(57)【要約】【課題】簡易な構成で、効率よく、かつ、微細な破片を生ずることなく破断させて、音叉型水晶振動子を製造する。【解決手段】板厚方向に貫通する切り込みにより、片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を備える水晶ウェハを下面に吸着状態に支持する吸着プレートと、該吸着プレートに支持された状態の水晶ウェハの音叉型水晶片を鉛直下方に押圧して変形させる押圧部材と、水晶ウェハを挟む位置に吸着プレートに対向して近接配置され、水晶ウェハから折り取られた音叉型水晶振動子を位置決め状態に収容可能な凹部６ａを有する治具プレート６とを備え、該治具プレート６が、凹部６ａの側壁を構成する切欠１０ａを有する平板状のプレート部材１０と、凹部６ａの底面を構成し、該凹部６ａに収容された音叉型水晶振動子をその略全面において吸着する吸着板部材１２とを備える音叉型水晶振動子の製造装置を提供する。【選択図】      図４
2008199294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板厚方向に貫通する切り込みにより、片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を備える水晶ウェハを下面に吸着状態に支持する吸着プレートと、
該吸着プレートに支持された状態の水晶ウェハの音叉型水晶片を鉛直下方に押圧して変形させる押圧部材と、
水晶ウェハを挟む位置に前記吸着プレートに対向して近接配置され、水晶ウェハから折り取られた音叉型水晶振動子を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートとを備え、
該治具プレートが、凹部の側壁を構成する切欠を有する平板状のプレート部材と、凹部の底面を構成し、該凹部に収容された音叉型水晶振動子をその略全面において吸着する吸着板部材とを備える音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項２】
前記吸着板部材が、粘着テープである請求項１に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項３】
前記プレート部材と前記吸着板部材とが、前記音叉型水晶振動子の厚さ寸法より小さい隙間をあけて配置されている請求項２に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項４】
前記プレート部材に、４フッ化エチレン樹脂コーティングまたはダイヤモンドライクカーボン薄膜が施されている請求項２に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項５】
前記吸着板部材が、巻き取り可能に設けられている請求項２から請求項４のいずれかに記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項６】
前記吸着板部材が、静電吸着板である請求項１に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項７】
前記音叉型水晶片が、幅方向に複数配列されることにより櫛歯状に切り出され、
前記吸着プレートおよび前記治具プレートを、前記音叉型水晶片の幅方向に移動させる駆動装置を備える請求項１から請求項６のいずれかに記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項８】
前記吸着プレートに、該吸着プレートを貫通し、前記押圧部材を挿通させる貫通孔が、前記音叉型水晶片の配列方向に沿って、複数の音叉型水晶片にわたって延びるように設けられている請求項７に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項９】
前記押圧部材により押圧される音叉型水晶片の根元部近傍に、前記水晶ウェハを前記吸着プレートとの間に板厚方向に挟み、前記吸着プレートの移動により水晶ウェハの表面を転動可能なローラを備える請求項８に記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【請求項１０】
前記押圧部材が、音叉型水晶片の先端に向かって押圧方向前方に傾斜する傾斜面を有する請求項１から請求項９のいずれかに記載の音叉型水晶振動子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型水晶振動子の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、音叉型水晶振動子の製造装置としては、例えば、特許文献１に開示されているものがある。
この特許文献１に開示されている音叉型水晶振動子の製造装置は、フォトリソグラフィで水晶ウェハに形成した音叉型水晶片の先端部を受けピンとタガネとの間に板厚方向に挟んで板厚方向に移動させることにより、片持ち梁状に支持された音叉型水晶片を弾性変形させていき、弾性限界を超える変位を与えることで根元部を破断して音叉型水晶振動子を製造するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−６８７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の製造装置および製造方法によれば、水晶ウェハを吸着プレート上に配置しているため、水晶ウェハから折り取った音叉型水晶振動子を吸着プレートの下方に配置した治具プレートの凹部に収容するまでには、少なくとも吸着プレートの厚さ分以上、受けピンとタガネとに挟んだ状態で移動させる必要がある。このため、受けピンおよびタガネの上下動作に時間を要し、タクトタイムを短縮できないという問題がある。また、受けピンとタガネとに挟んだ状態で移動させる際に、音叉型水晶振動子が位置ずれを生ずると、音叉型水晶振動子が治具プレートと干渉して、チッピング等の不具合を発生する虞がある。
【０００５】
チッピングにより発生した微細な破片は、製造装置に詰まったり、あるいは、音叉型水晶振動子を封入する真空容器内に入り込んだりする問題を発生させる。したがって、製造装置の頻繁な清掃や破片の頻繁な吸引等が必要となり、製造工程が煩雑になるという不都合がある。また、破片が付着あるいは混入したりする場合には、水晶振動子の不具合の発生の原因ともなる。
【０００６】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で、効率よく、かつ、微細な破片を生ずることなく音叉型水晶振動子を製造することを可能とする音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明は、以下の手段を提供する。
本発明は、板厚方向に貫通する切り込みにより、片持ち梁状に切り出された音叉型水晶片を備える水晶ウェハを下面に吸着状態に支持する吸着プレートと、該吸着プレートに支持された状態の水晶ウェハの音叉型水晶片を鉛直下方に押圧して変形させる押圧部材と、水晶ウェハを挟む位置に前記吸着プレートに対向して近接配置され、水晶ウェハから折り取られた音叉型水晶振動子を位置決め状態に収容可能な凹部を有する治具プレートとを備え、該治具プレートが、凹部の側壁を構成する切欠を有する平板状のプレート部材と、凹部の底面を構成し、該凹部に収容された音叉型水晶振動子をその略全面において吸着する吸着板部材とを備える音叉型水晶振動子の製造装置を提供する。
【０００８】
本発明によれば、吸着プレートの下面に支持された水晶ウェハの音叉型水晶片が、押圧部材により鉛直下方に押圧されることで変形され、その直下に近接配置される治具プレートの凹部内に折り取られ、音叉型水晶振動子として位置決め状態に収容される。この場合に、水晶ウェハを吸着プレート上に載置していた従来とは異なり、水晶ウェハから折り取られた音叉型水晶振動子は、即座に凹部内に収容されるので、タガネと受けピンとで挟んで搬送する必要がなく、受けピンを不要にすることができる。したがって、装置の構造を簡易にすることができ、搬送や受けピンの抜き差しに要していた時間を節減してタクトタイムを大幅に短縮することができる。また、搬送中のチッピング等の不都合の発生を未然に防止することができる。
【０００９】
この場合において、本発明によれば、凹部の底面が吸着板部材により構成されることで、凹部内に収容された音叉型水晶振動子はその略全面において吸着板部材に吸着保持される。したがって、折り取られた音叉型水晶振動子をより安定して凹部内に保持することができ、折り取りの際に衝撃が生じても位置ズレの発生を防止することが可能となる。
【００１０】
上記発明においては、前記吸着板部材が、粘着テープでもよい。
このようにすることで、簡易な構成で音叉型水晶振動子を安定的に保持することができる。これにより、装置の構造を簡略化してコストを低減することができる。
【００１１】
また、上記発明においては、前記プレート部材と前記吸着板部材とが、前記音叉型水晶振動子の厚さ寸法より小さい隙間をあけて配置されていてもよい。
このようにすることで、粘着テープからなる吸着板部材と、プレート部材とが接着してしまうことを防止し、使用に伴う吸着板部材の吸着力の低下や塵埃の付着に応じた吸着板部材の交換作業を容易にすることができる。プレート部材と吸着板部材との隙間が音叉型水晶振動子の厚さ寸法より小さいので、凹部内に収容された音叉型水晶振動子が隙間に入り込む不都合を防止して、凹部内に安定して位置決め状態に保持することができる。
【００１２】
また、上記発明においては、前記プレート部材に、４フッ化エチレン樹脂コーティングやダイヤモンドライクカーボン薄膜などの低凝着性膜が施されていてもよい。
このようにすることで、プレート部材と粘着テープからなる吸着板部材とが接触しても、４フッ化エチレン樹脂コーティングにより両者が強固に接着してしまう不都合を防止して、吸着板部材の交換作業を簡易にすることができる。
【００１３】
また、上記発明においては、前記吸着板部材が、巻き取り可能に設けられていてもよい。
このようにすることで、使用に伴い、吸着板部材の吸着力の低下や塵埃の付着が生じた場合には、粘着テープからなる吸着板部材を巻き取ることにより、使用済みの粘着部分に代えて、新たな粘着部分を凹部の底面に配置することができる。これにより、吸着板部材の交換作業をさらに容易にすることができる。
【００１４】
また、上記発明においては、前記吸着板部材が、静電吸着板でもよい。
このようにすることで、音叉型水晶振動子に帯電する静電気を利用して静電吸着板からなる吸着板部材に、音叉型水晶振動子を略全面によって安定して吸着することができる。
【００１５】
また、上記発明においては、前記音叉型水晶片が、幅方向に複数配列されることにより櫛歯状に切り出され、前記吸着プレートおよび前記治具プレートを、前記音叉型水晶片の幅方向に移動させる駆動装置を備える構成としてもよい。
このように構成することで、吸着プレートおよび治具プレートを移動させて、音叉型水晶片および治具プレートの凹部を押圧部材の鉛直下方に順次配置し、幅方向に配列された複数の音叉型水晶片を順次折り取って、簡単に多数の音叉型水晶振動子を製造することができる。
【００１６】
また、上記発明においては、前記吸着プレートに、該吸着プレートを貫通し、前記押圧部材を挿通させる貫通孔が、前記音叉型水晶片の配列方向に沿って、複数の音叉型水晶片にわたって延びるように設けられている構成としてもよい。
このように構成することで、一の音叉型水晶振動子を折り取った後、次の音叉型水晶振動子を折り取る前に、押圧部材を貫通孔から抜き出す必要がなく、タクトタイムをさらに短縮することができる。
【００１７】
また、上記発明においては、前記押圧部材により押圧される音叉型水晶片の根元部近傍に、前記水晶ウェハを前記吸着プレートとの間に板厚方向に挟み、前記吸着プレートの移動により水晶ウェハの表面を転動可能なローラを備える構成としてもよい。
このように構成することで、押圧部材により音叉型水晶片を押圧する際に、吸着プレートとローラとにより水晶ウェハを板厚方向に挟んだ状態に支持することができる。そして、吸着プレートを移動させる際には、ローラを水晶ウェハの表面において転がすことにより、ローラと吸着プレートとによる水晶ウェハの挟持状態を維持し、これにより、音叉型水晶片の根元部に生ずる応力集中を安定して発生させることができる。また、隣接する音叉型水晶片の折り取り作業に移行する際にも、ローラと吸着プレートとによる挟持状態を解除することなく挟持し続けることができ、複雑な機構を不要として、製造装置を低コストに製造することができる。
【００１８】
また、上記発明においては、前記押圧部材が、音叉型水晶片の先端に向かって押圧方向前方に傾斜する傾斜面を有する構成としてもよい。
このように構成することで、押圧部材により音叉型水晶片を押圧すると、音叉型水晶片は先端に向かって押圧方向前方に傾斜するように変形させられるので、押圧部材の傾斜面に沿うように配置される。したがって、押圧部材は、水晶ウェハから音叉型水晶片が折り取られる際に、広い面積で音叉型水晶片の表面に接触して、音叉型水晶片が破断の際に飛び跳ねないように抑えることができる。その結果、微細な破片の発生や、音叉型水晶片の治具プレートの凹部からの位置ずれ等の発生を防止することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法によれば、簡易な構成で、効率よく、かつ、微細な破片を生ずることなく、音叉型水晶振動子を製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置および製造方法について、図１〜図８を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置１は、図１および図３に示されるように、薄肉の平板状の水晶ウェハ２から、音叉型水晶振動子を分離する装置であって、水晶ウェハ２を下面に吸着し水平状態に保持する吸着プレート３と、該吸着プレート３に設けた貫通孔４を介して、鉛直下方に向けた先端面５ａにより水晶ウェハ２の音叉型水晶片２ａの上面を鉛直下方（板厚方向）に押圧する押圧部材５と、水晶ウェハ２の下方に隣接配置される治具プレート６と、同じく水晶ウェハ２の下方に隣接配置されるローラ７と、吸着プレート３および治具プレート６を水平方向に沿って音叉型水晶片２ａの幅方向に移動させる駆動装置（図示略）とを備えている。
【００２１】
前記水晶ウェハ２には、図２に示されるように、例えば、フォトリソグラフィ技術により形成された、板厚方向に貫通する切り込み２ｂにより、複数の音叉型水晶片２ａが櫛歯状に配列されるように形成されている。各音叉型水晶片２ａは、その一端を水晶ウェハ２に接続することにより、それぞれ片持ち梁状に構成されている。
【００２２】
また、各音叉型水晶片２ａの水晶ウェハ２に接続する根元部には、同様に切り込みにより細く形成された切欠部２ｃが設けられ、応力集中が生じ易いように構成されている。
隣接する音叉型水晶片２ａどうしは、微細な切り込みにより微小間隙をあけて配列されている。
【００２３】
前記吸着プレート３には、前記水晶ウェハ２を位置決め状態に吸着する位置決め手段および吸着手段（いずれも図示略）が備えられ、水晶ウェハ２を精度よく位置決め固定するようになっている。
また、吸着プレート３に設けられた貫通孔４は、例えば、水晶ウェハ２における音叉型水晶片２ａのパターンに合わせて、複数の音叉型水晶片２ａにわたり、該音叉型水晶片２ａの配列方向に延びるように設けられている。
【００２４】
前記押圧部材５は、上下動可能に設けられ、鉛直下方に向けた先端面５ａが、水晶ウェハ２の音叉型水晶片２ａの長手方向のほぼ中央位置を押圧するように配置されている。押圧部材５の先端面５ａは、水晶ウェハ２の長手方向に沿う所定長さにわたって延び、水晶ウェハ２の先端側に向かって下降するように傾斜している。
【００２５】
前記治具プレート６は、図４に示されるように、音叉型水晶片２ａより厚さ寸法の大きなプレート部材１０と、該プレート部材１０を固定するベース部材１１と、前記プレート部材１０の下方に微少隙間をあけて配置される粘着テープ（吸着板部材）１２とを備えている。プレート部材１０には、前記音叉型水晶片２ａを位置決め状態に収容可能な開口寸法を有する複数の切欠１０ａが一方向に配列して設けられている。
【００２６】
前記プレート部材１０と粘着テープ１２との隙間は、音叉型水晶片２ａの厚さ寸法より小さく設定されている。これにより、プレート部材１０の切欠１０ａ内面を側壁とし、粘着テープ１２上面を底面とする複数の凹部６ａが形成されている。これら凹部６ａは、水晶ウェハ２から切り離された音叉型水晶振動子２Ａを収容した状態で、音叉型水晶振動子２Ａの根元部を露出させるように開口し、後段の溶接工程において、音叉型水晶振動子２Ａの電極（図示略）への端子の溶接を容易にしている。
【００２７】
凹部６ａは、音叉型水晶振動子２Ａを収容したときに、音叉型水晶振動子２Ａの側面に近接して位置決めする内側面部分と、音叉型水晶振動子２Ａの側面から離間するニゲ部とが設けられ、位置決めに必要最小限の面積で接触させることにより、凹部６ａ内への音叉型水晶振動子２Ａの収容を容易にしている。
また、凹部６ａどうしの間隔寸法は、水晶ウェハ２における音叉型水晶片２ａどうしの間隔寸法よりも十分に広く構成されており、溶接工程における隣接する音叉型水晶振動子２Ａの端子どうしの接触を回避できるようになっている。
【００２８】
前記粘着テープ１２は、図４に示されるように、前記切欠１０ａの配列方向に延びて配置され、全ての凹部６ａの底面に粘着面を露出させている。そして、粘着テープ１２の両端には、未使用の粘着テープ１２を巻いた状態に収容する巻き出し部１３と、使用済みの粘着テープ１２を巻き取る巻き取り部１４とが設けられている。
【００２９】
前記ローラ７は、音叉型水晶片２ａの根元部近傍において吸着プレート３との間に水晶ウェハ２を板厚方向に挟む位置に配置されている。また、ローラ７は、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの長さ方向と平行な回転軸７ａを有している。また、ローラ７は鉛直方向に揺動可能な揺動アーム８の先端に設けられ、水晶ウェハ２の下面に接触する位置と下方に離間する位置との間で移動できるようになっている。
【００３０】
前記駆動装置は、公知のモータおよびボールネジ等からなる直線駆動装置であって、吸着プレート３および治具プレート６のそれぞれに設けられ、水晶ウェハ２上の音叉型水晶片２ａの幅方向に直線移動させることができるようになっている。吸着プレート３および治具プレート６の水平方向動作はそれぞれ別々に行うことができ、吸着プレート３を静止させた状態で治具プレート６を水平方向に移動させることにより、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対変位させることができるようになっている。
【００３１】
このように構成された本実施形態に係る製造装置１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係る製造装置１を用いて音叉型水晶振動子２Ａを製造するには、図２に示されるように、フォトリソグラフィ技術による切り込み２ｂにより、複数の音叉型水晶片２ａが櫛歯状に形成された水晶ウェハ２を用意する。次いで、用意した水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着し、図１（ａ）に示されるように、治具プレート６上面に近接する位置に配置する。また、これとともに、音叉型水晶振動片２ａの根元部近傍に配される水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に板厚方向に挟む。
【００３２】
この状態で、駆動装置の作動により治具プレート６を吸着プレート３および水晶ウェハ２に対して音叉型水晶片２ａの配列方向に水平移動させ、次に音叉型水晶振動子２Ａを収容することとなる凹部６ａを、収容しようとする音叉型水晶片２ａの下方に位置決めする。そして、吸着プレート３に設けられた貫通孔４を介して、鉛直上方から押圧部材５を下降させ、その先端面５ａにより音叉型水晶片２ａの上面を下方に押圧する。
【００３３】
これにより、図１（ｂ）に示されるように、片持ち梁状に形成された音叉型水晶片２ａは、押圧部材５の先端面５ａによって押圧されることによって、先端を下降させるように弾性変形させられる。
すなわち、図５および図６に示されるように、音叉型水晶片２ａは、その先端部分を部分的に治具プレート６の凹部６ａ内に挿入した状態に配される。この段階では、曲げによる応力は弾性限界を超えておらず、音叉型水晶片２ａの根元部が破断することはない。また、この状態で、押圧部材５の先端は、治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されている。
【００３４】
そして、本実施形態においては、この状態から、図６に矢印Ａで示される方向に、治具プレート６を水平移動させる。これにより、凹部６ａの側面が、凹部６ａ内に部分的に挿入されている音叉型水晶片２ａの幅方向の側面に接触し、図７に矢印Ｂで示される位置に、水平方向に向かう押圧力Ｆを付与するようになる。
【００３５】
音叉型水晶片２ａの根元部には切欠部２ｃが形成されているので、比較的小さな押圧力Ｆによっても、切欠部２ｃには、極めて狭小な範囲において大きな応力集中を生ずる。その結果、切欠部２ｃの位置で正確に切断され、水晶ウェハ２から、精度よく、かつ、微細な破片を生ずることなく、音叉型水晶振動子２Ａを折り取ることができる。
【００３６】
そして、音叉型水晶振動子２Ａが折り取られた後には、押圧部材５を上昇させ、吸着プレート３を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉型水晶片２ａを押圧部材５の鉛直下方に配置するとともに、治具プレート６を水平方向に移動させて、次に折り取る音叉型水晶振動子２Ａを収容する凹部６ａを音叉型水晶片２ａの鉛直下方に配置する。以下、上記工程を繰り返す。
【００３７】
このように、本実施形態に係る音叉型水晶振動子２Ａの製造装置１によれば、押圧部材５により音叉型水晶片２ａを弾性変形させて、その先端部を水晶ウェハ２の表面から突出させることで、治具プレート６の凹部６ａに係合させ、水晶ウェハ２と治具プレート６とを水平方向に相対移動させることで、音叉型水晶片２ａに幅方向の押圧力Ｆを加えて、簡単に、精度よく、かつ、チッピング等の不都合を生ずることなく、複数の音叉型水晶振動子２Ａを順次折り取って、凹部６ａに収容状態に製造していくことができる。
【００３８】
この場合に、押圧部材５の先端が治具プレート６の上面よりも高い位置に配置されているので、治具プレート６を水平移動させても、治具プレート６と押圧部材５とが干渉することがない。
また、本実施形態に係る製造装置１においては、押圧部材５の先端面５ａを傾斜させているので、音叉型水晶片２ａを弾性変形させて水晶ウェハ２から折り取る際に、先端面５ａを音叉型水晶片２ａの表面に添わせて広い接触面積で接触させることができる。その結果、音叉型水晶片２ａが折り取られる際の衝撃によって、折り取られて構成された音叉型水晶振動子２Ａが飛び跳ねて、凹部６ａから飛び出してしまわないように保持することができる。
【００３９】
さらに、本実施形態に係る製造装置１においては、凹部６ａの底面が粘着テープ１２の粘着面により構成されているので、折り取られることにより凹部６ａに収容された音叉型水晶振動子２Ａは、粘着テープ１２の粘着面によりそのほぼ全面において吸着される。その結果、音叉型水晶振動子２Ａが飛び跳ねて凹部６ａから飛び出すことをより確実に防止し、安定して凹部６ａ内に収容状態に保持することができる。また、仮に微細な破片が発生した場合においても、粘着テープ１２の粘着面によりこれを吸着するので、音叉型水晶振動子２Ａへの破片の付着を抑制できる。
【００４０】
そして、使用されることにより粘着力が弱くなったり、破片が付着したりした場合には、巻き出し部１３および巻き取り部１４を作動させて、使用済みの粘着テープ１２を巻き取り、未使用の粘着テープ１２をプレート部材１０の下方に配置することができる。これにより、粘着力を簡易に回復することができ、継続して音叉型水晶振動子２Ａを製造することができる。
【００４１】
この場合に、粘着テープ１２の粘着面とその上方のプレート部材１０とが微少隙間をあけて配置されているので、巻き取り時に両者の相対移動が阻害されることなく行われる。また、隙間寸法が音叉型水晶振動子２Ａの厚さ寸法より小さく設定されているので、折り取られた音叉型水晶振動子２Ａが隙間に入り込む不都合が発生することはない。
【００４２】
また、本実施形態に係る製造装置１においては、水晶ウェハ２を吸着プレート３の下面に吸着しているので、従来のように、治具プレートを貫通してくる受けピンとタガネとによって音叉型水晶片２ａを挟んで搬送する必要がない。したがって、受けピンを治具プレートに抜き差しする時間および受けピンとタガネとに挟んで、少なくとも吸着プレートの厚さ分だけ搬送する時間が不要となり、１つの音叉型水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムを大幅に短縮することができる。また、凹部６ａまでの搬送工程を省略でき、搬送中の位置ずれによるチッピング等の問題の発生を未然に防止することができる。その結果、製造効率を向上し、微細な破片の発生を防止して、品質を向上することができる。
【００４３】
さらに、本実施形態に係る製造装置１においては、吸着プレート３に設けた貫通孔４が複数の音叉型水晶片２ａに跨って、それらの配列方向に延びているので、一の音叉型水晶片２ａの折り取り後、隣接する他の音叉型水晶片２ａを折り取る迄の間に、押圧部材５を貫通孔４から抜き出す必要がない。したがって、１つの音叉型水晶振動子２Ａを折り取るのに要するタクトタイムをさらに短縮することができる。
【００４４】
また、本実施形態に係る製造装置１によれば、水晶ウェハ２を吸着プレート３とローラ７との間に挟むので、音叉型水晶振動子２Ａを折り取る際に、根元部を確実に支持することができるとともに、治具プレート６を水平移動させて音叉型水晶片２ａに押圧力Ｆを付与する際にも、ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転動させて、継続的に支持することができる。ローラ７を水晶ウェハ２の表面において転がすことにより、水晶ウェハ２に与える摩擦を低減し、水晶ウェハ２の健全性を維持することができる。
【００４５】
なお、本実施形態に係る製造装置１においては、音叉型水晶片２ａに幅方向の押圧力Ｆを付与して簡易かつ精度よく折り取ることとしたが、これに代えて、図８に示されるように、従来と同様に、音叉型水晶片２ａに板厚方向に付与する押圧力Ｆにより、水晶ウェハ２から折り取ることとしてもよい。図８においては、図１よりも凹部６ａの深さが深く、音叉型水晶片２ａを大きく変形させることができるようになっている。
【００４６】
この場合においても、本実施形態におけるように、吸着プレート３の下面に水晶ウェハ２を配置することにより、折り取られた後に収容される凹部６ａを水晶ウェハ２の直近に配置することができ、折り取り後即座に位置決め状態に収容できる。したがって、製造のタクトタイムを短縮し、また、微細な破片の発生する機会を低減して品質を向上することができるという利点がある。
【００４７】
また、本実施形態においては、粘着テープ１２の巻き取り時にプレート部材１０と接着して巻き取りが阻害される不都合を防止するために、粘着テープ１２とプレート部材１０とを微少隙間を形成して配置することとしたが、これに代えて、あるいは、これとともに、少なくとも粘着テープ１２の粘着面に対向するプレート部材１０の表面に４フッ化エチレン樹脂製のコーティングやダイヤモンドライクカーボン薄膜などの低凝着性膜を形成することにしてもよい。これにより、粘着テープ１２とプレート部材１０とが接触しても両者の接着が回避されるので、巻き取りが阻害されることがない。
【００４８】
また、本実施形態においては、凹部６ａの底面に配置する吸着板部材として、粘着テープ１２の粘着面を採用したが、これに代えて、図９に示されるように、電極１５ａ，１５ｂ間に直流電圧を加えることにより帯電し、静電気により音叉型水晶振動子２Ａのほぼ全面を吸着する静電吸着板１５を採用することにしてもよい。
静電吸着板１５は、電極１５ａ，１５ｂに直流電圧を加えることにより、電荷を偏らせて帯電する誘電体を備え、音叉型水晶振動子２Ａの表面に誘起される電荷との間に発生するクーロン力により、音叉型水晶振動子２Ａをほぼ全面で吸着することができる。静電吸着板１５によれば、電極１５ａ，１５ｂに加える電圧を遮断することにより、クーロン力を消滅させることができ、音叉型水晶振動子２Ａを簡単に取り外すことができる。したがって、粘着テープのように粘着力の劣化や塵埃の付着の問題がないという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造装置を示す部分的な縦断面図であり、（ａ）は押圧部材が上昇した状態、（ｂ）は押圧部材が下降した状態をそれぞれ示している。
【図２】図１の製造装置において音叉型水晶振動子を切り出す水晶ウェハを示す部分的な斜視図である。
【図３】図１の製造装置を示す部分的な斜視図である。
【図４】図１の製造装置の治具プレートを示す斜視図である。
【図５】図１の製造装置に水晶ウェハを装着した状態を示す部分的な斜視図である。
【図６】図４の製造装置の押圧部材近傍を拡大して示す斜視図である。
【図７】図１の製造装置における治具プレートの凹部と音叉型水晶片との関係を示す部分的な平面図である。
【図８】図１の製造装置の変形例を示す部分的な縦断面図である。
【図９】図４の治具プレートの変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  製造装置
２  水晶ウェハ
２Ａ  音叉型水晶振動子
２ａ  音叉型水晶片
２ｂ  切り込み
３  吸着プレート
５  押圧部材
５ａ  傾斜面
６  治具プレート
６ａ  凹部
７  ローラ
１０ａ  切欠
１０  プレート部材
１２  粘着テープ（吸着板部材）
１５  静電吸着板（吸着板部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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