(57)【要約】【課題】吐出部と基板との接触を防止しつつ流動性材料を基板の上面に確実に案内する。【解決手段】塗布装置は、蛍光体ペーストの塗布開始時に吐出部の複数の吐出口４２２から吐出される蛍光体ペーストを基板９の上面９１へと案内する案内部を備え、案内部は、それぞれが主走査方向に伸びるとともに基板９の上面９１に垂直な薄板状である複数の案内板６１１を備える。塗布装置では、吐出部が吐出開始位置に位置する際に、複数の案内板６１１の前方端部６１１２が複数の吐出口４２２から僅かに離間して下方にそれぞれ位置し、蛍光体ペーストの吐出開始時に、当該蛍光体ペーストを基板９側へと案内することにより、吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストが吐出口４２２近傍のノズル４２１表面において滞留して膨らんでしまうことを防止する。これにより、蛍光体ペーストを基板９の上面９１に確実に案内することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板の上面に平行な第１の方向に配列された複数の吐出口から前記基板に向けて流動性材料を連続的に吐出する吐出部と、
前記吐出部を前記第１の方向に垂直かつ前記基板の前記上面に平行な第２の方向に前記基板に対して相対的に移動することにより、前記複数の吐出口から吐出される流動性材料を前記基板上にストライプ状に塗布する移動機構と、
前記基板上における前記吐出部の吐出開始位置において、前記基板と前記吐出部との間に配置され、前記複数の吐出口から吐出される流動性材料を前記基板の前記上面へと案内する案内部と、
を備え、
前記案内部が、
それぞれが前記第２の方向に伸びるとともに前記基板の前記上面に垂直な薄板状であり、前記吐出部が前記吐出開始位置に位置する際に、前記吐出部の相対移動方向側の前方端部が前記複数の吐出口から離間して下方にそれぞれ位置する複数の案内板と、
前記複数の案内板の前記吐出部の前記相対移動方向とは反対側の後方端部が固定される案内板保持部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置であって、
前記複数の案内板の前記前方端部の下端が、前記基板の前記上面に当接することを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の塗布装置であって、
前記基板の前記上面上に前記第２の方向に伸びる複数のリブが前記第１の方向に配列して形成されており、
前記複数の案内板の前記前方端部の高さが前記複数のリブの高さよりも高く、かつ、前記複数の案内板が前記複数のリブ間の複数の溝部内に配置され、
前記吐出部の前記複数の吐出口から、前記複数の溝部に流動性材料が吐出されることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項３に記載の塗布装置であって、
前記基板が、プラズマ表示装置用の基板であり、
前記流動性材料が、プラズマ表示装置の画素形成材料である蛍光体を含むことを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記複数の案内板が、ステンレス鋼により形成されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記複数の案内板が、樹脂により形成されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
請求項６に記載の塗布装置であって、
前記複数の案内板が、樹脂吐出部の複数の吐出口から案内板製造用の補助プレートに紫外線硬化性樹脂を吐出しつつ前記樹脂吐出部を前記複数の吐出口の配列方向に垂直かつ前記補助プレートに平行な方向に移動し、さらに、前記複数の吐出口から吐出された紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射することにより形成されることを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記複数の案内板において、前記前方端部側の部位の表面が、前記後方端部側の部位の表面よりも前記流動性材料に対する親液性が高いことを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記案内部を前記第２の方向に移動して前記前方端部を前記吐出開始位置に対して進退させる案内部進退機構をさらに備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記複数の吐出口のそれぞれが前記基板の前記上面に平行であり、前記第２の方向の長さが、前記第１の方向の幅の１倍以上２０倍以下であることを特徴とする塗布装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記複数の吐出口のピッチが０．７ｍｍ以下であることを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に流動性材料を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プラズマ表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）上の隔壁（すなわち、リブ）間に蛍光体層を形成する手法として、微細な吐出口を有するノズルを走査しつつノズルから蛍光体を含む流動性材料を吐出して隔壁間の溝部に流動性材料を塗布する方法が提案されている。
【０００３】
しかしながら、ノズルの吐出口から吐出された流動性材料は、表面張力により吐出口近傍のノズル表面にて丸まって膨らんでしまい、塗布すべき溝部を挟む隔壁の頂部に付着してしまったり、隣接する溝部に流入してしまう恐れがある。そこで、ノズルから吐出される流動性材料を精度良く溝部に塗布する様々な技術が提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１では、蛍光体液を吐出する各吐出口の周囲に工業用エア等を放出する気体放出口を設け、いわゆるエアカーテンにより、吐出された蛍光体液の液柱が曲がってしまうことを抑制して塗布精度の向上を図る技術が開示されている。
【０００５】
特許文献２および特許文献３では、基板に十分に近接させたノズルの吐出口から少量の蛍光体インキを吐出し、吐出された蛍光体インキをノズルと基板上の隔壁間の溝部内面との間で架橋させた状態で、吐出口を隔壁に沿って走査して隔壁間に蛍光体インキを付与する技術が開示されている。
【０００６】
また、特許文献３の蛍光体層形成装置では、ノズルの走査時に、架橋形成時よりも基板とノズルとの間の距離を大きくすることにより、基板のうねり等に起因する走査中のノズルと基板との接触防止が図られている。一方、特許文献４では、基板のうねりやリブ（隔壁）の高さを計測し、当該計測結果に基づいてノズルを上下動させながら走査することにより、ノズルと基板またはリブとの接触防止が図られている。
【０００７】
特許文献５の蛍光体充填装置では、吐出ノズルの先端部分（すなわち、複数の吐出口のそれぞれ）に、金属線材から成る案内手段が固定されており、当該案内手段の下端部は基板上の隔壁間の溝部に挿入される。蛍光体充填装置では、吐出ノズルの走査中、各吐出口から吐出された蛍光体材料が案内手段を伝わり、当該案内手段の下端部が挿入されている溝部に付与される。
【特許文献１】特開２００１−３５７７８０号公報
【特許文献２】特開平１１−４００６５号公報
【特許文献３】特開平１１−９６９１１号公報
【特許文献４】特開平１０−２７５４３号公報
【特許文献５】特開平１０−２２３１３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１のようなエアカーテンによる制御では、蛍光体液の吐出方向を高精度に制御することが困難であり、塗布精度の向上に限界がある。特許文献２および特許文献３の蛍光体層形成装置では、ノズルと基板上の複数の隔壁とを近接させて蛍光体インキの吐出が開始されるため、複数の吐出口から吐出された蛍光体インキが隔壁間の溝部に流入せずに、毛細管現象によりノズル下面と複数の隔壁の頂部との間の空間において、ノズル下面に沿って広がってしまう恐れがある。
【０００９】
また、特許文献４の蛍光体層形成装置では、ノズルの走査中に、ノズルと基板との間の距離を一定に保つように制御する必要があるため、装置の構造および蛍光体ペーストの塗布工程が複雑化してしまう。
【００１０】
特許文献５の蛍光体充填装置では、ノズルの走査時に、基板のうねり等により案内手段の下端部と基板とが接触してしまう恐れがある。しかしながら、案内手段と基板との接触を避けるために案内手段を基板上面から大きく離してしまうと、案内手段の下端部が隔壁の頂部よりも上方に位置してしまい、案内手段を伝わる蛍光体材料を溝部に精度良く付与することが困難となってしまう。
【００１１】
また、案内手段と基板との接触を防止しつつ案内手段の下端部を隔壁の頂部よりも下方（すなわち、溝部内）に位置させることができたとしても、吐出開始時の案内手段の下端部と基板上面との間の距離は、ある程度以上大きく（少なくとも、基板全体のうねりよりも大きく）する必要があるため、蛍光体材料を基板上面に確実に案内することは難しい。当該蛍光体充填装置では、案内手段がノズルの先端に固定されているため、蛍光体材料の吐出停止後に、案内手段に付着した蛍光体材料が基板上に落下して付着してしまう恐れがある。また、ノズルのメンテナンスも複雑化してしまう。
【００１２】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、吐出部と基板との接触を防止しつつ流動性材料を基板の上面に確実に案内することを主な目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に記載の発明は、基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板の上面に平行な第１の方向に配列された複数の吐出口から前記基板に向けて流動性材料を連続的に吐出する吐出部と、前記吐出部を前記第１の方向に垂直かつ前記基板の前記上面に平行な第２の方向に前記基板に対して相対的に移動することにより、前記複数の吐出口から吐出される流動性材料を前記基板上にストライプ状に塗布する移動機構と、前記基板上における前記吐出部の吐出開始位置において、前記基板と前記吐出部との間に配置され、前記複数の吐出口から吐出される流動性材料を前記基板の前記上面へと案内する案内部とを備え、前記案内部が、それぞれが前記第２の方向に伸びるとともに前記基板の前記上面に垂直な薄板状であり、前記吐出部が前記吐出開始位置に位置する際に、前記吐出部の相対移動方向側の前方端部が前記複数の吐出口から離間して下方にそれぞれ位置する複数の案内板と、前記複数の案内板の前記吐出部の前記相対移動方向とは反対側の後方端部が固定される案内板保持部とを備える。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の塗布装置であって、前記複数の案内板の前記前方端部の下端が、前記基板の前記上面に当接する。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の塗布装置であって、前記基板の前記上面上に前記第２の方向に伸びる複数のリブが前記第１の方向に配列して形成されており、前記複数の案内板の前記前方端部の高さが前記複数のリブの高さよりも高く、かつ、前記複数の案内板が前記複数のリブ間の複数の溝部内に配置され、前記吐出部の前記複数の吐出口から、前記複数の溝部に流動性材料が吐出される。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の塗布装置であって、前記基板が、プラズマ表示装置用の基板であり、前記流動性材料が、プラズマ表示装置の画素形成材料である蛍光体を含む。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布装置であって、前記複数の案内板が、ステンレス鋼により形成されている。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布装置であって、前記複数の案内板が、樹脂により形成されている。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の塗布装置であって、前記複数の案内板が、樹脂吐出部の複数の吐出口から案内板製造用の補助プレートに紫外線硬化性樹脂を吐出しつつ前記樹脂吐出部を前記複数の吐出口の配列方向に垂直かつ前記補助プレートに平行な方向に移動し、さらに、前記複数の吐出口から吐出された紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射することにより形成される。
【００２０】
請求項８に記載の発明は、請求項１ないし７のいずれかに記載の塗布装置であって、前記複数の案内板において、前記前方端部側の部位の表面が、前記後方端部側の部位の表面よりも前記流動性材料に対する親液性が高い。
【００２１】
請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれかに記載の塗布装置であって、前記案内部を前記第２の方向に移動して前記前方端部を前記吐出開始位置に対して進退させる案内部進退機構をさらに備える。
【００２２】
請求項１０に記載の発明は、請求項１ないし９のいずれかに記載の塗布装置であって、前記複数の吐出口のそれぞれが前記基板の前記上面に平行であり、前記第２の方向の長さが、前記第１の方向の幅の１倍以上２０倍以下である。
【００２３】
請求項１１に記載の発明は、請求項１ないし１０のいずれかに記載の塗布装置であって、前記複数の吐出口のピッチが０．７ｍｍ以下である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明では、吐出部と基板との接触を防止しつつ流動性材料を基板の上面に確実に案内することができる。請求項２の発明では、流動性材料を基板の上面により確実に案内することができる。
【００２５】
請求項３および４の発明では、塗布対象の溝部以外への流動性材料の付着を防止することができる。請求項８の発明では、流動性材料が案内板保持部側へと流動することを防止することができる。請求項９の発明では、複数の案内板を吐出開始位置へと容易かつ精度良く配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る塗布装置１の構成を示す図である。塗布装置１は、平面表示装置用のガラス基板に流動性材料を塗布する装置である。本実施の形態では、塗布装置１において、プラズマ表示装置用のガラス基板９（以下、単に「基板９」という。）上に形成された隔壁間の溝部に、画素形成材料である蛍光体を含む流動性材料（以下、「蛍光体ペースト」という。）が塗布される。蛍光体ペーストが塗布された基板９は、他の工程を介してプラズマ表示装置の組立部品であるパネル（通常、リアパネル）となる。
【００２７】
塗布装置１では、基台１１上にステージ移動機構２が設けられ、ステージ移動機構２により、基板９を保持する基板保持部であるステージ２０が、図１中に示すＸ方向（基板９の上面９１に平行な方向であり、以下、「主走査方向」という。）に移動可能とされる。基台１１にはステージ２０を跨ぐようにしてフレーム１２が固定され、フレーム１２にはヘッド移動機構３を介してヘッド部４が取り付けられる。
【００２８】
ステージ移動機構２は、モータ２１にボールねじ２２が接続され、さらに、ステージ２０に固定されたナット２３がボールねじ２２に取り付けられた構造となっている。ボールねじ２２の上方にはガイドレール２４が固定され、モータ２１が回転すると、ナット２３とともにステージ２０がガイドレール２４に沿って主走査方向に滑らかに移動する。これにより、ヘッド部４の後述する吐出部４２が、ステージ２０上の基板９に対して主走査方向に相対移動する。
【００２９】
ヘッド移動機構３はフレーム１２に支持されたモータ３１、モータ３１の回転軸に接続されたボールねじ３２、および、ボールねじ３２に取り付けられたナット３３を有し、モータ３１が回転することにより、ナット３３が図１中のＹ方向（基板９の上面９１に平行、かつ、主走査方向に垂直な方向であり、以下、「副走査方向」という。）に移動する。ナット３３にはヘッド部４のベース４０が取り付けられ、これにより、ヘッド部４が副走査方向に移動可能とされる。ベース４０はフレーム１２に固定されたガイドレール３４に接続され、ガイドレール３４により滑らかに案内される。
【００３０】
ヘッド部４は、基板９に向けて蛍光体ペーストを連続的に吐出する吐出部４２を備え、吐出部４２はベース４０に固定される昇降機構４１の下部に取り付けられる。吐出部４２の下面には、副走査方向に配列された複数の吐出口を有するノズル４２１が着脱可能に取り付けられる。吐出部４２には逆止弁４４１を有する供給管４４２が取り付けられ、供給管４４２は分岐しており、一方がポンプ４４３に接続され、他方が制御弁４４４を介して蛍光体ペーストを貯溜するタンク４４５に接続される。
【００３１】
図２はノズル４２１の先端近傍を拡大して示す正面図であり、図３はノズル４２１の底面図である。図３に示すように、ノズル４２１の下面に形成された複数の矩形状の吐出口４２２は、等ピッチ（本実施の形態では、約０．５ｍｍピッチ）にて副走査方向に配列されており、複数の吐出口４２２のそれぞれは、図２に示すように、基板９の上面９１、および、当該上面９１上において副走査方向に配列して形成されて主走査方向に伸びるストライプ状の複数の隔壁（以下、「リブ」という。）９２の頂部に平行とされる。また、ノズル４２１では、基板９の上面９１に略垂直に伸びる流路４２３が各吐出口４２２に連絡しており、流路４２３を経由して吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストは、リブ９２間の溝部９３に塗布される。図２では、図示の都合上、吐出口４２２、流路４２３、リブ９２および溝部９３のそれぞれ１つのみに符号を付している。
【００３２】
本実施の形態では、各吐出口４２２の主走査方向の長さは１ｍｍとされ、副走査方向の幅は０．０７ｍｍとされる（すなわち、主走査方向の長さが副走査方向の幅の約１４．３倍とされる。）。また、リブ９２のＺ方向の高さは約０．１５ｍｍであり、リブ９２の頂部とノズル４２１の下面との間のＺ方向に関する距離は約０．２ｍｍとされる。リブ９２の副走査方向のピッチ（溝部９３の副走査方向のピッチでもある。）は、上述の吐出口４２２の副走査方向のピッチの１／３（すなわち、約０．１６ｍｍ）であり、隣接する２つの吐出口４２２と対応する２つの溝部９３の間には、他の色の蛍光体ペーストが塗布される２つの溝部９３が挟まれる。
【００３３】
図１に示す塗布装置１では、基板９に対する蛍光体ペーストの塗布を開始する際には、ステージ２０が図１中に二点鎖線にて示す位置へと移動し、吐出部４２が基板９の（−Ｘ）側のエッジ近傍へと位置する。以下の説明では、吐出部４２の基板９に対する当該相対位置を、「吐出開始位置」という。そして、ノズル４２１から蛍光体ペーストが吐出されるとともに、ステージ移動機構２により基板９がステージ２０と共に（−Ｘ）方向へと移動されることにより（すなわち、吐出部４２が基板９に対して（＋Ｘ）方向に相対移動されることにより）、複数の吐出口４２２（図２参照）から吐出される蛍光体ペーストが基板９上の複数のリブ９２間の複数の溝部９３（図２参照）にストライプ状に塗布される。
【００３４】
塗布装置１は、ステージ２０の（−Ｘ）側に、蛍光体ペーストの塗布開始時に吐出部４２の複数の吐出口４２２から吐出される蛍光体ペーストを基板９の上面９１へと案内する案内部６１を備える。案内部６１は、基板９上における吐出部４２の吐出開始位置において、基板９と吐出部４２との間に配置される。また、塗布装置１は、案内部６１の（−Ｘ）側においてステージ２０上に固定されるとともに案内部６１を主走査方向に移動する案内部進退機構６２、および、案内部進退機構６２を案内部６１と共に副走査方向に移動する案内部副走査機構６３をさらに備える。案内部副走査機構６３としては、例えば、リニアモータが利用される。
【００３５】
図４．Ａおよび図４．Ｂは、案内部６１を拡大して示す正面図および平面図である。図４．Ａおよび図４．Ｂに示すように、案内部６１は、それぞれが主走査方向に伸びるとともに基板９の上面９１（図１参照）に垂直な薄板状である複数（ノズル４２１の吐出口４２２の個数以上であり、本実施の形態では、吐出口４２２の個数と等しい。）の案内板６１１、および、副走査方向に等ピッチにて配列された複数の案内板６１１の（−Ｘ）側の端部６１１１が固定される角柱状の案内板保持部６１２を備える。以下の説明では、図４．Ａに示す各案内板６１１の（−Ｘ）側の端部６１１１（すなわち、吐出部４２の基板９に対する相対移動方向とは反対側の端部）を、「後方端部６１１１」という。また、各案内板６１１の（＋Ｘ）側の端部６１１２（すなわち、吐出部４２の基板９に対する相対移動方向側の端部）を、「前方端部６１１２」という。複数の案内板６１１の副走査方向のピッチは、ノズル４２１における吐出口４２２の副走査方向のピッチと等しく、本実施の形態では、約０．５ｍｍとされる。
【００３６】
各案内板６１１は、Ｘ方向の長さが約６ｍｍであり、Ｙ方向の厚さが０．０５ｍｍのステンレス鋼により形成されている。各案内板６１１の中央部よりも（−Ｘ）側の部位（すなわち、後方端部６１１１側の部位であり、以下、「後方部６１１３」という。）のＺ方向の高さは約３ｍｍとされ、（＋Ｘ）側の部位（すなわち、前方端部６１１２側の部位であり、以下、「前方部６１１４」という。）のＺ方向の高さは０．３ｍｍとされる。また、前方部６１１４および後方部６１１３のＸ方向の長さはそれぞれ、約３ｍｍとされる。各案内板６１１では、後方部６１１３の表面がフッ素樹脂（例えば、テフロン（登録商標））により被覆されており、前方部６１１４の表面が後方部６１１３の表面よりも蛍光体ペーストに対する親液性が高くなっている。
【００３７】
図５は、案内部６１および案内部進退機構６２近傍を拡大して示す正面図である。図５では、ステージ２０上の基板９、および、吐出開始位置に位置する吐出部４２も併せて描いている。図５に示すように、案内部進退機構６２は、案内部６１の案内板保持部６１２の（−Ｘ）側に取り付けられるロッド６２１、および、高圧エアを利用してロッド６２１をＸ方向に移動するエアシリンダ６２２を備える。塗布装置１では、案内部進退機構６２が駆動されることにより、案内部６１がＸ方向に移動し、案内板６１１の前方端部６１１２が吐出開始位置に対して進退する。
【００３８】
次に、塗布装置１による蛍光体ペーストの塗布の流れについて説明する。基板９に蛍光体ペーストが塗布される際には、まず、基板９がステージ２０上に保持され、ステージ移動機構２によりステージ２０が移動して吐出部４２が吐出開始位置に位置する。続いて、図５に示す案内部進退機構６２により、案内部６１が、図５中に二点鎖線にて示す退避位置から実線にて示す案内位置へと（＋Ｘ）方向に移動し、複数の案内板６１１の前方部６１１４が、基板９上の複数のリブ９２間に（−Ｘ）側から挿入されて溝部９３内に配置される。上述のように、副走査方向における案内板６１１のピッチは、吐出口４２２のピッチと同様に、溝部９３のピッチの３倍とされるため、隣接する２枚の案内板６１１の前方部６１１４が配置された２つの溝部９３の間には、案内板６１１が挿入されていない２つの他の溝部９３が挟まれている。
【００３９】
図６は、案内位置における案内板６１１の前方部６１１４近傍を拡大して示す正面図である。図６に示すように、各案内板６１１では、前方端部６１１２を含む前方部６１１４の下端が、基板９の上面９１に当接している。上述のように、前方部６１１４およびリブ９２の高さはそれぞれ０．３ｍｍおよび０．１５ｍｍである。このように、複数の案内板６１１の前方端部６１１２の高さは複数のリブ９２の高さよりも高いため、図６に示すように、前方端部６１１２の上側（すなわち、（＋Ｚ）側））のエッジはリブ９２の頂部よりも上方に突出している。また、前方端部６１１２の上側のエッジは、ノズル４２１の吐出口４２２から離間して当該吐出口４２２の下方に位置する。
【００４０】
案内部６１が案内位置に配置されると、吐出開始位置に位置したノズル４２１からの蛍光体ペーストの吐出が開始される。各吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストは、吐出口４２２に近接して配置された案内板６１１の前方部６１１４に接触し、親液性の前方部６１１４の表面に沿って溝部９３内へと移動して基板９の上面９１に付与される。
【００４１】
図１に示す塗布装置１では、蛍光体ペーストの吐出開始とおよそ並行して吐出部４２の（＋Ｘ）方向への相対移動が開始され、複数の吐出口４２２から蛍光体ペーストを連続的に吐出しつつ吐出部４２が主走査方向に相対移動することにより、案内板６１１が配置された複数の溝部９３に蛍光体ペーストが連続的に吐出される。このとき、吐出口４２２の下方には案内板は存在していないが、吐出開始位置において蛍光体ペーストが溝部９３内における基板９の上面９１に付着しているため、吐出口４２２から溝部９３へと蛍光体ペーストが連続する状態で、蛍光体ペーストが安定して溝部９３内に吐出される。そして、吐出部４２が基板９上の（＋Ｘ）側の吐出終了位置に位置すると、蛍光体ペーストの吐出、および、吐出部４２の主走査方向における相対移動（すなわち、ステージ２０の移動）が停止される。
【００４２】
基板９上において、当該蛍光体ペーストの塗布が終了していない溝部９３が有る場合には、吐出部４２が、吐出開始位置へと戻されるとともにヘッド移動機構３により副走査方向に移動される。また、案内部６１が、案内部進退機構６２により退避位置へと移動され、さらに、案内部副走査機構６３により副走査方向へと移動される。その後、案内部６１が案内位置へと移動され、上記と同様の蛍光体ペーストの塗布が行われる。実際には、塗布装置１では、他の色の吐出部も設けられ、上記処理がＲＧＢ３色のそれぞれに対して繰り返されて当該３色の蛍光体ペーストの塗布が順次行われる。
【００４３】
以上に説明したように、塗布装置１では、吐出部４２が吐出開始位置に位置する際に、複数の案内板６１１の前方端部６１１２が複数の吐出口４２２から僅かに離間して下方にそれぞれ位置し、蛍光体ペーストの吐出開始時に、吐出口４２２から連続する蛍光体ペーストを基板９側へと案内することにより、吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストが吐出口４２２近傍のノズル４２１表面において丸まって膨らんでしまうことを防止する。これにより、蛍光体ペーストを基板９の上面９１に確実に案内することができる。そして、吐出口４２２から連続する蛍光体ペーストが基板９上の所定の位置に精度良く付与された状態で、蛍光体ペーストを連続的に吐出する吐出部４２を主走査方向に相対移動する（すなわち、主走査する）ことにより、蛍光体ペーストを位置精度良く基板９上に塗布することができる。
【００４４】
また、塗布装置１では、吐出部４２が複数の案内板６１１とは独立して移動可能とされることにより、吐出部４２が基板９に対して主走査される際に、吐出部４２と溝部９３との間に他の構造を配置することなく、吐出部４２と基板９の上面９１との間の距離を十分に確保することができる。その結果、吐出部４２の主走査時に、吐出部４２と基板９との接触を防止することができる。さらには、吐出部４２が複数の案内板６１１から独立していることにより、案内板が吐出部に取り付けられた構造に比べて、吐出部４２のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００４５】
塗布装置１では、案内位置において、複数の案内板６１１の前方端部６１１２の下端が基板９の上面９１に当接していることにより、吐出部４２からの蛍光体ペーストを基板９の上面９１により確実に案内することができる。また、前方端部６１１２の高さがリブ９２の高さよりも高く、前方端部６１１２がリブ９２の頂部よりも上方に突出していることにより、吐出部４２からの蛍光体ペーストがリブ９２の頂部の高さに到達するよりも前に、当該蛍光体ペーストを案内板６１１の前方端部６１１２に接触させて基板９側へと案内することができる。
【００４６】
これにより、蛍光体ペーストをリブ９２間の溝部９３内に確実に案内することができ、塗布対象の溝部９３以外への蛍光体ペーストの付着（例えば、リブ９２の頂部への蛍光体ペーストの付着や隣接する他の溝部９３への蛍光体ペーストの流入）を確実に防止することができる。その結果、蛍光体ペーストをリブ９２間の溝部９３に精度良く塗布することができる。したがって、塗布装置１は、高精細な画素配置が要求されるプラズマ表示装置用の基板に対する蛍光体ペーストの塗布に特に適している。
【００４７】
案内部６１では、複数の案内板６１１が、強度が高いステンレス鋼により形成されていることにより、案内板６１１の溝部９３への挿入時等に案内部６１の取り扱いを容易とすることができる。また、吐出口４２２の下方に位置する各案内板６１１の前方部６１１４の表面が、吐出部４２の相対移動方向とは反対側の後方部６１１３の表面よりも親液性が高くされることにより、前方部６１１４により案内された蛍光体ペーストが、後方部６１１３を伝わって案内板保持部６１２側へと流動することを防止することができる。その結果、１つの吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストが、隣接する吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストと案内板保持部６１２側に流れ出して合流してしまうことを防止することができる。
【００４８】
塗布装置１では、案内部６１を吐出部４２の吐出開始位置に対して進退させる案内部進退機構６２が設けられることにより、複数の案内板６１１の前方端部６１１２を当該吐出開始位置における吐出部４２の下方（すなわち、案内位置）へと容易かつ精度良く配置することができる。
【００４９】
ところで、吐出口のピッチが小さい塗布装置では、ピッチが大きい塗布装置に比べて、隣接する吐出口からの蛍光体ペーストがノズル表面にて膨らんで合体して合流状態となってしまい、正常な塗布が行われなくなる可能性が高い。本実施の形態に係る塗布装置１は、上述のように、各吐出口４２２からの蛍光体ペーストがノズル４２１の表面にて丸まって膨らんでしまうことを防止することができるため、複数の吐出口のピッチが比較的小さい（例えば、吐出口のピッチが０．７ｍｍ以下である）ノズルを備える塗布装置に特に適している。
【００５０】
蛍光体ペーストの塗布装置では、ノズルからの吐出量を増大させて塗布速度を向上するために吐出口の大型化が求められるが、塗布の位置精度向上の観点から、吐出口の副走査方向の幅は溝部の幅よりも大幅に大きくすることはできないため、通常、吐出口の主走査方向の長さを長くすることにより開口面積が確保される。本実施の形態に係る塗布装置１では、吐出口４２２の主走査方向の長さは、好ましくは、副走査方向の幅の１倍以上２０倍以下（より好ましくは、２倍以上１５倍以下）とされる。塗布装置１では、吐出口４２２の形状に関わらず、各吐出口４２２の主走査方向の全長に亘って蛍光体ペーストが滞留して丸まることを防止して蛍光体ペーストを基板９の上面９１に確実に案内することができる。
【００５１】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る塗布装置について説明する。第２の実施の形態に係る塗布装置では、案内部の複数の案内板が紫外線硬化性樹脂により形成されている。その他の構成は、図１ないし図６に示す塗布装置１と同様であり、以下の説明において同符号を付す。
【００５２】
図７は、第２の実施の形態に係る塗布装置の複数の案内板を製造する案内板製造装置の一部を示す図である。案内板製造装置は、案内板製造用の補助プレート８１上にペースト状の紫外線硬化性樹脂を吐出する樹脂吐出部８２、および、補助プレート８１に向けて紫外線を出射する光照射部８３を備える。樹脂吐出部８２の下面には、紙面に垂直な方向に配列された複数の吐出口８４が形成されている。光照射部８３は、樹脂吐出部８２の左側において補助プレート８１に向かって光を出射し、各吐出口８４に対応する光のスポットを補助プレート８１上に形成する。
【００５３】
案内板製造装置では、樹脂吐出部８２および光照射部８３の左側に、案内部６１の案内板保持部６１２（図４参照）となる角柱状の部材６１２ａが補助プレート８１上に載置される。そして、部材６１２ａの右側の側面近傍において、樹脂吐出部８２の複数の吐出口８４から紫外線硬化性樹脂６１１ａの吐出が開始され、吐出された紫外線硬化性樹脂６１１ａが部材６１２ａの右側の側面に付着する。
【００５４】
続いて、樹脂吐出部８２が、複数の吐出口８４から補助プレート８１上に紫外線硬化性樹脂６１１ａを吐出しつつ図７中の右側（すなわち、複数の吐出口８４の配列方向に垂直かつ補助プレート８１に平行な方向）に移動するとともに、複数の吐出口８４から吐出された紫外線硬化性樹脂６１１ａに光照射部８３から紫外線が照射される。これにより、図７中に二点鎖線にて示すように、補助プレート８１上に吐出された紫外線硬化性樹脂６１１ａが硬化して案内部６１の複数の案内板６１１が形成される。その後、複数の案内板６１１が補助プレート８１から分離されて案内部６１の製造が終了する。案内板製造装置では、複数の案内板６１１を容易かつ精度良く形成することができる。
【００５５】
以上のようにして製造された案内部６１を利用する第２の実施の形態に係る塗布装置においても、第１の実施の形態と同様に、吐出開始位置において複数の吐出口４２２と基板９の上面９１（図６参照）との間に配置された複数の案内板により、吐出開始時に吐出口４２２から吐出された蛍光体ペーストを基板９の上面９１に確実に案内することができる。その結果、蛍光体ペーストを位置精度良く基板９上に塗布することができる。
【００５６】
第２の実施の形態に係る塗布装置では、特に、複数の案内板が可撓性を有する樹脂により形成されるため、吐出部４２のノズル４２１（図６参照）が万一案内板に接触することがあっても、ノズル４２１および案内板の損傷を防止することができる。
【００５７】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００５８】
第１の実施の形態に係る塗布装置では、案内板６１１を案内位置に配置する際に、必ずしも、案内部６１が案内部進退機構６２により主走査方向に移動される必要はなく、例えば、吐出部４２が吐出開始位置から退避している状態で、案内部６１が基板９の上方から（−Ｚ）方向に移動されることにより案内板６１１が案内位置に配置されてもよい。また、案内部６１は、作業者により案内板６１１を溝部９３に挿入しつつ基板９の（−Ｘ）側に載置されてもよい。この場合、案内部進退機構６２は省略される。
【００５９】
塗布装置１の吐出部４２のノズル４２１では、各吐出口４２２に連続する流路４２３は、必ずしも基板９の上面９１に略垂直である必要はなく、例えば、吐出口４２２から離れるに従って吐出部４２の相対移動方向側（すなわち、（＋Ｘ）側）に傾斜してもよい。
【００６０】
第２の実施の形態に係る塗布装置では、複数の案内板は必ずしも紫外線硬化性樹脂により形成される必要はなく、他の樹脂（好ましくは、光により硬化する樹脂）により形成されてもよい。
【００６１】
上記実施の形態に係る塗布装置では、案内部６１の複数の案内板６１１は、１回または所定の回数だけ使用される毎に必要に応じて洗浄または交換されることが好ましい。
【００６２】
塗布装置は、プラズマ表示装置以外の他の平面表示装置用の基板や他の様々な基板に対する流動性材料の塗布に利用されてもよい。例えば、塗布装置により、基板上に流動性を有する電極材料が塗布されてバス電極が形成されてもよい。この場合、基板上にリブが存在していない状態で流動性材料の塗布が行われる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】第１の実施の形態に係る塗布装置の構成を示す図である。
【図２】ノズルの先端近傍を拡大して示す正面図である。
【図３】ノズルの底面図である。
【図４．Ａ】案内部を拡大して示す正面図である。
【図４．Ｂ】案内部を拡大して示す平面図である。
【図５】案内部および案内部進退機構近傍を拡大して示す正面図である。
【図６】案内板の前方部近傍を拡大して示す正面図である。
【図７】第２の実施の形態に係る塗布装置の複数の案内板を製造する案内板製造装置の一部を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１    塗布装置
２    ステージ移動機構
９    基板
２０    ステージ
４２    吐出部
６１    案内部
６２    案内部進退機構
８１    補助プレート
８２    樹脂吐出部
８４    吐出口
９１    上面
９２    リブ
９３    溝部
４２２    吐出口
６１１    案内板
６１１ａ    紫外線硬化性樹脂
６１２    案内板保持部
６１１１    後方端部
６１１２    前方端部
【図１】
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【図２】
2008093592.tif 000004
【図３】
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【図４．Ａ】
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【図４．Ｂ】
2008093592.tif 000007
【図５】
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【図６】
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【図７】
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