(57)【要約】【課題】レーザビーム特性を測定したいレーザ装置とビームプロファイラの直線距離を高効率に測定光路長より短縮する。【解決手段】レーザ装置（Ｌ）とビームプロファイラ（３）の間に第１ミラー（１）と第２ミラー（２）を設置し、第１ミラー（１）と第２ミラー（２）の間でレーザビーム（Ｂ）を少なくとも１往復させる。【効果】第１ミラー（１）と第２ミラー（２）の間でレーザビーム（Ｂ）を往復させる回数を増やすほど、レーザ装置（Ｌ）とビームプロファイラ（３）の直線距離を測定光路長（Ｄ）より高効率に短縮することが出来る。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ装置（Ｌ）から出射されたレーザビーム（Ｂ）が入射する第１ミラー（１）と、前記第１ミラー（１）と対になって前記第１ミラー（１）との間でレーザビーム（Ｂ）を少なくとも１往復させうる第２ミラー（２）と、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間で少なくとも１往復したレーザビーム（Ｂ）を受光しうるビームプロファイラ（３）とを具備したことを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザビーム特性測定装置において、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間でレーザビーム（Ｂ）が往復する往復回数を変更する往復回数変更手段を具備したことを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザビーム特性測定装置において、前記往復回数変更手段は、前記第１ミラー（１）をその鏡面に平行な方向に移動させる第１ミラー移動手段（５，６）であることを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）。
【請求項４】
レーザ装置（Ｌ）から出射されたレーザビーム（Ｂ）が入射する第１ミラー（１）と、前記第１ミラー（１）と対になって前記第１ミラー（１）との間でレーザビーム（Ｂ）を少なくとも１往復させうる第２ミラー（２）と、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間で少なくとも１往復したレーザビーム（Ｂ）を受光しうるビームプロファイラ（３）と、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間でレーザビーム（Ｂ）が往復する往復回数を変更する往復回数変更手段と、前記往復回数変更手段を制御して往復回数を変更しつつ各往復回数で前記ビームプロファイラ（３）のデータを収集する処理手段（８）とを具備したことを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザビーム特性測定装置に関し、さらに詳しくは、レーザビーム特性を測定したいレーザ装置とビームプロファイラの直線距離を高効率に測定光路長より短縮することが出来るレーザビーム特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のミラーを利用して、検査対象のエキシマレーザ装置と検査ユニットの直線距離を測定光路長より短縮した検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１１−２０１８６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の検査装置では、複数のミラーを利用して測定光路を折り曲げることにより、検査対象のエキシマレーザ装置と検査ユニットの直線距離を測定光路長より短かくしている。
しかし、測定光路に沿った空間長は測定光路長に等しいため、距離を短縮する効率が低い問題点があった。
そこで、本発明の目的は、レーザビーム特性を測定したいレーザ装置とビームプロファイラの直線距離を高効率に測定光路長より短縮することが出来るレーザビーム特性測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の観点では、本発明は、レーザ装置（Ｌ）から出射されたレーザビーム（Ｂ）が入射する第１ミラー（１）と、前記第１ミラー（１）と対になって前記第１ミラー（１）との間でレーザビーム（Ｂ）を少なくとも１往復させうる第２ミラー（２）と、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間で少なくとも１往復したレーザビーム（Ｂ）を受光しうるビームプロファイラ（３）とを具備したことを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）を提供する。
上記第１の観点によるレーザビーム特性測定装置では、第１ミラー（１）と第２ミラー（２）の間で少なくとも測定光路を１往復させるから、第１ミラー（１）と第２ミラー（２）の間の空間長を少なくとも２回は重複して測定光路長に含めることが出来る。よって、レーザビーム特性を測定したいレーザ装置とビームプロファイラの直線距離を高効率に測定光路長より短縮することが出来る。なお、往復回数が多くなるほど、短縮効率は高くなる。
【０００５】
第２の観点では、本発明は、前記第１の観点によるレーザビーム特性測定装置において、前記第１ミラー（１）または前記第２ミラー（２）の間でレーザビーム（Ｂ）が往復する往復回数を変更する往復回数変更手段を具備したことを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）を提供する。
上記第２の観点によるレーザビーム特性測定装置では、容易に且つ等間隔に測定光路長を変更することが出来る。
【０００６】
第３の観点では、本発明は、前記第２の観点によるレーザビーム特性測定装置において、前記往復回数変更手段は、前記第１ミラー（１）をその鏡面に平行な方向に移動させる第１ミラー移動手段（５，６）であることを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）を提供する。
上記第３の観点によるレーザビーム特性測定装置では、１枚のミラーを移動させるだけで容易に且つ等間隔に測定光路長を変更することが出来る。
【０００７】
第４の観点では、本発明は、レーザ装置（Ｌ）から出射されたレーザビーム（Ｂ）が入射する第１ミラー（１）と、前記第１ミラー（１）と対になって前記第１ミラー（１）との間でレーザビーム（Ｂ）を少なくとも１往復させうる第２ミラー（２）と、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間で少なくとも１往復したレーザビーム（Ｂ）を受光しうるビームプロファイラ（３）と、前記第１ミラー（１）と前記第２ミラー（２）の間でレーザビーム（Ｂ）が往復する往復回数を変更する往復回数変更手段と、前記往復回数変更手段を制御して往復回数を変更しつつ各往復回数で前記ビームプロファイラ（３）のデータを収集する処理手段（８）とを具備したことを特徴とするレーザビーム特性測定装置（１００）を提供する。
上記第４の観点によるレーザビーム特性測定装置では、自動的に測定光路長を変更しながらデータを収集することが出来るので、異なる測定光路長のデータを短時間で収集できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のレーザビーム特性測定装置によれば、レーザビーム特性を測定したいレーザ装置とビームプロファイラの直線距離を測定光路長より高効率に短縮することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１０】
図１は、実施例１に係るレーザビーム特性測定装置１００を示す説明図である。
このレーザビーム特性測定装置１００は、測定対象のレーザ装置Ｌから出射されたレーザビームＢが入射する第１ミラー１と、第１ミラー１と対になって第１ミラー１との間でレーザビームＢを少なくとも１往復させうる第２ミラー２と、第１ミラー１と第２ミラー２の間で少なくとも１往復したレーザビームＢを受光しうるビームプロファイラ３と、レーザ装置Ｌおよび第２ミラー２を設置する固定台４と、第１ミラー１およびビームプロファイラ３を設置する移動台５と、第１ミラー１の鏡面に平行に移動台５を移動させるためのモータ６と、モータ６を介して移動台５を移動させ各反射点数ｒでビームプロファイラ３のデータを収集する処理装置８とを具備している。
【００１１】
図２に示すように、第１ミラー１の鏡面に垂直な方向での第１ミラー１からレーザ装置Ｌまでの距離をａとする。同様に、第１ミラー１の鏡面に垂直な方向での第１ミラー１から第２ミラー２までの距離をｂとする。同様に、第１ミラー１の鏡面に垂直な方向での第１ミラー１からビームプロファイラ３までの距離をｃとする。
また、第１ミラー１の鏡面と第２ミラー２の鏡面とは平行であるとする。
また、レーザ装置Ｌから出射されたレーザビームＢの第１ミラー１への入射角をθとする。
第１ミラー１または第２ミラー２でのレーザビームＢの反射点数をｒとすると、レーザ装置Ｌからビームプロファイラ３までの測定光路長Ｄは、
Ｄ＝（ａ＋ｒ×２×ｂ＋ｃ）／cosθ
となる。つまり、ａ，ｒ，ｂ，ｃ，θのいずれかを変えることで測定光路長Ｄを変更できるが、本実施例ではｒを変更する。ｒを変更する場合は、ｒ×２×ｂ／cosθ の等間隔で測定光路長Ｄを変更することが出来る。ｒ≧２のとき、第１ミラー１の鏡面と第２ミラー２の鏡面の間でのレーザビームＢの往復回数ｎは、ｎ＝ｒ−１となる。
【００１２】
図３は、レーザビーム特性測定装置１００を用いたレーザビーム特性測定の手順を示すフロー図である。
ステップＰ１では、操作者は、測定対象のレーザ装置Ｌ，第１ミラー１，第２ミラー２およびビームプロファイラ３を例えば図４に示す如き初期位置に設置し、処理装置８に対してパラメータ（ａ，ｂ，ｃ，θおよび最後の測定光路長Ｄｅ）を設定すると共に測定スタートを指示する。
パラメータの数値例を挙げると、ａ＝０.９５ｍ、ｂ＝０.５ｍ、ｃ＝０.０５ｍ、θ＝１゜、Ｄｅ＝１０ｍである。
【００１３】
ステップＰ２では、処理装置８は、
Ｄ＝（ａ＋ｒ×２×ｂ＋ｃ）／cosθ
により測定光路長Ｄを算出する。なお、図４の初期位置ではｒ＝０である。
【００１４】
ステップＰ３では、処理装置８は、ビームプロファイラ３から測定データを読み込み、測定光路長Ｄに対応付けて記憶する。
ステップＰ４では、処理装置８は、測定光路長Ｄが最後の測定光路長ＤｅでないならステップＰ５へ進み、最後の測定光路長ＤｅならステップＰ６へ進む。
【００１５】
ステップＰ５では、処理装置８は、反射点数ｒが１個だけ増えるまでモータ６を介して移動台５を移動する。図６に、反射点数ｒ＝９のときの移動台５の位置を例示する。そして、ステップＰ２に戻る。
【００１６】
ステップＰ６では、記憶していたデータを基にレーザビーム特性（水平方向ビーム径、垂直方向ビーム径、楕円率、ウエスト位置、ウエスト径、Ｍ２、広がり角など）を演算により求める。そして、処理を終了する。
【００１７】
図７に、得られたレーザビーム特性のうちの水平方向ビーム径および垂直方向ビーム径を例示する。
【００１８】
実施例１のレーザビーム特性測定装置１００によれば、第１ミラー１と第２ミラー２の間でレーザビームＢをｎ（≧１）回を往復させれば、レーザビーム特性を測定したいレーザ装置Ｌとビームプロファイラ３の直線距離を測定光路長Ｄよりｎ×ｂだけ短縮することが出来る。また、簡単に往復回数ｎを変えて測定光路長Ｄを変更することが出来る。さらに、複数の異なる測定光路長Ｄでのレーザビーム特性を自動的に且つ短時間に行うことが出来る。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
本発明のレーザビーム特性測定装置は、レーザ装置の検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例１に係るレーザビーム特性測定装置を示す平面図である。
【図２】実施例１に係るレーザビーム特性測定装置の部品間距離を示す平面図である。
【図３】実施例１に係るレーザビーム特性測定装置を用いた測定の手順を示すフロー図である。
【図４】実施例１に係るレーザビーム特性測定装置を用いた測定の初期位置を示す平面図である。
【図５】ミラー間でのレーザビームの往復を示す平面図である。
【図６】測定光路長Ｄによるレーザビーム径の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００２１】
１              第１ミラー
２              第２ミラー
３              ビームプロファイラ
４              固定台
５              移動台
６              モータ
８              処理装置
１００          レーザビーム特性測定装置
【図１】
2008122353.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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