(57)【要約】【課題】光損失を抑えるとともに、クラッドからの光配線の剥離が起こりにくく加工や実装も容易な光基板およびその製造方法を提供する。【解決手段】平坦面１０Ａと平坦面１０Ａに形成された凹部１０Ｂとを有し、凹部１０Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる底面１０Ｃを有し、底面１０Ｃの最下部と平坦面との間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１０を用意する。凹部１０Ｂにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成する。平坦面１０Ａおよび凹部１０Ｂ上にクラッド３０を形成しクラッド３０とコア２０とを接合する。コア２０が接合されたクラッド３０から型１０を離すことで光基板を得る。【選択図】図１
2008015099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアからなる光配線とクラッドとを含んで構成される光基板であって、
前記コアは断面が円近似形状を呈し、
前記コアは前記クラッドに接合されることで前記クラッドで支持されている、
ことを特徴とする光基板。
【請求項２】
前記クラッドは、前記コアの外周面の一部に接合される円筒近似面を有している、
ことを特徴とする請求項１記載の光基板。
【請求項３】
前記クラッドは平坦な表面を有し、前記表面上に凸部が延在形成され、前記凸部の先端に前記凸部の延在方向に沿って円筒近似面が形成され、前記コアはその外周の一部が前記円筒近似面に接合されて前記クラッドで支持されている、
ことを特徴とする請求項１記載の光基板。
【請求項４】
前記円筒近似面の底部は前記クラッドの平坦な表面と同一面上に位置するかあるいは前記表面の上方に位置している、
ことを特徴とする請求項３記載の光基板。
【請求項５】
前記クラッドは平坦な表面を有し、前記表面上に凹部が延在形成され、前記凹部は円筒近似面で形成され、前記コアはその外周の一部が前記円筒近似面に接合されて前記クラッドで支持されている、
ことを特徴とする請求項１記載の光基板。
【請求項６】
前記クラッドは平坦な表面を有し、前記表面上に凹部が延在形成され、前記凹部は、前記コアが収容される寸法で互いに対向する一対の側面と、前記一対の側面の下部を接続する円筒近似面で構成され、前記コアは前記凹部に収容されその外周の一部が前記円筒近似面に接合されて前記クラッドで支持されている、
ことを特徴とする請求項１記載の光基板。
【請求項７】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
平坦面と前記平坦面に形成された凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成する工程と、
前記平坦面および前記凹部上にクラッドを形成しクラッドと前記コアとを接合する工程と、
前記コアが接合されたクラッドから前記型を離す工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項８】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
平坦面と前記平坦面に形成された凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成する工程と、
板状の支持媒体上に形成されたクラッドの表面に前記型および該型に形成されたコアを押し付けることで前記コアを前記クラッドに接合する工程と、
前記コアおよび前記クラッドから前記型を離す工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項９】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
平坦面と前記平坦面に形成された凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
クラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、
前記クラッドから前記型を離す工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１０】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
平坦面と前記平坦面に形成された凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
板状の支持媒体上に形成されたクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、
前記クラッドから前記型を離す工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１１】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
平坦面と前記平坦面に形成された複数の凸部と前記平坦面に形成された複数の外形仕切り用凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成され、かつ、前記外形仕切り用凸部の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法よりも大きい寸法で形成されている型を用意する工程と、
板状の支持媒体上に形成されたクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成すると同時に、前記クラッドを前記外形仕切り用凸部によって複数のクラッド分割体に分離する工程と、
前記クラッド分割体から前記型を離す工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッド分割体に接合することで複数の光基板を得る工程と、
前記支持媒体から前記光基板を分離する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１２】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、
前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、
平坦面と前記平坦面に形成された凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
前記複数のクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、
前記複数のクラッドから前記型を離す工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合することで複数の光基板を得る工程と、
前記支持媒体から前記光基板を分離する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１３】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、
前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、
平坦面と前記平坦面に形成された凸部と前記平坦面に形成され前記外形仕切り用凸部とがたつくことなく係合する位置決め用凹部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
前記支持媒体の前記外形仕切り用凸部に前記型の前記位置決め用凹部を係合させつつ、前記複数のクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、
前記複数のクラッドから前記型を離す工程と、
前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合することで複数の光基板を得る工程と、
前記支持媒体から前記光基板を分離する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１４】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、
前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、
平坦面と前記平坦面に形成された複数の凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
前記各凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状の複数のコアを形成する工程と、
前記複数のクラッドの表面に前記型および該型に形成された前記複数のコアを押し付けることで前記コアを前記クラッドに接合する工程と、
前記複数のコアおよび前記複数のクラッドから前記型を離すことで複数の光基板を同時に得る工程と、
前記支持媒体から前記光基板を分離する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１５】
断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、
複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、
前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、
平坦面と前記平坦面に形成された複数の凹部と前記平坦面に形成され前記外形仕切り用凸部とがたつくことなく係合する位置決め用凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、
前記各凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状の複数のコアを形成する工程と、
前記支持媒体の前記外形仕切り用凸部に前記型の前記位置決め用凹部を係合させつつ、前記複数のクラッドの表面に前記型および該型に形成された前記複数のコアを押し付けることで前記コアを前記クラッドに接合する工程と、
前記複数のコアおよび前記複数のクラッドから前記型を離すことで複数の光基板を同時に得る工程と、
前記支持媒体から前記光基板を分離する工程と、
を含むことを特徴とする光基板の製造方法。
【請求項１６】
前記型および前記支持媒体の一方に位置決めピンを設け、他方に前記位置決めピンに嵌合する位置決め孔を設けたことを特徴とする請求項１２または１４記載の光基板の製造方法。
【請求項１７】
前記型の表面処理を施すことにより前記型の表面とコア材料の接触角を９０°以上１５０°以下としたことを特徴とする請求項７、８、１４、１５に何れか1項記載の光基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光基板およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コア（光配線）の上部がオーバークラッドで被覆されておらず、コアの上部が大気中に露出している光基板をリッジ型光基板という。
リッジ型光基板は、安価に製造でき、また、クラッドが少ない分厚みを薄くできるので、曲げに強く、構成材料が少ない、また、実装時の位置合わせが容易であるというさまざまな長所を備えている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−９０５４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来のリッジ型光基板はコアの断面が方形状の、四角柱形状のコア（光配線）をクラッド上に備えた構造となっていたため、クラッドからコア（光配線）が剥離し、さらにはクラッドの所定の位置からずれてしまうという問題があった。また、光配線断面が方形であることから、リッジ型光基板を、光配線断面形状が円形の光部品である光ファイバーや受発光素子などとの接合時の光損失（接続損失）が大きいという問題があった。
本発明はかかる従来技術の欠点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、光ファイバーや受発光素子との接合時の光損失を抑えるとともに、クラッドからの光配線の剥離が起こりにくく、万が一クラッドから光配線が剥離してもクラッド上の所定の位置からずれにくく、さらに端面の加工や実装も容易な新規なリッジ型導波路を備えた光基板およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明において上記の課題を達成するために、半円形底面形状の凹部もしくは半円形先端形状の凸部を有する型を使用して、光配線パターンを形成する事を特徴とする。
【０００５】
好ましくは、高粘度の高分子材料をコア材料として使用し、表面張力等により円近似形状を形成することができる。さらに型に表面処理を施し、コア材料と型との接触角を制御することもできる。型に処理を施すことで、材料特性を調整するよりも低コストで円近似形状を形成することができる。
型に表面処理を施すことにより型の表面とコア材料の接触角を９０°以上１５０°以下とすることが好ましい。
なお、接触角が９０°未満であると、コア形状を円形とするのが困難であり、接触角が１５０°より大きいと、コア材料の型への充填不良が発生しやすくなる。
【０００６】
また、型上に光配線形成用の凹凸と、光基板の外形加工パターン形成用の凹凸を設けることで、１回の型取りプロセスで光配線形成と外形加工を同時に行うことが出来る。これによりプロセスが簡略化し、光配線と光基板の外形加工の位置精度を向上する。
【０００７】
また凸型の型を用い、クラッド材料上に光配線パターンを形成し、ここにコア材料を充填する事で光配線を形成する事ができる。
【０００８】
また凹型の型を用い、型上にコア材料を充填することで光配線を形成する事ができる。
【０００９】
また、請求項１の発明は、コアからなる光配線とクラッドとを含んで構成される光基板であって、前記コアは断面が円近似形状を呈し、前記コアは前記クラッドに接合されることで前記クラッドで支持されていることを特徴とする光基板である。
また、請求項２の発明は、前記クラッドは、前記コアの外周面の一部に接合される円筒近似面を有していることを特徴とする請求項１記載の光基板である。
また、請求項３の発明は、前記クラッドは平坦な表面を有し、前記表面上に凸部が延在形成され、前記凸部の先端に前記凸部の延在方向に沿って円筒近似面が形成され、前記コアはその外周の一部が前記円筒近似面に接合されて前記クラッドで支持されていることを特徴とする請求項１記載の光基板である。
また、請求項４の発明は、前記円筒近似面の底部は前記クラッドの平坦な表面と同一面上に位置するかあるいは前記表面の上方に位置していることを特徴とする請求項３記載の光基板である。
また、請求項５の発明は、前記クラッドは平坦な表面を有し、前記表面上に凹部が延在形成され、前記凹部は円筒近似面で形成され、前記コアはその外周の一部が前記円筒近似面に接合されて前記クラッドで支持されていることを特徴とする請求項１記載の光基板である。
また、請求項６の発明は、前記クラッドは平坦な表面を有し、前記表面上に凹部が延在形成され、前記凹部は、前記コアが収容される寸法で互いに対向する一対の側面と、前記一対の側面の下部を接続する円筒近似面で構成され、前記コアは前記凹部に収容されその外周の一部が前記円筒近似面に接合されて前記クラッドで支持されていることを特徴とする請求項１記載の光基板である。
【００１０】
また、請求項７の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、平坦面と前記平坦面に形成された凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成する工程と、前記平坦面および前記凹部上にクラッドを形成しクラッドと前記コアとを接合する工程と、前記コアが接合されたクラッドから前記型を離す工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１１】
また、請求項８の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、平坦面と前記平坦面に形成された凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成する工程と、板状の支持媒体上に形成されたクラッドの表面に前記型および該型に形成されたコアを押し付けることで前記コアを前記クラッドに接合する工程と、前記コアおよび前記クラッドから前記型を離す工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１２】
また、請求項９の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、平坦面と前記平坦面に形成された凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、クラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、前記クラッドから前記型を離す工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１３】
また、請求項１０の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、平坦面と前記平坦面に形成された凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、板状の支持媒体上に形成されたクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、前記クラッドから前記型を離す工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１４】
また、請求項１１の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、平坦面と前記平坦面に形成された複数の凸部と前記平坦面に形成された複数の外形仕切り用凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成され、かつ、前記外形仕切り用凸部の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法よりも大きい寸法で形成されている型を用意する工程と、板状の支持媒体上に形成されたクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成すると同時に、前記クラッドを前記外形仕切り用凸部によって複数のクラッド分割体に分離する工程と、前記クラッド分割体から前記型を離す工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッド分割体に接合することで複数の光基板を得る工程と、前記支持媒体から前記光基板を分離する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１５】
また、請求項１２の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、平坦面と前記平坦面に形成された凸部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、前記複数のクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、
前記複数のクラッドから前記型を離す工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合することで複数の光基板を得る工程と、前記支持媒体から前記光基板を分離する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１６】
また、請求項１３の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、平坦面と前記平坦面に形成された凸部と前記平坦面に形成され前記外形仕切り用凸部とがたつくことなく係合する位置決め用凹部とを有し、前記凸部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる頂面を有し、前記頂面の最上部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、前記支持媒体の前記外形仕切り用凸部に前記型の前記位置決め用凹部を係合させつつ、前記複数のクラッドの表面に前記型を押し付けることで前記クラッドの表面に、前記型の平坦面および前記凸部に対応した平坦面および凹部を形成する工程と、前記複数のクラッドから前記型を離す工程と、前記凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコアを形成するとともに前記コアを前記クラッドに接合することで複数の光基板を得る工程と、前記支持媒体から前記光基板を分離する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１７】
また、請求項１４の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、平坦面と前記平坦面に形成された複数の凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、前記各凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状の複数のコアを形成する工程と、前記複数のクラッドの表面に前記型および該型に形成された前記複数のコアを押し付けることで前記コアを前記クラッドに接合する工程と、前記複数のコアおよび前記複数のクラッドから前記型を離すことで複数の光基板を同時に得る工程と、前記支持媒体から前記光基板を分離する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１８】
また、請求項１５の発明は、断面が円近似形状のコアから形成される光配線にクラッドが接合されることで構成される光基板の製造方法であって、複数のクラッド形成用凹部を有し、前記クラッド形成用凹部は、底面と該底面の周囲を囲むように前記底面から立設された外形仕切り用凸部から形成された支持媒体を用意する工程と、前記各クラッド形成用凹部にクラッド材を充填して複数のクラッドを形成する工程と、平坦面と前記平坦面に形成された複数の凹部と前記平坦面に形成され前記外形仕切り用凸部とがたつくことなく係合する位置決め用凹部とを有し、前記凹部は、前記コアの半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒近似面からなる底面を有し、前記底面の最下部と前記平坦面との間の寸法が前記コアの直径と同じ寸法か、あるいは、前記コアの直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型を用意する工程と、前記各凹部にコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状の複数のコアを形成する工程と、前記支持媒体の前記外形仕切り用凸部に前記型の前記位置決め用凹部を係合させつつ、前記複数のクラッドの表面に前記型および該型に形成された前記複数のコアを押し付けることで前記コアを前記クラッドに接合する工程と、前記複数のコアおよび前記複数のクラッドから前記型を離すことで複数の光基板を同時に得る工程と、前記支持媒体から前記光基板を分離する工程とを含むことを特徴とする光基板の製造方法である。
【００１９】
また、請求項１６の発明は、前記型および前記支持媒体の一方に位置決めピンを設け、他方に前記位置決めピンに嵌合する位置決め孔を設けたことを特徴とする請求項１２または１４記載の光基板の製造方法である。
また、請求項１７の発明は、前記型の表面処理を施すことにより前記型の表面とコア材料の接触角を９０°以上１５０°以下としたことを特徴とする請求項７、８、１４、１５に何れか1項記載の光基板の製造方法である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、光配線の断面を円近似形状とすることで、光ファイバーや受発光素子などの光部品との接合時の光損失を抑える上で有利となり、また、断面が円近似形状の光配線をクラッドに接合するので、クラッドからの光配線の剥離が起こりにくく、万が一クラッドから光配線が剥離してもクラッド上に円筒近似の凹部を備えるため、所定の位置からずれにくく、クラッドからの光配線の剥離が起こりにくいため、光配線の端面の加工や実装も容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
本明細書で記載する円近似形状とは、ほぼ円形の曲線で囲まれた図形であって、円も含む。また、円筒近似とは、円近似形状を断面とする柱形状を指す。
本発明の光基板が備える光配線は断面が円近似形状であれば、光部品との接合時の光損失を抑えることができ、特にその効果は光配線の断面が円であるときに大きくなる。以下円筒面として説明される部分は円筒近似形状であってもよい。特に、本発明の光基板の製造方法においては、コア材を充填する型あるいはクラッドが備える凹部の底面は、光配線の断面の形状を決定するのに重要な要素であり、円筒面であることが好ましい。
まず、図１乃至図７の本発明の光基板の製造方法について説明する。
図１の工程から詳細に説明する。
まず、図１（ａ）に示すように、平坦面１０Ａと平坦面１０Ａに形成された凹部１０Ｂとを有し、凹部１０Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる底面１０Ｃを有し、底面１０Ｃの最下部と平坦面との間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１０を用意する。
次に、図１（ｂ）に示すように、凹部１０Ｂにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成する。
次に、図１（ｃ）に示すように、平坦面１０Ａおよび凹部１０Ｂ上にクラッド３０を形成しクラッド３０とコア２０とを接合する。クラッドの形成方法は、平坦面１０Ａおよび凹部１０Ｂ上に液状やフィルム状のクラッド材料を塗布又は積層することで形成することができる。クラッド材料は円筒形の光配線（コア２０）の外周面（円筒面）に沿って追従変形し、光配線との接合が可能な程度の可塑性を備えているものを用いる。
次に、図１（ｄ）に示すように、コア２０が接合されたクラッド３０から型１０を離すことで光基板を得る。
なお、型１０に表面処理がなされている場合、光配線をより好ましい円筒形に形成できるだけではなく、型から光基板の離型も容易となり好ましい。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線がクラッド３０に接合されることでクラッド３０で支持され、コア２０の上部が大気中に露出したリッジ型の光基板として構成されている。
詳細に説明すると、図１（ｄ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凸部３０Ｂが延在形成され、凸部３０Ｂの先端に凸部３０Ｂの延在方向に沿って円筒面３０Ｃが形成され、コア２０はその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。すなわち、クラッド３０は、コア２０の外周面の一部に接合される円筒面３０Ｃを有している。
また、円筒面３０Ｃの底部はクラッド３０の平坦な表面３０Ａと同一面上に位置するかあるいは表面３０Ａの上方に（クラッド３０と反対方向に）に位置している。
また、図１、および、以下に示す図２乃至図７において、コア２０の外周面（円筒面）とクラッド３０の円筒面３０Ｃとが接合する接合面積が大きいほどコア２０はクラッド３０により安定して保持されることになり好ましい。例えば、コア２０の外周面（円筒面）の面積の１／２以上がクラッド３０の円筒面３０Ｃに接合していることが好ましい。
【００２２】
次に、図２の工程について詳細に説明する。
図２（ａ）に示すように、平坦面１０Ａと平坦面１０Ａに形成された凹部１０Ｂとを有し、凹部１０Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる底面１０Ｃを有し、底面１０Ｃの最下部と平坦面１０Ａとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１０を用意する。
次に、図２（ｂ）に示すように、凹部１０Ｂにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成する。
次に、図２（ｃ）に示すように、板状の支持媒体５０上に形成されたクラッド３０の表面に型１０および該型１０に形成されたコア２０を押し付けることでコア２０をクラッド３０に接合することで光基板を得る。言い換えると、支持媒体５０とクラッド材料との積層体を用意し、クラッド材料上にコア２０を転写することによって光基板を形成する。クラッド材料は円筒形の光配線（コア２０）の外周面（円筒面）に沿って追従変形し、光配線との接合が可能な程度の可塑性を備えているものを用いる。
次に、図２（ｄ）に示すように、コア２０およびクラッド３０から型１０を離すことで光基板を得る。なお、型１０に表面処理がなされている場合、光配線をより好ましい円筒形に形成できるだけではなく、型から光基板の離型も容易となり好ましい。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線がクラッド３０に接合されることでクラッド３０で支持され、コア２０の上部が大気中に露出したリッジ型の光基板として構成されている。
詳細に説明すると、図２（ｄ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凹部３０Ｄが延在形成され、凹部３０Ｄは円筒面３０Ｃで形成され、コア２０はその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。
【００２３】
さらに詳細に説明すると、型１０が備える凹部１０Ｂの深さは、凹部１０Ｂにコア材を盛り上げて充填する際にコア２０を円筒形近似形状とすることができる程度であればよい。
型１０が有する凹部１０Ｂの底面１０Ｃの最下部と平坦面１０Ａとの間の寸法がコア２０の直径よりも小さい場合、コア材を盛り上げながら形成するためにはディスペンサー、インクジェット法等を用いて形成するのが好ましい。
言い換えると、コア２０を作るための型１０の凹部１０Ｂの深さは、コア２０の直径よりも小さい寸法であってもよく、その場合には、ディスペンサかインキジェットでコア材を凹部１０Ｂに充填することでコア材の表面張力を利用してコア２０を形成することができる。
特に、型１０が有する凹部１０Ｂの底面１０Ｃの最下部と平坦面１０Ａとの間の寸法がコア２０の半径よりも小さい場合、コア材を盛り上げながら形成するのにかなりの注意を要するが、この場合、クラッド３０の円筒面３０Ｃは光配線の外周面（円筒面）の半分以上を被覆することになるため接合面積は増え、光配線はクラッド３０により安定して保持されることになる。
型１０が有する凹部１０Ｂの底面１０Ｃの最下部と平坦面１０Ａとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、コア２０の直径よりも僅かに大きい場合、凹部１０Ｂに対するコア材の充填は例えば型の全面に液状のコア材を塗布し、ドクターで平坦面１０Ａをかき取る方法によって容易に行うことができる。
型１０に対するコア材料の接触角は型１０の平坦面１０Ａと凹部１０Ｂで等しいか、平坦面１０Ａよりも凹部１０Ｂの方が小さい方が好ましい。特に凹部１０Ｂにおいて、コア材料の接触角が９０°以上であれば、コア材料の充填時にコア形状をより円筒形近似形状とすることができ好ましい。
ここで、接触角が１５０°より大きいとコア材料の充填時にコア材料がドクター側に付着し充填不良となる可能性がある。
すなわち、型１０の表面処理を施すことにより型１０の表面とコア材料の接触角を９０°以上１５０°以下とすることが好ましい。
光配線を円筒形に形成するための型１０（凹型）としては寸法安定性がよく、繰り返しの使用に耐えるとともにドクターに負けない強度を備えた材料で製造されることが好ましい。
ガラスのように光透過性の材料を使用すれば、コア材料に光硬化性樹脂を用いた場合、型を介して硬化処理を行うことができる。
コア材料としては型１０の凹部１０Ｂに充填時は液状で、熱又は光あるいはその両方によって硬化可能な材料が好ましい。硬化の前後で寸法の変化が小さい材料が好ましい。熱履歴は光基板を構成する各材料に劣化等の悪影響を与える可能性があるため光硬化性樹脂が好ましい。
【００２４】
次に、図３の工程について詳細に説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、平坦面１２Ａと平坦面１２Ａに形成された凸部１２Ｂとを有し、凸部１２Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる頂面１２Ｃを有し、頂面１２Ｃの最上部と平坦面１２Ａとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１２を用意する。
次に、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、クラッド３０の表面に型１２を押し付けることでクラッド３０の表面に、型１２の平坦面１２Ａおよび凸部１２Ｂに対応した平坦面および凹部３０Ｄを形成し、次に、クラッド３０から型１２を離す。
次に、図３（ｄ）に示すように、凹部３０Ｄにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成するとともにコア２０をクラッド３０に接合することで光基板を得る。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線にクラッド３０が接合されることで、コア２０の上部が大気中に露出したリッジ型の光基板として構成されている。
詳細に説明すると、図３（ｄ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凹部３０Ｄが延在形成され、凹部３０Ｄは、コア２０が収容される寸法で互いに対向する一対の側面３０Ｅと、一対の側面の下部を接続する円筒面３０Ｃで構成され、コア２０は凹部３０Ｄに収容されその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。
【００２５】
次に、図４の工程について詳細に説明する。
まず、図４（ｂ）に示すように、平坦面１２Ａと平坦面１２Ａに形成された凸部１２Ｂとを有し、凸部１２Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる頂面１２Ｃを有し、頂面１２Ｃの最上部と平坦面１２Ａとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１２を用意する。
次に、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、板状の支持媒体５０上に形成されたクラッド３０の表面に型１２を押し付けることでクラッド３０の表面に、型１２の平坦面１２Ａおよび凸部１２Ｂに対応した平坦面および凹部３０Ｄを形成し、ついで、クラッド３０から型１２を離す。
次に、図４（ｃ）に示すように、凹部３０Ｄにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成するとともにコア２０をクラッド３０に接合することで光基板を得る。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線にクラッド３０が接合されることで、コア２０の上部が大気中に露出したリッジ型の光基板として構成されている。
詳細に説明すると、図４（ｃ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凹部３０Ｄが延在形成され、凹部３０Ｄは、コア２０が収容される寸法で互いに対向する一対の側面３０Ｅと、一対の側面の下部を接続する円筒面３０Ｃで構成され、コア２０は凹部３０Ｄに収容されその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。
【００２６】
次に、図５の工程について詳細に説明する。
まず、図５（ａ）に示すように、平坦面１２Ａと平坦面１２Ａに形成された複数の凸部１２Ｂと平坦面１２Ａに形成された光基板の外形加工のための複数の外形仕切り用凸部１２Ｄとを有し、凸部１２Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる頂面１２Ｃを有し、頂面１２Ｃの最上部と平坦面１２Ａとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成され、かつ、外形仕切り用凸部１２Ｄの最上部と平坦面１２Ａとの間の寸法が頂面１２Ｃの最上部と平坦面１２Ａとの間の寸法よりも大きい寸法で形成されている型１２を用意する。
次に、図５（ｂ）に示すように、板状の支持媒体５０上に形成されたクラッド３０の表面に型１２を押し付けることでクラッド３０の表面に、型１２の平坦面１２Ａおよび凸部１２Ｂに対応した平坦面１２Ａおよび凹部３０Ｄを形成すると同時に、クラッド３０を外形仕切り用凸部１２Ｄによって複数のクラッド分割体３０に分離し、次いでクラッド分割体３０から型１２を離す。
次に、図５（ｃ）に示すように、凹部３０Ｄにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成するとともにコア２０をクラッド分割体３０に接合することで複数の光基板を得る。
次に、図５（ｄ）に示すように、支持媒体５０から光基板を分離する。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線にクラッド３０が接合されることで、コア２０の上部が大気中に露出したリッジ型の光基板として構成されている。
詳細に説明すると、図５（ｄ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凹部３０Ｄが延在形成され、凹部３０Ｄは、コア２０が収容される寸法で互いに対向する一対の側面３０Ｅと、一対の側面の下部を接続する円筒面３０Ｃで構成され、コア２０は凹部３０Ｄに収容されその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。
【００２７】
次に、図６の工程について詳細に説明する。
まず、図６（ａ）に示すように、複数のクラッド形成用凹部５０Ａを有し、クラッド形成用凹部５０Ａは、底面５０Ｂと該底面５０Ｂの周囲を囲むように底面５０Ｂから立設された外形仕切り用凸部５０Ｃから形成された支持媒体５０を用意する。
次に、各クラッド形成用凹部５０Ａにクラッド材を充填して複数のクラッド３０を形成する。
次に、図６（ｂ）に示すように、平坦面１２Ａと平坦面１２Ａに形成された凸部１２Ｂと平坦面１２Ａに形成され外形仕切り用凸部５０Ｃとがたつくことなく係合する位置決め用凹部１２Ｅとを有し、凸部１２Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる頂面１２Ｃを有し、頂面１２Ｃの最上部と平坦面１２Ａとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１２を用意する。
次いで、支持媒体５０の外形仕切り用凸部５０Ｃに型１２の位置決め用凹部１２Ｅを係合させつつ、複数のクラッド３０の表面に型１２を押し付けることでクラッド３０の表面に、型１２の平坦面１２Ａおよび凸部１２Ｂに対応した平坦面１２Ａおよび凹部３０Ｄを形成し、複数のクラッド３０から型１２を離す。
次に、図６（ｃ）に示すように、凹部３０Ｄにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状のコア２０を形成するとともにコア２０をクラッド３０に接合することで複数の光基板を得る。
次に、図６（ｄ）に示すように、支持媒体５０から光基板を分離する。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線にクラッド３０が接合されることで、コア２０の上部が大気中に露出したリッジ型の光基板として構成されている。
なお、型１２に位置決め用凹部１２Ｅを設ける代わりに、型１２および支持媒体５０の一方に位置決めピンを設け、他方に位置決めピンに嵌合する位置決め孔を設けることで型１２と支持媒体５０とを位置決めするようにしてもよい。
詳細に説明すると、図６（ｄ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凹部３０Ｄが延在形成され、凹部３０Ｄは、コア２０が収容される寸法で互いに対向する一対の側面３０Ｅと、一対の側面の下部を接続する円筒面３０Ｃで構成され、コア２０は凹部３０Ｄに収容されその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。
【００２８】
次に、図７の工程について詳細に説明する。
まず、図７（ｂ）に示すように、複数のクラッド形成用凹部５０Ａを有し、クラッド形成用凹部５０Ａは、底面５０Ｂと該底面５０Ｂの周囲を囲むように底面５０Ｂから立設された外形仕切り用凸部５０Ｃから形成された支持媒体５０を用意し、各クラッド形成用凹部５０Ａにクラッド材を充填して複数のクラッド３０を形成する。
次に、図７（ａ）に示すように、平坦面１０Ａと平坦面１０Ａに形成された複数の凹部１０Ｂと平坦面１０Ａに形成され外形仕切り用凸部５０Ｃとがたつくことなく係合する位置決め用凹部１０Ｅとを有し、凹部１０Ｂは、コア２０の半径と同じ寸法の半径で形成された半円形の円筒面からなる底面１０Ｃを有し、底面１０Ｃの最下部と平坦面１０Ｂとの間の寸法がコア２０の直径と同じ寸法か、あるいは、コア２０の直径よりも僅かに大きな寸法で形成されている型１０を用意し、各凹部１０Ｂにコア材を盛り上げて充填することで断面が円近似形状の複数のコア２０を形成する。
次に、図７（ｃ）に示すように、支持媒体５０の外形仕切り用凸部５０Ｃに型の位置決め用凹部１０Ｅを係合させつつ、複数のクラッド３０の表面に型１０および該型１０に形成された複数のコア２０を押し付けることでコア２０をクラッド３０に接合し、複数のコア２０および複数のクラッド３０から型１０を離すことで複数の光基板を同時に得る。
次に、図７（ｄ）に示すように、支持媒体５０から光基板を分離する。
すなわち、本発明の光基板は、断面が円形のコア２０から形成される光配線にクラッド３０が接合されることで構成されている。
なお、型１０に位置決め用凹部１０Ｅを設ける代わりに、型１０および支持媒体５０の一方に位置決めピンを設け、他方に位置決めピンに嵌合する位置決め孔を設けることで型１０と支持媒体５０とを位置決めするようにしてもよい。
詳細に説明すると、図７（ｄ）に示すように、クラッド３０は平坦な表面３０Ａを有し、表面３０Ａ上に凹部３０Ｄが延在形成され、凹部３０Ｄは円筒面３０Ｃで形成され、コア２０はその外周の一部が円筒面３０Ｃに接合されてクラッド３０で支持されている。
【００２９】
以上説明した本実施の形態の光基板によれば、次の効果が奏される。
光配線（コア２０）の断面形状が円形なので、受発光素子および光ファイバー等との接続損失を低減することができる。
また、光配線の円筒面の一部が光配線の長さ方向に連続してクラッド３０と接合されているため、すなわち、クラッド３０の円筒面３０Ｃがコア２０の外周面（円筒面）に接合しているため、従来の四角柱状の光配線がその一辺でクラッド３０と接合される場合に比べて接合面積が広くなり、光配線は安定してクラッド３０に保持されるとともに、光配線とクラッド３０との剥離も抑制される。
万が一、光配線がクラッド３０から剥離しても、クラッド３０は光配線の円筒面に沿って形成されているため、光配線がクラッド３０の円筒面３０Ｃ（くぼみ）にはまってずれにくい構造となっている。
また、屈曲時の応力が分散されるために光配線が剥がれにくくなるという効果も期待できる。
光配線が安定してクラッド３０と接合されているので、コア２０の端部の加工を行いやすくなる。また、光配線の一部はクラッド３０と接合されるとともに、残部は露出しているので、端面の斜め切断加工等の後加工や実装時の位置合わせが容易であり、曲げにも強いという従来のリッジ型光基板の備える長所はそのままである。
【００３０】
また、以上説明した本実施の形態の光基板の製造方法によれば、次の効果が奏される。
断面が円近似形状の光配線（コア２０）を備えた光基板を製造することができる。
円筒形の光配線の外周面（円筒面）がクラッド３０に接合される接合面積が、光配線の外周面（円筒面）の面積の半分またはそれ以上の面積となる光基板を製造することができる。
光基板の外形加工パターンの作成を光配線同様に型を用いて行うことができるので、外形加工を短時間で容易に行うことができる。
光配線パターンの作成と外形加工パターンの作成を同工程にて行うことができるので、工程を簡略化するとともに光基板の外形と光配線パターンとの位置精度を向上させることができる。
特に、光配線の為の凹部あるいは凸部と外形加工の為の凹部あるいは凸部を同じ型に形成すると、位置合わせによるずれを抑えることができるため、大幅に位置精度が向上する。
【００３１】
次に、図１乃至図７の本発明の光基板の製造方法の詳細についてさらに説明する。
図１に示すように、本発明の光基板の製造方法は、型１０上の光配線パターン（凹部１０Ｂ）にコア材料を充填し、光配線（断面が円形のコア２０）を形成する。
次にクラッド３０を形成し、光配線２０とクラッド３０を型１０から剥離することで光基板を製造する。
【００３２】
型１０には、任意の有機材料および無機材料を使用する事ができる。
具体的には、アクリル材料、シリコーン材料、シリコンウェハ、金属材料、硝子材料などが使用できるが、これに限定されるものではない。離型/剥離性を高めるため、型１０の表面に離型/剥離層を設けることもできる。
【００３３】
型１０には光配線パターンおよび外形加工パターンの凹凸を形成することができる。
両パターンを有する型１０を使用することにより、両パターンを位置精度よく同時形成することができる。
【００３４】
型１０上に光配線を形成する場合は、図１に示すような凹形状の型１０を使用する。これにより、型１０上の光配線パターン１０Ｂ（凹部１０Ｂ）に光配線２０を形成する事ができる。
【００３５】
クラッド３０上に各パターンを形成する場合は、図３に示すような凸形状の型１２を用いる。
これにより、クラッド３０上の光配線パターン３０Ａ（凹部３０Ｄ）に光配線２０（コア）を形成する事ができる。
【００３６】
クラッド３０および光配線２０には、一般に用いられている高分子材料を用いることができる。
具体的には、カーボネート材料、エポキシ材料、アクリル材料、イミド材料、ウレタン材料、シリコーン材料、無機フィラー混入有機材料などが使用できるが、これに限定されるものではない。ただし、屈折率を制御した光学材料を用いることが望ましい。
【００３７】
クラッド３０は溶液を塗布硬化することも可能であり、フィルム状材料を使用することも可能である。
【００３８】
また、製造工程中、各部材の運搬を容易にするため、図２および図４に示すような支持媒体５０を使用する事ができる。
【００３９】
支持媒体５０は光基板を製造する支持媒体となる。
支持媒体５０には、目的に応じ任意の材料を使用することができる。具体的には、シリコン基板、ガラス基板、セラミック基板、金属金型、有機材料型、プリント配線基板、有機材料基材、有機材料フィルムなどが使用できるが、これに限定されるものではない。
【００４０】
図６に示すように、支持媒体５０上の任意の位置に、外形加工パターンの凸型を形成することができる。
外形加工パターンは、任意の形状を取ることができる。具体的には、円形ピンタイプ、四角柱タイプ、微小角度傾斜した反射減衰タイプ、任意角度傾斜した光路変換構造タイプ、自由構造タイプなどが使用できるが、これに限定されるものではない。
【００４１】
支持媒体５０に外形加工パターンの凸型を形成する場合、型１２に同様の凹型を形成することにより、外形加工パターンの凹凸型をアライメント基準とすることができる。
外形加工パターンが微細で凹凸を合わせることが困難な場合、別にピンアライメントパターンを作成し、これを基準にアライメントすることができる。
【００４２】
以下に本発明を実施例をもって説明するが、本発明がそれらに限定解釈されるものではない。また、以下の記載では光配線をマルチモードとして説明するが、必ずしもマルチモードである必要はない。
【００４３】
（実施例１）
まず図５（ａ）に示すように、ガラスウェハ５０（支持媒体）上にクラッド３０（NTT-AT製紫外線硬化型エポキシ光導波路材料）を塗布した。
【００４４】
次に図５（ｂ）に示すように、光配線パターンおよび外形加工パターンを有するシリコーン型１２を押し当て、ＵＶ照射することでクラッドを硬化、シリコーン型を剥離した。
【００４５】
次に図５（ｃ）に示すように、クラッドの光配線パターンにコア材（NTT-AT製紫外線硬化型エポキシ光導波路材料）を塗布、ＵＶ照射することで光配線２０を形成することで光基板を得た。
【００４６】
次に図５（ｄ）に示すように、光基板をガラスウェハ５０から剥離し、各ピースを分離した。
【００４７】
光配線パターンに対し、外形加工パターンが±５ミクロンの精度で形成されていることを確認した。
【００４８】
（実施例２）
まず図６（ａ）に示すように、外形加工パターンの凸型を有するガラスウェハ５０上にクラッド材（NTT-AT製紫外線硬化型エポキシ光導波路材料）を塗布しクラッド３０を形成した。
【００４９】
次に図６（ｂ）に示すように、外形加工パターンの凹凸型をアライメント基準として、光配線パターンおよび外形加工パターンを有するシリコーン型１２をクラッド３０に押し当て、ＵＶ照射することでクラッド３０を硬化、シリコーン型１２を剥離した。
【００５０】
次に図６（ｃ）に示すように、クラッド３０の光配線パターンにコア材（NTT-AT製紫外線硬化型エポキシ光導波路材料）を塗布、ＵＶ照射することで光配線２０を形成することで光基板を得た。
【００５１】
次に図６（ｄ）に示すように、光基板をガラスウェハ５０から剥離し、各ピースを分離した。
【００５２】
光配線パターンに対し、外形加工パターンが±５ミクロンの精度で形成されていることを確認した。
【００５３】
（実施例３）
まず図７（ａ）に示すように、光配線パターンおよび外形加工パターンを有するシリコーン型１０にコア（NTT-AT製紫外線硬化型エポキシ光導波路材料）を充填、ＵＶ照射することで光配線２０を形成した。
【００５４】
次に図７（ｂ）に示すように、外形加工パターンの凸型を有するガラスウェハ５０上にクラッド３０（NTT-AT製紫外線硬化型エポキシ光導波路材料）を塗布した。
【００５５】
次に図７（ｃ）に示すように、外形加工パターンの凹凸型をアライメント基準として、シリコーン型１０をクラッド３０に押し当て、ＵＶ照射することでクラッド３０を硬化、シリコーン型１０から光配線２０を剥離することで光基板を得た。
【００５６】
次に図７（ｄ）に示すように、光基板をガラスウェハ５０から剥離し、各ピースを分離した。
【００５７】
光配線パターンに対し、外形加工パターンが±５ミクロンの精度で形成されていることを確認した。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の光基板の製造方法の説明図である。
【図２】本発明の光基板の製造方法の説明図である。
【図３】本発明の光基板の製造方法の説明図である。
【図４】本発明の光基板の製造方法の説明図である。
【図５】本発明の光基板の製造方法（実施例１）の説明図である。
【図６】本発明の光基板の製造方法（実施例２）の説明図である。
【図７】本発明の光基板の製造方法（実施例３）の説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０…型、１２…型、２０…コア、３０…クラッド、５０…支持媒体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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