(57)【要約】【課題】熱交換率の向上を図ると共にフラックス回収率の向上を図れるフラックス回収装置を提供する。【解決手段】フラックス回収装置１を、内部に気化物質を含んだ熱風が流通する本体部１０と、この本体部１０に装着され熱風を前記本体部１０内に導入する導入パイプ２６と、本体部１０の内面に装着されると共に熱風の流れ方向に対して略直交する方向に突起し、かつ前記気化物質を含んだ熱風が衝突し熱交換されて冷却され、冷却されたフラックス成分が付着する突起状部材１７と、本体部１０に装着され突起状部材１７を経由した熱風を前記本体部１０から排出する熱風排出パイプとを備えて構成し、このようなフラックス回収装置１を加熱送風機２に装備する。【選択図】図２
2008246514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱風により加熱され気化したフラックス成分を含む気化物質を冷却して回収するフラックス回収装置であって、
内部に前記気化物質を含んだ前記熱風が流通する本体部と、
この本体部に装着され前記熱風を前記本体部内に導入する熱風導入部と、
この本体部の内面に装着されると共に前記熱風の流れ方向に対して略直交する方向に突起し、かつ前記気化物質が衝突し熱交換されて冷却され、冷却された前記フラックス成分が付着する突起状部材と、
前記本体部に装着され前記突起状部材を経由した前記熱風を前記本体部から排出する熱風排出部と、を備えたことを特徴とするフラックス回収装置。
【請求項２】
搬送される被加熱物に向けて媒体を加熱し熱風として噴射することで前記被加熱物上のはんだ組成物を加熱溶融してはんだ付けすると共に、はんだ付け後の熱風を回収する熱風循環型加熱送風機に装備し、
前記熱風導入部を前記加熱送風機の高圧部に連結すると共に、前記熱風排出部を前記加熱送風機の低圧部に連結したことを特徴とする請求項１に記載のフラックス回収装置。
【請求項３】
前記突起状部材を、前記熱風の流れ方向に沿って所定間隔で複数個配置すると共に、それぞれの突起状部材を前記熱風の流れを妨げながら順次通過可能な形状に形成したことを特徴とする請求項１または２に記載のフラックス回収装置。
【請求項４】
前記複数個の突起状部材を、それぞれ平面形状が異なった第１部材と第２部材とで構成し、これらの第１部材と第２部材とを前記熱風の流れ方向に沿って交互に配置したことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１に記載のフラックス回収装置。
【請求項５】
前記第１部材を前記熱風導入部側最初の位置に配置すると共に、前記第１部材の形状を前記熱風導入部の開口部よりも広い熱風受け面を有する形状とし、前記第２部材の形状を前記第１部材の熱風受け面と対向しその熱風受け面より狭い投影面積の切欠き部を有する形状としたことを特徴とする請求項４に記載のフラックス回収装置。
【請求項６】
前記第１部材及び第２部材の内部をそれぞれ空洞部に形成すると共に、当該第１部材及び第２部材の表面を前記空洞部内面から冷却する冷却部材を供給する冷却機構を挿入可能とし、かつ前記第１部材及び第２部材を取り付けた本体部の側板に前記空洞部から排出された前記冷却部材を外部に排出する排水路を形成したことを特徴とする請求項４または５に記載のフラックス回収装置。
【請求項７】
前記冷却部材を冷却水とすると共に、前記冷却機構を、前記冷却水を供給する冷却水供給用パイプで構成し、この冷却水供給用パイプを、前記第１部材及び第２部材の前記排水路内に挿入されるパイプ本体部と、このパイプ本体部に連結され前記第１部材または第２部材の空洞部に挿入される供給部とを備えて形成し、この供給部に少なくとも１個の冷却水噴出口を形成したことを特徴とする請求項６に記載のフラックス回収装置。
【請求項８】
前記熱風導入部および熱風排出部のいずれか一方に、前記本体部に導入される熱風の流量を調整する流量調整手段を設けたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１に記載のフラックス回収装置。
【請求項９】
前記第１部材と第２部材とを金属製とすると共に、当該第１部材と第２部材とを取り付けた前記側板同士を、絶縁部材を介して一体化し、前記第１部材と第２部材とに高電圧を印加する高電圧印加手段を設け、前記本体部の熱風流路内に強電界を形成したことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１に記載のフラックス回収装置。
【請求項１０】
前記第１部材及び第２部材を、それぞれの互いに対向する先端部を基端部に対して熱風の流通方向に対して傾けて設けたことを特徴とする請求項４ないし１０のいずれか１に記載のフラックス回収装置。
【請求項１１】
前記本体部の下部底板に、前記第１部材と第２部材とに衝突し冷却されて付着したフラックスを回収し、外部に排出するドレンパイプを設けたことを特徴とする請求項４ないし９のいずれか１に記載のフラックス回収装置。
【請求項１２】
前記本体部を第１ないし第４の側板を備えて形成すると共に、前記第１部材を第１の側板に取り付け、この第１の側板を前記第２ないし第４の側板に対して取り付け、取り外し可能に設けたことを特徴とする請求項４ないし１１のいずれか１に記載のフラックス回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラックス回収装置に係り、より詳しくは、プリント回路基板等の電極にはんだ付けする加熱装置において、加熱時に発生する気化物質を熱交換して冷却させ、気化物質内のフラックス成分を回収するフラックス回収装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化・高機能化に伴う半導体基板やプリント回路基板等での電気配線及び電極端子の微細化と、さらには環境配慮型製品の需要から鉛を含まない新たなはんだ合金でのはんだ層形成の必要性が増してきている。
プリント回路基板等に電気配線を行うには、基板等の電極にはんだ付けされていることが必要で、そのため、加熱装置内において、基板上にはんだ組成物を載せておいて、熱風を噴射して加熱し、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板の電極に付着させるリフロー工程が実施されている。
【０００３】
ところが、このリフロー工程時に、はんだ組成物の一部や有機溶剤が加熱により気化し、ミスト状となったフラックスヒュームが加熱装置内に浮遊するという事態が生じている。
このフラックスヒュームは、温度の低い部位に付着し易いものである。フラックスヒュームが付着すると、付着している部位から滴下し、基板の上面に付着することもあり、基盤の性能を損なうこととなる。また、部分的に温度が低下する等、リフロー工程に与える影響が大きくなる。
そこで、いかにして、フラックスヒュームの除去を行うかが大きな問題となっている。
【０００４】
従来、熱風循環型加熱機構を有し、はんだを溶融接合させる加熱炉において、熱交換器を用いてフラックスを除去回収するリフロー半田付け装置が知られている（特許文献１参照）。
図１６に示すように、上記特許文献１に開示されたリフロー半田付け装置１００では、複数枚の冷却板１０１を有するラジエータ１０２を備えている。ラジエータ１０２は、送風装置１０３から外部空気を取り込み、ノズル１０４から冷却板１０１に吹き付けて当該冷却板１０１を冷却するようになっている。そして、冷却板１０１と吹き付ける空気とは平行となっている。また、冷却板１０１の下方において送風装置１０３の反対側には、冷却板１０１に付着したフラックスＦを回収するフラックス回収装置１０５が設けられている。
【０００５】
また、図１７に示すような、フラックス回収装置１１０を備えたリフロー炉が知られている（例えば特許文献２参照）。このリフロー炉のフラックス回収装置１１０では、冷却用ヒートシンクを配したフラックス回収装置１１０と熱風循環型加熱機構を連結する雰囲気ガス１１１を導く往路１１４および復路１１５を備えて構成されている。
この特許文献２に開示されたフラックス回収装置１１０では、雰囲気ガス１１１が導かれる往路１１４と雰囲気ガスが加熱部側に戻される復路１１５との境界部に、雰囲気ガス１１１が外気との間で熱交換を行い、フラックス成分Ｆの液化を行う熱交換器としての第１のヒートシンク１１６が配置されている。そして、この第１のヒートシンク１１６は、多数枚の金属フィン１１７で構成されており、雰囲気ガスの流れの方向と平行に配置されている。また、往路１１４と復路１１５に跨って第２の熱交換器１１９が配置され、この第２の熱交換器１１９にはフィン１２０が設けられている。さらに、第１のヒートシンク１１６の下方には、液化したフラックス成分を溜めるタンク１１８が設けられている。
【０００６】
【特許文献１】特許３２５００７９号公報
【特許文献２】特開２００３−３２４２７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に開示されたリフロー半田付け装置１００では、外部から取り込んだ空気を、ノズル１０４を介して冷却板１０１に吹き付けて当該冷却板１０１を冷却しているが、外部空気は冷却板１０１に沿って平行に吹き付けられている。しかも、冷却板１０１の幅方向半分はガス室の外部に配置されており、そこで冷却された熱がガス室側の残り半分に伝わり、この残り半分の部位で液化されるようになっている。そのため、ガス室側の冷却板１０１の表面でのみのフラックス回収となり、冷却板１０１の表面に接触しないガス状のフラックスを含む窒素ガスが多いことから、熱交換率が悪く、つまりフラックス回収率が悪いという問題が生じている。
【０００８】
また、特許文献１に開示されたリフロー半田付け装置１００では、冷却板１０１の幅方向半分はガス室側に配置されており、この部位が冷却されているので、ガス室内の温度低下を招いてしまう。その結果、ガス室内の温度調整が難しくなり、再加熱のために余分な電力を消耗することとなる。さらには、冷却板１０１にこびり付くフラックス固形分の除去が難しく、固形分の除去ができないと冷却効率はさらに落ちるという悪循環となり、これらの理由により安定したフラックス回収が行えないという問題もある。
【０００９】
前記特許文献２に開示されたリフロー炉では、回収装置１１０に設けられた熱交換器の金属フィン１１７が雰囲気ガスの経路に平行に配置されており、そのため、特許文献１に開示されたリフロー半田付け装置１００での問題点と同様な理由で、冷却効率は決して高くなく、つまりフラックス回収率が悪いという問題が生じている。
また、雰囲気ガス１１１が通過する往路１１４および復路１１５に跨って第２の熱交換器１１９が配置され、この第２の熱交換器１１９により、加熱機構に戻る冷やされた雰囲気ガス１１１が予め暖められるようになっているが、冷却部でフラックス成分が液化する程度に冷却された雰囲気ガスが、上記第２の熱交換器１１９の一方のフィン１２０に接触することにより、往路１１４に突出したフィン１２０も冷却される。そのため、復路１１５の雰囲気ガス１１１を十分に加熱する能力は見込めない。逆に、復路１１５のガス１１１を加熱するためには、フラックス回収部での冷却を抑える必要があり、そうすると本来のフラックス回収能力を損なうおそれが生じている。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、熱交換率の向上を図ると共にフラックス回収率の向上を図れるフラックス回収装置を提供することである。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、上記目的に加え、加熱装置の内部温度の低下を防止することができるフラックス回収装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のフラックス回収装置は、熱風により加熱され気化したフラックス成分を含む気化物質を冷却して回収するフラックス回収装置であって、内部に前記気化物質を含んだ前記熱風が流通する本体部と、この本体部に装着され前記熱風を前記本体部内に導入する熱風導入部と、この本体部の内面に装着されると共に前記熱風の流れ方向に対して略直交する方向に突起し、かつ前記気化物質が衝突し熱交換されて冷却され、冷却された前記フラックス成分が付着する突起状部材と、前記本体部に装着され前記突起状部材を経由した前記熱風を前記本体部から排出する熱風排出部と、を備えたことを特徴とする（請求項１）。
【００１３】
この発明によれば、熱風導入部から導入された気化物質を含む熱風が、突起状部材に略直交する方向から衝突するので、衝突したほとんど全てが熱交換されて冷却される。その結果、熱交換率の向上を図ることができ、また、フラックス回収率の向上を図ることができる。
【００１４】
以上の本発明において、流れ方向に対して略直交する方向は、多少の傾斜を含む概念であり、傾斜をつける場合、流れの下流側が低くなる傾斜とすることが好ましい。
【００１５】
本発明において、搬送される被加熱物に向けて媒体を加熱し熱風として噴射することで前記被加熱物上のはんだ組成物を加熱溶融してはんだ付けすると共に、はんだ付け後の熱風を回収する熱風循環型加熱送風機に装備し、前記熱風導入部を前記加熱送風機の高圧部に連結すると共に、前記熱風排出部を前記加熱送風機の低圧部に連結してもよい（請求項２）。
【００１６】
この発明によれば、加熱送風機が熱風循環型となっており、この加熱送風機の高圧部に熱風導入部を連結すると共に低圧部に熱風排出部を連結してフラックス回収装置が装備されているので、フラックス回収装置内で熱交換されて熱風温度が低下しても、フラックス回収装置から排出された熱風は低圧部に送られ、そこから加熱されながら高圧部に循環する。低圧部では温度が比較的低いので、そこにフラックス回収装置から排出された比較的低い温度の熱風が混入しても、そこから加熱されながら高圧部に回収されるので、加熱装置の内部温度の低下を防止することができる。
【００１７】
また、本発明において前記突起状部材を、前記熱風の流れ方向に沿って所定間隔で複数個配置すると共に、それぞれの突起状部材を前記熱風の流れを妨げながら順次通過可能な形状に形成してもよい（請求項３）。
【００１８】
この発明によれば、複数の突起状部材に、熱風導入部から導入された気化物質を含む熱風が衝突を繰り返すので、効率よく熱交換が行われ、かつ確実に気化物質中に含まれるフラックス成分を液化させ、回収することが可能となる。
【００１９】
さらに、本発明において前記複数個の突起状部材を、それぞれ平面形状が異なった第１部材と第２部材とで構成し、これらの第１部材と第２部材とを前記熱風の流れ方向に沿って交互に配置してもよい（請求項４）。
【００２０】
この発明によれば、熱風導入部から導入された気化物質を含む熱風が、形状が異なる第１部材と第２部材とに交互に衝突を繰り返すので、効率よく熱交換が行われ、かつ確実に気化物質中に含まれるフラックス成分を液化させ、回収することが可能となる。
【００２１】
また、本発明において前記第１部材を前記熱風導入部側最初の位置に配置すると共に、前記第１部材の形状を前記熱風導入部の開口部よりも広い熱風受け面を有する形状とし、前記第２部材の形状を前記第１部材の熱風受け面と対向しその熱風受け面より狭い投影面積の切欠き部を有する形状としてもよい（請求項５）。
【００２２】
この発明によれば、熱風導入部側最初の位置に配置された第１部材が、熱風導入部の開口部より広い熱風受け面を有するので、熱風導入部から導入された気化物質を含む熱風のほとんど全てが第１部材に衝突する。
その後、第１部材を経由した気化物質は第２部材に流れるが、第２部材には第１部材よりも狭い投影面積の切欠き部が形成されているので、第１部材から流れた気化物質を含む熱風はそのほとんど全てが捕集される。その結果、効率よく熱交換が行われ、かつ確実に気化物質中に含まれるフラックス成分を液化させ、回収することが可能となる。
【００２３】
また、本発明において前記第１部材及び第２部材の内部をそれぞれ空洞部に形成すると共に、当該第１部材及び第２部材の表面を前記空洞部内面から冷却する冷却部材を供給する冷却機構を挿入可能とし、かつ前記第１部材及び第２部材を取り付けた本体部の側板に前記空洞部から排出された前記冷却部材を外部に排出する排水路を形成してもよい（請求項６）。
【００２４】
この発明によれば、第１部材及び第２部材が、それぞれ冷却機構から供給される冷却部材により冷却されているので、本体部内に導入された気化物質は、より効率よく熱交換される。その結果、確実に気化物質中に含まれるフラックス成分を液化させ、回収することが可能となる。
【００２５】
また、本発明において前記冷却部材を冷却水とすると共に、前記冷却機構を、前記冷却水を供給する冷却水供給用パイプで構成し、この冷却水供給用パイプを、前記第１部材または第２部材の前記排水路内に挿入されるパイプ本体部と、このパイプ本体部に連結され前記第１部材または第２部材の空洞部に挿入される供給部とを備えて形成し、この供給部に少なくとも１個の冷却水噴出口を形成してもよい（請求項７）。
【００２６】
この発明によれば、第１部材が、その空洞部を冷却水供給用パイプから供給される冷却水により冷却され、また、第２部材が、その空洞部を冷却水供給用パイプから供給される冷却水により冷却されるので、それぞれの部材に衝突した気化物質が効率よく冷却される。その結果、効率よく熱交換が行われ、かつ気化物質中に含まれるフラックス成分を確実に液化させ、回収することが可能となる。
また、冷却水供給用パイプを、第１部材または第２部材に装着することができるので、装置をコンパクトにすることができる。
【００２７】
さらに、本発明において前記熱風導入部および熱風排出部のいずれか一方に、前記本体部に導入される熱風の流量を調整する流量調整手段を設けてもよい（請求項８）。
【００２８】
この発明によれば、流量調整手段によりフラックス回収装置に導入される気化物質の量が調整されるので、温度低下した熱風を加熱装置内に戻す際に予想される加熱装置内温度の低下、または低下した熱風を再加熱するヒータの電気使用量を抑えることが可能となる。
【００２９】
また、本発明において前記第１部材と第２部材とを金属製とすると共に、当該第１部材と第２部材とを取り付けた前記側板同士を、絶縁部材を介して一体化し、前記第１部材と第２部材とに高電圧を印加する高電圧印加手段を設け、前記本体部の熱風流路内に強電界を形成してもよい（請求項９）。
【００３０】
この発明によれば、第１部材と第２部材とを金属製とすると共に、当該第１部材を取り付けた側板を絶縁部材で形成し、この側板と、第２部材を取り付けた側板とを連結してあり、第１部材と第２部材とに高電圧を印加する高電圧印加手段が設けられている。そのため、第１部材と第２部材とに高電圧が印加され、第１部材と第２部材とが、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電され、これらの電荷が気化物質のフラックス成分を静電吸着する。その結果、本体部内の気化物質中のフラックス成分の捕集性が向上し、フラックス成分の除去の効率化を図ることができる。
【００３１】
また、本発明において前記第１部材及び第２部材を、それぞれの互いに対向する先端部を基端部に対して熱風の流通方向に対して傾けて設けてもよい（請求項１０）。
【００３２】
この発明によれば、熱交換されて液化したフラックス成分が、第１部材及び第２部材の傾斜に沿って自然落下するので、いつまでも第１部材及び第２部材の表面に付着せず、これにより、回収が容易となる。
【００３３】
また、本発明において前記本体部の下部底板に、前記第１部材と第２部材とに衝突し冷却されて付着したフラックスを回収し、外部に排出するドレンパイプを設けてもよい（請求項１０）。
【００３４】
この発明によれば、液化して第１部材と第２部材に付着したフラックス成分をドレンパイプにより排出することが可能となるので、フラックス回収装置内にフラックス成分が溜まることがなくなり、その結果、装置を常に正常な状態で使用することができる。
【００３５】
また、本発明において前記本体部を第１ないし第４の側板を備えて形成すると共に、前記第１部材を第１の側板に取り付け、この第１の側板を前記第２ないし第４の側板に対して取り付け、取り外し可能に設けてもよい（請求項１２）。
【００３６】
この発明によれば、第１の側板を取り外すことにより、流路の第１部材、第２部材表面に付着したフラックス成分の除去も可能となり、フラックス成分の付着に伴う熱交換率の低下と、これによるフラックス回収効率の低下を防ぐことが可能となる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、熱交換率の向上を図ると共にフラックス回収率の向上を図れ、また、加熱装置の内部温度の低下を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明に係るフラックス回収装置の一実施形態を図１〜１３に基づいて説明する。
【００３９】
図１には、上記フラックス回収装置１を装備した加熱送風機２が示されている。この加熱送風機２は、図示しない他の加熱送風機と共に、被加熱物である基板Ｗに向けて媒体を加熱し熱風として噴射することで基板Ｗ上のはんだ組成物を加熱溶融してはんだ付けする加熱機を構成するものである。
【００４０】
まず、図１に基づいて上記加熱送風機２の概略を説明する。
なお、図１中、黒塗りの矢印は加熱され、かつ噴射される熱風の流れを示し、白抜きの矢印は噴射された後に回収される熱風ｈの流れを示す。
【００４１】
加熱送風機２は、媒体である空気を加熱し熱風Ｈとして、回路基板等の基板Ｗに噴射することでリフローを行い、さらに、噴射した後の熱風ｈを回収して熱風を循環させるものである。この加熱送風機２は、熱風発生器本体３０を備えており、熱風発生器本体３０の内部下流側には、熱風流路３１の全域に熱風を均す整流機構３２が配置されている。この整流機構３２は、例えば多数の小穴が均等間隔で穿設されたパンチング板で構成されたものである。
なお、基板Ｗは搬送手段５０によって、図１に符号Ｓで示すように、紙面直交方向に搬送されるようになっている。ただし、この搬送方向は、紙面直交方向でなくてもよく、図１中、例えば左方から右方、あるいは右方から左方に向かって搬送されるようにしてもよい。
【００４２】
さらに、熱風発生器本体３０において、整流機構３２の下流側には、基板Ｗに対して熱風を噴射する熱風噴射ユニット３３が設けられている。この熱風噴射ユニット３３は、前記パンチング板で形成されると共に熱風発生器本体３０の底部に装着され、パンチング板に形成されている多数の小穴が熱風Ｈを噴射する熱風噴射口３３Ａとなっている。
【００４３】
熱風噴射ユニット３３の熱風噴射口３３Ａから噴射され、基板Ｗを加熱した後に回収された比較的低温の熱風ｈは、吸給気機構３４により送風機４０側に送られ、さらに送風機４０のケーシング４２から前記熱風発生器本体３０に送られるようになっており、これにより、熱風Ｈ、ｈは加熱送風機２内で循環している状態である。
【００４４】
吸給気機構３４は、比較的低温の熱風ｈを回収する際のガイドとなる回収ガイド部３５Ａを有し、この回収ガイド部３５Ａは、加熱送風機２の本体外周を形成する外周部材３５  の下端に形成され、前記熱風噴射ユニット３３と平行となっている。
【００４５】
また、吸給気機構３４は、上記熱風ｈを吸引回収する回収通路３６を備えている。この回収通路３６は、熱風噴射ユニット３３の外周側部と前記外周部材３５との間に形成されるとともに、熱風発生器本体３０の上部に区画形成された吸気室３７に連通されている。そして、この吸気室３７の中央部上方には、シロッコファン等の前記送風機４０の吸込口４１が開口されている。
【００４６】
前記回収通路３６には、前記比較的低温の熱風ｈを加熱して高温の熱風にするための熱交換器３８が配置されている。この熱交換器３８は、複数個のヒータエレメント３９を備えて構成されている。また、回収通路３６は加熱送風機２内で負圧となっており、低圧部が構成されている。
【００４７】
前記送風機４０は、ケーシング４２の内部に設けられたインペラ４３が回転軸４４により回転自在に支持され、回転軸４４にケーシング４２の外部に設置されたモータ４５が接続されて構成されたものである。そして、インペラ４３の周囲に設けられた給気室４６は、複数の給気通路４７を経て、前記熱風発生器本体３０内に連通されている。
また、給気室４６は加熱送風機２内で最も圧力が高い高圧部となっている。
【００４８】
そして、ここにおいて、前記回収通路３６、吸気室３７、吸込口４１、送風機４０、及び給気室４６等を含んで、前記吸給気機構３４が構成されている。
【００４９】
図１、２に示すように、以上のような構成の加熱送風機２の前記高圧部となった給気室４６と低圧部となった回収通路３６との間には、本発明の前記フラックス回収装置１が装備されている。
フラックス回収装置１は、加熱送風機２内で、加熱により気化した気化物質を熱交換し、その中のフラックス成分を液化させて回収するものである。
そして、上述のように、加熱送風機２の給気室４６から熱風Ｈを導入し、装置１内で熱風Ｈに含まれる気化物質中のフラックス成分を回収した後、再度加熱送風機２内の回収通路３６に戻すようになっている。
【００５０】
フラックス回収装置１は、図３に全体分解斜視図として示すように、全体形状が箱状、例えば角筒状に形成された本体部１０を備えている。
この本体部１０の内部は密閉状態とされると共に、その内部には気化物質冷却回収機構１６が設けられている。この気化物質冷却回収機構１６は、本体部１０内に導入される熱風Ｈに含まれる気化物質中のフラックス成分を冷却し、液化または固体化して回収できるようになっている。
なお、図３では、本体部１０を構成する天板２５及び底板２７は省略してある。
【００５１】
本体部１０は、４枚の側板、つまり第１側板１１、第２側板１２、第３側板１３および第４側板１４を筒状に組み合わせて形成されている。
第１側板１１は、絶縁性及び耐熱性に優れた例えばＰＩ系樹脂製とされ、これに対して第２〜４側板１２，１３，１４は、導電性に優れた例えば金属製とされている。また、第２側板１２は、加熱送風機２からの熱の影響を受けないようにするため、加熱送風機２の側面から間隔をあけて設けられている。
さらに、３枚の側板１１，１３，１４の上端面は前記天板２５で塞がれ、下端は底板２７で塞がれている〈図２参照〉。そのため、本体部１０の内部が密閉状態となっている。
【００５２】
本体部１０内に設けられた前記気化物質冷却回収機構１６は、複数個の突起状部材１７を含み構成されている。
これらの突起状部材１７は、熱風Ｈの流れ方向と略直交する方向に突起し、かつ本体部１０の長手方向に略均等間隔で配置されている。突起状部材１７は、第１側板１１に取り付けられた第１部材１８と、第２〜４側板１２，１３，１４に取り付けられた第２部材２１とで構成されている。
【００５３】
第１部材１８は、導電性に優れた金属製とされ、本体部１０内に所定間隔で例えば４個装着されている。これらの第１部材１８は、第２部材２１側に突出したそれぞれ１個ずつの突出部１９と、それぞれの突出部１９の一端部が固定された１枚の背板部２０とで構成されている。そして、この背板部２０は、本体部１０を構成する第１側板１１の表面に被せられた状態で取り付けられている。
【００５４】
突出部１９は、図５に示すように、第１側板１１の幅寸法の略半分の幅Ｋ２（図２も参照）と所定長さとを有する矩形形状に形成され、熱風の流れを妨げる阻害する形状になっている。そして、この突出部１９を取り付けるために、第１側板１１にはその厚さ方向に貫通穴１１Ａがあけられている。
ここで、第１部材１８の突出部１９は、前述のように、４個設けられているので、第１側板１１には、上記４個の突出部１９に対応して４つの貫通穴１１Ａがあけられていることになる。
【００５５】
背板部２０は、突出部１９の幅寸法より所定寸法広くなった幅寸法と、第１側板１１の長さと略同じ長さに形成されている。また、背板部２０は、背板本体２０Ａとこの背板本体２０Ａの裏面に設けられた当板２０Ｂとで形成されている。
背板本体２０Ａと当板２０Ｂとは、冷却機構としての後述する第１冷却水供給パイプ２２を第１部材１８に装着可能とするために分割して設けられているものである。
【００５６】
前記第２部材２１は、図８に示すように、全体が角Ｕ字形状に形成され、３方の外周部が前記第２〜４側板１２，１３，１４の内面に当接して設けられている。
第２部材２１の幅方向中央部には、幅寸法がＫ３となった切欠き部２１Ａが形成され、この切欠き部２１Ａの両側が第１部材１８側に延びた形状の両脇部２１Ｂとされ、切欠き部２１Ａの奥側が両脇部２１Ｂを繋ぐ繋ぎ部２１Ｃとされている。
切欠き部２１Ａの幅Ｋ３は、前記第１部材１８の突出部１９の幅Ｋ２より所定寸法小さな寸法となっている。ただし、両幅寸法Ｋ２、Ｋ３は同じであってもよい。また、切欠き部２１Ａの開口側端部から繋ぎ部２１Ｃまでの奥行き寸法は、第１部材１８の突出部１９の突出寸法より所定寸法短くなっている。
そして、上記幅寸法Ｋ２は、熱風導入部である導入パイプ２６の開口２５Ａの直径Ｋ１より大きい寸法となっている。
【００５７】
以上のような構成の第２部材２１は、本体部１０の長手方向に所定間隔で３個配置され、これらの３個の第２部材２１は、前記第１部材１８の４個の突出部１９間に配置されるようになっている。したがって、第１部材１８の４個の突出部１９と第２部材２１とは、熱風の流れ方向に対して、交互に、かつ直交して配置されていることになる。
【００５８】
図４，５に示すように、第１部材１８の突出部１９の内部は空洞部１９Ａに形成され、この空洞部１９Ａは、背板部２０の当板２０Ｂに形成された冷却水排出口２０Ｃに連通するようになっている。冷却水排出口２０Ｃは、背板部２０の背板本体２０Ａに形成された排水路２０Ｄと連通されている。
上記冷却水排出口２０Ｃの幅寸法は、以下に述べる冷却構造としての第１冷却水供給パイプ２２の１本の供給部２２Ｂのパイプが余裕をもって挿入される寸法に形成され、また、排水路２０Ｄは冷却水排出口２０Ｃより大きな幅寸法に形成されている。
【００５９】
第１部材１８の突出部１９の空洞部１９Ａには、第１冷却水供給パイプ２２の供給部２２Ｂが挿入されている。この第１冷却水供給パイプ２２は、図１２に詳細を示すように、パイプ本体部２２Ａとこのパイプ本体部２２Ａの長さ方向途中に設けられた４個の上記供給部２２Ｂを有して形成されている。また、供給部２２Ｂは、それぞれ１本のパイプで形成されている。
【００６０】
第１冷却水供給パイプ２２は、塩ビ管あるいは金属管で形成されている。また、第１冷却水供給パイプ２２の供給部２２Ｂの先端は、図１１に示すようにエンドプレート２３で塞がれ、供給される冷却水が外に流れないようになっている。さらに、パイプ本体部２２Ａの先端も図７に示すように、エンドプレート２３で塞がれている。
【００６１】
第１冷却水供給パイプ２２の供給部２２Ｂのそれぞれの先端寄りには、図１１に詳細を示すように、冷却水を噴出する冷却水噴出口２２Ｃがそれぞれ１個ずつあけられている。この冷却水噴出口２２Ｃは、第１部材１８の突出部１９の空洞部１９Ａを形成する上面の内面に向いており、その内面に向けて冷却水Ｍが噴出されるようになっている。
そして、上記上面の表面は、流通する熱風が略直交して衝突する熱風受け面となっている。従って、熱風が衝突する熱風受け面が直接に冷却されることから、熱交換が効率よく行われ、フラックスの回収が効率よく行われることになる。
【００６２】
図５〜７に示すように、前記背板部２０に形成された前記排水路２０Ｄは、背板部２０の底部２０Ｅにまで続いており、その底面にドレン配管２０Ｆが配設されている。
したがって、第１部材１８の各突出部１９の内部を冷却した冷却水Ｍは、それぞれの第１部材１８の冷却水排出口２０Ｃから排水路２０Ｄに排出された後、底部２０Ｅに集まり、そこから上記配管２０Ｆを経て外部に排出される。
【００６３】
図８に示すように、第２部材２１の内部は空洞部２１Ｄに形成され、この空洞部２１Ｄは、第３側板１３の当板１３Ｂに形成された冷却水排出口１３Ｃと連通されている。
この冷却水排出口１３Ｃの幅寸法は、第２部材２１用の第２冷却水供給パイプ２４における供給部２４Ｂの両外側のパイプが余裕をもって挿入できる寸法に形成され、また、冷却水排出口１３Ｃは、側板本体１３Ａに形成された排水路１３Ｄと連通されている。
【００６４】
第２部材２１の内部の空洞部２１Ｄには、上述のように、第２冷却水供給パイプ２４の供給部２４Ｂが挿入されている。この冷却水供給パイプ２４は、図１３に詳細を示すように、長尺のパイプ本体部２４Ａと、このパイプ本体部２４Ａの長さ方向途中に設けられた３個の前記供給部２４Ｂを有して形成されている。
供給部２４Ｂは、平面視で３本の刃を備えた鍬状に形成され、中央の短寸部２４Ｃと、この短寸部２４Ｃより長い両側の２本の長寸部２４Ｄと、これらの短寸部２４Ｃと長寸部２４Ｄとを連結する連結部２４Ｅとで形成されている。
そして、２本の長寸部２４Ｄが前記第２部材２１の両脇部２１Ｂに対応し、短寸部２４Ｃが第２部材２１の繋ぎ部２１Ｃに対応している。
【００６５】
第２冷却水供給パイプ２４も、塩ビ管あるいは金属管で形成されている。また、パイプ本体部２４Ａの先端、及び供給部２４Ｂにおける３本の部位の先端は、図１０，１１に示すようにエンドプレート２３で塞がれている。
【００６６】
供給部２４Ｂにおける３本の部位の先端寄りには、図１１に示すように、冷却部材である冷却水Ｍを噴出する冷却水噴出口２４Ｅがそれぞれ１個ずつあけられている。この冷却水噴出口２４Ｅは、第２部材２１の両脇部２１Ｂ及び繋ぎ部２１Ｃの空洞部２１Ｄを形成する上面の内面に向いており、その内面に向けて冷却水Ｍが噴出されるようになっている。
そして、上記上面の表面は、流通する熱風が略直交して衝突する熱風受け面となっている。従って、熱風が衝突する熱風受け面が直接に冷却されることから、熱交換が効率よく行われ、フラックスの回収が効率よく行われることになる。
【００６７】
図８〜９に示すように、第３側板１３の側板本体１３Ａに形成された排水路１３Ｄは、側板本体１３Ａの底部１３Ｅにまで続いており、その底面にドレン配管１３Ｆ（図１０参照）が配設されている。
したがって、各第２部材２１の内部を冷却した冷却水Ｍは、第３側板１３の当板１３Ａに形成された冷却水排出口１３Ｃから側板本体１３Ａに形成された排水路１３Ｄに排出された後、底部１３Ｅに集まり、そこから上記ドレン配管１３Ｆを経て外部に排出される。
【００６８】
図２に戻って、本体部１０を構成する前記上蓋２５には、熱風導入部である導入パイプ２６の一端がフランジ２６Ａを介して取り付けられ、この導入パイプ２６の他端は、前記加熱送風機２の高圧部である給気室４６の側壁４６Ａにフランジ２６Ａを介して取り付けられている。
したがって、導入パイプ２６から給気室４６の高圧の熱風が本体部１０に導入されるようになっている。
【００６９】
また、本体部１０を構成する前記底板２７には、熱風排出部である排出パイプ２８の一端がフランジ２８Ａを介して取り付けられている。この排出パイプ２８の他端は、フランジ２７Ａを介して、外周部材３５の側壁３５Ａに取り付けられ、これにより、本体部１０は前記加熱送風機２の低圧部である回収通路３６に連通している。
したがって、本体部１０の内部を通過した熱風が排出パイプ２８から回収通路３６に排出される。
【００７０】
前記導入パイプ２６には、本体部１０内に導入される熱風の流量を制御する流量制御手段４が設けられている。この流量制御手段４は流量調整等で構成され、外部から手動あるいは自動で制御できるようになっている。
【００７１】
また、図４に示すように、気化物質冷却回収機構１６の突起状部材１７を構成する第１部材１８と第２部材２１とには、電圧印加手段５が接続されている。この電圧印加手段５は、フラックス回収装置１の本体部１０内の流路に強電界を設けたものである。そして、この強電界を設けたことにより、突起状部材１７の第１部材１８と第２部材２１とが、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電され、これにより、第１部材１８と第２部材２１とに気化物質中のフラックス成分が静電吸着され、液状あるいは固体状のフラックス成分として除去されるようになっている。
その結果、冷却されて液化したものを付着させて分離除去するとともに、静電吸着させて除去することも行われるので、より効率よくフラックスの除去が可能となっている。
【００７２】
次に、以上のような構成のフラックス回収装置１の作用を説明する。
【００７３】
加熱送風装置２により例えばリフロー工程が実施されると、搬送手段５０により送られてきた基板Ｗに熱風Ｈが噴射され、これによりはんだ組成物が溶融されて基板Ｗの電極にはんだ付けが実施される。
基板Ｗに向けて噴射された後の比較的低温の熱風ｈは、回収通路３６内を回収され、かつ熱交換器３８により温度が上昇され、給気室４６側に送られる。
給気室４６内の熱風の一部は、給気室４６と回収通路３６とにわたって装備されたフラックス回収装置１の導入パイプ２５から回収装置１の本体部１０内に導入される。
【００７４】
導入パイプ２５から導入された熱風は、第１部材１８の突出部１９の表面に対して直交方向から衝突した後、突出部１９の周囲から回り込むように第２部材２１に向かって流れ、第２部材２１の両脇部２１Ｂおよび繋ぎ部２１Ｃに流れて衝突する。
第２部材２１の両脇部２１Ｂおよび繋ぎ部２１Ｃに衝突した熱風Ｈは、第２部材２１の切欠き部２１Ａから、次に配置されている第１部材１８の突出部１９の表面に向かって流れ込む。
【００７５】
以下、上述と同様に、熱風Ｈは、順次、第１部材１８と第２部材２１とに衝突と回り込み送風との繰り返しにより本体部１０内を流れ、排出パイプ２８から前記回収通路３６に戻される。
以上の説明のように、熱風Ｈは、回収通路３６と給気室４６とフラックス回収装置１との間を循環するようになっている。
【００７６】
熱風Ｈがフラックス回収装置１内を循環する際、第１部材１８と第２部材２１とは、それぞれの空洞部１９Ａ、２１Ｄに挿入された冷却水供給パイプ２２，２３から供給された冷却水Ｍにより常時冷却されている。
特に、空洞部１９Ａ、２１Ｄの上面、つまり第１部材１８と第２部材２１との熱風Ｈが直接衝突する熱風受け面が、その裏面から冷却されるので、冷却効果が向上し、これにより、気化物質中のフラックス成分が冷却され、かつ液化され易くなる。その結果、フラックスの回収効率が向上する。
【００７７】
上述のように、第１部材１８と第２部材２１とが常時冷却されているので、フラックス回収装置１内を流れる熱風Ｈは、所定間隔で配置された第１部材１８から第２部材２１へと、順次衝突する際、熱風Ｈ中に含まれるフラックス成分が、それぞれの部材１８，２１で冷却され、かつ液化されて付着する。
【００７８】
また、第１部材１８と第２部材２１には、電圧印加手段５が接続されており、本体部１０内の流路に強電界が設けられているので、複数の突起状部材１７を構成する第１部材１８と第２部材２１とは、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電されている。そのため、導入パイプ２４から導入された熱風に含まれるフラックス成分が第１部材１８と第２部材２１とに静電吸着され、液状あるいは固体状のフラックス成分として除去される。
【００７９】
以上のような第１実施形態のフラックス回収装置１によれば、次のような効果が得られる。
（１）導入パイプ２６から導入された気化物質を含む熱風が、突起状部材１７に略直交する方向から衝突するので、衝突したほとんど全てが熱交換されて冷却される。その結果、熱交換率の向上を図ることができ、また、フラックス回収率の向上を図ることができる。
【００８０】
（２）加熱送風機２が熱風循環型となっており、この加熱送風機２の高圧部、つまり給気室４６に導入パイプ２６を連結すると共に、低圧部、つまり回収通路３６に排出パイプ２８を連結してフラックス回収装置１が加熱送風機２に装備されているので、フラックス回収装置１内で熱交換されて熱風温度が低下しても、フラックス回収装置１から排出された熱風Ｈは回収通路３６に送られ、そこから加熱されながら給気室４６に循環する。回収通路３６内は温度が比較的低いので、そこにフラックス回収装置１から排出された比較的低い温度の熱風が混入しても、回収通路３６内から加熱されながら給気室４６に回収されるので、通常の循環作用と変わりなく、これにより、加熱装置２の内部温度の低下を防止することができる。
【００８１】
（３）突起状部材１７が、複数個の第１部材１８、第２部材２１で構成され、これらが気化物質を含む熱風の流れ方向に沿って所定間隔で配置されており、異なった形状の各部材１８，２１が流れを妨げながら順次通過するようになっているので、導入パイプ２６から導入された熱風が順次、衝突を繰り返すので、効率よく熱交換が行われ、かつ確実に気化物質中に含まれるフラックス成分を液化あるいは固体化させ、その結果、フラックスの回収が容易となる。
【００８２】
（４）第１部材１８が導入パイプ２６側の最初の位置に配置され、この第１部材１８の形状が、導入パイプ２６の開口部広さＫ１よりも広い幅寸法Ｋ２の熱風受け面を有するものとなっており、また、第２部材２１の形状が第１部材１８の熱風受け面と対向しその熱風受け面より狭い投影面積の切欠き部２１Ａを有する形状とされているので、導入パイプ２６から導入された気化物質を含む熱風のほとんど全てが第１部材１８に衝突する。
その後、第１部材１８を経由した熱風は第２部材２１に流れるが、第２部材２１には第１部材１８よりも狭い投影面積の切欠き部２１Ａが形成されているので、第１部材１８から流れた気化物質を含む熱風はそのほとんど全てが捕集される。
その結果、効率よく熱交換が行われ、かつ気化物質中に含まれるフラックス成分を確実に液化させ、回収することが可能となる。
【００８３】
（４）第１部材１８が、その空洞部１９Ａを第１冷却水供給用パイプ２２から供給される冷却水Ｍにより冷却され、また、第２部材２１が、その空洞部２１Ｄを第２冷却水供給用パイプ２４から供給される冷却水Ｍにより冷却されるので、それぞれの部材１８，２１に衝突した気化物質が効率よく冷却される。その結果、効率よく熱交換が行われ、かつ気化物質中に含まれるフラックス成分を確実に液化させ、回収することが可能となる。
【００８４】
（５）第１、第２冷却水供給用パイプ２２，２４が、第１部材１８または第２部材２１に装着されているので、外部に設ける必要がなくなり、これにより、装置をコンパクトにすることができる。
【００８５】
（６）導入パイプ２６に、本体部１０に導入される熱風の流量を調整する流量調整手段４が設けられているので、加熱送風機２からフラックス回収装置１に導入される気化物質を含む熱風の量を調整することができ、温度低下した熱風を加熱装置２内に戻す際に予想される加熱装置２内温度の低下、または低下した熱風を再加熱するヒータの電気使用量を抑えることが可能となる。
【００８６】
（７）第１部材１８と第２部材２１とを金属製とすると共に、当該第１部材１８を取り付けた第１側板１１を絶縁部材で形成し、この第１側板１１と、第２部材２１を取り付けた第２〜４側板１２，１３，１４とを連結してあり、第１部材１８と第２部材２１とに高電圧を印加する高電圧印加手段５が設けられている。そのため、第１部材１８と第２部材２１とに高電圧が印加され、第１部材１８と第２部材２１とが、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電され、これらの電荷が気化物質のフラックス成分を静電吸着する。その結果、本体部１０内の気化物質中のフラックス成分の捕集性が向上し、フラックス成分の除去の効率化を図ることができる。
【００８７】
（８）本体部１０の底板２７にドレンパイプ２９が設けられているので、第１部材１８と第２部材２１とに衝突し冷却されて付着したフラックスが自然落下し、本体部１０の底部に集まったとしても、ドレンパイプ２９から外部に排出される。その結果、フラックス回収装置１内にフラックス成分が溜まることがなくなり、装置を常に正常な状態で使用することができる。
【００８８】
（９）本体部１０が、第１ないし第４の側板１１〜１４を備えて形成され、第１の側板１１が他の側板１２〜１４に対して、取り付け取り外し可能になっており、この第１の側板１１に第１部材１８が取り付けられているので、第１の側板１１を取り外すことにより、第１部材１８及び第２部材２１の表面に付着したフラックス成分の除去が容易に行えるようになる。その結果、適宜、第１の側板１１を取り外してフラックス成分の除去、つまり清掃を行うことで、フラックス成分の付着に伴う熱交換率の低下と、これによるフラックス回収効率の低下を防ぐことが可能となる。
【００８９】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００９０】
例えば、前記実施形態では、本体部１０の内部において、第１部材１８及び第２部材２１を、本体部１０の内部を流れる気化物質の流れと略直交する方向に突出させて設けたが、第１部材１８及び第２部材２１の取り付けは、これに限らない。
図１４に示すように、第１部材１８及び第２部材２１を傾斜させて取り付けてもよい。すなわち、フラックス回収装置１Ａにおいて、第１部材１８及び第２部材２１のそれぞれの互いに対向する先端部を、各部材１８、２１の基端部に対して、熱風の流通方向に沿った流れの下流側が、例えばα°低くなる傾斜をもって取り付けられている。そして、このα°は、例えば５°または１０°、若しくは５°〜１０°に設定されると好適である。
また、底板２７も一方側に傾斜され、傾斜の先端隅部にドレンパイプ２９が設けられている。
このような構成にしたことにより、熱交換されて液化または固体化したフラックス成分が、第１部材及び第２部材の傾斜に沿って自然落下し、いつまでも第１部材及び第２部材の表面に付着することがない。そして、フラックス成分は最終的に傾斜した底板２７に集められ、ドレンパイプ２９から排出されるので、フラックスの回収が容易となる。
【００９１】
また、図１４に示す前記変形形態において、第１部材１８及び第２部材２１のそれぞれを、先端部が各部材１８、２１の基端部に対して、熱風の流通方向に沿った下流側が低くなるように傾けて設けたが、これに限らない。第１部材１８及び第２部材２１の両方を同じ向きで傾けてもよく、図１４の紙面直行方向に傾けてもよい。
この場合、各部材１８、２１の基端部側に、例えば１〜２個の小穴を形成しておけばその小穴から液化または固体化したフラックス成分が落下するので、傾斜の方向に係わらずフラックスの回収が容易となる。
さらに、前記第１実施形態のフラックス回収装置１における本体部１０自体を鉛直方向に対して傾けて取り付けてもよい。
【００９２】
また、前記第１実施形態では、フラックス回収装置１を１つの加熱送風機２の高圧部である給気室４６と低圧部である回収通路３６とに架けわたして装備したが、これに限らない。図１５に示すように、フラックス回収装置１Ｂを、加熱機８を構成する隣り合う加熱送風機３，２間に架けわたしてもよい。この場合、高温の加熱送風機２の高圧部と、低温の加熱送風機３の低圧部との間に架けわたすようにすればよい。
【００９３】
また、前記第１実施形態では、フラックス回収装置１を、各筒状の本体部１０を備えて構成したが、これに限らず、例えば丸筒状の本体部としてもよい。この場合、第１部材を取付ける取付け部材と、第２部材を取付ける取付け部材とを金属製とすると共に、これらの取付け部材同士が絶縁される構成とすればよい。
【００９４】
さらに、前記第実施形態では、フラックス回収装置１の第１部材を４枚で構成し、第２部材を３枚で構成したが、これに限らない。装備する部位の長さに対応して、第１部材を４枚以上、あるいは４枚以下にすると共に、第２部材を３枚以上、あるいは３枚以下にしてもよい。そして、上記いずれの場合でも、第１部材と第２部材とが交互に配置されていればよい。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明は、プリント回路基板等の電極にはんだ付けする加熱装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明に係るフラックス回収装置の一実施形態で当該フラックス回収装置を装備した加熱装置を示す全体概略図である。
【図２】前記実施形態のフラックス回収装置を示す一部断面の側面図である。
【図３】前記実施形態のフラックス回収装置を示す全体斜視図である。
【図４】図２におけるIV−IV線に沿った断面図である。
【図５】図３におけるＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図５におけるVI−VI線に沿った断面図である。
【図７】前記実施形態のフラックス回収装置の第１部材側の下端を示す一部断面の図である。
【図８】図３におけるVIII−VIII線に沿った断面図である。
【図９】図８におけるIX−IX線に沿った断面図である。
【図１０】図８におけるＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
【図１１】前記実施形態のフラックス回収装置における第１、第２冷却水供給パイプの噴出口を示す部分断面の詳細図である。
【図１２】前記実施形態のフラックス回収装置における第１冷却水供給パイプを示す全体斜視図である。
【図１３】前記実施形態のフラックス回収装置における第２冷却水供給パイプを示す全体斜視図である。
【図１４】本発明のフラックス回収装置の変形形態を示す縦断面図である。
【図１５】本発明のフラックス回収装置が隣り合う加熱送風機にわたって設けられた例を示す全体図である。
【図１６】従来のフラックス回収装置を備えたリフロー半田付け装置を示す図である。
【図１７】従来の他のフラックス回収装置を示す図である。
【符号の説明】
【００９７】
１  フラックス回収装置
２  加熱送風機
４  流量調整手段
５  電圧印加手段
１０  本体部
１１  第１側板
１３  第３側板
１６  気化物質冷却機構
１７  突起状部材
１８  第1部材
２１  第２部材
２２  冷却機構である第１冷却水供給パイプ
２４  冷却機構である第２冷却水供給パイプ
２９  ドレンパイプ
３６  低圧部を構成する回収通路
４６  高圧部を構成する給気室
【図１】
2008246514.tif 000003
【図２】
2008246514.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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