(57)【要約】      （修正有）【課題】小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有するアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。【解決手段】アクチュエータ１は、質量部２１と、支持部２３１、２３２と、固定平板電極３と、可動平板電極２２と、支持部２３１、２３２と質量部２１とを連結する１対の第１の連結部２４１、２４２と、質量部２１と可動平板電極２２とを連結する１対の第２の連結部２５１、２５２とを有し、固定平板電極３と可動平板電極２２との間に電圧を印加し、固定平板電極３と可動平板電極２２との間に静電力を発生させることで、可動平板電極２２と固定平板電極３とを略平行に保ちつつ、可動平板電極２２をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、第１の連結部２４１、２４２および第２の連結部２５１、２５２のそれぞれを変形させつつ質量部２１を回動させるように構成されている。【選択図】図１
2008172902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動可能に設けられた質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、
前記支持部と前記質量部とを連結する１対の第１の連結部と、
前記質量部と前記可動平板電極とを連結する少なくとも１つの第２の連結部とを有し、
前記第２の連結部は、前記質量部のうちの該質量部の回動中心軸とは一致しない部分と前記可動平板電極とを連結し、
前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に電圧を印加し、前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に静電力を発生させることで、前記可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の第１の連結部および前記第２の連結部のそれぞれを変形させつつ前記質量部を回動させるように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記可動平板電極は、該可動平板電極の平面視にて、前記質量部の外周を囲むように形成されている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記支持部は、前記可動平板電極の平面視にて、前記可動平板電極の内側に１対設けられている請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記１対の第１の連結部は、互いに同軸的に設けられ、
前記質量部は、前記１対の第１の連結部を中心軸として回動するように構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記第２の連結部は、前記質量部をその両側から支持するように１対設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記各第２の連結部は、前記質量部の回動中心軸の近傍で、前記質量部と連結している請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記支持部と、前記質量部と、前記可動平板電極と、前記１対の第１の連結部と、前記第２の連結部とは、シリコンを主材料として一体的に形成されている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
回動可能に配設された質量部と、
固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、
前記１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、
前記１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられ、
前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に電圧を印加することで、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に静電力を発生させ、前記各可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記１対の可動平板電極を交互に前記固定平板電極の厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の連結部をそれぞれ変形させつつ前記質量部を回動させるように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
前記各連結部は、前記質量部をその両側から支持するように設けられた１対の弾性部材を備える請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記質量部と、前記１対の可動平板電極と、前記１対の連結部とは、シリコンを主材料として一体的に形成されている請求項８または９に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記可動平板電極には、その厚さ方向へ貫通する複数の貫通孔が形成されている請求項１ないし１０のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし１１のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１３】
光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に設けられた質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、
前記支持部と前記質量部とを連結する１対の第１の連結部と、
前記質量部と前記可動平板電極とを連結する少なくとも１つの第２の連結部とを有し、
前記第２の連結部は、前記質量部のうちの該質量部の回動中心軸とは一致しない部分と前記可動平板電極とを連結し、
前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に電圧を印加し、前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に静電力を発生させることで、前記可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の第１の連結部および前記第２の連結部のそれぞれを変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１４】
光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に配設された質量部と、
固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、
前記１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、
前記１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられ、
前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に電圧を印加することで、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に静電力を発生させ、前記各可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記１対の可動平板電極を交互に前記固定平板電極の厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の連結部をそれぞれ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１５】
光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に設けられた質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、
前記支持部と前記質量部とを連結する１対の第１の連結部と、
前記質量部と前記可動平板電極とを連結する少なくとも１つの第２の連結部とを有し、
前記第２の連結部は、前記質量部のうちの該質量部の回動中心軸とは一致しない部分と前記可動平板電極とを連結し、
前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に電圧を印加し、前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に静電力を発生させることで、前記可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の第１の連結部および前記第２の連結部のそれぞれを変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【請求項１６】
光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に配設された質量部と、
固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、
前記１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、
前記１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられ、
前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に電圧を印加することで、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に静電力を発生させ、前記各可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記１対の可動平板電極を交互に前記固定平板電極の厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の連結部をそれぞれ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１にかかるアクチュエータは、枠状の外枠部と、外枠部の内側に設けられた板状部材（反射ミラー）と、板状部材をその両側から支持するように外枠部と板状部材とを連結する１対の第１ねじりバネと、外枠部を支持するための固定部と、外枠部をその両側から支持するように外枠部と固定部とを連結する１対の第２ねじりバネとからなる２自由度振動子を備えている。
【０００３】
すなわち、このアクチュエータは、板状部材（反射ミラー）と１対の第１ねじりバネとからなる第１のねじり振動子と、外枠部と１対の第２ねじりバネとからなる第２のねじり振動子とを備えている。このような２自由度振動子は、基板により支持されている。
このようなアクチュエータは、外枠部に対向するように、基板の上面に設けられた１対の固定平板電極を備えている。
【０００４】
そして、１対の固定平板電極に交互に電圧を印加し、１対の固定平板電極のうちの一方の固定平板電極と外枠部との間に静電力が発生している状態と、１対の固定平板電極のうちの他方の固定平板電極と外枠部との間に静電力が発生している状態とを繰り返すことで、第２ねじりバネを捩れ変形させつつ外枠部を回動させ、それに伴い、第１ねじりバネを捩れ変形させつつ板状部材を回動させるように構成されている。これにより、板状部材を回動させることができる。
【０００５】
ここで、静電力は、外枠部と固定平板電極との間の距離（ギャップ間距離）に大きく依存し、一定の電圧のもとでは、ギャップ間距離が小さいほど外枠部と固定平板電極との間に発生する静電力が大きくなる。また、静電力は、外枠部の固定平板電極と対向する面の面積、および／または、固定平板電極の外枠部と対向する面の面積にも依存し、一定の電圧のもとでは、その面積が大きいほど外枠部と固定平板電極との間に発生する静電力が大きくなる。したがって、一定の電圧のもとで、大きな駆動力を得たい場合には、（１）ギャップ間距離を小さくしたり、（２）外枠部の面積および固定平板電極の面積をそれぞれ大きくしたりすることが有効である。
【０００６】
しかし、特許文献１のアクチュエータは、外枠部を回動させるように構成されているため、外枠部と基板（固定平板電極）との間に外枠部の回動を許容できるだけの空間を形成しなければならない。すなわち、質量部を大きく回動させるために、電極（外枠部および固定平板電極）の面積を大きくしても、その分、外枠部の回動角も大きくなるためギャップ間距離を大きくしなければならない。したがって、電極（外枠部および固定平板電極）の面積を大きくしつつ、ギャップ間距離を小さくすることが難しい。
【０００７】
また、アクチュエータの駆動時に、外枠部と固定平板電極とを平行に保つことができないため、外枠部や固定平板電極の面積を大きくしたとしても、外枠部と固定平板電極との間に大きな静電力を発生させることは難しい。
以上より、このようなアクチュエータは、小型化および省電力化を図りつつ、板状部材を大きく回動させることが難しい。
【０００８】
【特許文献１】特開平６−１７５０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有するアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、回動可能に設けられた質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、
前記支持部と前記質量部とを連結する１対の第１の連結部と、
前記質量部と前記可動平板電極とを連結する少なくとも１つの第２の連結部とを有し、
前記第２の連結部は、前記質量部のうちの該質量部の回動中心軸とは一致しない部分と前記可動平板電極とを連結し、
前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に電圧を印加し、前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に静電力を発生させることで、前記可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の第１の連結部および前記第２の連結部のそれぞれを変形させつつ前記質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする。
【００１１】
これにより、前記固定平板電極と前記可動平板電極の離間距離（ギャップ間距離）を小さくすることができる。また、前記固定平板電極の前記可動平板電極と対向する面の面積と、前記可動平板電極の前記固定平板電極と対向する面の面積とを大きくすることができる。したがって、このような構成とすることにより、小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有するアクチュエータを提供することができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記可動平板電極は、該可動平板電極の平面視にて、前記質量部の外周を囲むように形成されていることが好ましい。
これにより、前記可動平板電極の前記固定平板電極と対向する面の面積を大きくすることができ、大きな回動角を有するアクチュエータを提供することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記支持部は、前記可動平板電極の平面視にて、前記可動平板電極の内側に１対設けられていることが好ましい。
これにより、前記質量部と前記１対の第１の連結部とを備える振動系を前記可動平板電極の内側に設けることができ、アクチュエータの小型化を図ることができる。また、前記各第１の連結部の形状などの設計の自由度が増加し、アクチュエータの製造の簡易化を図ることができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記１対の第１の連結部は、互いに同軸的に設けられ、
前記質量部は、前記１対の第１の連結部を中心軸として回動するように構成されていることが好ましい。
これにより、より確実に、回動中心軸を一定に保ちつつ、前記質量部を回動させることができる。
【００１４】
本発明のアクチュエータでは、前記第２の連結部は、前記質量部をその両側から支持するように１対設けられていることが好ましい。
これにより、より確実に、回動中心軸を一定に保ちつつ、前記質量部を回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記各第２の連結部は、前記質量部の回動中心軸の近傍で、前記質量部と連結していることが好ましい。
これにより、前記質量部の回動角を大きくすることができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータでは、前記支持部と、前記質量部と、前記可動平板電極と、前記１対の第１の連結部と、前記第２の連結部とは、シリコンを主材料として一体的に形成されていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの製造の簡易化および製造コストの削減を図ることができる。また、アクチュエータの小型化を図ることができる。また、振動特性に優れるアクチュエータを提供することができる。
【００１６】
本発明のアクチュエータは、回動可能に配設された質量部と、
固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、
前記１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、
前記１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられ、
前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に電圧を印加することで、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に静電力を発生させ、前記各可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記１対の可動平板電極を交互に前記固定平板電極の厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の連結部をそれぞれ変形させつつ前記質量部を回動させるように構成されていることを特徴とする。
【００１７】
これにより、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との離間距離（ギャップ間距離）を小さくすることができる。また、前記固定平板電極の前記１対の可動平板電極と対向する面の面積と、前記各可動平板電極の前記固定平板電極と対向する面の面積とをそれぞれ大きくすることができる。したがって、このような構成とすることにより、小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有するアクチュエータを提供することができる。また、前記１対の可動平板電極を交互にその厚さ方向に変位させることで、前記質量部をより円滑に回動させることができる。
【００１８】
本発明のアクチュエータでは、前記各連結部は、前記質量部をその両側から支持するように設けられた１対の弾性部材を備えることが好ましい。
これにより、より確実に、回動中心軸を一定に保ちつつ、前記質量部を回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部と、前記１対の可動平板電極と、前記１対の連結部とは、シリコンを主材料として一体的に形成されていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの製造の簡易化および製造コストの削減を図ることができる。また、アクチュエータの小型化を図ることができる。また、振動特性に優れるアクチュエータを提供することができる。
【００１９】
本発明のアクチュエータでは、前記可動平板電極には、その厚さ方向へ貫通する複数の貫通孔が形成されていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの製造の容易化を図ることができる。また、前記可動平板電極が前記固定平板電極に対して変位する際に、前記可動平板電極と前記固定平板電極との間の空間に存在する気体を前記貫通孔から逃がすことができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光学デバイスに用いることができる。
【００２０】
本発明の光スキャナは、光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に設けられた質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、
前記支持部と前記質量部とを連結する１対の第１の連結部と、
前記質量部と前記可動平板電極とを連結する少なくとも１つの第２の連結部とを有し、
前記第２の連結部は、前記質量部のうちの該質量部の回動中心軸とは一致しない部分と前記可動平板電極とを連結し、
前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に電圧を印加し、前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に静電力を発生させることで、前記可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の第１の連結部および前記第２の連結部のそれぞれを変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成されていることを特徴とする。
【００２１】
これにより、前記固定平板電極と前記可動平板電極の離間距離を小さくすることができる。また、前記固定平板電極の前記可動平板電極と対向する面の面積と、前記可動平板電極の前記固定平板電極と対向する面の面積とを大きくすることができる。したがって、このような構成とすることにより、小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有する光スキャナを提供することができる。
【００２２】
本発明の光スキャナは、光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に配設された質量部と、
固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、
前記１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、
前記１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられ、
前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に電圧を印加することで、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に静電力を発生させ、前記各可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記１対の可動平板電極を交互に前記固定平板電極の厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の連結部をそれぞれ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成されていることを特徴とする。
【００２３】
これにより、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との離間距離を小さくすることができる。また、前記固定平板電極の前記１対の可動平板電極と対向する面の面積と、前記各可動平板電極の前記固定平板電極と対向する面の面積とを大きくすることができる。したがって、このような構成とすることにより、小型化および省電力化を図りつつ、大きな回動角を有する光スキャナを提供することができる。また、前記１対の可動平板電極を交互にその厚さ方向に変位させることで、前記質量部をより円滑に回動させることができる。
【００２４】
本発明の画像形成装置は、光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に設けられた質量部と、
前記質量部を支持するための支持部と、
前記支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、
前記支持部と前記質量部とを連結する１対の第１の連結部と、
前記質量部と前記可動平板電極とを連結する少なくとも１つの第２の連結部とを有し、
前記第２の連結部は、前記質量部のうちの該質量部の回動中心軸とは一致しない部分と前記可動平板電極とを連結し、
前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に電圧を印加し、前記固定平板電極と前記可動平板電極との間に静電力を発生させることで、前記可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の第１の連結部および前記第２の連結部のそれぞれを変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、小型化および省電力化を図りつつ、優れた描画特性を発揮することのできる画像形成装置を提供することができる。
【００２５】
本発明の画像形成装置は、光反射性を有する光反射部を備え、回動可能に配設された質量部と、
固定平板電極と、
前記固定平板電極に対向するように設けられ、前記固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、
前記１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、
前記１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられ、
前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に電圧を印加することで、前記各可動平板電極と前記固定平板電極との間に静電力を発生させ、前記各可動平板電極と前記固定平板電極とを略平行に保ちつつ、前記１対の可動平板電極を交互に前記固定平板電極の厚さ方向へ変位させ、それに伴い、前記１対の連結部をそれぞれ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、小型化および省電力化を図りつつ、優れた描画特性を発揮することのできる画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態を説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図１に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図、図５は、アクチュエータの駆動を説明するための図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２、図３および図５中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００２７】
アクチュエータ１は、図１に示すような基体２と、接合層４と、接合層４を介して基体２を支持する支持基板（固定平板電極）３とを有している。
基体２は、質量部２１と、可動平板電極（枠状部）２２と、１対の支持部２３１、２３２と、１対の第１の連結部２４１、２４２と、１対の第２の連結部２５１、２５２と、４つの第３の連結部２６１、２６２、２６３、２６４と、外側支持部２７とを備えている。
このようなアクチュエータ１にあっては、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に電圧を印加し、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に静電力（クーロン力）を発生させることで、可動平板電極２２と固定平板電極３とを平行に保ちつつ、第３の連結部２６１〜２６４のそれぞれを曲げ変形させながら可動平板電極２２をその厚さ方向へ変位（平行移動）させ、それに伴い、第１の連結部２４１、２４２および第２の連結部２５１、２５２のそれぞれを捩れ変形させながら質量部２１を回動中心軸Ｘに対して回動させるように構成されている。
【００２８】
質量部２１は、図１に示すように、板状をなし、その平面視にて略円状をなしている。すなわち、質量部２１は、円盤状をなしている。また、質量部２１の上面（支持基板３と反対側の面）には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。このような質量部２１は、第１の連結部２４１、２４２を介して支持部２３１、２３２に支持されている。
【００２９】
１対の支持部２３１、２３２は、可動平板電極２２の平面視にて、可動平板電極２２の内側に設けられている。すなわち、支持部２３１、２３２は、質量部２１を可動平板電極２２の内側にて回動可能に支持しているため、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。また、第１の連結部２４１、２４２の形状などの設計の自由度が増加し、アクチュエータ１の製造の簡易化を図ることができる。
【００３０】
また、支持部２３１、２３２は、質量部２１の平面視にて、質量部２１を介して互いに対向するように設けられ、かつ、質量部２１の平面視にて、質量部２１の中心を通り回動中心軸Ｘに直角な線分に対して対称に設けられている。
１対の第１の連結部２４１、２４２のそれぞれは、長手形状をなし、弾性変形可能に構成されている。また第１の連結部２４１、２４２は、互いに同一形状、同一寸法をなしている。
【００３１】
第１の連結部２４１は、質量部２１を支持部２３１に対して回動可能とするように、質量部２１と支持部２３１とを連結している。これと同様に、第１の連結部２４２は、質量部２１を支持部２３２に対して回動可能とするように、質量部２１と支持部２３２とを連結している。すなわち、１対の第１の連結部２４１、２４２は、質量部２１を両持ち支持するように設けられている。
【００３２】
このような第１の連結部２４１、２４２は、互いに同軸的に設けられており、この軸を回動中心軸（回転軸）Ｘとして、質量部２１が支持部２３１、２３２に対して回動可能となっている。これにより、質量部２１の回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ質量部２１を回動させることができる。
なお、本実施形態のアクチュエータ１は、質量部２１の平面視にて、回動中心軸Ｘと質量部２１の中心（重心）とが一致するように、第１の連結部２４１、２４２により質量部２１が両持ち支持されている。
【００３３】
ここで、第１の連結部２４１、２４２は、質量部２１の回動時に、回動中心軸Ｘを軸に捩れ変形する。そこで、例えば、第１の連結部２４１、２４２の形状、ばね定数などによっても異なるが、第１の連結部２４１、２４２の幅（質量部の平面視にて回動中心軸に直角な方向での長さ）をＷ１とし、厚さ（質量部２１の面に垂直な方向での長さ）をＨ１とした場合、Ｈ１が、Ｗ１よりも大きいことが好ましい。さらに、Ｈ１とＷ１とが、０．１Ｈ１＜Ｗ１＜０．２Ｈ１の関係を満たすのがより好ましい。このような形状とすることにより、第１の連結部２４１、２４２の厚さ方向への変形を防止しつつ、第１の連結部２４１、２４２を捩れ変形させ易くすることができる。その結果、様々な駆動条件（環境温度、印加する電圧の大きさ、周期など）においても、回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ、質量部２１を回動させることができる。
【００３４】
可動平板電極（枠状部）２２は、その平面視にて、質量部２１と第１の連結部２４１、２４２と支持部２３１、２３２の外周を囲むように形成されている。言い換えれば、可動平板電極２２の平面視にて、可動平板電極２２の内側に区画形成された空間２２２内に、質量部２１と第１の連結部２４１、２４２と支持部２３１、２３２とが設けられている。可動平板電極２２をこのように形成することにより、可動平板電極２２の固定平板電極３と対向する面の面積をより大きくすることができ、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に発生する静電力を大きくすることができる。その結果、アクチュエータ１の小型化を図りつつ、質量部２１を大きく回動させることができる。
【００３５】
このような可動平板電極２２には、図１に示すように、その厚さ方向（可動平板電極２２の面に垂直な方向）に貫通する複数の貫通孔２２１が形成されている。このような貫通孔２２１を形成することにより、可動平板電極２２がその厚さ方向へ変位する際に、可動平板電極２２と固定平板電極３との間の空間に存在する気体を貫通孔２２１から逃がすことができ。そのため、可動平板電極２２を円滑に変位させることができ、アクチュエータ１の省電力化を図ることができる。
【００３６】
また、後述するような製法にてアクチュエータ１を製造する場合などには、貫通孔２２１を通じて接合層４の一部を除去することができるため、アクチュエータ１の製造の簡易化を図ることができる。この場合には、貫通孔２２１の幅（図１中Ｌ１）は、０．５〜３μｍ程度とするのが好ましい。ただし、貫通孔２２１の幅は、隣り合う貫通孔２２１同士の離間距離（図１中Ｌ２）と同一程度の幅であればよい。これにより、より正確かつ円滑に、接合層４の一部を除去することができる。
【００３７】
なお、このような複数の貫通孔２２１は、省略してもよい。その場合には、可動平板電極２２の固定平板電極３と対向する面の面積を大きくすることができるため、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に発生する静電力を大きくすることができる。
以上のような可動平板電極２２は、第２の連結部２５１、２５２を介して質量部２１と連結され、第３の連結部２６１〜２６４を介して外側支持部２７と連結されている。
【００３８】
１対の第２の連結部２５１、２５２のそれぞれは、長手形状をなし、弾性変形可能に構成されている。また、１対の第２の連結部２５１、２５２は、質量部２１の平面視にて、質量部２１を両持ち支持するように設けられている。さらに、第２の連結部２５１、２５２は、それぞれ回動中心軸Ｘ方向に延在するように、かつ、互いに同軸的に設けられている。
【００３９】
このような第２の連結部２５１は、質量部２１の平面視にて、質量部２１のうちの回動中心軸Ｘとは一致しない部分と可動平板電極２２とを連結している。同様に、第２の連結部２５２は、質量部２１の平面視にて、質量部２１のうちの回動中心軸Ｘとは一致しない部分と可動平板電極２２とを連結している。すなわち、１対の第２の連結部２５１、２５２は、可動平板電極２２のその厚さ方向への変位によって発生する駆動力を質量部２１に伝達可能なように、質量部２１と可動平板電極２２とを連結している。このように質量部２１を両持ち支持することにより、より確実に、回動中心軸Ｘを一定にたもちつつ質量部２１を回動させることができる。
【００４０】
また、第２の連結部２５１は、質量部２１の平面視にて、回動中心軸Ｘの近傍で質量部２１に接続している。すなわち、質量部２１と第１の連結部２４１との境界部の近傍に、質量部２１と第２の連結部２５１との境界部が位置している。同様に、第２の連結部２５２は、質量部２１の平面視にて、回動中心軸Ｘの近傍で質量部２１と接続している。すなわち、質量部２１と第１の連結部２４２との境界部の近傍に、質量部２１と第２の連結部２５２との境界部が位置している。このように、第２の連結部２５１、２５２と質量部２１との接続部を回動中心軸Ｘの近傍に形成することで、質量部２１の回動角を大きくすることができる。
【００４１】
ここで、第２の連結部２５１、２５２は、質量部２１の回動時に、その長手方向を軸に捩れ変形する。そこで、第２の連結部２５１、２５２の形状、ばね定数などによっても異なるが、第２の連結部２５１、２５２の幅（質量部の平面視にて回動中心軸に直角な方向での長さ）をＷ２とし、厚さ（質量部２１の面に垂直な方向での長さ）をＨ２とした場合、Ｈ２が、Ｗ２よりも大きいことが好ましい。さらに、Ｈ２とＷ２とが、０．１Ｈ２＜Ｗ２＜０．２Ｈ２の関係を満たすのがより好ましい。このような形状とすることにより、第２の連結部２５１、２５２の厚さ方向への変形を防止しつつ、第２の連結部２５１、２５２を捩れ変形させ易くすることができる。その結果、質量部２１を安定的に、かつ、大きく回動させることができる。
【００４２】
なお、このような第２の連結部２５１、２５２は、可動平板電極２２のその厚さ方向への変位によって発生する駆動力を質量部２１に伝達可能なように、質量部２１と可動平板電極２２とを連結することができれば、その数、形状、配置については、特に限定されない。例えば、１つの第２の連結部であってもよい。この場合には、質量部２１の平面視にて、質量部２１の中心を通り回動中心軸Ｘに直角な線分上で、質量部２１と可動平板電極２２とを第２の連結部により連結することにより、可動平板電極２２の変位に対する質量部２１の応答性を向上させることができ、かつ、回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ質量部２１を回動させることができる。
【００４３】
第３の連結部２６１、２６２、２６３、２６４のそれぞれは、弾性変形可能であり、互いに同一形状、同一寸法をなしている。そして、第３の連結部２６１〜２６４のそれぞれは、可動平板電極２２の外周部（縁部）と外側支持部２７とを連結している。また、第３の連結部２６１〜２６４は、可動平板電極２２の平面視にて、回動中心軸Ｘに対して対称となるように、かつ、質量部２１の中心を通り回動中心軸Ｘに直角な線分に対して対称となるように設けられている。このように第３の連結部２６１〜２６４を設けることにより、より確実に、可動平板電極２２と固定平板電極３とを平行に保ちつつ、可動平板電極２２をその厚さ方向へ変位させることができる。
【００４４】
ここで、第３の連結部２６１〜２６４のそれぞれは、可動平板電極２２の変位時に、可動平板電極２２の厚さ方向へ曲げ変形する。そこで、例えば、第３の連結部２６１〜２６４の形状、ばね定数などによっても異なるが、第３の連結部２６１〜２６４の幅（質量部２１の平面視にて回動中心軸Ｘと平行な方向での長さ）をＷ３とし、厚さ（質量部２１の面に垂直な方向での長さ）をＨ３とした場合、Ｈ３が、Ｗ３よりも小さいことが好ましい。さらに、Ｈ３とＷ３とが、０．１Ｗ３＜Ｈ３＜０．２Ｗ３の関係を満たすのがより好ましい。このような形状とすることにより、第３の連結部２６１〜２６４のそれぞれを曲げ変形させ易くすることができる。その結果、より低電力（低電圧）で、可動平板電極２２をその厚さ方向へ変位させることができる。
なお、第３の連結部は、可動平板電極２２と固定平板電極３とを平行に保ちつつ、可動平板電極２２をその厚さ方向へ変位可能に連結することができれば、本実施形態に限定されず、第３の連結部の数、形状、配置などは、特に限定されない。
【００４５】
以上、説明したような基体２は、シリコンを主材料として構成されていて、質量部２１と可動平板電極（枠状部）２２と、支持部２３１、２３２と、第１の連結部２４１、２４２と、第２の連結部２５１、２５２と第３の連結部２６１〜２６４と、外側支持部２７とが、一体的に形成されている。このように、シリコン（半導体）を主材料として基体２を形成することで、枠状部２２に別途、電極を設けなくても、枠状部２２を可動平板電極として用いることができる。これにより、アクチュエータ１の製造の簡易化および製造コストの削減を図ることができる。また、シリコンを主材料とすることにより、優れた回動特性（振動特性）を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理（加工）が可能であり、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。このような基体２は、例えば、シリコン基板を基体２の平面視形状に対応するようにエッチングすることにより得ることができる。
【００４６】
また、基体２は、ＳＯＩ基板等の積層構造を有する基板から、質量部２１と、枠状部２２と、支持部２３１、２３２と、第１の連結部２４１、２４２と、第２の連結部２５１、２５２と、第３の連結部２６１〜２６４と、外側支持部２７とを形成したものであってもよい。その際、質量部２１と、枠状部２２と、支持部２３１、２３２と、第１の連結部２４１、２４２と、第２の連結部２５１、２５２と、第３の連結部２６１〜２６４と、外側支持部２７とが一体的に形成されるように、これらを積層構造基板の１つの層で構成するのが好ましい。このような基体２は、接合層４を介して支持基板３により支持されている。
【００４７】
支持基板（固定平板電極）３には、質量部２１の平面視にて、質量部２１に対応する部分に開口部３１が形成されている。この開口部３１は、質量部２１が回動する際に、固定平板電極３に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部（逃げ部）３１を設けることにより、アクチュエータ１の全体の大型化を防止しつつ、質量部２１の振れ角（振幅）をより大きく設定することができる。
【００４８】
なお、前述したような逃げ部は、前記効果を十分に発揮し得る構成であれば、必ずしも支持基板３の下面（基体２と反対側の面）で開放（開口）していなくてもよい。すなわち、逃げ部は、支持基板３の上面に形成された凹部で構成することもできる。また、接合層４の厚さが質量部２１の振れ角（振幅）に対し大きい場合などには、開口部３１を設けなくともよい。
このような支持基板３は、シリコンを主材料として構成されている。このようにシリコン（半導体）を主材料として構成することにより、支持基板３の上面に別途、電極を設けなくても、支持基板３を電極（固定平板電極）として用いることができる。これにより、アクチュエータ１の製造の簡易化および製造コストの削減を図ることができる。
【００４９】
支持基板３と基体２との間には、接合層４が介在している。
接合層４は、支持部２３１、２３２および外側支持部２７の平面視形状に対応するように形成されている。すなわち、支持部２３１、２３２と外側支持部２７とが接合層４を介して支持基板３に接合されることにより、基体２全体が支持基板３に支持されている。
また、接合層４は、基体２（可動平板電極２２）と支持基板（固定平板電極）３とを絶縁する絶縁層でもある。さらに、接合層４は、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に空間を形成するためのギャップ層でもある。したがって、接合層４の厚さは、第３の連結部２６１〜２６４の形状、ばね定数や、印加する電圧の強さなどを考慮して定めることができる。
このような接合層４の構成材料としては、基体２と支持基板３とを接合することができれば、特に限定されないが、本実施形態のように絶縁性を有するものが好ましい。これにより、アクチュエータ１の製造時に、可動平板電極２２と固定平板電極３とを絶縁する工程を省略することができる。
【００５０】
以上のような構成のアクチュエータ１は、次のようにして駆動する。
具体的には、例えば、まず、可動平板電極２２をアースしておく。この状態にて、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に、例えば、図４に示すような波形の電圧を印加すると、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に静電力（クーロン力）が生じる。
これにより、図５に示すように、可動平板電極２２と固定平板電極３とが平行に保たれたまま、可動平板電極２２が、支持基板３の方へ引き付けられる。そして、この可動平板電極２２の変位により、第２の連結部２５１、２５２を介して、回動中心軸Ｘに対して質量部２１の片側（質量部２１と第２の連結部２５１、２５２との境界部が位置する側）が、支持基板３の方へ引き付けられる。これにより質量部２１が、回動中心軸Ｘ（第１の連結部２４１、２４２）を軸に支持部２３１、２３２に対して傾斜する。
【００５１】
そして、図４に示すように、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に電圧を間欠的に印加することにより、以上のような動作を繰り返し、質量部２１が支持部２３１、２３２に対して回動する。
なお、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に発生する静電力を周期的に変化させ、質量部２１を支持部２３１、２３２に対して回動させることができれば、可動平板電極２２と固定平板電極３との間に印加する電圧の波形などは、特に限定されない。
【００５２】
このようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図６および図７は、それぞれ、第１実施形態のアクチュエータ１の製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図６および図７中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
まず、図６（ａ）に示すように、Ｓｉ層６１とＳｉＯ２層６２とＳｉ層６３とが積層したＳＯＩ基板６を用意する。
【００５３】
次に、図６（ｂ）に示すように、Ｓｉ層６１の上面（ＳｉＯ２層と反対側の面）に、質量部２１と、可動平板電極２２（貫通孔２２１を含む）と、支持部２３１、２３２と、第１の連結部２４１、２４２と、第２の連結部２５１、２５２と、第３の連結部２６１〜２６４と、外側支持部２７との平面視形状に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク５１を形成する。また、Ｓｉ層６３の下面（ＳｉＯ２層と反対側の面）に、支持基板（固定平板電極）３の平面視形状に対応するように、例えば、アルミニウム等により金属マスク５２を形成する。
【００５４】
次に、金属マスク５１を介して、Ｓｉ層６１をエッチングした後、金属マスク５１を除去する。これにより、図６（ｃ）に示すように、質量部２１と、可動平板電極２２と、支持部２３１、２３２と、第１の連結部２４１、２４２と、第２の連結部２５１、２５２と、第３の連結部２６１〜２６４と、外側支持部２７とが一体的に形成された基体２が得られる。なお、この際、ＳｉＯ２層６２は、エッチングのストップ層として機能する。エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
次に、金属マスク５２を介して、Ｓｉ層６３をエッチングした後、金属マスク５２を除去する。これにより、図６（ｄ）に示すように、開口部３１が形成された支持基板（固定平板電極）３が得られる。なお、この際にも、ＳｉＯ２層６２は、エッチングのストップ層として機能する。
【００５５】
次に、支持部２３１、２３２と外側支持部２７との平面視形状に対応する部分を除き、ＳｉＯ２層６２をエッチングにより除去（リリース）する。これにより、図７（ｅ）に示すように、接合層４が得られる。なお、可動平板電極２２には、複数の貫通孔２２１が形成されているため、その孔からもＳｉＯ２層６２を除去することができる。その結果、ＳｉＯ２層６２の一部を除去する工程をより円滑に行うことができる。エッチング方法としては、ウェットエッチングを用いるのが好適である。ウェットエッチングを用いることにより、接合層４を等方的にエッチングすることができる。このため、例えば可動平板電極２２直下の接合層４も効率よく除去することができる。
【００５６】
この後、図７（ｆ）に示すように、質量部２１の上面に金属膜を成膜し、光反射部２１１を形成する。これにより、アクチュエータ１が得られる。なお、ここで、Ｓｉ層６１に対しエッチングを行った後、金属マスク５１は除去してもよく、除去せずに残存させてもよい。金属マスク５１を除去しない場合、質量部２１の上面に残存した金属マスク５１は、光反射部２１１として用いることができる。
【００５７】
以上、本発明のアクチュエータの第１実施形態について説明したが、可動平板電極２２は、その厚さ方向へ変位可能であれば、その形状については、特に限定されない。例えば、板状であってもよい。すなわち、可動平板電極２２は、質量部２１の外周を囲むようにして形成されていなくてもよい。
また、支持部２３１、２３２は、第１の連結部２４１、２４２を介して質量部２１を支持することができれば、その数、形状、配置については、特に限定されない。例えば、可動平板電極２２の内側に設けられていなくてもよく、また、１つの支持部で第１の連結部２４１、２４２を介して質量部を支持していてもよい。
【００５８】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図８は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す斜視図、図９は、図８中のＡ−Ａ線断面図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図８中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図９中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００５９】
以下、第２実施形態のアクチュエータ１Ａについて、前述した第１実施形態のアクチュエータ１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第２実施形態にかかるアクチュエータ１Ａは、図８に示すような基体７Ａと、接合層４Ａを介して基体７Ａを支持する１対の支持基板（固定平板電極）８１Ａ、８２Ａとを有している。
基体７Ａは、質量部７１Ａと、１対の可動平板電極（板状部）７２Ａ、７３Ａと、１対の連結部７４Ａ、７５Ａと、４つの弾性連結部７６Ａと、４つの弾性連結部７７Ａと、支持部７８Ａとを備えている。また、連結部７４Ａは、１対の弾性部材７４１Ａ、７４２Ａで構成され、連結部７５Ａは、１対の弾性部材７５１Ａ、７５２Ａで構成されている。
【００６０】
このようなアクチュエータ１Ａは、可動平板電極７２Ａと固定平板電極８１Ａとを備える第１の平行平板電極と、可動平板電極７３Ａと固定平板電極８２Ａとを備える第２の平行平板電極とを備えているともいえる。
このようなアクチュエータ１Ａにあっては、第１の平行平板電極（可動平板電極７２Ａと固定平板電極８１Ａとの間）、および、第２の平行平板電極（可動平板電極７３Ａと固定平板電極８２Ａの間）のそれぞれに電圧を交互に印加し、可動平板電極７２Ａと固定平板電極８１Ａとの間、および、可動平板電極７３Ａと固定平板電極８２Ａとの間に静電力（クーロン力）を発生させ、可動平板電極７２Ａと固定平板電極８１Ａ、および、可動平板電極７３Ａと固定平板電極８２Ａのそれぞれを平行に保ちつつ、可動平板電極７２Ａと可動平板電極７３Ａとをその厚さ方向へ交互に変位させ、それに伴い、連結部７４Ａ、７５Ａのそれぞれを捩れ変形させながら質量部７１Ａを回動中心軸Ｘに対して回動させるように構成されている。
【００６１】
質量部７１Ａは、図８に示すように、板状をなし、その平面視にて略円状をなしている。また、質量部７１Ａの上面には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。このような質量部７１Ａは、連結部７４Ａにより可動平板電極７２Ａに連結され、連結部７５Ａにより可動平板電極７３Ａに連結されている。
１対の可動平板電極７２Ａ、７３Ａは、質量部７１Ａの平面視にて、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。すなわち、１対の可動平板電極７２Ａ、７３Ａは、質量部７１Ａの平面視にて、回動中心軸Ｘを介して互いに離間するように設けられている。
【００６２】
可動平板電極７２Ａには、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔７２１Ａが形成されている。このような可動平板電極７２Ａは、連結部７４Ａにより質量部７１Ａに連結され、弾性連結部７６Ａにより支持部７８Ａに連結されている。
これと同様に、可動平板電極７３Ａには、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔７３１Ａが形成されている。このような可動平板電極７３Ａは、連結部７５Ａにより質量部７１Ａに連結され、弾性連結部７７Ａにより支持部７８Ａに連結されている。なお、可動平板電極７２Ａと可動平板電極７３Ａとは、互いに同一形状かつ同一寸法をなしている。
【００６３】
連結部７４Ａは、長手形状をなす弾性変形可能な１対の弾性部材７４１Ａ、７４２Ａを備えている。弾性部材７４１Ａ、７４２Ａは、質量部７１Ａの平面視にて、質量部７１Ａを両持ち支持するように設けられている。また、弾性部材７４１Ａ、７４２Ａは、それぞれ回動中心軸Ｘ方向へ延在するように設けられ、かつ、互いに同軸的に設けられている。このような弾性部材７４１Ａ、７４２Ａは、互いに同一形状かつ同一寸法をなしている。
【００６４】
これと同様に、連結部７５Ａは、長手方向をなす弾性変形可能な１対の弾性部材７５１Ａ、７５２Ａを備えている。弾性部材７５１Ａ、７５２Ａは、質量部７１Ａの平面視にて、質量部７１Ａを両持ち支持するように設けられている。また、弾性部材７５１Ａ、７５２Ａは、それぞれ回動中心軸Ｘ方向へ延在するように設けられ、かつ、互いに同軸的に設けられている。このような弾性部材７５１Ａ、７５２Ａは、互いに同一形状かつ同一寸法をなしている。
【００６５】
以上、説明したような連結部７４Ａと連結部７５Ａとは、質量部７１Ａの平面視にて、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。このように、弾性部材７４１Ａ、７４２Ａと、弾性部材７５１Ａ、７５２Ａとのそれぞれが、質量部７１Ａを両持ち支持するように設けられていることで、様々な駆動条件（環境温度、印加する電圧の強さ、周期など）であっても、より確実に、回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ質量部７１Ａを回動させることができる。
【００６６】
４つの弾性連結部７６Ａのそれぞれは、回動中心軸Ｘ方向へ延在する長手形状をなしている。そして、このような４つの弾性連結部７６Ａは、可動平板電極７２Ａの各角部付近（外周部）と支持部７８Ａとを連結している。また、４つの弾性連結部７６Ａのそれぞれは、質量部７１Ａの平面視にて、質量部７１Ａの中心を通り回動中心軸Ｘに直角な線分に対して対称に設けられている。これにより、より確実に、可動平板電極７２Ａと固定平板電極８１Ａとを平行に保ちつつ、可動平板電極７２Ａをその厚さ方向へ変位させることができる。
【００６７】
これと同様に、４つの弾性連結部７７Ａのそれぞれは、回動中心軸Ｘ方向へ延在する長手形状をなしている。そして、このような４つの弾性連結部７７Ａは、可動平板電極７３Ａの各角部付近と支持部７８Ａとを連結している。また、４つの弾性連結部７６Ａのそれぞれは、質量部７１Ａの平面視にて、質量部７１Ａの中心を通り回動中心軸Ｘに直角な線分に対して対称に設けられている。これにより、より確実に、可動平板電極７３Ａと固定平板電極８２Ａとを平行に保ちつつ、可動平板電極７３Ａをその厚さ方向へ変位させることができる。
【００６８】
以上、説明したような基体７Ａは、シリコンを主材料として構成されていて、質量部７１Ａと、可動平板電極（板状部）７２Ａ、７３Ａと、連結部７４Ａ、７５Ａと、弾性連結部７６Ａ、７７Ａと、支持部７８Ａとが、一体的に形成されている。このように、シリコン（半導体）を主材料として基体７Ａを形成することで、板状部７２Ａ、７３Ａに別途、電極（金属膜など）を設けなくても、板状部７２Ａ、７３Ａを可動平板電極として用いることができる。これにより、アクチュエータ１Ａの製造の簡易化および製造コストの削減を図ることができる。また、シリコンを主材料とすることにより、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理（加工）が可能であり、アクチュエータ１Ａの小型化を図ることができる。このような基体７Ａは、接合層４Ａを介して１対の支持基板８１Ａ、８２Ａにより支持されている。
【００６９】
支持基板（固定平板電極）８１Ａと支持基板（固定平板電極）８２Ａとは、その平面視にて、回動中心軸Ｘを介して互いに離間するように設けられている。そして、支持基板８１Ａは、可動平板電極７２Ａと対向するように設けられ、支持基板８２Ａは、可動平板電極７３Ａと対向するように設けられている。
このような支持基板８１Ａ、８２Ａのそれぞれは、シリコンを主材料として構成されている。このようにシリコン（半導体）を主材料とすることにより、支持基板８１Ａ、８２Ａのそれぞれの上面に別途、電極を設けなくても、支持基板８１Ａ、８２Ａを電極（固定平板電極）として用いることができる。これにより、アクチュエータ１Ａの製造の簡易化および製造コストの削減を図ることができる。
【００７０】
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
以上、本発明にかかるアクチュエータについて説明したが、本発明にかかるアクチュエータは、光反射部を備えているため、例えば、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに適用することができる。
【００７１】
本発明にかかる光スキャナは、本発明にかかるアクチュエータと同様の構成である。すなわち、本発明にかかる光スキャナは、光反射部を備えた質量部と、前記質量部を支持するための支持部と、支持部に対して固定的に設けられた固定平板電極と、固定平板電極に対して変位可能な可動平板電極と、支持部と質量部とを連結する１対の第１の連結部と、質量部と可動平板電極とを連結する第２の連結部とを有している。そして、第２の連結部は、質量部のうちの回動中心軸とは一致しない部分と可動平板電極とを連結している。
【００７２】
このような光スキャナは、固定平板電極と可動平板電極との間に電圧を印加し、固定平板電極と可動平板電極との間に静電力を発生させることで、可動平板電極と固定平板電極とを平行に保ちつつ、可動平板電極をその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、１対の第１の連結部および第２の連結部のそれぞれを変形させつつ質量部を回動させるように構成されている。
また、本発明にかかる光スキャナは、光反射部を備えた質量部と、固定平板電極と、固定平板電極の面に略垂直な方向へ変位可能な１対の可動平板電極と、１対の可動平板電極のぞれぞれと前記質量部とを連結する１対の連結部とを有し、１対の可動平板電極は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間するように設けられている。
【００７３】
このような光スキャナは、各可動平板電極と固定平板電極との間に電圧を印加することで、各可動平板電極と固定平板電極との間に静電力を発生させ、１対の可動平板電極のそれぞれと固定平板電極とを略平行に保ちつつ、１対の可動平板電極を交互にその厚さ方向へ変位させ、それに伴い、１対の連結部を変形させつつ質量部を回動させるように構成されている。
【００７４】
以上のような光スキャナにより、固定平板電極と動平板電極の離間距離（ギャップ間距離）を小さくすることができる。また、固定平板電極の可動平板電極と対向する面の面積および可動平板電極の固定平板電極と対向する面の面積とを大きくすることができる。したがって、小型化および省電力化を図りつつ、大きい駆動力を発揮することのできる光スキャナを提供することができる。
なお、本発明にかかる光スキャナの実施形態としては、前述した第１実施形態および第２実施形態と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００７５】
このような光スキャナは、例えば、プロジェクタ、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。その結果、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
具体的に、図１０に示すようなプロジェクタ９について説明する。なお、説明の便宜上、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。
【００７６】
プロジェクタ９は、レーザーなどの光を照出する光源装置９１と、ダイクロイックミラー９２と、１対の光スキャナ９３、９４とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。
ダイクロイックミラー９２は、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このようなプロジェクタ９は、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて照出された光をダイクロイックミラー９２で合成し、この合成された光が、光スキャナ９３、９４によって走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【００７７】
ここで、光スキャナ９３、９４の光走査について具体的に説明する。
まず、ダイクロイックミラー９２で合成された光は、光スキャナ９３によって横方向に走査される（主走査）。そして、この横方向に走査された光は、光スキャナ９４によってさらに縦方向に走査される（副走査）。これにより、２次元カラー画像をスクリーンＳ上に形成することができる。
このような光スキャナ９３、９４として本発明にかかる光スキャナを用いることにより、小型で、かつ、省電力駆動が可能なプロジェクタ９を提供することができる。
【００７８】
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、前述した実施形態では、アクチュエータの中心を通り質量部や駆動部の回動中心軸Ｘに直角な面に対しほぼ対称（左右対称）な形状をなしている構造を説明したが、非対称であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図１に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図
【図５】アクチュエータの駆動を説明するための図である。
【図６】本発明のアクチュエータの製造方法を説明する図である。
【図７】本発明のアクチュエータの製造方法を説明する図である。
【図８】本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す斜視図である。
【図９】図８中のＡ−Ａ線断面図である。
【図１０】本発明の画像形成装置を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００８０】
１、１Ａ‥‥‥アクチュエータ  ２、７Ａ‥‥‥基体  ２１、７１Ａ‥‥‥質量部  ２１１、７１１Ａ‥‥‥光反射部  ２２‥‥‥可動平板電極（枠状部）  ２２１、７２１Ａ、７３１Ａ‥‥‥貫通孔  ２２２‥‥‥空間  ２３１、２３２、７８Ａ‥‥‥支持部  ２４１、２４２‥‥‥第１の連結部  ２５１、２５２‥‥‥第２の連結部  ２６１、２６２、２６３、２６４‥‥‥第３の連結部  ２７‥‥‥外側支持部  ３、８１Ａ、８２Ａ‥‥‥支持基板（固定平板電極）  ３１‥‥‥開口部（逃げ部）  ４、４Ａ‥‥‥接合層  ５１、５２‥‥‥金属マスク  ６‥‥‥ＳＯＩ基板  ６１、６３‥‥‥Ｓｉ層  ６２‥‥‥ＳｉＯ２層  ７２Ａ、７３Ａ‥‥‥可動平板電極（板状部）  ７４Ａ、７５Ａ‥‥‥連結部  ７４１Ａ、７４２Ａ、７５１Ａ、７５２Ａ‥‥‥弾性部材  ７６Ａ、７７Ａ‥‥‥弾性連結部  ９‥‥‥プロジェクタ  ９１‥‥‥光源装置  ９１１‥‥‥赤色光源装置  ９１２‥‥‥青色光源装置  ９１３‥‥‥緑色光源装置  ９２‥‥‥ダイクロイックミラー  ９３、９４‥‥‥光スキャナ  Ｓ‥‥‥スクリーン  Ｘ‥‥‥回動中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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