(57)【要約】【課題】テスターコントローラおよびプローバコントローラにそれぞれ設けられた表示器を統合してひとつの表示器とし、省スペース化を図った半導体テスト装置を提供する。【解決手段】テストヘッドのテスターコントローラに設けられヘッドの操作状態を表示するテストヘッド表示器と、被検査ウエハのプロービングを行うプローバコントローラの操作状態を表示するプローバ表示器を備えた半導体テスト装置において、前記テストヘッド表示器とプローバ表示器に替えて、これらの表示器に送信される操作信号を入力するマルチプレクサを設けると共に、このマルチプレクサにより切替えられた信号を表示する統合表示器を備えた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッドのテスターコントローラに設けられヘッドの操作状態を表示するテストヘッド表示器と、被検査ウエハのプロービングを行うプローバコントローラの操作状態を表示するプローバ表示器を備えた半導体テスト装置において、前記テストヘッド表示器とプローバ表示器に替えて、これらの表示器に送信される操作信号を入力するマルチプレクサを設けると共に、このマルチプレクサにより切替えられた信号を表示する統合表示器を備えたことを特徴とする半導体テスト装置。
【請求項２】
前記マルチプレクサで切替えて統合表示器に表示される表示画面は、マニュアルまたは強制的に切替えるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の半導体テスト装置。
【請求項３】
前記強制的な切替えは前記テスターコントローラまたはプローバコントローラからのアラーム信号に基づいて切替えることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体テスト装置。
【請求項４】
前記統合表示器はテスターコントローラまたはプローバコントローラのいずれかに設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体テスト装置。
【請求項５】
前記マルチプレクサに無線通信機能を設けると共に、前記統合表示器に前記マルチプレクサからの無線信号を受信する受信手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の半導体テスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造前工程のデバイス検査に使用される前工程用テスターおよび被検査ウェハーのプロービングをおこなう半導体テスト装置に関し、テスターおよびプローバの表示器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場では経営効率改善のために省スペース化が求められている。たとえば、空調など温度管理やパーティクル管理などの設備、および検査工程で使用される検査装置は、建築費用などに影響するので無駄の排除が求められている。
【０００３】
そのため、テスターなどにおいても小型化が望まれており、特にスペース単価が高い前工程に用いられる設備の大きさが顕著である。
そこで、各テスターメーカでは、ネストレスなどの小型化に取り組んでいるが、従来のネストレスでは、プローバの上側にテスターが乗るだけであり、依然として、表示器を設置するためのスペースや操作を行うためのスペースが必要となっている。
【０００４】
このような半導体テスト装置の先行技術としては例えば、下記の先行技術文献が知られている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２０７０６７号公報
【特許文献２】特許  第３１３８９０８号
【特許文献３】特許  第３２６７０３７号
【０００６】
図２（ａ，ｂ）は従来用いられている半導体テスト装置の構成の一例を示すもので、図２（ａ）はプローバ１の上にテストヘッド２が搭載され、プローバ２用の表示器３およびテストヘッド用の表示器４が架台５の上に載置され、ネスト６が別置きされている。
【０００７】
図２（ｂ）は他の構成例を示し図２（ａ）に示すネスト６の機能をプローバ１またはテストヘッド２に取り込んで小型化を図ったものである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、図２（ｂ）で示す従来例において、各テスターメーカでは、ネストレスなどの小型化に取り組んでいるが、従来のネストレスでは、プローバの上側にテスターが乗るだけであり、依然として、表示器や操作のためのスペースが必要であり、省スペース化の余地がある。また、オペレータにとっても、２つの操作系を扱わねばならないため使い難いという問題があった。
【０００９】
従って本発明はテスターコントローラおよびプローバコントローラにそれぞれ設けられた表示器を統合してひとつの表示器とし、省スペース化を図った半導体テスト装置を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、請求項１記載の半導体テスト装置の発明においては、
テストヘッドのテスターコントローラに設けられヘッドの操作状態を表示するテストヘッド表示器と、被検査ウエハのプロービングを行うプローバコントローラの操作状態を表示するプローバ表示器を備えた半導体テスト装置において、前記テストヘッド表示器とプローバ表示器に替えて、これらの表示器に送信される操作信号を入力するマルチプレクサを設けると共に、このマルチプレクサにより切替えられた信号を表示する統合表示器を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２においては請求項１に記載の半導体テスト装置において、
前記マルチプレクサで切替えて統合表示器に表示される表示画面は、マニュアルまたは強制的に切替えるように構成したことを特徴とする。
【００１２】
請求項３においては請求項１または２に記載の半導体テスト装置において、
前記強制的な切替えは前記テスターコントローラまたはプローバコントローラからのアラーム信号に基づいて切替えることを特徴とする。
【００１３】
請求項４においては請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体テスト装置において、
前記統合表示器はテスターコントローラまたはプローバコントローラのいずれかに設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項５においては請求項１乃至４のいずれかに記載の半導体テスト装置において、
前記マルチプレクサに無線通信機能を設けると共に前記統合表示器に前記マルチプレクサからの無線信号を受信する受信手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の半導体テスト装置。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テストヘッド表示器とプローバ表示器に替えて、これらの表示器に送信される操作信号を入力するマルチプレクサを設けると共に、このマルチプレクサにより切替えられた信号を表示する統合表示器を備えたので、一台の表示器でテスターコントローラまたはプローバコントローラの操作状態を表示することが可能となる。
【００１６】
請求項２，３によれば、マルチプレクサで切替えて統合表示器に表示される画像の切り替えは、マニュアルまたは強制的に切替えると共に強制的な切替えは前記テスターコントローラまたはプローバコントローラからのアラーム信号に基づいて切替えるように構成したので、アラーム表示など緊急時の表示を優先的に行うことが可能となる。
【００１７】
請求項４によれば、統合表示器はテスターコントローラまたはプローバコントローラのいずれかに設けたので、取付けのための自由度を持たせることができる。
【００１８】
請求項５によれば、マルチプレクサに無線通信機能を設けると共に統合表示器にマルチプレクサからの信号を受信する受信手段を設けたので、統合表示器の持ち運びが可能となり省スペースのための更なる自由度を持たせることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１（ａ，ｂ）は本発明の一実施例を示すもので、図２と同一要素には同一符号を付している。図１（ａ）において、８は統合表示器であり、図ではプローバ１の上端に取付けられているが取り付け位置はこの実施例に限るものではない。
【００２０】
図１（ｂ）はプローバコントローラ１ａおよびテスターコントローラ２ａからの表示信号をマルチプレクサ９を介して統合表示器に送信するようにした構成図を示すものである。図において、８はプローバとテスターの操作系を共有して表示する統合表示器、９はプローバ１およびテスター２から出力される表示信号を切り替える信号マルチプレクサーである。
【００２１】
１０はプローバ用とテスター用画面をマニュアルで切り替えるスイッチ（ＳＷ）、１１はテスターコントローラ２ａの表示のための表示信号Ｔ、１２はプローバコントローラ１ａの操作状態を表示するための表示信号Ｐ、１３は切り替え後の表示のための表示信号Ａ、１４はＳＷ信号をマルチプレクサ（ＭＸ）に伝達するＭＸ信号Ｍ、１５はテスターコントローラ２ａから出力されるアラームなどを表示させるために、ＭＸを強制的に切り替えるＭＸ信号Ｔ、１６はプローバコントローラ１aから出力されるアラームなどを表示させるために、ＭＸを強制的に切り替えるテスター信号Ｐである。
【００２２】
上述の構成において、オペレータがマニュアルによりＳＷ１０を切り換えることにより、その信号がマルチプレクサ（ＭＸ）９に伝えられ、表示信号Ｔ１１または表示信号Ｐ１２に切り替わる。
【００２３】
また、アラーム信号など、意図的にオペレータに表示内容を知らせたい場合には、各テスターコントローラおよびプローバコントローラから、出力されるＭＸ信号１５，１６により、統合表示器８の画面を強制的に切り替える。
【００２４】
なお、図では省略するが、マルチプレクサ９に無線通信機能を設けると共に統合表示器８にマルチプレクサ９からの信号を受信する無線信号受信手段を設けることにより、統合表示器８を所望の場所に持ち運ぶことが可能となるので、表示器の設置場所の自由度を向上させることがで
【００２５】
上述の構成によれば、表示器を１台削減できるため、表示器コストを削減することができ、更に、アラームよる強制画面切り替えなどにより、例外処理も含め、２つの画面を１つの画面に統一できるため、オペレーションを統一することができる。
【００２６】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の半導体テスト装置の一実施例を示す要部構成図である。
【図２】従来の半導体テスト装置の一例を示す要部構成図である。
【符号の説明】
【００２８】
１          プローバ
２          テストヘッド
３          表示器ａ
４          表示器ｂ
５          架台
６          ネスト
８          統合表示器
９          マルチプレクサ（ＭＸ）
１０        スイッチ（ＳＷ）
１１        表示信号Ｔ
１２        表示信号Ｐ
１３        表示信号Ａ
１４        ＭＸ信号Ｍ
１５        ＭＸ信号Ｔ
１６        ＭＸ信号Ｐ
【図１】
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【図２】
2008218742.tif 000004