(57)【要約】【課題】従来の群管理システムにおいては、製造装置の異常通知を受けた後、迅速かつ適切に対応できなかった。【解決手段】自装置の状況情報を送信する状況情報送信部１１０７を具備する製造装置１１と、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、１以上の製造装置１１についての異常の発生を検出する異常検出部１２０５と、異常検出部１２０５が異常が発生したことを検出した場合に、異常が発生した製造装置１１に対応した装置識別情報を有する異常の発生を通知する異常通知情報を構成する異常通知情報構成部１２０６と、異常通知情報を所定のクライアント装置１３に送信するサーバ側送信部１２０８と、を具備するサーバ装置１２と、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報を出力する出力部１３０２を具備するクライアント装置１３とを備えた。【選択図】図１
2008147489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システムであって、
前記製造装置は、
当該製造装置の状況に関する時系列の情報である状況情報を取得する状況情報取得部と、
前記状況情報取得部が取得した状況情報を送信する状況情報送信部と、を具備し、
前記サーバ装置は
前記状況情報を受信するサーバ側受信部と、
前記サーバ側受信部が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、前記１以上の製造装置についての異常の発生を検出する異常検出部と、
前記異常検出部が前記１以上の製造装置のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、当該異常が発生した１以上の製造装置に対応した、前記製造装置を識別する情報である１以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する異常通知情報構成部と、
前記異常通知情報を所定の前記クライアント装置に送信するサーバ側送信部と、
前記異常が発生した１以上の製造装置に関して実行させる命令と、前記異常通知情報が有する前記装置識別情報と、を含む情報である命令情報を受信する命令情報受信部と、
前記命令情報に含まれる前記装置識別情報を用いて、前記命令情報に含まれる命令を実行する命令実行部と、を具備し、
前記クライアント装置は、
前記異常通知情報を受信するクライアント側受信部と、
前記クライアント側受信部が受信した異常通知情報を出力する出力部と、
前記命令を受け付ける命令受付部と、
前記命令受付部が受け付けた命令と、前記異常通知情報が有する１以上の前記装置識別情報と、を用いて前記命令情報を構成する命令情報構成部と、
前記命令情報を、前記サーバ装置に送信する命令情報送信部と、を具備する群管理システム。
【請求項２】
前記サーバ装置は、
前記装置識別情報と、当該装置識別情報に対応した前記クライアント装置の送信先の情報である送信先情報と、を有する情報である装置別送信先情報が格納され得る装置別送信先情報格納部をさらに具備しており、
前記サーバ側送信部は、前記装置別送信先情報に応じて、前記異常が発生した製造装置の装置識別情報に対応した前記送信先情報を取得し、当該取得した送信先情報を用いて、前記異常通知情報を送信する請求項１記載の群管理システム。
【請求項３】
前記サーバ装置の命令実行部は、前記命令情報が含む命令が、前記製造装置に実行させる命令である場合に、当該命令を含む製造装置命令情報を構成し、
前記サーバ装置は、前記命令実行部の構成した製造装置命令情報を、前記命令情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に送信する製造装置命令情報送信部を、更に具備し、
前記製造装置は、前記製造装置命令情報を受信する製造装置命令情報受信部と、
前記製造装置命令情報に含まれる命令を実行する処理部と、を更に具備する請求項１または請求項２記載の群管理システム。
【請求項４】
前記命令は、前記状況情報の少なくとも一部を取得する命令であり、
前記サーバ装置は、
前記状況情報と、前記装置識別情報とが格納され得る状況情報格納部と、
前記サーバ側受信部が受信した前記状況情報と、当該状況情報に対応した前記装置識別情報とを対応付けて前記状況情報格納部に蓄積する蓄積部と、
前記命令実行部の指示に応じて、前記命令情報に含まれる前記装置識別情報に対応付けられて前記状況情報格納部に格納されている状況情報の少なくとも一部を取得して、送信用の状況情報である送信用状況情報を構成する送信用状況情報取得部と、
前記送信用状況情報取得部が構成した送信用状況情報を、前記命令情報の送信元のクライアント装置に送信する送信用状況情報送信部と、をさらに具備し、
前記クライアント装置は、
前記送信用状況情報を受信する状況情報受信部と、
前記状況情報受信部が受信した送信用状況情報を出力する状況情報出力部と、をさらに具備する請求項１から請求項３いずれか記載の群管理システム。
【請求項５】
前記クライアント装置は、
前記製造装置をアップデートするための情報であるアップデート情報を受け付けるアップデート情報受付部と、
前記アップデート情報受付部が受け付けたアップデート情報と、前記クライアント側受信部が受信した異常通知情報に含まれる装置識別情報と含むアップデート指示情報を構成するアップデート指示情報構成部と、
前記アップデート指示情報を、前記サーバ装置に送信するアップデート指示情報送信部とをさらに具備し、
前記サーバ装置は、
前記アップデート指示情報を受信するアップデート指示情報受信部と、
前記アップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に、当該命令情報に含まれるアップデート情報を送信するアップデート情報送信部を、さらに具備し、
前記製造装置は、
前記アップデート情報を受信するアップデート情報受信部と、
前記アップデート情報受信部が受信したアップデート情報を実行するアップデート実行部と、をさらに具備する請求項１から請求項４いずれか記載の群管理システム。
【請求項６】
前記クライアント装置は、
前記サーバ装置にアップデートを実行させるための情報であるサーバアップデート情報を受け付けるサーバアップデート情報受付部と、
前記サーバアップデート指示情報を、前記サーバ装置に送信するサーバアップデート情報送信部と、をさらに具備し、
前記サーバ装置は、
前記サーバアップデート情報を受信するサーバアップデート情報受信部と、
前記サーバアップデート情報を用いてアップデートを実行するサーバアップデート実行部と、をさらに具備する請求項１から請求項５いずれか記載の群管理システム。
【請求項７】
前記異常通知情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われる請求項１から請求項６いずれか記載の群管理システム。
【請求項８】
前記命令情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われ、
前記命令情報構成部は、前記異常通知情報の送信元である前記サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、前記命令受付部が受け付けた命令を記述した前記命令情報を構成する請求項７記載の群管理システム。
【請求項９】
前記異常通知情報の送信および受信、ならびに前記アップデート指示情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われ、
前記アップデート指示情報構成部は、前記異常通知情報の送信元である前記サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した、当該異常通知情報に含まれる装置識別情報を有する返信メールに、前記アップデート情報を添付したアップデート指示情報を構成する請求項５記載の群管理システム。
【請求項１０】
前記異常通知情報の送信および受信、ならびに前記サーバアップデート指示情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われ、
前記サーバアップデート指示構成部は、前記異常通知情報の送信元である前記サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、前記サーバ情報受付部が受け付けたサーバアップデート情報を添付したサーバアップデート指示情報を構成する請求項６記載の群管理システム。
【請求項１１】
前記電子メールの送信および受信は、暗号化されて行われる請求項７から請求項１０いずれか記載の群管理システム。
【請求項１２】
前記電子メールの送信は、送信先をメールアドレスで指定して行われる請求項７から請求項１１いずれか記載の群管理システム。
【請求項１３】
被処理基板に対する所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記製造装置の状況に関する時系列の情報である状況情報を受信するサーバ側受信部と、
前記サーバ側受信部が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、前記１以上の製造装置についての異常の発生を検出する異常検出部と、
前記異常検出部が前記１以上の製造装置のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、当該異常が発生した１以上の製造装置に対応した、前記製造装置を識別する情報である１以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する異常通知情報構成部と、
前記異常通知情報を所定の前記クライアント装置に送信するサーバ側送信部と、
前記異常が発生した１以上の製造装置に関して実行させる命令と、前記異常通知情報が有する前記装置識別情報と、を含む情報である命令情報を受信する命令情報受信部と、
前記命令情報に含まれる前記装置識別情報を用いて、前記命令情報に含まれる命令を実行する命令実行部と、を具備するサーバ装置。
【請求項１４】
前記装置識別情報と、当該装置識別情報に対応した前記クライアント装置の送信先の情報である送信先情報と、を有する情報である装置別送信先情報が格納され得る装置別送信先情報格納部をさらに具備しており、
前記サーバ側送信部は、前記装置別送信先情報に応じて、前記異常が発生した製造装置の装置識別情報に対応した前記送信先情報を取得し、当該取得した送信先情報を用いて、前記異常通知情報を送信する請求項１３記載のサーバ装置。
【請求項１５】
前記命令は、前記状況情報の少なくとも一部を取得する命令であり、
前記状況情報と、前記装置識別情報とが格納され得る状況情報格納部と、
前記サーバ側受信部が受信した前記状況情報と、当該状況情報に対応した前記装置識別情報とを対応付けて前記状況情報格納部に蓄積する蓄積部と、
前記命令実行部の指示に応じて、前記命令情報に含まれる前記装置識別情報に対応付けられて前記状況情報格納部に格納されている状況情報の少なくとも一部を取得して、送信用の状況情報である送信用状況情報を構成する送信用状況情報取得部と、
前記送信用状況情報取得部が構成した送信用状況情報を、前記命令情報の送信元のクライアント装置に送信する送信用状況情報送信部と、をさら具備する請求項１３または請求項１４記載のサーバ装置。
【請求項１６】
前記製造装置をアップデートするための情報であるアップデート情報と、前記異常通知情報に含まれる装置識別情報とを含むアップデート指示情報を受信するアップデート指示情報受信部と、
前記アップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に、当該命令情報に含まれるアップデート情報を送信するアップデート情報送信部を、さらに具備する請求項１３から請求項１５いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１７】
前記サーバ装置にアップデートを実行させるための情報であるサーバアップデート情報を受信するサーバアップデート情報受信部と、
前記サーバアップデート情報を用いてアップデートを実行するサーバアップデート実行部とをさらに具備する請求項１３から請求項１６いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１８】
前記異常通知情報の送信は、電子メールを用いて行われる請求項１３から請求項１７いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１９】
前記命令情報の受信は、電子メールを用いて行われ、
前記命令情報は、前記異常通知情報の送信元である当該サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、前記命令受付部が受け付けた命令を記述したものである請求項１８記載のサーバ装置。
【請求項２０】
前記異常通知情報の送信、および前記アップデート指示情報の受信は、電子メールを用いて行われ、
前記アップデート指示情報は、前記異常通知情報の送信元である当該サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した、当該異常通知情報に含まれる装置識別情報を有する返信メールに、前記アップデート情報を添付したものである請求項１６記載のサーバ装置。
【請求項２１】
前記異常通知情報の送信、および前記サーバアップデート指示情報の受信は、電子メールを用いて行われ、
前記サーバアップデート指示情報は、前記異常通知情報の送信元である当該サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、サーバアップデート情報を添付したものである請求項１７記載のサーバ装置。
【請求項２２】
被処理基板に対する所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置において実行させるプログラムであって、
コンピュータに、
前記製造装置の状況に関する時系列の情報である状況情報を受信するサーバ側受信ステップと、
前記サーバ側受信ステップで受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、前記１以上の製造装置についての異常の発生を検出する異常検出部と、
前記異常検出部が前記１以上の製造装置のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、当該異常が発生した１以上の製造装置に対応した、前記製造装置を識別する情報である１以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する異常通知情報構成ステップと、
前記異常通知情報を所定の前記クライアント装置に送信するサーバ側送信ステップと、
前記異常が発生した１以上の製造装置に関して実行させる命令と、前記異常通知情報が有する前記装置識別情報と、を含む情報である命令情報を受信する命令情報受信ステップと、
前記命令情報に含まれる前記装置識別情報を用いて、前記命令情報に含まれる命令を実行する命令実行ステップと、を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板に対する所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システム等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造装置の群管理システムとしては、測定器から送られてくる種々のデータを受信してデータ加工を行うものが知られていた（例えば、特許文献１参照）。この群管理システムのデータ加工方法は、測定データを加工する計算式を予め登録しておき、群管理システムの群管理部の測定器通信部に測定器が送信してくる種々の測定データを受信したとき、測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、測定データが有するレシピ名称に基づいて、登録された計算式の中から測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された測定データを選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。
【０００３】
また、従来から、半導体製造装置の異常を検出する構成等が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、従来の群管理システムを構成する製造装置として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置がある（例えば、特許文献３および特許文献４参照）。
【０００５】
一方、従来の半導体製造プロセスの管理装置として、故障が検出された場合に、ツールの所有者に電子メールを送る構成等が開示されている。（例えば、特許文献５参照）。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献２】特開２００６−２１６９２０号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献３】特許３５４３９９６号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献４】特開２００２−２５９９７号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献５】特表２００６−５０１６８０号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の群管理システムにおいては、上述したように電子メール等で製造装置に対する異常の通知を受けた後に、迅速かつ適切な対応を行うことが困難であるという課題があった。
【０００７】
例えば、異常の通知を受けた製造装置の状況等を知るためには、製造装置を監視するための専用の端末等を用いて、製造装置の状況についての情報を読み出す必要があるが、ユーザが、これら以外の汎用のコンピュータ等で異常の通知を受けた場合、異常の状況や原因等をすぐに調べることができず、復旧作業に遅れが生じるという課題があった。
【０００８】
また、異常が発生したことの通知を受けた場合に、製造装置の異常が発生するまでの動作状況を、いわゆるログ等を収集することで確認しようとしても、異常を監視する端末等の操作を十分に把握していなければ、動作状況についての情報が取得できなかった。また、このような端末の操作を把握していたとしても、群管理システムを操作可能な端末のある場所まで移動する必要があり、迅速に対応することが困難であった。また、異常の発生した製造装置を指定するための入力画面を開いたり、製造装置を指定する情報を入力したりしなければならず、処理に時間がかかっていた。
【０００９】
また、例えば、製造装置に異常が発生した場合、異常が発生した製造装置に応じて、その製造装置に関連のあるユーザにだけ、選択的に、異常が発生したことを通知したりすることができなかったため、復旧に関係のないユーザに、不必要な通知をしてしまったり、不必要な通知が増える結果、ユーザにとって重要な異常の通知が、不必要な通知に紛れてしまい、復旧等を行う必要のあるユーザが異常の通知を見逃してしまうという恐れがあった。
【００１０】
また、複数の製造装置に異常が発生した場合、異常の発生した製造装置の台数分、動作状況の取得作業等が必要であり、ユーザによる処理に時間がかかるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の群管理システムは、被処理基板に対する所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システムであって、前記製造装置は、当該製造装置の状況に関する時系列の情報である状況情報を取得する状況情報取得部と、前記状況情報取得部が取得した状況情報を送信する状況情報送信部と、を具備し、前記サーバ装置は前記状況情報を受信するサーバ側受信部と、前記サーバ側受信部が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、前記１以上の製造装置についての異常の発生を検出する異常検出部と、前記異常検出部が前記１以上の製造装置のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、当該異常が発生した１以上の製造装置に対応した、前記製造装置を識別する情報である１以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する異常通知情報構成部と、前記異常通知情報を所定の前記クライアント装置に送信するサーバ側送信部と、前記異常が発生した１以上の製造装置に関して実行させる命令と、前記異常通知情報が有する前記装置識別情報と、を含む情報である命令情報を受信する命令情報受信部と、前記命令情報に含まれる前記装置識別情報を用いて、前記命令情報に含まれる命令を実行する命令実行部と、を具備し、前記クライアント装置は、前記異常通知情報を受信するクライアント側受信部と、前記クライアント側受信部が受信した異常通知情報を出力する出力部と、前記命令を受け付ける命令受付部と、前記命令受付部が受け付けた命令と、前記異常通知情報が有する１以上の前記装置識別情報と、を用いて前記命令情報を構成する命令情報構成部と、前記命令情報を、前記サーバ装置に送信する命令情報送信部と、を具備する群管理システムである。
【００１２】
かかる構成により、異常が発生した製造装置に関する処理を実行させるための命令を入力する際に、異常が発生した装置を指定する情報を入力する必要がなく、ユーザが命令等を入力する処理を簡略化でき、異常の状況を把握する処理や、復旧のための処理を、迅速に行うことができる。また、ユーザが装置識別情報を覚えていない場合や、製造装置の状況情報を得るために用いられる専用端末等の使用方法等を十分に習得していない場合においても、異常が検知された製造装置の状況の情報等を適切に取得することが可能となる。これにより、製造装置に対する異常の通知を受けた後に、ユーザが、迅速に、適切に対応を行うことが可能となる。さらに、複数の製造装置に異常が検出された場合においても、異常が検出された複数の製造装置の装置識別情報を含む一つの異常通知情報がクライアント装置に送信されるため、この異常通知情報を用いて構成した一つの命令情報をサーバ装置に送信することで、異常が検出された複数の製造装置に関する処理を、一度に指示することができ、命令を送信する処理を簡略化できるとともに、異常通知に対して迅速な対応が可能となる。
【００１３】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記サーバ装置は、前記装置識別情報と、当該装置識別情報に対応した前記クライアント装置の送信先の情報である送信先情報と、を有する情報であるが格納され得る装置別送信先情報格納部をさらに具備しており、前記サーバ側送信部は、前記装置別送信先情報に応じて、前記異常が発生した製造装置の装置識別情報に対応した前記送信先情報を取得し、当該取得した送信先情報を用いて、前記異常通知情報を送信する群管理システムである。
【００１４】
かかる構成により、異常が発生した製造装置に対して適切なユーザ等を選択して、異常の発生を通知することができる。これにより、ユーザに不必要な異常通知情報を送信したりすることがなく、必要な異常通知情報だけを送信することができる。
【００１５】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記サーバ装置の命令実行部は、前記命令情報が含む命令が、前記製造装置に実行させる命令である場合に、当該命令を含む製造装置命令情報を構成し、前記サーバ装置は、前記命令実行部の構成した製造装置命令情報を、前記命令情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に送信する製造装置命令情報送信部を、更に具備し、前記製造装置は、前記製造装置命令情報を受信する製造装置命令情報受信部と、前記製造装置命令情報に含まれる命令を実行する処理部と、を更に具備する群管理システムである。
【００１６】
かかる構成により、異常が発生した製造装置に処理を実行させるための命令を入力する際に、異常が発生した装置を指定する情報を入力する必要がなく、ユーザ等の入力処理等を軽減できる。また、ユーザが装置識別情報等を覚えている必要がないため、ユーザの負担が軽減される。
【００１７】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記命令は、前記状況情報の少なくとも一部を取得する命令であり、前記サーバ装置は、前記状況情報と、前記装置識別情報とが格納され得る状況情報格納部と、前記サーバ側受信部が受信した前記状況情報と、当該状況情報に対応した前記装置識別情報とを対応付けて前記状況情報格納部に蓄積する蓄積部と、前記命令実行部の指示に応じて、前記命令情報に含まれる前記装置識別情報に対応付けられて前記状況情報格納部に格納されている状況情報の少なくとも一部を取得して、送信用の状況情報である送信用状況情報を構成する送信用状況情報取得部と、前記送信用状況情報取得部が構成した送信用状況情報を、前記命令情報の送信元のクライアント装置に送信する送信用状況情報送信部と、をさらに具備し、前記クライアント装置は、前記送信用状況情報を受信する状況情報受信部と、前記状況情報受信部が受信した送信用状況情報を出力する状況情報出力部と、をさらに具備する群管理システムである。
【００１８】
かかる構成により、ユーザ等が、製造装置を指定する情報を命令に加えて入力しなくても、異常が検出された製造装置の状況情報をサーバ装置から取得することができる。これにより、入力する命令等を簡略化でき、ユーザ等の入力処理等を軽減できるとともに、容易に異常が発生した製造装置についてのログ等の状況情報を取得でき、異常が検出された製造装置の状況を適切に解析して、異常に対して適切に対応することが可能となる。
【００１９】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記クライアント装置は、前記製造装置をアップデートするための情報であるアップデート情報を受け付けるアップデート情報受付部と、前記アップデート情報受付部が受け付けたアップデート情報と、前記クライアント側受信部が受信した異常通知情報に含まれる装置識別情報と含むアップデート指示情報を構成するアップデート指示情報構成部と、前記アップデート指示情報を、前記サーバ装置に送信するアップデート指示情報送信部とをさらに具備し、前記サーバ装置は、前記アップデート指示情報を受信するアップデート指示情報受信部と、前記アップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に、当該命令情報に含まれるアップデート情報を送信するアップデート情報送信部を、さらに具備し、前記製造装置は、前記アップデート情報を受信するアップデート情報受信部と、前記アップデート情報受信部が受信したアップデート情報を実行するアップデート実行部と、をさらに具備する群管理システムである。
【００２０】
かかる構成により、異常が発生した製造装置を容易にアップデートさせることができる。
【００２１】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記クライアント装置は、前記サーバ装置にアップデートを実行させるための情報であるサーバアップデート情報を受け付けるサーバアップデート情報受付部と、前記サーバアップデート指示情報を、前記サーバ装置に送信するサーバアップデート情報送信部と、をさらに具備し、前記サーバ装置は、前記サーバアップデート情報を受信するサーバアップデート情報受信部と、前記サーバアップデート情報を用いてアップデートを実行するサーバアップデート実行部と、をさらに具備する群管理システムである。
【００２２】
かかる構成により、サーバのアップデートのための操作を簡略化することができる。
【００２３】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記異常通知情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われる群管理システムである。
【００２４】
かかる構成により、専用端末等を用いることなく、一般的に広く普及している電子メールの送受信の可能なコンピュータ等の電子機器で、異常の発生を知ることが可能となり、コストを安価にすることができる。また、専用端末のある場所に行かなくても、電子メールの送受信が可能な場所であれば、異常の検出や復旧作業等を行うことが可能となり、ユーザの労力を軽減できるとともに、異常検出や復旧処理にかかる時間を短縮できる。また、一般的に普及している電子メールを用いることで、専用端末の操作等を覚えることなく、異常発生のチェック等を容易に行うことができる。この異常通知情報に対する返信メールを作成することで、異常通知情報に含まれる装置識別情報や、送信元であるサーバ装置のメールアドレス等を、命令情報やアップデート指示情報等の作成や送信に再利用することができ、ユーザの作業を軽減したり、作業ミス等を減らすことができる。
【００２５】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記命令情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われ、前記命令情報構成部は、前記異常通知情報の送信元である前記サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、前記命令受付部が受け付けた命令を記述した前記命令情報を構成する群管理システムである。
【００２６】
かかる構成により、異常通知情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置に関する命令を、サーバ装置に実行させることができ、命令の入力の際に、異常が発生した装置を指定する入力を簡略化できる。また、ユーザが装置識別情報を覚えていない場合や、製造装置の状況情報を取得するために用いられる専用端末等の操作方法等を十分に習得していない場合においても、一般的に普及している電子メールの使い方を把握していれば、異常が検知された製造装置の状況の情報等を適切に取得することが可能となる。さらに、複数の製造装置に異常が検出された場合においても、異常が検出された複数の製造装置の装置識別情報を含む一つの異常通知情報がクライアント装置に電子メールで送信されるため、この異常通知情報に対する返信メールを用いて一つの命令情報を構成して、サーバ装置に返信することで、異常が検出された複数の製造装置に関する処理を、一度の電子メールの返信により指示することができ、命令を送信する処理を簡略化できるとともに、異常通知に対して迅速な対応が可能となる。また、電子メールを利用して状況の情報等を取得できるため、製造装置の専用端末等がない遠隔地等からでも、容易に処理が可能となり、処理の迅速化が図れる。
【００２７】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記異常通知情報の送信および受信、ならびに前記アップデート指示情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われ、前記アップデート指示情報構成部は、前記異常通知情報の送信元である前記サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した、当該異常通知情報に含まれる装置識別情報を有する返信メールに、前記アップデート情報を添付したアップデート指示情報を構成する群管理システムである。
【００２８】
かかる構成により、異常通知情報に対する返信メールに、アップデート情報を添付することで、異常通知情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置をアップデートさせることができ、製造装置のアップデートの処理を簡略化できる。
【００２９】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記異常通知情報の送信および受信、ならびに前記サーバアップデート指示情報の送信および受信は、電子メールを用いて行われ、前記サーバアップデート指示構成部は、前記異常通知情報の送信元である前記サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、前記サーバ情報受付部が受け付けたサーバアップデート情報を添付したサーバアップデート指示情報を構成する群管理システムである。
【００３０】
かかる構成により、異常通知情報に対する返信メールに、サーバアップデート情報を添付することで、サーバ装置をアップデートさせることができ、製造装置のアップデートの処理を簡略化できる。
【００３１】
また、本発明の群管理システムは、前記群管理システムにおいて、前記電子メールの送信および受信は、暗号化されて行われる群管理システムである。
【００３２】
かかる構成により、セキュリティーを保つことができる。また、このようなセキュリティーの仕組みは、電子メール等に実装されているため、これを利用するだけで、セキュリティー導入のコストを削減できる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明による群管理システム等によれば、製造装置に対する異常の通知を受けた後に、迅速に、かつ適切に対応を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、群管理システム等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
【００３５】
（実施の形態）
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置等の製造装置を管理するシステムである。また、群管理システムは、１以上の製造装置１１（製造装置１１ａから製造装置１１ｎ（ただしｎは任意数を示す））、サーバ装置１２、および１以上のクライアント装置１３（クライアント装置１３ａからクライアント装置１３ｍ（ただし、ｍは任意数を示す））を有する。
【００３６】
１以上の製造装置１１とサーバ装置１２、および１以上のクライアント装置１３とサーバ装置１２は、それぞれ、通信回線を介して、情報の送受信が可能である。各装置は、例えば、インターネットや、無線や有線のＬＡＮ等のネットワークで接続されていてもよいし、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信により接続されていてもよい。また、ＵＳＢやＩＥＥＥ１３９４のようなバス等により接続されていてもよい。ただし、各装置間の接続方法は問わない。また、情報の送受信の手段は、通信手段でも、放送手段等でも良い。
【００３７】
製造装置１１は、被処理基板、例えば、半導体ウエハ等、に対する所定のプロセスを行う装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。本製造装置１１の例を図２に示す。本製造装置１１は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置１１は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボートｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置１１の例における、その他の部位、および動作については、公知技術（特許文献３参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置１１を構成するチャンバーとして、特許文献４の図１におけるチャンバーが好適である。なお、本実施の形態においては、１以上の製造装置の構成は問わず、製造装置１１ａから製造装置１１ｎは、異なる処理を行う製造装置であっても良いし、同じ処理を行う製造装置を含んでいても良い。
【００３８】
また、製造装置１１は、例えば、ウエハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピを格納しており、当該レシピを用いて制御する。
【００３９】
また、サーバ装置１２は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、１以上の製造装置１１から送信される各種の測定情報等の情報を格納可能であり、当該測定情報に対して、異常検出を行う機能を有する。
【００４０】
また、クライアント装置１３は、サーバ装置１２から送信される異常検出等の処理結果を受け付ける。また、クライアント装置１３は、サーバ装置１２に対して各種の要求等を送信する。
【００４１】
図３は、本実施の形態における群管理システムの製造装置のブロック図である。なお、ここでは、説明の便宜上、製造装置１１が一つの場合を例に挙げて示している。
【００４２】
製造装置１１は、入力受付部１１０１、レシピ格納部１１０２、装置識別情報格納部１１０３、状況情報取得部１１０４、処理部１１０５、測定部１１０６、状況情報送信部１１０７、アップデート情報受信部１１０８、アップデート実行部１１０９、製造装置状況情報蓄積部１１１０、製造装置状況情報格納部１１１１、および製造装置命令情報受信部１１１２を具備する。
【００４３】
入力受付部１１０１は、製造装置１１のユーザ等から各種の入力を受け付ける。各種の入力とは、例えば、レシピや、ウエハに対する加工処理等の処理の実行指示などである。ユーザから各種の入力の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。入力受付部１１０１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００４４】
レシピ格納部１１０２は、製造装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、製造装置１１が実行する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスを構成する複数の手順や、その手順におけるプロセスパラメータ等を設定する情報を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子（例えば、レシピ名）と対に格納されている。レシピ格納部１１０２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４５】
装置識別情報格納部１１０３は、製造装置１１を識別する装置識別情報を格納している。装置識別情報は、各製造装置１１を識別できる情報であればよく、例えば、装置名や、型番、製造番号や、各製造装置１１に設定された識別番号や名称等であってもよい。この装置識別情報は、入力受付部１１０１が受け付けた情報でも良いし、製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。装置識別情報格納部１１０３は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００４６】
状況情報取得部１１０４は、自装置である製造装置１１の状況に関する時系列の情報である状況情報を取得する。状況に関する時系列の情報とは、具体的には、時系列に沿って取得された製造装置の利用状況に関連した情報や、動作状況に関連した情報である。利用状況に関連した情報とは、例えば、製造装置がどのような処理や制御を開始したか、実行中か、終了したか等を示す情報や、製造装置を制御する際の設定値等のパラメータの情報である。また、製造装置がどのような指示や要求を受け付けたか、どのようなレシピのどのようなステップを実行中か等を示す情報等である。このような利用状況に関連した状況情報には、いわゆるログ等も含まれる。製造装置の動作状況に関連した情報とは、例えば、製造装置内の温度や圧力、製造装置に供給される電力量、材料ガスの流量等の製造装置の動作時等に実測された測定情報等である。例えば、状況情報取得部１１０４は、状況情報の一つである製造装置１１の利用状況を示す情報を後述する処理部１１０５等から取得する。また、状況情報取得部１１０４は、例えば、状況情報の１つである測定情報を後述する測定部１１０６から取得する。状況情報は、通常、当該状況情報が構成された時刻や、当該状況情報を構成する測定情報や利用状況を示す情報が取得された時刻等を示す情報である時刻情報を有している。ただし、時刻情報は省略してもよい。例えば、状況情報は、様々な処理の開始や終了等の製造装置の利用状況を示す情報に対して、この情報が取得された時刻を示す時刻情報が対となるよう付加された情報である。また、状況情報は、例えば、温度や圧力等の測定情報に対して、測定情報が取得された時刻を示す時刻情報が対となるよう付加された情報である。例えば、状況情報取得部１１０４が、処理部１１０５や測定部１１０６が利用状況を示す情報や測定情報に時刻情報を付加して構成した情報を、状況情報として取得するようにしてもよい。また、状況情報取得部１１０４が処理部１１０５や測定部１１０６から取得した利用状況を示す情報や測定情報に付加して状況情報を構成しても良い。具体例としては、状況情報取得部１１０４は、測定部１１０６が取得する測定情報に、測定した時間の情報を付加して状況情報を得る。また、例えば、状況情報取得部１１０４は、処理部１１０５が所定のプロセスを行う際に実行する処理についての情報、例えば処理の名称や、実行するレシピ名や、処理のパラメータ等の情報を、処理部１１０５から取得し、この情報を取得した時刻の情報である時刻情報を付加して状況情報を得る。この時刻情報は、例えば図示しない時計等から取得される。また、状況情報取得部１１０４は、状況情報に、状況情報に含まれる測定情報や、製造装置１１の利用状況を示す情報の、データタイプ、すなわちデータの種類、を示す情報を付加しても良い。データタイプを示す情報とは、具体例としては、「温度」、「圧力」等の測定情報の種類を示す情報であっても良いし、利用状況に関する情報であることを示す情報、例えば、「ログ」、等であっても良い。状況情報取得部１１０４は、取得した状況情報をメモリ等の記憶媒体に一時的に蓄積しても良いし、蓄積せずに、後述する状況情報送信部１１０７に出力してもよい。状況情報取得部１１０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。状況情報取得部１１０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４７】
処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、被処理基板に対する所定のプロセスを行う。なお、ここでは例として、処理部１１０５が製造装置１１の利用状況についての情報、具体的には、所望の処理を行う際の指示や、処理名等の処理を識別する情報や、パラメータ等についての情報を、処理部１１０５が随時、状況情報取得部１１０４等に出力するものとする。処理部１１０５は、製造装置１１の利用状況についての情報に、この情報を取得した時刻を示す時刻情報を付加するようにしても良い。このような時刻情報は、図示しない時計等から取得される。なお、処理部１１０５は、上述した情報を随時出力する代わりに、メモリ等の記憶媒体に一時記憶させ、この記憶した情報を、状況情報取得部１１０４が後でまとめて取得できるようにしても良い。また、処理部１１０５は、製造装置命令情報受信部１１１２が受信した製造装置命令情報に含まれる命令に応じた処理を実行する。例えば、製造装置命令情報に含まれる命令が、所望の状況情報を所定のクライアント装置１３に送信する指示である場合、処理部１１０５は、製造装置状況情報格納部１１１１に格納されている所望の状況情報を取得する。そして、取得した状況情報を、状況情報送信部１１０７から、サーバ装置１２に送信させる。また、製造装置命令情報に含まれる命令が、製造装置１１が実行している処理を停止させる指示である場合、処理部１１０５は、この命令に応じて、製造装置１１が実行している処理を停止させる。処理部１１０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。処理部１１０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４８】
測定部１１０６は、製造装置１１内の温度や、ガス流量や、圧力、製造装置１１の電力等を測定し、測定した結果の情報である測定情報を取得する。測定情報は、測定した温度等の情報である。測定部１１０６は、例えば、定期、あるいは不定期の所定の時間間隔で測定を行う。なお、ここでは例として、測定情報を、測定部１１０６が随時、状況情報取得部１１０４等に出力するものとする。測定部１１０６は、これらの測定情報に時刻情報を付加するようにしてもよい。このような時刻情報は、図示しない時計等から取得される。なお、測定部１１０６は、測定情報を随時出力する代わりに、メモリ等の記憶媒体に一時記憶させ、この記憶した情報を、状況情報取得部１１０４が後でまとめて取得できるようにしても良い。また、測定情報は、測定部１１０６が測定する、測定対象、例えば温度やガス圧等や、測定箇所、例えばプロセスチューブ内等、を識別するための情報、例えば測定対象の名称や、測定箇所の名称、あるいはこれらに対応した識別情報等を有していても良い。測定部１１０６は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量などの複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。つまり、元情報は、二種類以上の測定された値を有しても良い。測定部１１０６は、１以上の温度センサや１以上の流量センサなどのセンサ等で実現され得る。
【００４９】
状況情報送信部１１０７は、状況情報取得部１１０４が取得した１以上の状況情報を送信する。ここでは例として、状況情報送信部１１０７は、取得した状況情報に、自装置である製造装置１１の装置識別情報を対応付けて送信する。ただし、状況情報の受信側で、送信元の製造装置１１を特定できる場合等には、状況情報に装置識別情報を対応付けて送信しなくても良い。また、上述した状況情報取得部１０４が状況情報に装置識別情報を付加しても良い。この装置識別情報は、例えば装置識別情報格納部１１０３から取得される。状況情報送信部１１０７は、１種類以上の状況情報を送信することが可能である。状況情報送信部１１０７は、例えば、温度の測定情報である状況情報と、製造装置１１の実行している処理の名称を示す情報である状況情報とを送信することができる。ここでは、例として、状況情報送信部１１０７は、サーバ装置１２に状況情報を送信する。状況情報送信部１１０７は、状況情報取得部１１０４が取得した１以上の状況情報を、状況情報取得部１１０４が状況情報を取得する毎に、随時送信することがリアルタイムに処理を行う上で好適である。ただし、所定数の数だけまとめた状況情報（例えば、１０個をまとめた状況情報）を一度に送信しても良い。例えば、状況情報取得部１１０４が、取得した状況情報を一旦メモリ等に蓄積するようにし、この蓄積した状況情報を、状況情報送信部１１０７がまとめて読み出して送信しても良い。また、この場合、状況情報を送信するタイミングやトリガーは問わず、状況情報送信部１１０７は、定期または不定期の所定のタイミングや、所定のトリガーに応じて、読み出して送信するようにしても良い。また、製造装置命令情報受信部１１１２が受信した製造装置命令情報に応じて、処理部１１０５が取得した所望の状況情報を、サーバ装置１２に送信しても良い。また、複数の状況情報に対して、統計処理等の所定の処理を行って得られた新たな状況情報を、送信するようにしてもよい。また、状況情報送信部１１０７は、状況情報を出力する際に、現在の時刻を示す時刻情報を、時計等から取得して、状況情報に付加して送信するようにしても良い。状況情報送信部１１０７が送信するデータの単位やデータ構造等は問わない。状況情報送信部１１０７は、無線または有線の通信手段等により実現される。
【００５０】
アップデート情報受信部１１０８は、製造装置１１をアップデートするための情報であるアップデート情報を受け付ける。アップデート情報は、具体的には、製造装置１１の処理を行うソフトウェア等を、アップデートするためのプログラムや、いわゆるパッチや、製造装置１１が処理を行う際に参照する設定情報や、パラメータ等の情報をアップデートするためのプログラムである。アップデート情報のデータ構造等は問わない。アップデート情報受信部１１０８は、受信したアップデート情報を図示しないハードディスク等の記憶媒体に蓄積するようにしてもよい。アップデート情報受信部１１０８は、無線または有線の通信手段等により実現される。
【００５１】
アップデート実行部１１０９は、アップデート情報受信部１１０８が受信したアップデート情報を用いて、製造装置１１のアップデートを行う。アップデート情報がアップデート情報受信部１１０８等により記憶媒体等に蓄積されている場合、このアップデート情報を読み出して、アップデートを行う。例えば、アップデート情報に対応した製造装置１１内のプログラムや、設定情報や、パラメータ等の情報をアップデートする。アップデート実行部１１０９がアップデートを行うトリガー等は問わない。アップデート情報受信部１１０８がアップデート情報を受信した時点で、行っても良いし、製造装置１１を、次回に起動した際に、アップデートを行うようにしても良い。なお、アップデート情報を用いて、プログラム等のアップデートを行う構成は、公知技術であるので、ここでは詳細な説明は、省略する。アップデート実行部１１０９は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。アップデート実行部１１０９の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５２】
製造装置状況情報蓄積部１１１０は、状況情報取得部１１０４が取得した１以上の状況情報を、後述する製造装置状況情報格納部１１１１に蓄積する。製造装置状況情報蓄積部１１１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。製造装置状況情報蓄積部１１１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５３】
製造装置状況情報格納部１１１１には、状況情報取得部１１０４が取得した１以上の状況情報が格納される。製造装置状況情報格納部１１１１は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００５４】
製造装置命令情報受信部１１１２は、サーバ装置１２から送信される製造装置命令情報を受信する。製造装置命令情報については、後述する。製造装置命令情報受信部１１１２は、無線または有線の通信手段等により実現される。  
【００５５】
図４は、本実施の形態における群管理システムのサーバ装置のブロック図である。
【００５６】
サーバ装置１２は、サーバ側受信部１２０１、蓄積部１２０２、状況情報格納部１２０３、条件情報格納部１２０４、異常検出部１２０５、異常通知情報構成部１２０６、装置別送信先情報格納部１２０７、サーバ側送信部１２０８、命令情報受信部１２０９、命令実行部１２１０、送信用状況情報取得部１２１１、送信用状況情報送信部１２１２、製造装置送信先情報格納部１２１３、アップデート指示受信部１２１４、アップデート情報送信部１２１５、サーバアップデート情報受信部１２１６、サーバアップデート実行部１２１７、および製造装置命令情報送信部１２１８を具備する。
【００５７】
サーバ側受信部１２０１は、１以上の製造装置１１から、状況情報を受信する。また、状況情報に対応付けられた装置識別情報等も受信するようにしてもよい。サーバ側受信部１２０１は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５８】
蓄積部１２０２は、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報と、当該状況情報に対応した装置識別情報とを対応付けて後述する状況情報格納部１２０３に蓄積する。状況情報に対応した装置識別情報は、ここでは、例として、サーバ側受信部１２０１が受信した、状況情報に対応付けられた装置識別情報である。なお、状況情報に対応付けられた装置識別情報が、製造装置１１から送信されてこない場合においては、例えば、状況情報等と共に送信されるネットワーク上のアドレス情報や、状況情報が入力される入力端子等から、状況情報の送信元となる製造装置１１を特定して、その製造装置１１に対応した装置識別情報を、蓄積部１２０２が、状況情報に対応付けて状況情報格納部１２０３に蓄積するようにしても良い。状況情報と、これに対応した装置識別情報とは、例えば、同一のレコードの２つの属性として管理される。蓄積部１２０２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。蓄積部１２０２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５９】
状況情報格納部１２０３には、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報と、当該状況状に対応した装置識別情報とが格納される。状況情報格納部１２０３は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。
【００６０】
条件情報格納部１２０４は、異常検出の条件に関する情報である条件情報を格納している。条件情報は、例えば、測定値の正常範囲を示す上限値と下限値である。条件情報は、例えば、正常値と異常値との間の境界値のみでも良い。その他、条件情報は、測定の対象のデータタイプ（温度、圧力、ガス流量、電力量など）や実行するレシピ等によって、異なる。また、条件情報の構造は問わない。条件情報格納部１２０４は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００６１】
異常検出部１２０５は、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、１以上の製造装置１１についての異常の発生を検出する。具体的には、異常検出部１２０５は、条件情報格納部１２０４から条件情報を取得し、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報の一部が、条件情報に合致するか否かを判断することにより、異常の判断を行う。状況情報の一部とは、例えば、製造装置１１内の温度や圧力、ガス流量、供給電力等の、測定情報である。例えば、異常検出部１２０５は、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報の一部である予め指定された測定情報が、実行中のレシピや処理ステップに応じて条件情報格納部１２０４から取得した条件情報に合致するか否かを判断する。そして、条件情報が、異常が発生していることを示す条件情報であるとすると、予め指定された測定情報がこの条件情報に合致している場合、この状況情報に対応した製造装置１１に異常が発生したことを検出する。具体的には、異常な値を示した状況情報に対応付けられた装置識別情報に対応した製造装置１１に異常が発生したことを検出することとなる。この異常を検出するために用いる状況情報、すなわち測定情報は、製造装置１１内の温度や圧力、ガス流量、供給電力等、どのような対象についての測定情報であっても良い。また、判断の対象となる測定情報は、複数であっても良い。また、異常を検出するために用いる状況情報は、測定情報に限らず、ログ等の装置の利用状況に関する情報であっても良い。異常検出部１２０５は、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報を直接取得して、上述したような異常検出の処理を行うようにしても良いし、状況情報格納部１２０３に格納されている状況情報に対して上述したような異常検出の処理を行うようにしても良い。異常検出部１２０５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。異常検出部１２０５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。なお、異常検出部１２０５における異常検出処理は、公知の異常検出の処理でも良い。
【００６２】
異常通知情報構成部１２０６は、異常検出部１２０５が１以上の製造装置１１のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、異常が発生した１以上の製造装置１１に対応した１以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する。具体的には、異常通知情報構成部１２０６は、異常検出部１２０５が異常を検出した状況情報に対応付けられた装置識別情報を、サーバ側受信部１２０１または状況情報格納部１２０３から取得し、取得した装置識別情報を含んだ異常通知情報を構成する。異常通知情報構成部１２０６は、異常検出部１２０１が、同時に、もしくは一定または不定の所定の期間内に、複数の製造装置１１についての異常を検出した場合、異常を検出した複数の製造装置１１についての装置識別情報を含む１つの異常通知情報を構成することが好適である。このようにすることで、後述するように、この異常通知情報に対して返信メール等で、命令情報を送信した場合に、異常が検出された複数の製造装置１１に関する命令を、一度に実行可能となり、ユーザが命令情報を各製造装置に送信する手間が省け、処理の迅速化が図れるからである。このような構成とするためには、例えば、上述した異常検出部１２０５が１つの製造装置１１についての異常を検出してから、予め設定された所定の期間内に、他の製造装置１１に異常が新たに検出された場合、この新たに異常が検出された製造装置１１についての装置識別情報も含む異常通知情報を構成するようにすればよい。また送信先が同じとなるものが一つの異常通知情報となるように、異常を検出した複数の製造装置についての異常通知情報を構成してもよい。例えば、後述する装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報を用いて、異常を検出した複数の製造装置の装置識別情報に対応した送信先の情報を取得し、この送信先の情報が一致する１以上の製造装置の装置識別情報を含む異常通知情報を、送信先別にそれぞれ構成するようにしても良い。なお、同時に、もしくは所定の期間内に複数の製造装置１１についての異常が検出された場合に、各製造装置１１についての異常通知情報を個別に作成するようにしても良い。異常通知情報は、装置識別情報が最終的にクライアント装置１３等において表示されるように装置識別情報を含むことが好ましい。異常の発生した装置をユーザに知らせることが可能となるからである。ただし、装置識別情報を、非表示となる部分に含ませるようにしても良い。例えば、異常通知情報が電子メールとして送信される場合、通常は非表示となるヘッダ部分等に、装置識別情報を配置してもよい。異常通知情報構成部１２０６が構成する異常通知情報は、例えば、装置識別情報が、「装置ＡＢＣ」であったとすると、「装置ＡＢＣに異常が発生しました。」というテキスト情報や異常の発生を示す画像情報等である。ただし、異常通知情報に含まれる装置識別情報は、装置識別情報として認識、例えば検索、できる状態で異常通知情報に含まれるようにする。なお、装置識別情報は、製造装置１１との対応関係が保たれていれば、部分的に変更が加えられたり、置換されたりしてもよい。例えば製造装置１１ｂに対応する「Ｅ２」という装置識別情報を、予めメモリ等に用意された変換テーブル等を用いて、製造装置１１ｂの名称である「ＣＶＤ装置１号」等に変換しても良い。なお、本実施の形態においては、このような場合においても、同じ装置識別情報として取り扱うものとする。異常通知情報構成部１２０６は、例えば、予め用意されたテンプレート等の、装置識別情報を配置する位置に、装置識別情報を配置することで、異常通知情報を構成する。具体的には、「＜装置識別情報＞に異常が発生しました。」というテキスト情報を有する異常通知情報のテンプレートを用意しておき、このテンプレートの「＜装置識別情報＞」という文字列を、異常が検出された製造装置の装置識別情報である「装置ＡＢＣ」という文字列で置き換えることで、「装置ＡＢＣに異常が発生しました。」という異常通知情報を構成する。また、予め、「装置に異常が発生しました。」等の異常を通知する文章や画像等を有するテンプレートを用意しておき、この文章や画像等のタイトルに、装置識別情報を配置するようにしても良い。異常通知情報構成部１２０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。異常通知情報構成部１２０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００６３】
装置別送信先情報格納部１２０７には、装置識別情報と、当該装置識別情報に対応したクライアント装置１３の送信先の情報である送信先情報と、を有する情報である装置別送信先情報が格納されている。送信先情報とは、送信先を指定可能な情報であり、例えば、送信先となるクライアント装置１３のネットワーク上のアドレス情報や、クライアント装置１３のメールアドレス等である。装置別送信先情報は、例えば、装置識別情報と、これに対応する送信先情報とを各レコードに有する情報である。装置別送信先情報においては、装置識別情報と送信先情報との対応関係は、１対１であってもよいし、１対多であっても良い。装置別送信先情報格納部１２０７は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００６４】
サーバ側送信部１２０８は、異常通知情報を所定のクライアント装置１３に送信する。所定のクライアント装置１３は、全てのクライアント装置１３であっても良いし、一部のクライアント装置１３であっても良い。送信先を指定する送信先情報を、例えば図示しないハードディスク等の記憶媒体に予め蓄積しておくようにし、サーバ側送信部１２０８が送信時にこの送信先情報を読み出して、この送信先情報が示す送信先に、異常通知情報構成部１２０６から取得した異常通知情報を送信する。ここでは特に、サーバ側送信部１２０８は、装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報に応じて、異常が発生した製造装置１１の装置識別情報に対応した送信先情報を取得し、当該取得した送信先情報を用いて、この送信先情報が示す送信先に、異常通知情報を送信する。例えば、サーバ側送信部１２０８は、異常検出部１２０５が異常を検出した状況情報に対応付けられた装置識別情報を、サーバ側受信部１２０１、状況情報格納部１２０３、または異常通知情報構成部１２０６等から取得する。そして、この取得した装置識別情報に一致する装置識別情報を、装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報内で検索し、一致する装置識別情報に対応付けられた１以上の送信先情報を、装置別送信先情報から取得する。この一致は完全一致であっても部分一致であっても良い。そして、この送信先情報が示す送信先であるクライアント装置１３に異常通知情報を送信する。なお、一つの異常通知情報内に複数の装置識別情報を含む場合、それぞれの装置識別情報に対応した送信先情報が示す全ての送信先に、異常通知情報を送信しても良いし、全ての装置識別情報に対応した送信先情報が示す送信先のうちの、共通する送信先のみに異常通知情報を送信しても良い。サーバ側送信部１２０８は、異常通知情報を、電子メールを用いて送信するようにしてもよい。この場合、異常通知情報が本文である電子メールを送信してもよいし、異常通知情報を添付ファイルとした電子メールを送付しても良い。また、電子メールは、ＨＴＭＬメール等のリッチテキストメールでも、テキストメールでも良い。サーバ側送信部１２０８は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。また、サーバ側送信部１２０８は、送信先を取得する処理を行うために、ＭＰＵやメモリ等を有していても良い。この送信先を取得する処理の手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。
【００６５】
命令情報受信部１２０９は、クライアント装置１３から送信される命令情報を受信する。例えば、この命令情報は、クライアント装置１３から、電子メールを用いて送信された情報である。命令情報は、異常が発生した製造装置１１に関して実行させる命令と、上述した異常通知情報が有する装置識別情報と、を含む情報である。具体的には、この命令情報に含まれる命令は、当該命令情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置１１に関して実行させる命令である。ただし、命令情報に含まれる命令自体には、製造装置１１を指定する情報が含まれていなくて良い。製造装置１１に関して実行させる命令、とは、サーバ装置１２に製造装置１１に対して行う処理を指示する命令であっても良いし、状況情報格納部１２０３等に格納されている情報のうちの、製造装置１１に対応した情報等について、サーバ装置１２に所定の処理を行わせるための命令であっても良い。例えば、サーバ装置１２に、製造装置１１の状況情報のうちの所望の状況情報を出力させるための命令である。また、命令情報の含む命令は、装置識別情報に対応する製造装置１１をアップデートさせる命令であってもよい。また、命令情報の含む命令は、装置識別情報に対応する製造装置１１に、所定の処理を実行させる命令でもよい。具体的には、製造装置１１に、当該製造装置１１が蓄積している状況情報のうちの所望の状況情報を出力させる命令であってもよいし、製造装置１１を停止させたり、リセットしたりする命令であっても良い。また、命令情報内に、明示的な命令、例えばコマンド等、が含まれていなくてもよい。例えば、装置識別情報を含む命令情報を受信した場合に、命令情報受信部１２０９が、この装置識別情報に対応した製造装置についての所望の状況情報を取得する命令を含む命令情報を受け付けたこととしてもよい。命令情報受信部１２０９は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００６６】
命令実行部１２１０は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報に含まれる命令を実行する。命令実行部１２１０は、具体的には、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報に含まれる装置識別情報を用いて、この命令情報に含まれる命令を実行する。本実施の形態においては特に、命令実行部１２１０は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報が、サーバ装置１２が実行すべき命令を含む場合、その命令情報に含まれる命令を実行する。具体的には、命令実行部１２１０は、命令情報に含まれる命令を実行し、命令に応じた指示等を出力して他の処理部等を制御する。この命令は、例えば、上述したように、命令情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置１１に関して実行される命令である。例えば、命令実行部１２１０が命令を実行することで、後述する送信用状況情報送信部１２１２等に指示を出して、装置識別情報に対応した状況情報を、例えば装置識別情報を検索のキーとして用いて、取得させる。また、命令実行部１２１０は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報に含まれる命令が、例えば、異常の発生した製造装置１１に対して与えられる命令である場合、受信した命令情報に応じた命令情報である製造装置命令情報を構成して、この製造装置命令情報を、異常の発生した製造装置１１に対して送信させる。具体的には、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報に含まれる命令に対応した製造装置命令情報を構成する。そして命令情報受信部１２０９が受信した命令情報に含まれる装置識別情報を検索キーとして用いて、異常の発生した製造装置１１の送信先の情報、例えば、ＩＰアドレスやメールアドレス等を、予め用意された装置識別情報と製造装置１１の送信先の情報との対応関係を示すテーブル等、ここでは、具体的には後述する製造装置送信先情報格納部１２１３が格納している製造装置送信先情報から取得して、この送信先に対して、構成した製造装置命令情報を送信する指示を、後述する製造装置情報送信部１２１８に与える。製造装置命令情報が含む命令は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報が含む命令に対応した命令であって、製造装置１１が実行可能な命令であればよく、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報が含む命令と全く同じものであってもよいし、この受信した命令情報が含む命令を、製造装置１１用の命令に変換した命令であってもよい。また、製造装置命令情報は、このような命令を含む情報であれば、どのような情報であっても良く、データ構造等は問わない。製造装置命令情報は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報の送信元であるクライアント装置のＩＰアドレスやメールアドレス等の、送信先を指定するための情報を含んでも良い。異常の発生した製造装置１１の装置識別情報を含んでも良いし、含まなくても良い。また、製造装置命令情報は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報と同じものであっても良く、また、製造装置命令情報は、メールで送信可能な情報であっても良い。なお、命令情報内に、明示的な命令、例えばコマンド等、が含まれていない場合においては、例えば、予めメモリ等の記憶媒体等に記憶しておいた命令を、受け付けた命令情報に応じて読み出し、実行するようにしてもよい。例えば、命令情報受信部１２０９が、装置識別情報を含む命令情報を受信した場合に、この装置識別情報に対応した製造装置についての所望の状況情報を取得する命令を命令実行部１２１０がメモリ等から読み出して、命令情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置１１についての所望の状況情報を取得するよう、様々な指示を出力して他の処理部等を制御する。命令実行部１２１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。命令実行部１２１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００６７】
送信用状況情報取得部１２１１は、命令実行部１２１０の指示に応じて、命令情報に含まれる装置識別情報に対応付けられて状況情報格納部１２０３に格納されている状況情報の少なくとも一部を取得して、送信用の状況情報である送信用状況情報を構成する。送信用状況情報取得部１２１１は、例えば、命令情報に含まれる装置識別情報に一致する装置識別情報を、状況情報格納部１２０３内で検索し、この一致した装置識別情報に対応した装置識別情報の少なくとも一部を取得する。状況情報の少なくとも一部とは、例えば、上述したデータタイプの異なる複数の状況情報のうちの一つ以上である。具体的には、状況情報のうちの、例えばログのみであっても良いし、温度の測定情報のみであっても良いし、温度の測定情報と、ガス流量の測定情報と、ログ等の組み合わせ等であっても良い。また、状況情報の全てであっても良い。また、状況情報の少なくとも一部とは、これらの状況情報の、所定の時間帯内の情報でもよい。例えば、異常発生時から１時間前までの情報等、であっても良い。状況情報の少なくとも一部が、どのように設定されるかは問わない。例えば、このような状況情報の少なくとも一部を設定するための情報は、命令のパラメータ等として、命令情報の中に含まれていても良いし、図示しないメモリ等の記録媒体に予め蓄積されていても良い。送信用状況情報取得部１２１１は、命令実行部１２１０の指示に従って、この状況情報の少なくとも一部を設定するための情報に応じた状況情報を取得して、送信用状況情報を構成する。送信用状況情報取得部１２１１は、送信用状況情報内に、この送信用状況情報に対応した装置識別情報を含めるようにしてもよい。また、送信用状況情報取得部１２１１は、製造装置命令情報送信部１２１８が送信した製造装置命令情報に対応してサーバ側受信部１２０１が受信した、異常が検出された製造装置１１の所望の状況情報を取得して、送信用状況情報を構成しても良い。送信用状況情報取得部１２１１の構成する送信用状況情報のデータ構造やファイル形式等は問わない。例えば、送信用状況情報取得部１２１１は、テキスト形式や表計算ソフトウェア等で読み込み可能な形式や、データベース等で読み込み可能な、例えばＣＳＶ形式等、のファイル形式の送信用状況情報を構成しても良い。送信用状況情報取得部１２１１は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。送信用状況情報取得部１２１１の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００６８】
送信用状況情報送信部１２１２は、送信用状況情報取得部１２１１が構成した送信用状況情報を、命令情報の送信元のクライアント装置に送信する。命令情報の送信元のクライアント装置を送信先に設定するための情報、例えばアドレス情報等をどのように取得するかは問わない。例えば、送信用状況情報送信部１２１２は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報のヘッダに含まれる送信元のＩＰアドレス（例えばＦＲＯＭのＩＰアドレス）を取得し、このＩＰアドレスを送信先に指定して、送信用状況情報を送信することで、送信用状況情報を、命令情報の送信元のクライアント装置に送信する。また、命令情報が電子メールで送信されてきた場合、電子メールの送信元のメールアドレスを取得し、このメールアドレスに、送信用状況情報を電子メールで送信することで、送信用状況情報を、命令情報の送信元のクライアント装置に送信する。「電子メールで送信する」とは電子メールの本文に送信用状況情報を配置して、送信用状況情報を送信することでも良いし、電子メールにテキスト形式や、ＣＳＶ形式の送信用状況情報等を添付して、送信することでもよい。また、送信用状況情報送信部１２１２は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報に含まれる装置識別情報に対応した送信先を、上記サーバ側送信部１２０８と同様に、装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報を用いて取得しても良い。また、送信用状況情報取得部１２１１が構成した送信用状況情報が、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報を用いて、構成された製造装置命令情報に対応して製造装置１１から受信された状況情報を用いて、構成されたものである場合、この送信用状況情報に対応した命令情報の送信元となるクライアント装置１３を送信先に指定して、送信用状況情報を送信する。この命令情報の送信元となるクライアント装置１３の送信先の情報は、上記と同様に取得可能である。送信用状況情報送信部１２１２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。また、送信用状況情報送信部１２１２は、送信先を取得する処理を行うために、ＭＰＵやメモリ等を有していても良い。この送信先を取得する処理の手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。
【００６９】
製造装置送信先情報格納部１２１３には、装置識別情報と、当該装置識別情報に対応した製造装置１１の送信先の情報である送信先装置情報と、を有する情報である製造装置送信先情報が格納されている。送信先装置情報とは、例えば、送信先となる製造装置１１のネットワーク上のアドレス情報や、製造装置１１のメールアドレス等である。製造装置送信先情報は、例えば、装置識別情報と、これに対応する送信先装置情報とを同一レコードに有する情報である。製造装置送信先情報においては、装置識別情報と送信先装置情報との対応関係は、１対１であってもよいし、１対他であっても良い。製造装置送信先情報格納部１２１３は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００７０】
アップデート指示受信部１２１４は、クライアント装置１３から送信されるアップデート指示情報を受信する。例えば、このアップデート指示情報は、クライアント装置１３から、電子メールを用いて送信されたアップデート指示情報である。アップデート指示情報は、上述した異常通知情報が有する装置識別情報と、アップデート情報とを含む情報である。アップデート情報とは、例えばアップデートに用いられるプログラムや、設定情報等を書き換えるスクリプトや、追加、あるいは置換されるファイル等である。具体的には、このアップデート指示情報に含まれるアップデート情報は、当該アップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置１１に送信されるアップデート情報である。アップデート指示受信部１２１４は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００７１】
アップデート情報送信部１２１５は、アップデート指示受信部１２１４が受信したアップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置１１に、アップデート指示情報に含まれるアップデート情報を送信する。アップデート情報送信部１２１５は、例えば、命令情報に、装置識別情報に対応した製造装置１１の送信先を指定する情報、例えば製造装置１１のアドレス情報やメールアドレス等が含まれる場合、この送信先を指定する情報を用いて、アップデート情報を送信する。なお、本実施の形態においては、製造装置送信先情報格納部１２１３に格納されている製造装置送信先情報を用いて、装置識別情報に対応した製造装置１１にアップデート情報を送信する場合について説明する。具体的には、製造装置送信先情報から、アップデート指示情報に含まれる装置識別情報と一致する装置識別情報を検索し、一致する装置識別情報に対応した製造装置１１の送信先を指定する情報を取得して、この送信先を指定する情報を用いて、アップデート情報を送信する。アップデート情報送信部１２１５は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００７２】
サーバアップデート情報受信部１２１６は、クライアント装置１３から送信される、サーバ装置１２にアップデートを実行させるためのサーバアップデート情報を受信する。サーバアップデート情報は、サーバ装置１２のアップデートに用いられるプログラムや、パッチや、設定情報等を書き換えるスクリプト等である。サーバアップデート情報には、サーバアップデート情報の他に、サーバ装置１２をアップデートさせるために用いられる命令、例えばサーバアップデート情報を実行させる命令や、サーバアップデート情報を所望の場所に蓄積させるための命令等が含まれていても良い。また、サーバ装置１２を指定する情報を含んでも含まなくても良い。サーバアップデート情報受信部１２１６は受信したサーバアップデート情報を図示しないメモリ等に蓄積しても良い。サーバアップデート情報受信部１２１６は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００７３】
サーバアップデート実行部１２１７は、サーバアップデート情報受信部１２１６が受信したサーバアップデート情報を実行する。サーバアップデート実行部１２１７がサーバアップデート情報を実行することで、サーバ装置１２がアップデートされる。サーバアップデート実行部１２１７がサーバ装置１２をアップデートさせるタイミングやトリガー等は問わない。例えば、サーバ装置１２の再起動時に、サーバアップデート実行部１２１７が、サーバアップデート情報受信部１２１６が受信してメモリ等に蓄積したサーバアップデート指示情報に含まれるサーバアップデート情報を、認識して、このサーバアップデート情報を実行して、サーバ装置１２をアップデートしても良い。サーバアップデート実行部１２１７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。サーバアップデート実行部１２１７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００７４】
製造装置命令情報送信部１２１８は、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報を用いて命令実行部１２１０により構成された製造装置命令情報を、命令実行部１２１０から入力された、異常の発生した製造装置１１の送信先の情報を用いて、異常の発生した製造装置１１に送信する。製造装置命令情報送信部１２１８は、複数の製造装置１１の送信先の情報を受け付けた場合、この複数の送信先に対して、製造装置命令情報を送信する。命令情報送信部１２１８は、有線または無線の通信手段等により実現される。  
【００７５】
図５は、本実施の形態における群管理システムのクライアント装置のブロック図である。なお、ここでは、説明の便宜上、クライアント装置１３が一つの場合を例に挙げて示している。
【００７６】
クライアント装置１３は、クライアント側受信部１３０１、出力部１３０２、命令受付部１３０３、命令情報構成部１３０４、命令情報送信部１３０５、状況情報受信部１３０６、状況情報出力部１３０７、アップデート情報受付部１３０８、アップデート指示情報構成部１３０９、アップデート指示情報送信部１３１０、サーバアップデート情報受付部１３１１、およびサーバアップデート情報送信部１３１２を具備する。
【００７７】
クライアント側受信部１３０１は、サーバ装置１２から送信される異常通知情報を受信する。例えば、クライアント側受信部１３０１は、電子メールを用いて送信される異常通知情報を受信する。ここで述べる電子メールにはいわゆるＷＥＢメールも含む。クライアント側受信部１３０１は、クライアント側受信部１３０１は、有線または無線の通信手段等により実現される。また、異常通知情報が電子メールを用いて送信される場合、電子メールのソフトウェア等や、これを実行するＭＰＵやメモリ等を含んでも良い。
【００７８】
出力部１３０２は、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報を出力する。ここで述べる出力とは、ディスプレイへの表示、外部の装置への送信、記憶媒体等への蓄積等を含む概念である。例えば、一旦、ハードディスク等の記憶媒体等へ異常通知情報を蓄積し、さらに何らかの指示やトリガーに応じて、この蓄積した異常通知情報をディスプレイ等に表示するようにしても良い。出力部１３０２は、ディスプレイ等の出力デバイス等を含むと考えても含まないと考えても良い。出力部１３０２は、出力デバイスのドライバソフトまたは、出力デバイスのドライバソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００７９】
命令受付部１３０３は、異常が発生した製造装置１１に関して実行させる命令を受け付ける。異常が発生した製造装置に関して実行させる命令は、サーバ装置１２に対して実行させる命令であってもよいし、製造装置１１に関して実行させる命令であっても良い。具体例としては、上述したような、製造装置１１の状況情報のうちの１以上の状況情報を、サーバ装置１２に出力させるための命令である。また、製造装置１１をアップデートさせる命令であっても良いし、製造装置１１に状況情報のうちの１以上を出力させる命令であっても良い。ただし、命令受付部１３０３が受け付ける命令は、ここでは、製造装置１１のいずれかを指定する情報、具体的には、上述したような装置識別情報等は含まない情報でよい。また、この命令は、動作を明示的に指定する命令には限らない。例えば、サーバ装置１２に対して、異常通知情報の返信メールを送信することが、なんらかの所望の処理の実行を指示するようにしてもよく、この場合、返信メール自体が、所望の処理の命令となる。ここで述べる受付とは、例えば、入力手段からの受付や、他の機器等から送信される入力信号の受信や、記録媒体等からの情報の読み出し等である。命令受付部１３０３の受け付ける命令の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。命令受付部１３０３は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００８０】
命令情報構成部１３０４は、命令受付部１３０３が受け付けた命令と、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報が有する１以上の装置識別情報と、を含む情報である命令情報を構成する。具体的には、命令情報構成部１３０４は、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報から、装置識別情報を取得する。また、命令受付部１３０３が受け付けた命令を取得する。そして、これらの取得した命令と装置識別情報とを含む命令情報を構成する。例えば、異常通知情報の送信および受信、ならびに命令情報の送信および受信が、電子メールを用いて行われる場合、命令情報構成部１３０４は、異常通知情報の送信元であるサーバ装置１２を送信先に指定した、異常通知情報に対応した返信メールに、命令受付部１３０３が受け付けた命令を付加した命令情報を構成する。返信メールには、元となるメールである異常通知情報に含まれる１以上の装置識別情報が含まれるため、このようにすることで、命令と１以上の異常通知情報とを有する命令情報が構成される。命令情報構成部１３０４が、命令情報を構成するタイミングやトリガー等は問わない。例えば、命令情報を構成する指示を受け付けた場合に命令情報を構成するようにしてもよいし、上述したように、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報に対して、返信メールを作成する指示を受け付けたことをトリガーとして、命令情報を構成しても良い。命令情報構成部１３０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。サーバアップデート実行部１２１７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００８１】
命令情報送信部１３０５は、命令情報を、サーバ装置１２に送信する。命令情報送信部１３０５が、どのように送信先であるサーバ装置１２の情報を取得するかは問わない。例えば、予め、図示しないメモリ等に蓄積されているサーバ装置１２のＩＰアドレスやメールアドレス等のアドレス情報を、命令情報送信部１３０５が読み出し、このアドレス情報を送信先として、命令情報を送信しても良い。また、命令情報送信部１３０５は、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報のヘッダに含まれる送信元のＩＰアドレス（例えばＦＲＯＭのＩＰアドレス）を取得し、このＩＰアドレスを送信先に指定して、命令情報を送信することで、命令情報を、異常通知情報の送信元のサーバ装置１２に送信しても良い。また、異常通知情報が電子メールで送信されてきた場合、電子メールの送信元のメールアドレスを取得し、このメールアドレスに、命令情報を電子メールで送信することで、命令情報を、異常通知情報の送信元のサーバ装置１２に送信しても良い。命令情報送信部１３０５は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００８２】
状況情報受信部１３０６は、サーバ装置１２から送信される送信用状況情報を受信する。例えば、状況情報受信部１３０６は、電子メールで送信される製造装置１１のログや測定情報等の状況情報を含む送信用状況情報を受信する。状況情報受信部１３０６は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００８３】
状況情報出力部１３０７は、状況情報受信部１３０６が受信した送信用状況情報を出力する。ここで述べる出力とは、ディスプレイへの表示、外部の装置への送信、記憶媒体等への蓄積等を含む概念である。例えば、一旦、ハードディスク等の記憶媒体等へ送信用状況情報を蓄積し、さらに何らかの指示やトリガーに応じて、この蓄積した送信用状況情報をディスプレイ等に表示するようにしても良い。状況情報出力部１３０７は、ディスプレイ等の出力デバイス等を含むと考えても含まないと考えても良い。状況情報出力部１３０７は、出力デバイスのドライバソフトまたは、出力デバイスのドライバソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００８４】
アップデート情報受付部１３０８は、所望の製造装置１１をアップデートさせるための情報であるアップデート情報を受け付ける。アップデート情報は、所望の製造装置１１をアップデートさせるための情報、例えばアップデートに用いられるプログラムや、パッチや、設定情報等を書き換えるスクリプトや、追加したり置換したりするファイル等である。アップデート情報受付部１３０８は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００８５】
アップデート指示情報構成部１３０９は、アップデート情報受付部１３０８が受け付けたアップデート情報と、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報に含まれる装置識別情報と含むアップデート指示情報を構成する。例えば、後述するアップデート指示情報の送信が、電子メールを用いて行われる場合、アップデート指示情報構成部１３０９は、異常通知情報の送信元であるサーバ装置を送信先に指定した、異常通知情報に対応した、当該異常通知情報に含まれる装置識別情報を有する返信メールに、前記アップデート情報を添付したアップデート指示情報を構成する。具体的には、異常通知情報を有する電子メールについての返信メールを作成すると、通常、送信元のメールアドレスを、返信先のメールアドレスに指定し、送信元の電子メールである異常通知情報の電子メールの内容やタイトル、ヘッダ情報等を引用した電子メールが作成される。このため、異常通知情報に含まれる装置識別情報は、返信メールに含まれることとなる。このため、この返信メールに、アップデート情報を添付することで、装置識別情報とアップデート情報とを有アップデート指示情報が構成される。アップデート指示情報構成部１３０９は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。アップデート指示情報構成部１３０９の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００８６】
アップデート指示情報送信部１３１０は、アップデート指示情報構成部１３０９が構成したアップデート指示情報を、サーバ装置１２に送信する。アップデート指示情報送信部１３１０が、どのように送信先であるサーバ装置１２の情報を取得するかは問わない。例えば、予め、図示しないメモリ等に蓄積されているサーバ装置１２のＩＰアドレスやメールアドレス等のアドレス情報を、アップデート指示情報送信部１３１０が読み出し、このアドレス情報を送信先として、アップデート指示情報を送信しても良い。また、アップデート指示情報送信部１３１０は、クライアント側受信部１３０１が受信した異常通知情報のヘッダに含まれる送信元のＩＰアドレス（例えばＦＲＯＭのＩＰアドレス）を取得し、このＩＰアドレスを送信先に指定して、命令情報を送信することで、命令情報を、異常通知情報の送信元のサーバ装置１２に送信しても良い。また、異常通知情報が電子メールで送信されてきた場合、電子メールの送信元のメールアドレスを取得し、このメールアドレスに、命令情報を電子メールで送信することで、命令情報を、異常通知情報の送信元のサーバ装置１２に送信しても良い。例えば、アップデート指示情報構成部１３０９が、上述したような異常通知情報を含む電子メールの返信メールにアップデート情報を添付したアップデート指示情報を構成した場合、この返信メールの送信先のメールアドレスが、サーバ装置１２の送信先となるため、この返信メールを送信することで、アップデート指示情報をサーバ装置１２に送信することができる。アップデート指示情報送信部１３１０は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００８７】
サーバアップデート情報受付部１３１１は、サーバ装置１２にアップデートを実行させるためのサーバアップデート情報を受け付ける。サーバアップデート情報は、サーバ装置１２をアップデートさせるための情報、例えばアップデートに用いられるプログラムや、設定情報等を書き換えるスクリプト、追加したり置換したりするファイル等である。サーバアップデート情報受付部１３１１は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００８８】
サーバアップデート情報送信部１３１２は、サーバアップデート情報受付部１３１１が受け付けたサーバアップデート情報を、サーバ装置１２に送信する。サーバアップデート情報送信部１３１２が、どのように送信先であるサーバ装置１２の情報を取得するかは問わない。例えば、上述したアップデート指示情報送信部１３１０と同様にしてサーバ装置１２のアドレス情報等を取得する。また、サーバアップデート情報送信部１３１２は、サーバアップデート情報を、どのように、サーバ装置１２に送信しても良い。例えば、電子メールに添付してサーバ装置１２にサーバアップデート情報を送信してもよい。また、サーバ装置１２から送信された異常通知情報を含む電子メールの返信メールに、サーバアップデート情報を添付して、送信するようにしても良い。サーバアップデート情報送信部１３１２は、有線または無線の通信手段等により実現される。
【００８９】
次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置１１の動作について図６のフローチャートを用いて説明する。
【００９０】
（ステップＳ６０１）処理部１１０５は、所定のレシピに基づいたプロセスを実行するか否かを判断する。例えば、所定のレシピによる処理の実行を指示する指示を、入力受付部１１０１等が受け付けた場合に、プロセスを実行することを判断する。実行する場合、ステップＳ６０２に進み、実行しない場合、ステップＳ６０７に進む
【００９１】
（ステップＳ６０２）処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２の所定のレシピを読み出す。
【００９２】
（ステップＳ６０３）処理部１１０５は、カウンタｉに１を代入する。
【００９３】
（ステップＳ６０４）処理部１１０５は、ステップＳ６０２で読み込んだレシピ中に、ｉ番目の処理ステップが存在するか否かを判断する。ｉ番目のレシピステップが存在すればステップＳ６０５に行き、ｉ番目のレシピステップが存在しなければステップＳ６０１に戻る。
【００９４】
（ステップＳ６０５）処理部１１０５は、ｉ番目の処理ステップの処理を実行する。
【００９５】
（ステップＳ６０６）処理部１１０５は、カウンタｉの値を１インクリメントする。そして、ステップＳ６０４に戻る。
【００９６】
（ステップＳ６０７）アップデート情報受信部１１０８は、アップデート情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ６０８に進み、受信していない場合、ステップＳ６０１に戻る。
【００９７】
（ステップＳ６０８）アップデート実行部１１０９は、製造装置１１のアップデートを実行する。なおアップデートの実行については、公知技術であるので、説明は省略する。また、製造装置１１の再起動時にアップデート情報を実行させる場合等においては、このステップにおいて、アップデートを実行しなくても良い。そして、ステップＳ６０１に戻る。
【００９８】
（ステップＳ６０９）製造装置命令情報受信部１１１２は、製造装置命令情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ６１０に進み、受信していない場合、ステップＳ６０１に戻る。
【００９９】
（ステップＳ６１０）処理部１１０５は、製造装置命令情報に含まれる命令を実行する。例えば、製造装置命令情報に含まれる命令が、製造装置状況情報格納部１１１に格納されている状況情報のうちの、所望の状況情報（例えばログ）を送信する命令である場合、処理部１１０５は、所望の状況情報を、製造装置状況情報格納部１１１から取得し、状況情報送信部１１０７からサーバ装置１２に送信させる。そして、ステップＳ６０１に戻る。
【０１００】
なお、ここでは、上記のフローチャートにおいては示していないが、測定部１１０６による温度やガス流量等の測定情報の取得は、タイマー割り込み等により、所定の間隔で行われるものとする。そして、測定部１１０６により測定時刻の情報を有する測定情報が取得されるごとに、状況情報取得部１１０４が順次、測定部１１０６から測定情報を取得し、取得した時刻情報を付加して状況情報を得る。そして、この状況情報に、装置識別情報格納部１１０３に格納されている装置識別情報を対応付けて、状況情報送信部１１０７からサーバ装置１２に送信する。ただし、時刻情報は、測定部１１０６が付加するようにし、この時刻情報が付加された測定情報を、状況情報として、状況情報取得部１１０４が取得するようにしても良い。また、状況情報取得部１１０４が取得した状況情報を、製造装置状況情報蓄積部１１１０が、製造装置状況情報格納部１１１に蓄積する。なお、状況情報送信部１１０７は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【０１０１】
また、上記のフローチャートにおいて、処理部１１０５が例えばステップＳ６０１や、ステップＳ６０４の処理等の実行を開始した直後や、実行を終了した直後等に、処理部１１０５が、処理部１１０５が行った処理に関する情報、例えば処理名等の処理を識別する識別情報や、実行を開始したレシピ名、等の製造装置１１の利用状況に関する情報を、その情報を取得した時刻の情報とともに、状況情報取得部１１０４に出力するようにする。そして、状況情報取得部１１０４が、この処理部１１０５が出力する情報を、状況情報として随時取得するようにしても良い。なお、時刻情報は、状況情報取得部１１０４が付加するようにしてもよい。そして、この状況情報に、装置識別情報格納部１１０３に格納されている装置識別情報を対応付けて、状況情報送信部１１０７からサーバ装置１２に送信する。
【０１０２】
なお、図６のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０１０３】
次に、サーバ装置１２の動作について図７のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、予め設定された所望の状況情報について異常検出を行う場合について説明する。また、ここでは、命令情報受信部１２０９の受信した命令が、送信用状況情報をクライアント装置１３に送信させる処理を実行する命令である場合を例に挙げて説明する。
【０１０４】
（ステップＳ７０１）サーバ側受信部１２０１は、製造装置１１から送信された状況情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ７０２へ進み、受信していない場合、ステップＳ７０８に進む。
【０１０５】
（ステップＳ７０２）蓄積部１２０２は、ステップＳ７０１で受信した状況情報と、当該状況情報に対応付けられた装置識別情報とを、状況情報格納部１２０３に格納する。例えばここでは、装置識別情報は状況情報とともに送信されてくるものとする。
【０１０６】
（ステップＳ７０３）異常検出部１２０５は、ステップＳ７０１で受信した状況情報が、異常検出の対象となる所定の状況情報であるか否かを判断する。例えば状況情報に上述したデータタイプの情報を付加するようにし、状況情報のデータタイプの情報が、予め設定された所定のデータタイプであるか否かを判定することで、所定の状況情報であるか否かを判断することが可能である。所定の状況情報である場合、ステップＳ７０４に進み、所定の状況情報でない場合、ステップＳ７０１に戻る。
【０１０７】
（ステップＳ７０４）異常検出部１２０５は、ステップＳ７０１で受信した状況情報に対して条件情報格納部１２０４に格納されている条件情報を用いて、異常検出を行い、異常を検出したか否かを判断する。異常を検出した場合、ステップＳ７０５に進み、検出しなかった場合、ステップＳ７０１に戻る。
【０１０８】
（ステップＳ７０５）異常通知情報構成部１２０６は、ステップＳ７０４において異常を検出した状況情報に対応付けられた装置識別情報を取得し、この装置識別情報を用いて異常通知情報を構成する。
【０１０９】
（ステップＳ７０６）サーバ側送信部１２０８は、ステップＳ７０４において異常が検出された状況情報に対応付けられた装置識別情報を取得し、この装置識別情報を用いて、装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報から、異常が検出された製造装置１１に対応した１以上のクライアント装置１３の送信先情報を取得する。
【０１１０】
（ステップＳ７０７）サーバ側送信部１２０８は、ステップＳ７０６において得られた送信先情報を用いて、異常が検出された製造装置１１に対応したクライアント装置１３にステップＳ７０５において構成した異常通知情報を送信する。そして、ステップＳ７０１に戻る。
【０１１１】
（ステップＳ７０８）命令情報受信部１２０９は、命令情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ７０９に進み、受信していない場合、ステップＳ７１１に進む。
【０１１２】
（ステップＳ７０９）命令実行部１２１０は、ステップＳ７０８において受信した命令情報に含まれる命令が、製造装置１１に実行させる命令であるか否かを判断する。製造装置１１に実行させる命令である場合、ステップＳ７１０に進み、製造装置１１に実行させる命令でない場合、ステップＳ７１６に進む。
【０１１３】
（ステップＳ７１０）命令実行部１２１０は、ステップＳ７０８において受信した命令情報に含まれる命令を実行する。ここでは、例として、命令情報が、送信用状況情報を取得し送信する命令であるとすると、命令実行部１２１０は、送信用状況情報取得部１２１１に、命令情報に含まれる装置識別情報に対応した、所望の種類の状況情報により構成される送信用状況情報を構成する指示を出力する。この指示を受けて、送信用状況情報取得部１２１１は、命令情報に含まれる装置識別情報に対応した、所望の種類の状況情報を、状況情報格納部１２０３から取得して、送信用状況情報を構成する。そして、送信用状況情報送信部１２１２は、命令実行部１２１０の指示に従って、ステップＳ７０９において取得した送信用状況情報を、命令情報の送信先のクライアント装置１３に対して送信する。命令情報の送信先のアドレス情報等は、例えば、命令情報から取得する。そして、ステップＳ７０１に戻る。なお、ここでは、命令情報が、送信用状況情報を取得し送信する命令である場合について説明したが、命令情報は他の命令情報であってもよい。
【０１１４】
（ステップＳ７１１）アップデート指示受信部１２１４は、アップデート指示情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ７１２へ進み、受信していない場合、ステップＳ７１３へ進む。
【０１１５】
（ステップＳ７１２）アップデート情報送信部１２１５は、製造装置送信先情報格納部１２１３に格納されている製造装置送信先情報から、ステップＳ７１１において受信したアップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した送信先装置情報を、例えば検索等により取得する。
【０１１６】
（ステップＳ７１３）アップデート情報送信部１２１５は、ステップＳ７１２において取得した送信先装置情報を用いて、アップデート情報を送信する。そして、ステップＳ７０１に戻る。
【０１１７】
（ステップＳ７１４）サーバアップデート情報受信部１２１６は、サーバアップデート情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ７１５に進み、受信していない場合、ステップＳ７０１に戻る。
【０１１８】
（ステップＳ７１５）サーバアップデート実行部１２１７は、ステップＳ７１４において受信したサーバアップデート情報を用いて、サーバ装置１２のアップデートを行う。そして、ステップＳ７０１に戻る。
【０１１９】
（ステップＳ７１６）命令実行部１２１０は、ステップＳ７０８において受信した命令情報に対応した製造装置命令情報を構成する。
【０１２０】
（ステップＳ７１７）命令実行部１２１０は、命令情報に含まれる装置識別情報を用いて、製造装置命令情報の送信先情報を取得する。
【０１２１】
（ステップＳ７１８）製造装置命令情報送信部１２１８は、ステップＳ７１６で構成された製造装置命令情報を、ステップＳ７１７で取得された送信先情報を用いて送信する。具体的には送信先情報が示すアドレス等を送信先のアドレスに指定して、製造装置命令情報を得送信する。そして、ステップＳ７０１に戻る。  
【０１２２】
なお、図７のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０１２３】
次に、クライアント装置１３の動作について図８のフローチャートを用いて説明する。
【０１２４】
（ステップＳ８０１）クライアント側受信部１３０１は異常通知情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ８０２に進み、受信していない場合、ステップＳ８０３に進む。
【０１２５】
（ステップＳ８０２）出力部１３０２は、ステップＳ８０１において受信した異常通知情報を出力する。例えば、受信した異常通知情報をメモリ等に蓄積し、さらに、異常通知情報を表示する。
【０１２６】
（ステップＳ８０３）命令受付部１３０３は、命令を受け付けたか否かを判断する。命令を受け付けた場合、ステップＳ８０４に進み、受け付けていない場合、ステップＳ８０６に進む。
【０１２７】
（ステップＳ８０４）命令情報構成部１３０４は、ステップＳ８０１において受信した異常通知情報に含まれる装置識別情報と、ステップＳ８０３において受け付けた命令を用いて命令情報を構成する。
【０１２８】
（ステップＳ８０５）命令情報送信部１３０５は、サーバ装置１２にステップＳ８０４において構成した命令情報を送信する。例えば、命令情報送信部１３０５は、ステップＳ８０１において受信した異常通知情報に含まれる、当該異常通知情報の送信元のアドレス情報等を用いてサーバ装置１２に命令情報を送信する。そして、ステップＳ８０１に戻る。
【０１２９】
（ステップＳ８０６）状況情報受信部１３０６は、送信用状況情報を受信したか否かを判断する。受信した場合、ステップＳ８０７に進み、受信していない場合、ステップＳ８０８に進む。
【０１３０】
（ステップＳ８０７）状況情報出力部１３０７は、ステップＳ８０６で受信した送信用状況情報を出力する。そして、ステップＳ８０１に戻る。
【０１３１】
（ステップＳ８０８）アップデート情報受付部１３０８は、アップデート情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ８０９に進み、受け付けていない場合、ステップＳ８１１に進む。
【０１３２】
（ステップＳ８０９）アップデート指示情報構成部１３０９は、アップデート情報と、ステップＳ８０１において受信した異常通知情報に含まれる装置識別情報とを用いてアップデート指示情報を構成する。
【０１３３】
（ステップＳ８１０）アップデート指示情報送信部１３１０は、サーバ装置１２にステップＳ８０９において構成したアップデート指示情報を送信する。例えば、アップデート指示情報送信部１３１０は、ステップＳ８０１において受信した異常通知情報に含まれる、当該異常通知情報の送信元のアドレス情報等を用いてサーバ装置１２にアップデート指示情報を送信する。そして、ステップＳ８０１に戻る。
【０１３４】
（ステップＳ８１１）サーバアップデート情報受付部１３１１は、サーバアップデート情報を受け付けたか否かを判断する。受け付けた場合、ステップＳ８１２に進み、受け付けていない場合、ステップＳ８０１に戻る。
【０１３５】
（ステップＳ８１２）サーバアップデート情報送信部１３１２は、サーバ装置１２にステップＳ８１１において受け付けたサーバアップデート情報を送信する。例えば、サーバアップデート情報送信部１３１２は、ステップＳ８０１において受信した異常通知情報に含まれる、当該異常通知情報の送信元のアドレス情報等を用いてサーバ装置１２にサーバアップデート情報を送信する。そして、ステップＳ８０１に戻る。
【０１３６】
なお、図８のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０１３７】
以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。
【０１３８】
本具体例において、１以上の製造装置１１の入力受付部１１０１が、ユーザからの被処理基板、例えばウエハに対する加工処理の開始指示を受け付けると、処理部１１０５は、レシピ格納部１１０２のレシピを読み出し、読み出したレシピを実行し、ウエハの加工処理を進める。測定部１１０６は、ウエハの加工処理中、例えば、１秒ごとに、予め決められた炉内の温度を測定して、測定情報である温度を取得する。状況情報取得部１１０４は、測定部１１０６から測定情報、ここでは具体的には温度、を、また、図示しない時計等から時刻情報をそれぞれ取得し、これらを対にした状況情報を構成し、取得する。この状況情報の例を図９に示す。状況情報は、データタイプ、温度、時刻情報を有する。データタイプの情報とは、ガス流量や温度や圧力などの測定情報のデータの種類を示す情報であり、ここでは温度であることを示す情報である。ただし、このデータタイプの情報は場合によっては省略可能である。ここでは、このデータタイプの情報を状況情報取得部１１０４が付加するものとするが、測定部１１０６が測定情報に付加するようにしても良い。時刻情報は、時刻を示す情報であり、時・分・秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だけの情報でも良い。また、ここでは温度としたが、温度に加えて、あるいは温度の代わりに、ガス流量や圧力等の他の測定情報を含むようにしても良い。さらに、状況情報に、現在使用中のレシピや処理ステップに対応したレシピの識別情報や処理ステップの識別情報等を付加するようにしても良い。また、状況情報取得部１１０４は、処理部１１０５等が所定の処理を開始したり終了したりした場合等に出力する、所定の処理の開始や終了等が行われたこと等を示す情報である製造装置１１のいわゆるログを、随時取得して、この取得したログと図示しない時計等から取得した時刻情報とを対にした状況情報を構成し、取得する。この状況情報は、図９に示した状況情報において、測定情報である温度を、ログに置き換え、データタイプの情報を、ログを用いた情報であることを示す情報に置き換えたものとなる。ここでは、状況情報取得部１１０４が、処理部１１０５から得たログを用いて構成した状況情報に、このデータタイプの情報を付加するものとする。状況情報送信部１１０７は、このようにして取得された状況情報に、装置識別情報格納部１１０３から取得した製造装置１１の装置識別情報を付加して、順次、サーバ装置１２に送信する。
【０１３９】
次に、サーバ装置１２のサーバ側受信部１２０１は、製造装置１１から順次送信される装置識別情報と対になった状況情報を、順次受信する。そして、蓄積した状況情報を蓄積部１２０２が状況情報格納部１２０３に蓄積する。かかる状況情報の例を図１０に示す。図１０は、状況情報を管理する状況情報管理表である。状況情報管理表は、「製造装置識別情報」、「データタイプ」、「データ」、「時刻情報」という属性を有する。「装置識別情報」は、状況情報とともに受信された状況情報の送信元の製造装置１１の装置識別情報である。「データタイプ」、「時刻情報」は、状況情報に含まれるデータタイプおよび時刻情報である。「データ」は、状況情報に含まれる、測定情報やログ等のデータである。なお、データタイプ別の状況情報管理表を用意するようにしても良い。例えば、図１０における「データタイプ」が「ログ」である複数のレコードと、「データタイプ」が「温度」である複数のレコードとを、それぞれ別の状況情報管理表で管理するようにしても良い。
【０１４０】
次に、異常検出部１２０５は、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報に含まれる測定情報、ここでは温度について、順次異常検出を行う。具体的には、条件情報格納部１２０４に、装置識別情報が「Ｅ１」である製造装置についての、温度の正常／異常を判断するための閾値による条件情報「３３０≦温度≦４００」が予め格納されている、とする。例えば、サーバ側受信部１２０１が受信した状況情報のデータタイプが「温度」であって、この状況情報に対応付けられた装置識別情報が「Ｅ１」であったとすると、データタイプが「温度」、装置識別情報が「Ｅ１」に対応した条件情報を、条件情報格納部１２０４から検索して取得し、状況情報に含まれる温度の値が、取得した条件情報を満たすか否かを判断する。ここでは、状況情報に含まれる温度の値が「３１０」であったとすると、異常検出部１２０５は、上述した条件情報「３３０≦温度≦４００」を満たさないと判断して、異常の発生を検出する。
【０１４１】
異常検出部１２０５が異常を検出すると、異常通知情報構成部１２０６は、異常通知情報を構成する。例えば、異常通知情報構成部１２０６は、予めメモリ等の記憶媒体に格納されている図１１に示すようなテキストファイルやＨＴＭＬファイル等の電子メールのテンプレートの情報を読み出す。また、異常通知情報構成部１２０６は、異常が検出された状況情報に対応した装置識別情報である「Ｅ１」を取得する。そして、読み出したテンプレートの装置識別情報を挿入する所定の位置、ここでは「＜装置識別情報＞」という文字列を、状況情報に対応した装置識別情報で置き換えて、電子メール形式の異常通知情報を構成する。
【０１４２】
図１２は、異常通知情報構成部１２０６が構成した異常通知情報の例を示す図である。なお、異常通知情報のタイトルは、例えば、テンプレートの１行目の文字列や、テンプレートのファイル名、異常が検出された製造装置１１の装置識別情報等に適宜設定するようにする。
【０１４３】
図１３は、装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報を管理する装置別送信先情報管理表を示す図である。装置別送信先情報管理表は、「装置識別情報」と、「送信先情報」という属性を有している。「装置識別情報」は、製造装置１１の装置識別情報である。「送信先情報」は、送信先となる１以上のクライアント装置１３の送信先情報、ここでは特に、メールアドレスである。
【０１４４】
サーバ側送信部１２０８は、異常が検出された状況情報に対応する装置識別情報を、サーバ側受信部１２０１等から取得し、この装置識別情報に合致する「装置識別情報」を有するレコードを、図１２に示すような装置別送信先情報管理表から検索して、検索されたレコードの「送信先情報」の属性値であるメールアドレスを取得する。例えば、装置識別情報「Ｅ１」に対応した送信先情報が、ここでは、クライアント装置１３ｂのメールアドレスである「ｃｌｉｅｎｔ＿ｂ＠ａａａｂｂｂ．ｃｏｍ」であるとする。そして、このメールアドレスを図１３に示したような異常通知情報の送信先に指定した電子メールを構成する。構成した電子メールを、図１４に示す。そして、この電子メールを送信する。これにより、異常通知情報が、異常の検出された製造装置１１に対応したクライアント装置１３に電子メールで送信される。なお、電子メールには、通常、送信元であるサーバ装置１２の電子メールアドレスが、例えばヘッダ情報等として含まれており、ここでは、サーバ装置１２の電子メールアドレスが「ｓｅｒｖｅｒ＠ｃｃｃｄｄｄ．ｃｏｍ」であるとする。
【０１４５】
クライアント装置１３ｂにおいては、サーバ側送信部１２０８から電子メールにより送信された異常通知情報を、例えば電子メールソフトウェア等を利用して受信する。そして、受信した異常通知情報を、出力部１３０２がメモリ等の記憶媒体に蓄積するとともに、図示しないディスプレイ等に表示する。
【０１４６】
つぎに、異常通知情報を受信したユーザが、異常が検出された製造装置１１のログを収集する場合について説明する。ユーザは、受信した異常通知情報である電子メールに対して、メニュー等を操作して返信メールを作成する指示を入力する。ここで述べる返信メールは、具体的には、元となる電子メールの送信元を、送信先に引用した電子メールのことであり、元となる電子メールのタイトルや本文の情報を引用することが好ましい。例えば、命令受付部１３０３が、ユーザからの返信メールを作成する指示を受け付けると、受信された異常通知情報の全文およびタイトル等を引用し、異常通知情報の送信元であるサーバ装置１２のメールアドレス「ｓｅｒｖｅｒ＠ｃｃｃｄｄｄ．ｃｏｍ」を、送信先のメールアドレスに指定した返信メールを構成する。これにより、この返信メールには、異常通知情報に含まれていた異常が検出された製造装置の装置識別情報である「Ｅ１」が含まれることとなる。そして、ユーザがキーボード等を用いて、「ＬＯＧ」という文字列を返信メールの１行目に入力すると、命令受付部１３０３は、この「ＬＯＧ」という命令を受け付ける。そして、命令情報構成部１３０４が返信メールの１行目に「ＬＯＧ」という命令の文字列を配置した命令情報を構成する。
【０１４７】
図１５は、命令情報構成部１３０４が構成した命令情報の例を示す図である。ここでは、「ＬＯＧ」は、サーバ装置１２に、命令情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置１１のログの収集を指示する命令であるとする。ただし、この「ＬＯＧ」という命令自身には、１以上の製造装置１１のいずれかを指定する情報等は含まないものとする。
【０１４８】
そして、ユーザが、例えば電子メールソフトウェアに返信メールを送信する指示を、マウス等を用いて与えることで、命令情報、ここでは、「ＬＯＧ」という命令を加えた返信メールが送信される。
【０１４９】
サーバ装置１２の命令情報受信部１２０９が、電子メールによりクライアント装置１３ｂから送信された命令情報を受信すると、命令実行部１２１０は、受信した命令情報に含まれる命令、ここでは命令情報である電子メールの本文の１行目の命令である「ＬＯＧ」を、読み出し、この命令情報が、サーバ装置１２が実行する命令であるか否かを判断する。ここでは、サーバ装置１２が実行する命令であるので、この命令「ＬＯＧ」を実行する。この「ＬＯＧ」は製造装置１１のログの収集を指示する命令であるため、まず、命令実行部１２１０は、命令情報に含まれる装置識別情報を取得する。命令情報内において、装置識別情報の配置されている位置等は、予め分かっているため、命令情報から装置識別情報は容易に取得することが可能である。ここでは、装置識別情報「Ｅ１」が命令情報から取得される。そして、この装置識別情報「Ｅ１」に対応した製造装置１１のログを収集する命令を実行する。
【０１５０】
送信用状況情報取得部１２１１は、命令実行部１２１０からの指示に応じて、図１０に示した状況情報管理表の、「装置識別情報」が「Ｅ１」、「データタイプ」が「ログ」であるレコードに対応した「データ」と、「時刻情報」とを有する状況情報であるログを、状況情報格納部１２０３から取得して、送信用状況情報を構成する。
【０１５１】
図１６は、送信用情報取得部１２１１が構成した送信用状況情報を示す図である。図１６の「データ」、および「時刻情報」の属性は、図１０の「データ」、および「時刻情報」と同様の属性である。この送信用状況情報は、テキストファイル等のファイルとしてメモリ等の記憶媒体に一時記憶されても良い。また、送信用状況情報は、例えばテンプレート等を利用して構成されていても良い。また、ここでは、送信用状況情報に、当該送信用状況情報に対応する装置識別情報「Ｅ１」が、付加されているものとする。
【０１５２】
送信用状況情報送信部１２１２は、送信用状況情報取得部１２１１が構成した送信用状況情報を、命令情報受信部１２０９が受信した命令情報の送信元のメールアドレス「ｃｌｉｅｎｔ＿ｂ＠ａａａｂｂｂ．ｃｏｍ」を取得し、この取得したメールアドレスを、送信先のメールアドレスに用いて、送信用状況情報取得部１２１１が構成した送信用状況情報を電子メールの本文に配置した電子メールを構成し、送信する。なお、電子メールの本文に送信用状況情報を配置する代わりに、記憶媒体に一時記憶されたテキストファイル等のファイルである送信用状況情報を、電子メールに添付して送信しても良い。電子メールのタイトル等としては、予め設定されているタイトル等を用いるようにすればよい。
【０１５３】
クライアント装置１３ｂの状況情報受信部１３０６が、送信用状況情報送信部１２１２から電子メールで送信された送信用状況情報を受信すると、状況情報出力部１３０７は、状況情報受信部１３０６が受信した送信用状況情報をメモリ等の記憶媒体に蓄積し、送信用状況情報をディスプレイ等に表示する。図１７は、送信用状況情報の表示例を示す図である。
【０１５４】
つぎに、ユーザが、送信用状況情報の表示を検討した結果等により、この送信用状況情報に対応した製造装置１１のアップデートが必要であると判断したとする。そしてアップデートを行うために、受信した送信用状況情報の電子メールに対して、メニュー等を操作して返信メールを作成する指示を入力する。例えば、アップデート情報受付部１３０８が、ユーザからの返信メールを作成する指示を受け付けると、受信された送信用状況情報の全文およびタイトル等を引用し、送信用状況情報の送信元であるサーバ装置１２のメールアドレス「ｓｅｒｖｅｒ＠ｃｃｃｄｄｄ．ｃｏｍ」を、送信先のメールアドレスに指定した返信メールを構成する。送信用状況情報には、異常通知情報に含まれていた異常が検出された製造装置の装置識別情報である「Ｅ１」が含まれていたことから、この返信メールにも異常通知情報に含まれていた異常が検出された製造装置の装置識別情報が含まれていることとなる。そして、ユーザがＣＤ等から読み出した製造装置１１のアップデート情報「ｐｒｏｃｅｓｓｕｐｄａｔａ＿１０２．ｅｘｅ」を、マウス等を用いてこの返信メールに添付することにより、アップデート情報受付部１３０８がアップデート情報を受け付け、アップデート指示情報構成部１３０９がアップデート情報と装置識別情報とを有するアップデート指示情報を構成する。構成したアップデート指示情報の例を図１８に示す。そして、ユーザが、返信メールを送信することで、アップデート指示情報が、電子メールでサーバ装置１２に送信される。
【０１５５】
アップデート指示受信部１２１４が、クライアント装置１３ｂから電子メールで送信されるアップデート指示情報を受信すると、アップデート情報送信部１２１５は、アップデート指示情報に含まれる装置識別情報「Ｅ１」を取得し、この装置識別情報「Ｅ１」に対応する製造装置送信先情報、具体的には製造装置１１のＩＰアドレスを、製造装置送信先情報格納部１２１３から取得する。ここでは、予め、装置識別情報「Ｅ１」と、製造装置１１ａのＩＰアドレスとが対応付けられて製造装置送信先情報格納部１２１３に格納されているものとし、アップデート情報送信部１２１５は、装置識別情報「Ｅ１」に対応した製造装置１１ａのＩＰアドレスを取得する。そして、アップデート情報送信部１２１５は、このＩＰアドレスを送信先としてＦＴＰ等によりアップデート指示情報に含まれるアップデート情報を送信して、アップデート情報を製造装置１１ａに送信する。
【０１５６】
製造装置１１ａのアップデート情報受信部１１０８が、サーバ装置１２から送信されるアップデート情報を受信すると、アップデート実行部１１０９はこのアップデート情報を用いて製造装置１１ａのアップデートを行う。なお、アップデート情報受信部１１０８が受信したアップデート情報を一旦メモリ等の記憶媒体に蓄積し、所定のタイミング、例えば、製造装置１１ａが再起動されるタイミングでアップデート実行部１１０９がアップデートを行うようにしても良い。なお、製造装置１１のアップデート処理については、公知技術であるので説明は省略する。なお、製造装置送信先情報を製造装置１１のメールアドレスとして、アップデート情報を、この製造装置送信先情報を用いて電子メールで製造装置１１に送信するようにしても良い。
【０１５７】
一方、ユーザが、送信用状況情報の表示を検討した結果等により、サーバ装置１２のアップデートが必要であると判断したとする。そしてアップデートを行うために、受信した送信用状況情報の電子メールに対して、メニュー等を操作して返信メールを作成する指示を入力する。例えば、アップデート情報受付部１３０８が、ユーザからの返信メールを作成する指示を受け付けると、受信された送信用状況情報の全文およびタイトル等を引用し、送信用状況情報の送信元であるサーバ装置１２のメールアドレス「ｓｅｒｖｅｒ＠ｃｃｃｄｄｄ．ｃｏｍ」を、送信先のメールアドレスに指定した返信メールを構成する。そして、ユーザがＣＤ等から読み出したサーバ装置１２のアップデート情報「ｓｅｒｖｅｒｕｐｄａｔａ＿３０１．ｅｘｅ」を、マウス等を用いてこの返信メールに添付することにより、サーバアップデート情報受付部１３１１がサーバアップデート情報を受け付ける。そして、ユーザが、返信メールを送信することで、サーバアップデート情報が、電子メールでサーバ装置１２に送信される。
【０１５８】
サーバアップデート情報受信部１２１６が、クライアント装置１３ｂから電子メールで送信されるサーバアップデート情報を受信すると、サーバアップデート実行部１２１７はこのサーバアップデート情報を用いてサーバ装置１２のアップデートを行う。なお、サーバアップデート情報受信部１２１６が受信したサーバアップデート情報を一旦メモリ等の記憶媒体に蓄積し、所定のタイミング、例えば、サーバ装置１２が再起動されるタイミングでサーバアップデート実行部１２１７がアップデートを行うようにしても良い。なお、サーバ装置１２のアップデート処理については、公知技術であるので説明は省略する。
【０１５９】
なお、クライアント装置１３から送信された情報を、命令情報受信部１２０９、アップデート指示受信部１２１４、またはサーバアップデート情報受信部１２１６のいずれの受信部で受信するかは、例えば、受信される情報に含まれる情報、例えば命令や、添付されるアップデート情報等により、判断するようにすればよい。また、これらの受信部を一つの受信部で実現するとともに、受信される情報に応じて、この１つの受信部が命令情報受信部１２０９、アップデート指示受信部１２１４、またはサーバアップデート情報受信部１２１６のいずれかとして動作するようにしても良い。
【０１６０】
また、上記具体例においては、送信用状況情報の返信メールを利用してアップデート指示情報を構成して送信したり、サーバアップデート情報を送信するようにしたが、異常通知情報の返信メールを利用してアップデート指示情報を構成して送信したり、サーバアップデート情報を送信するようにしてもよい。
【０１６１】
また、上記具体例においては、異常通知情報の送受信や、命令情報の送受信、送信用状況情報の送受信、アップデート指示情報の送受信、サーバアップデート情報の送受信を電子メールを用いて行うようにしたが、他の通信手段等を用いて、これらの送受信を行うようにしても良い。
【０１６２】
また、上記具体例においては、命令情報として、サーバ装置１１に格納されている製造装置１１のログを取得する命令を含む命令情報をサーバ装置１２に送信するようにしたが、ログを取得する命令以外の命令を与えることにより、製造装置１１のログ以外の測定情報等、製造装置１１のどのような状況情報を取得するようにしても良い。
【０１６３】
また、上記具体例においては、製造装置１１のログを収集するために、「ＬＯＧ」という命令を入力するようにしたが、単に異常通知情報の返信メールを送信するようにし、この返信メールに応じて、サーバ装置１２の命令実行部１２１０が、ログ等の送信用状況情報を構成して送信する等の所定の命令を実行するようにしてもよい。この場合、ユーザからの返信メールを作成する指示を受け付けることが、所定の命令を受け付けることに相当することとなる。
【０１６４】
また、上記具体例においては、命令情報として、サーバ装置１１に実行させる命令、具体的には、サーバ装置１１に格納されている製造装置１１のログを取得する命令を含む命令情報を送信するようにしたが、製造装置１１に実行させる命令を含む命令情報を送信するようにしても良い。以下、このような製造装置１１に実行させる命令を含む命令情報を送信することで、異常が検出された製造装置１１のログを、製造装置１１から収集する場合について説明する。
【０１６５】
まず、異常通知情報をサーバ装置１１から受信するまでの処理については、上記具体例と同様である。
【０１６６】
つぎに、ユーザは、上記具体例と同様に、受信した異常通知情報である電子メールに対して、メニュー等を操作して返信メールを作成する指示を入力する。例えば、命令受付部１３０３が、ユーザからの返信メールを作成する指示を受け付けると、受信された異常通知情報の全文およびタイトル等を引用し、異常通知情報の送信元であるサーバ装置１２のメールアドレス「ｓｅｒｖｅｒ＠ｃｃｃｄｄｄ．ｃｏｍ」を、送信先のメールアドレスに指定した返信メールを構成する。これにより、この返信メールには、異常通知情報に含まれていた異常が検出された製造装置の装置識別情報である「Ｅ１」が含まれることとなる。そして、ユーザがキーボード等を用いて、「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という文字列を返信メールの１行目に入力すると、命令受付部１３０３は、この「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を受け付ける。そして、命令情報構成部１３０４が返信メールの１行目に「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令の文字列を配置した命令情報を構成する。
【０１６７】
図１９は、命令情報構成部１３０４が構成した命令情報の例を示す図である。ここでは、「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」は、異常の発生した１以上の製造装置１１に、ログの送信を指示する命令であるとする。ただし、この「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令自身には、１以上の製造装置１１のいずれかを指定する情報等は含まないものとする。
【０１６８】
そして、ユーザが、例えば電子メールソフトウェアに返信メールを送信する指示を、マウス等を用いて与えることで、命令情報、ここでは、「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を加えた返信メールが送信される。
【０１６９】
サーバ装置１２の命令情報受信部１２０９が、電子メールによりクライアント装置１３ｂから送信された命令情報を受信すると、命令実行部１２１０は、受信した命令情報に含まれる命令、ここでは命令情報である電子メールの本文の１行目の命令である「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」を、読み出す。ここで、この命令情報が、異常が検出された製造装置１１に実行させる命令であると判断して、この命令に対応した製造装置命令情報を構成する。ここでは、命令情報が含む命令と同じである「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を含む製造装置命令情報が構成されるとする。さらに、命令情報受信部１２０９は、命令情報に含まれる装置識別情報「Ｅ１」を取得し、この装置識別情報「Ｅ１」に対応する製造装置送信先情報、具体的には製造装置１１のＩＰアドレスを、上述したアップデート情報送信部１２１５と同様に、製造装置送信先情報格納部１２１３から取得する。そして、製造装置命令情報送信部１２１８は、このＩＰアドレスを送信先としてＩＰプロトコル等により製造装置命令情報を送信する。これにより、製造装置１１ａに製造装置命令情報が送信される。
【０１７０】
装置識別情報「Ｅ１」に対応する製造装置１１ａの製造装置命令情報受信部１１１２が、「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を含む製造装置命令情報をサーバ装置１２から受信すると、処理部１１０５は、この「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を実行する。具体的には、製造装置状況情報格納部１１１１に格納されているログを収集して取得し、取得したログを状況情報送信部１１０７から、製造装置命令情報の送信元であるサーバ装置１２に送信させる。
【０１７１】
サーバ装置１２のサーバ側受信部１２０１が、製造装置命令情報送信部１２１８が送信した「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を含む製造装置命令情報に対応したログを、製造装置１１ａの状況情報送信部１１０７から受信すると、送信用状況情報構成部１２１１は、このログを含む送信用状況情報を構成する。そして、「ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を含む製造装置命令情報に対応した命令情報の送信元に対して電子メールで、構成した送信用状況情報を送信する。具体的には、ｄｅｖｉｃｅ＿ＬＯＧ」という命令を含む命令情報を一時記憶しておき、この命令情報から、この命令情報の送信元であるクライアント装置１３ｂのメールアドレスを取得して、このメールアドレスを宛先として送信用状況情報を送信する。
【０１７２】
クライアント装置１３ｂの状況情報受信部１３０６が、送信用状況情報送信部１２１２から電子メールで送信された送信用状況情報を受信すると、状況情報出力部１３０７は、状況情報受信部１３０６が受信した送信用状況情報をメモリ等の記憶媒体に蓄積し、送信用状況情報を、図１７と同様に、ディスプレイ等に表示する。
【０１７３】
なお、ここでは、異常が検出された製造装置１１のログを取得する命令を送信する場合について説明したが、本実施の形態においては、異常が検出された製造装置１１に他の処理を実行させる命令を送信する場合においても適用可能である。
【０１７４】
また、上記具体例においては、電子メールの本文に適宜、装置識別情報や命令等を記述するようにしたが、電子メールのタイトルや、ヘッダ等に装置識別情報や命令等を記述するようにしても良い。また、装置識別情報や命令等を電子メールの添付ファイルとして送信しても良い。また、サーバ装置１２が、装置識別情報や、送信用状況情報等を、所定のアドレス等に蓄積し、これらの情報へのリンク情報を、電子メール等で、クライアント装置１３ｂに送信するようにしても良い。
【０１７５】
また、上記具体例においては、返信メール等の本文の、予め定められた位置に命令を記載するようにしたが、電子メールの本文に命令等を記述する際に、ユーザが、命令であること等を示すタグ等を、命令とともに記述するようにしても良い。例えば、本文のいずれかの位置に、＜ｃｏｍｍａｎｄ＞ｐｒｅｓｓｕｒｅ＿ｄａｔａ＜／ｃｏｍｍａｎｄ＞というタグを含む命令を記述するようにしても良い。ここでの、「＜ｃｏｍｍａｎｄ＞＜／ｃｏｍｍａｎｄ＞」は命令であることを示すタグであり、ｐｒｅｓｓｕｒｅ＿ｄａｔａは圧力のデータを取得する命令であるとする。このように命令を記述するようにするとともに、命令実行部１２１０が、命令情報から、命令のタグを検索することで、命令を受け付けるようにする。これにより、命令の記述位置にかかわらず、命令を正確に製造装置１２に与えることができる。
【０１７６】
また、電子メールによる異常通知情報や命令情報等の送信および受信は、セキュリティーを確保する上で、公開鍵や秘密鍵等を用いて暗号化されて行われることが好ましい。なお、このようなセキュリティーの仕組みは、電子メール等においてはすでに実装されているため、これを利用するだけで、セキュリティー導入のコストを削減できる。
【０１７７】
なお、上記具体例においては、異常通知情報や命令情報等の送受信に用いられる電子メールが標準テキストメールである場合について説明したが、本発明においては、電子メールはＨＴＭＬメール等のいわゆるリッチテキストメール等であってもよい。このようなリッチテキストメールの場合、入力欄等を、電子メール欄に組み込むことができるため、返信メールの入力欄にチェック等を入れることで命令受付部１３０３等は命令を受け付けることができる。このため、クライアント装置１３のユーザは、命令等をテキストとして入力する必要がなく、ユーザの処理が軽減できる。また、サーバ装置１２においては、返信メールの入力欄の情報から、どのような命令を受け付けたかを確実に判断できるため、ユーザの入力ミス等による誤動作を防ぐことができる。例えば、「測定情報を収集」というチェックボックスを異常通知情報に表示させるようにして、このチェックボックスにチェックを入れるだけで、命令受付部１３０３が測定情報を収集する命令を受け付けたこととしても良い。この場合、サーバ装置１２においては、命令情報のこのチェックボックスにチェックが入っている場合、「測定情報を収集」する命令を受信したことが判断可能となる。
【０１７８】
また、上記具体例においては、異常が検出された製造装置１１が一つの場合を例に挙げて説明したが、上述したように、本発明は、異常が検出された製造装置１１が複数であっても適用可能である。特に、異常が検出された製造装置１１が複数である場合、異常が検出された複数の製造装置１１の装置識別情報を、一の電子メール等の異常通知情報に含めてクライアント装置１３に送信するようにすることが好適である。この場合、一の電子メール等の異常通知情報に対して、クライアント装置１３が一の命令情報を構成して送信することで、異常が検出された複数の製造装置１１に関する処理を一度の指示で実行させることが可能となる。例えば、通常、半導体の製造ライン等においては、複数の製造装置１１により構成されているため、同時期に複数の製造装置１１に異常が検出されることが起こりうるが、このようにすることで、異常が検出された複数の製造装置１１のそれぞれに対して個別に、所望の処理を実行させるための命令等を出力する必要がなくなり、ユーザの処理の負担が軽減されるとともに、異常が検知された場合に迅速な対応が可能となる。
【０１７９】
以上、本実施の形態によれば、異常が発生した製造装置に関する処理を実行させるための命令を入力する際に、異常が発生した装置の装置識別情報を入力する必要がなく、ユーザが命令等を入力する処理を簡略化でき、異常の状況を把握する処理や、復旧のための処理を、迅速に行うことができる。また、ユーザが装置識別情報を覚えていない場合や、製造装置の専用端末等の使用方法等を十分に習得していない場合においても、異常が検知された製造装置の状況の情報等を適切に取得することが可能となる。これにより、製造装置に対する異常の通知を受けた後に、迅速に、適切に対応を行うことが可能となる。また、ユーザが装置識別情報を覚えている必要がないため、ユーザの負担が軽減される。
【０１８０】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報の送信先となるクライアント装置を、装置別送信先情報を用いて、異常が検出された装置識別情報毎に設定できるため、異常が発生した製造装置に対して適切なユーザ等を選択して、異常の発生を通知することができる。これにより、ユーザに不必要な異常通知情報を送信したりすることがなく、必要な異常通知情報だけを送信することができる。
【０１８１】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報を受信したクライアント装置において、製造装置の状況情報を取得する命令と、異常通知情報が含む装置識別情報とを含む命令情報を構成して、サーバ装置に送信することで、異常が発生した製造装置についてのログ等の状況情報を取得できるため、ユーザ等が、製造装置を指定する情報を命令に加えて入力しなくても、異常が検出された製造装置の状況情報をサーバ装置から取得することができる。これにより、入力する命令等を簡略化でき、ユーザ等の入力処理等を軽減できるとともに、容易に異常が発生した製造装置についてのログ等の状況情報を取得でき、異常が検出された製造装置の状況を適切に解析して、異常に対して適切に対応することが可能となる。
【０１８２】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報に含まれている装置識別情報と、アップデート情報とを含むアップデート指示情報に応じて、装置識別情報に対応した製造装置をアップデートさせることができるため、アップデートの対象となる製造装置１１を指定することなく、異常が発生した製造装置を容易にアップデートさせることができる。
【０１８３】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報の送信元であるサーバ装置を装置先に設定して、サーバアップデート情報を送信するようにしたので、サーバのアップデートのための操作を簡略化することができる。
【０１８４】
また、異常通知情報の送信および受信を、電子メールを用いて行うようにしたので、サーバ装置専用に構成された専用端末等を用いることなく、インターネット等に接続可能で、メールの送受信の可能な一般的に広く普及しているコンピュータや携帯電話等の電子機器で、異常の発生を知ることが可能となり、コストを安価にすることができる。また、専用端末のある場所に行かなくても、電子メールの送受信が可能な場所であれば、異常の検出や復旧作業等を行うことが可能となり、ユーザの労力を軽減できると共に、異常検出や復旧処理にかかる時間を短縮できる。また、一般的に普及している電子メールを用いることで、サーバ装置専用に構成された専用端末の操作等を覚えることなく、異常発生のチェック等を容易に行うことができる。また、この異常通知情報に対する返信メールを作成することで、異常通知情報に含まれる装置識別情報や、送信元であるサーバ装置のメールアドレス等を、命令情報やアップデート指示情報等の作成や送信に再利用することができる。
【０１８５】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報の電子メールの返信メールに命令を記述することで、異常通知情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置に関する命令を、サーバ装置に実行させることができ、命令の入力の際に、異常が発生した装置を指定する入力を簡略化できる。
【０１８６】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報に対する返信メールに、アップデート情報を添付することで、異常通知情報に含まれる装置識別情報に対応した製造装置をアップデートさせることができ、製造装置のアップデートの処理を簡略化できる。
【０１８７】
また、本実施の形態によれば、異常通知情報に対する返信メールに、サーバアップデート情報を添付することで、サーバ装置をアップデートさせることができ、製造装置のアップデートの処理を簡略化できる。
【０１８８】
なお、異常が検出された製造装置１１の装置識別情報と、異常が検出された製造装置１１との対応関係が保たれていれば、異常通知情報構成部１２０６等が、異常が検出された製造装置１１の装置識別情報を、所望の装置識別情報に変換するようにしても良い。例えば製造装置１１ｂに対応する「Ｅ２」という装置識別情報を、例えば、任意の数値「００５４３２」等に置き換えるようにしても良い。このような場合、置き換える前の装置識別情報「Ｅ２］と、置き換えた後の装置識別情報「００５４３２」とを対応付けて、メモリ等に蓄積しておくようにし、任意の数値「００５４３２」をタイトルや本文に含む異常通知情報を、サーバ側送信部１２０８からクライアント装置１３に送信する。そして、クライアント装置１３から命令情報受信部１２０９等が受信した命令情報等が、この任意の数値「００５４３２」を含む場合、メモリ等に格納された置き換えの前後の装置識別情報の対応関係から、この任意の数値に対応した「Ｅ２」という装置識別情報を取得し、これに対応した製造装置１１に関する命令情報であると判断するようにすればよい。また、装置識別情報を、異常通知情報の通知先となるクライアント装置１３の送信先情報、例えばメールアドレスやＩＰアドレス、としても良い。この送信先情報は、サーバ側送信部１２０８と同様に、装置識別情報を検索キーとして、装置別送信先情報格納部１２０７に格納されている装置別送信先情報等から取得可能である。なお、クライアント装置１３に異常通知情報を送信するために用いる送信先情報と、異常通知情報に記述する送信先情報を兼用するようにしても良い。このような場合、例えば、クライアント装置１３から、命令情報が電子メール等で送信されると、この命令情報の電子メールには、通常、送信元であるクライアント装置１３のメールアドレスが例えば「Ｆｒｏｍ」の情報として含まれるため、このメールアドレスを取得して、装置別送信先情報等から、このメールアドレスに対応した異常の発生した製造装置１１の装置識別情報を取得することで、受信した命令情報が、異常の発生した製造装置１１に関する命令であると判断することができる。
【０１８９】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１９０】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。
【０１９１】
なお、上記各実施の形態における群管理システムを実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、被処理基板に対する所定のプロセスを実行する１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置と、当該サーバ装置と接続されている１以上のクライアント装置とを具備し、異常検出を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置において実行させるプログラムであって、コンピュータに、前記製造装置の状況に関する時系列の情報である状況情報を受信するサーバ側受信ステップと、前記サーバ側受信ステップで受信した状況情報の少なくとも一部を用いて、前記１以上の製造装置についての異常の発生を検出する異常検出部と、前記異常検出部が前記１以上の製造装置のうちのいずれかに、異常が発生したことを検出した場合に、当該異常が発生した１以上の製造装置に対応した、前記製造装置を識別する情報である１以上の装置識別情報を有する情報であって、異常の発生を通知する情報である異常通知情報を構成する異常通知情報構成ステップと、前記異常通知情報を所定の前記クライアント装置に送信するサーバ側送信ステップと、前記異常が発生した１以上の製造装置に関して実行させる命令と、前記異常通知情報が有する前記装置識別情報と、を含む情報である命令情報を受信する命令情報受信ステップと、前記命令情報に含まれる前記装置識別情報を用いて、前記命令情報に含まれる命令を実行する命令実行ステップと、を実行させるためのプログラムである。
【０１９２】
また、前記サーバ側送信ステップは、格納されている前記装置識別情報と、当該装置識別情報に対応した前記クライアント装置の送信先の情報である送信先情報と、を有する情報である装置別送信先情報に応じて、前記異常が発生した製造装置の装置識別情報に対応した前記送信先情報を取得し、当該取得した送信先情報を用いて、前記異常通知情報を送信するようにしたプログラムである。
【０１９３】
また、命令実行ステップは、前記命令情報が含む命令が、前記製造装置に実行させる命令である場合に、当該命令を含む製造装置命令情報を構成し、コンピュータに、前記命令実行ステップの構成した製造装置命令情報を、前記命令情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に送信する製造装置命令情報送信ステップを、更に実行させるためのプログラムである。
【０１９４】
また、前記命令は、前記状況情報の少なくとも一部を取得する命令であり、コンピュータに、前記サーバ側受信部が受信した前記状況情報と、当該状況情報に対応した前記装置識別情報とを対応付けて前記状況情報格納部に蓄積する蓄積ステップと、前記命令実行部の指示に応じて、前記命令情報に含まれる前記装置識別情報に対応付けられて、前記蓄積ステップで蓄積された状況情報の少なくとも一部を取得して、送信用の状況情報である送信用状況情報を構成する送信用状況情報構成ステップと、前記送信用状況情報構成ステップで構成した送信用状況情報を、前記命令情報の送信元のクライアント装置に送信する送信用状況情報送信ステップと、をさら実行させるためのプログラムである。
【０１９５】
また、コンピュータに、前記製造装置をアップデートするための情報であるアップデート情報と、前記異常通知情報に含まれる装置識別情報とを含むアップデート指示情報を受信するアップデート指示情報受信ステップと、前記アップデート指示情報に含まれる装置識別情報に対応した前記製造装置に、当該命令情報に含まれるアップデート情報を送信するアップデート情報送信ステップとを、さらに実行させるためのプログラムである。
【０１９６】
また、コンピュータに、前記サーバ装置にアップデートを実行させるための情報であるサーバアップデート情報を受信するサーバアップデート情報受信ステップと、前記サーバアップデート情報を用いてアップデートを実行するサーバアップデート実行ステップとをさらに実行させるためのプログラムである。
【０１９７】
また、前記異常通知情報の送信は、電子メールを用いて行われるプログラムである。
【０１９８】
また、前記命令情報の受信は、電子メールを用いて行われ、前記命令情報は、前記異常通知情報の送信元である当該サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、前記命令受付部が受け付けた命令を記述するようにしたプログラムである。
【０１９９】
また、前記異常通知情報の送信、および前記アップデート指示情報の受信は、電子メールを用いて行われ、前記アップデート指示情報は、前記異常通知情報の送信元である当該サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した、当該異常通知情報に含まれる装置識別情報を有する返信メールに、前記アップデート情報を添付するようにしたプログラムである。
【０２００】
また、前記異常通知情報の送信、および前記サーバアップデート指示情報の受信は、電子メールを用いて行われ、前記サーバアップデート指示情報は、前記異常通知情報の送信元である当該サーバ装置を送信先に指定した、前記異常通知情報に対応した返信メールに、サーバアップデート情報を添付するようにしたプログラムである。
【０２０１】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
【０２０２】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。
【０２０３】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０２０４】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（情報送信部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
【０２０５】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０２０６】
以上のように、本発明にかかる群管理システム等は、半導体製造や、フラットパネルディスプレイ等の製造装置を含む群管理システムとして適しており、特に、製造装置の異常検出を行う群管理システム等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０２０７】
【図１】実施の形態における群管理システムの概念図
【図２】同群管理システムの製造装置の一例を示す図
【図３】同製造装置のブロック図
【図４】同サーバ装置のブロック図
【図５】同クライアント装置のブロック図
【図６】同製造装置の動作について説明するフローチャート
【図７】同サーバ装置の動作について説明するフローチャート
【図８】同クライアント装置の動作について説明するフローチャート
【図９】同状況情報を示す図
【図１０】同状況情報管理表を示す図
【図１１】同テンプレートの例を示す図
【図１２】同装置別送信先情報管理表を示す図
【図１３】同電子メールの例を示す図
【図１４】同電子メールの例を示す図
【図１５】同電子メールの例を示す図
【図１６】同送信用状況情報を示す図
【図１７】同電子メールの例を示す図
【図１８】同電子メールの例を示す図
【符号の説明】
【０２０８】
１１  製造装置
１２  サーバ装置
１３  クライアント装置
１１０１  入力受付部
１１０２  レシピ格納部
１１０３  装置識別情報格納部
１１０４  状況情報取得部
１１０５  処理部
１１０６  測定部
１１０７  状況情報送信部
１１０８  アップデート情報受信部
１１０９  アップデート実行部
１１１０  製造装置状況情報蓄積部
１１１１  製造装置状況情報格納部
１１１２  製造装置命令情報受信部
１２０１  サーバ側受信部
１２０２  蓄積部
１２０３  状況情報格納部
１２０４  条件情報格納部
１２０５  異常検出部
１２０５  条件情報格納部
１２０６  異常通知情報構成部
１２０７  装置別送信先情報格納部
１２０８  サーバ側送信部
１２０９  命令情報受信部
１２１０  命令実行部
１２１１  送信用状況情報取得部
１２１２  送信用状況情報送信部
１２１３  製造装置送信先情報格納部
１２１４  アップデート指示受信部
１２１５  アップデート情報送信部
１２１６  サーバアップデート情報受信部
１２１７  サーバアップデート実行部
１２１８  製造装置命令情報送信部
１３０１  クライアント側受信部
１３０２  出力部
１３０３  命令受付部
１３０４  命令情報構成部
１３０５  命令情報送信部
１３０６  状況情報受信部
１３０７  状況情報出力部
１３０８  アップデート情報受付部
１３０９  アップデート指示情報構成部
１３１０  アップデート指示情報送信部
１３１１  サーバアップデート情報受付部
１３１２  サーバアップデート情報送信部
【図１】
2008147489.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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