(57)【要約】【課題】画質検査装置のコスト低減を図る。【解決手段】点灯した状態でカメラによって撮影された検査対象板の画像を処理して検査を行う画質検査装置である。前記検査対象板の画像を撮影するために外光を遮った暗箱と、当該暗箱内に設置されシャッター機能をなくしたカメラと、前記暗箱内に設置されシャッター時間だけ点灯して前記検査対象板の検査面を照明する光源とを備えた。前記光源の点灯時間と光量を前記検査対象板に応じた値に設置する設定部をさらに備えた。この画質検査装置により、外光を遮った暗箱内で、シャッター機能をなくした前記カメラに面して前記検査対象板を配置し、前記カメラのシャッター時間だけ光源を点灯させて前記検査対象板の検査面を照明して、前記カメラで前記検査対象板の検査面を撮影する。【選択図】図１
2008129244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源を点灯した状態で撮影機器によって撮影された検査対象板の画像を処理して検査を行う画質検査装置であって、
前記検査対象板の画像を撮影するために外光を遮った暗箱と、
当該暗箱内に設置されシャッター機能をなくした撮影機器と、
前記暗箱内に設置されシャッター時間だけ点灯して前記検査対象板の検査面を照明する前記光源と
を備えたことを特徴とする画質検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画質検査装置において、
前記光源の点灯時間と光量を前記検査対象板に応じた値に設置する設定部をさらに備えたことを特徴とする画質検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の画質検査装置において、
前記撮影機器がＣＣＤ又はＣＭＯＳを備えたデジタルカメラであり、前記検査対象板が液晶表示用基板であることを特徴とする画質検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画質検査装置において、
前記光源が発光ダイオード又はエレクトロルミネセンスであることを特徴とする画質検査装置。
【請求項５】
点灯した状態で撮影機器によって検査対象板の検査面を撮影し、撮影した画像を処理して検査を行う画質検査方法であって、
外光を遮った暗箱内で、シャッター機能をなくした前記撮影機器に面して前記検査対象板を配置し、前記撮影機器のシャッター時間だけ光源を点灯させて前記検査対象板の検査面を照明して、前記撮影機器で前記検査対象板の検査面を撮影することを特徴とする画質検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の画質検査方法において、
前記光源の点灯時間と光量を前記検査対象板に応じた値に設置することを特徴とする画質検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮影機器で撮影した検査対象板の画像を処理して点灯検査を行う画質検査装置及び画質検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用ディスプレイとして用いられる液晶パネルの製造工程における検査の１つに次のような検査がある。この検査は、セル工程の最終検査で液晶を封入した液晶パネルを点灯させた状態で、テストパターンを表示させて液晶パネルの動作状態を確認する検査がある。この検査は点灯検査と呼ばれ、色度、色むら、コントラスト等の検査を行う。この点灯検査に使用する画質検査装置としては、特許文献１のような、ＣＣＤカメラを使用してテストパターンを検査する自動画質検査装置がある。
【特許文献１】特開２００５−５５２７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前記従来の液晶パネルの自動画質検査装置では、それに使用する既存のＣＣＤ（電荷結合素子）カメラにかかるコストが、画質検査装置全体のコストの中で大きなウエイトを占めている。即ち、このＣＣＤカメラが高コストであるため、画質検査装置が高価なものとなっていた。
【０００４】
また、従来の検査装置では、液晶パネルの画像を表示させるためのバックライトとして点灯・消灯に時間を要する蛍光管を使用していたため、常時点灯させる必要があった。即ち、蛍光管は点灯・消灯に時間を要するため、画質検査を受ける液晶パネルを交換する毎にこの蛍光管を点灯・消灯していては、迅速な画質検査を行うことができない。そのため、画質検査の間はバックライト（蛍光管）を常時点灯させる必要がある。そして、このバックライトは消費電力が大きいため、検査中ずっとバックライトを点灯し続けると、ランニングコストが嵩んでしまう。特に、液晶パネルの画質検査中の消費電力においてバックライトの消費する電力の占める割合が大きいため、検査工程でのランニングコストを押し上げる要因になっていた。
【０００５】
また、画質検査の間は、バックライトの蛍光灯を常時点灯させる必要があるため、この蛍光灯の寿命も短くなり、この点でもランニングコストが嵩んでいた。
【０００６】
本発明の目的は、部品コストを低減して装置全体のコスト低減を図ると共に、ランニングコストの低減を図った画質検査装置及び画質検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る画質検査装置は、前記課題を解決するためになされたもので、光源を点灯した状態で撮影機器によって撮影された検査対象板の画像を処理して検査を行う画質検査装置であって、前記検査対象板の画像を撮影するために外光を遮った暗箱と、当該暗箱内に設置されシャッター機能をなくした撮影機器と、前記暗箱内に設置されシャッター時間だけ点灯して前記検査対象板の検査面を照明する前記光源とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記構成により、前記暗箱内の前記撮影機器に面して前記検査対象板を設置して、前記光源をシャッター時間だけ点灯して前記検査対象板の検査面を照明する。これにより、シャッター機能をなくした前記撮影機器で前記検査対象板の画像を撮影する。
【０００９】
前記光源の点灯時間と光量を前記検査対象板に応じた値に設置する設定部をさらに備えることが望ましい。
【００１０】
前記撮影機器は、前記検査対象板としての液晶表示用基板を撮影するＣＣＤ又はＣＭＯＳを備えたデジタルカメラであることが望ましい。
【００１１】
また、前記光源は寿命の長い発光ダイオード又はエレクトロルミネセンスであることが望ましい。
【００１２】
本発明に係る画質検査方法は、点灯した状態で撮影機器によって検査対象板の検査面を撮影し、撮影した画像を処理して検査を行う画質検査方法であって、外光を遮った暗箱内で、シャッター機能をなくした前記撮影機器に面して前記検査対象板を配置し、前記撮影機器のシャッター時間だけ光源を点灯させて前記検査対象板の検査面を照明して、前記撮影機器で前記検査対象板の検査面を撮影することを特徴とする。
【００１３】
前記構成により、前記撮影機器がシャッター機能によって前記検査対象板を撮影するのではなく、光源がシャッター時間だけ点灯することで前記検査対象板を撮影するため、シャッターの寿命に左右されずに、画質検査を行うことができる。
【００１４】
前記画質検査方法では、前記光源の点灯時間と光量を前記検査対象板に応じた値に設置することが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００１６】
光源がシャッター時間だけ点灯して、シャッター機能をなくした前記撮影機器で前記検査対象板の画像を撮影するため、シャッターの寿命に左右されずに、画質検査を行うことができる。この結果、シャッターを取り除いたカメラや、シャッター機能を停止して開放状態にした市販のデジタルカメラ等を使用することができる。カメラからシャッターを取り除くことで部品点数を減少させて、画質検査装置のコスト低減を図ることができる。また、高機能で安価な市販のデジタルカメラを使用できるようにすることで、画質検査装置のコスト低減を図ることができる。
【００１７】
さらに、前記光源を寿命の長い発光ダイオード又はエレクトロルミネセンスを用いることで、光源の交換回数を減らして、ランニングコストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態に係る画質検査装置及び画質検査方法について、添付図面を参照しながら説明する。
【００１９】
本発明は、画質検査装置の専用部品として組み込んでいた高価なＣＣＤカメラを、安価な市販のデジタルカメラに変更して画質検査装置のコスト低減を図ることができないか検討してなしたものである。
【００２０】
画質検査装置のカメラとして、ＣＣＤからなるイメージセンサを有する市販のデジタルカメラを使用すると、カメラの部品コストを大幅に低減できる。しかし、市販のデジタルカメラを画質検査装置に適用する場合は、メカニカルシャッターの破損が問題となる。市販のデジタルカメラにはメカニカルシャッターが装着されているが、このメカニカルシャッターの寿命はおよそ１５万回〜２０万回である。即ち、このメカニカルシャッターは、おおよそ１５万回〜２０万回の開閉で寿命になるように設計されている。
【００２１】
一方、液晶パネルの画質検査では、１枚の液晶パネルに対して、通常２０回以上の画像撮影が必要となっている。そのため、通常の画質検査においては、約１万枚の液晶パネルの検査でメカニカルシャッターの寿命がきてしまう。１日に千枚弱の液晶パネルを検査すれば、メカニカルシャッターの寿命は半月程度しか持たない。このため、本実施形態に係る画質検査装置及び画質検査方法は、次のように構成して、かかる問題を解消した。
【００２２】
［画質検査装置］
本実施形態に係る画質検査装置は、点灯した状態で撮影機器によって撮影された検査対象板の画像を処理して検査を行う画質検査装置である。この画質検査装置の全体構成は、公知の画質検査装置とほぼ同様であるため、ここでは本発明の特徴部分を中心に説明する。また、ここでは検査対象板として、表示用基板である液晶パネルを例に説明する。一般に、液晶パネルの画像表示方法には大別して透過型と反射型がある。透過型液晶パネルでは光源にバックライトからの光を用いて表示される。反射型液晶パネルでは戸外の光や照明灯の外光を用いて画像を表示される。本実施形態においては検査対象板として透過型の液晶パネルを例に説明する。
【００２３】
画質検査装置は、図１、２に示すように主に、暗箱１と、チャックステージ２と、プローブユニット３と、パネル搬送部４（図２参照）と、画質検査部５と、制御部６とを備えて構成されている。他の構成部分は、公知の画質検査装置と同様である。
【００２４】
暗箱１は、液晶パネル１０の画像を撮影するためにノイズとなる外交を遮るカバーである。即ち、暗箱１は、画質検査においてノイズとなる外光が画質検査部５の後述する撮影機器４１に入ることを防止するためのカバーである。この暗箱１は、外光を遮って撮影用光源からの光だけを液晶パネル１０に照射させる。暗箱１は、後述する、撮影機器４１、ＸＹＺθステージ１１、バックライト１２、ワークテーブル１３、このワークテーブル１３に支持される液晶パネル１０、プローブユニット３の全てを覆う。本暗箱１を設けることにより、外光が撮影機器４１の受光面に入ることがなくなり、撮影機器４１での液晶パネル１０の画像の露光をバックライト１２の点灯・消灯により調整できるようになる。すなわち、バックライト１２の点灯・消灯機能が従来のシャッターの開閉機能に対応する。暗箱１には自動開閉扉(図示せず)が設けられている。この自動開閉扉は、パネル搬送部４での液晶パネル１０の出し入れの際に、自動的に開閉して液晶パネル１０を通すための扉である。この自動開閉扉は、扉制御部７（図２参照）によって制御されている。この扉制御部７は、制御部６に接続されて、パネル搬送部４と連動させた状態で、自動開閉扉を開閉制御する。扉制御部７は具体的には、回転可能に支持された開閉扉の回転軸に連結された駆動モータ(図示せず)を回転制御する制御装置で、公知の装置を用いることができる。
【００２５】
チャックステージ２は、液晶パネル１０を支持して、検査するための装置である。このチャックステージ２は、ＸＹＺθテーブル１１と、バックライト１２と、ワークテーブル１３とを備えて構成れている。
【００２６】
ＸＹＺθステージ１１は、その前面でバックライト１２とワークテーブル１３を支持して、このワークテーブル１３に取り付けられた液晶パネル１０の位置合わせを行うアライメントステージである。このＸＹＺθテーブル１１は、液晶パネル１０を支持するワークテーブル１３を支持して、ＸＹＺ軸方向に移動させ、θ方向に回転させてＸＹＺθ方向の位置を調整する。このためＸＹＺθテーブル１１には、ワークテーブル１３をＸＹ軸方向に移動させる駆動モータ（図示せず）と、ワークテーブル１３をθ回転方向に回転させる駆動モータ(図示せず)と、ワークテーブル１３をＺ軸方向に移動させる駆動モータ(図示せず)とが設けられている。各駆動モータは制御部６にそれぞれ接続され、この制御部６によって上記液晶パネル１０が正確に位置決めされる。これにより、ＸＹＺθテーブル１１で、ワークテーブル１３に載置された液晶パネル１０の位置を調整して、液晶パネル１０の表面の電極(図示せず)とプローブユニット３のプローブ(図示せず)との位置合わせをして互いに接触させる。
【００２７】
バックライト１２は、シャッター時間だけ点灯して、ワークテーブル１３に支持された液晶パネル１０の検査面をその背後から照明するための光源である。液晶パネル１０は、自己発光はせず、他からの光の量を制御することで画像を表示する表示体素子なので、検査する際に光源が必要となる。バックライト１２は、このための光源である。このバックライト１２は、筐体１５と、光源１６とから構成されている。
【００２８】
筐体１５は、その内部に光源１６を装着するための箱材である。光源１６は、検査光を作るための光源であって、発光ダイオード（ＬＥＤ）で構成されている。発光ダイオードは、点灯・消灯を迅速に行うことができる。このため、発光ダイオードは、後述するバックライト制御装置１７による制御によって、設定されたシャッター時間だけ、設定された光量で点灯して前記液晶パネル１０の検査面を照明する。即ち、発光ダイオードからなる光源１６は、撮影機器４１のシャッターの機能を果たす。光源１６は、多数の発光ダイオードを均等に又はほぼ均等に且つ面状に配設して、均一な面発光になるように構成されている。これにより、光源１６は、設定時間だけ設定光量で面状発光して、撮影機器４１のシャッターの変わりを果たす。
【００２９】
バックライト１２は、ＸＹＺθテーブル１１の上端部に支持されたトップベース板１１Ａと、支柱１８で支持されたワークテーブル受け板１９との間に設けられている。
【００３０】
バックライト制御装置１７は、バックライト１２に接続されて、このバックライト１２を撮影機器４１のシャッターとして機能させるための制御装置である。バックライト制御装置１７は、設定されたシャッター時間だけ、設定された光量で点灯するようにバックライト１２を制御する。バックライト制御装置１７は、検査対象である液晶パネル１０の交換のタイミングに合わせてバックライト１２の点灯・消灯を繰り返す。このバックライト制御装置１７の点灯タイミング制御は、内部に組み込まれたソフトウェアで行ったり、制御部６で行ったりする。このバックライト制御装置１７による制御によって、バックライト１２が、設定されたシャッター時間だけ、設定された光量で点灯することによって、前記液晶パネル１０の検査面が照明されて、その映像が撮影機器４１によって撮影される。
【００３１】
設定部２１は、バックライト１２の点灯時間と光量を液晶パネル１０に応じた値に設置するための装置である。この設定部２１は、キーボード等で構成され、検査対象の液晶パネル１０の諸条件等に応じた値のシャッター時間と光量が作業者によって入力される。
【００３２】
ワークテーブル１３は、液晶パネル１０を支持するための部材である。ワークテーブル１３は、液晶パネル１０を支持してＸＹＺθテーブル１１で位置合わせされて、液晶パネル１０の表面の電極をプローブユニット３のプローブに接触させる。このワークテーブル１３は、ワークテーブル受け板１９に取り付けられたワークテーブルベース２３と、このワークテーブルベース２３に取り付けられたパネル受け部２４と、このパネル受け部２４内に取り付けられてバックライト１２からの光を液晶パネル１０側へ導く導光板２５と、この導光板２５で液晶パネル１０側へ導かれた光を拡散して調整する拡散板２６とから構成される。
【００３３】
導光板２５は、透明なアクリル樹脂から構成されている。この導光板２５内に取り入れられた光は、全反射しながら進んで導光板２５の上面の拡散板２６に導かれる。拡散板２６は、バックライト１２の光を散乱・拡散させる部材であり、広い面全体を均一な明るさにするために使用する。導光板２５は、バックライト１２の光を均一な面光源にする役割を持つ。
【００３４】
プローブユニット３は、液晶パネル１０の表面に形成された電気回路(図示せず)に電気信号を印加するための装置である。プローブユニット１２は、その先端にプローブ(図示せず)を備え、このプローブが前記電気回路の電極に接触される。このプローブユニット３は、液晶パネル１０に画像を表示させるべく前記プローブを介して電極に通電する。プローブユニット３は具体的には、プローブベース３０と、サスペンションブロック３１と、プローブブロック３２と、アライメントカメラ３３と、プローブステージ３４と、信号発生装置３５とから構成されている。
【００３５】
プローブベース３０は、サスペンションブロック３１と、プローブブロック３２とを支持するための部材である。プローブベース３０は、ワークテーブル１３に支持された液晶パネル１０に臨ませた状態でプローブステージ３４に固定されている。
【００３６】
アライメントカメラ３３は、液晶パネル１０に設けられたマークを見ながら液晶パネル１０の位置決めをするカメラである。画質検査は暗箱１内で行われるが、アライメントカメラ３３による位置決めは、このアライメントカメラ３３に設けられた光源（図示しない）により光を液晶パネル１０に照射し、液晶パネル１０のマークを観察することによりなされる。
【００３７】
プローブステージ３４は、画質検査装置のフレーム(図示せず)に固定された状態で、プローブベース３０を支持している。
【００３８】
信号発生装置３５は、所定の検査用信号をプローブユニット３を介して液晶パネル１０に設けられた電極に通電するための装置である。
【００３９】
プローブブロック３２はその先端に複数のプローブ(図示せず)を有し、このプローブが液晶パネル１０の各電極に当接することによって液晶パネル１０に通電がなされる。プローブと液晶パネル１０の各電極の当接は、ワークテーブル１３に支持された液晶パネル１０がＸＹＺθテーブル１１で移動されて位置決めされることによりなされる。
【００４０】
パネル搬送部４は、外部から液晶パネル１０を搬入してチャックステージ２のワークテーブル１３に載置し、検査終了後の液晶パネル１０をワークテーブル１３から取り出して外部に搬出するための装置である。パネル搬送部４は、前記扉制御部７と連動して液晶パネル１０の出し入れを行う。このパネル搬送部４としては、公知の装置全てを用いることができる。
【００４１】
画質検査部５は、チャックステージ２のワークテーブル１３に載置された液晶パネル１０を撮影して、画像処理により、液晶パネル１０の画質等を検査するための装置である。画質検査部５は、撮影機器４１と、画像処理装置４２とから構成されている。
【００４２】
撮影機器４１は、液晶パネル１０に表示される画像を撮影するための機器である。この撮影機器４１としては、シャッター機能をなくしたカメラを用いる。シャッター機能をなくす手段としては、シャッター機能を停止して開放状態に保持したり、シャッター自体を除去したりする。前記カメラとしては、市販のデジタルカメラを用いることができる。このデジタルカメラのシャッター機能を前記の手段によりなくして開放状態にする。また、画質検査装置に元々装着されているＣＣＤカメラのシャッター機構を取り除いて使用してもよい。ＣＣＤまたはＣＭＯＳからなるイメージセンサを備えたカメラを用いることができる。撮影機器４１は、その受光面を液晶パネル１０に臨ませた状態で、液晶パネル１０の前面にその液晶パネル１０から一定間隔をおいて設置される。
【００４３】
画像処理装置４２は、液晶パネル１０の良否を判定するための装置である。画像処理装置４２は、撮影機器４１で撮影した液晶パネル１０の画像データを用いて、画像処理を行い、液晶パネル１０の良否を判定する。画像処理装置４２は制御部６に接続され、バックライト制御装置１７と連動して、シャッター機能のない撮影機器４１で撮影した画像データを処理する。即ち、画像処理装置４２は、バックライト制御装置１７と連動して撮影機器４１で撮影した画像データを取り込んで処理を施して、画質等の検査をする。この画像処理装置４２としては、公知の画像処理装置を用いることができる。
【００４４】
制御部６は、画質検査装置全体を制御するための装置である。この制御部６は制御コンピュータ(図示せず)を備えて構成されている。制御部６は、パネル搬送部４、扉制御部７、ＸＹＺθテーブル１１、バックライト制御装置１７、設定部２１、画像処理装置４２に接続されて、これらをそれぞれ制御する。
【００４５】
［画質検査方法］
以上のように構成された画質検査装置は、次のように動作する。ここでは、液晶パネル１０の画質検査を行うが、液晶パネル１０の場合には、偏光板貼り前工程、セル工程（偏光板貼り後）、モジュール工程等で検査が行われる。この検査工程での画質検査装置の動作を説明する。
【００４６】
まず、画質検査に先だって、暗箱１内に画質検査装置のチャックステージ２、プローブユニット３、画質検査部５等を配置しておく。暗箱１内にチャックステージ２等を予め組み込んで構成しておく場合もある。この状態で、画質検査部５の撮影機器４１は、その受光面が常時開放状態にしておき、バックライト１２は消灯させておく。また、設定部２１で、バックライト１２の点灯時間と光量を、検査対象の液晶パネル１０に応じた値に設置する。
【００４７】
次いで、第１工程として、暗箱１内での液晶パネル１０の位置決めを行う。液晶パネル１０を、パネル搬送部４及び扉制御部７の連動によって、外部から暗箱１内に搬送して、ワークテーブル１３に載せる。次いで、アライメントカメラ３３を用いて液晶パネル１０の位置決めを行う。この位置決めは暗室１内で行われるが、アライメントカメラ３３に設けられた光源により光を液晶パネル１０に照射し、液晶パネル１０に設けられたマークを観察し、ＸＹＺθテーブル１１を使用して液晶パネル１０を支持するワークテーブル１３のＸＹＺ軸方向の調整とθ軸方向の調整を行う。これにより、液晶パネル１０を撮影機器４１の前面に正確に位置決めする。
【００４８】
次に、第２工程として、画像表示を行う。信号発生装置３５からプローブユニット３に検査用信号を送信する。検査用信号を受けたプローブユニット３は、プローブブロック３２のプローブから液晶パネル１０に設けられた電極に電圧を印加する。これにより液晶パネル１０は、この電圧の印加で液晶パネル１０内部の分子の並び方が変わり、画像を表示できる状態になる。即ち、バックライト１２が点灯されて液晶パネル１０が照明されると、このバックライト１２からの光を受けて画像を表示できる状態になる。
【００４９】
次に、第３工程として点灯検査を行う。前記状態で、バックライト１２を点灯させて、液晶パネル１０に画像を表示させる。即ち、設定されたシャッター時間（点灯時間）だけ、設定された光量でバックライト１２が点灯する。
【００５０】
画質検査は外光の入らない暗箱１内で行い、撮影機器４１の受光面は常時開放しているので、撮影機器４１は、バックライト１２の点灯時間だけ露光して、液晶パネル１０の画像のみを撮影する。撮影機器４１で撮影した画像データは画像処理装置４２に送信される。画像処理装置４２は、この画像データに基づく出力信号を用いて画像処理を行い、液晶パネル１０の良否を判定する。
【００５１】
液晶パネル１０の画像を撮影機器４１で撮影した後は、シャッター時間経過後にバックライト１２が消灯する。この消灯により、液晶パネル１０の画像表示は終了される。これで１枚の液晶パネル１０の画質検査が終了する。なお、必要に応じて、数枚の画像を撮影する場合もある。画質検査が終了した液晶パネル１０は、パネル搬送部４で暗箱１内から外部に搬送する。
【００５２】
次に、第４工程として新たな液晶パネル１０の搬入処理を行う。次の画質検査の対象となる液晶パネル１０を暗箱１内に外部から搬送して、位置決めを行う。
【００５３】
これ以降は、検査対象となる全ての液晶パネル１０の画質検査が終了するまで、各液晶パネル１０につき前記工程を繰り返す。なお、液晶パネル１０を交換するタイミングに合わせてバックライト１２を点灯・消灯するタイミングは、制御部６及びバックライト制御装置１７により制御される。
【００５４】
［効果］
以上のように、本実施形態の画質検査装置及び画質検査方法によれば、次のような効果を奏する。
【００５５】
暗箱１内の撮影機器４１に面して液晶パネル１０を設置して、バックライト１２をシャッター時間だけ点灯して液晶パネル１０の検査面を照明して、シャッター機能をなくした前記撮影機器４１で前記液晶パネル１０の画像を撮影するため、コスト低減を図ることができる。即ち、バックライト１２がシャッター時間だけ点灯してシャッター機能を果たすため、シャッター機能をなくした撮影機器４１で液晶パネル１０の画像を撮影することができ、シャッターの寿命に左右されることがなくなる。この結果、シャッターを取り除いたカメラや、シャッター機能を停止して開放状態にした市販のデジタルカメラ等を使用することができ、シャッターを取り除くことで部品点数を減少し、画質検査装置のコスト低減を図ることができる。また、高機能で安価な市販のデジタルカメラを使用できるため、画質検査装置のコスト低減を図ることができる。
【００５６】
さらに、前記バックライト１２を寿命の長い発光ダイオード又はエレクトロルミネセンスで構成するため、バックライト１２の光源の交換回数を減らすことができ、ランニングコストの低減を図ることができる。
【００５７】
バックライト１２の光源として発光ダイオードを使用することにより、光源での消費電力量を小さくすることができ、ランニングコストの低減を図ることができる。
【００５８】
また、バックライト１２の点灯・消灯が迅速に行えるため、バックライト１２の点灯・消灯のタイミングを液晶パネル１０の交換作業のタイミングに対応させて画質検査を行うことで、迅速な画質検査が可能になる。
【００５９】
また、画質検査中にバックライト１２を常時点灯させる必要がなくなり、バックライト１２での消費電力量をさらに小さくすることができる。
【００６０】
また、発行ダイオードは、蛍光灯に比べて発熱量が小さい。そのため、液晶パネル１０の熱膨張の影響を抑えることができ、液晶パネル１０に画像を表示させるための検査装置のプローブと液晶パネル１０の電極との接触のずれを少なくすることができる。このため、特に、近年普及が進む大型の液晶パネル１０に対して有効である。
【００６１】
撮影機器４１の受光のタイミングを、メカニカルシャッターの開閉でなく、バックライト１２の点灯・消灯で調整するため、液晶パネル１０の撮影においてメカニカルシャッター自体若しくはメカニカルシャッターの開閉が不要となり、メカニカルシャッターの破損のおそれがなく、メカニカルシャッターの寿命によらず画質検査を長期間継続できる。
【００６２】
［変形例］
前記実施形態では、バックライト１２の光源として発光ダイオードを用いたが、エレクトロルミネセンス（有機ＥＬランプ又は無機ＥＬランプ）でもよい。このＥＬランプは、面発光であり、応答速度が速く、点滅時の残光がないという利点があり、前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００６３】
前記実施形態では、バックライト１２を透過型の液晶パネル１０の背面側に配置して液晶パネル１０をその背面から照明するようにしたが、反射型の液晶パネル１０の場合は、液晶パネル１０の正面側から照明することになる。具体的には、図３に示すように、ワークテーブル１３に導光板２５、拡散板２６を設けずに、バックライト１２の代わりに、液晶パネル１０の上方に光源５１を配設する。この光源５１は、液晶パネル１０から十分に離れていれば、点光源でもよい。光源５１は、液晶パネル１０の全面を均等に照明できるように、１個又は複数個配設する。この光源５１がバックライト１２と同様に、シャッター時間だけ、設定光量で点灯される。これにより、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００６４】
また、光源として、液晶パネル１０の表示面の背後（バックライト１２）または上方向（光源５１）に限らず、横方向に配置することもできる。これはいわゆるサイドライト方式バックライトの例であり、この場合、図３のワークテーブル１３の周辺に光源(図示せず)が配設されることになる。そして、ワークテーブル１３を透明部材で構成して、周辺から内部に侵入した光をこのワークテーブル１３内で全反射させて拡散し、液晶パネル１０の背面に均等に照射させる。また、ワークテーブル１３の内部の屈折率をグラデーション状に徐々に変化させて、周辺から取り込んだ光を、液晶パネル１０の背面に均等に照射するように偏光させて、液晶パネル１０の背面に均等に照射させる。
【００６５】
本発明は、上記の実施形態及び変形例に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない限り、種々の変更が可能である。例えば、検査対象板としては、液晶パネル１０に限らず、エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ又は無機ＥＬ）、発行ダイオードを用いた表示パネル、薄膜トランジスタを用いたガラス基板等、他の表示パネルであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施形態に係る画質検査装置を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る画質検査装置を示す機能ブロック図である。
【図３】変形例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００６７】
１：暗箱、２：チャックステージ、３：プローブユニット、４：パネル搬送部、５：画質検査部、６：制御部、７：扉制御部、１０：液晶パネル、１１：ＸＹＺθテーブル、１２：バックライト、１３：ワークテーブル、１５：筐体、１６：光源、１７：バックライト制御装置、２１：設定部、２３：ワークテーブルベース、２４：パネル受け部、２５：導光板、２６：拡散板、３０：プローブベース、３１：サスペンションブロック、３２：プローブブロック、３３：アライメントカメラ、３４：プローブステージ、３５：信号発生装置、４１：撮影機器、４２：画像処理装置、５１：光源。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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