(57)【要約】      （修正有）【課題】ＰＤＰの基板重ね合わせ工程において、硬質のシール剤を使用する場合は、前面基板を背面基板に塗布されたシール剤に押圧させると基板が破損するおそれがある。【解決手段】上下に重ね合わせる２枚の基板のうち、背面基板は固定された上ステージ１９でその上面を保持し、前面基板は上下動可能な下ステージ１３及び下ステージに設けられたずれ防止ユニット１８でその下面を保持する。下ステージ１３を上昇させて基板間がわずかな隙間になるまで近接させ、下ステージ１３の上昇を停止させて下ステージ１３の保持を解除する。下ステージ１３から独立してずれ防止ユニット１８を微細に上昇させて前面基板を背面基板に当接させる。【選択図】図３
2008243424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
何れか一方にシール剤が塗布された第１及び第２の基板を重ね合わせてクリップ装着するパネル組立装置において、
前記第１の基板の上面を保持する上ステージと、前記上ステージより下方に位置して上下動可能な前記第２の基板の下面を保持する下ステージと、前記下ステージに設けられて前記第二の基板の下面を保持し、前記下ステージとは独立して上下動可能なずれ防止ユニットとを有することを特徴とするパネル組立装置。
【請求項２】
前記上ステージは固定され、前記下ステージは上下動可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３】
前記ずれ防止ユニットは、前記下ステージよりも微細に上下動が可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４】
前記ずれ防止ユニットは、微細なトルク制御が可能であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項５】
前記ずれ防止ユニットは、シリンダーによって上下動することを特徴とする請求項１〜３の何れか１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項６】
前記上ステージ、下ステージ及びずれ防止ユニットは、前記第１または第２の基板を保持するための吸着機構を有することを特徴とする請求項１〜５の何れか１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項７】
前記第１及び第２の基板の重ね合わせズレを補正するために前記下ステージを水平方向に移動させる第１のテーブルを有することを特徴とする請求項１〜６の何れか１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項８】
前記上ステージは、前記吸着機構を上下動させる上下ユニットを備えることを特徴とする請求項７記載の重ね合わせ装置。
【請求項９】
前記下ステージ又は上ステージに、前記第１及び第２の基板に付されたマークを撮像して重ね合わせズレ量を計測するカメラを備えることを特徴とする請求項１〜８の何れか１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１０】
前記マークを適切に撮像するために前記カメラを水平方向に移動させる第２のテーブルを有することを特徴とする請求項９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１１】
重ね合わせる２枚の基板の外側面をそれぞれ上下方向から保持し、前記２枚の基板間がわずかな隙間になるまで近接させ、その後、より微細な動作で前記２枚の基板を当接させることを特徴とする重ね合わせ方法。
【請求項１２】
重ね合わせる２枚の基板の外側面をそれぞれ上下方向から上ステージ及び下ステージで保持し、前記２枚の基板間がわずかな隙間になるまで近接させ、その後、前記上ステージ及び下ステージとは独立して動作するずれ防止ユニットによってより微細な動作で前記２枚の基板を当接させることを特徴とする重ね合わせ方法。
【請求項１３】
上下に重ね合わせる２枚の基板のうち、上側にある一方の基板は固定された上ステージでその上面を保持し、下側にある他方の基板は上下動可能な下ステージ及び下ステージに設けられたずれ防止ユニットでその下面を保持し、前記下ステージを上昇させて前記２枚の基板間がわずかな隙間になるまで近接させると、前記下ステージの上昇を停止させて前記下ステージの保持を解除し、前記下ステージから独立して前記ずれ防止ユニットを微細に上昇させて一方の基板を他方の基板に当接させることを特徴とする重ね合わせ方法。
【請求項１４】
前記ずれ防止ユニットを上昇させる前に、基板の重ね合わせ位置のズレを計測し、位置合わせを行うことを特徴とする請求項１２又は１３に記載の重ね合わせ方法。
【請求項１５】
基板の重ね合わせ位置のズレは、それぞれの基板に付されたマークをカメラで撮像して画像処理により計測することを特徴とする請求項１４に記載の重ね合わせ方法。
【請求項１６】
前記カメラでマークを撮像する際に、マークが前記カメラの撮像範囲になるように水平方向に移動させることを特徴とする請求項１５に記載の重ね合わせ方法。
【請求項１７】
前記上ステージ、下ステージ及びずれ防止ユニットは、吸着機構により基板を吸着して保持することを特徴とする請求項１１〜１６に記載の重ね合わせ方法。
【請求項１８】
前記吸着機構は吸着パッドであることを特徴とする請求項１７に記載の重ね合わせ方法。
【請求項１９】
前記上ステージは前記吸着機構を上下動させる上下ユニットを備え、当該上下ユニットを下降させて前記他方の基板を保持することを特徴とする請求項１７又は１８に記載の重ね合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルの基板を重ね合わせる装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）は、前面基板と背面基板と貼り合わせることにより製造されている。この前面基板には光の三原色となるマトリックスが取り付けられており、一方の背面基板には発光体が取り付けられると共に前面基板に貼り合わせるためのシール材がその周囲に塗布されている。
【０００３】
この両基板を貼り合わせるために、両基板を所定の位置関係に位置決めして重ね合わせ（重ね合わせ工程）、一旦クリップなどで仮止め（仮止め工程）をした後に、熱焼成等によってシール材を溶解して貼り合わせている。
【０００４】
重ね合わせ工程を行うための重ね合わせ装置は、前面基板を下方から吸着保持して上下動する下ステージ１３と、背面基板を上方から吸着保持する上ステージ１９を備えている。
【０００５】
搬送されてきた前面基板は下ステージ１３に吸着保持され、背面基板は上ステージ１９に吸着保持される。そして、前面基板が背面基板に塗布されたシール材に当接する位置をあらかじめ設定しておき、その設置位置まで下ステージ１を上昇させて両基板を重ね合わせる。その後、重ね合わされた両基板の周辺部をクリップで仮固定し、次行程に搬送する。一般的に下ステージはその重量が極めて大きいため微細なトルク制御ができず、前面基板が背面基板に当接したことを正確に検出することは誤差精度上極めて困難であるため、設定された当接位置まで上昇させている。
【０００６】
なお、前面基板と背面基板は、内部にマトリックスや発光体を密閉するように貼り合わせて所定のガスを封入する必要があるため背面基板（仕様によっては前面基板）の周囲に所定の厚さのシール材が塗布されており、後工程で熱焼成等が行われることにより前面基板と背面基板が所定の間隔をあけて密閉貼り合わせされるようになっている。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１３３１３４公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、ＰＤＰのようなパネルは、上述したように前面基板に光の三原色となるカラーのマトリックスが設けられており、背面基板には前面基板のマトリックスに対応した発光体が設けられている。従って、ＰＤＰを正しく発光させるためには、前面基板と背面基板をズレなく正確な位置に重ね合わせ、密閉貼り合わせしなければならない。
【０００９】
しかし、前面基板と背面基板を重ね合わせてクリップを装着する段階で前面基板と背面基板の間に隙間があると、クリップ装着によってズレ（クリップズレ）が生じてしまう。特に、背面基板に塗布されるシール材は、シール材や塗布装置の特性上、場所によって厚さに違いが生じ、この塗布厚の不均一によってクリップ装着時に前面基板と背面基板のズレをより大きなものとしていた。
【００１０】
液晶パネルのように軟質のシール剤が塗布されている場合は、下ステージが前面基板を背面基板（シール材）に押し付けてシール材を変形さることにより、シール材の厚さ不均一によるズレ増大を抑制することができたが、ＰＤＰのように硬質のシール剤が塗布されている場合は、前面基板を背面基板に押圧しすぎると、図１０に示すように過大応力によって基板が破損してしまう可能性があった。
【００１１】
一方で、塗布されたシール剤の最厚部の高さは搬送されてくる基板毎に相違し、また下ステージの上昇位置精度にも限界があるため、上記した硬質のシール材が塗布された基板を重ね合わせるためには、下ステージで前面基板を背面基板（シール剤）下端より少し下方までしか上昇させずに隙間（ギャップ）が空いた状態でクリップを装着させなければならず、基板のズレを増大する要因となっていた。なお、上昇停止位置を設定せず、例えば下ステージに反力などの検出手段を設けておき、シール材に当接したこと検出して下部ステージ１の上昇を停止することも理論上は可能であるが、基板が破損しない程度の反力は、下部ステージの重量に対してあまりにも小さいため、実質的に検出することができない。
【００１２】
そこで本発明は上記問題に鑑み、硬質なシール材を使用しても基板が破損しないパネル組立装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明にかかる重ね合わせ装置は、
とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の重ね合わせ装置によれば、ＰＤＰ等の基板を封着するために硬質のシーリング材を使用しても、シーリング材の不均一に起因する基板の破損を防止又は減少でき、基板の重ね合わせ位置ズレを減少することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１はＰＤＰのパネル組立装置の具体的全体構成を斜視的に示しており、図２は図１のパネル組立装置をブロック図で示している。図に示すように、重ね合わせ面が上向きになって搬送されてくる前面基板をパネル組立装置内に搬送する前面基板搬送部１と、前面基板搬送部１と平行に設けられて、前面基板と同様に重ね合わせ面が上向きになって搬送されてくる背面基板を搬送する背面基板搬送部２と、前面基板搬送部１と背面基板搬送部２の間に設けられ、前面基板搬送部１および背面基板搬送部２から搬送される前面基板と背面基板を上下に重ね合わせる重ね合わせ部３と、背面基板搬送部２で搬送されてくる背面基板を水平方向（θ方向）に９０°回転させる基板旋回部４と、この背面基板を９０°搬送方向を転換させると共に表裏反転させて重ね合わせ部３に搬送する反転移載部５と、重ね合わせ部で重ね合わされた前面基板と背面基板の長辺をクリップ装着する長辺クリップ装着部６と、長辺クリップをストックしておく長辺クリップストッカー部７と、長辺クリップストッカー部７から長辺クリップ装着部６にクリップを移載する長辺クリップ移載部８と、長辺クリップされた前面基板および背面基板を一時待機させて時間調整を行うバッファ部９と、長辺クリップされた前面基板および背面基板の短辺をクリップ装着する短辺クリップ装着部１０と、短辺クリップをストックしておく短辺クリップストッカー部１１と、短辺クリップストッカー部１１から短辺クリップ装着部１０にクリップを移載する短辺クリップ移載部１２とを備えている。なお、基板を前面基板搬送部１から重ね合わせ部３に、重ね合わせ部３からバッファ部９に、バッファ部９から短辺クリップ装着部１０への搬送は、例えばシャトル搬送等の搬送手段により行うが、本実施形態ではムービングアームを採用している。一般にムービングアームは、（１）上昇、（２）移動、（３）下降の順で動作を行い、基板等を搬送する機能を備えている。
【００１６】
重ね合わせ部３の構成を詳細に説明すると、図３に示すように、ムービングアームによって搬送されてきた前面基板を保持機構（本実施形態ではパッド）により（吸着）保持する下ステージ１３と、下ステージ１３を上下に移動させる上下ユニット１４と、上下ユニット１４上に設けられて下ステージ１３を水平方向（ＸＹθ方向）に移動させるＸＹθステージ１５と、前面基板及び背面基板に付されたマークを撮像するカメラ１６と、ＸＹθステージ１５上に設けられてカメラ１６を水平方向（ＸＹ方向）に移動させるカメラ用ＸＹステージ１７と、ＸＹθステージ１５又は下ステージ１３に設けられて前面基板を保持機構（本実施形態ではパッド）により（吸着）保持し、下ステージ１３とは独立して上下動を行い、下ステージ１３に比べてより微細なトルク制御が可能なずれ防止ユニット１８とを備え、また、反転移載部５によって搬送されてきた背面基板を保持機構（本実施形態ではパッド）によって（吸着）保持する上ステージ１９と、上ステージ１９に設けられたパッドを上ステージ１９から独立して上下動させるパッド上下ユニット２０と、上ステージ１９に設けられてカメラ１６による撮像を明りょうにするための照明ユニット２１とを備えている。
【００１７】
下ステージ１３及びずれ防止ユニット１８を詳細に説明すると、図４及び図６５に示すように、下ステージ１３は、搬送されてくる基板の大きさにかかわらず固定された下ステージ１３ａと、基板の大きさに応じてＸ軸方向にのみ移動する下ステージ１３ｂと、カメラ用ＸＹステージ１７上に設けられて基板の大きさに応じてカメラ１６と共にＸＹ軸方向に移動する下ステージ１３ｃによって構成され、下ステージ１３ａと１６ｂの間にずれ防止ユニット１８が設けられている。
【００１８】
下ステージ１３ｂは、ＸＹθステージ１５に設けられる下ステージ（１３ｂ）用ベース２２と、下ステージ（１３ｂ）用ベース２２上で下ステージ１３ｂがＸ軸方向に移動する下ステージ（１３ｂ）開閉用ガイド２３と、下ステージ１３ｂに設けられて下ステージ（１３ｂ）開閉用ガイド２３上をＸ軸方向にスライドする下ステージ（１３ｂ）開閉用スライダ２４と、下ステージ１３ｂをスライドさせる下ステージ（１３ｂ）開閉用モータ２５及び下ステージ（１３ｂ）開閉用ベルト２６とを備えており、ずれ防止ユニット１８は、前面基板を吸着保持する吸着ブロック２７と、吸着ブロック２７を支持するブラケット２８と、下ステージ１３ｂに取り付けられるずれ防止ユニットベース２９と、ずれ防止ユニットベース２９に対してブラケット２８を上下に移動させる上下用ガイド３０及び上下用駆動シリンダ３１を備えている。
【００１９】
一方、上ステージ１９も図示しないが下ステージ１３ａ及びｂ同様に、基板の大きさにかかわらず固定された部位と基板の大きさに応じてＸ軸方向にのみ移動する部位によって構成されている。この移動する部位には照明ユニットが取り付けられており、図示しないが、カメラ１６に対向するようＹ軸方向に移動できるようになっている。
【００２０】
本実施形態では、基板を最小の撓みで保持するために、ずれ防止ユニット１８はＸ軸方向に移動する下ステージ１３ｂに取り付けているが、仕様によっては下ステージ１３ａに取り付けても、ＸＹθステージに取り付けても良い。
【００２１】
なお、下ステージ１３、上下ユニット１４、ＸＹθステージ１５、カメラ用ＸＹステージ１７、ずれ防止ユニット１８、上ステージ１９及びパッド上下ユニット２０は駆動源（本実施形態ではモータ）から動力を得てそれぞれの動作を行い、ずれ防止ユニット１８は前面基板を上昇させるときに背面基板に当接したことを検出する検出手段を備えている。また、前面基板搬送部１および背面基板搬送部２で搬送されてくる前面基板および背面基板は、それぞれ図示しない位置決め機構により適宜位置決めされる。
【００２２】
また、反転移載部５、下ステージ１３、上ステージ１９及びずれ防止ユニット１８等の保持機構は一般には吸着パッドなどの吸着機構により構成されるが、基板を保持できる機構であれば単なる粘着材質のものであっても、把持機構であってもよい。また、長辺及び短辺クリップ装着部７及び１２、長辺及び短辺クリップストッカー部８及び１３、長辺及び短辺クリップ移載部９及び１４、はそれぞれ基板の上流側、下流側に備えられており、実際はそれぞれ２組ある。また、本実施形態では搬送機構の一部にムービングアームを例として説明したが、搬送できるものであれば如何なる搬送機構であってよい。その他各構成、機構はその仕様によって適宜変更されるものであり、同様の作用効果を奏するものに変更しても本発明の技術的思想を逸脱するものではない。
【００２３】
次に上記構成を有するパネル組立装置の動作について説明する。
【００２４】
前面基板及び背面基板は、それぞれ重ね合わせ面が上向きになって前工程の装置から搬送されてくる。前面基板は前面基板搬送部１によって重ね合わせ部３近辺まで搬送され、ムービングアームによって重ね合わせ部３に搬送される。一方、背面基板は背面基板搬送部２によって反転移載部５まで搬送されるが、その途中で基板旋回部４によって水平方向（θ方向）に９０°回転される。なお、図面では基板旋回部４を背面基板搬送部２の中間部に設けているが、背面基板搬送部２の終端部に設けても良い。そして、反転移載部５は基板旋回部４によって水平方向に９０°回転された背面基板を下方から吸着保持し、表裏回転させて、又は表裏回転させながら搬送方向を９０°転換して重ね合わせ部３に搬送する。このとき、重ね合わせ部３では、搬送された前面基板と背面基板が重ね合わせ面が互いに向き合った状態となっている。
【００２５】
背面基板が反転移載部５により上ステージ１９の下方に搬送されると、上ステージ１９に設けられたパッド上下ユニット２０が下降し、その先端に設けられたパッドで背面基板の上面を吸着保持する。なお、その後、反転移載部５は背面基板の吸着を解除し、上昇後退して背面基板から離れ、元の位置に戻る。反転移載部５が上昇後退すると、上下ユニット２３は背面基板を上ステージ１９まで上昇させ、上ステージ１９に設けられたパッドが上下ユニット２２のパッドと同様に背面基板の上面を吸着保持する。
【００２６】
一方、前面基板がムービングアームにより下ステージ１３上方に搬送されると、下ステージ１３及びずれ防止ユニット１８の上面に設けられたパッドで前面基板の下面を吸着保持する。
【００２７】
本実施形態では大きさの異なる基板に対応させるため、基板の周辺部を保持するように、搬送されてくる基板の大きさに合わせて、下ステージ１３ｂ及び１３ｃをＸ軸方向及びＸＹ軸方向にそれぞれ移動させている。下ステージ１３ｂ、１３ｃを移動させなくても重ね合わせは可能であるが、中央部のみ保持すると周辺部の撓みが大きくなるため、本実施形態ではこれらの下ステージを移動可能として撓みを最小限度に抑えている。下ステージ１３ｂは図５に示すように下ステージ（１３ｂ）開閉用モータ２５及び下ステージ（１３ｂ）開閉用ベルト２６によりＸ軸方向に移動させられ、これに伴いずれ防止ユニットも同様に移動させられる。
【００２８】
その後、下ステージ１３は前面基板と背面基板（シール材）との間にわずかな隙間（ギャップ）が空く位置まで前面基板を上昇させる（図６参照）。この位置は実験等やフィードバックにより算出し、予め設定しておくことで上下ユニット１４を自動的に設定位置まで上昇させると良い。なお、本件発明者の実験によると、シール材の平均塗布厚さを０．４ｍｍとした場合には、ギャップを０．１〜０．２ｍｍとするのが最も好ましかった。
【００２９】
このようにして前面基板と背面基板がギャップをあけて重ね合わせられると、重ね合わせの位置ズレ計測及び補正動作を行う。前面基板と背面基板はそれぞれ基板周辺の所定位置にマークが付されており、このマークを基に重ね合わせ位置を計測する。なお、通常は重ね合わされる両基板の同じ位置にマークが付されるが、基板の撓みや収縮によって多少位置関係がずれることもある。
【００３０】
位置ズレ計測及び補正動作は、まず、カメラ１６を低倍率（例えば１倍）に設定してズレ量を計測し、このズレ量分ＸＹθステージ１５を動作させて仮合わせを行う。その後、カメラ倍率を高倍率（例えば２倍）に設定して微細なズレ量を計測し、この微細なズレ量分ＸＹθステージ１５を動作させて微細な位置合わせを行う。なお、クリップ装着や搬送によりクリップズレや搬送ズレ等が発生するため、これらのズレを加味して位置合わせ動作を行う。つまり、クリップズレや搬送ズレ等は装置、時間、基板の大きさ毎によって異なり変動するため、この位置合わせが終わった状態で一旦マークのズレ量を計測しておき、クリップで仮固定したとき及び／又は基板を貼り合わせた後に再度マークのズレ量を計測してクリップズレや搬送ズレを算出し、フィードバック制御することにより最終的な位置ズレを最小のものとすることが望ましい。
【００３１】
なお、本実施形態ではカメラを低倍率と高倍率の２設定で計測及び補正動作を行ったが、１設定で行っても、更に高倍率に再設定して行っても良い。また、ズレ量の測定と補正動作を別動作として説明したが、同時に行っても良い。なお、重ね合わせ位置のズレ量計測方法には種々の方法が知られており、その何れの方法を採用しても良い。
【００３２】
その後、下ステージ１３は前面基板の吸着を解除して、ずれ防止ユニット１８のみが前面基板を吸着保持している状態とする。単独で前面基板を吸着保持しているずれ防止ユニット１８は、前面基板を所定距離、例えば上記で設定したギャップだけ、または背面基板（シール材）に当接するまで、上下用駆動モータ３１によって下ステージ１３から独立して上昇させる（図７参照）。詳細に説明すると、ずれ防止ユニット１８は上下用駆動モータ３１の駆動により、下ステージ１３ｂに取り付けられたずれ防止ユニットベース２９から、ブラケット２８が上下用ガイド３０に沿って上昇し、これにより吸着ブロック２７が下ステージ１３ｂから独立して上昇する。
【００３３】
このとき、ずれ防止ユニット１８は背面基板が前面基板に当接したことを検出すると、その時点で上昇を停止する。なお、硬質のシール材であっても微力の圧力であれば基板をシール材に押し付けても基板は破損しないため、実験等により破損しない圧力を測定しておき、前面基板に当接した後もこの圧力になるまで背面基板を上昇してもよい（図８参照）。ずれ防止ユニット１８は重量の下ステージ１３とは異なり、独立して上下動可能であると共に微細なトルク制御が可能であるため、基板が破損しない圧力を検知することが可能となる。シール材への当接検知及び圧力検知は当業者に知られている様々な検出手段によって検出することができる。
【００３４】
この状態で長辺クリップ装着部６は重ね合わされた前面基板と背面基板を仮固定するために、その長辺にクリップを装着する。長辺にクリップで仮固定された基板は、ムービングアーム８によってバッファ部９に搬送され、時間調整された後に、ムービングアーム１０によって短辺クリップ装着部１１に搬送される。
【００３５】
短辺クリップ装着部１１は、長辺と共に基板の仮固定をより強固なものとするため、仮固定された基板の短辺にクリップを装着し、長辺と短辺により仮固定を行う。
【００３６】
なお、本実施形態では長辺クリップ装着部６と短辺クリップ装着部１１を別としたが、装置の仕様などによっては同時に、または同一場所で行っても同様である。
【００３７】
次に本発明にかかる第２の実施形態について説明する。第１の実施形態では、下ステージ１３、上下ユニット１４、ＸＹθステージ１５、カメラ用ＸＹステージ１７、ずれ防止ユニット１８、上ステージ１９及びパッド上下ユニット２０の動力源として全てモータを用いたが、第２の実施形態では、ずれ防止ユニット１８の動力源としてエアシリンダーを用いる。つまり、図９に示すように、第１の実施形態の上下用駆動モータ３１を上下用駆動シリンダ３２に置き換え、背面基板への当接を検出する検出手段を不要としている。なお、その他の構成は第１の実施の形態と同様であり、動作も基本的には同じであるため、相違する部分のみ説明する。
【００３８】
下ステージ１３が前面基板を背面基板との間にギャップが空く位置まで上昇させると、両基板の重ね合わせズレの計測及び補正が行われ、下ステージ１３は前面基板の吸着を解除して、ずれ防止ユニット１８のみが前面基板を吸着保持している状態となる。
【００３９】
その後、単独で前面基板を吸着保持しているずれ防止ユニット１８は、上下用駆動シリンダー３２によって所定のエア圧で前面基板を上昇させる。この所定のエア圧は、基板が破損しない圧力内で適宜好適な圧力を選定して設定しておく。
【００４０】
前面基板は上下用駆動シリンダー３２により背面基板に当接し、その後は設定された圧力で押された状態となる。しかし、この圧力は基板が破損しない程度に設定されるため、従来のように破損することはない。
【００４１】
その後は第１の実施形態と同様に、この状態で長辺クリップ装着部６により長辺が、短辺クリップ装着部１１によって短辺がそれぞれクリップ装着され、前面基板と背面基板が仮固定される。
【００４２】
なお、本実施形態では上下用駆動シリンダー３２にエアシリンダーを用いたが、油圧シリンダーであっても良く、エア圧や油圧など如何なる媒体によってシリンダー圧を得ても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本願発明に係るパネルの重ね合わせ工程を示したイメージ図である。
【図２】本願発明に係るパネルの重ね合わせ工程を示したブロック図である。
【図３】本発明に係る重ね合わせ装置を示した図である。
【図４】下ステージ１３とずれ防止ユニットを示した図である。
【図５】下ステージ１３ｂとずれ防止ユニットを示した斜視図である。
【図６】前面基板と背面基板との関係を示した図である。
【図７】前面基板と背面基板との関係を示した図である。
【図８】前面基板と背面基板との関係を示した図である。
【図９】第２の実施形態に係る下ステージ１３ｂとずれ防止ユニットを示した斜視図である。
【図１０】従来における前面基板と背面基板との関係を示した図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  前面基板搬送部
２  背面基板搬送部
３  重ね合わせ部
４  基板旋回部
５  反転移載部
６  長辺クリップ装着部
７  長辺クリップストッカー部
８  長辺クリップ移載部
９  バッファ部
１０  短辺クリップ装着部
１１  短辺クリップストッカー部
１２  短辺クリップ移載部
１３  下ステージ
１４  上下ユニット
１５  ＸＹθステージ
１６  カメラ
１７  カメラ用ＸＹステージ
１８  ずれ防止ユニット
１９  上ステージ
２０  パッド上下ユニット
２１  照明ユニット
２２  下ステージ（１３ｂ）用ベース
２３  下ステージ（１３ｂ）開閉用ガイド
２４  下ステージ（１３ｂ）開閉用スライダ
２５  下ステージ（１３ｂ）開閉用モータ
２６  下ステージ（１３ｂ）開閉用ベルト
２７  吸着ブロック
２８  ブラケット
２９  ずれ防止ユニットベース
３０  上下用ガイド
３１  上下用駆動モータ
３２  上下用駆動シリンダ
【図１】
2008243424.tif 000003
【図２】
2008243424.tif 000004
【図３】
2008243424.tif 000005
【図４】
2008243424.tif 000006
【図５】
2008243424.tif 000007
【図６】
2008243424.tif 000008
【図７】
2008243424.tif 000009
【図８】
2008243424.tif 000010
【図９】
2008243424.tif 000011
【図１０】
2008243424.tif 000012