(57)【要約】【課題】リレー制御部の障害を検出する。【解決手段】複数のリレースイッチの導通状態を制御するリレー制御部とを備え、リレー制御部は、複数のリレースイッチに対応して設けられ、対応するリレースイッチの導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する複数の制御出力部と、複数の制御出力部に対応して設けられ、対応する制御出力部が出力する制御信号に応じた制御電圧を、制御線を介して対応するリレースイッチに含まれるリレーに供給する複数のドライバと、複数のドライバに対応して設けられ、対応するドライバが制御線に出力する制御電圧をそれぞれ観測する複数の観測部とを有し、テスタ制御装置は、被試験デバイスの試験に先立って、それぞれの複数の制御出力部がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、対応する観測部により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて障害を検出する試験装置を提供する。【選択図】図２
2008197045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記試験装置を制御するテスタ制御装置と、
前記被試験デバイスが有する複数の端子に接続され、前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスに出力し、前記被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の信号入出力部と、
前記被試験デバイスを搭載し、前記複数の信号入出力部のそれぞれを対応する端子に接続するか否かを切り替える複数のリレースイッチを有するパフォーマンスボードと、
前記複数のリレースイッチの導通状態を制御するリレー制御部と
を備え、
前記リレー制御部は、
前記複数のリレースイッチに対応して設けられ、対応する前記リレースイッチの導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する複数の制御出力部と、
前記複数の制御出力部に対応して設けられ、対応する前記制御出力部が出力する制御信号に応じた制御電圧を、制御線を介して対応する前記リレースイッチに含まれるリレーに供給する複数のドライバと、
前記複数のドライバに対応して設けられ、対応する前記ドライバが前記制御線に出力する制御電圧をそれぞれ観測する複数の観測部と
を有し、
前記テスタ制御装置は、前記被試験デバイスの試験に先立って、それぞれの前記複数の制御出力部がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、対応する前記観測部により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて障害を検出する
試験装置。
【請求項２】
前記リレー制御部は、前記複数のリレースイッチのそれぞれに対して、電圧供給線を介して駆動電圧を供給する電圧供給部を更に有し、
それぞれの前記リレースイッチは、対応する前記制御線および前記電圧供給線の間の電圧に応じてオン状態またはオフ状態に切り替わり、
前記複数のドライバのそれぞれは、オープンドレイン回路により対応する前記制御線に接続され、前記制御線をプルアップ状態として対応する前記リレーに０Ｖ電圧を印加するか、前記制御線を基準電位に接続して前記リレーに前記駆動電圧を印加するかを前記制御信号に応じて切り替える
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記テスタ制御装置は、前記被試験デバイスの試験に先立って、それぞれの前記ドライバの出力をハイインピーダンスとした状態で前記電圧供給部が前記電圧供給線に供給する駆動電圧を変化させ、対応する前記観測部により前記制御線の電圧の変化を観測できなかったことに応じて障害を更に検出する請求項２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記テスタ制御装置は、
前記パフォーマンスボードに代えて、第１の前記ドライバおよび前記第１のドライバに対応する前記制御線に接続された第１の前記観測部と、第２の前記ドライバおよび前記第２のドライバに対応する前記制御線に接続された第２の前記観測部とを直結する配線を有するショートパフォーマンスボードを前記試験装置に搭載した状態で、前記第１のドライバから出力した前記制御電圧を前記第２の観測部が観測でき、かつ、前記第２のドライバから出力した前記制御電圧を前記第１の観測部が観測できたことに応じて前記第１のドライバ、前記第１の観測部、前記第２のドライバ、および、前記第２の観測部が正常であると判定し、
前記第１のドライバおよび前記第１の観測部が正常であると判定された場合において、前記試験装置に前記パフォーマンスボードを搭載した状態で、前記第１のドライバの出力をハイインピーダンスとした状態で前記電圧供給部が前記電圧供給線に供給する駆動電圧を変化させ、前記第１の観測部により前記制御線の電圧の変化を観測できなかったことに応じて前記パフォーマンスボードの障害を検出する
請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
被試験デバイスを試験する試験装置を制御するプログラムであって、
前記試験装置は、
前記試験装置を制御するテスタ制御装置と、
前記被試験デバイスが有する複数の端子に接続され、前記被試験デバイスを試験するための試験信号を前記被試験デバイスに出力し、前記被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の信号入出力部と、
前記被試験デバイスを搭載し、前記複数の信号入出力部のそれぞれを対応する端子に接続するか否かを切り替える複数のリレースイッチを有するパフォーマンスボードと、
前記複数のリレースイッチの導通状態を制御するリレー制御部と
を備えるものであり、
前記リレー制御部は、
前記複数のリレースイッチに対応して設けられ、対応する前記リレースイッチの導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する複数の制御出力部と、
前記複数の制御出力部に対応して設けられ、対応する前記制御出力部が出力する制御信号に応じた制御電圧を、制御線を介して対応する前記リレースイッチに含まれるリレーに供給する複数のドライバと、
前記複数のドライバに対応して設けられ、対応する前記ドライバが前記制御線に出力する制御電圧をそれぞれ観測する複数の観測部と
を有するものであり、
当該プログラムは、前記テスタ制御装置を、前記被試験デバイスの試験に先立って、それぞれの前記複数の制御出力部がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、対応する前記観測部により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて障害を検出する障害検出部として機能させる
プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置およびプログラムに関する。特に、本発明は、被試験デバイスを試験する試験装置およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
試験装置は、複数の試験モジュールと、被試験デバイスを搭載するパフォーマンスボードとを備える。試験モジュールは、被試験デバイスの端子に対して試験信号を出力し、被試験デバイスの端子から出力された出力信号を期待値と比較する。パフォーマンスボードは、試験モジュールと被試験デバイスの端子とを接続する。
【０００３】
また、パフォーマンスボードは、複数の試験モジュールのそれぞれと被試験デバイスの対応する端子とを接続するか否かを切り換える複数のリレースイッチを備える（例えば、特許文献１、２参照。）。複数のリレースイッチは、試験装置に備えられるリレー制御回路により、オンオフの制御がされる。
【特許文献１】特開２０００−９８０００号公報
【特許文献２】特開２００１−７４８１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、試験装置の使用者は、オンオフの切り替えを正常にできない要因となる障害をリレースイッチが含む場合、当該リレースイッチを交換しなければならない。ここで、リレースイッチが障害を含むか否かを判断する方法として、リレースイッチのオン状態およびオフ状態を当該リレースイッチの制御回路により切り替えて、それぞれの状態において導通を測定する方法が考えられる。しかしながら、当該方法により障害を検出しても、リレースイッチが障害を含むのか、当該リレースイッチの制御回路が障害を含むのかを判断することが困難であった。
【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置およびプログラムを提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、試験装置を制御するテスタ制御装置と、被試験デバイスが有する複数の端子に接続され、被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに出力し、被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の信号入出力部と、被試験デバイスを搭載し、複数の信号入出力部のそれぞれを対応する端子に接続するか否かを切り替える複数のリレースイッチを有するパフォーマンスボードと、複数のリレースイッチの導通状態を制御するリレー制御部とを備え、リレー制御部は、複数のリレースイッチに対応して設けられ、対応するリレースイッチの導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する複数の制御出力部と、複数の制御出力部に対応して設けられ、対応する制御出力部が出力する制御信号に応じた制御電圧を、制御線を介して対応するリレースイッチに含まれるリレーに供給する複数のドライバと、複数のドライバに対応して設けられ、対応するドライバが制御線に出力する制御電圧をそれぞれ観測する複数の観測部とを有し、テスタ制御装置は、被試験デバイスの試験に先立って、それぞれの複数の制御出力部がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、対応する観測部により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて障害を検出する試験装置を提供する。
【０００７】
本発明の第２形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置を制御するプログラムであって、試験装置は、試験装置を制御するテスタ制御装置と、被試験デバイスが有する複数の端子に接続され、被試験デバイスを試験するための試験信号を被試験デバイスに出力し、被試験デバイスが出力する出力信号を入力する複数の信号入出力部と、被試験デバイスを搭載し、複数の信号入出力部のそれぞれを対応する端子に接続するか否かを切り替える複数のリレースイッチを有するパフォーマンスボードと、複数のリレースイッチの導通状態を制御するリレー制御部とを備えるものであり、リレー制御部は、複数のリレースイッチに対応して設けられ、対応するリレースイッチの導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する複数の制御出力部と、複数の制御出力部に対応して設けられ、対応する制御出力部が出力する制御信号に応じた制御電圧を、制御線を介して対応するリレースイッチに含まれるリレーに供給する複数のドライバと、複数のドライバに対応して設けられ、対応するドライバが制御線に出力する制御電圧をそれぞれ観測する複数の観測部とを有するものであり、当該プログラムは、テスタ制御装置を、被試験デバイスの試験に先立って、それぞれの複数の制御出力部がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、対応する観測部により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて障害を検出する障害検出部として機能させるプログラムを提供する。
【０００８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１０】
図１は、本実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００とともに示す。試験装置１０は、テスタ制御装置１２と、複数の信号入出力部１４（１４−１〜１４−ｎ、ｎは２以上の整数。）と、パフォーマンスボード１６と、リレー制御部２０とを備える。試験装置１０は、被試験デバイス１００を試験する。テスタ制御装置１２は、当該試験装置１０を制御する。
【００１１】
複数の信号入出力部１４は、被試験デバイス１００が有する複数の端子に接続される。複数の信号入出力部１４のそれぞれは、被試験デバイス１００を試験するための試験信号を被試験デバイス１００の対応する端子に出力する。複数の信号入出力部１４のそれぞれは、被試験デバイス１００が出力する出力信号を、対応する端子から入力する。そして、複数の信号入出力部１４のそれぞれは、入力した出力信号と期待値とを比較する。複数の信号入出力部１４は、一例として、テスタ制御装置１２とは別体とされたテストヘッド内に収納されてよい。
【００１２】
パフォーマンスボード１６は、被試験デバイス１００を搭載する。パフォーマンスボード１６は、複数の信号入出力部１４における試験信号および出力信号を入出力する端子と、被試験デバイス１００における対応する端子とを接続する。さらに、パフォーマンスボード１６は、複数の信号入出力部１４のそれぞれを、被試験デバイス１００の対応する端子に接続するか否かを切り替える複数のリレースイッチ２２（２２−１〜２２−ｎ）を有する。パフォーマンスボード１６は、一例として、テストヘッド上に搭載されてよい。
【００１３】
リレー制御部２０は、パフォーマンスボード１６が有する複数のリレースイッチ２２の導通状態を制御する。すなわち、リレー制御部２０は、複数のリレースイッチ２２を、それぞれ独立にオン（接続）状態およびオフ（開放）状態に切り替える。リレー制御部２０は、一例として、試験装置１０のテストヘッド内に収納されてよい。
【００１４】
図２は、本実施形態に係るリレー制御部２０の構成を、テスタ制御装置１２およびパフォーマンスボード１６とともに示す。本実施形態において、複数のリレースイッチ２２のそれぞれは、スイッチ部２４と、リレー２６とを含む。スイッチ部２４は、信号入出力部１４が接続された第１信号端子２２２と被試験デバイス１００が接続された第２信号端子２２４との間を、オン（接続）またはオフ（開放）とする。リレー２６は、第１制御端子２２６と第２制御端子２２８との間の電位差に応じて、スイッチ部２４のオン状態およびオフ状態を切り替える。複数のリレースイッチ２２のそれぞれは、一例として、電磁リレーであっても、半導体リレーであってもよい。
【００１５】
本実施形態において、リレー制御部２０およびパフォーマンスボード１６は、複数の制御線５２（５２−１〜５２−ｎ）および電源供給線５４を介して接続される。複数の制御線５２は、複数のリレースイッチ２２に一対一に対応する。複数のリレースイッチ２２のそれぞれは、第１制御端子２２６に対応する制御線５２が接続され、第２制御端子２２８に電源供給線５４が接続される。そして、本実施形態において、複数のリレースイッチ２２のそれぞれは、対応する制御線５２および電源供給線５４の間の電圧に応じてオン状態またはオフ状態に切り替わる。
【００１６】
リレー制御部２０は、電源供給部３０と、複数の制御出力部３２と、複数のドライバ３４と、複数の検出器３６と、複数の観測部３８と、複数のプルアップ抵抗４２とを有する。電源供給部３０は、リレースイッチ２２を制御可能な所定の直流電圧である駆動電圧を出力する。電源供給部３０は、複数のリレースイッチ２２のそれぞれに対して、電源供給線５４を介して駆動電圧を供給する。本実施形態において、電源供給部３０は、テスタ制御装置１２から電圧発生命令および電圧停止命令が与えられ、与えられた命令に応じて駆動電圧の発生および停止をする。
【００１７】
複数の制御出力部３２（３２−１〜３２−ｎ）は、複数のリレースイッチ２２に対応して設けられる。複数の制御出力部３２のそれぞれは、対応するリレースイッチ２２の導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する。本実施形態において、複数の制御出力部３２のそれぞれは、テスタ制御装置１２から例えば制御命令が与えられ、与えられた制御命令に応じた制御信号を出力する。
【００１８】
複数のドライバ３４（３４−１〜３４−ｎ）は、複数の制御出力部３２に対応して設けられる。複数のドライバ３４は、対応する制御出力部３２が出力する制御信号に応じた制御電圧を、対応する制御線５２を介して対応するリレースイッチ２２に含まれるリレー２６に供給する。複数のドライバ３４のそれぞれは、一例として、例えばフォトカプラ等を含み、対応するリレースイッチ２２と対応する制御出力部３２とを絶縁してよい。
【００１９】
本実施形態において、複数のドライバ３４のそれぞれは、オープンドレイン回路により対応する制御線５２に接続される。さらに、本実施形態において、複数のドライバ３４のそれぞれの出力端は、対応するプルアップ抵抗４２を介して電源供給線５４に接続される。ここで、オープンドレイン回路は、出力端のトランジスタ（例えば、ＦＥＴ等）のドレイン端子（又はコレクタ端子）を内部で接続せずに、そのまま出力端に接続した回路をいう。これにより、本実施形態において、複数のドライバ３４のそれぞれは、出力端をハイインピーダンスとして対応する第１制御端子２２６と第２制御端子２２８との間に０Ｖ電圧を印加するか、出力端を基準電圧（例えばグランド）に接続して対応する第１制御端子２２６と第２制御端子２２８との間に駆動電圧を印加するかを切り替えることができる。すなわち、複数のドライバ３４のそれぞれは、制御線５２をプルアップ状態として対応するリレー２６に０Ｖ電圧を印加するか、制御線５２を基準電位に接続してリレー２６に駆動電圧を印加するかを、制御信号に応じて切り替える。
【００２０】
複数の検出器３６（３６−１〜３６−ｎ）は、複数のドライバ３４に対応して設けられる。複数の検出器３６のそれぞれは、対応するドライバ３４が出力する制御電圧を検出する。複数の検出器３６のそれぞれは、一例として、例えばフォトカプラ等を含み、対応するリレースイッチ２２と対応する観測部３８とを絶縁してよい。また、複数の検出器３６のそれぞれは、対応する観測部３８に含まれてもよい。
【００２１】
複数の観測部３８（３８−１〜３８−ｎ）は、複数のドライバ３４に対応して設けられる。複数の観測部３８のそれぞれは、対応する検出器３６による制御電圧の検出結果に基づき、対応するドライバ３４が対応する制御線５２に出力する制御電圧を観測する。複数の観測部３８のそれぞれは、一例として、対応するドライバ３４から出力された制御電圧のレベルの変動を観測してよい。本実施形態において、複数の観測部３８のそれぞれは、観測結果をテスタ制御装置１２に対して送信する。
【００２２】
以上のような構成のリレー制御部２０は、被試験デバイス１００の試験時において、試験プログラムに基づき動作するテスタ制御装置１２により制御される。より詳しくは、試験時において、複数の制御出力部３２のそれぞれは、テスタ制御装置１２から与えられた制御命令に応じた制御信号を出力する。そして、複数のドライバ３４のそれぞれは、対応するリレー２６（第１制御端子２２６および第２制御端子２２８の間）に、与えられた制御信号に応じて０Ｖ電圧または駆動電圧を印加する。これにより、リレー制御部２０によれば、複数のリレースイッチ２２のそれぞれを、試験プログラムに応じてオン状態またはオフ状態に切り替えることができる。
【００２３】
さらに、テスタ制御装置１２は、オンオフの切り替えが正常にできない要因となる障害をリレー制御部２０が有するか否かを、被試験デバイス１００の試験に先立って観測する。本実施形態において、テスタ制御装置１２は、試験装置１０を制御するプログラムを実行することによって障害検出部６０として機能する。
【００２４】
図３は、本実施形態に係る試験装置１０の処理フローを示す。試験装置１０は、被試験デバイス１００の試験に先立って、リレー制御部２０が障害を含むか否かを観測する（Ｓ１００１）。ステップＳ１００１において障害を含まないと判断した場合、試験装置１０は、続いて、被試験デバイス１００の試験を実行する（Ｓ１００２）。
【００２５】
図４は、本実施形態に係る障害検出部６０によるリレー制御部２０の障害観測処理フローを示す。まず、障害検出部６０は、複数のドライバ３４のそれぞれの出力をハイインピーダンスとするべく、複数の制御出力部３２のそれぞれに対して制御命令を与える（Ｓ１０１１）。次に、障害検出部６０は、電源供給部３０に対して電圧発生命令および停止命令を繰り返して与えることにより、電源供給部３０から発生される駆動電圧を変化させる（Ｓ１０１２）。すなわち、障害検出部６０は、それぞれのドライバ３４の出力をハイインピーダンスとした状態で電源供給部３０が電源供給線５４に供給する駆動電圧を変化させる。
【００２６】
次に、障害検出部６０は、Ｓ１０１２の状態において、複数の観測部３８から観測結果を取り込み、複数のドライバ３４のそれぞれについて、対応する観測部３８により制御線５２の電圧の変化を観測できたか否か判定する（Ｓ１０１３）。障害検出部６０は、複数のドライバ３４の全てについて制御線５２の電圧の変化を観測できた場合、次のステップＳ１０１４に処理を進める（Ｓ１０１３のＹｅｓ）。
【００２７】
ステップＳ１０１３において制御線５２の電圧の変化を観測できないドライバ３４が存在する場合、当該ドライバ３４並びに当該ドライバ３４に対応する制御出力部３２、検出器３６および観測部３８の少なくとも１つは、障害を含む可能性が高い。そこで、障害検出部６０は、複数のドライバ３４のそれぞれについて、対応する観測部３８により制御線５２の電圧の変化を観測できなかったことに応じて、当該ドライバ３４並びに当該ドライバ３４に対応する制御出力部３２、検出器３６および観測部３８の少なくとも一つに、障害が含まれると判断する（Ｓ１０１３のＮｏ）。なお、ステップＳ１０１３において、障害検出部６０は、一例として、複数のドライバ３４の全てについて、対応する制御線５２の電圧の変化を観測できなかったことに応じて、電源供給部３０に障害が含まれると判断してもよい。
【００２８】
次に、障害検出部６０は、電源供給部３０に対して電圧発生命令を与えることにより、電源供給部３０から駆動電圧を発生させる（Ｓ１０１４）。次に、障害検出部６０は、複数のドライバ３４のそれぞれの出力をハイインピーダンスおよび基準電位との間で変化させるべく、複数の制御出力部３２に制御命令を与える。すなわち、障害検出部６０は、複数の制御出力部３２がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、複数のドライバ３４のそれぞれにより対応する制御線５２の制御電圧のレベルを変化させる（Ｓ１０１５）。
【００２９】
次に、障害検出部６０は、Ｓ１０１５の状態において、複数の観測部３８から観測結果を取り込み、複数のドライバ３４のそれぞれについて、対応する観測部３８により制御電圧のレベルの変化を観測できたか否か判定する（Ｓ１０１６）。障害検出部６０は、複数のドライバ３４の全てについて、対応する制御電圧のレベルの変化を観測できた場合、リレー制御部２０に障害が無いと判定し、処理を終了する（Ｓ１０１６のＹｅｓ）。
【００３０】
ステップＳ１０１６において制御電圧のレベルの変化を観測できないドライバ３４が存在する場合、当該ドライバ３４並びに当該ドライバ３４に対応する制御出力部３２の少なくとも１つは、障害を含む可能性が高い。そこで、障害検出部６０は、複数のドライバ３４のそれぞれについて、対応する観測部３８により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて、当該ドライバ３４並びに当該ドライバ３４に対応する制御出力部３２の少なくとも一つに、障害が含まれると判断する（Ｓ１０１６のＮｏ）。
【００３１】
以上のように、本実施形態に係る試験装置１０によれば、リレー制御部２０に障害が含まれているか否かを判断することができる。これにより、試験装置１０によれば、障害発生時の部品交換および修理等を容易に行うことができる。
【００３２】
図５は、本実施形態の変形例に係るリレー制御部２０の構成を、テスタ制御装置１２およびショートパフォーマンスボード７０とともに示す。本変形例に係る試験装置１０は、図１に示した試験装置１０と略同一の構成および機能を採るので、図１に示した部材と略同一の構成および機能を採る部材については同一の符号を付け、以下相違点を除き説明を省略する。
【００３３】
本変形例に係る試験装置１０は、パフォーマンスボード１６に代えて、ショートパフォーマンスボード７０を備えることができる。ショートパフォーマンスボード７０は、配線７２を有する。配線７２は、第１のドライバ３４−１および第１のドライバ３４−１に対応する第１の制御線５２−１に接続された第１の観測部３８−１と、第２のドライバ３４−２および第２のドライバ３４−２に対応する第２の制御線５２−２に接続された第２の観測部３８−２とを直結する。すなわち、本実施形態において、配線７２は、第１の制御線５２−１と第１の制御線５２−２とを直結する。
【００３４】
図６は、本実施形態の変形例に係る障害検出部６０によるパフォーマンスボード１６の障害観測処理フローを示す。まず、試験装置１０は、パフォーマンスボード１６に代えて、ショートパフォーマンスボード７０を当該試験装置１０の例えばテストヘッドに搭載する（Ｓ１０２１）。次に、障害検出部６０は、電源供給部３０に対して電圧発生命令を与えることにより、電源供給部３０から駆動電圧を発生させる（Ｓ１０２２）。
【００３５】
次に、障害検出部６０は、第２のドライバ３４−２の出力をハイインピーダンスとするべく、第２の制御出力部３２−２に対して制御命令を与える（Ｓ１０２３）。次に、障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１の出力をハイインピーダンスおよび基準電位との間で変化させるべく、第１の制御出力部３２−１に制御命令を与える。すなわち、障害検出部６０は、第１の制御出力部３２−１がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、第１のドライバ３４−１により対応する第１の制御線５２−１の制御電圧のレベルを変化させる（Ｓ１０２４）。ここで、第１の制御線５２−１がショートパフォーマンスボード７０を介して第２の制御線５２−２に直結されていることから、障害検出部６０は、第２の制御線５２−２の制御電圧のレベルも同時に変化させることができる。
【００３６】
次に、障害検出部６０は、Ｓ１０２４の状態において、第２の観測部３８−２から観測結果を取り込み、第１のドライバ３４−１について、第２の観測部３８−２により第２の制御線５２−２（すなわち、第１の制御線５２−１）の制御電圧の変化を観測できたか否か判定する（Ｓ１０２５）。障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１について、第２の観測部３８−２により第１の制御線５２−１の制御電圧の変化を観測できた場合、次のステップＳ１０２６に処理を進める（Ｓ１０２５のＹｅｓ）。
【００３７】
ステップＳ１０２５において第２の観測部３８−２により第２の制御線５２−２の制御電圧の変化を観測できない場合、第１のドライバ３４−１、第１の制御出力部３２−１、第２の検出器３６−２および第２の観測部３８−２の少なくとも１つは、障害を含む可能性が高い。従って、この場合において、障害検出部６０は、リレー制御部２０に障害が含まれると判断する（Ｓ１０２５のＮｏ）。
【００３８】
次に、障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１の出力をハイインピーダンスとするべく、第１の制御出力部３２−１に対して制御命令を与える（Ｓ１０２６）。次に、障害検出部６０は、第２のドライバ３４−２の出力をハイインピーダンスおよび基準電位との間で変化させるべく、第２の制御出力部３２−２に制御命令を与える。すなわち、障害検出部６０は、第２の制御出力部３２−２がそれぞれ出力する制御信号を変化させ、第２のドライバ３４−２により対応する第２の制御線５２−２の制御電圧のレベルを変化させる（Ｓ１０２７）。ここで、第２の制御線５２−２がショートパフォーマンスボード７０を介して第１の制御線５２−１に直結されていることから、障害検出部６０は、第１の制御線５２−１の制御電圧のレベルも同時に変化させることができる。
【００３９】
次に、障害検出部６０は、Ｓ１０２７の状態において、第１の観測部３８−１から観測結果を取り込み、第２のドライバ３４−２について、第１の観測部３８−１により第１の制御線５２−１（すなわち、第２の制御線５２−２）の制御電圧の変化を観測できたか否か判定する（Ｓ１０２８）。障害検出部６０は、第２のドライバ３４−２について、第１の観測部３８−１により第２の制御線５２−２の制御電圧の変化を観測できた場合、次のステップＳ１０２９に処理を進める（Ｓ１０２８のＹｅｓ）。
【００４０】
ステップＳ１０２８において第１の観測部３８−１により第１の制御線５２−１の制御電圧の変化を観測できない場合、第２のドライバ３４−２、第２の制御出力部３２−２、第１の検出器３６−１および第１の観測部３８−１の少なくとも１つは、障害を含む可能性が高い。従って、この場合において、障害検出部６０は、リレー制御部２０に障害が含まれると判断する（Ｓ１０２８のＮｏ）。すなわち、以上のステップＳ１０２１〜Ｓ１０２８の処理により、障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１から出力した制御電圧を第２の観測部３８−２が観測でき、かつ、第２のドライバ３４−２から出力した制御電圧を第１の観測部３８−１が観測できたことに応じて第１のドライバ３４−１、第１の観測部３８−１、第２のドライバ３４−２、および、第２の観測部３８−２が正常であると判定する。
【００４１】
次に、試験装置１０は、ショートパフォーマンスボード７０に代えて、パフォーマンスボード１６を当該試験装置１０の例えばテストヘッドに搭載する（Ｓ１０２９）。次に、障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１の出力をハイインピーダンスとするべく、第１の制御出力部３２−１に対して制御命令を与える（Ｓ１０３０）。次に、障害検出部６０は、電源供給部３０に対して電圧発生命令および停止命令を繰り返して与えることにより、電源供給部３０から発生される駆動電圧を変化させる（Ｓ１０３１）。すなわち、障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１の出力をハイインピーダンスとした状態で電源供給部３０が電源供給線５４に供給する駆動電圧を変化させる。
【００４２】
次に、障害検出部６０は、Ｓ１０３１の状態において、第１の観測部３８−１から観測結果を取り込み、第１のドライバ３４−１について、第１の観測部３８−１により制御線５２の電圧の変化を観測できたか否か判定する（Ｓ１０３２）。ここで、ドライバ３４の出力をハイインピーダンスとした状態で電源供給線５４（すなわち、第２制御端子２２８）の電圧を変化させた場合、対応するリレースイッチ２２が正常であれば、これに対応して制御線５２（すなわち、第１制御端子２２６）の電圧も変動する。従って、障害検出部６０は、第１の観測部３８−２により、第１のドライバ３４−１について制御線５２の電圧の変化を観測できた場合、パフォーマンスボード１６に障害が含まれていないと判断する（Ｓ１０３２のＹｅｓ）。
【００４３】
ステップＳ１０３２において第１の制御線５２−１の電圧の変化を観測できない場合、第１のドライバ３４に対応する第１のリレースイッチ２２は、障害を含む可能性が高い。そこで、障害検出部６０は、第１のドライバ３４−１について、第１の観測部３８−１により制御線５２の電圧の変化を観測できなかったことに応じて、パフォーマンスボード１６に障害が含まれると判断する（Ｓ１０３２のＮｏ）。
【００４４】
以上のように、本実施形態の変形例に係る試験装置１０によれば、リレー制御部２０に障害が含まれているか否かを判断するとともに、パフォーマンスボード１６のリレースイッチ２２に障害が含まれているか否かを判断することができる。これにより、試験装置１０によれば、障害発生時の部品交換および修理等を容易に行うことができる。
【００４５】
図７は、本実施形態に係るコンピュータ１９００のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係るコンピュータ１９００は、ホスト・コントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィック・コントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ２０８４によりホスト・コントローラ２０８２に接続される通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有するレガシー入出力部とを備える。
【００４６】
ホスト・コントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィック・コントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。
【００４７】
入出力コントローラ２０８４は、ホスト・コントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェイス２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、コンピュータ１９００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。
【００４８】
また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、コンピュータ１９００が起動時に実行するブート・プログラムや、コンピュータ１９００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０や、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を接続する。
【００４９】
ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介してコンピュータ１９００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。
【００５０】
コンピュータ１９００にインストールされ、コンピュータ１９００を試験装置１０として機能させるプログラムは、障害検出モジュールを備える。これらのプログラム又はモジュールは、ＣＰＵ２０００等に働きかけて、コンピュータ１９００を、障害検出部６０として機能させる。
【００５１】
以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記憶媒体に格納されてもよい。記憶媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤやＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワークやインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１９００に提供してもよい。
【００５２】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を被試験デバイス１００とともに示す。
【図２】本発明の実施形態に係るリレー制御部２０の構成を、テスタ制御装置１２およびパフォーマンスボード１６とともに示す。
【図３】本発明の実施形態に係る試験装置１０の処理フローを示す。
【図４】本発明の実施形態に係る障害検出部６０によるリレー制御部２０の障害観測処理フローを示す。
【図５】本発明の実施形態の変形例に係るリレー制御部２０の構成を、テスタ制御装置１２およびショートパフォーマンスボード７０とともに示す。
【図６】本発明の実施形態の変形例に係る障害検出部６０によるパフォーマンスボード１６の障害観測処理フローを示す。
【図７】本発明の実施形態に係るコンピュータ１９００のハードウェア構成の一例を示す。
【符号の説明】
【００５４】
１０  試験装置
１２  テスタ制御装置
１４  信号入出力部
１６  パフォーマンスボード
２０  リレー制御部
２２  リレースイッチ
２４  スイッチ部
２６  リレー
３０  電源供給部
３２  制御出力部
３４  ドライバ
３６  検出器
３８  観測部
４２  プルアップ抵抗
５２  制御線
５４  電源供給線
６０  障害検出部
７０  ショートパフォーマンスボード
７２  配線
１００  被試験デバイス
２２２  第１信号端子
２２４  第２信号端子
２２６  第１制御端子
２２８  第２制御端子
１９００  コンピュータ
２０００  ＣＰＵ
２０１０  ＲＯＭ
２０２０  ＲＡＭ
２０３０  通信インターフェイス
２０４０  ハードディスクドライブ
２０５０  フレキシブルディスク・ドライブ
２０６０  ＣＤ−ＲＯＭドライブ
２０７０  入出力チップ
２０７５  グラフィック・コントローラ
２０８０  表示装置
２０８２  ホスト・コントローラ
２０８４  入出力コントローラ
２０９０  フレキシブルディスク
２０９５  ＣＤ−ＲＯＭ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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