(57)【要約】【課題】液晶材料中に発現した気泡を、外に弾き出すことができ、液晶パネルの表示品位の向上を図ることができる液晶パネルの製造方法を提供する。【解決手段】素子基板用及び液晶材料Ｆを配置した対向基板用の両マザーガラス基板を搬入したチャンバ内の圧力を、両基板を貼り合せる圧力である貼合圧よりも低く減圧する。すると、液晶材料Ｆに溶け込んだ気体成分が気泡５０となって次々に発生して排出される。チャンバ内の減圧を停止すると、液晶材料Ｆの内部には、新たな気泡５０は発生しなくなるが、液晶材料Ｆは粘性が高いので発生した気泡５０が留まる。そこで、直ぐにチャンバ内の圧力を増圧して貼合圧まで戻すと、液晶材料Ｆの内部に発生した気泡５０が弾き出されて排出される。これにより、両基板を、対向基板用のマザーガラス基板に配置された液晶材料Ｆの内部に気泡５０が含まれない状態にして貼り合せることができる。【選択図】図８
2008286821.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板のいずれか一方に環状のシール材を形成し、前記シール材に囲まれた範囲に
液晶材料を配置し、大気圧より低い第１の雰囲気にて前記２枚の基板を重ね合わせた状態
から、大気圧にして前記２枚の基板を貼り合わせるようにした液晶パネルの製造方法であ
って、
前記シール材に囲まれた範囲に液晶材料を配置された基板を、前記第１の雰囲気より低
い第２の雰囲気に配置した後に、前記第１の雰囲気にて前記２枚の基板を重ね合わせるこ
とを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネルの製造方法において、
前記２枚の基板は、前記第２の雰囲気に配置された後に、直ぐに前記第１の雰囲気にさ
れて前記２枚の基板を重ね合わせることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液晶パネルの製造方法において、
前記第１の雰囲気は１０パスカルの圧力であって、
前記第２の雰囲気は１０パスカルよりも低い圧力であることを特徴とする液晶パネルの
製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の液晶パネルの製造方法において、
前記第１の雰囲気の温度は、常温であり、
前記第２の雰囲気の温度は、常温であることを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４に記載の液晶パネルの製造方法において、
前記２枚の基板のうちの一方の基板は、液晶表示パネルを構成する対向基板としてのセ
ルを複数形成された対向基板用のマザーガラス基板であり、
前記２枚の基板のうちの他方の基板は、液晶表示パネルを構成する素子基板としてのセ
ルを複数形成された素子基板用のマザーガラス基板であり、
前記シール材は、前記対向基板用のマザーガラス基板もしくは前記素子基板用のマザー
ガラス基板のどちらか一方の各セルにそれぞれ環状に形成され、
貼り合わされた前記対向基板用のマザーガラス基板と前記素子基板用のマザーガラス基
板とを切断して液晶パネルを取り出すことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、薄膜トランジスタが形成された素子基板と、共通電極が形成された対
向基板との間であって、シール材に囲まれた範囲に液晶が封入されている。近年、液晶表
示装置において、素子基板上に形成した四角枠状のシール材に囲まれた領域に液滴吐出装
置やディスペンサで液晶を配置した後に、同素子基板と対向基板とを貼り合わせる方法が
知られている。
【０００３】
また、基板上に多数の素子基板（セル）を区画形成した大判のガラス基板（マザーガラ
ス基板）と、同じく基板上に多数の対向基板（セル）を区画形成した大判のガラス基板（
マザーガラス基板）とを用意する。いずれか一方のマザーガラス基板に形成された各シー
ル材に囲まれた領域に液晶を配置した後、その両マザーガラス基板同士を貼り合わせ、そ
の後、ダイシングして多数の液晶パネルを製造する方法も提案されている。
【０００４】
そして、両基板の貼り合わせは、低圧の雰囲気下で、シール材料に囲まれた領域に液晶
材料を配置した基板と他方の基板とを位置合わせして重ね合わせる。そして、重ね合わせ
た状態で大気開放させることによって、素子基板と対向基板は、シール材に囲まれた領域
に液晶材料を充填した状態で貼り合わされる。
【０００５】
ところで、液晶パネルにおいて、液晶を封入した基板間に気泡が発生すると、表示特性
を悪化させ表示品位を低下させる。この気泡の発生原因は、貼り合わせ時に混入や、外気
温の変化による発生等、が考えられている。そして、これらの気泡の発生に対して、表示
品位を低下させないための種々の提案がなされている。
【０００６】
例えば、その１つとして、特許文献１では、気泡が発生した場合、その気泡を非画素領
域に集め溜めて、画素領域に気泡が存在しないようにして表示特性が悪化しないようにし
ている。
【特許文献１】特開２００５−２４１６９６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記方法は、気泡が発生したときには、効果があるものの、液晶材料に溶け込んでいる
気体を除くものではなかった。しかも、液晶材料は粘性が高いので、発生した気泡は、移
動が難しく、必ずしも思い通りに素早く非画素領域に移動するとは限らなかった。
【０００８】
ところで、上記した貼り合わせ方法においては、低圧の雰囲気下で貼り合わせを行なう
ことから、液晶材料に溶け込んでいる気体を気泡にして外に出すことが期待される。
しかしながら、液晶材料に溶け込んでいる気体を完全に外に出すことは十分ではなかっ
た。これは、液晶材料は粘性が高いことから、液晶材料中に発生した気泡が外に弾かれず
、液晶材料中に留まってしまうことが多々生じていた。従って、外に弾かれずに液晶材料
中に留まっている気泡が、表示品位を低下させるおそれがあった。
【０００９】
本発明は、液晶材料中に発現した気泡を、外に弾き出すことができ、液晶パネルの表示
品位の向上を図ることができる液晶パネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液晶パネルの製造方法は、２枚の基板のいずれか一方に環状のシール材を形成
し、前記シール材に囲まれた範囲に液晶材料を配置し、大気圧より低い第１の雰囲気にて
前記２枚の基板を重ね合わせた状態から、大気圧にして前記２枚の基板を貼り合わせるよ
うにした液晶パネルの製造方法であって、前記シール材に囲まれた範囲に液晶材料を配置
された基板を、前記第１の雰囲気より低い第２の雰囲気に配置した後に、前記第１の雰囲
気にて前記２枚の基板を重ね合わせることを特徴とする。
【００１１】
本発明の液晶パネルの製造方法によれば、第２の雰囲気に配置した後に、第１の雰囲気
にすることにより、液晶材料中に留まっている気泡が弾け出され、貼り合わせ前に、液晶
材料に含まれる気体が除去される。
【００１２】
この液晶パネルの製造方法は、前記２枚の基板は、前記第２の雰囲気に配置された後に
、直ぐに前記第１の雰囲気にされて前記２枚の基板を重ね合わせることが好適である。
この液晶パネルの製造方法によれば、第２の雰囲気に配置した後に、直ぐに第１の雰囲
気にすることにより、液晶材料中に留まっている気泡がより弾け出されやすくなり、好適
に液晶材料に含まれる気体が除去される。
【００１３】
この液晶パネルの製造方法は、前記第１の雰囲気は１０パスカルの圧力であって、前記
第２の雰囲気は１０パスカルよりも低い圧力であると好ましい。
この液晶パネルの製造方法によれば、第１の雰囲気は１０パスカルであり、第２の雰囲
気は１パスカルであるので、従来からのチャンバをそのまま利用することができる圧力で
ある。従って、この第１の雰囲気及び第２の雰囲気の各圧力によれば、容易に液晶材料か
ら気体を取り除いた液晶パネルを製造することができる。
【００１４】
この液晶パネルの製造方法は、前記第１の雰囲気の温度は、常温であり、前記第２の雰
囲気の温度は、常温であってもよい。
この液晶パネルの製造方法によれば、第１の雰囲気の温度も、第２の雰囲気の温度も常
温であるので、減圧下の第１の雰囲気でも第２の雰囲気でも液晶材料の蒸発を抑制するこ
とができる。また、温度変化により基板に温度による撓みや歪みが生じることを防ぐこと
もできる。従って、好適に液晶パネルを製造することができる。
【００１５】
この液晶パネルの製造方法は、前記２枚の基板のうちの一方の基板は、液晶表示パネル
を構成する対向基板としてのセルを複数形成された対向基板用のマザーガラス基板であり
、前記２枚の基板のうちの他方の基板は、液晶表示パネルを構成する素子基板としてのセ
ルを複数形成された素子基板用のマザーガラス基板であり、前記シール材は、前記対向基
板用のマザーガラス基板もしくは前記素子基板用のマザーガラス基板のどちらか一方の各
セルにそれぞれ環状に形成され、貼り合わされた前記対向基板用のマザーガラス基板と前
記素子基板用のマザーガラス基板とを切断して液晶パネルを取り出すようにしてもよい。
【００１６】
この液晶パネルの製造方法によれば、２枚の基板は、それぞれ対向基板用のマザーガラ
ス基板と対向基板用のマザーガラス基板である。従って、液晶材料から好適に気体が除去
された複数の液晶パネルを一度に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した液晶パネルの製造方法の一実施形態を図１〜図８に従って説
明する。まず、本発明の液晶パネルの製造方法によって形成された液晶パネルの液晶表示
装置について説明する。図１は、液晶表示装置１０の斜視図であり、図２は、図１の２−
２線断面図である。
【００１８】
図１において、液晶表示装置１０の下側には、発光ダイオード（ＬＥＤ）などの光源１
１を有して四角板状に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。
バックライト１２の上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の
液晶パネル１３が備えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１
３に向かって照射されるようになっている。
【００１９】
液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これ
ら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状の
シール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５
との間の間隙に、液晶１７が封入されている。
【００２０】
素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学
基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光
にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側
面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ方向）略全幅にわたって延びる複数の走査線Ｌ
ｘが配列形成されている。
【００２１】
各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設される走査線駆動回路１９に電気
的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査信号が、所定のタイミングで入
力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには、Ｙ方向略全幅にわたって延び
る複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４
の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、データ線駆動
回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所定のタイミングで入力されるように
なっている。
【００２２】
素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙの交差する位置には、対応する
走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されてマトリックス状に配列される複数の画素２２が
形成されている。各画素２２には、それぞれ薄膜トランジスタなどの図示しない制御素子
や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３が備えられている。
【００２３】
図２において、各画素２２の上側全体には、ラビング処理などによる配向処理の施され
た配向膜２４が積層されている。配向膜２４は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子か
らなる薄膜パターンであって、対応する画素電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の
配向に設定するようになっている。
【００２４】
前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（
図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。対向基板１５の下面（素子
基板１４側の側面：電極形成面１５ａ）全体には、各画素電極２３と相対向するように形
成された光透過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。
【００２５】
対向電極２６は、前記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデー
タ線駆動回路２１からの所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２６の
下面全体には、ラビング処理などによる配向処理の施された配向膜２７が積層され、対向
電極２６の近傍で液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。
【００２６】
そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電
極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち
、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光
が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の
上側に表示される。
【００２７】
次に、液晶パネル１３の製造方法について図３〜図８に従って説明する。図３は、複数
の液晶パネル１３を製造するマザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを説明する説明図である。
図３に示すように、対向基板用のマザーガラス基板ＭＡは、大判のガラス基板であって
、２点鎖線で示すように、液晶パネル１３の対向基板１５を形成するセルＳがマトリクス
状に多数区画形成されている。対向基板用のマザーガラス基板ＭＡに区画形成された各セ
ルＳは、図４に示すように、ディスペンサ装置等を利用して紫外線硬化性樹脂からなる四
角枠状のシール材１６がそれぞれ形成され、そのシール材１６で囲まれた範囲（以下、配
置領域Ｚという）に液晶材料Ｆが液滴吐出装置（図示略）にて配置される。そして、マザ
ーガラス基板ＭＡの各セルＳの配置領域Ｚには、液晶材料Ｆからなる液状膜ＬＦが形成さ
れるようになっている。尚、マザーガラス基板ＭＡの表面であって、シール材１６が形成
された面を、貼合面ＭＡａとする。
【００２８】
素子基板用のマザーガラス基板ＭＢは、大判のガラス基板であって、２点鎖線で示すよ
うに、液晶パネル１３の素子基板１４を形成するセルＳが、マトリクス状に多数区画形成
されている。尚、マザーガラス基板ＭＢの表面であって、薄膜トランジスタなどが形成さ
れた面を、貼合面ＭＢａとする。
【００２９】
そして、各配置領域Ｚに液状膜ＬＦが形成されたマザーガラス基板ＭＡと、マザーガラ
ス基板ＭＢとは、図３に示すように、それぞれの貼合面ＭＡａ，ＭＢａを向かい合うよう
に相対向させて低圧の雰囲気下で貼り合わせることで多数の液晶パネル１３が製造される
ようになっている。
【００３０】
図５は、マザーガラス基板ＭＡとマザーガラス基板ＭＢとを低圧の雰囲気下で貼り合わ
せる基板製造装置３０を説明する説明図である。
基板製造装置３０は、チャンバ３１を備えている。チャンバ３１は、貼り合わせる前の
マザーガラス基板ＭＡとマザーガラス基板ＭＢとを離間させた状態で格納して、チャンバ
３１内の雰囲気の圧力を、大気圧よりも低圧の雰囲気である所定の真空圧ＶＡに保持する
ことができる。また、本実施形態ではチャンバ３１内の温度は常温になっている。
【００３１】
チャンバ３１には、チャンバ３１内の雰囲気を排気する排気管３３が備えられている。
排気管３３には、調整バルブ３５及び減圧ポンプ３６が備えられている。減圧ポンプ３６
はチャンバ３１内の雰囲気を排気して、チャンバ３１内の真空圧ＶＡを１パスカル以下の
圧力にすることが可能な能力を有している。なお、調整バルブ３５は、外部からの信号に
基づいて減圧ポンプ３６によるチャンバ３１内の雰囲気の排気を調整して、チャンバ３１
内の真空圧ＶＡを目標の圧力に調整できるようになっている。
【００３２】
また、チャンバ３１には、チャンバ３１内に外部からの雰囲気を供給する吸気管３４が
備えられている。吸気管３４には、大気開放バルブ３７が備えられている。大気開放バル
ブ３７は、外部からの信号に基づいてチャンバ３１内に外部からの雰囲気を供給してチャ
ンバ３１内の雰囲気の圧力を真空圧ＶＡから大気圧に戻すことができるようになっている
。
【００３３】
さらに、チャンバ３１には、検出端がチャンバ３１内に設けられた圧力センサ３２が設
けられている。圧力センサ３２は、チャンバ３１内に設けられた検出端からの検出に基づ
いてチャンバ３１内の真空圧ＶＡを検出する。
【００３４】
また、基板製造装置３０には、制御装置４０が備えられている。
制御装置４０には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどが備えられている。そして、制御装置
４０は、ＲＯＭやＲＡＭなどに格納された各種データ及び各種プログラムに従って、基板
製造装置３０の基板製造動作を制御するようになっている。
【００３５】
ＲＯＭには、チャンバ３１内にマザーガラス基板ＭＡとマザーガラス基板ＭＢを格納し
てから所定の経過時間に基づいて変化させるチャンバ３１内の真空圧ＶＡを指示する圧力
パターンＰＤが記憶されている。
【００３６】
圧力パターンＰＤは、所定の時刻毎のチャンバ３１内の真空圧ＶＡを指示するデータで
あり、チャンバ３１内の真空圧ＶＡは、圧力パターンＰＤが示す圧力に基づいて制御装置
４０により変化させられるようになっている。
【００３７】
本実施形態では、圧力パターンＰＤは、チャンバ３１内の真空圧ＶＡを、大気圧の状態
から時刻Ｔ１において液晶材料Ｆに溶け込んでいる気体成分を除去させる圧力である除去
圧Ｐ２（１パスカル）に変化をさせるように指示するデータとなっている。また、圧力パ
ターンＰＤは、チャンバ３１内の真空圧ＶＡを、時刻Ｔ１においての除去圧Ｐ２の状態か
ら時刻Ｔ２において両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを貼り合わせる圧力である貼合圧Ｐ１
（１０パスカル）まで変化させるように指示するデータとなっている。さらに、圧力パタ
ーンＰＤは、チャンバ３１内の真空圧ＶＡを、時刻Ｔ２から両マザーガラス基板ＭＡ，Ｍ
Ｂを貼り合わせるまでは貼合圧Ｐ１（１０パスカル）に保持させるように指示するデータ
となっている。
【００３８】
制御装置４０には、圧力センサ３２、調整バルブ３５、減圧ポンプ３６及び大気開放バ
ルブ３７が電気的に接続されている。
制御装置４０は、圧力パターンＰＤに基づいて駆動信号ＭＤを減圧ポンプ３６に出力し
て、同駆動信号ＭＤに基づいて減圧ポンプ３６を駆動させてチャンバ３１内の真空圧ＶＡ
を減圧するようになっている。
【００３９】
制御装置４０は、調整バルブ３５を開閉制御する制御信号ＣＤを同調整バルブ３５に出
力する。詳述すると、制御装置４０は、チャンバ３１内が大気圧から除去圧Ｐ２に到達す
る前まで、調整バルブ３５を開状態に制御する制御信号ＣＤを出力する。そして、圧力セ
ンサ３２がチャンバ３１内の真空圧ＶＡが除去圧Ｐ２になったことを検出すると、制御装
置４０は、調整バルブ３５を閉状態に制御する制御信号ＣＤを出力する。
【００４０】
また、制御装置４０は、圧力パターンＰＤが示す圧力に基づいて大気開放バルブ３７を
開閉制御する制御信号ＡＤを同大気開放バルブ３７に出力する。
詳述すると、制御装置４０は、チャンバ３１内が大気圧から除去圧Ｐ２に到達する前ま
で、大気開放バルブ３７を閉状態に制御する制御信号ＡＤを出力する。そして、圧力セン
サ３２がチャンバ３１内の真空圧ＶＡが除去圧Ｐ２になったことを検出すると、制御装置
４０は、大気開放バルブ３７を僅かな開度に制御する制御信号ＡＤを出力する。これによ
って、チャンバ３１内の雰囲気が貼合圧Ｐ１に向かって上昇する。
【００４１】
圧力センサ３２がチャンバ３１内の真空圧ＶＡが除去圧Ｐ２から貼合圧Ｐ１になったこ
とを検出すると、制御装置４０は、大気開放バルブ３７を閉状態に制御する制御信号ＡＤ
を出力する。これによって、チャンバ３１内の真空圧ＶＡが貼合圧Ｐ１に保持された状態
で、貼り合わせのためのマザーガラス基板ＭＡ，ＭＢの位置合わせ及び重ね合わせを行な
う。
【００４２】
チャンバ３１内でのマザーガラス基板ＭＡ，ＭＢの重ね合わせが完了すると、制御装置
４０は、大気開放バルブ３７を開状態に制御する制御信号ＡＤを出力するようになってい
る。これによって、チャンバ３１内が大気圧の状態となり、マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢ
が貼り合せられる。
【００４３】
つまり、基板製造装置３０は、チャンバ３１に貼り合わせ前のマザーガラス基板ＭＡと
マザーガラス基板ＭＢを搬入されてから、チャンバ３１内の真空圧ＶＡを圧力パターンＰ
Ｄが示す圧力に基づいて変化させて、マザーガラス基板ＭＡとマザーガラス基板ＭＢを貼
り合わせるようになっている。
【００４４】
図７は、液晶パネル１３の製造工程のうち、マザーガラス基板ＭＡに液晶を配置してか
らチャンバ３１内に搬入して貼り合せ、搬出するまでの製造工程を示すフローチャートで
ある。
【００４５】
まず、マザーガラス基板ＭＡの貼合面ＭＡａには、シール材１６により各配置領域Ｚが
形成されている。そして、各配置領域Ｚには、図４に示すように、大気圧の雰囲気下で液
滴吐出装置から所定量の液晶材料Ｆを吐出配置されて、配置領域Ｚに広がった液状膜ＬＦ
が形成される（液晶材料配置工程：ステップＳ１１）。
【００４６】
各配置領域Ｚに液状膜ＬＦが形成されたマザーガラス基板ＭＡと、マザーガラス基板Ｍ
Ｂとは、基板搬送装置（図示略）により、図５に示すように、チャンバ３１の搬出入口（
図示略）を通してチャンバ３１内に搬入される。そして、それぞれの貼合面ＭＡａ，ＭＢ
ａを相対向させて離間された状態で配置される（基板搬入工程：ステップＳ１２）。
【００４７】
チャンバ３１内に両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢが搬入されたら、チャンバ３１は密閉
されて、制御装置４０は、チャンバ３１内の圧力を圧力パターンＰＤに基づいて大気圧か
ら時刻Ｔ１において除去圧Ｐ２になるように減圧する（気体排出工程：ステップ１３）。
【００４８】
チャンバ３１内が除去圧Ｐ２まで減圧される間は、配置領域Ｚに配置された液晶材料Ｆ
からは、液晶材料Ｆに溶け込んだ気体成分が気泡５０（図８（ａ）参照）となって次々に
発生する。次々と発生した各気泡５０は、液晶材料Ｆの表面に到ると壊れて液晶材料Ｆか
ら排出される。
【００４９】
このとき、チャンバ３１内の減圧を停止した時刻Ｔ１における除去圧Ｐ２の減圧状態に
おいては、液晶材料Ｆの中には新たな気泡５０は発生しなくなる。しかし、液晶材料Ｆは
粘性が高いので、気泡５０は液晶材料Ｆの中での移動が難しく、液晶材料Ｆの内部に発生
した気泡５０は、外部に弾かれて排出されることなく図８（ａ）に示すように液晶材料Ｆ
の内部に留まる。
【００５０】
続いて、チャンバ３１内が除去圧Ｐ２にまで減圧されたら、制御装置４０は、チャンバ
３１内を、圧力パターンＰＤに基づいて、直ぐに除去圧Ｐ２から貼合圧Ｐ１に戻すように
、時刻Ｔ１から時刻Ｔ２の比較的短い間で増圧させる（気泡除去工程：ステップ１４）。
【００５１】
除去圧Ｐ２から貼合圧Ｐ１まで増圧されると、除去圧Ｐ２において液晶材料Ｆ内に発生
し、排出され易い大きさまでに成長した気泡５０は、図８（ｂ）に示すように、液晶材料
Ｆの内部から表面に到り弾き出されて排出される。これは、液晶材料Ｆの表面が除去圧Ｐ
２と比較して高い貼合圧Ｐ１の圧力で押圧されることにより、液晶材料Ｆ内部の気泡５０
が液晶材料Ｆから押し出されることが一因と考えられている。一方、液晶材料Ｆは、一旦
貼合圧Ｐ１よりも低圧の除去圧Ｐ２まで減圧されて気泡５０が排出されているので、貼合
圧Ｐ１下においては新たな気泡５０が発生しづらくなっている。従って、液晶材料Ｆは、
時刻Ｔ２において真空圧ＶＡが貼合圧Ｐ１まで増圧されると、図８（ｃ）に示すように、
内部に気泡５０が無い状態とすることができる。
【００５２】
そして、チャンバ３１内が貼合圧Ｐ１になった時刻Ｔ２において、制御装置４０は、チ
ャンバ３１内を圧力パターンＰＤに基づいて貼合圧Ｐ１に保持して、両マザーガラス基板
ＭＡ，ＭＢを位置合わせし、重ね合わせて貼り合わせさせる（基板貼合せ工程：ステップ
１５）。すなわち、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを、マザーガラス基板ＭＡの配置領域
Ｚに配置された液晶材料Ｆの内部に気泡５０が含まれない状態にして重ね合せることがで
きる。
【００５３】
両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを重ね合せたら、制御装置４０は、チャンバ３１内の圧
力を大気圧に戻し、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを貼り合せる。両マザーガラス基板Ｍ
Ａ，ＭＢを貼り合せたら、チャンバ３１の搬出入口を開放する。そして、チャンバ３１内
で貼り合わされた両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢは、基板搬送装置によってチャンバ３１
内から搬出される（基板搬出工程：ステップ１６）。
【００５４】
そして、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢをチャンバ３１から搬出すると、各シール材１
６に紫外線を照射して硬化し、各配置領域Ｚ内に液晶材料Ｆが封入される。液晶材料Ｆを
封入すると、マザーガラス基板ＭＡ及びマザーガラス基板ＭＢをダイシングして、各液晶
パネル１３が形成される。
【００５５】
以上説明したように、本実施形態にかかる液晶パネルの製造方法によれば、以下に列記
するような効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、チャンバ３１内を、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを貼り合せ
る前に、一旦、貼合圧Ｐ１よりも低い除去圧Ｐ２まで減圧してから、直ぐに貼合圧Ｐ１ま
で増圧させた。従って、配置領域Ｚに配置された液晶材料Ｆに溶け込んでいる気体成分を
除去圧Ｐ２下において気泡５０にすることができる。そして、粘性の高い液晶材料Ｆの内
部に留まった気泡５０は、直ぐに除去圧Ｐ２から貼合圧Ｐ１まで増圧することで、液晶材
料Ｆの内部から弾き出すことができる。
【００５６】
さらに、液晶材料Ｆは、一旦、貼合圧Ｐ１よりも低圧の除去圧Ｐ２まで減圧されて気泡
５０が排出されているので、貼合圧Ｐ１下においては新たな気泡５０が発生しづらくする
ことができる。従って、液晶材料Ｆは、貼合圧Ｐ１まで増圧することで内部に気泡５０が
無い状態とすることができる。
【００５７】
その結果、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢを、マザーガラス基板ＭＡの配置領域Ｚに配
置された液晶材料Ｆの内部に気泡５０が含まれない状態にして貼り合せることができる。
（２）本実施形態では、チャンバ３１内を、除去圧Ｐ２（１パスカル）まで減圧してか
ら貼合圧Ｐ１（１０パスカル）にした。従って、従来から両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢ
の製造に用いていた基板製造装置３０を用いて、製造工程におけるチャンバ３１内の真空
圧ＶＡの変化を圧力パターンＰＤに基づいて変化させるだけで液晶材料Ｆに溶け込んでい
る気体成分を液晶材料Ｆから除去することができる。
【００５８】
（３）本実施形態では、液晶材料Ｆを液滴吐出装置で配置領域Ｚに配置した。従って、
液晶材料Ｆを配置領域Ｚに広く配置することができて、液晶材料Ｆの内部に気泡５０を発
生させ易くするとともに、発生した気泡５０を液晶材料Ｆから弾き出しやすくできる。
【００５９】
（４）本実施形態では、チャンバ３１内の温度を常温とした。従って、チャンバ３１内
の圧力を除去圧Ｐ２まで減圧しても液晶材料Ｆの蒸発を防ぐことができて、液晶材料Ｆの
特性を好適に維持することができる。また、製造工程において、両マザーガラス基板ＭＡ
，ＭＢに温度変化が生じないので、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢに温度変化が温度ムラ
により撓んだり歪んだりすることを防ぐことができて、両マザーガラス基板ＭＡ，ＭＢの
貼り合わせを容易にすることができる。
【００６０】
（その他の実施形態）
なお、上記実施形態は、例えば以下のような態様にて実施することもできる。
・上記実施形態では、貼合圧Ｐ１の圧力は１０パスカル、除去圧Ｐ２の圧力は１パスカ
ルとした。しかし、これに限らず、貼合圧Ｐ１の圧力は１００パスカル以下であればよく
、除去圧Ｐ２の圧力は貼合圧Ｐ１の圧力よりも低い圧力であればよい。
【００６１】
・上記実施形態では、対向基板用のマザーガラス基板ＭＡに形成した配置領域Ｚに液晶
材料Ｆを配置した。しかし、これに限らず、素子基板用のマザーガラス基板ＭＢに配置領
域Ｚを形成して、その配置領域Ｚに液晶材料Ｆを配置してもよい。
【００６２】
・上記実施形態では、液晶パネル１３を構成する複数のセルＳを有するマザーガラス基
板ＭＡと、マザーガラス基板ＭＢとを貼り合せた。しかし、これに限らず、１つの液晶パ
ネル１３のみを形成する、一対の素子基板１４と対向基板１５とを貼り合せてもよい。
【００６３】
・上記実施形態では、圧力パターンＰＤのデータはＲＯＭに記憶されていたが、圧力パ
ターンＰＤは製造工程に好適に変更できるようにしても、また、外部入力装置などから随
時入力されるようにしてもよい。
【００６４】
・上記実施形態では、チャンバ３１内の温度は常温とした。しかし、これに限らず、チ
ャンバ３１内の温度を常温とは異なる温度に変化させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明にかかる液晶表示装置の一実施形態についてその斜視構造を示す斜視図。
【図２】同実施形態の液晶表示装置の断面構造を示す図１の２−２線断面図。
【図３】同実施形態の液晶表示装置を構成する複数セルを備えたマザーガラス基板の説明図。
【図４】同実施形態の対向基板用のマザーガラス基板の一部の平面構造を示す平面図。
【図５】同実施形態の基板製造装置を示す説明図。
【図６】同実施形態の基板製造装置のチャンバ内の圧力パターンを示すグラフ。
【図７】同実施形態のマザーガラス基板を製造する製造工程を示すフローチャート図。
【図８】同実施形態の製造工程における液晶材料内の気泡の状態を説明する説明図であって、（ａ）は減圧中の状態を示す図、（ｂ）は減圧された圧力を貼り合せ時の圧力まで増圧した状態を示す図、（ｃ）は貼り合せ時の圧力に保持した状態を示す図。
【符号の説明】
【００６６】
Ｆ…液晶材料、Ｓ…セル、Ｚ…配置領域、ＡＤ，ＣＤ…制御信号、ＬＦ…液状膜、Ｌｘ
…走査線、Ｌｙ…データ線、ＭＡ，ＭＢ…マザーガラス基板、ＭＤ…駆動信号、Ｐ１…貼
合圧、Ｐ２…除去圧、ＰＤ…圧力パターン、Ｔ１，Ｔ２…時刻、ＶＡ…真空圧、１０…液
晶表示装置、１１…光源、１２…バックライト、１３…液晶パネル、１４…素子基板、１
５…対向基板、１６…シール材、１７…液晶、１８…光学基板、１９…走査線駆動回路、
２１…データ線駆動回路、２２…画素、２３…画素電極、２４，２７…配向膜、２５…偏
光板、２６…対向電極、３０…基板製造装置、３１…チャンバ、３２…圧力センサ、３３
…排気管、３４…吸気管、３５…調整バルブ、３６…減圧ポンプ、３７…大気開放バルブ
、４０…制御装置、５０…気泡。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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