(57)【要約】【課題】液漏れが発生した際に、素早く脱気装置への液体の供給及び排出を停止させ、脱気度の低下した液体が供給されることを防止できる脱気装置を提供すること。【解決手段】気体透過性チューブ１０２を介して液体排出口１０５へと流される液体を脱気する脱気装置１００であって、真空引き口１０３は、真空引きにより気体透過性チューブ１０２から漏れ出した漏れ液１が溜まる位置に設けられており、漏れ出した漏れ液１は、溜まることなく真空引き口１０３から吸引されることを特徴としている。これにより、脱気装置１００では、真空引き口１０３が、減圧チャンバー１０１内の漏れ液１が溜まる位置に設けられているので、減圧チャンバー１０１内で液漏れが発生した場合、漏れ液１は、自動的に真空引き口１０３へと集まることになる。そのため、漏れ出した漏れ液１を直に真空引き口１０３から吸引することができ、液漏れを素早く検知することが可能となる。【選択図】図２
2008036489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体流入口、液体排出口、及び真空引き口が設けられている減圧チャンバーと、一端が前記液体流入口に接続され、他端が前記液体排出口に接続されて前記減圧チャンバー内に収納される気体透過性チューブとを備え、
前記真空引き口から前記減圧チャンバー内を真空引きすることにより、前記減圧チャンバー内を減圧し、前記液体流入口から前記気体透過性チューブを介して前記液体排出口へと流される液体を脱気する脱気装置であって、
前記真空引き口は、真空引きにより前記気体透過性チューブから漏れ出した液体が溜まる位置に設けられており、
前記漏れ出した液体は、前記位置に溜まることなく前記真空引き口から吸引されることを特徴とする脱気装置。
【請求項２】
前記真空引き口は、前記減圧チャンバーの底面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の脱気装置。
【請求項３】
前記真空引き口は、前記底面の略中央に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の脱気装置。
【請求項４】
前記真空引き口は、前記減圧チャンバーの側面下部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の脱気装置。
【請求項５】
前記減圧チャンバーには、前記真空引き口まで液体を誘導する傾斜面が設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の脱気装置。
【請求項６】
前記減圧チャンバーの底面は擂鉢形状をしており、前記真空引き口が当該擂鉢の底部となる位置に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体の脱気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体中の溶存ガスを脱気する脱気装置のひとつに、減圧チャンバー内に気体透過性チューブを収容し、減圧チャンバーの出口に、先端部に複数の吸引孔が設けられている真空引き用管を取り付けたものがある。この脱気装置は、真空引き用管の先端部が、気体透過性チューブの最下面よりも下方に位置するようになっており、減圧チャンバー内で液漏れが生じた場合、真空引き用管の先端から漏れた液体を吸い込むことが可能となっている。そして、真空引き用管に吸い込まれた液体は、素早く出口へと到達して真空ポンプ側に吸引されるので、減圧チャンバー内に漏れた液体が満ちて気体透過性チューブが漏れた液体に浸漬されるのを防止でき、さらに、液漏れが生じたとしても減圧チャンバー内の減圧度を保持し、十分な脱気効率での脱気を保障することが可能となっている。（特許文献１）
【特許文献１】特開２０００−１４０５０６号公報（特許第３５７４５７６号）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した脱気装置は、気体透過性チューブから漏れた液体を、真空引き用管によって真空引き口まで誘導しており、減圧チャンバー内に漏れた液体が満たされなくても真空引き口を介して真空ポンプへと漏れた液体を到達させることが可能となっている。これにより、この脱気装置は、気体透過性チューブが漏れた液体に浸漬される前に、減圧チャンバー内での液漏れを感知することができ、脱気を停止することが可能となっている。そして、液漏れが生じた場合でも、減圧チャンバー内の減圧度が保持された状態で脱気を停止することが可能となるので、液漏れが発生してから脱気を停止するまでの間も、十分な脱気効率で脱気された液体を供給することが可能となっている。
【０００４】
しかしながら、この脱気装置は、真空引き用管の先端が漏れた液体によって閉ざされた状態にならなければ、真空引き口へと漏れた液体を誘導することができない。そのため、液漏れが発生した後でも、漏れた液体が減圧チャンバー内に溜まって真空引き用管の先端部が閉ざされるまで液体の供給をしばらく行うことになる。従って、流体排出口から排出される液体の量が、液漏れが発生していない場合と比べると液漏れの分低下することになる。
【０００５】
さらに、この脱気装置では、減圧チャンバー内の減圧度を保持して十分な脱気効率での脱気を保障するとされているが、液漏れが発生した場合は減圧度が必ず低下するため、脱気度の低下した液体を排出してしまうことになる。以上のように、この脱気装置は、後工程に脱気度の低下した液体を供給してしまうことになり、また、後工程に供給される液体の供給量も変化するため、後工程での不良の発生等に繋がる可能性がある。この問題は、特に、高精度で脱気された液体を必要とする装置、例えば、半導体ウエハへのフォトレジスト等の塗布装置や現像装置、液晶製造装置等に用いた場合に顕著な問題となる虞がある。
【０００６】
本発明は、上記のような種々の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、液漏れが発生した際に、素早く脱気装置への液体の供給及び排出を停止させ、脱気度の低下した液体が供給されることを防止できる脱気装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的達成のため、本発明の脱気装置では、液体流入口、液体排出口、及び真空引き口が設けられている減圧チャンバーと、一端が前記液体流入口に接続され、他端が前記液体排出口に接続されて前記減圧チャンバー内に収納される気体透過性チューブとを備え、前記真空引き口から前記減圧チャンバー内を真空引きすることにより、前記減圧チャンバー内を減圧し、前記液体流入口から前記気体透過性チューブを介して前記液体排出口へと流される液体を脱気する脱気装置であって、前記真空引き口は、真空引きにより前記気体透過性チューブから漏れ出した液体が溜まる位置に設けられており、前記漏れ出した液体は、前記位置に溜まることなく前記真空引き口から吸引されることを特徴としている。
【０００８】
これにより、本発明の脱気装置では、真空引き口が、減圧チャンバー内の漏れ出した液体が溜まる位置に設けられているので、減圧チャンバー内で液漏れが発生した場合、漏れ出した液体は、自動的に真空引き口へと集まることになる。そのため、漏れ出した液体を直に真空引き口から吸引することができ、液漏れを素早く検知することが可能となる。
【０００９】
また、本発明の脱気装置では、前記真空引き口は、前記減圧チャンバーの底面に設けられていることを特徴としている。これにより、本発明の脱気装置では、真空引き口まで漏れ出した液体を集めるのに、重力を利用することが可能となる。
【００１０】
また、本発明の脱気装置では、前記真空引き口は、前記底面の略中央に設けられていることを特徴としている。これにより、この脱気装置では、減圧チャンバー内の端部で液漏れが発生した場合でも、漏れ出した液体が真空引き口まで到達する時間を一定の範囲内に収めることが可能となり、液漏れの検出時間を一定にすることが可能となる。
【００１１】
また、本発明の脱気装置では、前記真空引き口は、前記減圧チャンバーの側面下部に設けられていることを特徴としている。これにより、本発明の脱気装置では、脱気装置を据え付ける場所の下方にスペースがとれない場合でも使用することが可能となる。
【００１２】
また、本発明の脱気装置では、前記減圧チャンバーには、前記真空引き口まで液体を誘導する傾斜面が設けられていることを特徴としている。また、本発明の脱気装置では、前記減圧チャンバーの底面は擂鉢形状をしており、前記真空引き口が当該擂鉢の底部となる位置に設けられていることを特徴としている。これにより、この脱気装置では、漏れ出した液体を真空引き口まで誘導することが可能となるので、液漏れの検出時間をさらに短縮することも可能となる。また、粘弾性の高い液体を脱気する場合でも、素早く液漏れを検知することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の第１の実施形態を、図面を参照して説明する。尚、以下に説明する実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の成立に必須であるとは限らない。
【００１４】
まず、第１の実施形態の脱気装置１００について図１、２、３を用いて説明する。図１は、第１の実施形態における脱気装置１００と、この脱気装置１００に接続される周辺装置との関係を示す図であり、図２は、上記脱気装置１００の概略断面図であり、図３は、上記脱気装置１００の機能を説明する概略図である。
【００１５】
図１に示すように、脱気装置１００は、液体供給源１０が液体流入管１１を介して接続され、液体利用装置２０が液体排出管２１を介して接続され、真空ポンプ３０が真空引き管３１を介して接続されている。また、真空引き管３１にはトラップ４０が接続されており、このトラップ４０に液体検知手段５０が接続されている。
【００１６】
液体供給源１０は、液体利用装置２０に液体を供給する装置であり、例えば、半導体ウエハ用のフォトレジスト、溶剤、現像液等の液体を貯蔵する液体タンクとこれらの液体を供給する供給ポンプを備えた装置である。
【００１７】
液体利用装置２０は、液体供給源１０から供給された液体を利用して作業を行う装置であり、例えば、半導体ウエハ用のフォトレジスト、溶剤、現像液等の液体を噴射するノズルを備えた塗布装置等である。
【００１８】
真空ポンプ３０は、脱気装置１００の内部から空気を吸引するための装置であり、回転子による回転式、ピストンによる往復式、及び補助ポンプを設け、その中で水銀または油を熱して蒸発させて噴流を作り、これによってポンプを作用させる拡散ポンプ等の種類がある。
【００１９】
トラップ４０は、真空ポンプ３０へと液体が流れ込むことを防止して、真空ポンプ３０の破損を防止するための部材である。
【００２０】
液体検知手段５０は、トラップ４０内に液体が流入したことを検知するための検知手段であり、例えば、光学式、機械式、電気式の各センサがある。また、ピトー管等を用いて使用者が目視することによって検知する検知手段もある。
【００２１】
脱気装置１００は、液体利用装置２０に供給される液体に溶存ガスが溶け込んでいるのが好ましくない場合に使用される装置であり、液体供給源１０から流入された液体を真空ポンプ３０の吸引力を利用して脱気し、脱気した液体を液体利用装置２０へと排出するための装置である。
【００２２】
このような構成において、脱気装置１００は、溶存ガスを取り除くので、液体利用装置２０は、好ましい状態の液体を利用して作業を行うことが可能となる。ただし、この脱気装置１００は、脱気を行っている最中に内部で故障や不具合が発生し、液漏れを生じる場合がある。その場合、漏れ出した液体は、真空ポンプ３０の吸引力によって吸引されてトラップ４０へと流入し、液体検知手段５０によって検知される。
【００２３】
これにより、液体検知手段５０からの検知信号により警告灯や警告音を作動させるように構成することによって、使用者は、真空ポンプ３０を停止させることができる。また、管理システムは、液体検知手段５０からの検知信号により真空ポンプ３０を停止させる制御が行われるようにシステムを構成することによって、真空ポンプ３０を停止させることができる。次に、本実施形態の脱気装置１００の構成について図２を用いて説明する。
【００２４】
図２に示すように、脱気装置１００は、減圧チャンバー１０１、気体透過性チューブ１０２を備えている。そして、気体透過性チューブ１０２は、減圧チャンバー１０１内部にコイル形状に巻かれた状態で収納されている。また、減圧チャンバー１０１は、本実施形態の特徴的な部分である真空引き口１０３、液体流入口１０４、液体排出口１０５を有しており、さらに、気体透過性チューブ１０２を液体流入口１０４、液体排出口１０５に接続するための袋ナット１０６、Ｏリング１０７が取り付けられている。
【００２５】
減圧チャンバー１０１は、形状が楕円形の円筒形状をしており、チャンバー本体１０１ａと、チャンバー蓋１０１ｂとによって略構成され、チャンバー本体１０１ａにチャンバー蓋１０１ｂを填め込むように形成されている。チャンバー本体１０１ａのチャンバー底面１０１ａａの略中央には、本実施形態の特徴的な部分である真空引き管３１が接続される真空引き口１０３が設けられており、チャンバー蓋１０１ｂには、液体流入管１１が接続される液体流入口１０４と、液体排出管２１が接続される液体排出口１０５が設けられている。
【００２６】
気体透過性チューブ１０２は、単位容積当たりの膜面積を広くするために多数本の中空糸体を集合した、樹脂材料で作成されたチューブの集合体であり、当該集合体の両端部に当たるチューブ端部１０２ａでは、多数本の中空糸体を熱溶着によって溶着している。そして、気体透過性チューブ１０２は、両端部では溶着されて位置が変更されない態様となっており、その他の部分では自由に移動することが可能な態様となっている。
【００２７】
本実施形態の特徴的な部分である真空引き口１０３は、チャンバー本体１０１ａの下部から下方に向けて飛び出している円筒形の引き口であり、真空引き口１０３の穴は、円柱形状となっている。また、真空引き口１０３は、減圧チャンバー１０１内部では、チャンバー底面１０１ａａと真空引き口１０３の穴とで段差ができないように形成されており、液体が真空引き口１０３の周囲で溜まらないようになっている。そして、真空引き口１０３には、真空引き管３１が接続され、この真空引き管３１を介して真空ポンプ３０が接続されており、真空ポンプ３０の吸引力によって真空引き口１０３から減圧チャンバー１０１内の空気が吸引されて、減圧チャンバー１０１は減圧されるようになっている。
【００２８】
液体流入口１０４は、チャンバー蓋１０１ｂから上方に向けて飛び出している円筒形の流入口であり、液体流入口１０４には、液体流入管１１が接続され、この液体流入管１１を介して液体供給源１０が接続されている。そして、液体流入口１０４は、減圧チャンバー１０１の内側に流入口オネジ部１０４ａを備えており、袋ナット１０６のナットメネジ部１０６ａと締結するようになっている。また、液体流入口１０４の穴は、液体供給源１０側の径が大きく減圧チャンバー１０１側の径が小さい中間部に絞りのある円柱形状となっており、この液体流入口１０４を通過した液体の流速を向上させることが可能となっている。
【００２９】
液体排出口１０５は、チャンバー蓋１０１ｂから上方に向けて飛び出している円筒形の排出口であり、液体排出口１０５には、液体排出管２１が接続され、この液体排出管２１を介して液体利用装置２０へと接続されている。そして、液体排出口１０５は、減圧チャンバー１０１の内側に排出口オネジ部１０５ａを備えており、袋ナット１０６のナットメネジ部１０６ａと締結するようになっている。また、液体排出口１０５の穴は、液体利用装置２０側の径が小さく減圧チャンバー１０１側の径が大きい中間部に絞りのある円柱形状となっており、この液体排出口１０５を通過した液体の流速を低下させることが可能となっている。
【００３０】
袋ナット１０６は、流入口オネジ部１０４ａ、排出口オネジ部１０５ａに取り付けられる袋ナットであり、内側にナットメネジ部１０６ａが形成され、内部に液漏れを防止するためのＯリング１０７を収納するようになっている。
【００３１】
この脱気装置１００は、以下の手順で組み立てられる。まず、気体透過性チューブ１０２のチューブ端部１０２ａに、Ｏリング１０７が収納された袋ナット１０６を通す。そして、チャンバー蓋１０１ｂを外し、液体流入口１０４、液体排出口１０５にそれぞれチューブ端部１０２ａを接触させ、流入口オネジ部１０４ａ、排出口ネオジ部１０５ａに袋ナット１０６を締結する。これによって、気体透過性チューブ１０２は、袋ナット１０６に挿入されたＯリング１０７によってチューブ端部１０２ａの接続部から液体が漏れることを防止した状態で、液体流入口１０４、液体排出口１０５に接続される。そして、チャンバー蓋１０１ｂをチャンバー本体１０１ａに填め込むことによって、気体透過性チューブ１０２を減圧チャンバー１０１内へと収納する。そして、脱気装置１００の真空引き口１０３、液体流入口１０４、液体排出口１０５に、それぞれ真空ポンプ３０、液体供給源１０、液体利用装置２０を接続する。
【００３２】
このような構成の脱気装置１００では、液体流入口１０４から気体透過性チューブ１０２に流入した液体は、減圧チャンバー１０１内部が真空ポンプ３０によって減圧されているので、気体透過性チューブ１０２内を通過している間に溶存ガスが脱気されることになる。そして、脱気された液体は、液体排出口１０５から排出される。
【００３３】
また、この脱気装置１００に流入する液体は速度が向上するが、排出される液体は速度が低下するようになっている。そのため、気体透過性チューブ１０２内部では、流入した液体は、圧力が高められることになる。これによって、脱気装置１００で脱気される液体は、効率よく溶存ガスが脱気され、排出されることが可能となっている。次に、本実施形態の脱気装置１００で液漏れが発生した場合について図３を用いて説明する。
【００３４】
図３は、脱気装置１００の気体透過性チューブ１０２が破損し、減圧チャンバー１０１内で液漏れが発生した時の漏れた液体の流れを説明するための図である。図３に示すように、脱気が行われている状態で気体透過性チューブ１０２のチューブ破損部１０２ｂで破損が発生した場合、チューブ破損部１０２ｂから漏れ液１が漏れ出す。
【００３５】
この漏れ液１は、図３に示す矢印ａのように、まず重力によって気体透過性チューブ１２０の表面を、チャンバー底面１０１ａａに向けて移動する。その後、漏れ液１は、図３に示す矢印ｂのように気体透過性チューブ１２０の表面から離れてチャンバー底面１０１ａａに落下する。
【００３６】
チャンバー底面１０１ａａに落下した漏れ液１は、真空ポンプ３０の吸引力によって、図３に示す矢印ｃのように真空引き口１０３へと引き寄せられる。そして、真空引き口１０３まで到達した漏れ液１は、図３に示す矢印ｄのように、真空引き口１０３から真空ポンプ３０側へと吸引され、真空ポンプ３０の手前にあるトラップ４０に収容される。そして、このトラップ４０に到達した漏れ液１は、液体検知手段５０によって検知される。
【００３７】
つまり、本実施形態の脱気装置１００は、真空引き口１０３が、漏れ液１が重力によって落下するチャンバー底面１０１ａａに設けられているので、漏れ液１を重力と真空ポンプ３０との吸引力によってトラップ４０へと導くことが可能となる。
【００３８】
そのため、減圧チャンバー１０１内で液漏れが発生した場合、漏れ液１は、減圧チャンバー１０１内に溜まることなく、直ちにトラップ４０へと導かれることになる。これにより、脱気装置１００では、減圧チャンバー１０１内で液漏れが発生したことを直ぐに検知することが可能となり、液漏れが発生した場合には直ちに脱気装置１００を停止させることが可能となる。そして、脱気度の低下した液体を排出することを低減することが可能となるので、後工程での不良の発生等を低減させることが可能となる。
【００３９】
なお、図３では、気体透過性チューブ１０２の中間部が破損して液体が漏れ出す場合について説明したが、これは、あくまで一例であり、本実施形態の脱気装置１００では、他の箇所、例えば、袋ナット１０６や、気体透過性チューブ１０２の上部等から液漏れが発生した場合でも、直ぐに液漏れを検知して脱気装置１００を停止させることが可能である。
【００４０】
次に、本発明の第２の実施形態について図４を用いて説明する。図４は、本発明の第２の実施形態における脱気装置２００を、図２に対応させて示す図であり、同一構成箇所については、同一番号を付し説明を省略する。この脱気装置２００は、減圧チャンバー２０１、気体透過性チューブ１０２、真空引き口２０３、液体流入口１０４、液体排出口１０５、袋ナット１０６、Ｏリング１０７を備えている点で、第１の実施形態の脱気装置１００と同一であるが、真空引き口２０３は、第１の実施形態と異なるのでこの点についてのみ説明する。この脱気装置２００も、図１に示す脱気装置１００と同様の周辺装置に接続される。
【００４１】
本実施形態の特徴的な部分である真空引き口２０３は、チャンバー本体２０１ａのチャンバー側面下部２０１ａｂから側方に向けて飛び出している円筒形の引き口であり、真空引き口２０３の穴は、円柱形状となっている。また、真空引き口２０３は、減圧チャンバー２０１内部では、チャンバー底面２０１ａａと真空引き口２０３の穴とで段差ができないように形成されており、液体が真空引き口２０３の周囲で溜まらないようになっている。そして、真空引き口２０３には、真空引き管３１が接続され、この真空引き管３１を介して真空ポンプ３０が接続されており、真空ポンプ３０の吸引力によって真空引き口２０３から減圧チャンバー２０１内の空気が吸引されて、減圧チャンバー２０１は減圧されるようになっている。
【００４２】
このような構成の脱気装置２００は、チャンバー側面下部２０１ａｂに設けられている真空引き口２０３の穴が、チャンバー底面２０１ａａと段差のできないように形成されているので、重力によってチャンバー底面２０１ａａへと落下した漏れ液１を重力と真空ポンプ３０との吸引力によってトラップ４０へと導くことが可能となる。
【００４３】
そのため、減圧チャンバー２０１内で液漏れが発生した場合、漏れ液１は、減圧チャンバー２０１内に溜まることなく、直ちにトラップ４０へと導かれることになる。これにより、脱気装置２００では、減圧チャンバー２０１内で液漏れが発生したことを直ぐに検知することが可能となり、液漏れが発生した場合には直ちに脱気装置２００を停止させることが可能となる。そして、脱気度の低下した液体を排出することを低減することが可能となるので、後工程での不良の発生等を低減させることが可能となる。
【００４４】
また、第２の実施形態の脱気装置２００は、真空引き口２０３がチャンバー本体２０１ａのチャンバー側面下部２０１ａｂから側方に向けて飛び出している。そのため、脱気装置２００は、脱気装置を直接床等に設置しなければならない場所にも、設置することができ、本願の特徴的な作用を奏することが可能となる。
【００４５】
次に、本発明の第３の実施形態について図５を用いて説明する。図５は、本発明の第３の実施形態における脱気装置３００を、図２に対応させて示す図であり、同一構成箇所については、同一番号を付し説明を省略する。この脱気装置３００は、減圧チャンバー３０１、気体透過性チューブ１０２、真空引き口３０３、液体流入口１０４、液体排出口１０５、袋ナット１０６、Ｏリング１０７を備えている点で、第１の実施形態の脱気装置１００と同一であるが、減圧チャンバー３０１のチャンバー底面３０１ａａは、第１の実施形態と異なるのでこの点についてのみ説明する。この脱気装置３００も、図１に示す脱気装置１００と同様の周辺装置に接続される。
【００４６】
減圧チャンバー３０１のチャンバー底面３０１ａａは、上方からみると形状が楕円形をしており、略中央に真空引き管３１が接続される真空引き口３０３が設けられている。そして、このチャンバー底面３０１ａａは、減圧チャンバー３０１のチャンバー本体３０１ａの内周部から真空引き口３０３に向けて傾斜した、傾斜面を有している。
【００４７】
このような構成の脱気装置３００は、真空引き口３０３が、漏れ液１が重力によって落下するチャンバー底面３０１ａａに設けられており、さらに、チャンバー底面３０１ａａが、真空引き口３０３へ向けて傾斜した傾斜面を有しているので、漏れ液１を重力と真空ポンプ３０との吸引力と、チャンバー底面３０１ａａとによってトラップ４０へと導くことが可能となる。
【００４８】
そのため、減圧チャンバー３０１内で液漏れが発生した場合、漏れ液１は、減圧チャンバー３０１内に溜まることなく、直ちにトラップ４０へと導かれることになる。これにより、脱気装置３００では、減圧チャンバー３０１内で液漏れが発生したことを直ぐに検知することが可能となり、液漏れが発生した場合には直ちに脱気装置３００を停止させることが可能となる。そして、脱気度の低下した液体を排出することを低減することが可能となるので、後工程での不良の発生等を低減させることが可能となる。
【００４９】
また、第３の実施形態の脱気装置３００は、チャンバー底面３０１ａａが傾斜していることから漏れた液体の粘性が高く真空ポンプ３０の吸引力で吸引し難い場合でも、漏れた液体を重力とチャンバー底面３０１ａａの傾斜面とによって、真空引き口３０３へと誘導することができる。従って、脱気装置３００は、粘性の高い液体を脱気する場合でも直に減圧チャンバー３０１内での液漏れを検知して脱気を停止することができる。
【００５０】
次に、本発明の第４の実施形態について図６を用いて説明する。図６は、本発明の第４の実施形態における脱気装置４００を、図４に対応させて示す図であり、同一構成箇所については、同一番号を付し説明を省略する。この脱気装置４００は、減圧チャンバー４０１、気体透過性チューブ１０２、真空引き口４０３、液体流入口１０４、液体排出口１０５、袋ナット１０６、Ｏリング１０７を備えている点で、第２の実施形態の脱気装置１００と同一であるが、減圧チャンバー４０１のチャンバー底面４０１ａａは、第２の実施形態と異なるのでこの点についてのみ説明する。この脱気装置４００も、図１に示す脱気装置１００と同様の周辺装置に接続される。
【００５１】
減圧チャンバー４０１のチャンバー底面４０１ａａは、形状が楕円形をしており、チャンバー本体４０１ａのチャンバー側面下部４０１ａｂに真空引き口４０３が設けられている。そして、このチャンバー底面４０１ａａは、減圧チャンバー４０１のチャンバー本体４０１ａの内周部から真空引き口４０３に向けて傾斜した、傾斜面を有している。
【００５２】
このような構成の脱気装置４００は、チャンバー側面下部４０１ａｂに設けられている真空引き口４０３の穴が、チャンバー底面４０１ａａと段差のできないように形成されており、さらに、チャンバー底面４０１ａａが、真空引き口４０３へ向けて傾斜した傾斜面を有しているので、漏れ液１を重力と真空ポンプ３０との吸引力と、チャンバー底面４０１ａａによってトラップ４０へと導くことが可能となる。
【００５３】
そのため、減圧チャンバー４０１内で液漏れが発生した場合、漏れ液１は、減圧チャンバー４０１内に溜まることなく、直ちにトラップ４０へと導かれることになる。これにより、脱気装置４００では、減圧チャンバー４０１内で液漏れが発生したことを直ぐに検知することが可能となり、液漏れが発生した場合には直ちに脱気装置４００を停止させることが可能となる。そして、脱気度の低下した液体を排出することを低減することが可能となるので、後工程での不良の発生等を低減させることが可能となる。
【００５４】
また、第４の実施形態の脱気装置４００は、第２の実施形態の特徴部分と、第３の実施形態の特徴部分とを併せ持つので、第２、第３の実施形態の特徴的な作用を併せて奏することが可能となっている。
【００５５】
次に、本発明の第５の実施形態について図７を用いて説明する。図７は、本発明の第５の実施形態における脱気装置５００のチャンバー底面５０１ａａを示す図であり、第１の実施形態の脱気装置１００と、同一構成箇所については、同一番号を付し説明を省略する。この脱気装置５００は、減圧チャンバー５０１、気体透過性チューブ１０２、真空引き口５０３、液体流入口１０４、液体排出口１０５、袋ナット１０６、Ｏリング１０７を備えている点で、第１の実施形態の脱気装置１００と同一であるが、減圧チャンバー５０１のチャンバー底面５０１ａａは、第１の実施形態と異なるのでこの点についてのみ説明する。この脱気装置５００も、図１に示す脱気装置１００と同様の周辺装置に接続される。
【００５６】
減圧チャンバー５０１のチャンバー底面５０１ａａは、上方からみると、形状が楕円形をしており、略中央には真空引き管３１が接続される真空引き口５０３が設けられている。そして、このチャンバー底面５０１ａａは、減圧チャンバー５０１のチャンバー本体５０１ａの内周部から真空引き口５０３に向けて窪んだ擂鉢形状を有しており、この擂鉢の底部となる位置に真空引き口５０３が形成されている。そして、このチャンバー底面５０１ａａは、減圧チャンバー５０１のチャンバー本体５０１ａの内周部から真空引き口５０３に向けて溝５０１ｃが４本、十字形状で形成されており、この溝５０１ｃは、真空引き口５０３へと繋がっている。
【００５７】
このような構成の脱気装置５００でも、真空引き口５０３が、漏れ液１が重力によって落下するチャンバー底面５０１ａａに設けられており、さらに、チャンバー底面５０１ａａが、真空引き口５０３へ向けて傾斜した擂鉢形状を有しており、さらに、チャンバー底面５０１ａａには、真空引き口５０３へ向けて溝５０１ｃが形成されているので、漏れ液１を重力と真空ポンプ３０との吸引力と、チャンバー底面５０１ａａと、溝５０１ｃとによってトラップ４０へと導くことが可能となっている。
【００５８】
そのため、減圧チャンバー５０１内で液漏れが発生した場合、漏れ液１は、減圧チャンバー５０１内に溜まることなく、直ちにトラップ４０へと導かれることになる。これにより、脱気装置５００では、減圧チャンバー５０１内で液漏れが発生したことを直ぐに検知することが可能となり、液漏れが発生した場合には直ちに脱気装置５００を停止させることが可能となる。そして、脱気度の低下した液体を排出することを低減することが可能となるので、後工程での不良の発生等を低減させることが可能となる。
【００５９】
また、第５の実施形態の脱気装置５００は、チャンバー底面５０１ａａが擂鉢形状に傾斜していることから漏れた液体の粘性が高く真空ポンプ３０の吸引力で吸引し難い場合でも、漏れた液体を重力とチャンバー底面５０１ａａの傾斜面とによって、真空引き口５０３へと誘導することができる。また、溝５０１ｃに真空ポンプ３０の吸引力を作用させて、吸引力の集中する場所を増やし、漏れた液体を誘導することも可能となる。従って、脱気装置５００では、粘性の高い液体を脱気する場合でも直に減圧チャンバー５０１内での液漏れを検知して脱気を停止することが可能となる。
【００６０】
なお、本発明の実施形態の減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１は、楕円形の円筒となっていたが、この形状に限定されるものではない。例えば、円筒形状でも構わないし、円筒形状の場合には、チャンバー蓋はネジ込み式で取り付けられても構わない。
【００６１】
また、本発明の実施形態の液体検出手段５０は、トラップ４０に接続されていたが、本発明の液体検出装置は、真空引き口に接続されていても構わない。この場合、液漏れをさらに早く検知することも可能となる。
【００６２】
また、本発明の実施形態の真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３は、それぞれ減圧チャンバーに一つずつ設けられていたが、減圧チャンバーに２つ以上設けられていても構わない。また、脱気装置の装着状態により、チャンバー蓋に設けられていても構わないが、その場合には、チャンバー蓋側に漏れた液体が重力によって溜まるようにする必要がある。これにより、本発明の脱気装置では、２機以上の真空ポンプで吸引することが可能となる。
【００６３】
また、本発明の実施形態の溝５０１ｃは、擂鉢形状のチャンバー底面５０１ａａに設けられていたが、これに限定されるものではない。例えば、チャンバー底面３０１ａａのような傾斜面に設けても構わないし、チャンバー底面１０１ａａのような平面に設けても構わない。また溝の本数も、１〜３、若しくは４以上でも構わないし、溝の形状も十字に限定されるものではなく、例えば、８方向に延びていてもよい。また、それぞれの溝が連結していても構わない。
【００６４】
また、本発明の実施形態では、チャンバー底面５０１ａａは、チャンバー本体５０１ａの内周部から略中央に向けて窪んだ擂鉢形状となっていたが、逆に、チャンバー本体５０１ａの内周部から略中央部に向けて盛り上がる逆擂鉢形状でも構わない。ただし、その場合には真空引き口がチャンバー側面下部に設けられている必要がある。
【００６５】
また、本発明の実施形態では、真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３には、真空ポンプ３０と、吸引された液体が真空ポンプ３０に吸引されることを防止するトラップ４０とが接続されており、漏れ出した液体を検知する液体検知手段４０が接続されているので、真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３によって漏れ液１を吸引するだけで、減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１内での液漏れを検知することが可能となる。
【００６６】
以上、第１〜５の実施形態の脱気装置１００、２００、３００、４００、５００では、液体流入口１０４、液体排出口１０５、及び真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３が設けられている減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１と、一端が前記液体流入口１０４に接続され、他端が前記液体排出口１０５に接続されて前記減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１内に収納される気体透過性チューブ１０２とを備え、前記真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３から前記減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１内を真空引きすることにより、前記減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１内を減圧し、前記液体流入口１０４から前記気体透過性チューブ１０２を介して前記液体排出口１０５へと流される液体を脱気する脱気装置１００、２００、３００、４００、５００であって、前記真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３は、真空引きにより前記気体透過性チューブ１０２から漏れ出した液体が溜まる位置に設けられており、前記漏れ出した液体は、前記位置に溜まることなく前記真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３から吸引されることを特徴としている。
【００６７】
これにより、本実施形態の脱気装置１００、２００、３００、４００、５００では、真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３は、減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１内の漏れ出した液体が溜まる位置に設けられているので、減圧チャンバー１０１、２０１、３０１、４０１、５０１内で液漏れが発生した場合、漏れ出した液体は、自動的に真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３へと集まることになる。そのため、漏れ出した液体を直に真空引き口１０３、２０３、３０３、４０３、５０３から吸引することができ、液漏れを素早く感知することが可能となる。
【００６８】
また、本実施形態の脱気装置１００、３００、５００では、前記真空引き口１０３、３０３、５０３は、前記減圧チャンバー１０１、３０１、５０１のチャンバー底面１０１ａａ、３０１ａａ、５０１ａａに設けられていることを特徴としている。これにより、本実施形態の脱気装置１００、３００、５００では、真空引き口１０３、３０３、５０３まで漏れ出した液体を集めるのに、重力を利用することが可能となる。
【００６９】
また、本実施形態の脱気装置１００、３００、５００では、前記真空引き口１０３、３０３、５０３は、前記チャンバー底面１０１ａａ、３０１ａａ、５０１ａａの略中央に設けられていることを特徴としている。これにより、この脱気装置１００、３００、５００では、減圧チャンバー１０１、３０１、５０１内の端部で液漏れが発生した場合でも、漏れ出した液体が真空引き口１０３、３０３、５０３まで到達する時間を一定の範囲内に収めることが可能となり、液漏れの検出時間を一定にすることが可能となる。
【００７０】
また、本実施形態の脱気装置２００、４００では、前記真空引き口２０３、４０３は、前記減圧チャンバー２０１、４０１の側面下部に設けられていることを特徴としている。これにより、本実施形態の脱気装置２００、４００では、脱気装置２００、４００を据え付ける場所の下方にスペースがとれない場合でも使用することが可能となる。
【００７１】
また、本実施形態の脱気装置３００、４００、５００では、前記減圧チャンバー３０１、４０１、５０１には、前記真空引き口３０３、４０３、５０３まで液体を誘導する傾斜面が設けられていることを特徴としている。また、本実施形態の脱気装置５００では、前記減圧チャンバー５０１のチャンバー底面５０１ａａは擂鉢形状をしており、前記真空引き口５０３が当該擂鉢の底部となる位置に設けられていることを特徴としている。また、本実施形態の脱気装置５００では、前記減圧チャンバー５０１には、前記漏れ出した液体を前記真空引き口５０３に誘導する溝５０１ｃが設けられていることを特徴としている。これにより、この脱気装置３００、４００、５００では、漏れ出した液体を真空引き口３０３、４０３、５０３まで誘導することが可能となるので、液漏れの検出時間をさらに短縮することも可能となる。また、粘弾性の高い液体を脱気する場合でも、素早く液漏れを検知することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明の脱気装置は、脱気された液体を必要とする機器であれば、どのような機器でも適用可能である。例えば、半導体ウエハへのフォトレジスト等の塗布装置や現像装置、液晶製造装置に使用される液体の脱気装置にも適用可能である。特に、高精度の脱気性能を必要とする機器に適用した場合に大きな効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】第１の実施形態における脱気装置１００と周辺装置との関係図である。
【図２】第１の実施形態における脱気装置１００の概略断面図である。
【図３】第１の実施形態における脱気装置１００の機能説明図である。
【図４】第２の実施形態における脱気装置２００の概略断面図である。
【図５】第３の実施形態における脱気装置３００の概略断面図である。
【図６】第４の実施形態における脱気装置４００の概略断面図である。
【図７】第５の実施形態における脱気装置５００の概略断面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  漏れ液、
１０  液体供給源、
１１  液体流入管、
２０  液体利用装置、
２１  液体排出管、
３０  真空ポンプ、
３１  真空引き管、
４０  トラップ、
５０  液体検知手段、
１００、２００、３００、４００、５００  脱気装置、
１０１、２０１、３０１、４０１、５０１  減圧チャンバー、
１０１ａ、２０１ａ、３０１ａ、４０１ａ、５０１ａ  チャンバー本体、
１０１ｂ  チャンバー蓋、
１０１ａａ、２０１ａａ、３０１ａａ、４０１ａａ、５０１ａａ  チャンバー底面、
１０２  気体透過性チューブ、
１０２ａ  チューブ端部、
１０２ｂ  チューブ破損部、
１０３、２０３、３０３、４０３、５０３  真空引き口、
１０４  液体流入口、
１０４ａ  流入口オネジ部、
１０５  液体排出口、
１０５ａ  排出口オネジ部、
１０６  袋ナット、
１０６ａ  ナットメネジ部、
１０７  Ｏ−リング、
２０１ａｂ、４０１ａｂ  チャンバー側面下部、
５０１ｃ  溝、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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