(57)【要約】【課題】管理情報が十分な変調度を有する情報として再生できるようにバーコード情報を記録する領域を有する光情報記録媒体を提供する。【解決手段】基板６と光吸収材料を含む光吸収層７とを備え、光吸収層７はユーザー情報を記録または再生するための同心円状又は螺旋状の案内溝を有するユーザー情報領域ＹＡ１と、ユーザー情報領域ＹＡ１の内周側に位置して管理情報をバーコードとして記録するためにユーザー情報領域ＹＡ１の案内溝と略同じ間隔、且つ深く形成する溝及び／又はピット列を有するバーコード情報領域ＢＣＡ１とを設ける光情報記録媒体１。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
光吸収材料を含み、前記基板上に形成する光吸収層と、を備え、
前記光吸収層は、
ユーザー情報を記録または再生するための同心円状又は螺旋状の案内溝を有するユーザー情報領域と、
前記ユーザー情報領域の内周側に位置し、管理情報をバーコードとして記録するために、前記ユーザー情報領域の前記案内溝と略同じ間隔で、且つ、当該案内溝より深く形成する溝及び／又はピット列を有するバーコード情報領域と、を設ける
ことを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項２】
前記光吸収層を２層備え、当該光吸収層の少なくとも１層に前記バーコード情報領域を有することを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体。
【請求項３】
バーコード情報を記録した前記バーコード情報領域の反射率が、当該バーコード情報を記録する前の反射率より高いことを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体。
【請求項４】
光吸収材料を含み、光の入射側から見て手前側の第１の光吸収層と、当該光の入射側から見て奥側の第２の光吸収層と、を備え
前記第２の光吸収層は、
ユーザー情報を記録又は再生するための案内溝を有するユーザー情報領域と、
前記ユーザー情報領域の内周側に設け、管理情報をバーコードとして記録し、当該ユーザー情報領域の前記案内溝と略同じ間隔で、且つ、当該案内溝より深い溝又はピット列を有するバーコード情報領域と、を有する
ことを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項５】
光情報記録媒体のユーザー情報領域に同心円状又は螺旋状の案内溝を形成するための第１の凹凸パターンと、
前記光情報記録媒体の前記ユーザー情報領域の内周側に設けるバーコード情報領域に、前記案内溝と略同じ間隔で、且つ、当該案内溝より深い溝又はピット列を形成するための第２の凹凸パターンと、を有する
ことを特徴とする光情報記録媒体用スタンパ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光情報記録媒体等に関し、より詳しくは、管理情報をバーコードとして記録する領域を有する光情報記録媒体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＶＤ−ＲＯＭ等の光情報記録媒体には、その最内周に、トラッキングサーボ制御を行うことなく情報を読み取る領域を有するものがある。この領域には、ユーザー情報を管理又は著作権を保護するための管理情報等を記録する。ユーザー情報としては、プログラム、データ、アプリケーション情報等が挙げられる（特許文献１〜特許文献３参照）。
このような管理情報は、例えばＤＶＤ−ＲＯＭでは、通常、高出力のＹＡＧレーザを反射膜に照射し、バーコード状に反射膜を除去することにより形成する（特許文献４参照）。
【０００３】
一方、ＤＶＤ−Ｒのような追記型光情報記録媒体は、高出力のＹＡＧレーザを照射しバーコード状に反射膜を除去すると、光吸収層と反射膜とが剥離する場合がある。このため、専用のバーコード記録装置を用いて光吸収層を変性し、光学的な反射率の違いを利用して再生する方法を採用する。
【０００４】
また、ＤＶＤ−Ｒの場合は、このようなバーコード状に記録する管理情報（以下、「バーコード情報」と記す。）を、ユーザーがデータを記録するデータ領域の内側に設けたリードイン領域の一部に形成する。リードイン領域はドライブで管理データを記録するため、データ領域と同じ構成の案内溝が形成されている。一方、青色レーザを用いる大容量の追記型光情報媒体であるＨＤ  ＤＶＤ−Ｒでは、バーコード情報を記録する領域は、管理情報及びユーザーデータを記録する領域の内側に、独立に専用の領域として設ける。したがって、バーコード情報を記録する領域の構造に関する制約は少ない。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１４９４２３号公報
【特許文献２】特開２０００−２２２７８３号公報
【特許文献３】特開２００１−０４３５３３号公報
【特許文献４】特開平０６−２０３４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ＨＤ  ＤＶＤ−Ｒの場合、溝を有しないミラー領域に記録したバーコード情報からは、再生するための十分な特性を得ることが難しい。これは、ミラー領域に積層した色素膜の膜厚（色素膜厚）が、ユーザー情報を記録再生するための溝等を有する領域と比較して薄いためと考えられる。
この場合、ミラー領域の色素膜厚を厚くすると、ユーザー情報を記録する領域の色素膜厚が過度に厚くなり、ユーザー情報の記録特性を確保できなくなる。このため、ＤＶＤ−Ｒと同様にバーコード情報を記録する領域にもユーザー情報を記録する領域と同等の深さの溝を形成し、色素積層量を多くする試みがなされている。
【０００７】
しかしながら、青色レーザを使用する追記型光情報記録媒体に設ける光吸収性色素記録膜は、記録前後の信号振幅の変化（変調度）が小さいため、ＤＶＤ−Ｒと同様の溝構成では、変調度の十分な信号が得られるバーコード情報を記録することが困難であるという問題がある。
さらに、片側から照射する光により記録再生可能な２層の光吸収層を有する光情報記録媒体では、光入射側から見て奥側の光吸収層にバーコード情報を記録する場合、光入射側と反対側から専用のバーコード記録装置を用いてバーコード情報を記録する。その場合、光吸収層にバーコード情報を直接記録せずに、反射膜をレーザで加熱し、その熱によりバーコード情報を記録する。そのため、光吸収層が１層しかない光情報記録媒体と比較して、十分な変調度を有するバーコード情報を記録することがさらに困難である。
【０００８】
本発明は、追記型情報記録媒体におけるこのような問題点を解決するためになされたものである。
即ち、本発明の目的は、管理情報が十分な変調度を有する情報として再生できるように、バーコード情報を記録する領域を有する光情報記録媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した問題を解決するために本発明者は鋭意検討した結果、本発明を完成した。
請求項１に係る発明は、基板と、光吸収材料を含み、前記基板上に形成する光吸収層と、を備え、前記光吸収層は、ユーザー情報を記録または再生するための同心円状又は螺旋状の案内溝を有するユーザー情報領域と、前記ユーザー情報領域の内周側に位置し、管理情報をバーコードとして記録するために、前記ユーザー情報領域の前記案内溝と略同じ間隔で、且つ、当該案内溝より深く形成する溝及び／又はピット列を有するバーコード情報領域と、を設けることを特徴とする光情報記録媒体である。
請求項２に係る発明は、前記光吸収層を２層備え、当該光吸収層の少なくとも１層に前記バーコード情報領域を有することを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体である。
請求項３に係る発明は、バーコード情報を記録した前記バーコード情報領域の反射率が、当該バーコード情報を記録する前の反射率より高いことを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体である。
請求項４に係る発明は、光吸収材料を含み、光の入射側から見て手前側の第１の光吸収層と、当該光の入射側から見て奥側の第２の光吸収層と、を備え、前記第２の光吸収層は、ユーザー情報を記録又は再生するための案内溝を有するユーザー情報領域と、前記ユーザー情報領域の内周側に設け、管理情報をバーコードとして記録し、当該ユーザー情報領域の前記案内溝と略同じ間隔で、且つ、当該案内溝より深い溝又はピット列を有するバーコード情報領域と、を有することを特徴とする光情報記録媒体である。
請求項５に係る発明は、光情報記録媒体のユーザー情報領域に同心円状又は螺旋状の案内溝を形成するための第１の凹凸パターンと、前記光情報記録媒体の前記ユーザー情報領域の内周側に設けるバーコード情報領域に、前記案内溝と略同じ間隔で、且つ、当該案内溝より深い溝又はピット列を形成するための第２の凹凸パターンと、を有することを特徴とする光情報記録媒体用スタンパである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、バーコード情報領域に、ユーザー情報領域における案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ深い溝及び／又はピット列を形成することにより、ユーザー情報領域の色素膜厚に依存することなく、バーコード情報領域の色素膜厚を厚くすることが出来る。その結果、バーコード情報領域に十分な変調度を有するバーコード情報を記録し、記録したバーコード情報を正確に再生することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、発明の実施の形態）について詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することが出来る。また、使用する図面は本実施の形態を説明するためのものであり、実際の大きさを表すものではない。
【００１２】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態としての光情報記録媒体を説明する図である。図１に示す光情報記録媒体１は、光吸収層を１層有する。図１に示すように、光情報記録媒体１は、円盤状の中央部に形成する中心孔の外周側に、管理情報をバーコード（バーコード情報３）として記録するバーコード情報領域２と、バーコード情報領域２のさらに外周側にユーザー情報を記録するユーザー情報領域４とを有する。バーコード情報領域２は、ユーザー情報領域の案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ案内溝よりも深い同心円状又は螺旋状の溝及び／又はピット列を有する。ユーザー情報領域４は、同心円状又は螺旋状の案内溝を有し、案内溝に沿って所定のユーザー情報を記録する。
また、バーコード情報領域２とユーザー情報領域４との間には、必要に応じて、ミラー領域や管理情報等を示すピットを形成しても良い。
【００１３】
図２は、第１の実施の形態としての光情報記録媒体１の断面構成を説明する図である。図２に示すように、光情報記録媒体１は、光Ｌの入射側に設ける光透過性の第１の基板６と、第１の基板６上に形成する光吸収層７と、反射層８とを有する。さらに、反射層８上に接着層９を介して第２の基板１０を貼り合わせ一体化している。
光吸収層７は、第１の基板６上に形成する凹凸７ａと光吸収材料を含む色素記録膜７ｂとを有する。光吸収材料については後述する。
【００１４】
第１の基板６は、ユーザー情報を記録する案内溝を有するユーザー情報領域ＹＡ１と、バーコード情報を記録する溝及び／またはピット列を有するバーコード情報領域ＢＣＡ１と、を備える。ユーザー情報領域ＹＡ１における案内溝の形状は、同心円状又は螺旋状である。ユーザー情報領域ＹＡ１における案内溝の間隔（トラックピッチ）は、例えば、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）の場合は、通常、０．７４μｍである。ＨＤ  ＤＶＤ（Ｈｉｇｈ−Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）の場合は、通常、０．４０μｍである。
また、ユーザー情報領域ＹＡ１における案内溝の深さは、例えば、ＤＶＤの場合は、通常、１２０ｎｍ〜２００ｎｍである。ＨＤ  ＤＶＤの場合は、通常、４０ｎｍ〜８０ｎｍである。
【００１５】
ここで、光情報記録媒体１において、バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列は、ユーザー情報領域ＹＡ１の案内溝と略同じ間隔で、且つ、深く形成する。
具体的には、バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の深さは、ユーザー情報領域ＹＡ１の案内溝の深さより、通常、５ｎｍ以上、好ましくは、１０ｎｍ以上深いことが好ましい。但し、バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の深さは、通常、１００ｎｍ以下であることが好ましい。
バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の深さが過度に小さいと、バーコード情報の変調度が小さくなる傾向がある。バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の深さが過度に大きいと、基板成型時に溝及び／またはピット列の転写不良となる傾向がある。
【００１６】
また、バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の間隔が、ユーザー情報領域ＹＡ１の案内溝と略同じ間隔であるとは、例えば、ＤＶＤの場合は、通常、０．７４μｍ±０．０３μｍであり、ＨＤ  ＤＶＤの場合は、通常、０．４０μｍ±０．０２μｍの範囲内で形成することを意味する。
バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の間隔が過度に狭いと、基板成型時に溝及び／またはピット列の転写不良となる傾向がある。バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の間隔が過度に広いと、トラッククロス信号が重畳されて、バーコード情報の信号品質が低下する傾向がある。
【００１７】
（第２の実施の形態）
図３は、第２の実施の形態としての光情報記録媒体を説明する図である。図３に示す光情報記録媒体１２は、光吸収層を２層有する。図３（ａ）は、光入射側から見た光情報記録媒体１２の第１層の平面模式図であり、図３（ｂ）は、光入射側から見た光情報記録媒体１２の第２層の平面模式図である。図３（ａ）に示すように、光情報記録媒体１２の第１層は、円盤状の中央部に形成する中心孔の外周側に、ユーザー情報を記録するユーザー情報領域１３を有する。ユーザー情報領域１３は、同心円状又は螺旋状の案内溝を有し、案内溝に沿って所定のユーザー情報を記録する。また、必要に応じて、中心孔とユーザー情報領域１３の間にミラー領域や管理情報等を示すピットを有しても良い。
【００１８】
第２層の中心孔の外周側には、バーコード情報１５を記録するバーコード情報領域１４と、バーコード情報領域１４のさらに外周側にユーザー情報を記録するユーザー情報領域１６とを有する。バーコード情報領域１４は、ユーザー情報領域１６の案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ案内溝よりも深い同心円状又は螺旋状の溝及び／又はピット列を有する。ユーザー情報領域１６は、同心円状又は螺旋状の案内溝を有し、案内溝に沿って所定のユーザー情報を記録する。また、バーコード情報領域１４とユーザー情報領域１６の間には、必要に応じて、ミラー領域や管理情報等を示すピットを形成しても良い。
【００１９】
図４は、第２の実施の形態としての光情報記録媒体１２の断面構造を説明する図である。本実施の形態では、光情報記録媒体１２を、２Ｐ法（フォトポリメリゼーション法：Ｐｈｏｔｏ  Ｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ：）により形成する。２Ｐ法については後述する。
図４に示すように、光情報記録媒体１２は、光Ｌの入射側から見て手前側の第１層（Ｌ０）と奥側の第２層（Ｌ１）と、第１層（Ｌ０）と奥側の第２層（Ｌ１）との中間に設ける光透過性の中間層２１とを有する。
第１層（Ｌ０）は、光透過性の第１の基板１８と、第１の基板１８上に形成する第１の光吸収層１９と、半透明反射層２０とを有する。第１の光吸収層１９は、第１の基板１８上に形成する凹凸１９ａと光吸収材料を含む色素記録膜１９ｂとを有する。
第２層（Ｌ１）は、中間層２１上に形成する第２の光吸収層２２と、反射層２３とを有する。第２の光吸収層２２は、中間層２１上に形成する凹凸２２ａと光吸収材料を含む色素記録膜２２ｂとを有する。また、反射層２３上に接着層２４を介して貼着する第２の基板２５を備える。
【００２０】
図４に示すように、第１層（Ｌ０）における第１の基板１８は、ユーザー情報を記録する案内溝を有するユーザー情報領域ＹＡ１を備える。また、後述する第２層（Ｌ１）におけるバーコード情報領域ＢＣＡ２に対応する部分（ＢＣＡ１）は、第１の基板１８の凹凸形状を有しない平坦なミラー領域ＭＡ１を形成し、その上に色素記録膜１９ｂを塗布する。
前述した第１の実施の形態と同様に、ユーザー情報領域ＹＡ１における案内溝の形状は、同心円状又は螺旋状である。また、案内溝の間隔（トラックピッチ）、深さは、第１の実施の形態の場合と同様である。
【００２１】
第２層（Ｌ１）における中間層２１上に形成する第２の光吸収層２２は、バーコード情報を記録する溝及び／又はピット列を有するバーコード情報領域ＢＣＡ２と、ユーザー情報を記録する案内溝を有するユーザー情報領域ＹＡ２とを備える。
ここで、光情報記録媒体１２の第２層（Ｌ１）におけるバーコード情報領域ＢＣＡ２の溝及び／またはピット列は、ユーザー情報領域ＹＡ２の案内溝と略同じ間隔で、且つ、深く形成する。具体的には、前述した第１の実施の形態と同様に、バーコード情報領域ＢＣＡ２の溝及び／またはピット列の深さは、ユーザー情報領域ＹＡ２の案内溝の深さより、通常、５ｎｍ以上、好ましくは、１０ｎｍ以上深いことが好ましい。但し、バーコード情報領域ＢＣＡ１の溝及び／またはピット列の深さは、通常、１００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２２】
ここで、光吸収層を２層有する光情報記録媒体１２の調製方法としては、２Ｐ法及び逆積層法が挙げられる。２Ｐ法は、第１の基板１６に第１の光吸収層１９を形成し、その上に透明樹脂を塗布し、凹凸形状を有するスタンパを押し当てた後に透明樹脂を硬化し、凹凸形状を転写した光透過性の中間層２１を作製し、さらにその上に第２の光吸収層２２を積層する方法である。逆積層法は、例えば、第１の光吸収層１９と第２の光吸収層２２とをそれぞれの透明基板（第１の基板１８，第２の基板２５）上に形成し、次に、これらの２枚の透明基板を、２個の光吸収層を対向させて透明接着剤で貼着する方法である。
【００２３】
上述したように、第２の実施の形態としての光情報記録媒体１２は、第２層（Ｌ１）に溝及び／又はピット列を有するバーコード情報領域ＢＣＡ２を有し、第１層（Ｌ０）に凹凸形状を有しない平坦なミラー領域ＭＡ１を設けることにより、第２層（Ｌ１）のバーコード情報領域ＢＣＡ２に、十分な変調度を有する情報として管理情報を記録し、また、再生することができる。
尚、第２の実施の形態では、第２層（Ｌ１）に溝及び／又はピット列を有するバーコード情報領域ＢＣＡ２を形成する例について説明したが、バーコード情報領域を設ける層は第２層（Ｌ１）に限定されず、第１層（Ｌ０）の第１の基板１８上に設けても良いし、また、両方の層に設けても良い。
【００２４】
（バーコード情報領域の形成方法）
次に、第１の実施の形態の光情報記録媒体１のバーコード情報領域ＢＣＡ１と、第２の実施の形態の光情報記録媒体１２のバーコード情報領域ＢＣＡ２とに、それぞれ溝及び／又はピット列を形成する方法について具体的に説明する。
【００２５】
光情報記録媒体１の第１の基板６に、ユーザー情報領域ＹＡ１の案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ前記案内溝よりも深い螺旋状の溝及び／又はピット列を形成するには、ユーザー情報領域ＹＡ１に同心円状又は螺旋状の案内溝を形成するための第１の凹凸パターンと、バーコード情報領域ＢＣＡ１に、ユーザー情報領域ＹＡ１の案内溝と略同じ間隔で、且つ、案内溝より深い溝又はピット列を形成するための第２の凹凸パターンと、を有する光情報記録媒体用スタンパを作製し、前述した材料を使用して、射出成型により作製する。
このような光情報記録媒体用スタンパは、所定の凹凸形状を有するガラス原盤の表面に金属薄膜を形成し、この金属薄膜上に電気めっきにより金属厚膜を形成することにより作製する。
【００２６】
光情報記録媒体１２の中間層２１上に、ユーザー情報領域ＹＡ２の案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ前記案内溝よりも深い螺旋状の溝及び／又はピット列を形成するには、先ず、光透過性材料を用いて、ユーザー情報領域ＹＡ２に同心円状又は螺旋状の案内溝を形成するための第１の凹凸パターンと、バーコード情報領域ＢＣＡ２に、ユーザー情報領域ＹＡ２の案内溝と略同じ間隔で、且つ、案内溝より深い溝又はピット列を形成するための第２の凹凸パターンと、を有する光情報記録媒体用スタンパを作製する。
そして、光情報記録媒体１２の第１の基板１８上に第１の光吸収層１９、半透明反射層２０を積層した上に、透明接着剤を塗布し、その上に光情報記録媒体用スタンパを載置して透明接着剤を硬化し、その後、光情報記録媒体用スタンパを剥離することにより、上述した溝及び／又はピット列を転写した中間層２１にバーコード情報領域ＢＣＡ２を形成する。
【００２７】
（光情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法）
次に、上述した光情報記録媒体用スタンパを作製する際に用いる凹凸形状を有するガラス原盤の作製について説明する。
図５は、光情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法を説明する図である。図５には、バーコード情報領域の溝及び／又はピット列の深さがユーザー情報領域の深さと比較して深いガラス原盤１０８の製造工程を示す。
初めに、図５（ａ）に示すように、原盤２６からなるガラス原盤１００を用意する。原盤２６としては、例えば、シリコンウェハー、石英ガラス、ソーダガラス、表面に導電層を有する石英ガラス、表面に導電層を有するソーダガラス等を使用し、特に限定されない。
【００２８】
次に、図５（ｂ）に示すように、原盤２６に適当な溶剤に希釈したフォトレジストを塗布したガラス原盤１０１を作製する。フォトレジストは、レーザ光の照射により極性が変化し、現像によりパターンを形成するものであれば、特に限定されない。例えば、クレゾールノボラック樹脂とナフトキノンジアジドとの混合系、ポリヒドロキシスチレン誘導体と光酸発生剤との混合系等のポジ型フォトレジスト等が挙げられる。中でも、露光開始時点と露光終了時点とにおける現像後に形成するピット列や案内溝の幅が、より均一であることから、クレゾールノボラック樹脂とナフトキノンジアジドとの混合系が特に望ましい。
【００２９】
フォトレジストを希釈する溶剤は、酸発生剤及びバインダー樹脂を溶解するものであれば特に限定されない。具体例としては、例えば、プロピレングリコール−２−モノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のセルソルブ類、２−ヘプタノン、メチルエチルケトン等のケトン類；乳酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、更に、これらの混合溶媒等が、スピンコート後の第１のフォトレジスト薄膜２７の膜厚均一性を向上でき好適である。
【００３０】
また、溶剤には、スピンコートにより形成する第１のフォトレジスト薄膜２７の膜厚の均一性を向上するために界面活性剤を微量添加することが好ましい。界面活性剤には、フッ素を含有するものがスピンコート時にストライエーションの発生を抑制する効果が大きく好適である。これらの溶剤により希釈したフォトレジストを所定の回転数で上記原盤に塗布することにより表面に第１のフォトレジスト薄膜２７を形成したガラス原盤１０１を作製する。
【００３１】
続いて、図５（ｃ）に示すように、管理情報をバーコード状に記録する領域（バーコード情報領域）に対応する部分を、原盤露光装置（図示せず）を用いて集光した露光ビームを照射し、第１の潜像を形成した後、続いて、極性変化の生じた露光ビーム照射領域をアルカリ現像液で溶解し、レジストパターン２８を得る。
露光ビームは、音響光学素子により変調が可能であり、入力信号に応じ、連続した溝やピット形状の極性の変化したフォトレジストの潜像を記録できる。
【００３２】
現像液としては、極性変化の生じた第１のフォトレジスト薄膜２７を溶解できるものであれば特に限定されない。例えば、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウム水溶液、燐酸緩衝液、及びこれらの混合物が挙げられる。これらの中でも、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液が、現像後のフォトレジストの側壁角が急峻であり、好適である。
【００３３】
次に、図５（ｄ）に示すように、現像により形成したレジストパターン２８をエッチングマスクとして、第１の反応性イオンエッチングによりレジストパターン２８を転写した原盤２９を得る。反応性イオンエッチングに用いる気体は、フォトレジストのエッチング速度に対する原盤２９のエッチング速度、即ちエッチング選択比が１．０以上であれば特に限定されないが、例えば、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ６等の炭化フッ素ガスは、エッチング選択比が大きく好適である。中でも、Ｃ２Ｆ６はエッチング速度の面内均一性が良好となり特に好適である。
【００３４】
続いて、図５（ｅ）に示すように、原盤２９表面に残ったフォトレジストを除去し、バーコード情報領域のみに連続溝及び／又は変調したピット形状を転写したガラス原盤１０４を得る。原盤２９表面に残ったフォトレジストの除去方法は、原盤２９に転写した形状を劣化させないものであれば特に限定されない。具体的には、酸素プラズマアッシング、有機溶剤による溶解、アルカリ水溶液による溶解等等を用いることが出来る。中でも、原盤２９にシリコンウェハーを用いた場合は、シリコンウェハーの化学エッチングの起こらない酸素プラズマアッシングが好適である。
【００３５】
続いて、図５（ｆ）に示すように、バーコード情報領域のみに連続溝或いは変調したピット形状を転写したガラス原盤１０４の原盤２９上に第２のフォトレジスト薄膜３０をスピンコート法により形成する。第２のフォトレジスト薄膜３０は、第１のフォトレジスト薄膜２７と同一のものに必ずしも限定されない。
【００３６】
次に、図５（ｇ）に示すように、原盤２９上の第２のフォトレジスト薄膜３０に、所定の信号により変調した集光ビームを照射し、ユーザー情報領域の同心円状又は螺旋状の案内溝の潜像を形成し、更に極性変化の生じた露光ビーム照射領域をアルカリ現像液で溶解し、レジストパターン３１を得る。
【００３７】
続いて、図５（ｈ）に示すように、現像により形成したレジストパターン３１をエッチングマスクとして、第２の反応性イオンエッチングによりレジストパターン３１を転写した原盤３２を得る。このとき、第２の反応性イオンエッチングの時間を第１の反応性イオンエッチング時間よりも短くすることにより、バーコード情報領域に形成した連続溝或いは変調したピット形状の深さをユーザー情報領域に形成する同心円状又は螺旋状の案内溝の深さよりも深くすることができる。
【００３８】
続いて、図５（ｉ）に示すように、原盤３２の表面に残ったフォトレジストを除去し、バーコード情報領域に形成した連続溝或いは変調したピット形状の深さが、ユーザー情報領域に形成した同心円状又は螺旋状の案内溝の深さよりも深いガラス原盤１０８が完成する。
【００３９】
次に、光吸収層７を１層有する光情報記録媒体１と、第１の光吸収層１９及び第２の光吸収層２２を有する２層型の光情報記録媒体１２とをそれぞれ構成する各層について説明する。
【００４０】
（第１の基板）
光情報記録媒体１，１２における第１の基板６，１８を構成する材料は、透明かつ複屈折率が小さい等の光学特性に優れるものであれば特に限定されない。このような材料としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、アモルファスポリオレフィン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。また、第１の基板６，１８は、射出成形等の成形性に優れ、吸湿性が小さい材料を用いて形成することが好ましい。
第１の基板６，１８の厚さは約０．６ｍｍであることが好ましい。また、第１の基板６，１８の厚さは、他の層の厚さに合わせて調整しても良い。
【００４１】
第１の基板６，１８は、バーコード情報領域２の溝及び／又はピット列とユーザー情報領域４の案内溝とにそれぞれ対応する凹凸形状を有するスタンパを用い、前述の材料を使用して、射出成型により作製することが好ましい。
第１の基板６，１８と光吸収層７，第１の光吸収層１９との間には、例えば、ＳｉＯ２、ＺｎＳ−ＳｉＯ２等のエンハンス層や耐溶剤層を設けてもよい。
【００４２】
（第２の基板）
光情報記録媒体１，１２における第２の基板１０，２５を構成する材料は、機械的安定性が高く、剛性が大きく、射出成形等の成形性に優れるものであれば特に限定されない。また、吸湿性が小さいことが好ましい。このような材料としては、第１の基板６，１８に用いる材料の他、ＡＢＳ樹脂、フィラー含有エポキシ樹脂、Ａｌを主成分とした例えばＡｌ−Ｍｇ合金等が挙げられる。但し、第２の基板１０，２５は、第１の基板６，１８のように透明性や光学特性を備える必要はない。
第２の基板１０，２５は、第１の基板６，１８の場合と同様に、凹凸形状を有するスタンパを用い、前述の材料を使用して、厚さは約０．６ｍｍに射出成型により作製することが好ましい。
【００４３】
（光吸収層）
光情報記録媒体１における光吸収層７と、光情報記録媒体１２における第１の光吸収層１９及び第２の光吸収層２２とは、それぞれ光吸収材料を含む色素記録膜７ｂ，１９ｂ，２２ｂとを有する。このような光吸収材料としては、例えば光吸収性の有機色素が望ましい。有機色素の具体例としては、例えば、シアニン色素、メロシアニン色素、スクアリウム色素、アントラキノン系色素、トリアリールメタン色素、ピリリウム色素、アゾ色素、含金属アゾ色素、フタロシアニン色素、ポリフィリン色素、トリアリールアミン色素、スクアリリウム色素、ピロメテン系色素、ホルマザン金属錯体系色素、アヌレン系色素等が挙げられる。これらの有機色素は１種類又は２種類以上を混合して使用しても良い。
尚、色素記録膜７ｂ，１９ｂ，２２ｂは、必要に応じ、クエンチャーや他の色素、添加剤、高分子化合物（例えば、ニトロセルロース等の熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー等）、金属微粒子等を含む。
【００４４】
色素記録膜７ｂ，１９ｂ，２２ｂは、上記の色素及び任意の添加剤を公知の有機溶媒（例えば、テトラフルオロプロパノール、ケトンアルコール、アセチルアセトン、メチルセルロブ、トルエン等）で溶解・溶媒和した色素溶液を調製し、これを第１の基板６，１８あるいは中間層２１上に塗布して形成する。
色素溶液の塗布方法は、通常スピンコート法が好ましい。スピンコート条件は、内周から外周にかけて、回転数３００ｒｐｍ〜５０００ｒｐｍの範囲で数条件を組み合わせて行う。これらのスピンコート条件、色素溶液の濃度、粘度、溶剤の乾燥速度を調節することにより、色素記録膜７ｂ，１９ｂ，２２ｂの膜厚を調整する。
【００４５】
尚、第１の光吸収層７と反射層８の間、第１の光吸収層１９と半透明反射層２０の間、第２の光吸収層２２と反射層２３の間に、ＳｉＯ２、ＺｎＳ−ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３等のエンハンス層や耐酸化層等の他の層を設けてもよい。また、反射層８、半透明反射層２０、反射層２３上に、必要に応じて保護層を形成してもよい。保護層を構成する材料は、これらの各層を保護するものであれば得に限定されず、例えば、紫外線硬化性樹脂、シリコーン系樹脂等が挙げられる。
【００４６】
（半透明反射層）
半透明反射層２０は、光の吸収が小さく光の透過率が３０％以上あり、かつ適度な光の反射率があることが望ましい。例えば、反射率の高い金属膜を薄くし、適当な透過率と反射率をバランスすることができる。半透明反射層２０の厚さは、通常、８ｎｍ〜２０ｎｍ、好ましくは、１１ｎｍ〜１７ｎｍである。
また、半透明反射層２０は薄いので、耐食性のある材料を用いて形成することが望ましい。さらに、中間層２１への色素の侵み出しを防ぐために遮蔽性を持つことが好ましい。このような材料としては、例えば、金、銀、アルミニウム或いはこれらを含む合金を、スパッタ法等の手段により形成することができる。
【００４７】
半透明反射層２０を構成する材料として、Ａｇを主成分とすものは低コスト及び高反射率の点から特に好ましい。半透明反射層２０を構成する金属の結晶粒が大きいと再生ノイズの原因となるため、結晶粒が小さい材料を用いるのが好ましい。なかでも、純銀は結晶粒が大きい傾向があるため、Ａｇは合金として用いるのが好ましい。
Ａｇ合金としては、たとえば、Ａｇを主成分とし、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属よりなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を０．１原子％〜５原子％含有するものが好ましい。Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属のうち２種以上含む場合は、各々、０．１原子％〜５原子％でもかまわないが、それらの合計が０．１原子％〜５原子％であることが好ましい。希土類金属の中では、ネオジウムが特に好ましい。具体的には、ＡｇＰｄＣｕ、ＡｇＣｕＡｕ、ＡｇＣｕＡｕＮｄ、ＡｇＣｕＮｄ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＩｎ等である。
尚、Ａｕは結晶粒が小さく、耐食性に優れ好適であるが、Ａｇ合金に比べて高価である。また、半透明反射層２０として、金属以外の材料であるＳｉＯ２等を用い、低屈折率薄膜と高屈折率薄膜を交互に積み重ねて多層膜を形成し、これを反射層として用いることも可能である
【００４８】
（反射層）
反射層８，２３は、反射率が高く、耐食性に優れることが望ましい。反射率を高くするために、反射層８，２３厚さは、通常、５０ｎｍ以上、より好適には８０ｎｍ以上である。但し、記録感度を上げるためにはある程度薄いことが好ましく、また、反射層８，２３を厚く形成すると第１の基板６，１８が反るおそれがあるため、通常は３００ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは２００ｎｍ以下が望ましい。
【００４９】
反射層８，２３の材料としては、再生光の波長で反射率の十分高いもの、例えば、Ａｕ、Ａｌ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉ、等の金属を単独或いは合金にして用いることが可能である。この中でもＡｕ、Ａｌ、Ａｇ、或いはこれらの合金が材料として適している。合金を形成する成分としては、Ｍｇ、Ｓｅ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｒｕ、Ｗ、Ｍｎ、Ｒｅ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｔｅ、Ｐｂ、Ｐｏ、Ｓｎ、Ｂｉ及び希土類金属等の金属及び半金属を挙げることができる。
【００５０】
中でも、Ａｇ合金はコストが安く、反射率が高く、耐食性に優れるために好ましい。Ａｇ合金としてはＡｇを主成分とし、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属よりなる群から選ばれる少なくとも１種の元素を０．１〜５原子％含有することが好ましい。Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃａ、Ｉｎ及び希土類金属のうち２種以上含む場合は、各々０．１〜５原子％でもかまわないが、それらの合計が０．１〜５原子％であることが好ましい。希土類金属の中では、ネオジウムが特に好ましい。具体的には、ＡｇＰｄＣｕ、ＡｇＣｕＡｕ、ＡｇＣｕＡｕＮｄ、ＡｇＣｕＮｄ、ＡｇＣａＣｕ、ＡｇＩｎ等である。
反射層８，２３を形成する方法としては、例えば、スパッタ法、イオンプレーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法等が挙げられる。中でも、スパッタ法が生産性の上で好ましい。
【００５１】
（接着層）
接着層９，２４は、接着力が高く、硬化接着時の収縮率が小さく、環境保存安定性が高い材料が好ましい。さらに、反射層８，２３にダメージを与えない材料が望ましい。尚、接着層９，２４と反射層８，２３の間に公知の無機系または有機系の保護層を形成してもよい。
【００５２】
接着層９，２４の材料としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂（遅延硬化型を含む）、感圧式両面テープ等を挙げることができる。これらの中で、無溶剤タイプの紫外線硬化性樹脂は環境性に優しく、生産性に優れるために好ましい。紫外線硬化性樹脂には様々な種類があり、透明であればいずれも用いることができる。
【００５３】
接着層９，２４は、紫外線硬化性樹脂を塗布し、紫外光を照射して硬化することによって形成する。塗布方法としては、前述した色素記録膜と同様に、スピンコート法、スクリーン印刷、キャスト法等の塗布法等の方法が挙げられる。中でもスピンコート法が好ましい。紫外線硬化性樹脂としては、温度１０℃〜４０℃の範囲において、粘度２０ｍＰａ・ｓ〜１０００ｍＰａ・ｓであるものは、溶媒を用いることなく塗布できるために好ましい。
【００５４】
紫外線硬化性樹脂としては、ラジカル系紫外線硬化性樹脂とカチオン系紫外線硬化性樹脂があり、いずれも使用可能である。ラジカル系紫外線硬化性樹脂としては、公知の紫外線硬化性化合物と光重合開始剤を必須成分として含む組成物を用いる。紫外線硬化性化合物としては、単官能アクリレート、単官能メタアクリレート、多官能アクリレート、多官能メタアクリレートを重合性モノマー成分として、各々、単独または２種類以上併用して用いることができる。
【００５５】
単官能アクリレート，多官能メタアクリレートとしては、例えば、置換基としてメチル、エチル、プロピル、ブチル、アミル、２−エチルヘキシル、オクチル、シクロヘキシル、ベンジル、メトキシエチル、ブトキシエチル、フェノキシエチル、テトラヒドロフルフリル、グリシジル、２−ヒドロキシエチル、２−ヒドロキシプロピル、ジメチルアミノエチル、ノニルフェノキシエチルテトラヒドロフルフリル，イソボルニル，ジシクロペンタニル等の基を有するアクリレート、メタアクリレート等が挙げられる。
【００５６】
光重合開始剤としては、上述の重合性モノマーを硬化する公知のものがいずれも使用できる。光重合開始剤としては、分子開裂型または水素引き抜き型のものが好適である。
このような例としては、例えば、ベンゾインイソブチルエーテル、２，４−ジエチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ベンジル、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキシド等が挙げられる。
さらに、これら以外の分子開裂型のものとしては、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾインエチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン，２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン等が挙げられる。
水素引き抜き型の光重合開始剤としは、例えば、ベンゾフェノン、４−フェニルベンゾフェノン、イソフタルフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチル−ジフェニルスルフィド等が挙げられる。
【００５７】
光重合開始剤に対する増感剤として例えば、トリメチルアミン、メチルジメタノールアミン、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン等のアミン類を併用することができる。
【００５８】
カチオン系紫外線硬化性樹脂としては、公知のカチオン重合型の光開始剤を含むエポキシ樹脂組成物が挙げられる。カチオン重合型の光開始剤としては、スルホニウム塩、ヨードニウム塩，ジアゾニウム塩等がある。ヨードニウム塩としては、例えば、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムテトラフルオロボレート、ビス（ドデシルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、４−メチルフェニル−４−（１−メチルエチル）フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−メチルフェニル−４−（１−メチルエチル）フェニルヨードニウムテトラフルオロボレート等が挙げられる。
【００５９】
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ−エピクロルヒドリン型、脂環式エポキシ、長鎖脂肪族型、臭素化エポキシ樹脂、グリシジルエステル型、グリシジルエーテル型、複素環式系等を挙げられる。エポキシ樹脂としては、反射層８，２３にダメージを与えないように、遊離したフリーの塩素及び塩素イオン含有率が少ないものを用いるのが好ましい。具体的には、塩素量は１重量％以下が好ましく、０．５重量％以下のものがより好ましい。
【００６０】
カチオン型紫外線硬化性樹脂１００重量部当たりのカチオン重合型光開始剤の割合は、通常、０．１重量部〜２０重量部であり、好ましくは０．２重量部〜５重量部である。尚、紫外線光源の波長域の近紫外領域や可視領域の波長をより有効に利用するため、公知の光増感剤を併用することができる。この際の光増感剤としては、例えばアントラセン、フェノチアジン、ベンジルメチルケタール、ベンゾフェノン、アセトフェノン等が挙げられる。
【００６１】
紫外線硬化性樹脂には、必要に応じて、さらにその他の添加剤として、熱重合禁止剤、ヒンダードフェノール、ヒンダードアミン等の酸化防止剤；可塑剤；エポキシシラン、メルカプトシラン、メタアクリルシラン、アクリルシラン等のシランカップリング剤等を、各種特性を改良する目的で配合する。これらは、紫外線硬化性化合物への溶解性に優れたもの、紫外線透過性を阻害しないものを選択して用いる。
【００６２】
（中間層）
中間層２１は、２Ｐ法により形成することが好ましい。即ち、第１の基板１８に第１の光吸収層１９、半透明反射層２０を積層した上に、溝やピットなどの凹凸を有する樹脂スタンパ等を接着剤で貼合わせて硬化し、その後、樹脂スタンパを剥離することにより、凹凸を有する中間層２１を転写して製造する。
【００６３】
中間層２１のバーコード情報領域に対応する部分に、ユーザー領域の案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ案内溝よりも深い同心円状又は螺旋状の溝及び／又はピット列を形成するには、そのような形状を有する樹脂スタンパを使用して、２Ｐ法により凹凸を転写して作製する。このような樹脂スタンパは第１の基板６，１８と同じように、所定の凹凸を有するスタンパを使用して、射出成型により作製する。
【００６４】
ここで、樹脂スタンパを構成する材料は、中間層２１を形成する際に使用する紫外線硬化性樹脂に対し、十分な剥離性を有することが望ましい。また、成形性が良く、形状安定性が良いことが望ましい。さらに、生産性及びコストの観点から、複数回の転写に使用可能であることが望ましい。また、使用後のリサイクルが可能であることが望ましい。このような材料としては、例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン系樹脂（特に、非晶質ポリオレフィン等）、ポリエステル系樹脂などが挙げられる。樹脂スタンパの厚さは、形状安定性及びハンドリングの容易さの点で、０．５ｍｍ以上とするのが望ましい。厚さの上限は特にないが、通常、３ｍｍ以下で十分である。
【００６５】
中間層２１の膜厚は正確に制御することが好ましい。中間層２１の膜厚は、光情報記録媒体１２を記録・再生するシステムの設計によって決める。光情報記録媒体１２の２層の光吸収層（第１の光吸収層１９，第２の光吸収層２２）に別々にフォーカスサーボをかけるために、両層の間はある程度の間隔が必要である。両層間の間隔は、フォーカスサーボ機構にもよるが、通常５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以上が必要である。但し、通常、１００μｍ以下が好ましい。一般に、対物レンズの開口数が高いほど、両層間の間隔は小さくてよい傾向がある。両層間の間隔が過度に大きいと、２層の光吸収層にフォーカスサーボを合わせるのに時間を要し、また対物レンズの移動距離も長くなるため好ましくない。
【００６６】
中間層２１を構成する材料としては、一般に、接着層として使用するものと同様の特性を有し、さらに記録再生波長に対し透明である材料が好ましい。一般に、紫外線硬化性樹脂を使用する。紫外線硬化性樹脂は、そのままもしくは適当な溶剤に溶解して調製する塗布液として使用する。紫外線硬化性樹脂には様々な種類があり、透明であればいずれも用いうる。またそれらの材料を単独であるいは混合して用いても良いし、１層だけではなく多層膜にして用いても良い。
【００６７】
中間層２１として、紫外線硬化性樹脂を塗布する方法としては、接着層９と同様にスピンコート法、スクリーン印刷、キャスト法等が挙げられる。この中でもスピンコート法が好ましい。紫外線硬化性樹脂は、１０℃〜４０℃の範囲において、粘度２０ｍＰａ・ｓ〜１０００ｍＰａ・ｓであるものは、溶媒を用いることなく塗布できるために好ましい。
また、中間層２１は、半透明反射層２０あるいは第２の光吸収層２２にダメージを与えない材料からなることが望ましい。また、必要に応じ、それぞれの層の間に公知の無機系または有機系の保護層を形成してもよい。
【実施例】
【００６８】
以下に、実施例に基づき本実施の形態をさらに詳細に説明する。なお、本実施の形態は実施例に限定されるものではない。
【００６９】
（実施例１）
図２に示すように、第１の実施の形態として前述した光吸収層が１層の光情報記録媒体Ａ１を、以下の手順に従い調製する。
【００７０】
（Ｉ）第１の基板の調製
（１）第１のフォトレジスト薄膜を有するガラス原盤の調製
クレゾールノボラック樹脂及びナフトキノンジアジド混合系ポジ型レジスト（東京応化工業株式会社製：ポジ型フォトレジストＴＤＭＲ−ＡＲ８０ＨＰ）７５ｇを２−ヘプタノン４２５ｇに希釈してフォトレジスト溶液を調製する。これを、原盤（石英ガラス原盤）にスピンコートした後、ホットプレートで１２０℃で２分間加熱し、表面に膜厚８０ｎｍの第１のフォトレジスト薄膜を有するガラス原盤を調製する。
【００７１】
（２）第１のフォトレジスト薄膜の第１の露光
前述した表面に第１のフォトレジスト薄膜を有するガラス原盤を線速１．５ｍ／秒で一定となるように回転すると同時に、トラックピッチ０．４０μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動する。集光したレーザ光を半径位置２２．２ｍｍから２３．１ｍｍの間に照射し、管理情報をてバーコード状に記録する領域に、螺旋状に配列する連続溝の潜像を形成する。露光ビームは、アルゴンの発振線の一つである波長５１４ｎｍのレーザ光を非線型光学素子に導き、発生する第２高調波（波長２５７ｎｍ）を用いる。
【００７２】
（３）第１の現像操作
レーザ光の照射が完了したガラス原盤を現像液（東京応化工業株式会社製ＮＭＤ−３）を用いて現像し、極性変化した領域を溶解することによって、原盤上に形成したレジストパターンを得る。
【００７３】
（４）第１のエッチング処理
続いて、レジストパターンをエッチングマスクとして、Ｃ２Ｆ６ガスを用いる反応性イオンエッチングを６８秒実施することにより、レジストパターンを転写した原盤を得る。次に、Ｏ２ガスを用いるアッシングを６０秒間実施することにより、残ったフォトレジストを除去し、ガラス原盤を得る。原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による観察の結果、７５ｎｍの深さの溝が形成されている。
【００７４】
（５）第２のフォトレジスト薄膜を有する原盤の調製
ガラス原盤１０４上に、前出したフォトレジスト溶液を再びスピンコートした後、ホットプレートで１２０℃で２分間加熱し、原盤の表面に膜厚８５ｎｍの第２のフォトレジスト薄膜を形成する。
【００７５】
（６）第２のフォトレジスト薄膜の第２の露光
前述した表面に第２のフォトレジスト薄膜を有する原盤を線速１．５ｍ／秒で一定となるように回転すると同時に、トラックピッチ０．４０μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動する。集光したレーザ光を半径位置２３．８から５８．６ｍｍの間に照射して螺旋状に配列する連続溝の潜像を形成する。
【００７６】
（７）第２の現像操作
レーザ光の照射が完了した原盤を現像液（東京応化工業株式会社製：ＮＭＤ−３）を用いて現像し、極性変化した領域を溶解することによって、原盤上に形成したレジストパターンを得る。
【００７７】
（８）第２のエッチング処理
続いて、レジストパターンをエッチングマスクとして、Ｃ２Ｆ６ガスを用いる第２の反応性イオンエッチングを５４秒間実施することにより、レジストパターンを転写した原盤を得る。次に、Ｏ２ガスを用いるアッシングを５０秒間実施することにより、残ったフォトレジストを除去し、光情報記録媒体の基板を調製するためのガラス原盤を得る。ガラス原盤の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による観察の結果、５５ｎｍの深さの溝が形成されている。また、管理情報をバーコード状に記録する領域は側壁角度が小さくなるものの、深さは変動せず、７５ｎｍを維持する。
【００７８】
（９）スタンパの調製
次に、石英製のガラス原盤の表面に無電界めっき法にてニッケル燐導電皮膜を形成した後、電気めっきにより平均２９０μｍのニッケル皮膜を形成し、次いで、ガラス原盤とニッケル皮膜を剥離し、光情報記録媒体用スタンパＢ１を得る。
【００７９】
（１０）ポリカーボネート基板の調製
光情報記録媒体用スタンパＢ１を用いてポリカーボネート樹脂を射出成型することにより、フォトレジストパターンを表面に有する第１の基板を得る。
第１の基板において、ＢＣＡ１の溝は、トラックピッチ０．４２μｍ、深さ７５ｎｍである。また、第１の基板のＹＡ１の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。
【００８０】
（ＩＩ）第２の基板の調製
石英製のガラス原盤の表面に無電界めっき法にてニッケル燐導電皮膜を形成の後、電気めっきにより平均２９０μｍのニッケル皮膜を形成し、次いで、ガラス原盤とニッケル皮膜を剥離し、溝のないミラースタンパを得る。
続いて、ミラースタンパを用いてポリカーボネート樹脂を射出成型することにより、第２の基板を得る。
【００８１】
（ＩＩＩ）光情報記録媒体の調製
第１の基板の溝形成面上に、下記化学式で表わすシアニン系色素のテトラフルオロプロパノール溶液（濃度１．０重量％）を、スピンコート法により塗布する。なお、上記色素の溶液を塗布する際に、色素の溶液をフィルタで濾過して不純物を取り除く。次いで、上記色素を塗布した第１の基板を８５℃にて４０分間乾燥し、さらに、室温にて１時間冷却する。こうして、第１の光吸収層を第１の基板上に形成する。さらに、第１の光吸収層上に、スパッタ法を用いて、ＡｇＣｕＮｄ合金を厚さ１００ｎｍになるように反射層を形成する。
【００８２】
【化１】
2008243309.tif 000003
【００８３】
次に、第１の基板の反射層上にラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、貼り合せ装置に設置する。続いて、第２の基板にラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、両基板の塗布面を対面するように貼り合せ装置に設置する。装置内を真空にして、接着層に泡が発生しないようにして第１の基板と第２の基板とを貼り合せる。貼り合せたディスクを貼り合せ装置から取り出し、第２の基板側からＵＶ照射を施してＵＶ樹脂を硬化し、厚さ３０μｍの接着層を有する光情報記録媒体Ａ１を得る。
【００８４】
（実施例２）
以下の手順に従い、光吸収層が１層の光情報記録媒体Ａ２を調製する。
前述した実施例１における（Ｉ）第１の基板の調製において、（２）第１のフォトレジスト薄膜の第１の露光におけるトラックピッチを０．４０μｍから０．４２μｍにする。また、（４）第１のエッチング処理において、Ｃ２Ｆ６ガスを用いる反応性イオンエッチングを６８秒から６４秒にする。それ以外は、実施例１同様の操作により光情報記録媒体用スタンパＢ２を得る。
次に、光情報記録媒体用スタンパＢ２を使用し、実施例１の第１基板の作製と同様の操作により、第１の基板を得る。第１の基板において、ＢＣＡ１の溝は、トラックピッチ０．４２μｍ、深さ７０ｎｍである。また、第１の基板のＹＡ１の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。それ以外は、実施例１と同様の操作により、光情報記録媒体Ａ２を得る。
【００８５】
（実施例３）
以下の手順に従い、前述した図４に示すような光吸収層が２層の光情報記録媒体Ａ３を調製する。
【００８６】
（Ｉ）第１の基板の調製
実施例１で使用する（Ｉ）第１の基板の調製において、（１）第１のフォトレジスト薄膜を有するガラス原盤の調製、から（４）第１のエッチング処理を行わないで、それ以外は、実施例１の光情報記録媒体用スタンパＢ１と同様の操作により光情報記録媒体用スタンパＢ３１を得る。続いて、実施例１の第１基板の作製と同様の操作により、第１の基板を得る。第１の基板の中心孔外周部分は凹凸を有しない平坦なミラー領域ＭＡ１である。ＹＡ１の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。
【００８７】
（ＩＩ）樹脂スタンパの調製
実施例１で使用する（Ｉ）第１の基板の調製において、同様の操作により光情報記録媒体用スタンパＢ３２を得る。続いて、光情報記録媒体用スタンパＢ３２を用いてポリオレフィン樹脂を射出成型することにより、フォトレジストパターンを表面に有する樹脂スタンパを得る。樹脂スタンパのＢＣＡ２の溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ７５ｎｍである。また、樹脂スタンパのＹＡ２の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。
【００８８】
（ＩＩＩ）光情報記録媒体の調製
第１の基板の溝形成面上に、前記化学式で表わすシアニン系色素のテトラフルオロプロパノール溶液（濃度１．０重量％）を、スピンコート法により塗布する。なお、上記色素の溶液を塗布する際に、色素の溶液をフィルタで濾過して不純物を取り除く。次いで、上記色素を塗布した第１の基板を８５℃にて４０分間乾燥し、さらに、室温にて１時間冷却する。こうして、第１の光吸収層を第１の基板上に形成する。さらに、第１の光吸収層上に、スパッタ法を用いて、ＡｇＢｉ合金を厚さ１５ｎｍになるように半透明反射層を形成する。
【００８９】
次に、第１の基板の反射層上にラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、貼り合せ装置に設置する。続いて、樹脂スタンパにラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、両基板の塗布面を対面するように貼り合せ装置に設置する。装置内を真空にして、接着層に泡が発生しないようにして第１の基板と樹脂スタンパとを貼り合せる。貼り合せたディスクを貼り合せ装置から取り出し、樹脂スタンパ側からＵＶ照射を施してＵＶ樹脂を硬化し、厚さ３０μｍの接着層を形成する。そして、これを剥離装置に設置し、樹脂スタンパを剥離して中間層を形成する。中間層上に形成するＢＣＡ２の溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ７５ｎｍである。また、第１の基板のＹＡ２の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。
【００９０】
中間層の溝形成面上に、前記化学式で表わすシアニン系色素のテトラフルオロプロパノール溶液（濃度１．０重量％）を、スピンコート法により塗布する。なお、上記色素の溶液を塗布する際に、色素の溶液をフィルタで濾過して不純物を取り除く。次いで、上記色素を塗布した第１の基板を８５℃にて４０分間乾燥し、さらに、室温にて１時間冷却する。こうして、第２の光吸収層を中間層上に形成する。さらに、第２の光吸収層上に、スパッタ法を用いて、ＡｇＣｕＮｄ合金を厚さ１００ｎｍになるように反射層を形成する。
【００９１】
次に、反射層上にラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、貼り合せ装置に設置する。続いて、第２の基板にラジカル重合型ＵＶ樹脂をスピンコート法により塗布し、両基板の塗布面を対面するように貼り合せ装置に設置する。装置内を真空にして、接着層に泡が発生しないようにして第１の基板と第２の基板とを貼り合せる。貼り合せたディスクを貼り合せ装置から取り出し、第２の基板側からＵＶ照射を施してＵＶ樹脂を硬化し、厚さ３０μｍの接着層を有する光情報記録媒体Ａ３を得る。
【００９２】
（比較例１）
実施例１で使用する（Ｉ）第１の基板の調製において、（１）第１のフォトレジスト薄膜を有するガラス原盤の調製、から（４）第１のエッチング処理を行わないで、実施例１と同様に、（５）第２のフォトレジスト薄膜を有する原盤の調製を行う。続いて、（６）第２のフォトレジスト薄膜の第２の露光において、ガラス原盤を線速１．５ｍ／秒で一定となるように回転すと同時に、トラックピッチ０．４０μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動する。集光したレーザ光を半径位置２２．２から２３．１ｍｍの間に照射し、管理情報をバーコード状に記録する領域に螺旋状に配列する連続溝の潜像を形成する。続けて、フォトレジスト薄膜を有するガラス原盤を線速１．５ｍ／秒で一定となるように回転すると同時に、トラックピッチ０．４０μｍとなるように集光レンズを半径方向に移動する。集光したレーザ光を半径位置２３．８から５８．６ｍｍの間に照射し、螺旋状に配列する連続溝の潜像を形成する。そして、実施例１と同様に、（７）第２の現像操作から（９）スタンパの調製を行い、光情報記録媒体用スタンパＣ１を得る。
光情報記録媒体用スタンパＣ１を利用し、実施例１の第１基板の作製と同様の操作により、第１の基板を得る。第１の基板において、ＢＣＡ１の溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍで、ＹＡ１の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。それ以外は、実施例１と同様の操作により、光情報記録媒体Ｃ１を得る。
【００９３】
（比較例２）
実施例３で使用する（ＩＩ）樹脂スタンパの調製において、比較例１で作製する光情報記録媒体用スタンパＣ２を利用して樹脂スタンパを作製する。樹脂スタンパにおいて、ＢＣＡ１の溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍで、ＹＡ１の案内溝は、トラックピッチ０．４０μｍ、深さ５５ｎｍである。それ以外は実施例３と同様の操作により、光情報記録媒体Ｃ２を得る。
【００９４】
（２）光情報記録媒体におけるバーコード情報の記録
実施例１、実施例２及び比較例１で調製する光情報記録媒体に対し、波長４０８ｎｍのＢＣＡ記録機で、記録パワー１９０ｍＷで、第１の基板越しに、第１の光吸収層にフォーカスをかけ、半径２２．２０ｍｍ〜２３．２０ｍｍの範囲にバーコード情報の記録実験を行い、バーコード信号を記録する。
また、実施例３及び比較例２で調製する光情報記録媒体に対し、波長８１０ｎｍのＢＣＡ記録機で、記録パワー５０００ｍＷで、第２の基板越しに、反射層にフォーカスをかけ、半径２２．２０ｍｍ〜２３．２０ｍｍの範囲にバーコード情報の記録実験を行い、バーコード信号を記録する。
【００９５】
（３）光情報記録媒体におけるバーコード情報の評価
実施例１、実施例２及び比較例１で調製する光情報記録媒体に対して、第１の光吸収層のＢＣＡ１に記録するバーコード情報を再生し、バーコード情報再生信号の最小のハイレベル（Ｈｍｉｎ）とバーコード情報再生信号の最大のローレベル（Ｌｍａｘ）から、変調度（（Ｈｍｉｎ−Ｌｍａｘ）／Ｈｍｉｎ）を測定する。測定は、波長４０５ｎｍのレーザ光及び開口数０．６５のレンズを有する光ピックアップを持つ光ディスク評価装置を使用し、フォーカスサーボを機能させ、トラッキングサーボを機能させない状態で行う。結果を表１に示す。
また、実施例３及び比較例２で調製する光情報記録媒体において、第２の光吸収層のＢＣＡ２に記録するバーコード情報に対して同様の測定を行う。結果を表２に示す。
【００９６】
【表１】
2008243309.tif 000004
【００９７】
【表２】
2008243309.tif 000005
【００９８】
表１の結果から、光吸収層が１層の光情報記録媒体において、実施例１及び実施例２は、比較例１に対して、十分な変調度を有するバーコード情報が確保できることが分かる。
また、表２の結果から、光吸収層が２層の光情報記録媒体において、実施例３は、比較例２に対して、十分な変調度を有するバーコード情報が確保できることが分かる。
【００９９】
以上、詳述したように、ユーザーが情報を記録再生するための同心円状又は螺旋状の案内溝が有するユーザー情報領域と、このユーザー情報領域の内側の半径位置に管理情報をバーコードとして記録するバーコード情報領域とを有し、案内溝の上に更に光吸収性色素記録膜を有する光情報記録媒体において、バーコード情報領域に、ユーザー情報領域の案内溝とほぼ同じ間隔で、且つ、案内溝よりも深い同心円状又は螺旋状の溝及び／又はピット列を有することにより、十分な変調度を有するバーコード情報が確保できることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】第１の実施の形態としての光情報記録媒体を説明する図である。
【図２】第１の実施の形態としての光情報記録媒体の断面構成を説明する図である。
【図３】第２の実施の形態としての光情報記録媒体を説明する図である。
【図４】第２の実施の形態としての光情報記録媒体の断面構造を説明する図である。
【図５】光情報記録媒体用ガラス原盤の製造方法を説明する図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１，１２…光情報記録媒体、２，１４…バーコード情報領域、３，１５…バーコード情報、４，１３，１６…ユーザー情報領域、６、１８…第１の基板、７…光吸収層、８，２３…反射層、９，２４…接着層、１０，２５…第２の基板、１９…第１の光吸収層、２０…半透明反射層、２１…中間層、２２…第２の光吸収層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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