(57)【要約】      （修正有）【課題】 容器にローディングされた複数の基板を選択的にアンローディングできる基板移送装置及び方法を提供する。【解決手段】容器内から複数の基板を引き出して移送する基板移送装置は、移送の時に複数の基板が各々載置される複數のブレードと、各々のブレード４２０ａの一端に設置され、容器から基板を引き出す時、ブレード４２０ａの上部に突出される引出部材５００ａと、各々のブレード４２０ａから各々の引出部材５００ａを選択的に突出させる駆動ユニット６００とを含む。引出部材５００ａは、中空形であり、ブレード４２０ａの一端に形成された締結孔４２４ａで上下移動するように設置される。引出部材５００ａは、上部が閉塞された形状を有する。【選択図】図４
2008028402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器内から複数の基板を引き出して移送する基板移送装置において、
移送の時に複数の基板が各々在置される複数のブレードと、
各々の前記ブレードの一端に設置され、前記容器から前記基板を引き出す時に前記ブレードから上部に突出される引出部材と、
各々の前記ブレードから各々の前記引出部材を選択的に突出させる駆動ユニットとを含むことを特徴とする基板移送装置。
【請求項２】
前記引出部材は凹所を形作る中空形であり、前記ブレードの一端に形成された締結孔を通じて上下移動するように設置されることを特徴とする請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項３】
前記引出部材は、上部が閉塞された形状を有することを特徴とする請求項２に記載の基板移送装置。
【請求項４】
前記駆動ユニットは、
各々の前記ブレードの内部に形成され、前記引出部材の前記凹所に連結されてこの凹所へガスを供給する複数の供給ラインと、
各々の前記供給ラインを開閉する複数のバルブと、
前記複数のバルブを選択的に制御する制御器とを備えることを特徴とする請求項２に記載の基板移送装置。
【請求項５】
前記引出部材は、前記引出部材の外周面から外側に延長されて前記引出部材が前記締結孔から離脱することを防止するストッパーを備えることを特徴とする請求項２に記載の基板移送装置。
【請求項６】
前記引出部材は回転バーを備え、回転バーの一端が前記ブレードに回転自在に連結され、回転バーの他端が回転により前記ブレードの上方に突出できるようになったことを特徴とする請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項７】
前記引出部材は、前記回転バーの一端に前記回転バーと垂直になるように連結され、回転によって、前記回転バーを前記ブレードから突出させる回転軸をさらに備え、
前記駆動ユニットは、
前記回転軸に一端が巻かれるワイヤと、
前記ワイヤの他端を回転によって、巻くことができる駆動器を含むことを特徴とする請求項６に記載の基板移送装置。
【請求項８】
前記駆動ユニットは前記回転時に連結された弾性部材を備え、この弾性部材は前記回転軸に弾性力を与えて、前記回転バーを前記ブレードに対して非突出位置に位置させることを特徴とする請求項７に記載の基板移送装置。
【請求項９】
容器内から基板を引き出して移送する基板移送方法において、
前記容器内から前記基板を引き出すための引出部材をそれぞれ備えた複数のブレードを前記容器の内部に移動させ、
前記容器から引き出そうとする前記基板に該当する前記引出部材を選択的に駆動して前記基板を引き出し、
引き出された前記基板を所定の位置に移送することを特徴とする基板移送方法。
【請求項１０】
前記ブレードから前記引出部材を選択的に突出させることで、前記引出部材を選択的に駆動することを特徴とする請求項９に記載の基板移送方法。
【請求項１１】
前記引出部材の内部の中空部分へ選択的にガスを供給することで、前記引出部材を選択的に突出させることを特徴とする請求項１０に記載の基板移送方法。
【請求項１２】
各々の前記引出部材は各々の前記ブレードに回転自在に連結され、前記引出部材を回転させてブレードから突出させることで前記引出部材を駆動することを特徴とする請求項９に記載の基板移送方法。
【請求項１３】
前記引出部材に連結された回転軸に巻かれたワイヤに選択的に張力を加えることで、前記引出部材を回転させてこれを前記ブレードから突出させることを特徴とする請求項１２に記載の基板移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板移送装置及び方法に関し、より詳細には、容器内から基板を引き出す基板移送装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、半導体ウェハーの直径が２００ｍｍから３００ｍｍに増加することによって、ウェハー移送の間に大気中の異物質や化学的な汚染からウェハーを保護するため、密閉形ウェハー容器である全面開放一体式ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）が使用されている。又は、完全に自動化システムによる半導体チップが製造されることによって、工程設備には、ウェハー容器と工程設備内のロードロックチェンバーとの間にインタフェース役割を果たすＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）が設置される。
【０００３】
上述したＥＦＥＭ内には、ウェハーを移送するために移送部が設置される。移送部は、ウェハー容器内にローディングされた複数のウェハーを引き出す複数のブレードを備え、複数のブレードは、引き出した複数のウェハーを工程設備内のロードロックチェンバーへ移送する。
【０００４】
しかし、従来の移送部は、ウェハー容器内の複数のウェハーを同時にアンローディングしなければならない。従って、ウェハーを選択的にアンローディングするためには、別の装置を必要とする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためのものであって、その目的は、容器内の基板を選択的にアンローディングできる基板移送装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために本発明の一実施の形態によれば、容器内の複数の基板を引き出して移送する基板移送装置は、移送する際に複数の基板が各々在置される複数のブレードと、各々の前記ブレードの一端に設置され、前記容器から前記基板を引き出す時、前記ブレードから上部に突出される引出部材と、各々の前記ブレードから各々の前記引出部材を選択的に突出させる駆動ユニットとを含む。
【０００７】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記引出部材は、中空形であり、前記ブレードの一端に形成された締結孔を通じて上下移動するように設置される。
【０００８】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記引出部材は、上部が閉塞された形状を有する。
【０００９】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記駆動ユニットは、各々の前記ブレードの内部に形成され、前記引出部材内の凹所に連結されてこの凹所へガスを供給する複数の供給ラインと、各々の前記供給ラインを開閉する複数のバルブと、前記複数のバルブを選択的に制御する制御器とを備える。
【００１０】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記引出部材は、前記引出部材の外周面から外側に延長されて前記引出部材が前記締結孔から離脱することを防止するストッパーを備える。
【００１１】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記引出部材は回転バーを備え、回転バーの一端が前記ブレードに回転自在に連結され、回転バーの他端が回転により前記ブレードの上部に突出できるようになっている。
【００１２】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記引出部材は、前記回転バーの一端に前記回転バーと垂直になるように連結され、回転によって、前記回回転ーを前記ブレードから突出させる回転軸をさらに備え、前記駆動ユニットは、前記回転軸に一端が巻かれるワイヤと、前記ワイヤの他端を回転によって、巻くことができる駆動器を備える。
【００１３】
本発明の望ましい一実施の形態においては、前記駆動ユニットは、前記回転軸に連結された弾性部材を備え、この弾性部材が前記回転時に弾性力を与えて、前記回転バーを前記ブレード内に対して非突出位置に位置させるように構成される。
【００１４】
本発明は、更に、容器内から基板を引き出して移送する基板移送方法を提案する。この方法では、前記容器内の前記基板を引き出すための引出部材をそれぞれ備えた複数のブレードを前記容器の内部に移動させ、前記容器から引き出そうとする前記基板に該当する前記引出部材を選択的に駆動して前記基板を引き出し、引き出された基板を所定の位置に移送する。
【００１５】
本発明の望ましい他の一実施の形態においては、前記ブレードから前記引出部材を選択的に突出させることで、前記引出部材を選択的に駆動する。
【００１６】
この場合、前記引出部材内部の中空部分へ選択的にガスを供給することで、前記引出部材を選択的に突出させることができる。
【００１７】
本発明の望ましい他の一実施の形態においては、各々の前記引出部材は、各々の前記ブレードに回転自在に連結され、前記引出部材を回転させてブレードから突出させることで、前記引出部材を駆動することができる。
【００１８】
本発明の望ましい他の一実施の形態においては、前記引出部材に連結された回転軸に巻かれたワイヤに選択的に張力を加えることで、前記引出部材を回転させて、これを前記ブレードから突出させる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、容器にローディングされた複数の基板を選択的にアンローディングできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の実施の形態は、様々な形態に変形されることができ、本発明の範囲は、以下に詳説する実施の形態によって限定されるものと解釈してはならない。本発明の実施の形態は、当業者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状などは、より明確な説明を強調するために誇張されたものである。以下では、基板の一例としてウェハーＷで特定したが、本発明は、これに限定されない。
【００２１】
以下、添付の図１乃至図１０を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２２】
図１は、半導体設備１の概要を示す図面であり、図２は、図１のＥＦＥＭ１００の内部を示す図面である。
【００２３】
図１に示したように、半導体設備１は、工程設備２００、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）１００、及び境界壁（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｗａｌｌ）２９０を有する。工程設備２００は、少なくとも１つのロードロックチェンバー（ｌｏａｄｌｏｃｋ  ｃｈａｍｂｅｒ）２２０、移送チェンバー２４０、及び複数の工程チェンバー２６０を有する。例えば、複数の工程チェンバー２６０は、化学気相蒸着（CVD）装備、ドライエッチング装備、又は熱拡散炉等のようなチェンバーである。工程チェンバー２６０の中央には、移送ロボット２８０が設置された移送チェンバー２４０が位置され、移送ロボット２８０は、ロードロックチェンバー２２０と工程チェンバー２６０との間へウェハーを移送する。このような工程設備２００は、外部環境に比べ非常に高い清浄度で維持され、境界壁２９０は、外部環境から工程設備２００を隔離する。工程設備２００の一側には、ウェハーを保管及び運送するウェハー容器と工程設備２００との間にインタフェース機能をするＥＦＥＭ１００が設置される。
【００２４】
図２に示したように、ＥＦＥＭ１００は、フレーム１２０、ロードステーション１４０、及び移送装置４００を含む。フレーム１２０は、直六面体の形状を有し、工程設備２００に接する側面である後ろ面１２１には、フレーム１２０と工程設備２００との間にウェハーが移送される通路である搬入口１２４が形成される。フレーム１２０内部を一定の清浄度で維持するため、フレーム１２０の上部面には、外部の空気が流入される空気流入口１２６が形成され、下部面には、空気を外部へ排気するための排気ライン１２８が連結される排気口１２７が形成できる。ＥＦＥＭ１００の後ろ面１２１と対向される側面である前面１２３の一側には、ウェハー容器１０が在置されるロードステーション１４０が設置される。ロードステーション１４０は、１つ以上設置できる。ウェハー容器１００は、移送の中に異物や化学的な汚染からウェハーを保護するため、密閉形ウェハーキャリアである前方開放一体式ＦＯＵＰが使用できる。容器１０は、ＯＨＴ（ｏｖｅｒｈｅａｄ  ｔｒａｎｓｆｅｒ）、ＯＨＣ（ｏｖｅｒｈｅａｄ  ｃｏｎｖｅｙｏｒ）又は自動案内車輛ＡＧＶ或いは、ＲＧＶ）のようなキャリア移送システム（未図示）によってロードステーション１４０上にローディング又はアンローディングされる。フレーム１２０には、ロードステーション１４０に置かれる容器１０のドア１４を開閉するオーフナー１３０が設置される。容器１０のドア１４がオーフナー１３０によって開くと、フレーム１２０の前面１２３には、ウェハーの移送通路である開口部１２２が形成される。
【００２５】
ＥＦＥＭ１００内には、容器１０から工程設備２００内のロードロックチェンバー２２０へウェハーを移送する移送装置４００が位置される。図３は、本発明に基づく移送装置４００の斜視図である。
【００２６】
図３に示したように移送装置４００は、ブレード４２０、固定体４４０、固定体移動部４６０を有する。
【００２７】
ブレード４２０は、ウェハーを把持する部分として第１乃至第５ブレード４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅで成り立つ。第１乃至第５ブレード４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅは、互いに上下に位置されるように固定体４４０の一側に結合される。第１乃至第５ブレード４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅとの間の間隔は、容器１０内に形成された複数のスロットとの間隔と同一に形成される。ブレード４２０に対する詳細な説明は、後述する。
【００２８】
固定体４４０の下には、固定体を回転/直線移動させる固定体移動部４６０が結合される。固定体移動部４６０によって固定体４４０に固定されたブレード４２０は、容器１０内へ移動され、容器１０からウェハーを取り出し、これを再びロードロックチェンバー２２０へ移動させる。本発明の実施の形態では、５つのブレード４２０を有することで説明した。しかしこれは、単なる実施の形態に過ぎないことであり、ブレード４２０の数は、多様に変化できる。
【００２９】
固定体４４０の上部には、センサー（未図示）が装着できる。センサーは、容器１０内の状態、例えばスロットの数と、スロットにウェハーが在置されているか否かをチェックする。
【００３０】
図４は、本発明の第１の実施形態に従う第１ブレード４２０ａの内部を示す斜視図である。第２乃至第４ブレード４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅも同一な構造と機能を有しているので、これらの対する説明は、ここでは、省略する。又は、図４に示したように、第１ブレード４２０ａは、第１ブレード４２０ａの中心を基準に対称であるので、対称される部分に対する説明は、ここでは、省略する。
【００３１】
第１ブレード４２０ａは、固定体４４０から終端に行けば行くほどだんだん広くなる形状を有し、終端には、２つの第１突出部４２２ａが形成される。第１突出部４２２ａの上部面には、第１締結孔４２４ａが形成される。第１締結孔４２４ａは、第１突出部４２２ａの上部面より凹んだ形に形成される。この第１締結孔４２４ａには、後述する第１引出部材５００ａが設置される。
【００３２】
図５は、図４の第１引出部材５００ａを示す斜視図である。
【００３３】
上述したように第１締結孔４２４ａには、第１引出部材５００ａが設置される。第１引出部材５００ａは、第１ボディー５２０ａ、第１流入口５４０ａ、及び第１ストッパー５６０ａを備える。
【００３４】
第１ボディー５２０ａは、中空形状の円筒である。第１ボディー５２０ａは、第１締結孔４２４ａに対応する高さを有するので、第１ボディー５２０ａ内に下降すると、第１ブレード４２０ａから突出されない。
【００３５】
第１ボディー５２０ａは、内部に凹所を有し、後述する第１供給ライン６２０ａを通じて第１ボディー５２０ａの内部へガスが供給されると、供給されたガスが第１ボディー５２０ａの内部に加える圧力によって、第１ボディー５２０ａが上昇する。
【００３６】
第１ボディー５２０ａの外周面には、第１流入口５４０ａが形成される。第１流入口５４０ａは、第１供給ライン６２０ａを通じて供給されるガスが第１ボディー５２０ａの内部へ流入される通路である。
【００３７】
第１ストッパー５６０ａは、第１ボディー５２０ａの外周面から第１ボディー５２０ａの外側に延長される。第１ストッパー５６０ａは、ガスによって、第１ボディー５２０ａが過度に上昇して第１締結孔４２４ａから離脱することを防止する。
【００３８】
第１引出部材５００ａは、昇降ユニット６００によって、駆動される。昇降ユニット６００は、第１供給ライン６２０ａ、第１バルブ６４０ａ、ポンプ６６０を含む。
【００３９】
第１供給ライン６２０ａは、第１ブレード４２０ａの内部に提供され、第１供給ライン６２０ａの一端は、２つの第１分岐ライン６２２ａに分岐される。第１分岐ライン６２２ａは、第１ボディー５２０ａの内部に連結されて第１ボディー５２０の内部へガスを供給する。
【００４０】
第１供給ライン６２０ａ上には、第１バルブ６４０ａが設置され、第１供給ライン６２０ａを開閉する。第１供給ライン６２０ａの他端には、ポンプ６６０が設置され、ポンプ６６０は、第１供給ライン６２０ａへガスを強制供給する。この際に、供給されるガスは、ウェハーと反応しない不活性ガスが望ましい。
【００４１】
図６Ａ及び図６Ｂは、図４の移送装置４００の動作を示す図面であり、図７は、本発明に係るウェハーを移送する方法を示すフロー図である。
【００４２】
図６Ａに示したように、第１乃至第５締結孔４２４ａ、４２４ｂ、４２４ｃ、４２４ｄ、４２４ｅ内に、各々第１乃至第５引出部材５００ａ、５００ｂ、５００ｃ、５００ｄ、５００ｅが備えられ、第１乃至第５引出部材５００ａ、５００ｂ、５００ｃ、５００ｄ、５００ｅには、第１乃至第５供給ライン６２０ａ、６２０ｂ、６２０ｃ、６２０ｄ、６２０ｅ及び第１乃至第５分岐ライン６２２ａ、６２２ｂ、６２２ｃ、６２２ｄ、６２２ｅが連結される。第１乃至第５供給ライン６２０ａ、６２０ｂ、６２０ｃ、６２０ｄ、６２０ｅ上には、第１乃至第５バルブ６４０ａ、６４０ｂ、６４０ｃ、６４０ｄ、６４０ｅが設置され、第１乃至第５供給ライン６２０ａ、６２０ｂ、６２０ｃ、６２０ｄ、６２０ｅは、ポンプ６６０に連結される。
【００４３】
一方、昇降ユニット６００は、制御器６８０をさらに含む。制御器６８０は、第１乃至第５バルブ６４０ａ、６４０ｂ、６４０ｃ、６４０ｄ、６４０ｅの開閉を制御し、ポンプ６６０の作動を制御する。
【００４４】
以下、図６乃至図７を参照してウェハーを選択的に移送する方法について説明する。
【００４５】
まず、過程Ｓ１０において、第１乃至第５ブレード４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅを容器１０の内部へ移動し、第１乃至第５ブレード４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅを容器１０内に形成された複数のスロットの下部に各々挿入する。この時、複数のスロット上には、第１乃至第５ウェハーＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５が各々支持されているので、第１乃至第５ブレード４２０ａ、４２０ｂ、４２０ｃ、４２０ｄ、４２０ｅの上部には、第１乃至第５ウェハーＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５が各々配置される。
【００４６】
次に、過程Ｓ２０において、第１乃至第５ウェハーＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５の内で引き出そうとするウェハーの下方に位置する引出部材を選択的に駆動する。第１乃至第５引出部材５００ａ、５００ｂ、５００ｃ、５００ｄ、５００ｅは、制御器６８０によって、昇降される。
【００４７】
例えば、第３及び第５ウェハーＷ３、Ｗ５を引き出そうとする場合、制御器６８０は、第３及び第５バルブ６２０ｃ、６２０ｅを開放する。第３及び第５バルブ６２０ｃ、６２０ｅを開放すると、図６Ｂに示したように、第３供給ライン６２０ｃ及び第５供給ライン６２０ｅを通じてガスが供給され、第３供給ライン６２０ｃ及び第５供給ライン６２０ｅを通じて供給されたガスは、第３分岐ライン６２２ｃ及び第５分岐ライン６２２ｅを通じて第３及び第５ボディー５２０ｃ、５２０ｅの内部へ供給される。
【００４８】
従って、第３及び第５ボディー５２０ｃ、５２０ｅが第３及び第５ブレード４２０ｃ、４２０ｅの上部へ突出する。
【００４９】
第３及び第５ボディー５２０ｃ、５２０ｅが第３及び第５ブレード４２０ｃ、４２０ｅから突出すると、過程３０において、第３及び第５ブレード４２０ｃ、４２０ｅを容器１０から引き出すことにより、ウェハーが容器１０から引き出される。次いで、過程Ｓ４０において、引き出したウェハーを所定の位置、例えば、工程設備２００内のロードロックチェンバー２２０へ移送する。
【００５０】
上述したように、容器内にローディングされた複数のウェハーを選択的に引き出して工程設備２００内のロードロックチェンバー２２０へ移送できる。
【００５１】
図８は、本発明の第２の実施形態に係る第１ブレード４２０ａの内部を示す斜視図である。
【００５２】
第１ブレード１４２０ａは、固定体から終端に行けば行くほどだんだん広くなる形状を有し、終端には、２つの第１突出部１４２２ａが形成される。第１突出部１４２２ａには、後述する第１引出部材１５００ａが設置される。
【００５３】
第１ブレード１４２０ａの内部には、‘Ｙ’形状の第１溝１４２４ａが形成される。第１溝１４２４ａには、後述する第１ワイヤ１６２０ａと２つの第１ローラー１６２２ａが設置される。
【００５４】
上述したように第１突出部１４２２ａには、第１引出部材１５００ａが設置される。第１引出部材１５００ａは、第１回転バー１５２０ａ、第１ボディー１５４０ａ、及び第１回転軸１５６０ａを含む。
【００５５】
第１回転バー１５２０ａ及び第１回転軸１５６０ａは、互いに直交する形で、第１ボディー１５４０ａから延出する。第１回転軸１５６０ａは、第１突出部１４２２ａの側面に回転自在に連結され、第１回転バー１５２０ａは、第１回転軸１５６０ａの回転によって、第１ブレード１４２０ａから上部へ突出される。
【００５６】
第１引出部材１５００ａは、駆動ユニット１６００によって、駆動される。駆動ユニット１６００は、第１ワイヤ１６２０ａ、第１駆動器１６３０ａ、及び制御器１６６０を含む。
【００５７】
第１ワイヤ１６２０ａの一端は、上述した第１回転軸１５６０ａに巻かれ、第１ワイヤ１６２０ａの張力によって、第１回転軸１５６０ａに回転力を提供する。第１ワイヤ１６２０ａの他端は、第１駆動器１６３０ａに巻かれ、第１駆動器１６３０ａは、回転によって、第１ワイヤ１６２０ａを巻き付けるか或は解くことができ、第１ワイヤ１６２０ａに張力を提供する。
【００５８】
一方、第１溝１４２４ａには、２つの第１ローラー１６２２ａが提供される。２つの第１ローラー１６２２ａは、第１ワイヤ１６２０ａに接して回転自在となり、第１ワイヤ１６２０ａが第１駆動器１６３０ａによって移動する際に、第１ワイヤ１６２０ａを移動経路に沿って案内する。
【００５９】
制御器１６６０は、第１駆動器１６３０ａに連結されて第１駆動器１６３０ａを駆動する。
【００６０】
一方、第１引出部材１５００ａは、第１弾性部材１６８０ａをさらに含む。第１弾性部材１６８０ａは、第１回転軸１５６０ａ上に設けられ、第１回転軸１５６０ａの回転方向に対する弾性力を提供する。第１弾性部材１６８０ａの機能に関する詳細な説明は、後述する。
【００６１】
図９Ａ及び図９Ｂは、図８の移送装置４００の動作を示す図面である。
【００６２】
図９Ａに示したように、第１乃至第５ブレード１４２０ａ、１４２０ｂ、１４２０ｃ、１４２０ｄ、１４２０ｅには、各々第１乃至第５引出部材１５００ａ、１５００ｂ、１５００ｃ、１５００ｄ、１５００ｅが設けられ、第１乃至第５引出部材１５００ａ、１５００ｂ、１５００ｃ、１５００ｄ、１５００ｅには、第１乃至第５ワイヤ１６２０ａ、１６２０ｂ、１６２０ｃ、１６２０ｄ、１６２０ｅの一端が連結され、第１乃至第５ワイヤ１６２０ａ、１６２０ｂ、１６２０ｃ、１６２０ｄ、１６２０ｅの他端は、第１乃至第５駆動器１６３０ａ、１６３０ｂ、１６３０ｃ、１６３０ｄ、１６３０ｅが連結される。第１乃至第５駆動器１６３０ａ、１６３０ｂ、１６３０ｃ、１６３０ｄ、１６３０ｅは、制御器１６６０を利用して制御される。
【００６３】
第１乃至第５回転軸１５６０ａ、１５６０ｂ、１５６０ｃ、１５６０ｄ、１５６０ｅ上には、第１乃至第５弾性部材１６８０ａ、１６８０ｂ、１６８０ｃ、１６８０ｄ、１６８０ｅが設けられる。第１乃至第５弾性部材１６８０ａ、１６８０ｂ、１６８０ｃ、１６８０ｄ、１６８０ｅは、時計方向に弾性力を提供する。従って、第１乃至第５ワイヤ１６２０ａ、１６２０ｂ、１６２０ｃ、１６２０ｄ、１６２０ｅは、弾性力によって、第１乃至第５回転軸１５６０ａ、１５６０ｂ、１５６０ｃ、１５６０ｄ、１５６０ｅに巻かれた状態を維持し、第１乃至第５引出部材１５００ａ、１５００ｂ、１５００ｃ、１５００ｄ、１５００ｅは、第１乃至第５ブレード１４２０ａ、１４２０ｂ、１４２０ｃ、１４２０ｄ、１４２０ｅから外部へ突出されない。
【００６４】
以下、図９と図７を参照して基板を選択的に移送する方法について説明する。
【００６５】
まず、過程Ｓ１０において、第１乃至第５ブレード１４２０ａ、１４２０ｂ、１４２０ｃ、１４２０ｄ、１４２０ｅを容器１０のの内部へ移動し、第１乃至第５ブレード１４２０ａ、１４２０ｂ、１４２０ｃ、１４２０ｄ、１４２０ｅを容器１０内に形成された複数のスロットの下部に各々挿入する。この時、複数のスロット上には、第１乃至第５ウェハーＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５が各々支持されているので、第１乃至第５ブレード１４２０ａ、１４２０ｂ、１４２０ｃ、１４２０ｄ、１４２０ｅの上部には、第１乃至第５ウェハーＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５が各々位置する。
【００６６】
次の過程Ｓ２０において、第１乃至第５ウェハーＷ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４、Ｗ５の内に引き出しようとするウェハーの下部に位置した引出部材を選択的に駆動する。第１乃至第５引出部材１５００ａ、１５００ｂ、１５００ｃ、１５００ｄ、１５００ｅは、制御器１６６０によって、駆動される。
【００６７】
例えば、第３及び第５ウェハーＷ３、Ｗ５を引き出そうとする場合、制御器１６６０は、第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅを駆動する。第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅを駆動すると、図９Ｂに示したように、第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅは、時計方向に回転しながら第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅを巻く。
【００６８】
第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅを巻くと、第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅによって第３及び第５回転軸１５６０ｃ、１５６０ｅに張力が伝えられ、第３及び第５回転軸１５６０ｃ、１５６０ｅに巻かれた第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅが解かれて第３及び第５回転軸１５６０ｃ、１５６０ｅは、反時計方向に回転する。従って、第３及び第５回転軸１５６０ｃ、１５６０ｅと共に、第３及び第５回転バー１５２０ｃ、１５２０ｅが反時計方向に回転して、第３及び第５ブレード４２０ｃ、４２０ｅが上部に突出する。
【００６９】
過程Ｓ３０において、第３及び第５回転バー１５２０ｃ、１５２０ｅが第３及び第５ブレード１４２０ｃ、１４２０ｅ上に突出された状態で、第３及び第５ブレード１４２０ｃ、１４２０ｅを容器１０から引き出すことで、ウェハーを容器１０から引き出す。次の過程Ｓ４０において、引き出したウェハーを所定の位置、例えば、工程設備２００内のロードロックチェンバー２２０へ移送する。
【００７０】
上述したように、容器内にローディングされた複數のウェハーを選択的に引き出して工程設備２００内のロードロックチェンバー２２０へ移送できる。
【００７１】
図１０Ａ及び図１０Ｂは、本発明の第３の実施形態に係る移送装置４００の動作を示す図面である。
【００７２】
第１乃至第５回転軸１５６０ａ、１５６０ｂ、１５６０ｃ、１５６０ｄ、１５６０ｅに設けた第１乃至第５弾性部材１６８０ａ、１６８０ｂ、１６８０ｃ、１６８０ｄ、１６８０ｅは、反時計方向の弾性力を提供し、第１乃至第５ワイヤ１６２０ａ、１６２０ｂ、１６２０ｃ、１６２０ｄ、１６２０ｅは、第１乃至第５駆動器１６３０ａ、１６３０ｂ、１６３０ｃ、１６３０ｄ、１６３０ｅによって、引き寄せられた状態を維持する。従って、第１乃至第５回転軸１５６０ａ、１５６０ｂ、１５６０ｃ、１５６０ｄ、１５６０ｅは、時計方向に回転された状態を維持し、第１乃至第５引出部材１５００ａ、１５００ｂ、１５００ｃ、１５００ｄ、１５００ｅは、第１乃至第５ブレード１４２０ａ、１４２０ｂ、１４２０ｃ、１４２０ｄ、１４２０ｅから外部へ突出しない。
【００７３】
万一、第３及び第５ウェハーＷ３、Ｗ５を引き出そうとする場合、制御器１６６０は、同様に、第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅを駆動する。第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅを駆動すると、図１０Ｂに示したように、第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅは、反時計方向に回転して、第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅを解く。
【００７４】
第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅを解くと、第３及び第５弾性部材１５６０ｃ、１５６０ｅによって、第３及び第５回転軸１５６０ｃ、１５６０ｅは、反時計方向に回転し、第３及び第５駆動器１６３０ｃ、１６３０ｅに巻かれた第３及び第５ワイヤ１６２０ｃ、１６２０ｅが、解かれながら、第３及び第５回転軸１５６０ｃ、１５６０ｅに巻かれる。又は、第３及び第５回轉軸１５６０ｃ、１５６０ｅと共に第３及び第５回転バー１５２０ｃ、１５２０ｅが反時計方向に回転して、第３及び第５ブレード１４２０ｃ、１４２０ｅから上部へ突出される。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】半導体設備の概要を示す図面である。
【図２】図１のＥＦＥＭの内部を示す図面である。
【図３】本発明に従う基板移送装置の斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る基板移送装置の内部を示す斜視図である。
【図５】図４の引出部材を示す斜視図である。
【図６Ａ】図４の基板移送装置の動作を示す図面である。
【図６Ｂ】図４の基板移送装置の動作を示す図面である。
【図７】本発明に従う基板を移送する方法を示す流れ図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る基板移送装置の内部を示す斜視図である。
【図９Ａ】図８の基板移送装置の動作を示す図面である。
【図９Ｂ】図８の基板移送装置の動作を示す図面である。
【図１０Ａ】本発明の第３の実施形態に係る基板移送装置の動作を示す図面である。
【図１０Ｂ】本発明の第３の実施形態に係る基板移送装置の動作を示す図面である。
【符号の説明】
【００７６】
１０  :  容器
１００ : ＥＦＥＭ
４００ : 移送装置
４２０ : ブレード
４４０ : 固定体
４６０ : 移動部
５００ａ、 １５００ａ : 第１引出部材
５２０ａ : 第１ボディー
５４０ａ : 第１流入口
５６０ａ : 第１ストッパー
６２０ａ : 第１供給ライン
６４０ａ : 第１バルブ
６６０ : ポンプ
６８０ : 制御器
１５２０ａ : 第１回轉バー
１５４０ａ : 第１ボディー
１５６０ａ : 第１回轉軸
１６００ : 駆動ユニット
１６２０ａ : 第１ワイヤ
１６３０ａ : 第１駆動器
１６６０ : 制御器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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