(57)【要約】【課題】  ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子、及びそのハーメチックシール端子を製造する方法を提供する。【解決手段】  金属製の筒状部材４の軸方向の一端の肉厚を薄く加工し、薄肉部４ａを形成する工程と、筒状部材４の内側に、絶縁性の充填部材１０とその充填部材１０を貫通して伸びている導電性のリード１２を充填する工程を備えている。厚肉部４ｃと薄肉部４ａを有する金属製の筒状部材４と、筒状部材４の内側に充填されている絶縁性の充填部材１０と、充填部材１０を貫通して軸方向に伸びている導電性のリード１２を備えているハーメチックシール端子１００が得られる。【選択図】  図１
2008311424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能素子を搭載するためのハーメチックシール端子の製造方法であって、
金属製の筒状部材の軸方向の一端の肉厚を薄く加工し、薄肉部を形成する工程と、
筒状部材の内側に、絶縁性の充填部材とその充填部材を貫通して伸びている導電性のリードとを充填する工程と、を備えている製造方法。
【請求項２】
薄肉部を形成する工程に先立って、
筒状部材を軸方向に延伸させて所定の外径寸法に調整する工程と、
延伸された筒状部材を複数個に分断する工程と、をさらに備えていることを特徴とする請求項１の製造方法。
【請求項３】
機能素子を搭載するためのハーメチックシール端子であって、
厚肉部と薄肉部を有する金属製の筒状部材と、
筒状部材の内側に充填されている絶縁性の充填部材と、
充填部材を貫通して軸方向に伸びている導電性のリードと、を備えており、
薄肉部は、筒状部材の軸方向の一端に設けられており、
充填部材は、機能素子を搭載するための搭載面を有しており、
その搭載面は、軸方向の前記一端側に配置されているハーメチックシール端子。
【請求項４】
筒状部材の内壁面に、厚肉部の内壁面と薄肉部の内壁面の間に存在するとともに、厚肉部の内壁面と薄肉部の内壁面の双方と非平行な中間面が形成されており、
充填部材は、その中間面に接していることを特徴とする請求項３のハーメチックシール端子。
【請求項５】
薄肉部の厚みが、軸方向の前記一端で薄く、軸方向の他端で厚く形成されており、
薄肉部の内壁面が、軸方向に沿って傾斜しており、
充填部材は、薄肉部の内壁面に接していることを特徴とする請求項３又は４のハーメチックシール端子。
【請求項６】
充填部材が、筒状部材の前記一端の頂面にも接していることを特徴とする請求項３から５のいずれかのハーメチックシール端子。
【請求項７】
リードは、筒状部材の内壁面からの距離が増大する方向に向かって屈曲する部分を有していることを特徴とする請求項３から６のいずれかのハーメチックシール端子。
【請求項８】
筒状部材の外径は、軸方向に一定であることを特徴とする請求項３から７のいずれかのハーメチックシール端子。
【請求項９】
厚肉部の外周面にねじが設けられていることを特徴とする請求項３から８のいずれかのハーメチックシール端子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハーメチックシール端子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力、荷重、加速度又は角速度などの物理量を電気信号に変換する機能素子は、ハーメチックシール端子に搭載されて用いられることが多い。ハーメチックシール端子は、金属製の筒状部材と、筒状部材の内側に充填されている絶縁性の充填部材と、充填部材を貫通して軸方向に伸びている導電性のリードを備えている。機能素子は、充填部材の一方の表面に搭載され、例えば、ワイヤボンディングを介してリードと電気的に接続されている。ハーメチックシール端子は、例えばハウジングの収容部に収容されて用いられる。機能素子からの電気信号は、リードを介してハウジング外に取り出される。この種のハーメチックシール端子は、特許文献１に開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−４１８３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種のハーメチックシール端子を製造するためには、筒状部材を軸方向に延伸させて所定の外径寸法に調整した後に、延伸された筒状部材を複数個に分断することによって、所望の筒状部材を作製する。次に、筒状部材の内側に、絶縁性の充填部材とその充填部材を貫通して伸びているリードとを充填し、ハーメチックシール端子を製造する。
【０００５】
筒状部材の内側に充填部材を充填する前の段階では、筒状部材の強度が弱く成り易い。製造工程中に筒状部材が変形するのを防止するためには、筒状部材の外径寸法を大きくする及び／又は筒状部材の厚みを大きくすることで強度を向上させるのが望ましい。しかしながら、前記したように、ハーメチックシール端子は、ハウジングに収容されて用いられることが多いので、筒状部材の外径寸法は、ハウジングの収容部の内径寸法に応じて設計されなければならない。したがって、筒状部材の外径寸法は、ハウジングの収容部の内径寸法によって制限されており、筒状部材の外径寸法を大きくすることができない。このため、従来の製造方法では、筒状部材の厚みを大きくすることによって、筒状部材の変形を防止している。
【０００６】
しかしながら、筒状部材の厚みを大きくすると、筒状部材の内側に充填されている充填部材の表面の面積が減少し、ひいては機能素子を搭載するための搭載面の面積も減少してしまう。ハウジング自体を小型化したい場合は、ハウジングの収容部の内径寸法及び筒状部材の外径寸法も小さくなり、この結果、機能素子を搭載するための面積を十分に確保できないという事態が起きてしまう。
本発明は、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子、及びそのハーメチックシール端子を製造する方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書で開示される技術は、筒状部材の軸方向の一端の厚みを薄く加工し、その軸方向の一端に薄肉部を設けることを特徴としている。薄肉部は、筒状部材の内壁面を削ることで形成してもよく、筒状部材の外壁面を削ることで形成してもよい。
筒状部材の内壁面を削ることで薄肉部を形成する場合は、筒状部材の内側に広い面積を確保することができる。このため、筒状部材の外径寸法がハウジングの収容部の内径寸法に応じて制限されている場合でも、筒状部材の内側に機能素子を搭載するための面積を広く確保することができる。また、筒状部材の軸方向の一端にのみ薄肉部を設けるので、筒状部材の全体の強度は高く維持される（なお、筒状部材の全体として強度が高く維持される限り、軸方向の一端以外の一部にも他の薄肉部が設けられていてもよい）。このため、製造工程中に筒状部材が変形するのを防止することができる。
筒状部材の外壁面を削ることで薄肉部を形成する場合は、筒状部材の一端にハウジングの収容部の内径寸法に応じた外径寸法の局所領域を形成することができる。このため、ハーメチックシール端子は、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能である。また、筒状部材の軸方向の一端にのみ薄肉部を設けるので、筒状部材の全体の強度は高く維持される（なお、筒状部材の全体として強度が高く維持される限り、軸方向の一端以外の一部にも他の薄肉部が設けられていてもよい）。このため、製造工程中に筒状部材が変形するのを防止することができる。
即ち、筒状部材の内壁面を削ることで薄肉部を形成する技術、筒状部材の外壁面を削ることで薄肉部を形成する技術のいずれにおいても、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子を提供することができる。
【０００８】
本明細書で開示する機能素子を搭載するためのハーメチックシール端子の製造方法は、金属製の筒状部材の軸方向の一端の肉厚を薄く加工し、薄肉部を形成する工程を備えている。本明細書で開示する製造方法はさらに、筒状部材の内側に、絶縁性の充填部材とその充填部材を貫通して伸びている導電性のリードとを充填する工程を備えている。
筒状部材の軸方向の一端にのみ薄肉部を設けるので、筒状部材の全体の強度は高く維持される。筒状部材の内側に充填部材とリードを充填する工程中に、筒状部材が変形するのを防止することができる。
【０００９】
本明細書で開示される製造方法では、薄肉部を形成する工程に先立って、筒状部材を軸方向に延伸させて所定の外径寸法に調整する工程と、延伸された筒状部材を複数個に分断する工程をさらに備えていることが好ましい。
本明細書で開示される技術では、後の工程で筒状部材の一端に薄肉部を形成するので、筒状部材を軸方向に延伸させる工程では、筒状部材の外径寸法を大きくする及び／又は筒状部材の厚みを大きくすることが可能になる。この結果、筒状部材の強度が高い状態を持しながら延伸工程を実施できるので、筒状部材の変形を防止することができる。
【００１０】
本明細書で開示する機能素子を搭載するためのハーメチックシール端子は、厚肉部と薄肉部を有する金属製の筒状部材と、筒状部材の内側に充填されている絶縁性の充填部材と、充填部材を貫通して軸方向に伸びている導電性のリードを備えている。薄肉部は、筒状部材の軸方向の一端に設けられている。充填部材は、機能素子を搭載するための搭載面を有しており、その搭載面は、軸方向の前記一端側に配置されている。
上記のハーメチックシール端子は、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能な形態を備えている。
【００１１】
本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、筒状部材の内壁面に、厚肉部の内壁面と薄肉部の内壁面の間に存在するとともに、厚肉部の内壁面と薄肉部の内壁面の双方と非平行な中間面が形成されていることが好ましい。この場合、充填部材は、中間面に接していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子によると、筒状部材の内側から充填部材が抜けることを防止できる。充填部材を筒状部材の内側に安定して留めておくことができる。
【００１２】
本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、薄肉部の厚みが、軸方向の前記一端で薄く、軸方向の他端で厚く形成されていることが好ましい。この場合、薄肉部の内壁面は、軸方向に沿って傾斜しており、充填部材は、薄肉部の内壁面に接していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子でも、筒状部材の内部から充填部材が抜けることを防止できる。
【００１３】
本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、充填部材が筒状部材の前記一端の頂面にも接していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子によると、機能素子を搭載させることができる充填部材の面積をより大きく確保することができる。
【００１４】
本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、リードが、筒状部材の内壁面からの距離が増大する方向に向かって屈曲する部分を有していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子によると、リードと筒状部材の内壁面が接触することを抑制できる。リードが短絡することを防止できる。
【００１５】
本明細書で開示されるハーメチックシール端子は、筒状部材の外径が軸方向に一定であってもよい。
上記のハーメチックシール端子は、筒状部材の内壁面を削ることで薄肉部が形成された形態を表している。
【００１６】
本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、厚肉部の外周面にねじが設けられていてもよい。
ハーメチックシール端子が収容されるハウジングの収容部の内壁面にねじが設けられていると、ハーメチックシール端子をハウジングの収容部に容易に固定することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本明細書で開示される技術によると、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子を提供することができる。また、そのハーメチックシール端子を製造する方法をも提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
実施例の主要な特徴を列記する。
（特徴１）  筒状部材の薄肉部にのみ充填部材が充填されている。
（特徴２）  筒状部材に、ガラスの充填部材が充填されている。
（特徴３）  充填部材が、筒状部材の薄肉部の頂面全域に接している。
【実施例】
【００１９】
（第１実施例）
図１に、ハーメチックシール端子１００の縦断面図を模式的に示す。図２に、ハーメチックシール端子１００を図１の矢印Ａ方向に観察した外観図を示す。
ハーメチックシール端子１００は、金属製の筒状部材４と、筒状部材４の内側に充填されている絶縁性の充填部材１０と、充填部材１０を貫通して軸方向に伸びている導電性のリード１２を備えている。充填部材１０は、圧力検知素子（図示省略）を搭載するための搭載面１３を有している。機能素子は、ワイヤボンディングを介してリード１２と電気的に接続される。
筒状部材４は円筒形状であり、その材料はコバールである。なお、コバールに代えて、４２アロイ、５２アロイ、鉄及びＳＵＳ等を使用することもできる。筒状部材４は、厚肉部４ｃと薄肉部４ａを有している。筒状部材４の内径は、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で変化している。即ち、筒状部材４の内壁面に、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａ内壁面の間に存在する中間面４ｂが形成されている。中間面４ｂは、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａ内壁面の双方に非平行である。なお、本実施例では、筒状部材４の内径が、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で不連続に変化し、中間面４ｂが形成されている。中間面４ｂは、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａ内壁面の双方に直交している。
筒状部材４の外径は、軸方向に一定である。なお、ここでいう「外径が軸方向に一定」とは、厚肉部と薄肉部の間の中間面が外壁面に形成されていない状態のことをいう。例えば、図３に示しているように、筒状部材４の外周面６にねじ２が形成されていても、厚肉部４ａの厚みに対してねじ２の山の高さ（又は溝の深さ）は極めて小さいので、ねじ２が形成する面は厚肉部と薄肉部の間の中間面と解釈すべきものではない。外周面６にねじ２が設けられていても、筒状部材４の外径は軸方向に一定であると評価することができる。
【００２０】
充填部材１０には、ガラス（ホウケイ酸ガラス）が用いられている。充填部材１０は、軸方向の一端に機能素子を搭載するための搭載面１３を有しており、その搭載面１３は筒状部材４の薄肉部４ａ側に配置されている。充填部材１０は、筒状部材４の一端の頂面８の全域に接している。充填部材１０は、筒状部材４の薄肉部４ａ内にのみ充填されており、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間の中間面４ｂに接している。
上述したように、ハーメチックシール端子１００では、充填部材１０が筒状部材４の頂面８の全域に接している。充填部材１０が頂面８に接していない場合（図２において、搭載面１３が、薄肉部４ａの内側にのみ形成される。）と比較して、頂面８上に存在する搭載面１３の表面積の分だけ搭載面１３の表面積を大きく確保することができる。筒状部材４の外径寸法が制限されている場合でも、機能素子を搭載するために広い面積を確保することができる。
充填部材１０は、筒状部材４の厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａの内壁面の間の中間面４ｂに接している。充填部材１０に矢印Ａ方向の力が加わっても、充填部材１０が筒状部材４から抜けてしまうことを防止できる。筒状部材４の一端に薄肉部４ａを設けると、搭載面１３の表面積の増大と充填部材１０の抜け防止という作用を同時に得ることができる。上記したように、本実施例では、筒状部材４の内径が、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で不連続に変化し、中間面４ｂが形成されている。なお、筒状部材４の内径が、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で連続的に変化することにより中間面４ｂが形成されても、中間面４ｂが、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部4ａの内壁面の双方と非平行である限り、充填部材１０が筒状部材４から抜けてしまうことを防止できる。
充填部材１０は、筒状部材４の厚肉部４ｃの一部に充填しても良いが、薄肉部４ａにのみ充填すると、充填部材１０の使用量を少なくすることができ、ハーメチックシール端子１００の製造コストを低減することができる。なお、薄肉部４ａに充填部材１０が充填されていることにより、薄肉部４ａの強度が向上する。
【００２１】
一般的に、圧力検知素子等の機能素子は、一対のリード１２間に搭載されることが多い。このため、機能素子を搭載する面積を拡大するために一対のリード１２間の距離を広げると、リード１２と筒状部材４の間の距離が短くなり、電気的に短絡してしまう虞がある。本実施例のように、リード１２が筒状部材４の内壁面１４からの距離が増大する方向に向かって屈曲する部分１２ａを有していると、リード１２と筒状部材４の内壁面１４が接触することを抑制できる。
なお、リード１２が絶縁性の充填部材１０で覆われている部分は、電気的に短絡してしまう虞が少ない。したがって、短絡を防止するためには、リード１２が充填部材１０外に突出している部分において、リード１２と筒状部材４の間の距離を十分に確保することが重要である。本実施例のように、屈曲部分１２ａが絶縁性の充填部材１０内に位置していれば、リード１２が充填部材１０外に突出している部分において、リード１２と筒状部材４の間の距離を十分に確保することができる。
また、屈曲部分１２ａが薄肉部４ａの内側に配置されていると、厚肉部４ｃが形成されていても、リード１２と筒状部材４の内壁面１４が接触することを良好に防止できる。
【００２２】
（ハーメチックシール端子１００の製造方法）
図４から図８を参照して、ハーメチックシール端子１００の製造方法について説明する。
まず、図４に示しているように、肉厚の厚い筒状部材３を、矢印Ｂ方向に延伸させて所定の外径寸法に調整する。図中の記号４は、所定の外径寸法に延伸された部分を示しており、その外径は筒状部材４（図１を参照）の外径と等しい。次いで、筒状部材４を複数個に分断する。
図５に、図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図を示している。筒状部材４は円筒形状であり、筒状部材４の肉厚は、筒状部材４の厚肉部４ｃ（図１を参照）の厚みに等しい。
図６に、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図を示している。筒状部材４の肉厚は、軸方向に一定である。
【００２３】
次に、図７に示しているように、筒状部材４の軸方向一端の肉厚を薄く加工し、薄肉部４ａを形成する。なお本実施例では、筒状部材４の内壁面を削って薄肉部４ａを形成している。筒状部材４の薄肉部４ａ以外の部分が厚肉部４ｃになる。肉厚部４ｃの内壁面と薄肉部４ａの内壁面間に中間面４ｂが形成される。
【００２４】
次に、筒状部材４の内側に、絶縁性の充填部材１０と充填部材１０を貫通して伸びているリード１２を充填する。
まず、図８に示しているように、筒状部材４を治具４０上に配置する。治具４０は、基板３４と固定部材３８を有しており、基板３４に窪み３６が形成されている。
筒状部材４は、薄肉部４ａの頂面８と基板３４の表面が接するように配置する。また、固定部材３８が筒状部材４の外周面６に接触するように配置する。その結果、筒状部材４が、軸方向に直交する方向に移動することが禁止される。
次に、筒状部材４の内壁面１４から離れた位置に、筒状部材４を軸方向に通過するリード１２を配置する。リード１２の一端は窪み３６内に収容される。
次に、筒状部材４の内側に溶融したガラスを流し込む。本実施例では、溶融したガラスを、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａの内壁面の間の中間面４ｂに接するまで充填する。なお、溶融したガラスを、中間面４ｂを超えるまで充填してもよい。このときに、充填部材１０を薄肉部４ａの頂面８にも形成したい場合は、固定部材３８と外周面６が接触した状態を維持しつつ筒状部材４を軸方向に移動させ、薄肉部４ａの頂面８と基板３４の間に隙間を形成すると、溶融したガラスがその隙間に流れ込ませることができる。充填部材１０を薄肉部４ａの頂面８にも形成することができる。筒状部材４を軸方向に移動させるには、溶融したガラスに圧力を加えてもよい。溶融したガラスに圧力を加えると、薄肉部４ａの頂面８と基板３４の間に隙間が形成され、溶融したガラスがその隙間に流れ込む。なお、固定部材３８と外周面６が接触しているため、溶融したガラスが筒状部材４の外周面６よりも外側にまで接して形成されることはない。充填部材１０が硬化した後、筒状部材４を治具４０から取り外す。以上の工程によりハーメチックシール端子１００を製造することができる。
【００２５】
本実施例の製造方法では、図７に示すように、後の工程で筒状部材４の一端に薄肉部４ａを形成するので、筒状部材３を軸方向に延伸させる工程では、筒状部材４の部分の厚みを大きくした状態で実施することができる。なお、図６の筒状部材４を円柱状の部材から切削加工して形成する場合でも、その切削加工工程において、筒状部材４の厚みを大きくした状態で実施することができる。この結果、筒状部材４の強度が高い状態を持しながら延伸工程又は切削工程を実施できるので、筒状部材４の変形を防止することができ、筒状部材の寸法精度を高くすることができる。
上記第１実施例では、充填部材１０が筒状部材４の頂面８に接している例について説明した。充填部材１０は必ずしも筒状部材４の頂面８に接している必要はない。重要なことは、筒状部材４が厚肉部４ｃと薄肉部４ａを有していることである。ハーメチックシール端子１００と他の部品との接続条件や、ハーメチックシール端子１００の製造を簡単化するために、充填部材１０を筒状部材４の内部にのみ充填してもよい。
【００２６】
（第２実施例）
図９に、ハーメチックシール端子１００を使用している圧力センサ６００の縦断面図を示している。圧力センサ６００は、ハーメチックシール端子１００と第１ハウジング２４と第２ハウジング４４とコネクタ５４を備えている。
ハーメチックシール端子１００の搭載面１３上に圧力検知素子３２が搭載されている。圧力検知素子３２は、ワイヤ２６を介してリード１２の一方の端部に電気的に接続されている。リード１２の他方の端部に、ワイヤ４６が接続されており、ワイヤ４６によってリード１２と回路チップ４８が電気的に接続されている。
筒状部材４の外周面６（図１を参照）と第１ハウジング２４の内壁面がはんだ接合で固定されている。第１ハウジング２４は、ダイヤフラム３０を備えている。ダイヤフラム３０に圧力が加えられると、伝達部材２８を介して、圧力検知素子３２に力が加えられる。圧力検知素子３２に加えられた力は、回路チップ４８で演算処理される。
第１ハウジング２４は、第２ハウジング４４に嵌めこまれており、第２ハウジング４４の頂面５８と第１ハウジング２４がはんだ接合で固定されている。第２ハウジング４４の外周面の一部には、ねじ４２が形成されている。
第２ハウジング４４の外周の一部には、中空のナット５０も形成されている。ナット５０内にコネクタ５４が嵌め込まれており、コネクタ５４に、基板５２が嵌め込まれている。基板５２に、３本のピン５６が接続されている。回路チップ４８は、基板５２上に配置されている。
圧力センサ６００は、様々な油圧機構機器の油圧ラインの圧力を検知するために使用される。ねじ４２を、油圧ラインのパイプに形成されたねじ穴に固定し、油圧機構機器内の圧力の信号をピン５６から外部に伝達することができる。
【００２７】
圧力センサ６００の小型化を進めると、第１ハウジング２４も小型にしなければならない。その場合、ハーメチックシール端子１００を収容する空間も小さくなる。前記したように、ハーメチックシール端子１００は、薄肉部４ａが筒状部材４の軸方向の一端にのみ設けられているので、筒状部材４の強度を確保するとともに、圧力検知素子３２を搭載する面積を広く確保することができる。ハーメチックシール端子１００の形態は、小型化に対応するために有用な技術であり、圧力センサ６００の小型化に寄与することができる。
【００２８】
（第３実施例）
図１０を参照してハーメチックシール端子２００について説明する。ハーメチックシール端子２００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子２００では、筒状部材２０４の薄肉部２０４ａの厚みが、軸方向の一端（頂面２０８側）で薄く、軸方向の他端では厚く形成されていることを特徴としている。薄肉部２０４ａの内壁が、軸方向に沿って傾斜しており、傾斜面２１６が形成されている。充填部材２１０は、薄肉部２０４ａの内壁（傾斜面２１６）に接している。傾斜面２１６が存在することにより、ハーメチック端子２００でも、充填部材２１０が筒状部材２０４から抜けることを防止できる。
【００２９】
（第４実施例）
図１１を参照してハーメチックシール端子３００について説明する。ハーメチックシール端子３００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子３００では、筒状部材３０４の内壁が、軸方向の一端から他端まで軸方向に沿って連続的に傾斜している傾斜面３１６であることを特徴としている。本実施例のハーメチックシール端子３００では、厚肉部３０４ｃの内壁面と薄肉部３０４ａの内壁面の間に明確な境界がみられない。しかし、筒状部材３０４の軸方向の一端が残部よりも薄く形成されており、筒状部材３０４を全体として捉えれば、筒状部材３０４の軸方向の一端側が薄肉部３０４ａであり、筒状部材３０４の軸方向の他端側が厚肉部３０４ｃと観念することができる。傾斜面３１６が存在することにより、ハーメチックシール端子３００でも、充填部材３１０が筒状部材３０４から抜けることを防止できる。
【００３０】
（第５実施例）
図１２を参照してハーメチックシール端子４００について説明する。ハーメチックシール端子４００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子４００では、筒状部材４０４の内壁が、厚肉部４０４ｃの内壁面と薄肉部４０４ａの内壁面の間に傾斜面（中間面）４１６を備えていることを特徴としている。傾斜面４１６では、筒状部材４０４の内径が連続的に変化している。傾斜面４１６が存在することにより、ハーメチックシール端子４００でも、充填部材４１０が筒状部材４０４から抜けることを防止できる。
【００３１】
（第６実施例）
図１３を参照してハーメチックシール端子５００について説明する。ハーメチックシール端子５００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子５００では、筒状部材５０４の内壁面５１４が軸方向に一定であり、中間面５０４ｂが、厚肉部５０４ｃの外壁面と薄肉部５０４ａの外壁面の間に形成されていることを特徴としている。本実施例のハーメチック端子５００では、筒状部材５０４の薄肉部５０４ａが、ハウジングの収容部に収容される。即ち、ハーメチックシール端子５００は、ハウジングの収容部の内径寸法に応じた外径寸法の局所領域（薄肉部５０４ａ）を備えていることを特徴としている。
ハーメチックシール端子５００の形態によると、筒状部材５０４の延伸成形する工程では、筒状部材５０４の外径を大きく（厚肉部５０４ｃの外径）及び筒状部材５０４の肉厚を大きくした状態で実施し、後にハウジングの収容部に合わせて筒状部材５０４の一端を薄く加工する。このため、ハーメチックシール端子５００の形態によると、延伸成形する工程では、筒状部材５０４の変形を防止することができる。なお、ハーメチックシール端子５００の薄肉部５０４ａに、傾斜面を形成してもよい。充填部材５１０が筒状部材５０４から抜けることを防止できる。
【００３２】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
上記実施例では、筒状部材の薄肉部にのみ充填部材が充填されている。しかしながら、筒状部材の厚肉部にも充填部材が充填されていてもよい。この場合、筒状部材の厚肉部の強度を向上させることができる。
第１実施例では、筒状部材の薄肉部の頂面の全域に充填部材が接して形成されているが、筒状部材の薄肉部の頂面の一部分に充填部材が形成されていてもよい。この場合でも、薄肉部の頂面に存在する搭載面の表面積分だけ搭載面の表面積を大きく確保することができる。また、充填部材が筒状部材の外壁面に接することを確実に防止することもできる。
第２実施例において、第１実施例のハーメチックシール端子に代えて、第３実施例から第６実施例のいずれかのハーメチックシール端子を利用することもできる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。
【図２】第１実施例のハーメチックシール端子を、図１の矢印Ａ方向に観察した外観図を示す。
【図３】第１実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。第３実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。
【図４】第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。
【図５】第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。
【図６】第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。
【図７】第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。
【図８】第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。
【図９】第２実施例の圧力センサの縦断面図を示す。
【図１０】第３実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。
【図１１】第４実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。
【図１２】第５実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。
【図１３】第６実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。
【符号の説明】
【００３４】
４、２０４、３０４、４０４、５０４：筒状部材
４ａ、２０４ａ、３０４ａ、４０４ａ、５０４ａ：筒状部材の薄肉部
４ｃ、２０４ｃ、３０４ｃ、４０４ｃ、５０４ｃ：筒状部材の厚肉部
１０、２１０、３１０、４１０、５１０：充填部材
１２、２１２、３１２、４１２、５１２：リード
１００、２００、３００、４００、５００：ハーメチックシール端子
６００：圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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