(57)【要約】【課題】  ハードディスク等の記憶媒体や読取装置を汚染することのない液体動圧軸受を提供すること、及び樹脂被覆を有する液体動圧軸受のコストを低減すること。【解決手段】  円柱状軸部材１、この円柱状軸部材１が回転自在に嵌合する円筒状受け部材２、蓋部材３とを有する液体動圧軸受において、円柱状軸部材１は金属心材Ｎに樹脂被覆層Ｐが施されたものであり、且つ樹脂被覆層Ｐとこの樹脂被覆層Ｐに設けられた動圧発生溝は液晶高分子材料の成形加工により一体に形成されたものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱状軸部材とこの円柱状軸部材が回転自在に嵌合する円筒状受け部材とを有する液体動圧軸受において、前記円柱状軸部材は金属心材に動圧発生溝を有する樹脂被覆層が液晶高分子材料の成形加工により一体に形成されたものであることを特徴とする液体動圧軸受。
【請求項２】
円柱状軸部材とこの円柱状軸部材が回転自在に嵌合する円筒状受け部材とを有する液体動圧軸受において、前記円筒状受け部材は金属心材に動圧発生溝を有する樹脂被覆層が液晶高分子材料の成形加工により一体に形成されたものであることを特徴とする液体動圧軸受。
【請求項３】
前記液晶高分子材料は、ポリヒドロキシ安息香酸とビスフェノールとテレフタル酸との重合物を出発原料とした重合物、ポリヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシナフトエ酸を出発原料とした重合物、或いはポリエチレンテレフタレートとポリヒドロキシ安息香酸を出発原料とした重合物の中から選ばれたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２の液体動圧軸受。
【請求項４】
フランジ付円柱状軸部材と、このフランジ付円柱状軸部材が回転自在に嵌合する段付円筒状受け部材とを具備する液体動圧軸受によってロータがステータに軸支されたスピンドルモータにおいて、前記フランジ付円柱状軸部材は金属心材に動圧発生溝を有する樹脂被覆層が液晶高分子材料の成形加工により一体に形成されたものであることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れか一つの液体動圧軸受を搭載したことを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項６】
前記動圧発生溝の少なくとも回転方向側の壁面をテーパ壁面としたことを特徴とする請求項４又は５に記載のスピンドルモータ。
【請求項７】
前記動圧発生溝の回転方向側の壁面と反対側の壁面を共にテーパ壁面とし、且つ後者のテーパ角を前者のテーパ角よりも小さくしたことを特徴とする請求項４又は５に記載のスピンドルモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円柱状軸部材と円筒状受け部材とを具備し前記円柱状軸部材の外周面と円筒状受け部材の内周面の両方又はいずれか一方に樹脂被覆層が形成された液体動圧軸受、及びこの液体動圧軸受を備えたスピンドルモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯者が移動中にも使用可能な小型軽量の携帯型コンピュータや情報端末のハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の駆動源には１０ｍｍ程度、或いはそれ以下の薄さの超小型スピンドルモータが採用されている。当然ながら、その軸受である液体動圧軸受は超小型スピンドルモータの寸法より更に小さいものとなる。軸受は超小型スピンドルモータの性能を左右する重要な構成要素であるから、高安定化、小型化、低価格化の要求は更に厳しいものがある。
【０００３】
そこで、金属の軸の外周面に樹脂被覆が形成された軸部材と、この軸部材が回転自在に嵌合するスリーブ状受け部材とを主構成要素とする液体動圧軸受、いわゆる樹脂加工により製造された液体動圧軸受が提案された。この液体動圧軸受は、軸と共働するスリーブを備えた液体動圧軸受であって、軸外面にインサート成形された合成樹脂には動圧発生用の溝を有する軸受面が設けられていることを特徴とするものである。このような構成により、軸受面の摺動性と量産性に優れるとともに低コスト、また合成樹脂の成形収縮を利用することから収縮が比較的大きい熱可塑性樹脂の使用が可能、かつ合成樹脂層と金属の軸とが密着するから寸法精度に優れるとともに寸法の経時変化も少ない、更にラジアル軸受面とスラスト軸受面の直角度が金型精度で決まり、製品の品質が安定するという旨の発明の効果が記載されている。
【０００４】
しかしながら、上述の従来の液体動圧軸受には、被覆材料の問題がある。即ち、金属の軸を被覆する樹脂はＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂やエポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂に、炭素繊維、エコノール、グラファイト、二硫化モリブデン、ポリイミド等の耐摩耗性向上物質を充填されたものであるが、これらの耐摩耗性向上物質はハードディスク等の記憶媒体や読取装置を汚染するＰｂ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｐ、Ｓ等の元素が含まれていることである。
【０００５】
この従来の液体動圧軸受を長期間使用すると、上述の汚染元素が被覆樹脂から溶出してくることになる。溶出した汚染元素がハードディスク等の記憶媒体に付着すると、記憶媒体自体の品質低下や装置の誤動作をもたらすことになる。従って、上記の如き汚染元素を含む耐摩耗性向上物質を充填した樹脂を金属の軸に被覆した軸部材を有する液体動圧軸受は、ハードディスク等の記憶媒体又は読取装置を回転駆動するスピンドルモータには採用できないという問題がある。
【０００６】
他の問題は、被覆樹脂の厚みに関するものである。上述の従来の液体動圧軸受において、軸受面であるラジアル受面の合成樹脂層の厚さは、薄すぎると樹脂の流動が悪く、厚すぎると成形精度が確保しにくくなるので、０．２〜１ｍｍ程度とされているが、１０ｍｍ程度又はそれ以下の薄さの小型スピンドルモータに採用される軸受にとっては、この厚みは回転負荷に耐えられるだけの充分なヤング率を実現すること、及び樹脂材料のコスト節減の妨げとなっている。
【０００７】
更に他の問題は、上記のものを含む従来の液体動圧軸受に共通したものであるが、超小型の液体動圧軸受では動圧発生溝の寸法が制限されるから、その分だけ発生する動圧が小さくなるということである。
【特許文献１】特開平７−３３２３５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする第１の課題は、ハードディスク等の記憶媒体や読取装置を汚染することのない液体動圧軸受を提供することである。解決しようとする第２の課題は、液体動圧軸受のコストを低減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、円柱状軸部材とこの円柱状軸部材が回転自在に嵌合する円筒状受け部材とを有する液体動圧軸受において、前記円柱状軸部材の金属心材に動圧発生溝を有する樹脂被覆層を液晶高分子材料の成形加工により一体に形成した。
【００１０】
また、円柱状軸部材とこの円柱状軸部材が回転自在に嵌合する円筒状受け部材とを有する液体動圧軸受において、前記円筒状受け部材の金属心材に動圧発生溝を有する樹脂被覆層を液晶高分子材料の成形加工により一体に形成した。
【００１１】
更に、前記液晶高分子材料を、ポリヒドロキシ安息香酸とビスフェノールとテレフタル酸との重合物を出発原料とした重合物、ポリヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシナフトエ酸を出発原料とした重合物、或いはポリエチレンテレフタレートとポリヒドロキシ安息香酸を出発原料とした重合物の中から選定した。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、ハードディスク等の記憶媒体や読取装置を汚染することのない樹脂被覆層を有する液体動圧軸受を提供することができた。また樹脂被覆に使用する樹脂材料の量は少なくなるから材料費の節減が図られた。液体動圧軸受の主要構成部材に液晶高分子材料により樹脂被覆層を形成すること並びに樹脂被覆層に動圧発生溝を形成することは、通常の樹脂成形加工法により同時に行えるから、製造コストも低減できた。樹脂被覆層に形成される動圧発生溝は、従来の直角壁面の溝でなくテーパ壁面の溝としたので、製品の金型からの抜けがよくなり、動圧発生溝の加工時の損傷がなくなり品質も向上した。要するに、本発明により樹脂被覆層を有する液体動圧軸受の超小型化とコスト低減を実現できた。
【００１３】
更に、また、動圧発生溝の加工にエッチングなどの産業廃棄物を大量に出す方法を取らずに済み、仮に樹脂被覆不良品が生じても樹脂は容易に再生可能であるため、環境破壊を最小に押さえることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図1は本発明に係る液体動圧軸受の一実施例の断面図、図2は図1の液体動圧軸受においてフランジ付円柱状軸部材のみを側面図として示したものである。これら図1及び図2において、１はフランジ付円柱状軸部材、２はこのフランジ付円柱状軸部材１が回転自在に嵌合する段付円筒状受け部材である。３はスラスト押さえ板としても機能する蓋部材であり、フランジ付円柱状軸部材１の上側の外周面との間にキャピラリーシールＳを形成する貫通孔をその中心部に有する。Ｒ１は軸部材１の下端面と受け部材２の底面との間に形成された微小隙間、Ｒ２は軸部材１の下側円柱部の外周面と受け部材２の小径円筒部の内周面との間に形成された微小隙間、Ｒ３は軸部材１のフランジ部の下面と受け部材２の大径円筒部の底面との間に形成された微小隙間、Ｒ４は軸部材１のフランジ部の外周面と受け部材２の大径円筒部の内周面との間に形成された微小隙間、Ｒ５は軸部材１のフランジ部の上面と蓋部材３の下面との間に形成された微小隙間、及びＲ６はフランジ付円柱状軸部材１の上側円柱部の外周面と蓋部材３の貫通孔との間に形成された微小隙間である。これらの微小隙間は、液体動圧軸受のサイズにもよるが、数μmないし数１０μmである。Ｆは、これらの隙間に充填された潤滑油である。
【００１５】
フランジ付円柱状軸部材１は、図5の斜視図に示す如く、円柱部１ａとフランジ部１ｂとからなる十字型断面の円柱状軸部材である。フランジ付円柱状軸部材１は、十字型断面の円柱状の金属心材とその外周面に施された液晶高分子材料の樹脂被覆層Ｐとからなる。円柱部１ａの下側の樹脂被覆層Ｐには、ラジアル動圧発生溝Ｇ１が、且つフランジ部１ｂの上面と下面にはスラスト動圧発生溝Ｇ２が夫々形成されている。
【００１６】
図３と図４は、フランジ付円柱状軸部材１の夫々異なる実施例の断面図である。フランジ付円柱状軸部材１は、十字型断面の円柱状金属心材とその外周面に施された液晶高分子材料の樹脂被覆層Ｐとから構成されている。図３と図４に示すフランジ付円柱状軸部材１の相違点は２つある。第1は十字型断面の円柱状金属心材の構成に関するもの、第2は液晶高分子材料の樹脂被覆層Ｐと動圧発生溝の形成に関するものである。
【００１７】
十字型断面の円柱状金属心材は、円柱部１ａの金属心材である円柱部材１ｃと、フランジ部１ｂの金属心材である円盤部材１ｄとから構成されたものである。十字型断面の円柱状金属心材は、図３においては円柱部材１ｃと円盤部材１ｄを一体にして作成したものであるのに対し、図４においては円柱部材１ｃと貫通孔付円盤部材１ｄを別々に作成した後に前者を後者に圧入して作成したものである。これらの金属心材は、鋳造または切削加工により製作される。
【００１８】
液晶高分子材料の樹脂被覆層Ｐは、円柱部１ａの金属心材である円柱部材１ｃと、フランジ部１ｂの金属心材である円盤部材１ｄとから構成された十字型断面の円柱状金属心材に形成された被覆層であり、且つ動圧発生溝Ｇ１とＧ２は液晶高分子材料の樹脂被覆層Ｐに形成された微小溝である。液晶高分子材料の樹脂被覆層Ｐは、図3においては円柱部材１ｃと円盤部材１ｄの両方に形成されているのに対し、図４においては円盤部材１ｄのみに形成されている。そして、図3においては、ラジアル動圧発生溝Ｇ１は円柱部１ａの下側円柱部の樹脂被覆層Ｐに形成され、スラスト動圧発生溝Ｇ２はフランジ部１ｂの上側と下側の樹脂被覆層Ｐに夫々形成されている。他方、図４においては、スラスト動圧発生溝Ｇ２はフランジ部１ｂの上側と下側の樹脂被覆層Ｐに夫々形成されているが、ラジアル動圧発生溝Ｇ１はフランジ部１ｂの外周面の樹脂被覆層Ｐに形成されている。
【００１９】
段付円筒状受け部材２は、図６の斜視図に示す如く、小径円筒部２ａが下段に且つ大径円筒部２ｂが上段に形成されている。段付円筒状受け部材２の小径円筒部２ａには、フランジ付円柱状軸部材１の円柱部１ａの下部、即ちラジアル動圧用円柱部が回転自在に嵌合し、且つその大径円筒部２ｂには、フランジ付円柱状軸部材１のフランジ部１ｂ、即ちスラスト動圧用円盤部が回転自在に嵌合する。
【００２０】
上述の如く構成された本発明に係る液体動圧軸受は、例えば図７に示すスピンドルモータに適用され、超小型スピンドルモータが実現される。即ち、図７に示す超小型スピンドルモータは、十字型断面のフランジ付円柱状軸部材１と段付円筒状受け部材２を基本構成要素とする液体動圧軸受によって、そのロータがステータに軸支されているものである。図示は省略されているが、十字型断面のフランジ付円柱状軸部材１は、十字型断面の円柱状金属心材に液晶高分子の樹脂被覆層が形成され、且つこの樹脂被覆層には動圧発生溝が形成されたものである。３は蓋部材で、スラスト押え板としても機能する。この超小型スピンドルモータには、フランジ付円柱状軸部材１の端部に同軸にして固着されハードディスク等の回転体を保持するカップ状ハブ部材４、このカップ状ハブ部材４のスリーブ部の内周面に取り付けられたロータ磁石５、段付円筒状受け部材２の外周面に取り付けられてロータ磁石５と共働して回転力を発生させるステータコイル６、及び段付円筒状受け部材２が立設された基板７も含まれている。
【００２１】
図７に示すフランジ部１ｂが軸方向中央部に形成された十字型断面のフランジ付円柱状軸部材１とこのフランジ付円柱状軸部材１を回転自在に収容する段付円筒状受け部材２とで構成された液体動圧軸受は、フランジ部が軸の一方の端部に形成されたＴ字型断面のフランジ付円柱状軸部材及びこのフランジ付円柱状軸部材を回転自在に収容する円筒状受け部材とで構成された液体動圧軸受が有する固有の問題、即ち高速回転時に軸変位の方向とその変位に対する復元力の方向が一致しないことによって生じるハーフホワール現象に起因する回転の不安定さを除去し、高速回転時の高安定化を実現できた。
【００２２】
本発明は、図７に示す軸回転型の液体動圧軸受けだけでなく、図８に示す軸一端固定型の液体動圧軸受、即ちフランジ部が軸の一方の端部に形成されたＴ字型断面のフランジ付円柱状軸部材１及びこのフランジ付円柱状軸部材１を回転自在に収容する円筒状受け部材２とで構成された液体動圧軸受であって、軸の一端が基板７に固定された液体動圧軸受にも適用できる。更に、本発明に係る液体動圧軸受は、図９に示す軸両端固定型の液体動圧軸受、即ちフランジ部が軸の一方の端部に形成されたＴ字型断面のフランジ付円柱状軸部材１及びこのフランジ付円柱状軸部材１を回転自在に収容する円筒状受け部材２とで構成された液体動圧軸受であって、軸の両端が基板７に固定された液体動圧軸受にも適用できる。
【００２３】
次に、本発明における動圧発生溝の形状について、図１０ないし図１４を参照して説明する。図１０は、ラジアル動圧発生溝Ｇ１を誇張して示した円柱状軸部材１の一実施例の部分斜視図である。ラジアル動圧発生溝Ｇ１は、図５においては上下二段に分けて形成されたヘリングボーン溝であるが、図１０においてはＶ字型のヘリングボーン溝である。円柱状軸部材１の回転方向は、いずれも反時計方向である。ラジアル動圧発生溝Ｇ１は金属心材に施された樹脂被覆層に形成された深さが数μｍの細長い溝であり、回転方向側の壁面Ｗａ、回転方向とは反対側の壁面Ｗｂ、回転方向に平行な2つの壁面、及び底面Ｗｃを有する。
【００２４】
従来は、図１２に示す如く、動圧発生溝の壁面は軸受表面に対して直角に形成されていた。本発明は、動圧発生溝の少なくとも回転方向側の壁面Ｗａをテーパ壁面としたものである。即ち、図１３に示す如く、回転方向とは反対側の壁面Ｗｂは従来通り軸受表面に対して直角としたが、回転方向側の壁面Ｗａは軸受表面に立てた垂線に対して角度αだけ傾斜したテーパ壁面とした。また、図１４に示す如く、回転方向とは反対側の壁面Ｗｂを軸受表面に立てた垂線に対して角度βだけ傾斜したテーパ壁面とし、回転方向側の壁面Ｗａを角度αだけ傾斜したテーパ壁面とし、前者のテーパ角βを後者のテーパ角αよりも小さくした動圧発生溝を形成してもよい。そして、これらのテーパ角は、約２０度ないし約７０度とした。
【００２５】
図１１は、横軸にテーパ角αを、縦軸に負荷能力をとり、且つテーパ角αとテーパ角βとの角度差、即ちテーパ角度差をパラメータとした動圧発生溝の特性図である。なお、テーパ角αは時計回りを正とし、テーパ角βは反時計回りを正としている。図１１に示されている4本の曲線ａ、ｂ、ｃ、ｄは、テーパ角度差が２０度、１０度、０度、及びマイナス１０度のものの特性曲線である。図１１から明らかな如く、テーパ角αを増加させると、特性曲線ｄで示すテーパ角度マイナス１０度のものの負荷能力は約２０度から約５０度までは殆ど変化しないで、それ以降は徐々に低下している。特性曲線ｃで示すテーパ角度０度のもの、即ち図１２に示す従来のものの負荷能力は約３０度までは殆ど変化しないが、それから徐々に増加し５０度付近でピークとなり、それ以降は徐々に低下している。
【００２６】
これに対して、本発明に係る図１３又は図１４に示す形状の動圧発生溝の場合は、テーパ角αが約２０度から約７０度の間で負荷能力が著しく増加しており、特に５０度の付近で最大となっている。それもテーパ角度差が１０度よりも２０度と、角度差が大きくなればなるだけ増加する傾向が認められる。因みに、テーパ角度差が２０度の場合は、従来の直角壁面の場合に比べて最大で３割近い負荷能力の増加が認められた。
【００２７】
図１３ないし図１４に示した動圧発生溝の形状は、ラジアル動圧発生溝Ｇ１だけでなく、スラスト動圧発生溝Ｇ２にも適用される。従って、フランジ付円柱状軸部材と、このフランジ付円柱状軸部材が回転自在に嵌合する段付円筒状受け部材とを具備する液体動圧軸受によってロータがステータに軸支されたスピンドルモータにおいて、前記フランジ付円柱状軸部材１の金属心材に施された樹脂被覆層Ｐとこの樹脂被覆層Ｐに設けられた動圧発生溝Ｇ１、Ｇ２を液晶高分子材料の成形加工により一体に形成し、且つ前記動圧発生溝の少なくとも回転方向側の壁面をテーパ壁面とした図７の超小型スピンドルモータは、その負荷能力が向上した。
【００２８】
以上詳細に説明した如く、本発明に係る液体動圧軸受は、その主要構成部材である円柱状軸部材１と円筒状受け部材２の両方、又は少なくとも円柱状軸部材１は金属心材に樹脂被覆層Ｐが施された部材である。そして、樹脂被覆層Ｐを金属心材に施すこと、並びに樹脂被覆層Ｐに動圧発生溝を設けることは、液晶高分子材料の樹脂成形加工により一体に形成されるものである。この液晶高分子材料の樹脂成形加工により形成被覆層Ｐと動圧発生溝とを一体に形成する方法を、図１５を参照して説明する。即ち、コンプレッション成形による樹脂加工方法である図１５において、先ず金属心材Ｎを下型１０に位置づけ且つ上型１１をその上に配置して金型に装填した後、計量した液晶高分子材料Ｍを上型１１の充填口から金型に充填する(１５図ａ)。次いで、この状態にした金型をプレス機の上にセットして、加熱加圧して溶融した液晶高分子材料Ｍの樹脂を金型と金属心材Ｎとの間隙にプランジャー１２により流し込む（１５図ｂ)。溶融した液晶高分子材料Ｍの樹脂の流し込みが完了した後、上型を開き、製品を金型から取り出す（１５図ｃ)。上型１１の所定の面には、動圧発生溝を形成するための溝が形成されており、従って、この製品は、樹脂被覆層Ｐと動圧発生溝とが一体に形成された部材である。本発明に係る液体動圧軸受の主要構成部材の樹脂成形加工は、図１５のコンプレッション成形に限られず、トランスファー成形、射出成形、射出圧縮成形のいずれの方法も利用できる。
【００２９】
なお、前記液晶高分子材料は、ポリヒドロキシ安息香酸とビスフェノールとテレフタル酸との重合物を出発原料とした重合物、ポリヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシナフトエ酸を出発原料とした重合物、或いはポリエチレンテレフタレートとポリヒドロキシ安息香酸を出発原料とした重合物の中から選定した。このような樹脂材料を用いたために、特に２００μｍ以下の非常に薄い肉圧の樹脂被覆層を形成することが可能になった。しかも形成された超薄肉の樹脂被覆層は潤滑性、耐衝撃性、耐熱性、耐薬品性に優れたものである。これらの液晶高分子材料の他に使える材料は、全芳香族ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリフタルアミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ＰＥＥＫ樹脂、ポリケトン樹脂、フッソ系樹脂等である。また、これらの樹脂単体、又は樹脂マトリックスに、カーボン、グラファイト、二酸化珪素等の無機フィラー類や、ウィスカー類、炭素繊維、ガラス繊維等の強化繊維を含めた液晶高分子材料も利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る液体動圧軸受の一実施例の断面図である。
【図２】本発明に係る液体動圧軸受の他の実施例の断面図である。
【図３】円柱状軸部材の一実施例の断面図である。
【図４】円柱状軸部材の他の実施例の断面図である。
【図５】円柱状軸部材の一実施例の斜視図である。
【図６】円筒状受け部材の一実施例の斜視図である。
【図７】本発明に係る液体動圧軸受を用いた超小型スピンドルモータの一実施例の断面図で    ある。
【図８】本発明が適用できる液体動圧軸受の他の実施例の断面図である。
【図９】本発明が適用できる液体動圧軸受の更に他の実施例の断面図である。
【図１０】ラジアル動圧発生溝を誇張して示した円柱状軸部材の一実施例の部分斜視図である    。
【図１１】本発明に係る動圧発生溝の効果を示す特性図である。
【図１２】従来の動圧発生溝の部分拡大断面図である。
【図１３】本発明に係る動圧発生溝の一実施例の部分拡大断面図である。
【図１４】本発明に係る動圧発生溝の他の実施例の部分拡大断面図である。
【図１５ａ】本発明に係る液体動圧軸受の製造方法の一例を示す図である。
【図１５ｂ】本発明に係る液体動圧軸受の製造方法の一例を示す図である。
【図１５ｃ】本発明に係る液体動圧軸受の製造方法の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１    円柱状軸部材
１ａ  円柱部
１ｂ  フランジ部
１ｃ  円柱部１ａの金属心材である円柱部材
１ｄ  円柱部１ｂの金属心材である円盤部材
２    円筒状受け部材
２ａ  小径円筒部
２ｂ  大径円筒部
３    蓋部材
４    カップ状ハブ
５    ロータ磁石
６    ステータコイル
７    基板
１０  下型
１１  上型
１２  プランジャー
Ｆ    潤滑油
Ｇ１  ラジアル動圧発生溝
Ｇ２  スラスト動圧発生溝
Ｍ    液晶高分子材料
Ｎ    金属心材
Ｐ    樹脂被覆層
R１、 R２、 R３、 R４、 R５、 R６  微小隙間
Ｓ    キャピラリーシール
Ｗａ  動圧発生溝の回転方向側の壁面
Ｗｂ  動圧発生溝の回転方向と反対側の壁面
Ｗｃ  動圧発生溝の底面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2008133965.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2008133965.tif 000015
【図１４】
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【図１５ａ】
2008133965.tif 000017
【図１５ｂ】
2008133965.tif 000018
【図１５ｃ】
2008133965.tif 000019