(57)【要約】【課題】検査に使用するプローブの高い耐久性を実現することができ、プローブ及びパッド間の安定した電気的接続を実現することができるアレイ基板及びアレイ基板を備えた表示装置を提供する。【解決手段】アレイ基板は、基板と、基板上に形成された複数の画素と、基板上に形成されているとともに複数の画素に接続された複数の配線と、複数の配線に接続された複数のパッドと、を備えている。複数のパッドは、プローブが接触されるプロービング領域Ｒ３と、プロービング領域に重ねられ、基板上方に向かって突出した複数の接触部と、をそれぞれ有している。【選択図】      図９
2008286949.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に形成された複数の画素と、
前記基板上に形成されているとともに前記複数の画素に接続された複数の配線と、
前記複数の配線に接続された複数のパッドと、を備え、
前記複数のパッドは、プローブが接触されるプロービング領域と、前記プロービング領域に重ねられ、前記基板上方に向かって突出した複数の接触部と、をそれぞれ有しているアレイ基板。
【請求項２】
前記複数のパッドは、矩形状に形成され、長軸を有し、
前記複数の接触部は、前記パッドの周縁に位置し、矩形枠状の接触面を有した第１突出部と、前記長軸に沿った方向に対向した前記第１突出部の一対の辺に間隔を置いて設けられた第２突出部と、でそれぞれ形成されている請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項３】
前記第２突出部の中心は、前記パッドを前記長軸に沿った方向に二等分する位置から外れている請求項２に記載のアレイ基板。
【請求項４】
前記複数のパッドは、矩形状に形成され、長軸を有し、
前記複数の接触部は、前記パッドの周縁に位置し、矩形枠状の接触面を有した第１突出部と、前記長軸に沿った方向に対向した前記第１突出部の一対の辺に間隔を置いて設けられているとともに互いに間隔を置いて設けられた複数の第２突出部と、でそれぞれ形成されている請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項５】
前記複数の接触部は、同一平面上に位置し、平坦な接触面を有している請求項１に記載のアレイ基板。
【請求項６】
基板と、前記基板上に形成された複数の画素と、前記基板上に形成されているとともに前記複数の画素に接続された複数の配線と、前記複数の配線に接続された複数のパッドと、を有したアレイ基板と、
前記複数の画素に重ねられているとともに前記複数のパッドから外れて前記アレイ基板に隙間を置いて対向配置された対向基板と、を備え、
前記複数のパッドは、プローブが接触されるプロービング領域と、前記プロービング領域に重ねられ、前記基板上方に向かって突出した複数の接触部と、をそれぞれ有している表示装置。
【請求項７】
前記複数のパッドは、矩形状に形成され、長軸を有し、
前記複数の接触部は、前記パッドの周縁に位置し、矩形枠状の接触面を有した第１突出部と、前記長軸に沿った方向に対向した前記第１突出部の一対の辺に間隔を置いて設けられた第２突出部と、でそれぞれ形成されている請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
前記複数のパッドは、矩形状に形成され、長軸を有し、
前記複数の接触部は、前記パッドの周縁に位置し、矩形枠状の接触面を有した第１突出部と、前記長軸に沿った方向に対向した前記第１突出部の一対の辺に間隔を置いて設けられているとともに互いに間隔を置いて設けられた複数の第２突出部と、でそれぞれ形成されている請求項６に記載の表示装置。
【請求項９】
前記複数の接触部は、同一平面上に位置し、平坦な接触面を有している請求項６に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、アレイ基板及びこのアレイ基板を備えた表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、画像表示を行う表示装置として、例えば液晶表示装置が用いられている。液晶表示装置は、アレイ基板と、このアレイ基板に隙間を置いて対向配置された対向基板と、アレイ基板及び対向基板間に挟持された液晶層と、を備えている。
【０００３】
アレイ基板は、ガラス基板を備えている。ガラス基板上に、複数の画素が形成されている。ガラス基板上には、画素を区画するように複数の信号線及び複数の走査線が交差して配設されている。信号線及び走査線の端部には、それぞれパッドが形成されている。
【０００４】
各画素は、信号線及び走査線の各交差部近傍に設けられたＴＦＴ（薄膜トランジスタ）と、このＴＦＴに接続された画素電極と、この画素電極に接続された補助容量素子とを有している。補助容量素子は、走査線に平行な補助容量線と、この補助容量線に絶縁膜を介して重なった補助容量電極とを有し、補助容量電極は画素電極と接続されている。
【０００５】
一方、対向基板は、他のガラス基板を備えている。他のガラス基板上には対向電極等が形成されている。アレイ基板及び対向基板は、所定の隙間を保持して対向配置されている。アレイ基板及び対向基板間には液晶層が形成されている。
【０００６】
昨今では、画像表示に対する要求が年々高度になり、画像表示の際、画素の不良で生じる点欠陥が無いもの（少ないもの）が要求されている。この点欠陥の画素の有無を検査する際、パッドにプローブを接触させ、プローブからパッドに検査用の電圧を印加することにより検査を行う（例えば、特許文献１参照）。これにより、点欠陥の画素を検出することができ、点欠陥の画素の修理が可能となる。
【０００７】
プローブとしては、点接触型のプローブと、線接触型のプローブとが知られている。点接触型のプローブは、先端が尖り、わずかな接触面を有している。線接触型のプローブは、先端が長方形であり、点接触型のプローブよりも大きい接触面を有している。
【特許文献１】特開２０００−１５５３２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上記点接触型のプローブは、先端の面積が小さい。点接触型のプローブを用いた場合、パッドへの接触回数が多くなると、先端が潰れるか又は削られる恐れがある。このため、点接触型のプローブは耐久性が悪く、プローブ及びパッド間の接続不良を招く恐れがある。
【０００９】
一方、上記線接触型のプローブは、先端の面積が大きい。線接触型のプローブを用いた場合、プローブは耐久性に優れている。しかし、この場合、プローブ及びパッド間の接続を良好にするため、プローブに大きな圧力をかけながらプローブをパッドに接触させる必要がある。プローブにかける圧力次第では、プローブ及びパッド間に接続不良を招く恐れがある。  
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、検査に使用するプローブの高い耐久性を実現することができ、プローブ及びパッド間の安定した電気的接続を実現することができるアレイ基板及びアレイ基板を備えた表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係るアレイ基板は、
基板と、
前記基板上に形成された複数の画素と、
前記基板上に形成されているとともに前記複数の画素に接続された複数の配線と、
前記複数の配線に接続された複数のパッドと、を備え、
前記複数のパッドは、プローブが接触されるプロービング領域と、前記プロービング領域に重ねられ、前記基板上方に向かって突出した複数の接触部と、をそれぞれ有している。
【００１１】
また、本発明の他の態様に係る表示装置は、
基板と、前記基板上に形成された複数の画素と、前記基板上に形成されているとともに前記複数の画素に接続された複数の配線と、前記複数の配線に接続された複数のパッドと、を有したアレイ基板と、
前記複数の画素に重ねられているとともに前記複数のパッドから外れて前記アレイ基板に隙間を置いて対向配置された対向基板と、を備え、
前記複数のパッドは、プローブが接触されるプロービング領域と、前記プロービング領域に重ねられ、前記基板上方に向かって突出した複数の接触部と、をそれぞれ有している。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、検査に使用するプローブの高い耐久性を実現することができ、プローブ及びパッド間の安定した電気的接続を実現することができるアレイ基板、アレイ基板を備えた表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しながらこの発明に係る表示装置及び表示装置の製造方法を液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法に適用した実施の形態について詳細に説明する。始めに、液晶表示装置の構成を説明する。
【００１４】
図１、図２及び図３に示すように、液晶表示装置は、アレイ基板１と、対向基板２と、液晶層３と、第１光学部７と、第２光学部８とを備えている。アレイ基板１及び対向基板２は、所定の隙間を置いて互いに対向配置されている。液晶層３は、アレイ基板１及び対向基板２間に挟持されている。第１光学部７は、アレイ基板１の外面に配置されている。第２光学部８は、対向基板２の外面に配置されている。
【００１５】
アレイ基板１及び対向基板２は、矩形状に形成されている。アレイ基板１は、対向基板２よりも大きな寸法に形成されている。アレイ基板１及び対向基板２は、３辺がほぼ重なるように配置されている。対向基板２の残る一辺では、アレイ基板１が対向基板２よりも外側へ延出している。アレイ基板１及び対向基板２は、互いに重なった領域の中央に位置した矩形状の表示領域Ｒ１と、表示領域の周囲に位置した枠状の非表示領域Ｒ２とを有している。
【００１６】
ここで、対向基板２の一辺から延出したアレイ基板１の延出部は、非表示領域Ｒ２を構成している。そして、非表示領域Ｒ２は、液晶表示装置の額縁領域の一部を形成している。
【００１７】
アレイ基板１は、透明な絶縁基板として、例えばガラス基板４ａを備えている。表示領域Ｒ１において、ガラス基板４ａ上には、複数の配線として、複数の走査線１５及びこれら走査線に直交した複数の信号線１６が配置されている。ガラス基板４ａ上には、複数の配線として、走査線１５に平行な複数の補助容量線１７が形成されている。この実施の形態において、隣り合う２本の信号線１６及び隣り合う２本の補助容量線１７で囲まれた各領域には画素１８が形成されている。これらの画素１８はマトリクス状に配置されている。
【００１８】
次に、画素１８を１つ取り出して詳述する。  
図３乃至図７に示すように、画素１８は、画素電極２１、この画素電極２１に接続されたスイッチング素子としてのＴＦＴ（薄膜トランジスタ）２２及び補助容量素子２３を有している。
【００１９】
まず、ＴＦＴ２２について説明する。  
ガラス基板４ａ上にチャネル層３１が形成され、ガラス基板及びチャネル層上にはゲート絶縁膜３２が形成されている。チャネル層３１と重なった各々の領域において、ゲート絶縁膜３２上には、走査線１５の一部を延出したゲート電極３３が形成されている。ゲート絶縁膜３２及びゲート電極３３上には層間絶縁膜３５が成膜されている。
【００２０】
層間絶縁膜３５上には、信号線１６及びコンタクト配線３８が形成され、これら信号線及びコンタクト配線は、ゲート絶縁膜３２及び層間絶縁膜３５の一部を貫通してチャネル層３１にそれぞれ接続されている。ここで、信号線１６は、チャネル層３１のソース領域ＲＳに接続され、コンタクト配線３８は、チャネル層３１のドレイン領域ＲＤに接続されている。
【００２１】
次いで、補助容量素子２３について説明する。補助容量線１７及び補助容量電極４１は補助容量素子２３を形成している。  
ガラス基板４ａ上に形成されたゲート絶縁膜３２上には、導電材料として、例えばアルミニウムにより、補助容量線１７が形成されている。ゲート絶縁膜３２及び補助容量線１７上には層間絶縁膜３５が形成されている。
【００２２】
補助容量素子２３において、層間絶縁膜３５上には、補助容量線１７に重なった補助容量電極４１と、この補助容量電極に接続された接続配線４４とが形成されている。接続配線４４は、補助容量素子２３及び画素電極２１を接続するとともに切断可能に形成されている。
【００２３】
上記した補助容量電極４１、接続配線４４、コンタクト配線３８及び信号線１６は、同一の導電材料で形成されている。補助容量電極４１、接続配線４４及びコンタクト配線３８は一体に形成されている。
【００２４】
ＴＦＴ２２及び補助容量素子２３が形成されたガラス基板４ａ上には、赤色、緑色及び青色の複数の着色層５１が形成されている。着色層５１上には複数の画素電極２１が形成されている。画素電極２１は、隣合う２本の信号線１６及び隣合う２本の補助容量線１７に周縁を重ねて形成されている。
【００２５】
着色層５１及び画素電極２１が形成されたガラス基板４ａ上に、複数のスペーサとして、複数の柱状スペーサ５が形成されている。着色層５１、画素電極２１及び柱状スペーサ５が形成されたガラス基板４ａ上に、配向膜５２が形成されアレイ基板１を形成している。
【００２６】
一方、非表示領域Ｒ２において、図１、図２及び図１０に示すように、ガラス基板４ａ上には、配線部４８及び各種パッドが形成されている。配線部４８は、絶縁膜と、各種配線とで形成されている。各種パッドは、配線部４８上に形成され、各種配線に電気的に接続されている。
【００２７】
詳述すると、非表示領域Ｒ２において、ガラス基板４ａ上には、絶縁膜が成膜されている。絶縁膜上に、各種配線として、複数の信号線１６と、複数のＩＣ制御信号線７１と、複数の外側配線７２とが形成されている。信号線１６は、表示領域Ｒ１から外れて延出して形成されている。ＩＣ制御信号線７１は、信号線１６に沿った方向に延出し、ガラス基板４ａの端部まで延出して形成されている。
【００２８】
外側配線７２は、信号線１６及びＩＣ制御信号線７１の外側に位置し、ガラス基板４ａの端部まで延出して形成されている。外側配線７２は、非表示領域Ｒ２のガラス基板４ａ上に形成された図示しない走査線駆動回路（シフトレジスタ）に接続されている。なお、走査線駆動回路は、画素１８と同時に同一材料を用いて形成されている。外側配線７２に走査線駆動信号を与えることにより、走査線駆動回路を介して走査線１５に駆動信号を与えることができる。
【００２９】
また、絶縁膜上に、各種パッドとして、複数の第１パッド８０と、複数の第２パッド９１と、複数の第３パッド９２と、複数の第４パッド９３とが形成されている。  
第１パッド８０は、ＩＣ実装領域に設けられ、信号線１６の端部に電気的に接続されている。第１パッド８０は、信号線１６と直交した方向に並べられ、千鳥状に設けられている。第１パッド８０は、画素１８検査用のパッド及び後述するＩＣ９ボンディング用のパッドとして機能している。
【００３０】
第２パッド９１は、ＩＣ実装領域に設けられ、ＩＣ制御信号線７１の一端に電気的に接続されている。第２パッド９１は、第１パッド８０同様、信号線１６と直交した方向に並べられている。第２パッド９１は、後述するＩＣ９ボンディング用のパッドとして機能している。
【００３１】
第３パッド９２は、ＯＬＢパッドであり、ガラス基板４ａの端部に設けられ、ＩＣ制御信号線７１の他端に電気的に接続されている。第３パッド９２は、ガラス基板４ａの端部に並んでいる。第３パッド９２には、ＩＣ制御信号が与えられる。
【００３２】
第４パッド９３は、ＯＬＢパッドであり、第３パッド９２の外側で、ガラス基板４ａの端部に設けられ、外側配線７２の一端に電気的に接続されている。第４パッド９３は、ガラス基板４ａの端部に並んでいる。上記したように、第４パッド９３は、走査線駆動信号が与えられるパッドであるが、画素１８検査用のパッドとしても機能している。
【００３３】
ガラス基板４ａのＩＣ実装領域には、信号線駆動回路として、ＩＣ（集積回路）９が実装されている。ＩＣ９の表面に、複数の電極９ａ、９ｂが設けられている。ＩＣ９は、ＡＣＦ（異方性導電膜）４９を介してガラス基板４ａ上に載置されている。電極９ａは、ＡＣＦ４９を介して第１パッド８０に導通されている。電極９ｂは、ＡＣＦ４９を介して第２パッド９１に導通されている。上記したことから、第１パッド８０及び第２パッド９１と、ＩＣ９とはＡＣＦ４９を介して接続されている。
【００３４】
画像を表示する際、第３パッド９２にＩＣ制御信号を与え、第４パッド９３に走査線駆動信号を与える。これにより、ＩＣ制御信号は、ＩＣ制御信号線７１及び第２パッド９１を介してＩＣ９に与えられる。すると、ＩＣ９は、映像信号を、第１パッド８０を介して信号線１６に与える。
【００３５】
図１、図６及び図７に示すように、対向基板２は、透明な絶縁基板として、例えばガラス基板４ｂを備えている。ガラス基板４ｂには、対向電極６１及び配向膜６２が順に形成され、対向基板２を形成している。
【００３６】
図１に示すように、アレイ基板１及び対向基板２間の隙間は、柱状スペーサ５により保持されている。アレイ基板１及び対向基板２は、これら両基板の周縁部に配置されたシール材６により接合されている。
【００３７】
図１、図５及び図６に示すように、第１光学部７は、ガラス基板４ａの外面に配置されている。この実施の形態において、第１光学部７は偏光板で形成されている。第２光学部８は、ガラス基板４ｂの外面に配置されている。この実施の形態において、第２光学部８は、偏光板で形成されている。第２光学部８の外面は表示面Ｓ１である。
【００３８】
次に、検査パッドとして、上記第１パッド８０について詳述する。  
図１、図８及び図９に示すように、第１パッド８０は、矩形状に形成され、信号線１６の延出した方向に長軸を有している。第１パッド８０は、後述するプローブ１０２が接触されるプロービング領域Ｒ３と、プロービング領域Ｒ３に重ねられ、ガラス基板４ａ上方（対向基板２側）に向かって突出した複数の接触部と、をそれぞれ有している。
【００３９】
接触部は、第１パッド８０の周縁に位置し、矩形枠状の接触面Ｓ２を有した第１突出部８１と、上記長軸に沿った方向に対向した第１突出部８１の一対の辺に間隔を置いて設けられているとともに互いに間隔を置いて設けられた複数の第２突出部８２と、でそれぞれ形成されている。第２突出部８２は、矩形状の接触面Ｓ３を有している。第１突出部８１及び第２突出部８２の表面（接触面）は、同一平面上に位置している。接触面Ｓ２、Ｓ３は、平坦である。
【００４０】
次に、上述した液晶表示装置の製造方法について説明する。  
まず、ガラス基板４ａ上に、複数の画素１８と、複数の画素に接続された複数の走査線１５、複数の信号線１６及び複数の補助容量線１７と、複数のＩＣ制御信号線７１と、複数の外側配線７２と、複数の第１パッド８０と、複数の第２パッド９１と、複数の第３パッド９２と、複数の第３パッド９２と、複数の第４パッド９３等を形成し、アレイ基板１を形成する。また、対向基板２を形成する。
【００４１】
次いで、対向基板２の周縁に沿って、例えば熱硬化型のシール材６を印刷する。続いて、アレイ基板１及び対向基板２を複数の柱状スペーサ５により所定の隙間を保持して対向配置し、アレイ基板１及び対向基板２の周縁部同士をシール材６により貼り合せる。その後、シール材６を加熱して硬化させ、アレイ基板１及び対向基板２を固定する。
【００４２】
続いて、シール材の一部に形成された図示しない液晶注入口から液晶を注入する。その後、液晶注入口を図示しない封止材により封止する。これにより、アレイ基板１及び対向基板２間に液晶が封入され、液晶層３が形成される。次いで、アレイ基板１の外面に第１光学部（偏光板）７を貼り付け、対向基板２の外面に第２光学部（偏光板）８を貼り付ける。
【００４３】
次に、上記したように形成された液晶表示装置の表示状態を検査するため、画素１８の欠陥の有無を検査する。検査する際、まず、複数の第１パッド８０及び複数の第４パッド９３に線接触型のプローブ１０２を接触（当接）させる。図１１に示すように、第１パッド８０においては、プロービング領域Ｒ３に重なった第２突出部８２の接触面Ｓ３に先端が１００μｍ×２０μｍのプローブ１０２を接触させる。なお、プローブ１０２は、検査装置のフレキシブル基板１００上に形成された配線１０１に接続されている。
【００４４】
なお、プロービング領域Ｒ３は、第１突出部８１及び第２突出部８２に重なっていても良く、この場合、第１突出部８１の接触面Ｓ２及び第２突出部８２の接触面Ｓ３にプローブ１０２を接触させれば良い。
【００４５】
続いて、プローブ１０２を介して複数の第１パッド８０及び複数の第４パッド９３に検査用の電圧を印加する。これにより、第１パッド８０に印加された電圧は、信号線１６を介して画素１８の補助容量素子２３に与えられ、補助容量素子２３に電荷が蓄積される。その後、蓄積された電荷を、第１パッド８０及びプローブ１０２を介して読み出すことにより、各画素１８の欠陥の有無を検出する。検査した画素１８に欠陥が生じていない場合、液晶表示装置の検査は終了する。
【００４６】
検査した画素１８に欠陥が生じ修復が必要な場合は、欠陥の画素１８を修理する工程に移行する。この場合、まず、処理対象として、欠陥の画素１８を有した液晶表示装置を用意する。この実施の形態において、１つ又は複数の画素１８の補助容量線１７及び補助容量電極４１間にショートが発生している場合について説明する。補助容量線１７及び補助容量電極４１間のショートは、例えば補助容量線１７が隆起したり、図示しない異物が両者間に存在することにより生じる。補助容量線１７及び補助容量電極４１間にショートが発生した画素１８は、常時、明表示又は黒色表示となり、欠陥の画素１８となる。
【００４７】
図１２に示すように、続いて、製造装置のレーザ照射口１０１と欠陥の画素１８とを対向させる。続いて、製造装置を用い、レーザ光を修理個所に照射する。この実施の形態において、修理個所とは、欠陥の画素１８の接続配線４４である。
【００４８】
これにより、レーザ光は集光して接続配線４４に照射され、レーザ光が照射された接続配線は分断され、画素電極２１と補助容量素子２３とは電気的に切り離される。このため、ショートした補助容量素子２３から画素電極２１への不所望な電荷の流入又は画素電極２１からショートした補助容量素子２３への不所望な電荷の流出を無くすことができ、欠陥が生じている画素１８は修理される。
【００４９】
欠陥が生じている画素１８が複数存在する場合は、複数の欠陥の画素にそれぞれ上記したようにレーザ光を照射すれば良い。修理された画素１８は、ＴＦＴ２２から画素電極２１に与えられる駆動信号により駆動し画像表示に寄与することになる。そして、修復が必要な画素１８の修理が終わると液晶表示装置の修理工程は終了する。
【００５０】
次いで、第１パッド８０及び第２パッド９１に重なったアレイ基板１のＩＣ実装領域にＡＣＦ４９を設けた後、ＩＣ実装領域にＩＣ９を載置し、ＡＣＦ４９をアレイ基板１及びＩＣ９で挟み込む。そして、ＡＣＦ４９を加熱して、ＩＣ９をアレイ基板１に圧着させる。これにより、ＩＣ９は、アレイ基板１に接続され、接着される。電極９ａ及び第１パッド８０、並びに電極９ｂ及び第２パッド９１は、それぞれＡＣＦ４９を介して電気的に接続される。  
アレイ基板１にＩＣ９が実装されると、液晶表示装置の製造は終了する。
【００５１】
以上のように構成された液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法によれば、第１パッド８０は、プロービング領域Ｒ３に重ねられ、ガラス基板４ａ上方に向かって突出した第１突出部８１及び複数の第２突出部８２をそれぞれ有している。第１突出部８１は、接触面Ｓ２を有し、第２突出部８２は、接触面Ｓ３を有している。第１突出部８１及び第２突出部８２の表面（接触面）は、同一平面上に位置している。接触面Ｓ２、Ｓ３は、平坦である。
【００５２】
このため、プロービング領域Ｒ３に重なった第２突出部８２の接触面Ｓ３に線接触型のプローブ１０２を接触させれば良い。プローブ１０２は、プローブが重なったプロービング領域Ｒ３全体に接触されるのではなく、プロービング領域Ｒ３の第２突出部８２にのみ接触される。このため、プローブ１０２を第１パッド８０に高い圧力で押圧することなく、プローブ及び第１パッド８０間の安定した電気的接続を実現することができる。
【００５３】
また、点接触型のプローブを用いた場合に比べ、この実施の形態のプローブ１０２及び第１パッド８０の接触面積は大きい。プロービングの回数が多くなっても、プローブ１０２先端が潰れたり、削られたりすることを防止できるため、検査に使用するプローブの高い耐久性を実現することができる。
【００５４】
プローブ１０２は点接触型のプローブではないため、プロービングにより、第１パッド８０が潰れたり、削られたりすることは無い。上記したように、プロービングによる第１パッド８０へのダメージは殆ど無く、第１パッド８０は殆ど変形しない。このため、第１パッド８０を、ＩＣ９ボンディング用のパッドとして用いても、ＡＣＦ４９を介して行う第１パッド８０及び電極９ａの接続に支障をきたすことは無い。
【００５５】
上記したことから、検査に使用するプローブの高い耐久性を実現することができ、プローブ及びパッド間の安定した電気的接続を実現することができる液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法を得ることができる。
【００５６】
なお、この発明は上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化可能である。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００５７】
例えば、図１３及び図１４に示すように、第１パッド８０は、複数の第２突出部８２ではなく、１つの第２突出部８２を有していても良い。接触部は、第１パッド８０の周縁に位置し、矩形枠状の接触面Ｓ２を有した第１突出部８１と、上記長軸に沿った方向に対向した第１突出部８１の一対の辺に間隔を置いて設けられた第２突出部８２と、でそれぞれ形成されている。
【００５８】
第２突出部８２の中心は、第１パッド８０を上記長軸に沿った方向に二等分する位置から外れている。第２突出部８２は、矩形状の接触面Ｓ３を有している。第１突出部８１及び第２突出部８２の表面（接触面）は、同一平面上に位置している。接触面Ｓ２、Ｓ３は、平坦である。
【００５９】
図１５に示すように、第１パッド８０に線接触型のプローブ１０２を接触させる際、プロービング領域Ｒ３に重なった第１突出部８１の接触面Ｓ２及び第２突出部８２の接触面Ｓ３に先端が１００μｍ×２０μｍのプローブ１０２を接触させれば良い。これにより、上述した実施の形態と同様、検査に使用するプローブの高い耐久性を実現することができ、プローブ及びパッド間の安定した電気的接続を実現することができる液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法を得ることができる。
【００６０】
プローブ１０２の先端が特定の大きさ及び形状を有しているものではないため、プロービング領域Ｒ３の大きさ及び形状は、特に限定されるものではなく、プローブ１０２の先端が良好に接触されるよう設けられていれば良い。プロービング領域Ｒ３に設けられる接触部は、上述した第１突出部８１及び第２突出部８２に限定されるものではない。プロービング領域Ｒ３には複数の接触部が設けられていれば良く、接触部の接触面の形状は矩形状に限定されるものではない。
【００６１】
第１パッド８０に限らず、第４パッド９３がプロービング領域及び複数の接触部を有していても良く、プロービングが行われる検査用のパッドが、プロービング領域及び複数の接触部を有していれば良い。
【００６２】
パッドを介して行う検査は、対向基板２と貼り合わされる前のアレイ基板１に行っても良く、アレイ基板１が図示しないマザーガラスから切り取られる前（マザーガラスにスクライブラインを引く前）に行っても良い。
【００６３】
プロービング領域及び複数の接触部を有した検査用のパッドは、ガラス基板４ａから外れたマザーガラス上、すなわち、スクライブライン外側のマザーガラス上に位置していても良い。
【００６４】
また、上記図８及び図９の変形例として、図１６及び図１７のように、第１パッド８０上の周縁８１パッド内に縦方向と横方向に複数の突出部８２を配列しても良い。
【００６５】
この場合、第２突出部８２の接触面Ｓ３と線接触型のプローブ１０２は、図１８に示すように接触し、上記同様の効果がある。
【００６６】
この発明は、液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法に限らず、有機ＥＬ表示装置等、他の表示装置及び表示装置の製造方法であれば適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態に係る液晶表示装置を対向基板側から見た平面図。
【図２】図１に示した液晶表示装置の一部を示す断面図。
【図３】図１及び図２に示したアレイ基板の平面図、特にアレイ基板の表示領域を示す平面図。
【図４】上記アレイ基板の一部を示す拡大平面図。
【図５】図４に示したアレイ基板の等価回路図。
【図６】図４に示した液晶表示装置の線Ｂ−Ｂ断面図。
【図７】図４に示した液晶表示装置の線Ｃ−Ｃ断面図。
【図８】図１に示したアレイ基板の線Ａ−Ａ断面図であり、特に、第１パッドを示す断面図。
【図９】上記第１パッドを示す平面図。
【図１０】図２に示したアレイ基板及びＩＣを拡大して示す断面図。
【図１１】上記第１パッドにプローブを接触している状態を示す断面図。
【図１２】図４及び図７に示した接続配線にレーザ光が照射されている状態を示す液晶表示装置の断面図。
【図１３】上記第１パッドの変形例を示す断面図。
【図１４】図１３に示した第１パッドを示す平面図。
【図１５】図１３及び図１４に示した第１パッドにプローブを接触している状態を示す断面図。
【図１６】第１パッドの別の変形例を示す断面図。
【図１７】図１６に示した第１パッドを示す平面図。
【図１８】図１６及び図１７に示した第１パッドにプローブを接触している状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００６８】
１…アレイ基板、２…対向基板、３…液晶層、４ａ，４ｂ…ガラス基板、９…ＩＣ、９ａ，９ｂ…電極、１５…走査線、１６…信号線、１７…補助容量線、１８…画素、２１…画素電極、２２…ＴＦＴ、２３…補助容量素子、４９…ＡＣＦ、７１…ＩＣ制御信号線、７２…外側配線、８０…第１パッド、８１…第１突出部、８２…第２突出部、９１…第２パッド、９２…第３パッド、９３…第４パッド、１０２…プローブ、Ｒ１…表示領域、Ｒ２…非表示領域、Ｒ３…プロービング領域、Ｓ２，Ｓ３…接触面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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