(57)【要約】【課題】試料の高さ情報を取得する範囲の手動での設定を、容易かつ短時間に行えるようにする。【解決手段】対物レンズ７は、試料８に面して配置されている。試料８へレーザ光を照射したときに試料８で反射して対物レンズ７を通過する反射光は集光レンズ９及びピンホール１０した後に検出器１１で検出される。コントローラ１２は、この反射光から試料８の共焦点画像を形成する。Ｚステージ１４は、対物レンズ７をその光軸方向に移動させて試料８に対する対物レンズ７の焦点位置を変化させる。コントローラ１２は、マウス１６に対する操作によって行われる、Ｚステージ１４による焦点位置の変化範囲の設定を取得すると、当該設定に係る対物レンズ７の焦点位置の変化範囲と、当該焦点の現在の位置との相対的な位置関係をモニタ１５に表示する。【選択図】      図１
2008122599.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に面して配置される対物レンズと、
試料へレーザ光を照射したときに該試料で反射して前記対物レンズを通過する反射光より、該試料の共焦点画像を形成する共焦点画像形成部と、
前記試料若しくは前記対物レンズのどちらかを該対物レンズの光軸方向に移動させて該試料に対する該対物レンズの焦点位置を変化させる移動機構と、
前記移動機構による前記焦点位置の変化範囲の設定を取得する変化範囲設定取得部と、
前記変化範囲設定取得部により取得され設定された前記焦点位置の変化範囲と、現在の該焦点位置との相対的な位置関係を表示する表示部と、
を有することを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項２】
前記表示部は、前記設定された前記焦点位置の変化範囲を示す２つの境界位置を、前記現在の焦点位置を基準としたときの偏差として、数値で表示することを特徴とする請求項１に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項３】
前記表示部は、前記設定された前記焦点位置の変化範囲と、前記現在の焦点位置との相対的な位置関係を表現した図を表示することを特徴とする請求項１に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項４】
前記現在の焦点位置が、前記設定された該焦点位置の変化範囲内に位置している場合には、前記表示部は、直線状に配置された３つの指標を含む図であって、該３つの指標のうちの両端のものを、該変化範囲を示す２つの境界位置に各々対応させ、且つ、該３つの指標のうちの中央のものを、該現在の焦点位置に対応させた該図を表示することを特徴とする請求項３に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項５】
前記現在の焦点位置が、前記設定された該焦点位置の変化範囲外に位置している場合には、前記表示部は、直線状に配置された３つの指標を含む図であって、該３つの指標のうちの隣接する２つのものを、該変化範囲を示す２つの境界位置に各々対応させ、且つ、該３つの指標のうちの残りのものを、該現在の焦点位置に対応させた該図を表示することを特徴とする請求項３に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項６】
前記表示部は、前記３つの指標の配置間隔の比率を、前記境界位置の各々と前記現在の焦点位置との比率に対応させた前記図を表示することを特徴とする請求項４又は５に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項７】
前記表示部は、前記３つの指標のうち、前記変化範囲を示す２つの境界位置に各々対応させた２つの指標の間の領域と、該現在の焦点位置に対応させた指標から該領域までの領域とに、相異なる色彩を付した前記図を表示することを特徴とする請求項５に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項８】
前記表示部は、前記変化範囲取得部による前記焦点位置の変化範囲の設定の取得が始まると連動して前記相対的な位置関係の表示を開始することを特徴とする請求項１に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項９】
前記図に対して指定される位置の指示を取得する位置指示取得部と、
前記移動機構を制御して、前記対物レンズの焦点位置を前記指示に対応する位置へ移動させる制御部と、
を更に有することを特徴とする請求項３に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項１０】
前記移動機構を制御して、前記変化範囲設定取得部により取得された前記変化範囲内で前記対物レンズの焦点位置を順次移動させる制御部を更に有しており、
前記表示部は、前記制御部での制御による前記対物レンズの焦点位置の移動に連動して、前記相対的な位置関係の表示を更新する、
ことを特徴とする請求項１に記載の共焦点レーザ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は顕微鏡技術に関し、特に、試料からの反射光から試料の表面情報を測定する共焦点レーザ顕微鏡の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
共焦点レーザ顕微鏡は、レーザ光を試料上で二次元走査させたときに当該試料で反射した光を共焦点絞り（ピンホール）上に集光させた後、この共焦点絞りを通過した光の強度を検出することによって、当該試料の表面情報を共焦点画像として取得するというものである。この共焦点レーザ顕微鏡を用いると、試料の高さ情報を得ることができる。そのためには、試料の位置を光軸方向に移動させながら当該試料の共焦点画像を共焦点レーザ顕微鏡で順次取得し、試料の各点において共焦点絞りを通過した光の強度が最大であるときの試料の位置をこれらの共焦点画像に基づいて検出すればよい。
【０００３】
ところで、共焦点レーザ顕微鏡で共焦点画像を順次取得するときに試料を移動させる範囲は、使用者が事前に画像を見ながら設定する必要がある。一般に、共焦点画像は焦点深度が非常に浅いため、試料の位置が焦点位置から外れてしまうと、試料の位置に対して光軸方向のどちらの方向に焦点位置が存在しているのかが分からなくなってしまうことがある。このため、試料の形状によっては、試料の移動範囲の設定作業中に、設定しようとする移動範囲と現在位置との関係が分からなくなってしまうと、この作業が非常に煩わしいものとなる。
【０００４】
この点に関し、例えば特許文献１には、移動範囲の設定を自動化して設定作業の煩わしさを軽減する技術が開示されている。この技術では、移動範囲の境界を設定するために、所定の明るさ以下となる画面中の画素数が所定の値以上となった共焦点画像を取得したときの試料の位置を検出する。つまり、この技術は、画面の大部分が真っ暗である共焦点画像を取得したときの試料の位置を検出して移動範囲を設定するというものである。
【特許文献１】特開平６−３０８３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上掲した特許文献１の技術には、以下のような問題がある。
今、試料の断面形状が図１５のグラフに示されている形状である場合を考える。なお、この図における縦軸方向が光軸方向である。
【０００６】
このような試料では、図中に示した、Ａ、Ｂ、Ｃのいずれの位置においての共焦点画像も、画面の大部分が真っ暗なものとなる。従って、移動範囲の境界の探索をＡの位置から上方向に開始した場合には、Ｂの位置を移動範囲の上限値と認識してしまう。すると、本来であれば上限位置として設定すべきＣの位置が移動範囲外となってしまう。つまり、特許文献１の技術では、試料形状によっては範囲設定が不適切なものとなってしまうため、手動での設定を余儀なくされる場合がある。
【０００７】
また、特許文献１の技術を用いた試料の移動範囲の自動設定では、共焦点画像を１枚ずつ取得しながら移動範囲の境界を探索していくため、作業時間自体が短縮されることはなく、寧ろ、手動による設定の方が、作業時間が短くなる場合も少なくない。
【０００８】
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、試料の高さ情報を取得する範囲の手動での設定を、容易かつ短時間に行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の態様のひとつである共焦点レーザ顕微鏡は、試料に面して配置される対物レンズと、試料へレーザ光を照射したときに該試料で反射して対物レンズを通過する反射光より、該試料の共焦点画像を形成する共焦点画像形成部と、試料若しくは対物レンズのどちらかを該対物レンズの光軸方向に移動させて該試料に対する該対物レンズの焦点位置を変化させる移動機構と、移動機構による焦点位置の変化範囲の設定を取得する変化範囲設定取得部と、変化範囲設定取得部により取得され設定された焦点位置の変化範囲と、該現在の焦点位置との相対的な位置関係を表示する表示部と、を有することを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。
【００１０】
なお、上述した本発明に係る共焦点レーザ顕微鏡において、表示部は、設定された焦点位置の変化範囲を示す２つの境界位置を、該現在の焦点位置を基準としたときの偏差として、数値で表示するように構成することができる。
【００１１】
また、前述した本発明に係る共焦点レーザ顕微鏡において、表示部は、設定された焦点位置の変化範囲と、該現在の焦点位置との相対的な位置関係を表現した図を表示するように構成することもできる。
【００１２】
なお、このときにおいて、現在の焦点位置が、設定された該焦点位置の変化範囲内に位置している場合には、表示部は、直線状に配置された３つの指標を含む図であって、該３つの指標のうちの両端のものを、該変化範囲を示す２つの境界位置に各々対応させ、且つ、該３つの指標のうちの中央のものを、該現在の焦点位置に対応させた該図を表示するように構成することができる。
【００１３】
また、このときにおいて、現在の焦点位置が、設定された該焦点位置の変化範囲外に位置している場合には、表示部は、直線状に配置された３つの指標を含む図であって、該３つの指標のうちの隣接する２つのものを、該変化範囲を示す２つの境界位置に各々対応させ、且つ、該３つの指標のうちの残りのものを、該現在の焦点位置に対応させた該図を表示するように構成することができる。
【００１４】
なお、このときにおいて、表示部は、３つの指標の配置間隔の比率を、境界位置の各々と現在の焦点位置との比率に対応させた図を表示するように構成することができる。
また、このときにおいて、表示部は、３つの指標のうち、変化範囲を示す２つの境界位置に各々対応させた２つの指標の間の領域と、該現在の焦点位置に対応させた指標から該領域までの領域とに、相異なる色彩を付した図を表示するように構成することができる。
【００１５】
また、前述した本発明に係る共焦点レーザ顕微鏡において、表示部は、変化範囲取得部による焦点位置の変化範囲の設定の取得が始まると連動して相対的な位置関係の表示を開始するように構成することができる。
【００１６】
なお、前述した本発明に係る共焦点レーザ顕微鏡において、図に対して指定される位置の指示を取得する位置指示取得部と、移動機構を制御して、対物レンズの焦点位置を指示に対応する位置へ移動させる制御部と、を更に有するように構成することができる。
【００１７】
また、前述した本発明に係る共焦点レーザ顕微鏡において、移動機構を制御して、変化範囲設定取得部により取得された変化範囲内で対物レンズの焦点位置を順次移動させる制御部を更に有しており、表示部は、制御部での制御による対物レンズの焦点位置の移動に連動して、相対的な位置関係の表示を更新する、ように構成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、以上のようにすることにより、試料の高さ情報を取得する範囲の手動での設定を、容易かつ短時間に行えるようになるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
まず、図１について説明する。同図は、本発明を実施する共焦点レーザ顕微鏡の構成を示している。
【００２０】
図１において、レーザ光源１から出射した光は、ＰＢＳ（Polarized Beam Splitter ）２を透過した後、２次元走査部３に入射する。二次元走査部３は、この光束を二次元に走査して対物レンズ７へと導く。この二次元走査部３は対物レンズ７の瞳と共役な位置に配置しておく。従って、対物レンズ７の瞳に入射した光束は収束光となって試料８の焦点面上を走査する。また、光束は、１／４λ板４により直線偏光から円偏光に変換される。
【００２１】
試料８へレーザ光を照射したときに試料８の表面で反射した光は、試料８に面して配置されている対物レンズ７を通過した後、１／４λ板４及び二次元走査部３を介してＰＢＳ２に導入された後、ＰＢＳ２で反射して集光レンズ９へと導かれる。集光レンズ９は、この反射光をピンホール１０上に集光する。
【００２２】
ピンホール１０は、集光された反射光のうち試料８の集光点以外からの反射光をカットする。ピンホール１０を通過した光は検出器１１で検出されて光の強度をその大きさで表す信号へと変換されてコントローラ１２に導かれる。
【００２３】
また、対物レンズ７は、Ｚステージ１４によって光軸方向に移動可能な状態でレーザ顕微鏡本体１３に設置されている。従って、Ｚステージ１４は、対物レンズ７をその光軸方向に移動させて試料８に対する対物レンズ７の焦点の位置を変化させることができる。このＺステージ１４はスケールを有しており、対物レンズ７の位置を示す光軸方向（Ｚ方向）の座標値はこのスケールによって検出することができる。コントローラ１２は、このスケールの情報の読み出しと、この情報のコントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）への保存とを常時繰り返し行う。なお、二次元走査部３による二次元走査とＺステージ１４による対物レンズ７の移動とはコントローラ１２によって制御される。
【００２４】
なお、対物レンズ７による集光位置はピンホール１０と光学的に共役な位置に配置されている。よって、試料８が対物レンズ７の集光位置に在る場合には、試料８からの反射光はピンホール１０上で集光されてピンホール１０を通過する。一方、試料８が対物レンズ７の集光位置から外れた位置に在る場合には、試料８からの反射光はピンホール１０上に集光していないので、ピンホール１０を通過することはできない。従って、このときの対物レンズ７と試料８の相対位置と検出器１１の出力の関係は、次のようになる。すなわち、試料８が対物レンズ７の集光位置に在る場合には、検出器１１の出力は最大となる。そして、この集光位置から試料８が離れるに従い検出器１１の出力は急激に低下する。従って、コントローラ１２が、対物レンズ７による集光点をレーザ光で二次元走査させると共に、検出器１１の出力を二次元走査部３での二次元走査動作に同期させて画像化すると、試料８のある特定の高さのみが画像化されて、試料８を光学的にスライスした画像（共焦点画像）が得られる。コントローラ１２は、このようにして得られた共焦点画像をモニタ１５に表示させる。
【００２５】
コントローラ１２は、対物レンズ７を光軸方向に移動させながら、試料８の共焦点画像を順次取得すると共に、各取得時におけるＺステージ１４の位置をスケールで検出し、取得した共焦点画像をＺステージ１４の位置に対応付けてコントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（画像記憶部）に保存しておく。そして、共焦点画像の取得完了後に、対物レンズ７の移動位置各点において検出器１１の出力が最大になるＺステージ１４の位置（すなわち、対物レンズ７の光軸方向の位置）を、試料８の各部ごとに検出することによって、試料８の高さ情報を得る。
【００２６】
なお、コントローラ１２は、ごく標準的な構成のコンピュータシステム、すなわち、制御プログラムの実行によってコンピュータシステム全体の動作制御を司るＭＰＵ（演算処理装置）と、このＭＰＵが必要に応じてワークメモリとして使用するメインメモリと、各種のプログラムやデータなどを記憶して保存しておく例えばハードディスク装置などの記憶装置と、本装置の各部との間で行われる各種のデータの授受を管理するインタフェース部とを有しているコンピュータシステム、を利用することができる。ここで、コントローラ１２が前述した制御動作を行うには、記憶装置の特定の記憶領域（プログラム記憶部）に予め記憶させておいた所定の制御プログラムをＭＰＵに読み出させて実行させればよい。なお、このコントローラ１２は、共焦点画像や各種の情報を表示して使用者に提示するモニタ１５と、使用者からの指示を受け取るためのマウス装置（以下、単に「マウス」と称する）１６とを備えている。
【００２７】
次に図２について説明する。同図は、コントローラ１２がモニタ１５に表示させる表示画面のレイアウトの例を示している。同図に示されているように、この表示画面には、共焦点画像等の各種の画像を表示する画像表示部２０と、各種の情報の表示、及び使用者によるマウス１６に対する操作と連携するＧＵＩ（Graphical User Interface）表示を行う顕微鏡操作・設定部２１とがレイアウトされている。
【００２８】
次に図３について説明する。同図は、試料８の高さ情報の取得のために行われる、Ｚステージ１４の移動範囲設定表示の表示例である。この移動範囲設定表示は、図２における顕微鏡操作・設定部２１に表示される。
【００２９】
上下移動ボタン２３は、Ｚステージ１４を上下に移動させる動作指示を行うためものである。使用者がマウス１６をクリック操作して上下移動ボタン２３を押下すると、この操作を検出したコントローラ１２がＺステージ１４を制御して現在の位置から上下動させる。なお、この操作１回に対するＺステージ１４の移動量は予め設定されているものとする。
【００３０】
現在位置表示部２４は、スケールによりコントローラ１２が検出したＺステージ１４の現在の位置が表示される。
Ｚステージ１４の移動範囲の設定は以下のようにして行われる。
【００３１】
まず、使用者が画像表示部２０に表示される画像を見ながら上下移動ボタン２３を押下する操作を行い、Ｚステージ１４を上下動させる。その後、画像表示部２０の表示画像に基づいて使用者が決定するＺステージ１４の移動上限位置と移動下限位置とのそれぞれにＺステージ１４が位置しているときに、使用者がマウス１６をクリック操作して上下限設定ボタン２２を押下すると、そのときのＺステージ１４の位置がスケールから読み込まれ、Ｚステージ１４の移動範囲（すなわち、試料８に対する対物レンズ７の焦点の位置の変化範囲）の上限位置及び下限位置として設定される。なお、この上限位置及び下限位置は、光軸方向（Ｚ方向）の座標値としてコントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に保存される。
【００３２】
上下限位置表示部２５には、設定された移動範囲の上限位置及び下限位置とＺステージ１４の現在位置（すなわち、試料８に対する対物レンズ７の現在の焦点の位置）との相対値（移動範囲の上限位置及び下限位置についての、対物レンズ７の現在の焦点の位置を基準としたときの偏差）が表示される。従って、上下限設定ボタン２２を押した時点では、現在位置と設定位置とは一致しているから、上下限位置表示部２５には「０」が表示される。そして、設定後、上下移動ボタン２３を押下して例えば上方向にＺステージ１４を移動させた場合は、「−＊＊＊」のように、負の値が表示される。
【００３３】
Ｚステージ１４の移動範囲の設定のために使用者が行う操作例について、更に説明する。
まず、使用者は、画像表示部２０の表示画像を見ながら上下移動ボタン２３を押下する操作を行い、Ｚステージ１４を移動させる。その後、上下限設定ボタン２２を押下する操作を行って上限位置をまず設定する。すると、このときのＺステージ１４の位置がコントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）から一旦読み出され、上限位置として改めて記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に保存される。なお、この時点におけるＺステージ１４の位置を記憶装置から読み出す代わりに、Ｚステージ１４が有しているスケールの情報を直接読み出すようにしてもよい。
【００３４】
その後、使用者は、上下移動ボタン２３を押下する操作を再び行い、Ｚステージ１４を更に上下動させる。そして、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置の設定が適切であったかどうかを、画像表示部２０の表示画像を見て確認する。ここで、上限位置の再設定が必要と判断した場合には、上下限設定ボタン２２を押下する操作を行って上限位置の再設定を行う。なお、このとき、上下限位置表示部２５には、最初に設定していた上限位置とＺステージ１４の現在位置との間の距離が表示されているので、使用者は、最初に設定した上限位置に対して現在はどの程度Ｚステージ１４を移動させたのかを確認しながら再設定の作業を行うことができる。
【００３５】
次に、使用者は、Ｚステージ１４の移動範囲の下限位置設定のための探索を行う。すなわち、使用者は、画像表示部２０の表示画像を見ながら上下移動ボタン２３を押下する操作を再び行い、Ｚステージ１４を更に移動させる。そして、上下限位置表示部２５を参照して設定済みの上限位置からどの程度下方に移動したかを確認しながら、移動範囲の下限位置を探索する。その後、上下限設定ボタン２２を押下する操作を行って下限位置を設定する。すると、このときのＺステージ１４の位置がコントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）から一旦読み出され、下限位置として改めて記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に保存される。なお、このときも、この時点におけるＺステージ１４の位置を記憶装置から読み出す代わりに、Ｚステージ１４が有しているスケールの情報を直接読み出すようにしてもよい。
【００３６】
以上のようにしてＺステージ１４の移動範囲の上限位置と下限位置との設定が完了したら、次に、使用者は、試料８の高さ測定の開始をコントローラ１２に指示する。すると、図１の共焦点レーザ顕微鏡で試料８の高さ情報を取得する作業が開始される。
【００３７】
ここで図４について説明する。同図は、コントローラ１２によって行われる移動範囲設定処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、コントローラ１２であるコンピュータシステムが有しているＭＰＵが、記憶装置における特定の記憶領域（プログラム記憶部）に予め記憶させておいた所定の制御プログラムを読み込んで実行することによって実現される。
【００３８】
この制御処理は、使用者からの移動範囲設定開始の指示をコントローラ１２が取得すると開始される。なお、このとき、モニタ１５には、図２に示した表示画面が表示されており、表示画面中の画像表示部２０には、その時点で得られている試料８の共焦点画像が、また、顕微鏡操作・設定部２１には、図３に示したＺステージ１４の移動範囲設定表示が表示されている。
【００３９】
図４において、まず、Ｓ１０１では、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）に保存されているＺステージ１４のスケールの情報を読み出してＺステージ１４の現在位置を取得し、得られた現在位置を、モニタ１５の現在位置表示部２４に表示させる処理が行われる。
【００４０】
Ｓ１０２では、上下移動ボタン２３を押下する操作（上下移動ボタンイベント）を検出する処理が行われ、続くＳ１０３では、上下限設定ボタン２２を押下する操作（上下限設定ボタンイベント）を検出する処理が行われる。
【００４１】
Ｓ１０４では、Ｓ１０２の処理において上下移動ボタンイベントの発生を検出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、上下移動ボタンイベントの発生を検出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０５に処理を進め、上下移動ボタンイベントの発生を検出していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０８に処理を進める。
【００４２】
Ｓ１０５では、Ｚステージ上下処理が行われる。この処理は、上下移動ボタン２３の押下に応じてＺステージ１４を制御して上下動させる処理であり、その処理の詳細は後述する。
【００４３】
Ｓ１０６では、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置若しくは下限位置の設定が既になされているか否かを判定する処理が行われる。ここで、上限位置若しくは下限位置の設定が既になされていると判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）は、Ｓ１０７に処理を進めて上下限位置表示処理を実行し、その後はＳ１０２へと処理を戻して上述した処理を繰り返す。一方、上限位置及び下限位置のどちらの設定も未だなされていないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）は、Ｓ１０７の処理を実行することなくＳ１０２へと処理を戻して上述した処理を繰り返す。
【００４４】
Ｓ１０７の処理である上下限位置表示処理は、Ｚステージ１４の現在位置についての、上限位置若しくは下限位置の設定値との距離を上下限位置表示部２５に表示させる処理であり、その処理の詳細は後述する。
【００４５】
一方、Ｓ１０４の判定処理において、上下移動ボタンイベントの発生を検出していないと判定したときに実行されるＳ１０８では、Ｓ１０３の処理において上下限設定ボタンイベントの発生を検出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、上下限設定ボタンイベントの発生を検出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０９に処理を進め、上下限設定ボタンイベントの発生を検出していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１１１に処理を進める。
【００４６】
Ｓ１０９では、上下限設定処理が行われる。この処理は、Ｚステージ１４の現在位置を移動範囲の上限位置若しくは下限位置として設定してコントローラ１２内の記憶装置に保存する処理であり、その処理の詳細は後述する。
【００４７】
Ｓ１１０では、Ｓ１０７と同様の上下限位置表示処理が行われ、その後はＳ１１２へと処理を進める。
一方、Ｓ１０８の判定処理において、上下限設定ボタンイベントの発生を検出していないと判定したときに実行されるＳ１１１では、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置若しくは下限位置の設定が既になされているか否かを判定する処理が行われる。ここで、上限位置若しくは下限位置の設定が既になされていると判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）は、Ｓ１１２に処理を進める。一方、上限位置及び下限位置のどちらの設定も未だなされていないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）は、Ｓ１０２へと処理を戻して上述した処理を繰り返す。
【００４８】
Ｓ１１２では、不図示の高さ測定開始ボタンを押下する操作（高さ測定開始ボタンイベント）を検出する処理が行われ、続くＳ１１３において、高さ測定開始ボタンイベントの発生を検出したか否かを判定する処理が行われる。なお、高さ測定開始ボタンは、使用者が試料８の高さ測定の開始を指示するためのものである。
【００４９】
このＳ１１３の判定処理において、高さ測定開始ボタンイベントの発生を検出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）には図４に示した処理を終了し、その後は試料８の高さを測定するための制御処理が開始される。一方、高さ測定開始ボタンイベントの発生を検出していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）には、Ｓ１０２へと処理を戻して上述した処理を繰り返す。
【００５０】
次に図５について説明する。同図は、図４のＳ１０５の処理である、Ｚステージ上下処理の処理内容をフローチャートで示したものである。
図５において、まず、Ｓ１２１では、上下移動ボタン２３を押下する操作を検出する処理が行われる。
【００５１】
Ｓ１２２では、Ｚステージ１４の現在位置を示す座標ｚに、上下移動ボタン２３を押下する操作１回分に相当する移動量Δｚを加算して、Ｚステージ１４の移動先の位置を示す座標を求める処理が行われる。ここで、移動量Δｚは、上下移動ボタン２３における「ＵＰ」のボタンが押下された場合は正の値であり、上下移動ボタン２３における「ＤＯＷＮ」のボタンが押下された場合は負の値である。なお、Ｚステージ１４の現在位置を示す座標ｚは、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）に保存されている値を読み出して利用する。また、前述しように、上下移動ボタン２３を押下する操作１回に対するＺステージ１４の移動量Δｚは予め設定されているものを用いる。
【００５２】
Ｓ１２３では、Ｓ１２２の処理によって求められたＺステージ１４の移動先の位置を示す座標をＺステージ１４へ通知する処理が行われ、続くＳ１２４では、Ｚステージ１４に指示を与えて当該移動先の位置にＺステージ１４を移動させる処理が行われる。
【００５３】
Ｓ１２５では、移動先の位置までの移動が完了するとＺステージ１４から送られてくる移動完了通知を受信する処理が行われ、この移動完了通知を受信するとＳ１２６に処理を進める。
【００５４】
Ｓ１２６では、Ｓ１２２の処理で用いた座標ｚに対応するＺステージ１４の現在位置を示す値を現在位置表示部２４に表示させる処理が行われ、その後はこのＺステージ上下処理を終了して図４に処理を戻す。
【００５５】
次に図６について説明する。同図は、図４のＳ１０９の処理である、上下限設定処理の処理内容をフローチャートで示したものである。
図６において、まず、Ｓ１４１では、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置若しくは下限位置が既に設定されているか否かを判定する処理が行われる。この判定は、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に上限位置若しくは下限位置を示す座標値が保存されているか否かを以って行う。ここで、上限位置若しくは下限位置が既に設定されていると判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）はＳ１４２に処理を進め、上限位置若しくは下限位置が設定されていないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）はＳ１４３に処理を進める。
【００５６】
Ｓ１４２では、Ｚステージ１４の現在位置を示す座標ｚを記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に確保されている変数Ｚｕｐ若しくはＺｌｗのどちらか一方に代入して記憶させる処理が行われ、その後はこの上下限設定処理を終了して図４に処理を戻す。
【００５７】
このＳ１４２の処理において、座標ｚは、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）に保存されている値を読み出して利用する。なお、図４のＳ１０３の処理において発生が検出された上下限設定ボタンイベントにおいて、上下限設定ボタン２２のうちの「上限位置」側のボタンに対して押下の操作がされていたのであれば、変数Ｚｕｐに座標ｚを代入し、「下限位置」側のボタンに対して押下の操作がされていたのであれば、変数Ｚｌｗに座標ｚを代入する。
【００５８】
Ｓ１４３では、Ｚステージ１４の現在位置を示す座標ｚを記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に確保されている変数Ｚｕｐ若しくはＺｌｗのどちらか一方に代入して記憶させる処理が行われる。なお、この処理はＳ１４２と同一の処理である。
【００５９】
Ｓ１４４では、Ｚステージ１４の現在位置から所定の距離だけ離れた位置に対応するＺ座標を、変数Ｚｕｐ及びＺｌｗのうち、Ｓ１４３の処理で座標ｚが代入されなかったものへ代入する処理が行われ、その後はこの上下限設定処理を終了して図４に処理を戻す。
【００６０】
このＳ１４４の処理において、所定の距離は、対物レンズ７の種別毎に予め設定されているものである。この距離に対応するＺ座標上での距離をａとすると、Ｓ１４４の処理において、変数Ｚｕｐに値を代入する場合にはｚ＋ａを代入し、変数Ｚｌｗに値を代入する場合にはｚ−ａを代入する。
【００６１】
次に図７について説明する。同図は、図４のＳ１０７及びＳ１１０の処理である、上下限位置表示処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示したものである。
まず、Ｓ１６１において、変数Ｚｕｐから座標ｚを減じる計算を実行する処理が行われ、続くＳ１６２において、変数Ｚｌｗから座標ｚを減じる計算を実行する処理が行われる。なお、座標ｚは、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）に保存されている値であり、変数Ｚｕｐ及びＺｌｗは、当該記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に保存されている値である。
【００６２】
Ｓ１６３では、Ｓ１６１及びＳ１６２の処理によって算出された座標に対応する位置を示す値を上下限位置表示部２５に表示させる処理が行われ、その後はこの上下限位置表示処理を終了して図４に処理を戻す。ここで、Ｓ１６１の処理によって算出された座標についての値は、上下限位置表示部２５のうちの「上限位置」側の表示部に表示し、Ｓ１６２の処理によって算出された座標についての値は、上下限位置表示部２５のうちの「下限位置」側の表示部に表示する。
【００６３】
以上の図４、図５、図６、及び図７に示した各処理をコントローラ１２が行うことにより、図３に示した移動範囲設定表示を用いたＺステージ１４の移動範囲の設定が行われる。
【００６４】
以上のように、本実施形態によれば、試料８の高さ情報の取得範囲を設定する際に、既に設定されたＺステージ１４の移動範囲に対し、Ｚステージ１４の現在位置がどこであるか、また、これから改めて設定しようとする移動範囲の上下限位置が、既に設定済みの上下限位置からどのくらい離れているかを具体的な数値で表示するので、高さ情報の取得範囲の設定を容易かつ短時間に行うことが可能となる。
【００６５】
また、Ｚステージ１４の移動範囲の設定では、共焦点画像の焦点深度が非常に浅いために、上下限位置を探索している際に、ピント位置で一瞬表示される画像を見落としてしまうことがあり、また、Ｚステージ１４の現在位置が既に設定済みの移動範囲内であるのか、あるいは移動範囲外にあり、再設定が必要なのかが分からなくなってしまうこともある。本実施形態によれば、このような煩わしさも解消される。
【００６６】
次に、図３に示した移動範囲設定表示における現在位置表示部２４及び上下限位置表示部２５での表示情報についての別の表示例を説明する。
図８Ａの表示例は、Ｚステージ１４について設定された移動範囲の上限位置及び下限位置とＺステージ１４の現在位置との相対的な位置関係を棒グラフにより図示したものである。この表示例において、棒の全長は常に一定とし、「現在位置」、「上限位置」、及び「下限位置」の３つの指標が、その棒に沿って直線状に配置される。また、「現在位置」の指標の表示は、「上限位置」の指標と「下限位置」の指標との表示位置の間隔を基準としたときの比率の位置に表示される。
【００６７】
一方、図８Ｂの表示例は、Ｚステージ１４について設定された移動範囲の上限位置及び下限位置とＺステージ１４の現在位置との上下の位置関係をイメージしやすいように、図８Ａに示した棒グラフの代わりに、傾斜した直線のグラフで繋いで図示したものである。
【００６８】
次に、この図８Ａ及び図８Ｂに示した表示例における表示の変化の様子を、図９Ａ、図９Ｂ、図９Ｃ、及び図９Ｄ並びに図１０Ａ、図１０Ｂ、図１０Ｃ、及び図１０Ｄを用いて説明する。
【００６９】
まず、使用者は、画像表示部２０の表示画像を見ながら上下移動ボタン２３を押下する操作を行い、Ｚステージ１４を移動させる。その後、上下限設定ボタン２２を押下する操作を行って移動範囲の上限位置をまず設定する。すると、このとき、モニタ１５には、Ｚステージ１４の位置に関する表示として、図９Ａ若しくは図１０Ａのような表示、すなわち、「現在位置」の指標が「上限位置」の指標と一致していることが表現されている表示がされる。なお、このときには、Ｚステージ１４の移動範囲の下限位置は未設定であるが、図９Ａの棒グラフや図１０Ａの直線を形成するため、下限位置として仮の値が設定されている。
【００７０】
その後、使用者は、上下移動ボタン２３を押下する操作を再び行い、Ｚステージ１４を更に上下動させる。そして、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置の設定が適切であったかどうかを、画像表示部２０の表示画像を見て確認する。このときには、図９Ａ及び図１０Ａの表示が、それぞれ図９Ｂ及び図１０Ｂに示すものへと変化する。
【００７１】
図９Ｂ及び図１０Ｂに示す表示例では、直線状に配置されている３つの指標のうち上端のものが「現在位置」の指標となっており、中央のもの及びそれに隣接する下端のものがそれぞれ「上限位置」及び「下限位置」の各指標となっている。また、図９Ｂの棒グラフでは、「現在位置」の指標と「上限位置」の指標との間の領域が網掛けされており、使用者は、この表示によって、Ｚステージ１４の現在位置が、設定されている上限位置の範囲外であること、更には、その上限位置からどの程度外れているかを、直感的に認識することができる。なお、この領域を網掛け表示とする代わりに、「現在位置」の指標と「上限位置」の指標との間の領域とは相異なる色彩を付して色分けした表示にしてもよい。
【００７２】
上述した確認の結果、上限位置の再設定が必要と判断した場合には、上下限設定ボタン２２を押下する操作を行って上限位置の再設定を行う。すると、このとき、モニタ１５には、図９Ａ若しくは図１０Ａのような、「現在位置」の指標が「上限位置」の指標と一致していることが表現されている表示が改めてなされる。
【００７３】
次に、使用者は、Ｚステージ１４の移動範囲の下限位置設定のための探索を行う。すなわち、使用者は、画像表示部２０の表示画像を見ながら上下移動ボタン２３を押下する操作を再び行い、Ｚステージ１４を更に移動させる。このときには、モニタ１５には、図９Ａ及び図１０Ａの表示が、それぞれ図９Ｃ及び図１０Ｃに示す表示、すなわち、Ｚステージ１４の現在位置が設定されている移動範囲内に含まれていることを表現している表示へと変化し、更には、それぞれ図９Ｄ及び図１０Ｄに示す表示、すなわち、Ｚステージ１４の現在位置が、仮に設定されている下限位置の範囲外にあることを表現している表示へと変化する。
【００７４】
なお、ここで、図９Ｃ及び図１０Ｃに示す表示例では、直線状に配置されている３つの指標のうち両端のものがそれぞれ「上限位置」及び「下限位置」の各指標となっており、中央のものが「現在位置」の指標となっている。つまり、この表示は、Ｚステージ１４の現在の位置（すなわち、対物レンズ７の光軸方向の位置）は、設定されているＺステージ１４の移動範囲の上限位置と下限位置との間に位置していることを表している。
【００７５】
その後、上下限設定ボタン２２を押下する操作を行って下限位置を設定する。こうして、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置と下限位置との設定が完了したら、次に、使用者は、試料８の高さ測定の開始をコントローラ１２に指示する。すると、図１の共焦点レーザ顕微鏡で試料８の高さ情報を取得する作業が開始される。
【００７６】
図８Ａ及び図８Ｂに示した移動範囲設定表示をモニタ１５に表示させる場合にも、コントローラ１２は、図４に示した移動範囲設定処理を実行する。但し、図４のＳ１０７及びＳ１１０の処理である上下限位置表示処理として、図７に示したものの代わりに、図１１に示したものを実行する。
【００７７】
以下、図１１に示したフローチャートに従って、上下限位置表示処理の第二の例の処理内容を説明する。
まず、Ｓ１８１において、座標ｚで示されるステージ１４の現在位置が、変数Ｚｕｐで示される、設定されたステージ１４の移動範囲の上限位置よりも上に位置しているか否かを判定する処理が行われる。なお、座標ｚは、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（現在位置座標記憶部）に保存されている値を読み出して用いる。また、変数Ｚｕｐは、当該記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に保存されている値である。ここで、座標ｚが変数Ｚｕｐよりも大きいと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１８２に処理を進め、座標ｚが変数Ｚｕｐよりも大きくはないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１８６に処理を進める。
【００７８】
Ｓ１８２では、座標ｚの値から変数Ｚｌｗの値を減じる計算の結果を変数Ｄに代入する処理が行われる。ここで、変数Ｚｌｗで示される位置は、設定されたステージ１４の移動範囲の下限位置であり、コントローラ１２内の記憶装置における特定の記憶領域（上下限位置座標記憶部）に保存されている値である。
【００７９】
Ｓ１８３では、変数Ｚｕｐの値から変数Ｚｌｗの値を減じる計算の結果を変数ｄに代入する処理が行われる。
Ｓ１８４では、変数ｄの値を変数Ｄの値で除算する処理が行われる。
【００８０】
Ｓ１８５では、図８Ａ若しくは図８Ｂに相当するグラフをモニタ１５で表示する処理が行われ、その後はこの上下限位置表示処理を終了する。
このＳ１８５の処理を具体的に説明すると、当該グラフを表示すると共に、当該グラフの上端に「現在位置」の指標の表示を行い、当該グラフの下端に「下限位置」の指標の表示を行い、更に、当該グラフにおけるＳ１８４の処理結果に対応する位置（下端からのｄ／Ｄの位置）に「上限位置」の指標の表示を行う。ここで、図８Ａの棒グラフを表示する場合には、当該棒グラフにおける「現在位置」の指標と「上限位置」の指標との間の領域について、前述したような網掛け表示（若しくは色分け表示）を行う。この結果、３つの指標の配置間隔の比率が、実際のＺステージ１４について設定された上限位置及び下限位置と、現在位置との位置関係の比率に対応する。
【００８１】
以上のＳ１８２からＳ１８５にかけての処理により、図９Ｂ若しくは図１０Ｂに示したグラフがモニタ１５に表示される。
一方、Ｓ１８１の判定処理において、座標ｚが変数Ｚｕｐよりも大きくはないと判定されたときには、Ｓ１８６において、座標ｚで示されるステージ１４の現在位置が、変数Ｚｌｗで示される、設定されたステージ１４の移動範囲の下限位置よりも下に位置しているか否かを判定する処理が行われる。ここで、座標ｚが変数Ｚｌｗよりも小さいと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１８７に処理を進め、座標ｚが変数Ｚｌｗよりも小さくはないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１９１に処理を進める。
【００８２】
Ｓ１８７では、変数Ｚｕｐの値から座標ｚの値を減じる計算の結果を変数Ｄに代入する処理が行われる。
Ｓ１８８では、変数Ｚｌｗの値から座標ｚの値を減じる計算の結果を変数ｄに代入する処理が行われる。
【００８３】
Ｓ１８９では、変数ｄの値を変数Ｄの値で除算する処理が行われる。
Ｓ１９０では、図８Ａ若しくは図８Ｂに相当するグラフをモニタ１５で表示する処理が行われ、その後はこの上下限位置表示処理を終了する。
【００８４】
このＳ１９０の処理を具体的に説明すると、当該グラフを表示すると共に、当該グラフの上端に「上限位置」の指標の表示を行い、当該グラフの下端に「現在位置」の指標の表示を行い、更に、当該グラフにおけるＳ１８９の処理結果に対応する位置（下端からのｄ／Ｄの位置）に「下限位置」の指標の表示を行う。ここで、図８Ａの棒グラフを表示する場合には、当該棒グラフにおける「現在位置」の指標と「下限位置」の指標との間の領域について、前述したような網掛け表示（若しくは色分け表示）を行う。この結果、３つの指標の配置間隔の比率が、実際のＺステージ１４について設定された上限位置及び下限位置と、現在位置との位置関係の比率に対応する。
【００８５】
以上のＳ１８７からＳ１９０にかけての処理により、図９Ｄ若しくは図１０Ｄに示したグラフがモニタ１５に表示される。
一方、Ｓ１８６の判定処理において、座標ｚが変数Ｚｌｗよりも小さくはないと判定されたときには、Ｓ１９１において、変数Ｚｕｐの値から変数Ｚｌｗの値を減じる計算の結果を変数Ｄに代入する処理が行われる。
【００８６】
Ｓ１９２では、座標ｚの値から変数Ｚｌｗの値を減じる計算の結果を変数ｄに代入する処理が行われる。
Ｓ１９３では、変数ｄの値を変数Ｄの値で除算する処理が行われる。
【００８７】
Ｓ１９４では、図８Ａ若しくは図８Ｂに相当するグラフをモニタ１５で表示する処理が行われ、その後はこの上下限位置表示処理を終了する。
このＳ１９４の処理を具体的に説明すると、当該グラフを表示すると共に、当該グラフの上端に「上限位置」の指標の表示を行い、当該グラフの下端に「下限位置」の指標の表示を行い、更に、当該グラフにおけるＳ１９３の処理結果に対応する位置（下端からのｄ／Ｄの位置）に「現在位置」の指標の表示を行う。この結果、３つの指標の配置間隔の比率が、実際のＺステージ１４について設定された上限位置及び下限位置と、現在位置との位置関係の比率に対応する。
【００８８】
以上のＳ１９１からＳ１９４にかけての処理により、図９Ａや図９Ｃ若しくは図１０Ａや図１０Ｃに示したグラフがモニタ１５に表示される。
以上の上下限位置表示処理を、図４の移動範囲設定処理におけるＳ１０７及びＳ１１０の処理として実行することにより、図８Ａ及び図８Ｂに示した移動範囲設定表示をモニタ１５に表示させて行うＺステージ１４の移動範囲の設定が可能となる。この表示によっても、試料８の高さ情報の取得範囲を設定する際に、既に設定されたＺステージ１４の移動範囲に対し、Ｚステージ１４の現在位置がどこであるか、また、これから改めて設定しようとする移動範囲の上下限位置が、既に設定済みの上下限位置からどのくらい離れているかが直感的に認識できるので、高さ情報の取得範囲の設定を容易かつ短時間に行うことが可能となる。
【００８９】
なお、図８Ａに示した棒グラフによる移動範囲設定表示を図２に示した表示画面における顕微鏡操作・設定部２１に表示させる代わりに、図２の画面に重ねてモニタ１５に表示される、また、図１２に例示するような別画面上に表示させるようにしてもよい。
【００９０】
なお、この図１２の画面例は、通常はモニタ１５に表示されていないが、図３に示した上下限設定ボタン２２のうちのどちらかを押下する操作がされ、Ｚステージ１４の移動範囲の設定の取得が始まると連動してその表示が開始される。また、その後、Ｚステージ１４の移動範囲の設定が完了し、試料８の高さ情報の取得が開始されると、その取得方向に従い、「現在位置」の指標の表示が棒グラフ上で例えば順次「下限位置」の指標の位置から「上限位置」の指標の方向に移動していく。そして、「現在位置」の指標の表示が「上限位置」の指標の位置まで移動し、設定された全移動範囲において共焦点画像の取得が完了すると、図１２に示した画面の表示は自動的に消える。
【００９１】
なお、図１２に示した画面を以上のようにして表示させ消失させる代わりに、図８Ａに示した棒グラフによる移動範囲設定表示を、図２に示した表示画面における顕微鏡操作・設定部２１上で表示させ消失させるようにしてもよい。
【００９２】
ここで図１３について説明する。同図は、コントローラ１２によって行われる移動範囲設定処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、コントローラ１２であるコンピュータシステムが有しているＭＰＵが、記憶装置における特定の記憶領域（プログラム記憶部）に予め記憶させておいた所定の制御プログラムを読み込んで実行することによって実現される。この制御処理の第二の例をコントローラ１２が行うことにより、図１２に例示した移動範囲設定表示を用いたＺステージ１４の移動範囲の設定が行われる。
【００９３】
この制御処理は、使用者からの移動範囲設定開始の指示をコントローラ１２が取得すると開始される。なお、このとき、モニタ１５には、図２に示した表示画面が表示されており、表示画面中の画像表示部２０には、その時点で得られている試料８の共焦点画像が、また、顕微鏡操作・設定部２１には、図３に示したＺステージ１４の移動範囲設定表示が表示されている。
【００９４】
図１３において、Ｓ２０１からＳ２０７にかけての処理は、図４に示した移動範囲設定処理の第一の例におけるＳ１０１からＳ１０７にかけての処理と同様のものであるので説明は省略する。但し、Ｓ２０７の上下限位置表示処理では、図１１に示した第二の例が実行されて、モニタ１５で表示中の図１２に例示した移動範囲設定表示画面における棒グラフの表示内容が更新される。
【００９５】
Ｓ２０４の判定処理において、上下移動ボタンイベントの発生を検出していないと判定したときに実行されるＳ２０８では、Ｓ２０３の処理において上下限設定ボタンイベントの発生を検出したか否かを判定する処理が行われる。ここで、上下限設定ボタンイベントの発生を検出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ２０９に処理を進め、上下限設定ボタンイベントの発生を検出していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ２１３に処理を進める。
【００９６】
Ｓ２０９では、図６に示した上下限設定処理が行われる。
Ｓ２１０では、図１２に例示した移動範囲設定表示画面をモニタ１５で表示中であるか否かを判定する処理が行われる。ここで、移動範囲設定表示画面が表示中であると判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ２１２に処理を進める。一方、移動範囲設定表示画面を表示していないと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ２１１に処理を進め、図１２に例示した移動範囲設定表示画面を図２の画面に重ねてモニタ１５に表示させる処理が行われる。
【００９７】
Ｓ２１２では、Ｓ２０７と同様の上下限位置表示処理（すなわち、図１１に示した第二の例の処理）が行われ、その後はＳ２１４へと処理を進める。
一方、Ｓ２０８の判定処理において、上下限設定ボタンイベントの発生を検出していないと判定したときに実行されるＳ２１３では、Ｚステージ１４の移動範囲の上限位置若しくは下限位置の設定が既になされているか否かを判定する処理が行われる。ここで、上限位置若しくは下限位置の設定が既になされていると判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）は、Ｓ２１４に処理を進める。一方、上限位置及び下限位置のどちらの設定も未だなされていないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）は、Ｓ２０２へと処理を戻して上述した処理を繰り返す。
【００９８】
Ｓ２１４では、不図示の高さ測定開始ボタンを押下する操作（高さ測定開始ボタンイベント）を検出する処理が行われ、続くＳ２１５において、高さ測定開始ボタンイベントの発生を検出したか否かを判定する処理が行われる。なお、高さ測定開始ボタンは、使用者が試料８の高さ測定の開始を指示するためのものである。
【００９９】
このＳ２１５の判定処理において、高さ測定開始ボタンイベントの発生を検出したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）には図１３に示した処理を終了し、その後は試料８の高さを測定するための制御処理が開始される。一方、高さ測定開始ボタンイベントの発生を検出していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）には、Ｓ２０２へと処理を戻して上述した処理を繰り返す。
【０１００】
以上の制御処理の第二の例をコントローラ１２が行うことにより、図１２に例示した移動範囲設定表示を用いたＺステージ１４の移動範囲の設定が行われる。
次に図１４について説明する。同図は、コントローラ１２によって行われる取り込み状態表示処理の処理内容をフローチャートで示したものである。この処理は、コントローラ１２であるコンピュータシステムが有しているＭＰＵが、記憶装置における特定の記憶領域（プログラム記憶部）に予め記憶させておいた所定の制御プログラムを読み込んで実行することによって実現される。この処理をコントローラ１２が行うことにより、試料８の高さ情報の取得が開始後、その取得方向に従い、「現在位置」の指標の表示が棒グラフ上で例えば順次「下限位置」の指標の位置から「上限位置」の指標の方向に移動していき、設定された全移動範囲において共焦点画像の取得が完了すると、図１２に示した画面の表示が自動的に消える。
【０１０１】
この制御処理は、使用者からの試料８の高さ情報の取得の指示をコントローラ１２が取得すると開始される。
まず、Ｓ３０１では、Ｚ移動取り込み処理が行われる。この処理は、Ｚステージ１４を制御して、設定されたＺステージ１４の移動範囲内において所定方向（上方向若しくは下方向）に所定量移動させ、その移動後の位置における試料８の共焦点画像を取得する処理である。
【０１０２】
Ｓ３０２では、変数Ｚｕｐの値から変数Ｚｌｗの値の値を減じる計算の結果を変数Ｄに代入する処理が行われる。
Ｓ３０３では、座標ｚの値から変数Ｚｌｗの値を減じる計算の結果を変数ｄに代入する処理が行われる。
【０１０３】
Ｓ３０４では、変数ｄの値を変数Ｄの値で除算する処理が行われる。
Ｓ３０５では、図１２に例示した移動範囲設定表示画面に棒グラフを表示する処理が行われる。すなわち、この棒グラフを表示すると共に、当該グラフの上端に「上限位置」の表示を行い、当該グラフの下端に「下限位置」の指標の表示を行い、更に、当該グラフにおけるＳ３０４の処理結果に対応する位置（下端からのｄ／Ｄの位置）に「現在位置」の指標の表示を行う。
【０１０４】
以上のＳ３０１からＳ３０５にかけての処理により、Ｚステージ１４の移動に連動して、図１２に例示した移動範囲設定表示画面が更新されて当該画面上の棒グラフにおける「現在位置」の指標の表示が棒グラフ上で順次移動していく。
【０１０５】
Ｓ３０６では、Ｚ移動取り込み処理により、Ｚステージ１４について設定された全移動範囲において共焦点画像の取得（取り込み）が完了したか否かを判定する処理が行われる。ここで、共焦点画像の取得が完了したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ３０７に処理を進める。一方、共焦点画像の取得が完了していないと判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ３０１へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。
【０１０６】
以上の取り込み状態表示処理をコントローラ１２が行うことにより、試料８の高さ情報の取得が開始後、その取得方向に従い、図１２に示した移動範囲設定表示画面上における「現在位置」の指標の表示が棒グラフ上で順次移動していき、設定された全移動範囲において共焦点画像の取得が完了すると、この画面の表示が自動的に消える。
【０１０７】
以上のようにして、図１２に例示した移動範囲設定表示をＺステージ１４の移動範囲の設定から試料８の高さ情報の取得完了までの期間にのみ表示するようにすることで、他の作業を実施する際に、この表示が邪魔になることがなくなる。また、以上のようにして、試料８の高さ情報の取得中の進行状況を直感的に表示することで、例えば情報の取得に長時間を要する場合における使用者のストレスが軽減される。
【０１０８】
なお、以上までに説明した実施形態において、図８Ａ、図８Ｂ若しくは図１２に示した各グラフの表示における「上限位置」の指標から「下限位置」の指標までの範囲における任意の位置をマウス１６でクリック操作若しくはドラッグ操作することにより、このマウス１６でクリック若しくはドラッグ操作により指示した位置情報を取得し、取得した位置情報に基づいて、「現在位置」の指標の表示を当該位置に移動すると共に、ステージ１４を当該クリック若しくはドラッグ操作により指示した位置に相当する光軸上の位置に移動させるようにしてもよい。こうすることにより、例えば移動範囲の設定後における当該設定を確認作業において、確認したい位置にＺステージ１４を簡単に移動させることが可能となり、確認作業が容易となる。
【０１０９】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
例えば、前述した実施形態では、Ｚステージ１４で対物レンズ７を光軸方向に移動させるようにしていたが、この代わりに、対物レンズ７を固定とし、試料８を載置する試料台を対物レンズ７の光軸方向に移動できるように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明を実施する共焦点レーザ顕微鏡の構成を示す図である。
【図２】コントローラがモニタに表示させる表示画面のレイアウトの例を示す図である。
【図３】Ｚステージの移動範囲設定表示の表示例を示す図である。
【図４】移動範囲設定処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図５】Ｚステージ上下処理の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図６】上下限設定処理の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図７】上下限位置表示処理の第一の例の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図８Ａ】Ｚステージの現在位置及び移動範囲の上下限設定位置の表示例（その１）を示す図である。
【図８Ｂ】Ｚステージの現在位置及び移動範囲の上下限設定位置の表示例（その２）を示す図である。
【図９Ａ】図８Ａに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その１）である。
【図９Ｂ】図８Ａに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その２）である。
【図９Ｃ】図８Ａに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その３）である。
【図９Ｄ】図８Ａに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その４）である。
【図１０Ａ】図８Ｂに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その１）である。
【図１０Ｂ】図８Ｂに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その２）である。
【図１０Ｃ】図８Ｃに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その３）である。
【図１０Ｄ】図８Ｄに示した表示例における表示の変化の様子を示す図（その４）である。
【図１１】上下限位置表示処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図１２】Ｚステージの現在位置及び移動範囲の上下限設定位置の表示例（その３）を示す図である。
【図１３】移動範囲設定処理の第二の例の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図１４】取り込み状態表示処理の処理内容をフローチャートで示した図である。
【図１５】従来技術の問題点を説明する図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１  レーザ光源
２  ＰＢＳ
３  二次元走査部
４  １／４λ板
７  対物レンズ
８  試料
９  集光レンズ
１０  ピンホール
１１  検出器
１２  コントローラ
１３  レーザ顕微鏡本体
１４  Ｚステージ
１５  モニタ
１６  マウス装置
２０  画像表示部
２１  顕微鏡操作・設定部
２２  上下限設定ボタン
２３  上下移動ボタン
２４  現在位置表示部
２５  上下限位置表示部
【図２】
2008122599.tif 000003
【図３】
2008122599.tif 000004
【図４】
2008122599.tif 000005
【図５】
2008122599.tif 000006
【図６】
2008122599.tif 000007
【図７】
2008122599.tif 000008
【図８Ａ】
2008122599.tif 000009
【図９Ａ】
2008122599.tif 000010
【図９Ｃ】
2008122599.tif 000011
【図１１】
2008122599.tif 000012
【図１３】
2008122599.tif 000013
【図１４】
2008122599.tif 000014
【図１５】
2008122599.tif 000015
【図１】
2008122599.tif 000016
【図８Ｂ】
2008122599.tif 000017
【図９Ｂ】
2008122599.tif 000018
【図９Ｄ】
2008122599.tif 000019
【図１０Ａ】
2008122599.tif 000020
【図１０Ｂ】
2008122599.tif 000021
【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１２】
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