(57)【要約】【課題】薄板を正確にかつ確実に安定して支持する。【解決手段】内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、この容器本体を塞ぐ蓋体と、上記容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された薄板を両側から支持する溝板とを備えてなる薄板支持容器である。上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材を設けた。当該薄板押え部材には、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝を設け、当該嵌合溝を、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、この容器本体を塞ぐ蓋体と、上記容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された薄板を両側から支持する溝板とを備えてなる薄板支持容器において、
上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材が設けられ、
当該薄板押え部材に、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝が設けられ、当該嵌合溝が、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板支持容器において、
上記薄板押え部材が、並列に多数配設され上記薄板の周縁部に当接して各薄板を一定間隔を空けて１枚ずつ支持する押え帯を備え、当該押え帯が、上記薄板の周縁に沿って波形に形成されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄板支持容器において、
上記蓋体と上記容器本体との間にガスケットが設けられ、
当該ガスケットが、上記蓋体側又は容器本体側に嵌合されて全体を支持する基端支持部と、当該基端支持部から延出して形成された当接部とからなり、
当該当接部が、上記基端支持部から周囲に鍔状に広げて形成されると共に、その中間部を上方に盛り上げ外周縁部を下方へ折り返して形成され、
上記外周縁部が容器本体側又は蓋体側に当接された状態で上記中間部が蓋体側又は本体側に押圧されることで、当該当接部の有する弾性力で外周縁部が容器本体側又は蓋体側に密着されることを特徴とする薄板支持容器。
【請求項４】
請求項３に記載の薄板支持容器において、
上記ガスケットの基端支持部の上側面の内側に設けられ、上方へ延出して蓋体側又は容器本体側に当接するシール片と、当該シール片の外側に設けられ、シール片の弾性変形を吸収する環状溝とを設けたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の薄板支持容器において、
上記容器本体の底板部を、上記容器本体内に収納された薄板の下端と３ｍｍ程度の隙間に設定されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項６】
請求項５に記載の薄板支持容器において、
上記容器本体の底板部とその内部に収納された薄板の下端との隙間を縮めた分だけ上記容器本体の高さを縮めたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の薄板支持容器において、
搬送機械用のトップフランジ又は人が持つためのハンドルの一方又は両方を上記容器本体に着脱可能に支持する着脱機構を備え、
当該着脱機構が、上記容器本体と上記トップフランジ又はハンドルの２つの部材を互いに摺動可能に支持する摺動支持手段と、当該摺動支持手段で摺動可能に支持された２つの部材を互いにずれないように係止する係止手段とを備え、
上記摺動支持手段が、一方の部材に設けられた支持部と、他方の部材に設けられて上記支持部に手前側から奥部まで挿入される摺動部とからなり、
上記係止手段が、一方又は他方の部材に設けられた係止用突起と、他方又は一方の部材に設けられた係止用爪とからなり、
上記係止用爪が、上記係止用突起に当接する当接部と、当該当接部を支持する支持棒部とからなり、
当該支持棒部が、相手部材の方へかつ上記摺動支持手段の手前側へ向けて延出させて形成されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項８】
請求項７に記載の薄板支持容器において、
上記係止用爪の当接部が、上記支持棒部の基端部より相手部材側に設けられたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の薄板支持容器において、
上記摺動支持手段の支持部及び摺動部が並列に２つずつ設けられ、手前側におけるこれらの間隔を狭く、奥側を広く設定したことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか１項に記載の薄板支持容器において、
上記摺動支持手段に支持された２つの部材の互いの摺動を案内して摺動方向と直交する方向の位置決めをする案内レールを設けたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の薄板支持容器において、
上記薄板が水平になる横置き状態での上記容器本体の底部に、全体の位置決めをする本体位置決め手段が設けられ、
当該本体位置決め手段が、上記容器本体の底部の３カ所に３方向に向けて設けられるＶ字溝を構成するＶ字溝板片と、当該Ｖ字溝板片を支持する支持台とを備えて構成されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項１２】
請求項１１に記載の薄板支持容器において、
上記Ｖ字溝板片が、表面の摩擦抵抗の小さい材料で構成されたことを特徴とする薄板支持容器。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の薄板支持容器において、
上記Ｖ字溝板片が、上記支持台に着脱可能に取り付けられたことを特徴とする薄板支持容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送する薄板支持容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄板支持容器は一般に、容器本体と、この容器本体の上部開口を塞ぐ蓋体とから構成されている。容器本体内には、対向する側壁にそれぞれ溝板が設けられ、各溝板の間に、半導体ウエハ等の薄板が複数枚支持される。
【０００３】
溝板は、容器本体に着脱可能に支持されている。具体的には、溝板側に支持穴部が、容器本体側に支持用突起がそれぞれ設けられ、これらによって、溝板が容器本体に着脱可能に支持されている。
【０００４】
特許文献１にこの例を示す。溝板（薄板支持部）側に支持穴部が、この支持穴部に対応する容器本体側に支持用突起がそれぞれ設けられている。これらは３カ所に設けられている。
【特許文献１】国際公開ＷＯ９９／３９９９４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
蓋体の裏面には薄板押え部材が設けられている。この薄板押え部材には嵌合溝が設けられ、この嵌合溝に半導体ウエハを１枚ずつ嵌合して支持する。この嵌合溝はＶ字型に形成されてるが、Ｖ字型の嵌合溝の角度は通常鈍角であって、半導体ウエハの周縁部を軽く押さえているだけである。この場合、通常の使用態様においては問題ないが、薄板支持容器を落とす等の異常な衝撃に対しては、半導体ウエハが回転したりずれたりすることがあり、支持力が十分とはいえない。
【０００６】
薄板押え部材は、各半導体ウエハを一定間隔を空けて１枚ずつ支持する押え帯を並列に多数配設して構成され、押え帯に設けられた嵌合溝に半導体ウエハの周縁が嵌合して支持される。この場合、半導体ウエハが押え帯の嵌合溝から外れると、押え帯の間の隙間に入り込んで挟まってしまうことがある。
【０００７】
横置き状態の上記容器本体の底部には、薄板支持容器の位置決めをする位置決め手段が設けられているが、この位置決め手段は、３つの嵌合溝がほぼ等間隔に３カ所設けられて構成されている。これらの嵌合溝に、基台側の位置決め突起が嵌合することで、正確な位置決めが行われる。ところが、この嵌合溝は、薄板支持容器と同一材料で構成されるため、位置決め突起が各嵌合溝に嵌合した状態で、あまりスムーズに滑らないことがある。この場合、位置決め突起が各嵌合溝の途中に引っかかってしまうことがあり、正確な位置決めができなくなる。
【０００８】
また、薄板支持容器内に収納された半導体ウエハと、薄板支持容器の底板部との間には十分な隙間が設けられている。これは、薄板支持容器の落下等による異常な衝撃に対しても、半導体ウエハが底板部に接触しないようにするためである。しかしこの場合、薄板支持容器の高さがあるため、薄板支持容器を箱に梱包すると、箱の底板部と薄板支持容器の底部との隙間が少なくなる。このため、箱の底板部と薄板支持容器の底部との間に入れる緩衝材の量が少なくなってしまう。この場合、通常の搬送状態においては問題にならないが、高いところから落とす等により異常な衝撃が加わったときには多少問題になるため、緩衝材の量は多いほど望ましい。
【０００９】
また、薄板支持容器には、トップフランジやハンドルが着脱可能に取り付けられているが、薄板支持容器を落下させる等の通常あり得ない異常な衝撃によってトップフランジやハンドルが引き抜く方向に強い外力が加わると、係止爪等が外れてトップフランジ等が抜け落ちてしまうことがある。
【００１０】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたもので、薄板を正確にかつ確実に安定して支持することができ、内部を清浄な状態に保って、蓋体及びトップエンド等の着脱が確実かつ容易にできると共に、自身の位置決めを正確に行うことができる薄板支持容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために第１の発明に係る薄板支持容器は、内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、この容器本体を塞ぐ蓋体と、上記容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された薄板を両側から支持する溝板とを備えてなる薄板支持容器において、上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材が設けられ、当該薄板押え部材に、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝が設けられ、当該嵌合溝が、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成されたことを特徴とする。
【００１２】
上記構成により、薄板押え部材に、薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝が設けられ、嵌合溝が薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成されたので、薄板支持容器に強い衝撃が加わった場合でも、鋭角の嵌合溝が薄板の周縁を挟み込んで、薄板の回転を押さえて確実に支持することができる。
【００１３】
第２の発明に係る薄板支持容器は、上記薄板押え部材が、並列に多数配設され上記薄板の周縁部に当接して各薄板を一定間隔を空けて１枚ずつ支持する押え帯を備え、当該押え帯が、上記薄板の周縁に沿って波形に形成されたことを特徴とする。
【００１４】
上記構成により、押え帯を薄板の周縁に沿って波形に形成したので、薄板がずれても、押え帯の間に入り込むことがなくなる。
【００１５】
第３の発明に係る薄板支持容器は、上記蓋体と上記容器本体との間にガスケットが設けられ、当該ガスケットが、上記蓋体側又は容器本体側に嵌合されて全体を支持する基端支持部と、当該基端支持部から延出して形成された当接部とからなり、当該当接部が、上記基端支持部から周囲に鍔状に広げて形成されると共に、その中間部を上方に盛り上げ外周縁部を下方へ折り返して形成され、上記外周縁部が容器本体側又は蓋体側に当接された状態で上記中間部が蓋体側又は本体側に押圧されることで、当該当接部の有する弾性力で外周縁部が容器本体側又は蓋体側に密着されることを特徴とする。
【００１６】
上記構成により、上記薄板を確実に支持することができると共に、当接部の中間部を上方に盛り上げ外周縁部を下方へ折り返して形成したので、中間部が蓋体側又は本体側に押圧されることで、当接部の有する弾性力で外周縁部が容器本体側又は蓋体側に密着される。これにより、ガスケットが撓んでいる場合でも、その外周縁部を容器本体側又は蓋体側に確実に密着させることができ、薄板を、清浄な状態に保って、正確にかつ確実に安定して支持することができる。
【００１７】
第４の発明に係る薄板支持容器は、第３の発明に係る薄板支持容器において、上記ガスケットの基端支持部の上側面の内側に設けられ、上方へ延出して蓋体側又は容器本体側に当接するシール片と、当該シール片の外側に設けられ、シール片の弾性変形を吸収する環状溝とを設けたことを特徴とする。
【００１８】
上記構成により、シール片が蓋体側又は容器本体側に当接し、このシール片の当接による弾性変形を環状溝が吸収する。
【００１９】
第５の発明に係る薄板支持容器は、第１乃至４のいずれかの発明に係る薄板支持容器において、上記容器本体の底板部を、上記容器本体内に収納された薄板の下端と３ｍｍ程度の隙間に設定されたことを特徴とする。
【００２０】
上記構成により、容器本体の底板部と、容器本体内に収納された薄板の下端との隙間を３ｍｍ程度に設定したので、容器本体を小型化することができる。
【００２１】
第６の発明に係る薄板支持容器は、第５の発明に係る薄板支持容器において、上記容器本体の底板部とその内部に収納された薄板の下端との隙間を縮めた分だけ上記容器本体の高さを縮めたことを特徴とする。
【００２２】
上記構成により、上記容器本体の底板部とその内部に収納された薄板の下端との隙間を縮めた分だけ上記容器本体の高さを縮めたので、薄板支持容器を小型化することができる。これにより、梱包したときに、薄板支持容器の底部と梱包箱との間の緩衝材を厚くすることができ、落下等の衝撃に対する衝撃吸収能力が大幅に向上する。
【００２３】
第７の発明に係る薄板支持容器は、第１乃至６のいずれかの発明に係る薄板支持容器において、搬送機械用のトップフランジ又は人が持つためのハンドルの一方又は両方を上記容器本体に着脱可能に支持する着脱機構を備え、当該着脱機構が、上記容器本体と上記トップフランジ又はハンドルの２つの部材を互いに摺動可能に支持する摺動支持手段と、当該摺動支持手段で摺動可能に支持された２つの部材を互いにずれないように係止する係止手段とを備え、上記摺動支持手段が、一方の部材に設けられた支持部と、他方の部材に設けられて上記支持部に手前側から奥部まで挿入される摺動部とからなり、上記係止手段が、一方又は他方の部材に設けられた係止用突起と、他方又は一方の部材に設けられた係止用爪とからなり、上記係止用爪が、上記係止用突起に当接する当接部と、当該当接部を支持する支持棒部とからなり、当該支持棒部が、相手部材の方へかつ上記摺動支持手段の手前側へ向けて延出させて形成されたことを特徴とする。
【００２４】
上記構成により、支持棒部を、相手部材の方へかつ摺動支持手段の手前側へ向けて延出させて形成したので、トップフランジ等が抜ける方向に強い力が加わった場合、支持棒部が突っ張ってトップフランジ等の抜けを抑える。これにより、トップフランジ等に強い衝撃が加わっても、抜け落ちることがなくなる。
【００２５】
第８の発明に係る薄板支持容器は、第７の発明に係る薄板支持容器において、上記係止用爪の当接部が、上記支持棒部の基端部より相手部材側に設けられたことを特徴とする。
【００２６】
上記構成により、係止用爪の当接部を、支持棒部の基端部より相手部材側に設けたので、当接部は係止用突起に深く食い込む方向に押圧されることになる。これにより、衝撃等により強い力が加わっても、当接部が係止用突起から抜け落ちることがなくなる。
【００２７】
第９発明に係る薄板支持容器は、第７又は第８の発明に係る薄板支持容器において、上記摺動支持手段の支持部及び摺動部が並列に２つずつ設けられ、手前側におけるこれらの間隔を狭く、奥側を広く設定したことを特徴とする。
【００２８】
上記構成により、手前側を狭く、奥側を広く設定したので、摺動部を支持部に容易に嵌合させることができる。
【００２９】
第１０の発明に係る薄板支持容器は、第７乃至第９の発明のいずれかに係る薄板支持容器において、上記摺動支持手段に支持された２つの部材の互いの摺動を案内して摺動方向と直交する方向の位置決めをする案内レールを設けたことを特徴とする。
【００３０】
上記構成により、案内レールに案内されて、摺動支持手段に支持された２つの部材を容易に着脱させることができる。
【００３１】
第１１の発明に係る薄板支持容器は、第１乃至第１０の発明のいずれかに係る薄板支持容器において、上記薄板が水平になる横置き状態の上記容器本体の底部に全体の位置決めをする本体位置決め手段が設けられ、当該本体位置決め手段が、上記容器本体の底部の３カ所に３方向に向けて設けられるＶ字溝を構成するＶ字溝板片と、当該Ｖ字溝板片を支持する支持台とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００３２】
上記構成により、本体位置決め手段の支持台に別部材としてＶ字溝板片を取り付けたので、相手側の突起の材質に合わせた材質のＶ字溝板片を容易に取り付けることができる。
【００３３】
第１２の発明に係る薄板支持容器は、第１１の発明に係る薄板支持容器において、上記Ｖ字溝板片が、表面の摩擦抵抗の小さい材料で構成されたことを特徴とする。
【００３４】
上記構成により、表面の摩擦抵抗の小さい材料からなるＶ字溝板片に相手側の突起が嵌合した場合、Ｖ字溝板片と突起とが互いにスムーズに滑って、正確な位置に移動する。これにより、正確な位置決めができる。
【００３５】
第１３の発明に係る薄板支持容器は、第１１又は第１２の発明に係る薄板支持容器において、上記Ｖ字溝板片が、上記支持台に着脱可能に取り付けられたことを特徴とする。
【００３６】
上記構成により、Ｖ字溝板片を支持台に着脱可能に取り付けたので、相手側の突起の材質等に応じて容易に取り替えることができる。
【発明の効果】
【００３７】
（１）  上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材が設けられ、当該薄板押え部材に、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝が設けられ、当該嵌合溝の底部が、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成されたので、薄板を確実に支持することができる。
【００３８】
（２）  上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材が設けられ、当該薄板押え部材が、並列に多数配設され上記薄板の周縁部に当接して各薄板を一定間隔を空けて１枚ずつ支持する押え帯を備え、当該押え帯が、上記薄板の周縁に沿って波形に形成されたので、薄板が押え帯の間に入り込むのを防止することができる。
【００３９】
（３）  蓋体と上記容器本体との間にガスケットが設けられ、当該ガスケットが、上記蓋体側又は容器本体側に嵌合されて全体を支持する基端支持部と、当該基端支持部から延出して形成された当接部とからなり、当該当接部が、上記基端支持部から周囲に鍔状に広げて形成されると共に、その中間部を上方に盛り上げ外周縁部を下方へ折り返して形成され、上記外周縁部が容器本体側又は蓋体側に当接された状態で上記中間部が蓋体側又は本体側に押圧されることで、当該当接部の有する弾性力で外周縁部が容器本体側又は蓋体側に密着されるので、蓋体と容器本体との間に気密性を向上させることができる。
【００４０】
（４）  上記ガスケットの基端支持部の上側面の内側に設けられ、上方へ延出して蓋体側又は容器本体側に当接するシール片と、当該シール片の外側に設けられ、シール片の弾性変形を吸収する環状溝とを設けたので、ガスケットと蓋体との間に気密性を向上させることができる。
【００４１】
（５）  上記容器本体の底板部を、上記容器本体内に収納された薄板の下端と３ｍｍ程度の隙間に設定されたので、容器本体の高さを縮めることができる。
【００４２】
（６）  上記容器本体の底板部とその内部に収納された薄板の下端との隙間を縮めた分だけ上記容器本体の高さを縮めたので、薄板支持容器を小型化することができ、梱包の際に詰める緩衝材を厚くすることができ、衝撃に対する緩衝能力を大幅に向上させることができる。
【００４３】
（７）  着脱機構の係止手段が、一方又は他方の部材に設けられた係止用突起と、他方又は一方の部材に設けられた係止用爪とからなり、上記係止用爪が、上記係止用突起に当接する当接部と、当該当接部を支持する支持棒部とからなり、当該支持棒部が、相手部材の方へかつ上記摺動支持手段の手前側へ向けて延出させて形成されたので、トップフランジ等が衝撃によって抜け落ちるのを防止することができる。
【００４４】
（８）  上記係止用爪の当接部が、上記支持棒部の基端部より相手部材側に設けられたので、当接部が係止用突起から外れることがなくなり、トップフランジ等が衝撃によって抜け落ちるのを防止することができる。
【００４５】
（９）  上記摺動支持手段の支持部及び摺動部が並列に２つずつ設けられ、手前側におけるこれらの間隔を狭く、奥側を広く設定したので、摺動部を支持部に容易に着脱させることができる。
【００４６】
（１０）  上記摺動支持手段に支持された２つの部材の互いの摺動を案内して摺動方向と直交する方向の位置決めをする案内レールを設けたので、案内レールに案内されてトップフランジ等を容易に着脱させることができる。
【００４７】
（１１）  横置き状態の上記容器本体の底部に全体の位置決めをする本体位置決め手段が設けられ、当該本体位置決め手段が、上記容器本体の底部の３カ所に３方向に向けて設けられるＶ字溝を構成するＶ字溝板片と、当該Ｖ字溝板片を支持する支持台とを備えて構成されたので、容器本体と異なる材質のＶ字溝板片を取り付けることができる。
【００４８】
（１２  上記Ｖ字溝板片が、表面の摩擦抵抗の小さい材料で構成されたので、載置台の嵌合突起に対してスムーズに滑って、薄板支持容器を正確に位置決めさせることができる。
【００４９】
（１３）  上記Ｖ字溝板片が、上記支持台に着脱可能に取り付けられたので、相手側の突起の材質等に応じて、異なる材質にＶ字溝板片に容易に取り替えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送及び製造工程で使用する容器に用いて好適な容器である。本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。
【００５１】
本実施形態に係る薄板支持容器１は、図１〜図３に示すように、内部に半導体ウエハＳ（図１６参照）を複数枚収納する容器本体２と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された半導体ウエハＳを両側から支持する２つの溝板３と、容器本体２の開口２Ｆを塞ぐ蓋体４と、搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ５と、作業者が手で薄板支持容器１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル６とから構成されている。
【００５２】
容器本体２は、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体２は縦置き状態（底板部２Ｅを下にした状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと底板部２Ｅとから構成され、その上部に開口２Ｆが設けられている。各側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄには、補強用リブ９等が設けられている。この容器本体２は、半導体ウエハＳの製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、載置台上に正確に位置決めされて横置き（図２の状態）にされる。この横置き状態で底部となる側壁部２Ａの外側には、薄板支持容器１の本体位置決め手段１１が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部２Ｂの外側にはトップフランジ５が着脱機構１２によって着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる側壁部２Ｃ，２Ｄの外側には持ち運び用ハンドル６が着脱機構１２によって着脱自在に取り付けられている。
【００５３】
本体位置決め手段１１は、図３に示すように、Ｖ字溝状の３本の嵌合溝１３によって構成されている。各嵌合溝１３は、容器本体２の縦方向に整合する第１嵌合溝１３Ａと、容器本体２の縦方向に対して同じ角度（ほぼ６０度）だけ傾斜させた第２及び第３嵌合溝１３Ｂ，１３Ｃとから構成されている。これら３本の嵌合溝１３は規格に合わせて精密な寸法精度に設定されている。この本体位置決め手段１１の各嵌合溝１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが、半導体製造工程内の載置台の嵌合突起（図示せず）に嵌合することによって、薄板支持容器１が正確な位置に載置されて、ウエハ搬送用ロボットで半導体ウエハＳが出し入れされるようになっている。
【００５４】
各嵌合溝１３は、図３〜図８に示すように、Ｖ字溝板片１５と、支持台１６とから構成されている。
【００５５】
Ｖ字溝板片１５は、嵌合溝１３を構成するための部材である。Ｖ字溝板片１５は、枠体１７と、傾斜板１８と、係止用爪１９とから構成されている。
【００５６】
枠体１７は傾斜板１８及び係止用爪１９を支持するための部材である。枠体１７は、後述する支持台１６の嵌合用切り欠き２１Ｃに嵌合するように長方形状に形成されている。枠体１７の長手方向両側には、後述する支持台１６の端部支持板２２に嵌合して、嵌合用切り欠き２１Ｃへの嵌合と相まって、全体を安定して支持するための支持板嵌合用切り欠き１７Ａが設けられている。傾斜板１８は、嵌合溝１３の傾斜面を構成するための部材である。この傾斜板１８は、枠体１７に２枚設けられている。傾斜板１８の基端部が枠体１７に固定された状態で、内側下方へ向けて延出させて構成されている。傾斜板１８は、支持台１６に取り付けられた状態で、その上側表面（図６の上側の面）が所定寸法になるように、支持台１６との関係で板圧が正確に設定されている。Ｖ字溝板片１５は、表面の摩擦抵抗の小さい材料で構成され、半導体製造工程内の載置台の嵌合突起が嵌合したときにスムーズに滑って薄板支持容器１の正確な位置決めができるようになっている。この材料としては、ＰＢＴ等が用いられる。
【００５７】
係止用爪１９は、Ｖ字溝板片１５を支持台１６に固定するための部材である。係止用爪１９は、傾斜板１８の中央部から、内側下方へ向けて延出させて構成されている。係止用爪１９の先端部は垂直方向に折り返して構成され、その先端の爪部１９Ａが後述する支持台１６の係止用突起２３に係止するようになっている。これにより、Ｖ字溝板片１５は、支持台１６に着脱可能に取り付けられる。さらに、半導体製造工程内の載置台の嵌合突起の材質に合わせた材質（滑りやすい材質）のＶ字溝板片１５が選択的に取り付けられる。これにより、相手側の嵌合突起とＶ字溝板片１５とが互いにスムーズに滑って、正確な位置決めができるようになっている。
【００５８】
支持台１６は、Ｖ字溝板片１５を支持するための部材である。この支持台１６は、傾斜支持板２１と、端部支持板２２と、係止用突起２３とから構成されている。
【００５９】
傾斜支持板２１は、Ｖ字溝板片１５の傾斜板１８を正確に位置決めして支持するための部材である。平面コ字状の板片を４個並べて構成され、その内側のＶ字溝に沿って形成した傾斜面２１Ａが、Ｖ字溝板片１５の傾斜板１８に直接的に接触して支持する面となる。この傾斜面２１Ａに支持されたＶ字溝板片１５の傾斜板１８の上側表面が所定寸法になるように、傾斜面２１Ａの寸法が正確に設定されている。この場合、半導体製造工程内の載置台の嵌合突起は主に、各傾斜板１８の先端部分で接触するため、平面コ字状の傾斜面２１Ａの内側部分２１Ｂが、より正確な寸法に仕上げられている。傾斜支持板２１の上端部には、嵌合用切り欠き２１Ｃが設けられている。この嵌合用切り欠き２１Ｃは、Ｖ字溝板片１５の枠体１７が嵌合するための切り欠きである。８つの嵌合用切り欠き２１Ｃによって、Ｖ字溝板片１５が支持されるようになっている。
【００６０】
端部支持板２２は、傾斜支持板２１の嵌合用切り欠き２１Ｃに嵌合されたＶ字溝板片１５の長手方向両側を支持するための部材である。この端部支持板２２は、立て板状に形成され、傾斜支持板２１の両端部にそれぞれ設けられている。この端部支持板２２の上端部が、Ｖ字溝板片１５の枠体１７の支持板嵌合用切り欠き１７Ａに嵌合することで、Ｖ字溝板片１５の長手方向のズレを抑えて、Ｖ字溝板片１５を安定して支持するようになっている。
【００６１】
係止用突起２３は、Ｖ字溝板片１５を支持するための部材である。係止用突起２３は、各傾斜支持板２１の間の中央部に設けられている。係止用突起２３は、その上端部が拡大され、Ｖ字溝板片１５の係止用爪１９の爪部１９Ａが係止するようになっている。
【００６２】
トップフランジ５は、図９及び図１０に示すように、フランジ部２５と、本体部２６とから構成されている。フランジ部２５は、搬送装置の腕部（図示せず）で把持されるための部材である。工場内等において、トップフランジ５が搬送装置の腕部で掴まれて、薄板支持容器１が搬送される。本体部２６は、フランジ部２５を支持して容器本体２に取り付けるための部材である。本体部２６の裏面には、後述する着脱機構１２の一方の部材が設けられている。
【００６３】
容器本体２の側壁部２Ｂの中央部には、トップフランジ５を着脱自在に取り付けるための着脱機構１２の他方の部材が設けられている。着脱機構１２は、図１、図１１〜１５に示すように構成されている。具体的には、摺動支持手段２７と、係止手段２８と、案内レール２９とから構成されている。
【００６４】
摺動支持手段２７は、容器本体２とトップフランジ５とを互いに摺動可能に支持するための部材である。摺動支持手段２７は、容器本体２側に設けられた支持部３０と、トップフランジ５側に設けられて支持部３０に手前側から奥部（図１１中の右側から左側の端部）まで挿入される摺動部３１とから構成されている。支持部３０は、容器本体２の側壁部２Ｂの外側表面に、並列に２つ設けられたレール部材によって構成されている。このレール部材には、外側方向（２つのレール部材の互いを背にする方向）に開放した溝が設けられている。摺動部３１は、トップフランジ５の本体部２６のうち、上記支持部３０に対応する位置にそれぞれ設けられたレール部材によって構成されている。このレール部材には、内側方向に開放した溝が設けられている。これら支持部３０及び摺動部３１は、手前側（図１１中の右側）におけるこれらの間隔を狭く、奥側を広くして、ハの字状に設定されている。これにより、摺動部３１が、支持部３０に容易に嵌合できるようになっている。
【００６５】
係止手段２８は、摺動支持手段２７で摺動可能に支持された容器本体２とトップフランジ５とを互いにずれないように係止するための部材である。係止手段２８は、容器本体２側に設けられた係止用突起３３と、トップフランジ５側に設けられた係止用爪３４とから構成されている。係止用突起３３は側壁部２Ｂに２つ設けられている。各係止用突起３３は、２つの支持部３０の各両端部の間の中央にそれぞれ設けられている。各係止用突起３３は、奥側（図１１中の左側）に向いた面が垂直な当接面となって、係止用爪３４を手前側（図１１中の右側）へずれないように支持する。
【００６６】
係止用爪３４は、係止用突起３３に係止してトップフランジ５が抜け落ちないようにするための部材である。係止用爪３４は、トップフランジ５の本体部２６に２つ設けられている。具体的には、奥側係止用爪３４Ａと、手前側係止用爪３４Ｂとが設けられている。奥側係止用爪３４Ａは、奥側の係止用突起３３に当接する当接部３６と、この当接部３６を支持する支持棒部３７とから構成されている。当接部３６は、手前側に向いた面が垂直な当接面となって係止用突起３３に当接し、トップフランジ５を手前側へずれないように支持する。支持棒部３７は容器本体２側へ、かつ奥側へ向けて延出させて形成されている。
【００６７】
手前側係止用爪３４Ｂは、手前側の係止用突起３３に当接する当接部３８と、この当接部３８を支持する支持棒部３９とから構成されている。当接部３８は、手前側に向いた面が垂直な当接面となって係止用突起３３に当接し、係止用爪３４Ｂを手前側へずれないように支持する。支持棒部３９は、容器本体２側へ、かつ手前側へ向けて延出させて形成されている。この支持棒部３９によって、当接部３８が、支持棒部３９の基端部より容器本体２側に設けられている。これにより、トップフランジ５に対して抜け落ちる方向に力が加わった場合に、当接部３８が係止用突起３３に深く食い込む方向に押圧されることになる。これにより、衝撃等により強い力が加わっても、当接部３８が係止用突起３３から外れるのを確実に防止している。これにより、支持棒部３９が突っ張ってトップフランジ５の抜けを抑える。
【００６８】
案内レール２９は、摺動支持手段２７で容器本体２に支持されたトップフランジ５の摺動を案内して、摺動方向と直交する方向の位置決めをするための部材である。この案内レール２９は、嵌合レール部２９Ａと、被嵌合レール２９Ｂとから構成されている。嵌合レール部２９Ａは、１つのレール部材で構成され、容器本体２の側壁部２Ｂのうち２つの支持部３０の内側に２つ設けられている。被嵌合レール２９Ｂは、嵌合レール部２９Ａを両側から挟む２つのレール部材で構成され、嵌合レール部２９Ａに対向するトップフランジ５側に設けられている。嵌合レール部２９Ａ及び被嵌合レール２９Ｂは、平行に設けられている。これにより、嵌合レール部２９Ａが被嵌合レール２９Ｂに嵌合して、トップフランジ５の手前側から奥側への摺動、奥側から手前側への摺動を支持して、トップフランジ５を容器本体２に対して容易に着脱させることができるようになっている。
【００６９】
ハンドル６は、図２、３に示すように、２つの把持棒部４１、４２を備えて構成されている。各把持棒部４１、４２は、互いに異なる角度に設定されている。これにより、薄板支持容器１を縦にして持ったり、横にして持ったりするときに、２つの把持棒部４１、４２を選択して掴む。各把持棒部４１、４２の角度は、薄板支持容器１を縦にして持つ場合に最適な角度と、横にして持つ場合に最適な角度に設定される。具体的な角度は、薄板支持容器１の大きさ、重さ等の種々の条件に応じて適宜設定する。このハンドル６は、上記着脱機構１２と同じ構造の着脱機構によって側壁部２Ｃ，２Ｄに着脱可能に取り付けられている。
【００７０】
底板部２Ｅは、図３、１６に示すように、足部４４と、覆い板部４５とから構成されている。足部４４は、容器本体２を支持するための部材である。この足部４４は、底板部２Ｅの対向する２つの辺の全幅に亘って形成された凸条によって構成されている。覆い板部４５は、容器本体２内に収納された半導体ウエハＳの下側部を覆うための部材である。この覆い板部４５は、各足部４４の間に下方へ湾曲して設けられている。覆い板部４５は、容器本体２内に収納された半導体ウエハＳの下端との間隔ｔが３ｍｍ程度になるように設定されている。これは、後述する溝板３の取付精度及び支持剛性が向上したため、薄板支持容器１の落下等による強い衝撃に対しても、半導体ウエハＳを十分な強度で支持して下方へのズレを少なくすることができるようになるためである。さらに、底板部２Ｅと半導体ウエハＳの下端との隙間を縮めた分だけ、容器本体２の高さが縮められて小型化されている。これにより、薄板支持容器１を梱包したときに、薄板支持容器１の底部と梱包箱との間の隙間が大きくなって緩衝材を厚くすることができ、落下等の衝撃に対する衝撃吸収能力を大幅に向上することができるようになっている。
【００７１】
容器本体２の上端部には、図１に示すように、蓋体４が嵌合するための蓋体受け段部４７が設けられている。この蓋体受け段部４７は容器本体２の上端部を、蓋体４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体４は、蓋体受け段部４７の垂直板部４７Ａの内側に嵌合し、水平板部４７Ｂに当接することで、蓋体受け段部４７に取り付けられるようになっている。さらに、水平板部４７Ｂには、蓋体４の下側面に取り付けられるガスケット８０（図２９参照）が当接して薄板支持容器１の内部を密封するようになっている。蓋体受け段部４７の垂直板部４７Ａの内側には、半導体製造工程内で用いられる専用の蓋体（図示せず）を容器本体２側に固定するための嵌合穴４８が設けられている。この嵌合穴４８は、蓋体受け段部４７の四隅に設けられている。なお、嵌合穴４８の位置及び形状は、半導体製造工程内で用いられる専用の蓋体に応じて、適宜設定される。
【００７２】
溝板３は、図１、１６〜２３に示すように、容器本体２内の対向する側壁部２Ｃ，２Ｄにそれぞれ設けられて内部に収納された半導体ウエハＳを両側から支持するための部材である。溝板３は、容器本体２内の内側に着脱自在に取り付けられている。溝板３は主に、並列に一定間隔をおいて多数枚配設されて各半導体ウエハＳを１枚ずつ隔てて支持する板片５０と、各板片５０が並列に一定間隔をおいて配設された状態でこれらを一体的に支持する支持板部５１とから構成されている。
【００７３】
板片５０は、容器本体２の奥側から半導体ウエハＳの出し入れ口（開口２Ｆ）側まで延出して設けられている。この板片５０は、その奥側から中間位置までを半導体ウエハＳの周縁に沿って湾曲させると共に、中間位置から出し入れ口側までを容器本体２側に沿って形成されている。板片５０のうち、その奥側及び出し入れ口側には半導体ウエハＳを支持する薄板支持用突起５２が設けられている。出し入れ口側の薄板支持用突起５２は、板片５０の内側縁と半導体ウエハＳの周縁の交点付近に設けられている。これは、薄板支持用突起５２を極力出し入れ口側に設けて、半導体ウエハＳを安定して支持するためである。
【００７４】
奥側の板片５０の間にはＶ字型溝５３が設けられている。このＶ字型溝５３は、容器本体２を縦置きにしたときに、半導体ウエハＳをＶ字型溝５３の溝底部に落ち込ませて中央部で支持するようになっている。
【００７５】
溝板３の上部には、取っ手５４が２つ設けられている。この取っ手５４は、溝板３を持ち上げるときに掴む部分である。指で２つの取っ手５４を摘んで持ち上げる。
【００７６】
上記支持板部５１は、各板片５０の最奥側（図１７中の左下部）と中間と入口側（図１７中の右上部）の３カ所の位置に設けられ、各板片５０を一体的に支持している。
【００７７】
溝板３は、上部嵌合部５５と、下部嵌合部５６とで、容器本体２内の対向する各側壁部２Ｃ，２Ｄに着脱可能に固定されている。
【００７８】
上部嵌合部５５は、溝板３の上部を容器本体２に支持するための部材である。この上部嵌合部５５は、上部嵌合片５７と、上部被嵌合片５８とから構成されている。上部嵌合片５７は、容器本体２内の対向する各側壁部２Ｃ，２Ｄにそれぞれ設けられている。各側壁部２Ｃ，２Ｄの上下方向中間位置に段部５９が設けられ、この段部５９に４つの上部嵌合片５７が設けられている。この上部嵌合片５７は、少なくとも両端部に２つ設ければ足り、溝板３の大きさ等に応じて３つ又は５つ以上設ける場合もある。上部嵌合片５７は、平面形状をコ字状に形成されている。このコ字状の上部嵌合片５７には、当接面５７Ａと、支持面５７Ｂとが設けられている。当接面５７Ａは、溝板３側に当接して溝板３の回動を抑えながら溝板３の前後方向（図２０の左奥側から右手前側の方向）の位置決めを行うための部位で、平坦面状に形成されている。当接面５７Ａが基準になって溝板３の前後方向の位置決めがなされるため、当接面５７Ａは、正確な位置及び寸法に形成されている。支持面５７Ｂは、当接面５７Ａを溝板３側に当接させた状態で、その接触状態を支持するための部位である。
【００７９】
上部被嵌合片５８は、上部嵌合片５７と嵌合して、溝板３の前後方向の位置決めを行うための部材である。上部被嵌合片５８は、溝板３のうち上部嵌合片５７に対向する位置に設けられている。具体的には、被当接面５８Ａと、被支持面５８Ｂとから構成されている。被当接面５８Ａは、上部嵌合片５７の当接面５７Ａに当接して溝板３の回動を抑えながら溝板３の前後方向の位置決めを行うための部位である。この被当接面５８Ａは平坦面状に形成され、上部嵌合片５７との間での回動を抑えるようになっている。被当接面５８Ａは、溝板３のうち嵌合片５７の当接面５７Ａに対応する位置に設けられた凸条６１の先端に形成されている。この凸条６１の当接面５８Ａが上部嵌合片５７の当接面５７Ａに当接して、溝板３の前後方向の位置決めを行うようになっている。ここでは、２つの凸条６１が１つの上部嵌合片５７の当接面５７Ａに当接するようになっている。凸条６１の形状にしたのでは、成型時のひけを防止して、寸法精度を向上させるためである。
【００８０】
被支持面５８Ｂは、上部嵌合片５７の支持面５７Ｂに当接することで、被当接面５８Ａを上部嵌合片５７の当接面５７Ａに当接させた状態で支持するための部材である。被支持面５８Ｂは、複数の支持板片６２で溝板３側に支持された帯状の板材６３の裏面に形成されている。板材６３の全副が被支持面５８Ｂとなり、いずれの位置でも支持面５７Ｂと当接して溝板３を支持できるようになっている。
【００８１】
このように、支持面５７Ａ，５７Ｂで支持された状態で、当接面５７Ａ，５８Ａが互いに当接することで、溝板３の支持部の回動による溝板３の撓み等の変形を抑えて、溝板３の前後方向の正確な位置決めを行うことができるようになっている。なお、上部嵌合部５５では、溝板３の前後方向の位置決めのみを行う。他の方向に位置決めは、下部嵌合部５６による。
【００８２】
下部嵌合部５６は、溝板３の下部を容器本体２側に支持するための部材である。下部嵌合部５６は、溝板３の上下方向の位置決めを行う上下方向位置決め手段６５と、左右方向の位置決めを行う左右方向位置決め手段６６と、前後方向の位置決めを行う前後方向位置決め手段６７とから構成されている。これらの手段が相まって溝板３の下部を、上下左右前後方向に正確に位置決めし、上部嵌合部５５とも相まって溝板３を容器本体２に正確に位置決めして固定するようになっている。
【００８３】
上下方向位置決め手段６５は、上下方向支持片６８と、下部板部６９とから構成されている。
【００８４】
上下方向支持片６８は、容器本体２内の対向する各側壁面２Ｃ，２Ｄの下部に設けられ、溝板３の下部に嵌合すると共にその下端部に当接して溝板３の上下方向の位置決めを行うための部材である。上下方向支持片６８は、溝板３に嵌合する嵌合用切り欠き６８Ａを備えて構成されている。嵌合用切り欠き６８Ａは、その上下方向の寸法が正確に設定され、溝板３の上下方向位置を正確に位置決めするようになっている。
【００８５】
下部板部６９は、上下方向支持片６８の嵌合用切り欠き６８Ａに嵌合することで、溝板３の上下方向位置を正確に位置決めするための部材である。下部板部６９は、溝板３の下部に下方へ延出して設けられた板材によって構成されている。下部板部６９の下端面は嵌合用切り欠き６８Ａに嵌合して直接に接触する部分であるため、その上下方向の寸法が正確に設定されている。
【００８６】
左右方向位置決め手段６６は、切り欠き７１と、左右方向支持片７２とから構成されている。
【００８７】
切り欠き７１は、溝板３の下部板部６９に、下方へ開口した切り欠きとして設けられている。
【００８８】
左右方向支持片７２は、容器本体２内の対向する各側壁面２Ｃ，２Ｄの下部の上下方向支持片６８の間に設けられ、溝板３の下部の切り欠き７１に嵌合して溝板３の左右方向の位置決めを行うための部材である。左右方向支持片７２は、切り欠き７１に嵌合するくさび状に形成されている。この左右方向支持片７２が切り欠き７１に嵌合することで、溝板３の左右方向を正確に位置決めする。
【００８９】
前後方向位置決め手段６７は、前後方向支持板片７３によって構成されている。この前後方向支持板片７３は、帯状の板材によって構成されている。この帯状の板材からなる前後方向支持板片７３が、溝板３の下部にその裏面側へ水平に延出して設けられ、容器本体２の各側壁面２Ｃ，２Ｄの下部に当接して溝板３の前後方向の位置決めを行うようになっている。
【００９０】
溝板３の下部にはストッパ７５が設けられている。このストッパ７５は、溝板３が上方へ抜けるのを抑えるための部材である。ストッパ７５は、係止片７６と、係止用突起７７とから構成されている。係止片７６は、溝板３の下端部から下方へ延出した帯状の弾性板片７６Ａと、この弾性板片７６Ａの係止用突起７７側に設けられた係止用爪７６Ｂとから構成されている。係止用突起７７は、係止片７６の係止用爪７６Ｂに係止するための部材である。各側壁面２Ｃ，２Ｄの上下方向支持片６８の間に設けられている係止片７６の係止用爪７６Ｂが係止用突起７７に嵌合することで、溝板３が上方へ抜けないようになっている。
【００９１】
蓋体４は、図２及び図２７〜３０に示すように構成されている。この蓋体４は、上方に開口した皿状に形成されている。
【００９２】
蓋体４と容器本体２との間にガスケット８０が設けられている。このガスケット８０は、基端支持部８１と、当接部８２とから構成されている。
【００９３】
基端支持部８１は、蓋体４側の嵌合溝４Ａに嵌合されて全体を支持するための部分で、断面形状をほぼ台形状に形成されている。基端支持部８１の上側面の内側には、シール片８３と、環状溝８４とが設けられている。シール片８３は、上方へ延出して蓋体４側に当接して密封する。環状溝８４は、シール片８３の外側に設けられて、シール片８３の弾性変形を吸収する。
【００９４】
当接部８２は、基端支持部８１から周囲に鍔状に広げて形成されている。当接部８２の断面形状は、その中間部を上方（蓋体４側）に盛り上げ、外周縁部を下方（容器本体２側）へ折り返して形成されている。この当接部８２のうち上方に盛り上げた部分８２Ａが蓋体４による押圧部となり、外周縁部が容器本体２側への接触部となる。これにより、外周縁部が容器本体２側に当接された状態で中間の押圧部が蓋体４に押圧され、当接部８２の有する弾性力で外周縁部が容器本体側に密着されるようになっている。
【００９５】
蓋体４のうち、容器本体２の各側壁面２Ｃ，２Ｄに面する辺にはラッチ機構８６が設けられている。このラッチ機構８６は、蓋体４を容器本体２に固定するための機構である。ラッチ機構８６は、第１腕部８７と、第２腕部８８とから構成されている。第１腕部８７は、容器本体２側の受け部（図示せず）に直接に係止して蓋体４を容器本体２に固定するための部材である。第２腕部８８は、蓋体４に回動可能に支持されると共に第１腕部８７を回動可能に支持するための部材である。
【００９６】
第１腕部８７は、係止用爪９０と、把持部９１とを備えている。係止用爪９０は、基端部に設けられて容器本体２側の受け部に当接して、蓋体４を容器本体２側に固定する。把持部９１は、蓋体４を持ち上げるための部材である。この把持部９１は、第１腕部８７の先端部に手で掴みやすい形状に形成して設けられている。第１及び第２腕部８８は、それらが限度まで回動した状態で、把持部９１が蓋体４の横方向の持ちやすい位置で保持されるように設定されている。さらに、第１及び第２腕部８８が限度まで回動した状態で、第１腕部８７の基端部の係止用爪９０が容器本体２に接触しないように設定されている。具体的には、第１腕部８７が第２腕部８８に対して９０°開き、第２腕部８８が容器本体２に対して３５°開くように設定されている。第１腕部８７は、Ｌ字型の第２腕部８８に基端部が軸支された状態で、先端側が当接して９０°に支持される。第２腕部８８は、ストッパ９２で３５°に支持される。
【００９７】
蓋体４の裏面には薄板押え部材９４が設けられている。この薄板押え部材９４は、蓋体４が容器本体２に取り付けられたとき容器本体２内に収納された半導体ウエハＳの上部を押さえて支持するための部材である。
【００９８】
薄板押え部材９４は図２４〜２６に示すように、ほぼ長方形状に形成されている。この薄板押え部材９４の長手方向両端部と中央部が蓋体４の裏面に固定され、その間が押え部９５となっている。押え部９５は、半導体ウエハＳをその上部から弾性的に押さえて支持するための部材で、並列に多数配設された押え帯９６によって構成されている。押え帯９６は、弾性を有する部材で、下方へ湾曲させて形成されている。さらに、押え帯９６は、その平面形状（図２５の状態の形状）を半導体ウエハＳの周縁に沿って波形に湾曲させて形成され、半導体ウエハＳが押え帯９６の隙間に入り込まないようになっている。
【００９９】
押え帯９６の側面形状は、下側に向いた山形に形成されている。この山形の部分のうち２つの頂点位置には、半導体ウエハＳを１枚ずつ嵌合させて一定間隔を空けて支持する嵌合溝９７が設けられている。嵌合溝９７は、半導体ウエハＳの周縁を挟み込むように鋭角に形成されている。
【０１００】
［動作］
以上のように構成された薄板支持容器１は、次のようにして使用される。
【０１０１】
容器本体２内に半導体ウエハＳが多数枚挿入されて蓋体４が取り付けられた状態で、半導体製造工場等へ搬送される。半導体製造工場等内へ搬入された薄板支持容器１は、蓋体４が取り外されて、半導体製造工場等内での専用の蓋体に付け替えられ、製造工程に搬入される。
【０１０２】
このとき、容器本体２内に取り付けられる溝板３は、その上部を上部嵌合部５５によって支持される。上部嵌合片５７に溝板３の上部被嵌合片５８を嵌合させる。これにより、上部嵌合片５７の支持面５７Ｂと上部被嵌合片５８の被支持面５８Ｂが当接した状態で、当接面５７Ａに被当接面５８Ａが当接することで、溝板３の上部が容器本体２側に確実に支持される。これにより、溝板３は支持部分で回動することがなくなって確実に支持されると共に、溝板３の前後方向の位置決めが行われる。これにより、溝板３の撓み等の変形が抑えられ、溝板３を正確な位置で支持される。
【０１０３】
溝板３の下部は、下部嵌合部５６によって支持される。
【０１０４】
まず、上下方向位置決め手段６５で溝板３の上下方向の位置決めを行う。上下方向位置決め手段６５の下部板部６９の下端面が上下方向支持片６８の嵌合用切り欠き６８Ａに嵌合して、溝板３の上下方向を正確に位置決めする。
【０１０５】
このとき、左右方向位置決め手段６６の溝板３側の切り欠き７１が容器本体２側の左右方向支持片７２に嵌合して、溝板３の左右方向の位置決めを行う。
【０１０６】
さらに、前後方向位置決め手段６７の前後方向支持片７３が容器本体２の側壁面２Ｃ，２Ｄの下部に当接して、溝板３の前後方向の位置決めする。
【０１０７】
このとき、ストッパ７５の係止片７６が係止用突起７７に嵌合して、溝板３が上方へ抜け落ちないように支持する。
【０１０８】
これにより、上部嵌合部５５及び下部嵌合部５６で溝板３を正確に位置決めして、容易に固定することができる。溝板３を取り外すときは、係止片７６を手前に引いて溝板３を上方へずらす。これにより溝板３を、容易に取り外すことができる。
【０１０９】
また、溝板３の板片５０を、その奥側から中間位置までを半導体ウエハＳの周縁に沿って湾曲させると共に、中間位置から出し入れ口側までを容器本体２側に沿って形成したので、半導体ウエハＳを容器本体２に対してスムーズに出し入れすることができると共に、半導体ウエハＳの板片５０へに接触を防止することができる。
【０１１０】
板片５０の奥側及び出し入れ口側に半導体ウエハＳを支持する薄板支持用突起５２を設け、出し入れ口側の薄板支持用突起５２を、板片５０の内側縁と半導体ウエハＳの周縁の交点付近に設けたので、容器本体２内に挿入された半導体ウエハＳを安定して支持することができる。
【０１１１】
蓋体４のガスケット８０は、蓋体４が容器本体２に取り付けられた状態で、当接部８２の上方に盛り上げた部分８２Ａが蓋体４で押されて、当接部８２の有する弾性力で外周縁部が容器本体２側に密着する。これにより、ガスケット８０が撓んでいて、そのままでは容器本体２側との間に隙間が生じるような場合でも、その外周縁部を容器本体２側に確実に密着させることができる。これにより、ガスケット８０と容器本体２との間を密封する。
【０１１２】
また、基端支持部８１においては、シール片８３が蓋体４側に当接すると共に、このシール片８３の当接による弾性変形を環状溝８４で吸収して、ガスケット８０と蓋体４との間を密封する。さらに、当接部８２の上方に盛り上げた部分８２Ａも蓋体４に密着して、ガスケット８０と蓋体４との間を密封する。
【０１１３】
容器本体２の覆い板部４５と、容器本体２内に収納された半導体ウエハＳの下端との隙間を３ｍｍ程度に設定したので、容器本体２が小型化する。この容器本体２が小型になると、薄板支持容器１自体が小型化する。これにより、梱包したときに、薄板支持容器１の底部と梱包箱との間の隙間が大きくなることになる。このため、この大きな隙間の緩衝材を厚くすることができ、落下等の衝撃に対する衝撃吸収能力が大幅に向上させることができる。
【０１１４】
トップフランジ５及び持ち運び用ハンドル６を支持する着脱機構１２では、トップフランジ５等を取り付けるときは、嵌合レール部２９Ａに被嵌合レール２９Ｂを嵌合させ、支持部３０に摺動部３１を嵌合させて、トップフランジ５等を奥側へスライドさせる。これにより、奥側係止用爪３４Ａの当接部３６が係止用突起３３に係止すると共に、手前側係止用爪３４Ｂの当接部３８が係止用突起３３に係止する。これにより、トップフランジ５等を容易に取り付けることができる。
【０１１５】
取り外すときは、手前側係止用爪３４Ｂの支持棒部３９を指で持ち上げて当接部３８を係止用突起３３から外し、トップフランジ５等を手前側にずらす。これにより、トップフランジ５等を容易に取り外すことができる。
【０１１６】
このとき、支持部３０及び摺動部３１を、その手前側を狭く、奥側を広く設定したので、これら摺動部３１を支持部３０に容易に嵌合させることができる。
【０１１７】
また、トップフランジ５等の移動を嵌合レール部２９Ａと被嵌合レール２９Ｂとで支持したので、トップフランジ５をスムーズに移動させることができ、容易に着脱させることができる。
【０１１８】
トップフランジ５等が装着された状態で、薄板支持容器１が落下する等の異常な衝撃によって、トップフランジ５等が抜ける方向に強い力が加わった場合は、手前側係止用爪３４Ｂ側の支持棒部３９が突っ張ってトップフランジ５等の抜けを抑える。このとき、手前側係止用爪３４Ｂの当接部３８を、支持棒部３９の基端部より相手部材側である容器本体２側に設けたので、当接部３８は係止用突起３３に深く食い込む方向に押圧されて外れることはない。これにより、衝撃等による強い力がトップフランジ５等に加わっても、当接部３８が係止用突起３３から抜けることなく、支持棒部３９が突っ張って、トップフランジ５等を確実に支持して、抜け落ちるのを防止する。
【０１１９】
ラッチ機構８６においては、蓋体４を容器本体２に取り付けるときは、第１腕部８７の把持部９１を手で持って蓋体４を持ち上げ、容器本体２の上側から被せる。このとき、第１腕部８７を第２腕部８８に対して９０°に、第２腕部８８を容器本体２に対して３５°に設定したので、把持部９１は、第１及び第２腕部８８が限度まで回動した状態で蓋体４の横方向に位置し、最適な状態で蓋体４を容易に持ち上げることができる位置になっている。この把持部９１を持って蓋体４を容器本体２に被せる。次いで、把持部９１を手で持ったまま、下方へ押し下げる。これにより、第１腕部８７の基端部の係止用爪９０が容器本体２側に当接して、蓋体４が容器本体２に固定される。
【０１２０】
蓋体を容器本体から取り外すときは、第１腕部８７の把持部９１を手で持って両側へ開く。これにより、第１腕部８７の基端部の係止用爪９０が容器本体２側から外れて蓋体４の固定が解かれる。そのまま、把持部９１を持って蓋体４を持ち上げる。このとき、第２腕部８８が第１腕部８７を限度まで回動させた状態でその基端部の係止用爪９０が容器本体２に接触しない位置まで回動するため、蓋体４を持ち上げても、係止用爪９０が容器本体２に接触することはなく、蓋体４を容易に取り外すことができる。
【０１２１】
このように、把持部９１が蓋体４の横方向の持ちやすい位置で支持され、係止用爪９０が容器本体２に接触しない位置まで開かれるため、蓋体４の着脱を容易に行うことができる。
【０１２２】
薄板押え部材９４の嵌合溝９７に嵌合する半導体ウエハＳは、鋭角に形成された嵌合溝９７に挟み込まれて支持される。嵌合溝９７を鋭角に形成すると、半導体ウエハＳの外周縁部が嵌合溝９７に入り込むことで、半導体ウエハＳが嵌合溝９７に挟み込まれて、確実に支持される。これにより、薄板支持容器１に強い衝撃が加わった場合でも、嵌合溝９７が半導体ウエハＳの周縁を挟み込んで回転やズレを抑え、確実に支持することができる。
【０１２３】
また、押え帯９６を、半導体ウエハＳの周縁に沿って波形に形成したので、半導体ウエハＳが嵌合溝９７から外れても、各押え帯９６の間に入り込むことがなくなる。
【０１２４】
本体位置決め手段１１においては、Ｖ字溝板片１５を、支持台１６に着脱可能に取り付けるようにしたので、容器本体２の材質と無関係に、半導体製造工程内部の載置台の嵌合突起に対して滑りやすい材料でＶ字溝板片１５を成形する。この滑りやすい材料でＶ字溝板片１５によって、本体位置決め手段１１の嵌合溝１３を半導体製造工程内の載置台の嵌合突起に嵌合させると、互いにスムーズに滑って、薄板支持容器１を正確に位置決めさせることができる。
【０１２５】
Ｖ字溝板片１５は支持台１６に着脱可能に取り付けることができるため、相手側の突起の材質等に応じて容易に取り替えることができる。
【０１２６】
［変形例］
（１）  上記実施形態では、ガスケット８０を蓋体４側に設けたが、容器本体２側に設けてもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１２７】
（２）  上記実施形態では、上部嵌合部５５の上部嵌合片５７を４つ設けたが、少なくとも両端部に２つ設けるだけでもよい。大きさや求められる強度等に応じて適宜設定する。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１２８】
（３）  上記実施形態では、摺動支持手段２７２つ設けたが、３つ以上でも良い。あた、案内レール２９を２つ設けたが、１つ又は３つ以上でもよい。この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１２９】
（４）  上記実施形態では、本体位置決め手段１１の支持台１６を、嵌合溝１３の一部を構成するように形成したが、嵌合溝１３の全部を構成するように形成してもよい。
【０１３０】
［効果］
以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれば、次のような効果を奏する。
【０１３１】
（１）  上部嵌合片が、上記溝板側に当接して溝板の回動を抑えながら溝板の前後方向の位置決めを行う平坦面状の当接面と、当該当接面を溝板側に当接させた状態で支持する支持面とを備え、上記上部被嵌合片が、上記上部嵌合片の当接面に当接して上記溝板の回動を抑えながら溝板の前後方向の位置決めを行う平坦面状の被当接面と、上記上部嵌合片の支持面に当接して上記被当接面を相手側の上記当接面に当接させた状態で支持する被支持面とを備えて構成されたので、溝板を回動することなく確実に支持することができると共に、溝板の前後方向の位置決めを正確に行うことができる。これにより、溝板の撓み等の変形が抑えられ、溝板を正確な位置で支持することができる。
【０１３２】
（２）  溝板の上部を上記容器本体側に支持する上部嵌合部と、その下部を上記容器本体側に支持する下部嵌合部とを備え、上記下部嵌合部が、上記溝板の上下方向の位置決めを行う上下方向位置決め手段と、左右方向の位置決めを行う左右方向位置決め手段と、前後方向の位置決めを行う前後方向位置決め手段とを備えたので、溝板の下部を正確に位置決めして支持することができる。
【０１３３】
（３）  上下方向位置決め手段が、上記容器本体内の対向する各側壁面のうちの下部に設けられ、上記溝板の下部に嵌合すると共にその下端部に当接して溝板の上下方向の位置決めを行う上下方向支持片を備えて構成されたので、溝板の下部をその上下方向に正確に位置決めして支持することができる。
【０１３４】
（４）  左右方向位置決め手段が、上記溝板の下部に設けられた切り欠きと、上記容器本体内の対向する各側壁面のうちの下部に設けられ、上記溝板の下部の切り欠きに嵌合して溝板の左右方向の位置決めを行う左右方向支持片とを備えて構成されたので、溝板の下部をその上下方向に正確に位置決めして支持することができる。
【０１３５】
（５）  前後方向位置決め手段が、上記溝板の下部にその裏面側へ延出して設けられ、上記容器本体の側壁面の下部に当接して溝板の前後方向の位置決めを行う前後方向支持片を備えて構成されたので、溝板の下部をその前後方向に正確に位置決めして支持することができる。
【０１３６】
（６）  溝板の下部に、上記容器本体側に係止して溝板が上方へ抜けるのを抑えるストッパを備えたので、溝板を支持して、上方へ抜けるのを抑えることができる。
【０１３７】
（７）  溝板を構成する複数枚の板片は、半導体ウエハの出し入れ口近傍まで半導体ウエハの周縁に沿って湾曲して形成されているものがある。この場合、板片の出し入れ口側が半導体ウエハ側へ大きく張り出すことになるため、半導体ウエハの出し入れの際に接触する可能性が高くなる。これを解消するためには、板片のうち、出し入れ口側を容器本体側に広げる必要があるが、この場合、半導体ウエハの支持位置が奥側と、中間位置とになり、出し入れ口近傍での支持がなくなり、不安定になる。
【０１３８】
これに対しては、溝板が、上記複数枚の薄板を１枚ずつ支持する板片を複数枚並べて構成され、上記板片が、上記容器本体の奥側から上記薄板の出し入れ口側まで延出して設けられ、その奥側から中間位置までを上記薄板の周縁に沿って湾曲させると共に、中間位置から出し入れ口側までを上記容器本体側に沿って形成され、上記板片の奥側及び出し入れ口側に上記薄板を支持する薄板支持用突起が設けられると共に、出し入れ口側の薄板支持用突起が、上記板片の内側縁と上記薄板の周縁の交点付近に設けられることで、板片の奥側と、板片の内側縁と薄板の周縁の交点付近に設けられた薄板支持用突起が薄板を支持するため、薄板を安定して支持することができる。
【０１３９】
（８）  蓋体と上記容器本体との間にガスケットが設けられ、当該ガスケットが、上記蓋体側又は容器本体側に嵌合されて全体を支持する基端支持部と、当該基端支持部から延出して形成された当接部とからなり、当該当接部が、上記基端支持部から周囲に鍔状に広げて形成されると共に、その中間部を上方に盛り上げ外周縁部を下方へ折り返して形成され、上記外周縁部が容器本体側又は蓋体側に当接された状態で上記中間部が蓋体側又は本体側に押圧されることで、当該当接部の有する弾性力で外周縁部が容器本体側又は蓋体側に密着されるので、蓋体と容器本体との間に気密性を向上させることができる。
【０１４０】
（９）  上記ガスケットの基端支持部の上側面の内側に設けられ、上方へ延出して蓋体側又は容器本体側に当接するシール片と、当該シール片の外側に設けられ、シール片の弾性変形を吸収する環状溝とを設けたので、ガスケットと蓋体との間に気密性を向上させることができる。
【０１４１】
（１０）  上記容器本体の底板部を、上記容器本体内に収納された薄板の下端と３ｍｍ程度の隙間に設定されたので、容器本体の高さを縮めることができる。
【０１４２】
（１１）  上記容器本体の底板部とその内部に収納された薄板の下端との隙間を縮めた分だけ上記容器本体の高さを縮めたので、薄板支持容器を小型化することができ、梱包の際に詰める緩衝材を厚くすることができ、衝撃に対する緩衝能力を大幅に向上させることができる。
【０１４３】
（１２）  着脱機構の係止手段が、一方又は他方の部材に設けられた係止用突起と、他方又は一方の部材に設けられた係止用爪とからなり、上記係止用爪が、上記係止用突起に当接する当接部と、当該当接部を支持する支持棒部とからなり、当該支持棒部が、相手部材の方へかつ上記摺動支持手段の手前側へ向けて延出させて形成されたので、トップフランジ等が衝撃によって抜け落ちるのを防止することができる。
【０１４４】
（１３）  上記係止用爪の当接部が、上記支持棒部の基端部より相手部材側に設けられたので、当接部が係止用突起から外れることがなくなり、トップフランジ等が衝撃によって抜け落ちるのを防止することができる。
【０１４５】
（１４）  上記摺動支持手段の支持部及び摺動部が並列に２つずつ設けられ、手前側におけるこれらの間隔を狭く、奥側を広く設定したので、摺動部を支持部に容易に着脱させることができる。
【０１４６】
（１５）  上記摺動支持手段に支持された２つの部材の互いの摺動を案内して摺動方向と直交する方向の位置決めをする案内レールを設けたので、案内レールに案内されてトップフランジ等を容易に着脱させることができる。
【０１４７】
（１６）  ラッチ機構が、上記容器本体側に係止して上記蓋体を上記容器本体に固定する第１腕部と、上記蓋体に回動可能に支持されると共に上記第１腕部を回動可能に支持する第２腕部とからなり、上記第１腕部が、その基端部に設けられて上記容器本体側に当接する係止用爪と、先端部に設けられて上記第１及び第２腕部が限度まで回動した状態で上記蓋体の横方向に位置する把持部とからなり、上記第２腕部が、上記第１腕部を限度まで回動させた状態でその基端部の係止用爪が容器本体に接触しない位置まで回動するので、蓋体を容器本体に対して容易に着脱させることができる。
【０１４８】
（１７）  上記第１腕部が上記第２腕部に対して９０°開き、上記第２腕部が上記容器本体に対して３５°開くので、第１腕部が容器本体に接触するのを防止することができると共に、把持部を蓋体の横方向の持ちやすい位置に支持させることができる。
【０１４９】
（１８）  上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材が設けられ、当該薄板押え部材に、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝が設けられ、当該嵌合溝の底部が、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成されたので、薄板を確実に支持することができる。
【０１５０】
（１９）  上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材が設けられ、当該薄板押え部材が、並列に多数配設され上記薄板の周縁部に当接して各薄板を一定間隔を空けて１枚ずつ支持する押え帯を備え、当該押え帯が、上記薄板の周縁に沿って波形に形成されたので、薄板が押え帯の間に入り込むのを防止することができる。
【０１５１】
（２０）  横置き状態の上記容器本体の底部に全体の位置決めをする本体位置決め手段が設けられ、当該本体位置決め手段が、上記容器本体の底部の３カ所に３方向に向けて設けられるＶ字溝を構成するＶ字溝板片と、当該Ｖ字溝板片を支持する支持台とを備えて構成されたので、容器本体と異なる材質のＶ字溝板片を取り付けることができる。
【０１５２】
（２１）  上記Ｖ字溝板片が、表面の摩擦抵抗の小さい材料で構成されたので、載置台の嵌合突起に対してスムーズに滑って、薄板支持容器を正確に位置決めさせることができる。
【０１５３】
（２２）  上記Ｖ字溝板片が、上記支持台に着脱可能に取り付けられたので、相手側の突起の材質等に応じて、異なる材質にＶ字溝板片に容易に取り替えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１５４】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板支持容器を断面状態で示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る薄板支持容器を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る薄板支持容器を底面側から示す斜視図である。
【図４】本体位置決め手段の支持台を示す斜視図である。
【図５】本体位置決め手段の支持台にＶ字溝板片を取り付けた状態を示す斜視図である。
【図６】本体位置決め手段のＶ字溝板片を示す斜視図である。
【図７】本体位置決め手段のＶ字溝板片を底面側から示す斜視図である。
【図８】本体位置決め手段の支持台にＶ字溝板片を取り付けた状態を示す断面斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係るトップフランジを示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るトップフランジを底面側から示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る容器本体を示す部分斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る着脱機構のトップフランジ側を示す斜視図である。
【図１３】容器本体へのトップフランジの取り付け状態を示す断面斜視図である。
【図１４】容器本体へのトップフランジの取り付け状態を示す斜視図である。
【図１５】容器本体へのトップフランジの取り付け状態を示す要部斜視図である。
【図１６】容器本体に溝板が取り付けられた状態を示す要部断面図である。
【図１７】溝板を示す斜視図である。
【図１８】溝板を示す平面図である。
【図１９】溝板を平面方向から示す拡大図である。
【図２０】容器本体の上部嵌合部を示す斜視図である。
【図２１】容器本体の下部嵌合部を示す斜視図である。
【図２２】容器本体の上部嵌合部を示す拡大平面図である。
【図２３】容器本体の下部嵌合部を示す拡大斜視図である。
【図２４】薄板押え部材を示す斜視図である。
【図２５】薄板押え部材を示す平面図である。
【図２６】薄板押え部材の嵌合溝を示す呼ぶ断面図である。
【図２７】ラッチ機構を示す斜視図である。
【図２８】ラッチ機構のストッパを示す斜視図である。
【図２９】ガスケットを示す要部断面図である。
【図３０】ガスケットの基端支持部を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【０１５５】
１：薄板支持容器、２：容器本体、３：溝板、４：蓋体、５：トップフランジ、６：持ち運び用ハンドル、１１：本体位置決め手段、１２：着脱機構、１３、嵌合溝、１５：Ｖ字溝板片、１６：支持台、１７：枠体、１８：傾斜板、１９：係止用爪、２１：傾斜支持板、２２：端部支持板、２３：係止用突起、２５：フランジ部、２６：本体部、２７：摺動支持手段、２８：係止手段、２９：案内レール、３０：支持部、３１：摺動部、３３：係止用突起、３４：係止用爪、３６：当接部、３７：支持棒部、３８：当接部、３９：支持棒部、４４：足部、４５：覆い板部、５０：板片、５１：支持板部、５２：薄板支持用突起、５４：取っ手５４、５５：上部嵌合部、５６：下部嵌合部、５７：上部嵌合片、５８：上部被嵌合片、６１：凸条。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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