(57)【要約】【課題】異方導電性テープの貼着に要する時間の短縮を図るとともに、異方導電性テープの貼着位置の位置ずれの発生を軽減する。【解決手段】積層テープ２４の搬送方向と直交する方向に移動自在なＹ軸ステージ２８上に、カッタ３０を有するカッタユニット２９と、基板３５を保持する基板ステージ３４とを設け、カッタユニット２９と基板ステージ３４とは、積層テープ２４の搬送方向と直交する方向に離間して、かつ積層テープ２４の搬送方向におけるカッタ３０の刃の位置が、基板３５において異方導電性テープを貼着する領域における積層テープ２４の搬送方向の上流側の端と一致するように配置される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異方導電性テープとセパレータとを積層した積層テープを供給するテープ供給手段と、
前記積層テープを所定方向に搬送するテープ搬送手段と、
前記テープ供給手段および前記テープ搬送手段の下方に配置され、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動自在なステージと、
このステージ上に設けられ、前記異方導電性テープを前記積層テープの搬送方向について所定の長さに切断する切断手段と、
基板を保持し、前記ステージ上において、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に前記切断手段と離間して、かつ前記積層テープの搬送方向における前記異方導電性テープの前記切断手段による切断位置が、前記基板において前記異方導電性テープが貼着される領域の前記積層テープの搬送方方向の上流側の端に一致する位置になるように設けられた基板保持手段と、
前記切断手段により切断された前記異方導電性テープを前記基板に圧着する圧着手段と、
前記切断手段による前記異方導電性テープの切断後、切断された前記異方導電性テープを前記基板に対向配置するように、前記ステージを前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動させ、前記ステージの移動後、切断された前記異方導電性テープを前記圧着手段により前記基板に圧着するように制御する制御手段と
を備えることを特徴とする異方導電性テープの貼着装置。
【請求項２】
前記圧着手段は、前記異方導電性テープを押圧する押圧面の前記積層テープの搬送方方向の上流側の端が、前記基板において前記異方導電性テープが貼着される領域の前記積層テープの搬送方方向の上流側の端と一致し、かつ前記押圧面の前記積層テープの搬送方向の長さが、前記基板において前記異方導電性テープが貼着される領域の前記積層テープの搬送方方向の長さ以上であることを特徴とする請求項１に記載の異方導電性テープの貼着装置。
【請求項３】
異方導電性テープとセパレータとを積層した積層テープを所定方向に搬送する工程と、
前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動自在なステージ上に設けられた切断手段により、前記異方導電性テープを前記積層テープの搬送方向について所定の長さに切断する工程と、
前記ステージを前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動し、切断された前記異方導電性テープを、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に前記切断手段と離間して前記ステージ上に設けられた基板保持手段によって保持された基板に対向配置する工程と、
切断された前記異方導電性テープを前記基板に圧着する工程とを含み、
前記異方導電性テープを切断する工程は、前記積層テープの搬送方向における切断位置が、前記基板において前記異方導電性テープが貼着される領域の前記積層テープの搬送方方向の上流側の端に一致する位置になるようにして前記異方導電性テープを切断する工程であることを特徴とする電気機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に異方導電性テープを貼着する異方導電性テープの貼着装置およびこの異方導電性テープの貼着装置を用いた電気機器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶ディスプレイの製造工程において、液晶セル上にＩＣ（Integrated Circuit）やＦＰＣ（フレキシブル基板：Flexible Printed Circuit）等の電子部品を実装するために、ＡＣＦ（異方導電性膜：Anisotropic Conductive Film）からなる異方導電性テープが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この異方導電性テープを液晶セル等の基板に貼着する工程の第１例について、図１４〜図２０を参照して説明する。従来の異方導電性テープの貼着装置は、図１４に示すように、基板１を保持する基板ステージ２と、カッタユニット３と、圧着ツール６とを備える。
【０００４】
基板ステージ２とカッタユニット３の上方には、異方導電性テープ７とセパレータ８とを積層した積層テープが、図示しないテープ供給部から供給され、積層テープは、ガイドローラ９，１０にガイドされて図１４に矢印で示す方向に搬送される。カッタユニット３は、カッタ４とカッタステージ５とを備え、カッタ４は、カッタステージ５に設けられた図示しない駆動源によって上下方向に駆動され、積層テープのうち異方導電性テープ７のみを切断する。カッタユニット３は、基板ステージ２に対して、積層テープの搬送方向の上流側に設けられている。圧着ツール６は、積層テープを挟んで基板ステージ２に対向して設けられ、図示しない駆動源によって上下方向に駆動可動になっている。
【０００５】
図１４に示すような、異方導電性テープ７がカッタ４の位置で切断されている状態から貼着工程を開始すると、まず、図１５に示すように、貼着する長さ分だけ積層テープを搬送方向に送る。次に、図１６に示すように、カッタ４を上昇させて異方導電性テープ７を切断する。次に、図１７に示すように、切断された異方導電性テープ７ａが基板１の貼着位置にくるように積層テープを送る。次に、図１８に示すように、圧着ツール６を下降させて、切断された異方導電性テープ７ａを基板１に圧着させる。次に、図１９に示すように、圧着ツール６を上昇させた後、図示しない剥離機構により異方導電性テープ７ａをセパレータ８から剥離する。そして、図２０に示すように、基板を交換した後、図１５に示す工程に戻り、以降の工程を繰り返す。
【０００６】
次に、異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例について、図２１〜図３４を参照して説明する。この第２例は、異方導電性テープの貼着長さが上述の第１例に対して短い場合であり、例えば、切断した異方導電性テープを基板に貼着した時点で、カッタの位置より下流の方向に送られている異方導電性テープが、貼着長さよりも長くなっているような場合である。
【０００７】
図２１に示すように、この第２例における異方導電性テープの貼着装置は、図１４に示す第１例の異方導電性テープの貼着装置に対して、圧着ツール６を圧着ツール６ａに置き換えた構成である。圧着ツール６ａは、その積層テープの搬送方向の長さが、異方導電性テープの貼着長さに対応して、圧着ツール６よりも短くなっている。
【０００８】
図２１に示すような、異方導電性テープ７がカッタ４の位置で切断されている状態から貼着工程を開始すると、まず、図２２に示すように、貼着する長さ分だけ積層テープを搬送方向に送る。次に、図２３に示すように、カッタ４を上昇させて異方導電性テープ７を切断する。次に、図２４に示すように、切断された異方導電性テープ７ｂが基板１の貼着位置にくるように積層テープを送る。次に、図２５に示すように、圧着ツール６ａを下降させて、切断された異方導電性テープ７ｂを基板１に圧着する。次に、図２６に示すように、圧着ツール６ａを上昇させた後、図示しない剥離機構により異方導電性テープ７ｂをセパレータ８から剥離する。このとき、異方導電性テープ７のカッタ４の位置より下流の方向に送られている部分が、貼着長さよりも長くなっているものとする。
【０００９】
そして、図２７に示すように、基板を交換した後、図２８に示すように、カッタ４を上昇させて異方導電性テープ７を切断する。このとき切断された異方導電性テープ７ｃは、貼着長さよりも長いため次の基板には用いられず、無駄となる。次に、図２９に示すように、貼着長さ分だけ積層テープを搬送方向に送る。次に、図３０に示すように、カッタ４を上昇させて異方導電性テープ７を切断する。次に、図３１に示すように、切断された異方導電性テープ７ｄが基板１ａの貼着位置にくるように積層テープを送る。次に、図３２に示すように、圧着ツール６ａを下降させて、切断された異方導電性テープ７ｄを基板１に圧着する。次に、図３３に示すように、圧着ツール６ａを上昇させた後、図示しない剥離機構により異方導電性テープ７ｄをセパレータ８から剥離する。そして、図３４に示すように、基板を交換した後、図２２に示す工程に戻り、以降の工程を繰り返す。
【特許文献１】特開平８−１０２５８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述の第１例で説明したように、従来の異方導電性テープの貼着装置では、カッタ４により異方導電性テープ７を切断した後、切断された異方導電性テープ７ａが貼着位置にくるように積層テープを送り、その後、圧着ツール６により圧着するというプロセスが一般的である。この場合、工程数が多くなり、異方導電性テープの貼着に長時間を要するという問題があった。また、異方導電性テープ７を切断した後で、切断された異方導電性テープ７ａが貼着位置にくるように積層テープを送るため、積層テープの送り精度により、異方導電性テープ７ａの位置ずれが発生することがあった。
【００１１】
さらに、上述の第２例で説明したように、異方導電性テープを貼着する長さの条件によっては、異方導電性テープの無駄が発生するという問題があった。
【００１２】
本発明は上記に鑑みてなされたもので、異方導電性テープの貼着に要する時間の短縮を図るともに、異方導電性テープの貼着位置の位置ずれの発生を軽減することができる異方導電性テープの貼着装置およびこの異方導電性テープの貼着装置を用いた電気機器の製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
また、他の目的は、無駄となる異方導電性テープの発生を抑制することができる異方導電性テープの貼着装置およびこの異方導電性テープの貼着装置を用いた電気機器の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明の異方導電性テープの貼着装置は、異方導電性テープとセパレータとを積層した積層テープを供給するテープ供給手段と、前記積層テープを所定方向に搬送するテープ搬送手段と、前記テープ供給手段および前記テープ搬送手段の下方に配置され、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動自在なステージと、このステージ上に設けられ、前記異方導電性テープを前記積層テープの搬送方向について所定の長さに切断する切断手段と、基板を保持し、前記ステージ上において、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に前記切断手段と離間して、かつ前記積層テープの搬送方向における前記異方導電性テープの前記切断手段による切断位置が、前記基板において前記異方導電性テープが貼着される領域の前記積層テープの搬送方方向の上流側の端に一致する位置になるように設けられた基板保持手段と、前記切断手段により切断された前記異方導電性テープを前記基板に圧着する圧着手段と、前記切断手段による前記異方導電性テープの切断後、切断された前記異方導電性テープを前記基板に対向配置するように、前記ステージを前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動させ、前記ステージの移動後、切断された前記異方導電性テープを前記圧着手段により前記基板に圧着するように制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の電気機器の製造方法は、異方導電性テープとセパレータとを積層した積層テープを所定方向に搬送する工程と、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動自在なステージ上に設けられた切断手段により、前記異方導電性テープを前記積層テープの搬送方向について所定の長さに切断する工程と、前記ステージを前記積層テープの搬送方向と直交する方向に移動し、切断された前記異方導電性テープを、前記積層テープの搬送方向と直交する方向に前記切断手段と離間して前記ステージ上に設けられた基板保持手段によって保持された基板に対向配置する工程と、切断された前記異方導電性テープを前記基板に圧着する工程とを含み、前記異方導電性テープを切断する工程は、前記積層テープの搬送方向における切断位置が、前記基板において前記異方導電性テープが貼着される領域の前記積層テープの搬送方方向の上流側の端に一致する位置になるようにして前記異方導電性テープを切断する工程であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、異方導電性テープの貼着に要する時間を短縮するとともに、異方導電性テープの貼着位置の位置ずれの発生を軽減することができる。また、無駄となる異方導電性テープの発生を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施の形態に係る異方導電性テープの貼着装置の概略構成を示す正面図、図２は図１に示す異方導電性テープの貼着装置の側面図である。図１，２において、テープ供給部２１は、異方導電性テープ２２とセパレータ２３とを積層した積層テープ２４を供給する。テープ回収部２５は、異方導電性テープ２２が剥離されたセパレータ２３を回収する。
【００１９】
テープ供給部２１、テープ回収部２５の下方には、それぞれ積層テープ２４をガイドするガイドローラ２６，２７が設けられている。テープ供給部２１、テープ回収部２５は、それぞれ図示しないモータにより駆動され、積層テープ２４を図１に示す矢印Ｍの方向に搬送するテープ搬送手段を構成する。そして、テープ供給部２１、テープ回収部２５、ガイドローラ２６，２７は、図示しないフレームにより連結され、一体となって図示しない駆動源によって上下移動可能に構成されている。
【００２０】
Ｙ軸ステージ２８は、ガイドローラ２６，２７の下方に設けられ、図示しない駆動源により、積層テープ２４の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）に移動自在に構成されている。
【００２１】
カッタユニット２９は、Ｙ軸ステージ２８上に設けられる。カッタユニット２９は、カッタ３０と、ストッパブロック３１と、カッタステージ３２とを備える。ストッパブロック３１は、図２に示すように、側面から見た形状が凹形状になっており、その凹部の幅が積層テープ２４およびカッタ３０の幅より大きくなっている。カッタ３０は、刃が形成された先端部を上に向けるとともに、その先端部がストッパブロック３１の上端よりも所定寸法低くなるように設けられている。カッタ３０はストッパブロック３１とともに、カッタステージ３２に設けられた図示しない駆動源によって上下方向に駆動される。
【００２２】
Ｙ軸ステージ２８には、つきあて部材３３が設けられる。つきあて部材３３は、Ｙ軸ステージ２８の上面に平行なつきあて面３３ａを有し、このつきあて面３３ａが、積層テープ２４を挟んでカッタ３０およびストッパブロック３１と対向するように設けられている。カッタ３０により異方導電性テープ２２の切断を行う際、カッタ３０およびストッパブロック３１が上昇すると、ストッパブロック３１の上端がつきあて面３３ａに接触する。このとき、カッタ３０の刃とつきあて面３３ａとの間には隙間が生じるため、カッタ３０が積層テープ２４のセパレータ２３まで切断してしまうことを防ぎ、異方導電性テープ２２のみを切断することができる。
【００２３】
基板ステージ３４は、Ｙ軸ステージ２８上において、積層テープ２４の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）にカッタユニット２９と離間して設けられ、異方導電性テープを貼着する対象物である基板３５を保持する。
【００２４】
図３はＹ軸ステージ２８上におけるカッタユニット２９、基板ステージ３４、基板３５の位置関係を説明するための平面図である。図３に示すように、カッタユニット２９、基板ステージ３４、基板３５は、積層テープ２４の搬送方向におけるカッタ３０の刃の位置が、基板３５において異方導電性テープが貼着される貼着対象領域における積層テープ２４の搬送方向の上流側の端と一致するように配置される。なお、本実施の形態では、基板３５の右端が、異方導電性テープの貼着対象領域における積層テープ２４の搬送方向の上流側の端であるものとする。
【００２５】
圧着ヘッド３６は、その下面で積層テープ２４を押圧して、異方導電性テープ２２の切断された部分を基板３５に圧着する圧着ツール３７と、圧着ツールを加熱するヒータ３８とを備える。圧着ヘッド３６は、積層テープ２４を挟んで基板ステージ３４と対向して設けられ、上下駆動部３９により上下移動可能に構成されている。上下駆動部３９は、上下方向のガイドレール４０に沿って移動自在に設置されている。また、圧着ヘッド３６は、図１に示すように、圧着ツール３７の下面（押圧面）の積層テープ２４の搬送方向の上流側の端が、基板３５において異方導電性テープが貼着される貼着対象領域における積層テープ２４の搬送方向の上流側の端と一致するように設けられる。また、圧着ツール３７の下面（押圧面）の積層テープ２４の搬送方向の長さは、基板３５における貼着対象領域の積層テープ２４の搬送方方向の長さ以上とする。
【００２６】
制御部４１は、テープ供給部２１、テープ回収部２５、Ｙ軸ステージ２８、カッタユニット２９、上下駆動部３９の駆動をそれぞれ制御する。
【００２７】
次に、上記構成の異方導電性テープの貼着装置によって異方導電性テープを基板に貼着する動作を、図４に示すフローチャートおよび図５〜図１２を参照して説明する。
【００２８】
図５は初期状態を示し、図５（ａ）は異方導電性テープの貼着装置の平面図、図５（ｂ）は異方導電性テープの貼着装置の正面図である。なお、図５〜図１２では、動作説明に必要な主要部分を示し、その他の部分の図示を省略している。
【００２９】
図５（ａ）に示すように、初期状態においては、カッタ３０が積層テープ２４の下にくるように配置され、また、図５（ｂ）に示すように、異方導電性テープ２２がカッタ３０の位置で切断されている。この状態から、まず、ステップＳ１０において、制御部４１は、図６に示すように、異方導電性テープ２２の貼着長さ分だけ積層テープ２４を搬送方向に送るようにテープ供給部２１およびテープ回収部２５を制御する。本動作では、異方導電性テープ２２の貼着長さは、基板３５の積層テープ２４の搬送方向の長さと同じであるとする。
【００３０】
次に、ステップＳ２０では、制御部４１は、図７に示すように、カッタ３０を上昇させ、異方導電性テープ２２を切断するようにカッタユニット２９を制御する。次に、ステップＳ３０では、制御部４１は、図８（ａ），（ｂ）に示すように、ステップＳ２０で切断された異方導電性テープ２２ａが基板３５における貼着対象領域に対向配置されるように、Ｙ軸ステージ２８を積層テープ２４の搬送方向に直交する方向（Ｙ方向）に移動させる。
【００３１】
次に、ステップＳ４０では、制御部４１は、テープ供給部２１、テープ回収部２５、ガイドローラ２６，２７を図示しない駆動源によって下降させることによって、異方導電性テープ２２ａが基板３５に接触する位置にまで積層テープ２４を下降させた後、図９に示すように、上下駆動部３９を制御して圧着ヘッド３６を下降させ、圧着ツール３７により積層テープ２４を押圧し、切断された異方導電性テープ２２ａを基板３５に圧着させる。
【００３２】
次に、ステップＳ５０では、制御部４１は、図１０に示すように、圧着ヘッド３６を上昇させるように上下駆動部３９を制御し、その後、図示しない剥離機構により異方導電性テープ２２ａをセパレータ２３から剥離させる。
【００３３】
次に、ステップＳ６０では、制御部４１は、テープ供給部２１、テープ回収部２５、ガイドローラ２６，２７を図示しない駆動源によって上昇させることによって、積層テープ２４を上昇させた後、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、異方導電性テープ２２ａが基板３５に貼着された状態で、カッタ３０が積層テープ２４の下にくるように、Ｙ軸ステージ２８を移動させる。
【００３４】
そして、ステップＳ７０では、制御部４１は、ステップＳ４０で異方導電性テープ２２ａを貼着した基板３５が、異方導電性テープの貼着を行う最後の基板であるかどうかを判断する。最後の基板である（ＹＥＳ）ときは、一連の異方導電性テープの貼着動作を終了し、最後の基板でない（ＮＯ）ときは、ステップＳ８０に進む。ステップＳ８０では、制御部４１は、図１２に示すように、図示しない搬送機構により基板を交換させる。その後、ステップＳ１０に戻り、以降の処理を繰り返す。
【００３５】
このように本実施の形態によれば、積層テープ２４の搬送方向と直交する方向に移動自在なＹ軸ステージ２８上に、カッタ３０を有するカッタユニット２９と、基板３５を保持する基板ステージ３４とを設け、カッタユニット２９と基板ステージ３４とは、積層テープ２４の搬送方向と直交する方向に離間して、かつ積層テープ２４の搬送方向におけるカッタ３０の刃の位置が、基板３５において異方導電性テープを貼着する領域における積層テープ２４の搬送方向の上流側の端と一致するように配置され、カッタ３０によって異方導電性テープ２２を貼着長さに切断した後、切断された異方導電性テープ２２ａを基板３５に対向配置するようにＹ軸ステージ２８を移動させ、その後、切断された異方導電性テープ２２ａを基板３５に圧着する。
【００３６】
このため、異方導電性テープの切断後に積層テープ２４の搬送を行う必要がない。これにより、工程数の減少、および異方導電性テープの貼着に要する時間の短縮を図ることができる。また、積層テープ２４の搬送精度に起因する貼着位置の位置ずれの発生を軽減することができる。また、異方導電性テープの切断時には、貼着長さに関わらず、貼着長さ分だけ積層テープ２４の搬送を行えばよいので、異方導電性テープの貼着長さが短い場合でも、無駄となる異方導電性テープが発生しない。
【００３７】
さらに、異方導電性テープを貼着する領域における積層テープ２４の搬送方向の下流側の端より下流側に、余分な異方導電性テープが存在することがないため、例えば図１３に示すように、圧着ツール３７ａの下面（押圧面）の長さが、貼着される異方導電性テープ２２ｂの長さよりも長い場合でも、余分な異方導電性テープが基板３５に貼着されてしまうことがない。したがって、異方導電性テープの貼着長さが、圧着ツールの長さよりも短い範囲であれば、貼着対象の基板のサイズ等を変更する場合でも、圧着ツールの段取り替えを行うことなく、異方導電性テープの貼着を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る異方導電性テープの貼着装置の概略構成を示す正面図である。
【図２】図１に示す異方導電性テープの貼着装置の側面図である。
【図３】Ｙ軸ステージ上におけるカッタユニット、基板ステージ、基板の位置関係を説明するための図である。
【図４】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する手順を示すフローチャートである。
【図５】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図６】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図７】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図８】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図９】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図１０】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図１１】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図１２】図１に示す異方導電性テープの貼着装置において異方導電性テープを貼着する動作を説明するための図である。
【図１３】圧着ツールの押圧面の長さが異方導電性テープの貼着長さよりも長い場合を示す図である。
【図１４】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図１５】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図１６】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図１７】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図１８】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図１９】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図２０】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第１例を説明するための図である。
【図２１】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２２】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２３】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２４】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２５】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２６】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２７】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２８】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図２９】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図３０】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図３１】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図３２】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図３３】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【図３４】従来の異方導電性テープを基板上に貼着する工程の第２例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３９】
２１…テープ供給部、２２…異方導電性テープ、２３…セパレータ、２４…積層テープ、２５…テープ回収部、２６，２７…ガイドローラ、２８…Ｙ軸ステージ、２９…カッタユニット、３０…カッタ、３１…ストッパブロック、３２…カッタステージ、３３…つきあて部材、３４…基板ステージ、３５…基板、３６…圧着ヘッド、３７…圧着ツール、３８…ヒータ、３９…上下駆動部、４０…ガイドレール、４１…制御部
【図１】
2008028132.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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