(57)【要約】  【課題】  高品質のカラーフィルタを低コストで製造すること。  【解決手段】  液体吐出ヘッド３０の吐出口３２８から透明基板４１に向けて荷電粒子を含むインクを静電力により濃縮して吐出し、遮光部４２及び所定波長の光を透過する透過部４３のうち少なくとも一方を透明基板４１上に描画する。【選択図】  図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出ヘッドの吐出口から透光性の基板に向けて荷電粒子を含むインクを静電力により濃縮して吐出し、遮光部及び所定波長の光を透過する透過部のうち少なくとも一方を前記基板上に描画することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記基板上の所定方向に沿った連続描画区間に向けて前記インクを前記所定方向に沿って複数滴連続して吐出させる駆動信号であって、前記連続描画区間に対応する複数滴の連続吐出期間中に一滴吐出ごとにオン状態とオフ状態とが切り換わることなくオン状態が連続するオンデューティ１００％の駆動信号を、前記液体吐出ヘッドに与えることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記駆動信号は、前記連続吐出期間中の電圧が略一定の駆動信号又は前記電圧が連続的に増加する駆動信号であることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記基板上の所定方向に沿った連続描画区間の外側に設けられた予備吐出領域に向けて予備吐出を行った後、前記連続描画区間の描画を行うことを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記遮光部と前記透過部との境界において前記遮光部の縁の上に前記透過部用のインクを付与して前記遮光部の縁の上にオーバラップ部を形成することを特徴とする請求項１乃至４のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
互いに色が異なる少なくとも２色について、前記基板に対する前記液体吐出ヘッドの一走査内で複数の前記透過部を略同時に描画することを特徴とする請求項１乃至５のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
前記遮光部の位置を検出して前記透過部の位置を決定し、前記透過部を描画することを特徴する請求項１乃至６のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
前記基板の描画された部分を非接触で加熱して前記基板上で前記荷電粒子を溶融固化させることを特徴とする請求項１乃至７のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
前記基板を加熱しながら描画を行うことを特徴とする請求項１乃至８のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記液体吐出ヘッドを前記基板に対して第１の方向及び該第１の方向に垂直な第２の方向の両方向において走査して、前記遮光部を格子形状で描画することを特徴とする請求項１乃至９のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記遮光部を格子形状に描画し、且つ、前記格子形状の交差部分の描画回数を前記格子形状の他の部分の描画回数よりも多くしたことを特徴とする請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
荷電粒子を含むインクを静電力により濃縮して吐出する液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドに駆動信号を与えて前記液体吐出ヘッドの吐出口から透光性の基板に向けて荷電粒子を含む前記インクを静電力により濃縮して吐出させ、遮光部及び所定波長の光を透過する透過部のうち少なくとも一方を前記基板上に描画させる駆動部と、
を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遮光部及び所定波長の光を透過する透過部を有するカラーフィルタの製造方法、及び、そのカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラー液晶ディスプレイの需要が増加しており、カラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタのコストダウンが要求されている。
【０００３】
ところで、カラーフィルタの製造方法のひとつとして、ピエゾ式又はサーマル式のインクジェットヘッドを用いる方法が知られている。ピエゾ式のインクジェットヘッドは、圧電体により圧力室の容積を変化させて、その圧力室に連通している吐出口からインクを吐出する。サーマル式のインクジェットヘッドは、発熱体により圧力室内に気泡を発生させて、その圧力室に連通している吐出口からインクを吐出する。
【０００４】
これらのピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドを用いてカラーフィルタを製造する場合、ドット滲みや低着弾位置精度に因る、混色、色ムラ、色抜けといった課題がある。このような課題を解決することを目的として、特許文献１には、透明基板上に、インク吸収部及びインク非吸収部からなる樹脂層を形成した後、当該樹脂層に向けてインクジェットヘッドからインクを吐出するカラーフィルタの製造方法が記載されている。
【０００５】
具体的には、図１８（Ａ）に示すように、透明基板４１上に、光照射等により硬化するとインク吸収性が低下する樹脂層９０（インク吸収層）を塗布する工程を行い、次に、図１８（Ｂ）に示すように、樹脂層９０の一部を光照射等により硬化させることにより、樹脂層９０を複数のインク吸収部９１とインク非吸収部９２とに区画するパターニング工程を行う。その後、複数のインク吸収部９１に向けてそれぞれ所定のインクをインクジェットヘッドから吐出することにより、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各色の透過部を形成する。すなわち、図１８（Ｃ）に示すように、赤色の光を透過する赤透過部９３Ｒを描画し乾燥させる工程を行い、図１８（Ｄ）に示すように、緑色の光を透過する緑透過部９３Ｇを描画し乾燥させる工程を行い、図１８（Ｅ）に示すように、青色の光を透過する青透過部９３Ｂを描画し乾燥させる工程を行う。
【０００６】
特許文献２には、透明基板上に透明な着色材受容層を設け、異なった色の画素間となるべき領域を撥着色材性を持った非着色領域とし、同一色の画素間領域の一部に着色材流動抑止領域を設け、その後、同一色となるべき複数の画素部分を画素間領域も含めて切れ目なく連続的に着色材を付与するカラーフィルタ製造方法が記載されている。
【０００７】
なお、特許文献３には、簡易で効率的にカラーフィルタを製造することを目的として、透明基板上にノズルから着色材を流体として連続的に流出して、透明基板上にストライプス状の着色パターンを形成することが記載されている。
【特許文献１】特開平８−７５９１６号公報
【特許文献２】特開平９−６８６０９号公報
【特許文献３】特開平５−１５２４０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の製造方法では、図１８（Ａ）に示すインク吸収層９０の塗布及び図１８（Ｂ）に示すパターニングという前処理工程が増えるので、生産性が低下して製造コストが増大してしまうという課題があった。また、異なる色同士の混色を防止するために、図１８（Ｃ）、（Ｄ）、（Ｅ）に示すように、赤透過部９３Ｒ、緑透過部９３Ｇ及び青透過部９３Ｂをどうしても別工程にしてパターニングしなければならず、生産性が低く製造コストが高いという課題があった。さらに、インク吸収層に因り、どうしても光学特性が低下してしまうという課題もあった。
【０００９】
特許文献２に記載の製造方法では、予め非着色領域及び着色材流動抑止領域をパターニングする手間がかかるので、やはり生産性が低下して製造コストが増大してしまうという課題があった。また、どうしても光学特性が低下してしまうという課題もあった。
【００１０】
特許文献３には、ピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドを用いた場合におけるドット滲みや低着弾位置精度といった課題及びその解決手段について記載がなく、特許文献３に記載の製造方法では、どうしても異なる色（赤、緑、青）間で混色等が発生してしまう。
【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、高品質のカラーフィルタを低コストで製造することができるカラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液体吐出ヘッドの吐出口から透光性の基板に向けて荷電粒子を含むインクを静電力により濃縮して吐出し、遮光部及び所定波長の光を透過する透過部のうち少なくとも一方を前記基板上に描画することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１３】
透過部としては、例えば、赤色の光を透過させる赤透過部、緑色の光を透過させる緑透過部、青色の光を透過させる青透過部、などが挙げられる。遮光部は、赤色の光、緑色の光、及び、青色の光を全て遮光する。なお、本発明は、各透過部が透過する光が、赤色、緑色又は青色の光である場合には特に限定されず、他の色の光を透過させる透過部を形成する場合にも適用できる。また、遮光部は、赤色、緑色及び青色の光を遮光する場合には特に限定されず、要するに何れの透過部の透過光も全て遮光する部分である。
【００１４】
また、本発明は、遮光部及び透過部の両方を静電濃縮式の液体吐出ヘッドで描画する場合に特に限定されず、遮光部を静電濃縮式以外の他の液体吐出ヘッド（ピエゾ式、サーマル式等）、フォトリソグラフィー、トランサー等で形成し、透過部のみを静電濃縮式の液体吐出ヘッドで描画する場合に、適用できる。また、本発明は、遮光部のみを静電濃縮式の液体吐出ヘッドで描画し、透過部を静電濃縮式以外の他の液体吐出ヘッド（ピエゾ式、サーマル式等）、フォトリソグラフィー、トランサー等で形成する場合に、適用できる。
【００１５】
本発明によれば、透光性の基板に向けて荷電粒子を含むインクが静電力により濃縮されて吐出されるので、基板上の滲みを防止し、また、微小なインクでも着弾位置精度良く基板に付与することができる。すなわち、滲みや色のコンタミネーションを生じさせることなく高精細な透過部又は遮光部を有する高品質のカラーフィルタを提供できる。また、従来必要であった、インク吸収層を塗布及びパターニングする工程を削減することができるので、カラーフィルタの生産性が向上し、製造コストを低減させることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記基板上の所定方向に沿った連続描画区間に向けて前記インクを前記所定方向に沿って複数滴連続して吐出させる駆動信号であって、前記連続描画区間に対応する複数滴の連続吐出期間中に一滴吐出ごとにオン状態とオフ状態とが切り換わることなくオン状態が連続するオンデューティ１００％の駆動信号を、前記液体吐出ヘッドに与えることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１７】
ここで、駆動信号について、オフ状態とは、液滴が吐出しない電圧となっている状態であり、オン状態とは、液滴が吐出する電圧となっている状態である。
【００１８】
例えば、２次元配列された透過部を形成する場合であって、特定の方向に沿った複数の帯を描画するとき（すなわちストライプス形状を描画するとき）、各帯毎に各帯にそれぞれ対応する連続吐出期間中のオンデューティが１００％である駆動信号を、静電濃縮式の液体吐出ヘッドに対して与える。
【００１９】
また、例えば、格子形状の遮光部を形成する場合であって、第１の方向に沿った複数の帯及び第２の方向に沿った複数の帯を描画するとき（すなわち格子形状を描画するとき）、各帯毎に各帯にそれぞれ対応する連続吐出期間中のオンデューティが１００％である駆動信号を、静電濃縮式の液体吐出ヘッドに対して与える。
【００２０】
この発明によれば、複数滴の連続吐出期間中のオンデューティが１００％である連続した駆動信号を用いるので、複数滴の連続吐出期間中に一滴吐出ごとにオン状態とオフ状態とが切り換わるパルス信号を用いる場合と比較して、単純にオンデューティが高いというだけではなく、パルスのエッジ（すなわち駆動信号のオン／オフ）に因るメニスカスの移動が無くなって一滴吐出ごとのディレイ時間が発生しなくなるので、連続的に吐出されるインク液滴の時間間隔（連続吐出周期）を格段に短くすること、すなわち連続吐出周波数を格段に向上させることができる。したがって、パルス信号を用いる場合と比較して、液体吐出ヘッドの走査速度が格段に向上するので、カラーフィルタの生産性が向上し、製造コストが低減する。
【００２１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記駆動信号は、前記連続吐出期間中の電圧が略一定の駆動信号又は前記電圧が連続的に増加する駆動信号であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の発明において、前記基板上の所定方向に沿った連続描画区間の外側に設けられた予備吐出領域に向けて予備吐出を行った後、前記連続描画区間の描画を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００２３】
この発明によれば、描画休止後の最初の数回の吐出は、吐出が安定せず、吐出しない又は吐出液量が所望量でない等の吐出不良の確率が、高いがそのような吐出不良があっても予備吐出によって吐出状態が回復する。また、微小なインク液滴を吐出する場合であってもインク液滴量変動及びドット径変動が防止される。したがって、微小な透過部又は遮光部を安定して形成できる。
【００２４】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のうち何れか１項に記載の発明において、前記遮光部と前記透過部との境界において前記遮光部の縁の上に前記透過部用のインクを付与して前記遮光部の縁の上にオーバラップ部を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００２５】
この発明によれば、描画部分を乾燥させる工程（ベーク工程）で遮光部と透過部との境界に白抜けが発生することを防止できる。
【００２６】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の発明において、互いに色が異なる少なくとも２色について、前記基板に対する前記液体吐出ヘッドの一走査内で複数の前記透過部を略同時に描画することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００２７】
ここで「略同時に描画」とは、時系列において全く同時に描画する場合に限定されず、時系列において全く同時に描画しなくても、基板に対する液体吐出ヘッドの「一走査内」で描画区間を乾燥させる工程を挟むことなく描画される場合を含む。すなわち、ノズル配列に因り時系列において微視的に見れば異なる時間にインクを吐出して描画せざるを得ない場合であっても、描画区間を乾燥させる工程を挟むことなく描画する場合を含む。
【００２８】
この発明によれば、２色以上について複数の透過部が略同時に描画されるので、カラーフィルタの生産性が向上する。２色以上について複数の透過部を同時に描画形成しても、インクは静電力により濃縮して吐出されるので、微小なインク液滴を着弾位置精度良く基板に着弾させることができ、異なる色同士のコンタミネーションは起きない。
【００２９】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６のうち何れか１項に記載の発明において、前記遮光部の位置を検出して前記透過部の位置を決定し、前記透過部を描画することを特徴するカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００３０】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至７のうち何れか１項に記載の発明において、前記基板の描画された部分を非接触で加熱して前記基板上の前記荷電粒子を溶融固化させることを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００３１】
この発明によれば、基板上の粒子の溶融固化により、描画区間の膜厚（透過部及び／又は遮光部の厚み）を均一化できる。
【００３２】
請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８のうち何れか１項に記載の発明において、前記基板を加熱しながら描画を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００３３】
この発明によれば、基板の加熱により基板上でインクの溶媒が揮発するので、着弾後の濃縮効果が得られる。
【００３４】
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の発明において、前記液体吐出ヘッドを前記基板に対して第１の方向及び該第１の方向に垂直な第２の方向の両方向において走査して、前記遮光部を格子形状で描画することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００３５】
２方向走査の態様としては、第１の態様として、第１の方向に沿って吐出口が配列された第１の液体吐出ヘッドと第２の方向に沿って吐出口が配列された第２の液体吐出ヘッドとを設けて、第１の方向及び第２の方向の両方向において移動させる態様、第２の態様として、液体吐出ヘッドを回転可能な機構を設ける態様、第３の態様として、基板を回転可能な機構を設ける態様、などが挙げられる。
【００３６】
請求項１１に記載の発明は、請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載の発明において、前記遮光部を格子形状に描画し、且つ、前記格子形状の交差部分の描画回数を前記格子形状の他の部分の描画回数よりも多くしたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００３７】
この発明によれば、遮光部を構成する格子形状の交差部分に付与されるインクの量が交差部分以外の部分よりも多くなるので、透過部描画時の濡れ不良による白抜け発生が抑止される。
【００３８】
請求項１２に記載の発明は、荷電粒子を含むインクを静電力により濃縮して吐出する液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに駆動信号を与えて前記液体吐出ヘッドの吐出口から透光性の基板に向けて荷電粒子を含む前記インクを静電力により濃縮して吐出させ、遮光部及び所定波長の光を透過する透過部のうち少なくとも一方を前記基板上に描画させる駆動部と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造装置を提供する。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、高品質のカラーフィルタを低コストで製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、添付図面に従って、本発明の実施形態について、詳細に説明する。
【００４１】
［カラーフィルタの基本構成］
図１は、製造しようとするカラーフィルタ４０の基本構成を示す平面図であり、図２は、図１の２−２線に沿った断面図である。なお、図示の便宜上、透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）が、図１では３×３個のみ示され、図２では３個のみ示されているが、透過部４３の個数は特に限定されない。
【００４２】
図２に示すように、カラーフィルタ４０は、透明基板４１の上に、遮光部４２及び透過部４３（赤透過部４３Ｒ、緑透過部４３Ｇ、青透過部４３Ｂ）が形成されて構成されている。
【００４３】
赤透過部４３Ｒは、緑色及び青色の光を吸収し、赤色の光を透過する光透過膜である。緑透過部４３Ｇは、赤色及び青色の光を吸収し、緑色の光を透過する光透過膜である。青透過部４３Ｂは、赤色及び緑色の光を吸収し、青色の光を透過する光透過膜である。遮光部４２は、赤色及び緑色及び青色を吸収することにより、赤色及び緑色及び青色の何れの色の光も遮光する遮光膜である。
【００４４】
本例では、遮光部４２は、透明基板４１上に格子形状で形成されている。また、遮光部４２を構成している格子形状の開口部４４内に、透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）が形成されている。透過部４３は、セル状に形成されており、図中矢印Ｍで示す第１の方向及び図中矢印Ｓで示す第２の方向の２方向に沿って２次元配列されている。
【００４５】
以下では、ひとつの透過部４３を「セル」ということもある。また、ひとつの透過部４３の形成空間（すなわち遮光部４２のひとつの開口部４４内）を「セル空間」ということもある。
【００４６】
［カラーフィルタ製造装置］
図３は、本発明に係るカラーフィルタ製造装置１００の一例の構成図である。
【００４７】
図３において、カラーフィルタ製造装置１００は、主として、カラーフィルタ基板２０（具体的には図２の透明基板４１）が載置される定盤２２と、定盤２２を支持するとともに外部振動を遮断する除振台２３と、定盤２２上に加工対象のカラーフィルタ基板２０をロードする基板ロード部２４と、基板２０に向けてインクを吐出するインクジェットヘッド３０（単に「ヘッド」ともいう）を有するヘッドユニット２５と、所定の走査方向においてヘッドユニット２５をカラーフィルタ基板２０に対して相対的に移動させるヘッド走査機構２６と、ヘッド３０の位置を測定するヘッド位置測長レーザ２７と、定盤２２から加工済のカラーフィルタ基板２０をアンロードする基板アンロード部２８、を含み構成されている。
【００４８】
ヘッドユニット２５は、ヘッド３０のほか、主として、帯電部３２、インク貯蔵部３４、非接触加熱部３６、ヘッドドライバ３８（駆動部）、及び、遮光部位置検出部３９、を含み構成されている。
【００４９】
ヘッド３０（黒ヘッド３０Ｋ、赤ヘッド３０Ｒ、緑ヘッド３０Ｇ、青ヘッド３０Ｂ）は、静電力によりインクを濃縮して吐出する静電濃縮式のインクジェットヘッドであり、その吐出口から、カラーフィルタ基板２０に向けて、荷電粒子（荷電着色粒子）を含有するインク（黒インク、赤インク、緑インク、青インク）を静電力により濃縮して吐出する。このようなヘッド３０（静電濃縮式インクジェットヘッド）の具体例については、後に詳説する。
【００５０】
ヘッドユニット２５の帯電部３２は、定盤２２上のカラーフィルタ基板２０を帯電させる。帯電部３２の具体例については後述する。
【００５１】
ヘッドユニット２５のインク貯蔵部３４は、各ヘッド３０（３０Ｋ、３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂ）へ供給されるインクを貯蔵する。例えば、各インク（黒インク、赤インク、緑インク、青インク）をそれぞれ貯蔵する複数のインクタンクからなる。
【００５２】
ヘッドユニット２５の非接触加熱部３６は、例えば赤外線ランプを含んで構成されており、ヘッド３０によりカラーフィルタ基板２０上に描画された描画部分を、非接触で加熱する。
【００５３】
ヘッドユニット２５のヘッドドライバ３８は、ヘッド３０に対して駆動信号を与える駆動回路を含み構成されている。
【００５４】
ヘッドユニット２５の遮光部位置検出部３９は、例えば周知の光学センサを含んで構成されており、カラーフィルタ基板２０上に既に形成されている遮光部（図１及び図２の４２）の位置を検出する。遮光部位置検出部３９により検出された遮光部位置に基づいて、カラーフィルタ基板２０上に形成されるべき透過部（図１及び図２の４３）の位置が決定され、ヘッド３０によりカラーフィルタ基板２０上に透過部４３が描画される。
【００５５】
定盤２２には、カラーフィルタ基板２０を吸着するとともに加熱する基板吸着加熱部２９が設けられている。吸着は、静電吸着などにより行う。また、加熱は、電気熱変換（電熱）などにより行う。
【００５６】
定盤２２上のカラーフィルタ基板２０を基板吸着加熱部２９によって予備加熱しながら、ヘッド３０によって描画を行うことにより、描画中にカラーフィルタ基板２０上でインク中の絶縁性溶媒を揮発させる。さらに、ヘッド３０によって描画されたカラーフィルタ基板２０を、非接触加熱部３６によって非接触で加熱することにより、カラーフィルタ基板２０上でインク中の荷電粒子（荷電着色粒子）が一旦溶融され固化される。
【００５７】
ヘッド走査機構２６は、ヘッドユニット２５をカラーフィルタ基板１１に対して移動させることにより、ヘッド３０をカラーフィルタ基板２０に対して走査する機構である。例えば、カラーフィルタ基板２０に対して２方向（図１の矢印Ｍで示す方向及び矢印Ｓで示す方向）において走査する。このようなヘッド走査機構２６としては、公知のヘッドユニット移動機構を用いることができる（例えば特開２００５―４９８９７号公報を参照）。
【００５８】
また、図３では図示を省略するが、カラーフィルタ製造装置１００には、ヘッド３０を回転するヘッド回転機構、および、ヘッド３０の位置を補正するヘッド位置補正機構が、設けられている。また、ヘッドユニット２５には、インク貯蔵部３４及びヘッド３０の間でインクを循環させるインク循環手段が、設けられている。
【００５９】
［静電濃縮式インクジェットヘッド］
図４は、静電濃縮式のヘッド（静電濃縮式インクジェットヘッド）の一例の要部構成を示す断面図である。
【００６０】
図４において、ヘッド３０は、帯電された微粒子（荷電粒子）を含むインクＱを静電力により吐出して、カラーフィルタ基板２０上に遮光部４２及び／又は透過部４３を形成するものであり、ヘッド基板３１２と、インクガイド３１４（吐出ガイド）と、絶縁性基板３１６と、吐出電極３１８と、カラーフィルタ基板２０を支持する対向電極３１と、カラーフィルタ基板２０を帯電させる帯電部３２と、信号電圧源であるヘッドドライバ３８と、浮遊導電板３２６とを備えている。なお、対向電極３１は、図３の基板吸着加熱部２９に設けられている。
【００６１】
なお、図４に示す例は、ヘッド３０を構成する１つの吐出素子のみを概念的に表したものである。吐出素子の個数は１個以上何個備えられていてもよいし、吐出素子の物理的な配置等も何ら限定されない。例えば、複数の吐出素子を１次元的又は２次元的に配置してラインヘッドを構成することも可能である。また、本発明を適用するヘッドは、モノクロフィルタ及びカラーフィルタのどちらにも対応可能である。
【００６２】
図示例のヘッド３０においては、インクガイド３１４は、突状の先端部分３１４ａを持つ所定厚みの絶縁性樹脂製平板からなり、吐出素子毎にヘッド基板３１２の上に配置されている。また、絶縁性基板３１６には、インクガイド３１４の配置に対応する位置に吐出口３２８（貫通孔）が開孔されている。インクガイド３１４は、絶縁性基板３１６に開孔された吐出口３２８を通過し、その先端部分３１４ａが絶縁性基板３１６の図中上側の表面、すなわちカラーフィルタ基板２０側の表面よりも上部に突出している。なお、インクガイド３１４の中央部分には、図中上下方向に毛細管現象によってインクＱを先端部分３１４ａに集めるインク案内溝となる切り欠きを形成しても良い。
【００６３】
また、吐出電極３１８は、図５（Ａ）に示すように、絶縁性基板３１６に開孔された吐出口３２８の周囲を囲むように、絶縁性基板３１６の図中上側、すなわちカラーフィルタ基板２０側の表面に、個別電極毎にリング状に、すなわち円形電極３１８ａとして配置されている。吐出電極３１８は、吐出データに応じた電圧（駆動電圧）、例えば低電圧レベルの０Ｖ、高電圧レベルの４００〜６００Ｖ）を発生するヘッドドライバ３８に接続されている。
【００６４】
なお、吐出電極３１８は、図５（Ａ）に示すリング状の円形電極３１８ａに限定されず、インクガイド３１４の外周を囲うように離間して配置される囲繞電極、又は、インクガイド３１４の両側に離間して対向して配置される並列電極であれば、どのようなものでも良い。囲繞電極の場合には、吐出電極３１８は、図５（Ａ）に示すような円形電極３１８ａであることが、好ましい。また、並列電極の場合には、吐出電極３１８は、図５（Ｂ）に示すような平行電極３１８ｂであることが、好ましい。
【００６５】
また、対向電極３１は、インクガイド３１４の先端部分３１４ａに対向する位置に配置され、電極基板３１ａと、電極基板３１ａの図中下側の表面、すなわちインクガイド３１４側の表面に配置される絶縁シート３１ｂで構成され、電極基板３１ａは、接地される。また、カラーフィルタ基板２０は、対向電極３１の図中下側の表面（インクガイド３１４側の表面、すなわち絶縁シート３１ｂの表面である）に支持され、例えば静電吸着されており、対向電極３１（電極基板３１ａおよび絶縁シート３１ｂ）は、カラーフィルタ基板２０のプラテンとして機能する。
【００６６】
ここで、少なくとも記録時（すなわち遮光部４２及び／又は透過部４３の描画時）には、帯電部３２によって、対向電極３１の絶縁シート３１ｂの表面、すなわちカラーフィルタ基板２０は、吐出電極３１８に印加される高電圧（駆動電圧）と逆極性の所定の負の高電圧、例えば、−１．５ｋＶに帯電された状態に維持される。その結果、カラーフィルタ基板２０は、帯電部３２により負帯電して、吐出電極３１８に対して負の高電圧に常時バイアスされるとともに、対向電極３１の絶縁シート３１ｂに静電吸着される。
【００６７】
ここで、帯電部３２は、カラーフィルタ基板２０を負の高電圧に帯電させるためのスコロトロン帯電器３２ａと、スコロトロン帯電器３２ａに負の高電圧を供給するバイアス電圧源３２ｂとを有している。なお、本発明に用いられる帯電部３２の帯電手段としては、スコロトロン帯電器３２ａに限定されず、コロトロン帯電器、固体チャージャ、放電針などの種々の放電手段を用いることができる。
【００６８】
なお、図示例においては、対向電極３１を電極基板３１ａと絶縁シート３１ｂとで構成し、カラーフィルタ基板２０を、帯電部３２によって負の高電圧に帯電させることにより絶縁シート３１ｂの表面に静電吸着させているが、本発明はこれに限定されず、対向電極３１を電極基板３１ａのみで構成し、対向電極３１（すなわち電極基板３１ａ自体）を負の高電圧のバイアス電圧源に接続して、負の高電圧に常時バイアスしておき、この表面にカラーフィルタ基板２０を静電吸着させるようにしても良い。
【００６９】
また、カラーフィルタ基板２０の対向電極３１への静電吸着と、カラーフィルタ基板２０への負の高電圧への帯電又は対向電極３１への負のバイアス高電圧の印加とを別々の負の高電圧源によって行っても良いし、対向電極３１によるカラーフィルタ基板２０の支持は、カラーフィルタ基板２０の静電吸着に限られず、他の支持方法や支持手段を用いても良い。
【００７０】
また、浮遊導電板３２６は、インク流路３３０の下方に配置され、電気的に絶縁状態（ハイインピーダンス状態）となっている。図示例では、ヘッド基板３１２の内部に配置されている。なお、本発明においては、浮遊導電板３２６は、インク流路３３０の下方であれば、どこに配置しても良く、例えば、ヘッド基板３１２の下方であっても良いし、吐出電極３１８の位置よりもインク流路３３０の上流側で、かつヘッド基板３１２の内部に配置するようにしても良い。
【００７１】
この浮遊導電板３２６は、描画時に、吐出電極３１８に印加された電圧値に応じて、誘起された誘導電圧が発生し、インク流路３３０内のインクＱにおいて、その微粒子成分を絶縁性基板３１６側へ泳動させて濃縮させるためのものである。従って、浮遊導電板３２６は、インク流路３３０よりもヘッド基板３１２側に配置される必要がある。また、浮遊導電板３２６は、吐出電極３１８の位置よりもインク流路３３０の上流側に配置される方が好ましい。この浮遊導電板３２６により、インク流路３３０内の上層の荷電粒子の濃度を高めるため、絶縁性基板３１６の吐出口３２８を通過するインクＱ内の荷電粒子成分の濃度を所定濃度に高めることができ、インクガイド３１４の先端部分３１４ａに濃縮させて、インク液滴Ｒとして吐出させるインクＱ内の荷電粒子の濃度を所定濃度に安定させることができる。
【００７２】
また、浮遊導電板３２６を配置することにより、稼動チャンネル数に応じて誘導電圧が変化するため、浮遊導電板３２６への電圧を制御しなくても、吐出に必要な荷電粒子を供給するため、目詰まりを防止することができる。なお、浮遊導電板３２６に電源を接続し、所定の電圧を印加するようにしても良い。
【００７３】
［ヘッド回転機構］
図６は、ヘッド回転機構の一例の説明に用いる説明図である。
【００７４】
本例では、予め遮光部４２が形成されているカラーフィルタ基板２０のセルピッチ（形成しようとする透過部４３のピッチであり、遮光部４２の開口部４４のピッチでもある）を取得する。そして、セルピッチと、ヘッド３０（３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂ）の実質的なノズルピッチとが合致するように、ヘッド３０（３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂ）を矢印Ｈで示す方向（反時計周り）に回転する。
【００７５】
図６において、具体的には、特定の同一色の透過部４３（例えば赤透過部４３Ｒ）同士の間隔（Ｄｃ×３）と、各ヘッド（例えば赤ヘッド３０Ｒ）の実質的なノズルピッチ（Ｄｎ×ｃｏｓθ×Ｎ）とを、一致させる（Ｄｃ×３＝Ｄｎ×ｃｏｓθ×Ｎ）。ここで、Ｄｃは、遮光部４２の開口部４４のピッチ（セルピッチ）であり、Ｄｎは吐出口３２８の実際のピッチであり、θは描画方向に垂直な方向Ｍと吐出口３２８の配列方向との成す角度である。Ｎは１以上の整数であり、本例ではＮ＝２なので、吐出口３２８はひとつおきに使用する。
【００７６】
セルピッチの取得態様としては、第１に、光学センサによって光学的に検出する態様、第２に、カラーフィルタ基板２０の識別情報を取得し、この識別情報に対応するセルピッチを予め記憶したテーブル情報に基づいて取得する態様、などがある。
【００７７】
［インク］
なお、ヘッド３０に供給されてインク流路３３０を流動するインクＱは、粒径０．１〜５μｍ程度の荷電着色粒子（荷電粒子）を絶縁性溶媒（以下「キャリア液」ともいう）中に分散したものを用いる。なお、インクＱ中には、荷電着色粒子とともに、印刷後の画像の定着性を向上させるための分散樹脂粒子を、適宜含有させてもよい。キャリア液は、高い電気抵抗率（１０９ Ω・ｃｍ以上、好ましくは１０１０Ω・ｃｍ以上）を有する誘電性の液体（非水溶媒）であることが要求される。仮に、電気抵抗率の低いキャリア液を使用すると、吐出電極によって印加される電圧により、キャリア液自身が電荷注入を受けて帯電してしまうため、荷電粒子の濃度が高められず、濃縮がおこらない。また、電気抵抗率の低いキャリア液は、隣接する電極間で電気的導通を生じさせる懸念もあるため、本形態には不向きである。
【００７８】
キャリア液として用いられる誘電性液体の比誘電率は、５以下が好ましく、より好ましくは４以下、さらに好ましくは３．５以下である。このような比誘電率の範囲とすることによって、誘電性液体中の荷電粒子に有効に電界が作用され、泳動が起こりやすくなる。
【００７９】
なお、このような誘電性液体の固有電気抵抗の上限値は１０１６Ωｃｍ程度であるのが望ましく、比誘電率の下限値は１．９程度であるのが望ましい。
【００８０】
誘電性液体の電気抵抗が上記範囲であるのが望ましい理由は、電気抵抗が低くなると、低電界下でのインクの吐出が悪くなるからであり、比誘電率が上記範囲であるのが望ましい理由は、誘電率が高くなると溶媒の分極により電界が緩和され、これにより形成されたドットの色が薄くなったり、滲みを生じたりするからである。
【００８１】
本発明に用いられる誘電性液体としては、好ましくは直鎖状もしくは分岐状の脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、又は芳香族炭化水素、及び、これらの炭化水素のハロゲン置換体がある。例えば、へキサン、ヘプタン、オクタン、イソオクタン、デカン、イソデカン、デカリン、ノナン、ドデカン、イソドデカン、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、アイソパーＣ、アイソパーＥ、アイソパーＧ、アイソパーＨ、アイソパーＬ（アイソパー：エクソン社の商品名）、シェルゾール７０、シェルゾール７１（シェルゾール：シェルオイル社の商品名）、アムスコＯＭＳ、アムスコ４６０溶剤（アムスコ：スピリッツ社の商品名）、シリコーンオイル（例えば、信越シリコーン社製ＫＦ−９６Ｌ）等を単独あるいは混合して用いることができる。
【００８２】
上記の誘電性液体（非水溶媒）中に、着色材自身を荷電粒子（荷電着色粒子）として誘電性液体中に分散させてもよいし、定着性を向上させるための分散樹脂粒子中に着色材を含有させてもよい。含有させる場合、顔料などは分散樹脂粒子の樹脂材料で被覆して粒子化する方法などが一般的であり、染料などは分散樹脂粒子を着色して粒子化する方法などが一般的である。
【００８３】
インク中に分散された粒子の含有量（荷電着色粒子及び／又は分散樹脂粒子の合計含有量）は、インク全体に対して０．５〜３０重量％の範囲で含有されることが好ましく、より好ましくは１．５〜２５重量％、さらに好ましくは３〜２０重量％の範囲で含有されることが望ましい。含有量が少なくなると、印刷画像濃度が不足したり、インクと被吐出媒体表面との親和性が得られ難くなって強固な画像が得られなくなったりするなどの問題が生じ易くなり、一方、含有量が多くなると均−な分散液が得られにくくなったり、吐出ヘッドでのインクの目詰まりが生じやすく、安定なインク吐出が得られにくいなどの問題が生じるからである。
【００８４】
着色材としては、有機顔料、無機顔料、染料などを好適に用いることができる。
【００８５】
カラーフィルタの遮光部に用いる着色材としては、具体的には、例えば、油溶性染料としてファット・ブラックＨＢ(C.I.26150)、有機顔料としてモノライト・ファースト・ブラックＢ(C.I.ピグメントブラック１)、無機顔料として酸化チタン、４酸化鉄等の金属酸化粉、金属硫黄化粉、が挙げられる。ファーネスブラック、ランプブラック、アセチレンブラック、チャンネルブラック等のカーボンブラック顔料、が好ましい。
【００８６】
カラーフィルタの赤透過部に用いる着色材としては、具体的には、例えば、C.I.ピグメントレッド９７、C.I.ピグメントレッド１２２，C.I.ピグメントレッド１４９，C.I.ピグメントレッド１６８，C.I.ピグメントレッド１７７，C.I.ピグメントレッド１８０，C.I.ピグメントレッド１９２，C.I.ピグメントレッド２１５、C.I.ピグメントレッド２５４、等が挙げられる。
【００８７】
カラーフィルタの緑透過部に用いる着色材としては、具体的には、例えば、C.I.ピグメントグリーン７、C.I.ピグメントグリーン３６、等が挙げられる。
【００８８】
カラーフィルタの青透過部に用いる着色材としては、具体的には、例えば、C.I.ピグメントブルー１５：１、C.I.ピグメントブルー１５：４、C.I.ピグメントブルー１５：６、等が挙げられる。
【００８９】
なお、カラーフィルタの遮光部４２又は透過部４３を描画するための着色材であれば、上記の例以外の材料を用いてもよい。
【００９０】
［高周波吐出の原理］
本発明では、静電濃縮式のヘッド３０を用いて被吐出媒体上に所定方向に沿った連続描画を行うとき、連続描画区間に対応する連続吐出期間中のオンデューティが１００％である駆動信号を用いて、インク液滴を連続的に吐出する。静電濃縮式インクジェットヘッドでは、ピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドとは異なり、電場下において、絶縁性溶媒中に分散した荷電粒子に静電力が作用して、その静電力により荷電粒子が運動することで、荷電粒子を含むインクが吐出する。これによりインクは、ヘッドに供給されたときよりも粒子濃度が高められて、インク液滴として被吐出媒体に着弾する。連続描画の例としては、ストライプス形状、格子形状などが挙げられる。
【００９１】
具体的には、図７（Ａ）に示すようにカラーフィルタ基板２０に一定のバイアス電圧が印加されているとともにヘッド３０の吐出電極３１８に駆動電圧が印加されていない状態、すなわちバイアス電圧オン且つ駆動電圧オフの状態（以下「吐出待機状態」という）において、連続描画区間に対応する複数滴の連続吐出期間中にオン状態が連続する駆動信号（オンデューティ１００％の駆動信号）を、ヘッド３０の吐出電極３１８に与えて、図７（Ｂ）に示すようにバイアス電圧オン且つ駆動電圧オンの状態（以下「高周波吐出可能状態」という）に設定する。例えば、カラーフィルタ基板２０に格子形状や帯形状を描画する際に、カラーフィルタ基板２０に一定のバイアス電圧を印加したまま、ヘッド３０の吐出電極３１８に与える駆動電圧をオン状態に設定し、複数滴の連続吐出期間中に駆動電圧をオフ及びオンすることなく一定電圧に維持する。すなわち、吐出口３２８と被吐出媒体であるカラーフィルタ基板２０との間の電圧を略一定に維持する。そうすると、一定電場下、図７（Ｃ）に示すように、インク液滴５４が吐出口３２８のメニスカスから次々と分断されて、カラーフィルタ基板２０上に連続して着弾する。このような吐出によれば、インク液滴を１００ｋＨｚ以上の高周波数で連続吐出することが可能である。なお、図７（Ｂ）ではインクガイド３１４の先端部分３１４ａを覆う略円錐形状５２と曳糸５３の両方がメニスカスとして一体形成されており、図７（Ｃ）に示すように実際には曳糸５３からインク液滴５４が分断される。
【００９２】
吐出口３２８のメニスカスに注目すると、一定電場下、静電力の作用により吐出口３２８近傍の荷電粒子がインクガイド３１４の先端部分３１４ａへ連続的に泳動される。このようにして泳動された荷電粒子を含むインク、すなわち粒子濃度が高められたインクは、いわゆるレイリー不安定性によりメニスカスから次々と分断される。
【００９３】
ところで、ピエゾ式インクジェットヘッドなどのダイアフラム型のインクジェットヘッドでは、ダイアフラム（振動板）の振動を利用してインクを吐出している。したがって、一滴吐出ごとにオン及びオフすることなくオン状態が連続するオンデューティ１００％の駆動信号では、ダイアフラムが振動せず、複数液滴を連続吐出させることができない。また、サーマル式インクジェットヘッドにおいても、高速加熱で発生するバブルにより吐出するので、オンデューティ１００％の駆動信号では、バブルを連続形成できず、やはり複数液滴を連続吐出させることができない。すなわち、ピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドでは、オンデューティ１００％の駆動信号で複数液滴を連続吐出させることができず、一滴吐出ごとにオン及びオフするパルス波形を用いて複数液滴を連続吐出させていたが、静電濃縮式インクジェットヘッドを用いることで初めて、オンデューティ１００％の駆動信号で複数液滴を連続吐出させることができる。また、従来は、静電濃縮式インクジェットヘッドを用いてインクを吐出する場合、ピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドを用いてインクを吐出する場合と同様の駆動回路、すなわちパルス波形を発生する駆動回路が常用されていた。パルス波形を用いて静電濃縮式インクジェットヘッドを駆動した場合、できるだけ高い周波数で複液滴を連続吐出させようとしても、一般に２０ｋＨｚ未満の低周波数でしか、複数滴を連続吐出させることができない。これは、パルス波形の場合には、必然的にオンデューティ（オン状態である時間の割合）が低いだけではなくて、一滴吐出後に駆動電圧のオフ（すなわちパルスの後縁）でメニスカス位置が低下してしまうので、次の駆動電圧のオン（すなわちパルスの前縁）ですぐには吐出することができず、メニスカスの成長を待たなければならないからである。すなわち、パルス波形ではディレイ時間が必要なので２０ｋＨｚ未満の低周波でしか、複数滴を連続吐出させることができない。発明者は、このようなパルス波形に因る吐出ディレイという現象に着目することにより、初めて１００ｋＨｚ以上の高周波数で連続吐出（高周波吐出）可能な本発明を成し得た。
【００９４】
このような高周波吐出について、更に詳細に説明する。以下では、説明の便宜上、インクは、絶縁性溶媒及び荷電粒子のみからなり、且つ、当該荷電粒子は帯電した着色材粒子のみからなるものとする。
【００９５】
図７（Ａ）は、「吐出待機状態」を示す。この状態では、カラーフィルタ基板２０には所定のバイアス電圧（例えば−１５００Ｖ）が与えられ、ヘッド３０の吐出電極３１８にはオフ電圧（０Ｖ）が与えられている。すなわち、吐出口３２８とカラーフィルタ基板２０との間にバイアス電圧のみ印加された状態であり、バイアス電圧による電界により、インク中の荷電粒子と絶縁性溶媒とにそれぞれ力が働く。荷電粒子は、いわゆる電気泳動により、インクガイド３１４へ供給される。インクガイド３１４の周囲に緩やかな斜面を有する略円錐形状５１のメニスカスが形成され、この状態ではインクガイド３１４の先端部分３１４ａまでは荷電粒子が泳動しておらず、図８（Ａ）に示すように、荷電粒子に働く力（主として静電力４０１、「クーロン力」ともいう）と、絶縁性溶媒に働く力（主として表面張力４０２）とがバランスを保っており、吐出はしない。なお、図７（Ａ）に示すようにインクガイド３１４周囲のメニスカスは実際には略円錐形状であるが、図８（Ａ）ではインクガイド３１４を省略して描いたのでメニスカスは半球面で描いた。
【００９６】
詳細には、荷電粒子には、電場によるクーロン引力及び荷電粒子間のクーロン反発力が作用し、これらの力により移動した場合には更に絶縁性溶媒による粘性抵抗力が作用する。一方、絶縁性溶媒には、電場によるクーロン力の他に、流体圧力、荷電粒子に加わる力に対する反力、空気との界面に働く表面張力、及び、誘電分極力が、作用する。これらが練成して、荷電粒子と流体（絶縁性溶媒）が運動するが、力の大小関係を鑑み、電場形成により荷電粒子にクーロン引力が作用して荷電粒子が運動し、荷電粒子はその運動により流体抵抗を受けて、その流体抵抗の反力として流体が力を受けて流体が運動する、と考える。
【００９７】
図７（Ｂ）は、「高周波吐出可能状態」を示す。この状態では、カラーフィルタ基板２０には所定のバイアス電圧（例えば−１５００Ｖ）が与えられたまま、ヘッド３０の吐出電極３１８には駆動電圧としてオン電圧（例えば＋６００Ｖ）が与えられている。すなわち、吐出口３２８とカラーフィルタ基板２０との間にバイアス電圧と駆動電圧のオン電圧とが印加された状態であり、バイアス電圧に駆動電圧が重畳されると、インク中の荷電粒子と流体（絶縁性溶媒）との練成運動の結果として、吐出口３２８のインク中の荷電粒子がインクガイド３１４の先端部分３１４ａまで泳動し、インクガイド３１４の先端部分３１４ａまで覆った略円錐形状５２を有するメニスカス（すなわちインクガイド３１４の全部を覆ったメニスカス）が形成される。この段階では、メニスカス近傍のインクの粒子濃度はほぼ一定となっている。さらに有限な時間が経過すると、電界強度が最も高いインクガイド３１４の先端部分３１４ａのメニスカスに大きな静電力が作用し、図８（Ｂ）に示すように、荷電粒子に働く力（主として静電力４０１）と絶縁性溶媒に働く力（主として表面張力４０２）とのバランスが崩れ、直径数μｍ〜数十μｍの細い曳糸５３（液柱）が形成される。このようにインクガイド３１４先端部のメニスカスにおける荷電粒子に作用する力と絶縁性溶媒に作用する力とのつり合いが崩れることにより曳糸５３が形成されるので、インクガイド３１４先端部のメニスカスへの荷電粒子の充分な供給が重要である。
【００９８】
「高周波吐出可能状態」において曳糸５３が形成された後に更に有限な時間が経過した状態（高周波吐出状態）を、図７（Ｃ）に示す。この状態でも、吐出口３２８とカラーフィルタ基板２０との間にバイアス電圧（例えば−１５００Ｖ）と駆動電圧のオン電圧（例えば＋６００Ｖ）とが印加されている。曳糸５３は分断され、液滴５４となって飛翔し、カラーフィルタ基板２０上に着弾する。
【００９９】
すなわち、吐出口３２８にインクガイド３１４の先端部分３１４ａまで覆う略円錐形状５２を有するメニスカスが形成されている状態において、複数滴の連続吐出期間中にオン状態が連続する駆動信号（オンデューティ１００％の駆動信号）をヘッド３０の吐出電極３１８に与えて、曳糸５３からインク液滴５４を次々と連続して分断する。ここで、オン状態とは、インクガイド３１４の先端部分３１４ａまで荷電粒子が泳動してインクガイド３１４の先端部分３１４ａまで覆うメニスカスが形成され、液滴の吐出が生じる状態である。オン状態において、曳糸５３は、吐出周波数を極大化するためには、連続吐出期間中に連続して存在していることが好ましいが、そのような場合に本発明は特に限定されず、曳糸５３が連続吐出期間中に一旦消滅する場合を含む。その一方で、オフ状態は、インクガイド３１４の先端部分３１４ａまでは荷電粒子が泳動しておらずインクガイド３１４の先端部分３１４ａまで覆うメニスカスは形成されておらず、液滴の吐出が生じない状態である。
【０１００】
曳糸分断の原理は、以下のように考えられる。カラーフィルタ基板２０に向けて荷電粒子が加速するので曳糸５３が先端ほど細くなって分断する（電界強度及び粒子荷電量が大きく、曳糸成長速度が速い場合に顕著である）、レイリー不安定性により発生する曳糸振動に因り分断する（電界強度及び粒子荷電量が小さく、曳糸成長速度が遅い場合に顕著である）、メニスカス内の粒子分布不均一により曳糸の先端と根本側とで作用する静電力が異なることに因り分断する（粒子供給性が悪い場合に顕著である）、メニスカスの電界強度不均一により曳糸の先端と根本側とで作用する静電力が異なることに因り分断する（インクガイド３１４先端への電界集中が高い場合に顕著である）、などの複合効果と考えられる。これらの現象は、電界分布、荷電粒子に作用する力及び絶縁性溶媒に作用する力を練成した運動方程式で記述説明することができる。
【０１０１】
以上説明した静電濃縮式インクジェットヘッドによれば、静電力により曳糸の径を非常に細くすることができるので、曳糸から分断されるインク液滴を非常に小さくすることができる。その結果として、非常に小さい１０μｍ程度のドットを形成することができる。
【０１０２】
また、インク液滴は、飛翔中も電場より静電力を受け続け、微小液滴であっても空気抵抗にうち勝ち加速運動することができる。静電力を用いないピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドでは、空気抵抗によりインク液滴が減速してしまい着弾位置精度が悪化するのに対して、静電濃縮式インクジェットヘッドは、着弾位置精度において相対的に優れる。このような優れた液滴飛翔とするためには、抵抗率が１０６〜１０９[Ωｃｍ]に調整されたインクを用いることが、好ましい。
【０１０３】
また、図７（Ａ）に示す吐出待機状態から図７（Ｂ）に示す高周波吐出可能状態へ遷移した後、図７（Ａ）の吐出待機状態へ戻ることなく、オンデューティ１００％の駆動信号を用いて図７（Ｃ）に示すように複数液滴を連続吐出するので、ピエゾ式やサーマル式のインクジェットヘッドでは不可能な高周波数（短周期）で、インク液滴を連続的に吐出することができる。
【０１０４】
もしも連続描画の際、静電濃縮式のヘッド３０の駆動信号としてパルス信号を与えた場合には、各パルスの後縁で駆動電圧がオン状態からオフ状態に切り換わることによりメニスカス位置が低下してしまうので、各パルスの前縁で駆動電圧がオフ状態からオン状態に切り換わっても直ぐには液滴が吐出されず、インクガイド３１４の先端部分３１４ａがメニスカスで覆われるまでメニスカスが成長してから液滴が吐出されることになる。例えば、パルス周期が１００μＳであってオンデューティが５０％である場合、１パルス周期当たりの駆動電圧のオン時間は５０μＳであるが、１パルス毎に４０μＳのディレイ時間が生じる場合には、１パルス周期当たりの現実の液滴吐出時間は、１０μＳ（＝100μＳ×50％／100％―40μＳ）となってしまう。このように、パルス信号では、連続吐出期間中の現実の液滴吐出時間がとても短くなるので、カラーフィルタ基板２０に対するヘッド３０の走査速度を十分に小さくする必要がある。これに対して、連続描画の際、静電濃縮式のヘッド３０の駆動信号としてオンデューティ１００％の駆動信号を与えた場合には、１００μＳにおける現実の液滴吐出時間はほぼ１００μＳになる。すなわち、前述のオンデューティ５０％で１パルス当たりのディレイ時間４０μＳのパルス波形を用いた場合と比較して、１０倍の走査速度で連続描画できることになる。
【０１０５】
また、曳糸の分断周波数は、ピエゾ式インクジェットヘッドで通常用いる駆動周波数（画像記録周波数）よりも２桁以上高く、数百ｋＨｚ程度にも達する。
【０１０６】
［カラーフィルタの製造方法］
本発明に係るカラーフィルタの製造方法について、以下、各種の実施形態に分けて、説明する。
【０１０７】
（第１実施形態）
第１実施形態のカラーフィルタの製造方法について説明する。本実施形態では、図１及び図２に示した基本構成のカラーフィルタ４０を製造する。なお、図１では３×３個の透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）のみ示したが、実際には多数の透過部４３を形成する。
【０１０８】
まず、図３の基板ロード部２４によって、図３の定盤２２上にカラーフィルタ基板２０がロードされる。本実施形態では、図３のカラーフィルタ基板２０として、格子形状の遮光部４２が予め形成された透明基板４１がロードされる。
【０１０９】
定盤２２上の透明基板４１は、図３の基板吸着加熱部２９によって吸着及び加熱される。また、ヘッド３０は、図３のヘッド位置測長レーザ２７によってその位置が測定されながら、図３のヘッド走査機構２６によって移動させられる。これによりヘッド３０が透明基板４１に対して走査される。
【０１１０】
図３のヘッドユニット２５内の遮光部位置検出部３９によって透明基板４１上の遮光部４２の位置が検出され、帯電部３２によって透明基板４１が帯電され、検出された遮光部４２の位置に基づいて透過部４３の位置が決定され、ヘッド３０によって透明基板４１上に透過部４３が描画される。詳細には、図２に示すように、透明基板４１上に予め形成されている格子形状の遮光部４２の開口部４４（セル空間）内に、図３の赤ヘッド３０Ｒ、緑ヘッド３０Ｇ及び青ヘッド３０Ｂからそれぞれインクが吐出されることにより、透明基板４１上に赤、緑及び青の各色の透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）が２次元マトリクス状に描画される。そして、非接触加熱部３６によって透明基板４１上の透過部４３が非接触で加熱される。
【０１１１】
なお、図６を用いて説明したヘッド回転機構を用いて、遮光部４２の開口部４４のピッチ（すなわちセルピッチ）に応じてヘッド３０を回転することにより、ヘッド３０の吐出口３２８の実施的なピッチ（ノズルピッチ）をセルピッチに合わせ、その後に透過部４３を描画するようにしてもよい。
【０１１２】
このようにして透過部４３が描画された透明基板４１（すなわち図１のカラーフィルタ４０）は、図３の基板アンロード部２８によって、定盤２２からアンロードされる。
【０１１３】
図１において、遮光部４２の幅Ｗｓは例えば３２μｍ、透過部４３の幅Ｗｔは例えば１５２μｍである。また、遮光部４２及び透過部４３の膜厚は２μｍである。
【０１１４】
本実施形態では、互いに色が異なる赤透過部４３Ｒ、緑透過部４３Ｇ、青透過部４３Ｂは、図４に示す静電濃縮式インクジェットヘッド３０を用いることにより、一回の走査（本例では図３中に矢印で示す方向に沿った走査）内で、略同時に描画される。すなわち、透明基板４１に対してヘッド３０（３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂ）を矢印で示す方向において一回走査するうちに、各色の透過部４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂを乾燥させる工程を挟むことなく、各色の透過部４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂを一度に描画する。
【０１１５】
静電濃縮式インクジェットヘッド３０では、静電力によりインクが濃縮されて、すなわちインク中の荷電粒子（荷電着色粒子）の濃度が高められて、インク液滴が吐出されるので、インクの濡れ広がりが無く、又、電界による加速飛翔に因り着弾位置精度が高い。したがって、従来のようにインク吸収層を形成しなくても、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色間のコンタミネーションが生じない。詳細には、従来は、図１８（Ａ）に示したインク吸収層塗布及び図１８（Ｂ）に示したパターニング、図１８（Ｃ）に示した赤透過部描画及び乾燥、図１８（Ｄ）に示した緑透過部描画及び乾燥、図１８（Ｅ）に示した青透過部描画及び乾燥、の順に行う必要があったが、本例では、インク吸収層塗布及びパターニングを行う必要がなく、また、互いに色が異なる赤透過部４３Ｒ及び緑透過部４３Ｇ及び青透過部４３Ｂを一回の走査内で、各色ごとの乾燥工程を挟むことなく、略同時に描画する。このように工程数が削減されるので、カラーフィルタの生産性が向上する。また、荷電粒子を含んだインクは濃縮吐出されるので、少液量で高濃度発現が可能である。すなわち、１セル当たりの吐出回数を減らすことができるので、更に生産性が向上する。
【０１１６】
（第２実施形態）
図９は、本実施形態において形成するカラーフィルタ４００を示す平面図である。図１０は、図９の１０−１０線に沿った断面図である。
【０１１７】
図９のカラーフィルタ４００は、図１に示した基本構成のカラーフィルタ４０と同様に、格子形状の遮光部４２とセル状の複数の透過部４３（赤透過部４３Ｒ、緑透過部４３Ｇ、青透過部４３Ｂ）とが透明基板４１上に配置されて構成されている。各透過部４３は、遮光部４２の各開口部４４内（セル空間）にそれぞれ形成されている。なお、図示の便宜上、透過部４３を３×３個のみ示したが、透過部４３の個数は特に限定されない。
【０１１８】
本実施形態では、図９に示すように、複数の透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）が、矢印Ｓ方向に沿って連結しており、それぞれ帯状の着色部４５（赤着色部４５Ｒ、緑着色部４５Ｇ、青着色部４５Ｂ）を構成している。また、図１０に示すように、遮光部４２と透過部４３との境界において、遮光部４２の縁の上には、各透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）が延在してオーバラップ部４６（４６Ｒ、４６Ｇ、４６Ｂ）が形成されている。言い換えると、透明基板４１上には、少なくとも透過部４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）及びオーバラップ部４６（４６Ｒ、４６Ｇ、４６Ｂ）を含む着色部４５が、各色毎に、矢印Ｓ方向に沿って形成されている。以下では、矢印Ｓ方向を「連続描画方向」ということもある。
【０１１９】
連続描画方向Ｓに直交する方向Ｍにおいて、透過部４３の幅Ｗｔは例えば１５２μｍ、オーバラップ部４６の幅Ｗｖは例えば１２μｍである。
【０１２０】
以下、図９及び図１０に示したカラーフィルタ４００の製造処理について、説明する。
【０１２１】
本例では、図１１の平面図及び図１１の１２−１２線に沿った図１２の断面図に示すように、格子形状の遮光部４２が予め形成されている透明基板４１を用意する。
【０１２２】
図１１において符号４７は、透過部４３の形成領域及びオーバラップ部４６の形成領域を含む目的の描画領域（以下「連続描画区間」という）を示す。連続描画領域４７の外側には、予備吐出領域４８が設けられている。連続描画方向Ｓにおいて、予備吐出領域４８の長さＬｒは例えば１００μｍである。
【０１２３】
なお、図３の基板ロード部２４による透明基板４１のロード、基板吸着加熱部２９による透明基板４１の吸着加熱、ヘッド位置測長レーザ２７及びヘッド走査機構２６によるヘッド３０の透明基板４１に対する走査、遮光部位置検出部３９による透明基板４１上の遮光部４２の位置検出、及び、帯電部３２による透明基板４１の帯電は、第１実施形態と同様であり、説明を省略する。また、ヘッド３０による描画後の非接触加熱部３６による非接加熱、及び、基板アンロード部２８による基板アンロードも、第１実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１２４】
図１３は、本実施形態における透過部４３の描画の説明に用いる説明図である。図１３に示すように、赤透過部４３Ｒ用のインクを吐出する赤ヘッド３０Ｒ、緑透過部４３Ｇ用のインクを吐出する緑ヘッド３０Ｇ、及び、青透過部４３Ｂ用のインクを吐出する青ヘッド３０Ｂを用いて、赤着色部４５Ｒ、緑着色部４５Ｇ及び青着色部４５Ｂを、連続描画方向Ｓに沿った一走査内で、略同時に描画する。すなわち、透明基板４１に対してヘッド３０（３０Ｒ、３０Ｇ、３０Ｂ）を連続描画方向Ｓにおいて一回走査し、着色部４５Ｒ、４５Ｇ、４５Ｂを各色ごとに乾燥させる工程を挟むことなく、全ての着色部４５Ｒ、４５Ｇ、４５Ｂを一度に描画する。
【０１２５】
このような着色部４５の描画時、遮光部４２と透過部４３との境界において、遮光部４２の縁の上に透過部４３用のインクを付与して、遮光部４２の縁の上にオーバラップ部４６を形成する。ヘッド３０の吐出口３２８は、透過部４３の幅（図９のＷｔ）にオーバラップ部４６の幅（図９のＷｖ）を加えた幅（図９のＷｃ）で描画可能なピッチと数で配置されている。ここで、Ｗｃ＝Ｗｔ＋２×Ｗｖである。
【０１２６】
また、本実施形態では、図１１に示す連続描画区間４７（少なくとも透過部４３の形成領域及びオーバラップ部４６の形成領域を含み且つ連続描画方向Ｓに沿って連続した領域である）の描画を行う前に、その連続描画区間４７の外側に設けられた予備吐出領域４８に向けてヘッド３０から予備吐出を行う。
【０１２７】
本実施形態では、セルピッチに同期しない駆動信号により、複数の透過部４３にわたって着色部４５を連続的に描画する。すなわち、複数のセル空間（遮光部４２の複数の開口部４４）にわたる帯状の連続描画区間（図１１の４７）に向けて、複数のインク液滴を連続描画方向Ｓに沿って連続的に吐出することにより、複数のセル空間にわたる帯状の着色部４５を形成する。
【０１２８】
図１４（Ａ）は、本実施形態において、ヘッド３０に与える駆動信号５１０と透明基板４１上に形成されるドットとを対応つけて模式的に示した図である。
【０１２９】
吐出遅れ期間５２１は、駆動信号５１０をオンしてから最初のインク液滴が吐出されるまでに要する時間である。ドット径変動期間５２２は、吐出されるインク液滴量が変動することに因りドット径が変動する期間である。安定吐出期間５２３は、吐出されるインク液滴量が安定しドット径が安定した期間である。少なくともドット径変動期間５２２では、透明基板４１上の予備吐出領域４８に向けて吐出を行う。その後、安定吐出期間５２３内で、透明基板４１上の連続描画区間４７の描画を行う。言い換えると、予備吐出領域４８の長さＬｒは、ドット径変動期間５２２に対応する長さよりも、長くする。
【０１３０】
また、少なくとも連続描画区間４７に対応する安定吐出期間５２３中の電圧が一定の駆動信号５１０をヘッド３０に与える。なお、本例では、図１４（Ａ）に示すように、吐出遅れ期間５２１、ドット径変動期間５２２及び安定吐出期間５２３の全期間にわたって、駆動信号５１０の電圧を一定にしている。このように一定電圧の駆動信号５１０をヘッド３０に与える場合、図１４（Ｂ）に示すようなパルス信号９１０をヘッド３０に与えた場合と比較して、インク液滴の吐出周期を短くすることができる。すなわち高周波吐出が可能となる。もしも図１４（Ｂ）に示すパルス信号９１０の場合には、各パルス毎にディレイ５２４が生じ、低周波吐出となってしまう。
【０１３１】
なお、本発明は、連続描画区間４７に対応する複数滴の連続吐出期間中に一定電圧の駆動信号をヘッド３０に与える場合に特に限定されない。
【０１３２】
図１４（Ａ）に示すように複数滴の連続吐出期間中に駆動信号の電圧を一定にすると、図４のインクガイド３１４の先端部分３１４ａへの荷電粒子の供給が追いつかなくなってインクガイド３１４の先端部分３１４ａの近傍の荷電粒子の濃度が低下してしまう場合がある。すなわち、カラーフィルタ基板２０に着弾する荷電粒子の単位面積当たりの量が低下してしまう場合がある。このような場合には、第１に、図４のインク流路３３０のインク流量を増やすか、第２に、図１４（Ｃ）に示す駆動信号５３０を用いる。図１４（Ｃ）に示す駆動信号５３０は、少なくとも連続描画区間４７に対応する複数滴の連続吐出期間中に、電圧が連続的に且つ徐々に増加する。ここで、電圧の増加とは、図４に示すヘッド３０の吐出口３２８近傍のインク中の荷電粒子をインクガイド３１４の先端部３１４ａへ泳動させる電界強度を増大させる駆動電圧の変化をいう。
【０１３３】
図１４（Ｃ）の駆動信号５３０を用いる場合には、例えば、連続吐出開始位置（すなわち予備吐出領域（図１３の４８の端部）から連続吐出終了位置（すなわち目的の連続描画区間４７の端部）まで、徐々に電圧を増加させる。例えば、連続吐出開始位置では駆動電圧を４５０Ｖとし、連続吐出終了位置では駆動電圧を５５０Ｖとする。駆動電圧を増加させることにより、図４の吐出口３２８近傍からインクガイド３１４の先端部３１４ａへ泳動する荷電粒子の泳動速度が上がるので、インクガイド３１４の先端部３１４ａへ効率よく荷電粒子を供給することができる。
【０１３４】
また、本実施形態では、透過部４３の描画を行う際、同一箇所への描画（すなわちインク液滴の打滴）を少なくとも２回以上繰り返す。
【０１３５】
図１５（Ａ）は、粒子径が同じ荷電着色粒子で複数回描画する場合を示す模式図である。図１５（Ａ）において、第１回目の描画５４１の後、第１回目の描画箇所に対して第２回目の描画５４２を行う。これにより、透明基板４１上の描画箇所を荷電着色粒子で埋める。その後、非接触加熱５４３により透明基板４１上の荷電着色粒子を溶融固化させて透明基板４１に定着させる。
【０１３６】
図１５（Ｂ）は、第２回目の描画では粒子径が小さい荷電着色粒子で描画する場合を示す模式図である。図１５（Ｂ）において、第１回目の描画５５１では、例えば直径０．７〜１．０μｍの第１の荷電着色粒子を含むインクを吐出する。第２回目の描画５５２では、例えば直径０．３μｍの第２の荷電着色粒子を含むインクを吐出する。すなわち、第１の荷電着色粒子の粒子径よりも第２の荷電着色粒子の粒子径は、小さい。これにより、第１回目の描画５５１により透明基板４１に付与された第１の荷電着色粒子の隙間を、第２回目の描画により透明基板４１に付与された第２の荷電着色粒子で埋める。その後、非接触加熱５５３により透明基板４１上の荷電着色粒子を溶融固化させて透明基板４１に定着させる。
【０１３７】
図１５（Ｃ）は、第２回目の描画では静電濃縮式インクジェットヘッド３０を用いないで他の種類のヘッドを用いる場合を示す模式図である。図１５（Ｃ）において、第１回目の描画５６１では、静電濃縮式インクジェットヘッドを用いる。第２回目の描画５６２では、ピエゾ式インクジェットヘッドを用いる。その後、接触加熱５６３により透明基板４１上の荷電着色粒子を溶融固化させて透明基板４１に定着させる。
【０１３８】
（第３実施形態）
第３実施形態として、図１に示すカラーフィルタ４０又は図９に示すカラーフィルタ４００の遮光部４２（ブラックマトリクス）を、図４に示す静電濃縮式インクジェットヘッド３０を用いて描画形成する場合について、以下説明する。
【０１３９】
本実施形態において、透過部４３の形成方法は、特に限定されない。例えば、フォトリソグラフィーにより形成してもよいし、トランサーを用いて形成してもよい。ピエゾ式又はサーマル式のインクジェットヘッドを用いて形成してもよい。
【０１４０】
まず、図３の基板ロード部２４によって、図３の定盤２２上に透明基板４１がロードされる。なお、本実施形態では、遮光部４２が未形成の透明基板４１が定盤２２上にロードされる。定盤２２上の透明基板４１は、図３の基板吸着加熱部２９によって吸着及び加熱される。その一方で、ヘッド３０は、図３のヘッド位置測長レーザ２７によって位置を測定されながら、図３のヘッド走査機構２６によってヘッドユニット２５ごと移動される。これによりヘッド３０は透明基板４１に対して相対的に移動する。すなわち、ヘッド３０が透明基板４１に対して走査される。図３のヘッドユニット２５に備えられている遮光部位置検出部３９によって透明基板４１の基準位置が検出され、帯電部３２によって透明基板４１が帯電され、ヘッド３０によって透明基板４１上に遮光部４２が描画される。そして、非接触加熱部３６によって透明基板４１上の遮光部４２が非接触で加熱される。
【０１４１】
格子形状の遮光部４２を描画するとき、図１６に示すように、ヘッド３０を透明基板４１に対して第１の方向Ｍ及び第１の方向に垂直な第２の方向Ｓの両方向において走査して描画する。このような２方向走査の態様としては、第１の態様として、第１の方向Ｍに沿って吐出口３２８が配列された第１のヘッド３０ａと、第２の方向Ｓに沿って吐出口３２８が配列された第２のヘッド３０ｂとを設けて、第１のヘッド３０ａ及び第２のヘッド３０ｂを第１の方向Ｍ及び第２の方向Ｓの両方向において移動させる態様がある。また、第２の態様として、一方向に沿って吐出口３２８が配列されたヘッド３０を回転可能な機構を設ける態様、第３の態様として、一方向に沿って吐出口３２８が配列されたヘッド３０に対して透明基板４１を回転可能な機構を設ける態様、などが挙げられる。
【０１４２】
図１６において、第１のヘッド３０ａは、第１の走査方向Ｍに沿って配列されている複数の吐出口３２８を有する。第２のヘッド３０ｂは、第２の走査方向Ｓに沿って配列されている複数の吐出口３２８を有する。
【０１４３】
ヘッド３０のノズル３２８は、遮光部４２の帯のピッチ（すなわちセルピッチ）に応じたノズル配置を有する。図６に示すようにヘッド３０を回転させることにより、セルピッチに応じて、ノズルピッチを調整してもよい。
【０１４４】
本実施形態では、遮光部４２の連続描画区間（第１の走査方向Ｍに沿って連続した帯状の領域及び第１の走査方向Ｓに沿って連続した帯状の領域）の描画を行う前に、その連続描画区間４７の外側に設けられた予備吐出領域４８に向けてヘッド３０から予備吐出を行う。
【０１４５】
また、遮光部４２の連続描画区間に対応する連続吐出期間中の電圧が略一定の駆動信号（図１４（Ａ）の５１０）を、ヘッド３０に与えて描画する。図１４（Ｃ）に示すように、連続吐出期間中の電圧が連続的に徐々に増加する駆動信号５３０を用いてもよい。
【０１４６】
また、本実施形態では、格子形状の遮光部４２のうちで帯同士が交差する部分４２１（交差部分）は、異なる２方向（第１の方向Ｍ及び第２の方向Ｓ）の走査により、重ね描画により形成される。遮光部４２のうちで交差部分４２１の描画回数は、遮光部４２の交差部分４２１以外の他の部分の描画回数よりも、多い。
【０１４７】
遮光部４２における格子形状の交差部分４２１を重ね描画しない場合、図１７（Ａ）に示すように、遮光部４２の開口部４４の隅部４３１（コーナー）は一般に角形状で形成される。これに対して、本実施形態では、遮光部４２における格子形状の交差部分４２１を重ね描画するので、遮光部４２の交差部分４２１のインク量が他の部分のインク量よりも多くなり、図１７（Ｂ）に示すように、遮光部４２の開口部４４の隅部（コーナー）が弧形状で形成される。これにより、透過部４３描画時の濡れ不良による白抜け発生が抑止される。
【０１４８】
なお、本発明において、遮光部４２の交差部分４２１の描画回数が交差部分４２１以外の部分の描画回数よりも多ければ、描画回数は特に限定されない。
【０１４９】
本発明は、本明細書において説明した例や図面に図示された例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の設計変更や改良を行ってよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】基本構成のカラーフィルタを示す平面図
【図２】図１の２−２線に沿った断面図
【図３】本発明に係るカラーフィルタ製造装置の一例の構成図
【図４】静電濃縮式インクジェットヘッドの一例の要部構成を示す断面図
【図５】インクジェットヘッドの吐出電極の具体例を示す斜視図
【図６】インクジェットヘッドの回転機構の一例の説明に用いる説明図
【図７】高周波吐出の原理の説明に用いる説明図
【図８】高周波吐出におけるメニスカスの様子を示す模式図
【図９】カラーフィルタの一例を示す平面図
【図１０】図９の１０−１０線に沿った断面図
【図１１】遮光部が予め形成されている透明基板の平面図
【図１２】図１１の１２−１２線に沿った断面図
【図１３】透過部の描画の説明に用いる説明図
【図１４】駆動信号とドットとの対応関係を示す模式図
【図１５】重ね描画の説明に用いる説明図
【図１６】遮光部の描画の説明に用いる説明図
【図１７】遮光部の交差部分の描画回数を他の部分よりも多くした場合の作用の説明に用いる説明図
【図１８】従来のカラーフィルタの製造方法における課題の説明に用いる説明図
【符号の説明】
【０１５１】
２０…カラーフィルタ基板、２２…定盤、２５…ヘッドユニット、２６…ヘッド走査機構、２７…ヘッド位置測長レーザ、２９…基板吸着加熱部、３０…インクジェットヘッド（ヘッド）、３１…対向電極、３２…帯電部、３４…インク貯蔵部、３６…非接触加熱部、３８…ヘッドドライバ（駆動部）、３９…遮光部位置検出部、４０、４００…カラーフィルタ、４１…透明基板、４２…遮光部、４３（４３Ｒ、４３Ｇ、４３Ｂ）…透過部、４４…遮光部の開口部、４５（４５Ｒ、４５Ｇ、４５Ｂ）…着色部、４６（４６Ｒ、４６Ｇ、４６Ｂ）…オーバラップ部、４８…予備吐出領域、５２…テーラーコーン、５３…曳糸（液柱）、５４…インク液滴、３１４…ヘッドのインクガイド、３１６…ヘッドの絶縁性基板、３１８…ヘッドの吐出電極、３２８…ヘッドの吐出口、３３０…ヘッドのインク流路、５１０、５３０…駆動信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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