(57)【要約】【課題】マイクロ波を利用して対象物を乾燥させる乾燥装置の小型化を図る。【解決手段】乾燥装置としての前段ユニット（20）には、横長の本体ケーシング（21）が設けられる。本体ケーシング（21）の内部空間は、４つの照射ゾーン（31〜34）に仕切られる。各照射ゾーン（31〜34）には、トレイユニット（10）が１つずつ収容される。各トレイユニット（10）では、４枚の金属製の搬送用トレイ（14）が上下に配列され、搬送用トレイ（14）同士の間隔がマイクロ波の波長の半分（λ／２）以上に設定される。各搬送用トレイ（14）には、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末が載せられる。各照射ゾーン（31〜34）では、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第４照射ゾーン（34）へ向かって順に移動し、搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波が照射される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水分を含んだ対象物にマイクロ波を照射することによって該対象物を乾燥させる乾燥装置であって、
上記水分を含んだ対象物を載せるための金属製の搬送用トレイ（14）と、
複数の上記搬送用トレイ（14）を所定の間隔で上下に配列された状態で収容し、収容されている該搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波を照射する本体部（20）とを備えており、
上記搬送用トレイ（14）に対して照射されるマイクロ波の波長をλとしたときに、上記本体部（20）では上下に隣接する搬送用トレイ（14）の間隔がλ／２以上に設定されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記本体部（20）には、上下に配列された上記搬送用トレイ（14）を収容するための収容空間を形成する金属製のケーシング部材（21）が設けられており、
上記搬送用トレイ（14）の側部と上記ケーシング部材（21）のうち該搬送用トレイ（14）の側部と対向する部分との距離がλ以上に設定されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
上記本体部（20）は、上記搬送用トレイ（14）に対して複数方向からマイクロ波を照射するように構成されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項４】
請求項３において、
上記本体部（20）は、上記搬送用トレイ（14）を上下に配列された状態で搬送する搬送機構（25）を備え、上記搬送用トレイ（14）が移動するにつれて該搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が変化するように構成されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項５】
請求項３において、
上記本体部（20）は、上記搬送用トレイ（14）を上下に配列された状態で搬送する搬送機構（25）と、それぞれが上記搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波を照射する複数のマイクロ波照射部（40,45,…）とを備えており、
上記複数のマイクロ波照射部（40,45,…）は、上記搬送用トレイ（14）の移動方向に沿ってマイクロ波の照射方向が互いに相違するように配置されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項６】
請求項５において、
上記搬送用トレイ（14）は、矩形状に形成される一方、
上記マイクロ波照射部（40,45,…）は、上記搬送用トレイ（14）の各辺に対応して１つずつ設けられている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項７】
請求項４，５又は６において、
上記本体部（20）では、互いにλ／２以上の間隔をおいて上下に配列された複数の上記搬送用トレイ（14）から成るトレイユニット（10）が形成され、上記搬送機構（25）が該トレイユニット（10）を水平方向へ移動させるように構成されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項８】
請求項６において、
上記本体部（20）では、互いにλ／２以上の間隔をおいて上下に配列された複数の上記搬送用トレイ（14）から成るトレイユニット（10）が形成され、上記搬送機構（25）が該トレイユニット（10）を水平方向へ移動させるように構成される一方、
上記各マイクロ波照射部（40,45,…）は、上記トレイユニット（10）を構成する各搬送用トレイ（14）の側方に１つずつ設けられた照射口（43,48,…）を備え、各照射口（43,48,…）から搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波を照射するように構成されている
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか１つにおいて、
乾燥させる対象物が樹脂粉末である
ことを特徴とする乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波を照射することによって対象物を乾燥させる乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、水分を含んだ対象物にマイクロ波を照射し、対象物に含まれる水分を蒸発させる乾燥装置が知られている。例えば、特許文献１には、粉末状のポリテトラフルオロエチレン（以下では「ＰＴＦＥ」という）を対象物とし、濡れた状態とＰＴＦＥ粉末にマイクロ波を照射することによってＰＴＦＥ粉末を乾燥させる乾燥装置が開示されている。この乾燥装置では、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末をトレイに載せ、トレイ上のＰＴＦＥ粉末に対して上方からマイクロ波を照射している。また、特許文献２には、油揚げされた食品を対象物とし、食品にマイクロ波を照射することによって食品を乾燥させる乾燥装置が開示されている。この乾燥装置では、対象物としての食品をベルトコンベアに載せて搬送し、水平方向へ移動してゆく食品に対して上方からマイクロ波を照射している。
【特許文献１】特開平１１−２３５７２０号公報
【特許文献２】特開平０７−２７４９２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、乾燥装置については、特許文献１に記載されているように対象物をトレイに載せ、対象物の載ったトレイを特許文献２に記載されているように水平方向へ移動させながらトレイ上の対象物に上方からマイクロ波を照射する構成も考えられる。しかしながら、多数のトレイを１つずつ水平方向へ移動させる場合には、処理対象となるトレイの全てを水平方向に並べる必要がある。このため、対象物の載ったトレイを１つずつ水平方向へ移動させる構成を採用すると、乾燥装置の大型化を招くおそれがあった。
【０００４】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、マイクロ波を利用して対象物を乾燥させる乾燥装置の小型化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明は、水分を含んだ対象物にマイクロ波を照射することによって該対象物を乾燥させる乾燥装置を対象とする。そして、上記水分を含んだ対象物を載せるための金属製の搬送用トレイ（14）と、複数の上記搬送用トレイ（14）を所定の間隔で上下に配列された状態で収容し、収容されている該搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波を照射する本体部（20）とを備えており、上記搬送用トレイ（14）に対して照射されるマイクロ波の波長をλとしたときに、上記本体部（20）では上下に隣接する搬送用トレイ（14）の間隔がλ／２以上に設定されるものである。
【０００６】
第１の発明では、濡れた状態の対象物が搬送用トレイ（14）に載せられ、対象物を載せた搬送用トレイ（14）が本体部（20）に収容される。搬送用トレイ（14）の材質は、ステンレス等の金属である。本体部（20）では、複数の搬送用トレイ（14）が互いに所定の間隔をおいて上下に配列され、上下に配列された搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波（即ち、周波数が３００ＭＨｚ以上３０ＧＨｚ以下の電磁波）が照射される。この本体部（20）では、上下に並べられた搬送用トレイ（14）の間隔が、搬送用トレイ（14）に照射されるマイクロ波の波長λの１／２以上（即ち、λ／２以上）に設定される。搬送用トレイ（14）上の対象物に含まれる水分は、マイクロ波を吸収することにより発熱し、蒸発して雰囲気中へ放出されてゆく。
【０００７】
第２の発明は、上記第１の発明において、上記本体部（20）には、上下に配列された上記搬送用トレイ（14）を収容するための収容空間を形成する金属製のケーシング部材（21）が設けられており、上記搬送用トレイ（14）の側部と上記ケーシング部材（21）のうち該搬送用トレイ（14）の側部と対向する部分との距離がλ以上に設定されるものである。
【０００８】
第２の発明において、本体部（20）では、金属製のケーシング部材（21）の内部に複数の搬送用トレイ（14）が上下に配列された状態で収容される。つまり、金属製のケーシング部材（21）に、金属製の搬送用トレイ（14）が収容される。本体部（20）では、横方向におけるケーシング部材（21）と搬送用トレイ（14）の間隔が、搬送用トレイ（14）に対して照射されるマイクロ波の波長λ以上に設定される。ケーシング部材（21）に収容された搬送用トレイ（14）に対して側方から照射されたマイクロ波は、ケーシング部材（21）や搬送用トレイ（14）に当たって反射しながら搬送用トレイ（14）上の対象物に到達する。
【０００９】
第３の発明は、上記第１又は第２の発明において、上記本体部（20）は、上記搬送用トレイ（14）に対して複数方向からマイクロ波を照射するように構成されるものである。
【００１０】
第３の発明において、本体部（20）では、収容された搬送用トレイ（14）に対して複数の方向からマイクロ波が照射される。複数の方向から照射されたマイクロ波は、搬送用トレイ（14）に載った対象物中の水分に次第に吸収されてゆく。
【００１１】
第４の発明は、上記第３の発明において、上記本体部（20）は、上記搬送用トレイ（14）を上下に配列された状態で搬送する搬送機構（25）を備え、上記搬送用トレイ（14）が移動するにつれて該搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が変化するように構成されるものである。
【００１２】
第４の発明では、本体部（20）に搬送機構（25）が設けられ、上下に配列された複数の搬送用トレイ（14）が搬送機構（25）によって搬送される。本体部（20）では、搬送機構（25）によって搬送される搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波が照射され、搬送用トレイ（14）が移動するのにつれてマイクロ波の照射方向が変化する。
【００１３】
第５の発明は、上記第３の発明において、上記本体部（20）は、上記搬送用トレイ（14）を上下に配列された状態で搬送する搬送機構（25）と、それぞれが上記搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波を照射する複数のマイクロ波照射部（40,45,…）とを備えており、上記複数のマイクロ波照射部（40,45,…）は、上記搬送用トレイ（14）の移動方向に沿ってマイクロ波の照射方向が互いに相違するように配置されるものである。
【００１４】
第５の発明では、本体部（20）に搬送機構（25）が設けられ、上下に配列された複数の搬送用トレイ（14）が搬送機構（25）によって搬送される。また、本体部（20）では、複数のマイクロ波照射部（40,45,…）が、搬送用トレイ（14）の移動方向に沿って配置される。マイクロ波照射部（40,45,…）におけるマイクロ波の照射方向は、マイクロ波照射部（40,45,…）毎に相違している。このため、本体部（20）では、搬送用トレイ（14）が移動するのにつれて、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が変化する。
【００１５】
第６の発明は、上記第５の発明において、上記搬送用トレイ（14）は、矩形状に形成される一方、上記マイクロ波照射部（40,45,…）は、上記搬送用トレイ（14）の各辺に対応して１つずつ設けられるものである。
【００１６】
第６の発明では、本体部（20）に４つのマイクロ波照射部（40,45,…）が設けられる。これらマイクロ波照射部（40,45,…）は、矩形状に形成された搬送用トレイ（14）の各辺に対応して１つずつ設けられている。各マイクロ波照射部（40,45,…）は、搬送用トレイ（14）において辺を形成する側部に向けてマイクロ波を照射する。これらマイクロ波照射部（40,45,…）の設置位置は、搬送用トレイ（14）の移動方向において互いにずれている。このため、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向は、搬送用トレイ（14）が移動するにつれて変化する。
【００１７】
第７の発明は、上記第４，第５又は第６の発明において、上記本体部（20）では、互いにλ／２以上の間隔をおいて上下に配列された複数の上記搬送用トレイ（14）から成るトレイユニット（10）が形成され、上記搬送機構（25）が該トレイユニット（10）を水平方向へ移動させるように構成されるものである。
【００１８】
第８の発明は、上記第６の発明において、上記本体部（20）では、互いにλ／２以上の間隔をおいて上下に配列された複数の上記搬送用トレイ（14）から成るトレイユニット（10）が形成され、上記搬送機構（25）が該トレイユニット（10）を水平方向へ移動させるように構成される一方、上記各マイクロ波照射部（40,45,…）は、上記トレイユニット（10）を構成する各搬送用トレイ（14）の側方に１つずつ設けられた照射口（43,48,…）を備え、各照射口（43,48,…）から搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波を照射するように構成されるものである。
【００１９】
第７，第８の発明では、複数の搬送用トレイ（14）を一組としたトレイユニット（10）が形成される。トレイユニット（10）では、複数の搬送用トレイ（14）が上下に配列されており、搬送用トレイ（14）同士の間隔がλ／２以上に設定される。本体部（20）では、搬送機構（25）がトレイユニット（10）を水平方向へ移動させる。つまり、本体部（20）では、トレイユニット（10）を構成する複数の搬送用トレイ（14）が、所定の間隔で上下に配列された状態で水平方向へ移動する。本体部（20）では、トレイユニット（10）が水平方向へ移動してゆくのにつれて、トレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が変化する。
【００２０】
更に、第８の発明では、１つのトレイユニット（10）を形成する搬送用トレイ（14）と同数の照射口（43,48,…）が、１つのマイクロ波照射部（40,45,…）に設けられている。１つのマイクロ波照射部（40,45,…）が備える照射口（43,48,…）は、１つのトレイユニット（10）を形成する搬送用トレイ（14）のそれぞれに対応して１つずつ設置される。各照射口（43,48,…）は、それぞれが対応する搬送用トレイ（14）の側方に配置される。各照射口（43,48,…）からは、対応する搬送用トレイ（14）に対してその側方からマイクロ波が照射される。
【００２１】
第９の発明は、上記第１〜第８の何れか１つの発明において、乾燥させる対象物を樹脂粉末とするものである。
【００２２】
第９の発明では、濡れた状態の樹脂粉末が、対象物として搬送用トレイ（14）に載せられる。搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波を照射すると、搬送用トレイ（14）上の樹脂粉末に含まれる水分にマイクロ波が吸収され、この水分が加熱されて蒸発する。
【００２３】
なお、樹脂粉末の例としては、汎用樹脂の粉末や、いわゆるエンジニアリングプラスチックの粉末等が挙げられる。具体的には、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル‐ブタジエン‐スチレン樹脂）、ＡＳ樹脂（アクリロニトリル‐スチレン樹脂）、メタクリル樹脂、ポリアセタール、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリアニレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、含ふっ素樹脂などの粉末が、樹脂粉末の例として挙げられる。
【００２４】
また、樹脂粉末の一種である含ふっ素樹脂の粉末としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリふっ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、エチレン／テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、エチレン／クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）等からなる粉末が例示される。
【発明の効果】
【００２５】
本発明では、対象物の載った搬送用トレイ（14）を上下に配列している。このため、乾燥装置では、処理対象となる搬送用トレイ（14）の全てを１つずつ水平方向へ並べる場合に比べ、搬送用トレイ（14）を収容するのに必要な床面積が、上下に重ねられた搬送用トレイ（14）の数に応じて削減される。つまり、例えば５枚の搬送用トレイ（14）を上下に重ねた場合、搬送用トレイ（14）を収容するのに必要な床面積は、搬送用トレイ（14）を１つずつ水平方向へ並べる場合に比べて１／５になる。また、処理対象となる搬送用トレイ（14）の全てを上下に並べれば、搬送用トレイ（14）を収容するのに必要な床面積は、１つの搬送用トレイ（14）の占有面積だけで済むことになる。従って、本発明によれば、搬送用トレイ（14）を収容する本体部（20）が占有する床面積を大幅に削減することができ、乾燥装置の小型化を図ることができる。
【００２６】
ところで、マイクロ波等の電磁波には、例えば金網の網目ような“金属同士の間に形成された電磁波の波長に対して充分に狭い隙間”を通過できないという特性がある。従って、上下に並べられた金属製の搬送用トレイ（14）の間隔が狭いと、隣り合う搬送用トレイ（14）同士の間にマイクロ波が入り込みにくくなり、搬送用トレイ（14）上の対象物をマイクロ波で充分に加熱できなくなる。
【００２７】
それに対し、本発明では、対象物の載った搬送用トレイ（14）をλ／２以上の間隔をおいて上下に配列し、この上下に配列された搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波を照射している。つまり、本発明では、上下に配列された金属製の搬送用トレイ（14）同士の間隔が充分に確保される。このため、上下に配列された搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波を照射する場合であっても、マイクロ波は、金属製の搬送用トレイ（14）に妨げられることなく搬送用トレイ（14）上の対象物に到達する。従って、本発明によれば、各搬送用トレイ（14）上の対象物に含まれる水分を確実に加熱することができ、各搬送用トレイ（14）上の対象物の含水率を確実に低下させることができる。
【００２８】
上記第２の発明では、金属製のケーシング部材（21）に金属製の搬送用トレイ（14）が収容されており、この搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波が照射される。この発明では、横方向におけるケーシング部材（21）と搬送用トレイ（14）の距離が、照射されるマイクロ波の波長λ以上に設定されている。つまり、この発明では、マイクロ波の照射方向におけるケーシング部材（21）と搬送用トレイ（14）の間隔が充分に確保されている。このため、搬送用トレイ（14）に対して側方から照射されたマイクロ波を拡散させて各搬送用トレイ（14）に行き渡らせることができる。従って、この発明によれば、各搬送用トレイ（14）に載った対象物中の水分を満遍なく加熱することができ、搬送用トレイ（14）毎の対象物の含水率を平均化することができる。
【００２９】
上記第３の発明では、本体部（20）に収容された搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波が複数の方向から照射される。本体部（20）では、照射されたマイクロ波が対象物中の水分に次第に吸収されてゆく。このため、本体部（20）では、マイクロ波の出口から離れるにつれて到達するマイクロ波のエネルギが減衰してゆく。それに対し、この発明では、搬送用トレイ（14）に対して複数方向からマイクロ波を照射している。従って、この発明によれば、各搬送用トレイ（14）に載った対象物中の水分を均一に加熱することができ、搬送用トレイ（14）毎の対象物の含水率を平均化することができる。
【００３０】
上記第６の発明では、矩形状に形成された搬送用トレイ（14）に対して、４つの側部のそれぞれに向けてマイクロ波を照射している。このため、搬送用トレイ（14）上の対象物に対して与えられるマイクロ波のエネルギは、搬送用トレイ（14）の各部において確実に平均化される。従って、この発明によれば、搬送用トレイ（14）上の各部における対象物の含水率を平均化することができ、搬送用トレイ（14）に載せられた対象物の全てを確実に乾燥させることができる。
【００３１】
上記第７，第８の発明では、互いにλ／２以上の間隔をおいて上下に配列された複数の搬送用トレイ（14）から成るトレイユニット（10）を形成し、このトレイユニット（10）を搬送機構（25）によって移動させている。このため、搬送用トレイ（14）同士の間隔を保持しながら複数の搬送用トレイ（14）を容易に移動させることができ、複数の搬送用トレイ（14）を上下に配列された状態で個別に移動させる場合に比べ、搬送機構（25）の構成を簡素化することができる。
【００３２】
特に、上記第８の発明では、１つのトレイユニット（10）を構成する搬送用トレイ（14）のそれぞれに対応して照射口（43,48,…）を１つずつ設置している。このため、各搬送用トレイ（14）上の対象物に与えられるマイクロ波のエネルギを平均化することができ、各搬送用トレイ（14）上の対象物の含水率を均一化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３４】
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１について説明する。本実施形態の製造装置（1）は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）粉末の製造過程において、最終製品としての乾燥したＰＴＦＥ粉末を製造するために、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末に処理を施すための装置である。なお、以下の説明で用いる「右」「左」「前」「後」「手前」「奥」は、何れも製造装置（1）を正面側から見た場合のものを意味している。
【００３５】
ここで、ＰＴＦＥ粉末は、水中での重合反応によって生成される。このため、乾燥したＰＴＦＥ粉末を得るには、重合反応により生成された濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を乾燥させる必要がある。また、ＰＴＦＥ粉末は、ＰＴＦＥ製の物品を押し出し成形する際の原料として用いられる場合がある。この用途に用いられるＰＴＦＥ粉末には、押し出し成形する際の押出圧が概ね一定であることが要求され、その要求を満たすにはＰＴＦＥ粉末に熱処理を施す必要がある。そこで、本実施形態の製造装置（1）は、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を乾燥させる工程と、乾燥したＰＴＦＥ粉末に熱処理を施す工程とを行う。
【００３６】
図１に示すように、本実施形態の製造装置（1）は、前段ユニット（20）と、後段ユニット（60）とを備えている。前段ユニット（20）は、ＰＴＦＥ粉末にマイクロ波を照射するためのユニットであって、後述する搬送用トレイ（14）と共に本発明に係る乾燥装置を構成している。後段ユニット（60）は、前段ユニット（20）を通過したＰＴＦＥ粉末を高温の空気によって加熱するためのユニットである。この製造装置（1）では、後段ユニット（60）の上に前段ユニット（20）が設置されている。
【００３７】
本実施形態の製造装置（1）は、図２に示すようなトレイユニット（10）を複数備えている。各トレイユニット（10）は、４つの搬送用トレイ（14）と、１つのトレイラック（11）とによって構成されている。
【００３８】
図３に示すように、搬送用トレイ（14）は、上面が開口した扁平な直方体状の容器である。具体的に、搬送用トレイ（14）は、共にステンレス製の底板部（15）と側板部（16）とを備えている。底板部（15）は、概ね正方形状に形成された平板である。図示しないが、底板部（15）には、直径０．５ｍｍ程度の水抜き孔が１．０ｍｍ程度のピッチで多数開口している。側板部（16）は、長方形状に形成された平板である。側板部（16）は、底板部（15）と概ね直交する姿勢で、底板部（15）の各辺に沿って１枚ずつ設けられている。この搬送用トレイ（14）には、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末が載せられる。
【００３９】
図２に示すように、トレイラック（11）は、共にステンレス製の枠部材（12）と柱部材（13）とを４つずつ備えている。枠部材（12）は、矩形状に形成されており、互いに所定の間隔をおいて上下に配列されている。柱部材（13）は、棒状に形成されており、上下に配列された枠部材（12）の角部に１本ずつ配置されている。トレイラック（11）では、各枠部材（12）の上に搬送用トレイ（14）が１枚ずつ載せられる。トレイラック（11）における枠部材（12）同士の間隔は、各枠部材（12）に載せられた搬送用トレイ（14）同士の間隔が一定の値Ｈとなるように設定されている。つまり、トレイラック（11）では、上下に隣接する一対の搬送用トレイ（14）について、上方に位置する搬送用トレイ（14）の底板部（15）の底面と、下方に位置する搬送用トレイ（14）の側板部（16）の上端面との距離が、一定の値Ｈとなっている。
【００４０】
図４に示すように、前段ユニット（20）は、ケーシング部材である本体ケーシング（21）と、搬送機構であるローラーコンベア（25）とを備えている。また、前段ユニット（20）は、４つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）を備えている。この前段ユニット（20）は、本発明に係る乾燥装置の本体部を構成している。
【００４１】
本体ケーシング（21）は、両端が閉塞された矩形断面のダクト状に形成されており、その長手方向が概ね水平方向となる姿勢で設置されている。本体ケーシング（21）の内部空間は、トレイラック（11）を収容するための収容空間となっている。本体ケーシング（21）の内部空間には、３つの区画用扉（24）がその長手方向に沿って等間隔で立設されている。区画用扉（24）については後述する。
【００４２】
本体ケーシング（21）の内部空間は、３つ区画用扉（24）によって４つの空間に仕切られている。本体ケーシング（21）において、区画用扉（24）によって仕切られた４つの空間は、最も左側に位置する空間が第１照射ゾーン（31）となり、その右隣に位置する空間が第２照射ゾーン（32）となり、更にその右隣に位置する空間が第３照射ゾーン（33）となり、最も右側に位置する空間が第４照射ゾーン（34）となっている。これら各照射ゾーン（31〜34）の広さは、１つのトレイユニット（10）を収納できる程度となっている。
【００４３】
区画用扉（24）は、本体ケーシング（21）の断面形状に対応した矩形状に形成されたステンレス製の平板である。この区画用扉（24）は、上下方向へ移動することによって開閉する。区画用扉（24）が開くと、区画用扉（24）を挟んで隣接する照射ゾーン（31〜34）が互いに連通する。
【００４４】
本体ケーシング（21）には、搬入用扉（22）と搬出用扉（23）とが設けられている。搬入用扉（22）は、本体ケーシング（21）の前面のうち第１照射ゾーン（31）に臨む部分に設けられている。搬入用扉（22）は、矩形状に形成されたステンレス製の平板であって、上下方向へ移動することによって開閉する。搬入用扉（22）が開くと、第１照射ゾーン（31）が本体ケーシング（21）の外部と連通する。一方、搬出用扉（23）は、本体ケーシング（21）の底面のうち第４照射ゾーン（34）に臨む部分に設けられている。搬出用扉（23）は、矩形状に形成されたステンレス製の平板であって、水平方向へ移動することによって開閉する。搬出用扉（23）が開くと、第４照射ゾーン（34）が本体ケーシング（21）の外部と連通する。
【００４５】
本体ケーシング（21）の内部空間には、ローラーコンベア（25）が収容されている。ローラーコンベア（25）は、本体ケーシング（21）の底部に配置されており、本体ケーシング（21）の長手方向に沿って本体ケーシング（21）のほぼ全長に亘って敷設されている。本体ケーシング（21）に収容されたトレイユニット（10）は、ローラーコンベア（25）の上に載せられ、ローラーコンベア（25）によって左から右へ向かって搬送される。
【００４６】
本体ケーシング（21）には、各照射ゾーン（31〜34）へ空気を供給するための給気ダクト（36）と、各照射ゾーン（31〜34）から空気を排出するための排気ダクト（37）とが接続されている。本体ケーシング（21）では、４つの照射ゾーン（31〜34）のそれぞれに対して、給気ダクト（36）と排気ダクト（37）が１０本ずつ接続されている。
【００４７】
給気ダクト（36）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に接続され、対応する照射ゾーン（31〜34）に開口している。各照射ゾーン（31〜34）にトレイユニット（10）を収容した状態では、トレイユニット（10）における搬送用トレイ（14）同士の間（３箇所）と最上段の搬送用トレイ（14）の上側（１箇所）と最下段の搬送用トレイ（14）の下側（１箇所）とに、給気ダクト（36）が２つずつ開口している。
【００４８】
排気ダクト（37）は、本体ケーシング（21）の手前側の側面（即ち、前面）に接続され、対応する照射ゾーン（31〜34）に開口している。各照射ゾーン（31〜34）にトレイユニット（10）を収容した状態では、トレイユニット（10）における搬送用トレイ（14）同士の間（３箇所）と最上段の搬送用トレイ（14）の上側（１箇所）と最下段の搬送用トレイ（14）の下側（１箇所）とに、排気ダクト（37）が２つずつ開口している。
【００４９】
各マイクロ波照射部（40,45,50,55）は、マイクロ波発振器（41,46,51,56）と導波管（42,47,52,57）とを、１つのトレイユニット（10）に設けられる搬送用トレイ（14）と同数ずつ備えている。本実施形態では、１つのトレイユニット（10）に４つの搬送用トレイ（14）が設けられる。従って、本実施形態のマイクロ波照射部（40,45,50,55）には、マイクロ波発振器（41,46,51,56）と導波管（42,47,52,57）とが４つずつ設けられる。
【００５０】
各マイクロ波発振器（41,46,51,56）は、周波数が２．４５ＧＨｚのマイクロ波を発生させるように構成されており、その出力が１．０ｋＷ程度となっている。各導波管（42,47,52,57）は、マイクロ波発振器（41,46,51,56）で発生したマイクロ波を照射ゾーン（31〜34）へ導くためのものであって、断面が横長の長方形状となった金属製の管により構成されている。各導波管（42,47,52,57）は、全体としてＬ字状に形成されている。マイクロ波発振器（41,46,51,56）は、各導波管（42,47,52,57）の始端に１つずつ接続されている。
【００５１】
各導波管（42,47,52,57）の終端は、本体ケーシング（21）の側面に取り付けられ、本体ケーシング（21）を貫通して対応する照射ゾーン（31〜34）に開口している。第１マイクロ波照射部（40）の導波管（42）は、本体ケーシング（21）の左端面に取り付けられており、その終端が第１照射ゾーン（31）に開口する照射口（43）となっている。第２マイクロ波照射部（45）の導波管（47）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）のうち第２照射ゾーン（32）に臨む部分に取り付けられており、その終端が第２照射ゾーン（32）に開口する照射口（48）となっている。第３マイクロ波照射部（50）の導波管（52）は、本体ケーシング（21）の手前側の側面（即ち、前面）のうち第３照射ゾーン（33）に臨む部分に取り付けられており、その終端が第３照射ゾーン（33）に開口する照射口（53）となっている。第４マイクロ波照射部（55）の導波管（57）は、本体ケーシング（21）の右端面に取り付けられており、その終端が第４照射ゾーン（34）に開口する照射口（58）となっている。
【００５２】
各マイクロ波照射部（40,45,50,55）に４本ずつ設けられた導波管（42,47,52,57）は、それぞれの終端が互いに所定の間隔をおいて上下方向へ一列に並んでいる。つまり、本体ケーシング（21）内に形成された各照射ゾーン（31〜34）では、４つの照射口（43,48,53,58）が上下方向へ一列に並んで開口している。第１照射ゾーン（31）では、その奥行き方向の中央部に照射口（43）が開口している。第２照射ゾーン（32）では、その左右方向の中央部に照射口（48）が開口している。第３照射ゾーン（33）では、その左右方向の中央部に照射口（53）が開口している。第４照射ゾーン（34）では、その奥行き方向の中央部に照射口（58）が開口している。また、各照射ゾーン（31〜34）にトレイユニット（10）を収容した状態では、トレイユニット（10）における搬送用トレイ（14）同士の間（３箇所）と最上段の搬送用トレイ（14）の上側（１箇所）とに、照射口（43,48,53,58）が１つずつ配置される。
【００５３】
本体ケーシング（21）内の各照射ゾーン（31〜34）には、シールド用枠部（26）が１つずつ設けられている。シールド用枠部（26）は、本体ケーシング（21）の内側面や区画用扉（24）に沿って設けられ、照射ゾーン（31〜34）に収容されたトレイユニット（10）の最下段の搬送用トレイ（14）の周囲を囲っている。シールド用枠部（26）のうち区画用扉（24）に設けられた部分は、区画用扉（24）と一体になって上下に移動する。シールド用枠部（26）は、その断面形状が長方形状になっており、その内周面がトレイユニット（10）における最下段の搬送用トレイ（14）の側板部（16）と対面している。シールド用枠部（26）の高さは、搬送用トレイ（14）の高さと同じか、それよりもやや高くなっている。シールド用枠部（26）の材質は金属である。
【００５４】
図５に示すように、各照射ゾーン（31〜34）にトレイユニット（10）を収容した状態では、各照射ゾーン（31〜34）を形成する壁面と搬送用トレイ（14）との間隔が所定の値に設定されている。なお、図５は、第１照射ゾーン（31）にトレイユニット（10）が収容された状態を示している。
【００５５】
具体的に、トレイユニット（10）の最上段に設けられた搬送用トレイ（14）の側板部（16）の上端と本体ケーシング（21）の天井面との距離は、各搬送用トレイ（14）同士の間隔と同じ値Ｈに設定されている。また、トレイユニット（10）における上から３段目までの各搬送用トレイ（14）の側面と本体ケーシング（21）の内壁面との間隔は、左右方向の間隔と前後方向の間隔の何れもが同じ値Ｌとなっている。また、トレイユニット（10）の最下段の搬送用トレイ（14）の側面とシールド用枠部（26）の内周面との間隔は、搬送用トレイ（14）の全周に亘って一定の値Ｄとなっている。この搬送用トレイ（14）とシールド用枠部（26）との間隔Ｄは、搬送用トレイ（14）に照射されるマイクロ波が通過できない程度の値に設定されている。
【００５６】
ここで、各マイクロ波照射部（40,45,50,55）のマイクロ波発振器（41,46,51,56）が発生させるマイクロ波の周波数をλとする。本実施形態の各照射ゾーン（31〜34）では、距離Ｈがλ／２以上の値（Ｈ≧λ／２）に設定され、距離Ｌがλ以上の値（Ｈ≧λ）に設定されている。本実施形態のマイクロ波発振器（41,46,51,56）が発生させるマイクロ波は、その周波数が２．４５ＧＨｚであり、その波長が１２８ｍｍとなっている。従って、本実施形態の各照射ゾーン（31〜34）では、距離Ｈが６４ｍｍ以上に設定され、距離Ｌが１２８ｍｍ以上に設定されている。
【００５７】
図６に示すように、後段ユニット（60）は、本体ケーシング（61）とローラーコンベア（65）とを備えている。
【００５８】
本体ケーシング（61）は、両端が閉塞された矩形断面のダクト状に形成されており、その長手方向が概ね水平方向となる姿勢で設置されている。本体ケーシング（61）の内部空間は、トレイラック（11）を収容するための収容空間となっている。後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）の長さは、前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）の長さの約１．５倍となっている。後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）には、その長手方向に沿って６つのトレイユニット（10）が一列に並んで収容される。
【００５９】
本体ケーシング（61）の内部空間では、その長手方向に沿って６つのゾーン（71〜74,81,82）が形成され、各ゾーン（71〜74,81,82）にトレイユニット（10）が１つずつ収容される。ただし、これらのゾーン（71〜74,81,82）は仮想的なものであり、本体ケーシング（61）の内部空間が仕切板等によって物理的に区画されている訳ではない。
【００６０】
本体ケーシング（61）では、右端側から４つのゾーンが乾燥ゾーン（71〜74）となり、残りの２つのゾーンが熱処理ゾーン（81,82）となっている。この本体ケーシング（61）では、右から左へ向かって順に、第１乾燥ゾーン（71）と第２乾燥ゾーン（72）と第３乾燥ゾーン（73）と第４乾燥ゾーン（74）とが一列に並んでいる。また、本体ケーシング（61）では、第４乾燥ゾーン（74）の左隣が第１熱処理ゾーン（81）となり、最も左寄りのゾーンが第２熱処理ゾーン（82）となっている。
【００６１】
本体ケーシング（61）には、搬入用扉（62）と搬出用扉（63）とが設けられている。搬入用扉（62）は、本体ケーシング（61）の上面のうち第１乾燥ゾーン（71）に臨む部分に設けられている。搬入用扉（62）は、矩形状に形成されたステンレス製の平板であって、水平方向へ移動することによって開閉する。搬入用扉（62）が開くと、第１乾燥ゾーン（71）が本体ケーシング（61）の外部と連通する。一方、搬出用扉（63）は、本体ケーシング（61）の前面のうち第２熱処理ゾーン（82）に臨む部分に設けられている。搬出用扉（63）は、矩形状に形成されたステンレス製の平板であって、上下方向へ移動することによって開閉する。搬出用扉（63）が開くと、第２熱処理ゾーン（82）が本体ケーシング（61）の外部と連通する。
【００６２】
ここで、上述したように、後段ユニット（60）の上には前段ユニット（20）が載せられている。後段ユニット（60）の上に前段ユニット（20）が載った状態では、前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）の下面に設けられた搬出用扉（23）と、後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）の上面に設けられた搬入用扉（62）とが対面する。なお、本実施形態では、前段ユニット（20）の搬出用扉（23）と後段ユニット（60）の搬入用扉（62）とを１つの扉で兼用してもよい。
【００６３】
本体ケーシング（61）の内部空間には、ローラーコンベア（65）が収容されている。ローラーコンベア（65）は、本体ケーシング（61）の底部に配置されており、本体ケーシング（61）の長手方向に沿って本体ケーシング（61）のほぼ全長に亘って敷設されている。本体ケーシング（61）に収容されたトレイユニット（10）は、ローラーコンベア（65）の上に載せられ、ローラーコンベア（65）によって右から左へ向かって搬送される。
【００６４】
本体ケーシング（61）には、各ゾーン（71〜74,81,82）へ空気を供給するための給気ダクト（76,86）と、各ゾーン（71〜74,81,82）から空気を排出するための排気ダクト（77,87）とが接続されている。本体ケーシング（61）では、各乾燥ゾーン（71〜74）に対して、給気ダクト（76）と排気ダクト（77）が１０本ずつ設けられている。また、本体ケーシング（61）では、各熱処理ゾーン（81,82）に対して、給気ダクト（86）と排気ダクト（87）が１０本ずつ設けられている。
【００６５】
給気ダクト（76,86）は、本体ケーシング（61）の奥側の側面（即ち、背面）に接続され、対応するゾーン（71〜74,81,82）に開口している。各ゾーン（71〜74,81,82）にトレイユニット（10）を収容した状態では、トレイユニット（10）における搬送用トレイ（14）同士の間（３箇所）と最上段の搬送用トレイ（14）の上側（１箇所）と最下段の搬送用トレイ（14）の下側（１箇所）とに、給気ダクト（76,86）が２つずつ開口している。
【００６６】
排気ダクト（77,87）は、本体ケーシング（61）の手前側の側面（即ち、前面）に接続され、対応するゾーン（71〜74,81,82）に開口している。各ゾーン（71〜74,81,82）にトレイユニット（10）を収容した状態では、トレイユニット（10）における搬送用トレイ（14）同士の間（３箇所）と最上段の搬送用トレイ（14）の上側（１箇所）と最下段の搬送用トレイ（14）の下側（１箇所）とに、排気ダクト（77,87）が２つずつ開口している。
【００６７】
−運転動作−
本実施形態の製造装置（1）の運転動作について説明する。この製造装置（1）は、重合反応により生成された濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を乾燥させる工程と、この工程を経て乾燥したＰＴＦＥ粉末に熱処理を施す工程とを行う。
【００６８】
なお、以下の説明で用いる含水率は、ＰＴＦＥ粉末自体に対する水の質量割合を百分率で示した値である。具体的に、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末が質量Ｗ1のＰＴＦＥ粉末と質量Ｗ2の水との混合物であるとすると、その濡れた状態のＰＴＦＥ粉末の含水率Ｒは、下記の式で得られる値となる。
Ｒ＝(Ｗ2／Ｗ1)×１００
【００６９】
搬送用トレイ（14）には、重合反応により生成された濡れた状態のＰＴＦＥ粉末が載せられる。この搬送用トレイ（14）に載せられるＰＴＦＥ粉末は、その含水率が約８０％となっている。搬送用トレイ（14）には、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末が均した状態で載せられている。各トレイラック（11）には、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末の載った搬送用トレイ（14）が４枚ずつ載せられる。上述したように、１つのトレイラック（11）と４枚の搬送用トレイ（14）とによって１つのトレイユニット（10）が形成される。本実施形態の製造装置（1）には、トレイユニット（10）が１５分間隔で１つずつ投入される。
【００７０】
前段ユニット（20）では、その第１照射ゾーン（31）へトレイユニット（10）が１５分毎に搬入される一方、その第４照射ゾーン（34）からトレイユニット（10）が１５分毎に搬出されてゆく。また、前段ユニット（20）において、その第１，第２，第３照射ゾーン（31,32,33）に収容されたトレイユニット（10）は、それぞれ１５分毎に右隣の第２，第３，第４照射ゾーン（32,33,34）へ搬送される。
【００７１】
前段ユニット（20）の各照射ゾーン（31〜34）では、そこに収容されたトレイユニット（10）に対して、対応するマイクロ波照射部（40,45,50,55）がマイクロ波を照射する。各照射ゾーン（31〜34）において、対応するマイクロ波照射部（40,45,50,55）から照射されたマイクロ波は、各搬送用トレイ（14）上の濡れた状態のＰＴＦＥ粉末に到達し、そのＰＴＦＥ粉末に含まれる水分に吸収される。マイクロ波を吸収した水分は、発熱して蒸発してゆく。
【００７２】
また、前段ユニット（20）では、６０℃〜１００℃程度にまで加熱された外気が給気ダクト（36）から各照射ゾーン（31〜34）へ吹き出される一方、蒸発した水分（水蒸気）を含む各照射ゾーン（31〜34）内の空気が排気ダクト（37）へ吸い込まれる。排気ダクト（37）へ吸い込まれた空気は、その全部が屋外へ排出される。なお、排気ダクト（37）へ吸い込まれた空気は、有害物質の除去等の適切な処理が施された後に屋外へ放出される。
【００７３】
前段ユニット（20）の運転動作を、１つのトレイユニット（10）に着目して説明する。
【００７４】
トレイユニット（10）は、前段ユニット（20）に搬入される。その際、前段ユニット（20）では、搬入用扉（22）が開かれ、第１照射ゾーン（31）へトレイユニット（10）が搬入される。第１照射ゾーン（31）へ搬入されたトレイユニット（10）は、ローラーコンベア（25）の上に載せられる。その後、前段ユニット（20）では、搬入用扉（22）と搬出用扉（23）と区画用扉（24）の全てが閉じられ、各マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が開始される。
【００７５】
第１照射ゾーン（31）内のトレイユニット（10）に対しては、第１マイクロ波照射部（40）がマイクロ波を照射する。第１マイクロ波照射部（40）のマイクロ波発振器（41）で発生したマイクロ波は、導波管（42）を通り、照射口（43）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。つまり、第１照射ゾーン（31）では、トレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して左側方からマイクロ波が照射される。第１照射ゾーン（31）では、各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれていた水分がマイクロ波により加熱されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダクト（37）へと吸い出されてゆく。
【００７６】
前段ユニット（20）では、マイクロ波の照射を再開してから１５分間が経過すると、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が一旦停止される。また、前段ユニット（20）では、区画用扉（24）が開かれ、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第２照射ゾーン（32）へと搬送される。トレイユニット（10）が第２照射ゾーン（32）へ到達すると、区画用扉（24）が閉じられ、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が再開される。
【００７７】
第２照射ゾーン（32）内のトレイユニット（10）に対しては、第２マイクロ波照射部（45）がマイクロ波を照射する。第２マイクロ波照射部（45）のマイクロ波発振器（46）で発生したマイクロ波は、導波管（47）を通り、照射口（48）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。つまり、第２照射ゾーン（32）では、トレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して後方からマイクロ波が照射される。第２照射ゾーン（32）では、各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれていた水分がマイクロ波により加熱されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダクト（37）へと吸い出されてゆく。
【００７８】
前段ユニット（20）では、マイクロ波の照射を再開してから１５分間が経過すると、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が一旦停止される。また、前段ユニット（20）では、区画用扉（24）が開かれ、トレイユニット（10）が第２照射ゾーン（32）から第３照射ゾーン（33）へと搬送される。トレイユニット（10）が第３照射ゾーン（33）へ到達すると、区画用扉（24）が閉じられ、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が再開される。
【００７９】
第３照射ゾーン（33）内のトレイユニット（10）に対しては、第３マイクロ波照射部（50）がマイクロ波を照射する。第３マイクロ波照射部（50）のマイクロ波発振器（51）で発生したマイクロ波は、導波管（52）を通り、照射口（53）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。つまり、第３照射ゾーン（33）では、トレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して前方からマイクロ波が照射される。第３照射ゾーン（33）では、各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれていた水分がマイクロ波により加熱されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダクト（37）へと吸い出されてゆく。
【００８０】
前段ユニット（20）では、マイクロ波の照射を再開してから１５分間が経過すると、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が一旦停止される。また、前段ユニット（20）では、区画用扉（24）が開かれ、トレイユニット（10）が第３照射ゾーン（33）から第４照射ゾーン（34）へと搬送される。トレイユニット（10）が第４照射ゾーン（34）へ到達すると、区画用扉（24）が閉じられ、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が再開される。
【００８１】
第４照射ゾーン（34）内のトレイユニット（10）に対しては、第４マイクロ波照射部（55）がマイクロ波を照射する。第４マイクロ波照射部（55）のマイクロ波発振器（56）で発生したマイクロ波は、導波管（57）を通り、照射口（58）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。つまり、第４照射ゾーン（34）では、トレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して右側方からマイクロ波が照射される。第４照射ゾーン（34）では、各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれていた水分がマイクロ波により加熱されて蒸発し、蒸発した水分が排気ダクト（37）へと吸い出されてゆく。
【００８２】
前段ユニット（20）では、マイクロ波の照射を再開してから１５分間が経過すると、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が一旦停止される。また、前段ユニット（20）では、搬出用扉（23）が開かれ、トレイユニット（10）が第４照射ゾーン（34）から搬出される。第４照射ゾーン（34）から搬出されるトレイユニット（10）において、各搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末の含水率は、約５％程度となっている。
【００８３】
このように、前段ユニット（20）において、第１照射ゾーン（31）では搬送用トレイ（14）に対して左側方からマイクロ波が照射され、第２照射ゾーン（32）では搬送用トレイ（14）に対して後方からマイクロ波が照射され、第３照射ゾーン（33）では搬送用トレイ（14）に対して前方からマイクロ波が照射され、第４照射ゾーン（34）では搬送用トレイ（14）に対して右側方からマイクロ波が照射される。つまり、前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第４照射ゾーン（34）へと順次移動するのにつれて、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が９０°ずつ変化する。
【００８４】
前段ユニット（20）の第４照射ゾーン（34）から搬出されたトレイユニット（10）は、後段ユニット（60）の第１乾燥ゾーン（71）へ搬入されてローラーコンベア（65）の上に載せられる。後段ユニット（60）では、その第１乾燥ゾーン（71）へトレイユニット（10）が１５分毎に搬入される一方、その第２熱処理ゾーン（82）からトレイユニット（10）が１５分毎に搬出されてゆく。第１乾燥ゾーン（71）へトレイユニット（10）を搬入する際には、搬入用扉（62）が開かれる第２熱処理ゾーン（82）からトレイユニット（10）を搬出する際には、搬出用扉（63）が開かれる。
【００８５】
更に、後段ユニット（60）において、その第１，第２，第３乾燥ゾーン（73）（71,72,73）に収容されたトレイユニット（10）は、それぞれ１５分毎に左隣の第２，第３，第４乾燥ゾーン（72,73,74）へ搬送される。また、後段ユニット（60）では、第４乾燥ゾーン（74）に収容されたトレイユニット（10）が１５分毎に第１熱処理ゾーン（81）へ搬送されると共に、第１熱処理ゾーン（81）に収容されたトレイユニット（10）が１５分毎に第２熱処理ゾーン（82）へ搬送される。
【００８６】
後段ユニット（60）では、１００℃〜２５０℃程度（望ましくは１３０℃〜２００℃程度）の所定温度にまで加熱された空気が給気ダクト（76）から各乾燥ゾーン（71〜74）へ吹き出される。各乾燥ゾーン（71〜74）では、給気ダクト（76）から供給された空気によって搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末が加熱され、このＰＴＦＥ粉末に含まれる水分が蒸発してゆく。蒸発した水分（水蒸気）を含んだ各乾燥ゾーン（71〜74）内の空気は、排気ダクト（77）へ吸い込まれる。排気ダクト（77）へ吸い込まれた空気は、その一部（例えば全体の２％程度）が屋外へ排出され、残りが外気と混合された後に給気ダクト（76）を通じて各乾燥ゾーン（71〜74）へ送り返される。なお、排気ダクト（77）へ吸い込まれて屋外へ排出される空気は、有害物質の除去等の適切な処理が施された後に屋外へ放出される。
【００８７】
後段ユニット（60）において、搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末は、トレイユニット（10）が第１乾燥ゾーン（71）から第４乾燥ゾーン（74）にまで移動してゆく間（つまり、約６０分間）に亘って、上記所定温度の熱風に晒され続ける。そして、トレイユニット（10）が第４乾燥ゾーン（74）から第１熱処理ゾーン（81）へ移動してゆく時点では、搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末の含水率が０．０１％以下程度の極めて低い値となる。
【００８８】
また、後段ユニット（60）では、１００℃〜２５０℃程度（望ましくは１３０℃〜２００℃程度）の所定温度にまで加熱された空気が給気ダクト（86）から各熱処理ゾーン（81,82）へ吹き出される一方、各熱処理ゾーン（81,82）内の空気が排気ダクト（87）へ吸い込まれる。排気ダクト（87）へ吸い込まれた空気は、その全部が再び上記所定温度にまで加熱された後に給気ダクト（86）を通じて各熱処理ゾーン（81,82）へ送り返される。このため、各熱処理ゾーン（81,82）内の気温が給気ダクト（86）から吹き出される熱風の温度と同程度に保たれ、各熱処理ゾーン（81,82）に収容された搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末もそれと同程度の高温に保たれる。後段ユニット（60）において、搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末は、トレイユニット（10）が第１熱処理ゾーン（81）から第２熱処理ゾーン（82）にまで移動してゆく間（つまり、約３０分間）に亘って、その温度が１００℃以上の高温に保たれる。
【００８９】
ここで、含水率がほぼ０％となったＰＴＦＥ粉末の温度をある程度の高温に保つと、初めのうちは押出圧（ＰＴＦＥ粉末を押し出し成形する際に必要な圧力）が次第に上昇してゆき、ある程度の時間が経過すると押出圧がそれ以上は上昇せずに概ね一定のままになる。そこで、後段ユニット（60）では、ＰＴＦＥ粉末の押出圧が一定となるまでに要する時間以上に亘って、ＰＴＦＥ粉末の温度を１００℃以上の高温に保つようにしている。この熱処理工程を行うことで、最終製品としてのＰＴＦＥ粉末の押出圧が所定の目標範囲内の値となる。
【００９０】
このように、本実施形態の製造装置（1）へ投入された搬送トレイ上の濡れた状態のＰＴＦＥ粉末は、前段ユニット（20）の照射ゾーン（31〜34）で行われるマイクロ波を利用した乾燥工程と、後段ユニット（60）の乾燥ゾーン（71〜74）で行われる熱風を利用した乾燥工程と、後段ユニット（60）の熱処理ゾーン（81,82）で行われる熱風を利用した熱処理工程とを順に経て、最終製品としての乾燥したＰＴＦＥ粉末となる。
【００９１】
−実施形態１の効果−
本実施形態では、４枚の搬送用トレイ（14）が上下に配列されたトレイユニット（10）を構成し、このトレイユニット（10）を製造装置（1）へ投入するようにしている。このため、本実施形態の製造装置（1）では、処理対象となる搬送用トレイ（14）の全てを１つずつ水平方向へ並べる場合に比べると、搬送用トレイ（14）を収容するのに必要な床面積は１／４程度となる。従って、本実施形態によれば、搬送用トレイ（14）を収容する前段ユニット（20）や後段ユニット（60）が占有する床面積を大幅に削減することができ、製造装置（1）の小型化を図ることができる。
【００９２】
ここで、マイクロ波等の電磁波には、例えば金網の網目ような“金属同士の間に形成された電磁波の波長に対して充分に狭い隙間”を通過できないという特性がある。従って、上下に並べられた金属製の搬送用トレイ（14）の間隔が狭いと、隣り合う搬送用トレイ（14）同士の間にマイクロ波が入り込みにくくなり、搬送用トレイ（14）上の対象物をマイクロ波で充分に加熱できなくなる。
【００９３】
それに対し、本実施形態では、各トレイユニット（10）においてトレイラック（11）に載せられた搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈがλ／２以上に設定される（図５を参照）。更に、本実施形態の前段ユニット（20）では、金属製の本体ケーシング（21）の天井面とトレイユニット（10）における最上段の搬送用トレイ（14）との距離Ｈもλ／２以上に設定される（図５を参照）。
【００９４】
つまり、本実施形態の前段ユニット（20）では、上下方向における搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈや搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）との距離Ｈが充分に確保されている。このため、上下に配列された金属製搬送用トレイ（14）に対して側方からマイクロ波を照射する場合であっても、マイクロ波は、搬送用トレイ（14）に妨げられることなく搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分に到達する。従って、本実施形態によれば、各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれる水分を確実に加熱することができ、各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥの含水率を確実に低下させることができる。
【００９５】
また、本実施形態の前段ユニット（20）では、本体ケーシング（21）の内壁面と各搬送用トレイ（14）の側板部（16）と距離Ｌがλ以上に設定されている。つまり、本実施形態では、マイクロ波の照射方向における本体ケーシング（21）と搬送用トレイ（14）の間隔が充分に確保されている。このため、搬送用トレイ（14）に対して側方から照射されたマイクロ波を拡散させて各搬送用トレイ（14）に行き渡らせることができる。従って、この発明によれば、各搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分を満遍なく加熱することができ、搬送用トレイ（14）毎のＰＴＦＥ粉末の含水率を平均化することができる。
【００９６】
ところで、搬送用トレイ（14）の材質をマイクロ波の透過率が比較的高い樹脂等にすれば、搬送用トレイ（14）同士の間隔や搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）との間隔がそれ程広くなくても、マイクロ波は搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分に到達する。しかしながら、一般に樹脂は金属よりも強度が低いため、搬送用トレイ（14）の材質を樹脂にすると、搬送用トレイ（14）の材質を金属にした場合に比べて搬送用トレイ（14）が重くなる。また、樹脂製の搬送用トレイ（14）は取扱中に欠けるおそれがある。そして、搬送用トレイ（14）の破片がＰＴＦＥ粉末に混入すると、ＰＴＦＥ粉末に異物が混入することとなり、最終製品としてのＰＴＦＥ粉末の品質低下を招くおそれもある。
【００９７】
それに対し、本実施形態の製造装置（1）では、搬送用トレイ（14）の材質を金属の一種であるステンレスとしている。このため、搬送用トレイ（14）を樹脂製とした場合に比べて搬送用トレイ（14）を軽量化することができ、搬送用トレイ（14）の取扱いを容易にすることができる。また、ステンレス製の搬送用トレイ（14）が取扱中に欠けることは無いため、異物の混入によるＰＴＦＥ粉末の品質低下も回避することができる。
【００９８】
本実施形態では、前段ユニット（20）に収容された搬送用トレイ（14）に対してマイクロ波が複数の方向から照射される。前段ユニット（20）の各照射ゾーン（31〜34）では、照射されたマイクロ波がＰＴＦＥ粉末中の水分に次第に吸収されてゆく。このため、各照射ゾーン（31〜34）内では、マイクロ波の出口である照射口（43,48,53,58）から離れるにつれて、到達するマイクロ波のエネルギが減衰してゆく。これに対し、本実施形態の前段ユニット（20）では、搬送用トレイ（14）に対して複数方向からマイクロ波を照射している。従って、本実施形態によれば、各搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分を均一に加熱することができ、搬送用トレイ（14）毎のＰＴＦＥ粉末の含水率を平均化することができる。
【００９９】
また、本実施形態の前段ユニット（20）では、概ね水平に設置された矩形状の搬送用トレイ（14）に対して、前後左右の４方向からマイクロ波を照射している。このため、搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分に与えられるマイクロ波のエネルギは、搬送用トレイ（14）の各部において確実に平均化される。従って、本実施形態によれば、搬送用トレイ（14）上の各部におけるＰＴＦＥ粉末の含水率を平均化することができ、搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末の全てを確実に乾燥させることができる。
【０１００】
また、本実施形態の前段ユニット（20）では、１つのトレイユニット（10）を構成する搬送用トレイ（14）のそれぞれに対応して照射口（43,48,53,58）を１つずつ設置している。このため、各搬送用トレイ（14）上の対象物に与えられるマイクロ波のエネルギを平均化することができ、各搬送用トレイ（14）上の対象物の含水率を均一化することができる。
【０１０１】
−実施形態１の変形例１−
本実施形態の製造装置（1）については、図７に示すように、前段ユニット（20）と後段ユニット（60）を前後に並べて配置してもよい。
【０１０２】
本変形例の前段ユニット（20）において、搬出用扉（23）は、本体ケーシング（21）の背面のうち第４照射ゾーン（34）に臨む部分に設けられている。本変形例の後段ユニット（60）において、搬入用扉（62）は、本体ケーシング（61）の前面のうち第１乾燥ゾーン（71）に臨む部分に設けられている。
【０１０３】
本変形例の製造装置（1）において、前段ユニット（20）と後段ユニット（60）は、互いの長手方向が平行となる姿勢で、前後方向に所定の間隔をおいて配置されている。また、前段ユニット（20）と後段ユニット（60）は、前段ユニット（20）の搬出用扉（23）と後段ユニット（60）の搬入用扉（62）とが互いに対面する姿勢で設置されている。前段ユニット（20）の第４照射ゾーン（34）から搬出されたトレイユニット（10）は、後方へ向かって搬送され、後段ユニット（60）の第１乾燥ゾーン（71）へ搬入される。
【０１０４】
−実施形態１の変形例２−
本実施形態の製造装置（1）において、１つのトレイユニット（10）に設けられる搬送用トレイ（14）の枚数は、４枚に限定されるものではなく、任意に設定可能である。例えば、１つのトレイユニット（10）に６枚の搬送用トレイ（14）を設けることも可能である。その場合、前段ユニット（20）では、各マイクロ波照射部にマイクロ波発振器と導波管が６つずつ設けられることとなる。また、本体ケーシング（21）の内壁面では、各照射ゾーン（31〜34）に収容されたトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に照射口が１つずつ開口する。
【０１０５】
《発明の実施形態２》
本発明の実施形態２について説明する。本実施形態は、上記実施形態１の製造装置（1）の構成を変更したものである。ここでは、本実施形態の製造装置（1）について、上記実施形態１と異なる点を説明する。なお、以下の説明で用いる「右」「左」「前」「後」「手前」「奥」は、何れも製造装置（1）を正面側から見た場合のものを意味している。
【０１０６】
図８に示すように、本実施形態では、１つのトレイユニット（10）に８枚の搬送用トレイ（14）が設けられる。このトレイユニット（10）のトレイラック（11）は、上下方向に所定の間隔で配置された８つの枠部材（12）を備えており、８枚の搬送用トレイ（14）を上下に一定の間隔Ｈをおいて配列できるように構成されている。
【０１０７】
本実施形態の前段ユニット（20）では、本体ケーシング（21）の左右方向の長さが実施形態１の概ね半分となる一方、本体ケーシング（21）の高さが実施形態１の概ね２倍となっている。本体ケーシング（21）の内部空間では、その左右方向の中央部に１つの区画用扉（24）が立設されている。この内部空間は、区画用扉（24）によって２つの空間に仕切られている。本体ケーシングでは、区画用扉（24）の左側の空間が第１照射ゾーン（31）となり、区画用扉（24）の右側の空間が第２照射ゾーン（32）となっている。これら各照射ゾーン（31,32）の広さは、１つのトレイユニット（10）を収納できる程度となっている。
【０１０８】
区画用扉（24）は、本体ケーシング（21）の断面形状に対応した矩形状に形成されたステンレス製の平板である。この区画用扉（24）は、上下方向へ移動することによって開閉する。区画用扉（24）が開くと、第１照射ゾーン（31）と第２照射ゾーン（32）が互いに連通する。
【０１０９】
本実施形態の前段ユニット（20）においても、本体ケーシング（21）には、搬入用扉（22）と搬出用扉（23）とが設けられている。搬入用扉（22）は、本体ケーシング（21）の前面のうち第１照射ゾーン（31）に臨む部分に設けられている。搬入用扉（22）は、矩形状に形成されたステンレス製の平板であって、上下方向へ移動することによって開閉する。搬入用扉（22）が開くと、第１照射ゾーン（31）が本体ケーシング（21）の外部と連通する。一方、搬出用扉（23）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）のうち第２照射ゾーン（32）に臨む部分に設けられている。搬出用扉（23）は、矩形状に形成されたステンレス製の平板であって、上下方向へ移動することによって開閉する。搬出用扉（23）が開くと、第２照射ゾーン（32）が本体ケーシング（21）の外部と連通する。
【０１１０】
図示しないが、本実施形態の前段ユニット（20）においても、本体ケーシング（21）に給気ダクトと排気ダクトとが接続されている。給気ダクトは、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に接続されている。この給気ダクトは、本体ケーシング（21）の背面のうち第１照射ゾーン（31）に臨む部分と第２照射ゾーン（32）に臨む部分とのそれぞれに対して、所定の本数ずつ接続されている。排気ダクトは、本体ケーシング（21）の前面に接続されている。この排気ダクトは、本体ケーシング（21）の前面のうち第１照射ゾーン（31）に臨む部分と第２照射ゾーン（32）に臨む部分とのそれぞれに対して、所定の本数ずつ接続されている。
【０１１１】
本実施形態の前段ユニット（20）には、４つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）が設けられている。各マイクロ波照射部（40,45,50,55）は、マイクロ波発振器（41,46,51,56）と導波管（42,47,52,57）とを、１つのトレイユニット（10）に設けられる搬送用トレイ（14）の数の半分ずつ備えている。本実施形態では、１つのトレイユニット（10）に８つの搬送用トレイ（14）が設けられる。従って、本実施形態のマイクロ波照射部（40,45,50,55）には、マイクロ波発振器（41,46,51,56）と導波管（42,47,52,57）とが４つずつ設けられる。
【０１１２】
第１マイクロ波照射部（40）は、本体ケーシング（21）の左側面に設けられている。具体的に、本体ケーシング（21）の左側面には、第１マイクロ波照射部（40）を構成する導波管（42）の終端が接続されている。この導波管（42）の終端は、第１照射ゾーン（31）に開口する照射口（43）を構成している。本体ケーシング（21）の内壁面において、この照射口（43）は、トレイユニット（10）における上から１段目と２段目の搬送用トレイ（14）の間、３段目と４段目の搬送用トレイ（14）の間、５段目と６段目の搬送用トレイ（14）の間、及び７段目と８段目の搬送用トレイ（14）の間のそれぞれに１つずつ開口している。
【０１１３】
第２マイクロ波照射部（45）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に設けられている。具体的に、本体ケーシング（21）の背面には、第２マイクロ波照射部（45）を構成する導波管（47）の終端が接続されている。この導波管（47）の終端は、第１照射ゾーン（31）に開口する照射口（48）を構成している。本体ケーシング（21）の内壁面において、この照射口（48）は、トレイユニット（10）における最上段の搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）の天井面の間、２段目と３段目の搬送用トレイ（14）の間、４段目と５段目の搬送用トレイ（14）の間、及び６段目と７段目の搬送用トレイ（14）の間のそれぞれに１つずつ開口している。
【０１１４】
第３マイクロ波照射部（50）は、本体ケーシング（21）の前面に設けられている。具体的に、本体ケーシング（21）の前面には、第３マイクロ波照射部（50）を構成する導波管（52）の終端が接続されている。この導波管（52）の終端は、第２照射ゾーン（32）に開口する照射口（53）を構成している。本体ケーシング（21）の内壁面において、この照射口（53）は、トレイユニット（10）における最上段の搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）の天井面の間、２段目と３段目の搬送用トレイ（14）の間、４段目と５段目の搬送用トレイ（14）の間、及び６段目と７段目の搬送用トレイ（14）の間のそれぞれに１つずつ開口している。
【０１１５】
第４マイクロ波照射部（55）は、本体ケーシング（21）の右側面に設けられている。具体的に、本体ケーシング（21）の右側面には、第４マイクロ波照射部（55）を構成する導波管（57）の終端が接続されている。この導波管（57）の終端は、第２照射ゾーン（32）に開口する照射口（58）を構成している。本体ケーシング（21）の内壁面において、この照射口（58）は、トレイユニット（10）における上から１段目と２段目の搬送用トレイ（14）の間、３段目と４段目の搬送用トレイ（14）の間、５段目と６段目の搬送用トレイ（14）の間、及び７段目と８段目の搬送用トレイ（14）の間のそれぞれに１つずつ開口している。
【０１１６】
本実施形態の前段ユニット（20）においても、各照射ゾーン（31,32）には、シールド用枠部（26）が１つずつ設けられている。上記実施形態１の場合と同様に、シールド用枠部（26）は、トレイユニット（10）における最下段の搬送用トレイ（14）を囲むように設けられており、その内周面が最下段の搬送用トレイ（14）の側板部（16）と対面している。
【０１１７】
本実施形態の前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）において上下に配列された搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈと、トレイユニット（10）における最上段の搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）の天井面との間隔Ｈとの何れもが、λ／２以上の値に設定されている。また、この前段ユニット（20）において、本体ケーシング（21）の内壁面や区画用扉（24）と各搬送用トレイ（14）の側板部（16）との距離Ｌは、λ以上の値に設定されている。また、この前段ユニット（20）において、トレイユニット（10）における最下段の搬送用トレイ（14）の側板部（16）とシールド用枠部（26）の内周面との間隔Ｄは、両者の隙間をマイクロ波が通過できない程度の値に設定されている。
【０１１８】
図示しないが、本実施形態の後段ユニット（60）では、本体ケーシング（61）の高さが上記実施形態１の場合の約２倍となっている。この本体ケーシング（61）は、８枚の搬送用トレイ（14）を備える本実施形態のトレイユニット（10）を収容できるように構成されている。なお、上記実施形態１の場合と同様に、本実施形態の後段ユニット（60）においても、本体ケーシング（61）内では、４つの乾燥ゾーン（71〜74）と２つの熱処理ゾーン（81,82）とが１列に並んで形成されている。
【０１１９】
−運転動作−
本実施形態の前段ユニット（20）の動作について説明する。本実施形態の後段ユニット（60）の動作は、上記実施形態１の場合と同様である。
【０１２０】
前段ユニット（20）では、その第１照射ゾーン（31）へトレイユニット（10）が３０分毎に搬入される一方、その第２照射ゾーン（32）からトレイユニット（10）が３０分毎に搬出されてゆく。また、前段ユニット（20）では、その第１照射ゾーン（31）に収容されたトレイユニット（10）が、３０分毎に右隣の第２照射ゾーン（32）へ搬送される。
【０１２１】
前段ユニット（20）の各照射ゾーン（31,32）では、そこに収容されたトレイユニット（10）に対して、対応するマイクロ波照射部（40,45,50,55）がマイクロ波を照射する。各照射ゾーン（31,32）において、マイクロ波照射部（40,45,50,55）から照射されたマイクロ波は、各搬送用トレイ（14）上の濡れた状態のＰＴＦＥ粉末に到達し、そのＰＴＦＥ粉末に含まれる水分に吸収される。マイクロ波を吸収した水分は、発熱して蒸発してゆく。
【０１２２】
また、前段ユニット（20）では、６０℃〜１００℃程度にまで加熱された外気が給気ダクトから各照射ゾーン（31,32）へ吹き出される一方、蒸発した水分（水蒸気）を含んだ各照射ゾーン（31,32）内の空気が排気ダクトへ吸い込まれる。排気ダクトへ吸い込まれた空気は、その全部が屋外へ排出される。なお、排気ダクトへ吸い込まれた空気は、有害物質の除去等の適切な処理が施された後に屋外へ放出される。
【０１２３】
前段ユニット（20）の運転動作を、１つのトレイユニット（10）に着目して説明する。
【０１２４】
トレイユニット（10）は、前段ユニット（20）に搬入される。その際、前段ユニット（20）では、搬入用扉（22）が開かれ、第１照射ゾーン（31）へトレイユニット（10）が搬入される。第１照射ゾーン（31）へ搬入されたトレイユニット（10）は、ローラーコンベア（25）の上に載せられる。その後、前段ユニット（20）では、搬入用扉（22）と搬出用扉（23）と区画用扉（24）の全てが閉じられ、各マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が開始される。
【０１２５】
第１照射ゾーン（31）内のトレイユニット（10）に対しては、第１マイクロ波照射部（40）及び第２マイクロ波照射部（45）がマイクロ波を照射する。第１照射ゾーン（31）では、マイクロ波を照射された各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれていた水分が蒸発し、蒸発した水分が排気ダクトへと吸い出されてゆく。
【０１２６】
具体的に、第１マイクロ波照射部（40）のマイクロ波発振器（41）で発生したマイクロ波は、導波管（42）を通り、照射口（43）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。この第１マイクロ波照射部（40）は、主にトレイユニット（10）における上から２段目、４段目、６段目、８段目の各搬送用トレイ（14）に対して、それぞれの左側方からマイクロ波を照射する。
【０１２７】
一方、第２マイクロ波照射部（45）のマイクロ波発振器（46）で発生したマイクロ波は、導波管（47）を通り、照射口（48）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。この第２マイクロ波照射部（45）は、主にトレイユニット（10）における上から１段目、３段目、５段目、７段目の各搬送用トレイ（14）に対して、それぞれの後方からマイクロ波を照射する。
【０１２８】
前段ユニット（20）では、マイクロ波の照射時間が３０分間に達すると、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が一旦停止される。また、前段ユニット（20）では、区画用扉（24）が開かれ、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第２照射ゾーン（32）へと搬送される。トレイユニット（10）が第２照射ゾーン（32）へ到達すると、区画用扉（24）が閉じられ、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が再開される。
【０１２９】
第２照射ゾーン（32）内のトレイユニット（10）に対しては、第３マイクロ波照射部（50）及び第４マイクロ波照射部（55）がマイクロ波を照射する。第２照射ゾーン（32）では、マイクロ波を照射された各搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末に含まれていた水分が蒸発し、蒸発した水分が排気ダクトへと吸い出されてゆく。
【０１３０】
具体的に、第３マイクロ波照射部（50）のマイクロ波発振器（51）で発生したマイクロ波は、導波管（52）を通り、照射口（53）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。この第３マイクロ波照射部（50）は、主にトレイユニット（10）における上から１段目、３段目、５段目、７段目の各搬送用トレイ（14）に対して、それぞれの前方からマイクロ波を照射する。
【０１３１】
一方、第４マイクロ波照射部（55）のマイクロ波発振器（56）で発生したマイクロ波は、導波管（57）を通り、照射口（58）からトレイユニット（10）の各搬送用トレイ（14）に対して照射される。この第４マイクロ波照射部（55）は、主にトレイユニット（10）における上から２段目、４段目、６段目、８段目の各搬送用トレイ（14）に対して、それぞれの右側方からマイクロ波を照射する。
【０１３２】
前段ユニット（20）では、マイクロ波の照射を再開してから３０分間が経過すると、マイクロ波照射部（40,45,50,55）によるマイクロ波の照射が一旦停止される。また、前段ユニット（20）では、搬出用扉（23）が開かれ、トレイユニット（10）が第２照射ゾーン（32）から搬出される。
【０１３３】
このように、トレイユニット（10）における上から１段目、３段目、５段目、７段目の各搬送用トレイ（14）に対しては、第１照射ゾーン（31）では主に後方からマイクロ波が照射され、第２照射ゾーン（32）では主に前方からマイクロ波が照射される。また、トレイユニット（10）における上から２段目、４段目、６段目、８段目の各搬送用トレイ（14）に対しては、第１照射ゾーン（31）では主に左側方からマイクロ波が照射され、第２照射ゾーン（32）では主に右側方からマイクロ波が照射される。つまり、本実施形態の前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第２照射ゾーン（32）へと移動するのにつれて、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が１８０°変化する。
【０１３４】
−実施形態２の効果−
本実施形態によれば、上記実施形態１と同様の効果が得られる。また、本実施形態によれば、次のような効果も得られる。この効果について説明する。
【０１３５】
ここで、仮に１つの照射ゾーンにおいて２つの照射口が互いに向かい合って開口していたとすると、一方の照射口から照射されたマイクロ波が向かい側の照射口へ侵入し、その照射口に接続するマイクロ波発振器の破損を招くおそれがある。
【０１３６】
これに対し、本実施形態の前段ユニット（20）において、１つの照射ゾーン（31,32）に開口する照射口（43,48,53,58）は、互いの位置が水平方向に９０°ずれており、更には上下方向にもずれている。このため、１つの照射ゾーン（31,32）にマイクロ波を照射する２つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）について、一方のマイクロ波照射部（40,50）から照射されたマイクロ波によって他方のマイクロ波照射部（45,55）が損傷するといった事態は回避される。従って、本実施形態によれば、１つの照射ゾーン（31,32）に対して２つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）からマイクロ波を照射する場合において、前段ユニット（20）の信頼性を確保することができる。
【０１３７】
《発明の実施形態３》
本発明の実施形態３について説明する。ここでは、本実施形態の製造装置（1）について、上記実施形態１と異なる点を説明する。なお、以下の説明で用いる「右」「左」「前」「後」「手前」「奥」は、何れも製造装置（1）を正面側から見た場合のものを意味している。
【０１３８】
図９に示すように、本実施形態の製造装置（1）は、４つの前段ユニット（20）と１つの後段ユニット（60）とを備えている。４つの前段ユニット（20）は、上下に積み重ねられている。
【０１３９】
図１０に示すように、各前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）は、中空の直方体状に形成されている。本体ケーシング（21）の内部空間は、照射ゾーン（30）を構成している。
【０１４０】
本体ケーシング（21）は、４枚の搬送用トレイ（14）を上下に一定の間隔Ｈをおいて配列した状態で収容できる程度の大きさとなっている。本体ケーシング（21）に４枚の搬送用トレイ（14）を収容した状態で、最上段に設けられた搬送用トレイ（14）の側板部（16）の上端と本体ケーシング（21）の天井面との間隔は、上下に配列された搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈと同じ値に設定される。また、搬送用トレイ（14）の各側板部（16）と、それに対向する本体ケーシング（21）の内壁面との距離は、搬送用トレイ（14）の全周に亘って長さＬに設定されている。なお、本実施形態においても、本体ケーシング（21）の材質と搬送用トレイ（14）の材質は、何れもステンレスである。
【０１４１】
図示しないが、前段ユニット（20）には、照射ゾーン（30）内で搬送用トレイ（14）を搬送するためのトレイ駆動部が設けられている。このトレイ駆動部は、搬送用トレイ（14）を載せるために水平方向へ延びるアーム部材を備えている。トレイ駆動部では、複数のアーム部材が等間隔で配列されている。アーム部材の間隔は、各アーム部材に載せられた搬送用トレイ（14）同士の間隔が所定の値Ｈとなるように設定されている。トレイ駆動部は、搬送用トレイ（14）を載せたアーム部材を移動させることによって、搬送用トレイ（14）を照射ゾーン（30）の上部から下部へと搬送する。
【０１４２】
各前段ユニット（20）には、４つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）が設けられている。各マイクロ波照射部（40,45,50,55）は、１つのマイクロ波発振器（41,46,51,56）によって構成されている。本実施形態においても、各マイクロ波発振器（41,46,51,56）は、周波数が２．４５ＧＨｚのマイクロ波を発生させるように構成されており、その出力が１．０ｋＷ程度となっている。
【０１４３】
第１マイクロ波照射部（40）を構成するマイクロ波発振器（41）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に取り付けられている。本体ケーシング（21）の背面では、最上段の搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）の天井面との間に照射口（43）が開口している。このマイクロ波発振器（41）は、この照射口（43）を介して照射ゾーン（30）に連通している。
【０１４４】
第２マイクロ波照射部（45）を構成するマイクロ波発振器（46）は、本体ケーシング（21）の右側面に取り付けられている。本体ケーシング（21）の右側面では、最上段の搬送用トレイ（14）と上から２段目の搬送用トレイ（14）との間に照射口（48）が開口している。このマイクロ波発振器（46）は、この照射口（48）を介して照射ゾーン（30）に連通している。
【０１４５】
第３マイクロ波照射部（50）を構成するマイクロ波発振器（51）は、本体ケーシング（21）の前面に取り付けられている。本体ケーシング（21）の前面では、上から２段目の搬送用トレイ（14）と３段目の搬送用トレイ（14）との間に照射口（53）が開口している。このマイクロ波発振器（51）は、この照射口（53）を介して照射ゾーン（30）に連通している。
【０１４６】
第４マイクロ波照射部（55）を構成するマイクロ波発振器（56）は、本体ケーシング（21）の左側面に取り付けられている。本体ケーシング（21）の左側面では、上から３段目の搬送用トレイ（14）と４段目の搬送用トレイ（14）との間に照射口（58）が開口している。このマイクロ波発振器（56）は、この照射口（58）を介して照射ゾーン（30）に連通している。
【０１４７】
図示しないが、本実施形態の前段ユニット（20）においても、本体ケーシング（21）に給気ダクトと排気ダクトとが接続されている。給気ダクトは、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に接続されている。排気ダクトは、本体ケーシング（21）の前面に接続されている。本体ケーシング（21）内の照射ゾーン（30）には、６０℃〜１００℃程度にまで加熱された外気が給気ダクトから供給される。照射ゾーン（30）から排気ダクトへ吸い込まれた空気は、その全部が屋外へ排出される。なお、排気ダクトへ吸い込まれた空気は、有害物質の除去等の適切な処理が施された後に屋外へ放出される。
【０１４８】
本実施形態の前段ユニット（20）では、照射ゾーン（30）内で上下に配列された搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈと、最上段の搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）の天井面との間隔Ｈとの何れもが、λ／２以上の値に設定されている。また、この前段ユニット（20）において、本体ケーシング（21）の内壁面と各搬送用トレイ（14）の側板部（16）との距離Ｌは、λ以上の値に設定されている。なお、本実施形態の前段ユニット（20）では、シールド用枠部（26）が省略されている。
【０１４９】
本実施形態の後段ユニット（60）において、本体ケーシング（61）は、縦長で中空の直方体状に形成されている。この本体ケーシング（61）では、その左右方向の幅がその前後方向の奥行きの概ね２倍となっている。本体ケーシング（61）の内部では、その左右方向の中央部に隔壁（66）が立設されている。本体ケーシング（61）の内部空間は、この隔壁（66）によって左側の上昇側空間（67）と右側の下降側空間（68）とに仕切られている。隔壁（66）の高さは、本体ケーシングの内部空間の高さよりも幾分低くなっている。このため、上昇側空間（67）と下降側空間（68）は、それぞれの上端部分が互いに連通している。
【０１５０】
後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）では、上昇側空間（67）と下降側空間（68）のそれぞれにおいて、複数の搬送用トレイ（14）が互いに所定の間隔をおいて上下に配列されている。図示しないが、後段ユニット（60）には、本体ケーシング（61）内で搬送用トレイ（14）を搬送するトレイ駆動部が設けられている。このトレイ駆動部は、搬送用トレイ（14）を載せるために水平方向へ延びるアーム部材を備えている。トレイ駆動部では、多数のアーム部材が等間隔で配列されている。トレイ駆動部は、搬送用トレイ（14）を載せたアーム部材を移動させることによって搬送用トレイ（14）を搬送する。具体的に、トレイ駆動部は、上昇側空間（67）へ送り込まれた搬送用トレイ（14）を上方へ移動させ、上昇側空間（67）の上端に達した搬送用トレイ（14）を下降側空間（68）へ移動させ、下降側空間（68）へ送り込まれた搬送用トレイ（14）を下方へ移動させる。
【０１５１】
後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）の内部空間には、乾燥ゾーン（70）と熱処理ゾーン（80）とが形成されている。具体的に、本体ケーシング（61）の内部空間では、上昇側空間（67）の全部と下降側空間（68）の上端から所定の距離だけ下方の位置に至るまでの部分とが乾燥ゾーン（70）を構成し、下降側空間（68）のうちの残りの部分が熱処理ゾーン（80）を構成している。ただし、乾燥ゾーン（70）と熱処理ゾーン（80）は仮想的なものであり、両者が仕切板等によって物理的に区画されている訳ではない。
【０１５２】
図示しないが、後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）には、乾燥ゾーン（70）に連通する給気ダクト及び排気ダクトと、熱処理ゾーン（80）に連通する給気ダクト及び排気ダクトとが接続されている。乾燥ゾーン（70）には、給気ダクトから１００℃〜２５０℃程度（望ましくは１３０℃〜２００℃程度）の所定温度の空気が供給される。乾燥ゾーン（70）から排気ダクトへ吸い込まれた空気は、その一部が屋外へ排出される。なお、この屋外へ排出される空気は、有害物質の除去等の適切な処理が施された後に屋外へ放出される。
【０１５３】
排気ダクトへ吸い込まれた空気の残りは、外気と混ぜ合わされてから上記所定温度にまで再加熱され、その後に給気ダクトを通じて乾燥ゾーン（70）へ送り返される。熱処理ゾーン（80）には、給気ダクトから１００℃〜２５０℃程度（望ましくは１３０℃〜２００℃程度）の所定温度の空気が供給される。熱処理ゾーン（80）から排気ダクトへ吸い込まれた空気は、その全部が上記所定温度にまで再加熱されてから給気ダクトを通じて熱処理ゾーン（80）へ送り返される。
【０１５４】
−運転動作−
本実施形態の製造装置（1）の運転動作について説明する。
【０１５５】
各前段ユニット（20）では、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を載せた搬送用トレイ（14）が、１５分毎に照射ゾーン（30）の上端部へ１枚ずつ搬入される。照射ゾーン（30）内では、搬送用トレイ（14）が１５分毎に１段ずつ下方へ移動してゆく。また、各前段ユニット（20）では、搬送用トレイ（14）が１５分毎に照射ゾーン（30）の下端部から１枚ずつ搬出されてゆく。
【０１５６】
前段ユニット（20）では、本体ケーシング（21）内の照射ゾーン（30）に収容された搬送用トレイ（14）に対し、各マイクロ波照射部（40,45,50,55）がマイクロ波を照射する。照射ゾーン（30）では、各搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分がマイクロ波を吸収し、この水分が発熱して蒸発してゆく。搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末から蒸発した水分は、照射ゾーン（30）内の空気と共に排気ダクトを通って屋外へ排出される。
【０１５７】
前段ユニット（20）の運転動作を、１枚の搬送用トレイ（14）に着目して説明する。
【０１５８】
水に濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を載せた搬送用トレイ（14）は、照射ゾーン（30）の最上段へ搬入される。この最上段に位置する搬送用トレイ（14）に対しては、主に第１マイクロ波照射部（40）で発生したマイクロ波がその後方から照射される。搬送用トレイ（14）が照射ゾーン（30）へ搬入されてから１５分間が経過すると、搬送用トレイ（14）は１段分だけ下方へ移動する。
【０１５９】
この上から２段目に位置する搬送用トレイ（14）に対しては、主に第２マイクロ波照射部（45）で発生したマイクロ波がその右側方から照射される。搬送用トレイ（14）が２段目へ移動してから１５分間が経過すると、搬送用トレイ（14）は更に１段分だけ下方へ移動する。
【０１６０】
この上から３段目に位置する搬送用トレイ（14）に対しては、主に第３マイクロ波照射部（50）で発生したマイクロ波がその前方から照射される。搬送用トレイ（14）が３段目へ移動してから１５分間が経過すると、搬送用トレイ（14）は更に１段分だけ下方へ移動する。
【０１６１】
この最下段に位置する搬送用トレイ（14）に対しては、主に第４マイクロ波照射部（55）で発生したマイクロ波がその左側方から照射される。搬送用トレイ（14）が最下段へ移動してから１５分間が経過すると、搬送用トレイ（14）は前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）から搬出されてゆく。各前段ユニット（20）から搬出された搬送用トレイ（14）は、後段ユニット（60）へ搬入される。
【０１６２】
このように、前段ユニット（20）では、１段ずつ下降してゆく搬送用トレイ（14）に対し、最上段に位置する状態では後方からマイクロ波が照射され、上から２段目に位置する状態では右側方からマイクロ波が照射され、上から３段目に位置する状態では前方からマイクロ波が照射され、最下段に位置する状態では左側方からマイクロ波が照射される。つまり、前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）が１段ずつ下方へ移動するのにつれて、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が９０°ずつ変化する。
【０１６３】
本実施形態の製造装置（1）では、各前段ユニット（20）に対して搬送用トレイ（14）を投入するタイミングが３分４５秒ずつずれており、その結果、各前段ユニット（20）から搬送用トレイ（14）が搬出されるタイミングも３分４５秒ずつずれている。そして、後段ユニット（60）には、各前段ユニット（20）から搬出された搬送用トレイ（14）が、３分４５秒間隔で１枚ずつ搬入される。
【０１６４】
後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）では、上昇側空間（67）の下端部へ搬送用トレイ（14）が搬入される。上昇側空間（67）の下端部（即ち、乾燥ゾーン（70）の始端）へ搬入された搬送用トレイ（14）は、乾燥ゾーン（70）内を１段ずつ上方へ移動してゆく。上昇側空間（67）の最上段に達した搬送用トレイ（14）は、下降側空間（68）へと移送され、下降側空間（68）内を１段ずつ下方へ移動してゆく。搬送用トレイ（14）は、下降側空間（68）内を所定の段数だけ移動し、乾燥ゾーン（70）の終端に達する。搬送用トレイ（14）は、乾燥ゾーン（70）の始端から終端に至るまでの間に亘って、１００℃以上の高温の熱風に晒され続ける。搬送用トレイ（14）において、その上に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分は、熱風によって加熱されて蒸発してゆく。
【０１６５】
乾燥ゾーン（70）の終端に達した搬送用トレイ（14）は、更に１段だけ降下して熱処理ゾーン（80）の始端に達する。熱処理ゾーン（80）へ搬入された搬送用トレイ（14）は、１段ずつ下方へ移動し、やがて下降側空間（68）の下端部（即ち、熱処理ゾーン（80）の終端）に達する。搬送用トレイ（14）は、熱処理ゾーン（80）の始端から終端に至るまでの間に亘って、１００℃以上の高温の熱風に晒され続ける。このため、搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末は、その温度が熱風の温度と同程度に保たれる。下降側空間（68）の下端部に至った搬送用トレイ（14）は、後段ユニット（60）の本体ケーシング（61）から搬出される。
【０１６６】
《発明の実施形態４》
本発明の実施形態４について説明する。本実施形態の製造装置（1）は、上記実施形態３の製造装置（1）において、前段ユニット（20）の構成を変更したものである。後段ユニット（60）の構成は、上記実施形態３と同様である。
【０１６７】
図１１に示すように、本実施形態の製造装置（1）は、前段ユニット（20）と後段ユニット（60）を１つずつ備えている。ここでは、本実施形態の製造装置（1）について、上記実施形態３と異なる点を説明する。なお、以下の説明で用いる「右」「左」「前」「後」「手前」「奥」は、何れも製造装置（1）を正面側から見た場合のものを意味している。
【０１６８】
本実施形態において、前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）は、中空の四角柱状に形成されており、その長手方向が概ね鉛直方向となる姿勢で設置されている。本体ケーシング（21）は、１６枚の搬送用トレイ（14）を上下に一定の間隔Ｈをおいて配列した状態で収容できる程度の大きさとなっている。本体ケーシング（21）に１６枚の搬送用トレイ（14）を収容した状態で、最上段に設けられた搬送用トレイ（14）の側板部（16）の上端と本体ケーシング（21）の天井面との間隔は、上下に配列された搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈと同じ値に設定される。また、搬送用トレイ（14）の各側板部（16）と、それに対向する本体ケーシング（21）の内壁面との距離は、搬送用トレイ（14）の全周に亘って長さＬに設定されている。なお、本実施形態においても、本体ケーシング（21）の材質と搬送用トレイ（14）の材質は、何れもステンレスである。
【０１６９】
図示しないが、前段ユニット（20）には、照射ゾーン（30）内で搬送用トレイ（14）を搬送するためのトレイ駆動部が設けられている。このトレイ駆動部は、上記実施形態３のものと同様に構成されている。つまり、トレイ駆動部は、搬送用トレイ（14）を載せたアーム部材を移動させることによって、本体ケーシング（21）の内部空間の上部から下部へと搬送用トレイ（14）を搬送する。
【０１７０】
前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）には、３つのシールド用枠部（26）が設けられている。各シールド用枠部（26）は、本体ケーシング（21）の内壁面に沿って形成され、搬送用トレイ（14）の周囲を囲っている。本体ケーシング（21）において、このシールド用枠部（26）は、上から４段目の搬送用トレイ（14）の周囲を囲む位置と、上から８段目の搬送用トレイ（14）の周囲を囲む位置と、上から１２段目の搬送用トレイ（14）の周囲を囲む位置のそれぞれに、１つずつ配置されている。各シールド用枠部（26）は、その断面形状が長方形状になっており、その内周面が対応する搬送用トレイ（14）の側板部（16）と対面している。各シールド用枠部（26）の高さは、搬送用トレイ（14）の高さと同じか、それよりもやや高くなっている。各シールド用枠部（26）の材質は金属である。
【０１７１】
本体ケーシング（21）の内部空間では、本体ケーシング（21）の上端から最上段のシールド用枠部（26）までの領域が第１照射ゾーン（31）を構成し、最上段のシールド用枠部（26）から２段目のシールド用枠部（26）までの領域が第２照射ゾーン（32）を構成し、２段目のシールド用枠部（26）から３段目のシールド用枠部（26）までの領域が第３照射ゾーン（33）を構成し、３段目のシールド用枠部（26）から本体ケーシング（21）の下端までの領域が第４照射ゾーン（34）を構成している。各照射ゾーン（31〜34）には、搬送用トレイ（14）が４枚ずつ収容される。
【０１７２】
前段ユニット（20）には、４つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）が設けられている。各マイクロ波照射部（40,45,50,55）は、４つのマイクロ波発振器（41,46,51,56）によって構成されている。本実施形態においても、各マイクロ波発振器（41,46,51,56）は、周波数が２．４５ＧＨｚのマイクロ波を発生させるように構成されており、その出力が１．０ｋＷ程度となっている。
【０１７３】
第１マイクロ波照射部（40）を構成するマイクロ波発振器（41）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に設けられている。本体ケーシング（21）の背面では、第１照射ゾーン（31）に臨む部分に４つの照射口（43）が開口している。これらの照射口（43）は、上下方向に１列に並んで形成されており、第１照射ゾーン（31）に収容された各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に１つずつ配置されている。このマイクロ波発振器（41）は、この照射口（43）に１つずつ取り付けられている。
【０１７４】
第２マイクロ波照射部（45）を構成するマイクロ波発振器（46）は、本体ケーシング（21）の右側面に設けられている。本体ケーシング（21）の右側面では、第２照射ゾーン（32）に臨む部分に４つの照射口（48）が開口している。これらの照射口（48）は、上下方向に１列に並んで形成されており、第２照射ゾーン（32）に収容された各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に１つずつ配置されている。このマイクロ波発振器（46）は、この照射口（48）に１つずつ取り付けられている。
【０１７５】
第３マイクロ波照射部（50）を構成するマイクロ波発振器（51）は、本体ケーシング（21）の前面に設けられている。本体ケーシング（21）の前面では、第３照射ゾーン（33）に臨む部分に４つの照射口（53）が開口している。これらの照射口（53）は、上下方向に１列に並んで形成されており、第３照射ゾーン（33）に収容された各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に１つずつ配置されている。このマイクロ波発振器（51）は、この照射口（53）に１つずつ取り付けられている。
【０１７６】
第４マイクロ波照射部（55）を構成するマイクロ波発振器（56）は、本体ケーシング（21）の左側面に設けられている。本体ケーシング（21）の左側面では、第４照射ゾーン（34）に臨む部分に４つの照射口（58）が開口している。これらの照射口（58）は、上下方向に１列に並んで形成されており、第４照射ゾーン（34）に収容された各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に１つずつ配置されている。このマイクロ波発振器（56）は、この照射口（58）に１つずつ取り付けられている。
【０１７７】
図示しないが、本実施形態の前段ユニット（20）においても、本体ケーシング（21）に給気ダクトと排気ダクトとが接続されている。給気ダクトは、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に接続されている。本体ケーシング（21）の背面において、給気ダクトは、各照射ゾーン（31〜34）に臨む部分のそれぞれに所定の本数ずつ接続されている。排気ダクトは、本体ケーシング（21）の前面に接続されている。本体ケーシング（21）の前面において、排気ダクトは、各照射ゾーン（31〜34）に臨む部分のそれぞれに所定の本数ずつ接続されている。
【０１７８】
本体ケーシング（21）内の各照射ゾーン（31〜34）には、６０℃〜１００℃程度にまで加熱された外気が給気ダクトから供給される。各照射ゾーン（31〜34）から排気ダクトへ吸い込まれた空気は、その全部が屋外へ排出される。なお、排気ダクトへ吸い込まれた空気は、有害物質の除去等の適切な処理が施された後に屋外へ放出される。
【０１７９】
本実施形態の前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）において上下に配列された搬送用トレイ（14）同士の間隔Ｈと、トレイユニット（10）における最上段の搬送用トレイ（14）と本体ケーシング（21）の天井面との間隔Ｈとの何れもが、λ／２以上の値に設定されている。また、この前段ユニット（20）において、本体ケーシング（21）の内壁面と各搬送用トレイ（14）の側板部（16）との距離Ｌは、λ以上の値に設定されている。また、この前段ユニット（20）において、シールド用枠部（26）の内周面とシールド用枠部（26）に隣接する搬送用トレイ（14）の側板部（16）との間隔Ｄは、両者の隙間をマイクロ波が通過できない程度の値に設定されている。
【０１８０】
−運転動作−
本実施形態の製造装置（1）の運転動作について説明する。なお、後段ユニット（60）の運転動作については、上記実施形態３の場合と同様であるため、その説明を省略する。
【０１８１】
各前段ユニット（20）では、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を載せた搬送用トレイ（14）が、３分４５秒毎に第１照射ゾーン（31）の上端部へ１枚ずつ搬入される。前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）内では、搬入された搬送用トレイ（14）が３分４５秒毎に１段ずつ下方へ移動してゆく。搬送用トレイ（14）は、第１照射ゾーン（31）から第２照射ゾーン（32）と第３照射ゾーン（33）を経て第４照射ゾーン（34）に至る。前段ユニット（20）では、搬送用トレイ（14）が３分４５秒毎に第４照射ゾーン（34）の下端部から１枚ずつ搬出されてゆく。
【０１８２】
前段ユニット（20）では、本体ケーシング（21）内の搬送用トレイ（14）に対し、各マイクロ波照射部（40,45,50,55）がマイクロ波を照射する。各照射ゾーン（31〜34）では、各搬送用トレイ（14）に載ったＰＴＦＥ粉末中の水分がマイクロ波を吸収し、この水分が発熱して蒸発してゆく。搬送用トレイ（14）上のＰＴＦＥ粉末から蒸発した水分は、各照射ゾーン（31〜34）内の空気と共に排気ダクトを通って屋外へ排出される。
【０１８３】
前段ユニット（20）の運転動作を、１枚の搬送用トレイ（14）に着目して説明する。
【０１８４】
濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を載せた搬送用トレイ（14）は、第１照射ゾーン（31）の最上段へ搬入され、１段ずつ下方へ搬送されてゆく。第１照射ゾーン（31）内の各搬送用トレイ（14）に対しては、第１マイクロ波照射部（40）で発生したマイクロ波が後方から照射される。第１照射ゾーン（31）の下端に達した搬送用トレイ（14）は、第２照射ゾーン（32）に搬入される。
【０１８５】
第２照射ゾーン（32）では、搬入された搬送用トレイ（14）が１段ずつ下方へ搬送されてゆく。第２照射ゾーン（32）内の各搬送用トレイ（14）に対しては、第２マイクロ波照射部（45）で発生したマイクロ波が右側方から照射される。第２照射ゾーン（32）の下端に達した搬送用トレイ（14）は、第３照射ゾーン（33）に搬入される。
【０１８６】
第３照射ゾーン（33）では、搬入された搬送用トレイ（14）が１段ずつ下方へ搬送されてゆく。第３照射ゾーン（33）内の各搬送用トレイ（14）に対しては、第３マイクロ波照射部（50）で発生したマイクロ波が前方から照射される。第３照射ゾーン（33）の下端に達した搬送用トレイ（14）は、第４照射ゾーン（34）に搬入される。
【０１８７】
第４照射ゾーン（34）では、搬入された搬送用トレイ（14）が１段ずつ下方へ搬送されてゆく。第４照射ゾーン（34）内の各搬送用トレイ（14）に対しては、第４マイクロ波照射部（55）で発生したマイクロ波が左側方から照射される。第４照射ゾーン（34）の下端に達した搬送用トレイ（14）は、本体ケーシング（21）から搬出されてゆく。前段ユニット（20）から搬出された搬送トレイは、後段ユニット（60）へ搬入されてゆく。
【０１８８】
このように、前段ユニット（20）において、第１照射ゾーン（31）では搬送用トレイ（14）に対して後方からマイクロ波が照射され、第２照射ゾーン（32）では搬送用トレイ（14）に対して右側方からマイクロ波が照射され、第３照射ゾーン（33）では搬送用トレイ（14）に対して前方からマイクロ波が照射され、第４照射ゾーン（34）では搬送用トレイ（14）に対して左側方からマイクロ波が照射される。つまり、前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第４照射ゾーン（34）へと順次移動するのにつれて、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が９０°ずつ変化する。
【０１８９】
−実施形態４の変形例１−
図１３に示すように、本実施形態の前段ユニット（20）は、各照射ゾーン（31〜34）に搬送用トレイ（14）を３枚ずつ収容するように構成されていてもよい。
【０１９０】
本変形例の前段ユニット（20）では、その本体ケーシング（21）に１２枚の搬送用トレイ（14）が収容される。また、前段ユニット（20）に設けられた４つのマイクロ波照射部（40,45,50,55）は、それぞれがマイクロ波照射部（40,45,50）を３つずつ備えることになる。
【０１９１】
−実施形態４の変形例２−
図１４に示すように、本実施形態の前段ユニット（20）は、本体ケーシング（21）内に２つの照射ゾーン（31,32）を形成するように構成されていてもよい。
【０１９２】
本変形例の本体ケーシング（21）では、その上下方向の中央部にシールド用枠部（26）が１つだけ設けられる。本体ケーシング（21）の内部空間は、シールド用枠部（26）の上側の部分が第１照射ゾーン（31）を構成し、シールド用枠部（26）の下側の部分が第２照射ゾーン（32）を構成する。各照射ゾーン（31,32）には、搬送用トレイ（14）が４枚ずつ収容される。
【０１９３】
本変形例の前段ユニット（20）には、２つのマイクロ波照射部（40,45）が設けられる。各マイクロ波照射部（40,45）は、４つのマイクロ波発振器（41,46）によって構成されている。
【０１９４】
第１マイクロ波照射部（40）を構成するマイクロ波発振器（41）は、本体ケーシング（21）の奥側の側面（即ち、背面）に設けられている。本体ケーシング（21）の背面では、第１照射ゾーン（31）に臨む部分に４つの照射口（43）が開口している。これらの照射口（43）は、上下方向に１列に並んで形成されており、第１照射ゾーン（31）に収容された各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に１つずつ配置されている。このマイクロ波発振器（41）は、この照射口（43）に１つずつ取り付けられている。
【０１９５】
第２マイクロ波照射部（45）を構成するマイクロ波発振器（46）は、本体ケーシング（21）の前面に設けられている。本体ケーシング（21）の前面では、第２照射ゾーン（32）に臨む部分に４つの照射口（48）が開口している。これらの照射口（48）は、上下方向に１列に並んで形成されており、第２照射ゾーン（32）に収容された各搬送用トレイ（14）の直ぐ上側に１つずつ配置されている。このマイクロ波発振器（46）は、この照射口（48）に１つずつ取り付けられている。
【０１９６】
前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）へ搬入された搬送用トレイ（14）は、第１照射ゾーン（31）の最上段から第２照射ゾーン（32）の最下段へ向かって、１段ずつ下方へ移動してゆく。第１照射ゾーン（31）内の搬送用トレイ（14）には、第１マイクロ波照射部（40）で発生したマイクロ波が後方から照射される。第２照射ゾーン（32）内の搬送用トレイ（14）には、第２マイクロ波照射部（45）で発生したマイクロ波が前方から照射される。
【０１９７】
このように、前段ユニット（20）において、第１照射ゾーン（31）では搬送用トレイ（14）に対して後方からマイクロ波が照射され、第２照射ゾーン（32）では搬送用トレイ（14）に対して前方からマイクロ波が照射される。つまり、前段ユニット（20）では、トレイユニット（10）が第１照射ゾーン（31）から第２照射ゾーン（32）へと順次移動するのにつれて、搬送用トレイ（14）に対するマイクロ波の照射方向が１８０°変化する。
【０１９８】
《その他の実施形態》
上記の各実施形態の前段ユニット（20）では、濡れた状態のＰＴＦＥ粉末を処理対象物としているが、この前段ユニット（20）の処理対象物はＰＴＦＥ粉末に限定されない。つまり、本実施形態の前段ユニット（20）では、例えばＰＴＦＥ以外の樹脂からなる粒状体を処理対象物として乾燥させるようにしてもよい。なお、ここでいう粒状体には、粒径が数μｍ程度の微粒子から、粒径が数ｍｍ以上のペレットまでが包含される。
【０１９９】
なお、粒状体の材質である樹脂の例としては、汎用樹脂や、いわゆるエンジニアリングプラスチック等が挙げられる。具体的には、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル‐ブタジエン‐スチレン樹脂）、ＡＳ樹脂（アクリロニトリル‐スチレン樹脂）、メタクリル樹脂、ポリアセタール、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリアニレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、含ふっ素樹脂などが、粒状体を構成する樹脂の例として挙げられる。
【０２００】
また、含ふっ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン／パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリふっ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、エチレン／テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、エチレン／クロロトリフルオロエチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）等が例示される。
【０２０１】
上記の各実施形態では、搬送用トレイ（14）や前段ユニット（20）の本体ケーシング（21）等の金属製の部材の材質をステンレスとしているが、これら部材の材質をステンレス以外の金属（例えばチタン等）にしてもよい。
【０２０２】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０２０３】
以上説明したように、本発明は、マイクロ波を照射することによって対象物を乾燥させる乾燥装置について有用である。
【図面の簡単な説明】
【０２０４】
【図１】実施形態１の製造装置をその一部を省略して示す製造装置の正面図である。
【図２】トレイユニットの概略構成を示す正面図である。
【図３】搬送用トレイの概略構成を示す斜視図である。
【図４】実施形態１の前段ユニットをその一部を省略して示す図であって、(Ａ)は前段ユニットの平面図であり、(Ｂ)は前段ユニットの正面図である。
【図５】実施形態１の前段ユニットの要部をその一部を省略して示す拡大図であって、(Ａ)は前段ユニットの平面図であり、(Ｂ)は前段ユニットの正面図である。
【図６】実施形態１の後段ユニットをその一部を省略して示す図であって、(Ａ)は前段ユニットの平面図であり、(Ｂ)は前段ユニットの正面図である。
【図７】実施形態１の変形例の製造装置をその一部を省略して示す製造装置の正面図である。
【図８】実施形態２の前段ユニットをその一部を省略して示す図であって、(Ａ)は前段ユニットの平面図であり、(Ｂ)は前段ユニットの正面図である。
【図９】実施形態３の製造装置をその一部を省略して示す製造装置の正面図である。
【図１０】実施形態３の前段ユニットをその一部を省略して示す図であって、(Ａ)は前段ユニットの平面図であり、(Ｂ)は前段ユニットの正面図である。
【図１１】実施形態４の製造装置をその一部を省略して示す製造装置の正面図である。
【図１２】実施形態４の前段ユニットの要部をその一部を省略して示す正面図である。
【図１３】実施形態４の変形例１の前段ユニットをその一部を省略して示す正面図である。
【図１４】実施形態４の変形例２の前段ユニットをその一部を省略して示す正面図である。
【符号の説明】
【０２０５】
10    トレイユニット
14    搬送用トレイ
20    前段ユニット（本体部）
21    本体ケーシング（ケーシング部材）
25    ローラーコンベア（搬送機構）
40    第１マイクロ波照射部
43    照射口
45    第２マイクロ波照射部
48    照射口
50    第３マイクロ波照射部
53    照射口
55    第４マイクロ波照射部
58    照射口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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