(57)【要約】【課題】流路内の気泡の残留を防止して、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の長手方向の一端部に連通して当該圧力発生室１２に液体を供給する液体供給路１４とが設けられた流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段３００とを具備し、前記液体供給路１４が、前記圧力発生室１２の短手方向の幅を絞ることで形成されていると共に、前記圧力発生室１２の短手方向の側面と前記液体供給路１４の短手方向の側面との間に段差面１６が設けられ、該段差面１６と、前記圧力発生室１２の短手方向の前記段差面１６側の側面と、前記圧力発生室１２の前記流路形成基板１０の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋めるように設けられた埋設部１７を具備する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室の長手方向の一端部に連通して当該圧力発生室に液体を供給する液体供給路とが設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、
前記液体供給路が、前記圧力発生室の短手方向の幅を絞ることで形成されていると共に、前記圧力発生室の短手方向の側面と前記液体供給路の短手方向の側面との間に段差面が設けられ、該段差面と、前記圧力発生室の短手方向の前記段差面側の側面と、前記圧力発生室の前記流路形成基板の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋めるように設けられた埋設部を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記埋設部の表面が、前記段差面と、前記圧力発生室の短手方向の前記段差面側の側面と、前記圧力発生室の前記流路形成基板の厚さ方向の一方面とに対して傾斜した傾斜面となっていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記埋設部が、前記流路形成基板と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記流路形成基板には、前記液体供給路の前記圧力発生室とは反対側の端部に、当該液体供給路の短手方向の幅よりも幅広の連通路が設けられていると共に、該連通部と前記液体供給路との間には段差面が設けられ、当該段差面と、前記連通路の短手方向の前記段差面側の内面と、前記連通路の前記流路形成基板の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋める前記埋設部が設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧力発生手段が、前記流路形成基板の前記一方面側に振動板を介して設けられた圧電素子からなると共に、前記圧力発生室の前記流路形成基板の一方面側が、前記振動板で画成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記段差面が、前記流路形成基板の一方面に対して垂直に形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記段差面が、前記流路形成基板の厚さ方向に対して傾斜した傾斜面で形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等に用いられる液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、インク滴を吐出させるためのメカニズムに応じて各種方式のものが知られている。例えば、ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子の変位により変形させて圧力発生室内の容積を膨張又は収縮させることでノズル開口からインク滴を吐出させるものや、静電気力を利用して振動板を変形させて圧力発生室の容積を変化させることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるようにしたものもある。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板の一方面側に圧力発生室に相対向する領域に振動板を介して圧電素子を設けたものがある。そして、流路形成基板には、圧力発生室の長手方向一端部側に連通するインク供給路を圧力発生室の短手方向の幅を狭くすることで形成し、この圧力発生室とインク供給路との間の段差面を流路形成基板の厚さ方向に対して傾斜させて傾斜面としたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、特許文献１のように、圧力発生室とインク供給路との間の段差面を傾斜面としても、インク供給路側から供給されたインクに混入した気泡が、段差面と圧力発生室の側面とで画成された角部に残存し、この気泡が成長することによって、圧力発生室の内容積が減少して、インク吐出特性に悪影響を与えてしまうという問題がある。
【０００５】
また、圧力発生室にインクを供給するインク供給路の角部を結晶軸に沿って曲面状に形成したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
しかしながら、特許文献２の構成では、インク供給路を通過するインクに混入した気泡の残留を防止することができないという問題がある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−１５３２４３号公報（第７〜１０頁、第２図）
【特許文献２】特開平７−１７８９０９号公報（第３及び５頁、第８及び１６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、流路内の気泡の残留を防止して、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室の長手方向の一端部に連通して当該圧力発生室に液体を供給する液体供給路とが設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、前記液体供給路が、前記圧力発生室の短手方向の幅を絞ることで形成されていると共に、前記圧力発生室の短手方向の側面と前記液体供給路の短手方向の側面との間に段差面が設けられ、該段差面と、前記圧力発生室の短手方向の前記段差面側の側面と、前記圧力発生室の前記流路形成基板の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋めるように設けられた埋設部を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、埋設部を設けることにより、液体供給から圧力発生室に供給される液体に混入した気泡が、圧力発生室の液体供給路側の角部に残留するのを防止して、残留した気泡が成長することにより圧力発生室の内容積が変化するのを防止して、液体噴射特性を向上することができる。
【００１０】
本発明の第２の態様は、前記埋設部の表面が、前記段差面と、前記圧力発生室の短手方向の前記段差面側の側面と、前記圧力発生室の前記流路形成基板の厚さ方向の一方面とに対して傾斜した傾斜面となっていることを特徴とする第１の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、埋設部と、段差面、圧力発生室の短手方向の段差面側の側面及び圧力発生室の流路形成基板の厚さ方向の一方面とで画成される角部に気泡が残留するのを防止することができる。
【００１１】
本発明の第３の態様は、前記埋設部が、前記流路形成基板と一体的に形成されていることを特徴とする第１又は２の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、部品点数を減らしてコストを低減することができる。
【００１２】
本発明の第４の態様は、前記流路形成基板には、前記液体供給路の前記圧力発生室とは反対側の端部に、当該液体供給路の短手方向の幅よりも幅広の連通路が設けられていると共に、該連通部と前記液体供給路との間には段差面が設けられ、当該段差面と、前記連通路の短手方向の前記段差面側の内面と、前記連通路の前記流路形成基板の厚さ方向の一方面とで画成された角部には、当該角部を埋める前記埋設部が設けられていることを特徴とする第１〜３の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、連通路の液体供給路側の角部に埋設部を設けることで、連通路の液体供給路側の角部に気泡が残留するのを防止して、残留した気泡によって連通路の内容積が変化するのを防止することができ、液体噴射特性を向上することができる。
【００１３】
本発明の第５の態様は、前記圧力発生手段が、前記流路形成基板の前記一方面側に振動板を介して設けられた圧電素子からなると共に、前記圧力発生室の前記流路形成基板の一方面側が、前記振動板で画成されていることを特徴とする第１〜４の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、圧電素子を用いることで液体噴射特性に優れた液体噴射ヘッドを実現できる。
【００１４】
本発明の第６の態様は、前記段差面が、前記流路形成基板の一方面に対して垂直に形成されていることを特徴とする第１〜５の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第６の態様では、圧力発生室の段差面側の角部に気泡が残留しやすい段差面としても、埋設部によって気泡の残留を防止することができる。
【００１５】
本発明の第７の態様は、前記段差面が、前記流路形成基板の厚さ方向に対して傾斜した傾斜面で形成されていることを特徴とする第１〜６の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第７の態様では、圧力発生室の段差面側の角部に気泡が残留し難い段差面としても、埋設部によって気泡の残留を確実に防止することができる。
【００１６】
本発明の第８の態様は、第１〜７の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第８の態様では、液体噴射特性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位が（１１０）面のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ０．５〜２μｍの弾性膜５０が形成されている。
【００１８】
流路形成基板１０には、他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１により区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設されている。
【００１９】
また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側には、液体供給路であるインク供給路１４と、連通路１５とが隔壁１１によって区画されている。また、連通路１５の一端には、後述する保護基板３０のリザーバ部３１と連通して、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるリザーバ１００の一部を構成する連通部１３が形成されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１０には、圧力発生室１２を有する液体流路として、圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５が設けられている。
【００２０】
インク供給路１４は、圧力発生室１２の長手方向一端部側に連通し且つ圧力発生室１２の幅より小さい幅を有する。すなわち、インク供給路１４は、リザーバ１００と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで形成されている。ここで、インク供給路１４が流路を幅方向に絞るようにしているのは、圧力発生室１２、連通部１３及び連通路１５の流路系と、インク供給路１４とをエッチングで同時に形成する際に、流路形成基板１０を構成するシリコン単結晶基板の厚みを考慮するマスクを用いることなく容易に且つ一度でインク供給路１４と他の流路系とを形成することができるためである。
【００２１】
また、各連通路１５は、圧力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１を連通部１３側に延設してインク供給路１４と連通部１３との間の空間を区画することで形成されている。連通路１５は、インク供給路１４の幅よりも大きい幅で形成されている。本実施形態では、連通路１５を圧力発生室１２の幅と同じ幅で形成するようにした。
【００２２】
また、圧力発生室１２とインク供給路１４との間には、インク供給路１４を設けることによって形成された段差面１６が設けられている。この段差面１６は、流路形成基板１０の一方面に対して垂直に形成されていると共に、圧力発生室１２の短手方向に対して傾斜して形成されている。このような段差面１６によって、圧力発生室１２の長手方向の長さが規定されている。
【００２３】
また、この段差面１６と、圧力発生室１２の短手方向の段差面１６側の一側面と、圧力発生室１２の流路形成基板１０の厚さ方向の一方面である弾性膜５０とで画成された角部には、埋設部１７が設けられている。
【００２４】
埋設部１７は、圧力発生室１２の深さよりも低い高さとなるように設けられており、その表面が段差面１６、圧力発生室１２の一側面及び弾性膜５０の一方面に対して、傾斜して設けられている。このような埋設部１７の表面は、平面状であってもよく、また、曲面状であってもよく、さらに、平面と曲面とが混在した面であってもよい。
【００２５】
なお、埋設部１７は、例えば、流路形成基板１０を異方性エッチング（ウェットエッチング）して圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４及び連通路１５等を形成する際に、エッチング液の濃度や、温度等のエッチング条件を調整することで、流路形成基板１０の一部をエッチングすることなく残留させて形成することができる。すなわち、埋設部１７は、流路形成基板１０の一部で形成されている。勿論、埋設部１７は、流路形成基板１０とは別材料、例えば、樹脂等を用いて形成するようにしてもよい。
【００２６】
なお、本実施形態では、連通路１５とインク供給路１４との間にも段差面１６が設けられており、この段差面１６と、連通路１５の短手方向の一側面と、弾性膜５０とで画成された角部にも埋設部１７が設けられている。
【００２７】
このようにインク供給路１４を連通路１５及び圧力発生室１２の幅を絞ることで形成し、角部に埋設部１７を設けることで、連通部１３からのインクが連通路１５、インク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給される際に、インクに混入した気泡が、この角部に残留するのを防止して、残留した気泡が成長することにより圧力発生室１２や連通路１５の内容積が変化するのを防止して、インク吐出特性を向上することができる。
【００２８】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなる。
【００２９】
一方、このような流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面には、上述したように、厚さが例えば約１．０μｍの弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、厚さが例えば、約０．４μｍの絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約１．０μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．０５μｍの上電極膜８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部３２０という。本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室１２毎に圧電体能動部３２０が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエータ装置と称する。すなわち、本実施形態では、圧力発生室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段として振動板と圧電素子３００とからなるアクチュエータ装置を設けるようにした。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が振動板として作用するが、弾性膜５０、絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみを残して下電極膜６０を振動板としてもよい。
【００３０】
また、各圧電素子３００の上電極膜８０には、流路形成基板１０のインク供給路１４側に延設された金（Ａｕ）等のリード電極９０がそれぞれ接続されている。このリード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に電圧が印加される。
【００３１】
さらに、圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、連通部１３に対向する領域にリザーバ部３１が設けられた保護基板３０が接着剤３５を介して接合されている。このリザーバ部３１は、上述したように、流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００３２】
また、保護基板３０には、圧電素子３００に対向する領域に、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。なお、圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３３】
さらに、保護基板３０の圧電素子保持部３２とリザーバ部３１との間の領域には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられ、この貫通孔３３内に下電極膜６０の一部及びリード電極９０の先端部が露出されている。
【００３４】
また、保護基板３０上には、圧電素子３００を駆動するための駆動回路２００が実装されている。この駆動回路２００としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路２００とリード電極９０とはボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線２１０を介して電気的に接続されている。
【００３５】
保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料の面方位（１１０）のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３６】
また、保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３７】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路２００からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００３８】
（実施形態２）
図３は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図４は、図３の平面図及びそのＢ−Ｂ′断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３９】
図示するように、インクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板１０Ａには、圧力発生室１２、インク供給路１４、連通路１５及び連通部１３が設けられている。この圧力発生室１２とインク供給路１４との間及びインク供給路１４と連通路１５との間の段差面１６Ａは、圧力発生室１２の深さ方向（流路形成基板１０の厚さ方向）に対して傾斜して形成されていると共に、圧力発生室１２の短手方向に対して傾斜して形成されている。
【００４０】
また、圧力発生室１２側の段差面１６Ａと、圧力発生室１２の短手方向の段差面１６Ａ側の一側面と、圧力発生室１２の深さ方向の一方面を画成する弾性膜５０の一方面とで画成された角部には、埋設部１７Ａが設けられている。
【００４１】
さらに、連通路１５側の段差面１６Ａと、連通路１５の短手方向の段差面１６Ａ側の一側面と、連通路１５の深さ方向の一方面を画成する弾性膜５０の一方面とで画成された角部にも埋設部１７Ａが設けられている。
【００４２】
このような構成としても、連通部１３からのインクが連通路１５、インク供給路１４Ａを介して圧力発生室１２に供給される際に、インクに混入した気泡が、この角部に残留するのを防止して、残留した気泡が成長することにより圧力発生室１２や連通路１５の内容積が変化するのを防止して、インク吐出特性を向上することができる。
【００４３】
（実施形態３）
図５は、本発明の実施形態３に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００４４】
図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板１０Ｂには、圧力発生室１２、インク供給路１４及び連通部１３が設けられており、連通部１３からのインクはインク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給される。
【００４５】
また、圧力発生室１２とインク供給路１４との間の段差面１６は、上述した実施形態１と同様に、流路形成基板１０の一方面に対して垂直に形成されていると共に、圧力発生室１２の短手方向に対して傾斜して形成されている。
【００４６】
そして、この段差面１６と、圧力発生室１２の短手方向の段差面１６側の一側面と、圧力発生室１２の深さ方向の一方面を画成する弾性膜５０の一方面とで画成された角部には、埋設部１７が設けられている。
【００４７】
すなわち、本実施形態では、流路形成基板１０Ｂに連通路１５を設けずに、埋設部１７を圧力発生室１２側にのみ設けた構成となっている。
【００４８】
このような構成としても、上述した実施形態１と同様に、連通部１３からのインクがインク供給路１４を介して圧力発生室１２に供給される際に、インクに混入した気泡が、この角部に残留するのを防止して、残留した気泡が成長することにより圧力発生室１２の内容積が変化するのを防止して、インク吐出特性を向上することができる。
【００４９】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は、上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１〜３では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１４を形成したが、特にこれに限定されず、例えば、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。このように流路の幅を両側から絞った場合には、両側に段差面が形成されるため、両側の段差面によって画成された角部に埋設部を設けるようにすればよい。
【００５０】
また、上述した実施形態１〜３では、流路形成基板１０として、結晶面方位が（１１０）面のシリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、結晶面方位が（１００）面のシリコン単結晶基板を用いるようにしてもよく、また、ＳＯＩ基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
【００５１】
さらに、上述した各実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５２】
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５３】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５４】
また、上述した実施形態１〜３においては、圧力発生手段として、圧電素子を有するアクチュエータ装置を用いて説明したが、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータを圧力発生手段として用いても良い。また、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態２に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図４】実施形態２に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図５】実施形態３に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図６】一実施形態に係るインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０、１０Ａ、１０Ｂ  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給路、  １５  連通部、  １６、１６Ａ  段差面、  １７、１７Ａ  埋設部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  リザーバ部、  ３２  圧電素子保持部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  リザーバ、  ２００  駆動回路、  ２１０  駆動配線、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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