(57)【要約】【課題】  同期信号データの容量を大幅に削減し、モジュールメモリのメモリ容量を抑えることで、占有面積およびコストを削減でき、デバイス試験の時間効率を向上させる。【解決手段】  本発明のデバイステスタ１００は、モジュール２２０内に、波形信号データと同期信号データ３００とを記憶するモジュールメモリ２２２と、波形信号データをアドレスポインタ順に読み出して波形信号を生成しＤＵＴ１４０に対して出力する波形信号生成部２２４と、同期信号データ３００から同期信号を生成し同期信号バス２１０に送信する同期信号生成部２２６と、を備え、同期信号データ３００は同期信号が反転するアドレスポインタ３１０が羅列されたデータであり、同期信号生成部２２６はアドレスカウンタのカウント値と同期信号データ３００のアドレスポインタ３１０とが一致したときに同期信号を反転させることを特徴としている。【選択図】    図２
2008122212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスに複数のモジュールが接続され、該複数のモジュール間が同期信号バスで接続されるデバイステスタであって、
前記モジュール内に、
前記被試験デバイスに対する波形信号を時系列にデータ化した波形信号データと、該波形信号データと時間的に対応し、他のモジュールと同期をとるための同期信号をデータ化した同期信号データと、を記憶するモジュールメモリと、
前記波形信号データをアドレス順に読み出して波形信号を生成し、前記被試験デバイスに対して出力する波形信号生成部と、
前記同期信号データから同期信号を生成し、前記同期信号バスに送信する同期信号生成部と、
を備え、
前記同期信号データには、同期信号が反転するアドレスポインタが羅列され、
前記同期信号生成部は、アドレスカウンタのカウンタ値と前記同期信号データのアドレスポインタとが一致したときに前記同期信号を反転させることを特徴とする、デバイステスタ。
【請求項２】
前記同期信号データには、同期信号が反転するアドレスポインタが時系列に記されることを特徴とする、請求項１に記載のデバイステスタ。
【請求項３】
前記同期信号データには、同期信号の反転実行を示すコマンドも記されていることを特徴とする、請求項１または２に記載のデバイステスタ。
【請求項４】
前記同期信号は複数であり、
前記同期信号データには、反転する同期信号を特定する同期信号番号も記されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のデバイステスタ。
【請求項５】
被試験デバイスに複数のモジュールが接続され、該複数のモジュール間が同期信号バスで接続されるデバイステスタであって、
前記モジュール内に、
前記被試験デバイスに対する波形信号を時系列にデータ化した波形信号データと、該波形信号データと時間的に対応し、他のモジュールと同期をとるための同期信号をデータ化した同期信号データと、を記憶するモジュールメモリと、
前記波形信号データをアドレス順に読み出して波形信号を生成し、前記被試験デバイスに対して出力する波形信号生成部と、
前記同期信号データから同期信号を生成し、前記同期信号バスに送信する同期信号生成部と、
を備え、
前記同期信号データには、同期信号が変化するアドレスポインタと、その変化態様であるコマンドと、変化内容であるパラメータと、が羅列され、
前記同期信号生成部は、アドレスカウンタのカウンタ値と前記同期信号データのアドレスポインタとが一致したときに前記同期信号を前記コマンドとパラメータとに応じて変化させることを特徴とする、デバイステスタ。
【請求項６】
前記同期信号は複数本であり、
前記同期信号データには、反転する同期信号と特定する同期信号番号も記されることを特徴とする、請求項５に記載のデバイステスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスに複数のモジュールが接続され、複数のモジュール間が同期信号バスで接続されているデバイステスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）の大容量化、高速化、小型化（高密度化）が進んでいる。かかる集積回路を有するデバイスでは、集積回路の高密度化に伴って、電気的機能試験も高速かつ複雑な工程が要求されている。
【０００３】
このような電気的機能試験を遂行するデバイス試験装置では、被試験デバイス（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ：以下「ＤＵＴ」という。）に対して、矩形波等のデジタル値や、正弦波や三角波といったアナログ値が印加される。また、ＤＵＴから出力された信号もデジタルキャプチャやコンパレータを通じて取り込まれ、アクセスタイムマージン、電源電圧マージン等が測定される。ここで、取得した値が規定範囲から外れるとそのＤＵＴはフェイルと判断され試験が終了する。
【０００４】
従来では、デジタル回路とアナログ回路とが混在したＤＵＴに対して、それぞれ異なったコントローラを介して試験信号が印加されていたため、十分な同期がとられていなかった。そこで、異なったコントローラで制御されるモジュールを、同期信号を通じて同期させる技術が開発され（例えば、特許文献１）、正確かつ高速にＤＵＴを試験することができるようになった。
【特許文献１】特開平５−２０３７０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
デバイステスタにおいて、ＤＵＴにアナログの波形信号を印加する場合、ＤＵＴに接続されるモジュールのモジュールメモリから波形信号データが読み出され、そのアドレスに対応した波形信号が順次生成されている。
【０００６】
図８は、波形信号データ１０の一例を示した説明図である。かかる波形信号データ１０には、アドレス（進行時間）に対応する波形信号を示すコードが記されている。かかる図８を参照すると、時刻０と対応するアドレス０に記された「ｓｉｎｅ１」は、１０２４を１周期とした場合の１個目の正弦波の値を示し、アドレス１０２４に記された「ｒａｍｐ  ｕｐ１」は、前回値からの漸増ランプ関数による値を示し、アドレス２０４８に記された「ｒａｍｐ  ｄｏｗｎ１」は、前回値からの漸減ランプ関数による値を示している。
【０００７】
図９は、上述した波形信号データ１０から生成された波形信号を示したタイミングチャートである。図８の波形信号データにおいて、アドレス０〜１０２３は正弦波、アドレス１０２４〜２０４７は漸増ランプ関数、アドレス２０４８〜４０９５は漸減ランプ関数となっているので、かかる波形信号データ１０に従って、図９における波形信号２０も上述した関数のように変化する。
【０００８】
また、このような波形信号を、ＤＵＴに接続されている複数のモジュール間で同期させる場合、各モジュール間を接続する同期信号バスを通じて同期信号が共有される。かかる同期信号は、上述した波形信号データ１０と時間的に対応付けられた同期信号データから生成され、同期信号データは、波形信号データ１０と共にモジュールメモリに格納されている。
【０００９】
図１０は、同期信号データの一例を示した説明図である。かかる同期信号データ３０には、アドレス（進行時間）に対応する信号状態が、Ｎ本から成る同期信号群の同期信号線毎に記されている。当該モジュールにおいては、図１０に示すように、同期信号番号が＃１，＃２，＃３，＃４、＃Ｎで表される５本の同期信号が有効となっていて、他の同期信号線は他のモジュールに開放されている。ここで「＃」は同期信号の番号（同期信号番号）であることを示している。かかる同期信号データ３０はアドレスの進行に従って「０」または「１」のいずれかの状態をとる。
【００１０】
図１１は、上述した同期信号データ３０から生成された同期信号を示したタイミングチャートである。例えば、図１０の同期信号データ＃１は、アドレス０〜２５５の状態が「１」であり、アドレス２５６〜５１１の状態は「０」となり、またアドレス５１２から状態が「１」に移行する。従って、図１１に示すように同期信号＃１では、そのアドレスおよび状態に対応した同期信号４０が生成され、生成された同期信号は、同期信号バスの１番目のラインに出力されて、他のモジュールとの同期に利用される。
【００１１】
以上、図８〜１１を用いて説明したように、複数のモジュール同士を、意図された時点で確実に同期するため、同時刻に出力されるべき波形信号データと同期信号データとは同アドレスに配されることとなる。従って、モジュールメモリ内には、波形信号データと同じ深さ（アドレス長）の同期信号データが記憶される。従って、同期信号データにも多大なメモリ容量が費やされる。
【００１２】
また、全てのモジュールメモリにおいて、同期信号データは、様々な試験に対応するため、利用される同期信号の本数に拘わらず同期信号バスの同期信号線の本数分のメモリ容量が確保されている。しかし、デバイステスタで利用される一般的なアプリケーションでは、そのように多くの同期信号を必要とせず、デバイス試験工程全てを通じても利用されない謂わば無駄なメモリ領域を費やしていた。今後、ＤＵＴの規模が大きくなるにつれ、このような無駄なメモリ領域も増大するので、それに応じた大きなメモリ容量が必要となる。このように同期信号データのメモリ容量が大きいと同期信号データのモジュールメモリへのダウンロードにも長時間を要し、デバイス試験の総合的な時間効率も低下の一途を辿ることとなる。
【００１３】
また、同期信号を拡張する必要が生じた場合、拡張した同期信号の本数分のメモリ容量が新たに必要となり、モジュールメモリの交換も余儀なくされていた。
【００１４】
そこで、本願発明者は、モジュールメモリに無駄な領域が生じること、および、同期信号の変化はアドレスのカウントの変化に対して余り頻繁でないことに着目し、もっと少ないデータ容量で従来同様の同期信号を生成することができないか検討し、同期信号が反転するアドレスの値のみによって同期信号を再現する本発明を完成するに至った。
【００１５】
本発明は、従来のデバイステスタが有する上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、同期信号データの容量を大幅に削減し、モジュールメモリのメモリ容量を抑えることで、占有面積およびコストを削減でき、デバイス試験の時間効率を向上させることが可能な、新規かつ改良されたデバイステスタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、被試験デバイスに複数のモジュールが接続され、複数のモジュール間が同期信号バスで接続されるデバイステスタであって、モジュール内に、被試験デバイスに対する波形信号を時系列にデータ化した波形信号データと、波形信号データと時間的に対応し、他のモジュールと同期をとるための同期信号をデータ化した同期信号データと、を記憶するモジュールメモリと、波形信号データをアドレス順に読み出して波形信号を生成し、被試験デバイスに対して出力する波形信号生成部と、同期信号データから同期信号を生成し、同期信号バスに送信する同期信号生成部と、を備え、同期信号データには、同期信号が反転するアドレスポインタが羅列され、同期信号生成部は、アドレスカウンタのカウンタ値と同期信号データのアドレスとが一致したときに同期信号を反転させることを特徴とする、デバイステスタが提供される。
【００１７】
同期信号のような２値の信号では、連続する全てのデータの状態（「１」または「０」）をデータ化しなくとも、状態が反転する点のみによって同期信号を再現することができる。本発明では、波形信号データに対応する同期信号データを、状態が反転する点のみのテーブルに置き換えることで、同期信号データの容量を大幅に削減することができる。また、このうような削減により同期信号データのダウンロード時間の短縮化を図ることができ、デジタル試験の時間的効率を向上させることも可能である。
【００１８】
また、利用されない同期信号に関しても従来のように所定の領域を確保するわけではないので、無駄なメモリ容量を消費することもない。従って、従来よりメモリ容量の少ないモジュールメモリを適用することができ、占有（実装）面積やコストを削減することができる。さらに、モジュールメモリの占有面積を小さくすることで、空いた領域を他のチャネルやＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｐｒｏｓｅｓｓｏｒ）に充てることができ、多チャンネル化や多機能化を図ることができる。
【００１９】
同期信号データには、同期信号が反転するアドレスポインタが時系列に記されてもよい。かかる構成により、同期信号生成部がアドレスカウンタのカウンタ値に該当するアドレスポインタを検索する際、そのアドレスポインタの位置を推定することができるので、短時間で到達することが可能であり、さらに、その後段のアドレスポインタを検索する必要もなくなるので、全体的な検索時間の短縮化を図ることができる。
【００２０】
同期信号データには、同期信号の反転実行を示すコマンドも記されてもよい。本発明による同期信号データも反転する点を所定数格納するための領域が確保されている。従って、反転する点が満たされない限りこの領域内にも意図せぬデータが記されている場合がある。かかるコマンド（フラグ）によって同期信号生成部は、反転実行すべきデータを確実に把握することができ、高い信頼性を持って同期信号を生成することが可能となる。
【００２１】
同期信号は複数であり、同期信号データには、反転する同期信号を特定する同期信号番号も記されてもよい。
【００２２】
かかる構成により複数の同期信号を一つの同期信号データで制御することができ、同期信号毎に反転回数が偏っていたとしても全ての同期信号を混合することでその数が平均化される。
【００２３】
また、同期信号を拡張する必要が生じた際にも、追加された同期信号に関する反転点が増えるだけで、新たにメモリ容量を追加したりモジュールメモリを交換したりする必要もない。このように汎用性および拡張性も従来に比べて格段に高い。
【００２４】
また、複数の同期信号が同時に反転する場合において、上述したようにアドレスポインタが時系列に記されていると、同一のアドレスポインタが並置することとなるので、反転する同期信号を特定し易くなる。
【００２５】
上記課題を解決するために、本発明の他の観点によれば、被試験デバイスに複数のモジュールが接続され、複数のモジュール間が同期信号バスで接続されるデバイステスタであって、モジュール内に、被試験デバイスに対する波形信号を時系列にデータ化した波形信号データと、波形信号データと時間的に対応し、他のモジュールと同期をとるための同期信号をデータ化した同期信号データと、を記憶するモジュールメモリと、波形信号データをアドレス順に読み出して波形信号を生成し、被試験デバイスに対して出力する波形信号生成部と、同期信号データから同期信号を生成し、同期信号バスに送信する同期信号生成部と、を備え、同期信号データには、同期信号が変化するアドレスポインタと、その変化態様であるコマンドと、変化内容であるパラメータと、が羅列され、同期信号生成部は、アドレスカウンタのカウンタ値と同期信号データのアドレスポインタとが一致したときに同期信号をコマンドとパラメータとに応じて変化させることを特徴とする、デバイステスタが提供される。
【００２６】
本発明では、上述した同期信号が反転する点のみならず、他の様々な変化をテーブル化することを可能としている。従って、繰り返しパターン等予め定めることができるパターンは、本発明のコマンドおよびパラメータの組み合わせを用いることができ、本発明では、反転点を羅列した同期信号データよりさらにデータ容量を削減することが可能となる。
【００２７】
同期信号は複数本であり、同期信号データには、反転する同期信号と特定する同期信号番号も記されてもよい。
【００２８】
上述した反転点のみを用いるデバイステスタにおける技術的思想に対応する構成要素やその説明は、当該変化点を用いるデバイステスタにも適用可能である。
【発明の効果】
【００２９】
以上説明したように本発明のデバイステスタは、同期信号データの容量を大幅に削減し、モジュールメモリのメモリ容量を抑えることで、占有面積およびコストを削減でき、デバイス試験の時間効率を向上させることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００３１】
（第１の実施形態）
本発明の実施形態にかかるデバイステスタは、デバイステスタ内に備わるモジュールを制御して被試験デバイスのデバイス試験を遂行する。上記モジュールの詳細な説明をする前に、本実施形態の理解を容易にするため、デバイステスタの構造を説明する。
【００３２】
（デバイステスタ１００）
図１は、デバイステスタ１００全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。デバイステスタ１００は、本体１１０と、テストヘッド１２０とを含んで構成される。当該テストヘッド１２０には、パフォーマンスボード１３０が載設され、パフォーマンスボード１３０上に被試験デバイス（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）１４０が載設される。
【００３３】
上記本体１１０は、ユーザインターフェース１１２を介して設定された試験工程を遂行する中央制御部１１４が設けられている。上記テストヘッド１２０には、ＤＵＴ１４０の各デバイス端子に接続されるテスト端子と、テスト端子に接続され試験機能を遂行するピンモジュールを例えば３２個単位で備える中継カード（ＰＥ（Ｐｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）カードともいう。）１２２とが設けられる。かかる中継カード１２２は、後述するモジュールを１または複数設けることができ、本体１１０からの機能試験に関する指令をテスト端子に反映する。
【００３４】
上記パフォーマンスボード１３０は、テストヘッド１２０に嵌合可能、かつ、ＤＵＴ１４０を載設可能な構造となっており、複数のテスト端子をＤＵＴ１４０のデバイス端子に電気的に接続する。
【００３５】
このようなデバイステスタ１００には、中継カード１２２とほぼ同一概念のモジュールが設けられ、各モジュール間は同期信号バスを介して同期がとられる。このようなモジュール間の同期に関して以下に詳述する。
【００３６】
（モジュール２２０間の同期）
図２は、デバイステスタ１００の概略的な機能を示す機能ブロック図である。図２を参照すると、デバイステスタ１００は、中央制御部１１４と、制御バス２００と、同期信号バス２１０と、モジュール２２０とを含んで構成される。
【００３７】
上記中央制御部２１０は、ＣＰＵ等の半導体集積回路で構成され、デバイステスタ１００全体を管理および制御する。
【００３８】
上記制御バス２００は、中央制御部１１４からの指令を各モジュール２２０に伝達するために利用される。
【００３９】
上記同期信号バス２１０は、例えば、１６本（１６ｂｉｔ）の同期信号線をパラレルに配し、各同期信号線を全てのモジュール２２０に接続させている。従って、各モジュール２２０は、当該同期信号線を共有することができる。中央制御部１１４は、各モジュール２２０に対して同期信号バス２１０の各同期信号線を排他的に割り当て、その同期信号線にモジュール２２０からの同期信号を出力させる。例えば、モジュール２２０Ａに同期信号＃１、＃２が割り当てられ、モジュール２２０Ｂに同期信号＃３，＃４が割り当てられると、他のモジュール２２０Ｃには、かかる同期信号＃１、＃２、＃３、＃４を除いた同期信号のみが割り当てられ得る。ここでは、例えば、モジュール２２０Ｂがモジュール２２０Ａと同期して波形信号を出力する場合、モジュール２２０Ｂは、同期信号＃１または＃２を監視し、同期信号＃１または＃２による任意の矩形波をトリガにして波形信号をＤＵＴに出力する。
【００４０】
また、各モジュール２２０は、かかる同期信号をアドレスカウントの開始トリガとしても利用することができる。即ち、バトンリレーのようにモジュール２２０Ａからの同期信号を受けて、モジュール２２０Ｂが動作を開始するといったことが可能となる。
【００４１】
（モジュール２２０）
上記モジュール２２０は、中継カード１２２を媒体として機能し、または中継カード１２２内に複数設けられ、ＤＵＴ１４０の最終的な試験信号を生成する。かかるモジュール２２０は、大きく信号出力系と信号測定（入力）系とに分けられ、信号出力系では、例えば、任意の波形を発生する任意波形発生モジュールが、信号測定系では、例えば、デジタルキャプチャモジュールが挙げられる。
【００４２】
図３は、このようなモジュール間の同期を例示した説明図である。図３においては、ＤＵＴ１４０Ａ、１４０ＢとしてＡＤＣ（Ａｎａｌｏｇ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）を、ＤＵＴ１４０Ａ、１４０Ｂにアナログ試験信号を出力するモジュールとして任意波形発生モジュール２２０Ｄ、２２０Ｆを、ＤＵＴ１４０Ａ、１４０Ｂのデジタル信号を受信するモジュールとしてデジタルキャプチャモジュール２２０Ｅ、２２０Ｇを挙げている。それらの構成図を図３（ａ）に、タイミングチャートを図３（ｂ）に示す。
【００４３】
任意波形発生モジュール２２０Ｄは、アナログの波形信号（１）をＤＵＴ１４０Ａに出力すると共に、任意波形発生モジュール２２０Ｄ内で同期された同期信号（２）および（３）をそれぞれ同期信号線＃１および＃２に出力する。デジタルキャプチャモジュール２２０Ｅは、同期信号線＃１から受信する同期信号（２）によって任意波形発生モジュール２２０Ｄと同期をとり、同期信号（２）がイネーブルの間ＤＵＴ１４０Ａによってデジタル化された信号を取得する。
【００４４】
また、任意波形発生モジュール２２０Ｆは、同期信号（３）によって任意波形発生モジュール２２０Ｄと同期をとり、任意の時間を置いて任意波形発生モジュール２２０Ｄと同じアナログの波形信号（４）をＤＵＴ１４０Ｂに出力する。また、同時に波形信号（４）と内部的に同期された同期信号（５）を同期信号線＃３に出力する。デジタルキャプチャモジュール２２０Ｇは、同期信号（５）によって任意波形発生モジュール２２０Ｆと同期をとり、同期信号（５）がイネーブルの間ＤＵＴ１４０Ｂによってデジタル化された信号を取得する。このように、各モジュール２２０は、ＤＵＴと信号の入出力を行いつつ、そのバックグランド（同期信号バス２１０）で他のモジュール２２０と同期をとり、ＤＵＴ１４０のタイミングエラーも正確に把握する。
【００４５】
また、図２を参照すると、モジュール２２０は、モジュールメモリ２２２と、波形信号生成部２２４と、同期信号生成部２２６とを含んで構成される。
【００４６】
上記モジュールメモリ２２２は、ＤＵＴ１４０に対する波形信号を時系列にデータ化した波形信号データ２９０と、波形信号データ２９０と時間的に対応し、他のモジュール２２０と同期をとるための同期信号をデータ化した同期信号データ３００と、を記憶する。ここで、ＤＵＴ１４０に「対する」波形信号とは、ＤＵＴ１４０に印加する波形信号やコンパレータにてＤＵＴ１４０から出力された信号と比較する比較信号としての波形信号を含む。
【００４７】
かかるモジュールメモリ２２２に記憶される波形信号データ２９０は、図８で既に説明した波形信号データ１０と構成が等しいのでここではその説明を省略し、構成の異なる同期信号データ３００に関して詳述する。
【００４８】
図４は、第１の実施形態における同期信号データ３００の一例を示した説明図である。かかる同期信号データ３００には、テーブルとして、アドレスポインタ３１０、コマンド３２０、同期信号番号３３０とが時系列（アドレスポインタ３１０順）に並置されている。ここでは理解を容易にするため同期信号データ３００を時系列に並べているが、かかる場合に限られず、後述する同期信号生成部２２６が検索できる範囲において任意に並べられてもよい。
【００４９】
ここで、アドレスポインタ３１０は、同期信号が反転するアドレスの値を示している。従って、波形信号データのアドレス長である３２ｋｂｉｔ分のアドレスの値を表現するため１５ｂｉｔのデータ領域を必要とする。
【００５０】
コマンド３２０は、本実施形態においては１ｂｉｔで表され、反転実行「Ｔｏｇｇｌｅ」を表す「１」または何も実行しない「Ｎｏｐ」を表す「０」のいずれかが記される。本実施形態による同期信号データ３００も、反転する点を所定数格納するための領域が確保されている。従って、反転する点が満たされない限りこの領域内にも意図せぬデータが記されている場合がある。かかるコマンド（フラグ）によって反転実行すべきデータが確実に把握され、高い信頼性を持って同期信号を生成することが可能である。
【００５１】
同期信号番号３３０は、複数の同期信号の内の反転する同期信号を特定する番号である。ここでは、同期信号線が１６本あるので、４ｂｉｔの信号が必要となる。かかる同期信号番号３３０を添付する構成により複数の同期信号を一つの同期信号データ３００で制御することができ、同期信号毎に反転回数が偏っていたとしても全ての同期信号を混合することでその数が平均化される。即ち、数本の同期信号の反転回数が多くても、反転回数が少ない他の同期信号により吸収されるので、大凡その反転回数の総計を予想することができる。
【００５２】
同期信号データのデータ構造を上述したようなテーブル方式にすることで、今後、同期信号を拡張する必要が生じた際にも、追加された同期信号に関する反転点が増えるだけで、新たにメモリ容量を追加したりモジュールメモリを交換したりする必要もない。このように汎用性および拡張性も従来に比べて格段に高い。
【００５３】
例えば、同期信号バス２１０における同期信号線の本数を２倍、即ち３２ｂｉｔにした場合、従来のデバイステスタでは同期信号データ３００が占有するメモリ容量を２倍にする必要があったが、本実施形態においては同期信号線の番号を５ｂｉｔにするのみで対応できる。また、例えば、同期信号線の本数を６４ｂｉｔにしたとしても本実施形態では、番号のビットをさらに１ｂｉｔ増やすだけで対応可能である。
【００５４】
上記波形信号生成部２２４は、モジュールメモリ２２２の波形信号データをアドレス順に読み出して波形信号を生成し、ＤＵＴ１４０に対して出力する。
【００５５】
上記同期信号生成部２２６は、同期信号データ３００から同期信号を生成し、同期信号バス２１０に送信する。具体的には、インクリメントされたアドレスカウンタと等しいアドレスポインタ３１０を同期信号データ３００から検索し、抽出したアドレスポインタ３１０全てに対して、アドレスポインタ３１０のコマンド３２０が「Ｔｏｇｇｌｅ」であることを確認する。そして、コマンド３２０が「Ｔｏｇｇｌｅ」である全てのアドレスポインタ３１０の同期信号番号３３０が示す同期信号線を、そのアドレスポインタ３１０が示す実行時点で反転する。反転には、ＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）内で形成されるトグルフリップフロップ（Ｔ−ＦＦ）を用いてもよい。また、コマンド３２０が「Ｎｏｐ」であった場合、そのアドレスポインタ３１０や同期信号番号３３０の如何に拘わらず、何ら処理を行わない。
【００５６】
図５は、上述した同期信号データ３００から生成された同期信号を示したタイミングチャートである。例えば、アドレスカウンタが０のとき、即ち当該モジュールの動作開始時には、同期信号生成部２２６が、アドレスポインタ３１０が「０」となっている反転データ（１）を検出し、そのコマンド３２０と同期信号番号３３０とを参照する。ここでは、コマンド３２０が「Ｔｏｇｇｌｅ」を示しているので、同期信号番号３３０が示す同期信号＃１を反転する。従って、図５における同期信号＃１は開始時点から反転状態である「１」の状態になっている。
【００５７】
次に、アドレスカウンタが２５６になると、同期信号生成部２２６は、アドレスポインタ３１０が「２５６」である反転データ（２）および（３）を検出し、その対象となる２つの反転データのコマンド３２０と同期信号番号３３０とを参照する。かかるコマンド３２０は両反転データ共「Ｔｏｇｇｌｅ」を示しているので、アドレスカウンタのカウンタ値が「２５６」となった時点で、同期信号番号３３０が示す２つの同期信号＃１、＃２とをそれぞれ反転する。ここで、同期信号＃１は、アドレスカウンタが「０」の時点で既に「１」になっているので、反転すると「０」になる。このようにしてアドレスカウンタのカウント値とアドレスポインタ３１０の値が合う毎に対象となる同期信号を反転することで図５に示したような複数の同期信号を生成することができる。
【００５８】
ここでは、図１０に示したような同期信号データよりメモリ容量が著しく小さい同期信号データを用いているが、結果として生成される図５に示す同期信号は、図１１に示す同期信号と等しくなることが理解できる。
【００５９】
このように、同期信号のような２値の信号では、連続する全てのデータの状態をデータ化しなくとも、状態が反転する点のみによって同期信号を再現することができる。本実施形態では、波形信号データに対応する同期信号データを、状態が反転する点のみのテーブルに置き換えることで、同期信号データの容量を大幅に削減することができる。
【００６０】
例えば、同期信号が１６本で、波形信号データのアドレス長が３２ｋｂｉｔであった場合、従来のデバイステスタにおいては、同期信号データのメモリ容量として３２ｋ×１６で５１２ｋｂｉｔのメモリ容量が必要であった。上述した第１の実施形態の同期信号データ３００によると、例えば、最大６４回の反転領域を確保したとして、（１５（アドレスポインタ３１０）＋１（コマンド３２０）＋４（同期信号番号３３０））×６４回で１．２５ｋｂｉｔとなり、従来の方式と比較してメモリ容量が約１／４００になることが理解できる。ここでは、理解を容易にするため、アドレス長を３２ｋｂｉｔとしているが、実際に利用されるアドレス長はかかる３２ｋｂｉｔより大きく、１Ｍ〜数十Ｍ以上のものも存在する。従って、本実施形態によるメモリ容量削減の効果は絶大である。
【００６１】
また、このようにデータ容量を小さくすることができると、データ記憶専用のモジュールメモリ２２２に同期信号データ３００を記憶しなくとも、例えば、ＦＰＧＡ内に付加的に作られた簡易メモリに記憶することも可能となり、占有面積およびコストの削減を図ることができる。
【００６２】
また、このうようなデータ容量の削減により同期信号データのダウンロード時間の短縮化を図ることができ、デジタル試験の時間的効率を向上させることも可能である。
【００６３】
さらに、利用されない同期信号に関しても従来のように所定の領域を確保するわけではないので、無駄なメモリ容量を消費することもない。従って、従来よりメモリ容量の少ないモジュールメモリを適用することができ、占有（実装）面積やコストを削減することができる。また、メモリ容量が少ないモジュールメモリを採用することで、厄介な高速ボードデザイン（配線デザイン）を削減でき、６００ＭＨｚ以上のサンプリングに対応しなければならない任意波形発生モジュール等においても設計の困難性を和らげることができる。また、モジュールメモリの占有面積を小さくすることで空いた領域を他のチャネルやＤＳＰに充てることができ、多チャンネル化や多機能化を図ることができる。
【００６４】
また、図４の同期信号データ３００のように、同期信号が反転するアドレスポインタ３１０が時系列に記されていた場合、同期信号生成部２２６がアドレスカウンタのカウンタ値に該当するアドレスポインタ３１０を検索する際において、そのアドレスポインタ３１０の位置を推定することができるので、短時間で到達することが可能であり、さらに、その後段のアドレスポインタ３１０を検索する必要もなくなるので、全体的な検索時間の短縮化を図ることができる。
【００６５】
（第２の実施形態）
第２の実施形態では、第１の実施形態で説明したような同期信号が反転する点のみならず、他の様々な変化をテーブル化することを可能としている。従って、繰り返しパターン等予め定めることができるパターンは、第２の実施形態のコマンドおよびパラメータの組み合わせを用いることができ、本実施形態では、反転点を羅列した第１の実施形態の同期信号データよりさらにデータ容量を削減することが可能となる。以下、第１の実施形態と相異する同期信号データと、その同期信号データを処理する同期信号生成部について詳述する。
【００６６】
図６は、第２の実施形態における同期信号データ５００の一例を示した説明図である。かかる同期信号データ５００は、テーブルとして、アドレスポインタ５１０、コマンド５２０、パラメータ５３０、同期信号番号５４０とが時系列（アドレスポインタ５１０順）に並置されている。第１の実施形態における構成要素として既に述べたアドレスポインタ５１０と、同期信号番号５４０とは、実質的に機能が同一なので重複説明を省略し、ここでは、構成が相違するコマンド５２０と、パラメータ５３０とを主に説明する。
【００６７】
コマンド５２０は、同期信号が変化する場合における変化態様であり、本実施形態においては３ｂｉｔで表され、反転実行「Ｔｏｇｇｌｅ」および「Ｎｏｐ」の他に、「Ｒｅｐｅａｔ」、「Ｒｅｔｕｒｎ  ｔｏ  Ｚｅｒｏ」、「Ｐｕｌｓｅ  Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ」、「Ｐｕｌｓｅ」、「Ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ」、「Ｄｅｃｒｅｍｅｎｔ」の合計８つの命令で構成される。
【００６８】
パラメータ５３０は、コマンド５２０に付随するデータであって、同期信号が変化する場合における変化内容を示す。以下に、コマンド５２０とパラメータ５３０の組み合わせを説明する。
【００６９】
コマンド５２０「Ｒｅｐｅａｔ」は、パラメータ５３０に記された周期で矩形波（クロック）を形成する。「Ｒｅｔｕｒｎ  ｔｏ  Ｚｅｒｏ」はパラメータ５３０に記されたアドレス長の１ショットパルスを発生する。「Ｐｕｌｓｅ  Ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ」は、パラメータ５３０に記された「１」の状態のアドレス長と「０」の状態のアドレス長とで指定されるデューティ（ｄｕｔｙ）比で矩形波（クロック）を形成する。「Ｐｕｌｓｅ」は、パラメータ５３０で記されたパルス数だけ矩形波を発生する。「Ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ」は、パラメータ５３０に記したアドレス長分だけ毎回パルス幅をインクリメントし、徐々にパルス幅が大きくなる矩形波を形成する。「Ｄｅｃｒｅｍｅｎｔ」は、「Ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ」の逆の動作を行う。
【００７０】
このような変化の開始時点は、何れのコマンド５２０においてもアドレスポインタ５１０が示す時点である。また、ここでは８つのコマンド５２０を説明しているが、かかる場合に限られず、ＤＵＴ１４０の試験項目に応じて様々なコマンド５２０を作り出すことができる。例えば、同期信号が多用されるアプリケーションにおいては、その同期信号の変化をコマンド５２０に置き換えさせるため、コマンド５２０を多く準備することとなり、それに応じてビット数も大きくなる。逆に反転が少なかったり、変化が単調である場合にはコマンド５２０を少なくできるので、ビット数はあまり大きくとらなくてよい。
【００７１】
第２の実施形態において同期信号生成部２２６はアドレスカウンタのカウンタ値と同期信号データ５００のアドレスポインタ５１０とが一致したときに同期信号をコマンド５２０とパラメータ５３０とに応じて変化させる。
【００７２】
図７は、上述した同期信号データ５００から生成された同期信号を示したタイミングチャートである。例えば、アドレスカウンタが２５６のとき、同期信号生成部２２６が、アドレスポインタ５１０が「２５６」となっている変化データ（１）を検出し、そのコマンド５２０とパラメータ５３０と同期信号番号５４０とを参照する。ここでは、コマンド５２０が「Ｒｅｐｅａｔ」を示しているので、パラメータ５３０に記された周期２０ＭＨｚで矩形波（クロック）を形成する。従って、図７における同期信号＃１はアドレス「２５６」の時点６１０から矩形波が生成されている。
【００７３】
次に、アドレスカウンタが５１２になると、同期信号生成部２２６は、アドレスポインタ５１０が「５１２」である変化データ（２）を検出し、そのコマンド５２０とパラメータ５３０と同期信号番号５４０とを参照する。かかるコマンド５２０は、「Ｒｅｔｕｒｎ  ｔｏ  Ｚｅｒｏ」を示しているので、パラメータ５３０に記されたアドレス長「１０」分の１ショットパルスを発生する。従って、図７における同期信号＃２はアドレスカウンタが「５１２」となる時点６２０で１ショット「１」を出力して、１０アドレス長後に再び「０」に戻る。
【００７４】
かかる構成によれば、１回のコマンドで複数の反転を表現できる。従って、第１の実施形態のように複数の反転を個々に記すより、第２の実施形態のように１度に記した方が同期信号データのメモリ容量をさらに削減することができる。
【００７５】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、被試験デバイスに複数のモジュールが接続され、複数のモジュール間が同期信号バスで接続されているデバイステスタに利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】第１の実施形態におけるデバイステスタ全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。
【図２】第１の実施形態におけるデバイステスタの概略的な機能を示す機能ブロック図である。
【図３】第１の実施形態におけるモジュール間の同期を例示した説明図である。
【図４】第１の実施形態における同期信号データの一例を示した説明図である。
【図５】第１の実施形態における同期信号データから生成された同期信号を示したタイミングチャートである。
【図６】第２の実施形態における同期信号データの一例を示した説明図である。
【図７】第２の実施形態における同期信号データから生成された同期信号を示したタイミングチャートである。
【図８】波形信号データの一例を示した説明図である。
【図９】波形信号データから生成された波形信号を示したタイミングチャートである。
【図１０】同期信号データの一例を示した説明図である。
【図１１】同期信号データから生成された同期信号を示したタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００７８】
１００  デバイステスタ
１４０  ＤＵＴ
２１０  同期信号バス
２２０  モジュール
２２２  モジュールメモリ
２２４  波形信号生成部
２２６  同期信号生成部
３００、５００  同期信号データ
３１０、５１０  アドレスポインタ
３２０、５２０  コマンド
３３０、５４０  同期信号番号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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