(57)【要約】【課題】テープが薄い場合であっても、プッシャプレートとテープクランパによりテープを挟み込んだときに、テープが撓むことのないオートハンドラを提供する。【解決手段】デバイステープに実装したＩＣデバイスを測定部に搬送し、測定部においてプッシャプレートとテープクランパにより前記ＩＣデバイスを挟み込んだ状態でコンタクトプッシャによりプローブに押し付けて測定を行い、測定した前記ＩＣデバイスを搬出するオートハンドラにおいて、  前記測定部において、前記デバイステープを前記プッシャプレートに吸引する吸引手段を設けた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイステープに実装したＩＣデバイスを測定部に搬送し、測定部においてプッシャプレートとテープクランパにより前記ＩＣデバイスを挟み込んだ状態でコンタクトプッシャによりプローブに押し付けて測定を行い、測定した前記ＩＣデバイスを搬出するオートハンドラにおいて、
前記測定部において、前記デバイステープを前記プッシャプレートに吸引する吸引手段を設けたことを特徴とするオートハンドラ。
【請求項２】
前記吸引手段は前記プッシャプレートの底部に設けた複数の吸引穴と、この複数の吸引穴に連通する配管と、この配管に接続された吸引ポンプで構成されていることを特徴とする請求項１に記載のオートハンドラ。
【請求項３】
前記吸引穴は前記ＩＣデバイスが測定のために所定の位置に停止したときに、前記ＩＣデバイスが形成された部分の周辺位置に設けたことを特徴とする請求項１または２に記載のオートハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイステープに実装されたＩＣデバイスのテストを行うオートハンドラに関し、デバイステープの撓みを防止することによりテスト効率の向上を図ったオートハンドラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
オートハンドラは、デバイステープに実装したＩＣデバイスを測定部に搬送し、ＩＣテスタからの分類信号に従って、例えば、良品、不良品に分類する装置である。デバイステープとしては従来から用いられているＴＣＰ（Tape  carrier  Package）テープと、近年用いられるようになったＣＯＦ（Chip on film）が知られている。
【０００３】
ＣＯＦテープは、ＴＣＰテープと比較し、下記の特徴を備えている。
（１）ＴＣＰのテープ厚さは５０ｕｍ以上であったのに対し、ＣＯＦは、テープの厚さが４０ｕｍ以下である。
（２）ＴＣＰではパターン裏面よりの実装が主流であったのに対し、ＣＯＦは、ＩＣチップ実装とパターン面が同一である。
（３）ＴＣＰでは折り曲げ窓での短絡があったのに対し、ＣＯＦは、折り曲げ用の窓が無く、裏面での電気的な短絡がない。
このような特徴を備えるＣＯＦは、例えば、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の駆動用ＩＣ等に利用されている。
【０００４】
オートハンドラに関する先行技術としては下記の特許文献がある。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−６４４４６号公報
【特許文献２】特開２００２−２２８７１２号公報
【特許文献３】特開２００６−３１７２４０号公報
【０００６】
図２（ａ）はデバイステープの一般的な構成例を示したもので、１はＣＯＦ、１ａはリード、１ｂはＩＣデバイス（チップ）、１ｃはテストパッド、１ｄはレジスト、１ｅは基準マークである。ＣＯＦ１において、リード１ａでＩＣデバイス１ｂとテストパッド１ｃが電気的に接続され、ＩＣデバイス１ｂの周辺には、リード１ａとＩＣデバイス１ｂを保護するためのレジスト１ｄと基準マーク１ｅが形成されている。
【０００７】
図２（ｂ）は従来のオートハンドラの概略構成を正面から示したもので、２はコンタクトプッシャ（測定部）、２ａはプッシャプレート、３はプローブカード、４はプローブ、５はテープクランパ、６ａ，６ｂはデバイステープ１を搬送するテープ搬送用部材である。なお図では省略するが、オートハンドラの構成部品としてはプローブカード３の下方に配置されるテストヘッド、ＣＯＦテープ１の基準マークを撮影するカメラユニット（撮像装置）、照明装置などを備えている。
【０００８】
このオートハンドラは、具体的には、ＣＯＦテープ１をテープ搬送用部材６ｂから測定部（コンタクトプッシャ）２の所定の箇所に搬送し、実装したＩＣデバイス（ＩＣチップ）１ｂを分類する。例えば、不良品は図示しないパンチによる穴あけ処理により分類される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、先にも述べたようにＣＯＦテープの厚さは４０ｕｍ以下のため長手方向へのたるみのほか幅方向に対しての撓みが発生することがある。
図２（ｃ）は図２（ｂ）のＡ方向から見た要部Ｘ−Ｘ断面図であり、プッシャプレート２ａとテープクランパ５により挟み込まれる直前の状態を示している。図に示すようにテープクランパ５にはテープに実装されたデバイス１ｂの凸部を避けるために逃げ溝７が形成されている。
【００１０】
図２（ｄ）は同様に図２（ｂ）のＡ方向から見た要部Ｘ−Ｘ断面図であり、テープ１の位置決めが終了し、テストのためにプッシャプレート２ａとテープクランパ５により挟み込んだときに、デバイステープ１が逃げ溝７側に撓んでいる状態を示している。
このような撓みが生じるとオープン不良やショート不良が発生してしまうため、再コンタクト（再測定）を行わねばならず、測定効率が悪化するという問題があった。
本発明はデバイステープ１が薄い場合であっても、プッシャプレート２ａとテープクランパ５により挟み込んだときに、デバイステープが撓むことのないオートハンドラを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、請求項１記載のオートハンドラの発明においては、
デバイステープに実装したＩＣデバイスを測定部に搬送し、測定部においてプッシャプレートとテープクランパにより前記ＩＣデバイスを挟み込んだ状態でコンタクトプッシャによりプローブに押し付けて測定を行い、測定した前記ＩＣデバイスを搬出するオートハンドラにおいて、
前記測定部において、前記デバイステープを前記プッシャプレートに吸引する吸引手段を設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２においては請求項１に記載のオートハンドラにおいて、
吸引手段は前記プッシャプレートの底部に設けた複数の吸引穴と、この複数の吸引穴に連通する配管と、この配管に接続された吸引ポンプで構成されていることを特徴とする。
請求項３においては請求項１または２に記載のオートハンドラにおいて、
前記吸引穴は前記ＩＣデバイスが測定のために所定の位置に停止したときに、前記ＩＣデバイスが形成された部分の周辺位置に設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項１，２によれば、次のような効果がある。
測定部において、デバイステープをプッシャプレートの底部に設けた複数の吸引穴により吸引するようにしたので、デバイステープの幅方向の撓みを防止することができ、効率のよい測定が可能となる。
【００１４】
請求項３によれば、吸引穴はＩＣデバイスが形成された部分の周辺位置に設けたので、ＩＣデバイスによって吸引か妨げられることがなく確実な吸着が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１（ａ〜ｄ）は本発明の一実施例を示すもので、図２と同一要素には同一符号を付している。図１（ａ）の正面図において、１０はプッシャプレートに２ａの側面に設けた複数（図では４箇所）の横穴である。１１は横穴１０に連通してプッシャプレートに２ａの底部に設けられた複数（２０箇所・・・ｄ図参照）の縦穴である。
【００１６】
図１（ｂ）は図１（ａ）の矢印Ａ方向から見た要部Ｘ−Ｘ断面図であり、プッシャプレート２ａがテープクランパ５に接触する直前の状態を示している。
１２は一端が継手１３（図１ｄ参照）を介して横穴１０に接続された吸着エア用配管であり、他端は吸引ポンプ（図示省略）に接続されている。このときはデバイステープ１は撓んだ状態となっている。
【００１７】
図１（ｃ）は同様に図１（ａ）の矢印Ａ方向から見た要部Ｘ−Ｘ断面図であり、テープ１の位置決めが終了し、吸引ポンプが起動されてテープ１がプッシャプレート２ａ側に吸引されて密着した後、テストのためにプッシャプレート２ａとテープクランパ５によりテープを挟み込んだ状態を示している。
【００１８】
図１（ｄ）は図１（ａ）に示す矢印Ｂ方向から見た底面図であり、ＩＣデバイス１ｂを２個同時にテストしようとした場合を示している。図において、吸引穴はＩＣデバイス１ｂが形成された位置を避けて形成されている。このように吸引穴１１をＩＣデバイス１ｂが形成された箇所の周辺に設けるのはＩＣデバイス１ｂによるテープの凹凸による吸着不良を防止するためである。
【００１９】
以上説明したように、本発明によれば、測定部において、デバイステープをプッシャプレートに吸引する吸引手段を設けたことで、デバイステープの幅方向の撓みを防止することができ、効率のよい測定が可能なオートハンドラを実現することができる。
【００２０】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。たとえば、吸引穴や横穴の数や形状はテストするデバイス形状や同時に検査する数により任意に形成することができる。また、本実施例ではデバイステープをＣＯＦテープとして説明したがＴＣＰテープであってもよい。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のオートハンドラの一実施例を示す要部構成図である。
【図２】従来のオートハンドラの一例を示す要部構成図である。
【符号の説明】
【００２２】
１      デバイステープ
１ａ    リード
１ｂ    デバイス（ＩＣチップ）
１ｃ    テストパッド
１ｄ    レジスト
１ｅ    基準マーク
２      コンタクトプッシャ
２ａ    プッシャプレート
３      プローブカード
４      プローブ
５      テープクランパ
６      テープ搬送用部材
７      逃げ溝
１０    横穴
１１    吸引穴
１２    吸引エア用配管
１３    継手
【図１】
2008224399.tif 000003
【図２】
2008224399.tif 000004