(57)【要約】【課題】左右一対のコンデンサの静電容量を設計とおりとすることができ、検出精度を維持して設置部位の傾斜角度が正確に得られる静電容量式傾斜角度センサ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂを含む上部電極層１１と下部電極１３ａを含む下部電極層１３とで挟まれたスペーサー層１２となる樹脂層１０２をパターニングして液体収容キャビティーの液媒収容空間１４ａを形成する。該パターニングにあたり、液媒収容空間１４ａに面する下部電極１３ａの表面上に樹脂層１０２を構成する樹脂が実質的に残存しないように樹脂層１０２を下部電極１３ａまでエッチングする。【選択図】図１
2008122194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
左右一対の上部電極を表層に備える上部電極層と、下部電極を表層に備える下部電極層とが、液状の静電容量媒体（液媒）を収容するための液媒収容空間を有するスペーサー層を両層の間に介在させるとともに前記上部電極及び下部電極を対向させるようにして積層されて液体収容キャビティーが構成され、該液体収容キャビティー内の前記液媒の液面の傾斜を前記上部電極と下部電極とで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分に変換することで、設置部位の傾斜角度を検出するようにした静電容量式傾斜角度センサの製造方法であって、
前記スペーサー層となる樹脂層の表面と裏面に、それぞれマスク用材料層と前記下部電極層とを備えてなる積層体について、当該樹脂層を前記マスク用材料層に形成したマスクパターンに従いパターニングすることで前記液媒収容空間を形成する液媒収容空間形成工程と、
前記マスク用材料層を前記液媒収容空間が形成された樹脂層（スペーサー層）上から除去するマスク用材料層除去工程と、
前記スペーサー層上に前記上部電極層を積層する上部電極層積層工程と、を備え、
前記樹脂層のパターニングにあたり、前記液媒収容空間に面する下部電極の表面上に前記樹脂層を構成する樹脂が実質的に残存しないように、前記樹脂層を前記マスクパターンに従いエッチングすることを特徴とする静電容量式傾斜角度センサの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、
前記マスク用材料層がレーザに耐性のある金属材料からなるマスク用金属層からなるとともに、前記下部電極がレーザを阻止する金属材料からなり、前記エッチングにレーザエッチングを用いる静電容量式傾斜角度センサの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、
前記マスク用金属層が銅からなり、前記下部電極がレーザを阻止するとともに、前記銅からなるマスク用金属層をウェットエッチングによってスペーサー層上から除去する場合のエッチング選択性を備える材料からなる静電容量式傾斜角度センサの製造方法。
【請求項４】
請求項２に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、
前記マスク用金属層及び下部電極がいずれも銅からなる静電容量式傾斜角度センサの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、
前記樹脂層として厚さが略均一な樹脂フィルム材を使用する静電容量式傾斜角度センサの製造方法。
【請求項６】
左右一対の上部電極を表層に備える上部電極層と、下部電極を表層に備える下部電極層とが、液状の静電容量媒体（液媒）を収容するための液媒収容空間を有するスペーサー層を両層の間に介在させるとともに前記上部電極及び下部電極を対向させるようにして積層されて液体収容キャビティーが構成され、該液体収容キャビティー内の前記液媒の液面の傾斜を前記上部電極と下部電極とで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分に変換することで、設置部位の傾斜角度を検出するようにした静電容量式傾斜角度センサであって、
前記液媒収容空間に面する下部電極の表面上には、前記スペーサー層を構成する材料がエッチングにより除去されることで実質的に存在しないようにされていることを特徴とする静電容量式傾斜角度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測量器や車両等に設置して設置部位の傾斜角度の検出に用いる静電容量式センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すような、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂが表層に設けられた上部電極層１１、この上部電極層１１に上部電極１１ａ，１１ｂ側から面接触するスペーサー層１２、及び該スペーサー層１２側の表層に下部電極１３ａが設けられた下部電極層１３がこの順で積層され、当該複数の層１１，１２，１３によって液状の静電容量媒体１５（以下、単に「液媒１５」という。）を収容する液体収容キャビティー１４（図２（ｂ）参照）が構成されてなる静電容量式傾斜角度センサ１（以下、単に「センサ１」という。）が知られている。
【０００３】
本センサ１は、液体収容キャビティー１４内の液媒１５の液面１５ａの傾斜中心５０を中心とした傾斜を前記上部電極１１ａ，１１ｂと下部電極１３ａとで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分に変換することで、当該センサ１の設置部位の傾斜角度を検出するようにしている。尚、本センサ１においては、図２（ａ）に示すように、上部電極層１１側から下部電極１３ａに対して電気的接点をとるために、上部電極層１１及びスペーサー層１２にそれぞれ矩形状の貫通孔１１ｅ及び貫通孔１２ｅが形成されている。また、スペーサー層１２には、液体収容キャビティー１４において、液媒１５を収容するための空間として、複数の同心円状の貫通孔が集合するとともに、それらが上下方向に連通した形態をなす液媒収容空間１４ａがスペーサー層１２を貫通するように形成されている。ここで、各貫通孔の幅及び間隔（貫通孔間に形成された壁の幅）は、それぞれ略同長に形成されている。
【０００４】
また、前記液媒収容空間１４ａには、その下部に液媒１５を外部から当該空間内に供給するための液媒供給孔１２ｂ及び当該空間内に液媒を供給するときに同空間内に溜まった空気を外部に排出するための排気孔１２ｂ´が設けられている。また、上部電極層１１及び下部電極層１３には、前記した各電極１１ａ，１１ｂ，１３ａ以外に、各層の本体を構成し、それぞれ樹脂等の絶縁体からなる上部電極本体層１１ｃ及び下部電極本体層１３ｃが備えられている。ここで、下部電極１３ａは、下部電極本体層１３ｃの上表面の全面に亘って設けられている。
【０００５】
本センサ１は、設置部位が水平の場合には、図３（ａ）に示すように、液媒１５の液面１５ａが水平状態となるとともに、各上部電極１１ａ（１１ｂ）において液媒１５に浸漬された領域の面積（浸漬面積）は略同一となり、両コンデンサの静電容量は略同一となる。一方、図３（ｂ）に示すように、センサ１の設置部位が角度θだけ傾斜すると、液面１５ａが、水平状態を維持しながら同じ角度θだけセンサ１本体に対して傾斜中心５０を中心として傾斜する。そして、これに伴い、右方上部電極１１ｂの浸漬面積が増すともに、左方上部電極１１ａの浸漬面積が減り、両コンデンサの静電容量に差が生じる（右方上部電極１１ｂ及び下部電極１３ａで構成されるコンデンサの蓄電量が、左方上部電極１１ａ及び下部電極１３ａで構成されるコンデンサの蓄電量より大きくなる）（図２（ｂ）参照）。本センサ１は、当該静電容量の差分に基づき傾斜角度θが検出されるように構成されている。
【０００６】
このセンサ１は、従来、特許文献１に記載の方法（ナノプリンティング技術によるホットエンボス加工法）に準じ、図４のようにして製造されていた。即ち、まず、図４（ａ）に示すように、前記したスペーサー層１２となる樹脂層２０２の下面側に前記した下部電極１３ａ及び下部電極本体層１３ｃからなる下部電極層１３が設けられてなる積層体と、前記した液媒収容空間１４ａ（図３参照）に対応したパターンに形成された突起部３００ａを有する金型３００とを用意する。
【０００７】
次に、図４（ｂ）に示すように、この金型３００に適度な温度の加熱処理を施した後、この金型３００を、その突起部３００ａが樹脂層２０２に向かうように前記した積層体に対して押し付け、該積層体の樹脂層２０２を加圧成型する。この後、樹脂層２０２が硬化するまで待機する。
【０００８】
次いで、図４（ｃ）に示すように、金型３００を積層体から引き上げ、樹脂層２０２について液媒収容空間１４ａの形取りを完成させる。
続いて、図４（ｄ）に示すように、液媒収容空間１４ａが形成された積層体に対して、樹脂層２０２上から前記上部電極１１ａ，１１ｂを含む上部電極層１１を前記上部電極１１ａ，１１ｂが下面になるように且つ該上部電極１１ａ，１１ｂで液媒収容空間１４ａを塞ぐようにして積層する（これで液体収容キャビティー１４が形成される）。これにより、左右一対のコンデンサとなる各電極１１ａ，１１ｂ，１３ａ及びそれら各電極１１ａ，１１ｂ，１３ａを内側に収める液体収容キャビティー１４を備えるセンサ１の成型を完了させる。
【特許文献１】特開２００４−２７００２１号公報、図２、［００３２］段落等
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このような金型３００を樹脂層２０２に押し付けて成型する方法では、センサ１の成型後、下部電極１３ａ上において突起部３００ａの先端部が位置した領域に薄い樹脂の層が残存していた。また、金型３００の中央部において樹脂層２０２が金型３００の周縁部に逃がされることなく過度に押圧されて圧縮されているので、金型３００の引き上げに伴って該圧縮された樹脂層２０２の一部が開放されて膨らみを生じていた。さらに、液媒収容空間１４ａにおいて当該膨らみが生じた部分では、表面張力が増大して液媒１５の水平性が損なわれていた。以上によって、左方及び右方上部電極１１ａ，１１ｂと下部電極１３ａとで構成される左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）が設計値より小さくなっていた。また、前記したような金型成型による場合、金型３００を引き上げた後に樹脂層２０２の表面に微細な凹凸（うねり）が生じてスペーサー層１２の厚さ（液体収容キャビティー１４における液媒１５の厚さ）が不均一となり、前記両コンデンサの静電容量の差分と傾斜角度との対応関係（リニアリティー）が設計から外れていた。以上が原因となって、センサ１の検出精度が低下し、設置部位の正確な傾斜角度を得ることが困難となっていた。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、得られる静電容量式傾斜角度センサにおいて、左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）、及び、静電容量の差分と傾斜角度との対応関係を、いずれも設計とおりの望ましい状態とすることができ、これにより検出精度を維持して設置部位の傾斜角度が正確に得られる静電容量式傾斜角度センサの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、左右一対の上部電極を表層に備える上部電極層と、下部電極を表層に備える下部電極層とが、液状の静電容量媒体（液媒）を収容するための液媒収容空間を有するスペーサー層を両層の間に介在させるとともに前記上部電極及び下部電極を対向させるようにして積層されて液体収容キャビティーが構成され、該液体収容キャビティー内の前記液媒の液面の傾斜を前記上部電極と下部電極とで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分に変換することで、設置部位の傾斜角度を検出するようにした静電容量式傾斜角度センサの製造方法であって、前記スペーサー層となる樹脂層の表面と裏面に、それぞれマスク用材料層と前記下部電極層とを備えてなる積層体について、当該樹脂層を前記マスク用材料層に形成したマスクパターンに従いパターニングすることで前記液媒収容空間を形成する液媒収容空間形成工程と、前記マスク用材料層を前記液媒収容空間が形成された樹脂層（スペーサー層）上から除去するマスク用材料層除去工程と、前記スペーサー層上に前記上部電極層を積層する上部電極層積層工程と、を備え、前記樹脂層のパターニングにあたり、前記液媒収容空間に面する下部電極の表面上に前記樹脂層を構成する樹脂が実質的に残存しないように、前記樹脂層を前記マスクパターンに従いエッチングすること、を要旨とする。
【００１２】
上記請求項１の構成によれば、液媒収容空間に面する下部電極の表面上には、スペーサー層となる樹脂層を構成する樹脂が実質的に残存しないように、樹脂層を下部電極までエッチングして液体収容キャビティーの液媒収容空間が形成される。また、金型を用いずに液媒収容空間を形成するので、金型の使用によってスペーサー層となる樹脂層が過度に押圧されることがなく、金型の開放時に当該樹脂層に膨らみが生じない。また、このように金型を用いずに液媒収容空間を形成するので、液体収容キャビティー内で当該膨らみが生じた部分において、液媒の表面張力が増大することで当該液媒の水平性が損なわれることもない。また、前記樹脂層に液媒収容空間を形成するにあたりエッチングを用いるので、当該樹脂層を表面に凹凸（うねり）のない厚さの均一な状態のまま成型でき、これにより、スペーサー層の厚さ（液体収容キャビティーにおける液媒の厚さ）が均一となる。以上によって、得られる静電容量式傾斜角度センサにおいて、左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）、及び、静電容量の差分と傾斜角度との対応関係を、いずれも設計とおりの望ましい状態とすることができる。この結果、検出精度を高い状態で維持して設置部位の傾斜角度が正確に得られる静電容量式傾斜角度センサが製造できる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、前記マスク用材料層がレーザに耐性のある金属材料からなるマスク用金属層からなるとともに、前記下部電極がレーザを阻止する金属材料からなり、前記エッチングにレーザエッチングを用いること、を要旨とする。
【００１４】
上記請求項２の構成によれば、レーザエッチングによって、液媒収容空間の壁部が下部電極に対して垂直になるように精度よく成型できるので、液媒収容空間の単位厚さ（深さ）あたりの液媒の収容量にバラツキが生じない。これにより、左右一対の上部電極と下部電極とで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分の変化量が、傾斜角度の変化量に対して常時リニアに追従するようになり、検出精度がさらに高く維持される静電容量式傾斜角度センサが製造できるようになる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、前記マスク用金属層が銅からなり、前記下部電極がレーザを阻止するとともに、前記銅からなるマスク用金属層をウェットエッチングによってスペーサー層上から除去する場合のエッチング選択性を備える材料からなること、を要旨とする。
【００１６】
上記請求項３の構成によれば、マスク用金属層が銅からなるので、樹脂層をその上層のマスク用金属層に形成されたマスクパターンに従いパターニングして液媒収容空間を形成した後に、前記マスク用金属層をウェットエッチングによって簡単に除去することができる。また、下部電極が、レーザを阻止するとともに、銅からなるマスク用金属層をウェットエッチングによってスペーサー層上から除去する場合のエッチング選択性を備える材料からなるので、レーザの阻止効果が確実に得られるとともに、当該下部電極が前記マスク用金属層をウェットエッチングによってスペーサー層上から除去する場合に当該ウェットエッチング液に溶解しないことから、液体収容空間に面する下部電極の表面上に、樹脂層（スペーサー層）を構成する樹脂が完全に残存しない状態とすることができる。これにより、得られる静電容量式傾斜角度センサにおいて、より確実に、左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）を設計とおりの望ましい状態とすることができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、前記マスク用金属層及び下部電極がいずれも銅からなること、を要旨とする。
上記請求項４の構成によれば、マスク用金属層が銅からなるので、樹脂層をその上層のマスク用金属層に形成されたマスクパターンに従いパターニングして液媒収容空間を形成した後に、前記マスク用金属層をウェットエッチングによって簡単に除去することができる。また、下部電極がレーザを阻止する銅からなるので、レーザの阻止効果が確実に得られることから、液体収容空間に面する下部電極の表面上に、樹脂層（スペーサー層）を構成する樹脂が完全に残存しない状態とすることができる。これにより、得られる静電容量式傾斜角度センサにおいて、より確実に、左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）を設計とおりの望ましい状態とすることができる。また、このように下部電極が銅からなる場合には、スペーサー層となる樹脂層がポリイミド樹脂からなるときに、両者を熱圧着によって確実に接合（積層）することができる。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、前記樹脂層として厚さが略均一な樹脂フィルム材を使用すること、を要旨とする。
【００１９】
上記請求項５の構成によれば、樹脂層として厚さが略均一な樹脂フィルム材を使用することから、樹脂層の厚さを略均一な状態に保ちつつ、エッチングによって当該樹脂層に液媒収容空間をより確実に形成できる。
【００２０】
請求項６に記載の発明は、左右一対の上部電極を表層に備える上部電極層と、下部電極を表層に備える下部電極層とが、液状の静電容量媒体（液媒）を収容するための液媒収容空間を有するスペーサー層を両層の間に介在させるとともに前記上部電極及び下部電極を対向させるようにして積層されて液体収容キャビティーが構成され、該液体収容キャビティー内の前記液媒の液面の傾斜を前記上部電極と下部電極とで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分に変換することで、設置部位の傾斜角度を検出するようにした静電容量式傾斜角度センサであって、前記液媒収容空間に面する下部電極の表面上には、前記スペーサー層を構成する材料がエッチングにより除去されることで実質的に存在しないようにされていること、を要旨とする。
【００２１】
上記請求項６の構成によれば、例えば、スペーサー層となる材料層を下部電極までエッチングして液体収容キャビティーの液媒収容空間を形成することで、当該液媒収容空間に面する下部電極の表面上には、前記スペーサー層を構成する材料が実質的に残存しないようにされている。これにより、左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）、及び、静電容量の差分と傾斜角度との対応関係が、いずれも設計とおりの望ましい状態となる。この結果、検出精度を高い状態で維持して設置部位の傾斜角度が正確に得られる静電容量式傾斜角度センサとなる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）、及び、静電容量の差分と傾斜角度との対応関係を、いずれも設計とおりの望ましい状態とすることができ、これにより検出精度を維持して設置部位の傾斜角度が正確に得られる静電容量式傾斜角度センサが提供できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。尚、本実施形態に係る静電容量式傾斜角度センサにおいて、基本的構造及び動作は、上に説明した従来技術のセンサ１と同様であるので、ここでは対応する箇所には同一の符号を付してその説明を省略する。ただし、本実施形態では、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂ及び下部電極１３ａはいずれも金属材料で形成され、特に、下部電極１３ａはレーザを阻止する作用のある銅又はチタンで形成され、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂは銅で形成されている。また、スペーサー層１２は、熱可塑性ポリイミド樹脂で形成されており、上部電極本体層１１ｃ及び下部電極本体層１３ｃは、いずれも絶縁性を有する樹脂材料で形成されている。これらの樹脂材料は、静電容量式傾斜角度センサを製造する場合に通常選択されるものである。以下、本発明において従来技術と異なるものである静電容量式傾斜角度センサ１（以下、単に「センサ１」という。）の製造方法について説明する。
【００２４】
まず、図１（ａ）に示すように、下層より、上表層に下部電極１３が設けられた下部電極層１３、樹脂層１０２、及びマスク用金属層（マスク用材料層）１０１がこの順で積層されてなる積層体（樹脂層１０２と、該樹脂層１０２の表面と裏面にそれぞれマスク用金属層１０１と下部電極層１３とを備えてなる積層体）を用意する。ここでは、マスク用金属層１０１として、ウェットエッチングにより容易に除去されるとともに、レーザに耐性のある銅を用いる。尚、このマスク用金属層１０１は、銅製のシート材より得られたものである。また、下部電極層１３の下部電極１３ａとしては、銅又はチタン製のシート材を使用し、樹脂層１０２としては、厚さが均一とされた熱可塑性ポリイミド製のフィルム材を使用する。ここで、前記下部電極１３ａは、前記マスク用金属層１０１をウェットエッチングによってスペーサー層１２上から除去する場合のエッチング選択性を備える。即ち、このように下部電極１３ａがチタンからなる場合、前記銅からなるマスク用金属層１０１がウェットエッチングによりスペーサー層１２上から除去される場合にも当該ウェットエッチングに溶解せず、そのままの形態で残存し得るため好ましい。また、これら各層は、従来周知の方法に従い、熱圧着により接合し得る材料からなる場合には、互いに熱圧着によって接合されている。
【００２５】
次に、図１（ｂ）に示すように、マスク用金属層１０１上に、フォトレジスト樹脂層１００を形成し、このフォトレジスト樹脂層１００に対して液媒収容空間１４ａ（図２（ａ）参照）に対応するパターニングを施す。ここで、フォトレジスト樹脂層１００の形成には、特に限定されないが、気相成長法を用いることができる。
【００２６】
次いで、図１（ｃ）に示すように、このパターニングされたフォトレジスト樹脂層１００に従い、ウェットエッチングによってマスク用金属層１０１にパターニングを施す。このパターニングは、液媒収容空間１４ａに対応したものとなる。この後、フォトレジスト樹脂層１００をマスク用金属層１０１上から洗浄除去する。
【００２７】
続いて、図１（ｄ）に示すように、マスク用金属層１０１側から下部電極層１３に向けてレーザをスキャニングしながら照射する（レーザーアブレーションを行う）。これにより、上記マスク用金属層１０１に対応したパターニングを樹脂層１０２に対して施し、液媒収容空間１４ａを備えたスペーサー層１２を形成する。ここで、下部電極１３ａは前述のとおり銅又はチタンからなるため、当該下部電極１３ａによってレーザの積層体の深さ方向への進行が効果的に阻止（停止）される。また、このレーザ照射によって、下部電極１３ａの表面上に存在していた熱可塑性ポリイミド樹脂が全て急激に液化・気化して外部に放散され、センサ１の完成後、液媒収容空間１４ａに面する下部電極１３ａの表面上には、樹脂層１０２（スペーサー層１２）を構成する熱可塑性ポリイミド樹脂が実質的に残存しないようになる。
【００２８】
その後、図１（ｅ）に示すように、スペーサー層１２上のマスク用金属層１０１を、ウェットエッチングによって除去する。この際、下部電極１３ａがウェットエッチングで溶解する銅等の金属材料等からなる場合には、当該下部電極１３ａの表面にウェットエッチング液に対して耐溶解性のあるニッケル（Ｎｉ）金属膜等によるマスキングをウェットエッチングの前に施すことが好ましい（図示省略）。尚、マスク用金属層１０１は、液体収容キャビティー１４（センサ１）の作製にあたり、構造上及び機能上の不都合がなければウェットエッチングで除去することなくそのまま残すこともできる。この場合は、当該マスク用金属層１０１の上から、後述する左右一対の上部電極層１１を積層する。
【００２９】
最後に、図１（ｆ）に示すように、マスク用金属層１０１を除去後のスペーサー層１２上から、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂを表層に設けた上部電極層１１を当該上部電極１１ａ，１１ｂが下面側になるように且つ該上部電極１１ａ，１１ｂで液媒収容空間１４ａをほぼ塞ぐようにして積層する（これにより液体収容キャビティー１４が形成される）。これにより、左右一対のコンデンサとなる各電極１１ａ，１１ｂ，１３ａ及びそれら各電極１１ａ，１１ｂ，１３ａを内側に収める液体収容キャビティー１４を備えるセンサ１の成型を完了させる。
【００３０】
本実施形態の静電容量式傾斜角度センサによれば、以下のような作用・効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、樹脂層１０２に液媒収容空間１４ａを形成するにあたり、レーザ照射（レーザエッチング）を用い、当該樹脂層１０２を下部電極１３ａまでエッチングする。これにより、液媒収容空間１４ａ内で下部電極１３ａの表面に存在していた熱可塑性ポリイミド樹脂が全て外部に放散され、センサ１の完成後、液媒収容空間１４ａに面する下部電極１３ａの表面上には、樹脂層１０２（スペーサー層１２）を構成する熱可塑性ポリイミド樹脂が完全に残存しないようになる。また、従来技術の如く、金型３００を用いて樹脂層２０２を押し付け、形取りして液媒収容空間１４ａを形成する場合のように、金型３００の中央部において樹脂層２０２が金型３００の周縁部に逃がされることなく過度に押圧されて圧縮され、金型３００の引き上げに伴って当該圧縮された樹脂層２０２の一部が開放されて膨らみが生じることがない。さらに、これにより、液体収容キャビティー１４内で当該膨らみが生じた部分において、液媒１５の表面張力が増大することで当該液媒１５の水平性が損なわれることもない。したがって、本実施形態の製造方法で得られるセンサ１では、左方又は右方上部電極１１ａ，１１ｂ及び下部電極１３ａで構成される左右一対のコンデンサの静電容量（の変化量）が設計値とおりの望ましい状態となり、検出精度が高く維持され、設置部位の正確な傾斜角度を得ることができる。
【００３１】
（２）本実施形態では、レーザ照射（レーザエッチング）によって液媒収容空間１４ａを形成するため、液媒収容空間１４ａの壁部が下部電極１３ａに対して垂直になるように精度よく成型できるので、液媒収容空間の単位厚さあたりの液媒の収容量にバラツキが生じない。これにより、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂと下部電極１３ａとで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分の変化量が、傾斜角度の変化量に対して常時リニアに追従するようになる。
【００３２】
（３）本実施形態では、樹脂層１０２として厚さが均一な樹脂フィルム材を使用するので、樹脂層１０２の厚さを均一な状態に保ちながら、レーザエッチングによって樹脂層１０２をエッチングして液媒収容空間１４ａを形成できる。このため、得られるスペーサー層１２の厚さ（液体収容キャビティー１４における液媒１５の厚さ）を確実に均一な状態とすることができる。この結果、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂと下部電極１３ａとで形成される左右一対のコンデンサの静電容量の差分と傾斜角度との対応関係（リニアリティー）が設計とおりの望ましい状態となる。
【００３３】
（４）本実施形態では、下部電極層１３上に形成され、最終的に下部電極１３ａとなる金属シートをレーザ照射の停止手段としても用いるので使用材料に無駄がなく、使用材料を極力減らして製造コストの低減に寄与できる。尚、上記実施形態は以下のように変形してもよい。
【００３４】
・上記実施形態では、樹脂層１０２をエッチングして液媒収容空間１４ａを形成するにあたり、レーザエッチングを用いたが、液媒収容空間１４ａに面する下部電極１３ａの表面上に樹脂層１０２（スペーサー層１２）を構成する樹脂材料（熱可塑性ポリイミド樹脂）が実質的に残存しないようにできる限り、その他のエッチング法、例えば、ウェットエッチングや、ドライエッチングを用いることもできる。この場合、下部電極１３ａは、当該エッチングに対して耐性のある材料を用いることが好ましい。
【００３５】
・上記実施形態では、樹脂層１０２に熱可塑性ポリイミド樹脂を用いたが、レーザエッチングにより良好な成型性能が得られるその他の樹脂材料や樹脂材料以外の材料を用いることもできる。
【００３６】
・上記実施形態では、下部電極１３ａを下部電極本体層１３ｃ（下部電極１３）の上表面の全面に亘って設けたが、下部電極１３ａのレーザエッチング（エッチング）に対する阻止（停止）効果が得られる限り、下部電極１３ａは下部電極本体層１３ｃの上表面の一部領域のみに設けることもできる。例えば、下部電極１３ａは左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂの外形形状に略合致するように略円形の外形形状とすることもできる。
【００３７】
・上記実施形態では、左右一対の上部電極１１ａ，１１ｂ及び下部電極１３ａはいずれも金属材料で形成し、特に、下部電極１３ａは銅又はチタンで形成した。しかし、これらに限定されず、前記上部電極１１ａ，１１ｂとしては、金属材料に代えて導電性の樹脂材料やカーボン材料を用いることもできるし、下部電極１３ａとしては、銅又はチタンに代えてニッケルやクロム合金を用いることもできる。ここで、ニッケルは、マスク用金属層１０１に対してエッチング選択性を備えるため好ましい。
【００３８】
・上記実施形態では、液媒収容空間１４ａを、複数の同心円状の貫通孔が集合し、それらが上下方向に連通した形態をなすとともに、各同心円状の貫通孔の幅及び間隔（貫通孔間に形成された壁の幅）をそれぞれ略同長になるように形成したが、各貫通孔の幅は、傾斜中心５０に向かうに従い幅広に形成することもできる。これにより、液媒１５を液媒供給孔１２ｂ（図２、図３参照）を通して同心円状の貫通孔に供給する場合に、傾斜中心５０により近く位置する貫通孔では、それらの周長がその幅に比して短くなって流動抵抗が大きくなる悪影響が効果的に緩和され、当該貫通孔に液媒１５がよりスムーズに供給されるようになる。
【００３９】
・上記実施形態では、下部電極層１３（下部電極１３ａと絶縁性の樹脂シート材からなる下部電極本体層１３ｃが積層されたもの）、樹脂層１０２（熱可塑性ポリイミド製のフィルム材）、及びマスク用金属層１０１（銅製のシート材）は、従来周知の方法に従い、熱圧着により接合し得る材料からなる場合には、互いに熱圧着によって接合したが、マスク用金属層１０１は、真空蒸着法やめっき加工によっても樹脂層１０２上に形成できる。さらには、マスク用金属層１０１は、銅製のシート材を粘着層を介して単に樹脂層１０２上に貼り付ける方法によって形成してもよい。
【００４０】
・上記実施形態では、上部電極層１１と下部電極層１３との間に介在されたスペーサー層１２となる樹脂層１０２を、当該上部電極層１１又は下部電極層１３とは別体に構成した材料を用いたが、これに限られず、該スペーサー層１２は、上部又は下部電極層１１，１３の一方と一体に構成することもできる。これによっても、請求項１による作用・効果と同等の作用・効果が奏される。
【００４１】
・上記実施形態では、スペーサー層１２に液媒収容空間１４ａを設けるにあたって、樹脂層１０２に対してマスク用金属層１０１に形成したマスクパターンに従いパターニングすることによったが、これに限られず、このようなマスク用金属層１０１を用いる方法に代えてその他のマスク材、例えば、フォトレジストやその他の樹脂等の材料層に形成したマスクパターンに従いパターニングすることもできる。さらには、マスク材を用いることなく、レーザに所定の走査パターンを与えることによってパターニングすることも可能である。さらに、前記した実施形態および変形例より把握できる技術的思想について以下に記載する。
【００４２】
・請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の静電容量式傾斜角度センサの製造方法において、前記下部電極がマスク用材料層に対してエッチング選択性を備えるとともに、下部電極層の表面の全面に亘って設けてなる静電容量式傾斜角度センサの製造方法。このように構成した場合、エッチングに対する下部電極層の阻止効果がより確実に得られるようになり、液体収容空間に面する下部電極の表面上には、樹脂層（スペーサー層）を構成する樹脂材料をより確実に残存しないようにすることができる。
【００４３】
・請求項６に記載の静電容量式傾斜角度センサにおいて、前記下部電極がマスク用材料層に対してエッチング選択性を備えるとともに、下部電極層の表面の全面に亘って設けてなる静電容量式傾斜角度センサ。このように構成した場合、エッチングに対する下部電極の阻止（停止）効果がより確実に得られるようになり、液体収容空間に面する下部電極の表面上には、スペーサー層を構成する材料がより確実に存在していない状態となる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の実施形態に係る静電容量式傾斜角度センサの製造工程を示す工程図（各工程図は、図２（ｂ）においてＡ−Ａ方向からみた断面図に相当する）。
【図２】本発明の実施形態（従来技術）に係る静電容量式傾斜角度センサの構造を示す図であり、（ａ）は同センサを構成する３つの層を示す分解図、（ｂ）は各層を組み立てた（積層した）状態を示す組立（積層）図。
【図３】本発明の実施形態（従来技術）に係る静電容量式傾斜角度センサの作用図であり、（ａ）は同センサを水平な部位に設置した状態を示す図、（ｂ）は、同センサを角θ傾斜した部位に設置した状態を示す図（本図においては、センサの上部電極層を省略）。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、従来技術に係る静電容量式傾斜角度センサの製造工程を示す工程図。
【符号の説明】
【００４５】
１…静電容量式傾斜角度センサ、１１…上部電極層、１１ａ…左方上部電極（左方差動電極）、１１ｂ…右方上部電極（右方差動電極）、１２…スペーサー層、１３…下部電極層、１３ａ…下部電極（共通電極）、１４…液体収容キャビティー、１４ａ…液媒収容空間、１５…液媒（液状の静電容量媒体）、１５ａ…液面、１００…フォトレジスト樹脂層、１０１…マスク用金属層、１０２，２０２…樹脂層
【図１】
2008122194.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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