(57)【要約】【課題】  ウェーハの前垂れ状態を検知し、簡単な機構を用いて前垂れ状態を適正な状態に修正し、安定したウェーハの搬送が可能であるロードポート装置を提供する。【解決手段】  ウェーハを収納するためのキャリアを載置するテーブルを備えたロードポート装置において、可動子を前記テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作させるための機構を設ける。キャリア内のウェーハが前垂れ状態の場合、可動子を作動させてキャリアに振動を加え、ウェーハの前垂れ状態をロボットハンドに対して平行な状態に修正する。【選択図】図４
2008311419.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェーハを収納するキャリアを載置するキャリア載置テーブルを備えたロードポート装置において、
可動子を前記テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作させるための機構を備えることを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
請求項１のロードポート装置において、
前記キャリア載置面に設けられたキャリア位置決めピンと、
前記キャリア位置決めピンと嵌め合うために前記キャリアの底面に設けられたキャリア位置決め穴と、
前記キャリア載置面上で前記キャリアをクランプするためのクランプ機構と、
前記キャリア内のウェーハを取り出すに際してキャリア内のウェーハの収納状態をマッピングするマッピング装置と、
マッピングの結果、キャリア内に適正な状態で収納されていないウェーハを検出した場合に前記キャリアに対する前記クランプを解除して、前記可動子を前記テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作させる制御機構と、を備え、
前記可動子の前記キャリア載置面からの突き出し量は、前記キャリア位置決めピンと前記キャリア位置決め穴の嵌め合いが外れない範囲内で前記キャリアを上方に押し出し可能な移動量に設定してあることを特徴とするロードポート装置。
【請求項３】
請求項１のロードポート装置において、
前記可動子を作動させる機構は、エアーの供給制御により前記可動子を作動させる空気圧式アクチュエータにより構成されていることを特徴とするロードポート装置。
【請求項４】
請求項３のロードポート装置において、
ウェーハの搬送中は、前記可動子を突き出し引っ込み動作させるための前記空気圧式アクチュエータのエアー供給路が遮断されるように設定されていることを特徴とするロードポート装置。
【請求項５】
半導体の製造プロセスにおいて、
複数のウェーハを収納するキャリアの少なくとも一部を、該キャリアを載置するキャリア載置テーブルの載置面から突き出し引っ込み動作をするように設けた可動子で、前記キャリア載置面から浮かせた後に前記キャリア載置面にウェーハ位置の修正が可能な衝撃を伴って戻すことを特徴とするウェーハ状態修正方法。
【請求項６】
請求項５のウェーハ状態修正方法において、
前記可動子を作動させる機構は、エアーの供給制御により前記可動子を作動させる空気圧式アクチュエータにより構成されていることを特徴とするウェーハ状態修正方法。
【請求項７】
請求項６のウェーハ状態修正方法において、
ウェーハの搬送中は、前記可動子を突き出し引っ込み動作させるための前記空気圧式アクチュエータのエアー供給路が遮断されるように設定されていることを特徴とするウェーハ状態修正方法。
【請求項８】
複数のウェーハを収納するキャリアを、ロードポート装置のキャリア載置テーブルに載置する工程と、
前記キャリア内のウェーハの位置や状態をマッピングユニットでマッピングする工程と、
マッピングの結果、キャリア内に適正な状態で収納されていないウェーハを検出した場合、前記キャリア載置テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作をするように設けた可動子で、前記キャリアの少なくとも一部を押し上げた後に前記キャリア載置面にウェーハ位置の修正が可能な衝撃を伴って戻す工程と、
再びマッピングユニットでウェーハの位置や状態をマッピングする工程と、
マッピングの結果、キャリア内に未だ位置修正されないウェーハが検出された場合に、再び前記可動子の動作により前記キャリアの少なくとも一部を押し上げた後に前記キャリア載置面にウェーハ位置の修正が可能な衝撃を伴って戻す工程と、
を有することを特徴とするウェーハ状態修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置において、キャリアからウェーハを取り出すためのロードポート装置及びキャリア内のウェーハの状態を修正する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置は、局所的にクリーン度を高めたミニエンバイロメント装置と、製造装置又は検査装置等を収容するウェーハ処理装置からなる。ミニエンバイロメント装置は、ロードポート装置と、ウェーハをウェーハ処理装置に搬送するためのロボットを備えている。ロードポート装置は、キャリア載置テーブルを備えており、複数枚のウェーハを収納可能なキャリアを載置する。前記キャリアには、ウェーハをその内部に一定の間隔で収納するため、例えば25段のスロットが内壁に設けられている。また、前記キャリアには、ロボットがキャリアからウェーハを取り出してウェーハ処理装置に搬送するため、開口部が設けられている。キャリア内のウェーハは、ウェーハを搬送するロボットのハンドに対して平行な状態で収納されており、ロボットは、ウェーハとウェーハの隙間にハンドを挿入して搬送動作を行う。
【０００３】
キャリアからウェーハを取り出すためには、搬送対象のウェーハと搬送作業を行うロボットのハンドの高さを揃える必要があり、その方法として、例えばロボットのハンドを上下方向に移動させる方法がある。双方の高さを揃えたら、ロボットのハンドをキャリアのスロット間に伸ばし、搬送対象のウェーハを取り出してウェーハ処理装置へ搬送する。
【０００４】
ところで、キャリアは、経年劣化等により変形したり傷や歪み等ができたりしてしまう場合がある。このようなキャリアでは、ウェーハの搬送を繰り返し行っていると、ウェーハがロボットのハンドに対して傾いた状態でキャリアに収納される可能性がある。特に、キャリアの開口部に対向するキャリア奥側の内壁に傷や歪み等があると、ウェーハは、前記の傷や歪み部分に引っ掛かり、引っ掛かった部分がスロットの正規のウェーハ支持部から浮き上がった状態で収納され、ロボットのハンドに対して平行にならない場合がある。このような状態は、キャリアの奥側の内壁から開口部に向けて、ウェーハが垂れ下がって収納されているような状態であるので、「前垂れ状態」と称する。このようなウェーハの前垂れが生じている場合に、キャリア内にロボットのハンドを挿入してウェーハを搬送しようとすると、本来は存在しないはずの位置にウェーハが存在しているので、ロボットのハンドがウェーハに接触して破損させてしまうこともある。
【０００５】
そこで、ミニエンバイロメント装置やロードポート装置に備えられている光学センサ等でウェーハの位置や収納状態を調べ、ロボットのハンドがウェーハを破損させてしまう可能性がある場合には、ロボットハンドの伸縮を停止させて搬送動作を中止、又はロボットハンドを伸ばす高さを補正して搬送動作をする公知例や（特許文献１参照）、ウェーハを収納するキャリアを任意の角度に傾けてロボットハンドを衝突させないようにする公知例がある（特許文献２参照）。また、特許文献３には、ウェーハローディング装置において、ローディングカセットに複数枚のウェーハを収納した後に、ローディングカセットを載置する揺動基台（載置テーブル）をローディングカセットと共に、ウェーハ挿入口側が持ち上がるように傾ける技術が開示されている。この技術は、ローディングカセットを傾けることで、カセットの各棚に収納されたウェーハ端をカセット奥面に当接させてウェーハの並びを一致させているが、上記「前垂れ状態」を解消する技術は開示されていない。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１６８７１５
【特許文献２】特開２００２−３０５２２４
【特許文献３】特開平１１−２０４６１５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述したように、ウェーハがロボットのハンドに対して平行でない状態で収納されている場合、特に前垂れ状態の場合には、キャリア内にロボットのハンドを挿入してウェーハを搬送しようとすると、ロボットのハンドがウェーハに接触して破損させてしまうこともある。このようなウェーハの破損を防ぐために、特許文献１や２をはじめ従来の技術においては、ロボットハンドの動作を停止させて搬送を中止する、ロボットハンドを伸ばす高さを補正して搬送動作をする、又は、ウェーハを収納するキャリアを任意の角度に傾けてロボットハンドを衝突させないようにする、といった手段を提供している。
【０００８】
しかしながら、キャリアを任意の角度に傾けるための機構は複雑であり、メンテナンスが煩雑になったりコストが上昇したりするという課題がある。また、スループットの低下を防ぐためにも、ウェーハ搬送を可能な限り中止することなく行えることが望ましい。
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するために、ウェーハが前垂れ状態であることを検知しても搬送動作を中止するのではなく、なるべく簡単な機構を用いて、前垂れ状態であるウェーハをロボットハンドに対して平行な状態に修正することで、ウェーハの安定した搬送が可能なロードポート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、ウェーハを収納するためのキャリアを載置するテーブルを備えたロードポート装置において、可動子を前記テーブルのキャリア載置面から突き出し引っ込み動作させるための機構を設けるものである。
【００１１】
上記構成によれば、可動子の突き出し引っ込み動作により、キャリアの少なくとも一部は、キャリア載置面から浮かされた後に可動子による支えが外されるので、キャリア載置面に衝撃を伴って戻される。この衝撃は、前記キャリアの押し上げ（浮かせ）を適度に設定することで、キャリアひいてはウェーハに過度の衝撃を与えることなく上記前垂れの原因となるウェーハの引っ掛かりを外す程度の衝撃力に設定可能である。この衝撃力の程度は、キャリアの形状、大きさ、重量により様々であるので、一様に特定できるものではなく、実機テストの試行により定められる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のロードポート装置では、ウェーハが前垂れ状態であることを検知しても搬送動作を中止するのではなく、なるべく簡単な機構を用いて、前垂れ状態であるウェーハをロボットハンドに対して平行な状態に修正することができ、ウェーハの安定した搬送が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を用いて、本発明の第１の実施例を説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係わるウェーハ前垂れ修正機構を有するロードポート装置１００を備えたウェーハ搬送システムの全体図である。このシステムは、前記ロードポート装置１００の他に、局所的にクリーン度を高めたミニエンバイロメント装置１０１と、製造装置又は検査装置等を収容するウェーハ処理装置１０２と、キャリア内のウェーハの位置や状態を調べるマッピングユニット１０３と、ウェーハを搬送するためのロボット１０４とを有する。
【００１５】
ミニエンバイロメント装置１０１は、ウェーハ処理装置１０２のウェーハ搬入出口のある面に沿って設置され、ウェーハ処理装置１０２と対面する側にロードポート装置１００を備える。
【００１６】
ロードポート装置１００は、ステージ４００とキャリア載置テーブル２０２とを備え、複数枚のウェーハが収納可能であるキャリア１０５を載置することができる。また、ロードポート装置１００には、ウェーハを搬送するために開口部１００ａが設けられており、開口部１００ａは図示していないドアにより開閉可能である。
【００１７】
キャリア１０５には、ウェーハをその内部に一定の間隔で保持するためのスロットが設けられている。また、キャリア１０５には、ウェーハを搬送するために開口部が設けられており、その開口部は図示していない開閉蓋により開閉可能である。ロードポート装置のドア及びキャリアの開閉蓋を開くと、キャリア１０５内のウェーハは、搬送ロボット１０４のハンド１０６により、ウェーハ処理室１０２へ搬入することができる。
【００１８】
図２は、キャリア載置テーブル２０２上の複数枚のウェーハ２０３を収納したキャリア１０５と、マッピングユニット１０３と、マッピングユニット１０３のセンサアーム２００及び２０１との位置関係を平面的に示した図である。キャリア１０５は、その外形の輪郭のみを実線で表した。マッピングとは、搬送ロボット１０４のハンド１０６でウェーハ２０３を搬送するに先立って、マッピングユニット１０３により、キャリア１０５に収納されたウェーハの位置や収納状態を調べることである。
【００１９】
マッピングユニット１０３は、図示されない駆動機構によりロードポート装置１００の上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能であり、マッピング用のセンサ１０３ａを有する。マッピング用のセンサ１０３ａは、発光素子２００を有するアーム（以下、「発光側センサアーム２００」又は「センサアーム２００」と称することもある）と、受光素子２０１を有するアーム（以下、「受光側センサアーム２０１」又は「センサアーム２０１」と称することもある）とを有する。このセンサ１０３ａは、図示されない駆動機構によりＸ軸方向に移動可能にマッピングユニット１０３に装着されている。
【００２０】
図２のセンサ１０３ａは、マッピングユニット１０３が最上位置（図１の一点鎖線Ｚ１に示す位置）にあるときにキャリア内に前進移動して、センサアーム２００及び２０１がウェーハ２０３の前垂れ状態を検出できる位置にセットされている状態を示している。このセンサアーム２００及び２０１をマッピング開始位置（キャリア１０５内に設けられている最上段スロットよりも上の所定の位置）にセットして、発光側センサアーム２００を発光させながら、センサアーム２００及び２０１を最下段のスロット位置より下の所定の位置まで下降移動させる。このセンサアームの下降動作に伴って、発光側センサアーム２００から放射された光（図２では点線で表している）は、各ウェーハが存在する位置では、各ウェーハの一部により遮光される。このため、受光側センサアーム２０１で検知する光量が変化し、この光量の変化から各ウェーハの位置や収納状態を調べることができる。上記マッピングの具体的な工程については、後述する。
【００２１】
マッピングユニット１０３により、キャリア１０５内に複数枚収納されているウェーハ２０３をマッピングし、マッピングデータを図４に示す制御コントローラ４０７に記憶させる。また、予め、マッピング開始位置とウェーハの基準厚み及びウェーハの基準間隔の各データを、図４に示すロードポート装置１００内の制御コントローラ４０７に記憶させておく。
【００２２】
上記マッピングデータと、予め制御コントローラ４０７に記憶させておいたマッピング開始位置とウェーハ基準厚み及びウェーハ基準間隔データとから、キャリア１０５内のウェーハの位置情報と収納状態を算出することができる。一般的に、マッピングユニット１０３の受光側の光量が変化した位置と時間を演算し、前記マッピング開始位置とウェーハ基準厚み及びウェーハ基準間隔データとの比較を行い、キャリア１０５内のどの位置にどのような状態でウェーハ２０３が置かれているのかを算出する。
【００２３】
図３は、キャリア１０５の断面図であり、キャリア１０５内の一部のウェーハが前垂れとなっている状態を示している。各ウェーハ２０３は、キャリア１０５内部の両側壁に設けた各スロット（ウェーハ支持部）１０８に支持されて、キャリア１０５に収納される。ウェーハ２０３ａが前垂れ状態となっているウェーハである。ウェーハ２０３ａは、その一部がキャリア１０５の開口部に対向する内壁（奥側内壁）に生じた傷１０７に引っ掛かっているため、その部分がスロットのウェーハ支持部１０８から浮き上がっており、ロボットハンドに対して平行ではない状態で収納されている。この状態のままロボットハンド１０６をキャリア１０５内に挿入させると、ウェーハ２０３ａを破損させるおそれがある。
【００２４】
図４は、本実施形態であるロードポート装置１００の側面断面図である。ロードポート装置１００は、ステージ４００と、キャリア１０５を載置するためのキャリア載置テーブル２０２とを備える。また、図５は、前記キャリア載置テーブル２０２の上面図である。一点鎖線で示したのは、キャリア１０５が載置されたときの、キャリア１０５の輪郭である。キャリア載置テーブル２０２は、キャリア１０５を載置する位置を定めるための位置決めピン４１０と、キャリア１０５を固定するためのクランプピン４０２と、キャリア１０５内のウェーハ２０３をロボットハンド１０６に対して平行な状態に修正するための可動子４０３、４０３ａとを備える。なお、図４及び図５に示した可動子４０３、４０３ａと位置決めピン４１０の数はそれぞれ３個で、それらはそれぞれ３点配置されているが、この態様は一例であり、本例の数と位置に限られるものではない。
【００２５】
位置決めピン４１０は、キャリア載置テーブル２０２の載置面から突出しており、キャリア１０５の載置時にキャリア１０５の底部に設けられた凹部（位置決め穴）４１１に入り込むことで、キャリアの載置位置を決定する。
【００２６】
クランプピン４０２は、アクチュエータ４１２によりクランプ動作、クランプ解除動作を行う。クランプピン４０２とそのアクチュエータ４１２は、キャリア載置テーブル２０２に装着されている。クランプ動作時には、クランプピン４０２がキャリア載置テーブル２０２の載置面から突出し、キャリア１０５の底部に設けられた被クランプ部に係止して、キャリア１０５を固定する。このようにしてキャリア１０５を固定することを、クランプと呼ぶ。クランプピン４０２を図４の実線位置から後ろに傾倒させることで、クランプが解除される。
【００２７】
可動子４０３は、その先端がＺ軸方向のプラス側（上側）を向くようにキャリア載置テーブル２０２に設置され、可動子用アクチュエータ４０６の動力により、Ｚ方向へ移動させることが可能である。可動子４０３を、Ｚ軸方向のプラス側に移動させていくと、その先端がキャリア載置テーブル２０２のキャリア載置面から突出する状態になる。この突出状態から可動子４０３をＺ軸方向のマイナス側（下側）に移動させていくと、その先端が上記載置面より下に位置して引っ込んだ状態になる。可動子用アクチュエータ４０６は、動力として例えばエアーを供給することにより、可動子４０３をＺ方向に移動させる。可動子４０３の拡大図を図６に示す。本例では、キャリア載置テーブル２０２に可動子４０３とエアー供給路の出口側ポート４０８が設けられている。
【００２８】
ステージ４００は、レール４０４を備えており、レール４０４には、ガイド４０５が設けられている。ガイド４０５は、例えば図７に示すように、キャリア載置テーブル２０２とボルト７００で固定されており、テーブル用アクチュエータ４０１の動力で、キャリア載置テーブル２０２をＸ軸方向へ移動させることができる。テーブル用アクチュエータ４０１の動力は、例えばスクリュー機構で、ガイド４０５ひいてはキャリア載置テーブル２０２をＸ軸方向へ移動させる。
【００２９】
テーブル用アクチュエータ４０１及び可動子用アクチュエータ４０６は、制御コントローラ４０７で制御されている。搬送ロボットのハンド１０６によりキャリア１０５内のウェーハ２０３を取り出す場合（ウェーハ搬送工程）には、キャリア載置テーブル２０２を、図４の矢印Ａに示すように、ロードポート装置の開口部１００ａに接近するように移動制御させる。このようにテーブル用アクチュエータ４０１でキャリア載置テーブル２０２をＸ軸方向のプラス側（矢印Ａ方向）に移動させた場合、エアー供給路の出口側ポート４０８とステージ側ポート４０９とが一致しない構造になっている。したがって、ウェーハ搬送中は、上記エアー供給用のポート４０８と４０９とが一致していないため、エアーの供給路は遮断されている。このため、ウェーハ搬送中にエアーが漏れ出したとしても、可動子４０３はＺ軸方向に誤って移動しない。
【００３０】
本実施例の処理手順を、図８のフロー図に従い説明する。
【００３１】
ウェーハ処理室１０２にウェーハ２０３を搬送するため、ウェーハ２０３が複数枚収納されたキャリア１０５は、図示されていない人や自走台車等から、ロードポート装置１００に備えられたキャリア載置テーブル２０２へ搭載される。キャリア載置テーブル２０２上のキャリア１０５の位置は、位置決めピン４１０により決められる。そして、ウェーハ処理室から発行される搬入開始命令によって、ウェーハ搬送動作が開始される。
【００３２】
この一連の動作を以下に詳述する。
【００３３】
始めに、キャリア載置テーブル２０２へ位置決めされて載置されたキャリア１０５を、クランプピン４０２を作動させてクランプする（ステップ８００）。
【００３４】
クランプ状態を確認後、テーブル用アクチュエータ４０１の動力で、キャリア１０５を載置したテーブル２０２を、Ｘ軸方向のプラス側へ移動させる。キャリア１０５がロードポート装置の開口部近くまで移動したら、図示していないドア開閉機構によりキャリア１０５の開閉蓋（図示せず）を開き、キャリア１０５を開口する（ステップ８０１）。
【００３５】
そしてマッピング動作を実行し、キャリア１０５内のどの位置にどのような状態でウェーハが収納されているかを算出する（ステップ８０２）。
【００３６】
ここで、上記キャリアの蓋開閉機構について簡単に説明する。キャリアの開閉蓋は、上記ロードポート装置開口部のドア（図示せず）に設けた吸着機構により、吸着され保持される。ロードポート装置の開口部のドアは、キャリアの開閉蓋を保持したまま、図示しない開口部のドア移動機構により、ミニエンバイロメント装置１０１の内部に移動し、次いで下降する。この一連の動作により、キャリア１０５及びロードポート装置１００は開口し、ウェーハを搬送できるようになる。
【００３７】
前記マッピング動作は、このキャリアの蓋開閉動作と並行して実行される。ここで、マッピング動作について簡単に説明する。
【００３８】
上記ロードポート装置開口部のドアが、上記キャリアの開閉蓋を保持したまま、上記ミニエンバイロメント装置１０１の内部に移動すると、図示しないマッピングユニット作動機構により、マッピングユニット１０３のセンサ１０３ａ（センサアーム２００及び２０１）が、ミニエンバイロメント装置１０１の内部からキャリア１０５内部に進入し、マッピング開始位置まで移動する。マッピング開始位置は、既述したようにキャリア１０５の内部に設けられている最上段のスロットよりも上である。
【００３９】
そして、前述したように、上記ロードポート装置開口部のドアが、上記キャリアの開閉蓋を保持したまま、ミニエンバイロメント装置１０１の内部で下降すると、この下降動作に合わせて、マッピングユニット１０３が、発光側センサアーム２００を発光させながら、最下段のスロット位置より下の所定の位置まで下降する。マッピングユニット１０３が下降している間、発光側センサアーム２００から放射された光は、各ウェーハの存在する位置では遮光されて透過しない。この光量の変化を受光側センサアーム２０１で検知し、光量が変化した位置と時間を演算して、予め制御コントローラ４０７に記憶させておいたウェーハ基準厚み及びウェーハ基準間隔データと比較することにより、各ウェーハの位置や収納状態を調べることができる。所定の位置まで下降したマッピングユニット１０３のセンサ１０３ａ（センサアーム２００及び２０１）は、ウェーハの状態修正工程やウェーハの搬送作業の妨げとならないように、図示しないマッピングユニット作動機構により、上記キャリア内から再び上記ミニエンバイロメント装置１０１の内部に移動（後退動作）する。このようにしてキャリア１０５内に複数枚収納されているウェーハ２０３をマッピングし、マッピングデータを図４に示す制御コントローラ４０７に記憶させる。
【００４０】
ここで、図８のフロー図に戻り説明を続ける。制御コントローラ４０７は、上記マッピング工程で得られた情報からキャリア１０５内のウェーハ状態を算出して、前垂れ状態が無いかどうかを判断する（ステップ８０３）。
【００４１】
キャリア１０５内に前垂れ状態のウェーハが存在せず、ウェーハの収納状態が正常の場合、ウェーハ搬入準備処理は終了する。
【００４２】
キャリア１０５内に前垂れ状態のウェーハが存在した場合は、修正リトライ回数が所定回数未満であるかどうかを判定する（ステップ８０４）。この修正リトライ回数とは、以下に説明するウェーハ前垂れ修正処理を実行した回数のことである。
【００４３】
修正リトライ回数が、予め制御コントローラ４０７に記憶させておいた所定の回数未満の場合、キャリア１０５の開閉蓋を開けたまま、テーブル用アクチュエータ４０１の動力で、キャリア載置テーブル２０２をＸ軸方向のマイナス側へ移動させ、エアー供給路の出口側ポート４０８とステージ側ポート４０９とを一致させる。これにより、可動子４０３の移動が待機状態になる。次いで、キャリア１０５とクランプピン４０２のクランプを解除する（ステップ８０５）。
【００４４】
次に、可動子用アクチュエータ（空気圧式アクチュエータ）４０６でエアーを供給し、エアーの圧力で可動子４０３をＺ軸方向のプラス側に移動させていき、キャリア載置テーブル２０２の載置面から突出させる（ステップ８０６）。このとき、キャリア１０５とクランプピン４０２はクランプされていないため、キャリア１０５は、可動子４０３により押し上げられ、その底部がキャリア載置テーブル２０２の載置面から離れる。可動子４０３がキャリア載置テーブル２０２の載置面から突出する高さは、位置決めピン４１０の高さより低くする。このため、キャリア１０５がキャリア載置テーブル２０２の載置面上で押し上げられても、位置決めピン４１０は、キャリア１０５の底部に設けられた凹部４１１に嵌め合った状態を維持している。したがって、キャリア１０５は、可動子４０３で押し上げられても位置ずれすることはない。
【００４５】
この状態のままエアー供給を停止し、続いてエアーを抜いて可動子４０３に作用するエアーの圧力を下げ、可動子４０３をＺ軸方向のマイナス側に移動させ、その先端が上記載置面より下に位置し引っ込んだ状態にする（ステップ８０７）。可動子４０３をＺ軸方向のマイナス側に移動させるスピードは、可動子４０３をＺ軸方向のプラス側に移動させるスピードより速い。押し上げられていたキャリア１０５は、可動子４０３の支えがなくなるために、キャリア載置テーブル２０２に衝撃を伴って戻る。このとき、キャリア１０５の押し上げ量は、位置決めピン４１０の高さを超えない程度なので、キャリア１０５に過度の衝撃が加わらない。このような適度な衝撃をキャリア１０５に加えることにより、キャリア内部の前垂れ状態となっていたウェーハは、上記衝撃により生じる振動のために前垂れ原因の引っ掛かりが外れて前垂れ状態が解消され、ロボットハンド１０６に対して平行な状態に修正される。
【００４６】
キャリア１０５は、少なくともその一部を前記載置面から浮かせ、衝撃を伴うように前記載置面に戻せばよい。つまり、上記可動子を複数有する装置の場合、全ての可動子を作動させてもよいし、一部の可動子だけを作動させてもよい。図４及び図５は、可動子４０３を３個有する装置の例であるが、３個の可動子全てを移動させてもよいし、３個のうち１個又は２個だけを移動させてもよい。
【００４７】
一部の可動子だけを移動させる場合は、キャリアの一部に振動を加えることになるが、前垂れ状態の修正のためには、ウェーハがキャリアの内壁の傷や歪み部分に引っ掛かっている部分に近い位置に振動を加えるほうが有効である。すなわち、キャリアの開口部に対向する内壁に近い位置の可動子、図４及び図５の例では４０３ａの可動子を移動させると、効果的に前垂れ状態を修正できる。
【００４８】
ここで、キャリア１０５の開閉蓋をしめた状態でステップ８０６、８０７を実行しても、ウェーハ２０３は、キャリア１０５内で動く余裕が無いため、ロボットハンド１０６に対して平行な状態にはならない。
【００４９】
また、ステップ８０６、８０７は、位置決めピン４１０がキャリア１０５の底部に設けられた凹部に嵌め合った状態を維持したまま実行される。このため、キャリア１０５は、ステップ８０６、８０７が実行されている間も位置が固定されているので、キャリア載置テーブル２０２の載置面に戻ったときの衝撃で位置がずれることはない。
【００５０】
ステップ８０６及びステップ８０７における可動子４０３のＺ軸方向への移動は、予め制御コントローラ４０７に記憶させておいた所定回数だけ行う（ステップ８０８）。
【００５１】
所定回数だけ、可動子４０３の移動を行うと、修正リトライ回数のカウントを１つだけ増やし、再びキャリア１０５とクランプピン４０２をクランプさせる（ステップ８００）。そして、キャリアの蓋開閉動作（ステップ８０１）、マッピング動作（ステップ８０２）を行い、キャリア１０５内のウェーハ２０３の収納状態を判別する。その結果、前垂れ状態であったウェーハがロボットハンド１０６に対して平行な状態になった場合は、ロボットハンド１０６を挿入してもウェーハを破損することがないので、ウェーハ搬入準備処理を終了する。しかし、前垂れ状態が修正されていない場合は、再び前記前垂れ修正処理を行う。
【００５２】
前記前垂れ修正処理を繰り返し行い、所定の修正リトライ回数以内でウェーハの前垂れ状態が修正された場合は、ロボットハンド１０６を挿入してもウェーハを破損することがないので、ウェーハ搬入準備処理を終了する。しかし、所定の修正リトライ回数以内でウェーハの前垂れ状態が修正されなかった場合は、図示していないミニエンバイロメント装置の制御コントローラにエラー信号を送信し、本前垂れ修正処理を終了する。
【００５３】
上述した第１の実施例では、初めにキャリア１０５内のウェーハ２０３の状態をマッピングして、前垂れ状態のウェーハが存在した場合に、可動子４０３をＺ軸方向に移動させてウェーハの前垂れ状態を修正する手順を説明した。本発明の第２の実施例は、キャリア１０５がキャリア載置テーブル２０２に載置された時に、先に可動子４０３をＺ軸方向に移動させてウェーハの前垂れ状態を予め修正してから、マッピング動作を実行するものである。その手順を図９に示す。本実施例は、前垂れ状態が比較的多く発生するキャリアに対して有効である。
【００５４】
以上、本発明の第１の実施例及び第２の実施例では、可動子４０３の設置場所は、キャリア載置テーブル２０２内部であるが、この場所に限定されるものではない。例えば、可動子４０３は、ステージ４００内部に設置することもできる。この場合、可動子４０３は、エアーの供給制御により、ステージ４００内部から、キャリア載置テーブル２０２に設けたスルーホール（可動子ガイド穴）を通して、キャリア載置テーブル２０２の載置面上に突出させるようにすればよい。エアーを抜けば、可動子４０３は、上記スルーホールを通してステージ４００内部まで引っ込むことになる。
【００５５】
以上説明したように、本発明によれば、キャリア内のウェーハが前垂れ状態となっていても、ロボットハンドに対して平行な状態に修正することが可能である。したがって、前垂れ状態のウェーハがキャリア内に存在している場合でも、中止することなく安定してウェーハの搬送処理を実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】ウェーハ搬送システムの構成例。
【図２】キャリアとマッピングユニットの位置関係を示した、キャリア載置テーブルの上面図。
【図３】前垂れ状態のウェーハを示したキャリアの断面図。
【図４】可動子とキャリア載置テーブルの移動機構を示した、ロードポート装置の側面断面図。
【図５】可動子と位置決めピンとクランプピンを示した、キャリア載置テーブルの上面図。
【図６】可動子の動作機構を示した拡大図。
【図７】キャリア載置テーブルとガイドの結合部を示した拡大図。
【図８】実施の形態１による前垂れ修正処理のシーケンス図。
【図９】実施の形態２による前垂れ修正処理のシーケンス図。
【符号の説明】
【００５７】
１００…ロードポート装置、１００ａ…ロードポート装置の開口部、１０１…ミニエンバイロメント装置、１０２…ウェーハ処理装置、１０３…マッピングユニット、１０３ａ…マッピング用のセンサ、１０４…搬送ロボット、１０５…キャリア、１０６…搬送ロボットのハンド、１０７…キャリアの内壁に生じた傷、１０８…キャリアのスロットのウェーハ支持部、２００…（発光側）センサアーム、２０１…（受光側）センサアーム、２０２…キャリア載置テーブル、２０３…ウェーハ、２０３ａ…前垂れ状態となっているウェーハ、４００…ステージ、４０１…テーブル用アクチュエータ、４０２…クランプピン、４０３…可動子、４０３ａ…キャリアの開口部に対向する内壁に近い位置の可動子、４０４…レール、４０５…ガイド、４０６…可動子用アクチュエータ、４０７…制御コントローラ、４０８…エアー供給路の出口側ポート、４０９…エアー供給路のステージ側ポート、４１０…位置決めピン、４１１…キャリア１０５の底部に設けられた凹部（位置決め穴）、４１２…クランプピン用アクチュエータ、７００…ボルト。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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