(57)【要約】【課題】磁気ヘッドテスターにおいて、第１及び第２微動アクチュエータの振動を抑制し、磁気ヘッドを高速に精度良く位置決めすること。【解決手段】磁気ヘッドテスター２０は第１微動アクチュエータ８と第２微動アクチュエータ９とを備える。第１微動アクチュエータ８は、磁気ヘッドを搭載する第１ヘッドユニット８ｄと、この第１ヘッドユニット８ｄを移動可能に支持する第１支持機構８ｃと、第１ヘッドユニット８ｄを駆動する第１駆動手段８ａとを備える。第２微動アクチュエータ９は、第１微動アクチュエータ８を搭載する第２ヘッドユニット９ｂと、この第２ヘッドユニット９ｂを移動可能に支持する第２支持機構９ｃと、第２ヘッドユニット９ｂを駆動する第２駆動手段９ａとを備える。第２駆動手段９ａの駆動方向に対して第１駆動手段８ａの駆動方向を第１微動アクチュエータ８及び第２微動アクチュエータ９の可動部分の重心に近づく方向に傾ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを搭載して移動する第１微動アクチュエータと、この第１微動アクチュエータを搭載して移動する第２微動アクチュエータとを備え、
前記第１微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドを搭載する第１ヘッドユニットと、この第１ヘッドユニットを移動可能に支持する第１支持機構と、前記第１ヘッドユニットを駆動する第１駆動手段とを備え、
前記第２微動アクチュエータは、前記第１微動アクチュエータを搭載する第２ヘッドユニットと、この第２ヘッドユニットを移動可能に支持する第２支持機構と、前記第２ヘッドユニットを駆動する第２駆動手段とを備えた磁気ヘッドテスターにおいて、
前記第２駆動手段の駆動方向に対して前記第１駆動手段の駆動方向を前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータの可動部分の重心に近づく方向に傾けたこと
を特徴とする磁気ヘッドテスター。
【請求項２】
磁気ヘッドを搭載して移動する第１微動アクチュエータと、この第１微動アクチュエータを搭載して移動する第２微動アクチュエータとを備え、
前記第１微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドを搭載する第１ヘッドユニットと、この第１ヘッドユニットを移動可能に支持する第１支持機構と、前記第１ヘッドユニットを駆動する第１駆動手段とを備え、
前記第２微動アクチュエータは、前記第１微動アクチュエータを搭載する第２ヘッドユニットと、この第２ヘッドユニットを移動可能に支持する第２支持機構と、前記第２ヘッドユニットを駆動する第２駆動手段とを備えた磁気ヘッドテスターにおいて、
前記第１駆動手段の移動方向に前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータの可動部分の重心位置が近づくように錘を前記第２ヘッドユニットに設置したこと
を特徴とする磁気ヘッドテスター。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第１微動アクチュエータを前記第２微動アクチュエータより軽量で高速に駆動するように構成したことを特徴とする磁気ヘッドテスター。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記第２微動アクチュエータは、一端が固定されて伸縮するピエゾ素子と、このピエゾ素子の他端に接しこのピエゾ素子の伸縮により移動されるピエゾベースと、一端が固定され他端が前記ピエゾベースに取り付けられこのピエゾベースを移動可能に支持するピエゾベース支持部材と、前記ピエゾベースに固定されたカートリッジベースとからなり、
前記第１微動アクチュエータは、前記カートリッジベースに取り付けられたカートリッジ母体と、一端が前記カートリッジ母体に固定されて伸縮するピエゾ素子と、このピエゾ素子の伸縮により移動される可動部と、この可動部を前記カートリッジ母体に移動可能に支持する可動部支持部と、前記可動部の回転中心を形成する回転中心部とからなることを特徴とする磁気ヘッドテスター。
【請求項５】
請求項２において、
前記錘は前記第２ヘッドユニットに取り付けられた錘支持部材に沿って移動可能な可動錘で構成したことを特徴とする磁気ヘッドテスター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドテスターに係り、特に二組の微動アクチュエータに磁気ヘッドを搭載して性能をテストする磁気ヘッドテスターに好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置における記録密度の向上に伴い、磁気ディスクのトラック幅が狭小化している。そのため、磁気ヘッドテスターでは、ヘッド位置決め精度の一層の向上が要求されている。しかも、ディスクの回転数は、５４００ｒｐｍから１５０００ｒｐｍへと高速化が進んでいる。
【０００３】
従来の磁気ヘッドテスターとして図７から図９に示すものが案出されている。この磁気ヘッドテスター２０は、磁気ヘッド６を搭載して移動する第１微動アクチュエータ８と、この第１微動アクチュエータ８を搭載して移動する第２微動アクチュエータ９と、第２微動アクチュエータ９を搭載して移動するＸ方向粗動アクチュエータであるＸ方向キャリッジ３及びＹ方向粗動アクチュエータであるＹ方向キャリッジ４とからなっている。
【０００４】
第１微動アクチュエータ８は、カートリッジベース９ｄに取り付けられたカートリッジ母体８ｂと、一端がカートリッジ母体８ｂに固定されて伸縮するピエゾ素子８ａと、このピエゾ素子８ａの伸縮により移動される可動部８ｄと、この可動部８ｄをカートリッジ母体８ｂに移動可能に支持する可動部支持部８ｃと、可動部８ｄの回転中心を形成する回転中心部８ｅとからなっている。
【０００５】
第２微動アクチュエータ９は、一端が固定されて伸縮するピエゾ素子９ａと、このピエゾ素子９ａの他端に接しこのピエゾ素子９ａの伸縮により移動されるピエゾベース９ｂと、一端が固定され他端がピエゾベース９ｂに取り付けられこのピエゾベース９ｄを移動可能に支持するピエゾベース支持部材９ｃと、ピエゾベース９ｂに固定されたカートリッジベース９ｄとからなっている。
【０００６】
ここで、ピエゾベース支持部材９ｃは、ピエゾベース９ｂの四隅の位置に設置された板ばねであり、４つ用いて平行ばねを形成している。図８に示す符合１０は、微動アクチュエータ８、９の可動部全体（ピエゾカートリッジ８、ピエゾベース９ｂ及びピエゾカートリッジベース９ｄ）の重心である。ピエゾ素子９ａの駆動方向（重心１０の移動方向）とピエゾ素子８ａの駆動方向とが平行になっている。
【０００７】
係る従来技術に関連する特許文献としては、例えば特開２００６−２６８９５５号公報（特許文献１）が挙げられる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−２６８９５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
係る従来の磁気ヘッドテスターにおいては、重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分までの最短距離（重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分に垂直に延ばした線分の長さ）ｒａが大きな距離になっているため、ピエゾ素子８ａの駆動反力１１と距離ｒａの積に相当する大きなモーメント力が、微動アクチュエータ８、９の可動部全体に作用する。このモーメント力が微動アクチュエータ８、９の可動部分全体の振動の加振力となり、図９のようにピエゾベース９ｂが大きく振動する。これによって、ピエゾベース９ｂに搭載される磁気ヘッド６も振動することになり、磁気ヘッドの位置決め精度の悪化を引き起こし、高密度に記録された磁気ディスク上のトラックに高速に精度良く磁気ヘッドの位置決めすることが困難であった。
【００１０】
本発明の目的は、第１及び第２微動アクチュエータの振動を抑制し、磁気ヘッドを高速に精度良く位置決めすることができる磁気ヘッドテスターを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述の目的を達成するための本発明の第１の態様は、磁気ヘッドを搭載して移動する第１微動アクチュエータと、この第１微動アクチュエータを搭載して移動する第２微動アクチュエータとを備え、前記第１微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドを搭載する第１ヘッドユニットと、この第１ヘッドユニットを移動可能に支持する第１支持機構と、前記第１ヘッドユニットを駆動する第１駆動手段とを備え、前記第２微動アクチュエータは、前記第１微動アクチュエータを搭載する第２ヘッドユニットと、この第２ヘッドユニットを移動可能に支持する第２支持機構と、前記第２ヘッドユニットを駆動する第２駆動手段とを備えた磁気ヘッドテスターにおいて、前記第２駆動手段の駆動方向に対して前記第１駆動手段の駆動方向を前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータの可動部分の重心に近づく方向に傾けたことにある。
【００１２】
また、本発明の第２の態様は、磁気ヘッドを搭載して移動する第１微動アクチュエータと、この第１微動アクチュエータを搭載して移動する第２微動アクチュエータとを備え、前記第１微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドを搭載する第１ヘッドユニットと、この第１ヘッドユニットを移動可能に支持する第１支持機構と、前記第１ヘッドユニットを駆動する第１駆動手段とを備え、前記第２微動アクチュエータは、前記第１微動アクチュエータを搭載する第２ヘッドユニットと、この第２ヘッドユニットを移動可能に支持する第２支持機構と、前記第２ヘッドユニットを駆動する第２駆動手段とを備えた磁気ヘッドテスターにおいて、前記第１駆動手段の移動方向に前記第１微動アクチュエータ及び前記第２微動アクチュエータの可動部分の重心位置が近づくように錘を前記第２ヘッドユニットに設置したことにある。
【００１３】
係る本発明におけるより好ましい具体的構成例は次の通りである。
（１）前記第１微動アクチュエータを前記第２微動アクチュエータより軽量で高速に駆動するように構成したこと。
（２）前記第２微動アクチュエータは、一端が固定されて伸縮するピエゾ素子と、このピエゾ素子の他端に接しこのピエゾ素子の伸縮により移動されるピエゾベースと、一端が固定され他端が前記ピエゾベースに取り付けられこのピエゾベースを移動可能に支持するピエゾベース支持部材と、前記ピエゾベースに固定されたカートリッジベースとからなり、
前記第１微動アクチュエータは、前記カートリッジベースに取り付けられたカートリッジ母体と、一端が前記カートリッジ母体に固定されて伸縮するピエゾ素子と、このピエゾ素子の伸縮により移動される可動部と、この可動部を前記カートリッジ母体に移動可能に支持する可動部支持部と、前記可動部の回転中心を形成する回転中心部とからなること。
（３）前記錘は前記第２ヘッドユニットに取り付けられた錘支持部材に沿って移動可能な可動錘で構成したこと。
【発明の効果】
【００１４】
係る本発明の磁気ヘッドテスターによれば、第１及び第２微動アクチュエータの振動を抑制し、磁気ヘッドを高速に精度良く位置決めすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。各実施形態及び前述の従来例の図における同一符号は同一物または相当物を示す。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態の磁気ヘッドテスターを図１から図４を用いて説明する。図１は本発明の第１実施形態の磁気ヘッドテスターの全体構成図、図２は図１の磁気ヘッドテスターにおける磁気ヘッドが反対向きの場合の全体構成図、図３は図１の微動アクチュエータの動作説明図、図４は図１のピエゾカートリッジの拡大図である。
【００１６】
磁気ヘッドテスター２０は、磁気ヘッド６を搭載して移動する第１微動アクチュエータ８と、この第１微動アクチュエータ８を搭載して移動する第２微動アクチュエータ９と、第２微動アクチュエータ９を搭載して移動するＸ方向粗動アクチュエータであるＸ方向キャリッジ３及びＹ方向粗動アクチュエータであるＹ方向キャリッジ４と、Ｘ方向キャリッジ３及びＹ方向キャリッジ４を搭載する定盤５とを備えている。なお、本実施形態では、磁気ヘッドテスター２０を横置きにして図１を平面図としているが、磁気ヘッドテスター２０を縦置きとしてもよい。
【００１７】
記録媒体である磁気ディスク１は、スピンドル２に着脱可能に装着されており、トラック幅が狭小化された高密度記録面を有するものである。スピンドル２はスピンドルモータ（図示せず）に装着され、スピンドルモータの回転に伴って高速に回転される。スピンドルモータは、定盤５に固定され、後部の左右中央部に設置されている。定盤５は薄型の矩形状に形成されており、その長手方向（前後方向）がＸ方向、その短手方向（左右方向）がＹ方向となる。
【００１８】
Ｘ方向キャリッジ３は、スピンドル２の前方に隣接して配置され、定盤５上に搭載されている。このＸ方向キャリッジ３は、定盤５に固定されたＸモータ３ａと、Ｘモータ３ａの回転軸に固定されＸ方向に延びたＸスクリュー３ｂと、Ｘスクリュー３ｂに移動可能に取り付けられたＸ移動部材３ｃと、Ｘ移動部材３ｃの遊端部に固定されこのＸ移動部材３ｃと共に移動可能なＸ移動ベース３ｄとからなっている。Ｘスクリュー３ｂとＸ移動ベース３ｄとは左右に並置されている。Ｘモータ３ａの回転軸が回転することによりＸスクリュー３ｂが回転し、これによってＸ移動部材３ｃ及びＸ移動ベース３ｄがＸ方向（矢印Ａ方向）に移動する。Ｘ方向キャリッジ３は、磁気ヘッド６をＸ方向に移動するための粗動アクチュエータである。
【００１９】
Ｙ方向キャリッジ４は、Ｘ移動ベース３ｄ上に搭載されて固定されたＹモータ４ａと、Ｙモータ４ａの回転軸に固定されＹ方向に延びたＹスクリュー４ｂと、Ｙスクリュー４ｂに移動可能に取り付けられたＹ移動部材４ｃと、Ｙ移動部材４ｃの遊端部に固定されこのＹ移動部材４ｃと共に移動可能なＹ移動ベース４ｄとからなっている。Ｙスクリュー４ｂとＹ移動ベース４ｄとは前後に並置されている。Ｙモータ４ａの回転軸が回転することによりＹスクリュー４ｂが回転し、これによってＹ移動部材４ｃ及びＹ移動ベース４ｄがＹ方向（矢印Ｂ方向）に移動する。Ｙ方向キャリッジ４は、磁気ヘッドをＹ方向に移動するための粗動アクチュエータである。なお、Ｘ方向キャリッジ３及びＹ方向キャリッジ４は、上述した構成に限るものではなく、直動モータ等においても代用可能である。
【００２０】
磁気ヘッド６を微小に移動させるための微動アクチュエータは、２組設けられている。第１微動アクチュエータはピエゾカートリッジ８であり、第２微動アクチュエータはピエゾステージ９である。ピエゾカートリッジ８はピエゾステージ９より軽量で高速に駆動できるように構成されている。
【００２１】
ピエゾカートリッジ８は、ピエゾ素子８ａ、母体であるカートリッジ母体８ｂ、可動部支持部８ｃ（図１参照）、可動部８ｄ、回転中心部８ｅからなっている。カートリッジ母体８ｂはカートリッジベース９ｄに固定して取り付けられている。一端がカートリッジ母体８ｂに固定されているピエゾ素子８ａは、その他端が可動部８ｄに接している。ピエゾ素子８ａの矢印Ｄ方向の伸縮により可動部８ｄは移動する。可動部８ｄは、可動部支持部８ｃ及び回転中心部８ｅを介してカートリッジ母体８ｂに固定されている。
【００２２】
ピエゾ素子８ａの矢印Ｄ方向の伸縮により可動部支持部８ｃと回転中心部８ｅが変形し、回転中心部８ｅを中心に可動部８ｄは回動する。これによって、可動部８ｄ端部にサスペンション７を介して取り付けられている磁気ヘッド６は、Ｘ方向（矢印Ｅ方向）に移動する。なお、ピエゾ素子８ａは磁気ヘッド６に対する第１駆動手段を構成するものであり、可動部８ｄは磁気ヘッド６を搭載する第１ヘッドユニットを構成するものであり、可動部支持部８ｃは第１支持機構を構成するものである。
【００２３】
ピエゾステージ９は、一端がＹ移動ベース４ｄに固定されているピエゾ素子９ａと、このピエゾ素子９ａの他端に接しこのピエゾ素子９ａの伸縮によりＸ方向（矢印Ｃ方向）に移動するピエゾベース９ｂと、一端がＹ移動ベース４ｄに他端がピエゾベース９ｂに固定されピエゾベース９ｂを移動可能に支持しているピエゾベース支持部材９ｃ（図１参照）と、ピエゾベース９ｂに固定されピエゾカートリッジ８を取り付けるためのカートリッジベース９ｄとからなっている。ピエゾ素子９ａは磁気ヘッド６に対する第２駆動手段を構成するものであり、ピエゾベース９ｂは磁気ヘッド６を搭載する第２ヘッドユニットを構成するものであり、ピエゾベース支持部材９ｃは第２支持機構を構成するものである。
【００２４】
ここで、ピエゾベース支持部材９ｃは、ピエゾベース９ｂの四隅の位置に設置された板ばねであり、４つ用いて平行ばねを形成している。なお、ピエゾベース支持部材９ｃは、板ばねに限るものではなくひんじ構造等によっても実現可能である。
【００２５】
図３に示す符合１０は、微動アクチュエータ８、９の可動部全体（ピエゾカートリッジ８、ピエゾベース９ｂ及びピエゾカートリッジベース９ｄ）の重心である。
【００２６】
以上の構成により、磁気ヘッド６は、微動アクチュエータ８、９により微小に移動されながら、ディスク１上の目標位置に高精度に位置決めされる。なお、磁気ヘッド６の移動方向であるＥ方向（Ｘ方向）は、ディスク１の中心を通る半径方向に一致している。
【００２７】
磁気ディスク装置においては、磁気ディスクの両面に磁気ヘッドを実装するために、左右対称形状のサスペンションを製作する。これら左右対称形状のサスペンションを両方とも検査するために、磁気ヘッドテスター２０においては、図２に示すように図１とは左右対称形状のピエゾカートリッジ８を製作し、カートリッジベース９ｄ上の逆側位置に設置できる構造となっている。
【００２８】
係る本実施形態においては、ピエゾベース９ｂの駆動方向Ｃに対してピエゾ素子８ａの駆動方向Ｄをピエゾカートリッジ８及びピエゾステージ９の可動部分の重心１０に近づく方向に傾けている。これによって、重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分までの最短距離（重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分に垂直に延ばした線分の長さ）ｒｂが従来例の最短距離ｒａより小さくなり、ピエゾ素子８ａの駆動反力１１と距離ｒｂの積に相当するモーメント力（即ち、微動アクチュエータ８、９の可動部分全体に作用するモーメント力（振動の加振力））を小さくできるので、ピエゾベース９ｂの振動を抑制することができる。従って、磁気ヘッド６の振動を低減でき、ひいては位置決め精度の向上が図れる。換言すれば、高密度に記録された磁気ディスク上のトラックに高速に精度良く磁気ヘッドの位置決めすることができる。
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図５を用いて説明する。図５は本発明の第２実施形態の磁気ヘッドテスターの全体構成図である。この第２実施形態は、以下に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１実施形態と基本的には同一である。なお、図５では、わかり易い図にするためにカートリッジベース９ｄの図示を省略してある。
【００２９】
この第２実施形態では、ピエゾカートリッジ８を従来例と同様の構造とすると共に、ピエゾ素子８ａの移動方向にピエゾカートリッジ８及びピエゾステージ９の可動部分の重心位置が近づくように錘１２をピエゾベース９ｂに設置したものである。これにより、ピエゾカートリッジ８を従来例の構造を用いても、重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分までの最短距離（重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分に垂直に延ばした線分の長さ）ｒｃが従来例の最短距離ｒａより小さくなり、微動アクチュエータ８、９の可動部分全体に作用するモーメント力（振動の加振力）を小さくできるので、ピエゾベース９ｂの振動を抑制することができる。従って、磁気ヘッド６の振動を低減でき、ひいては位置決め精度の向上が図れる。
【００３０】
この錘１２はピエゾベース９ｂに取り付けられた水平方向に延びる錘支持部材１３に沿って矢印Ｆ方向に移動可能な可動錘で構成されている。図１と図２に示すようにピエゾカートリッジ８の設置位置を左右に変更する場合には、可動錘１２を手動により錘支持部材１３に沿って矢印Ｆ方向に移動することにより、何れの位置においても、上述した振動の抑制効果を得ることができる。
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図６を用いて説明する。図６は本発明の第３実施形態の磁気ヘッドテスターの全体構成図である。この第３実施形態は、以下に述べる点で第１実施形態と相違するものであり、その他の点については第１実施形態と基本的には同一である。なお、図６では、わかり易い図にするためにカートリッジベース９ｄの図示を省略してある。
【００３１】
この第３実施形態では、ピエゾカートリッジ８を第１実施形態と同様の構造とすると共に、ピエゾ素子８ａの移動方向にピエゾカートリッジ８及びピエゾステージ９の可動部分の重心位置が近づくように錘１２をピエゾベース９ｂに設置したものである。これにより、重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分までの最短距離（重心１０からピエゾ素子８ａの駆動方向の線分に垂直に延ばした線分の長さ）ｒｄが第１実施形態の最短距離ｒｂよりさらに小さくなり、微動アクチュエータ８、９の可動部分全体に作用するモーメント力（振動の加振力）をさらに小さくできるので、ピエゾベース９ｂの振動をさらに抑制することができる。従って、磁気ヘッド６の振動を大幅に低減でき、ひいては位置決め精度を格段に向上することができる。
【００３２】
この錘１２は、第２実施形態と同様に、ピエゾベース９ｂに取り付けられた水平方向に延びる錘支持部材１３に沿って矢印Ｆ方向に移動可能な可動錘で構成されている。従って、図１と図２に示すようにピエゾカートリッジ８の設置位置を左右に変更する場合には、第２実施形態と同様に可動錘１２を手動により錘支持部材１３に沿って矢印Ｆ方向に移動することにより、何れの位置においても、上述した振動の抑制効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドテスターの全体構成図である。
【図２】図１の磁気ヘッドテスターにおける磁気ヘッドが反対向きの場合の全体構成図である。
【図３】図１の微動アクチュエータの動作説明図である。
【図４】図１のピエゾカートリッジの拡大図である。
【図５】本発明の第２実施形態の磁気ヘッドテスターの全体構成図である。
【図６】本発明の第３実施形態の磁気ヘッドテスターの全体構成図である。
【図７】従来の磁気ヘッドテスターの全体構成図である。
【図８】図７の微動アクチュエータの動作説明図である。
【図９】図７の微動アクチュエータの異なる動作説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１…磁気ディスク、２…スピンドル、３…Ｘ方向キャリッジ（Ｘ方向粗動アクチュエータ）、３ａ…Ｘモータ、３ｂ…Ｘスクリュー、３ｃ…Ｘ移動部材、３ｄ…Ｘ移動ベース、４…Ｙ方向キャリッジ（Ｙ方向粗動アクチュエータ）、４ａ…Ｙモータ、４ｂ…Ｙスクリュー、４ｃ…Ｙ移動部材、４ｄ…Ｙ移動ベース、５…定盤、６…磁気ヘッド、７…サスペンション、８…ピエゾカートリッジ（第１微動アクチュエータ）、８ａ…ピエゾ素子（第１駆動手段）、８ｂ…カートリッジ母体、８ｃ…可動部支持部（第１支持機構）、８ｄ…可動部（第１ヘッドユニット）、８ｅ…回転中心部、９…ピエゾステージ（第２微動アクチュエータ）、９ａ…ピエゾ素子（第２駆動手段）、９ｂ…ピエゾベース（第２ヘッドユニット）、９ｃ…ピエゾベース支持部材（第２支持機構）、９ｄ…カートリッジベース、１０…重心、１１…駆動反力、１２…錘（可動錘）、１３…錘支持部材、２０…磁気ヘッドテスター。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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