(57)【要約】【課題】表面がポーラスな酸化物層で覆われた、コンデンサーの陽極素子等として好適な電極基体、および電極基材の製造方法を提供する。【解決手段】（１）遷移金属（チタン、バナジウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、タンタルおよびタングステン）のナノポーラス酸化物層で表面が覆われている、比表面積が極めて大きい電極基体。この電極基体の素地がこれら金属の粉末の多孔質焼結体であれば、比表面積が飛躍的に増大する。（２）金属基材、または金属粉末の多孔質焼結体を、酸性フッ化アンモニウムと過酸化水素水の混合電解溶液中で陽極酸化することにより、前記基材表面または多孔質焼結体の表面にナノポーラス酸化物層を形成する。さらにチタン基材、またはチタン粉末の多孔質焼結体を、リン酸アンモニウムとフッ化アンモニウムの混合電解溶液中で陽極酸化することにより、同様に、ナノポーラス酸化物層を形成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
遷移金属のナノポーラス酸化物層で表面が覆われていることを特徴とする電極基体。
【請求項２】
比表面積が７０ｍ2／ｇ以上であることを特徴とする請求項１に記載の電極基体。
【請求項３】
前記ナノポーラス酸化物層が粒状もしくは層状の結晶性または非晶質の酸化物層であることを特徴とする請求項１または２に記載の電極基体。
【請求項４】
前記ナノポーラス酸化物層の厚さが１０μｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載の電極基体。
【請求項５】
電極基体が遷移金属粉末の多孔質焼結体であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電極基体。
【請求項６】
比表面積が７００ｍ2／ｇ以上であることを特徴とする請求項５に記載の電極基体。
【請求項７】
金属粉末が球状であることを特徴とする請求項５または６に記載の電極基体。
【請求項８】
金属基材、または金属粉末の多孔質焼結体を、酸性フッ化アンモニウムと過酸化水素水の混合電解溶液中で陽極酸化することにより前記基材表面または多孔質焼結体の表面にナノポーラス酸化物層を形成することを特徴とする電極基材の製造方法。
【請求項９】
チタン基材、またはチタン粉末の多孔質焼結体を、リン酸アンモニウムとフッ化アンモニウムの混合電解溶液中で陽極酸化することにより前記基材表面または多孔質焼結体の表面にナノポーラス酸化物層を形成することを特徴とする電極基材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、比表面積が極めて大きいポーラスな酸化物層で覆われた、コンデンサーの陽極素子等として好適な電極基体、およびこの電極基材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器類の小型化が進む中で、電子素子としてのコンデンサーについても小型で大容量のものが求められ、陽極素子として使用できる比表面積の大きい電極基体の開発が望まれている。
【０００３】
コンデンサーは、誘電体の両面に金属電極を向き合わせた構造を基本とし、この電極（極板）間に印加された電圧に比例した電荷を蓄える機能を有している。その電気容量Ｃは、一般に下記（ｉ）式で表される。なお、（ｉ）式において、ε0は真空の誘電率、εrは極板間の誘電体の比誘電率、Ａは極板面積、ｄは極板間の距離である。
【０００４】
Ｃ＝（ε0εrＡ）／ｄ      ・・・（ｉ）
パソコン等の電子機器に使用される小型のコンデンサーでは、電極用の基材としてタンタル粉末等の焼結体が用いられている。例えば、電解コンデンサーは、タンタル粉末を真空中で焼結し、得られた焼結体をリン酸水溶液中で陽極酸化してその表面に誘電体となるタンタルの酸化物層（Ｔａ2Ｏ5）を形成させ、次いで硝酸マンガン水溶液中に浸した後、加熱してタンタル酸化物層表面に固体電解質となる二酸化マンガンを形成させ、これをグラファイトで被覆し、さらに銀ペーストを焼き付けたものであるが、ここではタンタル粉末の焼結体が陽極素子として使用されている。
【０００５】
この場合、タンタル粉末の焼結体の実効面積がコンデンサーの極板面積Ａになるので、前記（ｉ）式から、焼結体の比表面積を大きくすることによって容量Ｃが増大する。
【０００６】
このような焼結体を陽極素子として用いたコンデンサーにおいては、容量を高めることに加え、漏れ電流が小さく、耐電圧等の電気特性にも優れていることが要求される。
【０００７】
そのため、多くの研究開発がなされ、例えば特許文献１には、平均粒径１．０〜５．０μｍのタンタル粉末に所定量の平均粒径１０〜５００ｎｍのタンタル粉末を混合してなる電解コンデンサーの陽極材料としてのタンタル粉末、およびそれを用いた電解コンデンサーが記載されている。
【０００８】
さらに、特許文献２では、所定の平均粒子径、ＢＥＴ比表面積を有するニオブ粉、ニオブ焼結体およびそれを用いた容量が大きく、漏れ電流特性等の良好なコンデンサーが、また、特許文献３では、ジルコニウムを含み、ニオブおよび／またはタンタルを主成分とするコンデンサー用粉体、それを用いた焼結体およびコンデンサーが提案されている。
【０００９】
しかし、電子素子としてのコンデンサーの大容量化とそれにより達成される小型化、高品質化に対する要請には限りがない。
【００１０】
また、例えば、色素増感太陽電池では、太陽の光を吸収する色素を吸着させたナノポーラス粒子の酸化チタンが基材として使用されているが、この基材の比表面積も大きいほど有利である。さらに、触媒の担体等においても、反応が起こるのは表面であり、比表面積の増大は反応速度の向上に直接寄与する。このように、色素増感太陽電池の基材、あるいは触媒の担体等においても、比表面積の増大に対する期待は大きい。
【００１１】
【特許文献１】特開平８−９７０９５号公報
【特許文献２】特開２００３−２１３３０２号公報
【特許文献３】特開２００２−１７３３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、このような状況に鑑みなされたものであり、表面がポーラスな酸化物層で覆われ、コンデンサーの陽極素子等として好適な電極基体、およびその電極基材の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明者らは、タンタル、ニオブ、チタンなどの遷移金属と、それら金属の粉末の焼結体を対象として、陽極酸化により、その表面がポーラスであり、比表面積が極めて大きい酸化物層を形成する方法およびその最適条件について検討した。その結果、前記金属やそれらの焼結体を酸性フッ化アンモニウム（ＮＨ4Ｆ・ＨＦ）と過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）水の混合電解溶液中で陽極酸化することにより、それらの表面に比表面積が非常に大きい、厚さが数十μｍのナノポーラス酸化物層を形成させ得ることを見出した。
【００１４】
図１は、ニオブを３質量％ＮＨ4Ｆ・ＨＦ（以下、「％」は「質量％」を意味する）の水溶液（５℃）中で陽極酸化（２０Ｖで１時間定電圧電解）した後の断面を例示する電界放射型走査型電子顕微鏡（ＦＥ−ＳＥＭ）写真である。ニオブの表面に厚さが２μｍ程度の、表面にほぼ直角に成長した柱状（チューブ状）のナノポーラス酸化物層が形成されていることがわかる。１個の柱状体の直径は１００ｎｍ程度である。
【００１５】
図２は、タンタルを１５％ＮＨ4Ｆと６％Ｈ2Ｏ2の混合水溶液（２０℃）中で陽極酸化（４０Ｖで２時間定電圧電解）した後の断面を例示するＦＥ−ＳＥＭ写真であり、（ａ）は全体図、（ｂ）〜（ｄ）はそれぞれ図中に四角で囲んだ部分の拡大図である。
【００１６】
図２に示した例では、タンタルの表面に厚さが１６μｍ程度のナノポーラス酸化物層が形成されており（図２（ａ）参照）、その表面近傍（表層）が柱状のナノポーラス酸化物層であることがわかる（図２（ｂ））。酸化物層の内層は、ナノポーラスではあるが、図２（ｃ）に示すような層状、または（ｄ）に示すような粒状となっている。
【００１７】
本発明は、このような知見に基づいてなされたもので、その要旨は、下記（１）の電極基体、並びに（２）および（３）の電極基材の製造方法にある。
（１）遷移金属のナノポーラス酸化物層で表面が覆われている電極基体。
【００１８】
前記「遷移金属」には多数の金属が含まれるが、ここで対象とするのは、チタン、バナジウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、タンタルおよびタングステンの７元素（金属）およびこれらの合金である。これらの金属の表面にその金属の酸化物層が形成されているのである。
【００１９】
また、「基体」とは、素子や基板等に用いる素材を意味する。通常、素材は平板であるが、これに限定されない。「電極基体」としたのは、この発明の素材の主要な用途であるコンデンサーの陽極素子への適用を配慮したものである。
（２）金属基材、または金属粉末の多孔質焼結体を、酸性フッ化アンモニウムと過酸化水素水の混合電解溶液中で陽極酸化することにより前記基材表面または多孔質焼結体の表面にナノポーラス酸化物層を形成する電極基材の製造方法。
【００２０】
ここで、「金属基材」とは、陽極酸化することによりその表面にナノポーラス酸化物層を形成し得る金属基材（素材）である。金属が遷移金属のうち前記７元素（金属）であれば、前記（１）の電極基体に用いる電極基材が得られる。
【００２１】
また、「金属粉末の多孔質焼結体」とは、前記陽極酸化の対象となし得る金属の粉末の焼結体で、「多孔質焼結体」としたのは、焼結体が金属基材と対比して多孔質であることを意図した表現である。
（３）チタン基材、またはチタン粉末の多孔質焼結体を、リン酸アンモニウムとフッ化アンモニウムの混合電解溶液中で陽極酸化することにより前記基材表面または多孔質焼結体の表面にナノポーラス酸化物層を形成する電極基材の製造方法。
【００２２】
金属基材がチタン基材、またはチタン粉末の多孔質焼結体である場合には、この製造方法により、前記（１）の電極基体に用いる電極基材を得ることができる。
【００２３】
本発明で規定する「電極基材」とは、前記の電極基体を得るのに用いる素材を意味する。すなわち、「電極基体」と本質的な違いはないが、「電極基体」はコンデンサーの陽極素子に加工しやすいように形状、寸法がある程度整えられているのに対し、「電極基材」は陽極酸化し易いことを考慮した形状、寸法の素材である。
【００２４】
前記（１）の電極基体において、比表面積が７０ｍ2／ｇ以上であれば、実効面積が非常に大きくなることから、基体特性として望ましいものとなる。なお、前記の「比表面積」はＢＥＴ法により求めた値である。
【００２５】
また、前記（１）の電極基体において、ナノポーラス酸化物層は、粒状もしくは層状の結晶性または非晶質の酸化物層であってもよい。
【００２６】
同じく、前記（１）の電極基体において、ナノポーラス酸化物層の厚さが１０μｍ以上であれば、その厚さは多数の層の積み重ねによりもたらされたものであり、比表面積は極めて大きくなる。
【００２７】
同様に、電極基体の素地が遷移金属粉末の多孔質焼結体であれば、比表面積が飛躍的に大きなものとなる。
【００２８】
この多孔質焼結体を用いた電極基体の比表面積が７００ｍ2／ｇ以上であれば、比表面積が極めて大きくなることから、基体特性としてさらに望ましいものとなる。なお、「比表面積」は、ＢＥＴ法により求めた値である。
【００２９】
また、前記（１）の電極基体において、焼結に供する金属粉末が球状であれば、焼結容器への投入時の流動性がよく、高強度で、均一な多孔質焼結体が得られるので、望ましい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の電極基体は、基体素地金属またはその金属粉末の多孔質焼結体の表面がナノポーラス酸化物層で覆われているので、比表面積が極めて大きい。そのため、この電極基体をコンデンサーの陽極素子として使用すれば、コンデンサーの容量を著しく増大させることができ、高容量かつ薄型のコンデンサー素子とすることが可能である。
【００３１】
この電極基体は、前記陽極素子に限らず、色素増感太陽電池の基材や触媒の担体等にも用いることができる。さらに、この電極基体は、フッ化アンモニウムと過酸化水素水の混合電解溶液中で陽極酸化する本発明の方法により製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に、本発明の電極基体、およびその電極基材の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。前述の通り、本発明の電極基体は、遷移金属のナノポーラス酸化物層で表面が覆われている電極基体である。
【００３３】
図３は、本発明の電極基体の断面構造を模式的に示す図で、（ａ）〜（ｅ）はナノポーラス酸化物層の成長過程を例示する図である。
【００３４】
図３（ａ）に示すように、電極基体１のベース材である基体素地２は過酸化水素を含有するフッ化アンモニウム水溶液中で陽極酸化を受けてナノメートルサイズの柱状（チューブ状）のポーラスな酸化物層３（酸化物の皮膜）として成長する。成長した酸化物層３は、同図（ｂ）に示すように、フッ素イオン（Ｆ-）の作用でそれぞれの柱状体の先端近傍を主体に表面が溶解し、さらに、柱状体内を通過して基体素地２に達するＦ-により酸化物層３と基体素地２の界面４が溶解して酸化物層３が剥離する。
【００３５】
この酸化物層３の剥離と同時に、同図（ｃ）に示すように、酸化物層３と基体素地２の界面に新たに酸化物層３が成長する。そのため、剥離した酸化物層３が基体素地２から剥がれ落ちることはない。続いて、この新たに成長した酸化物層３も成長の途中で剥離し、それと同時に、さらに新たな酸化物層が成長する。このように、酸化物層の成長と剥離を繰り返して、同図（ｄ）に示すように、酸化物層３が多層化し層状を呈する。
【００３６】
また、図３（ｅ）は、酸化物層３の成長の過程で層状領域に結晶性の酸化物５が生成した場合である。この酸化物５は粒状またはスポンジ状を示すが、この酸化物の生成が酸化物層３の成長と同時に進行することで厚いナノポーラス皮膜の成長を容易に実現することができる。
【００３７】
このように形成された酸化物層３は結晶質または非晶質であり、また酸化物５は主として結晶質であり、多層化した部分は、前記図２に示したように、層状または粒状を呈している。なお、柱状、層状、粒状のいずれの領域もナノポーラスである。
【００３８】
本発明の電極基材は、このようなナノポーラス酸化物層で表面が覆われているので、比表面積が非常に大きい。そのため、コンデンサーの陽極素子に使用した場合、容量が著しく増大するので、陽極素子を従来のものに比べて小さくしてコンデンサー全体を小型化することが可能である。
【００３９】
本発明の電極基材の製造方法は、金属基材、または金属粉末の多孔質焼結体を、酸性フッ化アンモニウムと過酸化水素水の混合電解溶液中で陽極酸化することにより前記基材表面または多孔質焼結体の表面にナノポーラス酸化物層を形成する方法である。
【００４０】
過酸化水素を添加、混合することにより、陽極酸化で生成する酸化物層の化学的溶解を顕著に抑制しながら、陽極酸化を著しく促進することができる。すなわち、過酸化水素の添加と高電場での絶縁破壊を伴う電解を行うことにより、厚さが数十μｍのナノポーラス酸化物層を形成することができる。
【００４１】
ここで形成される厚い酸化物層は、粒子状（スポンジ状）である。例えば、電解溶液にフッ酸を用いた場合に生成する層状の酸化物層は、フッ素（Ｆ-）の作用で素地から剥離し易いのに対し、上記で形成される酸化物層は、剥離し難いものである。
【００４２】
電解溶液中の酸性フッ化アンモニウムの濃度は特に限定しないが、１〜２０％とするのが望ましい。
【００４３】
本発明の製造方法では、過酸化水素の濃度も特に限定しない。しかし、過酸化水素は、前述のように、陽極酸化の際、酸化物層の溶解を抑制すると同時にナノポーラス酸化物層を厚膜化するのに有効であり、その効果を十分に発現させるには、濃度を０．１〜１０％とするのが望ましい。特に望ましい濃度は、次に示す図４から、０．５％程度であることが推測される。
【００４４】
図４は、ニオブについて、酸性フッ化アンモニウム（濃度３％）への過酸化水素の添加量を変化させ、４０Ｖで陽極酸化した際の電流−時間曲線である。図４から、過酸化水素濃度が０．５％のとき電流値（電流値がほぼ一定となる定常電流値）が最も高く、濃度が高くなるほど電流値が低下し、前記酸化物層の成長が抑制されることがわかる。
【００４５】
陽極酸化時の電圧や電解時間、電解溶液の温度等についても限定はなく、通常用いられている条件で実施すればよい。電圧は２０〜４０Ｖ、時間は１〜２時間とし、室温から５℃程度までの温度範囲内で行うのが望ましい。
【００４６】
本発明の製造方法により得られる電極基材の形状は、陽極酸化を効率よく好適に行える形状とするのがよい。通常、電極基材の形状としては平板が用いられる。この電極基材の形状、寸法を適切に整えることにより、表面がナノポーラス酸化物層で覆われた、本発明の電極基体とすることができる。
【００４７】
本発明の電極基体において、比表面積が７０ｍ2／ｇ以上であれば、実効面積を非常に大きくすることができるので望ましい。例えば、前掲の特許文献３に記載されるジルコニウム含有ニオブ焼結体の比表面積（例えば、同文献の表２に記載される１．８ｍ2／ｇ）と比較しておよそ４０倍程度、また特許文献２の請求項１６に記載されるニオブ焼結体の比表面積（０．２〜７ｍ2／ｇ）比較しても１０倍となる。
【００４８】
この電極基体が表面に有するナノポーラス酸化物層は比表面積が極めて大きく、基材素地が平板であっても７０ｍ2／ｇ以上の比表面積を持たせることが可能である。このことは、タンタル、ニオブ、またはチタンを前記の望ましい条件で陽極酸化して得られた酸化物層を有する電極基体について確認した。
【００４９】
本発明の電極基体において、ナノポーラス酸化物層が、粒状もしくは層状の結晶性または非晶質の酸化物層であれば、酸化物層が柱状である場合に比べて厚く、比表面積の増大が顕著である。
【００５０】
厚膜化した場合、例えば、基体素地がニオブであれば、粒状の結晶性酸化物層が生成し易く、タンタルでは、若干層状の酸化物層が混じり、結晶性が低くなりやすい。
【００５１】
本発明の電極基体において、前記ナノポーラス酸化物層の厚さが１０μｍ以上であれば、その厚さは多数の層の積み重ねにより形成されたものであり、実効面積が増大するので、比表面積を極めて大きくすることができる。
【００５２】
本発明の電極基体において、基体素地が遷移金属粉末の多孔質焼結体であれば、電極基体の比表面積を飛躍的に増大させることができる。
【００５３】
これは、基材素地が多孔質焼結体であれば、素地が金属の場合に比べて、それ自身の比表面積が大きく、図５、図６に示すように、焼結体の構成粒子間の表面も含めたほぼ全面にわたってナノポーラス酸化物層が形成されるからである。
【００５４】
図５は、多孔質焼結体の表面近傍における断面を模式的に示す図であり、（ａ）は陽極酸化前の状態を示し、（ｂ）は陽極酸化後の状態を示している。
【００５５】
また、図６は、多孔質焼結体を例示する平面図であり、焼結体を構成する粒子や空隙の大きさと、陽極酸化により生成する酸化物層の大きさを対比するために示したものである。同図から、右下に表示したスケールに基づき、焼結体を構成する粒子や空隙の大凡の大きさと多数の空隙の存在が確認できる。
【００５６】
図５（ｂ）に示すように、陽極酸化することにより焼結体表面にナノポーラス酸化物層３が形成されるが、前述のように、酸化物層が柱状（または粒状）であれば、１個の柱状体の直径は１００ｎｍ程度なので、焼結体の空隙内の表面にも前記酸化物層が形成され、比表面積が飛躍的に増大する。基体素地が多孔質焼結体の場合は、金属の場合に比べて１０〜１００倍の比表面積を持った電極基体を得ることができる。このことは、焼結体を構成する粒子の形状が図６に示した真球状の場合に限らず、破砕して得られた不規則な形状の破砕粉末であっても同様である。
【００５７】
したがって、多孔質焼結体を構成する粒子は、不規則形状の破砕粉末、ガスアトマイズ法などにより製造された球形粉末、水素化脱水素により製造された粉末などのいずれでもよく、その形状に限定はない。
【００５８】
この多孔質焼結体を用いた電極基体の比表面積が７００ｍ2／ｇ以上であれば、比表面積が極めて大きいので、これを陽極素子として用いたコンデンサーの容量を大幅に増大させ、高容量で薄型のコンデンサー素子の実現が可能となる。
【００５９】
また、前記の多孔質焼結体を構成する金属粉末が球状であれば、流動性がよく、均一な機械的強度の高い多孔質焼結体が得られることから、多孔質焼結体の形状として望ましいものである。
【００６０】
この球状の金属粉末の焼結体を素地とした電極基体をコンデンサーの陽極素子として使用すれば、不規則形状の粉末の焼結体を用いる場合に比べ、さらにコンデンサーを薄くすることができる。この球状粉末は流動性に優れ、焼結容器内に投入すると、加圧なしでも十分な密度に充填されるので、均一な高い機械的強度の焼結体が得られ、陽極素子を薄くすることができ、その結果、コンデンサー素子全体を薄くすることが可能になるからである。
【００６１】
この球状粉末の好適な例として、本出願人がチタン多孔質体として製造、販売している「ＴＩＰＯＲＯＵＳ（商品名）」の構成粒子が挙げられる。これは、「ＴＩＬＯＰ（商品名）」と称するガスアトマイズ法により製造された真球状のチタン粉末またはチタン合金粉末で、前記図６に示した球状粉末からなる焼結体（「ＴＩＰＯＲＯＵＳ−４５（商品名）」）は、この真球状の粉末を焼結したものである。
【００６２】
本発明の電極基材の製造方法では、上記のチタン粉末若しくはチタン合金粉末の多孔質焼結体、またはチタン基材としてチタン板を用いる場合には、リン酸アンモニウムとフッ化アンモニウムの混合電解溶液中で陽極酸化することにより、前記多孔質焼結体の表面または基材表面にナノポーラス酸化物層を形成することができる。
【００６３】
具体的には、化学研磨（体積比フッ酸：硝酸＝１：４）後のチタン多孔質焼結体、およびチタン材を、１ｍｏｌ（ＮＨ4）Ｈ2ＰＯ4＋０．５％ＮＨ4Ｆ（例えば、２０℃）中で、種々の生成電圧で陽極酸化を行うことにより、その表面にナノポーラス酸化物層を形成できる。このとき、リン酸アンモニウムの最適な範囲は、０．１ｍｏｌから飽和濃度までの範囲であり、フッ化アンモニウムの望ましい濃度は０．１〜１０％である。
【００６４】
得られた酸化物層は、微細構造を電界放射型走査型電子顕微鏡（ＦＥ−ＳＥＭ）を用いて評価し、Ｘ線回折法（ＸＲＤ）で得られた酸化膜の結晶性評価を行うことができる。評価結果は、チタン多孔質焼結体またはチタン材に関わらず、基本的な陽極酸化の挙動は同じであり、いずれも表面を覆うようにナノポーラス酸化物層が形成された。
【００６５】
本発明の電極基材の製造方法によれば、上述の通り、電極基体が金属粉末の多孔質焼結体であれば、比表面積を飛躍的に増大させることができるが、金属粉末が略球形に凝集した二次粒子であれば、この二次粒子を構成する微細な一次粒子の表面にもナノポーラス酸化物層が形成される。したがって、前記図６に例示した多孔質焼結体を構成する球状粉末（「ＴＩＬＯＰ（商品名）」）を用いるよりも更に比表面積を大きくできる。なお、一次粒子を略球形に凝集させる方法としては、熱凝集法などが適用できる。
【００６６】
以上、本発明の電極基体について、コンデンサーの陽極素子への適用を前提に説明したが、この電極基体を構成する素材は、色素増感太陽電池の基材や触媒の担体としても十分使用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の電極基体は比表面積が非常に大きく、この電極基体をコンデンサーの陽極素子として使用すれば、コンデンサーの容量を著しく増大させることができ、高容量でかつ薄型のコンデンサー素子とすることが可能になる。また、この電極基体は、フッ化アンモニウムと過酸化水素水の混合電解溶液中で陽極酸化する本発明の方法により製造することができる。
【００６８】
したがって、本発明の電極基体、および電極基材の製造方法は、電子素子としてのコンデンサーの製造等に有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の製造方法により得られた電極基材（素地：ニオブ）の断面を例示するＦＥ−ＳＥＭ写真である。
【図２】本発明の製造方法により得られた電極基材（素地：タンタル）の断面を例示するＦＥ−ＳＥＭ写真である。
【図３】本発明の電極基体の断面構造とナノポーラス酸化物層の成長過程を模式的に示す図である。
【図４】ニオブの陽極酸化の際の電流−時間曲線を示す図である。
【図５】多孔質焼結体の表面がナノポーラス酸化物層で覆われた電極基体の表面近傍における断面を模式的に示す図である。
【図６】多孔質焼結体を構成する粒子の形状等を例示する平面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１：電極基体
２：基体素地
３：酸化物層
４：界面
５：酸化物
【図１】
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【図２】
2008072003.tif 000004
【図３】
2008072003.tif 000005
【図４】
2008072003.tif 000006
【図５】
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【図６】
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