(57)【要約】【課題】画面の操作を要求する下位ＰＣに対して特定の画面群の操作権を付与する。【解決手段】上位ＰＣ１００は、複数のＰＭまたはＴＭを制御する複数の下位ＰＣ２００と接続されている。上位ＰＣ１００は、画面データベース１５０，１５５に下位ＰＣ２００に表示可能な画面群を記憶する。画面特定部１６０は、下位ＰＣ２００からの画面の操作要求に応じて、画面データベースに記憶された複数の画面群から要求された画面群を特定する。操作権判定部１６５は、特定された画面群の操作権を、要求した下位ＰＣ２００に与えるか否かを判定する。操作権判定部１６５により要求した下位ＰＣ２００に操作権を与えると判定された場合、操作権付与部１７０は、特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく、特定された画面群の操作権を下位ＰＣ２００に付与する。【選択図】図１６
2008129622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第１の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第２の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、前記第１の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに前記第１の下位制御装置および前記第２の下位制御装置を制御する上位制御装置であって、
前記第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および前記第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ記憶する画面データベースと、
前記第１の下位制御装置または前記第２の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、前記画面データベースに記憶された複数の画面群から前記操作を要求された画面群を特定する画面特定部と、
前記画面特定部により特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定する操作権判定部と、
前記操作権判定部により前記画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、前記第１の下位制御装置、前記第２の下位制御装置および前記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可するために、前記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更することなく前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に付与する操作権付与部とを備える上位制御装置。
【請求項２】
前記操作権判定部は、
前記特定された画面群の操作権が、前記複数の制御装置のうち、前記要求した下位制御装置以外の制御装置に付与されている場合、前記操作権を付与されている制御装置にて実行中の処理が終了した後、前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定する請求項１に記載された上位制御装置。
【請求項３】
前記操作権判定部は、
前記上位制御装置により操作を要求された画面群の操作権がいずれかの下位制御装置に付与されている場合、前記いずれかの下位制御装置にて実行中の処理が終了した後、前記要求された画面群の操作権を前記上位制御装置に与えると判定する請求項２に記載された上位制御装置。
【請求項４】
前記操作権判定部は、
前記複数の制御装置から同じ画面群の操作が要求された場合、予め定められた優先順位にしたがって、前記複数の制御装置のうち優先順位が高い制御装置から順に前記要求された画面群の操作権を与えると判定する請求項３に記載された上位制御装置。
【請求項５】
前記操作権判定部は、
前記操作を要求した制御装置に対して予め操作権の付与を禁止しているか否かを判定し、禁止している場合、前記操作を要求した制御装置に操作権を与えないと判定する請求項１〜４のいずれかに記載された上位制御装置。
【請求項６】
前記操作権付与部により操作権が前記上位制御装置に付与された場合、前記操作権が付与された上位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報を受け付ける入力部と、
前記操作権付与部により操作権がいずれかの下位制御装置に付与された場合、前記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報を前記操作権が付与された下位制御装置から受信する通信部と、
前記基板処理装置にて実行される複数の基板処理の手順を示したレシピを記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された各レシピに基づき、前記通信部により受信された情報に基づいて実行される所定の処理を、前記入力部により受け付けられた入力情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して実行する処理実行制御部とをさらに備える請求項３〜５のいずれかに記載された上位制御装置。
【請求項７】
前記上位制御装置の表示部は、
前記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面への入力操作に対応して前記通信部により受信された情報に基づき、前記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面の内容と整合性を保つように、前記上位制御装置の表示部に表示された画面の内容を更新する請求項６に記載された上位制御装置。
【請求項８】
前記上位制御装置の表示部は、
下位制御装置のいずれかに前記操作権が付与された場合であって、前記上位制御装置の表示部に前記操作権が付与された画面群を表示することが予め禁止されている場合、前記画面群を表示しない請求項６に記載された上位制御装置。
【請求項９】
前記上位制御装置は、複数の基板処理装置を制御する複数の第１の下位制御装置と接続されるとともに、前記複数の基板処理装置に隣接し、基板を搬送する搬送装置を制御する第２の下位制御装置と接続され、
前記画面データベースは、
前記複数の第１の下位制御装置の表示部に表示される複数の画面群および前記第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群を画面群毎に管理し、
前記記憶部は、
前記複数の基板処理装置により実行される複数の基板処理の処理手順をレシピ毎に管理し、
前記操作権付与部は、
前記画面データベースにより管理された画面群毎に画面の操作権を前記複数の制御装置のいずれかに付与することにより、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可し、
前記処理実行制御部は、
前記記憶部により管理された各レシピに基づき、前記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理を並行して排他的に制御する請求項６〜８のいずれかに記載された上位制御装置。
【請求項１０】
前記複数の第１の下位制御装置は、
前記複数の基板処理装置が配設された室内であって、前記複数の基板処理装置の近傍に配置され、
前記第２の下位制御装置は、前記複数の基板処理装置が配設された室内と同一室内であって、前記複数の基板処理装置に隣接して配設された前記搬送装置の近傍に配置され、
前記上位制御装置は、
前記室内から隔離された室外に配置され、各下位制御装置と情報を送受信することにより、前記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理および前記搬送装置にて実行される搬送処理を制御するとともに、前記各下位制御装置の表示部に表示可能な画面群の操作権の付与を制御する請求項９に記載された上位制御装置。
【請求項１１】
画面の操作権を制御する上位制御装置にネットワークを介して接続され、基板処理装置を操作するための画面群または搬送装置を操作するための画面群のいずれかを表示可能な表示部を備える下位制御装置であって、
前記下位制御装置の表示部に表示可能な画面群を記憶する画面データベースと、
前記画面データベースに記憶された画面群の操作権を要求するための情報を生成する操作権要求部と、
前記操作権要求部により生成された操作権要求情報を前記上位制御装置に送信することにより画面の操作を要求し、送信された操作権要求情報に応じて前記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更することなく、前記操作を要求された画面群の操作権が前記上位制御装置により前記下位制御装置に付与された場合、前記操作権を付与された下位制御装置の表示画面を用いて入力された情報を前記上位制御装置に送信する通信部とを備えることにより、前記操作権を付与された下位制御装置から送信された情報に基づいて実行される所定の処理を、前記上位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して前記上位制御装置に実行させる下位制御装置。
【請求項１２】
基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第１の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第２の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、前記第１の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに前記第１の下位制御装置および前記第２の下位制御装置を制御する上位制御装置を用いて画面の操作権を付与する方法であって、
前記第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および前記第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ画面データベースに記憶し、
前記第１の下位制御装置または前記第２の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、前記画面データベースに記憶された複数の画面群から前記操作を要求された画面群を特定し、
前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定し、
前記画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、前記第１の下位制御装置、前記第２の下位制御装置および前記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可するために、前記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に付与する画面の操作権付与方法。
【請求項１３】
基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第１の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第２の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、前記第１の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに前記第１の下位制御装置および前記第２の下位制御装置を制御する上位制御装置を用いて画面の操作権を付与する処理をコンピュータに実行させるための画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および前記第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ画面データベースに記憶する処理と、
前記第１の下位制御装置または前記第２の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、前記画面データベースに記憶された複数の画面群から前記操作を要求された画面群を特定する処理と、
前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定する処理と、
前記画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、前記第１の下位制御装置、前記第２の下位制御装置および前記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可するために、前記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に付与する処理とをコンピュータに実行させる画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置または搬送装置を制御する下位制御装置の表示部に表示可能な画面群の操作権の付与を制御する上位制御装置、画面の操作を要求する下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板に所定の処理を施す複数の基板処理装置および基板を搬送する搬送装置をクリーンルーム内に配設し、さらに、複数の基板処理装置および搬送装置を制御する下位ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）をクリーンルーム内の各装置の近傍にそれぞれ設けるとともに、クリーンルーム外に上位ＰＣを設け、ネットワークを介して上位ＰＣと下位ＰＣとが情報をやり取りすることにより、上位ＰＣを用いて基板処理を遠隔的に制御するシステムが提供されている。このシステムによれば、上位ＰＣによる遠隔操作によって、クリーンルーム内へ人が出入りすることを極力抑えることにより、クリーンルーム内の汚染を最小限に留めることができる。
【０００３】
このような遠隔制御システムにおいて、上位ＰＣの表示部と下位ＰＣの表示部とは、同じ画面群を共有して表示するようになっており、正常動作中は、上位ＰＣが、画面の操作権を有し、クリーンルーム内の各装置に異常が発生した場合等、特別な状況になると、下位ＰＣが、上位ＰＣから同画面の操作権を一時的に譲り受けるようになっていた（たとえば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３４８６０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のシステムによれば、上位ＰＣまたは下位ＰＣのいずれか一方に画面の操作権を移すことはできるものの、画面の操作権を有するＰＣは必ず一台に限られていた。よって、一方のＰＣに操作権がある場合、他方のＰＣに表示された画面を他方のＰＣを用いて操作することはできず、たとえ、他方のＰＣへの画面の操作要求を通知したとしても、オペレータは、他方のＰＣに画面の操作権が移されるまで長い時間待たなければならず効率が悪かった。
【０００６】
さらに、近年、クラスタ構造のシステムに含まれる基板処理装置の数は、増加する傾向にある。このため、画面の操作権を有するＰＣ以外の下位ＰＣの数が多くなり、それらの下位ＰＣにて画面を操作したいときであっても、自機に画面の操作権が移されるまで、さらに長い時間待たなければならなかった。この結果、オペレータは、画面の操作権を有するＰＣ（通常、上位ＰＣ）の存在する場所まで行って、そのＰＣの画面を操作しなければならず、非常に不便であった。
【０００７】
特に、工場内に導入されたシステムを安定した量産体制に移行させる前段階において、クリーンルーム内の各装置（基板処理装置や搬送装置）が評価機として機能する場合、たとえば、搬送装置に基板が衝突するなど各装置でいろいろなトラブルが発生することが予想される。この場合、上位ＰＣにて遠隔操作するよりも、各装置の近傍に配置された下位ＰＣの画面を操作することにより、各装置の状態を確かめながら各装置の動作を制御する方がやりやすく、効率的である。
【０００８】
そこで、本発明は、画面の操作を要求する下位制御装置に対して特定の画面群の操作権を付与するか否かを制御する上位制御装置、画面の操作を要求する下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第１の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第２の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、上記第１の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに上記第１の下位制御装置および上記第２の下位制御装置を制御する上位制御装置が提供される。
【００１０】
この上位制御装置は、上記第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および上記第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ記憶する画面データベースと、上記第１の下位制御装置または上記第２の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、上記画面データベースに記憶された複数の画面群から上記操作を要求された画面群を特定する画面特定部と、上記画面特定部により特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定する操作権判定部と、上記操作権判定部により上記画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、上記第１の下位制御装置、上記第２の下位制御装置および上記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可するために、上記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更することなく上記特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に付与する操作権付与部とを備える。
【００１１】
これによれば、画面を操作する権利を与えるか否かは、操作要求された画面群毎に上位制御装置によって判断される。これにより、下位制御装置により操作要求された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく、操作要求された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に付与することができる。この結果、オペレータは、操作を要求した下位制御装置については、該当下位制御装置の画面を操作することによりトラブルが生じた装置の状態を確認しつつその装置を制御することができ、他の装置については、上位制御装置の画面を遠隔操作することによりシステム全体を統括的に制御することができる。
【００１２】
このようにして、各オペレータは、上記第１の下位制御装置、上記第２の下位制御装置および上記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる２以上の制御装置を用いて、異なる画面群に対して同時に別々に操作することができる。これにより、画面を操作することができる制御装置が一台のみに限られ、それ以外の制御装置が操作したいとき、すぐに自己の制御装置を用いて自由に画面を操作することができないという不具合を解消し、操作性の高いシステムをユーザに提供することができる。
【００１３】
上記操作権判定部は、上記特定された画面群の操作権が、上記複数の制御装置のうち、上記要求した下位制御装置以外の制御装置に付与されている場合、上記操作権を付与されている制御装置にて実行中の処理が終了した後、上記特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えると判定してもよい。
【００１４】
また、上記操作権判定部は、上記上位制御装置により操作を要求された画面群の操作権がいずれかの下位制御装置に付与されている場合、上記いずれかの下位制御装置にて実行中の処理が終了した後、上記要求された画面群の操作権を上記上位制御装置に与えると判定してもよい。
【００１５】
これらの判定方法によれば、上位制御装置の操作権判定部のみが、画面の操作権を付与するか否かを判定することができる。これにより、たとえば、同じ画面群に対してほぼ同時に複数の制御装置から操作要求があった場合に生じるデッドロックなど、複数の制御装置が操作権の付与を制御するときに生じる可能性があるシステム上の問題を取り除くことができる。この結果、本来的な業務として重要度が一番高い基板処理を制御する制御系の安定性を低下させることなく、ユーザアビリティを向上させることができる。
【００１６】
これにより、オペレータは、より効率よく画面を操作することができるだけでなく、周囲の状況の変化に応じて上位制御装置または下位制御装置の画面をフレキシブルに操作することにより操作ミスを軽減することができる。この結果、製品の生産性を高めることができる。
【００１７】
上記操作権判定部は、上記複数の制御装置から同じ画面群の操作が要求された場合、予め定められた優先順位にしたがって、上記複数の制御装置のうち優先順位が高い制御装置から順に上記要求された画面群の操作権を与えると判定してもよい。
【００１８】
また、上記操作権判定部は、上記操作を要求した制御装置に対して予め操作権の付与を禁止しているか否かを判定し、禁止している場合、上記操作を要求した制御装置に操作権を与えないと判定してもよい。
【００１９】
これによれば、予め定められた条件にしたがって、上記要求された画面群の操作権を要求された制御装置に与えるか否かを判定することができる。たとえば、上位制御装置と下位制御装置とが、ほぼ同じタイミングに同じ画面群の操作を要求した場合、予め上位制御装置の優先順位を下位制御装置より高くしておけば、要求された画面群の操作権を上位制御装置に優先的に付与することができる。
【００２０】
この結果、たとえば、いずれかの基板処理装置にトラブルが生じている場合、オペレータは、トラブルが生じている基板処理装置の近傍に配置された下位制御装置の画面を用いて基板処理装置の状態を確かめながら操作することができる。一方、操作を要求された画面群以外の画面群については、その操作権の付与先を変更させることなく、他の制御装置（通常、上位制御装置）により操作できるようになっているので、各制御装置を操作するオペレータの操作の待ち時間を著しく軽減することができる。
【００２１】
上位制御装置は、上記操作権付与部により操作権が上記上位制御装置に付与された場合、上記操作権が付与された上位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報を受け付ける入力部と、上記操作権付与部により操作権がいずれかの下位制御装置に付与された場合、上記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報を上記操作権が付与された下位制御装置から受信する通信部と、上記基板処理装置にて実行される複数の基板処理の手順を示したレシピを記憶する記憶部と、上記記憶部に記憶された各レシピに基づき、上記通信部により受信された情報に基づいて実行される所定の処理を、上記入力部により受け付けられた入力情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して実行する処理実行制御部とをさらに備えていてもよい。
【００２２】
これによれば、ある画面群の操作権が上位制御装置にある場合、上位制御装置の画面から入力された情報に基づき、入力情報に応じた処理手順にしたがって基板に所定の処理が施される。また、他のある画面群の操作権が下位制御装置にある場合、下位制御装置の画面から入力された情報を上位制御装置が受信することにより、受信情報に応じた処理手順にしたがって基板に他の所定の処理が施される。
【００２３】
このように、画面への入力操作が有効になるのは、操作権を有する制御装置のみであり、画面群毎に操作権をいずれかの制御装置に付与しているため、オペレータは、異なる制御装置に表示された、異なる画面群を同時に別々に操作することができる。
【００２４】
一方、有効な画面への入力操作に基づいて行われる基板処理制御自体はすべて上位制御装置にて実行される。すなわち、上位制御装置は、各処理手順に示したレシピを用いてプロセスを制御し、下位制御装置は、上位制御装置の指令に基づいて各装置を駆動する。
【００２５】
これにより、上位制御装置の処理実行制御部は、操作権を有する複数の制御装置から指示された情報（すなわち、下位制御装置から受信した情報や上位制御装置に入力された情報）に基づき複数の処理を並行して実行するように制御することができる。また、このようにして、画面の操作権の有無にかかわらずすべての実体処理を上位制御装置にて制御することにより、各プロセスを遂行するためのデータの不整合を回避して、システムを安定的に稼働することができる。
【００２６】
なお、所定の処理の一例としては、基板処理装置にて実行される基板処理として、有機ＥＬ膜蒸着処理、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学蒸着薄膜成膜法）処理、エッチング処理、スパッタリング処理が挙げられ、搬送装置にて実行される処理としては、基板の搬送処理が挙げられる。
【００２７】
上記上位制御装置の表示部は、上記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面への入力操作に対応して上記通信部により受信された情報に基づき、上記上位制御装置の表示部に表示された画面の内容を更新するようにしてもよい。
【００２８】
これによれば、上記上位制御装置の表示画面の内容と上記操作権が付与された下位制御装置の表示画面の内容との整合性を保つことができる。
【００２９】
一方、上記上位制御装置の表示部は、下位制御装置のいずれかに上記操作権が付与された場合であって、上記上位制御装置の表示部に上記操作権が付与された画面群を表示することが予め禁止されている場合、上記画面群を表示しないようにしてもよい。
【００３０】
これによれば、ある下位制御装置に操作権が付与された画面群は、上位制御装置および他の下位制御装置の画面に表示されない。これにより、重要な情報を操作権のない制御装置の画面に出力することによって重要な情報が流出することを防ぐことができる。
【００３１】
上記上位制御装置は、複数の基板処理装置を制御する複数の第１の下位制御装置と接続されるとともに、上記複数の基板処理装置に隣接し、基板を搬送する搬送装置を制御する第２の下位制御装置と接続され、上記画面データベースは、上記複数の第１の下位制御装置の表示部に表示される複数の画面群および上記第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群を画面群毎に管理し、上記記憶部は、上記複数の基板処理装置により実行される複数の基板処理の処理手順をレシピ毎に管理し、上記操作権付与部は、上記画面データベースにより管理された画面群毎に画面の操作権を上記複数の制御装置のいずれかに付与することにより、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可し、上記処理実行制御部は、上記記憶部により管理された各レシピに基づき、上記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理を並行して排他的に制御してもよい。
【００３２】
これによれば、複数の第１の下位制御装置を含んだ２以上の制御装置が、異なる画面群に対して同時に別々に操作することができる。また、上記記憶部により管理された各処理手順に基づき、上記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理および上記搬送装置にて実行される搬送処理のうちの２以上の処理を並行して排他的に制御することができる。
【００３３】
上記複数の第１の下位制御装置は、上記複数の基板処理装置が配設された室内であって、上記複数の基板処理装置の近傍に配置され、上記第２の下位制御装置は、上記複数の基板処理装置が配設された室内と同一室内であって、上記複数の基板処理装置に隣接して配設された上記搬送装置の近傍に配置され、上記上位制御装置は、上記室内から隔離された室外に配置され、各下位制御装置と情報を送受信することにより、上記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理および上記搬送装置にて実行される搬送処理を制御するとともに、上記各下位制御装置の表示部に表示可能な画面群の操作権の付与を制御するようにしてもよい。
【００３４】
これによれば、複数の基板処理装置および搬送装置を、たとえばクリーンルーム内に配設し、さらに、複数の基板処理装置および搬送装置を制御する複数の下位制御装置をクリーンルーム内の制御対象となる装置の近傍に設けるとともに、クリーンルーム外に上位制御装置を設け、ネットワークを介して上位制御装置と下位制御装置とが情報をやり取りすることにより、上位制御装置を用いてクリーンルーム内の各装置を遠隔操作することができる。これにより、クリーンルーム内への人の出入りを極力抑えることにより、クリーンルーム内の汚染を最小限に留めることができる。
【００３５】
これに加え、かかる構成によれば、正常動作中は、上位制御装置が画面の操作権を有し、クリーンルーム内の基板処理装置にトラブルが発生した場合等、特別な場合には、下位制御装置が、上位制御装置から特定の画面群の操作権のみを譲り受けることができる。これにより、オペレータは、トラブルが発生した装置に対しては、操作権が付与された下位制御装置の画面を用いてトラブルが発生した装置の状態を確かめながら操作し、他の装置に対しては、たとえば、上位制御装置の画面を操作することにより遠隔制御することができる。
【００３６】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、画面の操作権を制御する上位制御装置にネットワークを介して接続され、基板処理装置を操作するための画面群または搬送装置を操作するための画面群のいずれかを表示可能な表示部を備える下位制御装置であって、上記下位制御装置の表示部に表示可能な画面群を記憶する画面データベースと、上記画面データベースに記憶された画面群の操作権を要求するための情報を生成する操作権要求部と、上記操作権要求部により生成された操作権要求情報を上記上位制御装置に送信することにより画面の操作を要求し、送信された操作権要求情報に応じて上記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更することなく、上記操作を要求された画面群の操作権が上記上位制御装置により上記下位制御装置に付与された場合、上記操作権を付与された下位制御装置の表示画面を用いて入力された情報を上記上位制御装置に送信する通信部とを備えることにより、上記操作権を付与された下位制御装置から送信された情報に基づいて実行される所定の処理を、上記上位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して上記上位制御装置に実行させる下位制御装置が提供される。
【００３７】
これによれば、下位制御装置からの操作要求に応じて、操作要求された画面群の操作権を（要求された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく）上記要求した下位制御装置に付与することができる。
【００３８】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第１の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第２の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、上記第１の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに上記第１の下位制御装置および上記第２の下位制御装置を制御する上位制御装置を用いて画面の操作権を付与する方法であって、上記第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および上記第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ画面データベースに記憶し、上記第１の下位制御装置または上記第２の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、上記画面データベースに記憶された複数の画面群から上記操作を要求された画面群を特定し、上記特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定し、上記画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、上記第１の下位制御装置、上記第２の下位制御装置および上記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可するために、上記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく上記特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に付与する画面の操作権付与方法が提供される。
【００３９】
さらに、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第１の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第２の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、上記第１の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第２の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに上記第１の下位制御装置および上記第２の下位制御装置を制御する上位制御装置を用いて画面の操作権を付与する処理をコンピュータに実行させるための画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体であって、上記第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および上記第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ画面データベースに記憶する処理と、上記第１の下位制御装置または上記第２の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、上記画面データベースに記憶された複数の画面群から上記操作を要求された画面群を特定する処理と、上記特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定する処理と、上記画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、上記第１の下位制御装置、上記第２の下位制御装置および上記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可するために、上記特定された画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく上記特定された画面群の操作権を上記要求した下位制御装置に付与する処理とをコンピュータに実行させる画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体が提供される。
【発明の効果】
【００４０】
以上説明したように、本発明によれば、画面の操作を要求した制御装置に要求された特定の画面群の操作権を付与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、同一の構成及び機能を有する構成要素については、同一符号を付することにより、重複説明を省略する。
【００４２】
（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態にかかる基板処理システムについて、図１および図２を参照しながら説明する。図１は、基板処理システムの概略図であり、図２は、基板処理システムを構成する各機器の配置図である。
【００４３】
（基板処理システム）
基板処理システム１０は、上位ＰＣ１００、下位ＰＣ２００ａ〜２００ｅ、ＴＭ（Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｍｏｄｕｌｅ）、ＰＭ（Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｍｏｄｕｌｅ）１〜ＰＭ４を有している。各機器は、たとえば、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）等のネットワーク３００によりそれぞれ接続されている。また、上位ＰＣ１００は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）４００を経由してホストコンピュータ５００に接続されている。
【００４４】
図２に示したように、下位ＰＣ２００ｂ〜２００ｅ（複数の第１の下位制御装置に相当）は、ＰＭ１〜ＰＭ４が配設されたクリーンルームＣｌｎ内であって、ＰＭ１〜ＰＭ４の近傍にそれぞれ配置されている。下位ＰＣ２００ａ（第２の下位制御装置に相当）は、クリーンルームＣｌｎ内部の各ＰＭの中央にて配設されたＴＭの近傍に配置されている。
【００４５】
上位ＰＣ（上位制御装置に相当）は、クリーンルームＣｌｎから隔離された室外に配置されている。上位ＰＣ１００は、下位ＰＣ２００との間で制御信号を送受信することにより、ＴＭおよびＰＭ１〜ＰＭ４をそれぞれ遠隔制御する。具体的には、上位ＰＣ１００は、ＴＭにて基板を搬送する処理を遠隔操作するとともに、ＰＭ１〜ＰＭ４にて施される所望の処理を遠隔操作する。これにより、クリーンルーム内への人の出入りを極力抑え、クリーンルーム内の汚染を最小限に留めることができる。ただし、上位ＰＣ１００は、クリーンルームＣｌｎ内に配置されていてもよい。
【００４６】
下位ＰＣ２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、２００ｄ、２００ｅは、ディスプレイ２００ａＳＤ、ディスプレイ２００ｂＳＤ、ディスプレイ２００ｃＳＤ、ディスプレイ２００ｄＳＤ、ディスプレイ２００ｅＳＤを有していて、ＴＭを操作するための画面群、ＰＭ１を操作するための画面群、ＰＭ２を操作するための画面群、ＰＭ３を操作するための画面群、ＰＭ４を操作するたの画面群をそれぞれ表示可能である。上位ＰＣ１００は、ディスプレイ１００ＭＤを有していて、下位ＰＣ２００ｂ〜２００ｅのディスプレイ２００ＳＤに表示され得る画面群を表示可能である。
【００４７】
ＴＭ，ＰＭ１〜ＰＭ４には、各内部機器の状態を検知するセンサ群ＴＭｓ、ＰＭ１ｓ、ＰＭ２ｓ、ＰＭ３ｓ、ＰＭ４ｓがそれぞれ取り付けられていて、その検出値は、安全ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）にそれぞれ入力されるようになっている。安全ＰＬＣは、従来、ハードウエア（安全回路）にて構築されていたインターロック条件を、プログラマブル化し、ソフトウエアにて制御することが可能な安全認証されたソフトインターロック装置に相当する。
【００４８】
これらの安全ＰＬＣには、上位ＰＣ１００から送信された制御信号も入力される。安全ＰＬＣは、制御信号とセンサからの検出値を示した検出信号とを入力することにより、これらの入力信号が予め定められたインターロック条件を１つでも満たす場合には、出力信号を下位ＰＣ２００に送出しないように制御する。これにより、下位ＰＣ２００は、インターロック条件を満たす誤出力信号を駆動信号として各モジュール（ＴＭ，ＰＭ１〜ＰＭ４）内の各機器を駆動することにより発生する誤動作、たとえば、混合すると危険なガスを供給するタイミングの誤りや基板を搬送するタイミングの誤りなどを回避することができる。この結果、ＴＭやＰＭ内部の機器を保護するとともに工場内の作業員の安全を確保することができる。
【００４９】
ホストコンピュータ５００は、上位ＰＣ１００とデータを送受信することにより、データ管理など基板処理システム１０全体を管理する。
【００５０】
なお、ＴＭは、基板を搬送する搬送装置に相当し、ＰＭ１〜ＰＭ４は、基板に所定の処理を施す基板処理装置に相当する。各ＰＭにて実行される所定の処理の一例としては、ＰＭ１内のスパッタ機器により実行されるスパッタリング処理、ＰＭ２内のエッチャー機器により実行されるエッチング処理、ＰＭ３内のＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学蒸着薄膜成膜法）機器により実行される成膜処理、ＰＭ４内の有機ＥＬ機器により実行される有機ＥＬ膜蒸着処理が挙げられる。
【００５１】
（ＰＭ２の内部構成）
つぎに、ＰＭ１〜ＰＭ４の内部構成の一例として、エッチング処理を実行するＰＭ２および６層連続有機ＥＬ蒸着膜処理を実行するＰＭ４について、図３および図４をそれぞれ参照しながら説明する。
【００５２】
ＰＭ２は、天井部の略中央部および底部の略中央部が開口された角筒形状の処理容器Ｃを有している。処理容器Ｃは、たとえば、表面が陽極酸化処理されたアルミニウムにより構成されている。
【００５３】
処理容器Ｃの内部には、その上方にて上部電極３０５が設けられている。上部電極３０５は、処理容器Ｃの上部の開口周縁に設けられた絶縁材３１０により処理容器Ｃに対して電気的に分離されている。上部電極３０５には、整合回路３１５を介して高周波電源３２０が接続されている。整合回路３１５には、その周囲にてマッチングボックス３２５が設けられていて、整合回路３１５の接地筐体となっている。
【００５４】
上部電極３０５には、また、ガスライン３３０を介して処理ガス供給部３３５が接続されていて、処理ガス供給部３３５から供給される所望のガスを複数のガス噴射孔Ａから処理容器Ｃ内に噴射する。このようにして、上部電極３０５は、ガスシャワーヘッドとしても機能するようになっている。上部電極３０５には、温度センサ３４０が設けられている。温度センサ３４０は、処理容器内の温度として上部電極３０５の温度を検出し、その検出値を安全ＰＬＣに送信するようになっている。
【００５５】
処理容器Ｃの内部には、その下方にて下部電極３４５が設けられている。下部電極３４５は、基板Ｇを載置するサセプタとしても機能する。下部電極３４５は、絶縁材３５０を介して設けられた支持体３５５により支持されている。これにより、下部電極３４５は、処理容器Ｃに対して電気的に分離されている。
【００５６】
処理容器Ｃの底面に設けられた開口の外周近傍には、ベローズ３６０の一端が装着されている。ベローズ３６０の他端には、昇降プレート３６５が固着されている。かかる構成により、処理容器Ｃの底面の開口部は、ベローズ３６０および昇降プレート３６５によって密閉されている。また、下部電極３４５は、基板Ｇを載置する位置をプロセスに応じた高さに調整するために、ベローズ３６０および昇降プレート３６５と一体となって昇降する。
【００５７】
下部電極３４５は、導電路３７０、インピーダンス調整部３７５を介して昇降プレート３６５に接続されている。上部電極３０５および下部電極３４５は、カソード電極およびアノード電極に相当する。処理容器内部は、排気機構３８０によって所望の真空度まで減圧される。
【００５８】
かかる構成により、下位ＰＣ２００ｃから送信された駆動信号にしたがってゲートバルブ３８５の開閉が制御され、これにより処理容器Ｃの気密を保ちながら基板Ｇが処理容器Ｃの内部に搬送された状態にて、処理容器内部に供給されたガスが高周波電力によりプラズマ化され、生成されたプラズマの作用により基板Ｇに所望のエッチングが施される。
【００５９】
（ＰＭ４の内部構成）
つぎに、６層連続有機ＥＬ蒸着膜処理を実行するＰＭ４の内部構成について、その要部斜視図である図４を参照しながら説明する。ＰＭ４では、基板Ｇ上に有機ＥＬ層を含む６層が連続的に蒸着される。
【００６０】
ＰＭ４内には、６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆが内蔵されている。６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆには、異なる種類の成膜材料が納められていて、各蒸着源４１０に納められたるつぼを、たとえば、２００〜５００℃程度の高温にすることにより、各種成膜材料を気化させるようになっている。
【００６１】
６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆには、６つの連結管４２０ａ〜４２０ｆを介して、６つの吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆが連結されている。６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆにて気化された各種成膜材料は、６つの連結管４２０ａ〜４２０ｆをそれぞれ通過して、６つの吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆの上面に設けられた開口ＯＰ（吹き出し口）から吹き出される。
【００６２】
各吹き出し容器４３０の間には隔壁４４０が設けられていて、これら７つの隔壁４４０のよって各吹き出し容器４３０を仕切ることにより、各吹き出し容器４３０から吹き出される成膜材料の気体分子が隣りの吹き出し容器４３０から吹き出される成膜材料の気体分子に混入することを防ぐようになっている。
【００６３】
基板Ｇは、ＰＭ４の天井面近傍にて、スライド機構を備えたステージ（ともに図示せず）に静電吸着していて、７つの隔壁４４０にて仕切られた各吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆのわずかに上方を、第１の吹き出し器４３０ａ→第２の吹き出し器４３０ｂ→第３の吹き出し器４３０ｃ→第４の吹き出し器４３０ｄ→第５の吹き出し器４３０ｅ→第６の吹き出し器４３０ｆの順に所定の速度で移動する。これにより、基板Ｇには、各吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆからそれぞれ吹き出される成膜材料によって、所望の異なる膜が６層連続的に積層されるようになっている。
【００６４】
（ＰＣのハードウエア構成）
つぎに、ＰＣのハードウエア構成について、図５を参照しながら説明する。なお、下位ＰＣ２００のハードウエア構成は上位ＰＣ１００と同様であるためここでは上位ＰＣ１００のみについて説明する。
【００６５】
上位ＰＣ１００は、ＲＯＭ１０５、ＲＡＭ１１０、ＣＰＵ１１５、バス１２０、内部インタフェース（内部Ｉ／Ｆ）１２５および外部インタフェース（外部Ｉ／Ｆ）１３０を有している。
【００６６】
ＲＯＭ１０５には、上位ＰＣ１００にて実行される基本的なプログラムや、異常時に起動するプログラム、各種レシピ等が記録されている。ＲＡＭ１１０には、画面の操作権を付与するための処理手順を定めた画面の操作権付与プログラムなどの各種プログラムやデータが蓄積されている。なお、ＲＯＭ１０５およびＲＡＭ１１０は、記憶装置の一例であり、ＥＥＰＲＯＭ、光ディスク、光磁気ディスクなどの記憶装置であってもよい。
【００６７】
ＣＰＵ１１５は、各種レシピにしたがって基板の処理を制御するとともに、画面の操作権の付与を制御する。バス１２０は、ＲＯＭ１０５、ＲＡＭ１１０、ＣＰＵ１１５、内部インタフェース１２５および外部インタフェース１３０の各デバイス間でデータをやりとりする経路である。
【００６８】
内部インタフェース１２５は、データを入力し、必要なデータを図示しないモニタやスピーカ等に出力するようになっている。外部インタフェース１３０は、ネットワーク３００を介して接続されている機器との間でデータを送受信するようになっている。
【００６９】
（上位ＰＣの機能構成）
つぎに、上位ＰＣ１００の機能構成について、上位ＰＣ１００の各機能をブロックにて示した図６を参照しながら説明する。上位ＰＣ１００は、ＴＭ画面データベース１５０、ＰＭ画面データベース１５５，画面特定部１６０，操作権判定部１６５，操作権付与部１７０，入力部１７５、通信部１８０，記憶部１８５，処理実行制御部１９０および表示部１９５により示される各機能を有している。
【００７０】
ＴＭ画面データベース１５０には、下位ＰＣ２００ａのディスプレイ２００ａＳＤに表示可能なＴＭ用画面群（ＴＭ用画面１〜ＴＭ用画面ｎ）が記憶されている。ＰＭ画面データベース１５５には、下位ＰＣ２００ｂのディスプレイ２００ｂＳＤに表示可能なＰＭ１用画面群、下位ＰＣ２００ｃのディスプレイ２００ｃＳＤに表示可能なＰＭ２用画面群、下位ＰＣ２００ｄのディスプレイ２００ｄＳＤに表示可能なＰＭ３用画面群、下位ＰＣ２００ｅのディスプレイ２００ｅＳＤに表示可能なＰＭ４用画面群が画面群毎に記憶されている。なお、ＴＭ画面データベース１５０およびＰＭ画面データベース１５５は、第１の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および第２の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ記憶する画面データベースに相当する。
【００７１】
画面特定部１６０は、下位ＰＣ２００ａ〜２００ｅのいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、ＴＭ画面データベース１５０またはＰＭ画面データベース１５５のいずれかに記憶された複数の画面群から上記操作を要求された画面群を特定する。
【００７２】
操作権判定部１６５は、画面特定部１６０により特定された画面群の操作権を上記要求した下位ＰＣ２００に与えるか否かを判定する。操作権判定部１６５は、現時点で各画面群（ＴＭ用画面群、ＰＭ１用画面群、ＰＭ２用画面群、ＰＭ３用画面群、ＰＭ４用画面群）の操作権をいずれのＰＣが持っているかを判定するための判定情報１６５ａを保持している。
【００７３】
操作権判定部１６５は、特定された画面群の操作権が、複数の制御装置（すなわち、上位ＰＣ１００，下位ＰＣ２００ａ〜２００ｅ）のうち、上記要求した下位ＰＣ２００以外のＰＣに付与されている場合、そのＰＣにて実行中の処理が終了した後、特定された画面群の操作権を上記要求した下位ＰＣ２００に与えると判定してもよい。
【００７４】
また、上位ＰＣ１００により画面の操作を要求された場合であって、画面群の操作権がいずれかの下位ＰＣ２００に付与されている場合、操作権判定部１６５は、その下位ＰＣ２００にて実行中の処理が終了した後、上記特定の画面群の操作権を上記上位ＰＣ１００に与えると判定してもよい。
【００７５】
また、操作権判定部１６５は、複数の制御装置（ＰＣ）から同じ画面群の操作が要求された場合、予め定められた優先順位にしたがって、複数の制御装置（ＰＣ）のうち優先順位が高い制御装置から順に要求された画面群の操作権を与えると判定してもよい。
【００７６】
さらに、操作権判定部１６５は、操作を要求した制御装置（ＰＣ）に対して予め操作権の付与を禁止しているか否かを判定し、禁止している場合、操作を要求した制御装置（ＰＣ）に操作権を与えないと判定してもよい。
【００７７】
このような判定条件に基づき、要求した下位ＰＣ２００に特定の画面群の操作権を与えると操作権判定部１６５により判定された場合、操作権付与部１７０は、その特定の画面群以外の画面群の操作権の付与先を変更させることなく、特定の画面群の操作権を要求した下位ＰＣ２００に付与する。これにより、下位ＰＣ２００ａ〜２００ｅおよび上位ＰＣ１００からなる複数のＰＣのうち、異なる画面群に対して異なるＰＣが同時に別々に操作することが許可される。
【００７８】
このようにして、操作権付与部１７０により操作権が上位ＰＣ１００に付与された場合、入力部１７５は、オペレータが、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに表示された画面を用いて入力した情報を受け付ける。しかし、上位ＰＣ１００がその画面群の操作権を有していない場合、入力情報は受け付けない。すなわち、オペレータは、上位ＰＣ１００に表示された画面を用いて情報を入力することはできない。
【００７９】
一方、操作権付与部１７０により操作権がいずれかの下位ＰＣ２００に付与された場合、通信部１８０は、操作権が付与された下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示された画面を用いて入力された情報を操作権が付与された下位ＰＣ２００から受信する。
【００８０】
記憶部１８５は、ＰＭ１〜ＰＭ４にて実行される基板Ｇへの各種処理の手順をそれぞれ記憶する。ＰＭ１にて実行されるスパッタリング処理手順は、スパッタリング用のシステムレシピＡに示されている。ＰＭ２にて実行されるエッチング処理手順は、エッチング用のシステムレシピＢに示されている。ＰＭ３にて実行されるＣＶＤ処理手順は、ＣＶＤ用のシステムレシピＣに示されている。ＰＭ４にて実行されるＣＶＤ処理手順は、有機ＥＬ用のシステムレシピＤに示されている。各システムレシピには、搬送ルート（たとえば、ＴＭ→ＰＭ１→ＴＭ）および各プロセスレシピＡ〜Ｄのリンク情報（たとえば、プロセスレシピ名）が定められている。
【００８１】
処理実行制御部１９０は、記憶部１８５に記憶された対応処理手順に基づき、通信部１８０により下位ＰＣ２００の画面操作により入力され、上位ＰＣ１００により受信された情報に基づいて実行される所定の基板処理を、上位ＰＣ１００の画面操作に応じて入力部１７５により受け付けられた入力情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して実行する。
【００８２】
表示部１９５は、操作権が付与された下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示された画面への入力操作に応じて、通信部１８０により受信された情報に基づき、操作権が付与された下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示された画面の内容と整合性を保つように、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに表示された画面の内容を更新する。
【００８３】
以上に説明した各部の機能のうち、主に、ＴＭ画面データベース１５０、ＰＭ画面データベース１５５，画面特定部１６０，操作権判定部１６５，操作権付与部１７０，入力部１７５および表示部１９５の各機能により、上位ＰＣ１００および下位ＰＣ２００に表示される画面の操作権の制御を含む画面に関する処理が制御される（表示画面制御）。一方、主に、記憶部１８５および処理実行制御部１９０により、ＴＭ，ＰＭ１〜ＰＭ４にて実行される基板処理および搬送処理が制御される（プロセス実行制御）。
【００８４】
なお、以上に説明した上位ＰＣ１００の各部の機能は、実際には、図５のＣＰＵ１１５が、これらの機能を実現する処理手順を記述したプログラム（レシピを含む）を記憶したＲＯＭ１０５やＲＡＭ１１０などの記憶媒体から該当プログラムを読み出し、そのプログラムを解釈して実行することにより達成される。
【００８５】
（下位ＰＣの機能構成）
つぎに、下位ＰＣ２００の機能構成について、下位ＰＣ２００の各機能をブロックにて示した図７を参照しながら説明する。下位ＰＣ２００は、画面データベース２０５，記憶部２１０、操作権要求部２１５、入力部２２０、通信部２２５、表示部２３０および駆動制御部２３５により示される各機能を有している。
【００８６】
画面データベース２０５には、各下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示可能な画面群のみが記憶されている。たとえば、下位ＰＣ２００ｂの画面データベース２０５には、ＰＭ１用（スパッタ用）の画面群が記憶されている。下位ＰＣ２００ｃの画面データベース２０５には、ＰＭ２用（エッチング用）の画面群が記憶されている。下位ＰＣ２００ｄの画面データベース２０５には、ＰＭ３用（ＣＶＤ用）の画面群が記憶されている。下位ＰＣ２００ｅの画面データベース２０５には、ＰＭ４用（有機ＥＬ蒸着用）の画面群が記憶されている。下位ＰＣ２００ａの画面データベース２０５には、ＰＭ用画面群の代わりに、ＴＭ用（搬送用）の画面群が記憶されている。
【００８７】
記憶部２１０には、ＰＭ１〜ＰＭ４にて実行される各種プロセスの処理手順が示されたプロセスレシピとして、ＰＭ１にて実行されるスパッタリング処理の手順が示されたプロセスレシピＡ，ＰＭ２にて実行されるエッチング処理の手順が示されたプロセスレシピＢ，ＰＭ３にて実行されるＣＶＤ処理の手順が示されたプロセスレシピＣ，ＰＭ４にて実行される有機ＥＬ蒸着処理の手順が示されたプロセスレシピＤが記憶されている。プロセスレシピの一例として、プロセスレシピＣ（ＣＶＤ処理）の例を図８に示す。
【００８８】
操作権要求部２１５は、現時点で自己が表示可能な画面群の操作権を有していない場合、画面データベース２０５に記憶された画面群の操作権を要求するための情報（操作権要求情報）を生成する。
【００８９】
入力部２２０は、自己の下位ＰＣ２００に操作権が付与されている場合、オペレータが、自己の下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示された画面を用いて入力した情報を受け付ける。すなわち、入力部２２０は、下位ＰＣ２００がその画面群の操作権を有している場合、入力情報を下位ＰＣ２００内に取り込む。しかし、下位ＰＣ２００がその画面群の操作権を有していない場合、入力情報は受け付けられない。すなわち、オペレータは、下位ＰＣ２００に表示された画面を用いて情報を入力することはできない。
【００９０】
通信部２２５は、操作権要求部２１５により生成された操作権要求情報を上位ＰＣ１００に送信することにより画面の操作を要求し、送信された操作権要求情報に応じて、操作を要求された画面群の操作権が上位ＰＣ１００により自己の下位ＰＣ２００に付与された場合、自己の下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示された画面を用いて入力された情報を上位ＰＣ１００に送信する。
【００９１】
表示部２３０は、操作権が付与された他の下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤまたは上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに表示された画面を用いて入力された情報を通信部２２５により受信し、受信した情報に基づき、操作権が付与されたＰＣのディスプレイに表示された画面の内容と整合性を保つように、自己の下位ＰＣ２００のディスプレイ２００ＳＤに表示された画面の内容を更新する。
【００９２】
駆動制御部２３５は、上位ＰＣ１００により送信され、通信部２２５により受信された制御信号に応じて、該当ＰＭの処理手順を示したプロセスレシピに基づき該当ＰＭ内の機器を駆動させる駆動信号を生成し、該当ＰＭに送信する。これにより、上位ＰＣ１００の指令にしたがった下位ＰＣ２００の指示に応じて該当ＰＭにて所望の基板処理が施される。
【００９３】
なお、上位ＰＣ１００と同様に、以上に説明した下位ＰＣ２００の各部の機能は、実際には、下位ＰＣ２００内のＣＰＵがこれらの機能を実現する処理手順を記述したプログラム（レシピを含む）を記憶した記憶媒体から該当プログラムを読み出し、そのプログラムを解釈して実行することにより達成される。
【００９４】
（各ＰＣの動作）
つぎに、以上に説明した各ＰＣの機能を用いた画面の操作権付与動作について、図９、図１０に示したフローチャートを参照しながら説明する。なお、初期状態では、各画面群の操作権は、すべて上位ＰＣ１００に付与されているとする。図９は、下位ＰＣ２００側にて実行される操作要求割込処理を示したフローチャートであり、図１０は、上位ＰＣ１００側にて実行される操作権付与処理を示したフローチャートである。
【００９５】
たとえば、ＰＭ４の６層連続有機ＥＬ装置にてトラブルが発生した場合、オペレータは、上位ＰＣ１００にて遠隔操作するよりも、ＰＭ４の近傍に配置された下位ＰＣ２００ｅのディスプレイ２００ｅＳＤの画面を操作することにより、ＰＭ４の状態を確かめながらＰＭ４の動作を制御する方がやりやすく、効率的である。
【００９６】
そこで、この場合、オペレータが、下位ＰＣ２００ｅのディスプレイ２００ｅＳＤの画面に表示された操作要求ボタンを押すと、図９のステップ９００から操作要求割込処理が開始される。
【００９７】
（操作要求割込処理）
入力部２２０は、操作要求ボタンが押されたことを入力すると、操作権要求部２１５は、ステップ９０５にて自己の下位ＰＣ２００ｅに操作権があるか否かを判定する。この時点で自己が表示可能な画面群の操作権を有している場合、直ちにステップ９９５に進んで本割込処理を終了する。一方、この時点で自己が表示可能な画面群の操作権を有していない場合、ステップ９１０に進み、画面データベース２０５に記憶されたＰＭ４用の画面群の操作権を要求するための情報（操作権要求情報）を生成し、操作要求割込信号として上位ＰＣ１００に送信し、ステップ９９５にて本割込処理を終了する。
【００９８】
（操作権付与処理）
上記操作要求割込処理の結果、下位ＰＣ２００ｅから操作要求割込信号が送信されると、上位ＰＣ１００は、これを受けて図１０に示したステップ１０００から操作権付与処理を開始し、ステップ１００５にて、画面特定部１６０は、操作要求割込信号の操作権要求情報から操作権が要求されている画面群はＰＭ４用の画面群であると特定する。
【００９９】
つぎに、ステップ１０１０に進み、操作権判定部１６５は、この時点で操作を要求している下位ＰＣ２００ｅに操作権の付与を禁止しているか否かを判断する。禁止している場合、直ちにステップ１０９５に進み本処理を終了するが、禁止していない場合には、ステップ１０１５に進んで、操作権判定部１６５は、操作を要求しているＰＣが、特定された画面群の操作権を既に有しているか否かを判定する。
【０１００】
この時点では、操作権は、上位ＰＣ１００に付与されていて、下位ＰＣ２００ｅは、ＰＭ４用の画面群の操作権を有していない。そこで、ステップ１０２０に進み、操作権判定部１６５は、ＰＭ４用の画面群の操作権を有しているＰＣ（この時点では、上位ＰＣ１００）により実行中の一連の制御処理が終了するまで待ち、終了した後、ステップ１０２５に進んで、画面操作を要求している下位ＰＣ２００ｅに操作権を付与すると判定する。これに応じて、操作権付与部１７０は、特定されたＰＭ４用の画面群以外の画面群、すなわち、ＰＭ１〜ＰＭ３用の画面群およびＴＭ用の画面群の操作権を上位ＰＣ１００に残したまま、これらの操作権の付与先を変更させることなく、ＰＭ４用の画面群の操作権のみを下位ＰＣ２００ｅに付与し、ステップ１０９５に進んで本処理を終了する。なお、下位ＰＣ２００ｅが、ＰＭ４用の画面群の操作権を有している場合には、ステップ１０１５から直ちにステップ１０９５に進んで本処理を終了する。
【０１０１】
以上に説明した操作権の付与処理の結果、図１１の上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに示したように、上位ＰＣ１００は、ＰＭ１用（スパッタ用）画面群、ＰＭ２用（エッチャー用）画面群、ＰＭ３用（ＣＶＤ用）画面群の操作権を有し、ＰＭ４用（有機ＥＬ用）画面群の操作権は有さないことになる。
【０１０２】
このようにして、オペレータは、自己が操作するＰＣに、たとえば図１１に示した画面を表示することにより、自己が操作するＰＣの操作権がどのＰＣに付与されているかを確認することができる。また、図１２に下位ＰＣ２００ｅのディスプレイ２００ｅＳＤに示したように、画面左上に「Ｃｌｉｅｎｔ（クライアント）」と表示することにより、ＰＭ４（有機ＥＬ用）画面群の操作権がクライアント側、すなわち、下位ＰＣ２００側にあることを示すことにより、オペレータは、自己が操作するＰＣの操作権がどのＰＣに付与されているかを確認することもできる。
【０１０３】
このようにして、上位ＰＣ１００が、操作権付与処理を実行することにより、異なるＰＣが異なる画面群に対して同時に別々に操作することを許可することができる。具体的には、上記操作権付与処理の結果、ＰＭ１〜３用の画面群およびＴＭ用の画面群に含まれる画面は、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤの表示画面を用いて一のオペレータが操作することができ、ＰＭ４用の画面群に含まれる画面は、下位ＰＣ２００ｅのディスプレイ２００ｅＳＤの表示画面を用いて他のオペレータが同時に別々に操作することができる。この結果、トラブルが生じたＰＭ４については、オペレータは、上位ＰＣ１００の画面を用いて遠隔操作することなく、ＰＭ４の近傍に配置された下位ＰＣ２００ｅの画面を用いてＰＭ４の状態を確かめながらＰＭ４を操作することができ、これにより、オペレータは、従前よりも著しく効率的に作業を遂行することができる。
【０１０４】
また、以上に説明した操作権付与判定方法によれば、上位ＰＣ１００の操作権判定部１６５のみが、画面の操作権を付与するか否かを判定することができ、下位ＰＣ２００が、独断で操作権を付与することはできない。これにより、たとえば、同じ画面群に対してほぼ同時に複数のＰＣから操作要求が合った場合に生じるデッドロックなど、複数のＰＣにより操作権の付与が制御されるときに生じる可能性があるシステム上の問題を取り除くことができる。この結果、本来的な業務として重要度が一番高い各ＰＭの基板処理の制御を安定的に稼働させながら、ユーザアビリティを向上させることができる。
【０１０５】
これにより、オペレータは、より効率よく画面を操作することができるだけでなく、周囲の状況の変化に応じて上位ＰＣ１００または下位ＰＣ２００にて画面をフレキシブルに操作することができるため、操作ミスを軽減することができ、この結果、さらに、ＰＭでの基板処理を制御する制御系の安定性を向上させて、製品の生産性を高めることができる。
【０１０６】
また、たとえば、操作権を与えたくないＰＣを予め特定しておけば、図１０のステップ１０１０にて禁止しているＰＣに要求された画面群の操作権が付与されることを回避することができる。
【０１０７】
なお、ステップ１０１０に示した判定条件だけでなく、つぎ説明する所与の条件にしたがって、要求された画面群の操作権を要求されたＰＣに与えるか否かを判定することができる。
【０１０８】
たとえば、上位ＰＣ１００と下位ＰＣ２００とが、ほぼ同じタイミングに同じ画面群の操作を要求した場合、予め下位ＰＣ２００の優先順位を上位ＰＣ１００より高くしておけば、優先順位が高い下位ＰＣ２００に要求された画面群の操作権が付与することができる。
【０１０９】
この結果、たとえば、いずれかのＰＭにトラブルが生じている場合、オペレータは、ＰＭの近傍に配置された、優先順位が高い下位ＰＣ２００の画面を用いてＰＭの状態を確かめながら操作することができる。
【０１１０】
なお、図１０の操作権付与処理は、上位ＰＣ１００が操作権を要求した場合にも適用される。この場合、操作権判定部１６５は、ステップ１０１５にて、上位ＰＣ１００により操作を要求された画面群の操作権がいずれかの下位ＰＣ２００に付与されているか否かを判定し、いずれかの下位ＰＣ２００が操作権を有している場合には、ステップ１０２０にてそのＰＣにて実行中の一連の処理が終了するまで待ち、終了後、ステップ１０２５にて上位ＰＣ１００に操作権を与えると判定し、これに応じて、操作権付与部１７０は、上位ＰＣ１００に操作権を付与する。
【０１１１】
本実施形態では、以上に説明した割込処理により、異なる画面群の同時操作が可能になると同時に、ＰＭ１内で実行される基板処理の排他制御が可能となる。つぎに、このプロセス実行時の排他制御について、図１３および図１４のフローチャートを参照しながら説明する。図１３は、下位ＰＣ２００側にて実行されるプロセス実行制御情報入力処理を示したフローチャートであり、図１４は、上位ＰＣ１００側にて実行されるプロセス実行制御処理を示したフローチャートである。
【０１１２】
先程実行された割込処理により、現時点で、下位ＰＣ２００ｅは、ＰＭ４用の画面群の操作権を有している。また、他のＰＭ用の画面群の操作権は、上位ＰＣ１００により保持されている。この状況に応じて、オペレータが、下位ＰＣ２００ｅの画面を操作すると、図１３のステップ１３００からプロセス実行制御情報入力処理が開始される。
【０１１３】
（プロセス実行制御情報入力処理）
つぎに、ステップ１３０５にて、入力部２２０は、自己に操作権があるか否かを判定する。この時点では、下位ＰＣ２００ｅは、自己のディスプレイ２００ｅＳＤに表示されたＰＭ４用画面の操作権を有するので、ステップ１３１０に進み、下位ＰＣのディスプレイ２００ｅＳＤ２００ｅに表示されたＰＭ４用画面を用いて入力された情報を受け付ける。つぎに、ステップ１３１５に進んで、通信部２２５は、入力された情報を上位ＰＣ１００に送信し、ステップ１３９５に進んで本処理を終了する。
【０１１４】
一方、自己に操作権がなければ、ステップ１３０５から直ちにステップにて１３９５に進んで本処理を終了する。この結果、自己に操作権があれば、オペレータによる下位ＰＣ２００ｅの画面の操作は受け付けられ、入力情報としてＰＣ内に取り込まれる。一方、自己に操作権がなければ、オペレータによる下位ＰＣ２００ｅの画面の操作は受け付けられず、その入力情報は破棄される。
【０１１５】
（プロセス実行制御処理）
一方、下位ＰＣ２００ｅから入力情報が送信された場合、上位ＰＣ１００側にて、図１４のステップ１４００からプロセス実行制御処理が開始され、ステップ１４０５にて、操作権判定部１６５は、自己（上位ＰＣ１００）に操作権があるか否かを判定する。
【０１１６】
この時点では、ＰＭ４用の画面群の操作権は、下位ＰＣ２００ｅにある。そこで、ステップ１４１０に進み、通信部１８０は、操作権をもついずれかの下位ＰＣ２００から入力情報を受信したか否かを判定する。
【０１１７】
この時点では、上位ＰＣ１００は、先程、図１３のプロセス実行情報入力処理を実行することにより下位ＰＣ２００ｅから送信された情報を受信している。そこで、ステップ１４１５に進んで、処理実行制御部１９０は、下位ＰＣ２００ｅから送信された情報に基づき、記憶部１８５に記憶されたシステムレシピからＰＭ４用（有機ＥＬ用）のシステムレシピＤを選択する。つぎに、ステップ１４２０に進み、処理実行制御部１９０は、システムレシピＤにしたがって、基板ＧをＴＭ→ＰＭ４→ＴＭの順に搬送しながら、ＰＭ４にてプロセスレシピＤに基づき６層連続有機ＥＬ蒸着膜形成処理を基板Ｇに施すための制御信号を生成し、生成された制御信号を該当下位ＰＣ２００に送信して、ステップ１４９５に進んで本処理を終了する。
【０１１８】
一方、ＰＭ４用画面群以外の画面群については上位ＰＣ１００に操作権がある。よって、ＰＭ４用画面群以外の画面群については、ステップ１４０５にて自己（上位ＰＣ１００）に操作権があると判定し、ステップ１４２５に進む。入力部１７５は、ステップ１４２５にて、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに表示された各画面群の画面を用いてオペレータにより入力された情報を受け付け、ステップ１４１５に進む。処理実行制御部１９０は、同ステップにて上位ＰＣ１００の画面から入力された情報に基づき、記憶部１８５に記憶されたシステムレシピから該当ＰＭ用のシステムレシピを選択する。つぎに、ステップ１４２０に進み、処理実行制御部１９０は、選択したシステムレシピにしたがって、基板Ｇに所望の処理を施すための制御信号を生成し、生成された制御信号を該当下位ＰＣ２００に送信して、ステップ１４９５に進んで本処理を終了する。
【０１１９】
（駆動制御処理）
上位ＰＣ１００から制御信号が送信された場合、該当下位ＰＣ２００側には、図１５のステップ１５００から駆動制御処理が開始され、ステップ１５０５にて、駆動制御部２３５は、上位ＰＣ１００から制御信号を受信したか否かを判定する。
【０１２０】
制御信号を受信していない場合、直ちにステップ１５９５に進んで本処理を終了するが、この時点では、上位ＰＣ１００から制御信号を受信しているので、駆動制御部２３５は、ステップ１５１０に進み、制御信号に基づき記憶部２１０から該当プロセスレシピを選択し、ステップ１５１５に進んで、選択されたプロセスレシピにしたがって該当ＰＭ内の機器に駆動信号を送信することにより、各機器を駆動させ、これにより、ＰＭ内にて所望の処理を実行させる。
【０１２１】
以上、本実施形態によれば、画面への入力操作が有効になるのは、操作権を有するＰＣのみである。また、操作権は、画面群毎にいずれかのＰＣに付与されている。これにより、本実施形態では、異なる複数のＰＣにて異なる画面群に対して同時に別々に入力操作ができる。
【０１２２】
このように、異なる画面群を異なるＰＣにて同時に操作できるのは、図１６に示した各ディスプレイ（ディスプレイ１００ＭＤおよびディスプレイ２００ＳＤ）に表示可能な各画面群が上位ＰＣ１００の画面データベース１５０，１５５および各下位ＰＣ２００の画面データベース２０５にて画面群毎に管理されていて、さらに、各実体処理（ＴＭ処理、ＰＭ１処理、ＰＭ２処理、・・・ＰＭｎ処理）も上位ＰＣ１００の記憶部１８５および各下位ＰＣ２００の記憶部２１０にて処理の種類毎に管理されているからである。よって、図１６にて「横の分断」として示したように、実体処理と画面処理とを分けて画面操作を画面群毎に管理することにより、操作権付与部１７０は、画面群毎に操作権を付与することができる。これにより、画面群ごとの同時操作を可能にしている。
【０１２３】
一方、基板Ｇへの実体処理自体は、すべて上位ＰＣ１００側にて実行される。これは、上述したように、上位ＰＣ１００の記憶部１８５および下位ＰＣ２００の記憶部２１０が基板に対する処理手順を処理の種類毎にモジュール化して管理することにより実現される。すなわち、図１６にて「縦の分断」として示したように、上位ＰＣ１００は、モジュール化された各処理手順を別々に用いてプロセスを制御し、下位ＰＣ２００は、上位ＰＣ１００の指令に基づいて各処理手順を示したプロセスレシピにより各ＰＭ内の機器を駆動する。
【０１２４】
これにより、上位ＰＣ１００の処理実行制御部１９０は、操作権を有する複数のＰＣを操作して入力した情報（すなわち、下位ＰＣ２００から受信した情報や上位ＰＣ１００に入力した情報）に基づき、複数の処理を並行して排他的に実行することができる、また、このようにして、すべての実体処理を上位ＰＣ１００にて実行することにより、各処理を遂行するためのデータの不整合を回避して、安定的にシステムを稼働することができる。
【０１２５】
（第２実施形態）
つぎに、第２実施形態にかかる基板処理システム１０について説明する。第２実施形態では、下位ＰＣ２００に特定の画面群の操作権が付与された場合、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに、その特定された画面群を表示しない点で、操作権の有無にかかわらず、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤに、すべての画面群を表示可能な第１実施形態にかかる基板処理システム１０と動作上相違する。よって、この相違点を中心に本実施形態にかかる基板処理システム１０について説明する。
【０１２６】
（操作権付与処理）
たとえば、下位ＰＣ２００ｂから操作要求割込信号が送信されると、上位ＰＣ１００は、これを受けて、図１７に示したステップ１７００からから操作権付与処理を開始し、ステップ１００５〜１０２５にて第１実施形態と同様に、画面の操作を要求した下位ＰＣ２００ａにＰＭ１用の画面群の操作権を付与する。その後、ステップ１７０５に進んで、表示部１９５は、自己（上位ＰＣ１００）に各画面群の操作権があるか否かを判定する。
【０１２７】
この時点で、上位ＰＣ１００は、ＰＭ１用の画面群の操作権を有しない。そこで、ステップ１７１０に進んで、表示部１９５は、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤから操作権を持たないＰＭ１用の画面群の表示を禁止し、ステップ１７９５に進んで本処理を終了する。
【０１２８】
これによれば、図１８に示したように、上位ＰＣ１００のディスプレイ１００ＭＤには、ＰＭ１用の画面群以外の画面群が表示され、ＰＭ１用の画面群は表示されない。これにより、本実施形態によれば、ある下位ＰＣ２００に操作権が付与された画面群は、上位ＰＣ１００（および他の下位ＰＣ２００）のディスプレイに表示されない。これにより、重要な情報を操作権のないＰＣの画面に表示することによって重要な情報が流出することを防ぐことができる。
【０１２９】
上記実施形態において、各部の動作はお互いに関連しており、互いの関連を考慮しながら、一連の動作として置き換えることができ、これにより、画面の操作権の付与を制御する上位制御装置の実施形態を、画面の操作権を付与する方法の実施形態とすることができる。また、上位制御装置の各部の動作を、各部の処理と置き換えることにより、画面の操作権の付与を制御する上位制御装置の実施形態を、画面の操作権付与プログラムの実施形態とすることができる。また、画面の操作権付与プログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶させることにより、画面の操作権付与プログラムの実施形態を、プログラムに記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体の実施形態とすることができる。
【０１３０】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１３１】
たとえば、本発明に用いられる基板は、ガラス基板に限られず、たとえばシリコンウエハであってもよい。すなわち、本発明に用いられる基板は、たとえば有機ＥＬディスプレイやプラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）などに用いられる基板であればよく、本発明にかかる基板処理装置は、このような基板に所望の処理を施すことができる装置であればよい。
【０１３２】
また、本発明にかかる基板処理装置としては、エッチング装置、ＣＶＤ装置等の他に、コータデベロッパ、洗浄装置、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）装置、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理気相成長法）装置、露光装置、イオンインプランタなどがある。また、本発明にかかる基板処理装置では、熱拡散処理、アッシング処理等を実行してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】本発明の第１および第２実施形態にかかる基板処理システムの概略図である。
【図２】同実施形態にかかるクリーンルーム内の各機器の配置図である。
【図３】同実施形態にかかるＰＭ２の縦断面である。
【図４】同実施形態にかかるＰＭ４の斜視図である。
【図５】同実施形態にかかるＰＣのハードウエア構成図である。
【図６】同実施形態にかかる上位ＰＣの機能構成図である。
【図７】同実施形態にかかる下位ＰＣの機能構成図である。
【図８】同実施形態にかかるプロセスレシピＣの一部を例示した図である。
【図９】同実施形態にかかる操作要求割り込み処理を示したフローチャートである。
【図１０】第１実施形態にかかる操作権付与処理を示したフローチャートである。
【図１１】第１および第２実施形態にかかる上位ＰＣのディスプレイにて操作権の有無を表示する画面の一例である。
【図１２】同実施形態にかかるＰＣのディスプレイにて操作権を表示する画面の一例である。
【図１３】同実施形態にかかるプロセス実行制御情報入力処理を示したフローチャートである。
【図１４】同実施形態にかかるプロセス実行制御処理を示したフローチャートである。
【図１５】同実施形態にかかる駆動制御処理を示したフローチャートである。
【図１６】第１実施形態にかかる各処理のモジュール化と同時操作および排他制御との関係を説明するための図である。
【図１７】第２実施形態にかかる操作権付与処理を示したフローチャートである。
【図１８】同実施形態にかかる画面表示を説明するための図である。
【符号の説明】
【０１３４】
１０        基板処理システム
１００      上位ＰＣ
１５０      ＴＭ画面データベース
１５５      ＰＭ画面データベース
１６０      画面特定部
１６５      操作権判定部
１７０      操作権付与部
１７５，２２０      入力部
１８０，２２５      通信部
１８５，２１０      記憶部
１９０      処理実行制御部
１９５、２３０  表示部
１００ＭＤ、２００ＳＤ、２００ａＳＤ〜２００ｅＳＤ  ディスプレイ
２００、２００ａ〜２００ｅ    下位ＰＣ
２０５      画面データベース
２１５      操作権要求部
２３５      駆動制御部
３００      ネットワーク
４００      ＬＡＮ
５００      ホストコンピュータ
【図１】
2008129622.tif 000003
【図２】
2008129622.tif 000004
【図３】
2008129622.tif 000005
【図４】
2008129622.tif 000006
【図５】
2008129622.tif 000007
【図６】
2008129622.tif 000008
【図７】
2008129622.tif 000009
【図８】
2008129622.tif 000010
【図９】
2008129622.tif 000011
【図１０】
2008129622.tif 000012
【図１１】
2008129622.tif 000013
【図１２】
2008129622.tif 000014
【図１３】
2008129622.tif 000015
【図１４】
2008129622.tif 000016
【図１５】
2008129622.tif 000017
【図１６】
2008129622.tif 000018
【図１７】
2008129622.tif 000019
【図１８】
2008129622.tif 000020