(57)【要約】【課題】一枚あたりの板状体の反転に要する時間を短縮化することができる板状体の反転機構を提供する。【解決手段】遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャック４，５を互いの吸着面８，９が対向するように離間して配置したチャック部２と、前記吸着面８，９に平行な回転軸Ｓを中心として前記チャック部２を回転させる回転部３と、水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分１６を有し前記板状体保持部分を前記チャック部２の吸着面８，９の間の位置と、前記回転部３による前記チャック部２の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部２に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部６と、を備える。【選択図】図１Ａ
2008230756.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャックを互いの吸着面が対向するように離間して配置したチャック部と、
前記吸着面に平行な回転軸を中心として前記チャック部を回転させる回転部と、
水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分を有し、前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置と、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部と、を備えることを特徴とする、板状体の反転機構。
【請求項２】
前記チャック部は、互いの吸着面の離間距離を変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の板状体の反転機構。
【請求項３】
前記チャック部に用いられるチャックは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の板状体の反転機構。
【請求項４】
前記チャック部は、前記回転軸に対して対向する２箇所に前記板状体を保持可能に構成されていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１つに記載の板状体の反転機構。
【請求項５】
前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置に設けられていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１つに記載の板状体の反転機構。
【請求項６】
前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置からずれた位置に設けられており、
前記板状体搬送部は、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に応じて、前記チャック部の吸着面の間の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１つに記載の板状体の反転機構。
【請求項７】
前記板状体搬送部は、２つのコンベアで構成されており、それぞれのコンベアは、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に対応した位置に、それぞれの板状体保持部分を配置可能に構成されていることを特徴とする、請求項６に記載の板状体の反転機構。
【請求項８】
前記板状体は、プリント配線基板であって、
請求項１から７のいずれか１つに記載の板状体の反転機構を搭載したことを特徴とする、基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平姿勢で供給又は搬送されるプリント基板、ガラス基板、金属板などの板状体を反転、移載するための板状体の反転機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント配線基板、ガラス基板、金属板などの板状体を用いて作成される製品が多種提案されていることに伴い、これらの板状体が数多く生産されている。そして、これらの板状体は、生産時及び生産終了時の検査などにおいて、板状体を表裏反転させる工程が必要となる。
【０００３】
これらの板状体を反転させる反転機構として、例えば、特許文献１（特開２００４−４２１７２号公報）が提案されている。
【０００４】
この装置は、搬入位置と搬出位置にまたがって架設されたベースプレートと、ベースプレートにそれぞれ設けられた一対のサーボモータと、搬入位置および搬出位置に臨んでそれぞれベースプレートに回転自在に軸支され、各サーボモータの出力軸に連結された回転テーブルと、各回転テーブルにそれぞれ設けられたシリンダ装置と、各シリンダ装置の可動部にそれぞれ連結されるとともに、真空源に配管接続された吸着パッドを有する吸着部材と、から構成されており、各サーボモータによる回転テーブルの９０度の回転および各シリンダ装置による吸着部材の進退を組み合わせて、搬入位置に搬入されたリード付き太陽電池セルが一方の吸着部材に吸着されるとともに、他方の吸着部材に受け渡されて、搬出位置に表裏反転して載置されるようにしたものである。
【特許文献１】特開２００４−４２１７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この装置は、１枚あたりの板状体の反転に要する時間が長くなるという問題があった。すなわち、渡し側の吸着パッドを搬入装置に載置されている板状体に押し付けて板状体を吸着保持し、渡し側及び受け側の２つの吸着パッドを固定する回転テーブルをそれぞれ回転させて、２つの吸着パッドが対向するように配置し、受け側の吸着パッドを板状体に押し付けて板状体を吸着保持させると共に渡し側吸着パッドから解除し、受け側の吸着パッドを回転させて搬出装置に搬出する、という工程が必要となる。すなわち、吸着パッドを用いた２基の回転テーブルで対象物を保持するため、コンベアから回転機構への受け渡し、一方の回転機構からもう一方の回転機構への受け渡し、さらに回転機構からコンベアへの受け渡しと、１枚の板状体の反転につき２度の回転と３度の挟み込み動作が生じるため多くの機構と動作時間が必要であった。
【０００６】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、一枚あたりの板状体の反転に要する時間を短縮化することができる板状体の反転機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の板状体の反転機構を提供する。
【０００８】
本発明の第１態様によれば、遠隔的に吸引力が作用して板状体を吸脱着可能な一対のチャックを互いの吸着面が対向するように離間して配置したチャック部と、
前記吸着面に平行な回転軸を中心として前記チャック部を回転させる回転部と、
水平姿勢で板状体を保持する板状体保持部分を有し、前記板状体保持部分を前記チャック部の吸着面の間の位置と、前記回転部による前記チャック部の回転に支障がない位置との間で、前記チャック部に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部と、を備えることを特徴とする、板状体の反転機構を提供する。
【０００９】
本発明の第２態様によれば、前記チャック部は、互いの吸着面の離間距離を変更可能に構成されていることを特徴とする、第１態様の板状体の反転機構を提供する。
【００１０】
本発明の第３態様によれば、前記チャック部に用いられるチャックは、ベルヌーイチャックであることを特徴とする、第１又は第２態様の板状体の反転機構を提供する。
【００１１】
本発明の第４態様によれば、チャック部は、前記回転軸に対して対向する２箇所に前記板状体を保持可能に構成されていることを特徴とする、第１から第３態様のいずれか１つの板状体の反転機構を提供する。
【００１２】
本発明の第５態様によれば、前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置に設けられていることを特徴とする、第１から第４態様のいずれか１つの板状体の反転機構を提供する。
【００１３】
本発明の第６態様によれば、前記回転部は、前記回転軸が、前記チャックの吸着面の離間距離の中間位置からずれた位置に設けられており、
前記板状体搬送部は、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に応じて、前記チャック部の吸着面の間の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする、第１から第４態様のいずれか１つの板状体の反転機構を提供する。
【００１４】
本発明の第７態様によれば、前記板状体搬送部は、２つのコンベアで構成されており、それぞれのコンベアは、前記回転部による回転に伴い移動するチャック部の位置に対応した位置に、それぞれの板状体保持部分を配置可能に構成されていることを特徴とする、第６態様の板状体の反転機構を提供する。
【００１５】
本発明の第８態様によれば、前記板状体は、プリント配線基板であって、
第１から第７態様のいずれか１つの板状体の反転機構を搭載したことを特徴とする、基板の検査装置を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、対向配置したチャックの吸着状態を切り換え、板状体の落下を利用して吸着面を入れ替えた後、チャック部を回転させることで板状体の反転を行う。すなわち、板状体のいずれの方向からも板状体を挟み込むことなく吸着保持させることができるので、反転に要する工程を少なくすることができ、一枚の板状体の反転に要する時間を短くすることができる。
【００１７】
なお、チャックの間隔は、板状体の落下による姿勢の乱れ及び落下による板状体の損傷が許容される範囲内で自由に設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態に係る板状体の反転機構について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１Ａは、本発明の実施形態にかかる板状体の反転機構の概略構成を示す側面図であり、図１Ｂは、図１Ａの板状体の反転機構の平面図である。
【００２０】
図１Ａ，図１Ｂに示すように、本実施形態にかかる板状体の反転機構１は、遠隔的に吸引力が作用して板状体１００を吸脱着可能な一対のチャック４，５を互いの吸着８，９面が対向するように離間して配置したチャック部２と、吸着面に平行な回転軸Ｓを中心としてチャック部２を回転させる回転部３と、水平姿勢で板状体１００を保持する板状体保持部分１６を有し、板状体保持部分１６をチャック部１の吸着面８，９の間の位置と、前記回転部によるチャック部２の回転に支障がない位置との間で、チャック部２に対して相対的に移動可能に構成されている板状体搬送部６とを備える。
【００２１】
チャック部２は、少なくとも一対のチャック４，５を互いに平行に間隔Ａをおいて保持する部材である。チャック４，５の間の間隔Ａは、板状体１００を保持した状態の板状体搬送部６が挿入可能な距離であって、さらに、板状体搬送部６によって搬送された板状体を遠隔的に吸着できる距離であればよい。具体的には、板状体１００の性状や、チャックの吸着性能等に応じて調整できるように構成されていてもよい。
【００２２】
チャック部２を構成するチャック４，５はバキュームチャック、ベルヌーイチャックなどの遠隔的に吸引力を作用させることができ、かつ、吸着面を下方向に向けて作用させる吸引力によって板状体１００を懸垂状態で保持できるものであればよい。板状体が鋼板などの場合は、電磁石を用いてチャックを構成することができる。
【００２３】
また、チャック４，５は、板状体を接触させた状態で保持させる必要はなく、非接触で保持するように構成されていてもよい。板状体を非接触で保持する方法は、例えば、特開昭６２−１６９２４号公報などに開示されている。なお、板状体を非接触で保持する場合は、板状体が位置ずれをおこさないように、ズレ防止ガイドなどを設けることが好ましい。
【００２４】
チャックの幅寸法Ｂ，長さ寸法Ｃは、それぞれ板状体を確実に保持可能な大きさであれば特に限定はなく、板状体１００の幅、長さよりも短くてもよい。
【００２５】
回転部３は、サーボモータやステップモータなどの駆動力により、吸着面に対して平行な回転軸Ｓを中心にチャック部２を反転させる。チャック部２を反転させることにより、一対のチャックの上下関係が入れ替わることとなって、板状体１００を反転させることができる。この動作の詳細は、後述する。なお、本実施形態では、回転軸Ｓは，チャックの吸着面の離間距離の中間位置に設けられており、回転部３による回転の前後でチャック部２の高さ位置が変化しないように構成されている。
【００２６】
板状体搬送部６は、載置テーブルなどの板状体を保持するための部材で構成することができる。また、板状体搬送部６は、チャック部２の２枚のチャック４，５の間に出し入れ可能にチャック部２に対して相対的に移動することができる。
【００２７】
図２Ａ及び図２Ｂを用いて、図１Ａの反転機構の動作を説明する。図２Ａは、図１Ａの反転機構の動作を説明するための各工程を示す図であり、図２Ｂは、図２Ａに続く図１Ａの反転機構の動作を説明するための各工程を示す図である。
【００２８】
まず、本実施形態にかかる反転機構は、チャック部２の一対のチャック４，５の吸着面が、略水平となるように配置される。このとき、チャック４，５の吸引力は共に作用していない。なお、図２Ａ，２Ｂでは、吸引力が作用している状態をＯＮ，作用していない状態をＯＦＦと表示する。図２Ａ（ａ）に示すように、反転される対象である板状体１００が載置された状態の板状体搬送部６が一対のチャック４，５の間に移動する。
【００２９】
図２Ａ（ｂ）に示すように、板状体搬送部６が一対のチャック４，５の間に移動した後、上側に位置するチャック４の吸引力を作用させる。これにより、板状体１００は、板状体搬送部６からチャック４へ移動し、チャック４の吸着面に懸垂状態で保持される。
【００３０】
板状体１００が板状体搬送部６からチャック４へ移動すると、図２Ａ（ｃ）に示すように、板状体搬送部６を移動させ、チャック４，５の間から抜き出す。このときの位置は、チャック部２が回転部３により反転する場合に当該反転を阻害しないような位置であればよい。
【００３１】
次いで、図２Ａ（ｄ）に示すように、下側のチャック５をＯＮにして、上側のチャック４をＯＦＦとする（図２Ａ（ｅ））。これにより、板状体１００は、下側のチャック５上に落下して吸着、保持される。チャック４からチャック５へ落下するとき、板状体１００はチャック４によって保持されなかった下側面がチャック５に吸着する。
【００３２】
なお、板状体１００の落下時に下側のチャック５をＯＮにしているので、落下の衝撃で板状体１００がはねることもなく、位置ずれなどの問題が生じることがない。なお、落下の距離は、チャック４，５間の間隔Ａで調整することができ、衝撃に弱い板状体の場合は、この間隔Ａを狭くすればよい。
【００３３】
次に、図２Ｂ（ｆ）に示すように、回転部３によってチャック部２を反転させる。この結果、チャック部２の上下のチャックの位置が入れ替わり、チャック５が上側に移動する。このとき、板状体１００が反転する。
【００３４】
次いで、板状体搬送部６がチャック４，５の間の位置へ挿入するように移動し（図２Ｂ（ｇ）参照）たあと、チャック５をＯＦＦにする（図２Ｂ（ｉ））。すると、チャック５から板状体搬送部６の面に落下し、板状体搬送部６により支持される（図２Ｂ（ｈ））。
【００３５】
最後に、板状体搬送部６をチャック４，５の間から移動させ、装置から搬出する（図２Ｂ（ｊ））。
【００３６】
このように、本実施形態にかかる板状体の反転機構によれば、対向配置された遠隔的に作用するチャックを用いること及び重力落下による板状体のチャック間での受け渡しを共に採用することによって、いずれの方向からも板状体を挟み込むことなく保持、反転することができる。すなわち、反転機構の基本的な動作を、板状体搬送部６の進退動作と、チャック部２の反転動作と少なくすることができ、一枚の板状体１００の反転に要する時間を短くすることができる。
【００３７】
次に、図１Ａにかかる板状体の反転機構の変形例について説明する。図３Ａは、変形例に係る板状体の反転機構の概略構成を示す平面図であり、図３Ｂは、板状体搬送部が挿入された状態での図３Ａの反転機構のIIIB-IIIB線での断面構成を示す図である。
【００３８】
この変形例にかかる反転機構１ａは、チャック部２を構成するチャック４ａ，４ｂの大きさが、板状体１００に比べて大きく同時に２枚の板状体を保持可能に構成されている点が特徴である。また、同時に板状体搬送部６ａの載置ステージも２枚の板状体１００を載置可能に構成されている。
【００３９】
チャック４ａ，５ａは、回転部３の回転軸に対し対向する２箇所７ｂ，８ｂに板状体１００を保持可能に構成されている。また、板状体搬送部６ａも同様に、回転部３の回転軸に対し対向する２箇所７ａ，８ａに板状体１００を載置可能に構成される。板状体搬送部６ａの板状体１００の載置箇所７ａ，８ａは、それぞれ、チャック４ａ，５ａの板状体の保持箇所７ｂ，８ｂに板状体１００を供給、搬出する。
【００４０】
本変形例に係る板状体の反転機構は、チャック部２ａの反転を利用して、反転前後の板状体の移動を行うことができるため、板状体搬送部６ａの構成の自由度を高くすることができる。すなわち、図３Ｂに示すように、板状体搬送部６ａの例えば、載置箇所７ａに載置されてチャック部２ａに搬送され、チャック４ａの保持箇所７ｂに保持された板状体１００−１は、チャック部２ａの反転により、保持箇所８ｂの位置に移動する。したがって、これを板状体搬送部６ａによって搬出するときは、板状体搬送部の載置箇所８ａによって取り出すことができる。
【００４１】
この構成を採用することにより、板状体搬送部６ａのチャック部２ａからの進退において、板状体を効率よく供給、搬出することができる。すなわち、図４Ａに示すように、載置箇所７ａに載置された板状体１００−１をチャック部の保持箇所７ｂに供給する。そして、チャック部２ａが反転して、保持箇所８ｂに移動した板状体１００−１を取り出すためにチャック部２ａに板状体搬送部６ａをチャック部２ａに挿入するのと同時に、板状体搬送部６ａの載置箇所７ａに載置されている別の板状体１００−２をチャック部２ａに保持させることができる。このように、変形例に係る板状体の反転機構１ａによれば、板状体搬送部６ａが板状体を載置しない状態で進退させる必要がなく、効率よく板状体を供給、搬出することができる。
【００４２】
次にさらなる変形例にかかる板状体の反転機構について説明する。図５Ａは変形例にかかる板状体の反転機構の概略構成を示す側面図であり、図５Ｂは、供給コンベア１３，搬出コンベア１４が非挿入の状態にある図５Ａの板状体の反転機構の正面図である。
【００４３】
この変形例に掛かる反転機構１ｂは、チャック部を構成するチャックとして、第１チャック１０，第２チャック１１、第３チャック１２が設けられている。当該３枚のチャック１０，１１，１２の対向面にそれぞれ板状体を吸着する吸着面８，９，１８，１９が構成されている。すなわち、第２チャック１１は、両面が吸着面を構成する。
【００４４】
また、供給コンベア１３，搬出コンベア１４は、それぞれ供給側のコンベア１３と搬出側のコンベア１４とが設けられている。供給側コンベア１３は、板状体１００を第１チャック１０と第２チャック１１の間に挿入され第１チャック１０の吸着面８に板状体を受け渡す。一方、搬出側コンベア１４は、第２チャック１１と第３チャック１２との間に挿入され第２チャック１１の吸着面１９に保持されている板状体１００を受け取って搬出する。
【００４５】
この変形例にかかる板状体の反転機構では、供給コンベア１３，搬出コンベア１４は、固定されており、供給コンベア１３，搬出コンベア１４とチャック部２ｂとの相対移動は、チャック部２ｂが、移動することにより行われる。すなわち、図５Ｂに示すように、供給コンベア１３，搬出コンベア１４の板状体の搬送方向に対して垂直方向にチャック部２ｂが移動することによって、供給コンベア１３，搬出コンベア１４がチャック１０，１１，１２の間に挿入されたり、非挿入の状態になったりする。
【００４６】
回転部３ｂは、第２のチャック１１の高さ位置に存在する。したがって、回転部３ｂにより、チャック部２ｂが回転することで、第１チャック１０と第３チャック１２の位置が入れ替わる。
【００４７】
この変形例にかかる板状体の反転機構の動作について説明する。まず、供給コンベア１３から第１チャック１０と第２チャック１１との間に送られ、第１チャック１０の吸着面８に板状体１００が保持される。次いで、チャック部２ｂが移動して、供給コンベア１３，搬出コンベア１４が非挿入の状態となった後、第１チャック１０をＯＦＦにし、板状体１００を第２チャックの吸着面１８に保持させる。
【００４８】
次いで、チャック部２ｂを回転させて、チャック部の位置を入れ替える。すなわち、第２チャックに保持されている板状体は、図５Ａの吸着面１９の位置へ移動することとなる。その後、チャック部２ｂが移動して、供給コンベア１３，搬出コンベア１４がチャック１０，１１，１２の間に挿入された後、チャック１１をＯＦＦにし、板状体１００を搬送部１４へ搬出する。
【００４９】
この変形例にかかる板状体の反転機構によれば、チャック部の回転を利用して反転前後の板状体の移動が可能であるため、板状体の供給と搬出をそれぞれ独立した搬送部により行うことができる。したがって、搬送部の構成の自由度を高くすることができる。
（実施例）
【００５０】
次に、本発明にかかる板状体の反転機構を用いた反転装置について説明する。図６は、本発明の実施例にかかる反転装置の概略構成を示す図である。本実施例に掛かる反転装置は、図１２に示すプリント配線基板の検査装置の一部として構成され、板状体の例であるプリント配線基板１００を反転させるためのユニットとして機能する。
【００５１】
図１２に示すようにプリント配線基板は、フレーム１０２とプリント基板１０３とのつなぎ目部分に穴１０１を有する。
【００５２】
反転装置２０は、搬送ユニット２１と反転ユニット２２とを備える。搬送ユニット２１は、板状体１００を載置する載置ステージ２５と、載置ステージ２５を反転ユニット２２に進退可能に移動させるための移動装置２３とスライダ２４とを備える。
【００５３】
反転ユニット２２は、本発明にかかる反転機構１のチャック部２とサーボモータで構成された回転部３とが設けられた保持部２７が移動装置２６にスライド可能に設置されている。本実施形態において、反転機構１のチャック部２と回転部３については、前記した説明は省略する。
【００５４】
本実施例にかかる反転装置は、チャック部２を構成するチャック４，５の吸着機構として、ベルヌーイチャックを用いる。
【００５５】
チャック４，５は、その１つの主面が吸着面を構成するプレート状のチャック本体３０と、チャック本体３０を貫通して固定されるノズル３１と、チャック本体の吸着面８、９に貼付されるゴム製の支持部３２とを備えている。支持部３２は、弾性を有するゴムで構成されているので、基板１００のチャック間での受け渡し時に基板を落下させる場合に基板が損傷することを防止することができる。
【００５６】
チャック本体３０は、反転する対象である基板１００よりも大きく構成され、主面が矩形の金属板で構成されており、ノズル３１を螺合するためのネジ穴が複数（４つ）設けられている。チャック本体３０の吸着面８，９は、表面が平らに構成されており、チャック４，５自体の吸着面８，９側の表面形状は、チャック本体３０の吸着面８，９からノズル３１と支持部３２とが突出したような構成を有している。
【００５７】
ノズル３１は、図９Ａ、図９Ｂに示すように略円筒形の部材である。ノズルの側壁は、ノズル本体４０の上部を除いてネジ４５が切られている。ノズル３１は、このネジ４５によって、その上面４２をチャック本体３０の吸着面８，９側に突出するように、チャック本体３０に設けられたネジ穴に螺合する。ノズル３１とチャック本体３０との螺合位置はチャック本体３０の裏面に設けられた締めつけナット３３によって調整することができ、これによって、ノズル３１の上面３２がチャック本体３０の吸着面８，９表面から突出する高さが調整される。
【００５８】
また、ノズル３１には、その本体４０の中央部分に供給口４４が設けられており、その側壁にコンプレッサ（図示なし）と連通する導管４３と接続するためのネジ４６が切られている。供給口４４は、導管４３に連通しており、コンプレッサ（図示なし）から供給されたガスを導管４１ａに送り込み、噴出口４１から噴出する。噴出口４１及び導管４１ａは、ガスをチャック本体３０の吸着面表面８，９に平行に噴出するように、噴出口は、チャック本体の吸着面８，９側に突出した上部の側壁に等角度で８穴設けられている。噴出口４１からのガスは、矢印５１（図７参照）に示すように、ノズル３１から放射状に噴出する。
【００５９】
支持部３２は、たとえばシリコンゴムなどのゴム板で構成されており、チャック本体３０の吸着面８，９上に格子状に配列され、それぞれの中央部分にノズルが位置するように配置されている。格子の一辺は、保持したい基板よりも小さく構成されていることが好ましい。このように、支持部３２を分断した小片とすることにより、ノズル３１から噴出したガスが、支持部３２によって妨げられることがなく、チャック本体３０の表面から基板と吸着面８，９との間に形成される隙間を通って、当該隙間の外に容易に流動しやすくなる。よって、ベルヌーイ効果を発揮しやすく、基板の吸着力を高くすることができる。また、ノズル３１が複数設けられており、支持部３２がそれぞれのノズルの周囲を囲うように設けられていることにより、ベルヌーイチャックの吸着面８，９のどの位置においても基板を保持することができ、保持したい基板の形状や大きさに応じてベルヌーイチャックの吸着面の配置を調整する必要がない。
【００６０】
各支持部３２は、チャック本体３０の吸着面８，９表面からその上面５１までの高さが等しく、また、ノズル３１の上面４２よりも高くなるように構成されている（図８参照）。したがって、図８に示すように、基板１００を吸着した場合、各支持部３２の上面５１に基板が均等圧力で接触し、ノズル３１の上面４２には接触しない。したがって、ノズルの先端によって、基板を傷つけるという問題が生じない。
【００６１】
また、基板１００とノズル３１とが接触しないことにより、ノズル３１から噴出したガスが流動する空間が、チャック本体３０の表面８，９と基板１００との間に確保され、ノズルから噴出したガスの流動路を制御しやすくなり、吸着力の調整を行いやすくなる。
【００６２】
ノズル３１から噴出したガスは、上述のように、チャック本体３０の吸着面８，９表面と略平行に噴出されるため、ガスは、チャック本体の吸着面に沿って流動する。したがって、図８に示すように、穴１０１があいた特殊形状の基板１００を吸着した場合でも、ガスが、当該穴１０１から基板１００の外側（すなわち、基板１００がチャック本体３０の吸着面８，９に対向する側の面の裏面側）に漏れ出しにくく、その結果、吸着力の低下が生じにくい。
【００６３】
また、基板を吸着する場合において、吸着面８，９が基板１００の表面と所定幅以下の間隔を有する場合にガスをノズル３１から噴出することにより、支持部３２と基板とが完全に接触しない状態においても、基板に対する吸着面への吸引力を発揮させることができ、吸着面を基板に押し当てて初めて吸着力を発揮する従来の吸引式の吸着装置と比較して有利な効果を有する。
【００６４】
本実施例においては、搬送ユニット２１と反転ユニット２２間における基板１００の受け渡しとしては、図１０Ａに示すように、搬送装置２１のスライダ２４が移動装置２３に沿って反転装置２２に進退することによって行われる。一方、チャック部２を回転させるために、反転装置は、移動装置２６に沿って保持部２７が移動することによって、搬送装置２１のステージ２５がチャック部２のチャック４，５の間から外れ、チャック部２が回転可能な位置へ移動する。
【００６５】
すなわち、本実施例の反転装置は、搬送ユニット２１に載置された基板１００が反転ユニット２２のチャック４，５の間に挿入されることによって、基板１００が反転ユニットに供給され、その後、反転ユニット２２が移動することによって、搬送ユニット２１のステージ２５がチャック４，５の間から外れる。反転ユニット２２は、移動した位置で、回転部３によってチャック部２を反転させて、基板をチャック４，５間で受け渡し、元の位置へ戻る。その後、搬送ユニット２１のステージ２５へ基板が移動されて、搬送ユニット２１がチャック４，５の間から外側へ移動する。
【００６６】
図１１に、第２実施例にかかる反転装置の概略構成を示す。図１１に示す反転装置は、供給用の搬送装置２１ａと搬出用の搬送装置２１ｂとを備えており、これらは互いに平行となるように配置される。反転ユニット２２は、当該搬送装置２１ａ，２１ｂの移動方向に対して垂直方向にチャック部２を移動可能に構成される。２つの搬送装置２１ａ，２１ｂの間隔は、反転ユニット２２のチャック部が回転可能な程度離れて配置されており、チャック部２の回転は、当該位置で行われる。この反転装置によれば、２つの搬送装置２１ａ，２１ｂを用いて基板の供給と搬出を行うことができるため、装置の搬送装置の設計の自由度を高くすることができる。
【００６７】
以上説明したように、本実施例に掛かる反転装置によれば、基板の受け渡しを容易にすることができ、基板一枚あたりの反転に要する時間を短縮することができる。
【００６８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明にかかる板状体の反転機構は、プリント配線基板やガラス基板などの板状体の製造装置又は検査装置に用いられ、これらの板状体を短時間で確実に反転させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１Ａ】本発明の実施形態にかかる板状体の反転機構の概略構成を示す側面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの板状体の反転機構の平面図である。
【図２Ａ】図１Ａの反転機構の動作を説明するための各工程を示す図である。
【図２Ｂ】図２Ａに続く図１Ａの反転機構の動作を説明するための各工程を示す図である。
【図３Ａ】変形例に係る板状体の反転機構の概略構成を示す平面図である。
【図３Ｂ】板状体搬送部が挿入された状態での図３Ａの反転機構のIIIB-IIIB線での断面構成を示す図である。
【図４Ａ】図３Ａの反転機構の板状体の受け渡し動作を説明する図である。
【図４Ｂ】図４Ａに続く図３Ａの反転機構の板状体の受け渡し動作を説明する図である。
【図５Ａ】さらなる変形例にかかる板状体の反転機構の概略構成を示す側面図である。
【図５Ｂ】板状体搬送部が非挿入の状態にある図５Ａの板状体の反転機構の正面図である。
【図６】本発明の実施例にかかる反転装置の概略構成を示す図である。
【図７】図６の基板の反転装置に用いられているチャックの保持面側の構成を示す図である。
【図８】基板を吸着した状態にある図７のチャックの一部断面図である。
【図９Ａ】図６のチャックに用いられるノズルの構成図の構成を示す底面図である。
【図９Ｂ】図９Ａのノズルの構成を示す一部破断側面図である。
【図１０Ａ】図６の反転装置の基板を反転ユニットから取り出す状態を示す図である。
【図１０Ｂ】図６の反転装置のチャック部を回転させるために対比させた状態を説明する図である。
【図１１】変形例にかかる反転装置の概略構成を示す図である。
【図１２】検査対象であるプリント配線基板の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  反転機構
２  チャック部
３  回転部
４、５  チャック
６  板状体搬送部
８、９、１８、１９  吸着面
１０  第１チャック
１１  第２チャック
１２  第３チャック
１３  供給コンベア
１４  搬出コンベア
１００  板状体（基板）
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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