(57)【要約】【課題】道具を用いること無く、容器から半導体ウェハを取り出すことができる半導体ウェハ容器を提供するものである。【解決手段】本発明の半導体ウェハ容器は、容器本体１と、その容器本体１に着脱自在に取付けられる蓋２とで構成され、内部に１枚の半導体ウェハ３を収納する収納部７を有するものであり、容器本体１と蓋２が、半導体ウェハ３の平面と水平な方向に二分割される構造である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と、その容器本体に着脱自在に取付けられる蓋とで構成され、内部に１枚の半導体ウェハを収納する収納部を有する半導体ウェハ容器において、上記容器本体と上記蓋が、上記半導体ウェハの平面と水平な方向に二分割される構造であることを特徴とする半導体ウェハ容器。
【請求項２】
上記収納部が円盤状の中空部であり、その収納部の周縁面がテーパ状の凹溝に形成された請求項１記載の半導体ウェハ容器。
【請求項３】
上記容器本体の上面と上記蓋の上面及び容器本体の下面と蓋の下面を面一に形成した請求項１又は２記載の半導体ウェハ容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、１枚の半導体ウェハを収納する半導体ウェハ容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の１枚の半導体ウェハを収納する半導体ウェハ容器は、半導体ウェハを収納する容器本体と、その容器本体を密閉する蓋を、かみ合わせにより固定する構造のものと（特許文献１）、容器本体と蓋との間に密閉性を高めるガスケットを設け、容器本体と蓋を嵌め合わせた後、留め金で固定する構造のものがある（特許文献２）。
【０００３】
一方、１枚の半導体ウェハを収納するための半導体ウェハ容器として、以前に本発明者らは、図４に示すものを提案している（特願２００６−１７０１３３）。この半導体ウェハ容器は、１枚の半導体ウェハ３を水平に収納するものであり、容器本体４と、その容器本体４の上部に取り付けられる蓋５とで構成される。容器本体４と蓋５は、収納される半導体ウェハ３の平面と垂直な方向に二分割される構造を有する。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２５３４８１号公報
【特許文献２】特開２００１−３３２６１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者らが以前に提案した半導体ウェハ容器では、収納される半導体ウェハ３が、その表面側を下にした状態で容器本体４の収納部に載せられている。
【０００６】
このため、この半導体ウェハ容器に収納された半導体ウェハ３を、別の容器や装置に移す際には、一度、半導体ウェハ３を容器本体４から持ち上げ、取り出す必要があった。よって、従来の半導体ウェハ容器では、真空ピンセットなどの道具を用いて、半導体ウェハ３を取り出したり、移し替えたりしていた。
【０００７】
そこで本発明の目的は、道具を用いること無く、容器から半導体ウェハを取り出すことができる半導体ウェハ容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、請求項１の発明は、容器本体と、その容器本体に着脱自在に取付けられる蓋とで構成され、内部に１枚の半導体ウェハを収納する収納部を有する半導体ウェハ容器において、上記容器本体と上記蓋が、上記半導体ウェハの平面と水平な方向に二分割される構造であることを特徴とする半導体ウェハ容器である。
【０００９】
請求項２の発明は、上記収納部が円盤状の中空部であり、その収納部の周縁面がテーパ状の凹溝に形成された請求項１記載の半導体ウェハ容器である。
【００１０】
請求項３の発明は、上記容器本体の上面と上記蓋の上面及び容器本体の下面と蓋の下面を面一に形成した請求項１又は２記載の半導体ウェハ容器である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、道具を用いること無く、半導体ウェハ容器から半導体ウェハを取り出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基いて説明する。
【００１３】
本発明の好適一実施の形態に係る半導体ウェハ容器は、図１に示すように、容器本体１と、その容器本体１に着脱自在に取付けられる蓋２とで構成され、内部に１枚の半導体ウェハ３を収納する収納部７を有する。
【００１４】
容器本体１と蓋２は、図２に示すように、円盤体を半導体ウェハ３の平面と水平な方向（矢印Ｈの方向）に二分割してなる構造であり、半導体ウェハ３の平面と垂直な分割面９を有し、容器本体１の上面と蓋２の上面及び容器本体１の下面と蓋２の下面は面一である。分割面９は平らではなく、分割面９における容器本体１側には、収納部７側が凹となった第１段差部１１が設けられ、また、分割面９における蓋２側には、収納部７側が凸となった第２段差部１２が設けられる。この第２段差部１２が第１段差部１１に嵌合され、蓋２が容器本体１に取付けられる。第２段差部１２及び第１段差部１１の形状は、図２に示したものに限定されるものではない。また、第２段差部１２及び第１段差部１１の段差は２段以上であってもよい。
【００１５】
また、容器本体１の収納部と蓋２の収納部を合わせて収納部７が形成され、容器本体１の収納部に半導体ウェハ３の大部分が収納され、蓋２の収納部に半導体ウェハ３の残部が収納される。収納部７は円盤状の中空部であり、その収納部７の周縁面は、図２に示すように、テーパ状の凹溝１５に形成される。このテーパ状の凹溝１５に半導体ウェハ３の外周縁が当接される。この凹溝１５としては、図１に示すＶ溝に限定するものではなく、Ｕ溝などであってもよい。
【００１６】
次に、本実施の形態の作用を説明する。
【００１７】
本実施の形態に係る半導体ウェハ容器は、図２に示すように蓋２を開けて（矢印Ｈの方向にスライド移動させて）、容器本体１から蓋２を取り外すだけで、半導体ウェハ３の一部が容器本体１から出た状態となる。このため、真空ピンセットなどの道具を用いることなく、容器本体１から半導体ウェハ３を取り出すことが可能となる。このように、容器本体１から蓋２を取り外した状態であれば、図３に示すように、容器本体１を傾けるだけで、ある容器本体（図３中では右側の容器本体）１に収納された半導体ウェハ３に触れることなく、別の容器（例えば、容器本体１や装置、図３中では左側の容器本体１）に移し替えることができる。
【００１８】
すなわち、本実施の形態に係る半導体ウエハ容器によれば、半導体ウェハ３の取り出し、移し替えを、真空ピンセットなどの道具を用いることなく、迅速、簡単に行うことができ、手間がかからない。
【００１９】
また、半導体ウェハ３を収納する収納部７の周縁面には、半導体ウェハ３の外周縁を当接させるためのテーパ状の凹溝１５が形成されている。半導体ウェハ３にはある一定範囲で公差（径、厚さ）があるが、この凹溝１５を形成しておくことで、半導体ウェハ３の外周縁と収納部７が当接する位置が凹溝１５の溝面に沿って適宜変わるので、半導体ウェハ３の公差を許容することができる。このため、半導体ウェハ３にある一定範囲で公差があっても、本実施の形態に係る半導体ウェハ容器は、半導体ウェハ３をしっかりと収納、保持することができる。
【００２０】
さらに、容器本体１と蓋２の両方を半導体ウェハ３の収納空間として利用することから、図４に示した半導体ウェハ容器などと比較して、容器サイズのコンパクト化、容器厚の薄型化を図ることができる。また、容器本体１の上面と蓋２の上面及び容器本体１の下面と蓋２の下面が面一で、平らであることから、半導体ウエハ容器を重ねて配置することが可能となる。これらより、半導体ウエハ容器を重ねて配置したとしても、体積が嵩むことがない。
【００２１】
また、蓋２と容器本体１は、第２段差部１２と第１段差部１１の嵌合によって取り付けられているため、蓋２を容器本体１に取り付けた後は、半導体ウェハ容器自体が多少傾いたとしても、容器本体１から蓋２が容易に脱落することはない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の好適一実施の形態に係る半導体ウェハ容器に半導体ウェハを収納した状態を示す横断面図である。
【図２】図１の半導体ウェハ容器から蓋を取外す状態を示す横断面図である。
【図３】ある半導体ウェハ容器の容器本体に収納された半導体ウェハを、別の半導体ウェハ容器の容器本体に移す状態を示す図である。
【図４】従来の半導体ウェハ容器に半導体ウェハを収納した状態を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  容器本体
２  蓋
３  半導体ウェハ
７  収納部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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