(57)【要約】【課題】微小部材整列組み立て方法及び装置を提供する。【解決手段】本発明の微小部材整列組み立て方法は、複数の接合点を有する載置具を提供し、複数の接合点上に凸層をそれぞれ形成し、凸層上にドロップレットを形成し、微小部材を前記ドロップレット上に提供し、ドロップレットを除去し、微小部材を前記接合点と連接させ、接着手段により微小部材を前記載置具上に固定するステップからなる。本発明はドロップレットを利用し微小部材を自動調整させ、微小部材が円滑に接合点と連接可能にする。前記方法を利用し本発明は更に、微小部材整列組み立て装置を構成し、微小部材整列組み立てを自動化する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接合点を有する載置具を提供し、
前記複数の接合点上に凸層をそれぞれ形成し、
前記凸層上にドロップレットを形成し、
微小部材を前記ドロップレット上に配置し、
前記ドロップレットを除去し、前記微小部材を前記接合点と連接させ、
接着手段により前記微小部材を前記載置具上に固定するステップを含むものである微小部材整列組み立て方法。
【請求項２】
複数の接合点を有する載置具を提供し、
前記複数の接合点上に接着層をそれぞれ形成し、
前記接着層上にドロップレットを形成し、
微小部材を前記ドロップレット上に配置し、
前記ドロップレットを除去し、前記微小部材を前記接合点と連接させ、
前記接着層と前記微小部材を接合するステップを含むものである微小部材整列組み立て方法。
【請求項３】
前記微小部材と前記接着層の接合手段は、超音波および加熱手段のいずれか１つを選択可能であることを特徴とする請求項２記載の微小部材整列組み立て方法。
【請求項４】
複数の接合点を有する載置具に運送を提供する運送装置と、
前記載置具を受けることができ、前記接合点上に凸層を形成する転置装置と、
前記凸層を有する前記載置具を受けることができて、前記凸層上にドロップレットを形成するドロップレット発生装置と、
複数の微小部材を提供でき、前記微小部材を前記ドロップレット上に置く整列転置装置と、
複数の微小部材を有する前記載置具を受けることができ前記ドロップレットを除去し、前記微小部材と前記接合点を相互に連接するドロップレット除去装置と、
前記ドロップレット除去装置から出る前記載置具を受けることができ、接着材を提供し前記微小部材を前記載置具上に固定する接着材付け装置と
を含むものである微小部材整列組み立て装置。
【請求項５】
前記接着材付け装置は、更に、
接着材を微小部材上に提供する接着材点滴ユニットと、
接着材を乾燥させる乾燥ユニットと、
接着材を冷却させる冷却ユニットと
を含むものである請求項４記載の微小部材整列組み立て装置。
【請求項６】
複数の接合点を有する載置具に運送を提供する運送装置と、
前記載置具を受けることができ、前記接合点上に凸層を形成する転置装置と、
前記凸層を有する前記載置具を受けることができて、前記凸層上にドロップレットを形成するドロップレット発生装置と、
複数の微小部材を提供でき、前記微小部材を前記ドロップレット上に置く整列転置装置と、
複数の微小部材を有する前記載置具を受けることができ前記ドロップレットを除去し、前記微小部材と前記接合点を相互に連接するドロップレット除去装置と、
エネルギーを提供し前記接着層と前記微小部材を接合させる接合装置とを含むものである微小部材整列組み立て装置。
【請求項７】
前記接合装置は、超音波接合装置および加熱装置のいずれか１つを選択可能であることを特徴とする請求項６記載の微小部材整列組み立て装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小部材の整列方法および製造装置に関し、特に、小さな点滴であるドロップレットを利用し微小部材のパッケージ整列と運送およびプロセスを自動化する装置の設置を実行し、大量で迅速な組み立てを完成する微小部材整列パッケージ方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在良く見るＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification Tag, RFID tag）およびＬＥＤ（Light Emitter Diode, LED）は、どちらも微小部材を使用する代表的製品であり、これらの製品の特徴は、液晶粒子の大きさが微小サイズであり、使用量が高いことである。製品のコストの構成中、組み立て工程が占有する割合が高く、従来の技術では、約２０％以上を占有する。但し、微小であることを利得とする現代において、如何にして大量生産するとともにパッケージのコストを削減するかが、技術発展の重要な課題となっている。
【０００３】
従来の微小部材の組み立て技術中、大きく３種類に分けることができ、第１種は、流体セルフ組み立て技術（Fluid Self Assembly, FSA）である。図１に示すように、図は、流体セルフ組み立て技術の概略図である。前記技術は、ケイ素基板２０上に微小部材２１の外形に対応する複数の凹溝２２をエッチングし配列する。その後、ケイ素基板２０を溶液１中に置くとともに、大量の微小部材２１を溶液１中に入れ、溶液１の流動を利用して微小部材２１を連動させる。ケイ素基板２０上は微小部材２１の外形と対応する凹溝２２を有することにより、微小部材２１が凹溝２２中に落ち、整列を達成する。
【０００４】
流体セルフ組み立て技術は、整列の目的を達成することができるが、幾つかの欠点を有する。
（１）微小部材の背面が、特殊な造形をエッチングする必要がある。
（２）装置が大きく、関連する回収装置、水溶液制御装置および乾燥装置等を具備する必要がある。
（３）微小部材が液体内に長時間置かれることにより、容易に損壊する恐れがある。
（４）目標数量の高い微小液晶粒子を準備し、凹溝に落ちる割合を向上させる必要がある。
【０００５】
第２手段は、選択および放置（Pick and Place）の手段であり、動作原理は、機械アームが微小部材のピック、伝送および定位の手段としてなり、微小部材をピックした後、基板上の特定の位置に伝送配置する。
上記方法は、以下の欠点を有する。
（１）精密な位置検査装置、信号処理装置、および位置調整装置を必要とするので、装置の設計が複雑である。
（２）定位に比較的長時間を要する。
（３）定位が高精度を必要とされ、微小部材がより小さい時、コストがより高くなる。
（４）1度に１つしか置く事ができず、単位時間の生産の向上が困難である。
（５）ｍｍ級以下の微小部材に用いることが困難である。
【０００６】
第３方式は、嵌合方式である。図２Ａおよび図２Ｂは、従来のポイント結合の概略図である。先ず、図２Ａに示すように、載置台３２'上は複数の微小部材３３'を有し、載置台３２'内部は微小部材３３'と対応する位置上に複数のポイント３４'を有する。微小部材３３'の上部はキャリアテープ３０'を有し、そこには拭くうすの接合点３１'を有する。図２Ａに示すように、微小部材３３'は、接合点３１'の上の接点３５'と合わせた後、載置台３２'内のポイント３４'を利用し微小部材３３'を嵌合し、微小部材３３'と接合点３１'を接合する。
【０００７】
上記の嵌合方式は、以下の欠点を有する。
（１）定位が高精度を必要とされ、コストがより高くなる。
（２）載置部が変形し易く、複数の嵌合部を使用し微小部材を載置部の接合点に結合するため、整列精度の制御が困難である。
【特許文献１】特開２００１−３１５０８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の従来技術は、従来技術が大量生産、製造コストおよび定位精度の制御において、市場の要求に応じることができず、従って、微小部材整列組み立て方法および装置において、従来技術の問題を解決することを課題とするものであり、本発明は、凹部上に小さな点滴であるドロップレットを形成し、ドロップレット上に微小部材を置き、ドロップレットを除去する過程中、微小部材の適切な位置への精確な整列を達成する微小部材整列組み立て方法および装置を提供することを目的とする。
本発明は、更に、組み立て作業工程の自動化を導入し、伝送の自動化および各種組み立てが必要とする製造装置の設置を整合することにより、微小部材が大量に迅速な定位を実行しコストを削減する目的を達成する微小部材整列組み立て方法および装置を提供することを目的とする。
本発明は、更に、組み立て作業工程の自動化を導入し、伝送の自動化および各種組み立てが必要とする製造装置の設置を整合することにより、異なる載置具を微小部材の組み立てに対応させる目的を達成する微小部材整列組み立て方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成する為、本発明の微小部材の整列組み立て方法は、複数の接合点を有する載置具を提供するステップ、複数の接合点上にそれぞれ凸層を形成するステップ、凸層上にドロップレットを形成するステップ、微小部材をドロップレット上に提供するステップ、ドロップレットを除去しステップ、微小部材を接合点に連接するステップ、接着手段により微小部材を載置具上に固定するステップを含むものである。
前記凸層は親水性材料および疎水性材料のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
前記載置具は、テープおよび基板のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
前記ドロップレットを除去する手段は、自然乾燥および加熱手段による乾燥のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
前記ドロップレットを形成する手段は、噴き付け手段、浸透手段、点滴手段、および液体と複数の毛細孔を有する容器を利用する手段のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。そのうち、更には、容器内の液体に圧力を施すことが可能である。
前記ドロップレットの材料は、水、油、アルコール、液体ゴム、および液体金属のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
前記接着手段は、更に、微小部材上に接着材を点滴するステップ；接着材を固めるステップを含むものである。
【００１０】
上記の目的を達成する為に、本発明が提供する微小部材整列パッケージ方法は、更に、複数の接合点を有する載置具を提供するステップ、複数の接合点上にそれぞれ接着層を形成するステップ、接着層上にドロップレットを形成するステップ、微小部材をドロップレット上に提供するステップ、点滴であるドロップレットを除去するステップ、微小部材を接合点に連接するステップ、接着層と微小部材を接合するステップを含むものである。
前記微小部材を接着層と接合する手段は、音波または加熱手段のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
【００１１】
上記の目的を達成する為に、本発明は、提供する微小部材整列パッケージ装置が複数の接合点を有する載置具を運送させる運送装置と、該載置具を受けることができ前記接合点上に凸層を形成する転置装置と、前記凸層を有する載置具を受けることができて凸層上にドロップレットを形成するドロップレット発生装置と、複数の微小部材を提供でき微小部材をドロップレット上に置く整列転置装置と、複数の微小部材を有する載置具を受けることができドロップレットを除去して微小部材と接合点を相互に連接するドロップレット除去装置と、前記ドロップレット除去装置から出る載置具を受けることができ接着材を提供し微小部材を載置具上に固定する接着材付け装置とを含むものである。
前記運送装置は、ローラー運送装置および載置台運送装置のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
前記ドロップレット除去装置は、風量発生装置および乾燥装置のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
前記転置装置は、ローラー装置およびスクリーンプリント装置のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
【００１２】
前記ドロップレット発生装置は、更に容器を含み、液体を収容可能な収容空間を有し、前記容器の片側は複数の毛細孔を有し収容空間と貫通することが好ましい。そのうち、前記ドロップレット発生装置は更に圧力発生ユニットを含み、液体上に圧力を提供する。また、ドロップレット発生装置は、噴き付け発生装置であることが好ましい。噴き付け発生装置は、電圧式不意就け装置、熱気泡式噴き付け手段および超音波噴き付け手段のいずれか１つを選択可能であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明が提供する微小部材整列組み立て方法および装置は、凹部上に小さな点滴であるドロップレットを形成し、ドロップレット上に微小部材を置き、ドロップレットを除去する過程中、微小部材の適切な位置への精緻で正確な整列が可能である。
【００１４】
本発明が提供する微小部材整列組み立て方法および装置は、更に、組み立て作業工程の自動化を導入し、伝送の自動化および各種組み立てが必要とする製造装置の設置を整合することにより、微小部材が大量に迅速な定位を実行しコストを削減することができる。
【００１５】
本発明が提供する微小部材整列組み立て方法および装置は、更に、組み立て作業工程の自動化を導入し、伝送の自動化および各種組み立てが必要とする製造装置の設置を整合することにより、異なる載置具を微小部材の組み立てに対応させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の好適な微小部材整列組み立て方法および装置の実施例を図面を参照して説明する。
図３は、本発明の微小部材整列組み立て方法の第１実施例のフロー図である。微小部材整列組み立て方法４は、以下のステップを含むものである。
まず、ステップ４０で載置具を提供し、載置具は複数の接合点を有し、微小部材と電気接続を形成することができる。そのうち、載置具は、テープ式の載置具または適当な大きさに切断された軟性基板または回路板であることができ、微小部材は、ＲＦＩＤ、ＬＥＤまたはその他の被動部材であることができる。
続いて、ステップ４１を実行し、それぞれ接合点上に凸層を形成する。そのうち、凸層は、親水性材料および疎水性材料のいずれか一つを選択することができる。
続いてステップ４２を実行し、凸層上に小さな点滴であるドロップレットを形成し、前記ドロップレットの材料は、水、油、アルコール、液体ゴム、および液体金属のいずれか１つを選択することができる。
ステップ４３を実行し、微小部材をドロップレットの上に載置する。
続いて、ステップ４４を実行し、ドロップレットを除去し、微小部材および接合点を連接させる。
最後にステップ４５を実行し、接着手段により微小部材を載置具上に固定する。
【００１７】
図４は、本発明の微小部材整列組み立て装置の第１実施例の図である。前記の方法を実現する為、本発明は、微小部材整列組み立て装置３を提供し、運送装置３０、転置装置３１、ドロップレット発生装置３２、整列転置装置３３、ドロップレット除去装置３４および接着材付け装置３５を含み、微小部材の整列・接合を検査する検査装置３６を経て巻き取られる。
運送装置３０は、複数の接合点を有する載置具９０を伝送させる。図５Ａに示すように、本実施例の装置が使用する載置具はテープ式の載置具９０ａであり、載置具９０ａ上に複数の接合点９０１を有する。そして、図５Ｂに示すように、接合点９０１は、本実施例中、電気接合点９０１０、９０１１である。従って、本実施例中、運送装置３０は、複数個のローラーが構成する（roll-to-roll）のローラー伝送装置である。
【００１８】
図４に示すように、転置装置３１は、載置具９０を受けることができ、接合点上に凸層を形成することができる。凸層は親水性材料および疎水性材料のいずれかを選択することができる。図６Ａおよび図６Ｂは、本発明の微小部材の整列組み立て装置の転置装置の第１および第２実施例の図である。図６Ａが表示する転置装置３１ａはローラー３１０を利用し転印手段により凸層を載置具９０上に形成する。ローラー転印の他に、図６Ｂの方式を利用することもでき、転置装置３１ｂは、スクリーン３１１を利用し、凸層を載置具９０に転印する。転印または印刷の手段は載置具９０上に凸層３１２を形成するものである（図６Ｃ参照）。
【００１９】
図４において、ドロップレット発生装置３２は、凸層を有する載置具９０を受けることができ、凸層上にドロップレットを形成する。図７に示すように、ドロップレット発生装置３２は、更に容器３２０を含み、液体５を収容する収容空間３２２を有し、容器３２０の一側には複数の毛細孔３２１を有し収容空間３２０と連接する。ドロップレット発生装置３２は更に圧力発生ユニットを含み、圧力９１を提供し液体５に作用させ、ドロップレット５０を載置具に発生させる。
前記の方式以外に、ドロップレット発生装置３２は吹き付け製造を使用し液体を吹き付け、凸層上に疎水性を有する材料により、吹き付け領域を通過する載置具が凸層銃にドロップレットを形成することができる。
【００２０】
図８Ａは、本発明のドロップレット発生装置の第２実施例の図である。本実施例中、ドロップレット発生装置３２ａは、浸水手段を使用して発生する。液体を収容する容器３２０ａを提供し、その後、載置具９０に凸層を有する面を形成させ容器３２０ａを通過させ、凸層と液体を接触させ、凸層が容器３２０ａを離れる時、凸層は疎水性または親水性の材料であることにより、液体を凸層上に凝固させることができる。また、ドロップレットを形成する手段は、噴き付けを発生することができる装置を使用することができ、例えば、電圧装置の噴き付けヘッド、熱泡手段（thermal  bubble）の噴き付け部材または超音波の噴き付け装置により噴き付けを発生し凸層上にドロップレットを凝固させる。
また、図８Ｂは、本発明のドロップレット発生装置の第３実施例の図である。本実施例のドロップレット発生装置３２ｂは点滴手段によりドロップレット５０を発生し、液体を収容する容器３２０ｂを利用し、容器前端には点滴口３２１ｂを有し、点滴口３２１ｂを適当に調整しドロップレット５０を凸層３１２上に発生させる。
【００２１】
図９Ａは、本発明の整列転置装置の説明図である。整列転置装置３３は複数の微小部材４を提供し、微小部材４をドロップレット５０上に載置できるものである。本実施例中、整列転置装置３３は、ただ１つの複数の凹孔３３０を有する受け板３３１であり、凹孔３３０内は微小部材４を収容し、真空吸引通路３３２を通して、微小部材４を吸引し負圧固定する。図９Ｂは、本発明のドロップレット上に微小部材を載置する説明図である。整列転置装置により微小部材４をドロップレット５０上に転置することができる。
【００２２】
図４に示すように、ドロップレット除去装置３４は、複数の微小部材を受けることができる載置具であり、ドロップレットを除去し、微小部材を接合点に連接する。ドロップレット除去装置３４は、乾燥手段または自然乾燥の手段を使用しドロップレットを除去することができる。ドロップレットを除去した後、図５Ｂおよび１０Ａに示すように、微小部材４は凸層３１２上に畳まれ、微小部材４を接合点（図示せず）に連接する。最後に、図４および図１０Ｂに示すように、接着材付け装置３５を利用し、ドロップレット除去装置から出て来る載置具９０を受け、その後、接着材３５０を提供し微小部材４を載置具９０上に固定或いは接合する。接着材付け装置３５は更に：接着材３５０を微小部材４上に提供可能な接着材点滴ユニットと；接着材３５０を乾燥させる乾燥ユニットと；接着材３５０を冷却させる冷却装置とを含むものである。接着材３５０を固めた後、検査装置３６により、微小部材４と接合点を連接した後の電気性状態を検査する。
【００２３】
図１１Ａは、本発明の載置具の他の好適な実施例を示す図である。前記のローラー手段以外に、載置具９０ｂは、適当な大きさに基材を切断することができ、例えば、回路基板または軟性回路板等であり、その後載置具を載置台６０上に載置する。図１１Ｂに示す載置台運送装置６１を利用し、例えば：運送ベルトまたは移動載置台を有する装置によりステップを実行する手段であり、載置台６０を運送し、本発明の微小部材整列組み立て方法の製造プロセスを順に実行する。
【００２４】
続いて、本発明のドロップレット整列原理を説明する。図９Ｂに示すように、微小部材４はドロップレット５０に接触する時、ドロップレット５０の表面張力を利用して微小部材４を凸層３１２の表面上に移動する。微小部材４は最小表面自由エネルギーの作用により、凸層３１２に自動調整の作用を発生させる。凸層３１２のエッジ（周縁部）がドロップレット５０に対して発生するエッジ効果の作用により、最小自由エネルギーを有する位置だけがあり、従って、微小部材４は最小自由エネルギーの作用により、最小表面エネルギーの位置に到達し、自動精密調整の目的を達成する。本発明は、マイクロチップのパッケージプロセスに導入でき、陳列式迅速大量パッケージの効果を達成する。
【００２５】
図１２は、本発明の微小部材整列組み立て装置の第２実施例のフロー図である。微小部材整列組み立て方法７は、以下のステップを含むものである：まずステップ７０により載置具を提供し、載置具は、複数個の接合点を有し、微小部材と電気接続できる。そのうち、載置具は、テープ式の載置具または適当な大きさに切断された軟性基板または回路板であることができる；微小部材は、ＲＦＩＤ、ＬＥＤまたはその他の被動部材であることができる。続いて、ステップ７１を実行し、それぞれ接合点上に接着層を形成する。続いてステップ７２を実行し、接着層上にドロップレットを形成し、前記ドロップレットの材料は、水、油、アルコール、液体ゴム、および液体金属のいずれか１つを選択することができる。ステップ７３を実行し、微小部材をドロップレットの上に載置する。続いて、ステップ７４を実行し、ドロップレットを除去し、微小部材および接合点を連接させる。最後にステップ７５を実行し、接着手段により微小部材を載置具上に固定する。そのうち、接着層と微小部材を接合する手段は、超音波または加熱手段のいずれかを選択することができる。
【００２６】
図１３は、本発明の微小部材整列組み立て装置の第３実施例の概略図である。本実施例は、ローラー手段により実行し、前記の方法を実現するため、本発明は、微小部材整列組み立て装置８を提供し、それは、運送装置と、転置装置と、ドロップレット発生装置と、整列転置装置と、ドロップレット除去装置と、接合装置とを含むものである。運送装置は、負空の接合点を有する載置具に運送を提供し、本実施例中、前記載置具はキャリアテープである。運送装置、ドロップレット発生装置、整列転置装置、およびドロップレット除去装置は前記の第１実施例の記載と同一であるため、ここに記載しない。
【００２７】
転置装置手段は、接着材転印機であり、図６Ａまたは図６Ｂのように、転印ローラーまたはスクリーンにより載置具上に接着層を形成する。その後、ドロップレット発生装置により接着層上にドロップレットを形成し、続いて、図１４Ａに示すように、整列転置装置により微小部材を微小部材１つにドロップレット１つを対応させて陳列し、微小部材をドロップレットに接触させる。ドロップレット除去装置を用いてドロップレットを除去し、図１４Ｂの状態を形成する。最後に結合装置により接着層と微小部材に接着を実行し、微小部材を載置具上に固定する。結合装置は超音波または加熱装置にてなることができる。
【００２８】
なお、本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない均等の範囲内で、各種の設計変更を加えることができることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】流体セルフ組み立て図である。
【図２Ａ】従来のポイント結合の概略図である。
【図２Ｂ】従来のポイント結合の概略図である。
【図３】本発明の微小部材整列組み立て方法の第１実施例のフロー図である。
【図４】本発明の微小部材整列組み立て方法の第１実施例の概略図である。
【図５Ａ】本発明の載置具の好適な実施例を示す図である。
【図５Ｂ】本発明の載置具の接合点を示す図である。
【図６Ａ】本発明の微小部材整列組み立て方法の転置装置の第１および第２実施例の図である。
【図６Ｂ】本発明の微小部材整列組み立て方法の転置装置の第１および第２実施例の図である。
【図６Ｃ】載置具上に凸層を形成する図である。
【図７】本発明のドロップレット発生装置の第１実施例の図である。
【図８Ａ】本発明のドロップレット発生装置の第２実施例の図である。
【図８Ｂ】本発明のドロップレット発生装置の第３実施例の図である。
【図９Ａ】本発明の整列転置装置の説明図である。
【図９Ｂ】本発明のドロップレット上に微小部材を載置する説明図である。
【図１０Ａ】本発明のドロップレット整列転置装置の説明図である。
【図１０Ｂ】本発明の接着材により微小部材を固定する説明図である。
【図１１Ａ】本発明の載置具の他の好適な実施例を示す図である。
【図１１Ｂ】本発明の微小部材整列組み立て装置の第２実施例の概略図である。
【図１２】本発明の微小部材整列組み立て装置の第２実施例のフロー図である。
【図１３】本発明の微小部材整列組み立て装置の第３実施例の概略図である。
【図１４Ａ】ドロップレット上に微小部材を載置する説明図である。
【図１４Ｂ】微小部材を接着層と接合する説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１ 溶液
２０ 基板
２１ 微小部材
２２ 凹溝
３０’ キャリアテープ
３１’ 接合点
３２’ 載置台
３３’ 微小部材
３４’ ポイント
３５’ 接点
３ 微小部材整列組み立て装置
３０ 運送装置
３１、３１ａ、３１ｂ 転置装置
３１０ ローラー
３１１ スクリーン
３１２ 凸層
３１３ 接着層
３２、３２ａ、３２ｂ ドロップレット発生装置
３２０、３２０ａ、３２０ｂ 容器
３２１ 毛細孔
３２２ 収容空間
３２１ｂ 点滴口
３３ 整列転置装置
３３０ 凹孔
３３１ 受け板
３３２ 真空吸引通路
３４ ドロップレット除去装置
３５ 接着材付け装置
３５０ 接着材
３６ 検査装置
４  微小部材
４   微小部材整列組み立て方法(図３フロー図)
４０〜４５ ステップ
５ 液体
５０  ドロップレット(点滴)
６０ 載置台
６１ 載置台運送装置
７ 微小部材整列組み立て装置
７０〜７５ ステップ
８ 微小部材載置組み立て装置
８０ 運送装置
８１ 転置装置
８２ ドロップレット発生装置
８３ 整列転置装置
８４ ドロップレット除去装置
８５ 接着材付け装置
８６ 検査装置
９０、９０ａ、９０ｂ 載置具
９０１ 接合点
９０１０、９０１１ 電気接合点
９０２ 接合点
９１ 圧力
【図１】
2008028351.tif 000003
【図２Ａ】
2008028351.tif 000004
【図２Ｂ】
2008028351.tif 000005
【図３】
2008028351.tif 000006
【図４】
2008028351.tif 000007
【図５Ａ】
2008028351.tif 000008
【図５Ｂ】
2008028351.tif 000009
【図６Ａ】
2008028351.tif 000010
【図６Ｂ】
2008028351.tif 000011
【図６Ｃ】
2008028351.tif 000012
【図７】
2008028351.tif 000013
【図８Ａ】
2008028351.tif 000014
【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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