(57)【要約】【課題】高精度な位置合わせを必要とせず、十分にノズルのクリーニングを行うことが可能な液剤滴下装置を提供すること。【解決手段】ノズル１７に、ノズル１７の外周面とリング部２５ｂの内周面との間に所定のギャップ２６が形成されるように、ギャップ形成部材２５をノズル１７に設け、また、ノズルクリーナ５０に、リップ５１ｂの径がリング部２５ｂの外径よりも小さく、リング部２５ｂの内径よりも大きいバキュームパッド５１を設けた。ノズル１７のクリーニングは、バキュームパッド５１をリング部２５ｂの下面に当接した状態で、ポンプ５３を駆動してエアーを吸引する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液剤を滴下するノズルと、前記ノズルの先端が遊挿される環状に形成され、該ノズルの外周面との間に全周に亘ってギャップを形成するように配設されたギャップ形成部材と、を備えたディスペンサと、
前記ギャップ形成部材の下面に当接するバキュームパッドと、前記バキュームパッドの開口からエアーを吸引するポンプと、を備えたノズルクリーナと、を備え、
前記バキュームパッドは、該バキュームパッドの開口部において前記ギャップ形成部材の下面と当接するとともに、前記ギャップ形成部材と前記バキュームパッドとが当接したときに前記ノズルの下端と接触しないように形成され、
前記開口部は、該開口部全体が前記ギャップ形成部材の下面内に当接し、
前記ギャップ形成部材の下面は、該ギャップ形成部材の下面と前記開口部とが接する面積よりも大きな面積を有する、
ことを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液剤滴下装置において、
前記バキュームパッドは、可撓性を有する部材により形成されたことを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、
前記ギャップ形成部材は、前記ノズルの外周面との間に全周に亘って均一なギャップを形成するように配設されたことを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液剤滴下装置において、
前記ギャップ形成部材は、高剛性の部材により形成されたことを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液剤滴下装置において、
前記ディスペンサ及び前記ノズルクリーナの少なくとも一方を移動させる移動機構と、
前記移動機構を制御する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記移動機構を制御することにより、前記ディスペンサ及び前記ノズルクリーナの少なくとも一方を移動させ、前記ギャップ形成部材の下面に前記バキュームパッドの開口部を当接させることを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液剤滴下装置において、
前記ノズルから吐出される前記液剤を検出するセンサを備え、
前記制御装置は、前記センサからの出力信号に応じて、前記ノズルクリーナによって前記ノズルをクリーニングすることを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項７】
請求項５に記載の液剤滴下装置において、
前記制御装置は、所定期間毎に、前記ノズルクリーナによって前記ノズルをクリーニングすることを特徴とする液剤滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液剤滴下装置に係り、詳しくは、ノズルの先端に付着した液剤等をクリーニングするノズルクリーナに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液剤滴下装置は、プランジャを操作することによって、液剤をシリンジに供給するとともに、シリンジ内に貯留された液晶等の液剤をノズルから吐出する。液剤を吐出したときに、飛散した液剤等がノズル先端に付着することがある。ノズルの先端に液剤等が付着した状態で液剤を吐出すると、液剤を滴下する際に付着した液剤が一緒に滴下される等して適量の液剤を滴下することが妨げられる。そこで、滴下する液剤と直交する方向に沿ってエアーをノズル先端に吹き付けることにより、ノズル先端に付着した液剤を吹き飛ばして、ノズル先端をクリーニングするノズルクリーナが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、上記特許文献１のノズルクリーナでは、ノズル先端に一方向からエアーを吹き付けるため、ノズル先端を均一にクリーニングすることが困難であった。そこで、図６に示すように、ノズル６０をノズルクリーナの吸入口６１に遊挿し、エアーを吸い込むことによってノズル６０に付着した液剤を吸い取るものが考えられる。
【特許文献１】特開２００２−２２９０４４号公報（段落［００７９］〜［００８２］，第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ノズル６０に付着した液剤を効率よく除去するためには、ノズル６０の外周面と吸入口６１の内周面とのギャップ６２を小さくして、該ギャップ６２を流れるエアーの流速を速くし、液剤を吸い込む力を強くする必要がある。しかし、ギャップ６２を小さくすると、ノズル６０と吸入口６１の外周面とが接触してノズル６０が損傷する可能性が高くなる。そのため、ノズル６０と吸入口６１との位置合わせを高精度で行わなければならず、高精度な位置合わせは時間が掛かり、作業効率が低下するといった問題があった。
【０００５】
一方、ギャップ６２を大きくすると、ノズル６０と吸入口６１との位置合わせを高精度に行う必要はないが、該ギャップ６２を流れるエアーの流速が遅くなり、液剤を吸い込む力が弱くなってしまうため、十分にノズル６０のクリーニングを行うことが困難になる。
【０００６】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、高精度な位置合わせを必要とせず、十分にノズルのクリーニングを行うことが可能な液剤滴下装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、液剤を滴下するノズルと、前記ノズルの先端が遊挿される環状に形成され、該ノズルの外周面との間に全周に亘ってギャップを形成するように配設されたギャップ形成部材と、を備えたディスペンサと、前記ギャップ形成部材の下面に当接するバキュームパッドと、前記バキュームパッドの開口からエアーを吸引するポンプと、を備えたノズルクリーナと、を備え、前記バキュームパッドは、該バキュームパッドの開口部において前記ギャップ形成部材の下面と当接するとともに、前記ギャップ形成部材と前記バキュームパッドとが当接したときに前記ノズルの下端と接触しないように形成され、前記開口部は、該開口部全体が前記ギャップ形成部材の下面内に当接し、前記ギャップ形成部材の下面は、該ギャップ形成部材の下面と前記開口部とが接する面積よりも大きな面積を有する。
【０００８】
同構成によれば、ノズルクリーナは、ノズルの外周面との間に全周に亘ってギャップを形成するギャップ形成部材の下面にバキュームパッドを当接して、エアーの吸引を行う。エアーは、ギャップ形成部材の上端からギャップを介してバキュームパッドへと吸引され、エアーがギャップを通るときに、ノズル先端に付着した液剤も共にバキュームパッドへと吸引される。そして、ギャップ形成部材がノズルに配設されているため、ノズルの外周面とギャップ形成部材との間に形成されたギャップは変化し難い。そのため、ギャップ形成部材の下面にバキュームパッドを当接する際に、バキュームパッドとノズルとの中心軸が一致していなくとも、つまり高度な位置合わせを行わずとも、バキュームパッドの開口部がギャップ形成部材の下面内に収まっていれば、ギャップを介してバキュームパッド内にエアーが吸引される。そして、ギャップがノズルの外周の全周に亘って形成されているため、ノズルを十分にクリーニングすることができる。従って、高精度な位置合わせを必要とせず、十分にノズルのクリーニングを行うことができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液剤滴下装置において、前記バキュームパッドは、可撓性を有する部材により形成された。同構成によれば、バキュームパッドは、ギャップ形成部材の下面に当接した状態で撓み、ギャップ形成部材とバキュームパッドとが密着するため、ギャップ形成部材の下面とバキュームパッドの開口部との間から空気がバキュームパッド内に流入することを防ぐことができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の液剤滴下装置において、前記ギャップ形成部材は、前記ノズルの外周面との間に全周に亘って均一なギャップを形成するように配設された。同構成によれば、ギャップ形成部材は、ノズルの外周面との間に全周に亘って均一なギャップを形成するため、ギャップを通過するエアーの流速がノズルの周方向において一定となり、ノズルのクリーニングを均一に行うことができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液剤滴下装置において、前記ギャップ形成部材は、高剛性の部材により形成された。同構成によれば、バキュームパッドがギャップ形成部材の下面に当接した場合であっても、ギャップ形成部材が高剛性の材質で形成されているため撓み難いので、ギャップ形成部材とノズルとの相対位置が変化し難い。
【００１２】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液剤滴下装置において、前記ディスペンサ及び前記ノズルクリーナの少なくとも一方を移動させる移動機構と、前記移動機構を制御する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記移動機構を制御することにより、前記ディスペンサ及び前記ノズルクリーナの少なくとも一方を移動させ、前記ギャップ形成部材の下面に前記バキュームパッドの開口部を当接させる。同構成によれば、移動機構によって自動的にギャップ形成部材の下面に前記バキュームパッドの開口部を当接される。
【００１３】
請求項６に記載の発明によれば、請求項５に記載の液剤滴下装置において、前記ノズルから吐出される前記液剤を検出するセンサを備え、前記制御装置は、前記センサからの出力信号に応じて、前記ノズルクリーナによって前記ノズルをクリーニングする。同構成によれば、センサから出力信号に応じ、制御装置によって自動的に液剤の滴下とノズルのクリーニングが行われるため、ノズルの状態に応じてノズルのクリーニングを行うことができる。
【００１４】
請求項７に記載の発明によれば、請求項５に記載の液剤滴下装置において、前記制御装置は、所定期間毎に、前記ノズルクリーナによって前記ノズルをクリーニングする。同構成によれば、定期的に、制御装置によって自動的に液剤の滴下とノズルのクリーニングが行われる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、高精度な位置合わせを必要とせず、十分にノズルのクリーニングを行うことが可能な液剤滴下装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を液晶滴下装置に具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、液晶滴下装置の概略構成を示す平面図である。液晶滴下装置は、液晶ディスプレイパネルの製造工程のうち、液晶ディスプレイパネルを構成する基板Ｗに液剤としての液晶を滴下する工程において用いられる。
【００１７】
液晶滴下装置は、ディスペンサ１０、移動機構３０、制御装置４０、及びノズルクリーナ５０を備える。ディスペンサ１０は移動機構３０により水平移動可能に支持され、内部に液晶が充填されている。制御装置４０は移動機構３０を制御して、搬送された基板Ｗ上面の複数の所定位置にディスペンサ１０を移動させ、基板Ｗ上に液晶を滴下する。また、制御装置４０は、移動機構３０を制御してディスペンサ１０をノズルクリーナ５０に移動させ、ノズル（図１において省略）をクリーニングする。
【００１８】
図２に示すように、ディスペンサ１０は、バッファ１１を備え、該バッファ１１には図示しないタンクから液晶が供給されるとともに、バッファ１１内に貯留された液晶が第１のチューブ１２を介してシリンジ１３に供給される。第１のチューブ１２の両端部は、それぞれ継手部１４ａ，１４ｂを介してバッファ１１及びシリンジ１３に接続されている。第１のチューブ１２は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。
【００１９】
シリンジ１３は略円筒状に形成され、円柱状に形成されたプランジャ１５が長手方向に沿って往復動可能に挿入されている。シリンジ１３には第２のチューブ１６を介してノズル１７が接続されている。第２のチューブ１６の両端部は、それぞれ継手部１８ａ，１８ｂを介してシリンジ１３及びノズル１７に接続されている。第２のチューブ１６は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。
【００２０】
シリンジ１３には、プランジャ１５の上動によってバッファ１１の液晶が第１のチューブ１２を介して吸入され、プランジャ１５の下動によりシリンジ１３内の液晶が第２のチューブ１６を介してノズル１７に供給され、該ノズル１７から滴下される。
【００２１】
ノズル１７の先端付近には例えば光電センサからなるセンサ１９が配設されている。センサ１９はノズル１７から吐出される液晶の滴下量を検出して検出信号を出力する。センサ１９は、投光素子及び受光素子を備え、投光素子及び受光素子間の光路（検出領域）内への液晶の進入量に応じたレベルの検出信号が出力される。適量の液晶が吐出された場合にはその滴下量に応じた大きさの液滴が光路を遮ることにより受光量が減少し、多量の液晶が吐出される場合には受光量の変化が大きくなる。プランジャ１５にて液晶を押圧したとき、その押圧力によりシリンジ１３内の液晶がノズル１７へと供給され、該ノズル１７から吐出される。従って、プランジャ１５により液晶を押圧するタイミングに合わせてセンサ１９から出力される検出信号に変化があるか否か、又はその変化量により適量の液晶が吐出されているか否かを判断することができる。
【００２２】
第１のチューブ１２の継手部１４ｂ近傍にはピンチバルブからなる供給弁２０ａが配設されている。供給弁２０ａはアクチュエータ部２１からアーム２２が突出形成され、そのアームから３本の挟着片２３ａ〜２３ｃが平行に突出形成されている。挟着片２３ａ〜２３ｃのうち両側の挟着片２３ａ，２３ｃはアーム２２に対し固定され、中央の挟着片２３ｂは挟着片２３ａ又は挟着片２３ｃに向かって移動可能に構成されている。そして、第１のチューブ１２は挟着片２３ａ，２３ｂの間に挿通されている。供給弁２０ａは、挟着片２３ｂを挟着片２３ａに向かって移動させることにより第１のチューブ１２を挟着して流路を閉じ、挟着片２３ｂを挟着片２３ｃに向かって移動させることにより第１のチューブ１２の挟着を解除して流路を開いた状態にする。つまり、供給弁２０ａはバッファとシリンジとの間の流路の開閉を行う。
【００２３】
第２のチューブ１６の継手部１８ａ近傍にはピンチバルブからなる先端弁２０ｂが配設されている。先端弁は供給弁２０ａと同様に構成されており、第２のチューブ１６が挟着片の間に挿通されている。先端弁２０ｂはシリンジ１３とノズル１７との間の流路の開閉を行う。
【００２４】
制御装置４０は、供給弁２０ａ及び先端弁２０ｂに接続されている。供給弁２０ａ及び先端弁２０ｂは制御装置４０からの信号により、第１のチューブ１２及び第２のチューブ１６の流路を開閉する。また、制御装置４０はアクチュエータ２４に接続されている。アクチュエータ２４はプランジャ１５に接続されており、制御装置４０からの信号によってプランジャ１５を往復動させる。
【００２５】
上記ノズル１７には、ギャップ形成部材２５が固定されている。ノズル１７にはギャップ形成部材２５を構成する支持部２５ａの基端が固着され、支持部２５ａの先端にはリング部２５ｂが接続されている。リング部２５ｂは、四角形の断面を有する円形環状に形成され、ノズル１７の先端を囲むように配置されている。また、ギャップ形成部材２５は、リング部２５ｂの下面とノズル１７の吐出面とが略水平となるように、支持部２５ａによってノズル１７の上部に固着されている。ギャップ形成部材２５がノズル１７に直接固着されているため、ノズル１７とリング部２５ｂとの相対位置は変化し難くなっている。さらに、ギャップ形成部材２５は、例えばステンレス等の高剛性の材料からなり、高剛性であるため変形し難く、ノズル１７とリング部２５ｂとの相対位置はより変化し難くなっている。
【００２６】
また、ギャップ形成部材２５は、図４に示すように、リング部２５ｂの内周面とノズル１７の外周面との間に所定のギャップ２６が形成されるように配設され、且つ、リング部２５ｂがノズル１７の外周と同心円状になるように形成されている。そのため、ノズル１７の外周面とリング部２５ｂの内周面との間のギャップ２６の大きさが均一になる。
【００２７】
図３に示すように、ノズルクリーナ５０は、バキュームパッド５１と、ホース５２と、ポンプ５３とを備える。バキュームパッド５１は、略円筒状に形成されたパッド基部５１ａを備え、該パッド基部５１ａ上端に、バキュームパッド５１の開口部としてのリップ５１ｂが形成されている。リップ５１ｂは、上方に向かって拡径された円筒状に形成されている。そして、リップ５１ｂは、開口端の外径（図４に破線で示す円）が、リング部２５ｂの外径よりも小さく、且つ、リング部２５ｂの内径よりも大きく形成されている。
【００２８】
パッド基部５１ａの下端にはホース５２が接続され、該ホース５２は図示しない廃液溜めに繋がっている。また、ホース５２には、例えばロータリーポンプからなるポンプ５３が接続されている。エアーはバキュームパッド５１の開口からホース５２を介してポンプ５３に吸引される。バキュームパッド５１は、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えた合成ゴム、例えばシリコンゴム等で形成されている。
【００２９】
制御装置４０は、ポンプ５３に接続されている。ポンプ５３は制御装置４０からの信号によってエアーを吸引する。バキュームパッド５１は移動機構３０により垂直移動可能に支持されており、制御装置４０からの信号により垂直方向に移動する。
【００３０】
次に、液晶滴下装置の動作を説明する。
ディスペンサ１０から液晶を滴下する場合には、制御装置４０は供給弁２０ａを開き、先端弁２０ｂを閉じた状態でアクチュエータ２４を駆動して、プランジャ１５を引き上げる。この動作によって、バッファ１１内に貯留された液晶がシリンジ１３に供給される。次に、ノズル１７から液晶を吐出するために制御装置４０は供給弁２０ａを閉じ、先端弁２０ｂを閉じた状態でアクチュエータ２４を駆動して、プランジャ１５を押し下げる。この動作によって、シリンジ１３内に貯留された液晶がプランジャ１５によって押圧されて、ノズル１７から液晶が吐出される。このとき、センサ１９はノズル１７から吐出される液晶の滴下量を検出し、検出信号を制御装置４０に出力する。制御装置４０は、ノズル１７から吐出される液晶の滴下量が所定範囲外になった場合に、ノズル１７のクリーニングを行う。
【００３１】
ノズル１７のクリーニングをする場合には、制御装置４０は、移動機構３０を制御してディスペンサ１０をノズルクリーナ５０の上方に移動させる。また、制御装置４０は、移動機構３０を制御して、ノズルクリーナ５０を上方に移動させ、バキュームパッド５１をギャップ形成部材２５の下面に当接させる。次に、制御装置４０は、バキュームパッド５１をリング部２５ｂの下端に当接した状態で、ポンプ５３を駆動してエアーを吸引する。図５（ａ）に示すように、エアーはリング部２５ｂの上端から矢印Ｙ１の方向に沿って流れ、ギャップ形成部材２５の上端からギャップ２６を介してバキュームパッド５１内に吸引される。このとき、ギャップ２６は所定の大きさに形成されているため、エアーは速い流速でギャップ２６を通り抜け、その際にノズル１７に付着した液晶を吹き飛ばす。このようにして、ノズル１７を十分にクリーニングすることができる。また、バキュームパッド５１は、可撓性を備える材質で形成されているため、ギャップ形成部材２５に当接された状態で撓み、リップ５１ｂはリング部２５ｂに密着する。そのためギャップ形成部材２５とバキュームパッド５１との間からエアーが吸入されることを防ぐことができ、ノズルクリーナ５０の動作効率を向上させることが可能となる。さらに、ギャップ２６の大きさが均一であるため、ギャップ２６を流れるエアーの流速がノズル１７の周方向において均一になり、ノズル１７に対して均一にエアーが流れるため、ノズル１７の全周を十分にクリーニングすることができる。
【００３２】
また、本実施形態では、図５（ａ）に示すように、ノズル１７の中心線とノズルクリーナ５０の中心線が一致する場合に限らず、ノズル１７の中心線とノズルクリーナ５０の中心線が一致しない場合であってもノズル１７を十分にクリーニングすることができる。詳述すると、リップ５１ｂの径は、リング部２５ｂの内径よりも大きく、リング部２５ｂの外径よりも小さくなるように形成されているため、ノズル１７の中心線とノズルクリーナ５０の中心線とが一致しない場合であっても、図５（ｂ）に示すように、リップ５１ｂがリング部２５ｂの下面内に当接する。その際に、リング部２５ｂはノズル１７に固定されているため、ノズル１７の外周面とリング部２５ｂの内周面との間のギャップ２６は変化しない。
【００３３】
この状態でポンプ５３によってエアーを吸引すると、エアーは矢印Ｙ２の方向に沿って流れ、ギャップ形成部材２５の上端からギャップ２６を介してバキュームパッド５１内に吸引される。そのため、図５（ａ）のようにノズル１７の中心線とノズルクリーナ５０の中心線とが一致した場合に限らず、リップ５１ｂがリング部２５ｂの下面内に当接すれば、ノズル１７の全周に亘って流速が均一なエアーが流れることになり、ノズル１７を十分にクリーニングすることができる。従って、制御装置４０が、移動機構３０を制御してディスペンサ１０をノズルクリーナ５０の上方に移動させるときに高精度な位置合わせを必要とせずに、ノズル１７を十分にクリーニングすることができる。
【００３４】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）ノズル１７に、ノズル１７の外周面とリング部２５ｂの内周面との間に所定のギャップ２６が形成されるように、ギャップ形成部材２５を設けた。そのため、ノズル１７とリング部２５ｂとの相対位置は変化し難くなっている。また、ノズルクリーナ５０に、リップ５１ｂの径がリング部２５ｂの外径よりも小さく、リング部２５ｂの内径よりも大きいバキュームパッド５１を設けた。そのため、リップ５１ｂがギャップ形成部材２５の下面内に当接させることで、ノズル１７の中心線とノズルクリーナ５０の中心線とが一致せずとも、エアーが、ギャップ形成部材２５の上面からギャップ２６を介してバキュームパッド５１内に吸引される。また、ギャップ２６は所定の大きさに形成されているために、エアーは十分に速い流速でギャップ２６を通過する。そのため、高精度な位置合わせを必要とせず、十分にノズル１７のクリーニングを行うことができる。
【００３５】
（２）バキュームパッド５１は、可撓性を備える材質で形成されているため、ギャップ形成部材２５に当接された状態で撓み、リップ５１ｂはリング部２５ｂに密着する。そのためギャップ形成部材２５とバキュームパッド５１との間からエアーが吸入されることを防ぐことができ、ノズルクリーナ５０の動作効率を向上させることが可能となる。
【００３６】
（３）リング部２５ｂが、ノズル１７の外周と同心円状に配設されるため、ギャップ２６の大きさが均一であるので、ギャップ２６を流れるエアーの流速も均一になり、ノズル１７に対して均一にエアーを吹き付けることができる。
【００３７】
（４）ギャップ形成部材２５は、高剛性の材質によって形成され、また、ノズル１７に固着されるため、ノズル１７とギャップ形成部材２５との相対位置が変化することを防ぐことができる。
【００３８】
尚、上記一実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・上記実施形態において、バキュームパッド５１は、シリコンゴムによって形成されていたが、可撓性を備え、かつ液晶に対し耐食性を備えたその他の材質でもよく、例えば四フッ化エチレン樹脂等でもよい。また、可撓性を備えない金属等によってバキュームパッド５１を形成してもよい。
【００３９】
・上記実施形態において、リング部２５ｂがノズル１７の外周と同心円状に配設されたが、同心円状でなくともよく、また、ギャップ２６の大きさも均一でなくともよい。また、ノズル１７の外周に配設される部材は円形環状でなくともよく、例えば四角形などの多角形でもよい。
【００４０】
・上記実施形態において、ギャップ形成部材２５をステンレス製としたが、その他の高剛性の金属によって形成してもよい。
・上記実施形態では、ノズルクリーナ５０を垂直移動可能としたが、ノズルクリーナを固定し、ディスペンサ１０を垂直移動可能にしてギャップ形成部材２５をバキュームパッド５１に当接させるようにしてもよい。
【００４１】
・上記実施形態では、センサ１９に光電センサを用いたが、ノズル１７から吐出する液晶を検出することができればどのようなセンサを用いてもよい。
・上記実施形態では、ポンプ５３にロータリーポンプを用いたが、これに限らず、その他の吸引ポンプであってもよい。
【００４２】
・上記実施形態では、滴下される液晶の滴下量をセンサ１９で検出した結果によってのずる１７のクリーニングを行ったが、これに限らず、所定期間毎にノズル１７のクリーニングを行ってもよい。これによれば、ノズル１７から吐出される液剤を検出するセンサ１９等を設けずに済むため、簡易な構成でノズル１７を清浄な状態に保つことができる。
【００４３】
・上記実施形態では、液晶を滴下する液晶滴下装置に具現化したが、液晶以外の液剤を滴下してもよく、例えば接着剤やはんだペーストを滴下する装置に具現化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】液晶滴下装置の概略構成図。
【図２】ディスペンサの概略構成図。
【図３】ノズルクリーナのブロック図。
【図４】図３のＡ‐Ａ線断面図。
【図５】（ａ）（ｂ）はノズルのクリーニング時の状態を示す断面図。
【図６】従来のノズルのクリーニング時の状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００４５】
１０…ディスペンサ、１７…ノズル、１９…センサ、２５…ギャップ形成部材、２６…ギャップ、３０…移動機構、４０…制御装置、５０…ノズルクリーナ、５１…バキュームパッド、５３…ポンプ。
【図１】
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【図２】
2008093531.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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