(57)【要約】【課題】電極に印加する電圧を押さえつつ、基板から剥離しにくい隔壁を有する電気泳動表示媒体、電気泳動表示媒体の製造方法及び、電気泳動表示装置を提供すること。【解決手段】まず型押し工程において、加工前の第一基板の第二基板に対向する側の面である対向面に凹凸形状の成形面を備える成形型を押し当てて、第一基板を成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形する。続く離型工程において、第一基板から成形型を離し、続く電極膜形成工程において、離型工程により形成された第一基板１１の対向面２０のうち隔壁が立設されていない部分である隔壁非立設部２１に共通電極２６を形成する。【選択図】図３
2008051881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板の前記第二基板と対向する面である対向面に立設され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに内包され、電界の作用により移動する帯電粒子とを備えた電気泳動表示媒体の製造方法において、
少なくとも前記対向面が合成樹脂で形成された加工前の前記第一基板の当該対向面に、凹凸形状の成形面を備える成形型を押し当てて、当該加工前の第一基板を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形する型押し工程と、
前記型押し工程後、前記第一基板から前記成形型を離し、前記第一基板の前記対向面に凸部からなる前記隔壁を形成する離型工程と、
前記型押し工程と前記離型工程とにより形成された前記第一基板の前記対向面のうち、前記隔壁が立設されていない部分である隔壁非立設部に、電極膜を形成する電極膜形成工程と
を備えることを特徴とする電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項２】
前記合成樹脂は、外部からの刺激により硬化する刺激硬化性樹脂を含むことを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項３】
前記刺激硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂を含み、
前記型押し工程は、前記成形型を押し当てた状態で前記合成樹脂を冷却し、前記合成樹脂を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項４】
前記刺激硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂を含み、
前記型押し工程は、前記成形型を押し当てた状態で前記合成樹脂を加熱し、前記合成樹脂を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項５】
前記刺激硬化性樹脂は、紫外線硬化性樹脂を含み、
前記型押し工程は、前記成形型を押し当てた状態で前記合成樹脂に紫外線を照射し、前記合成樹脂を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形することを特徴とする請求項２に記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項６】
前記電極膜形成工程は、
少なくとも前記離型工程により形成された前記隔壁を覆うレジスト膜を前記第一基板の前記対向面に形成するレジスト成膜工程と、
前記レジスト成膜工程にて形成された前記レジスト膜に光を照射し、前記離型工程により形成された前記隔壁の外周部の前記レジスト膜を現像液に不溶な状態にさせる露光工程と、
前記露光工程により不溶な状態にされた前記レジスト膜を除くレジスト膜を除去する現像工程と
少なくとも前記現像工程により前記レジスト膜が除去された前記第一基板の前記隔壁非立設部に、電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、
前記現像工程を経て残っている前記隔壁の外周部の前記レジスト膜及び当該レジスト膜上に形成された電極膜を除去するリフトオフ工程と
を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項７】
前記電極膜形成工程は、
少なくとも前記離型工程により形成された前記隔壁を覆うレジストの膜を前記第一基板の前記対向面に形成するレジスト成膜工程と、
前記隔壁の外周部を除くレジスト膜を、砥粒及びマスクを用いたサンドブラスト処理により除去するサンドブラスト工程と、
少なくとも前記サンドブラスト工程により前記レジスト膜が除去された前記第一基板の前記隔壁非立設部に、電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、
前記サンドブラスト工程を経て残っている前記隔壁の外周部の前記レジスト膜及び当該レジスト膜上に形成された電極膜を除去するリフトオフ工程と
を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項８】
前記電極膜形成工程は、
インクジェット法により、前記離型工程により形成された前記隔壁の外周部にレジスト膜を形成するレジスト塗布工程と、
少なくとも前記第一基板の前記隔壁非立設部に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、
前記レジスト塗布工程により、前記隔壁の外周部に形成された前記レジスト膜及び当該レジスト膜上に形成された電極膜を除去するリフトオフ工程と
を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項９】
前記電極膜形成工程において、前記第一基板の前記隔壁非立設部にインクジェット法により電極膜を成膜することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記電極膜は透明な電極膜であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記第一基板の前記隔壁非立設部に対応する前記成形型の凸部の突出方向の上面は、連続していることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項１２】
前記第一基板の前記隔壁非立設部に対応する前記成形型の凸部の突出方向の上面は、前記隔壁非立設部のうち前記セルを形成する部分である前記セル部と対応するセル対応部と、前記隔壁非立設部のうち複数の当該セル部を連結する接続部に対応する連結部とを備え、
前記連結部を囲む隣り合う凹部間の平面上の最小距離である凹部間距離が前記帯電粒子の平均粒子径以上の条件を満たす前記連結部が、前記成形型の凹部及び前記凹部間距離が前記帯電粒子の平均粒子径よりも小さい条件を満たす前記連結部の少なくともいずれか一方を挟んで所定方向に配置されていることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項１３】
前記所定方向は、前記電気泳動表示媒体の長手方向及び短手方向の少なくともいずれか一方に対応する方向であることを特徴とする請求項１２に記載の電気泳動表示媒体の製造方法。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法により製造した電気泳動表示媒体。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電気泳動表示媒体を備えることを特徴とする電気泳動表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示媒体、電気泳動表示媒体の製造方法及び、電気泳動表示装置に関し、詳細には、帯電粒子を包含する分散系を隔壁で仕切られた複数の分割セルに封入してなる電気泳動表示媒体、電気泳動表示媒体の製造方法及び、電気泳動表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から画像を表示するための媒体として、電気泳動表示媒体が知られている。この電気泳動表示媒体は、透明又は半透明の表示面となる第一基板とこの第一基板と対になる第二基板からなる一対の基板間に、帯電粒子を含む分散媒を充填した構成を有している。この分散媒を挟み、対向して設けられる電極に加えられる電圧により、帯電粒子を第一基板側もしくは第二基板側へ移動させることができ、この帯電粒子が分散媒と異なる色を有している場合には、電圧印加によって帯電粒子を表示基板側へ移動させたときには帯電粒子の色が観察でき、帯電粒子が第二基板側に移動したときには分散媒１６の色が観察できる。
このように画素ごとに異なる色を表示することで、任意の画像を表示することができる。
【０００３】
この電気泳動表示媒体全体を１つのセルとして帯電粒子を泳動させる場合には、帯電粒子の凝集や横方向の移動により帯電粒子を均一に移動させることができず、表示ムラが生じてしまう。そこで一般には、基板上に隔壁を形成して基板間の空間を複数のセルに分割し、それらのセルに帯電粒子を封入することによって粒子の凝集や横方向の移動を制限している。この隔壁の形成方法としては、基板上に感光性材料を塗布して、フォトリソグラフ法により隔壁を形成する方法が用いられているが、この方法によれば、基板と隔壁との密着性を確保するのが難しく、基板から隔壁が剥離するおそれがあった。
【０００４】
これに対し、スタンパにより隔壁材料を押圧して隔壁を形成する電気泳動表示媒体及びその製造方法が提案されている（特許文献１参照）。この方法によれば、基板と隔壁とが一体に形成されているため、基板から隔壁が剥離することを回避することができる。
【特許文献１】特開平２００１−３４３６７２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の電気泳動表示媒体では、隔壁が形成される側の基板に設けられる電極は、隔壁が形成された面とは反対の面に電極が形成されており、対向する電極間の距離が長くなるので、帯電粒子を移動させるための電圧が高くなるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、電極に印加する電圧を押さえつつ、基板から剥離しにくい隔壁を有する電気泳動表示媒体、電気泳動表示媒体の製造方法及び、電気泳動表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板の前記第二基板と対向する面である対向面に立設され、前記第一基板と前記第二基板とにより挟まれた空間を複数のセルに区画する隔壁と、前記セルに内包され、電界の作用により移動する帯電粒子とを備えた電気泳動表示媒体の製造方法において、少なくとも前記対向面が合成樹脂で形成された加工前の前記第一基板の当該対向面に、凹凸形状の成形面を備える成形型を押し当てて、当該加工前の第一基板を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形する型押し工程と、前記型押し工程後、前記第一基板から前記成形型を離し、前記第一基板の前記対向面に凸部からなる前記隔壁を形成する離型工程と、前記型押し工程と前記離型工程とにより形成された前記第一基板の前記対向面のうち、前記隔壁が立設されていない部分である隔壁非立設部に、電極膜を形成する電極膜形成工程とを備えている。
【０００８】
また、請求項２に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１に記載の発明の構成に加え、前記合成樹脂は、外部からの刺激により硬化する刺激硬化性樹脂を含むことを特徴とする。
【０００９】
また、請求項３に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項２に記載の発明の構成に加え、前記刺激硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂を含み、前記型押し工程は、前記成形型を押し当てた状態で前記合成樹脂を冷却し、前記合成樹脂を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項４に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項２に記載の発明の構成に加え、前記刺激硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂を含み、前記型押し工程は、前記成形型を押し当てた状態で前記合成樹脂を加熱し、前記合成樹脂を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項５に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項２に記載の発明の構成に加え、前記刺激硬化性樹脂は、紫外線硬化性樹脂を含み、前記型押し工程は、前記成形型を押し当てた状態で前記合成樹脂に紫外線を照射し、前記合成樹脂を前記成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形することを特徴とする。
【００１２】
また、請求項６に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記電極膜形成工程は、少なくとも前記離型工程により形成された前記隔壁を覆うレジスト膜を前記第一基板の前記対向面に形成するレジスト成膜工程と、前記レジスト成膜工程にて形成された前記レジスト膜に光を照射し、前記離型工程により形成された前記隔壁の外周部の前記レジスト膜を現像液に不溶な状態にさせる露光工程と、前記露光工程により不溶な状態にされた前記レジスト膜を除くレジスト膜を除去する現像工程と少なくとも前記現像工程により前記レジスト膜が除去された前記第一基板の前記隔壁非立設部に、電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、前記現像工程を経て残っている前記隔壁の外周部の前記レジスト膜及び当該レジスト膜上に形成された電極膜を除去するリフトオフ工程とを備えている。
【００１３】
また、請求項７に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記電極膜形成工程は、少なくとも前記離型工程により形成された前記隔壁を覆うレジストの膜を前記第一基板の前記対向面に形成するレジスト成膜工程と、前記隔壁の外周部を除くレジスト膜を、砥粒及びマスクを用いたサンドブラスト処理により除去するサンドブラスト工程と、少なくとも前記サンドブラスト工程により前記レジスト膜が除去された前記第一基板の前記隔壁非立設部に、電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、前記サンドブラスト工程を経て残っている前記隔壁の外周部の前記レジスト膜及び当該レジスト膜上に形成された電極膜を除去するリフトオフ工程とを備えている。
【００１４】
また、請求項８に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記電極膜形成工程は、インクジェット法により、前記離型工程により形成された前記隔壁の外周部にレジスト膜を形成するレジスト塗布工程と、少なくとも前記第一基板の前記隔壁非立設部に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、前記レジスト塗布工程により、前記隔壁の外周部に形成された前記レジスト膜及び当該レジスト膜上に形成された電極膜を除去するリフトオフ工程とを備えている。
【００１５】
また、請求項９に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記電極膜形成工程において、前記第一基板の前記隔壁非立設部にインクジェット法により電極膜を成膜することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項１０に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至９のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記電極膜は透明な電極膜であることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項１１に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至１０のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記第一基板の前記隔壁非立設部に対応する前記成形型の凸部の突出方向の上面は、連続していることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項１２に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１乃至１１のいずれかに記載の発明の構成に加え、前記第一基板の前記隔壁非立設部に対応する前記成形型の凸部の突出方向の上面は、前記隔壁非立設部のうち前記セルを形成する部分である前記セル部と対応するセル対応部と、前記隔壁非立設部のうち複数の当該セル部を連結する接続部に対応する連結部とを備え、前記連結部を囲む隣り合う凹部間の平面上の最小距離である凹部間距離が前記帯電粒子の平均粒子径以上の条件を満たす前記連結部が、前記成形型の凹部及び前記凹部間距離が前記帯電粒子の平均粒子径よりも小さい条件を満たす前記連結部の少なくともいずれか一方を挟んで所定方向に配置されている。
【００１９】
また、請求項１３に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法は、請求項１２に記載の発明の構成に加え、前記所定方向は、前記電気泳動表示媒体の長手方向及び短手方向の少なくともいずれか一方に対応する方向であることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項１４に係る発明の電気泳動表示媒体は、請求項１乃至１３のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法により製造したことを特徴とする。
【００２１】
また、請求項１５に係る発明の電気泳動表示装置は、請求項１４に記載の電気泳動表示媒体を備えている。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、第一基板と隔壁とが同一の材料で一体に形成されるので、本発明の製造方法で製造された電気泳動表示媒体は、隔壁が第一基板から剥がれにくく、このため、隔壁が第一基板から剥離することによる表示性能の低下を防止することができる。また、第一基板側に設置される電極は、第一基板の対向面に備えられるため、この電極と、第二基板側に配置される電極との間の距離を短くすることができる。このため、第一基板側に設置される電極が、第一基板の対向面とは反対側の面に設けられた場合に比べ、本発明の製造方法で製造された電気泳動表示媒体は、これらの電極に印加する電圧を低く抑えることが可能である。
【００２３】
また、加工前の第一基板に電極膜を形成した後に、型押し工程及び、離型工程を行った場合には、電極膜が隔壁の第二基板に対向する側の面に付着し、表示に悪影響を及ぼすおそれがある。また、隔壁が形成される部分を除いて電極膜を形成した場合にも、成形型の位置がずれた場合等に電極膜が隔壁の側面に残るという問題が生じる。これに対し、本発明によれば、隔壁形成後に電極膜を第一基板の対向面に形成しているので、このような問題が生じることはない。
【００２４】
また、請求項２に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、合成樹脂は外部からの刺激により硬化する刺激硬化性樹脂を含むため、外部の刺激を制御することにより、合成樹脂を容易に硬化させることができる。
【００２５】
また、請求項３に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項２に記載の発明の効果に加え、第一基板の対向面に備えられた刺激硬化性樹脂は、熱可塑性樹脂を含み、型押し工程において、この熱可塑性樹脂を押圧しながら冷却して加工前の第一基板を成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形する。合成樹脂の硬化条件としては、冷却条件を制御すればよいため、合成樹脂を硬化させるための条件を制御しやすく、したがって、第一基板上に隔壁を形成しやすい。
【００２６】
また、請求項４に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項２に記載の発明の効果に加え、第一基板の対向面に備えられた刺激硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂を含み、型押し工程において、この熱硬化性樹脂を押圧しながら加熱して加工前の第一基板を成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形する。合成樹脂の硬化条件としては、加熱条件を制御すればよいため、ため、合成樹脂を硬化させるための条件を制御しやすく、したがって、第一基板上に隔壁を形成しやすい。
【００２７】
また、請求項５に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項２に記載の発明の効果に加え、第一基板の対向面に備えられた刺激硬化性樹脂は、紫外線硬化性樹脂からなり、型押し工程において、この紫外線硬化性樹脂を押圧しながら紫外線を照射して加工前の第一基板を成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形する。合成樹脂の硬化条件としては、紫外線照射条件を制御すればよいため、合成樹脂を硬化させるための条件を制御しやすく、したがって、第一基板上に隔壁を形成しやすい。
【００２８】
また、請求項６に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の効果に加え、電極を形成しない隔壁の外周部をレジスト膜で覆った後に、電極膜を形成し、その後レジスト膜及びレジスト膜上に形成された電極膜を除去しているので、隔壁の第二基板と対向する面又は側面に電極膜が形成されることを確実に回避しつつ、第一基板の所望の位置に電極膜を形成することができる。尚、本発明の「隔壁の外周部」とは、隔壁の第二基板と対向する面及び隔壁の側面を言う。
【００２９】
また、請求項７に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の効果に加え、電極を形成しない隔壁の外周部をレジスト膜で覆った後に、電極膜を形成し、その後レジスト膜及びレジスト膜上に形成された電極膜を除去しているので、隔壁の第二基板と対向する面又は側面に電極膜が形成されることを確実に回避しつつ、第一基板の所望の位置に電極膜を形成することができる。また、少なくとも隔壁を覆うレジスト膜を形成した後、電極膜を形成する隔壁非立設部に形成されたレジスト膜をサンドブラスト法により除去し、隔壁の外周部を覆うレジスト膜を形成している。この砥粒の種類（粒径、組成、密度、硬度、強度）、砥粒を吐出するエア圧力や角度、吐出量等を調整することにより、レジスト膜の除去量や除去範囲を容易に制御できるため、隔壁の外周部を覆ったレジスト膜を容易に得ることができる。
【００３０】
また、請求項８に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の効果に加え、電極を形成しない隔壁の外周部をレジスト膜で覆った後に、電極膜を形成し、その後レジスト膜及びレジスト膜上に形成された電極膜を除去しているので、隔壁の第二基板と対向する面又は側面に電極膜が形成されることを確実に回避しつつ、第一基板の所望の位置に電極膜を形成することができる。また、この隔壁の外周部をレジスト膜にて覆う工程をインクジェット法により行っているので、隔壁の外周部のみを確実にレジスト膜で覆うことができる。
【００３１】
また、請求項９に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至５のいずれかに記載の発明の効果に加え、電極膜をインクジェット法により形成しているので、第一基板の隔壁非立設部上の所望の位置に電極膜を形成することができる。
【００３２】
また、請求項１０に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至９のいずれかに記載の発明の効果に加え、電極膜が透明電極からなるため、第一基板を透明又は半透明の材料により形成しているので、この方法で製造した電気泳動表示媒体は、第一基板側を表示面とすることができる。
【００３３】
また、請求項１１に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至１０のいずれかに記載の発明の効果に加え、第一基板の対向面のうち隔壁が立設されていない部分である隔壁非立設部に対応する成形型の凸部面は連続しているので、その成形型の凸部面に対応する第一基板の隔壁非立設部も連続する。このため、個々の電極膜を電気的に接続する処理を施すことなく、第一基板の隔壁非立設部に連続した電極膜を形成することができる。
【００３４】
また、請求項１２に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１乃至１１のいずれかに記載の発明の効果に加え、電極膜の連続性を確保するための、各セルの電極膜を連結する部分に対応する成形型の連結部の配置を、帯電粒子が所定方向を直線的に移動しにくいように配置している。即ち、連結部を囲む複数の凹部間において、隣り合う凹部間の平面上の最小距離である凹部間距離が帯電粒子の平均粒子径以上の条件を満たす連結部が、成形型の凹部及び凹部間距離が帯電粒子の平均粒子径よりも小さい条件を満たす連結部を介して並ぶようにしている。このため、各セルの電極膜の導電性を確保するために連結部を設けた場合であっても、このような成形型を用いて一体に成形した第一基板及び隔壁は、所定方向のセル間を連結部に対応する接続部を介して帯電粒子が移動しにくく、セル間を帯電粒子が移動することにより表示ムラが生じるおそれを低減させることができる。尚、本発明の「帯電粒子の平均粒子径」とは、体積平均粒子径を言い、例えば、レーザー回折散乱法（マイクロトラック法）を利用したマイクロトラック３１００（日機装株式会社製）により求められる。
【００３５】
また、請求項１３に係る発明の電気泳動表示媒体の製造方法によれば、請求項１２に記載の発明の効果に加え、帯電粒子のセル間の移動を制限するために、電気泳動表示媒体の長手方向及び短手方向の少なくともいずれか一方に対応する方向について、帯電粒子が通過可能な連結部分間の距離を長くしている。通常、電気泳動表示媒体がユーザにより傾けられて使用される場合は、電気泳動表示媒体の長手方向及び短手方向のいずれか一方であることが多いが、本発明ではこれらの方向の帯電粒子のセル間の移動を制限するように連結部を配列しているので、帯電粒子のセル間の移動を効果的に制限することができる。
【００３６】
また、請求項１４に係る発明の電気泳動表示媒体によれば、請求項１乃至１３のいずれかに記載の電気泳動表示媒体の製造方法により隔壁が第一基板と一体に形成されており、隔壁が第一基板から剥離することによる表示性能の低下を防止した電気泳動表示媒体を得ることができる。また、第一基板側に設置される電極は、第一基板の対向面に備えられるため、この電極と、第二基板側に配置される電極との間の距離を短くすることができる。このため、第一基板側に設置される電極が、第一基板の対向面とは反対側の面に設けられた場合に比べ、これらの電極に印加する電圧を低く抑えることが可能である。
【００３７】
また、請求項１５に係る発明の電気泳動表示装置によれば、請求項１４に記載の電気泳動表示媒体の製造方法により製造した電気泳動表示媒体を備えるので、隔壁が第一基板から剥がれにくく、このため、隔壁が第一基板から剥離することによる表示性能が低下することを回避することができる。また、第一基板側に設置される電極は、第一基板の対向面に備えられるため、この電極と、第二基板側に配置される電極との間の距離を短くすることができる。このため、第一基板側に設置される電極が、第一基板の対向面とは反対側の面に設けられた場合に比べ、これらの電極に印加する電圧を低く抑えることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明に係る電気泳動表示媒体を具体化した電気泳動表示媒体１の実施の形態について図面を参照して説明する。本実施の形態として例示する電気泳動表示媒体１は、携帯用の電子機器等の電気泳動表示装置１００に具備可能な小型の表示パネルである。
【００３９】
まず、本発明の実施形態の電気泳動表示媒体１の構成について図１乃至図４を参照して説明する。図１は、電気泳動表示装置１００が備える電気泳動表示媒体１の外観を示す斜視図である。図２は、電気泳動表示媒体１の主要部分を示す分解斜視図であり、図３は、図１に示す電気泳動表示媒体１のＺ−Ｚ線における矢視方向部分断面図である。図４は、図３に示す電気泳動表示媒体１のＷ−Ｗ線における矢視方向部分断面図である。
【００４０】
図１乃至図３に示すように、電気泳動表示装置１００が備える電気泳動表示媒体１は、第一基板１１と第二基板１２とが、スペーサ１４を介して対向するように保持されており、第一基板１１の第二基板１２と対向する面である対向面には、第一基板１１と第二基板１２とにより挟まれた空間を複数のセル１７に区画する隔壁１３が立設されている。また、図３に示すように、第一基板１１と第二基板１２との間には、分散媒１６及び複数の帯電粒子１５を含む分散液が封入されている。本実施形態では、第一基板１１，隔壁１３及びスペーサ１４は一体に成形されている。以下、電気泳動表示媒体１の各構成について詳述する。
【００４１】
第一基板１１は、画素単位で形成される画像を表示する表示面を有し、所定の厚みを有する板状の基板である。この第一基板１１の厚みは、電気泳動表示媒体１の材料、用途等により適宜設定可能であり、例えば、３００μｍの厚みを有する。この第一基板１１の第二基板１２と対向する面である対向面２０の隔壁非立設部２１は、図４に示すように、隔壁１３により区画されたセル部３１と、セル部３１に設けられた電極膜５６の電気的接続性を確保するための、隔壁１３が立設されていない接続部３２とを備えている。
【００４２】
この第一基板１１は、合成樹脂、好ましくは、外部からの刺激により硬化する刺激硬化性樹脂により、隔壁１３及びスペーサ１４と一体に形成される。刺激硬化性樹脂が硬化する条件である外部からの刺激としては、熱、紫外線等の光、酸素及び混合（攪拌）等が挙げられる。刺激硬化性樹脂として、例えば、加熱することにより硬化する熱硬化性樹脂、冷却することにより硬化する熱可塑性樹脂、紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化性樹脂、酸素に晒されることにより硬化する樹脂及び、樹脂材料を混合（攪拌）することにより硬化する樹脂等が用いられる。熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、メラミン系樹脂、不飽和エステル系樹脂等が用いられる。また、熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）等の冷却により硬化する樹脂が用いられる。また、刺激硬化性樹脂として紫外線硬化性樹脂を用いる場合には、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂及びアクリレート樹脂等が用いられる。尚、第一基板１１は、本実施形態のように第一基板１１の全てがこの刺激硬化性樹脂等の合成樹脂により形成されている場合の他、第一基板１１の一部が合成樹脂により形成されていてもよく、その場合は、少なくとも第二基板１２に対向する対向面に刺激硬化性樹脂等の合成樹脂が備えられていればよい。
【００４３】
一方、第二基板１２は、表示面側の基板ではないので、必ずしも透明でなくてよく、第一基板１１を形成する透明な材料の他、例えば、表面に絶縁層を設けたステンレスやアルミ等の透明でない材料を用いて形成されていてもよい。尚、図３に示す電気泳動表示媒体１では、第二基板１２はポリイミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリエチレン樹脂等の樹脂材料で形成されている場合を示しているが、これに限定されるものではない。
【００４４】
スペーサ１４は、隔壁１３を囲むように矩形に形成され、第一基板１１と第二基板１２とを所定の間隔で保持するとともに、後述する分散媒１６及び帯電粒子１５が外部に漏れ出さないように封止する役割を担っている。本実施形態においては、第一基板１１と第二基板１２との間隔がスペーサ１４により２５μｍとなるように保持されている。一方、このスペーサ１４の幅は、電気泳動表示媒体１の材料、用途等により適宜設定可能であり、例えば、１ｍｍの幅を有する。このスペーサ１４は、上述の刺激硬化性樹脂により第一基板１１及び隔壁１３と一体に形成されている。このスペーサ１４は、第一基板１１及び隔壁１３と一体に形成されていなくてもよく、その場合には、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル樹脂等を用いて、第一基板１１の対向面２０に形成するようにしてもよい。したがって、図３では、スペーサ１４は樹脂材料で形成されている場合を示しているが、これに限定されるものではなく、種々の材料を採用可能である。
【００４５】
分散媒１６は、帯電粒子１５を分散させるための溶媒であり、電気抵抗が高く、透明性の高い液体が用いられる。例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素溶媒、ヘキサン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素溶媒、ポリシロキサン、高純度石油等の絶縁性有機溶媒が用いられる。尚、電気泳動表示媒体１は、上記のような各分散媒を単独で用いても、２種以上の混合物として用いてもよい。さらに、分散媒１６には、必要に応じて他の成分を含有させることができる。他の成分としては、例えば、帯電粒子１５の分散を補助するために用いられる界面活性剤等の分散剤、分散媒中における帯電粒子の電気泳動性を調整するために用いられるアルコール等の電荷制御剤、分散媒中における帯電粒子の沈降を防止するために用いられる高分子樹脂等の粘度調整剤等が挙げられる。
【００４６】
帯電粒子１５は、画素ごとに印加された電界に応じて第一基板１１又は第二基板１２側に泳動し、表示面に表示画像を形成する粒子である。帯電粒子１５は、例えば、白色の帯電粒子として、酸化チタン含有ＰＭＭＡ粒子、黒色の帯電粒子として、カーボンブラック含有ＰＭＭＡ粒子等、酸化チタン、酸化亜鉛等の無機顔料、カーボンブラックやアゾ系顔料やフタロシアニン系顔料等の有機顔料、懸濁重合法、分散重合法、シード重合法等の公知の方法から得られる高分子材料からなる高分子粒子、あるいは無機材料と高分子材料とを複合させた複合粒子等が用いられる。もちろん、顔料や染料で高分子粒子や複合粒子等を任意の色彩に着色してもよい。尚、帯電粒子１５は、上記のような各帯電粒子を単独で用いても、２種以上の混合物を用いてもよい。
【００４７】
ここで、本発明の重要な構成要素である隔壁１３の構造について、図２乃至図４を参照して説明する。隔壁１３は、図２に示すように、第一基板１１の対向面２０に第二基板１２へ突出するように第一基板１１と一体に形成され、第一基板１１と第二基板１２とに挟まれた空間を複数のセル１７に区画している。そして図４に示すように、第一基板１１の対向面２０には十文字状又は棒状の平面形状を有する隔壁１３が規則的に列設され、全体として格子状の平面形状を有している。この隔壁１３は、例えば、その厚さは２０μｍであり、２０μｍ×５００μｍの２つの長方形が、それぞれの中心で直角に交わるように形成された十字状の平面形状を有しており、第一基板１１の対向面２０から第二基板１２に向かって２０μｍ突出している。上述の例では、スペーサ１４の高さは２５μｍであるので、隔壁１３の第二基板１２と対向する面と第二基板１２との間には５μｍの隙間が存在する。このような構造を有する隔壁１３により、第一基板１１と第二基板１２とに挟まれた空間が一辺の長さが２５０μｍの略正方形の平面形状を有する複数のセル１７に区画され、帯電粒子１５が泳動可能な領域が、セル１７の内部に制限される。このため、分散媒１６における粒子濃度が偏ることを防ぎ、表示ムラが発生するのを防ぐことができる。尚、図３に示す電気泳動表示媒体１の隔壁１３は、第二基板１２とは当接していないが、隔壁１３とスペーサ１４との高さを同じにし、隔壁１３と第二基板１２と当接するようにしてもよい。
【００４８】
ここで、図４において、複数の隔壁１３の中から任意にいずれかの隔壁１３を注目した場合を考える。本実施形態においては、注目した隔壁１３の中心点（十字状の平面形状を有する隔壁１３の十字の交点部分）から図４の紙面上で、右上方向（斜め４５°の方向）に、セル１７の一辺の長さ、例えば２５０μｍに隔壁１３の厚さ２０μｍを加えた２７０μｍを一辺の長さとする正方形の対角線の長さ、即ち、２７０×√２μｍ移動した位置、左上方向に２７０×√２μｍ移動した位置、右下方向に２７０×√２μｍ移動した位置及び、左下方向に２７０×√２μｍ移動した位置の４つの位置にそれぞれ中心点を有する４つの隔壁１３が配列されている。そして、２つの十文字状の隔壁１３により区画された空間が１つのセル１７を形成し、正方形の平面形状を有する各セル１７の４隅のうち、対角線上の２つの隅には、４つの隔壁１３により囲まれた、隔壁１３が立設されていない、対向面２０の一部を構成する接続部３２が存在する。尚、図４において、接続部３２を明確に図示するために、上述の例とは異なる寸法にて隔壁１３を図示している。
【００４９】
この接続部３２は隔壁１３が立設されていない箇所であるので、接続部３２を囲む隣り合う隔壁１３の最短距離である凹部間距離が、帯電粒子１５の平均粒子径よりも十分に大きい場合には、図９を参照して後述する電気泳動表示媒体１の製造方法の分散液注入工程において、帯電粒子１５を均一に充填しやすいという長所がある一方で、電気泳動表示媒体１の使用時にその隙間を通って帯電粒子１５がセル１７間を移動し、帯電粒子１５が偏るおそれがある。一般に、ユーザが傾けて使用する方向、即ち、矢印８１で示す電気泳動表示媒体１の長手方向又は矢印８２で示す電気泳動表示媒体１の短手方向に帯電粒子１５が移動しやすい。
【００５０】
これに対し、本実施形態の電気泳動表示媒体１は、その長手方向及び短手方向に帯電粒子１５が移動することを制限するため、例えば、電気泳動表示媒体１の長手方向に列設された接続部３２について注目した場合、各接続部３２は隔壁１３を挟んで列設されている。即ち、接続部３２を囲む隣り合う隔壁１３の最短距離が、帯電粒子１５の平均粒子径以上である接続部３２が電気泳動表示媒体１の長手方向及び短手方向のいずれかの方向に隔壁１３を挟んで列設されるように配置し、これらの方向に帯電粒子１５が直線的に移動するのを制限している。そして、例えば、矢印８１で示す電気泳動表示媒体１の長手方向に列設された接続部３２間の平面上の距離に比べ、電気泳動表示媒体１の長手方向に対して斜め４５°の方向に列設された接続部３２間の平面上の距離を短くしている。矢印８２に示す電気泳動表示媒体１の短手方向についても同様である。このため、接続部３２の隔壁１３により囲まれた隙間の平面上の幅が帯電粒子１５の平均粒子径以上の場合であっても、帯電粒子１５が接続部３２を介し電気泳動表示媒体１の長手方向及び短手方向のいずれかの方向に列設された２以上のセル１７間を移動する場合には、一旦斜め方向に移動しなければならない。したがって、接続部３２が隔壁１３を挟んで列設されていない場合に比べ、本実施形態の電気泳動表示媒体１は帯電粒子１５が電気泳動表示媒体１の長手方向及び短手方向に移動しにくく、帯電粒子１５がセル１７間を移動して表示ムラを生じさせるおそれを低減させることができる。尚、接続部が隔壁を挟んで列設される方向である本発明の所定方向に対応する方向は、電気泳動表示媒体の形状や用途、ユーザの使用態様等に応じて任意に定めることができる。したがって、上述の例のように本発明の所定方向に対応する方向が、電気泳動表示媒体１の長手方向及び短手方向の場合の他、例えば、電気泳動表示媒体１の斜め方向に傾けて使用される電気泳動表示媒体１の場合は、斜め方向の帯電粒子１５の移動を規制するように、接続部３２を配列してもよい。また、上述のように、接続部３２が隔壁１３を挟んで列設される場合の他、接続部を囲む隣り合う隔壁の最短距離が、帯電粒子の平均粒子径未満の条件を満たす接続部を挟んで列設されていてもよい。
【００５１】
以上説明したように、第一基板１１と一体に形成された隔壁１３は、隔壁と第一基板とが異なる材料により別体で形成されていた従来の電気泳動表示媒体に比べ、次のような利点を有する。まず、従来の電気泳動表示媒体では、隔壁と第一基板とで熱膨張係数が異なり、電気泳動表示媒体の周囲の温度環境が変化すると、隔壁と第一基板との接続部分で、隔壁が第一基板から剥がれるおそれがあったが、本実施形態の電気泳動表示媒体１は、隔壁１３と第一基板１１とが一体に形成されているため、温度変化により隔壁１３が第一基板１１からはがれ落ちるおそれはない。このため、温度環境が変化しやすい環境においても、好適に用いることができる。また、本実施形態の電気泳動表示媒体１は隔壁１３が第一基板１１と一体に形成されているため、曲げて使用されたときにも、従来に比べ隔壁１３が剥がれ落ちにくく、近年提案されているフレキシブルな電気泳動表示媒体にも好適に用いることができる。尚、この隔壁１３の厚さは、高さ、形状及び間隔等は、材料、用途等により適宜変更可能であり、上述の寸法に限定されない。
【００５２】
引き続き図１乃至図３を参照して、電気泳動表示媒体１の各構成について詳述する。第一基板１１が備える共通電極２６及び第二基板１２が備える駆動電極２７は、電気泳動表示媒体１に電界を与えるための極性を担うものであり、好ましくは、フッ素化合物を有するコーティング剤等を用いた保護膜（図示せず）により覆われている。
【００５３】
第一基板１１に備えられている共通電極２６は、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）や、金属をドープした酸化亜鉛や、ペンタセン等の導電性高分子等の光透過性導電性の薄膜から構成され、負の極性の帯電粒子１５に加える電界を制御する役割を担う、セル部３１に設けられた電極膜５６と、その電極膜５６を電気的に接続するために上述の接続部３２が備える電極膜５７とから構成されている。セル部３１に設けられた電極膜５６は、隔壁１３に囲まれる一辺が２５０μｍの正方形の平面形状を有するセル１７の１μｍ内側に延設され、一辺が２４８μｍの正方形の平面形状を有している。一方、接続部３２に設けられた電極膜５７は、隔壁１３の１μｍ外側に延設され、セル部３１の電極膜５６を電気的に接続する役割を担う。したがって、共通電極２６は電気的に接続された一枚の電極膜からなり、複雑な配線を施すことなく、個々のセル１７に設けられた電極膜５６を電気的に接続することができる。また、共通電極２６は、第一基板１１の対向面２０に備えられるため、この共通電極２６と、第二基板側１２に配置される駆動電極２７との間の距離を短くすることができる。このため、第一基板１１側に設置される共通電極２６が、第一基板１１の対向面２０とは反対側の面に設けられた場合に比べ、本発明の製造方法で製造された電気泳動表示媒体１は、これらの電極に印加する電圧を低く抑えることが可能である。尚、この電極膜５６及び電極膜５７からなる共通電極２６は、本発明の電極膜形成工程において形成される電極膜に相当する。
【００５４】
一方、第二基板１２の第一基板１１と対向する面にマトリックス状に配列された駆動電極２７は、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）や金属をドープした酸化亜鉛、ペンタセン等の導電性高分子等の光透過性導電性の薄膜の他、金や銀等の光透過性有しない導電材料の薄膜によって構成されていてもよい。尚、駆動電極２７の周縁には、スイッチ素子として機能する薄膜トランジスタ２８（図２参照）が設けられ、各駆動電極２７を制御する駆動回路（図示せず）からマトリックスの行ごとに選択信号が印加され、さらにマトリックスの列ごとに制御信号と薄膜トランジスタ２８からの出力が印加されて、個々のセル１７の帯電粒子１５及び分散媒１６に対して所望の電界を印加することができる。尚、１画素に対応する駆動電極２７の数は特に限定されるものではない。また、駆動電極２７の平面形状に特に限定はなく、正方形、長方形、円形等、任意の形状が適用可能である。
【００５５】
次に、電気泳動表示媒体１における表示の切換え動作について図５及び図６を参照して説明する。図５は、第一基板１１の表示面の表示領域全域に黒色が表示された状態を表す説明図であり、図６は、第一基板１１の表示面の表示領域全域に白色が表示された状態を表す説明図である。説明を簡単にするために、帯電粒子１５として負に帯電したカーボンブラック含有ＰＭＭＡ粒子からなる黒色粒子が用いられ、分散媒１６は白色に着色されたものが用いられる場合について説明する。また、電気泳動表示媒体１における表示の切換え動作を模式的に説明するために、図５及び図６に示す各構成は、図３に示す断面図の各構成とは異なる寸法にて図示している。
【００５６】
図５では、第一基板１１が備える共通電極２６に０Ｖの電圧が印加され、第二基板１２に設けられた全ての駆動電極２７に−５０Ｖが印加され、負の電荷を有する帯電粒子１５が第一基板１１側に移動している。そして、黒色の帯電粒子１５が第一基板１１に付着して、第一基板１１の表示面には黒色が表示される。
【００５７】
尚、帯電粒子１５を移動させるために共通電極２６及び駆動電極２７に電圧を印加したが、仮にこの電圧が落とされて両方の電圧が０Ｖになっても、帯電粒子１５の第一基板１１に付着した状態が維持される。
【００５８】
一方図６では、共通電極２６に０Ｖの電圧が印加され、駆動電極２７に５０Ｖの電圧が印加され、負の電荷を有する帯電粒子１５が第二基板１２側に移動している。そして、黒色の帯電粒子１５が第二基板１２に付着している。このように、第一基板１１側には、白色の分散媒１６のみが残されるので、第一基板１１の表示面全域に白色が表示される。尚、各電極に印加する電圧は電極間の距離や、帯電粒子１５の帯電性等に応じて種々変更可能である。
【００５９】
次に、本実施形態の電気泳動表示媒体１の製造方法の一例である実施例１について、図７乃至図１０を参照して説明する。図７は、隔壁形成工程において、第一基板１１，隔壁１３及びスペーサ１４が形成された状態を表す説明図である。また図８は、電極膜形成工程において、第一基板１１の対向面２０に共通電極２６が形成された状態を表す説明図である。また図９は、分散液注入工程において、隔壁１３により形成された複数の凹部からなるセル１７に、分散液が注入された状態を表す説明図であり、図１０は、第二基板貼り合わせ工程において、第二基板１２を第一基板１１と張り合わせた状態を表す説明図である。尚、各工程を模式的に説明するために、図７及び図１０に示す各構成は、図３に示す断面図の各構成とは異なる寸法にて図示している。
【００６０】
まず本発明に特徴的な処理である隔壁形成工程において、図７に示すように、隔壁１３及びスペーサ１４が第一基板１１と一体に形成される。この隔壁形成工程については、図１１乃至図１４を参照して詳細に後述する。尚、実施例１では、この処理によりスペーサ１４が第一基板１１及び１３と一体に形成されるが、第一基板１１と隔壁１３とを形成した後、スペーサ１４を別の工程で形成してもよい。その場合には、スペーサ１４を形成した後に、共通電極２６を形成してもよいし、共通電極２６を形成した後にスペーサ１４を形成してもよい。
【００６１】
続いて、電極膜形成工程において、図８に示すように第一基板１１の対向面２０に共通電極２６が形成される。この電極膜形成工程については、図１５乃至図１９を参照して詳細に後述する。
【００６２】
続いて、分散液注入工程において、図９に示すように、隔壁１３により区画された複数の凹部からなるセル１７に、帯電粒子１５とこの帯電粒子１５を分散させる分散媒１６を含む分散液を注入する。
【００６３】
その後、第二基板貼り合わせ工程において、図１０に示すように、第二基板１２を、第一基板１１と張り合わせる。この第二基板１２の第一基板１１に対向する側の面には、予め、駆動電極２７，薄膜トランジスタ２８（図２参照）及び、各駆動電極２７を制御する駆動回路（図示せず）が備えられている。これらの駆動電極２７，薄膜トランジスタ２８（図２参照）及び、各駆動電極２７を制御する駆動回路（図示せず）は、例えば、フォトリソグラフィ法等、公知の技術により形成される。尚、図１０は第二基板１２の材料として、樹脂材料を用いた場合を示しているが、上述のように、樹脂材料の他、例えば、ガラス等のように透明な材料の他、不透明な材料を用いてもよく、例えば、表面に絶縁層を設けたステンレスやアルミ等の透明でない材料を用いて形成されていてもよい。
【００６４】
以上説明した工程により、電気泳動表示媒体１が製造される。次に、本発明に特徴的な工程である隔壁形成工程について、図１１乃至図１４を参照して詳細に説明する。図１１は、実施例１の隔壁形成工程のうち、型押し工程において、加熱機構付プレス装置に配置された加工前の第一基板を説明するための説明図であり、図１２は、図４に示す部分断面図に対応する成形型４０の成形面４５を説明するための説明図である。また図１３は、実施例１の隔壁形成工程のうち、型押し工程において、熱可塑性樹脂を含む合成樹脂を押圧しながら成形する状態を説明するための説明図であり、図１４は、実施例１の隔壁形成工程のうち、離型工程を説明するための説明図である。尚、図７に示す隔壁形成工程において形成される隔壁１３の数は８個であったが、図１１，図１３及び図１４はその一部を拡大して示しており、８個の隔壁１３のうち２個の隔壁１３が形成される第一基板１１を示している。また、図７及び図１０と同様、各工程を模式的に説明するために、図１１，図１３及び図１４に示す各構成は、図３に示す断面図の各構成とは異なる寸法にて図示している。
【００６５】
実施例１では、合成樹脂として熱可塑性樹脂であるＰＥＴを用い、第一基板１１，隔壁１３及びスペーサ１４を一体に形成する。また、実施例１の隔壁形成工程は、熱可塑性樹脂を含む合成樹脂に凹凸形状の成形面４５を備える成形型４０を押し当てて、加工前の第一基板を成形型４０の成形面４５の凹凸形状に合わせて成形する型押し工程と、熱可塑性樹脂を含む第一基板から、成形型４０を離す離型工程とを有している。
【００６６】
まず、実施例１の隔壁形成工程のうち、型押し工程において、加熱機構付プレス装置を用い、熱可塑性樹脂を含む加工前の第一基板に、隔壁１３とスペーサ１４との凹凸に係合する凹凸形状の成形面４５を備える成形型を押し当てて、この加工前の第一基板を成形型４０の成形面４５の凹凸形状に合わせて成形する。
【００６７】
この加熱機構付プレス装置は、本発明の本質部分ではないので全体を図示しないが、加熱機構付プレス装置は、互いに対向して配置される支持板３６と支持板３７とを備えている。支持板３６は、加熱機構付プレス装置において、支持板３７と対向する位置であって、かつ、支持板３７に対して鉛直方向の上方の位置に、鉛直方向に上下動可能に配置されている。この支持板３６は、成形型４０を介して第一基板１１を所定温度に加熱するための熱源であるヒータを内部に備えている。この支持板３６の下面には、成形型４０が成形面４５を鉛直方向の下側にして固定されている。尚、支持板３６の上下動する距離はプレスする対象物に応じて適宜設定できる。
【００６８】
一方支持板３７は、加熱機構付プレス装置において所定の位置にその上面を水平にして固定されている。この支持板３７は、第一基板１１を所定の温度に加熱するための熱源であるヒータを内部に備えている。この支持板３７の上面には、基板保持部３８がプレス面を鉛直方向の上側にして固定されている。尚、成形型４０及び基板保持部３８はそれぞれ、支持板３６若しくは支持板３７に取り外し可能に固定されている。
【００６９】
図１２に示すように、成形型４０の基板保持部３８と対向する面である成形面４５には、平坦な面の所定の位置に複数の凹部４２が形成されている。この凹部４２は、隔壁１３又はスペーサ１４に対応する部位であり、隔壁１３に対応する凹部４２の形状は、例えば、深さ２０μｍ，２０μｍ×５００μｍの２つの長方形が、それぞれの中心で直角に交わるように形成された十字状の平面形状をしている。また図示しないが、スペーサ１４に対応する凹部の深さは２５μｍであり、隔壁１３に対応する凹部を取り囲むように長方形の枠状の平面形状を有する。また、後述する電極膜成膜工程において使用する、位置調整用のマークがスペーサ１４の４隅の少なくとも対角の２箇所に設けられている。
【００７０】
一方、成形型４０の凸部４１突出方向の上面は第一基板１１の対向面２０のうち、隔壁１３が立設されていない部分である隔壁非立設部２１に対応するものであり、例えば、２つ十字状の隔壁１３により囲まれた一辺の長さが２５０μｍの正方形の平面形状を有する。図１２に示すように、セル部３１に対応する凸部面であるセル対応部４３は、隔壁１３が形成されない接続部３２に対応する凸部面である連結部４４により連結され連続している。そして、この成形型４０を用いて形成され、成形型４０のセル対応部４３及び連結部４４に対応する第一基板１１の隔壁非立設部２１も連続する。したがって、成形型４０を用いて形成された連続した隔壁非立設部２１の一面に電極膜を形成することにより、連続した電極膜からなる共通電極２６を形成することができる。このため、複雑な配線処理を施すことなく、共通電極２６の電気的な接続を確保することができる。
【００７１】
この連結部４４を囲む隣り合う凹部４２の最短距離である凹部間距離は、上述の例では、２５０μｍ−（５００μｍ−２０μｍ）／２を一辺の長さとする正方形の対角線の長さ、即ち、１０×√２μｍである。この凹部間距離以下の平均粒子径を有する帯電粒子を用いる場合には、この成形型４０を用いて形成した電気泳動表示媒体１は、使用時にその隙間を通って帯電粒子１５がセル１７間を移動し、帯電粒子１５が偏るおそれがある。これに対し、共通電極２６の連続性（電気的接続性）を確保するための連結部４４を、図４において矢印８１で示す電気泳動表示媒体１の長手方向に対応する矢印１８１で示す方向及び矢印８２で示す電気泳動表示媒体１の短手方向に対応する矢印１８２で示す方向において、隔壁１３が形成される凹部４２を挟んで配列している。このため、セル部３１に設けられる電極膜５６の電気的接続性を確保するために連結部４４を設けた場合であっても、このような成形型４０を用いて一体に成形した第一基板１１及び隔壁１３によれば、これらの方向のセル間を連結部に対応する部位を介して帯電粒子１５が移動することを制限し、セル間を帯電粒子１５が移動することにより表示ムラが生じることを回避することができる。尚、帯電粒子１５の移動を規制する本発明の所定方向は、上述の通り、製造される電気泳動表示媒体の形状や用途、ユーザの使用態様等に応じて任意に定めることができる。したがって、上述の例のように本発明の所定方向が、電気泳動表示媒体１の長手方向に対応する方向及び短手方向に対応する方向の場合の他、例えば、電気泳動表示媒体を斜め方向に傾けて使用される電気泳動表示媒体１を製造する場合は、斜め方向の帯電粒子１５の移動を規制するように、連結部４４を配列してもよい。また、図１２において、連結部４４を明確に図示するために、上述の例とは異なる寸法にて凹部４２を図示している。
【００７２】
基板保持部３８のプレス面は平坦面であり、第一基板１１の中心と、基板保持部３８の中心とが対向するように、第一基板１１は位置決めされ、第一基板１１は対向面を鉛直方向の上側にして基板保持部３８の平坦面に載置される。尚、第一基板１１の一部が合成樹脂からなる場合には、合成樹脂を備える面を上面として基板保持部３８に載置される。その後、成形型４０の成形面４５と第一基板１１とを接触させる。
【００７３】
続いて、加熱機構付プレス装置に内蔵されたヒータにより第一基板１１を加熱する。熱源であるヒータで発生した熱は、成形型４０又は基板保持部３８を介して第一基板１１に伝導され、第一基板１１は例えば１４０℃に加熱される。この加熱温度は、熱可塑性樹脂のガラス転移温度(Ｔｇ)よりも１０〜７０℃程高い温度に設定する。実施例１に用いた熱可塑性樹脂であるＰＥＴが軟化する温度は約８０〜９０℃の範囲であるので、ＰＥＴで形成された第一基板１１は１４０℃に加熱されて軟化し、塑性加工しやすくなる。
【００７４】
続いて、成形型４０を第一基板１１に押し付けて、加熱及び加圧した状態で一定時間保持する。実施例１では、５ＭＰａの圧力を加えた状態で５分間保持する。この処理により、軟化したＰＥＴからなる第一基板１１の一部が成形型４０の凹部４２内に突出し、凹部４２と同じ形状の凸部が第一基板１１の対向面２０に形成される。尚、凹部４２内に突出した凸部は、上述した電気泳動表示媒体１おける隔壁１３又はスペーサ１４となる。また、成形型４０の凸部に対応する部分は、上述した電気泳動表示媒体１の第一基板１１の隔壁非立設部２１となる。続いて、加熱機構付プレス装置に内蔵されたヒータの設定温度を例えば６０℃に設定して一定時間放置し、およそ６０℃まで冷却されると、軟化していた第一基板１１の熱可塑性樹脂は型押し工程時よりも硬化する。このため、成形型４０と第一基板１１とが剥がれ易くなる。
【００７５】
続いて、離型工程において、第一基板１１から成形型４０が剥がされて、第一基板１１，隔壁１３及びスペーサ１４が一体に形成される。また、後述する電極膜形成工程時に使用する、位置調整用のマークが形成される。尚、型押し工程において第一基板１１を冷却したが、特定の温度領域においては、加熱を停止するだけで、冷却を省略してもよい。
【００７６】
以上詳述した隔壁形成工程により形成された隔壁１３は、上述したように、隔壁１３と第一基板１１とが一体に形成されているので、第一基板１１から隔壁１３が剥がれるおそれがない。このため、隔壁１３が第一基板１１から剥がれ、表示ムラが生じすることをより確実に回避することができる。また、第一基板１１の対向面２０に共通電極２６を形成する前に、隔壁１３を第一基板１１と一体に形成しているので、隔壁形成工程において共通電極２６の耐熱性を考慮する必要がなく、共通電極を形成した後に隔壁を第一基板と一体に形成する場合に比べ、加熱温度を高く設定することができる他、隔壁１３の第二基板１２に対向する面又は側面に電極膜が付着したり、成形型４０に電極膜が付着したりすることを回避することができる。
【００７７】
次に、本発明の特徴部分である、離型工程により形成された第一基板１１の隔壁非立設部２１に、電極膜を形成する電極膜形成工程について図１５乃至図１９を参照して詳細に説明する。図１５は、レジスト成膜工程において、隔壁１３及びスペーサ１４を覆うようにレジスト膜５０を第一基板１１の対向面２０に形成した状態を表す説明図であり、図１６は、レジスト成膜工程にて形成されたレジスト膜５０に光を照射し、離型工程により第一基板１１の対向面２０に形成された凸部である隔壁１３及びスペーサ１４の外周部のレジスト膜５０を現像液に不溶な状態にさせる露光工程を説明するための説明図である。また図１７は、現像工程において、露光工程により不溶な状態にされたレジスト膜５２を除くレジスト膜を除去した状態を表す説明図であり、図１８は、電極膜成膜工程において、現像工程によりレジスト膜が除去された第一基板１１の隔壁非立設部２１及び現像工程を経て残っている隔壁１３の外周部のレジスト膜５２の表面に、共通電極２６及び電極膜５３が形成された状態を表す説明図である。また図１９は、電極膜成膜工程後、現像工程を経て残っている隔壁１３の外周部のレジスト膜５２及びこのレジスト膜５２上に形成された電極膜５３が除去された状態を表す説明図である。尚、前述した隔壁形成工程と同様、図８の断面図に示す電極膜形成工程において形成される隔壁１３の数は８個であったが、図１５乃至図１９はその一部を拡大して示しており、８個の隔壁１３のうち２個の隔壁１３が形成される第一基板１１を示している。また、図７及び図１０と同様、各工程を模式的に説明するために、図１５乃至図１９に示す各構成は、図３に示す断面図の各構成とは異なる寸法にて図示している。
【００７８】
実施例１では、第一基板１１の隔壁非立設部２１以外の部位に電極膜が形成されないようにするため、まず、レジスト成膜工程、露光工程及び、現像工程により、第一基板１１の隔壁非立設部２１以外の部分、即ち、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部をレジスト膜５２で覆う処理を行い、その後、電極膜成膜工程において、共通電極２６及び電極膜５３を形成し、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部を覆っていたレジスト膜５２及びレジスト膜５２上に形成された電極膜５３をリフトオフ工程にて除去するようにしている。尚、スペーサ１４が第一基板１１及び隔壁１３とは別体に形成され、第一基板１１の隔壁非立設部２１に共通電極２６を形成した後、スペーサ１４を形成する場合には、隔壁１３の外周部のみをレジスト膜を覆うようにすればよい。以下、電極膜形成工程の各工程について詳述する。
【００７９】
まず、レジスト成膜工程において、図１５に示すように、第一基板１１の対向面２０上に隔壁１３及びスペーサ１４を覆うのに十分な厚みを有するレジスト膜５０が形成される。このレジスト膜５０は、共通電極２６を構成する電極膜が、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部に付着するのを防ぐマスク用のレジスト膜を隔壁１３及びスペーサ１４の外周部に形成させるためのものである。このレジスト膜５０を形成するレジストは、ポジ型のレジストでも、ネガ型のレジストでもよいが、後述するリフトオフ工程において、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部に形成されたレジスト膜５２を除去する処理の簡便さを考慮すると、ポジ型のレジストを用いる方が好ましい。実施例１では、アクリル系又は、ノボラック系樹脂をベースにしたポジ型のレジストを用いてレジスト膜５０を形成する。
【００８０】
また、レジスト膜５０を形成するレジストとして、塗布するタイプのレジストの他、フィルムタイプのレジストを用いてもよい。塗布するタイプのレジストを用いる場合には、例えば、レジストを回転塗布することにより第一基板１１上にレジスト膜５０を形成し、その後例えば９０℃、２ｍｉｎの条件でベーク処理を行う。一方、フィルムタイプのレジストを用いる場合には、ラミネーターを用い、第一基板１１の対向面２０に貼り付けることにより、レジスト膜５０を形成する。このとき、貼り付け圧力、ローラー温度、ローラー回転速度を調整することにより、所望のレジスト膜５０が得られる。
【００８１】
続いて、露光工程において、図１６に示すように、第一基板１１の対向面２０に立設された隔壁１３及びスペーサ１４の外周部の上部を覆うマスク５１を介して、レジスト膜５０に矢印６１で示す紫外線が照射される。このマスク５１の位置の調整に際しては、隔壁形成工程において形成された、スペーサ１４の４隅の少なくとも対角の２箇所に設けられた位置調整用のマークを用いて行う。このため、マスクの位置合わせを位置調整用のマークを用いて容易に行うことができ、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部を確実に覆うことができる。
【００８２】
露光条件はレジストの感光波長に応じて定められ、例えば、波長３６５ｎｍ（ｉ線）が所定時間照射される。この処理により、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部を除くレジスト膜５０が、後述する現像液に可溶となる。尚、図１６はレジスト膜５０が、ポジ型のレジストからなる場合を示しているが、このレジスト膜５０がネガ型のレジストからなる場合には、レジスト膜５０のうち、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部の領域に光が照射される。
【００８３】
続いて、現像工程において、露光工程において露光され、可溶化された隔壁１３及びスペーサ１４の外周部を除く領域を現像液で溶かす処理が行われる。この工程で用いる現像液としては、２．３８ｗｔ％のテトラメチルアンモニウムハイドライド（ＴＭＡＨ）等の有機アルカリ溶液や、炭酸ナトリウム等の無機アルカリ溶液が用いられる。また、現像方式としては、水平に載置されたレジスト表面上に形成した現像液溜まりにより現像するパドル処理、現像液にレジストを浸漬して現像するディップ処理、レジストに現像液を噴霧して現像するスプレー処理等が用いられる。実施例１では、現像液として２．３８ｗｔ％ＴＭＡＨを用いたパドル処理を１ｍｉｎ行い、その後、純水で３ｍｉｎ洗浄する。この処理により、図１７に示すように隔壁１３の側面及び上面から構成される外周部を覆うレジスト膜が形成される。また図示しないが、スペーサ１４も同様に側面及び上面からなる外周部を覆うレジスト膜が形成される。尚、レジスト膜としてネガ型レジストを用いた場合には、現像工程において、露光工程の露光された領域を除く領域を現像液で溶かす処理が行われる。
【００８４】
続いて、電極膜成膜工程において、図１８に示すように、現像工程により、レジスト膜が除去された第一基板１１の隔壁非立設部２１及び現像工程を経て残っている隔壁１３の外周部のレジスト膜５２の表面に、透明電極膜からなる共通電極２６と電極膜５３とが形成される。この電極膜の材料としては、前述のように、ＩＴＯ等の光透過性導電性の材料が用いられ、電極膜の成膜方法としては、アルゴンガス粒子を電極膜材に衝突させ、その衝撃でターゲット成分をたたき出し、電極膜材近辺に配置した第一基板１１上に電極膜材の薄膜を形成するスパッタリング法、電極膜材を真空中で加熱、溶解、蒸発させ、第一基板１１に付着させる真空蒸着法、ガスプラズマを利用して、蒸発粒子の一部をイオンもしくは励起粒子とし、活性化して蒸着するイオンプレーティング法、メッキ液中に第一基板１１を浸漬させる湿式メッキ法、電極膜材を第一基板１１に塗布する塗布法等が用いられる。実施例１では、ＩＴＯターゲット材と、アルゴンのスパッタガスを用いたスパッタリング法により、電極に高エネルギーを作用させてコロナ放電させ、第一基板１１の対向面２０にコロナ処理を施す。このときのエネルギーは、例えば、１００Ｗ・ｍｉｎ／ｍ以下にする。
【００８５】
続いて、リフトオフ工程において、第一基板１１の対向面２０の全面に斜め方向から露光を行い、現像工程を経て残っている隔壁１３及びスペーサ１４の外周部のレジスト膜５２を現像液に可溶な状態にする。その後、前述の現像工程に用いた現像液を用いて、それらのレジスト膜５２を全て溶かし、さらにリンスを行う。現像処理の反応時間は、例えば３〜１０ｍｉｎ程度と、前述の現像工程よりも長めにし、レジスト膜５２を完全に除去する。この処理により、図１９に示すように、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部に付着したマスク用のレジスト膜５２と、そのレジスト膜５２に付着した電極膜５３とが完全に除去され、共通電極２６が形成される。尚、レジスト膜５２がネガ型のレジストからなる場合には、露光工程において露光した部分は架橋が進行してしまい、現像液には溶けなくなっているので、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）のような、より溶解力の高い溶剤で除去する。このような溶液により除去できないほどレジスト膜が硬化した場合には、アッシングやポリッシング等の強制処理により取り除く処理を行う。
【００８６】
以上説明した、図１５乃至図１９に示す電極膜形成工程の各工程により、第一基板１１の隔壁非立設部２１に連続した平面形状を有する電極膜である共通電極２６が形成される。このように、実施例１では、隔壁１３やスペーサ１４の外周部をレジスト膜によりマスクしているので、これらの部位に電極膜が付着して表示に悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【００８７】
以上詳述した電気泳動表示媒体１の製造方法によれば、第一基板１１と隔壁１３とが合成樹脂により一体に形成されるので、第一基板１１と隔壁１３とが剥がれにくく、このため、隔壁１３が第一基板１１から剥離することによる表示性能の低下を防止した電気泳動表示媒体１を製造することができる。また、第一基板１１側に設置される共通電極２６は、第一基板１１の対向面２０に備えられるため、この共通電極２６と、第二基板１２側に配置される駆動電極２７との間の距離を短くすることができる。このため、第一基板側に設置される電極が、第一基板の対向面とは反対側の面に設けられた場合に比べ、これらの電極に印加する電圧を低く抑えることができる。また、第一基板１１は、熱可塑性樹脂から成り、型押し工程において、この熱可塑性樹脂を押圧しながら加熱して硬化させるので、合成樹脂を硬化させるための条件を制御しやすく、したがって、第一基板１１上に隔壁１３を形成しやすい。
【００８８】
また、共通電極２６を形成しない隔壁１３の外周部をレジスト膜５２で覆った後に、電極膜５６並びに電極膜５７から構成される共通電極２６及び電極膜５３を形成し、その後レジスト膜５２及びレジスト膜５２上に形成された電極膜５３を除去しているので、隔壁１３の第二基板１２と対向する面又は側面に電極膜が形成されることを確実に回避しつつ、第一基板１１の所望の位置に共通電極２６を形成することができる。また、共通電極２６は、透明電極からなるため、第一基板側１１を表示面とすることができる。
【００８９】
また、第一基板１１のセル部３１に対応する成形型４０のセル対応部４３は連結部４４を介して連結され、連続しているので、その成形型４０を用いて形成された第一基板１１のセル部３１及び接続部３２を備える隔壁非立設部２１も連続する。このため、個々の電極膜を電気的に接続する処理を施すことなく、第一基板１１の対向面２０に連続した共通電極２６を形成することができる。共通電極２６の連続性（電気的接続性）を確保するための接続部３２に対応する成形型４０の連結部４４を、矢印８１で示す電気泳動表示媒体１の長手方向に対応する矢印１８１で示す方向及び矢印８２で示す電気泳動表示媒体１の短手方向に対応する矢印１８２で示す方向おいて、隔壁１３に対応する凹部４２を挟んで配列している。このため、セル部３１に設けられる電極膜５６の電気的な接続を確保するために接続部３２に対応する連結部４４を設けた場合であっても、このような成形型４０を用いて一体に成形した第一基板１１及び隔壁１３によれば、これらの方向のセル１７間を連結部４４に対応する接続部３２を介して帯電粒子１５が移動することを制限し、セル１７間を帯電粒子１５が移動することにより表示ムラが生じることを回避することができる。
【００９０】
尚、本発明の電気泳動表示媒体、電気泳動表示媒体の製造方法及び電気泳動表示装置は、上述した本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。まず、本実施形態は、携帯用の電子機器に具備可能な小型のパネルとして説明したが、電気泳動表示媒体の大きさや電気泳動表示媒体を備える電気泳動表示装置等は、種々選択可能であり、これに限定されない。
【００９１】
また、本実施形態において、隔壁１３と一体に形成された第一基板１１は、表示面を形成する場合について説明したが、第二基板１２が表示面を形成してもよい。その場合には、第二基板１２を透明又は半透明の材料で形成し、第一基板１１並びに隔壁１３及び、共通電極２６は、透明及び半透明でない材料を用いて形成してもよい。ただし、第二基板１２が表示面を形成する場合であっても、隔壁１３は表示に影響を与えるため、第一基板１１及び隔壁１３は視認性の低い材料で形成されることが望ましい。
【００９２】
また、本実施形態では、液体中を帯電粒子１５が移動する電気泳動表示媒体１を例に挙げて説明したが、本発明は気体中を帯電粒子１５が移動する電気泳動表示媒体にも適用できる。この場合は、図９に示す分散液注入工程において、帯電粒子１５を包含する気体を公知の方法で封入すればよい。
【００９３】
また、本実施形態では、１つのセル１７に対して駆動電極２７が対応するものとして説明したが、１つのセルに対して複数組の駆動電極が対応するものであってもよいし、複数のセルに対して一組のセルが対応するものであってもよい。また、実施例１の隔壁形成工程において用いた成形型４０は、連結部４４によりセル対応部４３が連続していたが、セル対応部４３に対応するセル部３１に設けられる電極膜５６を配線等により電気的に接続する場合には、セル対応部４３が連結部４４により連結されていなくてもよいし、一部のセル対応部４３を連結してもよい。また、電極膜５６の電気的接続性を確保するために、連結部４４を設ける場合、連結部４４の配置は、連結部４４によりセル対応部４３が連続するように定めればよい。
【００９４】
また、上述の実施例１の型押し工程において、第一基板１１を加熱した後、型押し工程を行なったが、これに限定されず、使用する合成樹脂に応じて、型押し工程の条件を種々定めることができる。例えば、合成樹脂として、熱、紫外線等の光、酸素及び混合（攪拌）等の外部からの刺激により硬化する刺激硬化性樹脂を用いてもよい。この刺激硬化性樹脂として、紫外線硬化性樹脂を用いる場合には、型押し工程において、紫外線硬化性樹脂に光透過性を有する成形型を押し当てて、紫外線硬化性樹脂に紫外線を照射することにより、紫外線硬化性樹脂を含む加工前の第一基板を成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形すればよい。この場合には、紫外線硬化性樹脂に照射する紫外線の照射条件を調整することにより硬化反応を容易に調整することができる他、成形型内に樹脂が充填されればよいので、押圧力はそれほど必要としない。また例えば、刺激硬化性樹脂として、加熱に硬化する熱硬化性樹脂を用いてもよい。この場合には、型押し工程において、熱硬化性樹脂に成形型を押し当てて、熱硬化性樹脂を加熱することにより、熱硬化性樹脂を成形型の成形面の凹凸形状に合わせて成形すればよい。この場合には、熱硬化性樹脂の加熱条件を調整することにより、熱硬化性樹脂の硬化反応を容易に調整することができる。また例えば、刺激硬化性樹脂として、酸素と接触することにより硬化する硬化性樹脂を用いる場合には、型押し工程において、酸素雰囲気中に硬化性樹脂を晒して成形するようにすればよいし、複数の材料を混合させた場合に硬化する硬化性樹脂を用いる場合は、単に硬化性樹脂の材料を混合した後、型押し工程において成形するようにすればよい。これらの場合には、加熱装置や紫外線の光源等、特別な装置を用いることなく、合成樹脂を硬化させることができる。
【００９５】
また、電気泳動表示媒体１の各構成の形状、大きさ及び、数等は適宜変更可能である。例えば、本実施形態において隔壁１３は平面視格子状の形状を有していたが、これらに限定されることなく、第一基板と第二基板とにより挟まれた空間を区画する種々の形状を採用可能である。例えば、平面視長方形、円状又は楕円状の平面形状を有する凹部を備える成形型により隔壁を形成してもよい。この隔壁の形状の一例として、変形例１乃至３を、図２０乃至図２２を参照して説明する。図２０は、変形例１に係る隔壁１１３の、図４に示す部分断面図に対応する図であり、図２１は、変形例２に係る隔壁２１３の、図４に示す部分断面図に対応する図であり、図２２は、変形例３に係る隔壁３１３の、図４に示す部分断面図に対応する図である。
【００９６】
まず、変形例１について図２０を参照して説明する。図２０において、矢印２８１で示す方向が変形例に係る電気泳動表示媒体の長手方向であり、矢印２８２で示す方向が変形例に係る電気泳動表示媒体の短手方向である。図２０に示すように、変形例１の電気泳動表示媒体は、上述の電気泳動表示媒体１と同様に、セル部１３１及び、接続部１３２並びに接続部１３３から構成される第一基板の隔壁非立設部１２１に、電極膜１５６乃至１５８から構成される連続した共通電極１２６を備えている。さらに、変形例１の電気泳動表示媒体は、その短手方向（図２０中縦方向）の帯電粒子のセル間の移動をさらに制限するために、本実施形態の接続部３２に比べ、矢印２８１で示す電気泳動表示媒体１の長手方向（図２０中横方向）に列設された接続部１３２，１３３のうち、接続部１３２，１３３を囲む隔壁１１３の平面上の最小距離が帯電粒子１５の平均粒子径よりも大きい接続部１３２の数を減じている。即ち、十字状の平面形状を有する隔壁１１５と、十字状の平面形状の隔壁１１５の端部をつなぎ合わせた隔壁１１４とにより隔壁１１３を構成している。そして、隔壁１１４のつなぎ目に設けられた接続部１３３には、電極膜１５８が形成され、セル部１３１に形成された電極膜１５６を電気的に接続しているが、この接続部１３３の隔壁１１３に囲まれた隙間の平面上の幅は、帯電粒子１５の平均粒子径よりも小さく、帯電粒子１５が通過できないようになっている。この隔壁１１４は、電気泳動表示媒体の短手方向（図２０中縦方向）に一行置きに列設されている。
【００９７】
このような構成とすることで、矢印２８１で示す電気泳動表示媒体の長手方向（図２０中横方向）に列設され、帯電粒子が通過可能な平面上の隙間を備えた接続部１３２間の平面上の距離を部分的にさらに長くすることができ、この方向の帯電粒子のセル間の移動をより効果的に制限することができる。このように帯電粒子１５が通過可能な接続部１３２の数を減じる部位や数は、変形例１のように一行置きに設ける等、規則的に定めてもよいし、帯電粒子のセル間の移動を規制したい方向や位置に応じて不規則に定めてもよい。また、本発明の所定方向に対応する方向である帯電粒子１５が通過可能な接続部１３２の数を減じる方向は、電気泳動表示媒体の形状や用途、ユーザの使用態様等に応じて任意に定めることができる。さらに、帯電粒子１５が通過可能な接続部１３２の数を減じるために、変形例１のように、隔壁により囲まれる接続部の隙間の平面上の幅を帯電粒子１５が通過できない長さにしてもよいし、その隙間を完全に塞いでもよい。尚、変形例１の隔壁１１３の構造は、隔壁１１３に対応する凹部を備えた成形型を用いて隔壁形成工程を行うことにより得られる。このとき用いられる成形型において、本発明の所定方向は、電気泳動表示媒体の長手方向に対応する方向及び短手方向に対応する方向である。そして、変形例１の電気泳動表示媒体の製造に用いられる成形型は、上述の実施例で用いられる成形型４０と比べ、さらに、製造される電気泳動表示媒体の長手方向に対応する方向に列設される連結部の数を減じている。このように、帯電粒子１５が通過可能な接続部１３２に対応する連結部の数を減じるために、連結部の数を減らしてもよいし、凹部間距離が帯電粒子の平均粒子径よりも小さくなるようにしてもよいし。
【００９８】
次に、変形例２について図２１を参照して説明する。図２１において、矢印３８１で示す方向が変形例に係る電気泳動表示媒体の長手方向であり、矢印３８２で示す方向が変形例に係る電気泳動表示媒体の短手方向である。図２１に示すように、変形例２では、長方形の平面形状を有する隔壁２１３により、第一基板と第二基板とに挟まれた空間は、六角形の平面形状を有するセルに区画されている。各セル部２３１の内側に設けられた六角形の平面形状を有する電極膜２５６は、接続部２３２に設けられた電極膜２５７により電気的に接続されており、セル部２３１及び接続部２３２からなる第一基板の隔壁非立設部２２１の表面に、連続した共通電極２２６を形成している。この変形例２のように、隔壁２１３により区画されるセルの形状は正方形の場合に限定されない。尚、変形例１の場合と同様、変形例２の隔壁２１３の構造は、隔壁２１３に対応する凹部を備えた成形型を用いて隔壁形成工程を行うことにより得られる。
【００９９】
次に、変形例３について図２２を参照して説明する。図２２において、矢印４８１で示す方向が変形例に係る電気泳動表示媒体の長手方向であり、矢印４８２で示す方向が変形例に係る電気泳動表示媒体の短手方向である。図２２に示すように、変形例３では、Ｙ字状の平面形状を有する隔壁３１３により、第一基板と第二基板とに挟まれた空間は、変形例２と同様の六角形の平面形状を有するセルに区画されている。セル部が多角形の平面形状を有する場合、変形例２のようにその多角形の頂点部分に接続部２３２を設ける場合の他、変形例３のように多角形の辺の任意の場所に接続部３３２を設けるようにしてもよい。各セル部３３１に設けられた六角形の平面形状を有する電極膜３５６は、接続部３３２に設けられた電極膜３５７により電気的に接続され、セル部３３１及び接続部３３２からなる第一基板の隔壁非立設部３２１の表面に、全体として連続した共通電極３２６を形成している。この変形例３の場合、矢印４８１で示す電気泳動表示媒体の長手方向（図２２中横方向）に設けられた接続部３３２は、隔壁３１３を挟まずに列設されている。電気泳動表示媒体が傾けて使用されない場合等には、変形例３のように、接続部は隔壁３１３を挟まずに列設してもよい。また、変形例３では、六角形の各辺上に接続部３３２を設けていたが、一部の辺のみに接続部を設けてもよく、この変形例３に変形例１を適用し、所定の方向の接続部の数を減じ、その方向に帯電粒子の移動を制限するようにしてもよい。また、変形例１及び２の場合と同様、変形例３の隔壁３１３の構造は、隔壁３１３に対応する凹部を備えた成形型を用いて隔壁形成工程を行うことにより得られる。
【０１００】
次に、電極膜形成工程において、上述のレジスト成膜工程後に、砥粒を用いたサンドブラスト処理を行い、隔壁の外周部のみにレジスト膜を残すサンドブラスト工程を行い、電気泳動表示媒体１を製造する実施例２について、図２３を参照して説明する。図２３は、実施例２のサンドブラスト工程を説明するための説明図である。実施例２において、電極膜形成工程以外の工程は、実施例１と同様であるので説明を省略する。尚、実施例１と同様、サンドブラスト工程を模式的に説明するために、図２３に示す各構成は、図３に示す断面図の各構成とは異なる寸法にて、隔壁を２個だけ図示している。
【０１０１】
上述の実施例１では、電極膜形成工程において、レジスト成膜工程後、露光工程及び現像工程を行うようにしていたが、実施例２では、レジスト成膜工程後に、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部を除くレジスト膜をサンドブラスト処理により除去するサンドブラスト工程を行う。実施例１で上述のレジスト成膜工程後、サンドブラスト工程において、図２３に示すように、レジスト膜５０を除去しない部位の上部、即ち、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部の上部にマスク１５１を配置し、砥粒を用いたサンドブラスト処理を行う。この処理により、マスク１５１を上部に備えない部分のレジスト膜は、矢印１６１で示すレジスト膜５０に対して垂直な方向に吐出された砥粒により削り取られ、マスク１５１を上部に備える隔壁１３及びスペーサ１４の外周部のみにレジスト膜が残る。このマスク１５１の配置に際しては、実施例１の場合と同様に、位置調整用のマークを用いて位置決めを行うことにより、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部を確実に覆うことができる。またレジスト膜の除去量は、砥粒の種類（粒径、組成、密度、硬度、強度）、砥粒を吐出するエア圧力や角度、吐出量等を調整することにより容易に制御できる。尚、スペーサが第一基板及び隔壁と別体に形成され、電極膜成膜工程前において、第一基板にスペーサが立設されていない場合には、隔壁の外周部のみをレジスト膜で覆うようにすればよい。
【０１０２】
また実施例２において、サンドブラスト工程後に、実施例１と同様の電極膜成膜工程を行い、その後のリフトオフ工程においては、サンドブラスト工程を経て残っている隔壁１３の外周部のレジスト膜及びこのレジスト膜上に形成された電極膜を除去する。このとき、隔壁１３の外周部に形成されたレジスト膜は、実施例１の場合とは異なり、露光工程を経ていないので、レジスト膜の材料としてネガ型レジストを用いた場合にも、通常の現像液を用いて除去することができる。尚、リフトオフ工程の処理条件は、実施例１と同様である。
【０１０３】
次に、電極膜成膜工程において、インクジェット法により、隔壁の外周部のみに直接レジストを塗布するレジスト塗布工程を行い、電気泳動表示媒体１を製造する実施例３について、図２４を参照して説明する。図２４は、実施例３に係るレジスト塗布工程において、隔壁１３の外周部にレジスト膜２５２を形成した状態を表す説明図である。尚、実施例３において、電極膜形成工程以外の工程は、実施例１と同様であるので説明を省略する。また、実施例１と同様、サンドブラスト工程を模式的に説明するために、図２４に示す各構成は、図３に示す断面図の各構成とは異なる寸法にて、隔壁を２個だけ図示している。
【０１０４】
上述の実施例１では、電極膜形成工程において、レジスト成膜工程、露光工程及び現像工程を行い、マスク用のレジスト膜を形成していたが、実施例３では、インクジェット法により隔壁１３の外周部のみに直接レジストを塗布してレジスト膜を形成するレジスト塗布工程を行う。このレジスト成膜工程において、図２４に示すように、電極膜成膜工程においてマスクが必要な箇所、即ち、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部に、インクジェット法により直接レジストを塗布し、レジスト膜２５２を形成する。このレジスト膜２５２を形成するレジストは、ポジ型のレジストでも、ネガ型のレジストでもよい。このレジスト塗布工程によれば、隔壁１３及びスペーサ１４の外周部のみにレジストを塗布することができる他、１つの工程にて隔壁１３の外周部にレジスト膜２５２を形成することができ、製造工程を簡略化することができる。また、レジスト膜２５２の厚みを容易に調整することができる。尚、実施例２と同様に、スペーサが第一基板及び隔壁と別体に形成され、電極膜成膜工程前において、第一基板にスペーサが立設されていない場合には、隔壁の外周部のみをレジスト膜で覆うようにすればよい。
【０１０５】
また実施例３において、レジスト塗布工程後に、実施例１と同様の電極膜成膜工程を行い、その後のリフトオフ工程においては、レジスト塗布工程において形成した隔壁１３及びスペーサ１４の外周部のレジスト膜２５２及びこのレジスト膜２５２上に形成された電極膜を除去する。実施例２の場合と同様に、隔壁１３の外周部に形成されたレジスト膜２５２は、実施例１の場合とは異なり、露光工程を経ていないので、レジスト膜２５２の材料としてネガ型レジストを用いた場合にも、通常の現像液を用いて除去することができる。尚、リフトオフ工程の処理条件は、実施例１と同様である。
【０１０６】
次に、電極膜形成工程において、インクジェット法にて直接第一基板１１の隔壁非立設部２１に電極膜を形成して電気泳動表示媒体１を製造する実施例４について説明する。実施例４において、電極膜形成工程以外の工程は、実施例１と同様であるので説明を省略する。
【０１０７】
実施例４では、電極膜形成工程において、上述の実施例１乃至３のように、隔壁１３の外周部を覆うレジスト膜を形成せずに、インクジェット法により電極膜を直接第一基板１１の隔壁非立設部２１に形成する。この方法によれば、隔壁１３の外周部等の第一基板の隔壁非立設部２１以外の部位に電極膜が形成されることを防ぐために、マスク用のレジスト膜を形成することなく、第一基板１１の隔壁非立設部２１のみに電極膜を形成することができる。したがって、この方法によれば、簡単な処理工程により、連続した電極膜を確実に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】電気泳動表示装置１００が備える電気泳動表示媒体１の外観を示す斜視図である。
【図２】電気泳動表示媒体１の主要部分を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す電気泳動表示媒体１のＺ−Ｚ線における矢視方向部分断面図である。
【図４】図３に示す電気泳動表示媒体１のＷ−Ｗ線における矢視方向部分断面図である。
【図５】第一基板１１の表示面の表示領域全域に黒色が表示された状態を表す説明図である。
【図６】第一基板１１の表示面の表示領域全域に白色が表示された状態を表す説明図である。
【図７】隔壁形成工程において、第一基板１１，隔壁１３及びスペーサ１４が形成された状態を表す説明図である。
【図８】電極膜形成工程において、第一基板１１の対向面２０に共通電極２６が形成された状態を表す説明図である。
【図９】分散液注入工程において、隔壁１３により形成された複数の凹部からなるセル内に、分散液が注入された状態を表す説明図である。
【図１０】第二基板貼り合わせ工程において、第二基板１２を第一基板１１と張り合わせた状態を表す説明図である。
【図１１】実施例１の隔壁形成工程のうち、型押し工程において、加熱機構付プレス装置に配置された合成樹脂を説明するための説明図である。
【図１２】図４に示す部分断面図に対応する成形型４０の成形面４５を説明するための説明図。
【図１３】実施例１の隔壁形成工程のうち、型押し工程において、熱可塑性樹脂を含む合成樹脂を押圧しながら成形する状態を説明するための説明図である。
【図１４】実施例１の隔壁形成工程のうち、離型工程を説明するための説明図である。
【図１５】レジスト成膜工程において、隔壁１３及びスペーサ１４を覆うようにレジスト膜５０を第一基板１１の対向面２０に形成した状態を表す説明図である。
【図１６】レジスト成膜工程にて形成されたレジスト膜５０に光を照射し、離型工程により第一基板１１の対向面２０に形成された凸部である隔壁１３及びスペーサ１４の外周部のレジスト膜を現像液に不溶な状態にさせる露光工程を説明するための説明図である。
【図１７】現像工程において、露光工程により不溶な状態にされたレジスト膜５２を除くレジスト膜を除去した状態を表す説明図である。
【図１８】電極膜成膜工程において、現像工程によりレジスト膜が除去された第一基板１１の隔壁非立設部２１及び現像工程を経て残っている隔壁１３の外周部のレジスト膜５２の表面に、共通電極２６及び電極膜５３が形成された状態を表す説明図である。
【図１９】電極膜成膜工程後、現像工程を経て残っている隔壁１３の外周部のレジスト膜５２及びこのレジスト膜５２上に形成された電極膜５３が除去された状態を表す説明図である。
【図２０】変形例１に係る隔壁１１３の、図４に示す部分断面図に対応する図である。
【図２１】変形例２に係る隔壁２１３の、図４に示す部分断面図に対応する図である。
【図２２】変形例３に係る隔壁３１３の、図４に示す部分断面図に対応する図である。
【図２３】実施例２のサンドブラスト工程を説明するための説明図である。
【図２４】実施例３に係るレジスト塗布工程において、隔壁１３の外周部にレジスト膜２５２を形成した状態を表す説明図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１    電気泳動表示媒体
１１    第一基板
１２    第二基板
１３，１１３，１１４，１１５，２１３，３１３    隔壁
１５    帯電粒子
１７    セル
２０    対向面
２１，１２１，２２１，３２１    隔壁非立設部
２６，１２６，２２６，３２６    共通電極
３１，１３１，２３１，３３１    セル部
３２，１３２，１３３，２３２，３３２    接続部
４０    成形型
４３    セル対応部
４４    連結部
４５    成形面
５０    レジスト膜
５２，２５２    レジスト膜
５６，５７，１５６，１５７，１５８，２５６，２５７，３５６，３５７    電極膜
１００    電気泳動表示装置
１５１    マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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