(57)【要約】【課題】本発明は、膜全体において、その各部分の厚さが均一な機能膜を形成することができる、膜形成方法、発光装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法、並びに均一な膜厚を有する機能膜を備えた発光装置、及び有機ＥＬ装置を提供する。【解決手段】本発明による膜形成方法は、平板状の部材の上に、機能膜形成領域と、機能膜形成領域に隣接した位置に液状材料を配置するための液溜領域と、を設定する領域設定工程と、機能膜形成領域を囲み、部材の面に略垂直な方向において機能膜形成領域より突出したバンクを形成する、バンク形成工程と、機能膜形成領域と、液溜領域とに、機能膜の材料を含有する液状材料を配置する液状材料配置工程と、配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥成膜工程と、を有する。発光装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法は、当該膜形成方法を用いて、発光装置又は有機ＥＬ装置を構成する機能膜を形成する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の部材の上に設定された、機能膜を形成すべき機能膜形成領域に、前記機能膜を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで前記機能膜を形成する膜形成方法であって、
前記部材の上に、前記機能膜形成領域と、前記機能膜形成領域に隣接した位置に前記液状材料を配置するための液溜領域と、を設定する領域設定工程と、
少なくとも前記機能膜形成領域を囲み、前記部材の面に略垂直な方向において前記機能膜形成領域より突出したバンクを形成する、バンク形成工程と、
前記機能膜形成領域と、前記液溜領域とに、前記液状材料を配置する液状材料配置工程と、
配置された前記液状材料を乾燥させて前記機能膜を形成する乾燥成膜工程と、を有することを特徴とする膜形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の膜形成方法であって、
前記領域設定工程において、前記機能膜形成領域を、当該機能膜形成領域のアスペクト比が２以上である略方形又は略長円形形状に設定し、且つ、前記液溜領域の位置を、前記機能膜形成領域の略方形又は略長円形形状の長辺方向の両端に隣接した位置に設定することを特徴とする膜形成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の膜形成方法であって、
前記バンク形成工程において、前記バンクを、当該バンクが前記機能膜形成領域及び前記液溜領域を囲むことで、前記機能膜形成領域と前記液溜領域とが前記バンクによって区画形成されるように、形成することを特徴とする膜形成方法。
【請求項４】
請求項３に記載の膜形成方法であって、
前記バンク形成工程において、前記バンクによって区画形成された前記液溜領域の前記機能膜形成領域の長辺方向に略直角な方向における幅は、前記機能膜形成領域の前記略直角な方向における幅より大きくなるように、前記バンクを形成することを特徴とする膜形成方法。
【請求項５】
請求項３に記載の膜形成方法であって、
前記バンク形成工程において、前記機能膜形成領域と前記液溜領域との境界、又は前記液溜領域内に、前記液溜領域と前記機能膜形成領域とに配置された液体の、一方の領域から他方の領域への流動を抑制する抑制バンクをさらに形成することを特徴とする膜形成方法。
【請求項６】
請求項３に記載の膜形成方法であって、
前記バンク形成工程において、前記機能膜形成領域と前記液溜領域との境界領域に、前記機能膜形成領域と前記液溜領域とを分離する分離バンクをさらに形成することを特徴とする膜形成方法。
【請求項７】
請求項６に記載の膜形成方法であって、
前記領域設定工程において、前記バンクの長辺に臨む位置に第一の液溜領域をさらに設定し、
前記バンク形成工程において、前記第一の液溜領域を囲む第一のバンクをさらに形成し、
前記液状材料配置工程において、前記機能膜形成領域と、前記液溜領域と、前記第一の液溜領域とに、前記液状材料を配置することを特徴とする膜形成方法。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の膜形成方法であって、
前記液状材料配置工程において、前記液溜領域及び前記機能膜形成領域への前記液状材料の配置を、当該液溜領域に配置する前記液状材料の単位面積あたりの量が、前記機能膜形成領域に配置する前記液状材料の単位面積あたりの量より多くなるように行うことを特徴とする膜形成方法。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の膜形成方法であって、
前記液状材料配置工程は、
前記液溜領域に対する前記液状材料の配置を開始することで前記液状材料配置工程を開始するステップと、
前記機能膜形成領域に対する前記液状材料の配置を行うステップと、
前記液溜領域に対する前記液状材料の配置を完了することで前記液状材料配置工程を終了するステップと、を有することを特徴とする膜形成方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の膜形成方法であって、
前記液状材料配置工程において、ディスペンサを用いて前記液状材料を配置することを特徴とする膜形成方法。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて、発光膜を形成すべき発光領域に、前記発光膜を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで前記発光膜を形成することを特徴とする発光装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて、発光膜を形成すべき発光領域に、前記発光膜を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで形成された前記発光膜を備えることを特徴とする発光装置。
【請求項１３】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて、有機ＥＬ層を形成すべき領域に、当該有機ＥＬ層を構成する正孔輸送層、発光層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで、前記発光層、前記正孔輸送層、前記電子輸送層、前記正孔注入層、又は前記電子注入層の少なくとも一つを形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の膜形成方法を用いて、有機ＥＬ層を形成すべき領域に、当該有機ＥＬ層を構成する正孔輸送層、発光層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで形成された前記発光層、前記正孔輸送層、前記電子輸送層、前記正孔注入層、又は前記電子注入層の少なくとも一つを備えることを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項１５】
平板状の部材の上に設定された発光領域に液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることによって形成された発光膜と、
前記部材の上に、少なくとも前記発光領域を囲む位置に、前記部材の面に略垂直な方向において前記発光領域の面より突出したバンクと、
前記発光領域に隣接した位置に設定された液溜領域に、前記発光膜と同様の形成方法で、且つ実質的に同時に形成された液溜発光膜と、を備えることを特徴とする発光装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の発光装置であって、
前記発光領域は、アスペクト比が２以上である略方形又は略長円形形状を有し、
前記液溜発光膜は、前記発光領域の略方形又は略長円形形状の長辺方向の両端に隣接した位置に設定されている前記液溜領域に形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項１７】
請求項１５又は１６に記載の発光装置であって、
前記バンクが前記発光領域と前記液溜領域とを囲むことで、前記発光領域と前記液溜領域とが前記バンクによって区画形成されていることを特徴とする発光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の発光装置であって、
前記バンクよって区画形成された前記液溜領域の前記発光領域の長辺方向に略直角な方向における幅は、前記発光領域の前記長辺方向に略直角な方向における幅より大きいことを特徴とする発光装置。
【請求項１９】
請求項１７に記載の発光装置であって、
前記発光領域と前記液溜領域との境界、又は前記液溜領域内に、
前記発光領域と前記液溜領域とに配置された液体の、一方の領域から他方の領域への流動を抑制する抑制バンクをさらに備えることを特徴とする発光装置。
【請求項２０】
請求項１７に記載の発光装置であって、
前記発光領域と前記液溜領域との境界領域に、前記液溜領域と前記発光領域とを分離する分離バンクをさらに備えることを特徴とする発光装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の発光装置であって、
前記バンクの長辺に臨む位置に設定されている第一の液溜領域と、当該第一の液溜領域を囲む第一のバンクと、をさらに備えることを特徴とする発光装置。
【請求項２２】
請求項１５乃至２１のいずれか一項に記載の発光装置であって、
前記液溜発光膜は、前記発光膜より厚いことを特徴とする発光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ（Organic Electro Luminescence：有機エレクトロルミネッセンス）装置の発光膜などのような機能膜を形成する膜形成方法、当該発光膜のような機能膜を有する発光装置の製造方法、及び当該機能膜を有する発光装置、並びに有機ＥＬ装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、有機ＥＬ装置の発光膜などの機能膜を形成する技術として、機能膜の材料を含む液状材料を塗布し、当該液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。液状材料を機能膜を形成するべき位置に適切に配置することができる方法として、インクジェット方式やディスペンサを用いる方法などが知られている。機能膜は厚さによって特性が異なることから、有機ＥＬ装置の有機ＥＬ膜などのように、その各部において同一の特性が要求される機能膜は、当該機能膜の各部分の厚さが均一であることが求められる。特許文献１には、インクジェット方式を用いて、機能膜を形成する製造方法及びインク組成物が開示されている。特許文献２乃至４には、ディスペンサを用いて、所定の位置に所定量の機能液（塗布液、塗工液、光学層形成用途液）を配置する方法が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３２３２７６号公報
【特許文献２】特開２００１−１８９１９２号公報
【特許文献３】特開２００３−２１７８４２号公報
【特許文献４】特開２００４−１３０１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記したように厚さが均一でなければならないにも拘わらず、配置された機能液が乾燥されて形成される機能膜は、乾燥条件によってその形状が異なるために、一定の量の機能液が配置されても、形成される機能膜の厚さ方向の形状は必ずしも一定ではないという課題があった。即ち、機能液が乾燥される際に発生する機能膜の厚さの不均一が発生し、それに起因して、必ずしも機能膜の適切な機能が実現されないという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、膜全体において、その各部分の厚さが均一な機能膜を形成することができる、膜形成方法、発光装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法、並びに均一な膜厚を有する機能膜を備えた発光装置、及び有機ＥＬ装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による膜形成方法は、平板状の部材の上に設定された、機能膜を形成すべき機能膜形成領域に、機能膜を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで機能膜を形成する膜形成方法であって、部材の上に、機能膜形成領域と、機能膜形成領域に隣接した位置に液状材料を配置するための液溜領域と、を設定する領域設定工程と、少なくとも機能膜形成領域を囲み、部材の面に略垂直な方向において機能膜形成領域より突出したバンクを形成する、バンク形成工程と、機能膜形成領域と、液溜領域とに、液状材料を配置する液状材料配置工程と、配置された液状材料を乾燥させて機能膜を形成する乾燥成膜工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る膜形成方法によれば、機能膜形成領域と機能膜形成領域に隣接した位置に設定された液溜領域とに液状材料が配置される。機能膜形成領域に配置された液状材料は、機能膜形成領域を囲んでいる機能膜形成領域より突出したバンクによって、機能膜形成領域からの流出が阻止されて留まり、機能膜形成領域で乾燥して機能膜形成領域に機能膜が形成される。一般的に、部材上に配置された液体は、液体が接する大気中の蒸発した液体の濃度が液体の塊の端の方が薄いため、端の方が蒸発しやすい。このため、配置された一塊の液体の端の方と中央の方とでは乾燥に要する時間が異なる。溶媒と溶質とから成る液状体においては、乾燥に伴い溶媒の量が減ることにより、溶質の濃度が増加する。また、乾燥途中の液状体は、乾燥量が少ないために残りの液量が多い方から多く乾燥して液量がより減少した方に、流動する。従って、乾燥量が多い部分には多くの溶質が集まり、当該部分に堆積される溶質の量は、乾燥量が少ない部分における溶質の量より多くなる。このように、乾燥状態が一律でないことにより、形成された機能膜の膜厚が不均一になり易い。本発明に係る膜形成方法によれば、機能膜形成領域と機能膜形成領域に隣接した位置に設定された液溜領域とに液状材料を配置することにより、液溜領域に液状材料が配置されていない場合に比べて、機能膜形成領域上の液状材料が接する大気中の蒸発した液状材料の濃度がより均一になる。これにより、機能膜形成領域に配置された液状材料の乾燥条件を略均一にして、機能膜形成領域に略均一な膜厚を有する機能膜を形成することができる。
【０００８】
本発明において、膜形成方法は、領域設定工程において、機能膜形成領域を、当該機能膜形成領域のアスペクト比が２以上である略方形又は略長円形形状に設定し、且つ、液溜領域の位置を、機能膜形成領域の略方形又は略長円形形状の長辺方向の両端に隣接した位置に設定することが好ましい。
【０００９】
この膜形成方法によれば、細長い形状をした機能膜形成領域の長辺方向の両端に形成された液溜領域にも液状材料が供給される。細長い平面形状をした領域に供給された一塊の液体は、長辺方向において乾燥条件が一定になり難いため、長辺方向の端側の部分と中央側の部分とで乾燥状態が異なることに起因する膜厚の不均一が発生し易い。また、一塊の液体の乾燥は、塊の端の方が乾燥し易いため、長辺方向の端側の部分は、機能膜形成領域の短辺側からと二個所の長辺側からとよりの影響を受けることにより、膜厚が変動しやすく、不均一になり易い。一方、長辺方向の中央側の部分は、機能膜形成領域の二個所の長辺側からの影響のみを受けるため、中央側の部分においては、均一な膜厚を形成し易い。アスペクト比が２以上になると、このような膜厚の不均一が発生し易くなることが、本発明の発明者らによって確認されている。機能膜形成領域の長辺方向の両端に液溜領域を形成して、機能膜形成領域と同様に液状材料を供給することにより、機能膜形成領域に配置された液状材料は、配置された液状材料全体における略中央側の部分の液状材料となることから、機能膜形成領域に配置された液状材料の乾燥条件が略一定となる。これにより、機能膜形成領域に略均一な膜厚を有する機能膜を形成することができる。
【００１０】
本発明において、膜形成方法は、バンク形成工程において、バンクを、当該バンクが機能膜形成領域及び液溜領域を囲むことで、機能膜形成領域と液溜領域とがバンクによって区画形成されるように、形成することが好ましい。
【００１１】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域と液溜領域とがバンクによって区画形成される。これにより、当該バンクによって、液溜領域に配置された液状材料を、機能膜形成領域に配置された液状材料と同様に、当該液溜領域に保持することができる。
【００１２】
本発明において、膜形成方法は、バンク形成工程において、バンクによって区画形成された液溜領域の機能膜形成領域の長辺方向に略直角な方向における幅は、機能膜形成領域の機能膜形成領域の長辺方向に略直角な方向における幅より大きくなるように、バンクを形成することが好ましい。
【００１３】
この膜形成方法によれば、液溜領域の幅が機能膜形成領域の幅より大きくなる。これにより、機能膜形成領域の長さ方向の長さの増大を抑制しつつ、液溜領域の面積を大きくして、液溜領域に配置できる液状材料の量を多くすることができる。液溜領域に多くの液状材料を配置することにより、機能膜形成領域に配置された液状材料が、配置された液状材料全体において均一に乾燥し易い部分である、略中央側の部分の液状材料となる状態を実現し易くなる。
【００１４】
本発明において、膜形成方法は、バンク形成工程において、機能膜形成領域と液溜領域との境界、又は液溜領域内に、液溜領域と機能膜形成領域とに配置された液体の、一方の領域から他方の領域への流動を抑制する抑制バンクをさらに形成することが好ましい。
【００１５】
この膜形成方法によれば、抑制バンクによって、液溜領域と機能膜形成領域とに配置された液体の、一方の領域から他方の領域への流動が抑制される。液溜領域に配置された液状材料が機能膜形成領域に流入することを抑制することで、機能膜形成領域に余分に流入した液状材料によって、機能膜形成領域に形成される機能膜の厚さが影響を受けることを抑制することができる。また、機能膜形成領域に配置された液状材料が機能膜形成領域から流出することを抑制することで、機能膜形成領域に適切な量が配置された液状材料が流出することによって、機能膜形成領域に形成される機能膜の厚さが影響を受けることを抑制することができる。
【００１６】
本発明において、膜形成方法は、バンク形成工程において、機能膜形成領域と液溜領域との境界領域に、機能膜形成領域と液溜領域とを分離する分離バンクをさらに形成することが好ましい。
【００１７】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域と液溜領域とが分離バンクによって互いに分離されているため、液溜領域に配置された液状材料が機能膜形成領域に流入することを防止することで、機能膜形成領域に余分に流入した液状材料によって、機能膜形成領域に形成される機能膜の厚さが影響を受けることを抑制することができる。また、機能膜形成領域に配置された液状材料が機能膜形成領域から流出することを防止することで、機能膜形成領域に適切な量が配置された液状材料が流出することによって、機能膜形成領域に形成される機能膜の厚さが影響を受けることを抑制することができる。
【００１８】
本発明において、膜形成方法は、領域設定工程において、バンクの長辺に臨む位置に第一の液溜領域をさらに設定し、バンク形成工程において、第一の液溜領域を囲む第一のバンクをさらに形成し、液状材料配置工程において、機能膜形成領域と、液溜領域と、第一の液溜領域とに、液状材料を配置することが好ましい。
【００１９】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域の長手方向の両端近くに形成した液溜領域と、第一の液溜領域とで、機能膜形成領域の周囲の略全体を囲むことができる。これにより、機能膜形成領域に在る液状材料が接する大気における蒸発した液状材料の濃度を、第一の液溜領域を設けない場合に比べて、より均一にすることができる。
【００２０】
本発明において、膜形成方法は、液状材料配置工程において、液溜領域及び機能膜形成領域への液状材料の配置を、当該液溜領域に配置する液状材料の単位面積あたりの量が、機能膜形成領域に配置する液状材料の単位面積あたりの量より多くなるように行うことが好ましい。
【００２１】
この膜形成方法によれば、機能膜形成領域と液溜領域とで、配置される単位面積当りの液状材料の量が等しい場合に比べて、液溜領域に配置される液状材料の量が多くなる。液溜領域に多くの液状材料を配置することにより、機能膜形成領域に配置された液状材料が、配置された液状材料全体において均一に乾燥し易い部分である、略中央側の部分の液状材料となる状態を実現し易くなる。
【００２２】
本発明において、膜形成方法は、液状材料配置工程が、液溜領域に対する液状材料の配置を開始することで液状材料配置工程を開始するステップと、機能膜形成領域に対する液状材料の配置を行うステップと、液溜領域に対する液状材料の配置を完了することで液状材料配置工程を終了するステップと、を有することが好ましい。
【００２３】
この膜形成方法によれば、液状材料配置工程は、最初に液溜領域に対する液状材料の配置を開始することで開始し、最後に液溜領域に対する液状材料の配置を終了する。液状材料を配置する装置の稼働状態が安定し難い開始時と終了時には、液溜領域への液状材料の配置を実行することで、機能膜形成領域には、配置する装置の稼働状態が安定し易い状態で、液状材料の配置を実行することができる。
【００２４】
本発明において、膜形成方法は、液状材料配置工程において、ディスペンサを用いて液状材料を配置することが好ましい。
【００２５】
この膜形成方法によれば、ディスペンサを用いることにより、任意の位置に任意の量の液状体を配置することができる。これにより、適切な位置に適切な量の液状材料を配置することが可能となり、スピンコートのように液状材料が不要な位置にも配置される方法に比べて、液状材料の無駄な消費を抑制することができる。
【００２６】
本発明による発光装置の製造方法は、上記した膜形成方法を用いて、発光膜を形成すべき発光領域に、発光膜を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで発光膜を形成することを特徴とする。
【００２７】
本発明に係る発光装置の製造方法によれば、均一な膜厚を有する機能膜を形成することができる膜形成方法を用いて発光膜を形成するため、適切な発光を実現できる均一な膜厚の発光膜を形成して、好適な発光装置を製造することができる。
【００２８】
本発明による発光装置は、上記した膜形成方法を用いて、発光膜を形成すべき発光領域に、発光膜を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで形成された発光膜を備えることを特徴とする。
【００２９】
本発明に係る発光装置によれば、均一な膜厚を有する機能膜を形成することができる膜形成方法を用いて形成された発光膜を有する。均一な膜厚の発光膜は、適切な発光を実現し易いため、好適な発光装置を実現することができる。
【００３０】
本発明による有機ＥＬ装置の製造方法は、上記した膜形成方法を用いて、有機ＥＬ層を形成すべき領域に、当該有機ＥＬ層を構成する正孔輸送層、発光層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで、発光層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層の少なくとも一つを形成することを特徴とする。
【００３１】
本発明に係る有機ＥＬ装置の製造方法によれば、均一な膜厚を有する機能膜を形成することができる膜形成方法を用いて、発光層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層の少なくとも一つを形成するため、適切な発光を実現できる均一な膜厚の発光層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層を形成して、好適な有機ＥＬ装置を製造することができる。
【００３２】
本発明による有機ＥＬ装置は、上記した膜形成方法を用いて、有機ＥＬ層を形成すべき領域に、当該有機ＥＬ層を構成する正孔輸送層、発光層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層を形成するための材料を含有する液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることで形成された発光層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層の少なくとも一つを備えることを特徴とする。
【００３３】
本発明に係る有機ＥＬ装置によれば、均一な膜厚を有する機能膜を形成することができる膜形成方法を用いて形成された発光層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層の少なくとも一つを有する。均一な膜厚の発光層、正孔輸送層、電子輸送層、正孔注入層、又は電子注入層は、有機ＥＬ装置の適切な発光を実現し易いため、好適な有機ＥＬ装置を実現することができる。
【００３４】
本発明による発光装置は、平板状の部材の上に設定された発光領域に液状材料を配置し、当該液状材料を乾燥させることによって形成された発光膜と、部材の上に、少なくとも発光領域を囲む位置に、部材の面に略垂直な方向において発光領域の面より突出したバンクと、発光領域に隣接した位置に設定された液溜領域に、発光膜と同様の形成方法で、且つ実質的に同時に形成された液溜発光膜と、を備えることを特徴とする。
【００３５】
本発明に係る発光装置によれば、発光装置は、発光膜に隣接する位置に液溜発光膜を備えている。液溜発光膜は、発光膜と同様にして形成されるため、発光領域に液状材料が配置される際には、液溜領域にも液状材料が配置され、発光領域の液状材料が乾燥させられる際には、液溜領域の液状材料も乾燥させられる。発光領域と発光領域に隣接した位置に設定された液溜領域とに液状材料を配置することにより、配置された液状材料が乾燥させられる際に、発光領域に隣接した位置に液状材料が配置されていない場合に比べて、発光領域上の液状材料が接する大気中の蒸発した液状材料の濃度がより均一になる。これにより、発光領域に配置された液状材料の乾燥条件を略均一にできるため、発光領域に形成される発光膜を略均一な膜厚を有する発光膜にすることができる。
【００３６】
本発明において、発光装置は、発光領域が、アスペクト比が２以上である略方形又は略長円形形状を有し、液溜発光膜は、発光領域の略方形又は略長円形形状の長辺方向の両端に隣接した位置に設定されている液溜領域に形成されていることが好ましい。
【００３７】
この発光装置によれば、細長い形状の発光領域の長手方向の両端に隣接した位置に液溜領域が設定されており、発光領域に液状材料が配置される際には、発光領域の長手方向の両端に隣接した位置の液溜領域にも液状材料が配置され、発光領域の液状材料が乾燥させられる際には、一緒に乾燥させられる。細長い平面形状をした領域に供給された一塊の液体は、長辺方向において乾燥条件が一定になり難いため、長辺方向の端側の部分と中央側の部分とで乾燥状態が異なることに起因する膜厚の不均一が発生し易い。また、一塊の液体の乾燥は、塊の端の方が乾燥し易いため、長辺方向の端側の部分は、機能膜形成領域の短辺側からと二個所の長辺側からとよりの影響を受けることにより、膜厚が変動しやすく、不均一になり易い。一方、長辺方向の中央側の部分は、機能膜形成領域の二個所の長辺側からの影響のみを受けるため、中央側の部分においては、均一な膜厚を形成し易い。アスペクト比が２以上になると、このような膜厚の不均一が発生し易くなることが、本発明の発明者らによって確認されている。発光領域の長手方向の両端に隣接した位置の液溜領域にも液状材料が配置されることにより、発光領域に配置された液状材料は、配置された液状材料全体における略中央側の部分の液状材料となることから、発光領域に配置された液状材料の乾燥条件が略一定となる。これにより、発光領域に形成される発光膜を略均一な膜厚を有する発光膜にすることができる。
【００３８】
本発明において、発光装置は、バンクが発光領域と液溜領域とを囲むことで、発光領域と液溜領域とがバンクによって区画形成されていることが好ましい。
【００３９】
この発光装置によれば、発光領域と液溜領域とがバンクによって区画形成される。これにより、発光領域及び液溜領域に液状材料が配置される際には、当該バンクによって、液溜領域に配置された液状材料を、発光領域に配置された液状材料と同様に、当該液溜領域に保持することができる。
【００４０】
本発明において、発光装置は、バンクよって区画形成された液溜領域の発光領域の長辺方向に略直角な方向における幅は、発光領域の長辺方向に略直角な方向における幅より大きいことが好ましい。
【００４１】
この発光装置によれば、液溜領域の幅が発光領域の幅より大きくなっている。これにより、発光領域の長さ方向の長さの増大を抑制しつつ、液溜領域の面積を大きくして、発光領域及び液溜領域に液状材料が配置される際に液溜領域に配置できる液状材料の量を多くすることができる。液溜領域に多くの液状材料を配置することにより、発光領域に配置された液状材料が、配置された液状材料全体において均一に乾燥し易い部分である、略中央側の部分の液状材料となる状態を実現し易くなる。
【００４２】
本発明において、発光装置は、発光領域と液溜領域との境界、又は液溜領域内に、発光領域と液溜領域とに配置された液体の、一方の領域から他方の領域への流動を抑制する抑制バンクをさらに備えることことが好ましい。
【００４３】
この発光装置によれば、抑制バンクによって、発光領域と液溜領域とに配置された液体の、一方の領域から他方の領域への流動が抑制される。発光領域及び液溜領域に液状材料が配置された際に、抑液溜領域に配置された液状材料が発光領域に流入することを抑制することで、発光領域に余分に流入した液状材料によって、発光領域に形成される発光膜の厚さが影響を受けることを抑制することができる。また、発光領域に配置された液状材料が発光領域から流出することを抑制することで、発光領域に適切な量が配置された液状材料が流出することによって、発光領域に形成される発光膜の厚さが影響を受けることを抑制することができる。
【００４４】
本発明において、発光装置は、発光領域と液溜領域との境界領域に、液溜領域と発光領域とを分離する分離バンクをさらに備えることが好ましい。
【００４５】
この発光装置によれば、発光領域と液溜領域とが分離バンクによって互いに分離されているため、発光領域及び液溜領域に液状材料が配置された際に、抑液溜領域に配置された液状材料が発光領域に流入することを防止することで、発光領域に余分に流入した液状材料によって、発光領域に形成される発光膜の厚さが影響を受けることを防止することができる。また、発光領域に配置された液状材料が発光領域から流出することを防止することで、発光領域に適切な量が配置された液状材料が流出することによって、発光領域に形成される発光膜の厚さが影響を受けることを防止することができる。
【００４６】
本発明において、発光装置は、バンクの長辺に臨む位置に設定されている第一の液溜領域と、当該第一の液溜領域を囲む第一のバンクと、をさらに備えることが好ましい。
【００４７】
この発光装置によれば、発光領域の長手方向の両端近くに形成された液溜領域と、第一の液溜領域とで、発光領域の周囲の略全体を囲むことができる。これにより、発光領域及び液溜領域に配置された液状材料が乾燥させられる際に、発光領域に在る液状材料が接する大気中における蒸発した液状材料の濃度を、第一の液溜領域を設けない場合に比べて、より均一にすることができる。
【００４８】
本発明において、発光装置は、液溜発光膜が、発光膜より厚いことが好ましい。
【００４９】
この発光装置によれば、液溜発光膜の厚さを発光膜より厚くするために、発光領域及び液溜領域に液状材料が配置される際に、液溜領域には、発光領域に配置する単位面積あたりの液状材料の量より多い単位面積あたりの量の液状材料が配置される。液溜領域に多くの液状材料が配置されることにより、発光領域に配置された液状材料が、配置された液状材料全体において均一に乾燥し易い部分である、略中央側の部分の液状材料となる状態を実現し易くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
以下、本発明に係る膜形成方法、発光装置の製造方法、及び発光装置、並びに有機ＥＬ装置の製造方法、及び有機ＥＬ装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。本発明の実施形態は、発光装置の一例である有機ＥＬ発光膜を有する光書き込みヘッドを製造する工程において、機能膜を形成する工程で用いられる膜形成方法を例に説明する。
【００５１】
＜光プリンタ＞
最初に、光書き込みヘッドを備えた光プリンタ１の要部の構成について、図１を参照して説明する。以下に説明する光プリンタは、フルカラー表示が可能なタンデム方式の光プリンタである。
【００５２】
図１は、光プリンタの要部の断面図である。図１に示すように、光プリンタ１は、光書き込みヘッド及び発光部ユニットとしてのブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙを備えている。また、光プリンタ１は、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙの下方に、ブラック用感光ドラム３Ｋ、シアン用感光ドラム３Ｃ、マゼンダ用感光ドラム３Ｍ、イエロ用感光ドラム３Ｙをそれぞれ備えている。各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙは、互いに所定の間隔を隔てて配置されている。
【００５３】
さらに、光プリンタ１は、駆動ローラ４、従動ローラ５、テンションローラ６、及び中間転写ベルト７を備える。中間転写ベルト７は、テンションローラ６によりテンションを加えられて駆動ローラ４と従動ローラ５とに張架されており、駆動ローラ４によって図１中反時計周り方向へ循環駆動される。各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙが、中間転写ベルト７に臨んで配置されている。
【００５４】
各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙは、中間転写ベルト７の駆動と同期して図１中時計周り方向へ回転駆動されるようになっている。そして、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙは、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの外周面を各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの回転に同期して順次ライン走査することで、描画データに応じた静電潜像を対応する各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成する。
【００５５】
また、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに臨んで、該感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの各外周面を一様に帯電させるコロナ帯電器８Ｋ，８Ｃ，８Ｍ，８Ｙが設けられている。一様に帯電した各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙのそれぞれの外周面に、対応する各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙによって光を照射することにより、光が照射された部分の電位を変化させて、静電潜像を各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成する。静電潜像は、電位の違いとして形成された画像であって、不可視画像である。
【００５６】
また、光プリンタ１は、ブラック用感光ドラム３Ｋの近傍にブラック用現像装置９Ｋを、シアン用感光ドラム３Ｃの近傍にシアン用現像装置９Ｃを、マゼンダ用感光ドラム３Ｍの近傍にマゼンダ用現像装置９Ｍを、イエロ用感光ドラム３Ｙの近傍にイエロ用現像装置９Ｙをそれぞれ備えている。この各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｍ，９Ｙは、対応する各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙによって各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成された静電潜像に対応する色の現像剤であるトナーを付与して可視像（トナー像）を形成するものである。例えば、シアン用現像装置９Ｃは、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃによってシアン用感光ドラム３Ｃ上に形成された静電潜像にシアン色のトナーを付与して可視像（トナー像）を形成する。
【００５７】
より詳細には、各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｍ，９Ｙは、例えば、トナーとして非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を、例えば供給ローラで現像ローラへ供給し、現像ローラ表面に付着させる。現像ローラ表面に付着したトナーは、その膜厚を規制ブレードで規制する。膜厚が一定に規制されたトナーが付着した現像ローラを各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに接触又は押圧させることにより、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成された静電潜像の電位レベルに応じてトナー（現像剤）を付着させて可視像（トナー像）として現像する。
【００５８】
さらに、光プリンタ１は、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲に、各現像装置９Ｋ，９Ｃ，９Ｍ，９Ｙで現像された可視像（トナー像）を一次転写対象である中間転写ベルト７に順次転写するための一次転写ローラ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｍ，１０Ｙを備えている。また、光プリンタ１は、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの周囲に、クリーニング装置１１Ｋ，１１Ｃ，１１Ｍ，１１Ｙを備えている。クリーニング装置１１Ｋ，１１Ｃ，１１Ｍ，１１Ｙは、一次転写の後に、対応する感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙの表面に残留しているトナーを除去するためのものである。
【００５９】
また、光プリンタ１は、中間転写ベルト７とで二次転写部を形成する二次転写ローラ１８、及び二次転写後に中間転写ベルト７の表面に残留しているトナーを除去するクリーニングブレード１９を備えている。さらに、光プリンタ１は、多数枚の記録媒体Ｐを保持する給紙カセット１５、該給紙カセット１５から記録媒体Ｐを一枚ずつ給送するピックアップローラ１６ａ、二次転写ローラ１８の二次転写部への記録媒体Ｐの供給タイミングを規定するゲートローラ１６ｂ、記録媒体Ｐを排出する排紙ローラ１６ｃ、及び排出された記録媒体Ｐを受けるための排紙トレイ１４を備えている。
【００６０】
各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に形成されたブラック、シアン、マゼンタ、イエロの各可視像（トナー像）は、一次転写ローラ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｍ，１０Ｙによって中間転写ベルト７上に順次一次転写される。この一次転写により中間転写ベルト７上で順次重ね合わされてフルカラーとなった可視像（トナー像）は、二次転写ローラ１８によって用紙等の記録媒体Ｐ上に二次転写され、一対の定着ローラ１２を通ることで記録媒体Ｐ上に定着される。可視像（トナー像）が定着した記録媒体Ｐは、排紙ローラ１６ｃによって案内されて光プリンタ１の上部に形成された排紙トレイ１４上へ排出される。
【００６１】
＜有機ＥＬ露光ヘッド＞
次に、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙの詳細について、図２を参照して説明する。なお、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ、シアン用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ、マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｍ、及びイエロ用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｙは、全て同じ構造をしているため、説明の便宜上、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋについてのみ説明し、他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙについては、その詳細な説明を省略する。
【００６２】
図２（ａ）は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッドとブラック用感光ドラムとの外観斜視図である。図２（ａ）に示すように、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋは、一方向、即ち中間転写ベルト７の搬送方向に対して略直交する方向に延在するように配設された箱体２１と、箱体２１とブラック用感光ドラム３Ｋとの間に位置するように箱体２１に支持固定された光学部材２３とを備えている。箱体２１は、ブラック用感光ドラム３Ｋ側に開口部を有しており、静電潜像を対応する感光ドラムであるブラック用感光ドラム３Ｋ上に形成するための光を射出する発光素子アレイ２２が、箱体２１の開口部から光学部材２３に向かって光を射出するように箱体２１に固定されている。
【００６３】
図２（ｂ）は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッドとブラック用感光ドラムとの模式断面図である。図２（ｂ）に示すように、発光素子アレイ２２と対向する位置に設けられている光学部材２３は、内部に複数のレンズ２３１を備えている。発光素子アレイ２２に形成された有機ＥＬ素子２４から射出された光は、レンズ２３１に入射して集光され、ブラック用感光ドラム３Ｋの表面に照射される。上述したように、光が照射された部分の電位が変化して、ブラック用感光ドラム３Ｋ上に、静電潜像が形成される。
【００６４】
＜発光素子アレイ＞
次に、発光素子アレイ２２の構成について説明する。図３は、発光素子アレイの概略構成を示す模式図である。図３（ａ）は、発光素子アレイの模式平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）にＡ−Ａで示した部分の断面図である。
【００６５】
図３（ａ）に示すように、発光素子アレイ２２は、基板Ｓ上に発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、「有機ＥＬ素子」と表記する。）２４を複数個配列している。本実施形態の発光素子アレイ２２は、縦一列に等ピッチに配列された複数個（本図では、大きく図示するために８個のみ表示した。）の有機ＥＬ素子２４が２列配列されている。そして、各有機ＥＬ素子２４は、隣接する他の列の有機ＥＬ素子２４と縦方向に半ピッチだけずれるようにして配置されている。つまり、各有機ＥＬ素子２４は、千鳥格子状に配列されている。
【００６６】
基板Ｓ上には、バンク２５が形成されている。バンク２５は、有機ＥＬ素子２４を構成する素子膜２８が形成された素子膜領域２６を区画形成している。素子膜領域２６の中央側部分において複数の有機ＥＬ素子２４が形成された領域を、発光領域２６ａと表記する。素子膜領域２６において、細長い形状の発光領域２６ａの長手方向の両端に隣接した領域を調整領域２６ｂと表記する。発光領域２６ａの両側のバンク２５を、バンク２５ａと表記し、調整領域２６ｂを囲むバンク２５を、バンク２５ｂと表記する。バンク２５は、発光素子アレイ２２の長手方向に直角な方向において、調整領域２６ｂの方が発光領域２６ａより広くなるように、バンク２５ｂとバンク２５ａとが配置されて、形成されている。発光領域２６ａが、機能膜形成領域に相当し、調整領域２６ｂが、液溜領域に相当する。
【００６７】
図３（ｂ）に示すように、発光素子アレイ２２は、基板Ｓ上に設定された発光領域２６ａにおいて、基板Ｓの一方の表面上に形成された複数のスイッチング素子３１と、スイッチング素子３１を覆うように形成された絶縁層３２と、絶縁層３２上に形成されており、導通層２７ａを介してスイッチング素子３１と導通している複数の画素電極２７と、を有している。上記したように、バンク２５によって区画された素子膜領域２６には、正孔輸送層２８ａと、正孔輸送層２８ａ上に積層して形成された発光層２８ｂと、発光層２８ｂを覆うように設けられた対向電極２９と、を有している。正孔輸送層２８ａと発光層２８ｂとが、上記した素子膜２８である。有機ＥＬ素子２４は、一個の画素電極２７と、対向電極２９の当該画素電極２７に略対向する部分と、画素電極２７と該画素電極２７に略対向する対向電極２９の部分とに挟まれた正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂと、で構成されている。対向電極２９やバンク２５などの上面には、基板Ｓ上の全面を覆うように封止部材３０が形成されている。正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂが、機能膜に相当する。
【００６８】
正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚は発光領域２６ａ内全域に渡って略均一になっている。従って、各画素電極２７上には略均一な膜厚の正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂが形成されている。また、任意の画素電極２７上に形成されている正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚と、他の画素電極２７上に形成される正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚とも略均一である。他の有機ＥＬ露光ヘッド２Ｃ，２Ｍ，２Ｙも同様に、その各発光素子アレイ２２に設けられた有機ＥＬ素子２４の正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚は、均一になっている。
【００６９】
図示省略した駆動回路を用いて、任意のスイッチング素子３１を選択的に駆動させることにより、駆動させられたスイッチング素子３１に対応する有機ＥＬ素子２４が発光する。各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙから射出される光は、その光学部材２３から対応する各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙに向かって射出される。そして、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上の電位レベルが出射された光に応じて変化することでトナーの付着力が制御されて各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に前記描画データ信号に基づいた可視像（トナー像）が現像される。このとき、各有機ＥＬ露光ヘッド２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙに設けられた各有機ＥＬ素子２４の発光層２８ｂの膜厚は、均一になっているので、各感光ドラム３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ上に現像される可視像（トナー像）は、輝度ムラ等の表示ムラの無い可視像（トナー像）が形成される。
【００７０】
＜ディスペンサ装置＞
次に、発光層２８ｂなどを形成するための液状材料を配置するのに用いるディスペンサ装置５０について図４を参照して説明する。図４は、ディスペンサ装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００７１】
図４に示すように、ディスペンサ装置５０は、液状体を吐出するディスペンサ６１を有するディスペンサ機構部５２と、ディスペンサ６１から吐出された液状体の吐出対象であるワーク７０を載置するワーク載置台７２を有するワーク機構部５３と、ディスペンサ６１への液状体の供給を行う液状体供給部５４と、ディスペンサ６１の保守を行うためのメンテナンス装置部５５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御するディスペンサ装置制御部５６を備えている。
【００７２】
さらに、ディスペンサ装置５０は、床上に設置された複数の支持脚５８と、支持脚５８の上側に設置された定盤５９とを備えている。定盤５９の上側には、ワーク機構部５３が定盤５９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部５３の上方には、定盤５９に固定された２本の支持柱で支持されているディスペンサ機構部５２が、ワーク機構部５３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤５９の傍らには、ディスペンサ機構部５２のディスペンサ６１に連通する供給管を有する液状体供給部５４の液状体タンクなどが配置されている。ディスペンサ機構部５２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５５がワーク機構部５３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤５９の下側に、ディスペンサ装置制御部５６が収容されている。
【００７３】
ディスペンサ機構部５２は、ディスペンサ６１を有するディスペンサユニット６２と、ディスペンサユニット６２を図示省略したＺ軸移動機構を介してＺ軸方向に移動可能に支持するディスペンサキャリッジ６４とを有する。ディスペンサ機構部５２は、ディスペンサキャリッジ６４をＹ軸方向に移動させることで、ディスペンサ６１をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部５３は、ワーク載置台７２をＸ軸方向に移動させることで、ワーク載置台７２に載置されたワーク７０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００７４】
このように、ディスペンサ６１は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク７０のＸ軸方向の移動に同調して、液状体を吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク７０と、Ｙ軸方向に移動するディスペンサ６１とを相対的に制御することにより、ワーク７０上の任意の位置に液状体を供給することで、所望する描画などを行うことが可能である。
【００７５】
＜有機ＥＬ素子の形成＞
次に、発光素子アレイ２２における有機ＥＬ素子２４を構成する正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの形成工程について図５及び図６を参照して説明する。図５は、正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャートあり、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図である。
【００７６】
図５のステップＳ１では、図６（ａ）に示すように、スイッチング素子３１と、絶縁層３２と、導通層２７ａと、画素電極２７と、が形成された基板Ｓの表面において、発光領域２６ａと調整領域２６ｂとから成る素子膜領域２６を区画するように、バンク２５ｂとバンク２５ａとから成るバンク２５を形成する。調整領域２６ｂの位置及び形状は、発光領域２６ａなどを設定する設計段階において、図３を参照して説明したような位置及び形状に、予め設定されている。発光領域２６ａや調整領域２６ｂの位置及び形状を予め設定する工程が、領域設定工程に相当する。
【００７７】
バンク２５は、例えば、画素電極２７などが形成された基板Ｓの表面にバンク２５の材料を含む液状材料を塗布し、当該液状材料を乾燥させてバンク膜を形成し、フォトエッチングなどで発光領域２６ａ及び調整領域２６ｂなどの部分を取り除くことで、形成する。基板Ｓが、機能膜を形成する平板状の部材に相当する。ステップＳ１のバンク２５を形成するステップが、バンク形成工程に相当する。
【００７８】
ここで、バンクの形状、並びにバンクによって区画される調整領域の形状及び配置について説明する。図７は、バンクの平面形状の例を示す模式平面図である。図７（ａ）に示すバンク２５は、上述したステップＳ１を実行して形成されたバンクであって、図３を参照して説明した発光素子アレイ２２を構成するバンクである。図３を参照して説明したように、バンク２５は、発光素子アレイ２２の長手方向に直角な方向において、調整領域２６ｂの方が発光領域２６ａより広くなるように、バンク２５ｂとバンク２５ａとが配置されて、形成されている。
【００７９】
図７（ｂ）に示したバンク７５は、基板Ｓ１上に形成されている。バンク７５を構成するバンク７５ａは、画素電極２７などが形成された発光領域７６ａと調整領域７６ｂとから成る素子膜領域７６を囲むように形成されている。発光領域７６ａと調整領域７６ｂとの境界には、バンク７５ａから素子膜領域７６側に膨出した突出バンク７５ｂが４個所に形成されている。突出バンク７５ｂが、抑制バンクに相当する。
【００８０】
図７（ｃ）に示したバンク７７は、基板Ｓ２上に形成されている。バンク７７を構成するバンク７７ａは、画素電極２７などが形成された発光領域７８ａと調整領域７８ｂとから成る素子膜領域７８を囲むように形成されている。発光領域７８ａと調整領域７８ｂとの境界には、発光領域７８ａと調整領域７８ｂとを分離するバンク７７ｂが、２個所に形成されている。バンク７７ｂは、バンク７７ａと一体に形成されている。バンク７７ｂが、分離バンクに相当する。
【００８１】
図７（ｄ）に示したバンク７９は、基板Ｓ３上に形成されている。バンク７９を構成するバンク７９ａは、上述したバンク７７ａと同様に、画素電極２７などが形成された発光領域８０ａと調整領域８０ｂとから成る素子膜領域８０を囲むように形成されている。発光領域８０ａと調整領域８０ｂとの境界には、発光領域８０ａと調整領域８０ｂとを分離するように、上記のバンク７７ｂと同様のバンク７９ｂが２個所に形成されている。また、バンク７９ａの発光領域８０ａを区画している部分の外側、即ちバンク７９ａを挟んで発光領域８０ａの反対側には、バンク７９ｃが２個所形成されている。２個所のバンク７９ｃは、バンク７９ａと１個所のバンク７９ｃとで、発光領域８０ａの長手方向に延在する調整領域８０ｃを区画形成して、２個所のバンク７９ｃとバンク７９ａとで区画形成された２個所の調整領域８０ｃが、発光領域８０ａの両側に延在するように形成されている。調整領域８０ｃが、第一の液溜領域に相当し、調整領域８０ｃを区画形成しているバンク７９ｃとバンク７９ａとが第一のバンクに相当する。
【００８２】
次に、図５のステップＳ２では、正孔輸送層２８ａの材料を含む液状材料１２８ａを、上述したディスペンサ６１から吐出することにより、図６（ａ）に二点鎖線で示したように、バンク２５によって囲まれた素子膜領域２６に、液状材料１２８ａを配置する。最初に、バンク２５が形成された基板Ｓを、上述したディスペンサ装置５０のワーク載置台７２（図４参照）にセットする。ディスペンサ機構部５２及びワーク機構部５３（図４参照）によって、ワーク載置台７２とディスペンサ６１とを相対移動させることで、ディスペンサ６１を、基板Ｓに形成されたバンク２５に対して図８に二点鎖線で示したディスペンサ６１ａのように、一方の調整領域２６ｂに臨む状態に位置させる。図８は、素子膜領域とディスペンサとの位置関係を示す説明図である。当該位置でディスペンサ６１からの液状材料１２８ａの吐出を開始し、当該吐出を継続すると共に、素子膜領域２６に対してディスペンサ６１を矢印ａの方向に相対移動させることで、素子膜領域２６に液状材料１２８ａを配置する。ディスペンサ６１が、図８に二点鎖線で示したディスペンサ６１ｂのように、吐出を開始した際にディスペンサ６１が臨んでいた一方の調整領域２６ｂとは異なるもう一方の調整領域２６ｂに臨む位置に達したところで、ディスペンサ６１からの液状材料１２８ａの吐出を停止する。
【００８３】
なお、上述したバンク７５又はバンク７７のようなバンクを有する素子膜領域７６又は素子膜領域７８に液状材料１２８ａを配置する場合に、ディスペンサ６１が突出バンク７５ｂ又はバンク７７ｂ付近に臨んでいる際は、液状材料１２８ａの吐出を中断しても良い。あるいは、吐出を継続して、突出バンク７５ｂ又はバンク７７ｂの頂部に配置された液状材料１２８ａが流動して、調整領域７６ｂ又は調整領域７８ｂなどに流入するようにしても良い。また、上述したバンク７９のようなバンクを有する素子膜領域８０に液状材料１２８ａを配置する場合には、二個所の調整領域８０ｃの一方の端から液状材料１２８ａの吐出を開始し、調整領域８０ｂ、発光領域８０ａ、調整領域８０ｂ、もう一方の調整領域８０ｃの順で液状材料１２８ａを配置する。
【００８４】
発光領域２６ａの長手方向の全域に渉って均一に液状材料１２８ａを配置するために、ディスペンサ６１が発光領域２６ａに臨んでいる際のディスペンサ６１の発光領域２６ａ（素子膜領域２６）に対する相対移動の速度は、略一定速度を維持する。ディスペンサ６１が調整領域２６ｂに臨んでいる際のディスペンサ６１の素子膜領域２６に対する相対移動の速度は、ディスペンサ６１が発光領域２６ａに臨んでいる際の相対移動の速度より小さくする。これにより、調整領域２６ｂに配置する単位面積当りの液状材料１２８ａの量を、発光領域２６ａに配置する単位面積当りの液状材料１２８ａの量より多くする。
【００８５】
なお、素子膜領域２６に液状材料１２８ａを充填し易くするために、バンク２５が形成された基板Ｓを表面処理してもよい。例えば、バンク２５に囲まれた素子膜領域２６の底部と、バンク２５の側面とが、液状材料１２８ａに対して親液性となるように処理し、バンク２５の頂部は液状材料１２８ａに対して撥液性となるように処理する。この処理によって、素子膜領域２６に充填されるべく配置された液状材料１２８ａが素子膜領域２６に馴染み易くなると共に、素子膜領域２６から溢れ出し難くなる。
【００８６】
次に、図５のステップＳ３では、素子膜領域２６に配置された液状材料１２８ａを乾燥させて、正孔輸送層２８ａを形成する。乾燥方法は、自然乾燥や、減圧環境下での減圧乾燥や、加熱することによる強制乾燥など、どのような乾燥方法を用いてもよいが、発光領域２６ａに形成される正孔輸送層２８ａの膜厚が発光領域２６ａの全域に渉って均一になり易い方法を用いる。調整領域２６ｂに配置された単位面積当りの液状材料１２８ａの量が、発光領域２６ａに配置された単位面積当りの液状材料１２８ａの量より多いため、図６（ｂ）に示したように、調整領域２６ｂに形成された正孔輸送層２８ａの厚さの方が、発光領域２６ａに形成された正孔輸送層２８ａの厚さより、厚くなっている。液状材料１２８ａを乾燥させて、正孔輸送層２８ａを形成するステップが、乾燥成膜工程に相当する。
【００８７】
次に、ステップＳ４では、ステップＳ２における液状材料１２８ａの配置と同様に、発光層２８ｂの材料を含む液状材料１２８ｂを、上述したディスペンサ６１から吐出して、図６（ｂ）に二点鎖線で示したように、バンク２５によって囲まれた素子膜領域２６に、液状材料１２８ｂを配置する。ステップＳ４を実行する前に、正孔輸送層２８ａに対して液状材料１２８ｂが馴染み易くなるようにするために、正孔輸送層２８ａの表面を液状材料１２８ｂに対して親液性となるような処理を実行してもよい。
【００８８】
次に、ステップＳ５では、素子膜領域２６に配置された液状材料１２８ｂを乾燥させて、発光層２８ｂを形成する。乾燥方法は、自然乾燥や、減圧環境下での減圧乾燥や、加熱することによる強制乾燥など、どのような乾燥方法を用いてもよいが、発光領域２６ａに形成される発光層２８ｂの膜厚が発光領域２６ａの全域に渉って均一になり易い方法を用いる。調整領域２６ｂに配置された単位面積当りの液状材料１２８ｂの量が、発光領域２６ａに配置された単位面積当りの液状材料１２８ｂの量より多いため、図６（ｃ）に示したように、調整領域２６ｂに形成された発光層２８ｂの厚さの方が、発光領域２６ａに形成された発光層２８ｂの厚さより、厚くなっている。液状材料１２８ｂを乾燥させて、発光層２８ｂを形成するステップが、乾燥成膜工程に相当する。
【００８９】
図６（ｃ）に示したように、調整領域２６ｂに発光層２８ｂを形成して、有機ＥＬ素子２４を構成する正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂを形成する工程を終了する。
【００９０】
さらに、発光層２８ｂの上に対向電極２９を形成し、形成された対向電極２９やバンク２５を覆うように有機ＥＬ素子２４が射出する光に対して透過性を有する封止部材３０を形成して、図３を参照して説明したような発光素子アレイ２２を構成する。
【００９１】
なお、発光素子アレイ２２を量産する際には、基板Ｓを複数形成できるようなマザー基板ＳＡを加工することが効率的である。マザー基板ＳＡにおいて、一個の基板Ｓに相当する領域に、発光素子アレイ２２一個分のスイッチング素子３１と、絶縁層３２と、導通層２７ａと、画素電極２７と、を形成する。これらが形成されたマザー基板ＳＡの表面において、上述したステップＳ１からステップＳ５の各ステップを実行する。さらに、対向電極２９を形成し、封止部材３０を形成する。最後にマザー基板ＳＡを分割して、個別の発光素子アレイ２２を形成する。
【００９２】
以下、本実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）発光領域２６ａと調整領域２６ｂとを区画形成するバンク２５を形成し、液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂをバンク２５内に配置して乾燥させる。発光領域２６ａに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂは、調整領域２６ｂに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの間に在るため、発光領域２６ａに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの乾燥条件が、発光領域２６ａ全体に亘って均一になり易い。これにより、発光領域２６ａに形成される正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚を均一にすることができる。
【００９３】
（２）バンク２５は、調整領域２６ｂの幅の方が発光領域２６ａの幅より広くなるように形成されている。このため、調整領域２６ｂにより多くの液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂを配置することが可能となり、発光領域２６ａに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの両側に配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの量が多くなる。これにより、発光領域２６ａに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの乾燥条件が、発光領域２６ａ全体に亘ってより均一になり易くなることから、発光領域２６ａに形成される正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚をより均一にすることができる。
【００９４】
（３）調整領域２６ｂに配置する単位面積当りの液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの量を、発光領域２６ａに配置する単位面積当りの液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの量より多くしている。このため、発光領域２６ａに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの両側に配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの量が多くなる。これにより、発光領域２６ａに配置された液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの乾燥条件が、発光領域２６ａ全体に亘ってより均一になり易くなることから、発光領域２６ａに形成される正孔輸送層２８ａ及び発光層２８ｂの膜厚をより均一にすることができる。
【００９５】
（４）ディスペンサ装置５０による液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの配置は、調整領域２６ｂから開始して、調整領域２６ｂで終了する。これにより、ディスペンサ装置５０の吐出状態が安定しない可能性がある稼働開始時と稼働終了時は調整領域２６ｂに向けての配置を実行し、吐出状態が安定している状態で発光領域２６ａへの液状材料１２８ａ又は液状材料１２８ｂの配置を実行することができる。
【００９６】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記実施形態に限らない。本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００９７】
（変形例１）前記実施形態においては、バンク２５などの平面形状は角部を有する方形状であり、調整領域２６ｂなどの平面形状も角部を有する方形状であったが、バンクや調整領域の形状が方形状であることは必須ではない。方形状とは異なる多角形であってもよいし、略円形など曲線で構成された形状であってもよい。
【００９８】
（変形例２）前記実施形態においては、ディスペンサ６１による液状材料１２８ａ又は１２８ｂの単位面積当りの配置量は、ディスペンサ６１の素子膜領域２６に対する相対移動の速度を変えることによって調節していたが、配置量の調節を相対移動速度によることは必須ではない。ディスペンサから液状材料を吐出させるために印加する圧力を変えたり、ディスペンサの吐出口のバルブの開口面積を変えたりすることで、単位時間当りの吐出量を変えることによって単位面積当りの配置量を調節してもよい。
【００９９】
（変形例３）前記実施形態においては、ディスペンサ６１を有するディスペンサ装置５０を用いて、液状材料１２８ａ又は１２８ｂを配置する例について説明したが、液状材料を配置するために使用する装置は、ディスペンサを用いる装置に限らない。例えば、液状材料を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット方式の液滴吐出装置を用いてもよい。
【０１００】
（変形例４）前記実施形態においては、発光領域７８ａと調整領域７８ｂとを、又は発光領域８０ａと調整領域８０ｂと調整領域８０ｃとを分離して区画形成する、バンク７７又はバンク７９は、それぞれ一体に形成されたバンクであったが、発光領域と調整領域とを分離して区画形成するバンクが一体であることは必須ではない。発光領域を区画するバンクと調整領域を区画するバンクとは異なるバンクであってもよい。
【０１０１】
（変形例５）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子２４を有する発光素子アレイ２２における正孔輸送層２８ａと発光層２８ｂとの形成を例に説明したが、本発明の膜形成方法の適用は有機ＥＬ装置の有機ＥＬ膜の形成に限らない。均一な厚さの膜を形成することが好ましい装置の膜を、液状材料を任意の位置に配置して形成する場合であれば、どのような膜の形成においても適用することができる。
【０１０２】
（変形例６）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子２４は、正孔輸送層２８ａと発光層２８ｂとが、画素電極２７と対向電極２９とに挟まれた構成であったが、有機ＥＬ素子は、このような構成に限らない。有機ＥＬ素子は、発光層のみが画素電極と対向電極とに挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層と電子注入層とが挟まれた構成のものなどが知られている。本発明の膜形成方法は、これらの電子輸送層や正孔注入層や電子注入層の形成にも適用することができる。
【０１０３】
（変形例７）前記実施形態においては、突出バンク７５ｂは、バンク７５ａから素子膜領域７６側に膨出して形成されていたが、抑制バンクに相当するバンクが素子膜領域を区画形成するバンクに連なっていることは必須ではない。例えば、素子膜領域を区画形成するバンク間に、当該バンクとは独立したバンクを形成してもよい。
【０１０４】
（変形例８）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子２４を有する発光素子アレイ２２における正孔輸送層２８ａと発光層２８ｂの両方とも本発明の膜形成方法を適用して形成していたが、装置を構成する機能膜の全てに、本発明の膜形成方法を適用して機能膜を有する装置を形成することは必須ではない。均一な膜厚が形成し難い機能膜の形成のみに、本発明の膜形成方法を適用するなど、一部の機能膜の形成に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】光プリンタの要部の断面図。
【図２】（ａ）は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッドとブラック用感光ドラムとの外観斜視図。（ｂ）は、ブラック用有機ＥＬ露光ヘッドとブラック用感光ドラムとの模式断面図。
【図３】発光素子アレイの概略構成を示す模式図。
【図４】ディスペンサ装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図５】正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャート。
【図６】正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図。
【図７】バンクの平面形状の例を示す模式平面図。
【図８】素子膜領域とディスペンサとの位置関係を示す説明図。
【符号の説明】
【０１０６】
１…光プリンタ、２Ｃ…シアン用有機ＥＬ露光ヘッド、２Ｋ…ブラック用有機ＥＬ露光ヘッド、２Ｍ…マゼンダ用有機ＥＬ露光ヘッド、２Ｙ…イエロ用有機ＥＬ露光ヘッド、２１…箱体、２２…発光素子アレイ、２４…有機ＥＬ素子、２５，２５ａ，２５ｂ…バンク、２６…素子膜領域、２６ａ…発光領域、２６ｂ…調整領域、２７…画素電極、２７ａ…導通層、２８…素子膜、２８ａ…正孔輸送層、２８ｂ…発光層、２９…対向電極、３０…封止部材、３１…スイッチング素子、３２…絶縁層、５０…ディスペンサ装置、６１，６１ａ，６１ｂ…ディスペンサ、７５，７５ａ，７７，７７ａ，７７ｂ，７９，７９ａ，７９ｂ，７９ｃ…バンク、７５ｂ…突出バンク、７６，７８，８０…素子膜領域、７６ａ，７８ａ，８０ａ…発光領域、７６ｂ，７８ｂ，８０ｂ，８０ｃ…調整領域、１２８ａ，１２８ｂ…液状材料、Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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