(57)【要約】【課題】検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行う。【解決手段】テストパターン発生装置２は、テストパターン記憶部１８に６種類のテストパターンを、各テストパターンの検査条件に基づいて２組のパターン群に分類して記憶している。制御部１７は、システム制御部１０からのテストパターン表示指示を受けて、テストパターン記憶部１５から、同一のパターン群に含まれるテストパターンが連続するように読み出して、読み出したテストパターンを順次表示パネル駆動部１１に送信し、表示パネル駆動部１１は受信したテストパターンを表示パネルに表示する。同一のパターン群に含まれるテストパターンは検査条件も同一であるから、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えながら、表示パネルに順次表示されるテストパターンを撮像することにより、表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生方法において、
複数種類のテストパターンと、各テストパターンの検査条件とを対応付けて格納するテストパターン記憶部から上記複数種類のテストパターンを読み出すステップと、
読み出したテストパターンを上記検査条件に基づいて複数のパターン群に分類するステップと、
同一のパターン群に含まれるテストパターンが上記表示パネルに連続して表示されるようにテストパターンの発生順序を決定するステップとを備えていることを特徴とするテストパターン発生方法。
【請求項２】
表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンのデータ構造において、
複数種類のテストパターンが各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類されていることを特徴とするテストパターンのデータ構造。
【請求項３】
表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生装置において、
複数種類のテストパターンと、各テストパターンの検査条件とを対応付けて格納するテストパターン記憶部と、
上記複数種類のテストパターンを上記検査条件に基づいて複数のパターン群に分類し、同一のパターン群に含まれるテストパターンが上記表示パネルに連続して表示されるようにテストパターンの発生順序を決定する順序決定手段とを備えていることを特徴とするテストパターン発生装置。
【請求項４】
上記テストパターンは、２つ以上のテストパターンの組み合わせにより欠陥を検出する組み合わせテストパターンを含み、
上記テストパターン記憶部は、組み合わせテストパターンに、組み合わせ対象となるテストパターンを示す組み合わせ情報を対応付けて格納しており、
上記順序決定手段は、テストパターンの発生順序を上記組み合わせ情報に基づいて決定することを特徴とする請求項３に記載のテストパターン発生装置。
【請求項５】
表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生装置において、
上記テストパターン発生装置は、複数種類のテストパターンを各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類して格納するテストパターン記憶部と、
同一のパターン群に含まれるテストパターンが連続するように発生させる制御手段とを備えていることを特徴とするテストパターン発生装置。
【請求項６】
上記検査条件は、撮像時のゲイン設定、光源の光量設定、及び撮像絞り設定のうち少なくとも１つであることを特徴とする請求項３ないし５の何れか１項に記載のテストパターン発生装置。
【請求項７】
表示パネルに表示される複数種類のテストパターンを撮像して上記表示パネルの欠陥を検査する表示パネル検査システムにおいて、
請求項３ないし６の何れか１項の記載のテストパターン発生装置と、
上記テストパターン発生装置が発生させるテストパターンを表示パネルに表示させる表示パネル駆動手段と、
表示された各テストパターンを撮像する撮像装置と、
上記テストパターン発生装置、表示パネル駆動手段、及び撮像装置の動作を制御するシステム制御手段とを備え、
上記システム制御手段は、テストパターン発生装置及び表示パネル駆動手段を制御して、上記表示パネルに、同一のパターン群に含まれるテストパターンが連続するように表示させると共に、
撮像装置を制御して、上記表示パネルに表示される各テストパターンを撮像させることを特徴とする表示パネル検査システム。
【請求項８】
上記撮像装置は、時間遅延積分型センサであり、
上記時間遅延積分型センサおよび表示パネルの少なくとも一方を移動させることにより、表示パネルに表示されるテストパターンを走査するための走査手段をさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の表示パネル検査システム。
【請求項９】
請求項７または８に記載の表示パネル検査システムにおける各手段をコンピュータに動作させるための制御プログラム。
【請求項１０】
請求項９に記載の制御プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル等の表示パネルの検査に用いるテストパターン発生方法、テストパターンのデータ構造、テストパターン発生装置、表示パネル検査システム、制御プログラム、及び該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、表示パネルの製造工程における表示パネル欠陥検査において、表示絵素の不良に起因する欠陥や、種々のリークに起因する欠陥など、様々な不良に起因する欠陥を検出するために、数種類の点灯パターン（テストパターン）を順次表示させ、それぞれのテストパターンの表示画像に基づいて欠陥を検出している。
【０００３】
例えば、特許文献１では、非点灯パターン、全点灯パターン、点灯部と非点灯部とが互いに反転した１組の市松模様パターン等をテストパターンとして欠陥の検査を行っている。具体的には、非点灯パターンで輝点欠陥を、全点灯パターンで黒点欠陥を、１組の市松模様パターンで隣接絵素間のリーク欠陥等を効果的に検出している。
【０００４】
ところで、従来、表示パネルの欠陥検査は、人間の目視による官能検査によって行われてきた。しかしながら、目視による官能検査には、検査員によって合否判定がばらつく、検査員のその日の体調や心理状態によって検査精度がばらつく等の問題があった。
【０００５】
更に、近年の表示パネルの大型化・高精細化に伴い、表示パネルの表示絵素数は、何百万絵素のオーダーとなっているため、目視によって発見された欠陥位置や、欠陥の種類を正確に記録し、修正やプロセス改善のためのフィードバック情報とすることが困難となっている。
【０００６】
このような背景から、近年、ＣＣＤカメラ等の撮像装置を用いて点灯状態の表示パネルを電気信号として取り込み、その電気信号を処理することによって、上記表示パネルの評価を行う自動検査が広まりつつある。
【０００７】
自動検査を行う自動検査装置では、パネル点灯時の各絵素の光量をＣＣＤカメラ等の撮像装置で取り込み、光量の異常を検知することで各種欠陥を検出し、良否判定を行っている。
【特許文献１】特開平９−８９７１７（平成９年４月４日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ここで、自動検査装置において、特許文献１のように複数種類のテストパターンを用いて検査を行う場合、撮像装置のダイナミックレンジは限られているため、テストパターンに応じて、撮像ゲイン、バックライトの光量、撮像絞り等の検査条件を適宜変化させる必要がある。
【０００９】
従って、種々のテストパターンを、その点灯順序を考慮せずに表示させて検査を行った場合、検査条件の設定変更回数が増加し、検査時間が延びてしまうという問題を生じる。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができるテストパターン発生装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るテストパターン発生方法は、上記課題を解決するために、表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生方法において、複数種類のテストパターンと、各テストパターンの検査条件とを対応付けて格納するテストパターン記憶部から上記複数種類のテストパターンを読み出すステップと、読み出したテストパターンを上記検査条件に基づいて複数のパターン群に分類するステップと、同一のパターン群に含まれるテストパターンが上記表示パネルに連続して表示されるようにテストパターンの発生順序を決定するステップとを備えていることを特徴としている。
【００１２】
上記の構成によれば、複数種類のテストパターンがその検査条件に基づいて複数のパターン群に分類されており、同一パターン群内のテストパターンが連続するようにテストパターンの発生順序が決定される。
【００１３】
ここで、上記パターン群はテストパターンの検査条件に基づく分類であり、同一パターン群内のテストパターンはその検査条件が同一である。
【００１４】
すなわち、上記テストパターン発生方法にてテストパターンを発生させ、発生したテストパターンを撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う場合、同一パターン群内のテストパターンを撮像するときには検査条件を変更する必要が無い。
【００１５】
したがって、上記テストパターン発生方法を用いた場合、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができる。
【００１６】
また、本発明に係るテストパターンのデータ構造は、上記課題を解決するために、表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンのデータ構造において、複数種類のテストパターンが各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類されていることを特徴としている。
【００１７】
上記の構成によれば、テストパターンが各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類されているので、同一のパターン群に属するテストパターン、すなわち検査条件が同一のテストパターンを連続して読み出すことが容易である。
【００１８】
したがって、同一検査条件のテストパターンを連続して読み出し、読み出されたテストパターンを上記表示パネルに順次表示させ、表示される各テストパターンを撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う場合、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて効率良く欠陥検査を行うことができる。
【００１９】
また、本発明に係るテストパターン発生装置は、上記課題を解決するために、表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生装置において、複数種類のテストパターンと、各テストパターンの検査条件とを対応付けて格納するテストパターン記憶部と、上記複数種類のテストパターンを上記検査条件に基づいて複数のパターン群に分類し、同一のパターン群に含まれるテストパターンが上記表示パネルに連続して表示されるようにテストパターンの発生順序を決定する順序決定手段とを備えていることを特徴としている。
【００２０】
上記の構成によれば、複数種類のテストパターンと、各テストパターンの検査条件とが対応付けて格納されているので、テストパターンの検査条件に基づいてテストパターンを複数のパターン群に分類することができる。
【００２１】
そして、同一のパターン群に含まれるテストパターン、すなわち検査条件が同一のテストパターンが、上記表示パネルに連続して表示されるようにテストパターンの発生順序を決定する。
【００２２】
したがって、上記テストパターン発生装置が決定するテストパターンの発生順序に従ってテストパターンを上記表示パネルに表示し、表示されるテストパターンを順次撮像して上記表示パネルの欠陥検査を行う場合、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができる。
【００２３】
また、上記テストパターンは、２つ以上のテストパターンの組み合わせにより欠陥を検出する組み合わせテストパターンを含み、上記テストパターン記憶部は、組み合わせテストパターンに、組み合わせ対象となるテストパターンを示す組み合わせ情報を対応付けて格納しており、上記順序決定手段は、テストパターンの発生順序を上記組み合わせ情報に基づいて決定することが好ましい。
【００２４】
表示パネルの欠陥検査では、組み合わせテストパターンを使用することがある。組み合わせテストパターンとは、２つ以上のテストパターンをそれぞれ表示パネルに表示し、表示される各テストパターンを対比することによって上記表示パネルの欠陥を検出するテストパターンのことを指す。同一の組み合わせテストパターンに含まれる各テストパターンは互いに対比する必要があるので、同一の組み合わせテストパターンに含まれる各テストパターンの検査条件は同一であることが好ましい。
【００２５】
したがって、組み合わせテストパターンに組み合わせ対象となるテストパターンを示す組み合わせ情報を対応付けて格納し、テストパターンの発生順序を組み合わせ情報に基づいて決定することにより、組み合わせテストパターンの検査条件を同一として、表示パネルの欠陥検査を精度良く行うことができる。
【００２６】
また、本発明に係るテストパターン発生装置は、上記課題を解決するために、表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生装置において、上記テストパターン発生装置は、複数種類のテストパターンを各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類して格納するテストパターン記憶部と、同一のパターン群に含まれるテストパターンが連続するように発生させる制御手段とを備えていることを特徴としている。
【００２７】
上記の構成によれば、テストパターンが各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類して格納されているので、同一のパターン群に含まれるテストパターン、すなわち検査条件が同一のテストパターンが連続するように発生させることができる。
【００２８】
したがって、上記テストパターン発生装置が発生させるテストパターンを表示パネルに順次表示してゆき、表示される各テストパターンを撮像して上記表示パネルの欠陥を検出する場合、同一検査条件のテストパターンを連続して検査することができる。すなわち、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができる。
【００２９】
なお、上記検査条件は、撮像時のゲイン設定、光源の光量設定、及び撮像絞り設定のうち少なくとも１つであることが好ましい。
【００３０】
本発明では、検査条件をテストパターンの分類の指標として用いている。撮像時のゲイン設定、光源の光量設定、及び撮像絞り設定のうち少なくとも１つを分類の指標とした場合、テストパターンの分類が容易である。また、撮像装置として時間遅延積分型センサを用いた場合、該時間遅延積分型センサの走査速度と露光周期との組み合わせによって撮像光量の制御を行うことがある。この場合、上記検査条件を、時間遅延積分型センサの走査速度と露光周期との組み合わせとしても良い。
【００３１】
また、本発明に係る表示パネル検査システムは、上記課題を解決するために、表示パネルに表示される複数種類のテストパターンを撮像して上記表示パネルの欠陥を検査する表示パネル検査システムにおいて、上記構成のテストパターン発生装置と、該テストパターン発生装置が発生させるテストパターンを表示パネルに表示させる表示パネル駆動手段と、表示された各テストパターンを撮像する撮像装置と、上記テストパターン発生装置、表示パネル駆動手段、及び撮像装置の動作を制御するシステム制御手段とを備え、上記システム制御手段は、テストパターン発生装置及び表示パネル駆動手段を制御して、上記表示パネルに、同一のパターン群に含まれるテストパターンが連続するように表示させると共に、撮像装置を制御して、上記表示パネルに表示される各テストパターンを撮像させることを特徴としている。
【００３２】
上記の構成によれば、テストパターン発生装置が発生するテストパターンは表示パネルに順次表示され、表示されるテストパターンは撮像装置によって順次撮像される。
【００３３】
したがって、表示パネルの欠陥検査を自動化し、表示パネルの生産工程を省力化することができる。
【００３４】
また、上記パターン群はテストパターンの検査条件に基づく分類であるから、同一パターン群内のテストパターンはその検査条件が同一であり、同一パターン群内のテストパターンを撮像するときには検査条件を変更する必要が無い。
【００３５】
したがって、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができる。
【００３６】
また、本発明の表示パネル検査システムでは、上記撮像装置は、時間遅延積分型センサであり、上記時間遅延積分型センサおよび表示パネルの少なくとも一方を移動させることにより、表示パネルに表示されるテストパターンを走査するための走査手段をさらに備えることが好ましい。
【００３７】
撮像装置として時間遅延積分型センサを用いた場合、通常のラインセンサで撮像する場合と比べて極めて短時間での撮像が可能となり、検査時間を短縮することができる。
【００３８】
ここで、時間遅延積分型センサを双方向に走査させて検査を行う場合、時間遅延積分型センサの構造的な問題から、時間遅延積分型センサの往路と復路とで撮像感度に差異が生じてしまう。
【００３９】
これは、テストパターンが２つ以上のテストパターンを対比することで欠陥を検出する組み合わせテストパターンを含む場合に問題となる。
【００４０】
対比するべきテストパターンの撮像感度が異なる場合、事前のキャリブレーションで撮像感度を有る程度は一致させることができるが、完全に一致させることは困難であり、高精度な検査を行うことが難しい。具体的には、例えば、対比するべきテストパターンの撮像感度が異なる場合、同一の閾値での欠陥検出を行うことが難しい。
【００４１】
ここで、本発明の上記構成によると、組み合わせテストパターンの撮像時には時間遅延積分型センサの走査方向を一致させることにより、組み合わせテストパターンを同一の撮像感度で撮像することができる。
【００４２】
したがって、時間遅延積分型センサの往復路での撮像感度差の影響を受けず、高精度の検査を行うことができる。
【００４３】
なお、上記表示パネル検査システムは、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを表示パネル検査システムの各手段として動作させることにより上記表示パネル検査システムをコンピュータにて実現させる制御プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の範疇に入る。
【発明の効果】
【００４４】
本発明に係るテストパターン発生装置は、以上のように、表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生装置において、複数種類のテストパターンと、各テストパターンの検査条件とを対応付けて格納するテストパターン記憶部と、上記複数種類のテストパターンを上記検査条件に基づいて複数のパターン群に分類し、同一のパターン群に含まれるテストパターンが上記表示パネルに連続して表示されるようにテストパターンの発生順序を決定する順序決定手段とを備えている。
【００４５】
また、本発明に係るテストパターン発生装置は、以上のように、表示パネルの欠陥を検査するために該表示パネルに表示させるテストパターンを発生させるテストパターン発生装置において、上記テストパターン発生装置は、複数種類のテストパターンを各テストパターンの検査条件に基づいて複数のパターン群に分類して格納するテストパターン記憶部と、同一のパターン群に含まれるテストパターンが連続するように発生させる制御手段とを備えている。
【００４６】
したがって、検査条件の設定変更回数を最小限に抑えて表示パネルの欠陥検査を効率良く行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
本発明の一実施形態について図１ないし図１１に基づいて説明すると以下の通りである。まず、表示パネルに生じる欠陥と、その欠陥を検出するためのテストパターンとについて、図２及び図３に基づいて説明する。
【００４８】
なお、本実施形態では、表示パネルが液晶表示パネルである場合を例に説明する。液晶表示パネルは、バックライトを光源とし、液晶によってバックライトからの光量を増減させて画像を表示する。以下の説明では、「非点灯」はバックライトからの光を液晶によって遮断し、表示画面上に黒色が表示される状態を指し、「点灯」は、バックライトからの光が液晶を通過するようにし、液晶表示パネルに設けられたＲＧＢ色のカラーフィルタを介してＲＧＢの各色が表示画面上に表示される状態を指すものとする。
【００４９】
図２は、表示パネルのソースラインのうち、偶数ラインのみを点灯した場合、及び奇数ラインのみを点灯した場合に、隣接絵素間リーク、及び輝点／黒点欠陥が表示される態様を示す図である。図示のように、複数の絵素がマトリクス状に配列して表示パネルを形成している。そして、同じ列に含まれる絵素は、共通のソースラインに接続されている。
【００５０】
また、同図では、表示パネル上の絵素列を交互に点灯ライン及び非点灯ラインとしており、点灯ラインは、Ｒ（赤）点灯ライン、Ｇ（緑）点灯ライン、Ｂ（青）点灯ラインの３種類である。
【００５１】
同図の（ａ）（ｂ）では、表示パネルに欠陥がない場合の表示態様を示している。同図の（ａ）（ｂ）に示すように、欠陥がない正常な表示パネルでは、非点灯ライン上の全ての絵素は非点灯となり、Ｒ、Ｇ、Ｂの各点灯ラインの絵素は各点灯ライン上の全ての絵素についてそれぞれＲ色、Ｇ色、及びＢ色が点灯する。
【００５２】
一方、同図の（ｃ）（ｄ）では、隣接する絵素１００と絵素１０１との間でリークが発生している場合の表示態様を示している。同図の（ｃ）に示すように、偶数ラインを点灯した場合には、Ｒ点灯ライン中に存在し、本来はＲ色が表示されるべき絵素１００が黒点となり、非点灯ライン中に存在し、本来は非点灯となるべき絵素１０１が輝点となる。また、同図の（ｄ）に示すように、奇数ラインを非点灯とした場合には、非点灯ライン中に存在し、本来は非点灯となるべき絵素１００が輝点となり、Ｇ点灯ライン中に存在し、本来はＧ色が表示されるべき絵素１０１が黒点となる。
【００５３】
また、同図の（ｅ）（ｆ）は、絵素１００に黒点欠陥があり、絵素１０１に輝点欠陥がある場合の表示態様を示している。これらの欠陥は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）、ＣＦ（Color Filter）の不良等に起因する。同図の（ｅ）に示すように、絵素１００は、Ｒ点灯ライン上に存在するので、本来、絵素１００にはＲ色が表示されるべきであるが、絵素１００は黒点となる。これが黒点欠陥である。そして、絵素１０１は、非点灯ライン上に存在するので、本来、絵素１０１は非点灯となるべきであるが、絵素１０１は輝点となる。これが輝点欠陥である。
【００５４】
一方、同図の（ｆ）では、絵素１００の存在するラインは非点灯となっており、絵素１０１の存在するラインはＧ色が点灯している。絵素１００の黒点欠陥は絵素１００が非点灯のため視認できず、絵素１０１の輝点欠陥は絵素１０１にＧ色が点灯しているため視認できない。
【００５５】
すなわち、輝点欠陥は当該絵素を非点灯とした場合に検出することができ、黒点欠陥は、当該絵素を点灯した場合に検出することができる。
【００５６】
ここで、同図の（ｃ）と（ｅ）とに注目すると、両方共に絵素１００が黒点となり、絵素１０１が輝点となっている。したがって、表示パネルに隣接絵素間リークが発生しているのか、輝点／黒点欠陥が発生しているのかを判別することができない。
【００５７】
そこで、偶数ラインを点灯させた点灯パターンと、奇数ラインを点灯させた点灯パターンとの両方のパターンで検査を行い、両者を比較することで上記判別を行うことができる。
【００５８】
すなわち、同図の（ｃ）、（ｄ）のような、点灯パターンと、非点灯パターンとを反転させた１組のテストパターンで検査することによって、隣接絵素間リークと輝点／黒点欠陥とを識別することができる。
【００５９】
次に、図３に基づいてソースライン−絵素間リークの検出方法について説明する。同図の（ａ）〜（ｃ）は正常な表示パネルにおける表示例を、（ｄ）〜（ｆ）は表示パネルの画面右上及び左下にソースライン−絵素間リークが生じている場合の表示例を、（ｇ）〜（ｉ）は表示パネルの画面右上及び左下に輝点欠陥が生じている場合の表示例をそれぞれ示している。
【００６０】
ソースライン−絵素間リークは、同図の（ｄ）に示すように、表示パネルの全面が非点灯の場合には輝点が表示されない。しかしながら、同図の（ｅ）に示すように、表示パネルの上半分のみを点灯するパターンを表示させた場合に、リーク箇所が非点灯範囲内に存在するときに該当箇所が輝点となる。
【００６１】
したがって、例えば、検査対象となる表示パネルのソースドライバが１つである場合、図３（ｅ）に示す、表示パネルの上半分のみを点灯した上半分点灯パターンと、同図（ｆ）に示す、表示パネルの下半分のみを点灯した下半分点灯パターンとの２通りの点灯パターンで検査を行うことによって、表示パネルの全表示面について、ソースライン−絵素間リークを検出することができる。
【００６２】
なお、検査対象となる表示パネルのソースドライバが２つである場合は、白・黒・白・黒のストライプ状の点灯パターンと、そのパターンを上下反転させた点灯パターンとの組み合わせによって検出することができる。ソースドライバが３つ以上である場合も同様である。
【００６３】
これに対し、輝点欠陥は、同図の（ｇ）〜（ｉ）に示すように、全面非点灯、上半分点灯、及び下半分点灯の何れの場合であっても、輝点となる絵素が非点灯領域に含まれてさえいれば、該当箇所が輝点として表示される。
【００６４】
したがって、ソースライン−絵素間リーク検出用のテストパターン（ｄ）〜（ｆ）と、輝点／黒点欠陥検出用のテストパターン（ｇ）〜（ｉ）とを比較することによって、ソースライン−絵素間リークと、輝点欠陥とを区別することができる。
【００６５】
本実施形態では、以上説明したような、輝点欠陥、黒点欠陥、隣接絵素間リーク、ソースライン−絵素間リークを検出する例を示すが、本発明で検出できる表示パネルの欠陥は、この例に限られない。本発明では、表示パネルにテストパターンを表示し、表示される結果に基づいて検出することができる欠陥であれば、任意の欠陥を検出することができる。
【００６６】
〔実施の形態１〕
次に、本実施形態の表示パネル検査システム１について、図４に基づいて説明する。図４は、本実施形態の表示パネル検査システム１の概略図である。図示のように、表示パネル検査システム１は、テストパターン発生装置２、システム制御装置３、時間遅延積分型センサ（撮像装置）４、画像処理装置５、及び走査ステージ１２を備えている。また、表示パネル７は、欠陥検査の対象となる被検査パネルであり、パネル保持装置６によって固定されている。本実施形態では、表示パネル７は液晶表示パネルであり、バックライト（光源）８を備えている。
【００６７】
テストパターン発生装置２は、表示パネル７に表示するテストパターンを記憶しており、システム制御部１０の指示を受けてテストパターンを読み出し、表示パネル駆動部１１に送信する。テストパターン発生装置２については後に詳しく説明する。
【００６８】
システム制御装置３は、表示パネル検査システム１が備える各構成の動作を制御する。システム制御装置３についても後に詳しく説明する。
【００６９】
時間遅延積分型センサ４は、表示パネル７に表示されるテストパターンを撮像し、撮像データを画像処理装置５に送信する。時間遅延積分型センサ４は、走査ステージ１２上に、表示パネル７に対向するように載置されており、表示パネル７を走査するために、走査ステージ１２上を図４の左右方向（表示パネル７の表示面と平行となる方向）に移動可能となっている。
【００７０】
なお、本実施形態では、撮像装置として時間遅延積分型センサ４を用いる例を示しているが、撮像装置はこれに限定されない。例えば、通常のラインセンサ等を撮像装置として用いることもできる。しかしながら、時間遅延積分型センサ４は、通常のラインセンサと比べて撮像に要する時間を飛躍的に短縮することができるので、本発明の撮像装置としては、時間遅延積分型センサ４を用いることが好ましい。
【００７１】
画像処理装置５は、時間遅延積分型センサ４から送信される撮像データを処理して、表示パネル７の欠陥の有無を検出する。欠陥を発見した場合は、欠陥の種類及び欠陥箇所を検出する。画像処理装置５の詳細については後述する。
【００７２】
パネル保持装置６は、表示パネル７を保持・固定する装置である。パネル保持装置６は、表示パネル７の表示面が時間遅延積分型センサ４と対向した状態で保持できるものであれば良く、図４に示す例に限られない。
【００７３】
表示パネル７は、本実施形態の表示パネル検査システム１における被検査対象である。表示パネル７は、バックライト８を光源とし、システム制御装置３によって各絵素の点灯、非点灯が制御される。本実施形態では、表示パネル７が液晶表示パネルである場合を想定しているが、表示パネル７としては、液晶パネル以外にもプラズマ表示パネルやＥＬ（Electro Luminescence）表示パネル等を適用することができる。
【００７４】
バックライト８は、表示パネル７の光源である。なお、表示パネル７が反射型の液晶表示パネルである場合や自発光型の表示パネルである場合は、バックライト８は不要である。
【００７５】
走査ステージ１２は、その上面に時間遅延積分型センサ４を載置し、システム制御装置３の指示に従って時間遅延積分型センサ４を図４の左右方向に移動させる。
【００７６】
上記の構成により、テストパターン発生装置２が発生させるテストパターンは表示パネル７に表示され、表示されたテストパターンを、時間遅延積分型センサ４が走査ステージ１２上を往復しながら撮像する。そして、画像処理装置５は、時間遅延積分型センサ４が取得した撮像データに基づいて欠陥の有無を検出する。
【００７７】
続いて、本実施形態の表示パネル検査システム１について、図１及び図５〜図７に基づいて更に詳細に説明する。
【００７８】
図５は、本実施形態の表示パネル検査システム１の要部構成を示すブロック図である。図示のように、表示パネル検査システム１が備える各構成の動作を制御するシステム制御装置３は、ステージ駆動部（走査手段）９、システム制御部（システム制御手段）１０、表示パネル駆動部（表示パネル駆動手段）１１、及び入力部２２を備えており、表示パネル７の欠陥の有無を検出する画像処理装置５は、画像処理部１３、画像記憶部１４、欠陥検出部１５、及び結果出力部１６を備えている。
【００７９】
ステージ駆動部９は、システム制御部１０の指示を受けて、走査ステージ１２の駆動、すなわち、時間遅延積分型センサ４の図４における左右方向の移動を制御する。
【００８０】
表示パネル駆動部１１は、テストパターン発生装置２またはシステム制御部１０の指示を受け、表示パネル７及びバックライト８の出力を制御する。具体的には、テストパターン発生装置２から送信されるテストパターンを表示パネル７に表示し、システム制御部１０の指示に従ってバックライト８の光量を設定する。
【００８１】
システム制御部１０は、テストパターン発生装置２、時間遅延積分型センサ４、及びステージ駆動部９、及び表示パネル駆動部１１に指示を送り、これらの各構成の動作を統括的に制御する。具体的には、テストパターン発生装置２にテストパターンを発生させ、ステージ駆動部９に走査ステージ１２を駆動させながら、表示パネル７に表示されたテストパターンを時間遅延積分型センサ４に撮像させる。
【００８２】
また、システム制御部１０は、テストパターンの検査条件の設定を行う。具体的には、時間遅延積分型センサ４の撮像ゲイン設定や、撮像絞り設定を行うと共に、表示パネル駆動部１１を介してバックライト８の光量を設定する。
【００８３】
入力部２２は、システム制御装置３の表面に設けられた図示しない入力手段に入力された入力データをシステム制御部１０に送信する。入力データとは、システム制御部１０に上述のような動作をさせるためのデータである。すなわち、システム制御部１０における上記動作は、入力部２２からの入力指示によって実行させることもできる。例えば、入力部２２を介して、テストパターン発生装置２にテストパターンを発生させることや、時間遅延積分型センサ４の上述のような撮像条件の設定を行うこと、走査ステージ１２を所望の位置に移動させること等ができる。上記入力手段としては、入力データを入力することができるものであれば良く、例えば、キーボードやタッチパネル、入力キー等で構成することができ、また、ネットワークや記録媒体から入力データを入力するように構成しても良い。
【００８４】
画像処理部１３は時間遅延積分型センサ４から送信される撮像データを撮像画像データに変換し、画像記憶部１４は画像処理部１３から送信される撮像画像データを記憶する。欠陥検出部１５は、画像記憶部１４に記憶されている画像データから欠陥候補を抽出し、欠陥候補同士を比較することによって欠陥を検出する。そして、結果出力部１６は、欠陥検出部１５から送信される欠陥情報を表示パネル検査システム１のユーザに報知する。
【００８５】
ここで、欠陥検出部１５における具体的な欠陥検出方法について説明する。例えば、隣接絵素間リークを検出する場合、既に述べたように、複数種類のテストパターンの表示結果を比較することで欠陥を検出する必要がある。本実施形態では、欠陥検出部１５は、比較するテストパターンの表示結果を示す画像データから、それぞれの画像データについて欠陥候補を検出し、それぞれの画像データで検出した欠陥候補が隣接しているか否かによって隣接絵素間リークであるか否かを判定する。例えば、図２の例では、偶数ライン点灯のテストパターンにおける表示結果が図２（ｃ）であり、奇数ライン点灯のテストパターンにおける表示結果が図２（ｄ）である。この場合、欠陥検出部１５は、図２（ｃ）の表示結果を示す画像データから、欠陥候補として絵素１００及び絵素１０１を検出する。続いて、欠陥検出部１５は、図２（ｄ）の表示結果を示す画像データから、欠陥候補として絵素１００及び絵素１０１を検出する。そして、欠陥検出部１５は、検出した欠陥候補である絵素１００及び絵素１０１が両方の画像データにおいて隣接しているので、絵素１００及び絵素１０１には隣接絵素間リークが発生していると判定する。
【００８６】
また、例えば、輝点欠陥を検出する場合、全面非点灯のテストパターンで検出した欠陥候補が、他のテストパターン、例えば上半分点灯や下半分点灯のテストパターンでも同様に検出されるか否かによって、上記欠陥候補が輝点欠陥であるか否かを判定する。この場合、全面非点灯のテストパターンで検出した欠陥候補が、他のテストパターンでも同様に検出された場合、上記欠陥候補が輝点欠陥であると判定する。
【００８７】
次に、図６に基づいて、表示パネル検査システム１の動作例を説明する。図６は、表示パネル検査処理を示すフローチャートである。
【００８８】
まず、システム制御部１０は、テストパターン発生装置２にテストパターンの表示指示を送信する（Ｓ１）。テストパターン発生装置２は、テストパターンの表示指示を受信すると、表示パネル駆動部１１にテストパターンを送信すると共に、送信したテストパターンの検査条件をシステム制御部１０に送信する。テストパターン発生装置２の動作の詳細については後述する。
【００８９】
システム制御部１０は、テストパターン発生装置２から送信される検査条件に基づいて検査条件を設定する（Ｓ２）。なお、ここで、検査条件とは、表示パネル７に表示されるテストパターンの撮像に適した、撮像ゲイン設定、撮像絞り設定、バックライトの光量設定等の検査条件を指す。撮像ゲイン設定や撮像絞り設定は時間遅延積分型センサ４に対して行い、バックライト８の光量設定は表示パネル駆動部１１を介して行う。また、本実施形態では、撮像装置が時間遅延積分型センサ４であるから、該時間遅延積分型センサの走査速度と露光周期との組み合わせによって撮像光量の制御を行うことができる。したがって、検査条件を、時間遅延積分型センサの走査速度と露光周期との組み合わせとしても良い。この場合、システム制御部１０は、ステージ駆動部９及び時間遅延積分型センサ４に対して検査条件の設定を行う。
【００９０】
検査条件設定処理（Ｓ２）が終わると、システム制御部１０は、時間遅延積分型センサ４に撮像開始指示を送信する（Ｓ３）と共に、ステージ駆動部９にステージ駆動指示を送信する（Ｓ４）。
【００９１】
Ｓ３及びＳ４により、時間遅延積分型センサ４は、走査ステージ１２上の一端から他端まで移動しながら表示パネル７を撮像することになる。
【００９２】
そして、時間遅延積分型センサ４が表示パネル７の表示面の撮像を終えると、システム制御部１０は、ステージ駆動部９にステージ停止指示を送信する（Ｓ５）と共に、時間遅延積分型センサ４に撮像停止指示を送信する（Ｓ６）。
【００９３】
なお、Ｓ３及びＳ４は、それぞれ順序を入れ替えても良いし、同時に行っても良い。Ｓ５及びＳ６も同様である。
【００９４】
続いて、システム制御部１０は、表示パネル７の検査に用いる全てのテストパターンの撮像が終了したか否かを確認する（Ｓ７）。全てのテストパターンの撮像が終了している場合は、表示パネル７の検査処理を終了する。
【００９５】
一方、未だ撮像していないテストパターンが存在する場合は、システム制御部１０は、テストパターン発生装置２にテストパターン表示指示を送信する（Ｓ８）。テストパターン発生装置２は、表示指示を受けて、次のテストパターンを表示する。ここで、システム制御部１０は、次のテストパターンにおける検査条件が、先のテストパターンの検査条件と異なっているか否かを確認する（Ｓ９）。次のテストパターンにおける検査条件が先の検査条件と異なる場合には、テストパターン発生装置２からシステム制御部１０に新たな検査条件が送信される。新たな検査条件が送信された場合、Ｓ２に戻って再度検査条件の設定を行う。一方、新たな検査条件が検出されない場合、Ｓ３に戻って次のテストパターンの撮像を開始する。
【００９６】
以上のフローにより、表示パネル７に順次表示される各テストパターンを撮像することができる。
【００９７】
続いて、図１及び図７に基づいて本実施形態のテストパターン発生装置２の詳細について説明する。図１は、テストパターン発生装置２の要部構成を示すブロック図である。図示のように、テストパターン発生装置２は、制御部（制御手段）１７及びテストパターン記憶部１８を備えている。
【００９８】
制御部１７は、システム制御部１０からのテストパターン表示指示を受けると、テストパターン記憶部１８からテストパターンを読み出し、読み出したテストパターンを表示パネル駆動部１１に送信する。また、制御部１７は、読み出したテストパターンに付加されている検査条件をシステム制御部１０に送信する。テストパターンの読み出し処理については後述する。
【００９９】
テストパターン記憶部１８は、表示パネル７の検査に用いる複数種類のテストパターンを格納している。また、上記複数種類のテストパターンは、その検査条件に基づいて複数のパターン群に分類されている。すなわち、同一のパターン群に属するテストパターンは、同一の検査条件にて撮像することが可能である。そして、各テストパターンは、所属するパターン群、検査条件、及び表示順を示す数値と対応付けられて格納されている。
【０１００】
なお、図１では、テストパターンの格納例として、パターン１〜パターン６までの６種類のテストパターンが、各テストパターンの撮像ゲインに基づいてパターン群１と、パターン群２とに分類されている例を示しているが、テストパターンの分類は、図１の例に限られない。例えば、撮像絞り設定や、バックライト光量設定等の検査条件に基づいて分類しても良いし、上記の検査条件を複数組み合わせた条件を検査条件としても良い。また、パターン群の数も２つに限定されない。ただし、パターン群の数が増えるほど検査条件の変更回数が増加してしまうので、パターン群の数は少ない方が好ましい。
【０１０１】
また、テストパターン記憶部１８におけるテストパターンの格納形態は、上述の例に限られない。例えば、各テストパターンに、その表示順を示す数値のみを対応付けて記憶していても良い。この場合、制御部１７は、表示順の数値に従って順番にテストパターンを発生するので、同一パターン群に含まれるテストパターンが連続して発生されることになる。なお、この場合の検査条件の変更は、入力部２２を介して手動で行っても良いし、例えば、テストパターンの表示順と、検査条件とを対応付けてシステム制御部１０に格納しておく等して、システム制御部１０に行わせても良い。
【０１０２】
次に、テストパターン発生装置２におけるテストパターン表示処理について、図７に基づいて説明する。図７は、テストパターン表示処理を示すフローチャートである。
【０１０３】
まず、制御部１７は、システム制御部１０からテストパターン表示指示が有るまで待機する（Ｓ１０）。Ｓ１０でテストパターン表示指示が有った場合、制御部１７は、テストパターン記憶部１８の未だ選択されていないパターン群の中から、最もパターン群の番号の小さいパターン群を選択する（Ｓ１１）。
【０１０４】
続いて、制御部１７は、Ｓ１１で選択したパターン群の検査条件をテストパターン記憶部１８から読み出し、読み出した検査条件をシステム制御部１０に送信する（Ｓ１２）。
【０１０５】
そして、制御部１７は、Ｓ１１で選択したパターン群の中で未だ表示されていないテストパターンであって、最も表示順の番号が小さいテストパターンを選択し、選択したテストパターンを表示パネル駆動部１１に送信して、表示パネル７に上記テストパターンを表示させる（Ｓ１３）。
【０１０６】
Ｓ１３でテストパターンを表示させた制御部１７は、システム制御部１０から次のテストパターン表示指示が有るまで待機する（Ｓ１４）。制御部１７は、次のテストパターン表示指示を確認すると、Ｓ１１で選択したパターン群内の全てのテストパターンが表示済みか否かを確認する（Ｓ１５）。
【０１０７】
Ｓ１１で選択したパターン群内のテストパターンに未表示のテストパターンが有る場合、再度Ｓ１３に戻ってテストパターンを選択し、表示させる。一方、Ｓ１１で選択したパターン群内の全てのテストパターンが表示済みである場合、制御部１７は、テストパターン記憶部１８に記憶されている全てのパターン群が選択済みか否かを確認する（Ｓ１６）。
【０１０８】
全てのパターン群が選択済みである場合、制御部１７は、テストパターン表示処理を終了する。一方、未だ選択していないパターン群が存在する場合、Ｓ１１に戻ってパターン群を選択する。
【０１０９】
本実施形態のテストパターン発生装置２では、以上のようにして、同一パターン群内のテストパターンが連続するように発生させる。これにより、検査条件が同一のテストパターンを連続して表示、撮像することができ、効率よく欠陥検査を行うことができる。
【０１１０】
また、本実施形態の表示パネル検査システム１では、２つ以上のテストパターンの組み合わせによって欠陥を検出する組み合わせテストパターンの撮像時には、時間遅延積分型センサ４の走査方向を一致させる。この構成について、以下に説明する。
【０１１１】
まず、時間遅延積分型センサ４の撮像特性について説明する。時間遅延積分型センサ４は、ＴＤＩ（Time Delay and Integration）型ラインセンサとも呼ばれ、１次元のラインセンサ（ＣＣＤラインセンサ）が走査方向に多段に組み合わされたものである。時間遅延積分型センサ４では、各段のラインセンサの各ＣＣＤ素子に蓄積された信号電荷が、走査速度に同期して次段のＣＣＤ素子に順次転送され、同一写像対象点の信号電荷が、複数のＣＣＤ素子によって重畳されるようになっている。
【０１１２】
ところで、時間遅延積分型センサ４は、時間遅延積分型センサ４を双方向に走査させて検査を行った場合に、往路撮像時と復路撮像時とで撮像画像の感度（輝度）に差異が生じるという問題がある。
【０１１３】
これは、時間遅延積分型センサ４の、往路撮像時と復路撮像時とでデータの読み出し方向が異なるという構造に原因がある。この原因について、図８に基づいて説明する。図８は、時間遅延積分型センサ４における走査方向と読み出し方向との関係を示す図である。図示のように、時間遅延積分型センサ４は、ＣＣＤ素子を同図の縦方向に配列させたラインセンサを同図の横方向に配列させた２次元ＣＣＤアレイを備えている。
【０１１４】
ここで、時間遅延積分型センサ４を順方向に走査させた場合、同図の左列のラインセンサが取り込んだ輝度信号から順に、順方向読み出しシフトレジスタに送られ、該順方向読み出しシフトレジスタにて上記輝度信号が積分（重畳）される。
【０１１５】
一方、時間遅延積分型センサ４を順方向とは逆の逆方向に走査させた場合、同図の右列のラインセンサが取り込んだ輝度信号から順に、逆方向読み出しシフトレジスタに送られ、該逆方向読み出しシフトレジスタにて上記輝度信号が積分（重畳）される。
【０１１６】
このように、時間遅延積分型センサ４では、ＣＣＤ素子が取り込んだ輝度信号の読み出し方向が異なるので、時間遅延積分型センサ４を双方向に走査させて検査を行った場合に、往路撮像時と復路撮像時とで撮像画像の感度（輝度）に差異が生じることになる。
【０１１７】
例えば、ＣＣＤ素子が取り込んだ輝度信号が図８の左から順に１００、１００、１００、１００、０であった場合を考える。輝度信号は、ＣＣＤ素子に取り込まれてからシフトレジスタに伝達されるまでに減衰するので、輝度信号の単位時間当たりの減衰をＫとすると、順方向読み出しシフトレジスタに到達する輝度信号を以下のように計算することができる。
（輝度信号）＝１００×（１−４Ｋ）＋１００×（１−３Ｋ）＋１００×（１−２Ｋ）＋１００×（１−Ｋ）＋０＝４００−１０００Ｋ
一方、逆方向読み出しシフトレジスタに到達する輝度信号は、
（輝度信号）＝０×（１−４Ｋ）＋１００×（１−３Ｋ）＋１００×（１−２Ｋ）＋１００×（１−Ｋ）＋１００＝４００−６００Ｋ
となり、ＣＣＤ素子が全く同一の輝度信号を取り込んだ場合においても、順方向走査と逆方向走査とで積算される輝度信号は異なることになる。
【０１１８】
また、順方向読み出しシフトレジスタと、逆方向読み出しシフトレジスタとが別の回路であることも、順方向走査と逆方向走査とで撮像感度が異なる要因の一つとして挙げられる。順方向走査と逆方向走査とで感度が異なる理由としては、上述した以外にも様々な要因があることが知られている。
【０１１９】
ここで、往路撮像時と復路撮像時とで撮像画像の感度（輝度）に差異が生じることは、組み合わせテストパターンを利用して欠陥を検出する場合に問題となる。
【０１２０】
例えば、図２の例で、時間遅延積分型センサ４の往路で図２の（ｃ）を撮像し、復路で同図の（ｄ）を撮像した場合を考える。この場合、時間遅延積分型センサ４の撮像感度は、往路と復路とで異なるので、（ｃ）と（ｄ）とは異なる撮像感度で撮像されることになる。往路と復路とで撮像感度が異なることにより、例えば同一の閾値で（ｃ）と（ｄ）との欠陥検出を行うことができない等の問題を生じる。これに対し、事前にキャリブレーションを行うことで、往路と復路と感度差をある程度は軽減することはできるが、完全に一致させることは困難である。したがって、高精度な欠陥検査を行うことが難しい。
【０１２１】
そこで、本実施形態のテストパターン発生装置２では、同一の組み合わせテストパターンに属するテストパターンの撮像時には、時間遅延積分型センサ４の走査方向を同一としている。
【０１２２】
これにより、組み合わせテストパターンを同一の感度で撮像することができ、精度の高い欠陥検査を実現することができる。この具体例について、図９〜図１１に基づいて説明する。
【０１２３】
図９は、本実施形態で用いるテストパターンと、そのテストパターンで検出できる欠陥とを示す図である。図示のように、本実施形態では、（Ａ）全面非点灯、（Ｂ）全面点灯、（Ｃ）上半分点灯、（Ｄ）下半分点灯、（Ｅ）奇数ライン点灯、（Ｆ）偶数ライン点灯の６種類のテストパターンを用いる。
【０１２４】
そして、テストパターン（Ａ）により輝点欠陥を検出し、テストパターン（Ｂ）により黒点欠陥を検出する。また、テストパターン（Ｃ）と（Ｄ）とは、その組み合わせによってソースライン−絵素間リークを検出する組み合わせテストパターンであり、テストパターン（Ｅ）と（Ｆ）とは、その組み合わせによって隣接絵素間リークを検出する組み合わせテストパターンである。
【０１２５】
次に、これら６種類のテストパターンを、それぞれのテストパターンに適した検査条件に基づいて複数のパターン群に分類する。これら６種類のテストパターンを、撮像ゲインの設定値に基づいて２つのパターン群に分類した例を図１０に示す。同図（ａ）は、撮像ゲインを白レベルに合わせた設定値での撮像が好ましいテストパターンを集めたパターン群１を、同図（ｂ）は、撮像ゲインを黒レベルに合わせた設定値での撮像が好ましいテストパターンを集めたパターン群２を示している。
【０１２６】
なお、テストパターンの分類は、図１０の例に限られず、例えば、撮像絞り設定や、バックライト光量設定等の検査条件に基づいて分類しても良い。また、パターン群の数も２つに限定されない。ただし、パターン群の数が増えるほど検査条件の変更回数が増加してしまうので、パターン群の数は少ない方が好ましい。
【０１２７】
続いて、上記６種類のテストパターンの検査順序について、図１１に基づいて説明する。図１１は、テストパターンの検査順序と時間遅延積分型センサ４の走査方向との関係を示す図である。
【０１２８】
まず初めに、各パターン群におけるテストパターンの検査順序を決定する。ここでは、パターン群１及びパターン群２は、共に３つのテストパターンを含み、３つのうち２つが組み合わせテストパターンである。
【０１２９】
したがって、まず、制御部１７は、各パターン群について、組み合わせテストパターンの一方、次に組み合わせテストパターンではないテストパターン、そして組み合わせテストパターンの他方という検査順序を決定する。
【０１３０】
続いて、制御部１７は、システム制御部１０に、パターン群１の検査条件を送信する。そして、システム制御部１０によって上記検査条件が設定された後、テストパターン（Ｅ）が撮像される（検査順序（１））。なお、撮像に際して、時間遅延積分型センサ４は、表示パネル７の表示面に向かって左右方向右向きに走査を行う。したがって、テストパターン（Ｅ）の撮像を終了した段階で、時間遅延積分型センサ４は、表示パネル７の表示面に向かって右端に位置している。
【０１３１】
そして、テストパターン（Ｂ）が表示され、時間遅延積分型センサ４を表示パネル７の表示面に向かって左右方向左向きに走査させて、テストパターン（Ｂ）を撮像し（検査順序（２））、次いでテストパターン（Ｆ）を撮像する（検査順序（３））。
【０１３２】
以上のように検査順序（１）〜（３）を終了した段階で、パターン群１内に含まれる全てのテストパターンの撮像が終了している。ここで、パターン群１内に含まれるテストパターンは、すべて同一の検査条件で撮像できるように分類したものである。したがって、検査順序（１）〜（３）において、検査順序（１）の初めに検査条件を設定した後は検査条件を変更する必要が無いので、効率良く検査を行うことができる。
【０１３３】
また、隣接絵素間リークを検出するための組み合わせテストパターン（Ｅ）及び（Ｆ）は、それぞれ検査順序（１）及び（３）で撮像され、撮像時の時間遅延積分型センサ４の走査方向は、何れも同一となっている。
【０１３４】
したがって、組み合わせテストパターン（Ｅ）及び（Ｆ）の撮像時における、時間遅延積分型センサ４の検出感度を同一とすることができ、高精度な欠陥検出が可能となる。
【０１３５】
以下、検査順序（４）〜（６）においても同様に、検査順序（４）におけるテストパターン（Ｃ）の撮像前に検査条件の設定を行えば、以後の検査順序（５）、（６）では、検査条件の設定を行う必要が無い。
【０１３６】
また、ソースライン−絵素間リークを検出するための組み合わせテストパターン（Ｃ）及び（Ｄ）を撮像するときの時間遅延積分型センサ４の走査方向は同一となっているので、組み合わせテストパターン（Ｃ）及び（Ｄ）の撮像時における、時間遅延積分型センサ４の検出感度を同一とすることができ、高精度な欠陥検出が可能となる。
【０１３７】
なお、パターン群１におけるテストパターンの検査順序、及びパターン群２におけるテストパターンの検査順序は、図１１の例に限られない。例えば、パターン群１において、（Ｆ）、（Ｂ）、（Ｅ）の順で検査を行っても良いし、パターン群２において、（Ｄ）、（Ａ）、（Ｃ）の順で検査を行っても良い。
【０１３８】
なお、本実施形態の表示パネル検査システム１では、組み合わせテストパターンの走査方向を一致させない場合でも、欠陥の検査を行うことができる。例えば、撮像装置として、時間遅延積分型センサ４ではなく、通常のラインセンサを用いた場合、走査方向によって撮像感度は変わらないので、走査方向を考慮する必要は無い。
【０１３９】
しかしながら、時間遅延積分型センサ４を用いる場合、通常のラインセンサを用いる場合と比べて、検査時間を飛躍的に短縮することができるので、撮像装置としては、時間遅延積分型センサ４を用いることが好ましい。
【０１４０】
したがって、本実施形態の表示パネル検査システム１では、時間遅延積分型センサ４を用い、組み合わせテストパターンの撮像時には時間遅延積分型センサ４の走査方向を一致させることが好ましい。
【０１４１】
なお、本実施形態では、時間遅延積分型センサ４を、ステージ駆動部９によって走査ステージ１２上で移動させることによって、時間遅延積分型センサ４を走査させて撮像する例を示したが、時間遅延積分型センサ４の走査方法はこの例に限られない。
【０１４２】
例えば、時間遅延積分型センサ４を固定し、表示パネル７を移動させることで走査を行っても良い。
【０１４３】
また、対比する撮像画像の撮像時における時間遅延積分型センサ４の走査方向を同一とする方法としては、上述の例以外に、時間遅延積分型センサ４に、該時間遅延積分型センサ４の上下を１８０°回転させる機構を設け、組み合わせテストパターンにおける各々のテストパターンを撮像するときに、時間遅延積分型センサ４を適切な向きに回転させることによって走査方向を一致させて撮像しても良い。
【０１４４】
この場合、時間遅延積分型センサ４における逆方向読み出しシフトレジスタとそれに関連する構成とを省略することができる。また、組み合わせテストパターンを連続して検査することができる。
【０１４５】
〔実施の形態２〕
次に、本発明の他の実施の形態について、図１２及び図１３に基づいて説明する。本実施形態のテストパターン発生装置１９は、図１に示すテストパターン発生装置２におけるテストパターン記憶部１８に代えて、テストパターン記憶部２０及び順序決定部２１を備える構成である。なお、上記実施形態で説明した構成と同様の機能を有する構成には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【０１４６】
図１２は、本実施形態のテストパターン発生装置１９の要部構成を示すブロック図である。テストパターン発生装置１９は、図１２に示すように、テストパターン記憶部２０と、順序決定部（順序決定手段）２１と、制御部１７とを備えている。
【０１４７】
本実施形態のテストパターン記憶部２０は、テストパターン発生装置２のテストパターン記憶部１８とは異なるデータ構造を備えている。すなわち、テストパターン記憶部２０は、テストパターンのパターン名と、そのテストパターンの検査条件とを対応付けて記憶している。また、テストパターン記憶部２０は、組み合わせテストパターンについては、その組み合わせ相手となるテストパターンを示す組み合わせ情報を対応付けて記憶している。
【０１４８】
図１２には、検査条件として撮像ゲインを用いた例を示している。具体的には、図示のように、撮像ゲインを白レベルに合わせて検査することが好ましいか、もしくは撮像ゲインを黒レベルに合わせて検査することが好ましいかが各テストパターンと対応付けられた状態で記憶されている。
【０１４９】
なお、検査条件としては、撮像ゲインの白レベル／黒レベルに限られず、撮像絞り設定や、バックライト８の光量設定、時間遅延積分型センサ４の走査速度と露光周期との組み合わせ等としても良いし、上記の検査条件を組み合わせた条件を検査条件としても良い。
【０１５０】
順序決定部２１は、テストパターン記憶部２０からテストパターンを読み出し、テストパターンに対応付けられている検査条件と組み合わせ情報とに基づいてテストパターンの発生順序を決定する。
【０１５１】
続いて、順序決定部２１における順序決定処理について、図１３に基づいて説明する。図１３は、上記順序決定処理を説明するフローチャートである。まず、順序決定部２１は、テストパターン記憶部２０に記憶されているテストパターンを読み出し、各テストパターンに対応付けられている検査条件を参照して、検査条件が同一であるテストパターンを同一のパターン群として分類する（Ｓ１７）。
【０１５２】
次に、順序決定部２１は、Ｓ１７で分類したパターン群毎に、テストパターンに組み合わせ情報が付加されているか否かを確認する（Ｓ１８）。
【０１５３】
組み合わせ情報が付加されているテストパターンが有る場合、順序決定部２１は、組み合わせ情報に基づいてテストパターンの順序を決定する（Ｓ１９）。具体的には、順序決定部２１は、組み合わせテストパターンを時間遅延積分型センサで撮像するときに、上記組み合わせテストパターンの撮像方向が一致するような順序を、テストパターンの発生順序として決定する。
【０１５４】
例えば、図１１の例では、テストパターン（Ｅ）と（Ｆ）、及びテストパターン（Ｃ）と（Ｄ）が組み合わせテストパターンであり、時間遅延積分型センサはその往路と復路とで異なるテストパターンを撮像している。このような場合に、組み合わせテストパターンを撮像する際の時間遅延積分型センサの走査方向を一致させるためには、組み合わせテストパターンを１つおきに表示させる必要がある。また、同時に、同一パターン群内のテストパターンは連続して表示させる必要がある。したがって、この場合、テストパターンの発生順序を例えば（Ｆ）（Ｂ）（Ｅ）（Ｄ）（Ａ）（Ｃ）と決定することができる。
【０１５５】
一方、組み合わせ情報が付加されているテストパターンが無い場合は、同一パターン群内のテストパターンが連続するように、テストパターン記憶部２０内の全テストパターンの順序を決定する（Ｓ２０）。
【０１５６】
また、本実施形態のテストパターン発生装置１９では、テストパターン記憶部２０に組み合わせ情報を格納していない構成とすることもできる。この場合、順序決定部２１は、テストパターン記憶部２０に記憶されているテストパターンを読み出し、各テストパターンに対応付けられている検査条件を参照して、検査条件が同一であるテストパターンを同一のパターン群として分類する。そして、順序決定部２１は、同一のパターン群に属するテストパターンが連続するような順序をテストパターンの発生順序として決定する。
【０１５７】
テストパターン記憶部２０に組み合わせ情報を格納していない場合、テストパターン発生装置１９の構成を簡略化することができる。但し、テストパターンの撮像装置として時間遅延積分型センサを用いる場合には、テストパターン記憶部２０に組み合わせ情報を格納し、組み合わせ情報に基づいてテストパターンの発生順序を決定することが好ましい。
【０１５８】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１５９】
例えば、表示パネル検査システム１内の各装置を一体とすることもできるし、装置の各部を別々の構成とすることもできる。
【０１６０】
最後に、テストパターン発生装置２の制御部１７や、システム制御装置３のシステム制御部１０、テストパターン発生装置１９の順序決定部２１は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵを用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１６１】
すなわち、テストパターン発生装置２、システム制御装置３、及びテストパターン発生装置１９は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ（central processing unit）、上記プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアであるテストパターン発生装置２、システム制御装置３、及びテストパターン発生装置１９の制御プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、それぞれ上記テストパターン発生装置２、システム制御装置３、及びテストパターン発生装置１９に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【０１６２】
上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【０１６３】
また、テストパターン発生装置２、システム制御装置３、及びテストパターン発生装置１９を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（virtual private network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
【産業上の利用可能性】
【０１６４】
本発明は、液晶表示パネルの生産工程における欠陥検査だけでなく、プラズマ表示パネルなどの任意の表示パネルに関して、生産工程、製品完成後の検査工程、耐久試験工程などの任意の工程における欠陥検査に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１６５】
【図１】本発明の一実施形態を示すものであり、テストパターン発生装置の要部構成を示すブロック図である。
【図２】表示パネルのソースラインのうち、偶数ラインのみを点灯した場合、及び奇数ラインのみを点灯した場合の表示例を示す図である。
【図３】正常な表示パネルにおける表示例と、表示パネルの画面左下にソースライン−絵素間リークが生じている場合の表示例と、表示パネルの画面右上及び左下に輝点欠陥が生じている場合の表示例とを示す図である。
【図４】本発明の一実施形態を示すものであり、表示パネル検査システムの概要を示す斜視図である。
【図５】上記表示パネル検査システムの要部構成を示すブロック図である。
【図６】上記表示パネル検査システムにおける、表示パネル検査処理を示すフローチャートである。
【図７】上記表示パネル検査システムにおける、テストパターン表示処理を示すフローチャートである。
【図８】時間遅延積分型センサにおける走査方向と読み出し方向との関係を示す図である。
【図９】本実施形態で用いるテストパターンと、そのテストパターンで検出できる欠陥とを示す図である。
【図１０】撮像ゲインを白レベルに合わせた設定値での撮像が好ましいテストパターンを集めたパターン群と、撮像ゲインを黒レベルに合わせた設定値での撮像が好ましいテストパターンを集めたパターン群とを示す図である。
【図１１】テストパターンの検査順序と時間遅延積分型センサの走査方向との関係を示す図である。
【図１２】本発明の他の実施形態を示すものであり、テストパターン発生装置の要部構成を示すブロック図である。
【図１３】上記テストパターン発生装置における順序決定処理を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【０１６６】
１    表示パネル検査システム
２    テストパターン発生装置
３    システム制御装置
４    時間遅延積分型センサ（撮像装置）
５    画像処理装置
６    パネル保持装置
７    表示パネル
８    バックライト（光源）
９    ステージ駆動部（走査手段）
１０    システム制御部（システム制御手段）
１１    表示パネル駆動部（表示パネル駆動手段）
１２    走査ステージ
１３    画像処理部
１４    画像記憶部
１５    欠陥検出部
１６    結果出力部
１７    テストパターン記憶部
１８    制御部（制御手段）
１９    テストパターン発生装置
２０    テストパターン記憶部
２１    順序決定部（順序決定手段）
２２    入力部
【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図２】
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【図３】
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