(57)【要約】    【課題】  簡易な構成で液滴の位置ズレを演算する。    【解決手段】位置ズレのない基準計測線Ｌ１において、計測面k1を通過してから計測面k2を通過する時間t0を計測し、移動速度vとともに予め記憶しておく。実際の計測時に、計測線Ｌ２にて計測面k1、k2を通過し、通過する時間t1であった場合、以下の式（１） によって、ズレ量Lxを演算することができる。  Lx＝（t0-t1)v/tanθ１・・・（１）  計測面k2を傾けることにより、計測面k1を通過してから計測面k2を通過するまでの時間差によりx方向のズレ量Lxを演算することができる。【選択図】  図３
2008122272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴生成部からx,y,z軸で定義される空間に排出され、z軸方向に移動する液滴が、予め定められた位置を通過するように進路を変更する進路調整装置であって、
前記液滴を所定の極性に帯電させる帯電手段、
前記空間におけるxy平面に平行な第１の計測面を前記液滴が横断すると、これを計測する第１の計測器、
前記第１の計測器の下部に位置し、前記第１の計測面を前記y軸を中心に所定角度回転させた面に平行な第２の計測面を横断する液滴を計測する第２の計測器、
前記第２の計測器の下部に位置し、前記液滴を前記x軸方向に移動させるx軸方向移動手段、
前記第１の計測器の下部に位置し、前記第１の計測面を前記x軸を中心に所定角度回転させた面に平行な第３の計測面を前記液滴が横断すると、これを計測する第３の計測器、
前記第３の計測器の下部に位置し、前記液滴を前記y軸方向に移動させるy軸方向移動手段、
前記x軸方向移動手段および前記y軸方向移動手段による位置調整が不要な場合における前記第１の計測器による検知と前記第２の計測器による検知の差分時間を第１基準時間とし、前記第１の計測器による検知と前記第３の計測器による検知の差分時間を第２基準時間として記憶する標準時間記憶手段、
前記液滴の速度を記憶する速度記憶手段、
計測対象の液滴について、前記第１の計測器による検知と前記第２の計測器による検知の第１の差分時間と、前記第１標準時間との差分を求め、求めた差分、前記液滴の移動速度、および前記第１の計測面の所定角度から前記x軸方向のズレ量を演算するx軸方向ズレ量演算手段、
計測対象の液滴について、前記第１の計測器による検知と前記第３の計測器による検知までの第２の時間と、前記第２標準時間との差分を求め、この差分、前記液滴の移動速度、および前記第２の計測面の所定角度から前記y軸方向のズレ量を演算するy軸方向ズレ量演算手段、
前記x軸方向ズレ量演算手段およびy軸方向ズレ量演算手段が演算したx軸方向のズレ量とy軸方向のズレ量を、前記x軸方向移動手段および前記y軸方向移動手段に修正量として与える修正量報知手段、
を備えたことを特徴とする液滴位置調整装置。
【請求項２】
請求項１の液滴位置調整装置において、
前記第１、第２の計測器は、
一対の発光部および受光部、
前記発光部による発光を面状に変更するレンズ、
で構成されていること、
を特徴とするもの。
【請求項３】
Ａ）移動物体の移動する移動方向に直交する第１の計測線と、前記第１の計測線と所定距離離れ、かつ前記第１の計測線の延長線上にて所定の角度で交差する第２の計測線とを通過する時間差で、前記移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを検知するズレ検知装置であって、
Ｂ）前記第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における前記移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間を基準通過時間として記憶する基準通過時間記憶手段、
Ｃ）移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する通過時間を計測する計測手段、
Ｄ）前記移動物体の速度を記憶する速度記憶手段、
Ｅ）前記所定の角度を記憶する角度記憶手段、
Ｆ）f1)前記通過時間と前記基準通過時間との差分と、f2)前記移動物体の速度から、前記計測対象の移動物体が前記第２の計測線を通過する際の、第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における位置との前記移動方向の距離を演算する移動方向ズレ演算手段、
Ｇ）前記角度記憶手段に記憶された所定の角度と、前記移動方向の距離から、前記計測対象の移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを演算すること、
を備えたことを特徴とするズレ検知装置。
【請求項４】
Ａ）移動物体の移動する移動方向に直交する第１の計測線と、前記第１の計測線と所定距離離れ、かつ前記第１の計測線の延長線上にて所定の角度で交差する第２の計測線とを通過する時間差で、前記移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを検知するズレ検知装置であって、
Ｂ）前記第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における前記移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間を基準通過時間とし、
Ｃ）以下のc1)〜c3)から、前記第２の計測線に平行な方向へのズレを演算すること、
c1)計測対象の移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間と前記基準通過時間との差分、
c2)前記移動物体の速度、
c3)前記所定の角度、
を特徴とするズレ検知装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４のズレ検知装置、
前記検知したズレを補正する補正手段、
を備えたズレ修正装置。
【請求項６】
請求項５のズレ修正装置を備えたことを特徴とする極端紫外線生成装置。
【請求項７】
請求項６の極端紫外線生成装置を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項８】
Ａ）移動物体の移動する移動方向に直交する第１の計測線と、前記第１の計測線と所定距離離れ、かつ前記第１の計測線の延長線上にて所定の角度で交差する第２の計測線とを通過する時間差で、前記移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを検知するズレ検知方法であって、
Ｂ）前記第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における前記移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間を基準通過時間とし、
Ｃ）以下のc1)〜c3)から、前記第２の計測線に平行な方向へのズレを演算すること、
c1)計測対象の移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間と前記基準通過時間との差分、
c2)前記移動物体の速度、
c3)前記所定の角度、
を特徴とするズレ検知方法。
【請求項９】
請求項１の液滴位置調整装置において、さらに
前記所定の極性で帯電させられた液滴については、当該液滴の軌道方向を偏向させる偏向手段を備え、
前記帯電手段は、レーザ照射対象の液滴については前記所定の極性における帯電処理をおこない、回収用の液滴には前記所定の極性における帯電処理を行わないこと、
を特徴とするもの。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測対象の移動物体について基準位置から移動方向に直交する方向のズレを検知する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、半導体の微細高集積化の要求はますます高まっており、集積度を高めるために、より波長の短い極端紫外線を用いることが提案されている。極端紫外線を生成する手法としては、ターゲットに強力パルスレーザ光を照射することにより、ターゲットをプラズマ化させる手法が知られている。
【０００３】
特許文献１には、前記ターゲットとしての液体キセノンの液滴を生成する標的材料供給装置が開示されている。簡単に説明すると、図１に示すように、ノズル２００の標的材料供給ライン１６６は圧電トランスデューサ１７２で覆われている。圧電トランスデューサ１７２の振動によって、標的材料供給ライン１６６に供給される液体キセノンは液滴として射出される。
【０００４】
射出された液滴には、パルスレーザが照射され液滴をプラズマ化させ、極端紫外線が生成できる。
【０００５】
【特許文献１】特開2004-006365号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
生成した液滴にレーザ光を照射させる為に、液滴の位置を正確に検出する必要がある。特に、液滴については外形を小さくすることが提案されており、液滴が小さくなればより正確な位置あわせが必要となる。
【０００７】
かかる位置あわせの手法として、従来、パルスフラッシュ光を液滴の後方から照射して液滴の影絵をカメラで取り込み、画像解析によって液滴の中心座標を算出し、基準位置（所定の位置）からの変位量を計算する方法が知られている。
【０００８】
しかし、この方法では画像解析のためのハードウェアおよび計算時間が必要であり、高速制御には適さない。また、液滴の位置ずれが大きい場合でも対応できるようにカメラの視野を広くとる必要があるが、その結果液滴の画像が小さくなり、液滴の中心座標の測定精度が悪くなるという問題があった。
【０００９】
かかる問題は、極端紫外線の生成装置だけでなく、移動する物体の位置ズレ補正を行う場合には同様に問題となる。
【００１０】
この発明は、移動物体の位置ズレを検出できるズレ検知装置またはズレ検知方法を提供することを目的とする。より詳しくは、生成された液滴のズレを修正することができるズレ検知装置またはズレ検知方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
１）本発明にかかる液滴位置調整装置は、液滴生成部からx,y,z軸で定義される空間に排出され、z軸方向に移動する液滴が、予め定められた位置を通過するように進路を変更する進路調整装置であって、1)前記液滴を所定の極性に帯電させる帯電手段、2)前記空間におけるxy平面に平行な第１の計測面を前記液滴が横断すると、これを計測する第１の計測器、3)前記第１の計測器の下部に位置し、前記第１の計測面を前記y軸を中心に所定角度回転させた面に平行な第２の計測面を横断する液滴を計測する第２の計測器、4)前記第２の計測器の下部に位置し、前記液滴を前記x軸方向に移動させるx軸方向移動手段、5)前記第１の計測器の下部に位置し、前記第１の計測面を前記x軸を中心に所定角度回転させた面に平行な第３の計測面を前記液滴が横断すると、これを計測する第３の計測器、6)前記第３の計測器の下部に位置し、前記液滴を前記y軸方向に移動させるy軸方向移動手段、7)前記x軸方向移動手段および前記y軸方向移動手段による位置調整が不要な場合における前記第１の計測器による検知と前記第２の計測器による検知の差分時間を第１基準時間とし、前記第１の計測器による検知と前記第３の計測器による検知の差分時間を第２基準時間として記憶する標準時間記憶手段、8)前記液滴の速度を記憶する速度記憶手段、9)計測対象の液滴について、前記第１の計測器による検知と前記第２の計測器による検知の第１の差分時間と、前記第１標準時間との差分を求め、求めた差分、前記液滴の移動速度、および前記第１の計測面の所定角度から前記x軸方向のズレ量を演算するx軸方向ズレ量演算手段、10)計測対象の液滴について、前記第１の計測器による検知と前記第３の計測器による検知までの第２の時間と、前記第２標準時間との差分を求め、この差分、前記液滴の移動速度、および前記第２の計測面の所定角度から前記y軸方向のズレ量を演算するy軸方向ズレ量演算手段、11)前記x軸方向ズレ量演算手段およびy軸方向ズレ量演算手段が演算したx軸方向のズレ量とy軸方向のズレ量を、前記x軸方向移動手段および前記y軸方向移動手段に修正量として与える修正量報知手段、を備えている。したがって、前記時間差を用いて、x,y方向のズレを検出して位置修正が可能である。
【００１２】
２）本発明にかかる液滴位置調整装置においては、前記第１、第２の計測器は、一対の発光部および受光部と前記発光部による発光を面状に変更するレンズで構成されている。したがって、面状の計測面を提供することができる。
【００１３】
３）本発明にかかるズレ検知装置は、Ａ）移動物体の移動する移動方向に直交する第１の計測線と、前記第１の計測線と所定距離離れ、かつ前記第１の計測線の延長線上にて所定の角度で交差する第２の計測線とを通過する時間差で、前記移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを検知するズレ検知装置であって、Ｂ）前記第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における前記移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間を基準通過時間として記憶する基準通過時間記憶手段、Ｃ）移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する通過時間を計測する計測手段、Ｄ）前記移動物体の速度を記憶する速度記憶手段、Ｅ）前記所定の角度を記憶する角度記憶手段、Ｆ）f1)前記通過時間と前記基準通過時間との差分と、f2)前記移動物体の速度から、前記計測対象の移動物体が前記第２の計測線を通過する際の、第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における位置との前記移動方向の距離を演算する移動方向ズレ演算手段、Ｇ）前記角度記憶手段に記憶された所定の角度と、前記移動方向の距離から、前記計測対象の移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを演算する。したがって、前記時間差を用いて前記第２の計測線に平行な方向のズレを求めることができる。
【００１４】
４）本発明にかかるズレ検知装置は、Ａ）移動物体の移動する移動方向に直交する第１の計測線と、前記第１の計測線と所定距離離れ、かつ前記第１の計測線の延長線上にて所定の角度で交差する第２の計測線とを通過する時間差で、前記移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを検知するズレ検知装置であって、Ｂ）前記第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における前記移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間を基準通過時間とし、Ｃ）以下のc1)〜c3)から、前記第２の計測線に平行な方向へのズレを演算する。c1)計測対象の移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間と前記基準通過時間との差分、c2)前記移動物体の速度、c3)前記所定の角度。
【００１５】
したがって、前記時間差を用いて前記第２の計測線に平行な方向のズレを求めることができる。
【００１６】
５）本発明にかかるズレ修正装置は、本発明にかかるズレ検知装置に、さらに、前記検知したズレを補正する補正手段を備えている。したがって、ズレ修正が可能となる。
【００１７】
６）本発明にかかる極端紫外線生成装置は、本発明にかかるズレ修正装置を備えている。したがって、ズレ修正機能を有する極端紫外線生成装置を提供することができる。
【００１８】
７）本発明にかかる露光装置は、本発明にかかる極端紫外線生成装置を備えている。したがって、ズレ修正機能を有する露光装置を提供することができる。
【００１９】
８）本発明にかかるズレ検知方法は、Ａ）移動物体の移動する移動方向に直交する第１の計測線と、前記第１の計測線と所定距離離れ、かつ前記第１の計測線の延長線上にて所定の角度で交差する第２の計測線とを通過する時間差で、前記移動物体の前記第２の計測線に平行な方向のズレを検知するズレ検知方法であって、Ｂ）前記第２の計測線に平行な方向へのズレがない場合における前記移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間を基準通過時間とし、Ｃ）以下のc1)〜c3)から、前記第２の計測線に平行な方向へのズレを演算する。c1)計測対象の移動物体が前記第１の計測線と前記第２の計測線間を通過する時間と前記基準通過時間との差分、c2)前記移動物体の速度、c3)前記所定の角度。
【００２０】
したがって、前記時間差を用いて前記第２の計測線に平行な方向のズレを求めることができる。
【００２１】
９）本発明にかかる液滴位置調整装置は、さらに前記所定の極性で帯電させられた液滴については、当該液滴の軌道方向を偏向させる偏向手段を備え、前記帯電手段は、レーザ照射対象の液滴については前記所定の極性における帯電処理をおこない、回収用の液滴には前記所定の極性における帯電処理を行わないことを特徴とする。したがって、回収用液滴を適宜間引くことができる。また、照射は当初の進行方向からずれた位置で行われるので、飛散した残滓が機器内部に入り込むことを防止することができる。
【００２２】
特許請求の範囲にて用いた用語の意義について説明する。
【００２３】
「xy平面に平行な第１の計測面」とは、実施形態では、図４における面K1kが該当する。少なくとも焦点近傍が面状であればよい。もちろん、照射部から受光部までの面（シート）状であってもよい。
【００２４】
「z軸方向に移動する」とは、z軸方向に平行に移動するものはもちろん、多少曲がってz軸方向に移動するものを含む概念である。
【００２５】
なお、実施形態では、「帯電手段」は円筒電極５aおよびノズル１８により構成される。また、「第１の計測器」は落下位置検出ユニット３に、「第２の計測器」はＸ軸位置検出ユニット７に、「x軸方向移動手段」はＸ軸位置修正ユニット９に、「第３の計測器」はＹ軸位置検出ユニット１１に、「y軸方向移動手段」Ｙ軸位置修正ユニット１３、「第１基準時間」は図３における時間t0に「第２基準時間」は時間t1にそれぞれ対応する。
【００２６】
「第１の計測線」、「第２の計測線」とは、実施形態においては図３における計測面k1、k2がそれぞれ該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１に、本発明にかかる液滴位置調整装置の外観概略図を示す。液滴位置調整装置１は、ノズル１８から排出された液滴をレーザ２２によるレーザー照射位置へ落下するように位置調整をする装置であり、円筒電極５a、落下位置検出ユニット３、Ｘ軸位置検出ユニット７，Ｘ軸位置修正ユニット９，Ｙ軸位置検出ユニット１１，Ｙ軸位置修正ユニット１３、コントローラ１０を備えている。
【００２８】
円筒電極５aには所定の電圧が印加される。ここでノズル１８には接地電位が与えられる。したがって、ノズル１８から液滴が排出される時に、液滴は所定の極性に帯電される。
【００２９】
落下位置検出ユニット３は、照射ユニット３ａおよび受光ユニット３ｂを備えている。照射ユニット３ａはシート状のレーザービームを照射する。本実施形態においては、半導体レーザーとシリンドリカルレンズによって焦点近傍においてシート状のレーザービームを生成した。受光ユニット３ｂは、照射ユニット３ａから照射されたレーザービームを受光する。本実施形態においては、フォトダイオードを採用した。照射ユニット３ａから照射されるシート状のレーザービームを液滴が通過すると、液滴によりレーザービームが遮られるため、受光ユニット３ｂによる受光信号が減少する。これにより、計測面における液滴の通過タイミングを計測することができる。なお、落下位置検出ユニット３における焦点近傍のシート状のレーザービーム（計測面）は、Ｚ軸に垂直な平面である。
【００３０】
Ｘ軸位置検出ユニット７も、落下位置検出ユニット３と同様に、照射ユニット７ａおよび受光ユニット７ｂを備えている。ただ、落下位置検出ユニット３における計測平面が、y軸を中心に所定角度θ１回転させた平面となるように、照射ユニット７ａおよび受光ユニット７ｂが傾いて取り付けられている。
【００３１】
Ｙ軸位置検出ユニット１１も、落下位置検出ユニット３と同様に、照射ユニット１１ａおよび受光ユニット１１ｂを備えている。落下位置検出ユニット３における計測平面が、x軸を中心に所定角度θ１回転させた平面となるように照射ユニット１１ａおよび受光ユニット１１ｂが傾いて取り付けられている。
【００３２】
Ｘ軸位置修正ユニット９およびＹ軸位置修正ユニット１３は、コントローラ５１から与えられるズレ量が指定された修正命令に基づき、電荷が与えられた液滴の位置を修正する。かかる液滴の位置修正については、従来のインクジェットプリンタなどの技術を用いることができる。
【００３３】
図２、図３を用いてズレ量の演算処理について説明する。図２は、図１における落下位置検出ユニット３およびＸ軸位置検出ユニット７による計測面k1,k2である。このように、計測面k1,k2は、角度θ１で交差するように設定されている。図３に、図２における落下位置検出ユニット３およびＸ軸位置検出ユニット７によって定義される計測面k1,k2をxz平面で表した状態を示す。このように、計測面k1,k2は、xz平面では直線で表される。
【００３４】
まず、位置ズレのない基準計測線Ｌ１において、計測面k1を通過してから計測面k2を通過する時間t0を計測し、移動速度vとともに予め記憶しておく。実際の計測時に、計測線Ｌ２にて計測面k1、k2を通過し、通過する時間t1であった場合、以下の式（１） によって、ズレ量Lxを演算することができる。
【００３５】
Lx＝（t0-t1)v/tanθ１・・・（１）
このように、計測面k2を傾けることにより、計測面k1を通過してから計測面k2を通過するまでの時間差によりx方向のズレ量Lxを演算することができる。
【００３６】
なお、液滴の大きさ（直径）は変動するおそれがある。したがって、通過開始または通過完了時を通過開始から通過完了までの時刻の真ん中を計測面の通過時刻とすればよい。
【００３７】
図１に示すコントローラ１０は、演算したズレ量Lxの分だけ、修正するようにＸ軸位置修正ユニット９に修正命令を与える。これにより、x方向における液滴位置が修正される。
【００３８】
y方向における液滴のズレについても、落下位置検出ユニット３を通過してから、Ｙ軸位置検出ユニット１１を通過するまでの時間に基づいて、同様に検出することができる。コントローラ１０は、演算したズレ量Lyの分だけ、修正するようにＹ軸位置修正ユニット１３に修正命令を与える。これにより、y方向における液滴位置が修正される。
【００３９】
なお、電圧印加ユニット５の形状は特に限定されないが、例えば、パイプ直径（内径）10mm以下のパイプを採用し、一端をパイプに、他端をノズル１８に接続し、電圧を印加するようにすればよい。かかる穴の直径は液滴の直径以上で10mm以下程度とすればよい。または穴を空けた金属板で構成することもできる。  
レーザの照射タイミングよりも液滴の生成周波数の方が高い場合、生成された液滴を全て使用するのではなく、間引き処理を行う必要がある。この場合、図５に示すように、偏向電極３３をＹ軸位置修正ユニット１３の下部に設けて、間引き対象となる液滴は間引きの位置に、照射対象となる液滴を照射位置に導くようにしてもよい。
【００４０】
具体的には、電圧印加ユニット５にて、間引き対象と照射対象の印加電圧の極性を変えるようにすればよい。例えば、電圧印加ユニット５にて、EUV発生用の液滴については、例えばプラス（＋）電圧を印可し、EUV発生させない液滴（回収用）にはマイナス（−）電圧を印可する。このように逆極性の電圧を印加させることにより、Ｘ軸位置修正ユニット９およびＹ軸位置修正ユニット１３では、回収用の液滴についてはズレ調整が行われない。一方、照射対象液滴については、プラス電圧が印加されているものとして、ズレ量の調整を行うことにより、EUV発生用の液滴は所望の位置修正が行われる。
【００４１】
偏向電極３３は、プラス（＋）電圧が印可されている液滴は、レーザの照射位置に向かうように軌道を変更させるように、また、マイナス（−）電圧が印可されている液滴に、回収位置にする向かうように軌道を変更させる。これにより、間引き処理が可能となる。また、かかるレーザの照射位置が、当初の液滴の進行方向からずれることにより、以下のような効果を奏する。
【００４２】
液滴にレーザを照射させると、液滴に強大なエネルギーが与えられ、その結果、液滴は飛散する。たとえば、偏向電極３３がない場合には、飛散した液滴が最下部にあるＹ軸位置修正ユニット１３内に入り込むおそれがある。
【００４３】
これに対して、図５においては、レーザの照射位置は元の軌道とは異なり、矢印α方向に少しずれた位置にある。したがって、飛散した残滓が各ユニット１３の内部に入り込むことを防止することができる。なお、各ユニットに内部に入り込むのを防止する障壁などを設けることにより、上記問題をより確実に解決することができる。また、液滴の軌道を曲げることにより、EUV発生のための強いレーザー光や放電によるプラズマからの光などがＸＹＺ方向位置検出器に直接入射することを防ぐことができる。また液滴の軌道を変えることによりノズル取り付け位置の自由度を確保できる。
【００４４】
なお、上記実施形態においては、回収用をマイナスに、照射用をプラスに帯電させるようにした。しかし、これに限定されず、照射用液滴の帯電電圧をマイナスに、回収用をプラスに帯電させるようにしてもよい。また、双方に電圧を印加させる必要はなく、回収用については帯電させなくてもよい。この場合でも、照射用液滴さえ、いずれかに帯電しておけば、偏向電極３３で所定の位置まで軌道変更ができ、間引き処理も可能である。
【００４５】
また、上記軌道変更を行わない場合にも、少なくとも、照射用液滴の帯電電圧を所定極性に帯電させるようにすれば、上記位置修正は可能である。
【００４６】
なお、ノズルからの液滴出射方向は重力方向だけでなく、横方向などであってもよい。
【００４７】
本実施形態においては、半導体レーザーとシリンドリカルレンズによって、x方向およびy方向に広がりのある計測面を形成するようにした。これにより、x方向およびまたはy方向のいずれに位置ズレした場合も、少なくとも、液滴が一部の光を遮るので、減少光量を検出することにより、時間差検出が可能である。なお、前記レーザービームは、図４に示すように、焦点s1から離れるほど厚みが増す。しかし、焦点近傍でなくても液滴が通過すれば、これにより光量が減少するので、液滴通過位置が検出は可能である。
【００４８】
なお、液滴の大きさ（径）、位置ズレの程度によっては、焦点近傍を離れた位置で液滴が通過すると、光量変化が少なくなり、これにより、検出精度が低下するおそれがある。したがって、液滴の大きさ（径）、位置ズレの程度を考慮して、シリンドリカルレンズの焦点距離および受光ユニットの受光領域を決定するようにすればよい。
【００４９】
また、通過開始または通過完了時を通過開始から通過完了までの時刻のちょうど中間の時刻を計測面の通過時刻とすることにより、図４において、計測面K1kを観念することができる。第２計測面および第３計測面についても同様である。  
なお、本実施形態においては、第２計測面および第３計測面ともに、角度θ１回転させた場合について説明したが、両者の回転角は異なってもよい。
【００５０】
本実施形態においては、パルスレーザ光源を用いて、真空室に供給された液滴をプラズマ化させ極端紫外光を生成するようにしたが、パルス放電を行うことにより、極端紫外光を発生させるようにしてもよい。
【００５１】
また、本実施形態においては、第１の計測器の下部に、第２の計測器、x軸方向移動手段、第３の計測器、y軸方向移動手段を順次設けた場合について説明したが、かかる順序については論理的に問題がない限り、変更が可能である。たとえば、帯電手段は、x軸方向移動手段、およびy軸方向移動手段よりも上部であればよく、第２の計測器よりも下部に設けてもよいし、また、第１の計測手段よりも上部であってもよい。
【００５２】
なお、Ｘ軸位置修正ユニット９，およびＹ軸位置修正ユニット１３にて、計算上の変動量を与えても、狙いとした位置に液滴の位置に調整できないことも考えられる。かかる問題を解決するためにフィードバック制御をするようにしてもよい。例えば、任意の液滴についてカメラを用いて画像を処理し、修正後の位置がレーザ照射位置と一致していない場合には、これを補正量として与えるようにしてもよい。なお、この場合、全液滴についてカメラによる処理をする必要はないので処理時間も問題とならない。
【００５３】
また、図５に示すように偏向電極３１を設けて、かかるフィードバック制御するようにしてもよい。この場合、上記実施形態において説明したxyz方向の位置をxyz方向位置検出器４１にて検出し、補正後の過不足をフィードバック制御するようにしてもよい。
【００５４】
なお、ＸＹＺ方向位置検出器４１と偏向電極３１の位置関係は定まったものではなく、偏向電極３１がＸＹＺ方向位置検出器４１の（液滴の出射方向から見て）後方でもよい。図５のように、偏向電極３１をＸＹＺ方向位置検出器４１の液滴の出射方向から見て、前方にある場合には、限られたスペースにおいてEUV光発生位置により近いために位置測定精度を上げることができる。偏向電極３１が液滴の出射方向から見て、後方にある場合は、測定した液滴に対しても制御が可能となるのに対して、位置測定精度が下がる欠点がある。何れを採用するかは設置場所に大きく影響され、個々の液滴の位置安定性と位置測定精度とのバランスから決められる。
【００５５】
また、計算上の変動量を与えても、狙いとした位置に液滴の位置に調整できない要因が、各液滴について前記電圧印加ユニットから与えられる電荷量の変動であることも考えられる。この場合には、制御対象の液滴を所定の帯電量で帯電しているものとして移動させてみて、実際に移動した量と計算上の移動量を求めておき、その差分から、帯電量を求めてＸ軸位置修正ユニット９，およびＹ軸位置修正ユニット１３から与える補正値を調整すればよい。
【００５６】
また、計測器および移動手段について、x軸方向に２組設けるようにしてもよい。y軸方向についても同様である。
【００５７】
なお、図５に示す偏向電極３１を偏向電極３３を一体化して電極数を減らすこともできる。この場合には一体化した偏向電極はＸＹＺ方向位置検出器の（液滴の出射方向から見て）後方に設ければよい。なお、この場合、非対称な電極構造と高い電圧を微細制御する必要がある。
【００５８】
また、本極端紫外光生成装置を備えた露光装置として構成することもできる。
【００５９】
本実施形態においては、x,y,z軸で定義される空間において、重力方向に液滴が移動する場合に、x,y方向のズレを修正する場合について説明したが、移動物体の移動方向を第３の軸方向とし、かかる第３の軸に対して、それぞれ直交する第１，第２の軸におけるズレを検知することもできる。
【００６０】
なお、本実施形態においては、液滴は真空中を移動するので、速度は重力の分だけ加速される。このように、等速運動をする物体だけでなく、ある距離を移動する時間が一定の物体であれば、本件発明を適用することができる。
【００６１】
また、液滴以外の移動物体について同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】液滴位置調整装置の概要図である。
【図２】計測面k1,k2の関係を示す概念斜視図である。
【図３】図２におけるxz平面図である。
【図４】計測面k1の拡大図である。
【図５】偏向電極を設けた場合の概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
１・・・・・液滴位置調整装置
３・・・・・落下位置検出ユニット
５・・・・・電圧印加ユニット
７・・・・・Ｘ軸位置検出ユニット
９・・・・・Ｘ軸位置修正ユニット
１１・・・・Ｙ軸位置検出ユニット
１３・・・・Ｙ軸位置修正ユニット
１８・・・・・ノズル
３３・・・・偏向電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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