(57)【要約】【課題】  磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドにおいて、良好な直流消去とサーボ信号の記録を行うことができる磁気ヘッドを提供する。【解決手段】コア半体５ａの表面に金属磁性膜４ａおよびギャップ部４ｃを有し、サーボ信号記録部に対して直流消去を行う直流消去用磁気ヘッドＨａと、コア半体５ｂの表面に金属磁性層膜４ｂおよびギャップ４ｄを有し、前記サーボ信号記録部の信号記録領域に、前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号を記録するサーボ信号記録用磁気ヘッドＨｂとを、非磁性材料７ａ，７ｂを介して一体化し、前記金属磁性膜４ａと４ｂの形成面を同一平面状とした。【選択図】図１
2008181598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドにおいて、
前記磁気記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有し、前記サーボ信号記録部に対して直流消去を行う直流消去用磁気ヘッドと、前記磁気記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有し、前記サーボ信号記録部の信号記録領域に前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号を記録するサーボ信号記録用磁気ヘッドとが、近設して一体化され、
前記直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜の形成面と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜の形成面とが、同一平面状に形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜との間には、前記直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜の前記磁気記録媒体との摺動面と前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜の前記磁気記録媒体との摺動面と同一平面状に前記磁気記録媒体との摺動面が形成された非磁性材料が介在されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記直流消去用磁気ヘッドと前記サーボ信号記録用磁気ヘッドとの間には、導電性非磁性薄膜材料が介在されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記直流消去用磁気ヘッドと前記サーボ信号記録用磁気ヘッドとの間には、導電性非磁性薄膜材料が介在されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
前記導電性非磁性薄膜材料の厚みは５μｍ以下に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
前記導電性非磁性薄膜材料の厚みは５μｍ以下に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッド。
【請求項７】
磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、
第１の磁気コア基板の一方の面に、所定間隔で所定深さの溝を複数形成し、それら溝に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、
前記複数の第１の非磁性材料のうち一つの第１の非磁性材料に隣接する一対の第１の非磁性材料上に、直流消去用磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成するステップと、
前記二つのギャップおよび第１の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、
前記一対の非磁性材料間に位置する前記一つの第１の非磁性材料上の金属磁性膜を除去するステップと、
前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの溝を形成し、該溝に第２の非磁性材料を充填するステップと、
前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第２の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップと
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、
第１の磁気コア基板の一方の面に、所定間隔で所定深さの溝を複数形成し、それら溝に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、
前記複数の第１の非磁性材料のうち一つの第１の非磁性材料に隣接する一対の第１の非磁性材料上に、直流消去用磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成するステップと、
前記二つのギャップおよび第１の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、
前記一対の非磁性材料間に位置する前記一つの第１の非磁性材料上の金属磁性膜を除去するステップと、
前記金属磁性膜が除去された第１の非磁性材料上に第２の非磁性材料を充填するステップと、
前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの溝を形成し、該溝に第３の非磁性材料を充填するステップと、
前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第３の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップと
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項９】
磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、
第１の磁気コア基板の一方の面に、所定間隔で所定深さの溝を複数形成し、それら溝に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、
前記複数の第１の非磁性材料のうち一つの第１の非磁性材料に隣接する一対の第１の非磁性材料上に、直流消去用磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成し、前記一つの第１の非磁性材料上に第２の非磁性材料を形成するステップと、
前記二つのギャップ、第１の非磁性材料および第２の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、
前記金属磁性膜が形成された第１の磁気コア基板の一方の面を均一に研磨するステップと、
前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの溝を形成し、該溝に第３の非磁性材料を充填するステップと、
前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第３の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップと
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、
第１の磁気コア基板の一方の面に所定深さの第１の溝を形成し、該溝の内面に第１の導電性非磁性薄膜材料を形成するステップと、
前記第１の磁気コア基板の一方の面の、前記第１の溝に所定間隔で隣接する部位に一対の第２の溝を形成し、該一対の第２の溝および前記第１の導電性非磁性薄膜材料形成面に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、
前記一対の第２の溝に充填された第１の非磁性材料上に、直流消去用の磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成するステップと、
前記二つのギャップおよび第１の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、
前記第１の溝の第１の非磁性材料上の金属磁性膜を除去するステップと、
前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの第３の溝を形成し、該溝の内面に第２の導電性非磁性薄膜材料を形成するステップと、
前記第２の導電性非磁性薄膜材料形成面に第２の非磁性材料を充填するステップと、
前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第２の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、
前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップと
を備えたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行する記録媒体のサーボバンド部に対して直流消去を行った後、前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号の記録を行うための磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、コンピューター用バックアップ装置など、記録媒体（磁気テープ）に記録するデータの容量と転送レートが益々高くなると、記録再生ヘッドは定められたトラックを高速に、そして正確にトレースしなければならない。また、記録再生ヘッドはトラック間を高速に移動し、特定のトラックの特定の位置に瞬時に移動する必要がある。
【０００３】
この動作を安定させる方法として、下記特許文献１に示された予め磁気テープにサーボ信号を書き込み、そのサーボ信号を読み込んだサーボ専用再生ヘッドの信号を基に磁気テープ上の位置を検出し、記録再生ヘッドを安定して走行させる方法がある。
【０００４】
このサーボ信号の出力が低い場合、記録再生ヘッドの位置を適正に制御する事が出来ず、甚だしい場合は、サーボ専用再生ヘッドがサーボ信号を見失ってしまう事がある。この為、下記特許文献２において、サーボ信号記録部に対して直流消去を行った後、サーボ信号の信号記録領域に前記直流消去とは逆方向の磁界により記録を行う事で、サーボ信号再生時に高い再生出力を得る方法が示されている。これにより、サーボ信号の再生をより正確にかつ迅速に行う事が出来、今後の更なる磁気信号の高記録密度化に対応することができる。
【０００５】
サーボ信号を書き込む磁気ヘッド（以下サーボ信号記録ヘッドと言う）は、例えば下記特許文献１、３、４に示されている様に、高透磁率である磁性材料によって形成された磁気コアに対して、コイルが巻回されることによって構成されている。このような磁気ヘッドは、磁気コアとコイルとの電磁誘導を利用して磁気記録媒体に対する記録を行うことから、電磁誘導型（インダクティブ型）の磁気ヘッドと称されている。
【０００６】
また、近年、磁気記録の分野においては、磁気記録媒体の小型化及び大容量化のために、磁気信号の高記録密度化がより一層進められており、微細な磁気信号を正確に記録再生することが要求されている。そのため、例えば、磁気信号を記録する磁性層に用いる磁性粉としての強磁性金属粉末を塗料化してベースフィルム上に塗布したメタルテープや、強磁性金属材料をベースフィルム上に直接蒸着させた蒸着テープなどのような高抗磁力を示す磁気記録媒体が広く利用されるようになってきている。
【０００７】
そして、これらの高抗磁力を示す磁気記録媒体に記録することを可能とするために、例えば、Ｆｅ系合金、Ｆｅ−Ｔａ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金等のような高透磁率を示すとともに、高い飽和磁束密度を示す金属磁性材料を例えばフェライト材と組合せた磁気ヘッドが提案されており、例えば下記特許文献１，３，４において、金属磁性材料とフェライト材を組合せたサーボ信号記録ヘッドが示されている。
【０００８】
また、サーボ信号記録ヘッドには、磁気テープと摺動する面（以下摺動面と言う）複数の傾きが異なる空隙（以下Ｇａｐと言う）が所定の間隔を持って配置されている。Ｇａｐ材は非磁性材料からなるもので構成されている。また、非磁性材を覆うように金属膜を各種法によって付着させるとＧａｐ部の強度が高くなる事も周知の事実である。このＧａｐ部は、古くから使われている一般的な写真印刷法を使用することで作製することができる。
【０００９】
また、このサーボ信号記録ヘッドの摺動面は、磁気テープとの良好な接触状態を得る為、レンズ研磨装置等を使って、平坦な鏡面仕上げを施している。
【００１０】
図４９は、特許文献２において示されている、データ信号とサーボ信号を独立して記録する磁気テープ６０上の記録パターンの一例を示している。図４９において、サーボバンド部（Servo Band 0〜4)は所定パターンのサーボ信号Sを長手方向に配列してなるサーボトラックTrが形成された領域であり、データバンド部(Dａta Band 0〜3）は長手方向に延在するデータ信号トラックTaを、幅方向に複数有する物である。そして、データバンドは、テープ幅方向で２本のサーボバンドに挟まれた形で形成されている。
【００１１】
従って、例えば磁気テープ６０が４本のデータバンドを有する場合には、５本のサーボトラックが形成される。図示例においては、所定角度で傾斜する５本のサーボ信号S5aと、この信号と逆方向に同じ角度で傾斜する５本のサーボ信号S5bと、所定角度で傾斜する４本のサーボ信号S4aと、この信号と逆方向に同じ角度で傾斜する４本のサーボ信号S4bを１つのパターンとし、このパターンを繰り返す事でサーボトラックTrが形成される。
【００１２】
そして、このサーボ信号は、摺動面に複数の傾きが異なるＧａｐが所定の間隔を持って配置された、例えば特許文献１，３，４に示されているサーボ信号記録ヘッドにて記録されている。
【００１３】
図５０は、特許文献２において示されている、サーボ信号記録部（以下サーボバンド部と言う）に対して直流消去を行った後、前記直流消去とは逆方向の磁界により記録を行うための、サーボ信号記録装置の一例を表し、磁気テープTにサーボ信号Sの記録を行う装置の概念図である。
【００１４】
ここで、従来、走行する記録媒体のサーボバンド部に対して直流消去を行った後、前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号の記録を行う方法は、図５０に示すように、サーボ信号記録装置上に、互いに離れた位置で個別に配置された、サーボバンド部直流消去ヘッド（直流消去ユニット７２）とサーボ信号記録ヘッド（記録ヘッドユニット７１）により行われていた。
【００１５】
図５０において７１は、サーボ信号Ｓを記録する磁気ヘッド（記録ヘッド）が配置された記録ヘッドユニットである。７２は記録前に磁気テープ６０を着磁するＤＣマグネットを備えた直流消去ユニットである。７３はサーボ信号Ｓを再生する磁気ヘッド（再生ヘッド）が配置された再生ヘッドユニットである。また当該装置は、磁気テープ６０をテープ取り出し部７４からテープ巻き取り部７５に長手方向に搬送する搬送手段を有している。
【特許文献１】特許第３１５８０１５号
【特許文献２】特開２００５−１６６２３０号
【特許文献３】特表２００２−５３８５６５号
【特許文献４】特開２００２−１７０２０４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、サーボ信号記録装置上に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドを互いに離れた位置で個別に配置して行う方式の場合、サーボ信号記録装置のテープ走行系の精度、及び磁気テープ幅のバラツキに起因するテープ幅方向のテープ走行位置バラツキにより、サーボバンド部直流消去ヘッドにて磁気テープ上の直流消去を行った領域と、サーボ信号記録ヘッドのＧａｐ位置の間に最大５０μm程度のズレが発生し、サーボ信号再生時に高い再生出力を安定して得る事が出来ない問題が発生した。
【００１７】
これを解決する目的で、例えば図５１に示すように、直流消去幅をサーボバンド幅よりも上下それぞれ５０μmずつ広げ、テープ走行位置が変動した場合でも、サーボ信号記録ヘッドのＧａｐ位置が必ず直流消去領域内に入るようにした所、サーボバンド部よりも外側にある直流消去信号が、データバンド部のデータ信号に干渉し、データ信号が正常に再生出来ない問題が発生した。
【００１８】
また、サーボ信号記録装置のテープ走行系の精度、及び磁気テープ幅のバラツキに起因するテープ幅方向の走行位置バラツキによる影響を低減する目的で、図５２に示すように、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａａとサーボ信号記録ヘッドＨｂｂを接近させ、同一台座８０上に相互のＧａｐ位置を高精度で位置決めして固定した後、この台座８０ごとサーボ信号記録装置に搭載する方法を取った所、図５３に示すように、テープ走行方向に対するヘッドの取付け角度（θ）方向のアライメント誤差に起因する、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａａとサーボ信号記録ヘッドＨｂｂのＧａｐ位置ズレの問題が発生した。
【００１９】
更に、前述のサーボ信号記録装置のテープ走行系の精度、及び磁気テープ幅のバラツキに起因するテープ幅方向の走行位置バラツキによる影響と、θ方向アライメント誤差の影響を低減する目的で、図５４に示す様に、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａａとサーボ信号記録ヘッドＨｂｂを、相互のＧａｐ位置を高精度で位置決めして接合により一体化し、相互のＧａｐ間の距離を極力接近させた磁気ヘッドを作製した所、接合時において相互の磁気ヘッドＨａａとＨｂｂの摺動面の間に１〜２μmの段差が発生し、この段差によりサーボ信号記録時に磁気テープとの良好な接触状態が得られず、サーボ信号が記録出来ない問題が発生した。
【００２０】
更に、前述の接合により発生した相互の磁気ヘッドＨａａとＨｂｂの摺動面間の段差の影響を除去する目的で、接合後にレンズ研磨装置等を使って、摺動面に平坦な鏡面仕上げを施した所、磁気ヘッドの摺動面に形成された金属磁性材料の厚みが、段差に相当する分だけ薄くなり、信号記録の為に必要な磁界強度が得られなくなり、サーボ信号の記録が出来ない問題が発生した。
【００２１】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものでその目的は、良好な直流消去とサーボ信号の記録を行うことができ、これによってサーボ信号再生時に安定した再生出力を得ることができる磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するための請求項１に記載の磁気ヘッドは、磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドにおいて、前記磁気記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有し、前記サーボ信号記録部に対して直流消去を行う直流消去用磁気ヘッドと、前記磁気記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有し、前記サーボ信号記録部の信号記録領域に前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号を記録するサーボ信号記録用磁気ヘッドとが、近設して一体化され、前記直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜の形成面と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜の形成面とが、同一平面状に形成されていることを特徴としている。
【００２３】
上記構成によれば、直流消去用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面が同一平面内にある事により、摺動面となる金属磁性膜に平坦な鏡面仕上げを施しても、相互のヘッドの段差に起因する金属磁性膜厚みの減少は発生せず、良好な信号記録磁界強度を得る事ができる。
【００２４】
また、直流消去用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面が同一平面内にある事により、相互の磁気ヘッドの摺動面の金属磁性膜の間に段差が発生する事が無く、サーボ信号記録時に磁気テープとの良好な接触状態を得る事が可能となる。
【００２５】
また請求項７に記載の磁気ヘッドの製造方法は、磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、第１の磁気コア基板の一方の面に、所定間隔で所定深さの溝を複数形成し、それら溝に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、前記複数の第１の非磁性材料のうち一つの第１の非磁性材料に隣接する一対の第１の非磁性材料上に、直流消去用磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成するステップと、前記二つのギャップおよび第１の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、前記一対の非磁性材料間に位置する前記一つの第１の非磁性材料上の金属磁性膜を除去するステップと、前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの溝を形成し、該溝に第２の非磁性材料を充填するステップと、前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第２の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップとを備えたことを特徴としている。
【００２６】
上記構成によれば、直流消去用磁気ヘッドおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドの段差をなくした一体型の磁気ヘッドを製造することができる。
【００２７】
また請求項２に記載の磁気ヘッドは、請求項１において、前記直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜との間には、前記直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜の磁気テープとの摺動面と前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜の磁気テープとの摺動面と同一平面状に磁気テープとの摺動面が形成された非磁性材料が介在されていることを特徴としている。
【００２８】
上記構成によれば、直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜とサーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜との間に非磁性材料が介在されているので、磁気テープと磁気ヘッドの摺動面との隙間は発生せず、走行時に磁性層から脱落する磁性粉の影響は受けず、直流消去信号とサーボ信号を安定して記録することができる。
【００２９】
また請求項８に記載の磁気ヘッドの製造方法は、磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、第１の磁気コア基板の一方の面に、所定間隔で所定深さの溝を複数形成し、それら溝に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、前記複数の第１の非磁性材料のうち一つの第１の非磁性材料に隣接する一対の第１の非磁性材料上に、直流消去用磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成するステップと、前記二つのギャップおよび第１の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、前記一対の非磁性材料間に位置する前記一つの第１の非磁性材料上の金属磁性膜を除去するステップと、前記金属磁性膜が除去された第１の非磁性材料上に第２の非磁性材料を充填するステップと、前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの溝を形成し、該溝に第３の非磁性材料を充填するステップと、前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第３の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップとを備えたことを特徴としている。
【００３０】
また請求項９に記載の磁気ヘッドの製造方法は、磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、第１の磁気コア基板の一方の面に、所定間隔で所定深さの溝を複数形成し、それら溝に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、前記複数の第１の非磁性材料のうち一つの第１の非磁性材料に隣接する一対の第１の非磁性材料上に、直流消去用磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成し、前記一つの第１の非磁性材料上に第２の非磁性材料を形成するステップと、前記二つのギャップ、第１の非磁性材料および第２の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、前記金属磁性膜が形成された第１の磁気コア基板の一方の面を均一に研磨するステップと、前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの溝を形成し、該溝に第３の非磁性材料を充填するステップと、前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第３の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップとを備えたことを特徴としている。
【００３１】
上記構成によれば、走行時に磁性層から脱落する磁性粉の影響を受けない磁気ヘッドを製造することができる。
【００３２】
また請求項３，４に記載の磁気ヘッドは、請求項１又は２において、前記直流消去用磁気ヘッドと前記サーボ信号記録用磁気ヘッドとの間には、導電性非磁性薄膜材料が介在されていることを特徴としている。
【００３３】
上記構成によれば、サーボ信号を記録する際にサーボ信号記録ヘッドの磁気コアから漏洩するサーボ信号磁界の直流消去ヘッドの磁気コアへの入り込みは、直流消去用磁気ヘッドとサーボ信号記録用磁気ヘッドの接合部に配された導電性非磁性薄膜材料により遮断されるため、安定した直流消去が出来る様になり、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキを低減できる。
【００３４】
また請求項１０に記載の磁気ヘッドの製造方法は、磁性層にデータ信号記録部とサーボ信号記録部を有する磁気記録媒体に用いる磁気ヘッドの製造方法において、第１の磁気コア基板の一方の面に所定深さの第１の溝を形成し、該溝の内面に第１の導電性非磁性薄膜材料を形成するステップと、前記第１の磁気コア基板の一方の面の、前記第１の溝に所定間隔で隣接する部位に一対の第２の溝を形成し、該一対の第２の溝および前記第１の導電性非磁性薄膜材料形成面に第１の非磁性材料を各々充填するステップと、前記一対の第２の溝に充填された第１の非磁性材料上に、直流消去用の磁気ヘッドのギャップおよびサーボ信号記録用磁気ヘッドのギャップを各々形成するステップと、前記二つのギャップおよび第１の非磁性材料を含む、第１の磁気コア基板の一方の面上に金属磁性膜を形成するステップと、前記第１の溝の第１の非磁性材料上の金属磁性膜を除去するステップと、前記第１の磁気コア基板の他方の面を、前記第１の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、第２の磁気コア基板の一方の面に所定深さの第３の溝を形成し、該溝の内面に第２の導電性非磁性薄膜材料を形成するステップと、前記第２の導電性非磁性薄膜材料形成面に第２の非磁性材料を充填するステップと、前記第２の磁気コア基板の他方の面を、前記第２の非磁性材料が露出するまで研磨した後当該面上に接合用の金属膜を形成するステップと、前記第１の磁気コア基板の接合用の金属膜と前記第２の磁気コア基板の接合用の金属膜とを接合するステップとを備えたことを特徴としている。
【００３５】
上記構成によれば、サーボ信号記録時に、サーボ信号記録用磁気ヘッドの磁気コアから漏洩するサーボ信号磁界が直流消去用磁気ヘッドの磁気コアへ入り込むことを防止した磁気ヘッドを製造することができる。
【００３６】
また請求項５，６に記載の磁気ヘッドは、請求項３又は４において、前記導電性非磁性薄膜材料の厚みは５μｍ以下に形成されていることを特徴としている。
【００３７】
上記構成によれば、磁気ヘッドの磁気コアを形成するフェライト材料と導電性非磁性材料との熱膨張率の差により発生する応力の影響を低減出来る為、磁気コアを形成するフェライト材料にヒビは発生せず、ヒビによる大幅な歩留りの低下も無い。
【発明の効果】
【００３８】
（１）請求項１〜６に記載の発明によれば、直流消去用磁気ヘッドとサーボ信号記録用磁気ヘッドが近設され、且つ磁気テープの摺動面となる前記両磁気ヘッドの金属磁性膜どうしが同一平面状に形成されるので、良好な直流消去とサーボ信号の記録が行える。これによってサーボ信号再生時に安定した再生出力を得ることができる。
（２）請求項７〜１０に記載の発明によれば、直流消去用磁気ヘッドとサーボ信号記録用磁気ヘッドを近設し、且つ磁気テープの摺動面となる前記両磁気ヘッドの金属磁性膜どうしを同一平面状に形成し、これによって良好な直流消去とサーボ信号の記録が行える磁気ヘッドを製造することができる。
（３）請求項１に記載の発明によれば、直流消去用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面が同一平面内にある事により、摺動面となる金属磁性膜に平坦な鏡面仕上げを施しても、相互のヘッドの段差に起因する金属磁性膜厚みの減少は発生せず、良好な信号記録磁界強度を得る事ができる。
【００３９】
また、直流消去用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面と、前記サーボ信号記録用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜の形成面が同一平面内にある事により、相互の磁気ヘッドの摺動面の金属磁性膜の間に段差が発生する事が無く、サーボ信号記録時に磁気テープとの良好な接触状態を得る事が可能となる。
【００４０】
また、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドを一体化し、相互のＧａｐ間距離を極力接近させる事で、テープ走行方向に対するヘッドの取付け角度（θ）誤差に起因する、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ位置ズレの影響を低減する事が出来る。
【００４１】
更に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドを一体化し、相互のGap間距離を極力接近させる事で、サーボ信号記録装置のテープ走行系の精度、及び磁気テープ幅のバラツキに起因するテープ幅方向のテープ走行位置バラツキの影響を低減でき、サーボバンド部直流消去ヘッドにて磁気テープ上の直流消去を行った領域と、サーボ信号記録ヘッドのＧａｐ位置を正確に一致させる事ができる。
【００４２】
更に、サーボバンド部直流消去ヘッドにて磁気テープ上の直流消去を行った領域と、サーボ信号記録ヘッドのＧｓｐ位置を正確に一致させる事により、サーボバンド部よりも外側にある直流消去信号が、データバンド部のデータ信号に干渉する事が無い。
【００４３】
更に、サーボバンド部直流消去ヘッドにて磁気テープ上の直流消去を行った領域と、サーボ信号記録ヘッドのＧａｐ位置を正確に一致させる事により、サーボ信号再生時に高い再生出力を安定して得る事が出来る。
（４）請求項２に記載の発明によれば、磁気テープが走行する際に磁性層から脱落してくる磁性粉が堆積する分断溝が無い為、図１５、図１６に示すような磁気テープと摺動面との隙間は発生せず、磁気テープに十分な記録磁界を加えた状態で消去信号及びサーボ信号を記録出来る為、サーボ信号再生時に再生出力が低下する事が無い。更に、ヘッドクロッグによりサーボ信号が記録出来なくなる問題も発生する事が無い。これにより、直流消去信号とサーボ信号を安定して記録する事が可能となる。
（５）請求項８，９に記載の発明によれば、走行時に磁性層から脱落する磁性粉の影響を受けない磁気ヘッドを製造することができる。
（６）請求項３，４に記載の発明によれば、サーボ信号を記録する際にサーボ信号記録ヘッドの磁気コアから漏洩するサーボ信号磁界の直流消去ヘッドの磁気コアへの入り込みは、直流消去用磁気ヘッドとサーボ信号記録用磁気ヘッドの接合部に配された導電性非磁性薄膜材料により遮断されるため、安定した直流消去が出来る様になり、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキを低減できる。
（７）請求項１０に記載の発明によれば、サーボ信号記録時に、サーボ信号記録用磁気ヘッドの磁気コアから漏洩するサーボ信号磁界が直流消去用磁気ヘッドの磁気コアへ入り込むことを防止した磁気ヘッドを製造することができる。
（８）請求項５，６に記載の発明によれば、磁気ヘッドの磁気コアを形成するフェライト材料と導電性非磁性材料との熱膨張率の差により発生する応力の影響を低減出来る為、磁気コアを形成するフェライト材料にヒビは発生せず、ヒビによる大幅な歩留りの低下も無い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明は下記の実施形態例に限定されるものではない。
【００４５】
図１は本発明に係る磁気ヘッドの構成を示す概略図である。
【００４６】
本発明の磁気ヘッドは、記録媒体(磁気テープ）の摺動面となる金属磁性膜を表面に有し、当該金属磁性膜内に磁気テープ摺動方向と直交する方向の複数のギャップ部をもつ直流消去用磁気ヘッド部Ｈａと、磁気テープの摺動面となる金属磁性膜を表面に有し、当該金属磁性膜内に複数の傾きが異なるギャップ部をもつサーボ信号記録用磁気ヘッド部Ｈｂが一体化されてなり、走行する磁気テープに、当該直流消去用磁気ヘッド部にて直流消去信号を書き込み後、サーボ信号記録用磁気ヘッド部Ｈｂにてサーボ信号を書き込むために用いるバルク薄膜ヘッドの構成例である。
【００４７】
本構成例は、前記記録媒体との摺動面となり直流消去信号の磁路を構成する金属磁性膜4aを表面に有する直流消去ヘッド用磁気コア半体5aと、前記記録媒体との摺動面となりサーボ信号の磁路を構成する金属磁性膜4bを表面に有するサーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体5bが、非磁性材料7bを介して接合一体化されてなるフロントコア１と、巻線溝9ａを有する直流消去ヘッド用磁気コア半体10aと、巻線溝9bを有するサーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体10bが、非磁性材料7aを介して接合一体化されてなるバックコア２とが、接合部３で接合されてなる、直流消去、サーボ記録一体型磁気コアと、該磁気コアの巻線溝9ａ、9bに導線が巻かれてなる励磁コイル（図示せず）とを備える。
【００４８】
ここで、金属磁性膜4a、4bは、Ｆｅ系微結晶膜、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金からなる膜が数μmの厚さで成膜されたものである。また、Ｇａｐ4c、4dは、ベースガラス8a、8b上に形成され金属磁性膜4a、4bを分断するように記録媒体摺動面まで達する高さを有する非磁性材からなる書き込みパターンである。記録媒体への記録に際しては、励磁コイルに電流が流されて発生する磁束をギャップ部4c、4dが妨げることにより、走行する記録媒体にそのギャップパターンを記録することができる。
【００４９】
磁気コア半体5a、5b、10a、10bを構成する材料は、従来公知の磁性材料であり、単結晶フェライト、多結晶フェライトのいずれでもよい。例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【００５０】
フロントコア１を構成する磁気コア半体5a、5bは、金属磁性膜4a、4bのギャップ部4c、4d直下に磁気記録媒体幅方向Ｗに延びる溝を有し、さらに該溝に硬質非磁性材料が充填され融着されてなるベースガラス8a、8bを有している。また、磁気コア半体5a、5bは硬質非磁性材料7bにより接合一体化されている。これらの硬質非磁性材料7b、8a、8bは、磁気コア半体5a、5bに融着して、ある程度の強度を確保することができる非磁性の材料であればよい。例えば、金属磁性膜の熱処理温度を考慮して、ガラス転移温度が金属磁性膜の熱処理温度よりも高い高融点ガラスを用いるのが好ましい。また、磁気コア半体5a、5bは、金属磁性膜4a、4b形成面とは反対面側に開口する巻線溝6ａ、6bを有している。
【００５１】
また、図２（フロントコア１の断面図）に示されている金属磁性膜形成面12は、金属磁性膜4a、4bを形成する前に、磁気コア半体5a、 5b、非磁性材料7b、ベースガラス8a、8bが一体となった状態で、レンズ研磨装置等を使って、段差の無い平坦な鏡面仕上げを施されている。かかる鏡面仕上げが施された金属磁性膜形成面12に、直流消去信号用Ｇａｐパターンとサーボ信号用Ｇａｐパターンが高精度に配置されている半導体マスクを用いて、フォトリソグラフィ技術により、磁気Ｇａｐ4c、4dを同時に形成した後、金属磁性膜4a、4bが同時に形成される。フロントコア1の金属磁性膜形成面12が、磁気コア半体5a、 5b、非磁性材料7b、ベースガラス8a、8bが一体となった状態で、段差の無い平坦な鏡面仕上げを施されている事から、サーボバンド部直流消去ヘッド部とサーボ信号記録ヘッド部の金属磁性膜4a、4bの間に段差が発生する事は無い。
【００５２】
また、図２に示すフロントコアのテープ摺動面幅４eは、直流消去信号とサーボ信号記録時においてテープと良好な接触状態を確保する為に、４ｍｍ以下とするのが好ましい。４ｍｍを超えた場合、摺動面上でテープの浮きが発生し、浮きによるスペーシングロスにより記録が出来ない問題が発生する。
【００５３】
また、直流消去信号記録用Ｇａｐ4cとサーボ信号記録用Ｇａｐ4dとの距離４ｆは、テープ走行方向に対するヘッドの取付け角度（θ）方向のアライメント誤差の影響と、磁気テープが直流消去信号記録用Ｇａｐ4c上からサーボ信号記録用Ｇａｐ4d上に移動する間に発生する、磁気テープの幅方向の位置ズレの影響を低減する為、２．５ｍｍ以下とする事が好ましい。
【００５４】
また、本発明に係る磁気ヘッドの直流消去信号記録用Ｇａｐ4cとサーボ信号記録用Ｇａｐ4dは、パターンが高精度に配置されている半導体マスクを用い、フォトリソグラフィ技術により形成される事から、相互の位置関係を高精度に制御する事が出来る。これを利用して、図３に示すように、サーボ信号記録用Ｇａｐの幅に対し直流消去信号記録用Ｇａｐの幅をデーターバンド部に干渉しない範囲で広く設定する事が出来る。これにより、磁気テープが直流消去信号記録用Ｇａｐ4c上からサーボ信号記録用Ｇａｐ4d上に移動する間に発生する磁気テープの幅方向の位置ズレがあった場合でも、サーボ信号記録ヘッドのＧａｐを、サーボバンド部直流消去ヘッドに直流消去を行った領域内に収める事が出来る。図３は、ＬＴＯ（リニアテープオープン）フォーマットでの例を示しており、本フォーマットの場合は、直流消去信号記録用Ｇａｐの幅を１９４μm、サーボ信号記録用Ｇａｐの幅を１８６μmとする事が出来る。
【００５５】
以上の構成により、本発明の磁気ヘッドは、サーボバンド部直流消去ヘッドにて磁気テープ上の直流消去を行った領域と、サーボ信号記録ヘッドのGap位置を正確に一致させる事ができる。また、直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜と、サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜の間に段差が発生する事が無く、磁気テープとの良好な接触状態を確保する事ができる。また、摺動面となる金属磁性膜に平坦な鏡面仕上げを施しても、相互のヘッドの段差に起因する金属磁性膜厚みの減少は発生せず、良好な信号記録磁界強度を得る事ができる。
【００５６】
つぎに、前述の図１の磁気ヘッドを製造するための方法について説明する。以下、図４〜図１３を参照しながら、工程別に本発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施形態例を説明する。
（ステップＳ１１)  複数の磁気コア半体５の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部及び双方の磁気コアを接合する非磁性材料（７b）の位置に対応させた溝を形成し、該溝に前記硬質非磁性材料を充填し融着させ、このときはみ出した硬質非磁性材料を研磨してベースガラス８を形成する（図４）。また同時にベースガラス８も含め、金属磁性膜形成面１２が平坦になるように研磨する。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ１２)  ついで、図５のように磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上に金属磁性膜４を形成する。
【００５７】
詳しくは、まず磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上ほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜をスパッタリング法により形成する。ついで、該非磁性硬質膜上にレジスト材料を均一の厚さでムラ無く塗り、Ｇａｐパターンが施されている半導体マスクを用いて、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部に対応するベースガラス８上にＧａｐパターンを合わせ込み、光を当て露光する。そして、この磁気コア基板１３を現像液に所定の時間浸し、前記マスクに従った不必要なレジストは溶解除去し必要な形状のみレジストを残す。ついで、リアクティブイオンエッチングあるいは、イオンエッチング法を使用して残存レジストから露出した不必要な非磁性硬質膜を除去し、ついで残ったＧａｐ／レジストの柱についてレジストを溶剤にて洗い流すことにより、ベースガラス上にＧａｐ部を得る。また、本Ｇａｐ形成工程において、Ｇａｐが形成されない位置にあるベースガラス８が、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッド双方の磁気コアを接合する非磁性材料７bとなる。
【００５８】
次に、金属磁性膜形成面１２上にスパッタリング法、蒸着法、プラズマＣＶＤ法のいずれかにより高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を成膜する。その後、磁気コア基板１３に熱処理を施こすことにより金属磁性膜４について良好な軟磁性特性を得る。
（ステップＳ１３）  ついで図６のように、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの双方の金属磁性膜が、磁気的に干渉しない様、双方の磁気コアを接合する非磁性材料７b上の金属磁性膜を、分断溝１３aにて除去する。その後、磁気ヘッドとした場合に磁気テープがスムーズに摺動面に進入できることを目的とした、斜度をもつ肩落とし溝１３bを形成する。
【００５９】
また、ステップＳ１２で形成した金属磁性膜は、磁気コア基板１３の表面形状に沿った形で成膜しているので、当該基板１３全体でみると、ギャップ部４c、４d直上だけが該ギャップ部４c、４dの高さ分だけ金属磁性膜が突起した状態となっている。この突起は全体の面積からすると極僅かな面積が突出した状態であるので、バフ研摩あるいはレンズ研摩により表面を全体に均一に削ることができ、以上により金属磁性膜４が完成する。
【００６０】
ついで図７のように、磁気コア基板１３を反転させ金属磁性膜形成面（テープ摺動面）とは反対の主面に巻線溝６を形成し、その後当該主面の巻線溝６以外の領域である接合面１４を、非磁性材料７bが当該接合面に露出する所までレンズ研磨する。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１４の表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ１４）  磁気コア基板１３の接合面１４に、金属膜の蒸着膜を形成する（図８）。ここで、金属膜は、２層構造とする事が好ましく、第１の金属膜１５ａは、磁気コア基板１３と第２の金属膜１５ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる薄膜である。また、第２の金属膜１５ｂは、前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば厚さ１０〜２００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍで均一な厚さとなっているＡｕなどの蒸着膜である。
（ステップS１５)  図９のように、複数の磁気コア半体１０の原板である磁気コア基板１６の、磁気コア基板１３と接合される接合面17aに、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの磁気コアを接合する非磁性材料７aの位置に対応させた溝を形成し、該溝に硬質非磁性材料を充填した後、はみ出した硬質非磁性材料を研磨して接合面17aを平滑にする。
（ステップＳ１６）  ついで図１０のように、磁気コア基板１６の接合面１７aとは反対の主面１７bについて、当該面の平坦度が記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下となるように、非磁性材料７aが主面17bに露出する所まで研磨し、ついで接合面１７aに磁気コア半体１０に対応させた巻線溝９を形成する。その後、接合面１７aをレンズ研磨等により平坦に仕上げる。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１７aの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度も記録媒体走行方向Ｌ及び記録媒体幅方向Ｗの一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ１７）  ついで図１１のように、磁気コア基板１６の接合面１７aについて、ステップＳ１４と同様の第１の金属膜１５ａ／第２の金属膜１５ｂの２層構造の蒸着膜を形成する。
（ステップＳ１８）  図１２のように、ステップＳ１４後の磁気コア基板１３と、ステップＳ１６後の磁気コア基板１６とを用い、磁気コア基板１３の接合面１４と磁気コア基板１６の接合面１７aとを向かい合わせ、磁気コア基板１３の巻線溝６と磁気コア基板１６の巻線溝９とを位置合わせした後に、それぞれの第２の金属膜１５ｂ同士を接触させ、低温金属拡散接合を行う。
【００６１】
ここで、低温金属拡散接合とは、磁気コア基板１３の接合面１４に設けられた第２の金属膜１５ｂと磁気コア基板１６の接合面１７aに設けられた第２の金属膜１５ｂとを前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で第２の金属膜１５ｂの構成原子を相互拡散させて接合するものである。具体的には、Ａｕからなる第２の金属膜１５ｂの場合、１０〜２０ＭＰａ程度の圧力で両第２の金属膜１５ｂを突き合わせた状態で加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間の熱処理により接合が可能である。
（ステップＳ１９）  最後に図１３のように、磁気コア基板１３と磁気コア基板１６とが接合された合体基板を切断箇所ａ−ａ´にて切断し、磁気コアを構成する１列ずつの磁気コアブロックを得る。
【００６２】
その後、得られた磁気コアの巻線溝６，９に導線を巻いて励磁コイルを形成し、図１の磁気ヘッドを完成する。
【００６３】
以上の本実施形態例の製造方法により、サーボバンド部直流消去ヘッドにて磁気テープ上の直流消去を行った領域とサーボ信号記録ヘッドのGap位置が正確に一致し、直流消去用磁気ヘッドの金属磁性膜と、サーボ信号記録用磁気ヘッドの金属磁性膜の間に段差が発生する事が無く磁気テープとの良好な接触状態を確保する事ができ、良好な信号記録磁界強度を得る事ができ、走行する記録媒体のサーボバンド部に対して直流消去を行った後、前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号の記録行う方式において、サーボ信号再生時に高い再生出力を安定して得ることが出来る直流消去ヘッド・サーボ信号記録ヘッド一体型磁気ヘッドを実現する事が出来る。
（実施例１）
以下、本発明の磁気ヘッドを実際に作製した例を説明する。
【００６４】
前述した磁気ヘッドの製造方法に従い、以下の条件で１／２インチ幅磁気テープ対応磁気ヘッドを作製した。
（１）金属磁性膜４；Ｆｅ−Ｔａ系微結晶膜  厚さ：３μm
（２）磁気コア５，１０；フェライト基板（寸法３０×３０×１．５ｍｍ）
（３）硬質非磁性材料；ガラス転移温度５５０℃
（４）金属磁性膜熱処理温度；４８０℃
（５）金属磁性膜形成面１２平坦度；９０nm
(６）テープ摺動面幅４e；３．５mm
（７）直流消去信号記録用Ｇａｐ・サーボ信号記録用Ｇａｐ間距離４ｆ；２．３mm
（８）直流消去信号記録用Ｇａｐ幅；１９４μm
（９）サーボ信号記録用Ｇａｐ幅；１８６μm
以上の条件で作製した磁気ヘッドを、図５０に示すサーボ信号記録装置の記録ヘッドユニット７１に取付け、直流消去ユニット７２を取外し、本磁気ヘッドにてＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープ６０に直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、当該装置の再生ヘッドユニット７３にて再生出力を確認した。その結果は下記表１のとおりであり、直流消去信号が無い場合と比較して約２倍の再生出力が、０．３dB以下のバラツキで安定して得られる事が確認された。また、ＬＴＯ-2ドライブにて、本磁気テープにデータ信号を記録し評価した結果、全データバンドにおいてデータ信号が正常に再生出来る事が確認された。
【００６５】
【表１】
2008181598.tif 000003
【００６６】
（比較例）
実施例と同一の条件で、個別に作製した直流消去ヘッドＨａ、サーボ信号記録ヘッドＨｂを、図５０に示すサーボ信号記録装置の直流消去ユニット７２、記録ヘッドユニット７１に取付け、ＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープ６０に直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、当該装置の再生ヘッドユニット７３にて再生出力を確認した。その結果は下記表２のとおりであり、直流消去信号が無い場合と比較して最大値では約２倍の再生出力が得られたものの、バラツキが３〜４ｄB程度発生し、安定した再生出力が得られない事が確認された。
【００６７】
【表２】
2008181598.tif 000004
【００６８】
次に本発明の他の実施形態例を説明する。図１４は前記図１の磁気ヘッドを示しており、この磁気ヘッドは、磁気テープ摺動面に、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａとサーボ信号記録ヘッドＨｂ双方の金属磁性膜の磁気的な干渉を回避する目的で、分断溝１３ａが形成されている為、磁気テープが走行する際に図１５に示すように、磁性層から脱落してくる磁性粉６１が分断溝１３ａに入り込み堆積する事により、磁気テープ６０と摺動面に隙間が発生し、この隙間によるスペーシングロスの為、磁気テープに十分な記録磁界が加えられない状態で消去信号及びサーボ信号が記録されてしまい、サーボ信号再生時の再生出力が低下する問題が発生した。
【００６９】
更に、図１６に示すように堆積した磁性粉６１がサーボ信号記録ヘッドのギャップ部４dを覆う事（ヘッドクロッグ）により、磁気テープにサーボ信号が記録出来なくなる問題が発生した。
【００７０】
本実施形態例は前記問題を解決するために磁気ヘッドを図１７に示す構成とした。本構成例は、前記記録媒体との摺動面となり直流消去信号の磁路を構成する金属磁性膜4aを表面に有する直流消去ヘッド用磁気コア半体5aと、前記記録媒体との摺動面となりサーボ信号の磁路を構成する金属磁性膜4bを表面に有するサーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体5bが、非磁性材料7bを介して接合一体化され、更に前記金属磁性膜4aと金属磁性膜4bが非磁性材料7ｃにて分断されてなるフロントコア１と、巻線溝9ａを有する直流消去ヘッド用磁気コア半体10aと、巻線溝9bを有するサーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体10bが、非磁性材料７aを介して接合一体化されてなるバックコア２とが、接合部３で接合されてなる、直流消去、サーボ記録一体型磁気コアと、該磁気コアの巻線溝9ａ、9bに導線が巻かれてなる励磁コイル（図示せず）とを備える。
【００７１】
ここで、金属磁性膜4a、4bは、Ｆｅ系微結晶膜、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金からなる膜が数μmの厚さで成膜されたものである。また、Ｇａｐ4c、4dは、ベースガラス8a、8b上に形成され金属磁性膜4a、4bを分断するように記録媒体摺動面まで達する高さを有する非磁性材からなる書き込みパターン（空隙）である。記録媒体への記録に際しては、励磁コイルに電流が流されて発生する磁束をギャップ部4c、4dが妨げることにより、走行する記録媒体にそのギャップパターンを記録することができる。
【００７２】
磁気コア半体5a、5b、10a、10bを構成する材料は、従来公知の磁性材料であり、単結晶フェライト、多結晶フェライトのいずれでもよい。例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【００７３】
フロントコア１を構成する磁気コア半体5a、5bは、金属磁性膜4a、4bのギャップ部4c、4d直下に磁気記録媒体幅方向Ｗに延びる溝を有し、さらに該溝に硬質非磁性材料が充填され融着されてなるベースガラス8a、8bを有している。また、磁気コア半体5a、5bは硬質非磁性材料7bにより接合一体化されている。これらの硬質非磁性材料7b、8a、8bは、磁気コア半体5a、5bに融着して、ある程度の強度を確保することができる非磁性の材料であればよい。例えば、金属磁性膜の熱処理温度を考慮して、ガラス転移温度が金属磁性膜の熱処理温度よりも高い高融点ガラスを用いるのが好ましい。また、磁気コア半体5a、5bは、金属磁性膜4a、4b形成面とは反対面側に開口する巻線溝6ａ、6bを有している。
【００７４】
また、図１８（フロントコア１の断面図）に示されている金属磁性膜形成面12は、金属磁性膜4a、4bを形成する前に、磁気コア半体5a、 5b、非磁性材料7b、ベースガラス8a、8bが一体となった状態で、レンズ研磨装置等を使って、段差の無い平坦な鏡面仕上げを施されている。かかる鏡面仕上げが施された金属磁性膜形成面12に、直流消去信号用Ｇａｐパターンとサーボ信号用Ｇａｐパターンが高精度に配置されている半導体マスクを用いて、フォトリソグラフィ技術により、磁気Ｇａｐ4c、4dを同時に形成した後、金属磁性膜4a、4bが同時に形成される。
【００７５】
また金属磁性膜4aと金属磁性膜4bを分断する非磁性材料7cは、磁気テープ走行時の摩擦の問題から樹脂は好ましく無く、Ｃｒ、Ａｕ、Ａｇ等の非磁性金属や、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｚｒ2Ｏ3等の酸化物が好ましい。
【００７６】
以上の構成により、本発明の磁気ヘッドは、磁気テープが走行する際に磁性層から脱落してくる磁性粉の影響を排除する事が出来、サーボ信号再生時の再生出力の低下や、ヘッドクロッグの問題を防止する事ができる。
【００７７】
つぎに、本実施形態例の磁気ヘッド（図１７）の製造方法の第一の例について、図１９〜図２９を参照しながら、工程別に説明する。
（ステップＳ２１)  まず図１９において、複数の磁気コア半体５の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部及び双方の磁気コアを接合する非磁性材料の位置に対応させた溝を形成し、該溝に前記硬質非磁性材料を充填し融着させ、このときはみ出した硬質非磁性材料を研磨してベースガラス８を形成する。また同時にベースガラス８も含め、金属磁性膜形成面１２が平坦になるように研磨する。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ２２)  ついで図２０のように、磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上に金属磁性膜４、及びＧａｐ部４ｃ、４ｄを形成する（図７）。詳しくは、まず磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上ほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜をスパッタリング法により形成する。ついで、該非磁性硬質膜上にレジスト材料を均一の厚さでムラ無く塗り、Ｇａｐパターンが施されている半導体マスクを用いて、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部に対応するベースガラス８上にＧａｐパターンを合わせ込み、光を当て露光する。そして、この磁気コア基板１３を現像液に所定の時間浸し、前記マスクに従った不必要なレジストは溶解除去し必要な形状のみレジストを残す。ついで、リアクティブイオンエッチングあるいは、イオンエッチング法を使用して残存レジストから露出した不必要な非磁性硬質膜を除去し、ついで残ったＧａｐ部のレジストの柱についてレジストを溶剤にて洗い流すことにより、ベースガラス上にＧａｐ部４ｃ、４ｄを得る。また、本Ｇａｐ形成工程において、Ｇａｐが形成されない位置にあるベースガラス８が、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａとサーボ信号記録ヘッドＨｂ双方の磁気コア（５ａと５ｂ）を接合する非磁性材料７ｂとなる。
【００７８】
次に、金属磁性膜形成面１２上にスパッタリング法、蒸着法、プラズマＣＶＤ法のいずれかにより高飽和磁束密度を有する金属磁性膜４を成膜する。その後、磁気コア基板１３に熱処理を施こすことにより金属磁性膜４について良好な軟磁性特性を得る。
（ステップＳ２３）  ついで図２１のように、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの双方の金属磁性膜が、磁気的に干渉しない様、双方の磁気コアを接合する非磁性材料７ｂ上の金属磁性膜を分断溝１３aにて除去した後、該分断溝内に非磁性材料７ｃを金属磁性膜４より若干突出する様に充填する。その後、磁気ヘッドとした場合に磁気テープがスムーズに摺動面に進入できることを目的とした、斜度をもつ肩落とし溝１３bを形成する。
【００７９】
また、ステップＳ２２で形成した金属磁性膜４は、磁気コア基板１３の表面形状に沿った形で成膜しているので、当該基板１３全体でみると、ギャップ部４c、４d直上だけが該ギャップ部４c、４dの高さ分だけ金属磁性膜が突起した状態となっている。更に、ステップＳ２３で分断溝１３aに充填した非磁性材料７ｃも金属磁性膜よりも若干突出した状態となっている。この状態で、金属磁性膜上を磁気テープが走行した場合、信号を記録する際、突出量の分だけスペーシングロスが発生する為、図２２のようにバフ研摩あるいはレンズ研摩により突出部を除去し、表面全体を均一に削る。以上により金属磁性膜4a、4b、及び非磁性材料７ｃが完成する。
【００８０】
ついで図２３のように、磁気コア基板１３を反転させ金属磁性膜形成面（テープ摺動面）とは反対の主面に巻線溝６を形成し、その後当該主面の巻線溝６以外の領域である接合面１４を、非磁性材料７ｂが当該接合面に露出する所までレンズ研磨する。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１４の表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ２４）  図２４のように磁気コア基板１３の接合面１４に、金属膜の蒸着膜を形成する。ここで、金属膜は、２層構造とする事が好ましく、第１の金属膜１５ａは、磁気コア基板１３と第２の金属膜１５ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる薄膜である。また、第２の金属膜１５ｂは、前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば厚さ１０〜２００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍで均一な厚さとなっているＡｕなどの蒸着膜である。
（ステップＳ２５)  図２５のように、複数の磁気コア半体１０の原板である磁気コア基板１６の、磁気コア基板１３と接合される接合面17aに、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａとサーボ信号記録ヘッドＨｂの磁気コア（１０ａと１０ｂ）を接合する非磁性材料７ａの位置に対応させた溝を形成し、該溝に硬質非磁性材料を充填した後、はみ出した硬質非磁性材料を研磨して接合面17aを平滑にする。
（ステップＳ２６）  ついで図２６のように、磁気コア基板１６の接合面１７aとは反対の主面１７bについて、当該面の平坦度が記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下となるように、非磁性材料７ａが主面17bに露出する所まで研磨し、ついで接合面１７aに磁気コア半体１０に対応させた巻線溝９を形成する。その後、接合面１７aをレンズ研磨等により平坦に仕上げる。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１７aの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度も記録媒体走行方向Ｌ及び記録媒体幅方向Ｗの一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ２７）  ついで図２７のように、磁気コア基板１６の接合面１７aについて、ステップＳ１４と同様の第１の金属膜１５ａ／第２の金属膜１５ｂの２層構造の蒸着膜を形成する。
（ステップＳ２８）  ステップＳ２４後の磁気コア基板１３と、ステップＳ１６後の磁気コア基板１６とを用い、磁気コア基板１３の接合面１４と磁気コア基板１６の接合面１７aとを向かい合わせ、図２８のように磁気コア基板１３の巻線溝６と磁気コア基板１６の巻線溝９とを位置合わせした後に、それぞれの第２の金属膜１５ｂ同士を接触させ、低温金属拡散接合を行う。
【００８１】
ここで、低温金属拡散接合とは、磁気コア基板１３の接合面１４に設けられた第２の金属膜１５ｂと磁気コア基板１６の接合面１７aに設けられた第２の金属膜１５ｂとを前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で第２の金属膜１５ｂの構成原子を相互拡散させて接合するものである。具体的には、Ａｕからなる第２の金属膜１５ｂの場合、１０〜２０ＭＰａ程度の圧力で両第２の金属膜１５ｂを突き合わせた状態で加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間の熱処理により接合が可能である。
（ステップＳ２９）  最後に図２９のように、磁気コア基板１３と磁気コア基板１６とが接合された合体基板を切断箇所ａ−ａ´にて切断し、磁気コアを構成する１列ずつの磁気コアブロックを得る。
【００８２】
その後、得られた磁気コアの巻線溝に導線を巻いて励磁コイルを形成し、図１７の磁気ヘッドを完成する。
【００８３】
つぎに、本実施形態例の磁気ヘッド（図１７）の製造方法の第二の例について、図１９及び図３０〜図３４を参照しながら工程別に説明する。
（ステップＳ３１)  まず図１９のように、複数の磁気コア半体５の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部及び双方の磁気コアを接合する非磁性材料の位置に対応させた溝を形成し、該溝に前記硬質非磁性材料を充填し融着させ、このときはみ出した硬質非磁性材料を研磨してベースガラス８を形成する。また同時にベースガラス８も含め、金属磁性膜形成面１２が平坦になるように研磨する。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ３２）  ついで図３０のように、磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上にＧａｐ部４ｃ、４ｄ、及びサーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの双方の金属磁性膜を分断する非磁性材料７ｃを形成する。
【００８４】
詳しくは、まず磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上ほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜をスパッタリング法により形成する。ついで、該非磁性硬質膜上にレジスト材料を均一の厚さでムラ無く塗り、Ｇａｐパターン及び、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの双方の金属磁性膜を分断する非磁性材料（７ｃ）のパターンが施されている半導体マスクを用いて、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部に対応するベースガラス８、及びサーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッド双方の磁気コアを接合する非磁性材料（７ｂ）に対応するベースガラス８上に、Ｇａｐパターン及び金属磁性膜を分断する非磁性材料（７ｃ）のパターンを合わせ込み、光を当て露光する。そして、この磁気コア基板１３を現像液に所定の時間浸し、前記マスクに従った不必要なレジストは溶解除去し必要な形状のみレジストを残す。ついで、リアクティブイオンエッチングあるいは、イオンエッチング法を使用して残存レジストから露出した不必要な非磁性硬質膜を除去し、ついで残ったＧａｐ部、及び金属磁性膜を分断する非磁性材料部のレジストの柱についてレジストを溶剤にて洗い流すことにより、ベースガラス上にＧａｐ部４ｃ、４ｄ、及び非磁性材料７ｃを得る。また、本工程において、非磁性材料７ｂの位置にあるベースガラス８が、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッド双方の磁気コアを接合する非磁性材料７ｂとなる。
【００８５】
次に、図３１のように金属磁性膜形成面１２上にスパッタリング法、蒸着法、プラズマＣＶＤ法のいずれかにより高飽和磁束密度を有する金属磁性膜４を成膜する。その後、磁気コア基板１３に熱処理を施こすことにより金属磁性膜４について良好な軟磁性特性を得る。
（ステップＳ３３）ついで、ステップＳ３２で形成した金属磁性膜は、磁気コア基板１３の表面形状に沿った形で成膜しているので、当該基板１３全体でみると、ギャップ部４c、４d、及び非磁性材料７ｃの直上が金属磁性膜が突起した状態となっている。この状態で、金属磁性膜上を磁気テープが走行した場合、信号を記録する際、突出量の分だけスペーシングロスが発生する為、図３２のように、バフ研摩あるいはレンズ研摩により突出部を除去し、表面全体を均一に削る。以上により金属磁性膜4a、4b、及び非磁性材料７ｂが完成する。その後図３３のように、磁気ヘッドとした場合に磁気テープがスムーズに摺動面に進入できることを目的とした、斜度をもつ肩落とし溝１３bを形成する。
【００８６】
ついで図３４のように、磁気コア基板１３を反転させ金属磁性膜形成面（テープ摺動面）とは反対の主面に巻線溝６を形成し、その後当該主面の巻線溝６以外の領域である接合面１４を、非磁性材料７ｂが当該接合面に露出する所までレンズ研磨する。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１４の表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
【００８７】
なお、これ以降の工程については本発明の磁気ヘッドの製造方法の第一の例のステップS２４〜S２９と同一となる為、説明を省略する。
【００８８】
以上、本実施形態例の製造方法により、直流消去用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜とサーボ信号記録用磁気ヘッドの摺動面となる金属磁性膜が非磁性材料で分断された、直流消去ヘッド・サーボ信号記録ヘッド一体型磁気ヘッドを実現する事が出来る。本実施形態例における磁気ヘッド（図１７）は、磁気テープが走行する際に磁性層から脱落してくる磁性粉が堆積する分断溝（１３ａ）が無い事から、図１５に示すような磁気テープと摺動面との隙間は発生せず、磁気テープに十分な記録磁界を加えた状態で消去信号及びサーボ信号を記録出来る為、サーボ信号再生時に再生出力が低下する事が無い。更に、図１６に示すようなヘッドクロッグも発生せず、ヘッドクロッグによりサーボ信号が記録出来なくなる問題も発生する事も無い。これにより、直流消去信号とサーボ信号を安定して記録する事が可能となり、走行する記録媒体のサーボバンド部に対して直流消去を行った後、前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号の記録行う方式において、サーボ信号再生時に高い再生出力を安定して得ることが出来る直流消去ヘッド・サーボ信号記録ヘッド一体型磁気ヘッドを実現する事が出来る。
（実施例２）
以下、本実施形態例の磁気ヘッドを実際に作製した例を説明する。
【００８９】
前述した磁気ヘッドの製造方法に従い、以下の条件で１／２インチ幅磁気テープ対応磁気ヘッドを作製した。
（１）金属磁性膜４；Ｆｅ−Ｔａ系微結晶膜  厚さ：３μm
（２）磁気コア５，１０；フェライト基板（寸法３０×３０×１．５ｍｍ）
（３）硬質非磁性材料；ガラス転移温度５５０℃
（４）金属磁性膜熱処理温度；４８０℃
（５）金属磁性膜分断用非磁性材料：二酸化珪素
以上の条件で作製した磁気ヘッドを用いて、ＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープに直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、ＬＴＯ-2ドライブにてサーボ信号を再生し評価した結果、サーボ信号再生時の再生出力の低下は発生せず、サーボ信号が記録されていない問題も発生しない事が確認された。
（比較例）
実施例と同一の条件で、金属磁性膜分断のみ分断溝にて行った磁気ヘッドを用いて、ＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープに直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、ＬＴＯ-2ドライブにてサーボ信号を再生し評価した結果、サーボ信号再生時の再生出力の低下や、サーボ信号が記録されていない問題が確認された。
【００９０】
次に本発明の他の実施形態例を説明する。前記図１、図１７の磁気ヘッドは、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａとサーボ信号記録ヘッドＨｂが互いに接近している為、サーボ信号を記録する際にサーボ信号記録ヘッド磁気コアから漏洩するサーボ信号磁界が直流消去ヘッド磁気コアに入り込み、直流消去ヘッド磁気コア内の直流消去磁界に干渉し、安定した直流消去が出来なくなり、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキがでる問題が発生した。
【００９１】
これを解決する目的で、互いに接近した２個の磁気ヘッドの磁気的な干渉を回避する手段として、２個の磁気ヘッドの間に、接地が取られた導電性非磁性金属材料を配する方法が一般に使われている事から、図１、図１７の直流消去ヘッドＨａと、サーボ信号記録ヘッドＨｂの間に配されている非磁性材料７ｂを、Ｃｕ、Ａｕ等の導電性非磁性金属材料を使用して当該磁気ヘッドを作製した所、直流消去ヘッドと、ヘッド製造工程の中の熱処理を施す工程において、直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの磁気コア（磁気コア基板１３、磁気コア半体５ａ，５ｂ）を形成するフェライト材料と、導電性非磁性材料との熱膨張率の差により発生する応力の為、磁気コアを形成するフェライト材料に図３５に示す様なヒビが多発し、歩留りが大幅に低下する問題が発生した。
【００９２】
本実施形態例は前記問題を解決するために、磁気ヘッドを図３６に示す構成とした。本構成例は、前記記録媒体との摺動面となり直流消去信号の磁路を構成する金属磁性膜4aを表面に有する直流消去ヘッド用磁気コア半体5aと、前記記録媒体との摺動面となりサーボ信号の磁路を構成する金属磁性膜4bを表面に有するサーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体5bが、非磁性材料7bを介して接合一体化されてなるフロントコア１と、巻線溝9ａを有する直流消去ヘッド用磁気コア半体10aと、巻線溝9bを有するサーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体10bが、非磁性材料7aを介して接合一体化されてなるバックコア２とが、接合部３で接合されてなる、直流消去、サーボ記録一体型磁気コアと、該磁気コアの巻線溝9ａ、9bに導線が巻かれてなる励磁コイル（図示せず）とを備える。
【００９３】
更に、直流消去ヘッド用磁気コア半体5aと非磁性材料7bの間には導電性非磁性薄膜材料7ｂ1が、サーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体5bと非磁性材料7bの間には導電性非磁性薄膜材料7ｂ2が配されている。また、直流消去ヘッド用磁気コア半体10aと非磁性材料７aの間には導電性非磁性薄膜材料7a1が、サーボ信号記録ヘッド用磁気コア半体10bと非磁性材料7aの間には導電性非磁性薄膜材料7a2が配されている。また、導電性非磁性薄膜材料7a1、7a2、7b1、7b2は、接合部３にて電気的に導通しており、ヘッド側面より露出した導電性非磁性材料7a1、7a2から導電性ペースト(図示せず)等によって接地が取られている。
【００９４】
ここで、金属磁性膜4a、4bは、Ｆｅ系微結晶膜、Ｆｅ−Ｔａ系微結晶膜、Ｆｅ-Ａｌ-Ｓｉ系膜、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金からなる膜が数μmの厚さで成膜されたものである。また、Ｇａｐ4c、4dは、ベースガラス8a、8b上に形成され金属磁性膜4a、4bを分断するように記録媒体摺動面まで達する高さを有する非磁性材からなる書き込みパターンである。記録媒体への記録に際しては、励磁コイルに電流が流されて発生する磁束をギャップ部4c、4dが妨げることにより、走行する記録媒体にそのギャップパターンを記録することができる。
【００９５】
磁気コア半体5a、5b、10a、10bを構成する材料は、従来公知の磁性材料であり、単結晶フェライト、多結晶フェライトのいずれでもよい。例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【００９６】
フロントコア１を構成する磁気コア半体5a、5bは、金属磁性膜4a、4bのギャップ部4c、4d直下に磁気記録媒体幅方向Ｗに延びる溝を有し、さらに該溝に硬質非磁性材料が充填され融着されてなるベースガラス8a、8bを有している。また、磁気コア半体5a、5bは硬質非磁性材料7bにより接合一体化されている。これらの硬質非磁性材料7b、8a、8bは、磁気コア半体5a、5bに融着して、ある程度の強度を確保することができる非磁性の材料であればよい。例えば、金属磁性膜の熱処理温度を考慮して、ガラス転移温度が金属磁性膜の熱処理温度よりも高い高融点ガラスを用いるのが好ましい。また、磁気コア半体5a、5bは、金属磁性膜4a、4b形成面とは反対面側に開口する巻線溝6ａ、6bを有している。
【００９７】
また、図３７（フロントコア１の断面図）に示されている金属磁性膜形成面12は、金属磁性膜4a、4bを形成する前に、磁気コア半体5a、 5b、導電性非磁性薄膜材料7b1、7b2、非磁性材料7b、ベースガラス8a、8bが一体となった状態で、レンズ研磨装置等を使って、段差の無い平坦な鏡面仕上げを施されている。かかる鏡面仕上げが施された金属磁性膜形成面12に、直流消去信号用Ｇａｐパターンとサーボ信号用Ｇａｐパターンが高精度に配置されている半導体マスクを用いて、フォトリソグラフィ技術により、磁気Ｇａｐ4c、4dを同時に形成した後、金属磁性膜4a、4bが同時に形成される。
【００９８】
また、前述の導電性非磁性薄膜材料7a1、7a2、7b1、7b2は、メッキ法、蒸着法、スパッタリング法等により形成される事から、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｃｒ、Ｔｉ等を用いる事が好ましい。また、これらの非磁性薄膜材料を互いに積層して用いても良い。更に、本導電性非磁性薄膜材料と、磁気コアを形成するフェライト材料との熱膨張率の差により発生する応力の影響を低減する為、導電性非磁性薄膜材料の厚みは５μｍ以下とする事が好ましい。
【００９９】
以上の構成により、本発明の磁気ヘッドは、直流消去用磁気ヘッドとサーボ信号記録用磁気ヘッドの接合部に配された導電性非磁性薄膜材料により、サーボ信号磁界の直流消去ヘッドの磁気コアへの入り込みが遮断されるため、安定した直流消去が出来る様になり、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキを低減する事ができる。また、本導電性非磁性薄膜材料の厚みを５μｍ以下とする事で、磁気コアを形成するフェライト材料と導電性非磁性材料との熱膨張率の差により発生する応力の影響を低減出来る為、磁気コアを形成するフェライト材料にヒビは発生せず、ヒビによる大幅な歩留りの低下も無い。
【０１００】
つぎに、本実施形態例の磁気ヘッド（図３６）の製造方法について、図３８〜図４８を参照しながら工程別に説明する。
（ステップＳ４１)  まず図３８のように、複数の磁気コア半体５の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの双方の磁気コアを接合する非磁性材料の位置に対応させた溝７を形成した後、該溝内面にメッキ法、蒸着法、スパッタリング法のいずれかにより、前記導電性非磁性薄膜材料７bbを形成する。
（ステップＳ４２)  次に図３９のように、複数の磁気コア半体５の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのGap部の位置に対応させた溝８を形成した後、該溝及び導電性非磁性薄膜材料７bbが形成された溝７に、前記硬質非磁性材料を充填し融着させ、このときはみ出した硬質非磁性材料、及び主面上の導電性非磁性薄膜材料７bbを研磨して非磁性材料７b,ベースガラス８a、８bを形成する。また同時にベースガラスも含め、金属磁性膜形成面１２が平坦になるように研磨する。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
(ステップＳ４３)  ついで図４０のように、磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上に金属磁性膜４、及びＧａｐ部４ｃ、４ｄを形成する。詳しくは、まず磁気コア基板１３の金属磁性膜形成面上ほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜をスパッタリング法により形成する。ついで、該非磁性硬質膜上にレジスト材料を均一の厚さでムラ無く塗り、Ｇａｐパターンが施されている半導体マスクを用いて、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドのＧａｐ部に対応するベースガラス８a、８b上にＧａｐパターンを合わせ込み、光を当て露光する。そして、この磁気コア基板１３を現像液に所定の時間浸し、前記マスクに従った不必要なレジストは溶解除去し必要な形状のみレジストを残す。ついで、リアクティブイオンエッチングあるいは、イオンエッチング法を使用して残存レジストから露出した不必要な非磁性硬質膜を除去し、ついで残ったＧａｐ部のレジストの柱についてレジストを溶剤にて洗い流すことにより、ベースガラス上にＧａｐ部４ｃ、４ｄを得る。
【０１０１】
次に、金属磁性膜形成面１２上にスパッタリング法、蒸着法、プラズマＣＶＤ法のいずれかにより高飽和磁束密度を有する金属磁性膜４を成膜する。その後、磁気コア基板１３に熱処理を施こすことにより金属磁性膜４について良好な軟磁性特性を得る。
（ステップＳ４４）  ついで図４１のように、サーボバンド部直流消去ヘッドとサーボ信号記録ヘッドの双方の金属磁性膜が、磁気的に干渉しない様、双方の磁気コアを接合する非磁性材料７b上の金属磁性膜を分断溝１３aにて除去した後、磁気ヘッドとした場合に磁気テープがスムーズに摺動面に進入できることを目的とした、斜度をもつ肩落とし溝１３bを形成する。
【０１０２】
また、ステップＳ４３で形成した金属磁性膜は、磁気コア基板１３の表面形状に沿った形で成膜しているので、当該基板１３全体でみると、ギャップ部４c、４d直上だけが該ギャップ部４c、４dの高さ分だけ金属磁性膜が突起した状態となっている。この状態で、金属磁性膜上を磁気テープが走行した場合、信号を記録する際、突出量の分だけスペーシングロスが発生する為、バフ研摩あるいはレンズ研摩により突出部を除去し、表面全体を均一に削る。以上により金属磁性膜4a、4bが完成する。
（ステップＳ４５）  ついで、磁気コア基板１３を反転させ図４２のように、金属磁性膜形成面（テープ摺動面）とは反対の主面に巻線溝６を形成し、その後当該主面の巻線溝６以外の領域である接合面１４を、非磁性材料７bが当該接合面に露出する所までレンズ研磨する。本研磨作業により、溝内面に形成された導電性非磁性薄膜材料7bbは、それぞれ7b1、7b2に分割される。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１４の表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）は、磁気テープ走行方向及び幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ４６）  磁気コア基板１３の接合面１４に、金属膜の蒸着膜を形成する（図４３）。ここで、当該金属膜が導電性非磁性薄膜材料７ｂ１、７ｂ２に接触し電気的に導通状態になると、直流消去信号及びサーボ信号を記録する際、本金属膜により、直流消去ヘッド磁気コア５a、１０a内の直流消去磁界の流れ、及びサーボ信号記録ヘッド磁気コア５b、１０b内のサーボ信号磁界の流れが妨げられる為、金属膜形成の際はマスキング等を行い、図４３の様に、磁気コア上の金属膜が、導電性非磁性薄膜材料７ｂ１、７ｂ２に接触しない様にする事が好ましい。また、本金属膜は、２層構造とする事が好ましく、第１の金属膜１５ａは、磁気コア基板１３と第２の金属膜１５ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる薄膜である。また、第２の金属膜１５ｂは、前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば厚さ１０〜２００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍで均一な厚さとなっているＡｕなどの蒸着膜である。
（ステップＳ４７)  図４４のように、複数の磁気コア半体１０の原板である磁気コア基板１６の、磁気コア基板１３と接合される接合面１７aに、サーボバンド部直流消去ヘッドＨａとサーボ信号記録ヘッドＨｂの磁気コア（１０ａと１０ｂ）を接合する非磁性材料７ａの位置に対応させた溝を形成し、該溝内面にメッキ法、蒸着法、スパッタリング法のいずれかにより、導電性非磁性薄膜材料７ａａを形成した後、該溝に硬質非磁性材料７ａを充填し、はみ出した硬質非磁性材料７ａ及び接合面17a上の導電性非磁性薄膜材料７ａａを研磨して、接合面17aを平滑にする。
（ステップＳ４８）  ついで図４５のように、磁気コア基板１６の接合面１７aとは反対の主面１７bについて、当該面の平坦度が記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下となるように、非磁性材料７ａが主面17bに露出する所まで研磨する。本研磨作業により、溝内面に形成された導電性非磁性薄膜材料７aａは、それぞれ７a1、７a2に分割される。ついで接合面１７aに磁気コア半体１０に対応させた巻線溝９を形成する。その後、接合面１７aをレンズ研磨等により平坦に仕上げる。なお、後工程で接合用の金属膜を形成することから、接合面１７aの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度も記録媒体走行方向Ｌ及び記録媒体幅方向Ｗの一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
（ステップＳ４９）ついで図４６のように、磁気コア基板１６の接合面１７aについて、ステップＳ４６と同様の第１の金属膜１５ａ／第２の金属膜１５ｂの２層構造の蒸着膜を形成する。なお、ステップＳ４６の説明と同様の理由により、金属膜形成の際は、マスキング等を行い、図４６の様に、磁気コア上の金属膜が、導電性非磁性薄膜材料７a1、７a2に接触しない様にする事が好ましい。
（ステップＳ５０）  ステップＳ４６後の磁気コア基板１３と、ステップＳ４９後の磁気コア基板１６とを用い、図４７のように磁気コア基板１３の接合面１４と磁気コア基板１６の接合面１７aとを向かい合わせ、磁気コア基板１３の巻線溝６と磁気コア基板１６の巻線溝９とを位置合わせした後に、それぞれの第２の金属膜１５ｂ同士を接触させ、低温金属拡散接合を行う。
【０１０３】
ここで、低温金属拡散接合とは、磁気コア基板１３の接合面１４に設けられた第２の金属膜１５ｂと磁気コア基板１６の接合面１７aに設けられた第２の金属膜１５ｂとを前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で第２の金属膜１５ｂの構成原子を相互拡散させて接合するものである。具体的には、Ａｕからなる第２の金属膜１５ｂの場合、１０〜２０ＭＰａ程度の圧力で両第２の金属膜１５ｂを突き合わせた状態で加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間の熱処理により接合が可能である。
【０１０４】
また、本接合工程において、導電性非磁性薄膜材料7a1、7a2、7b1、7b2は、接合部にて金属膜を介して、電気的に導通する。
（ステップＳ５１）  最後に図４８のように、磁気コア基板１３と磁気コア基板１６とが接合された合体基板を切断箇所ａ−ａ´にて切断し、磁気コアを構成する１列ずつの磁気コアブロックを得る。
【０１０５】
その後、得られた磁気コアの巻線溝に導線を巻いて励磁コイルを形成し、磁気ヘッド側面に露出した導電性非磁性薄膜材料7a1、7a2を導電性ペースト等により接地させる事により、図３６の磁気ヘッドを完成する。
【０１０６】
以上、本実施形態例の製造方法により、直流消去用磁気ヘッドＨａとサーボ信号記録用磁気ヘッドＨｂの接合部が、導電性非磁性薄膜材料で磁気的に遮断された、直流消去ヘッド・サーボ信号記録ヘッド一体型磁気ヘッドを実現する事が出来る。
【０１０７】
尚本実施形態例における導電性非磁性薄膜材料7a1,7a2,7b1,7b2は、前記非磁性材料７ｃを有した図１７の磁気ヘッドに設けるように構成しても良い。その場合も前記と同様の作用、効果を奏する。
【０１０８】
本実施形態例の磁気ヘッドにおいては、サーボ信号を記録する際に発生する、サーボ信号記録ヘッド磁気コアからの漏洩磁界の直流消去ヘッド磁気コアへの入り込みが、直流消去用磁気ヘッドとサーボ信号記録用磁気ヘッドの接合部に配された導電性非磁性薄膜材料により遮断されるため、安定した直流消去が出来る様になる。
【０１０９】
また、導電性非磁性薄膜材料の厚みを５μｍ以下とする事で、磁気コアを形成するフェライト材料との熱膨張率の差により発生する応力の影響を低減出来る為、磁気コアを形成するフェライト材料にヒビは発生せず、ヒビにより大幅に歩留りが低下する事も無い。
【０１１０】
これにより、走行する記録媒体のサーボバンド部に対して直流消去を行った後、前記直流消去とは逆方向の磁界によりサーボ信号の記録行う方式において、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキが無い直流消去ヘッド・サーボ信号記録ヘッド一体型磁気ヘッドを、安定した歩留りにて実現する事が出来る。
（実施例３）
以下、本実施形態例の磁気ヘッドを実際に作製した例を説明する。
【０１１１】
前述した磁気ヘッドの製造方法に従い、以下の条件で１／２インチ幅磁気テープ対応磁気ヘッドを作製した。
（１）金属磁性膜４；Ｆｅ−Ｔａ系微結晶膜  厚さ：３μm
（２）磁気コア５，１０；フェライト基板（寸法３０×３０×１．５ｍｍ）
（３）導電性非磁性薄膜材料；Ｔｉ-Ｃｕ-Ｃｒ積層膜、厚さ２μm （Ｃｕはメッキ法、Ｔｉ及びＣｒは蒸着法にて形成）  
（４）硬質非磁性材料；高融点ガラス（ガラス転移温度５５０℃）
（５）硬質非磁性材料充填温度；８００℃
（６）金属磁性膜熱処理温度；４８０℃
（７）低温金属拡散接合温度；３００℃
以上の条件で作製した磁気ヘッドを用いて、ＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープに直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、ＬＴＯ-2ドライブにてサーボ信号を再生し評価した結果、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキは、前記表１と同様に０．３ｄＢ以下である事が確認された。
【０１１２】
また、本ヘッドの製造方法では、硬質非磁性材料の充填、金属磁性膜の熱処理、磁気コア基板１３と磁気コア基板１６の接合の３工程において熱処理が施されるが、いずれの工程においても磁気コアを形成するフェライト材料にヒビは発生せず、歩留りの低下も無い事が確認された。
（比較例-1）
実施例３の条件で、前記図３６の導電性非磁性材料7a1,7a2,7b1,7b2を配さない磁気ヘッドを作製し、本磁気ヘッドを用いてＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープに直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、ＬＴＯ-2ドライブにてサーボ信号を再生し評価した結果、サーボ信号再生時において１〜２ｄＢの再生出力バラツキが確認された。
（比較例-2）
実施例３の条件で、前記導電性非磁性材料7a1,7a2,7b1,7b2を配さず、更に前記図３６の非磁性材料７ａ，７ｂの部分の硬質非磁性材料をメッキ法によるCuとした磁気ヘッドを作製し、本磁気ヘッドを用いてＬＴＯフォーマット用1/2インチ幅磁気テープに直流消去信号とサーボ信号の記録を行い、ＬＴＯ-2ドライブにてサーボ信号を再生し評価した結果、サーボ信号再生時の再生出力のバラツキは、０．３ｄＢ以下である事が確認された。
【０１１３】
しかしながら、本ヘッドの金属磁性膜の熱処理時、及び磁気コア基板１３と磁気コア基板１６の接合の過熱時において、磁気コアを形成するフェライト材料にヒビが多発し、また、ヒビに起因するヘッドの割れも多発し、歩留りが大幅に低下した。
（比較例-3）
実施例３の条件で、前記導電性非磁性材料7a1,7a2,7b1,7b2の厚みを下記表３の通り設定した磁気ヘッドを作製し、磁気コアを形成するフェライト材料のヒビ、割れの発生状態を確認した結果、前記導電性非磁性材料の厚みは５μｍ以下が好ましい事が確認された。
【０１１４】
【表３】
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【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの斜視図。
【図２】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの要部断面略図。
【図３】本発明における直流消去信号記録用ギャップとサーボ信号記録用ギャップの関係を示す説明図。
【図４】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図５】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図６】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図７】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図８】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図９】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図１０】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図１１】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図１２】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図１３】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図１４】本発明の一実施形態例の磁気ヘッドの斜視図。
【図１５】図１４の磁気ヘッドの問題点を表す説明図。
【図１６】図１４の磁気ヘッドの問題点を表す説明図。
【図１７】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの斜視図。
【図１８】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの要部断面略図。
【図１９】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図２０】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図２１】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図２２】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図２３】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図２４】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図２５】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図２６】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図２７】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図２８】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図２９】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図３０】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の他の例を示す要部断面略図。
【図３１】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の他の例を示す要部断面略図。
【図３２】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の他の例を示す要部断面略図。
【図３３】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の他の例を示す要部断面略図。
【図３４】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の他の例を示す要部斜視図。
【図３５】図１の磁気ヘッドの問題点を表す説明図。
【図３６】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの斜視図。
【図３７】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの要部断面略図。
【図３８】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図３９】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図４０】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図４１】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図４２】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図４３】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図４４】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部説明図。
【図４５】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部斜視図。
【図４６】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図４７】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図４８】本発明の他の実施形態例の磁気ヘッドの製造方法の製造工程の一例を示す要部断面略図。
【図４９】本発明に係る磁気テープの記録パターンの一例を示す説明図。
【図５０】従来のサーボ信号記録装置の一例を示す構成図。
【図５１】従来のサーボ信号記録方法の問題点を表す説明図。
【図５２】従来の直流消去およびサーボ信号記録の一例を示す構成図。
【図５３】従来の直流消去およびサーボ信号記録の問題点を表す説明図。
【図５４】従来の直流消去およびサーボ信号記録を行う磁気ヘッドの問題点を表す説明図。
【符号の説明】
【０１１６】
１…フロントコア、２…バックコア、３…接合部、４ａ，４ｂ…金属磁性膜、４ｃ、４ｄ…ギャップ部、５ａ，５ｂ，１０ａ，１０ｂ…磁気コア半体、６ａ，６ｂ、９ａ，９ｂ…巻線溝、７ａ，７ｂ，７ｃ…非磁性材料、７ａａ，７ａ１，７ａ２，７ｂｂ，７ｂ１，７ｂ２…導電性非磁性薄膜材料、８ａ，８ｂ…ベースガラス、１２…金属磁性膜形成面、１３，１６…磁気コア基板、１３ａ…分断溝、１５ａ…第１の金属膜、１５ｂ…第２の金属膜、Ｈａ…直流消去用磁気ヘッド、Ｈｂ…直流消去用磁気ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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