(57)【要約】【課題】難分解性物質及びアンモニア性窒素を含有する排水を効率的に分解処理する。有害な臭素酸及びオキシダントの副生を抑制する。システム複雑化等の二次的な問題の発生を回避する。【解決手段】難分解性有機物及びアンモニア性窒素を含有する排水を臭素イオン存在下でオゾンにより処理する際に、過酸化水素を前記排水に添加する。過酸化水素は、オゾンと反応してＯＨラジカルを生成すると共に、次亜臭素酸に対しては還元剤、ブロラミンに対しては酸化剤としてそれぞれ機能し、効率的な排水処理を行いつつ、有害な臭素酸及びオキシダントの副生を抑制する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
難分解性有機物及びアンモニア性窒素を含有する排水を臭素イオン存在下でオゾンにより処理する際に、オゾンと反応してＯＨラジカルを生成し且つ次亜臭素酸に対しては還元剤、ブロラミンに対しては酸化剤としてそれぞれ機能する反応促進物質を前記排水に添加することを特徴とする排水処理方法。
【請求項２】
前反応促進物質は過酸化水素である請求項１に記載の排水処理方法。
【請求項３】
前記臭素イオンは排水中に処理対象物質としてとして予め含有されている請求項１に記載の排水処理方法。
【請求項４】
前記臭素イオンは排水中に含有されていないか、含有されていてもその含有量が必要量より不足している場合に、臭素イオンの不足分を外部から補充する請求項１に記載の排水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生物処理が困難な難分解性物質と共にアンモニア性窒素を含有する排水の処理方法に関し、更に詳しくはオゾンによる排水処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種産業排水や埋立地浸出水等には生物処理が困難な難分解性物質が多量に含まれており、同時にアンモニア性窒素が含まれる場合が少なくない。アンモニア性窒素を含有する排水の場合、生物処理によってそのアンモニア性窒素を分解処理することは可能であるが、難分解性物質が同時に含まれると、生物処理ではその難分解性物質を分解処理することが困難である。
【０００３】
一方、難分解性物質を含む排水の効率的な処理方法としてはオゾンによる方法が知られている。これはオゾンの強力な酸化作用により排水中の難分解性物質を酸化分解処理するものであり、その処理能力、処理効率の高さから多方面で採用が増加している。しかしながらアンモニア性窒素は安定性が高いためにオゾンによる酸化分解処理は困難である。したがって、難分解性物質を含む排水でも、アンモニア性窒素が含まれる場合はオゾン処理は採用されない。
【０００４】
このような状況下で開発された排水処理方法が、臭素イオンの存在下でオゾンを反応させる方法である。この方法によると、化学式１中の式（１）及び式（２）により、アンモニアが脱窒分解されることが知られている。すなわち、まずオゾン（Ｏ3 ）が臭素イオン（Ｂｒ- ）と反応して次亜臭素酸〔ＨＢｒＯ（Ｈ+ ＋ＢｒＯ- ）〕が生成される〔式（１）〕。次に、その次亜臭素酸〔ＨＢｒＯ（Ｈ+ ＋ＢｒＯ- ）〕がアンモニア（ＮＨ3 ）と反応して窒素（Ｎ2 ）が生成され、アンモニアの脱窒分解が完了する〔式（２）〕。
【０００５】
【化１】
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【０００６】
また、化学式２に式（３）で示す反応、すなわち次亜臭素酸がアンモニアと反応して、中間生成物であるブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）が生成される反応の速いことが知られており、臭素とオゾンによるアンモニアの脱窒プロセスはこの反応を経由していることが推測される。
【０００７】
【化２】
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【０００８】
しかしながら、臭素イオンの存在下でオゾンを反応させる脱窒によるアンモニア分解方法には次のような問題がある。第１の問題は、発ガン性が指摘されている臭素酸（ＢｒＯ3 - ）が副生することである。これは化学式３に示すように、次亜臭素酸イオン（ＢｒＯ- ）がオゾン（Ｏ3 ）と反応することにより生成すると考えられている。
【０００９】
【化３】
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【００１０】
第２の問題は、アンモニア性窒素と共に排水中に含まれる難分解性物質の分解効率が低いことである。第３の問題は、前述した中間生成物であるブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）を始めとして、有害なオキシダントが多量に発生することである。これは、化学式４に示すように次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）が各種の中間生成物と反応することが原因である。
【００１１】
【化４】
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【００１２】
第１の問題を解決するために、排水中の窒素量を測定し、その測定値に応じて臭素量及びオゾン量を制御することにより、余剰の次亜臭素酸イオン（ＢｒＯ- ）及びオゾンを発生させないようにする方法が特許文献１により提示されている。また、特許文献２には、オゾン添加後の排水をオゾン添加前の排水に循環させることにより、次亜臭素酸イオン（ＢｒＯ- ）をアンモニアと反応させて、臭素酸（ＢｒＯ3 - ）の系外への流出を抑制する方法が提示されている。
【００１３】
【特許文献１】特開平６−２１８３８４号公報
【特許文献２】特開平７−１９５０８７号公報
【００１４】
これらの方法により発ガン性の指摘のある臭素酸（ＢｒＯ3 - ）の副生は抑制されるが、その一方で次のような二次的な問題が発生する。すなわち、前者の方法では排水中の窒素量に応じた臭素量が必要となるため、排水中の窒素量を測定することが必要になる。また、排水が臭素を多量に含有する場合は臭素量が過剰になるおそれがあり、適正な臭素量が得られない場合が生じる。一方、後者の方法では排水の循環操作が必要となり、処理効率が低下すると共にシステムが複雑化する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の目的は、生物処理が困難な難分解性物質及びアンモニア性窒素を含有し、更には臭素をも含む排水についても、難分解性物質及びアンモニア性窒素を効率的に分解処理できると共に、有害な臭素酸及びオキシダントの副生を抑制でき、更には処理対象物による制限、システム複雑化等の二次的な問題の発生を回避できる効率的、合理的な排水処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
生物処理が困難な難分解性物質及びアンモニア性窒素を含有する排水を処理するためには、臭素イオン存在下でのオゾン処理が不可欠である。しかし、臭素イオンは排水中に含まれる場合が少なくなく、その添加量をコントロールすることは合理的な方法と言えない。そこで本発明者らは、臭素イオン存在下でのオゾン処理に伴う問題、すなわち臭素酸及びオキシダントの発生、並びに難分解性物質が十分に処理されない事態を回避するために、反応促進物質の添加を考え、様々な物質のなからか過酸化水素を選択し添加を試みた。その結果、臭素イオン存在下でのオゾン処理に伴う諸問題を一挙に解決できることが判明した。
【００１７】
オゾンと過酸化水素を組み合わせた複合処理はＡＯＰ処理（促進酸化処理）として知られている。このＡＯＰ処理としては他にオゾンと紫外線を組み合わせた処理、オゾンと過酸化水素、紫外線を組み合わせた処理などがある。また、臭素を含む排水をオゾン処理する場合に問題となる臭素酸の発生を防止するために、過酸化水素を使用することは特許文献３及び４に記載されている。
【００１８】
【特許文献３】特開２００５−３２９３１２号公報
【特許文献４】特開２００３−６２５８３号公報
【００１９】
特許文献３及び４に記載された排水処理方法では、排水中にアンモニア性窒素は含まれていない。この場合、オゾンと共に添加された過酸化水素は、ＡＯＰ処理のためのＯＨ  ラジカルを生成する（第１機能）と共に、排水中の余剰の次亜臭素酸を還元して低減する還元剤として機能することにより、臭素酸の生成を抑制する（第２機能）。ところが、排水中にアンモニア性窒素が含まれいる場合は、オゾンと共に添加された過酸化水素の機能が一変し、前述した第１機能及び第２機能に次の第３機能が加わる。これらの機能を図１により詳しく説明する。
【００２０】
排水中へのオゾン（Ｏ3 ）の添加により排水中の臭素イオン（Ｂｒ- ）がオゾンと反応し、水素イオン（Ｈ+ ）の濃度（ｐＨ）に応じて次亜臭素酸〔ＨＢｒＯ（Ｈ+ ＋ＢｒＯ- ）〕が生成される。化学式２に式（３）で示すブロラミン生成反応の反応速度は８×１０7 Ｍ−ｌｓ−ｌと非常に速く、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）はアンモニア存在下では瞬時にブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）に変化すると考えられる。このため、排水中にアンモニア性窒素が含まれている場合は、その次亜臭素酸〔ＨＢｒＯ（Ｈ+ ＋ＢｒＯ- ）〕はアンモニア（ＮＨ3 ）と反応して、中間生成物であるブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）となる（化学式２）。そして、化学式５に示すように、このブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）が再び次亜臭素酸〔ＨＢｒＯ（Ｈ+ ＋ＢｒＯ- ）〕と反応して窒素（Ｎ2 ）が生成され、アンモニアの脱窒による分解が完了すると考えられる。簡略示したのが図１中の（Ａ）に示す反応であり、化学式１である。
【００２１】
【化５】
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【００２２】
以上の反応によってアンモニアが脱窒分解され、溶存しなくなると、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）は過剰のオゾンによって臭素酸（ＢｒＯ3 - ）となる。溶存オゾンのみで酸化が進むためには、次亜臭素酸のイオン解離が必要となるが、中性付近では次亜臭素酸のイオン解離が進みにくい（次亜臭素酸イオンは次亜臭素酸として存在する）ので、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）が臭素酸（ＢｒＯ3 - ）になる反応にはＯＨラジカルが寄与していると考えられる。臭素酸（ＢｒＯ3 - ）は発ガン性の危険も指摘され、人体に有害であるため、その生成を抑制する必要がある。これが特許文献３及び４に記載された方法であり、過酸化水素を使用して余剰の次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）を還元する。ただし、ここでは排水中にアンモニア性窒素は存在しない。
【００２３】
ここで、排水中にアンモニア性窒素と共に過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）が存在すると、余剰の次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）は還元されて臭素イオン（Ｂｒ- ）に戻る（第２機能）。これと同時に、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）から生成したブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）が過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）と反応して脱窒され、窒素（Ｎ2 ）が生成される。これは酸化反応であり、ブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）が過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）によって酸化されることによってもアンモニアの脱窒分解反応が進む。ここにおける反応を化学式６に示す。また図１中に（Ｂ）で示す。
【００２４】
【化６】
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【００２５】
ここで重要なのは、排水中に臭素、アンモニア性窒素及び過酸化水素が共存すると、  図１中の（Ａ）による反応、すなわちブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）の次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）による脱窒反応と、図１中の（Ｂ）による反応、すなわちブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）の過酸化水素（Ｈ2 Ｏ2 ）による脱窒反応の２反応が同時並行して進行すること、そして前者の脱窒反応（Ａ）より後者の脱窒反応（Ｂ）が優先的に起きること、すなわち前者の反応速度をＫａ、後者の反応速度をＫｂとすると、Ｋａ＜Ｋｂとなり、前者の脱窒反応（Ａ）よりも更に速い高効率な脱窒反応（Ｂ）が新たに発生することである。この新たな酸化脱膣反応（Ｂ）が過酸化水素の第３機能であり、これにより、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の消費が促進され、前述した次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の還元分解反応（Ａ）と相乗して、余剰の次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の生成が抑制される。
【００２６】
かくして、アンモニア性窒素を含む排水を臭素存在下でオゾン及び過酸化水素により複合処理することにより、排水中のアンモニア性窒素は効率的に脱窒分解処理される。また、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の残留が効果的に抑制されることにより、オキシダント及び臭素酸の生成が抑制される。更に、ＯＨラジカルによるＡＯＰ処理にて難分解性物質が効果的に分解され、ＣＯＤ及びＴＯＣも効率よく低減する。
【００２７】
これから分かるように、難分解性物質及びアンモニア性窒素を含む排水を臭素イオン存在下でオゾン処理する際に過酸化水素を添加すると、その過酸化水素はオゾンと反応してＯＨラジカルを生成し、難分解性物質の分解を促進すると共に、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の還元剤及びブロラミン（ＮＨ2 Ｂｒ）の酸化剤として機能し、有害なオキシダント及び臭素酸の生成を抑制するのである。後者の機能はＯＨラジカルによるＡＯＰ処理とは直接関係ない。
【００２８】
ちなみに、ＯＨラジカルによるＡＯＰ処理としては、前述したとおり、オゾンと紫外線を組み合わせたものもあるが、紫外線の併用では、難分解性物質の分解処理は進みアンモニアの分解処理も進むが、有害なオキシダント及び臭素酸の生成は抑制されない。これは、前述した第２機能及び第３機能が紫外線の併用では得られず、ＡＯＰ処理とは直接関係のない過酸化水素に固有の機能であることの証左といえる。
【００２９】
本発明の排水処理方法はかかる知見を基礎として完成されたものであり、難分解性有機物及びアンモニア性窒素を含有する排水を臭素イオン存在下でオゾンにより処理する際に、オゾンと反応してＯＨラジカルを生成し且つ次亜臭素酸に対しては還元剤、ブロラミンに対しては酸化剤としてそれぞれ機能する反応促進物質を前記排水に添加するものであり、反応促進物質は代表的には過酸化水素である。
【００３０】
本発明の排水処理方法においては排水中の臭素量（ｍｇ／Ｌ）、排水中へのオゾン添加量（ｍｇ／Ｌ）及び過酸化水素添加量（ｍｇ／Ｌ）、並びに排水のｐＨが重要である。
【００３１】
排水中の臭素は脱窒反応に寄与するのでアンモニア量に対して過少はよくない。しかし、多すぎると臭素によるオゾンの無効消費、臭素酸化還元サイクルにおける反応障害等が起こる危険性がある。このようなことから臭素量はアンモニア量の０．１〜５倍が好ましく、０．２〜１倍が更に好ましい。この臭素は排水中に含まれる場合が少なくない。含まれていない場合は外部から積極添加する必要があり、排水中の含有量が少ない場合も不足分を外部から積極添加する必要がある。
【００３２】
オゾン量及び過酸化水素量が少なすぎると十分な反応が起きず、オキシダントが残量し、過酸化水素も残留する。オキシダントの生成を抑制しつつ脱窒し、難分解性物質を分解するために、オゾン量はアンモニア量の１〜１０倍が好ましく、過酸化水素量はオゾン量の０．０１〜０．５倍が好ましい。アンモニア量に対し１〜１０倍程度のオゾンを注入することによってアンモニアの脱窒が完了する。過酸化水素が過多の場合は処理水中に残留し、生物阻害、ＣＯＤとして働いてしまう。ただし、ＣＯＤ、ＴＯＣ等の有機物はアンモニアを脱窒分解してから低減できることから、有機物が多ければその分オゾン量及び過酸化水素量を増やす必要がある。
【００３３】
排水のｐＨについては、オゾンとの反応による臭素酸（ＢｒＯ3 - ）の生成速度は、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）からは０．０１３Ｍ−１Ｓ−１以下、次亜臭素酸イオン（ＢｒＯ- ）から１００Ｍ−１ｓ−１でであることから、次亜臭素酸の状態である方が遅い。したがってｐＨは高い方がよい（酸性はよくない）。しかし、過酸化水素とオゾンとの反応、また過酸化水素の点からはアルカリ性が好都合である。これらのことから、排水のｐＨ（６〜８）は中性に保つのがよい。
【発明の効果】
【００３４】
本発明の排水処理方法は、難分解性有機物及びアンモニア性窒素を含有する排水を臭素イオン存在下でオゾンにより処理する際に、オゾンと反応してＯＨラジカルを生成し且つ次亜臭素酸に対しては還元剤、ブロラミンに対しては酸化剤としてそれぞれ機能する過酸化水素等の反応促進物質を前記排水に添加することにより、第１に、ＯＨラジカルを生成し、ＡＯＰ処理により難分解性物質を効率的に処理すると共に、排水中のアンモニア性窒素を効率的に脱窒分解処理する。第２に、反応促進物質による次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の還元分解反応により、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の残留を抑制し、オキシダント及び臭素酸の生成を抑制する。第３に、反応促進物質による高効率な次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の酸化脱窒反応により、脱窒効果を高めると同時に、次亜臭素酸（ＨＢｒＯ）の残留を抑制し、オキシダント及び臭素酸の生成を効果的に抑制する。第４に、排水中の窒素量を測定するとか排水を必要以上に循環させるといった操作が不要になり、実施が容易である。
【００３５】
かくして、排水中の難分解性物質及びアンモニア性窒素を効率的に且つ簡易に分解処理すると共に、有害なオキシダント及び臭素酸の生成を効率的に且つ簡易に抑制する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図２は本発明の一実施形態を示す排水処理方法のシステム図である。
【００３７】
本実施形態の排水処理方法は、生物処理では分解処理が困難な難分解性物質、アンモニア性窒素及び臭素を含む排水を処理するのに使用される。この排水は、反応塔１内に塔上部から導入される。塔内の排水は、循環ポンプ２により塔下部から抜き出され、塔上部に戻されることにより、所定比率で反応塔１に循環し、塔下部から所定比率で塔外へ排出される。
【００３８】
反応塔１内の排水には、ＰＳＡ型オゾン発生装置５により発生させたオゾンガスが塔内下部の散気管より所定量注入される。排水には又、塔外の排水循環経路において過酸化水素がタンク３から添加ポンプ４により所定量添加される。
【００３９】
排オゾンは反応塔１の上部から分解器６に送られ、酸素として大気中に放出される。
【００４０】
排水中の難分解性物質及びアンモニア性窒素が、排水中の臭素、新たに添加するオゾン及び過酸化水素により効率的に処理され、なおかつ有害なオキシダントの生成及び臭素酸の生成が抑制されることは前述したとおりである。
【００４１】
図３は本発明の別の実施形態を示す排水処理方法のシステム図である。本実施形態の排水処理方法は、図２の排水処理方法とはオゾンの注入方法が相違する。すなわち、本実施形態では、塔外の排水循環経路において排水に過酸化水素及びオゾンが添加される。具体的には、ＰＳＡ型オゾン発生装置５により発生させたオゾンガスが、過酸化水素の添加位置より下流側でエジェクタ７により排水に注入される。他の構成は図２の排水処理方法と同じである。
【００４２】
図４は本発明の更に別の実施形態を示す排水処理方法のシステム図である。本実施形態の排水処理方法は、図２の排水処理方法において、紫外線処理を加えたものである。具体的には、塔外の排水循環経路（過酸化水素の添加位置より下流側）に紫外線反応塔８が設けられている。紫外線反応塔８は内部を通過する排水に紫外線を照射する。他の構成は図２の排水処理方法と同じである。
【００４３】
図３及び図４の排水処理方法でも、図２の排水処理方法と同様に、難分解性物質、アンモニア性窒素及び臭素を含む排水が、排水中の臭素、新たに添加するオゾン及び過酸化水素により効率的に処理され、なおかつ有害なオキシダントの生成及び臭素酸の生成が抑制される。特に、図３の排水処理方法ではオゾン注入にエジェクタ７を使用しているので、その注入効率が高い。また図４の排水処理方法では、紫外線照射の併用により、更に高効率なＡＯＰ処理を行うことができる。紫外線照射は、図３の排水処理方法（エジェクタによるオゾン注入）に組み合わせることも可能である。
【実施例】
【００４４】
排水として、生物処理を終えた埋立地浸出水を用いた。その排水中の臭素イオン量は３２０ｍｇ／Ｌ、アンモニア量は４５０ｍｇ／Ｌ、ＣＯＤは２３０ｍｇ／Ｌ、ＴＯＣは１８０ｍｇ／Ｌであった。図２に示すシステムをクローズドタイプにして、排水を反応塔に循環させ、この過程でオゾンガスの注入及び過酸化水素の注入を行うことにより、これらの注入量（ｍｇ／Ｌ）を変化させた。使用したオゾンガスのオゾン濃度は１２０ｇ／ｍ3 （Ｎ）、オゾン注入速度は２０ｍｇ／Ｌ・ｍｉｎ、過酸化水素注入速度は２ｍｇ／Ｌ・ｍｉｎとした。すなわち、過酸化水素量は常にオゾン量の１／１０とした。
【００４５】
比較のために、過酸化水素を添加せずに同じ試験を行った。すなわち前記排水をオゾンのみで処理した。また、過酸化水素を添加する代わりに紫外線を照射し、オゾンと紫外線との組合せによるＡＯＰ処理を行った。紫外線の照射は、図３に示すように、塔外の排水循環経路で実施した。使用した紫外線ランプの出力は１１０Ｗである。
【００４６】
それぞれについて排水の循環時間を変化させ、オゾン注入量（ｍｇ／Ｌ）を変化させた。過酸化水素量はオゾン量の１／１０であるので、オゾン量の変化に追従して変化する。このときのＣＯＤ値の変化、ＴＯＣ値の変化、アンモニア濃度の変化及びオキシダント濃度の変化を図５〜８にそれぞれ示す。
【００４７】
図５及び図６から分かるように、オゾン単独処理ではＣＯＤ値もＴＯＣ値も十分に低下しない。しかし、オゾンに過酸化水素や紫外線を組合せると、ＯＨラジカルが生成しＡＯＰ処理が行われることにより、これらの値は低下する。すなわち難分解性物質の分解は進む。一方、アンモニア性窒素については、図７に示すように、オゾン単独処理の場合でも、臭素の存在により、複合処理と同様に十分にアンモニア濃度を低下させることができる。ところが、図８に示すように、オゾン単独処理の場合及びオゾンと紫外線を組み合わせたＡＯＰ処理の場合は、オゾンの注入量を増やすにしたがって有害なオキシダントの生成量も増加する。これに対し、オゾンと過酸化水素を組み合わせたＡＯＰ処理の場合は、このオキシダントの生成量の増加が生じない。
【００４８】
臭素酸（ＢｒＯ3 - ）については、オゾン単独処理及びオゾンと紫外線とを組み合わせたＡＯＰ処理では、アンモニアが脱窒された後、オキシダンド量がピークとなり、その後、減少して臭素酸（ＢｒＯ3 - ）が多量に生成するが、オゾンと過酸化水素を組み合わせたＡＯＰ処理では、オキシダントの生成が抑制されているため、臭素酸（ＢｒＯ3 - ）の生成も殆どない。
【００４９】
なお、図２〜図４の排水処理方法では、実験装置として使用するために（オゾン注入量を広範囲に変更するため）に反応塔１に排水を循環させているが、実際の設備では排水の循環は特には必要でない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の排水処理方法における脱窒反応及び過酸化水素の機能の説明図である。
【図２】本発明の一実施形態を示す排水処理方法のシステム図である。
【図３】本発明の別の実施形態を示す排水処理方法のシステム図である。
【図４】本発明の更に別の実施形態を示す排水処理方法のシステム図である。
【図５】処理の種類がＣＯＤ値に及ぼす影響を示すグラフである。
【図６】処理の種類がＴＯＣ値に及ぼす影響を示すグラフである。
【図７】処理の種類がアンモニア濃度に及ぼす影響を示すグラフである。
【図８】処理の種類がオキシダント生成量に及ぼす影響を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５１】
１  反応塔
２  循環ポンプ
３  過酸化水素タンク
４  添加ポンプ
５  オゾン発生装置
６  排オゾン分解分解器
７  エジェクタ
８  紫外線反応塔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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