(57)【要約】      （修正有）【課題】開口数が０．６５程度で、紫外から近赤外（４０５ｎｍ〜１０６４ｎｍ）に渡る広い波長域で色収差を補正した顕微鏡対物レンズの提供。【解決手段】物体側より順に、正の第１レンズ群Ｇ１と、正の第２レンズ群Ｇ２と、負の第３レンズ群Ｇ３とから構成され、Ｇ１〜Ｇ３のそれぞれに少なくとも１つずつ正レンズと負レンズとが接合された色消しレンズが設けられるともに、Ｇ２を構成する光学要素の少なくとも一面に回折光学面が形成された顕微鏡対物レンズにおいて、Ｇ１の色消しレンズの正レンズと負レンズの硝材の部分分散比およびアッベ数の差の絶対値ΔＰ1，Δνd1、Ｇ２の色消しレンズの正レンズと負レンズの硝材の部分分散比およびアッベ数の差の絶対値ΔＰ2，Δνd2、全系の焦点距離ｆ、並びに、Ｇ１の焦点距離ｆ１が  ΔＰ1  ＞  ０．０４，  ΔＰ2  ＞  ０．０４  Δνd1  ＞  ２０．０，  Δνd2  ＞  ２５．０  １．０  ＜  ｆ１／ｆ  ＜  １．６を満足するように構成される。【選択図】図１
2008122640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とからなり、
前記第１レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズを少なくとも１つ有し、
前記第２レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズを少なくとも１つ有し、且つ、前記第２レンズ群を構成する光学要素の少なくとも一面に回折光学面が形成され、
前記第３レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズを少なくとも１つ有して構成され、
ｄ線に対する屈折率をｎｄとし、波長１０６４ｎｍの光線に対する屈折率をｎ１０６４とし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとして、波長１０６４ｎｍの光線に対するｄ線およびｈ線の部分分散比Ｐを次式
Ｐ  ＝  （ｎｄ−ｎ１０６４）／（ｎｈ−ｎ１０６４）
で定義したとき、
前記第１レンズ群に含まれる前記色消しレンズの前記正レンズの硝材の部分分散比と前記負レンズの硝材の部分分散比との差の絶対値ΔＰ1、および、前記第２レンズ群に含まれる前記色消しレンズの前記正レンズの硝材の部分分散比と前記負レンズの硝材の部分分散比との差の絶対値ΔＰ2が、次式
ΔＰ1  ＞  ０．０４，  ΔＰ2  ＞  ０．０４            （１）
を満足し、
前記第１レンズ群に含まれる前記色消しレンズの前記正レンズの硝材のアッベ数と前記負レンズの硝材のアッベ数との差の絶対値Δνd1、および、前記第２レンズ群に含まれる前記色消しレンズの前記正レンズの硝材のアッベ数と前記負レンズの硝材のアッベ数との差の絶対値Δνd2が、次式
Δνd1  ＞  ２０．０，  Δνd2  ＞  ２０．０          （２）
を満足し、
全系の焦点距離ｆ、および、前記第１レンズ群の焦点距離ｆ１が、次式
１．０  ＜  ｆ１／ｆ  ＜  １．６                  （３）
を満足する顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第３レンズ群に含まれる前記色消しレンズの前記正レンズの硝材の部分分散比と前記負レンズの硝材の部分分散比との差の絶対値ΔＰ3が、次式
ΔＰ3  ＜  ０．０４                    （４）
を満足する請求項１に記載の顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記回折光学面が、異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材を接合してその接合面に回折格子が形成された回折光学素子で構成され、
前記第２レンズ群が、光学ガラス、前記回折光学素子、光学ガラスの順で接合した回折光学要素を有する請求項１または２に記載の顕微鏡対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、生物用顕微鏡に用いられる対物レンズでは、色収差の補正は可視域のみのものが一般的である。しかしながら、従来の紫外光を用いる蛍光観察に加え、近年、光ピンセットへの応用や、多光子励起等を近赤外で行うため、紫外から近赤外までの色収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズに対する市場からの要望が増えてきている。そのため、色収差の補正域が４００ｎｍ〜１０００ｎｍに渡るものも開発されている（例えば、特許文献１参照）
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１３３２４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、色収差の補正域を広くするためには異常分散ガラスを多く必要とするため、非常にコストが高くなってしまうという課題がある。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、倍率４０倍程度で、かつ、開口数が０．６５程度であり、紫外から近赤外（４０５ｎｍ〜１０６４ｎｍ）に渡る広い波長域で色収差を補正した顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡対物レンズは、物体側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とから構成される。このとき、第１レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズを少なくとも１つ有し、第２レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズを少なくとも１つ有し、且つ、この第２レンズ群を構成する光学要素の少なくとも一面に回折光学面が形成され、第３レンズ群が、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズを少なくとも１つ含んで構成される。そして、ｄ線に対する屈折率をｎｄとし、波長１０６４ｎｍの光線に対する屈折率をｎ１０６４とし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとして、波長１０６４ｎｍの光線に対するｄ線およびｈ線の部分分散比Ｐを次式
Ｐ  ＝  （ｎｄ−ｎ１０６４）／（ｎｈ−ｎ１０６４）
で定義したとき、第１レンズ群に含まれる色消しレンズの正レンズの硝材の部分分散比と負レンズの硝材の部分分散比との差の絶対値ΔＰ1、および、第２レンズ群に含まれる色消しレンズの正レンズの硝材の部分分散比と負レンズの硝材の部分分散比との差の絶対値ΔＰ2が、次式
ΔＰ1  ＞  ０．０４，  ΔＰ2  ＞  ０．０４            （１）
を満足する。また、第１レンズ群に含まれる前記色消しレンズの正レンズの硝材のアッベ数と負レンズの硝材のアッベ数との差の絶対値Δνd1、および、第２レンズ群に含まれる色消しレンズの正レンズの硝材のアッベ数と負レンズの硝材のアッベ数との差の絶対値Δνd2が、次式
Δνd1  ＞  ２０．０，  Δνd2  ＞  ２０．０          （２）
を満足する。さらに、全系の焦点距離ｆ、および、第１レンズ群の焦点距離ｆ１が、次式
１．０  ＜  ｆ１／ｆ  ＜  １．６                  （３）
を満足する。
【０００７】
このような本発明に係る顕微鏡対物レンズにおいて、第３レンズ群に含まれる色消しレンズの正レンズの硝材の部分分散比と負レンズの硝材の部分分散比との差の絶対値ΔＰ3が、次式
ΔＰ3  ＜  ０．０４                    （４）
を満足することが好ましい。
【０００８】
また、回折光学面が、異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材を接合してその接合面に回折格子が形成された回折光学素子で構成され、第２レンズ群が、光学ガラス、この回折光学素子、光学ガラスの順で接合した回折光学要素を有することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る顕微鏡対物レンズを以上のように構成すると、倍率４０倍程度で、開口数０．６５程度を有し、紫外から近赤外（４０５ｎｍ〜１０６４ｎｍ）に渡る広い波長域で色収差を良好に補正した顕微鏡対物レンズを、回折光学素子を用いることにより、ＥＤガラスや蛍石等の高価な光学材料を少なくして構成することができ、また、フレアーも少なくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、本発明に係る顕微鏡対物レンズの構成について説明する。この顕微鏡対物レンズは、物体側（カバープレートＣ側）より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２、および、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３から構成される。このような顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズ（図１におけるレンズＬ３，Ｌ４）を少なくとも１つ有して構成されている。
【００１１】
また、第２レンズ群Ｇ２は、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズ（図１におけるレンズＬ５，Ｌ６）を少なくとも１つ有し、且つ、この第２レンズ群Ｇ２を構成する光学要素のいずれかの面に、回折光学面が形成されている。例えば、図１に示す顕微鏡対物レンズにおいては、光学ガラスＬ７、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の光学部材Ｌ８，Ｌ９を接合し、その接合面に回折格子Ｄが形成された回折光学素子、および、光学ガラスＬ１０をこの順に接合した回折光学要素を含んで構成される。
【００１２】
さらに、第３レンズ群Ｇ３は、全体として負の屈折力を有し、正レンズと負レンズとを接合してなる色消しレンズ（図１におけるレンズＬ１１，Ｌ１２）を少なくとも１つ含んで構成される。
【００１３】
回折光学素子（回折光学面）は、負の分散値（アッベ数＝−３．４５３）を有し、分散が大きく、また異常分散性（部分分散比＝０．２９５６）が強いため、強力な色収差補正能力を有している。光学ガラスのアッベ数は通常３０〜８０程度であるが、回折光学素子のアッベ数は負の値を持っている。換言すると、回折光学素子においては、長い波長の光ほど大きく曲がる。このため、通常の光学ガラスでは達成し得ない良好な色収差補正が可能となる。すなわち、本実施例に係る顕微鏡対物レンズは、ＥＤガラスや蛍石等の高価な光学材料を多く用いず、樹脂により形成された負分散特性を有する回折光学素子を用いて、少ないレンズ枚数で構成するものである。なお、回折光学素子Ｌ８，Ｌ９を樹脂製とした利点は、通常の光学ガラスよりも簡単にモールドと紫外線硬化により回折格子面が形成できる点にある。
【００１４】
それでは、本実施例に係る顕微鏡対物レンズを構成するための条件について、以下に説明する。この顕微鏡対物レンズは、１０６４ｎｍの光線に対するｄ線（５８８ｎｍ）およびｈ線（４０５ｎｍ）の部分分散比をＰとしたときに、第１レンズ群Ｇ１に含まれる色消しレンズの正レンズ（図１におけるレンズＬ４）の硝材と負レンズ（図１におけるレンズＬ３）の硝材との上記部分分散比Ｐの差の絶対値をΔＰ1とし、第２レンズ群Ｇ２に含まれる色消しレンズの正レンズ（図１におけるレンズＬ６）の硝材と負レンズ（図１におけるレンズＬ５）の硝材との上記部分分散比Ｐの差の絶対値ΔＰ2としたとき、次の条件式（１）を満足するように構成されている。
【００１５】
ΔＰ1  ＞  ０．０４，  ΔＰ2  ＞  ０．０４            （１）
【００１６】
なお、１０６４ｎｍの光線に対するｄ線およびｈ線の部分分散比Ｐは、ｄ線に対する屈折率をｎｄとし、波長１０６４ｎｍの光線に対する屈折率をｎ１０６４とし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとするとき、次式のように定義される。
【００１７】
Ｐ  ＝  （ｎｄ−ｎ１０６４）／（ｎｈ−ｎ１０６４）
【００１８】
また、この顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群Ｇ１に含まれる色消しレンズの正レンズの硝材のアッベ数と負レンズの硝材のアッベ数との差の絶対値をΔνd1とし、第２レンズ群Ｇ２に含まれる色消しレンズの正レンズの硝材のアッベ数と負レンズの硝材のアッベ数との差の絶対値をΔνd2としたとき、次の条件式（２）を満足するように構成されている。
【００１９】
Δνd1  ＞  ２０．０，  Δνd2  ＞  ２０．０          （２）
【００２０】
さらに、この顕微鏡対物レンズは、全系の焦点距離をｆとし、第１レンズ群Ｇ１の焦点距離をｆ１としたとき、次の条件式（３）を満足するように構成されている。
【００２１】
１．０  ＜  ｆ１／ｆ  ＜  １．６                  （３）
【００２２】
条件式（１）は、回折光学素子と組み合わせて用いられる色消しレンズの持つ色収差特性を規定するものである。回折光学素子を用いた場合の色消しは、通常のガラスの選択とは異なった選択をする必要がある。特に２次スペクトルを補正する場合、通常は色消しレンズを構成する正レンズと負レンズとの部分分散比の差を０に近い選択とするが、回折光学素子を用いた場合はこれと異なる。すなわち、回折光学素子のアッベ数が通常の光学ガラスとは異なり、回折光学面で発生する色収差が波長に対して線形であるため、これと補償させるために、組み合わせる光学ガラスで発生する色収差を回折光学素子の色収差特性と揃える必要がある。そのため、本実施例に係る顕微鏡対物レンズに用いられる色消しレンズは、条件式（１）を満足する必要がある。この条件式（１）で規定された範囲を外れると、回折光学素子を用いても２次スペクトルが残存してしまう。
【００２３】
一方、２次スペクトルと同時に、１次の軸上の色収差を補正する必要があるが、回折光学素子（回折格子Ｄ）の格子ピッチを製造可能な範囲とするためには、この回折光学素子への色消し負担を軽減する必要がある。そのため、この回折光学素子と組み合わせて用いられる色消しレンズに、１次の色収差補正を主に担わせる必要がある。条件式（２）は、このように、本実施例に係る顕微鏡対物レンズに用いられる色消しレンズに、１次の色収差補正を担わせるための条件であり、この条件式（２）で規定された範囲を外れると、回折光学素子に対する色収差補正の負担が増加し、格子ピッチが細かくなって製造が困難になるとともに、完全な色収差の補正も実現できなくなる。
【００２４】
条件式（３）は、球面収差の補正に関わるものである。この条件式（３）の下限を下回ると、球面収差の高次の曲がりが発生し、補正が困難となる。反対に、条件式（３）の上限を上回ると、第２レンズ群Ｇ２での球面収差の補正負担が増加し、色収差と同時に球面収差の補正を達成することができなくなる。
【００２５】
また、本実施例に係る顕微鏡対物レンズにおいては、第３レンズ群Ｇ３に含まれる色消しレンズの正レンズ（図１におけるレンズＬ１１）の硝材と負レンズ（図１におけるレンズＬ１２）の硝材との上記部分分散比Ｐの差の絶対値をΔＰ3としたとき、次に示す条件式（４）を満たすことが好ましい。
【００２６】
ΔＰ3  ＜  ０．０４                    （４）
【００２７】
この条件式（４）は、倍率の色収差の補正に関わるものである。本実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、回折光学素子による色消しは、主に軸上の色収差の補正に用いているため、倍率の色収差の補正に寄与させることができない。そのため、第３レンズ群Ｇ３の色消しレンズを構成する硝材の選択を、条件式（４）を満たすように選択することにより、倍率の２次スペクトルの補正が達成できる。この条件式（４）で規定された範囲を外れると、倍率の色の２次スペクトルが残存してしまう。
【実施例】
【００２８】
以下に、本発明に係る顕微鏡対物レンズの２つの実施例を示すが、各実施例において、第２レンズ群Ｇ２に形成された回折光学面の位相差は、通常の屈折率と後述する非球面式（５）とを用いて行う超高屈折率法により計算した。超高屈折率法とは、非球面形状と回折光学面の格子ピッチとの間の一定の等価関係を利用するものであり、本実施例においては、回折光学面を超高屈折率法のデータとして、すなわち、後述する非球面式（５）およびその係数より示している。なお、本実施例では収差特性の算出対象として、ｄ線、ｇ線、Ｃ線、および、Ｆ線を選んでいる。本実施例において用いられたこれらｄ線、Ｃ線、Ｆ線、および、ｇ線の波長と、各スペクトル線に対して設定した超高屈折率法の計算に用いられるための屈折率の値を下の表１に示す。
【００２９】
（表１）
波長              屈折率（超高屈折率法による）
ｄ線       587.562ｎｍ       10001
Ｃ線       656.273ｎｍ       11170.4255
Ｆ線       486.133ｎｍ        8274.7311
ｇ線       435.835ｎｍ        7418.6853
【００３０】
各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（頂点曲率半径）をｒとし、円錐係数をκとし、ｎ次の非球面係数をＣnとしたとき、以下の数式（５）で表わされる。またこのとき、近軸曲率半径Ｒは以下の数式（６）で表される。
【００３１】
Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ・ｙ2／ｒ2）1/2｝
＋Ｃ2・ｙ2＋Ｃ4・ｙ4＋Ｃ6・ｙ6＋Ｃ8・ｙ8＋Ｃ10・ｙ10＋・・・    （５）
Ｒ＝１／（１／ｒ＋２Ｃ2）                                        （６）
【００３２】
なお、各実施例において、回折光学面が形成されたレンズ面には、表中の面番号の右側に＊印を付しており、非球面式（５）は、この回折光学面の性能の諸元を示している。
【００３３】
また、各実施例における顕微鏡対物レンズは、無限遠補正型のものであり、図２に示す構成であって、表２に示す諸元を有する結像レンズとともに使用される。なお、この表２において、第１欄ｍは物体側からの各光学面の番号であって、図２に示した面番号１〜６に対応している。また、第２欄ｒは各光学面の曲率半径、第３欄ｄは各光学面から次の光学面までの光軸上の距離、第４欄ｎｄはｄ線に対する屈折率、そして、第５欄νｄはｄ線に対するアッベ数を示している。この諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。
【００３４】
（表２）
ｍ        ｒ          ｄ        ｎｄ       νｄ
1       75.043       5.1       1.623      57.0
2      -75.043       2         1.750      35.2
3     1600.580       7.5
4       50.256       5.1       1.668      42.0
5      -84.541       1.8       1.613      44.4
6       36.911       5.5
【００３５】
なお、この結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズＬ２１と両凹レンズＬ２２とを接合した接合レンズ、および、両凸レンズＬ２３と両凹レンズＬ２４とを接合した接合レンズから構成される。
【００３６】
（第１実施例）
上述の説明で用いた図１は、本発明に係る顕微鏡対物レンズの第１実施例を示している。この顕微鏡対物レンズは上述した通り、物体側、すなわちカバープレートＣ側より順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２、および、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２、および、両凹レンズＬ３と両凸レンズＬ４とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、両凹レンズＬ５と両凸レンズＬ６とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）、および、上述のように、平板状の光学ガラスＬ７と、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の平板状の光学部材Ｌ８，Ｌ９を接合し、その接合面に回折格子Ｄが形成された回折光学素子と、平板状の光学ガラスＬ１０とをこの順に接合した回折光学要素から構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、両凸レンズＬ１１と両凹レンズＬ１２とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）から構成される。
【００３７】
このように図１に示した第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元を表３に示す。この表３において、ＮＡは開口数を示し、βは倍率を示し、ｄ０はカバーガラスＣから最初のレンズ（レンズＬ１）の頂点までの光軸上の距離を示している。また、第１欄ｍに示す各光学面の番号（右の＊は回折光学面として形成されているレンズ面を示す）は、図１に示した面番号１〜１９に対応している。また、第２欄ｒにおいて、回折光学面の場合は、ベースとなる非球面の基準となる球面の曲率半径を示している。また、表には上記条件式（１）〜（４）に対応する値、すなわち、条件対応値も示している。以上の表の説明は他の実施例においても同様である。
【００３８】
また、以下の全ての諸元において掲載される曲率半径ｒ、面間隔ｄその他長さの単位は、特記の無い場合、一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【００３９】
なお、本第１実施例において、カバーガラスＣは、厚さ０．１７ｍｍ、ｄ線に対する屈折率１．５２２、ｄ線に対するアッベ数５８．８の諸元を有する。
【００４０】
（表３）
ｆ＝5
ＮＡ＝0.65
β＝40
ｄ0＝0.74
ｍ        ｒ        ｄ        ｎｄ       νｄ
1      -3.709      6.15      1.773      49.6
2      -5.636      0.20
3    -134.630      3.65      1.603      65.4
4     -10.330      0.20
5    -179.716      1.10      1.744      44.8
6      13.120      4.70      1.487      70.4
7     -12.099      0.60
8   -1678.660      1.20      1.757      31.6
9      11.150      3.65      1.603      65.4
10     -25.286      0.20
11        ∞        1.50      1.517      64.1
12        ∞        0.20      1.557      50.2
13*       ∞        0     10001.000    -3.5
14        ∞        0.20      1.528      34.7
15        ∞        2.50      1.517      64.1
16        ∞       20.50
17      17.729      3.85      1.755      27.5
18     -10.900      1.55      1.720      34.7
19      10.499
非球面データ
第１３面  κ＝1    Ｃ2＝-4.03226×10-8    Ｃ4＝-2.58495×10-11
Ｃ6＝-1.57650×10-12    Ｃ8＝-2.20057×10-14    Ｃ10＝0.0
条件対応値
（１）ΔＰ1＝0.051    ΔＰ2＝0.056
（２）Δνd1＝25.6    Δνd2＝33.8
（３）ｆ１／ｆ＝1.5
（４）ΔＰ3＝0.023
【００４１】
このように、第１実施例では上記条件式（１）〜（４）は全て満たされていることが分かる。図３にこの第１実施例における、ｄ線、ｇ線、Ｃ線、Ｆ線、ｈ線、および、波長１０６４ｎｍの光線に対する球面収差、倍率色収差、および、コマ収差の諸収差図を示す。この諸収差図において、ｄはｄ線を、ｇはｇ線を、ＣはＣ線を、ＦはＦ線を、ｈはｈ線を、＃は波長１０６４ｎｍの光線を示している。なお、球面収差図では最大口径に対する開口数の値を示しており、コマ収差図は、像高Ｙが１２．５ｍｍのとき、８ｍｍのとき、および、０ｍｍのときを示している。以上の収差図の説明は他の実施例においても同様である。この図３に示す各収差図から明らかなように、第１実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００４２】
（第２実施例）
次に第２実施例として、図４に示す顕微鏡対物レンズについて説明する。この図４に示す顕微鏡対物レンズも、カバーガラスＣより順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２、および、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３から構成される。第１レンズ群Ｇ１は、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２と両凸レンズＬ３３とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）、および、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３４と両凸レンズＬ３５とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）から構成される。また、第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３６と両凸レンズＬ３７とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）、および、平板状の光学ガラスＬ３８と、それぞれ異なる樹脂材料から形成された２個の平板状の光学部材Ｌ３９，Ｌ４０を接合し、その接合面に回折格子Ｄが形成された回折光学素子と、平板状の光学ガラスＬ４１とをこの順に接合した回折光学要素から構成される。さらに、第３レンズ群Ｇ３は、両凸レンズＬ４２と両凹レンズＬ４３とを接合した接合レンズ（色消しレンズ）から構成される。
【００４３】
なお、この第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの第１レンズ群Ｇ１は、２個の色消しレンズ、すなわち、レンズＬ３２とレンズＬ３３とが接合された色消しレンズと、レンズＬ３４とレンズＬ３５とが接合された色消しレンズを有して構成された場合を示している。
【００４４】
この図４に示した第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸元を表４に示す。なお、表４に示す面番号は図４に示した面番号１〜２０と一致している。また、この第２実施例におけるカバーガラスＣの諸元は、第１実施例と同じである。
【００４５】
（表４）
ｆ＝5
ＮＡ＝0.70
β＝40
ｄ0＝0.65
ｍ        ｒ          ｄ        ｎｄ       νｄ
1       -2.871       4.83      1.804      46.6
2       -4.028       0.95
3     4172.412       1.44      1.717      47.9
4       20.128       3.52      1.487      70.4
5      -15.621       0.62
6       69.285       1.29      1.744      44.8
7       15.541       3.41      1.487      70.4
8      -10.264       0.20
9      167.608       0.89      1.795      28.5
10       10.770       3.29      1.603      65.4
11      -42.057       0.16
12        ∞          1.50      1.517      64.1
13        ∞          0.20      1.557      50.2
14*       ∞          0.00    10001.000    -3.5
15        ∞          0.20      1.528      34.7
16        ∞          1.50      1.517      64.1
17        ∞         17.97
18       11.270       3.48      1.755      27.5
19      -43.823       2.35      1.720      34.7
20        7.670
非球面データ
第１４面  κ＝1    Ｃ2＝-4.46058×10-8    Ｃ4＝-8.90295×10-11
Ｃ6＝4.86183×10-13    Ｃ8＝-3.97085×10-14    Ｃ10＝0.0
条件対応値
（１）ΔＰ1＝0.046（レンズＬ３２，Ｌ３３）
ΔＰ1＝0.051（レンズＬ３４，Ｌ３５）
ΔＰ2＝0.063
（２）Δνd1＝22.5（レンズＬ３２，Ｌ３３）
Δνd1＝25.6（レンズＬ３４，Ｌ３５）
Δνd2＝36.9
（３）ｆ１／ｆ＝1.4
（４）ΔＰ3＝0.023
【００４６】
このように、第２実施例でも上記条件式（１）〜（４）は全て満たされており、また、第１レンズ群Ｇ１に含まれる２個の色消しレンズのいずれも条件式（１）、（２）を満たしていることが分かる。図５に、この第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの球面収差、倍率色収差、および、コマ収差の諸収差図を示す。この各収差図から明らかなように、この第２実施例でも、収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】本発明に係る顕微鏡対物レンズとともに使用される結像レンズのレンズ構成を示す図である。
【図３】第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【図４】本発明の第２実施例に係る顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図５】第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図である。
【符号の説明】
【００４８】
Ｇ１  第１レンズ群
Ｇ２  第２レンズ群
Ｇ３  第３レンズ群
Ｄ  回折格子（回折光学面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008122640.tif 000006
【図５】
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