(57)【要約】【課題】  部品や部品組立体（ワーク）を短時間に十分に洗浄、乾燥させることができ、しかも、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができて、溶剤の消費量が少なく、環境を汚染することのない、溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置を提供する。【解決手段】  ワークを溶剤で洗浄して、ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、ワークを乾燥させるために、ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽１１〜１３と、これらの洗浄槽のうちの最終段洗浄槽１３を出たワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽２０とを備えている溶剤洗浄装置が、蒸気乾燥槽２０を出たワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽３０と、該密閉型完全乾燥槽３０で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置４０とをさらに備えている。【選択図】      図４
2008036595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを溶剤で洗浄して、前記ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、前記ワークを乾燥させるために、
前記ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽と、
複数の前記洗浄槽のうちの最終段洗浄槽を出た前記ワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽と
を備えている溶剤洗浄装置が、
前記蒸気乾燥槽を出た前記ワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽と、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置と
をさらに備えて成る
ことを特徴とする溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項２】
前記密閉型完全乾燥槽は、その内部に前記ワークを加熱・乾燥させるためのヒータと、ガス攪拌ファンとを備え、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した溶剤蒸気を前記ガス攪拌ファンにより攪拌して、槽内に拡散させるようにされている
ことを特徴とする請求項１に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項３】
前記密閉型完全乾燥槽は、その内部とガス吸引口及びガス吐出口を介して流体連通する閉鎖循環路を備え、
前記閉鎖循環路には、送風ファンと、ヒータと、フィルターとが設けられており、
前記ガス吸引口より前記送風ファンにより吸引した溶剤蒸気を前記ヒータにより加熱し、前記フィルターにより濾過して、前記ガス吐出口より前記密閉型完全乾燥槽内に吐出するようにされている
ことを特徴とする請求項１に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項４】
前記溶剤回収装置が、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、
前記予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第１及び第２の熱交換器と、
前記第１及び第２の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、
少なくとも前記第１及び第２の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機と
を備えて成り、
前記第１及び第２の熱交換器は、前記溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようにされており、この位置の切替えに同期して、前記シリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が前記加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、前記シリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転される
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項５】
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、外部熱源の投入が遮断されている
ことを特徴とする請求項４に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項６】
前記第１及び第２の熱交換器は、第１及び第２の外部ヒータをそれぞれ備え、
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、前記他方の熱交換器が備える他方の前記外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、
前記他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、前記他方の外部ヒータが発生する外部熱源が前記他方の熱交換器の前記解凍運転をサポートするようにされている
ことを特徴とする請求項４に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項７】
前記溶剤回収装置が、
前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、
前記予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、
前記圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第１及び第２の熱交換器と、
前記第１及び第２の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、
少なくとも前記第１及び第２の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機と
を備えて成り、
前記第１及び第２の熱交換器は、前記溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、一方の熱交換器が前記加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、前記溶剤蒸気の流れから切り離された状態で自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転される
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項８】
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、前記冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるようにされている
ことを特徴とする請求項７に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項９】
前記第１及び第２の熱交換器は、第１及び第２の外部ヒータをそれぞれ備え、
冷却運転を続行する前記一方の熱交換器には、前記冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、
冷却運転を中断する前記他方の熱交換器には、前記他方の熱交換器が備える他方の前記外部ヒータが発生する外部熱源が投入されるようにされている
ことを特徴とする請求項７に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２の熱交換器は、第１及び第２の外部ヒータをそれぞれ備え、
前記一方の熱交換器には、前記冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、
前記他方の熱交換器には、前記冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるとともに、前記他方の熱交換器が備える他方の前記外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、  前記他方の熱交換器が前記冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、前記他方の外部ヒータが発生する外部熱源が前記他方の熱交換器の前記解凍運転をサポートするようにされている
ことを特徴とする請求項７に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２の熱交換器は、１つの共通のタンク内に収納され、
前記タンクは、前記回収タンクを兼ねており、
前記第１の熱交換器と前記第２の熱交換器との間には、仕切り壁が設けられ、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされている
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【請求項１２】
前記第１及び第２の熱交換器は、フィン付き管式熱交換器により構成されていることを特徴とする請求項９ないし１１のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、溶剤洗浄装置に関し、ＯＡ機器等精密機器の製造工場の生産ラインにおいて発生する中間品である各種部品や部品組立体（ワーク）を溶剤を用いて洗浄し、これらのワークに付着する油分やパーティクルを除去して、これらのワークを乾燥させる溶剤洗浄装置であって、特に、その溶剤を高い回収効率で回収する溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の部品や部品組立体は、高い加工精度と組立精度とが求められるため、それらの表面に付着する切削用冷却油等の油分や切削屑（切粉）、一般ゴミ等のパーティクルについても、それらの完全な除去が求められる。一般に、機械の部品や部品組立体を洗浄する方法としては、従来、水洗浄機と溶剤洗浄機とが使用されている。
【０００３】
水洗浄機は、洗浄液として純水や超純水を使用するので、洗浄液となる水自体の入手が比較的容易であり、メンテナンスも、洗浄槽の構成段数を増すことも、容易であり、設備コストが比較的安価で、環境に優しい等のメリットがある反面、錆び易く、乾燥処理が時間を要して難しい、タクトタイムが長く、生産性が悪い、油分の除去には洗剤を使用しなければならず、油分汚れに加えて洗剤も除去する必要が生ずる等のデメリットがあり、純水設備は必要ではあるが、現在では、専らパーティクルやイオン汚れ除去を目的として、半導体部品、電子部品、電気機械部品の最終洗浄用にしか使用されていない。
【０００４】
これに対して、これらの部品や部品組立体に付着する油分やパーティクルを除去するためには、一般に、溶剤洗浄機が使用される。この場合の溶剤には、油分分解能が高く、水に比較してぬれ性が高く、蒸発性（乾燥性）が良い等の性質を兼ね備えていることが求められ、臭素系溶剤（ブロム）、代替フロン、トリクレン、トリクロロエタン、炭化水素系溶剤等が使用されている。図１０には、このような溶剤洗浄機の一般的な構成が図示されている。
【０００５】
図１０において、従来の溶剤洗浄機０１０は、複数の洗浄槽０１１、０１２、０１３・・・、ベーパー槽０２０を備えている。また、複数の洗浄槽０１１、０１２、０１３・・・の多くは、その底部に超音波発振器０２５を備えている。そこで、所定の生産工程を経て製造された中間品である各種部品や部品組立体等のワーク（Ｗ）は、それらのまとまった数量が籠０２６に入れられ、該籠０２６がハンガー０２７により吊持、搬送されて、順次、これらの洗浄槽０１１、０１２、０１３・・・及びベーパー槽０２０を通される（矢印Ａ１〜Ａ４参照）。
【０００６】
先ず、ワークは、第１の洗浄槽０１１に搬入され、そこに浸漬されて、超音波発振器０２５により励起された溶剤液の振動を受けながら、該ワークに付着した油分やパーティクルが物理的及び化学的に分離される。ここで、物理的分離とは、溶剤液の振動により発生するキャビテーション（空洞破壊）に起因する物理的な力及び溶剤のぬれ性に起因する物理的な力による分離であり、化学的分離とは、溶剤の物質分解能に起因する化学変化による分離である。そして、このような油分やパーティクルの分離作用が、複数段の洗浄槽において複数回繰り返される。
【０００７】
このようにして複数の洗浄槽０１１、０１２、０１３・・・を通過したワークは、最後に、ベーパー槽０２０に搬入されて、溶剤蒸気による洗浄と乾燥とが行なわれる。このベーパー槽０２０においては、槽底部の液槽に貯留された溶剤液がヒータ０２１により溶剤蒸気圧温度以上に加熱されて、発生した蒸気がワークを加熱し、ワーク自体は冷却されているためにワーク表面に溶剤が凝縮し、この溶剤の凝縮液がワーク表面になお付着して残っている油分やパーティクル等の汚れを洗い落として分離する。
【０００８】
ベーパー槽０２０の上部内周壁には、冷却管が複数回巻回されてなる冷却器０２２が取り付けられており、ワークにより凝縮された溶剤の気化溶剤やベーパー液槽から上昇して来る溶剤蒸気がこの冷却器０２２により冷却されて凝縮し、冷却器０２２の下方の樋０２３に集められる。このように、ベーパー槽０２０内においてワークにより凝縮された溶剤が気化されてしまうことがワークの乾燥となるのである。
【０００９】
樋０２３に集められた凝縮液は、そこから槽外の水分離器０２４に導かれ、この水分離器０２４において水が分離されて得られた溶剤液は、再び最終段洗浄槽０１Ｎに戻される。このようにして再生された溶剤液を受け入れて液面高さを増した洗浄槽０１Ｎからは、溶剤液が溢れて、順次、前段の洗浄槽０１Ｎ−１、０１Ｎ−２・・・に流入し（矢印Ｂ１、Ｂ２参照）、これらの洗浄槽内の溶剤液がより新鮮な溶剤液により入れ換えられる。なお、このような溢れた溶剤液の前段洗浄槽への戻りを容易にするために、複数の洗浄槽０１１、０１２、０１３・・・は、図１０に図示されるように、前段の洗浄槽程、その液面が低くなるようにされている。
【００１０】
しかしながら、このような従来の溶剤洗浄機０１０にあっては、一般に、溶剤の消費量が多い上に、ベーパー槽０２０のみによりワークを乾燥させることが困難である。その理由は、ワークの比熱が一般に小さく、このため、ワークに付着する溶剤の蒸発潜熱でワークが直ぐに冷却されて溶剤の蒸発性が悪くなり、ワークに付着する溶剤が蒸発し切れないままに残り、特に凹形状部や盲孔に溜まる溶剤が蒸発し切れないうちにワークが冷却されて、溶剤が残留して残ったまま、ワークがベーパー槽０２０から搬出されてしまうからである。
【００１１】
このように、決められた洗浄機内でワークを乾燥し切れないとなると、洗浄機からワークが搬出された後、洗浄機外でワークを自然蒸発・乾燥させざるを得なくなる。しかしながら、このような洗浄機外でのワークの自然蒸発・乾燥は、溶剤が大気に発散されることになり、環境汚染の原因にもなりかねず、また、大気放出のために溶剤が回収されず、溶剤消費量のさらなる増大を招くことにもなる。これらの問題の発生を回避するためにも、ワークの乾燥は、あくまでも洗浄機内で済ませることが鉄則である。
【００１２】
本出願人は、先に、これらの問題点を解決するために、ワークを溶剤洗浄機内で短時間に十分に洗浄、乾燥させることができ、これにより、ワークに付着する油分やパーティクルを略完全に除去して、しかも、溶剤の回収効率が高くて、溶剤の消費量が少なく、環境を汚染することのない溶剤洗浄機を発明して、特許出願を行った（特許文献３）。しかしながら、このものにおいても、溶剤回収がなお十分とは言い難く、この解決のため、例えば、溶剤ガスを熱交換器内に導いて冷却して凝縮させ、その溶剤液を回収するとしても、熱交換器内に流入してくる溶剤ガスには必然的に大気中の水分が含まれるため、連続運転を行えば時間とともに熱交換器内部は着霜することになり、その解凍を行うためには定期的に回収運転を停止せざるを得ず、効率が悪いものであった。したがって、溶剤ガスを長時間にわたって連続的且つ効率的に凝縮させて回収することができるようにするためには、なお、改善すべき点が残されていた。
【特許文献１】特開平７−２６５８１７号公報
【特許文献２】特開平８−０３９０１９号公報
【特許文献３】特開平２００３−３０５４１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本願の発明は、従来の溶剤洗浄機が有する前記のような問題点を解決して、ＯＡ機器等精密機器の製造工場の生産ラインにおいて発生する中間品である各種部品や部品組立体（ワーク）を溶剤洗浄装置内で短時間に十分に洗浄、乾燥させることができ、これにより、ワークに付着する油分やパーティクルをさらに完全に除去して、しかも、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができて、溶剤の消費量が少なく、環境を汚染することのない、溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記のような課題は、本願の特許請求の範囲の各請求項に記載された次のような発明により解決される。
すなわち、その請求項１に記載された発明は、ワークを溶剤で洗浄して、前記ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、前記ワークを乾燥させるために、前記ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽と、複数の前記洗浄槽のうちの最終段洗浄槽を出た前記ワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽とを備えている溶剤洗浄装置が、前記蒸気乾燥槽を出た前記ワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽と、前記密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置とをさらに備えて成ることを特徴とする溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置である。
【００１５】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
複数の洗浄槽を経て溶剤により洗浄され、蒸気乾燥槽を経て溶剤蒸気で仕上げ洗浄及び乾燥されて、油分やパーティクルが除去されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽に入り、ここで、密閉された室内で加熱・乾燥されて、ワークの表面、とりわけ、凹形状部や盲孔等の汲み出しにくい所になお付着して残っている溶剤が蒸発させられ、完全に除去される。このようにして、ワークを完全に乾燥させることができる。
【００１６】
しかも、このようにしてワークから分離させられて、蒸発し、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気は、次いで、溶剤回収装置に吸引され、ここで、液化して、回収されるので、溶剤の回収効率が著しく向上して、溶剤の消費量を大幅に低減することができる。また、環境を汚染することもない。
【００１７】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その密閉型完全乾燥槽が、その内部にワークを加熱・乾燥させるためのヒータと、ガス攪拌ファンとを備えていて、密閉型完全乾燥槽で発生した溶剤蒸気をガス攪拌ファンにより攪拌して、槽内に拡散させるようにされていることを特徴としている。
【００１８】
請求項２に記載された発明は、この構成により、密閉型完全乾燥槽内でのワークの加熱・乾燥を迅速に、効率良く行うことができる。
【００１９】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項１に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その密閉型完全乾燥槽が、その内部とガス吸引口及びガス吐出口を介して流体連通する閉鎖循環路を備え、該閉鎖循環路には、送風ファンと、ヒータと、フィルターとが設けられており、ガス吸引口より送風ファンにより吸引した溶剤蒸気をヒータにより加熱し、フィルターにより濾過して、ガス吐出口より密閉型完全乾燥槽内に吐出するようにされていることを特徴としている。
【００２０】
請求項３に記載された発明は、この構成により、ヒータにより加熱されて生成された乾燥熱源となる温風を、ヒータにより再加熱し、フィルターにより浄化して、再生しつつ、密閉型完全乾燥槽内を循環させて、そこでのワークへのパーティクル等の汚れ再付着を防止しつつ、ワークの加熱・乾燥をさらに迅速に、さらに効率良く行うことができる。
【００２１】
さらに、その請求項４に記載された発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その溶剤回収装置が、密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、該予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、該圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第１及び第２の熱交換器と、該第１及び第２の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、少なくとも該第１及び第２の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機とを備えて成り、第１及び第２の熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようにされており、この位置の切替えに同期して、そのシリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、そのシリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されることを特徴としている。
【００２２】
請求項４に記載された発明は、この構成により、溶剤回収装置が備える第１及び第２の熱交換器が、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられながら、溶剤蒸気の冷却運転と自己の解凍運転とに交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。
【００２３】
また、その請求項５に記載された発明は、請求項４に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その一方の熱交換器には、冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、外部熱源の投入が遮断されていることを特徴としている。
【００２４】
請求項５に記載された発明は、この構成により、第１及び第２の熱交換器のうちの他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されて、外部熱源を必要とすることがないので、溶剤回収を効率的、経済的に行うことができる。
【００２５】
また、その請求項６に記載された発明は、請求項４に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第１及び第２の熱交換器は、第１及び第２の外部ヒータをそれぞれ備え、その一方の熱交換器には、冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該他方の外部ヒータが発生する外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされていることを特徴としている。
【００２６】
請求項６に記載された発明は、この構成により、第１及び第２の熱交換器のうちの他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されるとともに、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされているので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結をより良く防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００２７】
さらに、その請求項７に記載された発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その溶剤回収装置が、密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、該予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、該圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第１及び第２の熱交換器と、該第１及び第２の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、少なくとも該第１及び第２の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機とを備えて成り、第１及び第２の熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、一方の熱交換器が加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が冷却運転を中断して、前記溶剤蒸気の流れから切り離された状態で自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されることを特徴としている。
【００２８】
請求項７に記載された発明は、この構成により、溶剤回収装置が備える第１及び第２の熱交換器が、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、溶剤蒸気の冷却運転と自己の解凍運転とに交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。
【００２９】
また、その請求項８に記載された発明は、請求項７に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その一方の熱交換器には、冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるようにされていることを特徴としている。
【００３０】
請求項８に記載された発明は、この構成により、他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが使用されるので、その他の外部熱源を必要とすることがなく、溶剤回収装置の機器構成を比較的簡易に行うことができる。
【００３１】
また、その請求項９に記載された発明は、請求項７に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第１及び第２の熱交換器が、第１及び第２の外部ヒータをそれぞれ備え、冷却運転を続行する一方の熱交換器には、冷凍機を出た冷媒ガスが供給され、冷却運転を中断する他方の熱交換器には、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入されるようにされていることを特徴としている。
【００３２】
請求項９に記載された発明は、この構成により、他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結を防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００３３】
さらに、その請求項１０に記載された発明は、請求項７に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第１及び第２の熱交換器が、第１及び第２の外部ヒータをそれぞれ備え、一方の熱交換器には、冷凍機の膨張弁を出た極冷冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスが供給されるとともに、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源が投入され、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該他方の外部ヒータが発生する外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされていることを特徴としている。
【００３４】
請求項１０に記載された発明は、この構成により、他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガスと、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータが発生する外部熱源とが投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍をさらに強制的に、さらに短時間に行って、その氷結をさらに良く防止することができ、溶剤回収がきわめて長時間にわたって連続的に行われたとしても、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００３５】
また、その請求項１１に記載された発明は、請求項９又は１０に記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第１及び第２の熱交換器が、１つの共通のタンク内に収納され、このタンクは、溶剤液の回収タンクを兼ねており、第１の熱交換器と第２の熱交換器との間には、仕切り壁が設けられ、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされていることを特徴としている。
【００３６】
請求項１１に記載された発明は、この構成により、溶剤洗浄装置をコンパクトに構成して、製作コストを低減することができるとともに、両熱交換器での熱交換を効率良く行わせることができる。
【００３７】
さらに、その請求項１２に記載された発明は、請求項９ないし１１のいずれかに記載の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置において、その第１及び第２の熱交換器は、フィン付き管式熱交換器により構成されていることを特徴としている。
【００３８】
請求項１２に記載された発明は、この構成により、熱交換性能に優れたフィン付き管式熱交換器を使用して、第１及び第２の熱交換器の氷結しにくい構造を得ることができ、これにより、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００３９】
前記のとおり、本願の発明の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置によれば、複数の洗浄槽を経て溶剤により洗浄され、蒸気乾燥槽を経て溶剤蒸気で洗浄及び乾燥されて、油分やパーティクルのほとんどが除去されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽に入り、ここで、密閉された室内で加熱・乾燥されて、ワークの表面、とりわけ、凹形状部や盲孔等の汲み出しにくい所になお付着して残っている溶剤が、油分やゴミと共に蒸発させられ、完全に除去される。このようにして、ワークを完全に洗浄、乾燥させることができる。
【００４０】
しかも、このようにしてワークから分離させられて、蒸発し、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気は、次いで、溶剤回収装置に吸引され、そこで、液化して、回収されるので、溶剤の回収効率が著しく向上して、溶剤の消費量を大幅に低減することができる。また、環境を汚染することもない。
【００４１】
特に、この溶剤回収装置が、第１及び第２の熱交換器を備えるものとされ、これらの熱交換器が、シリーズもしくはパラレルに接続されて、一方の熱交換器が溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的、経済的に行うことができる。
その他、前記したような種々の効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
ワークを溶剤で洗浄して、ワークに付着する油分やパーティクルを除去するとともに、ワークを乾燥させるために、ワークを溶剤液に浸漬させて洗浄する複数の洗浄槽と、複数の該洗浄槽のうちの最終段洗浄槽を出たワークを溶剤蒸気で洗浄及び乾燥させる蒸気乾燥槽とを備えている溶剤洗浄装置が、該蒸気乾燥槽を出たワークを密閉された室内で完全に乾燥させる密閉型完全乾燥槽と、該密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引し、液化して、回収する溶剤回収装置とをさらに備えて成るものとする。
【００４３】
この溶剤回収装置は、密閉型完全乾燥槽で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して、予備冷却する予備冷却器と、該予備冷却器を出た溶剤蒸気を吸引して、圧縮する圧縮機と、該圧縮機を出た、加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する第１及び第２の熱交換器と、該第１及び第２の熱交換器を出た溶剤液を回収する回収タンクと、少なくとも該第１及び第２の熱交換器に冷媒ガスを交互にもしくは同時に供給する冷凍機とを備えて成り、該第１及び第２の熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してシリーズもしくはパラレルに接続されて、一方の熱交換器が加圧された溶剤蒸気を冷却して、液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されるものとする。
【００４４】
ここで、一方の熱交換器での溶剤蒸気の冷却運転における熱源としては、冷凍機を出た冷媒ガスもしくは極冷冷媒ガスを使用するものとし、他方の熱交換器での自己の解凍運転における熱源としては、溶剤蒸気自身の保有熱、冷凍機の圧縮機を出た高温冷媒ガス、外部ヒータが発生する外部熱源等を単独でか、もしくは組み合わせて使用するものとする。
【実施例】
【００４５】
次に、本願の発明の第１の実施例（実施例１）について説明する。
図１は、本実施例１の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置の、当該溶剤回収装置部分を除いた部分の概略構成図、図２は、同溶剤洗浄装置がさらに備える密閉型完全乾燥槽の変形例を示す図、図３は、同密閉型完全乾燥槽の他の変形例を示す図、図４は、本願の発明の各実施例の溶剤洗浄装置に共通する溶剤回収装置の一般的な概略構成図、図５は、本実施例１の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置（以下、「本実施例１の溶剤回収装置」と略称する場合がある。その他の実施例について同様。）の模式的な概略構成図である。
【００４６】
本実施例１の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置は、特にＯＡ機器等精密機器の製造工場の生産ラインにおいて発生する中間品である各種部品や部品組立体（以下、これらを総称して「ワーク」という。この「ワーク」は、図１において符号Ｗで示されている。）を溶剤で洗浄して、これらのワークに付着する切削用冷却油等の油分や切削屑（切粉）、一般ゴミ等のパーティクルを除去し、これらのワークを乾燥させるとともに、洗浄に用いられた溶剤を高い回収効率で回収するために使用される。
【００４７】
その全体構成は、概略、図１及び図４に図示されるように、第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３と、第３段の洗浄槽１３に続くベーパー槽（蒸気乾燥槽）２０と、該ベーパー槽２０に続く密閉型完全乾燥槽３０と、該密閉型完全乾燥槽３０に続く溶剤回収装置４０とから成っている。
【００４８】
第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３、ベーパー槽２０の詳細な構造と作用とは、図１０に図示される従来の溶剤洗浄機０１０における第１段ないし第３段の洗浄槽０１１〜０１３、ベーパー槽０２０の詳細な構造と作用と略同様であり、第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３、ベーパー槽２０は、従来の溶剤洗浄機０１０の第１段ないし第３段の洗浄槽０１１〜０１３、ベーパー槽０２０にそれぞれ付された符号の頭文字０を単に削除して示しただけのものであるので、重複する詳細な説明を省略する。
なお、符号１０は、第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３、ベーパー槽２０から構成され、従来の溶剤洗浄機０１０に対応する溶剤洗浄機部分を示している。洗浄槽の段数は、必要に応じて増設される。
【００４９】
ここで、第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３、ベーパー槽２０におけるワークの洗浄・乾燥は、従来の溶剤洗浄機０１０の説明でも述べたとおり、一般に、溶剤の消費量が多い上に、ベーパー槽２０のみによりワークを乾燥させることが困難である。その理由は、従来の溶剤洗浄機０１０の説明でも簡単に述べたが、ここで、さらに敷衍して説明すれば、以下のとおりである。
今、ベーパー槽２０内に溜められた溶剤液を加熱し、沸騰させて、溶剤蒸気を発生させると、この溶剤蒸気は、空気より重いため、液面上に蒸気相として存在する。この蒸気相中に、溶剤の沸点よりも低い温度のワークを導入すると、ワーク表面に溶剤蒸気が凝縮する。この凝縮した溶剤液は、ワーク表面に付着している油分やパーティクルなどを除去しつつ、流れ落ちる。このように、ワーク表面に常に清浄な溶剤が凝縮し、流れ落ちることによって蒸気洗浄が進行する。ワークは、次第に蒸気により温められ、やがて、ワーク表面の温度は、蒸気温度と同じになるため、溶剤蒸気の凝縮が起こらなくなり、ワークは乾燥される。このようにして蒸気乾燥が完了したワークは、蒸気相を乱さないようにゆっくりと引き上げられ、ベーパー槽２０の外に出される。しかしながら、ワークの大きさや形状によっては、ベーパー槽２０のみによりワークを完全に乾燥させることが困難である。ワークが大きい場合は、その表面を一様に温めて完全乾燥させるのが難しく、また、凹形状部や盲孔がある場合は、それらに溜まる溶剤が蒸発し切れないうちにワークがベーパー槽２０から出されて、そのまま溶剤が残留してしまうからである。
【００５０】
そこで、本実施例１の溶剤洗浄装置においては、ベーパー槽２０を経たワークを完全に乾燥させるとともに、蒸発した溶剤の高効率回収を図るために、ベーパー槽２０の直後に密閉型完全乾燥槽３０が設置され、また、この密閉型完全乾燥槽３０の後に溶剤回収装置４０が設置されている。
【００５１】
密閉型完全乾燥槽３０は、その内部の周壁にヒータ３２が周回されて設置されており、第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３、ベーパー槽２０において発生した溶剤蒸気とともに、室内（槽内）に搬入されたワーク（及び該ワークを収容するトレイ）は、この完全に密閉された室内で、ヒータ３２により高温に保持された雰囲気の中で加熱されて、その特に凹形状部や盲孔に蒸発し切れないままで残っている溶剤が汚れと共に蒸発させられ、ワークは、完全に乾燥される。このようにして完全に洗浄され、乾燥されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽３０の蓋３８が開放されることにより、外部へ取り出され、次工程へと搬送される。他方、新たに発生した溶剤蒸気も加わって、ガス濃度が上昇した室内の溶剤蒸気は、高温空気と混合した状態で、配管３９を通って溶剤回収装置４０へと送られる。符号３１は、ベーパー槽２０と密閉型完全乾燥槽３０との間を仕切るシャッターを示している。
【００５２】
なお、この密閉型完全乾燥槽３０は、図２に図示されるように、変形されることができる。
この変形例においては、密閉型完全乾燥槽３０は、その内部にガス攪拌ファン３３を備えている。そして、このガス攪拌ファン３３により、密閉型完全乾燥槽３０内のガス濃度が上昇した溶剤蒸気を攪拌して、室内に拡散させる。これにより、密閉型完全乾燥槽３０内でのワークの加熱・乾燥を迅速に、効率良く行うことができる。
【００５３】
また、この密閉型完全乾燥槽３０は、図３に図示されるように、さらに変形されることができる。
この変形例においては、密閉型完全乾燥槽３０は、その内部とガス吸引口３４ａ及びガス吐出口３４ｂを介して流体連通する閉鎖循環路３４を備えており、この閉鎖循環路３４には、送風ファン３５と、ヒータ３６と、フィルター３７とが設けられている。そして、ガス吸引口３４ａより送風ファン３５により吸引された溶剤蒸気を含む温風をヒータ３６により加熱し、フィルター３７により濾過して、ガス吐出口３４ｂより密閉型完全乾燥槽３０内に吐出するようになっている。このようにすることにより、ヒータ３６により加熱されて生成された乾燥熱源となる温風をヒータ３６により再加熱し、フィルター３７により浄化して、再生しつつ、密閉型完全乾燥槽３０内を満遍なく循環させて、そこで温風中のパーティクル等がワークに再付着してワークを汚すのを防止しつつ、ワークの加熱・乾燥をさらに迅速に、さらに効率良く行うことができる。
【００５４】
次に、溶剤回収装置４０の構造と作用とについて説明する。
溶剤回収装置４０は、図４に図示されるように、予備冷却器４２、圧縮機４３、熱交換器ユニット５０、分離槽（回収タンク）５４及び冷凍機６０を備えている。
予備冷却器４２は、配管３９、４１を通して密閉型完全乾燥槽３０から供給される温度約７０°Ｃの溶剤蒸気を吸引して、これを、配管４４を通して供給される冷却水と熱交換させて、圧縮機４３を保護するために、４０°Ｃにまで冷却する。次いで、圧縮機４３は、この冷却された溶剤蒸気を吸引して、溶剤蒸気の濃度を高めるために、圧力０．７Ｍｐａ、温度７０°Ｃにまで加圧、加温し、これを熱交換器ユニット５０に送り込む。熱交換器ユニット５０は、この加圧、加温された溶剤蒸気と、冷凍機６０から供給される冷媒ガスとを熱交換させて、溶剤蒸気を冷却し、液化する。液化された溶剤及び不凝縮気体の混合体は、配管５３、減圧弁７５を通って分離槽５４に導かれ、そこで、溶剤液と不凝縮気体とに分離される。そして、溶剤液は、そこから水分離器２４へと送られて、再び、第１段ないし第３段の洗浄槽１１〜１３における洗浄用溶剤として使用される。また、不凝縮気体成分は、配管５５を通して排気される。なお、ここでは、前記溶剤として、ディップゾール社からＳＣ−５２Ｓという商品名で提供されている臭素系溶剤（沸点７１°Ｃ）が使用されている。
【００５５】
熱交換器ユニット５０は、一対の第１の熱交換器５１ａと第２の熱交換器５１ｂとを備えている。このように、熱交換器ユニット５０が熱交換器を一対備えるのは、次の理由による。すなわち、従来の溶剤洗浄機では、溶剤回収がなお十分とは言い難く、この解決のため、例えば、溶剤洗浄機に熱交換器を接続し、溶剤ガスをこの熱交換器内に導いて冷却して凝縮させ、その溶剤液を回収するとしても、熱交換器内に流入してくる溶剤ガスには必然的に大気中の水分が含まれるため、連続運転を行えば時間とともに熱交換器内部は着霜することになり、その解凍を行うためには定期的に溶剤回収運転を停止せざるを得ず、効率が悪いものとなる。そこで、溶剤ガスを長時間にわたって連続的且つ効率的に凝縮させて回収することができるようにするために、熱交換器を２機設けて、これらを交互に使用できるようにするのである。
【００５６】
これらの熱交換器は、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続される場合と、パラレルに接続される場合とがあるが、本実施例１においては、シリーズに接続されており、しかも、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようになっている。このことを、図５を参照して、具体的に説明すると、（１）圧縮機４３を出た溶剤蒸気の流れが実線で示される流れにされ、この流れに対して、第１の熱交換器５１ａが上流側に、第２の熱交換器５１ｂが下流側にあるようにして、それぞれ配置・接続される配置・接続パターンと、（２）同溶剤蒸気の流れが破線で示される流れにされ、この流れに対して、第２の熱交換器５１ｂが上流側に、第１の熱交換器５１ａが下流側にあるようにして、それぞれ配置・接続される配置・接続パターンとの間で、交互に切り替えられるようになっているものである。
【００５７】
そして、両熱交換器が（１）の配置・接続パターンに設定されている場合には、下流側に位置する第２の熱交換器５１ｂには、冷凍機６０で生成された冷媒ガスが後述する分岐冷媒配管６１ｂ（図５では実線で示されている）を通して供給され、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、上流側に位置する第１の熱交換器５１ａは、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるのみで、冷媒ガスの供給が遮断されて、溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を中断している。そして、前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより−１５°Ｃ程度にまで冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その溶剤蒸気の熱で溶解して除去する解凍運転を続行する。この解凍運転により、第１の熱交換器５１ａの伝熱壁面の温度は、０°Ｃにまで回復する。
【００５８】
また、両熱交換器が（２）の配置・接続パターンに設定されている場合には、下流側に位置する第１の熱交換器５１ａには、冷凍機６０で生成された冷媒ガスが後述する分岐冷媒配管６１ａ（図５では破線で示されている）を通して供給され、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、上流側に位置する第２の熱交換器５１ｂは、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるのみで、冷媒ガスの供給が遮断されて、溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を中断している。そして、前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その溶剤蒸気の熱で溶解して除去する解凍運転を続行する。
【００５９】
このように、本実施例１においては、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようになっており、且つ、この位置の切替えに同期して、シリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を続行する間、シリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器がその冷却運転を中断して、加圧、加温されて流れて来る溶剤蒸気によって自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されるようになっているものである。
【００６０】
なお、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂには、第１及び第２のヒータ５２ａ、５２ｂ（図４参照）がそれぞれ付設されて、これらのヒータが発生する外部熱源が、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されることがあるが、本実施例１においては、使用されないので、不要である。
【００６１】
ここで、冷凍機６０の構造と作用とについて、さらに詳細に説明する。
冷凍機６０は、概略、冷媒配管６１が途中において二股に分岐されて分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂとされた冷媒回路上に、圧縮機６２、凝縮器６３、膨張弁６４ａ、６４ｂが、この順に設置されるとともに、圧縮機６２と凝縮器６３との間から高温冷媒ガス配管６７ａ（往路）、６７ｂ（復路）が分岐されることにより構成されている。ここで、膨張弁６４ａは、分岐冷媒配管６１ａに設置され、膨張弁６４ｂは、分岐冷媒配管６１ｂに設置されている。これらの分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂにおいて、膨張弁６４ａ、６４ｂの上流側には、切替弁６５ａ、６５ｂが設置されている。凝縮器６３は、圧縮機６２を出た高温冷媒ガスを配管７２を通して供給される冷却水と熱交換させて、凝縮させて冷媒液にする。
【００６２】
高温冷媒ガス配管６７ａが冷媒配管６１から分岐する個所には、三方弁６６が設置されている。そして、この三方弁６６が高温冷媒ガス配管６７ａ方向に開にされると、圧縮機６２から凝縮器６３方向に流れていた高圧、高温の冷媒ガスの一部が高温冷媒ガス配管６７ａ方向に流れる。高温冷媒ガス配管６７ａは、その末端が分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂのいずれかと、熱交換器ユニット５０より上流側の位置において切替弁６８ａ、６８ｂにより切替え接続されるようになっている。また、高温冷媒ガス配管６７ｂは、その基端が、分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂのいずれかと、熱交換器ユニット５０より下流側の位置において切替弁６９ａ、６９ｂにより切替え接続されるようになっている。
【００６３】
しかしながら、これら高温冷媒ガス配管６７ａ、６７ｂも、本実施例１においては使用されず、三方弁６６、４個の切替弁６８ａ、６８ｂ、６９ａ、６９ｂは、いずれも本実施例１においては、閉止されている。したがって、本実施例１においては、これら高温冷媒ガス配管６７ａ、６７ｂ、三方弁６６、４個の切替弁６８ａ、６８ｂ、６９ａ、６９ｂは、除去されても良い。冷凍機６０から、これら高温冷媒ガス配管６７ａ、６７ｂ、三方弁６６、４個の切替弁６８ａ、６８ｂ、６９ａ、６９ｂを取り除き、冷媒配管６１から分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂが分岐されないものは、通常の冷凍サイクルの基本構成を示すものである。
【００６４】
冷凍機６０は、また、分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂが熱交換器ユニット５０より下流側で合流する位置と圧縮機６２との間の冷媒回路上にアキュムレータ７０を備えており、さらに、凝縮器６３と、冷媒配管６１が熱交換器ユニット５０より上流側で二股に分岐されて分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂとされる位置との間の冷媒回路上にレシーバタンク７１を備えている。その他、冷媒回路上の所定の位置に複数の温度センサや圧力センサ、これらのセンサにより制御される各種弁等を備えているが、詳細な説明を省略する。
【００６５】
冷凍機６０は、前記のようにして構成されているので、本実施例１において、両熱交換器が（１）の配置・接続パターンに設定されている場合には、切替弁６５ｂが開かれ、膨張弁６４ｂが適度の開度に調節されて、下流側に位置する第２の熱交換器５１ｂに冷凍機６０で生成された冷媒ガス（この冷媒ガスは、冷媒液が膨張弁６４ｂを通過後、気化膨脹して得られたものである。）が分岐冷媒配管６１ｂを通して供給される。この間、切替弁６５ａは閉じられており、上流側に位置する第１の熱交換器５１ａには、冷媒ガスは供給されない。
【００６６】
また、両熱交換器が（２）の配置・接続パターンに設定されている場合には、切替弁６５ａが開かれ、膨張弁６４ａが適度の開度に調節されて、下流側に位置する第１の熱交換器５１ａに冷凍機６０で生成された冷媒ガス（この冷媒ガスは、冷媒液が膨張弁６４ａを通過後、気化膨脹して得られたものである。）が分岐冷媒配管６１ａを通して供給される。この間、切替弁６５ｂは閉じられており、上流側に位置する第２の熱交換器５１ｂには、冷媒ガスは供給されない。
なお、この冷凍機６０は、予備冷却器４２に配管４４を通して供給される冷却水を生成するためにも使用されるようにシステム構成することが可能である。
【００６７】
本実施例１の溶剤回収装置４０を備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
複数の洗浄槽１１〜１３を経て溶剤により洗浄され、ベーパー槽（蒸気乾燥槽）２０を経て溶剤蒸気で仕上げ洗浄及び乾燥されて、油分やパーティクルが除去されたワークは、次いで、密閉型完全乾燥槽３０に入り、ここで、密閉された室内で加熱・乾燥されて、ワークの表面、とりわけ、凹形状部や盲孔等の汲み出しにくい所になお付着して残っていた溶剤が蒸発させられ、完全に除去される。このようにして、ワークを完全に乾燥させることができる。
【００６８】
しかも、このようにしてワークから分離させられて蒸発し、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気は、次いで、溶剤回収装置４０に吸引され、そこで、液化して、回収されるので、溶剤の回収効率が著しく向上して、溶剤の消費量を大幅に低減することができる。また、環境を汚染することもない。
【００６９】
さらに、その溶剤回収装置４０が、密閉型完全乾燥槽３０で発生した、ガス濃度が上昇した溶剤蒸気を吸引して予備冷却する予備冷却器４２と、該予備冷却器４２を出た溶剤蒸気を吸引して、さらにガス濃度を上昇させるために圧縮する圧縮機４３と、該圧縮機４３を出た加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂと、該第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂを出た溶剤液を回収する分離槽（回収タンク）５４と、該第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂに冷媒ガスを交互に供給する冷凍機６０とを備えて成り、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されて、このシリーズ接続の上流側の位置と下流側の位置との間で交互に切り替えられるようにされており、この位置の切替えに同期して、そのシリーズ接続の下流側に位置する一方の熱交換器が加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を続行する間、そのシリーズ接続の上流側に位置する他方の熱交換器が冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。
【００７０】
特に、その一方の熱交換器には、冷凍機６０を出た冷媒ガスが供給され、他方の熱交換器には、溶剤蒸気が流れるのみで、外部熱源の投入が遮断されているので、他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されて、外部熱源を必要とすることがなく、溶剤回収を効率的、経済的に行うことができる。
なお、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂの上記した切替え運転がきわめて長時間続行されると、冷却運転を続行する側の熱交換器において氷結が進んで、次の切替え運転の時には、その氷結の解凍に溶剤蒸気自身の保有熱では間に合わなくなる可能性があり、そのような事態が生じた場合には、その氷結が熱交換器を詰まらせる虞があるので、そのような事態に至らない氷結時間をデータから割り出して、切替え運転の時間間隔を適切に設定する必要がある。
【００７１】
また、密閉型完全乾燥槽３０が、その内部にワークを加熱・乾燥させるためのヒータ３２と、ガス攪拌ファン３３とを備えていて、密閉型完全乾燥槽３０で発生した溶剤蒸気をガス攪拌ファン３３により攪拌して、室内に拡散させるようにされる場合には、密閉型完全乾燥槽３０内でのワークの加熱・乾燥を迅速に、効率良く行うことができる。
【００７２】
また、密閉型完全乾燥槽３０が、その内部とガス吸引口３４ａ及びガス吐出口３４ｂを介して流体連通する閉鎖循環路３４を備え、該閉鎖循環路３４には、送風ファン３５と、ヒータ３６と、フィルター３７とが設けられており、ガス吸引口３４ａより送風ファン３５により吸引した溶剤蒸気をヒータ３６により加熱し、フィルター３７により濾過して、ガス吐出口３４ｂより密閉型完全乾燥槽３０内に吐出するようにされる場合には、ヒータ３６により加熱されて生成された乾燥熱源となる温風を、ヒータ３６により再加熱し、フィルター３７により浄化して、再生しつつ、密閉型完全乾燥槽３０内を循環させて、そこでのワークへのパーティクル等の汚れ再付着を防止しつつ、ワークの加熱・乾燥をさらに迅速に、さらに効率良く行うことができる。
【００７３】
次に、本願の発明の第２の実施例（実施例２）について説明する。
図６は、本実施例２の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。図６に図示されるように、本実施例２の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ａは、実施例１の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０と比較すると、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂにそれぞれ付設された第１及び第２のヒータ５２ａ、５２ｂが、溶剤回収装置４０においては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されなかったのに対して、溶剤回収装置４０ａにおいては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用される点で異なっている。
【００７４】
すなわち、実施例１の溶剤回収装置４０においては、加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行する他方の熱交換器は、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるのみで、外部熱源の投入が遮断されていて、外部熱源と溶剤蒸気との間の熱交換も、外部熱源による熱交換器の伝熱壁の外部からの加熱も行われなかったが、本実施例２の溶剤回収装置４０ａにおいては、該他方の熱交換器は、その内部を加圧、加温された溶剤蒸気が流れるとともに、その外部には、第１及び第２のヒータ５２ａ、５２ｂのうちの該他方の熱交換器に付設された側のヒータが発生する外部熱源が存在することになるので、この他方の熱交換器は、その内部から溶剤蒸気自身の保有熱による加熱を受けるとともに、その外部から、この外部熱源による加熱を受けることになる。このようにして、この外部熱源は、該他方の熱交換器に投入されて、該他方の熱交換器の溶剤蒸気自身の保有熱による霜取り・解凍運転をサポートするように使用されるものである。
【００７５】
本実施例２の溶剤回収装置４０ａを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、さらに、次のような効果を奏することができる。
第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂのうちの他方の熱交換器の解凍運転には、溶剤蒸気自身の保有熱が利用されるとともに、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータ５２ａもしくは５２ｂが発生する外部熱源が投入されて、該他方の熱交換器が冷却運転を中断して自己の霜取りを行う解凍運転を続行する間、該外部熱源が該他方の熱交換器の解凍運転をサポートするようにされているので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結をより良く防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００７６】
次に、本願の発明の第３の実施例（実施例３）について説明する。
図７は、本実施例３の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。本実施例３の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ｂは、実施例１、２の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０、４０ａと比較すると、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂが、溶剤回収装置４０、４０ａにおいては、溶剤蒸気の流れに対してシリーズに接続されていたのに対して、溶剤回収装置４０ｂにおいては、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続される点で異なっている。また、実施例２の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ａと比較すると、第１及び第２のヒータ５２ａ、５２ｂが、溶剤回収装置４０ａにおいては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されていたのに対して、溶剤回収装置４０ｂにおいては、これらの熱交換器の解凍運転をサポートするように使用されていない点でも異なっている。しかし、いずれの溶剤回収装置４０、４０ａ、４０ｂにおいても、いずれか一方の熱交換器が加圧、加温された溶剤蒸気を冷却して液化する冷却運転を続行する間、他方の熱交換器がその冷却運転を中断して、自己の霜取りを行う解凍運転を続行するように、これらの熱交換器が交互に切替え運転される点で共通している。
【００７７】
具体的に説明すると、本実施例３の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ｂにおいては、圧縮機４３を出た溶剤蒸気の流れが、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂの各々の熱交換器に交互に切替え接続されるようになっている。そして、溶剤蒸気の流れに接続された側の熱交換器には、冷凍機６０の膨張弁６４ａもしくは６４ｂを出た極冷冷媒ガスが供給され、ここで、溶剤蒸気と極冷冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて回収される。この間、溶剤蒸気の流れに接続されなかった側の熱交換器には、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスが供給され、ここで、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その熱で溶解して除去するようになっている。
すなわち、溶剤蒸気の流れに接続された側の熱交換器は、溶剤蒸気の冷却運転を続行し、溶剤蒸気の流れに接続されなかった側の熱交換器は、自己の解凍運転を続行するように、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、交互に切替え運転されるものである。
【００７８】
このことを、図４、図７を参照して、さらに具体的に説明すると、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、（１）圧縮機４３を出た溶剤蒸気の流れが実線で示される流れにされ、この溶剤蒸気の流れに対して、第１の熱交換器５１ａが接続され、第２の熱交換器５１ｂが切り離される配置・接続パターンと、（２）同溶剤蒸気の流れが破線で示される流れにされ、この溶剤蒸気の流れに対して、第２の熱交換器５１ｂが接続され、第１の熱交換器５１ａが切り離される配置・接続パターンとの間で、交互に切替え接続される。
【００７９】
そして、両熱交換器が（１）の配置・接続パターンに設定されている場合には、溶剤蒸気の流れに接続される第１の熱交換器５１ａには、冷凍機６０の膨張弁６４ａを出た極冷冷媒ガスが分岐冷媒配管６１ａを通して供給され（図７では実線で示されている）、ここで、溶剤蒸気と極冷冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、溶剤蒸気の流れから切り離された第２の熱交換器５１ｂには、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスが三方弁６６、高温冷媒ガス配管６７ａ（往路）、切替弁６８ｂ、分岐冷媒配管６１ｂを通して供給され（図７では実線で示されている）、ここで、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その熱で溶解して除去する。
【００８０】
また、両熱交換器が（２）の配置・接続パターンに設定されている場合には、溶剤蒸気の流れに接続される第２の熱交換器５１ｂには、冷凍機６０の膨張弁６４ｂを出た極冷冷媒ガスが分岐冷媒配管６１ｂを通して供給され（図７では破線で示されている）、ここで、溶剤蒸気と極冷冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この間、溶剤蒸気の流れから切り離された第１の熱交換器５１ａには、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスが三方弁６６、高温冷媒ガス配管６７ａ（往路）、切替弁６８ａ、分岐冷媒配管６１ａを通して供給され（図７では破線で示されている）、ここで、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を、その熱で溶解して除去する。
【００８１】
このようにして第１の熱交換器５１ａ及び第２の熱交換器５１ｂを交互に通過した高温冷媒ガスは、温度を低下させた状態で分岐冷媒配管６１ａ、６１ｂ、切替弁６９ａ、６９ｂを交互に通り、次いで、高温冷媒ガス配管６７ｂ（復路）を通って冷媒配管６１に戻される。この高温冷媒ガスが冷媒配管６１に戻される位置は、三方弁６６と凝縮器６３との間の位置とされている。
【００８２】
本実施例３の溶剤回収装置４０ｂを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような特有の効果を奏することができる。
溶剤回収装置４０ｂが備える第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、溶剤蒸気の流れに対してパラレルに接続されて、溶剤蒸気の冷却運転と自己の解凍運転とに交互に切替え運転されるので、溶剤回収を長時間にわたって連続的、効率的に行うことができる。
【００８３】
また、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂのうちの一方の熱交換器での溶剤蒸気の冷却運転、他方の熱交換器での自己の解凍運転のいずれにも、その熱源として、冷凍機６０を出た冷媒ガス（極冷冷媒ガス及び高温冷媒ガス）が使用されるので、その他の外部熱源を必要とすることがなく、溶剤回収装置４０ｂの機器構成を比較的簡易に行うことができる。
【００８４】
次に、本願の発明の第４の実施例（実施例４）について説明する。
図８は、本実施例４の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。本実施例４の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ｃは、実施例３の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ｂと比較すると、自己の解凍運転を続行する他方の熱交換器の外部熱源として、溶剤回収装置４０ｂにおいては、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスが使用されたのに対して、溶剤回収装置４０ｃにおいては、それぞれの熱交換器が備える第１もしくは第２のヒータ５２ａ、５２ｂが発生する熱源が使用される点で異なっている。
【００８５】
図８を参照して、具体的に説明すると、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂが、実施例３における（１）の配置・接続パターンと同じ配置・接続パターンに設定されている場合において、溶剤蒸気の流れに接続される第１の熱交換器５１ａには、冷凍機６０の膨張弁６４ａを出た冷媒ガスが分岐冷媒配管６１ａを通して供給され（図８では実線で示されている）、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この点は、極冷冷媒ガスが単に冷媒ガスと呼称されただけで、実施例３と異なるところはない。
【００８６】
他方、前記のようにして、第１の熱交換器５１ａが溶剤蒸気の冷却運転を続行する間、溶剤蒸気の流れから切り離された第２の熱交換器５１ｂには、該第２の熱交換器５１ｂが備える第２のヒータ５２ｂが発生する熱源が投入され、この外部熱源が、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を溶解して除去する。したがって、この場合には、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスが使用されることはない。
【００８７】
また、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂが、実施例３における（２）の配置・接続パターンと同じ配置・接続パターンに設定されている場合において、溶剤蒸気の流れに接続される第２の熱交換器５１ｂには、冷凍機６０の膨張弁６４ｂを出た冷媒ガスが分岐冷媒配管６１ｂを通して供給され（図８では破線で示されている）、ここで、溶剤蒸気と冷媒ガスとの熱交換が行われて、溶剤蒸気は、冷却され、液化されて、回収される。この点は、極冷冷媒ガスが単に冷媒ガスと呼称されただけで、実施例３と異なるところはない。
【００８８】
他方、前記のようにして、第２の熱交換器５１ｂが溶剤蒸気の冷却運転を続行する間、溶剤蒸気の流れから切り離された第１の熱交換器５１ａには、該第１の熱交換器５１ａが備える第１のヒータ５２ａが発生する熱源が投入され、この外部熱源が、この熱交換器の伝熱壁を外部から加熱して、この熱交換器が前の切替え運転の時に冷却運転を続行したことにより冷やされて自己の伝熱壁面に付着した霜を溶解して除去する。したがって、この場合には、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスが使用されることはない。
【００８９】
本実施例４の溶剤回収装置４０ｃにおいては、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、いずれも熱交換性能に優れたフィン付き管式熱交換器により構成され、１つの共通のタンク７３内に収納されており、このタンク７３は、溶剤液の回収タンクを兼ねている。したがって、図４に図示されるような別置きの分離槽（回収タンク）５４は、不要である。また、第１の熱交換器５１ａと第２の熱交換器５１ｂとの間には、仕切り壁７４が設けられていて、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされている。
【００９０】
本実施例４の溶剤回収装置４０ｃを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような特有の効果を奏することができる。
第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂのうちの他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータ５２ａもしくは５２ｂが発生する外部熱源が投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍を強制的に、短時間に行って、その氷結を防止することができ、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００９１】
また、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂが、１つの共通のタンク７３内に収納され、このタンク７３は、溶剤液の回収タンクを兼ねており、第１の熱交換器５１ａと第２の熱交換器５１ｂとの間には、仕切り壁７４が設けられ、各熱交換器における熱交換作用が互いに干渉し合わないようにされているので、溶剤回収装置４０ｃをコンパクトに構成して、製作コストを低減することができるとともに、両熱交換器での熱交換を効率良く行わせることができる。
【００９２】
また、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂは、フィン付き管式熱交換器により構成されているので、熱交換性能に優れたフィン付き管式熱交換器を使用して、第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂの氷結しにくい構造を得ることができ、これにより、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００９３】
次に、本願の発明の第５の実施例（実施例５）について説明する。
図９は、本実施例５の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。本実施例５の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ｄは、基本的に、実施例３、４の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置４０ｂ、４０ｃを組み合わせた溶剤回収装置に相当している。すなわち、その溶剤回収装置４０ｄは、自己の解凍運転を続行する他方の熱交換器の外部熱源として、溶剤回収装置４０ｂにおいて使用された、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスと、溶剤回収装置４０ｃにおいて使用された、それぞれの熱交換器が備える第１もしくは第２のヒータ５２ａ、５２ｂが発生する熱源とが、ともに使用されたものである。その他の構造部分は、溶剤回収装置４０ｂ、４０ｃのそれぞれ対応する部分と特に異なるところはない。
【００９４】
図９は、以上のような溶剤回収装置４０ｄと溶剤回収装置４０ｂ、４０ｃとの関係が、やや読み取られにくい図面になっているが、膨張弁６４ａ、６４ｂが１つの弁図形の上に合体させられて象徴的に描かれただけであり、その他の部分については、溶剤回収装置４０ｂ、４０ｃのそれぞれ対応する部分と、基本的に異なるところはないものである。第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂが、フィン付き管式熱交換器により構成され、１つの共通のタンク７３内に収納され、このタンク７３が、溶剤液の回収タンクを兼ねる点も、実施例４の溶剤回収装置４０ｃと同様である。したがって、これ以上の詳細な説明を省略する。なお、タンク７３で回収された溶剤液は、直接、水分離器２４に導かれて良い。
【００９５】
本実施例５の溶剤回収装置４０ｄを備えた溶剤洗浄装置は、前記のように構成されているので、次のような特有の効果を奏することができる。
第１及び第２の熱交換器５１ａ、５１ｂのうちの他方の熱交換器での自己の解凍運転に、その熱源として、冷凍機６０の圧縮機６２を出た高温冷媒ガスと、該他方の熱交換器が備える他方の外部ヒータ５２ａもしくは５２ｂが発生する外部熱源とが投入されるので、該他方の熱交換器での自己の解凍をさらに強制的に、さらに短時間に行って、その氷結をさらに良く防止することができ、溶剤回収がきわめて長時間にわたって連続的に行われたとしても、該他方の熱交換器での熱交換が終始効率良く行われて、溶剤回収をさらに効率的に行うことができる。
【００９６】
なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されずに、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本願の発明の第１の実施例（実施例１）の溶剤回収装置を備えた溶剤洗浄装置の、当該溶剤回収装置部分を除いた部分の概略構成図である。
【図２】同溶剤洗浄装置がさらに備える密閉型完全乾燥槽の変形例を示す図である。
【図３】同密閉型完全乾燥槽の他の変形例を示す図である。
【図４】本願の発明の各実施例の溶剤洗浄装置に共通する溶剤回収装置の一般的な概略構成図である。
【図５】本実施例１の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。
【図６】本願の発明の第２の実施例（実施例２）の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。
【図７】本願の発明の第３の実施例（実施例３）の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。
【図８】本願の発明の第４の実施例（実施例４）の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。
【図９】本願の発明の第５の実施例（実施例５）の溶剤洗浄装置が備える溶剤回収装置の模式的な概略構成図である。
【図１０】従来の溶剤洗浄機の一般的な構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９８】
１０…従来の溶剤洗浄機相当部分、１１〜１３…第１段〜第３段洗浄槽、２０…ベーパー槽（蒸気乾燥槽）、２１…ヒータ、２２…冷却器、２３…樋、２４…水分離器、２５…超音波発振器、２６…籠、２７…ハンガー、３０…密閉型完全乾燥槽、３１…シャッター、３２…ヒータ、３３…ガス攪拌ファン、３４ａ…ガス吸引口、３４ｂ…ガス吐出口、３５…送風ファン、３６…ヒータ、３７…フィルター、３８…蓋、３９…配管、４０…溶剤回収装置、４１…配管、４２…予備冷却器、４３…圧縮機、４４…配管、５０…熱交換器ユニット、５１ａ…第１の熱交換器、５１ｂ…第２の熱交換器、５２ａ…第１のヒータ、５２ｂ…第２のヒータ、５３…配管、５４…分離槽（回収タンク）、５５…配管、６０…冷凍機、６１…冷媒配管、６１ａ、６１ｂ…分岐冷媒配管、６２…圧縮機、６３…凝縮器、６４ａ、６４ｂ…膨張弁、６５ａ、６５ｂ…切替弁、６６…三方弁、６７ａ…高温冷媒ガス配管（往路）、６７ｂ…高温冷媒ガス配管（復路）、６８ａ、６８ｂ…切替弁、６９ａ、６９ｂ…切替弁、７０…アキュムレータ、７１…レシーバタンク、７２…配管、７３…タンク、７４…仕切り壁、７５…減圧弁、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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