(57)【要約】【課題】搬送ライン上を流れる複数のシートに対して所定の処理を所定回数（Ｎ回）行なう場合において、多大な時間延長を生じさせずに、Ｎ回の処理が全て終了する前に、途中の処理（ｎ回目の処理）に対する検査結果を把握することができる検査方法等を提供することを目的する。【解決手段】所定の処理が行なわれた対象物を検査する検査方法であって、複数の前記対象物を搬送ライン上に搬送しながら各前記対象物に対して順に前記所定の処理をＮ回（Ｎは２以上の自然数）繰り返し行なう処理工程と、前記複数の対象物のうち、ｎ回目（ｎはＮ以下の１以上の自然数）の処理が終了した先頭の前記対象物に対して検査を行ない、検査後の前記対象物を前記複数の対象物のうち前記ｎ回目の処理が終了した対象物の後に戻す検査工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の処理が行なわれた対象物を検査する検査方法であって、
複数の前記対象物を搬送ライン上に搬送しながら各前記対象物に対して順に前記所定の処理をＮ回（Ｎは２以上の自然数）繰り返し行なう処理工程と、
前記複数の対象物のうち、ｎ回目（ｎはＮ以下の１以上の自然数）の処理が終了した先頭の前記対象物に対して検査を行ない、検査後の前記対象物を前記複数の対象物のうち前記ｎ回目の処理が終了した対象物の後に戻す検査工程と、
を有することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の検査方法であって、
前記検査工程は、検査後の前記対象物を前記ｎ回目の処理が終了した最後尾の対象物の後に戻すことを特徴とする検査方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の検査方法であって、
前記検査工程は、ｎ回目の処理が終了した前記対象物の検査結果を前記処理工程に通知する検査結果通知工程を有し、
前記処理工程では、前記検査工程からｎ回目の処理に対する検査結果の通知を受けると、当該検査結果が不良である場合には、前記複数の対象物に対して処理を中止することを特徴とする検査方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査方法であって、
前記検査工程は、ｎ回目の処理が終了した前記対象物の検査結果を前記処理工程に通知する検査結果通知工程を有し、
前記処理工程では、前記検査工程からｎ回目の処理に対する検査結果の通知を受けると、当該検査結果が良好である場合にのみ、ｎ＋１回目の処理を前記対象物に対して行なうことを特徴とする検査方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検査方法であって、
前記対象物は、シート基板であって、
前記処理工程における前記所定の処理は、前記シート基板に所定の高さを有するバンプを形成すべく、当該シート基板に対して銀ペーストを繰り返し印刷する印刷処理であって、
前記検査工程は、前記バンプの有無、高さ、位置等を検査することを特徴とする検査方法。
【請求項６】
搬送ライン上を搬送される複数の対象物に対して所定の処理及び検査を行なう検査処理システムであって、
前記搬送ライン上を搬送される各前記対象物に対して順に前記所定の処理をＮ回（Ｎは２以上の自然数）繰り返し行なう処理装置と、
前記複数の対象物のうち、ｎ回目（ｎはＮ以下の１以上の自然数）の処理が終了した先頭の前記対象物に対して検査を行ない、検査後の前記対象物を前記複数の対象物のうち前記ｎ回目の処理が終了した対象物の後に戻す検査装置と、
を有することを特徴とする検査処理システム。
【請求項７】
請求項６に記載の検査処理システムであって、
前記検査装置は、検査後の前記対象物を前記ｎ回目の処理が終了した最後尾の対象物の後に戻すことを特徴とする検査処理システム。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の検査処理システムであって、
前記検査装置は、ｎ回目の処理が終了した前記対象物の検査結果を前記処理装置に通知する検査結果通知手段を有し、
前記処理装置は、前記検査装置からｎ回目の処理に対する検査結果の通知を受けると、当該検査結果が不良である場合には、前記複数の対象物に対して処理を中止する中止手段を有することを特徴とする検査処理システム。
【請求項９】
請求項６乃至８のいずれか一項に記載の検査処理システムであって、
前記検査装置は、ｎ回目の処理が終了した前記対象物の検査結果を前記処理装置に通知する検査結果通知手段を有し、
前記処理装置は、前記検査装置からｎ回目の処理に対する検査結果の通知を受けると、当該検査結果が良好である場合にのみ、ｎ＋１回目の処理を前記対象物に対して行なうことを特徴とする検査処理システム。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれか一項に記載の検査処理システムであって、
前記対象物は、シート基板であって、
前記処理装置における前記所定の処理は、前記シート基板に所定の高さのバンプを形成すべく、当該シート基板に対して銀ペーストを繰り返し印刷する印刷処理であって、
前記検査装置は、前記バンプの有無、高さ、位置等を検査することを特徴とする検査処理システム。
【請求項１１】
請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の検査処理システムにおける前記処理装置。
【請求項１２】
請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の検査処理システムにおける前記検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
所定の処理が行なわれた対象物を検査する検査方法等に関し、特に、複数の対象物を搬送ライン上に搬送しながら各対象物に対して順に所定の処理を複数回行なう場合に、搬送ラインを止めることなく対象物の検査を行なう検査方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高密度実装用のプリント配線板としてＢ２ｉｔ（Buried Bump Interconnection Technology／ビー・スクエア・イット）方式等によるビルドアッププリント配線板の開発が進められている。例えばＢ２ｉｔ方式のビルドアッププリント配線板は、例えば、シートと呼ばれる銅箔基板上に、円錐状突起の“バンプ”を多数形成したものを積層して製造される。
【０００３】
このような、Ｂ２ｉｔ方式のビルドアッププリント配線板は、バンプの形成後は、シート上に仕様どおりの位置にバンプが、仕様どおりの大きさで正しく形成されているか否かを検査することが必要になる。このようなバンプの検査方法としては、例えば、特許文献１に開示されているような、ワーク表面に対して形成した突起物の高さを測る測定方法に係る技術を応用して行なうことができる。
【特許文献１】特開２００５−６１９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、シート上にバンプを形成する際には、シート上のバンプを形成すべき位置に銀ペーストを複数回に分けて重ねて印刷することにより、バンプを形成している。
【０００５】
つまり、複数回の銀ペーストの印刷が終了した後にシートを取り出してきて、バンプの検査を行なうため、１回目の印刷の際に、バンプの位置ズレ等の不具合が既に発生していた場合であっても、この不具合を解消することができないまま、２回目以降の印刷を施すことになるという問題がある。
【０００６】
更に、通常、複数のシートが搬送ライン上を流れながら印刷、乾燥を繰り返し行なうこととなるが、版の目詰まり等、版起因の不良で先頭のシートに対する検査結果がＮＧであった場合、先頭のシートのみならず搬送ライン上を流れる他のシートもＮＧとなり、大量のシートが無駄（廃棄）になるという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、搬送ライン上を流れる複数のシートに対して所定の処理を所定回数（Ｎ回）行なう場合において、多大な時間延長を生じさせずに、Ｎ回の処理が全て終了する前に、途中の処理（ｎ回目の処理）に対する検査結果を把握することができる検査方法等を提供することを目的する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、所定の処理が行なわれた対象物を検査する検査方法であって、複数の前記対象物を搬送ライン上に搬送しながら各前記対象物に対して順に前記所定の処理をＮ回（Ｎは２以上の自然数）繰り返し行なう処理工程と、前記複数の対象物のうち、ｎ回目（ｎはＮ以下の１以上の自然数）の処理が終了した先頭の前記対象物に対して検査を行ない、検査後の前記対象物を前記複数の対象物のうち前記ｎ回目の処理が終了した対象物の後に戻す検査工程と、を有することを特徴とする検査方法である。
【０００９】
これによれば、複数の対象物を搬送しながら、各対象物に対してＮ回の所定の処理を繰り返し行なう際に、ｎ回目の処理が終了した先頭の対象物に対して検査を行ない、当該検査後の対象物を、ｎ回目の処理が終了した対象物の後に戻すよう構成したので、多大な時間延長を生じさせずに、Ｎ回の処理が全て終了する前に、途中の処理（ｎ回目の処理）に対する検査結果を把握することができる。
【００１０】
上記課題を解決するための請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査方法であって、前記検査工程は、検査後の前記対象物を前記ｎ回目の処理が終了した最後尾の対象物の後に戻すことを特徴とする検査方法である。
【００１１】
これによれば、検査後の対象物を適式に搬送ライン上に戻して、当該検査後の対象物に対して引き続き所定の処理を施すことができる。
【００１２】
上記課題を解決するための請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の検査方法であって、前記検査工程は、ｎ回目の処理が終了した前記対象物の検査結果を前記処理工程に通知する検査結果通知工程を有し、前記処理工程では、前記検査工程からｎ回目の処理に対する検査結果の通知を受けると、当該検査結果が不良である場合には、前記複数の対象物に対して処理を中止することを特徴とする検査方法である。
【００１３】
これによれば、検査結果がＮＧである場合には、処理を中止するよう構成したので、検査結果を、他の対象物に対する処理に迅速に反映させることができる。
【００１４】
上記課題を解決するための請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査方法であって、前記検査工程は、ｎ回目の処理が終了した前記対象物の検査結果を前記処理工程に通知する検査結果通知工程を有し、前記処理工程では、前記検査工程からｎ回目の処理に対する検査結果の通知を受けると、当該検査結果が良好である場合にのみ、ｎ＋１回目の処理を前記対象物に対して行なうことを特徴とする検査方法である。
【００１５】
これによれば、ｎ回目の処理に対する検査結果を受けて、次回（ｎ＋１回）の検査を行なうよう構成したので、次回（ｎ＋１回）の処理までに、ｎ回目の処理に対する検査を完了することができ、ｎ回目の処理に対する検査結果を迅速に次回の処理にフィードバックすることが可能になり、無駄な処理を極力減らすことができる。
【００１６】
上記課題を解決するための請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検査方法であって、前記対象物は、シート基板であって、前記処理工程における前記所定の処理は、前記シート基板に所定の高さを有するバンプを形成すべく、当該シート基板に対して銀ペーストを繰り返し印刷する印刷処理であって、前記検査工程は、前記バンプの有無、高さ、位置等を検査することを特徴とする検査方法である。
【００１７】
これによれば、複数のシート基板を搬送しながら、各シート基板に対してＮ回の所定の印刷処理を繰り返し行なう際に、ｎ回目の印刷処理が終了した先頭のシート基板に対して検査を行ない、当該検査後のシート基板を、ｎ回目の印刷処理が終了したシート基板の後に戻すよう構成したので、Ｎ回の印刷処理が全て終了する前に、途中の印刷処理（ｎ回目の印刷処理）に対する検査結果を把握することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、複数のシート基板等の対象物を搬送しながら、各対象物に対してＮ回の所定の処理を繰り返し行なう際に、ｎ回目の処理が終了した先頭の対象物に対して検査を行ない、当該検査後の対象物を、ｎ回目の処理が終了した対象物の後に戻すよう構成したので、多大な時間延長を生じさせることなく、Ｎ回の処理が全て終了する前に、途中の処理（ｎ回目の処理）に対する検査結果を把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて説明する。本実施形態では、本発明の検査方法を、シート基板を搬送しながら、当該シート基板にバンプを形成するバンプ形成ラインシステムに適用した場合について説明する。
【００２０】
図１乃至図５は、本実施形態に係るバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【００２１】
バンプ形成ラインシステムＳは、対象物の一例としてのシート基板１（１ａ〜１ｈ）（以下、「シート基板」を単に「シート」と言う。）に対して銀ペーストを印刷する印刷工程１０（本発明の処理工程の一例）と、バンプの有無、高さ、位置ズレ等の検査を行なう検査工程２０と、印刷された銀ペーストの仮乾燥を行なう乾燥工程３０と、印刷工程１０、検査工程２０及び乾燥工程３０に含まれるコンピュータ（図示せず）と情報の授受を行ない、各コンピュータに対して制御信号を送信するシステム制御装置４０と、にて構成される。なお、乾燥工程３０は検査工程２０の前に備えるよう構成してもよく、或いは、当該乾燥工程３０を本システムＳ内に具備せずとも、本システムＳからシート１を排出した後、乾燥させるよう構成してもよい。更に、印刷工程１０のみならず本発明の処理工程として他の処理工程を含むよう構成しても差し支えない。
【００２２】
シート１は、例えば、Ｂ２ｉｔ（Buried Bump Interconnection Technology／ビー・スクエア・イット）方式等による高密度実装用のビルドアッププリント配線板に用いられる銅箔シート基板であって、バンプ形成シート投入／排出口からシステムＳ内に順次投入される。システムＳに投入されたシート１は、その後搬送ライン上を搬送される。
【００２３】
印刷工程１０では、搬送されてきたシート１に対して、順番に所定の位置（バンプの形成を所望する位置）に銀ペースト印刷を行なう。本実施形態においては、図１及び図２等に示す如くシート１ａ、シート１ｂ、シート１ｃ・・・の順でシート表面に印刷処理が施されることとなる。また、所望の高さのバンプを形成すべく所定回数（Ｎ回）の印刷処理が同一の位置に繰り返し重ねて行なわれることとなるが、本実施形態では３回（Ｎ＝３）印刷を行なう場合について説明する。
【００２４】
検査工程２０では、１回目（ｎ＝１）の印刷が終了した先頭のシートであるシート１ａの検査が行なわれる（図１及び図２参照）。検査は、１回の印刷で形成されたバンプが、仕様どおりの位置に、仕様どおりの大きさで正しく形成されているか否かを検査する。なお、この場合１回しか銀ペーストを印刷していないので、ここでいう「仕様どおりの大きさ」とは、最終的に形成すべきバンプの高さではなく、１回の銀ペーストの印刷で形成されるべきバンプの高さなどを検査することとなる。
【００２５】
乾燥工程３０では、銀ペースト印刷後の仮乾燥が行われる。
【００２６】
検査工程２０にてシート１ａの検査が行なわれている間に、印刷工程１０でシート１ｂ〜シート１ｈに対する１回目の印刷が順次行なわれる（図２及び図３参照）。すなわち、１回目の印刷に対する検査は、１回目の印刷が終了した先頭のシートであるシート１ａに対してのみ行ない、他のシート１ｂ〜１ｈに対しては行なわない。
【００２７】
そして、検査工程２０に含まれるコンピュータ（図示せず）は、シート１ａの検査結果を、図示しない通信網（有線、無線を含む）を介してシステム制御装置４０に送信すると共に、検査後のシート１ａを搬送ライン上に戻す。
【００２８】
システム制御装置４０は、良好である旨の検査結果（検査ＯＫ）を受信した場合には、図示しない通信網（有線、無線を含む）を介して印刷工程１０に含まれるコンピュータ（図示せず）に対して２回目の印刷を開始することを指示する（図４参照）。そして、印刷工程１０は、当該印刷工程１０に含まれるコンピュータが、システム制御装置４０から１回目の検査ＯＫに起因して２回目（ｎ＝２）の印刷処理の実行指示を受けると、シート１ｂに対して２回目の印刷処理を開始する。
【００２９】
また、検査工程２０が、シート１ａを搬送ライン上に戻す際には、１回目の印刷が行なわれたシート１の後であれば、何れのシートの後に戻しても良いが、例えば、図４に示す如く、１回目の印刷が行なわれた最後のシート１ｈの後に戻すことが好ましい。
【００３０】
引き続き、上記と同様にして、２回目の印刷が行なわれたシート１に対しても検査が行なわれる。以下、図５乃至図８を用いて説明する。
【００３１】
図５乃至図８は、図４にて２回目の印刷が許可（指示）され、シート１ｂに対して２回目の印刷処理が施された後の続きのシート１の搬送を示すシステム構成図である。
【００３２】
検査工程２０は、２回目の印刷が終了した先頭のシートであるシート１ｂの検査を行なう（図５参照）。そして、検査工程２０においてシート１ｂの検査が行なわれている間に、印刷工程１０においてシート１ｃ〜シート１ａに対する２回目の印刷が順次行なわれる（図５及び図６参照）。上記と同様に、２回目の印刷に対する検査は、２回目の印刷が終了した先頭のシートであるシート１ｂに対してのみ行ない、他のシート１ｃ〜シート１ａに対しては行なわない。
【００３３】
そして、検査工程２０に含まれるコンピュータ（図示せず）は、シート１ｂの検査結果（例えば、良好である旨の検査結果（検査ＯＫ））を、システム制御装置４０に送信し、これを受けたシステム制御装置４０は、印刷工程１０に含まれるコンピュータ（図示せず）に対して３回目の印刷を開始することを指示する（図７参照）。また、シート１ｂを搬送ライン上に戻す。
【００３４】
そして、印刷工程１０は、当該印刷工程１０に含まれるコンピュータが、システム制御装置４０から２回目の検査ＯＫに起因して３回目（ｎ＝３）の印刷処理の実行指示を受けると、シート１ｃに対して３回目の印刷処理を開始する。
【００３５】
続いて、検査工程２０は、３回目の印刷が終了した先頭のシートであるシート１ｃの検査を行なう（図８参照）。以下、同様にして、所定回数（Ｎ回）の印刷処理に対し、ｎ回目（ｎはＮ以下の１以上の自然数）の印刷処理が終了した先頭のシート１に対して検査が行なわれる。
【００３６】
そして、３回の印刷（ｎ＝１、２、３）の検査結果がすべて良好（検査ＯＫ）であれば、一群のシート１ａ〜１ｈに対するバンプ形成処理が適式に終了し、バンプ形成シート投入／排出口から排出される（図９参照）。そして、図１０に示す如く新たなシート１ｉ〜１ｐがバンプ形成ラインシステムＳ内に投入されることとなる。
【００３７】
なお、図４及び図７では、検査工程２０による検査結果が良好である場合について説明したが、図１１に示す如く、検査工程２０による検査結果が不良（検査ＮＧ）である場合もある。この場合、検査工程２０に含まれるコンピュータは、シート１ｃが不良である旨の検査結果（検査ＮＧ）を、システム制御装置４０に送信し、これを受けたシステム制御装置４０は、印刷工程１０に含まれるコンピュータに対して、印刷処理を中止するよう指示する。
【００３８】
そして、印刷工程１０は、当該印刷工程１０に含まれるコンピュータが、システム制御装置４０から３回目の検査ＮＧに起因して印刷処理の中止の指示を受けると、現在実行中の、他の何れかのシート１ｄ〜１ｂに対する３回目の印刷処理を中止する。検査されたシート１ｃは、図１１に示す如く搬送ライン上に戻して、バンプ形成シート投入／排出口から排出するよう構成してもよく、或いは、システム制御装置４０が搬送ラインを全てストップして、オペレータに対して検査ＮＧを通知し、オペレータによる版の洗浄、印刷処理がスクリーン印刷の場合には、版にインクを押し当てるスキージのスピードや、版とシートとの距離などの印刷条件等の確認、その他の検査ＮＧの原因追求等の調査・調整を待機するよう構成してもよい。このように、検査結果が不良である（検査ＮＧ）場合には、各不良の原因に応じた処理を行なうよう構成すればよい。
【００３９】
本実施形態によれば、複数のシート１を搬送しながら、各シート１に対してＮ回の印刷処理を繰り返し行なう際に、ｎ回目の印刷が終了した先頭のシート１に対して検査を行ない、当該検査後のシートを、ｎ回目の印刷処理が終了したシート１の後に戻すよう構成したので、次回（ｎ＋１回）の印刷までに、ｎ回目の処理に対する検査を完了することができ、所定の印刷回数が全て終了する前に、途中の印刷処理に対する検査結果を把握することができる。また、搬送ライン上を搬送されるｎ回目の印刷処理が行なわれたシート１を抜き出して検査工程２０にて検査を行なうが、検査中も他のシート１は留まることなく搬送され、順次ｎ回目の印刷処理が行なわれるため、先頭のシート１を抜き出して検査することによるバンプ形成工程全体の時間延長（タイムロス）を、僅かな時間（具体的には、検査工程２０が最後に検査したシートを搬送ラインに戻す程度）で抑えることができる。
【００４０】
また、検査結果がＮＧである場合には、直ちに印刷工程１０における印刷処理を中止するよう構成したので、検査結果を、他のシート１に対する印刷処理に迅速に反映させることができる。
【００４１】
さらに、ｎ回目の印刷に対する検査結果を受けて、次回（ｎ＋１回）の検査を行なうよう構成したので、次回（ｎ＋１回）の印刷処理までに、ｎ回目の印刷処理に対する検査を完了することができ、ｎ回目の印刷に対する検査結果を迅速に次回の印刷にフィードバックすることが可能になり、無駄な印刷を極力減らすことができる。
【００４２】
なお、上述した実施形態では、図４及び図７に示す如く、検査後のシート１ａ（印刷回数：１）を、１回目の印刷が行なわれた最後のシート１ｈの後に戻し、検査後のシート１ｂ（印刷回数：２）を、２回目の印刷が行なわれた最後のシート１ａの後に戻すよう構成した。言い換えれば、印刷回数がｎ回のシート１は、検査後、印刷回数がｎ回の最後尾のシート１の後に戻した。しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではなく、図１２に示す如く、検査後のシート１ａ（印刷回数：１）は、シート１ｅの後ろに戻してもよい。つまり、印刷回数がｎ回のシート１は、検査後、印刷回数がｎ回のシート１である何れのシート１の後に戻してもよい。
【００４３】
また、上述した実施形態では、印刷工程１０と検査工程２０とはシステム制御装置４０を介して検査結果の授受を行なったが、検査工程２０に含まれるコンピュータ（検査装置）から、印刷工程１０に含まれるコンピュータ（処理装置）へ直接やり取りするよう構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本実施形態に係るバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図２】図１に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図３】図２に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図４】図３に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図５】図４に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図６】図５に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図７】図６に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図８】図７に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図９】図８に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図１０】図９に続くバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図１１】他の例におけるバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【図１２】他の例におけるバンプ形成ラインシステムＳの外観構成図である。
【符号の説明】
【００４５】
１（１ａ〜１ｐ）…シート
１０…印刷工程
２０…検査工程
３０…乾燥工程
４０…システム制御装置
【図６】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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