(57)【要約】【課題】光源からの光を光導波路に通して出力する光源モジュールにおいて、光導波路に対する結合のための光軸方向の調整精度を緩和できるレンズユニット、光源モジュール及びその組立方法を提供する。【解決手段】光源１と光導波路６とを基台９に固定し、別途、アクチュエータ７，８により１軸又は２軸以上の方向に移動されるレンズを含む２以上のレンズ３，４と、前記アクチュエータとを一体化したレンズユニット１０を作製し、その後、レンズユニットを光源と光導波路との間に配置して光源に対して位置を調整して、光源から出射された光がレンズユニットのレンズを介して光導波路に結合するように組立てる。【効果】光源（光導波路）に対してレンズユニットごと位置を調整することにより、個々のレンズを移動させる場合に比較して光軸方向の調整感度が小さくなる。【選択図】図１
2008250114.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と光導波路との間に配置され前記光源から出射された光を前記光導波路に結合させるレンズユニットであって、
前記光源及び前記光導波路に対して移動自在の状態において、前記アクチュエータにより１軸又は２軸以上の方向に移動されるレンズを含む２以上のレンズと、前記アクチュエータとが一体化されているレンズユニット。
【請求項２】
光源と、光導波路と、前記光源と前記光導波路とが直接又は部材を介して固定された基台と、前記光源と前記光導波路との間に配置され前記基台に搭載されるレンズユニットとを備え、
前記レンズユニットは、アクチュエータにより１軸又は２軸以上の方向に移動されるレンズを含む２以上のレンズと、前記アクチュエータとが前記基台を介さずに一体化されてなり、
前記光源から出射された光が前記レンズユニットのレンズを介して前記光導波路に結合する光源モジュール。
【請求項３】
前記アクチュエータによるレンズの移動方向が光軸に垂直な１軸方向又は２軸方向に限定されてなる請求項２に記載の光源モジュール。
【請求項４】
前記基台に前記レンズユニットを搭載する搭載面が形成されており、前記アクチュエータによるレンズの移動方向が前記搭載面から離れる１軸方向に限定されてなる請求項２に記載の光源モジュール。
【請求項５】
前記２以上のレンズのうち少なくとも一つは、コリメートレンズである請求項２から請求項４のうちいずれか一に記載の光源モジュール。
【請求項６】
前記レンズユニットに搭載されるレンズの数が２である請求項２から請求項５のうちいずれか一に記載の光源モジュール。
【請求項７】
前記レンズを前記光源側から第１レンズ、第２レンズとし、第１レンズの焦点距離をｆ１、第２レンズの焦点距離をｆ２とするとき、0.7＜|ｆ２/ｆ１|＜1.3  の関係を有する請求項６に記載の光源モジュール。
【請求項８】
光源と、光導波路と、前記光源から出射した光を前記光導波路に結合させるためのアクチュエータにより少なくとも１軸以上の方向に移動可能なレンズを含む２以上のレンズとを有し、これらを一体的に組み込んだ光源モジュールの組立方法であって、
光源と光導波路とを基台上に固定する第一段階と、
前記基台を介さずに一体化した前記２枚以上のレンズと前記アクチュエータを前記光源と光導波路との間に配置する第二段階と、
前記２枚以上のレンズを、前記基台上で前記光源と前記光導波路との間で光源側もしくは光導波路側へ一体的に移動させて前記光源から出射させた光束が前記光導波路に結合するように調整する第三段階とを有することを特徴とする光源モジュールの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズユニット、光源モジュール及びその組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光源からの光を光導波路に通して出力する光源モジュールにおいては、光源からの光を光導波路の入射端に集光し、光束を光導波路に効率よく結合することが課題となっている。
従来、図１０に示すように、レーザーダイオード１からの光２を第１レンズ３及び第２レンズ４を介して光導波路形成素子５の光導波路入射端に集光して入射させ他端から出力する光源モジュールにおいて、光束を光導波路に効率よく結合するために、第１レンズ３や第２レンズ４の位置を調整することが行われる。
光導波路として、ファイバやSHG素子などがある。例えば、シングルモードファイバではコア径もしくはモードフィールド径が10μｍ以下、マルチモードファイバでも５０μｍ程度であり、第２次高調波発生（SHG）素子のような光導波路の場合は数μｍのものもある。この微少領域に光源から出射した光束をレンズを介して集光させる必要があるため、レンズの位置調整もそのレベルで行わなくてはならない。このため、レンズの位置調整は、レンズの調整感度、すなわち、レンズの移動量に対する結合効率の変化量が大きいと結合効率を最適に調整することが困難となるため、レンズ調整感度は小さくすることが必要とされる。
光軸方向Ｚに垂直なＸ軸方向、Ｙ軸方向の調整は、光導波路のモードサイズレベルで調整が必要とされる。
一般的に、光軸方向Ｚの調整は、光軸方向Ｚに垂直なＸ軸方向、Ｙ軸方向の調整ほど調整感度は高くないが、それでも、例えばSHG素子の場合で数μ程度の調整が必要なため、より調整感度を小さくして調整精度を緩和し、結合効率のよい光源モジュールを組立てやすくすることが求められる。
【０００３】
かかるＺ軸方向の調整精度を緩和する課題に応ずる一策が特許文献１に記載されている。
特許文献１には、上記第１レンズ３と第２レンズ４の間に弱レンズを配置した態様に相当する構成が記載されており、この弱レンズをＺ軸方向に移動させる発明が記載されている。
かかる発明によれば、弱レンズの移動量に対する結合効率の変化量は小さいため、調整精度は緩和され、調整しやすくなる。
【特許文献１】特開２００５−２２２０４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、以上の従来技術にあってもさらに次のような問題があった。
特許文献１記載の弱レンズの移動による調整では、同様な小さい調整感度を得るための構成としてレンズ枚数が多くなり、構成も複雑化、大型化してコスト高となる。また、大型化を抑えるために高密度に配置してしまうと、弱レンズの周囲に十分な空間がとれず、調整しずらくなるおそれがある。
【０００５】
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、光源からの光を光導波路に通して出力する光源モジュールにおいて、光導波路に対する結合のための光軸方向の調整精度を緩和できるレンズユニット、光源モジュール及びその組立方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以上の課題を解決するための本発明第１の形態は、光源と光導波路との間に配置され前記光源から出射された光を前記光導波路に結合させるレンズユニットであって、
前記光源及び前記光導波路に対して移動自在の状態において、前記アクチュエータにより１軸又は２軸以上の方向に移動されるレンズを含む２以上のレンズと、前記アクチュエータとが一体化されているレンズユニットである。
【０００７】
第２の形態は、光源と、光導波路と、前記光源と前記光導波路とが直接又は部材を介して固定された基台と、前記光源と前記光導波路との間に配置され前記基台に搭載されるレンズユニットとを備え、
前記レンズユニットは、アクチュエータにより１軸又は２軸以上の方向に移動されるレンズを含む２以上のレンズと、前記アクチュエータとが前記基台を介さずに一体化されてなり、
前記光源から出射された光が前記レンズユニットのレンズを介して前記光導波路に結合する光源モジュールである。
【０００８】
第３の形態は、前記アクチュエータによるレンズの移動方向が光軸に垂直な１軸方向又は２軸方向に限定されてなる第２の形態の光源モジュールである。
【０００９】
第４の形態は、前記基台に前記レンズユニットを搭載する搭載面が形成されており、前記アクチュエータによるレンズの移動方向が前記搭載面から離れる１軸方向に限定されてなる第２の形態の光源モジュールである。
【００１０】
第５の形態明は、前記２以上のレンズのうち少なくとも一つは、コリメートレンズである第２の形態から第４の形態のうちいずれか一の光源モジュールである。
【００１１】
第６の形態は、前記レンズユニットに搭載されるレンズの数が２である第２の形態から第５の形態のうちいずれか一の光源モジュールである。
【００１２】
第７の形態は、前記レンズを前記光源側から第１レンズ、第２レンズとし、第１レンズの焦点距離をｆ１、第２レンズの焦点距離をｆ２とするとき、0.7＜|ｆ２/ｆ１|＜1.3  の関係を有する第６の形態の光源モジュールである。
【００１３】
第８の形態は、光源と、光導波路と、前記光源から出射した光を前記光導波路に結合させるためのアクチュエータにより少なくとも１軸以上の方向に移動可能なレンズを含む２以上のレンズとを有し、これらを一体的に組み込んだ光源モジュールの組立方法であって、
光源と光導波路とを基台上に固定する第一段階と、
前記基台を介さずに一体化した前記２枚以上のレンズと前記アクチュエータを前記光源と光導波路との間に配置する第二段階と、
前記２枚以上のレンズを、前記基台上で前記光源と前記光導波路との間で光源側もしくは光導波路側へ一体的に移動させて前記光源から出射させた光束が前記光導波路に結合するように調整する第三段階とを有することを特徴とする光源モジュールの組立方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、アクチュエータにより１軸又は２軸以上の方向に移動されるレンズを含む２以上のレンズと、前記アクチュエータとを一体化したレンズユニットを、光源と光導波路との間に配置して、光源から出射した光を光導波路に入射するように、光源及び光導波路に対してレンズユニットごと移動させて位置を調整することにより、個々のレンズを移動させる場合に比較して光軸方向の調整感度が小さくなり、調整精度が緩和されて光軸方向の位置調整がしやすくなるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明の一実施の形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
【００１６】
図１は本発明の一実施形態に係る光源モジュールの構成図である。
図１に示すように、本実施形態の光源モジュールは、光源となるレーザーダイオード１、光導波路が形成された第２次高調波発生素子６と、基台９と、レンズユニット１０とを備える。図１に光軸をＺ軸とした直交３軸座標Ｘ−Ｙ−Ｚを示した。
【００１７】
図２(a)にレンズユニット単体の構成図を示す。レンズユニット１０は、第１レンズ３と、第２レンズ４と、第１レンズ３を移動させるアクチュエータとなる駆動装置７と、第２レンズ４を移動させるアクチュエータとなる駆動装置８とを備え一体化されて構成される。
駆動装置７，８は、圧電素子等の電気−機械変換素子と、前記変換素子に結合して変換素子と共に変位する駆動部材と、前記駆動部材に摩擦結合した被駆動部材から構成され、駆動部材の緩急変化と被駆動部材の慣性と摩擦力によるスムースインパクト駆動機構を利用した駆動装置である。可動部７ａ，８ａが被駆動部材に相当し、固定部７ｂ，８ｂに電気−機械変換素子や駆動部材が配置されスムースインパクト駆動機構が構成される。
【００１８】
第１レンズ３は、駆動装置７の可動部７ａに固定される。第２レンズ４は、駆動装置８の可動部８ａに固定される。駆動装置７の固定部７ｂと、駆動装置８の固定部８ｂとが直接的又は部材を介して間接的に結合され一体化される。
例えば、固定部８ｂと固定部７ｂと接着剤と介して直接的に接着しても良い。また、駆動装置７と駆動装置８との距離を所望の距離に保持するために、固定部８ｂと固定部７ｂとの間に部材１１を介して接合しても良い。また、固定部８ｂと固定部７ｂとを一のベース部材の上に置き、接着等で固定しても良い。一体化する方法や構造は任意である。
【００１９】
レンズユニット１０とは別に、図２(b)に示すように、レーザーダイオード１及び第２次高調波発生素子６をそれぞれ基台９に直接又は部材を介して搭載し固定する。レーザーダイオード１と基台９との間に、熱放射のためにペルチェ素子を挿入したり、第２次高調波発生素子６と基台９との間に、線膨張係数の違いによる歪を緩和するために中間部材を挿入したりする場合がある。
いずれにしても、レーザーダイオード１と第２次高調波発生素子６の光導波路との相対的位置が固定される。レーザーダイオード１から出射した光を第２次高調波発生素子６の光導波路に入射させるため、この間に光を遮る部分を形成しなければ、基台９の形状は任意である。本実施形態においては、両端部にレーザーダイオード搭載部９ａと、第２次高調波発生素子搭載部９ｂとが高台状に形成され、その間にレンズユニット搭載面９ｃが形成されている。図１に示すようにレンズユニット１０をレンズユニット搭載面９ｃに搭載する。
【００２０】
レンズユニット１０をレーザーダイオード１と第２次高調波発生素子６の光導波路と間に配置してレンズユニット搭載面９ｃに載置したら、レーザーダイオード１から出射された光２が第１レンズ３及び第２レンズ４を介して光導波路に効率よく結合するように、レーザーダイオード１に対してレンズユニット１０の位置を調整し、レンズユニット１０を基台９に固定する。
【００２１】
レンズユニット１０は、レンズユニット搭載面９ｃ上で摺動させて位置調整可能である。レンズユニット１０のＺ軸方向の位置は、これによって行う。したがって、駆動装置７による第１レンズ３の移動方向及び駆動装置８による第２レンズ４の移動方向はＺ軸方向以外のＸ軸方向及びＹ軸方向の双方又は一方に限定することができる。
【００２２】
Ｚ軸のみならずＸ軸は、レンズユニット搭載面９ｃに平行な軸である。したがって、Ｚ軸方向のみならず、Ｘ軸方向についてもレンズユニット１０をレンズユニット搭載面９ｃ上で摺動させて位置調整することができる。そのため、駆動装置７による第１レンズ３の移動方向及び駆動装置８による第２レンズ４の移動方向はＹ軸方向に限定することも可能である。
【００２３】
レンズユニット搭載面９ｃとレンズユニット１０の底面は、レンズユニット１０を安定的に摺動させることができる形状であればよい。レンズユニット１０のレンズユニット搭載面９ｃに沿った方向は、レンズユニット搭載面９ｃ上でレンズユニット１０を動かして行うことができるので、さらにレンズユニット１０内に構成されるアクチュエータによってレンズユニット搭載面９ｃから離れる１軸方向にレンズを移動可能にすれば、３軸方向すべてについて光導波路に入射する集光スポットの位置を調整することが可能である。なお、レンズユニット１０内で、レンズユニット搭載面９ｃに沿った方向にレンズを移動できるアクチュエータを搭載すれば、さらに結合効率を最適化することも可能である。
【００２４】
レンズユニット１０を基台９に固定した後、駆動装置７による第１レンズ３の位置調整、駆動装置８による第２レンズ４の位置調整を行う。
本実施形態においては、第１レンズ３及び第２レンズ４の双方にアクチュエータを設けたが、結合するためにはいずれか一方のみにアクチュエータを設けることでも足りる。
したがって、レンズユニット１０の最小構成としては、第１レンズ３及び第２レンズ４のうちいずれか一方に、Ｙ軸方向にのみレンズを移動可能にする一軸アクチュエータを1つ搭載したものとなる。
【００２５】
レンズユニット１０に搭載するレンズは、最小の２つとすることで、レンズユニットを１０を小型化することができるが、３以上のレンズを搭載しても良い。また、レンズユニット１０に搭載する２以上のレンズのうち少なくとも一つをコリメートレンズとすることで、位置調整が容易になる。
【００２６】
以上のように光源及び光導波路に対してレンズユニットごと移動させて光源から出射する光を光導波路に結合するように位置を調整することにより、個々のレンズを移動させる場合に比較して光軸方向の調整感度が小さくなり、調整精度が緩和されて光軸方向の調整がしやすくなるという効果がある。かかる効果を確認できる実施例を以下に開示する。
【実施例】
【００２７】
本発明実施例及び比較例についてＺ軸移動量に対する結合効率の変化を調べた。第１レンズ３の焦点距離をｆ１、第２レンズ４の焦点距離をｆ２、光源の光波長をλとする。
図３及び図４に本発明実施例に係るレンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率（最高効率を１００％として規格化したものである。以下同じ。）の変化を表すグラフを示す。表１及び表２に各実施例の仕様情報を記載した。
表３〜表５に近軸データ及び非球面係数を記載した。定義式を数１に示す。
図５及び図６に比較例に係るレンズのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフを示す。
【００２８】
【表１】
2008250114.tif 000003
【００２９】
【表２】
2008250114.tif 000004
【００３０】
【表３】
2008250114.tif 000005
【００３１】
【表４】
2008250114.tif 000006
【００３２】
【表５】
2008250114.tif 000007
【００３３】
【数１】
2008250114.tif 000008
【００３４】
表１(a1)に示す第１レンズの焦点距離ｆ１及び第２レンズの焦点距離ｆ２を有し、表１(a2)に示す光源及び光導波路の各モードフィールド半径を有し、光の波長を1.064〔μｍ〕とした光源モジュールについて、レンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すのが図３(a)に示すグラフである。
同様に、表１(b1)〜(b3)、(c1)〜(c3)、(d1)〜(d3)に示す仕様の光源モジュールについて、レンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すのが順に図３(b)、(c)、(d)に示すグラフである。
また同様に、表２(a1)〜(a3)、(b1)〜(b3)に示す仕様の光源モジュールについて、レンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すのが順に図４(a)、(b)に示すグラフである。
【００３５】
図３(a)〜(d)に示す4つの実施例では、波長を1.064〔μｍ〕として、ｆ２/ｆ１の値を変化させた。参考として、表３に示す構成はこれらの実施例のうち図３（a）に適用されるものである。
【００３６】
図４(a)に示す実施例は、波長を1.310〔μｍ〕とした実施例である。表４に示す構成はこの実施例に適用されるものである。
【００３７】
図４(b)に示す実施例は、扁平なモードフィールドを有する実施例である。表５に示す構成はこの実施例に適用されるものである。
【００３８】
図５は、図１０に示す光源モジュールにおいてｆ２/ｆ１＝1.0、λ＝1.064［μｍ］、光源のモード半径と光導波路のモード半径をＸ軸方向、Ｙ軸方向ともに1.5μｍとしたときの第１レンズ３、第２レンズ４のそれぞれのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。図５(a)は第２レンズ４のＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフであり、図５(b)は、第１レンズ３のＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。
【００３９】
また、図６は、図１０に示す光源モジュールにおいてｆ２／ｆ１＝1.0、λ＝1.310［μｍ］、光源のモード半径と光導波路のモード半径をＸ軸方向、Ｙ軸方向ともに5.0μｍとしたときの第２レンズ４のＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。
【００４０】
図５、図６に示す比較例のグラフからわかるように、第１レンズ３にしても、第２レンズ４にしても、図５ではレンズのＺ軸移動量が±５μｍ、図６では±５０μｍで、結合効率がピーク値から約１０％減少しており、比較的厳しい調整精度が要求される。
【００４１】
これに比較して本発明実施例では、レンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率のピークからの減少量の変化は小さくなっている。例えば、図５の結果を得た光学系と同様のもので、レンズユニットをZ軸に移動して得たグラフが図３（a）となるが、このとき、結合効率がピーク値から１０％減少した場合のレンズユニットのZ軸移動量は±８０μｍとなりレンズ単体の調整よりも調整感度が小さくなっていることが分かる。また同様に、図６に対応するグラフが図４（a）であり、このとき結合効率がピーク値から１０％減少した場合のレンズユニットのZ軸移動量は±２５０μｍとなり、同じように調整感度が小さくなっていることが分かる。
すなわち、個々のレンズを移動させる比較例に比較してレンズユニットごと移動させて位置を調整する本発明実施例の方が、光軸方向の調整感度が小さくなり、調整精度が緩和されて光軸方向の調整がしやすくなるという効果がある。
かかる効果を得るためにｆ２／ｆ１の値は、図３及び図４に示される0.7＜|ｆ２/ｆ１|＜1.3  の範囲とすることがより好ましい。
以上で実施例の開示を終わる。
【００４２】
次に、レンズユニットの構成例につき説明する。図７は、レンズを駆動する駆動装置ＤＲの斜視図である。第２レンズＬ２と開口絞りＳとは、レンズホルダＤＨ２により保持されており、一体的に移動するようになっている。可動部材となるレンズホルダＤＨ２は、駆動力を受ける連結部ＤＨ２ａを有している。
【００４３】
連結部ＤＨ２ａの端部には、四角柱状のＸ軸駆動軸ＸＤＳと対応する形状を有し且つそれに接する角溝ＤＨ２ｂが設けられ、また角溝ＤＨ２ｂとの間にＸ軸駆動軸ＸＤＳを挟むようにして板ばねＸＳＧが取り付けられている。連結部ＤＨ２ａと板ばねＸＳＧとの間で挟持された駆動部材であるＸ軸駆動軸ＸＤＳは、第２レンズＬ２の光軸に直交する方向（Ｘ軸方向）に延在しており、板ばねＸＳＧの付勢力で適度に押圧されている。Ｘ軸駆動軸ＸＤＳの一端は自由端であり、その他端は、電気機械変換素子であるＸ軸圧電アクチュエータＸＰＺに連結されている。Ｘ軸圧電アクチュエータＸＰＺは、ベースＢＳに立設された側壁ＳＷに取り付けられている。
【００４４】
一方、第１レンズＬ１は、レンズホルダＤＨ１により保持されており、一体的に移動するようになっている。可動部材となるレンズホルダＤＨ１は、駆動力を受ける連結部ＤＨ１ａを有している。
【００４５】
連結部ＤＨ１ａの端部には、四角柱状のＹ軸駆動軸ＹＤＳと対応する形状を有し且つそれに接する角溝ＤＨ１ｂが設けられ、また角溝ＤＨ１ｂとの間にＹ軸駆動軸ＹＤＳを挟むようにして板ばねＹＳＧが取り付けられている。連結部ＤＨ１ａと板ばねＹＳＧとの間で挟持された駆動部材であるＹ軸駆動軸ＹＤＳは、Ｘ軸方向及び第１レンズＬ１の光軸に直交する方向（Ｙ軸方向）に延在しており、板ばねＹＳＧの付勢力で適度に押圧されている。Ｙ軸駆動軸ＹＤＳの一端は自由端であり、その他端は、電気機械変換素子であるＹ軸圧電アクチュエータＹＰＺに連結されている。Ｙ軸圧電アクチュエータＹＰＺは、ベースＢＳの上面に取り付けられている。
【００４６】
圧電アクチュエータＸＰＺ、ＹＰＺは、ＰＺＴ(ジルコン・チタン酸鉛)などで形成された圧電セラミックスを積層してなる。圧電セラミックスは、その結晶格子内の正電荷の重心と負電荷の重心とが一致しておらず、それ自体分極していて、その分極方向に電圧を印加すると伸びる性質を有している。しかし、圧電セラミックスのこの方向への歪みは微小であり、この歪み量により被駆動部材を駆動することは困難であるため、図８に示すように、複数の圧電セラミックスＰＥを積み重ねてその間に電極Ｃを並列接続した構造の積層型圧電アクチュエータが実用可能なものとして提供されている。本実施の形態では、この積層型圧電アクチュエータＰＺを駆動源として用いている。
【００４７】
次に、このレンズＬ１、Ｌ２の駆動方法について説明する。一般に、積層型圧電アクチュエータは、電圧印加時の変位量は小さいが、発生力は大でその応答性も鋭い。したがって、圧電アクチュエータＸＰＺに、図９（ａ）に示すように立ち上がりが鋭く立ち下がりがゆっくりとした略鋸歯状波形のパルス電圧を印加すると、圧電アクチュエータＸＰＺは、パルスの立ち上がり時に急激に伸び、立ち下がり時にそれよりもゆっくりと縮む。したがって、圧電アクチュエータＸＰＺの伸長時には、その衝撃力でＸ軸駆動軸ＸＤＳが図７の手前側へ押し出されるが、レンズＬ２及び開口絞りＳを保持したレンズホルダＤＨ２の連結部ＤＨ２ａと板ばねＸＳＧは、その慣性により、Ｘ軸駆動軸ＸＤＳと一緒には移動せず、Ｘ軸駆動軸ＸＤＳとの間で滑りを生じてその位置に留まる（わずかに移動する場合もある）。一方、パルスの立ち下がり時には立ち上がり時に比較してＸ軸駆動軸ＸＤＳがゆっくりと戻るので、連結部ＤＨ２ａと板ばねＸＳＧがＸ軸駆動軸ＸＤＳに対して滑らずに、Ｘ軸駆動軸ＸＤＳと一体的に図７の奥側へ移動する。即ち、周波数が数百から数万ヘルツに設定されたパルスを印加することにより、レンズＬ２及び開口絞りＳを保持したレンズホルダＤＨ２を、Ｘ軸方向に所望の速度で連続的に移動させることができる。
【００４８】
同様に、圧電アクチュエータＹＰＺに、図９（ａ）に示すように立ち上がりが鋭く立ち下がりがゆっくりとした略鋸歯状波形のパルス電圧を印加すると、圧電アクチュエータＹＰＺは、パルスの立ち上がり時に急激に伸び、立ち下がり時にそれよりもゆっくりと縮む。したがって、圧電アクチュエータＹＰＺの伸長時には、その衝撃力でＹ軸駆動軸ＹＤＳが図７の上側へ押し出されるが、レンズＬ１を保持したレンズホルダＤＨ１の連結部ＤＨ１ａと板ばねＹＳＧは、その慣性により、Ｙ軸駆動軸ＹＤＳと一緒には移動せず、Ｙ軸駆動軸ＹＤＳとの間で滑りを生じてその位置に留まる（わずかに移動する場合もある）。一方、パルスの立ち下がり時には立ち上がり時に比較してＹ軸駆動軸ＹＤＳがゆっくりと戻るので、連結部ＤＨ１ａと板ばねＹＳＧがＹ軸駆動軸ＹＤＳに対して滑らずに、Ｙ軸駆動軸ＹＤＳと一体的に図７の下側へ移動する。即ち、周波数が数百から数万ヘルツに設定されたパルスを印加することにより、レンズＬ１を保持したレンズホルダＤＨ１を、Ｙ軸方向に所望の速度で連続的に移動させることができる。
【００４９】
即ち、所定のパルス入力を印加することにより、レンズＬ２及び開口絞りＳをＸ軸方向に、レンズＬ１をＹ軸方向に所望の速度で連続的に移動させることができるのである。尚、以上より明らかであるが、図９（ｂ）に示すように電圧の立ち上がりがゆっくりで、立ち下がりが鋭いパルスを印加すれば、レンズホルダＤＨ１，ＤＨ２を逆の方向へ移動させることができる。本実施の形態では、Ｘ軸駆動軸ＸＤＳ及びＹ軸駆動軸ＹＤＳを四角柱状（回り止め機構）としているので、レンズホルダＤＨ１，ＤＨ２の回り止め機能が発揮され、レンズＬ２，Ｌ１のチルトが抑制されるので、別個にガイド軸を設ける必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施形態に係る光源モジュールの構成図である。
【図２】(a)は、本発明の一実施形態に係るレンズユニットの構成図であり、(b)は、レンズユニット搭載前の光源モジュールの構成図である。
【図３】本発明実施例に係るレンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。
【図４】本発明実施例に係るレンズユニットのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。
【図５】比較例に係るレンズのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。
【図６】比較例に係るレンズのＺ軸移動量に対する結合効率の変化を表すグラフである。
【図７】本発明の一実施形態に係るレンズを駆動する駆動装置の斜視図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る積層型圧電アクチュエータの斜視図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る駆動電圧パルスを示す波形図である。
【図１０】従来例に係る光源モジュールの構成図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  レーザーダイオード
３  第１レンズ
４  第２レンズ
６  第２次高調波発生素子
７  駆動装置
８  駆動装置
９  基台
９ｃ  レンズユニット搭載面
１０  レンズユニット
Ｚ  光軸方向
ＢＳ  ベース
Ｃ  電極
ＤＨ１  レンズホルダ
ＤＨ２  レンズホルダ
ＤＨ１ａ  連結部
ＤＨ１ｂ  角溝
ＤＨ２ａ  連結部
ＤＨ２ｂ  角溝
ＤＲ  駆動装置
ＨＤ  支持体
ＨＧ  溝
Ｌ１  第１レンズ
Ｌ２  第２レンズ
ＰＥ  圧電セラミックス
ＰＺ  圧電アクチュエータ
Ｓ  開口絞り
ＸＤＳ  Ｘ軸駆動軸
ＸＰＺ  Ｘ軸圧電アクチュエータ
ＹＤＳ  Ｙ軸駆動軸
ＹＰＺ  Ｙ軸圧電アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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