(57)【要約】【課題】  インクジェット記録ヘッドのベース部材に樹脂材料を用いることで接着剤が厚くなる（数十ミクロン超えてしまう）と、接着剤を介したベース部材への伝熱効率が悪化し、記録素子基板の温度が過度に上昇してしまう。その結果、熱変換素子からインク液滴に付与されるべく所望の熱エネルギーにずれが生じ、異常吐出などの不具合が発生しやすくなってしまう。【解決手段】  チッププレートレスヘッドにおける双方向印字対応チップへのインク供給方式において、ベース部材のチップ接合面に設けた連通溝により、インク経路を分配する。Ｄｉｓｐｏヘッド双方向印字対応構成。【選択図】  図１
2008093989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク液滴が吐出される吐出口と、この吐出口へインクを供給するための基板表裏を貫通する複数のインク供給口とを有する記録素子基板と、
前記記録素子基板の接合面と、前記記録素子基板のインク供給口へインク収納部からのインクを供給する複数のインク取出し口を有するベース部材と、
前記記録素子基板と前記ベース部材とを固着し、かつ記録素子基板のインク供給口とベース部材のインク取出し口の間のインク経路を密閉するように充填された接着剤と、
からなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記ベース部材の記録素子基板接合面は、複数の溝部を有し、該溝部の全てはインク取出し口に連通し、かつ該溝部のうち少なくとも１つの溝部が記録素子基板の複数のインク供給口に連通し、
また前記記録素子基板と前記ベース部材とを固着することで、該溝部は１側面を記録素子基板の裏面部にて形成するインク経路となっていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記溝部は、前記ベース部材と一体的に成形されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記ベース部材の全てのインク取出し口と全ての溝部は、ベース部材の記録素子基板の接合領域内に配置していることを特徴とする請求項１〜２記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記ベース部材のインク取出口は、連通する溝部の概略中央に配置されていることを特徴とする請求項１〜３記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記ベース部材の溝部は、連通するインク取出口を中心に概略対称な（同じ）形状であることを特徴とする請求項４記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記記録素子基板の複数のインク供給口は、互いに概略同じ形状であり、概略同じ直線状に整列していることを特徴とする請求項１〜５記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記ベース部材の複数のインク取出し口は、互いに異なる種類のインクを供給することを特徴とする請求項１〜６記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記ベース部材は、インク収納部が一体であることを特徴とする請求項１〜７記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録が可能であること、様々な記録媒体に対して記録することが可能であること、記録の際の騒音が殆ど生じないことなどの特徴を持つ。このようなことから、インクジェット記録装置は、プリンター、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の記録機構を担う装置として、広く採用されている。
【０００３】
インクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドにおける代表的なインク吐出方式としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたものや、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるものの他、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させるものなどが知られている。電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを供給して発熱させることによりインクに熱エネルギーを与え、そのときのインクの相変化により生じる、インクの発泡時（沸騰時）の気泡圧力を利用して、微小な吐出口から微小なインク滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものであり、一般に、インク滴を吐出するためのインクジェット記録ノズルと、このノズルにインクを供給する供給系とを有している。
【０００４】
上記のようなインクジェット記録ヘッドを備えた記録装置は、低コストで高品位な文字や画像が出力可能である。特に、液体に膜沸騰を生じせしめ気泡の形成（発生、成長、消泡、消滅）に伴って、液滴を吐出させる、本願出願人であるキヤノン株式会社が提案したバブルジェット（登録商標）方式（以下、ＢＪ方式と称す）の吐出原理に基づくプリンターは、低価格でカラープリントを行うことができる利点から、市場の大半を占めている。このプリンターは、黒系液体としてのブラックインクおよびシアン、マゼンタ、イエローのカラー系液体を吐出する各ヘッド部に、共通してバブルジェット（登録商標）方式を用いている。
【０００５】
一般に、各ヘッド部の吐出口は、数的には高画質化の傾向から、６４個から１２８個、さらには２５６個等に増えており、１インチ当たりの吐出口数で言うところの「ｄｐｉ」で、３００ｄｐｉ、６００ｄｐｉ等の高密度な配置になっている。これらの吐出口に対して配置される電気熱変換体としての発熱体は、数μｓｅｃオーダーから１０μｓｅｃオーダーのパルス的な駆動によって膜沸騰による気泡を形成するが、高周波的な駆動により、高速で、高画質なプリントを実現している。
【０００６】
一方、上記のバブルジェット（登録商標）方式を改良した、本願出願人が提案した新方式として、気泡を大気に連通させることで、液滴を一定化せしめ、微小液滴の吐出を可能にした大気連通方式、いわゆるbubble through jet方式（以下、ＢＴＪ方式と称す）を用いたプリンターが市場に投入されている。このプリンターも、上述のプリンターと同様のブラック、シアン、マゼンタ、イエローの各色用のヘッド部を有し、それぞれのヘッド部でＢＴＪ方式を共通して用いることで、微小液滴の安定吐出量の確保し、高画質プリントを達成している。すなわち、銀塩写真と同等の高品位カラー記録を達成するためには、紙上でドットが見えない（粒状感が無い）程度に小ドット化することが必要であり、その場合、カラーインクの液滴は、約５ｐｌ（ピコリットル、１０−１２リットル）、ドット径４０〜５０μｍ、解像度６００×１２００〜１２００×１２００ｄｐｉ（ｄｐｉは１インチ当たりのドット数を示す単位）程度となるような設定がなされるが、ＢＴＪ方式のプリンターではそのような設定に十分対応可能である。
【０００７】
これら記録ヘッドの構成および製造方法としては、特開２００２−１９１１９号公報などに開示されている。
【０００８】
これら公報に開示されているインクジェット記録ヘッドの主な構成要素としては、インク液滴が吐出される吐出口と、この吐出口からインク液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部を具備する記録素子基板と、該記録素子基板を固着するアルミナなどに代表されるセラミック製のベース部材があげられる。また、インク貯留部としてインクタンク部が別体で着脱可能となっている。
【０００９】
一方、近年のさらなる高画質化と高速化といったインクジェット記録装置への要求を達成するために、特開２００２−８６７３１号公報に示すインクジェット記録ヘッドが発明されている。
【００１０】
同公報では、記録素子基板が複数のインク種類に対応した複数の吐出口列を具備し、さらに同種類のインクに関する吐出口列がヘッドの走査方向に対して対称になるように配列されている。同構成により、インクジェット記録装置の高速化の一手段としてあげられる「往復印字」が高画質との両立のもとで達成されている。
【００１１】
（例えば、吐出口列の並びをシアン，マゼンタ，イエロー，マゼンタ，シアンと配置することにより、記録媒体上へのインクの付着順序を往路／復路で同順序にすることが可能となっている。これにより、インクの付着順序の違いにより発生する色ムラ不良を回避している。また同種類のインクに関する複数の吐出口列のｉ番目の吐出口同士を列方向に半ピッチずらすことで、実質２倍の高精細印字が可能となっている。）
【特許文献１】特開２００２−１９１１９号
【特許文献２】特開２００２−８６７３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
先に述べたように、インクジェット記録装置はプリンター、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の記録機構を担う装置として広く採用されるようになってきている。よって本発明者に代表されるインクジェット記録装置の製造者は、さらなる普及を目指して今まで以上の安価なインクジェット記録装置の上市が使命となっている。同使命を達成するため、本発明者に代表されるインクジェット記録装置の製造者には、インクジェット記録ヘッドのさらなる製造コストの削減が、１つの手法としてあげられる。
【００１３】
インクジェット記録ヘッドの製造コストの削減の方法として、そのヘッドを構成する部品の材料費の削減、また部品統合などによる部品数削減とそれに伴う製造工程の削減などがあげられる。
【００１４】
このような状況の中で、上述の特開２００２−１９１１９号公報に記載されたベース部材の構成材料であるセラミック材料（アルミナなど）に代わり、安価な一般的な樹脂材料をベース部材に採用する手法が考案されてきている。
【００１５】
ここで樹脂材料を用いる効果は、単にベース部材の材料費を削減するだけではない。一般に樹脂材料は射出成形に代表される金型を用いた部品成形が可能となるため、同成形方法を駆使して、１工程で複雑な部品形状を形成することができる。よって、特開２００２−１９１１９号公報記載のベース部材とインク供給部材を1つの部品に統合することが可能となる。
【００１６】
（ここで、「ベース部材」とは特開平２００２−１９１１９号公報にて、記録素子基板を支持、固着する部材であり、「インク供給部材」とは同公報にて、ベース部材とインクタンク部の間のインク経路を成す部材のことである）
一方、さらなる高画質化／高速化を狙った上述の特開２００２−８６７３１号公報に示すような記録ヘッドでは、記録素子基板に同種類のインクに関する吐出口列がヘッドの走査方向に対して対称になるように配列されているため、つまり関係する同色のインクを記録素子基板の複数の吐出口列へ分配／供給しなければならない。同公報では、上記ベース部材とインク供給部材に加えて、「流路形成部材」を配置し、複数の吐出口列へ関係するインクを分配／供給している。
【００１７】
しかしながら、上記流路形成部材のような別体部品の存在は、記録ヘッドの製造コスト削減（部品統合，工程削減）に関して相反する事象であり、本発明者に代表されるインクジェット記録装置の製造者の課題となってきている。
【００１８】
一方、ベース部材の構成材料として一般的な樹脂材料を使用し、その成形方法に射出成形などを採用した場合、その成形面の面粗さは、概して数十ミクロン程度が原理上限界である。よって、ベース部材と記録素子基板を固着する接着剤は、成形面の面粗さを吸収し、過不足なく充填するためには、その接着剤の厚みは数十ミクロン以上が必要となる（従来までは、ベース部材の記録素子基板接合面を平面研磨等にて追加工を施すことにより、面粗さを数ミクロン以下に抑え、その接着剤の厚みは数ミクロン程度であった）。
【００１９】
ここで、前述の電気熱変換素子によりインク液滴を吐出するインクジェット記録ヘッドでは、そのインク吐出に使用された熱エネルギーの余剰分により、少なからず記録素子基板の温度上昇（蓄熱）が発生する。このとき、特開２００２−１９１１９号公報に示すような従来の記録ヘッドでは、記録素子基板の蓄熱分は、記録素子基板自体からの放熱と、接着剤を介してのベース部材への伝熱により、記録素子基板の過剰な温度上昇は回避することができていた。
【００２０】
しかしながら上述のように、ベース部材に樹脂材料を用いることで接着剤が厚くなる（数十ミクロン超えてしまう）と、接着剤を介したベース部材への伝熱効率が悪化し、記録素子基板の温度が過度に上昇してしまう。その結果、熱変換素子からインク液滴に付与されるべく所望の熱エネルギーにずれが生じ、異常吐出などの不具合が発生しやすくなってしまう。
【００２１】
これらは、インクジェット記録ヘッドの高画質化／高速化に伴う、吐出口数の増加（前述の記録素子基板に同種類のインクに関する吐出口列がヘッドの走査方向に対して対称になるように配列されている記録ヘッドや、さらに吐出口列が延伸したヘッドや、さらにインク色種が増えたヘッドなど）により、さらに重要な課題となってくる。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
インク液滴が吐出される吐出口と、この吐出口へインクを供給するための基板表裏を貫通する複数のインク供給口とを有する記録素子基板と、前記記録素子基板の接合面と、前記記録素子基板のインク供給口へインク収納部からのインクを供給する複数のインク取出し口を有するベース部材と、前記記録素子基板と前記ベース部材とを固着し、かつ記録素子基板のインク供給口とベース部材のインク取出し口の間のインク経路を密閉するように充填された接着剤と、からなるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ベース部材の記録素子基板接合面は、複数の溝部を有し、該溝部の全てはインク取出し口に連通し、かつ該溝部のうち少なくとも１つの溝部が記録素子基板の複数のインク供給口に連通し、また前記記録素子基板と前記ベース部材とを固着することで、該溝部は１側面を記録素子基板の裏面部にて形成するインク経路となっていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２３】
さらに、前記溝部は、前記ベース部材と一体的に成形されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２４】
さらに、前記ベース部材の全てのインク取出し口と全ての溝部は、ベース部材の記録素子基板の接合領域内に配置していることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２５】
さらに、前記ベース部材のインク取出口は、連通する溝部の概略中央に配置されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２６】
さらに、前記ベース部材の溝部は、連通するインク取出口を中心に概略対称な（同じ）形状であることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２７】
さらに、前記記録素子基板の複数のインク供給口は、互いに概略同じ形状であり、概略同じ直線状に整列していることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２８】
さらに、前記ベース部材の複数のインク取出し口は、互いに異なる種類のインクを供給することを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【００２９】
さらに、前記ベース部材は、インク収納部が一体であることを特徴とするインクジェット記録ヘッドである。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、インクジェット記録ヘッドのさらなる高画質化、高スピード化を目的とした記録素子基板に同種類のインクに関する吐出口列がヘッドの走査方向に対して対称になるように配列されている記録ヘッド（つまり関係する同色のインクを記録素子基板の複数の吐出口列へ分配／供給しなければならない構成の記録ヘッド）に関して、部品点数を増やすことなく、簡単な構成で上記目的を達成することが可能となる。
【００３１】
また、ベース部材に樹脂材料を用いることで接着剤（ベース部材と記録素子基板を固着する）が従来より厚くなる場合においても、記録素子基板温度の過度の上昇を抑えることができ、異常吐出などの不具合を回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００３３】
図２から図４は、本発明が実施または適用される好適な記録ヘッドを説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各構成要素について説明する。
【００３４】
本実施形態の記録ヘッドＨ１００１を、図２の（ａ）および（ｂ）にて示す。記録ヘッドＨ１００１は、インクジェット記録装置本体に搭載されているキャリッジ上に、位置決め手段および電気的接点によって固定支持されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となっている。充填されているインクが消費されてなくなった場合は、記録ヘッドを交換することができる。
【００３５】
以下、記録ヘッドＨ１００１を構成しているそれぞれの構成要素を詳細に説明する。
【００３６】
（記録ヘッドＨ１００１）
記録ヘッドＨ１００１はシアン、マゼンタ、イエローの３色のインクを吐出させるためのもので、図３の分解斜視図に示すように、記録素子基板Ｈ１１０１、電気配線基板Ｈ１３０１、インク供給保持部材Ｈ１５０１、フィルタＨ１７０１、Ｈ１７０２、Ｈ１７０３、インク吸収体Ｈ１６０１、Ｈ１６０２、Ｈ１６０３、蓋部材Ｈ１９０１、およびシール部材Ｈ１８０１から構成されている。
【００３７】
（記録素子基板Ｈ１１０１）
図４は、記録素子基板Ｈ１１０１の構成を説明するために一部破断して示す斜視図である。この記録素子基板Ｈ１１０１のＳｉ基板Ｈ１１１０上には、電気配線、ヒューズもしくは抵抗、電極部、およびフォトリソグラフィ技術によって、樹脂材料よりなるインク流路壁Ｈ１１０６や吐出口Ｈ１１０７が形成されている。またＳｉ基板Ｈ１１１０には、吐出口Ｈ１１０７にインクを供給するためのＳｉ基板の表裏を貫通するインク供給口Ｈ１１０２が形成されている。さらにＳｉ基板Ｈ１１１０には電気配線に電力を供給するための電極端子Ｈ１１０４には、Ａｕ等のバンプＨ１１０５が形成されている。
【００３８】
（電気配線基板Ｈ１３０１）
電気配線基板Ｈ１３０１（図３）は、ポリイミドのベース基材上に銅箔の配線パターンを形成したものであり、記録素子基板Ｈ１１０１に対してインクを吐出するための電気信号を印加する電気信号経路を形成する。電気配線基板Ｈ１３０１には、記録素子基板Ｈ１１０１を組み込むための開口部が形成されており、この開口部の縁付近には、記録素子基板Ｈ１１０１の電極端子Ｈ１１０４に接続されるリード端子Ｈ１３０４が形成されている。また、電気配線基板Ｈ１３０１には、本体装置からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０２が形成されており、リード端子Ｈ１３０４と外部信号入力端子Ｈ１３０２は連続した銅箔の配線パターンでつながれている。
【００３９】
電気配線基板Ｈ１３０１と記録素子基板Ｈ１１０１の電気的接続は、例えば、記録素子基板Ｈ１１０１の電極端子Ｈ１１０４に形成されたバンプＨ１１０５と、記録素子基板Ｈ１１０１の電極端子Ｈ１１０４に対応する電気配線基板Ｈ１３０１のリード端子Ｈ１３０４とがＴＡＢ実装技術により電気接合されることでなされている。
【００４０】
（インク供給保持部材Ｈ１５０１）
インク供給保持部材Ｈ１５０１は、例えば、樹脂成形により形成されている。樹脂材料には、形状的剛性を向上させるためにガラスフィラーを５〜４０％混入した樹脂材料を使用することが望ましい。図３に示すように、インク供給保持部材Ｈ１５０１は、インクタンク機能とインク供給機能を備えている。内部にシアン、マゼンタ、イエローのインクを保持するための負圧を発生するためのインク吸収体Ｈ１６０１、Ｈ１６０２，Ｈ１６０３をそれぞれ独立して保持するための空間を有することでインクタンク機能を実現している。また、記録素子基板Ｈ１１０１の各インク供給口Ｈ１１０２にそれぞれインクを導くための独立したインク流路を形成することでインク供給機能を実現している。
【００４１】
インク吸収体Ｈ１６０１、Ｈ１６０２、Ｈ１６０３は、ＰＰ繊維を圧縮したものが使われているが、これに代えてウレタン繊維を圧縮したものを用いても良い。各インク流路の上流部に位置するインク吸収体Ｈ１６０１、Ｈ１６０２、Ｈ１６０３と各インク流路との境界部には、記録素子基板Ｈ１１０１内部にへのゴミの進入を防ぐためのフィルタＨ１７０１，Ｈ１７０２，Ｈ１７０３がそれぞれ溶着により接合されている。各フィルタＨ１７０１、Ｈ１７０２、Ｈ１７０３は、ＳＵＳ金属メッシュタイプでも良いが、ＳＵＳ金属繊維焼結タイプの方がより好ましい。
【００４２】
インク流路の下流部には、記録素子基板Ｈ１１０１にシアン、マゼンタ、イエローの各インクを供給するためのインク取出口Ｈ１２０１が形成されており、記録素子基板Ｈ１１０１の各インク供給口１１０２がインク供給保持部材Ｈ１５０１の各インク取出口Ｈ１２０１に連通するよう、記録素子基板Ｈ１１０１がインク供給保持部材Ｈ１５０１に対して位置精度良く接着固定される。この接着に用いられる第１の接着剤は、低粘度で硬化温度が低く、短時間で硬化し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。このような第１の接着剤としては、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤がある。この熱硬化接着剤を用いた場合、その接着層の厚みは５０μｍ程度が望ましい。
【００４３】
また、インク取出口Ｈ１２０１付近の周囲の平面には、電気配線基板Ｈ１３０１の一部の裏面が第２の接着剤により接着固定される。記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線基板Ｈ１３０１との電気接続部分は、第１の封止剤Ｈ１３０７および第２の封止剤Ｈ１３０８（図２）により封止されており、これにより電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。第１の封止剤Ｈ１３０７は、主に電気配線基板Ｈ１３００のリード端子Ｈ１３０２と記録素子基板のバンプＨ１１０５との接続部の裏面側と記録素子基板の外周部分を封止し、第２の封止剤Ｈ１３０８は、その接続部の表側を封止している。そして、電気配線基板Ｈ１３０１の未接着部は折り曲げられ、インク供給保持部材Ｈ１５０１のインク取出口Ｈ１２０１を有する面にほぼ直交した側面に熱カシメもしくは接着等で固定される。
【００４４】
（蓋部材Ｈ１９０１）
蓋部材Ｈ１９０１は、インク供給保持部材Ｈ１５０１の上部開口部に溶着されることで、インク供給保持部材Ｈ１５０１内部の独立した空間をそれぞれ閉塞するものである。但し、蓋部材Ｈ１９０１にはインク供給保持部材Ｈ１５０１内部の各部屋の圧力変動を逃がすための細口Ｈ１９１１、Ｈ１９１２、Ｈ１９１３と、これらにそれぞれ連通した微細溝Ｈ１９２１、Ｈ１９２２、Ｈ１９２３を有している。微細溝Ｈ１９２１、Ｈ１９２２の他端は、微細溝Ｈ１９２３の途中に合流している。さらに、微細溝Ｈ１９２３のほとんどと、細口Ｈ１９１１、Ｈ１９１２、Ｈ１９１３と微細溝Ｈ１９２１、Ｈ１９２２の全部とをシール部材Ｈ１８０１で覆い、微細溝Ｈ１９２３の他端部を開口することで大気連通口Ｈ１９２５を形成している。また、蓋部材Ｈ１９０１は、記録ヘッドをインクジェット記録装置に固定するための係合部Ｈ１９３０を有している。
【００４５】
図５は本実施例における記録素子基板Ｈ１１０１を、図１は記録素子基板Ｈ１１０１とインク供給保持部材（以下ベース部材）Ｈ１５０１の記録素子基板Ｈ１１０１の接合部の関係を表した斜視模式図である。
【００４６】
図５に示すように、本発明の記録素子基板Ｈ１１０１には、吐出口列Ｈ１１２１ａ，１１２１ｂ，１１２２ａ，１１２２ｂ，１１２３ａ，１１２３ｂが配置されている。また該吐出口列へインクを供給するために、記録素子基板Ｈ１１０１の表裏を貫通するインク供給口Ｈ１１３１，１１３２ａ，１１３２ｂ，１１３３ａ，１１３３ｂ（破線で形状を表示）が配置されている。ここで、吐出口列とインク供給口の各々の関係は、インク供給口Ｈ１１３１は吐出口列Ｈ１１２１ａ，１１２１ｂに連通しており、インク供給口Ｈ１１３２ａは吐出口Ｈ１１２２ａ、インク供給口Ｈ１１３２ｂは吐出口Ｈ１１２２ｂ、インク供給口Ｈ１１３３ａは吐出口Ｈ１１２３ａ、インク供給口Ｈ１１３３ｂは吐出口Ｈ１１２３ｂにそれぞれ連通している。
【００４７】
さらに、各々の吐出口列に属する吐出口はピッチｍにて配列されており、また、中央に位置するインク供給口Ｈ１１３１を挟んで左側（紙面上）の吐出口列に属する吐出口に対して、右側の吐出口列に属する吐出口の位置が、距離ｎ＝ｍ／２分だけずらして配置されている。これにより、吐出口の配置ピッチの実質２倍の高精細印字が可能となっている。
【００４８】
図１は記録素子基板Ｈ１１０１とベース部材Ｈ１５０１の記録素子基板Ｈ１１０１の接合部の関係を表した斜視模式図である。
【００４９】
ベース部材Ｈ１５０１の記録素子基板接合部には、上流のインク収納部に貯蔵されているインクを記録素子基板Ｈ１１０１に供給するために、インク取出口Ｈ１１５１，Ｈ１１５２，１１５３が配置されており、各々異なった種類のインクを供給できるようになっている。
【００５０】
さらに本実施例では、ベース部材Ｈ１５０１の記録素子基板接合部に、上記インク取出口の各々に連通する溝部Ｈ１１４１，Ｈ１１４２，Ｈ１１４３を配置した。該溝部は、記録素子基板Ｈ１１０１とベース部材Ｈ１５０１を固着する接着剤等により、各々の溝部を分離、密閉されることで、ベース部材のインク取出口と記録素子基板のインク供給口の間のインク経路を形成する。
【００５１】
以下、溝部の作用について詳細に述べていく。
【００５２】
図６は、記録素子基板Ｈ１１０１とベース部材Ｈ１５０１の記録素子基板Ｈ１１０１接合部の関係を表した平面模式図である。
【００５３】
ベース部材Ｈ１５０１の記録素子基板接合部には、溝部Ｈ１１４１，Ｈ１１４２，１１４３が設けられ、溝部Ｈ１１４１がインク取出口Ｈ１１５１に連通し、溝部Ｈ１１４２がインク取出口Ｈ１１５２に、溝部Ｈ１１４３がインク取出口Ｈ１１５３に各々連通している。該溝部は、樹脂材料などを用いた金型成形技術により、ベース部材（インク供給保持部材）の他部（インク収納部，電気配線基板接合部など）と一括で成形することができる。
【００５４】
図６に示したハッチングは、記録素子基板Ｈ１１０１とベース部材Ｈ１５０１を固着する接着剤Ｈ２００１が塗布される領域を示している。接着剤Ｈ２００１としては、硬化温度が低く、短時間で硬化し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤がなどあげられる。また接着剤Ｈ２００１の塗布方法は、判による転写塗布方式やスクリーン印刷、ディスペンスによる描画塗布方式などが採用できる。また本実施例では、ベース部材Ｈ１５０１側に接着剤Ｈ２００１を塗布しているが、記録素子基板Ｈ１１０１の裏面側に接着剤Ｈ２００１を塗布しても良い。
【００５５】
ここで、該溝部は接着剤Ｈ２００１により各々の溝部を分離、外気より密閉されることで、ベース部材のインク取出口と記録素子基板のインク供給口の間のインク経路となるように、全ての溝部および全てのインク取出口は、ベース部材Ｈ１５０１の記録素子基板接合（接着）領域内に収まるように設置する。
【００５６】
上記構成により、ベース部材のインク取出口と記録素子基板のインク供給口の間のインク経路は、溝部と記録素子基板の裏面部（電気熱変換素子や吐出口が配されている面の逆側面）と接着剤から構成される管状のインク経路となる。
【００５７】
前述のように、電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドでは、インク液吐出時の余剰な熱エネルギーにより、記録素子基板の温度上昇（蓄熱）が生じる。また、本発明のようにベース部材の構成材料として一般の樹脂材料を用い、ベース部材と記録素子基板を固着する接着剤が厚くなってしまうと、この記録素子基板の温度上昇はさらに過剰なものとなってしまう。
【００５８】
ここで本発明の上記管状のインク経路によると、記録素子基板の裏面部がインク経路内のインクに直接接触している構成となっているため、記録素子基板の発生熱をインクへ速やかに伝達することができる。その結果、記録素子基板の過度の温度上昇を抑制することが可能となる。
【００５９】
（吐出によるインク消費に伴い、吐出口には上記インク経路を通して新しいインクがインク収納部より継続的に補充される。これにより、記録素子基板で発生する熱を速やかにかつ継続的に伝熱することができる。）
図７は、記録素子基板Ｈ１１０１とベース部材Ｈ１５０１を接着剤Ｈ２００１を用いて固着した後の図６のＡ−Ａ断面図を示している。溝部Ｈ１１４３は、インク取出口Ｈ１１５３（図示なし）より取り出したインクを記録素子基板Ｈ１１０１の２つの吐出口列Ｈ１１２３ａとＨ１１２３ｂに供給するため、２つのインク供給口Ｈ１１３３ａ，１１３３ｂに連通している。また溝部Ｈ１１４１は、インク供給口Ｈ１１３１に設けた２つの吐出口列Ｈ１１２１ａとＨ１１２１ｂにインクを供給する。
【００６０】
ここで例えば、インク取出口Ｈ１１５１からはイエローインク、Ｈ１１５２からはマゼンタインク、Ｈ１１５３からはシアンインクをインク収納部より取り出すとする。この場合、本発明の溝部を設けることで、記録素子基板Ｈ１１０１の吐出口列Ｈ１１２１ａと１１２１ｂにはイエローインクを供給することが可能となり、また吐出口列Ｈ１１２２ａと１１２２ｂにはマゼンタインクが、吐出口Ｈ１１２３ａとＨ１１２３ｂにはシアンインクを供給することが可能となる。その結果、同種類のインクに関する吐出口列がヘッドの走査方向に対して対称になるように配列されている記録ヘッド、つまりインクジェット記録装置の高速化の一手段としてあげられる「往復印字」が高画質との両立のもとで達成できる記録ヘッドを以上の述べてきたような簡単な構成で提供することを可能とする。
【００６１】
以下は、本発明のさらなる最良の形態について述べていく。
【００６２】
本実施例における溝部H１１４１，H１１４２，H１１４３の、その記録素子基板接合面方向の形状（長さ）は、図８に示すような、つまり連通する記録素子基板H１１０１のインク供給口の全領域に対向しなくてもインク経路としての役目は果たす。しかしながら、溝部端よりインク供給の下流側では、そのインク経路の高さが記録素子基板Ｈ１１０１の厚さ分しかとれないため、インク供給の流抵抗が過剰に大きくなり、その結果、吐出口へのインク供給が不足気味になってしまう。よって、全ての吐出口へ十分にインクを供給するためには、図６のように、溝部の長さはインク供給口の全領域に対向するまでの長さに設定し、また溝部の深さは０．１以上が望ましい。
【００６３】
一方、記録素子基板の発生熱をインクへ速やかに効率よく伝達するためには、記録素子基板裏面部のインクに接触している領域がより多い方が好ましい。よって、溝部の幅、およびその経路は、最大限広くなるように設定するのが好ましい（ただし、溝部は接着剤により外気から密閉、および各々を分離されるため、最低限の接着しろが必要であるのはいうまでもない）。
【００６４】
さらに、ベース部材Ｈ１５０１の各々のインク取出口は、連通する溝部の記録素子基板接合面方向の形状の中央に配置するのが好ましい。合わせて、この中央に配置したインク取出口を中心に２方向に分かれた溝部は、両者のその断面形状が等しいことが好ましい。これらの結果、溝部に連通する記録素子基板Ｈ１１０１の２つのインク供給口までの経路の形状が同じく、つまりインクの流抵抗が等しくなり、各々のインク供給口へ偏り無くインクを供給することができる。
【００６５】
一方、記録素子基板の全体の大きさは、インク供給口の配置領域の大きさと、それを避けた形で配置される電気配線，ヒューズもしくは抵抗，電極部の配置で決まる。（記録素子基板は、一般的にＳｉウエハーなどの大判成膜加工により製造され、そのＳｉウエハーからの切り出し可能数によって、つまり１つの記録素子基板の大きさが、その製造コストに反映する。）よって、記録素子基板Ｈ１１０１のインク供給口が配置される領域は可能な限り最小が好ましく、図６に示すように、記録素子基板Ｈ１１０１の複数のインク供給口は、各々が同じ形状であり、さらにほぼ同一直線上に配列されていることが好ましい。
【００６６】
さらに図９，図１０に示す形態は、溝部Ｈ１１４１，１１４２，１１４３の内部の角部を球面形状にしたものである。これらは、溝部にインクが充填する際に、溝部の角部に気泡が残りにくくするために設けている。溝部に残った気泡は何れ吐出口まで移動し、インク滴の吐出不良を誘発してしまう。
【００６７】
また、さらに溝部への気泡残りを低減するためには、溝部の親インク処理、例えば、プラズマ処理，コロナ処理などを施しても良い。
【００６８】
以上、本発明の実施例を詳細に説明してきたが、本発明はこのような実施例に限らず、これらを組み合わせたり、この明細書の特許請求の範囲に記載された本発明の観念に包含されるべき他の技術にも応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施例の概略斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態である記録ヘッドの斜視図である。
【図３】図２に示した記録ヘッドの分解斜視図である。
【図４】図２に示した記録素子基板の一部を破断して示す斜視図である。
【図５】本発明の実施例における記録素子基板を示す図である。
【図６】本発明の実施例における記録素子基板とベース部材の関係を示す図である。
【図７】本発明の実施例における記録素子基板とベース部材の接合状態を示す断面図である。
【図８】本発明の実施例における溝部の別の形態を示す図である。
【図９】本発明の別の実施例における溝部の形状を示す図である。
【図１０】本発明の別の実施例における記録素子基板とベース部材の接合状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
Ｈ１００１  記録ヘッド
Ｈ１１０１  記録素子基板
Ｈ１１０２  インク供給口
Ｈ１１０４  電極端子
Ｈ１１０５  バンプ
Ｈ１１０６  インク流路壁
Ｈ１１０７  吐出口
Ｈ１１１０  Ｓｉ基板
Ｈ１１２１ａ，１１２１ｂ，１１２２ａ，１１２２ｂ，１１２３ａ，１１２３ｂ  吐出口列
Ｈ１１３１，１１３２ａ，１１３２ｂ，１１３３ａ，１１３３ｂ  インク供給口
Ｈ１１４１，１１４２，１１４３  溝部
Ｈ１１５１，１１５２，１１５３  インク取出口
Ｈ１２０１  インク取出口
Ｈ１３０１  電気配線基板
Ｈ１３０２  外部信号入力端子
Ｈ１３０４  リード端子
Ｈ１３０７  第１の封止剤
Ｈ１３０８  第２の封止剤
Ｈ１５０１  ベース部材（インク供給保持部材）
Ｈ１６０１，１６０２，１６０３  インク吸収体
Ｈ１７０１，１７０２，１７０３  フィルタ
Ｈ１８０１  シール部材
Ｈ１９０１  蓋部材
Ｈ１９１１，１９１２，１９１３  細口
Ｈ１９２１，１９２２，１９２３  微細溝
Ｈ１９２５  大気連通口
Ｈ１９３０  係合部
Ｈ２００１  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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