(57)【要約】【課題】剥離シートと接着シートとを剥離する際のピールプレートに加わる張力を検出し、検出張力が設定値となるように保ちつつ接着シートを板状部材に貼付する装置及び方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷの面に臨む位置に接着シートＳを繰り出すシート繰出ユニット１２と、接着シートＳに押圧力を付与して当該接着シートＳをウエハＷに貼付する押圧ローラ１４と、剥離シートＰＳと接着シートＳとを剥離するピールプレートＰＰを含む剥離ユニット１３と、この剥離ユニット１３に加わる剥離時の張力を検出するロードセル３５と、当該ロードセル３５の出力を入力として所定の処理を行うコントローラ１８とを備える。剥離シートＰＳを接着シートＳから剥離する際に、剥離ユニット１３に加わる張力がロードセル３５により検出され、当該検出張力がコントローラ１８に入力され、コントローラ１８は、検出張力が設定値となるようにモータＭ１を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを検出し、それら検出張力を前記制御手段に出力する単一の検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項４】
前記検出装置は、ロードセルであることを特徴とする請求項１，２又は３記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記剥離ユニットはピールプレートを含み、前記剥離シートが当該ピールプレートを先端部から基端部に向けて引っ張る力を張力として前記検出装置により検出されることを特徴とする請求項１、３又は４記載のシート貼付装置。
【請求項６】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行うことを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記接着シートを前記板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項８】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを単一の検出装置を用いて検出し、
それら検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行うとともに前記接着シートを板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、半導体ウエハ等の板状部材にシートを貼付する際に、剥離シートに仮着された接着シートを所定位置で剥離できるようにするとともに、接着シートの張力を適性に保って板状部材に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面にダイボンディング用の接着シートを貼付したりすることが行われている。
【０００３】
このようなシートの貼付方法としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートと接着シートとを剥離して当該接着シートをウエハに貼付した後に、ウエハ外周に沿ってカットする貼付方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。同特許文献においては、原反を構成する剥離シートと接着シートの各リード端を、それぞれローラに固定しておき、これらローラの回転により剥離シートと接着シートとの剥離と、剥離後の接着シートの巻き取りを行うものとなっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０９０８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート貼付装置にあっては、剥離シートと接着シートとの剥離位置の監視や、剥離された接着シートの張力監視を行う特別な構成は採用されていない。従って、剥離が行われるべき位置に対して剥離遅れが生じたり、或いは、接着シートの張力に過不足を生じさせる場合がある。
【０００６】
これを簡略的に説明すると、例えば、図８に示されるように、剥離シートＰＳに接着シートＳが仮着された原反Ｌの繰出経路上にピールプレート１００を配置し、剥離シートＰＳをピールプレート１００の先端で急激に反転させて図示しない巻取ローラで剥離シートＰＳを巻き取ることで接着シートＳの剥離を行い、剥離された接着シートＳを押圧ローラ１０１によりテーブルＴ上のウエハＷに接着シートＳを貼付する場合、ピールプレート１００の先端位置で剥離ができないときに、同図中二点鎖線で示されるように、接着シートＳに付随してしまう領域を生じることとなる。このような症状は、巻取ローラに巻取トルク不足等の不具合がある場合や、剥離シートＰＳに接着シートＳが強固に仮着されている場合等が要因と考えられる。そのため、押圧ローラ１０１で接着シートＳを板状部材Ｗに貼付するときに、剥離シートＰＳが接着シートＳとウエハＷとの間に挟み込まれてしまう、という不都合をもたらすこととなる。また、接着シートＳの張力に過不足があると、ウエハＷに接着シートＳを貼付したあとに、ウエハＷに反り変形や、貼付された接着シートＳに皺を生じさせてしまう、という不都合を招来する。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離シートと接着シートとの剥離が所定位置で適性に行われているか否かを監視して常に適性位置での剥離を実現することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、接着シートの張力を検出可能とし、適性張力にてシートを板状部材に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
更に、本発明の目的は、剥離シートを剥離する際に剥離シートが剥離ユニットに加える張力と、接着シートを板状部材に貼付する際に接着シートが剥離ユニットに加える張力、つまり、２つの張力を単一の検出装置で検出可能とすることで装置構成の簡略化を達成することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行う、とう構成を採っている。
【０００９】
また、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行う、という構成を採っている。
【００１０】
更に、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを検出し、それら検出張力を前記制御手段に出力する単一の検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行う、という構成を採るとよい。
【００１１】
また、前記シート剥離装置において、前記検出装置は、ロードセルにより構成されている。
【００１２】
更に、前記剥離ユニットはピールプレートを含み、前記剥離シートが当該ピールプレートを先端部から基端部に向けて引っ張る力を張力として前記検出装置により検出される、という構成を採ることができる。
【００１３】
また、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行う、という方法を採っている。
【００１４】
更に、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、
当該検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記接着シートを前記板状部材に貼付する、という方法を採ることができる。
【００１５】
また、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出すとともに、剥離ユニットを介して剥離シートと接着シートとを剥離し、剥離シートが剥離された後の接着シートを板状部材の面に臨む位置に繰り出した状態で当該接着シートを押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記剥離シートを接着シートから剥離するときに、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力と、前記押圧部材が接着シートを板状部材に貼付するときに、前記接着シートが前記剥離ユニットに加える張力とを単一の検出装置を用いて検出し、
それら検出張力が予め設定された値となるように制御しつつ前記剥離を行うとともに前記接着シートを板状部材に貼付する、という方法を採るとよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、剥離シートを接着シートから剥離する際に、剥離シートが剥離ユニットに加える張力を検出装置により検出する構成とし、当該検出張力が設定値となるように制御手段による制御が行われるため、剥離シートの剥離が遅れてしまうような不都合を未然に回避することが可能となり、これにより、剥離シートが接着シートと板状部材との間に挟まれてしまうような不都合を防止することができる。
【００１７】
また、押圧部材が接着シートを板状部材に貼付する際に、接着シートが剥離ユニットに加える張力を検出装置により検出し、当該検出張力が設定値となるように制御手段による制御が行われるため、過大な張力が付与された場合において、接着シートを板状部材に貼付した後の当該板状部材の反り変形を防止することができる。この一方、張力不足を生じたまま接着シートが板状部材に貼付された場合の皺の発生若しくは空気の混入を防止することができる。
【００１８】
更に、剥離シートを剥離する際に剥離シートが剥離ユニットに加える張力と、接着シートを板状部材に貼付する際に接着シートが剥離ユニットに加える張力、つまり、２つの張力を単一の検出装置により検出できるようにした構成では、センサ数を削減して装置構成の簡略化を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、ベース１１の上部位置において、剥離シートＰＳに接着シートＳが仮着された帯状の原反Ｌを支持するとともに、当該原反Ｌを繰出可能に設けたシート繰出ユニット１２と、前記剥離シートＰＳと接着シートＳとを剥離するピールプレートＰＰと接着シートＳの張力を検出する張力検出用ローラ４０とを含む剥離ユニット１３と、板状部材としてのウエハＷを支持するテーブルＴと、ウエハＷの上面に臨む位置に繰り出された接着シートＳに押圧力を付与して当該接着シートＳをウエハＷに貼付する押圧ユニット６２を構成する押圧ローラ１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッター１５と、ウエハＷの外側の不要接着シートＳ１をテーブルＴの上面から剥離する剥がし装置１６と、不要接着シートＳ１を巻き取る巻取装置１７と、前記各ユニットを所定制御する制御手段としてのコントローラ１８とを備えて構成されている。
【００２１】
前記シート繰出ユニット１２は、ロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、剥離シートＰＳのリード端が固定される回収ローラ２３と、前記支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜２９と、剥離シートＰＳをピンチローラ３１とで挟み込み、モータＭ１によって巻取力を付与する巻取ローラ３０と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置された検出装置としてのロードセル３５と、前記ピールプレートＰＰ、張力検出用ローラ４０、ガイドローラ２７，２８，２９及びロードセル３５を一体的に支持する貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。なお、前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００２２】
前記ロードセル３５は、図３及び図４に示されるように、後述するスライド板４３間に位置する横桟９０に取り付けられている。張力検出用ローラ４０とピールプレートＰＰは、支持アーム９１、ブラケット９２により連結されて剥離ユニット１３を形成し、ブラケット９２が前記ロードセル３５にガイドロッド９５を併設して支持されている。
【００２３】
前記貼付角度維持手段３７は、前記押圧ローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度θを一定に保つように構成されている。この貼付角度維持手段３７は、ガイドローラ２７，２８，２９、ロードセル３５、張力検出用ローラ４０、ピールプレートＰＰ、ブレーキシュー３２，４２，シリンダ３８，４８及びこれらを支える一対のスライド板４３により構成された繰出ヘッド４９と、当該繰出ヘッド４９を上下に案内する一対のガイドレール４５と、繰出ヘッド４９に昇降力を付与する一対の単軸ロボット４６とを備えて構成されている。ガイドレール４５及び単軸ロボット４６は傾斜姿勢に配置されており、この傾斜角度に沿って繰出ヘッド４９が昇降可能となっている。
【００２４】
前記テーブルＴは、図５に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１と、平面視略円形の内側テーブル５２とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２を受容可能な凹状に設けられているとともに、単軸ロボット５４を介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、単軸ロボット５６を介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。
【００２５】
前記押圧ローラ１４は、門型フレーム５７を介して支持されている。門型フレーム５７の上面側には、シリンダ５９が設けられており、これらシリンダ５９の作動により押圧ローラ１４が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム５７は、図２に示されるように、単軸ロボット６０及びガイドレール６１を介して同図中Ｘ方向に移動可能に設けられている。ここにおいて、前記押圧ローラ１４，門型フレーム５７，シリンダ５９，単軸ロボット６０及びガイドレール６１により押圧ユニット６２が構成されている。
【００２６】
前記カッター１５は、テーブルＴの上方位置で図示しない昇降装置を介して昇降可能に設けられている。このカッター１５は、回転中心軸６５に固定された回転アーム６６と、この回転アーム６６に支持されたカッター刃６７とにより構成され、当該カッター刃６７を回転中心軸６５回りに回転させることで、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断できるようになっている。なお、カッター１５に関しては、本出願人により出願された特願２００６−１５７８３号記載のロボットからなる切断装置を用いることもできる。
【００２７】
前記切断によってウエハＷの外側に生じる不要接着シートＳ１の剥がし装置１６は、図１及び図６及び図７に示されるように、小径ローラ７０と、大径ローラ７１とにより構成されている。これら小径ローラ７０及び大径ローラ７１は、移動フレームＦに支持されている。この移動フレームＦは、図２中Ｙ軸方向沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結部材７３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２は、単軸ロボット７５に支持されている一方、前部フレームＦ１は、前記ガイドレール６１に支持され、これにより、移動フレームＦは、図２中Ｘ方向に移動可能となっている。大径ローラ７１は、図１に示されるように、アーム部材７４に支持され、シリンダ７８によって小径ローラ７０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００２８】
前記巻取装置１７は、図１に示されるように、移動フレームＦに支持された駆動ローラ８０と、回転アーム８４の自由端側に支持され、ばね８５を介して駆動ローラ８０の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ８１とにより構成されている。駆動ローラ８０の軸端には、駆動モータＭが配置されており、当該モータＭの駆動により、駆動ローラ８０が回転し、巻取ローラ８１がこれに追従回転することで不要接着シートＳ１が巻き取られるようになっている。なお、巻取ローラ８１は、巻取量が増大するに従って、ばね８５の力に抗して図１中右方向へ回転することとなる。
【００２９】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について、図６及び図７をも参照しながら説明する。
【００３０】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される原反Ｌは、ピールプレートＰＰの先端位置を剥離ポイントとして剥離シートＰＳと接着シートＳが剥離され、剥離シートＰＳのリード端は、ガイドローラ２８，２９を経由して巻取ローラ３０とピンチローラ３１間を通紙して回収ローラ２３に固定される。この一方、接着シートＳのリード端は、押圧ローラ１４，剥がし装置１６を経由して巻取装置１７の巻取ローラ８１に固定される。この際、ピールプレートＰＰは、最上昇位置（図１、図６（Ａ）参照）にあり、当該ピールプレートＰＰと押圧ローラ１４との間の接着シートＳは、図１に示されるように、ウエハＷの面に臨む位置に繰り出された状態で、所定の貼付角度θとなるように設定されている。
【００３１】
図示しない移載装置を介してテーブルＴ上にウエハＷがセットされた状態で貼付動作が開始される。なお、貼付動作に先立って、ガイドローラ２７、２９にはブレーキシュー３２，４２が当接して接着シートＳの繰り出しが抑制される。そして、テーブルＴが静止した状態で、押圧ローラ１４が回転しながらウエハＷ上を図６中左側に移動する。この押圧ローラ１４の移動に伴って、接着シートＳには張力が加わり、剥離ユニット１３を構成する張力検出用ローラ４０が図１中Ｘ軸方向において右側へ引っ張られることとなる。そこでロードセル３５がその張力を検出してコントローラ１８に検出張力を出力する。これにより、コントローラ１８が、単軸ロボット４６に動作指令を出し、所定の張力を維持するために貼付角度維持手段３７を使って接着シートＳの張力を緩和する方向、つまり、繰出ヘッド４９を斜め下方へ下げるように制御する。これによりウエハＷに所定の張力で接着シートＳが貼付されることとなる。
【００３２】
図６（Ｄ）、（Ｅ）に示されるように、接着シートＳの貼付が完了すると、カッター１５が下降してウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳの切断を行い、その後にカッター１５は上昇して初期位置（図１参照）に復帰する。
【００３３】
次いで、ウエハＷが図示しない移載装置を介してテーブルＴから取り去られると、図７（Ａ）に示されるように、押圧ローラ１４が上昇し、剥がし装置１６を構成する小径ローラ７０及び大径ローラ７１が左側に移動するとともに、巻取装置１７の駆動ローラ８０が駆動して不要接着シートＳ１を巻き取ることで、ウエハＷ回りの不要接着シートＳ１をテーブルＴの上面から剥離することができる。
【００３４】
そして、ブレーキシュー３２，４２がガイドローラ２７，２９から離れるとともに、駆動ローラ８０がロックされた状態で、繰出ヘッド４９、剥がし装置１６、巻取装置１７が初期位置に復帰動作する。この復帰動作が開始されると原反Ｌに繰出力が付与されて当該原反Ｌが繰り出されるとともに同時に巻取ローラ３０と回収ローラ２３が回転し、前記剥離ポイントで剥離シートＰＳと接着シートＳとの剥離が行われる。この際、巻取ローラ３０の回転によって巻取力が付与されることで、剥離シートＰＳが剥離ユニット１３を構成するピールプレートＰＰに対して張力つまり、図１中Ｘ軸方向において左向きの力が加えられることとなる。そこで、ロードセル３５がその張力を検出してコントローラ１８に検出張力を出力する。これにより、コントローラ１８が、巻取ローラ３０を駆動するモータＭ１に動作指令を出し、所定の張力を維持するように制御する。つまり、検出張力が設定値よりも小さいときは、巻取ローラ３０による巻取トルクを強めるようにモータＭ１に指令を出す一方、設定値よりも大きいときは、巻取トルクを弱めるようにモータＭ１に指令を出す。これにより、剥離シートＰＳが前記剥離ポイントで確実に剥離される。このようにして剥離シートＰＳの剥離が行われることで、新しい接着シートＳがピールプレートＰＰの先端から押圧ローラ１４との間に引き出され、新たにセットされるウエハＷに備えることとなる。
【００３５】
従って、このような実施形態によれば、剥離シートＰＳと接着シートＳとの剥離が行われる際の当該剥離シートＰＳの張力を検出し、また、ウエハＷに接着シートＳを貼付する際の当該接着シートＳの張力を検出する構成としたことで、剥離遅れを確実に防止することができるとともに、接着シートＳの張力不足による気泡混入や、張力過大によるウエハの反り変形を効果的に防止できる、という効果を得る。
【００３６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３７】
例えば、前記実施形態では、接着シートＳの張力をロードセル３５が検出して当該検出張力を一定に保つように貼付角度維持手段３７を介して繰出ヘッド４９を斜め下方へ下降させる構成としたが、貼付角度維持手段３７を採用することなく張力を調整することが可能である。
また、検出装置としてロードセル３５を用いたが、他のセンサ類を用いてもよく、更に、剥離ユニット１３を構成するピールプレートＰＰに代えてローラを用いることを妨げない。
また、板状部材はウエハに限らず、他の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】繰出ヘッドにおける要部概略斜視図。
【図４】繰出ヘッドの概略正面図。
【図５】テーブルの概略断面図。
【図６】接着シートの貼付動作説明図。
【図７】剥がし装置による不要接着シートの剥離動作説明図。
【図８】従来例の不都合を説明するための概略説明図。
【符号の説明】
【００３９】
１０  シート貼付装置
１２  シート繰出ユニット
１３  剥離ユニット
１４  押圧ローラ（押圧ユニット）
１８  コントローラ（制御手段）
３５  ロードセル（検出装置）
４０  張力検出用ローラ
Ｌ  原反
ＰＰ  ピールプレート
ＰＳ  剥離シート
Ｓ  接着シート
Ｗ  ウエハ（板状部材）
【図１】
2008028104.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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