(57)【要約】【課題】羽根車の羽根形状検査をする場合、羽根車の周囲に備える多数の羽根夫々が、設計上予定された形状か否かを見逃しなく、かつ短時間で検査することができる羽根車の羽根形状検査方法及び検査装置を提供する。【解決手段】設置場所に置かれる羽根車の回転軸心方向から羽根車の正面を撮像する工程と、上記撮像工程で撮像された羽根車の回転軸心方向からの羽根車の正面に係わる撮像画像を二値化処理し、二値化画像を得る工程と、上記二値化画像に基づいて羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部の位置を検出する工程と、上記検出された全ての先端部対応明部について、各先端部対応明部と羽根車対応明部における予め定められる基準部との位置関係を算出する工程と、上記算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備える。【選択図】    図１
2008051664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設置場所に置かれる羽根車の回転軸心方向から羽根車の正面を撮像する工程と、
上記撮像工程で撮像された羽根車の回転軸心方向からの羽根車の正面に係わる撮像画像を二値化処理し、二値化画像を得る工程と、
上記二値化画像に基づいて羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部の位置を検出する工程と、
上記検出された全ての先端部対応明部について、各先端部対応明部と羽根車対応明部における予め定められる基準部との位置関係を算出する工程と、
上記算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査方法。
【請求項２】
設置場所に置かれる羽根車の回転軸心方向から羽根車の正面を撮像する工程と、
上記撮像工程で撮像された羽根車の回転軸心方向からの羽根車の正面に係わる撮像画像を二値化処理し、二値化画像を得る工程と、
上記二値化画像に基づいて羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部の位置を検出する工程と、
上記検出された羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部について、夫々「隣接する先端部対応明部相互間の距離」を算出する工程と、
上記算出された全ての「隣接する先端部対応明部相互間の距離」について、夫々異なる「隣接する先端部対応明部相互間の距離」の差を算出し、その差と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査方法。
【請求項３】
設置場所に置かれる羽根車の回転軸心方向から羽根車の正面を撮像する工程と、
上記撮像工程で撮像された羽根車の回転軸心方向からの羽根車の正面に係わる撮像画像を二値化処理し、二値化画像を得る工程と、
上記二値化画像に基づいて羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部の位置を検出する工程と、
上記二値化画像に基づいて、重心位置の座標及び全ての羽根対応明部の先端部対応明部相互間に位置する凹部に存在する極小値の座標を算出して、上記極小値の座標と上記重心位置の座標を通る直線を算出する工程と、
上記検出された先端部対応明部について、全ての先端部対応明部における先端対応明部の中点座標を算出して、上記中点座標と上記重心位置の座標を通る直線を算出する工程と、
上記極小値の座標と上記重心位置の座標を通る直線と、上記中点座標と上記重心位置の座標を通る直線が成す角度を夫々算出する工程と、
上記算出された夫々の角度と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査方法。
【請求項４】
設置場所に置かれる羽根車の回転軸心方向から羽根車の正面を撮像する工程と、
上記撮像工程で撮像された羽根車の回転軸心方向からの羽根車の正面に係わる撮像画像を二値化処理し、二値化画像を得る工程と、
上記二値化画像に基づいて羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部の位置を検出する工程と、
上記二値化画像に基づいて、重心位置の座標及び全ての羽根対応明部の先端部対応明部相互間に位置する凹部に存在する極小値の座標を算出して、上記夫々の極小値の座標と上記重心位置の座標を通る直線を算出する工程と、
上記検出された夫々の先端部対応明部について、上記夫々の極小値の座標と上記重心位置の座標を通る直線を対称軸として、その対称軸の両側に位置する二つの先端部対応明部のパターンマッチングを夫々行い、羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査方法。
【請求項５】
羽根車を設置する場所と、
上記設置場所に置かれる羽根車を撮像する撮像手段であって、上記撮像手段の配置は、羽根車の回転軸心方向から羽根車の正面を撮像可能に配置してある撮像手段とを備え、さらに、
上記撮像手段で撮像された羽根車の回転軸心方向からの羽根車の正面に係わる撮像画像を二値化する二値化処理手段と、
上記二値化処理手段により得られる二値化画像に基づいて羽根車対応明部の周囲に備える全ての羽根対応明部の先端部対応明部の位置を検出する先端部検出手段と、
上記先端部検出手段により検出された全ての先端部対応明部について、各先端部対応明部と羽根車対応明部における予め定められる基準部との位置関係を算出する演算手段と、
上記演算手段により算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定するようにしてある判定手段とを有する画像処理手段25を備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査装置。
【請求項６】
設置場所に回転自在に設置される羽根車を撮像する工程であって、羽根車の夫々の羽根における自由端面の全域を撮像する工程と、
上記撮像工程で撮像された夫々の羽根車の羽根夫々における自由端面の全域に係る撮像画像を二値化処理し、全ての羽根の自由端面の全域に係る二値化画像を得る工程と、
上記全ての二値化画像について、一つの二値化画像と他の二値化画像とを比較して、羽根車の形状の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査方法。
【請求項７】
設置場所に回転自在に設置される羽根車を撮像する工程であって、羽根車の夫々の羽根における自由端面の全域を撮像する工程と、
上記撮像工程で撮像された夫々の羽根車の羽根夫々における自由端面の全域に係る撮像画像を二値化処理し、全ての羽根の自由端面の全域に係る二値化画像を得る工程と、
上記全ての二値化画像について、一つの二値化画像と他の二値化画像とを差分処理して、自由端面対応明部における特徴部に基づいて、羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査方法。
【請求項８】
回転自在に支持される羽根車を設置する場所と、
上記設置場所に置かれる羽根車を撮像する撮像手段であって、上記撮像手段の配置は、羽根車の羽根における自由端面の全域を撮像可能に配置してある撮像手段と、上記撮像手段により、上記羽根車の周囲に備えられる全ての羽根の自由端面の撮像を可能に、上記羽根車を設置する場所に設置される羽根車を回動させるようにした回動手段とを備え、さらに、
上記撮像手段で撮像された撮像画像の各々に基づき、夫々の羽根における自由端面の全域に係る撮像画像を二値化する二値化処理手段と、上記二値化処理手段により得られる全ての二値化画像について、一つの二値化画像と他の二値化画像とを比較して、羽根車の羽根形状の良否を判定するようにしてある判定手段とを有する画像処理手段を備えることを特徴とする羽根車の羽根形状検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、羽根車の羽根形状検査方法及び検査装置に関し、詳しくは軸部材の周囲に複数の羽根を備える羽根車の羽根形状検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の羽根を備える羽根車（例えば、タービンの羽根車、自動車ターボエンジンのタービンホイール）の製造過程において、作業員が羽根車を誤って落としたり、羽根車相互をぶつけたりすると、羽根車の羽根が変形したり、傷ついたりすることがある。特に、タービンホイールは形状が複雑で羽根における先端部は厚みが薄くなっているものが多い。こうした薄肉部分は製造過程で変形し易い。
そこで、羽根車における複数の羽根夫々が設計上予定された形状か否か（変形や傷がないか否か）検査を行っている。その検査をする場合、目視にて検査しているのが通常である。
【０００３】
しかしながら、目視検査では検査員の個人差があり、人によっては、僅かな変形や傷を見逃すことがある。反対に人によっては誤検出をすることがあり、目視検査における検査精度が低いという問題点があった。
さらに、羽根車における複数の羽根の全てについての検査には時間がかかる問題点もあった。
【０００４】
そこで、従来技術においては、変位計を用いてタービン翼（以下「羽根」ともいう）の表面側と裏面側の夫々の表面形状を測定し、それら表裏の形状を合成して羽根の表面形状を測定する方法の技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１７４５１２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、この技術を用いて羽根車の周囲に備えられる多数の羽根の形状の検査をする場合は、１枚の羽根について、その全域に亘ってスキャンし、その１枚の羽根について立体的な形状を測定しているので、検査には非常に時間がかかる問題点がある。
【０００７】
本件出願の目的は、羽根車の羽根形状検査をする場合、羽根車の周囲に備える多数の羽根夫々が、設計上予定された形状か否かを「見逃しなく」検査することができる羽根車の羽根形状検査方法及び検査装置を提供しようとするものである。
他の目的は、羽根車の先端部を対象にして短時間で検査することができる羽根車の羽根形状検査方法及び検査装置を提供しようとするものである。
他の目的及び利点は図面及びそれに関連した以下の説明により容易に明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明における羽根車の羽根形状検査方法は、設置場所１０に置かれる羽根車２の回転軸心方向から羽根車２の正面を撮像する工程と、上記撮像工程で撮像された羽根車２の回転軸心方向からの羽根車２の正面に係わる撮像画像を二値化処理し、二値化画像３１を得る工程と、上記二値化画像３１に基づいて羽根車対応明部32の周囲に備える全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35、35・・・35の位置を検出する工程と、上記検出された全ての先端部対応明部35、35・・・35について、各先端部対応明部35、35・・・35と羽根車対応明部32における予め定められる基準部との位置関係を算出する工程と、上記算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定する工程とを備えたものである。
【０００９】
また好ましくは、羽根車２を設置する場所１０と、上記設置場所１０に置かれる羽根車２を撮像する撮像手段１５であって、上記撮像手段１５の配置は、羽根車２の回転軸心方向から羽根車２の正面を撮像可能に配置してある撮像手段１５とを備え、さらに、上記撮像手段１５で撮像された羽根車２の回転軸心方向からの羽根車２の正面に係わる撮像画像を二値化する二値化処理手段２６と、上記二値化処理手段２６により得られる二値化画像３１に基づいて羽根車対応明部32の周囲に備える全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35、35・・・35の位置を検出する先端部検出手段２７と、上記先端部検出手段２７により検出された全ての先端部対応明部35、35・・・35について、各先端部対応明部35と羽根車対応明部32における予め定められる基準部との位置関係を算出する演算手段２８と、上記演算手段２８により算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定するようにしてある判定手段２９とを有する画像処理手段25を備えるものであればよい。
【００１０】
また好ましくは、設置場所１０に回転自在に設置される羽根車２を撮像する工程であって、羽根車２の夫々の羽根４における自由端面７の全域を撮像する工程と、上記撮像工程で撮像された夫々の羽根車２の羽根４、４・・・４夫々における自由端面７の全域に係る撮像画像を二値化処理し、全ての羽根４の自由端面７の全域に係る二値化画像３１を得る工程と、上記全ての二値化画像３１について、一つの二値化画像と他の二値化画像とを比較して、羽根車の形状の良否を判定する工程とを備えるものであればよい。
【００１１】
また好ましくは、回転自在に支持される羽根車２を設置する場所１０と、上記設置場所１０に置かれる羽根車２を撮像する撮像手段１５であって、上記撮像手段１５の配置は、羽根車２の羽根４における自由端面７の全域を撮像可能に配置してある撮像手段１５と、上記撮像手段１５により、上記羽根車２の周囲に備えられる全ての羽根４の自由端面７の撮像を可能に、上記羽根車２を設置する場所１０に設置される羽根車２を回動させるようにした回動手段５０とを備え、さらに、上記撮像手段１５で撮像された撮像画像３０の各々に基づき、夫々の羽根４における自由端面７の全域に係る撮像画像を二値化する二値化処理手段５４と、上記二値化処理手段５４により得られる全ての二値化画像３１について、一つの二値化画像と他の二値化画像とを比較して、羽根車の羽根形状の良否を判定するようにしてある判定手段５５とを有する画像処理手段５３を備えるものであればよい。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように本発明は、羽根車の羽根形状を検査する場合、羽根車２の周囲に備えられる多数の羽根全ての先端部を撮像し、その撮像した画像に基づいて全ての先端部対応明部35、35・・・35について、予め定められる基準部との位置関係を算出し、羽根形状の良否を判定するので、羽根車の周囲に備える多数の羽根夫々が、設計上予定された形状の許容範囲内にあるか否かを「見逃しなく」検査することができる効果がある。
【００１３】
さらに本発明は、上記検査にあっては、全ての羽根に係わる先端部対応明部について、同一判定基準で検査することができ、品質にバラツキがない特長がある。
このことは、羽根車の高速回転時のバランスが良好な羽根車を提供することができる品質上の効果がある。
【００１４】
しかも、本発明は、羽根車の周囲に備えられる多数の羽根全てについて検査するものであっても、上記検査をする場合、羽根車２の周囲に備えられる多数の羽根全ての先端部を撮像し、羽根における先端部対応明部のみを検査対象とするものであるから、演算処理の量が少なく、検査に要する時間が短くなる特長がある。このことは、羽根車の周囲に多数の羽根が存在しても、極めて迅速に検査することができる作業上の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図１乃至図１４において、２は検査対象の羽根車を示し、例えば周知のタービンホイールを示す。羽根車２において、３は軸部材、４は軸部材３の周囲に備えられる複数の羽根を示す。
【００１６】
次に、羽根車２の羽根形状の良否を検査する為の検査装置１について説明する（図１参照）。１１は羽根車の羽根形状検査装置１における基台、１２は基台１１に連結された支持部材を示し、１０は支持部材１２の先端に設けられた羽根車を装着する為の設置場所を示す。１３は後述する撮像手段１５及び照明手段２０を支持する為の支持手段を示す。
【００１７】
１５は、設置場所１０に置かれる羽根車２を撮像する撮像手段であって、上記撮像手段１５の配置は、羽根車２の回転軸心９方向から羽根車２の正面を撮像可能に配置してある。特に、羽根車２の周囲に備えられる多数の羽根４が同じ縮尺で鮮明に撮像可能にしてある。
撮像手段１５としては、例えば周知のＣＣＤカメラが用いられる。ＣＣＤカメラ１５は周知のように、昇降機構（図示省略）を介して支持手段１３に設置され、上下動可能に設置されている。ＣＣＤカメラ１５と羽根車２の正面との距離Ｈ１は、ＣＣＤカメラ１５の撮像範囲を考慮して設定すれば良く、例えばＨ１：150mmに設定している。
次に、撮像手段１５による撮像画像３０について説明する（図２参照）。２ａ、３ａ、４ａは夫々羽根車２、軸部材３、羽根４の対応部を示し、５は羽根対応部４ａにおける正面側の先端部、６は先端部５の先端、７は羽根４の自由端面を夫々示す。８は羽根車２の正面、９は回転軸心、Ｒは検査合格品について、次段工程により回転軸を固着する為の取付場所を示す。図２（Ａ）は健全品に係わり、図２（Ｂ）に示される撮像画像３０は欠陥品に係るもので、５ｐは、変形した先端部を示す。
【００１８】
図１に現れる２０は設置場所１０に置かれる羽根車２を照射する為の照明手段を示す。
照明手段２０としては、例えばＣＣＤカメラ１５と羽根車２とを結ぶ線上を避けることができるように、周知の環状のＬＥＤ照明装置を用いるとよい。このＬＥＤ照明装置によれば、羽根車２の周囲に備えられる多数の羽根４が同じ鮮明度で撮像可能に照射できる。
また、環状のＬＥＤ照明装置に替えて、撮像後の画像処理（二値化処理）を考慮して、羽根車２の正面を２方向（好ましくは４方向）から照射するように２個以上の照明装置を設置してもよい。照明手段２０、２０の設置位置は、夫々羽根車２の正面に対して角度θ１が45°〜80°程度で光線を照射できるように設置してある（図１参照）。２１は照明手段２０による光線の存在を示す。
【００１９】
次に、図１（Ａ）の右上に表れる２５は撮像手段１５に接続される画像処理手段を示し、後述する二値化処理手段２６、先端部検出手段２７、演算手段２８、判定手段２９を備える。画像処理手段２５は、図１（Ｂ）に示される画像処理（S20〜S50）を行うようにしてある。
二値化処理手段２６は、撮像手段１５で撮像された羽根車２の回転軸心９方向からの羽根車２の正面にかかる撮像画像を二値化できるようにしてある。なお、二値化処理（S20）においては、撮像画像３０の状態によっては周知の強調処理、微分処理等を必要に応じて選択的に行ってもよい。また、不要な範囲をマスキング（除去）するものとしても良い。こうすることで、一層安定した（再現性のよい）二値化処理を行うことができる。
二値化処理手段２６において二値化された二値化画像３１を説明する（図３参照）。
３２は羽根車２ａの正面側の面に対応する明部（以下「羽根車対応明部」ともいう）を示し、３４は羽根４ａにおける正面側の面に対応する明部（以下「羽根対応明部」ともいう）を示す。３３は軸部材３ａに対応する明部、３５は先端部５に対応する明部（以下「先端部対応明部」ともいう）を示す。３６は先端６に対応する明部（以下「先端対応明部」ともいう）を示す。Ｃは、回転軸取付部Ｒに対応する暗部を示す。図３（Ｂ）に表れる35ｐは、図２（Ｂ）に表れる変形した先端部５ｐに対応する明部を示す。
【００２０】
先端部検出手段２７は、二値化処理手段２６により得られる二値化画像３１に基づいて羽根車対応明部32の周囲に備える全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35の位置を検出するようにしてある。具体的には、先端部検出手段２７は次のように先端部対応明部35の位置を検出するようにしてある。
二値化画像３１の羽根車対応明部３２における軸心３９を中心にして、先端部対応明部３５を円周方向にスキャンする。暗部４１と明部３５を繰り返して検出できるので、暗部４１から明部３５になった位置を先端部対応明部３５の位置として検出する。
なお、先端部対応明部３５の位置を検出する場合、暗部４１から明部３５になった位置を先端部対応明部３５の位置として検出する例を説明したが、その逆、即ち明部３５から暗部４１になった位置を先端部対応明部３５の位置として検出するようにしてもよい。
【００２１】
演算手段２８は、先端部検出手段２７により検出された全ての先端部対応明部35について、各先端部対応明部35と羽根車対応明部32における予め定められる基準部との位置関係を算出するようにしてある。具体的には、図４に示される処理（S120）を行うようにしてある。Ｓ１２０においては、「隣接する先端部対応明部35相互間の距離」（以下「相互間の距離」ともいう）Ｌを算出する。例えば、隣接する先端部対応明部35ａ、35ｂの場合（図４（Ｂ）参照）は、先端部対応明部35ａのエッジ38ａを予め定められる基準部として、エッジ38ａと先端部対応明部35ｂのエッジ38ｂ相互間の距離Ｌ１を算出する。同様に全ての先端部対応明部35ａ〜35ｋについて、相互間の距離Ｌ２〜Ｌ１１を算出する。
【００２２】
判定手段２９は、演算手段２８により算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の羽根形状の良否を判定するようにしてある。具体的には図４に示される処理（S130~S140）を行うようにしてある。
S130においては、S120で算出した相互間の距離Ｌ１〜Ｌ１１について、夫々異なる相互間の距離Ｌの差Ｄを算出する。例えば相互間の距離Ｌ１とＬ２の差Ｄ１を算出する。同様に残る相互間の距離Ｌ１〜Ｌ１１の差Ｄ２〜Ｄ１１の差を算出する。
次に、S140においては、差Ｄ（Ｄ１〜Ｄ１１）夫々と所定の規定値とを比較して、規定値以下か否か判断する。差Ｄが規定値以下の場合には、「羽根車の羽根形状は良好」と判定し、差Ｄが規定値より大きい場合には、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定する。このように健全品の値によらず、差Ｄの値のみで欠陥品を検出することができる。
上記の場合、先端部対応明部35相互間の処理だけで足り、極めて簡単に短時間で処理できる。
なお、全ての羽根の先端について不揃いがないことを検査することにより、羽根車の高速回転時のバランスが良好な羽根車を提供することができる。
上記検査において、S140においての判定を、差Ｄ（Ｄ１〜Ｄ１１）夫々と所定の規定値とを比較して判定する例を説明したが、一つの差Ｄ、例えば差Ｄ１を規定値として定め、他の差Ｄ２〜Ｄ１１とを比較して判定するようにしてもよい。
さらに、相互間の距離Ｌ１〜Ｌ１１について、夫々異なる相互間の距離Ｌの差Ｄを算出し、差Ｄ（Ｄ１〜Ｄ１１）夫々と所定の規定値とを比較して判定する例を説明したが、全ての相互間の距離Ｌについて、夫々異なる相互間の距離Ｌの差Ｄを算出処理(S130)を省略し、相互間の距離Ｌ夫々と所定の規定値（例えば、設計上予定される値）とを比較して判定するようにしてもよい。
【００２３】
上記構成のものを用いて、羽根車の羽根形状の良否を判断する検査方法を、図１（Ｂ）及び図４（Ａ）に示すフローチャートを参照しながら説明する。
まず、設置場所１０に羽根車２を設置する。
次に設置場所１０に置かれる羽根車２を照明手段２０で照射し、羽根車２の回転軸心９方向から羽根車２の正面を撮像手段１５で撮像する(S10)。
上述したように図２（Ａ）に示されるような撮像画像３０が生成される。この撮像画像３０のデータは画像処理手段２５に送られる。
次に、画像処理手段２５の二値化処理手段２６においては、撮像画像３０のデータを受入れ、羽根車２の回転軸心方向からの羽根車２の正面にかかる撮像画像の二値化処理を行う(S20)。この画像処理により図３（Ａ）に示すような二値化画像３１が生成される。
【００２４】
次に、先端部検出手段２７においては、二値化画像３１のデータを受入れ、先端部位置を検出する処理を行う(S30)。具体的には、前述の図４を参照して説明したように、ステップS110の処理を行う。この処理により先端部対応明部３５の位置が検出される。
【００２５】
次に、演算手段２８においては、検出された全ての先端部対応明部３５の位置のデータを受け入れ、各先端部対応明部35と羽根車対応明部32における予め定められる基準部との位置関係を算出する処理を行う(S40)。具体的には、前述の図４を参照して説明したように、ステップS120の処理を行う。この処理により相互間の距離Ｌ１〜Ｌ１１が算出される。
引き続き、判定手段２９において、算出された位置関係と所定の規定値とを比較して羽根車の形状の良否を判定する処理を行う(S50)。具体的には、前述の図４を参照して説明したように、ステップS130〜S140の処理を行う。
その結果、差Ｄが規定値以下と判断され、「羽根車の羽根形状は良好」と判定される。
【００２６】
次に図２（Ｂ）に示されるような、羽根車、即ち、複数の羽根の内、一部の羽根４ａにおける先端部５ｐが変形している羽根車の場合について説明する。上記したと同様にS10〜S40の処理を行う。引き続きS50の内、S130の処理を行う。この処理により相互間の距離Ｌ１〜Ｌ１１が算出される。先端部対応明部35bが変形している為、図４（Ｃ）から理解できるように相互間の距離Ｌ１〜Ｌ１１の内、相互間の距離L1は他の相互間の距離L3〜L11より短く、相互間の距離L2は他の相互間の距離L3〜L11より長くなる。
引き続いて、ステップS140の処理を行う。
その結果、図４（Ｃ）から理解できるように、相互間の距離L3〜L11とは異なる長さの相互間の距離Ｌ１、Ｌ２を元に算出される差Ｄ１、Ｄ２、及びＤ１１が規定値より「異なる」と判断され、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定され、この羽根車を不良品として処理する。
【００２７】
次に、図４の画像処理手段に係る処理とは演算手段における処理及び判定手段における処理の点において異なる例を示す図５について説明する。
図５に係る構成は、上述と同様に、即ち、図１、図２、図３を用いて説明したと同様に、設置場所１０に羽根車２を設置し、S10〜S30の処理を行う。引き続き、S40、S50の処理、即ち後述するS220〜S280の処理を行う例を示す。
なお、図５において前述の図３、図４のものと機能、性質又は特徴等が同一又は均等構成と考えられる部分には、前述の図３、図４と同一の符号を付して重複する説明を省略する。（また次図以降のものにおいても順次同様の考えで、前述の図３、図４と同一の符号を付して重複する説明を省略する。）
図１（Ａ）の演算手段２８は、上記二値化画像３１に基づいて、重心位置Bの座標及び極小値Ｍの座標を算出して、上記極小値Ｍの座標と上記重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１を算出すると共に、上記先端部検出手段２７により検出された先端部対応明部35について、各先端部対応明部35における先端の中点座標を算出し、上記中点座標と上記重心位置の座標を通る直線Ｓ２を算出し、上記極小値Ｍの座標と上記重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１と、上記中点座標と上記重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ２が成す角度θ２を算出できるようにしてある。
【００２８】
具体的には、演算手段２８は図５に示される処理（S220〜S270）ができるようにしてある。S220においては、まず、座標系を設定し、回転軸取付部Ｒに対応する暗部Ｃに基づき重心位置Ｂの座標（以下「重心座標」ともいう）を算出する。次に、S230においては、全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35相互間に位置する凹部32ａに存在する極小値Ｍを抽出し、極小値の座標（以下「極小座標」ともいう）を算出する。極小値Ｍは次のように抽出するとよい。二値化画像３１に対し、重心位置Ｂを中心として円周方向に明暗をスキャンする。このスキャン処理において、角度α（360°を羽根の枚数で割った角度、例えば、図示の羽根車の羽根の枚数が11枚の場合にあっては角度α：約32.8°）おきに必ず極小値Ｍが１つあるので、角度αに基づき抽出するとよい。
S240においては、S220、S230で夫々算出した重心座標と極小座標を通る直線Ｓ１を算出する。S250においては、S210において、先端部検出手段２７により検出された夫々の先端部対応明部35における先端対応明部36の中点の座標（以下「中点座標」という）36ａを算出する。
S260においては、S220、S250で夫々算出した重心座標と夫々の先端部対応明部35の座標を通る直線Ｓ２を算出する。
S270においては、極小座標と重心座標を通る直線Ｓ１と、中点座標36ａと重心位置の座標を通る直線Ｓ２が成す角度θ２を算出する。角度θ２を算出する直線Ｓ１、Ｓ２の組み合わせは、直線Ｓ１の反時計方向側に位置する直線Ｓ２であって、最も近くに位置するＳ２としている（図５（Ｂ）参照）。もちろん、所定の直線Ｓ１の時計方向側に位置する直線Ｓ２であって、当該直線Ｓ１の最も近くに位置する直線Ｓ２と組み合わせて角度θ２を算出するものとしてもよい。
【００２９】
次に、図１（Ａ）の判定手段２９は、演算手段２８により算出された角度θ２と所定の規定値とを比較して羽根車の形状の良否を判定するようにしてある。具体的には、S280の処理を行うようにしてある。
S280においては、角度θ２と所定の規定値、例えば設計上予定している角度とを比較して規定値の範囲内か否か判断する。角度θ２が既定値の範囲内の場合には、「羽根車の羽根形状は良好」と判定し、角度θ２が既定値の範囲内にない場合には、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定するようにしてある。例えば図５（Ｃ）に示される例にあっては、角度θ２は、変形がない羽根の場合の角度θ２（２点差線で示すθ２）に比較して大きくなる。その結果、S280において、角度θ２は既定値の範囲外と判断され、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定される。
上記の場合、極小値Ｍは算出することが容易であり、構成部材としては重厚（厚肉）な部分であるから容易に変形しない特長がある。このことから基準部としてふさわしい。
なお、S250、S260において先端対応明部36の中点座標を算出し直線Ｓ２を算出している例を説明したが、中点座標に代えて先端対応明部36のエッジ38の座標（端点座標）38aを算出して直線Ｓ２を算出してもよい（図５（Ｄ）に示されるS241〜S251)。
【００３０】
次に、図４の画像処理手段に係る処理とは演算手段における処理及び判定手段における処理の点において異なる例を示す図６について説明する。
図６に係る構成は、上述と同様に、即ち、図１、図２、図３を用いて説明したと同様に、設置場所１０に羽根車２を設置し、S10〜S30の処理を行う。引き続き、S40、S50の処理、即ち後述するS320〜S350の処理を行う例を示す。
演算手段２８は、上記二値化画像３１に基づいて、重心位置Ｂの座標及び全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35相互間に位置する凹部に存在する極小値Ｍの座標を算出して、上記夫々の極小値Ｍの座標と上記重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１を算出するようにしてある。
具体的には、演算手段２８は図６（Ａ）に示される処理（S320〜S340）を行うようにしてある。S320〜S340の処理は上述した図５（Ａ）におけるS220〜S240と同様に行えばよいので、重複する説明を省略する。
【００３１】
次に判定手段２９は、上記先端部検出手段２７により検出された夫々の先端部対応明部35について、上記演算手段２８により算出された直線Ｓ１を対称軸として、その対称軸Ｓ１の両側に位置する二つの先端部対応明部35、35のパターンマッチング処理を夫々行い、羽根車の形状の良否を判定するようにしてある（S350）。
S350の処理の結果、全ての対称軸Ｓ１の両側に位置する二つの先端部対応明部35、35（例えば図6（Ｂ）に示される先端部対応明部35ａ、35ｂ）がマッチング（完全一致または所定割合以上の一致）した場合には相関性ありと判断して「羽根車の羽根形状は良好」と判定し、マッチングしない場合には、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定するようにしてある。例えば、図６（Ｃ）に示す例にあっては、先端部対応明部35ｂと先端部対応明部35ｃとはマッチングせず、相関性なしと判断され、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定される。
【００３２】
次に、図６（Ａ）の画像処理手段に係る処理とは、演算手段における処理及び判定手段における処理の点において異なる例を示す図６（Ｄ）について説明する。
演算手段２８は、上記先端部検出手段２７により検出された先端部対応明部35について座標を算出すると共に、上記二値化画像３１に基づいて、重心位置の座標及び全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35相互間に位置する凹部に存在する極小値Ｍの座標を算出して、上記夫々の極小値Ｍの座標と上記重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１を算出するようにしてある(S320〜S340、S370)。
次に、判定手段２９は、上記演算手段２８により算出された極小値Ｍの座標と上記重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１を対称軸として、その対称軸Ｓ１の両側に位置する先端部対応明部35の座標を比較し、羽根車の形状の良否を判定するようにしてある(S380)。S380の処理の結果、全ての対称軸Ｓ１の両側に位置する二つの先端部対応明部35、35の座標が一致（完全一致または所定割合以上の一致）した場合には「羽根車の羽根形状は良好」と判定し、一致しない場合には、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定するようにしてある。
なお、図５（Ａ）〜（Ｄ）及び図６（Ａ）〜（Ｄ）を用いての説明に係る極小値Ｍの座標と重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１に関しては、極小値Ｍに替えて他の位置と重心位置Ｂの座標を通る直線Ｓ１を算出するようにしてもよい。例えば、図６（Ｅ）に示すように極小値Ｍの算出が困難な形状に関しては、次のように直線Ｓ１を算出してもよい。
まず、重心位置Ｂを検出し、重心位置Ｂを中心として円弧43を作成する。上記円弧43としては、羽根対応明部34における容易に変形しない重厚（厚肉）な部分を通るものであれば良く、例えば、図示の如く羽根対応明部34の付け根部34b寄りの部分を通るようにするとよい。
次に、全ての羽根対応明部34、34・・・34の先端部対応明部35相互間に位置する円弧部分43ａにおける中点（円弧部分43ａにおける距離W1＝W2になる点）ｐを算出する（図６（Ｆ）参照）。夫々算出した中点ｐと重心位置Ｂとを通る直線Ｓ１を算出する。
【００３３】
次に、図４の画像処理手段に係る処理とは演算手段における処理及び判定手段における処理の点において異なる例を示す図５（Ｅ）、（Ｆ）について説明する。
図５（Ｅ）、（Ｆ）は、先端部対応明部35における面積に基づいて羽根車の羽根形状の良否を判定する方法を提供するものである。
まず、演算手段２８にあっては、重心位置Ｂを検出し（S820）、重心位置Ｂを通る円弧43を作成する（S830）。次に、全ての羽根対応明部34、34・・・34における各先端部対応明部35、35・・・35の円弧部分43ｂの中点（円弧部分43ｂにおける距離ｄ1＝ｄ2になる点）ｑを算出する（S840）。そして中点ｑと重心位置Ｂを通過する直線Ｓ３を算出する（S850）。次に、各先端部対応明部35、35・・・35において、直線Ｓ３と、円弧部分43ｂと先端部対応明部35における輪郭に囲まれる２つの領域を面積Ａ１、面積Ａ２として算出する（S860）。
次に、判定手段２９にあっては、上記演算手段２８により算出された面積Ａ１、面積Ａ２を比較し、羽根車の形状の良否を判断する（S870）。
以上のように、図５（Ｅ）、（Ｆ）の方法は、変形し難い厚肉部にある中点ｑと重心位置Ｂを基準としているので、直線Ｓ３は健全品に近いものとなる。従って精度良く欠陥品を判別することができる。
【００３４】
上述したように、図４、図５、図６に係る演算処理及び判定処理は、単独で行って羽根車の羽根の形状を検査してもよいが、必要に応じて組み合わせて検査をするようにしてもよい。例えば、図４、図５、図６に係る演算処理及び判定処理の全てを組み合わせて検査を行ってもよい。さらに、図４と図６に係る演算処理及び判定処理の組み合わせ、あるいは図５と図６に係る演算処理及び判定処理の組み合わせをして検査を行ってもよい。このように組み合わせて検査を行うことにより、欠陥品の検出精度が向上する。
【００３５】
次に、図１〜４の羽根車とは検査対象とする位置の点において異なる例を示す図７について説明する。図７は図１〜４の羽根車の検査対象位置とは反対の面(図１における羽根車２の下面）を検査対象として検査する方法を提供するものである。図７において、（Ａ）は健全品に係る撮像画像３０を説明する為の図、（Ｂ）は欠陥品に係る撮像画像３０を説明する為の図、（Ｃ）は（Ａ）の画像を二値化処理した二値化画像３１を説明する為の図、（Ｄ）は（Ｂ）の画像を二値化処理した二値化画像３１を説明する為の図、（Ｅ）は画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｆ）は羽根車が欠陥品の場合についての画像処理手段における処理を説明する為の概略図を示すものである。
図７に係る検査装置１の構成及び検査方法は、図１〜４について説明したと同旨なので、重複する説明は省略する。
以上のように、図７に係る検査装置１の構成及び検査方法は、図１〜図４に係る検査装置１の構成及び検査方法と同様なので、羽根車の反対面（裏面）も容易に検査することができる。
【００３６】
次に、図１〜４の検査装置及び検査方法とは、検査装置に係る構成、羽根車の検査対象位置及び画像処理手段における処理の点において異なる例を示す図８〜図１１について説明する。
検査装置１において、１０は回転自在に支持される羽根車２を設置する場所を示す。
１１は基台を示し、任意の角度θ４に調節可能にしてある。基台１１の角度調節手段としては、周知の機構を用いればよい。基台１１の設置角度θ４としては、羽根車を撮像した後の画像処理（二値化処理）を考慮して、羽根車の輪郭が抽出しやすい角度（照明手段２０からの自由端面７に照射された反射光が撮像手段１５に明確に入る角度）にするとよく、例えば、角度θ４：０〜３０°に設置すればよい。５２は基台１１の角度を調節する為の調節機構の存在を示す。
５０は、上記撮像手段１５により、上記羽根車２の周囲に備えられる全ての羽根４の自由端面７の撮像を可能に、上記羽根車２を設置する場所１０に設置される羽根車２を回動させるようにした回動手段を示す。回動手段５０としては、例えば、周知のサーボモータが用いられる。回動手段５０としては他の任意のモータを用いても良い。その場合、モータの回転角度は、羽根車における羽根４の分割数に対応させてあり、その回転は連続でも間歇回動でも良い。撮像手段１５の撮像と同期がとられているとよい。51は周知の光電センサを示し、設置場所10に任意で設置される羽根車の撮像初期位置を割り出すことができるようにしてある。
なお、撮像と回転とを同期させるためにはモータのパルス数制御に替えて、光電センサ51のON／OFFを利用した制御で対応することができる。
【００３７】
次に、１５は上記設置場所１０に置かれる羽根車２を撮像する撮像手段であって、上記撮像手段１５の配置は、羽根車２の全ての羽根４における自由端面７の全域を撮像可能に配置してある。
次に、撮像手段１５による撮像画像３０について説明する（図９参照）。２ａ、３ａ、４ａ、７ａは夫々羽根車２、軸部材３、羽根４、自由端面７の対応部を示す。図９（Ａ）は正常に係わり、図９（Ｂ）（Ｃ）に示される撮像画像３０は欠陥品に係るもので、７ｐは、変形した自由端面対応部を示す。
【００３８】
図８（Ａ）に現れる２０は設置場所１０に置かれる羽根車２を照射する為の照明手段を示す。照明手段２０の設置位置は、角度θ５が２０°〜８５°程度で光線を照射できるように設置してある。
【００３９】
次に、５３は撮像手段１５に接続される画像処理手段を示し、後述する二値化手段５４及び判定手段５５を備える。画像処理手段５３は、図８（Ｂ）に示される画像処理（S60〜S80）を行うことができるようにしてある。
二値化処理手段５４は、撮像手段１５で撮像された撮像画像３０の各々に基づき、夫々の羽根４における自由端面７の全域に係る撮像画像を二値化できるようにしてある。
二値化処理手段２６において二値化された二値化画像３１を説明する（図１０参照）。
37は自由端面対応部７ａに対応する明部（以下「自由端面対応明部」ともいう）を示す。４０は自由端面対応明部37における特徴部（羽根が変形したときにその変形が特徴的に表れる部分）の例を示す。４１は暗部を示す。図１０（Ｂ）、（Ｃ）に表れる37ｐは、図９（Ｂ）、（Ｃ）に表れる変形した先端部７ｐに対応する明部を示す。
【００４０】
判定手段２９は、上記二値化処理手段５４により得られる全ての二値化画像３１について、一つの二値化画像と他の二値化画像とを比較して、羽根車の羽根形状の良否を判定できるようにしてある。具体的には図１１に示される処理（S420）を行うようにしてある。
S420においては、S410で得られた全ての羽根４における自由端面７の全域に係る二値化画像３１について、任意の一つの二値化画像、例えば最初に撮像して二値化した二値化画像を選択し、それをテンプレートとして他の二値化画像との差分処理を夫々行う。そして自由端面対応明部37における特徴部４０に基づいて、羽根車の羽根形状の良否を判定ができるようにしてある。S420の処理の結果、全ての二値化画像において、自由端面対応明部37における特徴部の検出が所定値以下の場合には「羽根車の羽根形状は良好」と判定し、二値化画像の自由端面対応明部37における特徴部の検出が所定値を超えると判断される二値化画像がある場合には、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定するようにしてある。
上記検査をする場合、羽根車２の周囲に備えられる多数の羽根全ての自由端面を撮像し、羽根における自由端面対応明部37のみを検査対象とするものであるから、判定処理の量が少なく、検査に要する時間が短くなる特長がある。このことは、羽根車の周囲に多数の羽根が存在しても、極めて迅速に検査することができることになる。
【００４１】
上記した図８に示される構成のものを用いて、羽根車の羽根形状の良否を判断する検査方法を、図１１に示すフローチャートを参照しながら説明する。
まず、設置場所１０に羽根車２を設置する。
次に設置場所１０に置かれる羽根車２を照明手段２０で照射し、羽根車２の羽根４における自由端面７の全域を撮像する(S60)。上述したように図９（Ａ）に示されるような撮像画像３０が生成される。この撮像画像３０のデータは画像処理手段５３に送られる。
次に、画像処理手段５３の二値化処理手段５４においては、撮像画像３０のデータを受入れ、羽根車２の羽根４における自由端面７の全域に係る撮像画像を二値化処理する(S70)。この画像処理により図１０（Ａ）に示すような二値化画像３１が生成される。
引き続いて、回動手段５０が羽根車における羽根４の分割数に対応する角度（隣接する羽根の自由端面７が撮像位置に来る角度）回転し、先に撮像した羽根に隣接する羽根を照明手段２０で照射し、羽根４における自由端面７の全域を撮像する(S60)。この羽根についても上述したと同様に撮像画像３０が生成され、そのデータは画像処理手段５３に送られる。二値化処理手段５４においては、羽根車２の羽根４における自由端面７の全域に係る撮像画像を二値化処理され、二値化画像３１が生成される(S70)。引き続いて回動手段５０を回動させながら、羽根車２の周囲に備えられる全ての羽根４について上記S60、S70の処理を繰り返す。
次に、判定手段２９においては、羽根車の羽根形状の良否を判定する処理を行う(S80)。具体的には、前述したようにS420の処理を行う。その結果、上述したように、羽根車の羽根形状の良否が判定される。
【００４２】
次に、図１１の画像処理手段に係る処理とは判定手段における処理の点において異なる例を示す図１２について説明する。
図１２に係る構成は、上述と同様に、即ち、図８、図９、図１０を用いて説明したと同様に、設置場所１０に羽根車２を設置し、S60、S70の処理を行い、引き続いてS80の処理、即ちS520〜S530の処理を行う例を示す。
判定手段５５は、上記全ての二値化画像３１について、自由端面対応明部37における特徴部４０の座標を算出し（S520）、一つの二値化画像に係る特徴部４０の座標と、他の二値化画像に係る特徴部の座標とを比較して、羽根車の羽根形状の良否を判定できるようにしてある（S530）。
【００４３】
次に、図１１の画像処理手段に係る処理とは判定手段における処理の点において異なる例を示す図１３について説明する。
図１３に係る構成は、上述と同様に、即ち、図８、図９、図１０を用いて説明したと同様に、設置場所１０に羽根車２を設置し、S60、S70の処理を行い、引き続いてS80の処理、即ちS620〜S630の処理を行う例を示す。
判定手段５５は、上記全ての二値化画像３１について、自由端面対応明部37に基づいて最小二乗法により曲線を求め（S620）、一つの二値化画像に係る曲線と、他の二値化画像に係る曲線とを比較して、自由端面対応明部37における特徴部４０に基づいて、羽根車の羽根形状の良否を判定できるようにしてある（S630）。
【００４４】
次に、図８及び図１１とは、二値化処理工程の点において異なる例を示す図１４について説明する。
図１４は、撮像画像30における自由端面対応部7aが鮮明な場合に、二値化処理工程を省き、直接撮像画像30により判定処理を行う検査方法を提供するものである。
図１４（Ａ）に示される５５は画像処理手段５３における判定手段を示し、上記撮像手段１５で撮像された撮像画像３０全てについて、一つの撮像画像３０に係る自由端面対応部7aと他の撮像画像３０に係る自由端面対応部7aとを比較して、自由端面対応部7aにおける特徴部40に基づいて、羽根車の羽根形状の良否を判定できるようにしてある。具体的には図１４（Ｂ）に示される処理（S720）を行うようにしてある。
S720においては、S710で得られた全ての羽根４における自由端面７の全域に係る撮像画像３０について、任意の一つの撮像画像、例えば最初に撮像した撮像画像を選択し、それをテンプレートとして他の撮像画像とパターンマッチングを夫々行う。その結果、全ての撮像画像において、テンプレートとした最初に撮像した撮像画像とマッチング（完全一致または所定割合以上の一致）した場合には相関性ありと判断して「羽根車の羽根形状は良好」と判定し、マッチングしない撮像画像がある場合には、「羽根車の羽根形状は不良(変形あり）」と判定するようにしてある。
以上のように、二値化処理工程を省き、直接撮像画像30により判定処理工程を行うので、速やかに検査をすることができる。  
上述した図８〜図14を用いての説明に係る工程（羽根４の自由端面７の全域に係る検査の工程）と、前述の図８〜図14を用いての説明に係る工程（羽根車２の正面に係る検査の工程）とを組み合わせて、羽根車２の羽根形状の検査をするとよい。これらの工程を組み合わせることにより、より一層欠陥品の検出精度が向上する。このように工程を組み合わせて検査する場合でも、羽根における先端部対応明部のみ或いは羽根４の自由端面７のみを検査対象とするものであるから、演算処理の量は少なく、検査に要する時間は短い。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（Ａ）は羽根車の羽根形状検査装置を説明するための概略図、（Ｂ）は画像処理手段の処理を説明するためのブロック図。
【図２】撮像画像を説明する為の図で、（Ａ）は健全品、（Ｂ）は欠陥品を説明する為の図。
【図３】（Ａ）は図２（Ａ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図、（Ｂ）は図２（Ｂ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図。
【図４】（Ａ）は画像処理手段における処理を説明するためのブロック図、（Ｂ）は画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｃ）は羽根車が欠陥品の場合についての画像処理手段における処理を説明するための概略図。
【図５】（Ａ）〜（Ｄ）は図４とは異なる例を説明する為の図で、（Ａ）は画像処理手段における処理を説明するためのブロック図（Ｂ）は画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｃ）は羽根車が欠陥品の場合についての画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｄ）は（Ａ）とは異なる例を説明する為の図。（Ｅ）及び（Ｆ）は図４とは異なる例を説明する為の図で、（Ｅ）は画像処理手段における処理を説明するためのブロック図、（Ｆ）は画像処理手段における処理を説明するための概略図を示す。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は図４とは異なる例を説明する為の図で、（Ａ）は画像処理手段における処理を説明するためのブロック図、（Ｂ）は画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｃ）は羽根車が欠陥品の場合についての画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｄ）は（Ａ）とは異なる例を説明する為の図。（Ｅ）及び（Ｆ）は図５（Ａ）〜（Ｄ）及び図６（Ａ）〜（Ｄ）の直線Ｓ１とは異なる例を説明するための概略図で、（Ｅ）は正面図、（Ｆ）は（Ｅ）の部分拡大図。
【図７】図１〜図３とは検査対象位置の異なる例を説明する為の図で、（Ａ）は撮像画像（健全品）を説明する為の図、（Ｂ）は撮像画像（欠陥品）を説明する為の図、（Ｃ）は（Ａ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図、（Ｄ）は（Ｂ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図、（Ｅ）は画像処理手段における処理を説明するための概略図、（Ｆ）は羽根車が欠陥品の場合についての画像処理手段における処理を説明するための概略図。
【図８】図１〜４とは異なる例を説明する為の図で、（Ａ）は羽根車の羽根形状検査装置を説明するための概略図、（Ｂ）は画像処理手段の処理を説明するためのブロック図。
【図９】撮像画像を説明する為の図で、（Ａ）は健全品、（Ｂ）、（Ｃ）は欠陥品を説明する為の図。
【図１０】（Ａ）は図９（Ａ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図、（Ｂ）は図９（Ｂ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図、（Ｃ）は図９（Ｃ）の画像を二値化処理した二値化画像を説明する為の図。
【図１１】画像処理手段における処理を説明する為の図。
【図１２】図１１とは異なる例を説明する為の図。
【図１３】図１１とは異なる例を説明する為の図。
【図１４】図８、図１１とは一部異なる例を説明する為の図で、（Ａ）は画像処理手段を説明するためのブロック図、（Ｂ）は画像処理手段の処理を説明する為の図。
【符号の説明】
【００４６】
１・・・羽根車の羽根形状検査装置、２・・・羽根車、３・・・軸部材、４・・・羽根、５・・・先端部、６・・・先端、７・・・自由端面、８・・・正面、９・・・回転軸心、１０・・・設置場所、１１・・・基台、１２・・・支持部材、１５・・・撮像手段、２０・・・照明手段、２１・・・照射光、２５・・・画像処理手段、２６・・・二値化処理手段、２７・・・先端部検出手段、２８・・・演算手段、２９・・・判定手段、３０・・・撮像画像、３１・・・二値化画像、３２・・・羽根車対応明部、３３・・・軸部材対応明部、３４・・・羽根対応明部）、３５・・・先端部対応明部、３６・・・先端対応明部、３７・・・自由端面対応明部、４０・・・特徴部、４１・・・暗部、５０・・・回動手段（サーボモータ）、５１・・・光電センサ、５２・・・調節機構、５３・・・画像処理手段、５４・・・二値化処理手段、５５・・・判定手段
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図３】
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【図７】
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【図９】
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