(57)【要約】【課題】個々の処理対象物に適した張力を付与することができるとともに、複数の処理対象物に適用した場合の作業が容易である引張機構部及び処理装置を提供する。【解決手段】部材保持装置２は、処理対象物としての細長材２０の一端を把持する固定部１１と、細長材２０の他端を把持し、基端部側が一体に構成されるとともに先端部側が分割されて夫々独立して変位可能な複数の変位部３４ａを構成する変形部材３１と、複数の変位部３４ａに夫々設けられ、一端が固定された前記処理対象物の他端を把持可能な複数のつかみ部３２と、を備える引張機構部３０と、を具備することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象物の一端を把持する固定部と、
前記処理対象物の他端を把持し、基端部側が一体に構成されるとともに先端部側が分割されて夫々独立して変位可能な複数の変位部を構成する変形部材と、前記複数の変位部に夫々設けられ、前記処理対象物の他端を把持可能な複数のつかみ部と、を備える引張機構部と、
を具備することを特徴とする部材保持装置。
【請求項２】
前記複数のつかみ部は、
開閉することにより前記処理対象物を着脱可能な挟部材と、
前記挟部材を押圧する第１の位置と前記挟部材から退避する第２の位置との間で移動可能であって、前記第１の位置に配された際に前記挟部材を押圧して閉状態とし、前記第２の位置に配された際に前記押圧を解除して前記挟部材を開状態とするロック部と、を夫々有することを特徴とする請求項１記載の部材保持装置。
【請求項３】
前記複数のつかみ部に設けられた複数の前記ロック部の移動方向は同方向であり、
複数の前記ロック部には、前記ロック部を移動させるための移動用ジグが係合する爪部が設けられ、複数の前記爪部は前記移動方向と交差する方向に並列していることを特徴とする請求項２記載の部材保持装置。
【請求項４】
複数の前記処理対象物の一端部が固定されるテーブル部と、
基端部側が一体に構成されるとともに先端部側が分割されて夫々独立して変位可能な複数の変位部を構成する変形部材と、
前記複数の変位部に夫々設けられ、前記処理対象物の他端部を把持可能な複数のつかみ部と、
複数の前記処理対象物の他端部が複数の前記つかみ部に夫々把持され、前記変形部材が前記他端部側の方向に引っ張られ、複数の前記処理対象物に張力が与えられた状態において、前記処理対象物に所定の処理を行う処理室と、を備えたことを特徴とする処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばスペーサ等の処理対象物を処理する際等に用いられる部材保持装置及び処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気製品の製造過程においては、細長形状の処理対象物を縦向きの台に設置した状態で、所定の面のみを処理する技術がある。このような処理をする際に、熱や振動などの外乱によって変形して処理対象物の一部が台から浮き上がりやすく、適切に形成できない場合がある。このような場合に、処理対象物に適度な張力を与える技術が要求される。複数の処理対象物に同時に処理をする場合が多いため、複数の処理対象物に簡単に設定でき、かつ、個々の処理対象物に適した張力を付与することが求められる。処理対象物に張力を与える引張機構部として、１つの処理対象物を楔型のつかみ部で掴み、張力を与える引張機構部が提供されている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】実願平２−１２４２３８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記の技術では、次のような問題があった。すなわち、上記の引張機構部では処理対象物を１つとしているため、複数の処理対象物を同時に処理する場合に適用すると、夫々つかませる工程が必要となり、作業が煩雑となる。
【０００４】
そこで、本発明は、個々の処理対象物に適した張力を付与することができるとともに、複数の処理対象物を効率よく把持させることができる部材保持装置及び処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一形態にかかる部材保持装置は、処理対象物の一端を把持する固定部と、前記処理対象物の他端を把持し、基端部側が一体に構成されるとともに先端部側が分割されて夫々独立して変位可能な複数の変位部を構成する変形部材と前記複数の変位部に夫々設けられ一端が固定された前記処理対象物の他端を把持可能な複数のつかみ部とを備える引張機構部と、を具備することを特徴とする。
【０００６】
本発明の一形態にかかる処理装置は、複数の前記処理対象物の一端部が固定されるテーブル部と、基端部側が一体に構成されるとともに先端部側が分割されて夫々独立して変位可能な複数の変位部を構成する変形部材と、前記複数の変位部に夫々設けられ、前記処理対象物の他端部を把持可能な複数のつかみ部と、複数の前記処理対象物の他端部が複数の前記つかみ部に夫々把持され、前記変形部材が前記他端部側の方向に引っ張られ、複数の前記処理対象物に張力が与えられた状態において、前記処理対象物に所定の処理を行う処理室と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、複数の処理対象物に適用容易で、個々の処理対象物に適した張力を付与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に本発明の第１実施形態にかかる引張機構部３０及び処理装置１について、図１乃至図７を参照して説明する。なお、各図において適宜構成を拡大・縮小・省略して概略的に示している。図中矢印ＸＹＺは互いに直交する方向を示している。
【０００９】
図１乃至図３は、処理対象物の一例としての複数の細長材２０が引張機構部に取り付けられている状態の処理装置１を示している。処理装置１は、処理対象物を設置するための部材保持装置２を有するテーブル部１０と、所定の処理を行う処理部１００（図１３にのみに示し、他の図においては省略する）とを有している。テーブル部１０の一端部１０ａ側には、細長材２０の一端部２０ａを固定する固定部１１が設けられている。このテーブル部１０の他端部１０ｂ側には、細長材２０の他端部２０ｂを把持する引張機構部３０が収容される収容部１２が形成されている。部材保持装置２は、固定部１１と引張機構部３０とを有して構成されている。さらに、収容部１２の上方には開閉可能なカバー１３（図１３に示す）が設けられている。
【００１０】
図１及び図２に示すように、複数の細長材２０は、長さＬ１が１ｍ、断面１ｍｍ角の細長形状に構成され、テーブル部１０の上面に並列配置されている。細長材２０の一端部２０ａは固定部１１を介してテーブル部１０に取り付けられ、他端部２０ｂは引張機構部３０に把持されている。なお、ここでは１つのテーブル部１０に１０本の細長材２０が並列している場合について図示するが、実際には例えば１００本程度ずつ並列し、これら多数の細長材２０に対して同時に蒸着やスパッタ等の処理をすることができる。
【００１１】
引張機構部３０は、弾性変形することにより引っ張り張力を与える機能を有する変形部材３１と、この変形部材３１に固定され、細長材２０を把持するつかみ部３２とを備えている。
【００１２】
図４に示される変形部材３１は、基端部側が一体に構成されるとともに先端部側が複数のスリット３１ａによって分割された板ばね部材で構成されている。変形部材３１は、基端部の板状の連結取付部３３と、この連結取付部３３から分割されて延び、個々に独立して弾性変形可能な１０本の曲変形部３４とを一体に有している。曲変形部３４は図１に示すようにテーブル部にセットされた状態において、連結取付部３３から屈曲して下方に延び、収容部１２内の下部において湾曲され、先端部が上方に向かって延びるヘアピン形状に構成されている。この曲変形部３４の先端部は変位部３４ａを構成する。連結取付部３３は、長孔３５を備え、この長孔３５を介してテーブル部１０の他端部１０ｂ側にボルト３９を介して固定されている。
【００１３】
連結取付部３３と変位部３４ａとを離す方向に力がかかると、下方の湾曲部分が開き、先端の変位部３４ａが連結取付部３３に対して一端部側に向かって離れるように変位すると同時に変位部３４ａが他端部側に戻ろうとする弾性復元力が生じる。すなわち、複数の独立変位可能な変位部３４ａが1つの板状の連結取付部３３で連結されているため、連結取付部３３を移動させるだけで、複数の変位部３４ａを個々に変位させることが可能となっている。
【００１４】
変位部３４ａには溝部３４ｂが形成され、この溝部につかみ部３２の一端が夫々固定されている。つかみ部３２は、開閉することにより細長材２０を挟持及び解除可能な挟部材３６と、挟部材３６に対して摺動運動することで挟部材３６を開閉させるロック部３７と、ロック部３７を付勢する弾性部としてのコイルスプリング３８を備えたコレットチャック構造を有している。
【００１５】
図５に示す挟部材３６は、その先端に設けられ互いに離間または近接する２つの部材を備えた開閉可能な把持部３６ａと、細長い棒状の支持棒３６ｂとを備えている。この支持棒３６ｂの基端側が溝部３４ｂに挿通固定されている。把持部３６ａの外面はテーパ状に形成されている。
【００１６】
図６に示すロック部３７は、把持部３６ａを収容可能な収容部３７ａと、細長い孔部３７ｂとを備え、この孔部３７ｂ内に支持棒３６ｂが挿通されている。図１０に示すように、ロック部３７は支持棒３６ｂの軸心方向に、挟部材３６を押圧する第１の位置Ａと挟部材３６から退避する第２の位置Ｂとの間で摺動移動可能である。ロック部３７が第１の位置Ａにあるとき、テーパ状の収容部３７ａによって把持部３６ａの外面が押圧されて近接し、挟部材３６が閉状態となるとともに、ロック部３７が第２の位置Ｂにあるときには把持部３６ａが開放され、挟部材３６の把持状態が解除される開状態となる。ロック部３７の上部には後述するフック部材４０が係合する被係合部としての爪部３７ｃが形成されている。
【００１７】
支持棒の基端部側の周囲には弾性部として、図７に示すコイルスプリング３８が配されている。このコイルスプリング３８は、圧縮された状態で配され、その弾性復元力によりロック部３７を挟部材３６の先端側方向に付勢する機能を有する。初期状態において、このコイルスプリング３８の付勢力により、ロック部３７が第１の位置Ａに配置し、挟部材３６が閉状態に維持されている。
【００１８】
ロック部３７は、図１０に示すように、後述するフック部材４０を介して爪部３７ｃを基端側に移動させる力が加わると、上記付勢力に抗って支持棒３６ｂの基端側に摺動移動する。ロック部が第２の位置Ｂにあるときは、挟部材３６の把持部３６ａが解放されるため、把持部同士が離間する開状態となる。なお、挟部材３６、ロック部３７、コイルスプリング３８はいずれもその幅が１ｍｍ以上に設定されている。複数のつかみ部３２は全て同形状に構成され、複数の変位部３４ａに夫々固定されたつかみ部３２は図中Ｙ方向で示す細長材２０の幅方向に連なるように並列配置されている。したがって複数の爪部３７ｃも同様に細長材２０の幅方向に並列され、かつ、複数のロック部３７の摺動方向は平行である。
【００１９】
次に本実施形態にかかる処理方法を説明する。まず、図１０に示される初期状態において、引張機構部３０は図１０中左側方向に示される他端部側に寄って配置され、細長材２０から退避している。このときロック部３７は第１の位置Ａにあり、細長材２０の一端部２０ａは固定部１１に固定され、細長材２０の他端部２０ｂは開放されている。
【００２０】
この引張機構部３０において、爪部３７ｃから変位部３４ａに渡って移動用ジグとしてのフック部材４０を取り付ける。図８に示すフック部材４０はアルミなどの金属板が屈曲されて略コ字状を成し、爪部３７ｃと変位部３４ａとに係止されることで、コイルスプリング３８の勢力に抗ってロック部３７を移動させ、爪部３７ｃと変位部３４ａとの距離をロック部３７が第２の位置Ｂに配されるように保つ機能を有する。このフック取付状態ではロック部３７は挟部材３６から退避しており、挟部材３６が開状態となる。なお、フック部材４０は図中Ｘで示す摺動方向と直交するＹ方向に一様に構成され、複数の爪部３７ｃはこの摺動方向と直交するＹ方向に連なって一列に配置されているため、１つのフック部材４０により複数の爪部３７ｃを引っ掛けてロック部３７を摺動移動させることにより、同時に複数の把持部３６ａを開閉できる。
【００２１】
ついで図１１に示すように、引張機構部３０を、収容部１２において一端部側寄りに移動させ、開状態の把持部３６ａの間に細長材２０の他端部２０ｂを配置する。この後、フック部材４０を取り除くことによりロック部３７が第２の位置Ｂに退避する。これに伴って把持部３６ａが閉状態となり、多数の細長材２０が一括に把持される（把持工程）。
【００２２】
細長材２０が把持部３６ａに把持された状態において、図１２に示すように変形部材３１の連結取付部３３を収容部１２の基端側に寄せ、テーブル部１０にネジで固定する。これにより曲変形部３４が夫々変形し、個々の細長材２０の伸びに応じた適切な張力が付与される（引張工程）。
【００２３】
細長材２０に張力が付与された状態で、図１３に示すように、引張機構部３０の上方のターゲットと向かい合う側からカバー１３を被せ、処理部１００によって所定の処理、例えば表面改質、成膜、洗浄、計測などが行われる。（処理工程）。このとき、各細長材２０の熱による変形は、夫々の曲変形部３４で吸収されるため、細長材２０が浮き上がることが無く、適切に処理される。
【００２４】
成膜が終了したら、図１４に示すように、カバー１３を外し、連結取付部３３と変位部３４ａとの間にストッパ４１を挿入する（ストッパ挿入工程）。このストッパ４１の挿入により、曲変形部３４の形状が維持される。この状態で、細長材２０の一端部２０ａの固定を開放する。このとき、ストッパ４１により曲げ変形部の形状が維持されていることにより、過大な力が掛かるのが防止される。
【００２５】
この状態で、図１５に示すように複数のロック部３７にフック部材４０を取付け、ロック部３７を第１の位置Ａに移動させ、挟部材３６を開状態とし、細長材２０の他端部２０ｂを開放する（開放工程）。最後に、ストッパ４１を引き抜くと、図１６に示されるように、引張機構部３０が初期状態に戻る（ストッパ引抜工程）。
【００２６】
本実施形態にかかる処理装置１および引張機構部３０は以下に掲げる効果を奏する。すなわち、先端が分割されて独立に変位可能な変位部３４ａを有する変形部材３１を用いたことにより、複数の処理対象物に対応して夫々異なる適切な引張力を付与することができる。したがって、複数の処理対象物の熱変形等による寸法の差を吸収することができる。また、これらの複数の変位部３４ａを有する複数の曲変形部３４は連結取付部３３によって一体となっており、変形部材３１を移動させるだけで全ての変位部３４ａに対して独立した引張力を付与できるため、複数の処理対象物に適用した場合の作業が単純である。
【００２７】
つかみ部３２にコレットチャック構造を適用したことにより、細長い短冊状の処理対象物をしっかり固定することができるとともに、容易にロックを解除することができる。爪部３７ｃの位置、形状、ロック部３７の移動方向等が揃っているため、単純な構造の１つのフック部材４０により全ての挟部材３６の開閉をまとめて操作することが可能である。
【００２８】
なお、本実施形態の処理装置１において数種類の変形部材を選択的に用いることで、最大張力等を設定可能に構成しても良い。
【００２９】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の１実施形態にかかる処理装置の一部を示す斜視図。
【図２】同処理装置の一部を示す平面図。
【図３】同処理装置の一部を示す側面図。
【図４】本発明の１実施形態にかかる変形部材の斜視図。
【図５】同実施形態にかかる挟部材の斜視図。
【図６】同実施形態にかかるロック部の斜視図。
【図７】同実施形態にかかるコイルスプリングの斜視図。
【図８】同実施形態にかかるフック部材の斜視図。
【図９】同実施形態にかかるストッパの斜視図。
【図１０】同実施形態にかかる処理装置を用いた処理方法における初期状態を示す側面図。
【図１１】同処理方法における把持工程を示す側面図。
【図１２】同処理方法における引張工程を示す側面図。
【図１３】同処理方法における処理工程を示す側面図。
【図１４】同処理方法におけるストッパ挿入工程を示す側面図。
【図１５】同処理方法における開放工程を示す側面図。
【図１６】同処理方法におけるストッパ引抜工程を示す側面図。
【符号の説明】
【００３１】
１…処理装置、１０…テーブル部、１０ａ…一端部、１０ｂ…他端部、
１１…収容部１２…固定部、１３…カバー、２０…細長材、２０ａ…一端部、
２０ｂ…他端部、３０…引張機構部、３１…変形部材、３１ａ…スリット、３２…つかみ部、３３…連結取付部、３４…曲変形部、３４ａ…変位部、３４ｂ…溝部、３５…長孔、
３６…挟部材、３６ａ…把持部、３６ｂ…支持棒、３７…ロック部、３７ａ…収容部、
３７ｂ…孔部、３７ｃ…爪部、３８…コイルスプリング、４０…フック部材、
４１…ストッパ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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