(57)【要約】【課題】  燃焼性や現像速度を低下させることなく、パターン形状に優れたＦＰＤの構成要素（例えば誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス）を好適に形成することができる無機粉体含有樹脂組成物を提供すること。【解決手段】  （ａ）無機粉体、（ｂ）式（１）で表される結着樹脂、（ｃ）多官能性（メタ）アクリレートおよび（ｄ）式（２）で表される化合物を含有することを特徴とする無機粉体含有樹脂組成物。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）無機粉体
（Ｂ）下記式（１）で表される構成単位を有する重合体、
（Ｃ）多官能性（メタ）アクリレート
（Ｄ）下記式（２）で表される化合物を含有する、無機粉体含有樹脂組成物。
2008231376.tif 000012
（式（１）中、Ｒ1 は水素原子またはメチル基であり、Ｒ2 は炭素数１〜５のアルキル基であり、ｍおよびｎは１〜５の整数、かつ、ｍ≠ｎであり、ａは１〜１００の整数であり、ｂは０〜１００の整数である。）
2008231376.tif 000013
〔式（２）において、Ｘはハロゲン原子又はアルキル基を示し、Ｒ３、Ｒ４、及びＲ５は、各々独立に、Ｒ、ＯＲ、ＣＯＲ、ＳＲ、ＣＯＮＲＲ’又はＣＮを表し、Ｒ及びＲ’は、アルキル基、アリール基、アラルキル基又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子及び／又は複素環基で置換されていてもよく、また、Ｒ及びＲ’は一緒になって環を形成していてもよい。Ｙ１は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し、Ｙ２は単結合またはカルボニル基を表し、Ａは複素環基を表し、rは０〜４の整数を表し、ｐは０〜５の整数を表し、ｑは０又は１を表す。〕
【請求項２】
さらに（Ｅ）溶解促進剤を含有することを特徴とする請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物。
【請求項３】
前記溶解促進剤（Ｅ）がポリオキシエチレンアリールエーテル類であることを特徴とする請求項２に記載の無機粉体含有樹脂組成物。
【請求項４】
前記無機粉体（Ａ）が４００〜６５０℃の軟化点を有するガラス粉末であることを特徴とする請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物。
【請求項５】
前記重合体（Ｂ）が、さらに水酸基含有モノマー由来の構成単位を有することを特徴とする請求項１に記載の無機粉体含有樹脂組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂組成物を有することを特徴とする転写フィルム。
【請求項７】
（Ｉ）請求項１〜５のいずれかに記載の無機粉体含有樹脂組成物から得られる無機粉体含有樹脂層を基板上に形成する工程、
（ＩＩ）該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成する工程、
（ＩＩＩ）露光後の無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターンを形成する工程、および
（ＩＶ）該パターンを焼成処理する工程
を含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項８】
前記工程（Ｉ）において、請求項６に記載の転写フィルムを構成する無機粉体含有樹脂層を基板上に転写することを特徴とする請求項７に記載のパターン形成方法。
【請求項９】
請求項７または８に記載のパターン形成方法により、誘電体、電極、抵抗体、蛍光体、隔壁、カラーフィルターおよびブラックマトリスクから選ばれる少なくとも１種のディスプレイパネル用部材を形成する工程を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【請求項１０】
前記フラットディスプレイパネルがプラズマディスプレイパネルであることを特徴とする請求項９に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機粉体含有樹脂組成物およびそれを用いて得られる転写フィルムに関する。詳しくは、フラットディスプレイパネルを構成するパネル材料の形成に好適な、無機粉体含有樹脂組成物および転写フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、平板状の蛍光表示体としてプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」ともいう）やフィールドエミッションディスプレイ（以下「ＦＥＤ」ともいう）などのようなフラットパネルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」ともいう）が注目されている。図１は交流型のＰＤＰの断面形状を示す模式図である。同図において、１および２は対抗配置されたガラス基板、３は隔壁であり、ガラス基板１、ガラス基板２および隔壁３によりセルが区画形成されている。４はガラス基板１に固定された透明電極、５は透明電極４の抵抗を下げる目的で、当該透明電極４上に形成されたバス電極、６はガラス基板２に固定されたアドレス電極、７はセル内に保持された蛍光物質、８は透明電極４およびバス電極５を被覆するようガラス基板１の表面に形成された誘電体層、９はアドレス電極６を被覆するようガラス基板２の表面に形成された誘電体層、１０は例えば酸化マグネシウムよりなる保護膜である。また、カラーＦＰＤにあっては、コントラストの高い画像を得るため、ガラス基板と誘電体層との間に、カラーフィルター（赤色・緑色・青色）やブラックマトリックスなどを設けることがある。
【０００３】
このようなＦＰＤの誘電体層、隔壁、電極、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックストライプ（マトリクス）等の製造方法としては、感光性無機粒子含有樹脂層を基板上に形成し、この膜にフォトマスクを介して紫外線を照射する方法やレーザー光を走査して直接描画する方法などで露光した上で現像することにより基板上にパターンを残存させ、これを焼成するフォトリソグラフィー法などが好適に用いられている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１６２３３９号公報
【特許文献２】特開２００１−８４８３３号公報
【特許文献３】特開２００２−２４５９３２号公報
【特許文献４】特開２００３−５１２５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記フォトリソグラフィー法では、原理的にパターン精度に優れており、特に転写フィルムを用いる方法においては、膜厚の均一性および表面の均一性に優れたパターンを形成することができる。しかしながら、従来のフォトリソグラフィー法では、形成するパネル材料に必要な無機粉体含有樹脂層の膜厚を確保しつつパターニングを行うためには、無機粉体含有樹脂層の感度が不十分であり、得られるパターンの形状が良好なものになりにくいという問題があった。無機粉体含有樹脂層の膜厚方向の感度が低下すると、感光性樹脂がネガ型の場合には表面付近のみが硬化するため、現像時にアンダーカットが生じ、逆テーパー形状のパターンとなることが多い。順テーパー形状のパターンは良好な焼成後パターンを得るが、逆テーパー形状のパターンは得られる焼成後パターンが良好なものになりにくく、基板から膜がはがれるなどの問題が発生する。また、感度を確保するために光開始剤を増量すると、焼成処理における有機物の燃焼性が低下して、電極を形成した場合に抵抗値が高いものになってしまったり、隔壁を形成した場合に得られる隔壁が着色したりする原因になりやすいという問題があった。また、現像処理における現像速度が低下して、作業性が悪くなったりパターンに亀裂が生じたりする原因になりやすいという問題があった。
【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものである。
本発明の第１の目的は、燃焼性や現像速度を低下させることなく、パターン形状に優れたＦＰＤの構成要素（例えば誘電体層、隔壁、電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス）を好適に形成することができる無機粉体含有樹脂組成物を提供することにある。
【０００７】
本発明の第２の目的は、作業性に優れ、パターン形状に優れたＦＰＤの構成要素が形成できる転写フィルムを提供することにある。
【０００８】
本発明の第３の目的は、作業性に優れ、パターン形状に優れたＦＰＤの構成要素が形成できるＦＰＤの製造方法を提供することにある。  
本発明のさらなる目的は、下記説明で明らかになろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物（以下、単に「本発明の組成物」ともいう）は、（ａ）無機粉体、（ｂ）下記式（１）で表される結着樹脂、（ｃ）多官能性（メタ）アクリレートおよび（ｄ）下記式（２）で表される化合物（以下、「化合物（Ｉ）」ともいう）を含有することを特徴とする。
【００１０】
【化１】
2008231376.tif 000002
（式（１）中、Ｒ1 は水素原子またはメチル基であり、Ｒ2 は炭素数１〜５のアルキル基であり、ｍおよびｎは１〜５の整数、かつ、ｍ≠ｎであり、ａは１〜１００の整数であり、ｂは０〜１００の整数である。）
【００１１】
【化２】
2008231376.tif 000003
〔式（２）において、Ｘはハロゲン原子又はアルキル基を示し、Ｒ３、Ｒ４、及びＲ５は、各々独立に、Ｒ、ＯＲ、ＣＯＲ、ＳＲ、ＣＯＮＲＲ’又はＣＮを表し、Ｒ及びＲ’は、アルキル基、アリール基、アラルキル基又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子及び／又は複素環基で置換されていてもよく、また、Ｒ及びＲ’は一緒になって環を形成していてもよい。Ｙ１は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し、Ｙ２は単結合またはカルボニル基を表し、Ａは複素環基を表し、rは０〜４の整数を表し、ｐは０〜５の整数を表し、ｑは０又は１を表す。〕
【００１２】
本発明の転写フィルムは、支持フィルム上に、本発明の無機粉体含有樹脂組成物からなる層が形成されてなることを特徴とする。
本発明のＦＰＤの製造方法は、本発明の無機粉体含有樹脂組成物からなる無機粉体含有樹脂層を基板上に形成し、当該無機粉体含有樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成し、当該無機粉体含有樹脂層を現像処理してパターン層を形成し、当該パターン層を焼成処理することにより、無機パターンを有するパネル部材を形成することを特徴とする。
【００１３】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物、転写フィルムおよびフラットディスプレイパネルの製造方法によれば、作業性に優れ、かつ優れたパターン形状を有するとともに良好な密着性を有する無機パターンを形成することができる。本発明の無機粉体含有樹脂組成物および転写フィルムは、フラットディスプレイパネルのパネル部材の形成に好適に使用することができる。
【発明の効果】
【００１４】
特定の光重合開始剤を用いて得られた本発明の無機粉体含有樹脂組成物からなる無機粉体含有樹脂層を有する転写フィルムは、平滑で反りのない、優れたパターニング性能を有する無機パターンを形成できるプラズマディスプレイのパネル部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る無機粉体含有樹脂組成物、該樹脂組成物からなる層を有する転写フィルムおよび該転写フィルムを用いたＦＰＤ用部材の製造方法について詳細に説明する。
【００１６】
＜無機粉体含有樹脂組成物＞
本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、（Ａ）無機粉体、（Ｂ）特定の構成単位を有する重合体、（Ｃ）多官能性（メタ）アクリレートおよび（Ｄ）光重合開始剤を含有してなるペースト状の組成物である。
無機粉体
本発明の無機粉体含有樹脂組成物に用いられる無機粉体（Ａ）を構成する無機物質としては、特に限定されるものではなく、当該組成物により形成される焼結体の用途（PDPの構成要素の種類）に応じて適宜選択することができる。
【００１７】
ここに、ＦＰＤを構成する「誘電体層」および「隔壁」を形成するための組成物に含有される無機粉体については、軟化点が３５０〜７００℃（好ましくは４００〜６２０℃）の範囲内にあるガラス粉末を挙げることができる。ガラス粉末の軟化点が４００℃未満である場合には、当該組成物による膜形成材料層の焼成工程において、結着樹脂などの有機物質が完全に分解除去されない段階でガラス粉末が溶融してしまうため、形成されるガラス焼結体中に有機物質の一部が残留し、この結果、アウトガスのパネル内への拡散による蛍光体の寿命低下や、得られる隔壁（ガラス焼結体）が着色されて、その光透過率が低下する傾向がある。一方、ガラス粉末の軟化点が６２０℃を超える場合には、６２０℃より高温で焼成する必要があるために、ガラス基板に歪みなどが発生しやすい。
【００１８】
本発明の樹脂組成物に好適に用いられるガラス粉末としては、
（１）酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化カルシウム系（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2
−ＣａＯ 系）、
（２）酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素系（ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）、
（３）酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム系（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3系）、
（４）酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素系（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）、
（５）酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化チタン系（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−ＴｉＯ2系）、
（６）酸化ビスマス、酸化ホウ素、酸化ケイ素系（Ｂｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）、
（７）酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素系（Ｂｉ2Ｏ3−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）、
（８）酸化亜鉛、酸化リン、酸化ケイ素系（ＺｎＯ−Ｐ2Ｏ5−ＳｉＯ2系）、
（９）酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化カリウム系（ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−Ｋ2Ｏ系）、
（１０）酸化リン、酸化ホウ素、酸化アルミニウム系（Ｐ2Ｏ5−Ｂ2Ｏ3−Ａｌ2Ｏ3系）、
（１１）酸化亜鉛、酸化リン、酸化チタン系（ＺｎＯ−Ｐ2Ｏ5−ＴｉＯ2系）混合物
などが挙げられる。
【００１９】
上記ガラス粉末に、例えば、酸化アルミニウム、酸化クロム、酸化マンガンなどの無機酸化物粉末を混合して用いてもよい。
【００２０】
上記ガラス粉末は、他の構成部材、例えば電極、抵抗体、蛍光体、カラーフィルターおよびブラックマトリックスを形成するための組成物中に含有（併用）されていてもよい。本発明の樹脂組成物に上記ガラス粉末と該ガラス粉末以外の無機粉体とを併用する場合、該ガラス粉末は、無機粉体全量に対して、通常９０質量％以下の量で用いられる。
【００２１】
ＦＰＤを構成する「電極」、例えば、図１における透明電極１０４、バス電極１０５、アドレス電極１０６などを形成するための組成物に用いられる無機粉体としては、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ｃｕ、Ｃｒなどからなる金属粉が挙げられる。
【００２２】
ＦＰＤを構成する「抵抗体」を形成するための組成物に用いられる無機粉体としては、ＲｕＯ2などの無機粉体が挙げられる。
【００２３】
ＦＰＤを構成する「蛍光体」を形成するための組成物に用いられる無機粉体としては、Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ3+、Ｙ2ＳｉＯ5：Ｅｕ3+、Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｅｕ3+、ＹＶＯ4：Ｅｕ3+、（Ｙ
，Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕ3+、Ｚｎ3（ＰＯ4）2：Ｍｎなどの組成を有する赤色用蛍光物質；
Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ、ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｍｎ、ＬａＰＯ4：
（Ｃｅ，Ｔｂ）、Ｙ3（Ａｌ，Ｇａ）5Ｏ12：Ｔｂなどの組成を有する緑色用蛍光物質；
Ｙ2ＳｉＯ5：Ｃｅ、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ2+、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ2+、（Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ）10（ＰＯ4）6Ｃ12：Ｅｕ2+、（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：Ａｇなどの組成を有する青色用蛍光物質などからなる無機粉体が挙げられる。
【００２４】
ＦＰＤを構成する「カラーフィルター」を形成するための組成物に用いられる無機粉体としては、Ｆｅ2Ｏ3、Ｐｂ3Ｏ4などの赤色用物質、Ｃｒ2Ｏ3などの緑色用物質、２（Ａｌ2Ｎａ2Ｓｉ3Ｏ10）・Ｎａ2Ｓ4などの青色用物質などからなる無機粉体が挙げられる。
【００２５】
ＦＰＤを構成する「ブラックマトリックス」を形成するための組成物に用いられる無機粉体としては、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Coなどからなる金属粉を挙げることができる。
【００２６】
（Ｂ）重合体
本発明で用いられる重合体（Ｂ）は、上記式（１）で表される構成単位（以下「構成単位（１）」ともいう）を有する水溶性重合体であり、結着樹脂としての役割を有する。なお、本発明における「水溶性」とは、後述する本発明のＦＰＤ用部材の製造方法における現像工程によって、目的とする現像処理が遂行される程度に溶解性を有する性質をいう。
【００２７】
重合体（Ｂ）における上記構成単位（１）の含有量は、特に制限されないが、好ましくは２０〜９９．９モル％、より好ましくは２５〜９０モル％、特に好ましくは３０〜８０モル％である。
【００２８】
上記のような重合体（Ｂ）を用いることにより、他の樹脂に比べて無機粉体との相互作用が強すぎないため、保存安定性に優れた無機粉体含有樹脂組成物が得られる。
【００２９】
上記構成単位（１）を有する重合体（Ｂ）は、下記式（３）で表される化合物を（共）重合させることにより得られる。
【００３０】
【化３】
2008231376.tif 000004
【００３１】
式（３）中、Ｒ1 は水素原子またはメチル基であり、Ｒ2 は炭素数１〜５のアルキル基であり、ｍおよびｎは１〜５の整数、かつ、ｍ≠ｎであり、ａは１〜１００の整数であり、ｂは０〜１００の整数である。
【００３２】
上記式（３）で表される化合物としては、
メトキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート（ｍ＝２、ｂ＝０）、
メトキシポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート（ｍ＝３、ｂ＝０）、
メトキシポリブチレングリコールモノ（メタ）アクリレート（ｍ＝４、ｂ＝０）、
メトキシポリ（エチレングリコール−プロピレングリコール）モノ（メタ）アクリレート（ｍ＝２、ｎ＝３）、および
メトキシポリ（プロピレングリコール−ブチレングリコール）モノ（メタ）アクリレート（ｍ＝３、ｎ＝４）などが挙げられる。これらの中では、メトキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートが特に好ましい。
【００３３】
上記化合物の市販品としては、日本油脂（株）製「ブレンマー」シリーズが挙げられ、特に「ブレンマーＰＭＥ−１００」、「同ＰＭＥ−２００」、「同ＰＭＥ−３５０」等が挙げられる。
【００３４】
本発明で用いられる重合体（Ｂ）における他の構成モノマーとしては、例えば、
（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピルなどの水酸基含有モノマー類；
ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン等のフェノール性水酸基含有モノマー類などのアクリレート類；
（メタ）アクリルアミド、Ｎ,Ｎ-ジメチルアクリルアミド、Ｎ,Ｎ-ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ,Ｎ-ジエチルアクリルアミド、Ｎ-イソプロピルアクリルアミド、
アクリロイルモルホリンなどのアミド基含有モノマー類；
メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ビニルアセテート、ビニルプロピオネート、ビニルブチレート、ビニルトリメチルアセテート、ビニルフェニルアセテートなどが挙げられる。
【００３５】
上記他の構成モノマーの中では、水酸基含有モノマー類、フェノール性水酸基含有モノマー類およびアミド基含有モノマー類が好ましく、水酸基含有モノマー類およびアミド基含有モノマー類がより好ましく、特に水酸基含有モノマー類とアミド基含有モノマー類とを併用することが好ましい。
【００３６】
重合体（Ｂ）における上記他の構成モノマー由来の構成単位の含有量は、特に制限されないが、好ましくは０．１〜７０モル％、より好ましくは５〜６５モル％、特に好ましくは１０〜６０モル％である。このような範囲で上記他の構成モノマー由来の構成単位を含有することにより、転写フィルムにしたときのハンドリング性および基板への転写性が共に優れ、水現像性、パターン密着性およびフィルムの保存安定性が良好な転写フィルムを得ることができる。
【００３７】
他の構成モノマーとして水酸基含有モノマー類を用いる場合、当該モノマー由来の構成単位の含有量は、好ましくは４０モル％以下、より好ましくは１０〜３０モル％である。このような範囲で水酸基含有モノマー由来の構成単位を含有することにより、水現像性およびパターン密着性に優れた組成物および転写フィルムを得ることができる。
【００３８】
また、他の構成モノマーとしてアミド基含有モノマー類を用いる場合、当該モノマー由来の構成単位の含有量は、好ましくは５０モル％以下、より好ましくは１０〜４０モル％である。このような範囲でアミド基含有モノマー由来の構成単位を含有することにより、水現像性および解像性に優れた組成物および転写フィルムを得ることができる。
【００３９】
さらに、上記他の構成モノマーとして水酸基含有モノマー類とアミド基含有モノマー類とを併用する場合、水酸基含有モノマー由来の構成単位の含有量と、アミド基含有モノマー由来の構成単位の含有量とのモル比（水酸基：アミド基）は、１：５〜５：１、好ましくは１：４〜４：１、特に好ましくは１：３〜３：１である。このようなモル比で水酸基含有モノマー類とアミド基含有モノマー類とを併用することにより、水現像性およびパターン密着性に優れた組成物および転写フィルムが得られ、さらに転写フィルムにしたときにハンドリング性に優れるという利点がある。
【００４０】
上記重合体（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは５，０００〜５，０００，０００、特に好ましくは１０，０００〜３００，０００である。Ｍｗが上記範囲にあることにより、転写フィルムとしたときのフィルム形成性がよく、パターニング性にも優れる。なお、上記Ｍｗは、ＧＰＣ測定によるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
【００４１】
また、重合体（Ｂ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、好ましくは０〜７０℃であり、さらに好ましくは１０〜５０℃である。Ｔｇがこのような範囲にあることにより、転写フィルムにしたときのハンドリング性、保存安定性および基板への転写性が良好となる。
【００４２】
本発明の組成物における上記重合体（Ｂ）の含有量は、上記無機粉体１００重量部に対して、通常、１〜５０重量部、好ましくは１０〜４５重量部、特に好ましくは２０〜４０重量部である。重合体（Ｂ）の含有量が上記範囲にあることにより、本発明の効果が充分に発現される。
【００４３】
なお、本発明の組成物には、結着樹脂として、本発明の効果が損なわれず、ＦＰＤ用部材形成の際に水現像が可能な範囲で、重合体（Ｂ）以外の重合体を併用してもよい。
【００４４】
（Ｃ）多官能性（メタ）アクリレート
本発明の組成物を構成する多官能性（メタ）アクリレート（Ｃ）は、露光により重合化されて、露光部分が現像液に不溶性または難溶性になる性質を有する。
【００４５】
本発明で用いられる多官能性（メタ）アクリレート（Ｃ）としては、たとえば、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンなどの両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類；グリセリン、１，２，４−ブタントリオール、トリメチロールアルカン、テトラメチロールアルカン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトールなどの３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類；３価以上の多価アルコールのポリアルキレングリコール付加物のポリ（メタ）アクリレート類；１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−ベンゼンジオール類などの環式ポリオールのポリ（メタ）アクリレート類；ポリエステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、アルキド樹脂（メタ）アクリレート、シリコーン樹脂（メタ）アクリレート、スピラン樹脂（メタ）アクリレート等のオリゴ（メタ）アクリレート類などが挙げられる。これらは単独で用いても、２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらのうち、トリメチロールプロパントリアクリレート等が特に好ましく用いられる。上記多官能性（メタ）アクリレート（Ｃ）の分子量は１００〜２，０００であることが好ましい。
【００４６】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物における上記多官能性（メタ）アクリレート（Ｃ）の含有量は、上記無機粉体（Ａ）１００重量部に対して、通常、０．１〜５０重量部、好ましくは１〜４０重量部である。
（ｄ）化合物（Ｉ）
本発明の組成物を構成する化合物（Ｉ）は、光重合開始剤として含有される。化合物（Ｉ）を用いることにより、高感度で硬化深度の良好な組成物を得ることができ、従って得られる構成要素のパターン形状が良好なものになるという効果を有する。また、光重合開始剤全体の含有量を少なくすることができることから、燃焼性や現像性に優れた組成物を得ることができる。
【００４７】
本発明で用いられる光重合開始剤（Ｄ）としては、上記式（２）で表される化合物が用いられる。
【００４８】
このような化合物としては、１−[９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９.Ｈ.−カルバゾール−３−イル]−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、下記式（４）で表される化合物（エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム））、および下記式（５）で表される化合物（エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム））などのカルボニル化合物などが挙げられる。
【００４９】
【化４】
2008231376.tif 000005
【００５０】
【化５】
2008231376.tif 000006
前記光重合開始剤（Ｄ）を用いて得られた本発明の無機粉体含有樹脂組成物からなる無機粉体含有樹脂層を有する転写フィルムはパターンニング性能の良好でかつ反りのないプラズマディスプレイのパネル部材を提供することができる。
【００５１】
本発明の組成物における化合物（Ｉ）の含有割合としては、多官能性（メタ）アクリレート１００重量部に対して、通常、０．０１〜１００重量部とされ、好ましくは、０.１〜５０．０質量部とされる。
【００５２】
本発明の組成物には、化合物（Ｉ）以外の光重合開始剤を併用しても良い。その他の光重合開始剤の具体例としては、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、カンファーキノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−メチル−〔４’−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンなどのカルボニル化合物；アゾイソブチロニトリル、４−アジドベンズアルデヒドなどのアゾ化合物あるいはアジド化合物；メルカプタンジスルフィドなどの有機硫黄化合物；ベンゾイルパーオキシド、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキシド、クメンハイドロパーオキシド、パラメタンハイドロパーオキシドなどの有機パーオキシド；１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２’−クロロフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔２−（２−フラニル）エチレニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジンなどのトリハロメタン類；２，２’−ビス（２−クロロフェニル）４，５，４’，５’−テトラフェニル１，２’−ビイミダゾールなどのイミダゾール二量体などを挙げることができる。これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００５３】
その他の光重合開始剤の含有割合としては、光重合開始剤全量に対して５０質量％以下、好ましくは３０質量％以下とされる。
【００５４】
（Ｅ）溶解促進剤
本発明の組成物は、後述する現像液への十分な溶解性を発現させる目的で、溶解促進剤（Ｅ）を含有することが好ましい。溶解促進剤（Ｅ）としては、界面活性剤が好ましく用いられる。このような界面活性剤としては、たとえば、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤などが挙げられる。
【００５５】
上記フッ素系界面活性剤としては、たとえば、ＢＭ  ＣＨＩＭＩＥ社製「ＢＭ−１０００」、「ＢＭ−１１００」、大日本インキ化学工業（株）社製「メガファックＦ１４２Ｄ」、「同Ｆ１７２」、「同Ｆ１７３」、「同Ｆ１８３」、住友スリーエム（株）社製「フロラードＦＣ−１３５」、「同ＦＣ−１７０Ｃ」、「同ＦＣ−４３０」、「同ＦＣ−４３１」、旭硝子（株）社製「サーフロンＳ−１１２」、「同Ｓ−１１３」、「同Ｓ−１３１」、「同Ｓ−１４１」、「同Ｓ−１４５」、「同Ｓ−３８２」、「同ＳＣ−１０１」、「同ＳＣ−１０２」、「同ＳＣ−１０３」、「同ＳＣ−１０４」、「同ＳＣ−１０５」、「同ＳＣ−１０６」等の市販品を挙げることができる。
【００５６】
上記シリコーン系界面活性剤としては、たとえば、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）社製「ＳＨ−２８ＰＡ」、「ＳＨ−１９０」、「ＳＨ−１９３」、「ＳＺ−６０３２」、「ＳＦ−８４２８」、「ＤＣ−５７」、「ＤＣ−１９０」、信越化学工業（株）社製「ＫＰ３４１」、新秋田化成（株）社製「エフトップＥＦ３０１」、「同ＥＦ３０３」、「同ＥＦ３５２」等の市販品を挙げることができる。
【００５７】
上記ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンジスチレン化フェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル類などが挙げられる。
【００５８】
上記ノニオン系界面活性剤の市販品としては、例えば、花王（株）社製「エマルゲンA-60」、「A-90」、「A-500」、「B-66」、「PP-290」、共栄社化学（株）社製「（メタ）
アクリル酸系共重合体ポリフローＮｏ．５７」、「同Ｎｏ．９０」などを挙げることができる。
【００５９】
上記界面活性剤の中では、現像時に未露光部の無機粉体含有樹脂層の除去が容易であることから、ノニオン系界面活性剤、具体的にはポリオキシエチレンアリールエーテル類が好ましく、特に下記式（ｉ）で表される化合物が好ましい。
【００６０】
【化６】
2008231376.tif 000007
【００６１】
上記式（ｉ）中、Ｒ3は炭素数１〜５のアルキル基、好ましくはメチル基であり、ｓは
１〜５の整数であり、ｕは１〜５の整数、好ましくは２であり、ｔは１〜１００の整数、好ましくは１０〜２０の整数である。
【００６２】
本発明の組成物における溶解促進剤（Ｅ）の含有量は、上記結着樹脂１００重量部に対して、好ましくは０．００１〜２０重量部、より好ましくは０．０１〜１５重量部、特に好ましくは０．１〜１０重量部である。溶解促進剤（Ｅ）の含有量が上記範囲にあることにより、現像液への溶解性に優れた組成物が得られる。
【００６３】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物には、通常、適当な流動性または可塑性、良好な膜形成性を付与するために溶剤が含有される。用いられる溶剤としては、無機粉体との親和性、結着樹脂の溶解性が良好で、無機粉体含有樹脂組成物に適度な粘性を付与することができると共に、乾燥されることにより容易に蒸発除去できるものであることが好ましい。
【００６４】
また、特に好ましい溶剤として、標準沸点（１気圧における沸点）が１００〜２００℃であるケトン類、アルコール類およびエステル類（以下、これらを「特定溶剤」という。）を挙げることができる。
【００６５】
かかる特定溶剤の具体例としては、ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類；ｎ−ペンタノール、４−メチル−２−ペンタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル系アルコール類；酢酸−ｎ−ブチル、酢酸アミルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類；乳酸エチル、乳酸−ｎ−ブチルなどの乳酸エステル類；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどのエーテル系エステル類などを例示することができ、これらのうち、メチルブチルケトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどが好ましい。これらの特定溶剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００６６】
特定溶剤以外の溶剤の具体例としては、テレビン油、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールなどを挙げることができる。
【００６７】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物における溶剤の含有割合としては、良好な膜形成性（流動性または可塑性）が得られる範囲内において適宜選択することができる。
【００６８】
本発明の組成物における上記溶剤の含有量は、良好な膜形成性（流動性または可塑性）が得られる範囲内において適宜選択すればよい。
【００６９】
本発明の組成物には、さらに、紫外線吸収剤が含有されていることが好ましい。紫外線吸収剤としては、焼成後の部材中に残存せず部材特性を低下させないことから、有機系染料からなるものが好ましく、中でも４００〜５００ｎｍの波長範囲で高ＵＶ吸収係数を有する有機系染料が好ましく用いられる。
【００７０】
具体的には、アゾ化合物、トリアジン化合物、アミノケトン化合物、キサンテン化合物、キノリン化合物、キノン化合物、ベンゾフェノン化合物、安息香酸化合物、シアノアクリレート化合物、スピロ化合物、フルオレノン化合物、フルギド化合物、イミダゾール化合物、ペリレン化合物、フェナジン化合物、フェノチアジン化合物、ポリエン化合物、ジフェニルメタン化合物、トリフェニルメタン化合物、ポリメチン化合物、アクリジン化合物、アクリジンノン化合物、カルボオスチリル化合物、クマリン化合物、ジフェニルアミン化合物、キナクリドン化合物、キノフタロン化合物、フェノキサジン化合物、フタロペリノン化合物、フタロシアニン化合物などを使用できる。中でも、１−フェニルアゾ−２−ナフトール、１−フェニル−３−メチル−４−（４−メチルフェニルアゾ）−５−オキシピラゾール等に代表されるアゾ化合物、１，４−ジアミルアミノアントラキノンに代表されるキノン化合物、クルクミンに代表されるフェノール化合物が特に好ましい。
【００７１】
有機系染料を使用する場合、その添加量は、重合体（Ｂ）、多官能性（メタ）アクリレート（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）の合計含有量に対して、０．０５〜１０重量％、好ましくは０．５〜５重量％程度である。添加量が、上記範囲よりも少ないと、紫外線吸収剤の添加効果があまりなく、上記範囲を越えると、得られるＦＰＤ用部材の特性を低下させる場合がある。
【００７２】
また、本発明の無機粉体含有樹脂組成物には、任意成分として、可塑剤、分散剤、現像促進剤、接着助剤、ハレーション防止剤、レベリング剤、保存安定剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、増感剤、連鎖移動剤などの各種添加剤が含有されてもよい。
【００７３】
本発明の無機粉体含有樹脂組成物は、上記無機粉体、結着樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤および溶剤と必要に応じて上記任意成分を、ロール混練機、ミキサー、ホモミキサー、ボールミル、ビーズミルなどの混練機を用いて混練することにより調製することができる。
【００７４】
上記のようにして調製される無機粉体含有樹脂組成物は、塗布に適した流動性を有するペースト状の組成物であり、その粘度は、通常１００〜１，０００，０００ｃｐ、好ましくは５００〜３００，０００ｃｐとされる。
【００７５】
＜転写フィルム＞
本発明の転写フィルムは、支持フィルム上に、本発明の無機粉体含有樹脂組成物を塗布し、塗膜を乾燥して得られる層が形成されてなる。転写フィルムを構成する支持フィルムは、耐熱性および耐溶剤性を有すると共に可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フィルムが可撓性を有することにより、ロールコータによってペースト状組成物を塗布することができ、無機粉体含有樹脂層をロール状に巻回した状態で保存し、供給することができる。支持フィルムを形成する樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。支持フィルムの厚さとしては、使用に適した範囲であればよく、例えば２０〜１００μｍである。
【００７６】
無機粉体含有樹脂組成物を支持フィルム上に塗布する方法としては、膜厚の均一性に優れた膜厚の大きい（例えば１０μｍ以上）塗膜を効率よく形成することができるものであることが必要とされ、具体的には、ロールコータによる塗布方法、ドクターブレードによる塗布方法、カーテンコータによる塗布方法、ダイコータによる塗布方法、ワイヤーコータによる塗布方法などを好ましいものとして挙げることができる。
【００７７】
なお、無機粉体含有樹脂組成物が塗布される支持フィルムの表面には離型処理が施されていることが好ましい。これにより、ＦＰＤ構成要素形成の際に、支持フィルムの剥離操作を容易に行うことができる。
【００７８】
塗膜の乾燥条件としては、例えば、５０〜１５０℃で０．５〜３０分間程度とされ、乾燥後における溶剤の残存割合（無機粉体含有樹脂層中の含有率）は、通常２質量％以内とされる。
【００７９】
上記のようにして支持フィルム上に形成される無機粉体含有樹脂層の厚さとしては、無機粉体の含有率やサイズなどによっても異なるが、例えば５〜５００μｍとされる。
【００８０】
なお、無機粉体含有樹脂層の表面に設けられることのある保護フィルム層としては、ポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコール系フィルムなどを挙げることができる。
【００８１】
＜ＦＰＤ用部材の製造方法＞
本発明の製造方法は、ＦＰＤ構成部材の製造に用いることが好ましい。これらの部材は、本発明の無機粉体含有樹脂組成物または本発明の転写フィルムを用いて無機粉体含有樹脂層を基板上に形成し、該樹脂層を露光処理してパターンの潜像を形成し、該樹脂層を現像処理してパターン層を形成し、該パターン層を焼成処理することにより形成される。
【００８２】
（ｉ）無機粉体含有樹脂層の形成工程
無機粉体含有樹脂層は、本発明の無機粉体含有樹脂組成物を基板上に塗布するか、本発明の転写フィルムを用いて該転写フィルムの無機粉体含有樹脂層を転写することによって形成することができる。
【００８３】
転写フィルムを用いる方法によれば、膜厚均一性に優れた樹脂層を容易に形成することができ、形成されるパターンの膜厚均一化を図ることができる。また、上記転写フィルムを用いてｎ回転写を繰り返すことで、ｎ層（ｎは２以上の整数を示す）の樹脂層を有する積層体を形成してもよい。あるいは、ｎ層の樹脂層からなる積層体が支持フィルム上に形成された転写フィルムを用いて基板上に一括転写することにより、上記積層体を形成してもよい。
【００８４】
本発明の組成物を基板上に塗布する方法としては、スクリーン印刷法、ロール塗布法、回転塗布法、流延塗布法など種々の方法が挙げられる。このような方法により組成物を塗布した後、塗膜を乾燥することにより、樹脂層を形成することができる。なお、上記工程をｎ回繰り返すことでｎ層からなる積層体を形成してもよい。
【００８５】
転写フィルムを用いた転写工程の一例を示せば以下のとおりである。必要に応じて用いられる転写フィルムの保護フィルム層を剥離した後、基板の表面に樹脂層の表面が当接するように転写フィルムを重ね合わせ、この転写フィルムを加熱ローラなどにより熱圧着した後、樹脂層から支持フィルムを剥離除去する。これにより、基板の表面に樹脂層が転写されて密着した状態となる。
【００８６】
転写条件としては、例えば、加熱ローラの表面温度が４０〜１４０℃、加熱ローラによるロール圧が０．１〜１０ｋｇ／ｃｍ2、加熱ローラの移動速度が０．１〜１０ｍ／分で
ある。また、基板は予熱されていてもよく、予熱温度は、例えば４０〜１４０℃である。
【００８７】
（ｉｉ）露光工程
無機粉体含有樹脂層の表面に、露光用マスクを介して、紫外線などの放射線を選択的に照射（露光）して、樹脂層にパターンの潜像を形成する。露光の際に用いられる放射線照射装置としては、特に限定されないが、フォトリソグラフィー法で一般的に使用されている紫外線照射装置、半導体または液晶表示装置を製造する際に使用されている露光装置などが挙げられる。
【００８８】
なお、無機粉体含有樹脂層を転写により形成した場合には、該樹脂層上に被覆されている支持フィルムを剥離しない状態で露光を行うのが好ましい。
【００８９】
（ｉｉｉ）現像工程
露光された樹脂層を現像して、樹脂層のパターンを形成する。現像方法（例えば浸漬法、揺動法、シャワー法、スプレー法、パドル法など）および現像処理条件（例えば、現像液の種類・組成・濃度、現像時間、現像温度など）などは、無機粉体含有樹脂層の種類に応じて適宜選択、設定すればよい。
【００９０】
（ｖｉ）焼成工程
現像後の樹脂層残留部における有機物質を焼失させるために、形成された樹脂層のパターンを焼成処理する。焼成処理条件は、無機粉体含有樹脂層（残留部）中の有機物質が焼失されることが必要であり、通常、焼成温度が４００〜６００℃、焼成時間が１０〜９０分間である。
【００９１】
以上の工程を含む本発明の製造方法により、隔壁、電極、抵抗体、誘電体、蛍光体、カラーフィルター、ブラックマトリックス等のＦＰＤ用部材を形成することができる。なお、本発明の製造方法は、これらの中でも隔壁、誘電体および電極を形成する方法として好ましく、特に前面隔壁を形成する方法として好ましい。本発明により得られるパターンの膜厚としては、用途や無機粉体の含有率などによっても異なるが、例えば１〜２００μｍである。
【００９２】
次に、上記各工程で用いられる材料、各種条件などについて説明する。
（基板）
本発明で用いられる基板材料としては、例えば、ガラス、シリコーン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族アミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの絶縁性材料からなる板状部材が挙げられる。この板状部材の表面には、必要に応じて、シランカップリング剤などによる薬品処理；プラズマ処理；イオンプレーティング法、スパッタリング法、気相反応法、真空蒸着法などによる薄膜形成処理などの前処理が施されていてもよい。  
【００９３】
なお、本発明においては、基板として、耐熱性を有するガラス基板を用いることが好ましい。このようなガラス基板としては、例えば旭硝子（株）製ＰＤ２００が挙げられる。
【００９４】
（露光用マスク）
本発明の製造方法における露光工程で用いられる露光用マスクの露光パターンとしては、材料によって異なるが、一般的に１０〜５００μｍ幅のストライプである。
【００９５】
（現像液）
本発明の製造方法における現像工程で用いられる現像液としては、水、特に超純水が好適に用いられる。上記無機粉体含有樹脂層に含まれる無機粉体は、結着樹脂により均一に分散されているため、結着樹脂を構成する重合体（Ｂ）を上記現像液で溶解させ、洗浄することにより、無機粉体も同時に除去される。また、現像液としては、アルカリ現像液を用いてもよい。
【００９６】
アルカリ現像液の有効成分としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどの無機アルカリ性化合物；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどの有機アルカリ性化合物などが挙げられる。アルカリ現像液には、ノニオン系界面活性剤や有機溶剤などの添加剤が含有されていてもよい。なお、アルカリ現像液による現像処理がなされた後は、通常、水洗処理が施される。
【００９７】
〔実施例〕
以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００９８】
なお、以下において「部」は「重量部」を示し、重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて以下の条件で測定したポリスチレン換算の重量平均分子量である。
（測定条件）
ＧＰＣ測定装置：東ソー株式会社製ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ
ＧＰＣカラム：東ソー株式会社製ＴＳＫｇｅｌＳｕｐｅｒＨＺＮ−Ｍ
測定溶媒：テトラヒドロフラン
測定温度：４０℃
また、得られた組成物の保存安定性の評価は、以下の方法で行った。まず、調製直後の転写フィルムを基板に転写後、上記の露光用マスクを介して超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射量４００ｍＪ／ｃｍ2の条件で露光し、シャワー法により現像を行った。その際の現像時間を初期値とした。次に、該組成物を５℃、遮光の条件下で保存しながら、定期的に現像性を測定し、初期値より１０秒以上変化するまでの日数により、保存安定性を評価した。
【００９９】
＜合成例１＞
メトキシポリエチレングリコールモノメタクリレート（日本油脂（株）製「ブレンマーＰＭＥ−１００」  式（３）で表されるｍ＝２、ａ＝２、ｂ＝０の化合物）８０部、メチルメタクリレート１０部、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート１０部およびＮ，Ｎ’−アゾビスイソブチロニトリル０．５部を、攪拌機付きオートクレーブに仕込み、窒素雰囲気下において室温で均一になるまで攪拌した。攪拌後、７０℃で３時間重合させ、さらにＮ，Ｎ’−アゾビスイソブチロニトリル０．２５部を加えて１時間重合し、７０℃で１時間重合反応を継続させた後、室温まで冷却してポリマー溶液を得た。得られたポリマー溶液は、重合率が１００％であり、このポリマー溶液から析出した共重合体（樹脂Ｉ）のＭｗは１６０，０００であった。
【０１００】
＜合成例２＞
合成例１におけるモノマー組成を下記表１に示すモノマー組成に変更した以外は、合成例１と同様にして共重合体［樹脂（２）〜（１１）］を得た。尚、表１中、HPMAは２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、HEMAは２−ヒドロキシエチルメタクリレート、MMAはメチルメタクリレートである。
【０１０１】
【表１】
2008231376.tif 000008
【０１０２】
＜実施例１＞
（１）無機粉体含有樹脂組成物の調製
無機粉体（Ａ）として、ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系低融点ガラスフリット（不定形、軟化点５７０℃）１００部、またはＺｎＯ−Bi2O3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系低融点ガラスフリット（不定形、軟化点４５０℃）１００部、
水溶性樹脂（Ｂ）として、合成例１で得られた樹脂１ ３０部、
多官能性（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）として、トリメチロールプロパントリアクリレート６部、
光重合開始剤（Ｄ）として、エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（式（４）で表される化合物）（以下、単に「光重合開始剤ｄ−１」ともいう。）3部、または（エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム））（式（５）で表される化合物）（以下、単に「光重合開始剤d−2」ともいう。）３部、
溶剤として、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２０部、
分散剤として、ノルマルデシルトリメトキシシラン１．２部、
溶解促進剤（界面活性剤）（Ｅ）として、花王（株）製「エマルゲンA-60」３．７５部、紫外線吸収剤として、１−フェニル−３−メチル−４−（４−メチルフェニルアゾ）−５−オキシピラゾール０．０９部
をビーズミルで混練りした後、ステンレスメッシュ（４００メッシュ、３８μｍ径）でフィルタリングすることにより、無機粉体含有樹脂組成物を調製した。
【０１０３】
得られた組成物について保存安定性の評価を行ったところ、6０日以上の保存安定性が得られた。
【０１０４】
（２）転写フィルムの作製
得られた無機粉体含有樹脂組成物をＰＥＴフィルムよりなる支持フィルム（幅２００ｍｍ、長さ３０ｍ、厚さ３８μｍ）上にブレードコーターを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を完全に除去することにより、平均膜厚４６μｍの無機粉体含有感光性樹脂層を形成した。次いで、前記樹脂層上に、予め離型処理したＰＥＴフィルムよりなる保護フィルムを熱圧着し、支持フィルム、無機粉体含有感光性樹脂層および保護フィルムがこの順に積層された転写フィルムを作製した。
【０１０５】
（３）部材の形成
(i) 無機粉体含有樹脂層の転写工程
得られた転写フィルムの保護フィルムを剥離除去した後、６インチパネル用ガラス基板の表面に形成された誘電体層（膜厚２０μｍ）に、転写フィルムを樹脂層表面が当接するように重ね合わせ、この転写フィルムを加熱ローラにより熱圧着した。このときの圧着条件は、加熱ローラの表面温度を９０℃、ロール圧を２ｋｇ／ｃｍ2 、加熱ローラの移動速度を０．５ｍ／分とした。これにより、ガラス基板の表面に無機粉体を含有する感光性樹脂層が転写されて密着した状態となった。
【０１０６】
(ii) 感光性樹脂層の露光工程および現像工程
上記のようにして形成された感光性樹脂層に対して、露光用マスク（４００μｍ幅のストライプパターン）を介して、超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射量４００ｍＪ／ｃｍ2で照射した。
【０１０７】
露光工程の終了後、樹脂層より支持フィルムを剥離除去した後、露光処理された樹脂層に対して、超純水（３０℃）を現像液として用いたシャワー法による現像処理を３０秒間行った。これにより、紫外線が照射されていない未硬化の樹脂層が除去され、無機粉体を含有する樹脂層のパターンを形成した。
【０１０８】
(iii) 樹脂層パターンの焼成工程
誘電体層上に樹脂層パターンが形成されたガラス基板を、焼成炉内で５９０℃の温度雰囲気下で５０分間にわたり焼成処理を行った。得られたパネル材料における隔壁の断面形状を走査型電子顕微鏡により観察し、当該断面形状の底面の幅および高さを測定したところ、底面の幅４００μｍ、高さが２０μｍであり、良好な形状の焼成パターンが得られた。これにより、誘電体層上に隔壁が形成されてなるパネル材料が得られた。
【０１０９】
＜実施例２〜８＞
水溶性樹脂を表１に示すものに変更した以外は実施例１と同様にして、無機粉体含有樹脂組成物を調製し、保存安定性を評価した。次いで、該組成物を用いて転写フィルムを製造し、その転写フィルムを用いてパネル材料を作製して、転写性およびパターン形状の評価を行った。結果を表２に示す。
【０１１０】
（現像性）
評価方法：転写フィルムを基板に転写後、上記の露光用マスクを介して超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射量４００ｍＪ／ｃｍ2の条件で露光し、シャワー法により３０〜３００秒間の範囲で現像を行った。
評価基準：良好なものを○、未露光部の溶け残りがあるものを△、未露光部が不溶なものを×とした。
【０１１１】
（保存安定性）
評価方法：まず、調製直後の転写フィルムを基板に転写後、上記の露光用マスクを介して超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射量４００ｍＪ／ｃｍ2の条件で露光し、シャワー法により現像を行った。その際の現像時間を初期値とした。次に、該組成物を５℃、遮光の条件下で保存しながら、定期的に現像性を測定し、初期値より１０秒以上変化するまでの日数により、保存安定性を評価した。
評価基準：現像性が初期値より１０秒以上変化するまでの日数が６０日以上のものを○、1週間以上60日未満のものを△、1週間以内のものを×とした。
【０１１２】
（パターン形状）
評価方法：電子顕微鏡を用いてパターンの断面形状を観察した。
評価基準：良好なもの（順テーパーもしくはストレート）を○、不良なもの（逆テーパー）を×とした。
【０１１３】
【表２】
2008231376.tif 000009
【０１１４】
TMP;トリメチロールプロパントリアクリレート
2008231376.tif 000010
【０１１５】
＜比較例１〜４＞
光重合開始剤（Ｄ）として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン（商品名：ＩＲＧ．３６９、（チバ・スペシャル・ケミカルズ）社製）（以下、単に「光重合開始剤ｄ−３」ともいう。）を２．５部用いて、水溶性樹脂を表１に示すものに変更した以外は実施例１と同様にして、無機粉体含有樹脂組成物を調製し、保存安定性を評価した。次いで、該組成物を用いて転写フィルムを製造し、その転写フィルムを用いてパネル材料を作製して、転写性およびパターン形状の評価を行った。結果を表３に示す。
【０１１６】
【表３】
2008231376.tif 000011