(57)【要約】【課題】建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁と、昇降浮沈構造の大屋根に配設されて大屋根と共に昇降するようにした天井との間を、大屋根と共に昇降する天井に追従しつつ、確実に密封できるようにした製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムを提供すること。【解決手段】建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁１を床面上に自立するように配設し、仕切壁１の上端と、大屋根の下部位置で大屋根の昇降に追従するようにして配設した天井２との間に可撓性のシート３を配設し、密封状に連結して構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工場等の建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁を床面上に自立するように配設し、仕切壁の上端と、大屋根の下部位置で大屋根の昇降に追従するようにして配設した天井との間に可撓性のシートを配設し、密封状に連結して構成したことを特徴とする製造工場内の仕切壁と天井間の密封システム。
【請求項２】
仕切壁の上部内側を、クリーンルーム内の固定フレームと連結部材にて連結固定して仕切壁を自立するように構成したことを特徴とする請求項１記載の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システム。
【請求項３】
可撓性のシートを、帯電防止性能を備えたシートとしたことを特徴とする請求項１又は２記載の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システム。
【請求項４】
可撓性のシートを、その一端を天井下面に、また他端を仕切壁の上端にそれぞれシート押さえ具を介して挟持固定したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムに関し、特に、クリーンルームを備えた製造工場或いはストッカー内において、建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁と、浮沈構造の大屋根に配設されて大屋根と共に浮沈するようにした天井との間を、大屋根と共に浮沈する天井に追従しつつ、確実に密封できるようにした製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶や半導体などの製造工場やクリーンストッカーにおいては、該種工場やストッカーの建屋本体内に仕切壁（パーティション）や天井を配設して、該仕切壁、天井に囲まれた空間をクリーンルームとして形成し、該クリーンルーム内にて液晶や半導体などの部品を収納したカセットを一時的に収納したり、或いは該収納カセットを搬送台車に搭載して搬送したり、さらには加工等を施している。
【０００３】
ところで、従来の前記製造工場やクリーンストッカーにおいては、建屋内に配設して形成するクリーンルーム用の仕切壁（パーティション）や天井は、建屋本体に固定するようにしている。これは特に限定されるものではないが、例えば、仕切壁はその下部を床に固定し、上部を大屋根の下部に配設した天井フレーム等に固定するようにしている。このため、仕切壁の天面と天井との接続部を簡易に密封することができた。
【０００４】
しかしながら、建屋の大屋根が天候により昇降浮沈するように設計される場合、特に限定されるものではないが、例えば、強風時には大屋根が予め定めた範囲内で、例えば、２００ｍｍ前後浮上するようにし、また積雪時にはその重量に応じて最大許容範囲内で、例えば、５０ｍｍ前後降下するようにした構造においては、仕切壁の天面を建屋本体或いは天井に固定することができず、特に大屋根の昇降浮沈に追従するように天井材、例えば、グリットを配設する場合には、この仕切壁の天面と天井との接続部を密封状態にして接続することができないという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、製造工場内の仕切壁と天井との接続システムの有する問題点に鑑み、建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁と、昇降浮沈構造の大屋根に配設されて大屋根と共に昇降するようにした天井との間を、大屋根と共に昇降する天井に追従しつつ、確実に密封できるようにした製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムは、製造工場等の建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁を床面上に自立するように配設し、仕切壁の上端と、大屋根の下部位置で大屋根の昇降に追従するようにして配設した天井との間に可撓性のシートを配設し、密封状に連結して構成したことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、仕切壁の上部内側を、クリーンルーム内の固定フレームと連結部材にて連結固定して仕切壁を自立するように構成することができる。
【０００８】
また、可撓性のシートを、帯電防止性能を備えたシートとすることができる。
【０００９】
また、可撓性のシートを、その一端を天井下面に、また他端を仕切壁の上端にそれぞれシート押さえ具を介して挟持固定することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムによれば、製造工場等の建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁を床面上に自立するように配設し、仕切壁の上端と、大屋根の下部位置で大屋根の昇降に追従するようにして配設した天井との間に可撓性のシートを配設し、密封状に連結して構成することにより、天井が可動する構造であっても簡単な構成でクリーンルーム内のクリーン度を保持することができるとともに、天井面と仕切壁の間隔が施工により設計図と異なるような場合でもシート長を変えるだけで簡単に対応することができる。
【００１１】
また、仕切壁の上部内側を、クリーンルーム内の固定フレームと連結部材にて連結固定して仕切壁を自立するように構成することにより、仕切壁の上端を天井部材に固定しなくても仕切壁を簡易に堅固に支持できる。
【００１２】
また、可撓性のシートを、帯電防止性能を備えたシートとすることにより、静電気による微粉塵などの付着を防止して、設定されたクリーン度を保持することができる。
【００１３】
また、可撓性のシートを、その一端を天井下面に、また他端を仕切壁の上端にそれぞれシート押さえ具を介して挟持固定することにより、シートの取り付けを、気密性を保持しつつ簡易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１〜図２に、本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムの一実施例を示す。
例えば、液晶や半導体などの製造工場或いはストッカーなどにおいて、建屋本体内にクリーンルームＣを形成する場合、特に限定されるものではないが、例えば、図１に示すように、製造工場等の建屋壁内に沿ってクリーンルーム形成用の仕切壁１を配設し、また製造工場等の大屋根（図示省略）の下部にグリット等にて形成する天井２を配設し、この仕切壁１と天井２との間を可撓性で、帯電防止性のシート３、これは特に限定されるものではないが、例えば、ゴムシートを配設してクリーンルーム内を気密性を保持するよう密封状に構成する。
【００１６】
仕切壁１の構成は、特に限定されるものではないが、例えば、通常クレーンルームＣを形成する際に使用するパーティションを採用し、下部をクリーンルームの床Ｆ或いは製造機械などに直接或いは固定金具（図示省略）を用いて固定するとともに、上部を連結部材４、例えば、ステーなどにてクリーンルーム内に配設形成するカセット収納棚など固定側フレーム５に固定する。
このカセット収納棚など固定側フレーム５は、図１に示すように、所要のカセットＫを収納できるように構成する。
このように、仕切壁１の下部を床側に、上部を連結部材４を介して固定側フレーム５に固定することで、仕切壁１は天井２と直接連結固定しなくても完全に自立させることができる。
【００１７】
天井２は、建屋の大屋根の下部位置に吊り下げ式にて配設するが、特に限定されるものではなく、例えば、大屋根より吊り下げた天井フレーム２１にグリット２２を取り付け、かつ該グリットに高性能フィルター２３を配設するとともにクリーンエアー吹出口等（図示省略）を配設して構成する。
なお、可撓性で、帯電防止性のシート３は、この天井フレーム２１の下面に挟持するようにして取り付けるようにする。
【００１８】
この可撓性で、帯電防止性のシート３は、その一端側を、強風時や積雪時等の天候に応じて昇降浮沈する構成とした大屋根と追従するように配設する天井下面に、詳しくは天井フレーム２１の下面にシート押さえ具３１を介して挟み込むようにしてビス３２にて固定するとともに、下端側も自立する仕切壁１にシート押さえ具３１を介して挟み込むようにしてビス３２にて固定する。
この場合、可撓性で、帯電防止性のシート３の中間部分を、図２に示すように、折れ曲がるようにしてだぶらせ、大屋根に追従して天井が昇降浮沈してもこの折れ曲がり部分３０にて、天井２の昇降浮沈量を吸収しつつ仕切壁１と天井２間の気密性を保持することができるようにする。
【００１９】
次に、本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムの作用について説明する。
天井の吹出口から吹き出されるクリーンエアーは、クリーンルームＣ内を流下して床面に形成した吸込口（図示省略）よりルーム外へ排気されるが、このクリーンエアーの一部は、特に仕切壁近傍のエアーは、図２の矢符で示すように、天井フレーム２１に沿って仕切壁１に向かう際、その接続部である天井フレーム２１に挟持された可撓性で、帯電防止性のシート３の内側に沿って流下する。この際、帯電防止性のシート３で、天井２と仕切壁１間は空気の漏れる隙間がないように配設されているのでクリーンエアーは仕切壁１の外側には漏れずに仕切壁１に沿って床まで流下するものとなる。
【００２０】
また、天気によって、例えば、強風時には大屋根の上昇に追従してこの大屋根に吊り下げた天井フレーム２１も共に上昇する。この天井フレーム２１の上昇に伴って帯電防止性のシート３の上部は引き上げられるようになるが、このシートの引き上げ量はシートの折れ曲がり部分３０が引き延ばされるようになって吸収される。
【００２１】
また、反対に積雪等により大屋根が降下するとこれに吊り下げられた天井フレーム２１も降下することとなり、天井２と仕切壁１との間隔が縮小するようになるが、この場合は帯電防止性のシート３の折り曲がり量、即ちだぶる量が増すものとなり、気密性は保持される。
【００２２】
したがって、大屋根の昇降浮沈に追従して天井が昇降するような構造としても、クリーンルーム形成用の仕切壁を床上に自立させることで仕切壁の上面と天井と直接接続していなくても堅固に支持できるとともに、天井が昇降しても、天井と仕切壁間が可撓性シートにて連結され、かつ天井フレームの昇降量はシートの折れ曲がり部分にて吸収されるのでクリーンルーム内の気密性が保持される。
また、この可撓性のシートは、その端縁部を天井フレーム及び仕切壁にそれぞれ挟持するようにして固定するため、取り付けが簡単で安価に提供することができるとともに、帯電防止性を有するので、静電気により微粉塵等の付着を防止することができる。
【００２３】
以上、本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムについて、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムは、建屋壁内に沿って配設するクリーンルーム形成用の仕切壁と、浮沈構造の大屋根に配設されて該大屋根と共に浮沈するようにした天井との間を、大屋根と共に浮沈する天井に追従しつつ、確実に密封できるという特性を有していることから、液晶や半導体製造工場等のクリーンルーム形成の用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の製造工場内の仕切壁と天井間の密封システムの一実施例を示す正面縦断面図である。
【図２】要部の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００２６】
Ｃ    クリーンルーム
１    仕切壁
２    天井
２１  天井フレーム
３    可撓性で、帯電防止性のシート
３１  シート押さえ具
３２  ビス
４    連結部材
５    固定側フレーム
【図１】
2008038422.tif 000003
【図２】
2008038422.tif 000004