(57)【要約】【課題】判定方法や表示方法などが変更された場合であっても、大きくプログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置で検査する場合であっても大きくプログラムを作り直す必要のないシステムを提供する。【解決手段】プリント基板３の形成状態を検査する外観検査システム１において、まず、基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、コア処理手段２１は、この基準画像データの読み出しを行う。そして、プリント基板３の形成状態を判定する複数の判定手段２２から基準画像データの読み出し要求があると、判定手段２２ａ、２２ｂは、独自の判定プログラムに基づいて対応基準データを生成し、その対応基準データと被検査画像を用いて形成状態の良否の判定を行う。そして、その判定結果を、コア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の形成状態を第一判定プログラムによって判定する第一判定手段と、当該第一判定プログラムとは異なる第二判定プログラムを用いて判定する第二判定手段とを備えてなる外観検査システムにおいて、
検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、
当該取得された被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、
当該基準画像データを読み出して前記第一判定手段および第二判定手段に出力するコア処理手段とを備えてなり、
前記第一判定手段で、基準画像データをもとに第一判定プログラムで使用される第一基準データを生成するとともに、当該生成された第一基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定処理を行い、
前記第二判定手段で、基準画像データをもとに第二判定プログラムで使用される第二基準データを生成するとともに、当該生成された第二基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定処理を行うようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項２】
検査対象物の形成状態を判定する複数の判定プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該判定プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を判定するようにした外観検査システムにおいて、
検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、
当該取得された被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、
当該基準画像データを読み出して判定手段に出力するコア処理手段とを備えてなり、
当該判定手段で、基準画像データをもとに前記判定プログラムで使用される対応基準データを生成するとともに、当該生成された対応基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定処理を行うようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項３】
前記コア処理手段が、判定手段から受け取った画像取得要求を他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段が、当該第二コア処理手段に対応する記憶手段から基準画像データを読み出して前記コア処理手段に出力するものである請求項１または２に記載の外観検査システム。
【請求項４】
検査対象物の形成状態を目視検査する複数の表示プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該表示プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を目視検査できるようにした請求項１から３いずれか１項に記載の外観検査システムにおいて、
前記判定手段による判定結果をコア処理手段に出力して記憶させる判定結果記憶手段と、
表示手段からの判定結果読み出し要求に基づいて、判定結果を表示手段に出力するコア処理手段とを備えてなり、
当該表示手段で、前記読み出された判定結果に基づく目視判定結果の入力を受け付け、当該目視判定結果をコア処理手段に出力するようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項５】
前記コア処理手段が、表示手段から受け取った判定結果の読み出し要求を他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段が、当該第二コア処理手段に対応する記憶手段から判定結果を読み出して前記コア処理手段に出力するものである請求項４に記載の外観検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の形成状態を検査する外観検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、物品の形成状態を検査する場合、まず、画像取得手段によって検査対象物の画像を取得し、その画像を検査データとしてメモリに格納するとともに、あらかじめ検査に必要となる基準データを記憶手段に格納しておき、検査対象物から取得された検査データとこの記憶手段に格納された基準データとを比較する。そして、その比較判定による結果、不良箇所が存在する場合はその不良位置やその不良位置における画像をディスプレイに表示する。
【０００３】
この外観検査システムについて、プリント基板を検査する場合を説明すると、まず、プリント基板の形成状態を検査する場合、画像取得手段を用いてプリント基板の表面に形成された配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの画像を取得し、その取得した画像をメモリに格納する。また、あらかじめ検査のために必要となる基準データも記憶手段に格納しておく。ここで、基準データとしては、良品のプリント基板の画像や、その画像をもとに判定処理する際に用いられる閾値などのデータである。
【０００４】
そして、取得された配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの画像からその形成状態を検査する場合、例えば、取得された画像からヒストグラムを生成するとともに、これに対応して、あらかじめ記憶手段に良品のプリント基板から生成されたヒストグラムに関する基準データを格納しておく。そして、検査対象物のヒストグラムとあらかじめ記憶手段に格納されているヒストグラムとを比較し、図３に示すように、第一の輝度値Ｐ１よりも低い輝度を有する画素の数が基準数（図における斜線部）以上存在している場合や、第二の輝度値Ｐ２よりも高い輝度を有する画素の数が基準数（図における斜線部）以上存在している場合は、不良であると判定する。そして、配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの各検査領域についてそれぞれ独自の判定アルゴリズムに基づいて判定を行い、不良と判定されたプリント基板については、その検査結果を記憶手段に格納していくとともに、事後的に、ディスプレイに不良箇所の画像や位置データなどを表示させて、目視検査を行えるようにしている（特許文献１）。
【０００５】
また、プリント基板を検査する他の検査方法としては、検査対象となるパターン領域を内側と外側領域に分割し、比較的大きな欠陥が許容されるパターン領域の内側について緩やかな基準を適用し、また、微細な欠陥も問題とされるパターン領域の外側については厳しい基準を適用して検査を行うようにする方法もある（特許文献２）。
【０００６】
また、これ以外にも多くの検査方法が存在し、一般に、物品の形成状態を検査する場合、ユーザーの仕様に基づいて判定アルゴリズムや閾値などを設定し、これに基づいて検査を行うことが多い。
【特許文献１】特開２００３−８６９１９号公報
【特許文献２】特開２００５−１８１２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このように各ユーザーの仕様に応じて検査のための判定アルゴリズムを変更すると、一からプログラムを作り直さなければならず、そのプログラムの作成に時間がかかってしまう。また、同一のユーザーであっても、例えば、配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどのように検査対象領域ごとに判定アルゴリズムを変えて検査しなければならない場合は、それぞれの検査対象領域ごとにプログラムを作成しなければならない。一方、現在では複数のプロセッサーを有する検査装置や、ネットワークで接続された他の検査装置で検査を行えるようにした検査装置も提案されているが、このような検査装置で検査する場合においても、同じ判定アルゴリズムで検査を行おうとしてもデータ送受信のためのプログラムを組み込まなければならない。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題に着目してなされたもので、検査方法が変更された場合であっても、大きく判定プログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置やネットワークで接続された装置を用いて検査する場合であっても、大きく判定プログラムを作り直す必要のない外観検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物の形成状態を第一判定プログラムによって判定する第一判定手段と、当該第一判定プログラムとは異なる第二判定プログラムを用いて判定する第二判定手段とを備えてなる外観検査システムにおいて、検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、当該基準画像データを読み出して前記第一判定手段および第二判定手段に出力するコア処理手段とを備え、前記第一判定手段で、基準画像データをもとに第一判定プログラムで使用される第一基準データを生成するとともに、当該生成された第一基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定処理を行い、前記第二判定手段で、基準画像データをもとに第二判定プログラムで使用される第二基準データを生成するとともに、当該生成された第二基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定するようにしたものである。
【００１０】
このようにすれば、検査対象領域ごとに判定プログラムを変更する場合であっても、すべてのプログラムに共通する基準画像データの読み出しをコア処理手段で行うので、判定プログラムを大きく作り直す必要がなくなる。また、判定プログラムが変更された場合であっても、その判定処理の際に使用される対応基準データを判定手段で生成するので、対応基準データを自動的に生成することができ、また、対応基準データの作成や記憶をコア処理手段で行う必要がなくなる。
【００１１】
また、別の発明では、検査対象物の形成状態を判定する複数の判定プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該判定プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を判定するようにした外観検査システムにおいて、検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、当該基準画像データを読み出して判定手段に出力するコア処理手段とを備えてなり、当該判定手段で、基準画像データをもとに前記判定プログラムで使用される対応基準データを生成するとともに、当該生成された対応基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定する。
【００１２】
このようにすれば、ユーザーの要求によって判定アルゴリズムが変更された場合であっても、コア処理手段におけるコアプログラムを作り替える必要がなく、また、判定処理の際に使用される対応基準データも自動的に生成することができるようになる。
【００１３】
さらに、コア処理手段が判定手段からの画像取得要求を受け取った場合、その画像取得要求を他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段で、対応して設けられた記憶手段に格納された基準画像データを読み出して前記コア処理手段に出力する。そして、そのコア処理手段が判定手段に対して基準画像データを出力する。
【００１４】
このようにすれば、マルチプロセッサーを有する外観検査システムやネットワークで接続された複数の装置で検査する場合であっても、単一のプロセッサー用の判定プログラムであるかマルチプロセッサー用の判定プログラムであるかを意識することなく判定プログラムを作成することができる。
【００１５】
また、このような発明において、検査対象物の形成状態を目視検査する複数の表示プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該表示プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を目視検査できるようにする場合、判定手段による判定結果をコア処理手段に出力し、当該判定結果を記憶させるとともに、表示手段からの判定結果読み出し要求に基づいて、コア処理手段から判定結果を出力し、当該表示手段で、その自動判定結果に基づく目視判定結果の入力を受け付けてコア処理手段に出力する。
【００１６】
このようにすれば、目視検査に使用されるディスプレイの表示方法が変わった場合であっても、判定プログラムやコアプログラムを大きく変更することなく、簡単に表示プログラムの変更のみで対応することができる。
【００１７】
また、コア処理手段が表示手段から判定結果の読み出し要求を受け取った場合、その要求を他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段で、対応して設けられた記憶手段から判定結果を読み出して前記コア処理手段に出力する
【００１８】
このようにすれば、マルチプロセッサーを有する外観検査システムやネットワークで接続された複数の装置で検査する場合であっても、単一のプロセッサー用の表示プログラムであるかマルチプロセッサー用の表示プログラムであるかを意識することなく表示プログラムを作成することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ユーザーの要求によって判定アルゴリズムが変更された場合や、検査対象領域ごとに判定プログラムを変更すべき場合であっても、すべてのプログラムに共通する基準画像データの読み出しをコア処理手段で行うので、判定プログラムの大きく作り直す必要がなくなる。また、判定プログラムが変更された場合であっても、その判定処理の際に使用される対応基準データを判定手段で生成するので、対応基準データを自動的に生成することができ、また、対応基準データの作成や記憶をコア処理手段で行う必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施の形態であるプリント基板３を検査する外観検査システム１の概略図を示したものであり、図２は、その外観検査システム１の機能ブロック図を示したものである。なお、この実施の形態では、プリント基板３を検査する外観検査システム１について説明するが、必ずしもプリント基板３を検査する装置に限定されるものではなく、例えば、液晶基板や、物品の表面に形成された印刷文字などを検査する検査装置のほか、物品の表面に発生した傷や欠けなどの有無を検査する検査装置などに適用することができる。
【００２１】
<第一の実施の形態>
まず、第一の実施の形態における外観検査システム１について説明すると、第一の実施の形態における外観検査システム１は、一つのプロセッサーで判定処理を行う検査装置からなるもので、その内部に、検査対象物であるプリント基板３の表面画像を取得する画像取得手段１４と、その取得された画像からプリント基板３の形成状態の良否を検査する検査処理手段１６とを備える。そして、特徴的には、その検査処理手段１６に、コアプログラムに基づいて駆動するコア処理手段２１と、判定プログラムに基づいて駆動する複数の判定手段（第一判定手段２２ａ、第二判定手段２２ｂ）と、表示プログラムに基づいて駆動する複数の表示処理手段２３とを分離して設けておき、各判定手段２２ａ、２２ｂとコア処理手段２１との間、および、表示処理手段２３とコア処理手段２１との間でコマンドとレスポンスの送受信を行うことで判定処理や表示処理を行うようにしたものである。
【００２２】
この外観検査システム１の機能構成を説明する。図１において、外観検査システム１は、検査対象であるプリント基板３を積層するスタッカ１０と、そのスタッカ１０からプリント基板３を取り出して載置台１２に載置するピックアップ機構１１と、載置台１２に載せられたプリント基板３を画像取得手段１４まで移動させる移動機構１３とを備える。そして、その取得された画像を用いて検査処理手段１６を用いて検査を行い、その判定結果に応じてプリント基板３を振り分けて回収する回収部１５とを備えている。
【００２３】
この画像取得手段１４は、プリント基板３に斜め方向から光を照射する発光装置１４１と、プリント基板３からの反射光を受光する受光装置１４２とを備えてなり、その受光装置１４２によって取得された画像を一旦画像メモリに格納する。そして、この画像メモリに格納された検査対象の画像データ（以下、「被検査画像」という）を検査処理手段１６に出力して良否判定を行い、コア処理手段２１と各判定手段２２ａ、２２ｂによって検査領域ごとの良否判定を行う。
【００２４】
このコア処理手段２１は、ユーザーによって異なる仕様の判定プログラムや表示プログラムに対して共通の処理を行うもので、判定プログラムや表示プログラムが変更された場合であっても新たにプログラムを作り直す必要がないものである。具体的に、このコア処理手段２１は、あらかじめ基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを記憶させておき、判定手段２２ａ、２２ｂから画像取得要求があった場合はその基準画像データを読み出して判定手段２２ａ、２２ｂに出力する。また、その際、画像取得手段１４によって取得された被検査画像も判定手段２２ａ、２２ｂに対して出力する。なお、ここでは、被検査画像をコア処理手段２１を介して判定手段２２ａ、２２ｂに出力するようにしているが、被検査画像については直接画像取得手段１４から判定手段２２ａ、２２ｂに出力するようにしてもよい。
【００２５】
基準データ記憶手段１７ａには、検査に際して基準となるプリント基板３の画像のビットマップデータが基準画像データとして格納される。そして、第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂから画像取得要求があった場合、コア処理手段はその画像取得要求に含まれる指定画像アドレスを抽出し、そのアドレスに基づく領域の基準画像データを読み出して第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂに出力する。ここで、「画像データ」とは、ビットマップデータだけでなく、基準となるプリント基板３から取得された画像の圧縮データ、もしくは、取得された画像の一部の画像データ、あるいは、プリント基板３を形成する際に使用されるＣＡＤデータに基づいて生成される画像データを使用してもよい。
【００２６】
判定手段２２は、コア処理手段２１から受信した基準画像データや被検査画像に基づいて検査対象となるプリント基板３の良否を判定するもので、この実施の形態では、２種類の判定手段（第一判定手段２２ａ、第二判定手段２２ｂ）を備える。もちろん、この判定手段は３種類以上設けるようにすることもできる。この判定手段は判定アルゴリズムを実行する判定プログラムとそれに関連するハードウェアで構成されるものである。
【００２７】
このうち第一判定手段２２ａは、パッドや配線パターンの形成状態の良否を判定し、また、第二判定手段２２ｂは、シルクの形成状態を判定する。なお、本実施の形態では、パッドや配線パターン、シルクの形成状態を判定する場合について説明するが、これ以外に、レジスト、スルーホールなどの判定手段も設けるようにしてもよい。
【００２８】
第一判定手段２２ａで、パッドや配線パターンの欠けや突起などを検査する場合、まず、目視検査によって良品と判定されたプリント基板３の基準画像データをコア処理手段２１から取得し、ここからパッドの輝度幅である輝度９０から輝度１５０の画素数を計数して、図３の太い実線に示すようなヒストグラムを生成する。そして、このヒストグラムのピークを中心に明るい側と暗い側における一定輝度幅Ｐ１〜Ｐ２の第一基準画素数（輝度Ｐ２×輝度幅Ｐ１〜Ｐ２）、およびＰ３〜Ｐ４の第二基準画素数（輝度Ｐ３×輝度幅Ｐ３〜Ｐ４）を第一基準データとして対応基準データ記憶手段２２０ａに格納しておく。
【００２９】
また、第一判定手段２２ａは、画像取得手段１４から取得された画像をもとに、上述と同様の処理手順によってパッドの輝度幅である輝度９０〜１５０の画素数を計数し、図３（ｂ）（ｃ）の細い実線に示すヒストグラムを生成する。そして、このヒストグラムにおいて、輝度Ｐ１〜Ｐ２の輝度幅の画素数を計数するとともに、輝度Ｐ３〜Ｐ４の輝度幅の画素数を計数し、これと第一基準画素数および第二基準画素数と比較する。そして、第一基準画素数よりも検査対象物の画素数が多い場合は、パッドに欠けがあると判定し（図３（ｂ））、また、第二基準画素数よりも検査対象物の画素数が多い場合は、パッドに突起があると判定する（図３（ｃ））。一方、検査対象物の画素数が第一基準画素数および第二基準画素数よりも少ない場合は良品であると判定し、その結果をコア処理手段２１に出力する。このコア出力部に判定結果を出力する場合は、欠陥が存在する座標位置とその欠陥の種類（例えば、突起や欠け）を出力する。
【００３０】
次に、シルク検査のための第二判定手段２２ｂについて説明する。第二判定手段２２ｂで、シルクの印刷状態を検査する場合、まず、同様に、目視によって良品と判定されたプリント基板３からシルクの画像を抽出する。このシルクの画像を抽出する場合、基準画像データをコア処理手段２１から取得し、これを、シルクの輝度幅である輝度２００〜２５５の画素を抽出し、その領域の画像を図４に示すように数画素分膨らまし処理する。この膨らまし処理を行う画素数としては、例えば、２〜３画素とし、この膨らまし処理によって輪郭部分をスムージングする。そして、さらに、この膨らましによって生成された領域（以下、外側ブロック領域という）をさらに膨らまし処理し、この状態を図４を用いて詳細に説明すると、太い実線４０は、実際に印刷されたシルクの輪郭線であり、４１ａはその輪郭線を膨らまし処理して得られた外側ブロック領域４１の輪郭線である。また、最も内側における細い破線で示した線４２ａは内側ブロック領域４２の輪郭線である。また、最も外側における太い実線４３ａは、外側ブロック領域４１をさらに膨らまし処理した最外領域４３の輪郭線である。この最外領域４３においては、パッドなどの他の検査対象物を除去した窪み４４が形成されている。この窪み４４を形成する場合、膨らまし処理することによって得られた最外領域４３に対して、パッドの領域を除去することによって行われる。なお、ここではパッド領域を除去するようにしているが、これはパッドの銅箔が露出して白く反射し、シルクと誤認されるおそれがあるからである。そして、今度は、先の膨らまし処理された外側ブロック領域４１を逆に縮小させる方向に処理する。この縮小画素数としては、膨らまし処理した画素数よりも大きく、しかも、実際のシルクの輪郭線４０よりも若干内側に輪郭線が位置するようにする。そして、このように膨らまし処理と縮小処理を行うことにより、スムージングされた内側ブロック領域４２が生成される。そして、このように生成された外側ブロック領域４１、内側ブロック領域４２、最外領域４３の情報を第二基準データとして対応基準データ記憶手段２２０ｂに格納しておく。また、第二基準データとして、図５（ａ）に示すように、最外領域４３から外側ブロック領域４１を刳り貫いた刳り貫き領域におけるヒストグラムと、そのヒストグラムにおける第一の輝度Ｐ５よりも低い側の第一基準画素数、および第二の輝度Ｐ６よりも高い側の第二基準画素数を第二基準データとして記憶させておく。
【００３１】
そして、第二判定手段２２ｂは、検査対象であるシルクの印刷状態を検査する場合、画像取得手段１４によって取得された検査対象物の画像から、シルクの輝度幅である輝度２００〜２５５の画素を抽出し、その抽出されたシルクと第二基準データの内側ブロック領域４２をマッチング処理する。具体的には、図５に示すように、検査対象となるシルクの画像を数画素ずつＸ方向、Ｙ方向にずらしながら内側ブロック領域４２と相関をとり、相関値が最も高くなるような位置を検出することによって検査対象物のシルクと基準となる内側ブロック領域４２との位置ずれを検出する。この位置ずれの検出により、基準対象物におけるシルクの位置ずれ（ｘ０、ｙ０）が検出される。そして、このずれ量（ｘ０、ｙ０）から、検査対象物からの取得画像を全体的に（ｘ０、ｙ０）分だけシフトさせ、基準となる内側ブロック領域４２と一致させる。
【００３２】
そして、このシフト処理された検査対象物の画像から外側ブロック領域４１を刳り貫き、最外領域４３内における刳り貫き領域４３を生成する。このとき、検査対象物のシルクがほぼ基準となるシルクの印刷状態と同じであれば、刳り貫き領域４３内にはレジストの輝度に対応する画素だけが存在することになる。しかし、検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みや塵が付着している場合や、「Ａ」の中空部分が塗り潰されている場合には、その刳り貫き領域４３に白い輝度の画素とレジストの輝度の画素が含まれることとなる。
【００３３】
そして、この刳り貫き領域４３内における画素のヒストグラムを生成し、このヒストグラムからシルクの印刷状態の良否を判定する。検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みや塵などの異物がまったく存在しない場合は、図６（ａ）に示すように、レジストの輝度幅内の画素が最も多くなり、低輝度側の画素や高輝度側の画素は存在しないことになる。一方、検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みが存在する場合は、図６（ｂ）に示すように、レジストの輝度幅よりも高輝度側の画素数が増え、また、シルクの輪郭外側に黒い塵が存在している場合は、レジストの輝度よりも低輝度側の画素数が増える。そこで、第二判定手段２２ｂでは、この生成されたヒストグラムからレジストの輝度幅における第一の輝度Ｐ５よりも低い輝度の画素数を計数するとともに、レジストの輝度幅における第二の輝度Ｐ６よりも高い輝度の画素数を計数する。そして、第二基準データとして記憶されている低輝度側における第一基準画素数と、高輝度側における第二基準画素数とを用いて比較し、そして、検査対象物における第一の輝度Ｐ５よりも低輝度側の総画素数が第一基準画素数よりも大きい場合、または、検査対象物における第二の輝度Ｐ６よりも高輝度側の総画素数が第二基準画素数よりも大きい場合には、印刷状態が不良であると判定する。一方、検査対象物における低輝度側の総画素数が第一基準画素数よりも少なく、かつ、検査対象物における高輝度側の総画素数が第二基準画素数よりも少ない場合には、印刷状態良好であると判定し、その結果と不良位置をコア処理手段２１に出力する。
【００３４】
そして、コア処理手段２１は、第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂから受け取った判定結果やその不良原因、および、不良箇所の画像などを判定結果記憶手段１７ｂに記憶させる。
【００３５】
次に、コア処理手段２１は、表示処理手段２３に対してその判定結果記憶手段１７ｂに格納された判定結果と不良箇所を示す座標データの一覧を送信する。この表示処理手段２３は、ユーザーからの仕様によって様々な表示形態で表示されるもので、不良箇所の画像を表示し、目視検査の結果を入力できるようにしたもので、表示や入力処理を実行する表示プログラムとそれに関連するハードウェアで構成されるものである。この表示処理手段２３は、コア処理手段２１に対して不良箇所の表示一覧要求を出力し、そのレスポンスとしてコア処理手段２１から不良箇所の一覧を受信する。そして、その不良箇所の画像をディスプレイに表示させ、目視検査の結果を受け付けて、その結果をコア処理手段２１に出力できるようにしている。なお、ここでは一つの表示処理手段２３について説明するが、ユーザーの仕様によって表示方法が変更された場合であっても、表示一覧要求の出力と受信、および、目視判定結果の出力は共通化しておく。
【００３６】
この表示処理手段２３は、図７に示すように、ディスプレイに被検査画像を表示する第一の表示領域２３１と、基準となるプリント基板３の同じ位置における画像を表示する第三の表示領域２３３と、不良箇所のリストを表示する第三の表示領域２３３を表示させる。この第三の表示領域２３３には、不良と判断されたプリント基板３の識別番号と、その識別番号に対応する不良箇所のリストが上下方向に並べて表示され、マウスで選択されるようになっている。
【００３７】
これらの各表示領域に表示する場合、コア処理手段２１から判定結果が送信されることによって、不良箇所のリストのみが表示される。このとき、第一の表示領域２３１と第二の表示領域２３２には画像は表示されていない状態となる。そして、目視検査者がその表示された一覧の中の一部を選択することによって、表示処理手段２３はその選択された不良箇所の（Ｘ，Ｙ）座標を読み出し、コア処理手段２１に画像読み出し要求を送信する。すると、コア処理手段２１は、基準データ記憶手段１７ａに格納されていた基準データの（Ｘ，Ｙ）座標の画像と、検査対象となるプリント基板３の（Ｘ，Ｙ）座標における画像データをレスポンスとして表示処理手段２３に返信する。そして、その受信した画像データのうち、被検査画像を第一の表示領域２３１に表示し、また、基準画像データを第二の表示領域２３２に表示させる。このとき、被検査画像の座標位置にマーキングＭを施し、不良箇所を容易に特定できるようにする。そして、この第一の表示領域２３１に表示された不良箇所の画像と、第二の表示領域２３２に表示された基準データの画像を目視検査することによって操作者からの目視検査の結果の入力を受け付け、その受け付けた目視判定の結果を座標データとともにコア処理手段２１に出力する。このとき、表示処理手段２３はコア処理手段２１に対して座標位置データとともに判定結果の書き換えを要求するコマンドを送信する。すると、このデータを受信したコア処理手段２１は、判定結果記憶手段１７ｂに格納されていたその座標位置の判定結果を書き換える。
【００３８】
このようにすれば、判定方法や表示方法が変更・追加された場合であっても、コア処理手段を変更することなく対応することができるようになる。
【００３９】
<第二の実施の形態>
【００４０】
次に、第二の実施の形態について説明する。図８は、第二の実施の形態におけるプリント基板３の外観検査システム１の概略図を示したものであり、図９は、その機能ブロック図を示したものである。
【００４１】
上記第一の実施の形態では、一台の装置本体で検査を行う場合について説明したが、第二の実施の形態は、プリント基板３をピックアップして自動で検査する自動検査装置１ａと、目視で良否を判断する目視検査装置１ｂを用いて外観検査装置を構成した場合について説明する。
【００４２】
この実施の形態における外観検査システム１は、自動検査装置１ａと目視検査装置１ｂをネットワークを介して接続したものである。このうち、自動検査装置１ａは、上記第一の実施の形態における外観検査システム１と同様に、スタッカ１０やピックアップ機構１１、移動機構１３、画像取得手段１４、回収部１５などを設けている。一方、目視検査装置１ｂは、内部にＣＰＵや記憶装置を備え、また、キーボードなどの入力部やディスプレイなどを備えている。
【００４３】
この自動検査装置１ａには、コア処理手段２１と判定手段２２ａ、２２ｂを備え、一方、目視判定装置には、自動検査装置１ａと同じ第二コア処理手段２１ｂと、表示処理手段２３とを備えている。
【００４４】
そして、このように構成された外観検査システム１において、プリント基板３を検査する場合、事前に自動検査装置１ａの基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを記憶させておく。
【００４５】
検査対象となるプリント基板３を検査する場合、判定処理手段２２ａ、２２ｂがコア処理手段２１に対して判定処理開始のコマンドと画像アドレスを送信し、これに基づいて、コア処理手段２１は、そのアドレスに対応した領域の基準画像データを返信する。
【００４６】
そして、判定処理手段２２ａは、各判定アルゴリズムによって被検査画像とその基準画像データに基づいてプリント基板３の良否を判定し、判定結果と不良箇所を示す座標データをコア処理手段２１に返信し、コア処理手段２１は、その判定結果などのデータを判定結果記憶手段１７ｂに格納させる。
【００４７】
一方、目視検査装置１ｂで不良となるプリント基板３の目視検査を行う場合、表示処理手段２３は、その目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂに対して一覧表示要求のコマンドを送信するとともに、その第二コア処理手段２１ｂは、自動検査装置１ａのコア処理手段２１に対してそのコマンドを転送する。するとコア処理手段２１は、判定結果記憶手段１７ｂに格納されていた不良箇所の一覧を読み出し、そのデータを目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂに返信し、第二コア処理手段２１ｂはその一覧を表示処理手段２３に転送する。このように一覧を受信すると、表示処理手段２３は、その不良箇所の一覧を、図７のように第三の表示領域２３３に表示させ、そして、検査者による選択を受け付ける。このとき、検査者が一覧の中の特定の不良箇所を選択すると、表示処理手段２３は、目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１に対して、その不良箇所の座標データとその位置の画像取得のための要求コマンドを送信し、その第二コア処理手段２１ｂは、自動検査装置１ａのコア処理手段２１に対して転送処理を行う。そして、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂからその座標位置における検査対象物の画像や、基準データ記憶手段１７ａから基準画像データを取得し、その取得した画像を目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂを介して表示処理手段２３に返信する。
【００４８】
表示処理手段２３がこの画像データを受信すると、第一の表示領域２３１に不良箇所の画像データを表示させるとともに、第二の表示領域２３２に基準データとなる画像を表示させる。そして、検査者による目視の検査を受け付ける。検査者がこれらの表示された画像に基づいて良品であると判断した場合は、その入力を受け付け、表示処理手段２３が、その座標位置と目視検査の結果を書き換えるためのコマンドを第二コア処理手段２１ｂに送信する。そして、目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂは、そのコマンドを自動検査装置１ａのコア処理手段２１に転送し、自動検査装置１ａのコア処理手段２１の動作によって判定結果記憶手段１７ｂに格納されている検査結果を書き換える。
<第三の実施の形態>
【００４９】
次に、第三の実施の形態について図１０を用いて説明する。上記第二の実施の形態では、遠隔に設けられた目視検査装置１ｂで目視検査を行う場合について説明したが、この第三の実施の形態では、自動検査装置１ａにコア処理手段２１と基準データ記憶手段１７ａを設けておき、この装置から遠隔に設けられた自動検査装置１ｃで判定処理や目視検査を行えるようにしたものである。
【００５０】
この第三の実施の形態における処理について説明すると、あらかじめ自動検査装置１ａの基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、この状態で、遠隔に設けられた目視検査装置１ｂで自動検査と目視検査を行う。
【００５１】
自動検査を行う場合は、目視検査装置１ｂでプリント基板３から被検査画像を取得し、そして、第ｎ判定手段２２ｎで自動判定を行う場合は、前述と同様に、第ｎ判定手段２２ｎから画像アドレスを指定した画像取得要求を送る。すると第二コア処理手段２１ｂは、その要求をコア処理手段２１に転送し、コア処理手段２１が基準データ記憶手段１７ａから取得した基準画像データを取得する。そして、その取得した基準画像データを第ｎ判定手段２２ｎに送信し、第ｎ判定手段２２ｎで判定処理を行う。そして、その判定結果を第二コア処理手段２１ｂを介してコア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。
【００５２】
そして、目視判定を行う場合は、第二の実施の形態と同様に、表示処理手段２３から不良画像の一覧表示要求を出力し、その要求を第二コア処理手段２１ｂがコア処理手段２１に転送して、判定結果記憶手段１７ｂに格納された不良箇所の一覧を表示処理手段２３に戻す。そして、目視検査者による目視検査の結果を受け付け、その結果を第二コア処理手段２１ｂを介してコア処理手段２１に送信し、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂにその結果を格納する。
【００５３】
このように上記実施の形態によれば、コア処理手段２１ですべての処理に必要な基準画像の読み出し処理を行い、また、判定結果を記憶させるようにしたので、判定方法や表示方法が変更された場合であっても、入出力部分だけを共通化しておけば、大きく判定プログラムや表示プログラムを作り替える必要がなくなる。
【００５４】
また、判定手段２２ａ、２２ｂが変更された場合、その判定手段２２ａ、２２ｂを用いてその判定のために使用される対応基準データを生成するので、判定方法が変更された場合であっても、簡単に対応基準データを生成することができる。
【００５５】
コア処理手段２１が判定手段２２ａ、２２ｂや表示処理手段２３からの要求を受け取った場合、その要求を他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段２１ｂに出力し、当該第二コア処理手段２１ｂで、基準データ記憶手段１７ａに格納された基準画像データを読み出して返信するようにしたので、単一のプロセッサー用の判定プログラムであるかマルチプロセッサー用の判定プログラムであるかを意識することなく判定プログラムを作成することができる。
【００５６】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００５７】
例えば、上記第二の実施の形態では、１台の目視検査装置１ｂを設けて検査するようにしているが、これを複数台設けるようにしてもよい。また、第三の実施の形態では、自動検査装置１ｃを別に１台設けているが、これを複数台とし、各装置で、例えば、配線パターンの検査、パッドの検査、レジストの検査、シルクの検査を振り分けて検査するようにしてもよい。また、複数台の装置を用いて検査するのではなく、一台の装置に複数のプロセッサーが設けられている場合は、各プロセッサーで動作するコア処理手段２１を用いて同様の処理を行わせるようにしてもよい。
【００５８】
また、上記実施の形態では、表示処理手段２３を設けて目視検査を行わせるようにしているが、必ずしも目視検査を行わせる必要はなく、判定手段２２ａ、２２ｂだけによる検査を行うようにしてもよい。
【００５９】
また、上記実施の形態では、目視検査装置１ｂで目視検査した結果を、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂに記憶させるようにしているが、この判定結果を目視検査装置１ｂ側に記憶させるようにしてもよい。
【００６０】
また、第三の実施の形態では、目視検査装置１ｂ側に画像取得手段１４を設けるようにしているが、これを自動検査装置１ａ側に設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す外観検査システムの概略を示す図
【図２】同形態における機能ブロックを示す図
【図３】同形態における第一の判定処理に使用されるヒストグラムを示す図
【図４】同形態における第二の判定処理で使用される形状検査を示す図
【図５】同形態における第二の判定処理で使用される形状検査を示す図
【図６】同形態における第二の判定処理で使用されるヒストグラムを示す図
【図７】同形態における表示手段の表示例を示す図
【図８】本発明の第二の実施の形態を示す外観検査システムの概略図
【図９】同形態における機能ブロックを示す図
【図１０】同形態における機能ブロックを示す図
【符号の説明】
【００６２】
１・・・外観検査システム
１ａ、１ｃ・・・自動検査装置
１ｂ・・・目視検査装置
３・・・プリント基板
４・・・シルク
１０・・・スタッカ
１１・・・ピックアップ機構
１２・・・載置台
１３・・・移動機構
１４・・・画像取得手段
１４１・・・発光装置
１４２・・・受光装置
１５・・・回収部
１６・・・検査処理手段
１７ａ・・・基準データ記憶手段
１７ｂ・・・判定結果記憶手段
２１、２１ｂ・・・コア処理手段（第二コア処理手段）
２２ａ、２２ｂ・・・判定手段（第一判定手段、第二判定手段）
２３・・・表示処理手段
２３１・・・第一の表示領域
２３２・・・第二の表示領域
２３３・・・第三の表示領域
【図１】
2008286692.tif 000003
【図２】
2008286692.tif 000004
【図３】
2008286692.tif 000005
【図４】
2008286692.tif 000006
【図５】
2008286692.tif 000007
【図６】
2008286692.tif 000008
【図７】
2008286692.tif 000009
【図８】
2008286692.tif 000010
【図９】
2008286692.tif 000011
【図１０】
2008286692.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月26日(2008.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の形成状態を判定する複数の判定プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該判定プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を判定するようにした外観検査システムにおいて、
検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、
当該取得された被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、
当該基準画像データを読み出して判定手段に出力するコア処理手段と、
当該コア処理手段と分離して設けられた判定手段とを備えてなり、
当該判定手段から前記コア処理手段に画像取得コマンドを出力して基準画像データを取得し、当該取得した基準画像データをもとに前記判定プログラムで使用される対応基準データを生成するとともに、当該生成された対応基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定処理し、当該判定処理による判定結果をコア処理手段に出力し、
前記コア処理手段で、当該出力された判定結果を判定結果記憶手段に記憶させるようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項２】
前記コア処理手段が、判定手段から受け取った画像取得コマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段が、当該第二コア処理手段に対応する記憶手段から基準画像データを読み出して前記コア処理手段に出力するものである請求項１に記載の外観検査システム。
【請求項３】
検査対象物の形成状態を目視検査する複数の表示プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該表示プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を目視検査できるようにした請求項１に記載の外観検査システムにおいて、コア処理手段が、
前記判定手段による判定結果を記憶させる判定結果記憶手段と、
表示手段からの判定結果読み出しコマンドに基づいて、判定結果を表示手段に出力するコア処理手段とを備えてなり、
当該表示手段で、前記読み出された判定結果に基づく目視判定結果の入力を受け付け、当該目視判定結果をコア処理手段に出力するようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項４】
前記コア処理手段が、表示手段から受け取った判定結果の読み出しコマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段が、当該第二コア処理手段に対応する記憶手段から判定結果を読み出して前記コア処理手段に出力するものである請求項３に記載の外観検査システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の形成状態を検査する外観検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、物品の形成状態を検査する場合、まず、画像取得手段によって検査対象物の画像を取得し、その画像を検査データとしてメモリに格納するとともに、あらかじめ検査に必要となる基準データを記憶手段に格納しておき、検査対象物から取得された検査データとこの記憶手段に格納された基準データとを比較する。そして、その比較判定による結果、不良箇所が存在する場合はその不良位置やその不良位置における画像をディスプレイに表示する。
【０００３】
この外観検査システムについて、プリント基板を検査する場合を説明すると、まず、プリント基板の形成状態を検査する場合、画像取得手段を用いてプリント基板の表面に形成された配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの画像を取得し、その取得した画像をメモリに格納する。また、あらかじめ検査のために必要となる基準データも記憶手段に格納しておく。ここで、基準データとしては、良品のプリント基板の画像や、その画像をもとに判定処理する際に用いられる閾値などのデータである。
【０００４】
そして、取得された配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの画像からその形成状態を検査する場合、例えば、取得された画像からヒストグラムを生成するとともに、これに対応して、あらかじめ記憶手段に良品のプリント基板から生成されたヒストグラムに関する基準データを格納しておく。そして、検査対象物のヒストグラムとあらかじめ記憶手段に格納されているヒストグラムとを比較し、図３に示すように、第一の輝度値Ｐ１よりも低い輝度を有する画素の数が基準数（図における斜線部）以上存在している場合や、第二の輝度値Ｐ２よりも高い輝度を有する画素の数が基準数（図における斜線部）以上存在している場合は、不良であると判定する。そして、配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの各検査領域についてそれぞれ独自の判定アルゴリズムに基づいて判定を行い、不良と判定されたプリント基板については、その検査結果を記憶手段に格納していくとともに、事後的に、ディスプレイに不良箇所の画像や位置データなどを表示させて、目視検査を行えるようにしている（特許文献１）。
【０００５】
また、プリント基板を検査する他の検査方法としては、検査対象となるパターン領域を内側と外側領域に分割し、比較的大きな欠陥が許容されるパターン領域の内側について緩やかな基準を適用し、また、微細な欠陥も問題とされるパターン領域の外側については厳しい基準を適用して検査を行うようにする方法もある（特許文献２）。
【０００６】
また、これ以外にも多くの検査方法が存在し、一般に、物品の形成状態を検査する場合、ユーザーの仕様に基づいて判定アルゴリズムや閾値などを設定し、これに基づいて検査を行うことが多い。
【特許文献１】特開２００３−８６９１９号公報
【特許文献２】特開２００５−１８１２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このように各ユーザーの仕様に応じて検査のための判定アルゴリズムを変更すると、一からプログラムを作り直さなければならず、そのプログラムの作成に時間がかかってしまう。また、同一のユーザーであっても、例えば、配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどのように検査対象領域ごとに判定アルゴリズムを変えて検査しなければならない場合は、それぞれの検査対象領域ごとにプログラムを作成しなければならない。一方、現在では複数のプロセッサーを有する検査装置や、ネットワークで接続された他の検査装置で検査を行えるようにした検査装置も提案されているが、このような検査装置で検査する場合においても、同じ判定アルゴリズムで検査を行おうとしてもデータ送受信のためのプログラムを組み込まなければならない。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題に着目してなされたもので、検査方法が変更された場合であっても、大きく判定プログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置やネットワークで接続された装置を用いて検査する場合であっても、大きく判定プログラムを作り直す必要のない外観検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物の形成状態を判定する複数の判定プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該判定プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を判定するようにした外観検査システムにおいて、検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、当該取得された被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、当該基準画像データを読み出して判定手段に出力するコア処理手段と、当該コア処理手段と分離して設けられた判定手段とを備えてなり、当該判定手段から前記コア処理手段に画像取得コマンドを出力して基準画像データを取得し、当該取得した基準画像データをもとに前記判定プログラムで使用される対応基準データを生成するとともに、当該生成された対応基準データと前記画像取得手段から取得した被検査画像とに基づいて判定処理し、当該判定処理による判定結果をコア処理手段に出力し、前記コア処理手段で、当該出力された判定結果を判定結果記憶手段に記憶させるようにしたものである。
【００１０】
このようにすれば、ユーザーの要求によって判定アルゴリズムが変更された場合や、検査対象領域ごとに判定プログラムを変更すべき場合であっても、すべてのプログラムに共通する基準画像データの読み出しをコア処理手段で行うので、判定プログラムを大きく作り直す必要がなくなる。また、判定プログラムが変更された場合であっても、その判定処理の際に使用される対応基準データを判定手段で生成するので、対応基準データを自動的に生成することができ、また、対応基準データの作成や記憶をコア処理手段で行う必要がなくなる。
【００１１】
さらに、コア処理手段が判定手段からの画像取得コマンドを受け取った場合、その画像取得コマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段で、対応して設けられた記憶手段に格納された基準画像データを読み出して前記コア処理手段に出力する。そして、そのコア処理手段が判定手段に対して基準画像データを出力する。
【００１２】
このようにすれば、マルチプロセッサーを有する外観検査システムやネットワークで接続された複数の装置で検査する場合であっても、単一のプロセッサー用の判定プログラムであるかマルチプロセッサー用の判定プログラムであるかを意識することなく判定プログラムを作成することができる。
【００１３】
また、このような発明において、検査対象物の形成状態を目視検査する複数の表示プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該表示プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を目視検査できるようにする場合、コア処理手段で、前記判定手段による判定結果を記憶させるとともに、表示手段からの判定結果読み出しコマンドに基づいて、コア処理手段から判定結果を出力し、当該表示手段で、その自動判定結果に基づく目視判定結果の入力を受け付けてコア処理手段に出力する。
【００１４】
このようにすれば、目視検査に使用されるディスプレイの表示方法が変わった場合であっても、判定プログラムやコアプログラムを大きく変更することなく、簡単に表示プログラムの変更のみで対応することができる。
【００１５】
また、コア処理手段が表示手段から判定結果の読み出しコマンドを受け取った場合、そのコマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段で、対応して設けられた記憶手段から判定結果を読み出して前記コア処理手段に出力する
【００１６】
このようにすれば、マルチプロセッサーを有する外観検査システムやネットワークで接続された複数の装置で検査する場合であっても、単一のプロセッサー用の表示プログラムであるかマルチプロセッサー用の表示プログラムであるかを意識することなく表示プログラムを作成することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ユーザーの要求によって判定アルゴリズムが変更された場合や、検査対象領域ごとに判定プログラムを変更すべき場合であっても、すべてのプログラムに共通する基準画像データの読み出しをコア処理手段で行うので、判定プログラムの大きく作り直す必要がなくなる。また、判定プログラムが変更された場合であっても、その判定処理の際に使用される対応基準データを判定手段で生成するので、対応基準データを自動的に生成することができ、また、対応基準データの作成や記憶をコア処理手段で行う必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施の形態であるプリント基板３を検査する外観検査システム１の概略図を示したものであり、図２は、その外観検査システム１の機能ブロック図を示したものである。なお、この実施の形態では、プリント基板３を検査する外観検査システム１について説明するが、必ずしもプリント基板３を検査する装置に限定されるものではなく、例えば、液晶基板や、物品の表面に形成された印刷文字などを検査する検査装置のほか、物品の表面に発生した傷や欠けなどの有無を検査する検査装置などに適用することができる。
【００１９】
＜第一の実施の形態＞
まず、第一の実施の形態における外観検査システム１について説明すると、第一の実施の形態における外観検査システム１は、一つのプロセッサーで判定処理を行う検査装置からなるもので、その内部に、検査対象物であるプリント基板３の表面画像を取得する画像取得手段１４と、その取得された画像からプリント基板３の形成状態の良否を検査する検査処理手段１６とを備える。そして、特徴的には、その検査処理手段１６に、コアプログラムに基づいて駆動するコア処理手段２１と、判定プログラムに基づいて駆動する複数の判定手段（第一判定手段２２ａ、第二判定手段２２ｂ）と、表示プログラムに基づいて駆動する複数の表示処理手段２３とを分離して設けておき、各判定手段２２ａ、２２ｂとコア処理手段２１との間、および、表示処理手段２３とコア処理手段２１との間でコマンドとレスポンスの送受信を行うことで判定処理や表示処理を行うようにしたものである。
【００２０】
この外観検査システム１の機能構成を説明する。図１において、外観検査システム１は、検査対象であるプリント基板３を積層するスタッカ１０と、そのスタッカ１０からプリント基板３を取り出して載置台１２に載置するピックアップ機構１１と、載置台１２に載せられたプリント基板３を画像取得手段１４まで移動させる移動機構１３とを備える。そして、その取得された画像を用いて検査処理手段１６を用いて検査を行い、その判定結果に応じてプリント基板３を振り分けて回収する回収部１５とを備えている。
【００２１】
この画像取得手段１４は、プリント基板３に斜め方向から光を照射する発光装置１４１と、プリント基板３からの反射光を受光する受光装置１４２とを備えてなり、その受光装置１４２によって取得された画像を一旦画像メモリに格納する。そして、この画像メモリに格納された検査対象の画像データ（以下、「被検査画像」という）を検査処理手段１６に出力して良否判定を行い、コア処理手段２１と各判定手段２２ａ、２２ｂによって検査領域ごとの良否判定を行う。
【００２２】
このコア処理手段２１は、ユーザーによって異なる仕様の判定プログラムや表示プログラムに対して共通の処理を行うもので、判定プログラムや表示プログラムが変更された場合であっても新たにプログラムを作り直す必要がないものである。具体的に、このコア処理手段２１は、あらかじめ基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを記憶させておき、判定手段２２ａ、２２ｂから画像取得コマンドが送信された場合はその基準画像データを読み出して判定手段２２ａ、２２ｂに出力する。また、その際、画像取得手段１４によって取得された被検査画像も判定手段２２ａ、２２ｂに対して出力する。なお、ここでは、被検査画像をコア処理手段２１を介して判定手段２２ａ、２２ｂに出力するようにしているが、被検査画像については直接画像取得手段１４から判定手段２２ａ、２２ｂに出力するようにしてもよい。
【００２３】
基準データ記憶手段１７ａには、検査に際して基準となるプリント基板３の画像のビットマップデータが基準画像データとして格納される。そして、第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂから画像取得コマンドが送信された場合、コア処理手段はその画像取得コマンドに含まれる指定画像アドレスを抽出し、そのアドレスに基づく領域の基準画像データを読み出して第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂに出力する。ここで、「画像データ」とは、ビットマップデータだけでなく、基準となるプリント基板３から取得された画像の圧縮データ、もしくは、取得された画像の一部の画像データ、あるいは、プリント基板３を形成する際に使用されるＣＡＤデータに基づいて生成される画像データを使用してもよい。
【００２４】
判定手段２２は、コア処理手段２１から受信した基準画像データや被検査画像に基づいて検査対象となるプリント基板３の良否を判定するもので、この実施の形態では、２種類の判定手段（第一判定手段２２ａ、第二判定手段２２ｂ）を備える。もちろん、この判定手段は３種類以上設けるようにすることもできる。この判定手段は判定アルゴリズムを実行する判定プログラムとそれに関連するハードウェアで構成されるものである。
【００２５】
このうち第一判定手段２２ａは、パッドや配線パターンの形成状態の良否を判定し、また、第二判定手段２２ｂは、シルクの形成状態を判定する。なお、本実施の形態では、パッドや配線パターン、シルクの形成状態を判定する場合について説明するが、これ以外に、レジスト、スルーホールなどの判定手段も設けるようにしてもよい。
【００２６】
第一判定手段２２ａで、パッドや配線パターンの欠けや突起などを検査する場合、まず、目視検査によって良品と判定されたプリント基板３の基準画像データをコア処理手段２１から取得し、ここからパッドの輝度幅である輝度９０から輝度１５０の画素数を計数して、図３の太い実線に示すようなヒストグラムを生成する。そして、このヒストグラムのピークを中心に明るい側と暗い側における一定輝度幅Ｐ１〜Ｐ２の第一基準画素数（輝度Ｐ２×輝度幅Ｐ１〜Ｐ２）、およびＰ３〜Ｐ４の第二基準画素数（輝度Ｐ３×輝度幅Ｐ３〜Ｐ４）を第一基準データとして対応基準データ記憶手段２２０ａに格納しておく。
【００２７】
また、第一判定手段２２ａは、画像取得手段１４から取得された画像をもとに、上述と同様の処理手順によってパッドの輝度幅である輝度９０〜１５０の画素数を計数し、図３（ｂ）（ｃ）の細い実線に示すヒストグラムを生成する。そして、このヒストグラムにおいて、輝度Ｐ１〜Ｐ２の輝度幅の画素数を計数するとともに、輝度Ｐ３〜Ｐ４の輝度幅の画素数を計数し、これと第一基準画素数および第二基準画素数と比較する。そして、第一基準画素数よりも検査対象物の画素数が多い場合は、パッドに欠けがあると判定し（図３（ｂ））、また、第二基準画素数よりも検査対象物の画素数が多い場合は、パッドに突起があると判定する（図３（ｃ））。一方、検査対象物の画素数が第一基準画素数および第二基準画素数よりも少ない場合は良品であると判定し、その結果をコア処理手段２１に出力する。このコア出力部に判定結果を出力する場合は、欠陥が存在する座標位置とその欠陥の種類（例えば、突起や欠け）を出力する。
【００２８】
次に、シルク検査のための第二判定手段２２ｂについて説明する。第二判定手段２２ｂで、シルクの印刷状態を検査する場合、まず、同様に、目視によって良品と判定されたプリント基板３からシルクの画像を抽出する。このシルクの画像を抽出する場合、基準画像データをコア処理手段２１から取得し、これを、シルクの輝度幅である輝度２００〜２５５の画素を抽出し、その領域の画像を図４に示すように数画素分膨らまし処理する。この膨らまし処理を行う画素数としては、例えば、２〜３画素とし、この膨らまし処理によって輪郭部分をスムージングする。そして、さらに、この膨らましによって生成された領域（以下、外側ブロック領域という）をさらに膨らまし処理し、この状態を図４を用いて詳細に説明すると、太い実線４０は、実際に印刷されたシルクの輪郭線であり、４１ａはその輪郭線を膨らまし処理して得られた外側ブロック領域４１の輪郭線である。また、最も内側における細い破線で示した線４２ａは内側ブロック領域４２の輪郭線である。また、最も外側における太い実線４３ａは、外側ブロック領域４１をさらに膨らまし処理した最外領域４３の輪郭線である。この最外領域４３においては、パッドなどの他の検査対象物を除去した窪み４４が形成されている。この窪み４４を形成する場合、膨らまし処理することによって得られた最外領域４３に対して、パッドの領域を除去することによって行われる。なお、ここではパッド領域を除去するようにしているが、これはパッドの銅箔が露出して白く反射し、シルクと誤認されるおそれがあるからである。そして、今度は、先の膨らまし処理された外側ブロック領域４１を逆に縮小させる方向に処理する。この縮小画素数としては、膨らまし処理した画素数よりも大きく、しかも、実際のシルクの輪郭線４０よりも若干内側に輪郭線が位置するようにする。そして、このように膨らまし処理と縮小処理を行うことにより、スムージングされた内側ブロック領域４２が生成される。そして、このように生成された外側ブロック領域４１、内側ブロック領域４２、最外領域４３の情報を第二基準データとして対応基準データ記憶手段２２０ｂに格納しておく。また、第二基準データとして、図５（ａ）に示すように、最外領域４３から外側ブロック領域４１を刳り貫いた刳り貫き領域におけるヒストグラムと、そのヒストグラムにおける第一の輝度Ｐ５よりも低い側の第一基準画素数、および第二の輝度Ｐ６よりも高い側の第二基準画素数を第二基準データとして記憶させておく。
【００２９】
そして、第二判定手段２２ｂは、検査対象であるシルクの印刷状態を検査する場合、画像取得手段１４によって取得された検査対象物の画像から、シルクの輝度幅である輝度２００〜２５５の画素を抽出し、その抽出されたシルクと第二基準データの内側ブロック領域４２をマッチング処理する。具体的には、図５に示すように、検査対象となるシルクの画像を数画素ずつＸ方向、Ｙ方向にずらしながら内側ブロック領域４２と相関をとり、相関値が最も高くなるような位置を検出することによって検査対象物のシルクと基準となる内側ブロック領域４２との位置ずれを検出する。この位置ずれの検出により、基準対象物におけるシルクの位置ずれ（ｘ０、ｙ０）が検出される。そして、このずれ量（ｘ０、ｙ０）から、検査対象物からの取得画像を全体的に（ｘ０、ｙ０）分だけシフトさせ、基準となる内側ブロック領域４２と一致させる。
【００３０】
そして、このシフト処理された検査対象物の画像から外側ブロック領域４１を刳り貫き、最外領域４３内における刳り貫き領域４３を生成する。このとき、検査対象物のシルクがほぼ基準となるシルクの印刷状態と同じであれば、刳り貫き領域４３内にはレジストの輝度に対応する画素だけが存在することになる。しかし、検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みや塵が付着している場合や、「Ａ」の中空部分が塗り潰されている場合には、その刳り貫き領域４３に白い輝度の画素とレジストの輝度の画素が含まれることとなる。
【００３１】
そして、この刳り貫き領域４３内における画素のヒストグラムを生成し、このヒストグラムからシルクの印刷状態の良否を判定する。検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みや塵などの異物がまったく存在しない場合は、図６（ａ）に示すように、レジストの輝度幅内の画素が最も多くなり、低輝度側の画素や高輝度側の画素は存在しないことになる。一方、検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みが存在する場合は、図６（ｂ）に示すように、レジストの輝度幅よりも高輝度側の画素数が増え、また、シルクの輪郭外側に黒い塵が存在している場合は、レジストの輝度よりも低輝度側の画素数が増える。そこで、第二判定手段２２ｂでは、この生成されたヒストグラムからレジストの輝度幅における第一の輝度Ｐ５よりも低い輝度の画素数を計数するとともに、レジストの輝度幅における第二の輝度Ｐ６よりも高い輝度の画素数を計数する。そして、第二基準データとして記憶されている低輝度側における第一基準画素数と、高輝度側における第二基準画素数とを用いて比較し、そして、検査対象物における第一の輝度Ｐ５よりも低輝度側の総画素数が第一基準画素数よりも大きい場合、または、検査対象物における第二の輝度Ｐ６よりも高輝度側の総画素数が第二基準画素数よりも大きい場合には、印刷状態が不良であると判定する。一方、検査対象物における低輝度側の総画素数が第一基準画素数よりも少なく、かつ、検査対象物における高輝度側の総画素数が第二基準画素数よりも少ない場合には、印刷状態良好であると判定し、その結果と不良位置をコア処理手段２１に出力する。
【００３２】
そして、コア処理手段２１は、第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂから受け取った判定結果やその不良原因、および、不良箇所の画像などを判定結果記憶手段１７ｂに記憶させる。
【００３３】
次に、コア処理手段２１は、表示処理手段２３に対してその判定結果記憶手段１７ｂに格納された判定結果と不良箇所を示す座標データの一覧を送信する。この表示処理手段２３は、ユーザーからの仕様によって様々な表示形態で表示されるもので、不良箇所の画像を表示し、目視検査の結果を入力できるようにしたもので、表示や入力処理を実行する表示プログラムとそれに関連するハードウェアで構成されるものである。この表示処理手段２３は、コア処理手段２１に対して不良箇所の表示一覧コマンドを出力し、そのレスポンスとしてコア処理手段２１から不良箇所の一覧を受信する。そして、その不良箇所の画像をディスプレイに表示させ、目視検査の結果を受け付けて、その結果をコア処理手段２１に出力できるようにしている。なお、ここでは一つの表示処理手段２３について説明するが、ユーザーの仕様によって表示方法が変更された場合であっても、表示一覧コマンドの出力と受信、および、目視判定結果の出力は共通化しておく。
【００３４】
この表示処理手段２３は、図７に示すように、ディスプレイに被検査画像を表示する第一の表示領域２３１と、基準となるプリント基板３の同じ位置における画像を表示する第三の表示領域２３３と、不良箇所のリストを表示する第三の表示領域２３３を表示させる。この第三の表示領域２３３には、不良と判断されたプリント基板３の識別番号と、その識別番号に対応する不良箇所のリストが上下方向に並べて表示され、マウスで選択されるようになっている。
【００３５】
これらの各表示領域に表示する場合、コア処理手段２１から判定結果が送信されることによって、不良箇所のリストのみが表示される。このとき、第一の表示領域２３１と第二の表示領域２３２には画像は表示されていない状態となる。そして、目視検査者がその表示された一覧の中の一部を選択することによって、表示処理手段２３はその選択された不良箇所の（Ｘ，Ｙ）座標を読み出し、コア処理手段２１に画像読み出しコマンドを送信する。すると、コア処理手段２１は、基準データ記憶手段１７ａに格納されていた基準データの（Ｘ，Ｙ）座標の画像と、検査対象となるプリント基板３の（Ｘ，Ｙ）座標における画像データをレスポンスとして表示処理手段２３に返信する。そして、その受信した画像データのうち、被検査画像を第一の表示領域２３１に表示し、また、基準画像データを第二の表示領域２３２に表示させる。このとき、被検査画像の座標位置にマーキングＭを施し、不良箇所を容易に特定できるようにする。そして、この第一の表示領域２３１に表示された不良箇所の画像と、第二の表示領域２３２に表示された基準データの画像を目視検査することによって操作者からの目視検査の結果の入力を受け付け、その受け付けた目視判定の結果を座標データとともにコア処理手段２１に出力する。このとき、表示処理手段２３はコア処理手段２１に対して座標位置データとともに判定結果の書き換えを要求するコマンドを送信する。すると、このデータを受信したコア処理手段２１は、判定結果記憶手段１７ｂに格納されていたその座標位置の判定結果を書き換える。
【００３６】
このようにすれば、判定方法や表示方法が変更・追加された場合であっても、コア処理手段を変更することなく対応することができるようになる。
【００３７】
＜第二の実施の形態＞
【００３８】
次に、第二の実施の形態について説明する。図８は、第二の実施の形態におけるプリント基板３の外観検査システム１の概略図を示したものであり、図９は、その機能ブロック図を示したものである。
【００３９】
上記第一の実施の形態では、一台の装置本体で検査を行う場合について説明したが、第二の実施の形態は、プリント基板３をピックアップして自動で検査する自動検査装置１ａと、目視で良否を判断する目視検査装置１ｂを用いて外観検査装置を構成した場合について説明する。
【００４０】
この実施の形態における外観検査システム１は、自動検査装置１ａと目視検査装置１ｂをネットワークを介して接続したものである。このうち、自動検査装置１ａは、上記第一の実施の形態における外観検査システム１と同様に、スタッカ１０やピックアップ機構１１、移動機構１３、画像取得手段１４、回収部１５などを設けている。一方、目視検査装置１ｂは、内部にＣＰＵや記憶装置を備え、また、キーボードなどの入力部やディスプレイなどを備えている。
【００４１】
この自動検査装置１ａには、コア処理手段２１と判定手段２２ａ、２２ｂを備え、一方、目視判定装置には、自動検査装置１ａと同じ第二コア処理手段２１ｂと、表示処理手段２３とを備えている。
【００４２】
そして、このように構成された外観検査システム１において、プリント基板３を検査する場合、事前に自動検査装置１ａの基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを記憶させておく。
【００４３】
検査対象となるプリント基板３を検査する場合、判定処理手段２２ａ、２２ｂがコア処理手段２１に対して判定処理開始のコマンドと画像アドレスを送信し、これに基づいて、コア処理手段２１は、そのアドレスに対応した領域の基準画像データを返信する。
【００４４】
そして、判定処理手段２２ａは、各判定アルゴリズムによって被検査画像とその基準画像データに基づいてプリント基板３の良否を判定し、判定結果と不良箇所を示す座標データをコア処理手段２１に返信し、コア処理手段２１は、その判定結果などのデータを判定結果記憶手段１７ｂに格納させる。
【００４５】
一方、目視検査装置１ｂで不良となるプリント基板３の目視検査を行う場合、表示処理手段２３は、その目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂに対して一覧表示コマンドのコマンドを送信するとともに、その第二コア処理手段２１ｂは、自動検査装置１ａのコア処理手段２１に対してそのコマンドを転送する。するとコア処理手段２１は、判定結果記憶手段１７ｂに格納されていた不良箇所の一覧を読み出し、そのデータを目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂに返信し、第二コア処理手段２１ｂはその一覧を表示処理手段２３に転送する。このように一覧を受信すると、表示処理手段２３は、その不良箇所の一覧を、図７のように第三の表示領域２３３に表示させ、そして、検査者による選択を受け付ける。このとき、検査者が一覧の中の特定の不良箇所を選択すると、表示処理手段２３は、目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１に対して、その不良箇所の座標データとその位置の画像取得のためのコマンドを送信し、その第二コア処理手段２１ｂは、自動検査装置１ａのコア処理手段２１に対して転送処理を行う。そして、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂからその座標位置における検査対象物の画像や、基準データ記憶手段１７ａから基準画像データを取得し、その取得した画像を目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂを介して表示処理手段２３に返信する。
【００４６】
表示処理手段２３がこの画像データを受信すると、第一の表示領域２３１に不良箇所の画像データを表示させるとともに、第二の表示領域２３２に基準データとなる画像を表示させる。そして、検査者による目視の検査を受け付ける。検査者がこれらの表示された画像に基づいて良品であると判断した場合は、その入力を受け付け、表示処理手段２３が、その座標位置と目視検査の結果を書き換えるためのコマンドを第二コア処理手段２１ｂに送信する。そして、目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂは、そのコマンドを自動検査装置１ａのコア処理手段２１に転送し、自動検査装置１ａのコア処理手段２１の動作によって判定結果記憶手段１７ｂに格納されている検査結果を書き換える。
＜第三の実施の形態＞
【００４７】
次に、第三の実施の形態について図１０を用いて説明する。上記第二の実施の形態では、遠隔に設けられた目視検査装置１ｂで目視検査を行う場合について説明したが、この第三の実施の形態では、自動検査装置１ａにコア処理手段２１と基準データ記憶手段１７ａを設けておき、この装置から遠隔に設けられた自動検査装置１ｃで判定処理や目視検査を行えるようにしたものである。
【００４８】
この第三の実施の形態における処理について説明すると、あらかじめ自動検査装置１ａの基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、この状態で、遠隔に設けられた目視検査装置１ｂで自動検査と目視検査を行う。
【００４９】
自動検査を行う場合は、目視検査装置１ｂでプリント基板３から被検査画像を取得し、そして、第ｎ判定手段２２ｎで自動判定を行う場合は、前述と同様に、第ｎ判定手段２２ｎから画像アドレスを指定した画像取得コマンドを送る。すると第二コア処理手段２１ｂは、そのコマンドをコア処理手段２１に転送し、コア処理手段２１が基準データ記憶手段１７ａから取得した基準画像データを取得する。そして、その取得した基準画像データを第ｎ判定手段２２ｎに送信し、第ｎ判定手段２２ｎで判定処理を行う。そして、その判定結果を第二コア処理手段２１ｂを介してコア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。
【００５０】
そして、目視判定を行う場合は、第二の実施の形態と同様に、表示処理手段２３から不良画像の一覧表示コマンドを出力し、そのコマンドを第二コア処理手段２１ｂがコア処理手段２１に転送して、判定結果記憶手段１７ｂに格納された不良箇所の一覧を表示処理手段２３に戻す。そして、目視検査者による目視検査の結果を受け付け、その結果を第二コア処理手段２１ｂを介してコア処理手段２１に送信し、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂにその結果を格納する。
【００５１】
このように上記実施の形態によれば、コア処理手段２１ですべての処理に必要な基準画像の読み出し処理を行い、また、判定結果を記憶させるようにしたので、判定方法や表示方法が変更された場合であっても、入出力部分だけを共通化しておけば、大きく判定プログラムや表示プログラムを作り替える必要がなくなる。
【００５２】
また、判定手段２２ａ、２２ｂが変更された場合、その判定手段２２ａ、２２ｂを用いてその判定のために使用される対応基準データを生成するので、判定方法が変更された場合であっても、簡単に対応基準データを生成することができる。
【００５３】
コア処理手段２１が判定手段２２ａ、２２ｂや表示処理手段２３からのコマンドを受け取った場合、そのコマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段２１ｂに出力し、当該第二コア処理手段２１ｂで、基準データ記憶手段１７ａに格納された基準画像データを読み出して返信するようにしたので、単一のプロセッサー用の判定プログラムであるかマルチプロセッサー用の判定プログラムであるかを意識することなく判定プログラムを作成することができる。
【００５４】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００５５】
例えば、上記第二の実施の形態では、１台の目視検査装置１ｂを設けて検査するようにしているが、これを複数台設けるようにしてもよい。また、第三の実施の形態では、自動検査装置１ｃを別に１台設けているが、これを複数台とし、各装置で、例えば、配線パターンの検査、パッドの検査、レジストの検査、シルクの検査を振り分けて検査するようにしてもよい。また、複数台の装置を用いて検査するのではなく、一台の装置に複数のプロセッサーが設けられている場合は、各プロセッサーで動作するコア処理手段２１を用いて同様の処理を行わせるようにしてもよい。
【００５６】
また、上記実施の形態では、表示処理手段２３を設けて目視検査を行わせるようにしているが、必ずしも目視検査を行わせる必要はなく、判定手段２２ａ、２２ｂだけによる検査を行うようにしてもよい。
【００５７】
また、上記実施の形態では、目視検査装置１ｂで目視検査した結果を、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂに記憶させるようにしているが、この判定結果を目視検査装置１ｂ側に記憶させるようにしてもよい。
【００５８】
また、第三の実施の形態では、目視検査装置１ｂ側に画像取得手段１４を設けるようにしているが、これを自動検査装置１ａ側に設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す外観検査システムの概略を示す図
【図２】同形態における機能ブロックを示す図
【図３】同形態における第一の判定処理に使用されるヒストグラムを示す図
【図４】同形態における第二の判定処理で使用される形状検査を示す図
【図５】同形態における第二の判定処理で使用される形状検査を示す図
【図６】同形態における第二の判定処理で使用されるヒストグラムを示す図
【図７】同形態における表示手段の表示例を示す図
【図８】本発明の第二の実施の形態を示す外観検査システムの概略図
【図９】同形態における機能ブロックを示す図
【図１０】同形態における機能ブロックを示す図
【符号の説明】
【００６０】
１・・・外観検査システム
１ａ、１ｃ・・・自動検査装置
１ｂ・・・目視検査装置
３・・・プリント基板
４・・・シルク
１０・・・スタッカ
１１・・・ピックアップ機構
１２・・・載置台
１３・・・移動機構
１４・・・画像取得手段
１４１・・・発光装置
１４２・・・受光装置
１５・・・回収部
１６・・・検査処理手段
１７ａ・・・基準データ記憶手段
１７ｂ・・・判定結果記憶手段
２１、２１ｂ・・・コア処理手段（第二コア処理手段）
２２ａ、２２ｂ・・・判定手段（第一判定手段、第二判定手段）
２３・・・表示処理手段
２３１・・・第一の表示領域
２３２・・・第二の表示領域
２３３・・・第三の表示領域ｓ
【手続補正書】
【提出日】平成20年8月12日(2008.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の形成状態を判定する複数の判定プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該判定プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を判定するようにした外観検査システムにおいて、
検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、
当該取得された被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、
当該基準画像データを読み出して判定手段に出力するコア処理手段と、
当該コア処理手段と分離して設けられた判定手段とを備えてなり、
当該判定手段から前記コア処理手段に画像取得コマンドを出力して基準画像データを取得し、判定手段で、当該取得した基準画像データをもとに前記判定プログラムで使用される対応基準データを生成するとともに、前記画像取得手段で取得された被検査画像をもとに前記対応基準データ生成時と同じ条件で被検査データを生成し、これらの対応基準データと被検査データとを比較して判定処理し、当該判定処理による判定結果をコア処理手段に出力し、
前記コア処理手段で、当該出力された判定結果を判定結果記憶手段に記憶させるようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項２】
前記コア処理手段が、判定手段から受け取った画像取得コマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段が、当該第二コア処理手段に対応する記憶手段から基準画像データを読み出して前記コア処理手段に出力するものである請求項１に記載の外観検査システム。
【請求項３】
検査対象物の形成状態を目視検査する複数の表示プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該表示プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を目視検査できるようにした請求項１に記載の外観検査システムにおいて、コア処理手段が、
前記判定手段による判定結果を記憶させる判定結果記憶手段と、
表示手段からの判定結果読み出しコマンドに基づいて、判定結果を表示手段に出力するコア処理手段とを備えてなり、
当該表示手段で、前記読み出された判定結果に基づく目視判定結果の入力を受け付け、当該目視判定結果をコア処理手段に出力するようにしたことを特徴とする外観検査システム。
【請求項４】
前記コア処理手段が、表示手段から受け取った判定結果の読み出しコマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段が、当該第二コア処理手段に対応する記憶手段から判定結果を読み出して前記コア処理手段に出力するものである請求項３に記載の外観検査システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の形成状態を検査する外観検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、物品の形成状態を検査する場合、まず、画像取得手段によって検査対象物の画像を取得し、その画像を検査データとしてメモリに格納するとともに、あらかじめ検査に必要となる基準データを記憶手段に格納しておき、検査対象物から取得された検査データとこの記憶手段に格納された基準データとを比較する。そして、その比較判定による結果、不良箇所が存在する場合はその不良位置やその不良位置における画像をディスプレイに表示する。
【０００３】
この外観検査システムについて、プリント基板を検査する場合を説明すると、まず、プリント基板の形成状態を検査する場合、画像取得手段を用いてプリント基板の表面に形成された配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの画像を取得し、その取得した画像をメモリに格納する。また、あらかじめ検査のために必要となる基準データも記憶手段に格納しておく。ここで、基準データとしては、良品のプリント基板の画像や、その画像をもとに判定処理する際に用いられる閾値などのデータである。
【０００４】
そして、取得された配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの画像からその形成状態を検査する場合、例えば、取得された画像からヒストグラムを生成するとともに、これに対応して、あらかじめ記憶手段に良品のプリント基板から生成されたヒストグラムに関する基準データを格納しておく。そして、検査対象物のヒストグラムとあらかじめ記憶手段に格納されているヒストグラムとを比較し、図３に示すように、第一の輝度値Ｐ１よりも低い輝度を有する画素の数が基準数（図における斜線部）以上存在している場合や、第二の輝度値Ｐ２よりも高い輝度を有する画素の数が基準数（図における斜線部）以上存在している場合は、不良であると判定する。そして、配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどの各検査領域についてそれぞれ独自の判定アルゴリズムに基づいて判定を行い、不良と判定されたプリント基板については、その検査結果を記憶手段に格納していくとともに、事後的に、ディスプレイに不良箇所の画像や位置データなどを表示させて、目視検査を行えるようにしている（特許文献１）。
【０００５】
また、プリント基板を検査する他の検査方法としては、検査対象となるパターン領域を内側と外側領域に分割し、比較的大きな欠陥が許容されるパターン領域の内側について緩やかな基準を適用し、また、微細な欠陥も問題とされるパターン領域の外側については厳しい基準を適用して検査を行うようにする方法もある（特許文献２）。
【０００６】
また、これ以外にも多くの検査方法が存在し、一般に、物品の形成状態を検査する場合、ユーザーの仕様に基づいて判定アルゴリズムや閾値などを設定し、これに基づいて検査を行うことが多い。
【特許文献１】特開２００３−８６９１９号公報
【特許文献２】特開２００５−１８１２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このように各ユーザーの仕様に応じて検査のための判定アルゴリズムを変更すると、一からプログラムを作り直さなければならず、そのプログラムの作成に時間がかかってしまう。また、同一のユーザーであっても、例えば、配線パターンやパッド、レジスト、シルクなどのように検査対象領域ごとに判定アルゴリズムを変えて検査しなければならない場合は、それぞれの検査対象領域ごとにプログラムを作成しなければならない。一方、現在では複数のプロセッサーを有する検査装置や、ネットワークで接続された他の検査装置で検査を行えるようにした検査装置も提案されているが、このような検査装置で検査する場合においても、同じ判定アルゴリズムで検査を行おうとしてもデータ送受信のためのプログラムを組み込まなければならない。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題に着目してなされたもので、検査方法が変更された場合であっても、大きく判定プログラムを作り直す必要がなく、また、複数のプロセッサーを有する検査装置やネットワークで接続された装置を用いて検査する場合であっても、大きく判定プログラムを作り直す必要のない外観検査システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物の形成状態を判定する複数の判定プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該判定プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を判定するようにした外観検査システムにおいて、検査対象物から被検査画像を取得する画像取得手段と、当該取得された被検査画像を判定するに際して基準となる基準画像データを記憶する記憶手段と、当該基準画像データを読み出して判定手段に出力するコア処理手段と、当該コア処理手段と分離して設けられた判定手段とを備えてなり、当該判定手段から前記コア処理手段に画像取得コマンドを出力して基準画像データを取得し、判定手段で、当該取得した基準画像データをもとに前記判定プログラムで使用される対応基準データを生成するとともに、前記画像取得手段で取得された被検査画像をもとに前記対応基準データ生成時と同じ条件で被検査データを生成し、これらの対応基準データと被検査データとを比較して判定処理し、当該判定処理による判定結果をコア処理手段に出力し、前記コア処理手段で、当該出力された判定結果を判定結果記憶手段に記憶させるようにしたものである。
【００１０】
このようにすれば、ユーザーの要求によって判定アルゴリズムが変更された場合や、検査対象領域ごとに判定プログラムを変更すべき場合であっても、すべてのプログラムに共通する基準画像データの読み出しをコア処理手段で行うので、判定プログラムを大きく作り直す必要がなくなる。また、判定プログラムが変更された場合であっても、その判定処理の際に使用される対応基準データを判定手段で生成するので、対応基準データを自動的に生成することができ、また、対応基準データの作成や記憶をコア処理手段で行う必要がなくなる。
【００１１】
さらに、コア処理手段が判定手段からの画像取得コマンドを受け取った場合、その画像取得コマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段で、対応して設けられた記憶手段に格納された基準画像データを読み出して前記コア処理手段に出力する。そして、そのコア処理手段が判定手段に対して基準画像データを出力する。
【００１２】
このようにすれば、マルチプロセッサーを有する外観検査システムやネットワークで接続された複数の装置で検査する場合であっても、単一のプロセッサー用の判定プログラムであるかマルチプロセッサー用の判定プログラムであるかを意識することなく判定プログラムを作成することができる。
【００１３】
また、このような発明において、検査対象物の形成状態を目視検査する複数の表示プログラムのうち少なくとも一つを記憶させ、当該表示プログラムによって検査対象物の形成状態の良否を目視検査できるようにする場合、コア処理手段で、前記判定手段による判定結果を記憶させるとともに、表示手段からの判定結果読み出しコマンドに基づいて、コア処理手段から判定結果を出力し、当該表示手段で、その自動判定結果に基づく目視判定結果の入力を受け付けてコア処理手段に出力する。
【００１４】
このようにすれば、目視検査に使用されるディスプレイの表示方法が変わった場合であっても、判定プログラムやコアプログラムを大きく変更することなく、簡単に表示プログラムの変更のみで対応することができる。
【００１５】
また、コア処理手段が表示手段から判定結果の読み出しコマンドを受け取った場合、そのコマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段に出力し、当該第二コア処理手段で、対応して設けられた記憶手段から判定結果を読み出して前記コア処理手段に出力する
【００１６】
このようにすれば、マルチプロセッサーを有する外観検査システムやネットワークで接続された複数の装置で検査する場合であっても、単一のプロセッサー用の表示プログラムであるかマルチプロセッサー用の表示プログラムであるかを意識することなく表示プログラムを作成することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ユーザーの要求によって判定アルゴリズムが変更された場合や、検査対象領域ごとに判定プログラムを変更すべき場合であっても、すべてのプログラムに共通する基準画像データの読み出しをコア処理手段で行うので、判定プログラムの大きく作り直す必要がなくなる。また、判定プログラムが変更された場合であっても、その判定処理の際に使用される対応基準データを判定手段で生成するので、対応基準データを自動的に生成することができ、また、対応基準データの作成や記憶をコア処理手段で行う必要がなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施の形態であるプリント基板３を検査する外観検査システム１の概略図を示したものであり、図２は、その外観検査システム１の機能ブロック図を示したものである。なお、この実施の形態では、プリント基板３を検査する外観検査システム１について説明するが、必ずしもプリント基板３を検査する装置に限定されるものではなく、例えば、液晶基板や、物品の表面に形成された印刷文字などを検査する検査装置のほか、物品の表面に発生した傷や欠けなどの有無を検査する検査装置などに適用することができる。
【００１９】
＜第一の実施の形態＞
まず、第一の実施の形態における外観検査システム１について説明すると、第一の実施の形態における外観検査システム１は、一つのプロセッサーで判定処理を行う検査装置からなるもので、その内部に、検査対象物であるプリント基板３の表面画像を取得する画像取得手段１４と、その取得された画像からプリント基板３の形成状態の良否を検査する検査処理手段１６とを備える。そして、特徴的には、その検査処理手段１６に、コアプログラムに基づいて駆動するコア処理手段２１と、判定プログラムに基づいて駆動する複数の判定手段（第一判定手段２２ａ、第二判定手段２２ｂ）と、表示プログラムに基づいて駆動する複数の表示処理手段２３とを分離して設けておき、各判定手段２２ａ、２２ｂとコア処理手段２１との間、および、表示処理手段２３とコア処理手段２１との間でコマンドとレスポンスの送受信を行うことで判定処理や表示処理を行うようにしたものである。
【００２０】
この外観検査システム１の機能構成を説明する。図１において、外観検査システム１は、検査対象であるプリント基板３を積層するスタッカ１０と、そのスタッカ１０からプリント基板３を取り出して載置台１２に載置するピックアップ機構１１と、載置台１２に載せられたプリント基板３を画像取得手段１４まで移動させる移動機構１３とを備える。そして、その取得された画像を用いて検査処理手段１６を用いて検査を行い、その判定結果に応じてプリント基板３を振り分けて回収する回収部１５とを備えている。
【００２１】
この画像取得手段１４は、プリント基板３に斜め方向から光を照射する発光装置１４１と、プリント基板３からの反射光を受光する受光装置１４２とを備えてなり、その受光装置１４２によって取得された画像を一旦画像メモリに格納する。そして、この画像メモリに格納された検査対象の画像データ（以下、「被検査画像」という）を検査処理手段１６に出力して良否判定を行い、コア処理手段２１と各判定手段２２ａ、２２ｂによって検査領域ごとの良否判定を行う。
【００２２】
このコア処理手段２１は、ユーザーによって異なる仕様の判定プログラムや表示プログラムに対して共通の処理を行うもので、判定プログラムや表示プログラムが変更された場合であっても新たにプログラムを作り直す必要がないものである。具体的に、このコア処理手段２１は、あらかじめ基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを記憶させておき、判定手段２２ａ、２２ｂから画像取得コマンドが送信された場合はその基準画像データを読み出して判定手段２２ａ、２２ｂに出力する。また、その際、画像取得手段１４によって取得された被検査画像も判定手段２２ａ、２２ｂに対して出力する。なお、ここでは、被検査画像をコア処理手段２１を介して判定手段２２ａ、２２ｂに出力するようにしているが、被検査画像については直接画像取得手段１４から判定手段２２ａ、２２ｂに出力するようにしてもよい。
【００２３】
基準データ記憶手段１７ａには、検査に際して基準となるプリント基板３の画像のビットマップデータが基準画像データとして格納される。そして、第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂから画像取得コマンドが送信された場合、コア処理手段はその画像取得コマンドに含まれる指定画像アドレスを抽出し、そのアドレスに基づく領域の基準画像データを読み出して第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂに出力する。ここで、「画像データ」とは、ビットマップデータだけでなく、基準となるプリント基板３から取得された画像の圧縮データ、もしくは、取得された画像の一部の画像データ、あるいは、プリント基板３を形成する際に使用されるＣＡＤデータに基づいて生成される画像データを使用してもよい。
【００２４】
判定手段２２は、コア処理手段２１から受信した基準画像データや被検査画像に基づいて検査対象となるプリント基板３の良否を判定するもので、この実施の形態では、２種類の判定手段（第一判定手段２２ａ、第二判定手段２２ｂ）を備える。もちろん、この判定手段は３種類以上設けるようにすることもできる。この判定手段は判定アルゴリズムを実行する判定プログラムとそれに関連するハードウェアで構成されるものである。
【００２５】
このうち第一判定手段２２ａは、パッドや配線パターンの形成状態の良否を判定し、また、第二判定手段２２ｂは、シルクの形成状態を判定する。なお、本実施の形態では、パッドや配線パターン、シルクの形成状態を判定する場合について説明するが、これ以外に、レジスト、スルーホールなどの判定手段も設けるようにしてもよい。
【００２６】
第一判定手段２２ａで、パッドや配線パターンの欠けや突起などを検査する場合、まず、目視検査によって良品と判定されたプリント基板３の基準画像データをコア処理手段２１から取得し、ここからパッドの輝度幅である輝度９０から輝度１５０の画素数を計数して、図３の太い実線に示すようなヒストグラムを生成する。そして、このヒストグラムのピークを中心に明るい側と暗い側における一定輝度幅Ｐ１〜Ｐ２の第一基準画素数（輝度Ｐ２×輝度幅Ｐ１〜Ｐ２）、およびＰ３〜Ｐ４の第二基準画素数（輝度Ｐ３×輝度幅Ｐ３〜Ｐ４）を第一基準データとして対応基準データ記憶手段２２０ａに格納しておく。
【００２７】
また、第一判定手段２２ａは、画像取得手段１４から取得された画像をもとに、上述と同様の処理手順によってパッドの輝度幅である輝度９０〜１５０の画素数を計数し、図３（ｂ）（ｃ）の細い実線に示すヒストグラムを生成する。そして、このヒストグラムにおいて、輝度Ｐ１〜Ｐ２の輝度幅の画素数を計数するとともに、輝度Ｐ３〜Ｐ４の輝度幅の画素数を計数し、これと第一基準画素数および第二基準画素数と比較する。そして、第一基準画素数よりも検査対象物の画素数が多い場合は、パッドに欠けがあると判定し（図３（ｂ））、また、第二基準画素数よりも検査対象物の画素数が多い場合は、パッドに突起があると判定する（図３（ｃ））。一方、検査対象物の画素数が第一基準画素数および第二基準画素数よりも少ない場合は良品であると判定し、その結果をコア処理手段２１に出力する。このコア出力部に判定結果を出力する場合は、欠陥が存在する座標位置とその欠陥の種類（例えば、突起や欠け）を出力する。
【００２８】
次に、シルク検査のための第二判定手段２２ｂについて説明する。第二判定手段２２ｂで、シルクの印刷状態を検査する場合、まず、同様に、目視によって良品と判定されたプリント基板３からシルクの画像を抽出する。このシルクの画像を抽出する場合、基準画像データをコア処理手段２１から取得し、これを、シルクの輝度幅である輝度２００〜２５５の画素を抽出し、その領域の画像を図４に示すように数画素分膨らまし処理する。この膨らまし処理を行う画素数としては、例えば、２〜３画素とし、この膨らまし処理によって輪郭部分をスムージングする。そして、さらに、この膨らましによって生成された領域（以下、外側ブロック領域という）をさらに膨らまし処理し、この状態を図４を用いて詳細に説明すると、太い実線４０は、実際に印刷されたシルクの輪郭線であり、４１ａはその輪郭線を膨らまし処理して得られた外側ブロック領域４１の輪郭線である。また、最も内側における細い破線で示した線４２ａは内側ブロック領域４２の輪郭線である。また、最も外側における太い実線４３ａは、外側ブロック領域４１をさらに膨らまし処理した最外領域４３の輪郭線である。この最外領域４３においては、パッドなどの他の検査対象物を除去した窪み４４が形成されている。この窪み４４を形成する場合、膨らまし処理することによって得られた最外領域４３に対して、パッドの領域を除去することによって行われる。なお、ここではパッド領域を除去するようにしているが、これはパッドの銅箔が露出して白く反射し、シルクと誤認されるおそれがあるからである。そして、今度は、先の膨らまし処理された外側ブロック領域４１を逆に縮小させる方向に処理する。この縮小画素数としては、膨らまし処理した画素数よりも大きく、しかも、実際のシルクの輪郭線４０よりも若干内側に輪郭線が位置するようにする。そして、このように膨らまし処理と縮小処理を行うことにより、スムージングされた内側ブロック領域４２が生成される。そして、このように生成された外側ブロック領域４１、内側ブロック領域４２、最外領域４３の情報を第二基準データとして対応基準データ記憶手段２２０ｂに格納しておく。また、第二基準データとして、図５（ａ）に示すように、最外領域４３から外側ブロック領域４１を刳り貫いた刳り貫き領域におけるヒストグラムと、そのヒストグラムにおける第一の輝度Ｐ５よりも低い側の第一基準画素数、および第二の輝度Ｐ６よりも高い側の第二基準画素数を第二基準データとして記憶させておく。
【００２９】
そして、第二判定手段２２ｂは、検査対象であるシルクの印刷状態を検査する場合、画像取得手段１４によって取得された検査対象物の画像から、シルクの輝度幅である輝度２００〜２５５の画素を抽出し、その抽出されたシルクと第二基準データの内側ブロック領域４２をマッチング処理する。具体的には、図５に示すように、検査対象となるシルクの画像を数画素ずつＸ方向、Ｙ方向にずらしながら内側ブロック領域４２と相関をとり、相関値が最も高くなるような位置を検出することによって検査対象物のシルクと基準となる内側ブロック領域４２との位置ずれを検出する。この位置ずれの検出により、基準対象物におけるシルクの位置ずれ（ｘ０、ｙ０）が検出される。そして、このずれ量（ｘ０、ｙ０）から、検査対象物からの取得画像を全体的に（ｘ０、ｙ０）分だけシフトさせ、基準となる内側ブロック領域４２と一致させる。
【００３０】
そして、このシフト処理された検査対象物の画像から外側ブロック領域４１を刳り貫き、最外領域４３内における刳り貫き領域４３を生成する。このとき、検査対象物のシルクがほぼ基準となるシルクの印刷状態と同じであれば、刳り貫き領域４３内にはレジストの輝度に対応する画素だけが存在することになる。しかし、検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みや塵が付着している場合や、「Ａ」の中空部分が塗り潰されている場合には、その刳り貫き領域４３に白い輝度の画素とレジストの輝度の画素が含まれることとなる。
【００３１】
そして、この刳り貫き領域４３内における画素のヒストグラムを生成し、このヒストグラムからシルクの印刷状態の良否を判定する。検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みや塵などの異物がまったく存在しない場合は、図６（ａ）に示すように、レジストの輝度幅内の画素が最も多くなり、低輝度側の画素や高輝度側の画素は存在しないことになる。一方、検査対象物のシルクの輪郭外側にシルクの滲みが存在する場合は、図６（ｂ）に示すように、レジストの輝度幅よりも高輝度側の画素数が増え、また、シルクの輪郭外側に黒い塵が存在している場合は、レジストの輝度よりも低輝度側の画素数が増える。そこで、第二判定手段２２ｂでは、この生成されたヒストグラムからレジストの輝度幅における第一の輝度Ｐ５よりも低い輝度の画素数を計数するとともに、レジストの輝度幅における第二の輝度Ｐ６よりも高い輝度の画素数を計数する。そして、第二基準データとして記憶されている低輝度側における第一基準画素数と、高輝度側における第二基準画素数とを用いて比較し、そして、検査対象物における第一の輝度Ｐ５よりも低輝度側の総画素数が第一基準画素数よりも大きい場合、または、検査対象物における第二の輝度Ｐ６よりも高輝度側の総画素数が第二基準画素数よりも大きい場合には、印刷状態が不良であると判定する。一方、検査対象物における低輝度側の総画素数が第一基準画素数よりも少なく、かつ、検査対象物における高輝度側の総画素数が第二基準画素数よりも少ない場合には、印刷状態良好であると判定し、その結果と不良位置をコア処理手段２１に出力する。
【００３２】
そして、コア処理手段２１は、第一判定手段２２ａや第二判定手段２２ｂから受け取った判定結果やその不良原因、および、不良箇所の画像などを判定結果記憶手段１７ｂに記憶させる。
【００３３】
次に、コア処理手段２１は、表示処理手段２３に対してその判定結果記憶手段１７ｂに格納された判定結果と不良箇所を示す座標データの一覧を送信する。この表示処理手段２３は、ユーザーからの仕様によって様々な表示形態で表示されるもので、不良箇所の画像を表示し、目視検査の結果を入力できるようにしたもので、表示や入力処理を実行する表示プログラムとそれに関連するハードウェアで構成されるものである。この表示処理手段２３は、コア処理手段２１に対して不良箇所の表示一覧コマンドを出力し、そのレスポンスとしてコア処理手段２１から不良箇所の一覧を受信する。そして、その不良箇所の画像をディスプレイに表示させ、目視検査の結果を受け付けて、その結果をコア処理手段２１に出力できるようにしている。なお、ここでは一つの表示処理手段２３について説明するが、ユーザーの仕様によって表示方法が変更された場合であっても、表示一覧コマンドの出力と受信、および、目視判定結果の出力は共通化しておく。
【００３４】
この表示処理手段２３は、図７に示すように、ディスプレイに被検査画像を表示する第一の表示領域２３１と、基準となるプリント基板３の同じ位置における画像を表示する第三の表示領域２３３と、不良箇所のリストを表示する第三の表示領域２３３を表示させる。この第三の表示領域２３３には、不良と判断されたプリント基板３の識別番号と、その識別番号に対応する不良箇所のリストが上下方向に並べて表示され、マウスで選択されるようになっている。
【００３５】
これらの各表示領域に表示する場合、コア処理手段２１から判定結果が送信されることによって、不良箇所のリストのみが表示される。このとき、第一の表示領域２３１と第二の表示領域２３２には画像は表示されていない状態となる。そして、目視検査者がその表示された一覧の中の一部を選択することによって、表示処理手段２３はその選択された不良箇所の（Ｘ，Ｙ）座標を読み出し、コア処理手段２１に画像読み出しコマンドを送信する。すると、コア処理手段２１は、基準データ記憶手段１７ａに格納されていた基準データの（Ｘ，Ｙ）座標の画像と、検査対象となるプリント基板３の（Ｘ，Ｙ）座標における画像データをレスポンスとして表示処理手段２３に返信する。そして、その受信した画像データのうち、被検査画像を第一の表示領域２３１に表示し、また、基準画像データを第二の表示領域２３２に表示させる。このとき、被検査画像の座標位置にマーキングＭを施し、不良箇所を容易に特定できるようにする。そして、この第一の表示領域２３１に表示された不良箇所の画像と、第二の表示領域２３２に表示された基準データの画像を目視検査することによって操作者からの目視検査の結果の入力を受け付け、その受け付けた目視判定の結果を座標データとともにコア処理手段２１に出力する。このとき、表示処理手段２３はコア処理手段２１に対して座標位置データとともに判定結果の書き換えを要求するコマンドを送信する。すると、このデータを受信したコア処理手段２１は、判定結果記憶手段１７ｂに格納されていたその座標位置の判定結果を書き換える。
【００３６】
このようにすれば、判定方法や表示方法が変更・追加された場合であっても、コア処理手段を変更することなく対応することができるようになる。
【００３７】
＜第二の実施の形態＞
次に、第二の実施の形態について説明する。図８は、第二の実施の形態におけるプリント基板３の外観検査システム１の概略図を示したものであり、図９は、その機能ブロック図を示したものである。
【００３８】
上記第一の実施の形態では、一台の装置本体で検査を行う場合について説明したが、第二の実施の形態は、プリント基板３をピックアップして自動で検査する自動検査装置１ａと、目視で良否を判断する目視検査装置１ｂを用いて外観検査装置を構成した場合について説明する。
【００３９】
この実施の形態における外観検査システム１は、自動検査装置１ａと目視検査装置１ｂをネットワークを介して接続したものである。このうち、自動検査装置１ａは、上記第一の実施の形態における外観検査システム１と同様に、スタッカ１０やピックアップ機構１１、移動機構１３、画像取得手段１４、回収部１５などを設けている。一方、目視検査装置１ｂは、内部にＣＰＵや記憶装置を備え、また、キーボードなどの入力部やディスプレイなどを備えている。
【００４０】
この自動検査装置１ａには、コア処理手段２１と判定手段２２ａ、２２ｂを備え、一方、目視判定装置には、自動検査装置１ａと同じ第二コア処理手段２１ｂと、表示処理手段２３とを備えている。
【００４１】
そして、このように構成された外観検査システム１において、プリント基板３を検査する場合、事前に自動検査装置１ａの基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを記憶させておく。
【００４２】
検査対象となるプリント基板３を検査する場合、判定処理手段２２ａ、２２ｂがコア処理手段２１に対して判定処理開始のコマンドと画像アドレスを送信し、これに基づいて、コア処理手段２１は、そのアドレスに対応した領域の基準画像データを返信する。
【００４３】
そして、判定処理手段２２ａは、各判定アルゴリズムによって被検査画像とその基準画像データに基づいてプリント基板３の良否を判定し、判定結果と不良箇所を示す座標データをコア処理手段２１に返信し、コア処理手段２１は、その判定結果などのデータを判定結果記憶手段１７ｂに格納させる。
【００４４】
一方、目視検査装置１ｂで不良となるプリント基板３の目視検査を行う場合、表示処理手段２３は、その目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂに対して一覧表示コマンドのコマンドを送信するとともに、その第二コア処理手段２１ｂは、自動検査装置１ａのコア処理手段２１に対してそのコマンドを転送する。するとコア処理手段２１は、判定結果記憶手段１７ｂに格納されていた不良箇所の一覧を読み出し、そのデータを目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂに返信し、第二コア処理手段２１ｂはその一覧を表示処理手段２３に転送する。このように一覧を受信すると、表示処理手段２３は、その不良箇所の一覧を、図７のように第三の表示領域２３３に表示させ、そして、検査者による選択を受け付ける。このとき、検査者が一覧の中の特定の不良箇所を選択すると、表示処理手段２３は、目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１に対して、その不良箇所の座標データとその位置の画像取得のためのコマンドを送信し、その第二コア処理手段２１ｂは、自動検査装置１ａのコア処理手段２１に対して転送処理を行う。そして、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂからその座標位置における検査対象物の画像や、基準データ記憶手段１７ａから基準画像データを取得し、その取得した画像を目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂを介して表示処理手段２３に返信する。
【００４５】
表示処理手段２３がこの画像データを受信すると、第一の表示領域２３１に不良箇所の画像データを表示させるとともに、第二の表示領域２３２に基準データとなる画像を表示させる。そして、検査者による目視の検査を受け付ける。検査者がこれらの表示された画像に基づいて良品であると判断した場合は、その入力を受け付け、表示処理手段２３が、その座標位置と目視検査の結果を書き換えるためのコマンドを第二コア処理手段２１ｂに送信する。そして、目視検査装置１ｂの第二コア処理手段２１ｂは、そのコマンドを自動検査装置１ａのコア処理手段２１に転送し、自動検査装置１ａのコア処理手段２１の動作によって判定結果記憶手段１７ｂに格納されている検査結果を書き換える。
＜第三の実施の形態＞
【００４６】
次に、第三の実施の形態について図１０を用いて説明する。上記第二の実施の形態では、遠隔に設けられた目視検査装置１ｂで目視検査を行う場合について説明したが、この第三の実施の形態では、自動検査装置１ａにコア処理手段２１と基準データ記憶手段１７ａを設けておき、この装置から遠隔に設けられた自動検査装置１ｃで判定処理や目視検査を行えるようにしたものである。
【００４７】
この第三の実施の形態における処理について説明すると、あらかじめ自動検査装置１ａの基準データ記憶手段１７ａに基準画像データを格納しておき、この状態で、遠隔に設けられた目視検査装置１ｂで自動検査と目視検査を行う。
【００４８】
自動検査を行う場合は、目視検査装置１ｂでプリント基板３から被検査画像を取得し、そして、第ｎ判定手段２２ｎで自動判定を行う場合は、前述と同様に、第ｎ判定手段２２ｎから画像アドレスを指定した画像取得コマンドを送る。すると第二コア処理手段２１ｂは、そのコマンドをコア処理手段２１に転送し、コア処理手段２１が基準データ記憶手段１７ａから取得した基準画像データを取得する。そして、その取得した基準画像データを第ｎ判定手段２２ｎに送信し、第ｎ判定手段２２ｎで判定処理を行う。そして、その判定結果を第二コア処理手段２１ｂを介してコア処理手段２１に送信し、判定結果記憶手段１７ｂに格納する。
【００４９】
そして、目視判定を行う場合は、第二の実施の形態と同様に、表示処理手段２３から不良画像の一覧表示コマンドを出力し、そのコマンドを第二コア処理手段２１ｂがコア処理手段２１に転送して、判定結果記憶手段１７ｂに格納された不良箇所の一覧を表示処理手段２３に戻す。そして、目視検査者による目視検査の結果を受け付け、その結果を第二コア処理手段２１ｂを介してコア処理手段２１に送信し、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂにその結果を格納する。
【００５０】
このように上記実施の形態によれば、コア処理手段２１ですべての処理に必要な基準画像の読み出し処理を行い、また、判定結果を記憶させるようにしたので、判定方法や表示方法が変更された場合であっても、入出力部分だけを共通化しておけば、大きく判定プログラムや表示プログラムを作り替える必要がなくなる。
【００５１】
また、判定手段２２ａ、２２ｂが変更された場合、その判定手段２２ａ、２２ｂを用いてその判定のために使用される対応基準データを生成するので、判定方法が変更された場合であっても、簡単に対応基準データを生成することができる。
【００５２】
コア処理手段２１が判定手段２２ａ、２２ｂや表示処理手段２３からのコマンドを受け取った場合、そのコマンドを他のプロセッサーで駆動する第二コア処理手段２１ｂに出力し、当該第二コア処理手段２１ｂで、基準データ記憶手段１７ａに格納された基準画像データを読み出して返信するようにしたので、単一のプロセッサー用の判定プログラムであるかマルチプロセッサー用の判定プログラムであるかを意識することなく判定プログラムを作成することができる。
【００５３】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００５４】
例えば、上記第二の実施の形態では、１台の目視検査装置１ｂを設けて検査するようにしているが、これを複数台設けるようにしてもよい。また、第三の実施の形態では、自動検査装置１ｃを別に１台設けているが、これを複数台とし、各装置で、例えば、配線パターンの検査、パッドの検査、レジストの検査、シルクの検査を振り分けて検査するようにしてもよい。また、複数台の装置を用いて検査するのではなく、一台の装置に複数のプロセッサーが設けられている場合は、各プロセッサーで動作するコア処理手段２１を用いて同様の処理を行わせるようにしてもよい。
【００５５】
また、上記実施の形態では、表示処理手段２３を設けて目視検査を行わせるようにしているが、必ずしも目視検査を行わせる必要はなく、判定手段２２ａ、２２ｂだけによる検査を行うようにしてもよい。
【００５６】
また、上記実施の形態では、目視検査装置１ｂで目視検査した結果を、自動検査装置１ａの判定結果記憶手段１７ｂに記憶させるようにしているが、この判定結果を目視検査装置１ｂ側に記憶させるようにしてもよい。
【００５７】
また、第三の実施の形態では、目視検査装置１ｂ側に画像取得手段１４を設けるようにしているが、これを自動検査装置１ａ側に設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第一の実施の形態を示す外観検査システムの概略を示す図
【図２】同形態における機能ブロックを示す図
【図３】同形態における第一の判定処理に使用されるヒストグラムを示す図
【図４】同形態における第二の判定処理で使用される形状検査を示す図
【図５】同形態における第二の判定処理で使用される形状検査を示す図
【図６】同形態における第二の判定処理で使用されるヒストグラムを示す図
【図７】同形態における表示手段の表示例を示す図
【図８】本発明の第二の実施の形態を示す外観検査システムの概略図
【図９】同形態における機能ブロックを示す図
【図１０】同形態における機能ブロックを示す図
【符号の説明】
【００５９】
１・・・外観検査システム
１ａ、１ｃ・・・自動検査装置
１ｂ・・・目視検査装置
３・・・プリント基板
４・・・シルク
１０・・・スタッカ
１１・・・ピックアップ機構
１２・・・載置台
１３・・・移動機構
１４・・・画像取得手段
１４１・・・発光装置
１４２・・・受光装置
１５・・・回収部
１６・・・検査処理手段
１７ａ・・・基準データ記憶手段
１７ｂ・・・判定結果記憶手段
２１、２１ｂ・・・コア処理手段（第二コア処理手段）
２２ａ、２２ｂ・・・判定手段（第一判定手段、第二判定手段）
２３・・・表示処理手段
２３１・・・第一の表示領域
２３２・・・第二の表示領域
２３３・・・第三の表示領域