(57)【要約】【課題】  テンプレートを自由にかつ容易に準備することができるレイアウトパターン生成装置を実現する。【解決手段】  本発明のレイアウトパターン生成装置は、変数を用いて記述された図形情報および変数の数が入力されるメインＧＵＩ１１と、テンプレート図形からサイズおよび形状の異なる複数のレイアウトパターンを生成するために、変数に適用するパラメータ値および配置情報が入力されるレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃと、メインＧＵＩ１１で入力された図形情報および変数の数に基づいて、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃを作成するレイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２と、パラメータ値および配置情報に基づいて、複数のレイアウトパターンからなるレイアウトパターンデータ１５ａ〜１５ｃを生成するレイアウトパターン生成部１４を有する。【選択図】  図１
2008040020.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変数を用いて記述されたテンプレート図形の図形情報が入力される第１の入力アイテムと、
前記図形情報で使用する前記変数の数が入力される第２の入力アイテムと、
前記第１および第２の入力アイテムを備えた第１のＧＵＩ（Graphical User Interface）と、
前記テンプレート図形からサイズおよび形状の異なる複数のレイアウトパターンを生成するために、前記変数に適用するパラメータ値が入力される第３の入力アイテムと、
前記複数のレイアウトパターンを行および列方向に繰り返し配置するための配置情報が入力される第４の入力アイテムと、
前記第３および第４の入力アイテムを備えた第２のＧＵＩと、
前記第１のＧＵＩで入力された前記図形情報および前記変数の数に基づいて、前記第２のＧＵＩを作成するＧＵＩ作成手段と、
前記第２のＧＵＩで入力された前記パラメータ値および前記配置情報に基づいて、前記複数のレイアウトパターンからなるレイアウトパターンデータを生成するデータ生成手段を有することを特徴とするレイアウトパターン生成装置。
【請求項２】
前記図形情報は複数の線分で囲まれた閉じた図形の頂点が各辺に沿って順次指定されことで表され、前記頂点の座標は１つ前の前記頂点からの相対位置で記述されていることを特徴とする請求項１に記載のレイアウトパターン生成装置。
【請求項３】
前記配置情報は、前記第１のＧＵＩで前記変数の数に２以上の整数値が入力された場合に、前記第２のＧＵＩで入力されるそれぞれのパラメータ値で当該変数を変化させる時の変化させる変数の順序を有していることを特徴とする請求項１に記載のレイアウトパターン生成装置。
【請求項４】
前記配置情報は、前記データ生成手段で生成される前記レイアウトパターンデータの行および列方向の繰り返しピッチを決めるための前記レイアウトパターン生成領域の幅および高さの情報を有していることを特徴とする請求項１に記載のレイアウトパターン生成装置。
【請求項５】
前記配置情報は、前記データ生成手段で生成される前記レイアウトパターンデータの行または列方向の繰り返し数を有していることを特徴とする請求項１に記載のレイアウトパターン生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レイアウトパターン生成装置に係わり、特に、リソグラフィシミュレーションによるレジスト形状評価・検証に用いられるレイアウトパターン生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リソグラフィシミュレーションによるレジスト形状評価・検証を実施するためには、テンプレートとなるレイアウトパターンの辺の長さや辺と辺との間隔を少しずつ変化させた類似レイアウトパターンを多数準備する必要がある。そのようなレイアウトパターンを自動的に生成する方法やツールは、種々のものが開発されている。例えば、「特許文献１」では、図１３に示すようなレイアウトパターンのテンプレートと、図１４に示すような解析条件入力ＧＵＩ（Graphical User Interface）を利用して、少しずつ寸法が異なる多数の類似レイアウトパターンを自動的に生成している。すなわち、図１３のレイアウトパターンのテンプレート番号が１である場合に、図１４の解析条件入力ＧＵＩでは、テンプレート番号１のＷ、Ｌ、およびＳの寸法をどのように変化させるかを設定する。図１４の例では、Ｗに関しては、１.１，１.２，１.３，…，２.０と１０通りに変化し、ＬおよびＳに関してもそれぞれ１０通りに変化する。したがって、この場合、変化の組み合わせは１０×１０×１０＝１０００通りとなり、この数だけレイアウトパターンが自動的に生成される。
【０００３】
しかしながら、このような従来のレイアウトパターン生成装置では、レイアウトパターン作成者が所望のテンプレートを自由かつ容易に準備し、短時間で自動的に多数のレイアウトパターンを生成することは困難であった。テンプレートは、その形状と、どこの部分の寸法を変化させるかが重要なポイントであり、そのテンプレートをレイアウトパターン作成者が自由かつ容易に準備できない限り、多数のレイアウトパターンの自動生成が容易であるとは言い難いものである。したがって、例えば、「特許文献１」では、テンプレートの準備方法が明示されておらず、レイアウトパターン作成者にとっては、所望のレイアウトパターンを生成するのに膨大な手間と時間を要するという問題があった。
【特許文献１】特開２００３−２０３８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、テンプレートを自由にかつ容易に準備することができるレイアウトパターン生成装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様によれば、変数を用いて記述されたテンプレート図形の図形情報が入力される第１の入力アイテムと、前記図形情報で使用する前記変数の数が入力される第２の入力アイテムと、前記第１および第２の入力アイテムを備えた第１のＧＵＩ（Graphical User Interface）と、前記テンプレート図形からサイズおよび形状の異なる複数のレイアウトパターンを生成するために、前記変数に適用するパラメータ値が入力される第３の入力アイテムと、前記複数のレイアウトパターンを行および列方向に繰り返し配置するための配置情報が入力される第４の入力アイテムと、前記第３および第４の入力アイテムを備えた第２のＧＵＩと、前記第１のＧＵＩで入力された前記図形情報および前記変数の数に基づいて、前記第２のＧＵＩを作成するＧＵＩ作成手段と、前記第２のＧＵＩで入力された前記パラメータ値および前記配置情報に基づいて、前記複数のレイアウトパターンからなるレイアウトパターンデータを生成するデータ生成手段を有することを特徴とするレイアウトパターン生成装置が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、所望のテンプレートを自由かつ容易に準備し、短時間で自動的に多数のレイアウトパターンを生成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例を説明する。
【実施例】
【０００８】
図１は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるＧＵＩの構成を示す図である。ここでは、主に、レイアウトパターン生成ＧＵＩとその作成にかかわる部分を示した。
【０００９】
本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置は、メインＧＵＩ１１を有するレイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２、およびレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃを有するレイアウトパターン生成部１４を備えている。
【００１０】
レイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２は、メインＧＵＩ１１で入力された情報に基づいて、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃを作成する。レイアウトパターン生成部１４は、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃで入力されたパラメータ値に基づいて、それぞれ、レイアウトパターンデータ１５ａ〜１５ｃを生成する。
【００１１】
図２は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるメインＧＵＩ１１の一例を示すイメージ図である。  
本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置のメインＧＵＩ１１は、使用する変数の数が入力される入力アイテム２１、所望のテンプレート図形に対応する図形情報が入力される入力アイテム２２、およびレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃの作成を指示するための作成ボタン２３を備えている。
【００１２】
入力アイテム２２には、レイアウトパターン作成者が生成したい所望のテンプレート図形の図形情報が入力される。図形情報は、図２に示したように、１つの閉じた図形を［］で表現する。すなわち、図形の頂点座標は、（Ｘ座標，Ｙ座標）で表し、Ｘ座標とＹ座標は、それぞれ前の頂点座標からの相対位置で記述する。
【００１３】
例えば、前の頂点のＸ座標から０.１だけ右に動かしたければ、＋０.１と記述する。また、１つの閉じた図形の最初の頂点座標は、図形を描く領域の原点（領域の左下）からの相対位置とし、最後の頂点は、自動的に最初の頂点と接続する。
【００１４】
ここで、座標は仮想的な単位で表している。具体的な長さの単位に換算するのは、実際にレイアウトパターンデータ１５ａ〜１５ｃを生成する際に適宜行われる。
【００１５】
入力アイテム２１には、入力アイテム２２の図形情報で使用する変数の数が入力される。図２の場合には、３つの変数、ｖａｒ１〜ｖａｒ３が図形情報で使用できる。
【００１６】
作成ボタン２３は、入力アイテム２１および２２で入力された情報に基づいて、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃの作成開始を指示するボタンである。
【００１７】
図３は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるテンプレート図形の一例を示すイメージ図である。ここでは、一例として、図２の図形情報に基づいたテンプレート図形を示した。
【００１８】
本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるテンプレート図形は、図３に示したように、長さｖａｒ１、幅ｖａｒ２の２つの長方形３２および３３を長辺を対向させて配置した構成になっている。
【００１９】
長方形３２は、左下の頂点３０２を始点として右回りで各頂点を順次記述して図形情報としている。すなわち、頂点３０２が（＋０.１，＋０.１）、頂点３０３が（＋０，＋ｖａｒ１）、頂点３０４が（＋ｖａｒ２，＋０）、頂点３０５が（＋０，−ｖａｒ１）である。
【００２０】
始点である頂点３０２の座標は、このテンプレートの原点３１（図３では、◎で示した。）からの相対座標で記述している。このように、図形情報の頂点座標を前の頂点からの相対座標で記述することで、図形の形や大きさを自由に変化させられる柔軟な記述ができる。
【００２１】
同様に、長方形３３は、頂点３０６が（＋ｖａｒ３，＋０.１）、頂点３０７が（＋０，＋ｖａｒ１）、頂点３０８が（＋ｖａｒ２，＋０）、頂点３０９が（＋０，−ｖａｒ１）である。ここで、始点である頂点３０６のＸ座標に変数ｖａｒ３を使用することで、図３に示したように、２つの長方形３２と３３の間隔を変化させることができる。
【００２２】
図４は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるレイアウトパターン生成ＧＵＩの一例を示すイメージ図である。ここでは、図２で示したメインＧＵＩ１１で入力された情報に基づいて、レイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２で作成されるレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａを示した。
【００２３】
本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａは、変数ｖａｒ１〜ｖａｒ３のパラメータ値が入力される３つの入力アイテム４１ａ〜４１ｃ、変数の順序が入力される入力アイテム４２、配置されるレイアウトパターンの領域幅および領域高さが入力される入力アイテム４３および４４、領域配置の方法が指定される選択ボタン４５、配置される行数または列数が入力される入力アイテム４６、およびレイアウトパターン生成を指示する生成ボタン４７を備えている。
【００２４】
入力アイテム４１ａ〜４１ｃには、それぞれ、ｖａｒ１〜ｖａｒ３に対応するパラメータ値が入力される。このパラメータ値によって、テンプレート図形から大きさおよび形の異なる複数のレイアウトパターンが生成される。
【００２５】
例えば、入力アイテム４１ａに“０.５，１.０，１.５”がパラメータ値として入力されると、変数ｖａｒ１はこれらの値にしたがって変化してそれぞれ異なるレイアウトパターンが生成される。図４の場合には、ｖａｒ１に３種類、ｖａｒ２およびｖａｒ３にそれぞれ２種類のパラメータ値が指定されているので、合計で３×２×２＝１２通りの異なるレイアウトパターンが生成される。
【００２６】
入力アイテム４２には、複数の変数にそれぞれのパラメータ値を適用する順序が入力される。例えば、図４に示したように、“ｖａｒ３，ｖａｒ２，ｖａｒ１”の場合には、まず、ｖａｒ３が入力されたパラメータ値にしたがって変化し、次にｖａｒ２が変化し、そして、ｖａｒ１が変化する。
【００２７】
より具体的には、まずｖａｒ１＝０.５、ｖａｒ２＝０.１と固定して、ｖａｒ３を０.３、０.４と変化させる。次に、ｖａｒ２を０.２に変化させ、再度ｖａｒ３を０.３、０.４と変化させる。さらに、同様に、ｖａｒ１も変化させ、その度にｖａｒ３とｖａｒ２の変化を繰り返す。
【００２８】
入力アイテム４３および４４には、それぞれ、生成されるレイアウトパターンの領域幅と領域高さが入力される。テンプレート図形はパラメータ値によって生成される大きさなどが変化するので、ここで入力される領域幅と領域高さが、複数のレイアウトパターンを配置する時の繰り返しピッチを決定する。
【００２９】
選択ボタン４５および入力アイテム４６は、生成される複数のレイアウトパターンを配置する時の配置方法を決定する。すなわち、選択ボタン４５で行数固定が選択された時は、入力アイテム４６の値にしたがってレイアウトパターンの配置行数が固定され、選択ボタン４５で列数固定が選択された時は、入力アイテム４６の値にしたがってレイアウトパターンの配置列数が固定される。図４の場合には、列数固定が選択されているので、配置されるレイアウトパターンは、列数４で３行繰り返して配置される。
【００３０】
生成ボタン４７は、入力アイテム４１ａ〜４１ｃおよび４２〜４６で入力されたパラメータ値および配置情報に基づいて、レイアウトパターンデータ１５ａの生成開始を指示するボタンである。
【００３１】
図５は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置が生成するレイアウトパターン配置の一例を示すイメージ図である。ここでは、図４で示したレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａで入力されたパラメータ値および配置情報に基づいて、レイアウトパターン生成部１４によって生成されたレイアウトパターンデータ１５ａの配置を示した。
【００３２】
本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置によって生成されたレイアウトパターンは、図５に示したように、図３に示したテンプレート図形が、図４で示したパラメータ値にしたがって変形され、３行４列で配置されている。
【００３３】
レイアウトパターンの配置順序は、図５に示した領域番号５０１〜５１２のように、左下からまずＸ方向（図５では、紙面右方向。）へ配置され、次にＹ方向（図５では、紙面上方向。）へ配置されている。
【００３４】
これは、図４のレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａで４列の列数固定が設定されていることによる。
【００３５】
各領域内の（）は、その領域に配置されるレイアウトパターンがどのように変形されているかを変数に適用するパラメータ値で示したものである。例えば、領域５０１に配置されるレイアウトパターンは、図形情報の変数にそれぞれｖａｒ１＝０.５，ｖａｒ２＝０.１，ｖａｒ３＝０.３が適用されて生成されるものであることを示している。
【００３６】
図６は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置によって生成されたレイアウトパターンの一例を示すイメージ図である。ここでは、図５における領域５０１に生成されるレイアウトパターンのイメージを示した。
【００３７】
領域５０１に生成されるレイアウトパターンは、図６に示したように、高さ２.０、幅２.０の領域に、高さが０.５、幅が０.１の２つの長方形が間隔０.１で配置されたものである。
【００３８】
図７は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるメインＧＵＩ１１の別の一例を示すイメージ図である。  
メインＧＵＩ１１の各構成要素は、図２と同様であるので説明は省略する。図２との違いは、図形情報で使用する変数の数が“４”であることと、テンプレート図形がＨ型の１つの閉じた図形であることである。
【００３９】
図８は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるテンプレート図形の別の一例を示すイメージ図である。ここでは、図７の図形情報に基づいたテンプレート図形を示した。
【００４０】
Ｈ型の図形８２は、左下の頂点８０２を始点として右回りで各頂点を順次記述して図形情報としている。すなわち、頂点８０２が（＋０.１，＋０.１）、頂点８０３が（＋０，＋ｖａｒ１）、頂点８０４が（＋ｖａｒ２，＋０）、頂点８０５が（＋０，−ｖａｒ３）、頂点８０６が（＋ｖａｒ４，＋０）、頂点８０７が（＋０，＋ｖａｒ３）、頂点８０８が（＋ｖａｒ２，＋０）、頂点８０９が（＋０，−ｖａｒ１）、頂点８１０が（−ｖａｒ２，＋０）、頂点８１１が（＋０，＋ｖａｒ３）、頂点８１２が（−ｖａｒ４，＋０）、頂点８１３が（＋０，−ｖａｒ３）である。
【００４１】
始点である頂点８０２の座標は、このテンプレートの原点８１（図８では、◎で示した。）からの相対座標で記述している。
【００４２】
図９は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるレイアウトパターン生成ＧＵＩの別の一例を示すイメージ図である。ここでは、図７で示したメインＧＵＩ１１で入力された情報に基づいて、レイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２で作成されるレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ｂを示した。
【００４３】
レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ｂの各構成要素は、図４に示したレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａと同様であるので、詳しい説明は省略する。レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａとの違いは、メインＧＵＩ１１の入力アイテム２１に入力された変数の数にしたがって、変数が４つ（入力アイテム９１ａ〜９１ｄ）になっていることと、入力アイテム９２で変数の順序として“ｖａｒ３，ｖａｒ４，ｖａｒ２，ｖａｒ１”が指定されていることと、選択ボタン９５で行数固定が選択されていることと、入力アイテム９６で行数として“６”が指定されていることである。
【００４４】
入力アイテム９１ａ〜９１ｄには、それぞれ、ｖａｒ１〜ｖａｒ４に対応するパラメータ値が入力される。図９の場合には、ｖａｒ１に３種類、ｖａｒ２およびｖａｒ３にそれぞれ２種類、ｖａｒ４に３種類のパラメータ値が指定されているので、合計で３×２×２×３＝３６通りの異なるレイアウトパターンが生成される。
【００４５】
選択ボタン９５では列数固定が選択され、入力アイテム９６には“６”が指定されているので、配置されるレイアウトパターンは、行数６で６列繰り返して配置される。
【００４６】
図１０は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置が生成するレイアウトパターン配置の別の一例を示すイメージ図である。ここでは、図９で示したレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ｂで入力されたパラメータ値および配置情報に基づいて、レイアウトパターン生成部１４によって生成されたレイアウトパターンデータ１５ｂの配置を示した。
【００４７】
レイアウトパターン１５ｂは、図１０に示したように、図８に示したテンプレート図形が、図９で示したパラメータ値にしたがって変形され、６行６列で配置されている。
【００４８】
レイアウトパターンの配置順序は、図１０に示した領域番号１０１〜１３６のように、左下からまずＹ方向（図１０では、紙面上方向。）へ配置され、次にＸ方向（図１０では、紙面右方向。）へ配置されている。
【００４９】
これは、図９のレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ｂで６行の行数固定が設定されていることによる。
【００５０】
各領域内の（）は、その領域に配置されるレイアウトパターンがどのように変形されているかを変数に適用するパラメータ値で示したものである。例えば、領域１０１に配置されるレイアウトパターンは、図形情報の変数にそれぞれｖａｒ１＝０.５，ｖａｒ２＝０.１，ｖａｒ３＝０.１，ｖａｒ４＝０.５が適用されて生成されるものであることを示している。
【００５１】
図１１は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置によって生成されたレイアウトパターンの別の一例を示すイメージ図である。ここでは、図１０における領域１０１に生成されるレイアウトパターンのイメージを示した。
【００５２】
領域１０１に生成されるレイアウトパターンは、図１１に示したように、高さ２.０、幅２.０の領域に、高さが０.５、幅が０.７で、両サイドの突起部が長さ０.１、幅０.１のＨ型の図形が配置されたものである。
【００５３】
レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ｃもレイアウトパターン作成者が所望のテンプレート図形をメインＧＵＩ１１に記述することで作成することができる。このように、メインＧＵＩ１１で変数を使用した記述で所望の図形情報を入力することで、その変数にパラメータ値を入力するためのレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃが作成される。
【００５４】
次に、上述した構成を持つレイアウトパターン生成装置の動作フローについて説明する。  
図１２は、本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置の動作を示すフロー図である。ここでは、主に、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃの作成にかかわる部分を示した。
【００５５】
本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置の動作は、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃの作成に必要な情報が入力されるステップ（ＳＴ１２１）、レイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃが作成されるステップ（ＳＴ１２２）、レイアウトパターン生成に必要なパラメータ値が入力されるステップ（ＳＴ１２３）、入力されたパラメータ値の正当性を確認するステップ（ＳＴ１２４）、およびパラメータ値に基づいてレイアウトパターンデータ１５ａ〜１５ｃが生成されるステップ（ＳＴ１２５）を備えている。
【００５６】
ＳＴ１２１では、レイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２のメインＧＵＩ１１に、変数を用いて記述されたテンプレート図形の図形情報、および図形情報で使用する変数の数が入力される。
【００５７】
ＳＴ１２２では、ＳＴ１２１で入力された図形情報および変数の数に基づいて、レイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部１２がレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃを作成する。
【００５８】
ＳＴ１２３では、ＳＴ１２２で作成されたレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃに、図形情報で使用されている変数に適用するパラメータ値、および生成するレイアウトパターンの配置情報が入力される。
【００５９】
ＳＴ１２４では、ＳＴ１２３で入力されたパラメータ値の正当性が確認される。ここでは、図形の頂点がレイアウトパターン生成ＧＵＩ１３ａ〜１３ｃで設定した領域からはみ出していないかどうか、あるいは、ねじれ図形など不正な図形がないかどうか、が確認される。はみ出している場合や不正な図形がある場合は、警告メッセージが表示される。
【００６０】
ＳＴ１２５では、ＳＴ１２３で入力されたパラメータ値および配置情報に基づいて、レイアウトパターン生成部１４がレイアウトパターンデータ１５ａ〜１５ｃを生成する。
【００６１】
上記実施例によれば、所望のテンプレート図形を自由かつ容易に準備し、短時間で自動的に多数のレイアウトパターンを生成することができる。
【００６２】
また、上記実施例によれば、図形情報を前の頂点との相対位置で記述するので、図形情報の入力を柔軟にかつ簡略に行うことができる。
【００６３】
さらに、上記実施例によれば、図形情報中の変数の値を変化させる順番を指定できるので、生成するレイアウトパターンの配置を自由に設定することができる。
【００６４】
さらに、上記実施例によれば、各レイアウトパターンの生成領域の幅と高さ、および生成領域の配置方法（行数固定または列数固定、およびその固定数。）を指定できるので、レイアウトパターンの配置を自由に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるＧＵＩの構成を示す図。
【図２】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるメインＧＵＩ１１の一例を示すイメージ図。
【図３】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるテンプレート図形の一例を示すイメージ図。
【図４】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるレイアウトパターン生成ＧＵＩの一例を示すイメージ図。
【図５】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置が生成するレイアウトパターン配置の一例を示すイメージ図。
【図６】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置によって生成されたレイアウトパターンの一例を示すイメージ図。
【図７】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるメインＧＵＩ１１の別の一例を示すイメージ図。
【図８】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるテンプレート図形の別の一例を示すイメージ図。
【図９】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置におけるレイアウトパターン生成ＧＵＩの別の一例を示すイメージ図。
【図１０】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置が生成するレイアウトパターン配置の別の一例を示すイメージ図。
【図１１】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置によって生成されたレイアウトパターンの別の一例を示すイメージ図。
【図１２】本発明の実施例に係わるレイアウトパターン生成装置の動作を示すフロー図。
【図１３】従来のレイアウトパターンのテンプレートを示すイメージ図。
【図１４】従来の解析条件入力ＧＵＩを示すイメージ図。
【符号の説明】
【００６６】
１１  メインＧＵＩ
１２  レイアウトパターン生成ＧＵＩ作成部
１３ａ〜１３ｃ  レイアウトパターン生成ＧＵＩ
１４  レイアウトパターン生成部
１５ａ〜１５ｃ  レイアウトパターンデータ
【図１】
2008040020.tif 000003
【図２】
2008040020.tif 000004
【図３】
2008040020.tif 000005
【図４】
2008040020.tif 000006
【図５】
2008040020.tif 000007
【図６】
2008040020.tif 000008
【図７】
2008040020.tif 000009
【図８】
2008040020.tif 000010
【図９】
2008040020.tif 000011
【図１０】
2008040020.tif 000012
【図１１】
2008040020.tif 000013
【図１２】
2008040020.tif 000014
【図１３】
2008040020.tif 000015
【図１４】
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