(57)【要約】【課題】  位置検出センサの出力信号の減衰を懸念することなく当該位置検出センサとコントローラを接続することが可能であり、コントローラの小型化に資することが可能な位置検出機能付きアクチュエータを提供する。【解決手段】  位置検出センサとコントローラとを接続する信号ケーブルとして湾曲自在なフレキシブルプリント基板を用い、かかる信号ケーブルは、前記Ｘ方向センサ部に接続されると共に前記第２部材に固定される固定配設部と、この固定配設部から連続すると共に前記第２部材から引き出されて前記コントローラに接続される可動余裕部とから構成されており、前記信号ケーブルの固定配設部には、前記Ｘ方向センサ部が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータを実装した。【選択図】    図６
2008286751.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアスケールが配設された第１部材と、この第１部材に対してＸ方向へ移動自在な第２部材と、この第２部材を前記第１部材に対して進退させるＸ方向モータ部と、前記第２部材に搭載されると共に前記第１部材に配設されたリニアスケールと対向し、かかる第２部材の移動量に応じたアナログ信号を出力するＸ方向センサ部と、このセンサ部の出力信号に基づいて前記Ｘ方向モータ部の制御電流を送出するコントローラと、前記センサ部の出力信号を前記コントローラに入力するための信号ケーブルとから構成される位置検出機能付きアクチュエータにおいて、
前記信号ケーブルは湾曲自在なフレキシブルプリント基板からなり、
この信号ケーブルは、前記センサ部に接続されると共に前記第２部材に固定される固定配設部と、この固定配設部から連続すると共に前記第２部材から引き出されて前記コントローラに接続される可動方向余裕部とから構成され、更に、
前記信号ケーブルの固定配設部には、前記センサ部が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータが実装されていることを特徴とする位置検出機能付きアクチュエータ。
【請求項２】
前記信号ケーブルの固定配設部には、センサ部が出力したアナログ信号を増幅するアンプ回路が実装されていることを特徴とする請求項１記載の位置検出機能付きアクチュエータ。
【請求項３】
リニアスケールが配設されると共に前記第２部材に対してＹ方向へ移動自在な第３部材と、この第３部材を前記第２部材に対して進退させるＹ方向モータ部と、前記第２部材に搭載されると共に前記第３部材に配設されたリニアスケールと対向し、かかる第３部材の移動量に応じたアナログ信号を出力するＹ方向センサ部を備え、前記Ｙ方向センサはＸ方向センサと前記信号ケーブルを共用していることを特徴とする請求項１記載の位置検出機能付きアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば各種検査装置、計測装置、搬送装置などに利用され、対象物を所定方向へ自在に移動させ、位置決めするためのアクチュエータに係り、詳細には、前記対象物を搭載した可動部材の移動量を検出し、かかる移動量をもって前記可動部材のフィードバック制御を行うことが可能な位置検出機能付きアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の位置検出機能付きアクチュエータとしては、ＷＯ２００７／０２６６７３に開示されるものが知られている。この文献に開示されるアクチュエータは、中空状に形成された固定部材としてのスプライン軸と、このスプライン軸に沿って移動自在な可動部材としてのスプラインナットと、前記スプライン軸の中空部内に収容されたマグネットロッドと、このマグネットロッドと相まってリニアモータを構成すると共に前記スプラインナットと結合されたフォーサとから構成されており、前記フォーサに駆動電流を入力してリニアモータを駆動することで、前記スプラインナットをスプライン軸に沿って自在に進退させることができるようになっている。
【０００３】
また、前記スプライン軸にはその長手方向に沿ってリニアスケールが固定される一方、前記スプラインナットには前記リニアスケールを読み取る位置検出センサが搭載されており、前記位置検出センサの出力信号を参照しながら前記フォーサの駆動電流をフィードバック制御することにより、前記スプラインナットをスプライン軸上の所定位置に位置決めすることが可能となっている。
【０００４】
このように構成されたアクチュエータにおいて、前記フォーサの駆動電流はアクチュエータとは別に設けられたコントローラによって生成される。前記フォーサ及び位置検出センサはケーブルによってコントローラと接続されており、かかるコントローラは前記ケーブルを経て入力された位置検出センサの出力信号と予め格納された制御内容とを比較し、フォーサの駆動電流を生成する。そして、この駆動電流は前記信号ケーブルを経てフォーサに印加される。
【０００５】
特開２００３−２４１８３８にはこのようなコントローラの構成が示されている。コントローラは、アクチュエータの制御量を演算するＣＰＵと、アクチュエータの制御内容が予め格納されたＲＯＭと、このＲＯＭから制御内容を読み出すと共に前記位置検出センサの出力信号を参照しながらアクチュエータの制御量を演算するＣＰＵと、このＣＰＵによって演算された制御量に対応する駆動電流をリニアモータ等の駆動手段に出力するドライバ回路を有している。また、位置検出センサの出力信号はアナログ信号なので、これをデジタル信号に変換してＣＰＵに受け渡すためのＡ／Ｄコンバータ、及びＣＰＵから出力された制御信号をアナログ信号に変換して前記ドライバ回路に受け渡すためのＤ／Ａコンバータもコントローラに含まれている。
【特許文献１】ＷＯ２００７／０２６６７３
【特許文献２】特開２００３−２４１８３８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような位置検出機能付きアクチュエータにおいて、位置検出センサは可動部材と固定部材とから構成されるアクチュエータそのものに搭載され、信号ケーブルによってアクチュエータに非搭載の前記コントローラと接続されている。しかし、位置検出センサの出力信号はアナログ信号であることから、前記信号ケーブルを経てコントローラに伝達される際に該信号ケーブルの長さに応じて減衰を生じる他、信号ケーブルの伝達中にノイズが重畳されてしまい、コントローラに入力される位置検出センサの出力信号のＳ／Ｎ比が低下し易かった。
【０００７】
このため、従来の位置検出機能付きアクチュエータでは、該アクチュエータから取り出された位置検出センサの出力信号をアンプによって直ちに増幅し、増幅された出力信号を信号ケーブルによってコントローラのＡ／Ｄコンバータに入力する対策が採られていた。しかし、コントローラとは別にアンプを設ける必要があり、生産コストの上昇に繋がってしまう他、アクチュエータとアンプをセットで設ける必要があることから、アクチュエータの設置場所に制約が生じてしまうといった問題点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、位置検出センサの出力信号の減衰を懸念することなく当該位置検出センサとコントローラを接続することが可能であり、コントローラの小型化に資することが可能な位置検出機能付きアクチュエータを提供することにある。
【０００９】
前記目的を達成する本発明の位置検出機能付きアクュエータは、リニアスケールが配設された第１部材と、この第１部材に対してＸ方向へ移動自在な第２部材と、この第２部材を前記第１部材に対して進退させるＸ方向モータ部と、前記第２部材に搭載されると共に前記第１部材に配設されたリニアスケールと対向し、かかる第２部材の移動量に応じたアナログ信号を出力するＸ方向センサ部と、このＸ方向センサ部の出力信号に基づいて前記Ｘ方向モータ部の制御電流を送出するコントローラと、前記センサ部の出力信号を前記コントローラに入力するための信号ケーブルとから構成され、前記信号ケーブルには湾曲自在なフレキシブルプリント基板（以下、「ＦＰＣ」という）が用いられている。かかる信号ケーブルは、前記Ｘ方向センサ部に接続されると共に前記第２部材に固定される固定配設部と、この固定配設部から連続すると共に前記第２部材から引き出されて前記コントローラに接続される可動余裕部とから構成されており、前記信号ケーブルの固定配設部には、前記Ｘ方向センサ部が出力したアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータが実装されている。
【００１０】
このように構成された本発明の位置検出機能付きアクチュエータによれば、前記第２部材に搭載されたＸ方向センサ部はＦＰＣから形成された信号ケーブルによってコントローラと接続される。このＦＰＣは極めて薄く湾曲自在に形成することができるので、これを信号ケーブルに用いた場合に、アクチュエータの第２部材の運動を妨げることなく、かかる第２部材とコントローラを接続することができる。
【００１１】
また、ＦＰＣからなる信号ケーブルは、前記第２部材に固定される固定配設部と、前記第２部材から引き出された可動余裕部とから構成されているが、本来ＦＰＣは抵抗やコンデンサ等の電子部品を実装する際の基板として利用されており、ＦＰＣからなる前記信号ケーブルに対しても容易に電子部品を実装することが可能である。このため、前記信号ケーブルの固定配設部に対してＡ／Ｄコンバータを実装すれば、Ｘ方向センサ部が出力したアナログ信号を直ちにデジタル信号に変換することが可能であり、前記可動余裕部においてはＸ方向センサ部の出力信号をデジタル信号として取り扱うことが可能となる。従って、信号ケーブルにおけるＸ方向センサ部の出力信号の減衰やノイズの混入を懸念する必要がなく、位置検出機能の高精度化を図ることができる。
【００１２】
また、Ａ／ＤコンバータをＦＰＣからなる信号ケーブルに実装してしまうので、コントローラからはＡ／Ｄコンバータを省略することができ、かかるコントローラの小型化を図ることが可能となる。
【００１３】
本発明は相対的に移動自在な第１部材及び第２部材から構成されるアクチュエータに適用可能であるが、例えばＸＹテーブルアクチュエータの如く、相対的に移動自在な第１部材、第２部材及び第３部材とから構成されるアクチュエータにも適用可能である。この場合、第１部材に対する第２部材の移動量に応じたアナログ信号を出力するＸ方向センサ部を設ける他、第２部材に対する第３部材のＹ方向移動量に応じたアナログ信号を出力するＹ方向センサ部を設け、これら二つのセンサ部の出力信号をコントローラに入力するように構成することができる。また、Ｘ方向センサ部の出力信号コントローラに入力する信号ケーブルとＹ方向センサ部の出力信号をコントローラに入力する信号ケーブルは、１枚のＦＰＣを共用することができる。これにより、ＸＹテーブルアクチュエータから引き出す信号ケーブルの数を減らし、かかるアクチュエータの取り扱いを容易なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面に基づいて本発明の位置検出機能付きアクチュエータを詳細に説明する。
【００１５】
図１は本発明を適用したＸＹテーブルアクチュエータの実施形態を示す斜視図である。このＸＹテーブルアクチュエータ１は、機械装置の筐体やベッド等の固定部に固定される固定プレート２と、リニアガイド介して前記固定プレート２に組付けられた中間プレート４と、リニアガイドを介して前記中間プレート４に組付けられた可動プレート５とを含んでいる。
【００１６】
前記中間プレート４は固定プレート２に対してＸ方向へ、前記可動プレート５は中間プレート３に対してＹ方向へ移動自在に設けられている。従って、かかる可動プレート５に対して検査ステージや搬送テーブル等の可動体を固定することで、この可動体を前記固定プレート２に対してＸ方向及びＹ方向へ自在に移動させることが可能となっている。すなわち、このＸＹテーブルアクチュエータにおいては、前記固定プレート２が本発明の第１部材、中間プレート４が第２部材、可動プレート５が第３部材に相当している。
【００１７】
また、これら固定プレート２、中間プレート４及び可動プレート５はＸＹ平面内における大きさが同一であり、図１に示すように、中間プレート４及び可動プレート５をホームポジションに設定した際には、３枚のプレート２，４，５が上下に重なって矩形体をなすようになっている。従って、ＸＹテーブルアクチュエータ１それ自体が極めてコンパクトに構成されている。
【００１８】
更に、図１に示す外観からは把握することができないが、固定プレート２と中間プレート４との間には該中間プレート４をＸ方向へ駆動するＸ方向モータ部が設けられる一方、中間プレート４と可動プレート５との間には該可動プレート５をＹ方向へ駆動するＹ方向モータ部が収納されている。これらＸ方向モータ部及びＹ方向モータ部は駆動用動力ケーブル８によってコントローラ９と接続されており、かかるコントローラ９はＸ方向モータ部及びＹ方向モータ部に対して駆動電流を送出している。尚、Ｘ方向モータ部及びＹ方向モータ部の具体的構成については後に詳述する。
【００１９】
また、このＸＹテーブルアクチュエータ１には固定テプレート２に対する中間プレート４のＸ方向移動量、中間プレート４に対する可動プレート５のＹ方向移動量を計測する２組の位置検出手段が内蔵されている。各位置検出手段は、リニアスケールとこのリニアスケールを読み取る位置検出センサとから構成されており、位置検出センサは前記中間プレート４に搭載される一方、リニアスケールは前記位置検出センサと対向する位置で固定プレート２又は可動プレート５に保持されている。このリニアスケールと位置検出センサの組み合わせは、光学的な読み取り方法によるものでも、あるいは磁気的な読み取り方法によるものであっても良い。
【００２０】
そして、２つの位置検出センサの出力信号はセンサ用信号ケーブル１０を介して、前記コントローラ９に入力され、コントローラ９は検出センサの出力信号を参照しながら前記Ｘ方向モータ部及びＹ方向モータ部の駆動電流を生成している。
【００２１】
図２は前記固定プレート２を示す斜視図である。前記固定プレート２は中央に収容溝２０を有してチャネル状に形成されており、収容溝２０に面した内側面にはボールの転走溝３０が形成されている。前記可動プレート５もこの固定プレート２と完全に同一の形状に形成されているが、前記中間プレート４と重ね合わせた際の位相が互いに９０度ずれたものとなっている。すなわち、固定プレート２では前記収容溝２０がＸ方向に沿って形成されているが、可動プレート５では前記収容溝２０がＹ方向に沿って形成されている。
【００２２】
また、前記中間プレート４は固定プレート２及び可動プレート５と同じ大きさの平板状に形成されており、図２に示すように、一点鎖線で示す中間プレート４を前記固定プレート２に対して重ねることで、前記固定プレート２と中間プレート４との間に前記収容溝２０の大きさに対応した空間が形成され、この空間が前述したＸ方向モータ部６の収容室６０として利用されるようになっている。このような空間は可動プレート５と中間プレート４との間にも形成され、かかる空間は前述したＹ方向モータ部の収容室７０として利用される。
【００２３】
図３は、前記可動プレート５を取り除いた状態を示すＸＹテーブルアクチュエータ１の斜視図である。前記可動プレートと対向する中間プレート４の表面にはＸ方向に間隔をおいて一対のリニアガイド２１が固定されている。各リニアガイド２１は可動プレート５に形成されたボールの転走溝３０と対向する負荷転走溝２２を備えており、可動プレート５の転走溝３０とリニアガイド２１の負荷転走溝２２との間を複数のボールが荷重を負荷しながら転走することにより、可動プレート５が中間プレート４に対してＹ方向に自在に移動し得るように構成されている。また、前記リニアガイド２１はボールの無限循環路を備えており、可動プレート５は自らの転走溝３０がリニアガイド２１と対向する範囲内で中間プレート４に対して移動することが可能となっている。
【００２４】
また、中間プレート４上には前述した一対のリニアガイドに挟まれるようにしてＹ方向モータ部７が配設されている。このＹ方向モータ部７は同期型リニアモータであり、前記中間プレート４上に一列に配列された複数の固定子マグネット７１と、前記可動プレート５に固定されると共にこれら固定子マグネット７１と僅かな隙間を介して対向するコイル部材７２とから構成されている。
【００２５】
前記固定子マグネット７１はＮ極及びＳ極を交互に前記コイル部材７２に向けるように配列されている。これらの固定子マグネット７１は合成樹脂製の保持プレート７３に配列されており、かかる保持プレート７３を前記中間プレート４に固定することで、前記固定子マグネット７１の中間プレート４に対する配列を容易に行い得るようになっている。また、各固定子マグネット７１は接着によって前記保持プレート７３に配列されているが、前記保持プレート７３を射出成形することにより、固定子マグネット７１を該保持プレート７３と一体化することもできる。
【００２６】
また、前記コイル部材７２は鉄等の強磁性体から形成されたコア部材に対してコイルを巻き回して形成されており、かかるコア部材の先端が前記固定子マグネット７１と僅かな隙間を介して対向している。コイルはｕ相、ｖ相、ｗ相の三相からなり、これらコイルに対して三相交流電流を通電すると、コイル部材７１がＹ方向に沿った移動磁界を発生する。この移動磁界に基づいて前記固定子マグネット７１とコイル部材７２との間に磁気吸引力又は磁気反発力が作用し、コイル部材７２を固定子マグネット７１の配列方向に沿って推進することができるようになっている。
【００２７】
尚、図３は中間プレート４の表面側、すなわち可動プレート５に面した側の構造を示しているが、かかる中間プレート４の裏面側、すなわち固定プレート２に面した側にも一対のリニアガイド２１が配設され、固定プレート２に対して中間プレート４がＸ方向へ自在に運動し得るようになっている。また、中間プレート４を固定プレート２に対してＸ方向へ駆動するＸ方向モータ部は、前記Ｙ方向モータ部７と同様に固定子マグネット及びコイル部材から構成され、固定子マグネットが中間プレート４の裏面側に、コイル部材が固定プレート２に夫々固定されている。
【００２８】
また、図３中において、符号７４は可動プレート５の収容溝２０に僅かな隙間を介して対向する隔壁であり、中間プレート４の表面側でＹ方向の両端に夫々設けられている。この隔壁７４は可動プレート５と中間プレート４との間に形成されたＹ方向モータ部７の収容室７０に対して外部から塵芥が侵入するのを防止すると共に、可動プレート５に固定されたコイル部材７２の移動範囲を制限している。すなわち、前記可動プレート５は一対の隔壁７４によって規制されたコイル部材７２の移動範囲内においてストロークすることが可能である。
【００２９】
同様にして、中間プレート４の裏面側にはＸ方向の両端に対応して一対の隔壁７５が夫々設けられ、固定プレート２と中間プレート４との間に形成されたＸ方向モータ部の収容室６０に対して外部から塵芥が侵入するのを防止すると共に、固定プレート２に固定されたコイル部材の移動範囲を制限している。
【００３０】
一方、図１又は図３に示すように、前記可動プレート５に固定されたコイル部材７２には駆動用動力ケーブル８の一端が接続されており、かかる駆動用動力ケーブル８の他端はＸＹテーブルアクチュエータ１から分離して設けられたコントローラ９に接続されている。この駆動用動力ケーブル８は厚さ１５０μｍ程度の平帯状ＦＰＣから形成されており、柔軟に湾曲することで、可動プレート５のＸ方向及びＹ方向への運動を許容しつつ、可動プレート５に搭載されたＹ駆動モータ７のコイル部材７２をコントローラ９と接続している。
【００３１】
図４は、前記センサ用信号ケーブル１０を示す斜視図である。このセンサ用信号ケーブルも平帯状ＦＰＣから形成されており、前記中間プレート４に固定されている。そして、柔軟に湾曲することで、中間プレート４のＸ方向への運動を許容しつつ、中間プレート４に固定された位置検出センサとしてのＸ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２を前記コントローラ９と接続している。
【００３２】
このセンサ用信号ケーブル１０は、前記Ｘ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２に接続されると共に前記中間プレート４に固定される固定配設部１３と、この固定配設部１３から連続すると共に中間プレート４から引き出されて前記コントローラ９に接続される可動余裕部１４とから構成されており、かかる可動余裕部１４が自在に湾曲することで中間プレート４のＸ方向への移動を許容することができるようになっている。前記固定配設部１３は途中から２系統に分岐しており、一方の先端１３ａには前記Ｘ方向センサ部１１が、他方の先端１３ｂにはＹ方向センサ部１２が接続されている。
【００３３】
図５は、前記センサ用信号ケーブル１０を中間プレート４に配設した状態を示す斜視図であり、センサ用信号ケーブルが観やすいよう、中間プレート４の表面に配設されたＹ駆動手段７の固定子マグネット７１及びその保持プレート７３、一方のリニアガイド２１、隔壁７４を取り除いた状態を示している。この図から把握されるように、中間プレート４には前記Ｘ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２を固定するための凹所４０が形成されており、Ｘ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２はこの凹所４０内に固定されてリニアスケールと対向している。Ｘ方向センサ部１１が対向するリニアスケール１５はＸ方向に沿って固定プレートに配設されている。また、Ｙ方向センサ部１２が対向するリニアスケールはＹ方向に沿って可動プレート５に配設されており、図５には描かれていない。
【００３４】
前記Ｘ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２は中間プレート４又は可動プレート５が進退すると、その移動量、移動速度に応じた波形のアナログ信号を出力する。従来、このアナログ信号はセンサ用信号ケーブル１０でＸＹテーブルアクチュエータ１の外に取り出された後にアンプで増幅され、コントローラのＡ／Ｄコンバータでデジタル信号に変換されていた。しかし、アナログ信号のままＸＹテーブルアクチュエータ１の外に取り出すと、信号の減衰やノイズの重畳が問題となり、コントローラ９に達するまでのセンサ用信号ケーブル１０を短く設定しなくては、高精度の位置検出が行い難いといった問題点があった。
【００３５】
そこで、このＸＹテーブルアクチュエータ１では、Ｘ方向センサ部１１又はＹ方向センサ部１２をコントローラ９と接続するセンサ用信号ケーブル１０として柔軟なＦＰＣを採用すると共に、かかるＦＰＣの回路基板本来の機能を利用してその表面に抵抗やコンデンサ等の電子部品を実装し、センサ用信号ケーブル１０そのものにアンプとＡ／Ｄコンバータの機能を搭載した。具体的には、図４に示すように、センサ用信号ケーブル１０の固定配設部１３ａ，１３ｂにアンプ及びＡ／Ｄコンバータの回路となる電子部品１６を実装し、Ｘ方向センサ部１１又はＹ方向センサ部１２から出力されたアナログ信号をセンサ用信号ケーブル１０上で直ちにデジタル信号に変換し、かかるデジタル信号をセンサ用信号ケーブル１０の可動余裕部１４を通してコントローラ９に出力するように構成した。
【００３６】
図６は、Ｘ方向モータ部及びＹ方向モータ部７をフィードバック制御するための制御系を示すプロック図である。ＸＹテーブルアクチュエータ１に搭載されたＸ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２はＦＰＣから形成されたセンサ用信号ケーブル１０によってコントローラと接続されている。このセンサ用信号ケーブルにはアンプ及びＡ／Ｄコンバータが実装されている。一方、コントローラ９は、ＸＹテーブルアクチュエータの駆動シーケンス等の制御内容が予め格納されたＲＯＭと、このＲＯＭの格納内容と前記Ｘ方向センサ部及びＹ方向センサ部の出力信号に基づいて前記Ｘ方向モータ部及びＹ方向モータ部の制御量を演算するＣＰＵと、このＣＰＵによって演算された制御量としてのデジタル信号をアナログ信号に変換するＤ／Ａコンバータと、アナログ信号に変換された制御量からＸ方向モータ部及びＹ方向モータ部の駆動制御電流を生成するドライバ回路とを含んでいる。そして、ドライバ回路によって生成された駆動制御電流は前記駆動用動力ケーブル８によってＸ方向モータ部又はＹ方向モータ部７のコイル部材７２に伝達される。
【００３７】
このような制御系の構成によれば、Ｘ方向センサ部１１又はＹ方向センサ部１２から出力されたアナログ信号を増幅するアンプ、及びかかるアナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータがセンサ用信号ケーブル１０に実装され、しかも、これらアンプ及びＡ／ＤコンバータはＸＹテーブルアクチュエータ１の内部でＸ方向センサ部１１又はＹ方向センサ部１２の近傍に設けられているので、アナログ信号を伝達する際に問題となるノイズの重畳を心配する必要がなく、Ｘ方向センサ部１１及びＹ方向センサ部１２の出力信号を正確にコントローラ９に伝達することが可能となる。それにより、Ｘ方向モータ部及びＹ方向モータ部７の制御の高精度化を図ることが可能となる。
【００３８】
また、センサ用信号ケーブル１０として使用したＦＰＣは本来的には電子部品の実装に使用される基板であるから、かかるセンサ用信号ケーブル１０に対しては何ら問題なくアンプ及びＡ／Ｄコンバータを実装することが可能である。そして、アンプ及びＡ／Ｄコンバータをセンサ用信号ケーブル１０に実装することで、コントローラ９に格納する回路基板のサイズを減じることができ、コントローラ９の小型化を図ることが可能となる。
【００３９】
更に、Ｘ方向センサ部１１又はＹ方向センサ部１２の出力信号をＸＹテーブルアクチュエータ１内でデジタル信号に変換してしまうことから、ＸＹテーブルアクチュエータ１からコントローラ９に至るまでのセンサ用信号ケーブル１０が長い場合であっても、各センサ部の出力信号の減衰及びノイズの混入を懸念する必要はなく、ＸＹテーブルアクチュエータに対するコントローラの配設位置の自由度を高めることが可能となる。
【００４０】
尚、前述の説明ではＡ／Ｄコンバータの前段にアンプを挿入したが、Ｘ方向センサ部１１又はＹ方向センサ部１２の出力信号はこれらセンサ部１１，１２の直後でアナログ信号からデジタル信号に変換されることから、各センサ部１１，１２の出力信号に十分な振幅が存在する場合には、前記アンプを設けるには及ばない。
【００４１】
また、以上の説明ではＸＹテーブルアクチュエータを本発明の適用対象としたが、第１部材に対して第２部材がＸ方向にのみ運動する一軸アクチュエータであっても本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明を適用したＸＹテーブルアクチュエータの実施形態を示す斜視図である。
【図２】実施形態に係るＸＹテーブルアクチュエータの固定プレートを示す斜視図である。
【図３】実施形態に係るＸＹテーブルアクチュエータから可動プレートを取り除いた状態を示す斜視図である。
【図４】コントローラとＸ方向センサ部及びＹ方向センサ部を接続するセンサ用信号ケーブルを示す斜視図である。
【図５】中間プレート上に配設したセンサ用信号ケーブルを示す斜視図である。
【図６】Ｘ方向モータ部及びＹ方向モータ部のフィードバック制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…ＸＹテーブルアクチュエータ、２…固定プレート、４…中間プレート、５…可動プレート、７…Ｙ駆動手段、９…コントローラ、１０…センサ用信号ケーブル、１１…Ｘ方向センサ部、１２…Ｙ方向センサ部、１３ａ，１３ｂ…固定配設部、１４…可動余裕部
【図１】
2008286751.tif 000003
【図２】
2008286751.tif 000004
【図３】
2008286751.tif 000005
【図４】
2008286751.tif 000006
【図５】
2008286751.tif 000007
【図６】
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