(57)【要約】      （修正有）【課題】ストレスがほとんどかかることなく基板を搬送することができる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送装置本体２の上流側部に配設された上流側搬送部４と、その下流側部に配設された下流側搬送部６とを具備し、上流側搬送部４及び下流側搬送部６は、基板１２を搬送するための搬送経路を規定する基板搬送装置。下流側搬送部６は、下流側搬送ベルト機構７０及び基板ストック手段７２を備え、下流側搬送ベルト機構７０が基板ストック手段７２の上方に配設され、これらが上下方向に移動自在に搬送装置本体２に支持されている。また、上流側搬送部４は、上流側搬送ベルト機構１６及び基板挿入手段１８を備え、基板挿入手段１８は、非作用位置と作用位置との間を移動自在に前記搬送装置本体２に取り付けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送装置本体の上流側部に配設された上流側搬送部と、前記搬送装置本体の下流側部に配設された下流側搬送部とを具備し、前記上流側搬送部及び前記下流側搬送部は、基板を搬送するための搬送経路を規定し、
前記下流側搬送部は、前記搬送経路の下流側部を規定する下流側搬送ベルト機構と、前記基板をストックするための基板ストック手段とを備え、前記下流側搬送ベルト機構は前記基板ストック手段の上方に配設され、前記下流側搬送ベルト機構及び前記基板ストック手段が上下方向に移動自在に前記搬送装置本体に支持されており、
前記上流側搬送部は、前記搬送経路の上流側部を規定する上流側搬送ベルト機構と、前記上流側搬送ベルト機構により搬送された前記基板を前記基板ストック手段に収納するための基板挿入手段とを備え、前記基板挿入手段は、前記搬送経路から後退する非作用位置と、前記搬送経路に突出する作用位置との間を移動自在に前記搬送装置本体に取り付けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記上流側搬送部は、更に、前記基板ストック手段に挿入収納された前記基板を下流側に押し出すための基板押出手段を備え、前記基板押出手段が前記基板挿入手段と一体的に移動するように前記搬送装置本体に移動自在に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板などの基板を搬送するための基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回路基板を搬送する基板搬送装置として、基板を搬送する搬送ベルト機構と、この搬送ベルト機構の下流側に配設された収納ラックと、収納ラックを上下方向に移動させるための移動機構を備えたものが用いられている（例えば、特許文献１の従来の技術の欄参照）。搬送ベルト機構は所定方向に移動される一対の搬送ベルトを有し、かかる一対の搬送ベルト上に基板の両側部が支持されて搬送される。収納ラックは、上下方向に配設された複数の収納空間が設けられ、かかる収納ラックに関連して、基板を収納ラックに収納するための基板挿入手段と、収納ラックに収納された基板を下流側に押し出すための基板押出手段とが設けられている。
【０００３】
このような基板搬送装置においては、回路基板は搬送ベルト機構によって収納ラックに向けて下流側に搬送され、搬送ベルト機構の所定位置に停止保持される。そして、収納ラックの所定収納空間が搬送ベルト機構の搬送面に対応する位置に保持され、また基板挿入手段が搬送ベルト上の基板に作用して下流に押し、この基板挿入手段の作用によって基板が収納ラック所定収納空間に挿入され、搬送ベルト機構によって搬送されてきた基板は、このようにして収納ラックの所定収納空間に一時的に挿入保持される。
【０００４】
収納した基板を更に下流側に搬送するときには、収納ラックの所定収納空間が基板押出手段に対応する位置に位置付けられ、また基板押出手段が所定収納空間に収納された基板に作用して下流側に押し出し、このようにして収納ラックに収納された基板が下流側に移動して搬送される。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−４８６１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した基板搬送装置には、次の通りの解決すべき問題がある。基板は搬送ベルト機構などによって搬送するときには大きな力は作用せず、ストレスがかかることはほとんどないが、基板挿入手段によって基板を収納ラックに挿入するときには、基板挿入手段が基板に作用してこれを押圧挿入するので、基板に押圧力が作用してストレスがかかるようになる。また、基板押出手段によって収納ラックから押し出すときにも同様に、基板押出手段が基板に作用して収納ラックから押し出すので、この基板に押圧力が作用してストレスがかかるようになる。このように基板にストレスがかかると、電子部品などのハンダ接合部にストレスがかかり、このストレスが大きくなるとハンダ接合部に悪影響がでる（例えば、接合不良の原因となる）おそれがある。
【０００７】
また、このような基板搬送装置では、搬送ベルト機構により搬送される基板を一時的に収納ラックに収容するために、基板を下流側に搬送するためのタクトが長くなる問題がある。即ち、搬送ベルト機構により搬送され基板を基板挿入手段（一般的に、空圧シリンダ機構により作動される）により収納ラックに収納し、その後収納ラックに収納された基板を基板押出手段（一般的に、空圧シリンダ機構により作動される）により下流側に押し出すので、上流側から移送されてきた基板を基板搬送装置から更に下流側に移送するのに時間を要し、その結果、基板の搬送タクトが長くなる。
【０００８】
本発明の目的は、ストレスがほとんどかかることなく基板を搬送することができる基板搬送装置を提供することである。
また、本発明の他の目的は、基板の搬送タクトを短くすることができる基板搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の請求項１に記載の基板搬送装置は、搬送装置本体の上流側部に配設された上流側搬送部と、前記搬送装置本体の下流側部に配設された下流側搬送部とを具備し、前記上流側搬送部及び前記下流側搬送部は、基板を搬送するための搬送経路を規定し、
前記下流側搬送部は、前記搬送経路の下流側部を規定する下流側搬送ベルト機構と、前記基板をストックするための基板ストック手段とを備え、前記下流側搬送ベルト機構は前記基板ストック手段の上方に配設され、前記下流側搬送ベルト機構及び前記基板ストック手段が上下方向に移動自在に前記搬送装置本体に支持されており、
前記上流側搬送部は、前記搬送経路の上流側部を規定する上流側搬送ベルト機構と、前記上流側搬送ベルト機構により搬送された前記基板を前記基板ストック手段に収納するための基板挿入手段とを備え、前記基板挿入手段は、前記搬送経路から後退する非作用位置と、前記搬送経路に突出する作用位置との間を移動自在に前記搬送装置本体に取り付けられていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の請求項２に記載の基板搬送装置では、前記上流側搬送部は、更に、前記基板ストック手段に挿入収納された前記基板を下流側に押し出すための基板押出手段を備え、前記基板押出手段が前記基板挿入手段と一体的に移動するように前記搬送装置本体に移動自在に取り付けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の請求項１に記載の基板搬送装置によれば、搬送装置本体の下流側搬送部は下流側搬送ベルト機構及び基板ストック手段とを備え、その上流側搬送部は上流側搬送ベルト機構及び基板挿入手段を備え、下流側搬送ベルト機構及び基板ストック手段が一体的に上下方向に移動自在に支持され、また基板挿入手段が非作用位置と作用位置との間を移動自在に装着されている。基板を下流側に搬送するときには、下流側搬送ベルト機構が上流側搬送ベルト機構に対応する位置に位置付けられ、基板は上流側搬送ベルト機構及び下流側ベルト搬送機構により搬送され、この搬送時に基板に大きな力が作用せず、ストレスがかかることがほとんどなく搬送することができ、またこれら搬送ベルト機構によって短時間で搬送することができ、搬送タクトを短くすることができる。また、基板を一時的にストックするときには、基板ストック手段が上流側搬送ベルト機構に対応する位置に位置付けられるとともに、基板挿入手段が作用位置に位置付けられ、基板は基板挿入手段によって基板ストック手段に一時的に挿入保持される。このように基板ストック手段に挿入される基板は、例えば不良の基板である。
【００１２】
また、下流側搬送部においては、下流側搬送ベルト機構が基板ストック手段の上方に配設されているので、基板ストック手段及びこれに収納された基板からの塵、埃などが下流側搬送ベルト機構を通して搬送される基板上に落下することがなく、基板をきれいな状態に保ちながら下流側に搬送することができる。
【００１３】
また、本発明の請求項２に記載の基板搬送装置によれば、上流側搬送部は基板押出手段を備えているので、基板ストック手段に収納された基板をこの基板押出手段によって下流側に押し出して搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明に従う基板搬送装置の一実施形態について説明する。図１は、一実施形態の基板搬送装置を簡略的に示す断面図であり、図２は、図１の基板搬送装置の一部を簡略的に示す平面図であり、図３は、図１の基板搬送装置において基板挿入手段を作用位置に、昇降ユニットを最上昇位置に保持した状態を簡略的に示す断面図であり、図４は、基板を基板ストック手段に挿入するために昇降ユニットを上昇させた状態を簡略的に示す図であり、図５は、基板挿入手段によって基板を基板ストック手段に挿入する状態を示す図であり、図６は、挿入保持した基板を押し出すために基板押出手段を作用位置に、また昇降ユニットを上昇させた状態を示す図であり、図７は、基板押出手段によって基板を基板ストック手段から押し出す状態を示す図である。
【００１５】
図１〜図３において、図示の基板搬送装置は、工場の床面などに設置される搬送装置本体２を備え、この搬送装置本体２は、その上流側部に配設される上流側搬送部４と、その下流側に配設される下流側搬送部６から構成されている。上流側搬送部４の上流側には第１装置８が配設され、下流側搬送部６の下流側には第２装置１０が配設され、第１装置８から搬送された回路基板の如き基板１２は、この基板搬送装置（上流側搬送部４及び下流側搬送部６）を通して第２装置１０に搬送される。
【００１６】
上流側搬送部４は、上流側装置本体１４を備え、この上流側装置本体１４に上流側搬送ベルト機構１６、基板挿入手段１８及び基板押出手段２０が設けられている。上流側搬送ベルト機構１６は上流側装置本体１４の上端部に配設され、矢印２２で示す搬送方向に対して垂直な方向（上流側装置本体１４の横方向であって、図１及び図３において紙面に垂直な方向、図２において上下方向）に間隔をおいて配設された一対の搬送ベルト手段２４，２６を備えている。一対の搬送ベルト手段２４，２６は実質上同一の構成であり、搬送方向に間隔をおいて配設されたプーリ２８，３０と、これらプーリ２８，３０に巻き掛けられた無端状ベルト３２を備え、無端状ベルト３２の上走行部が、基板１２を搬送するための上流側搬送経路を規定する。
【００１７】
一対の搬送ベルト手段２４，２６における無端状ベルト３２の上走行部の両外側（上流側装置本体１４の横方向両外側）には、略Ｌ字状の案内部材３４，３６が配設され、これら案内部材３４，３６の上方に延びる案内部３８，４０が、搬送ベルト手段２４，２６によって搬送される基板１２を案内し、基板１２は、一対の案内部材３４，３６に案内されて矢印２２で示す方向に搬送される。
【００１８】
基板挿入手段１８及び基板押出手段２０は、一対の搬送ベルト手段２４，２６の間に配置される。上流側装置本体１４には中間支持板４２が設けられ、この中間支持板４２に、空圧シリンダ機構の如き第１昇降シリンダ機構４４が取り付けられ、第１昇降シリンダ機構４４の出力ロッド４６に取付支持体４７が取り付けられている。基板押出手段２０は、空圧シリンダ機構の如きシリンダ機構４８から構成され、このシリンダ機構４８が取付支持体４７の中間部に取り付けられ、その出力ロッド５０は下流側搬送部６に向けて延び、出力ロッド５０の先端部に押圧部５２が設けられている。また、基板挿入手段１８は、ロッドレス型の空圧シリンダ機構の如きシリンダ機構５４を備え、このシリンダ機構５４が取付支持体４７の上端部に取り付けられている。シリンダ機構５４の出力部には支持部材５６を介して押圧部材５８が取り付けられ、この押圧部材５８は下流側搬送部６に向かって延びている。
【００１９】
このように構成されているので、第１昇降シリンダ機構４４が収縮した状態においては、取付支持体４７（これに取り付けられた基板挿入手段１８及び基板押出手段２０）は、図１に示す下降位置に位置付けられ、基板挿入手段１８（換言すると、押圧部材５８）は上記上流側搬送経路の下方に後退して非作用位置に位置し、上流側搬送ベルト機構１６によって搬送される基板１２に作用することがない。また、第１昇降シリンダ機構４４が伸長した状態においては、取付支持体４７は図３に示す上昇位置に位置付けられ、基板挿入手段１８（換言すると、押圧部材５８）は上記上流側搬送経路に突出する作用位置に位置付けられ、上流側搬送ベルト機構１６によって搬送される基板１２に作用する。また、基板挿入手段１８のシリンダ機構５４が図１〜図３に示す第１の状態にある（即ち、その先端側に例えば空圧が作用する状態）ときには、その押圧部材５８は上流側装置本体１４の上流部に位置し、そのシリンダ機構５４が図５に示す第２の状態にある（即ち、その基部側に例えば空圧が作用する状態）ときには、その押圧部材５８の先端部は、後述するように下流側搬送部６内に突出して基板１２を挿入する（図５参照）。更に、基板押出手段２０のシリンダ機構４８が伸縮した状態においては、その出力部５０（及びそれに取り付けられた押圧部５２）は上流側装置本体１４に位置し、そのシリンダ機構５４が伸長した状態においては、その出力ロッド５０の先端部（押圧部５２）は、後述するように下流側搬送部６内に突出して基板１２を下流側に押し出す。
【００２０】
この上流側装置本体１４の中間支持板４２には第１駆動源としての電動モータ６０が装着され、この電動モータ６０の出力部がスプロケット、チェーン及び歯車など駆動伝達機構６２を介して一対の搬送ベルト手段２４，２６のプーリ２８に駆動連結されている。従って、この電動モータ６０が所定方向に回転駆動されると、一対の搬送ベルト機構２４，２６の搬送ベルト３２の上走行部は矢印２２で示す方向移動され、これによって、基板１２は下流側搬送部６に向けて搬送される。
【００２１】
次に、下流側搬送部６について説明すると、図示の下流側搬送部６は、下流側装置本体６８を備え、この下流側装置本体６８に下流側搬送ベルト機構７０及び基板ストック手段７２が設けられ、下流側搬送ベルト機構７０及び基板ストック手段７２が昇降ユニット７４として構成されている。下流側装置本体６８の底部には、空圧シリンダ機構の如き一対の第２昇降シリンダ機構７６が設けられ、第２昇降シリンダ機構７６の出力ロッド７７に昇降ユニット７４が取り付けられている。尚、この実施形態では、上流側搬送部４の上流側装置本体１４と下流側搬送部６の下流側装置本体７４とが別体に構成されているが、これらを一体的に構成するようにしてもよい。
【００２２】
昇降ユニット７４は、一対の第２昇降シリンダ機構７６の出力ロッド７７に取り付けられたベース部材７８を備え、このベース部材７８に基板ストック手段７２が取り付けられている。基板ストック手段７８は上下方向に間隔を置いて配設された複数の仕切プレート８０を備え、上下方向に隣接する仕切プレート８０間に、基板１２を収納するための収納空間８２が規定される。下流側搬送ベルト機構７０はこの基板ストック手段７２の上方に配設され、一対の支持部材８４を介して基板ストック手段７２に取り付けられている。下流側搬送ベルト機構７０は、上流側搬送ベルト機構１６と同様に、矢印２２で示す搬送方向に対して垂直な方向（下流側装置本体６８の横方向であって、図１及び図３において紙面に垂直な方向、図２において上下方向）に間隔をおいて配設された一対の搬送ベルト手段８６，８８を備えている。一対の搬送ベルト手段８６，８８は実質上同一の構成であり、搬送方向に間隔をおいて配設されたプーリ９０，９２と、これらプーリ９０，９２に巻き掛けられた無端状ベルト９４を備え、無端状ベルト９４の上走行部が、基板１２を搬送するための下流側搬送経路を規定する。この下流側搬送経路は、上流側搬送部４の上流側搬送経路とともに、第１装置８から第２装置１０に基板を搬送するための搬送経路を規定する。
【００２３】
この下流側搬送部６においても、上流側搬送部４と同様に、一対の搬送ベルト手段８６，８８の無端状ベルト９４の上走行部の両外側には、略Ｌ字状の案内部材９６，９８が配設され、これら案内部材９６，９８が、搬送ベルト手段８６，８８によって搬送される基板１２を案内する。
【００２４】
下流側搬送ベルト機構７０は、更に、第２駆動源としての電動モータ１００を含み、この電動モータ１００の出力部が駆動伝達機構１０２を介して一対の搬送ベルト手段８６，８８のプーリ９０に駆動連結されている。従って、この電動モータ１００が所定方向に回転駆動されると、一対の搬送ベルト機構８６，８８の搬送ベルト９４の上走行部は矢印２２で示す方向移動され、これによって、基板１２は第２装置１０に向けて搬送される。
【００２５】
このように構成されているので、下流側搬送ベルト機構７０及び基板ストック手段７２はユニットとして一体的に昇降動され、第２昇降シリンダ機構７６が収縮された状態においては、昇降ユニット７２は図１に示す下降位置に位置付けられ、この下降位置においては、昇降ユニット７４の下流側搬送ベルト機構７０が上流側搬送ベルト機構１６に対応する位置関係に保持され、上流側搬送ベルト機構１６の一対の搬送ベルト手段２４，２６の下流側に下流側搬送ベルト機構７０の一対の搬送ベルト手段８６，８８が位置し、これらが直線状に延びる搬送経路を規定する。また、第２昇降シリンダ機構７６が最も伸長した状態においては、図３に示す最上昇位置に位置付けられ、この最上昇位置においては、昇降ユニット７４の基板ストック手段７２の最下位の収納空間８２が、上流側搬送部４の基板挿入手段１８の押圧部材５８に対応する位置関係に保持され、第２昇降シリンダ機構７６の伸長量に応じて、昇降ユニット７４は、上記下降位置と上記最上昇位置との間の適宜の位置に保持される。
【００２６】
次いで、上述した基板搬送装置による基板の搬送について説明する。第１装置８からこの基板搬送装置を通して第２装置に基板１２を搬送するときには、第１昇降シリンダ機構４６は収縮されて取付支持体４７が下降位置に保持され（これによって、基板挿入手段１８が非作用位置に保持される）、また第２昇降シリンダ機構７６が収縮されて昇降ユニット７４が下降位置に保持される。かかる状態においては、図１に示すように、上流側搬送部６の上流側搬送ベルト機構１６と下流側搬送部６の下流側搬送ベルト機構７０とが対応する位置関係に保持され、第１装置８から搬送された基板１２は、上流側搬送ベルト機構１６の一対の搬送ベルト手段２４，２６により矢印２２で示す下流側に搬送され、更に下流側搬送ベルト機構７０の一対の搬送ベルト手段８６，８８により搬送され、このようにして第２装置１０に搬送される。このような搬送状態においては、基板１２は上流側及び下流側搬送ベルト機構１４，７０により搬送されるので、この基板搬送装置を通して短時間で基板１２を搬送することができる。
【００２７】
また、第１装置８からの基板１２を基板ストック手段７２に収納する（例えば、不良の基板１２を基板ストック手段７２に収納する）ときには、図１、図４及び図５に示すように搬送される。このときには、まず、第１昇降シリンダ機構４６は収縮されて取付支持体４７が下降位置に、また第２昇降シリンダ機構７６が収縮されて昇降ユニット７４が下降位置に保持され、第１装置８からの基板１２は、図１に一点鎖線で示すように、上流側搬送ベルト機構１６の一対の搬送ベルト手段２４，２６により矢印２２で示す方向に上流側搬送部６の下流部まで搬送される。この実施形態では、基板１２の停止位置に対応して、基板検知センサ１０６が配設されており、この基板検知センサ１０６が基板１２を検知することによって、電動モータ６０の回転駆動が停止する。
【００２８】
このように基板１２の搬送が停止すると、図４に示すように、第１昇降シリンダ機構４４が伸長して取付支持体４７が上昇位置に位置付けられ、これによって、基板挿入手段１８（即ち、押圧部材１８）が作用位置に位置付けられ、押圧部材５８が上流側搬送経路内に突出する。また、第２昇降シリンダ機構７６が伸長して昇降ユニット７４が上昇され、昇降ユニット７４の基板ストック手段７２の所定収納空間８２（基板１２を収納すべき特定収納空間８２ａ）が上流側搬送部４の上流側搬送経路の下流側に位置する位置に保持される。
【００２９】
そして、図５に示すように、基板挿入手段１８が第１状態から第２状態になり（シリンダ機構５４の基部側に例えば空圧が作用する）、押圧部材５８が矢印２２で示す方向に移動される。かくすると、押圧部材５８が上流側搬送ベルト機構１４の無端状ベルト３２の上走行部に保持された基板１２に作用し、この基板１２を押しながら基板ストック手段７２に向けて移動し、押圧部材５８により移動される基板１２は、その所定収納空間８２ａに収納されて保持され、このようにして基板１２が基板ストック手段７２に一時的に収納保持される。
【００３０】
基板１２がこのように収納された後は、基板挿入手段１８が第２状態から第１状態になり、押圧部材５８が上流側装置本体１４に戻り、その後、第１昇降シリンダ機構４４が収縮され、取付支持体４７が下降位置に保持されて基板挿入手段１８（即ち、押圧部材５８）が非作用位置に保持される。また、第２昇降シリンダ機構７６が収縮され、昇降ユニット７４が下降位置に保持される。
【００３１】
その後、基板ストック手段７２に収納された基板１２を下流側に押し出すときには、図６及び図７に示すようにして押し出される。このときには、図６に示すように、第１昇降シリンダ機構４４が伸長して取付支持体４７が上昇位置に位置付けられ、これによって、基板押出手段２０（即ち、シリンダ機構４８の押圧部５４）が押出位置に位置付けられる。また、第２昇降シリンダ機構７６が伸長して昇降ユニット７４が所定量上昇され、昇降ユニット７４の基板ストック手段７２の所定収納空間８２（押し出すべき基板１２を収納す特定収納空間８２ｂ）が上流側搬送部４の基板押出手段２０の下流側に位置する位置に保持される。
【００３２】
そして、かかる状態において、図７に示すように、基板押出手段２０のシリンダ機構４８が伸長される。かくすると、シリンダ機構４４の出力ロッド５０が延び、出力ロッド６５０の押圧部５２が所定収納空間８２ｂに収納された基板１２に作用し、この基板１２を下流側に押し出し、このようにして基板ストック手段７２に収納された基板１２を押し出して下流側に取り出すことができる。
【００３３】
基板１２がこのように取り出された後は、基板押出手段２０のシリンダ機構４８が収縮されて元の状態に戻る。そして、収容された基板１２を更に押し出すときには、第２昇降シリンダ機構７６が所要の通り伸長（又は収縮）され、昇降ユニット７４の基板ストック手段７２の他の所定収納空間８２（押し出すべき基板１２を収納す特定収納空間）が上流側搬送部４の基板押出手段２０の下流側に位置付けられ、かかる状態において基板押出手段２０のシリンダ機構４８が再び伸長して所定収納空間８０に保持された基板１２が押し出され、押し出すべき基板１２が無くなるまで、上述した動作が繰り返し遂行される。
【００３４】
上述したようにして基板１２を下流側に押し出した後は、第１昇降シリンダ機構４４が収縮され、取付支持体４７が下降位置に保持され、また第２昇降シリンダ機構７６が収縮され、昇降ユニット７４が下降位置に保持される。
【００３５】
以上、本発明に従う基板搬送装置の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の実施形態が可能である。
【００３６】
例えば、上述した実施形態においては、基板ストック手段７２に収納された基板１２を基板押出手段２０によって一つずつ押し出す構成になっているが、このような構成に代えて、収納された基板１２を基板ストック手段７２ごと昇降ユニット７４から取り出すようにしてもよい。この場合、複数の基板ストック手段７２が準備され、これら基板ストック手段７２が着脱自在に昇降ユニット７４に取り付けられ、基板ストック手段７２の収納空間が基板１２で満たされると、新たな基板ストック手段７２と交換される。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】一実施形態の基板搬送装置を簡略的に示す断面図。
【図２】図１の基板搬送装置の一部を簡略的に示す平面図。
【図３】図１の基板搬送装置において基板挿入手段を作用位置に、昇降ユニットを最上昇位置に保持した状態を簡略的に示す断面図。
【図４】基板を基板ストック手段に挿入するために昇降ユニットを上昇させた状態を簡略的に示す図。
【図５】基板挿入手段によって基板を基板ストック手段に挿入する状態を示す図。
【図６】挿入保持した基板を押し出すために基板押出手段を作用位置に、また昇降ユニットを上昇させた状態を示す図。
【図７】基板押出手段によって基板を基板ストック手段から押し出す状態を示す図。
【符号の説明】
【００３８】
２  搬送装置本体
４  上流側搬送部
６  下流側搬送部
１２  基板
１６  上流側搬送ベルト機構
１８  基板挿入手段
２０  基板押出手段
２４，２６  搬送ベルト手段
４４  第１昇降シリンダ機構
７０  下流側搬送ベルト機構
７２  基板ストック手段
７４  昇降ユニット
７６  第２昇降シリンダ機構
８２，８２ａ，８２ｂ  収納空間
【図１】
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【図２】
2008230749.tif 000004
【図３】
2008230749.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008230749.tif 000009