(57)【要約】【課題】単一の操作でドレッシングとインスペクションを行うことができるカセットを提供する。【解決手段】ドレスボードが水平姿勢のまま載置されるドレスボード載置部を有するカセット本体を備えるドレスカセットにおいて、前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドレスボードが水平姿勢のまま載置されるドレスボード載置部を有するカセット本体を備えるドレスカセットにおいて、
前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とするドレスカセット。
【請求項２】
前記インスペクションウエーハ載置部は、前記ドレスボード載置部の上段に設けられており、
前記カセット本体の上面から、前記インスペクションウエーハ載置部及び該インスペクションウエーハ載置部にインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間が露出していることを特徴とする請求項１に記載のドレスカセット。
【請求項３】
前記カセット本体は、エレベータ機構により昇降させられるカセット装着部に着脱自在に装着されることを特徴とする請求項１又は２に記載のドレスカセット。
【請求項４】
前記カセット装着部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口が形成されており、
前記カセット本体は、前記開口のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部を備えることを特徴とする請求項３に記載のドレスカセット。
【請求項５】
前記カセット装着部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部が設けられており、
前記カセット本体には、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のドレスカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はドレスカセットに係り、 特に半導体ウェーハ等のワークを高速回転する切断刃により切断するダイシング装置の該切断刃のドレッシングに用いられるドレスボードを収納するドレスカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエーハを高速回転する切断刃により個々のチップに切断するダイシング装置が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のダイシング装置は、複数のウェーハを水平姿勢のまま上下方向に多段収納したカセットが装着されたカセット載置部、このカセット載置部を昇降させるエレベータ機構、ウェーハ搬送機構、及び切断刃等を備えている。このダイシング装置は次のよう動作する。
【０００４】
まず、ウェーハの切断動作について説明する。ウエーハの切断に際しては、まずカセット載置部がエレベータ機構によりウェーハ引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部からウェーハ搬送機構によりウェーハが引き出され所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で切断刃により切断される。この切断されたウエーハはウェーハ搬送機構によりもとのカセット載置部まで搬送され収納される。
【０００５】
次に、切断刃のドレッシング動作について説明する。特許文献１に記載のダイシング装置は、そのカセット載置部にドレスボードを水平姿勢のまま収納したドレスカセットが装着されており、該ドレスボードを用いて切断刃のドレッシングが可能となっている。
【０００６】
切断刃のドレッシングに際しては、まずカセット載置部がエレベータ機構によりドレスボード引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部からウェーハ搬送機構によりドレスボードが引き出され所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で切断刃によりドレッシングのための切断が行われる。このドレッシング後のドレスボードはウェーハ搬送機構によりもとのカセット載置部まで搬送され収納される。
【０００７】
次に、インスペクション動作について説明する。特許文献１に記載のダイシング装置は、そのカセット載置部にインスペクションウエーハ（検査用ウエーハ）を水平姿勢のまま収納したインスペクションカセットが装着されており、該インスペクションウエーハを用いてインスペクションが可能となっている。
【０００８】
インスペクションに際しては、まずカセット載置部がエレベータ機構によりインスペクションウエーハ引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部からウェーハ搬送機構によりインスペクションウエーハが引き出され所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で切断刃によりインスペクションのための切断が行われる。このインスペクション後のインスペクションウエーハはウェーハ搬送機構によりもとのカセット載置部まで搬送され収納される。
【特許文献１】特開２００２−２９９２８６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１に記載のダイシング装置ではドレスカセットとインスペクションカセットが別々のカセットとされているため、各カセットそれぞれをカセット載置部に装着しなければならず、工数が増加し、操作手順が複雑になるという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、単一の操作でドレッシングとインスペクションを行うことができるカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は、ドレスボードが水平姿勢のまま載置されるドレスボード載置部を有するカセット本体を備えるドレスカセットにおいて、前記カセット本体は、インスペクションウエーハが水平姿勢のまま載置されるインスペクションウエーハ載置部を備えるとともに、その正面から前記ドレスボード及びインスペクションウエーハを出し入れ可能に構成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、カセット本体はドレスボード載置部とインスペクションウエーハ載置部の両方を備えているので、本カセットをカセット載置部に装着するだけで（すなわち単一の操作で）、ドレッシングとインスペクションの両方を行うことが可能となる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記インスペクションウエーハ載置部は、前記ドレスボード載置部の上段に設けられており、前記カセット本体の上面から、前記インスペクションウエーハ載置部及び該インスペクションウエーハ載置部にインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間が露出していることを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、インスペクションウエーハ載置部は、ドレスボード載置部の上段に設けられており、かつ、カセット本体の上面から、インスペクションウエーハ載置部及び該インスペクションウエーハ載置部にインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間が露出しているので、インスペクションウエーハを、カセット本体の正面からだけでなく、上面から極めて容易に出し入れすることが可能となる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記カセット本体は、エレベータ機構により昇降させられるカセット載置部に着脱自在に装着されることを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、カセット本体は、エレベータ機構により昇降させられるカセット載置部に着脱自在に装着されることが可能となる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口が形成されており、前記カセット本体は、前記開口のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部を備えることを特徴とする。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口が形成されており、カセット本体は、前記開口のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部を備えているので、本カセットをカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部が設けられており、前記カセット本体には、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口が形成されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、カセット載置部のカセット装着予定場所にはカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部が設けられており、カセット本体には、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口が形成されているので、本カセットをカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、単一の操作でドレッシングとインスペクションを行うことができるカセットを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施形態であるドレスカセット及びこのドレスカセットが適用されるダイシング装置について図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態のドレスカセットが適用されるダイシング装置の全体構成について説明するための図である。
【００２４】
図１に示すように、ダイシング装置１０は、切断刃２２、２２を含むワーク切断部２０、洗浄部３０、ドレスカセット４０、カセット載置部５０、エレベータ機構６０、ワーク搬送手段７０等を備えている。
【００２５】
まず、ダイシング装置１０でダイシング処理されるワークについて説明する。図２はワークの斜視図である。図２に示すように、ダイシング装置１０でダイシング処理されるワークは、フレームＦとその略中央に配置されるウエーハＷ（半導体ウエーハ）とを備えており、フレームＦとウエーハＷの裏面にテープＴを貼着けることにより両者は一体的に構成されている。ドレスカセット４０に収納されるドレスボードやインスペクションウエーハも図２に示すワークとほぼ同様の構成であるが、ドレスボードについてはウエーハＷの代わりにダイヤモンド砥石が配置されている。
【００２６】
次に、本実施形態のドレスカセット４０について説明する。図３は、ドレスカセット４０の斜視図であり、図４は、ドレスカセット４０の正面図である。
【００２７】
図３に示すように、ドレスカセット４０は、ドレスボード及びインスペクションウエーハを収納するためのカセットであり、一定間隔をおいて配置される一対の側板４１、４１やこの一対の側板４１、４１それぞれの一端縁を連結する背面板４２を備えるドレスカセット本体４３を備えている。ドレスボード及びインスペクションウエーハは、一対の側板４１、４１及び背面板４２により規定される空間Ｋ１に収納される。
【００２８】
一対の側板４１、４１それぞれの下端縁は補強用ロッドＲ１、Ｒ２（図３では二本を例示）で連結されており、これにより、ドレスカセット４０の剛性が向上している。また、一対の側板４１、４１それぞれの外側にはドレスカセット４０の把持用取っ手４４、４４が設けられており、これにより、ドレスカセット４０の持ち運び等が容易となっている。また、一対の側板４１、４１のうちの一方の側板（図３では右側を例示）の下端縁には装着位置決め用の凸部４５、４５（図３では二つの凸部を例示）が設けられており、これにより、ドレスカセット４０を適正な姿勢で装着することが可能となっている。
【００２９】
各側板４１、４１の内側面には水平方向に延びるドレスボード載置面４１ａが上下方向に所定間隔をおいて設けられており（図３及び図４では三つのドレスボード載置面４１ａを例示）、同一段に位置する左右一対のドレスボード載置面４１ａには一つのドレスボードが水平姿勢のまま載置されるようになっている。なお、ドレスボードは、ドレスカセット本体４３正面から出し入れ可能となっている。
【００３０】
また、各側板４１、４１の内側面には水平方向に延びるインスペクションウエーハ載置面４１ｂがドレスボード載置面４１ａの上段に所定間隔をおいて設けられており（図３及び図４では一つのインスペクションウエーハ載置面４１ｂを例示）、同一段に位置する左右一対のインスペクションウエーハ載置面には一つのインスペクションウエーハが載置されるようになっている。図３及び図４に示すように、ドレスカセット本体４３の上面は閉塞されていない（すなわち、ドレスカセット本体４３の上面は開放されている）。
【００３１】
このため、該ドレスカセット本体４３の上面から、インスペクションウエーハ載置面４１ｂ及び該インスペクションウエーハ載置面４１ｂにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間Ｋ２が露出している。
【００３２】
したがって、インスペクションウエーハについては、ドレスカセット本体４３正面から出し入れ可能であるだけでなく、ドレスカセット本体４３上面からも出し入れすることが可能となっている。
【００３３】
なお、ドレスカセット４０の持ち運び等に際しては、ドレスカセット本体４３正面からのドレスボードあるいはインスペクションウエーハの脱落が想定される。これを防止するため、各ドレスボード載置面４１ａ及びインスペクションウエーハ載置面４１ｂのドレスカセット本体４３正面側等に脱落防止用ストッパを設けることが望ましい。
【００３４】
次に、カセット載置部５０について図面を参照しながら説明する。図５、図６は、カセット載置部の斜視図である。
【００３５】
図１に示すように、カセット載置部５０は、ドレスカセット４０等が装着されるユニットであり、カセット載置部本体５１、ドレスカセット４０が装着される引き出し部５２等を備えている。
【００３６】
図５に示すように、カセット載置部本体５１は、全体として箱形の外観を呈しており、その上面には複数のワークを水平姿勢のまま上下方向に多段収納したワークカセットＣの底面に設けられた開口に挿入される装着位置決め用の凸部５３（図５では三つの凸部５３を例示）が設けられている。これにより、カセット載置部本体５１上面にワークカセットＣを適正な姿勢で装着することが可能となっている。
【００３７】
図６に示すように、カセット載置部本体５１は、その上部内部空間にその両側面５４、５４や天板等により規定される引き出し部収納空間Ｋ３を備えている。該空間Ｋ３を規定するカセット載置部本体両側面５４、５４には水平方向に延びるガイドレール５４ａ、５４ａが設けられており、このガイドレール５４ａ、５４ａには引き出し部５２両側面５２ａ、５２ａが連結されている。このため、引き出し部５２は、ガイドレール５４ａ、５４ａに沿ってスライド移動可能となっている。図６は、カセット載置部本体５１背面から引き出し部５２を引き出した状態である。
【００３８】
引き出し部５２にはドレスカセット４０が装着される。引き出し部５２は、主として、水平姿勢の水平プレート５２ｂ、カセット載置部本体５１背面の一部を形成する垂直プレート５２ｃを備えており、水平プレート５２ｂの両端縁は補強のため折り返されている。水平プレート５２ｂには、ドレスカセット４０の装着位置決め用の凸部４５、４５が挿入される装着位置決め用の開口ｈ１、ｈ２がドレスカセット４０のサイズごとに設けられている。図６では、開口ｈ１、ｈ１が８インチのドレスカセット４０装着位置決め用の開口を、開口ｈ２、ｈ２が１２インチのドレスカセット４０装着位置決め用の開口であることを示している。この水平プレート５２ｂの開口ｈ１、ｈ２にドレスカセット４０の装着位置決め用の凸部４５、４５を挿入することで、ドレスカセット４０を適正な姿勢で引き出し部５２に装着することが可能となっている。  
【００３９】
図７に示すように、カセット載置部本体５１正面には引き出し部収納空間Ｋ３に通じる開口５５が形成されており、上記のようにドレスカセット４０が装着された引き出し部５２をスライド移動させて引き出し部収納空間Ｋ３に位置させると、該カセット載置部本体５１正面の開口５５からドレスカセット４０正面が露出し、該開口５５を介してドレスボードやインスペクションウエーハを出し入れすることが可能となっている。
【００４０】
上記構成のカセット載置部５０はエレベータ機構６０により引き出し可能位置まで昇降させられる。例えば、図７に示すように、鉛直方向に延びステッピングモーター６１により回転駆動させられるボールネジ６２と、このボールネジ６２が螺合しており、かつ、該ボールネジ６２が回転駆動させられることにより鉛直方向に延びる一対のガイドレール６３、６３に沿って昇降させられる昇降台６４とでエレベータ機構６０を構成し、該昇降台６４にカセット載置部５０を固定することが考えられる。
【００４１】
なお、ワーク切断部２０、洗浄部３０、ワーク搬送手段７０については公知のものと同様であるのでその説明を省略する。
【００４２】
次に、上記構成のダイシング装置の動作についてフローチャートを参照しながら説明する。図８は、本実施形態のドレスカセットが適用されるダイシング装置１０の動作を説明するためのフローチャートである。
【００４３】
まず、ドレスカセット４０にドレスボード及びインスペクションウエーハを収納する。すなわち、ドレスカセット４０各段のドレスボード載置面４１ａにドレスボードを載置するとともに、インスペクションウエーハ載置面４１ｂにインスペクションウエーハを載置する。
【００４４】
図３及び図４に示すように、ドレスカセット本体４３の上面から、インスペクションウエーハ載置面４１ｂ及び該インスペクションウエーハ載置面４１ｂにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間Ｋ２が露出している。したがって、インスペクションウエーハについては、ドレスカセット本体４３上面から極めて容易に出し入れすることが可能となっている。
【００４５】
次に、ドレスカセット４０をカセット載置部５０にセットする（ステップＳ１）。すなわち、図６に示すように、ドレスカセット載置部５０から引き出し部５２を引き出し、ドレスカセット４０の装着位置決め用の凸部４５、４５を、引き出し部５２の水平プレート５２ｂの開口ｈ１、ｈ２のうち該ドレスカセットサイズ用の開口（例えば開口ｈ１、ｈ１）に挿入する。これにより、ドレスカセット４０を適正な姿勢で引き出し部５２に装着することが可能となっている。
【００４６】
インスペクションの指示あるいはドレスカセット４０の装着が検出されると（ステップＳ２）オートドレスを開始する（ステップＳ３）。
【００４７】
オートドレスが開始されると、カセット載置部５０がエレベータ機構６０によりドレスボード引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部５０（ドレスカセット４０）からクランプアーム７１によりドレスボードが引出され回転アーム７２等により所定の切断位置まで搬送される。そして、その所定切断位置で高速回転する切断刃２２によりドレスボードに溝入れされる。これにより切断刃２２はドレッシングされる。
【００４８】
以上のオートドレスが終了すると（ステップＳ４）、そのオートドレス後のドレスボードはクランプアーム７１、回転アーム７２等によりドレスカセット４０のもとのドレスボード載置面４１ａまで搬送され収容される。
【００４９】
次に、ドレスカセット４０にインスペクションウエーハが収納されている場合には、該インスペクションウエーハを用いてインスペクションワークを開始する（ステップＳ５）。
【００５０】
インスペクションワークが開始されると、カセット載置部５０がエレベータ機構６０によりインスペクションウエーハ引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部５０（ドレスカセット４０）からクランプアーム７１によりインスペクションウエーハが引き出され（ステップＳ６）回転アーム７２等により所定の切断位置まで搬送される。そして、高速回転する切断刃２２によりインスペクションウエーハに溝入れされる。
【００５１】
そのインスペクションウエーハはクランプアーム７１、回転アーム７２等によりドレスカセット４０のもとのインスペクションウエーハ載置面４１ｂまで搬送され収容される（ステップＳ７）。これにより、インスペクションワークが終了する（ステップＳ８）。
【００５２】
次に、オペレータ等によりインスペクションワーク後のインスペクションウエーハの品質を目視検査する（ステップＳ９）。インスペクションワーク後のインスペクションウエーハはドレスカセット４０のインスペクションウエーハ載置面４１ｂに載置されているため、カセット載置部５０から引き出し部５２を引き出すことで、インスペクションワーク後のインスペクションウエーハの品質を目視検査することが可能となる。すなわち、従来のように、インスペクションワーク後のインスペクションウエーハをカセットから抜き取って、手で把持しながら目視検査する手間が不要である。また、図３及び図４に示すように、ドレスカセット本体４３の上面から、インスペクションウエーハ載置面４１ｂ及び該インスペクションウエーハ載置面４１ｂにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間Ｋ２が露出している。したがって、インスペクションウエーハについては、ドレスカセット本体４３上面から極めて容易に出し入れすること（インスペクションウエーハの交換等）が可能となっている。
【００５３】
目視検査の結果がＮＧであれば、再度オートドレスが行われる（ステップＳ９：ＮＧ）。目視検査の結果がＯＫであれば、生産に移行する（ステップＳ１０）。
【００５４】
一方、ドレスカセット４０にインスペクションウエーハが収納されていない場合には、ワークカセットＣ内のワークを用いてインスペクションワークを開始する（ステップＳ１１）。
【００５５】
インスペクションワークが開始されると、カセット載置部５０がエレベータ機構６０によりワーク引き出し可能位置まで昇降させられて該位置で停止する。次に、該位置に停止したカセット載置部５０（ワークカセットＣ）からクランプアーム７１によりワークが引き出され（ステップＳ１２）回転アーム７２等により所定の切断位置まで搬送される。そして、高速回転する切断刃２２によりワークに溝入れされる。
【００５６】
そのワークはクランプアーム７１、回転アーム７２等によりドレスカセット４０インスペクションウエーハ載置面４１ｂまで搬送され収容される（ステップＳ１３）。これによりインスペクションワークが終了する（ステップＳ１４）。
【００５７】
次に、オペレータ等によりインスペクションワーク後のワークの品質を目視検査する（ステップＳ１５）。インスペクションワーク後のワークはドレスカセット４０のインスペクションウエーハ載置面４１ｂに載置されているため、カセット載置部５０から引き出し部５２を引き出すことで、インスペクションワーク後のワークの品質を目視検査することが可能となる。すなわち、従来のように、インスペクションワーク後のワークをカセットから抜き取って、手で把持しながら目視検査する手間が不要である。
【００５８】
目視検査の結果がＮＧであれば、再度オートドレスが行われる（ステップＳ１５：ＮＧ）。目視検査の結果がＯＫであれば、カセット載置部５０（ドレスカセット４０）からクランプアーム７１によりそのインスペクションワーク後のワークが引き出され（ステップＳ１６）、ワークカセットＣのもとの段まで搬送され収容される（ステップＳ１７）。その後、生産に移行する（ステップＳ１８）。
【００５９】
以上説明したように、本実施形態のドレスカセットによれば、カセット本体４３はドレスボード載置部４１ａとインスペクションウエーハ載置部４１ｂの両方を備えているので、本ドレスカセット４０をカセット載置部５０に装着するだけで（すなわち単一の操作で）、ドレッシングとインスペクションの両方を行うことが可能となる。
【００６０】
また、インスペクションウエーハ載置部４１ｂは、ドレスボード載置面４１ａの上段に設けられており、かつ、カセット本体４３の上面から、インスペクションウエーハ載置面４１ｂ及び該インスペクションウエーハ載置面４１ｂにインスペクションウエーハが載置された場合に該載置されたインスペクションウエーハが占有する空間Ｋ２が露出しているので、インスペクションウエーハを、カセット本体４３の正面からだけでなく、上面から極めて容易に出し入れすることが可能となる。また、ドレスボード載置面４１ａとインスペクションウエーハ載置面４１ｂとは隣接して配置されているので、オートドレス終了からインスペクションを開始するまでにカセット載置部５０を昇降させる距離を短くできる。
【００６１】
また、カセット載置部５０のカセット装着予定場所（水平プレート５２ｂ）にはカセットサイズごとに装着位置決め用の開口ｈ１、ｈ２が形成されており、カセット本体４３は、前記開口ｈ１、ｈ２のうち自己のカセットサイズに応じた位置に形成された開口に挿入されるべき装着位置決め用の凸部４５を備えているので、本ドレスカセット４０をカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。なお、カセット載置部５０のカセット装着予定場所（水平プレート５２ｂ）にカセットサイズごとに装着位置決め用の凸部を設け、カセット本体４３に、前記凸部のうち自己のカセットサイズに応じた位置に設けられた凸部が挿入されるべき装着位置決め用の開口を形成するようにしてもよい。これによっても、本ドレスカセット４０をカセットサイズに応じた適正な装着場所に装着することが可能となる。
【００６２】
上記実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎない。これらの記載によって本発明は限定的に解釈されるものではない。本発明はその精神または主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本実施形態のドレスカセットが適用されるダイシング装置の全体構成について説明するための図である。
【図２】ワークの斜視図である。
【図３】ドレスカセット４０の斜視図である。
【図４】ドレスカセット４０の正面図である。
【図５】カセット載置部の斜視図である。
【図６】カセット載置部の斜視図である。
【図７】エレベータ機構６０の斜視図である。
【図８】本実施形態のドレスカセット４０が適用されるダイシング装置１０の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６４】
１０…ダイシング装置、２０…ワーク切断部、２２…切断刃、３０…洗浄部、４０…ドレスカセット、４１…側板、４１ａ…ドレスボード載置面、４１ｂ…インスペクションウエーハ載置面、４２…背面板、４３…ドレスカセット本体、４４…取っ手、４５…凸部、５０…カセット載置部、５１…カセット載置部本体、５２…引き出し部、５２ａ…側面、５２ｂ…水平プレート、５２ｃ…垂直プレート、５３…凸部、５４…側面、５４ａ…ガイドレール、５５…開口、６０…エレベータ機構、６１…ステッピングモーター、６２…ボールネジ、６３…ガイドレール、６４…昇降台、７０…ワーク搬送手段、７１…クランプアーム、７２…回転アーム、Ｃ…ワークカセット、Ｆ…フレーム、ｈ１…開口、ｈ２…開口、Ｋ１…空間、Ｋ２…空間、Ｋ３…空間、Ｒ１…補強用ロッド、Ｔ…テープ、Ｗ…ウエーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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