(57)【要約】【課題】リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるリフタ装置を提供すること。【解決手段】クリーンブース２に、搬送物を載置して昇降する昇降体４と、昇降体４を昇降可能に支持する昇降マスト５と、昇降マスト５を介して昇降体４を昇降させる駆動装置６とを配設するとともに、昇降体４が昇降するリフタエリア７から、昇降マスト５及び駆動装置６を設置した機械エリア８を区画し、リフタエリア７にダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクト３の隔壁９で機械エリア８の一部を区画形成するとともに、隔壁９に、機械エリア８を通過した空気をリターンダクト３に排出する開口部１０を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部にフィルタを備えたダウンフローのクリーンブースと、該クリーンブースを通過した空気をフィルタの上流側に戻すリターンダクトとを備え、前記クリーンブースに、搬送物を載置して昇降する昇降体と、該昇降体を昇降可能に支持する昇降マストと、該昇降マストを介して昇降体を昇降させる駆動装置とを配設するとともに、昇降体が昇降するリフタエリアから、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリアを区画し、リフタエリアにダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクトの隔壁で機械エリアの一部を区画形成するとともに、該隔壁に、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに排出する開口部を設けたことを特徴とするリフタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等に設置されるリフタ装置に関し、特に、リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるリフタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ガラス基板や半導体ウエハが大形化するに伴って、無人搬送台車や製造装置が設置されるクリーンルームの面積が大きくなり、このため、工場の建屋を複数階建て以上とする場合がある。
この場合、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを、各階間で搬送するために、複数階の間を昇降するリフタ装置を設けるようにしている。
【０００３】
リフタ装置は、図２に示すように、上部にファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１を備えたダウンフローのクリーンブース２と、該クリーンブース２を通過した空気をファンフィルタユニット１の上流側に戻すリターンダクト３とを備え、前記クリーンブース２に、搬送物を載置して昇降する昇降体４と、該昇降体４を昇降可能に支持する昇降マスト５と、該昇降マスト５を介して昇降体４を昇降させる駆動装置６とを配設している。
そして、昇降体が昇降するリフタエリア７から、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリア８を切り分けるように区画し、リフタエリア７にダウンフローを導入するようにしている。
【０００４】
すなわち、上記従来のリフタ装置では、昇降マスト５に摺動部があるため、昇降マスト５や駆動装置６の機械エリア８を有底のカバー８３で覆い、カバー８３の排気部にファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１ａを付けてリフタエリア７をクリーンに保っているが、カバー８３を周囲から独立して形成しているため、排気部にフィルタが必要になるとともに、カバー８３とリターンダクト３の隔壁が別々に必要になり、そのためのスペースＳを要するという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来のリフタ装置が有する問題点に鑑み、リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるリフタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のリフタ装置は、上部にフィルタを備えたダウンフローのクリーンブースと、該クリーンブースを通過した空気をフィルタの上流側に戻すリターンダクトとを備え、前記クリーンブースに、搬送物を載置して昇降する昇降体と、該昇降体を昇降可能に支持する昇降マストと、該昇降マストを介して昇降体を昇降させる駆動装置とを配設するとともに、昇降体が昇降するリフタエリアから、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリアを区画し、リフタエリアにダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクトの隔壁で機械エリアの一部を区画形成するとともに、該隔壁に、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに排出する開口部を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のリフタ装置によれば、上部にフィルタを備えたダウンフローのクリーンブースと、該クリーンブースを通過した空気をフィルタの上流側に戻すリターンダクトとを備え、前記クリーンブースに、搬送物を載置して昇降する昇降体と、該昇降体を昇降可能に支持する昇降マストと、該昇降マストを介して昇降体を昇降させる駆動装置とを配設するとともに、昇降体が昇降するリフタエリアから、昇降マスト及び駆動装置を設置した機械エリアを区画し、リフタエリアにダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクトの隔壁で機械エリアの一部を区画形成するとともに、該隔壁に、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに排出する開口部を設けることから、機械エリアの隔壁の一部を省略し、空調も含めたリフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアを通過した空気をリターンダクトに直接排気することにより、機械エリアにファンフィルタユニットを設けなくてもリフタエリアをクリーンに保つことができ、これにより、低コスト化を図り、かつフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明のリフタ装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１に、本発明のリフタ装置の一実施例を示す。
このリフタ装置は、上部にファンフィルタユニット１を備えたダウンフローのクリーンブース２と、該クリーンブース２を通過した空気をファンフィルタユニット１の上流側に戻すリターンダクト３とを備え、前記クリーンブース２に、搬送物を載置して昇降する昇降体４と、該昇降体４を昇降可能に支持する昇降マスト５と、該昇降マスト５を介して昇降体４を昇降させる駆動装置６とを配設するとともに、昇降体４が昇降するリフタエリア７から、昇降マスト５及び駆動装置６を設置した機械エリア８を区画し、リフタエリア７にダウンフローを導入するようにしている。
そして、このリフタ装置は、リターンダクト３の隔壁９で機械エリア８の一部を区画形成するとともに、該隔壁９に、機械エリア８を通過した空気をリターンダクト３に排出する開口部１０を設けている。
【００１０】
クリーンブース２は、外壁により外部から区画されるとともに、上部に配設した複数のファンフィルタユニット１により清浄空気のダウンフローを発生させる。
発生したダウンフローは、クリーンブース２の底部から、後方に設置されたリターンダクト３を通って、ファンフィルタユニット１の上流側へと循環する。
【００１１】
クリーンブース２には、搬送物を昇降する昇降体４と、該昇降体４をバランスウェイト４１とともに昇降可能に支持する昇降マスト５と、該昇降マスト５を介して昇降体４を昇降させる駆動装置６とが配設されている。
このうち、昇降マスト５には摺動部があり、パーティクルが発生するため、この昇降マスト５及び駆動装置６を設置した機械エリア８をリフタエリア７から切り分けるように区画し、リフタエリア７にダウンフローを導入するようにしている。
【００１２】
機械エリア８は、上部が開口する有底のカバー８２によって区画されており、後部隔壁８１がリターンダクト３の隔壁９の一部と兼用して形成されている。
後部隔壁８１には、リフタエリア７からカバー８２の隙間を通って機械エリア８に流入した空気をリターンダクト３に排出する複数の開口部１０が上下に間隔をあけて設けられている。
開口部１０は、本実施例では、下の位置ほど大きく開口することによって、流量をコントロールしているが、ファンやガラリを取り付けることによって流量調整することもできる。
昇降マスト５で発生するパーティクルは、この後部隔壁８１の開口部１０から直接リターンダクト３に排出され、リフタエリア７を通過した空気とともに、クリーンブース２上部のファンフィルタユニット１によって濾過される。
パーティクルが濾過された空気は、清浄空気のダウンフローとしてリフタエリア７に供給される。
【００１３】
かくして、本実施例のリフタ装置は、上部にファンフィルタユニット１を備えたダウンフローのクリーンブース２と、該クリーンブース２を通過した空気をファンフィルタユニット１の上流側に戻すリターンダクト３とを備え、前記クリーンブース２に、搬送物を載置して昇降する昇降体４と、該昇降体４を昇降可能に支持する昇降マスト５と、該昇降マスト５を介して昇降体４を昇降させる駆動装置６とを配設するとともに、昇降体４が昇降するリフタエリア７から、昇降マスト５及び駆動装置６を設置した機械エリア８を区画し、リフタエリア７にダウンフローを導入するようにしたリフタ装置において、リターンダクト３の隔壁９で機械エリア８の一部を区画形成するとともに、該隔壁９に、機械エリア８を通過した空気をリターンダクト３に排出する開口部１０を設けることから、機械エリア８の隔壁の一部を省略し、空調も含めたリフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリア８を通過した空気をリターンダクト３に直接排気することにより、機械エリア８にファンフィルタユニットを設けなくてもリフタエリア７をクリーンに保つことができ、これにより、低コスト化を図り、かつフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができる。
【００１４】
以上、本発明のリフタ装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明のリフタ装置は、リフタ装置全体の寸法を小さくして省スペース化を図るとともに、機械エリアのフィルタを不要として保守、メンテナンス部品を減らすことができるという特性を有していることから、例えば、クリーンルーム等に設置されるリフタ装置の用途に広く好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のリフタ装置の一実施例を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図２】従来のリフタ装置を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
【００１７】
１    ファンフィルタユニット
２    クリーンブース
３    リターンダクト
４    昇降体
４１  バランスウェイト
５    昇降マスト
６    駆動装置
７    リフタエリア
８    機械エリア
８１  後部隔壁
８２  カバー
９    隔壁
１０  開口部
【図１】
2008172089.tif 000003
【図２】
2008172089.tif 000004