(57)【要約】【課題】中空筒状のステムの軸一端側に設けられたダイアフラムの外面にセンサチップを設け、このセンサチップとコネクタケースのコネクタピンとを電気的に接続してなる圧力センサにおいて、圧力センサにおけるステムの径方向への体格を極力小型化する。【解決手段】ステム１０におけるダイアフラム１１側となる軸一端側の端面１４に、ステム１０の軸方向に延びる導電性のリード部材４０の一端部側を接合し、リード部材４０とセンサチップ２０とをボンディングワイヤ５０により電気的に接続し、リード部材４０の他端部側とコネクタピン３１とを電気的に接続した。【選択図】図１
2008122129.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力によって変形可能なダイアフラム（１１）を軸一端側に有し、前記圧力を導入する開口部（１２）を軸他端側に有する中空筒状のステム（１０）と、
前記ダイアフラム（１１）の外面に設けられ、前記ダイアフラム（１１）の変形に応じた電気信号を出力する検出部（２０）と、
前記検出部（２０）と電気的に接続されたコネクタピン（３１）を有し、前記コネクタピン（３１）を介して前記検出部（２０）と外部とを電気的に接続するコネクタ部材（３０）と、を備える圧力センサにおいて、
前記ステム（１０）における前記軸一端側の端面（１４）には、前記ステム（１０）の軸方向に延びる導電性のリード部材（４０）の一端部側が接合されており、
前記リード部材（４０）と前記検出部（２０）とがボンディングワイヤ（５０）により電気的に接続されており、
前記リード部材（４０）の他端部側と前記コネクタピン（３１）とが電気的に接続されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記リード部材（４０）は、その一端部側の部位がＬ字形状をなすとともに、このＬ字の底辺の部分（４１）にて、前記ステム（１０）における前記軸一端側の端面（１４）に接合されて固定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記リード部材（４０）における前記Ｌ字の底辺の部分（４１）に、前記ボンディングワイヤ（５０）が接続されていることを特徴とする請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記検出部（２０）は、前記ステム（１０）における前記軸一端側の端面（１４）に位置する前記ダイアフラム（１１）の外面に対して、ガラス（２１）により接合されており、
前記リード部材（４０）と前記ステム（１０）との接合も、前記ガラス（２１）により行われていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記リード部材（４０）と前記ステム（１０）との接合は、樹脂よりなる接着剤（２２）により行われていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記ステム（１０）における前記軸一端側の端面（１４）には、凹部（１５）が設けられており、
この凹部（１５）に前記リード部材（４０）の一端部側の部位が差し込まれた状態で、前記リード部材（４０）が前記ステム（１０）に接合されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記リード部材（４０）における前記凹部（１５）へ差し込まれる部位は、絶縁膜（４２）でコーティングされていることを特徴とする請求項６に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記リード部材（４０）における前記ステム（１０）との接合部と前記コネクタピン（３１）との接続部との中間部には、前記リード部材（４０）におけるそれ以外の部位よりも細く且つ剛性の小さな小剛性部（４３）が設けられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記コネクタ部材（３０）のうち前記リード部材（４０）の他端部側に対向する部位には、穴部（３３）が設けられており、
この穴部（３３）に前記リード部材（４０）の他端部側が挿入されて前記穴部（３３）の内面に支持されており、
前記穴部（３３）の内部に前記コネクタピン（３１）が露出し、このコネクタピン（３１）の露出部と前記リード部材（４０）の他端部側とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記リード部材（４０）の他端部側と前記コネクタピン（３１）との接続は、バネ力を用いた接触によるものであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１１】
前記コネクタ部材（３０）は、前記ステム（１０）の前記軸一端側にて前記ダイアフラム（１１）および前記リード部材（４０）を覆う開口部（３２）を有しており、
このコネクタ部材（３０）の前記開口部（３２）の開口縁部が、前記ダイアフラム（１１）の周辺部に接合されていることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中空筒状のステムの軸一端側に設けられたダイアフラムの外面に、検出部を設け、この検出部とコネクタ部材のコネクタピンとを電気的に接続してなる圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサとしては、軸一端側に圧力によって変形可能なダイアフラムを有し軸他端側に圧力を導入する開口部を有する中空筒状のステムと、ダイアフラムの外面に設けられ当該ダイアフラムの変形に応じた電気信号を出力する検出部と、検出部と電気的に接続されたコネクタピンを有し当該コネクタピンを介して検出部と外部とを電気的に接続するコネクタ部材と、を備えたものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この圧力センサにおいては、検出部とコネクタピンとを接続する接続手段として、検出部の周囲に２次元的に設けられた配線基板が用いられている。具体的には、配線基板は、処理回路チップが実装されたものであり、ステムの径方向の外側にてステムを取り巻くように設けられている。そして、検出部と配線基板とはボンディングワイヤにて接続され、配線基板とコネクタピンとはピン部材を介して接続されている。
【特許文献１】特開２００１−３２４４０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来では、ステムの径方向の外側に配線基板を置いていたため、検出部の設置面と平行な方向のセンサ体格、すなわち、ステムの径方向にセンサの体格が大きくなっていた。
【０００５】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、中空筒状のステムの軸一端側に設けられたダイアフラムの外面に検出部を設け、この検出部とコネクタ部材のコネクタピンとを電気的に接続してなる圧力センサにおいて、圧力センサにおけるステムの径方向への体格を極力小型化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明は、ステム（１０）におけるダイアフラム（１１）側となる軸一端側の端面（１４）に、ステム（１０）の軸方向に延びる導電性のリード部材（４０）の一端部側を接合し、リード部材（４０）と検出部（２０）とをボンディングワイヤ（５０）により電気的に接続し、リード部材（４０）の他端部側とコネクタピン（３１）とを電気的に接続したことを特徴とする。
【０００７】
それによれば、検出部（２０）とコネクタピン（３１）とを接続する接続手段を、従来の配線基板に代えて、ステム（１０）の軸方向に延びるリード部材（４０）としたので、圧力センサにおけるステム（１０）の径方向への体格を極力小型化することができる。
【０００８】
ここで、リード部材（４０）を、その一端部側の部位がＬ字形状をなすとともに、このＬ字の底辺の部分（４１）にてステム（１０）における軸一端側の端面（１４）に接合し固定したものにすれば、リード部材（４０）とステム（１０）との接合面積を確保しやすい。
【０００９】
また、リード部材（４０）におけるＬ字の底辺の部分（４１）に、ボンディングワイヤ（５０）を接続するようにすれば、検出部（２０）とリード部材（４０）とのワイヤボンディングを行いやすい。
【００１０】
また、検出部（２０）を、ステム（１０）における軸一端側の端面（１４）に位置するダイアフラム（１１）の外面に、ガラス（２１）により接合し、リード部材（４０）とステム（１０）との接合も、当該ガラス（２１）により行えば、リード部材（４０）をステム（１０）に接合するにあたって、接合部材の兼用によるコスト削減が図れる。
【００１１】
ここで、リード部材（４０）とステム（１０）との接合は、樹脂よりなる接着剤（２２）により行ってもよい。
【００１２】
また、ステム（１０）における軸一端側の端面（１４）に、凹部（１５）を設け、この凹部（１５）にリード部材（４０）の一端部側の部位が差し込まれた状態で、リード部材（４０）をステム（１０）に接合すれば、リード部材（４０）とステム（１０）との接合強度を確保しやすい。
【００１３】
さらに、この場合、リード部材（４０）における凹部（１５）へ差し込まれる部位を、絶縁膜（４２）でコーティングされたものにすれば、リード部材（４０）とステム（１０）との電気的な絶縁を確保しやすい。
【００１４】
また、リード部材（４０）におけるステム（１０）との接合部とコネクタピン（３１）との接続部との中間部に、リード部材（４０）におけるそれ以外の部位よりも細く且つ剛性の小さな小剛性部（４３）を設ければ、コネクタピン（３１）とリード部材（４０）との接続時などに、リード部材（４０）とステム（１０）との接合部に加わる応力を緩和できる。
【００１５】
また、コネクタ部材（３０）のうちリード部材（４０）の他端部側に対向する部位に、穴部（３３）を設け、この穴部（３３）にリード部材（４０）の他端部側を挿入して穴部（３３）の内面に支持させるようにすれば、リード部材（４０）の他端部側の支持構成を強固なものにできる。
【００１６】
また、リード部材（４０）の他端部側とコネクタピン（３１）との接続を、バネ力を用いた接触によるものにすれば、組み付け時において、これら両部材（３１、４０）の接続を容易に行える。
【００１７】
また、コネクタ部材（３０）を、ステム（１０）の軸一端側にてダイアフラム（１１）およびリード部材（４０）を覆う開口部（３２）を有するものとし、このコネクタ部材（３０）の開口部（３２）の開口縁部を、ダイアフラム（１１）の周辺部に接合したものにできる。
【００１８】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００２０】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサ１００の全体断面構成を示す図である。また、図２は、図１に示される圧力センサ１００における検出部２０の近傍部すなわちコネクタケース３０の開口部３２の内部を示す斜視図である。
【００２１】
この圧力センサ１００は、その用途を限定するものではないが、たとえば、自動車の燃料噴射系（例えばコモンレ−ル）における被測定体としての燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内の圧力を検出するものである。
【００２２】
この圧力センサ１００は、大きくは、ダイアフラム１１を有する中空筒状のステム１０と、ダイアフラム１１の外面に設けられた検出部としてのセンサチップ２０と、コネクタピン３１を有するコネクタ部材としてのコネクタケース３０と、コネクタピン３１とセンサチップ２０とを接続するリード部材４０とを備えて構成されている。
【００２３】
ステム１０は、本実施形態では中空円筒形状に加工された金属製をなすもので、このステム１０を構成する筒体の軸Ｋ（図１参照）がステム１０の軸Ｋである。ステム１０は、その軸一端側が閉塞された薄肉部１１となっており、この薄肉部１１がダイアフラム１１として構成されている。
【００２４】
また、ステム１０のダイアフラム１１とは反対側の軸他端側には、開口部１２が設けられている。また、ステム１０の外周の側面には、図示しない被測定体にネジ結合可能なネジ部１３が、切削加工などにより形成されている。
【００２５】
そして、ステム１０の軸他端側の部位を、上記被測定体に設けられたネジ穴に挿入し、上記ネジ部１３を介してネジ締めすることにより、圧力センサ１００が上記被測定体に取り付けられる。そして、上記被測定体からの圧力は、ステム１０の開口部１２からステム１０の中空部へ導入され、この導入された圧力によってダイアフラム１１が変形するようになっている。
【００２６】
また、ダイアフラム１１の外面は、ステム１０における軸一端側の端面１４と同一面に位置するが、このダイアフラム１１の外面に、検出部としてのセンサチップ２０が設けられている。このセンサチップ２０は、ダイアフラム１１の変形に応じた電気信号を出力するものである。
【００２７】
たとえば、センサチップ２０は、単結晶Ｓｉ（シリコン）からなるものであって、図示しないブリッジ回路を有するものである。このようなセンサチップは、圧力によってダイアフラム１１が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する歪みゲージとして機能する。そして、これらダイアフラム１１及びセンサチップ２０が、圧力センサ１００の基本性能を左右する。
【００２８】
また、センサチップ２０は、一般的なこの種の圧力センサと同様に、ガラス２１により接合されている。このガラス２１は低融点ガラスであり、ダイアフラム１１の外面の上に当該ガラス２１を介してセンサチップ２０を搭載した後、ガラス２１を焼成することにより、センサチップ２０がステム１０に固定される。
【００２９】
ここで、ステム１０を構成する金属材料には、高圧を受けることから高強度であること、及び、Ｓｉからなるセンサチップ２０をガラス２１により接合するため低熱膨張係数であること、が求められる。具体的には、Ｆｅ、Ｎｉ、ＣｏまたはＦｅ、Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ、Ｎｂ、Ａｌまたは、Ｔｉ、Ｎｂが加えられた材料を選定し、プレス、切削や冷間鍛造等により形成できる。
【００３０】
コネクタケース３０は、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの樹脂よりなるもので、ここでは、ステム１０の径と同程度の径を有する円柱状をなすものである。そして、このコネクタケース３０には、コネクタピン３１がインサート成形によって設けられている。
【００３１】
図１に示されるように、コネクタケース３０は、ステム１０の軸一端側にてダイアフラム１１を覆う開口部３２を有している。このコネクタケース３０の開口部３２は、ステム１０における軸一端側の端面１４と同じような円形状をなしており、当該開口部３２の開口縁部が、ステム１０における軸一端側の端面１４のうちダイアフラム１１の周辺部に接合されている。
【００３２】
このコネクタケース３０とステム１０との接合は、接着や溶着などにより行われている。それにより、ステム１０における軸一端側の端面１４および当該端面１４上に設けられている各部２０、２１、４０、５０が、コネクタケース３０の開口部３２によって被覆され、外部から保護された状態となっている。
【００３３】
このような圧力センサ１００において、コネクタケース３０のコネクタピン３１とセンサチップ２０との電気的な接続は、次の通りである。
【００３４】
図１、図２に示されるように、ステム１０における軸一端側の端面１４には、ステム１０の軸Ｋの方向に延びる導電性のリード部材４０が設けられている。ここでは、リード部材４０は、ステム１０の軸方向に延びる細長の板材であり、鉄、銅、アルミニウムなどの金属などよりなる。そして、このリード部材４０の一端部側が、ステム１０における軸一端側の端面１４に接合されている。
【００３５】
本実施形態では、リード部材４０の一端部側の部位はＬ字形状をなしており、このＬ字の底辺の部分４１すなわちＬ字底辺部４１が、ステム１０における軸一端側の端面１４のうちダイアフラム１１の外側の部位に接合されて固定されている。本実施形態では、リード部材４０のＬ字底辺部４１とステム１０との接合も、センサチップ２０と同様にガラス２１により行われている。
【００３６】
そして、リード部材４０とセンサチップ２０とがボンディングワイヤ５０により電気的に接続されているが、ここでは、リード部材４０におけるＬ字底辺部４１に、ボンディングワイヤ５０が接続されている。なお、このボンディングワイヤ５０は、通常のワイヤボンディングにより形成されるもので、金やアルミニウムなどよりなるワイヤである。
【００３７】
そして、図１に示されるように、リード部材４０の他端部側とコネクタピン３１とが電気的に接続されている。ここでは、コネクタケース３０のうちリード部材４０の他端部側に対向する部位には、穴部３３が設けられている。
【００３８】
そして、この穴部３３にリード部材４０の他端部側が挿入されるとともに、穴部３３の内部にて、リード部材４０の他端部側は穴部３３の内面に接して支持されている。つまり、リード部材４０の他端部側は、穴部３３の内面に接することで、その動きを拘束された状態となっている。
【００３９】
また、穴部３３の内部にコネクタピン３１が露出しており、このコネクタピン３１の露出部とリード部材４０の他端部側とが電気的に接続されている。本実施形態では、リード部材４０の他端部側とコネクタピン３１との接続は、バネ力を用いた接触によるものとなっている。
【００４０】
具体的には、図１に示されるように、穴部３３内に位置するコネクタピン３１の一端部（図１中の下端部）は、折り返された形状を有するバネ部３１ａとなっている。このコネクタピン３１のバネ部３１ａは、コネクタピン３１を構成する金属のバネ弾性を利用したもので、図１中の左右方向にバネ力を発揮する。そして、バネ部３１ａは、このバネ力によりリード部材４０の他端部側に押しつけられて接触している。
【００４１】
このように、ボンディングワイヤ５０およびリード部材４０を介して、センサチップ２０とコネクタピン３１とが電気的に接続されている。そして、コネクタピン３１の他端部（図１中の上端部）は、図示しない配線部材などを介して、自動車のＥＣＵ等に対して電気的に接続可能となっている。こうして、コネクタケース３０は、コネクタピン３１を介してセンサチップ２０と外部とを電気的に接続するものとして構成されている。
【００４２】
かかる圧力センサ１００の組み付け方法は、次の通りである。まず、ステム１０におけるダイアフラム１１の外面上に、ガラス２１を配置し、その上に、センサチップ２０およびリード部材４０を搭載する。その後、ガラス２１を焼成することにより、センサチップ２０およびリード部材４０を、ステム１０にガラス接合する。
【００４３】
その後、センサチップ２０とリード部材４０のＬ字底辺部４１との間でワイヤボンディングを行い、これらの間をボンディングワイヤ５０により接続する。そして、ステム１０における軸一端側の端面１４とコネクタケース３０の開口部３２とを対向させて、コネクタケース３０をステム１０に組み付け、接合する。
【００４４】
なお、コネクタケース３０をステム１０に組み付けるときには、リード部材４０の他端部側をコネクタケース３０の穴部３３に挿入していくが、このとき、穴部３３の内部にてリード部材４０の他端部側とコネクタピン３１のバネ部３１ａとが、バネ力により接触した状態で摺動しながら挿入が行われる。こうして上記図１に示される圧力センサ１００が完成する。
【００４５】
かかる圧力センサ１００は、ステム１０のネジ部１３を介して上記被測定体に取り付けられる。そして、被測定体の圧力がステム１０の開口部１２からステム１０の内部（中空部）へ導入されたときに、その圧力によってダイアフラム１１が変形する。この変形により、圧力に応じた信号がセンサチップ２０にて発生し、その信号は、ボンディングワイヤ５０、リード部材４０、コネクタピン３１を介して外部へ出力される。
【００４６】
ところで、本実施形態の圧力センサ１００によれば、ステム１０における軸一端側の端面１４に、当該端面１４に位置する一端部側からステム１０の軸Ｋ方向に延びるリード部材４０を設け、このリード部材４０を介して、センサチップ２０とコネクタピン３１とを電気的に接続している。
【００４７】
それによれば、検出部としてのセンサチップ２０とコネクタピン３１とを接続する接続手段を、従来のようなステムの径方向に配置された配線基板に代えて、ステム１０の軸Ｋ方向に延びるリード部材４０としたので、圧力センサ１００におけるステム１０の径方向（図１中の左右方向）への体格を極力小型化することができる。
【００４８】
また、本実施形態では、リード部材４０を、一端部側の部位がＬ字形状をなすものとし、このＬ字底辺部４１にてステム１０における軸一端側の端面１４に接合固定している。それによれば、リード部材４０が上記Ｌ字形状ではなく真っ直ぐの場合に比べ、Ｌ字底辺部４１にてステム１０における軸一端側の端面１４との接合面積、すなわちリード部材４０とステム１０との接合面積を確保しやすい。そして、リード部材４０とステム１０との接合信頼性を高めることができる。
【００４９】
また、本実施形態によれば、リード部材４０におけるＬ字底辺部４１に、ボンディングワイヤ５０が接続されている。この場合、当該Ｌ字底辺部４１がステム１０における軸一端側の端面１４に接合されていることにより、当該Ｌ字底辺部４１の上面とセンサチップ２０の上面とが略平行な位置となる。
【００５０】
つまり、上記図１、図２に示されるように、検出部であるセンサチップ２０のボンディング面とリード部材４０のボンディング面とが、互いに同一方向に向いた面同士となり、センサチップ２０とリード部材４０とのワイヤボンディングが行いやすくなる。
【００５１】
また、本実施形態では、センサチップ２０をダイアフラム１１の外面に対して、ガラス２１により接合し、リード部材４０とステム１０との接合も、同じガラス２１により行っているため、センサチップのステムへの接合部材であるガラスを、リード部材４０のステム１０への接合部材として兼用した形となる。そのため、このような接合部材の兼用によるコスト削減が図れる。
【００５２】
また、ガラス２１を配置してその上にセンサチップ２０とリード部材４０とを搭載し、ガラス２１を焼成することで、センサチップ２０とリード部材４０とを同時に接合できるため、組み付け工程の簡素化も図れる。
【００５３】
また、本実施形態では、上記図１に示したように、リード部材４０の他端部側を、コネクタケース３０の穴部３３に挿入して穴部３３の内面に支持させている。この場合、リード部材４０の延びる方向と直交する方向（つまり、ステム１０の径方向）に加わる振動や応力に対して、リード部材４０の他端部側は、コネクタピン３１だけでなく穴部３３の内面にも支持された形となるため、当該振動や応力に対するリード部材４０の支持強度が向上する。
【００５４】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。上記第１実施形態では、リード部材４０とステム１０との接合、および、センサチップ２０とステム１０との接合を、共通のガラス２１により行っていた。
【００５５】
それに対して、本実施形態では、図３に示されるように、ガラス２１を兼用させずに、リード部材４０とステム１０との接合は、ガラス２１とは別体の樹脂よりなる接着剤２２により行われている。この接着剤２２としては、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリイミド、ポリアミドなどの電気絶縁性の樹脂接着剤を採用できる。
【００５６】
本実施形態の圧力センサは、上記第１実施形態に示した組み付け方法において、リード部材４０の接合を接着剤２２にて行うこと以外は同様の方法によって製造できる。そして、本実施形態によっても、接合部材の兼用以外は、上記第１実施形態と同様の作用効果を発揮することが可能である。
【００５７】
（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。上記各実施形態では、ステム１０における軸一端側の端面１４の上にガラス２１や接着剤２２を搭載し、その上にリード部材４０を搭載して接合を行っていた。
【００５８】
それに対して、本実施形態では、図４に示されるように、ステム１０における軸一端側の端面１４に、当該端面１４より凹んだ凹部１５を設けている。そして、この凹部１５にリード部材４０の一端部側の部位を差し込んだ状態で、リード部材４０をステム１０に接合している。
【００５９】
この凹部１５は、切削加工やプレス、エッチング加工などにより形成することができる。そして、図４に示されるように、この凹部１５にガラス２１を投入し、そこへリード部材４０の一端部側の部位を挿入した後、ガラス２１を焼成して固化させる。
【００６０】
それにより、リード部材４０が凹部１５に挿入され固定された状態となるが、凹部１５が無い上記各実施形態の場合に比べて、この凹部１５へ挿入された分、リード部材４０とステム１０との接合強度の向上が期待できる。なお、図４において、ガラス２１の代わりに上記接着剤２２（図３参照）を使用してもよい。
【００６１】
本実施形態の圧力センサは、上記第１実施形態に示した組み付け方法において、リード部材４０の接合工程に凹部１５への挿入作業が加わること以外は同様の方法によって製造できる。そして、本実施形態によっても、上記第１実施形態と同様の作用効果を発揮することが可能である。
【００６２】
ここで、図５は、本第３実施形態に係る圧力センサの他の例の要部を示す概略断面図である。このように、凹部１５へ挿入されるリード部材４０の部分を、折り返し形状としてもよい。さらに、本実施形態においては、リード部材４０の一端側の部位が凹部１５へ挿入可能な形状であればよく、上記図４、図５に限定されるものではない。
【００６３】
（第４実施形態）
図６は、本発明の第４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。本実施形態も、上記第３実施形態と同様に、ステム１０における軸一端側の端面１４に設けた凹部１５に、リード部材４０の一端部側の部位が差し込まれた状態で、リード部材４０がステム１０に接合されている。
【００６４】
ここで、本実施形態では、図６に示されるように、リード部材４０の一端部側の部位を凹部１５へ挿入するにあたって、上記ガラス２１や上記接着剤２２などの接合部材を介することなく、圧入による接合を行っている。
【００６５】
さらに、本実施形態では、リード部材４０における凹部１５へ差し込まれる部位、すなわちリード部材４０における凹部１５へ圧入されている部位は、電気絶縁性の絶縁膜４２でコーティングされている。この絶縁膜４２は、リード部材４０のうち図６中の点ハッチングにて示される部位の表面に設けられている。
【００６６】
この絶縁膜４２としては、ポリイミドなどの樹脂よるなる膜、シリコン化合物などのセラミックよりなる膜などが挙げられ、蒸着やスパッタ、塗布などの一般的なコーティング方法により成膜される。
【００６７】
ステム１０の凹部１５にリード部材４０を挿入して固定した場合、リード部材４０における凹部１５へ差し込まれる部位とステム１０とが短絡する可能性がある。特に、本実施形態のように、上記ガラス２１や接着剤２２などの電気絶縁性の接合部材を介さずに、圧入による場合には、リード部材４０とステム１０とが直接接触するため、絶縁膜４２は必須である。
【００６８】
本実施形態によれば、リード部材４０とステム１０との間に絶縁膜４２が介在した形となって、リード部材４０とステム１０との電気的な短絡を防止できる。また、本実施形態によっても、上記第１実施形態と相違する構成の部分を除き、同様の作用効果を発揮できることは、もちろんである。
【００６９】
なお、この絶縁膜４２をリード部材４０に設ける構成は、本実施形態のような圧入によるもの以外にも、上記第３実施形態のような接合部材２１、２２を介して凹部１５に挿入する形態においても、適用してかまわない。
【００７０】
（第５実施形態）
図７は、本発明の第５実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。ここでは、上記第１実施形態と同様に、リード部材４０の一端部側のＬ字底辺部４１が、ガラス２１を介して、ステム１０における軸一端側の端面１４に接合固定されるとともに、Ｌ字底辺部４１にボンディングワイヤ５０が接続されている。
【００７１】
ここにおいて、本実施形態では、図７に示されるように、リード部材４０のうち、ステム１０との接合部とコネクタピン３１との接続部との中間部に、小剛性部４３を設けている。ここでは、当該中間部のうちステム１０との接合部に近い部位に、小剛性部４３を設けている。
【００７２】
この小剛性部４３は、リード部材４０における小剛性部４３以外の部位よりも細くすることにより剛性を小さくした部位である。このように、当該中間部におけるリード部材４０の板厚を、それ以外の部位よりも薄くすることで、この小剛性部４３が、リード部材４０のうち最も剛性が小さく変形しやすい部位となる。
【００７３】
そのため、コネクタピン３１とリード部材４０との接続時などに、リード部材４０とステム１０との接合部に応力が加わるが、この応力は、小剛性部４３にて緩和され、リード部材４０とステム１０との接合部では小さいものとなる。
【００７４】
なお、小剛性部４３としては、上述のようにリード部材４０の板厚を薄くしてもよいが、剛性を小さくできるならば板幅を細くしたものであってもよい。また、小剛性部４３は、リード部材４０のうちステム１０との接合部とコネクタピン３１との接続部との中間部に位置すればよく、コネクタピン３１との接続部に近い部位に設けられていてもよい。また、本実施形態は、上記した各実施形態に適用が可能である。
【００７５】
（第６実施形態）
上記第１実施形態では、リード部材４０の他端部側とコネクタピン３１との接続を、バネ力を用いた接触によるものとしたが、本発明の第６実施形態は、このバネ力による接続形態の変形例を提供するものである。
【００７６】
図８（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態に係るバネ力によるリード部材４０の他端部側とコネクタピン３１との接続部の種々の例を示す概略断面図である。上記第１実施形態では、コネクタピン３１の一端部に折り返し形状のバネ部３１ａ（上記図１参照）を設け、このバネ部３１ａを使用して、バネ力による接続を行っていた。
【００７７】
それに対して、図８（ａ）に示される例では、上記第１実施形態とは反対に、リード部材４０の他端部側に、折り返し形状のバネ部４０ａを設けている。そして、このリード部材４０のバネ部４０ａのバネ力により、当該バネ部４０ａをコネクタピン３１に押しつけて接触させている。
【００７８】
また、図８（ｂ）に示される例では、リード部材４０のバネ部４０ａを折り返し形状ではなく、波形状のバネ部４０ａとしている。さらに、図８（ｃ）に示される例では、コネクタピン３１のバネ部３１ａを、同様の波形状のバネ部４０ａとしている。これらの場合も、上記のものと同様に、バネ力による接続が行える。
【００７９】
（他の実施形態）
なお、リード部材としては、ステム１０の軸Ｋの方向に延びる形状を有するものであればよく、上記実施形態に示した細長板状のリード部材４０以外にも、丸棒状、角棒状などのものであってもよい。
【００８０】
また、リード部材４０の他端部側は、コネクタケース３０の穴部３３に挿入されていなくてもよい。この場合、当該穴部３３は不要となり、コネクタピン３１をコネクタケース３０の開口部３２内に突出させ、この突出部分とリード部材４０の他端部側とをバネ力による接触により電気的に接続すればよい。
【００８１】
さらに、リード部材４０の他端部側とコネクタピン３１との電気的な接続の形態は、上記したバネ力による接続に限定されるものでなく、可能であるならば、溶接や接着などの接続形態を採用してもよい。
【００８２】
また、コネクタピン３１は、コネクタケース３０に固定されたものであればよく、インサート成形による固定でなくてもよい。また、コネクタピン３１は、複数本あってもよく、その場合には、各コネクタピンに対応してリード部材４０も複数本設けるようにする。
【００８３】
また、ダイアフラム１１の外面に設けられ、該ダイアフラム１１の変形に応じた電気信号を出力する検出部としては、上記センサチップ２０に限定されるものではない。たとえば、歪みゲージをダイアフラム１１の外面に直接蒸着し、この歪みゲージを検出部として用いてもよい。
【００８４】
また、コネクタケース３０の形状は、上記した各図の例に限定されるものではない。また、上記図１に示したように、ステム１０に設けたネジ部１３を介して圧力センサ１００を、被測定体に取り付けるようにしたが、圧力センサ１００の被測定体への取付方法は、圧入や接着などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体断面構成を示す図である。
【図２】図１に示される圧力センサにおける検出部の近傍部を示す斜視図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図５】上記第３実施形態に係る圧力センサの他の例の要部を示す概略断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図７】本発明の第５実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【図８】本発明の第６実施形態に係る圧力センサの要部を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
１０…ステム、１１…ダイアフラム、１２…ステムの開口部、
１４…ステムにおける軸一端側の端面、１５…ステムの凹部、
２０…検出部としてのセンサチップ、２１…ガラス、２２…接着剤、
３０…コネクタ部材としてのコネクタケース、３１…コネクタピン、
３２…コネクタケースの開口部、３３…コネクタケースの穴部、
４０…リード部材、４１…リード部材のＬ字底辺部、４２…絶縁膜、
４３…小剛性部、５０…ボンディングワイヤ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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