(57)【要約】【課題】簡単な構成で移動体を振動体に押圧することができ、駆動時の推力および非給電時の保持力を大きくすることができる振動型駆動装置を提供する。【解決手段】超音波リニアモータは、ＡモードおよびＢモードの定在波振動を同時に発生させることによって、表面に楕円運動を生じさせる振動体３を有する。また、超音波リニアモータは、この楕円運動が生じる振動体３の表面に設けられた突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６と接触し、楕円運動によって移動させられるスライダ４を有する。突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６は、スライダ４を上下に挟むように、定在波振動の半波長の奇数倍離れた節部３ａ、３ｂ、３ｃの位置であって、楕円運動が互いに逆方向となる位置に設けられる。【選択図】図１
2008172930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の定在波振動を同時に発生させることによって、前記定在波振動の複数の節部に位置する表面に楕円運動を生じさせる振動体と、
前記節部に位置する表面に形成され、前記楕円運動を行う駆動部と、
前記駆動部と接触し、前記楕円運動によって移動させられる移動体とを備え、
前記駆動部は、前記表面に対して垂直方向に前記移動体を挟むように形成された第１の駆動部および第２の駆動部を有し、
前記第１の駆動部および前記第２の駆動部は、前記定在波振動の半波長の奇数倍離れた前記節部の位置であって、前記楕円運動が互いに逆方向となる位置に形成されたことを特徴とする振動型駆動装置。
【請求項２】
前記第１の駆動部は、前記定在波振動の半波長の偶数倍離れた前記節部の位置に複数形成されたことを特徴とする請求項１記載の振動型駆動装置。
【請求項３】
前記第１の駆動部は、前記振動体の表面から突出し、前記表面側から前記移動体と接触するように形成された突起部材であり、前記第２の駆動部は、前記振動体の表面から突出し、前記突起部材とは反対側から前記移動体と接触するように形成された立設部材であることを特徴とする請求項１または２記載の振動型駆動装置。
【請求項４】
前記突起部材および前記立設部材の少なくとも一方は弾性を有し、前記移動体は、前記突起部材と前記立設部材の間に挟まれて押圧されることを特徴とする請求項３記載の振動型駆動装置。
【請求項５】
前記立設部材は、前記振動体の表面に逆Ｌ字形状またはクランク形状に形成され、前記移動体は、前記逆Ｌ字形状または前記クランク形状に形成された前記立設部材の内側に設けられることを特徴とする請求項３記載の振動型駆動装置。
【請求項６】
前記立設部材には、前記表面に対して平行な方向に前記移動体を挟むように、摺動部材が設けられたことを特徴とする請求項３記載の振動型駆動装置。
【請求項７】
前記突起部材および前記立設部材の少なくとも一方に、前記移動体に形成された凹部に合致する凸部が形成されたことを特徴とする請求項３記載の振動型駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の振動型駆動装置として、直線上に移動する超音波モータに関する多くの提案がなされている。例えば、本願出願人は、板状の振動体に２つの曲げモードを有する定在波を励振させ、この振動体上の所定部分に楕円振動を生じさせ、移動体をこの所定部分に接触させることで、移動体を移動させることを提案している（特許文献１参照）。
【０００３】
また、本願出願人は、凸状に形成された突起を有する振動体に、互いに直交する２つの曲げモードを有する定在波を励振させ、その合成で生じる楕円運動により移動体を移動させることを提案している（特許文献２参照）。
【０００４】
このような振動型駆動装置では、振動体に生じさせる振動を曲げモードのみで実現しているので、振動体を薄型化することが可能となる。
【特許文献１】特開平０６−３１１７６５号公報
【特許文献２】特開２００４−３０４８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の振動型駆動装置では、以下に掲げる問題があった。すなわち、前述したように、振動体に生じさせる振動を曲げモードのみで実現しているので、振動体を薄型化することが可能となる反面、移動体を振動体に押圧する与圧手段や、移動体の移動方向を規制するガイド機構が必要であった。この結果、振動型駆動装置（超音波アクチュエータ）を小型化することが困難であった。
【０００６】
また、予圧手段を小型化するために、移動体を磁石とし、その磁力により移動体を振動体に押圧することも検討されるが、超音波アクチュエータの特長の１つである非磁性という利点を活かすことができなくなる。
【０００７】
また、特許文献１には、ガイド機構が不要となる複数の超音波アクチュエータが例示されているが、いずれも振動体または移動体の形状が複雑であり、超音波アクチュエータの十分な小型化に適さず、容易に製造することが困難であった。
【０００８】
そこで、本発明は、簡単な構成で移動体を振動体に押圧することができ、駆動時の推力および非給電時の保持力を大きくすることができる振動型駆動装置を提供することを目的とする。また、本発明は、ガイド機構を特別に設けることなく、移動体の移動方向を規制することができ、大幅な小型化が可能である振動型駆動装置を提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の振動型駆動装置は、複数の定在波振動を同時に発生させることによって、前記定在波振動の複数の節部に位置する表面に楕円運動を生じさせる振動体と、前記節部に位置する表面に形成され、前記楕円運動を行う駆動部と、前記駆動部と接触し、前記楕円運動によって移動させられる移動体とを備え、前記駆動部は、前記表面に対して垂直方向に前記移動体を挟むように形成された第１の駆動部および第２の駆動部を有し、前記第１の駆動部および前記第２の駆動部は、前記定在波振動の半波長の奇数倍離れた前記節部の位置であって、前記楕円運動が互いに逆方向となる位置に形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１に係る振動型駆動装置では、移動体は、振動体の表面に対して垂直方向に第１の駆動部および第２の駆動部で挟まれている。また、移動体と接触する第１の駆動部および第２の駆動部に生じる楕円運動の回転方向は異なり、移動体は第１の駆動部および第２の駆動部から同一方向の力を受けることになる。従って、請求項１に係る振動型駆動装置によれば、簡易な構成で移動体を振動体に押圧することができ、駆動時の推力および非給電時の保持力を大きくすることができる。また、ガイド機構を特別に設けることなく、移動体の移動方向を規制することができ、大幅な小型化が可能である。
【００１１】
請求項２に係る振動型駆動装置によれば、駆動時の推力を増加させることができ、移動体を振動体に確実に押圧することができ、さらに、移動体の移動方向をより規制することができる。請求項３に係る振動型駆動装置によれば、第１の駆動部および第２の駆動部を極めて簡単な構造のものにすることができる。請求項４に係る振動型駆動装置によれば、適度に弾性を持たせることで、移動体を振動体に確実に押圧することができ、駆動部は超音波リニアモータで必要とされる加圧機構を確実に兼ねることができる。請求項５に係る振動型駆動装置によれば、特別なガイド機構を設けることなく、移動体の移動方向を規制することができる。請求項６に記載の振動型駆動装置によれば、振動体の表面に対して平行な面内で移動体の移動方向を確実に規制することができる。請求項７に記載の振動型駆動装置によれば、移動体を振動体に確実に押圧することができるとともに、その移動方向を確実に規制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の振動型駆動装置の実施の形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態の振動型駆動装置は、振動体に励振した振動を利用して振動体に接触させた移動体を駆動する超音波リニアモータに適用される。
【００１３】
［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。図２は図１の矢印Ｈ方向から視た超音波リニアモータの構成を示す断面図である。超音波リニアモータは、平坦な板材からなる矩形の振動体３、この振動体３に対して相対的に移動する摺動部材であるスライダ４、およびこのスライダ４を間に挟み、スライダ４の移動方向を規制する複数の駆動部から主に構成される。複数の駆動部は、後述する規制部材６および突起部材５ａ、５ｂからなる。
【００１４】
振動体３は、金属製の板からなる弾性体１に電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子２が接着により固着された構造を有する。図２では、スライダ４の断面が斜線のパターンで示されている。弾性体１の上面には、突起部材５ａ、５ｂが溶接、接着などにより固着されており、突起部材５ａ、５ｂの上には、スライダ４が載置されている。突起部材５ａ、５ｂは振動体３で発生する力をスライダ４に伝える役割を果たす。
【００１５】
図３は規制部材６の外観を示す斜視図である。規制部材６は、「コ」の字形状（クランク形状）を有する板部材（立設部材）である。規制部材６には、接合部６ａ、６ｂが形成されており、弾性体１に溶接、接着などにより固着されている。また、規制部材６の内側には、突起部材７が溶接、接着などにより固着されている。
【００１６】
スライダ４は、突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６の内側に固着された突起部材７の双方に別の面で接触するように、規制部材６の内側と弾性体１で形成される空間に挿入されている。つまり、突起部材５ａ、５ｂと規制部材６内側の突起部材７は、スライダ４に対して互いに反対側から接触し、駆動部として機能する。また、スライダ４が規制部材６の内側と弾性体１で形成される空間に挿入されることで、移動方向に対して垂直な方向（振動体３の表面に対して垂直な方向）に、スライダ４は押圧され、その動作は規制される。
【００１７】
ここで、超音波リニアモータの駆動原理について説明する。図４は弾性体１とは反対側から視た圧電素子２の面を示す図である。圧電素子２の、弾性体１に接着されている面とは反対側の面には、２つの電極Ｍ１、Ｍ２が配置されている。図中、「＋」マークは分極方向を示しており、２つの電極部分の分極方向が同じであることを表している。
【００１８】
図５は超音波リニアモータの駆動に用いられる２つの振動モードを示す図である。本実施形態では、矩形の振動体３に対し、長辺方向２次の屈曲振動モードおよび短辺方向１次の屈曲振動モードが使用される。ここでは、長辺方向２次の屈曲振動モードをＡモードと呼び、短辺方向１次の屈曲振動モードをＢモードと呼ぶことにする。なお、図５には、前述した突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６が省略されている。
【００１９】
振動体３の形状は、ＡモードおよびＢモードの共振周波数がほぼ一致するように、定められている。圧電素子２の、弾性体１に接着される側の面をグランド電極として、電極Ｍ１および電極Ｍ２に共振周波数付近で同一周波数かつ同一位相の交流電圧を印加することにより、Ｂモードの定在波振動が発生する。また、電極Ｍ１および電極Ｍ２に共振周波数付近で同一周波数かつ逆位相の交流電圧を印加することによりＡモードの定在波振動が発生する。
【００２０】
図６はＡモードおよびＢモードの振動における節部を示す図である。図中、Ａモードの振動における節部３ａ、３ｂ、３ｃおよびＢモードにおける節部３ｄ、３ｅはそれぞれ破線で示されている。Ａモードの振動における節部３ａ、３ｂ、３ｃは、スライダ４の移動方向に対して垂直な直線状となり、スライダ４の移動方向に並んで複数存在する。一方、Ｂモードの振動における節部３ｄ、３ｅは、スライダ４の移動方向に対して平行な直線状となる。
【００２１】
図中、位置８ａ、８ｂ、９は、それぞれＡモードの節部３ａ、３ｃ、３ｂ上にあって、かつＢモードの腹部に当たる位置である。前述した突起部材５ａ、５ｂは、それぞれ振動体３の位置８ａおよび位置８ｂに取り付けられ、規制部材６は振動体３の位置９に取り付けられている。
【００２２】
突起部材５ａ、５ｂと規制部材６とは、それぞれＡモードの定在波振動における別々の節部に位置しており、かつＡモードの定在波振動における半波長の奇数倍だけ離れた位置に配置される。また、突起部材がスライダ４の移動方向に複数並んで存在している場合（ここでは、突起部材５ａ、５ｂの２つの場合）、これら複数の突起部材は、互いにＡモードの定在波振動における半波長の偶数倍だけ離れて配置される。また、規制部材がスライダ４の移動方向に複数並んで存在している場合（後述する第２の実施形態における、規制部材１５ａ、１５ｂの２つの場合）、これら複数の規制部材は互いにＡモードの定在波振動における半波長の偶数倍だけ離れて配置される。
【００２３】
電極Ｍ１、Ｍ２に同相でも逆相でもない位相差の交流電圧が印加されると、振動体３には、ＡモードおよびＢモードの振動が同時に発生する。さらに、電極Ｍ１、Ｍ２に印加される電圧の振幅を等しくすると、Ａモードの振動はＢモードの振動に対して位相差が９０°進む、あるいは９０°遅れる。この理由を以下に詳細に説明する。
【００２４】
電極Ｍ１に印加する交流電圧をＡｓｉｎ（ωｔ）、電極Ｍ２に印加する交流電圧をＡｓｉｎ（ωｔ−θ）とすると、Ａモードの振動は、電極Ｍ１に印加される交流電圧と電極Ｍ２に印加される交流電圧の差によって励振されるので、数式（１）で表される。
【００２５】
Ａｓｉｎ（ωｔ）−Ａｓｉｎ（ωｔ−θ）＝２Ａｓｉｎ（θ／２）ｃｏｓ（ωｔ−θ／２）    ……（１）
また、Ｂモードの振動は、電極Ｍ１に印加される交流電圧と電極Ｍ２に印加される交流電圧の和によって励振されるので、数式（２）で表される。
【００２６】
Ａｓｉｎ（ωｔ）＋Ａｓｉｎ（ωｔ−θ）＝２Ａｃｏｓ（θ／２）ｓｉｎ（ωｔ−θ／２）    ……（２）
上記数式（１）と数式（２）を比較すると、時間ｔに依存する部分は、Ａモードの場合、余弦関数であり、Ｂモードの場合、正弦関数であり、偏角θ／２は同じであるので、位相差は９０°あるいは−９０°となる。従って、Ａモードの振動に対してＢモードの振動が進むか遅れるかは、位相差θに依存する。
【００２７】
また、数式（１）、（２）によれば、同相つまり位相差θが０°の場合、Ｂモードのみの振動が励振され、逆相つまり位相差θが１８０°の場合、Ａモードのみの振動が励振されることが分かる。
【００２８】
ここで、位相差θが０°＜θ＜１８０°の場合を検討する。この場合、数式（１）および（２）の時間ｔに依存しない部分は、ともに正極性となるので、Ａモードの振動がＢモードの振動に対して９０°進むことになる。
【００２９】
図７は振動体３の中央部の変形を誇張して示す図である。図７には、図１のＧ方向およびＨ方向から視た状態が示されている。Ａモードの振動はＧ方向から視た場合の屈曲変形として観測される。また、Ｂモードの振動はＨ方向から視た場合の屈曲変形として観測される。
【００３０】
振動体３の変形は、図７の（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ａ）の順番に推移する。図７の（ａ）は、電極Ｍ１および電極Ｍ２に印加される電圧が同じ大きさであり、かつ電極Ｍ１の極性が正（＋）、電極Ｍ２の極性が負（−）である瞬間の状態を表している。この条件下では、電極Ｍ１側の圧電素子は伸び、電極Ｍ２側の圧電素子は縮むので、バイモルフの効果により屈曲の変形が生じる。また、電極Ｍ１と電極Ｍ２の電圧の和はゼロとなるので、Ｈ方向から視た場合の屈曲の変形は相殺される。
【００３１】
図７の（ｂ）は、電極Ｍ１および電極Ｍ２に印加される電圧が等しく、かつ電極Ｍ１、Ｍ２の極性が共に正（＋）である瞬間の状態を表している。この場合、Ｇ方向から視た場合の屈曲の変形は起こらない。一方、Ｈ方向から視た場合、圧電素子が伸びるので、下側に凸となるような変形が生じる。
【００３２】
同様に、図７の（ｃ）は、電極Ｍ１および電極Ｍ２に印加される電圧が同じ大きさであり、かつ電極Ｍ１の極性が負（−）、電極Ｍ２が正（＋）である瞬間の状態を表している。図７の（ｄ）は、電極Ｍ１および電極Ｍ２に印加される電圧が等しく、かつ電極Ｍ１、Ｍ２の極性が共に負（−）である瞬間の状態を表している。
【００３３】
図７の（ａ）〜（ｄ）の順に、振動体３の変形が推移していくと、振動体３上に設けられた突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６は、それぞれ図７の矢印ｉ、ｊ、ｋの方向に変形する。この結果、突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６は、Ｇ方向から視た場合、楕円運動を行い、Ｈ方向から視た場合、上下運動を行う。
【００３４】
図８はＧ方向から視た場合の突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６にそれぞれ発生する楕円運動の様子を示す図である。楕円運動の回転方向は、突起部材５ａ、５ｂと規制部材６では、逆方向になる。このように、スライダ４を挟む位置に配置された突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６は、互いに逆方向に回転する楕円運動を同時に励起することになる。
【００３５】
ここで、図２に示すように、スライダ４は突起部材５ａ、５ｂの先端と接触している。スライダ４は、突起部材５ａ、５ｂが図８の最上点に変位した時に最大の力を受けるので、図８の右方向に力を受けることになる。一方、スライダ４は、規制部材６の内側に取り付けられた突起部材７と接触している。スライダ４は、規制部材６が図８の最下点に変位した時に最大の力を受けるので、図８の右方向に力を受けることになる。
【００３６】
従って、スライダ４が振動体３と接触する各接触点における楕円運動の回転方向は異なるが、スライダ４は各接触点から同一方向の力を受けることになる。
【００３７】
なお、数式（１）、（２）おいて、変位差θが１８０°＜θ＜３６０°の場合、電極Ｍ１およびＭ２に交流電圧を印加すると、上記各接触点における楕円運動の回転方向は全て逆方向になり、スライダ４は全ての接触点で図８の左方向に力を受けることになる。
【００３８】
このように、第１の実施形態の超音波リニアモータでは、簡易な構造の突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６でスライダ４を挟むことで、スライダ４を振動体３に押圧することができ、駆動時の推力および非給電時の保持力を大きくすることができる。また、スライダの移動方向を拘束するような特別なガイド機構を必要とせず、小型なリニア駆動ユニットを実現することが可能となる。
【００３９】
なお、規制部材６の剛性を最適化して適度に弾性を持たせることで、超音波リニアモータで必要とされる加圧機構を確実に兼ねることができる。図９は他の規制部材の外観を示す斜視図である。この規制部材５６は、その上面に凹部５６ｃが形成されて内側に突出した形状を有する。この凹部５６ｃの形状を調整することで、規制部材５６の剛性を最適化することが可能である。これにより、加圧機構を簡素化することができ、より一層の小型化を図ることができる。
【００４０】
また、規制部材６に弾性を持たせる代わりに、突起部材５ａ、５ｂを弾性材で構成することで突起部材５ａ、５ｂに弾性を持たせるようにしてもよい。
【００４１】
［第２の実施形態］
図１０は第２の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。前記第１の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すことによりその説明を省略する。
【００４２】
前記第１の実施形態では、振動体３に生じる３つの節部３ａ、３ｂ、３ｃのうち、両側の節部３ａ、３ｃに突起部材５ａ、５ｂがそれぞれ配置されていたが、第２の実施形態では、両側の節部３ａ、３ｃには、規制部材１５ａ、１５ｂがそれぞれ配置されている。中間の節部３ｂには、突起部材１４が配置されている。また、規制部材１５ａ、１５ｂの内側には、前記第１の実施形態の規制部材６と同様、突起部材（図示せず）が設けられている。
【００４３】
この超音波リニアモータでは、規制部材１５ａ、１５ｂおよび突起部材１４は、前記第１の実施形態と同様、楕円運動を行う。規制部材１５ａ、１５ｂと突起部材１４とでは、楕円運動の方向が異なり、規制部材１５ａ、１５ｂでは、その内側に取り付けられた突起部材（図示せず）がスライダ４と接触する。このため、スライダ４は、規制部材１５ａ、１５ｂが圧電素子２側に最も変位した時に最大の力を受ける。一方、突起部材１４はその先端がスライダ４と接触するので、スライダ４は、突起部材１４が圧電素子２とは反対側に最も変位した時に最大の力を受ける。従って、スライダ４は、３つの接触点で同一方向の力を受けることになる。
【００４４】
また、振動体３の両側に設けられた、２つの規制部材１５ａ、１５ｂによって、スライダ４の移動方向が規制される。特に、図中矢印Ｇ方向の移動が規制される。
【００４５】
このように、第２の実施形態の超音波リニアモータでは、前記第１の実施形態で得られる効果に加え、スライダ４の移動方向をより確実に規制することが可能となる。
【００４６】
［第３の実施形態］
図１１は第３の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。前記第１の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すことによりその説明を省略する。
【００４７】
前記第１および第２の実施形態では、振動体の長辺方向の振動モードは２次の屈曲振動（曲げ）モードであったが、第３の実施形態では、振動体１６の４次の曲げモードを利用し、長辺方向の曲げモード（Ａモード）の節部は５ヶ所である。図１２は振動体１６の４次の曲げモードを示す図である。
【００４８】
振動体１６では、前記第１、第２の実施形態に比べ、長辺方向の寸法が長くなっている。また、振動体１６に生じる５箇所の節部には、前記第１の実施形態で示した規則に従って、それぞれ規制部材１７、１８、１９および突起部材２０、２１が設けられている。従って、第３の実施形態の超音波リニアモータにおいても、スライダ４が振動体１６の各節部から受ける力は同一方向となる。
【００４９】
このように、第３の実施形態の超音波リニアモータでは、前記第１、第２の実施形態で得られる効果に加え、スライダ４の接触点を増やすことができるので、スライダ４に発生させる力（推力）を増加させることができる。
【００５０】
［第４の実施形態］
図１３は第４の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。前記第１の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すことによりその説明を省略する。
【００５１】
第４の実施形態では、前記第２の実施形態と比べ、規制部材の形状が異なる。即ち、前記第２の実施形態では、規制部材はコの字形状（クランク形状）の板部材（立設部材）であり、振動体に対して両側２ヶ所で接合された。一方、第４の実施形態では、規制部材２５ａ、２５ｂは逆Ｌ字形状の板部材であり、片側１ヶ所のみで振動体３に接合される。
【００５２】
第４の実施形態の超音波リニアモータでは、規制部材２５ａ、２５ｂの折り曲げ量を変更することが容易であり、スライダ４を振動体３側に加圧する際の加圧力を容易に調整することができる。また、組立の際、スライダ４を規制部材２５ａ、２５ｂの開口側から挿入する必要がなくなり、開放されている片側から差し込むことができるので、組み立てが容易になる。
【００５３】
［第５の実施形態］
図１４は第５の実施形態における超音波リニアモータをスライダの移動方向から視た正面図である。前記第１の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すことによりその説明を省略する。
【００５４】
第５の実施形態では、前記第１の実施形態と異なり、規制部材６の内側には、スライダ４の横方向（図１４の左右方向）の移動を規制するために、摺動部材２７ａ、２７ｂが取り付けられている。
【００５５】
これにより、第５の実施形態では、スライダ４の移動方向を更に確実に規制することが可能となる。特に、図中矢印Ｇ方向の移動が規制される。なお、摺動部材２７ａ、２７ｂの代わりに、転がりにより摩擦を低減するローラ部材などを配置してもよい。
【００５６】
［第６の実施形態］
図１５は第６の実施形態における超音波リニアモータをスライダの移動方向から視た正面図である。前記第１の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すことによりその説明を省略する。
【００５７】
第６の実施形態では、前記第１の実施形態と異なり、スライダ２４の下面は、移動方向に沿って凹部に形成され、一方、突起部材２５の上面は、凸部に形成されている。凸部と凹部が合致した状態でスライダ２４が突起部材３５に対して相対移動することにより、スライダ２４の移動方向が確実に規制される。
【００５８】
［第７の実施形態］
図１６は第７の実施形態における超音波リニアモータをスライダの移動方向から視た正面図である。前記第１の実施形態と同一の構成要素については同一の符号を付すことによりその説明を省略する。
【００５９】
第７の実施形態では、前記第１の実施形態と異なり、スライダ３４の上面は、移動方向に沿って凹部に形成されている。また、規制部材３６はＭ字状の板部材（立設部材）からなり、規制部材３６の内側の上面はスライダ３４の凹部に適合するように、凸部に形成されている。
【００６０】
このように、スライダ３４の凹部と規制部材３６の凸部が合致した状態でスライダ３４が規制部材３６に対して相対移動することにより、スライダ３４の移動方向が確実に規制される。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態の構成に限られるものではなく、特許請求の範囲で示した機能、または本実施形態の構成が持つ機能が達成できる構成であればどのようなものであっても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】第１の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。
【図２】図１の矢印Ｈ方向から視た超音波リニアモータの構成を示す断面図である。
【図３】規制部材６の外観を示す斜視図である。
【図４】弾性体１とは反対側から視た圧電素子２の面を示す図である。
【図５】超音波リニアモータの駆動に用いられる２つの振動モードを示す図である。
【図６】ＡモードおよびＢモードの振動における節部を示す図である。
【図７】振動体３の中央部の変形を誇張して示す図である。
【図８】Ｇ方向から視た場合の突起部材５ａ、５ｂおよび規制部材６にそれぞれ発生する楕円運動の様子を示す図である。
【図９】他の規制部材の外観を示す斜視図である。
【図１０】第２の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。
【図１１】第３の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。
【図１２】振動体１６の４次の曲げモードを示す図である。
【図１３】第４の実施形態における超音波リニアモータの構成を示す斜視図である。
【図１４】第５の実施形態における超音波リニアモータをスライダの移動方向から視た正面図である。
【図１５】第６の実施形態における超音波リニアモータをスライダの移動方向から視た正面図である。
【図１６】第７の実施形態における超音波リニアモータをスライダの移動方向から視た正面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  弾性体
２  圧電素子
３  振動体
３ａ、３ｂ、３ｃ  節部
４  スライダ
５ａ、５ｂ  突起部材
６  規制部材
【図１】
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【図２】
2008172930.tif 000004
【図３】
2008172930.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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