(57)【要約】【課題】拡散的検査用光束が生成でき、蓋体表面に付着するごみが、受光領域に影を生成することにより、誤判断させることを回避できるイメージセンサの検査装置を提供する。【解決手段】イメージセンサの検査装置４９０であって、光束拡散シート４８０により、光源４７０からの光束１３０を多方向の拡散光束４７４になって、イメージセンサ１００の受光領域１２０に投射する。もしも、ある方向からの光束１３０が透光蓋体１５０の表面のごみ２６０によって遮断され、受光領域１２０のあるポイントに到着できなくても、他の方向の光束１３０は上記ポイントに到着できる。従って、ごみ２６０によって生成する影がなくなり、誤判断の可能性が大きく低下する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部からの光信号を受光する受光領域を有するイメージセンサの検査装置であって、
光束を生成する光源と、
前記光源からの光束を拡散光束になって、前記イメージセンサの前記受光領域に投射する光束拡散シートと、を備えるイメージセンサの検査装置。
【請求項２】
前記光束拡散シートは、プリズムシート、フレネルレンズ及びバイナリ型回折格子のいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記載のイメージセンサの検査装置。
【請求項３】
前記光束拡散シートの上流又は下流に設置する偏光シートをさらに備えることを特徴とする請求項２に記載のイメージセンサの検査装置。
【請求項４】
前記光束拡散シートはプリズムシートであり、前記プリズムシートの頂角が５度から１７５度の範囲内にあり、また、前記プリズムシートのピッチが１５μｍから１００μｍの範囲内にあることを特徴とする請求項２に記載のイメージセンサの検査装置。
【請求項５】
外部からの光信号を受光する受光領域を有するイメージセンサの検査方法であって、
光源によって光束を生成する工程と、
光束拡散シートにより、前記光源からの前記光束を拡散光束として、前記イメージセンサの前記受光領域に投射する工程と、を備えるイメージセンサの検査方法。
【請求項６】
前記光束拡散シートは、プリズムシート、フレネルレンズ及びバイナリ型回折格子のいずれか一つであることを特徴とする請求項５に記載のイメージセンサの検査方法。
【請求項７】
前記光束拡散シートの上流又は下流に偏光シートを設置する工程をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載のイメージセンサの検査方法。
【請求項８】
前記光束拡散シートがプリズムシートであり、前記プリズムシートの頂角が５度から１７５度の範囲内であり、また、前記プリズムシートのピッチが１５μｍから１００μｍの範囲内であることを特徴とする請求項６に記載のイメージセンサの検査方法。
【請求項９】
外部からの光信号を受光する受光領域を有するイメージセンサの検査設備であって、
前記イメージセンサと電気的に接続する検査機器と、
光束を生成する光源と、
前記光源からの前記光束を拡散光束として、前記イメージセンサの前記受光領域に投射する光束拡散シートと、を備えるイメージセンサの検査設備。
【請求項１０】
前記光束拡散シートは、プリズムシート、フレネルレンズ及びバイナリ型回折格子のいずれか一つであることを特徴とする請求項９に記載のイメージセンサの検査設備。
【請求項１１】
前記光束拡散シートの上流又は下流に設置する偏光シートをさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載のイメージセンサの検査設備。
【請求項１２】
前記光束拡散シートはプリズムシートであり、前記プリズムシートの頂角が５度から１７５度の範囲内であり、また、前記プリズムシートのピッチが１５μｍから１００μｍの範囲内にあることを特徴とする請求項１０に記載のイメージセンサの検査設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、イメージセンサの検査装置、検査方法及び検査設備に関し、特に、拡散光束を利用して、イメージセンサを検査する装置、方法及び設備に関する。
【０００２】
本願発明は、ここに引用して本明細書に組み込む出願日２００６年９月８日の台湾出願第０９５１３３１７５号における全開示内容に係り優先権主張するものである。
【背景技術】
【０００３】
図１に示すように、従来のイメージセンサ１００は、基板１１０を有している。基板１１０の上表面１１２に、画像光束１３０を受光するための受光領域１２０があり、その下表面１１４に、複数の隆起１４０が設けられており、これによって受光領域１２０で検知した画像信号を外部に伝送する。受光領域１２０が外部からのごみ等で汚れないために、通常その上に透光蓋体１５０を設置し、受光領域１２０を保護する。
【０００４】
図２に示すように、イメージセンサ１００の性能を検査するために、平行光束２３０が検査用光源にして、透光蓋体１５０を通過させて、受光領域１２０に投射する。透光蓋体１５０の表面にごみ２６０があると、例えばほこりや染み等、入射する平行光束２３０がそのごみ２６０で遮断され、受光領域１２０に影を生成し、検査システムに誤判断させる可能性がある。これを鑑みて、図３ａ及び３ｂを参照し、当業界では、レンズ２７０を使い、平行光束２３０を収束光束２３０ａ、或いは発散光束２３０ｂになる。この収束光束２３０ａ或いは発散光束２３０ｂが、斜めに透光蓋体１５０及び受光領域１２０に投射される。これによって、透光蓋体１５０の表面に付着しているごみ２６０によって受光領域１２０に生成する影が小さくなる。
【０００５】
しかし、収束光束２３０ａ又は発散光束２３０ｂのどちらを使っても、受光領域１２０にある各々のポイントは、ある特定の方向の光束だけを受光できる。もしこの特定の方向の光束が前記透光蓋体１５０の表面のごみ２６０で遮断されると、受光領域１２０に依然として影が生じ、検査システムに誤判断させる可能性が残っている。
【０００６】
これを鑑みて、上述した問題を解消するためのイメージセンサの検査装置及び検査方法を提供する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、拡散的検査用光束が生成でき、蓋体表面に付着するごみが、受光領域に影を生成することにより、誤判断させることを回避できるイメージセンサの検査装置を提供することである。一実施例において、本発明のイメージセンサの検査装置は、光源と光束拡散シートとを備える。光束拡散シートは、光源からの光束を拡散光束として、イメージセンサの受光領域に投射する。
【０００８】
本発明の他の目的は、イメージセンサの検査装置と、イメージセンサに電気的に接続して、受光領域で検知した画像信号を受け取る検査機器とを備えるイメージセンサの検査設備を提供することである。
【０００９】
本発明のさらなる目的は、イメージセンサの検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のイメージセンサの検査装置、検査方法及び検査設備では、光束拡散シートを使用する。この光束拡散シートによって転換された拡散光束をイメージセンサに投射し、これによって、受光領域にあるポイントで受光した検査用光束は、複数の方向から来るものになる。たとえある方向からの光束は透光蓋体の表面のごみで遮断されても、他の方向の光束は前記ポイントに到着できる。従って、ごみによって生成する影がなくなり、誤判断の可能性を大きく下げる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のイメージセンサの検査装置は、光束拡散シートを使用することにより、光束拡散シートに転換された拡散光束を多方向からイメージセンサに投射させる。受光領域にあるポイントで受光した検査用光束が、多方向からきたものになる。もしある方向の光束は透光蓋体の表面にあるごみによって遮断されても、他の方向の光束は上記ポイントに到着できる。従って、ごみによって生成する影がなくなり、誤判断の可能性が大きく低下する。また、大面積の光束拡散シートと適当の光源とを組み合わせて使用する場合、同時に複数のイメージセンサを検査することができ、検査時間を短縮し、かつ検査のコストも削減する。
【００１２】
この発明のさらなる目的、特徴および利点は、添付図面に関連して行われる以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の目的、特徴および利点を添付図面に基づいて説明する。
【００１４】
図４に示すように、本発明のイメージセンサの検査設備４００は、イメージセンサの検査装置４９０を有する。イメージセンサの検査装置４９０は、光源４７０と、光源４７０からの光束４８０を拡散光束４７４になる光束拡散シート４８０と、を備える。
【００１５】
拡散光束４７４を使用して、イメージセンサ１００の性能を検査する場合、イメージセンサ１００の複数の隆起１４０が、検査機器４９５に電気的に接続し、そして拡散光束４７４を受光領域１２０に投射させる。受光領域１２０で検知した画像信号が、隆起１４０によって検査機器４９５に伝送される。
【００１６】
光束拡散シート４８０によって転換された拡散光束４７４は、多方向からイメージセンサ１００に投射して、検査用光束とする。これによって、受光領域１２０にあるポイントで受光した拡散光束４７４は、複数の方向から来たものになる。ある方向からの光束はごみ２６０で遮断されても、他の方向の光束はポイントに到着できる。従って、ごみ２６０によって生成される影がなくなり、検査機器４９５が誤判断する可能性を大きく下げる。
【００１７】
図５ａ、５ｂ及び５ｃに示すように、本発明に係る光束拡散シート４８０は、例えばプリズムシート４８０ａ、フレネルレンズ４８０ｂ、及びバイナリ型回折格子４８０ｂのユニット等の複数の規則的繰り返し、又は交互に繰り返すユニットから構成されることができる。光束拡散シート４８０は、プリズムシート４８０ａである場合、その頂角が５度と１７５度との間にあり、また、そのプリズムのピッチは１５μｍから１００μｍの範囲内にある。
【００１８】
なお、図６ａ、６ｂ及び６ｃに示すように、光束拡散シート４８０は、均一拡散シート４８２ａや偏光シート４８２ｂ等とを組み合わせて、複数の規則的繰り返し、又は交互に繰り返すユニットを構成する。均一拡散シート４８２ａと一緒に使う場合、均一拡散シート４８２ａは、光源４７０と光束拡散シート４８０との間に設置し、光源４７０からの光束４７２をより均一にする。これで、光束拡散シート４８０を通過する拡散光束４７４が、より均一になる。偏光シート４８２ｂと一緒に使う場合は、偏光シート４８２ｂは光束拡散シート４８０の上流、又は下流に設置し、光源４７０からの光束４７２をＰ状態、或いはＳ状態の拡散光束４７４になる。これによって、本発明は、ＬＣＯＳチップ、又は液晶ティスプレーに内装する色調整用のセンサーを検査することができ、ごみ２６０による影響を回避する。
【００１９】
なお、本発明は本実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させることが可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来のイメージセンサを示す説明図である。
【図２】図１のイメージセンサの蓋の表面に、ごみが付着していることを示す説明図である。
【図３ａ】従来のイメージセンサの検査装置であって、そこで、イメージセンサの受光領域に投射する検査用光束は、収束光束であることを示す説明図である。
【図３ｂ】従来のイメージセンサの検査装置であって、そこで、イメージセンサの受光領域に投射する検査用光束は、発散光束であることを示す説明図である
【図４】本発明に係るイメージセンサの検査設備を示す説明図である。
【図５ａ】本発明に係る光束拡散シートとしてのプリズムシートを示す説明図である。
【図５ｂ】本発明に係る光束拡散シートとしてのフレネルレンズを示す説明図である。
【図５ｃ】本発明に係る光束拡散シートとしてのバイナリ型回折格子を示す説明図である。
【図６ａ】本発明に係る光束拡散シートと均一拡散シートとを組み合わせて使用することを示す説明図である。
【図６ｂ】本発明に係る光束拡散シートと偏光シートとを組み合わせて使用することを示す説明図であって、そこで、偏光シートが光束拡散シートの上流に設置してある。
【図６ｃ】本発明に係る光束拡散シートと偏光シートとを組み合わせて使用することを示す説明図であって、そこで、偏光シートが光束拡散シートの下流に設置してある。
【符号の説明】
【００２１】
１００  イメージセンサ
１１０  基板
１１２  上表面
１１４  下表面
１２０  受光領域
１３０  光束
１４０  隆起
１５０  透光蓋体
２３０  光束
２３０ａ  収束光束
２３０ｂ  発散光束
２６０  ごみ
２７０  レンズ
４００  イメージセンサの検査設備
４７０  光源
４７２  光束
４７４  拡散光束
４８０  光束拡散シート
４８０ａ  プリズムシート
４８０ｂ  フレネルレンズ
４８０ｃ  バイナリ型回折格子
４８２ａ  均一拡散シート
４８２ｂ  偏光シート
４９０  イメージセンサの検査装置
４９５  検査機器
Ｐ  プリズムのピッチ
q  プリズムの頂角
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図５ｃ】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図６ｃ】
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