(57)【要約】【課題】生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することが可能な生産管理システムおよび生産管理方法を提供する。【解決手段】生産ラインの仕様や運用条件に関する前提条件入力情報１は、前提条件入力手段２を介して入力され、前提条件３ａとしてデータベース３へ保存される。生産ライン評価手段４は、前提条件３ａに基づきQ-Time上限値を求めるとともに、Q-Time上限値と１ロットあたりの平均処理時間Ｅｐとの比（すなわち仕掛ロット数上限値ＷＬ）を用いて生産ラインの評価を行っている。【選択図】図１
2008077370.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産時間が所定の制約値で制約された生産ラインを管理する生産管理システムであって、
前記生産ラインの仕様や運用条件に関する生産ライン前提条件を入力する前提条件入力手段と、
入力された前記前提条件に基づき前記所定の制約値を求めるとともに、当該所定の制約値と生産単位あたりの処理時間との比を用いて前記生産ラインの評価を行う生産ライン評価手段と
を備える生産管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の生産管理システムであって、
前記生産ライン前提条件は、
前記生産ラインを構成する複数個の生産装置の処理能力に関する情報と、
前記複数個の生産装置間で前記生産単位が搬送される場合における待ち時間に関する情報と
を少なくとも含む生産管理システム。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の生産管理システムであって、
前記生産ライン評価手段は、
所定の処理を行うために必要な総時間と前記所定の処理の本体のみを行うために必要な正味時間との比、および前記生産ラインを構成する複数個の生産装置の稼働率
をさらに用いて前記生産ラインの評価を行う
生産管理システム。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載の生産管理システムであって、
前記生産ラインを構成する複数個の生産装置を前記評価に応じて分類する分類手段
をさらに備える生産管理システム。
【請求項５】
請求項４に記載の生産管理システムであって、
前記生産ライン前提条件を前記評価に応じて変更する前提条件変更手段
をさらに備える生産管理システム。
【請求項６】
請求項１又は請求項２に記載の生産管理システムであって、
前記生産ラインを構成する複数個の生産装置における処理予約を所定の単位でカウントすることにより保持するカウンタ
をさらに備え、
前記カウンタに保持された前記処理予約を前記評価と比較することにより前記複数個の生産装置から前記生産単位の搬送先を選択する
生産管理システム。
【請求項７】
請求項６に記載の生産管理システムであって、
前記所定の単位は、ロットの個数である
生産管理システム。
【請求項８】
請求項６に記載の生産管理システムであって、
前記所定の単位は、ロットの処理時間である
生産管理システム。
【請求項９】
請求項６に記載の生産管理システムであって、
前記カウンタに保持された前記所定の単位が最小であるものが前記生産単位の搬送先として選択される
生産管理システム。
【請求項１０】
生産時間が所定の制約値で制約された生産ラインを管理する生産管理方法であって、
前記生産ラインの仕様や運用条件に関する生産ライン前提条件を入力する前提条件入力工程と、
入力された前記前提条件に基づき前記所定の制約値を求めるとともに、当該所定の制約値と生産単位あたりの処理時間との比を用いて前記生産ラインの評価を行う生産ライン評価工程と
を備える生産管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、生産時間が所定の制約値で制約された生産ラインを管理する生産管理システムおよび生産管理方法に関し、特に、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の生産管理システムでは、任意の工程の処理完了時刻からその工程以降の任意の工程の処理開始時刻までの時間（Q-Time）に上限値（品質保証時間あるいは品質保持時間）が設定されている場合、生産ライン内の製品（ワーク）の処理待ち在庫の個数（仕掛数）を所定期間制限することにより、待ち時間が品質保証時間を超えないようにしている（例えば特許文献１）。
【０００３】
ある一連の工程処理区間において、最初の工程の処理完了時刻（Ｔｅ）から最後の工程の処理開始時刻（Ｔｓ）までの時間に上限値（Ｔｑ）が設定されている区間を品質保持区間（Q-Time区間）と定義する。上限値Ｔｑは、一般に、品質保証時間（Q-Time）と呼ばれる。
【０００４】
製品のQ-Time区間の最初の工程で、その工程の処理を開始するかどうかを判断することをQ-Time区間の投入制御と定義する。この投入制御により最初の工程の処理を開始しないと判断されると、製品は最初の工程の処理開始前に一旦待ち状態になる。
【０００５】
また、Q-Time区間内の工程で、製品のQ-Timeを満たすように工程の処理開始を制御することをQ-Time区間の進捗制御と定義する。進捗制御には、工程処理装置の予約処理、製品が到着する前の工程処理装置の占有処理、製品の工程処理順序の変更（追い越し、追い越され）処理がある。
【０００６】
Q-Timeは、品質保持のために設定されており、Q-Timeを満たせないこと、すなわち製品の待ち時間がQ-Time以上になることをQ-Time違反と定義する。Q-Time違反の製品はQ-Time区間完了後に次のような処置が取られる。例えば品質を回復するために通常とは異なる処置が実施されるか、あるいは再生処理と呼ばれるやり直し工程が追加され、再度Q-Time区間の処理が実行される。
【０００７】
製品の生産時間の制約値としては、上記のQ-Timeの他に、製品を生産ラインに投入してから製品が完成するまでの時間（生産工期）、あるいは任意の工程の処理完了からその工程以降の任意の工程の処理完了までの時間（工程間工期）がある。
【０００８】
なお、従来の生産ラインにおける投入制御や進捗制御は、自動で行われる場合や、人手で行われる場合や、あるいは、（製造装置の生産能力に余裕があると仮定し）全く行われない場合がある。投入制御や進捗制御は、人手で行われる場合には人為的判断誤りにより、全く行われない場合には生産能力に係る仮定の誤りにより、それぞれQ-Time違反になる可能性がある。従って、Q-Time違反を防ぐためには、投入制御や進捗制御を自動で行う必要がある。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−１０８２１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したように、従来の生産管理システムにおいては、投入制御や進捗制御を自動で行う必要があるが、この場合には、製品の生産時間の制約値を遵守することはできるが、Q-Time区間前での仕掛が増大するので、製品の生産量の目標値を達成することができない可能性がある。
【００１１】
すなわち、従来の生産管理システムにおいては、生産ラインの計画・設計時に、製品の生産時間の制約値を遵守するために必要な生産ラインの能力が確保されていない（適正な生産ラインの能力評価が実施されていない）場合があるので、製品の生産時間の制約値と製品の生産量の目標値との組み合わせによっては、これら２つの値を両立させる生産ラインの操業が不可能となることがある。従って、生産ラインを運用開始する前に、どの程度の実現性があるかを定量的に評価・把握した上で生産ラインを操業する必要がある。
【００１２】
生産ラインの能力は、第１の要素として、生産ライン全体の単位時間当たりの生産量（生産ラインの運用条件で決まる出来高）と、第２の要素として、製品の生産が制約された生産時間内で達成できるかとの２つの要素で評価する必要がある（生産ラインの運用条件には、製造装置（設備）の処理能力、製品の工程系列、工程処理時間、製造装置の担当工程の分担割当などがある）。
【００１３】
また、従来の生産管理システムにおいては、製品の生産時間の制約値の遵守が理論上は不可能でないにも係らず、現実の生産ラインでは生産時間を遵守できない場合が多い。この原因は、製品の生産時間の制約値を遵守するための生産の運用条件が適切に設定されていないという問題があるからである。
【００１４】
さらに、製品の生産時間の制約値が工程系列の部分的な品質保持区間（Q-Time区間）における品質保持時間（Q-Time）で設定される場合、品質保持時間を遵守するための生産ラインの生産制御方式が確立していないという問題があった。
【００１５】
すなわち、従来の生産管理システムにおいては、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することが困難であるという問題点があった。
【００１６】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することが可能な生産管理システムおよび生産管理方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る生産管理システムは、生産時間が所定の制約値で制約された生産ラインを管理する生産管理システムであって、前記生産ラインの仕様や運用条件に関する生産ライン前提条件を入力する前提条件入力手段と、入力された前記前提条件に基づき前記所定の制約値を求めるとともに、当該所定の制約値と生産単位あたりの処理時間との比を用いて前記生産ラインの評価を行う生産ライン評価手段とを備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る生産管理システムは、生産時間を制約する所定の制約値と生産単位あたりの処理時間との比を用いて生産ラインの評価を行う。従って、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の各実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下では、半導体装置等の所望の製品を製造するための製造装置（生産装置）を単に装置とも呼び、１個以上の製造装置を含んで構成される製造装置群を単に装置群とも呼ぶ。
【００２０】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１に係る生産管理システムを示す構成図である。図１の生産管理システムは、ＣＰＵ等の制御手段、メモリ等の記憶手段、およびキーボード等の入力手段等を備えるコンピュータからなり、所定のプログラムに従い動作するものである。
【００２１】
図１において、前提条件入力情報１は、複数個の製造装置を含む生産ラインの仕様や運用条件等に関する生産ライン前提条件（以下では単に前提条件と略す）の入力情報である（この前提条件の具体例については、後で詳細に述べる）。
【００２２】
前提条件入力手段２は、前提条件入力情報１をデータベース３へ入力するための手段である。
【００２３】
データベース３は、前提条件３ａと、生産ライン評価結果３ｂと、製造装置分類結果３ｃと、改善案３ｄと、生産ラインにおける製品の仕掛状態である製品仕掛状態３ｅと、仕掛管理フラグ３ｆと、製品の進捗制御指令値３ｇとから構成されている。
【００２４】
生産ライン評価手段４は、前提条件３ａに基づいて生産ラインを評価する手段である。
【００２５】
製造装置分類手段５は、生産ライン評価手段４から出力された生産ライン評価結果３ｂに基づいて製造装置を分類する手段であり、分類された結果は、データベース３において、製造装置分類結果３ｃとして保存（記憶）される。
【００２６】
改善案算出手段６は、製造装置分類結果３ｃに基づいて製造装置の評価値を改善するための案を算出する手段であり、算出された案は、データベース３において、改善案３ｄとして保存される。
【００２７】
前提条件変更手段８は、改善案３ｄに基づいて前提条件３ａを変更する（言い換えれば改善案３ｄを実行する）手段である。
【００２８】
生産管理システム本体９は、周知の既存技術を用いて生産ラインを管理するシステム本体である。
【００２９】
仕掛状態認識手段１０は、生産管理システム９から生産ライン上の製品がどの工程の処理をするためにどの装置での処理を待っているか、あるいはどの装置で処理されているかの情報を認識する手段である。仕掛状態認識手段１０で認識された情報は、データベース３において、製品仕掛状態３ｅとして保存される。
【００３０】
進捗制御手段１１は、生産ライン評価結果３ｂと製品仕掛状態３ｅとから生産ラインの製品の進捗を制御する手段である。
【００３１】
情報出力手段１２は、データベース３に保存されている情報を外部のディスプレイやプリンタ等の外部出力装置へ出力する手段である。
【００３２】
なお、図１において、前提条件入力手段２は、キーボード等の入力手段により提供されるものである。また、生産ライン評価手段４、製造装置分類手段５、改善案算出手段６、前提条件変更手段８、仕掛状態認識手段１０、および進捗制御手段１１は、それぞれ、ＣＰＵ等の制御手段が所定のプログラムに従い動作することにより提供されるものである。また、データベース３は、メモリ等の記憶手段に記憶されるものである。
【００３３】
図２は、工場全体の製品の生産の流れを模式的に示すフローチャートである。図２においては、最初の工程であるステップＳ１と、途中の工程であるステップＳ２〜Ｓ３と、最後の工程であるステップＳ４とが示されている。なお、図２においては、途中の工程がステップＳ２〜Ｓ３からなる２ステップである場合が示されているが、２ステップに限定されるものではない。また、図２においては、ステップＳ１〜Ｓ４からなる一連の工程が１つ示されているが、このような一連の工程は、製品毎に複数存在してもよい。例えば、製品が半導体装置である場合には、ステップＳ１においてはウェハへのマーキング処理が実行され、ステップＳ４においては最終検査処理が実行される。
【００３４】
図２において、ステップＳ１の処理開始時刻からステップＳ４の処理完了時刻までの時間を、生産工期１７と呼ぶ。また、任意の２つの工程において（例えばステップＳ２，Ｓ３）、先の工程（ステップＳ２）の処理完了時刻から後の工程（ステップＳ３）の処理完了時刻までの時間を、工程間工期１８と呼ぶ。
【００３５】
図３は、任意の工程の処理完了時刻からその工程以降の任意の工程の処理開始時刻までの時間（Q-Time）への上限値の設定を模式的に示すフローチャートである。
【００３６】
図３においては、Q-Timeが上限値で制約される区間（Q-Time区間２４）に含まれる工程であるステップＳ１２〜Ｓ１４と、Q-Time区間２４の直前の工程であるステップＳ１１と、Q-Time区間２４の直後の工程であるステップＳ１５とが示されている。なお、本明細書においては、区間という語句を、時間的領域という意味と空間的領域という意味との両方で用いている。
【００３７】
図３におけるQ-Timeは、式（１）に示されるように、ステップＳ１２の処理完了時刻（Ｔｅ）からステップＳ１４の処理開始時刻（Ｔｓ）までの時間であり、上限値（Q-Time上限値）で制約される。
【００３８】
【数１】
2008077370.tif 000003
【００３９】
図４は、２個の装置２８，２９から構成されるQ-Time区間２４を示す模式図である。装置２８は、図３のQ-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２における処理を担当する製造装置であり、装置２９は、図３のQ-Time区間２４内の最後の工程であるステップＳ１４における処理を担当する製造装置である。なお、図４においては、模式的に、２個の装置２８，２９のみが示されているが、実際には、装置２８の前工程、装置２９の後工程、あるいはステップＳ１２とステップＳ１４との間の工程においてそれぞれの処理を担当する他の装置（装置群）が配設される。
【００４０】
図４（ａ）においては、４個のロット３１，３２ａ，３２ｂ，３３が実線で示されている。なお、ロットとは、複数個のウェハをまとめて収納可能なキャリアであり、工程処理の単位となるものである。ロット３１は装置２８で処理完了直後のロットであり、ロット３２ａは装置２８から装置２９へ搬送中のロットであり、ロット３２ｂは装置２９で処理待ち中のロットであり、ロット３３は装置２９で処理中のロットである。
【００４１】
図４（ｂ）においては、ロット３１が装置２８での処理を完了された時点を基準時点とすると、この基準時点からロット３１が装置２９での処理を完了されるまでに必要な生産時間（工程間工期）は、基準時点後に装置２９においてロット３１より先に処理される必要があるロットの数である仕掛ロット数Ｗ（図４においては、ロット３２ａ，３２ｂ，３３がロット３１より先に処理される必要があるので、３個となる）と、装置２９における各ロットの処理に必要な（平均）処理時間Ｔとを用いて、ＷＴ（ロット３２ａ，３２ｂ，３３の処理時間）＋Ｔ（ロット３１の処理時間）＝（Ｗ＋１）Ｔとなる。
【００４２】
一般に、生産管理システムにおいては、（製品の生産工期の実績の平均値）／（製品の最短生産工期）をＫｐ倍率と呼ぶ（すなわち、Ｋｐ倍率は、所定の処理を行うために必要な総時間と前記所定の処理の本体のみを行うために必要な正味時間との比を表すものであり、以下ではＫＸと略す）。図４（ａ）においては、製品の生産工期は工程間工期に相当する（Ｗ＋１）Ｔとなり、（製品の最短生産工期）はロット３１の処理時間に相当するＴとなるので、図４（ｂ）に示されるように、ＫＸ＝（Ｗ＋１）＝４となる。すなわち、ロット３１を処理するためには、ロット３１自体の処理時間Ｔ（正味時間）のみならず、ロット３２ａ，３２ｂ，３３の処理を待つ時間３Ｔ（ＷＴ）も必要となるので、ロット３１自体の処理時間Ｔの４（ＫＸ＝Ｗ＋１）倍の時間（総時間）が必要となる。
【００４３】
図５は、本実施の形態に係る生産管理システムにおける全体の処理の流れ（生産管理方法）を示すフローチャートである。
【００４４】
まず、処理が開始されると、ステップＳ２１において、生産ラインにおける前提条件入力手段２は、前提条件入力情報１を入力する処理を実行する。入力された前提条件入力情報１は、データベース３において、前提条件３ａとして保存される。
【００４５】
次に、ステップＳ２２において、生産ライン評価手段４は、ステップＳ２１でデータベース３に保存された前提条件３ａから生産ラインを評価する処理を実行する。評価された結果は、データベース３において、生産ライン評価結果３ｂとして保存される。
【００４６】
次に、ステップＳ２３において、製造装置分類手段５は、ステップＳ２２でデータベース３に保存された生産ライン評価結果３ｂに基づき製造装置を分類する処理を実行する。分類された結果は、データベース３において、製造装置分類結果３ｃとして保存される。
【００４７】
次に、ステップＳ２４において、改善案算出手段６は、改善を施すべき装置（改善装置）を選択する処理を実行する。
【００４８】
次に、ステップＳ２５において、改善案算出手段６は、ステップＳ２４で選択された装置に改善を施すための案を算出する処理を実行する。算出された案は、データベース３において、改善案３ｄとして保存される。
【００４９】
次に、ステップＳ２６において、前提条件変更手段８は、ステップＳ２１でデータベース３に保存された前提条件３ａに対して、ステップＳ２５で保存された改善案３ｄを用いて変更処理を実行する（言い換えれば、改善案３ｄを実行する、あるいは改善を施す）。変更された前提条件３ａは、データベース３において上書き保存される。
【００５０】
次に、ステップＳ２７において、改善を施すべき装置に全て改善を施したかどうかを判定する処理が実行される。改善を施されていない装置が残っていると判定された場合にはステップＳ２４へ戻り、改善を施すべき装置全てに改善が施されたと判定された場合にはステップＳ２８へ進む。
【００５１】
次に、ステップＳ２８において、生産ラインの進捗制御を実行するかどうかを判定する処理が実行される。生産ラインの進捗制御を実行すると判定された場合にはステップＳ２９へ進み、生産ラインの進捗制御を実行しないと判定された場合には一連の処理を終了する。
【００５２】
次に、ステップＳ２９において、仕掛状態認識手段１０は、生産管理システム本体９を用いて、生産ラインにおける製品の仕掛状態を認識する処理を実行する。認識された情報は、データベース３において、製品仕掛状態３ｅとして保存される。
【００５３】
次に、ステップＳ３０において、進捗制御の対象となる製品を選択する処理が実行される。選択された結果は、データベース３において、仕掛管理フラグ３ｆおよび進捗制御指令値３ｇとして保存される。
【００５４】
次に、ステップＳ３１において、進捗制御手段１１は、ステップＳ３０でデータベース３に保存された進捗制御指令値３ｇを生産管理システム本体９へ送信する処理を実行する。
【００５５】
次に、ステップＳ３２において、生産管理システム本体９は、ステップＳ３０で選択された製品に対して、ステップＳ３１で進捗制御手段１１により送信された進捗制御指令値３ｇに基づき、進捗制御を行う。そして、ステップＳ２８へ戻る。
【００５６】
以上で、一連の処理が完了する。
【００５７】
図６は、図５のステップＳ２２に示される生産ラインの評価処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【００５８】
まず、ステップＳ４１において、生産ライン評価手段４は、ステップＳ２１でデータベース３に保存された前提条件３ａを入力する処理を実行する。前提条件３ａに含まれる情報としては、製造装置群およびその製造装置群に含まれる製造装置の台数、製品を完成するために必要な製品毎の一連の工程の処理順序が定められた工程系列、その工程系列の各処理工程とその処理が可能な製造装置群との対応関係、その工程系列の各処理工程の処理単位であるロットサイズ（１個のロットに収納可能なウェハ数）、その工程系列の各処理工程の処理単位の処理に必要な処理時間あるいは処理時間とロットサイズとの関係、その工程系列の各処理工程のバッチ処理数（同時処理可能なロット数）の上限値および下限値、生産工期の上限値および下限値、工程間工期の上限値および下限値、任意の工程系列の最初の工程の処理終了時刻から最後の工程の処理開始までの待ち時間の限界値が設定された工程区間（Q-Time区間）、その工程区間の待ち時間の限界値の上限（Q-Time）、製品の品種毎の単位時間あたりの生産量（生産ライン投入量）、製造装置群あるいは製造装置の処理能力（例えば、１個のロットを処理するために必要な時間や、単位時間あたり処理可能なロット数等）、および製造装置群の稼働率などがある。
【００５９】
次に、ステップＳ４２において、評価対象となる所定の装置群ｉ（ｉ：自然数）において１個のロットを処理するために必要な平均処理時間Ｅｐ（ｉ）を算出する処理を実行する。平均処理時間Ｅｐ（ｉ）は、例えば、以下の式（２）に示されるように、装置群ｉが処理を担当する工程ｐおよび工程ｊと、工程ｐを処理可能な装置群ｋと、工程ｊにおける処理に必要な時間である工程処理時間Ｔｃ（ｊ）と、装置群ｉが処理を担当する工程の総数である工程数Ｐｃ（ｉ）と、装置群ｉに含まれる装置の総数である装置数Ｔｓ（ｉ）と、装置群ｉのバッチ数Ｂｓ（ｉ）とから求めることができる。なお、バッチ数Ｂｓ（ｉ）は、上述したように装置群ｉにおいて同時処理可能なロット数を表すものであり、通常は１に設定される。
【００６０】
【数２】
2008077370.tif 000004
【００６１】
式（２）においては、装置群ｉが処理を担当する工程ｊにおける処理に必要な時間である工程処理時間Ｔｃ（ｊ）を用いてモデル化を行っている。実際には、装置群ｉに含まれる各装置においては、内部構成の違いによる処理能力や段取り時間等の差に起因して処理時間が互いに異なる場合があるが、工程処理時間Ｔｃ（ｊ）を用いると、装置群ｉとして一律にモデル化が行われることとなる。
【００６２】
従って、式（２）に示されるように工程処理時間Ｔｃ（ｊ）を用いたモデル化を行うためには、前提として、所望の工程ｊにおいて用いられる複数の装置における処理時間がほぼ同一である必要がある。
【００６３】
同様に、実際には、製品のロットサイズや品種の組合せについても、製品毎に異なる場合があるが、式（２）に示されるように工程処理時間Ｔｃ（ｊ）を用いた（一律な）モデル化を行うためには、前提として、製品のロットサイズや品種の組合せは、処理時間と同様に、各製造装置においてほぼ同一である必要がある。
【００６４】
この条件が満たされている場合には、式（２）の第１項に示されるように、装置群ｉが処理を担当する全ての工程ｊについて工程処理時間Ｔｃ（ｊ）の総和（ΣＴｃ（ｊ））を求め、装置群ｉが処理を担当する工程の総数である工程数Ｐｃ（ｉ）と装置群ｉに含まれる装置の総数である装置数Ｔｓ（ｉ）と装置群ｉにおいて同時処理可能なロット数であるバッチ数Ｂｓ（ｉ）とで除することにより、工程ｐを装置群ｉのみが担当すると仮定した場合における（仮定の）装置群ｉの平均処理時間が求められる。この第１項に対して、第２項に示されるように、装置群ｉの担当に係る分担率（Ｔｓ（ｉ）／Σ（Ｔｓ（ｋ）））を乗することにより、（仮定を補正し）装置群ｉの１ロットあたりの平均処理時間Ｅｐ（ｉ）を算出することができる。
【００６５】
なお、式（２）において、製品のロットサイズや品種の組合せを詳細に限定する場合には、式（２）とは異なる形式で表される何らかのモデル化を行うことにより処理時間を算出するか、あるいは実測により処理時間を求める必要がある。
【００６６】
また、上述においては、平均処理時間（Ｅｐ（ｉ））を算出する場合について説明したが、平均処理時間に限らず、あるいは平均投入間隔（装置群ｉの処理能力に比例する処理の間隔時間（タクトタイム））を算出してもよい。また、平均処理時間や平均投入間隔は、式（２）を用いて計算により求めるのではなく、あるいは、実測により求めてもよい。
【００６７】
次に、ステップＳ４３において、仕掛ロット数Ｗの上限を表す仕掛ロット上限値ＷＬ（ｉ）を算出する処理を実行する。以下では、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）について詳細に説明する。
【００６８】
図４においては、基本的に、工程間における仕掛ロット数Ｗが０であれば、装置２９では処理待ち時間が発生しないので、必ずQ-Timeを守ることができる。また、仕掛ロット数Ｗが１以上である場合でも、仕掛ロット数Ｗを所定の規則に従い制限することにより、Q-Timeを守ることが可能となる。
【００６９】
本実施の形態では、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を以下の式（３）に示されるように装置群ｉ毎に（装置群ｉ固有に定義されるQ-Time（ｉ）を用いて）定義するとともに、前提条件３ａに基づく仕掛ロット数Ｗが仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を超えないかどうかを以下の式（４）を用いて判定する。なお、この装置群ｉは、図３のQ-Time区間２４内の最後の工程であるステップＳ１４の処理を担当するものであり、図４の装置２９に相当するものである。
【００７０】
【数３】
2008077370.tif 000005
【００７１】
【数４】
2008077370.tif 000006
【００７２】
以下では、式（３）の根拠について説明する。なお、上述したように、式（３）においては、平均処理時間（単位：時間／ロット）に代えて、装置２９へのロットの平均投入間隔（単位：時間／ロット）を用いてもよい。
【００７３】
例えば、図４において、ロット３１からみた装置２９での処理待ち時間（Ｔｓ−Ｔｅ）は、装置２９における（平均）処理時間Ｔを用いて、以下の式（５）で表される。
【００７４】
【数５】
2008077370.tif 000007
【００７５】
上述したように、図４においては、式（５）における仕掛ロット数Ｗは、ロット３２ａ，３２ｂ，３３の個数すなわち３となる。
【００７６】
ここで、式（５）における（Ｔｓ−Ｔｅ）の上限値がQ-Time（ｉ）であるとしたときの仕掛ロット数Ｗを、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）と定義する。なお、Q-Time（ｉ）は、上述したように装置群ｉ固有に定義されたQ-Timeであり、具体的には、装置群ｉ固有の複数個のQ-Timeから１個を選択したものである。この選択においては、例えば、複数個のQ-Timeから最小値を選択してもよく、あるいは、平均値、最大値、または最頻値等を選択してもよい。
【００７７】
式（５）において、平均処理時間Ｔとして、式（３）の平均処理時間Ｅｐ（ｉ）を代入すると、（Ｔｓ−Ｔｅ）＝Ｗ×Ｅｐ（ｉ）＝Ｗ×Q-Time（ｉ）／ＷＬ（ｉ）＝Q-Time（ｉ）×Ｗ／ＷＬ（ｉ）となるが、Ｗが式（４）を満たす場合には、Ｗ／ＷＬ（ｉ）≦１となるので、（Ｔｓ−Ｔｅ）≦Q-Time（ｉ）となる。すなわち、Ｗが式（４）を満たせば、Q-Time（ｉ）を守ることができる。
【００７８】
なお、式（３）に式（２）を代入することにより、以下の式（６）が得られる。式（６）を用いることにより、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を、前提条件３ａに基づき具体的に算出することが可能となる。
【００７９】
【数６】
2008077370.tif 000008
【００８０】
次に、ステップＳ４４において、式（７）を用いて、装置群ｉに固有の稼働率ρに基づき、装置群ｉにおける処理待ちロット数Ｗρを算出する。
【００８１】
【数７】
2008077370.tif 000009
【００８２】
次に、ステップＳ４５において、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を、処理待ちロット数Ｗρと比較する。比較の結果、ＷＬ（ｉ）≧Ｗρである場合には、ステップＳ４７へ進み、ＷＬ（ｉ）≧Ｗρでない場合には、ステップＳ４６へ進みリスクが最大である（Highest-risk）と判定し評価処理を終了する。
【００８３】
次に、ステップＳ４７において、ＫＸを算出する。なお、ＫＸは、上述したように、前提条件３ａを用いて、（製品の生産工期の実績の平均値）／（製品の最短生産工期）を計算することにより得ることができる。
【００８４】
次に、ステップＳ４８において、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を、前提条件３ａに基づく仕掛ロット数Ｗ１と比較する。この仕掛ロット数Ｗ１は、生産ラインによって異なり、任意に設定可能であるが、例えば、Ｗ１＝ＫＸ−１と設定することで、適切な判定が可能となる（図４においては、ロット３１より先に装置２９で処理される必要があるロット３２ａ，３２ｂ，３３の個数すなわち３が仕掛ロット数Ｗ１に相当している）。比較の結果、ＷＬ（ｉ）≧Ｗ１である場合には、ステップＳ５０へ進み、ＷＬ（ｉ）≧Ｗ１でない場合には、ステップＳ４９へ進みリスクが大きい（High-risk）と判定し評価処理を終了する。
【００８５】
次に、ステップＳ５０において、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を、前提条件３ａに基づく仕掛ロット数Ｗ２と比較する。この仕掛ロット数Ｗ２は、生産ラインによって異なり、Ｗ２＞Ｗ１を満たす範囲で任意に設定可能であるが、例えば、Ｗ２＝ＫＸ＋１と設定することで、適切な判定が可能となる。比較の結果、ＷＬ（ｉ）≧Ｗ２である場合には、ステップＳ５２へ進み、ＷＬ（ｉ）≧Ｗ２でない場合には、ステップＳ５１へ進みリスクが中くらいである（Middle-risk）と判定し評価処理を終了する。
【００８６】
次に、ステップＳ５２において、仕掛ロット数条件値ＷＬ（ｉ）を、仕掛ロット数Ｗ２×工程数Ｐｃ（ｉ）と比較する。比較の結果、ＷＬ（ｉ）≧Ｗ２×Ｐｃ（ｉ）である場合には、ステップＳ５４へ進みリスクが最小である（Lowest-risk）と判定し、ＷＬ（ｉ）≧Ｗ２×Ｐｃ（ｉ）でない場合には、ステップＳ５３へ進みリスクが小さい（Low-risk）と判定し評価処理を終了する。
【００８７】
次に、ステップＳ５５において、全ての装置群ｉの評価を完了したかどうかを判定する処理が実行される。評価が行われていない装置群ｉが残っていると判定された場合にはステップＳ４２へ戻り、全ての装置群ｉに評価が行われたと判定された場合にはステップＳ５６へ進む。
【００８８】
次に、ステップＳ５６において、生産ラインの評価結果をデータベース３へ保存した後に、処理を終了する。
【００８９】
以上で、一連の処理が完了する。
【００９０】
次に、図６の生産ラインの評価処理を、具体的な数値例を用いて説明する。
【００９１】
例えば、装置群Ａにおいて、Q-Time上限値が４８０で、平均処理時間Ｅｐ（Ａ）が３７．１で、稼働率ρが０．９９０で、工程数Ｐｃ（Ａ）が３で、ＫＸが３であったとすると、仕掛ロット数上限値ＷＬ（Ａ）＝４８０／３７．１＝１２．９３８となり、処理待ちロット数Ｗρ＝０．９９０／（１−０．９９０）＝９９となる。従って、ステップＳ４５における判定の結果がｎｏとなるので、ステップＳ４６においてHighest-riskと評価される。
【００９２】
また、例えば、装置群Ｂにおいて、Q-Time上限値が３０で、平均処理時間Ｅｐ（Ｂ）が１７．０で、稼働率ρが０．２９０で、工程数Ｐｃ（Ａ）が１で、ＫＸが３であったとすると、仕掛ロット数上限値ＷＬ（Ｂ）＝３０／１７．０＝１．７６５となり、処理待ちロット数Ｗρ＝０．２９０／（１−０．２９０）＝０．４０８となり、仕掛ロット数Ｗ１＝ＫＸ−１＝２となる。従って、ステップＳ４８における判定の結果がｎｏとなるので、ステップＳ４９においてHigh-riskと評価される。
【００９３】
また、例えば、装置群Ｃにおいて、Q-Time上限値が１２０で、平均処理時間Ｅｐ（Ｃ）が４３．６で、稼働率ρが０．３３０で、工程数Ｐｃ（Ｃ）が１で、ＫＸが３であったとすると、仕掛ロット数上限値ＷＬ（Ｃ）＝１２０／４３．６＝２．７５２となり、処理待ちロット数Ｗρ＝０．３３０／（１−０．３３０）＝０．４９３となり、仕掛ロット数Ｗ１＝ＫＸ−１＝２となり、仕掛ロット数Ｗ２＝ＫＸ＋１＝４となる。従って、ステップＳ５０における判定の結果がｎｏとなるので、ステップＳ５１においてMiddle-riskと評価される。
【００９４】
また、例えば、装置群Ｄにおいて、Q-Time上限値が４８０で、平均処理時間Ｅｐ（Ｄ）が５０．２で、稼働率ρが０．９００で、工程数Ｐｃ（Ｄ）が４で、ＫＸが３であったとすると、仕掛ロット数上限値ＷＬ（Ｄ）＝４８０／５０．２＝９．５６２となり、処理待ちロット数Ｗρ＝０．９００／（１−０．９００）＝９となり、仕掛ロット数Ｗ１＝ＫＸ−１＝２となり、仕掛ロット数Ｗ２＝ＫＸ＋１＝４となる。従って、ステップＳ５２における判定の結果がｎｏとなるので、ステップＳ５３においてLow-riskと評価される。
【００９５】
また、例えば、装置群Ｅにおいて、Q-Time上限値が３６０で、平均処理時間Ｅｐ（Ｅ）が３．２で、稼働率ρが０．９９０で、工程数Ｐｃ（Ｅ）が１８で、ＫＸが３であったとすると、仕掛ロット数上限値ＷＬ（Ｅ）＝３６０／３．２＝１１２．５となり、処理待ちロット数Ｗρ＝０．９９０／（１−０．９９０）＝９９となり、仕掛ロット数Ｗ１＝ＫＸ−１＝２となり、仕掛ロット数Ｗ２＝ＫＸ＋１＝４となる。従って、ステップＳ５２における判定の結果がｙｅｓとなるので、ステップＳ５４においてLow-riskと評価される。
【００９６】
図７は、工程数Ｐｃ（ｉ）＝３、仕掛けロット数Ｗ１＝ＫＸ−１、および仕掛けロット数Ｗ２＝ＫＸ＋１である場合について、ＫＸと仕掛けロット数上限値ＷＬ（ｉ）との値に応じたリスクによる分類をＫＸ−ＷＬ平面上に示したグラフである。図７に示されるように、ＫＸが一定である場合には仕掛けロット数上限値ＷＬ（ｉ）が大きくなるほどリスクは小さくなり、仕掛けロット数上限値ＷＬ（ｉ）が一定である場合にはＫＸが大きくなるほどリスクは小さくなる。なお、図７においては、Q-Time上限値および平均処理時間Ｅｐ（ｉ）は一定であると仮定している。
【００９７】
このように、本実施の形態に係る生産管理システムおよび生産管理方法においては、生産時間が所定の制約値（Q-Time上限値）で制約された生産ラインを管理するために、入力された前提条件３ａに基づきQ-Time上限値を求めるとともに、式（３）に示されるように、Q-Time上限値と１ロットあたりの平均処理時間Ｅｐ（生産単位あたりの平均処理時間）との比（すなわち仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ））を用いて生産ラインの評価を行っている。従って、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することができる。
【００９８】
また、前提条件３ａは、生産ラインを構成する各製造装置の処理能力に関する情報と、
各製造装置間でロットが搬送される場合における待ち時間（Q-Time）に関する情報と
を少なくとも含んでいる。従って、生産ラインを定量的に評価し制御することができる。
【００９９】
また、ＫＸおよび稼働率を用いて評価を行うことにより、生産ラインをさらに定量的に評価し制御することができる。
【０１００】
また、評価に応じて分類を行うことにより、生産時間の制約値を遵守しない可能性が高い装置から順に改善等を施すことができるので、さらに、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することができる。
【０１０１】
＜実施の形態２＞
図８は、図５のステップＳ２４〜Ｓ２７に示される改善案算出処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【０１０２】
まず、ステップＳ６１において、改善案算出手段６は、ステップＳ２１〜Ｓ２３でそれぞれデータベース３に保存された前提条件３ａ、生産ライン評価結果３ｂ、および製造装置分類結果３ｃを入力する処理を実行する。
【０１０３】
次に、ステップＳ６２において、ステップＳ６１で入力された製造装置分類結果３ｃに基づき、改善を施すべき装置群があるかどうかを判定する処理が実行される。改善を施すべき装置群があると判定された場合にはステップＳ６３へ進み、改善を施すべき装置群がないと判定された場合には処理を終了する。
【０１０４】
次に、ステップＳ６３において、所定の装置群を選択し（装置群ｉとする）、この装置群ｉに改善を施す必要があるかどうかを判定する処理が実行される。改善を施す必要があると判定された場合にはステップＳ６４へ進み、改善を施す必要がないと判定された場合にはステップＳ６８へ進み装置群ｉに改善を施さない旨を設定（記録）した後にステップＳ６２へ戻る。
【０１０５】
次に、ステップＳ６４において、実施の形態１に係る式（６）を用いて、装置群ｉに関する仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を算出する処理を実行する。
【０１０６】
次に、ステップＳ６５において、改善の判定基準（目標値）となる仕掛ロット数Ｗ０を設定する処理を実行する。具体的には、仕掛ロット数Ｗ０は、ＫＸと、工程数Ｐｃ（ｉ）と、装置群ｉの稼働率ρと、Q-Time上限値を遵守する可能性（High-risk，Middle-risk，Low-risk）とをユーザが所望の値に設定することにより、自動的に算出できる。
【０１０７】
次に、ステップＳ６６において、装置群ｉに関して、ＷＬ（ｉ）＝Ｗ０を満たす工程処理時間Ｔｃ（ｉ）と工程数Ｐｃ（ｉ）と装置数Ｔｓ（ｉ）とΣ（Ｔｓ（ｋ））との組合せを、改善案候補として、複数個求める。このとき、以下の式（８）に示されるように、工程処理時間Ｔｓ（ｉ）がウェハ枚数ｎの関数として工程処理時間Ｔｓ（ｉ，ｎ）のように表すことができる場合には、ウェハ枚数ｎ用いてを求めても良い。なお、式（８）において、値ａは、ウェハ１枚あたりの処理に必要な時間に相当し、値ｂは、ウェハ枚数に依らず必要な時間に相当する。
【０１０８】
【数８】
2008077370.tif 000010
【０１０９】
次に、ステップＳ６７において、ステップＳ６６で求められた複数個の改善案候補それぞれについて、実現可能かどうかを判定する処理が実行される。実現可能な改善案候補が１個以上ある場合にはステップＳ６９へ進み、実現可能な改善案候補が１個もない場合にはステップＳ６８へ進み装置群ｉに改善を施さない旨を設定（記録）した後にステップＳ６２へ戻る。
【０１１０】
次に、ステップＳ６９において、ステップＳ６７で実現可能と判定された１個以上の改善案候補から１個を選択する処理を実行する。算出された案は、データベース３において、改善案３ｄとして保存される。
【０１１１】
次に、ステップＳ７０において、前提条件変更手段８は、ステップＳ６１で入力された前提条件３ａに対して、ステップＳ６９で保存された改善案３ｄを用いて変更処理を実行する。変更された前提条件３ａは、データベース３において上書き保存される。これにより、改善案３ｄが実行される。
【０１１２】
次に、ステップＳ７１において、装置群ｉに改善を施した旨を設定（記録）した後に、ステップＳ３７における生産ラインの評価処理およびステップＳ３８における製造装置の分類処理を順次実行し、ステップＳ７３へ戻る。
【０１１３】
以上で、一連の処理が完了する。
【０１１４】
次に、図８の改善案算出処理を、具体的な数値例を用いて説明する。
【０１１５】
例えば、装置群Ｃにおいて、Q-Time上限値が１２０で、平均処理時間Ｅｐ（Ｃ）が４３．６で、稼働率ρが０．３３０で、工程数Ｐｃ（Ｃ）が１で、ＫＸが３で、装置数Ｔｓ（Ｃ）が１で、Σ（Ｔｓ（ｋ））が１であったとすると、仕掛ロット数上限値ＷＬ（Ｃ）＝１２０／４３．６＝２．７５２となり、処理待ちロット数Ｗρ＝０．２９０／（１−０．２９０）＝０．４９３となり、仕掛ロット数Ｗ１＝ＫＸ−１＝２となり、仕掛ロット数Ｗ２＝ＫＸ＋１＝４となる。
【０１１６】
この条件で、仕掛ロット数Ｗの目標値である仕掛ロット数Ｗ０＝４（すなわちＷＬ（ｉ）＝４）となるような改善を行う場合について説明する（このとき、Ｗ２×Ｐｃ（Ｃ）＞Ｗ０＝ＷＬ（Ｃ）≧Ｗ２となるので、Low-riskとなる）。式（３）において、ＷＬ（Ｃ）＝４およびQ-Time（Ｃ）＝１２０とすると、Ｅｐ（Ｃ）＝３０となる。従って、平均処理時間Ｅｐ（Ｃ）が４３．６から３０に下がるように、工程処理時間Ｔｃ（ｉ）、工程数Ｐｃ（Ｃ）、または装置数Ｔｓ（Ｃ）を変更するか、あるいは、式（２）におけるΣ（Ｔｓ（ｋ））＝２となるように工程ｐを処理可能な装置群ｉを増やすような改善を行えばよい。なお、Σ（Ｔｓ（ｋ））＝２は次の計算によって得られる。Ｗ０の装置数の合計をΣ（Ｔｓ’（ｋ））とするとＷＬ／Ｗ０＝Σ（Ｔｓ（ｋ））／Σ（Ｔｓ’（ｋ））となる。したがって、Σ（Ｔｓ’（ｋ））＝Σ（Ｔｓ（ｋ））×Ｗ０／ＷＬ＝１×４／２．７５２＝１．４５３≦２となる。
【０１１７】
このように、本実施の形態に係る生産管理システムおよび生産管理方法においては、評価に応じて改善（前提条件の変更）を行うことにより、実施の形態１に比べて、工場の稼働前に改善を施すことが可能となるので、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することができる。
【０１１８】
＜実施の形態３＞
図９は、図５のステップＳ２８〜Ｓ３２に示される進捗制御処理の詳細な工程を示すフローチャートである。また、図１０は、図９の進捗制御処理が行われるQ-Time区間の一の例を示す模式図である。上述したように、進捗制御においては、Q-Time区間２４内の工程で、製品のQ-Timeを満たすように工程の処理開始が制御され、投入制御においては、製品のQ-Time区間２４の最初の工程（図３のステップＳ１２）で、その工程の処理を開始するかどうかが判断される。
【０１１９】
図１０において、装置群Ａに含まれる装置Ａ１は、Q-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２における処理を担当するものであり、図４の装置２８に相当する。また、装置群Ｂに含まれる装置Ｂ１，Ｂ２および装置群Ｃに含まれる装置Ｃ１は、Q-Time区間２４内の最後の工程であるステップＳ１４における処理を担当するものであり、図４の装置２９に相当する。装置群Ａと装置群ＢとはQ-Time区間２４ｂを構成しており、装置群Ａと装置群ＣとはQ-Time区間２４ｃを構成している。
【０１２０】
実施の形態３においては、装置Ａ１が、ステップＳ１４における処理を担当する装置Ｂ１，Ｂ２，Ｃの中から、処理予約カウンタが比較的に小さいものを選択することにより進捗制御を行うことを特徴とする。なお、この装置Ａ１は、全てのロットを先入れ先出しの順番で投入制御することが好ましい（先入れ先出しが可能なロットについてのみ先入れ先出しを行ってもよい）。
【０１２１】
図９に示されるように、まず、ステップＳ８１（図５のステップＳ２９に対応）において、実施の形態１と同様に、仕掛状態認識手段１０は、生産管理システム９を用いて、生産ラインにおける製品の仕掛状態を認識する処理を実行する。認識された情報は、データベース３において、製品仕掛状態３ｅとして保存される。この情報には、Q-Time区間２４内における装置群ｉの仕掛ロット数と装置群ｉに含まれる装置Ｅ（ｉ，ｊ）の仕掛ロット数とが含まれている。
【０１２２】
次に、ステップＳ８２において、ステップＳ８１で得られた装置群ｉの仕掛ロット数を処理予約カウンタＧ（ｉ）として、ステップＳ８１で得られた装置Ｅ（ｉ，ｊ）の仕掛ロット数を処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）として、ステップＳ４３（図６の評価処理）で得られた仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）へバッチ数Ｂｓ（ｉ）を加えた値を新たな仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）として、それぞれ設定（記憶）させる。これにより、処理予約カウンタＧ（ｉ），Ｓ（ｉ，ｊ）および仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を初期化する処理が実行される。なお、実施の形態１で上述したように、バッチ数Ｂｓ（ｉ）は、装置群ｉにおいて同時に処理可能なロットの個数であり、通常は１に設定される。
【０１２３】
次に、ステップＳ８３において、進捗制御の対象となる製品を選択する処理が実行される。選択された結果は、データベース３において、仕掛管理フラグ３ｆおよび進捗制御指令値３ｇとして保存される。具体的には、図３において、Q-Time区間２４の直前の工程であるステップＳ１１の処理が完了しQ-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２の処理を待っている製品が、進捗制御の対象として選択される。
【０１２４】
次に、ステップＳ８４において、全ての装置群から、Q-Time区間２４内の最後の工程であるステップＳ１４を処理可能な装置群ｉ（図４の装置２９または図１０の装置群Ｂ，Ｃに相当）であってＷＬ（ｉ）≧Ｇ（ｉ）を満たすものを探索し搬送先候補として全て抽出する処理を実行する。
【０１２５】
次に、ステップＳ８５において、ステップＳ８４で抽出された全ての候補の中から、（ＷＬ（ｉ）−Ｇ（ｉ））が最大である装置群ｉを搬送先として選択する（本実施の形態においては、例えば、図１０の装置群Ｂ（装置Ｂ１，Ｂ２を含んで構成される）が選択されるものとする。また、搬送先としては、あるいは、処理予約カウンタＧ（ｉ）が最小である装置群ｉを選択してもよい）。そして、処理予約カウンタＧ（ｉ）へバッチ数Ｂｓ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＧ（ｉ）として設定（記憶）させる。
【０１２６】
次に、ステップＳ８６において、Q-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２の処理を開始させる（図４の装置２８または図１０の装置群Ａに相当）。
【０１２７】
次に、ステップＳ８７において、ステップＳ８５で選択された装置群（装置群Ｂ）の中から、処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）が最小である装置Ｅ（ｉ，ｊ）を搬送先として選択する（本実施の形態においては、例えば、図１０の装置Ｂ１が選択されるものとする）。そして、処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）へバッチ数Ｂｓ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）として設定（記憶）させる。
【０１２８】
上述したステップＳ８４〜Ｓ８７においては、ステップＳ１２における処理を担当する装置（Ａ１等）からステップＳ１４における処理を担当する装置（Ｂ１等）へ搬送されるロットのみに着目しカウントを行っている。しかし、通常、装置Ａ１，Ｂ１は、これら以外の他の装置ともロットの受け渡しを行うので、以下のステップＳ８８〜Ｓ９０においては、Q-Time区間以外の他の装置とのロットの受け渡しについてもカウントを行う。
【０１２９】
次に、ステップＳ８８において、２個の装置群から構成される通常の工程処理区間（言い換えればQ-Timeが設定されない工程処理区間）のうち、後の工程を処理する装置群ｉであってＷＬ（ｉ）≧Ｇ（ｉ）を満たすものを探索し搬送先候補として全て抽出する処理を実行する。
【０１３０】
次に、ステップＳ８９において、ステップＳ８８で抽出された全ての候補の中から、（ＷＬ（ｉ）−Ｇ（ｉ））が最大である装置群ｉを搬送先として選択する（搬送先としては、あるいは、処理予約カウンタＧ（ｉ）が最小である装置群ｉを選択してもよい）。そして、処理予約カウンタＧ（ｉ）へバッチ数Ｂｓ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＧ（ｉ）として設定（記憶）させる。
【０１３１】
次に、ステップＳ９０において、ステップＳ８９で選択された装置群ｉの中から、処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）が最小である装置Ｅ（ｉ，ｊ）を搬送先として選択する。そして、装置Ｅ（ｉ，ｊ）へ向けて製品（ロット）の搬送を開始するとともに、処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）へバッチ数Ｂｓ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）として設定（記憶）させる。
【０１３２】
次に、ステップＳ９１において、ステップＳ８５で選択された装置群ｉの中から、処理を完了した装置Ｅ（ｉ，ｊ）を探索し搬送先候補として全て抽出する処理を実行する。
【０１３３】
次に、ステップＳ９２において、ステップＳ９１で抽出された装置Ｅ（ｉ，ｊ）に関して、処理予約カウンタＧ（ｉ）からバッチ数Ｂｓ（ｉ）を減じた値を新たな処理予約カウンタＧ（ｉ）として設定（記憶）させるとともに、処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）からバッチ数Ｂｓ（ｉ）を減じた値を新たな処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）として設定（記憶）させる。
【０１３４】
次に、ステップＳ９３において、実施の形態１に係る式（６）を用いて、装置群ｉに関する仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）を算出する処理を実行し、新たな仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）として設定（記憶させる）。これにより、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）が更新される。
【０１３５】
次に、ステップＳ９４において、進捗制御処理を終了するべきかどうかを判定する処理が実行される。進捗制御処理を終了するべきでないと判定された場合にはステップＳ８３へ戻り、進捗制御処理を終了するべきであると判定された場合には進捗制御処理を終了する。
【０１３６】
以上で、一連の処理が完了する。
【０１３７】
このように、本実施の形態に係る生産管理システムおよび生産管理方法においては、生産ラインを構成する複数個の製造装置における処理予約を、仕掛けロット数を単位としてカウントすることにより処理予約カウンタＧ（ｉ），Ｓ（ｉ，ｊ）に保持している。従って、実施の形態１に比べて、さらに、生産時間の制約値を遵守しつつ生産量の目標値を達成することができる。
【０１３８】
なお、上述においては、図１０を用いて、Q-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２における処理を担当する１個の装置群（Ａ）からQ-Time区間２４内の最後の工程であるステップＳ１４における処理を担当する２個の装置群（Ｂ，Ｃ）へ向けてロットが搬送される場合について説明したが、これに限らず、あるいは、図１１に示されるように、ステップＳ１２における処理を担当する２個の装置群（Ａ’，Ｃ’）からステップＳ１４における処理を担当する１個の装置群（Ｂ’）へ向けてロットが搬送される場合にも、同様に、進捗制御を行うことが可能である。また、図１１に示される装置Ａ１’，Ｃ１’は、図１０に示される装置Ａ１と同様に、全てのロットを先入れ先出してもよく、あるいは、先入れ先出しが可能なロットについてのみ先入れ先出しを行ってもよい。
【０１３９】
＜実施の形態４＞
実施の形態３においては、進捗制御を仕掛ロット数（に基づくカウンタ等）を用いて行う場合について説明した。しかし、仕掛ロット数を用いた場合には、計算時間は短いが、ロットサイズが異なるロットが混在している場合にはロットサイズに依ってロット毎の処理時間が異なるので、正確に進捗制御を行うことができないことがある。これを防ぐためには、仕掛ロット数に代えて、ロットの処理時間を用いて進捗制御を行うことが有効である。
【０１４０】
図１２は、図９と同様に、図５のステップＳ２８〜Ｓ３２に示される進捗制御処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【０１４１】
まず、ステップＳ１０１（図５のステップＳ２９および図９のステップＳ８１に対応）において、実施の形態１，３と同様に、仕掛状態認識手段１０は、生産管理システム９を用いて、生産ラインにおける製品の仕掛状態を認識する処理を実行する。認識された情報は、データベース３において、製品仕掛状態３ｅとして保存される。この情報には、Q-Time区間２４内における装置群ｉの仕掛ロット数と装置群ｉに含まれる装置Ｅ（ｉ，ｊ）の仕掛ロット数とが含まれている。
【０１４２】
次に、ステップＳ１０２において、ステップＳ１０１で得られた装置群ｉの仕掛ロット数と装置群ｉにおける工程間処理時間Ｔｃ（ｊ）との積を処理予約カウンタＧｔ（ｉ）として、ステップＳ１０１で得られた装置Ｅ（ｉ，ｊ）の仕掛ロット数と装置Ｅ（ｉ．ｊ）における工程間処理時間Ｔｃ（ｉ，ｊ）との積を処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）として、それぞれ設定（記憶）させる。これにより、処理予約カウンタＧ（ｉ），Ｓ（ｉ，ｊ）を初期化する処理が実行される。なお、本実施の形態においては、仕掛ロット数ではなくロットの処理時間を用いて進捗制御を行うので、実施の形態３とは異なり、仕掛ロット数上限値ＷＬ（ｉ）は用いられず、また、バッチ数Ｂｓ（ｉ）に代えて工程間処理時間Ｔｃが用いられる。
【０１４３】
次に、ステップＳ１０３において、進捗制御の対象となる製品を選択する処理が実行される。選択された結果は、データベース３において、仕掛管理フラグ３ｆおよび進捗制御指令値３ｇとして保存される。具体的には、実施の形態３と同様に、図３において、Q-Time区間２４の直前の工程であるステップＳ１１の処理が完了しQ-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２の処理を待っている製品が、進捗制御の対象として選択される。
【０１４４】
次に、ステップＳ１０４において、全ての装置群から、Q-Time区間２４内の最後の工程であるステップＳ１４を処理可能な装置群ｉ（図４の装置２９または図１０の装置群Ｂ，Ｃに相当）であってQ-Time（ｉ）≧Ｇｔ（ｉ）＋αｔ（ｉ）を満たすものを探索し搬送先候補として全て抽出する処理を実行する。ここで、パラメータαｔ（ｉ）は、現在故障等の理由で処理を停止している装置群ｉが処理可能になるまでに必要な時間であり、時々刻々と変化する。
【０１４５】
次に、ステップＳ１０５において、ステップＳ１０４で抽出された全ての候補の中から、（Q-Time（ｉ）−Ｇｔ（ｉ）−αｔ（ｉ））が最大である装置群ｉを搬送先として選択する（搬送先としては、あるいは、処理予約カウンタＧｔ（ｉ）が最小である装置群（ｉ）を選択してもよい）。そして、処理予約カウンタＧｔ（ｉ）へ工程間処理時間Ｔｃ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＧｔ（ｉ）として設定（記憶）させる。
【０１４６】
次に、ステップＳ１０６において、Q-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２の処理を開始させる。
【０１４７】
次に、ステップＳ１０７において、ステップＳ１０５で選択された装置群ｉの中から、処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）が最小である装置Ｅ（ｉ，ｊ）を搬送先として選択する。そして、処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）へ工程間処理時間Ｔｃ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）として設定（記憶）させる。
【０１４８】
上述したステップＳ１０４〜Ｓ１０７においては、実施の形態３に係る図９のステップＳ８４〜Ｓ８７と同様に、ステップＳ１２における処理を担当する装置Ａ１等からステップＳ１４における処理を担当する装置Ｂ１等へ搬送されるロットのみに着目しカウントを行っている。しかし、通常、装置Ａ１，Ｂ１は、これら以外の他の装置ともロットの受け渡しを行うので、以下のステップＳ１０８〜Ｓ１１０においては、実施の形態３に係る図９のステップＳ８８〜Ｓ８９と同様に、Q-Time区間以外の他の装置とのロットの受け渡しについてもカウントを行う。
【０１４９】
次に、ステップＳ１０８において、２個の装置群から構成される通常の工程処理区間（言い換えればQ-Timeが設定されない工程処理区間）のうち、後の工程を処理する装置群ｉであってQ-Time（ｉ）≧Ｇｔ（ｉ）＋αｔ（ｉ）を満たすものを探索し搬送先候補として全て抽出する処理を実行する。
【０１５０】
次に、ステップＳ１０９において、ステップＳ１０８で抽出された全ての候補の中から、（Q-Time（ｉ）−Ｇｔ（ｉ）−αｔ（ｉ））が最大である装置群ｉを搬送先として選択する（搬送先としては、あるいは、処理予約カウンタＧｔ（ｉ）が最小である装置群ｉを選択してもよい）。そして、処理予約カウンタＧｔ（ｉ）へ工程間処理時間Ｔｃ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＧｔ（ｉ）として設定（記憶）させる。
【０１５１】
次に、ステップＳ１１０において、ステップＳ１０９で選択された装置群ｉの中から、（Ｓｔ（ｉ，ｊ）＋αｔ（ｉ，ｊ））が最小である装置Ｅ（ｉ，ｊ）を搬送先として選択する。ここで、パラメータαｔ（ｉ，ｊ）は、現在故障等の理由で処理を停止している装置Ｅ（ｉ，ｊ）が処理可能になるまでに必要な時間であり、時々刻々と変化する。そして、装置Ｅ（ｉ，ｊ）へ向けて製品（ロット）の搬送を開始するとともに、処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）へ工程間処理時間Ｔｃ（ｉ）を加えた値を新たな処理予約カウンタＳ（ｉ，ｊ）ｔとして設定（記憶）させる。
【０１５２】
次に、ステップＳ１１１において、ステップＳ１０５で選択された装置群ｉの中から、処理を完了した装置Ｅ（ｉ，ｊ）を探索し搬送先候補として全て抽出する処理を実行する。
【０１５３】
次に、ステップＳ１１２において、ステップＳ１１１で抽出された装置Ｅ（ｉ，ｊ）に関して、処理予約カウンタＧｔ（ｉ）から工程間処理時間Ｔｃ（ｉ）を減じた値を新たな処理予約カウンタＧｔ（ｉ）として設定（記憶）させるとともに、処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）から工程間処理時間Ｔｃ（ｉ）を減じた値を新たな処理予約カウンタＳｔ（ｉ，ｊ）として設定（記憶）させる。
【０１５４】
次に、ステップＳ１１３において、進捗制御処理を終了するべきかどうかを判定する処理が実行される。進捗制御処理を終了するべきでないと判定された場合にはステップＳ１０３へ戻り、進捗制御処理を終了するべきであると判定された場合には進捗制御処理を終了する。
【０１５５】
以上で、一連の処理が完了する。
【０１５６】
このように、本実施の形態に係る生産管理システムおよび生産管理方法においては、生産ラインを構成する複数個の製造装置における処理予約を、ロットの処理時間を単位としてカウントすることにより処理予約カウンタＧｔ（ｉ），Ｓｔ（ｉ，ｊ）に保持している。従って、実施の形態４に比べて、ロットサイズに依ってロット毎の処理時間が異なる場合や装置が故障した場合においても正確に進捗制御を行うことができる。
【０１５７】
なお、本実施の形態においても、実施の形態３と同様に、Q-Time区間２４内の最初の工程であるステップＳ１２における処理を担当する装置（Ａ１）は、全てのロットを先入れ先出してもよく、あるいは、先入れ先出しが可能なロットについてのみ先入れ先出しを行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】実施の形態１に係る生産管理システムを示す構成図である。
【図２】工場全体の製品の生産の流れを模式的に示すフローチャートである。
【図３】任意の工程の処理完了時刻からその工程以降の任意の工程の処理開始時刻までの時間への上限値の設定を模式的に示すフローチャートである。
【図４】２個の装置から構成されるQ-Time区間を示す模式図である。
【図５】実施の形態１に係る生産管理方法における全体の処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】実施の形態１に係る生産管理方法における評価処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【図７】実施の形態１に係る生産管理方法におけるリスクによる分類を示したグラフである。
【図８】実施の形態２に係る生産管理方法における改善案算出処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【図９】実施の形態３に係る生産管理方法における進捗制御処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【図１０】実施の形態３に係る生産管理方法における進捗制御処理が行われるQ-Time区間の一の例を示す模式図である。
【図１１】実施の形態３に係る生産管理方法における進捗制御処理が行われるQ-Time区間の他の例を示す模式図である。
【図１２】実施の形態４に係る生産管理方法における進捗制御処理の詳細な工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１５９】
１  前提条件入力情報、２  前提条件入力手段、３  データベース、３ａ  前提条件、３ｂ  生産ライン評価結果、３ｃ  製造装置分類結果、３ｄ  改善案、３ｅ  製品仕掛状態、３ｆ  仕掛管理フラグ、３ｇ  進捗制御指令値、４  生産ライン評価手段、５  製造装置分類手段、６  改善案算出手段、８  前提条件変更手段、９  生産管理システム本体、１０  仕掛状態認識手段、１１  進捗制御手段、１２  情報出力手段、１７  生産工期、１８  工程間工期、２４  Q-Time区間、２８〜２９  装置、３１〜３３  ロット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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