(57)【要約】      （修正有）【課題】第１配線部材および第２配線部材の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極と各第２電極とを安定した適切な状態で接合することができる配線部材の接合方法を提供する。【解決手段】複数の第１電極６１が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材５７と、薄膜配線部材の各第１電極６１に対応すべく複数の第２電極６０が設けられた第２配線部材５５とを電気的に接合する配線部材の接合方法である。各第１電極６１と各第２電極６０とが対向しつつ接触するように第１配線部材５７と第２配線部材５５とを対向配置し、第１配線部材５５の裏面に向かう流体の流れを形成して第１配線部材５７を第２配線部材５５へ向けて押圧することにより各第１電極６１と各第２電極６０とを密接させた状態で、レーザ光Ｌを照射することにより各第１電極６１と各第２電極６０とを接合する。【選択図】図８
2008218963.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合方法であって、
前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置し、
前記第１配線部材において前記各第１電極が設けられていない裏面に向かう流体の流れを形成して前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させた状態で、レーザ光を照射することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする配線部材の接合方法。
【請求項２】
前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧する際、前記流体として圧縮気体を用い、該圧縮気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする請求項１に記載の配線部材の接合方法。
【請求項３】
前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧する際、前記流体として減圧気体を用い、該減圧気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする請求項１に記載の配線部材の接合方法。
【請求項４】
複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合方法であって、
前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置し、
前記第１配線部材と前記第２配線部材との間隙を負圧とする流体の流れを形成することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させた状態で、レーザ光を照射することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする配線部材の接合方法。
【請求項５】
前記第１配線部材と前記第２配線部材との間隙から外部へと抜ける気体の流れを形成することにより前記間隙を負圧とすることを特徴とする請求項４に記載の配線部材の接合方法。
【請求項６】
前記第１配線部材と協働して前記間隙を取り囲む負圧風路を画成する画成部材を設け、前記負圧風路から気体を吸引することにより前記間隙を負圧とすることを特徴とする請求項４に記載の配線部材の接合方法。
【請求項７】
前記各第１電極と前記各第２電極とが密接された状態において、連続的な出射により形成されたレーザ光の照射位置を、前記各第１電極および前記各第２電極が並列された方向に沿って移動させることにより、前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法。
【請求項８】
複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合方法であって、
前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置し、
前記第１配線部材の前記各第１電極が設けられていない裏面における一つの前記第１電極に相当する個所に向かう局所的な流体の流れを形成して、前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて局所的に押圧することにより、当該一つの第１電極とそれに対応する前記第２電極とを密接させた状態で、その密接個所にレーザ−光を照射して前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする配線部材の接合方法。
【請求項９】
レーザ光と同軸上で当該レーザ光の照射方向に等しい方向から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする請求項８に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１０】
レーザ光と異なる軸上から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする請求項８に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１１】
前記第１配線部材の前記裏面への局所的な流体の流れによる押圧位置を前記各第１電極および前記各第２電極が並列された方向に沿って移動させつつ、連続的な出射により形成されたレーザ光の照射位置を前記押圧位置の移動に追従させることにより、前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする請求項８ないし請求項１０のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１２】
前記第１配線部材は、ＦＰＣまたはＴＡＢであることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１３】
前記各第１電極と前記各第２電極とは、半田を介在させて互いに密接され、レーザ光で溶融された該半田による溶着により接合されることを特徴とする請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１４】
前記半田は、鉛を含有しない非鉛半田であることを特徴とする請求項１３に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１５】
前記半田は、スズおよびビスマスを主成分とすることを特徴とする請求項１４に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１６】
照射するレーザ光は、半導体レーザであることを特徴とする請求項１ないし請求項１５のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法。
【請求項１７】
記録液を吐出させるべく駆動される駆動素子と、該駆動素子への電力供給線となる配線部材とを有し、被記録体に記録するために微細な吐出口から前記記録液を液滴として吐出させる液滴吐出ヘッドであって、
前記駆動素子と前記配線部材とが、請求項１ないし請求項１６のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法により接合されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１８】
記録液を吐出させるべく駆動される駆動素子と、該駆動素子への電力供給線となる配線部材とを有し、被記録体に記録するために微細な吐出口から前記記録液を液滴として吐出させる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記駆動素子と前記配線部材とを、請求項１ないし請求項１６のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法により接合することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１９】
複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合装置であって、
前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置した状態で保持する保持手段と、
該保持手段により保持された状態において、前記第１配線部材において前記各第１電極が設けられていない裏面に向かう流体の流れを形成して前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させる流体押圧密接手段と、
前記各第１電極と前記各第２電極とを電気的に接合すべく、前記流体押圧密接手段により密接された状態の前記各第１電極と前記各第２電極とにレーザ光を照射可能な照射手段とを備えることを特徴とする配線部材の接合装置。
【請求項２０】
前記流体押圧密接手段は、圧縮気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする請求項１９に記載の配線部材の接合装置。
【請求項２１】
前記流体押圧密接手段は、減圧気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする請求項１９に記載の配線部材の接合装置。
【請求項２２】
複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合装置であって、
前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置した状態で保持する保持手段と、
該保持手段により保持された状態において、前記第１配線部材を前記第２配線部材との間隙を負圧とする流体の流れを形成することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させる流体負圧密接手段と、
前記各第１電極と前記各第２電極とを電気的に接合すべく、前記流体負圧密接手段により密接された状態の前記各第１電極と前記各第２電極とにレーザ光を照射可能な照射手段とを備えることを特徴とする配線部材の接合装置。
【請求項２３】
前記流体負圧密接手段は、前記第１配線部材と前記第２配線部材との間隙から外部へと抜ける気体の流れを形成することにより、前記間隙を負圧とすることを特徴とする請求項２２に記載の配線部材の接合装置。
【請求項２４】
前記流体負圧密接手段は、前記第１配線部材と協働して前記間隙を取り囲む負圧風路を画成可能な画成部材と、前記負圧風路の気体を吸引可能な吸引手段とを有し、
前記画成部材と前記第１配線部材とにより形成された前記負圧風路の気体を前記吸引手段で吸引することにより前記間隙を負圧とすることを特徴とする請求項２２に記載の配線部材の接合装置。
【請求項２５】
複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合装置であって、
前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置した状態で保持する保持手段と、
該保持手段により保持された状態において、前記第１配線部材の前記各第１電極が設けられていない裏面における一つの前記第１電極に相当する個所に向かう局所的な流体の流れを形成して、前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて局所的に押圧することにより、当該一つの第１電極とそれに対応する前記第２電極とを密接させる流体押圧局所密接手段と、
前記各第１電極と前記各第２電極とを電気的に接合するために、前記流体押圧局所密接手段により前記第１電極と前記第２電極との密接された個所にレーザ光を照射可能な照射手段とを備えることを特徴とする配線部材の接合装置。
【請求項２６】
前記流体押圧局所密接手段は、レーザ光と同軸上で当該レーザ光の照射方向に等しい方向から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする請求項２５に記載の配線部材の接合装置。
【請求項２７】
前記流体押圧局所密接手段は、レーザ光と異なる軸上から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする請求項２５に記載の配線部材の接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜状の第１配線部材に並列して設けられた複数の第１電極と、第２配線部材に並列して設けられた複数の第２電極とを、電気的に接合する配線部材の接合方法および配線部材の接合装置に関し、特に、液滴吐出ヘッドにおいて、第１配線部材としてのＦＰＣまたはＴＡＢに設けられた複数の第１電極と、第２配線部材としての圧電素子に設けられた複数の第２電極とを電気的に接合することに好適な配線部材の接合方法および配線部材の接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出ヘッドとして、インク滴を吐出する複数の並列されたノズル開口に個別に対応すべく並列して設けられた複数の圧力発生室の一部を圧電素子が設けられた振動板で構成し、この圧電素子の変位により各圧力発生室の容積を変化させてインク滴を吐出させるものがある。このものでは、圧電素子が、各圧力発生室の容積の変化を可能とすべく各圧力発生室に個別に対応する構成とされており、圧電素子には、各圧力発生室に対応するように複数の電極（第２電極）が並列して設けられている。この圧電素子は、電極毎に薄膜状のＦＰＣ（フレキシブルプリントケーブル）を介して制御部に接続されており、この制御部による圧力発生室毎の圧電素子の変位の制御が可能とされている。
【０００３】
ここで、ＦＰＣ（第１配線部材）には、圧電素子（第２配線部材）の各第２電極に対応するように複数の電極（第１電極）が並列して設けられており、この各第１電極と各第２電極とを適切に電気的に接合する必要がある。この接合方法として、各第１電極と各第２電極との間に金属を介在させ、この金属をレーザ光の照射により溶融させることにより、各第１電極と各第２電極とを金属で溶着して接合することが考えられている（例えば、特許文献１参照）。このように金属での溶着により各第１電極と各第２電極との接合を行う場合、安定した適切な接合状態を得るためには、接合時に各第１電極と各第２電極とが密着していることが求められる。これは、各第１電極と各第２電極とが密着していないと電気的に適切な接合状態とすることができなくなる虞があるとともに、例えば、第１配線部材を透過するようにレーザ光を照射する場合、各第１電極と各第２電極とが密着していないと接合個所が溶融される代わりに第１配線部材が焦げてしまう虞等があることによる。
【０００４】
このことから、介在される金属の溶融のための発熱体を覆うように密閉された空間を形成し、当該密閉空間において発熱体の上に各第１電極と各第２電極とが適切に対向するように第１配線部材と第２配線部材とを重ね合わせて載置し、加圧流体を用いて密閉空間の圧力を高めることにより第１配線部材および第２配線部材を発熱体に押圧して各第１電極と各第２電極とを接合することが考えられている（例えば、特許文献２参照）。このものでは、各第１電極と各第２電極とを安定した適切な状態で接合することができるが、密閉された空間を形成する必要があることから容易に実施することができない。また、第１配線部材および第２配線部材には、互いに密接されて発熱体に押圧されることから、発熱体の熱により意図せぬ変形が生じる虞がある。
【０００５】
また、密閉された空間を形成することのない簡易な構成で各第１電極と各第２電極とを密接させつつ接合するものとして、各第１電極と各第２電極とが適切に対向するように第１配線部材と第２配線部材とを重ね合わせ、第１配線部材の上から熱圧着ツールで押圧することにより各第１電極と各第２電極とを接合することが考えられている（例えば、特許文献３参照）。このものでは、各第１電極と各第２電極とを安定した適切な状態で接合することができるが、第１配線部材に熱圧着ツールが押し当てられることから、第１配線部材およびそこに密接された第２配線部材に意図せぬ熱変形が生じる虞がある。また、熱圧着ツールが押し当てられた第１配線部材を介する熱伝導を利用していることから、レーザ光の照射に比較して接合のために多くの時間が必要となるとともに、接合した後に第１配線部材（第２配線部材も同様）を冷却する必要があり、接合工程に要する時間が増加してしまう。さらに、熱圧着ツールが押し当てられた第１配線部材を介する熱伝導を利用していることから、第１配線部材の大きさ寸法、材料等により接合工程に要する時間、接合状態等に差異が生じてしまう。
【０００６】
そこで、熱変形を防止しつつ簡易な構成で各第１電極と各第２電極とを密接させた状態で接合するために、各第１電極と各第２電極とが適切に対向するように第１配線部材と第２配線部材とを重ね合わせた上からガラスまたはアクリル等の押圧部材で押圧しつつ、該押圧部材を透過するレーザ光の照射により各第１電極と各第２電極とを溶着することが考えられている（例えば、特許文献４）。
【特許文献１】特開２００３−６３００６号公報
【特許文献２】特許３３８１７８１号公報
【特許文献３】特開２００３−２１８４９４号公報
【特許文献４】特開２００６−１８８０２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献４の方法では、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じてしまい、当該ヒュームにより接合個所の周辺が汚れてしまう。このように押圧部材に汚れが付着すると、当該汚れによりレーザ光が吸収されてしまうことから適切に接合することができなくなる。この汚れはレーザ光の照射による接合の度に生じることから、適切に接合するためには接合を行う度に押圧部材の汚れを落す面倒な作業を行う必要があり、接合工程に要する時間の増加を招いてしまう。
【０００８】
また、発熱体または熱圧着ツールに直接押し当てられることに比較すると熱の影響が低減されてはいるが、レーザ光の照射により金属を溶融する際の熱が各第１電極または各第２電極を介して第１配線部材および第２配線部材に伝わることにより、第１配線部材および第２配線部材に意図せぬ熱変形が生じる虞がある。
【０００９】
本発明は、上記の問題に鑑みて為されたもので、第１配線部材および第２配線部材の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極と各第２電極とを安定した適切な状態で接合することができる配線部材の接合方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合方法であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置し、前記第１配線部材において前記各第１電極が設けられていない裏面に向かう流体の流れを形成して前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させた状態で、レーザ光を照射することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする。
【００１１】
上記した構成によれば、裏面に向かう流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて押圧されることにより、各第１電極と各第２電極とが適切に対向して互いに密接された状態でレーザ光の照射により接合されることから、安定した適切な状態で各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００１２】
また、裏面に向かう流体の流れにより第１配線部材を押圧していることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームは流体とともに移送されることから、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。
【００１３】
さらに、レーザ光の照射の際、第１配線部材がその裏面に向かう流体の流れにより押圧されていることから、流体の流れにより第１配線部材が冷却されるとともにそこに密接された第２配線部材も冷却されるので、第１配線部材および第２配線部材の熱変形を防止することができる。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の配線部材の接合方法であって、前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧する際、前記流体として圧縮気体を用い、該圧縮気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする。
【００１５】
上記した構成によれば、圧縮気体による圧力差で第１配線部材の裏面に吹き当たる気体の流れを形成するものであることから、容易に実行することができる。
【００１６】
請求項３に係る発明は、請求項１に記載の配線部材の接合方法であって、前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧する際、前記流体として減圧気体を用い、該減圧気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする。
【００１７】
上記した構成によれば、減圧気体による圧力差で第１配線部材の裏面に吹き当たる気体の流れを形成するものであることから、容易に実行することができるとともに、溶着の際に生じるヒュームを減圧気体で吸い寄せることができることから当該ヒュームを適切に取り除くことができる。
【００１８】
請求項４に係る発明は、複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合方法であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置し、前記第１配線部材と前記第２配線部材との間隙を負圧とする流体の流れを形成することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させた状態で、レーザ光を照射することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする。
【００１９】
上記した構成によれば、間隙を負圧とする流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて引き寄せられて各第１電極と各第２電極とが適切に対向して互いに密接された状態でレーザ光の照射により接合されることから、安定した適切な状態で各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００２０】
また、間隙を負圧とする流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて引き寄せられていることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームが流体とともに移送されるので、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。
【００２１】
さらに、レーザ光の照射の際、第１配線部材および第２配線部材が間隙を負圧とする流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて引き寄せられていることから、この流体の流れにより第１配線部材および第２配線部材が冷却されるので、第１配線部材および第２配線部材が熱変形することを防止することができる。
【００２２】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の配線部材の接合方法であって、前記第１配線部材と前記第２配線部材との間隙から外部へと抜ける気体の流れを形成することにより前記間隙を負圧とすることを特徴とする。
【００２３】
上記した構成によれば、間隙を通過してその外部へと抜ける気体の流れを形成するものであることから、容易に実行することができる。
【００２４】
請求項６に係る発明は、請求項４に記載の配線部材の接合方法であって、前記第１配線部材と協働して前記間隙を取り囲む負圧風路を画成する画成部材を設け、前記負圧風路から気体を吸引することにより前記間隙を負圧とすることを特徴とする。
【００２５】
上記した構成によれば、第１配線部材と画成部材との協働により形成された負圧風路の気体を吸引するものであることから、容易に実行することができる。
【００２６】
請求項７に係る発明は、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが密接された状態において、連続的な出射により形成されたレーザ光の照射位置を、前記各第１電極および前記各第２電極が並列された方向に沿って移動させることにより、前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする。
【００２７】
上記した構成によれば、連続的に出射されて形成されたレーザ光の照射位置を、互いに対向された各第１電極および各第２電極の並列方向に沿って移動させるものであることから、容易に実行することができ、各第１電極および各第２電極を接合することができる。
【００２８】
請求項８に係る発明は、複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合方法であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置し、前記第１配線部材の前記各第１電極が設けられていない裏面における一つの前記第１電極に相当する個所に向かう局所的な流体の流れを形成して、前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて局所的に押圧することにより、当該一つの第１電極とそれに対応する前記第２電極とを密接させた状態で、その密接個所にレーザ−光を照射して前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする。
【００２９】
上記した構成によれば、裏面に向かう局所的な流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて局所的に押圧されることにより、適切に対向された各第１電極および各第２電極のうち互いに密接させた第１電極と第２電極とにレーザ光を照射して接合することから、安定した適切な状態で各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００３０】
また、裏面に向かう局所的な流体の流れにより第１配線部材を押圧していることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームは流体とともに移送されることから、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。
【００３１】
さらに、レーザ光の照射の際、第１配線部材がその裏面に向かう局所的な流体の流れにより押圧されていることから、流体の流れにより第１配線部材が冷却されるとともにそこに密接された第２配線部材も冷却されるので、第１配線部材および第２配線部材の熱変形を防止することができる。
【００３２】
ついで、第１配線部材のうちレーザ光の照射領域の周辺のみを局所的に押圧して、第１電極と第２電極とを接合する構成であることから、少ない風量で確実に各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００３３】
しかも、接合個所の近傍のみを密接させる構成であることから、第１配線部材と第２配線部材との間に存在する空気を、当該第１配線部材と第２配線部材との間における密接個所の周辺に効率良く逃がすことができるので、より確実に密接させることができる。
【００３４】
請求項９に係る発明は、請求項８に記載の配線部材の接合方法であって、レーザ光と同軸上で当該レーザ光の照射方向に等しい方向から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする。
【００３５】
上記した構成によれば、局所的な気体の吹き当てにより密接された個所と、レーザ光で照射する個所とを、確実に一致させることができる。
【００３６】
請求項１０に係る発明は、請求項８に記載の配線部材の接合方法であって、レーザ光と異なる軸上から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする。
【００３７】
上記した構成によれば、局所的な気体の吹き当てにより密接された個所と、レーザ光で照射する個所とを、容易に一致させることができる。
【００３８】
請求項１１に係る発明は、請求項８ないし請求項１０のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法であって、前記第１配線部材の前記裏面への局所的な流体の流れによる押圧位置を前記各第１電極および前記各第２電極が並列された方向に沿って移動させつつ、連続的な出射により形成されたレーザ光の照射位置を前記押圧位置の移動に追従させることにより、前記各第１電極と前記各第２電極とを接合することを特徴とする。
【００３９】
上記した構成によれば、並列された複数の第１電極と、それに対応された各第２電極との適切な接合を容易なものとすることができる。
【００４０】
請求項１２に係る発明は、請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法であって、前記第１配線部材は、ＦＰＣまたはＴＡＢであることを特徴とする。
【００４１】
上記した構成によれば、第１配線部材としてＦＰＣあるいはＴＡＢが用いられていることから、意図せぬ熱変形を防止する観点から特に効果的である。
【００４２】
請求項１３に係る発明は、請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法であって、前記各第１電極と前記各第２電極とは、半田を介在させて互いに密接され、レーザ光で溶融された該半田による溶着により接合されることを特徴とする。
【００４３】
上記した構成によれば、容易な構成で、第１配線部材および第２配線部材にダメージを与えることなく、第１電極と第２電極とを電気的に接合することができる。
【００４４】
請求項１４に係る発明は、請求項１３に記載の配線部材の接合方法であって、前記半田は、鉛を含有しない非鉛半田であることを特徴とする。
【００４５】
上記した構成によれば、鉛が含有されていないことから、環境保護の観点において効果的である。
【００４６】
請求項１５に係る発明は、請求項１４に記載の配線部材の接合方法であって、前記半田は、スズおよびビスマスを主成分とすることを特徴とする。
【００４７】
上記した構成によれば、スズ（Ｓｎ）およびビスマス（Ｂｉ）を主成分とする半田が非鉛の部材の中では非常に低い融点を有していることから、第１電極と第２電極とを容易に溶着することができる。
【００４８】
請求項１６に係る発明は、請求項１ないし請求項１５のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法であって、照射するレーザ光は、半導体レーザであることを特徴とする。
【００４９】
上記した構成によれば、半導体レーザが安価でありかつ制御が容易なことから、接合作業を安価にかつ適切に行うことができる。また、半導体レーザは、樹脂材料への透過率が高いことから、第１配線部材および第２配線部材を傷めることなく第１電極と第２電極とをより適切に接合することができる。
【００５０】
請求項１７に係る発明は、記録液を吐出させるべく駆動される駆動素子と、該駆動素子への電力供給線となる配線部材とを有し、被記録体に記録するために微細な吐出口から前記記録液を液滴として吐出させる液滴吐出ヘッドであって、前記駆動素子と前記配線部材とが、請求項１ないし請求項１６のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法により接合されていることを特徴とする。
【００５１】
上記した構成によれば、安定した適切な状態で駆動素子（各第１電極）と配線部材（各第２電極）とが接合されていることから、高い品質を有する。
【００５２】
請求項１８に係る発明は、記録液を吐出させるべく駆動される駆動素子と、該駆動素子への電力供給線となる配線部材とを有し、被記録体に記録するために微細な吐出口から前記記録液を液滴として吐出させる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記駆動素子と前記配線部材とを、請求項１ないし請求項１６のいずれか１項に記載の配線部材の接合方法により接合することを特徴とする。
【００５３】
上記した構成によれば、安定した適切な状態で駆動素子（各第１電極）と配線部材（各第２電極）とを接合することができるので、より高品質の液滴吐出ヘッドを得ることができる。
【００５４】
請求項１９に係る発明は、複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合装置であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置した状態で保持する保持手段と、該保持手段により保持された状態において、前記第１配線部材において前記各第１電極が設けられていない裏面に向かう流体の流れを形成して前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させる流体押圧密接手段と、前記各第１電極と前記各第２電極とを電気的に接合すべく、前記流体押圧密接手段により密接された状態の前記各第１電極と前記各第２電極とにレーザ光を照射可能な照射手段とを備えることを特徴とする。
【００５５】
上記した構成によれば、裏面に向かう流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて押圧されることにより、各第１電極と各第２電極とが適切に対向して互いに密接された状態でレーザ光の照射により接合されることから、安定した適切な状態で各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００５６】
また、裏面に向かう流体の流れにより第１配線部材を押圧していることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームが流体とともに移送されることから、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。
【００５７】
さらに、レーザ光の照射の際、第１配線部材が裏面に向かう流体の流れにより押圧されていることから、この流体の流れにより第１配線部材が冷却されるとともにそこに密接された第２配線部材も冷却されるので、第１配線部材および第２配線部材が熱変形することを防止することができる。
【００５８】
請求項２０に係る発明は、請求項１９に記載の配線部材の接合装置であって、前記流体押圧密接手段は、圧縮気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする。
【００５９】
上記した構成によれば、流体押圧密接手段が圧縮気体による圧力差で第１配線部材の裏面に吹き当たる気体の流れを形成するものであることから、容易に形成することができる。
【００６０】
請求項２１に係る発明は、請求項１９に記載の配線部材の接合装置であって、前記流体押圧密接手段は、減圧気体による圧力差で前記第１配線部材に裏面側から当たる気体の流れを形成することにより該第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて押圧することを特徴とする。
【００６１】
上記した構成によれば、流体押圧密接手段が減圧気体による圧力差で第１配線部材の裏面に吹き当たる気体の流れを形成するものであることから、容易に形成することができる。また、溶着の際に生じるヒュームを流体押圧密接手段による減圧気体で吸い寄せることができることから当該ヒュームを適切に取り除くことができる。
【００６２】
請求項２２に係る発明は、複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合装置であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置した状態で保持する保持手段と、該保持手段により保持された状態において、前記第１配線部材を前記第２配線部材との間隙を負圧とする流体の流れを形成することにより前記各第１電極と前記各第２電極とを密接させる流体負圧密接手段と、前記各第１電極と前記各第２電極とを電気的に接合すべく、前記流体負圧密接手段により密接された状態の前記各第１電極と前記各第２電極とにレーザ光を照射可能な照射手段とを備えることを特徴とする。
【００６３】
上記した構成によれば、間隙を負圧とする流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて引き寄せられて各第１電極と各第２電極とが適切に対向して互いに密接された状態でレーザ光の照射により接合されることから、安定した適切な状態で各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００６４】
また、間隙を負圧とする流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて引き寄せられていることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームが流体とともに移送されるので、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。
【００６５】
さらに、レーザ光の照射の際、第１配線部材および第２配線部材が間隙を負圧とする流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて引き寄せられていることから、この流体の流れにより第１配線部材および第２配線部材が冷却されるので、第１配線部材および第２配線部材が熱変形することを防止することができる。
【００６６】
請求項２３に係る発明は、請求項２２に記載の配線部材の接合装置であって、前記流体負圧密接手段は、前記第１配線部材と前記第２配線部材との間隙から外部へと抜ける気体の流れを形成することにより、前記間隙を負圧とすることを特徴とする。
【００６７】
上記した構成によれば、流体負圧密接手段が間隙を通過してその外部へと抜ける気体の流れを形成するものであることから、容易に実行することができる。
【００６８】
請求項２４に係る発明は、請求項２２に記載の配線部材の接合装置であって、前記流体負圧密接手段は、前記第１配線部材と協働して前記間隙を取り囲む負圧風路を画成可能な画成部材と、前記負圧風路の気体を吸引可能な吸引手段とを有し、前記画成部材と前記第１配線部材とにより形成された前記負圧風路の気体を前記吸引手段で吸引することにより前記間隙を負圧とすることを特徴とする。
【００６９】
上記した構成によれば、流体負圧密接手段が第１配線部材と画成部材との協働により形成された負圧風路の気体を吸引するものであることから、容易に形成することができる。
【００７０】
請求項２５に係る発明は、複数の第１電極が互いに並列して設けられた薄膜状の第１配線部材と、該第１配線部材の前記各第１電極に対応すべく複数の第２電極が設けられた第２配線部材とを電気的に接合する配線部材の接合装置であって、前記各第１電極と前記各第２電極とが対向しつつ接触するように前記第１配線部材と前記第２配線部材とを対向配置した状態で保持する保持手段と、該保持手段により保持された状態において、前記第１配線部材の前記各第１電極が設けられていない裏面における一つの前記第１電極に相当する個所に向かう局所的な流体の流れを形成して、前記第１配線部材を前記第２配線部材へ向けて局所的に押圧することにより、当該一つの第１電極とそれに対応する前記第２電極とを密接させる流体押圧局所密接手段と、前記各第１電極と前記各第２電極とを電気的に接合するために、前記流体押圧局所密接手段により前記第１電極と前記第２電極との密接された個所にレーザ光を照射可能な照射手段とを備えることを特徴とする。
【００７１】
上記した構成によれば、裏面に向かう局所的な流体の流れにより第１配線部材が第２配線部材へ向けて局所的に押圧されることにより、適切に対向された各第１電極および各第２電極のうち互いに密接させた第１電極と第２電極とにレーザ光を照射して接合することから、安定した適切な状態で各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００７２】
また、裏面に向かう局所的な流体の流れにより第１配線部材を押圧していることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームは流体とともに移送されることから、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。
【００７３】
さらに、レーザ光の照射の際、第１配線部材がその裏面に向かう局所的な流体の流れにより押圧されていることから、流体の流れにより第１配線部材が冷却されるとともにそこに密接された第２配線部材も冷却されるので、第１配線部材および第２配線部材の熱変形を防止することができる。
【００７４】
ついで、第１配線部材のうちレーザ光の照射領域の周辺のみを局所的に押圧して、第１電極と第２電極とを接合する構成であることから、少ない風量で確実に各第１電極と各第２電極とを接合することができる。
【００７５】
しかも、接合個所の近傍のみを密接させる構成であることから、第１配線部材と第２配線部材との間に存在する空気を、当該第１配線部材と第２配線部材との間における密接個所の周辺に効率良く逃がすことができるので、より確実に密接させることができる。
【００７６】
請求項２６に係る発明は、請求項２５に記載の配線部材の接合装置であって、前記流体押圧局所密接手段は、レーザ光と同軸上で当該レーザ光の照射方向に等しい方向から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする。
【００７７】
上記した構成によれば、局所的な気体の吹き当てにより密接された個所と、レーザ光で照射する個所とを、確実に一致させることができる。
【００７８】
請求項２７に係る発明は、請求項２５に記載の配線部材の接合装置であって、前記流体押圧局所密接手段は、レーザ光と異なる軸上から気体を局所的に吹き当てることにより、局所的な流体の流れを形成することを特徴とする。
【００７９】
上記した構成によれば、局所的な気体の吹き当てにより密接された個所と、レーザ光で照射する個所とを、容易に一致させることができる。
【発明の効果】
【００８０】
本発明に係る配線部材の接合方法では、第１配線部材および第２配線部材の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極と各第２電極とを安定した適切な状態で接合することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８１】
以下に、本発明に係る配線部材接合装置の各実施例を図面を参照しつつ説明する。
【実施例１】
【００８２】
図１は、本発明に係る配線部材の接合方法を実施することができる配線部材接合装置１０の構成を説明するための側方から見た模式的な構成図である。配線部材接合装置１０は、薄膜状の第１配線部材に設けられた複数の並列する第１電極と、第２配線部材に設けられた複数の並列する第２電極とを電気的に接合するものである。以下の説明では、図１を正面視した高さ方向Ｚ軸方向とし、これに直交する平面をＸ−Ｙ平面とし、図１を正面視した幅方向（横方向）をＹ軸方向とする。
【００８３】
配線部材接合装置１０では、基台１１に、第１部材保持機構１２と、第２部材保持機構１３と、レーザ照射機構１４と、カメラ１５と、風路形成機構１６とが設けられており、図示を略す制御機構により統括的に駆動制御されている。
【００８４】
第１部材保持機構１２は、基台１１上に設けられた接合ＸＹ方向調整部１７と、そこに取り付けられた接合Ｚ軸方向調整部１８と、そこに取り付けられた調整ステージ１９とを有する。接合ＸＹ方向調整部１７は、図示は略すがＸ軸方向に延在するガイド軸に駆動自在に支承されたＸ軸駆動部と、Ｙ軸方向に延在するガイド軸に駆動自在に支承されたＹ軸駆動部とにより構成され、Ｘ―Ｙ平面に沿って移動自在とされている。この接合ＸＹ方向調整部１７とともに移動可能とするように、接合ＸＹ方向調整部１７に接合Ｚ軸方向調整部１８が取り付けられている。
【００８５】
接合Ｚ軸方向調整部１８は、図示は略すが接合ＸＹ方向調整部１７に対してＺ軸方向に沿って出入自在に構成されている。この接合Ｚ軸方向調整部１８とともに移動可能とするように、換言すると、接合ＸＹ方向調整部１７と接合Ｚ軸方向調整部１８とにより基台１１上で所望の位置へと移動可能とするように、接合Ｚ軸方向調整部１８に調整ステージ１９が取り付けられている。
【００８６】
調整ステージ１９は、接合Ｚ軸方向調整部１８の上端位置でＸ−Ｙ平面に沿って延在するように設けられた板状部材である。この調整ステージ１９のＸ−Ｙ平面に沿う上面（１９ａ）が第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）の載置面１９ａとなり、この面から突出する複数の位置決めピン２０（図１では１つのみ図示する）が設けられているとともに、載置面１９ａに載置された第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）を吸着保持することが可能とされている。各位置決めピン２０は、調整ステージ１９の載置面１９ａに載置される第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）の載置位置を大略決めるものである。上記した構成により、第１部材保持機構１２は、調整ステージ１９の載置面１９ａ上で吸着保持した第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）を、Ｘ−Ｙ平面に沿って延在する状態で所望の位置に調整することができる。この第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）と接合される第２配線部材（実施例１では後述する圧電素子５５）を固定保持するために第２部材保持機構１３が設けられている。
【００８７】
第２部材保持機構１３は、基台１１上に設けられた固定台２１に取り付けられた第２部材載置台２２を有し、この第２部材載置台２２上に載置された第２配線部材を吸着保持することが可能（実施例１では第２配線部材としての後述するベース部材５６を介してそこに取り付けられた圧電素子５５を固定する）とされている。第２部材保持機構１３は、吸着保持した第２配線部材（実施例１では後述する圧電素子５５と一体とされたベース部材５６）の接合個所の上方に、第１部材保持機構１２により大略位置決めされた状態で吸着保持された第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）の接合個所が位置するように、第１部材保持機構１２との相対的な位置関係が設定されている。この接合個所にレーザ光を照射するためにレーザ照射機構１４が設けられている。
【００８８】
レーザ照射機構１４は、取付アーム２３を介して常に一定位置で固定されるように基台１１に取り付けられており、レーザＸＹ方向調整部２４と、レーザＺ軸方向調整部２５と、レーザ照射部２６とを有する。
【００８９】
レーザＸＹ方向調整部２４は、図示は略すがＸ軸方向に延在するガイド軸に駆動自在に支承されたＸ軸駆動部と、Ｙ軸方向に延在するガイド軸に駆動自在に支承されたＹ軸駆動部とにより構成され、Ｘ−Ｙ平面に沿って移動自在とされている。このレーザＸＹ方向調整部２４とともに移動可能とするように、レーザＸＹ方向調整部２４にレーザＺ軸方向調整部２５が取り付けられている。
【００９０】
レーザＺ軸方向調整部２５は、図示は略すがレーザＸＹ方向調整部２４に対してＺ軸方向に沿って出入自在に構成されている。このレーザＺ軸方向調整部２５とともに移動可能とするように、換言すると、レーザＸＹ方向調整部２４とレーザＺ軸方向調整部２５とにより基台１１上で所望の位置へと移動可能とするように、レーザＺ軸方向調整部２５にレーザ照射部２６が取り付けられている。
【００９１】
レーザ照射部２６は、レーザ光Ｌを出射可能であり、実施例１では、半導体レーザが採用されている。レーザ照射部２６は、レーザＸＹ方向調整部２４とレーザＺ軸方向調整部２５とにより移動された位置に拘わらず、Ｚ軸方向に沿ってレーザ光Ｌを出射可能にレーザＺ軸方向調整部２５に取り付けられている。このことから、実施例１では、レーザ照射機構１４が照射手段として機能している。このレーザ照射部２６と、第２部材保持機構１３により吸着保持された第２配線部材（実施例１では後述するベース部材５６）と、の間に位置するようにカメラ１５が設けられている。カメラ１５は、図示は略すが、その光軸が、レーザ照射部２６の移動に拘わらずレーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌの光軸上に位置するように（例えばレーザ照射部２６と連動するようにレーザＺ軸方向調整部２５に固定する）設けられている。このため、カメラ１５は、レーザ照射部２６によるレーザ光Ｌの照射を阻害することなく、レーザ光Ｌの照射領域の近傍を撮像することができる。このカメラ１５と第２部材保持機構１３により吸着保持された第２配線部材（実施例１では後述するベース部材５６）との間で、後述する風路形成板２７を保持するのが風路形成機構１６である。
【００９２】
風路形成機構１６は、風路ＸＹ方向調整部２８と、風路形成板２７とを有する。風路ＸＹ方向調整部２８は、図示は略すがＸ軸方向に延在するガイド軸に駆動自在に支承されたＸ軸駆動部と、Ｙ軸方向に延在するガイド軸に駆動自在に支承されたＹ軸駆動部とにより構成され、Ｘ−Ｙ平面に沿って移動自在とされている。この風路ＸＹ方向調整部２８とともに移動可能とするように、風路ＸＹ方向調整部２８に風路形成板２７が取り外し可能に固定保持されている。
【００９３】
風路ＸＹ方向調整部２８は、後述するように全体に板形状を呈する風路形成板２７がＸ−Ｙ平面に沿って延在し、かつレーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌおよびそれに一致するカメラ１５の光軸が、風路形成板２７に設けられたレーザ透過板部４１および風路形成切欠部分４３の内方を縦断するように、風路形成板２７を固定保持している。また、風路ＸＹ方向調整部２８は、レーザＸＹ方向調整部２４およびレーザＺ軸方向調整部２５によりレーザ照射部２６が移動されると、レーザ光Ｌおよびカメラ１５の光軸に対する風路形成板２７の位置関係を維持するようにレーザ照射部２６の位置に連動する構成とされている。これにより、レーザ照射部２６から出射されたレーザ光Ｌは、移動されるレーザ照射部２６の位置に拘わらず、風路形成板２７を透過して第１配線部材（実施例１では後述するＦＰＣ５７）と第２配線部材（実施例１では後述するベース部材５６）との接合個所を照射することができる。
【００９４】
このように構成された配線部材接合装置１０は、実施例１では、液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を組み立てる際に用いられる。図２は、組立工程の一部に配線部材接合装置１０が使用されて形成される液滴吐出ヘッド５０を分解して示す模式的な斜視図である。
【００９５】
液滴吐出ヘッド５０は、図２を正面視して、上からノズル板５１と連通板５２と流路板５３と振動板５４と２つの圧電素子５５とベース部材５６とが重ねられ、かつ両圧電素子５５にＦＰＣ（フレキシブルプリントケーブル）５７が接合された状態においてフレーム５８内に収容されて構成されている。ノズル板５１には、図示は略すがインクが吐出されるノズル孔が２列に穿設され、流路板５３には、各ノズル孔に対応する個別の圧力室（図示せず）が形成され、連通板５２には、各圧力室から各ノズル孔にインクを連通する複数の連通孔５２ａが形成されている。２つの圧電素子５５は、ベース部材５６に取り付けられており、各圧力室においてエネルギー発生手段として機能する（すなわち両圧電素子５５とベース部材５６とでアクチュエーターユニットを構成する）ものであり、圧力室の１つの壁を形成する振動板５４に接合される。この各圧電素子５５には、駆動制御のための制御部（図示せず）にＦＰＣ５７を介して電気的に接続される。両ＦＰＣ５７は、柔軟性があり大きく変形させることが可能な薄膜状の部材で形成されており、図示は略すが内方に複数の電路が設けられている。２つのＦＰＣ５７は、図３に示すように、一端（詳細には後述する各第１電極６１）で各圧電素子５５（詳細には後述する第２電極６０）に電気的に接合され、一端の近傍がホットメルト接着剤５９を介してベース部材５６に接着されている。このＦＰＣ５７と圧電素子５５との接合個所近傍を拡大した模式的な斜視図を図４に示す。
【００９６】
圧電素子５５は、図４に示すように、一端が各圧力室（図示せず）に対応するように略直線上に位置する（Ｘ軸方向に並列する）櫛歯状（５５ａ）とされており、この各櫛歯部５５ａの側端面に電気的な接続を可能とする電極（第２電極６０）が設けられている。このことから、複数の電極（第２電極６０）は、圧電素子５５に並列して設けられていることとなる。この各電極（第２電極６０）に対応するように（図５参照）、ＦＰＣ５７には複数の電極（第１電極６１）が並列して設けられている。
【００９７】
この各電極（第１電極６１）は、圧電素子５５を駆動制御する制御部（図示せず）と圧電素子５５とを電気的に接続するＦＰＣ５７において、圧電素子５５との電気的な接続をする個所となる。このことから、ＦＰＣ５７では、ベース部材５６に対向される側が、各第１電極６１が形成された表面であり、図１、図２および図４を正面視して上側の面が各第１電極６１が設けられていない裏面となる。この各第１電極６１の下面に半田部材６２が設けられている。
【００９８】
半田部材６２は、各第１電極６１（金属部材）およびＦＰＣ５７（樹脂部材）を透過可能なレーザ光の照射により溶融する、すなわち各第１電極６１（金属部材）およびＦＰＣ５７（樹脂部材）に比較して低い融点を有する材料であり、かつ導電性を有する材料から構成されたものであればよく、鉛（Ｐｂ）を含有しないものであることが望ましい。なお、実施例１では、半田部材６２としてスズ（Ｓｎ）およびビスマス（Ｂｉ）を主成分とする半田が用いられている。
【００９９】
このように、実施例１では、本発明の配線部材の接合方法において、薄膜状のＦＰＣ５７が第１配電部材となり、その並列する複数の電極が第１電極６１となり、圧電素子５５が第２配線部材となり、その並列する複数の電極が第２電極６０となる。この各第１電極６１と各第２電極６０とを適切に接合するために、配線部材接合装置１０すなわち本発明の配線部材の接合方法が用いられる。この方法について以下で説明する。
【０１００】
方法の説明に先立って、この方法に用いられる風路形成板２７（図６および図７参照）について述べる。図６（ａ）は、風路形成板２７を示す模式的な斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面図であり、図７は、風路形成板２７を上方から（図６（ａ）矢印Ｖ１参照）見た上面図である。
【０１０１】
風路形成板２７は、図６および図７に示すように、全体に板形状を呈する風路形成基板４０と、それよりも薄くかつ小さな板形状を呈しレーザ光の透過を許す材料で形成されたレーザ透過板部４１とを有する。風路形成基板４０には、その上面を開口しレーザ透過板部４１の嵌合が可能な形状の透過板嵌合切欠部分４２と、図６および図７を正面視した横方向（Ｘ軸方向）に位置する両側面を矩形状に開口（４４）しかつ下面を長尺な矩形状に開口（４５）する風路形成切欠部分４３とが設けられている。風路形成基板４０では、透過板嵌合切欠部分４２にレーザ透過板部４１が嵌合され、このレーザ透過板部４１と風路形成切欠部分４３との協働により両側方の各側面開口４４から下面の下面開口４５に至る吐出押圧風路４６が形成されている。
【０１０２】
次に、この風路形成板２７を用いた本発明の配線部材の接合方法の説明をする。
【０１０３】
圧電素子５５にＦＰＣ５７を接合するために、先ず、各第１電極６１と各第２電極６０とが適切に対向しつつ接触するように圧電素子５５（第２配線部材）とＦＰＣ５７（第１配線部材）とを重ね合わせて対向配置する（図４および図５参照）。
【０１０４】
Ｚ軸方向で見て、圧電素子５５とＦＰＣ５７との接合個所が、レーザ透過板部４１を経て風路形成切欠部分４３の内方に位置するように、重ね合わせられた圧電素子５５およびＦＰＣ５７の上方に風路形成板２７を配置する（図７および図８参照）。
【０１０５】
圧縮空気形成手段６３（図８参照）を用いて、風路形成板２７の両側面開口４４から吐出押圧風路４６へと気体を送り込む（図８矢印Ｂ１参照）。圧縮空気形成手段６３は、両側面開口４４から吐出押圧風路４６へと気体を送り込むことができればよく、例えば、送風機、コンプレッサ等を用いることができる。この圧縮空気形成手段６３は、配線部材接合装置１０にあっては、例えば、風路形成機構１６の風路ＸＹ方向調整部２８または風路形成板２７に取り付けることにより、風路形成板２７の両側面開口４４への圧縮気体の送り込みの際の位置調整の作業をなくすことができる。
【０１０６】
圧縮空気形成手段６３により吐出押圧風路４６に送り込まれた気体が下面開口４５から下方へ向けて吹き出され、この吹き出された空気がＦＰＣ５７の上方からＺ軸方向に沿うようにＦＰＣ５７の上面に吹き当たり、接合位置の近傍でＦＰＣ５７が圧電素子５５へ向けて一様に押圧される（図８矢印Ｆ１参照）。このため、各第１電極６１と各第２電極６０とは、互いに適切に対向した状態で半田部材６２を介在させて密接される。このことから、実施例１では、風路形成板２７および圧縮空気形成手段６３が流体押圧密接手段として機能している。
【０１０７】
このように、吐出押圧風路４６を経た気体の流れにより各第１電極６１と各第２電極６０とが密接された状態で、レーザ照射部２６からレーザ光Ｌを出射させ、このレーザ光Ｌでレーザ透過板部４１を経て各第１電極６１と各第２電極６０との接合個所を照射する。このとき、レーザ照射部２６と、重ね合わせられた圧電素子５５およびＦＰＣ５７と、の少なくとも一方を相対的に移動することによりレーザ光Ｌの照射位置をＸ軸方向に移動（走査）する（図８矢印Ａ１参照）。すると、上記したように、レーザ光Ｌは、ＦＰＣ５７および各第１電極６１を透過して半田部材６２を溶融させることから、各第１電極６１と各第２電極６０とが半田部材６２により溶着されて電気的に接合される。なお、実施例１では、半田部材６２で溶着する構成とされているが、各第１電極６１と各第２電極６０とを電気的に接続できるものであれば、半田以外の部材を介して接合する構成であってもよく、電極自体を溶融させて接合する構成であってもよい。
【０１０８】
次に、上記した本発明の配線部材の接合方法を行う配線部材接合装置１０を用いてＦＰＣ５７と圧電素子５５とを電気的に接合する様子を説明する。
【０１０９】
図１に示すように、ベース部材５６に２つの圧電素子５５が固定されて構成されたアクチュエーターユニットを、第２部材保持機構１３の第２部材載置台２２に載置して吸着保持させる。
【０１１０】
ＦＰＣ５７を、その位置決め孔５７ａ（図２参照）に位置決めピン２０を挿通させつつ第１部材保持機構１２の調整ステージ１９に載置し、調整ステージ１９で吸着保持させる。これにより、ＦＰＣ５７の圧電素子５５に対する位置が大略設定される、すなわちＦＰＣ５７の各第１電極６１が圧電素子５５の各第２電極６０と略対向されつつ接触されることとなる。実施例１では、このように載置されることにより、互いに対向された各第１電極６１と各第２電極６０とが、Ｘ軸方向に沿って並列される。このことから、第１部材保持機構１２および第２部材保持機構１３が、各第１電極６１と各第２電極６０とが対向しつつ接触するようにＦＰＣ５７（第１配線部材）と圧電素子５５が固定されたベース部材５６（第２配線部材）とを対向配置した状態で保持する保持手段として機能している。
【０１１１】
カメラ１５からの映像を見つつＦＰＣ５７の各第１電極６１と圧電素子５５の各第２電極６０とが適切な状態で対向するように、第１部材保持機構１２の調整ステージ１９の位置調整を行う。なお、この位置調整は、図示を略す制御機構がカメラ１５からの映像を解析して自動的に行うものであってもよい。
【０１１２】
圧縮空気形成手段６３（図８参照）を用いて、風路形成板２７の両側面開口４４から吐出押圧風路４６へと気体を送り込み、各第１電極６１と各第２電極６０とを半田部材６２を介在させて密着させる。
【０１１３】
気体の流れにより各第１電極６１と各第２電極６０とを半田部材６２を介在させて密着させた状態で、その接合個所（半田部材６２）のレーザ光の照射による走査（Ｘ軸方向に沿う照射位置の移動）を行う（図８矢印Ａ１参照）。このとき、図９に示すように、接合個所（半田部材６２）の近傍位置に、下方へ向かう気体の流れを形成するように吸引手段６４を設けることができる。この吸引手段６４は、例えば、風路形成機構１６の風路ＸＹ方向調整部２８に取り付けることにより、容易に実現することができる。吸引手段６４を設けた場合、吐出押圧風路４６から吹き出されてＦＰＣ５７の上面に吹き当たる気体の流れをより円滑なものとすることができる。このことから、吸引手段６４は、風路形成板２７および圧縮空気形成手段６３と協働して流体押圧密接手段を構成することとなる。
【０１１４】
これにより、ＦＰＣ５７と圧電素子５５とは、各第１電極６１と各第２電極６０とが適切に対向しつつ安定した状態で、電気的に接合されることとなる。
【０１１５】
この後、配線部材接合装置１０では、レーザＸＹ方向調整部２４およびレーザＺ軸方向調整部２５によりレーザ照射部２６をＹ軸方向でマイナス側（ベース部材５６で見て圧電素子５５が設けられていない側）へと移動させる（２点鎖線で示すレーザ照射部２６参照）。この際、カメラ１５および風路形成板２７もレーザ照射部２６に連動する（２点鎖線で示すカメラ１５および風路形成板２７参照）。これらの移動の後、レーザ照射部２６から出射されたレーザ光Ｌで適宜Ｘ軸方向に沿って走査してＦＰＣ５７の一端の近傍に設けられたホットメルト接着剤５９を溶融し、ＦＰＣ５７とベース部材５６とをホットメルト接着剤５９を介して接着する。これにより、ＦＰＣ５７と圧電素子５５とは、各第１電極６１と各第２電極６０とが適切に対向しつつ安定して溶着した状態で、電気的に接合され、かつ電気的な接合とは別にホットメルト接着剤５９を介して接着されることとなる。なお、このホットメルト接着剤５９によるＦＰＣ５７とベース部材５６との接着は行わなくてもよい。
【０１１６】
上記した工程の後、適宜第１部材保持機構１２の調整ステージ１９によるＦＰＣ５７の吸着保持、および第２部材保持機構１３の第２部材載置台２２によるベース部材５６の吸着保持を解除し、ＦＰＣ５７の位置決め孔５７ａ（図２参照）から位置決めピン２０を抜きつつ、電気的に接合されたＦＰＣ５７と圧電素子５５、およびベース部材５６（アクチュエーターユニット）を取り出す。
【０１１７】
上述したように、配線部材接合装置１０（本発明に係る配線部材の接合方法）では、ＦＰＣ５７（第１配電部材）の各第１電極６１と、圧電素子５５（第２配電部材）の各第２電極６０とが適切に対向して互いに密接された状態でレーザ光の照射により接合されることから、安定した適切な状態で各第１電極６１と各第２電極６０とを接合することができる。このことから、配線部材接合装置１０（本発明に係る配線部材の接合方法）を用いることにより、より高品質の液滴吐出ヘッドを得ることができる。
【０１１８】
また、配線部材接合装置１０では、ＦＰＣ５７の上面（接合面に対する裏面）に向かう気体の流れによりＦＰＣ５７を押圧していることから、レーザ光の照射による溶着の際にフラックスおよび異物等のヒュームが生じても、このヒュームが流体とともに移送されるので、ヒュームにより接合個所の周辺が汚れることを防止することができる。このため、従来の押圧部材を押し付けつつレーザ光を照射して接合する構成のように、付着した汚れにレーザ光が吸収されることに起因して適切に接合できなくなる虞はなく、接合を行う度に押圧部材の汚れを落す面倒な作業を行う必要もないことから、当該従来の構成に比較して、接合工程に要する時間を削減しつつ適切な接合状態を得ることができる。
【０１１９】
さらに、配線部材接合装置１０では、レーザ光の照射の際、ＦＰＣ５７がその上面に向かう流体の流れにより押圧されていることから、この流体の流れによりＦＰＣ５７が冷却されるとともにそこに密接された圧電素子５５も冷却されるので、ＦＰＣ５７および圧電素子５５が熱変形することを防止することができる。上記した実施例１では、第１配電部材としてＦＰＣ５７が用いられていたことから、特に、冷却による熱変形の防止が効果的である。このため、従来の熱圧着ツールを第１配線部材に押し付けて接合する構成のように第１配線部材の熱伝導を利用することと比較して、接合までに要する時間を短縮できるとともに、接合後に第１配線部材（第２配線部材も同様）を冷却する必要もなくなり、接合工程に要する時間を削減することができる。また、第１配線部材（ＦＰＣ５７）がレーザ光の透過を許す部材であれば、当該第１配線部材（ＦＰＣ５７）の大きさ寸法、材料等により接合状態に差異が生じることはない。
【０１２０】
配線部材接合装置１０では、風路形成板２７の吐出押圧風路４６に圧縮空気形成手段６３で気体を送り込むことにより各第１電極６１と各第２電極６０とを密着（上記した実施例１では半田部材６２を介在させて）させる構成であることから、簡易な構成で実現することができる。
【０１２１】
配線部材接合装置１０では、風路形成板２７の吐出押圧風路４６の下面開口４５から吹き出された気体をＦＰＣ５７の上面に吹き当てる構成であることから、一様な力でＦＰＣ５７を圧電素子５５へ向けて押圧（図８矢印Ｆ１参照）して各第１電極６１と各第２電極６０とを密着（上記した実施例１では半田部材６２を介在させて）させることができる。このため、より安定して適切な状態で各第１電極６１と各第２電極６０とを電気的に接合することができる。
【０１２２】
配線部材接合装置１０では、ＦＰＣ５７の位置決め孔５７ａに位置決めピン２０を挿通させつつ第１部材保持機構１２の調整ステージ１９に載置する構成であることから、容易に位置決めを行うことができるので、適切な接合を容易なものとし、この接合工程の時間の短縮をすることができる。
【０１２３】
配線部材接合装置１０では、カメラ１５の映像に基づいて、各第１電極６１と各第２電極６０との相対的な位置決めを行った後に接合することから、各第１電極６１と各第２電極６０との接合状態の精度を高めることができ、より高精度な液滴吐出ヘッドを得ることができる。
【０１２４】
配線部材接合装置１０では、Ｘ軸方向に沿って一直線上に位置する各第１電極６１と各第２電極６０との接合個所にのみ半田部材６２を設け、この直列する接合個所に合わせてレーザ光の照射位置をＸ軸方向に移動（走査）することにより、各第１電極６１と各第２電極６０とを接合するものであることから、簡易な構成とすることができ、接合工程に要する時間を短縮することができる。これは、各接合個所に応じてレーザ光の出射を入切制御する場合、接合対象が微少なものであることから複雑な制御が必要であるとともに、適切な接合状態を得る観点からレーザ光の照射位置のＸ軸方向に移動（走査）速度には限度があることによる。
【０１２５】
配線部材接合装置１０では、各第１電極６１に設けられた半田部材６２を溶融させることにより、各第１電極６１と各第２電極６０とを接合する構成であることから、ＦＰＣ５７（第１配線部材）および圧電素子５５（第２配線部材）にダメージを与えることなく、各第１電極６１と各第２電極６０とを電気的に接合することができる。
【０１２６】
配線部材接合装置１０では、半田部材６２としてスズ（Ｓｎ）およびビスマス（Ｂｉ）が主成分の部材を用いており、鉛が含有されていないことから、環境保護の観点において効果的であるとともに、スズ（Ｓｎ）およびビスマス（Ｂｉ）が主成分の半田部材６２は非鉛の部材の中では非常に低い融点を有していることから、ＦＰＣ５７（第１配線部材）および圧電素子５５（第２配線部材）にダメージを与えることなく第１電極と第２電極とを容易に溶着することができる。
【０１２７】
配線部材接合装置１０では、レーザ光として用いられた半導体レーザが安価でありかつ制御しやすいことから、接合作業を安価にかつ適切に行うことができる。また、半導体レーザは、樹脂材料への透過率が高いことから、ＦＰＣ５７（第１配線部材）および圧電素子５５（第２配線部材）にダメージを与えることなく、各第１電極６１と各第２電極６０とを適切に接合することができる。
【０１２８】
配線部材接合装置１０では、ＦＰＣ５７と圧電素子５５とを、各第１電極６１と各第２電極６０とが適切に対向しつつ安定して溶着した状態で電気的に接合し、かつ電気的な接合とは別にホットメルト接着剤５９を介して接着することができる。
【０１２９】
したがって、配線部材接合装置１０（本発明に係る配線部材の接合方法）では、第１配線部材（実施例１ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例１では圧電素子５５）の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極６１と各第２電極６０とを安定した適切な状態で接合することができる。
【実施例２】
【０１３０】
次に、実施例２の配線部材接合装置１０２について説明する。実施例２の配線部材接合装置１０２は、実施例１の配線部材接合装置１０において風路形成板２７および圧縮空気形成手段６３により形成された流体押圧密接手段が、異なる構成とされた例である。配線部材接合装置１０２は、その基本的な構成は実施例１の配線部材接合装置１０と同様であるので、同一機能部分には実施例１と同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、図１０は、流体押圧密接手段の一部としての押圧風路画成部材６５を模式的に示す斜視図であり、図１１は、風路形成板２７に押圧風路画成部材６５が押し当てられた状態を説明するための図７と同様の上面図であり、図１２は、配線部材接合装置１０２において各第１電極６１と各第２電極６０とが半田部材６２を介在させて密接された状態でレーザ光が照射される様子を示す模式的な断面図である。
【０１３１】
配線部材接合装置１０２では、図１１および図１２に示すように、配線部材接合装置１０と同様の風路形成板２７の下方に押圧風路画成部材６５が押し当てられて流体押圧密接手段を構成する。押圧風路画成部材６５は、図１０に示すように、第２部材保持機構１３の第２部材載置台２２によりベース部材５６が吸着保持された状態において、ベース部材５６に取り付けられた圧電素子５５を、風路形成板２７と協働して各櫛歯部５５ａ側で取り囲む（図１１および図１２参照）ことを可能とすべく、上面および一方の側面が開口された箱状を呈しており、上面に相当する個所が風路形成板２７に当接され、一方の側面に相当する個所から圧電素子５５を内在させるようにベース部材５６の一端を受け入れ可能とされて当該側面に相当する個所が第２部材載置台２２に当接される。押圧風路画成部材６５には、下壁部を開口する吸引開口６５ａが形成されている。
【０１３２】
配線部材接合装置１０２では、図１１および図１２に示すように、風路形成板２７と押圧風路画成部材６５と第２部材載置台２２との協働により、ベース部材５６の一端および圧電素子５５が内在し、風路形成板２７の各側面開口４４から下面の下面開口４５を経て、押圧風路画成部材６５の吸引開口６５ａに至る吸引押圧風路６６が形成される。この吸引開口６５ａには、吸引手段６４´が設けられ、この吸引手段６４´が吸引押圧風路６６内の気体を吸引する（図１２矢印Ｂ２参照）ことにより、吸引押圧風路６６内が負圧となり、風路形成板２７の各側面開口４４から吸引押圧風路６６内へと気体が流入する（図１２矢印Ｂ３参照）。これにより、吸引押圧風路６６内では、ＦＰＣ５７を上面側から下方（圧電素子５５側）へ向けて押圧する気体の流れが形成されることから、接合位置の近傍でＦＰＣ５７が圧電素子５５へ向けて一様に押圧されるので（図１２矢印Ｆ２参照）、各第１電極６１と各第２電極６０とは、互いに適切に対向した状態で半田部材６２を介在させて密接される。このことから、実施例２の配線部材接合装置１０２では、風路形成板２７、押圧風路画成部材６５、第２部材載置台２２および吸引手段６４´が流体押圧密接手段として機能している。この押圧風路画成部材６５および吸引手段６４´は、例えば、風路形成機構１６の風路ＸＹ方向調整部２８に設けることで、設定および接合工程の実施を容易なものとすることができる。また、押圧風路画成部材６５は、吸引手段６４´の吸引によりＦＰＣ５７を上面側から下方（圧電素子５５側）へ向けて押圧する気体の流れを形成する吸引押圧風路６６を構成できるものであれば、例えば、風路形成板２７および第２部材載置台２２に取り付ける構成であってもよく、実施例２に限定されるものではない。
【０１３３】
よって、配線部材接合装置１０２では、配線部材接合装置１０と同様に、第１配線部材（実施例２ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例２では圧電素子５５）の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極６１と各第２電極６０とを安定した適切な状態で接合することができる。
【０１３４】
特に、配線部材接合装置１０２では、減圧気体による圧力差（実施例２では吸引手段６４´による吸引押圧風路６６内の気体の吸引）でＦＰＣ５７（第１配線部材）の上面（裏面）に吹き当たる気体の流れを形成するものであることから、流体押圧密接手段の他に吸着手段を設けることなく、溶着の際に生じるヒュームを適切に取り除くことができる。
【実施例３】
【０１３５】
次に、実施例３の配線部材接合装置１０３について説明する。実施例３の配線部材接合装置１０３は、実施例１の配線部材接合装置１０および実施例２の配線部材接合装置１０２とは、各第１電極６１と各第２電極６０と密接させる構成が異なる例とされたものである。しかしながら、実施例３の配線部材接合装置１０３は、気体の流れを形成して第１配線部材（ＦＰＣ５７）および第２配線部材（圧電素子５５）を冷却しつつヒュームを除去する点では、実施例１の配線部材接合装置１０および実施例２の配線部材接合装置１０２と同様であることはいうまでもない。配線部材接合装置１０３は、その基本的な構成は実施例１の配線部材接合装置１０と同様であるので、同一機能部分には実施例１と同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、図１３は、配線部材接合装置１０３において各第１電極６１と各第２電極６０とが半田部材６２を介在させて密接された状態でレーザ光が照射される様子を示す模式的な断面図である。
【０１３６】
配線部材接合装置１０３では、風路形成板２７を用いることはなく、圧縮空気形成手段６３´で各第１電極６１と各第２電極６０との間隙に気体を送り込むことにより、各第１電極６１と各第２電極６０とを密接させるものである。
【０１３７】
圧縮空気形成手段６３´が、各第１電極６１と各第２電極６０との間隙に気体を送り込まれる（図１３矢印Ｂ４参照）と当該間隙から外部へと流れ出る気体の流れ（図１３矢印Ｂ５参照）が形成されることとなり、当該間隙の圧力が周囲の圧力に比較して低くなる。これにより、接合位置の近傍でＦＰＣ５７が圧電素子５５へ向けて引き寄せられるので（図１３矢印Ｆ３参照）、各第１電極６１と各第２電極６０とは、互いに適切に対向した状態で半田部材６２を介在させて密接される。このことから、実施例３の配線部材接合装置１０３では、圧縮空気形成手段６３´が流体負圧密接手段として機能している。
【０１３８】
よって、配線部材接合装置１０３では、配線部材接合装置１０および配線部材接合装置１０２と同様に、第１配線部材（実施例３ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例３では圧電素子５５）の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極６１と各第２電極６０とを安定した適切な状態で接合することができる。
【実施例４】
【０１３９】
次に、実施例４の配線部材接合装置１０４について説明する。実施例４の配線部材接合装置１０４は、実施例１の配線部材接合装置１０、実施例２の配線部材接合装置１０２および実施例３の配線部材接合装置１０３とは、各第１電極６１と各第２電極６０と密接させる構成が異なる例とされたものである。しかしながら、実施例４の配線部材接合装置１０４は、気体の流れを形成して第１配線部材（ＦＰＣ５７）および第２配線部材（圧電素子５５）を冷却しつつヒュームを除去する点では、実施例１の配線部材接合装置１０、実施例２の配線部材接合装置１０２および実施例３の配線部材接合装置１０３と同様であることはいうまでもない。配線部材接合装置１０４は、その基本的な構成は実施例１の配線部材接合装置１０と同様であるので、同一機能部分には実施例１と同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、図１４は、配線部材接合装置１０３において各第１電極６１と各第２電極６０とが半田部材６２を介在させて密接された状態を示す模式的な断面図であり、図１５は、図１４のII−II線に沿って得られた断面図であり、図１６は、図１４のIII−III線に沿って得られた断面図である。
【０１４０】
配線部材接合装置１０４では、図１４ないし図１６に示すように、負圧風路画成部材６７を用いる。負圧風路画成部材６７は、板形状を呈し、圧電素子５５の各櫛歯部５５ａの先端面に面当接されつつＦＰＣ５７に当接されるように取り付けられる。これにより、負圧風路画成部材６７は、ＦＰＣ５７および圧電素子５５と協働して、圧電素子５５の各櫛歯部５５ａの間に吸引負圧風路６８を形成する。この各吸引負圧風路６８には、吸引手段６４´´が設けられる。各吸引手段６４´´が吸引負圧風路６８内で気体を吸引する（図１５および図１６の矢印Ｂ６参照）ことにより、各第１電極６１と各第２電極６０との間隙から気体が流出し（図１６の矢印Ｂ７参照）、各第１電極６１と各第２電極６０とが密接する。これにより、接合位置の近傍でＦＰＣ５７が圧電素子５５へ向けて引き寄せられるので（図１６矢印Ｆ４参照）、各第１電極６１と各第２電極６０とは、互いに適切に対向した状態で半田部材６２を介在させて密接される。このことから、実施例４の配線部材接合装置１０４では、負圧風路画成部材６７および吸引手段６４´´が流体負圧密接手段として機能している。この負圧風路画成部材６７および吸引手段６４´´は、例えば、風路形成機構１６の風路ＸＹ方向調整部２８に設けることで、設定および接合工程の実施を容易なものとすることができる。また、負圧風路画成部材６７は、吸引手段６４´´の吸引により各第１電極６１と各第２電極６０との間隙を負圧とするものであれば、例えば、圧電素子５５に取り付ける構成であってもよく、実施例４に限定されるものではない。
【０１４１】
よって、配線部材接合装置１０４では、配線部材接合装置１０および配線部材接合装置１０２と同様に、第１配線部材（実施例４ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例４では圧電素子５５）の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極６１と各第２電極６０とを安定した適切な状態で接合することができる。
【実施例５】
【０１４２】
次に、実施例５の配線部材接合装置１０５について説明する。実施例５の配線部材接合装置１０５は、実施例１の配線部材接合装置１０、実施例２の配線部材接合装置１０２、実施例３の配線部材接合装置１０３および実施例４の配線部材接合装置１０４とは、各第１電極６１と各第２電極６０と密接させる構成が異なる例とされたものである。しかしながら、実施例５の配線部材接合装置１０５は、気体の流れを形成して第１配線部材（ＦＰＣ５７）および第２配線部材（圧電素子５５）を冷却しつつヒュームを除去する点では、実施例１の配線部材接合装置１０、実施例２の配線部材接合装置１０２、実施例３の配線部材接合装置１０３および実施例４の配線部材接合装置１０４と同様であることはいうまでもない。配線部材接合装置１０５は、その基本的な構成は実施例１の配線部材接合装置１０と同様であるので、同一機能部分には実施例１と同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、図１７は、配線部材接合装置１０５の構成を説明するための側方から見た模式的な構成図であり、図１８は、流体押圧局所密接手段の一部としての局所押圧風路画成部材７０を模式的に示す斜視図である。また、図１９は、配線部材接合装置１０５において、第１配線部材（ＦＰＣ５７）の裏面に向かう気体の流れにより第１電極６１と第２電極６０とが局所的に密接されて接合されることを説明するための模式的な説明図であり、図２０は、配線部材接合装置１０５において各第１電極６１と各第２電極６０とをレーザ光Ｌの照射により接合する様子を示す説明図である。
【０１４３】
配線部材接合装置１０５では、図１７に示すようにレーザ照射機構１４５およびカメラ１５５が、実施例１の配線部材接合装置１０のレーザ照射機構１４およびカメラ１５と異なる構成とされており、風路形成機構１６が設けられていない。レーザ照射機構１４５では、レーザＺ軸方向調整部２５に、カメラ１５５およびレーザ照射部２６が取り付けられており、そのレーザ照射部２６には局所押圧風路画成部材７０が取り付けられている。
【０１４４】
局所押圧風路画成部材７０は、図１８および図１９に示すように、一端７０ａ側がテーパ状とされ、かつ他端７０ｂ側が円筒状とされた筒体で構成されている。この局所押圧風路画成部材７０は、一端７０ａが局所的な気体の吹き付けが可能な口径とされ、他端７０ｂ近傍に導入口７０ｃが設けられている。この導入口７０ｃには、圧縮空気形成手段６３´´（図１９参照）が接続されている。局所押圧風路画成部材７０は、図１９に示すように、その中心軸線（一端７０ａの開口の中心も含む。）がレーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌと同軸となるように、他端７０ｂがレーザ照射部２６の下面（レーザ光Ｌの出射側の面）に気密的に取り付けられており、レーザ照射部２６と協働して導入口７０ｃから一端７０ａへ通じる局所押圧風路７１を画成している。この局所押圧風路７１では、圧縮空気形成手段６３´´から導入口７０ｃを経て気体が導入されると、一端７０ａから気体を吹き出して、レーザ光Ｌと同軸上でＺ軸方向下側（ＦＰＣ５７側）へ向けた気体の流れを形成することができる。このため、局所押圧風路画成部材７０は、その導入口７０ｃに接続された圧縮空気形成手段６３´´およびレーザ照射部２６と協働して、流体押圧局所密接手段を構成している。なお、実施例５では、配線部材接合装置１０５に、実施例１の配線部材接合装置１０で述べた吸引装置６４（図９参照）が設けられており、レーザ光Ｌと同軸上でＺ軸方向下側（ＦＰＣ５７側）へ向けた気体の流れが、より円滑なものとされる。
【０１４５】
このレーザ照射機構１４５では、図１９に示すように、圧縮空気形成手段６３´´から局所押圧風路７１内へと気体を送り込みつつ、レーザ照射部２６からレーザ光Ｌを出射すると、局所押圧風路画成部材７０の一端７０ａから吹き出された気体が、ＦＰＣ５７の上方からレーザ光Ｌの軸線と一致する位置で局所的にＦＰＣ５７の上面に吹き当たり、ＦＰＣ５７におけるレーザ光Ｌにより照射される個所の周辺が圧電素子５５へ向けて局所的に押圧される（矢印Ｆ５参照）。換言すると、流体押圧局所密接手段は、接合のためのレーザ光Ｌの照射領域に照準を合わせて、ＦＰＣ５７の上面に局所的に気体を吹き当てている。このため、適切に対向された各第１電極６１および各第２電極６０のうち、局所押圧風路画成部材７０の一端７０ａから吹き出した気体を局所的に吹き当てて密接させた第１電極６１と第２電極６０とを、レーザ光Ｌにより接合することができる。このことから、ここでいう局所的に吹き当たる気体の流れとは、少なくともレーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌの接合のための照射の際（本実施例では半田部材６２を溶融すべく照射する際）の照射領域（照射スポットの大きさ寸法）で第１電極６１と第２電極６０とを密着させるべく、第１配線部材（ＦＰＣ５７）を第２配線部材（圧電素子５５）へ向けて局所的に押圧することを可能とするものである。
【０１４６】
この配線部材接合装置１０５では、先ず、図１７に２点鎖線で示すように、カメラ１５５をＦＰＣ５７の各第１電極６１（圧電素子５５の各第２電極６０）の上方に位置させて、ＦＰＣ５７の各第１電極６１と圧電素子５５の各第２電極６０とが適切な状態で対向するように、カメラ１５５からの映像に基づいて第１部材保持機構１２の調整ステージ１９の位置調整を行う。この位置調整の後、図１７に実線で示すように、適切に対向された各第１電極６１と各第２電極６０とを接合すべくレーザ光Ｌを照射できる位置に、レーザ照射部２６を移動させる。この際のレーザ照射部２６の位置調整は、例えば、レーザＸＹ方向調整部２４とレーザＺ軸方向調整部２５とによる機械的な設定で行ってもよく、図示は略すが複数のカメラからの映像に基づいて行ってもよい。
【０１４７】
このように、各位置を設定した後、図２０に示すように、圧縮空気形成手段６３´´（図１９参照）から局所押圧風路７１内へと気体を送り込みつつ、レーザ照射部２６からレーザ光Ｌを出射した状態で、その接合個所（半田部材６２）のレーザ光Ｌの照射による走査（Ｘ軸方向に沿う照射位置の移動）を行う（矢印Ａ２、２点鎖線で示すレーザ照射部２６および局所押圧風路画成部材７０参照）。すると、各第１電極６１と各第２電極６０とは、圧縮空気形成手段６３´´から局所的に気体を吹き当てられて密接されている個所にレーザ光Ｌが照射され、この密接されつつ照射される個所が各第１電極６１と各第２電極６０が並列されたＸ軸方向に移動されることとなるので、順次密接された状態でレーザ光Ｌにより接合されることとなる。
【０１４８】
これにより、ＦＰＣ５７と圧電素子５５とは、各第１電極６１と各第２電極６０とが適切に対向しつつ安定した状態で、電気的に接合される。このとき、配線部材接合装置１０５では、吸引手段６４が設けられていることから、局所押圧風路画成部材７０の一端７０ａから吹き出されてＦＰＣ５７の上面に局所的に吹き当たる気体の流れをより円滑なものとすることができる。
【０１４９】
よって、配線部材接合装置１０５では、ＦＰＣ５７の上面に局所的に吹き当たる気体の流れで第１電極６１と第２電極６０とを密接させつつ接合する構成であることから、配線部材接合装置１０および配線部材接合装置１０２と同様に、第１配線部材（実施例５ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例５では圧電素子５５）の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極６１と各第２電極６０とを安定した適切な状態で接合することができる。
【０１５０】
特に、配線部材接合装置１０５では、ＦＰＣ５７のうちレーザ照射機構１４５からのレーザ光Ｌの照射領域の周辺のみを局所的に押圧して、第１電極６１と第２電極６０と接合する構成であることから、少ない風量で確実に各第１電極６１と各第２電極６０とを接合することができる。
【０１５１】
また、配線部材接合装置１０５では、接合個所の近傍のみを密接させる構成であることから、第１配線部材（実施例５ではＦＰＣ５７）と第２配線部材（実施例５では圧電素子５５）との間に存在する気体を、当該第１配線部材と第２配線部材との間における密接個所の周辺に効率良く逃がすことができるので、より確実に密接させることができる。
【０１５２】
さらに、配線部材接合装置１０５では、レーザ光Ｌの軸線上で当該レーザ光Ｌと等しい方向から局所的な気体を吹き当てる構成であることから、この局所的な気体をレーザ光Ｌの照射領域に確実に吹き当てることができる。特に、例えば、接合対象の変更に伴ってレーザ照射部２６とレーザ光Ｌの照準位置との間隔が変化した場合であっても、流体押圧局所密接手段による吹き当て位置を何ら変更することなく、局所的な気体をレーザ光Ｌの照射領域に確実に吹き当てることができる。
【０１５３】
配線部材接合装置１０５では、レーザ照射部２６に設けられた流体押圧局所密接手段がレーザ光Ｌの照射領域に吹き当てる局所的な気体の流れを形成していることから、局所的な吹き当て位置をレーザ照射部２６の移動に確実に追従させることができる。
【０１５４】
配線部材接合装置１０５では、レーザ光Ｌの照射領域すなわち接合個所の近傍のみを密接させる構成であることから、第１配線部材（実施例５ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例５では圧電素子５５）の大きさ寸法等の変更に拘わらず、局所的な気体をレーザ光Ｌの照射領域に確実に吹き当てることができる。
【実施例６】
【０１５５】
次に、実施例６の配線部材接合装置１０６について説明する。実施例６の配線部材接合装置１０６は、実施例５の配線部材接合装置１０５における流体押圧局所密接手段の構成が異なる例とされたものである。しかしながら、実施例６の配線部材接合装置１０６は、気体の流れを形成して第１配線部材（ＦＰＣ５７）および第２配線部材（圧電素子５５）を冷却しつつヒュームを除去する点では、実施例１の配線部材接合装置１０、実施例２の配線部材接合装置１０２、実施例３の配線部材接合装置１０３、実施例４の配線部材接合装置１０４および実施例５の配線部材接合装置１０５と同様であることはいうまでもない。配線部材接合装置１０６は、その基本的な構成は実施例５の配線部材接合装置１０５と同様であるので、同一機能部分には実施例１と同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、図２１は、配線部材接合装置１０６において、第１配線部材（ＦＰＣ５７）の裏面に向かう気体の流れにより第１電極６１と第２電極６０とが局所的に密接されて接合されることを説明するための模式的な説明図である。
【０１５６】
配線部材接合装置１０６では、図２１に示すように、実施例５の配線部材接合装置１０５においてレーザ照射部２６に取り付けられていた局所押圧風路画成部材７０に代えて、流体押圧局所密接手段としての局所吹付機構７２が設けられている。
【０１５７】
局所吹付機構７２は、圧縮空気形成手段にノズル状の吹出口７２ａが設けられて構成されており、吹出口７２ａの軸線に沿って局所的に気体を吹き当てることが可能とされている。局所吹付機構７２は、吹出口７２ａの軸線が、レーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌの軸線と、第１配線部材（ＦＰＣ５７）の裏面上で交差するように、設定されている。換言すると、局所吹付機構７２（流体押圧局所密接手段）は、接合のためのレーザ光Ｌの照射領域に照準を合わせて、ＦＰＣ５７の上面に局所的に気体を吹き当てている。この局所吹付機構７２は、例えば、レーザＺ軸方向調整部２５に取り付けることにより、レーザ光Ｌの照射による走査のために移動される照射領域に、局所的な吹き当て位置を追従させることができる。
【０１５８】
この配線部材接合装置１０６では、局所吹付機構７２から気体を吹き出しつつレーザ照射部２６からレーザ光Ｌを出射すると、局所吹付機構７２から吹き出された気体が、ＦＰＣ５７の上面においてレーザ光Ｌの軸線と交差する個所に局所的に吹き当たり、ＦＰＣ５７におけるレーザ光Ｌにより照射される個所の周辺が圧電素子５５へ向けて局所的に押圧される（矢印Ｆ６参照）。このため、適切に対向された各第１電極６１および各第２電極６０のうち、局所押圧風路画成部材７０の一端７０ａから吹き出した気体を局所的に吹き当てて密接させた第１電極６１と第２電極６０とを、レーザ光Ｌにより接合することができる。
【０１５９】
よって、配線部材接合装置１０６では、配線部材接合装置１０５と同様に、第１配線部材（実施例６ではＦＰＣ５７）および第２配線部材（実施例６では圧電素子５５）の意図せぬ熱変形を防止しつつヒュームによる汚れを防止した状態で、各第１電極６１と各第２電極６０とを安定した適切な状態で接合することができる。
【０１６０】
特に、配線部材接合装置１０６では、吹出口７２ａの軸線が、レーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌの軸線と、第１配線部材（ＦＰＣ５７）の裏面上で交差するように、局所吹付機構７２を設ける構成であることから、簡易な構成で実現することができる。
【０１６１】
配線部材接合装置１０６では、局所押圧風路画成部材７０で局所的に気体を吹き当てるための局所押圧風路画成部材７０を別個設けて構成されていることから、例えば、従来の第１配線部材（実施例６ではＦＰＣ５７）を第２配線部材（実施例６では圧電素子５５）へ押圧する機構が設けられていない配線部材接合装置であっても、容易に適用することができ、接合のためのレーザ光Ｌの照射領域に照準を合わせて、第１配線部材の上面に局所的に気体を吹き当てる構成とすることができる。
【０１６２】
なお、上記した各実施例では、第１配線部材として、ＦＰＣ５７が用いられていたが、薄膜状であり互いに並列された複数の電極が設けられているものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。例えば、第１配線部材としてＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）を用いた場合、ＦＰＣの場合と同様に冷却による熱変形の防止が効果的である。
【０１６３】
また、上記した各実施例では、液滴吐出ヘッド５０（図２参照）の構成部品であるＦＰＣ５７の各第１電極６１と、圧電素子５５の各第２電極６０とを電気的に接合する例が示されていたが、薄膜状の第１配電部材に設けられた複数の並列された第１電極と、第２配電部材に設けられた複数の並列された第２電極とを電気的に接合するものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１６４】
さらに、上記した各実施例では、各第１電極６１の下面（表面）に設けられた半田部材６２の溶着により各第１電極６１と各第２電極６０とを接合するものであったが、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１６５】
上記した各実施例では、被記録体（記録紙等）に記録（印刷）するために、微細な吐出口（上記した各実施例では、ノズル板５１のノズル孔）から記録液（インク）を液滴として吐出させる液滴吐出ヘッド５０において、第２配線部材として各圧力室においてエネルギー発生手段として機能する（すなわち両圧電素子５５とベース部材５６とでアクチュエーターユニットを構成する）圧電素子５５が用いられていたが、記録液（インク）を液滴として吐出させるべく駆動される（エネルギー発生手段として機能する）素子であれば、例えば、圧電素子（電圧の印加による撓み変形で押し出す方式）の他に、発熱素子（加熱による気泡で押し出す方式）または静電気により駆動する素子（静電気による撓み変形で押し出す方式）等であってもよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【０１６６】
上記した各実施例では、レーザ照射部２６として半導体レーザが採用されていたが、接合すべく照射する個所（上記した各実施例では半田部材６２）への吸収率がよく、第１配線部材（上記した各実施例ではＦＰＣ５７）の透過率がよいものであれば、例えば、連続的に出射されたＹＡＧ（イットリウム（Ｙｉｔｔｒｉｕｍ）・アルミニウム（Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ）・ガーネット（Ｇａｒｎｅｔ））レーザであってもよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【０１６７】
上記した実施例１では、風路形成板２７により形成された吐出押圧風路４６に圧縮空気形成手段６３で気体を送り込むことにより、また、実施例２では、風路形成板２７および押圧風路画成部材６５により形成された吸引押圧風路６６の気体を吸引手段６４´で吸引することにより、各第１電極６１と各第２電極６０とを密接させる構成であったが、ＦＰＣ５７の上面（裏面）に向かう気体の流れを形成してＦＰＣ５７を圧電素子５５へ向けて押圧するものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１６８】
上記した実施例３では、各第１電極６１と各第２電極６０との間隙に圧縮空気形成手段６３´で気体を送り込むことにより、また、実施例４では、負圧風路画成部材６７、ＦＰＣ５７および圧電素子５５により圧電素子５５の各櫛歯部５５ａの間に形成された吸引負圧風路６８の気体を吸引手段６４´´で吸引することにより、各第１電極６１と各第２電極６０とを密接させる構成であったが、各第１電極６１と各第２電極６０との間隙を周囲に比較して負圧としてＦＰＣ５７を圧電素子５５へと引き寄せるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１６９】
上記した実施例５では、レーザ照射部２６の下面に封止的に取り付けられた局所押圧風路画成部材７０が画成する局所押圧風路７１内に圧縮空気形成手段６３´´から気体を導入することにより、局所的な気体の流れを形成していたが、第１配線部材（実施例５ではＦＰＣ５７）の上面におけるレーザ光Ｌが照射される個所に向かう局所的な気体の流れを形成することができればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１７０】
上記した実施例６では、吹出口７２ａの軸線が、レーザ照射部２６から出射されるレーザ光Ｌの軸線と第１配線部材（ＦＰＣ５７）の裏面上で交差するように、局所吹付機構７２が設けられていたが、接合すべくレーザ光Ｌが照射される個所において第１電極６１と第２電極６０とが密接するように、レーザ光Ｌとは異なる軸上から気体を局所的に第１配線部材（ＦＰＣ５７）の裏面（上面）に吹き当てて当該第１配線部材（ＦＰＣ５７）を第２配線部材（圧電素子５５）へ向けて局所的に押圧するものであれば、第１配線部材（ＦＰＣ５７）に対するレーザ光Ｌの光軸の角度関係、および当該レーザ光Ｌの光軸に対する局所的な気体の吹き当て方向の軸位置は任意に設定すればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１７１】
以上、本発明を実施例に基づき詳述してきたが、この具体的な構成に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明の技術的範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【０１７２】
【図１】本発明に係る配線部材の接合方法を実施することができる配線部材接合装置の構成を説明するための側方から見た模式的な構成図である。
【図２】本発明に係る配線部材の接合方法が適用される液滴吐出ヘッドを分解して示す模式的な斜視図である。
【図３】ベース部材に取り付けられた２つの圧電素子とＦＰＣとの接合状態を示す模式的な構成図である。
【図４】ＦＰＣと圧電素子との接合個所近傍を拡大した模式的な斜視図である。
【図５】ＦＰＣと圧電素子との接合個所近傍を拡大した模式的な上面である。
【図６】風路形成板部を説明するための説明図であり、（ａ）は模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面図である。
【図７】ＦＰＣと圧電素子との接合個所の上方に風路形成板部が配置された様子を示す模式的な上面図である。
【図８】各第１電極と各第２電極とをレーザ光の照射により接合する様子を示す説明図である。
【図９】ＦＰＣの裏面に向かう気体の流れにより各第１電極と各第２電極とが密接されることを説明するための模式的な説明図である。
【図１０】押圧風路画成部材６５を模式的に示す斜視図である。
【図１１】風路形成板部および押圧風路画成部材により形成される吸引押圧風路を説明するための模式的な説明図である。
【図１２】実施例２の方法で各第１電極と各第２電極とをレーザ光の照射により接合する様子を示す説明図である。
【図１３】実施例３の方法で、各第１電極と各第２電極とを密接させる様子を示す説明図である。
【図１４】負圧風路画成部材、ＦＰＣおよび圧電素子により圧電素子の各櫛歯部の間に吸引負圧風路が形成された様子を模式的に示す斜視図である。
【図１５】図１４のII−II線に沿って得られた断面図である。
【図１６】図１４のIII−III線に沿って得られた断面図である。
【図１７】実施例５の配線部材接合装置の構成を説明するための側方から見た模式的な構成図である。
【図１８】流体押圧局所密接手段の一部としての局所押圧風路画成部材を模式的に示す斜視図である。
【図１９】実施例５の配線部材接合装置において、第１配線部材（ＦＰＣ）の裏面に向かう気体の流れにより第１電極と第２電極とが局所的に密接されて接合されることを説明するための模式的な説明図である。
【図２０】実施例５の配線部材接合装置において各第１電極と各第２電極とをレーザ光の照射により接合する様子を示す説明図である。
【図２１】実施例６の配線部材接合装置において、第１配線部材（ＦＰＣ）の裏面に向かう気体の流れにより第１電極と第２電極とが局所的に密接されて接合されることを説明するための模式的な説明図である。
【符号の説明】
【０１７３】
１０、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６  配線部材接合装置
１２  （保持手段としての）第１部材保持機構
１３  （保持手段としての）第２部材保持機構
１４  （照射手段としての）レーザ照射機構
２２  （流体負圧密接手段としての）第２部材載置台
２７  （流体押圧密接手段としての）風路形成板
５５  （第２配線部材としての）圧電素子
５７  （第１配線部材としての）ＦＰＣ
６０  第２電極
６１  第１電極
６２  半田部材
６３  （流体押圧密接手段としての）圧縮空気形成手段
６３´  （流体負圧密接手段としての）圧縮空気形成手段
６４´  （流体押圧密接手段としての）吸引手段
６４´´  （流体負圧密接手段としての）吸引手段
６５  （流体負圧密接手段としての）押圧風路画成部材
６７  （画成部材としての）負圧風路画成部材
６７  （流体負圧密接手段としての）負圧風路画成部材
６８  （負圧風路としての）吸引負圧風路
７０  （流体押圧局所密接手段としての）局所押圧風路画成部材
７２  （流体押圧局所密接手段としての）局所吹付機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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