(57)【要約】【課題】高周波帯域の位相調整器を用いることなく、１０ＭｅＶ以上の高エネルギーの荷電粒子ビームを、１ＭｅＶ未満まで効率よく減速することができ、これにより大規模な遮蔽を不要とし、システムの小型化や低コスト化を達成することができる荷電粒子ビーム減速装置および方法を提供する。【解決手段】高エネルギーの電子ビーム１の軌道上に設置された高周波空洞３４と、高周波空洞内の電子ビーム１を高周波電場４の位相に同調させる位相同調装置４０とを備え、高周波空洞内の電子ビーム１を、高周波空洞３４の移動又は電子ビーム１の軌道長の変更により、高周波電場４の位相に同調させる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビームの軌道上に設置された高周波空洞と、
該高周波空洞内の前記荷電粒子ビームを高周波電場の位相に同調させる位相同調装置と、を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項２】
前記位相同調装置は、前記高周波空洞を荷電粒子ビームの軌道に沿って移動させる減速管移動装置である、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項３】
前記位相同調装置は、前記荷電粒子ビームの軌道を偏向させる偏向磁石を移動させる偏向磁石移動装置である、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項４】
前記位相同調装置は、前記荷電粒子ビームの軌道を偏向させる偏向磁石の磁束密度を制御する偏向磁石制御装置である、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項５】
前記位相同調装置は、前記荷電粒子ビームを磁場により軌道変更するα磁石の磁束密度を制御するα磁石制御装置である、ことを特徴とする請求項４に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項６】
前記高周波空洞は、荷電粒子ビームを加速する加速管の下流側に設置された減速管である、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項７】
前記加速管の下流側から前記減速管の上流側に高周波を伝送する高周波伝送路を備える、ことを特徴とする請求項６に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項８】
前記高周波空洞は、直列に配置された複数の減速管からなり、隣接する上流側減速管の下流側と下流側減速管の上流側が高周波伝送路で連結されている、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項９】
前記高周波空洞の下流側から上流側に高周波を伝送する高周波循環路を備える、ことを特徴とする請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の荷電粒子ビーム減速装置を備えた、ことを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項１１】
高エネルギーの荷電粒子ビームの軌道上に高周波空洞を設置し、
該高周波空洞内の前記荷電粒子ビームを、高周波空洞の移動又は荷電粒子ビームの軌道長の変更により、高周波電場の位相に同調させる、ことを特徴とする荷電粒子ビーム減速方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子ビームのエネルギーを減速させる荷電粒子ビーム減速装置および方法とこれを用いたＸ線発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明において、荷電粒子ビームとは電子ビーム、イオンビーム、陽電子ビームを意味する。
電子ビームとレーザービームの衝突によってコンプトン散乱に起因する準単色Ｘ線が得られることが知られている（例えば、非特許文献１）。
【０００３】
非特許文献１の「小型Ｘ線発生装置」は、図８に示すように、小型の加速器６１（Ｘバンド加速管）で加速された電子ビーム６２をレーザー６３と衝突させてＸ線６４を発生させるものである。ＲＦ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）電子銃６５（熱ＲＦガン）で生成された電子ビーム６２はＸバンド加速管６１で加速され、パルスレーザービーム６３と衝突し、コンプトン散乱により、時間幅１０ｎｓの硬Ｘ線６４が生成される。
この装置は、一般に線形加速器で用いられるＳバンド（２．８５６ＧＨｚ）の４倍の周波数にあたるＸバンド（１１．４２４ＧＨｚ）をＲＦとして用いて小型化を図っており、例えばＸ線強度（光子数）：約１×１０９ｐｈｏｔｏｎｓ／ｓ、パルス幅：約１０ｐｓの強力な硬Ｘ線の発生が予測されている。
【０００４】
また、本発明に関連する技術として、例えば特許文献１、２が、既に開示されている。
【０００５】
特許文献１の「電子ビーム加速装置」は、ビームパルス立ち上がり時のエネルギー変動を抑制することを目的とし、図９に示すように、安定化高周波発振器７１と、加速用大出力パルス高周波源８１と、加速管８２を前記順に具備する装置において、高周波を分割する高周波分割手段７３と、分割された高周波のそれぞれの位相を調整する位相変調器（７４、７５）と、各々の高周波を合成する手段７６と、合成手段７６から合成高周波を入力して、加速用大出力パルス高周波源８１と、加速管８２に電子ビームを出力するパルス電子源８４と、各々の位相変調器（７４、７５）に、各々の分割高周波毎の位相変調指示を行うことにより、加速用高周波パルスの立ち上がり部分に振幅変調を与えて、電子ビームパルスの立ち上がり部分で発生するビームローディング効果による加速エネルギーの変動を補正する手段７７とを有するものである。
【０００６】
また、特許文献２の「電子線装置」は、高周波加速空胴９１と電子ビームの同期位相を調整することを目的とし、図１０に示すように、電子銃から出射した電子を高周波加速空胴９１に導き、この高周波加速空胴内で電子を加速すると共に、この加速された電子を高周波加速空胴９１の外部に設けられた偏向電磁石９２により、ビーム軌道を１８０度偏向した後、再度前記高周波加速空胴内に入射して加速することを複数回繰返して、高エネルギーを得る電子線装置において、偏向電磁石９２を高周波加速空胴９１との間の距離が可変可能に設けて電子ビームの同期位相を調整するものである。
【０００７】
【非特許文献１】土橋克広、他、「Ｘバンドリニアックを用いた小型硬Ｘ線源の開発」、第２７回リニアック技術研究会、２００２
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−４５８００号公報、「電子ビーム加速装置」
【特許文献２】特開２００２−１４１２００号公報、「電子線装置」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように、電子ビームとレーザーとの衝突によるコンプトン散乱を利用して単色硬Ｘ線を発生するシステムが現在開発されている。しかし、このシステムにおいて、レーザーと衝突した後の電子ビームが最終的にビームダンプなどに衝突した場合、衝突によって発生する強力なＸ線が問題となる場合がある。そのため、高エネルギーの電子ビームを利用している同様のシステムでは大規模な遮蔽が必要であり、システムの小型化や低コスト化が困難であった。
【００１０】
例えば、加速された電子ビームが１０ＭｅＶ以上の高エネルギーである場合、この電子ビームがそのまま最終的にビームダンプなどに衝突した場合、衝突によって強力な放射線（Ｘ線、中性子及びγ線）が発生する。従って、これらの放射線の発生を防止するためには、衝突前のエネルギーを１０ＭｅＶ未満まで減速する必要がある。
また、１０ＭｅＶ未満まで減速した場合でも、我国の法規制（原子力基本法および障害防止法）では、１ＭｅＶ未満まで減速しないと放射線源としてみなされるため、大規模な遮蔽（や厳格な放射線安全管理）が必要となる。従って、システムの小型化や低コスト化のためには、このレベルまで衝突前の電子ビームを減速する必要がある。
なお、荷電粒子ビームの中でイオンビームについてはエネルギーによる区分はなく、放射線源とみなされるため、原子力基本法および障害防止法の規制を受ける。
【００１１】
線形加速器において電子ビームを加速するために、高周波の充填された専用の高周波空洞が用いられている。従って電子ビームのエネルギーを減速するために、同様の高周波空洞を用いることが原理的に可能である。しかし、高周波空洞で電子ビームを減速するためには、高周波空洞に充填された高周波の位相を電子ビームに合わせて精密に調整する必要がある。従来、この調整をするために位相調整器などの専用の機器を用いて位相を調整する必要があった。
【００１２】
従来利用されている高周波の位相調整装置には、（１）伝送する距離を機械的に調整するものや、（２）導波管内に導体や低損失の誘電体を挿入する流さを調整して導波管内の管内波長を変えることで位相を調整するものがある。
（２）の管内波長を変える位相調整装置は導波管内における高周波の実効速度を変えることで、等価的に線路長を調整することができるものである。
しかし、大電力の高周波を伝送する場合は放電防止のため、導波管内を高真空状態に維持し、導波管内の放電開始電圧を高くする必要がある。従って、上記のように管内波長を変えるための導体や低損失の誘電体を強電界となっている導波管内に挿入することは放電を抑制する観点からみて非常に困難である。また低損失の誘電体等からはガスの放出等も考えられるため、真空が悪化し、放電を引き起こす問題もある。
従って、これまでに大電力の高周波で特にＸバンド以上の高周波帯域の位相調整器は開発されていなかった。
【００１３】
本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、高周波帯域の位相調整器を用いることなく、１０ＭｅＶ以上の高エネルギーの荷電粒子ビームを、１ＭｅＶ未満まで効率よく減速することができ、これにより大規模な遮蔽を不要とし、システムの小型化や低コスト化を達成することができる荷電粒子ビーム減速装置および方法とこれを用いたＸ線発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明によれば、荷電粒子ビームの軌道上に設置された高周波空洞と、
該高周波空洞内の前記荷電粒子ビームを高周波電場の位相に同調させる位相同調装置と、を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム減速装置が提供される。
【００１５】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記位相同調装置は、前記高周波空洞を荷電粒子ビームの軌道に沿って移動させる減速管移動装置である。
【００１６】
また、別の好ましい実施形態によれば、前記位相同調装置は、前記荷電粒子ビームの軌道を偏向させる偏向磁石を移動させる偏向磁石移動装置である。
【００１７】
また、別の好ましい実施形態によれば、前記位相同調装置は、前記荷電粒子ビームの軌道を偏向させる偏向磁石の磁束密度を制御する偏向磁石制御装置である。
【００１８】
また、別の好ましい実施形態によれば、前記位相同調装置は、前記荷電粒子ビームを磁場により軌道変更するα磁石の磁束密度を制御するα磁石制御装置である。
【００１９】
前記高周波空洞は、荷電粒子ビームを加速する加速管の下流側に設置された減速管である。
【００２０】
また、本発明の好ましい実施形態によれば、前記加速管の下流側から前記減速管の上流側に高周波を伝送する高周波伝送路を備える。
【００２１】
また、別の好ましい実施形態によれば、前記高周波空洞は、直列に配置された複数の減速管からなり、隣接する上流側減速管の下流側と下流側減速管の上流側が高周波伝送路で連結されている。
【００２２】
また、別の好ましい実施形態によれば、前記高周波空洞の下流側から上流側に高周波を伝送する高周波循環路を備える。
【００２３】
また本発明によれば、上述した荷電粒子ビーム減速装置を備えた、ことを特徴とするＸ線発生装置が提供される。
【００２４】
また本発明によれば、高エネルギーの荷電粒子ビームの軌道上に高周波空洞を設置し、
該高周波空洞内の前記荷電粒子ビームを、高周波空洞の移動又は荷電粒子ビームの軌道長の変更により、高周波電場の位相に同調させる、ことを特徴とする荷電粒子ビーム減速方法が提供される。
【発明の効果】
【００２５】
上記本発明の装置及び方法によれば、高周波空洞内の高周波電場の位相を、位相同調装置による高周波空洞の移動又は荷電粒子ビームの軌道長の変更により、荷電粒子ビームに同調させるので、レーザーと衝突後の荷電粒子ビームを充填されている高周波の位相に合わせることができ、高周波の位相を専用の調整器等を用いて積極的に調整することなく、ビームエネルギーを調整することができる。
【００２６】
また、減速された荷電粒子ビームのエネルギーは高周波のエネルギーに変換されるので、廃棄または再利用することができる。
従って本発明により高周波の位相を調整することなく、ビームエネルギーを減速することができ、外部に強力な放射線（Ｘ線、中性子及びγ線）が漏れることを防ぐための大規模な遮蔽等の簡略化や、システムとしての小型化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
なお以下の例では、荷電粒子ビームが電子ビームである場合を説明する。
図１は、本発明による荷電粒子ビーム減速装置を備えた本発明のＸ線発生装置の全体構成図である。このＸ線発生装置は、電子ビーム発生装置１０、レーザー発生装置２０および荷電粒子ビーム減速装置３０を備える逆コンプトン散乱Ｘ線発生装置である。
【００２８】
電子ビーム発生装置１０は、電子ビームを加速してパルス荷電粒子ビーム１を発生し所定の直線軌道２を通過させる機能を有する。
この例において、電子ビーム発生装置１０は、ＲＦ電子銃１１、α磁石１２、加速管１３、偏向磁石１４、およびＱ磁石（四極電磁石）１５を備える。
【００２９】
ＲＦ電子銃１１と加速管１３は、Ｘバンド（１１．４２４ＧＨｚ）の高周波電源（図示せず）により駆動される。ＲＦ電子銃１１から引き出された電子ビーム１は、α磁石１２により軌道を変えて加速管１３に入射する。加速管１３は、小型のＸバンド加速管であり、電子ビームを加速し、例えば約５０ＭｅＶ前後の高エネルギーの電子ビームを形成する。
この電子ビームは、例えば約１μｓ前後のパルス電子ビーム１である。
【００３０】
偏向磁石１４は、パルス電子ビーム１の軌道を磁場で曲げて所定の直線軌道２を通過させ、通過後のパルス荷電粒子ビーム１を荷電粒子ビーム減速装置３０まで導く。Ｑ磁石１５はパルス電子ビーム１の収束具合を調整する。
【００３１】
上述した電子ビーム発生装置１０により、例えば、約５０ＭｅＶ前後、約１μｓ前後のパルス電子ビーム１を発生し、これを所定の直線軌道２を通過させることができる。
【００３２】
レーザー発生装置２０は、レーザー装置２１を有し、所定のパルスレーザービーム３を発生し、これを所定の直線軌道２で電子ビーム１と正面衝突させるようになっている。
【００３３】
上述した構成により、加速されたパルス電子ビーム１をパルスレーザービーム３と衝突させて衝突点２ａから逆コンプトン散乱による強力なＸ線を発生させることができる。
【００３４】
図２は、図１の荷電粒子ビーム減速装置３０の側面図である。
図１及び図２に示すように、荷電粒子ビーム減速装置３０は、ビーム軌道調整用電磁石３２、減速空洞３４、ビームエネルギー確認用機器３６、ビーム廃却用機器３８を備える。
ビーム軌道調整用電磁石３２は、直線軌道２を通過したパルス電子ビーム１の軌道を調整する。減速空洞３４は、高エネルギーの電子ビーム１の軌道上に設置された高周波空洞であり、この例ではＸバンド減速管である。
なお、高周波空洞とは線形加速器やシンクロトロンのような円形の空洞共振器、進行波型減速管を含む。
ビームエネルギー確認用機器３６は、減速空洞３４を通過した電子ビーム１の軌道をこの例では下向きに偏向させると同時に、そのエネルギーを検出する。ビーム廃却用機器３８は、電子ビーム１をエネルギー吸収材（例えばグラファイト）に衝突させて、エネルギーを例えば熱エネルギーとして消費させるようになっている。
【００３５】
本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０は、高エネルギーの電子ビーム１の軌道上に設置された高周波空洞３４と、高周波空洞３４内の電子ビーム１を高周波電場の位相に同調させる位相同調装置（後述する）とを備える。
高周波空洞３４は、上述した減速空洞３４であり、この例では、電子ビーム１を加速する加速管１３の下流側に設置された減速管である。
【００３６】
本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０は、加速管１３の下流側から減速管３４の上流側に高周波４を伝送する高周波伝送路３１を備える。この構成により、加速管１３の高周波を再利用することができ、システム全体の高周波源を小型化することができる。
【００３７】
図３（Ａ）は、本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０の第１実施形態図である。この図において、位相同調装置４０は、高周波空洞３４を電子ビーム１の軌道に沿って移動させる減速管移動装置４２である。
高周波空洞３４の上流側には、高周波源３４ａから高周波電場が伝送され、高周波空洞３４内を下流側に伝送して、下流側から高周波ダンプ３４ｂに排出されるようになっている。
高周波空洞３４の上流端と下流端には、それぞれ伸縮ベローズ４１ａ，４１ｂが設けられ、高周波空洞３４の内部を真空に保持したまま、高周波空洞３４を電子ビーム１の軌道に沿って移動可能にしている。
減速管移動装置４２は、例えば、螺旋ねじ、ラックとピニオン、直動アクチュエータであり、高周波空洞３４を電子ビーム１の軌道に沿って連続的に移動し、任意の位置で固定できるようになっている。
【００３８】
図３（Ｂ）は、高周波空洞３４内の高周波電場４と電子ビーム１との関係を示す模式図であり、図３（Ｃ）はその原理図である。
高周波空洞３４内の高周波電場４の管内波長は、高周波としてＸバンド（１１．４２４ＧＨｚ）を使用する場合、約３２ｍｍである。また、高周波電場４の進行速度はほぼ光速である。
一方、１０ＭｅＶ以上のエネルギーに加速された電子ビーム１の速度もほぼ光速である。
従って、高周波電場４の波長の１／２は、減速位相であり、図３（Ｃ）に示すように、電子ビーム１を高周波電場４の減速位相に同調させることにより、電子ビーム１を効率よく減速することができる。
【００３９】
図３（Ａ）の減速管移動装置４２は、高周波電場４の管内波長（例えば約３２ｍｍ）に相当する長さ以上を、高周波空洞３４を電子ビーム１の軌道に沿って連続的に移動し、任意の位置で固定できるようになっている。従って、高周波空洞３４内の高周波電場４の位相がどの位置にあっても、高周波空洞３４を移動させるだけで、電子ビーム１を高周波電場４の位相に同調させることができる。
【００４０】
電子ビーム１と高周波電場４の位相との同調は、上述したビームエネルギー確認用機器３６により検出エネルギーが最小となるように設定することによる。
【００４１】
図４は、本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０の第２実施形態図である。この図において、位相同調装置４０は、電子ビーム１を磁場により軌道変更する上述したα磁石１２の磁束密度Ｂを制御するα磁石制御装置４４である。
一定磁場Ｂ中の電子ビーム１は、ビームのエネルギーをＥとすると、Ｅ［ＧｅＶ］＝０．３×Ｂ×Ｒの関係式（１）によって円弧軌道を描く。ここでＲは曲率半径である。
例えば、電子ビームエネルギーＥを５０ＭｅＶ＝０．０５ＧｅＶ、磁束密度Ｂを０．４Ｔとすると曲率半径は０．４１７ｍとなる。
【００４２】
α磁石１２でビーム軌道Ａ，Ｂの軌道長を３２ｍｍ（高周波電場４の管内波長に相当する長さ）変化させる場合、曲率半径の差が約６．８ｍｍになればよい。ビーム軌道Ａの曲率半径を１５０ｍｍとすると磁束密度を１．１１Ｔにすればよく、ビーム軌道Ｂの径を１５６．８ｍｍとするには磁束密度を１．０６Ｔにすればよいことになる。
すなわち、α磁石制御装置４４によりα磁石１２の磁束密度Ｂを弱めるとビーム軌道Ａからビーム軌道Ｂに変わり、ビーム軌道長が変わり、その中間の磁束密度で電子ビーム１を高周波電場４の位相に対して同調させることができ、これにより電子ビーム１を効率よく減速することができる。
【００４３】
図５は、本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０の第３実施形態図である。この図において、位相同調装置４０は、電子ビーム１の軌道を偏向させる偏向磁石１４を移動させる偏向磁石移動装置４６である。
電子ビーム１の軌道を構成する中空管（図示せず）の上流端と下流端には、それぞれ伸縮ベローズが設けられ、中空管の内部を真空に保持したまま、偏向磁石１４を電子ビーム１の軌道方向（Ｘ方向）に沿って移動可能にしている。
偏向磁石移動装置４６は、例えば、螺旋ねじ、ラックとピニオン、直動アクチュエータであり、偏向磁石１４を電子ビーム１の軌道に沿って連続的に移動し、任意の位置で固定できるようになっている。
【００４４】
この構成により、２つの偏向磁石１４を移動方向にＸ移動するとベローズが伸縮し、ビーム軌道Ａからビーム軌道Ｂになり、軌道長がＸのＹ方向成分とＸの差の２倍変化する。
軌道長を３２ｍｍ（高周波電場４の管内波長に相当する長さ）変化させるためには、磁石の配置を４５度傾けた配置とすると、ＸとＹの差が１６ｍｍになればよいので、磁石をそれぞれＸ方向に約５５ｍｍ動かせばよいことになる。
すなわち、偏向磁石移動装置４６により偏向磁石１４を移動させることにより、電子ビーム１の軌道長が変わり、その中間位置で電子ビーム１をその中間位置で高周波電場４の位相に対して同調させることができ、これにより電子ビーム１を効率よく減速することができる。
なお、偏向磁石１４の配置及び移動方向は、電子ビーム１の軌道長を変えられる限りで、自由に設定することができる。
【００４５】
図６は、本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０の第４実施形態図である。この図において、位相同調装置４０は、電子ビーム１の軌道を偏向させる偏向磁石１４の磁束密度を制御する偏向磁石制御装置４８である。
偏向磁石１４の磁束密度を弱めるとビーム軌道Ａからビーム軌道Ｂに変わり、ビーム軌道長がその分変化する。ビーム軌道長を調整することで、電子ビーム１が高周波空洞に到達するタイミングを調整することができ、ビームエネルギーを任意に調整できる。
【００４６】
図７（Ａ）は、本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０の第５実施形態図である。この図において、高周波空洞３４は、直列に配置された複数（この例で２台）の減速管３４Ａ，３４Ｂからなり、隣接する上流側減速管３４Ａの下流側と下流側減速管３４Ｂの上流側が高周波伝送路３５で連結されている。
この構成により、上流側減速管３４Ａにおいて電子ビーム１の減速によりエネルギーを高めた高周波電場４を高周波伝送路３５で下流側減速管３４Ｂに伝送し再利用することができ、高周波空洞３４の必要エネルギーを小さくすることができる。
【００４７】
図７（Ｂ）は、本発明の荷電粒子ビーム減速装置３０の第６実施形態図である。この図において、高周波空洞３４の下流側から上流側に高周波を伝送する高周波循環路３７を備える。
この構成により、高周波空洞３４において電子ビーム１の減速によりエネルギーを高めた高周波電場４を高周波循環路３７で高周波空洞３４の上流側に伝送し再利用することができ、高周波空洞３４の必要エネルギーを小さくすることができる。
【００４８】
また本発明の方法によれば、高エネルギーの荷電粒子ビーム１の軌道上に高周波空洞３４を設置し、この高周波空洞３４内の荷電粒子ビーム１を、高周波空洞３４の移動又は荷電粒子ビーム１の軌道長の変更により、高周波電場４の位相に同調させる。
【００４９】
上述した本発明の装置及び方法によれば、高周波空洞３４内の荷電粒子ビーム１を、位相同調装置３０による高周波空洞３４の移動又は荷電粒子ビーム１の軌道長の変更により、高周波電場４の位相に同調させるので、レーザー２と衝突後の荷電粒子ビーム１を充填されている高周波の位相に合わせることができ、高周波の位相を専用の調整器等を用いて積極的に調整することなく、ビームエネルギーを調整することができる。
【００５０】
また、減速された電子ビーム１のエネルギーは高周波４のエネルギーに変換されるので、廃棄または再利用することができる。
従って本発明により高周波の位相を調整することなく、ビームエネルギーを減速することができ、外部に強力な放射線（Ｘ線、中性子及びγ線）が漏れることを防ぐための大規模な遮蔽等の簡略化や、システムとしての小型化が図れる。
【００５１】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。
また、本発明は、Ｘバンドに限らず、Ｘバンドより長波長であるＳバンドＣバンド、短波長のＫｕバンドやＫバンドにも位相調整機能が不要の面でコスト低減等有用な発明である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明による荷電粒子ビーム減速装置を備えた本発明のＸ線発生装置の全体構成図である。
【図２】図１の荷電粒子ビーム減速装置の側面図である。
【図３】本発明の荷電粒子ビーム減速装置の第１実施形態図とその説明図である。
【図４】本発明の荷電粒子ビーム減速装置の第２実施形態図である。
【図５】本発明の荷電粒子ビーム減速装置の第３実施形態図である。
【図６】本発明の荷電粒子ビーム減速装置の第４実施形態図である。
【図７】本発明の荷電粒子ビーム減速装置の第５、６実施形態図である。
【図８】非特許文献１の「小型Ｘ線発生装置」の構成図である。
【図９】特許文献１の「電子ビーム加速装置」の構成図である。
【図１０】特許文献２の「電子線装置」の構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  電子ビーム、２  直線軌道、２ａ  衝突点、
３  レーザービーム（パルスレーザービーム）、４  高周波（高周波電場）、
１０  電子ビーム発生装置、１１  ＲＦ電子銃、１２  α磁石、
１３  加速管、１４  偏向磁石、１５  Ｑ磁石（四極電磁石）
２０  レーザー発生装置、２１  レーザー装置
３０  荷電粒子ビーム減速装置、３１  高周波伝送路、
３２  ビーム軌道調整用電磁石、
３４  減速空洞（高周波空洞、減速管）、
３４ａ  高周波源、３４ｂ  高周波ダンプ、
３５  高周波伝送路、３６  ビームエネルギー確認用機器、
３７  高周波循環路、３８  ビーム廃却用機器、
４０  位相同調装置、４１ａ，４１ｂ  伸縮ベローズ、
４２  減速管移動装置、４４  α磁石制御装置、
４６  偏向磁石移動装置、４８  偏向磁石制御装置
【図１】
2008243375.tif 000003
【図２】
2008243375.tif 000004
【図３】
2008243375.tif 000005
【図４】
2008243375.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008243375.tif 000008
【図７】
2008243375.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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