(57)【要約】【課題】  ユーザの要求に応じた取付けを選択的に得られる安価に仕様変更が可能なレボルバ装置を提供する。【解決手段】  レボルバ１００を異なる落射投光装置２０、３０、４０に取付けるための取付け部２００、４００、５００を複数用意し、これら取付け部２００、４００、５００を実際に使用する落射投光装置２０、３０、４０に合わせて選択してレボルバ１００に取付ける。【選択図】      図１
2008032930.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なるレボルバ装着部を有する複数の顕微鏡本体に取付け可能なレボルバ装置であって、
対物レンズを保持するレボルバ本体と、
前記レボルバ本体に対し着脱可能な第１の取付け部と、前記複数の顕微鏡本体のレボルバ装着部に各別に対応し、それぞれのレボルバ装着部に対し着脱可能な第２の取付け部を有する複数の取付け部材を有し、
前記顕微鏡本体に対応する前記取付け部材を前記顕微鏡本体とレボルバ本体の間に配置し、前記レボルバ本体を前記顕微鏡本体に支持させることを特徴とするレボルバ装置。
【請求項２】
前記顕微鏡本体のレボルバ装着部は、前記第２の取付け部を位置決めする位置決め手段及び前記第２の取付け部を前記位置決め状態で固定する固定手段を有することを特徴とする請求項１記載のレボルバ装置。
【請求項３】
前記複数の顕微鏡本体は、それぞれ異なるレボルバ装着部を有し、前記レボルバ装着部は、前記第２の取付け部を位置決めする位置決め手段及び前記第２の取付け部を前記位置決め状態で固定する固定手段を有することを特徴とする請求項１記載のレボルバ装置。
【請求項４】
前記取付け部材の一つは、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部に対してスライドアリを有する第２の取付け部を介して着脱可能にしたことを特徴とする請求項２又は３記載のレボルバ装置。
【請求項５】
前記取付け部材の一つは、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部に対して装着面と当て付け面を有するＬ字形状の第２の取付け部を介して着脱可能にしたことを特徴とする請求項２又は３記載のレボルバ装置。
【請求項６】
前記取付け部材の一つは、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部に対して装着面と当て付け面を有するフラット形状の第２の取付け部を介して着脱可能にしたことを特徴とする請求項２又は３記載のレボルバ装置。
【請求項７】
前記取付け部材の第２の取付け部は、前記顕微鏡本体に対する前記レボルバ本体の取付け向きに応じて前記顕微鏡本体又は落射投光装置のレボルバ装着部への取付け方向が設定されていることを特徴とする請求項２又は３記載のレボルバ装置。
【請求項８】
前記取付け部材は、スライダを装着可能な開口部を有し、該開口部は、所望するスライダ装着方向に応じた位置に設けられていることを特徴とする請求項２又は３記載のレボルバ装置。
【請求項９】
前記取付け部材は、光源と、該光源からの光束を前記標本に照射させる光学部材を有することを特徴とする請求項１記載のレボルバ装置。
【請求項１０】
前記レボルバ本体は、
前記複数の対物レンズを切換え可能に保持する対物レンズ保持部材と、
前記対物レンズ保持部材を支持する固定部材と、
を有することを特徴とする請求項１記載のレボルバ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の顕微鏡や、これを有する検査装置に適用可能なレボルバ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、システム性を備えた顕微鏡がいろいろ考えられており、顕微鏡本体を複数のユニットに分割可能に構成し、観察法などに合わせて、これらユニットを組み合わせることで、所望する顕微鏡を構成するようにしたものがある。
【０００３】
ところで、このようなシステム性を備えた顕微鏡では、対物レンズを保持するレボルバも観察法などに合わせて各種のものを鏡体に取付ける構成となっている。この場合、レボルバは、鏡体側に取付けるための取付け部がレボルバ本体に一体化された構成となっている。この取付け部には、位置決め精度が良くて装着の作業性にも優れているスライドオスアリが多く用いられている。
【０００４】
このような取付け部は、以下述べるような特徴を有するものがある。
【０００５】
(１)レボルバの固定方法に関しては、鏡体側に設けられたスライドメスアリにレボルバ本体側のスライドオスアリを挿入し、スライドオスアリの側面をクランプビスで押圧固定する方法が一般的な技術として知られている。また、クランプビスのような点で押圧するのでなく、面で押圧可能なようにクランプビスの代わりに板状の部材を使用する方法も広く用いられている。さらに別な方法として、特許文献１では、レボルバの取付け方法が異なる２種類の顕徴鏡に対して、レボルバの取付け部材に２種類の取付け部を用意し、一方の取付け部は、顕微鏡にそのまま取付けが可能になっており、もう一方の取付け部は、別途アダプタを装着することによって別の顕微鏡に取付け可能になっている。
【０００６】
(２)レボルバ本体に予め形成されたスライドオスアリの向きによって、レボルバの取付け方向が一意的に決められている。
【０００７】
(３)微分干渉観察に用いられるレボルバは、微分干渉プリズムが組み込まれたスライダ状をした微分干渉用のユニットを装着するための開口部がレボルバ本体側面に設けられている。この開口部は、予め決められた位置に設けられている。
【特許文献１】特開２００２-６２３０号公報
【特許文献２】実開平７−２６８１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、このような取付け部は、上述の(１)から(３)のような特徴を有する反面、以下述べるような問題点が挙げられる。
【０００９】
（１）クランプビスによる固定方式は、机上面に静止した状態で置かれた鏡体に適用する場合には良好であるが、例えば、半導体やＦＰＤなどの基板検査などに組み込まれる顕微鏡のように鏡体が移動するものに適用する場合は固定力が不足してしまうことがある。また、クランプビスの代わりに板状の部材を使用すれば面で押圧することになるので固定力は向上する。しかし、限られた狭いスペース内に板状の部材を構成しなければならないため、加工性や組立性が低下して原価がアップしてしまうことがある。さらに、特許文献１のような取付け方法では、顕微鏡に取付けるための取付け基部に２つの取付け部が備えられるため、取付に使用しない取付け部がレボルバ取付け部品と干渉するのを避けるためのスペースを顕微鏡側に設けなければならない。このようなスペースは顕微鏡のレボルバ取付け部の剛性低下を招くことがあるため好ましくない。また、特許文献１のように連結部材を介して取付ける場合は、装置の上側から挿入して装着する構成なので、光軸上にキューブなどが配置されている場合や顕微鏡本体と投光管が別ユニット化されている場合は、取付け、取り外しに手間がかかってわずらわしい。さらに、特許文献１のものは、顕微鏡の種類に応じて専用のアダプタを用意する必要があるため、部品点数が増えてしまうという問題がある。
【００１０】
（２）標本が対物レンズに遮られて標本の視認性が低下するのを防ぐため、一般にレボルバの回転面は鏡体の背面側、すなわち後ろ向き方向に傾斜させている。しかし、レボルバ本体に形成されるスライドオスアリの向きによってレボルバの取付け方向が一意的に決められる場合、標本の左右側に対物レンズを切換えるためのスペースが必要になると、例えば、標本の右または左側にマニピュレータを配置し、これらマニピュレータを使用して標本の移動操作などを行おうとした場合、マニュピュレータと対物レンズが干渉してしまう恐れがある。また、レボルバの回転面が鏡体の背面側に傾斜するような場合、対物レンズの装着本数が多いレボルバでは、レボルバ自身の外径が大きくなるので、そのままでは鏡体を構成するアームに干渉してしまう。この干渉を避けるためにはアームに切欠部を設けて逃げスペースを形成する必要があるが、この逃げスペースによりアーム強度を低下させてしまうことがある。
【００１１】
(３)レボルバ本体の側面に微分干渉用スライダを装着するための開口部を形成したものは、移動可能な装置などに組込み込まれる装置組込み込用顕微鏡などの場合、装置の構成上、開口部付近に十分なスペースが確保できないこともあり、このような場合は微分干渉用のスライダの装着及び操作に支障をきたすことがある。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ユーザの要求に応じた取付けを選択的に得られる安価に仕様変更が可能なレボルバ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１記載の発明は、異なるレボルバ装着部を有する複数の顕微鏡本体に取り付け可能なレボルバ装置であって、対物レンズを保持するレボルバ本体と、前記レボルバ本体に対し着脱可能な第１の取付け部と前記複数の顕微鏡本体のレボルバ装着部に各別に対応し、それぞれのレボルバ装着部に対し着脱可能な第２の取付け部を有する複数の取付け部材を有し、前記顕微鏡本体に対応する前記取付け部材を前記顕微鏡本体とレボルバ本体の間に配置し、前記レボルバ本体を前記顕微鏡本体に支持させることを特徴としている。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部は、前記第２の取付け部を位置決めする位置決め手段及び前記第２の取付け部を前記位置決め状態で固定する固定手段を有することを特徴としている。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記複数の顕微鏡本体は、それぞれ異なるレボルバ装着部を有し、前記レボルバ装着部は、前記第２の取付け部を位置決めする位置決め手段及び前記第２の取付け部を前記位置決め状態で固定する固定手段を有することを特徴としている。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項２又は３記載の発明において、前記取付け部材の一つは、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部に対してスライドアリを有する第２の取付け部を介して着脱可能にしたことを特徴としている。
【００１７】
請求項５記載の発明は、請求項２又は３記載の発明において、前記取付け部材の一つは、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部に対して装着面と当て付け面を有するＬ字形状の第２の取付け部を介して着脱可能にしたことを特徴としている。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項２又は３記載の発明において、前記取付け部材の一つは、前記顕微鏡本体のレボルバ装着部に対して装着面と当て付け面を有するフラット形状の第２の取付け部を介して着脱可能にしたことを特徴としている。
【００１９】
請求項７記載の発明は、請求項２又は３記載の発明において、前記取付け部材の第２の取付け部は、前記顕微鏡本体に対する前記レボルバ本体の取付け向きに応じて前記顕微鏡本体又は落射投光装置のレボルバ装着部への取付け方向が設定されていることを特徴としている。
【００２０】
請求項８記載の発明は、請求項２又は３記載の発明において、前記取付け部材は、スライダを装着可能な開口部を有し、該開口部は、所望するスライダ装着方向に応じた位置に設けられていることを特徴としている。
【００２１】
請求項９記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記取付け部材は、光源と、該光源からの光束を前記標本に照射させる光学部材を有することを特徴としている。
【００２２】
請求項１０記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記レボルバ本体は、前記複数の対物レンズを切換え可能に保持する対物レンズ保持部材と、前記対物レンズ保持部材を支持する固定部材とを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、ユーザの要求に応じた取付けを選択的に得られる安価に仕様変更が可能なレボルバ装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００２５】
(第１の実施の形態)
図１〜図１９は、本発明の第１の実施の形態に係わるレボルバ装置を説明するための図で、図１は、レボルバ装置が適用される顕微鏡全体の側面図、図２は同顕微鏡全体の一部正面図、図３はレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図、図４はレボルバに取付け部材を装着した状態のＡ−Ａ断面図、図５は取付け部材の上面図、図６は取付け部材の側面図、図７は取付け部材の背面図、図８はレボルバの上面図、図９はレボルバの上面図(上カバーの一部を除去した状態)、図１０はレボルバの側面図(上カバーの一部を除去した状態)を示している。また、図１１はレボルバにＬ字形状の取付け部材を装着した状態の上面図、図１２はレボルバにＬ字形状の取付け部材を装着した状態の側面図、図１３はレボルバにＬ字形状の取付け部材を装着した状態の正面図、図１４は装置全体の側面図(Ｌ字形状の取付け部材を装着したレボルバの一部Ｂ−Ｂ断面図)、図１５は装置全体の正面図(Ｌ字形状の取付け部材を装着したレボルバ)を示している。さらに、図１６はレボルバにフラット形状の取付け部材を装着した状態の上面図、図１７はレボルバにフラット形状の取付け部材を装着した状態の側面図、図１８は装置全体の側面図(フラット形状の取付け部材を装着したレボルバ)、図１９は装置全体の正面図(フラット形状の取付け部材を装着したレボルバ)を示している。これら図１〜図１９は、同一部分には同符号を付している。
【００２６】
まず、図１及び図２によりレボルバ装置が適用される顕微鏡全体の構成について説明する。図１及び図２において、１１は顕微鏡枠体で、この顕微鏡枠体１１は、ベース部１１ａと、このベース部１１ａから上方に延びる支柱部１１ｂから構成されている。支柱部１１ｂの上端には、前記ベース部１１ａに対向した状態で水平に延びる落射投光装置２０が配置され前記顕微鏡枠体１１とともに顕微鏡本体を構成している。
【００２７】
前記ベース部１１ａには、ステージ１２が設けられている。ステージ１２は、標本１０を水平方向に移動可能に載置するもので、焦準ハンドル１３ａの操作により焦準部１３を介し観察光軸Ｌ１に沿って上下方向に移動可能となり、標本１０の焦点合わせができるようになっている。
【００２８】
落射投光装置２０先端部の下方には、ステージ１２に対向させてレボルバ本体としてのレボルバ１００が後述する取付け部２００を介して設けられている。レボルバ１００には、倍率の異なる複数の対物レンズ１７が装着されている。これら対物レンズ１７は、レボルバ１００の回転によって所望する倍率のものが観察光軸Ｌ１上に切換えられる。勿論、レボルバ１００は、１個の対物レンズ１７が装着したものでもよい。
【００２９】
落射投光装置２０には、落射照明用の光源１４が設けられている。落射投光装置２０内部には、光源１４から発せられる落射照明光の光軸Ｌ０に沿って不図示の照明光学系及びハーフミラー２１が配置されている。光源１４からの照明光は、不図示の照明光学系及びハーフミラー２１を介して観察光軸Ｌ１に沿って対物レンズ１７側に反射し、対物レンズ１７を介して標本１０に照射される。
【００３０】
落射投光装置２０先端部の上方には、鏡筒１５が装着されている。鏡筒１５には、接眼レンズ１６が設けられている。標本１０の観察光(標本１０からの反射光)は、観察光軸Ｌ１に沿って対物レンズ１７より鏡筒１５に導かれ、さらに接眼レンズ１６に導かれ、検鏡者による目視観察が行われる。
【００３１】
次に、図３及び図４によりレボルバ１００の構成について説明する。
【００３２】
レボルバ１００には、対物レンズ１７を装着するための回転部材１１０が設けられている。この回転部材１１０は、対物レンズ１７を装着する複数の対物レンズ取付け部１１１が形成されている。回転部材１１０には、ガイド面１１２が形成されており、このガイド面１１２に沿って複数のボール１４０が配置されている。また、回転部材１１０には、ねじ部１１３が形成され、このねじ部１１３に押え環１２０がねじ込まれている。押え環１２０には、ボール１４０に沿ってガイド面１２１が形成されている。
【００３３】
回転部材１１０の内側には固定部材１３０が配設されている。固定部材１３０は、外周面に沿ってＶ字状をしたガイド面１３１が形成されている。このガイド面１３１は、前記ボール１４０をガイドするもので、前記ガイド面１１２、１２１とともに、ボール１４０を挟持する。これにより前記回転部材１１０は、固定部材１３０に対して回転摺動可能に保持される。
【００３４】
固定部材１３０の上面には、カバー１４１が組付けられている。このカバー１４１は、ガイド面１１２、１２１、１３１への外部からのゴミの浸入を防ぐためのものである。
【００３５】
固定部材１３０の周縁部上面には、クリックバネ１４２がビス１４３で固定されている。一方、回転部材１１０上面には、ボール１１４が埋め込まれている。このボール１１４は、クリックバネ１４２先端で押圧され、この状態で回転部材１１０を係り止めする。この場合、ボール１１４は、図９に示すように固定部材１１０の周縁部上面に沿って各対物レンズ１７の装着位置のそれぞれ対応した位置に複数設けられている。
【００３６】
固定部材１３０には、前記観察光軸Ｌ１と同軸な位置に貫通穴１３２が形成されている。この貫通穴１３２の上部には、暗視野照明光束と観察光束とを隔てるための分離筒１４４が組み込まれている。この分離筒１４４については、例えば特許文献２に開示されている。また、固定部材１３０上面には、後述する取付け部材２００を着脱自在に装着するための取付け部１５０が形成されている。この取付け部１５０は、図８に示すように取付け部材２００が当て付けられる平らな装着面１５１と、対物レンズ１７の観察光軸Ｌ１と同軸上で前記貫通穴１３２と連通して配置された第１の嵌合穴１５２と、この第１の嵌合穴１５２から所定距離分離れた位置に配置された第２の嵌合穴１５３がそれぞれ設けられている。さらに装着面１５１には、取付け部材２００をボルト１５５で固定するためのネジ穴１５４も複数(図示例では３個)形成されている。
【００３７】
次に、図４乃至図７により取付け部材２００の構成について詳明する。この場合、取付け部材２００は、下面にレボルバ１００を着脱自在に装着するための第１の取付け部２１０が設けられている。この第１の取付け部２１０には、レボルバ１００の装着面１５１に当て付けられる装着面２１１と、第１の嵌合穴１５２に嵌め込まれる第１の嵌合軸２１２と、第２の嵌合穴１５３に嵌め込まれる第２の嵌合軸２１３が形成され、さらに上面から下面に貫通させて前記ネジ穴１５４に対応する複数(図示例では３個)のザグリ穴２１４が形成されている。これらザグリ穴２１４には、上面側から前記ボルト１５５が挿入され、このボルト１５５を前記ネジ穴１５４にねじ込むことにより取付け部材２００をレボルバ１００に固定する。
【００３８】
取付け部材２００には、前記分離筒１４４と同様の分離筒３０２を備えた暗視野照明用のスライダ３００が観察光軸Ｌ１上に挿脱するための開口部２２０が設けられている（図３、図４参照）。この開口部２２０の底面には、板２２２が貼り付けられて塞がれている。スライダ３００は、この開口部２２０内の板２２２上で摺動可能に保持されている。板２２２には、観察光軸Ｌ１と同軸な位置に穴２２３が設けられている。この穴２２３の径は、前記分離筒１４４が挿入可能なように、分離筒１４４の外径よりも僅かに大きくなっている。なお、開口部２２０は、レボルバ１００の分離筒１４４の上面がスライダ３００と干渉しないような高さに配置されている。
【００３９】
開口部２２０の側面にはボールプランジャー２２５が組み込まれている。このボールプランジャー２２５は、スライダ３００の先端３０１が開口部２２０の端面２２１に当て付いた状態でスライダ３００側面に形成された溝３０３に係り止めされ、スライダ３００を固定する(図３参照)。
【００４０】
一方、取付け部材２００の上面には、落射投光装置２０の観察光軸Ｌ１上に形成されたレボルバ装着部２２に着脱可能な第２の取付け部２３０が設けられている。この場合、落射投光装置２０のレボルバ装着部２２は、観察光軸Ｌ１に対して鉛直な方向に形成されたスライドメスアリ２３、クランプビス２４及び位置決めピン２５を有している(図１、図２参照)。スライドメスアリ２３には照明光及び観察光が通過する不図示の開口穴が観察光軸Ｌ１と同軸な位置に形成されている。第２の取付け部２３０には、図１、図２、図４に示すようにスライドオスアリ２３１が形成され、また、開口穴２３２が観察光軸Ｌ１と同軸な位置に形成されている。スライドオスアリ２３１は、落射投光装置２０のスライドメスアリ２３に嵌め込まれるとともに、一端が落射投光装置２０の位置決めピン２５に当接され、クランプビス２４のねじ込みにより固定される。また、この状態で、取付け部材２００の第１の嵌合軸２１２及び開口穴２３２と落射投光装置２０の観察光軸Ｌ１が同軸に配置されるように位置決めされる。
【００４１】
第２の取付け部２３０には、開口穴２３２上部に前記分離筒１４４と同様な分離筒２２４が組み込まれている。この分離筒２２４は、開口部２２０に挿入されたスライダ３００と干渉しないような長さになっている。
【００４２】
次に、このように構成した実施の形態の作用を説明する。
【００４３】
この場合、光源１４から発せられる落射照光は、光軸Ｌ０に沿って落射投光装置２０内の不図示の照明光学系を進み、ハーフミラー２１により観察光軸Ｌ１上で下側に向きが変えられ、落射投光装置２０のレボルバ装着部２２に設けられた不図示の開口穴を通過する。ここで、明視野照明の場合は、落射照明光は、取付け部材２００の分離筒２２４とスライダ３００の分離筒３０２のそれぞれ内側を通り、板２２２の穴２２３を抜けてレボルバ１００の分離筒１４４の内側に導かれる。分離筒１４４から出る落射照明光は回転部材１１０に取付けられた対物レンズ１７を通してステージ１２上に載置された標本１０を照射する。一方、暗視野照明の場合は、落射照明光は、取付け部材２００の分離筒２２４とスライダ３００の分離筒３０２のそれぞれ外側(図４の矢印)を通り、板２２２の穴２２３を抜けてレボルバ１００の分離筒１４４の外側(図４の矢印)に導かれる。分離筒１４４から出る落射照明光は回転部材１１０に取付けられた対物レンズ１７を通してステージ１２上に載置された標本１０を照射する。
【００４４】
標本１０からの観察光は、いずれも対物レンズ１７を通してレボルバ１００の分離筒１４４の内側を通り、板２２２の穴２２３を抜けてスライダ３００と取付け部材２００の分離筒３０２、２２４の内側を通過した後、落射投光装置２０のレボルバ装着部２２の不図示の開口穴に入る。落射投光装置２０内に入った観察光は、鏡筒１５内に導かれて結像し、接眼レンズ１６でその像が拡大され、検鏡者による目視観察が行われる。
【００４５】
この状態で、対物レンズ１７を切換えるには、回転部材１１０に円周方向の操作力を加えると、ボール１４０とガイド面１１２,１２１,１３１の摺動によって回転部材１１０が回転し、ボール１１４がクリックバネ１４２から外れて係り止めが解除され、これまで観察光軸Ｌ１上にあった対物レンズ１７が光軸上から外れる。そのまま回転部材１１０を回転しつづけると、次のボール１１４がクリックバネ１４２に係り止めされるようになり、この位置に対応した他の対物レンズ１７が観察光軸Ｌ１上に配置される。
【００４６】
次に、レボルバ１００と取付け部材２００の着脱について説明する。
【００４７】
まず、レボルバ１００に取付け部材２００を装着するには、レボルバ１００の取付け部１５０に取付け部材２００の第１の取付け部２１０を組み付ける。この場合、図４に示すようにレボルバ１００の第１の嵌合穴１５２に取付け部材２００の第１の嵌合軸２１２を嵌め込むと、第２の取付け部２３０に形成された開口穴２３２が対物レンズ１７の観察光軸L１と同軸な位置に位置決めされる。また、レボルバ１００の第２の嵌合穴１５３に取付け部材２００の第２の嵌合軸２１３を嵌め込むと、取付け部材２００は、第１の嵌合軸２１２を中心に回転方向が規制され所定の向きに位置決めされる。この状態で取付け部材２００の上面側からザグリ穴２１４にボルト１５５を挿入してネジ穴１５４にネジ込むと、図５乃至図７で示された取付け部材２００と、図８乃至図１０で示されたレボルバ１００は固定され、図３及び図４に示す組み立て後の状態になる。  
なお、ボルト１５５を緩めて取り外すと、取付け部材２００とレボルバ１００は分離可能となり元の状態に戻る。
【００４８】
次に、取付け部材２００を取付けたレボルバ１００を落射投光装置２０に装着する場合を説明する。  
この場合、取付け部材２００の第２の取付け部２３０を落射投光装置２０のレボルバ装着部２２に組み付ける。つまり図１及び図２に示すように第２の取付け部２３０のスライドオスアリ２３１を前記レボルバ装着部２２のスライドメスアリ２３に嵌め込むとともに、スライドオスアリ２３１の一端を位置決めピン２５に突き当てる。さらにスライドメスアリ２３の側面部に設けられたクランプビス２４を不図示の工具でねじ込み、レボルバ１００の観察光軸Ｌ１と落射投光装置２０の観察光軸Ｌ１が一致した状態で固定する。  
なお、クランプビス２４を緩めてスライドオスアリ２３１を引き抜くと、取付け部材２００が組み付いた状態のレボルバ１００は、そのまま落射投光装置２０から外れ元の状態に戻る。
【００４９】
次に、スライドオスアリ２３１を形成した第２の取付け部２３０を有する取付け部材２００を、異なる形状の第２の取付け部４１０を有する取付け部材４００に変更する例について説明する。この場合、図１１、図１２、図１３に示すように取付け部材４００の第２の取付け部４１０は、Ｌ字形状をしたものが用いられる。このＬ字形状をした第２の取付け部４１０は、水平面が前記取付け部材４００上面との当て付け面４１２になっており、また、垂直面が後述する．図１４、図１５に示す落射投光装置３０との装着面４１１になっている。この装着面４１１には、落射投光装置３０への固定用ボルト３６が挿入される複数のザグリ穴４１３が設けられている。
【００５０】
なお、図面中のレボルバ１００と暗視野用のスライダ３００は、上述したのと同様であり、また、取付け部材４００の構成も第２の取付け部４１０を除き、上述した取付け部材２００と同様である。したがって、取付け部材４００とレボルバ１００の装着も前述と同様な構成になっている。
【００５１】
次に、このような取付け部材４００を用いて前記レボルバ１００が装着される落射投光装置３０について説明する。図１４、図１５は、かかる落射投光装置３０を示すもので、この落射投光装置３０には、前記レボルバ１００を装着するための装着部３１が設けられている。また、落射投光装置３０には、光源１４が設けられ、落射投光装置３０の底部が装置３７で支持されている。さらに、落射投光装置３０の先端部の上方には、観察光軸Ｌ１上にＴＶアダプタ３８が設けられている。このＴＶアダプタ３８には、ＴＶカメラ３９が設けられ、標本１０の観察像をＴＶアダプタ３８を介してＴＶカメラ３９で撮像可能にしている。さらに、落射投光装置３０は、前記装着部３１として正面側の端面に前記第２の取付け部４１０の装着面４１１に対応する装着面３２が設けられ、底面側に前記第２の取付け部４１０の当て付け面４１２に対応する当て付け面３３が設けられている。また、装着面３２には、位置決めピン３５が直立して設けられるとともに、前記ザグリ穴４１３に対応する複数のネジ穴３４が形成されている。その他は、上述した落射投光装置２０と同一である。
【００５２】
次に、このようなＬ字形状の第２の取付け部４１０を有する取付け部材４００を取付けたレボルバ１００を落射投光装置３０に装着する場合を説明する。
【００５３】
この場合、落射投光装置３０の装着面３２に取付け部材４００の装着面４１１を接触させた状態で、落射投光装置３０の当て付け面３３に取付け部材４００の当て付け面４１２を接触させる。この状態のまま取付け部材４００の端面４１４を位置決めピン３５に接触させる(図１５参照)。これにより、レボルバ１００は落射投光装置３０の所定の位置に位置決めされ、ボルト３６をザグリ穴４１３に挿入してねじ込むことで、取付け部材４００を介してレボルバ１００が落射投光装置３０に固定される。
【００５４】
また、ボルト３６を緩めて取り外すと、取付け部材４００は、落射投光装置３０との固定が解除され、元の状態に戻る。
【００５５】
次に、スライドオスアリ２３１を形成した第２の取付け部２３０を有する取付け部材２００を、さらに異なる形状の第２の取付け部５１０を有する取付け部材５００に変更する例について説明する。この場合、図１６、図１７に示すように取付け部材５００の第２の取付け部５１０は、フラット形状をしたものが用いられる。このフラット形状をした第２の取付け部５１０は、上面が後述する図１８、図１９に示す落射投光装置４０に取り付ける装着面５１１になっている。この装着面５１１には、落射投光装置４０への固定用ボルト４５が挿入される複数のザグリ穴５１４が設けられている。また、第２の取付け部５１０の側面５１２,５１３も落射投光装置４０との当て付け面になっている。
【００５６】
なお、図面中のレボルバ１００と暗視野用のスライダ３００は、上述したと同様であり、また、取付け部材５００も第２の取付け部５１０を除き、上述した取付け部材２００と同様である。したがって、取付け部材５００とレボルバ１００の装着も前述と同様な構成になっている。
【００５７】
次に、このような取付け部材５００を用いて前記レボルバ１００が装着される落射投光装置４０について説明する。図１８、図１９は、かかる落射投光装置４０を示すもので、装着部４１を除き、上述した図１４、図１５に示す落射投光装置３０と同一である。
【００５８】
落射投光装置４０の装着部４１は、底面側に装着面４２を有するとともに、位置決めピン４３を直立して設けている。また、装着面４２にはネジ穴４４が設けられている。
【００５９】
次に、このようなフラット形状の第２の取付け部５１０を有する取付け部材５００が取り付けられたレボルバ１００を落射投光装置４０に装着する場合を説明する。
【００６０】
この場合、落射投光装置４０の装着面４２に取付け部材５００の装着面５１１を接触させた状態で、第２の取付け部５１０の側面５１２、５１３を位置決めピン４３に接触させる。これにより、レボルバ１００は落射投光装置４０の所定の位置に位置決めされ、ボルト４５をザグリ穴５１４に挿入してねじ込むことにより、取付け部材５００を介してレボルバ１００が落射投光装置４０に固定される。
【００６１】
また、ボルト４５を緩めて取り外すと、取付け部材５００は、落射投光装置３０との固定が解除され、元の状態に戻る。
【００６２】
したがって、このような第１の実施の形態によれば、レボルバ１００を異なる落射投光装置２０、３０、４０に取付けるための取付け部２００、４００、５００がそれぞれ用意され、これら取付け部２００、４００、５００がレボルバ１００に対して着脱自在になっている。したがって、実際に使用される落射投光装置２０、３０、４０に合わせて取付け部材２００、４００、５００を選択しレボルバ１００に取付けるようにすれば、レボルバ１００を専用化することなく所望する落射投光装置２０、３０、４０にレボルバ１００を装着することができる。例えば、スライドアリを有する取付け部材２００を選択すれば、装着の作業性に優れたスライドアリ形式の落射投光装置２０にレボルバ１００を装着できる。また、ボルト締結可能な形状の取付け部材４００，５００選択すれば、レボルバ１００の支持力をスライドアリ構造のものよりも向上させることができる。このようにユーザの要求に応じて取付け部材２００、４００、５００を選択的に用いることができるので、簡単に顕微鏡の仕様変更に対応することができる。さらに、各取付け部材２００、４００、５００は、ユニット化されているので、ユーザの要求に応じた取付け手段を有するレボルバを安価に提供できる。さらに、落射投光装置の他に、顕微鏡のアームなどさまざまな支持部材の装着にも容易に適用できるのでシステム性に優れる。さらに、取付け部材２００、４００、５００の取り付けは、簡単な当て付けのみで対応できるので取付けの作業性にも優れている。
【００６３】
なお、第１の実施の形態では、レボルバ１００と取付け部材２００，４００，５００の位置決めは、第１及び第２の嵌合軸２１２、２１３による嵌合で行っているが、壁面同士の当て付けだけで対応しても構わない。あるいは、レボルバ１００と取付け部材２００，４００，５００を組付ける際の回転方向の規制を第２の嵌合穴１５３と第２の嵌合軸２１３による嵌合ではなく、壁面同士の当て付けで行っても良い。また、位置決めは、レボルバ１００側に嵌合軸を設け、取付け部材２００、４００、５００側に嵌合穴を設けるような逆の構成にしても構わない。また、第２の取付け部２３０、４１０、５１０の形状は本実施の形態に限定されるものではなく、装着する落射投光装置２０、３０、４０の形状に応じた形状として良い。なお、取付け部材２００、４００、５００が組み付けられたレボルバ１００は、落射投光装置２０,３０,４０の取付けに限るものではなく、照明装置を含まない顕微鏡のアームなどの支持部材にそのまま適用することもできる。また、上述では、正立型の顕微鏡について述べたが、倒立方の顕微鏡や、液晶、半導体基板などの検査装置へも適用できる。
【００６４】
(第２の実施の形態)
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００６５】
図２０〜図２２は本発明の第２の実施の形態に係わる顕微鏡用レボルバを説明するための図で、図２０はレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図、図２１はレボルバに取付け部材を装着した状態の側面図、図２２は顕微鏡全体の一部正面図を示している。なお、これら図２０〜図２２は第１の実施の形態と同一部分には同符号を付している。
【００６６】
この場合、図２０、図２１に示す取付け部材６００が組み付けられたレボルバ１００は、第１の実施の形態に対して取付け部材６００の第２の取付け部６１０のみが異なっている。つまり、第２の取付け部６１０は、第１の実施の形態で述べたスライドオスアリ２３１に対してスライドオスアリ６１１の向きのみが異なっており、ここでは観察光軸Ｌ１を中心に９０度回転した位置に配置されている。かかる取付け部材６００以外の構成については、図２２に示す落射投光装置２０を含め全て第１の実施の形態と同様である。
【００６７】
このような取付け部材６００が取付けられたレボルバ１００は、第１の実施の形態と同様な方法で落射投光装置２０に装着される。この場合、スライドオスアリ６１１の向きが９０度回転した状態で形成されているため、それに合わせてレボルバ１００も落射投光装置２０の正面に対して９０度回転した位置に配置される。
【００６８】
このような第２の実施の形態の顕微鏡用レボルバによれば、第１の実施の形態と同様な効果が得られる。また、落射投光装置２０への取付け向きが異なる取付け部材６００を選択して組付けることにより、レボルバ１００を専用化することなく安価な構成でレボルバ１００の取付け方向を変えることもできる。これにより、かかる第２の実施の形態での対物レンズ１７の転換スペースは、顕微鏡枠体１１の正面に対して標本１０の右側に作られるので、標本１０の左側から不図示のマニピュレータなどで標本１０の操作をおこなう場合に対物レンズ１７と干渉することなく操作が可能である。また、対物レンズ１７の装着本数が多いレボルバでは、レボルバ自身の外径が大きくなるが、第２の実施の形態のようにレボルバ１００を配置すれば、落射投光装置２０と干渉することないため、干渉防止の逃げを落射投光装置２０側に設ける必要もなくなり、落射投光装置２０の剛性の低下を招くようなことも防止できる。
【００６９】
なお、第２の実施の形態では、スライドオスアリ６１１の向きを９０度回転させているが、回転角度は９０度に限定されるものではない。また、第２の取付け部６１０の形状はスライドオスアリ６１１に限定されるものではなく、第１の実施の形態で示したようなL字形状やフラット形状であっても同様に構成できる。また、第１の実施の形態と同様にその取付けは落射投光装置２０に限るものではなく、照明装置を含まない顕微鏡のアームなどの支持部材にもそのまま適用することができる。
【００７０】
(第３の実施の形態)
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００７１】
図２３は本発明の第３の実施の形態に係わる顕微鏡用レボルバを説明するための図で、レボルバに取付け部材を装着した状態の上面図を示している。なお、図２３は、第１の実施の形態と同一部分には同符号を付している。
【００７２】
この場合、図２３に示す取付け部材７００が組み付けられたレボルバ１００は、第１の実施の形態に対して微分干渉用のスライダの挿脱をおこなうための開口部７１０の位置が異なっている。つまり、開口部７１０は、第１の実施の形態で述べた開口部２２０は、取付け部材２００に対し右側に位置していたものを９０度回転移動させ、取付け部材７００に対し左側に位置させている。それ以外の構成に関しては第１の実施の形態と同様である。
【００７３】
このような取付け部材７００によれば、暗視野用のスライダ３００および不図示の微分干渉用のスライダは取付け部材７００に対し左側に位置される開口部７１０から挿脱される。
【００７４】
このような第３の実施の形態の顕微鏡用レボルバによれば、第１の実施の形態と同様な効果が得られる。また、このような位置の異なる開口部７１０を有する取付け部材７００を選択して組付けることにより、レボルバ１００を専用化することなく安価な構成で開口部７１０の位置を変更することができる。したがって、装置組込み用の顕微鏡などで、装置の構成上、正面右方向に微分干渉用のスライダの装着及び操作するスペースが十分確保できない場合であっても、取付け部材７００を使用して開口部７１０の位置を変更すれば支障をきたすことがなくなる。
【００７５】
なお、本第３の実施の形態では、開口部７１０の向きを、第１の実施の形態の開口部２２０が取付け部材２００に対し右側に位置していたものを９０度回転移動させ、取付け部材７００に対し左側に位置させるようにしたが、例えば４５度回転した位置、すなわち正面方向に開口部７１０を配置しても、光学性能上、同一の微分干渉用のスライダ(図略)で支障なく微分干渉観察をすることができる。
【００７６】
(第４の実施の形態)
次に、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００７７】
図２４〜図２６は本発明の第４の実施の形態に係わる顕微鏡用レボルバを説明するための図で、図２４はレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図、図２５はレボルバに取付け部材を装着した状態のＣ−Ｃ断面図、図２６は顕微鏡全体の一部正面図を示している。なお、これら図２４〜図２６は第１の実施の形態と同一部分には同符号を付している。
【００７８】
この場合、図２４、図２５、図２６に示すレボルバ１００は第１の実施の形態に対して取付け部材８００が異なっている。その他は、同様である。また、落射投光装置２０及び顕微鏡枠体１１も第１の実施の形態と同様な構成である。
【００７９】
図２５に示すように取付け部材８００は、ベース部材８１０と枠部材８２０と照明光源部８３０から構成されている。ベース部材８１０の底面には第１の取付け部８１１が設けられ、第１の実施の形態と同様に装着面２１１と第１の嵌合軸２１２と第２の嵌合軸２１３が形成され、さらにボルト１５５が挿入される穴８１３もあけられている。第１の嵌合軸２１２の内側には同軸上に開口穴８１２があけられている。この開口穴８１２はレボルバ１００の分離筒１４４が挿入可能な大きさになっている。また、ベース部材８１０の上面側には枠部材８２０が組み付いて固定されている。枠部材８２０の上面側には第２の取付け部８２１が一体に形成されている。第２の取付け部８２１は第１の実施の形態と同様なスライドオスアリ２３１とボルト１５５とが挿入されるザグリ穴８２３が設けられている。このスライドオスアリ２３１には第１の嵌合軸２１２と同軸上に開口穴８２２があけられている。また、枠部材８２０は中空になっており、スライドオスアリ２３１の裏面には開口穴８２２と同軸上に円筒状の筒部材８２４が組み付けられている。なお、筒部材８２４は分離筒１４４と干渉しないような長さになっている。筒部材８２４の外周には穴のあいた基板８３２がはめ込まれている。基板８３２はスライドオスアリ２３１の裏面に設置された支持棒８３１で支持固定されている。基板８３２の底面側には、発光ダイオードすなわちＬＥＤ８３３が筒部材８２４と同軸な円周上に複数個実装されている。そして、ＬＥＤ８３３からの光を対物レンズ１７に導き、標本１０に照射するような照明光学系を構成する光学部材８３４が筒部材８２４の外壁と開口穴８１２の内壁の間に装着されている。また、基板８３２には、ＬＥＤ８３３に電力を送るためのケーブル８３５が実装されている。そのケーブル８３５は枠部材８２０の外壁に設けられたコネクタ８３６に接続されている。コネクタ８３６にはケーブル８４２が接続され、このケーブル８４２を介して電源供給装置８４０に接続されている(図２６参照)。電源供給装置８４０にはＬＥＤ８３３の明るさを調整するための調光ツマミ８４１が設けられている。
【００８０】
このような構成により、レボルバ１００と取付け部材８００は第１の実施の形態と同様に着脱自在となり、また、取付け部材８００と落射投光装置２０も、第１の実施の形態と同様に着脱自在になる。そして、電源供給装置８４０の調光ツマミ８４１を操作すると、ケーブル８４２を通して基板８３２に電力が供給され、筒部材８２４と同心円状に配列されたＬＥＤ８３３が発光する。これらＬＥＤ８３３による照明光は、光学部材８３４を通して筒部材８２４及び分離筒１４４の外側を図示矢印方向に通過し、暗視野照明光として対物レンズ１７に入射して標本１０を照明する。標本１０からの観察光は第１の実施の形態と同様にレボルバ１００の分離筒１４４の内側を通り、取付け部材８００の筒部材８２４の内側を通過する。そして、筒部材８２４を通過した観察光は第１の実施の形態と同様に接眼レンズ１６(図１参照)へ導かれ、目視による観察が行われる。
【００８１】
したがって、このような第４の実施の形態の顕微鏡用レボルバによれば、第１の実施の形態と同様な効果が得られる。また、取付け部材８００内部に光源としてのＬＥＤ８３３と光学部材８３４を有する照明光学系が内蔵されているので、レボルバ１００内に標本１０を照明する照明装置を付加させることができる。また、微分干渉用のスライダの開口部２２０に装着するようなタイプの照明装置に比べて、取付け部材８００の中の広い空間を利用して照明装置が構成できるので、コンパクト化に伴う技術的な制約も少なく価格的にも安価にできる。
【００８２】
なお、本第４の実施の形態では、取付け部材８００の中に光源としてＬＥＤ８３３を内蔵しているが、ライトガイドを使用して取付け部材８００内部に照明光を導き、ライドガイドの出射端を光源とする構成としても良い。
【００８３】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【００８４】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１の実施の形態のレボルバ装置が適用される顕微鏡全体の側面図。
【図２】第１の実施の形態の顕微鏡全体の一部正面図。
【図３】第１の実施の形態のレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図。
【図４】第１の実施の形態のレボルバに取付け部材を装着した状態のＡ−Ａ断面図。
【図５】第１の実施の形態の取付け部材の上面図。
【図６】第１の実施の形態の取付け部材の側面図。
【図７】第１の実施の形態の取付け部材の背面図。
【図８】第１の実施の形態のレボルバの上面図。
【図９】第１の実施の形態のレボルバの上面図(上カバーの一部を除去した状態)。
【図１０】第１の実施の形態のレボルバの側面図(上カバーの一部を除去した状態)。
【図１１】第１の実施の形態のレボルバにＬ字形状の取付け部材を装着した状態の上面図。
【図１２】第１の実施の形態のレボルバにＬ字形状の取付け部材を装着した状態の側面図。
【図１３】第１の実施の形態のレボルバにＬ字形状の取付け部材を装着した状態の正面図。
【図１４】第１の実施の形態の装置全体の側面図(Ｌ字形状の取付け部材を装着したレボルバの一部Ｂ−Ｂ断面図)。
【図１５】第１の実施の形態の装置全体の正面図(Ｌ字形状の取付け部材を装着したレボルバ)。
【図１６】第１の実施の形態のレボルバにフラット形状の取付け部材を装着した状態の上面図。
【図１７】第１の実施の形態のレボルバにフラット形状の取付け部材を装着した状態の側面図。
【図１８】第１の実施の形態の装置全体の側面図(フラット形状の取付け部材を装着したレボルバ)。
【図１９】第１の実施の形態の装置全体の正面図(フラット形状の取付け部材を装着したレボルバ)。
【図２０】本発明の第２の実施の形態のレボルバ装置においてレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図。
【図２１】第２の実施の形態のレボルバに取付け部材を装着した状態の側面図。
【図２２】第２の実施の形態の顕微鏡全体の一部正面図。
【図２３】本発明の第３の実施の形態に係わるレボルバ装置においてレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図。
【図２４】本発明の第４の実施の形態に係わるレボルバ装置においてレボルバに取付け部材を装着した状態の上面図。
【図２５】第４の実施の形態のレボルバに取付け部材を装着した状態のＣ−Ｃ断面図。
【図２６】第４の実施の形態の顕微鏡全体の一部正面図。
【符号の説明】
【００８６】
１０…標本、１１…顕微鏡枠体、１１ａ…ベース部
１１ｂ…支柱部、１２…ステージ、１３ａ…焦準ハンドル
１３…焦準部、１４…光源、１５…鏡筒
１６…接眼レンズ、１７…対物レンズ、２０．３０…落射投光装置
２１…ハーフミラー、２２…レボルバ装着部、２３…スライドメスアリ
２４…クランプビス、２５…ピン、３１…装着部
３２…装着面、３３…当て付け面、３４…ネジ穴
３５…ピン、３６…固定用ボルト、３８…ＴＶアダプタ
３９…ＴＶカメラ、４０…落射投光装置
４１…装着部、４２…装着面、４３…ピン、４４…ネジ穴
４５…固定用ボルト、１００…レボルバ、１１０…回転部材
１１０ａ…突壁、１１２．１２１…ガイド面
１１４…ボール、１２０…押え環、１３０…固定部材
１３１…ガイド面、１３２…貫通穴、１４０…ボール
１４１…カバー、１４２…クリックバネ、１４３…ビス
１４４…分離筒、１５１…装着面、１５２…第１の嵌合穴
１５３…第２の嵌合穴、１５４…ネジ穴、１５５…ボルト
２００、４００…取付け部材部材、２１１…装着面
２１２…第１の嵌合軸、２１３…第２の嵌合軸、２１４…ザグリ穴
２２０…開口部、２２１…端面、２２２…板、２２３…穴
２２４…分離筒、２２５…ボールプランジャー、２３１…スライドオスアリ
２３２…開口穴、３００…スライダ、３０１…先端
３０２…分離筒、３０２．２２４…分離筒、３０３…溝
４１１…装着面、４１２…当て付け面、４１３…ザグリ穴
４１４…端面、５００…取付け部材、５１１…装着面
５１２．５１３…側面、５１４…ザグリ穴、６００…取付け部材
６１１…スライドオスアリ、７００…取付け部材、７１０…開口部
８００…取付け部材、８１０…ベース部材、８１２…開口穴
８１３…穴、８２０…枠部材、８２２…開口穴、８２３…ザグリ穴
８２４…筒部材、８３０…照明光源部、８３１…支持棒
８３２…基板、８３３…ＬＥＤ、８３４…光学部材、８３５、８４２…ケーブル、
８３６…コネクタ、８４０…電源供給装置、８４１…調光ツマミ
【図１】
2008032930.tif 000003
【図２】
2008032930.tif 000004
【図３】
2008032930.tif 000005
【図４】
2008032930.tif 000006
【図５】
2008032930.tif 000007
【図６】
2008032930.tif 000008
【図７】
2008032930.tif 000009
【図８】
2008032930.tif 000010
【図９】
2008032930.tif 000011
【図１０】
2008032930.tif 000012
【図１１】
2008032930.tif 000013
【図１２】
2008032930.tif 000014
【図１３】
2008032930.tif 000015
【図１４】
2008032930.tif 000016
【図１５】
2008032930.tif 000017
【図１６】
2008032930.tif 000018
【図１７】
2008032930.tif 000019
【図１８】
2008032930.tif 000020
【図１９】
2008032930.tif 000021
【図２０】
2008032930.tif 000022
【図２１】
2008032930.tif 000023
【図２２】
2008032930.tif 000024
【図２３】
2008032930.tif 000025
【図２４】
2008032930.tif 000026
【図２５】
2008032930.tif 000027
【図２６】
2008032930.tif 000028