(57)【要約】【課題】二重環状の電極構造を有するプラズマ表面処理装置において、内側電極の芯出しを容易に、しかも径寸法に拘わりなく行なうことができるようにする。【解決手段】外側電極２０の中心孔２１の内部に軸線Ｌ１に沿って内側電極３０を配置し、両電極２０，３０間に環状の放電空間１ａを形成する。内側電極３０の上側部（基端部）を外側電極２０より突出させ、ホルダ１０で囲む。ホルダ１０の周方向に離間させて複数の芯出部材８１を設ける。芯出部材８１は、雄ネジ部材からなり、それぞれ内側電極３０の外周面に当接されるとともに軸線Ｌ１と直交する径方向に位置調節可能になっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線のまわりに環状をなす放電空間を有し、処理ガスを、前記軸線の方向に沿って前記放電空間に通して、前記放電空間より前記軸線方向の先端側に配置された基板へ向けて吹き出し、前記基板のプラズマ表面処理を行なう装置における、前記放電空間を形成するための電極構造であって、
前記軸線に沿って配置されるべき内側電極と、
前記内側電極の先端部を囲み、前記内側電極との間に前記放電空間を形成する外側電極と、
前記内側電極の基端部を囲み、前記外側電極の基端側に連結された絶縁性のホルダと、
前記ホルダの周方向に互いに離間して配置され、前記軸線方向と直交する径方向に位置調節可能かつ内端部が前記内側電極の外周面に押し当て可能な複数の芯出部材と、
を備えたことを特徴とするプラズマ表面処理装置の電極構造。
【請求項２】
前記芯出部材が、第１のネジ部材で構成され、前記ホルダには前記芯出部材をねじ込むネジ孔が前記径方向に貫通形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電極構造。
【請求項３】
前記芯出部材の１つに、前記内側電極に電圧を供給するための給電線又は接地線が接続されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電極構造。
【請求項４】
前記外側電極の内周面に、又はさらに前記ホルダの内部に延びるように設けられた固体誘電体からなる筒部材と、
前記外側電極又は前記ホルダに前記軸線と直交するように設けられ、内端部が前記筒部材の外周面に押し当て可能な第２ネジ部材と、
を更に備えたことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の電極構造。
【請求項５】
前記第２ネジ部材が、前記外側電極又は前記ホルダの周方向に離れて複数配置されていることを特徴とする請求項４に記載の電極構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理ガスを環状の放電空間に通して吹き出し、基板をプラズマ表面処理する装置に関し、特に、上記環状放電空間を形成するための電極構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に記載のプラズマ処理装置は、環状の内側電極とこれを囲む環状の外側電極からなる二重環状の電極構造を有している。内側電極の内側には環状の内側ホルダが設けられ、外側電極の外側には環状の外側ホルダが設けられている。内側ホルダと外側ホルダとは上板を介して連結されている。内側ホルダにはボルトが周方向に離れて複数設けられている。これらボルトが内側電極の内周面に突き当てられている。これらボルトのねじ込み量を調節することにより内側電極を芯出しすることができる。同様に、外側ホルダにも外側電極の芯出し用のボルトが周方向に離れて複数設けられている。
【特許文献１】特開２００４−２７３６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記内側電極を芯出しするためには、それ用のボルトを、内側ホルダの内部空間に差し入れ、この内部空間から内側ホルダの雌ネジ孔にねじ込む必要がある。したがって、内側ホルダの内部空間は、作業者の指やねじ回し工具を挿入して回すことのできる広さを要する。ひいては、内側電極及び外側電極を含む環状電極構造全体が、ある程度以上の径寸法を有していることを要する。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、内側電極とこれを囲む外側電極を有するプラズマ表面処理装置において、内側電極の芯出しを容易に、しかも径寸法に拘わりなく行なうことができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題点を解決するために、本発明は、軸線のまわりに環状をなす放電空間を有し、処理ガスを、前記軸線の方向に沿って前記放電空間に通して、前記放電空間より前記軸線方向の先端側に配置された基板へ向けて吹き出し、前記基板のプラズマ表面処理を行なう装置における、前記放電空間を形成するための電極構造であって、
前記軸線に沿って配置されるべき内側電極と、
前記内側電極の先端部を囲み、前記内側電極との間に前記放電空間を形成する外側電極と、
前記内側電極の基端部を囲み、前記外側電極の基端側に連結された絶縁性のホルダと、
前記ホルダの周方向に互いに離間して配置され、前記軸線方向と直交する径方向に位置調節可能かつ内端部が前記内側電極の外周面に押し当て可能な複数の内側電極用芯出部材と、
を備えたことを特徴とする。
この特徴構成によれば、芯出部材を内側電極にそれぞれ押し当てることにより内側電極をしっかり保持し抜け止めできるだけでなく、複数の芯出部材を互いに位置調節することにより、内側電極を芯出しすることができる。芯出部材は、内側電極の径方向外側に位置される。したがって、芯出し作業を内側電極の径方向外側で行なうことができ、内側電極が小径であっても芯出部材の取り付けスペース及び芯出しの作業スペースを容易に確保することができる。また、芯出しのために内側電極の断面寸法が制約されることがなく、例えば処理対象が比較的小さい場合、それに合わせて電極構造を適宜小さくでき、必要以上に大きな電極を用いる必要がない。よって、製造コストを削減できるだけでなく、処理ガスや電力の消費量を少なくでき、ランニングコストを削減することができる。
【０００５】
前記内側電極用芯出部材は、雄ネジ（第１ネジ部材）であることが好ましい。この場合、前記ホルダには前記芯出部材をねじ込む芯出用雌ネジ孔が前記径方向に貫通形成される。
これによって、内側電極用芯出機構の構成を簡易化でき、製造コストの一層の削減を図ることができる。雄ネジからなる芯出部材のねじ回し操作は、内側電極の径方向外側において行うことができ、芯出し作業を容易に行なうことができる。
【０００６】
前記芯出部材の１つに、前記内側電極に電圧を供給するための給電線が接続されていてもよい。給電線に代えて前記内側電極を電気的に接地するための接地線を接続することにしてもよい。
これによって、内側電極の給電又は接地用の端子を別途設ける必要がなく、構成の簡素化、部品点数の削減等を図ることができる。
【０００７】
前記外側電極における前記放電空間を形成する内周面には、固体誘電体からなる筒部材が設けられているのが好ましい。
この筒部材を外側電極の内周面に設けられるべき固体誘電体層として機能させることができ、安定放電を得ることができる。外側電極の内周面に溶射等で固体誘電体層を別途設ける必要がない。前記筒部材の基端部が前記ホルダの内部に延び、前記筒部材が外側電極とホルダに跨っていてもよい。
前記筒部材が、前記内側電極を離れて囲み、内側電極との間に前記放電空間を画成する。
【０００８】
前記外側電極又は前記ホルダに第２ネジ部材（筒保持部材）を設けることが好ましい。この第２ネジ部材は、前記軸線と直交するように配置され、内端部が前記筒部材の外周面に押し当てられる。これによって、前記筒部材をしっかり保持して抜け止めすることができる。
【０００９】
前記第２ネジ部材が、前記外側電極又は前記ホルダの周方向に離れて複数配置されていてもよい。これら複数の第２ネジ部材（筒芯出部材）のねじ込み量を互いに調節することにより、筒部材を外側から芯出しすることができる。
前記外側電極と筒部材との間に裏面放電等の異常放電が形成されやすい場合、両者間のクリアランス（隙間）をほとんど無くし、互いにぴったり接するようにしてもよい。これにより、上記裏面放電等の異常放電を防止することができる。この場合、前記複数の第２ネジ部材からなる筒芯出機構は不要である。筒芯出機構が不要な場合でも、筒保持部材としての第２ネジ部材を少なくとも１つ設けるのが好ましい。
前記第２ネジ部材に、前記外側電極を電気的に接地するための接地線が接続されていてもよい。接地線に代えて給電線を接続することにしてもよい。
これによって、外側電極の接地又は給電用の端子を別途設ける必要がなく、構成の簡素化、部品点数の削減等を図ることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の芯出部材を互いに位置調節することにより、内側電極を芯出しすることができる。芯出部材が内側電極の径方向外側に位置されるため、芯出し作業を内側電極の径方向外側で行なうことができ、内側電極が小径であっても芯出部材の取り付けスペース及び芯出しの作業スペースを容易に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
本発明は、例えば大気圧（常圧）近傍の圧力下で生成したプラズマにて表面処理を行なうのに適用される。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０4〜５０．６６３×１０4Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０4〜１０．６６４×１０4Ｐａが好ましく、９．３３１×１０4〜１０．３９７×１０4Ｐａがより好ましい。
【００１２】
図１に示すように、常圧プラズマ表面処理装置Ｍは、処理ヘッド１と、この処理ヘッド１の下方に配置されたステージ２とを備えている。ステージ２上に、処理すべき基板Ｗがセットされている。図１において、基板Ｗの厚さは誇張されている。
【００１３】
処理ヘッド１は、ホルダ１０と、外側電極２０と、内側電極３０とを備えている。ホルダ１０は、金属製の外ケース１９にて囲まれている。
図１及び図２に示すように、ホルダ１０は、ユニレート（登録商標）等の絶縁性の高い樹脂で構成され、ブロック状をなしている。ホルダ１０の内部には縦孔１１が形成されている。縦孔１１は、処理ヘッド１の中心軸線Ｌ１に沿って上下に延びている。縦孔１１の径は、上側に向かって段階的に小さくなっている。
ホルダ１０の内周面と下端面との角は、裏面放電防止のために全周にわたって切り欠かれ、環状凹部１２が形成されている。
【００１４】
図１及び図３に示すように、外側電極２０は、ステンレス等の金属にて構成され、ブロック状をなしている。外側電極２０は、ボルト等の連結手段（図示せず）にてホルダ１０の下面に連結、固定されている。外側電極２０には、上下に貫通する中心孔２１が形成されている。中心孔２１の軸心は、処理ヘッド１の軸線Ｌ１と一致している。
図示は省略するが、装置Ｍには外側電極２０を冷却（温調）する冷却機構（温調機構）が設けられている。
【００１５】
図１に示すように、外側電極２０の下端面（先端面）には、ノズルピース５０が設けられている。ノズルピース５０は、セラミック等の絶縁性材料にて構成されている。ノズルピース５０は、下に向かって先細のテーパ形状になっている。ノズルピース５０の下端部（先端部）に吹き出し口５１が形成されている。
【００１６】
外側電極２０の中心孔２１に筒部材４０が嵌め込まれている。筒部材４０は、アルミナ等の固体誘電体で構成され、両端開口の筒状をなし、軸線を上下に向けて真っ直ぐ延びている。筒部材４０は、ホルダ１０と外側電極２０とノズル５０とに跨っている。筒部材４０の上端部は、ホルダ１０の内部１１に差し入れられている。筒部材４０の中間部分は、外側電極２０の内周面に被さり、外側電極２０の内周面に設けられるべき固体誘電体層として機能している。筒部材４０の下端部は、ノズルピース５０の内部に差し入れられている。
【００１７】
図１及び図２に示すように、内側電極３０は、ステンレス等の金属からなる小径の管で構成され、その外径は、外側電極２０の中心孔２１の内径より小径であることは勿論、筒部材４０の内径より小径になっている。内側電極３０は、処理ヘッド１の中心軸線Ｌ１に沿って上下に延びている。内側電極３０の上端部（基端部）は開口され、下端部（先端部）は塞がれている。内側電極３０の下側部分は、筒部材４０に離れて囲まれ、ひいては外側電極２０に囲まれている。内外の電極２０，３０の下端面どうしは、互いに略同じ高さに位置している。これら電極２０，３０の下端部より筒部材４０が下方へ延び出ている。
内外の電極２０，３０により二重環状の電極構造が構成されている。
【００１８】
内側電極３０の外周面と筒部材４０の内周面との間には、環状断面の処理ガス通路６３が形成されている。処理ガス通路６３は上下に延びている。処理ガス通路６３の上端部は、ホルダ１０に形成されたガス導入路６２に連なっている。ガス導入路６２は、ホルダ１０の側面のガス導入ポート６１に接続されている。このガス導入ポート６１にガス供給管６ａを介して処理ガス源６が接続されている。
処理ガス通路６３の下端部は、筒部材４０の下側部分の内部及びノズルピース５０の内部を介して吹き出し口５１に連なっている。
【００１９】
内側電極３０は、外側電極２０より上方へ長く延び出ている。内側電極３０の上側部分は、ホルダ１０の縦孔１１に差し入れられている。詳細な図示は省略するが、内側電極３０の上端部の外周面と縦孔１１との間には若干のクリアランスが形成されている。
内側電極３０の外周に固体誘電体の層を設けることにしてもよい。
【００２０】
プラズマ表面処理装置Ｍには、内側電極３０を冷却（温調）するための冷却機構（温調機構）が設けられている。すなわち、図１に示すように、内側電極３０の内部には、冷却管７２が挿入されている。冷却管７２の上端部は、ホルダ１０の上面の給水コネクタ７１に接続されている。この給水コネクタ７１に給水管７ａを介して冷却水供給部７が連なっている。冷却管７２の下端部は、内側電極３０の底部の近くまで延び、開口されている。内側電極３０の内周面と冷却管７２の外周面との間には、環状断面の冷却路７３が形成されている。ホルダ１０の上側部には、排水路７４が形成されている。この排水路７４が、冷却路７３の上端部に連なるとともに、ホルダ１０の側面の排水ポート７５に接続されている。排水ポート７５から排水管７ｂが延びている。
【００２１】
図１及び図２に示すように、処理ヘッド１には、内側電極３０のための芯出機構８０が設けられている。内側電極芯出機構８０は、ホルダ１０の縦孔１１の周りに９０度間隔で配置された４つ（複数）の芯出部材８１を備えている。これら芯出部材８１のうちの１つは、頭付きボルト（第１ネジ部材）で構成され、残りは、いもネジすなわち頭無しボルト（第１ネジ部材）で構成されている。（以下、頭付きボルトからなる芯出部材８１を他と区別するときは、符号に「Ａ」を付す。）
【００２２】
ホルダ１０には、上記芯出部材８１のための４つ（複数）の雌ネジ孔８２が９０度間隔で形成されている。各ネジ孔８２は、縦孔１１と直交するように延びている。雌ネジ孔８２の外端部は、ホルダ１０の側面に開口し、内端部は縦孔１１に達して開口されている。
【００２３】
各ネジ孔８２に芯出部材８１がそれぞれ位置調節可能にねじ込まれている。各芯出部材８１は、軸線Ｌ１と直交するように配置されている。芯出部材８１の先端部は、ホルダ１０の縦孔１１に臨み、内側電極３０の側面に当接されている。４つの芯出部材８１がそれぞれ内側電極３０に押し当てられることにより、内側電極３０が保持されている。しかも、各芯出部材８１を内側電極３０の半径方向に位置調節することにより、内側電極３０が芯出し可能になっている。
【００２４】
図２に示すように、芯出部材８１Ａの頭部には、給電線３ａが接続されている。この給電線３ａが電源３へ延びている。ひいては、内側電極３０が、芯出部材８１Ａ及び給電線３ａを介して電源３に接続されている。ホルダ１０の側部には、芯出部材８１Ａの頭部と給電線３ａを覆うカバー１３が設けられている。
【００２５】
図１及び図３に示すように、外側電極２０には、筒部材４０のための保持及び芯出機構９０が設けられている。筒保持・芯出機構９０は、４つ（複数）の第２ネジ部材（筒保持部材・筒芯出部材）９１を備えている。これらネジ部材９１は、外側電極２０の周方向に９０度間隔で配置されている。これらネジ部材９１のうちの１つは、頭付きボルトで構成され、残りは、いもネジすなわち頭無しボルトで構成されている。（以下、頭付きボルトからなるネジ部材９１を他と区別するときは、符号に「Ａ」を付す。）
【００２６】
外側電極２０には、上記ネジ部材９１のための４つ（複数）の雌ネジ孔９２が形成されている。ネジ孔９２は、中心孔２１の半径方向に延びている。ネジ孔９２の外端部は、外側電極２０の側面に開口し、内端部は中心孔２１に達して開口されている。
【００２７】
各ネジ孔９２にネジ部材９１が位置調節可能にねじ込まれている。各ネジ部材９１は、軸線Ｌ１と直交するように配置されている。ネジ部材９１の先端部は、外側電極２０の中心孔２１に臨み、筒部材４０の側面に当接されている。４つのネジ部材９１がそれぞれ筒部材４０に押し当てられることにより、筒部材４０が保持されている。しかも、各筒ネジ部材９１を内側電極３０の半径方向に位置調節することにより、筒部材４０が芯出し可能になっている。
ネジ部材９１Ａの頭部に接地線３ｂが接続されている。これにより、外側電極２０が、ネジ部材９１Ａ及び接地線３ｂを介して電気的に接地されている。
【００２８】
上記構成の常圧プラズマ表面処理装置Ｍを用いて基板Ｗを処理する方法を説明する。
処理ガス源６からの処理ガスを、ガス供給管６ａ、ガス導入ポート６１、ガス導入路６２を順次経て、処理ガス通路６３の上端部に導入し、処理ガス通路６３内を下方へ流通させる。併行して、電源３から内側電極３０に電圧を供給する。これによって、内側電極３０と外側電極２０との間に電界が印加され、大気圧グロー放電が生成される。これにより、処理ガス通路６３のうち、内側電極３０と外側電極２０とが径方向に重なり合う部分が環状の放電空間１ａになる。この放電空間１ａに処理ガスが流入しプラズマ化（励起、活性化、ラジカル化、イオン化等を含む）される。このプラズマ化された処理ガスが、ノズルピース５０の吹き出し口５１から噴出され、下方に配置された基板Ｗの表面に吹き付けられる。これにより、基板Ｗの表面をプラズマ処理することができる。
また、冷却水供給部７からの冷却水を、給水管７ａ、給水コネクタ７１、冷却管７２を順次経て、冷却管７２の下端から冷却路７３に導入する。この冷却水が冷却路７３内を上昇しながら内側電極３０を冷却する。その後、冷却水は、冷却路７３の上端部から排水路７４、排水ポート７５を順次経て、排水管７ｂにて排出される。
【００２９】
上記常圧プラズマ表面処理装置Ｍにおいては、内側電極用芯出機構８０の４つ（複数）の芯出部材８１を互いに内側電極３０に押し当てることにより内側電極３０をしっかり保持でき、抜け止めできるだけでなく、これら芯出部材８１のねじ込み量を調節して径方向に位置調節することにより、内側電極３０がちょうど中心軸線Ｌ１上に位置するように芯出しすることができる。これにより、内側電極３０と外側電極２０の中心が一致するようにできる。よって、これら電極２０，３０間の電界分布ひいては放電状態を周方向に均一化することができる。
芯出機構８０の芯出部材８１は内側電極３０の径方向外側に配置されているため、内側電極３０が小径であっても取り付けスペースを容易に確保でき、ねじ回し操作も容易に行なうことができる。
また、芯出しのために内側電極３０の断面寸法が制約されることがない。したがって、処理対象が比較的小さい場合、それに合わせて電極構造を適宜小さくでき、必要以上に大きな電極を用いる必要がない。よって、製造コストを削減できるだけでなく、処理ガスや電力の消費量を少なくでき、ランニングコストを削減することができる。
【００３０】
また、筒保持・芯出機構９０の４つ（複数）のネジ部材９１を互いに筒部材４０に押し当てることにより筒部材４０をしっかり保持することができ、抜けを防止できるだけでなく、各ネジ部材９１のねじ込み量を径方向に位置調節することにより、筒部材４０の芯出しを行なうことができる。
【００３１】
内側電極用芯出機構８０の１つのネジ部材８１Ａが、給電線３ａを内側電極３０に接続するための端子を兼ねているため、専用の端子を別途設ける必要がなく、構成の簡素化、部品点数の削減等を図ることができる。
同様に、筒保持・芯出機構９０の１つのネジ部材９１Ａが、接地線３ｂを筒部材４０に接続するための端子を兼ねているため、専用の端子を別途設ける必要がなく、構成の簡素化、部品点数の削減等を図ることができる。
ホルダ１０の内周面と下端面の角部を切欠して環状凹部１２を形成することにより、この角部の周辺に裏面放電が発生するのを防止でき、ホルダ１０がダメージを受けるのを回避することができる。
【００３２】
本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の改変をなすことができる。
内側電極用芯出機構８０の芯出部材８１を、軸線Ｌ１の方向に互いに離して複数段設けてもよい。これによって、内側電極３０の軸線Ｌ１に対する傾きをも補正することができる。この場合、上下に隣り合う段の芯出部材８１どうしが、ホルダ１０の周方向の同一位置に配置されていてもよく、上記周方向にずれて配置されていてもよい。
【００３３】
同様に、図４に示すように、筒保持・芯出機構９０の第２ネジ部材９１，９３を、上下に複数段設けることにしてもよい。この場合、外側電極１０にだけでなく、ホルダ１０にもネジ部材９３を配置することにしてもよい。同図において符号９４は、ホルダ１０に形成されたネジ孔９４であり、このネジ孔９４にネジ部材９３が螺合される。ネジ部材９３は、頭付きボルトにて構成されているが、頭無しのいもネジにて構成されていてもよい。
筒保持・芯出機構９０の第２ネジ部材として、外側電極２０のネジ部材９１を省略し、ホルダ１０にのみネジ部材９３を設けることにしてもよい。
【００３４】
筒部材４０を芯出しするには、筒部材４０の外周面と外側電極２０の内周面との間にある程度のクリアランス（隙間）が必要であるが、このクリアランスの部分に裏面放電が生じる場合には、筒部材４０の外周面と外側電極２０の内周面とがぴったり接するようにして、両者間のクリアランスを無くすことにしてもよい。これにより、上記裏面放電を防止することができる。その場合、筒部材４０の芯出機構は不要であるが、図５に示すように、少なくとも１つのネジ部材９１を筒部材４０の保持機構９０Ｘとして残置するのが好ましい。このネジ部材９１を筒部材４０の外周面に押し当てることにより、筒部材４０の抜け防止を図ることができる。同図において、筒保持用のネジ部材は、外側電極２０に設けられているが、これに代えてホルダ１０に設けることにしてもよい。
【００３５】
給電線３ａ専用の端子を芯出部材８１Ａとは別途に設けることにしてもよい。
図５に示すように、接地線３ｂ専用の端子１１０をネジ部材９１Ａとは別途に設けることにしてもよい。
本発明は、エッチング、アッシング、成膜、洗浄、表面改質等の種々のプラズマ表面処理に適用可能である。
本発明は、常圧下に限らず、減圧下でのプラズマ表面処理にも適用できる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、例えば半導体基板の製造やフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る常圧プラズマ表面処理装置を示す縦断面図である。
【図２】図１のII−II線に沿う、前記常圧プラズマ表面処理装置の処理ヘッドの平断面図である。
【図３】図１のIII−III線に沿う、前記常圧プラズマ表面処理装置の処理ヘッドの平断面図である。
【図４】筒保持・芯出機構を上下ニ段構造にした変形例を示す縦断面図である。
【図５】筒保持・芯出機構に代えて筒保持機構を設けた変形例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
Ｍ      常圧プラズマ表面処理装置
Ｗ      基板
Ｌ１    軸線
１      処理ヘッド
１ａ    放電空間
３      電源
３ｂ    接地線
３ａ    給電線
６      処理ガス源
１０    ホルダ
２０    外側電極
３０    内側電極
４０    筒部材
５１    吹き出し口
８０    内側電極用芯出機構
８１，８１Ａ    内側電極用芯出部材（第１ネジ部材）
８２    ネジ孔
９０    筒保持・芯出機構
９０Ｘ  筒保持機構
９１，９１Ａ，９３    第２ネジ部材（筒保持・芯出部材又は筒保持部材）
９２，９４    ネジ孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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