(57)【要約】【課題】ガラスバーナーを用いて短時間でガラス排気管を溶断・封止してもガラス排気管の内部にリエントランス部が形成されにくいガラス排気管を提供し、ＰＤＰ等の製造効率の向上に寄与すること。【解決手段】内側が局所的に縮径されたガラス管をガラス排気管として用い、好ましくはガラス管の基準内径をａ、縮径部のガラス管の内径をｂとしたときに、ｂ／ａ≦０．９５の関係を満たすガラス管をガラス排気管として用いる。【選択図】図１
2008016416.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管の内側が局所的に縮径されていることを特徴とするガラス排気管。
【請求項２】
ガラス管の基準内径をａ、縮径部のガラス管の内径をｂとしたときに、
ｂ／ａ≦０．９５の関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載のガラス排気管。
【請求項３】
ガラス管の基準外径をｃ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、
０．８５≦ｃ／ｄ≦１．４の関係を満たすことを特徴とする請求項１または２に記載のガラス排気管。
【請求項４】
縮径部のガラス管の内径をｂ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、
０．３ｍｍ≦（ｄ−ｂ）／２≦４．５ｍｍの関係を満たすことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項５】
ガラス管の長さをｅ、ガラス管の長さ方向における縮径部の長さをｆとしたときに、
ｅ／ｆ≧２の関係を満たすことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項６】
縮径部のガラス管の内径が０．１〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項７】
ガラス管の長さ方向における縮径部の長さが１〜１０ｍｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項８】
縮径部がガラス管の端部から５〜４０ｍｍ離れた部分に形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項９】
ガラス管の基準外径が０．２〜７ｍｍであることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項１０】
ガラス管の端部がフレア加工またはフランジ加工されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項１１】
平面表示装置に使用することを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項１２】
平面照明装置に使用することを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載のガラス排気管。
【請求項１３】
平面表示装置がプラズマディスプレイパネルであることを特徴とする請求項１１に記載のガラス排気管。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれかに記載のガラス排気管を使用したことを特徴とする平面表示装置または平面照明装置。
【請求項１５】
ガラス排気管の内部にリエントランス部を有しないことを特徴とする請求項１４に記載の平面表示装置または平面照明装置。
【請求項１６】
ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１４または１５に記載の平面表示装置または平面照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス排気管に関し、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する）、フィールドエミッションディスプレイ（以下、ＦＥＤと称する）等の平面表示装置に使用するガラス排気管および平面蛍光ランプ（以下、ＦＦＬと称する）方式の液晶ディスプレイ用バックライト等の平面照明装置に使用するガラス排気管に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型平面テレビや壁掛けテレビとして、ＰＤＰ、ＦＥＤ等の平面表示装置の開発が急速に進められている。ＰＤＰとＦＥＤは、内部の電極間に電界を加えたときの放電を利用した表示装置である。
【０００３】
ＰＤＰは、装置内部に閉じ込めた低圧の希ガス中で放電するによって、希ガスから紫外線を発生させて所定の蛍光体を励起し、可視光に変換して文字や画像を表示するというものである。したがって、ＰＤＰの製造の最終段階（前面板ガラスと背面板ガラスの気密封着後）において、装置内部に所定の成分と圧力に制御された希ガスを密封する工程が必須となる。
【０００４】
この工程は、予めＰＤＰの背面板ガラスの非表示部分にφ数ｍｍの孔を開けておき、この孔にφ２〜１０ｍｍ、長さ５０〜１５０ｍｍ程度のガラス排気管を配置し、環状に成形した封着ガラスタブレット等のフリットを介して気密封着する。この気密封着は、４００〜５００℃程度の温度で行われ、ガラス排気管と背面板ガラスが気密封着される。ガラス排気管の形状は、封着のための位置決めがしやすいように、背面板ガラスに接するガラス排気管の端面を平面的に拡径したり、テーパー状に拡径するといった工夫が施されている。さらに、特許文献１、２によると、封着工程を簡略化するために、封着ガラスタブレットを予めガラス排気管の端部に取り付けたガラス排気管（タブレット一体型排気管とも称される）が用いられている。次いで、装置全体を３５０℃程度に加熱しながら、ガラス排気管を通じて装置内部を一旦高真空に排気し、続いて必要な成分に調整された希ガスを必要な圧力分だけ排気管を通して注入する。その後、ガラス排気管を加熱軟化させて溶断・封止することによって希ガスを密封するというものである。
【０００５】
また、ＦＥＤは、装置内部が高真空に保たれており、この高真空中で電界を加えて発生させた電子線で蛍光体を励起し、可視光線を発光させる方式の表示装置である。ＦＥＤにおいても、製造の最終工程でガラス排気管を通じて、装置内部を高真空に排気した後、溶断・封止するという工程が存在する。
【０００６】
さらに、ＦＦＬは、水銀または希ガス中の放電により、紫外線を発生させて、所定の蛍光体で可視光に変換させるものであり、その構造がＰＤＰと類似している。
【０００７】
このようなガラス排気管は、強度が十分に高いこと、安定した溶断・封止が可能であることおよび平面表示装置等の製品特性に影響を与えないように低温で溶断・封止できることが求められる。
【特許文献１】特開２００１−８４８９２号公報
【特許文献２】特開２００１−２５３７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
既述の通り、ガラス排気管の溶断・封止は、平面表示装置の内部が減圧状態のときに実行されることから、ガラス排気管の溶断・封止時に軟化変形したガラスがガラス排気管の内部に引き込まれやすく、図７（ａ）に示すようなリエントランス部３１が形成されやすい。形成されたリエントランス部３１は、ガラス排気管の溶断・封止により生じた残留応力の集中箇所となり、残留応力が大きくなるにつれて、リエントランス部３１から経時的に図７（ｂ）に示すようなクラック３２が生じやすくなり、平面表示装置内部から希ガスが漏れる欠陥、つまりスローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で致命的な欠陥が生じる確率が高くなる。なお、図７（ａ）は、ガスバーナーを用いて、ガラス排気管を溶断・封止した後の状態を示す断面概念図であり、図７（ｂ）は、ガスバーナーを用いて、ガラス排気管を溶断・封止した後の状態を示す概念図であり、ガラス排気管の内部に形成されたリエントランス部３１から発生したクラック３２の様子を示す概念図である。
【０００９】
このような背景から、従来は、図５に示すようにガラス排気管の溶断・封止には、電気ヒーター２２が使用され、厳密に制御された温度プロファイルの下、溶断部分にリエントランス部できないように徐々にガラス排気管の内径を狭めつつ、ガラス排気管を長さ方向の上下に引っ張りながら、溶断する作業を余儀なくされていた。この作業は、電気ヒーター２２の温度分布を厳密に管理する必要があることに加えて、電気ヒーター２２の最高温度がガスバーナーと比較して低く、ガラス排気管を徐々に加熱することになるため、平面表示装置の製造効率を低下させる一因となっていた。なお、図５は、電気ヒーター２２を用いて、ガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図であり、図５（ａ）は、加熱開始直後の状態を示しており、図５（ｂ）は、熱加工している状態を示しており、図５（ｃ）は、溶断・封止している状態を示しており、図５（ｄ）は、溶断・封止後の状態を示している。
【００１０】
ところで、近年、ＰＤＰの市場拡大に付随して、ＰＤＰの製造効率の向上は重要な技術的課題になっており、ガラス排気管の溶断・封止時間を短縮できれば、ＰＤＰの製造効率を向上させる上で大きなメリットになると考えられる。ガラス排気管の溶断・封止の作業効率を向上させるためには、ガラスバーナーを用いて短時間でガラス排気管を溶断・封止すればよいが、既述の通り、ガラス排気管を短時間で溶断・封止すれば、ガラス排気管の内部にリエントランス部が生じ、平面表示装置内部の気密性を担保し難くなる。
【００１１】
図６に示す通り、ガラスバーナー２３を用いて短時間でガラス排気管を溶断・封止すれば、ガラス排気管の加熱部の温度が急激に上昇し、溶断・封止時のガラスの粘度が低くなり、ガラス排気管の溶断・封止後に軟化変形したガラスの大部分がガラス排気管の内部に引き込まれ、ガラス排気管の内部にリエントランス部が形成されやすくなり、その結果、リエントランス部を起点としてクラックが発生しやすくなり、平面表示装置内部の気密性を担保し難くなる。なお、図６は、ガスバーナー２３を用いて、ガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図であり、図６（ａ）は、加熱開始直後の状態を示しており、図６（ｂ）は、熱加工している状態を示しており、図６（ｃ）は、溶断・封止している状態を示しており、図６（ｄ）は、溶断・封止後の状態を示している。
【００１２】
したがって、本発明の目的は、ガラスバーナーを用いて短時間でガラス排気管を溶断・封止してもガラス排気管の内部にリエントランス部が形成されにくいガラス排気管を提供し、ＰＤＰ等の製造効率の向上に寄与することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは、鋭意努力の結果、内側が局所的に縮径されたガラス管をガラス排気管として用いることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明として提案するものである。ここで、「内側が局所的に縮径された」とは、ガラス管の長さ方向の断面を観察した場合、ガラス管の内径が部分的に縮径されている状態を指す。また、ガラス管の垂直方向（つまり、ガラス管の長さ方向に垂直な方向）における縮径された内径の断面は真円形に限定されるものではなく、楕円形等の他の形状も当然に含まれる。なお、内側の縮径箇所は複数でもよいが、ガラス排気管の溶断・封止部分は、通常、一箇所であるため、ガラス排気管の強度を考慮すれば、縮径部は一箇所であることが好ましい。
【００１４】
本発明のガラス排気管を使用すれば、短時間でガラス排気管の溶断・封止を行うことができ、平面表示装置の製造効率向上の要請も満たすことが可能となる。また、ガラス管の内側を局所的に縮径することにより、平面表示装置内部に希ガスが所定量注入された減圧下において、ガラスバーナーを用いてガラス排気管を短時間で溶断・封止しても、ガラス排気管の内部に軟化変形したガラスが引き込まれることがなく、その結果、ガラス排気管の封止部分にリエントランス部が形成されず、スローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で深刻な事態を招来することがなく、更には平面表示装置の信頼性向上に寄与することができる。なお、ＰＤＰ、ＦＥＤ等の平面表示装置の排気工程は、平面表示装置の製造工程において最終工程となるので、ここでの歩留まり低下はトータルコストに大きく影響するため、ガラス排気管に係るトラブルを回避することは、非常に重要である。
【００１５】
図１は、本発明のガラス排気管の断面概念図である。図１（ａ）は、ガラス管の内側が局所的に縮径されており、且つ縮径部のガラス管の外径が拡径されているガラス排気管の断面概念図である。図１（ｂ）、（ｃ）は、ガラス管の内側が局所的に縮径されており、且つ縮径部のガラス管の外径も縮径されているガラス排気管の断面概念図である。図１（ａ）〜（ｃ）のガラス排気管は、いずれもガラス管の内側に縮径部を有しており、上記の効果を享受できるものである。図１（ａ）〜（ｃ）のガラス排気管は、例えば、以下のような方法で作製することができる。まず、ガラス管を回転させながら、ガス・空気・酸素混合バーナーを用いて、縮径部となるべき部分を加熱しながら、ガラス管の全長を徐々に短くし、ガラス管の内部にガラス溜りを形成した上で、ガラス管の内径を縮めて所望の外径となるように、ガラス管を長さ方向にガラス管を引っ張りつつ、ガラス溜りの量、ガス・空気・酸素混合バーナーのガス配合比を適宜調整することにより、図１（ａ）〜（ｃ）に示すようなガラス管の内側が局所的に縮径されたガラス排気管を形成することができる。
【００１６】
図４（ａ）は、本発明のガラス排気管の溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図であり、ガラス管の内側が局所的に縮径されており、且つ縮径部のガラス管の外径が拡径されているガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図である。図４（ｂ）、（ｃ）は、本発明のガラス排気管の溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図であり、ガラス管の内側が局所的に縮径されており、且つ縮径部のガラス管の外径も縮径されているガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図である。なお、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ図１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のガラス排気管の溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図に対応している。図４から明らかなように、本発明のガラス排気管は、溶断・封止後にガラス管の内部にリエントランス部が形成されていないため、スローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で深刻なトラブルを回避することができる。
【００１７】
第二に、本発明のガラス排気管は、ガラス管の基準内径をａ、縮径部のガラス管の内径をｂとしたときに、ｂ／ａ≦０．９５の関係を満たすことに特徴付けられる。ここで、「ガラス管の基準内径ｂ」とは、熱加工されていないガラス管の内径、つまり、縮径されていない部分の内径を指す。また、「縮径部のガラス管の内径ａ」は、縮径部における内径の最小値を指す。
【００１８】
第三に、本発明のガラス排気管は、ガラス管の基準外径をｃ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、０．８５≦ｃ／ｄ≦１．４の関係を満たすことに特徴付けられる。ここで、「ガラス管の基準外径ｃ」とは、熱加工されていないガラス管の外径、つまり、縮径または拡径処理がなされていない部分の外径を指す。また、「縮径部のガラス管の外径ｄ」は、縮径部における外径の最小値を指す。
【００１９】
第四に、本発明のガラス排気管は、縮径部のガラス管の内径をｂ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、０．３ｍｍ≦（ｄ−ｂ）／２≦４．５ｍｍの関係を満たすことに特徴付けられる。なお、「（ｄ−ｂ）／２」は、ガラス管の縮径部の肉厚に相当する。
【００２０】
第五に、本発明のガラス排気管は、ガラス管の長さをｅ、ガラス管の長さ方向における縮径部の長さをｆとしたときに、ｅ／ｆ≧２の関係を満たすことに特徴付けられる。「ガラス管の長さ」とは、ガラスの全長を指し、「ガラス管の長さ方向」とは、ガラス管の全長方向を指し、ガラス管に形成された孔に沿う方向を指す。また、「ガラス管の長さ方向における縮径部の長さ」は、縮径部のガラス管の内径を基準に測定した値である。
【００２１】
第六に、本発明のガラス排気管は、縮径部のガラス管の内径が０．１〜５ｍｍであることに特徴付けられる。
【００２２】
第七に、本発明のガラス排気管は、ガラス管の長さ方向における縮径部の長さが１〜１０ｍｍであることに特徴付けられる。
【００２３】
第八に、本発明のガラス排気管は、縮径部がガラス管の端部から５〜４０ｍｍ離れた部分に形成されていることに特徴付けられる。ここで、「ガラス管の端部」とは、被排気物の排気孔と位置合わせする側の端部を指し、例えばＰＤＰであれば、背面板ガラスに接着される側の端部を指す。
【００２４】
第九に、本発明のガラス排気管は、ガラス管の基準外径が０．２〜７ｍｍであることに特徴付けられる。
【００２５】
第十に、本発明のガラス排気管は、ガラス管の端部がフレア加工またはフランジ加工されていることに特徴付けられる。
【００２６】
第十一に、本発明のガラス排気管は、平面表示装置に使用することに特徴付けられる。
【００２７】
第十二に、本発明のガラス排気管は、平面照明装置に使用することに特徴付けられる。
【００２８】
第十三に、本発明のガラス排気管は、平面表示装置がＰＤＰであることに特徴付けられる。
【００２９】
第十四に、本発明の平面表示装置または平面照明装置は、前記のガラス排気管を使用したことに特徴付けられる。すなわち、本発明の平面表示装置または平面照明装置は、前記のガラス排気管を用いて、装置内部に希ガスが封入され、その後、ガラス排気管を溶断・封止することにより、装置内部が密封された状態となっている。
【００３０】
第十五に、本発明の平面表示装置または平面照明装置は、ガラス排気管の内部にリエントランス部を有しないことに特徴付けられる。ここで、「リエントランス部」とは、溶断・封止後のガラス排気管の内側を観察した場合において、図７（ｃ）に示すように、陥入した部分の最奥部から１００μｍ離れた２点を結んだ角度θが５°以下の場合を指す。
【００３１】
第十六に、本発明の平面表示装置または平面照明装置は、ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａ以下であることに特徴付けられる。ここで、「ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａ以下」とは、ガラス排気管の残留応力の最大値が１０ＭＰａ以下の場合をいう。
【発明の効果】
【００３２】
本発明のガラス排気管を使用すれば、ガラス排気管の溶断・封止を短時間で行うことができ、平面表示装置の製造効率向上の要請を満たすことが可能となる。また、ガラス管の内側を部分的に縮径することにより、平面表示装置内部に希ガスが所定量注入された減圧下において、ガラスバーナーを用いてガラス排気管を短時間で溶断・封止しても、ガラス排気管の内部に軟化変形したガラスが引き込まれることがなく、その結果、ガラス排気管の封止部分にリエントランス部が形成されず、スローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で深刻な事態を招来することがなく、更には平面表示装置の信頼性向上に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の基準内径をａ、縮径部のガラス管の内径をｂとしたときに、ｂ／ａ≦０．９５の関係を満たすことが好ましく、ｂ／ａ≦０．９の関係を満たすことがより好ましく、ｂ／ａ≦０．８の関係を満たすことが更に好ましく、ｂ／ａ≦０．７の関係を満たすことが最も好ましい。ｂ／ａの値が小さい程、本発明がもたらす効果をより的確に享受できるが、特に、ｂ／ａの値が約０．７であれば、縮径された内径の断面積を５０％程度まで小さくすることができ、排気効率を低下させることなく、ガラス排気管の内部にリエントランス部が形成される確率を飛躍的に低減することができる。一方、ｂ／ａの値は、０．１以上が好ましく、０．３以上がより好ましい。ｂ／ａの値が０．１未満であれば、ガラス排気管の内部にリエントランス部が形成される事態を抑止することができるが、平面表示装置内部の排気効率が低下し、結果的に、平面表示装置の製造効率が損なわれる虞が生じる。また、ｂ／ａの値が０．３以上であれば、所定の排気効率を確保することができ、大型の平面表示装置に対応しやすくなるため、好ましい。
【００３４】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の基準外径をｃ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、ｃ／ｄ≦１．４の関係を満たすことが好ましく、ｃ／ｄ≦１．３の関係を満たすことがより好ましく、ｃ／ｄ≦１．２の関係を満たすことが更に好ましい。ｃ／ｄの値が１．４より大きいと、ガラス排気管を背面板ガラスに気密封着後、ガラス排気管が、ガラス排気管と排気装置の吸引部を連結する際に生じる機械的応力により破損する虞が生じる。また、本発明のガラス排気管において、ガラス管の基準外径をｃ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、０．８５≦ｃ／ｄの関係を満たすことが好ましく、０．９≦ｃ／ｄの関係を満たすことがより好ましく、０．９５≦ｃ／ｄの関係を満たすことが更に好ましい。ｃ／ｄの値が０．８５より小さいと、縮径部のガラス管の肉厚が大きくなり、ガラス排気管の溶断・封止に際し、高温・長時間を要し、ガラス排気管の内部に軟化変形したガラスが引き込まれる確率が上昇するとともに、平面表示装置の製造効率が悪化する虞が生じる。
【００３５】
本発明のガラス排気管において、縮径部のガラス管の内径をｂ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、（ｄ−ｂ）／２≦４．５ｍｍの関係を満たすことが好ましく、（ｄ−ｂ）／２≦３．５ｍｍの関係を満たすことがより好ましく、（ｄ−ｂ）／２≦２．５ｍｍの関係を満たすことが更に好ましい。（ｄ−ｂ）／２が４．５ｍｍ以下であると、縮径部を均一に加熱することが可能となるとともに、縮径部の冷却も均一に行うことが可能となり、その結果、縮径部に生じる残留応力を低下させることができ、溶断・封止後におけるクラックの発生を可及的に抑止できる。一方、（ｄ−ｂ）／２が４．５ｍｍより大きいと、縮径部のガラス管の肉厚が大きくなり、ガラス排気管の溶断・封止に際し、高温・長時間を要し、ガラス排気管の内部に軟化変形したガラスが引き込まれる確率が上昇するとともに、平面表示装置の製造効率が悪化する虞が生じる。また、本発明のガラス排気管において、縮径部のガラス管の内径をｂ、縮径部のガラス管の外径をｄとしたときに、０．３ｍｍ≦（ｄ−ｂ）／２の関係を満たすことが好ましく、０．５ｍｍ≦（ｄ−ｂ）／２の関係を満たすことがより好ましく、０．７ｍｍ≦（ｄ−ｂ）／２の関係を満たすことが更に好ましい。（ｄ−ｂ）／２が０．３ｍｍより小さいと、ガラス排気管を背面板ガラスに気密封着後、ガラス排気管が、ガラス排気管と排気装置の吸引部を連結する際に生じる機械的応力により破損する虞が生じる。
【００３６】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の長さをｅ、ガラス管の長さ方向における縮径部の長さをｆとしたときに、ｅ／ｆ≧２の関係を満たすことが好ましく、ｅ／ｆ≧４の関係を満たすことがより好ましく、ｅ／ｆ≧７の関係を満たすことが更に好ましい。ｅ／ｆの値が２より小さいと、ガラス管の熱加工に長時間を要するとともに、ガラス排気管の強度が損なわれる虞が生じる。
【００３７】
本発明のガラス排気管において、縮径部のガラス管の内径が０．１〜５ｍｍであることが好ましく、０．５〜３．５ｍｍであることがより好ましく、０．９〜２．２ｍｍであることが更に好ましい。縮径部のガラス管の内径が０．１ｍｍより小さいと、ガラス排気管の内部にリエントランス部が形成される事態を抑止することができるが、平面表示装置内部の排気効率が低下し、結果的に、平面表示装置の製造効率が損なわれる虞が生じる。縮径部のガラス管の内径が５ｍｍより大きいと、ガラス排気管の溶断・封止に際し、高温・長時間を要し、ガラス排気管の内部に軟化変形したガラスが引き込まれる確率が上昇するとともに、平面表示装置の製造効率が悪化する虞が生じる。
【００３８】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の長さ方向における縮径部の長さが１〜１０ｍｍであることが好ましく、３〜７ｍｍであることがより好ましい。ガラス管の長さ方向における縮径部の長さが１ｍｍより小さいと、ガスバーナー等で溶断・封止に供される部分が小さくなり過ぎるため、熱加工によりガラス管に縮径部を形成することが困難になり、ガラス排気管の製造コストの高騰を招く虞がある。ガラス管の長さ方向における縮径部の長さが１０ｍｍより大きいと、ガラス管を縮径する熱加工に長時間を要するとともに、ガラス排気管の強度が損なわれる虞が生じる。
【００３９】
本発明のガラス排気管において、縮径部がガラス管の端部から５〜４０ｍｍ離れた部分に形成されていることが好ましく、縮径部がガラス管の端部から１０〜３０ｍｍ離れた部分に形成されていることがより好ましい。縮径部がガラス管の端部から５ｍｍ未満の位置に形成されていると、平面表示装置とガラス排気管の縮径部が近接し、ガラス排気管の溶断・封止にかかる熱履歴によって平面表示装置の特性が劣化する虞が生じる。また、縮径部がガラス管の端部から４０ｍｍより離れた位置に形成されていると、溶断・封止後にガラス排気管の残存部が長くなり、平面表示装置の省スペース化を図り難くなる。
【００４０】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の基準外径が０．２〜７ｍｍであることが好ましく、ガラス管の基準外径が３〜６ｍｍであることがより好ましい。ガラス管の基準外径が０．２ｍｍより小さいと、相対的に、ガラス管の内径の縮径部を小さくせざるを得ず、結果として、平面表示装置内部の排気効率の低下を招き、結果的に、平面表示装置の製造効率が損なわれる虞が生じる。ガラス管の基準外径が７ｍｍより大きいと、ガラス排気管の溶断・封止に際し、高温・長時間を要し、ガラス排気管の内部に軟化変形したガラスが引き込まれる確率が上昇するとともに、平面表示装置の製造効率が悪化する虞が生じる。
【００４１】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の長さが３〜３０ｃｍであることが好ましい。ガラス管の長さが３ｃｍより短いと、熱加工によりガラス管に縮径部を形成することが困難になり、ガラス排気管の製造コストの高騰を招く。ガラス管の長さが３０ｃｍより長いと、ガラス排気管を基板ガラスに封着後、ガラス排気管が、ガラス排気管と排気装置の吸引部を連結する際に生じる機械的応力により破損する虞が生じる。
【００４２】
本発明のガラス排気管において、ガラス管の端部がフレア加工されていることが好ましい。フレア部は、ガラス管の径が先端に向かうにつれて徐々に広がるように形成された部分であり、フランジ部は、その断面積が大きくなるようにガラス管壁の厚みを増加させた部分である。このようなフレア部またはフランジ部を形成することにより、ガラス排気管を背面板ガラスに取り付ける際の平面表示装置等に対する接触面積を大きくすることができるので、ガラス排気管の傾きを防止し、平面表示装置等に対して垂直に取り付けることが容易になる。また、ガラス排気管を平面表示装置等に対して垂直に取り付ける際にフレア部またはフランジ部を利用してガラス排気管を平面表示装置等の上に押圧固定することが可能になる。
【００４３】
本発明のガラス排気管において、ガラス排気管の端部に封着ガラスタブレットを取り付けてタブレット一体型排気管として用いることが好ましい。以上のような構成にすれば、背面板ガラス、封着ガラスタブレットおよびガラス排気管の３つの部品について、排気孔における中心位置合わせを同時に行う必要がなく、ガラス排気管の取り付け作業を簡略化することが可能となる。このようなタブレット一体型排気管を製造するためには、ガラス排気管に封着ガラスタブレットを挿入した状態、あるいはフレア部等がある場合にはガラス排気管端部に封着ガラスタブレットを載置した状態で焼成し、封着ガラスタブレットをガラス排気管の端部に接着させておく必要がある。このような場合、ガラス排気管を冶具により固定し、この状態のガラス排気管に封着ガラスタブレットを挿入し焼成する方法を採用することができる。ガラス排気管を固定する冶具は、封着ガラスタブレットが融着しない材質を用いることが好ましく、例えば、カーボン冶具等が使用可能である。また、ガラス排気管と封着ガラスタブレットの接着は、封着ガラスタブレットの軟化点付近で５〜１０分程度の短時間で行えばよい。
【００４４】
本発明のガラス排気管において、フレア加工またはフランジ加工等で拡径されたガラス排気管の端部に非結晶性封着ガラスタブレットと、非結晶性封着ガラスタブレットの封着温度より高い軟化点を有する高融点タブレットとが取り付けられており、且つ非結晶性封着ガラスタブレットが拡径されたガラス排気管の先端部側に取り付けて、高融点タブレットが非結晶性封着ガラスタブレットよりも後端部側に取り付けたタブレット一体型排気管として用いることが好ましい。このような構成にすれば、非結晶性封着ガラスタブレットがガラス排気管の先端部側に取り付けられているので、背面板ガラス等にガラス排気管を取り付ける際に背面板ガラス等と接触する面積は、ガラス排気管だけの場合よりも大きくなり、安定して背面板ガラス等の上にガラス排気管を自立させることができ、背面板ガラス等に対して傾くことなく垂直に取り付けることが容易となる。また、タブレット一体型排気管をこのような構成にすれば、タブレット一体型排気管を製造する工程において、非結晶性封着ガラスタブレットをガラス排気管に固着させる際、冶具と非結晶性封着ガラスタブレットの間に高融点タブレットを配置させることにより、タブレット一体型排気管を製造することができ、つまりタブレット一体型排気管の製造において、特殊な冶具を使用する必要がなくなり、製造工程を簡略化することができる。
【００４５】
本発明のガラス排気管において、ガラス排気管と接触して使用する部材（背面板ガラス、封着ガラス、管ガラス等の部材）との熱膨張係数差は、±１５×１０-7／℃が好ましく、±１０×１０-7／℃がより好ましい。熱膨張係数が上記範囲から外れると、ガラス排気管と接触して使用する部材との熱膨張係数差が大きくなり、ガラス排気管の溶断・封止時にクラックが生じて不良となりやすいことに加えて、長期の使用中に経時的にクラックが発生し、平面表示装置の信頼性を損なう事態が発生しやすくなる。特に、ＰＤＰとＦＥＤ等の平面表示装置に使用する場合、封着ガラス（例えば、日本電気硝子株式会社製ＬＳ−０２０６：熱膨張係数７２×１０-7／℃）を介して、基板ガラス（例えば、日本電気硝子株式会社製ＰＰ−８Ｃ：熱膨張係数８３×１０-7／℃）と加熱封着される。したがって、本発明のガラス排気管において、３０〜３８０℃の温度範囲における熱膨張係数は、封着ガラスの熱膨張係数を考慮すれば、７５〜９０×１０-7／℃であることが好ましく、７７〜８５×１０-7／℃が更に好ましい。また、ＰＤＰ、ＦＥＤ、ＦＦＬ用の基板ガラスとして、少量ではあるが、建築用窓板ガラスとして広く流通しているソーダ石灰ガラス（熱膨張係数９１×１０-7／℃程度）が利用されている。ソーダ石灰ガラスを基板ガラスとして用いた場合、本発明のガラス排気管において、３０〜３８０℃の温度範囲における熱膨張係数は、封着ガラスの熱膨張係数を考慮すれば、８３〜９８×１０-7／℃であることが好ましく、８５〜９５×１０-7／℃が更に好ましい。熱膨張係数が上記範囲から外れると、ＰＤＰとＦＥＤ等の基板ガラスとの熱膨張係数差が大きくなり、溶断・封止時に背面板ガラス、封着ガラスまたはガラス排気管にクラックが生じて不良となりやすい。また、熱衝撃等に起因して長期の使用中にクラックが発生し、平面表示装置としての機能を喪失する等の信頼性を損なう不良が発生しやすくなる。
【００４６】
本発明のガラス排気管において、１０7.6ｄＰａ・ｓに相当するガラスの温度（軟化点とも称される）は、７００℃以下が好ましい。また、本発明のガラス排気管において、１０4ｄＰａ・ｓに相当するガラスの温度（作業温度とも称される）は、１０００℃以下が好ましい。１０7.6ｄＰａ・ｓに相当するガラスの温度が７００℃より高いと、ガラスの熱加工性が損なわれ、ガラス管の内側に縮径部を形成し難くなるとともに、ガラス排気管の溶断・封止が的確に行えなくなる虞が生じる。また、１０4ｄＰａ・ｓに相当するガラスの温度が１０００℃より高いと、ガラスの熱加工性が損なわれ、ガラス管の内側に縮径部を形成し難くなるとともに、ガラス排気管の溶断・封止が的確に行えなくなる虞が生じる。
【００４７】
本発明のガラス排気管は、種々のガラス組成を有するガラスにより作製することができる。その中にあって、本発明のガラス排気管は、ＰｂＯ系ガラス、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系ガラス、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスを用いることが好ましい。ＰｂＯ系ガラスは、温度に対する粘度変化が緩慢であるため、換言すれば所謂ロングなガラスであるため、ガラス排気管を短時間で溶断・封止しても、その内部にリエントランス部が形成されにくい利点を有している。例えば、ＰｂＯ系ガラスとして、日本電気硝子株式会社製Ｌ−２９が好適に使用可能である。また、ＰｂＯ系ガラスは、温度に対する粘度変化が緩慢であるため、精密な形状のガラス排気管を作製し易い利点を有している。
【００４８】
ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系ガラスおよびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスは、実質的にＰｂＯを含有しないガラス組成とすることができ、近年の環境的要請を満たすことが可能となる。ここで、「実質的にＰｂＯを含有しない」とは、ガラス組成中のＰｂＯ含有量が１０００ｐｐｍ以下の場合をいう。しかし、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系ガラスおよびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスは、温度に対する粘度変化が急峻であるため、換言すれば所謂ショートなガラスであるため、ガラス排気管を短時間で溶断・封止した場合、その内部にリエントランス部が形成され易い。したがって、本発明のガラス排気管は、短時間で溶断・封止しても、その内部にリエントランス部が形成されにくいことから、ガラス排気管のガラス系がＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系およびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスであれば、本発明がもたらす利点をより的確に享受することができる。
【００４９】
ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系ガラスおよびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスとしては、種々のガラスが使用できるが、環境上の点から実質的にＰｂＯを含有しない組成を選択することが望ましい。またＰｂＯ以外にも、Ａｓ2Ｏ3等の有害成分を実質的に含まないことが望ましい。ここで、「実質的にＡｓ2Ｏ3を含有しない」とは、ガラス組成中のＡｓ2Ｏ3含有量が５００ｐｐｍ以下の場合をいう。
【００５０】
上記ガラスの好適な例として、酸化物換算の重量百分率で、ＳｉＯ2  ５０〜７５％、Ａｌ2Ｏ3  １〜２０％、Ｂ2Ｏ3  ０〜２０％、ＲＯ  ０〜２５％（ＲはＣａ、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎから選ばれる１種以上）、Ｌｉ2Ｏ  ０．５〜９％、Ｎａ2Ｏ  １〜１０％、Ｋ2Ｏ  ０〜１０％、Ｌｉ2Ｏ＋Ｎａ2Ｏ＋Ｋ2Ｏ  １２〜２０％、ＺｒＯ2  ０〜５％の組成を有するガラスを使用することができる。組成範囲をこのように限定した理由を以下に述べる。
【００５１】
ＳｉＯ2は、ガラスのマトリックスを作る必須の成分であるが、７５％を超えると粘度が高くなり、ガラス排気管の溶断・封止に高温を要する虞が生じる。また、ガラスの溶融が難しくなり、ブツ、脈理、気泡の多いガラスとなる。逆に５０％未満では熱膨張係数が大きくなり過ぎて、基板ガラス等との熱膨張係数の整合性が取り難くなる。また、耐候性が著しく悪化し、電子機器等としての信頼性を保てなくなる。
【００５２】
Ａｌ2Ｏ3は、ガラスの耐候性を向上させる効果が大きいとともに、ガラスの失透を抑えるのに有効であるが、１％以下ではその効果は小さく、２０％を超えるとガラスの粘度が急激に高くなる。
【００５３】
Ｂ2Ｏ3は、ガラスを安定化させるとともに、ガラスの粘度を小さくし、さらに耐候性を向上させる成分であるが、２０％より多いと逆に耐候性が悪化するとともに、溶融時の蒸発が多くなって均質性の高いガラスが得難くなる。ガラスの安定性を高める観点から、Ｂ2Ｏ3を０．５％以上含有させるのが好ましい。
【００５４】
ＲＯ（ＲはＣａ、Ｍｇ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｚｎから選ばれる１種以上）は、ガラスの溶解を促進するとともに、ガラスの耐久性を上げる作用がある。また、粘度を下げる効果も大きいので適量含有させることができる。しかし、２５％を超えるとガラスの失透性が増大し、均質性の高いガラスが得難くなる。また温度に対する粘度の変化が急峻になり過ぎ、熱間でのガラス管の精密な成形が困難になる。ＲＯの中で、ＢａＯとＳｒＯは、ガラスの低粘度化に寄与する成分であり、含有量はそれぞれ０〜１０％とするのが好ましい。これらの成分が１０％より多いと、ガラスが失透しやすくなる。一方、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯは、同様にガラスの低粘度化に寄与する成分であるが、含有量はそれぞれ０〜８％とするのが好ましい。これらの成分が８％より多いと、ガラスが失透しやすくなる。
【００５５】
アルカリ金属酸化物であるＬｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏは、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系ガラスおよびＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスにおいて、ガラスの低温化に寄与することができる。アルカリ酸化物を適量添加すれば、熱膨張係数を７５〜９５×１０-7／℃に設定し、なおかつ、軟化点が６７０℃以下、及び作業温度が９７０℃以下という低粘度に調整することができる。また、融剤としての作用も大きい。しかし、その合量が１２％より少ないと上記効果を得ることが困難になる。一方、これら成分の合量が２０％を超えると熱膨張係数が大きくなりすぎ、またガラスからアルカリ成分が溶出しやすくなって十分な耐候性が得られなくなる。
【００５６】
Ｌｉ2Ｏは、粘度を下げる効果が特に著しく、所望の熱膨張係数に保ったまま、鉛系ガラスと同等の低粘度を達成するために必要な成分であるが、０．５％未満ではその効果が乏しく、９％を超えるとガラスの失透性が急激に悪化し、安定したガラスができなくなる。Ｎａ2Ｏが３％より少ないと所望の熱膨張係数と低粘度化の達成ができなくなり、１０％を超えると熱膨張係数高くなりすぎるとともに、耐候性が大きく後退する。Ｋ2Ｏが１０％を超えると熱膨張係数が高くなりすぎ、またガラスの失透性が悪化する。
【００５７】
ＺｒＯ2は、ガラスの耐候性を高める効果があるので添加することが好ましいが、５％を超えるとガラスの失透性が増大し、安定したガラスの溶融ができなくなる。
【００５８】
その他に、清澄剤としてＳｂ2Ｏ3、Ｆ、Ｃｌ等を１％まで、特性の微調整や耐候性を改善効果があるＴｉＯ2等の成分を３％程度まで加えることができる。
【００５９】
Ｆｅ2Ｏ3は、原料やガラス排気管の製造工程から不純物として混入しやすい元素である。その含有量を０〜１％とすれば、着色等の問題が発生しにくいため、好ましい。
【００６０】
なお、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3系ガラスの具体例として、日本電気硝子株式会社製ＦＥ−２が挙げられる。また、ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3−ＲＯ系ガラスの具体例として、日本電気硝子株式会社製ＰＳ−９４が挙げられる。
【００６１】
本発明のガラス排気管は、平面表示装置に使用することが好ましい。上述の通り、ガラス排気管の溶断・封止は、平面表示装置の内部が減圧状態のときに実行されることから、ガラス排気管の溶断・封止時に軟化変形したガラスがガラス排気管の内部に引き込まれやすく、リエントランス部が形成されやすい。本発明のガラス排気管によれば、ガラス排気管の溶断・封止時に軟化変形したガラスがガラス排気管の内部に引き込まれにくいため、平面表示装置に好適に使用可能であり、リエントランス部から経時的にクラックが生じ、平面表示装置内部から希ガスが漏れる欠陥、つまりスローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で致命的な欠陥が生じる確率を顕著に低減できる。
【００６２】
本発明のガラス排気管は、ＰＤＰに使用することが好ましい。本発明のガラス排気管によれば、ガラスバーナーを用いて、ガラス排気管を短時間で溶断・封止してもガラス排気管の内部にリエントランス部が形成されにくいため、ガラス排気管の溶断・封止に要する時間を容易に短縮でき、ＰＤＰの製造効率向上の要請を的確に満たすことができる。しかもガラス排気管の溶断・封止時に軟化変形したガラスがガラス排気管の内部に引き込まれにくいため、ＰＤＰに好適に使用可能であり、リエントランス部から経時的にクラックが生じ、ＰＤＰ内部から希ガスが漏れる欠陥、つまりスローリーク等のＰＤＰの気密性を担保する上で致命的な欠陥が生じる確率を顕著に低減できる。
【００６３】
図３（ａ）〜（ｃ）は、本発明のガラス排気管を平面表示装置に取り付けたときの断面概念図である。ガラス排気管１の端部と背面板ガラス１０が封着ガラス２１を介して気密封着されている。ガラス管の縮径部は、ガラス排気管１の端部からガスバーナーで溶断・封止しやすいように、背面板ガラス１０からある程度距離が離れたところに形成されている。ガラス排気管１は、ガラス管の内側に縮径部を有しているが、この程度の縮径度合いあれば、ＰＤＰの排気効率を損なうことがない。しかもガラス排気管１は、溶断・封止時に軟化変形したガラスがガラス排気管１の内部に引き込まれにくいため、リエントランス部から経時的にクラックが生じることがない。
【００６４】
本発明のガラス排気管は、平面照明装置に使用することが好ましい。近年、ＦＦＬ方式の液晶ディスプレイ用バックライト等の平面表示装置が実用化されつつある。これらの平面表示装置は、上記の平面表示装置と同様に、ガラス排気管を用いて、平面照明装置内を真空状態とする排気工程が存在する。したがって、本発明のガラス排気管は、本用途においても好適に使用可能である。なお、本明細書は、平面表示装置を中心に本発明の効果を説明してきたが、平面照明装置についても同様に本発明の効果を享受できることは言うまでもない。
【００６５】
本発明の平面表示装置または平面照明装置は、ガラス排気管の内部にリエントランス部を有しないことが好ましい。ガラス排気管の封止部分にリエントランス部を有しない構成とすれば、ガラス排気管の溶断・封止後にガラス排気管に残留応力が集中する箇所がなくなり、スローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で深刻な事態を招来することがなく、平面表示装置の信頼性向上に寄与することができる。
【００６６】
本発明の平面表示装置または平面照明装置は、ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａ以下であることが好ましく、ガラス排気管の残留応力が７ＭＰａ以下であることがより好ましい。ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａより大きいと、リエントランス部等の応力集中箇所を起点として、クラックが進展し、スローリーク等の平面表示装置の気密性を担保する上で深刻な事態が生じる虞があり、平面表示装置の信頼性が損なわれる虞がある。
【実施例】
【００６７】
表１〜３に示す寸法を有するガラス排気管を作製した。このガラス排気管の材質として、日本電気硝子株式会社製ＦＥ−２（３０〜３８０℃の温度範囲における熱膨張係数８５×１０-7／℃、軟化点６３０℃、作業温度８９０℃）を使用した。なお、表１、２は本発明の実施例を示し、表３は本発明の比較例を示している。
【００６８】
表１〜３に示す試料１〜１４のガラス排気管の作製方法を以下に示す。
【００６９】
まず、ガラス管を回転させながら、ガス・空気・酸素混合バーナーを用いて、縮径部（試料１４については、拡径部）となるべき部分を加熱しながら、ガラス管の全長を徐々に短くし、ガラス管の内部にガラス溜りを形成しつつ、ガラス管の内径を縮めた上で所望の外径となるように、ガラス管を長さ方向にガラス管を引っ張った。ガラス溜りの量、ガス・空気・酸素混合バーナーのガス配合比を適宜調整することにより、ガラス管の内側に縮径部を形成するとともに、表１〜３に示す寸法を有するガラス排気管を作製した。
【００７０】
次に、上記熱加工を行った後にガラス管を所定の長さに切断し、その切断部をバーナーにより加熱し、切断部を丸める加工を行った。その後、徐冷炉を用いて、熱加工した部分に残存している歪を除去し、表中に示すガラス排気管を作製した。
【００７１】
表１〜３に示したガラス排気管の寸法は、栓ゲージを用いて測定した。なお、試料１〜１５のガラス排気管は、ガラス管の長さを１５ｃｍに調製し、試料１〜１４のガラス排気管は、ガラス管端部から２５〜３０ｍｍ離れたところに、ガラス管の長さ方向における縮径部の長さが５ｍｍとなるように調製した。
【００７２】
【表１】
2008016416.tif 000003
【００７３】
【表２】
2008016416.tif 000004
【００７４】
【表３】
2008016416.tif 000005
【００７５】
表１〜３に示したガラス排気管の特性評価方法を以下に示す。
【００７６】
ガラス排気管の相対強度は、以下のような方法で評価した。封着ガラスタブレットを用いて、ガラス管の端部と基板ガラス（日本電気硝子株式会社製ＰＰ−８Ｃ）を気密封着した。基板ガラスを冶具で固定した状態で基板ガラスから５５ｍｍ離れた箇所をヘッド２ｍｍ／分の速度で押し倒し、ガラス排気管が破損したときの抗折強度を測定した。試料１５のガラス排気管の抗折強度を１として、同様の測定により、試料１〜１４のガラス排気管の相対抗折強度を測定した。なお、封着ガラスタブレットの材質、形状等は、封着ガラスタブレットを起点とした破損が生じないように配慮した。
【００７７】
ガラス排気管の溶断・封止に要する相対時間は、以下の方法で評価した。実際の平面表示装置におけるガラス排気管の溶断・封止を再現するために、一方のガラス管の端部を密封し、且つ他方のガラス管の先端を樹脂製のチューブにより真空ポンプに接続し、ガラス管の内部が３００Ｔｏｒｒとなるように吸気した上でガラス排気管の溶断・封止を行った。ガラス排気管の溶断・封止に要する相対時間は、ガスバーナーを用いて、試料１５のガラス排気管を溶断・封止したときの条件を基準とし、すなわち試料１５のガラス排気管を５秒間加熱した後に、溶断・封止に要した時間を１とした場合において、同様の操作を試料１〜１４のガラス排気管の縮径部に施した後に、溶断・封止に要した時間を相対時間で表し、評価した。なお、この条件は、試料１５のガラス排気管の内部にリエントランス部が形成され、１時間後にそのリエントランス部を起点としてクラックが発生する条件となっている。
【００７８】
ガラス排気管の溶断・封止後の形状は、リエントランス部が形成されていないものを「○」とし、リエントランス部が形成されているものを「×」として、評価した。なお、本評価が「×」の試料は、冷却後１２時間以内にリエントランス部を起点としてクラックが発生していた。
【００７９】
ガラス排気管の溶断・封止後の応力は、ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａ以下のものを「○」とし、ガラス排気管の残留応力が１０ＭＰａより大きいものを「×」として、評価した。
【００８０】
表１、２から明らかなように、試料１〜１０のガラス排気管は、相対強度および相対時間が試料１５のガラス排気管と同等程度であったため、ガラス排気管として十分な強度を有し、しかもガスバーナーを用いて短時間で溶断・封止することができると考えられる。更に、試料１〜１０のガラス排気管は、溶断・封止後の形状、応力ともに良好であり、スローリーク等の気密性が損なわれるような事態が生じ難く、平面表示装置等の信頼性を的確に確保できると考えられる。
【００８１】
表３から明らかなように、試料１１〜１５のガラス排気管は、ガラス管の内側に縮径部が形成されていない、あるいはガラス管の内側に縮径部が適切に形成されていないため、溶断・封止後の形状、応力ともに不良であり、スローリーク等の気密性が損なわれるような事態が生じやすく、平面表示装置等の信頼性を確保できないと考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明のガラス排気管は、ＰＤＰ、ＦＥＤ、プラズマアドレスリキッドクリスタルディスプレイ（ＰＡＬＣ）、蛍光表示管（ＶＦＤ）に好適に使用することができる。同様に、本発明のガラス排気管は、ＦＦＬ方式の液晶ディスプレイ用バックライト等の平面照明装置に好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】（ａ）長さ方向における本発明のガラス排気管の断面概念図であり、ガラス管の内側に縮径部を有し、且つ縮径部のガラス管の外径が拡径されているガラス排気管の断面概念図である。（ｂ）、（ｃ）長さ方向における本発明のガラス排気管の断面概念図であり、ガラス管の内側に縮径部を有し、且つ縮径部のガラス管の外径も縮径されているガラス排気管の断面概念図である。
【図２】本発明のガラス排気管の断面概念図であり、ガラス管の基準内径ａ、縮径部のガラス管の内径ｂ、ガラス管の基準外径ｃ、縮径部のガラス管の外径ｄ、ガラス管の長さｅおよびガラス管の長さ方向における縮径部の長さｆを図示した断面概念図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）本発明のガラス排気管を平面表示装置に取り付けたときの断面概念図である。
【図４】（ａ）本発明のガラス排気管の溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図であり、ガラス管の内側に縮径部を有し、且つ縮径部のガラス管の外径が拡径されているガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図である。（ｂ）、（ｃ）本発明のガラス排気管の溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図であり、ガラス管の内側に縮径部を有し、且つ縮径部のガラス管の外径も縮径されているガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図である。
【図５】電気ヒーターを用いて、従来のガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図である。（ａ）加熱開始直後の状態を示しており、（ｂ）熱加工している状態を示しており、（ｃ）溶断・封止している状態を示しており、（ｄ）溶断・封止後の状態を示している。
【図６】ガスバーナーを用いて、従来のガラス排気管を溶断・封止した場合の工程を示す断面概念図である。（ａ）加熱開始直後の状態を示しており、（ｂ）熱加工している状態を示しており、（ｃ）溶断・封止している状態を示しており、（ｄ）溶断・封止後の状態を示している。
【図７】（ａ）ガスバーナーを用いて、従来のガラス排気管を溶断・封止した後の状態を示す断面概念図である。（ｂ）ガスバーナーを用いて、従来のガラス排気管を溶断・封止した後の状態を示す断面概念図であり、ガラス排気管の内部に形成されたリエントランス部から発生したクラックの様子を示す断面概念図である。（ｃ）（ｂ）の点線で囲まれたＡ部分を拡大した断面概念図、すなわちガラス排気管の内部に形成されたリエントランス部を拡大した断面概念図であり、本発明でいうリエントランス部の意味内容を明確にするための断面概念図である。
【符号の説明】
【００８４】
１    ガラス排気管
１０  背面板ガラス（基板ガラス）
１１  ガラス管の端部
２１  封着ガラス（封着ガラスタブレット）
２１ａ  高融点タブレット
２２  電気ヒーター
２３  ガスバーナー
３１  リエントランス部
３２  クラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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