(57)【要約】【課題】管の側面から直接に管の被検査部に気密室を形成できる気密室形成構造であって、かつ該気密室は高い検出感度の気密性試験を行うのに十分な気密性を実現できる気密室形成構造を用いた漏洩検査装置を提供する。【解決手段】  この漏洩検査装置１０は、円筒管１１の内部のガスが管の被検査部を介して外側に漏洩するのを検出する漏洩検査装置であって、管の被検査部を筐体１２で取り囲むように気密室を構成してなり、管と筐体の間に配置された、異なる軟度を有する、少なくとも第１シール部材２１，２２および第２シール部材４１を有してなる気密室形成構造を備えるように構成される。【選択図】図５
2008224307.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管の内部のサーチガスが前記管の被検査部を介して外側に漏洩するのを検出する漏洩検査装置であって、
前記管の前記被検査部を筐体で取り囲むように気密室を構成してなり、
前記管と前記筐体の間に配置された、異なる軟度を有する、少なくとも第１および第２のシール部材を有してなる気密室形成構造を備えることを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項２】
前記筐体は２つの半体部からなり、前記２つの半体部を前記管の前記被検査部の両側に配置して前記筐体を形成するようにしたことを特徴とする請求項１記載の漏洩検査装置。
【請求項３】
前記第１シール部材は、端部同士が当接することにより前記管の全周を囲む閉じた環をなすように配置され、前記第２シール部材は前記第１シール部材および前記管に接するように配置されることを特徴とする請求項１または２記載の漏洩検査装置。
【請求項４】
前記第２シール部材の軟度は前記第１シール部材の軟度よりも高いことを特徴とする請求項３記載の漏洩検査装置。
【請求項５】
前記気密室は、前記被検査部を取り囲む主気密室と、前記管と前記主気密室とのシール部分を囲むように前記主気密室の外側に構成した副気密室とからなる気密室形成構造を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の漏洩検査装置。
【請求項６】
前記第２シール部材は、外部と前記副気密室内を隔てる前記管と前記副気密室とのシール部分に配置することを特徴とする請求項５記載の漏洩検査装置。
【請求項７】
前記第２シール部材は、超軟性のゴムまたはスポンジであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の漏洩検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は漏洩検査装置に関し、特に、高気密性の気密室を用いて管の被検査部を高感度で測定できる漏洩検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の円筒管部分を接続して形成した円筒管の気密性試験では、２つの円筒管部分を接続する溶接部を被検査部として気密性試験が行われる。漏洩検査装置を利用した気密性試験では、被検査部の周りに気密室形成構造を設け、円筒管の内部にガス（例えばヘリウムガスやアルゴンガス等）を供給し、被検査部を通して円筒管の外側の気密室形成構造内にガスが漏れてくるか否かを検出する。このような目的で使われるガスを以後「サーチガス」と呼ぶ。複数の円筒管部分を接続して形成され、溶接部も複数存在する円筒管の場合には、各溶接部の気密性試験を行うためには気密室形成構造を円筒管の軸方向に移動させることが必要となる。そのためには、気密室形成構造と円筒管とのシール部分を、円筒管の外周部上を軸方向に移動させることが必要になるので、容易ではない。移動距離が長い場合などは特に容易なことではない。また、既に敷設された管の検査では、支持金具等が邪魔をして移動させることが非常に困難となる。
【０００３】
また、円筒管の端部から被検査部に到る途中に大きい径の部分が存在すると、それを乗り越えて気密室形成構造を移動させることができないため、気密性試験を行うことができなかった。
【０００４】
上記気密性試験の問題点に関する従来技術として特許文献１に記載される管の漏洩計測用器具がある。この漏洩計測用器具は、管の溶接線（溶接部）の部分を外側から挟み込むように２つの箱部材で囲み、当該溶接線の周囲に室部を形成する筐体を設ける。この筐体内の室部は連通管で外気と連通して大気圧となっており、かつ筐体内の室部にヘリウム検出装置の吸引プローブの先端部を設けている。吸引プローブの筐体に対する位置は予め設定され、管に筐体を取り付けるときに吸引プローブの先端部は、溶接線に対して一定の角度および一定の距離で配置される。管に取り付けた筐体を当該管の周りに回転させることにより、吸引プローブの先端部は溶接線に対して一定の位置関係に保持された状態で一周する。管の内部にはサーチガスが所定圧力で供給され、上記の吸引プローブおよびヘリウム検出装置によって溶接線の部分から漏洩するサーチガスの有無が計測される。こうして管の溶接線におけるヘリウム漏洩の検査が行われる。この方法はスニッファー法と呼ばれ、主に１×１０−６Ｐａ・ｍ３／ｓより大きい漏れ量の検査に使用される。しかし、より小さな漏れ量を検査する気密性試験を行う必要が増しており、この場合、特許文献１に記載された漏洩検査用器具の機密性では不十分であり、適用することができなかった。
【０００５】
また他の従来技術として特許文献２に記載される気密形成構造がある。この気密試験装置では、測定対象である２つの円筒管の溶接部に対して、シリコンゴム等の弾性体で形成されたブロック状の円筒管封止部を、その軸方向に形成された切込み部を開いて、円筒管の外側側面から直接に取り付けるようにすることによって、被測定物である円筒管が径の大きい円筒管端部を有している場合であっても被検査部の周りに気密室形成構造を設けることができ、被検査部の気密性試験ができるようにしている。
【特許文献１】実開平７−１８２３５号公報
【特許文献２】特開平９−３１８４８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
漏洩検査装置の検出感度を高くするには、従来の気密室を形成する構造では不十分である。例えば上記の特許文献１による管の漏洩計測用器具によれば、管の被測定部を２つの箱部材で外側から挟み込むようにして囲み、管と２つの箱部材とのシール部分には、ゴムシート等の弾性体を挟み込み、それによって気密室を形成している。しかし、ゴムシートの２つの端部および管の３者が突き合わされる部分に気密室内と外部を連結する微小な隙間ができてしまうため、気密室の気密性は、高い検出感度を得るために要求される気密性には極めて不十分なものである。また特許文献２による気密形成構造においては、円筒管封止部の切込み部におけるシール性に問題がある。
【０００７】
図１３と図１４を参照して従来の漏洩計測用器具のシール性の問題を具体的に説明する。図１３は、従来の気密室形成構造の端面図である。検査対象である管１０１を挟み込むように上側箱部材１０２と下側箱部材１０３を配置し、上下の箱部材１０２，１０３を用いて溶接部の周りに気密室を作る筐体１０５を形成する。管１０１の内部には、図示しないサーチガス供給装置により、必要な圧力のサーチガスが供給される。管１０１の溶接部において漏洩箇所が存在すると、管１０１の内部のサーチガスが漏洩箇所から漏れて筐体１０５内の気密室に流れ出す。漏れた当該サーチガスがヘリウム検出装置によって検出される。筐体１０５内の気密室１０３は、図示しない真空装置によって排気される。これにより気密室内を高い所要の真空状態に保持すると共に、漏れたサーチガスをヘリウム検出装置に導くようにしている。
【０００８】
管の側面から直接に管の被測定部に気密室を形成できる気密室形成構造において、従来の気密室形成構造は、図１３に示すように、上側箱部材１０２と下側箱部材１０３の各接触面にはシール材１０６，１０７が設けられ、上側箱部材１０２と下側箱部材１０３の接触の気密性を高め、筐体１０５内の気密室１０４の気密性を高くするようにしている。
【０００９】
しかしながら、上記の気密室１０４を形成する構造ではシール性について次のような問題が存在した。図１３に示した範囲１０８を拡大して図１４に示す。上側箱部材１０２の接触面にはシール材１０６が付設され、下側箱部材１０３の接触面にはシール材１０７が付設される。従って、筐体１０５を形成するときに、上下の箱部材１０２，１０３のシール材１０６，１０７は、互いに対向している部分では互いに接触し、円筒管１０１に対向する部分ではこの円筒管１０１の表面に接触している。従って、シール材１０６，１０７によって原則的に高いシール性を実現している。
【００１０】
ところが、円筒管１０１に接触する部分と、シール材１０６，１０７同士が接触している部分との間の境界部については、円筒管１０１の軸方向に円筒管１０１の表面に沿って隙間１０９が形成される。この隙間１０９は小さい隙間であるが、高い検出感度の気密性試験が必要とされる場合、この隙間１０９を通して気密室１０４に流入する大気は許容量を越えている。すなわち、管の側面から直接に管の被測定部に気密室を形成できる気密室形成構造において、図１３、図１４で示される従来の気密室形成構造では、高い検出感度の気密性試験が必要とされる場合、気密室の機密性が不十分であるという問題があった。
【００１１】
本発明の目的は、上記の課題に鑑み、管の側面から直接に管の被検査部に気密室を形成できる気密室形成構造であって、かつ該気密室は高い検出感度の気密性試験を行うのに十分な気密性を実現できる気密室形成構造を用いた漏洩検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る漏洩検査装置は、上記目的を達成するために、次のように構成される。
【００１３】
第１の漏洩検査装置（請求項１に対応）は、管の内部のガスが管の被検査部を介して外側に漏洩するのを検出する漏洩検査装置であって、管の被検査部を筐体で取り囲むように気密室を構成してなり、管と筐体の間に配置された、異なる軟度を有する、少なくとも第１および第２のシール部材を有してなる気密室形成構造を備えるように構成される。
【００１４】
上記の漏洩検査装置では、第１シール部材で気密室の気密性を確保し、さらに軟度の高い超軟な第２のシール部材で高い気密性により封止を行う。このような２種類の軟度の異なる好ましくはゴム材による第１および第２のシール部材で気密室の気密性を高め、高感度のガス検出を行える。
【００１５】
第２の漏洩検査装置（請求項２に対応）は、上記の構成において、好ましくは、筐体は２つの半体部からなり、２つの半体部を管の被検査部の両側に配置して筐体を形成するようにしたことで特徴づけられる。
【００１６】
第３の漏洩検査装置（請求項３に対応）は、上記の構成において、好ましくは、第１シール部材は、端部同士が当接することにより管の全周を囲む閉じた環をなすように配置され、第２シール部材は第１シール部材および管に接するように配置されることを特徴とする。
【００１７】
第４の漏洩検査装置（請求項４に対応）は、上記の構成において、好ましくは、第２シール部材の軟度は第１シール部材の軟度よりも高いことを特徴とする。
【００１８】
第５の漏洩検査装置（請求項５に対応）は、上記の構成において、好ましくは、気密室は、被検査部を取り囲む主気密室と、管と主気密室とのシール部分を囲むように主気密室の外側に構成した副気密室とからなる気密室形成構造を備えることを特徴とする。
【００１９】
第６の漏洩検査装置（請求項６に対応）は、上記の構成において、好ましくは、第２シール部材は、外部と副気密室内を隔てる管と副気密室とのシール部分に配置することで特徴づけられる。
【００２０】
第７の漏洩検査装置（請求項７に対応）は、上記の構成において、好ましくは、第２シール部材は超軟性のゴムまたはスポンジであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、漏洩検査装置における管の被検査部の周囲に気密室を形成する気密室形成構造に対して異なる軟度を有する少なくとも第１と第２のシール部材を備え、気密室の気密性を高めるようにしたため、高感度のサーチガスの漏れ検出を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明の好適な実施形態（実施例）を添付図面に基づいて説明する。
【００２３】
最初に図１〜図４を参照して本発明の実施形態に係る漏洩検査装置の外観形状および内部構造を説明する。図１は漏洩検査装置の外観の斜視図を示し、図２は漏洩検査装置の端面図（図１中のＡ方向矢視図）を示し、図３は図２におけるＢ−Ｂ線断面図を示し、図４は漏洩検査装置の内部の要部構造を示す。
【００２４】
漏洩検査装置１０は、円筒管１１に取り付けられかつ気密室を形成する筐体１２の部分と、筐体１２から排気されるガス中にヘリウムガス等のサーチガスが含まれているか否かを検査する質量分析計形リークディテクタ１３とから構成される。漏洩検査装置１０の筐体１２は、検査対象である円筒管１１の溶接部１１Ａの部位に取り付けられる。円筒管１１はその軸方向に比較的に長い形状を有している。漏洩検査装置１０は、円筒管１１の外側の側面側から直接に取り付けられる。
【００２５】
なお、本発明に係る漏洩検査装置１０で使用される検出装置は、上記の質量分析計形リークディテクタ１３には限定されず、任意の検出装置を用いることができる。
【００２６】
漏洩検査装置１０の筐体１２は、ヒンジ１４で結合された筐体上部１２Ａと筐体下部１２Ｂとで構成されている。漏洩検査装置１０の筐体１２は、筐体１２の半体部をなす筐体上部１２Ａと筐体下部１２Ｂで挟み込むようにして円筒管１１に取り付けられる。筐体１２の内部空間は主気密室（メインチャンバ）Ｒ１として形成される。筐体１２の全体形状は略直方体の形状である。なお上記の構造において、結合手段はヒンジ１４に限定されず、また全体形状は直方体形状に限定されない。また筐体１２は、図１を基礎にして「筐体上部１２Ａ」と「筐体下部１２Ｂ」と記したが、これらの２つの部分（半体部）は筐体１２の上側部分または下側部分に限定されない。
【００２７】
筐体１２の両側の端面部には円筒状突部１５が設けられている。この円筒状突部１５は、筐体上部１２Ａの両側の端面に形成された半円筒状突部１５Ａと、筐体下部１２Ｂの両側の端面に形成された半円筒状突部１５Ｂとに基づき、形成される。両側の円筒状突部１５によって、筐体１２内の主気密室Ｒ１の両側に位置する副気密室（サブチャンバ）Ｒ２が形成される。上記の筐体１２と半円筒状突部１５は、一体的になるように形成されている。筐体１２と半円筒状突部１５Ａ，１５Ｂによって気密室形成構造が形成される。上記の構造において、円筒状突部１５、半円筒状突部１５Ａ，１５Ｂ、副気密室Ｒ２等の要素は本発明の必須の条件ではない。
【００２８】
挟み込むようにして円筒管１１に取り付けられた筐体上部１２Ａと筐体下部１２Ｂは連結具１６で結合され、筐体１２として円筒管１１に固定される。
【００２９】
図１〜図３に示されるように、少なくとも、筐体上部１２Ａおよび半円筒状突部１５Ａと円筒管１１との間の互いに接触し合う部分には、全面的に、後述される上ガスケット２１が配置され、筐体下部１２Ｂおよび半円筒状突部１５Ｂと円筒管１１との間の互いに接触し合う部分には、全面的に、後述される下ガスケット２２が配置される。上ガスケット２１および下ガスケット２１は、より正確には、筐体上部１２Ａと筐体下部１２Ｂとの間の互いに接触し合う部分、半円筒状突部１５Ａ，１５Ｂの間の互いに接触し合う部分にも、全面的に配置される。上ガスケット２１と下ガスケット２２はシール部材としての機能を有している。
【００３０】
その結果、図３および図４に示すごとく、中央に位置する筐体１２の内部には上記主気密室Ｒ１が形成され、かつ、両側に位置する円筒状突部１５の内部には上記副気密室Ｒ２が形成されている。主気密室Ｒ１の内部は孔２３および排気管２４を通して質量分析計形リークディテクタ１３に接続され、それに内蔵されている主真空ポンプによって排気される。また両側の副気密室Ｒ２は孔２６および排気管２７を通して副真空ポンプ２８によって排気される。
【００３１】
上記の上ガスケット２１と下ガスケット２２の形状を図５の斜視分解図に示す。図５では、筐体１２を形成する筐体上部１２Ａと筐体下部１２Ｂ、両側の円筒状突部１５を形成する半円筒状突部１５Ａ，１５Ｂは、それぞれ、分離して示されている。なお、筐体上部１２Ａと両側の半円筒状突部１５Ａ、筐体下部１２Ｂと両側の半円筒状突部１５Ｂは一体的に形成されている。上ガスケット２１は筐体上部１２Ａおよび両側の半円筒状突部１５Ａと円筒管１１との間に配置され、下ガスケット２２は筐体下部１２Ｂおよび両側の半円筒状突部１５Ｂと円筒管１１との間の配置される。円筒管１１における符号１１Ａで示された線状の部分は溶接部を意味している。この溶接部１１Ａが被検査部になる。
【００３２】
上ガスケット２１と下ガスケット２２は、好ましくは、同一の材質を用いて同一の形状を有するように形成され、かつ円筒管１１の上側と下側の位置において対称的な関係になるように配置される。ただし、上ガスケット２１と下ガスケット２２の材質と形状が同一であることは必須ではない。上ガスケット２１および下ガスケット２２は第１シール部材に相当する。
【００３３】
下ガスケット２２を参照してガスケットの材質および形状を説明する。下ガスケット２２は、図５に示されるごとき形状を有するように成形・保持することができる、可塑剤を多く含まない中軟材で形成されている。この中軟材は、高いシール性を発揮するゴム等の弾性材質である。この材質の例としては、例えばシリコンゴムである。下ガスケット２２の中央部には、上記主気密室Ｒ１を形成するためのスペースＳ１を形作る軸方向の両側の直線枠体３１，３２および円周方向の両側の内側湾曲枠体３３，３４を有する。また下ガスケット２２の両側部には、上記副気密室Ｒ２を形成するためのスペースＳ２を形作る軸方向の両側の直線枠体３５，３６および円周方向の外側湾曲枠体３７を有する。直線枠体３１，３２は筐体上部１２Ａと筐体下部１２Ｂの間の位置する。左右の両側に位置する直線枠体３５，３６は円筒状突部１５Ａ，１５Ｂの間に位置する。内側湾曲枠体３３，３４と外側湾曲枠体３７は、円筒管１１と半円筒状突部１５Ｂとの間に位置する。
【００３４】
上ガスケット２１も下ガスケット２２と同じ枠体を有しているので、対応部分には同一の符号を付している。上記の下ガスケット２２と上ガスケット２１における対応する直線枠体の部分は、組立て時に当接する位置関係になる。
【００３５】
上記下ガスケット２２では、図５中左右の両側に位置する直線枠体３５，３６の各々と外側湾曲枠体３７の接続部に超軟ガスケット４１を取り付けている。この超軟ガスケット４１は下ガスケット２２において総計４箇所に設けられる。超軟ガスケット４１は、直線枠体３５，３６の各々と外側湾曲枠体３７の接続部において、直線枠体３５，３６から外側湾曲枠体３７に至る処の折曲部に、その内面側に僅かに突出するような形状にて取り付けられる。上記の超軟ガスケット４１は第２シール部材に相当する。
【００３６】
超軟ガスケット４１は、ゴム等の弾性を有する材質であり、可塑剤を多く含み、周囲の形状に隙間を作ることなく適合する非常に柔らかい弾性を有している。超軟ガスケット４１の材質としては超軟性のゴムまたはスポンジである。超軟性のゴムはゴム硬度（ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３）で２０以下、望ましくは１０以下である。超軟性のスポンジは、スポンジ硬度（ＪＩＳ  Ｓ  ６０５０）で２０以下、望ましくは１０以下である。超軟性のゴムは、好ましくは、固体と液体（ＧＥＬ）の性質を併せ持つ超軟性ゴム（ジュル状ゴム）である。超軟性のスポンジは、好ましくは単独気泡型スポンジ（単泡スポンジ）である。以上のごとく超軟ガスケット４１の軟度は上記の下ガスケット２２の軟度よりも高くなっている。
【００３７】
次に、図６〜図８を参照して上記の超軟ガスケット４１の形状および取付け方を詳述する。図６は、図５の範囲Ｃの部分を拡大して示したものである。図７は図５における要部の縦断面図であり、図８は超軟ガスケット４１のみを示したものである。図８に示すごとく、超軟ガスケット４１は、半円筒状突部１５Ｂの側に位置する外側部４１ａと、円筒管１１の側に位置する内側部４１ｂとから構成される。超軟ガスケット４１は全体としてブロック形状を有している。超軟ガスケット４１を下ガスケット２２に取り付けるには、直線枠体３５と外側湾曲枠体３７との間に孔４２を形成しておき、この孔４２に矢印Ｄに示すごとく、超軟ガスケット４１を下ガスケット２２の外側から押し込んで取り付ける。この結果、図６および図７に示されるように、超軟ガスケット４１の外側部４１ａが直線枠体３５と外側湾曲枠体３７に当接し、かつ内側部４１ｂが孔４２から内側に突出するように配置される。
【００３８】
以上のごとく上下のガスケット２１，２２には所定の４箇所に超軟ガスケット４１を設けたため、図５に示した配置関係に基づき、図１〜図４に示すごとく被検査物である円筒管１１に対して筐体１２等を組み付けると、上下のガスケット２１，２２の４箇所の超軟ガスケット４１の各々は、内側の円筒管１１と外側の半円筒状突部１５Ｂに接触し、圧接される。その結果、超軟ガスケット４１は変形し、それによって気密室内と外部を連結していた小さな隙間部分の封止をすることができる。このため、図１３を参照して説明した隙間１０９が生じるのを防止することができる。
【００３９】
上記の構成を有する漏洩検査装置１０によれば、円筒管１１の被検査部に対して外側の側面から直接に気密室形成構造（筐体１２および円筒状突部１５）を設けることができ、さらに、内部の気密性を保つためのシール部材を、上下のガスケット２１，２２に加えて、前述の所定の個所に超軟ガスケット４１を設けたため、上下のガスケット２１，２２の間に生じる狭隘な隙間部分も完全に封止することができる。このため、筐体１２等の内部に形成される主気密室Ｒ１および副気密室Ｒ２の真空の程度を５Ｐａよりも小さくすることができ、極めて高い所望の検出感度（例えば１×１０−９Ｐａ・ｍ３／ｓ）を達成することができる。さらに、上下のガスケット２１，２２自体の軟度を高くする必要はないので、可塑剤の影響も最小限度に抑制することができる。
【００４０】
また上記実施形態に係る超軟ガスケット４１の取付け構造によれば、孔４２を利用して配置するので、位置決めを正確に行うことができる。
【００４１】
図９は、超軟ガスケットの変形例を示す。図９は図７と同様な図である。この実施形態で示される超軟ガスケットは、ブロック状ではなく、シート状に形成される。下ガスケット２２の直線枠体３５と外側湾曲枠体３７との間の折曲部には孔は形成されず、当該折曲部の外面と内面のそれぞれにシート状の超軟ガスケット５１，５２が貼着される。なお外面の超軟ガスケット５１は省略することもできる。
【００４２】
図１０は本発明に係る漏洩検査装置の他の実施形態を示し、図２と同様な図である。この実施形態では、例えば角筒管６１の漏れ検査に使用される漏洩検査装置の筐体１２等を示している。前述した実施形態で説明した要素と実質的に同一のようには同一の符号を付している。この筐体１２では、角筒管６１での漏れ検査を行うため、筐体１２の両側に形成される突部６２は、角筒管６１に適合するように角筒状突部６２になっている。この角筒状突部６２は、半角筒状突部６２Ａ，６２Ｂとから構成される。また上下のガスケット２１，２２における周囲方向の枠体は、角筒管６１に適合するように略９０度に折曲された折曲枠体として形成される。その他の構成は、前述した実施形態と同じである。このように、角筒管６１に対しても、前述した実施形態と同様な作用・効果を発揮させることができる。
【００４３】
上記の他の実施形態における角筒管６１の断面は略正方形であったが、角筒管６１はこれに限定されない。一般的に多角形の管体の漏れ検査に本発明に係る漏洩検査装置を用いることができる。この場合において、筐体１２の両側の突部の形状および上下のガスケットの形状は、検査対象である管体の形状に応じた形状を有するように形成される。
【００４４】
図１１と図１２は本発明に係る漏洩検査装置の更なる他の実施形態を示し、図１１は実質的に図２と同様な図であり、図１２は図１１中のＥ−Ｅ線断面図である。この実施形態では、上記の各実施形態で説明した筐体１２と円筒状突部１５等に相当する部分（気密室形成構造）とを、例えば中軟性を有するゴム状ブロック７１に形成している。このゴム状ブロック７１は全体として直方体形状を有し、内部の軸方向には図１２に示すごとく被検査物である円筒管１１を収容する孔７２を有し、さらに、下面の中央長手方向の全長に亘って切込み部７３を備え、かつ下面の中心位置に孔７４を形成している。ゴム状ブロック７１で、孔７４に対応する内部には、上記の孔７２の一部として前述した主気密室Ｒ１に相当する気密室が形成されている。また孔７２における気密室Ｒ１の両側の部分の径は円筒管１１の外径と略等しくなるように形成されている。
【００４５】
上記のゴム状ブロック７１を、被検査物である例えば円筒管１１に取り付けるときには、ゴム状ブロック７１の下部の切込み部７３を左右に押し広げ、この切込み部７３で形成される隙間を介して円筒管１１を圧入し、孔７２の中に収容する。このとき溶接部１１Ａは上記の気密室Ｒ１内に位置している。図１１および図１２はこの状態を示している。実際には、図１１と図１２の取付け状態において、図示しない任意の固定部材によってゴム状ブロック７１は外側から押さえつけられ、そのため切込み部７３が密着し、当該切込み部７３は開かないように固定される。孔７２における気密室Ｒ１の両側の孔部分は円筒管１１の外面に密着している。気密室Ｒ１の内部は孔７４を介して真空排気される。
【００４６】
図１２において、ゴム状ブロック７１の上部は断面として示されているが、その下部は切込み部７３の一方の接触面が示されている。ゴム状ブロック７１で円筒管１１を狭着するとき、前述の実施形態で説明したように狭隘な隙間でガスが漏れないように、前述の超軟ガスケット４１が、切込み部７４における円筒管１１と接触する部分と相互の接触面の部分に取り付けられる。これによって狭隘な隙間をシールすることができる。
【００４７】
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構成の組成（材質）については例示にすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、円筒管等の溶接部に対して高い気密性を実現して高感度でその漏れ検査を行うことに利用される。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態に係る漏洩検査装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本実施形態の漏洩検査装置の端面図（図１中のＡ方向矢視図）である。
【図３】図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】本実施形態に係る漏洩検査装置の内部の要部構造を示す図である。
【図５】本実施形態に係る漏洩検査装置の分解斜視図である。
【図６】図５における範囲Ｃの部分拡大図である。
【図７】図６に示した超軟ガスケットの縦断面図である。
【図８】図６に示した超軟ガスケットのみを示す外観斜視図である。
【図９】超軟ガスケットの他の取付け方を示す縦断面図である。
【図１０】他の本実施形態の漏洩検査装置に関する図２と同様な図である。
【図１１】更なる他の実施形態の漏洩検査装置の気密室形成構造の端面を示す図２と同様な図である。
【図１２】図１１におけるＥ−Ｅ線断面図である。
【図１３】従来の気密室形成構造の端面図である。
【図１４】図１３における範囲１０８の拡大図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０      漏洩検査装置
１１      円筒管
１１Ａ    溶接部（被検査部）
１２      筐体
１３      質量分析計形リークディテクタ
１５      円筒状突部
２１      上ガスケット
２２      下ガスケット
４１      超軟ガスケット
５１      超軟ガスケット
６１      角筒管
７１      ゴム状ブロック
７２      孔
７３      切込み部
Ｒ１      主気密室
Ｒ２      副気密室
【図１】
2008224307.tif 000003
【図２】
2008224307.tif 000004
【図３】
2008224307.tif 000005
【図４】
2008224307.tif 000006
【図５】
2008224307.tif 000007
【図６】
2008224307.tif 000008
【図７】
2008224307.tif 000009
【図８】
2008224307.tif 000010
【図９】
2008224307.tif 000011
【図１０】
2008224307.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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