(57)【要約】【課題】被検査体とプローブカードが一括接触する場合であっても載置台がオーバードライブ量に達しているが否かを直接把握することができる検査装置を提供する。【解決手段】本発明の検査装置１０は、載置台１１、プローブカード１２及び制御装置１４を備え、制御装置１４の制御下で、載置台１１をオーバードライブさせてウエハＷとプローブカード１２を一括して電気的に接触させ、ウエハＷの電気的特性検査を行う検査装置であって、載置台１１の外周縁部外側の３箇所に、載置台１１の載置面とプローブカードのカードホルダ１５の下面との距離を測定する変位センサ２０が設けられ、制御装置１４は、変位センサ２０の測定値に基づいて載置台１１の上昇量を制御する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、を備え、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記プローブカードを電気的に接触させ、上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置であって、上記載置台の少なくとも一箇所に、上記載置台と上記プローブカードまたはその周辺部との距離を測定する変位センサが設けられていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
被検査体を載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、上記載置台を駆動制御する制御装置と、を備え、上記制御装置の制御下で、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記プローブカードとを全面で一括して電気的に接触させ、上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置であって、上記載置台の少なくとも一箇所に、上記載置台と上記プローブカードまたはその周辺部との距離を測定する変位センサが設けられ、上記制御装置は、上記変位センサの測定値に基づいて上記載置台の上昇量を制御することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
上記変位センサは、上記載置台の外周縁近傍に互いに所定間隔を空けて複数設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
上記変位センサは、容量センサからなることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
被検査体を載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、上記載置台を駆動制御する制御装置と、を備え、上記制御装置の制御下で、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記プローブカードを電気的に接触させ、上記被検査体の電気的特性検査を行う方法であって、上記載置台に設けられた変位センサを用いて上記載置台と上記プローブカードまたはその周辺部との距離を測定する工程と、上記制御装置が上記変位センサの測定結果に基づいて上記載置台のオーバードライブ量を監視する工程を備えたことを特徴とする検査方法。
【請求項６】
上記制御装置が上記変位センサの測定結果に基づいて上記載置台をオーバードライブ量に達するまで上昇させる工程を備えたことを特徴とする請求項５に記載の検査方法。
【請求項７】
上記プローブカードとして、上記被検査体の全ての検査用電極と一括して接触する複数のプローブを有するプローブカードを用いることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
上記載置台の周方向に等間隔を空けて複数箇所に設けられた上記変位センサを用いることを特徴とする請求項５〜請求項７のいずれか１項に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被検査体の電気的特性検査を行う検査装置に関し、更に詳しくは、載置台上の被検査体とプローブカードのプローブとを電気的に接触させる際に載置台のオーバードライブ量を直接監視する検査装置及び検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の検査装置は、例えば図３に示すように、装置本体１と、この装置本体１１内にＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向で移動可能に配設され且つ被検査体（例えば、ウエハＷ）を載置する載置台２と、この載置台２上に載置されたウエハＷに形成された複数の電極パッドに接触する複数のプローブ３Ａを有するプローブカード３と、このプローブカード３を、カードホルダ（図示せず）を介して固定するクランプ機構４と、プローブカード３とテストヘッドＴとを電気的に接続する接続リング５と、を備え、テストヘッドＴ、接続リング５及びプローブカード３を介して図示しないテスタとウエハＷの電極パッドとの間でテスト信号を送受信してウエハＷの電気的検査を行なうように構成されている。尚、図３において、６は、載置台と協働してウエハＷとプローブカード２との位置合わせを行う機構で、６Ａは上カメラ、６Ｂは下カメラであり、７はクランプ機構４が固定されたヘッドプレートである。
【０００３】
ウエハＷの検査を行う場合には、アライメント機構６の下カメラ６Ｂでプローブ３Ａの針先位置を測定し、上カメラ６Ａでプローブ３Ａに対応するウエハＷの電極パッドを測定することによってウエハＷとプローブカード２のアライメントを行った後、ウエハＷの検査を行う。検査時には、ウエハＷとプローブカード３とを接触させ、更に、載置台２をオーバードライブさせてウエハＷとプローブ３Ａとを電気的に接触させて検査を行っている。
【０００４】
ところが、載置台２をオーバードライブさせることにより載置台２とプローブ３Ａとの間に大きなコンタクト荷重がかかる。コンタクト荷重が大きすぎるとウエハＷを傷つけ、コンタクト荷重が不十分な場合には接触不良などにより検査の信頼性を確保できなくなる。そこで、従来からウエハＷとプローブ３Ａとを適正なオーバードライブ量で接触させて検査の信頼性を高める技術が例えば特許文献１〜３の技術が提案されている。
【０００５】
特許文献１に記載の技術では、プローブカードの上下方向の変位量を測定する光学的測長器を設け、この光学的測長器によってプローブカードの変位量に即して載置台の上昇量を調整し、ウエハとプローブカードの接触不良をウエハとプローブカードの接触不良を解消している。特許文献２の技術では、載置台のオーバードライブ時に変形するプローブカードの変位量を正確に把握し、載置台のオーバードライブ量を適正に設定することができるようにしている。また、特許文献３に記載の技術では、オーバードライブ時の載置台の沈み込み量とコンタクト荷重の関係に基づいて載置台のオーバードライブ量を制御するようにしている。これらの技術はいずれもオーバードライブ時のプローブカードの変形や載置台の沈み込みによる影響を加味して、より正確に本来必要なオーバードライブ量を得ようとする技術である。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２６５８９５
【特許文献２】特開２００３−０５０２７１
【特許文献３】特開２００３−１６８７０７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、プローブカードの中には、ウエハ全面に形成された多数の電極パッドと一括して接触するプローブカードがある。このプローブカードに場合には、例えば図４に示すように載置台２上のウエハＷとプローブカード３とが全面で一括して接触し、ウエハＷの電気的特性検査を行う。ウエハＷとプローブカード３が一括して接触するため、ウエハＷの一部分で接触する場合と比較してコンタクト荷重が大きくなる。況して、ウエハＷが３００ｍｍφになると、半導体装置の超高集積化と相俟ってチップ数が格段に増え、それに伴ってプローブ本数も格段に増加し、一括接触によるコンタクト荷重も従来と比較して格段に大きくなる。
【０００８】
例えば３００ｍｍφのウエハＷの場合には、一括接触によるコンタクト荷重が例えば６０ｋｇｆを超える大きさになると、コンタクト荷重がプローブカード３の重量（図４では矢印Ａで示してある）及び接続リング５の重量（図４では矢印Ｂで示してある）を含むインターフェース機器の重量のみならず、接続リング５にリング状に配列されたポゴピン等の接続端子５Ａのスプリング力に対する反力（図４では矢印Ｃで示してある）を上回るため、オーバードライブをかけるために載置台２を図４に矢印Ｄで示すように上昇させると、プローブカード３の変形や載置台２の沈み込みのレベルを超えてインターフェース機器を持ち上げてしまい、本来のオーバードライブをかけても載置台の上昇量が本来必要とされるオーバードライブ量を超えてしまい、本来必要とされるオーバードライブ量を得るために必要とされる載置台２の上昇量を十分に把握できなかった。特許文献１〜３の技術はいずれもインターフェース機器が持ち上げられることを想定していないため、このような場合には載置台の上昇量を正確に把握することができない。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、被検査体とプローブカードが一括接触する場合であっても載置台がオーバードライブ量に達しているが否かを直接把握することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の請求項１に記載の検査装置は、被検査体を載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、を備え、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記プローブカードを電気的に接触させ、上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置であって、上記載置台の少なくとも一箇所に、上記載置台と上記プローブカードまたはその周辺部との距離を測定する変位センサが設けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項２に記載の検査装置は、被検査体を載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、上記載置台を駆動制御する制御装置と、を備え、上記制御装置の制御下で、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記プローブカードとを全面で一括して電気的に接触させ、上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置であって、上記載置台の少なくとも一箇所に、上記載置台と上記プローブカードまたはその周辺部との距離を測定する変位センサが設けられ、上記制御装置は、上記変位センサの測定値に基づいて上記載置台の上昇量を制御することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項３に記載の検査装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記変位センサは、上記載置台の外周縁近傍に互いに所定間隔を空けて複数設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項４に記載の検査装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記変位センサは、容量センサからなることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項５に記載の検査方法は、被検査体を載置する移動可能な載置台と、上記載置台の上方に配置されたプローブカードと、上記載置台を駆動制御する制御装置と、を備え、上記制御装置の制御下で、上記載置台をオーバードライブさせて上記被検査体と上記プローブカードを電気的に接触させ、上記被検査体の電気的特性検査を行う方法であって、上記載置台に設けられた変位センサを用いて上記載置台と上記プローブカードまたはその周辺部との距離を測定する工程と、上記制御装置が上記変位センサの測定結果に基づいて上記載置台のオーバードライブ量を監視する工程を備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項６に記載の検査方法は、請求項５に記載の発明において、上記制御装置が上記変位センサの測定結果に基づいて上記載置台をオーバードライブ量に達するまで上昇させる工程を備えたことを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項７に記載の検査方法は、請求項５または請求項６に記載の発明において、上記プローブカードとして、上記被検査体の全ての検査用電極と一括して接触する複数のプローブを有するプローブカードを用いることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項８に記載の検査方法は、請求項５〜請求項７のいずれか１項に記載の発明において、上記載置台の周方向に等間隔を空けて複数箇所に設けられた上記変位センサを用いることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、被検査体とプローブカードが一括接触する場合であっても載置台がオーバードライブ量に達しているが否かを直接把握することができる検査装置及び検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図１及び図２に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、各図中、図１は本発明の検査装置の一実施形態を示す構成図、図２は図１に示す検査装置の要部を示す構成図である。
【００２０】
本実施形態の検査装置１０は、例えば図１に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）Ｗを載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動可能な載置台１１と、載置台１１の上方に配置されたプローブカード１２と、プローブカード１２とテストヘッド（図示せず）とを電気的に接続する接続リング１３と、載置台１１上のウエハＷとプローブカード１２の複数プローブ１２Ａとのアライメントを行うアライメント機構（図示せず）と、これらを制御する制御装置１４と、を備えている。プローブカード１２は、カードホルダ１５を介してヘッドプレート１６の開口部に装着されたクランプ機構１７（図２参照）に固定されている。
【００２１】
載置台１１は、図１に示すように駆動機構１８及び測定器（例えば、エンコーダ）１９を備え、駆動機構１８を介してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動すると共にエンコーダ１９を介して移動量が検出されるように構成されている。駆動機構１８は、載置台１１が配置されたＸＹテーブルを駆動する、例えばモータとボールねじを主体とする水平駆動機構（図示せず）と、載置台１１に内蔵された昇降駆動機構と、載置台１１をθ方向に回転させるθ駆動機構と、を備えている。エンコーダ１９は、モータの回転数を介してＸＹテーブルのＸ、Ｙ方向への移動距離をそれぞれ測定し、それぞれの測定信号を制御装置１４へ送信する。制御装置１４は、エンコーダ１９からの信号に基づいて駆動機構１８を制御し、もって載置台１１のＸ、Ｙ方向への移動量を制御する。
【００２２】
プローブカード１２は、図１、図２に示すように、ウエハＷと略同一外径に形成され、その全面に多数のプローブ１２Ａが形成されている。これらのプローブ１２Ａは、図２に示すようにウエハＷに形成された多数の検査用の電極パッドと一括した後、所定のオーバードライブ量を得てウエハＷと電気的に接触した後、ウエハＷに形成された多数のチップを複数個ずつ順番に検査するように構成されている。このようにプローブカード１２は、ウエハＷ全面と一括して接触するため、オーバードライブがかかるとウエハＷには６０ｋｇｆを超えるコンタクト荷重が作用する。このように大きなコンタクト荷重が載置台１１に作用すると、プローブカード１２が変形すると共に載置台１１が沈み込むばかりでなく、プローブカード１２を含むインターフェース機器を持ち上げてしまい、オーバードライブ量が得難くなり、本来必要とされるオーバードライブ量を得るために必要とされる載置台１１の上昇量を十分に把握できない。
【００２３】
つまり、インターフェース機器は、図２に示すように、プローブカード１２及び接続リング１３を含んで構成されている。プローブカード１２は例えば１０ｋｇｆ程度の重量を有し、接続リング１３は例えば１５ｋｇｆの重量を有している。そして、接続リング１３は、リング状に配列された多数のポゴピン等の接続端子１３Ａを有し、そのスプリング力が３５ｋｇｆに達する。このスプリング力は、テストヘッド（図示せず）側からスプリング反力として接続リング１３のマザーボード１３Ｂの外周縁部に作用する。従って、プローブカード１２には６０ｋｇｆの荷重が作用していることになる。ところが、一括接触によるコンタクト荷重は６０ｋｇｆを超えるため、コンタクト荷重がプローブカード１２の荷重を上回ることになり、コンタクト荷重でプローブカード１２を含むインターフェース機器を持ち上げてしまい、本来必要とされるオーバードライブ量だけ載置台１１を上昇させても、そのオーバードライブ量を得ることができない。
【００２４】
そこで、本実施形態では、図１、図２に示すようにオーバードライブ量を監視する変位センサ（例えば、容量センサ）２０が載置台１１のトッププレート１１Ａの一部を水平方向に突出させた部分に装着されている。この突出部分は例えばトッププレート１１Ａの周方向等間隔を隔てた複数箇所（例えば、３箇所）に形成されており、これらの突出部に変位センサ２０がそれぞれ装着されている。これらの変位センサ２０は、トッププレート１１Ａの載置面とカードホルダ１５の下面との間の距離をそれぞれ測定し、この測定値を制御装置１４へ送信する。そして、オーバードライブ量は、プローブ１２ＡとウエハＷの接触位置からの載置台１１の上昇量であることから、変位センサ２０は、ウエハＷがプローブ１２Ａと一括接触した瞬間の測定値を基準値としてオーバードライブ量を測定する。変位センサ２０の測定値が載置台１１の上昇により基準値より小さくなると、小さくなった量が載置台１１のオーバードライブ量になる。このオーバードライブ量は、制御装置１４において基準値と測定値の差として求めることができる。
【００２５】
制御装置１４は、図１に示すように中央演算処理部１４Ａと、各種のプログラムが記憶されたプログラム記憶部１４Ｂと、種々のデータを記憶する記憶部１４Ｃと、下カメラ１７及び上カメラからの撮像信号を画像処理する画像処理部１４Ｄと、を備えている。プログラム記憶部１４Ｂには本発明の検査方法を実行するためのプログラムが格納され、このプログラムを読み出して中央演算処理部１４Ａにおいてプログラムを実行する。
【００２６】
記憶部１４Ｃには本来必要なオーバードライブ量が予め登録オーバードライブ量として登録され、格納されている。また、記憶部１４ＣにはウエハＷの電極パッドとプローブ１２Ａが接触する時のトップレート１１Ａの載置面とカードホルダ１５の下面との距離がオーバードライブの基準値として予め登録され、格納されている。中央演算処理部１４Ａは、図２に示すように、変位センサ２０から測定値を受信すると、測定値と記憶部１４Ｃから読み出した基準値とから載置台１１の現在のオーバードライブ量（ウエハＷとプローブ１２Ａとの接触後の載置面とカードホルダ下面間の距離）を算出する。また、中央演算処理部１４Ａは、現在のオーバードライブ量と記憶部１４Ｃからの登録オーバードライブ量とを比較し、現在のオーバードライブ量が登録オーバードライブ量に満たない時には載置台１１を上昇させ、現在のオーバードライブ量が登録オーバードライブ量と等しくなった瞬間に載置台１１の昇降駆動機構１８Ａに停止信号を送信する。
【００２７】
載置台１１が上昇し、コンタクト荷重によってプローブカード１２を含むインターフェース機器が持ち上げられ、図２に一点鎖線で示すようにマザーボード１３Ｂが変形する。インターフェース機器が持ち上げられている間、載置台１１が上昇しても変位センサ２０の測定値が殆ど変化せず一定となる。このような場合でも変位センサ２０からの測定値に基づいて制御装置１４が登録オーバードライブ量に達していないと判断し、載置台１１を継続して上昇させる。変位センサ２０による測定値に基づいて制御装置１４において現在のオーバードライブ量を算出し、その量が登録オーバードライブ量に達したと判断すると、その瞬間に図２に示すように制御装置１４から昇降駆動機構１８Ａへ停止信号が送信され、載置台１１が停止する。
【００２８】
３箇所の変位センサ２０による測定値がそれぞれ等しい場合には、プローブカード１２と載置台１１の載置面とが平行になっていることを示している。３個の変位センサ２０による測定値がそれぞれ異なっている場合には、プローブカード１２が傾斜していることを示している。このように３箇所の変位センサ２０によってプローブカード１２の平行度も把握することができる。
【００２９】
ウエハＷとプローブカード１２のアライメントを行うアライメント機構は、図１に示すように、載置台１１に付設された下カメラ２１と、載置台１１とプローブカード１２の間で移動してプローブセンタ（プローブカード１２の中心の真下）まで進出するアライメントブリッジ（図示せず）と、アライメントブリッジに装着された上カメラ（図示せず）と、を備えている。下カメラ２１は、従来公知のように制御装置１４の制御下で下カメラ２１によってプローブ１２Ａの針先を高倍率及び低倍率で測定すると共に上カメラによってウエハＷの電極パッドを高倍率及び低倍率で測定し、これら測定によって得られたＸＹＺ座標データに基づいてウエハＷとプローブカード１２とのアライメントを行う。
【００３０】
次に、検査装置１０を用いた本発明の検査方法の一実施形態について説明する。図１、図２に示すようにウエハＷが載置台１１上に載置されると、アライメント機構が駆動してウエハＷとプローブカード１２のアライメントを行う。アライメントを行った後、載置台１１がＸ、Ｙ方向へ移動し、ウエハＷがプローブカード１２の中心の真下に達した時点で載置台１１が停止する。
【００３１】
引き続き、載置台１１が上昇し、ウエハＷの検査用の全電極パッドとプローブカード１２の全プローブ１２Ａが一括して接触する。この時の変位センサ２０の測定値が基準値になり、この時点から変位センサ２０によって載置台１１のオーバードライブ量を監視する。載置台１１が基準値から登録オーバードライブ量に見合った距離だけ上昇する。この時、プローブ１２Ａのコンタクト荷重がプローブカード１２及び接続リング１３を含むインターフェース機器の重量を上回っているため、載置台１１が登録オーバードライブ量に見合った距離だけ上昇しても図２に一点鎖線で示すようにインターフェース機器が載置台１１によって持ち上げられるだけで、変位センサ２０の測定値が基準値から殆ど小さくならず、制御装置１４が変位センサ２０からの測定値に基づいてオーバードライブ量を算出しても登録オーバードライブ量に達していないため、制御装置１４では登録オーバードライブ量に達していないと判断し、載置台１１を引き続き上昇させる。
【００３２】
載置台１１が引き続き上昇すると、変位センサ２０の測定値が徐々に小さくなり、載置台１１の載置面とカードホルダ１５の下面が距離を詰める。この間も制御装置１４は、基準値と測定値との差、つまり現在のオーバードライブ量を算出し、その算出値と登録オーバードライブ量を比較する。インターフェース機器の持ち上げが限界に達し、制御装置１４が変位センサ２０からの測定値に基づいて算出する現在のオーバードライブ量が登録オーバードライブ量と一致すると、その瞬間に制御装置１４から昇降駆動機構１８Ａへ停止信号を送信し、載置台１１を停止させる。載置台１１の適正なオーバードライブによりウエハＷとプローブ１２Ａとが電気的に接触すると、テスタからの信号に基づいてウエハＷの全チップについて電気的特性検査を実行する。後は、検査済みのウエハＷと未検査のウエハＷを順次交換して同様の検査を全てのウエハＷについて行う。
【００３３】
以上説明したように本実施形態によれば、載置台１１に設けられた変位センサ２０を用いて載置台１１の載置面とカードホルダ１５の下面との距離を測定し、制御装置１４が変位センサ２０の測定結果に基づいて載置台１１のオーバードライブ量を監視するようにしているため、オーバードライブ量を直接監視する
ウエハＷとプローブカード１２が一括接触し、コンタクト荷重によってプローブカード１２を含むインターフェース機器が持ち上げられる場合であっても載置台１１がオーバードライブ量に達しているが否かを直接把握することができる。
【００３４】
また、本実施形態によれば、制御装置１４が変位センサ２０の測定結果に基づいて載置１１をオーバードライブ量に達するまで上昇量を制御するようにしたため、ウエハＷとプローブ１２Ａの一括接触によりインターフェース機器が持ち上げられても載置台１１をオーバードライブさせてウエハＷとプローブ１２Ａとを電気的に確実に接触させることができ、検査の信頼性を高めることができる。
【００３５】
また、本実施形態によれば、載置台１１の周方向に等間隔を空けて３箇所に設けられた変位センサ２０を用いるため、載置台１１のオーバードライブ量をより正確に把握することができる。また、３箇所の変位センサ２０を用いるため、３箇所の変位センサ２０の測定値に基づいて載置台１１とプローブカード１２の平行度を把握することができる。
【００３６】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、各構成要素を必要に応じて適宜設計変更することができる。例えば、上記実施形態ではウエハＷとプローブカード１２が全面で一括接触する場合について説明したが、プローブカードのプローブがウエハに形成された限られたチップと部分的に接触する場合についても本発明を適用することができる。また、被検査体はウエハ以外の液晶表示態様基板等にも適用することができる。また、上記実施形態では変位センサ２０をカードホルダ１５の真下に配置してカードホルダ１５を介してオーバードライブ量を監視するようにしているが、変位センサを載置台の載置面の外周縁部に設けてプローブカードの外周縁部を介してオーバードライブ量を監視するようにしても良い。また、変位センサは、容量センサに制限されるものではなく、距離を測定できるセンサであれば従来公知のものを適宜使用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、検査装置に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の検査装置の一実施形態を示す構成図である。
【図２】図１に示す検査装置の要部を示す構成図である。
【図３】従来の検査装置の一例を示す構成図である。
【図４】図３に示す査装置の要部を示す構成図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０    検査装置
１１    載置台
１２    プローブカード
１２Ａ  プローブ
１５    制御装置
２０    変位センサ
Ｗ    ウエハ（被検査体）
【図１】
2008243861.tif 000003
【図２】
2008243861.tif 000004
【図３】
2008243861.tif 000005
【図４】
2008243861.tif 000006