(57)【要約】【課題】互いに直交する２つの基準方向のうち一方の基準方向に関して互いに平行な２つの移動機構を有する画像記録装置において保持部を回動する機構を設けることなく、画像記録の対象物上における参照パターンの基準方向に対する微小な傾斜を容易に補正する。【解決手段】画像記録装置１には、第１基準方向にほぼ平行に伸びるガイド部３１に沿ってステージ２を移動するステージ移動機構３、ガイド部３１の一の端部３１１を第１基準方向に垂直な第２基準方向に移動する第１ガイド移動機構４１、並びに、ガイド部３１の反対側の端部３１２を第２基準方向に移動する第２ガイド移動機構４２が設けられる。制御部では、ステージ２にて保持される基板９上の参照パターンの第１基準方向に対する微小な傾斜が求められ、第２基準方向におけるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置を変更することにより参照パターンの傾斜が容易に補正される。【選択図】図１
2008051988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に光を照射することにより前記対象物上に画像を記録する画像記録装置であって、
一の主面上に記録材料を有するシート状または板状の対象物を保持する保持部と、
前記主面に平行な第１基準方向にほぼ平行に伸びるガイド部に沿って前記保持部を移動する保持部移動機構と、
前記ガイド部の一端を、前記主面に平行かつ前記第１基準方向に垂直な第２基準方向に移動する第１ガイド移動機構と、
前記ガイド部の前記一端とは反対側の他端を、前記第２基準方向に移動することにより、前記第１ガイド移動機構と共に前記ガイド部を前記第２基準方向に移動する第２ガイド移動機構と、
画像記録用の光を前記記録材料に照射するヘッドと、
前記第２基準方向における前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置の変化と、前記ガイド部の方向の変化との関係を示す補正情報を記憶する記憶部と、
前記対象物上の位置合わせ用の参照パターンの画像を取得する撮像部と、
前記画像に基づいて前記第１基準方向に対する前記参照パターンの微小な傾斜角を求め、前記傾斜角および前記補正情報に基づいて前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置を変更して、前記参照パターンの前記第１基準方向に対する傾斜を補正する制御部と、
を備えることを特徴とする画像記録装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画像記録装置であって、
前記制御部が、前記傾斜の補正時に前記ガイド部の前記一端と前記他端とを逆向きに同じ距離だけ移動することを特徴とする画像記録装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の画像記録装置であって、
前記補正情報が、前記参照パターンの傾斜角と、傾斜の補正に必要な前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置の変更量との関係を示すテーブルであることを特徴とする画像記録装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の画像記録装置であって、
前記制御部が、前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置を所定量だけ変更した際の前記参照パターンの移動距離に基づいて、前記傾斜の補正時の前記対象物の回転中心を求めることを特徴とする画像記録装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の画像記録装置であって、
前記対象物に対して複数回の画像記録が行われ、
前記複数回の画像記録のそれぞれが完了する度に、前記保持部による前記対象物の保持が解除されることを特徴とする画像記録装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の画像記録装置であって、
前記ヘッドが、空間変調された光を前記記録材料に照射し、
前記制御部が、画像記録時において、前記記録材料上における前記光の照射位置を前記第２基準方向に走査しつつ、描画データに基づいて前記光を変調することを特徴とする画像記録装置。
【請求項７】
請求項６に記載の画像記録装置であって、
前記照射位置の一の走査にて前記記録材料上の帯状領域に描画が行われた後、前記保持部移動機構が前記対象物を前記第１基準方向に前記帯状領域の幅だけ移動し、前記照射位置の次の走査にて前記帯状領域に隣接する帯状領域に描画が行われることを特徴とする画像記録装置。
【請求項８】
請求項７に記載の画像記録装置であって、
前記第１基準方向に対する前記ガイド部の傾斜に合わせて、前記隣接する帯状領域への描画開始タイミングが補正されることにより、前記第２基準方向に関して、前記帯状領域の両端部の位置と前記隣接する帯状領域の両端部の位置とがそれぞれ一致することを特徴とする画像記録装置。
【請求項９】
対象物に光を照射することにより前記対象物上に画像を記録する画像記録方法であって、
前記画像記録方法を実行する画像記録装置が、
一の主面上に記録材料を有するシート状または板状の対象物を保持する保持部と、
前記主面に平行な第１基準方向にほぼ平行に伸びるガイド部に沿って前記保持部を移動する保持部移動機構と、
前記ガイド部の一端を、前記主面に平行かつ前記第１基準方向に垂直な第２基準方向に移動する第１ガイド移動機構と、
前記ガイド部の前記一端とは反対側の他端を、前記第２基準方向に移動することにより、前記第１ガイド移動機構と共に前記ガイド部を前記第２基準方向に移動する第２ガイド移動機構と、
画像記録用の光を前記記録材料に照射するヘッドと、
を備え、
前記画像記録方法が、
ａ）前記対象物上の位置合わせ用の参照パターンの画像を取得しつつ、前記画像に基づいて前記第１基準方向に対する前記参照パターンの微小な傾斜角を求める工程と、
ｂ）前記第２基準方向における前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置の変化と、前記ガイド部の方向の変化との関係を示す補正情報、および、前記傾斜角に基づいて前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置を変更して、前記参照パターンの前記第１基準方向に対する傾斜を補正する工程と、
ｃ）前記保持部を前記第２基準方向に移動しつつ、前記ヘッドから画像記録用の光を前記記録材料に照射する工程と、
を備えることを特徴とする画像記録方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の画像記録方法であって、
前記ｂ）工程において、前記ガイド部の前記一端と前記他端とが逆向きに同じ距離だけ移動することを特徴とする画像記録方法。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の画像記録方法であって、
前記補正情報が、前記参照パターンの傾斜角と、傾斜の補正に必要な前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置の変更量との関係を示すテーブルであることを特徴とする画像記録方法。
【請求項１２】
請求項９ないし１１のいずれかに記載の画像記録方法であって、
ｄ）前記ｃ）工程の前に、前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置を所定量だけ変更した際の前記参照パターンの移動距離に基づいて、前記傾斜の補正時の前記対象物の回転中心を求める工程をさらに備えることを特徴とする画像記録方法。
【請求項１３】
請求項９ないし１２のいずれかに記載の画像記録方法であって、
前記対象物に対して複数回の画像記録が行われ、
前記複数回の画像記録のそれぞれが完了する度に、前記保持部による前記対象物の保持が解除されることを特徴とする画像記録方法。
【請求項１４】
請求項９ないし１３のいずれかに記載の画像記録方法であって、
前記ヘッドが、空間変調された光を前記記録材料に照射し、
前記ｃ）工程が、
ｃ１）前記記録材料上における前記光の照射位置を前記第２基準方向に走査する工程と、
ｃ２）前記ｃ１）工程に並行して、描画データに基づいて前記光を変調する工程と、
を備えることを特徴とする画像記録方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の画像記録方法であって、
前記ｃ２）工程において前記記録材料上の帯状領域に描画が行われ、
前記ｃ）工程が、
ｃ３）前記ｃ２）工程の後に、前記対象物を前記第１基準方向に前記帯状領域の幅だけ移動する工程と、
ｃ４）前記ｃ１）および前記ｃ２）工程を繰り返すことにより、前記帯状領域に隣接する帯状領域に描画を行う工程と、
を備えることを特徴とする画像記録方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の画像記録方法であって、
前記ｃ４）工程において、前記第１基準方向に対する前記ガイド部の傾斜に合わせて、前記隣接する帯状領域への描画開始タイミングが補正され、
前記第２基準方向に関して、前記帯状領域の両端部の位置と前記隣接する帯状領域の両端部の位置とがそれぞれ一致することを特徴とする画像記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物に光を照射することにより対象物上に画像を記録する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示装置にはカラーフィルタが利用されており、ガラスの基板上にカラーフィルタのフィルタ層を形成する様々な手法が提案されている。例えば、主面上に一の色のフィルム状の記録材料を有する基板にマスクを用いて光を照射することにより画像を記録する動作を、記録材料の色を変更しつつ繰り返すことにより、カラーフィルタを製造する手法が知られている。また、近年では、空間変調された光を出射するヘッドの下方にて、基板を主面に沿う主走査方向に移動することにより、基板上に画像を記録する画像記録装置（すなわち、直描型の画像記録装置）も知られている。
【０００３】
なお、特許文献１では、それぞれが変調された光ビームを感光材料に向けて出射する複数の光照射部の下方にて感光材料を水平に移動することにより、感光材料上に画像を記録する画像記録装置において、感光材料の移動方向に垂直な方向に関して複数の光照射部に対応する感光材料上の複数の照射位置の間隔を変更することにより、高速かつ高精度に画像を記録する手法が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−５６０８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、直描型の画像記録装置では、通常、基板の主走査方向への主走査、および、主走査方向に垂直な副走査方向への間欠的な副走査を繰り返すことにより、基板の全体に画像が記録されるが、重量が比較的大きい基板上に画像を高精度かつ短時間に記録するには、基板を主走査方向に高精度かつ高速に移動することが重要となる。そこで、副走査方向におよそ沿う方向に伸びるガイド部に沿って基板が載置されるステージを移動するステージ移動機構、および、ガイド部の両端を主走査方向に沿ってそれぞれ移動する２つのガイド移動機構（それぞれマスターおよびスレーブとも呼ばれる。）を備える移動ユニット（すなわち、互いに直交する２つの基準方向のうち一方の基準方向に関して互いに平行な２つの移動機構を有する移動ユニット）を画像記録装置に採用することが提案されている。
【０００５】
一方で、画像記録装置にてカラーフィルタを製造する際に、例えば、基板の主面よりも大きい記録材料を当該主面上に有する基板をステージの吸引機構による吸引吸着にて保持する場合（この場合、記録材料の外縁部からの吸引により主面と記録材料とを密着させることが可能となる。）等には、他の色の記録材料への変更時に、吸引機構による吸着を一旦解除して記録材料を取り除き、他の色の記録材料を主面上に重ねた後、再度、吸引機構を駆動して基板がステージにて保持される。このとき、他の色の画像を記録する際のステージ上における基板の位置（主走査方向および副走査方向の位置）が最初の画像記録時の位置からずれてしまうことがある。そこで、例えば、基板上に位置合わせ用の参照パターン（例えば、副走査方向に離れた２つの所定形状のマーク）を形成しておき、基板上に画像を記録する際に、毎回、参照パターンを用いて基板を所定の位置に合わせる（すなわち、位置決めを行う）ことが必要となる。また、基板が僅かに傾いている（すなわち、参照パターンが副走査方向に対して僅かに傾いている）場合には、基板を主面に垂直な軸を中心として僅かに回動することが必要となる。
【０００６】
互いに直交する２つの基準方向のうち一方の基準方向に関して互いに平行な２つの移動機構を有する画像記録装置において、ステージを回動する機構をさらに設けて基板の傾斜を補正することも可能であるが、画像記録装置の製造コストが上昇してしまう。したがって、このような画像記録装置において、基板の保持部を回動する機構を別途設けることなく、基板上の参照パターンの傾斜を補正する新規な手法が必要となる。
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、互いに直交する２つの基準方向のうち一方の基準方向に関して２つの移動機構を有する画像記録装置において、保持部を回動する機構を設けることなく、画像記録の対象物上における参照パターンの基準方向に対する微小な傾斜を容易に補正することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、対象物に光を照射することにより前記対象物上に画像を記録する画像記録装置であって、一の主面上に記録材料を有するシート状または板状の対象物を保持する保持部と、前記主面に平行な第１基準方向にほぼ平行に伸びるガイド部に沿って前記保持部を移動する保持部移動機構と、前記ガイド部の一端を、前記主面に平行かつ前記第１基準方向に垂直な第２基準方向に移動する第１ガイド移動機構と、前記ガイド部の前記一端とは反対側の他端を、前記第２基準方向に移動することにより、前記第１ガイド移動機構と共に前記ガイド部を前記第２基準方向に移動する第２ガイド移動機構と、画像記録用の光を前記記録材料に照射するヘッドと、前記第２基準方向における前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置の変化と、前記ガイド部の方向の変化との関係を示す補正情報を記憶する記憶部と、前記対象物上の位置合わせ用の参照パターンの画像を取得する撮像部と、前記画像に基づいて前記第１基準方向に対する前記参照パターンの微小な傾斜角を求め、前記傾斜角および前記補正情報に基づいて前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置を変更して、前記参照パターンの前記第１基準方向に対する傾斜を補正する制御部とを備える。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の画像記録装置であって、前記制御部が、前記傾斜の補正時に前記ガイド部の前記一端と前記他端とを逆向きに同じ距離だけ移動する。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の画像記録装置であって、前記補正情報が、前記参照パターンの傾斜角と、傾斜の補正に必要な前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置の変更量との関係を示すテーブルである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の画像記録装置であって、前記制御部が、前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置を所定量だけ変更した際の前記参照パターンの移動距離に基づいて、前記傾斜の補正時の前記対象物の回転中心を求める。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の画像記録装置であって、前記対象物に対して複数回の画像記録が行われ、前記複数回の画像記録のそれぞれが完了する度に、前記保持部による前記対象物の保持が解除される。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の画像記録装置であって、前記ヘッドが、空間変調された光を前記記録材料に照射し、前記制御部が、画像記録時において、前記記録材料上における前記光の照射位置を前記第２基準方向に走査しつつ、描画データに基づいて前記光を変調する。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の画像記録装置であって、前記照射位置の一の走査にて前記記録材料上の帯状領域に描画が行われた後、前記保持部移動機構が前記対象物を前記第１基準方向に前記帯状領域の幅だけ移動し、前記照射位置の次の走査にて前記帯状領域に隣接する帯状領域に描画が行われる。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の画像記録装置であって、前記第１基準方向に対する前記ガイド部の傾斜に合わせて、前記隣接する帯状領域への描画開始タイミングが補正されることにより、前記第２基準方向に関して、前記帯状領域の両端部の位置と前記隣接する帯状領域の両端部の位置とがそれぞれ一致する。
【００１６】
請求項９に記載の発明は、対象物に光を照射することにより前記対象物上に画像を記録する画像記録方法であって、前記画像記録方法を実行する画像記録装置が、一の主面上に記録材料を有するシート状または板状の対象物を保持する保持部と、前記主面に平行な第１基準方向にほぼ平行に伸びるガイド部に沿って前記保持部を移動する保持部移動機構と、前記ガイド部の一端を、前記主面に平行かつ前記第１基準方向に垂直な第２基準方向に移動する第１ガイド移動機構と、前記ガイド部の前記一端とは反対側の他端を、前記第２基準方向に移動することにより、前記第１ガイド移動機構と共に前記ガイド部を前記第２基準方向に移動する第２ガイド移動機構と、画像記録用の光を前記記録材料に照射するヘッドとを備え、前記画像記録方法が、ａ）前記対象物上の位置合わせ用の参照パターンの画像を取得しつつ、前記画像に基づいて前記第１基準方向に対する前記参照パターンの微小な傾斜角を求める工程と、ｂ）前記第２基準方向における前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置の変化と、前記ガイド部の方向の変化との関係を示す補正情報、および、前記傾斜角に基づいて前記ガイド部の前記一端と前記他端との間の相対位置を変更して、前記参照パターンの前記第１基準方向に対する傾斜を補正する工程と、ｃ）前記保持部を前記第２基準方向に移動しつつ、前記ヘッドから画像記録用の光を前記記録材料に照射する工程とを備える。
【００１７】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の画像記録方法であって、前記ｂ）工程において、前記ガイド部の前記一端と前記他端とが逆向きに同じ距離だけ移動する。
【００１８】
請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載の画像記録方法であって、前記補正情報が、前記参照パターンの傾斜角と、傾斜の補正に必要な前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置の変更量との関係を示すテーブルである。
【００１９】
請求項１２に記載の発明は、請求項９ないし１１のいずれかに記載の画像記録方法であって、ｄ）前記ｃ）工程の前に、前記第２基準方向における前記一端と前記他端との間の相対位置を所定量だけ変更した際の前記参照パターンの移動距離に基づいて、前記傾斜の補正時の前記対象物の回転中心を求める工程をさらに備える。
【００２０】
請求項１３に記載の発明は、請求項９ないし１２のいずれかに記載の画像記録方法であって、前記対象物に対して複数回の画像記録が行われ、前記複数回の画像記録のそれぞれが完了する度に、前記保持部による前記対象物の保持が解除される。
【００２１】
請求項１４に記載の発明は、請求項９ないし１３のいずれかに記載の画像記録方法であって、前記ヘッドが、空間変調された光を前記記録材料に照射し、前記ｃ）工程が、ｃ１）前記記録材料上における前記光の照射位置を前記第２基準方向に走査する工程と、ｃ２）前記ｃ１）工程に並行して、描画データに基づいて前記光を変調する工程とを備える。
【００２２】
請求項１５に記載の発明は、請求項１４に記載の画像記録方法であって、前記ｃ２）工程において前記記録材料上の帯状領域に描画が行われ、前記ｃ）工程が、ｃ３）前記ｃ２）工程の後に、前記対象物を前記第１基準方向に前記帯状領域の幅だけ移動する工程と、ｃ４）前記ｃ１）および前記ｃ２）工程を繰り返すことにより、前記帯状領域に隣接する帯状領域に描画を行う工程とを備える。
【００２３】
請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の画像記録方法であって、前記ｃ４）工程において、前記第１基準方向に対する前記ガイド部の傾斜に合わせて、前記隣接する帯状領域への描画開始タイミングが補正され、前記第２基準方向に関して、前記帯状領域の両端部の位置と前記隣接する帯状領域の両端部の位置とがそれぞれ一致する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、互いに直交する２つの基準方向のうち一方の基準方向に関して２つの移動機構を有する画像記録装置において、保持部を回動する機構を設けることなく、対象物上の参照パターンの第１基準方向に対する微小な傾斜を容易に補正することができる。
【００２５】
また、請求項２および１０の発明では、参照パターンの第１基準方向に対する微小な傾斜を精度よく補正することができ、請求項４および１２の発明では、傾斜の補正後の参照パターンの位置を容易に取得することができる。
【００２６】
また、請求項５および１３の発明では、複数回の画像記録に係る複数の画像を対象物上に精度よく重ね合わせることができ、請求項６および１４の発明では、描画データに基づく画像を対象物上に記録することができ、請求項８および１６の発明では、互いに隣接する帯状領域を精度よく繋ぎ合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は本発明の一の実施の形態に係る画像記録装置１を示す斜視図である。図１の画像記録装置１は、ガラスの基板９に光を照射することにより、基板９上にカラーフィルタのフィルタ層の画像を記録する（すなわち、フィルタ層を形成する）装置であり、画像記録装置１では、一の色のフィルム状の記録材料９２（例えば、ＰＥＴ（Poly Ethylene Terphthalate）を含む。）を基板９の主面上に密着させたものが、画像記録の対象物とされる。
【００２８】
図１の画像記録装置１は、記録材料９２を主面上に有する基板９（例えば、７０×９０センチメートルの矩形の基板）を保持するステージ２、図１中のＸ方向にほぼ平行にのびるガイド部３１に沿ってステージ２を移動するステージ移動機構３、ガイド部３１の（＋Ｘ）側の端部３１１を基板９の主面に平行な図１中のＹ方向へと移動する第１ガイド移動機構４１、ガイド部３１の（−Ｘ）側の端部３１２をＹ方向へと移動する第２ガイド移動機構４２、変調された光ビームを画像記録用の光として基板９の記録材料９２に照射するヘッド５１、基板９の主面を撮像する撮像部５２、並びに、画像記録装置１の各構成要素に接続されるとともに画像記録装置１の制御を行う制御ユニット６を備える。
【００２９】
ステージ２の上面（図１中の（＋Ｚ）側の面）には、複数の微小な溝が形成されており、これらの溝に接続される図示省略の吸引機構を駆動させることにより、上面に載置される基板９が記録材料９２とは反対側から吸引吸着により保持される。ステージ移動機構３のガイド部３１はリニアモータの固定体となっており、ステージ２の下面に取り付けられる移動体がステージ２と共にガイド部３１に沿って移動する。ガイド部３１の両端部３１１，３１２のそれぞれには、リニアモータの移動体が取り付けられており、各移動体は基台１１上に設けられる第１または第２ガイド移動機構４１，４２のガイド部４１１，４２１に沿ってＹ方向へと移動する。すなわち、互いに平行な第１ガイド移動機構４１および第２ガイド移動機構４２が共にガイド部３１をＹ方向に移動する。ステージ移動機構３、第１および第２ガイド移動機構４１，４２のそれぞれはリニアエンコーダを有し、各移動体のガイド部３１，４１１，４２１に沿う移動量は高精度に制御可能とされる。以下の説明では、図１中のＸ方向を第１基準方向とも呼び、第１基準方向に垂直なＹ方向を第２基準方向とも呼ぶ。
【００３０】
基台１１上には、ステージ２を跨ぐようにしてフレーム１２が固定され、ヘッド５１はフレーム１２に取り付けられる。ヘッド５１は、光源５１１を有し、光源５１１から出射された光（例えば、波長８３０ナノメートルの光）は照明光学系により強度分布が均一な線状光（光束断面が線状の光）とされ、回折格子型の光変調素子５１２（例えば、ＧＬＶ（グレーチング・ライト・バルブ）（登録商標））へと導かれる。光変調素子５１２は、それぞれが光変調の単位となる複数の（例えば、５１２個の）変調要素を備え、後述の制御部６１（図２参照）により変調要素が独立して制御されることにより、線状光の一部が投影光学系へと反射され、記録材料９２上へと導かれる。また、ヘッド５１に取り付けられる撮像部５２は、照明光を出射する照明部５２１、基板９に照明光を導くとともに基板９からの光が入射する光学系５２２、および、光学系５２２により結像された基板９の像を電気信号に変換する撮像デバイス５２３を有し、撮像デバイス５２３から基板９の画像データが出力される。
【００３１】
図２は、制御ユニット６の構成を示すブロック図である。図２に示すように、制御ユニット６は、画像記録装置１の制御を行う制御部６１、並びに、後述する画像記録の際に用いられるθ補正用テーブル６２１および描画データ６２２を記憶する記憶部６２を備える。制御部６１は、描画データ６２２に基づいて光変調素子５１２を制御することによりヘッド５１から出射される光を変調する描画制御部６１１、並びに、ステージ移動機構３、第１および第２ガイド移動機構４１，４２を制御する移動制御部６１２を有する。
【００３２】
次に、画像記録装置１が基板９上に画像を記録してカラーフィルタを製造する動作について、図３を参照しつつ説明する。カラーフィルタを製造する際には、まず、基板９がステージ２上に載置される。
【００３３】
図４は、画像記録装置１を簡略化して示す平面図であり、図４ではヘッド５１、撮像部５２およびフレーム１２の図示を省略している。基板９をステージ２上に載置する際には、図４に示すように、第１および第２ガイド移動機構４１，４２では、ガイド部３１の両端部３１１，３１２がそれぞれ所定の初期位置に配置されることにより、ガイド部３１が第２基準方向（Ｙ方向）の所定の位置にて正確に第１基準方向（Ｘ方向）に沿っており、ステージ移動機構３では、ステージ２がガイド部３１の第１基準方向の中央に配置されている。そして、この状態において、例えばステージ２の上面に設けられる位置合わせピンに基板９のエッジを当接させることにより、矩形の基板９の各辺が第１基準方向または第２基準方向に沿うように基板９がステージ２上に精度よく配置される。続いて、例えば、Ｒ（赤）の色の記録材料９２が基板９のステージ２とは反対側の主面上に重ねられ、ステージ２の吸引機構による吸引が開始されることにより、ステージ２の上面に基板９が吸引吸着にて保持される（ステップＳ１１）。このとき、記録材料９２は基板９よりも大きいため、記録材料９２の外縁部（基板９の外側の部位）からも吸引機構による吸引が行われ、基板９の主面と記録材料９２とが密着する。
【００３４】
主面上に記録材料９２を有した状態で基板９がステージ２上にて保持されると、移動制御部６１２がステージ移動機構３並びに第１および第２ガイド移動機構４１，４２を駆動することにより、図５に示すように、基板９上の所定の描画開始位置がヘッド５１の真下（ただし、図５では、後述するヘッド５１の照射位置Ｆ１のみを図示している。）に配置される。なお、図５では、基板９上の記録材料９２の図示を省略している（後述の図６ないし図８、図１１ないし図１４、図１５並びに図１６において同様）。続いて、ステージ２が（＋Ｙ）方向に移動を開始するとともに（ステップＳ１２）、描画制御部６１１によるヘッド５１の光変調素子５１２の制御が開始され、基板９の記録材料９２上に描画が行われる（ステップＳ１３）。
【００３５】
ここで、図２の記憶部６２には基板９上に描画すべき複数の色成分の画像（すなわち、カラーフィルタの複数の色の画素要素の配列をそれぞれ示す複数の画像）からそれぞれ導かれる複数の描画データ６２２（ただし、図２では、描画データ６２２を１つのみ図示している。）が予め記憶されており、基板９に対する最初の画像記録時には、基板９の記録材料９２上の光の照射位置Ｆ１（図５中にて平行斜線を付す矩形にて示す。後述の図６、並びに、図１２ないし図１５において同様。）の基板９に対する相対的な主走査に同期しつつ、Ｒの色の描画データ６２２に基づいて、描画制御部６１１による光変調素子５１２の制御が行われる。これにより、記録材料９２において光が照射された部位は、熱により記録材料９２に含まれるＲの色の顔料が基板９の主面上へと付着する。
【００３６】
基板９（の記録材料９２）上の照射位置Ｆ１が描画終了位置まで到達すると（すなわち、基板９が図５中にて二点鎖線にて示す位置まで到達すると）、ヘッド５１による基板９上への光の照射が停止されるとともに、ステージ２の移動が停止される（ステップＳ１４）。これにより、基板９上において、第２基準方向（Ｙ方向）に長い帯状領域（スワス（ｓｗａｔｈ）とも呼ばれ、図５中にて符号Ｒ１を付す二点鎖線の矩形にて示す。）にＲの色成分の画像の対応する部分が記録される。
【００３７】
続いて、帯状領域Ｒ１の（−Ｘ）側に隣接する領域に描画を行うために（ステップＳ１５）、ステージ移動機構３により主走査方向（Ｙ方向）に垂直な（＋Ｘ）方向にステージ２が帯状領域Ｒ１の幅（第１基準方向の幅）だけ間欠的に移動し（ステップＳ１６）、基板９上の照射位置Ｆ１の主走査および光変調素子５１２の制御（ヘッド５１の描画制御）が繰り返される（ステップＳ１２〜Ｓ１４）。画像記録装置１では、ステップＳ１６，Ｓ１２〜Ｓ１４の動作が所定回数だけ繰り返され（ステップＳ１５）、図６に示すように、基板９のほぼ全体に亘って並ぶ複数の帯状領域Ｒ１にＲの色成分の画像が記録される。このとき、Ｒの色成分の画像には、後述する位置合わせの際に利用されるパターンが含まれており、基板９上にも当該パターンに対応するパターン（アライメントパターンとも呼ばれ、以下、「参照パターン」という。）９３が形成される。本実施の形態では、参照パターン９３は正確に第１基準方向に並ぶ２つの矩形マーク９３１，９３２の組合せとなっている。
【００３８】
Ｒの色成分の画像が基板９上に記録されると（すなわち、Ｒの色の画像記録が完了すると）、ステージ２の吸引機構による基板９の保持が解除され、Ｒの色の記録材料９２の外縁部における吸引も停止される。Ｒの色の記録材料９２が基板９上から除去された後、Ｇの色の記録材料９２が基板９上に重ねられ、ステージ２の吸引機構を再度駆動させることにより、Ｇの色の記録材料９２を主面に密着させた状態で基板９がステージ２上に再度保持される（ステップＳ１７，Ｓ１８）。
【００３９】
図７は、記録材料９２の交換後のステージ２上の基板９を示す図である。既述のように、図７では記録材料９２の図示を省略しており、記録材料９２の交換前の基板９を二点鎖線にて示している。基板９上の記録材料９２を交換する際には、ステージ２における吸引が一旦解除されるため、図７に示すように、ステージ２上における基板９の位置（Ｘ方向およびＹ方向の位置）が僅かにずれたり、基板９が僅かに傾く（主面に沿って微小角度だけ回転する）場合がある。なお、図７では、ステージ２上における基板９の傾きを強調して図示している。
【００４０】
基板９上の記録材料９２が交換されると、ガイド部３１の両端部３１１，３１２が初期位置（すなわち、図４における位置）に戻されるとともに、ステージ２がガイド部３１の中央に戻され、その後、図１の撮像部５２により基板９上の参照パターン９３の１つの矩形マーク９３１の画像が取得される。このとき、ガイド部３１が第１基準方向に正確に沿う状態を保ちつつ、基板９上の矩形マーク９３１が撮像部５２による撮像領域内の所定位置へと移動する。なお、記録材料９２は撮像部５２の照明部５２１からの光をある程度透過するため、撮像部５２の撮像デバイス５２３にて基板９上の参照パターン９３が撮像可能とされる。
【００４１】
続いて、制御部６１の制御により、第１ガイド移動機構４１がガイド部３１の一方の端部３１１を（＋Ｙ）方向へと所定の距離だけ移動し、第２ガイド移動機構４２がガイド部３１の他方の端部３１２を（−Ｙ）方向へと同じ距離だけ僅かに移動することにより、第２基準方向（Ｙ方向）におけるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置が変更され、図８中に二点鎖線にて示すように、ステージ２および基板９が主面に垂直な回転軸を中心として微小角だけ回動する。このとき、ガイド部３１の各端部３１１，３１２の移動距離は微小なものとされるため、図９に示すように、移動後の矩形マーク９３１は、移動前の矩形マーク９３１（図９中にて二点鎖線にて示す。）の撮像時における基板９上の撮像領域（図９中にて符号Ａ１を付す矩形にて示す。）内に位置する。そして、撮像部５２にて移動後の矩形マーク９３１の画像が取得され、移動前後の矩形マーク９３１をそれぞれ示す２つの画像から、図９に示すように、移動前後の矩形マーク９３１を結ぶ線分Ｌ１が求められる。
【００４２】
ここで、第２基準方向におけるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置を変更した際の、ガイド部３１の第１基準方向（Ｘ方向）に対する傾斜角は（図８参照）、第２基準方向における端部３１１，３１２間の相対位置の変更量をパラメータとして、ガイド部３１の長さ（すなわち、端部３１１，３１２間の長さ）を用いて演算により（近似的に）求めることができ、記憶部６２にて予め記憶されるθ補正用テーブル６２１は、ガイド部３１が第１基準方向に正確に沿う状態を基準として、第２基準方向における端部３１１，３１２間の相対位置の変更量と、ガイド部３１の第１基準方向に対する傾斜角との関係を示すものとなっている。したがって、ガイド部３１が第１基準方向に正確に沿う状態から端部３１１，３１２を互いに異なる方向に所定の距離だけ移動する上記動作による基板９の回転角αも既知となっている。
【００４３】
制御部６１では、図９の線分Ｌ１の垂直二等分線Ｌ２上のある位置Ｐ１であって、位置Ｐ１と移動前の矩形マーク９３１との間の線分と、位置Ｐ１と移動後の矩形マーク９３１との間の線分とのなす角がαとなるものが演算により求められ、位置Ｐ１が基板９の回転中心とされる。このように、制御部６１では、第２基準方向におけるガイド部３１の端部３１１と端部３１２との間の相対位置を所定量だけ変更した際の参照パターン９３の移動距離に基づいて、基板９の回転中心Ｐ１が求められる（ステップＳ１９）。なお、回転中心Ｐ１はガイド部３１の両端部３１１，３１２の間を結ぶ線分上（または、当該線分の極近傍）に存在する。
【００４４】
基板９の回転中心Ｐ１が求められると、ガイド部３１の両端部３１１，３１２が初期位置に戻され、ガイド部３１が正確に第１基準方向に沿う状態にされる。その後、図１０に示すように、一方の矩形マーク９３１が撮像部５２の撮像領域Ａ１（図１０中に実線の矩形にて示す撮像領域Ａ１）中の特定の位置（例えば、中央）に配置されるように、撮像部５２にて取得される画像に基づいてステージ２が第１基準方向（Ｘ方向）および第２基準方向（Ｙ方向）に移動する。
【００４５】
続いて、他方の矩形マーク９３２が撮像部５２の撮像領域Ａ１（図１０中に二点鎖線の矩形にて示す撮像領域Ａ１）中の中央に配置されるように、撮像部５２にて画像を取得しつつ、当該画像に基づいてステージ２が第１基準方向および第２基準方向に移動し、一方の矩形マーク９３１を撮像領域Ａ１中の中央に配置した際のステージ２の位置から、他方の矩形マーク９３２を撮像領域Ａ１中の中央に配置した際のステージ２の位置までの第１基準方向の移動量ｘ１および第２基準方向の移動量ｙ１が、ステージ移動機構３および第１ガイド移動機構４１（または、第２ガイド移動機構４２）のリニアエンコーダからのパルスカウントから求められる。そして、ステージ２の第１基準方向および第２基準方向の移動量ｘ１，ｙ１に基づいて、２つの矩形マーク９３１，９３２の間を結ぶ線分Ｌ３の第１基準方向に対する傾斜角θが求められる。このように、画像記録装置１では、撮像部５２にて基板９上の位置合わせ用の参照パターン９３の画像を取得しつつ、当該画像に基づいてＹ方向に垂直な第１基準方向に対する参照パターン９３の微小な傾斜角θが求められる（ステップＳ２０）。
【００４６】
参照パターン９３の傾斜角θが求められると、制御部６１では、ガイド部３１の第１基準方向に対する傾斜角を（−θ）とすることができるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置の変更量Ｄ１が、θ補正用テーブル６２１を参照することにより取得される。そして、図１１に示すように、第１ガイド移動機構４１がガイド部３１の一方の端部３１１を（＋Ｙ）方向へとＤ１の半分だけ移動し、第２ガイド移動機構４２がガイド部３１の他方の端部３１２を（−Ｙ）方向へとＤ１の半分だけ移動する。なお、図１１では、ガイド部３１の端部３１１，３１２の移動前の基板９、ステージ２およびガイド部３１を二点鎖線にて示している。
【００４７】
このように、参照パターン９３の第１基準方向に対する傾斜角θと、参照パターン９３の傾斜の補正に必要な第２基準方向（Ｙ方向）におけるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置の変更量との関係を実質的に示すθ補正用テーブル６２１、および、参照パターン９３の傾斜角θに基づいて、ガイド部３１の一方の端部３１１と他方の端部３１２とを逆向きに同じ距離だけ移動して、第２基準方向における端部３１１，３１２間の相対位置が変更されることにより、図１１に示すように、２つの矩形マーク９３１，９３２（図１１中にて実線にて示す矩形マーク９３１，９３２）間を結ぶ線分（すなわち、参照パターン９３の方向）がＸ方向に平行となり、参照パターン９３の第１基準方向に対する傾斜が補正される（ステップＳ２１）。なお、画像記録装置１では、第１基準方向に対して±０．２度の範囲内の傾斜の補正が可能となっている。
【００４８】
また、画像記録装置１では、基板９の回転中心Ｐ１が求められていることにより、傾斜の補正後の参照パターン９３（すなわち、矩形マーク９３１，９３２）の第１基準方向および第２基準方向の位置が演算により容易に取得され、図１２に示すように、補正後の参照パターン９３の位置に基づいて基板９上の描画開始位置がヘッド５１の真下（ただし、図１２では、ヘッド５１の照射位置Ｆ１のみを図示している。）へと移動する。このとき、ステージ２のＸ方向の移動量については、ガイド部３１のＸ方向に対する傾斜角θが考慮されてもよい。
【００４９】
続いて、Ｒの画像記録時と同様に、基板９（の記録材料９２）上における光の照射位置Ｆ１を第２基準方向（主走査方向）に走査しつつ、Ｇの色の描画データに基づく描画制御によりヘッド５１からの光が変調され、基板９上に描画が行われる（ステップＳ１２，Ｓ１３）。そして、基板９上の照射位置Ｆ１が描画終了位置まで到達すると（すなわち、基板９が図１２中にて二点鎖線にて示す位置まで到達すると）、ヘッド５１による基板９上への光の照射が停止されるとともに、ステージ２の移動が停止される（ステップＳ１４）。これにより、基板９の主面上において、Ｙ方向に長い帯状領域（図１２中にて符号Ｇ１を付す二点鎖線の矩形にて示す。）にＧの色成分の画像の対応する部分が記録される。帯状領域Ｇ１はＲの色の画像記録時における（＋Ｘ）側の帯状領域Ｒ１（図６参照）と正確に重なる。
【００５０】
その後、基板９上において描画が行われた帯状領域Ｇ１の（−Ｘ）側に隣接する領域に描画を行うために（ステップＳ１５）、図１３に示すように、ステージ移動機構３によりステージ２が（＋Ｘ）方向に帯状領域Ｇ１の幅（第１基準方向の幅）だけ間欠的に移動する（ステップＳ１６）。このとき、ガイド部３１が第１基準方向に対して傾斜角θだけ傾斜していることにより、間欠移動後の基板９上の照射位置Ｆ１は、帯状領域Ｇ１の幅をＷとして（Ｗ・ｓｉｎθ）だけ既に描画が行われた帯状領域Ｇ１よりも（−Ｙ）側に位置する。したがって、画像記録装置１では、帯状領域Ｇ１の（−Ｘ）側に隣接する領域に描画する際に、第１および第２ガイド移動機構４１，４２による基板９上の照射位置Ｆ１の（＋Ｙ）方向への主走査の開始後、ヘッド５１の描画制御を所定の時間だけ遅延させて開始することにより、帯状領域Ｇ１の（−Ｘ）側に正確に隣接する帯状領域（図１３中にて二点鎖線にて示す帯状領域Ｇ１）に対して描画が行われることとなる（ステップＳ１２〜Ｓ１４）。
【００５１】
このように、画像記録装置１では、基板９上の照射位置Ｆ１の第２基準方向への一の走査にて基板９の記録材料９２上の帯状領域Ｇ１に描画が行われた後、第２基準方向に垂直な第１基準方向に関して帯状領域Ｇ１の幅だけ基板９を移動し、照射位置Ｆ１の次の走査にてこの帯状領域Ｇ１に隣接する帯状領域Ｇ１に描画が行われる。また、当該隣接する帯状領域Ｇ１の描画の際には、描画制御部６１１により、ガイド部３１の第１基準方向に対する傾斜に合わせて描画開始タイミングが補正されることにより、互いに隣接する２つの帯状領域Ｇ１において、主走査方向に関して一方の帯状領域Ｇ１の両端部の位置と、他方の帯状領域Ｇ１の両端部の位置とをそれぞれ一致させることが可能となり（後述の図１４参照）、互いに隣接する２つの帯状領域Ｇ１を精度よく繋ぎ合わせることができる。
【００５２】
以上のようにして、ステップＳ１６，Ｓ１２〜Ｓ１４の動作が所定回数だけ繰り返されることにより（ステップＳ１５）、図１４に示すように、基板９のほぼ全体に亘って並ぶ複数の帯状領域Ｇ１にＧの色成分の画像が、Ｒの色成分の画像に精度よく重ね合わせて記録される。Ｇの色の画像記録が完了すると、Ｇの色の記録材料９２がＢの色の記録材料９２に交換される（ステップＳ１７，Ｓ１８）。そして、ガイド部３１の両端部３１１，３１２が初期位置に戻されるとともに、ステージ２がガイド部３１の中央に戻され、ガイド部３１が正確に第１基準方向に沿う状態にされる。
【００５３】
続いて、Ｇの記録材料９２に対する画像記録時と同様に、基板９の回転中心が求められた後（ステップＳ１９）、参照パターン９３の第１基準方向（Ｘ方向）に対する傾斜角が求められ（ステップＳ２０）、基板９の傾斜が補正される（ステップＳ２１）。そして、Ｓ１２〜Ｓ１４，Ｓ１６の処理が繰り返されることにより（ステップＳ１５）、基板９のほぼ全体に、Ｂの色成分の画像がＲの色成分の画像およびＧの色成分の画像に精度よく重ね合わせて記録される。Ｂの色の画像記録が完了すると（ステップＳ１５）、次の画像記録が行われないことが確認された後（ステップＳ１７）、基板９上のＢの色の記録材料９２が除去され（ステップＳ２２）、画像記録装置１におけるカラーフィルタの製造が終了する。
【００５４】
以上に説明したように、図１の画像記録装置１には、第１基準方向にほぼ平行に伸びるガイド部３１に沿ってステージ２を移動するステージ移動機構３、ガイド部３１の一の端部３１１を第１基準方向に垂直な第２基準方向に移動する第１ガイド移動機構４１、並びに、ガイド部３１の端部３１１とは反対側の他の端部３１２を第２基準方向に移動することにより、第１ガイド移動機構４１と共にガイド部３１を第２基準方向に移動する第２ガイド移動機構４２が設けられ、いわゆる、ガントリ型（Ｈ型）の移動ユニットが構成される。そして、ステージ２にて保持される基板９上の参照パターン９３の第１基準方向に対する微小な傾斜が、第２基準方向におけるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置を変更することにより容易に補正される。これにより、互いに直交する２つの基準方向のうち一方の基準方向に関して２つの移動機構を有する画像記録装置１において、ステージ２を回動する機構を設けることなく、基板９の傾斜を補正して基板９上に画像を精度よく記録することが実現され、高精度な画像記録が可能な画像記録装置１の製造コストの削減を図ることができる。
【００５５】
ここで、基板９の傾斜を補正するためにガイド部３１を第１基準方向に対して傾斜させた状態において、基板９上のある帯状領域に描画を行い、ステージ移動機構３によりステージ２を第１基準方向に関して帯状領域の幅だけ移動した後、仮に、基板９上における照射位置Ｆ１の主走査の開始と同時にヘッド５１からの変調された光の出射を開始する場合には、図１５に示すように、基板９上の互いに隣接する帯状領域９０がＹ方向にずれてしまう。これに対し、画像記録装置１では、第１基準方向に対するガイド部３１の傾斜に合わせて、帯状領域への描画開始タイミングが補正されることにより、互いに隣接する帯状領域を精度よく繋ぎ合わせることが可能となる。
【００５６】
また、画像記録装置１では、基板９に対して複数回の画像記録が行われ、複数回の画像記録のそれぞれが完了する度に、記録材料９２を交換するためにステージ２における基板９の保持が解除されるが、この解除の時に基板９が僅かに傾いてしまっても、（２回目以降の）画像記録の直前に基板９の傾斜が補正されることにより、複数回の画像記録に係る複数の画像を基板９上に精度よく重ね合わせて記録することができる。
【００５７】
ところで、画像記録装置１では、θ補正用テーブル６２１が演算により取得されるが、実際には、ガイド部３１の長さは一定であるため、ガイド部３１を第１基準方向に対して傾斜させる際には、ガイド部３１が僅かに歪む（ガイド部３１の各端部３１１，３１２と第１または第２ガイド移動機構４１，４２の移動体との結合部分等における歪みを含む。）。また、第２基準方向におけるガイド部３１の端部３１１，３１２間の相対位置の変化量に対するガイド部３１の歪み量は、ガイド部３１の第２基準方向における位置に依存する場合があり、第２基準方向の各位置では、ガイド部３１の歪みは通常再現される。したがって、基板９の参照パターン９３の傾斜をより精度よく補正する際には、第２基準方向の複数の位置のそれぞれにおいて、第２基準方向における端部３１１，３１２間の相対位置を変更しつつ、ガイド部３１の第１基準方向に対する傾斜角を外部の測定器等により実測することにより、第２基準方向の複数の位置のそれぞれにてθ補正用テーブルが取得されることが好ましい。この場合、参照パターン９３の傾斜の補正に必要な端部３１１，３１２間の相対位置の変更量が、ガイド部３１の第２基準方向の位置に応じて変化するため、基板９上における照射位置の主走査の際に、ガイド部３１の第２基準方向の位置に応じて第２基準方向における端部３１１，３１２間の相対位置が変更される。このように、参照パターン９３の第１基準方向に対する傾斜の補正は、描画時におけるステージ２の第２基準方向への移動に並行して行われてもよい。
【００５８】
また、画像記録装置１では、図３のステップＳ２１において基板９の参照パターン９３の傾斜が補正された後、参照パターン９３が、図１６中にて二点鎖線にて示す所定の基準位置（例えば、最初の画像記録が行われた直後において、ガイド部３１の両端部３１１，３１２を初期位置に配置し、かつ、ステージ２をガイド部３１の中央に配置した際の参照パターン９３の位置）に一旦合わせられてもよい（すなわち、画像記録前のアライメント動作が行われる。）。この場合、２回目以降の各画像記録時に、ステージ２を第１基準方向および第２基準方向に一定距離だけ移動する（すなわち、基板９を基準位置から一定距離だけ移動する）ことにより、基板９上の照射位置Ｆ１を最初の帯状領域の描画開始位置に配置することができ、その後、照射位置Ｆ１の主走査が開始され（ステップＳ１２）、基板９上に描画が行われることとなる。
【００５９】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【００６０】
上記実施の形態では、最初の画像記録の際に基板９上に参照パターン９３が形成されるが、参照パターン９３は予め基板９上に形成されていてもよい。この場合、画像記録装置１における最初の画像記録時においても、ステージ２上に載置された基板９上の参照パターン９３の第１基準方向に対する傾斜が補正され、必要に応じて、画像記録前のアライメント動作も行われる。これにより、基板９上に複数の色成分の画像を精度よく重ね合わせて記録することが可能となる。また、上記実施の形態における参照パターン９３は一例に過ぎず、参照パターンの第１基準方向に対する傾斜角が取得可能であるならば、例えば、複数の（２以上の）矩形マークが第２基準方向に配列されていてもよく、さらに、参照パターン９３が所定形状の１つのマークとされてもよい。
【００６１】
基板９の参照パターン９３の第１基準方向に対する傾斜角は他の手法により求められてもよく、例えば、撮像領域内に２つの矩形マーク９３１，９３２が含まれるように、撮像部５２における撮像の倍率を変更し、２つの矩形マーク９３１，９３２を結ぶ線分の第１基準方向に対する傾斜角が、撮像部５２にて取得される画像のみから求められてもよい。また、基板９の回転中心Ｐ１を他の手法により取得することも可能であり、例えば、２つの矩形マーク９３１，９３２のそれぞれにおいて、基板９を微小角度だけ回動する前後における位置を結ぶ線分の垂直二等分線を求め、２つの垂直二等分線が交わる位置が基板９の回転中心Ｐ１とされてもよい。なお、画像記録を短時間に行う必要がない場合には、基板９の回転中心Ｐ１を求める処理に代えて、基板９の傾斜の補正後に撮像部５２にて基板９上を撮像しつつ補正後の参照パターン９３の位置を取得する処理が行われてもよい。
【００６２】
θ補正用テーブル６２１は、関数として記憶部６２に記憶されていてもよく、この場合、ガイド部３１が第１基準方向に正確に沿う状態を基準として、第１および第２ガイド移動機構４１，４２のリニアエンコーダからそれぞれＣＭ，ＣＳ回のパルスカウントが出力される位置までガイド部３１の端部３１１，３１２を移動した際における、ガイド部３１の第１基準方向に対する傾斜角γは、所定の関数ｆを用いて（γ＝ｆ（ＣＭ，ＣＳ））として表すことができる。また、参照パターン９３の傾斜の補正に利用される補正情報は、第２基準方向におけるガイド部３１の一の端部３１１と他の端部３１２との間の相対位置の変化と、ガイド部３１の方向の変化との関係を示すものであるならば、θ補正用テーブル以外のものを利用することも可能である。
【００６３】
図３のステップＳ２１では、基板９の傾斜の補正時にガイド部３１の一の端部３１１と他の端部３１２とを逆向きに同じ量だけ移動することにより、参照パターン９３の第１基準方向に対する微小な傾斜を安定して精度よく補正することが実現されるが、画像記録装置１では、いずれか一方の端部３１１，３１２のみを移動する、あるいは、各端部３１１，３１２の移動量を異なる値とすることにより、ガイド部３１の一の端部３１１と他の端部３１２との間の相対位置を変更することも可能である。
【００６４】
画像記録装置１では、画像記録時において光の照射位置Ｆ１を第２基準方向に走査しつつ、描画データに従ってヘッド５１の光変調素子５１２の制御を行うことにより、描画データに基づく画像を基板９上に記録することが実現されるが、光源およびマスクを有するヘッドを設けて画像記録を行うことも可能である。この場合、ステージ２を第２基準方向に間欠的に移動しつつ光源からの光がマスクを介して画像記録用の光として記録材料９２上に照射されることにより、基板９上に画像が記録される。すなわち、画像記録装置１におけるステージ２の第２基準方向への移動は間欠的なものであってもよい。
【００６５】
基板９を保持する保持部は、ステージ２以外に、例えば、基板９の外縁部を把持するもの等であってもよい。また、ステージ移動機構３、第１および第２ガイド移動機構４１，４２における駆動源は、リニアモータ以外であってもよく、例えばボールネジ機構に接続されるモータであってもよい。
【００６６】
図３に示す動作の流れは、可能な範囲内で適宜変更されてよく、例えば、基板９の傾斜が補正された後に、基板９の回転中心が求められてもよい。
【００６７】
画像記録装置１における画像記録の対象物は、レジスト膜を有する半導体基板やプリント基板等の他の基板であってもよく、板状のみならず、シート状であってもよい。また、対象物上の記録材料も、熱により対象物上に画像が記録されるもの以外に、記録材料の架橋反応等の感光により対象物上に画像が記録されるもの（感光材料）であってもよく、さらに、フィルム以外に、例えば液体を主面上に付与することにより形成される膜等であってもよい。画像記録装置１は、カラーフィルタの製造以外に、一の主面上に記録材料を有する対象物に光を照射することにより対象物上に画像を記録する他の用途に用いることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】画像記録装置を示す斜視図である。
【図２】制御ユニットの構成を示すブロック図である。
【図３】カラーフィルタを製造する動作の流れを示す図である。
【図４】画像記録装置を簡略化して示す平面図である。
【図５】基板上に画像を記録する動作を説明するための図である。
【図６】基板上に画像を記録する動作を説明するための図である。
【図７】記録材料の交換後のステージ上の基板を示す図である。
【図８】基板の回転中心を求める処理を説明するための図である。
【図９】基板の回転中心を求める処理を説明するための図である。
【図１０】参照パターンの傾斜角を求める処理を説明するための図である。
【図１１】参照パターンの傾斜を補正する処理を説明するための図である。
【図１２】基板上に画像を記録する動作を説明するための図である。
【図１３】基板上に画像を記録する動作を説明するための図である。
【図１４】基板上に画像を記録する動作を説明するための図である。
【図１５】基板上に画像を記録する動作の比較例を説明するための図である。
【図１６】画像記録の他の動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６９】
１    画像記録装置
２    ステージ
３    ステージ移動機構
９    基板
３１    ガイド部
４１，４２    ガイド移動機構
５１    ヘッド
５２    撮像部
６１    制御部
６２    記憶部
９２    記録材料
９３    参照パターン
３１１，３１２    端部
６２１    θ補正用テーブル
６２２    描画データ
Ｆ１    照射位置
Ｇ１，Ｒ１    帯状領域
Ｐ１    回転中心
Ｓ１２〜Ｓ１６，Ｓ１９〜Ｓ２１    ステップ
θ    傾斜角 
【図１】
2008051988.tif 000003
【図２】
2008051988.tif 000004
【図３】
2008051988.tif 000005
【図４】
2008051988.tif 000006
【図５】
2008051988.tif 000007
【図６】
2008051988.tif 000008
【図７】
2008051988.tif 000009
【図８】
2008051988.tif 000010
【図９】
2008051988.tif 000011
【図１０】
2008051988.tif 000012
【図１１】
2008051988.tif 000013
【図１２】
2008051988.tif 000014
【図１３】
2008051988.tif 000015
【図１４】
2008051988.tif 000016
【図１５】
2008051988.tif 000017
【図１６】
2008051988.tif 000018