(57)【要約】【課題】圧電アクチュエータの金属製の振動板にその剛性を低下させるための凹部をエッチングで形成するとともに、凹部の深さのばらつきを小さく抑制することが可能な技術を提供すること。【解決手段】金属製の振動板３０の上面の圧力室１４と対向する領域のうち、個別電極３２と対向する中央部（駆動領域）以外の領域である、外周部（従動領域）のほぼ全域に、ほぼ円形の平面形状を有する複数の凹部４０をエッチングにより形成する。このように、小さな凹部４０をエッチングでそれぞれ形成することで、個々の凹部４０の深さ（肉厚）を高精度に管理しながら加工することができることから、振動板３０の肉厚のばらつきを小さくすることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、
前記圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置される金属製の振動板と、前記振動板の一方の面に配置される圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域の一部に配置される第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置される第２電極とを有し、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、
を備えた液体移送装置の製造方法であって、
前記振動板の前記一方の面の前記圧力室と対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、エッチングにより複数の凹部を形成する凹部形成工程を備えていることを特徴とする液体移送装置の製造方法。
【請求項２】
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域のほぼ全域に前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項３】
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記一方の面に、前記従動領域から前記圧力室の周縁を越えて外側の領域まではみ出すように、前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項４】
前記流路ユニットが、隔壁部により隔てられた複数の前記圧力室を有するものであり、
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記一方の面の、前記隔壁部と対向する領域にも、前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項５】
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域に、ほぼ円形の平面形状を有する前記凹部をエッチングにより形成することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項６】
前記凹部形成工程において、ほぼ円形の前記凹部を所定の一方向に延びる複数の列に配列するとともに、隣接する前記凹部の列を、前記所定の一方向に関する凹部中心間距離の半分だけ前記所定の一方向に関してずらすことを特徴とする請求項５に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項７】
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域に、ほぼ正多角形の平面形状を有する前記凹部をエッチングにより形成することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１電極は、前記圧電層の前記一方の面の、前記圧力室と対向する領域における前記圧力室の周縁から離れた中央部に配置されるものであり、
前記振動板の前記駆動領域は、前記第１電極に対応して前記圧力室と対向する領域内における中央部に位置するとともに、前記従動領域は、前記圧力室と対向する領域内における前記中央部を取り囲む外周部に位置しており、
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記外周部に前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項９】
前記圧力室は、一方向に長尺な平面形状を有するものであり、
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域のうち、少なくとも前記圧力室の短手方向における前記外周部に、前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項８の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項１０】
前記圧電アクチュエータは、前記圧力室と対向する領域における中央部に配置された前記第１電極から、前記圧力室の周縁を越えて外側の領域まで引き出された端子部を有するものであり、
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域のうちの、前記端子部と対向する領域を除いた領域に前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項８又は９に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第１電極は、前記圧電層の前記一方の面の、前記圧力室と対向する領域における前記圧力室の周縁に沿う外周部に配置されるものであり、
前記振動板の前記駆動領域は、前記第１電極に対応して前記圧力室と対向する領域内における外周部に位置するとともに、前記従動領域は、前記圧力室と対向する領域内における前記外周部に取り囲まれる中央部に位置しており、
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記中央部に前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項１２】
前記圧力室は、一方向に長尺な平面形状を有するものであり、
前記第１電極は、前記圧電層の前記一方の面の、前記圧力室と対向する領域における前記圧力室の短手方向の一方側に配置されるものであり、
前記振動板の前記駆動領域は、前記第１電極に対応して前記圧力室と対向する領域内における前記短手方向の一方側を占める領域に位置するとともに、前記従動領域は、前記圧力室と対向する領域内における前記短手方向の他方側を占める領域に位置しており、
前記凹部形成工程において、前記振動板の前記短手方向の他方側を占める領域に前記複数の凹部を形成することを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項１３】
前記凹部形成工程後に、前記振動板の前記一方の面に圧電材料の粒子を堆積させて前記圧電層を形成する、圧電層形成工程を備えていることを特徴とする請求項１〜１２の何れかに記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項１４】
前記圧電層形成工程において、エアロゾルデポジション法、又は、化学蒸着法により、前記圧電層を形成することを特徴とする請求項１３に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項１５】
逃し部を有する支持部材の一表面に前記逃し部を覆うように配置される金属製の振動板と、前記振動板の一方の面に配置される圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記逃し部と対向する領域の一部に配置される第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置される第２電極とを有する圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記振動板の前記一方の面の前記逃し部と対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、エッチングにより複数の凹部を形成する凹部形成工程を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項１６】
圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置された金属製の振動板と、
前記振動板の一方の面に配置された圧電層と、
前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域の一部に配置された第１電極と、
前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置された第２電極と、
を有し、
前記振動板の前記一方の面の前記圧力室と対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、複数の凹部が形成されていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項１７】
逃し部を有する支持部材の一表面に前記逃し部を覆うように配置された金属製の振動板と、
前記振動板の一方の面に配置された圧電層と、
前記圧電層の一方の面の前記逃し部と対向する領域の一部に配置された第１電極と、
前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置された第２電極と、
を備え、
前記振動板の前記一方の面の前記逃し部に対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、複数の凹部が形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体移送装置の製造方法、圧電アクチュエータの製造方法、液体移送装置、及び、圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インクの液滴を噴射するインクジェットヘッドとして、インク流路内の液体に噴射圧力を付与する圧電式のアクチュエータを備えているものがある。例えば、特許文献１に記載のインクジェットヘッドは、圧力室を覆う振動板と、この振動板の上面の圧力室と対向する領域の中央部に配置された圧電素子（アクチュエータ）とを備えている。そして、電圧印加時における圧電素子の歪み変形を利用して振動板を変位させることにより、圧力室内の容積を変化させて、圧力室内のインクに圧力を付与するように構成されている。
【０００３】
さらに、従来から、振動板の一部に凹部を形成してその剛性を低下させることにより、振動板の変位量（即ち、圧力室の容積変化量）を増大させる試みが広く行われている。例えば、前述した特許文献１のインクジェットヘッドにおいては、振動板に、圧電素子と対向する領域（駆動領域）を取り囲むように溝（凹部）が形成されており、駆動領域の周りの領域（従動領域）における振動板の剛性を低下させることで、振動板の変位量がより大きくなるように構成されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１０４０３８号公報（図１０、図１１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、振動板が金属プレートである場合には、前述したような凹部をエッチングで形成することが多い。しかし、特許文献１のインクジェットヘッドにおいては、従動領域における振動板の剛性を低下させるための凹部は、圧電素子を取り囲むように環状に延びる溝であるが、このように連続的に延びる凹部をエッチングで形成する場合には、その長手方向に関して凹部の深さ（肉厚）にばらつきが生じやすい。このように、凹部の深さがばらつくと、複数の圧力室に関して振動板の変位量が異なってしまい、ひいては、複数のノズル間で液滴噴射特性がばらついて、印字品質が低下することになる。
【０００６】
本発明の目的は、金属製の振動板にその剛性を低下させるための凹部をエッチングで形成するとともに、凹部の深さのばらつきを小さく抑制することが可能な技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明の液体移送装置の製造方法は、圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置される金属製の振動板と、前記振動板の一方の面に配置される圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域の一部に配置される第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置される第２電極とを有し、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えた液体移送装置の製造方法であって、
前記振動板の前記一方の面の前記圧力室と対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、エッチングにより複数の凹部を形成する凹部形成工程を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
この液体移送装置の製造方法によれば、金属製の振動板の、第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域に複数の凹部を形成することにより、この従動領域における振動板の剛性を低下させて、振動板の変位量（即ち、圧力室の容積変化量）の増大、あるいは、所望の変位量を確保するために必要な駆動電圧の低減が可能になる。さらに、小さな凹部をエッチングでそれぞれ形成することで、個々の凹部の深さ（肉厚）を高精度に管理しながら加工することができることから、一方向に連続的に延びる溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部と比べて、肉厚のばらつきを小さくすることができる。
【０００９】
第２の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１の発明において、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域のほぼ全域に前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。このように、従動領域のほぼ全域に複数の凹部を形成することにより、より一層の振動板の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能となる。
【００１０】
第３の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１又は第２の発明において、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記一方の面に、前記従動領域から前記圧力室の周縁を越えて外側の領域まではみ出すように、前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。このように、振動板の従動領域から圧力室の周縁を越えて外側の領域にも凹部を形成して、振動板の流路ユニットに接合される部分の剛性を低下させることにより、より一層の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能になる。
【００１１】
第４の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記流路ユニットが、隔壁部により隔てられた複数の前記圧力室を有するものであり、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記一方の面の、前記隔壁部と対向する領域にも、前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。このように、隔壁部と対向する領域にも凹部を形成して、この隔壁部に接合される部分の剛性を低下させることにより、隣接する圧力室間において振動板の変形が伝播すること（クロストーク）を防止できる。
【００１２】
第５の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第４の何れかの発明において、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域に、ほぼ円形の平面形状を有する前記凹部をエッチングにより形成することを特徴とするものである。このように、凹部をエッチングで円形に形成する場合には、個々の凹部の深さ（肉厚）をより精度よく管理することが可能になり、複数の凹部間における厚さのばらつきをより小さくすることができる。
【００１３】
第６の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第５の発明において、前記凹部形成工程において、ほぼ円形の前記凹部を所定の一方向に延びる複数の列に配列するとともに、隣接する前記凹部の列を、前記所定の一方向に関する凹部中心間距離の半分だけ前記所定の一方向に関してずらすことを特徴とするものである。この製造方法によれば、振動板の従動領域に多数の凹部を高密度に配置することが可能になり、従動領域の剛性を確実に低下させることができる。
【００１４】
第７の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第４の何れかの発明において、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域に、ほぼ正多角形の平面形状を有する前記凹部をエッチングにより形成することを特徴とするものである。このように、凹部をエッチングで正多角形に形成する場合には、個々の凹部の深さ（肉厚）をより精度よく管理することが可能になり、複数の凹部間における厚さのばらつきをより小さくすることができる。
【００１５】
第８の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第７の何れかの発明において、  前記第１電極は、前記圧電層の前記一方の面の、前記圧力室と対向する領域における前記圧力室の周縁から離れた中央部に配置されるものであり、前記振動板の前記駆動領域は、前記第１電極に対応して前記圧力室と対向する領域内における中央部に位置するとともに、前記従動領域は、前記圧力室と対向する領域内における前記中央部を取り囲む外周部に位置しており、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記外周部に前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。
【００１６】
このように、振動板の従動領域である、圧力室と対向する領域内における外周部に複数の凹部を形成して剛性を低下させることにより、振動板の圧力室と対向する領域内における駆動領域としての中央部の変位量を大きくする、あるいは、駆動電圧を低減することが可能となる。
【００１７】
第９の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第８の発明において、前記圧力室は、一方向に長尺な平面形状を有するものであり、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域のうち、少なくとも前記圧力室の短手方向における前記外周部に、前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。このように、振動板の従動領域のうち、長尺な圧力室の短手方向における外周部に特に凹部を形成して、この部分の剛性を低下させることにより、限られた数の凹部の形成でより大きな変位量を確保することができる。
【００１８】
第１０の発明の液体移送装置の製造方法は、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室と対向する領域における中央部に配置された前記第１電極から、前記圧力室の周縁を越えて外側の領域まで引き出された端子部を有するものであり、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記従動領域のうちの、前記端子部と対向する領域を除いた領域に前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。振動板の端子部と対向する領域にも凹部が形成されていると、圧電層の形成方法によってはこの振動板の凹部が配置された領域に対応して圧電層にも凹部が生じ、従動領域を跨ぐように配置される端子部に導通不良が生じる虞がある。そこで、本発明では、振動板の従動領域のうち、端子部と対向する領域を除いた領域に凹部を形成することにより、振動板の変位量増大、あるいは、駆動電圧の低減を実現しつつ、端子部における導通不良を回避することができる。
【００１９】
第１１の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記第１電極は、前記圧電層の前記一方の面の、前記圧力室と対向する領域における前記圧力室の周縁に沿う外周部に配置されるものであり、前記振動板の前記駆動領域は、前記第１電極に対応して前記圧力室と対向する領域内における外周部に位置するとともに、前記従動領域は、前記圧力室と対向する領域内における前記外周部に取り囲まれる中央部に位置しており、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記中央部に前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。
【００２０】
圧電層の一方の面において、第１電極が、圧力室と対向する領域における外周部に配置されている場合には、第１電極と第２電極の間に駆動電圧が印加されたときに、圧力室の周縁に沿う外周部と対向する領域において圧電層に歪みが生じる。そのため、駆動電圧を印加した時に圧力室の容積が増加することになり、液体に圧力を付与しないときには駆動電圧を印加する必要がない。このような構成の圧電アクチュエータに対しても、振動板の従動領域である、圧力室と対向する領域における中央部に複数の凹部を形成することにより、駆動領域の変位量増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能となる。
【００２１】
第１２の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記圧力室は、一方向に長尺な平面形状を有するものであり、前記第１電極は、前記圧電層の前記一方の面の、前記圧力室と対向する領域における前記圧力室の短手方向の一方側に配置されるものであり、前記振動板の前記駆動領域は、前記第１電極に対応して前記圧力室と対向する領域内における前記短手方向の一方側を占める領域に位置するとともに、前記従動領域は、前記圧力室と対向する領域内における前記短手方向の他方側を占める領域に位置しており、前記凹部形成工程において、前記振動板の前記短手方向の他方側を占める領域に前記複数の凹部を形成することを特徴とするものである。
【００２２】
圧電層の一方の面において、第１電極が、圧力室と対向する領域における圧力室の短手方向一方側に配置されている場合には、第１電極と第２電極の間に駆動電圧が印加されたときに、その短手方向一方側と対向する領域において圧電層に歪みが生じる。そのため、駆動電圧を印加した時に圧力室の容積が増加することになり、液体に圧力を付与しないときには駆動電圧を印加する必要がない。このような構成の圧電アクチュエータに対しても、振動板の従動領域である、圧力室と対向する領域における短手方向他方側を占める領域に複数の凹部を形成することにより、駆動領域の変位量増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能となる。
【００２３】
第１３の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１〜第１２の何れかの発明において、前記凹部形成工程後に、前記振動板の前記一方の面に圧電材料の粒子を堆積させて前記圧電層を形成する、圧電層形成工程を備えていることを特徴とするものである。この方法によれば、振動板の凹部が形成されている面に所望の厚さの圧電層を容易に形成することができる。
【００２４】
第１４の発明の液体移送装置の製造方法は、前記第１３の発明において、前記圧電層形成工程において、エアロゾルデポジション法、又は、化学蒸着法により、前記圧電層を形成することを特徴とするものである。この方法によれば、振動板の凹部に形成される圧電層の厚さをそれ以外の部分よりも薄くすることが可能になり、圧電層の従動領域の剛性も低下させることができる。
【００２５】
第１５の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、逃し部を有する支持部材の一表面に前記逃し部を覆うように配置される金属製の振動板と、前記振動板の一方の面に配置される圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記逃し部と対向する領域の一部に配置される第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置される第２電極とを有する圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記振動板の前記一方の面の前記逃し部と対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、エッチングにより複数の凹部を形成する凹部形成工程を備えていることを特徴とするものである。
【００２６】
この圧電アクチュエータの製造方法によれば、金属製の振動板の、第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域に複数の凹部を形成することにより、この従動領域における振動板の剛性を低下させて、振動板の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能になる。さらに、複数の凹部をエッチングで形成することから、一方向に連続的に延びる溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部と比べて、肉厚のばらつきを小さくすることができる。
【００２７】
第１６の発明の液体移送装置は、圧力室を含む液体流路を有する流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室を覆うように前記流路ユニットの一表面に配置された金属製の振動板と、前記振動板の一方の面に配置された圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記圧力室と対向する領域の一部に配置された第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置された第２電極と、を有し、
前記振動板の前記一方の面の前記圧力室と対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、複数の凹部が形成されていることを特徴とするものである。
【００２８】
この構成によれば、金属製の振動板の、第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域に複数の凹部が形成されて、この従動領域における振動板の剛性が低下していることから、振動板の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能になる。また、複数の凹部をエッチングで形成する場合には、一方向に連続的に延びる溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部と比べて、肉厚のばらつきを小さくすることができる。
【００２９】
第１７の発明の圧電アクチュエータは、逃し部を有する支持部材の一表面に前記逃し部を覆うように配置された金属製の振動板と、前記振動板の一方の面に配置された圧電層と、前記圧電層の一方の面の前記逃し部と対向する領域の一部に配置された第１電極と、前記圧電層の他方の面に前記第１電極と対向するように配置された第２電極と、を備え、
前記振動板の前記一方の面の前記逃し部に対向する領域のうちの、前記第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域の少なくとも一部に、複数の凹部が形成されていることを特徴とするものである。
【００３０】
この構成によれば、金属製の振動板の、第１電極と対向する駆動領域以外の領域である従動領域に複数の凹部が形成されて、この従動領域における振動板の剛性が低下していることから、振動板の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能になる。また、複数の凹部をエッチングで形成する場合には、一方向に連続的に延びる溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部と比べて、肉厚のばらつきを小さくすることができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、金属製の振動板の従動領域に複数の凹部を形成して、この従動領域における振動板の剛性を低下させることにより、振動板の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能になる。また、複数の凹部をエッチングで形成すれば、一方向に連続的に延びる溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部と比べて、肉厚のばらつきを小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、インクに圧力を付与してノズルへ移送し、このノズルから記録用紙に対してインクの液滴を噴射して所望の画像や文字等を記録するインクジェットヘッド（液体移送装置）に本発明を適用した一例である。
【００３３】
まず、本実施形態のインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタについて簡単に説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の左右方向に移動可能なキャリッジ２と、このキャリッジ２に設けられて記録用紙Ｐに対してインクを噴射するシリアル型のインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する搬送ローラ３などを備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ２と一体的に左右方向（走査方向）へ移動して、その下面に配置されたノズル２０（図２〜図５参照）から記録用紙Ｐに対してインクを噴射して所望の文字や画像等を記録する。また、インクジェットヘッド１により画像等が記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ３により前方（紙送り方向）へ排出される。
【００３４】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズル２０及び圧力室１４を含むインク流路（液体流路）が形成された流路ユニット４と、圧力室１４内のインクに噴射圧力を付与する圧電アクチュエータ５とを備えている。
【００３５】
まず、流路ユニット４について説明する。図４、図５に示すように、流路ユニット４はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズルプレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２はステンレス鋼製の板であり、これら３枚のプレート１０〜１２に、後述するマニホールド１７や圧力室１４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート１３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１２の下面に接着される。あるいは、このノズルプレート１３も、３枚のプレート１０〜１２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。
【００３６】
図２〜図５に示すように、４枚のプレート１０〜１３のうち、最も上方に位置するキャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４がプレート１０を貫通する孔により形成され、複数の圧力室１４は隔壁部１０ａにより区画されている。そして、複数の圧力室１４は上下両側から後述の振動板３０及びベースプレート１１によりそれぞれ覆われている。また、複数の圧力室１４は、紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列されている。さらに、各圧力室１４は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長尺な、略楕円形状に形成されている。尚、このキャビティプレート１０は流路ユニット４の一部を構成するとともに、後述する圧電アクチュエータ５の振動板３０と接合されて、この振動板３０を下方から支持する支持部材も兼ねている。
【００３７】
図３、図４に示すように、ベースプレート１１の、平面視で圧力室１４の両端部と重なる位置には、それぞれ連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、平面視で、２列に配列された圧力室１４の連通孔１５側の部分と重なるように、紙送り方向に延びる２つのマニホールド１７が形成されている。これら２つのマニホールド１７は、後述の振動板３０に形成されたインク供給口１８に連通しており、図示しないインクタンクからインク供給口１８を介してマニホールド１７へインクが供給される。さらに、マニホールドプレート１２の、平面視で複数の圧力室１４のマニホールド１７と反対側の端部と重なる位置には、それぞれ、複数の連通孔１６に連なる複数の連通孔１９も形成されている。
【００３８】
さらに、ノズルプレート１３の、平面視で複数の連通孔１９にそれぞれ重なる位置には、複数のノズル２０が形成されている。図２に示すように、複数のノズル２０は、紙送り方向に沿って２列に配列された複数の圧力室１４の、マニホールド１７と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置されて、２列のノズル列を構成している。
【００３９】
そして、図４に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、さらに、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット４内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る個別インク流路２１が複数形成されている。
【００４０】
次に、圧電アクチュエータ５について説明する。図２〜図５に示すように、圧電アクチュエータ５は、複数の圧力室１４（逃し部）を有するキャビティプレート１０（支持部材）の上面に配置された振動板３０と、この振動板３０の上面に複数の圧力室１４に跨って連続的に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の上面に配置された複数の個別電極３２（第１電極）とを備えている。
【００４１】
振動板３０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。この振動板３０は、キャビティプレート１０の上面に複数の圧力室１４を覆うように配設された状態で、複数の圧力室１４を囲うように配置された隔壁部１０ａに接合されている。また、金属製であり導電性を有する振動板３０の上面は、複数の個別電極３２との間で圧電層３１を挟み、この圧電層３１に厚み方向の電界を生じさせる共通電極（第２電極）を兼ねている。従って、振動板３０とは別に共通電極が不要であり、その分、圧電アクチュエータ５の構成が簡単になる。さらに、この共通電極としての振動板３０は常にグランド電位に保持されている。
【００４２】
振動板３０の上面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする、圧電材料からなる圧電層３１が形成されている。この圧電層３１は、複数の圧力室１４を覆うように連続的に形成されている。
【００４３】
圧電層３１の上面には、圧力室１４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が、複数の圧力室１４にそれぞれ対応して形成されている。これら個別電極３２は、対応する圧力室１４と対向する領域において、圧力室１４の周縁から離れた中央部にそれぞれ配置されている。また、個別電極３２は金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。
【００４４】
さらに、２列に配列された複数の個別電極３２の連通孔１５側（図２の左右方向外側）の端部からは、それぞれ複数の端子部３５が、圧力室１４の周縁を越えて外側の領域まで引き出されている。また、複数の端子部３５には、図示しないフレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）等の可撓性を有する配線部材の接点が接合され、複数の個別電極３２は、配線部材及び複数の端子部３５を介してドライバＩＣ（図示省略）とそれぞれ電気的に接続されている。そして、圧電アクチュエータ５の駆動時には、ドライバＩＣから、インクを噴射させる所望のノズル２０に対応する個別電極３２に対して所定の駆動電圧が印加されるようになっている。
【００４５】
ところで、振動板３０の上面の圧力室１４と対向する領域は、個別電極３２と対向し、圧力室１４の周縁から離れた中央部の領域（駆動領域）と、この駆動領域を取り囲む外周部の環状領域（従動領域）とに分けられる。そして、本実施形態の圧電アクチュエータ５においては、図２〜図５に示すように、振動板３０の従動領域のほぼ全域に、ほぼ円形の平面形状を有する複数の凹部４０が形成されている。但し、図３に示すように、従動領域の端子部３５と対向する領域には凹部４０は形成されていない。さらに、複数の凹部４０は、インクジェットヘッド１の走査方向（図３の左右方向）と紙送り方向（図３の上下方向）の２方向に沿ってそれぞれほぼ等間隔空けて配列されている。このように、振動板３０の従動領域のほぼ全域に複数の凹部４０が形成されることによって、従動領域における振動板３０の剛性が駆動領域と比べて低下している。尚、図３に示すように、複数の凹部４０は、振動板３０の従動領域から圧力室１４の周縁を越えて外側の領域（キャビティプレート１０の隔壁部１０ａと接合されている領域）まではみ出して形成されている。
【００４６】
さらに、振動板３０の上面に配置された圧電層３１の従動領域（圧力室１４の周縁部と対向する領域）には、振動板３０の複数の凹部４０にそれぞれ対応して複数の凹部４１が形成されている。尚、後の製造工程の説明において詳述するが、圧電層３１の凹部４１における肉厚は、凹部４１以外の領域における肉厚よりも薄くなっており、そのため、振動板３０と同様に、従動領域における圧電層３１の剛性も低下している。また、前述したように、振動板３０の従動領域のうち、端子部３５と対向する領域には凹部４０が形成されていないことから、圧電層３１の端子部３５と対向する領域には凹部４１が形成されていない。そのため、圧電層３１の凹部４１の表面に端子部３５が形成されることによって、従動領域を跨ぐ端子部３５に導通不良が生じてしまうのを回避できる。
【００４７】
次に、インク噴射時における圧電アクチュエータ５の作用について説明する。複数の個別電極３２に対してドライバＩＣから選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が印加された圧電層３１上側の個別電極３２と、グランド電位に保持されている圧電層３１下側の共通電極としての振動板３０の電位が互いに異なった状態となることから、個別電極３２と振動板３０の間に挟まれた、駆動領域の圧電層３１に厚み方向の電界が生じる。そして、圧電層３１の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層３１はその分極方向である厚み方向に伸びて水平方向に収縮し、この圧電層３１の収縮変形に伴って、振動板３０の圧力室１４と対向する領域が圧力室１４側に変位して、振動板３０が圧力室１４側に凸となるように変形する。このとき、圧力室１４の容積が減少することからその内部のインクに圧力が付与され、圧力室１４に連通するノズル２０からインクの液滴が噴射される。
【００４８】
ここで、前述したように、振動板３０の従動領域のほぼ全域に複数の凹部４０が形成されて、従動領域における剛性が駆動領域と比べて低下している。そのため、振動板３０の圧力室１４と対向する領域全体がより変形しやすくなり、振動板３０の変位量の増大（圧力室１４の容積変化量の増大）、あるいは、所望の変位量を確保するために必要な駆動電圧の低減が可能となる。
【００４９】
続いて、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法について、主に図６を参照して説明する。
まず、図６（ａ）に示すように、流路ユニット４を構成するプレート１０〜１３のうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、及び、マニホールドプレート１２の３枚の金属プレートに、圧力室１４やマニホールド１７等のインク流路を構成する孔をエッチングにより形成する。
【００５０】
一方、金属製の振動板３０の上面の、圧力室１４の周縁部と対向する従動領域（圧力室１４の中央部と対向する駆動領域を取り囲む外周部）のほぼ全域（但し、個別電極３２の端子部３５が配置される領域を除く）に、ほぼ円形の平面形状を有する複数の凹部４０をエッチングにより形成する（凹部形成工程）。ここで、複数の凹部４０は、振動板３０の従動領域から圧力室１４の周縁を越えて外側まではみ出すように形成する（図３参照）。
【００５１】
一方向に連続的に延びる長い溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部をエッチングで形成する場合には、溝の長さ方向や凹部の底面の方向に関して部分的な深さ（肉厚）のばらつきが発生しやすい。しかし、本実施形態では、エッチングで小さな凹部４０を多数形成することから、個々の凹部４０の深さ（即ち、底部の肉厚）を高い精度で管理して凹部４０の加工を行うことが可能であり、振動板３０の肉厚のばらつきを極力抑えることができる。また、特に、凹部４０を円形に形成する場合には、中心から径方向外側に向けて腐食がほぼ均一に進行することから、凹部４０の深さをより精度よく管理することができ、複数の凹部４０間における肉厚のばらつきをさらに小さくすることができる。
【００５２】
そして、図６（ａ）に示すように、流路ユニット４を構成するプレート１０〜１３のうちの、３枚の金属プレート（キャビティプレート１０、ベースプレート１１、及び、マニホールドプレート１２）と、振動板３０の、４枚のプレートを積層してから、接着剤あるいは金属拡散接合により接合する（接合工程）。
【００５３】
尚、前述の凹部形成工程において複数の凹部４０が形成された後の振動板３０は、凹部４０の部分で特に強度が低下して折れやすくなっている。しかし、振動板３０の表面に圧電層３１を形成する前に、接合工程において振動板３０を流路ユニット４の最上層のキャビティプレート１０に接合することから、振動板３０が流路ユニット４（キャビティプレート１０）により補強されて折れにくくなり、次述の圧電層形成工程における振動板３０の取り扱いが容易になる。
【００５４】
次に、振動板３０の上面に圧電層３１を形成する（圧電層形成工程）。ここで、本実施形態の圧電層形成工程においては、化学蒸着（Chemical Vapor Deposition：ＣＶＤ）法や、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）等により、図６（ｂ）に示すように、圧電材料（ＰＺＴ）の粒子を振動板３０の表面に堆積させることにより圧電層３１を形成する。このとき、振動板３０の従動領域に形成された凹部４０の表面に圧電材料の粒子が堆積することにより、圧電層３１の上面にもほぼ円形の平面形状を有する凹部４１が形成されることになる。
【００５５】
ここで、ＣＶＤ法を用いて圧電層３１を形成する場合の一例として、例えば、原料を有機溶媒に溶解させて気化させ、被処理面上で気相反応を生じさせることにより薄膜を形成する有機金属化学気相堆積（ＭＯＣＶＤ）法を用いた場合について説明する。原料としては、例えば、鉛ビス（ジピバロイルメタナート）（Ｐｂ（ＤＰＭ）２）、ジルコニウムテトラキス（ジピバロイルメタナート）（Ｚｒ（ＤＰＭ）４）、チタン（ジイソプロポキシジピバロイルメタナート）（Ｔｉ（ｉＰｒＯ）２（ＤＰＭ）２）などを用いることができる（例えば、特開２００４−７９６９５公報参照）。そして、振動板３０を６００℃程度に加熱すると、振動板３０の表面において前述の原料間で気相反応が生じ、振動板３０の表面にＰＺＴの圧電層３１が形成される。ここで、図７に示すように、振動板３０に形成された凹部４０の内部空間には、凹部４０が形成されていない振動板３０の表面と比較して原料ガスが供給されにくい。従って、凹部４０の表面では圧電層３１の形成速度が遅くなるため、凹部４０における圧電層３１の厚さＴｃが他の水平領域における圧電層３１の厚さＴａと比べて薄くなる。
【００５６】
また、超微粒子材料を被処理面に高速で衝突させて堆積させるＡＤ法を用いて圧電層３１を形成する場合では、振動板３０の凹部４０の内面では成膜に寄与しない微粉体の跳ね返りの割合が大きくなるために、この凹部４０の内面においては、振動板３０の他の表面と比較して粒子が堆積しにくくなり、やはり、凹部４０における圧電層３１の厚さＴｃが他の水平領域における圧電層３１の厚さＴａと比べて薄くなる。
【００５７】
このように、ＣＶＤ法やＡＤ法を用いることにより、凹部４０の表面の圧電層３１（凹部４１の底部厚さ）を、それ以外の領域の圧電層３１よりも薄く形成することができるため、従動領域における振動板３０と圧電層３１の剛性が共に低下することになる。
尚、振動板３０と圧電層３１との間に、チタン、白金、クロム等からなる中間層を、スパッタ法や蒸着法等により形成してもよい。
【００５８】
以上のようにして、振動板３０の上面に圧電層３１を形成した後に、圧電層３１に十分な圧電特性を確保させるためのアニール処理を行い、その後に、図６（ｃ）に示すように、圧電層３１の上面の、複数の圧力室１４の中央部とそれぞれ重なる領域に複数の個別電極３２を形成するとともに、圧電層３１の従動領域のうちの凹部４１が形成されていない領域に複数の個別電極３２から圧力室１４の周縁を越えて外側まで延びる複数の端子部３５（図３参照）を形成する。ここで、複数の個別電極３２と複数の端子部３５は、スクリーン印刷法、蒸着法、あるいは、スパッタ法等を用いて形成する。最後に、合成樹脂製のノズルプレート１３をマニホールドプレート１２の下面に接着剤等により接合して、インクジェットヘッド１の製造を完了する。
【００５９】
尚、以上説明したインクジェットヘッド１の製造工程において、複数の凹部４０が形成された振動板３０を、流路ユニット４の一部を構成するキャビティプレート１０に接合してから、流路ユニット４を構成する他の金属プレート（ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２）をキャビティプレート１０と接合してもよい。また、ノズルプレート１３がステンレス鋼等からなる金属プレートである場合には、振動板３０、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及び、ノズルプレート１３の５枚の金属プレートを金属拡散接合により一度に接合してもよい。さらには、流路ユニット４（または、流路ユニット４のうちのキャビティプレート１０）と振動板３０とを接合してから、振動板３０の上面に複数の凹部４０を形成するようにしてもよい。また、振動板３０に、凹部４０、圧電層３１及び個別電極３２をそれぞれ形成した後に、振動板３０とキャビティプレート１０とを接着剤等で接合してもよい。
【００６０】
以上説明したインクジェットヘッド１及びその製造方法によれば、次のような効果が得られる。
個別電極３２と対向する駆動領域を取り囲む、振動板３０の従動領域に複数の凹部４０を形成することにより、この従動領域における振動板３０の剛性を低下させて、振動板３０の変位量（即ち、圧力室１４の容積変化量）の増大、あるいは、所望の変位量を確保するために必要な駆動電圧の低減が可能になる。さらに、ほぼ円形の平面形状を有する複数の凹部４０をエッチングにより離散的に形成することによって、一方向に連続的に延びる溝や平面的に延びる底面積の大きい凹部など、従来の連続的に延びる凹部をエッチングで形成する場合と比べて、凹部４０が形成される部分の肉厚のばらつきを小さくすることができる。これにより、複数の圧力室１４間で振動板３０の変位量が異なってしまうのが防止され、複数のノズル２０間における液滴噴射特性のばらつきが抑えられて、印字品質が向上する。
【００６１】
また、複数の凹部４０を、振動板３０の従動領域から圧力室１４の周縁を越えて外側まではみ出すように形成するため、振動板３０の隔壁部１０ａと接合される部分の剛性も低下して、振動板３０が隔壁部１０ａから受ける拘束力が小さくなることから、振動板３０のより一層の変位量の増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能になる。
【００６２】
また、振動板３０の上面に圧電材料の粒子を堆積させて圧電層３１を形成することから、振動板３０の凹部４０が形成されている上面に、所望の厚さの圧電層３１を容易に形成することができる。さらに、ＣＶＤ法やＡＤ法により圧電層３１を形成する場合には、凹部４０の表面の圧電層３１をそれ以外の領域と比べて薄く形成することができる。つまり、圧電層３１の従動領域の剛性も低下することになり、振動板３０の変位量増大効果、あるいは、駆動電圧の低減効果がさらに一層高くなる。
【００６３】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００６４】
１］振動板の従動領域のほぼ全域に凹部を形成する必要は必ずしもなく、従動領域の一部にのみ凹部を形成してもよい。例えば、図８に示すように、振動板３０Ａ（圧電層３１Ａ）の従動領域のうちの、圧力室１４の短手方向における外周部にのみ複数の凹部４０（凹部４１）を形成してもよい（変更形態１）。このように、振動板３０Ａ（圧電層３１Ａ）の従動領域のうちの圧力室１４の短手方向における外周部の剛性を特に低下させることにより、限られた数の凹部４０の形成で、振動板３０Ａを効果的に変形させることができ、大きな変位量を確保することができる。
【００６５】
２］図９に示すように、振動板３０Ｂ（圧電層３１Ｂ）の従動領域だけでなく、隔壁部１０ａと対向する領域にも複数の凹部４０（凹部４１）を形成してもよい（変更形態２）。この場合には、振動板３０Ｂ（圧電層３１Ｂ）の隔壁部１０ａに接合される部分の剛性が低下することによってこの部分が変形しやすくなる。これにより、振動板３０Ｂの圧力室１４上の振動が隔壁部１０ａに接合される部分に伝わると、この部分においてもわずかな変形（凹部４０の開口が拡縮する変形）が生じることで、振動が吸収される。よって、この隔壁部１０ａを挟んで隣接する圧力室１４間において振動板３０Ｂの振動が伝播しにくくなるため、クロストークの発生を防止して印字品質を向上させることができる。
【００６６】
３］従動領域に形成する複数の凹部は、前記実施形態の円形形状のものである必要は特になく、一方向に極端に長い形状や、面方向に連続的に延びる形状でなければ、種々の形状のものを採用することができる。但し、複数の凹部間の肉厚のばらつきをできるだけ小さく抑えるために、腐食を面方向に関してほぼ均一に進行させて、個々の凹部の深さをより精度よく管理できる形状が好ましい。例えば、図１０に示すように、振動板３０Ｃ（圧電層３１Ｃ）の従動領域に、ほぼ正方形の平面形状を有する複数の凹部４０Ｃ（４１Ｃ）を形成してもよい（変更形態３）。また、凹部が、正三角形や正五角形など、正方形以外の正多角形の平面形状を有するものであってもよい。
【００６７】
４］振動板の従動領域における剛性を確実に低下させるために、複数の凹部は、従動領域において可能な限り密に配置されていることが好ましい。例えば、凹部の形状がほぼ円形である場合には、前記実施形態で示した凹部４０の配列（図３参照）でもかなり密な配置が可能であるが、さらに、図１１に示すように、振動板３０Ｄ（圧電層３１Ｄ）の複数の凹部４０（凹部４１）を一方向（インクジェットヘッドの走査方向）に延びる複数の列に配列するとともに、隣接する凹部４０（凹部４１）の列同士を、凹部４０のほぼ半径分（配列方向に関する凹部４０の中心間距離Ｄの半分）だけ配列方向に関してずらしてもよい（変更形態４）。この場合には、複数の凹部４０（凹部４１）をより一層高密度に配置することが可能となる。
【００６８】
５］前記実施形態では、個別電極（即ち、振動板の駆動領域）が圧力室の中央部と対向する領域に配置されているが、本発明を適用可能な形態はこのような形態に限られない。即ち、個別電極（駆動領域）が、圧力室と対向する領域のどの部分に配置されているかには関係なく、圧力室と対向する領域の駆動領域を除く従動領域に複数の凹部を形成することによって、振動板の変位量増大、あるいは、駆動電圧低減という同様の効果を得られる。
【００６９】
例えば、図１２に示すように、個別電極３２Ｅ（駆動領域）が、圧力室１４と対向する領域のうちの、圧力室１４の周縁に沿う外周部に配置されている場合に本発明を適用してもよい。この場合、個別電極３２Ｅと共通電極としての振動板３０Ｅとの間に駆動電圧が印加されたときに、圧力室１４の周縁に沿う外周部と対向する領域において圧電層３１Ｅに歪みが生じる。そのため、駆動電圧の印加時に圧力室１４の容積が増加することになり、適切なタイミングで電圧印加を解除することにより圧力室１４の容積を元に戻して容積を減少させる、引き打ちを行うことができる。また、この構成では、インクに圧力を付与しない状態では個別電極３２Ｅに駆動電圧を印加する必要がないため、前記実施形態の構成よりも省電力が期待できる。このような構成の圧電アクチュエータに対しても、振動板３０Ｅの従動領域である、圧力室１４と対向する領域であって駆動領域に取り囲まれる中央部に複数の凹部４０（凹部４１）を形成することにより、駆動領域における振動板３０Ｅの変位量増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能となる（変更形態５）。
【００７０】
また、図１３に示すように、個別電極３２Ｆ（駆動領域）が、圧力室１４の短手方向一方側部分（図１３の上半部）に配置されている場合に本発明を適用してもよい。この場合には、個別電極３２Ｆと共通電極としての振動板３０Ｆとの間に駆動電圧が印加されたときに、圧力室１４と対向する領域における短手方向一方側と対向する領域において圧電層３１Ｆに歪みが生じる。そのため、駆動電圧の印加時に圧力室１４の容積が増加することになり、前述した変更形態５と同様に引き打ちを行うことができる。また、インクに圧力を付与しない状態では個別電極３２Ｅに駆動電圧を印加する必要がないため、前記実施形態の構成よりも省電力が期待できる。このような構成の圧電アクチュエータに対しても、振動板３０Ｆの従動領域である、圧力室１４と対向する領域における短手方向他方側を占める領域（図１３の下半部）に複数の凹部４０（凹部４１）を形成することにより、駆動領域における振動板３０Ｆの変位量増大、あるいは、駆動電圧の低減が可能となる（変更形態６）。
【００７１】
６］圧電層をＣＶＤ法やＡＤ法等の圧電材料の粒子を振動板に堆積させる方法で形成する必要は必ずしもなく、ＰＺＴ等の圧電材料からなるグリーンシートを焼成して得られた圧電シートを、凹部が形成された後の振動板の上面に接着することにより、圧電層を形成してもよい（変更形態７）。尚、この場合には、前記実施形態とは異なり、図１４に示すように、圧電シートからなる圧電層３１Ｇには、振動板３０の凹部４０と対応する凹部４１が形成されないことから、振動板３０の端子部３５と対向する領域に凹部４０を形成しても、端子部３５に導通不良は生じにくい。
【００７２】
７］前記実施形態では、金属製の振動板が、個別電極との間で圧電層３１に厚み方向の電界を生じさせる共通電極（第２電極）を兼ねているが、図１５に示すように、振動板３０とは別に、共通電極３４が圧電層３１の下面（振動板３０側の面）に設けられていてもよい（変更形態８）。但し、この場合には、金属製の振動板３０と共通電極３４とを絶縁する絶縁層５０が必要である。この絶縁層５０は、例えば、ポリイミド等の合成樹脂材料、あるいは、アルミナやジルコニア等のセラミックス材料により形成することができる。
【００７３】
また、特に図示はしないが、圧電層の下面（振動板側）に個別電極が配置され、圧電層の上面（振動板と反対側）に共通電極が配置されていてもよい。この場合も、金属製の振動板と個別電極とを絶縁層により絶縁する必要がある。
【００７４】
８］前記実施形態の圧電アクチュエータにおいては、圧電層が振動板の上面（圧力室と反対側の面）に配置されているが、圧電層が振動板の下面（圧力室側の面）に配置されて、圧電層が流路ユニットのキャビティプレートに接合された圧電アクチュエータに対しても本発明を適用することが可能である。
【００７５】
９］圧電層は、振動板の一方の面に連続的に形成されている必要は必ずしもなく、複数の圧力室と対向する領域に離散的に配置されていてもよい。
【００７６】
以上説明した実施形態及びその変更形態は、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明を適用可能な対象はこのようなインクジェットヘッドに限られない。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小電子デバイスを形成するための、種々の液滴噴射装置に本発明を適用できる。
【００７７】
また、液滴噴射装置だけでなく、マイクロ総合分析システム（μＴＡＳ）内部で薬液や生化学溶液等の液体を移送する液体移送装置、マイクロ化学システム内部で溶媒や化学溶液等の液体を移送する液体移送装置等、インク以外の液体を移送する液体移送装置にも本発明を適用することもできる。
【００７８】
さらに、本発明を適用可能な圧電アクチュエータは、インクジェットヘッド等の液体移送装置用の圧電アクチュエータに限られるものではない。即ち、逃し部を有する支持部材に接合されるものであって、逃し部における振動板の変位を利用して対象物を駆動するものであれば、液体移送以外の用途に使用される圧電アクチュエータにも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】図３のV-V線断面図である。
【図６】インクジェットヘッドの製造工程を示す図であり、（ａ）は凹部形成工程及び接合工程、（ｂ）は圧電層形成工程、（ｃ）は個別電極形成工程及びノズルプレートの接合工程をそれぞれ示す。
【図７】ＣＶＤ法による圧電層形成工程の説明図である。
【図８】変更形態１のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図９】変更形態２のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１０】変更形態３のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１１】変更形態４のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１２】変更形態５のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１３】変更形態６のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１４】変更形態７のインクジェットヘッドの図５相当の断面図である。
【図１５】変更形態８のインクジェットヘッドの図５相当の断面図である。
【符号の説明】
【００８０】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
５  圧電アクチュエータ
１０  キャビティプレート（支持部材）
１０ａ  隔壁部
１４  圧力室
３０、３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ，３０Ｄ，３０Ｅ，３０Ｆ  振動板
３１、３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ，３１Ｅ，３１Ｆ，３１Ｇ  圧電層
３２，３２Ｅ，３２Ｆ  個別電極（第１電極）
３４  共通電極（第２電極）
３５  端子部
４０，４０Ｃ  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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