(57)【要約】【課題】基板成形後からスパッタ開始までの時間を管理し、基板に吸着したガスや水分の影響を極力小さくすることにより、記録感度のばらつきを制御し、品質を安定化させることが可能な光情報記録媒体の製造方法の提供。【解決手段】（１）基板成形直後からスパッタ開始までの時間（スパッタ開始時間）を管理し、スパッタ開始時間が予め設定した一定時間内に収まる基板のみをスパッタする光情報記録媒体の製造方法。（２）基板１枚毎にスパッタ開始時間を管理する（１）記載の光情報記録媒体の製造方法。（３）スパッタ開始時間を６０秒以内とする（１）又は（２）記載の光情報記録媒体の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板成形後からスパッタ開始までの時間（スパッタ開始時間）を管理し、スパッタ開始時間が予め設定した一定時間内に収まる基板のみをスパッタすることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
基板１枚毎にスパッタ開始時間を管理することを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
スパッタ開始時間を６０秒以内とすることを特徴とする請求項１又は２記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
記録層のターゲット材料が酸化物であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
記録層のターゲット材料が、Ｂｉ酸化物、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｆｅを含んでいることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の光情報記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光情報記録媒体の製造方法に関し、特にレーザ光により記録・再生・消去可能な光情報記録媒体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を用いて情報を書き込んだり、記録情報を読み取ったり、或いは消去したりする光学式記録媒体において、２枚の光透過性基板を貼り合せて作られた光情報記録媒体、即ちＤＶＤ或いはレーザディスク等が既に製造、販売されている。
これらは、２枚の光透過性基板、反射層、接着層、及び印字層からなり、光透過性基板の素材としてはＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート、通称：アクリル）樹脂が用いられ、反射層としてはＡｕ、Ａｇ、Ａｌ合金等が用いられ、接着層としては紫外線硬化型接着剤が用いられている。
また最近の高密度記録用のＤＶＤは、厚さ０．６ｍｍの基板を貼り合せており、微細化したトラックピッチは０．７４μｍ、レーザースポットも１μｍ以下で、一段と高密度化が進行し、外観上の欠陥のみならず、機械的工学的な諸条件の許容値及び限界値は極めて小さくなっている。特に、書き込み／書換可能なＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭでは尚更である。
【０００３】
ＤＶＤ−Ｒ等の相変化型光情報記録媒体は、記録層の上下を誘電体層で挟むという多層構造のものが多い。通常、これらの光情報記録媒体の製造には、ポリカーボネート等の基板上にスパッタリングで各層を堆積させるという方法を用いる。
この製造方法の場合、大気中でポリカーボネート等の基板に吸着したガスや水分がスパッタ時にスパッタ膜中に取り込まれると、膜の特性が劣化する。このポリカーボネート等の基板に吸着したガスや水分の影響を最小化することは、製品のばらつきを抑えるために非常に重要な課題である。
この課題に対する対策として、特許文献１には、インライン式スパッタ装置の基板ホルダーの形状を変更することにより吸着ガス等の影響を防ぐ方法が、特許文献２には、スパッタ前に、基板を真空度０．５Ｐａ以下の雰囲気下に３０分以上放置することにより、基板に吸着されたガス等の影響を防ぐ方法がそれぞれ提案されている。
しかし、上記スパッタ装置の基板ホルダーの形状変更や、スパッタ前に基板を真空雰囲気下に放置する方法では、スパッタ装置の改造や、スパッタ前処理を行なうための真空槽等が新たに必要となり、ディスク生産のコストアップとなってしまう。
また、特許文献３には、基板成形後、大気中に基板を３分以上放置する製造方法が開示されているが、インライン方式の場合、各ポジションでの待ち時間が長くなるため、安定した品質の光情報記録媒体の提供が困難であり、効率の良い製造方法とは言えない。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−１９５７０６号公報
【特許文献２】特開平６−３３３２７４号公報
【特許文献３】特開２００３−１７３５８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、基板成形後からスパッタ開始までの時間を管理し、基板に吸着したガスや水分の影響を極力小さくすることにより、記録感度のばらつきを制御し、品質を安定化させることが可能な光情報記録媒体の製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、光情報記録媒体の記録感度等のばらつきを抑えるため、基板成形後の基板搬送装置側での対策について検討した。その結果、基板成形からスパッタ開始までの時間（スパッタ開始時間）を管理すれば、記録感度等のばらつきを低減できるという知見を得た。そして、この知見に基づいて、スパッタ開始時間の管理方法を模索し、本発明を完成した。
即ち、上記課題は、次の１）〜５）の発明によって解決される。
１）  基板成形後からスパッタ開始までの時間（スパッタ開始時間）を管理し、スパッタ開始時間が予め設定した一定時間内に収まる基板のみをスパッタすることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
２）  基板１枚毎にスパッタ開始時間を管理することを特徴とする１）記載の光情報記録媒体の製造方法。
３）  スパッタ開始時間を６０秒以内とすることを特徴とする１）又は２）記載の光情報記録媒体の製造方法。
４）  記録層のターゲット材料が酸化物であることを特徴とする１）〜３）の何れかに記載の光情報記録媒体の製造方法。
５）  記録層のターゲット材料が、Ｂｉ酸化物、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｆｅを含んでいることを特徴とする１）〜３）の何れかに記載の光情報記録媒体の製造方法。
【０００７】
以下、上記本発明について詳しく説明する。
図１に、スパッタ開始時間の管理方法の一例のフローチャートを示す。
基板を成形した後、直ぐにＤＲＤに基板を受け渡す。受け渡しが完了した時点で、時間管理のためのタイマーをスタートさせる。続いて基板をスパッタ装置に搬送する。基板をスパッタ装置にセットする直前に、受け渡し完了時点からの経過時間をテェックし、設定時間内ならば（Ｙｅｓの場合）スパッタを開始する。設定時間を超えていれば（Ｎｏの場合）基板を破棄する。なお、必要に応じて、成形直後からタイマーをセットするようにしても構わない。スパッタ開始時間は任意に設定することが出来る。
図１に示した方法におけるスパッタ開始時間の測定結果を図２に示す。この例では設定時間は３０秒以上、４０秒以下である。
図２から分かるように、本発明の時間管理方法を用いることにより、設定した時間以内の基板のみをスパッタリングすることができる。
更に、スパッタ開始時間を基板１枚毎に管理すれば、一層確実に記録感度等のばらつきを低減させることができるので好ましい。
比較のため、図３に時間管理を行なわない場合のスパッタ開始時間の測定結果を示す。
図３から分かるように、時間管理を行なわないと、スパッタ装置等のトラブルが発生した際に基板を破棄する機構を設けない限り、スパッタリングを継続してしまうため、スパッタ開始時間に差が生じ、記録感度等のばらつきが大きくなる。
【０００８】
記録層材料であるＢｉ酸化物のターゲットを用い、スパッタ開始時間を変えて製造した光情報記録媒体の記録感度を測定した。結果を図４に示す。
図４から、スパッタ開始時間が６０秒以内の場合には記録感度の変化は少ないが、６０秒を超えると記録感度が悪化する傾向にあることが分かる。
即ち、スパッタ開始時間を６０秒以内に管理すれば、記録感度等のばらつきが小さい光情報記録媒体を製造できる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、基板成形後からスパッタ開始までの時間を管理し、基板に吸着したガスや水分の影響を極力小さくすることにより、記録感度のばらつきを制御し、品質を安定化させることが可能な光情報記録媒体の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】スパッタ開始時間の管理方法の一例のフローチャートを示す図。
【図２】図１に示した方法におけるスパッタ開始時間の測定結果を示す図。
【図３】時間管理を行なわない場合のスパッタ開始時間の測定結果を示す図。
【図４】記録層材料であるＢｉ酸化物のターゲットを用い、スパッタ開始時間を変えて製造した光情報記録媒体の記録感度を測定した結果を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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