(57)【要約】【課題】簡単な工程で、加熱炉内で搬送ローラが設定時間を超えて停止することがなく、前記搬送ローラの熱変形を良好に阻止することを可能にする。【解決手段】基板加熱装置４５は、第１加熱炉８２〜第５加熱炉９０と、ガラス基板２４を前記第１加熱炉８２〜前記第５加熱炉９０に搬送する搬送機構７４とを備える。搬送機構７４は、第１加熱炉８２内に配置される複数の搬送ローラ７６ａを有しており、前記搬送ローラ７６ａが設定時間を超えて停止されると判断された際、前記搬送ローラ７６ａを一方向回転又は往復回転させて、前記搬送ローラ７６ａの片側過熱を防止している。【選択図】図４
2008105354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性ウエブが貼り付けられる基板を、貼り付け処理前に予め所定の温度に加熱する基板加熱方法であって、
前記基板を搬送機構を介して複数の加熱炉に間欠搬送又は連続搬送しながら、前記基板を加熱する工程と、
前記加熱炉内で前記搬送機構が設定時間を超えて停止されると判断された際、前記搬送機構を構成する搬送ローラを一方向回転又は往復回転させる工程と、
を有することを特徴とする基板加熱方法。
【請求項２】
請求項１記載の基板加熱方法において、少なくとも前記搬送ローラが一方向回転される際、前記基板を前記搬送ローラから離間させて保持することを特徴とする基板加熱方法。
【請求項３】
請求項１記載の基板加熱方法において、前記搬送ローラは、正逆両方向に０．５回転以上ずつ往復回転することを特徴とする基板加熱方法。
【請求項４】
請求項１記載の基板加熱方法において、前記加熱炉内で前記搬送機構が前記設定時間よりも長い一定時間を超えて停止する際、前記基板の加熱処理を一旦停止する工程と、
前記基板の加熱を再開する際、前記基板の搬送を開始する前に前記搬送ローラを一方向回転又は往復回転させる工程と、
を有することを特徴とする基板加熱方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性ウエブが貼り付けられる基板を、貼り付け処理前に予め所定の温度に加熱する基板加熱方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
そこで、この種の感光性シート体の貼り付けに使用される貼り付け装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されているフイルム張付方法及び装置では、図９に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ５は、一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムに強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムは、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって、順次、間欠的に搬送される複数の基板１１の上面に、積層体フイルム１ａを重ねて圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、基板１１は、ラミネーションロール１２ａ、１２ｂによるラミネート直前に、基板搬送装置１０に近接して配置されているヒータ１４によって予め所定の温度に加熱されている。このため、基板搬送装置１０を構成する複数の搬送ローラ１０ａは、ヒータ１４からの熱に曝されている。
【００１１】
ここで、ラミネート処理が停止されていると、搬送ローラ１０ａの回転が停止されるため、この搬送ローラ１０ａは、ヒータ１４に対向する側（上面）が集中的に加熱されてしまう。これにより、搬送ローラ１０ａは、片側過熱によって熱変形し易く、基板１１の搬送を再開する際に振れ回りが発生し、前記基板１１の搬送曲がりやばたつきによる損傷、又は搬送トラブルによる停止等が惹起するという問題がある。
【００１２】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程で、加熱炉内で搬送ローラが設定時間を超えて停止することがなく、前記搬送ローラの熱変形を良好に阻止することが可能な基板加熱方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、感光性ウエブが貼り付けられる基板を、貼り付け処理前に予め所定の温度に加熱する基板加熱方法に関するものである。
【００１４】
この基板加熱方法は、基板を搬送機構を介して複数の加熱炉に間欠搬送又は連続搬送しながら、前記基板を加熱する工程と、前記加熱炉内で前記搬送機構が設定時間を超えて停止されると判断された際、前記搬送機構を構成する搬送ローラを一方向回転又は往復回転させる工程とを有している。
【００１５】
また、基板加熱方法では、少なくとも搬送ローラが一方向回転される際、基板を前記搬送ローラから離間させて保持することが好ましい。
【００１６】
さらに、基板加熱方法では、搬送ローラは、正逆両方向に０．５回転以上ずつ往復回転することが好ましい。
【００１７】
さらにまた、基板加熱方法では、加熱炉内で搬送機構が設定時間よりも長い一定時間を超えて停止する際、前記基板の加熱処理を一旦停止する工程と、前記基板の加熱を再開する際、前記基板の搬送を開始する前に搬送ローラを一方向回転又は往復回転させる工程とを有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、搬送ローラを一方向回転又は往復回転させるだけでよく、加熱炉内の搬送ローラは、停止した状態で設定時間を超えて加熱されることがないため、前記搬送ローラに片側過熱による熱変形が発生することを確実に阻止することができる。これにより、簡単な工程で、前記搬送ローラの振れ回りを防止し、基板の搬送曲がりやばたつきによる前記基板の損傷、又は搬送トラブルによる停止等を良好に阻止することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板加熱方法が適用される感光性積層体の製造装置２０の概略構成図である。この製造装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタの製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業を行う。以下、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされたガラス基板２４を貼り付け基板２４ａともいう。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されており、例えば、前記感光性ウエブ２２ａが前記感光性ウエブ２２ｂよりも幅広に構成されている。
【００２０】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、基本的には、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２１】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂと、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２２】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板加熱装置４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２３】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４を直接検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが配設される。
【００２４】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。
【００２５】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの所定の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２６】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０を切断する必要があり、実際上、この保護フイルム３０を確実に切断するために感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。
【００２７】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に所定の距離だけ離間して２台配設し、残存部分３０ｂを挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００２８】
ハーフカット部位３４は、例えば、両側のガラス基板２４にそれぞれ１０ｍｍずつ入り込んだ位置に設定される。ガラス基板２４間のハーフカット部位３４で挟まれた部分は、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２９】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３０】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３１】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３２】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、揺動自在なダンサーローラ６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーローラ６１が配設される。
【００３３】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３４】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにテンションを付与可能な第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが配設される。第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００３５】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、レーザセンサやフォトセンサ等の光電センサ７２ａ、７２ｂを備えており、前記光電センサ７２ａ、７２ｂは、ハーフカット部位３４の楔状の溝形状部や、保護フイルム３０の厚さによる段差、あるいは、これらの組み合わせによる変化を直接検出し、この検出信号を境界位置信号とする。光電センサ７２ａ、７２ｂは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向して配置される。なお、光電センサ７２ａ、７２ｂに代えて、非接触変位計やＣＣＤカメラ等の画像検査手段等を用いてもよい。また、ＣＣＤカメラは、バックアップローラ７３ａ、７３ｂに対向しない位置に配置してもよい。
【００３６】
基板加熱装置４５は、図４に示すように、ガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送するための搬送機構７４を備え、この搬送機構７４は、後述する第１加熱炉８２〜第５加熱炉９０に対応して矢印Ｃ方向に配列されるそれぞれ複数の搬送ローラ７６ａ〜７６ｅを有する。各搬送ローラ７６ａ、７６ｂ、７６ｃ、７６ｄ及び７６ｅは、それぞれ個別の回転駆動源（例えば、モータ）を介して独立して回転駆動される。
【００３７】
搬送ローラ７６ａ〜７６ｅは、例えば、ステンレス製のローラシャフト７７ａと、前記ローラシャフト７７ａに外装されて所定の摩擦力により前記ローラシャフト７７ａと一体的に回転可能な複数の樹脂製、例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂）製のリング７７ｂとを有する。ローラシャフト７７ａは、直径が４８ｍｍに設定される一方、リング７７ｂは、直径が７０ｍｍに設定される。
【００３８】
搬送機構７４の矢印Ｃ方向上流側には、ガラス基板２４を受け取る受け取り部７８が設けられるとともに、この受け取り部７８には、前記ガラス基板２４を旋回させる旋回テーブル８０が設けられる。
【００３９】
受け取り部７８の下流側には、第１〜第５加熱炉８２、８４、８６、８８及び９０が、順次、配列される。第１加熱炉８２は、高温炉を構成し、第２加熱炉８４は、昇温炉を構成し、第３加熱炉８６は、昇温炉を構成し、第４加熱炉８８は、保温炉及び位置決め機構９２を構成し、第５加熱炉９０は、保温炉及び停止機構（図示せず）を構成する。
【００４０】
第１加熱炉８２〜第５加熱炉９０には、第１ヒータ９４ａ〜第５ヒータ９４ｅが設けられている。第１加熱炉８２内では、第１ヒータ９４ａを介して炉内雰囲気温度を１００℃〜１６０℃に加熱可能であり、第２加熱炉８４内では、第２ヒータ９４ｂを介して炉内雰囲気温度を１００℃〜１５０℃に加熱可能である。
【００４１】
第３加熱炉８６内では、第３ヒータ９４ｃを介して炉内雰囲気温度を１００℃〜１５０℃に加熱可能であり、第４加熱炉８８内では、第４ヒータ９４ｄを介して炉内雰囲気温度を１００℃〜１５０℃に加熱可能であり、さらに第５加熱炉９０内では、第５ヒータ９４ｅを介して炉内雰囲気温度を１００℃〜１５０℃に加熱可能である。
【００４２】
第１加熱炉８２〜第５加熱炉９０には、それぞれの雰囲気温度を検出するそれぞれ１以上の温度センサ９５ａ〜９５ｅが配設される。なお、ガラス基板２４は、ラミネート時に表面温度が９０℃〜１３０℃の範囲内に加熱されていることが好ましい。
【００４３】
図５に示すように、位置決め機構９２は、架台９６上に固定されるシリンダ９８を備え、このシリンダ９８から上方に延在するロッド９８ａに昇降台１００が固着される。昇降台１００は、ガラス基板２４の幅方向（搬送方向に交差する矢印Ｄ方向）に長尺に構成され、前記昇降台１００には、ガイドバー１０２ａ、１０２ｂを介して支持台１０４が設けられる。
【００４４】
支持台１０４は、矢印Ｄ方向に長尺に構成されるとともに、前記支持台１０４上には、ガラス基板２４を摩擦抵抗により保持可能な、例えば、サクションゴムカップ等の複数の位置決め部材１０６が矢印Ｄ方向に配列して設けられる。
【００４５】
昇降台１００の両端縁部には、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂが進退機構１１０ａ、１１０ｂを介して矢印Ｄ方向に進退可能に配設される。進退機構１１０ａ、１１０ｂは、互いに対向するモータ１１２ａ、１１２ｂを有し、前記モータ１１２ａ、１１２ｂに連結されるねじ軸１１４ａ、１１４ｂにナット部１１６ａ、１１６ｂが螺合する。ナット部１１６ａ、１１６ｂは、可動支柱１１８ａ、１１８ｂに固着されるとともに、前記可動支柱１１８ａ、１１８ｂの上端には、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂが回転自在に装着される。
【００４６】
基板加熱装置４５では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送ローラ７６ａ〜７６ｅの停止や警報を発生するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出したり、品質管理又は生産管理等に活用することができる。また、搬送機構７４では、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される構成を採用してもよい。
【００４７】
図１に示すように、基板加熱装置４５の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー１２０が設けられる。この基板ストッカー１２０に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット１２２のハンド部１２２ａに設けられた吸着パッド１２４に吸着されて取り出され、受け取り部７８に搬入される。
【００４８】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ１３０ａ、１３０ｂを備える。ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂには、バックアップローラ１３２ａ、１３２ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ１３２ｂは、ローラクランプ部１３３を構成する加圧シリンダ１３４ａ、１３４ｂによりゴムローラ１３０ｂ側に押圧される。
【００４９】
ゴムローラ１３０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムローラ１３０ａに接触することを防止するための接触防止ローラ１３６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部１３７が配設される。この予備加熱部１３７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００５０】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から搬送路１３８を介して矢印Ｃ方向に搬送される。この搬送路１３８には、フイルム搬送ローラ１４０ａ、１４０ｂと基板搬送ローラ１４２とが配設される。ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂと基板搬送ローラ１４２との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００５１】
貼り付け機構４６の下流に、冷却機構１４４とベース自動剥離機構１４６とが設けられる。ベース自動剥離機構１４６は、各ガラス基板２４が所定間隔ずつ離間して貼り付けられている長尺なベースフイルム２６を連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４８と剥離ローラ１５０と巻き取り軸１５２とを備えている。巻き取り軸１５２は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に張力を付与する一方、例えば、剥離ローラ１５０に張力検出器（図示せず）を設けることにより、張力のフィードバック制御を行うことが好ましい。
【００５２】
プレ剥離部１４８は、剥離バー１５６を備えるとともに、前記剥離バー１５６は、ガラス基板２４間で昇降可能である。また、剥離ローラ１５０又はその直前でフイルム面を３０℃〜１２０℃程度まで再加熱することにより、剥離時の色材層の剥がれが阻止されて、高品質なラミネート面を得ることができる。
【００５３】
ベース自動剥離機構１４６の下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、ＣＣＤ等のカメラ１６０を備え、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するために前記カメラ１６０が配設される。
【００５４】
ベース自動剥離機構１４６の下流には、複数の感光性積層体２０８が収容される感光性積層体ストッカー１９０が設けられる。ベース自動剥離機構１４６で貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体２０８は、ロボット１９２のハンド部１９２ａに設けられた吸着パッド１９４に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１９０に収容される。
【００５５】
製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂ並びに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂが、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから前記第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂまでを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上下が逆になって感光性樹脂層２８がガラス基板２４の下側に貼り付けてもよく、また、前記製造装置２０全体を直線上に構成してもよい。
【００５６】
図１に示すように、製造装置２０は、ラミネート工程制御部２００を介して全体制御されており、この製造装置２０の各機能部毎に、例えば、ラミネート制御部２０２、基板加熱制御部２０４及びベース剥離制御部２０６等が設けられ、これらが工程内ネットワークにより繋がっている。ラミネート工程制御部２００は、工場ネットワークに繋がっており、図示しない工場ＣＰＵからの指示情報（条件設定や生産情報）の生産管理や稼動管理等、生産のための情報処理を行う。
【００５７】
基板加熱制御部２０４は、上流工程からガラス基板２４を受け入れ、温度センサ９５ａ〜９５ｅからの検出信号に基づいてこのガラス基板２４を所望の温度まで加熱するとともに、前記ガラス基板２４の搬送が停止される際には、後述するように、搬送機構７４を駆動制御する。
【００５８】
ラミネート制御部２０２は、工程全体のマスターとして、各機能部の制御を行うものであり、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのハーフカット部位３４の位置情報に基づいて、貼り付け位置における各境界位置とガラス基板２４との相対位置及び各境界位置同士の相対位置を制御可能な制御機構を構成している。
【００５９】
ベース剥離制御部２０６は、貼り付け機構４６から供給される貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６を剥離し、さらに下流工程に感光性積層体２０８を排出する動作の制御を行うとともに、前記貼り付け基板２４ａ及び前記感光性積層体２０８の情報をハンドリング制御する。
【００６０】
製造装置２０内は、仕切り壁２１０を介して第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム２１２ａには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂまでが収容されるとともに、第２クリーンルーム２１２ｂには、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ以降が収容される。第１クリーンルーム２１２ａと第２クリーンルーム２１２ｂとは、貫通部２１４を介して連通する。
【００６１】
このように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る基板加熱方法との関連で以下に説明する。
【００６２】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００６３】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの寸法に対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００６４】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００６５】
例えば、７本の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、図６に示すように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００６６】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってテンション調整が行われ、さらに第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂで光電センサ７２ａ、７２ｂによりハーフカット部位３４の検出が行われる。
【００６７】
各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、ハーフカット部位３４の検出情報に基づいて、フイルム搬送ローラ９０ａ、９０ｂの回転作用下に、それぞれ貼り付け機構４６に定量搬送される。
【００６８】
一方、基板加熱装置４５では、図４に示すように、貼り付け機構４６におけるラミネート温度に対応して第１〜第５加熱炉８２〜９０内の炉内雰囲気温度が設定されている。例えば、ラミネート温度が１１０℃であると、第１加熱炉８２、第２加熱炉８４、第３加熱炉８６、第４加熱炉８８及び第５加熱炉９０内の炉内雰囲気温度は、それぞれ１５０℃、１４０℃、１３５℃、１３５℃及び１３５℃前後に設定される。また、ガラス基板２４では、表面に塗布されている表面密着改良剤の品質を維持するために、上限温度が１３０℃に設定される。
【００６９】
そこで、ロボット１２２は、基板ストッカー１２０に収容されているガラス基板２４を把持し、このガラス基板２４を受け取り部７８に搬入する。受け取り部７８では、ガラス基板２４が旋回テーブル８０を介して所望の姿勢に旋回された後、前記受け取り部７８から第１加熱炉８２にタクト搬送される。
【００７０】
第１加熱炉８２内では、第１ヒータ９４ａの加熱作用下にガラス基板２４が急激に昇温された後、搬送機構７４を構成する搬送ローラ７６ａを介して前記ガラス基板２４が第２加熱炉８４に送られる。一方、受け取り部７８に搬入された新たなガラス基板２４は、第１加熱炉８２に送り込まれる。
【００７１】
第２加熱炉８４内では、第２ヒータ９４ｂを介してガラス基板２４が昇温された後、前記ガラス基板２４は、搬送機構７４を構成する搬送ローラ７６ｂを介して第３加熱炉８６に搬入される。この第３加熱炉８６で昇温されたガラス基板２４は、搬送機構７４を構成する搬送ローラ７６ｃを介して第４加熱炉８８に送られ、この第４加熱炉８８で昇温処理と位置決め処理とが施される。
【００７２】
第４加熱炉８８内には、位置決め機構９２が設けられており、図５に示すように、先ず、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂが、実線に示すように、互いに矢印Ｄ方向に離間して配置されており、この状態でシリンダ９８の駆動作用下に昇降台１００が上昇する。
【００７３】
この昇降台１００には、ガイドバー１０２ａ、１０２ｂを介して支持台１０４が設けられるとともに、前記支持台１０４上には、複数の位置決め部材１０６が配列されている。従って、位置決め部材１０６は、搬送ローラ７６ｄ上に配置されているガラス基板２４を支持し、このガラス基板２４を前記搬送ローラ７６ｄの上方に押し上げる。
【００７４】
次いで、進退機構１１０ａ、１１０ｂを構成するモータ１１２ａ、１１２ｂが駆動され、ねじ軸１１４ａ、１１４ｂとナット部１１６ａ、１１６ｂとを介して可動支柱１１８ａ、１１８ｂが互いに近接する方向に変位する。このため、可動支柱１１８ａ、１１８ｂの上端に装着されている幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂは、互いに近接する方向に移動し、位置決め部材１０６上に支持されているガラス基板２４の矢印Ｄ方向両端部に当接してこのガラス基板２４の位置決めが行われる。
【００７５】
ガラス基板２４の位置決めが行われた後、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂがこのガラス基板２４の両端部から僅かに離間した後、シリンダ９８を介して昇降台１００が下降される。そして、位置決め部材１０６上に支持されているガラス基板２４が、この位置決め部材１０６から複数の搬送ローラ７６ｄに受け渡される一方、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂは、進退機構１１０ａ、１１０ｂを介して互いに離間する方向に移動する。さらに、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂは、ガラス基板２４の幅よりも少し離間した状態で、幅寄せしてもよい。
【００７６】
これにより、ガラス基板２４が、搬送ローラ７６ｄに接触して下降が停止した際に、幅寄せローラ１０８ａ、１０８ｂが、このガラス基板２４に当接して塵埃の発生やガラス基板２４の損傷を防止することができる。
【００７７】
さらに、位置決め部材１０６は、例えば、サクションゴムカップ等の摩擦抵抗を発生する材料で形成されている。従って、位置決め部材１０６が下降する際に、ガラス基板２４に位置ずれが惹起することを良好に阻止することが可能になる。
【００７８】
搬送ローラ７６ｄに受け渡されたガラス基板２４は、この搬送ローラ７６ｄの回転作用下に、第５加熱炉９０に送られて保温処理が行われ、所定の温度に加熱された状態で貼り付け位置に搬送される。このガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムローラ１３０ａ、１３０ｂ間に一旦配置される。
【００７９】
この状態で、バックアップローラ１３２ｂ及びゴムローラ１３０ｂを上昇させることにより、ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、ゴムローラ１３０ａの回転作用下に、このガラス基板２４には、並列されている各感光性樹脂層２８が転写（ラミネート）される。
【００８０】
ここで、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂの温度が９０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００８１】
ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの一枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムローラ１３０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４、すなわち、貼り付け基板２４ａが基板搬送ローラ１４２によりクランプされる。
【００８２】
そして、ゴムローラ１３０ｂが、ゴムローラ１３０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ローラ１４２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に定量搬送され、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの基板間位置がゴムローラ１３０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板加熱装置４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。
【００８３】
この次なるガラス基板２４の先端がゴムローラ１３０ａ、１３０ｂ間に配置されると、前記ゴムローラ１３０ｂが上昇して、前記ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂにより前記次なるガラス基板２４と感光性ウエブ２２ａ、２２ｂとがクランプされる。そして、ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂ及び基板搬送ローラ１４２の回転作用下にラミネートが開始されるとともに、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に搬送される。
【００８４】
その際、貼り付け基板２４ａは、図７に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００８５】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１４４を通って冷却された後、プレ剥離部１４８に移送される。このプレ剥離部１４８では、剥離バー１５６が上昇することにより、保護フイルム３０を隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離することができる。次いで、ベース自動剥離機構１４６では、巻き取り軸１５２の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。
【００８６】
ベースフイルム２６が剥離されたガラス基板２４は、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、カメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算されるとともに、貼り付け状態が検査される。
【００８７】
ところで、例えば、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの交換作業や、巻き取り軸１５２に巻き取られたベースフイルム２６の取り外し作業等を行う際には、基板加熱装置４５を構成する第１加熱炉８２〜第５加熱炉９０内にガラス基板２４が滞留しており、搬送ローラ７６ａ〜７６ｅの駆動が停止されている。
【００８８】
そこで、例えば、第１加熱炉８２内の搬送ローラ７６ａが、設定時間を超えて停止されると判断された際、前記搬送ローラ７６ａが回転駆動される。その際、搬送ローラ７６ａ上にガラス基板２４が載置されている場合には、各搬送ローラ７６ａを往復回転させて前記ガラス基板２４を第１加熱炉８２内で往復移動させる（図４参照）。
【００８９】
具体的には、各搬送ローラ７６ａは、時計回り（正軸）及び反時計回り（逆軸）にそれぞれ０．５回転〜１．５回転、好ましくはそれぞれ１回転以上ずつ回転させている。
【００９０】
一方、搬送ローラ７６ａ上にガラス基板２４が存在しない場合には、前記搬送ローラ７６ａを一方向に連続して回転させている。従って、第１加熱炉８２内の搬送ローラ７６ａは、回転が停止された状態で、設定時間を超えて第１ヒータ９４ａを介して上方から加熱されることがない。このため、搬送ローラ７６ａの上部側が片側過熱されて熱変形が発生することを確実に阻止することができる。
【００９１】
これにより、搬送ローラ７６ａを一方向回転又は往復回転させるだけでよく、簡単な工程で、前記搬送ローラ７６ａの振れ回りを防止することができる。従って、ガラス基板２４の搬送曲りやばたつきによる損傷、又は搬送トラブルによる停止等を良好に阻止することが可能になるという効果が得られる。
【００９２】
また、第２加熱炉８４〜第４加熱炉８８においても、上記の第１加熱炉８２と同様に、搬送ローラ７６ｂ〜７６ｄを一方向回転又は往復回転させることにより、前記搬送ローラ７６ｂ〜７６ｄが回転を停止した状態で設定時間を超えて加熱されることを防止することができる。
【００９３】
さらにまた、第５加熱炉９０では、図５に示すように、シリンダ９８を介して昇降自在な位置決め部材１０６を備えている。このため、搬送ローラ７６ｅ上のガラス基板２４は、位置決め部材１０６が上昇することによってこの位置決め部材１０６上に受け渡された後、一方向に連続して回転される。これにより、搬送ローラ７６ｅは、停止した状態で設定時間を超えて加熱されることがなく、上記の搬送ローラ７６ａと同様の効果が得られる。
【００９４】
ところで、装置トラブル、ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂの清掃、前記ゴムローラ１３０ａ、１３０ｂの交換あるいは上下流工程のトラブル等により、ラミネート処理が上記の設定時間よりも長い一定時間、例えば、一時間以上停止される際には、基板加熱装置４５を構成する第１ヒータ９４ａ〜第５ヒータ９４ｅが滅勢される。そして、ラミネート処理が再開される際には、ガラス基板２４の搬送を開始する前に、第１ヒータ９４ａ〜第５ヒータ９４ｅを付勢するとともに、搬送機構７４を構成する搬送ローラ７６ａ〜７６ｅを、一旦、一方向回転又は往復回転させながら、第１加熱炉８２〜第５加熱炉９０内をそれぞれ所定の温度に加熱する処理が行われる。
【００９５】
従って、ガラス基板２４の搬送を開始する際には、各搬送ローラ７６ａ〜７６ｅには、片側過熱による熱変性が惹起されることがない。これにより、ガラス基板２４を良好に搬送することができ、ラミネート処理が効率的に遂行されるという利点がある。
【００９６】
なお、第１の実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。また、以下に説明する第２の実施形態においても、同様である。
【００９７】
図８は、本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置３００の概略構成図である。なお、第１の実施形態に係る製造装置２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００９８】
製造装置３００は、貼り付け機構４６の下流に配置され、各ガラス基板２４間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断可能な基板間ウエブ切断機構４８を備える。
【００９９】
このように構成される製造装置３００では、上記の第１の実施形態と同様に貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、矢印Ｃ方向に搬送される。そして、貼り付け基板２４ａ間が基板間ウエブ切断機構４８に対応する位置に至ると、この基板間ウエブ切断機構４８は、前記貼り付け基板２４ａと同一の搬送速度で矢印Ｃ方向に移動しながら、該貼り付け基板２４ａ間で２本の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを一体的に切断する。
【０１００】
この切断後に、基板間ウエブ切断機構４８は、所定の待機位置に戻される一方、貼り付け基板２４ａでは、ベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが順次剥離（枚葉剥離）されて感光性積層体２０８が製造される。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板加熱方法が適用される感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記製造装置を構成する基板加熱装置の概略説明図である。
【図５】前記基板加熱装置を構成する第５加熱炉の説明図である。
【図６】前記長尺状感光性ウエブから保護フイルムを剥離する際の説明図である。
【図７】ガラス基板に感光性樹脂層が転写された状態の説明図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る感光性積層体の製造装置の概略構成図である。
【図９】特許文献１のフイルム張付装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【０１０２】
２０、３００…製造装置              ２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２３ａ、２３ｂ…感光性ウエブロール  ２４…ガラス基板
２６…ベースフイルム                ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                  ３２ａ、３２ｂ…ウエブ送り出し機構
４０ａ、４０ｂ…ラベル接着機構      ４４ａ、４４ｂ…剥離機構
４５…基板加熱装置                  ４６…貼り付け機構
６４…保護フイルム巻き取り部        ７４…搬送機構
７６ａ〜７６ｅ…搬送ローラ          ８２〜９０…加熱炉
９２…位置決め機構                  ９４ａ〜９４ｅ…ヒータ
１０８ａ、１０８ｂ…幅寄せローラ    １３０ａ、１３０ｂ…ゴムローラ
１４６…ベース自動剥離機構
【図１】
2008105354.tif 000003
【図２】
2008105354.tif 000004
【図３】
2008105354.tif 000005
【図４】
2008105354.tif 000006
【図５】
2008105354.tif 000007
【図６】
2008105354.tif 000008
【図７】
2008105354.tif 000009
【図８】
2008105354.tif 000010
【図９】
2008105354.tif 000011