(57)【要約】  【課題】１巻き目である導入空間部を移送対象の空間部として活用し、従来よりも移送対象とすべき作動流体の容積を増加させることができるスクリューポンプの提供にある。  【解決手段】ロータ２０、３０は、導入開口部２７、３７とリード角が変化する不等リード部２５、３５を有し、不等リード部２５、３５とハウジングは、導入開口部２７、３７と連通される導入空間部Ｐと、導入空間部Ｐの導出口１５側の移送空間部Ｓとを形成し、導入空間部Ｐの導入口１７との連通が遮られて密閉状態の移送空間部Ｓが形成された状態をロータ２０、３０の１回転の開始点とし、導入空間部Ｐは前記開始点から１回転する前に最大容積に達する空間部であり、移送空間部Ｓの容積は導入空間部Ｐの最大容積未満に設定されている。両ロータ２０、３０の導入開口部２７、３７の一部を覆うとともに移送空間部Ｓの容積を越える導入空間部Ｐを密閉する閉塞体を有する。  【選択図】  図１
2008038861.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に噛合するスクリュー状の一対のロータと、前記両ロータを収容するハウジングとを備え、前記ハウジングは、該ハウジング外から該ハウジング内に作動流体を導入する導入口と、前記ハウジング内から該ハウジング外に作動流体を導出する導出口とを有し、前記ロータは、前記導入口側のロータ端面に形成される導入開口部と、前記導入口側から前記導出口側へ向けてリード角が変化する不等リード部とを有し、前記不等リード部と前記ハウジングは、前記導入口と導入開口部を介して連通されて作動流体を導入し、前記ロータの回転に伴い容積が変化する導入空間部と、前記ロータの回転に伴い前記導入空間部の前記導入口との連通が遮られて、前記導入空間部の導出口側にて密閉状態の移送空間部とを形成し、前記導入空間部の前記導入口との連通が遮られて密閉状態の前記移送空間部が形成された状態をロータ１回転の開始点とするスクリューポンプにおいて、
前記導入空間部は前記開始点から１回転する前に最大容積に達する容積変化を行う空間部であり、前記移送空間部の容積は、前記不等リード部のリード角の設定により前記導入空間部の最大容積未満に設定され、前記導入開口部の少なくとも一部を覆うとともに、前記移送空間部の容積を越える状態にある前記導入空間部を密閉する閉塞体を有することを特徴とするスクリューポンプ。
【請求項２】
前記閉塞体は、前記開始点から１／８回転以上１回転未満の範囲内で前記導入空間部を密閉する形状を有することを特徴とする請求項１記載のスクリューポンプ。
【請求項３】
前記閉塞体は、最大容積時の前記導入空間部を密閉する形状を有することを特徴とする請求項１又は２記載のスクリューポンプ。
【請求項４】
前記閉塞体は前記ハウジングと別体であり、該ハウジングに着脱自在に装着されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のスクリューポンプ。
【請求項５】
前記ロータは、前記不等リード部の導出口側に連続して形成されるリード角一定の等リード部を有し、該等リード部のリード角は前記不等リード部のリード角よりも小さく設定されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のスクリューポンプ。
【請求項６】
前記ロータは、不等リード部の導入口側に位置する開口側リード部を有し、該開口側リード部は、前記ロータ端面から前記開始点の半回転以上及び１回転以内に対応する部位であり、前記開口側リード部のリード角は、該開口側リード部より導出口側の前記不等リード部のリード角より小さく設定されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のスクリューポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、相互に噛合するスクリュー状の一対のロータを有するスクリューポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のスクリューポンプとしては、例えば、特許文献１に開示された圧縮可能な媒体用排出機が存在する。媒体用排出機は噛み合い断面体が固定される二つのシャフトを有する。
これらのシャフトは複数の部品から成るポンプケーシング内にベアリングにより取り付けられており、噛み合い断面体はポンプ空間内に送出される媒体を、接続部を介して頂部から引き込み、開口部を介して底部で放出する。
シャフトの断面体は電気モータにより駆動され、別個の電気モータが各シャフトに対し備えられている。
二つの噛み合い歯車はシャフトの底部に備えられている。
【０００３】
ロータに相当するこの技術のシャフトを図９に示すと、両ロータ８０は、導入口側（図９において上方）のロータ端面に形成される導入開口部８２と、導入口側から導出口側（図９において下方）へ向けてリード角が減少する不等リード部８５と、リード角が一定の等リード部８３、８４を有している。
ロータ８０と図示しないハウジングは、導入開口部８２と連通されて作動流体を導入する導入空間部Ｐと、導入空間部Ｐの導出口側にて密閉状態の移送空間部Ｓとを形成する。
この種のロータ８０では、ロータ８０が１回転するとき、導入空間部Ｐが容積変化しつつ、１回転後に移送空間部Ｓに収束される空間部となっている。
【０００４】
この場合、導入空間部Ｐにおける作動流体は１回転後に移送空間部Ｓへ導入される。
密閉された移送空間部Ｓの容積が移送対象の容積となる。
因みに、ロータ８０のリード角を一定とすると、導入空間部Ｐがロータ８０の回転により容積が実質的に変化することがなく、ほぼ一定である。
つまり、ロータ８０の回転後の移送空間部Ｓとロータ８０の回転前の導入空間部Ｐの容積はほぼ一致する。
【特許文献１】特開２００１−５５９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された従来技術では、ロータ８０の１回転後の密閉された移送空間部の容積が実質的に移送対象の容積であり、１巻き目である導入空間部は導入口と連通しており直接的に圧縮される空間部ではない。
故に、移送空間部の容積よりも導入空間部の容積を大きく設定したとしても、導入空間部は、導入効率の向上に寄与しないという問題がある。
また、導入空間部の容積が有効に活用されない状態では、単にロータの長尺化を招く。
【０００６】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、１巻き目である導入空間部を移送対象の空間部として活用し、従来よりも移送対象とすべき作動流体の容積を増加させることができるスクリューポンプの提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を達成するため、本発明は、相互に噛合するスクリュー状の一対のロータと、前記両ロータを収容するハウジングとを備え、前記ハウジングは、ハウジング外からハウジング内に作動流体を導入する導入口と、ハウジング内からハウジング外に作動流体を導出する導出口とを有し、前記ロータは、前記導入口側のロータ端面に形成される導入開口部と、前記導入口側から前記導出口側へ向けてリード角が変化する不等リード部とを有し、前記不等リード部と前記ハウジングは、前記導入口と導入開口部を介して連通されて作動流体を導入し、前記ロータの回転に伴い容積が変化する導入空間部と、前記ロータの回転に伴い前記導入空間部の前記導入口との連通が遮られて、前記導入空間部の導出口側にて密閉状態の移送空間部とを形成し、前記導入空間部の前記導入口との連通が遮られて密閉状態の前記移送空間部が形成された状態をロータ１回転の開始点とするスクリューポンプにおいて、前記導入空間部は前記開始点から１回転する前に最大容積に達する容積変化を行う空間部であり、前記移送空間部の容積は、前記不等リード部のリード角の設定により前記導入空間部の最大容積未満に設定され、前記導入開口部の少なくとも一部を覆うとともに、前記移送空間部の容積を超える状態にある前記導入空間部を密閉する閉塞体を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、導入口と連通する導入空間部は、開始点から導入口との連通が遮られて密閉状態の移送空間部が形成されるまでの間（ロータ１回転）にて容積変化する。
導入空間部は、開始点からロータ１回転に達する前の容積変化において最大容積に達するほか、移送空間部の容積を越える容積を有する。
閉塞体は、導入空間部の容積が移送空間部の容積を越えているとき、導入開口部の一部を覆って移送空間部の容積を超える状態にある導入空間部を密閉する。
開始点からロータ１回転する前に、移送空間部の容積を越えた導入空間部が密閉されることにより、移送対象の作動流体は密閉された導入空間部の容積と移送空間部の容積との差の分だけ増大する。
なお、閉塞体はハウジングと一体化されてもよい。
【０００９】
また、本発明では、上記のスクリューポンプにおいて、前記閉塞体は、前記開始点から１／８回転以上１回転未満の範囲内で前記導入空間部を密閉する形状を有してもよい。
この場合、ロータ１回転の開始点から１／８回転以上１回転未満の範囲内にて閉塞体が導入空間部を密閉するから、導入口から導入空間部に作動流体を導入する時間が、少なくともから１／８回転するまでの間で確保される。
つまり、閉塞体が導入空間部を密閉する少なくとも１／８回転までの間に作動流体を導入空間部に導入させることができる。
【００１０】
さらに、本発明は、上記のスクリューポンプにおいて、前記閉塞体は、最大容積時の前記導入空間部を密閉する形状を有するようにしてもよい。
この場合、容積変化する導入空間部が１回転の間において最大容積となるときに閉塞体が導入空間部を密閉するから、密閉された導入空間部の容積と移送空間部の容積との差が最も大きくなる。
このため、移送対象の作動流体の容積を最も増大させることができる。
【００１１】
さらに、本発明は、上記のスクリューポンプにおいて、前記閉塞体は前記ハウジングと別体であり、該ハウジングに着脱自在に装着に装着させてもよい。
この場合、ハウジングと閉塞体が一体化されている場合と比較して、ロータの種類等の駆動条件に応じた閉塞体の形状変更が、閉塞体の交換により簡単に行えるほか、ロータに対する閉塞体の位置決めが容易となる。
【００１２】
さらに、本発明は、上記のスクリューポンプにおいて、前記ロータは、前記不等リード部の導出口側に連続して形成されるリード角一定の等リード部を有し、該等リード部のリード角は前記不等リード部のリード角よりも小さく設定されてもよい。
この場合、不等リード部の導出口側に等リード部が設けられることにより、等リード部において形成する空間部は、不等リード部から等リード部へ移送された作動流体の不等リード部側への逆流を抑制する。
【００１３】
さらに、本発明は、上記のスクリューポンプにおいて、前記ロータは、不等リード部の導入口側に位置する開口側リード部を有し、該開口側リード部は、前記ロータ端面から前記開始点の半回転以上及び１回転以内に対応する部位であり、前記開口側リード部のリード角は、該開口側リード部より導出口側の前記不等リード部のリード角より小さく設定されてもよい。
この場合、ロータにおいて、不等リード部の導入口側に不等リード部のリード角よりも小さいリード角を有する開口側リード部が備えられることにより、容積変化する導入空間部の容積が最大となるタイミングをロータ１回転未満の範囲で設定することが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、導入空間部の導入口との連通が遮られて密閉状態の移送空間部が形成された状態をロータ１回転の開始点とし、開始点から１回転する間の導入空間部を移送対象の空間部として活用し、従来よりも移送対象とすべき作動流体の容積を増加させることができるスクリューポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態に係るスクリューポンプを図１〜図６に基づいて説明する。図１は、第１の実施形態に係るスクリューポンプの構造を示す縦断面図であり、図２は図１におけるＡ−Ａ線矢視図である。
図１に示す第１の実施形態に係るスクリューポンプ１１は、縦置き型のスクリューポンプであり、半導体製造プロセスにおいて真空ポンプとして用いられる。
スクリューポンプ１１は、ギヤケース１２と、ロータハウジング１４と、上部ハウジング１６と、スクリュー式のロータ２０、３０と、閉塞体としてのカバープレート４０とから主に構成されている。
【００１６】
ギヤケース１２には、駆動源としての電動モータ１３と、スクリュー状の一対のロータ２０、３０を相対する方向へ回転させるためのギヤ２３、３３と、電動モータ１３の回転力をロータ２０、３０に伝達したり切り離したりする軸継手２４が収容される。
ギヤケース１２の上端に筒状のロータハウジング１４が備えられている。
ロータハウジング１４内には相互に噛合する一対のロータ２０、３０が収容されている。
ロータハウジング１４には、図２にその水平方向の断面を示すように、噛合するロータ２０、３０の形状に対応するため略眼鏡状の空間部が形成されている。
ロータハウジング１４のギヤケース１２寄りには、前記空間部と外部流体回路（図示せず）とを連通し、スクリューポンプ１１から作動流体を外部流体回路に導出する導出口１５が形成されている。
ロータハウジング１４とギヤケース１２は、図示しないボルト等の固定部材により接合されている。
【００１７】
ロータハウジング１４の上端にはロータハウジング１４の上端を塞ぐように平板状の上部ハウジング１６が接合されている。
上部ハウジング１６の中央付近にはロータ２０、３０を収容する空間部と図示しない外部流体回路とを連通し、外部流体回路から作動流体をスクリューポンプ１１内に導入する導入口１７が形成されている。
【００１８】
次に、ロータ２０、３０について説明する。
この実施形態では、一方のロータ（図１において右側のロータ）が駆動ロータ２０であって、他方のロータ（図１において左側のロータ）が従動ロータ３０である。
駆動ロータ２０と従動ロータ３０とロータハウジング１４は作動流体を導入口１７側から導出口１５側へ移送・圧縮するための複数の作動室を形成する。
【００１９】
まず、駆動ロータ２０について説明する。
駆動ロータ２０は電動モータ１３の回転力の伝達を受けて回転されるロータである。
駆動ロータ２０には、駆動軸２２が駆動ロータ２０と一体回転可能に挿通され、駆動軸２２はギヤケース１２側へ突出している。駆動軸２２のギヤケース１２側への突出部分には、駆動側ギヤ２３が一体回転可能に設けられている。
駆動軸２２はギヤケース１２により軸受（図示せず）を介して回転自在に支持されている。
駆動軸２２のギヤケース１２側の端部は軸継手２４に接続されている。
駆動側ギヤ２３は駆動ロータ２０の回転力を従動ロータ３０へ伝達するためのものであり、従動ロータ３０が備える従動側ギヤ３３と噛合する。
【００２０】
駆動ロータ２０は、螺旋状のねじ山とねじ溝を有しており、１条のねじとなっている。
この実施形態の駆動ロータ２０は、図３に示すように、不等リード部２５と等リード部２６との２つの部位から構成されている。不等リード部２５は、駆動ロータ２０の導入口１７側の端部から導出口１５の近傍まで形成されている。
等リード部２６は不等リード部２５の導出口側からギヤケース１２を臨む端部まで、不等リード部２５に連続して形成されている。
不等リード部２５におけるリード角（ロータ２０、３０の回転軸芯と直角な面とねじ山のつる巻き曲線が作る角度）は導入口側から導出口側へ向けて漸減して変化している。
不等リード部２５のリード角が最大となる位置は導入口側の端部である。
【００２１】
一方、等リード部２６におけるリード角は一定のリード角に保たれている。
等リード部２６のリード角は、不等リード部２５における最小のリード角よりも小さく設定されている。
駆動ロータ２０における駆動ロータ２０の導入口１７側のロータ端面２１ａは、駆動ロータ２０の回転軸芯と直角な面に形成されている。
このロータ端面２１ａには、図２に示すように、ねじ溝の始点側となる導入開口部２７が形成されている。
【００２２】
次に、従動ロータ３０について説明する。
従動ロータ３０は、駆動ロータ２０の回転に従い回転されるロータである。
従動ロータ３０には従動軸３２が従動ロータ３０と一体回転可能に挿通されている。
従動ロータ３０は、駆動ロータ２０と同様に、螺旋状のねじ山とねじ溝を有する１条のねじである。
従動ロータ３０は、図３に示すように、不等リード部３５、等リード部３６を有する。
従動ロータ３０における導入口１７側のロータ端面３１ａには、図２に示すように、導入開口部３７が形成されている。
ところで、駆動ロータ２０と従動ロータ３０は互いに噛合する関係にある。
このため、両ロータ２０、３０の不等リード部２５、３５の導入口１７側には、導入開口部２７、３７と連通され、両ロータ２０、３０と導入開口部２７、３７とロータハウジング１４とで区画され、両ロータ２０、３０の回転に伴い、容積が変化する導入空間部Ｐが形成される（図１を参照。）。
また、両ロータ２０、３０の回転に伴い、ロータハウジング１４及び両ロータ２０、３０により導入空間部Ｐの導入口１７との連通が遮られて、ロータハウジング１４と両ロータ２０、３０とにより区画されて密閉状態の移送空間部Ｓが導入空間部Ｐの導出口１５側に形成されている。
【００２３】
ここで、導入空間部Ｐの導入口１７との連通が遮られて密閉状態の移送空間部Ｓが形成された状態をロータ２０、３０の１回転の開始点とする。
また、この開始点を両ロータ２０、３０の回転角０度の状態とする。
導入空間部Ｐはロータ２０、３０の回転により図５及び図６に示す容積変化をする。
図４は、両ロータ２０、３０の噛合状態を導入口１７側から見た図であり、両ロータ２０、３０の１回転の開始点（回転角０度）から１回転（回転角３６０度）するまでの間の噛合状態の変化を示す図である。
両ロータ２０、３０が回転角０度の状態から相対する方向へ１回転（回転角を３６０度）するまでをロータ１回転とすると、導入空間部Ｐは図５に示すように前記開始点から１回転する間までに最大容積を含む容積変化を行う。
その導入空間部Ｐの１回転での容積変化をグラフ化すると図６に示すことができる。
図６は縦軸を導入空間部Ｐの容積、横軸を開始点（回転角０度）から１回転する間までの回転角度を表す。
なお、導入空間部Ｐの容積が１回転の間のどの時点で最大容積となるかは、不等リード部２５、３５の最大リード角、つる巻き線の巻き数、不等リード部２５、３５の径寸法や軸方向の寸法により決定される。
【００２４】
導入空間部Ｐの導出口１５側には図１に示すように密閉状態の移送空間部Ｓが形成される。
導入空間部Ｐの導出口１５側に位置する移送空間部Ｓは、ロータ２０、３０の１回転の開始点から１回転後に導入空間部Ｐの作動流体が移送される空間部である。
この実施形態では、導入空間部Ｐの導出口１５側の移送空間部Ｓの容積は導入空間部の最大容積未満に設定されている。
導入空間部Ｐの導出口１５側の移送空間部Ｓのさらに導出口１５側にはリード角に応じて、両ロータ２０、３０及びロータハウジング１４とにより区画され、密閉状態で形成される別の移送空間部Ｓが導出口１５付近まで順に形成されている。
不等リード部２５、３５において形成される移送空間部Ｓの容積は、リード角の変化に応じて移送空間部Ｓ毎に異なる。
一方、等リード部２６、３６において形成される各移送空間部Ｓでは、リード角が一定であることから互いに同じ容積となる。
各移送空間部Ｓは作動室に相当する。
【００２５】
次に、閉塞体としてのカバープレート４０について説明する。
駆動ロータ２０及び従動ロータ３０の軸方向の寸法は同一であり、両ロータ２０、３０における導入口側のロータ端面２１ａ、３１ａは同一平面内に含まれる。
ロータハウジング１４には、両ロータ２０、３０のロータ端面２１ａ、３１ａを覆うように長方形のカバープレート４０が固定されている。
図１においてカバープレート４０をロータハウジング１４に固定する手段は図示されないが、ボルト等の公知の固定手段を用いればよい。
この実施形態のカバープレート４０は、図２に示すように、駆動ロータ２０の導入口１７側のロータ端面２１ａの約半分と、従動ロータ３０の導入口１７側のロータ端面３１ａの約１／４を覆う。両ロータ２０、３０が噛みあう点を噛合点Ｇとすると、カバープレート４０は、両ロータ２０、３０のロータ端面２１ａ、３１ａにおいて噛合点Ｇへ向かう側の領域を覆う。
従って、カバープレート４０は導入開口部２７、３７の一部を覆う機能を持つ。
これは、カバープレート４０が導入開口部２７、３７の一部を覆うことにより、カバープレート４０、両ロータ２０、３０及びロータハウジング１４とにより区画される密閉状態の導入空間部Ｐを形成するためである。
移送空間部Ｓよりも導入口１７側において密閉状態の導入空間部Ｐを形成することは移送対象の作動流体が増大するから導入効率の向上に寄与する。
【００２６】
なお、この実施形態では、ロータハウジング１４内におけるロータ２０、３０のロータ端面２１ａ、３１ａと上部ハウジング１６との間には一定の間隔が設定され、これにより両ロータ２０、３０のロータ端面２１ａ、３１ａを臨む導入側空間部１８が形成される。
【００２７】
次に、この実施形態に係るスクリューポンプ１１の動作について説明する。
図６に示すグラフは、両ロータ２０、３０の１回転の開始点から１回転（両ロータ２０、３０の回転角が０度から３６０度に至る１回転）するまでの導入空間部Ｐの容積変化を示す。この実施形態の導入空間部Ｐは、図６におけるパターンＡに示す容積変化を行う。
両ロータ２０、３０の回転角が０度〜１８０度未満のとき、駆動ロータ２０の導入開口部２７と従動ロータ３０の導入開口部３７は導入側空間部１８と連通する状態にある。
図４では０度、４５度、９０度及び１３５度の状態を示しているが、両ロータ２０、３０の回転角が０度〜１８０度未満のとき、導入側空間部１８の作動流体は導入空間部Ｐに導入される。
因みに、このパターンＡでは図６に示すように１３５度のとき導入空間部Ｐの容積が最大となる。
【００２８】
その後、両ロータ２０、３０の回転の継続により、両ロータ２０、３０が１８０度になると、導入開口部２７、３７の一部（説明の便宜上、「導入開口部２７、３７における閉塞領域２７ａ、３７ａ」と表記する。）は、カバープレート４０により導入側空間部１８と隔絶される。
図４に示すように、この時点で、導入開口部２７、３７における閉塞領域２７ａ、３７ａ（図４において網掛けの領域）が生じることにより、カバープレート４０、両ロータ２０、３０及びロータハウジング１４により区画され、導入開口部２７、３７を介した導入口１７との連通が遮断された密閉状態の導入空間部Ｐが設定される。
その後、両ロータ２０、３０の回転が継続されるが、導入開口部２７、３７における閉塞領域２７ａ、３７ａの少なくとも一方は面積を減じつつも両ロータ２０、３０の回転角が３６０度に達するまで存在する。
両ロータ２０、３０の回転角が３６０度に達した時点で、導入空間部Ｐは移送空間部Ｓに変化している。
同時に、該移送空間部Ｓの導入口側は、両ロータ２０、３０により新たな導入空間部Ｐが形成されている。
【００２９】
回転角が１８０度の時点で密閉状態の導入空間部Ｐが存在することは、導入空間部Ｐと導入側空間部１８（導入口１７）とが、導入空間部Ｐの移送空間部Ｓへの変化まで連通し続ける場合と比較して、移送空間部Ｓに閉じ込める作動流体の容積を増加させることができる。
その作動流体の増加分は図６において示すΔＬとなる。
ΔＬは回転角が１８０度のときの導入空間部Ｐの容積Ｌｐと移送空間部Ｓの容積Ｌｓとの差に相当する。
つまり、導入空間部Ｐと導入側空間部１８（導入口１７）とが、導入空間部Ｐの移送空間部Ｓへの変化まで連通し続ける場合、移送空間部Ｓが閉じ込める作動流体の容積はＬｓである。
それに対して、回転角が１８０度の時点で導入空間部Ｐを密閉状態とした場合、密閉状態の導入空間部Ｐが閉じ込める作動流体の容積はＬｐである。
この実施形態の導入空間部Ｐの容積変化を具体的に図示すると、図５に示すとおりである。導入空間部Ｐは回転角が３６０度、つまり、１回転後には導入空間部Ｐの導出口１５側の移送空間部Ｓとして収束される。
【００３０】
１回転後の移送空間部Ｓの導入口側には、次の閉じ込みのための導入空間部Ｐが不等リード部２５、３５において形成される。
１回転した後に、さらに１回転させると、移送空間部Ｓの作動流体はさらに導出口１５側の別の移送空間部Ｓに移送される。
そして、ロータ２０、３０が回転を重ねると、移送空間部Ｓの作動流体は順に導出口１５へ向けて移送され、不等リード部２５、３５から等リード部２６、３６を経て最終的には導出口１５から導出される。
なお、等リード部２６、３６は不等リード部２５、３５により移送されてきた作動流体の不等リード部２５、３５側への逆流を抑制する。
【００３１】
第１の実施形態に係るスクリューポンプ１１によれば以下の作用効果を奏する。
（１）両ロータ２０、３０の１回転の開始点から１回転に達する前の導入空間部Ｐの容積が、移送空間部Ｓの容積より大きくなるタイミングで、カバープレート４０が導入開口部２７、３７の一部を覆って導入空間部Ｐを密閉するから、移送対象の作動流体は、密閉された導入空間部Ｐの容積Ｌｐと移送空間部Ｓの容積Ｌｓとの差分ΔＬだけ増大する。このため、移送対象の作動流体が増大することにより導入効率が向上し、スクリューポンプ１１としての性能が向上する。
（２）移送対象の作動流体が密閉された導入空間部Ｐの容積Ｌｐと移送空間部Ｓの容積Ｌｓとの差分ΔＬだけ増大することから、ロータ２０、３０の軸方向の短縮化を図ることができ、例えば、スクリューポンプ１１の小型化や軽量化を図ることができる。
（３）カバープレート４０が１／２回転した時点にて導入空間部Ｐを密閉するから、導入口１７を介して導入空間部Ｐに作動流体を導入する時間が、少なくとも導入空間部Ｐの形成開始状態（ロータの回転角０度の状態）から１／２回転した状態に達するまでの間で確保されるから、カバープレート４０が導入空間部Ｐを密閉する１／２回転するまでの間に作動流体を導入空間部Ｐに導入させることができる。
（４）導入空間部Ｐの形成開始状態から１回転以内に移送対象の作動流体を含む密閉された導入空間部Ｐが設けられることから、従来よりも両ロータ２０、３０の不等リード部２５、２７を性能向上のために有効に利用することができる。
（５）ハウジングとカバープレート４０とが一体化されている場合と比較して、ロータ２０、３０の種類等の駆動条件に応じてカバープレート４０の形状を変更する場合でも、カバープレート４０の交換により簡単に行えたり、ロータ２０、３０に対する位置決めを行い易くできたりする。
（６）不等リード部２５、３５の導出口１５側に等リード部２６、３６が設けられることにより、等リード部２６、３６において形成される移送空間部Ｓは、不等リード部２５、３５から等リード部２６、３６へ移送された作動流体の不等リード部２５、３５への逆流を抑制することができる。
【００３２】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係るスクリューポンプについて図７に基づいて説明する。
この実施形態では、両ロータの構成が第１の実施形態と異なる以外は、基本的に共通する。
従って、この実施形態では、共通する要素については第１の実施形態の説明を援用し、符号を共通して使用する。
【００３３】
この実施形態のスクリューポンプ５１における駆動ロータ６０及び従動ロータ７０は、不等リード部６５、７５と、等リード部６６、７６と、不等リード部６５、７５の導入口側に位置する開口側リード部６７、７７とを有する。
開口側リード部６７、７７は、両ロータ２０、３０の１回転の開始点から半回転以上及び１回転未満に対応する部位である。
開口側リード部６７、７７のリード角は、不等リード部６５、７５のリード角より小さく設定されている。
この実施形態では開口側リード部６７、７７のリード角は、等リード部６６、７６のリード角と同一となっている。
【００３４】
不等リード部６５、７５の導入口側において、不等リード部６５、７５のリード角よりも小さいリード角を有する開口側リード部６７、７７が備えられることから、容積変化する導入空間部Ｐの容積が最大となるタイミングを両ロータ２０、３０の１回転の開始点から１回転するまで（回転角が０度より大きく３６０度未満の間）の範囲で設定することが可能となる。
この実施形態では、両ロータ２０、３０の１回転の開始点から１／２回転（回転角が１８０°）した時点で導入空間部Ｐの容積が最大となるように、開口側リード部６７、７７が形成されている。
なお、開口側リード部６７、７７を除く不等リード部６５、７５及び等リード部６６、７６は第１の実施形態とほぼ同一であり、不等リード部６５、７５の最大リード角及び等リード部６６、７６のリード角も第１の実施形態と同じである。
カバープレート４０は、駆動ロータ６０の導入口１７側のロータ端面６１ａの約半分と、従動ロータの約１／４を覆い、導入開口部（図７にて図示されず）の一部を覆う。
【００３５】
この実施形態によれば、両ロータ６０、７０の１回転の開始点から１／２回転した時点で導入空間部Ｐの容積が最大となり、この時点でカバープレート４０により導入開口部における閉塞領域（図示せず）が設定され、導入空間部Ｐがカバープレート４０、両ロータ６０、７０及びロータハウジング１４とにより区画され密閉状態となる。
この実施形態の導入空間部Ｐの容積変化は図６におけるグラフではパターンＢとなる。
【００３６】
第２の実施形態に係るスクリューポンプによれば第１の実施形態の作用効果（１）〜（６）とほぼ同等の効果を奏する。
さらに言うと、導入空間部Ｐの容積が最大容積となるタイミングで、カバープレート４０が導入空間部Ｐを密閉状態とすることは、導入空間部Ｐの容積を最も有効活用しているといえる。
また、不等リード部６５、７５が開口側リード部６７、７７が備えられることにより、容積変化する導入空間部Ｐの容積が最大となるタイミングを両ロータ２０、３０の１回転の開始点から１回転するまで（回転角が０度より大きく３６０度未満の間）の範囲で設定できることから、１回転中における導入空間部Ｐへの作動流体の導入時間の確保がしやすくなるほか、スクリューポンプ５１の運転条件に応じて適切なタイミングで、カバープレート４０による導入空間部Ｐの密閉を行うことができる。
【００３７】
本発明は、上記の第１、第２の実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能である。
○上記の第１、第２の実施形態では、カバープレートが両ロータの１回転の開始点から１／２回転した時点（ロータ回転角１８０度）で導入開口部における閉塞領域を設定したが、導入開口部における閉塞領域の設定のタイミングは１／２回転に限定されず、少なくとも、１／８回転以上１回転未満の範囲にて設定すればよい。この場合、作動流体を導入空間部に導入するために必要な時間が少なくとも両ロータの１回転の開始点から１／８回転程度確保できる。
○上記の第１、第２の実施形態では、１／２回転した時点で導入開口部における閉塞領域を設定する閉塞体としてのカバープレートを開示するに止まったが、カバープレートの形状は、例えば、図８に示す、導入開口部２７、３７を密閉するタイミングに応じてその形状は変化させてもよい。図８では１／８、１／２、３／８、５／８、３／４、７／８の各回転状態における導入開口部２７、３７の閉塞領域２７ａ、３７ａ（図８において墨塗りした範囲）と、導入開口部２７、３７の閉塞領域２７ａ、３７ａを実現するための閉塞体としてのカバープレート４０１〜４０６を例示している。カバープレートの形状は、各回転状態における導入開口部２７、３７の閉塞領域を実現する形状であれば特に制限されない。
○上記の第１、第２の実施形態では、ハウジング内において導入側空間部を設けるようにしたが、例えば、導入側空間部を設けず、ロータハウジングにカバープレート（閉塞体）の機能を付与するようにしてもよい。この場合、ハウジングとカバープレートの一体化により部品点数を削減することができる。
○上記の第１、第２の実施形態では、不等リード部が導入口側から導出口側へ向けてリード角が減少する場合について説明したが、不等リード部のリード角の変化は必ずしも減少だけを意味せず、リード角の増加や増減の組み合わせも予定される。
○上記の第１、第２の実施形態のスクリューポンプは両ロータの軸線が上下となる縦置きとしたが、両ロータの向きは特に限定されず自由に設定してもよい。
○上記の第１、第２の実施形態では、両ロータが１条のスクリューロータを有するとしたが、ねじの条数は特に限定されず、例えば、２条のスクリューロータとしてもよい。また、ロータにおけるつる巻き数も適宜の数に自由に設定される。
○導入空間部の容積が両ロータの１回転の開始点から１回転した後に最大となる（移送空間部の容積を導入空間部の容積が越えない）ロータを有する場合は、本発明の適用から除外される。これは、導入空間部の容積が移送空間部の容積を越えない以上、例えば、１／８回転以上１回転未満の範囲にて導入空間部を密閉しても移送対象の作動流体が増加しないためである。つまり、移送空間部Ｓの容積を導入空間部Ｐの容積が超えない場合に、閉塞体（カバープレート）にて導入空間部を密閉すると、移送対象の作動流体が減少してしまい、導入される容積が低下してしまう。従って、本発明では導入空間部の容積が移送空間部の容積を越える設定であることが前提である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】第１の実施形態に係るスクリューポンプの概要を示す縦断面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】スクリューポンプにおける一対のロータを示す正面図である。
【図４】ロータ１回転における導入口側のロータ端面の動きを示す概略平面図である。
【図５】ロータ１回転において容量変化する導入空間部を示す斜視図である。
【図６】ロータ１回転における導入空間部の容積変化をグラフ化した図である。
【図７】第２の実施形態に係るスクリューポンプのロータを示す正面図である。
【図８】ロータ各回転における導入開口部の閉塞領域と、ロータ各回転における導入開口部の閉塞領域を実現するための閉塞体の具体例を示す要部平面図である。
【図９】従来のスクリューポンプにおける一対のロータを示す正面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１１、５１  スクリューポンプ
１４  ロータハウジング
１５  導出口
１６  上部ハウジング
１７  導入口
２０、６０、８０  駆動ロータ
２１ａ、６１ａ  ロータ端面（導入口側）
２５、６５  不等リード部
２６、６６  等リード部
２７、６７  導入開口部（駆動ロータ）
２７ａ  閉塞領域（駆動ロータの導入開口部の一部）
３０、７０  従動ロータ
３１ａ、７１ａ  ロータ端面（導入口側）
３５、７５  不等リード部（従動ロータ）
３６、７６  等リード部
３７、７７  導入開口部（従動ロータ）
３７ａ  閉塞領域（従動ロータの導入開口部の一部）
４０、４０１〜４０６  カバープレート（閉塞体としての）
８２  導入開口部（従来技術）
８３、８４  等リード部（従来技術）
８５  不等リード部（従来技術）
Ｐ  導入空間部
Ｓ  移送空間部
Ｇ  噛合点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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