(57)【要約】【課題】測定誤差の低減を可能にする。【解決手段】ディスク取付台２７は、その上部の平面の周縁を残して内側を削って、基準面２７aが形成されている。ディスク固定部材２８は、その下部の基準面２７aに平行な平面の周縁を残して内側を削って、基準面２７aに対向する押さえ付け面２８aが形成されている。こうして、互いに対向する基準面２７aと押さえ付け面２８aとでディスク１９を挟み込むことによって、ディスク取付台２７の全面とディスク固定部材２８の全面とでディスク１９を挟み込む場合よりも、基準面２７aと押さえ付け面２８aとの面精度のばらつきによる影響を抑制でき、電気特性の検査精度を向上できる。また、ディスク１９の「うねり」の影響を受け難くすることもできる。【選択図】図３
2008032611.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光領域と遮光領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
互いに対向する発光素子と受光素子とを有し、上記発光素子から発光されて上記発光素子と上記受光素子との間に挿通された上記移動体の透光領域を透過した光を上記受光素子で受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する光電式エンコーダと、
上記光電式エンコーダがセットされると共に、このセットされた光電式エンコーダを、移動方向に沿って配置された各部に順次搬送するインデックス・テーブルと、
上記光電式エンコーダにおける上記発光素子と上記受光素子との間に設けられた挿入部に挿通された上記移動体の位置を制御するコントローラと、
上記挿入部に上記移動体が挿通された上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性を検査するテスタと、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記インデックス・テーブルに上記光電式エンコーダが仮セットされた後、上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向の位置決めを行う供給部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記２方向への位置決めが行われた上記光電式エンコーダにおける上記２方向と直交する方向の位置決めを行う位置決め部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダの上記挿入部における上記２方向と直交する方向への基準位置からのずれ量を検出するずれ検出部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダの上記挿入部に上記移動体を挿通し、上記テスタによって上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性を検査するテスト部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダを上記インデックス・テーブルから取り出す排出部と
を備え、
上記コントローラは、少なくとも上記ずれ検出部で検出された上記光電式エンコーダの上記２方向と直交する方向へのずれ量に基づいて、上記移動体の位置を制御する
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記移動体は、上記透光領域としてのスリットが周囲に形成された円形のディスクであり、
上記テスト部には、
上記ディスクが載置される基準面が周囲のみに設けられると共に、中心軸に沿って上記基準面に対して垂直に突出して先端部に雄ねじが形成されたシャフトが設けられたディスク取付台と、
上記ディスク取付台の上記シャフトが挿通される貫通穴が設けられると共に、上記ディスク取付台の上記基準面に対向する押さえ付け面が周囲のみに設けられたディスク固定部材と、
上記シャフトの先端部に形成された雄ねじに螺合して、上記ディスク固定部材を上記ディスク取付台に締め付け固定するナット
を備え、
上記ディスクには上記ディスク取付台の上記シャフトが挿通される貫通穴が設けられており、上記ディスク取付台の上記シャフトに貫通穴が挿通された上記ディスクを、上記ディスク取付台の上記シャフトに貫通穴が挿通された上記ディスク固定部材を介して、上記ナットによって、上記ディスク取付台に対して締め付け固定する
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ディスク取付台の上記シャフトが挿通される貫通穴が設けられると共に、所定の厚みを有して、上記ディスク固定部材と上記ナットとの間に挿入される挿入部材を備えた
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項４】
請求項２に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ディスク固定部材の上記押さえ付け面には、弾性体でなる環状のリングが所定の高さの部分を露出させて埋め込まれている
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項５】
請求項２に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ディスク固定部材の上記押さえ付け面には、円形に配列された複数の球体が所定の高さの部分を露出させて埋め込まれている
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項６】
請求項２に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ディスク取付台に取り付けられた上記ディスクの周縁部における上記光電式エンコーダの近傍に、上記ディスクを両側から挟み込む転動可能な球体を配置した
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項７】
請求項１に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ずれ検出部には、上記基準位置と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔を測定するラインセンサを備え、
上記コントローラは、上記ラインセンサによる測定結果に基づいて、上記移動体の位置を制御する
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項８】
請求項１に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ずれ検出部には、上記基準位置と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔を撮像する第１の撮像手段を備え、
上記コントローラは、上記第１の撮像手段による撮像結果に基づいて、上記移動体の位置を制御する
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の光電式エンコーダ検査装置において、
上記ずれ検出部には、上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向への向きを撮像する第２の撮像手段および第３の撮像手段を備え、
上記コントローラは、上記総ての撮像手段による撮像結果に基づいて、上記移動体の位置を制御する
ことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【請求項１０】
透光領域と遮光領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
互いに対向する発光素子と受光素子とを有し、上記発光素子から発光されて上記発光素子と上記受光素子との間に挿通された上記移動体の透光領域を透過した光を上記受光素子で受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する光電式エンコーダと、
上記光電式エンコーダがセットされると共に、このセットされた光電式エンコーダを、移動方向に沿って配置された各部に順次搬送するインデックス・テーブルと、
上記挿入部に上記移動体が挿通された上記光電式エンコーダの電気的光学的特性を検査するテスタと、
上記インデックス・テーブルに設けられると共に、上記光電式エンコーダがセットされて、このセットされた上記光電式エンコーダを上記インデックス・テーブルの面と直交する方向に移動させて位置決めを行う位置決め装置と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記位置決め装置に上記光電式エンコーダが仮セットされた後、上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向の位置決めを行う供給部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記位置決め装置によって、上記セットされた上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面と直交する方向の位置決めを行った後、上記光電式エンコーダの上記挿入部に上記移動体を挿通し、上記テスタによって上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性を検査するテスト部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダを上記インデックス・テーブルから取り出す排出部と
を備えたことを特徴とする光電式エンコーダ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光電式エンコーダの電気的・光学的特性を検査する光電式エンコーダ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光電式エンコーダは、互いに対向して配置された発光素子と受光素子とを備えており、上記発光素子と受光素子との間に複数のスリットを有するディスクを挿入して概略構成されている。そして、移動する上記ディスクのスリットを介して、上記発光素子からの光を上記受光素子で受光し、この受光素子からの受光出力を測定することによって、上記ディスクの移動方向や移動速度等を得るのである。
【０００３】
通常、上記光電式エンコーダは、高い測定精度を要求されるために、予めその電気特性が検査される。例えば、図１１に示すように、光電式エンコーダ１の発光素子(図示せず)と受光素子(図示せず)との間にディスク２の外周部を挿入した状態で、ディスク２を回転装置３に取り付けて回転させ、上記受光素子からの受光出力を検出することによって、光電式エンコーダ１の電気特性が検査される(例えば、特開平９‐２６４７６２号公報(特許文献１))。
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に開示された従来の光電式エンコーダ検査装置においては、回転装置３におけるディスク２の取付面４の面精度が悪い場合にはディスク２の面ブレが大きくなり、上記受光素子の受光出力に誤差が生じて測定誤差が大きくなるという問題がある。
【０００５】
すなわち、上記ディスク２は樹脂製であるため、ディスク２を取付面４に押さえ付ける押さえ付け部材５からの力によって、ディスク２に潰れや歪みが生ずる。したがって、ディスク２の面ブレが大きくなり、上記受光素子からの受光出力に誤差が生じてしまい、その結果測定誤差が大きくなるのである。
【０００６】
さらに、上記光電式エンコーダ１の寸法ばらつきによって、光電式エンコーダ１とディスク２とに位置ずれが生じ、測定誤差が大きくなるという問題もある。
【特許文献１】特開平９‐２６４７６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、この発明の課題は、測定誤差を低減することが可能な光電式エンコーダ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、この発明の光電式エンコーダ検査装置は、
透光領域と遮光領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
互いに対向する発光素子と受光素子とを有し、上記発光素子から発光されて上記発光素子と上記受光素子との間に挿通された上記移動体の透光領域を透過した光を上記受光素子で受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する光電式エンコーダと、
上記光電式エンコーダがセットされると共に、このセットされた光電式エンコーダを、移動方向に沿って配置された各部に順次搬送するインデックス・テーブルと、
上記光電式エンコーダにおける上記発光素子と上記受光素子との間に設けられた挿入部に挿通された上記移動体の位置を制御するコントローラと、
上記挿入部に上記移動体が挿通された上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性を検査するテスタと、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記インデックス・テーブルに上記光電式エンコーダが仮セットされた後、上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向の位置決めを行う供給部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記２方向への位置決めが行われた上記光電式エンコーダにおける上記２方向と直交する方向の位置決めを行う位置決め部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダの上記挿入部における上記２方向と直交する方向への基準位置からのずれ量を検出するずれ検出部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダの上記挿入部に上記移動体を挿通し、上記テスタによって上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性を検査するテスト部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダを上記インデックス・テーブルから取り出す排出部と
を備え、
上記コントローラは、少なくとも上記ずれ検出部で検出された上記光電式エンコーダの上記２方向と直交する方向へのずれ量に基づいて、上記移動体の位置を制御する
ことを特徴としている。
【０００９】
上記構成によれば、インデックス・テーブルに仮セットされた光電式エンコーダに対して、供給部において、上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向(Ｘ方向およびＹ方向)の位置決めを行い、位置決め部において、上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)の位置決めを行い、ずれ検出部において、発光素子と受光素子との間に設けられた挿入部の上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)への基準位置からのずれ量を検出し、コントローラによって、上記ずれ検出部で検出された上記ずれ量に基づいて、上記光電式エンコーダにおける上記挿入部に挿通された移動体の位置を制御するので、上記光電式エンコーダの形成寸法にばらつきがあったとしても、上記光電式エンコーダにおける上記発光素子と上記受光素子との中間位置に上記移動体を挿通することができる。したがって、上記光電式エンコーダの形成寸法ばらつきによる上記電気的・光学的の測定誤差を無くすことができる。
【００１０】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記移動体は、上記透光領域としてのスリットが周囲に形成された円形のディスクであり、
上記テスト部には、
上記ディスクが載置される基準面が周囲のみに設けられると共に、中心軸に沿って上記基準面に対して垂直に突出して先端部に雄ねじが形成されたシャフトが設けられたディスク取付台と、
上記ディスク取付台の上記シャフトが挿通される貫通穴が設けられると共に、上記ディスク取付台の上記基準面に対向する押さえ付け面が周囲のみに設けられたディスク固定部材と、
上記シャフトの先端部に形成された雄ねじに螺合して、上記ディスク固定部材を上記ディスク取付台に締め付け固定するナット
を備え、
上記ディスクには上記ディスク取付台の上記シャフトが挿通される貫通穴が設けられており、上記ディスク取付台の上記シャフトに貫通穴が挿通された上記ディスクを、上記ディスク取付台の上記シャフトに貫通穴が挿通された上記ディスク固定部材を介して、上記ナットによって、上記ディスク取付台に対して締め付け固定する。
【００１１】
この実施の形態によれば、ディスク取付台に載置されたディスクをディスク固定部材を介してナットによって締め付け固定するに際して、上記ディスク取付台および上記ディスク固定部材は、互いに対向すると共に、上記ディスク取付台の周囲のみに形成された基準面と上記ディスク固定部材の周囲のみに形成された押さえ付け面とによって、上記ディスクを挟み込むようにしたので、従来の光電式エンコーダ検査装置のごとく、ディスク取付台の全面とディスク固定部材の全面とで上記ディスクを挟み込む場合よりも、挟み付ける面積が狭い分だけ上記基準面と上記押さえ付け面との面精度(平坦度)のばらつきによる影響を抑制することができる。したがって、電気的・光学的特性の検査精度を向上させることができる。さらに、上記ディスクの「うねり」の影響を受け難くすることもできる。
【００１２】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ディスク取付台の上記シャフトが挿通される貫通穴が設けられると共に、所定の厚みを有して、上記ディスク固定部材と上記ナットとの間に挿入される挿入部材を備えている。
【００１３】
この実施の形態によれば、上記ディスク固定部材と上記ナットとの間に所定の厚みを有する挿入部材を挿入するので、上記ディスクの外径が１００mmφ以上の場合であっても、上記ディスク固定部材の上記押さえ付け面によって上記ディスクを均一に押さえ付けることができる。
【００１４】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ディスク固定部材の上記押さえ付け面には、弾性体でなる環状のリングが所定の高さの部分を露出させて埋め込まれている。
【００１５】
この実施の形態によれば、上記ディスク固定部材によって上記ディスクを上記ディスク取付台に押さえ付ける場合に、上記ディスクは弾性体でなる環状のリングを介して押さえ付けられることになる。したがって、上記ディスク固定部材によって上記ディスクを押さえ付ける際に生ずる上記ディスクの変形を、最小限に止めることができる。さらに、上記ディスクの「うねり」の影響も受け難くすることができる。
【００１６】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ディスク固定部材の上記押さえ付け面には、円形に配列された複数の球体が所定の高さの部分を露出させて埋め込まれている。
【００１７】
この実施の形態によれば、上記ディスク固定部材によって上記ディスクを上記ディスク取付台に押さえ付ける場合に、上記ディスクは円形に配列された複数の球体を介して押さえ付けられることになる。したがって、上記ディスク固定部材によって上記ディスクを押さえ付ける際に生ずる上記ディスクの変形を、最小限に止めることができる。さらに、上記ディスクの「うねり」の影響も受け難くすることができる。
【００１８】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ディスク取付台に取り付けられた上記ディスクの周縁部における上記光電式エンコーダの近傍に、上記ディスクを両側から挟み込む転動可能な球体を配置している。
【００１９】
この実施の形態によれば、上記光電式エンコーダの近傍において、転動可能な球体によって、上記ディスクの周縁部を両側から挟み込むので、上記ディスクの回転ブレを抑えることができ、上記光電式エンコーダにおける電気的・光学的特性検査の精度を向上させることができる。その結果、上記ディスク取付台の上記基準面および上記ディスク固定部材の上記押さえ付け面に対する面精度を高くする必要がなくなり、上記ディスク取付台および上記ディスク固定部材の形成が容易になる。
【００２０】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ずれ検出部には、上記基準位置と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔を測定するラインセンサを備え、
上記コントローラは、上記ラインセンサによる測定結果に基づいて、上記移動体の位置を制御する。
【００２１】
この実施の形態によれば、上記ずれ検出部において、ラインセンサによって測定された上記基準位置(例えば、上記移動体の位置)と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔に基づいて、上記コントローラによって、上記移動体の位置を制御するので、上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性検査の精度を向上させることができる。
【００２２】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ずれ検出部には、上記基準位置と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔を撮像する第１の撮像手段を備え、
上記コントローラは、上記第１の撮像手段による撮像結果に基づいて、上記移動体の位置を制御する。
【００２３】
この実施の形態によれば、上記ずれ検出部において、第１の撮像手段によって撮像された上記基準位置(例えば、上記移動体の位置)と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔に基づいて、上記コントローラによって、上記移動体の位置を制御するので、上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性検査の精度を向上させることができる。
【００２４】
また、１実施の形態の光電式エンコーダ検査装置では、
上記ずれ検出部には、上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向への向きを撮像する第２の撮像手段および第３の撮像手段を備え、
上記コントローラは、上記総ての撮像手段による撮像結果に基づいて、上記移動体の位置を制御する。
【００２５】
この実施の形態によれば、上記ずれ検出部において、第１の撮像手段によって撮像された上記基準位置と上記光電式エンコーダの上記挿入部との間隔に加えて、第２の撮像手段および第３の撮像手段によって撮像された上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向(Ｘ方向およびＹ方向)への向きに基づいて、上記コントローラによって、上記移動体の位置を制御するので、上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性検査の精度をさらに向上させることができる。
【００２６】
また、この発明の光電式エンコーダ検査装置は、
透光領域と遮光領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
互いに対向する発光素子と受光素子とを有し、上記発光素子から発光されて上記発光素子と上記受光素子との間に挿通された上記移動体の透光領域を透過した光を上記受光素子で受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する光電式エンコーダと、
上記光電式エンコーダがセットされると共に、このセットされた光電式エンコーダを、移動方向に沿って配置された各部に順次搬送するインデックス・テーブルと、
上記挿入部に上記移動体が挿通された上記光電式エンコーダの電気的光学的特性を検査するテスタと、
上記インデックス・テーブルに設けられると共に、上記光電式エンコーダがセットされて、このセットされた上記光電式エンコーダを上記インデックス・テーブルの面と直交する方向に移動させて位置決めを行う位置決め装置と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記位置決め装置に上記光電式エンコーダが仮セットされた後、上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向の位置決めを行う供給部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記位置決め装置によって、上記セットされた上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面と直交する方向の位置決めを行った後、上記光電式エンコーダの上記挿入部に上記移動体を挿通し、上記テスタによって上記光電式エンコーダの電気的光学的・特性を検査するテスト部と、
上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されると共に、上記光電式エンコーダを上記インデックス・テーブルから取り出す排出部と
を備えたことを特徴としている。
【００２７】
上記構成によれば、インデックス・テーブルに仮セットされた光電式エンコーダに対して、供給部において、上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向(Ｘ方向およびＹ方向)の位置決めを行い、テスト部において、上記インデックス・テーブルに設けられた位置決め装置によって、上記セットされた上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面と直交する方向(Ｚ方向)の位置決めを行うので、上記光電式エンコーダの形成寸法にばらつきがあったとしても、上記移動体を上記光電式エンコーダにおける発光素子と受光素子との中間位置に挿通することができる。したがって、上記光電式エンコーダの形成寸法ばらつきによる上記電気的・光学的特性の測定誤差を無くすことができる。
【００２８】
さらに、上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されて、上記光電式エンコーダの上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)の位置決めを行う位置決め部、および、上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されて、上記光電式エンコーダの上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)へのずれ量を検出するずれ検出部が、必要ではなくなる。したがって、光電式エンコーダ検査装置の構成が簡単になる。
【発明の効果】
【００２９】
以上より明らかなように、この発明の光電式エンコーダ検査装置は、インデックス・テーブルに仮セットされた光電式エンコーダに対して、供給部において、上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向(Ｘ方向およびＹ方向)の位置決めを行い、位置決め部において、上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)の位置決めを行い、ずれ検出部において、発光素子と受光素子との間に設けられた挿入部の上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)への基準位置からのずれ量を検出し、コントローラによって、上記ずれ検出部で検出された上記ずれ量に基づいて、上記光電式エンコーダにおける上記挿入部に挿通された移動体の位置を制御するので、上記光電式エンコーダの形成寸法にばらつきがあったとしても、上記移動体を上記光電式エンコーダにおける発光素子と受光素子との中間位置に挿通することができる。したがって、上記光電式エンコーダの形成寸法ばらつきによる電気的・光学的特性の測定誤差を無くすことができる。
【００３０】
さらに、上記移動体を、上記透光領域としてのスリットが周囲に形成された円形のディスクとし、テスト部において、ディスク取付台に載置された上記ディスクをディスク固定部材を介してナットによって締め付け固定する際に、上記ディスク取付台および上記ディスク固定部材は、互いに対向すると共に、上記ディスク取付台の周囲のみに形成された基準面と上記ディスク固定部材の周囲のみに形成された押さえ付け面とによって、上記ディスクを挟み込むようにすれば、従来の光電式エンコーダ検査装置のごとく、ディスク取付台の全面とディスク固定部材の全面とで上記ディスクを挟み込む場合よりも、上記基準面と上記押さえ付け面との面精度のばらつきによる影響を抑制することができる。したがって、電気的光学的特性の検査精度を向上させることができる。さらに、上記ディスクの「うねり」の影響を受け難くすることもできる。
【００３１】
また、この発明の光電式エンコーダ検査装置は、インデックス・テーブルに仮セットされた光電式エンコーダに対して、供給部において、上記インデックス・テーブルの面に平行で且つ互いに直交する２方向(Ｘ方向およびＹ方向)の位置決めを行い、テスト部において、上記インデックス・テーブルに設けられた位置決め装置によって、上記セットされた上記光電式エンコーダにおける上記インデックス・テーブルの面と直交する方向(Ｚ方向)の位置決めを行うので、上記光電式エンコーダの形成寸法にばらつきがあったとしても、上記移動体を上記光電式エンコーダにおける発光素子と受光素子との中間位置に挿通することができる。したがって、上記光電式エンコーダの形成寸法ばらつきによる電気的・光学的特性の測定誤差を無くすことができる。
【００３２】
さらに、上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されて、上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)の位置決めを行う位置決め部、および、上記インデックス・テーブルの移動方向に沿って配置されて、上記２方向と直交する方向(Ｚ方向)へのずれ量を検出するずれ検出部が、必要ではなくなる。したがって、光電式エンコーダ検査装置の構成が簡単になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３４】
図１は、本実施の形態の光電式エンコーダ検査装置における概略構成を示す。本光電式エンコーダ検査装置は、供給部１１,Ｚ方向位置決め部１２,ずれ検出部１３,テスト部１４および排出部１５が回転方向に沿って周囲に配置されているインデックス・テーブル１６と、コントローラ１７と、テスタ１８とを、有している。
【００３５】
上記供給部１１では、後に詳述するように、光電式エンコーダがオペレータによってインデックス・テーブル１６に仮にセットされた後に、上記光電式エンコーダの光軸に直交する(つまり、インデックス・テーブル１６の回転面に平行な)Ｘ方向およびＹ方向の位置決めを行う。また、Ｚ方向位置決め部１２では、上記光電式エンコーダを上記光電式エンコーダの光軸に平行なＺ方向の基準面に押し付けて、上記光電式エンコーダのＺ方向の位置を決める。また、ずれ検出部１３では、上記基準位置としての通りゲージを上記光電式エンコーダのディスク挿入部に挿通して、上記ディスク挿入部におけるＺ方向へのずれ量を検出する。また、テスト部１４では、上記光電式エンコーダのディスク挿入部に、後に詳述するディスクユニット２６によってディスク(図３参照)を挿入し、テスタ１８によって上記光電式エンコーダの電気的・光学的特性の検査を行う。排出部１５では、上記光電式エンコーダをインデックス・テーブル１６から取り出す。尚、２０,２１は、検査終了後の光電式エンコーダを検査結果に基づいて分類収納するための分類部である。
【００３６】
上述したように、上記Ｚ方向位置決め部１２で上記光電式エンコーダのＺ方向の位置を決めた後に、ずれ検出部１３で上記光電式エンコーダのディスク挿入部におけるＺ方向へのずれ量を検出するようにしている。したがって、テスト部１４で、上記ずれ量に基づいて所定の検査位置にディスク１９を移動させることによって、上記光電式エンコーダの形成寸法にばらつきがあったとしても、上記光電式エンコーダにおける発光素子と受光素子との中間位置にディスク１９を挿通することができる。したがって、上記光電式エンコーダの形成寸法ばらつきによる電気的・光学的特性の測定誤差を無くすことができるのである。
【００３７】
図２は、上記供給部１１において、上記インデックス・テーブル１６にセットされた光電式エンコーダ２２に対して行われるＸ方向およびＹ方向の位置決めの１例を示す。光電式エンコーダ２２のＸ方向およびＹ方向における一方の側は、固定爪２３の互いに直交する２面２３a,２３bによって固定される。一方、光電式エンコーダ２２のＸ方向およびＹ方向における他方の側は、可動する位置決め爪２４(Ｘ方向)および位置決め爪２５(Ｙ方向)によって押圧されて、位置決めされる。ここで、位置決め爪２４,２５は片側ずつ可動し、先に光電式エンコーダ２２に接触する方の位置決め爪による押圧力は弱く、後から光電式エンコーダ２２に接触する方の位置決め爪による押圧力の方が強い。例えば、Ｘ方向の位置決め爪２４を先に光電式エンコーダ２２に接触させてＸ方向の位置を決め、次にＹ方向の位置決め爪２５を光電式エンコーダ２２に接触させるのである。その際に、Ｘ方向の位置決め爪２４よる押圧力は弱くすることによって、Ｙ方向の位置決めの際に光電式エンコーダ２２がＹ方向に移動できるのである。このように、Ｘ方向の位置を決めた状態でＹ方向の位置を決めることによって、Ｘ方向およびＹ方向共に精度よく位置決めを行うことができるのである。
【００３８】
図３は、上記テスト部１４において、上記光電式エンコーダ２２のディスク挿入部にディスク１９の周縁が挿入されるように、ディスク１９をディスクユニット２６に取り付ける取付構造を示す。このディスクユニット２６は、周囲にディスク１９用の基準面２７aが設けられたディスク取付台２７、ディスク１９を基準面２７aに対して押し付けて固定するディスク固定部材２８、ディスク１９とディスク固定部材２８とを固定するナット２９とから構成されている。
【００３９】
上記ディスク取付台２７は、その上部に平面が設けられており、この平面の周縁を残して内側を削る(掘り込む)ことによって、基準面２７aが形成されている。一方、ディスク固定部材２８は、その下部に基準面２７aに平行な平面が設けられており、この平面の周縁を残して内側を削ることによって、ディスク取付台２７の基準面２７aに対向する押さえ付け面２８aが形成されている。こうして、ディスク取付台２７の周縁とディスク固定部材２８の周縁とに形成されて、互いに対向する基準面２７aと押さえ付け面２８aとでディスク１９を挟み込むことによって、図１１に示す従来の光電式エンコーダ検査装置のごとく、ディスク取付台２７の全面とディスク固定部材２８の全面とでディスク１９を挟み込む場合よりも、挟み付ける面積が狭い分だけ基準面２７aと押さえ付け面２８aとの面精度(平坦度)のばらつきによる影響を抑制することができる。したがって、電気特性や光学特性の検査精度を向上させることができるのである。また、ディスク１９の「うねり」の影響を受け難くすることもできる。
【００４０】
上記ディスク固定部材２８は、ディスク取付台２７の回転軸に沿ってディスク取付台２７の外方に延在しているシャフト３１に高精度に嵌め合わせる。この場合におけるディスク固定部材２８の貫通穴２８bの内径とシャフト３１の外径との差は、＋１０μm〜＋２０μmの精度が最もよい。尚、ディスク１９の材質や厚みによって、ディスク固定部材２８の貫通穴２８bとシャフト３１との隙間の数値を変更することは言うまでもない。
【００４１】
尚、外径が１００mmφ以上のディスク１９の場合には、図４に示すように、ディスク固定部材２８とナット２９との間に、所定の厚み(高さ)を有する挿入部材３０を挟み込むようにしている。こうすることによって、ディスク固定部材２８の押さえ付け面２８aによって均一にディスク１９を押さえ付けることができるのである。
【００４２】
図５は、図４に示す上記ディスクユニット２６とは異なる構造を有するディスクユニット２６を示す。ディスク取付台２７,ディスク固定部材２８,ナット２９,挿入部材３０およびシャフト３１は、図４に示すディスクユニット２６の場合と同じであり、説明は省略する。尚、図５(a)はディスクユニット２６の縦断面図であり、図５(b)はディスク固定部材２８を押さえ付け面２８a側から見た平面図である。
【００４３】
本ディスクユニット２６においては、上記ディスク固定部材２８における円形の押さえ付け面２８aには円形の溝が形成されており、この溝内にはゴム性のリング３２が所定の高さの部分を露出させて埋め込まれている。こうして、ディスク固定部材２８によってディスク１９を押さえ付ける場合には、ゴム性のリング３２によってディスク１９を押さえ付けるようにしている。したがって、ディスク固定部材２８によってディスク１９を押さえ付ける際におけるディスク１９の変形を、最小限にすることができる。また、ディスク１９の「うねり」の影響も受け難くすることができる。尚、ディスク１９の外径が１００mmφを下回る場合には挿入部材３０は無くてもよいことは、上述した通りである。尚、リング３２は、ディスク１９の材質や厚み等によって、ゴム以外の樹脂材やその他の弾性体を用いることも可能である。
【００４４】
図６は、図４および図５に示す上記ディスクユニット２６とは異なる構造を有するディスクユニット２６を示す。ディスク取付台２７,ディスク固定部材２８,ナット２９,挿入部材３０およびシャフト３１は、図４に示すディスクユニット２６の場合と同じであり、説明は省略する。尚、図６(a)はディスクユニット２６の縦断面図であり、図６(b)はディスク固定部材２８を押さえ付け面２８a側から見た平面図である。
【００４５】
本ディスクユニット２６においては、上記ディスク固定部材２８における円形の押さえ付け面２８aには、円形に配列された半球状の窪みが複数形成されており、この窪み内には球体３３が所定の高さの部分を露出させて埋め込まれている。こうして、ディスク固定部材２８によってディスク１９を押さえ付ける場合には、球体３３によってディスク１９を押さえ付けるようにしている。したがって、ディスク固定部材２８によってディスク１９を押さえ付ける際におけるディスク１９の変形を最小限にすることができる。また、ディスク１９の「うねり」の影響も受け難くすることができる。尚、ディスク１９の外径が１００mmφを下回る場合には、挿入部材３０は無くてもよいことは上述した通りである。ここで、球体３３としては、金属,樹脂およびゴム等が使用可能である。
【００４６】
図７は、図４,図５および図６に示すディスクユニット２６とは異なる構造を有するディスクユニット２６を示す。尚、図７(a)はディスク１９と光電式エンコーダ２２との位置関係を示す平面図であり、図７(b)はディスクユニット２６の縦断面図である。ディスク取付台２７,ディスク固定部材２８,ナット２９およびシャフト３１は、図３に示すディスクユニット２６の場合と同じであり、説明は省略する。
【００４７】
本ディスクユニット２６においては、上記光電式エンコーダ２２の両側に隣接して、ディスク１９の周縁部を表裏から挟んでディスク１９の回転ブレを抑える転動可能な球体３４を配置している。この場合には、ディスク１９の回転ブレを抑える専用の球体３４を有して、球体３４によってディスク１９を挟み込んでディスク１９の位置決めを行うため、電気的・光学的特性の検査精度が向上する。したがって、ディスク取付台２７の基準面２７aおよびディスク固定部材２８の押さえ付け面２８aに対する面精度を高くする必要がなくなり、ディスク取付台２７およびディスク固定部材２８の形成が容易になる。
【００４８】
図８は、上記ずれ検出部１３において検出された光電式エンコーダ２２の上記ディスク挿入部におけるＺ方向へのずれ量に基づいて、テスト部１４において、光電式エンコーダ２２に対するディスク１９のＺ方向への位置を修正する方法の説明図である。
【００４９】
上記ずれ検出部１３において、上記光電式エンコーダ２２におけるディスク挿入部に向けてラインセンサ４１を配置し、ラインセンサ４１によって、光電式エンコーダ２２のディスク挿入部におけるＺ方向の中心位置とディスク１９の挿入位置との間隔を測定し、測定結果を制御部４２に送出する。そうすると、上記制御部４２は、ディスク挿入部におけるＺ方向の中心位置とディスク１９の挿入位置との間隔の測定結果を解析し、その解析結果に基づいて、コントローラ４３に制御信号を送出する。そして、コントローラ４３によって、上記制御信号に基づいて、ディスク取付台２７,ディスク固定部材２８およびナット２９等を含むディスクユニット２６をＺ方向に移動させ、光電式エンコーダ２２における上記発光素子と上記受光素子との中間の位置にディスク１９を移動させる。こうして、検査を行うことによって、検査精度を向上させることができるのである。
【００５０】
図９は、上記ずれ検出部１３において検出された光電式エンコーダ２２の上記ディスク挿入部におけるＺ方向へのずれ量に基づいて、テスト部１４において、光電式エンコーダ２２に対するディスク１９のＺ方向への位置を修正する図８とは異なる方法の説明図である。
【００５１】
上記ずれ検出部１３において、上記光電式エンコーダ２２におけるディスク挿入部に向けてカメラ４４を配置し、カメラ４４によって、光電式エンコーダ２２のディスク挿入部におけるＺ方向の中心位置とディスク１９の挿入位置との間隔を撮像し、撮像結果を制御部４５に送出する。そうすると、制御部４５は、ディスク挿入部におけるＺ方向の中心位置とディスク１９の挿入位置との間隔の撮像結果を解析し、その解析結果に基づいて、コントローラ４６に制御信号を送出する。そして、コントローラ４６によって、上記制御信号に基づいて、ディスク取付台２７,ディスク固定部材２８およびナット２９等を含むディスクユニット２６をＺ方向に移動させ、光電式エンコーダ２２における上記発光素子と上記受光素子との中間の位置にディスク１９を移動させる。こうして、検査を行うことによって、検査精度を向上させることができるのである。
【００５２】
尚、上記ずれ検出部１３において、上記通りゲージがディスク挿入部に挿通された光電式エンコーダ２２における上記通りゲージと上記ディスク挿入部との隙間を撮像するに際して、カメラ４４の他に、カメラ４７,４８で光電式エンコーダ２２のＸ,Ｙ方向の向きを撮像することによって、Ｚ方向のみならず、Ｘ,Ｙ方向の位置調整を行うことが可能になる。
【００５３】
図１０は、上記テスト部１４において、インデックステーブル１６上にあるデバイス位置決めユニット４９をＺ方向に動かす構造の説明図である。図１０において、先ず、光電式エンコーダ２２をデバイスガイド５０によってクランプし、光電式エンコーダ２２をクランプした状態で、デバイス位置決めユニット４９が所定の位置まで下降する。このようにして、光電式エンコーダ２２のＺ方向の位置決めが行われるのである。尚、この場合におけるＺ方向への移動量は、図８に示すラインセンサ４１を用いる方法や、図９に示すカメラ４４を用いる方法によって得られる。
【００５４】
次に、コントローラ５１によって、ディスク取付台２７,ディスク固定部材２８およびナット２９等を含むディスクユニット２６が移動されて、ディスク取付台２７上にディスク固定部材２８およびナット２９によって固定されたディスク１９の周縁が、光電式エンコーダ２２のディスク挿入部の中間に挿入される。そして、この状態で、光電式エンコーダ２２の電気的・光学的特性の検査が行われるのである。
【００５５】
以上のように、上記インデックステーブル１６上にデバイス位置決めユニット４９を設置した場合には、テスト部１４において光電式エンコーダ２２のＺ方向の位置決めが行われる。したがって、インデックステーブル１６の周囲に、Ｚ方向位置決め部１２およびずれ検出部１３を配置する必要がなくなる。したがって、光電式エンコーダ検査装置の構成が簡単になる。
【００５６】
尚、その場合には、上記供給部１１で行われる光電式エンコーダ２２に対するＸ方向の位置決めおよびＹ方向の位置決めは、デバイス位置決めユニット４９における光電式エンコーダ２２据え付け位置に光電式エンコーダ２２をセットした状態で、図２で説明したようにして行えばよい。
【００５７】
また、上記実施の形態においては、円形の回転するインデックステーブル１６を例に上げて説明している。しかしながら、この発明は、回転ではなく一方向に移動するインデックステーブルにも適用できることは言うまでもない。
【００５８】
また、この発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、多様に変形することができる。その際に、個々の構造の組み合わせによっても高精度での検査が可能であるし、各スリットの構成を変更してもよい。さらに、ロータリーエンコーダーの代わりに他の種類の回転検査装置に適用しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】この発明の光電式エンコーダ検査装置における概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す光電式エンコーダ検査装置において光電式エンコーダのＸ方向およびＹ方向の位置決め装置の説明図である。
【図３】ディスクユニットを示す図である。
【図４】図３とは異なるディスクユニットを示す図である。
【図５】図３および図４とは異なるディスクユニットを示す図である。
【図６】図３,図４および図５とは異なるディスクユニットを示す図である。
【図７】図３〜図５および図６とは異なるディスクユニットを示す図である。
【図８】図１におけるテスト部においてディスクのＺ方向への位置修正の説明図である。
【図９】図８とは異なるＺ方向への位置修正の説明図である。
【図１０】デバイス位置決めユニットをＺ方向に動かす構造の説明図である。
【図１１】従来の光電式エンコーダの電気特性の検査方法の説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
１１…供給部、
１２…Ｚ方向位置決め部、
１３…ずれ検出部、
１４…テスト部、
１５…排出部、
１６…インデックス・テーブル、
１７…コントローラ、
１８…テスタ、
１９…ディスク、
２２…光電式エンコーダ、
２３…固定爪、
２４…Ｘ方向の位置決め爪、
２５…Ｙ方向の位置決め爪、
２６…ディスクユニット、
２７…ディスク取付台、
２７a…基準面、
２８…ディスク固定部材、
２８a…押さえ付け面、
２９…ナット、
３０…挿入部材、
３１…シャフト、
３２…リング、
３３…球体、
３４…ローラ、
４１…ラインセンサ、
４２,４５…制御部、
４３,４６,５１…コントローラ、
４４,４７,４８…カメラ、
４９…デバイス位置決めユニット、
５０…デバイスガイド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008032611.tif 000008
【図７】
2008032611.tif 000009
【図８】
2008032611.tif 000010
【図９】
2008032611.tif 000011
【図１０】
2008032611.tif 000012
【図１１】
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