(57)【要約】【課題】簡易な構成により、効率を向上させることができるリニアアクチュエータを提供すること。【解決手段】固定子２と、前記固定子２に往復動可能に支持された可動子３と、前記可動子３を往復動させるための磁束を発生させるコイル１１ａ，１１ｂと、前記固定子２及び前記可動子３の前記往復動方向の中央に設けられ、前記可動子３に前記往復動方向の推力を発生させる推力発生部１３と、前記固定子２及び前記可動子３の前記往復動方向の両端のうち少なくとも一方に設けられ、前記可動子を前記往復動方向に吸引する吸引力を発生させる吸引力発生部１２ａ，１２ｂとを備えることを特徴とする。【選択図】図１
2008172993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、
前記固定子に往復動可能に支持された可動子と、
前記可動子を往復動させるための磁束を発生させるコイルと、
前記固定子及び前記可動子の前記往復動方向の中央に設けられ、前記可動子に前記往復動方向の推力を発生させる推力発生部と、
前記固定子及び前記可動子の前記往復動方向の両端のうち少なくとも一方に設けられ、前記可動子を前記往復動方向に吸引する吸引力を発生させる吸引力発生部と
を備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記推力発生部が、
前記固定子又は前記可動子のいずれか一方に設けられた永久磁石と、
前記固定子又は前記可動子の他方に前記永久磁石に対向して設けられ、前記往復動方向に交差する方向に突出する突出部とを備え、
前記吸引力発生部が、
前記固定子又は前記可動子のいずれか一方に設けられ、かつ前記往復動方向から見て前記固定子又は前記可動子の他方と重なるように前記往復動方向に交差する方向に突出する突出壁部を備えていることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記突出壁部の内壁と、前記いずれか一方との間に、緩衝部材が設けられていることを特徴とする請求項２に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記永久磁石又は前記突出部の少なくともいずれか一方が、前記往復動方向に複数設けられていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記固定子及び前記可動子の前記往復動方向の両端に設けられ、前記吸引力発生部による前記可動子に対する吸引力を補強する吸引力補強部を備えることを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項６】
前記吸引力補強部が、
前記固定子又は前記可動子の少なくともいずれか一方に設けられた磁性体を備えることを特徴とする請求項５に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項７】
前記吸引力補強部が、
前記固定子又は前記可動子の少なくともいずれか一方に設けられるとともに、前記可動子の往復動の領域にオフセットして設けられ、かつ前記往復動方向に沿って延びる補助突出部を備えることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動子を往復動させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電磁作用により可動子を往復動させるリニアアクチュエータが利用されている。これらリニアアクチュエータの中には、円環状に形成されたヨークと、このヨーク内に往復動可能に支持された軸部と、この軸部に設けられたプランジャとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。そして、ヨーク内には、永久磁石とコイルとが設けられている。
このような構成のもと、コイルに通電すると、コイルから発生した磁束が、ヨークから軸部の長さ方向に沿ってプランジャ内を通り、これによりヨークからプランジャにかけて磁束のループが形成される。そのため、軸部が軸線方向に往復動する。
【０００３】
また、他のリニアアクチュエータとして、ソレノイドなどの電磁石を備え、電磁石の吸引力により軸部を吸引するものも知られている。
【特許文献１】実開昭５７−５２７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような特許文献１に記載のリニアアクチュエータでは、プランジャ内に往復動方向に磁束を通すことにより生じる推力のみによって軸部を移動させるため、軸部を適正に往復動させるためには大きなエネルギーが必要となってしまうという問題がある。すなわち、発生する力の大きさが小さく、磁極の位置変化にともなって推力が低下するので小形で大きな推力のものは実現することができない。磁気回路内に永久磁石を組み込んでコイル通電の向きを変え、推力発生方向を変えることができるものの、ストローク端での推力低下が大きいため、比較的大きな推力を利用しようとすると推力低下の無い範囲に限られるので、有効ストロークが短くなってしまう。
【０００５】
一方、上記ソレノイドタイプでは、大きな推力が得られるものの、移動した軸部を戻すために、複数の電磁石を設けるか、バネなどの弾性部材を設ける必要があり、全体として大型化してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成により効率を向上させることができるだけでなく、可動範囲にわたって有効な推力を発生させることができるリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、固定子と、前記固定子に往復動可能に支持された可動子と、前記可動子を往復動させるための磁束を発生させるコイルと、前記固定子及び前記可動子の前記往復動方向の中央に設けられ、前記可動子に前記往復動方向の推力を発生させる推力発生部と、前記固定子及び前記可動子の前記往復動方向の両端のうち少なくとも一方に設けられ、前記可動子を前記往復動方向に吸引する吸引力を発生させる吸引力発生部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
この発明においては、コイルに通電すると、推力発生部により可動子に対して往復動方向の推力が生じる。さらに、吸引力発生部により、可動子に対して往復動方向の吸引力が生じる。
これにより、推力だけでなく吸引力によっても可動子を往復動させることができる。
【０００９】
また、本発明は、前記推力発生部が、前記固定子又は前記可動子のいずれか一方に設けられた永久磁石と、前記固定子又は前記可動子の他方に前記永久磁石に対向して設けられ、前記往復動方向に交差する方向に突出する突出部とを備え、前記吸引力発生部が、前記固定子又は前記可動子のいずれか一方に設けられ、かつ前記往復動方向から見て前記固定子又は前記可動子の他方と重なるように前記往復動方向に交差する方向に突出する突出壁部を備えていることを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、可動子に対する推力と吸引力とを確実に発生させることができる。
【００１１】
また、本発明は、前記突出壁部の内壁と、前記いずれか一方との間に、緩衝部材が設けられていることを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、可動子と固定子とが接触することによる騒音や振動を防止することができるだけでなく、耐久性を向上させることができる。
【００１３】
また、本発明は、前記永久磁石又は前記突出部の少なくともいずれか一方が、前記往復動方向に複数設けられていることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、可動子に対する推力を増大させることができ、効率をさらに向上させることができる。
【００１５】
また、本発明は、前記固定子及び前記可動子の前記往復動方向の両端に設けられ、前記吸引力発生部による前記可動子に対する吸引力を補強する吸引力補強部を備えることを特徴とする。
【００１６】
この発明においては、吸引力補強部によって、可動子に対する吸引力が補強される。
これにより、可動子に対する吸引力を増大させることができ、効率をさらに向上させることができる。
【００１７】
また、本発明は、前記吸引力補強部が、前記固定子又は前記可動子の少なくともいずれか一方に設けられた磁性体を備えることを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、可動子に対する吸引力を確実に補強することができる。
【００１９】
また、本発明は、前記吸引力補強部が、前記固定子又は前記可動子の少なくともいずれか一方に設けられるとともに、前記可動子の往復動の領域にオフセットして設けられ、かつ前記往復動方向に沿って延びる補助突出部を備えることを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、補助突出部により可動子に対する吸引力を確実に補強することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、推力発生部による推力と、吸引力発生部による吸引力とによって、可動子を往復動させることができることから、簡易な構成により効率を向上させることができるだけでなく、可動範囲にわたって有効な推力を発生させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（実施形態１）
以下、本発明の第１の実施形態におけるリニアアクチュエータについて、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態としてのリニアアクチュエータを示したものである。
リニアアクチュエータ１は、図１（ａ）に示すように、円筒状に形成された固定子２と、長尺状に延びる可動子３とを備えている。固定子２及び可動子３は、磁性部材からなっている。
【００２３】
固定子２は、その内壁の全周にわたって径方向外方に向けられた凹部６ａ，６ｂがそれぞれ形成された一対の環状体７ａ，７ｂを備えている。すなわち、環状体７ａ，７ｂの断面は、コ字状に形成されており、凹部６ａ，６ｂは径方向内方に開放された状態になっている。これら一対の環状体７ａ，７ｂは、環状の永久磁石８を介して、連結されている。そして、一対の環状体７ａ，７ｂ及び永久磁石８は、同軸上に配置されている。
永久磁石８の磁極は、軸線Ｌ方向に向けられており、固定子２の軸線Ｌ方向の一端側がＮ極となり、他端側がＳ極となっている。
また、凹部６ａ，６ｂ内には、それぞれコイル１１ａ，１１ｂが設けられている。なお、コイル１１ａ，１１ｂは、通電の向き及び大きさを変えることで起磁力を変化させて、推力・吸引力の発生方向と大きさを変化させるものである。
【００２４】
固定子２の筒孔２ａには、可動子３が挿通されている。そして、可動子３は、例えば、すべり軸受けや転がり軸受けなどの不図示の軸受け部材を介して、固定子２の筒孔内において軸線Ｌ方向に往復動可能に支持されている。
可動子３は、円柱状に延びる軸部９を備えている。軸部９の長手方向の両端には、軸線Ｌ方向に直交する方向に延在するフランジ（突出壁部、吸引力発生部）１２ａ，１２ｂがそれぞれ設けられている。フランジ１２ａ，１２ｂは、円板状に形成されており、互いに平行に対向配置されている。フランジ１２ａ，１２ｂの外縁部１６ａ，１６ｂは、固定子２の両端面の内縁部１７ａ，１７ｂよりも径方向外方に延在している。すなわち、フランジ１２ａ，１２ｂの外縁部１６ａ，１６ｂの内壁は、可動子３が往復動するときに、固定子２の内縁部１７ａ，１７ｂにそれぞれ接触するようになっており、これにより可動子３が固定子２から抜け出るのが防止されるようになっている。換言すれば、フランジ１２の外縁部１６ａ，１６ｂは、図１（ｂ）に示すように、軸線Ｌ方向から見て、内縁部１７ａ，１７ｂに重なるように、その全周にわたって軸線Ｌ方向に直交する方向に突出している。
【００２５】
可動子３の長手方向（軸線Ｌ方向）の中央部には、その全周にわたって径方向外方に延在する突出部（推力発生部）１３が設けられている。突出部１３は、断面が矩形状に形成されている。そして、突出部１３の先端面１４は、永久磁石８と、この永久磁石８を挟持する環状体７ａ，７ｂの突起部分の先端面とに対向配置されている。
【００２６】
次に、このように構成された本実施形態におけるリニアアクチュエータ１の作用について説明する。なお、ここではリニアアクチュエータ１の軸線Ｌ方向の一端側を、図２における左側の端とし、その方向を突出部１３の位置を基準として、−ｘ方向とする。また、他端側を、図２における右側の端とし、その方向を突出部１３の位置を基準として、ｘ方向とする。
【００２７】
まず、コイル１１ａ，１１ｂに通電しない自然状態において、可動子３は、永久磁石８の磁力によって、固定子２の両端のうちいずれかの端に固定されている。
ここでは、可動子３が他端側に固定されているものとする。
すなわち、図２に示すように、永久磁石８からの磁束は、Ｎ極から一方の環状体７ｂを通り、さらに突出部１３、軸部９を通って、フランジ１２ａに到達する。さらに、フランジ１２ａの外縁部１６ａに到達した磁束は、外縁部１６ａに軸線Ｌ方向に対向配置された内縁部１７ａを通り、他方の環状体７ａ内において永久磁石８のＳ極に戻る。これにより、永久磁石８のＮ極から出てＳ極にもどる磁束ループＭ１が形成される。このとき、他端側において、外縁部１６ａから内縁部１７ａを通る磁束により、外縁部１６ａと内縁部１７ａとの間に磁極が形成される。そのため、外縁部１６ａと内縁部１７ａとを互いに引き付けあう吸引力が生じ、可動子３に対して一端側に向けられた−Ｆの力が加わることになる。なお、−ｘ方向の力を−Ｆとし、ｘ方向の力をＦとする。そのため、フランジ１２ａの外縁部１６ａが内縁部１７ａに対して接近するように軸線Ｌ方向に吸引されて、可動子３が−ｘ方向に向けて移動する。
【００２８】
これにより、他端側において外縁部１６ａと内縁部１７ａとが当接し、この状態で固定される。このときには、突出部１３の先端面１４は、永久磁石８と一方の環状体７ｂの突起部分とに対向した状態になる。
【００２９】
この状態で、コイル１１ａ，１１ｂに所定の方向の電流を流すと、図３に示すように、コイル１１ｂからの磁束は、永久磁石８のＮ極から出た磁束とともに、一方の環状体７ｂ内において固定子２の一端側に進み、内縁部１７ｂから、一端側のフランジ１２ｂの外縁部１６ｂに到達する。そして、外縁部１６ｂから軸部９、突出部１３を通り、さらに突出部１３から他方の環状体７ａを通り永久磁石８のＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ２が形成される。このとき、突出部１３から他方の環状体７ａに磁束が通ることにより、突出部１３と他方の環状体７ａの突起部との間に磁極が形成され、これにより、可動子３に対して、磁極のギャップ面に平行な軸線Ｌ方向のＦの力（推力）が発生する。そのため、可動子３がｘ方向に移動する。
なお、磁束ループＭ１は、コイル１１ａからの起磁力によって弱められ磁束は減少する。
【００３０】
従来では、推力のみによって可動子を移動させていたが、本実施形態におけるリニアアクチュエータ１では、推力に吸引力が加えられる。
すなわち、コイル１１ｂからの磁束と永久磁石８からの磁束とが、内縁部１７ｂから外縁部１６ｂに到達することによって、内縁部１７ｂと外縁部１６ｂとの間に磁極が形成され、これにより、内縁部１７ｂと外縁部１６ｂとの間に吸引力が生じる。そのため、可動子３に対して、Ｆの吸引力が加わる。そのため、突出部１３と他方の環状体７ａの突起部との間の磁極によって生じる推力に吸引力が加えられ、これら推力と吸引力により、可動子３がｘ方向に移動する。
【００３１】
そして、可動子３は、図４に示すように、固定子２に対して軸線Ｌ方向の中央に配され、さらにｘ方向に移動し続けると、図５に示すように、内縁部１７ｂと外縁部１６ｂとが当接し、可動子３の移動が規制される。吸引力は、内縁部１７ｂと外縁部１６ｂとの距離寸法に依存するため、この状態で吸引力は最大となる。
このとき、通電を止めても、図６に示すように、永久磁石８のＮ極からの磁束は、一方の環状体７ｂ内を通って、内縁部１７ｂ、外縁部１６ｂ、フランジ１２ｂの内縁部、軸部９、突出部１３、他方の環状体７ａを順に通ってＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ３が形成される。そのため、内縁部１７ｂと外縁部１６ｂとの間の磁極によって生じる吸引力により、固定子２が一端側において固定される。
【００３２】
さらに、コイル１１ａ，１１ｂに、逆方向の電流を流すと、図７に示すように、永久磁石８からの磁束と、コイル１１ａからの磁束が、一方の環状体７ｂから、突出部１３、軸部９、フランジ１２ａの内縁部、外縁部１６ａ、内縁部１７ａ（他方の環状体７ａ）を通って磁束ループＭ４が形成される。これにより、可動子３に対して、−Ｆの推力と吸引力が加わり、可動子３が−ｘ方向に移動する。
これらが繰り返されて、可動子３が往復動する。
【００３３】
図８は、可動子３の位置と、可動子３に加わる発生力との関係を示すグラフである。なお、発生力Ｆとは、推力に吸引力を加えたものである。また、位置ｘは、可動子３が一端側で固定されたときの可動子３の位置を示し、位置−ｘは、可動子３が他端側で固定されたときの可動子３の位置を示すものである。さらに、グラフ内の（１）から（６）の数字は、図２から図７の状態をそれぞれ示すものである。
【００３４】
ｆ１は、永久磁石８の磁力によって生じる吸引力の変化を示している。
グラフ内数字（１）に示すように、図２に示す可動子３は、他端側で固定されており、可動子３は、−ｘの位置に配されている。このときは、コイル１１ａ，１１ｂに通電されていないため、永久磁石８の磁力によって生じる吸引力が、可動子３に対して−Ｆの方向に加えられている。この−Ｆの吸引力は、マイナス方向に最大となる。永久磁石８の磁力によって生じる吸引力は、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７ｂとの距離寸法に依存しており、固定子２がｘ方向に移動して、外縁部１６ａと内縁部１７ａとの距離寸法が大きくなるにしたがって、−Ｆの吸引力は指数関数的に弱められていく。可動子３が、ｘ方向に移動して固定子２の長手方向の中央部を越えると、外縁部１６ｂと内縁部１７ｂとの間の距離寸法が小さくなっていき、そのためＦの吸引力が指数関数的に増大していく。外縁部１６ｂと内縁部１７ｂとが当接すると、可動子３が固定子２の一端側で固定され、グラフ内数字（５）に示すように、永久磁石８の磁力によって生じる吸引力は最大となる。
【００３５】
ｆ２は、突出部１３と環状体７ａとの間の磁極によって生じるＦの推力の変化を示している。なお、−Ｆの推力の変化は、原点Ｏに対してｆ２と点対称になるのは言うまでもない。
推力は、図２の可動子３が固定子２の他端側で固定されているときに最大となり、可動子３の移動に応じて、緩やかにかつリニアに減少していき、図５の可動子３が固定子２の一端側で固定されているときに最小となる。
【００３６】
ｆ３は、外縁部１６ｂと内縁部１７ｂとの間の磁極によって生じるＦの吸引力の変化を示している。なお、−Ｆの吸引力の変化は、原点Ｏに対してｆ３と点対称になるのは言うまでもない。
吸引力は、図２の可動子３が固定子２の他端側で固定されているときに最小となり、可動子３の移動に応じて、指数関数的に増加していき、図５の可動子３が固定子２の一端側で固定されているときに最大となる。
【００３７】
ｆ４は、Ｆの推力と吸引力とを加えた発生力の変化を示している。
すなわち、発生力は、
ｆ４＝ｆ２＋ｆ３
で表わされる。
なお、ここでは磁束の漏れなどは考慮しないものとする。
発生力は、図２の可動子３が固定子２の他端側で固定されているときに最小となり、可動子３の移動に応じて、指数関数的に増加していき、図５の可動子３が固定子２の一端側で固定されているときに最大となる。
なお、ｆ５は、−Ｆの推力と吸引力とを加えた発生力の変化を示している。
【００３８】
以上より、本実施形態におけるリニアアクチュエータ１によれば、推力を発生させるためのエネルギーを利用して、吸引力をも発生させることができることから、少ないエネルギーで可動子３を適正に往復動させることができる。そのため、簡易な構成により効率を向上させることができるだけでなく、小型化を容易に図ることができる。
すなわち、可動子３のストローク端での推力低下を吸引力により補うことができる構成としているため、可動子３のストローク全域において大きな推力を発生させることができる。また、コイル１１ａ，１１ｂへの通電方向により、容易に推力発生方向を変えることができる。これは、電磁石の中央磁極にＮ極Ｓ極となるようにしたこと、それに対向した磁極（突出部１３）を凸形状にしていることなどによるものである。
さらに、可動子３のストローク端では、永久磁石８の磁束により吸引力が生じるため、コイル１１ａ，１１ｂへの通電をやめて（電流０で）も、可動子３のストローク端での位置保持が可能となる。またこの力は通電することでさらに大きくなる。
【００３９】
ここで、自動車などでは油圧アクチュエータから電動アクチュエータへの置き換えなどが検討されているが、当然小形で大きな推力を発生させるアクチュエータが求められる。本実施形態に係るリニアアクチュエータ１のような磁気回路の構成であれば、小形大推力のアクチュエータを提供することが可能となる。ロック機構などでは、一方向へ可動子３を移動させた状態を保持しておく必要があり、リニアアクチュエータ１によれば無通電でもその位置を保持することができ、その保持力を増やしたいときはコイル１１ａ，１１ｂに印加する電流を増大させればよく、ロック機構を低消費電力で実現できる。
また、圧縮機やバルブの開閉などは、可動子３のストローク端で大きな推力を必要とすることが多く、リニアアクチュエータ１のように、可動子３のストローク端で大きな推力を発生させることができるアクチュエータを適用することで、これらの機器の効率改善や小型化に大きく貢献できる。
【００４０】
（実施形態２）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図９は、本発明の第２の実施形態を示したものである。
図９において、図１から図８に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００４１】
本実施形態においては、フランジ１２ａ，１２ｂの内壁部に、ウレタン、ゴムなどの弾性部材（緩衝部材）２０が設けられている。
このような構成のもと、可動子３が固定子２の端部に配されると、内縁部１７ａ，１７ｂは、フランジ１２ａ，１２ｂの内壁部にそれぞれ直接接触することなく、弾性部材２０に接触する。
そのため、可動子３と固定子２とが接触することによる騒音や振動を防止することができるだけでなく、耐久性を向上させることができる。
なお、弾性部材２０を、フランジ１２ａ，１２ｂの内壁部に設けるとしたが、これに限ることはなく、内縁部１７ａ，１７ｂに設けてもよいし、フランジ１２ａ，１２ｂの内壁部と、内縁部１７ａ，１７ｂとの両方に設けてもよい。
【００４２】
（実施形態３）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第３の実施形態を示したものである。
図１０において、図１から図９に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００４３】
本実施形態においては、内縁部１７ａ，１７ｂに、環状の永久磁石からなる補助磁石（磁性体）２１ａ，２１ｂが設けられている。補助磁石２１ａ，２１ｂの磁極は、永久磁石８と同方向に向けられている。
このような構成のもと、コイル１１ａ，１１ｂへの通電により、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７ｂとの間に磁極が形成されると、コイル１１ａ，１１ｂの磁束と永久磁石８の磁束に、補助磁石２１ａ，２１ｂの磁束が加わる。
これにより、可動子３に対する吸引力を増大させることができ、効率をさらに向上させることができる。
【００４４】
（実施形態４）
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第４の実施形態を示したものである。
図１１において、図１から図１０に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００４５】
本実施形態においては、フランジ１２ａ，１２ｂの内壁部の内縁部に、段差部（補助突出部）２４ａ，２４ｂが設けられている。段差部２４ａ，２４ｂは、互いに軸線Ｌ方向の内方に向けて矩形状（階段状）に延在するものである。これら段差部２４ａ，２４ｂの頂点部２５ａ，２５ｂ同士の間の軸線Ｌ方向における距離寸法は、固定子２の長手方向の長さ寸法と等しく設定されている。また、段差部２４ａ，２４ｂは、可動子３の往復動領域Ｓにオフセットして設けられている。そのため、可動子３の往復動において、可動子３が段差部２４ａ，２４ｂに接触することはない。
なお、往復動領域Ｓとは、外縁部１６ａ，１６ｂが、内縁部１７ａ，１７ｂに対して往復動する領域をいうものである。すなわち、往復動領域Ｓとは、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７とが、径方向に重なる領域であって軸線Ｌ方向に沿って延びる領域全体をいうものである。
【００４６】
このような構成のもと、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７ｂとが離れている状態においても、段差部２４ａ，２４ｂの頂点部２５ａ，２５ｂが、内縁部１７ａ，１７ｂに近づけられている（ギャップが小さくなっている）ことから、これら段差部２４ａ，２４ｂと内縁部１７ａ，１７ｂとの間で磁束が通り易くなり、頂点部２５ａ，２５ｂと内縁部１７ａ，１７ｂとの間にも磁極が形成される。そのため、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７との間に形成される磁極による吸引力に、頂点部２５ａ，２５ｂと内縁部１７ａ，１７ｂとの間に形成される磁極による吸引力が加えられる。
したがって、可動子３に対する吸引力を増大させることができ、効率をさらに向上させることができる。
なお、段差部２４ａ，２４ｂを設けることにより、図８に示すグラフ内数字（２）における通電時の発生力（ｆ４）が増大する。すなわち、電流切換時の発生力が大きいので、より早い応答が求められる用途に向いている。
さらに、例えば、可動子３が固定子２の他端に配されている状態で、段差部２４ｂが内縁部１７ｂにより近くなるように適当に設けることにより、コイル１１ａ，１１ｂに通電したときの内縁部１７ｂと外縁部１６ｂとの間の磁束をより通り易くさせることができ、吸引力をさらに増大させることができる。
【００４７】
（実施形態５）
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。
図１２は、本発明の第５の実施形態を示したものである。
図１２において、図１から図１１に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００４８】
本実施形態においては、固定子２の両端面の径方向の中央に、互いに軸線Ｌ方向外方に向けられた外方突出部（補助突出部）２７ａ，２７ｂが設けられている。外方突出部２７ａ，２７ｂの断面は、矩形状に形成されている。これら外方突出部２７ａ，２７ｂの先端面同士の軸線Ｌ方向における距離寸法は、フランジ１２ａ，１２ｂの内壁部同士の軸線Ｌ方向における距離寸法と等しく設定されている。また、外方突出部２７ａ，２７ｂは、可動子３の往復動領域Ｓにオフセットして設けられている。そのため、可動子３の往復動において、可動子３が外方突出部２７ａ，２７ｂに接触することはない。
【００４９】
このような構成のもと、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７とが離れている状態においても、上記第４の実施形態と同様にして、外方突出部２７ａ，２７ｂの可動子３側の頂点部と外縁部１６ａ，１６ｂとの間に磁極が形成される。そのため、外縁部１６ａ，１６ｂと内縁部１７ａ，１７との間に形成される磁極による吸引力に、外方突出部２７ａ，２７ｂの頂点部と内縁部１７ａ，１７ｂとの間に形成される磁極による吸引力が加えられる。
したがって、可動子３に対する吸引力を増大させることができ、効率をさらに向上させることができる。
【００５０】
なお、上記第４及び第５の実施形態において、段差部２４ａ，２４ｂ又は外方突出部２７ａ，２７ｂを設けるとしたが、これらの設置位置やサイズは、要求される可動子３の発生力や組み込みスペースなどに応じて適宜変更可能である。また、段差部２４ａ，２４ｂ及び外方突出部２７ａ，２７ｂの形状も、可動子３の発生力などに応じて適宜変更可能である。例えば、図２６及び図２７に示すように、段差部２４ａ，２４ｂ又は外方突出部２７ａ，２７ｂに、基端側に向かうにしたがって薄くなるようなテーパーを設けてもよい。
【００５１】
（実施形態６）
次に、本発明の第６の実施形態について説明する。
図１３から図１６は、本発明の第６の実施形態を示したものである。
図１３から図１６において、図１から図１２に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００５２】
本実施形態においては、永久磁石８が軸線Ｌ方向に複数設けられている。これら複数の永久磁石８の磁極は、同方向に揃えられており、Ｎ極が一端側に向けられ、Ｓ極が他端側に向けられている。また、永久磁石８同士の間には、環状の磁性部材２８ａ，２８ｂが設けられている。
また、軸部９には、突出部１３ａ，１３ｂが、軸線Ｌ方向に所定の間隔を空けて複数設けられている。突出部１３ａ，１３ｂは、図１５に示すように、可動子３が固定子２の長手方向の中央に配されたときに、両端の永久磁石８に対向配置されるようになっている。
【００５３】
このような構成のもと、コイル１１ａ，１１ｂに通電しない状態においては、可動子３は、例えば他端側に固定される。すなわち、図１３に示すように、他端側の永久磁石８ａのＮ極からの磁束は、他端側の磁性部材２８ａ、突出部１３ａ、軸部９を順に通り、フランジ１２ａに到達する。そして、その磁束は、外縁部１６ａから内縁部１７ａに到達し、他方の環状体７ａにおいてＳ極に戻り、これにより、主磁束ループＭ５が形成される。このとき、外縁部１６ａと内縁部１７ａとの間の磁極によって−Ｆの吸引力が生じ、可動子３が固定子２の他端側で固定される。
なお、一端側の永久磁石８ｂのＮ極からの磁束は、一方の環状体７ｂから突出部１３ｂ、磁性部材２８ｂを順に通り、Ｓ極に戻る。これにより、磁束ループＭ６が形成される。
【００５４】
この状態から所定の方向に電流を流すと、図１４に示すように、コイル１１ｂからの磁束は、永久磁石８ｂのＮ極からの磁束とともに、固定子２の一端側にいき、内縁部１７ｂから一端側のフランジ１２ｂの外縁部１６ｂに到達する。さらに、その磁束は、軸部９、突出部１３ｂ、磁性部材２８ｂを順に通って永久磁石８ｂのＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ７が形成される。
また、コイル１１ａからの磁束は、他方の環状体７ｂ（内縁部１７ａ）、フランジ１２ａ（外縁部１６ａ）、軸部９突出部１３ａを順に通り、さらに環状体７ｂに戻ることにより磁束ループＭ９が形成される。
また、永久磁石８ａのＮ極からの磁束は、磁性部材２８ａ、突出部１３ａ、他方の環状体７ａを順に通ってＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ８が形成される。
そして、突出部１３ａ、１３ｂにより、それぞれに磁極が形成され、可動子３に対してＦの推力が発生する。さらに、一端側の外縁部１６ｂと内縁部１７ｂとの間の磁極により、可動子３に対してＦの吸引力が発生する。これにより、可動子３がｘ方向に移動する。
【００５５】
可動子３がさらにｘ方向に移動すると、図１５に示すように、可動子３は、固定子２の長手方向の中央に配される。さらに、図１６に示すように、外縁部１６ｂが内縁部１７ｂに当接し、可動子３が、一端側で固定される。
【００５６】
以上より、本実施形態によれば、固定子２及び可動子３の軸線Ｌ方向に複数の磁極が形成されるため、可動子３に対する推力を増大させることができ、効率を向上させることができる。
【００５７】
（実施形態７）
次に、本発明の第７の実施形態について説明する。
図１７から図２０は、本発明の第７の実施形態を示したものである。
図１７から図２０において、図１から図１６に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００５８】
本実施形態においては、永久磁石８が軸線Ｌ方向に複数設けられており、これら永久磁石８の磁極が、軸線Ｌ方向に直交する方向に向けられている。具体的には、他端側に配置された永久磁石８ａ−１のＮ極は、径方向外方側に向けられ、Ｓ極は、径方向内方側（可動子３側）に向けられている。その隣りの永久磁石８ａ−２のＮ極は、径方向内方側に向けられ、Ｓ極は、径方向外方側に向けられている。その隣りの永久磁石８ｂ−１のＮ極は、径方向外方側に向けられ、Ｓ極は、径方向内方側に向けられている。その隣りの一端側の永久磁石８ｂ−１のＮ極は、径方向内方側に向けられ、Ｓ極は、径方向外方側に向けられている。すなわち、隣り合う永久磁石８の磁極が異なるように、軸線Ｌ方向に交互になるように永久磁石８が配列されている。
また、軸部９には、複数の突出部１３ａ，１３ｂが設けられている。それぞれの突出部１３ａ，１３ｂは、図１９に示すように、可動子３が固定子２の長手方向の中央に配されたときに、一端側の二つの永久磁石８ａ−１，８ａ−２及び他端側の二つの永久磁石８ｂ−１，８ｂ−２のそれぞれの境界部分に対向配置されるようになっている。
なお、環状体７は、一体成形されたものである。
【００５９】
このような構成のもと、コイル１１ａ，１１ｂに通電しない状態においては、可動子３は、例えば他端側に固定される。すなわち、図１７に示すように、永久磁石８ａ−２のＮ極からの磁束は、突出部１３ａ、軸部９を通り、フランジ１２ａに到達する。そして、その磁束は、外縁部１６ａから内縁部１７ａに到達し、環状体７の他端側において永久磁石８ａ−２のＳ極に戻り、これにより、磁束ループＭ１１が形成される。このとき、外縁部１６ａと内縁部１７ａとの間の磁極によって−Ｆの吸引力が生じ、可動子３が固定子２の他端側で固定される。
なお、永久磁石８ｂ−２のＮ極からの磁束は、突出部１３ｂ、軸部９を通り、フランジ１２ａに到達する。そして、その磁束は、外縁部１６ａから内縁部１７ａに到達し、環状体７において永久磁石８ｂ−２のＳ極に戻り、これにより、磁束ループＭ１０が形成される。
【００６０】
この状態から所定の方向に電流を流すと、図１８に示すように、コイル１１ｂからの磁束は、永久磁石８ｂ−１のＮ極からの磁束とともに、固定子２の一端側にいき、内縁部１７ｂから一端側のフランジ１２ｂの外縁部１６ｂに到達する。さらに、その磁束は、軸部９、突出部１３ｂを通って永久磁石８ｂ−１のＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ１２が形成される。
また、コイル１１ｂからの磁束は、永久磁石８ａ−１のＮ極からの磁束とともに、固定子２の一端側にいき、内縁部１７ｂから一端側のフランジ１２ｂの外縁部１６ｂに到達する。さらに、その磁束は、軸部９、突出部１３ｂを通って永久磁石８ａ−１のＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ１３が形成される。
また、コイル１１ａからの磁束は、永久磁石８ａ−１のＮ極からの磁束とともに、固定子２の他端側にいき、内縁部１７ａから他端側のフランジ１２ａの外縁部１６ａに到達する。さらに、その磁束は、軸部９、突出部１３ｂを通って永久磁石８ａ−１のＳ極に戻り、これにより磁束ループＭ１４が形成される。
そして、突出部１３ａ、１３ｂにより、それぞれに磁極が形成され、可動子３に対してＦの推力が発生する。さらに、外縁部１６ｂと内縁部１７ｂとの間の磁極により、可動子３に対してＦの吸引力が発生する。これにより、可動子３がｘ方向に移動する。
【００６１】
可動子３がさらにｘ方向に移動すると、図１９に示すように、可動子３は、固定子２の長手方向の中央に配される。さらに、図２０に示すように、外縁部１６ｂが内縁部１７ｂに当接し、可動子３が、一端側で固定される。
【００６２】
以上より、本実施形態によれば、固定子２及び可動子３の軸線Ｌ方向に複数の磁極が形成されるため、可動子３に対する推力を増大させることができ、効率を向上させることができる。
【００６３】
（実施形態８）
次に、本発明の第８の実施形態について説明する。
図２１は、本発明の第８の実施形態を示したものである。
図２１において、図１から図２０に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００６４】
本実施形態においては、凹部６ａ，６ｂの軸線Ｌ方向の長さ寸法がコイル１１ａ，１１ｂの軸線Ｌ方向の長さ寸法よりも大きくなっている。コイル１１ａ，１１ｂは、それぞれ凹部６ａ，６ｂのうち長手方向の中央側に偏心して設けられている。そして、それぞれの凹部６ａ，６ｂの空いた領域に、フランジ１２ａ，１２ｂが配されている。
また、軸部９には、複数の突出部１３ａ，１３ｂが設けられている。
【００６５】
これにより、可動子３の長さ寸法を小さくすることができるとともに、複数の突出部１３ａ，１３ｂによって推力を増大させることができる。
【００６６】
（実施形態９）
次に、本発明の第９の実施形態について説明する。
図２８は、本発明の第９の実施形態を示したものである。
図２８において、図１から図２７に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第１の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００６７】
本実施形態におけるリニアアクチュエータ１ａは、直方体形状かつ中空状のケース５９を備えている。ケース５９の長手方向の両端面の中央には、それぞれ貫通孔３１ａ，３１ｂが形成されている。これら貫通孔３１ａ，３１ｂには、柱状に延びるシャフト３２が挿通されている。さらに、貫通孔３１ａ，３１ｂの縁部には、シャフト３２を往復動可能に支持する軸受け３３ａ，３３ｂがそれぞれ設けられている。
シャフト３２は、鉄などの金属からなるものである。なお、シャフト３２は、特に金属でなくてもよい。ただし、円筒状のアクチュエータでは断面積が小さくなる内径側の方が磁気飽和し易くなるので、シャフト３２を磁性体などにすることにより、飽和を低減することができる点で好ましい。
また、シャフト３２には、円筒状の可動コア（可動子）３６が設けられている。すなわち、可動コア３６の筒孔３６ａにシャフト３２が圧入されることによって、可動コア３６がシャフト３２の長手方向の中央部に固定されている。
【００６８】
可動コア３６は、磁性部材からなっており、長手方向の両端面には、軸線Ｌ方向に直交する方向に延在するフランジ３７ａ，３７ｂが設けられている。フランジ３７ａ，３７ｂは、可動コア３６の両端面の全周にわたって設けられている。また、フランジ３７ａ，３７ｂの縁部の表面側には、径方向外方にいくにしたがって、肉薄となるようなテーパー３８ａ，３８ｂが形成されている。
【００６９】
また、可動コア３６の周囲には、固定コア（固定子）４１が設けられている。固定コア４１は、永久磁石８を挟む第一の環状体４０ａ，４０ｂを備えている。第一の環状体４０ａ，４０ｂは、断面Ｌ字状に形成されており、その底面部分が互いに対向配置されている。第一の環状体４０ａ，４０ｂの軸線Ｌ方向の先端には、断面Ｌ字状の第二の環状体４６ａ，４６ｂが設けられている。第二の環状体４６ａ，４６ｂの底面部分は互いに対向配置されている。そして、第一の環状体４０ａ,４０ｂの内側の面と、第二の環状体４６ａ,４６ｂの底面部とによって、凹部４５ａ，４５ｂが形成されている。
また、第二の環状体４６ａ，４６ｂの底面部に直交する垂直壁部は、軸線Ｌ方向の先端にいくにしたがって、肉厚となるようなテーパー５０ａ，５０ｂが設けられている。
【００７０】
このような構成のもと、上記と同様にして、可動コア３６が往復動し、シャフト３２が軸線Ｌ方向に往復動する。
これにより、可動コア３６に対する吸引力を確実に増大させることができ、効率を向上させることができる。
また、テーパー３８ａ，３８ｂ，５０ａ，５０ｂが形成されていることから、ギャップが急激に変化することなく、そのため、磁束の急激な変化を防止することができる。
【００７１】
（実施形態１０）
次に、本発明の第１０の実施形態について説明する。
図２９は、本発明の第１０の実施形態を示したものである。
図２９において、図１から図２８に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第９の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
【００７２】
本実施形態におけるリニアアクチュエータ１ｂは、直方体形状かつ中空状のケース５９を備えている。ケース５９は磁性部材からなるものである。このケース５９は、磁性部材からなる角筒状のケース本体部（固定子）６０を備えている。
ケース本体部６０の内周面のうち、軸線Ｌ方向の中央部には、径方向内方に突出する突出部（推力発生部）６０ａが設けられている。突出部６０ａは、断面矩形状に形成されており、その先端は平坦面とされている。ケース本体部６０の両端には、磁性部材からなる凸形状の蓋部６１ａ，６１ｂが設けられている。
蓋部６１ａ，６１ｂは、互いに軸線Ｌ方向外方に向けられて対向配置されており、その底面部がケース本体部６０の縁部に取り付けられている。蓋部６１ａ，６１ｂの底面部の中央には、それぞれ凹部７４ａ，７４ｂが設けられている。また、蓋部６１ａ，６１ｂの中央部には、貫通孔６７ａ，６７ｂが形成されており、その貫通孔６７ａ，６７ｂ内には、シャフト３２を往復動可能に支持する軸受け６２ａ，６２ｂが設けられている。
【００７３】
シャフト３２の長手方向の中央部には、円筒状の可動コア（可動子）６９と、同形状の永久磁石６６とが同軸上に設けられて、磁石の着磁方向は軸線Ｌに沿った方向となっている。
可動コア６９は、互いに軸線Ｌ方向外方に向けられて対向配置された凸形状の凸状半体部６３ａ，６３ｂを備えている。凸状半体部６３ａ，６３ｂは、円筒状の本体部７５ａ，７５ｂと、この本体部７５ａ，７５ｂの一端面の中央に設けられた凸部７６ａ，７６ｂとを備えている。
凸状半体部６３ａ，６３ｂの底面部（本体部７５ａ，７５ｂの他端面）は対向配置されており、それら底面部同士の間に、永久磁石６６が設けられている。すなわち、凸状半体部６３ａ，６３ｂの底面部は、永久磁石６６を介して互いに接合されている。なお、凸状半体部６３ａ，６３ｂの外径寸法は、永久磁石６６の外径寸法と同一になっている。ただし、この径により吸引力発生部の面積が決定するので必要な吸引力に応じて決定すればよい。
【００７４】
そして、これら凸状半体部６３ａ，６３ｂ及び永久磁石６６の周面が、突出部６０ａの先端面と、軸線Ｌ方向に直交する方向に対向して配されている。
また、本体部７５ａ，７５ｂの周面には、径方向内方に没する半体凹部７０ａ，７０ｂが全周にわたって設けられている。
さらに、凸部７６ａ，７６ｂは、凹部７４ａ，７４ｂ内にそれぞれ配されている。そして、本体部７５ａ，７５ｂの先端面（吸引力発生部）と、蓋部６１ａ，６１ｂの内縁部分の底面部（吸引力発生部）とが、それぞれ軸線Ｌ方向に対向して配されている。さらに、
凸部７６ａ，７６ｂの先端面（吸引力発生部）と、凹部７４ａ，７４ｂ内の底面（吸引力発生部）とが、それぞれ軸線Ｌ方向に対向して配されている。
また、凸部７６ａ，７６ｂの周面には、先端にいくにしたがって径方向に肉厚となるようなテーパー７１ａ，７１ｂが形成されている。なお、凸部７６ａ，７６ｂは、電流切替時の発生推力を増やすために設けられており、図２５のように、凸部７６ａ，７６ｂは無くても機能上は問題ない。また、テーパー７１ａ，７１ｂは、急激な磁束変化の防止と漏れ磁束低減のために設けられている。
【００７５】
このような構成のもと、コイル１１ａ，１１ｂに通電すると、凸状半体部６３ａ，６３ｂ及び永久磁石６６の周面と、突出部６０ａの先端面との間に磁極が形成され、これにより、シャフト３２に軸線Ｌ方向の推力が働く。さらに、本体部７５ａ，７５ｂの先端面と、蓋部６１ａ，６１ｂの内縁部分の底面部との間に磁極が形成され、これによりシャフト３２に軸線Ｌ方向の吸引力が働く。さらに、凸部７６ａ，７６ｂの先端面と、凹部７４ａ，７４ｂ内の底面との間にも磁極が形成され、これによりシャフト３２に軸線Ｌ方向の吸引力が働く。
【００７６】
以上より、本実施形態におけるリニアアクチュエータ１ｂによれば、本体部７５ａ，７５ｂの先端面に加えて、凸部７６ａ，７６ｂの先端面においても、シャフト３２を吸引する吸引力を発生させることができることから、効率をさらに向上させることができる。
また、凸状半体部６３ａ，６３ｂの周面に、半体凹部７０ａ，７０ｂが全周にわたって設けられており、これら半体凹部７０ａ，７０ｂが磁気抵抗として働くことから、突出部６０ａと永久磁石６６との間の磁束が、軸線Ｌ方向外方に向かうことなく、効率よく磁束ループを形成することができる。また、半体凹部７０ａ，７０ｂは設けなくてもよく、可動部の軽量化を考えたときなどに、磁気飽和を起こさない程度に設けることができる。
また、永久磁石６６がシャフト３２に設けられていることから、図２８における永久磁石８と比べて、永久磁石６６の径を小さくすることができることから、磁石の使用量をすくなくでき、さらにコストを削減することができる。
【００７７】
また、ケース本体部６０と可動コア６９とが、軸線Ｌ方向に重なっていないことから、ケース本体部６０内に可動コア６９を配し、蓋部６１ａ，６１ｂで蓋をするだけで、ケース５９内に、可動コア６９を容易にかつ迅速に組み込むことができる。
さらに、ケース５９が固定子として兼用されていることから、フレームなどが不要となり、そのため部品点数を減少させ、構成を簡易にすることができる。
また、コイル１１ａ，１１ｂや可動コア６９を軸線Ｌ方向に大きくすれば、高さ寸法Ｈ（図２９（ｂ）に示す）を維持したまま、損失の低減が図れるなど、性能を向上させることができる。また、コイル１１ａ，１１ｂを軸線Ｌ方向に大きくすれば、それらの断面積を一定にし、高さ寸法Hを小さくできるので、設計自由度を向上させることができる。
【００７８】
なお、本発明の技術範囲は上記第１から第１０の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、図２２に示すように、軸線Ｌ方向に直交する方向に磁極を向けた永久磁石８を二つ設けてもよい。
また、図２３に示すように、一体成形された環状体７に径方向に延びる凹部３１を設けて、この凹部３１に永久磁石８を設けてもよい。
また、図２４（ａ）及び（ｂ）に示すように、固定子２及び可動子３を矩形状に形成してもよい。この場合、可動子３の往復動方向と直交する方向（矢印で示すＮ方向）にケイ素鋼板などを積層して固定子２を形成することができることから、損失を抑制することができる。
【００７９】
また、図２５に示すように、コイル１１ａ，１１ｂを軸部９に設けてもよい。ただし、固定子２側にコイル１１ａ，１１ｂを設けた方が、可動による断線のおそれがない点で好ましい。
また、可動子３が、軸受け部材により支持されるとしたが、これに限ることはなく、コイルバネや板バネなどの弾性体で支持するようにしてもよい。
また、外側を固定子２とし、内側を可動子３としたが、これに限ることはなく、外側の部材を可動子とし、内側の部材を固定子としてもよい。
なお、上記第１から第８の実施形態と上記変形例を自由に組み合わせることができることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明に係るリニアアクチュエータの第１の実施形態を示す図であって、（ａ）は、固定子の半分を破断した様子を示す側面図、（ｂ）は、軸線Ｌ方向から見た正面図である。
【図２】図１のリニアアクチュエータにおいて、コイルに通電していないときの磁束の様子を示す説明図である。
【図３】図２のコイルに一方向に通電したときの磁束の様子を示す説明図である。
【図４】図３の可動子が固定子の長手方向の中央に配された様子を示す説明図である。
【図５】図４の固定子がさらにｘ方向に移動して、固定子と一端側のフランジとが接触した様子を示す説明図である。
【図６】図５のリニアアクチュエータにおいて、コイルに通電していないときの磁束の様子を示す説明図である。
【図７】図６のコイルに反対方向に通電したときの磁束の様子を示す説明図である。
【図８】図１の可動子の位置と、可動子に加わる発生力との関係を示すグラフである。
【図９】本発明に係るリニアアクチュエータの第２の実施形態を示す側断面図である。
【図１０】本発明に係るリニアアクチュエータの第３の実施形態を示す側断面図である。
【図１１】本発明に係るリニアアクチュエータの第４の実施形態を示す側断面図である。
【図１２】本発明に係るリニアアクチュエータの第５の実施形態を示す側断面図である。
【図１３】本発明に係るリニアアクチュエータの第６の実施形態を示す図であって、コイルに通電していないときの磁束の様子を示す説明図である。
【図１４】図１３のコイルに一方向に通電したときの磁束の様子を示す説明図である。
【図１５】図１４の可動子が固定子の長手方向の中央に配された様子を示す説明図である。
【図１６】図１５の固定子がさらにｘ方向に移動して、固定子と一端側のフランジとが接触した様子を示す説明図である。
【図１７】本発明に係るリニアアクチュエータの第７の実施形態を示す図であって、コイルに通電していないときの磁束の様子を示す説明図である。
【図１８】図１７のコイルに一方向に通電したときの磁束の様子を示す説明図である。
【図１９】図１８の可動子が固定子の長手方向の中央に配された様子を示す説明図である。
【図２０】図１９の固定子がさらにｘ方向に移動して、固定子と一端側のフランジとが接触した様子を示す説明図である。
【図２１】本発明に係るリニアアクチュエータの第８の実施形態を示す側断面図である。
【図２２】本発明に係るリニアアクチュエータの第一の変形例を示す側断面図である。
【図２３】本発明に係るリニアアクチュエータの第二の変形例を示す側断面図である。
【図２４】本発明に係るリニアアクチュエータの第三の変形例を示す図であって、（ａ）は側断面図、（ｂ）は軸線Ｌ方向から見た正面図である。
【図２５】本発明に係るリニアアクチュエータの第四の変形例を示す側断面図である。
【図２６】図１１に示す段差部の変形例を示す側断面図である。
【図２７】図１２に示す外方突出部の変形例を示す側断面図である。
【図２８】本発明に係るリニアアクチュエータの第９の実施形態を示す図であって、（ａ）は、リニアアクチュエータを側面から見た様子を示す断面図、（ｂ）は、軸線Ｌ方向から見た正面図である。
【図２９】本発明に係るリニアアクチュエータの第１０の実施形態を示す図であって、（ａ）は、リニアアクチュエータを側面から見た様子を示す断面図、（ｂ）は、軸線Ｌ方向から見た正面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１，１ａ，１ｂ    リニアアクチュエータ
２    固定子
３    可動子
８，６６    永久磁石
１１ａ，１１ｂ  コイル（推力発生部、吸引力発生部）
１２ａ，１２ｂ  フランジ（突出壁部、吸引力発生部）
１３  突出部（推力発生部）
２０  弾性部材（緩衝部材）
２１ａ，２１ｂ  補助磁石（磁性体）
２４ａ，２４ｂ  段差部（補助突出部）
２７ａ，２７ｂ  外方突出部（補助突出部）
３６，６９  可動コア（可動子）
４１  固定コア（固定子）
６０  ケース本体部（固定子）
６０ａ  突出部（推力発生部）
【図１】
2008172993.tif 000003
【図２】
2008172993.tif 000004
【図３】
2008172993.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008172993.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008172993.tif 000009
【図８】
2008172993.tif 000010
【図９】
2008172993.tif 000011
【図１０】
2008172993.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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