(57)【要約】【課題】  従来のエアクリーナ装置において、搬送ローラ２１上を移動して来る対象製品１７が噴出口１０の真下に来ると、噴出した加圧エアは、付着している微細ダストを上側から押え付けて、付着面からの剥離が不十分な為に捕集効率が悪く、更に、加圧エアが下側に回り込み、エアバランスを崩して、チャタリング（異常振動）を発生させる事で、生産ラインの稼働率の低下をもたらす。【解決手段】  エアクリーナヘッドの加圧エアの噴出口の角度をダスト捕集面に対して、６０度以下にして、吸込口の角度は、ダスト捕集面に対して、従来通りのほぼ垂直にした構造を有することで、付着微細ダストが、付着面から剥離し易くなり、又、対象製品の上下のエアバランスも改善されて、チャタリング（異常振動）も解消される。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアクリーナヘッドの加圧エアの噴出口の角度をダスト捕集面に対して、６０度以下にして、吸込口の角度は、ダスト捕集面に対して、従来通りのほぼ垂直にした構造を有することを特徴とするエアクリーナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、最近のデジタル電子機器及び半導体部品の小型化、微細化、高度化の開発・発展に伴い、益々空気中の微細ダストの存在やその付着が、製品の品質や保留り、更には、製造工程の安定化や寿命迄にも、大きな影響を与える。【０００２】  その為に、それらデジタル電子機器の中で、ウエハやフィルムや電子部品及び液晶ガラス等の表面上に付着した微細ダストの捕集効率を安定させ、向上させる方法として、新エアクリーナ装置におけるクリーナヘッドの断面構造に関するものである。
【背景技術】
【０００３】  従来から利用されている半導体製造装置におけるプッシュ・プル式エアクリーナ装置は図１に表示する様な構成で成り立っている。クリーナヘッド１、プレッシャ及び、バキュームのエア源であるブロア２、クリーナヘッドの供給加圧エアを浄化するＨＥＰＡフィルタ３、各クリーナヘッドから吸引された微細ダストを捕集するプレフィルタ４、風量（圧力）を調整するダンパ５、及び、これらを接続するホース・パイプ６、等である。【０００４】  この方式は、クローズループ（閉回路）方式であり、１台のブロワ２に加圧エアの供給・噴出と微細ダストを吸引するバキューム機能を有したエア循環方式である為、クリーンルーム等への設置においても、室内のエアバランスを崩すことなく、設備コストも安価な利点がある。【０００５】  ブロワ２の昇圧時には、エアの圧縮熱でエア温度が上昇するので、温度影響を受け易い製品や部品・材料等に対しては、留意する必要がある。【０００６】  次にエアクリーナヘッド１、の断面形状を図２に表示する。その構造は、中央にプレッシャ室７とその噴出口１０、両側にバキュウーム室８、とその吸込口１１を有して、下面には、平滑平面なダスト捕集面９を有する。
尚、対象製品１７は、搬送ローラ２１上を移動する。【０００７】  エアの流れは、図３に表示する様に、コンベア上を移動中の対象製品１７表面上に、クリーンな加圧エアをプレッシャ室７から噴出口１０を経由して、上部から噴き付けることで、付着している微細ダスト１４に衝撃力を与えることで、飛散させて、吸込口１１から吸引捕集するシステムになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】  従来のエアクリーナ装置において、搬送ローラ２１上を移動して来る対象製品１７が噴出口１０の真下に来ると、図３で表示する様に、噴出した加圧エアは、上側から微細ダストに衝撃力を与えて、付着面から剥離させ、そして浮遊させて、吸引口１１迄移動して、微細ダストを、吸引するシステムになっている。
しかし、上側からの加圧エアが、微細ダストを押え付けて、付着面からの剥離が不充分な場合が在り、微細ダストの捕集効率に、課題が残る。【０００９】  又、図４で表示する様に、対象製品１７の先端が、噴出口１０の真下に来ると、加圧エアが対象製品１７の下側に廻り込み、エアバランスの乱れに因り、チャタリング（異常振動）を発生する為に、噴出速度が約３０％減速を余儀なくさせられる。
このチャタリング（異常現象）の発生は、図５に表示する様に、対象製品１７の最後端が、噴出口１０の真下を通過する時にも存在する。
この為に、微細ダストの捕集効率も３０〜４０％程低下してしまうし、ブロワの能力選定にも影響を及ぼすことが考えられる。【００１０】  そこで、微細ダストの捕集効率を向上させ、対象製品１７のチャタリング（異常振動）の無い、安定した稼動が、要望されている。
【課題を解決する為の手段】
【００１１】  本発明は、従来のエアクリーナヘッド１の噴出口１０の噴出角度を水平面に対して、６０度以下に加工した、新エアクリーナヘッド１８の傾斜噴出口１９を設ける事で、図７に表示する様に、付着微細ダスト１４と付着面１６の間に加圧エアを効率良く噴出することが出来る為に、より剥離し易くなり、微細ダストの捕集効率が一段と向上する。
【００１２】  更に、対象製品１７がこの傾斜噴出口１９付近に到達すると、従来の様に、加圧エアが上側から押えたり、下側に廻り込んだりして、渦流を発生させて、エアバランスを乱していたのが、本発明は、図９〜図１１で表示する様に、加圧エアが、対象製品１７の上側と下側にほぼ同量が廻り込む事でエアバランスが良好になり、チャタリング（異常振動）の発生を無くして、微細ダストの捕集効率の向上と安定稼動に貢献出来る。
【発明の効果】
【００１３】  本発明に拠る効果の一つは、対象製品１７の付着微細ダストの捕集効率が従来より３０％以上も向上することで、保留まりの改善と、更に、無駄な加圧エアを無くすことで、コストダウンにも寄与出来きる。
【００１４】  又、効果の二つは、加圧エアの流れのバランスが、改善することで、チャタリング（異常振動）の発生が皆無になり、安定した生産工程の維持に貢献出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】  発明を実施するための最良の形態は、図６に示す様に、新エアクリーナヘッド１８のダスト捕集面９の左側に、水平面に対して、６０度以下の傾斜した噴出口１９を設けて、右側に水平面に対して、傾斜噴出口１９に向かい合う様に、８０度以下の傾斜した吸込口２０を設けた断面構造を有する形状とする。
【実施例】
【００１６】  そこで、適切な諸寸法を決定すべく、実験装置を作成して、実験を行なって、その実験結果を検証する。
実験用新エアクリーナ装置のクリーナヘッドは、図８に表示する様に、噴出口の傾斜角度θを変えた実験装置（Ａ）、（Ｂ）と従来装置の３種類に、ライン速度νを変えて、下記２項目の評価実験を実行した。【００１７】  １．評価項目
（１）チャタリングの有無（目視）
（２）微細ダスト捕集能力（パーティクルカウンター）【００１８】  ２．テスト条件
（１）基          材  ：  ＰＥＴフィルム
（２）微  細  ダスト  ：  環境粉塵（ＰＳＬ）
（３）噴出エア  圧力  ：  １５ｋｐａ
（４）基材とギャップ  ：  約１〜２．５ｍｍ
（５）ライン  速  度  ：  ２０ｍ／ｍｉｎと３０ｍ／ｍｉｎ【００１９】  ３．実験装置の種類
（１）実験装置（Ａ）  ：  噴出口幅：Ｗ１＝１．０ｍｍ，噴出口角度：θ＝３０°
（２）実験装置（Ｂ）  ：  噴出口幅：Ｗ１＝１．０ｍｍ，噴出口角度：θ＝１５°
（３）実験装置（Ｃ）  ：  噴出口幅：Ｗ１＝１．０ｍｍ，噴出口角度：θ＝９０°
※  実験装置（Ｃ）は、従来装置を示す。
【実験結果】
【００２０】
【表１】
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【００２１】
【表２】
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【００２２】  実験結果から本発明装置は、従来装置に比べて、チャタリング（異常振動）が解消出来て、更に、微細ダストの捕集効率も一段と向上し、当所の目的を達成出来ると判断する。
この効果により、製造工程の安定化と稼動効率の向上に、更には、コストダウンにも貢献出来る。
【産業上の利用可能性】
【００２３】  産業上の利用可能性は、まず第一に、付加価値の高いフィルムやガラス板や薄い板状物等の表面上に付着した微細ダストのクリーニング装置に最適と考えられる。
中でも、液晶テレビやプラズマテレビ等の益々の大型化に伴う設備投資の拡大化により、これらの薄いガラス板への需要の拡大が予想される。【００２４】  本発明の新エアクリーナ装置は、対象製品としてのガラス板の幅が、２〜３ｍになっても、加圧エアが均一に噴出する方法を考慮すれば、容易に対応が可能になる。
現在では、ガラス板の幅が、１．５ｍ位までは、稼動中であり、今後の大型化に利用される可能性は、益々多くなると考えられる。【００２５】  その他の分野としては、印画紙や高級画紙、或いは、医薬品やナノテク製品・部材等への適用も視野にはいる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】  プッシュプル式エアクリーナ装置の構成説明図
【図２】  従来のエアクリーナヘッドの断面図
【図３】  従来のエアクリーナヘッドのダスト捕集面のエアの流れ説明図
【図４】  従来のエアクリーナヘッドの初期対象製品へのエアの流れ説明図
【図５】  従来のエアクリーナヘッドの終期対象製品へのエアの流れ説明図
【図６】  本発明のエアクリーナヘッドの断面図
【図７】  付着微細ダストの剥離状態図
【図８】  本発明のエアクリーナヘッドのダスト捕集面のエアの流れ説明図
【図９】  本発明のエアクリーナヘッドの初期対象製品へのエアの流れ説明図
【図１０】  本発明のエアクリーナヘッドの終期対象製品へのエアの流れ説明図
【図１１】  本発明のエアクリーナヘッドの実験用寸法記号図
【符号の説明】
【００２７】  １    エアクリーナヘッド
２    ブロワ
３    ＨＥＰＡ  フィルタ
４    プレフィルタ
５    風量調整バルブ
６    ホース・パイプ
７    プレッシャ室
８    バキューム室
９    ダスト捕集面
１０    噴出口
１１    吸込口
１２    エアの流れ
１３    渦流
１４    付着微細ダスト
１５    飛散微細ダスト
１６    付着面
１７    対象製品
１８    新エアクリーナヘッド
１９    傾斜噴出口
２０    吸込口
２１    搬送ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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