１０によって受光されたとき、これをトリガとして、測定用受光素子アレイ１２の出力信号に基づいて被測定面Ｓの表面粗さの演算を開始する。これにより、表面粗さ測定時に測定用発光素子１１から被測定面Ｓに入射するレーザー光の入射角度が確実に入射角αとなるので、正確で安定した測定結果を得ることができる。また、演算ユニット５は、表面粗さの演算開始と共に演算開始信号を表示部６へ出力する。そして、演算ユニット５は、測定用受光素子アレイ１２から受信した光の強さの分布を表す電気信号に基づいて、被測定面Ｓからの反射光の散乱状態に応じて被測定面Ｓの表面粗さを演算し、その演算結果を表示部６へ出力する。
【００１５】
表示部６は、演算ユニット５によって演算された表面粗さを液晶ディプレイ等によって表示する表示ユニット１３と、演算ユニット５からの演算開始信号を受けたとき作動するブザー、ランプ等の知覚ユニット１４とから構成されている。表示ユニット１３による表面粗さの表示は、演算ユニット５の演算結果に基づいて、例えば中心線平均粗さＲａ換算で０．０１〜１０μｍ程度とする。
【００１６】
以上のように構成した本実施形態の作用について次に説明する。
測定者は、表面粗さ測定装置１を作動させ、装置筐体２を把持して装置筐体２が被測定面Ｓに対してほぼ垂直になるように測定部７をプレス用金型等の被測定面Ｓに押し当てて、被測定面Ｓの測定領域Ａを支点として装置筐体２を揺動させる（図３中の矢印参照）。このとき、測定部７が半割円柱状となっているので、被測定面Ｓが凸面状又は凹面状であっても測定部７を被測定面Ｓに容易に押付けることができる。
【００１７】
装置筐体２を揺動させることにより、装置筐体２が測定姿勢になったとき、すなわち、測定部７の窓部８の中心を通る法線が被測定面Ｓに対して垂直になったとき、姿勢監視用発光素子９から被測定面Ｓに入射したレーザー光の反射光を姿勢監視用受光素子１０が受光して所定の出力信号を出力し、これにより、演算ユニット５が表面粗さの演算を開始する。また、演算ユニット５が知覚ユニット１４を作動させてランプ、ブザー等によって表面粗さの演算の開始を測定者に知らせる。そして、演算ユニット５は、測定用受光素子アレイ１２からの電気信号に基づいて被測定面Ｓの表面粗さを演算し、その結果を表示ユニット１３に表示する。
【００１８】
このようにして、装置筐体２の測定姿勢の監視及び被測定面Ｓの表面粗さの検出を姿勢監視用光学系３及び測定用光学系４によって光学的に行うことにより、短時間で正確に表面粗さの測定を行うことができる。そして、測定者は、例えば、現場でプレス用金型等の被測定面Ｓの表面粗さを簡単かつ正確に測定することができ、金型の保守、点検等を効率的に行うことが可能となる。
【００１９】
なお、上記実施形態では、演算ユニット５は、姿勢監視用受光素子１０の出力信号をトリガとして、自動的に表面粗さの演算を開始するが、このほか、演算開始を指令する演算開始スイッチを別に設け、また、姿勢監視用受光素子１０の出力信号を受信したとき知覚ユニット１４を作動させて装置筐体２が測定姿勢にあることを測定者に知らせるようにし、知覚ユニット１４の作動に対して測定者が演算開始スイッチを操作することによって表面粗さの演算を開始するようにしてもよい。
【００２０】
上記実施形態の変形例として、図２に示すように、姿勢監視用受光素子１０を２次元アレイ化して、被測定面Ｓからの反射光の受光姿勢のアレイ中心Ｏからの変位を監視し、その変位に基づいて、表示ユニット１３等によって測定者に装置筐体２を揺動させるべき方向を指示する構成としてもよい。そして、反射光がアレイ中心Ｏに入射したとき、演算ユニット５による演算を開始し、あるいは、知覚ユニット１４を作動させて測定者に演算開始スイッチの操作を促すようにする。
【００２１】
また、装置筐体２は、図３に示す形状のほか、図４に示すように、円柱状の本体の一端部に半球状の測定部７を形成した形状とすることもできる。これにより、被測定面Ｓが凹面状の３次曲面である場合に、測定部７を被測定面に押付け易くすることができる。
【００２２】
さらに、上記実施形態では、装置筐体２内に演算ユニット５及び表示部６を一体に組込んだ場合について説明しているが、演算ユニット５及び表示部６は、装置筐体２とは別体として、装置筐体２に組込まれた姿勢監視用光学系３及び測定用光学系４にリード線等によって接続するようにしてもよい。
【００２３】
次に本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。なお、上記第１実施形態に対して、同様の部分には同一の符号を付して、異なる部分についてのみ詳細に説明する。
【００２４】
図５に示すように、本実施形態に係る表面粗さ測定装置１５では、装置本体１６と測定筐体１７とが別体に設けられており、これらが接続ケーブル１８によって互いに接続されている。装置本体１６は、ケース１８内に、演算ユニット５と、測定用発光素子１１と、測定用受光素子アレイ１２、表示ユニット１３と、知覚ユニット１４とが設けられている。
【００２５】
測定筐体１７は、略円筒状のケース１９の先端部に略テーパ状の測定部２０が形成されている。測定部２０は、テーパ状のほか、例えば図３及び図４に示すような半割円柱状又は半球状等の尖端形状としてもよい。測定部２０の先端部中央には、窓部８が開口されている。ケース１９内には、発光部２１及び受光部２２が設けられており、これらが接続ケーブル１８によって測定用発光素子１１（発光素子）及び測定用受光素子アレイ１２（受光素子）にそれぞれ接続されている。
【００２６】
発光部２１は、接続ケーブル１８を構成する光ファイバ２３によって測定用発光素子１１に接続されており、測定用発光素子１１が発生したレーザー光を光ファイバ２３によって伝送してレーザー光を発光する。受光部２２は、測定用受光素子アレイ１２と同様のアレイ状に配置された多数の受光部分を有しており、各受光部分が光ファイバ２４を介して測定用受光素子アレイ１２の対応する受光部にそれぞれ接続されている。そして、受光部２２の各受光部分に入射したレーザー光が光ファイバ２４によって測定用受光素子アレイ１２に伝送され、測定用受光素子アレイ１２がその光の強さの分布を電気信号として出力する。
【００２７】
発光部２１及び受光部２２は、受光部２１が発光したレーザー光を窓部８を通して被測定面Ｓに入射させ、その反射光を受光部２２によって受光するように配置されている。このとき、測定筐体１７が所定の測定姿勢にあるとき、すなわち、測定部２０の先端部が被測定面Ｓに押付けられ、窓部８の中心を通る法線が被測定面Ｓに対して垂直になったとき、発光部２１から被測定面Ｓに入射されたレーザー光の反射光が受光部２２の中心部で受光されるように配置されている。ここで、発光部２１から被測定面Ｓへ入射するレーザー光と被測定面Ｓから受光部２２への反射光との間の角度を小さくすることにより、発光部２１と受光部２２との間隔を小さくすることができ、測定筐体１７の幅を小さくすることができる。
【００２８】
接続ケーブル１８は、測定用発光素子１１と発光部２１とを接続する光ファイバ２３及び測定用受光素子アレイ１２と受光部２２とを接続する多数の光ファイバ２４を１本に束ね、適当な補強を施したものであり、必要な柔軟性（屈曲性）及び強度を有している。
【００２９】
本実施形態に係る表面粗さ測定装置１５では、測定用発光素子１１、測定用受光素子アレイ１２、接続ケーブル１８、発光部２１及び受光部２２によって測定用光学系を構成しており、また、この測定用光学系は、測定筐体１７の被測定面Ｓに対する姿勢を監視するための姿勢監視用光学系を兼ねている。すなわち、演算ユニット５によって測定用受光素子アレイ１２の出力信号における最大輝度のアレイ座標を監視し、測定用受光素子アレイ１２の中心部が最大輝度となったき、測定筐体１７が測定姿勢にあることを決定する。
【００３０】
以上のように構成した本実施形態の作用について次に説明する。
測定者は、表面粗さ測定装置１５を作動させ、測定筐体１７を把持して測定筐体１７が被測定面Ｓに対してほぼ垂直になるように測定部２０をプレス用金型等の被測定面Ｓに押し当てる。そして、この状態で、被測定面Ｓの測定領域を支点として測定筐体１７を揺動させる。このとき、測定筐体１７を装置本体１６と別体として柔軟性を有する接続ケーブル１８によって接続したので、測定筐体１７を小型化することができ、操作性が向上して狭小部分の表面粗さの測定を行うことができる。
【００３１】
演算ユニット５は、測定筐体１７が測定姿勢になったとき、すなわち、測定用受光素子アレイ１２の中心部が最大輝度となったことを検出したとき、表面粗さの演算を開始する。また、演算ユニット５が知覚ユニット１４を作動させてランプ、ブザー等によって表面粗さの演算の開始を測定者に知らせる。そして、演算ユニット５は、測定用受光素子アレイ１２からの電気信号に基づいて被測定面Ｓの表面粗さを演算し、その結果を表示ユニット１３に表示する。
【００３２】
このようにして、測定筐体１７の測定姿勢の監視及び被測定面Ｓの表面粗さの検出を光学的に行うことにより、短時間で正確に表面粗さの測定を行うことができる。このとき、測定用光学系が測定筐体１７の測定姿勢を監視する姿勢監視用光学系の機能を兼ねることより、別途の姿勢監視用光学系が不要となり、構造を簡素化して小型化を図ることができる。なお、上記第１実施形態においても、上記第２実施形態と同様、測定用光学系４は、測定用受光素アレイ１２の出力信号に基づいて装置筐体２の被測定面Ｓに対する姿勢を検知することができるので、測定用光学系４が姿勢監視用光学系３を兼ねることができ、これにより、姿勢監視用光学系３を省略することが可能である。
【００３３】
上記第２実施形態において、上記第１実施形態と同様、姿勢監視用光学系を別途設けてもよい。また、図２に示すものと同様、演算ユニット５より、測定用受光素子アレイ１２の出力信号において、最大輝度が検出された座標のアレイ中心からの変位を監視し、その変位に基づいて、表示ユニット１３等によって測定者に測定筐体１７を揺動させるべき方向を指示するようにしてもよい。
【００３４】
また、上記第１実施形態の場合と同様、演算ユニット５は、演算ユニット５によって測定筐体１７が測定姿勢にあることを検知したとき、自動的に表面粗さの演算を開始するが、このほか、演算開始を指令する演算開始スイッチを別に設け、また、演算ユニット５によって測定筐体１７が測定姿勢にあることを検知したとき知覚ユニット１４を作動させて測定筐体１７が測定姿勢にあることを測定者に知らせるようにし、これにより、知覚ユニット１４の作動に対して測定者が演算開始スイッチを操作することによって表面粗さの演算を開始するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る表面粗さ測定装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】図１に示す表面粗さ測定装置の姿勢監視用光学系の変形例を示す概略図である。
【図３】図１に示す表面粗さ測定装置の装置筐体の形状を示す斜視図である。
【図４】図１に示す表面粗さ測定装置の装置筐体の形状の変形例を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る表面粗さ測定装置の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  表面粗さ測定装置、２  装置筐体、３  姿勢監視用光学系、４  測定用光学系、５演算ユニット（演算手段）、６  表示部、７  測定部、９  姿勢監視用発光素子、１０  姿勢監視用受光素子、１１  測定用発光素子、１２  測定用受光素子アレイ（測定用受光素子）、１５  表面粗さ測定装置、１６  装置本体、１７  測定筐体、１８  接続ケーブル、２３、２４  光ファイバ、２０  測定部、２１  発光部
【図１】
2008032675.tif 000003
【図２】
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【図３】
2008032675.tif 000005
【図４】
2008032675.tif 000006
【図５】
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