(57)【要約】【課題】波長の異なる複数のレーザ光を出力する半導体レーザの検査において、信頼性を損なうことなく検査時間を短縮することができる検査装置を提供する。【解決手段】複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザ１の検査装置１０であって、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間にそれぞれ駆動電流を供給してそれぞれの波長のレーザ光を検査対象の半導体レーザに同時に出力させる給電部１１と、検査対象の半導体レーザから同時に出力される複数の波長のレーザ光をそれぞれの波長毎に分割するレーザ光分割部１２と、波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて光強度を検出する光強度検出部１３と、波長毎に検出された光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御する制御部１４と、波長毎に駆動電流を測定して検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定部１５とを備える。【選択図】図２
2008034548.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザの検査装置であって、
出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に、それぞれ駆動電流を供給して、それぞれの波長のレーザ光を、検査対象の半導体レーザに同時に出力させる給電手段と、
検査対象の半導体レーザから、同時に出力される複数の波長のレーザ光を、それぞれの波長毎に分割するレーザ光分割手段と、
レーザ光分割手段により波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて、光強度を検出する検出手段と、
波長毎に、検出手段により検出された光強度が、既定値を維持するように、給電手段による駆動電流を制御する制御手段と、
波長毎に駆動電流を測定して、検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定手段と
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記レーザ光分割手段は、同時に出力される複数の異なる波長のレーザ光のそれぞれについて、他の波長のレーザ光を透過させない状態とすることができ、透過させる波長を切り換えることができるフィルタを含み、時分割で透過させる波長を切り換え、
前記検出手段は、共用の検出素子を用いて、時分割で、波長毎に光強度を検出すること
を特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記複数の異なる波長のレーザ光とは、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光であり、
前記フィルタは、液晶フィルタであり、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光のそれぞれについて、透過させる波長を切り換えること
を特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記レーザ光分割手段は、同時に出力される複数の異なる波長のレーザ光のそれぞれを、波長による回折角の差によって空間的に分離する回折格子を含み、
前記検出手段は、前記回折格子により波長毎に空間的に分離されたレーザ光のそれぞれについて、それぞれに専用の検出素子を用いて、光強度を検出すること
を特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
前記複数の異なる波長のレーザ光とは、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光であり、
前記回折格子は、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光のそれぞれについて、空間的に分離すること
を特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
当該検査装置は、さらに、
回折格子を通過したそれぞれのレーザ光を集光して、それぞれが対応する検出素子に導く光学系を備えること
を特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザの検査方法であって、
出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に、駆動電流を供給して、それぞれの波長のレーザ光を、検査対象の半導体レーザに同時に出力させる給電ステップと、
検査対象の半導体レーザから、同時に出力される複数の波長のレーザ光を、それぞれの波長毎に分割するレーザ光分割ステップと、
レーザ光分割ステップにより波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて、光強度を検出する検出ステップと、
波長毎に、検出ステップにより検出された光強度が、既定値を維持するように、給電ステップによる駆動電流を制御する制御ステップと、
波長毎に駆動電流を測定して、検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定ステップと
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項８】
複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザの検査方法であって、
検査初期において、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に、順に駆動電流を供給して、それぞれのレーザ光を、検査対象の半導体レーザに順に出力させ、波長毎に当該半導体レーザより出力されたレーザ光の光強度を時分割で検出しつつ、検出された光強度が既定値を維持するように波長毎に駆動電流を制御し、波長毎に駆動電流を測定して保持する初期ステップと、
検査中期において、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に、固定的に駆動電流を供給して、それぞれのレーザ光を、検査対象の半導体レーザに同時に出力させる中期ステップと、
検査終期において、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に、順に駆動電流を供給して、それぞれのレーザ光を、検査対象の半導体レーザに順に出力させ、波長毎に当該半導体レーザより出力されたレーザ光の光強度を時分割で検出しつつ、検出された光強度が既定値を維持するように波長毎に駆動電流を制御し、波長毎に駆動電流を測定して保持する終期ステップと、
波長毎に、初期ステップにより保持された駆動電流の値と、終期ステップにより保持された駆動電流の値とを比較し、これら駆動電流の値の差分を、検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定ステップと
を備えることを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長の異なる複数のレーザ光を出力する半導体レーザの検査装置及び検査方法に関し、特に、信頼性を損なうことなく検査時間を短縮するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＤ、ＤＶＤ、ブルーレイディスク等の様々な種類の光ディスクが一般に普及している。
これら種類の異なる光ディスクはそれぞれ、録画及び再生の際に、波長の異なるレーザ光が用いられる。
そこで、これらの光ディスクを、１台のマルチドライブで取り扱う為に、波長の異なる複数のレーザ光を選択的に出力することができる半導体レーザが開発されている。
【０００３】
一方、半導体レーザは、一般に選別検査において、一定時間連続的にレーザ光を出力させて、初期不良品の選別を行っている。
ここで、半導体レーザの選別検査について簡単に説明する。
図１４は、ＣＤ、ＤＶＤ、及びブルーレイディスクの３種類の光ディスクのそれぞれに対応する赤外線、赤色、及び青色のレーザ光を選択的に出力することができる半導体レーザの選別検査の概略を示す図である。
【０００４】
図１４に示すように、半導体レーザの選別検査では、まずＣＤ用の赤外線レーザのみを駆動させて、受光素子で光強度を測定し、光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御し、次にＤＶＤ用の赤色レーザのみを駆動させて、受光素子で光強度を測定し、光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御し、次に青色レーザのみを駆動させて、受光素子で光強度を測定し、それぞれ光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御する。そしてこの検査時間の経過にともない、光強度一定のもとに駆動電流が大きく変動したものを不良品として排除するのである（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１７９４０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上のように、半導体レーザの選別検査は、１種類の波長についての検査だけでも１〜６時間程度もの時間がかかり、複数種類の検査では、単純に種類数倍の時間がかかってしまい、検査にかかる負担が非常に大きい。
また仮に、複数の波長のレーザ光を同時に駆動させて、複数の波長を同時に検査しようとしても、各レーザ光の出力位置が非常に近いため、受光素子は複数の波長のレーザ光の合計の光強度を測定することになり、波長毎に光強度を一定に維持するように制御することも、波長毎に光強度一定のもとに駆動電流を測定することもできず、検査の信頼性が損なわれてしまう。
【０００６】
そこで本発明は、波長の異なる複数のレーザ光を出力する半導体レーザの検査において、信頼性を損なうことなく検査時間を短縮することができる検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る検査装置は、複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザの検査装置であって、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間にそれぞれ駆動電流を供給してそれぞれの波長のレーザ光を検査対象の半導体レーザに同時に出力させる給電手段と、検査対象の半導体レーザから同時に出力される複数の波長のレーザ光をそれぞれの波長毎に分割するレーザ光分割手段と、レーザ光分割手段により波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて光強度を検出する検出手段と、波長毎に検出手段により検出された光強度が既定値を維持するように給電手段による駆動電流を制御する制御手段と、波長毎に駆動電流を測定して検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係る検査方法は、複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザの検査方法であって、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に駆動電流を供給してそれぞれの波長のレーザ光を検査対象の半導体レーザに同時に出力させる給電ステップと、検査対象の半導体レーザから同時に出力される複数の波長のレーザ光をそれぞれの波長毎に分割するレーザ光分割ステップと、レーザ光分割ステップにより波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて光強度を検出する検出ステップと、波長毎に検出ステップにより検出された光強度が既定値を維持するように給電ステップによる駆動電流を制御する制御ステップと、波長毎に駆動電流を測定して検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定ステップとを含むことを特徴とする。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る検査方法は、複数の異なる波長のレーザ光を出力する半導体レーザの検査方法であって、検査初期において出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に順に駆動電流を供給してそれぞれのレーザ光を検査対象の半導体レーザに順に出力させ波長毎に当該半導体レーザより出力されたレーザ光の光強度を時分割で検出しつつ検出された光強度が既定値を維持するように波長毎に駆動電流を制御し波長毎に駆動電流を測定して保持する初期ステップと、検査中期において出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に固定的に駆動電流を供給してそれぞれのレーザ光を検査対象の半導体レーザに同時に出力させる中期ステップと、検査終期において出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に順に駆動電流を供給してそれぞれのレーザ光を検査対象の半導体レーザに順に出力させ波長毎に当該半導体レーザより出力されたレーザ光の光強度を時分割で検出しつつ検出された光強度が既定値を維持するように波長毎に駆動電流を制御し波長毎に駆動電流を測定して保持する終期ステップと、波長毎に初期ステップにより保持された駆動電流の値と終期ステップにより保持された駆動電流の値とを比較しこれら駆動電流の値の差分を検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる判定ステップとを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
課題を解決するための手段に記載した構成により、複数の波長のレーザ光を同時に出力させつつも、レーザ光を波長毎に分割して、それぞれ光強度を検出して波長毎に光強度が既定値を維持するように制御することができるので、検査の信頼性を損なうことなく検査時間を大幅に短縮することができる。例えば、２種類の波長のレーザ光を出力する半導体レーザでは検査時間を従来の約１／２に、３種類の波長のレーザ光を出力する半導体レーザでは検査時間を従来の約１／３に短縮することができる。
【００１１】
また課題を解決するための手段に記載した構成により、検査初期及び検査終期において、複数の波長のレーザ光を時分割で出力させて、波長毎に駆動電流を測定しておき、検査中期においては、固定的に給電して複数の波長のレーザ光を同時に出力させることができるので、検査時間の大部分において検査対象に過負荷をかけつつも、波長毎に駆動電流を測定することができ、検査の信頼性を損なうことなく検査時間を大幅に短縮することができる。
【００１２】
また検査装置において、前記レーザ光分割手段は、同時に出力される複数の異なる波長のレーザ光のそれぞれについて他の波長のレーザ光を透過させない状態とすることができ透過させる波長を切り換えることができるフィルタを含み時分割で透過させる波長を切り換え、前記検出手段は、共用の検出素子を用いて時分割で波長毎に光強度を検出することを特徴とすることもできる。
【００１３】
これによって、フィルタが時分割で透過させる波長を切り換えるので、１つの受光素子を用いて、時分割で波長毎に光強度を検出することができる。
また検査装置において、前記複数の異なる波長のレーザ光とは、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光であり、前記フィルタは、液晶フィルタであり、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光のそれぞれについて透過させる波長を切り換えることを特徴とすることもできる。
【００１４】
これによって、液晶フィルタが、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光のそれぞれについて、透過させる波長を切り換えることができ、従来よりも検査時間を約１／３に短縮することができる。
また検査装置において、前記レーザ光分割手段は、同時に出力される複数の異なる波長のレーザ光のそれぞれを波長による回折角の差によって空間的に分離する回折格子を含み、前記検出手段は、前記回折格子により波長毎に空間的に分離されたレーザ光のそれぞれについてそれぞれに専用の検出素子を用いて光強度を検出することを特徴とすることもできる。
【００１５】
これによって、回折格子が空間的に波長の異なるレーザ光を分離するので、それぞれに専用の検出素子を用いて、光強度を検出することができる。
また検査装置において、前記複数の異なる波長のレーザ光とは、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光であり、前記回折格子は、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光のそれぞれについて空間的に分離することを特徴とすることもできる。
【００１６】
これによって、回折格子が、赤外線、赤色、及び青色のレーザ光のそれぞれについて、空間的に分離することができ、従来よりも検査時間を約１／３に短縮することができる。
また検査装置は、さらに、回折格子を通過したそれぞれのレーザ光を集光してそれぞれが対応する検出素子に導く光学系を備えることを特徴とすることもできる。
これによって、検出素子間の距離を小さくできるので、１検査対象あたりの占有面積を小さくでき、設置場所あたりの同時検査数を多くできる。また出射光間の干渉を抑制することができるので、より高精度に検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施の形態１）
＜概要＞
図１は、本発明の実施の形態１の概要を示す図である。
本発明の実施の形態１は、検査対象の半導体レーザ１に、赤外線レーザ光２、赤色レーザ光３、青色レーザ光４を同時に出力させ、液晶フィルタ５を用いて透過させるレーザ光を切り換え、共用の検出素子６で波長毎に光強度を検出して、時分割で各光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御する（ＡＰＣ制御）半導体レーザの検査装置である。
【００１８】
＜構成＞
図２は、本発明の実施の形態１における検査装置１０の構成を示す図である。
図２に示すように、本発明の実施の形態１における検査装置１０は、給電部１１、レーザ光分割部１２、光強度検出部１３、制御部１４、及び判定部１５を備える。
給電部１１は、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に駆動電流を供給して、それぞれの波長のレーザ光を、検査対象の半導体レーザ１に同時に出力させる。ここでは、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光のそれぞれ対応する駆動電流を、それぞれ対応する端子間に供給して、検査対象の半導体レーザ１に、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光を同時に出力させる。
【００１９】
レーザ光分割部１２は、検査対象の半導体レーザから、同時に出力される複数の波長のレーザ光を、それぞれの波長毎に分割するものである。ここでは、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光のそれぞれについて、他の波長のレーザ光を透過させない状態とすることができ、透過させる波長を切り換えることができるフィルタ５を用いて、時分割で透過させる波長を切り換える。
【００２０】
光強度検出部１３は、レーザ光分割部１２により波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて、共用の検出素子６を用いて、時分割で波長毎に光強度を検出する。
制御部１４は、波長毎に、光強度検出部１３により検出された光強度が、既定値を維持するように給電部１１により供給される駆動電流を制御し、また、レーザ光分割部１２へ透過させる波長を切り換える指示を定期的に出し、判定部１５へ駆動電流を測定すべきタイミングを指示する。
【００２１】
判定部１５は、制御部１４からの指示を受けて、波長毎に、検査初期の駆動電流と、検査終期の駆動電流とを測定し、検査対象の半導体レーザが良品であるか不良品であるかの判定に用いる。より具体的には、これら駆動電流の値の差分が、全ての波長において敷居値を越えないものを良品、１つの波長でも敷居値を越えたものを不良品であると判定する。
【００２２】
＜動作＞
図３は、本発明の実施の形態１における半導体レーザの選別検査の概略を示す図である。
図４は、本発明の実施の形態１における半導体レーザの選別検査の手順を示す図である。
【００２３】
以下に図３、４を用いて、検査装置１０の動作を説明する。
（１）制御部１４が、検査開始の指示を外部から受けると、給電部１１へ指示を出して、検査対象の半導体レーザの、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光のそれぞれに対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ１）。
（２）制御部１４が、レーザ光分割部１２に指示を出して、赤外線レーザ光のみを透過させる（区間Ａ、ステップＳ２）。
【００２４】
（３）赤外線レーザのための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ａ、ステップＳ３）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（４）光強度検出部１３が、赤外線レーザ光の光強度を測定する（区間Ａ、ステップＳ４）。
（５）制御部１４が、赤外線レーザ光の光強度が既定値となるように、赤外線レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ａ、ステップＳ５）。
【００２５】
（６）赤外線レーザ光のための制御時間が経過した場合には、制御部１４が、レーザ光分割部１２に指示を出して、赤色レーザ光のみを透過させる（区間Ｂ、ステップＳ６）。
（７）赤色レーザ光のための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ｂ、ステップＳ７）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（８）光強度検出部１３が、赤色レーザ光の光強度を測定する（区間Ｂ、ステップＳ８）。
【００２６】
（９）制御部１４が、赤色レーザ光の光強度が既定値となるように、赤色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｂ、ステップＳ９）。
（１０）赤色レーザ光のための制御時間が経過した場合には、制御部１４が、レーザ光分割部１２に指示を出して、青色レーザ光のみを透過させる（区間Ｃ、ステップＳ１０）。
【００２７】
（１１）青色レーザ光のための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ｃ、ステップＳ１１）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（１２）光強度検出部１３が、青色レーザ光の光強度を測定する（区間Ｃ、ステップＳ１２）。
（１３）制御部１４が、青色レーザ光の光強度が既定値となるように、青色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｃ、ステップＳ１３）。
【００２８】
（１４）青色レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が、すでに検査初期における各駆動電流を記憶しているか否かを判断する（ステップＳ１４）。
（１５）各駆動電流を記憶していない場合には、判定部１５が、全てのレーザ光の光強度が既定値となり、各駆動電流が安定したか否かを判断する（ステップＳ１５）。
（１６）各駆動電流が安定した場合には、判定部１５が検査初期における各駆動電流を記憶する（ステップＳ１６）。
【００２９】
（１７）各駆動電流を記憶している場合には、制御部１４が、選別検査の検査時間が経過したか否かを判断する。検査時間が経過するまでは、各レーザ光の出力を続ける（ステップＳ１７）。ここでは例えばおよそ１時間が経過したかを判断し、およそ１時間中各レーザ光の出力を続ける。
（１８）検査時間が経過した場合には、判定部１５が検査終期における各駆動電流を記憶する（ステップＳ１８）。
【００３０】
（１９）制御部１４が、給電部１１へ指示を出して、全ての駆動電流の供給を止めさせる（ステップＳ１９）。
（２０）判定部１５が、波長毎に、検査初期において記憶した駆動電流の値と、検査終期において記憶した駆動電流の値との差分が、敷居値を越えているかを計算し、全ての波長において敷居値を越えないものを良品、１つの波長でも敷居値を越えたものを不良品であると判定し判定結果を出力する（ステップＳ２０）。
【００３１】
なお、ここでは透過させるレーザ光の切り換えに、液晶フィルタを用いたが、他のフィルタであってもよい。例えばそれぞれのレーザ光のみを透過する複数のフィルタを、機械的に取り替えてもよい。
図５は、他のフィルタ７の一例を示す図である。
図５の例では、赤外線レーザ光のみを透過するフィルタと、赤色レーザ光のみを透過するフィルタと、青色レーザ光のみを透過するフィルタとを、一回り大きな回転板に略均等に取り付け、これらのフィルタを回転板ごと回転させて、透過させるレーザ光を切り換える。
【００３２】
＜まとめ＞
以上のように、本発明の実施の形態１によれば、複数のレーザ光を同時に出力させ、フィルタにより透過させるレーザ光を切り換えて、各レーザ光について光強度一定で駆動することができるので、検査の信頼性を損なうことなく検査時間を大幅に短縮することができる。
（実施の形態２）
＜概要＞
図６は、本発明の実施の形態２の概要を示す図である。
【００３３】
本発明の実施の形態２は、検査対象の半導体レーザ１に、赤外線レーザ光２、赤色レーザ光３、青色レーザ光４を同時に出力させ、回折格子８を用いて各レーザ光の進行角を変え、それぞれに専用の検出素子９ａ、９ｂ、９ｃを用いて光強度を検出して、各光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御する（ＡＰＣ制御）半導体レーザの検査装置である。
【００３４】
＜構成＞
図７は、本発明の実施の形態２における検査装置２０の構成を示す図である。
図７に示すように、本発明の実施の形態２における検査装置２０は、給電部１１、レーザ光分割部２１、光強度検出部２２、制御部２３、及び判定部１５を備える。
なお、実施の形態１と同様の構成要素には同一番号を付し、その説明を省略する。
【００３５】
レーザ光分割部２１は、検査対象の半導体レーザから、同時に出力される複数の波長のレーザ光を、それぞれの波長毎に分割するものである。ここでは、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光のそれぞれを、波長による回折角の差によって空間的に分離する回折格子８を用いて、各レーザ光の進行角を変え、それぞれに専用の検出素子９ａ、９ｂ、９ｃへ導く。
【００３６】
ここで、回折格子の格子ピッチを「ｄ」、回折角を「θ」、レーザ光の波長を「λ」とすると、これらの間には以下のような関係が成り立つ。
ｄ・ｓｉｎθ＝λ
そこで、赤外線レーザ光の波長を、λ１＝０．７８５μｍ、赤色レーザ光の波長を、λ２＝０．６６０μｍ、青色レーザ光の波長を、λ１＝０．４１０μｍ、回折格子の格子ピッチを、ｄ＝３μｍとすると、赤外線レーザ光の回折角は、θ１＝１５．１°、赤色レーザ光の回折角は、θ２＝１２．７°、青色レーザ光の回折角は、θ３＝７．８°となる。
【００３７】
一方、半導体レーザ１から出力される各レーザ光には約２４°の出射角がある。
図８は、回折格子８、および検出素子９ａ、９ｂ、９ｃの位置関係の例を示す図である。
図８に示すように、半導体レーザ１と回折格子８との距離と、回折格子８と検出素子９ａ、９ｂ、９ｃとの距離とを適度にとり、それぞれ別の検出素子を用いて各レーザ光の光強度を検出する。
【００３８】
光強度検出部２２は、レーザ光分割部２１により波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて、専用の検出素子９ａ、９ｂ、９ｃを用いて光強度を検出する。
制御部２３は、波長毎に、光強度検出部２２により検出された光強度が、既定値を維持するように給電部１１により供給される駆動電流を制御し、また、判定部１５へ駆動電流を測定すべきタイミングを指示する。
【００３９】
＜動作＞
図９は、本発明の実施の形態２における半導体レーザの選別検査の手順を示す図である。
以下に図９を用いて、検査装置２０の動作を説明する。
なお、実施の形態１の図４と同様のステップには同一番号を付し、その説明を省略する。
【００４０】
（１）制御部２３が、検査開始の指示を外部から受けると、給電部１１へ指示を出して、検査対象の半導体レーザの、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光のそれぞれに対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ２１）。
（２）光強度検出部２２が、検出素子９ａにより赤外線レーザ光の光強度を測定し、検出素子９ｂにより赤色レーザ光の光強度を測定し、検出素子９ｃにより青色レーザ光の光強度を測定する（ステップＳ２２）。
【００４１】
（３）制御部２３が、赤外線レーザ光の光強度が既定値となるように赤外線レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御し、赤色レーザ光の光強度が既定値となるように赤色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御し、青色レーザ光の光強度が既定値となるように青色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（、ステップＳ２３）。
【００４２】
（４）〜（６）実施の形態１の（１４）〜（１６）と同様（ステップＳ１４〜Ｓ１６）。
（７）各駆動電流が記憶されている場合には、制御部２３が、選別検査の検査時間が経過したか否かを判断する。検査時間が経過するまでは、各レーザ光の出力を続ける（ステップＳ２４）。ここでは例えば１時間経過したかを判断し、約１時間、各レーザ光の出力を続ける。
【００４３】
（８）実施の形態１の（１８）と同様（ステップＳ１８）。
（９）制御部２３が、給電部１１へ指示を出して、全ての駆動電流の供給を止めさせる（ステップＳ２５）。
（１０）実施の形態１の（２０）と同様（ステップＳ２０）。
＜まとめ＞
以上のように、本発明の実施の形態２によれば、複数のレーザ光を同時に出力させ、回折格子によりレーザ光を分離して検出し、各レーザ光について光強度一定で駆動することができるので、検査の信頼性を損なうことなく検査時間を大幅に短縮することができる。
（実施の形態３）
＜概要＞
図１０は、本発明の実施の形態３の概要を示す図である。
【００４４】
本発明の実施の形態３は、実施の形態２の検査装置に、さらに、回折格子８と検出素子９ａ、９ｂ、９ｃとの間に、各レーザ光をそれぞれ集光する光学系３１を備える半導体レーザの検査装置である。
＜構成＞
図１０は、本発明の実施の形態３における検査装置３０の構成を示す図である。
【００４５】
図１０に示すように、本発明の実施の形態２における検査装置３０は、給電部１１、レーザ光分割部２１、光学系３１、光強度検出部３２、制御部２３、及び判定部１５を備える。
なお、実施の形態２と同様の構成要素には同一番号を付し、その説明を省略する。
光学系３１は、回折格子８を通過したそれぞれのレーザ光を全体的に集光して、それぞれが対応する検出素子に導くものであり、例えば凸レンズで構成される。
【００４６】
光強度検出部３２は、実施の形態２の光強度検出部２２と同様に、レーザ光分割部２１により波長毎に分割されたレーザ光のそれぞれについて、専用の検出素子９ａ、９ｂ、９ｃを用いて光強度を検出するが、光強度検出部２２とは、各検出素子間の間隔が異なっており、分割されたレーザ光が光学系３１によって全体的に集光されるため、このようにサイズが小型化されている。
【００４７】
＜動作＞
検査装置３０の動作は実施の形態２と同様である。
＜まとめ＞
以上のように、本発明の実施の形態３によれば、各レーザ光をそれぞれ集光する光学系により、検出素子間の距離を小さくできるので、１検査対象あたりの占有面積を小さくでき、設置場所あたりの同時検査数を多くできる。また出射光間の干渉を抑制することができるので、より高精度に検査を行うことができる。
（実施の形態４）
＜概要＞
本発明の実施の形態４は、検査初期、及び検査終期において、比較的短時間ずつ、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、青色レーザ光を順に、光強度が既定値を維持するように駆動電流を制御し（ＡＰＣ制御）、各駆動電流を記憶し、検査中期において、比較的長時間、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、青色レーザ光を駆動電流が一定となるように（ＡＣＣ制御）同時に出力させ、レーザ光毎に検査初期に記憶した駆動電流と検査終期に記憶した駆動電流とを比較することにより、初期不良品の選別を行う半導体レーザの検査装置である。
【００４８】
＜構成＞
図１１は、本発明の実施の形態４における検査装置４０の構成を示す図である。
図１１に示すように、本発明の実施の形態４における検査装置４０は、給電部１１、光強度検出部１３、制御部４１、及び判定部１５を備える。
なお、実施の形態１と同様の構成要素には同一番号を付し、その説明を省略する。
【００４９】
制御部４１は、検査初期、及び検査終期においては、出力すべきレーザ光の波長毎の端子間に順に駆動電流を供給して、それぞれのレーザ光を検査対象の半導体レーザに順に出力させ、波長毎に、光強度検出部１３により検出された光強度が、既定値を維持するように給電部１１により供給される駆動電流を制御し、また、検査中期においては、出力すべきレーザ光の波長毎に、固定的に駆動電流を供給して、れぞれのレーザ光を、検査対象の半導体レーザに同時に出力させるように給電部１１により供給される駆動電流を制御し、また、判定部１５へ駆動電流を測定すべきタイミングを指示する。
【００５０】
＜動作＞
図１２は、本発明の実施の形態４における半導体レーザの選別検査の概略を示す図である。
図１３は、本発明の実施の形態４における半導体レーザの選別検査の手順を示す図である。
【００５１】
以下に図１２、１３を用いて、検査装置４０の動作を説明する。
なお、実施の形態１の図４と同様のステップには同一番号を付し、その説明を省略する。
（１）制御部４１が、検査開始の指示を外部から受けると、給電部１１へ指示を出して、検査対象の半導体レーザの赤外線レーザ光に対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ４１）。
【００５２】
（２）検査初期における赤外線レーザのための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ａ、ステップＳ４２）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（３）光強度検出部１３が、赤外線レーザ光の光強度を測定する（区間Ａ、ステップＳ４３）。
（４）制御部４１が、赤外線レーザ光の光強度が既定値となるように、赤外線レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ａ、ステップＳ４４）。
【００５３】
（５）検査初期における赤外線レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が検査初期における赤外線レーザ光の駆動電流を記憶する（ステップＳ４５）。
（６）制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、赤外線レーザ光の出力をやめさせ、また検査対象の半導体レーザの赤色レーザ光に対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ４７）。
【００５４】
（７）検査初期における赤色レーザ光のための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ｂ、ステップＳ４７）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（８）光強度検出部１３が、赤色レーザ光の光強度を測定する（区間Ｂ、ステップＳ４８）。
（９）制御部４１が、赤色レーザ光の光強度が既定値となるように、赤色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｂ、ステップＳ４９）。
【００５５】
（１０）検査初期における赤色レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が検査初期における赤色レーザ光の駆動電流を記憶する（ステップＳ５０）。
（１１）制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、赤色レーザ光の出力をやめさせ、また検査対象の半導体レーザの青色レーザ光に対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ５１）。
【００５６】
（１２）検査初期における青色レーザ光のための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ｃ、ステップＳ５２）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（１３）光強度検出部１３が、青色レーザ光の光強度を測定する（区間Ｃ、ステップＳ５３）。
（１４）制御部４１が、青色レーザ光の光強度が既定値となるように、青色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｃ、ステップＳ５４）。
【００５７】
（１５）検査初期における青色レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が検査初期における青色レーザ光の駆動電流を記憶する（ステップＳ５５）。
（１６）制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、検査対象の半導体レーザの、赤外線レーザ光、赤色レーザ光、及び青色レーザ光のそれぞれに対応する端子間に、判定部１５により記憶された駆動電流を固定的に供給させる（ステップＳ５６）。
【００５８】
（１７）制御部４１が、選別検査の検査時間が経過したか否かを判断する。検査時間が経過するまでは、各レーザ光の出力を続ける（ステップＳ５７）。ここでは例えば５８分経過したかを判断し、５８分間中各レーザ光の出力を続ける。
（１８）検査時間が経過した場合には、制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、赤色レーザ光、及び青色レーザ光の出力をやめさせ、赤外線レーザ光に対応する端子間にのみ駆動電流の供給を続ける（ステップＳ５８）。
【００５９】
（１９）検査終期における赤外線レーザのための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ａ、ステップＳ５９）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（２０）光強度検出部１３が、赤外線レーザ光の光強度を測定する（区間Ｅ、ステップＳ６０）。
（２１）制御部４１が、赤外線レーザ光の光強度が既定値となるように、赤外線レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｅ、ステップＳ６１）。
【００６０】
（２２）検査終期における赤外線レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が検査終期における赤外線レーザ光の駆動電流を記憶する（ステップＳ６２）。
（２３）制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、赤外線レーザ光の出力をやめさせ、また検査対象の半導体レーザの赤色レーザ光に対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ６３）。
【００６１】
（２４）検査終期における赤色レーザ光のための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ｆ、ステップＳ６４）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（２５）光強度検出部１３が、赤色レーザ光の光強度を測定する（区間Ｆ、ステップＳ６５）。
（２６）制御部４１が、赤色レーザ光の光強度が既定値となるように、赤色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｆ、ステップＳ６６）。
【００６２】
（２７）検査終期における赤色レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が検査終期における赤色レーザ光の駆動電流を記憶する（ステップＳ６７）。
（２８）制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、赤色レーザ光の出力をやめさせ、また検査対象の半導体レーザの青色レーザ光に対応する端子間に、平均的な駆動電流を供給させる（ステップＳ６８）。
【００６３】
（２９）検査終期における青色レーザ光のための制御時間が経過したか否かを判断する（区間Ｇ、ステップＳ６９）。ここでは例えばおよそ１分経過したかを判断する。
（３０）光強度検出部１３が、青色レーザ光の光強度を測定する（区間Ｇ、ステップＳ７０）。
（３１）制御部４１が、青色レーザ光の光強度が既定値となるように、青色レーザ光に対応する端子間に供給される駆動電流を制御する（区間Ｇ、ステップＳ７１）。
【００６４】
（３２）検査終期における青色レーザ光のための制御時間が経過した場合には、判定部１５が検査終期における青色レーザ光の駆動電流を記憶する（ステップＳ７２）。
（３３）制御部４１が、給電部１１へ指示を出して、全ての駆動電流の供給を止めさせる（ステップＳ７３）。
（３４）実施の形態１の（２０）と同様（ステップＳ２０）。
【００６５】
＜まとめ＞
以上のように、本発明の実施の形態４によれば、検査初期、及び検査終期においては比較的短時間、波長毎に時分割で光強度が既定値を維持するように各レーザ光の駆動電流を制御し、検査中期においては比較的長時間、駆動電流が一定となるように複数のレーザ光を同時に出力するので、検査の信頼性を損なうことなく検査時間を大幅に短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、光ディスクドライブに適用することができる。本発明によって、異なる種類の光ディスクを取り扱うマルチドライブに用いられる波長の異なる複数のレーザ光を選択的に出力することができる半導体レーザの検査時間を、検査の信頼性を損なうことなく大幅に短縮することができるので、当該半導体レーザの生産性が上がり、大幅なコスト削減が見込めるので、その産業的利用価値は極めて高い。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態１の概要を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１における検査装置１０の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１における半導体レーザの選別検査の概略を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１における半導体レーザの選別検査の手順を示す図である。
【図５】他のフィルタ７の一例を示す図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態２の概要を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２における検査装置２０の構成を示す図である。
【図８】回折格子８、および検出素子９ａ、９ｂ、９ｃの位置関係の例を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２における半導体レーザの選別検査の手順を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態３における検査装置３０の構成を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態４における検査装置４０の構成を示す図である。
【図１２】本発明の実施の形態４における半導体レーザの選別検査の概略を示す図である。
【図１３】本発明の実施の形態４における半導体レーザの選別検査の手順を示す図である。
【図１４】ＣＤ、ＤＶＤ、及びブルーレイディスクの３種類の光ディスクのそれぞれに対応する赤外線、赤色、及び青色のレーザ光を選択的に出力することができる半導体レーザの選別検査の概略を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
５    液晶フィルタ
６    検出素子
７    フィルタ
８    回折格子
９ａ  検出素子
９ｂ  検出素子
９ｃ  検出素子
１０    検査装置
１１    給電部
１２    レーザ光分割部
１３    光強度検出部
１４    制御部
１５    判定部
２０    検査装置
２１    レーザ光分割部
２２    光強度検出部
２３    制御部
３０    検査装置
３１    光学系
３２    光強度検出部
４０    検査装置
４１    制御部
【図１】
2008034548.tif 000003
【図２】
2008034548.tif 000004
【図３】
2008034548.tif 000005
【図４】
2008034548.tif 000006
【図５】
2008034548.tif 000007
【図６】
2008034548.tif 000008
【図７】
2008034548.tif 000009
【図８】
2008034548.tif 000010
【図９】
2008034548.tif 000011
【図１０】
2008034548.tif 000012
【図１１】
2008034548.tif 000013
【図１２】
2008034548.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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