(57)【要約】【課題】紫外線硬化型の修正液、マイクロディスペンサを用いた修正を行う際に、透過照明用光源及び反射照明用光源からの照射光で、吐出口に目詰まりを起さず修正を行う欠陥修正方法を提供する。【解決手段】紫外線硬化型の修正液、マイクロディスペンサ２２を用い、透過照明用光源１１及び反射照明用光源１３としてハロゲンランプを用い、透過照明用光源からの照射光を常時に吐出口２１に照射し、且つ反射照明用光源からの照射光を、修正時に吐出口に照射しながら修正を行う際に、透過照明用光源及び反射照明用光源に、紫外線吸収フィルタ１Ａ、１Ｂ及び赤外線吸収フィルタ２Ａ、２Ｂを設け吐出口に滞留する修正液の光硬化を防ぐ。【選択図】図７
2008015073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に、ブラックマトリックス、着色画素が形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、
１）修正液として、紫外線硬化型の修正液を用い、
２）修正口に修正液を吐出する治具として、マイクロディスペンサを用い、
３）透過照明によりカラーフィルタを観察するための透過照明用光源として、ハロゲンランプを用い、
４）落射照明によりカラーフィルタ上の修正口を観察するための反射照明用光源として、ハロゲンランプを用い、
５）前記透過照明用光源からの照射光を、常時にカラーフィルタ及びマイクロディスペンサの吐出口に照射しながら、且つ前記反射照明用光源からの照射光を、修正時に修正口、及び修正口直上のマイクロディスペンサの吐出口に照射しながら、修正口に修正液を被着して修正を行う際に、
前記透過照明用光源及び反射照明用光源に、紫外線吸収フィルタ及び赤外線吸収フィルタを設け、マイクロディスペンサの吐出口に滞留する修正液の光硬化を防ぎ、吐出口に目詰まりを発生させずに修正口に修正液を被着して修正を行うことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項２】
前記透過照明用光源からの照射光の照射時間を測定する手段を設け、該照射時間が、予め設定した時間に達した際に透過照明用光源を消灯させることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの欠陥修正に関するものであり、特に、マイクロディスペンサを用いた修正を行う際に、吐出口に目詰まりを起こさずに欠陥の修正を行うことのできるカラーフィルタの欠陥修正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置において、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは、有用な手段となっている。
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、カラーフィルタは画素として形成されて使用される。この表示装置に用いるカラーフィルタの画素を形成する方法としては、フォトリソグラフィ法が広く用いられている。
【０００３】
図５は、液晶表示装置に用いるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図６は、図５に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図５、及び図６に示すように、液晶表示装置に用いるカラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図５、及び図６はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００４】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、このブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。
【０００５】
ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００６】
ガラス基板上へのブラックマトリックスの形成は、例えば、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
【０００７】
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。また、透明導電膜（４３）の形成は、ブラックマトリックス、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
すなわち、一例として示す液晶表示装置に用いるカラーフィルタにおいては、透明導電膜を除きフォトリソグラフィ法によって画素（パターン）として形成されている。
【０００８】
上記ブラックマトリックス（４１）或いは着色画素（４２）を形成する際に、画素（パターン）には欠陥が生じることがある。画素（パターン）欠陥は、主として、画素の一部が欠落した白欠陥と異物の付着などによる黒欠陥に分類される。
白欠陥は、例えば、ガラス基板表面のフォトレジストの弾き、フォトレジスト中の気泡、画素上の異物の脱落に伴う膜剥がれなどにより生じる画素の欠落部、すなわち、ピンホールである。ピンホールのあるカラーフィルタが液晶表示装置に組み込まれると、白点として光って観視されるので表示品質を損ねる。
【０００９】
また、黒欠陥は、工程中で発生するパーティクル、作業場に浮遊する塵埃などが付着したものであり、画素上では突起となることが多い。この突起の高さが液晶表示装置の対向基板に接触するような高さであると、短絡を起こし表示品質を損ねる。
従って、ブラックマトリックス（４１）或いは着色画素（４２）を形成する際に発生した白欠陥や黒欠陥などの画素（パターン）欠陥に対しては修正が施される。
【００１０】
図１（ａ）〜（ｄ）は、白欠陥（ピンホール）を修正する方法の一例の説明図である。この修正方法は、修正針を用いて白欠陥部に修正液を付与し、白欠陥を修正する修正方法である。
図１（ａ）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）が順次に形成された段階で、着色画素（４２）に白欠陥（Ｄ１）が発生した状態を表したものである。着色画素（４２）の大きさ（ａ×ｂ）は、３００μｍ×１００μｍ程度であり、膜厚は１．０μｍ程度である。白欠陥（Ｄ１）は、２０μｍ〜７０μｍ程度の大きさ（ｃ）のものが修正の対象となる。
【００１１】
図１（ｂ）は、着色画素（４２）の白欠陥（Ｄ１）の部分に修正口（Ｓ１）が形成された段階を表したものである。白欠陥（Ｄ１）の平面形状は不定型であるので、修正を容易にするために単純な形状、例えば、図１（ｂ）に示すように、正方形の形状に白欠陥（Ｄ１）の周囲の着色画素を除去したものである。この着色画素の除去には、例えば、レーザーを用い当該部分を揮散させる。
【００１２】
図１（ｃ）は、着色画素（４２）内の修正口（Ｓ１）に対して修正が施され、修正膜（４５）が形成された段階を表したものである。また、図１（ｄ）は、図１（ｃ）におけるＸ−Ｘ線での断面図である。修正口（Ｓ１）に対しては、修正針の先端に修正液を付着させ修正口（Ｓ１）、すなわち、修正口（Ｓ１）から露出しているガラス基板表面に修正液を被着させる。
ガラス基板表面の修正液の被膜には、修正液の組成に準じ、例えば、ＵＶ照射による硬化、或いは加熱処理による硬化を行い、修正膜（４５）となし、白欠陥（ピンホール）の修正を完了する。
【００１３】
しかし、このような修正針を用いた白欠陥の修正方法では、図１（ｃ）、（ｄ）に示すように、修正を施した修正口（Ｓ１）の周囲、すなわち、修正を施す必要のない正常な着色画素（４２）上にも修正液が被着されてしまい、修正口（Ｓ１）の周囲には修正液による突起（４４）が形成されてしまうことがある。
修正口（Ｓ１）が大きくなると、この大きさに準じて突起（４４）の大きさ（ｇ）は大きくなり、着色画素（４２）には突起（４４）の大きさ（ｇ）の色ムラが観視されてしまうことになる。
【００１４】
従って、このような修正によってもたらされる色ムラを回避するために、修正の対象と
なる白欠陥（Ｄ１）の大きさ（ｃ）には、自ずから制約が伴うといった問題がある。また、この修正口（Ｓ１）の周囲に突起（４４）が形成されたカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、この突起が液晶の配向に支障をきたすことがある。
或いは、この突起の高さが液晶表示装置の対向基板に接触するような高さであると、短絡を起こし表示品質を損ねるといった問題がある。
【００１５】
尚、上記は、修正針を用いた白欠陥（Ｄ１）の修正方法を説明したものであるが、黒欠陥の修正方法も同様である。黒欠陥の場合には、黒欠陥（図示せず）及びその周囲の着色画素をレーザーにより揮散して、単純な形状の修正口を設け修正液を被着し、硬化させる。
【００１６】
一方、上述した、修正針を用いた画素の欠陥の修正方法における問題点を解決した修正方法、及び修正液に関するものとして、例えば、特開２００４−６７７７７号公報には修正針に代わりディスペンサを用いる欠陥の修正方法が開示されている。
この修正方法は、ガラス製のディスペンサに修正液を充填し、空気による加圧で修正液を吐出させ、修正口に修正液を被着させるといった修正方法である。本体内径１ｍｍφ程度、先端の吐出口内径５〜１０μｍφ程度のマイクロディスペンサと称する小型のディスペンサを用いるものであるが、先端の吐出口から吐出される修正液の吐出量を調節できることを特徴としている。
【００１７】
例えば、修正口（Ｓ１）の容積は、着色画素の膜厚１．５μｍ、修正口（Ｓ１）の面積５０μｍ□とすると、４ｐｌ程度となるが、マイクロディスペンサの吐出量の調節は４ｐｌ／ｓｅｃ〜４００ｐｌ／ｓｅｃの範囲であり精密な調節が可能なものである。
【００１８】
このような、修正液の吐出量を精密に調節できるマイクロディスペンサを用いることによって、前記修正針を用いた際の問題点、例えば、修正を施す必要のない正常な着色画素（４２）上にも修正液が被着されてしまい、色ムラが観視されてしまうといった問題点は解消される。
これにより、従来よりも大きな白欠陥（Ｄ１）の修正も可能となり、修正の対象となる白欠陥（Ｄ１）の大きさは拡大される。
【００１９】
また、前記修正針を用いた際の問題点、例えば、修正口（Ｓ１）の周囲には修正液による突起（４４）が形成され液晶の配向に支障をきたすといった問題点は解消される。
加えて、マイクロディスペンサによる修正方法は、その所要時間が修正針による修正方法に比較して短いものなので、１枚のカラーフィルタ内に複数箇所の白欠陥が存在する際、或いは、隣接する着色画素にまたがる白欠陥が存在する際などでも、修正に要する相応の時間は短縮される。
【００２０】
図２は、マイクロディスペンサを用いたカラーフィルタの欠陥修正装置の一例の概略を示す説明図である。図２に示すように、この欠陥修正装置は、ステージ（１０）、透過照明用光源（１１）、対物レンズ（１２）、反射照明用光源（１３）、観察用カメラ（１４）、硬化用光源（１５）、トリミング用光源（１６）、及び塗布機構（２０）で構成されている。ステージ（１０）上には、修正が施されるカラーフィルタ（３０）が載置されている。
【００２１】
この欠陥修正装置を用いて、カラーフィルタの欠陥を修正する手順の一例は、先ず、図示せぬＸＹ座標の位置出し機構により、観察用カメラ（１４）の視野内に欠陥部を導く。反射照明用光源（１３）からの垂直落射照明による照射光（Ｌ２）を上方より欠陥部に照射し、観察用カメラ（１４）に付随するモニター画面を用いて、光軸に欠陥部の位置を正確に設定する。反射照明用光源（１３）としては、例えば、ハロゲンランプが用いられて
いる。
【００２２】
次に、トリミング用光源（１６）からの照射光（Ｌ４）を上方より欠陥部に照射し、欠陥部及びその周辺部に修正口を形成する（図１（ｂ）参照）。
欠陥部の平面形状は不定型であるので、修正を容易にするために単純な形状、例えば、正方形にする。また、この修正口は、マイクロディスペンサの吐出量を考慮して、修正口の面積（容積）を意図的に大きなものとしている。
トリミング用光源（１６）としては、例えば、ＹＡＧレーザーの第２高調波が用いられている。
【００２３】
次に、反射照明用光源（１３）からの照射光（Ｌ２）を修正口に照射し、観察用カメラ（１４）によって撮像されたモニター画面を観察しながら、マイクロディスペンサの先端の吐出口から修正液を修正口に吐出し修正液を被着する。
続いて、硬化用光源（１５）からの照射光（Ｌ３）を上方より被膜に照射し、被膜を硬化させ修正を完了する。硬化用光源（１５）としては、修正液が紫外線硬化型の修正液の際には、例えば、超高圧水銀ランプが用いられている。
【００２４】
図３及び図４は、図２に示す欠陥修正装置の対物レンズ（１２）と塗布機構（２０）の部分を拡大して示す説明図である。図３及び図４に示すように、塗布機構（２０）は、マイクロディスペンサ（２２）と４軸移動手段（２３）、例えば、直角座標ロボットで構成されている。
図３は、マイクロディスペンサ（２２）が待機位置で待機している状態を表している。また、図４は、マイクロディスペンサ（２２）の先端の吐出口（２１）が、修正口に接近し、修正口に修正液を吐出する修正位置にある状態を表している。マイクロディスペンサ（２２）は、４軸移動手段（２３）によって、この待機位置と修正位置の間を移動する。
【００２５】
修正口に修正液を被着する修正作業は、対物レンズ（１２）の直下に、すなわち、修正口の直上にマイクロディスペンサ（２２）の吐出口（２１）を位置させて、モニター画面を観察しながら行う。
これにより、吐出口（２１）の位置や修正液の挙動を観察しながら、吐出を微調整することができ、精密且つ正確な修正作業を行うことができる。
【００２６】
しかしながら、このような修正方法では、修正液が紫外線硬化型の修正液の際には、マイクロディスペンサ（２２）の吐出口（２１）に目詰まりを起こしやすく、修正作業に支障をきたすといった難点がある。
これは、吐出口（２１）の位置調整や、吐出を微調整しながらの修正液の吐出といった修正作業中は、図４に示すように、反射照明用光源（１３）からの照射光（Ｌ２）は対物レンズ（１２）の直下にあるマイクロディスペンサ（２２）の吐出口（２１）を照射している。従って、修正液が光重合により光硬化しはじめ、流動性が悪化するためである。
そして、遂には吐出口は目詰まり、加圧を高くしても修正液を吐出することが出来なくなる。
【００２７】
また、図２に示すように、カラーフィルタ（３０）が載置されるステージ（１０）の下方には、透過照明用光源（１１）が設けられている。この透過照明用光源（１１）は、ステージ（１０）上に載置されたカラーフィルタ（３０）の全体を観察するためのものであり、修正作業中は常時に点灯されている。この透過照明用光源（１１）としては、例えば、ハロゲンランプを用いることが多い。                                  
従って、図４に示すように、マイクロディスペンサ（２２）が修正位置にある場合のみでなく、図３に示すように、マイクロディスペンサ（２２）が待機位置にある場合においても、吐出口（２１）は下方からの透過照明用光源（１１）の照射光（Ｌ１）を受けている
。
【００２８】
すなわち、マイクロディスペンサ（２２）の吐出口（２１）の目詰まりは、透過照明用光源（１１）からの照射光（Ｌ１）によって助長されている。
【特許文献１】特開２００４−６７７７７号公報
【特許文献２】特開２００６−７１２６号公報
【特許文献３】特開２００６−１３３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素が順次に形成されたカラーフィルタの白欠陥や黒欠陥などの画素（パターン）欠陥の修正において、修正液として、紫外線硬化型の修正液を用い、修正液を吐出する治具としてマイクロディスペンサを用いた修正を行う際に、欠陥修正装置の透過照明用光源及び反射照明用光源からの照射光によって、マイクロディスペンサの吐出口に目詰まりを起こすことなく、カラーフィルタの欠陥の修正を行うことのできるカラーフィルタの欠陥修正方法を提供すること課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
本発明は、ガラス基板上に、ブラックマトリックス、着色画素が形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法において、
１）修正液として、紫外線硬化型の修正液を用い、
２）修正口に修正液を吐出する治具として、マイクロディスペンサを用い、
３）透過照明によりカラーフィルタを観察するための透過照明用光源として、ハロゲンランプを用い、
４）落射照明によりカラーフィルタ上の修正口を観察するための反射照明用光源として、ハロゲンランプを用い、
５）前記透過照明用光源からの照射光を、常時にカラーフィルタ及びマイクロディスペンサの吐出口に照射しながら、且つ前記反射照明用光源からの照射光を、修正時に修正口、及び修正口直上のマイクロディスペンサの吐出口に照射しながら、修正口に修正液を被着して修正を行う際に、
前記透過照明用光源及び反射照明用光源に、紫外線吸収フィルタ及び赤外線吸収フィルタを設け、マイクロディスペンサの吐出口に滞留する修正液の光硬化を防ぎ、吐出口に目詰まりを発生させずに修正口に修正液を被着して修正を行うことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【００３１】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記透過照明用光源からの照射光の照射時間を測定する手段を設け、該照射時間が、予め設定した時間に達した際に透過照明用光源を消灯させることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。
【発明の効果】
【００３２】
本発明は、１）紫外線硬化型の修正液を用い、２）マイクロディスペンサを用い、３）透過照明によりカラーフィルタを観察するための透過照明用光源として、ハロゲンランプを用い、４）カラーフィルタ上の修正口を観察するための反射照明用光源として、ハロゲンランプを用い、５）透過照明用光源からの照射光を、常時にカラーフィルタ及びマイクロディスペンサの吐出口に照射しながら、且つ反射照明用光源からの照射光を、修正時に
修正口、及び修正口直上のマイクロディスペンサの吐出口に照射しながら、修正口に修正液を被着して修正を行う際に、透過照明用光源及び反射照明用光源に、紫外線吸収フィルタ及び赤外線吸収フィルタを設け、マイクロディスペンサの吐出口に滞留する修正液の光硬化を防ぐので、欠陥修正装置の透過照明用光源及び反射照明用光源からの照射光によって、マイクロディスペンサの吐出口に目詰まりを起こすことなく、カラーフィルタの欠陥の修正を行うことのできるカラーフィルタの欠陥修正方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に本発明を実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図７は、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法において用いられるカラーフィルタの欠陥修正装置の一例の概略を示す説明図である。図７に示すように、この欠陥修正装置は、ステージ（１０）、透過照明用光源（１１）、紫外線吸収フィルタ（１Ａ）、赤外線吸収フィルタ（２Ａ）、対物レンズ（１２）、反射照明用光源（１３）、紫外線吸収フィルタ（１Ｂ）、赤外線吸収フィルタ（２Ｂ）、観察用カメラ（１４）、硬化用光源（１５）、トリミング用光源（１６）、及び塗布機構（２０）で構成されている。ステージ（１０）上には、修正が施されるカラーフィルタ（３０）が載置されている。
【００３４】
透過照明用光源（１１）としてはハロゲンランプが用いられている。また、反射照明用光源（１３）としてはハロゲンランプが用いられている。図２に示すカラーフィルタの欠陥修正装置と対比し、図７に示す欠陥修正装置においては、透過照明用光源（１１）とステージ（１０）の間に、紫外線吸収フィルタ（１Ａ）及び赤外線吸収フィルタ（２Ａ）が設けられており、また、反射照明用光源（１３）と対物レンズ（１２）の間に、紫外線吸収フィルタ（１Ｂ）及び赤外線吸収フィルタ（２Ｂ）が設けられている。
【００３５】
従って、透過照明用光源（１１）からの紫外線吸収フィルタ（１Ａ）及び赤外線吸収フィルタ（２Ａ）を通過した照射光（Ｌ１’）は、紫外線成分及び赤外線がカットされた照射光となっている。また、同様に、反射照明用光源（１３）からの紫外線吸収フィルタ（１Ｂ）及び赤外線吸収フィルタ（２Ｂ）を通過した照射光（Ｌ２’）は、紫外線成分及び赤外線がカットされた照射光となっている。
【００３６】
これにより、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法においては、欠陥の修正において、修正液として、紫外線硬化型の修正液を用い、また修正液を吐出する治具としてマイクロディスペンサを用いた修正を行っても、欠陥修正装置の透過照明用光源及び反射照明用光源からの照射光によって、マイクロディスペンサの吐出口に目詰まりを起こすことなく、カラーフィルタの欠陥の修正を行うことのできる。
【００３７】
このような効果を得るために、紫外線吸収フィルタに代わり、例えば、イエローランプを光源として使用することは容易に考えられる。しかし、イエローランプを光源に使用すると、着色画素及び修正液の被膜を観察した際に、イエローランプの黄味が影響して着色画素及び修正液の被膜は異なった色相に観視され、修正作業に支障をきたすので好ましいものではない。
【００３８】
紫外線吸収フィルタ（１Ａ）及び紫外線吸収フィルタ（１Ｂ）に求められる紫外線吸収特性は、ハロゲンランプが有する分光強度、紫外線硬化型の修正液が有する感色性によって異なるが、概ね４４０ｎｍ以下の波長を吸収することが出来ればよい。この際には、４４０ｎｍ以下の可視域が吸収されるが、上記イエローランプにおけるような大きな色相の変動はなく、この程度であれば修正作業に支障をきたすことはない。
【００３９】
また、本発明においては、透過照明用光源（１１）に紫外線吸収フィルタ（１Ａ）を設けているのではあるが、更に修正液の光硬化を防ぐために、請求項２に係わる発明におい
ては、予め設定した時間に達した際に透過照明用光源（１１）を消灯させている。この予め設定する時間とは、例えば、３０秒程度のものである。
【００４０】
本発明における透過照明用光源（１１）としては、例えば、日本ピー・アイ（株）製：ＰＤＬ−Ｔ−ＸＸＸＸ（型番）、透過照明用光源（１１）に用いるハロゲンランプとしては、例えば、ウシオ電機（株）製：ＪＣＲ１５Ｖ１５０ＷＢ（品番）が挙げられる。また、反射照明用光源（１３）としては、例えば、モリテックス（株）製：ＭＨＦ−Ｄ−１００ＬＲ−５１６（型番）、反射照明用光源（１３）に用いるハロゲンランプとしては、例えば、モリテックス（株）製：ＬＭ−１００（品番）が挙げられる。
【００４１】
また、透過照明用光源（１１）に設ける紫外線吸収フィルタ（１Ａ）としては、例えば、メレスグリオ（株）製：０３ＦＣＧ０６３（品番）が、赤外線吸収フィルタ（１Ｂ）としては、例えば、東ソークオーツ（株）製：４３ｐ（品番）が挙げられる。
また、反射照明用光源（１３）に設ける紫外線吸収フィルタ（２Ａ）としては、例えば、メレスグリオ（株）製：０３ＦＣＧ０６３（品番）が、赤外線吸収フィルタ（２Ｂ）としては、例えば、モリテックス（株）製：ＦＭ−１５０（品番）が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】（ａ）〜（ｄ）は、白欠陥（ピンホール）を修正する方法の一例の説明図である。
【図２】マイクロディスペンサを用いたカラーフィルタの欠陥修正装置の一例の概略を示す説明図である。
【図３】マイクロディスペンサが待機位置で待機している状態を表している説明図である。
【図４】マイクロディスペンサの先端の吐出口が、修正口に接近し、修正口に修正液を吐出する修正位置にある状態を表している説明図である。
【図５】液晶表示装置に用いるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図６】図５に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図７】本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法において用いられるカラーフィルタの欠陥修正装置の一例の概略を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１Ａ、１Ｂ・・・紫外線吸収フィルタ
２Ａ、２Ｂ・・・紫外線吸収フィルタ
１０・・・ステージ
１１・・・透過照明用光源
１２・・・対物レンズ
１３・・・反射照明用光源
１４・・・観察用カメラ
１５・・・硬化用光源
１６・・・トリミング用光源
２０・・・塗布機構
２１・・・マイクロディスペンサの先端の吐出口
２２・・・マイクロディスペンサ
２３・・・４軸移動手段
３０・・・カラーフィルタ
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
４４・・・突起
４５・・・修正膜
Ｄ１・・・白欠陥
Ｌ１・・・透過照明用光源からの照射光
Ｌ２・・・反射照明用光源からの照射光
Ｌ３・・・硬化用光源からの照射光
Ｌ４・・・トリミング用光源からの照射光
Ｌ１’・・・透過照明用光源からの紫外線吸収フィルタ及び赤外線吸収フィルタを通過した照射光
Ｌ２’・・・反射照明用光源からの紫外線吸収フィルタ及び赤外線吸収フィルタを通過した照射光
Ｓ１・・・修正口
【図１】
2008015073.tif 000003
【図２】
2008015073.tif 000004
【図３】
2008015073.tif 000005
【図４】
2008015073.tif 000006
【図５】
2008015073.tif 000007
【図６】
2008015073.tif 000008
【図７】
2008015073.tif 000009