(57)【要約】【課題】表示パネル上の配線不良を防止すること及びこのような配線不良を安定して検査することが可能であり、しかも、製造歩留まりの低下を抑制することが可能な表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】  第１配線パターンＷＰ１と、第１配線パターンＷＰ１とは離間した第２配線パターンＷＰ２と、第１配線パターンＷＰ１の一部を露出する第１コンタクトホール１３０Ａ及び第２配線パターンＷＰ２の一部を露出する第２コンタクトホール１３０Ｂが形成された平坦化膜１３０と、平坦化膜１３０上に配置され第１配線パターンＷＰ１と第２配線パターンＷＰ２とを電気的に接続する複数の第３配線パターンＷＰ３と、を備え、第１コンタクトホールと第２コンタクトホールとの間隔Ｇは、第１コンタクトホール及び第２コンタクトホールの寸法Ｄの１／２以上であることを特徴とする。【選択図】      図３
2008015373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を有するアクティブエリアを備えた表示パネルにおいて、
第１配線パターンと、
前記第１配線パターンとは離間した第２配線パターンと、
表示パネルのほぼ全体を覆うように配置され、前記第１配線パターンの一部を露出する第１コンタクトホール及び前記第２配線パターンの一部を露出する第２コンタクトホールが形成された平坦化膜と、
前記平坦化膜上に配置され、第１コンタクトホールを介して前記第１配線パターンにコンタクトするとともに第２コンタクトホールを介して前記第２配線パターンにコンタクトして前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとを電気的に接続する第３配線パターンと、を備え、
第１コンタクトホールと第２コンタクトホールとの間隔は、第１コンタクトホール及び第２コンタクトホールの寸法の１／２以上であることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記表示パネルは、前記アクティブエリア外に配置され前記アクティブエリアの検査を行なうための検査部を備え、
前記検査部は、前記第３配線パターンによって電気的に接続された前記第１配線パターン及び前記第２配線パターンからなるブリッジ配線を含むことを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記検査部は、アクティブエリアを検査する際に検査用の駆動信号が供給される検査用配線と、この検査用配線とアクティブエリアとの間に配置されたスイッチング素子と、スイッチング素子のオン・オフを制御するための検査用制御配線と、を備え、
前記検査用制御配線は、前記ブリッジ配線であることを特徴とする請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記アクティブエリアは、アレイ基板と対向基板との間に液晶層を保持した液晶表示パネルに備えられたことを特徴とする請求項１または２に記載の表示装置。
【請求項５】
前記検査部は、対向基板の端部より外方に延在したアレイ基板の延在部上に配置されたことを特徴とする請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
さらに、前記検査部が配置された領域に対応して配置された前記平坦化膜上に駆動ＩＣチップを備えたことを特徴とする請求項５に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表示装置に係り、特に、表示パネル上に複数の金属層を利用して形成したブリッジ配線を備えた表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置などの表示装置は、マトリクス状の画素によって構成されたアクティブエリアを備えている。このアクティブエリアは、画素の行方向に沿って延在する複数の走査線、画素の列方向に沿って延在する複数の信号線、これら走査線と信号線との交差部付近に配置されたスイッチング素子、スイッチング素子に接続された画素電極などを備えている。これら各走査線及び各信号線は、アクティブエリア外に引き出されている。
【０００３】
アクティブエリアの各走査線や各信号線に接続された配線群は、アクティブエリアの周囲に配置されている。このような配線群でのショートや断線、さらにはアクティブエリアでのショートや断線などの表示パネル上での配線不良を検査する検査配線を同一の表示パネル上に備えた表示装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００１−０３３８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、表示パネル上の配線不良を防止すること及びこのような配線不良を安定して検査することが可能であり、しかも、製造歩留まりの低下を抑制することが可能な表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の態様による表示装置は、
複数の画素を有するアクティブエリアを備えた表示パネルにおいて、
第１配線パターンと、
前記第１配線パターンとは離間した第２配線パターンと、
表示パネルのほぼ全体を覆うように配置され、前記第１配線パターンの一部を露出する第１コンタクトホール及び前記第２配線パターンの一部を露出する第２コンタクトホールが形成された平坦化膜と、
前記平坦化膜上に配置され、第１コンタクトホールを介して前記第１配線パターンにコンタクトするとともに第２コンタクトホールを介して前記第２配線パターンにコンタクトして前記第１配線パターンと前記第２配線パターンとを電気的に接続する第３配線パターンと、を備え、
第１コンタクトホールと第２コンタクトホールとの間隔は、第１コンタクトホール及び第２コンタクトホールの寸法の１／２以上であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
この発明によれば、表示パネル上の配線不良を防止すること及びこのような配線不良を安定して検査することが可能であり、しかも、製造歩留まりの低下を抑制することが可能な表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、この発明の一実施の形態に係る表示装置、特に液晶表示装置について図面を参照して説明する。
【０００８】
図１に示すように、液晶表示装置は、略矩形平板状の表示パネルとして液晶表示パネル１を備えている。この液晶表示パネル１は、一対の基板すなわちアレイ基板３及び対向基板４と、これら一対の基板の間に光変調層として保持された液晶層５と、によって構成されている。この液晶表示パネル１は、画像を表示する略矩形状のアクティブエリア６を備えている。このアクティブエリア６は、マトリクス状に配置された複数の画素ＰＸを有している。
【０００９】
アレイ基板３は、アクティブエリア６において、画素ＰＸの行方向に沿って延在する複数の走査線Ｙ（１、２、３、…、ｍ）、画素ＰＸの列方向に沿って延在する複数の信号線Ｘ（１、２、３、…、ｎ）、これらの走査線Ｙと信号線Ｘとの交差部付近において画素ＰＸ毎に配置されたスイッチング素子７、スイッチング素子７に接続された画素電極８などを備えている。走査線Ｙ及び信号線Ｘは、絶縁層を介して互いに異なる層に配置されている。
【００１０】
スイッチング素子７は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などによって構成されている。このスイッチング素子７のゲート電極７Ｇは、対応する走査線Ｙに電気的に接続されている（あるいは走査線と一体に形成されている）。スイッチング素子７のソース電極７Ｓは、対応する信号線Ｘに電気的に接続されている（あるいは信号線と一体に形成されている）。スイッチング素子７のドレイン電極７Ｄは、対応する画素ＰＸの画素電極８に電気的に接続されている。
【００１１】
画素電極８は、バックライト光を選択的に透過して画像を表示する透過型の液晶表示装置においては、インジウム・ティン・オキサイド（ＩＴＯ）などの光透過性を有する金属材料によって形成される。また、画素電極８は、対向基板４側から入射する外光を選択的に反射して画像を表示する反射型の液晶表示装置においては、アルミニウム（Ａｌ）などの光反射性を有する金属材料によって形成される。
【００１２】
対向基板４は、アクティブエリア６において、全画素ＰＸに共通の対向電極９などを備えている。この対向電極９は、ＩＴＯなどの光透過性を有する金属材料によって形成されている。これらアレイ基板３及び対向基板４は、画素電極８と対向電極９とを対向させた状態で配設され、これらの間にギャップを形成しつつシール材によって貼り合わせられている。液晶層５は、アレイ基板３と対向基板４とのギャップに封止された液晶組成物によって形成されている。
【００１３】
カラー表示タイプの液晶表示装置では、液晶表示パネル１は、複数種類の画素、例えば赤（Ｒ）を表示する赤色画素、緑（Ｇ）を表示する緑色画素、青（Ｂ）を表示する青色画素を有している。すなわち、赤色画素は、赤色の主波長の光を透過する赤色カラーフィルタを備えている。緑色画素は、緑色の主波長の光を透過する緑色カラーフィルタを備えている。青色画素は、青色の主波長の光を透過する青色カラーフィルタを備えている。これらカラーフィルタは、アレイ基板３または対向基板４の主面に配置される。
【００１４】
液晶表示パネル１は、アクティブエリア６の外側に位置する外周部１０に駆動信号源として駆動ＩＣチップ１１を配置可能である。図１に示した例では、駆動ＩＣチップ１１は、対向基板４の端部４Ａより外方に延在したアレイ基板３の延在部１０Ａ上に配置されている。なお、液晶表示パネル１は、アクティブエリア６に駆動信号を供給する駆動回路を有するフレキシブル・プリンテッド・サーキット（ＦＰＣ）を接続可能な接続パッド部を、駆動ＩＣチップ１１と同様に延在部１０Ａ上に配置しても良い。このような駆動ＩＣチップ１１やフレキシブル・プリンテッド・サーキットは、異方性導電膜などを介して電気的及び機械的に液晶表示パネル１に接続される。
【００１５】
液晶表示パネル１に実装された駆動ＩＣチップ１１は、アクティブエリア６の各信号線Ｘに駆動信号（映像信号）を供給する信号線駆動部１１Ｘの少なくとも一部、及び、アクティブエリア６の各走査線Ｙに駆動信号（走査信号）を供給する走査線駆動部１１Ｙの少なくとも一部を有している。
【００１６】
走査線駆動部１１Ｙは、例えば、奇数番走査線Ｙ（１、３、５、…）に対して駆動信号を出力する第１駆動部１１Ｙ１、及び、偶数番走査線Ｙ（２、４、６、…）に対して駆動信号を出力する第２駆動部１１Ｙ２を含んで構成されてもよい。これら第１駆動部１１Ｙ１及び第２駆動部１１Ｙ２は、信号線駆動部１１Ｘを挟んだ両側にそれぞれ配置されている。
【００１７】
より詳細には、第１駆動部１１Ｙ１は、外周部１０の一端側１０Ｂに配置された第１配線群２０を介して奇数番走査線Ｙ（１、３、５、…）と電気的に接続されている。この第１配線群２０は、奇数番走査線Ｙ（１、３、５、…）のそれぞれに接続された配線Ｗ（１、３、５、…）によって構成されている。つまり、第１駆動部１１Ｙ１から出力された駆動信号は、各配線Ｗ（１、３、５、…）を介して対応する奇数番走査線Ｙ（１、３、５、…）に供給され、奇数行目の画素ＰＸをオン・オフさせる。すなわち、奇数行目の各画素ＰＸに含まれるスイッチング素子７は、対応する走査線Ｙから供給された駆動信号に基づいてオン・オフ制御される。
【００１８】
第２駆動部１１Ｙ２は、外周部１０の他端側１０Ｃに配置された第２配線群３０を介して偶数番走査線Ｙ（２、４、６、…）と電気的に接続されている。この第２配線群３０は、偶数番走査線Ｙ（２、４、６、…）のそれぞれに接続された配線Ｗ（２、４、６、…）によって構成されている。つまり、第２駆動部１１Ｙ２から出力された駆動信号は、各配線Ｗ（２、４、６、…）を介して対応する偶数番走査線Ｙ（２、４、６、…）に供給され、偶数行目の画素ＰＸをオン・オフさせる。すなわち、偶数行目の各画素ＰＸに含まれるスイッチング素子７は、対応する走査線Ｙから供給された駆動信号に基づいてオン・オフ制御される。
【００１９】
また、信号線駆動部１１Ｘは、各信号線Ｘ（１、２、３、…）と電気的に接続されている。つまり、信号線駆動部１１Ｘから出力された駆動信号は、対応する各信号線Ｘ（１、２、３、…）に供給される。各列の各画素ＰＸに含まれるスイッチング素子７は、オンしたタイミングで対応する信号線Ｘから供給された映像信号を画素電極８に入力する。
【００２０】
アレイ基板３は、図１に示すように、外周部１０における第１配線群２０の各配線間の配線不良、第２配線群３０の各配線間の配線不良、及び、アクティブエリア６における配線不良や画素ＰＸの表示品位など、アクティブエリア６での品質に関わる検査を行うための検査部４０を備えている。この検査部４０は、駆動ＩＣチップ１１が配置される領域に対応して形成されている。
【００２１】
図２に示すように、検査部４０は、信号線駆動部１１Ｘに対応して設けられた信号線検査部４１、走査線駆動部１１Ｙの第１駆動部１１Ｙ１に対応して設けられた第１走査線検査部４２、第２駆動部１１Ｙ２に対応して設けられた第２走査線検査部４３、及び、各検査部４１、４２、４３に各種信号を入力するためのパッド部４４を有している。
【００２２】
信号線検査部４１は、アクティブエリア６を検査する際に検査用の駆動信号が供給されるとともに各信号線Ｘに接続された信号線検査用配線５１を備えている。また、信号線検査部４１は、各信号線Ｘ（１、２、…、ｎ）と信号線検査用配線５１との間にスイッチング素子６１を備えている。さらに、信号線検査部４１は、アクティブエリア６を検査する際にスイッチング素子６１のオン・オフを制御する検査用の制御信号が供給される検査用制御配線５５を備えている。つまり、信号線検査用配線５１及び検査用制御配線５５は、信号線検査部４１において、アクティブエリア６を検査する際に検査用の信号が供給される検査用配線として機能する。
【００２３】
スイッチング素子６１は、例えば薄膜トランジスタによって構成されている。各スイッチング素子６１のゲート電極６１Ｇは、検査用制御配線５５に電気的に接続されている。また、各スイッチング素子６１のソース電極６１Ｓは、信号線検査用配線５１に電気的に接続されている。さらに、各スイッチング素子６１のドレイン電極６１Ｄは、対応する信号線Ｘに電気的に接続されている。
【００２４】
第１走査線検査部４２は、アクティブエリア６を検査する際に検査用の駆動信号が供給されるとともに第１配線群２０の各配線２１、例えば配線Ｗ１、Ｗ３、Ｗ５…に接続された第１検査用配線５２を備えている。また、第１走査線検査部４２は、各配線２１と第１検査用配線５２との間にスイッチング素子６２を備えている。さらに、第１走査線検査部４２は、アクティブエリア６を検査する際にスイッチング素子６２のオン・オフを制御する検査用の制御信号が供給される検査用制御配線５５を備えている。この検査用制御配線５５は、信号線検査部４１と共通である。つまり、第１検査用配線５２及び検査用制御配線５５は、第１走査線検査部４２において、アクティブエリア６を検査する際に検査用の信号が供給される検査用配線として機能する。
【００２５】
スイッチング素子６２は、例えば薄膜トランジスタによって構成されている。各スイッチング素子６２のゲート電極６２Ｇは、検査用制御配線５５に電気的に接続されている。また、各スイッチング素子６２のソース電極６２Ｓは、対応する第１検査用配線５２に電気的に接続されている。さらに、各スイッチング素子６２のドレイン電極６２Ｄは、対応する配線２１に電気的に接続されている。
【００２６】
第２走査線検査部４３は、アクティブエリア６を検査する際に検査用の駆動信号が供給されるとともに第２配線群３０の各配線３１、例えば配線Ｗ２、Ｗ４、Ｗ６…に接続された第２検査用配線５３を備えている。また、第２走査線検査部４３は、各配線３１と第２検査用配線５３との間にスイッチング素子６３を備えている。さらに、第１走査線検査部４２は、アクティブエリア６を検査する際にスイッチング素子６３のオン・オフを制御する検査用の制御信号が供給される検査用制御配線５５を備えている。この検査用制御配線５５は、信号線検査部４１と共通である。つまり、第２検査用配線５３及び検査用制御配線５５は、第２走査線検査部４３において、アクティブエリア６を検査する際に検査用の信号が供給される検査用配線として機能する。
【００２７】
スイッチング素子６３は、例えば薄膜トランジスタによって構成されている。各スイッチング素子６３のゲート電極６３Ｇは、検査用制御配線５５に電気的に接続されている。また、各スイッチング素子６３のソース電極６３Ｓは、対応する第２検査用配線５３に電気的に接続されている。さらに、各スイッチング素子６３のドレイン電極６３Ｄは、対応する配線３１に電気的に接続されている。
【００２８】
パッド部４４は、信号線検査用配線５１の一端部に駆動信号の入力を可能とする入力パッド７１、第１検査用配線５２の一端部に駆動信号の入力を可能とする入力パッド７２、第２検査用配線５３の一端部に駆動信号の入力を可能とする入力パッド７３、及び、検査用制御配線５５の一端部に駆動信号の入力を可能とする入力パッド７５を備えている。
【００２９】
入力パッド７１から入力される駆動信号は、検査段階において、各画素ＰＸの画素電極８に書き込まれる検査用の映像信号である。入力パッド７２及び７３から入力される駆動信号は、検査段階において、各画素ＰＸのスイッチング素子７のオン・オフを制御するための検査用の制御信号である。入力パッド７５から入力される駆動信号は、検査段階において、信号線検査部４１のスイッチング素子６１、第１走査線検査部４２のスイッチング素子６２、及び、第２走査線検査部４３のスイッチング素子６３のオン・オフを制御するための検査用のスイッチ信号である。
【００３０】
各信号線Ｘ（１、２、…ｎ）、第１配線群２０の各配線２１、及び、第２配線群３０の各配線３１は、それぞれの中途部に駆動ＩＣチップ１１との接続を可能とする接続パッドＰＤを備えている。
【００３１】
上述したような構成の液晶表示装置によれば、アクティブエリアの両端側から奇数番走査線及び偶数番走査線にそれぞれ駆動信号を供給可能なレイアウトにおいて、奇数番走査線に駆動信号を供給するための第１配線群を構成する第１配線に対して検査信号を入力することが可能となるとともに、偶数番走査線に駆動信号を供給するための第２配線群を構成する第２配線に対して検査信号を入力することが可能となる。このため、第１配線群における配線間でのショートや各配線の断線、及び、第２配線群における配線間でのショートや各配線の断線といったパネル上での配線不良を確実に検出することが可能となる。
【００３２】
また、信号線検査部４１、第１走査線検査部４２、及び、第２走査線検査部４３は、駆動ＩＣチップ１１が配置される領域に対応して、アレイ基板３の延在部１０Ａ上に配置されている。当然のことながら、各種検査用配線５１〜５５は、延在部１０Ａ上に配置されている。これらの検査用配線は、駆動ＩＣチップ１１の長手方向に沿って伸びている。つまり、検査用配線は、駆動ＩＣチップ１１を実装した際に駆動ＩＣチップ１１に重なる。要するに、外形寸法を拡大することなく、駆動ＩＣチップを実装可能な領域を確保する一方でアレイ基板上に検査用配線を配置することが可能となる。
【００３３】
さらに、駆動ＩＣチップ１１を接続可能な接続パッドＰＤは、アクティブエリア６と検査部４０との間に配置されている。このため、アクティブエリア６での品質に関わる検査を行うための検査信号が検査部４０を介して供給される配線経路と、アクティブエリア６に画像を表示するための駆動信号（映像信号及び走査信号）が駆動ＩＣチップ１１から供給される配線経路とが一致する。したがって、検査部４０を介した検査により良品と判定された液晶表示パネル１に、正常と判定された駆動ＩＣチップ１１を実装することにより、信頼性の高い液晶表示装置を提供することが可能となる。
【００３４】
また、検査部４０を備えたアレイ基板３において、検査部４０を覆うように平坦化膜を配置することにより、検査部４０に対応して駆動ＩＣチップ１１を配置する際の検査用配線の損傷を防止することができるとともに、隣接する検査用配線間への導電性の異物の付着を防止することができる。
【００３５】
次に、上述した液晶表示パネル１に適用可能な配線構造について具体的に説明する。
【００３６】
すなわち、図３及び図４に示すように、液晶表示パネル1に適用可能な配線としては、複数の金属層の配線パターンを利用して形成されたブリッジ配線Ｂを含んでいる。すなわち、アレイ基板３は、絶縁基板１１０上に配置された第１金属層Ｍ１、第１金属層Ｍ１上に配置された第１絶縁膜１２０Ａ、第１絶縁膜１２０Ａ上に配置された第２金属層Ｍ２、第２金属層Ｍ２上に配置された第２絶縁膜１２０Ｂ、第２絶縁膜１２０Ｂ上に配置された平坦化膜（ＨＲＣ）１３０、平坦化膜１３０上に配置された第３金属層Ｍ３などを備えている。
【００３７】
第１金属層Ｍ１は、例えば、走査線Ｙなどを形成する金属層であり、モリブデン（Ｍｏ）／タングステン（Ｗ）などの金属材料によって形成されている。第２金属層Ｍ２は、例えば、信号線Ｘなどを形成する金属層であり、モリブデン（Ｍｏ）／アルミニウム（Ａｌ）／モリブデン（Ｍｏ）などの金属材料によって形成されている。第３金属層Ｍ３は、例えば、画素電極８などを形成する金属層であり、インジウム・ティン・オキサイド（ＩＴＯ）などの金属材料によって形成されている。
【００３８】
第１絶縁膜１２０Ａ及び第２絶縁膜１２０Ｂは、窒化シリコン膜（ＳｉＮ）や酸化シリコン膜（ＳｉＯ２）などの無機系材料によって形成されている。平坦化膜１３０は、アクリル樹脂などの有機系材料によって形成されている。この平坦化膜１３０は、液晶表示パネル１を構成するアレイ基板３のほぼ全体を覆うように配置されている。
【００３９】
図３及び図４に示した例では、ブリッジ配線Ｂは、第１金属層Ｍ１に形成された第１配線パターンＷＰ１と、この第１配線パターンＷＰ１から離間し第２金属層Ｍ２に形成された第２配線パターンＷＰ２とを、第３金属層Ｍ３に形成された第３配線パターンＷＰ３によって電気的に接続するように構成されている。
【００４０】
なお、図４に示した例に限らず、第１配線パターンＷＰ１及び第２配線パターンＷＰ２は、その双方が同一金属層（すなわち第１金属層Ｍ１または第２金属層Ｍ２のいずれか一方）に形成されていても、また、双方が互いに異なる金属層に形成されていても良い（すなわち一方が第１金属層Ｍ１に形成され、他方が第２金属層Ｍ２に形成されていてもよい）。
【００４１】
第１配線パターンＷＰ１は、その一端部にコンタクト部Ｃ１を有している。この第１配線パターンＷＰ１のコンタクト部Ｃ１は、第１絶縁膜１２０Ａ及び第２絶縁膜１２０Ｂを貫通するコンタクトホールＣＨ１から露出している。第２配線パターンＷＰ２は、その一端部にコンタクト部Ｃ２を有している。この第２配線パターンＷＰ２のコンタクト部Ｃ２は、第２絶縁膜１２０Ｂを貫通するコンタクトホールＣＨ２から露出している。
【００４２】
平坦化膜１３０には、第１配線パターンＷＰ１の一部を露出する第１コンタクトホール１３０Ａ及び第２配線パターンＷＰ２の一部を露出する第２コンタクトホール１３０Ｂが形成されている。すなわち、第１コンタクトホール１３０Ａは、コンタクトホールＣＨ１に対応して設けられ、第１配線パターンＷＰ１のコンタクト部Ｃ１を露出する。また、第２コンタクトホール１３０Ｂは、コンタクトホールＣＨ２に対応して設けられ、第２配線パターンＷＰ２のコンタクト部Ｃ２を露出する。
【００４３】
第３配線パターンＷＰ３は、平坦化膜１３０上に配置され、第１配線パターンＷＰ１と第２配線パターンＷＰ２とを電気的に接続している。すなわち、この第３配線パターンＷＰ３は、平坦化膜１３０に設けられた第１コンタクトホール１３０Ａを介して第１配線パターンＷＰ１のコンタクト部Ｃ１にコンタクトするとともに、第２コンタクトホール１３０Ｂを介して第２配線パターンＷＰ２のコンタクト部Ｃ２にコンタクトし、これらの第１コンタクトホール１３０Ａと第２コンタクトホール１３０Ｂとの間で平坦化膜１３０上に延在している。
【００４４】
ところで、平坦化膜１３０は、他の絶縁膜や金属層などよりも比較的厚く形成される。また、第１コンタクトホール１３０Ａ及び第２コンタクトホール１３０Ｂは、平坦化膜１３０をパターン化するための有機系材料のフォトリソグラフィプロセスにおいて同時に形成される。このような、複数のコンタクトホールすなわち第１コンタクトホール１３０Ａ及び第２コンタクトホール１３０Ｂを近接して配置した構成の平坦化膜１３０を形成した場合、図４に示すように、コンタクトホール間に残った平坦化膜１３０の表面１３０Ｓが平坦になりにくく、コンタクトホールの底部ＣＨＢに向かって急峻な傾斜面が形成されやすい。
【００４５】
このような形状の平坦化膜１３０上にコンタクトホール間を電気的に接続する第３配線パターンＷＰ３を形成する場合、図５に示すように、まず、第３金属層Ｍ３を形成する金属材料（例えばＩＴＯ）を成膜した後に、パターニングにより第３配線パターンＷＰ３を形成するために第３金属層Ｍ３上にレジスト１４０を塗布すると、平坦化膜１３０を頂点としてレジスト１４０が凹部すなわちコンタクトホールに向かって流れ込み、平坦化膜１３０の表面１３０Ｓでのレジスト１４０の膜厚が薄くなりやすい（場合によっては、表面１３０Ｓで第３金属層Ｍ３が露出する）。その後、レジスト１４０を介して第３金属層Ｍ３をエッチングすると、レジスト１４０から露出した第３金属層Ｍ３が選択的に除去される。このとき、平坦化膜１３０の表面１３０Ｓにおいて、レジスト１４０の薄い部分や第３金属層Ｍ３が露出した部分で、第３金属層Ｍ３も除去される。
【００４６】
このため、本来隣接するコンタクトホールに跨って形成されるべき第３配線パターンＷＰ３がコンタクトホール間で断線を生じるおそれがある。また、第３配線パターンＷＰ３に断線が生じなかったとしても、一部が欠落することにより配線抵抗が所望の範囲よりも大きくずれるおそれがある。
【００４７】
アクティブエリア６においてこのような断線や配線抵抗のずれが生じた場合には、表示品位の低下を招き、また、製造歩留まりの低下も招くおそれがある。また、検査部４０において同様の不具合が生じた場合には、配線不良を安定的に検査することが困難となり、製造歩留まりの低下を招くおそれもある。
【００４８】
このような現象は、第３配線パターンＷＰ３が近接したコンタクトホール間に残った平坦化膜１３０の表面１３０Ｓを経由することに起因しており、接続対象である第１配線パターンＷＰ１及び第２配線パターンＷＰ２の双方が同一金属層すなわち第１金属層Ｍ１または第２金属層Ｍ２に形成されていても、また、双方が互いに異なる金属層すなわち一方が第１金属層Ｍ１に形成され、他方が第２金属層Ｍ２に形成されていても起こり得る課題である。
【００４９】
そこで、このような課題に対処すべく、この実施の形態では、近接する第１コンタクトホール１３０Ａと第２コンタクトホール１３０Ｂとの間隔Ｇは、第１コンタクトホール１３０Ａ及び第２コンタクトホール１３０Ｂの寸法Ｄの１／２以上に設定されている。ここで、間隔Ｇとは、実質的に第１コンタクトホール１３０Ａと第２コンタクトホール１３０Ｂとの間に存在する平坦化膜１３０の幅に相当する。また、寸法Ｄとは、平坦化膜１３０の下層を露出する開口部の径に相当する（例えば、円形のコンタクトホールでは直径が寸法Ｄに相当し、四角形のコンタクトホールでは長手方向の長さが寸法Ｄに相当する）。
【００５０】
このような構造により、近接するコンタクトホール間に平坦化膜１３０を形成した際に、平坦化膜１３０の局所的な盛り上がりの形成を抑制することができ、第３配線パターンＷＰ３が配置される平坦化膜１３０の表面１３０Ｓを平坦化することが可能となる。
【００５１】
これにより、平坦化膜１３０上に第３金属層Ｍ３を形成する金属材料を成膜した後に、第３金属層Ｍ３上にレジスト１４０を塗布した際、レジスト１４０のコンタクトホールへの流れ込みを抑制することができ、レジストとして機能させるべくその膜厚をほぼ均一化することができる。このため、レジスト１４０の膜厚が局所的に薄くなることさらにはレジスト１４０から第３金属層Ｍ３が露出することを防止することができる。
【００５２】
したがって、その後のレジスト１４０を介した第３金属層Ｍ３のパターニング工程において形成された第３配線パターンＷＰ３の一部の欠落や断線を防止することが可能となる。また、液晶表示パネル上の配線不良を安定して検査することが可能であり、製造歩留まりの低下を抑制することができる。
【００５３】
上述したようなブリッジ配線Ｂは、液晶表示パネル１に配置される配線のいずれにも適用可能であるが、特に、検査部４０に配置される検査用配線に適用することが効果的である。すなわち、近年、高精細化に伴う配線数の増加や狭額縁化の要望により、配線が高密度化する傾向にある。検査部４０をアクティブエリア６と一体にした液晶表示パネル１においては、さらに配線密度が増している。このため、ブリッジ配線Ｂを適用することで、隣接する配線間の絶縁性を確保しつつ配線の高密度化が実現できる。しかしながら、このようなブリッジ配線Ｂを適用した場合には上述したような課題があり、これを解消するためには隣接するコンタクトホールの間隔Ｇとコンタクトホールの寸法Ｄと上述したような最適な関係に設定することが有効である。
【００５４】
また、上述したような構成の表示装置においては、その製造過程において帯電した電荷が比較的設置面積の大きな配線に蓄積しやすい。特に、信号線検査用駆動配線５１、走査線検査用駆動配線５２、検査用制御配線５５などの検査用配線は、アクティブエリア６内における各種信号供給配線と比較して広い線幅を有し、しかも、長い配線長を有するため、設置面積が大きく、電荷が蓄積しやすい。特に、アクティブエリア６のスイッチング素子７がそれぞれ１画素のスイッチング能力を備えていれば良いのに対して、検査部４０に配置されるスイッチング素子６１、６２は、１素子で信号供給配線に接続されている全ての画素に信号を供給する能力が要求されるため、スイッチング素子７より大型であり、電荷が蓄積しやすい。
【００５５】
蓄積した電荷は、配線の終端部や屈曲部に集中しやすく、隣接する他の導電層（配線や電極など）との間で静電放電を発生する原因となる。このような静電放電は、絶縁状態を維持すべき隣接する配線との間でのショートや、隣接する配線の断線を招くおそれがある。
【００５６】
そこで、この実施の形態に係る表示装置においては、検査部４０に配置される検査用配線は、以下のように構成されている。ここでは、検査用配線のうち、特に線幅が広く電荷が蓄積しやすい検査用制御配線５５を例に説明する。
【００５７】
図６に示すように、検査用制御配線５５は、単一の配線でありながら、複数のセグメントに分割されている。すなわち、検査用制御配線５５は、複数の第１配線パターン（セグメント）ＷＰ１からなる第１セグメント群Ｓ１と、これら第１配線パターンＷＰ１のそれぞれとは離間した複数の第２配線パターン（セグメント）ＷＰ２からなる第２セグメント群Ｓ２と、第１セグメント群Ｓ１と第２セグメント群Ｓ２とを電気的に接続する第３配線パターンＷＰ３と、を備えている。つまり、検査用制御配線５５は、第１配線パターンＷＰ１と第２配線パターンＷＰ２とを第３配線パターン２ＷＰ３によって電気的に接続したブリッジ配線によって形成されている。このような構成により、製造過程における検査用制御配線５５への電荷の蓄積を抑制することができる。
【００５８】
図６に示した例では、第１配線パターンＷＰ１は第１金属層Ｍ１に形成され、第２配線パターンＷＰ２は第２金属層Ｍ２に形成され、第３配線パターンＷＰ３は第３金属層Ｍ３に形成されている。
【００５９】
このような構成においても、各第１配線パターンＷＰ１のコンタクト部Ｃ１は、第１絶縁膜１２０Ａ及び第２絶縁膜１２０Ｂを貫通するコンタクトホールＣＨ１から露出しているとともに、平坦化膜１３０の第１コンタクトホール１３０Ａから露出している。各第２配線パターンＷＰ２のコンタクト部Ｃ２は、第２絶縁膜１２０Ｂを貫通するコンタクトホールＣＨ２から露出しているとともに、平坦化膜１３０の第２コンタクトホール１３０Ｂから露出している。
【００６０】
第３配線パターンＷＰ３は、平坦化膜１３０上に配置され、隣接する第１配線パターンＷＰ１同士（つまり第１セグメント群Ｓ１を構成する全ての配線パターン）を電気的に接続するとともに、隣接する第２配線パターンＷＰ２同士（つまり第２セグメント群Ｓ２を構成する全ての配線パターン）も電気的に接続し、さらに、第１セグメント群Ｓ１と第２セグメント群Ｓ２とを電気的に接続している。すなわち、この第３配線パターンＷＰ３は、平坦化膜１３０に設けられた第１コンタクトホール１３０Ａを介して第１配線パターンＷＰ１のそれぞれのコンタクト部Ｃ１にコンタクトするとともに、第２コンタクトホール１３０Ｂを介して第２配線パターンＷＰ２のそれぞれのコンタクト部Ｃ２にコンタクトし、これらの第１コンタクトホール１３０Ａと第２コンタクトホール１３０Ｂとの間で平坦化膜１３０上に延在している。
【００６１】
さらに、この実施の形態では、近接する第１コンタクトホール１３０Ａと第２コンタクトホール１３０Ｂとの間隔Ｇは、第１コンタクトホール１３０Ａ及び第２コンタクトホール１３０Ｂの寸法Ｄの１／２以上に設定されている。ここで、間隔Ｇとは、実質的に第１コンタクトホール１３０Ａと第２コンタクトホール１３０Ｂとの間に存在する平坦化膜１３０の幅、隣接する第１コンタクトホール１３０Ａの間の幅、及び、隣接する第２コンタクトホール１３０Ｂの間の幅に相当する。また、寸法Ｄとは、平坦化膜１３０の下層を露出する開口部の径に相当する（例えば、円形のコンタクトホールでは直径が寸法Ｄに相当し、四角形のコンタクトホールでは長手方向の長さが寸法Ｄに相当する）。
【００６２】
このような構造により、第３金属層Ｍ３のパターニング工程において形成された第３配線パターンＷＰ３の一部の欠落や断線を防止することが可能となる。また、液晶表示パネル上の配線不良を安定して検査することが可能であり、製造歩留まりの低下を抑制することができる。
【００６３】
以上説明したように、この実施の形態によれば、平坦化膜の表面を平坦化することができ、平坦化膜上に配置される配線パターンの断線を防止することが可能となる。したがって、アクティブエリアにおいては表示品位の低下を防止することができ、また、検査部においては表示パネル上の各種配線の配線不良を安定的に検査することが可能となる。このため、配線不良の表示パネルの後工程への流出を未然に防ぐことが可能となる。これにより、製造歩留まりの低下を抑制することが可能となる。
【００６４】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００６５】
この発明の表示装置は、上述した液晶表示装置に限定されるものではない。例えば、アクティブエリアの両端側から奇数番走査線及び偶数番走査線にそれぞれ駆動信号を供給するレイアウトに限らず、アクティブエリアの一端側から全走査線にそれぞれ駆動信号を供給するレイアウトに適用しても良い。また、表示装置の一例として液晶表示装置を例に説明したが、自己発光素子を表示素子とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの表示装置に適用しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１は、この発明の一実施の形態に係る液晶表示パネルの構成を概略的に示す図である。
【図２】図２は、図１に示した液晶表示パネルの検査部の構成を概略的に示す図である。
【図３】図３は、図１に示した液晶表示パネルに適用可能なブリッジ配線の構造を概略的に示す図である。
【図４】図４は、図３に示したブリッジ配線をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図５】図５は、図４に示したブリッジ配線を形成する過程での不具合を説明するための図である。
【図６】図６は、図２に示した検査部に適用可能なブリッジ配線の構造を概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００６７】
ＰＸ…画素、１…液晶表示パネル、３…アレイ基板、６…アクティブエリア、１０…外周部、１０Ａ…延在部、１１…駆動ＩＣチップ、２０…第１配線群、２１…配線、３０…第２配線群、３１…配線、４０…検査部、４１…信号線検査部、４２…第１走査線検査部、４３…第２走査線検査部、４４…パッド部、５１…信号線検査用配線、５２…第１検査用配線、５３…第２検査用配線、５５…検査用制御配線、１２０Ａ…第１絶縁膜、１２０Ｂ…第２絶縁膜、１３０…平坦化膜、１３０Ａ…第１コンタクトホール、１３０Ｂ…第２コンタクトホール、Ｍ１…第１金属層、Ｍ２…第２金属層、Ｍ３…第３金属層、ＷＰ１…第１配線パターン、ＷＰ２…第２配線パターン、ＷＰ３…第３配線パターン、Ｓ１…第１セグメント群、Ｓ２…第２セグメント群、Ｃ１…コンタクト部、Ｃ２…コンタクト部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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