(57)【要約】【課題】大型のガラス基板の搬送に好適に利用でき、しかも搬送時における基板の振動を抑制して、高速搬送が可能であるとともに、消費電力を少なくしてランニングコストを低減し得る基板浮上搬送装置を提供する。【解決手段】平板状の基板Ｇを気体により浮上させながら搬送する基板浮上搬送装置１０であって、基板Ｇの搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して緩傾斜させた搬送台１１と、搬送台１１の上面に形成した吹出口１２へ気体を供給して基板Ｇを浮上させる気体供給手段と、搬送台１１の傾斜方向の下側縁に沿って設けた搬送ベルト１４で基板Ｇの下側縁を支持しながら、基板Ｇを搬送方向へ送り駆動する基板送り手段１５とを備えた。【選択図】図１
2008172046.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の基板を気体により浮上させながら搬送する基板浮上搬送装置であって、
前記基板の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して緩傾斜させた搬送台と、
前記搬送台の上面に形成した吹出口へ気体を供給して基板を浮上させる気体供給手段と、
前記搬送台の傾斜方向の下側縁に沿って設けた搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を搬送方向へ送り駆動する基板送り手段と、
を備えたことを特徴とする基板浮上搬送装置。
【請求項２】
前記搬送台を水平方向に対して３°〜１５°の範囲内で緩傾斜させた請求項１記載の基板浮上搬送装置。
【請求項３】
前記搬送台の傾斜角度を調整する角度調整手段を設けた請求項１又は２記載の基板浮上搬送装置。
【請求項４】
前記基板送り手段として、搬送台の下側縁に間隔をあけて配置した1対のプーリと、前記1対のプーリに張設した搬送ベルトと、一方のプーリを回転駆動する回転駆動手段とを有するものを用いた請求項１〜３のいずれか１項記載の基板浮上搬送装置。
【請求項５】
前記気体供給手段に、基板の支持部側を開口させて搬送ベルトを取り囲むカバー部材と、カバー部材内の気体を吸引するブロワと、吸引した気体に含まれる粉塵を集塵するフィルタとを設けた請求項１〜４のいずれか１項記載の基板浮上搬送装置。
【請求項６】
前記搬送台に、基板の移動軌跡の上縁に沿って遮蔽板を設け、基板の上縁からの気体の排出を抑制する請求項１〜５のいずれか１項記載の基板浮上搬送装置。
【請求項７】
上流側の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して搬送台を傾動させる第１傾動手段と、下流側の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して搬送台を傾動させる第２傾動手段を設け、前記基板送り手段として、第１傾動手段により傾動させた搬送台の下側縁に沿って設けた第１搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第１基板送り手段と、第２傾動手段により傾動させた搬送台の下側縁に沿って設けた第２搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第２基板送り手段を設け、基板の搬送方向を９０度切り換え可能となした請求項１〜６記載の基板浮上搬送装置。
【請求項８】
前記搬送台を一方の対角線方向の支軸を中心として、支軸を挟む搬送台の一方の側縁を緩傾斜させた第１傾動姿勢と、支軸を挟む搬送台の他方の側縁を緩傾斜させた第２傾動姿勢とに傾動させる傾動手段を設け、前記基板送り手段として、第１傾動姿勢において搬送台の下側縁に沿って設けた第１搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第１基板送り手段と、第２傾動姿勢において搬送台の下側縁に沿って設けた第２搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第２基板送り手段を設け、基板の搬送方向を９０度切り換え可能となした請求項１〜６記載の基板浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（LCD）やプラズマディスプレイ（PDP）などの平面ディスプレイに用いられる、大型ガラス基板を浮上させて搬送するのに好適な基板浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどの平面ディスプレイで用いられるガラス基板の搬送装置として、ガラス基板を略水平にして搬送するもの（例えば、特許文献１参照。）や、ガラス基板を水平面に対して約８０°の傾斜角度で支持しながら搬送するもの（例えば、特許文献２参照。）や、ガラス基板を水平面に対して約１０°の傾斜角度で支持しながら搬送するもの（例えば、特許文献３参照。）などが提案されている。
【０００３】
特許文献１記載の搬送装置では、搬送方向に間隔をあけて設けた複数のローラからなるローラユニットをガラス基板の両側部に対応させて設け、両ローラユニット間に上方に向けて開口する気体の吹出口を有する浮上チャンバを設け、ガラス基板の両側部をローラで支持するとともに、ガラス基板の幅方向の途中部を吹出口から供給される気体で支持しながら、ガラス基板を搬送するように構成されている。
【０００４】
特許文献２、３記載の搬送装置では、傾斜状に配置される搬送台の下端部に搬送方向に沿って間隔をあけて複数のローラを設け、搬送台の高さ方向の途中部に搬送方向に沿って間隔をあけて複数の浮上ユニットを設け、ガラス基板の下端をローラで支持するとともに、浮上ユニットからガラス基板へ向けて気体を吹き付けながら、ガラス基板を搬送するように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−６３６４３号公報
【特許文献２】特開２００２−３０８４２２号公報
【特許文献３】特開２００４−４３１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１記載の搬送装置は、従来から広く採用されているものであるが、ガラス基板の両端部をローラで支持する関係上、寸法の異なるガラス基板を混流させるような搬送ラインには適用できないという問題がある。一方、特許文献２記載の搬送装置では、寸法の異なるガラス基板を混流させる搬送ラインにも適用できるが、ガラス基板の水平面に対する傾斜角度を大きく設定すると、ガラス基板の自重によりガラス基板の途中部が撓んで、ガラス基板に形成した配線やパターンなどが破損する事が懸念される。このため、プラズマディスプレイ用のガラス基板などのように、板厚が２ｍｍ程度以上の場合には使用できるが、液晶ディスプレイ用のガラス基板などのように、板厚が１ｍｍ以下の場合には用いる事が困難であった。特に、最近では、液晶ディスプレイ用のガラス基板は、１辺が２ｍ以上で、板厚が０．７ｍｍ以下になっており、変形が著しく大きくなることから、製品品質に影響するという問題もある。
【０００７】
一方、特許文献３記載の搬送装置のように、傾斜を小さくする事も提案されているが、この場合には、ガラス基板の下端を支持するローラへの負荷が小さくなるため、ガラス基板の変形は小さくなるが、ガラス基板とローラとの摩擦力が小さくなるため、停止精度が悪くなり、所定の位置で停止させることが困難になるとともに、加速にも時間が掛かり、搬送速度を上げられず、実用化は難しかった。
【０００８】
また、特許文献２、３記載の搬送装置のように、ローラでガラス基板の下端を支持して搬送すると、ガラス基板の搬送時に、ガラス基板が隣接するローラに乗り移るときに振動が発生する。このため、ガラス基板のコーナー部が隣接するローラに当たり破損することが多いという問題がある。特に、板厚が薄い液晶ディスプレイ用のガラス基板の搬送においては、この影響が特に大きく、傾斜させて搬送することが困難であった。
【０００９】
更にまた、特許文献１〜３記載の発明では、ガラス基板を浮上させるために高圧の気体を用いるため、吹出口に対してコンプレッサー等で気体を圧縮供給する必要があり、搬送装置の製作コストが高くなったり、消費電力が大きくなってランニングコストが高くなったりするという問題がある。
【００１０】
一方、ガラス基板の搬送方向を切り換える箇所に設置する搬送装置としては、ガラス基板を搬送台に支持させた状態で、搬送台全体を所望の角度だけ回転させる回転手段を設けたものや、ガラス基板を傾斜させて搬送する搬送装置においては、搬送台を一旦水平にして隣接する搬送台上にガラス基板を載せ代えた後、再度搬送台を設定角度まで傾動させるように構成したものが採用されるが、搬送台を回転させる場合には、搬送装置の構成が複雑になり、製作コストが高くなるという問題があり、搬送台を一旦水平にする場合には、その分時間の無駄が発生し、搬送速度が全体として遅くなるという問題がある。
【００１１】
本発明の目的は、大型のガラス基板の搬送に好適に利用でき、しかも搬送時における基板の振動を抑制して、高速搬送が可能であるとともに、消費電力を少なくしてランニングコストを低減し得る基板浮上搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る基板浮上搬送装置は、平板状の基板を気体により浮上させながら搬送する基板浮上搬送装置であって、前記基板の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して緩傾斜させた搬送台と、前記搬送台の上面に形成した吹出口へ気体を供給して基板を浮上させる気体供給手段と、前記搬送台の傾斜方向の下側縁に沿って設けた搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を搬送方向へ送り駆動する基板送り手段とを備えたものである。尚、浮上用の気体としては、空気に限定されるものではなく、窒素ガス、希ガス等であってもよい。
【００１３】
この搬送装置では、緩傾斜させた搬送台上に基板を載せて搬送することになるが、このとき気体供給手段により搬送台の吹出口から気体を供給して、搬送台と基板間に空気膜を形成して基盤を浮上させるとともに、搬送ベルトで基板の下縁部を支持した状態で搬送ベルトを駆動し、基板を浮かした状態で搬送することになる。そして、このように搬送ベルトで基板の下縁部を支持しながら基板を搬送するので、寸法の異なる基板であっても搬送することが可能となり、混流生産にもそのまま適用できるとともに、ローラで基板を支持する場合と比較して、基板に対する振動を少なくできる。また、搬送台の傾斜角度を緩傾斜に設定しているので、搬送ベルトに作用する基板の荷重を少なくでき、これによっても基板に対する振動を少なくできるので、大型のガラス基板を搬送する場合であっても、振動による基板の破損を防止しつつ基板の搬送速度を高めることが可能となる。更に、搬送ベルトで基板を搬送するので、基板と搬送ベルトとの接触面積を十分に確保することが可能となり、基板を作業ステーション等の適正位置に応答性良く停止できることからも、搬送速度が高めることが可能となる。また、搬送ベルトで基板を搬送するので、搬送ベルトを搬送台の下側縁に接近配置させることで、搬送台及び基板の下側縁からの気体の排出を搬送ベルトで抑制することが可能となる。このため、浮上用の気体の供給量を少なくして、気体供給手段の消費電力を少なくできるとともに、消費電力の少ないブロワを用いて基板を浮上させることも可能となるので、大幅な消費電力の削減が可能となり、搬送装置のランニングコストを低減できる。
【００１４】
ここで、前記搬送台を水平方向に対して３°〜１５°の範囲内で緩傾斜させることが好ましい実施の形態である。このような傾斜角度に設定すると、適度な荷重を搬送ベルトに作用させて、基板に作用する振動を少なくしつつ、搬送ベルトと基板間における滑りを防止して、搬送速度を高めることが可能となる。
【００１５】
搬送台の傾斜角度を調整する角度調整手段を設けることもできる。このように構成すると、搬送台の傾斜角度を基板重量に応じた最適な傾斜角度に調整することが可能となる。また、角度調整手段をエアシリンダなどのアクチュエータで構成して、搬送台を緩傾斜姿勢と水平姿勢とに切換え可能に構成すると、この搬送装置を用いて作業ステーションへの基板の移載も行うことが可能となる。
【００１６】
前記基板送り手段としては、搬送台の下側縁に間隔をあけて配置した1対のプーリと、前記1対のプーリに張設した搬送ベルトと、一方のプーリを回転駆動する回転駆動手段とを有するものを用いることができる。
【００１７】
前記気体供給手段に、基板の支持部側を開口させて搬送ベルトを取り囲むカバー部材と、カバー部材内の気体を吸引するブロワと、吸引した気体に含まれる粉塵を集塵するフィルタとを設けることも好ましい実施の形態である。このように構成することで、搬送ベルトと基板との接触により発生する粉塵を確実に集塵して、基板に対して粉塵が付着することによる製品欠陥の発生を防止することができる。
【００１８】
前記搬送台に、基板の移動軌跡の上縁に沿って遮蔽板を設け、基板の上縁からの気体の排出を抑制することが好ましい。つまり、浮上用の気体が基板の上端部と搬送台との間から排出されると、基板の上端部、特にコーナー部において浮上高さが不十分になり、乗り移り時などの振動で、基板が搬送台に接触して破損することも考えられる。本発明では、遮蔽板を設けることで、浮上用の気体の流出を防止して、基板のコーナー部の浮上高さを十分に確保することで、基板の破損を防止できる。また、浮上用の気体の使用量を少なくして、気体供給手段の消費電力を少なくし、搬送装置のランニングコストを一層低減できる。
【００１９】
上流側の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して搬送台を傾動させる第１傾動手段と、下流側の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して搬送台を傾動させる第２傾動手段を設け、前記基板送り手段として、第１傾動手段により傾動させた搬送台の下側縁に沿って設けた第１搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第１基板送り手段と、第２傾動手段により傾動させた搬送台の下側縁に沿って設けた第２搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第２基板送り手段を設け、基板の搬送方向を９０度切り換え可能とすることも好ましい実施の形態である。このように構成することで、搬送台全体を回転させたり、搬送台を一旦水平にしたりすることなく、基板の搬送方向を切り換えることができ、搬送速度を向上できる。
【００２０】
前記搬送台を一方の対角線方向の支軸を中心として、支軸を挟む搬送台の一方の側縁を緩傾斜させた第１傾動姿勢と、支軸を挟む搬送台の他方の側縁を緩傾斜させた第２傾動姿勢とに傾動させる傾動手段を設け、前記基板送り手段として、第１傾動姿勢において搬送台の下側縁に沿って設けた第１搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第１基板送り手段と、第２傾動姿勢において搬送台の下側縁に沿って設けた第２搬送ベルトで基板の下側縁を支持しながら、基板を送り駆動する第２基板送り手段を設け、基板の搬送方向を９０度切り換え可能とすることも好ましい実施の形態である。このように構成することで、基板の搬送方向を切換え可能に構成しつつ、搬送装置の構成を簡略にして、搬送装置の製作コストを低減できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る基板浮上搬送装置によれば、このように搬送ベルトで基板の下縁部を支持しながら基板を搬送するので、寸法の異なる基板であっても搬送することが可能となり、混流生産にもそのまま適用できるとともに、ローラで基板を支持する場合と比較して、基板に対する振動を少なくできる。また、搬送台の傾斜角度を緩傾斜に設定しているので、搬送ベルトに作用する基板の荷重を少なくでき、これによっても基板に対する振動を少なくできるので、大型のガラス基板を搬送する場合であっても、振動による基板の破損を防止しつつ基板の搬送速度を高めることが可能となる。更に、搬送ベルトで基板を搬送するので、基板と搬送ベルトとの接触面積を十分に確保することが可能となり、基板を作業ステーション等の適正位置に応答性良く停止できることからも、搬送速度が高めることが可能となる。また、搬送ベルトで基板を搬送するので、搬送ベルトを搬送台の下側縁に接近配置させることで、搬送台及び基板の下側縁からの気体の排出を搬送ベルトで抑制することが可能となる。このため、浮上用の気体の供給量を少なくして、気体供給手段の消費電力を少なくできるとともに、消費電力の少ないブロワを用いて基板を浮上させることも可能となるので、大幅な消費電力の削減が可能となり、搬送装置のランニングコストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどで用いられるガラス基板などの基板Ｇの搬送ラインは、基板Ｇを直線的に搬送する第１搬送装置１０と、基板Ｇの搬送方向を９０°切換える第２搬送装置５０とを備え、第１搬送装置１０と第２搬送装置５０とを任意に組み合わせることで、所望の作業ステーションへ基板Ｇを搬送できるように構成されている。
【００２３】
先ず、基板Ｇを直線的に搬送する第１搬送装置１０について説明する。
第１搬送装置１０は、図１〜図４に示すように、基板Ｇの搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して緩傾斜させた搬送台１１と、搬送台１１の上面に形成した吹出口１２へ気体を供給して基板Ｇを浮上させる気体供給手段１３と、搬送台１１の傾斜方向の下側縁に沿って設けた搬送ベルト１４で基板Ｇの下側縁を支持しながら、基板Ｇを搬送方向へ送り駆動する基板送り手段１５とを備えている。
【００２４】
搬送台１１を緩傾斜状態に支持するため、基板Ｇの搬送ラインにはそれに沿って設置台１６が設置され、設置台１６の上面の搬送方向に沿った一方の側部には搬送方向に延びる支軸１７が設けられ、設置台１６の上方には支軸１７を中心として傾動自在に支持された支持台１８が設けられている。支持台１８の上側には搬送台１１が複数の支柱１９を介して支持台１８と略平行に設けられ、支軸１７とは反対側の側部間において設置台１６と支持台１８には角度調整手段２０が設けられ、搬送台１１はこの角度調整手段２０により支軸１７を中心として傾動操作されて、水平面に対する傾斜角度θを調整できるように構成されている。傾斜角度θは、３°未満の場合には、基板Ｇと搬送ベルト１４間において滑りが発生し、基板Ｇの搬送速度を高めることができず、１５°を超えると、搬送ベルト１４に作用する基板Ｇの重量が大きくなって、基板Ｇに振動が発生しやすくなるので、３°〜１５°、好ましくは４°〜１０°の範囲に設定することになる。
【００２５】
角度調整手段２０としては、本実施の形態では、図２に示すように、右螺子を形成した螺子軸２１と、左螺子を形成した螺子軸２２と、両螺子軸２１、２２を連結するナット部材２３とを備え、螺子軸２１、２２の他端部を搬送台１１と支持台１８とに連結し、ナット部材２３を回転操作することで角度調整できるように構成したものを採用したが、これ以外の任意の構成の角度調整手段２０を採用することも可能である。尚、角度調整手段２０として、エアシリンダなどのアクチュエータにより、搬送台１１を支持ベースとともに水平姿勢と緩傾斜姿勢とに姿勢切換可能となしたものを採用することもできる。この場合には、この第１搬送装置１０を基板Ｇを水平にして作業ステーションへ移載する搬送装置として好適に利用できる。
【００２６】
基板送り手段１５について説明すると、緩傾斜姿勢の支持台１８の下側部には３つの支持脚２４が立設固定され、支持脚２４の上部には搬送方向に延びる支持フレーム２５が架設状に設けられている。支持フレーム２５の両端には駆動プーリ２６と従動プーリ２７とが搬送台１１の下側縁に対面させて設けられ、両プーリ２６、２７間には搬送ベルト１４が張設され、搬送ベルト１４は搬送台１１の下側縁に沿って僅かな隙間をあけて設けられている。駆動プーリ２６の近くには電動モータ２８を主体としてなる駆動手段２９が設けられ、従動プーリ２７の近くには搬送ベルト１４の張力を調整するための張力調整用プーリ３０が設けられている。そして、駆動プーリ２６が駆動手段２９により回転駆動されると、搬送ベルト１４の上側のベルト部分が搬送方向に移動するように構成されている。搬送ベルト１４として、ステンレスなどの金属ベルト、樹脂ベルト、ゴムベルトなどを採用できる。
【００２７】
搬送ベルト１４と搬送台１１間の隙間は極力小さくなるように設定され、基板Ｇと搬送台１１間の気体が、基板Ｇと搬送台１１の下端部間から、搬送ベルト１４と搬送台１１の下端部間の隙間を通じて外部に排出されることを防止して、基板Ｇの下端部が搬送台１１に接触することを防止しつつ、浮上用の気体の供給量を少なくして、気体供給手段１３の消費電力を少なくできるように構成されている。
【００２８】
気体供給手段１３について説明すると、搬送台１１が、搬送方向に設定間隔おきに設けた、搬送方向と直交方向に延びる複数の気体供給管３１と、気体供給管３１の上側に固定した複数枚の搬送板３２とで構成され、搬送板３２には各気体供給管３１に対応させて気体供給管３１内に連通する複数の吹出口１２が形成され、気体供給管３１に供給された気体は吹出口１２から搬送台１１上に排出され、基板Ｇと搬送板３２間に排出された気体により、搬送台１１と基板Ｇ間に気体膜が形成されて、基板Ｇが搬送台１１から浮上するように構成されている。隣接する搬送板３２間には隙間３３が形成され、搬送板３２と基板Ｇ間に供給された気体の一部をこの隙間３３から外部へ排出することで、基板Ｇの中央部が上方へ撓まないように構成されている。
【００２９】
気体供給管３１に対して気体を供給するため、図４に示すように、気体供給管３１にはエアチューブ３４が接続され、エアチューブ３４はソレノイドバルブ３５を介して分配ダクト３６に接続されている。気体供給管３１に接続するエアチューブ３４の本数は任意に設定できるが、気体供給管３１内の気体の圧力が一様になるよう、即ち基板Ｇと搬送台１１間に一様な厚さの気体膜が形成されるように、気体供給管３１の複数個所にエアチューブ３４を接続することが好ましい。
【００３０】
分配ダクト３６にはエアフィルタ３７を介してブロワ３８が接続され、ブロワ３８から供給された気体は、エアフィルタ３７により粉塵が除去された後、分配ダクト３６に供給されて、ソレノイドバルブ３５の操作によりエアチューブ３４を経て吹出口１２から排出されるように構成されている。
【００３１】
図３、図４に示すように、ソレノイドバルブ３５を開閉操作するための制御手段３９が設けられ、搬送台１１には搬送方向に間隔をあけて基板Ｇを検知する基板検知器４０が設けられている。制御手段３９では、基板検知器４０からの信号を受けて、基板Ｇの搬送方向前側のソレノイドバルブ３５を順次開操作するとともに、基板Ｇの搬送方向後側のソレノイドバルブ３５を順次閉操作するように構成されている。このように、基板Ｇの存在しない部分で気体を吹出す部分を最小限にすることができる為、気体の供給量を少なくして、ブロワ３８の消費電力を節減できるとともに、クリーンルーム内の清浄空気の下降気流を乱すことを防止できる。
【００３２】
尚、基板検知器４０は各気体供給管３１に対応させて設けることが、気体の無駄を極力少なくする上で好ましいが、制御系が複雑になるとともに、気体供給管３１毎にソレノイドバルブ３５を設けて、その開閉を操作する必要があり、第１搬送装置１０の製作コストが高くなるので、基板検知器４０を、例えば搬送方向に間隔をあけて搬送台１１に２つ設けるとともに、第１搬送装置１０の複数の気体供給管３１への気体の供給停止を操作する１つのソレノイドバルブ３５を設けて、隣接する上流側の搬送装置から当該搬送装置に基板Ｇを移載するときに、当該搬送装置のソレノイドバルブ３５を開操作し、当該搬送装置への移載完了後に、隣接する搬送装置のソレノイドバルブ３５を閉操作するなど、搬送装置毎に制御することが好ましい。また、搬送装置内において、気体の供給停止を切換える場合でも、搬送方向の前半部と後半部に区分けするなど、２〜３の領域に搬送台１１を区分けして、気体の供給停止を制御することが好ましい。
【００３３】
また、図４に示すように、搬送ベルト１４と基板Ｇとの接触部分を除く搬送ベルト１４と、プーリ２６、２７、３０、を取り囲むカバー部材４１を設け、このカバー部材４１の内部空間を略閉鎖空間に構成するとともに、このカバー部材４１の内部空間をブロワ３８の気体吸込口に接続して、搬送ベルト１４と基板Ｇとの接触により発生した粉塵を、エアフィルタ３７で集塵するように構成することも好ましい実施の形態である。
【００３４】
更に、搬送方向の略全長にわたって搬送台１１上に遮蔽板４２を設け、この遮蔽板４２を基板Ｇの上端部の搬送軌跡の上側に沿って、基板Ｇの上端部に接近配置させ、基板Ｇと搬送台１１間に供給した気体が、基板Ｇの上端部と搬送台１１との隙間から外部に排出されることを防止するように構成することも好ましい実施の形態である。このように構成すると、基板Ｇの浮上用の気体の消費量を極力少なくしてランニングコストを一層節減することが可能となる。また、この遮蔽板４２を搬送台１１に沿って上下方向に移動させるエアシリンダなどのアクチュエータを設け、基板Ｇの寸法に応じて遮蔽板４２の高さ位置を調整できるようにすると、寸法の異なる基板Ｇの混流生産に好適である。尚、遮蔽板４２を設けない場合には、基板Ｇの上端部が搬送台１１と接触しないように、基板Ｇの上端部付近に吹出口１２を形成して、基盤Ｇの上端部と搬送台１１間へ浮上用の気体を供給することが好ましい。
【００３５】
次に、基板Ｇの搬送方向を９０°切換える第２搬送装置５０について説明する。
この第２搬送装置５０は、図１、図５〜図７に示すように、基板Ｇを載置して搬送するための搬送台１１Ａと、搬送台１１Ａの上面に形成した吹出口１２へ気体を供給して基板Ｇを浮上させる気体供給手段（図示略）と、上流側の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して搬送台１１Ａを傾動させる第１傾動手段５１と、下流側の搬送方向に沿った一側を中心に水平方向に対して搬送台１１Ａを傾動させる第２傾動手段５２と、第１傾動手段５１により傾動させた搬送台１１Ａの下側縁に沿って設けた搬送ベルト１４で基板Ｇの下側縁を支持しながら、基板Ｇを送り駆動する第１基板送り手段１５Ａと、第２傾動手段５２により傾動させた搬送台１１Ａの下側縁に沿って設けた搬送ベルト１４で基板Ｇの下側縁を支持しながら、基板Ｇを送り駆動する第２基板送り手段１５Ｂとを備えている。
【００３６】
搬送台１１Ａと、気体供給手段と、第１及び第２基板送り手段１５Ａ、１５Ｂとは、寸法は異なるが前記第１搬送装置１０の搬送台１１と、気体供給手段１３と、基板送り手段１５とそれぞれ同じ構成なので、対応する部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００３７】
基板Ｇの搬送方向を９０°切換える部位には設置台５３が設置され、設置台５３の上方には上部支持台５４と下部支持台５５とが上下に間隔をあけて設けられ、搬送台１１Ａは上部支持台５４の上側に複数の支柱１９を介して上部支持台５４と平行に固定支持されている。
【００３８】
第１傾動手段５１について説明すると、上流側の搬送方向に沿った下部支持台５５の上面の一方の側部には上流側搬送方向に延びる第１支軸５６が設けられ、第１支軸５６とは反対側の側部において上部支持台５４と下部支持台５５間にはエアシリンダからなる第１アクチュエータ５７が設けられ、上部支持台５４は、この第１アクチュエータ５７により下部支持台５５と平行な平行姿勢と、第１支軸５６を中心に下部支持台５５に対して緩傾斜させた緩傾斜姿勢とに姿勢切換可能に構成されている。
【００３９】
第２傾動手段５２について説明すると、下流側の搬送方向に沿った設置台５３の上面の一方の側部には下流側搬送方向に延びる第２支軸５８が設けられ、第２支軸５８とは反対側の側部において下部支持台５５と設置台５３間にはエアシリンダからなる第２アクチュエータ５９が設けられ、下部支持台５５は、この第２アクチュエータ５９により水平姿勢と、第２支軸５８を中心に水平面に対して緩傾斜させた緩傾斜姿勢とに姿勢切換可能に構成されている。
【００４０】
この第２搬送装置５０では、図８（ａ）に示すように、第２アクチュエータ５９により下部支持台５５を水平姿勢に保持した状態で、第１アクチュエータ５７を駆動して、上部支持台５４とともに搬送台１１Ａを緩傾斜姿勢に保持し、上流側の第１搬送装置１０の搬送台１１と第２搬送装置５０の搬送台１１Ａとを同一平面内に配置させた状態で、第１搬送装置１０から第２搬送装置５０へ基板Ｇを搬送することになる。このとき第１基板送り手段１５Ａは駆動するが第２基板送り手段１５Ｂは停止させた状態とする。そして、基板Ｇが第２搬送装置５０の搬送台１１Ａの角部まで移動した状態で、第１基板送り手段１５Ａを停止させるとともに、図８（ａ）に矢印で示すように、第２アクチュエータ５９により下部支持台５５を緩傾斜姿勢に傾動させ、図８（ｂ）に示すように、基板Ｇの搬送台１１Ａの角部保持させた状態とし、その後、図８（ｂ）に矢印で示すように、第１アクチュエータ５７により上部支持台５４を下部支持台５５と平行な平行姿勢に回動させて、図８（ｃ）に示すように、搬送台１１Ａを下流側の搬送装置１０の搬送台１０と同一平面内に配置させてから、第２基板送り手段１５Ｂを作動させて、搬送台１１Ａの角部に保持された基板Ｇを下流側の第１搬送装置１０に搬送することになる。
【００４１】
こうして、上記作業を繰り返して基板Ｇの搬送方向を９０°切換えて、複数枚の基板Ｇを順次搬送することになるが、この第２搬送装置５０では、搬送台１１Ａを一旦水平にする必要がないので、効率的に基板Ｇを搬送することが可能となる。
【００４２】
尚、本実施の形態では、第１及び第２傾動手段５１、５２を用いて基板Ｇの搬送方向を切換えたが、第１及び第２傾動手段５１、５２に代えて、図９に示す第２搬送装置５０Ａのように、上流側搬送方向と下流側搬送方向の挟角側における搬送台１１Ａの対角線と平行な支軸６０を搬送台１１Ａの下側に設け、この支軸６０に対して搬送台１１Ａを傾動させる傾動手段（図示略）を設けることもできる。この第２搬送装置５０Ａでは、支軸６０を中心に搬送台１１Ａを傾動させて、図９（ａ）に示すように、上流側の第１搬送装置１０の搬送台１１と同一平面内に配置した第１姿勢と、図９（ｂ）に示すように、下流側の第１搬送装置１０の搬送台１１と同一平面内に配置した第２姿勢とに姿勢切換えすることになる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】搬送方向を切換える部位に設けた３台の搬送装置の平面図
【図２】第１搬送装置における図１のＡ矢視図
【図３】第１搬送装置における図１のＢ矢視図
【図４】第１搬送装置の基板送り手段と搬送台の要部縦断面図
【図５】第２搬送装置における図１のＣ矢視図
【図６】第２搬送装置における図１のＤ矢視図
【図７】第２搬送装置における図１のＥ矢視図
【図８】搬送方向の切換え時における作動説明図
【図９】他の構成による搬送方向の切換え時における作動説明図
【符号の説明】
【００４４】
１０    搬送装置            １１    搬送台
１２    吹出口              １３    気体供給手段
１４    搬送ベルト          １５    基板送り手段
１６    設置台              １７    支軸
１８    支持台              １９    支柱
２０    角度調整手段        ２１    螺子軸
２１    螺子軸              ２２    螺子軸
２３    ナット部材          ２４    支持脚
２５    支持フレーム        ２６    駆動プーリ
２７    従動プーリ          ２８    電動モータ
２９    駆動手段            ３０    張力調整用プーリ
３１    気体供給管          ３２    搬送板
３３    隙間                ３４    エアチューブ
３５    ソレノイドバルブ    ３６    分配ダクト
３７    エアフィルタ        ３８    ブロワ
３９    制御手段            ４０    基板検知器
４１    カバー部材          ４２    遮蔽板
１１Ａ  搬送台              １５Ａ  基板送り手段
１５Ｂ  基板送り手段
５０    搬送装置            ５１    第１傾動手段
５２    第２傾動手段        ５３    設置台
５４    上部支持台          ５５    下部支持台
５６    第１支軸            ５７    第１アクチュエータ
５８    第２支軸            ５９    第２アクチュエータ
６０    支軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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