(57)【要約】【課題】  画像データの保存処理において、画像データのサイズや画像データの枚数が、検査装置の他の処理に影響を与えることがない撮像素子検査装置を実現する。【解決手段】  検査対象の撮像素子を駆動して得られる画像データを受信してメモリ保存し、このメモリ保存データを画像処理する画像処理モジュールと、この画像処理モジュールの画像処理結果に基づいて前記撮像素子の評価を行なう画像評価手段とを有する撮像素子検査装置において、  前記画像処理モジュールより前記画像データを取得して保存する、前記画像処理モジュールとは別プロセスで稼動する画像データ保存装置を備えることを特徴とする撮像素子検査装置。【選択図】                    図１
2008054041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の撮像素子を駆動して得られる画像データを受信してメモリ保存し、このメモリ保存データを画像処理する画像処理モジュールと、この画像処理モジュールの画像処理結果に基づいて前記撮像素子の評価を行なう画像評価手段とを有する撮像素子検査装置において、
前記画像処理モジュールより前記画像データを取得して保存する、前記画像処理モジュールとは別プロセスで稼動する画像データ保存装置を備えることを特徴とする撮像素子検査装置。
【請求項２】
前記画像データ保存装置は、前記画像処理モジュールとネットワークを介して通信すると共に、専用ケーブルを介して前記画像データを前記画像処理モジュールより取得することを特徴とする請求項１に記載の撮像素子検査装置。
【請求項３】
前記画像データ保存装置は、前記画像処理モジュールからの通信で与えられる保存指令に基づいて前記画像データを保存することを特徴とする請求項１または２に記載の撮像素子検査装置。
【請求項４】
前記画像処理モジュールの画像処理と前記画像データ保存装置の画像データ保存処理は、同時並行して実行されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の撮像素子検査装置。
【請求項５】
前記画像データ保存装置は、前記画像処理モジュールからの通信で与えられる転送指令に基づいて、保存されている画像データを外部に転送する画像転送手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の撮像素子検査装置。
【請求項６】
前記画像処理モジュールは、同時に検査される前記撮像素子の数に対応して設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の撮像素子検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の撮像素子を駆動して得られる画像データを受信してメモリ保存し、このメモリ保存データを画像処理する画像処理モジュールと、この画像処理モジュールの画像処理結果に基づいて前記撮像素子の評価を行なう画像評価手段とを有する撮像素子検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤ，ＣＭＯＳ等のイメージセンサで代表される撮像素子の検査装置がある。図２は、従来の撮像素子検査装置の構成例を示す機能ブロック図である。
【０００３】
テストヘッド１上には、複数の検査対象撮像素子がシート状に配列されたウェハ２が搭載され、撮像素子検査装置３の検査管理手段３１からテストヘッド１への制御信号により、同時に検査する複数（例えば４個）の撮像素子の選択、選択された撮像素子対する給電と検査用の光照射が行なわれる。
【０００４】
選択された４個の検査対象撮像素子からの画像データは、撮像素子検査装置３の画像処理モジュール３４乃至３７に入力される。各画像処理モジュールの構成は、画像処理モジュール３４を代表として示せば、データ受信手段３４１、画像メモリ管理手段３４２、画像処理手段３４３、画像保存手段３４４よりなる。
【０００５】
データ受信手段３４１は、撮像素子よりの画像データを受信する。受信した画像データを画像メモリ管理手段３４２が取得してメモリに保存管理する。画像処理手段３４３は、このメモリの画像データを利用して画像処理を実行する。更にこのメモリの画像データは、画像保存手段３４４に渡されてファイル保存される。
【０００６】
画像処理手段３４３により画像処理された情報は、撮像素子検査装置３の画像評価手段３２に渡されて解析され、所定の判定基準に基づいて欠陥検出が実行されて表示手段３３に評価結果を表示する。
【０００７】
オペレータは表示手段３３の表示内容を監視し、撮像素子のPASS/FAIL判定を実行する。撮像素子検査装置３内で解析された検査結果は、画像評価手段３２により数値データとして保存管理される。
【０００８】
特許文献１には、固体撮像素子の検査処理と並行に固体撮像素子の画像評価処理を実行する固体撮像素子検査システムが記載されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２０３３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の撮像素子検査装置の構成では、次のような問題点がある。
（１）撮像素子検査装置３の各処理機能は、１個のＣＰＵにより１つのプロセスで実行されるため、画像処理モジュールが画像データを保存している間、他の処理ができない。画像保存は画像データが大きければそれだけ時間がかかり、また保存する画像数に応じて時間がかかるため、タクトタイムに影響を及ぼす。
【００１１】
（２）一般に、撮像素子検査装置内で解析した数値データだけでは、再検査を行なう際に情報が不足しており、保存した画像データを利用して再度検証するニーズがある。これは市場に撮像素子が出荷された後の検出漏れを確認する際に有効であるためである（検査項目が不足しているか、またはパラメータ調整が正しいかを確認するため）。しかし、この再検証作業も検査時間に影響を与えるので、量産時にはこの画像データ保存機能を使用することができない。
【００１２】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、画像データの保存処理において、画像データのサイズや画像データの枚数が、検査装置の他の処理に影響を与えることがない撮像素子検査装置の実現を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
（１）検査対象の撮像素子を駆動して得られる画像データを受信してメモリ保存し、このメモリ保存データを画像処理する画像処理モジュールと、この画像処理モジュールの画像処理結果に基づいて前記撮像素子の評価を行なう画像評価手段とを有する撮像素子検査装置において、
前記画像処理モジュールより前記画像データを取得して保存する、前記画像処理モジュールとは別プロセスで稼動する画像データ保存装置を備えることを特徴とする撮像素子検査装置。
【００１４】
（２）前記画像データ保存装置は、前記画像処理モジュールとネットワークを介して通信すると共に、専用ケーブルを介して前記画像データを前記画像処理モジュールより取得することを特徴とする（１）に記載の撮像素子検査装置。
【００１５】
（３）前記画像データ保存装置は、前記画像処理モジュールからの通信で与えられる保存指令に基づいて前記画像データを保存することを特徴とする（１）または（２）に記載の撮像素子検査装置。
【００１６】
（４）前記画像処理モジュールの画像処理と前記画像データ保存装置の画像データ保存処理は、同時並行して実行されることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の撮像素子検査装置。
【００１７】
（５）前記画像データ保存装置は、前記画像処理モジュールからの通信で与えられる転送指令に基づいて、保存されている画像データを外部に転送する画像転送手段を備えていることを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載の撮像素子検査装置。
【００１８】
（６）前記画像処理モジュールは、同時に検査される前記撮像素子の数に対応して設けられていることを特徴とする（１）乃至（５）のいずれかに記載の撮像素子検査装置。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
（１）検査対象撮像素子からの画像データを元に、画像検査を実行している間に、撮像素子の検査プロセスとは同一の資源を使用することなく、別プロセスで並行して画像データを保存する機能を備えることで、タクトタイムに影響を与えることなしに画像データの保存ができる。
【００２０】
（２）これにより、撮像素子検査装置内で解析した数値データと、別プロセスで保存した画像データを利用して再度検査結果を確認する検証作業がタクトタイムに影響を与えることなく容易に実行することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は、本発明を適用した撮像素子検査装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。図２で説明した従来装置と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
【００２２】
撮像素子検査装置３は、画像処理モジュール３４乃至３７に対応して、別プロセスで稼動する画像データ保存装置１０１乃至１０４を備える。これら、画像データ保存装置１０１乃至１０４は、ネットワーク４を介して画像処理モジュール３４乃至３７と通信する。
【００２３】
別プロセスで稼動する画像データ保存装置１０１乃至１０４を備えることにより、画像処理モジュール３４乃至３７の画像保存手段（３４４のみ図示）は、不使用または削除することができる。
【００２４】
画像処理モジュール３４乃至３７で受信された画像データは、これら画像処理モジュールが備える外部転送機能を経由し、専用ケーブル２０１乃至２０４（専用ケーブル２０１のみ図示）により画像データ保存装置１０１乃至１０４の画像入力ボードに転送される。
【００２５】
専用ケーブル２０１乃至２０４としては、画像データの高速伝送をサポートする、IEEE1396規格のケーブルを使用することができる。
【００２６】
以下、画像データ保存装置１０１を代表としてその機能構成を説明する。画像処理モジュール３４より専用ケーブル２０１を介して画像入力ボード１０１１に取り込まれた画像データは、データ受信手段１０１２を経由して画像メモリ管理手段１０１３に渡され、メモリ管理される。
【００２７】
画像処理モジュール３４からネットワーク４経由で画像保存指令が画像保存手段１０１４に送られると、画像保存手段１０１４は、画像メモリ管理手段１０１３から画像メモリを取り出してハードディスク等の画像データベース１０１５に書き込んで保存する。
【００２８】
画像データ保存装置１０１がこの保存処理を実行している間、画像処理モジュール３４の画像処理手段３４３は並行して今まで通りの画像処理を実行することができる。
【００２９】
画像データ保存装置１０１は、画像転送手段１０１６を備えており、撮像素子検査装置３からの指令でネットワーク４を介して外部データベースに画像を転送させることができる。この機能により、撮像素子検査装置３で得られる数値データと、画像データとを同時に管理することができる。
【００３０】
本発明において、別プロセスで稼動する画像データ保存装置１０１乃至１０４は、撮像素子検査装置とは全く別装置であるため、撮像素子の検査と並行に、保存された画像データを利用した別の検査を実行することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明を適用した撮像素子検査装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。
【図２】従来の撮像素子検査装置の構成例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  テストヘッド
２  ウェハ
３  撮像素子検査装置
３１  検査管理手段
３２  画像評価手段
３３  表示手段
３４，３５，３６，３７  画像処理モジュール
３４１  データ受信手段
３４２  画像メモリ管理手段
３４３  画像処理手段
３４４  画像保存手段
４  ネットワーク
１０１，１０２，１０３，１０４  画像データ保存手段
１０１１  画像入力ボード
１０１２  データ受信手段
１０１３  画像メモリ管理手段
１０１４  画像保存手段
１０１５  画像データベース
１０１６  画像転送手段
【図１】
2008054041.tif 000003
【図２】
2008054041.tif 000004