(57)【要約】【課題】大面積化に適した新規な面光源装置を提供する。【解決手段】面光源装置は、複数の放電空間を具備する光源体と、放電空間に対する第１電圧を印加するために、互いに平行に配置された第１電極及び第２電極と、放電空間に対する第２電圧を印加するために第１電極及び第２電極に対向し、かつそれらの形成方向に対して直交する方向に配置された第３電極を含む。本発明によると、互いに直交する関係で対向した各電極部に第１電圧と第２電圧を印加し、面光源装置の放電開始電圧及び駆動電圧を下げることができる。また、それぞれの電極に対して順次に電圧を印加し、あるいは選択的に電圧を印加して面光源装置の分割駆動を行える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の放電空間を具備する光源体と、
前記放電空間に対する第１電圧を印加するために、互いに平行に配置された第１電極及び第２電極と、
前記放電空間に対する第２電圧を印加するために、前記第１電極及び第２電極に対向し、かつそれらの形成方向に対して直交する方向に配置された第３電極と、を含む面光源装置。
【請求項２】
前記第１電極、第２電極、及び第３電極が、前記光源体の内面または外面に形成された請求項１に記載の面光源装置。
【請求項３】
前記第２電圧が前記第１電圧よりも低いことを特徴とする請求項１に記載の面光源装置。
【請求項４】
前記光源体が第１基板と第２基板を含み、
前記第１電極及び第２電極は前記第１基板及び前記第２基板のうち、いずれか一方の基板の表面に形成され、前記第３電極は他方の基板の表面に形成された請求項１に記載の面光源装置。
【請求項５】
前記光源体が第１基板と第２基板を含み、
前記第１基板及び第２基板の少なくとも一方には、一方向に延びる複数の放電チャンネルが形成されている請求項１に記載の面光源装置。
【請求項６】
前記放電チャンネルが形成された基板の外面または内面に、前記第１電極及び第２電極が形成されている請求項５に記載の面光源装置。
【請求項７】
前記放電チャンネルが形成された基板の外面または内面に、前記第３電極が形成されている請求項５に記載の面光源装置。
【請求項８】
前記光源体が第１基板と第２基板を含み、
前記第１基板及び第２基板の少なくとも一方には、マトリックス形態で配置された複数の放電セルが形成されている請求項１に記載の面光源装置。
【請求項９】
前記放電セルが形成された基板の外面または内面に、前記第１電極及び第２電極が形成されている請求項８に記載の面光源装置。
【請求項１０】
前記放電セルが形成された基板の外面または内面に、前記第３電極が形成されている請求項８に記載の面光源装置。
【請求項１１】
前記光源体は、平板状をした第１基板及び第２基板を含み、
前記第１基板と前記第２基板との間の内部空間が隔壁によって複数の放電チャンネルに区画されている請求項１に記載の面光源装置。
【請求項１２】
前記第１電極及び第２電極が前記第１基板及び第２基板のいずれか一方の基板の表面に形成され、前記第３電極が他方の基板の表面に形成された請求項１１に記載の面光源装置。
【請求項１３】
前記第１電極、前記第２電極、または前記第３電極が、ストライプ形態のワイヤ、メッシュ型パターン、またはテープ形態の膜で形成されたことを特徴とする請求項１に記載の面光源装置。
【請求項１４】
前記第１電極、前記第２電極、または前記第３電極が、ベース層と、該ベース層の上面に形成された電極パターンと、該電極パターンの上部に形成された保護層からなることを特徴とする請求項１に記載の面光源装置。
【請求項１５】
前記光源体の内部には、水銀を除く放電ガスが注入されることを特徴とする請求項１に記載の面光源装置。
【請求項１６】
複数の放電空間を具備する光源体と、
前記放電空間に対する第１電圧を印加するために、互いに平行に配置された第１電極及び第２電極と、
前記放電空間に対する第２電圧を印加するために、前記第１電極及び第２電極に対向し、かつそれらの形成方向に対して直交する方向に配置された第３電極を含む面光源装置と、
前記面光源装置を収納するケースと、
前記光源体に放電電圧を印加するインバーターと、を含むバックライトユニット。
【請求項１７】
前記インバーターが、第１電圧を前記第１電極及び第２電極に印加し、第１電圧よりも低い第２電圧を前記第３電極に印加することを特徴とする請求項１６に記載のバックライトユニット。
【請求項１８】
前記光源体が第１基板と第２基板を含み、
前記第１電極及び第２電極は前記第１基板及び第２基板のいずれか一方の基板の表面に形成され、前記第３電極は他方の基板の表面に形成されている請求項１６に記載のバックライトユニット。
【請求項１９】
前記光源体が第１基板と第２基板を含み、
第１基板及び第２基板の少なくとも一方には、一方向に延びる複数の放電チャンネルが形成されている請求項１６に記載のバックライトユニット。
【請求項２０】
前記光源体が第１基板と第２基板を含み、
前記第１基板及び第２基板の少なくとも一方には、マトリックス形態で配置された複数の放電セルが形成されている請求項１６に記載のバックライトユニット。
【請求項２１】
前記光源体は、平板状をした第１基板及び第２基板を含み、
前記第１基板と前記第２基板との間の内部空間が隔壁によって複数の放電チャンネルに区画されている請求項１６に記載のバックライトユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面光源装置に関するものであり、詳しくは、互いに平行な第１電極及び第２電極と、これらに対向して直交方向に延びる第３電極を含む面光源装置及び該装置を具備するバックライトユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、液晶の電気的特性及び光学的特性を利用して映像を表示する。液晶表示装置は、陰極線管（ｃａｔｈｏｄｅ  ｒａｙ  ｔｕｂｅ；ＣＲＴ）等に比べて体積が非常に小さくて軽量であるという長所を有している。その結果、ポータブルコンピューター、通信機器、液晶テレビ（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｔｅｌｅｖｉｓｉｏｎ  ｒｅｃｅｉｖｅｒ）及び宇宙航空産業等に広く使用されている。
【０００３】
液晶表示装置は、液晶を制御する液晶制御部及び液晶に光を供給する後面光源を含む。液晶制御部は、第１基板に配置された画素電極（ｐｉｘｅｌ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）、第２基板に配置された共通電極（ｃｏｍｍｏｎ  ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ）及び画素電極と共通電極との間に介在する液晶を含む。画素電極は、解像度に応じて多数の電極からなり、共通電極は画素電極と対向して１個で成り立っている。各画素電極には、互いに異なるレベルを有する画素電圧（ｐｉｘｅｌ  ｖｏｌｔａｇｅ）を印加するために薄膜トランジスター（ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ；ＴＦＴ）が接続され、共通電極には等しいレベルのレファレンス電圧（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｖｏｌｔａｇｅ）が印加される。画素電極及び共通電極は、導電性を有する透明な物質からなる。
【０００４】
後面光源から供給される光は、画素電極、液晶及び共通電極を順次に通過する。ここで、液晶を通過した映像の表示品質は、後面光源の輝度及び輝度均一性によって大きく左右される。一般的に輝度及び輝度均一性が高いほど表示品質は良好になる。
【０００５】
従来の液晶表示装置の後面光源は、棒状をした冷陰極線管方式ランプ（ｃｏｌｄ  ｃａｔｈｏｄｅ  ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  ｌａｍｐ；ＣＣＦＬ）またはドット状の発光ダイオード（ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ；ＬＥＤ）が主に使用されて来た。冷陰極線管方式ランプは、輝度が高くて寿命が長く、白熱灯に比べて発熱量が非常に少ないという長所がある。一方、発光ダイオードは、消費電力が高いが輝度に優れているという長所がある。しかし、冷陰極線管方式ランプまたは発光ダイオードは、輝度均一性が良くないという短所を有している。そのため、冷陰極線管方式ランプまたは発光ダイオードを光源とする後面光源装置は、輝度均一性を高めるために導光板（ｌｉｇｈｔ  ｇｕｉｄｅ  ｐａｎｅｌ；ＬＧＰ）、拡散部材（ｄｉｆｆｕｓｉｏｎ  ｍｅｍｂｅｒ）及びプリズムシート（ｐｒｉｓｍ  ｓｈｅｅｔ）等の光学部材（ｏｐｔｉｃａｌ  ｍｅｍｂｅｒ）を必要とする。それにより冷陰極線管方式ランプまたは発光ダイオードを使用する液晶表示装置は、光学部材によって体積及び重さが大幅に増加するという問題点を有している。
【０００６】
液晶表示装置用の後面光源として平板形態の面光源装置（ｆｌａｔ  ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  ｌａｍｐ：ＦＦＬ）が提案されたことがある。図１を参照すると、従来の面光源装置１００は、光源体１１０と、光源体１１０の両側端外面に具備された電極１６０を含む。光源体１１０は、所定間隔を置いて対向配置された第１基板及び第２基板を含む。多数の隔壁部１４０が第１基板と第２基板の間に配置され、第１基板と第２基板との間の空間を複数の放電チャンネル１２０に区画する。第１基板及び第２基板のそれぞれの縁部の間にはシーリング部材（未図示）を配置することで前記放電チャンネル１２０を外部と隔離させる。放電チャンネル内部の放電空間１５０には、放電ガスを注入する。
【０００７】
前記面光源装置を放電駆動するために、前記第１基板及び第２基板の一方あるいは両方には、電極を細長い帯形態または島電極形態で、放電チャンネル当たり同一面積を有するように電極材料を塗布する。したがって、前記面光源装置は、インバーターを利用して駆動すると、全てのチャンネルで同一の放電が行われる。
【０００８】
面光源装置は、駆動中に輝度が決まった水準を維持する。液晶表示装置の画面情報によって面光源装置の輝度を変動させるディミング（ｄｉｍｍｉｎｇ）技術が提案されたことがあるが、輝度を局部的に制御する技術はまだ提供されていない。
【０００９】
大面積の液晶表示装置の画質を改善してさらに鮮明で自然な表示品質を具現化するためには、バックライトに使用される面光源装置の輝度を局部的に制御できる技術が必須である。一方、面光源装置は、放電初期に高い開始電圧が要求されるだけではなく、駆動中に多くの電力を消費する。ゆえに、放電開示及び駆動中の電圧を低くした新しい面光源装置が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、大面積化に適した新規な面光源装置を提供することである。
【００１１】
本発明の他の目的は、放電開始電圧と駆動電圧を低くできる面光源装置を提供することである。
【００１２】
本発明のまた他の目的は、局部的な輝度制御が可能な面光源装置及びバックライトユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、複数の放電空間を具備する光源体と、前記放電空間に対する第１電圧を印加するために、互いに平行に配置された第１電極及び第２電極と、前記放電空間に対する第２電圧を印加するために、前記第１電極及び第２電極に対向し、かつそれらの形成方向に対して直交する方向に配置された第３電極と、を含む面光源装置を提供する。
【００１４】
前記第１電極、第２電極、及び第３電極は、前記光源体の内面または外面に形成することができる。また前記第３電極に印加する第２電圧を、第１電極及び第２電極に印加する第１電圧よりも低くし、または第１電圧よりも高くすることができる。
【００１５】
前記光源体は第１基板と第２基板を含み、前記第１電極及び第２電極を、第１基板及び第２基板のいずれか一方の基板の表面に形成し、前記第３電極を他方の基板の表面に形成することが好ましい。
【００１６】
本発明はまた、複数の放電空間を具備する光源体と、該放電空間に対する第１電圧を印加するために、互いに平行に配置された第１電極及び第２電極と、前記放電空間に対する第２電圧を印加するために、前記第１電極及び第２電極に対向し、かつそれらの形成方向に対して直交する方向に配置された第３電極を含む面光源装置と、前記面光源装置を収納するケースと、前記光源体に放電電圧を印加するインバーターと、を含むバックライトユニットを提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る面光源装置及びバックライトユニットによれば、放電開始電圧及び駆動電圧を下げることができる。また、それぞれの電極に対して順次に電圧を印加し、あるいは選択的に電圧を印加して面光源装置を分割駆動できる。その結果、スキャンディミング（ｓｃａｎ  ｄｉｍｍｉｎｇ）またはローカルディミング（ｌｏｃａｌ  ｄｉｍｍｉｎｇ）が可能であり、面光源装置の機能をさらに多様化させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図２は、本発明の一実施例による面光源装置２００の上面を示した平面図であり、図３は下面を示した底面図である。
【００１９】
面光源装置２００は、光源体を構成する第１基板２１２と第２基板２１４を含み、第１基板と第２基板との間に放電空間として複数の放電チャンネル２２０が区画されている。この放電チャンネル２２０については、例えば第１基板と第２基板のうち、少なくとも一方を、例えば成形により形成できる。隣接する放電チャンネルは、非発光領域である隔壁部２３０によって区画される。
【００２０】
図示の実施例によると、光源体を構成する第１基板２１２には、一方向に細長く延びる複数の放電チャンネルが形成されている。放電チャンネルが形成された第１基板２１２の表面には、チャンネルの長手方向に対して平行に配置された第１電極２５０ａ及び第２電極２５０ｂが形成されている。第３電極２５０ｃは、放電チャンネルが形成されない第２基板２１４の表面において、放電チャンネルの長手方向に対して直交する方向に沿って前記第１電極及び第２電極と対向して配置される。
【００２１】
第１基板２１２と第２基板２１４の内面には蛍光層（未図示）を塗布して、第１基板及び第２基板のいずれか一方にはさらに反射膜（未図示）を形成することができる。第１基板２１２と第２基板２１４のそれぞれの縁部は、フリット（ｆｒｉｔ）等の密封部材で接合することもでき、加熱手段、例えばレーザーを利用して直接溶着することで光源体を形成することもできる。
【００２２】
図４乃至図６は、第１電極２５０ａ及び第２電極２５０ｂの形成位置が異なる変形例を図示したものであり、放電チャンネルの上部平坦面（図４参照）、側面（図６参照）、または上部の角（図５参照）等に第１電極２５０ａ及び第２電極２５０ｂを配置することができる。第１電極と第２電極には、放電維持電圧を印加して放電チャンネル内部の放電空間２４０に壁電荷を形成することができる。この場合、第３電極にアドレス電圧または信号電圧を印加して放電空間に注入されるガスの放電を開始することができる。
【００２３】
本発明による面光源装置は例えば、第１電極と第２電極に放電維持電圧として第１電圧を印加して第３電極にアドレス電圧として第１電圧よりも低い第２電圧を印加することができる。このように３個の電極を利用して放電開始電圧を下げることができ、面光源装置の駆動に必要な電圧を下げて消費電力を低減させることができる。また、平面でみた場合に第１電極及び第２電極と第３電極がマトリックス形態で相互に交差した配列とされるので、それぞれの電極に対して順次に電圧を印加し、あるいは選択的に電圧を印加して、面光源装置を分割駆動することができる。
【００２４】
第１電極２５０ａ及び第２電極２５０ｂは、図７に示すように放電チャンネル内部に形成することもできる。また、第３電極２５０ｃについても図８に示すように放電チャンネル内部に形成することができる。電極を放電チャンネル内部に形成する場合、放電空間での放電によって電極が損傷されることを防止するために電極表面に誘電層（未図示）をさらに形成することができる。
【００２５】
図９及び図１０は、本発明の他の実施例による面光源装置３００の上面及び下面をそれぞれ示したものであり、光源体を構成する第１基板３１２には、一方向に細長く延びる複数の放電チャンネル３２０が形成されている。
【００２６】
前述した実施例とは異なり、放電チャンネルが形成された第１基板３１２の表面にはチャンネルの長手方向に対して直交する方向に沿って第３電極３５０ｃを形成し、放電チャンネルが形成されない第２基板３１４の表面には、放電チャンネルの長手方向と平行な方向に沿って第１電極３５０ａ及び第２電極３５０ｂが形成されている。
【００２７】
第１電極３５０ａ、第２電極３５０ｂ、第３電極２５０ｃは、図１１乃至図１３にそれぞれ示すように放電チャンネルの内面または外面に形成することができる。
【００２８】
図１４は、本発明のまた他の実施例による面光源装置４００を示したものであり、光源体４１０が第１基板４１２と第２基板４１４を含み、第１基板４１２及び第２基板４１４の少なくとも一方にはマトリックス形態に配置された複数の放電セル４２０を形成する。図示の例では、第１基板４１２に複数の放電セル４２０が形成されていて、それぞれの放電セルは隔壁部４３０によって区画されている。
【００２９】
放電セルが形成されない第２基板４１４の外面には、図１４のＸ−Ｘ’線に沿う方向での放電セルの断面を示した図１５から分かるように、第１電極４５０ａ及び第２電極４５０ｂが互いに平行に形成されている。放電セルが形成された第１基板４１２の外面には、図１４のＹ−Ｙ’線に沿う方向での放電セルの断面を示した図１６から分かるように、第３電極４５０ｃが、第１電極４５０ａ及び第２電極４５０ｂの形成方向に対して直交する方向に沿って形成されている。これとは異なり、第１基板に第１電極と第２電極を相互に平行に配置し、第２基板には、これらの電極の形成方向とは直交する方向に第３電極を配置することもできる。また、放電チャンネル４２０の内面に第１電極、第２電極、第３電極を形成することもできる。
【００３０】
図１７乃至図１９は、本発明のまた他の実施例による面光源装置５００を図示したものであり、前述の実施例とは異なり、光源体５１０は平板状をした第１基板５１２と、平板状をした第２基板５１４を含む。第１基板５１２と第２基板５１４との間の内部空間は、隔壁５３０によって複数の放電チャンネル５２０に区画されている。本実施例による面光源装置は、全体的に厚さが極めて薄い超薄型構造が可能である。
【００３１】
第１基板５１２の表面には第３電極５５０ｃが形成されていて、第２基板５１４の表面にはそれぞれの放電チャンネル５２０に対応して第１電極５５０ａ及び第２電極５５０ｂが、第３電極の形成方向と直交する方向に沿って形成されている。これとは異なり、第１基板に第１電極と第２電極を形成して、第２基板に第３電極を形成することもできる。
【００３２】
本発明において、第１電極、第２電極または第３電極は、例えば、ストライプ形態のワイヤ、メッシュ型パターン、またはテープ形態の膜で形成することができる。電極によって放電チャンネルでの放電によって発生する光の透過度が低下しないように電極に使用する物質は、可視光透過度の高い物質が好ましい。また、第１電極、第２電極、または第３電極は、ベース層と、該ベース層の上面に形成された電極パターンと、該電極パターンの上部に形成された保護層からなる多層構造として形成することもできる。多層構造の電極は、基板との接合が容易で電極パターンの耐久性を確保することができ、多様な形態の電極パターンを形成できるという長所がある。ベース層は、熱衝撃に強い物質として、透明性の高分子材料を使用することができ、電極物質には、銅、銀、金、アルミニウム、ニッケル、クロム、炭素系列または高分子系列等の導電性に優れた材料、またはこれらの材料を複合化した形態の物質を使用することができる。保護層には、熱衝撃に強い透明性の高分子材料を使用できる。
【００３３】
本発明による面光源装置は、放電チャンネルに対する電圧を印加する電極同士の間隔が小さいので、陽光柱を利用しない放電ガス、例えばゼノン（キセノン）、アルゴン、ネオン、その他の不活性ガスまたはそれらの混合ガス等の発光に好適である。したがって、水銀を除く放電ガスを使用できるため環境に配慮した製品に効果的である。但し、本発明の面光源装置は、放電ガスとして水銀の使用を排除するものではない。
【００３４】
また、本発明による面光源装置は、放電チャンネルの形成方向に対して直交する方向に少なくとも一つの補助電極が形成され、全体的には格子形態の電極部を含むので、放電空間を複数の領域に区分けしてそれぞれの領域別に電圧を印加することができ、スキャンディミングやローカルディミングによって多様な輝度制御が可能である。
【００３５】
図２０は、本発明の面光源装置を含むバックライトユニットを示した分解斜視図である。図示の例によると、バックライトユニットは、面光源装置２００、上部ケース１１００及び下部ケース１２００、光学シート９００及びインバーター１３００を含む。前記下部ケース１２００は、面光源装置２００を収納するために底部１２１０及び底部１２１０の周縁部から収納空間を形成するために延長された複数の側壁部１２２０からなる。前記面光源装置２００は、下部ケース１２００の収納空間に収納される。
【００３６】
前記インバーター１３００は、下部ケース１２００の背面に配置され、面光源装置２００を駆動するための放電電圧を発生させる。インバーター１３００から発生された放電電圧は、第１電源線１３５２及び第２電源線１３５４を通じて面光源装置２００の電極部にそれぞれ印加される。
【００３７】
前記光学シート９００は、面光源装置２００から出射される光を均一に拡散させるための拡散板と、拡散した光に直進性を付与するためのプリズムシート等からなり得る。上部ケース１１００は、下部ケース１２００に結合されて面光源装置２００及び光学シート９００を支持する。上部ケース１１００は、面光源装置２００が下部ケース１２００から離脱しないように防止する。例えば、前記インバーター１３００は第１電圧を第１電極及び第２電極に印加して、第１電圧より低い第２電圧を第３電極に印加して放電開始電圧及び駆動電圧を下げることができる。
【００３８】
図示の例とは異なり、前記上部ケース１１００及び下部ケース１２００を一体型ケースとして形成することもできる。一方、本発明によるバックライトユニットは、面光源装置の輝度及び輝度均一度に優れるため、光学シート９００を含まない場合もあり得る。
【００３９】
以上で、本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、該当の技術分野における熟練した当業者または該当技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び技術的範囲から逸脱しない範囲内で、本発明を多様に修正及び変更し得る。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明によると、面光源装置及びバックライトユニットの放電開始電圧及び駆動電圧を下げることができる。また、それぞれの電極に対して順次に電圧を印加し、あるいは選択的に電圧を印加して面光源装置を分割駆動することができ、スキャンディミング（ｓｃａｎ  ｄｉｍｍｉｎｇ）またはローカルディミング（ｌｏｃａｌ  ｄｉｍｍｉｎｇ）等で、面光源装置の機能をさらに多様化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】面光源装置の一例を示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施例による面光源装置の平面図である。
【図３】本発明の一実施例による面光源装置の底面図である。
【図４】図２の面光源装置のＹ−Ｙ’線に沿う断面図である。
【図５】図２の面光源装置のＹ−Ｙ’線に沿った別例の断面図である。
【図６】図２の面光源装置のＹ−Ｙ’線に沿った別例の断面図である。
【図７】図２の面光源装置のＹ−Ｙ’線に沿った別例の断面図である。
【図８】図２の面光源装置のＹ−Ｙ’線に沿った別例の断面図である。
【図９】本発明の他の実施例による面光源装置の平面図である。
【図１０】本発明の他の実施例による面光源装置の底面図である。
【図１１】図９の面光源装置のＺ−Ｚ’線に沿う断面図である。
【図１２】図９の面光源装置のＺ−Ｚ’線に沿った別例の断面図である。
【図１３】図９の面光源装置のＺ−Ｚ’線に沿った別例の断面図である。
【図１４】本発明のまた他の実施例による面光源装置の平面図である。
【図１５】図１４の面光源装置のＸ−Ｘ’線に沿う部分断面図である。
【図１６】図１４の面光源装置のＹ−Ｙ’線に沿う部分断面図である。
【図１７】本発明のまた他の実施例による面光源装置の斜視図である。
【図１８】本発明のまた他の実施例による面光源装置の斜視図である。
【図１９】図１７の面光源装置のＰ−Ｐ’線に沿う断面図である。
【図２０】本発明の面光源装置を含むバックライトユニットを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００４２】
２００：面光源装置
２１２：第１基板
２１４：第２基板
２２０：放電チャンネル
２３０：隔壁部
２４０：放電空間
２５０ａ：第１電極
２５０ｂ：第２電極
２５０ｃ：第３電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008147191.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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