(57)【要約】【課題】プローブに対向して配置された試料の表面電位を測定する表面電位測定装置のプローブ固定治具に関し、プローブと試料との距離を指定の測定範囲内で確実に位置決めできる表面電位測定装置のプローブ固定治具を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、プローブに対向して配置された試料の表面電位を測定する表面電位測定装置のプローブ固定治具であって、基台と、基台に対してプローブを固定するプローブ固定部と、基台に設けられ、試料が載置されて、試料を、プローブに対向する位置に保持する試料台と、試料台と試料との間に挿入され、試料とプローブとの距離を調節するスペーサとを有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブに対向して配置された試料の表面電位を測定する表面電位測定装置の前記プローブを固定する表面電位測定装置のプローブ固定治具であって、
基台と、
前記基台に対して前記プローブを固定するプローブ固定部と、
前記基台に設けられ、前記試料が載置されて、前記試料を前記プローブに対向する位置に保持する試料台と、
前記試料台と前記試料との間に挿入され、前記試料と前記プローブとの距離を調節するスペーサとを有する表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【請求項２】
前記試料台は、前記スペーサと係合する係合部を有する請求項１記載の表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【請求項３】
前記スペーサは、表面に前記試料を載置する凹部を有する請求項１又は２記載の表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【請求項４】
前記試料台を前記プローブの測定面に対して平行にスライドさせるスライド機構を有する請求項１乃至３のいずれか一項記載の表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【請求項５】
前記試料台を、前記試料台の試料搭載部が前記プローブの測定面に対向する位置で固定させる固定機構を有する請求項１又は２記載の表面電位測定装置用のプローブ固定治具。
【請求項６】
プローブに対向して配置された試料の表面電位を測定する表面電位測定装置の前記プローブを固定する表面電位測定装置のプローブ固定治具であって、
基台と、
前記基台に対して前記プローブを固定するプローブ固定部と、
前記基台に設けられ、前記試料が載置されて、前記試料を前記プローブに対向する位置に保持する試料台とを有し、
前記試料台は、前記試料の搭載面と前記プローブとの距離を調節する調節機構を有する表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【請求項７】
前記試料台を前記プローブの測定面に対して平行にスライドさせるスライド機構を有する請求項６記載の表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【請求項８】
前記試料台を、前記試料台の試料搭載部が前記プローブの測定面に対向する位置で固定させる固定機構を有する請求項６又は７記載の表面電位測定装置のプローブ固定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面電位測定装置のプローブ固定治具に係り、特に、プローブに対向して配置された試料の表面電位を測定する表面電位測定装置のプローブ固定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
表面電位測定装置は、試料の表面電位を試料に測定電極を非接触な状態で測定する装置である（例えば、特許文献１、２参照）。表面電位測定装置では、所望の感度を得るためには、試料面と測定電極との距離を指定の距離範囲内としておく必要がある。
【０００３】
従来の表面電位測定装置は、電位計と測定電極が内蔵されたプローブとをケーブルで接続した構成とされており、ユーザはプローブを把持、あるいは、固定し、試料とプローブとの距離を指定距離範囲内となるように目視で、調節して測定を行っていた。
【特許文献１】特開平９−１２７１６８号公報
【特許文献２】特開平７−６３８０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ユーザの目視によりプローブの測定部と試料との距離が指定の測定範囲内となるように調整しているため、プローブの測定部と試料との距離が指定測定範囲より大きい状態で測定を行っていたり、プローブの測定部と試料とが接触した状態で測定を行ったりしている場合があった。このため、試料の表面電位測定を正確に測定できていない場合がある。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、プローブと試料との距離を試料の大きさにかかわらず指定の測定範囲内で確実に位置決めできる表面電位測定装置のプローブ固定治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、プローブに対向して配置された試料の表面電位を測定する表面電位測定装置のプローブ固定治具であって、基台と、基台に対してプローブを固定するプローブ固定部と、基台に設けられ、試料が載置されて、試料を、プローブに対向する位置に保持する試料台と、試料台と試料との間に挿入され、試料とプローブとの距離を調節するスペーサとを有することを特徴とする。
【０００７】
また、試料台は、スペーサと係合する係合部を有することを特徴とする。
【０００８】
さらに、スペーサは、表面に試料を載置する凹部を有することを特徴とする。また、試料台をプローブの測定面に対して平行にスライドさせるスライド機構を有することを特徴とする。さらに、試料台を、試料台の試料搭載部が前記プローブの測定面に対向する位置で固定させる固定機構を有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、基台と、基台に対してプローブを固定するプローブ固定部と、基台に設けられ、試料が載置されて、前記試料を前記プローブに対向する位置に保持する試料台とを有し、試料台は試料の搭載面とプローブとの距離を調節する調節機構を有することを特徴とする。
【００１０】
また、試料台をプローブの測定面に対して平行にスライドさせるスライド機構を有することを特徴とする。さらに、試料台を、試料台の試料搭載部がプローブの測定面に対向する位置で固定させる固定機構を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、基台と、基台に対してプローブを固定するプローブ固定部と、基台に設けられ、試料が載置されて、試料を、プローブに対向する位置に保持する試料台と、試料台と試料との間に挿入され、試料とプローブとの距離を調節するスペーサとを設けることにより、プローブと試料との距離を大きさにかかわらず指定距離範囲内に確実に位置決めできるため、試料の表面電位を正確に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
〔第１実施例〕
図１は本発明の第１実施例の斜視図を示す。
【００１３】
本実施例のプローブ固定治具１１２は、表面電位測定装置１１１のプローブ１２１を固定するとともに、表面電位を測定する対象となる試料が載置され、プローブ１２１と試料との間隔を指定の距離範囲となるように保持するための治具である。
【００１４】
まず、表面電位測定装置１１１について説明する。
【００１５】
図２は表面電位測定装置１１１のブロック構成図を示す。
【００１６】
表面電位測定装置１１１は交流変換型振動電極方式の表面電位測定方法を採用しており、プローブ１２１、ケーブル１２２、装置本体１２３から構成されている。
【００１７】
プローブ１２１は、測定電極１３１、圧電素子１３３、ケース１３４から構成されている。
【００１８】
測定電極１３１は、試料に対向するように配置されており、ケーブル１２２の信号線に接続されている。また、測定電極１３１は圧電素子１３３に結合されており、圧電素子１３３により試料面Ｓに対して直交する方向、矢印Ｚ方向に振動する。
【００１９】
圧電素子１３３は、ケーブル１２２の駆動信号線に接続されており、装置本体１２３から供給される駆動信号によって振動し、測定電極１３１を振動させる。
【００２０】
測定電極１３１、圧電素子１３３は、ケース１３４内に収納されている。測定電極１３１は、ケース１３４に形成された測定孔１３４ａを通して試料面Ｓに対向するように配置されている。
【００２１】
また、ケース１３４は金属製であり、ケーブル１２２のフィードバック線Ｌfbに接続されている。ケース１３４は、略直方体に構成されており、その一面の測定電極１３１に対向する面に測定孔１３４ａを有する。なお、ケース１３４の測定孔１３４ａの周囲を除く部位は、樹脂などの絶縁材により被覆されている。
【００２２】
ケーブル１２２は、信号線Ｌs、駆動信号線Ｌd、フィードバック線Ｌfbを含み、プローブ１２１と装置本体１２３との接続を行う。
【００２３】
装置本体１２３は、発振器１４１、演算増幅器１４２、負帰還抵抗１４３、位相検波回路１４４、直流増幅回路１４５、計測器１４６から構成されている。
【００２４】
発振器１４１は、ケーブル１２２の駆動信号線Ｌdを介してプローブ１２１の圧電素子１３３に接続されており、圧電素子１３３を駆動する。
【００２５】
演算増幅器１４２は、負帰還抵抗１４３とともに交流増幅回路を構成している。演算増幅回路１４２及び負帰還抵抗１４３から構成される交流増幅回路には、ケーブル１２２の信号線Ｌsが接続されており、測定電極１３１からの測定信号が供給され、測定信号を増幅して、位相検波回路１４４に供給する。
【００２６】
位相検波回路１４４には、演算増幅回路１４２及び負帰還抵抗１４３から構成される交流増幅回路により増幅された測定信号が供給されるとともに、発振器１４１から発振信号が供給される。位相検波回路１４４は、発振信号と測定信号との位相差に応じた直流信号を出力する。
【００２７】
位相検波回路１４４から出力された直流信号は、直流増幅回路１４５に供給される。直流増幅回路１４５は、位相検波回路１４４からの直流信号を増幅して、計測器１４６に供給する。計測器１４６は、直流信号を試料面Ｓの表面電位として表示する。また、直流増幅回路１４５の出力は、フィードバック線Ｌfbを介してプローブ１２１のケース１３４にフィードバックされる。これによって、プローブ１２１のケース１３４の電位は試料面Ｓの電位と略同電位に調整される。
【００２８】
ここで、交流変換型振動電極方式の表面電位測定方法の測定原理について簡単に説明する。
【００２９】
測定電極１３１を振動させることにより、試料面Ｓと測定電極１３１との間の静電容量Ｃｃは、例えば、
Ｃｃ＝Ｃｍ・sinωt＋Ｃ0                              ・・・（１）
で変化する。ここで、ωは振動の角速度を示している。
【００３０】
測定電極１３１に現れる電荷Ｑの瞬時値は、試料面Ｓの表面電位をＥとすると、
Ｑ＝（Ｃｍ・sinωt＋Ｃ0）×Ｅ                        ・・・（２）
で表せる。
【００３１】
その時間率、即ち、電流ｉは、
ｉ＝ｄＱ／ｄｔ＝（ω・Ｃｍ・cosωt）×Ｅ            ・・・（３）
となる。電流ｉは、式（３）から試料面Ｓの電位Ｅに比例することがわかる。この電流ｉは交流電流であり、負帰還抵抗１４３を流れ、演算増幅回路１４２の両端に交流電圧ＶＡＣを発生させる。演算増幅回路１４２の両端に発生する交流電圧ＶＡＣは、負帰還抵抗１４３の抵抗値Ｒとすると、
ＶＡＣ＝Ｒ×ｉ
となる。これを位相検波し、直流成分を取り出すことにより、試料面Ｓの表面電位を検出することができる。
【００３２】
上記交流変換型振動電極方式の表面電位測定方法は、試料が負帰還ループに含まれるため、プローブ１２１と試料との間の距離が指定距離範囲内で変化しても感度の変動はきわめてわずかであり、調整された感度は、安定に維持される。
【００３３】
次にプローブ固定治具１１２について説明する。
【００３４】
プローブ固定治具１１２は、表面電位測定装置１１１のプローブ１２１を固定する治具であり、基台１５１、プローブ固定部１５２、試料台１５３、スペーサ１５４から構成されている。
【００３５】
プローブ固定部１５２は、基台１５１に対してプローブ１２１を固定するものであり、支柱１６１、取付板１６２、保持部材１６３、ネジ１６４から構成されている。支柱１６１は、一端が基台１５１に固定され、他端には取付板１６２が固定されている。
【００３６】
取付板１６２は、平板の板材から構成されており、支柱１６１の他端に固定され、基台１５１に対して固定される。
【００３７】
保持部材１６３は、金属板を凹状に折曲した構成とされている。保持部材１６３の凹部にプローブ１２１を係合させて、取付板１６２の下面、矢印Ｚ２方向側の面に、ネジ１６４によりネジ止めすることに、プローブ１２１が取付板１６２に固定される。
【００３８】
試料台１５３は、試料が搭載されて、搭載された試料をプローブ１２１に対向する位置に保持するものであり、スライド機構１７１を介して基台１５１に固定されている。スライド機構１７１は、レール１８１及びスライダ１８２から構成されている。レール１８１は基台１５１のプローブ固定部１５２の取付板１６２に対応する部分、矢印Ｚ２方向側の面に矢印Ｘ１、Ｘ２方向に沿って配置されている。レール１８１には、スライダ１８２が係合する。スライダ１８２は、レール１８１に沿って、矢印Ｘ１、Ｘ２方向にスライド可能とされており、試料台１５３の下面に固定される。また、プローブ固定治具１００のうちの少なくとも試料台１５３は接地線Ｌgndを介して表面電位測定装置１１１の接地に接続されている。これによって、表面電位測定装置１１１とプローブ固定治具１１２との接地電位を共通にできる。
【００３９】
スライド機構１７１により、試料台１５３が矢印Ｘ１、Ｘ２方向にスライド可能に基台１５１に保持される。
【００４０】
試料台１５３は、試料搭載部１９１及び把持部１９２から構成される。
【００４１】
試料搭載部１９１は、下面、矢印Ｚ２方向側の面がスライダ１８２に固定される。また、試料搭載部１９１には、プローブ１２１に対向する面、矢印Ｚ２方向側の面に凹部２０１が形成されている。凹部１８１は、スペーサ１５４が係合する形状とされている。
【００４２】
把持部１７２は、ユーザにより試料台１５３を矢印Ｘ１，Ｘ２方向にスライドさせるときにユーザにより把持される部材であり、試料台１５３のスライド操作を容易にする。
【００４３】
スペーサ１５４は、厚さの異なるスペーサ２１１、２１２、２１３を有し、試料台１５３の凹部２０１に装着される。
【００４４】
図３はスペーサ２１１の構成図を示す。
【００４５】
スペーサ２１１は厚さｈ１で両面、矢印Ｚ１、Ｚ２方向の面には、凹部２２１ａ、２２１ｂが形成されている。凹部２２１ａと凹部２２１ｂは、その平面形状が異なるように形成されている。例えば、凹部２２１ａの平面形状が長方形、凹部２２１ｂの平面形状が正方形となるように形成されている。凹部２２１ａ、２２１ｂには、試料が載置される。
【００４６】
図４はスペーサ２１２の構成図を示す。
【００４７】
スペーサ２１２は厚さｈ２（＜ｈ１）で、矢印Ｚ１、Ｚ２方向の面には、凹部２２２ａ、２２２ｂが形成されている。凹部２２２ａと凹部２２２ｂは、その平面形状が異なるように形成されている。例えば、凹部２２２ａの平面形状が三角形、凹部２２２ｂの平面形状が五角形となるように形成されている。凹部２２２ａ、２２２ｂには、試料が載置される。
【００４８】
図５はスペーサ２１３の構成図を示す。
【００４９】
スペーサ２１３は厚さｈ３（＜ｈ２＜ｈ１）であり、矢印Ｚ１、Ｚ２方向の面には、凹部２２３ａ、２２３ｂが形成されている。凹部２２３ａと凹部２２３ｂは、その平面形状が異なるように形成されている。例えば、凹部２２３ａの平面形状が円形、凹部２２３ｂの平面形状が六角形となるように形成されている。凹部２２３ａ、２２３ｂには、試料が載置される。
【００５０】
以上のように凹部２２１ａ、２２１ｂ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３ａ、２２３ｂの形状を変えることにより各種形状の試料を凹部２２１ａ、２２１ｂ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３ａ、２２３ｂ内に確実に載置できるため、測定時に試料が脱落したり、ずれたりすることを防止でき、よって、試料の表面電位を正確に測定することができる。
【００５１】
スペーサ２１１、２１２、２１３は、単体、あるいは、積層されて、試料台１５３と試料との間に挿入され、試料とプローブ１２１との距離を調節する。
【００５２】
なお、本実施例では、凹部の形状を変えたが、その深さを変えるようにしてもよい。
【００５３】
図６は本発明の第１実施例の位置調整方法を説明するための図を示す。図６（Ａ）はスペーサ２１１を単体で用いたとき、図６（Ｂ）はスペーサ２１２を単体で用いたとき、図６（Ｃ）はスペーサ２１３を単体で用いたとき、図６（Ｄ）はスペーサ２１１とスペーサ２１２とを積層したとき、図６（Ｅ）はスペーサ２１１とスペーサ２１３とを積層したとき、図６（Ｆ）はスペーサ２１２とスペーサ２１３とを積層したとき、図６（Ｇ）はスペーサ２１１、２１２、２１３を積層したときのプローブ１２１と試料載置面との状態をしている。なお、ここでは、スペーサ２１１、２１２、２１３の最上層の表面を試料載置面としている。
【００５４】
図６（Ａ）に示すようにスペーサ２１１を単体で用いることにより、プローブ１２１と試料面Ｓとの距離Ｈ１を（ｈ０−ｈ１）とすることができる。また、図６（Ｂ）に示すようにスペーサ２１２を単体で用いることにより、プローブ１２１と試料載置面との距離Ｈ２を（ｈ０−ｈ２）（＜Ｈ１）とすることができる。さらに、図６（Ｃ）に示すようにスペーサ２１３を単体で用いることにより、プローブ１２１と試料載置面との距離Ｈ３を（ｈ０−ｈ３）（＜Ｈ２＜Ｈ１）とすることができる。
【００５５】
また、図６（Ｄ）に示すようにスペーサ２１１とスペーサ２１２とを積層して用いることにより、プローブ１２１と試料載置面との距離Ｈ４を（ｈ０−ｈ１−ｈ２）とすることができる。さらに、図６（Ｅ）に示すようにスペーサ２１１とスペーサ２１３とを積層して用いることにより、プローブ１２１と試料載置面との距離Ｈ５を（Ｈ−ｈ１−ｈ３）とすることができる。
【００５６】
図６（Ｅ）に示すようにスペーサ２１２とスペーサ２１３とを積層して用いることにより、プローブ１２１と試料面Ｓとの距離Ｈ６を（ｈ０−ｈ２−ｈ３）とすることができる。さらに、図６（Ｇ）に示すようにスペーサ２１１、２１２、２１３を積層して用いることにより、プローブ１２１と試料載置面との距離Ｈ７を（ｈ０−ｈ１−ｈ２−ｈ３）とすることができる。なお、スペーサ２１１，２１２、２１３を搭載しなければ、プローブ１２１と試料載置面との距離はｈ０となる。
【００５７】
このように、厚さの異なるスペーサ２１１、２１２、２１３を単体、あるいは、積層して用いることによりプローブ１２１と試料載置面との距離をｈ０、Ｈ１〜Ｈ７の８段階に調整することができる。
【００５８】
これによって、プローブ１２１と試料面Ｓとの距離を大きさにかかわらず確実に指定距離範囲内にすることができる。よって、表面電位測定装置１１１での表面電位測定時の測定感度を維持でき、精度よく測定を行うことができる。
【００５９】
なお、基台１５１のスライド機構１７１の矢印Ｘ１方向側の端部には、固定機構２３０が固定されている。
【００６０】
固定機構２３０は、永久磁石２３１、永久磁石２３１を保持し、基台１５１に取り付けるためのホルダ２３２から構成されており、試料搭載部１９１が、その凹部２０１がプローブ１２１の測定面の対向する位置に、スライドされると、試料搭載部１９１の矢印Ｘ１方向の端面に突き当たり、磁力によって試料搭載部１９１を吸着し、測定位置に固定する。
【００６１】
固定機構２３０によって、試料台１５３を測定位置に固定でき、プローブ１２１の測定面と試料面Ｓとを確実に対向する位置に配置できる。
【００６２】
なお、本実施例では、スペーサ１５４により試料面Ｓとプローブ１２１との距離を調整したが、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能な２軸ステージを用いて試料面Ｓとプローブ１２１との距離を調整するようにしてもよい。また、スペーサ１５４は、３種類に限定されるものではなく、１又は４以上の種類を設けるようにしてもよい。
【００６３】
〔第２実施例〕
図７は本発明の第２実施例の斜視図を示す。同図中、図１と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００６４】
本実施例の表面電位測定システムは、プローブ固定治具３００の構成が第１実施例とは相違しており、プローブ固定治具３００は、試料台３１１及び移動ステージ機構３１２が第１実施例と相違する。
【００６５】
本実施例の試料台３１１は、試料載置部３２１と把持部３２２から構成されている。試料搭載部３２１は移動ステージ機構３１２に固定されている。
【００６６】
移動ステージ機構３１２は、スライド機構３３１及び昇降機構３３２から構成されている。スライド機構３３１は、レール３４１、スライダ３４２、ダイアル３４３から構成されている。レール３４１は、基台１５１の矢印Ｘ１、Ｘ２方向に沿って配置されている。レール３４１には、スライダ３４２が係合している。スライダ３４２は、レール３４１に沿ってスライド可能とされている。ダイアル３４３は、スライダ３２４に回転可能に設けられており、例えば、ラック・ピニオン機構を介してレール３４１に係合している。
【００６７】
スライド機構３３１は、ダイアル３４３を回転させることによりスライダ３４２が矢印Ｘ１、Ｘ２方向にスライドする。スライダ３４２には、昇降機構３３２が搭載されている。
【００６８】
昇降機構３３２は、ガイド部３５１、昇降部３５２、ダイアル３５３から構成されている。ガイド部３５１は、スライダ３４２に固定されている。昇降部３５２は、ガイド部３５１に矢印Ｚ１、Ｚ２方向に移動可能に保持されている。
【００６９】
ダイアル３５３は、ガイド部３５１に回転自在に取り付けられており、例えば、ラック・ピニオン機構を介して昇降部３５２に係合している。
【００７０】
昇降機構３３２は、ダイアル３５３を回転させることにより、昇降部３５２が矢印Ｚ１、Ｚ２方向に昇降する。昇降部３５２には、試料載置部３２１が固定されている。
【００７１】
したがって、ダイアル３４３を回転させることにより、試料載置部３２１を矢印Ｘ１、Ｘ２方向にスライドさせることができ、ダイアル３５３を回転させることにより試料載置部３２１を矢印Ｚ１、Ｚ２方向に昇降させることができる。
【００７２】
よって、ダイアル３５３を操作することによって試料台３１１の位置の高さを調整でき、また、ダイアル３４３を操作することによって試料台３１１の試料載置部３１２をプローブ１２１の測定面に対向する位置にスライドさせることができる。
【００７３】
これによって、プローブ１２１と試料面との距離を指定の距離範囲内に調節することができる。
【００７４】
なお、本実施例では、固定機構２３０は、昇降機構３３１のガイド部３５１を磁気的に吸着して、試料台３１１を固定する。
【００７５】
本実施例によれば、試料台３１１の高さを自由に設定でき、プローブ１２１と試料面との距離を大きさにかかわらず確実に指定の距離範囲内に調節することができるため、試料面の表面電位を感度よく、測定でき、測定の精度を向上させることができる。
【００７６】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変形例が考えられることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１実施例の斜視図である。
【図２】表面電位測定装置１１１のブロック構成図である。
【図３】スペーサ２１１の構成図である。
【図４】スペーサ２１２の構成図である。
【図５】スペーサ２１３の構成図である。
【図６】本発明の第１実施例の位置調整方法を説明するための図
【図７】本発明の第２実施例の斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１１１  表面電位測定装置、１１２、３００  プローブ固定治具
１２１  プローブ、１２２  ケーブル、１２３  装置本体
１３１  測定電極、１３３  圧電素子、１３４  ケース
１４１  発振器、１４２  演算増幅器、１４３  負帰還抵抗、１４４  位相検波回路
１４５  直流増幅回路、１４６  計測器
１５１  基台、１５２  プローブ固定部、１５３、３１１  試料台、１５４  スペーサ
１６１  支柱、１６２  取付板、１６３  保持部材、１６４  ネジ
１７１  スライド機構
１８１  レール、１８２  スライダ
１９１、３２１  試料搭載部、１９２、３２２  把持部
２１１、２１２、２１３  スペーサ
２２１ａ、２２１ｂ、２２２ａ、２２２ｂ、２２３ａ、２２３ｂ  凹部
２３０  固定機構
３１２  ステージ移動機構
３３１  スライド機構、３３２  昇降機構
３４１  レール、３４２  スライダ、３４３  ダイアル
３５１  ガイド部、３５２  昇降部、３５３  ダイアル
【図１】
2008224309.tif 000003
【図２】
2008224309.tif 000004
【図３】
2008224309.tif 000005
【図４】
2008224309.tif 000006
【図５】
2008224309.tif 000007
【図６】
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【図７】
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