(57)【要約】【課題】欠陥画素を精度良く補正して、欠陥画素を補正した後の画像の画質が低下しないようにする。【解決手段】撮像装置は、複数の受光素子がマトリクス状に配置されたイメージセンサ４を含む撮像部２と、イメージセンサ４の欠陥受光素子の位置情報を記憶する欠陥情報記憶部１６と、撮像範囲を、所望の撮像対象範囲である第１撮像範囲から、欠陥受光素子により受光される位置が第１撮像範囲内の欠陥画素と重ならないように設定された第２撮像範囲に移動させる撮像範囲移動手段６と、１回の撮像動作において、第１撮像範囲を撮像する第１撮像と第２撮像範囲を撮像する第２撮像とを行なうように撮像部２及び撮像範囲移動手段６を制御する撮像制御部８と、欠陥情報記憶部１６に記憶されている欠陥受光素子の位置情報に基づいて、第１撮像の撮像画像情報のうち欠陥受光素子による欠陥画素情報を、その位置に対応する第２撮像の画素情報で補正する欠陥画素補正部１４と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の受光素子がマトリクス状に配置されたイメージセンサを含む撮像部と、
前記イメージセンサの欠陥受光素子の位置情報を記憶する欠陥情報記憶部と、
撮像範囲を、所望の撮像対象範囲である第１撮像範囲から、前記欠陥受光素子により受光される位置が第１撮像範囲内の欠陥画素と重ならないように設定された第２撮像範囲に移動させる撮像範囲移動手段と、
１回の撮像動作において、第１撮像範囲を撮像する第１撮像と第２撮像範囲を撮像する第２撮像とを行なうように前記撮像部及び前記撮像範囲移動手段を制御する撮像制御部と、
前記欠陥情報記憶部に記憶されている前記欠陥受光素子の位置情報に基づいて、第１撮像の撮像画像情報のうち前記欠陥受光素子による欠陥画素情報を、その位置に対応する第２撮像の画素情報で補正する欠陥画素補正部と、を備えていることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記欠陥情報記憶部に記憶されている前記欠陥受光素子の位置情報に基づいて第２撮像範囲を設定する第２撮像範囲設定部をさらに備えている請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記撮像範囲移動手段は前記イメージセンサへの入射光の光軸が前記イメージセンサに対して相対的に変化するように、前記イメージセンサを移動させるものである請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記撮像範囲移動手段は前記イメージセンサへの入射光の光軸を変化させるものである請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されており、
前記第２撮像範囲は、第１撮像範囲からＸ軸方向にｍａ（ｍは１以上の整数）又はＹ軸方向にｎｂ（ｎは１以上の整数）移動した位置である請求項１から４のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項６】
前記イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列され、撮像対象物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動速度がＶｘ、Ｖｙであり、第１撮像から第２撮像までの時間間隔ｓが、
ｓ≦ａ／（１０×Ｖｘ）及びｓ≦ｂ／（１０×Ｖｙ）
を満たすように設定されている請求項１から５のいずれかに記載の撮像装置。
【請求項７】
受光素子がマトリクス状に配置されたイメージセンサを含む撮像部で撮像して得られる画像の欠陥画素を補正する方法であって、
所望の撮像範囲である第１撮像範囲とは別に、欠陥受光素子により受光される位置が第１撮像範囲内の欠陥画素とは重ならない第２撮像範囲を設定し、
１回の撮像動作において、第１撮像範囲を撮像する第１撮像と第２撮像範囲を撮像する第２撮像とを行なって、第１撮像の撮像画像情報のうち欠陥受光素子による欠陥画素情報を、その位置に対応する第２撮像の画素情報で補正することを特徴とする欠陥画像補正方法。
【請求項８】
前記第２撮像時は、前記イメージセンサへの入射光の光軸が前記イメージセンサに対して相対的に変化するように、一定距離移動させて撮像する請求項７に記載の欠陥画像補正方法。
【請求項９】
前記第２撮像は、前記イメージセンサへの入射光の光軸を第１撮像時のものから変化させて撮像する請求項７に記載の欠陥画像補正方法。
【請求項１０】
前記イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されているものであって、
前記第２撮像範囲は、第１撮像範囲からＸ軸方向にｍａ（ｍは１以上の整数）又はＹ軸方向にｎｂ（ｎは１以上の整数）移動した位置である請求項７から９のいずれかに記載の欠陥画像補正方法。
【請求項１１】
前記イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されたものであって、撮像対象物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動速度がＶｘ、Ｖｙであり、第１撮像から第２撮像までの時間間隔ｓは、
ｓ≦ａ／（１０×Ｖｘ）及びｓ≦ｂ／（１０×Ｖｙ）
を満たす請求項７から１０のいずれかに記載の欠陥画像補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の受光素子がマトリクス状に配置されたＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサからなる撮像部を備えた撮像装置、及びそのような撮像装置で撮像した画像に含まれる欠陥画素を補正する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フォトダイオード（受光素子）がアレイ状に配列されたＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサを製造する半導体ウェハプロセスにおいて、プロセス中のパーティクル発生などにより、点欠陥（特定の点の受光素子に欠陥が生じること）やライン欠陥（特定のラインの受光素子に欠陥が生じること）が少なからず発生する。その発生数は、イメージセンサのチップサイズの拡大化や受光素子間隔の縮小化によりさらに増大する。
【０００３】
点欠陥やライン欠陥が発生した場合、その発生箇所の画像は正しく出力できず、欠陥画素となる。そこで、イメージセンサからの出力画像に存在する点欠陥やライン欠陥による欠陥画素を隣接する画素や隣接する受光素子ラインからの画像情報を元に補正する方法が提案されている。この方法では、予め欠陥発生箇所を調べてＲＯＭ（記憶装置）に記憶させておき、撮像対象物を撮像した際の欠陥画素を周辺画素情報に基づいて補正し、出力する。
【０００４】
また、上記方法とは異なる欠陥画素補正方法として、欠陥発生箇所をＲＯＭに記憶させずに欠陥画素を補正する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この方法では、着目画素が欠陥画素か否かを判定する判定回路を備え、判定回路が着目画素が欠陥画素であると判定した場合に着目画素を周辺画素情報に基づいて補正する。
【特許文献１】特開２００４−１１２７３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した２つの欠陥画素補正方法はいずれも、欠陥画素を補正した後の画像が擬似的なものとなっているため、厳密には実際の画像とは異なっている。つまり、欠陥画素を補正した部分の画像は画質が劣化していることになる。このような理由により、イメージセンサの製品良否判定では、画質劣化に繋がる欠陥発生数についても規定しているため、点欠陥やライン欠陥が増大すると製品良否判定で合格することができず、製品の歩留りが低下する。
【０００６】
そこで本発明は、欠陥画素を精度良く補正して、欠陥画素を補正した後の画像の画質が低下しないようにすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる撮像装置は、複数の受光素子がマトリクス状に配置されたイメージセンサを含む撮像部と、イメージセンサの欠陥受光素子の位置情報を記憶する欠陥情報記憶部と、撮像範囲を、所望の撮像対象範囲である第１撮像範囲から、欠陥受光素子により受光される位置が第１撮像範囲内の欠陥画素と重ならないように設定された第２撮像範囲に移動させる撮像範囲移動手段と、１回の撮像動作において、第１撮像範囲を撮像する第１撮像と第２撮像範囲を撮像する第２撮像とを行なうように撮像部及び撮像範囲移動手段を制御する撮像制御部と、欠陥情報記憶部に記憶されている欠陥受光素子の位置情報に基づいて、第１撮像の撮像画像情報のうち欠陥受光素子による欠陥画素情報を、その位置に対応する第２撮像の画素情報で補正する欠陥画素補正部と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の撮像装置は、欠陥情報記憶部に記憶されている欠陥受光素子の位置情報に基づいて第２撮像範囲を設定する第２撮像範囲設定部をさらに備えているようにしてもよい。
【０００９】
撮像範囲移動手段の好ましい実施例として、イメージセンサへの入射光の光軸がイメージセンサに対して相対的に変化するようにイメージセンサを移動させるものや、イメージセンサへの入射光の光軸を変化させるものも挙げることができる。
【００１０】
イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されている場合、第２撮像範囲は、第１撮像範囲からＸ軸方向にｍａ（ｍは１以上の整数）又はＹ軸方向にｎｂ（ｎは１以上の整数）移動した位置であることが好ましい。
【００１１】
また、イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されており、撮像対象物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動速度がＶｘ、Ｖｙである場合、第１撮像から第２撮像までの時間間隔ｓはｓ≦ａ／（１０×Ｖｘ）及びｓ≦ｂ／（１０×Ｖｙ）を満たすことが好ましい。
【００１２】
本発明にかかる欠陥画像補正方法は、受光素子がマトリクス状に配置されたイメージセンサを含む撮像部で撮像して得られる画像の欠陥画素を補正する方法であって、所望の撮像範囲である第１撮像範囲とは別に、欠陥受光素子により受光される位置が第１撮像範囲内の欠陥画素とは重ならない第２撮像範囲を設定し、１回の撮像動作において、第１撮像範囲を撮像する第１撮像と第２撮像範囲を撮像する第２撮像とを行なって、第１撮像の撮像画像情報のうち欠陥受光素子による欠陥画素情報をその位置に対応する第２撮像の画素情報で補正することを特徴とするものである。
【００１３】
本発明の欠陥画素補正方法における第２撮像では、イメージセンサへの入射光の光軸がイメージセンサに対して相対的に変化するようにイメージセンサを第１撮像時の位置から一定距離移動させて撮像するようにしてもよいし、イメージセンサへの入射光の光軸を第１撮像時のものから変化させて撮像するようにしてもよい。
【００１４】
イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されている場合、第２撮像範囲は、第１撮像範囲からＸ軸方向にｍａ（ｍは１以上の整数）又はＹ軸方向にｎｂ（ｎは１以上の整数）移動した位置に設定することが好ましい。
【００１５】
イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されたものであって、かつ撮像対象物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動速度がＶｘ、Ｖｙである場合、第１撮像から第２撮像までの時間間隔ｓは、ｓ≦ａ／（１０×Ｖｘ）及びｓ≦ｂ／（１０×Ｖｙ）を満たすように設定することが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の撮像装置及び欠陥画素補正方法では、１回の撮像動作において、所望の撮像対象範囲である第１撮像範囲を撮像する第１撮像と、欠陥受光素子により受光される位置が第１撮像範囲内の欠陥画素とは重ならない第２撮像範囲を撮像する第２撮像とを行ない、第１撮像の撮像画像における欠陥画素をその位置に対応する第２撮像の画素情報で補正するようにしたので、欠陥画素に対応する位置の画素情報を欠陥のない受光素子で受光した画素情報で補填することができ、欠陥画素を補正した後の画像の劣化をなくすことができる。
また、本発明の撮像装置及び欠陥画素補正方法により得られる欠陥画素補正後の画像は欠陥画素が存在していた部分の劣化がないので、欠陥発生数が増加しても画質の劣化を抑制することができる。これにより、画質劣化に繋がる欠陥発生数について規定している製品良否判定の規制を緩和することができ、歩留まりを向上させることができる。
【００１７】
本発明の撮像装置において、欠陥情報記憶部に記憶されている欠陥受光素子の位置情報に基づいて第２撮像範囲を設定する第２撮像範囲設定部をさらに備えていれば、撮像装置がイメージセンサの欠陥受光素子の位置情報に基づいて自動的に第２撮像範囲を設定するようになり、撮像装置の設定時間が短縮される。
【００１８】
イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されている場合、第２撮像範囲は、第１撮像範囲からＸ軸方向にｍａ（ｍは１以上の整数）又はＹ軸方向にｎｂ（ｎは１以上の整数）移動した位置であるようにすれば、第１撮像と第２撮像において同じ位置を受光素子で受光することがなくなる。これにより、同じ欠陥受光素子で受光された位置が第１撮像範囲と第２撮像範囲とで重なることがなくなり、仮想的に欠陥画素のない画像を得ることができる。
【００１９】
イメージセンサの受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されたものであって、かつ撮像対象物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動速度がＶｘ、Ｖｙである場合、第１撮像から第２撮像までの時間間隔ｓがｓ≦ａ／（１０×Ｖｘ）及びｓ≦ｂ／（１０×Ｖｙ）を満たしていれば、撮像対象物が移動する場合であっても、欠陥画素の補正に対する撮像対象物の移動速度の影響を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明の撮像装置の一実施例を示すブロック図である。
撮像部２は、複数の受光素子がマトリクス状に配置されたイメージセンサ４のほか、イメージセンサ４に撮像対象物からの光を入射させるための光学系などを備えている。イメージセンサ４は、例えばＣＭＯＳイメージセンサなど、受光素子であるフォトダイオードがマトリクス状に配置されたものである。このようなイメージセンサ４は、フォトダイオード部に結晶欠陥が発生したり、シフトレジスタやアンプ回路に繋がるメタル配線が異物等により断線したりして欠陥受光素子が存在して点欠陥又はライン欠陥が生じていることがある。この発明はそのような点欠陥又はライン欠陥をもつイメージセンサ４を使用するものである。
撮像部２の撮像範囲は、所望の撮像対象範囲である第１撮像範囲と、第１撮像範囲から一定距離だけずれた範囲である第２撮像範囲である。撮像部２の撮像範囲は撮像範囲移動手段６によって第１撮像範囲、第２撮像範囲のいずれかに切り替えられるようになっている。
【００２１】
第２撮像範囲は第２撮像範囲設定部１８により設定される。第２撮像範囲設定部１８は、イメージセンサ４に存在する欠陥受光素子の位置情報（欠陥情報）が格納されている欠陥情報記憶部１６の欠陥情報に基づいて、第２撮像範囲の欠陥画素の位置が第１撮像範囲内の欠陥画素の位置と重ならないように第２撮像範囲を設定するようになっている。また、イメージセンサ４にライン欠陥が発生している場合は、第２撮像範囲を第２撮像範囲の欠陥画素が第１撮像範囲内の欠陥画素と最も重ならない範囲に設定するようになっている。
【００２２】
撮像制御部８は、第２撮像範囲設定部１８からの第２撮像範囲情報に基づいて、第１撮像範囲を撮像した後で第２撮像範囲を撮像するように撮像部２及び撮像範囲移動手段６を制御する。
画像処理部１０は第１撮像の撮像画像情報を一時的に記憶する画像情報記憶部１２と、撮像画像の欠陥受光素子による欠陥画素を補正する欠陥画素補正部１４を備えている。欠陥画素補正部１４は画像情報記憶部１２に一時的に記憶されている第１撮像の撮像画像情報の欠陥画素情報を、その位置に対応する第２撮像の画素情報で補填する。画像処理部１０は第２撮像の撮像画像情報を用いて補正した第１撮像の撮像画像を出力するようになっている。
【００２３】
撮像範囲移動手段６としては、例えば図２に示されているように、イメージセンサ４への入射光の光軸がイメージセンサ４に対して相対的に変化するように、Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動させるための可動式のステージ６ａを備えているものである。イメージセンサ４への入射光の光軸はレンズ５により固定されており、ステージ６ａが平面内方向に移動することで、イメージセンサ４に入射する撮像対象イメージからの光がステージ６ａの移動方向とは対照的に移動する。これにより、イメージセンサ４による撮像範囲が移動する。
この場合の第２撮像範囲設定部１８は、図３（Ｂ）に示されるように、ステージ６ａを移動させる前（第１撮像範囲）のイメージセンサ４の欠陥受光素子の位置と、ステージ６ａを移動させた後（第２撮像範囲）のイメージセンサ４の欠陥受光素子の位置が重ならないようにステージ６ａのＸ軸方向及びＹ軸方向への移動量（ΔＸ，ΔＹ）を設定する。また、イメージセンサ４にライン欠陥が発生している場合は、第２撮像範囲の欠陥画素が第１撮像範囲内の欠陥画素と最も重ならないようにステージ６ａのＸ軸方向及びＹ軸方向への移動量（ΔＸ，ΔＹ）を設定する。
【００２４】
ステージ６ａの移動量（ΔＸ，ΔＹ）は、イメージセンサ４の受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａで配列され、かつＹ軸方向に素子間隔ｂで配列されている場合、
（ΔＸ，ΔＹ）＝（ｍａ，ｎｂ）（ｍ，ｎは１以上の整数）
を満たすように設定されることが好ましい。そうすれば、第１撮像と第２撮像において同じ位置を受光素子で受光することがなくなる。つまり、同じ欠陥受光素子で受光された位置が第１撮像範囲と第２撮像範囲とで重ならないので、仮想的に欠陥画素のない画像が得られる。
【００２５】
ステージ６ａをＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動させるための機構として、ステージ６ａをＸ軸方向に移動させるためのＸ軸方向スライド機構と、ステージ６ａをＹ軸方向に移動させるためのＹ軸方向スライド機構とを備え、両スライド機構はそれぞれのステッピングモータにより独立して駆動されるようにしたものを挙げることができる。
【００２６】
図３を用いて欠陥画素の補正方法を説明する。
図３（Ａ）に示されているように、イメージセンサ４の撮像範囲の左下を基点（０，０）とした座標において、（ＤＸ１，ＤＹ１）及び（ＤＸ２，ＤＹ２）の位置に点欠陥が存在し、（Ａｌｌ，ＤＹ３）及び（ＤＹ４，Ａｌｌ）の位置にライン欠陥が存在しているとする。第２撮像範囲を第１撮像範囲からＸ軸方向に＋ΔＸ、Ｙ軸方向に＋ΔＹだけ移動した位置に設定した場合、第２撮像範囲において第１撮像範囲の撮像画像の欠陥画素に対応する位置は、（Ｂ）に示されているように、それぞれ（ＤＸ１−ΔＸ，ＤＹ１−ΔＹ）、（ＤＸ２−ΔＸ，ＤＹ２−ΔＹ）、（Ａｌｌ，ＤＹ３−ΔＹ）及び（ＤＹ４−ΔＸ，Ａｌｌ）となる。第１撮像の撮像画像情報における（ＤＸ１，ＤＹ１）、（ＤＸ２，ＤＹ２）、（Ａｌｌ，ＤＹ３）及び（ＤＹ４，Ａｌｌ）の画素情報を、第２撮像の撮像画像情報における（ＤＸ１−ΔＸ，ＤＹ１−ΔＹ）、（ＤＸ２−ΔＸ，ＤＹ２−ΔＹ）、（Ａｌｌ，ＤＹ３−ΔＹ）及び（ＤＹ４−ΔＸ，Ａｌｌ）に置き換える。これにより、第１撮像画像において欠陥画素となっていた部分を第２撮像で得た正常な画素情報で補填することができる。
【００２７】
図４は撮像装置の動作及び欠陥画素補正方法を示すフローチャート図である。図４とともに図１から図３の図を用いて一実施例の撮像装置の動作及び欠陥画素補正方法の実施例を説明する。
イメージセンサ４の欠陥受光素子の位置情報を欠陥情報記憶部１６に格納する（ステップＳ１）。欠陥受光素子の位置情報は、まずイメージセンサ４を使用して光遮蔽した状態での撮像結果と均一光照射した状態での撮像結果から暗異常である画素の位置情報と明異常である画素の位置情報を合わせた欠陥発生箇所（ＤＸｎ、ＤＹｍ）を欠陥情報記憶部１６に格納する。
【００２８】
イメージセンサ４を移動させる前の第１撮像範囲を撮像する第一撮像時の欠陥受光素子の位置と、移動させた後の第２撮像範囲を撮像する第二撮像時の欠陥受光素子の位置が重ならないようなステージ６ａの移動量（トＸ、トＹ）を第２撮像範囲情報として求める（ステップＳ２）。イメージセンサ４にライン欠陥が発生している場合は、第２撮像範囲の欠陥画素が第１撮像範囲内の欠陥画素と最も重ならないようなステージ６ａのＸ軸方向及びＹ軸方向への移動量（ΔＸ，ΔＹ）を求める。
求めた第２撮像範囲情報を欠陥画素補正部１４にフィードバックしておく（ステップＳ３）。
【００２９】
第一撮像を行なう（ステップＳ４）。第１撮像では、撮像したい対象イメージを撮像するための第１撮像範囲を撮像する。
第１撮像の撮像画像情報は画像情報記憶部１２に一時的に格納する（ステップＳ５）
ステージ６ａを既に求めた移動量（トＸ、トＹ）だけ移動させてイメージセンサ４を移動させ、第２撮像範囲を撮像するための第二撮像を行う（ステップＳ６）。
【００３０】
欠陥画素補正部１４により、第一撮像の撮像画像情報のうち、欠陥受光素子で受光したことによって正しく出力できていない欠陥画素（ＤＸｎ、ＤＹｍ）を第二撮像の撮像画像情報の（（ＤＸｎ−トＸ）、（ＤＹｍ−トＹ））の画素データに置き換えて欠陥画素を補正する（ステップＳ７）。
【００３１】
画像処理部１０から第１撮像の撮像画像の欠陥画素を第２撮像の正常な画素で補正した画像を出力する（ステップＳ８）。
なお、欠陥発生していない箇所においては、第一撮像の結果と第二撮像の結果を平均化する等して画像データの精度を上げるようにしてもよい。
【００３２】
このように、第１撮像と第２撮像を行ない、第１撮像の撮像画像の欠陥画素を第２撮像で得た画素情報で補正するようにすることで、イメージセンサ４に欠陥箇所が存在していてその部分の正確な画素情報が得られなくても、その部分をイメージセンサ４の欠陥が発生していない箇所で撮像して得られた画素情報により補填することができるので、画質劣化が全くない欠陥画素の補正が可能である。特に撮像対象物がほとんど動かないような静止画で大面積なイメージセンサや画素欠陥数の規格が厳しいようなイメージセンサで有用である。
【００３３】
また、撮像対象物が移動している場合は、撮像対象物の移動速度に合わせて第１撮像と第２撮像の時間間隔を設定することで対応することができる。例えば、イメージセンサ４の受光素子がＸ軸方向に素子間隔ａ、Ｙ軸方向に素子間隔ｂで配列されており、撮像範囲内における撮像対象物のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動速度が（Ｖｘ、Ｖｙ）である場合、第１撮像から第２撮像までの時間間隔ｓは、ｓ≦ａ／（１０×Ｖｘ）及びｓ≦ｂ／（１０×Ｖｙ）を満たすように設定することが好ましい。すなわち、第１撮像から第２撮像までの時間ｓの間に撮像対象物が移動する距離をイメージセンサ４の素子間隔の１０分の１以下にすることで、欠陥画素の補正に対する撮像対象物の移動速度の影響を無視できる程度に小さくすることができる。
【００３４】
上記実施例では、撮像範囲移動手段６としてイメージセンサ４を移動させるようになっているものを挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、図５に示されているように、イメージセンサ４を固定しておき、イメージセンサ４に入射する光の光軸を制御するレンズ５の角度を変化させるなどして撮像範囲を変化させるものであってもよい。このような撮像範囲移動方法は、イメージセンサ４に入射する光の光軸を制御するレンズ５の角度を変化させるだけで撮像範囲を移動させることができるので、例えば撮像装置のサイズなど構造上の都合によりイメージセンサ４を移動させることができない場合に有用である。この場合、レンズ５の回転角度と撮像範囲の移動量とが関連付けられているようにする。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】一実施例の撮像装置を示すブロック図である。
【図２】撮像範囲移動手段の一例を示す斜視図である。
【図３】第２撮像範囲の設定方法の一例を説明するための撮像範囲を示す図であり、（Ａ）は第１撮像範囲、（Ｂ）は第１撮像範囲と第２撮像範囲の関係を示す図である。
【図４】欠陥画素の補正方法の一例を順に説明するためのフローチャート図である。
【図５】撮像範囲移動手段の他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
２    撮像部
４    イメージセンサ
５    レンズ
６    撮像範囲移動手段
６ａ  イメージセンサ載置ステージ
８    撮像制御部
１０    画像処理部
１２    画像情報記憶部
１４    欠陥画素補正部
１６    欠陥情報記憶部
１８    第２撮像範囲設定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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