(57)【要約】【課題】アクチュエータ部材の駆動端子とフレキシブルケーブルの配線端子とを導電性部材で接合する場合であっても、圧電振動子とフレキシブルケーブルとの間の隙間に防水部材が充填されている液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ部材４にフレキシブルケーブル１８とを接合するに際し、駆動端子３９と配線端子とをこれらの間に異方性導電フィルム４８が介在することにより接合させ、アクチュエータ部材４とフレキシブルケーブル１８との間において圧電振動子３０を取り囲むように両面テープ４７を設けて圧電振動子３０を内包する空間４９を形成し、フレキシブルケーブル１８と両面テープ４７には、それぞれ空間４９に連通する貫通孔６０ａ，６０ｂを設け、空間４９にフッ素ゲル６１を充填する。【選択図】図３
2008230017.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力変動によりノズル開口を介して内部の液体を吐出する圧力室と、この圧力室に対応して配設され駆動端子を介して供給される駆動信号により変形して前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子を有するアクチュエータ部材とを一方向に並べて形成した列の２つで一つの組を形成した液体噴射ヘッドであって、
前記駆動端子は、圧力発生素子の２つの列の間の領域に配設され、
前記各列のアクチュエータ部材の駆動回路を搭載するとともに、前記各駆動端子に接合する配線端子を介して前記駆動回路が出力する駆動信号を伝送するよう前記アクチュエータ部材の上方にこれを跨ぐように配設したフィルム部材を有し、前記駆動端子と前記配線端子とはこれらの間に導電性部材が介在することにより接合される一方、前記アクチュエータ部材と前記フィルム部材との間において前記圧力発生素子を取り囲むように接着部材が設けられることにより前記圧力発生素子を内包する空間が形成され、
前記各部材によって形成された前記空間における異なる面に対応する前記部材のうち、異なる２つ面に対応する前記部材のそれぞれに、前記空間に連通する貫通孔が設けられ、
前記空間には前記圧力発生素子の変形を阻害せず且つ疎水性を有する防水部材が充填されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記貫通孔は、前記空間の異なる面に対応する前記アクチュエータ部材と前記接着部材に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記貫通孔は、前記空間の異なる面に対応する前記接着部材に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
それぞれの前記貫通孔は、互いに離れた位置となるように前記各部材の端部に設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
圧力変動によりノズル開口を介して内部の液体を吐出する圧力室と、この圧力室に対応して配設され駆動端子を介して供給される駆動信号により変形して前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子を有するアクチュエータ部材とを一方向に並べて形成した列の２つで一つの組を形成する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記圧力発生素子の２つの列の間の領域に前記各駆動端子を配設すると共に前記アクチュエータ部材上に前記圧力発生素子を取り囲むように接着部材を配設し、前記各列のアクチュエータ部材の駆動回路に接続された各配線端子を有するフィルム部材を前記各配線端子と各駆動端子とが導電性部材を介して前記アクチュエータ部材に接合すると共に前記フィルム部材と前記接着部材とを接着することにより前記圧力発生素子を内包する空間を形成し、
前記各部材によって形成された前記空間におけるの異なる面に対応する前記部材のうち、異なる２つ面に対応する前記部材のそれぞれに設けられた前記空間に連通する貫通孔を介して前記圧力発生素子の変形を阻害せず且つ疎水性を有する防水部材を前記空間に注入することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記防水部材の前記空間への注入に際し、一方の前記貫通孔から前記防水部材を注入して他方の前記貫通孔から前記空間内の空気が排出されるよう前記空間に前記防水部材を充填することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記フィルム部材に設けられた一方の前記貫通孔から前記防水部材を注入し、前記接着部材に設けられた他方の前記貫通孔から前記空間内の空気を排出するように前記防水部材を充填することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドの一種に、振動板の表面に形成された圧電振動子（圧力発生素子の一種）を撓み変形させることで液滴を吐出させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、例えば、圧力室と圧電振動子とを備えたアクチュエータ部材と、ノズル開口や共通液室を備えた流路ユニットとから構成される。この液体噴射ヘッドでは、駆動信号を供給して圧電振動子を駆動させることで圧力室容積を変化させ、圧力室内に貯留された液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用することでノズル開口から液滴を吐出させる。
【０００３】
ここで上記圧電振動子は個別に駆動端子を有しており、この駆動端子に配線部材の先端部に形成した配線端子が接続され、この配線部材及び配線端子を介して駆動回路であるＩＣから駆動信号が供給されるようになっている。この場合の配線部材としては、フィルム部材としてのフレキシブルケーブルが好適に用いられる。このフレキシブルケーブルは、ポリイミドやポリエステル等の絶縁性フィルムの表面に、銅箔で導体パターン（リードパターン）を形成するとともに、配線端子（アウターリード）以外の部分をレジストで覆って構成している。この配線部材の配線端子の部分には、予めハンダメッキが施されており、この配線端子を圧電振動子の駆動端子にハンダ付けすることによって、配線部材がアクチュエータ部材に取り付けられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記特許文献１を含む従来技術に係る液体噴射ヘッドでは、ノズル開口を介して内部の液体を吐出する圧力室と、この圧力室に対応して配設され駆動端子を介して供給される駆動信号により変形して前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子を有するアクチュエータ部材とを一方向に並べて形成した列の２つで一つの組が形成されている。圧力室乃至アクチュエータ部材の２つの列の間には、前記駆動端子が各アクチュエータ部材に対応して２列配設されている。そして、各駆動端子に前記フレキシブルケーブルの配線端子を接合する場合、駆動端子に配線端子を当接させてこれを圧下して接合する作業を各列毎に行っている。
【０００５】
一方、駆動端子の各列の間に対向するフレキシブルケーブルの一部には、貫通孔が設けられており、前記接合作業の後、この貫通孔からゲル状防水部材の一例であるフッ素ゲルが注入される。このフッ素ゲルは、駆動端子の各列の間に流入することとなるが、更に隣り合う駆動端子の間を通過してフレキシブルケーブルと圧電振動子との間の隙間に到達し、かかる隙間を充填する。このように圧電振動子の上面全体をフッ素ゲルが覆って、浸水による圧電振動子の劣化を防止している。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２９１３３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一方、各配線端子に予めハンダメッキを設け、各配線端子と各駆動端子とをハンダ付けして接合する工程は煩雑であり製造コストが増大するため、各配線端子と各駆動端子とを導電性部材を介して接合することで製造コストの削減を図ることができる。
【０００８】
しかしながら、駆動端子上に導電性部材を設けて、その上にフレキシブルケーブルを配設すると、その貫通孔が導電性部材により塞がれてしまうため、フッ素ゲルを注入することができなくなってしまう。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑み、アクチュエータ部材の駆動端子とフレキシブルケーブルの配線端子とを導電性部材で接合する場合であっても、圧電振動子とフレキシブルケーブルとの間の隙間に防水部材が充填されている液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため本発明は、圧力変動によりノズル開口を介して内部の液体を吐出する圧力室と、この圧力室に対応して配設され駆動端子を介して供給される駆動信号により変形して圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子を有するアクチュエータ部材とを一方向に並べて形成した列の２つで一つの組を形成した液体噴射ヘッドであって、駆動端子は、圧力発生素子の２つの列の間の領域に配設され、各列のアクチュエータ部材の駆動回路を搭載するとともに、各駆動端子に接合する配線端子を介して駆動回路が出力する駆動信号を伝送するようアクチュエータ部材の上方にこれを跨ぐように配設したフィルム部材を有し、駆動端子と配線端子とはこれらの間に導電性部材が介在することにより接合される一方、アクチュエータ部材とフィルム部材との間において圧力発生素子を取り囲むように接着部材が設けられることにより圧力発生素子を内包する空間が形成され、各部材によって形成された空間における異なる面に対応する部材のうち、異なる２つ面に対応する部材のそれぞれに、空間に連通する貫通孔が設けられ、空間には圧力発生素子の変形を阻害せず且つ疎水性を有する防水部材が充填されていることを要旨とする。
【００１１】
これによれば、導電性部材を用いて各駆動端子と各配線端子とを一度に接合することで記録ヘッドの生産性の向上を図ると共に、圧力発生素子を内包する空間に連通する貫通孔から防水部材が充填されて耐久性の高い液体噴射ヘッドを得ることができる。
【００１２】
本発明の液体噴射ヘッドの貫通孔は、空間の異なる面に対応するアクチュエータ部材と接着部材に設けてもよい。
【００１３】
これによれば、アクチュエータ部材と接着部材に設けられたいずれか一方の貫通孔から防水部材を空間に注入する際に、他方の貫通孔から前記空間内の空気が排出されるため、防水部材が気泡無く空間内に充填された液体噴射ヘッドを得ることができ、圧力発生素子をより確実に防水できる。
【００１４】
本発明の液体噴射ヘッドの貫通孔は、空間の異なる面に対応する接着部材に設けてもよい。
【００１５】
これによれば、接着部材に設けられたいずれか一方の貫通孔から防水部材を空間に注入する際に、他方の貫通孔から前記空間内の空気が排出されるため、防水部材が気泡無く空間内に充填された液体噴射ヘッドを得ることができ、圧力発生素子をより確実に防水できる。
【００１６】
本発明の液体噴射ヘッドのそれぞれの貫通孔は、互いに離れた位置となるように各部材の端部に設けてもよい。
【００１７】
これによれば、貫通孔同士が離れて設けられているので、一方の貫通孔から防水部材を空間に注入した際に、他方の貫通孔を防水部材で覆いにくくなり、空間中の空気を閉じ込めることなく、効率良く防水部材を充填することができる。
【００１８】
本発明は、圧力変動によりノズル開口を介して内部の液体を吐出する圧力室と、この圧力室に対応して配設され駆動端子を介して供給される駆動信号により変形して圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧力発生素子を有するアクチュエータ部材とを一方向に並べて形成した列の２つで一つの組を形成する液体噴射ヘッドの製造方法であって、圧力発生素子の２つの列の間の領域に各駆動端子を配設すると共にアクチュエータ部材上に圧力発生素子を取り囲むように接着部材を配設し、各列のアクチュエータ部材の駆動回路に接続された各配線端子を有するフィルム部材を各配線端子と各駆動端子とが導電性部材を介してアクチュエータ部材に接合すると共にフィルム部材と接着部材とを接着することにより圧力発生素子を内包する空間を形成し、各部材によって形成された空間における異なる面に対応する部材のうち、異なる２つ面に対応する部材のそれぞれに設けられた空間に連通する貫通孔を介して圧力発生素子の変形を阻害せず且つ疎水性を有する防水部材を空間に注入することを要旨とする。
【００１９】
これによれば、導電性部材を用いて各駆動端子と各配線端子とを一度に接合することで記録ヘッドの生産性の向上を図ると共に、圧力発生素子を内包する空間に連通する貫通孔から防水部材が充填されて耐久性の高い液体噴射ヘッドを製造することができる。
【００２０】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、防水部材の空間への注入に際し、一方の貫通孔から防水部材を注入して他方の貫通孔から空間内の空気が排出されるよう空間に前記防水部材を充填してもよい。
【００２１】
これによれば、一方の貫通孔から防水部材を空間に注入する際に、他方の貫通孔から前記空間内の空気が排出されるため、空間内に防水部材が気泡無く充填された液体噴射ヘッドを得ることができ、圧力発生素子をより確実に防水できる。
【００２２】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、フィルム部材に設けられた一方の貫通孔から防水部材を注入し、接着部材に設けられた他方の貫通孔から空間内の空気を排出するように防水部材を充填してもよい。
【００２３】
これによれば、フィルム部材の貫通孔から防水部材を注入すると、防水部材が自重によって空間に拡がりやすくなるとともに、接着部材に設けられた他方の貫通孔から効率良く空間内の空気を排出させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（第１実施形態）
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。
【００２５】
図１は、記録ヘッド１の構成の一例を説明する分解斜視図である。この記録ヘッド１は、図示しないインクカートリッジ内に貯留されたインクをヘッド内部に導入するインク供給針２が複数配設された供給針ユニット３と、圧電振動子３０（図２等参照）を有するアクチュエータユニット４及び流路ユニット５から成るヘッドユニット６とを、ヘッドケース９に備えて概略構成される。また、この記録ヘッド１において、ヘッドケース９の先端側（供給針ユニット３の接合面とは反対側）には、ヘッドユニット６を保護すると共に、ノズルプレート８を接地電位に調整するための金属製のカバー１０が取り付けられるようになっている。
【００２６】
供給針ユニット３は、インク供給針２がヘッド主走査方向（ノズル列直交方向）に横並びに配設された合成樹脂製の部材である。この供給針ユニット３に配設されるインク供給針２の先端部は円錐状に尖っており、インクカートリッジ内に挿入し易くなっている。また、この先端部には、インク供給針２の内外を連通する導入孔が複数穿設されており、これらの導入孔を通じてインクカートリッジ内のインクがヘッド内に導入される。そして、本実施形態の記録ヘッド１は４種類のインクを吐出可能であるため、供給針ユニット３には、合計４本のインク供給針２が先端を上方に突出した姿勢で配設されている。
【００２７】
ヘッドケース９は、上記供給針ユニット３や配線基板１１が取り付けられるベース部１２と、このベース部１２の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット６が取り付けられる中空箱体状のケース部１３とにより構成される部材である。本実施形態においては、このヘッドケース９と上記供給針ユニット３は、例えば、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂等の合成樹脂によって作製されている。そして、ヘッドケース９のベース部１２には、ヘッドユニット６側にインクを供給する収束流路（図示せず）の上部開口１４が、供給針ユニット３の各インク供給針２に対応した位置にそれぞれ開設されている。また、ベース部１２には、配線基板１１を配設するための基板配設部１５が区画されている。
【００２８】
上記配線基板１１は、コネクタ１６を備えており、このコネクタ１６には、プリンタ本体側からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の配線ケーブル（図示せず）が装着されるようになっている。また、配線基板１１には、接続用端子１７が形成されており、この接続用端子１７には、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフィルム部材としての状のフレキシブルケーブル１８が電気的に接続される。そして、この配線基板１１は、プリンタ本体側からの駆動信号をＦＦＣを通じて受けると共に、この駆動信号をフレキシブルケーブル１８を介してアクチュエータ部材４の圧電振動子３０に供給するようになっている。
【００２９】
ノズルプレート８は、流路ユニット５を構成する部材の１つであり、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材をプレス加工することで作製されている。このノズルプレート８には、ドット形成密度に応じたピッチで複数のノズル開口１９が列状に開設されており、本実施形態においては、このノズル開口１９の列（ノズル列）が、主走査方向に複数条（４列）並設されている。そして、このノズルプレート８は、流路ユニット５において、アクチュエータ部材４の接合面側とは反対側に配置される。
【００３０】
図２（ａ）は、アクチュエータ部材の平面図、図２（ｂ）は、フレキシブルケーブルの平面図であり、図３は、ヘッドユニットの構成を説明する要部断面図である。図３に示すフレキシブルケーブル１８は、図２（ｂ）に示すフレキシブルケーブル１８をＩ−Ｉ線で切断した横断面である。また、図２（ｂ）中の符号「３０」に示す点線の矩形は、フレキシブルケーブル１８がアクチュエータ部材４に接合されたときにおける圧電振動子３０一列の位置を示している。同様に、符号「４７」に示す点線のコの字状領域は、後述する両面テープ４７の位置を示している。
【００３１】
図２（ａ）及び図３に示すように、ヘッドユニット６は、アクチュエータ部材４と流路ユニット５を重ね合わせた状態で一体化して構成されており、圧力変動によりノズル開口１９を介して内部の液体を吐出する圧力室２８と、この圧力室２８に対応して配設され駆動端子３９を介して供給される駆動信号により変形して前記圧力室２８内の液体に圧力変動を生じさせる圧電振動子３０を有するアクチュエータ部材４とを一方向（図２（ａ）の上下方向）に並べて形成した列の２つで一つの組を形成するとともに、この組を二組（図１参照）、前記一方向と直交する他の方向に並べて形成したものである。なお、流路ユニット５のアクチュエータ部材４よりも水平方向に突出した部分には、コンプライアンス基板７０が設けられている。コンプライアンス基板７０は、リザーバ２５にインクが流入する際の圧力急上昇を緩和するための衝撃緩和部材である。
【００３２】
ここで前記駆動端子３９は、各組において一方の列の右端に、また他方の列の左端に配設されており、圧電振動子３０の列と列の間の領域に、当該圧電振動子２列分の駆動端子３９が形成されることになる。一方、アクチュエータ部材４とフレキシブルケーブル１８との間には、圧電振動子３０を取り囲むように接着部材としての両面テープ４７が設けられている。本実施形態では、両面テープ４７は一列に並んだ圧電振動子３０の周囲をコの字状に取り囲んでいる。このように各列の圧電振動子３０は駆動端子３９と両面テープ４７とに囲まれた状態となっている。なお、両面テープ４７は、コンプライアンス基板７０よりも圧電振動子３０側に配設されている。
【００３３】
図２（ｂ）及び図３に示すように、フレキシブルケーブル１８は、各列のアクチュエータユニット４を選択的に駆動する駆動回路であるＩＣ４６と、ポリイミドやポリエステル等の絶縁性フィルムからなるベースフィルム４３とを具備している。フレキシブルケーブル１８の表面には、銅箔等の導電材料で導体パターン（配線パターン）が形成されており、前記表面の各駆動端子３９に対向する領域には導体パターンと電気的に接続された配線端子４４が配設されている。また、ＩＣ４６は、ＩＣ４６が出力する駆動信号をアクチュエータユニット４に伝送するように導電パターンに電気的に接続されている。さらに、フレキシブルケーブル１８の表面の配線端子４４以外の部分にはソルダーレジスト４５が設けられている。
【００３４】
また、フレキシブルケーブル１８は、先端部を二股に分岐させてあり、それぞれの分岐部分の幅方向の中央部分に２列１組の配線端子４４がそれぞれ形成してある。両分岐部の間にはリザーバ２５（図３参照）にインクを供給するためのインク供給路５１、５２が位置するのでこの部分を切り欠いてインク供給路５１、５２のためのスペースを確保した上で２つの分岐部を形成して配線端子４４等を配設してある。
【００３５】
そして、フレキシブルケーブル１８は、アクチュエータ部材４の上方にこれを跨ぐように配設されている。詳言すると、フレキシブルケーブル１８の各配線端子４４が導電性部材としての異方性導電フィルム４８を介してアクチュエータ部材４の各駆動端子３９に接合される一方、フレキシブルケーブル１８が両面テープ４７を介してアクチュエータ部材４の上面に接着されている。この結果、フレキシブルケーブル１８と、異方性導電フィルム４８を介して接合された駆動端子３９及び配線端子４４と、両面テープ４７とにより圧電振動子３０の列ごとに空間４９が形成され、この空間４９内に圧電振動子３０が内包されている。
【００３６】
異方性導電フィルム４８は、アクチュエータ部材４の２列の駆動端子３９全体を覆う大きさに形成されているため、フレキシブルケーブル１８をアクチュエータ部材４に接合するに際し、各駆動端子３９と各配線端子４４とを一度に接着することができる。なお、導電性部材としては、異方性導電フィルムに限らず、異方性導電ペーストであってもよい。
【００３７】
また、図２（ｂ）及び図３に示すように、各部材によって圧電振動子３０の列ごとに空間４９が形成される。本実施形態においては、フレキシブルケーブル１８とコの字状に形成された両面テープ４７と異方性導電フィルム４８とアクチュエータ部材４の各部材によって圧電振動子３０の列ごとに空間４９が形成される。換言すると、空間４９は、上記各部材の空間４９に接する第１の面Ｓ１〜第６の面Ｓ６の六つの面によって空間領域を得ている。
【００３８】
また、空間４９を形成する第１の面Ｓ１〜第６の面Ｓ６に対応する部材のうち、異なる２つ面に対応する部材のそれぞれに空間４９に連通する貫通孔６０が設けられている。本実施形態では、第１の面Ｓ１に対応するフレキシブルケーブル１８に貫通孔６０ａが、第２の面Ｓ２に対応する両面テープ４７に貫通孔６０ｂが、それぞれ設けられている。また、貫通孔６０ａと貫通孔６０ｂとが、互いに離れた位置になるように、貫通孔６０ａは、フレキシブルケーブル１８の端部に、貫通孔６０ｂは、両面テープ４７の端部（第２の面Ｓ２の端部）に、それぞれ設けられている。そして、空間４９には一方の貫通孔６０ａまたは貫通孔６０ｂを介して注入されたフッ素ゲル６１が充填されている。フッ素ゲル６１は、圧電振動子３０の変形を阻害することなく、浸水による圧電振動子３０の劣化を防止して耐久性を向上することができる。
【００３９】
以上に説明したように、異方性導電フィルム４８を用いて各駆動端子３９と各配線端子４４とを一度に接合することで記録ヘッド１の生産性の向上を図ると共に、フレキシブルケーブル１８の貫通孔６０を介して圧電振動子３０を内包する空間４９にフッ素ゲル６１を充填して耐久性の高い記録ヘッド１を得ることができる。
【００４０】
なお、アクチュエータ部材４にフレキシブルケーブル１８を接合する際には、両面テープ４７を一列に並んだ圧電振動子３０を取り囲むようにアクチュエータ部材４上に配設する一方、二列の駆動端子３９全体を覆うように異方性導電フィルム４８を駆動端子３９上に載置する。そして、各配線端子４４が異方性導電フィルム４８を介して各駆動端子３９に対応するようフレキシブルケーブル１８をアクチュエータ部材４上に載置する。次に、フレキシブルケーブル１８をアクチュエータ部材４側に押圧すると共に、異方性導電フィルム４８を加熱して各駆動端子３９と各配線端子４４とを電気的に接合させる。最後に、貫通孔６０ａまたは貫通孔６０ｂからフッ素ゲル６１を注入する。本実施形態では、２つの貫通孔６０のうち、フレキシブルケーブル１８に設けられた貫通孔６０ａを注入口として貫通孔６０ａからフッ素ゲル６１を注入し、両面テープ４７に設けられた貫通孔６０ｂを空間４９内の空気を排出する排出口としている。これにより、気泡を生じることなくフッ素ゲル６１を空間４９内に充填することができる。なお、貫通孔６０ｂを注入口とし、貫通孔６０ａを排気口として用いることもできる。
【００４１】
流路ユニット５は、オリフィスとして機能するインク供給口２２及びノズル連通口２３の一部となる通孔が形成された供給口プレート２４と、インク供給針２側からのインクが供給されるリザーバ２５（共通液体室）及びノズル連通口２３の一部となる通孔が形成されたリザーバプレート２６と、上記ノズルプレート８とから構成されている。そして、流路ユニット５は、リザーバプレート２６の一方の面にノズルプレート８を、他方の面に供給口プレート２４をそれぞれ配置し、これらの部材の間を熱溶着フィルム等によって接合して構成されている。この流路ユニット５は、リザーバ２５からノズル開口１９に至るまでのインク流路（液体流路）を形成している。
【００４２】
アクチュエータ部材４は、圧力室２８となる通孔を開設した圧力室プレート２９、圧電振動子３０が複数横並びに実装されると共に、圧力室２８の一部を区画する振動子プレート３１、及び、供給側連通口３２となる通孔及びノズル連通口２３となる通孔を形成した連通口プレート３４を積層した状態で備えている。これらの圧力室プレート２９、振動子プレート３１、及び、連通口プレート３４は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化される。
【００４３】
上記の圧力室２８は、ノズル列とは直交する方向に細長い空部となっており、ノズル開口１９に対応して複数形成されている。そして、各圧力室２８の一端側は、供給側連通口３２及びインク供給口２２を通じてリザーバ２５に連通している。また、供給側連通口３２とは反対側の圧力室２８の他端側は、ノズル連通口２３を通じてノズル開口１９に連通している。この圧力室２８の一部、即ち、連通口プレート３４とは反対側となる面は、振動子プレート３１によって区画されている。
【００４４】
本実施形態において、圧力発生素子の一種として機能する圧電振動子３０は、付与された電界に応じて撓み振動を行う所謂撓みモードの圧電振動子であり、駆動電極３６と共通電極３７で圧電体層３８を挟んだ状態に形成されている。この圧電振動子３０は、圧力室２８とは反対側の振動子プレート３１の表面に、圧力室２８を覆い隠す状態に形成されている。即ち、各圧電振動子３０は、各圧力室２８に対応してノズル列方向に列設されている。ここで、圧電振動子列の端部に位置するものは、インク滴の吐出に関与しない。つまり、駆動信号が供給されず駆動しないダミー振動子となっている。
【００４５】
なお、圧電振動子は、共通電極と上下２枚の駆動電極との間に２枚の圧電体層をそれぞれ挟んだ所謂ダブルチップス方式のものでも勿論構わない。
【００４６】
上記駆動端子３９は、圧電振動子３０の駆動電極３６に導通する。また、共通電極３７は、図示しない共通幹電極を介して共通接地端子４１（図５参照）に導通している。
【００４７】
図４は、アクチュエータ部材における駆動端子の配設状態を説明する平面図、図５は図４における領域Ａの拡大図、図６は図４における領域Ｂの拡大図である。なお、図４〜６においては、駆動端子３９を主に示しており、便宜上、圧電振動子３０は図示していない。
【００４８】
これらの図に示すように、各駆動端子３９は、ノズル列方向に列設されて駆動端子列４０を構成しており、この駆動端子列４０は、アクチュエータ部材４の幅方向（ノズル列方向に直交する方向）の中心寄りに２列形成されている。
【００４９】
図５、６に示すように、駆動端子列方向の両側には、共通接地端子４１が設けられている。この共通接地端子４１は、共通幹電極を介して圧電振動子３０の共通電極３７と導通すると共に、フレキシブルケーブル１８の接地端子（図示せず）が接続される部分である。本実施形態においては、各駆動端子列４０の一側（領域Ｂ）の端から１番目と２番目、他側（領域Ａ）の端から１〜３番目の端子が、それぞれ共通接地端子４１となっている。これらの駆動端子３９及び共通接地端子４１は、銀等の金属材料によって作製されており、本実施形態においては、スクリーン印刷によって、アクチュエータ部材４の表面に形成されている。
【００５０】
上記駆動端子３９を通じて駆動電極３６に駆動信号が供給されると、駆動電極３６と共通電極３７との間には電位差に応じた電界が発生する。この電界は圧電体層３８に付与され、圧電体層３８は付与された電界の強さに応じて撓み変形する。即ち、駆動電極３６に供給する駆動信号の電位を高くする程、圧電体層３８は、流路ユニット５に近づく方向に変位し、圧力室２８の容積を減少するように圧力室プレート２９を変形させる。一方、駆動電極３６に供給する駆動信号の電位を低くする程、圧電体層３８は、流路ユニット５よりも遠ざかる方向に変位し、圧力室２８の容積を増加させるように圧力室プレート２９を変形させる。このような圧電振動子３０の駆動により、圧力室２８が収縮又は膨張し、これにより、圧力室２８内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動を利用することで、圧力室２８内のインクをノズル開口１９からインク滴として吐出させることができる。
【００５１】
（他の実施形態）
図７は、他の実施形態に係るアクチュエータ部材及びフレキシブルケーブルの平面図である。本実施形態では、両面テープ４７に貫通孔６０ａ，０ｂを設けている。貫通孔６０ａは、空間４９に対する第４の面Ｓ４に対応する位置に設けられ、貫通孔６０ｂは、空間４９に対する第２の面Ｓ２に対応する位置に、それぞれ異なる面に設けられている。本実施形態では、貫通孔６０ａを注入口として貫通孔６０ａからフッ素ゲル６１を注入し、貫通孔６０ｂを空間４９内の空気を排出する排出口としている。このようにしても、気泡を生じることなくフッ素ゲル６１を空間４９内に充填することができる。なお、貫通孔６０ｂを注入口とし、貫通孔６０ａを排気口として用いることもできる。
【００５２】
以上の実施形態の説明では、貫通孔６０ａ，６０ｂを設ける位置を第１の面Ｓ１と第２の面Ｓ２または第２の面Ｓ２と第４の面Ｓ４に設けたが、これに限定されず、第１の面Ｓ１〜第６の面Ｓ６について適宜組み合わせて設定することができる。
【００５３】
また、以上の説明では、液体噴射ヘッドとして、記録ヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図。
【図２】第１実施形態におけるアクチュエータ部材及びフレキシブルケーブルの平面図。
【図３】第１実施形態におけるヘッドユニットの要部断面図。
【図４】アクチュエータ部材の平面図。
【図５】図４における領域Ａの拡大図。
【図６】図４における領域Ｂの拡大図。
【図７】他の実施形態におけるアクチュエータ部材及びフレキシブルケーブルの平面図。
【符号の説明】
【００５５】
１…記録ヘッド、４…アクチュエータ部材、５…流路ユニット、６…ヘッドユニット、１８…フィルム部材としてのフレキシブルケーブル、３０…圧力発生素子としての圧電振動子、３９…駆動端子、４０…駆動端子列、４４…配線端子、４７…導電性部材としての異方性導電フィルム、４９…空間、６０，６０ａ，６０ｂ…貫通孔、６１…防水部材としてのフッ素ゲル、Ｓ１〜Ｓ６…第１の面〜第６の面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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