(57)【要約】【課題】小流量から大流量まで様々な原料ガスの流量が要求される場合に，気化効率を低下させることなくその原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できるようにする。【解決手段】気化器３００は，液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュール３１０を複数連結してなり，各気化モジュールは，液状原料を吐出する吐出口と，吐出口から吐出された液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化室３７０と，他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路３２０と，液状原料流路の途中に連通し，液状原料流路を流れる液状原料を吐出口に導く噴霧ノズルとを備え，各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結してなり，
前記各気化モジュールは，
前記液状原料を吐出する吐出口と，
前記吐出口から吐出された液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化室と，
少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路と，
前記液状原料流路の途中に連通し，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記吐出口に導く吐出流路と，
を備え，
前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通することを特徴とする気化器。
【請求項２】
前記各気化モジュールは，断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，
前記各気化モジュールの液状原料流路は，互いに平行する一対の結合面を貫通して形成されることを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項３】
前記各気化モジュールは，一列に連結されることによって，前記各気化モジュールの液状原料流路が直線状に連通し，
先頭の気化モジュールの液状原料流路の始端の開口部には液状原料供給源が接続されるとともに，末尾の気化モジュールの液状原料流路の終端の開口部は閉塞されることを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項４】
前記各気化モジュールは，複数の列に連結されることによって，前記各列における各気化モジュールの液状原料流路がそれぞれ直線状に連通し，
各列先頭の気化モジュールには液状原料供給源からの液状原料を前記列の数だけ分流する流路が形成された流路ブロックが連結され，
各列先頭の気化モジュールの液状原料流路の始端の開口部にはそれぞれ前記液状原料供給源からの液状原料が前記流路ブロックの流路を介して供給されるとともに，各列末尾の気化モジュールの液状原料流路の終端の開口部はそれぞれ閉塞されることを特徴とする請求項２に記載の気化器。
【請求項５】
前記各気化モジュールは，断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，
前記各気化モジュールの液状原料流路は，少なくとも隣り合う２つ以上の結合面を貫通して形成されることを特徴とする請求項１に記載の気化器。
【請求項６】
前記各気化モジュールの液状原料流路は，すべての結合面を貫通して形成され，
前記各気化モジュールは，列方向に連結されるとともに，この列方向と直交する行方向にも連結されることによって，前記各気化モジュールの液状原料流路が列方向に連通するとともに行方向にも連通し，
他の気化モジュールと結合されない結合面に開口する前記液状原料流路の開口部のうちの１つに液状原料供給源が接続されるとともに，それ以外の前記液状原料流路の開口部はすべて閉塞されることを特徴とする請求項５に記載の気化器。
【請求項７】
前記各気化モジュールは行方向と列方向にマトリクス状に連結したことを特徴とする請求項６に記載の気化器。
【請求項８】
前記各気化モジュールは行方向と列方向にマトリクス状に連結し，
前記各気化モジュールの液状原料流路は，他の気化モジュールに結合される結合面のみを貫通して形成されることを特徴とする請求項５に記載の気化器。
【請求項９】
液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結してなり，
前記各気化モジュールは，
少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路及び同じ結合面を貫通して形成される原料ガス流路と，
前記液状原料流路と前記原料ガス流路との間にこれら流路に直行する方向に縦長に設けられる気化室と，
前記気化室の一端に設けられ，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記気化室へ向けて吐出する吐出口と，
前記気化室の他端に設けられ，前記吐出口から吐出された液状原料が気化して生成された原料ガスを前記原料ガス流路へ送出するための原料ガス出口と，
を備え，
前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通するとともに，前記各気化モジュールの原料ガス流路もすべて連通することを特徴とする気化器。
【請求項１０】
前記各気化モジュールは，前記吐出口から吐出される液状原料とともに前記気化室に向けて噴出されるキャリアガスを流すキャリアガス流路を備え，
前記各気化モジュールのキャリアガス流路は，前記液状原料流路が貫通する結合面と同じ面に貫通して形成され，
前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路のみならず，前記各気化モジュールのキャリアガス流路もすべて連通することを特徴とする請求項１または９に記載の気化器。
【請求項１１】
前記各気化モジュールは，前記キャリアガス流路からのキャリアガスを噴出するキャリアガス噴出口を設け，
前記キャリアガス噴出口の径を前記吐出口の径よりも大きく構成して，前記吐出口を前記キャリアガス噴出口内に配置したことを特徴とする請求項１０に記載の気化器。
【請求項１２】
前記キャリアガス流路は，前記吐出流路に連通し，前記吐出流路内で液状原料とキャリアガスが混合されて，前記吐出口から前記気化室に向けて吐出されることを特徴とする請求項１０に記載の気化器。
【請求項１３】
前記各気化モジュールの液状原料流路は，キャリアガスと混合した液状原料を流すことを特徴とする請求項１または９に記載の気化器。
【請求項１４】
前記各気化モジュールは，前記気化室を加熱する加熱手段を前記気化室の側壁内に配設したことを特徴とする請求項１または９に記載の気化器。
【請求項１５】
前記各気化モジュールは，前記気化室を加熱する加熱手段を前記気化室内に配設したことを特徴とする請求項１または９に記載の気化器。
【請求項１６】
液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結してなる気化器における気化モジュールであって，
前記液状原料を吐出する吐出口と，
前記吐出口から吐出された液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化室と，
少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路と，
前記液状原料流路の途中に連通し，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記吐出口に導く吐出流路と，
を備えることを特徴とする気化モジュール。
【請求項１７】
前記気化モジュールは，断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，
前記液状原料流路は，互いに平行する一対の結合面を貫通して形成されることを特徴とする請求項１６に記載の気化モジュール。
【請求項１８】
前記気化モジュールは，断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，
前記液状原料流路は，少なくとも隣り合う２つ以上の結合面を貫通して形成されることを特徴とする請求項１６に記載の気化モジュール。
【請求項１９】
前記気化室で生成された前記原料ガスを流す原料ガス流路を備え，
前記原料ガス流路は，前記液状原料流路が貫通する結合面と同じ結合面を貫通して形成されることを特徴とする請求項１６に記載の気化モジュール。
【請求項２０】
前記気化室は，前記液状原料流路と前記原料ガス流路との間にこれら流路と直行する方向に縦長に設けられ，
前記気化室の一端側には前記吐出口が配設され，
前記気化室の他端側には前記気化室で生成された原料ガスを前記原料ガス流路へ送出するための原料ガス出口が形成されることを特徴とする請求項１９に記載の気化モジュール。
【請求項２１】
前記吐出口から吐出される液状原料とともに前記気化室に向けて噴出されるキャリアガスを流すキャリアガス流路を備え，
前記キャリアガス流路は，前記液状原料流路が貫通する結合面と同じ面に貫通して形成されることを特徴とする請求項１６に記載の気化モジュール。
【請求項２２】
液状原料流路を介して導入した液状原料を気化させて原料ガスを生成し，その原料ガスを原料ガス流路を介して導出する気化器と，前記気化器からの原料ガスを導入して被処理基板に対して成膜処理を行う成膜室とを有する成膜装置であって，
前記気化器は，ブロック状の気化モジュールを複数連結してなり，
前記各気化モジュールは，少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路及び同じ結合面を貫通して形成される原料ガス流路と，前記液状原料流路と前記原料ガス流路との間に設けられる気化室と，前記気化室の一端側に設けられ，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記気化室へ向けて吐出する吐出口と，前記気化室の他端側に設けられ，前記吐出口から吐出された液状原料が気化して生成された原料ガスを前記原料ガス流路へ送出するための原料ガス出口とを備え，
前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通して前記気化器の原料ガス流路を構成することを特徴とする成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化器，気化器を構成する気化モジュール，および気化器を備えた成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に，誘電体，金属，半導体などで構成された各種薄膜を成膜する方法として，有機金属化合物などの有機原料ガスを成膜室に供給し，酸素やアンモニアなどの他のガスと反応させて成膜する化学気相成長（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法が知られている。このようなＣＶＤ法で用いられる有機原料には，常温で液体あるいは固体であるものが多いため，有機原料を気化させるための気化器が必要になる。例えば上記有機原料は，通常，溶媒を用いて希釈したり，溶解させたりすることによって液状原料とされる。
【０００３】
この液状原料は，気化器に設けられた噴霧ノズルから加熱された気化室内に例えばキャリアガスの流れに乗って噴霧されることによって気化され，原料ガスとなる。この原料ガスは成膜室に供給され，ここで他のガスと反応することによって基板上に所定の膜が形成される（例えば特許文献１〜５参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−５８５２８号公報
【特許文献２】特開２００５−１０９３４９号公報
【特許文献３】特開平３−１２６８７２号公報
【特許文献４】特開平６−３１０４４４号公報
【特許文献５】特開平７−９４４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで，気化器に要求される原料ガスの流量は，液状原料の種類やその原料ガスを用いて行われる成膜などのプロセス処理の内容によって異なる。このため，従来は気化器に要求される原料ガスの流量に応じて液状原料の気化効率が最も高くなるように噴霧ノズルの吐出口やキャリアガス流路の大きさなどが設計された気化器を設けるようにしていた。従って，従来は原料ガスを用いたプロセス処理の内容が変更になると，気化器全体をそのプロセス処理に必要な原料ガス流量に対応する別の気化器に交換する必要があった。
【０００６】
しかしながら，このようにプロセス処理の内容が変更になる度に，気化器全体を交換していたのでは，その都度，その原料ガス流量に合わせた気化器を設計し，その気化器の信頼性評価を行う必要が生じるため，結果として製造スループットが低下するとともに気化器の開発コストが増大するという問題があった。さらに，上記原料ガスの流量に応じた多くの種類の気化器を管理する必要が生じるなど気化器の管理も煩雑になる。
【０００７】
また，上述したような噴霧ノズルから噴出された液状原料を気化して原料ガスを生成する気化器においては，気化効率の観点から噴霧ノズルの吐出口をできる限り小さくして，できる限り小さいサイズの液滴を噴出させることが望まれる。
【０００８】
このように噴霧ノズルの吐出口をできる限り小さくした場合，原料ガス流量を増やすためには，例えばキャリアガスの流量を多くすればよいとも考えられる。ところが，キャリアガスの流量を増やすにも限界があるので，従来，原料ガスの流量をより多くするには噴霧ノズルの吐出口を大きくせざるを得なかった。これでは，噴霧ノズルから噴出される液状原料の液滴のサイズも大きくなってしまい，気化効率が低下してしまう。このように，従来の気化器では，気化効率を維持しつつ原料ガス流量を大流量にすることは極めて困難であった。
【０００９】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，小流量の原料ガスが要求される場合から大流量の原料ガスが要求される場合まで，様々な原料ガスの流量が要求される場合に，気化効率を低下させることなくその原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる気化器等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結してなり，前記各気化モジュールは，前記液状原料を吐出する吐出口と，前記吐出口から吐出された液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化室と，少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路と，前記液状原料流路の途中に連通し，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記吐出口に導く吐出流路とを備え，前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通することを特徴とする気化器が提供される。
【００１１】
このような発明によれば，各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通して，共通の原料液室として機能する。これにより，連結された各気化モジュールのうち少なくとも一つの気化モジュールの液状原料流路に液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結された各気化モジュールの液状原料流路を経由してその他の気化モジュールにも液状原料が供給されて充填されるので，各気化モジュールの吐出流路を介して吐出口から一斉に液状原料を吐出させて，各気化モジュールの気化室にて液状原料を気化させることができる。このため，連結する気化モジュールの数を増減させるだけで，気化器全体で生成される原料ガスの流量を簡単に調整することができる。
【００１２】
したがって，小流量の原料ガスが要求される場合から大流量の原料ガスが要求される場合まで，様々な原料ガスの流量が要求される場合に，その原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる。しかも，原料ガスの流量に応じて各気化モジュールの噴霧ノズルの吐出口の大きさなどを変更する必要がないため，プロセス処理の内容が変わる度に各気化モジュールを設計し直す必要もないので，気化効率を維持したまま，原料ガスの流量を増加できる気化器を簡単に構成することができる。このため，製造スループットの低下を抑えることができるとともに，新たな気化器の開発コストもかからない。また，同じ種類の気化モジュールを管理するだけでよいので，気化器の管理も容易になる。さらに，気化モジュールをブロック状に形成し，複数の気化モジュールをその結合面で結合するので，複数の気化モジュールを集積させて気化器全体を極めてコンパクトに構成することができるようになる。
【００１３】
また，上記各気化モジュールは，例えば断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，前記各気化モジュールの液状原料流路は，互いに平行する一対の結合面を貫通して形成される。このような構成の気化モジュールであれば，一列に連結することによって，前記各気化モジュールの液状原料流路を直線状に連通させることができる。この場合，先頭の気化モジュールの液状原料流路の始端の開口部には液状原料供給源が接続し，末尾の気化モジュールの液状原料流路の終端が開口している場合にはその開口部を閉塞することによって，各気化モジュールの液状原料流路が連結して共通の原料液室として機能させることができる。これにより，先頭の気化モジュールの液状原料流路に液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結された各気化モジュールの液状原料流路を経由して末尾の気化モジュールまで液状原料が供給されて充填されるので，各気化モジュールの吐出流路を介して吐出口から一斉に液状原料を吐出させることができる。
【００１４】
また，上記各気化モジュールは，複数の列に連結して，各列における各気化モジュールの液状原料流路がそれぞれ直線状に連通するようにしてもよい。この場合には，各列先頭の気化モジュールに液状原料供給源からの液状原料を前記列の数だけ分流する流路が形成された流路ブロックを連結し，各列先頭の気化モジュールの液状原料流路の始端の開口部に液状原料供給源からの液状原料が前記流路ブロックの流路を介して供給するとともに，各列末尾の気化モジュールの液状原料流路の終端が開口する場合にはその開口部を閉塞することによって，各気化モジュールの液状原料流路が連結して共通の原料液室として機能させることができる。これにより，流路ブロックを介して各列の先頭の気化モジュールの液状原料流路に液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結された各気化モジュールの液状原料流路を経由して各列の末尾の気化モジュールまで液状原料が供給されて充填されるので，各気化モジュールの吐出流路を介して吐出口から一斉に液状原料を吐出させることができる。
【００１５】
また，上記各気化モジュールは，例えば断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，前記各気化モジュールの液状原料流路は，少なくとも隣り合う２つ以上の結合面を貫通して形成される。このような構成の気化モジュールであれば，例えば各気化モジュールの液状原料流路をすべての結合面を貫通して形成し，前記各気化モジュールは，列方向に連結するとともに，この列方向と直交する行方向にも連結することによって，前記各気化モジュールの液状原料流路を列方向に連通させるとともに行方向にも連通させることができる。
【００１６】
この場合，他の気化モジュールと結合されない結合面に開口する前記液状原料流路の開口部のうちの１つに液状原料供給源が接続されるとともに，それ以外の前記液状原料流路の開口部はすべて閉塞されることによって，各気化モジュールの液状原料流路が連結して共通の原料液室として機能させることができる。この場合には，各気化モジュールの液状原料流路が列方向のみならず，行方向にも連通するので，ある気化モジュールの結合面に開口する液状原料流路に液状原料を所定の圧力で供給すれば，連通した液状原料流路を経由してすべての気化モジュールに液状原料が供給されて充填され，各気化モジュールの吐出流路を介して吐出口から一斉に液状原料を吐出させることができる。このため，各気化モジュール間の液状原料の流通をより円滑にすることができ，液状原料供給源からの液状原料を分流する流路ブロックも必要なくなる。
【００１７】
また，このような各気化モジュールを行方向と列方向にマトリクス状に連結することにより，多数の気化モジュールをよりコンパクトに集積させることができる。さらに，上記各気化モジュールの液状原料流路は，他の気化モジュールに結合される結合面のみを貫通して形成し，各気化モジュールを行方向と列方向にマトリクス状に連結するようにしてもよい。これによれば，各気化モジュールの側面のうち，他の気化モジュールに結合されない側面には液状原料流路が開口しないので，液状原料流路を閉塞する必要をなくすことができる。
【００１８】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結してなり，前記各気化モジュールは，少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路及び同じ結合面を貫通して形成される原料ガス流路と，前記液状原料流路と前記原料ガス流路との間にこれら流路に直行する方向に縦長に設けられる気化室と，前記気化室の一端側に設けられ，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記気化室へ向けて吐出する吐出口と，前記気化室の他端側に設けられ，前記吐出口から吐出された液状原料が気化して生成された原料ガスを前記原料ガス流路へ送出するための原料ガス出口とを備え，前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通するとともに，前記各気化モジュールの原料ガス流路もすべて連通することを特徴とする気化器が提供される。
【００１９】
このような発明によれば，各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通して共通の原料液室として機能するとともに，各気化モジュールの原料ガス流路がすべて連通する。これにより，連結された各気化モジュールのうち少なくとも一つの気化モジュールの液状原料流路に液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結された各気化モジュールの液状原料流路を経由してその他の気化モジュールにも液状原料が供給されて充填されるので，各気化モジュールの吐出流路を介して吐出口から一斉に液状原料を吐出させることができる。そして，各気化モジュールの気化室内で生成された原料ガスを各原料ガス流路を経由して一括して気化器の外部へ送出することができる。このため，連結する気化モジュールの数を増減させるだけで，気化器から送出される原料ガスの流量を簡単に調整することができる。
【００２０】
また，上記各気化モジュールには，前記吐出口から吐出される液状原料とともに前記気化室に向けて噴出されるキャリアガスを流すキャリアガス流路を備え，前記各気化モジュールのキャリアガス流路は，前記液状原料流路が貫通する結合面と同じ面に貫通して形成するようにしてもよい。これによれば，各気化モジュールをその結合面で他の気化モジュールに結合することにより，各気化モジュールの液状原料流路のみならず，各気化モジュールのキャリアガス流路もすべて連通させることができるので，１つの気化モジュールのキャリアガス流路にキャリアガスを供給すれば，連通したキャリアガス流路を経由して各気化モジュールにキャリアガスを供給することができるので，各気化モジュールにおいてキャリアガスを液状原料とともに気化室に向けて一斉に噴出させることができる。
【００２１】
この場合，各気化モジュールは，例えば前記キャリアガス流路からのキャリアガスを噴出するキャリアガス噴出口を設け，前記キャリアガス噴出口の径を前記吐出口の径よりも大きく構成して，前記吐出口を前記キャリアガス噴出口内に配置することが好ましい。これによれば，吐出口の周りからキャリアガスを噴出することができるので，吐出口から吐出される液状原料の液滴を確実に気化室に向けて飛行させることができる。
【００２２】
なお，上記キャリアガス噴出口の径を前記キャリアガス流路の径よりも小さく構成することが好ましい。例えばキャリアガス噴出口の径を前記キャリアガス流路の径の１／１０以下にすることによって，キャリアガス流路のコンダクタンスをほとんど低下させることなく，キャリアガスを流通させることができる。
【００２３】
また，上記キャリアガス流路は，前記吐出流路に連通することにより，前記吐出流路内で液状原料とキャリアガスが混合されて，前記吐出口から前記気化室に向けて吐出されるようにしてもよい。また，上記各気化モジュールの液状原料流路には，キャリアガスと混合した液状原料を流すようにしてもよい。このように，液状原料とキャリアガスは気化室に噴出される際に混合されるようにしてもよく，また気化室に噴出される前に混合されるようにしてもよい。
【００２４】
前記各気化モジュールは，前記気化室を加熱する加熱手段を前記気化室の側壁内と前記気化室内のいずれか一方に備えることが好ましく，またこれらの両方に備えるようにしてもよい。気化室の側壁内と前記気化室内の両方に加熱手段を設けることにより，各気化室における液状原料の気化効率をより高めることができる。これにより，気化室の両端の長さをより短くすることができるので，各気化モジュールの側面に沿った長さ方向の大きさもより小さくすることができ，ひいては気化器全体をコンパクトに構成することができる。
【００２５】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結してなる気化器における気化モジュールであって，前記液状原料を吐出する吐出口と，前記吐出口から吐出された液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化室と，少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路と，前記液状原料流路の途中に連通し，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記吐出口に導く吐出流路とを備えることを特徴とする気化モジュールが提供される。このような本発明によれば，同じ構成の気化モジュールを複数個連結して気化器を構成することができるとともに，連結する気化モジュールの数を増減させるだけで，気化器全体で生成される原料ガスの流量を簡単に調整することができる。
【００２６】
また，上記気化モジュールは，例えば断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，前記液状原料流路は，互いに平行する一対の結合面を貫通して形成される。このような気化モジュールによれば，同じ構成の気化モジュールを一列又は複数列に複数連結した気化器を構成することができる。また，上記気化モジュールは，例えば断面矩形の外形をなし，その側面を他の気化モジュールと結合される結合面とし，前記液状原料流路は，少なくとも隣り合う２つ以上の結合面を貫通して形成されるように構成してもよい。このような気化モジュールによれば，同じ構成の気化モジュールを列方向及び行方向に複数連結した気化器を構成することができる。
【００２７】
また，前記気化室で生成された前記原料ガスを流す原料ガス流路を備え，前記原料ガス流路は，上記液状原料流路が貫通する結合面と同じ結合面を貫通して形成することが好ましい。これによれば，各気化モジュールの気化室内で生成された原料ガスを各原料ガス流路を経由して一括して気化器の外部へ送出することができる。
【００２８】
また，上記気化室は，例えば前記液状原料流路と前記原料ガス流路との間に側面に沿って設けられ，前記気化室の一端側には前記吐出口が配設され，前記気化室の他端側には前記気化室で生成された原料ガスを前記原料ガス流路へ送出するための原料ガス出口が形成される。これによれば，気化室の両端の長さを変えることにより気化室に噴出される液状原料の気化効率を調整することができる。
【００２９】
また，上記吐出口から吐出される液状原料とともに前記気化室に向けて噴出されるキャリアガスを流すキャリアガス流路を備え，前記キャリアガス流路は，前記液状原料流路が貫通する結合面と同じ面に貫通して形成されることが好ましい。
【００３０】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，液状原料流路を介して導入した液状原料を気化させて原料ガスを生成し，その原料ガスを原料ガス流路を介して導出する気化器と，前記気化器からの原料ガスを導入して被処理基板に対して成膜処理を行う成膜室とを有する成膜装置であって，前記気化器は，ブロック状の気化モジュールを複数連結してなり，前記各気化モジュールは，少なくとも他の気化モジュールと結合される結合面を貫通して形成される液状原料流路及び同じ結合面を貫通して形成される原料ガス流路と，前記液状原料流路と前記原料ガス流路との間に設けられる気化室と，前記気化室の一端側に設けられ，前記液状原料流路を流れる液状原料を前記気化室へ向けて吐出する吐出口と，前記気化室の他端側に設けられ，前記吐出口から吐出された液状原料が気化して生成された原料ガスを前記原料ガス流路へ送出するための原料ガス出口とを備え，前記各気化モジュールがその結合面で他の気化モジュールと結合されることにより，前記各気化モジュールの液状原料流路がすべて連通して前記気化器の液状原料流路を構成するとともに，前記各気化モジュールの原料ガス流路がすべて連通して前記気化器の原料ガス流路を構成することを特徴とする成膜装置が提供される。
【００３１】
このような本発明によれば，成膜装置の成膜プロセスに変更があった場合でも，気化器を構成する気化モジュールの数を増減させるだけで，その成膜プロセスで要求される原料ガスの流量に応じた構成の気化器に簡単に変更することができる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば，連結する気化モジュールの数を増減させるだけで，小流量の原料ガスが要求される場合から大流量の原料ガスが要求される場合まで，様々な原料ガスの流量が要求される場合に，その原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる気化器等を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書および図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００３４】
（第１実施形態にかかる成膜装置）
まず，本発明の第１実施形態にかかる気化器を適用可能な成膜装置について図面を参照しながら説明する。図１は第１実施形態にかかる成膜装置１００の概略構成例を説明するための図である。この成膜装置１００は，被処理基板例えば半導体ウエハ（以下，単に「ウエハ」ともいう）Ｗ上にＣＶＤ法により例えばＨｆ（ハフニウム）酸化膜を成膜するものであり，Ｈｆを含む液状原料を供給する液状原料供給源１１０と，キャリアガスを供給するキャリアガス供給源１２０と，液状原料供給源１１０から供給される液状原料を気化させて原料ガスを生成する気化器３００と，気化器３００が生成した原料ガスを用いてウエハＷにＨｆ酸化膜を形成する成膜室２００と，成膜装置１００の各部を制御する制御部１４０を備えている。なお，キャリアガスとして，例えばＮ２，Ｈｅ，Ａｒなどの不活性ガスを用いることが好ましい。
【００３５】
また，液状原料供給源１１０と気化器３００は，液状原料供給配管１１２で接続されており，キャリアガス供給源１２０と気化器３００は，キャリアガス供給配管１２２で接続されており，気化器３００と成膜室２００は，原料ガス供給配管１３２で接続されている。そして，液状原料供給配管１１２には液状原料流量制御バルブ１１４が備えられ，キャリアガス供給配管１２２にはキャリアガス流量制御バルブ１２４を備えられ，原料ガス供給配管１３２には原料ガス流量制御バルブ１３４が備えられており，これら液状原料流量制御バルブ１１４，キャリアガス流量制御バルブ１２４，および原料ガス流量制御バルブ１３４は，制御部１４０からの制御信号によってそれぞれの開度が調整される。制御部１４０は，液状原料供給配管１１２を流れる液状原料の流量，キャリアガス供給配管１２２を流れるキャリアガスの流量，および原料ガス供給配管１３２を流れる原料ガスの流量に応じて制御信号を出力することが好ましい。
【００３６】
成膜室２００は，略円筒状をなし，金属製（例えば，アルミニウム製またはステンレス製）の天壁２１０と底壁２１２に囲まれた内部空間に，ウエハＷが水平に載置されるサセプタ２２２を備えている。サセプタ２２２は，円筒状の複数の支持部材２２４（ここでは，１本のみ図示）により支持されている。また，サセプタ２２２にはヒータ２２６が埋め込まれており，電源２２８からこのヒータ２２６に供給される電力を制御することによってサセプタ２２２上に載置されたウエハＷの温度を調整することができる。
【００３７】
成膜室２００の底壁２１２には，排気ポート２３０が形成されており，この排気ポート２３０には排気系２３２が接続されている。そして排気系２３２により成膜室２００内を所定の真空度まで減圧することができる。
【００３８】
成膜室２００の天壁２１０には，シャワーヘッド２４０が取り付けられている。このシャワーヘッド２４０には原料ガス供給配管１３２が接続されており，気化器３００で気化されて形成された原料ガスが，原料ガス供給配管１３２を経由してシャワーヘッド２４０内に導入される。シャワーヘッド２４０は，内部空間２４２と，サセプタ２２２に対する対向面に多数のガス吐出孔２４４を有している。原料ガス供給配管１３２を介してシャワーヘッド２４０の内部空間２４２に導入された原料ガスは，ガス吐出孔２４４からサセプタ２２２上のウエハＷに向けて吐出される。
【００３９】
本実施形態にかかる成膜装置１００において，液状原料供給源１１０は，液状原料として例えばハフニウム系有機金属化合物を貯留しており，この液状原料を，液状原料供給配管１１２を通じて気化器３００に向けて送出する。ハフニウム系有機金属化合物としては，例えば，テトラターシャリーブトキシ・ハフニウム［Ｈｆ（Ｏｔ−Ｂｕ）４］，テトラジエチルアミノ・ハフニウム［Ｈｆ（ＮＥｔ２）４］，テトラキスメトキシメチルプロポキシ・ハフニウム［Ｈｆ（ＭＭＰ）４］，テトラジメチルアミノ・ハフニウム［Ｈｆ（ＮＭｅ２）４］，テトラメチルエチルアミノ・ハフニウム［Ｈｆ（ＮＭｅＥｔ）４］，テトラキストリエチルシロキシ・ハフニウム［Ｈｆ（ＯＳｉＥｔ３）４］等を挙げることができる。
【００４０】
また，液状原料としてハフニウム系以外の有機金属化合物を用いるようにしてもよい。例えば，ペンタエトキシ・タンタル［Ｔａ（Ｏ−Ｅｔ）］，テトラターシャリーブトキシ・ジルコニウム［Ｚｒ（Ｏｔ−Ｂｕ）４］，テトラエトキシ・シリコン［Ｓｉ（ＯＥｔ）４］，テトラジメチルアミノ・シリコン［Ｓｉ（ＮＭｅ２）４］，テトラキスメトキシメチルプロポキシ・ジルコニウム［Ｚｒ（ＭＭＰ）４］，デイスエチルサイクロペンタジエニル・ルテニウム［Ｒｕ（ＥｔＣｐ）２］，ターシャリーアミルイミドトリジメチルアミド・タンタル［Ｔａ（Ｎｔ−Ａｍ）（ＮＭｅ２）３］，トリスジメチルアミノシラン［ＨＳｉ（ＮＭｅ２）３］などを用いることもできる。
【００４１】
上記有機金属化合物は，常温下では液体または固体であるため，これを液状原料として使用する場合には一般的にオクタンなどの有機溶媒により希釈もしくは溶解する。
【００４２】
このような構成の成膜装置１００では，気化器３００からの原料ガスが次のようにして供給される。すなわち，気化器３００に液状原料供給源１１０からの液状原料が液状原料供給配管１１２を介して供給されるとともに，キャリアガス供給源１２０からのキャリアガスがキャリアガス供給配管１２２を介して供給されると，気化器３００内に設けられた気化室にキャリアガスとともに液状原料が噴霧され，その液状原料が気化して原料ガスが生成される。気化器３００で生成された原料ガスは，原料ガス供給配管１３２を介して成膜室２００に供給され，成膜室２００内のウエハＷに対して所望のプロセス処理が施される。
【００４３】
ところで，一般に，このような成膜室２００内で行われるウエハＷに対するプロセス処理の内容（例えば形成される膜の厚さや膜の種類，要求される成膜レートなど）によって，気化器３００に要求される原料ガスの流量が異なる。この点，従来では，要求される原料ガスの流量が変更になると，気化器全体を原料ガスの流量に応じた別の種類の気化器に交換する必要があった。
【００４４】
しかしながら，このようにプロセス処理の内容が変更になる度に，気化器全体を交換していたのでは，その都度，その原料ガス流量に合わせた気化器を設計し，その気化器の信頼性評価を行う必要が生じるため，結果として製造スループットが低下するとともに気化器の開発コストが増大するという問題があった。さらに，上記原料ガスの流量に応じた多くの種類の気化器を管理する必要が生じるなど気化器の管理も煩雑になる。
【００４５】
そこで，本発明では，液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の気化モジュールを複数連結させて気化器を構成するものである。これによれば，連結する気化モジュールの数を増減させるだけで，気化器全体で生成される原料ガスの流量を簡単に調整することができるので，小流量の原料ガスが要求される場合から大流量の原料ガスが要求される場合まで，様々な原料ガスの流量が要求される場合に，その原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる。
【００４６】
（第１実施形態にかかる気化器の構成例）
次に，このような本発明にかかる気化器を第１実施形態にかかる成膜装置１００の気化器３００に適用した場合の具体的構成例について図面を参照しながら説明する。図２は第１実施形態にかかる気化器３００の構成例を概略的に示す側面図であり，図３は，気化器３００の組立て斜視図である。図２，図３に示すように，気化器３００は，液状原料を気化して原料ガスを生成するブロック状の複数の気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃと，気化モジュールの後述する液状原料流路及びキャリアガス流路の終端を閉塞するための終端プレート３９０Ａ，気化モジュールの後述する原料ガス流路の終端を閉塞するための終端プレート３９０Ｂを備える。
【００４７】
各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃは同様の構成であり，その外形は断面矩形（ここでは断面正方形）の縦長ブロック状である。各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃ内にはそれぞれ，液状原料を流す液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃ，キャリアガスを流すキャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃ，および原料ガスを流す原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃが同様に形成されている。
【００４８】
各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃは，一列に連結されている。これら気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃは，例えば図２，図３に示すようにボルト３９２Ａが貫通する孔を複数設け，液状原料供給配管１１２及びキャリアガス供給配管１２２のフランジ部３９１Ａと終端プレート３９０Ａとの間で挟んでボルト３９２Ａとナット３９２Ｂで締結するとともに，原料ガス供給配管１３２のフランジ部３９１Ｂと終端プレート３９０Ｂとの間に挟んでボルト３９２Ａとナット３９２Ｂで締結して組み立てられる。
【００４９】
なお，液状原料供給配管１１２とキャリアガス供給配管１２２のフランジ部３９１Ａは，図２では各配管に共通のフランジ部として形成され，そのフランジ部３９１Ａを図３に示すように４つのボルト３９２Ａとナット３９２Ｂで締結する場合を例に挙げているが，必ずしもこれに限定されるものではない。フランジ部３９１Ａは，例えば液状原料供給配管１１２とキャリアガス供給配管１２２の各配管ごとに別々に形成されたフランジ部であってもよい。また，ボルト３９２Ａとナット３９２Ｂの数も，図３に示すものに限定されるものではなく，液状原料供給配管１１２とキャリアガス供給配管１２２の各配管のフランジ部ごとに例えば４つずつのボルト３９２Ａとナット３９２Ｂで締結するようにしてもよい。
【００５０】
こうして，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃは，互いに平行する一対の側面を結合面としてこの結合面で密着して結合する。すなわち，気化モジュール３１０Ａの一つの側面３１２Ａと隣接する気化モジュール３１０Ｂの一つの側面３１４Ｂとを結合面として密着して結合し，この気化モジュール３１０Ｂの一つの側面３１２Ｂと隣接する気化モジュール３１０Ｃの一つの側面３１４Ｃとを結合面として密着して結合する。なお，気化モジュール３１０Ｃの一つの側面３１２Ｃと終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂも密着して結合する。
【００５１】
また，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃにおいて，液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃ，および原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃはそれぞれ，互いに平行する一対の結合面である側面３１２Ａ〜３１２Ｃと側面３１４Ａ〜３１４Ｃとを貫通して形成されている。このため，側面３１２Ａ〜３１２Ｃには，液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃ，および原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃの開口部３２２Ａ〜３２２Ｃ，３３２Ａ〜３３２Ｃ，および３４２Ａ〜３４２Ｃが形成されている。同様に，側面３１２Ａ〜３１２Ｃと平行な側面３１４Ａ〜３１４Ｃにも開口部が形成されている。
【００５２】
また，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃには，例えば８箇所に貫通孔３５０Ａ〜３５０Ｃが設けられている。また，終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂには，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの貫通孔３５０Ａ〜３５０Ｃに対応する位置４箇所に貫通孔３９４Ａ，３９４Ｂが形成されている。これらの貫通孔３５０Ａ〜３５０Ｃ，３９４Ａ，３９４Ｂに，例えばボルト３９２Ａを通し，ナット３９２Ｂを締めることによって，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃと終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂを各側面において相互に密着させることができる。
【００５３】
このような構造を有する気化器３００において，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃが一列に連結され，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃ，および原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃは，先頭の気化モジュール３１０Ａから末尾の気化モジュール３１０Ｃまで直線状に連通することになる。先頭の気化モジュール３１０Ａの液状原料流路３２０Ａ，キャリアガス流路３３０Ａ，および原料ガス流路３４０Ａの始端の開口部にはそれぞれ，液状原料供給配管１１２，キャリアガス供給配管１２２，原料ガス供給配管１３２が接続される。したがって，液状原料とキャリアガスについては，先頭の気化モジュール３１０Ａから末尾の気化モジュール３１０Ｃまで供給することができる。また，原料ガスについては，すべての気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃから原料ガス供給配管１３２へ導出することができる。
【００５４】
終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂは，末尾の気化モジュール３１０Ｃの液状原料流路３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ｃ，および原料ガス流路３４０Ｃの各流路の終端の開口部３２２Ｃ，３３２Ｃ，３４２Ｃを閉塞するものである。この終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂを備えることによって，液状原料とキャリアガスを無駄なく一斉に各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃに供給し，また各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃにおいて生成された原料ガスをすべて原料ガス供給配管１３２へ導くことができる。
【００５５】
なお，第１実施形態においては，終端プレート３９０Ａは，気化モジュール３１０Ｃの側面３１２Ｃの上部に密着され，液状原料流路３２０Ｃの開口部３２２Ｃとキャリアガス流路３３０Ｃの開口部３３２Ｃを閉塞するように構成され，終端プレート３９０Ｂは，気化モジュール３１０Ｃの側面３１２Ｃの下部に密着され，原料ガス流路３４０Ｃの開口部３４２Ｃを閉塞するように構成されている。このような２枚の終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂに代えて，開口部３２２Ｃ，３３２Ｃ，３４２Ｃを一括して閉塞する一枚の終端プレーを用いるようにしてもよい。また，液状原料流路３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ｃ，原料ガス流路３４０Ｃの各流路ごとに別々の終端プレートを用いるようにしてもよい。
【００５６】
また，末尾の気化モジュール３１０Ｃには，その液状原料流路３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ｃ，原料ガス流路３４０Ｃの各流路が他の気化モジュールと結合する側面（結合面）３１４Ｃのみに貫通し，他の気化モジュールと結合しない側面（結合面）３１２Ｃには貫通しないように形成した気化モジュールを結合させてもよい。これによれば，各流路の終端が開口しないので，終端プレートが不要になる。
【００５７】
また，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃを密着させる際には，密着する側面の間にそれぞれ３つのシール部材例えばＯリング３９６Ｌ，３９６Ｍ，３９６Ｎを挟み込むことが好ましい。これらＯリング３９６Ｌ，３９６Ｍ，３９６Ｎは，液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃ，および原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃの開口部３２２Ａ〜３２２Ｃ，３３２Ａ〜３３２Ｃ，および３４２Ａ〜３４２Ｃを囲むように配置される。これによって，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの密着面における液状原料，キャリアガス，および原料ガスの漏れを確実に防止することができる。
【００５８】
（第１実施形態にかかる気化モジュールの構成例）
次に，本発明の第１実施形態にかかる気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの構成例について図面を参照しながら説明する。上述の通り，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃは，相互に略同一の構成を有するものであるため，気化モジュール３１０を代表としてその構成例を説明に用いる。
【００５９】
図４は，第１実施形態にかかる気化モジュール３１０の概略構成例を示す縦断面図であり，図５は，図４の気化モジュール３１０に備えられた噴霧ノズル３６０の具体的な構成例を示す縦断面図であり，図６は，図４の気化モジュール３１０のＩ−Ｉ′断面を矢印方向から見た図であり，図７は，図４の気化モジュール３１０の矢印ＩＩ方向から見た側面図である。
【００６０】
上述したように気化モジュール３１０の外形は，断面矩形（ここでは正方形）のブロック状に形成されている。従って，気化モジュール３１０は，互いに平行な二対の側面を備える。気化モジュール３１０では，これらの４つの側面のうちの一対の側面３１２，３１４については，気化器３００を構成する際に他の気化モジュールと密着して結合する結合面となり得る。
【００６１】
図４，図６に示すように，気化モジュール３１０は，その内部をそれぞれ同方向（図４では水平な一方向）に貫通する液状原料流路３２０，キャリアガス流路３３０，原料ガス流路３４０が形成される。これら液状原料流路３２０，キャリアガス流路３３０，原料ガス流路３４０はそれぞれ，結合面となる一対の側面３１２，３１４を貫通する。
【００６２】
液状原料流路３２０が側面３１２，３１４をそれぞれ貫通することにより，開口部３２２，３２４が形成される。キャリアガス流路３３０が側面３１２，３１４をそれぞれ貫通することにより，開口部３３２，３３４が形成される。原料ガス流路３４０が側面３１２，３１４をそれぞれ貫通することにより，開口部３４２，３４４が形成される。
【００６３】
上記液状原料流路３２０と上記原料ガス流路３４０との間には，これら流路３２０，３４０と直行する方向に縦長に形成された内部空間を有する気化室３７０が配設されている。その一端側（図４では上端側）には液状原料流路３２０からの液状原料を霧化して吐出する吐出口（噴出口）３６２を形成する噴霧ノズル３６０が配設されている。気化室３７０は，内部空間内に吐出口３６２から吐出された液状原料を気化させて原料ガスを生成する。
【００６４】
気化室３７０の内部空間を構成する側壁には，液状原料の気化効率を高めるため，この内部空間を加熱するための側壁加熱手段３８０が内臓されている。図４に示す気化モジュール３１０では，気化効率をさらに向上させるため，上記気化室３７０の内部空間内にも内部加熱手段３８２が立設されている。そして，気化室３７０の他端側には気化室３７０で生成された原料ガスを原料ガス流路３４０へ送出するための原料ガス出口３７２が形成される。
【００６５】
ここで，噴出ノズル３６０の近傍の具体的構成例を図５に示す。液状原料流路３２０の途中（ここではモジュール中央）には下方に向けて孔が形成され，この孔と噴霧ノズル３６０内の貫通孔とは，連通して液状原料流路３２０を流れる液状原料を噴霧ノズル３６０の吐出口３６２へ導く吐出流路を構成する。
【００６６】
噴霧ノズル３６０は，例えば図５に示すように先細に構成され，その先端の吐出口（ノズル口）３６２が気化室３７０の一端側（上端側）から気化室３７０の内部空間に向くように配置される。噴霧ノズル３６０の吐出口３６２の直径は，気化室３７０内に吐出される液状原料の液滴の目標サイズに応じて決定される。気化室３７０内において，液滴が確実に気化するためには，液滴のサイズは小さい方が有利であるため，噴霧ノズル３６０の吐出口３６２の直径も小さいことが好ましい。ただし，液滴のサイズが小さくなり過ぎると，液滴を気化して得られる原料ガスの流量が不足するおそれがある。これらの点を考慮して，噴霧ノズル３６０の吐出口３６２の直径を決定することが好ましい。例えば，吐出口３６２の直径は２０μｍとすることができる。
【００６７】
噴霧ノズル３６０の構成材料としては，有機溶媒に対する耐性を有するポリイミド樹脂などの合成樹脂またはステンレス鋼やチタンなどの金属が好ましい。また，噴霧ノズル３６０を合成樹脂で構成することによって，吐出される前の液状原料に周囲から熱が伝導しないようにすることができる。また，ポリイミド樹脂を用いることで，液状原料の残渣（析出物）が噴霧ノズル３６０に付着し難くなり，ノズルの目詰まりが防止される。
【００６８】
また，気化室３７０の一端側には，噴霧ノズル３６０の先端を囲むようにキャリアガス噴射部３３６が配設されている。キャリアガス噴射部３３６は上記キャリアガス流路３３０に接続され，キャリアガス流路３３０からのキャリアガスを液状原料とともに気化室３７０に向けて噴出できるようになっている。具体的には，キャリアガス噴射部３３６は噴霧ノズル３６０の先端を囲むカップ状に形成され，その底部にキャリアガス噴出口３３８が形成されている。キャリアガス噴出口３３８は，噴霧ノズル３６０の先端の吐出口３６２の近傍に吐出口３６２を囲むように形成されている。このようにキャリアガス噴出口３３８の径を噴霧ノズル３６０の吐出口３６２の径よりも大きくして，吐出口３６２をキャリアガス噴出口３３８内に配置することにより，吐出口３６２の周りからキャリアガスを噴出することができるので，吐出口３６２から吐出される液状原料の液滴を確実に気化室３７０に向けて飛行させ，気化室３７０内での液状原料の液滴の飛行を安定させることができ，各液滴を確実に気化させることができる。
【００６９】
なお，上記キャリアガス噴出口３３８の径は，キャリアガス流路３３０の径よりも小さく構成することが好ましい。例えばキャリアガス噴出口３３８の径をキャリアガス流路３３０の径の１／１０以下にすることによって，先頭から末尾の気化モジュールまでキャリアガス流路３３０のコンダクタンスをほとんど低下させることなく，キャリアガスを流通させることができる。これにより，先頭から末尾までのすべての気化モジュール３１０のキャリアガス噴出口３３８から常に同じ流量のキャリアガスを噴出させることができる。
【００７０】
気化室３７０は，複数の噴霧ノズル３６０が吐出した霧状の液状原料を気化して原料ガスを生成するものであって，その形状は吐出方向と直交する断面が円形となる略円筒形である。この形状によれば，噴霧ノズル３６０から吐出された液滴に対して気化室３７０の壁面の位置が等方的になるため，側壁加熱手段３８０からの熱を液滴に効率よく伝達することができ，より確実に液状原料を気化させることができる。
【００７１】
図４に示すように，気化室３７０の他端（最深部）に設けられた原料ガス出口３７２は，原料ガス流路３４０に接続されている。気化室３７０で生成された原料ガスは，原料ガス流路３４０から外部に導出され，原料ガス供給配管１３２を経由して成膜室２００に供給される。
【００７２】
側壁加熱手段３８０と内部加熱手段３８２は，気化室３７０の内部空間を液体原料の液滴が気化するのに適切な温度に調整するものである。具体的には，気化室３７０の内部空間は，側壁加熱手段３８０と内部加熱手段３８２によって，液状原料の気化温度より高く，液状原料が固化してしまう分解温度より低い温度に調整される。このように，側壁加熱手段３８０と内部加熱手段３８２の２つの加熱手段を設けることにより，気化室３７０における液状原料の気化効率をより高めることができる。これにより，気化室３７０の両端の長さ（深さ方向の寸法）をより短くすることができるので，各気化モジュール３１０の側面に沿った長さ方向の大きさもより小さくすることができ，ひいては気化器３００全体をコンパクトに構成することができる。
【００７３】
また，気化室３７０の両端の長さを変えることによって気化室３７０に吐出された液状原料の液的の気化効率を調整するようにしてもよい。
【００７４】
また，側面３１２において，液状原料流路３２０の開口部３２２の周囲には円環状溝３１２Ｌが形成されており，キャリアガス流路３３０の開口部３３２の周囲には円環状溝３１２Ｍが形成されており，原料ガス流路３４０の開口部３４２の周囲には円環状溝３１２Ｎが形成されている。同様に，側面３１４において，液状原料流路３２０の開口部３２４の周囲には円環状溝３１４Ｌが形成されており，キャリアガス流路３３０の開口部３３４の周囲には円環状溝３１４Ｍが形成されており，原料ガス流路３４０の開口部３４４の周囲には円環状溝３１４Ｎが形成されている。
【００７５】
気化モジュール３１０の側面３１２を他の気化モジュールの側面に密着させる場合には，液状原料，キャリアガス，および原料ガスの漏れを確実に防止するために，上記円環状溝３１２Ｌ，３１２Ｍ，３１２Ｎにそれぞれ，図７に示すように，Ｏリング３９６Ｌ，３９６Ｍ，３９６Ｎがはめ込まれる。同様に，気化モジュール３１０の側面３１４を他の気化モジュールの側面に密着させる場合には，上記円環状溝３１４Ｌ，３１４Ｍ，３１４Ｎにそれぞれ，Ｏリング３９６Ｌ，３９６Ｍ，３９６Ｎがはめ込まれる（図示せず）。
【００７６】
ここで，図６を参照しながら，気化モジュール３１０と液状原料流路３２０の平面方向からみた形状について詳しく説明する。気化モジュール３１０は，断面矩形の外形をなしている。また上述のように，液状原料流路３２０は，モジュール内部を貫通し，側面３１２と側面３１４それぞれに開口部３２２と開口部３２４を有するものである。この液状原料流路３２０には噴霧ノズル３６０が接続されており，液状原料流路３２０を流れる液状原料は，噴霧ノズル３６０に供給されることになる。
【００７７】
液状原料流路３２０の流路幅（流れの方向に直交する断面のサイズ）は，開口部３２２と開口部３２４との間一定としてもよく，図６に示すように，噴霧ノズル３６０の接続部付近において広がりを持たせるようにしてもよい。このような形状であれば，液状原料流路３２０を流れる液状原料をこの接続部付近において一旦滞留させることができ，噴霧ノズル３６０へ液状原料を安定的に供給できるようになる。
【００７８】
キャリアガス流路３３０および原料ガス流路３４０の平面方向からみた形状（図示せず）は，図６に示す液状原料流路３２０と同様である。このように，液状原料流路３２０，キャリアガス流路３３０，および原料ガス流路３４０は，モジュール内部を一直線に貫通するものである。したがって，気化モジュール３１０を平面方向からみたとき，それぞれの流路形状はＩ字型をなす。
【００７９】
以上のような構成を有する第１実施形態にかかる気化モジュール３１０によれば，図２，図３に示すように，複数個の気化モジュール３１０（３１０Ａ〜３１０Ｃ）を液状原料，キャリアガス，および原料ガスの流れの方向に沿って連結することができる。この場合，ボルト３９２Ａとナット３９２Ｂなどの締結手段を用いて，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃを連結することができるため，短時間のうちに気化器３００を組み上げることができる。
【００８０】
また，複数の気化モジュール３１０によって構成された気化器３００では，各気化モジュール３１０に備えられた液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃ，キャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃ，および原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃがそれぞれ段差なく内部を連通している。したがって，先頭の気化モジュール３１０Ａから末尾の気化モジュール３１０Ｃまで連なる一体の液状原料流路３２０，キャリアガス流路３３０，および原料ガス流路３４０を得ることができる。この結果，気化器３００の中を，液状原料，キャリアガス，および原料ガスを滞りなく流すことができる。これらの流れの詳細については後述する。
【００８１】
図２と図３には３個の気化モジュール３１０（３１０Ａ〜３１０Ｃ）を連結することによって構成された気化器３００を示している。しかしこれは例示であって，第１実施形態にかかる気化モジュール３１０によれば，連結できる個数についての制限はない。すなわち，気化モジュール３１０を２個連結するようにしてもよく，４個以上連結するようにしてもよい。また，気化モジュール３１０の個数の変更に伴う気化器３００の組み換え作業は極めて容易である。
【００８２】
（液状原料，キャリアガス，および原料ガスの流れ）
次に，第１実施形態にかかる気化器３００における液状原料，キャリアガス，および原料ガスの流れについて図面を参照しながら説明する。図８は，第１実施形態にかかる気化器３００における液状原料，キャリアガス，および原料ガスの流れを説明するための気化器３００の縦断面図であり，図９は，図８の気化器３００のＩＩＩ−ＩＩＩ′断面を矢印方向から見た図である。
【００８３】
図８と図９では概略的に，液状原料の流れの方向を白抜き矢印で示し，キャリアガスの流れの方向を破線矢印で示し，原料ガスの流れの方向を黒矢印で示している。
【００８４】
気化器３００によって原料ガスを生成するにあたり，液状原料流量制御バルブ１１４の開度を調整して，所定の流量の液状原料を，液状原料供給配管１１２を介して液状原料供給源１１０から気化器３００に供給する。これと同時に，キャリアガス流量制御バルブ１２４の開度を調整して，所定の流量のキャリアガスを，キャリアガス供給配管１２２を介してキャリアガス供給源１２０から気化器３００に供給することが好ましい。また，気化器３００側では，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃに備えられた側壁加熱手段３８０Ａ〜３８０Ｃおよび内部加熱手段３８２Ａ〜３８２Ｃによって，各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃ内の温度を所定値に調整しておくことが好ましい。
【００８５】
液状原料供給配管１１２を介して気化器３００に供給された液状原料は，まず，先頭の気化モジュール３１０Ａの液状原料流路３２０Ａに流入する。その後，液状原料は，気化モジュール３１０Ａに結合されている次段の気化モジュール３１０Ｂの液状原料流路３２０Ｂに流入し，さらに気化モジュール３１０Ｂに結合されている後続の気化モジュール３１０Ｃの液状原料流路３２０Ｃに流入する。
【００８６】
上述のように，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃが連結されると，それぞれに備えられた液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃは，気化器３００における段差のない一体の液状原料流路３２０となる。したがって，液状原料は，先頭の気化モジュール３１０Ａから末尾の気化モジュール３１０Ｃまで滞ることなく供給されることになる。しかも，液状原料流路３２０の終端の開口部，すなわち液状原料流路３２０Ｃの開口部３２２Ｃは，終端プレート３９０Ａによって閉塞されているため，一体の液状原料流路３２０は，共通の原料液室として機能する。
【００８７】
このため，先頭の気化モジュール３１０Ａの液状原料流路３２０Ａに液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結された各気化モジュール３１０Ｂ，３１０Ｃの液状原料流路３２０Ｂ，３２０Ｃを経由して気化モジュール３１０Ｂ，３１０Ｃにも液状原料が供給されて充填される。
【００８８】
上記の液状原料の供給と同時にキャリアガス供給配管１２２を介して気化器３００に供給されたキャリアガスは，まず，先頭の気化モジュール３１０Ａのキャリアガス流路３３０Ａに流入する。その後，キャリアガスは，気化モジュール３１０Ａに結合されている気化モジュール３１０Ｂのキャリアガス流路３３０Ｂに流入し，さらに気化モジュール３１０Ｂに結合されている気化モジュール３１０Ｃのキャリアガス流路３３０Ｃに流入する。
【００８９】
上述のように，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃが連結されると，それぞれに備えられたキャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃは，気化器３００における段差のない一体のキャリアガス流路３３０となる。したがって，キャリアガスは，先頭の気化モジュール３１０Ａから末尾の気化モジュール３１０Ｃまで滞ることなく供給されることになる。
【００９０】
このように，気化器３００内のキャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃにキャリアガスが供給されると，各キャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃに連通しているキャリアガス噴射部のキャリアガス噴出口（図４のキャリアガス噴射部３３６およびキャリアガス噴出口３３８参照）からそれぞれキャリアガスが，噴霧ノズル３６０Ａ〜３６０Ｃの吐出口３６２近傍を経由して各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃに向けて一斉に噴射される。これによって，各噴霧ノズル３６０Ａ〜３６０Ｃの吐出口３６２から連続的に吐出された液状原料の液滴をキャリアガスの流れに乗せて各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃ内の所定の方向（鉛直方向）に安定的に飛行させることができる。
【００９１】
なお，末尾の気化モジュール３１０Ｃのキャリアガス流路３３０Ｃの終端の開口部は，終端プレート３９０Ａによって閉塞されているため，キャリアガスをすべての気化モジュールのキャリアガス噴出口から一斉に噴出させることができる。
【００９２】
また，キャリアガス流路３３０の流路幅は，キャリアガス噴出口３３８の口径およびキャリアガス流量に応じて設定されることが好ましい。こうして，各キャリアガス噴出口３３８から最適な量のキャリアガスが噴射されれば，各気化モジュールの３１０Ａ〜３１０Ｃ内における気化効率を高めることができるとともに，液状原料の液滴の飛行安定性も向上させることができる。
【００９３】
そして，第１実施形態では液状原料の液滴が導入される各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃ内の温度は，予め側壁加熱手段３８０Ａ〜３８０Ｃおよび内部加熱手段３８２Ａ〜３８２Ｃによって所定値に調整されている。したがって，各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃの一端側の吐出口３６２から吐出されて他端側（最深部）に向けて飛行する液状原料の液滴は，他端側に達する前に完全に気化されて，原料ガスが生成される。
【００９４】
各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃ内において生成された原料ガスはそれぞれ，原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃへ導出され，先頭の気化モジュール３１０Ａの原料ガス流路３４０Ａに接続されている原料ガス供給配管１３２へ送出される。
【００９５】
上述のように，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃが連結されると，それぞれに備えられた原料ガス流路３４０Ａ〜３４０Ｃは連通して，気化器３００における段差のない一体の原料ガス流路３４０となる。したがって，原料ガスは，末尾の気化モジュール３１０Ｃから先頭の気化モジュール３１０Ａへ滞ることなく流通し，さらに一括して原料ガス供給配管１３２へ送出されることになる。
【００９６】
このように，原料ガス供給配管１３２に送出された原料ガスは，成膜室２００に供給され，シャワーヘッド２４０の内部空間２４２に導入され，ガス吐出孔２４４からサセプタ２２２上の半導体ウエハＷに向けて吐出される。そして，半導体ウエハＷ上に所定の膜，例えば有機金属化合物を含む膜が形成される。
【００９７】
なお，原料ガス流路３４０の端部は，終端プレート３９０Ｂによって閉塞されているため，ここから原料ガスが外部に漏れ出すことはない。このため，原料ガスを無駄なくかつ確実に成膜室２００に供給することができる。
【００９８】
原料ガス供給配管１３２の管径と原料ガス流路３４０の流路幅は共に，各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃの容量および連結される可能性のある気化モジュール３１０の最大数に応じて設定されることが好ましい。これによって，各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃの圧力を所定の範囲内に維持することができ，各気化室３７０Ａ〜３７０Ｃ内において液状原料を高い効率で気化させることができる。
【００９９】
以上のように，第１実施形態によれば，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃがその側面で連結されることにより，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃがすべて連通して，共通の原料液室として機能させることができる。これにより，気化モジュール３１０Ａの液状原料流路３２０Ａに液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結された他の気化モジュール３２０Ｂ，３２０Ｃにも液状原料が供給されて充填されるので，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの噴霧ノズル３６０Ａ〜３６０Ｃの吐出口３６２から一斉に液状原料を気化室３７０Ａ〜３７０Ｃに吐出させて，そこで気化させることができる。
【０１００】
また，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃがその側面で連結されることにより，各液状原料流路３２０Ａ〜３２０Ｃのみならず，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃのキャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃについてもすべて連通するため，気化モジュール３１０Ａのキャリアガス流路３３０Ａにキャリアガスを供給すれば，連通したキャリアガス流路３３０Ａ〜３３０Ｃを経由して各気化モジュール３１０Ｂ，３１０Ｃにキャリアガスを供給することができる。したがって，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃにおいてキャリアガスを液状原料ととともに気化室３７０Ａ〜３７０Ｃに向けて一斉に噴出させることができる。
【０１０１】
したがって，連結する気化モジュール３１０の数を増減させるだけで，気化器３００全体で生成される原料ガスの流量を簡単に調整することができるので，小流量の原料ガスが要求される場合から大流量の原料ガスが要求される場合まで，様々な原料ガスの流量が要求される場合に，気化器３００の構成をその原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる。
【０１０２】
しかも，原料ガスの流量に応じて各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃの噴霧ノズル３６０の吐出口３６２の大きさなどを変更する必要がないため，改めて信頼性評価を行うことなく，しかも気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃごとに最適な気化効率を維持したまま，原料ガスの流量を増加することができる。このため，製造スループットの低下を抑えることができるとともに，新たな気化器の開発コストもかからない。また，同じ種類の気化モジュール３１０を管理するだけでよいので，気化器３００の管理も容易になる。
【０１０３】
さらに，気化モジュール３１０をブロック状に形成し，複数の気化モジュール３１０をその結合面で結合するので，複数の気化モジュール３１０を集積させることができる。これにより，例えば各気化モジュールの流路を配管で接続する場合に比して，気化器３００全体を極めてコンパクトに構成することができるようになる。
【０１０４】
また，第１実施形態にかかる気化モジュール３１０に備えられている噴霧ノズル３６０の数（液状原料の吐出口３６２の数）は一つである。したがって，連結される気化モジュール３１０の数を一つ増やすと噴霧ノズル３６０の数は一つだけ増加する。このように構成すれば，例えば，生成する原料ガスの流量を，噴霧ノズル３６０一個の単位で細かく調整することができる。
【０１０５】
（第２実施形態）
続いて，本発明の第２実施形態にかかる気化器３０２の構成例について図面を参照しながら説明する。図１０は第２実施形態にかかる気化器３０２の構成例を概略的に示す断面図であり，図９に示す気化器３００の断面図と同様に気化器３０２を液状原料流路を通る水平な断面を上方から見た図である。上記第１実施形態では複数の気化モジュール３１０を一列に連結した気化器３００について例を挙げたが，第２実施形態では第１実施形態と同様の構成の気化モジュール３１０を複数列（ここでは３列）に連結した気化器３０２を例に挙げる。
【０１０６】
具体的には，図１０に示すように，第２実施形態にかかる気化器３０２は，９個の気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｉを３個ずつ複数列に結合して構成される。すなわち，第１列目には気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃが連結され，第２列目には気化モジュール３１０Ｄ〜３１０Ｆが連結され，第３列目には気化モジュール３１０Ｇ〜３１０Ｉが連結される。そして，これら各列の気化モジュールは，行方向（Ｘ方向）に直行する列方向（Ｙ方向）に配置され，列方向にも隙間なく連結されている。
【０１０７】
各列の気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃ，３１０Ｄ〜３１０Ｆ，３１０Ｇ〜３１０Ｉはそれぞれ図２，図３に示す場合と同様に，互いに平行な側面を結合面としてその結合面で一列に連結される。これにより，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃ，３１０Ｄ〜３１０Ｆ，３１０Ｇ〜３１０Ｉに形成された液状原料流路，キャリアガス流路，原料ガス流路はそれぞれ各列の気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｃ，３１０Ｄ〜３１０Ｆ，３１０Ｇ〜３１０Ｉごとに連通する。
【０１０８】
また，この第２実施形態にかかる気化器３０２では，各列先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇには流路ブロック（流路モジュール）３９８が結合しており，各列末尾の気化モジュール３１０Ｃ，３１０Ｆ，３１０Ｉにはそれぞれ，例えば図３に示すものと同様の終端プレート３９０Ａが結合されている。各終端プレート３９０Ａは，各列末尾の気化モジュール３１０Ｃ，３１０Ｆ，３１０Ｉの液状原料流路３２０Ｃ，３２０Ｆ，３２０Ｉの終端の開口部を閉塞するとともに，図示しないキャリアガス流路の終端の開口部を閉塞するものである。また，図示はしないが，各列末尾の気化モジュール３１０Ｃ，３１０Ｆ，３１０Ｉの各原料ガス流路の終端の開口部を閉塞する終端プレート（図３に示す終端プレート３９０Ｂに相当）も結合されている。これら各列の終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂは，列ごとに一つのプレートで構成してもよい。
【０１０９】
流路ブロック３９８には，図１０に示すように，液状原料供給源１１０からの液状原料を１つの液状原料導入口から導入し，列の数だけ分流する液状原料導入流路３９８Ｌが形成されている。流路ブロック３９８の液状原料導入口には液状原料供給配管１１２が接続されている。これにより，液状原料供給配管１１２からの液状原料は，流路ブロック３９８の液状原料導入口に導入され，その液状原料導入流路３９８Ｌで３つに分流されてそれぞれ，各列先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇの液状原料流路３２０Ａ，３２０Ｄ，３２０Ｇに供給される。
【０１１０】
また，流路ブロック３９８には，図示はしないが，キャリアガス供給源１１０からの液状原料を列の数だけ分流するキャリアガス導入流路が形成されている。キャリアガス導入流路の形状は，例えば液状原料導入流路３９８Ｌと同様に構成される。流路ブロック３９８のキャリアガス導入口にはキャリアガス供給配管１２２が接続されている。これにより，キャリアガス供給配管１２２からキャリアガスは，流路ブロック３９８のキャリアガス導入口に導入され，そのキャリアガス導入流路で３つに分流されてそれぞれ，各列先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇのキャリアガス流路に供給される。
【０１１１】
さらに，流路ブロック３９８には，図示はしないが，各列の気化モジュールで生成された原料ガスを合流させて，１つの原料ガス導出口から導出する原料ガス導出流路が形成されている。原料ガス導出流路の形状は，例えば液状原料導入流路３９８Ｌと同様に構成される。この場合，液状原料導出口が原料ガス導出口に相当する。流路ブロック３９８の原料ガス導出口には，原料ガス供給配管１３２が接続されている。これにより，各列の気化モジュールで生成された原料ガスは，各列先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇの原料ガス流路から流路ブロック３９８の原料ガス導出流路に導出され，その原料ガス導出流路で１つに合流して原料ガス供給配管１２２へ導出される。
【０１１２】
このような第２実施形態にかかる気化器３０２によれば，流路ブロック３９８の液状原料導入口に液状原料を所定の圧力で供給すると，各列先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇの液状原料流路３２０Ａ，３２０Ｄ，３２０Ｇにそれぞれ液状原料が供給されて，これに連結された各気化モジュールの液状原料流路を経由して各列の末尾の気化モジュール３１０Ｃ，３１０Ｆ，３１０Ｉまで各列ごとに液状原料が供給されて充填されるので，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｉの吐出口から一斉に液状原料を吐出させることができる。
【０１１３】
これと同時に，流路ブロック３９８のキャリアガス導入口に所定流量のキャリアガスを供給すれば，各列先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇのキャリアガス流路にそれぞれキャリアガスが供給されて，これに連結された各気化モジュールのキャリアガス流路を経由して各列の末尾の気化モジュール３１０Ｃ，３１０Ｆ，３１０Ｉまで各列ごとにキャリアガスが供給されるので，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｉにおいてはキャリアガスを液状原料とともに気化室に向けて一斉に噴出させることができる。
【０１１４】
こうして，各気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｉの気化器で生成された原料ガスは，各列ごとに先頭の気化モジュール３１０Ａ，３１０Ｄ，３１０Ｇから導出され，流路ブロック３９８の原料ガス導出流路で１つに合流されて原料ガス供給配管１３２へ導出される。
【０１１５】
従って，第２実施形態にかかる気化器３０２においても，上記第１実施形態にかかる気化器３００と同様に，連結する気化モジュールの数を増減させるだけで，気化器全体で生成される原料ガスの流量を簡単に調整することができる。これにより，例えば成膜処理に要求される原料ガスの流量が変更になったときにも，その原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる。
【０１１６】
また，第２実施形態にかかる気化器３０２のように，気化モジュール３１０は，行方向（Ｘ方向）に直線的に延びるように連結するだけでなく，行方向（Ｘ方向）に直交する列方向（Ｙ方向）にも延びるように連結することができる。従って，第２実施形態にかかる気化器３０２のように各気化モジュール３１０をマトリクス状に配列することができるので，より多くの気化モジュールをよりコンパクトに集積することができる。また，例えば成膜装置１００の設置スペースの制約を受けて，Ｘ方向に連結できる気化モジュール３１０の数に制限がある場合であっても，所望する原料ガスの流量に応じて，Ｙ方向にも複数の気化モジュール３１０を連結することができる。
【０１１７】
（第３実施形態）
次いで，本発明の第３実施形態にかかる気化器４００の構成例について図面を参照しながら説明する。図１１は第３実施形態にかかる気化器４００の構成例を概略的に示す断面図であり，図１０に示す気化器３０２の断面図と同様に気化器４００を液状原料流路を通る水平な断面を上方から見た図である。第３実施形態では，図１０に示す気化モジュール３１０Ａ〜３１０Ｉとは各流路（液状原料流路，キャリアガス流路，原料ガス流路）の構成が異なる気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉをマトリクス状に結合した気化器４００を例に挙げて説明する。
【０１１８】
第３実施形態にかかる気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの構成例について図面を参照しながら説明する。ここでは，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉは，相互に略同一の構成を有するものであるため，気化モジュール４１０を代表してその構成例を説明する。図１２は，第３実施形態にかかる気化モジュール４１０の概略構成例を示す断面図であり，図６に示す気化モジュール３１０の断面図と同様に気化モジュール４１０を液状原料流路を通る水平な断面を上方から見た図である。
【０１１９】
図１２に示す気化モジュール４１０は，図６に示す気化モジュール３１０と同様の外形（断面矩形（ここでは正方形）のブロック状の外形）であるものの，液状原料流路などの流路の構成のみが異なり，その他の内部（例えば噴出ノズル，気化室，キャリアガス噴射部など）の構成は気化モジュール３１０と同様である。
【０１２０】
具体的には，図６に示す気化モジュール３１０の液状原料流路３２０は，互いに平行な一対の側面３１２，３１４のみを貫通するように形成されていたのに対して，図１２に示す気化モジュール４１０の液状原料流路４２０は，４つの側面（互いに平行な二対の側面）４１２〜４１８のすべてを貫通するように形成されている点で異なる。例えば液状原料流路４２０が気化モジュール４１０の内部を十字状に貫通するように形成される。このように液状原料流路４２０が４つの側面４１２〜４１８をそれぞれ貫通することにより，４つの開口部４２２〜４２８が形成される。このような気化モジュール４１０では，４つのすべての側面４１２〜４１８が気化器４００を構成する際に他の気化モジュールと密着して結合する結合面となり得る。
【０１２１】
なお，図示はしないが，気化モジュール内に形成される液状原料流路４２０以外の流路，すなわちキャリアガス流路および原料ガス流路についてもそれぞれ，液状原料流路４２０と同様に気化モジュール４１０の内部を十字状に貫通し，４つのすべての側面４１２〜４１８を貫通するように形成される。
【０１２２】
このような第３実施形態にかかる十字型流路を有する気化モジュールであれば，行方向（Ｘ方向）のみならず，行方向に直交する列方向（Ｙ方向）にも連結して気化器を構成することができる。図１１に示す気化器４００は，第３実施形態にかかる構成の９個の気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉを行方向（Ｘ方向）及び列方向（Ｙ方向）にマトリクス状に連結して構成した例である。このように各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉを結合することにより，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉに形成された液状原料流路４２０Ａ〜４２０Ｉが連通するとともに，キャリアガス流路および原料ガス流路についても連通する。
【０１２３】
図１１に示す気化器４００において，気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの中の一つ（ここでは気化モジュール４１０Ｄ）の液状原料流路４２０Ｄ，キャリアガス流路，原料ガス流路にそれぞれ，液状原料供給配管１１２，キャリアガス供給配管１２２，原料ガス供給配管１３２を接続する。具体的には，液状原料供給配管１１２は気化モジュール４１０Ｄの液状原料流路４２０Ｄの４つの開口部のうち，気化器４００の外側に向いている開口部，すなわち他の気化モジュールと結合されていない側面に開口する液状原料流路４２０Ｄの開口部に接続する。また，キャリアガス流路，原料ガス流路についても，気化モジュール４１０Ｄの液状原料流路４２０Ｄの４つの開口部のうち，他の気化モジュールと結合されていない側面に開口する液状原料流路４２０Ｄの開口部にキャリアガス供給配管１２２および原料ガス供給配管１３２が接続される。
【０１２４】
また，気化モジュール４１０Ｄ以外の気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｃ，４１０Ｅ〜４１０Ｉについては，気化器４００の外側に向いている側面，すなわち他の気化モジュールと結合されていない側面には，図３に示すものと同様の終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂが取り付けられる。終端プレート３９０Ａは，他の気化モジュールと結合されていない側面に開口する液状原料流路とキャリアガス流路の開口部を閉塞するものであり，終端プレート３９０Ｂは，他の気化モジュールと結合されていない側面に開口する原料ガス流路の開口部を閉塞するものである。なお，これら各気化モジュールに取付けられる終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂはそれぞれ一体で構成するようにしてもよい。
【０１２５】
このような第３実施形態にかかる気化器４００によれば，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉがその側面で列方向のみならず，行方向にもすべて連結されることにより，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの液状原料流路４２０Ａ〜４２０Ｉも列方向のみならず，行方向にも連結して，共通の原料液室として機能させることができる。これにより，気化モジュール４１０Ｄの液状原料流路４２０Ｄに液状原料を所定の圧力で供給すれば，連結されている他のすべての気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｃ，４１０Ｅ〜４１０Ｉに液状原料が供給されて充填され，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの噴霧ノズル３６０の吐出口３６２から一斉に液状原料を吐出させることができる。
【０１２６】
また，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉがその側面で連結されることにより，各液状原料流路４２０Ａ〜４２０Ｉのみならず，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉのキャリアガス流路，原料ガス流路についてもすべて連通するため，気化モジュール４１０Ｄのキャリアガス流路にキャリアガスを供給すれば，連通したキャリアガス流路を経由してすべての気化モジュール４１０〜４１０Ｉにキャリアガスを供給することができる。したがって，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉにおいてキャリアガスを液状原料ととともに気化室に向けて一斉に噴出させることができる。
【０１２７】
こうして，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの気化器で生成された原料ガスは，気化モジュール４１０Ｄに合流されて原料ガス供給配管１３２へ導出される。
【０１２８】
従って，第３実施形態にかかる気化器４００においても，上記第１，第２実施形態にかかる気化器３００，３０２と同様に，連結する気化モジュール４１０の数を増減させるだけで，気化器４００全体で生成される原料ガスの流量を簡単に調整することができるので，小流量の原料ガスが要求される場合から大流量の原料ガスが要求される場合まで，様々な原料ガスの流量が要求される場合に，気化器４００の構成をその原料ガス流量に応じた構成に簡単に変更できる。
【０１２９】
また，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの液状原料流路，キャリアガス流路，および原料ガス流路は，行方向（Ｘ方向）のみならず，列方向（Ｙ方向）にもすべて連通する。したがって，液状原料，キャリアガス，および原料ガスをより円滑に流通させることができる。これにより，例えば各液状原料流路に液状原料を充填するのにかかる時間を短縮することができるので，スループットを向上させることができる。また，各気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｉの液状原料流路，キャリアガス流路，および原料ガス流路は，行方向（Ｘ方向）のみならず，列方向（Ｙ方向）にもすべて連通するので，いずれか１つの気化モジュールに液状原料，キャリアガスを供給すればよいので，図１０に示すような流路ブロック３９８は不要である。
【０１３０】
また，第３実施形態にかかる気化器４００によれば，上記の第２実施形態にかかる気化器３０２と同様に，列方向（Ｘ方向）に連結できる気化モジュール４１０の数に制限がある場合であっても，この列方向に直交する行方向（Ｙ方向）に気化モジュール４１０の数を増やしていくことができる。この結果，所望する個数の気化モジュール４１０を連結して気化器４００を構成することができる。
【０１３１】
また，第３実施形態にかかる気化器４００は，略同一構成の気化モジュール４１０から構成されている。したがって，気化モジュールの管理が省力化されるとともに，気化器４００の組み立ても容易化される。
【０１３２】
また，第３実施形態にかかる気化器４００によれば，本体外側に位置する気化モジュール（図１１の例では，気化モジュール４１０Ｅを除くすべての気化モジュール）のいずれにも液状原料供給配管１１２，キャリアガス供給配管１２２，および原料ガス供給配管１３２を接続することができる。したがって，成膜装置１００における気化器４００の取り付け位置に応じて液状原料供給配管１１２，キャリアガス供給配管１２２，および原料ガス供給配管１３２の接続先を選択することができる。その際，液状原料供給配管１１２，キャリアガス供給配管１２２，および原料ガス供給配管１３２をそれぞれ異なる気化モジュールに接続することも可能である。
【０１３３】
（第４実施形態）
次に，本発明の第４実施形態にかかる気化器５００の構成例について図面を参照しながら説明する。図１３は第４実施形態にかかる気化器５００の構成例を概略的に示す断面図であり，図１１に示す気化器４００の断面図と同様に気化器５００を液状原料流路を通る水平な断面を上方から見た図である。
【０１３４】
図１３に示すように，第４実施形態にかかる気化器５００は，図１１に示す気化器４００における気化モジュール４１０Ｄ，４１０Ｅ以外の気化モジュール４１０Ａ〜４１０Ｃ，４１０Ｆ〜４１０Ｉを気化モジュール５１０または気化モジュール５３０に置き換えたものである。具体的には，気化器５００の角部にあたる気化モジュール４１０Ａ，４１０Ｃ，４１０Ｇ，４１０Ｉを気化モジュール５１０Ａ〜５１０Ｄに置き換え，角部以外の気化モジュール４１０Ｂ，４１０Ｆ，４１０Ｈを気化モジュール５３０Ａ〜５３０Ｃに置き換えている。
【０１３５】
このような気化モジュールのうち，４つの角部にそれぞれ配置される気化モジュール５１０Ａ〜５１０Ｄの構成例について図面を参照しながら説明する。各気化モジュール５１０Ａ〜５１０Ｄは，相互に略同一の構成を有するものであるため，気化モジュール５１０を代表してその構成例を説明する。図１４は，第４実施形態にかかる気化モジュール５１０の概略構成例を示す断面図であり，図１２に示す気化モジュール４１０の断面図と同様に気化モジュール５１０を液状原料流路を通る水平な断面を上方から見た図である。
【０１３６】
図１４に示す気化モジュール５１０は，図６に示す気化モジュール３１０と同様の外形（断面矩形（ここでは正方形）のブロック状の外形）であるものの，液状原料流路などの流路の構成のみが異なり，その他の内部（例えば噴出ノズル，気化室，キャリアガス噴射部など）の構成は図６に示す気化モジュール３１０と同様である。具体的には，図１４に示す気化モジュール５１０の液状原料流路５２０は，隣り合う２つの側面（互いに直交する側面）５１２，５１８のみを貫通するように形成されている点で，図６に示す気化モジュール３１０と異なる。例えば液状原料流路５２０が気化モジュール５１０の内部をＬ字状に貫通するように形成される。このように液状原料流路５２０が２つの側面５１２，５１８をそれぞれ貫通することにより，開口部５２２，５２８が形成される。このような気化モジュール５１０では，側面５１２，５１８が気化器を構成する際に他の気化モジュールと密着して結合する結合面となり得る。これら側面５１２，５１８は直角をなすことが好ましい。
【０１３７】
なお，図示はしないが，気化モジュール内に形成される液状原料流路５２０以外の流路，すなわちキャリアガス流路および原料ガス流路についてもそれぞれ，液状原料流路５２０と同様に気化モジュール５１０の内部を十字状に貫通し，液状原料流路５２０と同様に気化モジュールの内部をＬ字状に貫通し，同じ側面５１２，５１８を貫通するように形成される。
【０１３８】
次に，気化モジュール５３０Ａ〜５３０Ｃの構成例について図面を参照しながら説明する。各気化モジュール５３０Ａ〜５３０Ｃは，相互に略同一の構成を有するものであるため，気化モジュール５３０を代表してその構成例を説明する。図１５は，第４実施形態にかかる気化モジュール５３０の概略構成例を示す断面図であり，気化モジュール５３０を液状原料流路を通る水平な断面を上方から見た図である。
【０１３９】
図１５に示す気化モジュール５３０は，図６に示す気化モジュール４１０と同様の外形（断面矩形（ここでは正方形）のブロック状の外形）であるものの，液状原料流路などの流路のみが異なり，その他の内部（例えば噴出ノズル，気化室，キャリアガス噴射部など）の構成は図６に示す気化モジュール３１０と同様である。具体的には，図１５に示す気化モジュール５３０の液状原料流路５４０は，隣り合う３つの側面５３２，５３４，５３６のみを貫通するように形成されている点で，図６に示す気化モジュール３１０と異なる。例えば液状原料流路５４０が気化モジュール５３０の内部をＴ字状に貫通するように形成される。このように液状原料流路５４０が３つの側面５３２，５３４，５３６をそれぞれ貫通することにより，開口部５４２，５４４，５４６が形成される。このような気化モジュール５３０では，側面５３２，５３４，５３６が気化器を構成する際に他の気化モジュールと密着して結合する結合面となり得る。これら側面５３２と側面５３４は，表裏の関係にあり平行をなすことが好ましく，また側面５３６は，側面５３２，５３４と直角をなすことが好ましい。
【０１４０】
なお，図示はしないが，気化モジュール内に形成される液状原料流路５４０以外の流路，すなわちキャリアガス流路および原料ガス流路についてもそれぞれ，液状原料流路５４００と同様に気化モジュールの内部をＴ字状に貫通し，同じ側面５３２，５３４，５３６を貫通するように形成される。
【０１４１】
このようなＬ字型流路を有する気化モジュール５１０Ａ〜５１０Ｄ，Ｔ字型流路を有する気化モジュール５３０Ａ〜５３０Ｃ，および上述の十字型流路を有する気化モジュール４１０Ｄ，４１０Ｅをマトリクス状に連結して，液状原料流路５２０Ａ〜５２０Ｄ，５４０Ａ〜５４０Ｃ，４２０Ｄ，４２０Ｅを連通させ，キャリアガス流路および原料ガス流路についても同様にそれぞれ連通させる。これによって，図１３に示すような第４実施形態にかかる気化器５００が構成される。
【０１４２】
図１３に示す気化器５００では，図１１に示す気化器４００と同様に気化モジュール４１０Ｄに液状原料供給配管１１２，キャリアガス供給配管１２２，および原料ガス供給配管１３２が接続される。
【０１４３】
このような第４実施形態にかかる気化器５００によれば，各気化モジュールの側面のうち，他の気化モジュールに結合されない側面には液状原料流路が開口しないので，終端プレート３９０Ａ，３９０Ｂが不要となる。その他，第３実施形態にかかる気化器４００と同様の効果を得ることができる。
【０１４４】
（気化モジュールの他の構成例）
次に，本発明の実施形態にかかる気化モジュールの他の構成例について図面を参照しながら説明する。例えば，図４〜図６に示す気化モジュール３１０は，図１６に示す気化モジュール５５０に置き換えることができる。
【０１４５】
気化モジュール５５０は，気化モジュール３１０の気化室３７０内から内部加熱手段３８２を省略したものである。例えば比較的低い温度でも高い気化効率が得られる種類の液状原料を気化する場合には，図１６に示す気化モジュール５５０を採用するようにしてもよい。内部加熱手段３８２を省略した分，製品コストを抑えることができ，省電力化にも繋がる。
【０１４６】
また，図１６に示す気化モジュール５５０に代えて，図１７に示す気化モジュール５６０を採用するようにしてもよい。この気化モジュール５６０と気化モジュール５５０との相違点は，液状原料にキャリアガスを混合するための構造にある。すなわち，気化モジュール５５０の場合，噴霧ノズル３６０の吐出口３６２の近傍に，キャリアガス流路３３０に連通しているキャリアガス噴射部３３６のキャリアガス噴出口３３８が配置されている。液状原料は，噴霧ノズル３６０の吐出口３６２から吐出された後にキャリアガス噴出口３３８から噴射されるキャリアガスに混合される。このように，気化モジュール５５０は，液状原料とキャリアガスの混合については，いわゆるポストミックス構造を有することになる。
【０１４７】
これに対して，気化モジュール５６０の場合，噴霧ノズル３６４のボディにはキャリアガス導入孔３６６が形成されており，キャリアガス流路３３０がこのキャリアガス導入孔３６６に連通している。これによって，液状原料は，噴霧ノズル３６４内でキャリアガスと混合された後，吐出口３６２から吐出される。このように，気化モジュール５６０は，液状原料とキャリアガスの混合については，いわゆるプリミックス構造を有することになる。
【０１４８】
さらに，図１７に示す気化モジュール５６０に代えて，図１８に示す気化モジュール５７０を採用するようにしてもよい。この気化モジュール５７０は，気化モジュール５６０と同様に，液状原料とキャリアガスの混合については，いわゆるプリミックス構造を有する。
【０１４９】
ただし，両者は液状原料とキャリアガスの混合位置で異なる。気化モジュール５６０は，上記の通り噴霧ノズル３６４内で液状原料とキャリアガスが混合されるように構成されている。これに対して，気化モジュール５７０は，モジュール外で予め混合された液状原料とキャリアガスが導入されるように構成されている。したがって，気化モジュール５７０は，キャリアガス流路が省略されている。
【０１５０】
気化モジュール５７０を採用する場合，キャリアガス供給配管１２２の端部は，液状原料供給配管１１２の管壁に貫通接続される。これによって，キャリアガスが混合された液状原料は，液状原料流路３２０の開口部３２４から気化モジュール５７０内の液状原料流路３２０に供給され，この液状原料流路３２０の途中に連通している液状原料吐出流路３６８から吐出口３６２へ導かれ，ここから気化室３７０へ噴射される。
【０１５１】
また，気化モジュール５７０において，液状原料吐出流路３６８は，例えばブロック状の部材を切削加工して形成されたものである。このような液状原料吐出流路３６８に代えて，上記第１実施形態にかかる噴霧ノズル３６０を気化モジュール５７０に組み込むことも可能である。
【０１５２】
図１６〜図１８に示す気化モジュール５５０〜５７０は，例えば液状原料の種類に応じて選択的に採用される。いずれの気化モジュールを採用しても，その気化モジュールを複数個連結して気化器を形成すれば，上記第１〜第４実施形態と同様に，例えば成膜処理に要求される原料ガスの流量が変更になったときにも，気化器全体を入れ替えることなく，気化モジュールの個数を変更して必要な流量の原料ガスを生成することができる。
【０１５３】
なお，第１〜第４実施形態で具体例を挙げて説明したように，本発明にかかる気化器全体の原料ガス流量は気化器を構成する気化モジュールの数に対応するので，１つの気化モジュールの原料ガス流量を多くする必要がない。このため，各気化モジュールの液状原料の吐出口を可能な限り小さくすることができるので，より小さい液状原料の液滴を吐出口から吐出することができる。これにより，１つの気化モジュールの気化効率をより高くすることが可能であり，ひいては気化器全体の気化効率を高めることができる。
【０１５４】
また，吐出口から吐出する液状原料の液滴をより小さくできるほど，気化室の長手方向のサイズを小さくすることができるので，一つの気化モジュールをよりコンパクトに構成することができる。これにより，気化器全体もよりコンパクトに構成することができる。
【０１５５】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１５６】
例えば，本発明は，ＭＯＣＶＤ装置，プラズマＣＶＤ装置，ＡＬＤ（原子層成膜）装置，ＬＰ−ＣＶＤ（バッチ式，縦型，横型，ミニバッチ式）などに用いられる気化器，気化モジュール，およびこれらの成膜装置に適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１５７】
本発明は，気化器，気化モジュール，およびこれらの成膜装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる成膜装置の概略構成例を説明するための図である。
【図２】同実施形態にかかる気化器の概略構成例を示す側面図である。
【図３】同実施形態にかかる気化器の組立て斜視図である。
【図４】同実施形態にかかる気化モジュールの概略構成例を示す縦断面図である。
【図５】図４の気化モジュールに備えられた噴霧ノズルの具体的な構成例を示す縦断面図である。
【図６】図４のＩ字型流路を有する気化モジュールのＩ−Ｉ′断面図である。
【図７】図４の気化モジュールの矢印ＩＩ方向から見た側面図である。
【図８】同実施形態にかかる気化器の概略構成例を示す縦断面図である。
【図９】図８の気化器のＩＩＩ−ＩＩＩ′断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態にかかる気化器の概略構成例を示す横断面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態にかかる気化器の概略構成例を示す横断面図である。
【図１２】同実施形態にかかる十字型流路を有する気化モジュールの概略構成例を示す横断面図である。
【図１３】本発明の第４実施形態にかかる気化器の概略構成例を示す横断面図である。
【図１４】同実施形態にかかるＬ字型流路を有する気化モジュールの概略構成例を示す横断面図である。
【図１５】同実施形態にかかるＴ字型流路を有する気化モジュールの概略構成例を示す横断面図である。
【図１６】図４の気化モジュールの代替として用いることができる気化モジュールの構成例を示す縦断面図である。
【図１７】図１６の気化モジュールの代替として用いることができる気化モジュールの構成例を示す縦断面図である。
【図１８】図１７の気化モジュールの代替として用いることができる気化モジュールの構成例を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【０１５９】
１００      成膜装置
１１０      液状原料供給源
１１２      液状原料供給配管
１１４      液状原料流量制御バルブ
１２０      キャリアガス供給源
１２２      キャリアガス供給配管
１２４      キャリアガス流量制御バルブ
１３２      原料ガス供給配管
１３４      原料ガス流量制御バルブ
１４０      制御部
２００      成膜室
２１０      天壁
２１２      底壁
２２２      サセプタ
２２４      支持部材
２２６      ヒータ
２２８      電源
２３０      排気ポート
２３２      排気系
２４０      シャワーヘッド
２４２      内部空間
２４４      ガス吐出孔
３００      気化器
３０２      気化器
３１０（３１０Ａ〜３１０Ｉ）      気化モジュール
３１２（３１２Ａ〜３１２Ｃ）      側面
３１２Ｌ，３１２Ｍ，３１２Ｎ      円環状溝
３１４（３１４Ａ〜３１４Ｃ）      側面
３１４Ｌ，３１４Ｍ，３１４Ｎ      円環状溝
３１６Ｌ，３１６Ｍ，３１６Ｎ      円環状溝
３２０（３２０Ａ〜３２０Ｉ）      液状原料流路
３２２（３２２Ａ〜３２２Ｃ），３２４      開口部
３３０（３３０Ａ〜３３０Ｃ）      キャリアガス流路
３３２（３３２Ａ〜３３２Ｃ），３３４      開口部
３３６      キャリアガス噴射部
３３８      キャリアガス噴出口
３４０（３４０Ａ〜３４０Ｃ）      原料ガス流路
３４２（３４２Ａ〜３４２Ｃ），３４４      開口部
３５０Ａ〜３５０Ｃ      貫通孔
３６０（３６０Ａ〜３６０Ｃ）      噴霧ノズル
３６２（３６２Ａ〜３６２Ｃ）      吐出口
３６４      噴霧ノズル
３６６      キャリアガス導入孔
３６８      液状原料吐出流路
３７０（３７０Ａ〜３７０Ｃ）      気化室
３７２      原料ガス出口
３８０（３８０Ａ〜３８０Ｃ）      側壁加熱手段
３８２（３８２Ａ〜３８２Ｃ）      内部加熱手段
３９０Ａ，３９０Ｂ      終端プレート
３９１Ａ，３９１Ｂ      フランジ部
３９２Ａ      ボルト
３９２Ｂ      ナット
３９４Ａ，３９４Ｂ      貫通孔
３９６Ｌ，３９６Ｍ，３９６Ｎ      Ｏリング
３９８      流路ブロック
３９８Ｌ      液状原料導入流路
４００      気化器
４１０（４１０Ａ〜４１０Ｉ）      気化モジュール
４１２，４１４，４１６，４１８      側面
４２０（４２０Ａ〜４２０Ｉ）      液状原料流路
４２２，４２４，４２６，４２８      開口部
５００      気化器
５１０（５１０Ａ〜５１０Ｄ）      気化モジュール
５１２，５１８      側面
５２０（５２０Ａ〜５２０Ｄ）      液状原料流路
５２２，５２８      開口部
５３０（５３０Ａ〜５３０Ｃ）      気化モジュール
５３２，５３４，５３６      側面
５４０（５４０Ａ〜５４０Ｃ）      液状原料流路
５４２，５４４，５４６      開口部
５５０      気化モジュール
５６０      気化モジュール
５７０      気化モジュール
Ｗ      ウエハ
【図１】
2008231515.tif 000003
【図２】
2008231515.tif 000004
【図３】
2008231515.tif 000005
【図４】
2008231515.tif 000006
【図５】
2008231515.tif 000007
【図６】
2008231515.tif 000008
【図７】
2008231515.tif 000009
【図８】
2008231515.tif 000010
【図９】
2008231515.tif 000011
【図１０】
2008231515.tif 000012
【図１１】
2008231515.tif 000013
【図１２】
2008231515.tif 000014
【図１３】
2008231515.tif 000015
【図１４】
2008231515.tif 000016
【図１５】
2008231515.tif 000017
【図１６】
2008231515.tif 000018
【図１７】
2008231515.tif 000019
【図１８】
2008231515.tif 000020