(57)【要約】      （修正有）【課題】転写時に電解質膜の損傷を防止することができる固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法及びマスクフィルムを提供する。 【解決手段】固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法は、基材シート１１の一方面に、固体高分子形燃料電池用触媒層１２が薄膜状に形成されてなる転写シート１を準備するステップと、電解質膜３の一方面および他方面の少なくとも一方に所定の形状を有するマスクフィルム２を配置するステップと、転写シート１上の触媒層１２を、マスクフィルム２の形状に沿うように、電解質膜３上に転写するステップと、を備え、マスクフィルム２において、触媒層１２の形状を規定する周縁部の端面は、電解質膜３側から触媒層１２側に裾広がりに傾斜する傾斜面を有している。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方面に、固体高分子形燃料電池用触媒層が薄膜状に形成されてなる転写シートを準備するステップと、
電解質膜の一方面および他方面の少なくとも一方に所定の形状を有するマスクフィルムを配置するステップと、
前記転写シート上の触媒層を、前記マスクフィルムの形状に沿うように、前記電解質膜上に転写するステップと、を備え、
前記マスクフィルムにおいて、前記触媒層の形状を規定する周縁部の端面は、前記電解質膜側から触媒層側に裾広がりに傾斜する傾斜面を有している、固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法。
【請求項２】
前記傾斜面は、前記周縁部の端面の全体に形成されている、請求項１に記載の固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法。
【請求項３】
前記傾斜面は、断面円弧状に形成されている、請求項１または２に記載の固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法。
【請求項４】
基材シートの一方面に薄膜状に形成された固体高分子形燃料電池用触媒層を、電解質膜上に所定の形状に転写するために用いられるマスクフィルムであって、
前記触媒層の形状を規定する周縁部の端面が、前記電解質膜側から触媒層側に裾広がりに傾斜する傾斜面を有している、転写用マスクフィルム。
【請求項５】
前記傾斜面は、前記周縁部の端面の全体に形成されている、請求項４に記載の転写用マスクフィルム。
【請求項６】
前記傾斜面は、断面円弧状に形成されている、請求項４または５に記載の転写用マスクフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体高分子形燃料電池に用いられるアノード極触媒層、またはカソード極触媒層が塗布された転写シートにより、電解質膜上に触媒層を転写する転写方法、及び所定の形状を形成するための転写用マスクフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
固体高分子電解質燃料電池はプロトン伝導性を有する固体高分子膜を電解質とし、この膜の両面に燃料極及び空気極を接合して構成され、燃料極に水素、空気極に酸素あるいは空気を供給して電気化学反応により発電するシステムである。各電極では下記反応が起こっている。
【０００３】
燃料極：H２→２Ｈ＋＋２ｅ−
空気極：(1/2)Ｏ２＋２Ｈ＋＋２ｅ−→Ｈ２Ｏ
全反応：Ｈ２＋(1/2)Ｏ２→Ｈ２Ｏ
これらの反応式からわかるように、発電時に生成するのは水のみである。燃料電池は、従来の内燃機関とは異なり二酸化炭素等の環境負荷ガスを発生しないため、次世代のクリーンエネルギーシステムの一つとして注目されている。また、固体高分子形燃料電池は、メタノールを燃料として供給しても発電させることが可能であり、この場合は特にメタノール直接燃料電池と呼ばれる。各電極では下記反応が起こっている。
【０００４】
燃料極：ＣＨ３ＯＨ＋Ｈ２Ｏ→６Ｈ＋＋６ｅ−＋ＣＯ２
空気極：(3/2)Ｏ２＋６Ｈ＋＋６ｅ−→３Ｈ２Ｏ
全反応：ＣＨ３ＯＨ＋(3/2)Ｏ２→２Ｈ２Ｏ＋ＣＯ２
固体高分子形燃料電池は、電解質膜としてプロトン(水素イオン)伝導性高分子電解質膜を用い、その両面に触媒層を配置し、次いでその両面に電極基材を配置し、さらに、これをセパレータで挟んだ構造を有している。電解質膜の両面に触媒層を配置したもの（すなわち、触媒層／電解質膜／触媒層の層構成のもの）は、電解質膜−触媒層接合体（略称：ＣＣＭ）と称されており、さらに、その電解質膜−触媒層接合体の両面に電極基材を配置したもの（すなわち、電極基材／触媒層／電解質膜／触媒層／電極基材の層構成のもの）は、電解質膜−電極接合体（略称：ＭＥＡ）と称されている。
【０００５】
電解質膜−電極接合体の作製方法には、一般に以下に示す手法が用いられている。
【０００６】
（ａ）触媒電極および電解質材料からなる触媒インクを電解質膜上に直接塗布・乾燥して電解質膜−触媒層接合体を作成し、この電解質膜−触媒層接合体の触媒層上に電極基材を接合することにより電解質膜−電極接合体を作製する（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
（ｂ）触媒インクを塗布・乾燥した電極基材を電解質膜に接合することにより電解質膜−電極接合体を作製する（例えば、特許文献２〜４参照）。
【０００８】
一般に、電極基材としてはカーボンペーパーやカーボンクロス等の炭素材料が用いられ、触媒インクの塗布にはスクリーン印刷やスプレーコーティング、スピンコーティングなどの手法が用いられる。
【０００９】
ところが、上記手法（ａ）の場合、触媒インクの電解質膜への直接塗工において、溶剤による電解質膜の膨潤が生じ、これによって電解質膜の変形が起こり得るという問題がある。また、上記手法（ｂ）の場合、電極基材の表面および内部に空隙が存在するため、その空隙にインクの染み込みが起こり得る。以上の理由から、いずれの手法においても、厚さが均一で平坦な触媒層を作製するのは容易ではない。また、手法（ｂ）の場合には、電極基材内部に入り込んだ触媒層により空隙の閉塞が起こり、燃料および酸化剤あるいは水分の供給・排出が阻害されるおそれがある。
【００１０】
上記のような問題を解決する方法として、転写法による電解質膜−触媒層接合体の作製方法が注目されている（例えば、特許文献５〜７）。この転写法においては、基材シート上に触媒層が形成された転写シートを作製し、これを電解質膜の両面に触媒が対向する向きに配置して熱プレスを施す。これに続いて、基材シートを剥離することにより電解質膜上に触媒層を形成した後、これら触媒層の両面に電極基材を配置することにより電解質膜−電極接合体を作製する。
【００１１】
上記のような転写法により触媒層を形成する際には、一般に、以下の三通りの方法がとられている。
【００１２】
（α）基材シート上にパターン塗工により所望の形状の触媒層を予め形成した転写シートを用意し、電解質膜と重ね合わせて熱プレスを施すことにより触媒層を電解質膜上に形成する。
【００１３】
（β）基材シート上に触媒層を形成した転写シートを所望の形状に切り出し、電解質膜と重ね合わせて熱プレスを施すことにより触媒層を電解質膜上に形成する。
【００１４】
（γ）所望の電極形状よりも大きいサイズを持つ基材シート上に触媒層を形成した転写シートを用意し、所望の形状を有する開口を設けたマスクフィルムを、電解質膜と転写シートとの間に挿入する。そして、熱プレスを施すことにより、電解質膜上に所望の形状の触媒層を形成する。
【００１５】
しかしながら、上記（α）に記載の方法では、パターン塗工により基材シート上に触媒層を形成する際、触媒層の周縁部に触媒インクの液だまりが形成されることがあり、これによって触媒層の厚さが不均一になる恐れがある。その結果、電解質膜−触媒層接合体の再現性が低下し、安定した発電性能を得ることが困難となる。
【００１６】
また、上記（β）に記載の方法では、転写シートを所望の形状に切り出す際に、その切断部位において基材シートから触媒層の一部が欠落する恐れがある。その結果、触媒層周縁の形状の再現性が悪くなるため、燃料極と空気極の電極形状が非対称になり、発電性能および耐久性の低下を引き起こす恐れがある。
【００１７】
一方、上記（γ）に記載の方法では、転写シートをマスクフィルムとともに用いることにより、触媒層周縁の端面がシャープで、膜厚が均一である電解質膜−触媒層接合体を簡単に作製することができる。
【特許文献１】特公平２−４８６３２
【特許文献２】特開平６−２０３８４９
【特許文献３】特開平８−８８０１１
【特許文献４】特開平８−１０６９１５
【特許文献５】特開平１０−６４５７４
【特許文献６】特開２０００−３５３５２９
【特許文献７】特開２００２−２１６７８９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
ところで、上述した転写法においては、図１２に示すように、電解質膜５１上にマスクフィルム５２、触媒層５３、基材シート５４の３つの層を積層して転写を行うため、転写時にこの３つの層が積層される領域では、他の領域よりも応力が集中する。このため、この領域にある電解質膜５１が損傷する恐れがある。このような損傷が生じると、耐久性低下の要因となり、運転中に膜が破れることで燃料と酸化剤のリークによる発電性能の低下を引き起こすことがある。また、顕著な場合には、電解質膜５１に穴が開くなどの損傷を引き起こし、燃料電池として使用に耐えないものとなる恐れもある。
【００１９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、転写時に電解質膜の損傷を防止することができる固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法及びマスクフィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、基材シートの一方面に、固体高分子形燃料電池用触媒層が薄膜状に形成されてなる転写シートを準備するステップと、電解質膜の一方面または他方面の少なくとも一方に所定の形状を有するマスクフィルムを配置するステップと、前記転写シート上の触媒層を、前記マスクフィルムの形状に沿うように、前記電解質膜上に転写するステップと、を備え、前記マスクフィルムにおいて、前記触媒層の形状を規定する周縁部の端面は、前記電解質膜側から触媒層側に裾広がりに傾斜する傾斜面を有している。
【００２１】
この方法によれば、マスクフィルム周縁部の端面が、電解質膜側から触媒層側に裾広がりに傾斜する傾斜面を有しているため、転写時に、基材シート、触媒層、及びマスクフィルムが重なる領域で、全体の厚みを薄くすることができる。そのため、転写時に電解質膜上に作用する応力を小さくすることができ、電解質膜が損傷するのを防止することができる。なお、マスクフィルムの周縁部の端面は、電解質膜側から触媒層側に裾広がりに傾斜しており、端面の面方向の先端部分は触媒層に当接している。そのため、転写時にマスクフィルムの端面から触媒層へ応力を作用させやすくなり、触媒層を所定の形状に確実に切断することができる。
【００２２】
上記方法で用いるマスクフィルムの傾斜面は、周縁部の端面の一部に形成することもできるし、全体に形成することもできる。また、傾斜面は、直線状に形成することができるほか、断面円弧状に形成することもできる。
【００２３】
また、本発明は、基材シートの一方面に薄膜状に形成された固体高分子形燃料電池用触媒層を、所定の形状に電解質膜上に転写するために用いられるマスクフィルムであって、上記問題を解決するためになされたものであり、前記触媒層の形状を規定する周縁部の端面が、前記電解質膜側から触媒層側に裾広がりに傾斜する傾斜面を有している。
【００２４】
このマスクフィルムにおける傾斜面は、周縁部の端面の一部に形成することもできるが、全体に形成することもできる。また、傾斜面は、直線状のほか、断面円弧状に形成することもできる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法及び転写用マスクフィルムによれば、転写時に電解質膜の損傷を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明に係る固体高分子形燃料電池用触媒層の転写方法の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は転写シートの断面図であり、図２はマスクフィルムの平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。
【００２７】
本実施形態は、固体高分子形燃料電池の作製に関するものであり、転写シートを用いて、電解質膜上に触媒層を転写するものである。この際、触媒層を所定の形状に転写するため、電解質膜上には、マスクフィルムが配置される。以下、各部材について説明する。
【００２８】
図１に示すように、転写シート１は、枚葉シートからなる基材シート１１上に固体高分子形燃料電池用の触媒層１２を塗布することで構成されている。転写シート１には、必要に応じて基材シート１１と触媒層１２との間に離型層を設けることもできる。
【００２９】
図２に示すように、本実施形態に使用するマスクフィルム２は、平面視正方形状であり、中央に正方形の開口２１が形成されている。すなわち、転写する触媒層１２が、マスクフィルム２の中央に形成された正方形の開口２１と同じ形状になるように電解質膜上に転写される。また、図３に示すように、マスクフィルム２の開口周縁の断面形状は、次のように形成されている。すなわち、開口周縁の端面は、下面側から上面側に裾広がりに傾斜する傾斜面２２となっており、マスクフィルム２の下面と傾斜面２２とのなす角αが鈍角を形成している。
【００３０】
続いて、上記転写シート１、及びマスクフィルム２を構成する材料について説明する。但し、以下に示すものは、あくまで例示であり、これに限定されるものではない。
【００３１】
基材シート
基材シート１１としては、例えば、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリパルバン酸アラミド、ポリアミド（ナイロン）、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテル・エーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアリレート、ポリエチレンナフタレート等の高分子フィルムを挙げることができる。
【００３２】
また、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体（ETFE）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（FEP）、テトラフルオロパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（PFA）、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）等の耐熱性フッ素樹脂を用いることもできる。
【００３３】
さらに、基材シート１１は、高分子フィルム以外に、アート紙、コート紙、軽量コート紙等の塗工紙、ノート用紙、コピー用紙等の非塗工紙等の紙であってもよい。
【００３４】
基材シート１１の厚さは、取り扱い性及び経済性の観点から、通常６〜１００μｍ程度、好ましくは６〜３０μｍ程度、より好ましくは６〜１５μｍ程度とするのがよい。従って、基材シートとしては、安価で入手が容易な高分子フィルムが好ましく、ポリエチレンテレフタレート等がより好ましい。
【００３５】
離型層
離型層は、ワックスから構成される。ワックスとしては、例えば、石油系ワックス、植物系ワックス、動物系ワックス、鉱物系ワックス、合成系ワックス等を挙げることができる。ここで用いられるワックスには、例えば、Ｃ16〜Ｃ32の脂肪酸とアルコールとのエステルが包含される。また、これらワックスは、１種単独で又は２種以上混合して使用される。本発明で用いられるワックスは、好ましくは融点が４０〜１４０℃、より好ましくは融点が６０〜１００℃の範囲にあるのがよい。好ましいワックスは植物系ワックスであり、より好ましいワックスはカルナウバワックス、カンデリラワックス等である。
【００３６】
離型層の厚さは、通常０．１〜３μｍ程度、好ましくは０．５〜１μｍ程度がよい。基材シート１１上に離型層を形成させるに当たっては、所望の厚さになるように、上記ワックスを公知の方法にしたがって塗布するのがよい。また、塗布作業を容易にするために、ワックスを適当な溶剤に溶解又は分散して溶液又はエマルジョン液の形態で使用してもよい。塗布方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ナイフコーター、バーコーター、スプレー、ディップコーター、スピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷等の一般的な方法を適用できる。
【００３７】
電極触媒層
電極触媒層１２は、公知のものである。この触媒層１２は、触媒粒子を担持させた炭素粒子及び水素イオン伝導性電解質を含有する。触媒粒子としては、例えば白金、白金化合物等が挙げられる。白金化合物としては、例えば、ルテニウム、パラジウム、ニッケル、モリブデン、イリジウム、鉄等からなる群から選ばれる少なくとも１種の金属と白金との合金等が挙げられる。水素イオン伝導性電解質としては、例えばパーフルオロスルホン酸系の水素イオン交換樹脂、炭化水素系水素イオン交換樹脂、無機水素イオン交換材料、有機−無機ハイブリッド水素イオン交換材料、イオン液体等が挙げられる。一般的には、カソード触媒層として用いられる場合の触媒粒子は白金であり、アノード触媒層として用いられる場合の触媒粒子は上述した合金である。
【００３８】
離型層上に触媒層１２を形成させるに当たっては、触媒粒子を担持させた炭素粒子及び水素イオン伝導性電解質を適当な溶剤に混合、分散してペースト状にしておき、形成される触媒層が所望の厚さになるように、このペーストを公知の方法に従い離型層上に塗布するのがよい。また、溶剤としては、例えば、各種アルコール類、各種エーテル類、各種ジアルキルスルホキシド類、水又はこれらの混合物等が挙げられる。
【００３９】
ペーストの塗布方法としては、特に限定されるものではなく、例えば、ナイフコーター、バーコーター、スプレー、ディップコーター、スピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター、スクリーン印刷等の一般的な方法を適用できる。ペーストを塗布した後、乾燥することにより、触媒層が形成される。乾燥温度は、ワックスの融点以下であることが望ましく、通常４０〜１００℃程度、好ましくは６０〜８０℃程度である。乾燥時間は、乾燥温度にもよるが、通常５分〜２時間程度、好ましくは３０分〜１時間程度である。
【００４０】
また、触媒層１２の厚さは、通常１０〜５０μｍ程度、好ましくは１５〜３０μｍ程度がよい。
【００４１】
電解質膜
電解質膜３の材料としては、公知の水素イオン伝導性電解質膜が使用でき、例えば、パーフルオロスルホン酸系の水素イオン交換樹脂、より具体的には、炭化水素系イオン交換膜のＣ−Ｈ結合をフッ素で置換したパーフルオロカーボンスルホン酸系ポリマー（ＰＦＳ系ポリマー）等が挙げられる。このような水素イオン伝導性電解質膜の具体例としては、デュポン社製の「Nafion」、旭硝子（株）製の「Flemion」、旭化成（株）製の「Aciplex」、ゴア（Gore）社製の「Gore Select」等が挙げられる。上記以外にも、炭化水素系水素イオン交換膜、無機水素イオン交換膜、有機−無機ハイブリッド水素イオン交換膜などの水素イオン交換材料からなる電解質膜を用いることができる。
【００４２】
マスクフィルム
マスクフィルム２は、熱プレスに対して変形したり損傷したりしないこと、および電解質膜に対して接合せず剥離可能であることを満たす材質であれば、特に制限されない。例えば、ステンレスやアルミ合金等の金属もしくは合金、ポリエステルやポリテトラフルオロエチレン等のポリマーなどでマスクフイルムを作成することが可能である。さらに、銅板の表面にポリテトラフルオロエチレンをコーティングした複合材料を用いることも可能である。また、マスクフィルムの厚みは、上述した触媒層とほぼ同じ厚さであることが好ましい。これは、マスクフィルムが触媒層よりも薄すぎると、触媒層に過剰な荷重を印加することになる上に、触媒層形成部位の電解質膜にもダメージを与えることになるからである。一方、マスクフィルムが触媒層よりも厚すぎると、触媒層の転写形成に要する荷重が大きくなるために、マスクフィルムを電解質膜にめり込ませることになり電解質膜を損傷する可能性が高まるだけでなく、触媒層の転写不良の可能性も高まるからである。上述した開口周縁の傾斜面１２の形成は、例えば、打ち抜きやエッチング、熱処理などにより作成することが可能である。
【００４３】
次に上記のように構成された転写シート及びマスクフィルムを用いた転写の方法について図４〜図９を参照しつつ説明する。図４〜図９は、転写方法の概略を示す断面図である。
【００４４】
まず、図４に示すような積層体Ｓを形成する。すなわち、ゴムシート６、テフロン（登録商標）シート７をこの順で配置した後、テフロン（登録商標）シート７上に電解質膜３を配置する。次に、電解質膜３上にマスクフィルム２を配置する。このとき、マスクフィルム２の開口周縁の傾斜面２１が、下向きになり電解質膜３と対向するように配置する。続いて、マスクフィルム２上に、開口２１を覆うように、触媒層１２を下向きにして転写シート１を配置する。このとき、触媒層１２は、アノード用触媒層とする。これに続いて、転写シート１上にテフロン（登録商標）シート８、ゴムシート９をこの順で配置すれば、積層体Ｓが完成する。
【００４５】
続いて、熱を発生可能なプレス用の一対の熱盤５ａ，５ｂを準備し、図５に示すように、これらの間に上記積層体Ｓを配置する。そして、熱盤５ａ，５ｂを所定の温度に設定し、所定時間圧力を作用させて、積層体Ｓをプレスする。これにより、図６に示すように、電解質膜３上には、マスクフィルム２の開口２１の形状に触媒層１２が転写される。
【００４６】
続いて、熱盤５ａ，５ｂの間から積層体Ｓを取り出した後、ゴムシート９、テフロン（登録商標）シート８を順に取り外し、基材シート１１を触媒層１２から剥離する。このとき、図７に示すように、触媒層１２は、電解質膜３に強固に接着しているので、基材シート１１を触媒層１２から容易に剥離することができる。また、マスクフィルム２に遮られ、電解質膜３に転写されなかった触媒層１２は、基材シート１１上に残っており、基材シート１１とともに回収される。最後に、図８に示すように、マスクフィルム２を取り外す。その後、電解質膜３の下面に、上記と同様の方法で、カソード用触媒層１３を転写すると、図９に示すような電解質膜−触媒層接合体が完成する。
【００４７】
以上のように、本実施形態によれば、マスクフィルム周縁部の端面が、電解質膜３側から触媒層１２側に裾広がりに傾斜する傾斜面２２を有しているため、電解質膜３において、マスクフィルム２の開口周縁付近と対向する領域に作用する応力を小さくすることができる。より詳細には、マスクフィルム２の開口周縁の領域は、基材シート１１、触媒層１２、及びマスクフィルム３の３つの層が重なる領域であるため、電解質膜３上には、三層からの応力が作用することになり、電解質膜３が損傷を受ける恐れがある。これに対して、上記のようにマスクフィル２の開口周縁の端面を傾斜面２２として構成すると、この部分の厚みが薄くなり、転写時に電解質膜３上に作用する応力を小さくすることができる。その結果、電解質膜３が損傷するのを防止することができる。なお、マスクフィルム２の周縁部の端面は、電解質膜３側から触媒層１２側に裾広がりに傾斜しており、端面の面方向の先端部分は触媒層１２に当接している。そのため、転写時にマスクフィルム２の端面から触媒層１２へ応力を作用させやすくなり、触媒層１２を所定の形状に確実に切断することができる。
【００４８】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、マスクフィルム２における端面の形状は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の形態が可能である。例えば、上記実施形態では、傾斜面が端面の全体に亘って形成されているが、図１０（ａ）に示すように、端面の一部、つまり、電解質膜３との接触部分から端面の途中まで傾斜面２２を形成し、それより触媒層１２側に、垂直な端面を形成してもよい。或いは、図１０（ｂ）に示すように、断面円弧状の傾斜面２２を形成することもできる。この断面円弧状の傾斜面１２は、端面の全体に形成することもできるし、図１０（ａ）に示すように、一部に形成することもできる。
【００４９】
また、上記実施形態では、電解質膜の片面ずつ触媒層を転写したが、図１１に示すように、電解質膜３の上下の面の両方に同時に触媒層を転写してもよい。この場合、同図に示すように、電解質膜３の下面にもマスクフィルム２およびカソード用触媒層１３が形成された転写シート１を配置して積層体を形成する。こうすることで、アノード用触媒層１２とカソード用触媒層１３とを同時に転写することができ、製造時間を大幅に短縮することができる。
【００５０】
また、上記実施形態では、枚葉シートからなる転写シート１、マスクフィルム２を用いているが、ロールから繰り出して用いることもできる。また、マスクフィルム２に正方形の開口２１を形成し、この形状に転写がなされるようにしているが、転写の形状は任意であり、それに合わせた開口の形状にすればよい。また、開口でなくても、マスクフィルム２の一辺、または複数の辺を用いて触媒層の形状を規定することもでき、いずれの場合も、触媒層の形状を規定する端面に上記のような傾斜面が形成されていればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係る転写方法の一実施形態に用いられる転写シートの断面図である。
【図２】本発明に係る転写方法の一実施形態に用いられるマスクフィルムの断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】転写方法の概要を示す断面図である。
【図５】転写方法の概要を示す断面図である。
【図６】転写方法の概要を示す断面図である。
【図７】転写方法の概要を示す断面図である。
【図８】転写方法の概要を示す断面図である。
【図９】転写方法の概要を示す断面図である。
【図１０】本発明に係るマスクフィルムの他の実施形態を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る他の転写方法の概要を示す断面図である。
【図１２】従来の転写方法を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  転写シート
１１  基材シート
１２  アノード用触媒層
１３  カソード用触媒層
２  マスクフィルム
２２  傾斜面
３  電解質  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図１０】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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【図１２】
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