(57)【要約】【課題】基準接点の正確な温度に基づいて高精度な測定をすることができ、しかも安価で、かつ一般的な氷点式の基準接点補償器に用いられる魔法瓶に適用可能で、熱電対の基準接点の温度を氷水などの恒温媒体の温度とすることも、あるいは測定値とすることもできる熱電対の基準接点補償器を提供する。【解決手段】熱電対３の基準接点５ａ、５ｂと、この基準接点５ａ、５ｂの温度を測定可能な薄膜型測温抵抗体６と、この基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とを内部に収納する細長筒状の収納管７と、この収納管７の内部に充填された絶縁性の充填材８とを備え、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とは、充填材８を介して電気的に絶縁されながら、収納管７の内部において近接配置されている。【選択図】図１
2008286707.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環境の温度に応じて起電力を発生させる測温接点を有する熱電対の基準接点補償器であって、
上記熱電対の基準接点と、
この基準接点の温度を測定可能な薄膜型測温抵抗体と、
この基準接点と上記薄膜型測温抵抗体とを内部に収納する細長筒状の収納管と、
この収納管の内部に充填された絶縁性の充填材とを備え、
上記基準接点と上記薄膜型測温抵抗体とは、上記充填材を介して電気的に絶縁されながら、収納管の内部において、近接配置されていることを特徴とする熱電対の基準接点補償器。
【請求項２】
上記薄膜型測温抵抗体は、４導線式の測温抵抗体であることを特徴とする請求項１に記載の熱電対の基準接点補償器。
【請求項３】
上記充填材は、蝋と無機絶縁材粉末との少なくとも一方を含んで構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の熱電対の基準接点補償器。
【請求項４】
上記収納管は、開口部に設けられたシール材でシールされていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の熱電対の基準接点補償器。
【請求項５】
上記収納管は、金属性もしくはガラス製の外径８ｍｍ以上１５ｍｍ以下、長さ１５０ｍｍ以上２５０ｍｍ以下の細長筒状の容器で構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の熱電対の基準接点補償器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱電対の基準接点補償器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、熱電対を備えた温度測定装置は、環境の温度に応じて起電力を発生させる測温接点と、熱電対の基準接点とを備えている。
【０００３】
図９〜図１０は、熱電対を備えた従来の温度測定装置の概略の構成を示す説明図である。図９は、基準接点補償器を設けない場合の構成を示す説明図であり、図９（ａ）は、補償導線を使用した場合の構成を、図９（ｂ）は、補償導線を使用しない場合の構成を、それぞれ示している。また、図１０は、基準接点補償器を設けた場合の構成を示す説明図である。
【０００４】
図９〜図１０に示すように、基準接点５ａ、５ｂは、熱電対素線３ａ、３ｂまたは補償導線２１と銅などの通常の信号導線２２との接続部であり、熱電対の起電力は、測温接点３ｃの温度と基準接点５ａ、５ｂの温度の関数となる。それ故、熱電対による温度測定においては、測定した熱起電力に基準接点５ａ、５ｂの温度による補正を施し、補正した熱起電力から測温接点３ｃの温度を計算するというアルゴリズムが採られる。
【０００５】
図９（ａ）、（ｂ）に示すような構成の場合は、基準接点５ａ、５ｂの温度で熱起電力を補正する機能が計器２４内に組み込まれており、基準接点５ａ、５ｂの温度測定のために特別な装置を必要としないが、基準接点５ａ、５ｂの温度の測定精度に限界がある。そのため、熱電対の校正等の高精度な測定が必要な場合には、図１０のように、基準接点５ａ、５ｂの温度を精度よく測定する専用装置、即ち受信計器２５とは別に独立した基準接点補償器２３を設けることが多い。この場合、補償導線２１は精度低下の要因となるので通常は使用されない。
【０００６】
この独立した基準接点補償器２３として一般的なものは、ＪＩＳＺ８７０４  「温度測定方法−電気的方法」にも示される、氷点式である。これは、魔法瓶に細かく削った氷と清浄な水とを入れ、氷と水との熱的平衡状態を保つことによって基準接点を氷点（０℃）に保つものである。基準接点温度の０℃からの誤差は０．０１℃以下とされており（ＪＩＳ  Ｚ８７１０）、精度は非常に高いが、氷の供給が必要である。
【０００７】
一方、氷水を準備しなくともよい方法として、基準接点５ａ、５ｂの温度を測定可能な温度測定手段を備え、この温度測定手段が測定した基準接点５ａ、５ｂの温度を基準として、測温接点３ｃの環境の温度を測定するように構成されたものが種々提案されている。
【０００８】
例えば、特許文献１には、熱電対の基準接点である熱電出力端子と、この熱電出力端子の温度を測定する測温抵抗体の出力端子とを同一面上に並べて絶縁シートの間に保持するとともに、絶縁シートの周りに糸巻き状に測温抵抗体を巻きつけるように構成した温度計用基準接点補償器の技術が開示されている。これは、氷が不要でかつ複数の熱電対の基準接点温度を測定できるという利点がある。
【特許文献１】特開平６−２０１４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述の特許文献１に示されるような温度計用基準接点補償器の技術では、絶縁シートの周りに糸巻き状に測温抵抗体を巻きつけるので、基準接点と測温抵抗体との間に温度差が生じ、基準接点の温度を正確に測定をするということについては限界があった。
【００１０】
また、構造が複雑で、経済的でないという問題があった。
【００１１】
さらに、一般的な氷点式の基準接点補償器に用いられる魔法瓶に適用することが難しく、氷水の温度を基準にする氷点式に適用することはできない。
【００１２】
一方、従来の氷点式の基準接点補償器２３は基準接点に対する温度測定手段を有せず、基準接点温度を測定する方式には適用できない。
【００１３】
つまり、従来の基準接点補償器は、氷点式か温度測定手段による測定方式かのいずれか一方の方式にしか適用することができなかった。
【００１４】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、熱電対の基準接点の温度を正確に把握して、この基準接点の正確な温度に基づいて高精度な測定が可能な熱電対の基準接点補償器を提供することを課題としている。
【００１５】
また、構造が簡単で安価、かつ一般的な氷点式の基準接点補償器に用いられる魔法瓶に適用可能で、熱電対の基準接点の温度を氷水などの恒温媒体の温度とすることも、あるいは測定値とすることもできる熱電対の基準接点補償器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するための本発明にかかる熱電対の基準接点補償器は、環境の温度に応じて起電力を発生させる測温接点を有する熱電対の基準接点補償器であって、上記熱電対の基準接点と、この基準接点の温度を測定可能な薄膜型測温抵抗体と、この基準接点と上記薄膜型測温抵抗体とを内部に収納する細長筒状の収納管と、この収納管の内部に充填された絶縁性の充填材とを備え、上記基準接点と上記薄膜型測温抵抗体とは、上記充填材を介して電気的に絶縁されながら、収納管の内部において、近接配置されていることを特徴とする熱電対の基準接点補償器である。
【００１７】
本発明によれば、基準接点の温度を薄膜型測温抵抗体で測定するので、ＪＩＳＣ１６０４に示される常温で±０．２℃程度の精度で測定することが可能である結果、高精度の温度測定が可能である。
【００１８】
また、薄膜型測温抵抗体は非常に小さく形成することができ、小さな収納管に収納することができるので、収納管内の温度分布が小さく、薄膜型測温抵抗体と基準接点との間の温度差も生じ難い。
【００１９】
また、上記基準接点と上記薄膜型測温抵抗体とは、上記充填材を介して電気的に絶縁されながら、収納管の内部において、近接配置されているので、基準接点と薄膜型測温抵抗体との温度差を極めて小さくすることができる。つまり、上記基準接点と上記薄膜型測温抵抗体とが互いに近接していることにより、収納管内の温度分布の影響による温度差が生じ難くなり、さらに、基準接点と薄膜型測温抵抗体との間に充填材が介在することにより、両者間に気体が介在する場合と比べて両者間の熱伝導が良くなり、これによっても基準接点と薄膜型測温抵抗体との温度差をさらに小さくすることができる。
【００２０】
そして、このように基準接点と薄膜型測温抵抗体との温度差小さくできることと、薄膜型測温抵抗体自体の精度が高いこととにより、より正確に基準接点の温度を測定することができるようになる。
【００２１】
また、熱電対の基準接点と薄膜型測温抵抗体とが充填材で絶縁され、かつ、これらが収納管に収納されているので、この収納管を氷水等の恒温媒体に挿入することができる結果、氷水のような恒温媒体の温度を基準にして測温接点の温度測定をすることもできるようになる。
【００２２】
また、本発明にかかる熱電対の基準接点補償器は、構成が簡単なので安価に製作することができる。
【００２３】
ここで、上記薄膜型測温抵抗体は、４導線式の測温抵抗体であることが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、±０．０３℃程度の精度で測定することが可能となる結果、さらに高精度の温度測定が可能となる。
【００２５】
そして、上記充填材は、蝋と無機絶縁材粉末との少なくとも一方を含んで構成されていることが好ましい。
【００２６】
このようにすれば、充填材が、蝋の場合、蝋は熱伝導が良い絶縁材料であるので、基準接点の温度と薄膜型測温抵抗体の温度とが極めて近い温度となる。また、蝋は、低融点であるので、充填材を充填して両者を絶縁する際の作業性が良い。
【００２７】
一方、充填材が、無機絶縁材粉末の場合も、気体よりは熱伝導が良いため、基準接点と薄膜型測温抵抗体との間に気体が介在する場合と比較すると、基準接点の温度と薄膜型測温抵抗体の温度との差が極めて小さくなる。また、無機絶縁材粉末のような粉末は、充填材を充填して両者を絶縁する際の作業性が良い。
【００２８】
また、上記収納管は、開口部に設けられたシール材でシールされていることが好ましい。
【００２９】
このようにすれば、収納管の開口部がシール材でシールされているので、充填材が収納管の外に漏洩することを防止することができる。また、湿気が進入して、絶縁性が低下することを防止することができる。
【００３０】
また、上記収納管は、金属性もしくはガラス製の外径８ｍｍ以上１５ｍｍ以下、長さ１５０ｍｍ以上２５０ｍｍ以下の細長筒状の容器で構成されていることが好ましい。
【００３１】
このようにすれば、氷と清浄水が入れられている部分が内径約１００ｍｍ、深さ約２００ｍｍの一般的な氷点式の基準接点補償器に用いられる魔法瓶に挿入して用いることができるようになる。すなわち、収納管の挿入長さを外径の１０倍以上とすることが推奨されているＪＩＳ  Ｚ８７０４を満たすことができるようになる。
【００３２】
このように、この収納管を氷水などの恒温媒体に挿入することにより、恒温媒体の温度を基準にして測温接点の温度測定をすることができるようになる。
【発明の効果】
【００３３】
以上説明したように、本発明によれば、基準接点の温度と薄膜型測温抵抗体の温度とが極めて近い温度となるので、正確に基準接点の温度を測定することができるようになる結果、高精度の温度測定が可能となる。
【００３４】
また、本発明の基準接点補償器は、氷水のような恒温媒体の中に入れて、この恒温媒体の温度を基準にして測温接点の温度測定をすることもでき、基準接点の温度を測定する方式と恒温媒体の温度を基準にする方式の両方に適用することができる。
【００３５】
さらに、本発明にかかる熱電対の基準接点補償器は、構成が簡単なので安価に製作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。図１は、本発明の実施の形態に係る基準接点補償器２を備えた温度測定装置１の概略の構成を示す説明図であり、図２は、基準接点補償器２の概略の構成を示す断面図である。また、図３は温度測定装置１の概略の構成を示すブロック図である。
【００３７】
図１〜図３に示すように、本発明の実施の形態に係る温度測定装置１は、熱電対３と、この熱電対３の基準接点補償器２と、各部を電気的に接続する信号導線４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆとを備えている。そして、基準接点補償器２は、図２に示すように、熱電対３の基準接点５ａ、５ｂと、この基準接点５ａ、５ｂの温度を測定可能な薄膜型測温抵抗体６と、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とを内部に収納する収納管７と、この収納管７の内部に充填された絶縁性の充填材８とを備えている。この温度測定装置１は、また、図１に示すように、熱電対３の起電力を測定して温度に換算する熱電対温度計測器９と、薄膜型測温抵抗体６の抵抗値を温度に換算する抵抗温度計測器１０とを備えている。
【００３８】
ここで、上記熱電対３は、一対の異なる熱電対素線３ａ、３ｂを一端で接続して測温接点３ｃを形成したものであり、この測温接点３ｃと他の接点（基準接点５ａ，５ｂ）との間に、これらの接点の温度差に応じた起電力が発生するようになっている。本実施形態では、ＪＩＳで規定しているＫ熱電対が採用されている。
【００３９】
上記信号導線４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆは、銅線などの通常の導線であり、熱電対温度計測器９に接続される信号導線４ａ、４ｂと、抵抗温度計測器１０に接続される信号導線４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆとに分類され、それぞれの信号導線４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆは他の信号導線との接触による導通を防止するためビニル等の被覆で絶縁被覆されている。
【００４０】
上記基準接点５ａ、５ｂは、熱電対素線３ａ、３ｂの他端（測温接点３ｃとは反対側の端部）と信号導線４ａ、４ｂとの接続部である。この基準接点５ａ、５ｂの温度と上記測温接点３ｃの温度とによって熱起電力が決まる。
【００４１】
上記薄膜型測温抵抗体６は、基準接点５ａ、５ｂの温度を測定する装置である。この薄膜型測温抵抗体６には、薄膜型測温抵抗体６に電流を流すための信号導線４ｃ、４ｆと薄膜型測温抵抗体６両端の電位差を測定する信号導線４ｄ、４ｅとが接続される。
【００４２】
また、本実施形態では、薄膜型測温抵抗体６として、セラミック絶縁基板上に蒸着等により白金（Ｐｔ）膜を生成させた薄膜型白金測温抵抗体が採用されている。
【００４３】
そして、この薄膜型測温抵抗体６と基準接点５ａ、５ｂとは、充填材８を介して電気的に絶縁されながら、収納管７の内部において、同じ高さ位置で、かつ、横方向には互いに近接した位置に配置されている。
【００４４】
なお、この薄膜型測温抵抗体６は、ＪＩＳ  Ｃ１６０４に示されるように接続される導線の数から２導線式、３導線式および４導線式があるが、本実施形態では、図示のように電位差を測定する信号導線４ｄ、４ｅには測定電流が流れないようにして最も精度を高めた４導線式としている。しかも、信号導線４ｄ、４ｅは、収納管７の内部においては高さ方向の熱伝導性を少なくするために、細い導線が使用されていて、基準接点補償器２の高さ方向温度分布の影響を受けないように構成されている。
【００４５】
薄膜型白金測温抵抗体の抵抗素子は、ＪＩＳ  Ｃ１６０４に規定される測定温度に対する許容差を満たすものであり、抵抗値１００Ω、寸法幅２．２ｍｍ、長さ４ｍｍ、厚さ０．９ｍｍのものが使用され、少なくともＪＩＳに示される常温で±０．２℃程度の精度を有しているが、我々の試験では、校正した薄膜型測温抵抗体６を使用し、かつこのように４導線式とすることにより、測温抵抗体自体の温度を誤差±０．０３℃の高精度で測定できることを確認している。
【００４６】
上記収納管７は、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とを内部に収納する外径約８〜１５ｍｍ程度の細長筒状の容器であり、本実施形態では、外径１０ｍｍ、肉厚１ｍｍ、長さ２００ｍｍの有底のステンレス管で構成されている。なお、後述のように収納管７内の温度分布を生じ難くするため、収納管７の径はφ１５ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００４７】
また、充填材８が収納管７の外に漏洩することを防止するとともに、充填材粉末が吸湿して絶縁性が低下することを防ぐために、収納管７の上端は開口部に設けられたエポキシ樹脂等のシール材７ａによりシールされている。
【００４８】
ここで、上記充填材８は、収納管７の内部において、各熱電対３の熱電対素線３ａ、３ｂと薄膜型測温抵抗体６との間、および各信号導線４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆ相互の間を絶縁するとともに、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６との間、あるいは収納管７と基準接点５ａ、５ｂおよび薄膜型測温抵抗体６との間に温度差が生じないように相互の隙間を埋めるように充填された絶縁性の物質である。本実施形態では、この充填材８は、マグネシアの無機絶縁材粉末で構成されている。
【００４９】
なお、上記熱電対温度計測器９（図１）は、熱電対３の温度計測に広く一般的に用いられる従来の熱電対温度計測器が採用されている。また、上記抵抗温度計測器１０（図１）は、抵抗体の温度計測に広く一般的に用いられる従来の抵抗温度計測器が採用されている。
【００５０】
次に、図４〜図７を参照して、本発明の実施の形態に係る温度測定装置１の作用について説明する。
【００５１】
まず、熱電対３の基準接点の温度を薄膜型測温抵抗体６によって測定する方式に適用する場合について説明する。この場合、基準接点補償器２の信号導線４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆが抵抗温度計測器１０に接続され、基準接点補償器２は常温の環境下に置かれる（図１）。この状態で、図４のフロー図に示すように測定が行われる。
【００５２】
すなわち、まず抵抗温度計測器１０により薄膜型測温抵抗体６を流れる電流値ＩＲが測定される（ステップＳ１）。次に、抵抗体の両端に発生する電位差ＶＲが測定される（ステップＳ２）。
【００５３】
そして、抵抗体の抵抗値Ｒ＝電位差ＶＲ／電流値ＩＲの関係から抵抗体の抵抗値Ｒが演算され（ステップＳ３）、抵抗体の抵抗値Ｒと基準接点温度ＴＮとの関係表を用いて抵抗体の抵抗値Ｒから基準接点温度ＴＮが求められる（ステップＳ４）。
【００５４】
一方、熱電対温度計測器９により熱電対３の起電力ＶＣが測定される（ステップＳ５）。
【００５５】
そして、基準接点温度ＴＮにおける測温接点３ｃの温度ＴＣと熱起電力ＶＣとの関係から測温接点３ｃの温度ＴＣが演算される。（ステップＳ６）
具体的に説明すると、測定される熱電対３の起電力ＶＣは、基準接点５ａ、５ｂの温度の熱起電力の影響を差し引いた値となるので、測定される熱電対３の起電力ＶＣに、基準接点５ａ、５ｂの温度の熱起電力分を加算した起電力に基づいてＪＩＳ  Ｃ１６０２等の熱起電力表からＴＣが求められることになる。
【００５６】
以上のようにして測温接点３ｃの温度ＴＣが測定される。この場合に、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とが収納管７内で同じ高さ位置にあるので、高さ方向の温度分布の影響を受けない。さらに、薄膜型測温抵抗体６の信号導線に細い導線が使用されるので、収納管７内の高さ方向の温度分布に起因して導線を伝わって移動する熱量が小さく、熱量の移動による温度変化が抑制される。
【００５７】
また、収納管７は、
外径８〜１５ｍｍ程度と細いため、収納管７内の横方向の温度分布が生じ難く、しかも、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とが横方向に近接配置されているので、収納管７内の横方向の温度分布が多少あっても、その影響を受け難くし、収納管７内の横方向の温度分布による誤差を充分に小さくすることができる。
【００５８】
さらに、収納管７内に絶縁材が収納されているので、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６との間に気体が介在する場合と比べて両者間の熱伝導が良くなり、これによっても両者間の温度差が抑制される。
【００５９】
これらの作用により、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６との温度差による測定誤差を極めて小さくすることができる。
【００６０】
また、基準接点５ａ、５ｂの温度を薄膜型測温抵抗体６で測定するので、測温体自体の精度が高く、温度ＪＩＳＣ１６０４に示される常温で±０．２℃以下の精度で測定することが可能である。
【００６１】
とくに当実施形態では、薄膜型測温抵抗体６が、４導線式の測温抵抗体であるので、±０．０３℃程度の精度で測定することが可能となる結果、さらに高精度の温度測定が可能となる。
【００６２】
このように、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６との温度差による測定誤差を小さくできることと、測温体自体の精度が高いこととにより、基準接点５ａ、５ｂの温度を正確に把握することができ、このため、熱電対３による温度測定の精度を高めることができる。
【００６３】
しかも、当実施形態の基準接点補償器２は、構成が簡単なので安価に製作することができる。
【００６４】
また、この基準接点補償器２によれば、熱電対３の基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６とが充填材８で絶縁され、かつ、これらが収納管７に収納された状態で、収納管７が密閉されているので、この収納管７を氷水等の恒温媒体に挿入することができる結果、恒温媒体の温度を基準にして測温接点の温度測定をすることができる。例えば、恒温媒体に氷水を用いた氷点式に適用することもできる。
【００６５】
氷点式に適用する場合の例を図５〜図７によって説明する。図５は、氷点式として使用する場合の温度測定装置１の構成を示す説明図である。また、図６は、氷点式として使用する場合の温度測定装置１の構成を示すブロック図であり、図７は、氷点式として使用する場合の測定要領を示すフロー図である。
【００６６】
図５と図６とに示すように、温度測定装置１を氷点式として使用する場合は、まず、魔法瓶１１に氷と清浄水を混合した氷水１１ａを入れて、コルク等で作られた栓１１ｂをし、栓１１ｂに設けられた穴に基準接点補償器２を設置するようにする。
【００６７】
ここで用いられる魔法瓶１１は、従来の氷点式の基準接点補償器に一般に広く使用されている内径約１００ｍｍ、深さ約２３０ｍｍ、真空層の材質がガラスで構成されたものが採用可能である。基準接点補償器２の収納管７は外径８〜１５ｍｍ程度であるので、深さ約２３０ｍｍの従来の魔法瓶１１をそのまま使用しながら、外径の１０倍以上の挿入深さで使用することができる（ＪＩＳ  Ｚ８７０４では、気体の温度測定において温度計の挿入長は、壁や外界の温度の影響を受けないように温度計外径の１０倍以上とすることが推奨されている）。そして、基準接点５ａ、５ｂの温度を約±０．０１℃の高精度（ＪＩＳ  Ｚ８７１０の要求値）に維持することができる。
【００６８】
本実施形態では、この従来の氷点式に用いられている魔法瓶１１をそのまま使用して高さ約２００ｍｍに氷水１１ａを充填し、厚さ２５ｍｍのコルクで栓１１ｂを施している。
【００６９】
この構成の場合、基準接点５ａ、５ｂの温度は０℃であるので抵抗温度計測器１０（図１）は不要であり、基準接点補償器２からの信号導線４ｃ、４ｄ、４ｅ、４ｆは抵抗温度計測器１０と接続されない状態に置かれる。
【００７０】
そして、温度測定装置１を氷点式として使用する場合の熱電対温度計測器９を用いた測定要領は、次のようになる。すなわち、図６と図７とに示すように、まず、熱電対３の起電力ＶＣが測定される（ステップＳ２１）。
【００７１】
ここで、温度と熱電対３の起電力ＶＣとの関係は、ＪＩＳ  Ｃ１６０２等で定められる熱起電力表に熱電対３の種類毎に定められている。そして、この熱起電力表は基準接点５ａ、５ｂ温度が０℃の場合の測温接点３ｃの温度と測定される熱起電力の関係を示したものであるので、この場合は熱起電力の補正は必要ない。測温接点３ｃの温度ＴＣと熱起電力ＶＣとの関係表を用いて熱起電力ＶＣから演算した結果が測温接点３ｃの温度ＴＣとなる。（ステップＳ２２）。
【００７２】
なお、上述した実施の形態は本発明の好ましい具体例を例示したものに過ぎず、本発明は上述した実施の形態に限定されない。
【００７３】
例えば、熱電対３は、必ずしもＪＩＳで規定しているＫ熱電対３に限定されず、種々の熱電対３に変更可能である。
【００７４】
薄膜型測温抵抗体６も、薄膜型白金測温抵抗体に限定されない。収納管７の内部において充填材８を介して電気的に絶縁されながら、基準接点５ａ、５ｂに対して近接配置することができる精度の高い薄膜型測温抵抗体６であれば種々の薄膜型測温抵抗体が採用可能である。
【００７５】
収納管７は、収納管７の周方向温度分布が生じ難いものであれば、ステンレス以外の金属またはガラス管で構成することが可能である。また、収納管７の寸法も種々の設計変更が可能である。
【００７６】
また、充填材８は、マグネシア粉末に限定されない。無機絶縁材粉末として例えば、アルミナ粉末を採用することも可能である。
【００７７】
さらに充填材８は、各熱電対素線３ａ、３ｂ、薄膜型測温抵抗体６および各導線相互を絶縁するとともに、基準接点５ａ、５ｂと薄膜型測温抵抗体６との間、あるいは収納管７と基準接点５ａ、５ｂおよび薄膜型測温抵抗体６との間に温度差が生じないように相互の隙間を埋めるように充填された絶縁性の物質であれば、無機絶縁材粉末に限らず、植物性又は動物性の流動化可能な蝋１８で構成されていてもよい。
【００７８】
例えば、図８は、基準接点補償器２の変形例の構成を示す断面図であり、この変形例にかかる基準接点補償器１２においては、薄膜型測温抵抗体６と基準接点５ａ、５ｂの位置する下端部が、低融点かつ常温で固体の木蝋からなる蝋１８で固められている。なお、蝋１８で固めた部分の他の構造は図２の基準接点補償器２と同じである。
【００７９】
このように変形例にかかる基準接点補償器１２によれば、熱伝導性が良く絶縁性が高い蝋１８が充填されているので、高精度で高感度な信頼性の高い温度測定装置を実現することができる。また、蝋１８は流動化する融点が低いので充填のための作業性も良い。
【００８０】
なお、蝋１８は、下端部だけではなく、収納管７の内部全体に充填することも可能である。
【００８１】
また、魔法瓶１１も、従来の氷点式の基準接点補償器に一般に広く使用されている魔法瓶に限らず、外界の温度の影響が少ないものであれば、種々のものが採用可能である。
【００８２】
さらに、熱電対温度計測器９は、抵抗体の温度を測定するために熱電対３の起電力を測定するものであれば、起電力の測定と温度の換算とを自動的に行うように構成された装置でも、起電力と抵抗体の温度との相関表を使用して人手により温度を換算するものでもよいなど、種々の構成が採用可能である。
【００８３】
そして、抵抗温度計測器１０も、抵抗体の温度を測定するために抵抗値を測定するものであれば、抵抗値の測定と温度の換算とを自動的に行うように構成された装置でも、抵抗値と抵抗体の温度との相関表を使用して人手により温度を換算するものでもよいなど、種々の構成が採用可能である。
【００８４】
また、本発明にかかる熱電対３の基準接点補償器２としては、温度測定装置１が氷点式としてのみ構成される場合は、抵抗温度計測器１０は、必ずしも必須ではない。熱電対３の基準接点５ａ、５ｂの温度を薄膜型測温抵抗体６の測定値とする場合に備えて、抵抗温度計測器１０に接続可能になっていればよい。
【００８５】
その他、本発明の特許請求の範囲内で種々の設計変更が可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の実施の形態に係る基準接点補償器を備えた温度測定装置の概略の構成を示す説明図である。
【図２】温度測定装置の基準接点補償器の概略の構成を示す断面図である。
【図３】温度測定装置の概略の構成を示すブロック図である。
【図４】熱電対の基準接点の温度を薄膜型測温抵抗体の測定値とする場合の測定要領を示すフロー図である。
【図５】氷点式として使用する場合の温度測定装置の構成を示す説明図である。
【図６】氷点式として使用する場合の温度測定装置の構成を示すブロック図である。
【図７】氷点式として使用する場合の測定要領を示すフロー図である。
【図８】基準接点補償器の変形例の構成を示す断面図である。
【図９】従来の熱電対を備えた温度測定装置において、基準接点補償器を設けない場合の概略の構成を示す説明図であり、（ａ）は、補償導線を使用した場合の構成を、（ｂ）は、補償導線を使用しない場合の構成を、それぞれ示している。
【図１０】従来の熱電対を備えた温度測定装置において、基準接点補償器を設けた場合の概略の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８７】
１    温度測定装置
２    基準接点補償器
３    熱電対
３ｃ  測温接点
５ａ、５ｂ  基準接点
６    薄膜型測温抵抗体
７    収納管
８    充填材
ＶＣ  起電力
【図１】
2008286707.tif 000003
【図２】
2008286707.tif 000004
【図３】
2008286707.tif 000005
【図４】
2008286707.tif 000006
【図５】
2008286707.tif 000007
【図６】
2008286707.tif 000008
【図７】
2008286707.tif 000009
【図８】
2008286707.tif 000010
【図９】
2008286707.tif 000011
【図１０】
2008286707.tif 000012