(57)【要約】【課題】カラーフィルタが存在する領域とカラーフィルタが存在しない（背景）の抽出を可能とし、カラーフィルタの形状の不均一性を簡便に検査できる方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて検査するカラーフィルタの検査装置において、光を散乱させる拡散板を設置した載置台上に前記カラーフィルタを載置し、前記カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる移動手段と、前記載置台上の前記カラーフィルタを前記ラインセンサカメラを利用して撮像する撮像手段と、前記撮像された画像を提示する提示手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて検査するカラーフィルタの検査装置において、
光を散乱させる拡散板を設置した載置台上に前記カラーフィルタを載置し、前記カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる移動手段と、
前記載置台上の前記カラーフィルタを前記ラインセンサカメラを利用して撮像する撮像手段と、
前記撮像された画像を提示する提示手段と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルタの検査装置において、
前記拡散板の、前記カラーフィルタの進行方向に沿った辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、前記拡散板の、前記進行方向に垂直な辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの検査装置において、
前記反射暗視野光学系とは、前記光源から前記カラーフィルタに入射された光と前記カラーフィルタ表面との間の角度と、前記カラーフィルタ表面で反射された光のうち前記ラインセンサカメラに入射する光と前記カラーフィルタ表面との間の角度が異なることを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項４】
カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて検査するカラーフィルタの検査方法において、
光を散乱させる拡散板を設置した載置台上に、前記カラーフィルタを載置する載置工程と、
前記カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる移動工程と、
前記載置台上のカラーフィルタを前記ラインセンサカメラを利用して撮像する撮像工程と、
前記撮像された画像を提示する提示工程と、
を有することを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルタの検査方法において、
前記拡散板の、前記カラーフィルタの進行方向に沿った辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、前記拡散板の、前記進行方向に垂直な辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のカラーフィルタの検査方法において、
前記反射暗視野光学系とは、前記光源から前記カラーフィルタに入射された光と前記カラーフィルタ表面との間の角度と、前記カラーフィルタ表面で反射された光のうち前記ラインセンサカメラに入射する光と前記カラーフィルタ表面との間の角度が異なることを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数配向分割型垂直配向モード（ＭＶＡモード）の液晶ディスプレイの製造に用いるカラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性（ムラ）を検査するカラーフィルタの検査装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、フラットディスプレイとして、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が注目されており、その薄型、軽量、小消費電力、フリッカーレスといった特徴から、ノート型のパーソナルコンピューター（ＰＣ）、ＰＣ用のモニターを中心に市場が急速に拡大した。また、最近では、従来からＣＲＴが主流であったＴＶ向けにも大型のＬＣＤが利用されるようになってきた。上記のような大型のＬＣＤを考える場合、画面全域において、視野角によらない均一な輝度、コントラストが要求される。しかしながら、従来広く用いられるＴＮ配向モードでは、その視野角の狭さが大きな問題になっていた。
【０００３】
そこで現在、Ｉｎ Ｐｌａｎｅ Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇモード（ＩＰＳモード）、複数配向分割型垂直配向モード（ＭＶＡモード）等、多くの視野角改善モードが開発されている。
【０００４】
特に、この複数配向分割型垂直配向モード（ＭＶＡモード）は、１画素内に配向状態の異なる領域が複数形成される構造をとっている。詳細には、図１０（図１０（ａ）は電圧を印加していない状態を示す図、図１０（ｂ）は電圧を印加している状態を示す図）に示すように、１画素内を複数配向分割する（液晶分子２２の配向方向を複数方向にする）ために、カラーフィルタ３に突起物２１を設け、液晶分子２２の傾斜方向を制御している。このような構造をとることにより、電圧を印加した際に、液晶分子２２の配向を複数方向にすることが可能であり、その結果、視野角を広くすることができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
ここで、上記したように液晶分子２２の配向方向を複数方向にするための突起物２１は、その高さや、その立ち方（傾き方）等（突起物２１の形状等）が均一でないとうまく液晶分子２２の傾斜方向を制御することができない。よって、この突起物２１が正常な高さ等に作成されているか否か（突起物２１の形状の不均一性）を検査する必要がある。
【特許文献１】特許第２９４７３５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、上記突起物２１の形状の不均一性の検査は、反射暗視野光学系においてのみ検査することができるものである。詳細に説明すると反射暗視野光学系とは、光源からカラーフィルタに入射された光とカラーフィルタ表面との間の角度と、カラーフィルタ表面で反射された光のうちラインセンサカメラに入射する光とカラーフィルタ表面との間の角度が異なる条件下で観察するものである。具体的には、図１１に示すように光源４から光をカラーフィルタ３に照射し、当該カラーフィルタ３をラインセンサカメラ５を用いて撮像し、その際に得られる画像（図１２参照）を用いて、カラーフィルタ３の突起物が正常な高さ、立ち方（傾き方）等に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）の検査が行われている。その際に、通常の検査ではカラーフィルタ３を通過した光がラインセンサカメラ５に入射しないように、載置台１の表面に加工が施されている。
【０００７】
しかしながら、このように反射暗視野光学系で当該カラーフィルタ３を撮像した際に得られる画像は、図１２に示すように、カラーフィルタ３が存在する領域とカラーフィルタ３が存在しない領域（背景）との輝度に差がないため、観察者が載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタ３が存在する領域を、カラーフィルタ３が存在しない領域（背景）と容易に区別することができない。よって、カラーフィルタ３に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが困難であるといった問題が生じていた。
【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、カラーフィルタが存在する領域とカラーフィルタが存在しない領域（背景）の抽出を可能とし、カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を簡便に検査できる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて検査するカラーフィルタの検査装置において、光を散乱させる拡散板を設置した載置台上に前記カラーフィルタを載置し、前記カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる移動手段と、前記載置台上の前記カラーフィルタを前記ラインセンサカメラを利用して撮像する撮像手段と、前記撮像された画像を提示する提示手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
これによれば、載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタが存在する領域を、カラーフィルタが存在しない領域（背景（拡散板のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタが存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタが存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ上に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００１１】
上記課題を解決するための請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のカラーフィルタの検査装置において、前記拡散板の、前記カラーフィルタの進行方向に沿った辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、前記拡散板の、前記進行方向に垂直な辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことを特徴とする。
【００１２】
これによれば、拡散板がカラーフィルタの一部を包含する程度の大きさのもの、つまり、カラーフィルタを全体を包含しない比較的小さな拡散板を使用した場合であっても、カラーフィルタ全体が順に拡散板上に配置されるように移動させながらラインセンサカメラによって撮像することにより、載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタが存在する領域を、カラーフィルタが存在しない領域（背景（拡散板のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタが存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタが存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ上に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００１３】
更に、拡散板の、フィルタの進行方向に沿った辺の長さは、カラーフィルタの、進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、拡散板の、進行方向に垂直な辺の長さは、カラーフィルタの、進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことにより、カラーフィルタと背景との境界がラインセンサカメラによって撮像されるため、カラーフィルタが存在する領域を的確に抽出することができる。
【００１４】
上記課題を解決するための請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの検査装置において、前記反射暗視野光学系とは、前記光源から前記カラーフィルタに入射された光と前記カラーフィルタ表面との間の角度と、前記カラーフィルタ表面で反射された光のうち前記ラインセンサカメラに入射する光と前記カラーフィルタ表面との間の角度が異なることを特徴とする。
【００１５】
これによれば、反射暗視野光学系を用いることによって、カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を検査することができる。
【００１６】
上記課題を解決するための請求項４に記載の発明は、カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて検査するカラーフィルタの検査方法において、光を散乱させる拡散板を設置した載置台上に、前記カラーフィルタを載置する載置工程と、前記カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる移動工程と、前記載置台上のカラーフィルタを前記ラインセンサカメラを利用して撮像する撮像工程と、前記撮像された画像を提示する提示工程と、を有することを特徴とする。
【００１７】
これによれば、載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタが存在する領域を、カラーフィルタが存在しない領域（背景（拡散板のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタが存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタが存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ上に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００１８】
上記課題を解決するための請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のカラーフィルタの検査方法において、前記拡散板の、前記カラーフィルタの進行方向に沿った辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、前記拡散板の、前記進行方向に垂直な辺の長さは、前記カラーフィルタの、前記進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことを特徴とする。
【００１９】
これによれば、拡散板がカラーフィルタの一部を包含する程度の大きさのもの、つまり、カラーフィルタを全体を包含しない比較的小さな拡散板を使用した場合であっても、カラーフィルタ全体が順に拡散板上に配置されるように移動させながらカメラによって撮像することにより、載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタが存在する領域を、カラーフィルタが存在しない領域（背景（拡散板のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタが存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタが存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ上に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００２０】
更に、拡散板の、カラーフィルタの進行方向に沿った辺の長さは、カラーフィルタの、進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、拡散板の、進行方向に垂直な辺の長さは、カラーフィルタの、進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことにより、カラーフィルタと背景との境界がカメラによって撮像されるため、カラーフィルタが存在する領域を的確に抽出することができる。
【００２１】
上記課題を解決するための請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５に記載のカラーフィルタの検査方法において、前記反射暗視野光学系とは、前記光源から前記カラーフィルタに入射された光と前記カラーフィルタ表面との間の角度と、前記カラーフィルタ表面で反射された光のうち前記ラインセンサカメラに入射する光と前記カラーフィルタ表面との間の角度が異なることを特徴とする。
【００２２】
これによれば、反射暗視野光学系を用いることによって、カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を検査することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタが存在する領域を、カラーフィルタが存在しない領域（背景（拡散板のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタが存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタが存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ上に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（Ｉ）第１の実施形態
本発明の第１の実施形態について説明する。
【００２５】
本実施形態は、カラーフィルタが存在する領域とカラーフィルタが存在しない領域（背景）の抽出を可能とし、カラーフィルタに形成された複数の突起物の形状の不均一性を反射暗視野光学系にて簡便に検査できるカラーフィルタの検査装置等の一例を示す。
【００２６】
まず、本実施形態に係るカラーフィルタの検査装置について、図１、図２を用いて概念的に説明する。図１は、カラーフィルタの検査装置の概念図であり、図２は、載置台（拡散板）上に載置されたカラーフィルタを上部から見た概念図である。
【００２７】
図１に示すようにカラーフィルタの検査装置は、載置台１、拡散板２、カラーフィルタ３、光源４、撮像手段としてのラインセンサカメラ５、移動手段としての図示しない搬送部、更に、提示手段としての図示しないパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等の表示部により構成されている。
【００２８】
ここで、本発明の特徴部分は載置台１上に拡散板２が設置されることである。この拡散板２は、光源４から照射された光（光Ｌ１、Ｌ３）を散乱させるために載置台１上に設置されるものである。詳しくは後述するが、載置台１上に光を散乱させやすい拡散板２を設置することによって、光源４から照射された光（光Ｌ１、Ｌ３）が、カラーフィルタ３により反射される（光Ｌ４）場合と、カラーフィルタ３の存在しない領域（背景（拡散板２のみの領域））により反射される（光Ｌ２）場合とで、ラインセンサカメラ５で撮像される光の量（光量）が異なることになる。具体的には、ラインセンサカメラ５で撮像する際に、拡散板２によって、カラーフィルタ３が存在する領域の輝度と、カラーフィルタ３が存在しない領域、すなわち、拡散板２のみの領域の輝度に、差を生じさせることができる。そのため、観察者が載置台１上のカラーフィルタ３を撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタ３が存在する領域を、カラーフィルタ３が存在しない領域（背景（（拡散板２のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタ３が存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタ３が存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ３に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００２９】
［カラーフィルタの検査装置の構成及び機能］
図１及び図２を参照して本実施形態に係るカラーフィルタの検査装置の構成及び機能について説明する。
【００３０】
載置台１は、カラーフィルタ３を検査する際にカラーフィルタ３を載置するための台である。載置台１の大きさは、特に限定されることはないが、図２に示すようにカラーフィルタ３を載置することができる程度の大きさであればよい。
【００３１】
拡散板２は、光源４から照射された光（光Ｌ１、Ｌ３）を散乱させるために載置台１上に設置されるものである。詳細には、図１に示すように載置台１上に設置され、光源４から照射された光（光Ｌ１、Ｌ３）が、カラーフィルタ３において反射される（光Ｌ４）場合と、カラーフィルタ３の存在しない領域（背景（（拡散板２のみの領域））において反射される（光Ｌ２）場合とで、ラインセンサカメラ５で撮像される光の量を異ならせることが目的である。つまり、図１に示すようにカラーフィルタ３からの反射光Ｌ４よりも、カラーフィルタ３の存在しない領域（背景（（拡散板２のみの領域））からの反射光Ｌ２の方が、ラインセンサカメラ５で撮像される光の量が多くなるように設置されているものである。よって、拡散板２は、カラーフィルタ３より光を拡散させ得る材料で形成されることが好ましい。例えば、フロスト型のガラスや樹脂、オパール型のガラスや樹脂等であることが好ましい。
【００３２】
拡散板２の大きさは、特に限定されることはなく、詳しくは後述するが、カラーフィルタ３を包含することができる程度の大きさであればよい。拡散板２の厚さは、カラーフィルタ３より光を拡散させ得る厚さであることが好ましい。
【００３３】
カラーフィルタ３は、複数配向分割型垂直配向モード（ＭＶＡモード）の液晶ディスプレイの製造に用いるカラーフィルタである。ここで、このカラーフィルタ３には視野角を広くするために複数の突起物２１が形成されている（図１０参照）。この複数の突起物２１は、画面の視野角を広くするために、１画素内を複数配向分割する（液晶分子２２の配向方向を複数方向にする）ために、カラーフィルタ３に設けられたものである。つまりこの突起物２１は、液晶分子２２の傾斜方向を制御するものであり、この目的が果たせるように突起物２１が形成されている。カラーフィルタ３は、通常用いられているカラーフィルタであればよく、設計事項に応じて任意に設定可能である。カラーフィルタ３は、拡散板２を配置した載置台１からカラーフィルタ３がはみ出さないように例えば、載置台１の中央部等に載置する。
【００３４】
光源４は、特に限定されることはないが、例えば、ナトリウムランプ、蛍光灯等であることが好ましい。
【００３５】
ラインセンサカメラ５は、載置台１上のカラーフィルタ３を撮像するためのものである。
【００３６】
搬送部は、カラーフィルタ３の全体をラインセンサカメラ５により撮像するために、例えば、図１、図２の矢印の方向にカラーフィルタ３を移動させるためのものである。
【００３７】
パーソナルコンピュータ等の表示部は、ラインセンサカメラ５によって撮像された画像を表示することにより、観察者に提示するためのものである。なお、紙等の媒体に印刷することにより、観察者に提示してもよい。
【００３８】
［カラーフィルタの検査方法］
次に、図３、図４を用いて、カラーフィルタの検査方法について工程順に説明する。
【００３９】
まず、載置台１に拡散板２を設置する（図３（ａ）参照）。
【００４０】
具体的には、上述したように、カラーフィルタ３からの反射光Ｌ４よりも、カラーフィルタ３の存在しない領域（背景（（拡散板２のみの領域））からの反射光Ｌ２の方が、ラインセンサカメラ５で撮像される光の量が多くなるように載置台１に拡散板２を設置する。
【００４１】
次に、拡散板２を設置した載置台１上に、カラーフィルタ３を載置する（載置工程）（図３（ｂ）参照）。
【００４２】
具体的には、カラーフィルタ３は、拡散板２を配置した載置台１からカラーフィルタ３がはみ出さないように例えば、載置台１の中央部等に載置する。
【００４３】
次に、カラーフィルタ３又はラインセンサカメラ５の少なくともいずれか一つを移動させる（移動工程）（図３（ｂ）参照）。
【００４４】
具体的には、カラーフィルタ３の全体がラインセンサカメラ５により撮像されるように図３（ｂ）に示す矢印の方向にカラーフィルタ３を移動させる。なお、カラーフィルタ３の全体を撮像するためには、カラーフィルタ３を移動させる方法の他に、ラインセンサカメラ５を移動させる方法がある。どちらの方法を用いてもよいが、以下はカラーフィルタ３を移動させるものとして説明する。
【００４５】
次に、載置台１上のカラーフィルタ３を前記ラインセンサカメラ５を利用して撮像する（撮像工程）（図３（ｃ）参照）。
【００４６】
具体的には、図３（ｂ）のように矢印の方向にカラーフィルタ３を移動させ、カラーフィルタ３の全体をラインセンサカメラ５を利用して連続的に撮像する。この動作を連続して行うことにより、カラーフィルタ３全体を撮像することができる。この場合、光源４からカラーフィルタ３に入射された光とカラーフィルタ３表面との間の角度と、カラーフィルタ３表面で反射された光のうちラインセンサカメラ５に入射する光とカラーフィルタ５表面との間の角度が異なることを特徴とする反射暗視野光学系にて撮像を行なう。ここで、入射角、反射角の角度は特に限定されることはないが、特に、入射角が２０度、反射角が４５度が好ましい。
【００４７】
次に、撮像された画像を提示する（提示工程）（図４参照）。
【００４８】
具体的には、ラインセンサカメラ５によって撮像された画像は、パーソナルコンピューター等の表示部に表示されることにより、観察者に提示することができる。なお、紙等の媒体に印刷することにより、観察者に提示してもよい。
【００４９】
図４に示したように表示等された画像は、本発明の特徴部分である拡散板２が設置されているため、光源４から照射された光が図１に示すようにラインセンサカメラ５で撮像する際に、拡散板２によって、カラーフィルタ３が存在する領域の輝度と、カラーフィルタ３が存在しない領域、すなわち拡散板２のみの領域の輝度に、差を生じさせることができる。そのため、観察者が載置台１上のカラーフィルタ３を撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタ３が存在する領域を、カラーフィルタ３が存在しない領域（背景（（拡散板２のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタ３が存在する領域を、一目で把握することができる。
【００５０】
以上このようにカラーフィルタ３が存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ３に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００５１】
（ＩＩ）第２の実施形態
以下、本発明の第２の実施形態について図面を用いて説明する。
【００５２】
まず、本実施形態に係るカラーフィルタの検査装置について、図５、図６を用いて概念的に説明する。図５は、カラーフィルタの検査装置の概念図であり、図６は、載置台（拡散板）上に載置されたカラーフィルタを上部から見た概念図である。
【００５３】
第１の実施形態では、上記したように拡散板２は、カラーフィルタ３全体を包含する程度の大きさのものを使用した場合について説明したが、本実施形態では、拡散板１２がカラーフィルタ３の一部を包含する程度の大きさ、つまり、カラーフィルタ３全体を包含しない比較的小さいものを使用する場合について説明する。なお、第１の実施形態と同様の部分については説明を省略する。
【００５４】
ここで、本実施形態の特徴部分は第１実施形態に示したように載置台１に拡散板１２が設置されることであるが、本実施形態においては拡散板１２がカラーフィルタ３の一部を包含する程度の大きさ、つまり、カラーフィルタを全体を包含しない比較的小さいものを使用する。詳しくは後述するが、図６（図８（ａ）〜（ｃ））に示すように、矢印の方向にカラーフィルタ３を徐々に移動させ、拡散板１２上にカラーフィルタ３の一部が順に配置されるようにする。カラーフィルタ３を移動させながら、拡散板１２上に配置されたカラーフィルタ３の一部分をラインセンサカメラ５によって順に撮像する。この動作を連続して行うとカラーフィルタ３全体を撮像することができる。第１実施形態と同様、載置台１上に拡散板１２を設置していることによって、図５に示すように光源４から照射された光（光Ｌ１、Ｌ３）が、カラーフィルタ３により反射される（光Ｌ４）場合と、カラーフィルタ３の存在しない領域（背景（拡散板２のみの領域））により反射される（光Ｌ２）場合とで、ラインセンサカメラ５で撮像される光の量（光量）が異なることになる。具体的には、ラインセンサカメラ５で撮像する際に、この拡散板１２によって、カラーフィルタ３が存在する領域の輝度と、カラーフィルタ３が存在しない領域、すなわち、拡散板１２のみの領域の輝度に、差を生じさせることができる。よって、観察者が載置台１上のカラーフィルタ３を撮像することにより得られる画像を観察した際に、カラーフィルタ３が存在する領域を、フィルタ３が存在しない領域（背景（（拡散板１２のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタ３が存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタ３が存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ３に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【００５５】
［カラーフィルタの検査装置の構成及び機能］
図５に示すようにカラーフィルタの検査装置は、第１実施形態において説明した場合とほぼ同様であるが、上述したように拡散板１２の大きさが異なるものであるため、拡散板１２について詳細に説明する。
【００５６】
拡散板１２は、ラインセンサカメラ５により撮像された画像からカラーフィルタ３が存在する領域を抽出するため、つまり、カラーフィルタ３と背景（カラーフィルタ３以外の部分）との境界を認識するために、拡散板の、カラーフィルタの進行方向に沿った辺の長さは、カラーフィルタの、進行方向に沿った辺の長さよりも短く、かつ、拡散板の、進行方向に垂直な辺の長さは、カラーフィルタの、進行方向に垂直な辺の長さよりも長いことが必要となる。具体的には、図６に示すように、拡散板１２の、カラーフィルタ３の進行方向に沿った辺の長さａは、カラーフィルタ３の、進行方向に沿った辺の長さｃよりも短く、かつ、拡散板１２の、進行方向に垂直な辺の長さｂは、カラーフィルタ３の、進行方向に垂直な辺の長さｄよりも長いことが必要となる。これは、カラーフィルタ３を移動させてフィルタ３と背景とを区別して視認することが目的であるため、カラーフィルタ３と背景との境界がラインセンサカメラ５によって撮像されなければならないからである。
【００５７】
なお、図６に示すように拡散板１２の、進行方向に垂直な辺の長さａは、１５ｍｍ〜２０ｍｍであることが好ましい。これは、ラインセンサカメラ５が拡散板１２上を移動するフィルタ３を撮像するために必要な長さである。
【００５８】
［カラーフィルタの検査方法］
次に、カラーフィルタの検査方法について工程順に説明する。
【００５９】
図７（ａ）は、載置台に拡散板を設置した図であり、図７（ｂ）は、拡散板を設置した載置台にカラーフィルタを載置した図である。
【００６０】
載置台１に拡散板２を設置し、載置台１上にカラーフィルタ３を載置する工程（載置工程）についての説明は、第１の実施形態において説明した場合と同様であるため説明を省略する。その後、カラーフィルタ又はラインセンサカメラの少なくともいずれか一つを移動させる（移動工程）について説明する。
【００６１】
図８（ａ）〜（ｃ）は、載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について説明するための概略図である。図９（ａ）〜（ｃ）は、載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について上部から見た概略図である。
【００６２】
図８（ａ）は、載置台上に載置されたカラーフィルタの初期の位置を示す図である。
【００６３】
当該位置（図８（ａ）参照）から後述するようにその後矢印の方向にフィルタ３を移動させ（図８（ｂ）、（ｃ）参照）、拡散板１２上にカラーフィルタ３の全体が順に配置されるようにし、拡散板１２上に配置されたフィルタ３をラインセンサカメラ５によって撮像する。
【００６４】
次に、載置台１上のカラーフィルタ３を前記ラインセンサカメラ５を利用して撮像する（撮像工程）。
【００６５】
図８（ａ）〜図８（ｃ）のように矢印の方向にカラーフィルタ３を徐々に移動させ、拡散板１２上にカラーフィルタ３の一部が順に配置されるようにし、その拡散板１２上に配置されたカラーフィルタ３の一部分を連続的に撮像する。この動作を連続して行うとカラーフィルタ３全体を撮像することができる。
【００６６】
次に、撮像された画像を提示する（提示工程）（図４参照）。
【００６７】
第１実施形態において説明した際と同様に（図４参照）、提示工程において、撮像された画像を提示する。
【００６８】
以上説明したように、載置台上のカラーフィルタを撮像することによって得られる画像を観察した際に、カラーフィルタが存在する領域を、カラーフィルタが存在しない領域（背景（拡散板のみの領域））と容易に区別し、カラーフィルタが存在する領域を、一目で把握することができる。このようにカラーフィルタが存在する領域を容易に判別することが可能となることによって、カラーフィルタ上に形成された突起物が正常に作成されているか否か（突起物の形状の不均一性）を検査することが簡便となる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】カラーフィルタの検査装置の概念図である。
【図２】載置台（拡散板）上に載置されたカラーフィルタを上部から見た概念図である。
【図３（ａ）】載置台に拡散板を設置した図である。
【図３（ｂ）】拡散板を設置した載置台にカラーフィルタを載置した図である。
【図３（ｃ）】載置台上のカラーフィルタを撮像する図である。
【図４】カラーフィルタの検査方法において撮像された画像を提示する図である。
【図５】カラーフィルタの検査装置の概念図である。
【図６】載置台（拡散板）上に載置されたカラーフィルタを上部から見た概念図である。
【図７（ａ）】載置台に拡散板を設置した図である。
【図７（ｂ）】拡散板を設置した載置台にカラーフィルタを載置した図である。
【図８（ａ）】載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について説明するための概略図である。
【図８（ｂ）】載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について説明するための概略図である。
【図８（ｃ）】載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について説明するための概略図である。
【図９（ａ）】載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について上部から見た概略図である。
【図９（ｂ）】載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について上部から見た概略図である。
【図９（ｃ）】載置台上に設置したカラーフィルタを載置台上で移動させる場合について上部から見た概略図である。
【図１０（ａ）】電圧を印加していない状態を示す図である。
【図１０（ｂ）】電圧を印加している状態を示す図である。
【図１１】従来のカラーフィルタの検査装置の概念図である。
【図１２】従来のカラーフィルタの検査方法において撮像されたカラーフィルタの画像を提示する図である。
【符号の説明】
【００７０】
１・・・載置台
２、１２・・・拡散板
３・・・カラーフィルタ
４・・・光源
５・・・ラインセンサカメラ
２１・・・突起物
２２・・・液晶分子
【図１】
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【図２】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図３（ｃ）】
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【図５】
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【図６】
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【図７（ａ）】
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【図７（ｂ）】
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【図８（ａ）】
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【図８（ｂ）】
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【図８（ｃ）】
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【図９（ａ）】
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【図９（ｂ）】
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【図９（ｃ）】
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【図１０（ａ）】
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【図１０（ｂ）】
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【図１１】
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【図４】
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【図１２】
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