(57)【要約】【課題】簡素な構成を実現とすると共に簡素な製造工程による製造を可能とした振動子及び振動波駆動装置を提供する。【解決手段】振動波駆動装置は、振動子１００、移動体１０１を備える。振動子１００は、円筒形状を有する圧電素子１、絶縁材料からなり円板部５ａ及び軸棒５ｂを有する支持体５、導電性材料からなり円板形状を有する固定部材６を備える。圧電素子１及び支持体５の露出している全表面に、無電解ニッケルメッキの導電性の被覆３を形成する。更に、圧電素子１及び支持体５の導電性の被覆３の表面にレーザを照射し、圧電素子１の外周面の導電性の被覆３を周方向に４分割するように、導電性の被覆３をレーザの熱で溶融し除去し、電極分割部４を設ける。これにより、圧電素子１の外周面に４つの外周電極３ｂを形成する。また、圧電素子１の内周面に内周電極３ａを形成する。【選択図】図１
2008172870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空構造を有し電気量を機械量に変換する電気−機械量変換素子と、
前記電気−機械量変換素子の前記中空構造の内部に少なくとも一部が配設され前記電気−機械量変換素子を支持する支持体とを備え、
前記電気−機械量変換素子の前記中空構造の内部表面に露出させて電極を設けると共に、少なくとも前記内部表面に露出させた電極と前記支持体を含む領域に導電性の被覆を施していることを特徴とする振動子。
【請求項２】
前記内部表面に露出させた電極の被覆は、前記支持体又は前記支持体の表面の前記導電性の被覆を介して外部電源と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の振動子。
【請求項３】
前記電気−機械量変換素子の前記中空構造の外部表面に露出させて電極を設けると共に、前記内部表面に露出させた電極と前記外部表面に露出させた電極とを電気的に絶縁する絶縁部を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の振動子。
【請求項４】
前記絶縁部は、前記導電性の被覆を除去することにより設けられていることを特徴とする請求項３記載の振動子。
【請求項５】
前記導電性の被覆の除去方法は、レーザ加工による除去方法、機械加工による除去方法を含む群から選択されることを特徴とする請求項４記載の振動子。
【請求項６】
前記導電性の被覆は、前記電気−機械量変換素子に電圧を印加する電極である前記内部表面に露出させた電極と前記外部表面に露出させた電極とを兼用していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の振動子。
【請求項７】
前記導電性の被覆は、メッキにより形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の振動子。
【請求項８】
前記メッキは、無電解ニッケルメッキ、半田メッキを含む群から選択されることを特徴とする請求項７記載の振動子。
【請求項９】
前記導電性の被覆は、金属の蒸着により形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の振動子。
【請求項１０】
前記蒸着に用いる金属は、銅、金、ニッケル、銅合金、金合金、ニッケル合金を含む群から選択されることを特徴とする請求項９記載の振動子。
【請求項１１】
前記請求項１乃至１０のいずれかに記載の振動子を備えた振動波駆動装置であって、
前記振動子の振動により、前記振動子に接触させた部材の移動又は前記部材に対する力の伝達を行うことを特徴とする振動波駆動装置。
【請求項１２】
前記振動子と前記部材とが接触する部分に前記導電性の被覆を施していることを特徴とする請求項１１記載の振動波駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気量（電圧）を機械量（振動）に変換する電気−機械量変換素子を有する振動子及び振動子を用いた振動波駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動子或いは振動子を用いた振動波駆動装置に関する技術に関しては数多く提案されている。従来の振動波駆動装置としては図９に示すものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図９は、従来例（特許文献１）に係る振動波駆動装置の内部構造を示す断面図である。
【０００４】
図９において、振動波駆動装置は、振動子９００、移動体９０１を備えており、外部電源９０２と接続されている。振動子９００と移動体９０１は、コイルバネ９１０により加圧された状態に接触されている。振動子９００は、５つの圧電素子（電気−機械量変換素子）９０３と、６つの導電板９０９と、振動子を支持する支持体９０５と、振動波駆動装置を他の部品に固定する固定部材９０６を有する。外部電源９０２は、接地電位を発生する接地電極９０２ｇと、正弦波電位を発生する正弦波電極９０２ａと、余弦波電位を発生する余弦波電極９０２ｂを有する。
【０００５】
振動子９００において、圧電素子９０３は、それぞれ中空構造の円環形状に形成されている。導電板９０９は、それぞれ円板形状に形成されている。圧電素子９０３は、導電板９０９にそれぞれ挟みこまれ、軸方向に積み重ねられている。支持体９０５は、導電性の材料により形成されており、圧電素子９０３の中空構造の内径側に配設されている。６つの導電板９０９の内の３つは、振動波駆動装置が外部電源９０２と接続されたときに接地電位となる接地導電板９０９ｇである。
【０００６】
上記３つの接地導電板９０９ｇは、内径側に圧電素子９０３よりはみ出した部分があり、このはみ出した部分が導電性の支持体９０５に接触している。これにより、３つの接地導電板９０９ｇは電気的に接続されている。３つの接地導電板９０９ｇの内の１つは、外径側に圧電素子９０３よりはみ出した部分があり、このはみ出した部分が外部電源９０２の接地電極９０２ｇと電気的に接続され、３つの接地導電板９０９ｇを接地電位としている。
【０００７】
このように、従来の振動波駆動装置では、３つの接地導電板９０９ｇを内径側に圧電素子９０３よりはみ出させ、且つ、１つの接地導電板９０９ｇを外径側に圧電素子９０３よりはみ出させた構造となっている。
【特許文献１】特開平０５−２０７７６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記従来の振動子或いは振動子を用いた振動波駆動装置には以下の課題がある。接地導電板９０９ｇを圧電素子９０３の外径側にはみ出させた構成であるため、振動子の占有体積が大きくなるという問題がある。振動子の占有体積を小さくするために接地導電板９０９の外径側のはみ出した部分を内径側に設けると、はみ出した部分が外部に露出していないために、はみ出した部分と外部電源９０２の接地電極９０２ｇとの電気的接続が困難になる問題がある。
【０００９】
また、接地導電板９０９ｇと接触している支持体９０５を介して、支持体９０５と外部電源９０２の接地電極９０２ｇの電気的接続を行う構成をとることはできる。しかし、接地導電板９０９ｇと支持体９０５との接触構造は、接地導電板９０９ｇを圧電素子９０３の内径側にはみ出させて支持体９０５と接触させている構造である。そのため、振動子内周部の構成が複雑化し、振動子や振動波駆動装置の製造時に煩雑な製造工程を必要とする問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、簡素な構成を実現とすると共に簡素な製造工程による製造を可能とした振動子及び振動波駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するために、本発明の振動子は、中空構造を有し電気量を機械量に変換する電気−機械量変換素子と、前記電気−機械量変換素子の前記中空構造の内部に少なくとも一部が配設され前記電気−機械量変換素子を支持する支持体とを備え、前記電気−機械量変換素子の前記中空構造の内部表面に露出させて電極を設けると共に、少なくとも前記内部表面に露出させた電極と前記支持体を含む領域に導電性の被覆を施していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、電気−機械量変換素子の中空構造の内部表面に露出させて電極を設け、少なくとも前記電極と支持体を含む領域に導電性の被覆を施しているため、電気−機械量変換素子と外部電源との電気的接続を簡素な構成で行うことが可能となる。これにより、簡素な構成による振動子及び振動子を用いた振動波駆動装置を提供することが可能となる。また、振動子及び振動波駆動装置を製造する際の簡素な製造工程が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る振動波駆動装置の外観を示す斜視図である。図２は、図１の振動波駆動装置の振動子の外観を示す斜視図である。図３は、図１の振動波駆動装置の振動子の内部構造を示す断面図である。
【００１５】
図１乃至図３において、振動波駆動装置は、振動子１００、移動体１０１を備えており、振動子１００に電気エネルギーを供給する外部電源１０２と接続されている。移動体１０１は、円筒形状に形成されており、不図示のコイルバネにより振動子１００に対して加圧された状態に接触されている。振動子１００は、振動により移動体１０１の移動または移動体１０１に対する力の伝達を行う。
【００１６】
外部電源１０２は、接地電位を発生する接地電極１０２ｇと、正弦波電位を発生する正弦波電極１０２ａと、余弦波電位を発生する余弦波電極１０２ｂを有する。振動子１００と、外部電源１０２の接地電極１０２ｇ、正弦波電極１０２ａ、余弦波電極１０２ｂとは、リード線１０３により電気的に接続されている。
【００１７】
先ず、振動波駆動装置の振動子１００の詳細構成を振動子１００の製造工程と共に説明する。
【００１８】
振動子１００は、圧電素子１、支持体５、固定部材６を備えている。圧電素子１は、円筒形状に形成されており、電気量（電圧）を機械量（振動）に変換する電気−機械量変換素子である圧電セラミックスとして構成されている。尚、本発明でいう電気−機械量変換素子は、圧電素子以外のその他のものでもよく、圧電素子に限定されるものではない。支持体５は、絶縁材料により形成されており、円板部５ａと、該円板部５ａの端面中央部から軸方向に延出された軸棒５ｂとから構成されている。固定部材６は、円板形状に形成されると共に、導電性を有する材料により形成されている。
【００１９】
圧電素子１と支持体５は、圧電素子１の一方の端面と支持体５の円板部５ａにおける軸棒側の面とが接着により結合されている。圧電素子１と支持体５を結合した後は、圧電素子１及び支持体５からなる結合体の露出している全表面に、メッキ（本実施の形態では無電解ニッケルメッキ）の導電性の被覆３を形成する。
【００２０】
圧電素子１及び支持体５の被覆形成手段としてメッキを用いることで、振動子１００の製造時に製造装置が振動子１００に触れることなく、振動子１００の外部に露出していない表面にも導電性の被覆３を施すことが可能となる。これにより、より簡素で安価な製造工程が可能となる。更に、メッキの種類として無電解ニッケルメッキを用いることで、非導電性の圧電素子１に対しても、特別な工程を設けることなく導電性の被覆３を形成することが可能となる。
【００２１】
圧電素子１及び支持体５に導電性の被覆３を形成した後、被覆表面にレーザを照射する。即ち、圧電素子１の外周面の導電性の被覆３を周方向に４分割するように、導電性の被覆３をレーザの熱で溶融し除去することで、電極分割部４を設ける。これにより、圧電素子１の外周面に４つの外周電極３ｂを形成する。また、圧電素子１の内周面に内周電極３ａを形成する。内周電極３ａ及び外周電極３ｂは、圧電素子１に電圧を印加するための電極である。更に、外周電極３ｂと支持体５の外周面との境界部分の導電性の被覆３をレーザの熱で溶融し除去することで、絶縁部７を設ける。
【００２２】
更に、圧電素子１における支持体５と結合されていない端面と内周電極３ａ及び外周電極３ｂの境界の導電性の被覆３を、レーザの熱で溶融し除去することで、絶縁部７を設ける。これにより、圧電素子１の端面に、高い耐摩耗性を有する無電解ニッケルメッキの摩擦材被覆３ｃを形成する。この状態で、４つの外周電極３ｂと内周電極３ａとは各々が絶縁部７により電気的に絶縁されている。
【００２３】
導電性の被覆３を除去することで絶縁部７を設けているので、導電性の被覆３を施す前に、導電性の被覆３を施さない箇所にマスキングをする等の煩雑な工程を実施することが不要となる。また、導電性の被覆３の除去方法としてレーザ加工を用いているので、導電性の被覆３を除去する工程において、製造装置が振動子１００に触れることなく、振動子１００の突出していない部分にも容易に絶縁部７を設けることが可能となる。また、レーザ加工は瞬時に行われるため、圧電素子１への熱の影響も小さく抑えることが可能となる。
【００２４】
また、導電性の被覆３が、圧電素子１に電圧（電界）を印加する電極である内周電極３ａと外周電極３ｂとを兼ねているため、導電性の被覆３と内周電極３ａを別に設ける必要がなくなり、より簡素な製造工程が可能となる。また、電気的に絶縁する絶縁部７により、内周電極３ａに接地電位を、外周電極３ｂに正弦波電位または余弦波電位を独立に印加することが容易になり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００２５】
上記のように導電性の被覆３にレーザ加工を施すことで内周電極３ａと外周電極３ｂを形成した後、内周電極３ａと外周電極３ｂとの間に直流電圧（電界）を印加することで、圧電素子１の分極処理を行う。更に、移動体１０１を摩擦材被覆３ｃに加圧し接触するように、移動体１０１、不図示のコイルバネ、固定部材６を順に支持体５の軸棒５ｂに通し、支持体５の軸棒５ｂと固定部材６を接着により固定する。
【００２６】
次に、圧電素子１・支持体５・固定部材６から構成される振動子１００と、圧電素子１に電圧を印加するための外部電源１０２との接続について説明する。
【００２７】
上述したように、圧電素子１の内周面に形成された内周電極３ａと、支持体５の表面の導電性の被覆３と、導電性を有する固定部材６とは電気的に接続されている。リード線１０３は、固定部材６と外部電源１０２の接地電極１０２ｇとを電気的に接続している。これにより、内周電極３ａは外部電源１０２の接地電極１０２ｇと電気的に接続されている。
【００２８】
このように、中空構造を有する圧電素子１の内周電極３ａと外部電源１０２の電気的接続を、圧電素子１の中空構造の内部を用いて簡素な構成で行うことが可能になっている。これにより、簡素な構成の振動子及び振動子を用いた簡素な構成の振動波駆動装置を実現することが可能となると共に、簡素な製造工程が可能となる。
【００２９】
また、４つの外周電極３ｂの内の対向する２つの外周電極３ｂは、リード線１０３を介して外部電源１０２の正弦波の電位を発生する正弦波電極１０２ｇと電気的に接続されている。前記以外の２つの外周電極３ｂは、リード線１０３を介して外部電源１０２の余弦波の電位を発生する余弦波電極１０２ｂと電気的に接続されている。
【００３０】
次に、振動波駆動装置の駆動方法について説明する。
【００３１】
振動波駆動装置の振動子１００に対し外部電源１０２から正弦波電極１０２ａ及び余弦波電極１０２ｂを介して電圧を印加する。電圧の印加により、外部電源１０２の発生する正弦波と余弦波の電位の周波数を、振動子１００の固有振動数に略一致させ、振動子１００を共振させることで、摩擦材被覆３ｃの表面に楕円運動を発生させる。
【００３２】
これに伴い、摩擦材被覆３ｃに加圧された状態に接触されている移動体１０１は回転運動を行う。上述したように、圧電素子１における支持体５と結合されていない端面の導電性の被覆３の一部を除去することで摩擦材被覆３ｃを形成しているので、振動子１００に別に摩擦材を設ける工程が不要となる。これにより、振動波駆動装置を製造する際に簡素な製造工程の実現が可能となる。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、圧電素子１及び支持体５の全表面に導電性の被覆３を形成した後、導電性の被覆３の所定箇所を除去し、圧電素子１に外周電極３ｂと内周電極３ａを形成する。これに伴い、内周電極３ａと支持体５の表面が電気的に接続され、支持体と支持体の外部に露出した部分を介して圧電素子１と外部電源１０２との電気的接続を簡素な構成で行うことが可能となる。これにより、簡素な構成による振動子及び振動子を用いた振動波駆動装置を提供することが可能となる。また、振動子及び振動波駆動装置を製造する際の簡素な製造工程が可能となる。
【００３４】
また、導電性の被覆３が圧電素子１に電圧を印加する電極を兼ねているため、導電性の被覆３と圧電素子１に電圧を印加する電極とを別個に設ける必要がなく、より簡素な構成の振動子を実現することが可能となる。更に、導電性の被覆３と圧電素子１に電圧を印加する電極とを同一工程で製造することが可能となり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００３５】
また、導電性の被覆３をメッキにより形成しているため、振動子１００に導電性の被覆３を施す工程において製造装置が振動子１００に触れることなく、振動子１００の外部に露出していない表面にも導電性の被覆３を施すことが可能となる。更に、無電解ニッケルメッキを用いているため、非導電性の圧電素子１にも導電性の被覆３を容易に施すことが可能になり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００３６】
また、内周電極３ａを支持体５の表面の導電性の被覆３を介して外部電源１０２と電気的に接続するため、振動子１００と外部電源１０２の接続が容易な振動波振動装置の実現が可能となり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００３７】
また、内周電極３ａと外周電極３ｂを電気的に絶縁する絶縁部７を設けているため、内周電極３ａと外周電極３ｂの各々に独立した電圧を印加することが容易になり、より簡素な製造工程が可能となる。更に、絶縁部７を導電性の被覆３を除去することで設けているため、導電性の被覆３を施す前に、導電性の被覆３を施さない箇所にマスキング等の煩雑な工程を施す必要がなくなり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００３８】
また、導電性の被覆３をレーザ加工により除去するため、導電性の被覆３を除去する工程において製造装置が振動子１００に触れることなく、振動子１００の突出していない部分にも容易に絶縁部７を設けることができ、より簡素な製造工程が可能となる。
【００３９】
また、圧電素子１における移動体１０１側の端面に、高い耐摩耗性を有する無電解ニッケルメッキの摩擦材被覆３ｃを形成しているため、導電性の被覆３を、移動体１０１に接触する振動子１００の摩擦材とすることが可能となる。これにより、振動子１００に摩擦材を設ける工程が不要となり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００４０】
［第２の実施の形態］
図４は、本発明の第２の実施の形態に係る振動波駆動装置の外観を示す斜視図である。図５は、図４の振動波駆動装置の振動子の外観を示す斜視図である。図６は、図４の振動波駆動装置の振動子の内部構造を示す断面図である。
【００４１】
図４乃至図６において、振動波駆動装置は、振動子４００、移動体４０１を備えている。振動子４００は、圧電素子４１、支持体４５、固定部材４６を備えている。振動子４００と、外部電源１０２の接地電極１０２ｇ、正弦波電極１０２ａ、余弦波電極１０２ｂとは、リード線１０３により電気的に接続されている。また、圧電素子４１及び支持体４５には、導電性の被覆４３が形成されている。また、圧電素子４１には、内周電極４３ａと、電極分割部４４を介して外周電極４３ｂとが形成されている。支持体４５は、導電性を有する材料から形成されており、円板部４５ａと軸棒４５ｂから構成されている。
【００４２】
本実施の形態は、上述した第１の実施の形態に対して、下記の点において相違する。本実施の形態のその他の要素は、上述した第１の実施の形態（図１、図２）の対応するものと同一なので、説明を簡略化または省略する。
【００４３】
本実施の形態が第１の実施の形態と相違する点は、圧電素子４１と支持体４５とを結合する面が、圧電素子４１の内周面と支持体５の円板部４５ａの外周面となっている点である。このような構成では、圧電素子４１の内周寸法と支持体４５の円板部４５ａの外周寸法との差により隙間が生じ易く、圧電素子４１の内周電極４３ａと支持体４５の電気的接続は通常は困難である。しかし、導電性の被覆４３を施す方法であれば、導電性の被覆４３が圧電素子４１の内周面と支持体４５の円板部４５ａの外周面との間の隙間に入り込み、圧電素子４１と支持体４５のより確実な電気的接続が可能である。ここで、導電性の被覆４３は半田メッキとなっている。
【００４４】
本実施の形態では、外周電極４３ｂと内周電極４３ａの絶縁をとる絶縁部４７が、圧電素子４１における支持体４５と結合している側の端面に位置している。また、圧電素子４１における他方の端面での絶縁は、機械加工（研摩加工）により端面の全面の導電性の被覆４３を除去することで行われている。機械加工を用いることにより、同時に広い面積の被覆除去を行うことができ、より確実な絶縁を図ることができると共に、振動子４００の高い形状精度を容易に得ることが可能となる。これにより、より簡素な製造工程が可能となる。
【００４５】
上記のように、圧電素子４１及び支持体４５に導電性の被覆４３を形成し、内周電極４３ａ、外周電極４３ｂ、絶縁部４７を形成した後、圧電素子４１における他方の端面に、非導電性で耐摩耗性が高い摩擦材被覆４２を形成する。
【００４６】
次に、圧電素子４１の内周電極４３ａと外部電源１０２の接地電極１０２ｇとの電気的接続について説明する。
【００４７】
圧電素子４１の内周電極４３ａと、圧電素子４１の内周面と支持体５の円板部４５ａの外周面との間の隙間に形成された導電性の被覆４３の半田メッキと、支持体４５とは、電気的に接続されている。また、支持体４５の円板部４５ａの底面の導電性の被覆４３と、外部電源１０２の接地電極１０２ｇとが、リード線１０３により電気的に接続されている。これにより、内周電極４３ａと接地電極１０２ｇの電気的接続がなされている。
【００４８】
以上説明したように、本実施の形態によれば、中空構造を有する圧電素子４１の内周電極４３ａと外部電源１０２との電気的接続を、圧電素子４１の中空構造の内部を用いて簡素な構成で行うことが可能となる。これにより、簡素な構成による振動子及び振動子を用いた振動波駆動装置を提供することが可能となる。また、振動子及び振動波駆動装置を製造する際の簡素な製造工程が可能となる。
【００４９】
また、導電性の被覆４３を半田メッキにより形成すると共に導電性の被覆４３と外部電源１０２のリード線１０３とを半田付けで接続しているため、半田付け作業が非常に容易になり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００５０】
また、導電性の被覆４３を機械加工により除去するため、同時に広い面積の除去を行うことができ、より確実な絶縁が図れると共に高い形状精度を容易に得ることが可能となり、より簡素な製造工程が可能となる。
【００５１】
［第３の実施の形態］
図７は、本発明の第３の実施の形態に係る振動波駆動装置の振動子の外観を示す斜視図である。図８は、図７の振動波駆動装置の振動子の内部構造を示す断面図である。
【００５２】
図７及び図８において、振動波駆動装置は、振動子７００、移動体（不図示）を備えている。振動子７００は、圧電素子７１、支持体７５、固定部材７６を備えている。振動子７００と、外部電源１０２の接地電極１０２ｇ、正弦波電極１０２ａ、余弦波電極１０２ｂとは、リード線１０３により電気的に接続されている。また、圧電素子７１及び支持体７５には、導電性の被覆７３が形成されている。また、圧電素子７１には、内面電極７３ａと、電極分割部７４を介して外面電極７３ｂとが形成されている。支持体７５は、導電性を有する材料から形成されており、四角板部７５ａと四角柱部７５ｂから構成されている。
【００５３】
本実施の形態は、上述した第１の実施の形態に対して、下記の点において相違する。本実施の形態のその他の要素は、上述した第１の実施の形態（図１、図２）の対応するものと同一なので、説明を簡略化または省略する。
【００５４】
本実施の形態が第１の実施の形態と相違する点は、圧電素子７１の内面及び外面の形状が四角形状、支持体７５の形状が四角板に四角柱が延出した形状、固定部材７６の形状が直方体形状に形成されている点である。また、本実施の形態が第１の実施の形態と相違する点は、圧電素子７１と支持体７５との結合位置が振動子７００に励起する振動変形の節の位置７８の近傍となっている点である。
【００５５】
本実施の形態では、振動子７００に対して蒸着により先ず銅の被覆を施し、更に金の被覆を施すことで導電性の被覆７３を形成する構成となっている。導電性の被覆７３を金属の蒸着により形成しているので、製造装置が振動子７００に触れることなく、振動子７００の外部に露出していない表面にも導電性の被覆７３を形成することが可能となる。これと共に、導電性の被覆７３の厚さを均一に形成することが容易になる。
【００５６】
また、導電性の被覆７３を銅と金の蒸着により形成している。これにより、圧電素子７１に密着する銅の高い導電性と、表面に露出する金の高い導電性及び高い耐食性により、高い導電性と高い耐食性を兼ね備えた導電性の被覆７３を得ることが可能となる。
【００５７】
尚、導電性の被覆７３を形成する材料は、銅と金に限定されるものではなく、高い導電性と高い耐食性のニッケルを用いることもできる。また、導電性の被覆７３を形成する際に銅・金・ニッケルの内の一つまたはいくつかを組み合わせることで、所望の導電性と耐食性を得ることができる。更に、銅合金・金合金・ニッケル合金を組み合わせることでも同様の効果を得ることができる。
【００５８】
このように、導電性の被覆７３を形成する際において高い導電性と高い耐食性が得られることで、被覆形成工程とは別の工程を用いて導電性の被覆７３や表面に高い耐食性の被覆を施すことが不要となる。また、導電性の被覆７３の形成方法として蒸着法を用いることで、複数の振動子７００に対して同時に被覆処理を行うことが可能となる。
【００５９】
振動子７００に導電性の被覆７３を形成した後、レーザ加工により導電性の被覆７３を除去することで電極分割部７４を設ける。上記一連の製造工程により、圧電素子７１の内面には内面電極７３ａが形成され且つ外面には外面電極７３ｂが形成される。その後、圧電素子７１の両端面の全面において機械加工（切削加工）により導電性の被覆７３を除去することで、内面電極７３ａと外面電極７３ｂとの絶縁をとる絶縁部７７を設ける。
【００６０】
上記のように、圧電素子７１及び支持体７５に導電性の被覆７３を形成し、内周電極７３ａ、外周電極７３ｂ、絶縁部７７を形成した後、圧電素子７１における他方の端面に、非導電性で耐摩耗性が高い摩擦材被覆７２を形成する。
【００６１】
次に、圧電素子７１の内周電極７３ａと外部電源１０２の接地電極１０２ｇとの電気的接続について説明する。
【００６２】
圧電素子７１の内面電極７３ａは、以下のような接続経路により外部電源１０２の接地電極１０２ｇに電気的に接続されている。即ち、内面電極７３ａは、導電性の被覆７３と、導電性を有する支持体７５と、導電性を有する固定部材７６と、固定部材７６に取り付けられたリード線１０３とを介して、外部電源１０２の接地電極１０２ｇに電気的に接続されている。
【００６３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、中空構造を有する圧電素子７１の内周電極７３ａと外部電源１０２との電気的接続を、圧電素子７１の中空構造の内部を用いて簡素な構成で行うことが可能となる。これにより、簡素な構成による振動子及び振動子を用いた振動波駆動装置を提供することが可能となる。また、振動子及び振動波駆動装置を製造する際の簡素な製造工程が可能となる。
【００６４】
また、導電性の被覆７３を金属の蒸着により形成しているため、振動子７００に導電性の被覆を施す工程において製造装置が振動子７００に触れることなく、振動子７００の外部に露出していない表面にも導電性の被覆７３を施すことが可能となる。これと共に導電性の被覆７３の厚さを均一に施すことが容易になる。これにより、より簡素な製造工程が可能となる。
【００６５】
また、導電性の被覆７３を銅と金の蒸着、または銅・金・ニッケルの内の任意の組み合わせによる蒸着、または銅合金・金合金・ニッケル合金の組み合わせによる蒸着で形成するため、高い導電性及び耐食性を有する導電性の被覆７３の実現が可能となる。これにより、より簡素な製造工程が可能となる。
【００６６】
［他の実施の形態］
上記第１の実施の形態では、圧電素子１と支持体５とを結合する面を、圧電素子１の一方の端面と支持体５の円板部５ａにおける軸棒側の面とした構成において、導電性の被覆３を無電解ニッケルメッキで形成したが、これに限定されるものではない。前記構成において、導電性の被覆３を半田メッキ等の他のメッキで形成してもよい。
【００６７】
上記第２の実施の形態では、圧電素子４１と支持体４５とを結合する面を、圧電素子４１の内周面と支持体５の円板部４５ａの外周面とした構成において、導電性の被覆４３を半田メッキで形成したが、これに限定されるものではない。前記構成において、導電性の被覆４３を無電解ニッケルメッキ等の他のメッキで形成してもよい。
【００６８】
上記第３の実施の形態では、圧電素子の内面と外面の形状を四角形とした場合を例に挙げたが、これに限定されるものではない。圧電素子の内面と外面の形状を前記四角形以外の他の形状とした場合でも、上述した各種効果と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る振動波駆動装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図１の振動波駆動装置の振動子の外観を示す斜視図である。
【図３】図１の振動波駆動装置の振動子の内部構造を示す断面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係る振動波駆動装置の外観を示す斜視図である。
【図５】図４の振動波駆動装置の振動子の外観を示す斜視図である。
【図６】図４の振動波駆動装置の振動子の内部構造を示す断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係る振動波駆動装置の振動子の外観を示す斜視図である。
【図８】図７の振動波駆動装置の振動子の内部構造を示す断面図である。
【図９】従来例に係る振動波駆動装置の内部構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１、４１、７１  圧電素子（電気−機械量変換素子）
２、４２、７２  摩擦材被覆
３、４３、７３  導電性の被覆
３ａ、４３ａ  内周電極（内部表面に露出させた電極）
３ｂ、４３ｂ  外周電極（外部表面に露出させた電極）
３ｃ  摩擦材被覆
４、４４、７４  電極分割部
５、４５、７５  支持体
５ａ、４５ａ  円板部
５ｂ、４５ｂ  軸棒
６、４６、７６  固定部材
７３ａ  内面電極（内部表面に露出させた電極）
７３ｂ  外面電極（外部表面に露出させた電極）
７５ａ  四角板部
７５ｂ  四角柱部
１００  振動子
１０１  移動体（部材）
１０２  外部電源
１０２ａ  正弦波電極
１０２ｂ  余弦波電極
１０２ｇ  接地電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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