(57)【要約】【課題】  紙などの印字媒体を用いることなく、紙などの記録媒体に所定のパターンを印字した場合と同程度の精度で液滴吐出ヘッドの特性を測定できる測定装置を提供する。【解決手段】  検査ヘッドから吐出された液滴の飛翔方向と交差する方向から照明光を投射し、該照明光が入射しない位置から、液滴による照明光の散乱光を撮像素子上に結像し、該液滴による散乱光の像から被検査ヘッドの特性を測定するようにした。また、撮像素子として、所定の時間に入射した光の積算光量に応じた電圧や電流などの信号を出力する蓄積型の素子を用い、撮像素子の蓄積時間の間に複数のノズルから液滴を吐出するようにした。また、被検査ヘッドの複数のノズルから液滴を吐出する際に、被検査ヘッドを移動させながら液滴を吐出するようにした。【選択図】  図１
2008230044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱またはその他の方法で液滴を吐出して画像を形成する液滴吐出ヘッドの測定装置であって、被検査ヘッドから吐出された液滴の飛翔方向と交差する方向から照明光を投射し、該照明光が入射しない位置から、液滴による照明光の散乱光による像を撮像素子上に結像し、該液滴による散乱光の像から被検査ヘッドの特性を測定することを特徴とする液滴吐出ヘッドの測定装置。
【請求項２】
前記請求項１において、撮像素子として、所定の時間に入射した光の積算光量に応じた信号を出力する蓄積型の素子を用い、撮像素子の蓄積時間の間に複数のノズルから液滴を吐出するようにしたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの測定装置。
【請求項３】
前記請求項１及び請求項２において、前記被検査ヘッドを移動させながら液滴を吐出するようにしたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドなど液滴吐出ヘッドの測定装置に関し、特にノズルから吐出された液滴から液滴吐出ヘッドの特性を判定する液滴吐出ヘッドの測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタのヘッドなどの液滴吐出ヘッドを検査するには、特登録０３０３９７０７号公報にあるように紙などの記録媒体に所定の検査パターンを印字して行われていたが、記録媒体の交換をしなければならず、検査を自動で行う場合に記録媒体の供給・排出機構が必要になり装置コストが上昇するとともに、検査装置の稼動率が低下するという問題があった。
【０００３】
このため、記録媒体を用いない第一の方法としては特開２００１-１５０６９６号公報にあるように、飛翔中のインク液滴を挟み込むように投光および受光してインク液滴の像をとらえ、インク液滴の位置や速度などを測定する方法が提案されている。
【０００４】
また、第二の方法としては、特開平８−２８１９５０号公報にあるように、吐出された水滴に集束光を当て、その反射光と吐出信号との相関関係からヘッドの良否判定を行う方法が提案されている。
【特許文献１】特登録０３０３９７０７号公報
【特許文献２】特開２００１-１５０６９６号公報
【特許文献３】特開平８−２８１９５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記第一の従来方法の場合、インク液滴を挟み込むように投光および受光しているので、連続点灯している光源を用いるとインク液滴が測定範囲にない時に照明光が受光素子に入射して、液滴の像と周囲のコントラストが低下するため、ストロボなどの閃光光源が必要で、装置が複雑になり装置コストが上昇するとともに、閃光光源の発光間隔の制約から液滴の吐出パターンが制限され、高い繰返し周波数で液滴を吐出させたときの平均的な特性が測定できないなど、紙などの記録媒体に所定のパターンを印字して検査を行うほど精密な判定ができないという問題があった。
【０００６】
また、第二の従来方法の場合、吐出された水滴に集束光を当て、その反射光と吐出信号との相関関係から水滴の吐出速度に起因するヘッド特性を測定しヘッドの良否判定を行っているので、吐出方向などに起因する特性の評価が困難であるとともに、同時に複数の水滴を測定することが難しいので、紙などの記録媒体に所定のパターンを印字して検査を行うほど精密な判定ができないという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、紙などの印字媒体を用いることなく、紙などの記録媒体に所定のパターンを印字した場合と同程度の精度で液滴吐出ヘッドの特性を測定できる測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、被検査ヘッドから吐出された液滴の飛翔方向と交差する  方向から照明光を投射し、該照明光が入射しない位置から、液滴による照明光の散乱光を撮像素子上に結像し、該液滴による散乱光の像から被検査ヘッドの特性を測定することを特徴とする。
【０００９】
前記撮像素子として、所定の時間に入射した光の積算光量に応じた電圧や電流などの信号を出力する蓄積型の素子を用い、撮像素子の蓄積時間の間に複数のノズルから液滴を吐出するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
被検査ヘッドの複数のノズルから液滴を吐出する際に、被検査ヘッドを移動させながら液滴を吐出するようにしたことを特徴とする。
【００１１】
上記構成において、被検査ヘッドから吐出された液滴の飛翔方向と交差する方向から投射した照明光の液滴による散乱光を、照明光が入射しない位置から受光するようにしたので、液滴による散乱光だけが結像され、ストロボなどの閃光光源を用いることなく液滴が検出できる。
【００１２】
撮像素子の蓄積時間の間に複数のノズルから液滴を吐出するようにしたので、１画面で複数の液滴の像がえられるので、測定時間を短縮できる。
【００１３】
被検査ヘッドを移動させながら液滴を吐出するようにしたので、２次元の検査パターンを撮像さることが可能となり、紙などの記録媒体に所定のパターンを印字した場合と同程度の精度で液滴吐出ヘッドの特性を測定できる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、被検査ヘッドから吐出された液滴の飛翔方向と交差する方向から照明光を投射し、該照明光が入射しない位置から、液滴による照明光の散乱光を撮像素子上に結像するようにしたので、液滴による散乱光だけが結像され、ストロボなどの閃光光源を用いることなく液滴が検出できる。
【００１５】
前記撮像素子として、所定の時間に入射した光の積算光量に応じた電圧や電流などの信号を出力する蓄積型の素子を用い、撮像素子の蓄積時間の間に複数のノズルから液滴を吐出するようにしたので、１画面で複数の液滴の像がえられるので、測定時間を短縮できる。
【００１６】
被検査ヘッドの複数のノズルから液滴を吐出する際に、被検査ヘッドを移動させながら液滴を吐出するようにしたので、２次元の検査パターンを撮像さることが可能となり、紙などの記録媒体に所定のパターンを印字した場合と同様の測定が可能になり、高精度で液滴吐出ヘッドの特性を測定できる。
【００１７】
このように、本発明によれば、紙などの印字媒体を用いることなく液滴吐出ヘッドの画像特性を測定できる液滴吐出ヘッドの測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１の実施の形態）
以下に、本発明の第１の実施の形態について添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の液滴吐出ヘッドの検査装置の第１の実施の形態の構成を説明する図である。図１において、１は検査対象である被検査ヘッドであり、複数のインク吐出ノズルが図面上の奥行き方向に配置されたノズル列が、図面上横方向に２列配置されている。２は被検査ヘッド１から吐出されたインク液滴である。１０は照明装置で、インク液滴２の飛翔方向と交差するように照明できるように配置されている。１１は、照明装置１０から出斜された照明光で、複数ノズルから吐出されたインク液滴を一括で照明できるような幅を有するとともに、インク液滴の飛翔方向には薄いシート状のビーム形状をしている。また、被検査ヘッドがプリンタなどに搭載されたときに、紙などの印字媒体が配置される位置を該照明光１１が通るように配置されている。１２は、インク液滴２の像を結像するための結像レンズで、被検査ヘッドがプリンタなどに搭載されたときに、紙などの印字媒体が配置される位置にピントが合うように調整されている。また、結像レンズ１２は、インク液滴２によって汚れることを防ぐために、インク液滴２の飛翔経路からわずかにずれた位置に配置されている。１３は、結像レンズ１２で結像されたインク液滴２の光学像を電気信号に変換する撮像素子で、複数の受光素子が２次元に配置され、一定時間の間に入射した積算光量に比例した電圧または信号を出力するCCDエリアセンサやMOSエリアセンサなどである。１５は、制御装置で被検査ヘッド１にインク液滴を吐出するための吐出信号を与えたり、照明装置１０の点灯・消灯、光量調節などの制御を行うとともに、被検査ヘッド１の駆動とタイミングをはかりながらインク液滴２の像を入力して解析し、被検査ヘッド１の特性値を算出する。図２は、インク液滴２の像を撮像する様子を説明する図である。図２（ａ）は被検査ヘッド１から吐出されたインク液滴２が、照明光１１の位置まで到達していない状態であり、この状態では結像レンズ１２に入射する光はなく、全面が暗い画像となる。図２（ｂ）は被検査ヘッド１から吐出されたインク液滴２が、照明光１１を通過中の状態で、このとき、照明光１１はインク液滴２によって散乱され、その一部が結像レンズ１２に入射し、撮像素子１３の受光面に結像される。ここで、結像レンズ１２に入射する光は、照明光１１のインク液滴２による散乱光だけであるので、照明装置１０にはストロボなどの閃光光源を用いる必要はなく連続点灯光源でよく、撮像素子の蓄積時間の間に被検査ヘッド１の複数のノズルからインク液滴２を吐出すれば、図３に示すような、１画面に複数のインク液滴の像がある画像がえられる。図３において、２０は背景部であり、背景部からの光の入射はないので暗い。２１は、複数のノズル吐出されたインク液滴２による散乱光による像で、この部分は明るい輝点となり、画像全体としては、複数のインク液滴２が照明光１１を通過した部分だけが明るい画像となる。
【００１９】
次に、不吐出の検出方法について図３を用いて説明する。上記説明した構成によりえられた図３の液滴画像について、所定のしきい値より明るい領域を液滴候補として抜き出し、該液滴候補のうち面積が所定の範囲内の領域が吐出された液滴領域としてその数を数え、本来吐出すべき液滴数（または、ノズル数）と比較すれば不吐（液滴を吐出しなかった）ノズルの数をカウントできる。前記所定のしきい値は、例えば、画面内の最高輝度値Imaxや最低輝度値Iminをもとめ、T=K・（Imax−Imin）+ Imin（但し、０＜K＜１）から決定すると、光源の光量変動などの影響を受けにくく安定した測定が可能になる。また、背景部は、ほとんど光が入射していないことを考えると、T=K・Imax（但し、０＜K＜１）から決定してもよいし、判別しきい値法などを用いて決定してもよい。
【００２０】
次に、液滴の着弾位置精度の測定方法について図４を用いて説明する。液滴の着弾位置精度を測定するには、前記図３における液滴領域の各中心位置を算出し、該中心位置データから着弾位置精度をもとめる。図４は、着弾位置精度の測定方法を説明する図で、同図において、２１Ｌ１〜９、２１Ｒ１〜９はそれぞれ異なるノズルから吐出された液滴の領域であり、その中にある“＋”印は、各液滴領域の中心位置を表している。また、同図において座標系は、図面上横方向をＸ軸（ヘッド走査）方向、縦方向をＹ軸（ノズル並び）方向とする。まず図３の画像から、前述したように明るさを基準に液滴の領域を抽出し各液滴領域ごとに中心位置をもとめる。つぎに、求めた中心位置のＸ座標値により、２つのグループに分離する。図４においては、２１Ｌ１〜９が左列、２１Ｒ１〜９が右列に分けられる。次に、各グループごとに液滴領域の中心位置のＸ座標値の平均値を下記のようにもとめ、それぞれＸＬａｖｅ、ＸＲａｖｅとする。
【００２１】
ＸＬａｖｅ＝（ＸＬ(１)＋ＸＬ(２)＋・・・・＋ＸＬ(ｎ)）／ｎ
ＸＲａｖｅ＝（ＸＲ(１)＋ＸＲ(２)＋・・・・＋ＸＲ(ｍ)）／ｍ
但し、ＸＬ(ｋ)、ＸＲ(ｋ)：左、右列の第ｋ液滴領域の中心位置のＸ座標値
ｍ、ｎ  ：領域数（図４では、ｍ＝ｎ＝９）
ここで、Ｌ＝‖ＸＲａｖｅ−ＸＬａｖｅ‖をもとめ、被検査ヘッドにおけるノズル列の間隔と比較すると，ノズルから吐出された液滴が平行に吐出されているのか、外側に開いて吐出されているのか、または、内側に吐出されているのかがわかる。また、各列ごとに中心位置のＸ座標値と、中心位置のＸ座標値の平均値の差をもとめると、各液滴のＸ方向の着弾位置の精度が評価できる。すなわち、
ｄＸＬ(ｉ)＝ＸＬ(ｉ)−ＸＬａｖｅ  （ｉ＝１〜ｎ）
ｄＸＲ(ｊ)＝ＸＲ(ｊ)−ＸＲａｖｅ  （ｊ＝１〜ｍ）
の最大・最小値、標準偏差などを算出すればよい。また、Ｙ方向の着弾位置精度については、各列内で隣り合う領域のＹ座標を差をもとめればよい。すなわち、
ＰＬ(ｉ)＝ＹＬ(ｉ＋１)−ＹＬ(ｉ)  （ｉ＝１〜ｎ−１）
ＰＲ(ｊ)＝ＹＲ(ｊ＋１)−ＹＲ(ｊ)  （ｊ＝１〜ｍ−１）
であるＰＬ、ＰＲについて平均値、最大・最小値、標準偏差などを算出すると、Ｙ軸方向の着弾位置精度が評価できる。
【００２２】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について添付の図面を用いて説明する。図５は第２の実施の形態の構成を説明する図である。同図で、図１と同じものについては同じ番号をふってある。図５において、５は被検査ヘッド１を保持するとともに制御装置からの吐出信号を被検査ヘッド１に供給するキャリッジである。６はステージであり、キャリッジ５が固定されており、被検査ヘッド１を走査移動させる。１４は、CCD撮像素子などを内臓したTVカメラであって、外部からのトリガ信号を受けると一定時間（蓄積時間）受光し、この間に入射した光量に応じた映像信号を出力し、次のトリガ信号を受信するまで、同じ映像信号を繰返し出力できる構造となっている。また、蓄積時間は、制御装置１５から変更可能な構造になっている。結像レンズ１２は、被検査ヘッド１の真下に配置され、インク液滴２の吐出方向から観察する構造となっている。３０は、吐出されたインク液滴２が結像レンズ１２に付着して汚れることを防ぐための気流による防汚装置であり、結像レンズの直前に、インク液滴２の飛翔経路を挟むように配置され、片側から送風し、他方で吸引する構造となっている。ここで、インク液滴２は非常に微小であり質量が小さいためノズルから吐出されると空気抵抗などにより速度が低下し、ノズルから３０ｍｍ以上はなれると、自重で落下はしているものの漂っている状態に近く、気流によって容易に排除できる。また、結像レンズ１２の直前に気流を配置すると、液滴２が結像レンズ１２の前を横切ることになるが、すでに結像レンズ１２のピント範囲から大きく外れているため結像に影響を与えることがほとんどなく、また、結像レンズ１２と液滴２の寸法の関係から遮光の影響による光量低下もほとんどない。また、本実施の形態の構成の場合、結像レンズ１２の光軸を被検査ヘッド１の走査平面と垂直にできるので、ピントの合う範囲が被検査ヘッド１の走査平面と平行になり、被写界深度の浅いレンズ系をもちいれば、照明光１１をシート状に絞らなくとも紙位置付近の像だけを撮像できる。
【００２３】
次に、図６を用いて各部の動作について説明する。図６において、横軸は経過時間を示している。まず、制御装置１５は、ステージ６にステージ駆動パルスを送り、ヘッド走査を開始する。次に、制御装置１５はステージ６の位置を監視していて、被検査ヘッド１がTVカメラ１４の視野に入る所定時間前に、TVカメラ１４にトリガ信号を送信し、その後キャリッジ５を経由して、被検査ヘッド１に吐出信号を与える。被検査ヘッド１が、TVカメラ１４の視野で、所定の検査パターンに対応した吐出信号で移動しながら吐出を行っている間、TVカメラ１４は、液滴２による照明光１１の散乱光を蓄積している。検査パターンの吐出が完了し、被検査ヘッドがTVカメラ１４の視野を外れると、TVカメラ１４の蓄積も終了し、検査パターンの液滴による散乱光の映像を繰返し出力する。制御装置１５は、この映像信号を取り込み、解析して被検査ヘッド１の特性を算出する。
【００２４】
図７は、前記吐出信号を詳細に説明する図であり、図７（ａ）は被検査ヘッド１のインク吐出ノズルの配置を説明する図で、被検査ヘッド１のノズルのある面を下から見た図である。図７（ａ）において、Ｎ１、Ｎ２、・・・・、Ｎｍはそれぞれ第１のノズル、第２のノズル、・・・・・、第ｍのノズルで、奇数番号のノズルの列と偶数番号のノズルの列の２列からなり、２つの列はヘッド走査方向に距離Ｐｒの間隔だけ離れ、また、ノズル並び方向に距離Ｐｃずれた千鳥の配置となっている。図７（ｂ）は奇数番号のノズルと偶数番号のノズルに同時に吐出信号を与えた場合を説明する図であり、この場合、奇数番号のノズルの列と偶数番号のノズルの列はヘッド走査方向に距離Ｐｒの間隔だけ離れているので液滴はそれぞれ異なる位置で吐出され、奇数番号のノズルによるパターンと偶数番号のノズル出力よるパターンは距離Ｐｒだけずれてします。図７（ｃ）は奇数番号のノズル列と偶数番号のノズル列の間隔を補正したタイミングで吐出信号を与えた場合を説明する図であり、被検査ヘッドの走査速度をＶｐとしたとき、ΔＴ＝Ｐｒ／Ｖｐだけ奇数番号のノズル列へ与える吐出信号を遅らせたものである。これにより、奇数番号のノズル列が偶数番号のノズル列の位置に到達したときに吐出が開始されパターンのずれが解消される。また、走査方向が逆の場合には、ΔＴ＝Ｐｒ／Ｖｐだけ奇数番号のノズル列へ与える吐出信号を早めればよい。
【００２５】
次に、本実施の形態における、被検査ヘッド１の特性の測定例について説明する。図８は、本実施の形態における散乱光による検査パターンを示しており、同図において、６０は第１の検査パターン、６１は第２の検査パターン、６１は第３の検査パターンで、それぞれ異なったパターンである。５０は、ＴＶカメラ１４の視野で、この内側が測定対象となる。また、第１の検査パターン６０は、ステージ６の走査速度の変動や、ＴＶカメラ１４の視野の調整状態を考慮し、ＴＶカメラ１４の視野外から吐出を開始されている。図９および図１０は、図８における第１の検査パターン６０の一例であり、図９は連続吐出の５０％の周波数で吐出したパターンであり、図１０は同様に２５％の周波数で吐出したパターンである。図９および図１０に示したパターンは、所謂中間調パターンであり、紙などの印字媒体に描画したときの濃度の均一性を評価するのに適したパターンである。このパターンによる被検査ヘッド１の特性値の測定方法について、図１１を用いて説明する。図１１（ａ）は第１の検査パターンの測定領域を示す図であり、７０で示した枠内が測定領域である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）から第１の検査パターンの測定領域７０を抜き出したものであり、制御装置１５に内蔵された不図示の画像メモリに格納された検査パターンの画像データの一部である。この画像データについて図中のＸ方向の平均を求めたものが、図１１（ｃ）であり、これは、図１１（ｂ）で示した画像のＹ方向の平均輝度分布である。図１１（ｃ）の平均輝度分布の内、所定のしきい値Ｔｐより明るい部分をパターン範囲とし、さらに、該パターン範囲の両端数画素分は端部であることにより輝度が低下するため、この部分を除いた部分を測定範囲とする。該測定範囲について、図１１（ｄ）に示すように平均輝度分布の平均値、最大値、最小値、最大値と最小値の差、または、標準偏差などを算出し、被検査ヘッド１の濃度均一性の特性値とすればよい。
【００２６】
また、液滴２が小さく液滴２の像の間に隙間ができ平均輝度分布に背景部の影響が出る場合などは、平均輝度分布を算出する処理の前後で低域通過フィルタや、最大値抽出処理などの前処理をおこなってもよい。
【００２７】
また、平均輝度分布から直接的に特性値をもとめるのではなく、人間の視覚の空間周波数感度の補正を行ったデータから特性値を算出してもよい。
【００２８】
図１２は、図８における第２の検査パターン６１の一例であり、ノズル並び３ノズル置きに連続吐出したパターンであり、まず、図７（ａ）におけるノズルＮ１、Ｎ５、Ｎ９、・・・を連続吐出させ、次にノズルＮ２、Ｎ６、Ｎ１０、・・・連続吐出させ、次にノズルＮ３、Ｎ７、Ｎ１１、・・・連続吐出させ、次にノズルＮ４、Ｎ８、Ｎ１２、・・・連続吐出させた横線パターンである。図１２に示したパターンは、紙などの印字媒体に描画したときのノズル並び方向の液滴２の着弾位置の均一性を評価するのに適したパターンである。図１２の検査パターンによる被検査ヘッド１の特性値の測定方法について、図１３を用いて説明する。図１３（ａ）は第２の検査パターンの測定領域を示す図であり、７１で示した枠内が横線測定領域である。この領域は、図１３（ｂ）に示すように、さらに、４つの領域に分けられる。図１３（ｂ）において、７１−１は、図７（ａ）におけるノズルＮ１、Ｎ５、Ｎ９、・・・からの液滴による第１の横線測定領域、７１−２は、ノズルＮ２、Ｎ６、Ｎ１０、・・・からの液滴による第２の横線測定領域、７１−３は、ノズルＮ３、Ｎ７、Ｎ１１、・・・からの液滴による第３の横線測定領域、７１−４は、ノズルＮ４、Ｎ８、Ｎ１２、・・・からの液滴による第４の横線測定領域である。図１３（ｃ）は、なかから第１の第１の横線測定領域７１−１を抜き出したものであり、図１３（ｄ）は、図１３（ｃ）の横線画像を図中Ｘ方向に平均して算出した平均輝度分布である。図１３（ｄ）において、平均輝度分布が、所定のしきい値Ｔｖより明るい部分を液滴による横線部分として背景と分離し、各横線部分で輝度が最大となるＹ座標を各横線のＹ（ノズル並び）方向の着弾位置とする。図１３（ｄ）において、Ｙｍ（ｍ＝１、５，９、・・・）は、ノズルＮｍのＹ（ノズル並び）方向の着弾位置であり、隣接するノズルからの液滴の着弾位置の差、すなわち、
ｄＹｍ＝Ｙｍ＋１−Ｙｍ
をもとめ、その平均値、最大値、最小値、標準偏差などを被検査ヘッド１のノズル並び方向の着弾位置の均一性の特性値とすればよい。
【００２９】
図１４は、図８における第３の検査パターン６２の一例であり、連続吐出の２５％の周波数で全ノズル同時吐出させた縦線パターンであり、紙などの印字媒体に描画したときのヘッド走査方向の液滴２の着弾位置の均一性を評価するのに適したパターンである。図１４の検査パターンによる被検査ヘッド１の特性値の測定方法について、図１５を用いて説明する。図１５（ａ）は第３の検査パターンの測定領域を示す図であり、７２で示した枠内が縦線測定領域である。この領域は、図１５（ｂ）に示すように、さらに、４つの領域に分けられる。図１５（ｂ）において、７２−１は、第１の縦線ＶＬ１を測定する第１の縦線測定領域、７２−２は、第２の縦線ＶＬ２を測定する第２の縦線測定領域、７２−３は、第３の縦線ＶＬ３を測定する第３の縦線測定領域、７２−４は、第４の縦線ＶＬ４を測定する第４の縦線測定領域である。図１５（ｃ）は、４つの縦線測定領域から第１の縦線領域７２−１を抜き出したものである。ここで、縦線VL1のＹ座標値ｙａにおけるＸ方向の輝度分布の最大輝度となるＸ位置ｘｃ１（ｙａ）を、縦線VL1のＹ座標値ｙａにおける中心位置として、この中心位置を縦線全体について求め、縦線ＶＬ１の中心線ＣＬをもとめる。図１５（ｄ）は、このようにして求めた中心線ＣＬから、被検査ヘッド１のヘッド走査方向の着弾位置の均一性を評価する方法を説明する図である。同図において、ＣＬは図１５（ｃ）を用いて説明した方法で求めた中心線である。ＮＬは、中心線ＣＬの近似直線である。Ｙ座標ｙにおける、中心線ＣＬの値（＝Ｘ座標値）及び、近似直線ＮＬの値を、それぞれ、ＣＬ（ｙ）、ＮＬ（ｙ）としたとき、近似直線ＮＬ（ｙ）からの中心線ＣＬ（ｙ）のずれ量
ｄＸ（ｙ）＝ＣＬ（ｙ）−ＮＬ（ｙ）
をもとめ、ｄＸ（ｙ）の最大値、最小値、最大値と最小値の差、標準偏差、および、近似直線ＮＬ（ｙ）の傾きθｃなどを算出してヘッド走査方向の着弾位置の均一性の特性値とすればよい。
【００３０】
以上のように、濃度均一性、ノズル並び方向の位置均一性、ヘッド走査方向の位置均一性を測定することで、照明光１１に吐出した液滴２の散乱光の像から、被検査ヘッド１の特性値として、描画時の画像特性が測定できる。
【００３１】
（第３の実施の形態）
図１６は、第３の実施の形態の構成を説明する図である。図１および、図５と同じものについては、同じ番号をつけた。同図において、３１は、透明シートで、結像レンズ１２の直前に配置され、測定時の被検査ヘッド１が吐出を行っているときに図面上右のロールから左のロールに送られるようになっている。該透明シートは、結像レンズ１２の直前に配置されているので、結像レンズ１２が液滴２により汚れるのを防ぐことができる。透明シート３１はほとんど何も通さないため、高い信頼性で汚れを防げる。透明シート３１がすべて図面上左のロールに送られた場合には、交換し、装置外で洗浄し再度使用できる。
【００３２】
（第４の実施の形態）
図１７は、第４の実施の形態の構成を説明する図である。図１および、図５と同じものについては、同じ番号をつけた。同図において、３２は、透明プレートで、回転可能な構造となっており、結像レンズ１２の直前に配置され、測定時の被検査ヘッド１が吐出を行っているときに回転するようになっている。３３は、透明プレート３２の清掃装置であり、吸引、または、洗浄・乾燥機能を有し、透明プレート３２に付着したインク液滴２を清掃する。透明プレート３２は、結像レンズ１２の直前に配置されているので、結像レンズ１２が液滴２により汚れるのを防ぐことができる。透明プレート３２はほとんど何も通さないため、高い信頼性で汚れを防げる。また、清掃装置３３により、透明プレート３２の交換頻度を飛躍的に低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１の実施の形態の構成を説明する図
【図２】インク液滴２の像を撮像する様子を説明する図
【図３】不吐出の検出方法について説明する図
【図４】液滴の着弾位置精度の測定方法について説明する図
【図５】第２の実施の形態の構成を説明する図
【図６】第２の実施の形態の各部の動作について説明する図
【図７】吐出信号を詳細に説明する図
【図８】第２の実施の形態における散乱光による検査パターンを表す図
【図９】連続吐出の５０％の周波数で吐出したパターンを表す図
【図１０】連続吐出の２５％の周波数で吐出したパターンを表す図
【図１１】濃度均一性の測定方法について説明する図
【図１２】横線パターンを表す図
【図１３】ノズル並び方向の位置均一性の測定方法について説明する図
【図１４】縦線パターンを表す図
【図１５】ヘッド走査方向の位置均一性の測定方法について説明する図
【図１６】第３の実施の形態の構成を説明する図
【図１７】第４の実施の形態の構成を説明する図
【符号の説明】
【００３４】
１  被検査ヘッド
２  液滴
５  キャリッジ
６  ステージ
１０  照明装置
１１  照明光
１２  結像レンズ
１３  撮像素子
１４  ＴＶカメラ
１５  制御装置
３０  気流による防汚装置
３１  透明シート
３２  透明プレート
３３  清掃装置
【図１】
2008230044.tif 000003
【図２】
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【図３】
2008230044.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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