(57)【要約】【課題】本発明は、被走査面上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる光走査装置を提供することを課題とする。【解決手段】光走査装置は、レーザダイオードと、光を平行な光束にするカップリングレンズと、回転振動する振動ミラー１５ａと、振動ミラー１５ａを支持し、振動ミラー１５ａよりも大きな開口１５ｅを有するミラー支持体１５ｂと、カップリングレンズと振動ミラー１５ａとの間に配置された絞り部材１３と、絞り部材１３と振動ミラー１５ａとの間に配置される遮光壁１４とを備える。そして、遮光壁１４の開口１４ａの光軸に直交する任意の方向の幅、例えば横幅Ｗは、横幅Ｗに対応する絞り部材１３の開口１３ａの幅をａ、横幅Ｗに対応するミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの幅をｂとしたとき、ａ＜Ｗ＜ｂを満たすように設定される。【選択図】図２
2008176181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から出射された光を平行な光束にするレンズと、
回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、
前記振動ミラーを支持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、
前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置された絞りと、
前記絞りと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、
前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記幅Ｗに対応する前記絞りの開口の幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂとしたとき、
ａ＜Ｗ＜ｂ
を満たすことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
光源と、
前記光源から出射された光を平行な光束にするレンズと、
回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、
前記振動ミラーを支持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、
前記光源と前記レンズとの間に配置された絞りと、
前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、
前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記幅Ｗに対応する前記絞りの開口の幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂとしたとき、
ａ＜Ｗ＜ｂ
を満たすことを特徴とする光走査装置。
【請求項３】
光源と、
前記光源から出射された光を集束または発散する光束にするレンズと、
回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、
前記振動ミラーを保持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、
前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置された絞りと、
前記絞りと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、
前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記絞りにより制限された光束が前記振動ミラー上に投射されたときの光束断面の前記幅Ｗに対応する幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂ、前記光束の集光点から前記振動ミラーまでの距離をＬ、前記光束の集光点から前記遮光壁までの距離をＬ’としたとき、
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂＬ’）／Ｌ
を満たすことを特徴とする光走査装置。
【請求項４】
光源と、
前記光源から出射された光を集束または発散する光束にするレンズと、
回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、
前記振動ミラーを保持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、
前記光源と前記レンズとの間に配置された絞りと、
前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、
前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記絞りにより制限された光束が前記振動ミラー上に投射されたときの光束断面の前記幅Ｗに対応する幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂ、前記光束の集光点から前記振動ミラーまでの距離をＬ、前記光束の集光点から前記遮光壁までの距離をＬ’としたとき、
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂＬ’）／Ｌ
を満たすことを特徴とする光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転振動する振動ミラーを有するＭＥＭＳミラーを備えた光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、入射された光の反射方向を変化させる偏向器として、ＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical  Systems）ミラーが知られている（特許文献１参照）。具体的に、このＭＥＭＳミラーは、回転振動する振動ミラーと、振動ミラーよりも一回り大きな開口を有するミラー支持体と、振動ミラーとミラー支持体の開口の縁部とを繋ぐ軸部とを備えている。
【０００３】
ところで、近年、このようなＭＥＭＳミラーを、複写機やレーザプリンタなどの画像形成装置における光走査装置の走査用のミラーに適用することが考えられている。そして、このような光走査装置にＭＥＭＳミラーを設置した場合には、光源から出射された光がレンズや絞りを通った後、ＭＥＭＳミラーの振動ミラーに投射され、その反射方向が振動ミラーの回転振動により適宜切り替えられるようになる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２０１５２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記したようにＭＥＭＳミラーを光走査装置に組み込むと、例えば絞りの開口部の内周面などで光が散乱することで、その光が振動ミラーのみならず、ミラー支持体の開口周りの部位にも投射される可能性があった。そして、このように振動ミラー以外の部位に光が投射されると、その部位で反射された光によって、被走査面上に静止ゴースト像が形成されるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、被走査面上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる光走査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明に係る光走査装置は、光源と、前記光源から出射された光を平行な光束にするレンズと、回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、前記振動ミラーを支持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置された絞りと、前記絞りと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記幅Ｗに対応する前記絞りの開口の幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂとしたとき、
ａ＜Ｗ＜ｂ
を満たすことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る光走査装置は、光源と、前記光源から出射された光を平行な光束にするレンズと、回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、前記振動ミラーを支持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、前記光源と前記レンズとの間に配置された絞りと、前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記幅Ｗに対応する前記絞りの開口の幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂとしたとき、
ａ＜Ｗ＜ｂ
を満たすことを特徴とする。
【０００９】
前記した各光走査装置によれば、遮光壁の開口の幅Ｗが、絞りの開口の幅ａよりも大きく形成されるので、絞りを通った光束を遮ることなく確実に振動ミラーに到達させることができる。また、遮光壁の開口の幅Ｗが、ミラー支持体の開口の幅ｂよりも小さく形成されるので、仮に絞りの開口で光の散乱が起こっても、散乱光の大部分は遮光壁で良好に遮断することができ、遮光壁の開口を通過する散乱光の一部はミラー支持体の開口内に収まることとなる。そのため、ミラー支持体の開口周りの部位への光の投射が抑えられることとなる。
【００１０】
また、本発明に係る光走査装置は、光源と、前記光源から出射された光を集束または発散する光束にするレンズと、回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、前記振動ミラーを保持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置された絞りと、前記絞りと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記絞りにより制限された光束が前記振動ミラー上に投射されたときの光束断面の前記幅Ｗに対応する幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂ、前記光束の集光点から前記振動ミラーまでの距離をＬ、前記光束の集光点から前記遮光壁までの距離をＬ’としたとき、
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂＬ’）／Ｌ
を満たすことを特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明に係る光走査装置は、光源と、前記光源から出射された光を集束または発散する光束にするレンズと、回転振動し、前記レンズから出射された光束の反射方向を変化させて走査する振動ミラーと、前記振動ミラーを保持し、前記振動ミラーよりも大きな開口を有するミラー支持体と、前記光源と前記レンズとの間に配置された絞りと、前記レンズと前記振動ミラーとの間に配置されて前記光束を通過させる開口を有する遮光壁とを備え、前記遮光壁の開口の光軸に直交する任意の方向の幅Ｗは、前記絞りにより制限された光束が前記振動ミラー上に投射されたときの光束断面の前記幅Ｗに対応する幅をａ、前記幅Ｗに対応する前記ミラー支持体の開口の幅をｂ、前記光束の集光点から前記振動ミラーまでの距離をＬ、前記光束の集光点から前記遮光壁までの距離をＬ’としたとき、
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂＬ’）／Ｌ
を満たすことを特徴とする。
【００１２】
前記した各光走査装置によれば、遮光壁の開口の幅Ｗが、（ａＬ’）／Ｌ以上の大きさで形成されることで、絞りを通って遮光壁の開口まで到達した光束が遮光壁の開口を確実に通過できるので、光束を遮光壁で遮ることなく確実に振動ミラーに到達させることができる。また、遮光壁の開口の幅Ｗが、（ｂＬ’）／Ｌよりも小さく形成されることで、仮に絞りの開口で光の散乱が起こっても、散乱光の大部分は遮光壁で良好に遮断される。さらに、遮光壁の開口を通過する散乱光の一部は、遮光壁の開口を通過して徐々に広がるまたは狭まるように進んでいくこととなるが、この散乱光が振動ミラー上に投射されたときにはミラー支持体の開口内に収まることとなる。そのため、光がミラー支持体における開口周りの部位に投射されることがなくなる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、所定の幅Ｗの開口を有する遮光壁を設けることにより、ミラー支持体の開口周りの部位への光の投射が抑制されるので、被走査面上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
［第１の実施形態］
次に、本発明の第１の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。参照する図面において、図１は第１の実施形態に係る光走査装置を示す構成図であり、図２は絞り部材を示す平面図（ａ）と、遮光壁を示す平面図（ｂ）と、ＭＥＭＳミラーを示す平面図（ｃ）である。
【００１５】
［光走査装置１］
図１に示すように、光走査装置１は、光源の一例としてのレーザダイオード１１、レンズの一例としてのカップリングレンズ１２、絞り部材１３、遮光壁１４、ＭＥＭＳミラー１５および走査レンズ１６，１７を備えて構成されている。そして、これらの部品は、光の進行方向において、レーザダイオード１１、カップリングレンズ１２、絞り部材１３、遮光壁１４、ＭＥＭＳミラー１５、走査レンズ１６、走査レンズ１７といった順で配置されている。ここで、レーザダイオード１１、カップリングレンズ１２および走査レンズ１６，１７は、公知の構造であるので、その詳細な説明は省略することとする。なお、本実施形態におけるカップリングレンズ１２は、レーザダイオード１１から拡散するように出射された光を平行な光束に変換するような形状に形成されている。
【００１６】
［絞り部材１３］
絞り部材１３は、カップリングレンズ１２とＭＥＭＳミラー１５との間に配置されており、カップリングレンズ１２で変換された平行な光束を、所定の大きさ・形状に絞っている。具体的に、絞り部材１３には、図２（ａ）に示すように、光束を絞るための正方形状の開口１３ａが形成されており、この開口１３ａの縦幅および横幅は、ともに所定の長さ「ａ」となっている。
【００１７】
［遮光壁１４］
遮光壁１４は、絞り部材１３とＭＥＭＳミラー１５との間に配置されており、絞り部材１３で絞りきれなかった光（絞り部材１３の開口１３ａの内面等で散乱した光を含む）を遮断している。具体的に、遮光壁１４は、光の入射側から出射側に向けて徐々に拡開する開口１４ａを有しており、このように開口１４ａが徐々に拡開することによって絞り部材１３で絞られた光束が開口１４ａの内面で散乱することなく通過するようになっている。また、この開口１４ａは、図２（ｂ）に示すように、縦幅および横幅が所定の長さ「Ｗ」となる正方形状に形成されている。なお、この開口１４ａの各幅（縦幅Ｗ、横幅Ｗ等）の詳細については、後述することとする。
【００１８】
［ＭＥＭＳミラー１５］
ＭＥＭＳミラー１５は、図２（ｃ）に示すように、振動ミラー１５ａと、ミラー支持体１５ｂと、軸部１５ｃとを備えて構成されている。なお、本実施形態におけるＭＥＭＳミラー１５は、電磁駆動方式のものとし、その周囲には磁界を発生させる図示せぬ磁石が配設されていることとする。
【００１９】
振動ミラー１５ａは、楕円状に形成され、その表面に光を反射する楕円状のミラー部１５ｄが形成されるとともに、その内部に図示せぬコイルが形成されている。そして、このコイルに電流を流すと、前記した磁界中を電流が流れることとなり、振動ミラー１５ａに電磁力が作用して、振動ミラー１５ａが軸部１５ｃを中心に傾くようになっている。
【００２０】
ミラー支持体１５ｂは、振動ミラー１５ａよりも一回り大きな楕円状の開口１５ｅを有しており、軸部１５ｃを介して振動ミラー１５ａを開口１５ｅ内で支持している。そして、開口１５ｅは、その横幅が所定の長さ「ｂ」となり、その縦幅が横幅ｂよりも大きな長さ「ｂ’」となっている。
【００２１】
軸部１５ｃは、振動ミラー１５ａの中心に対して対称に配置されており、振動ミラー１５ａの回動軸となっている。また、この軸部１５ｃは、弾性変形可能に構成されており、これにより、電磁力で片側に傾動した振動ミラー１５ａを反対側に戻すように機能している。そのため、振動ミラー１５ａは、電磁力と軸部１５ｃの弾性力とによって所定範囲で揺動（回転振動）して、カップリングレンズ１２から出射されて絞り部材１３および遮光壁１４の各開口１３ａ，１４ａを通ってきた光束の反射方向を変化させて被走査面Ｆに対して走査を行うようになっている。
【００２２】
次に、遮光壁１４の開口１４ａの詳細について説明する。
図２（ｃ）に示すように、遮光壁１４の開口１４ａの光軸に直交する任意の方向の幅（例えば横幅Ｗ、縦幅Ｗ、対角線方向の幅Ｗ’）は、開口１４ａの所定方向の幅に対応する絞り部材１３の開口１３ａの幅（横幅ａ、縦幅ａ、対角線方向の幅ａ’）と、開口１４ａの所定方向の幅に対応するミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの幅（横幅ｂ、縦幅ｂ’、対角線方向の幅ｂ”）との関係において、以下の式（１）〜（３）の全てを満たすように設定されている。
ａ  ＜  Ｗ  ＜ｂ    ・・・  （１）
ａ  ＜  Ｗ  ＜ｂ’  ・・・  （２）
ａ’＜  Ｗ’＜ｂ”  ・・・  （３）
【００２３】
なお、以上のように決定される遮光壁１４の開口１４ａの大きさは、遮光壁１４と絞り部材１３との間の距離に比べ、十分小さく形成されている。そのため、絞り部材１３の開口１３ａで散乱した光（散乱光）が遮光壁１４の開口１４ａを通り抜けた場合には、その通り抜けた散乱光は、略平行な光束（絞り部材１３で絞られた平行な光束に沿った光束）としてＭＥＭＳミラー１５側に向かうようになっている。
【００２４】
次に、光走査装置１の動作について説明する。
図１に示すように、レーザダイオード１１から光を出射すると、その光は、カップリングレンズ１２で平行な光束に変換された後、絞り部材１３で絞られてＭＥＭＳミラー１５側へ進む。このとき、絞り部材１３の開口１３ａの内面で散乱した光（散乱光）の大部分は、遮光壁１４で良好に遮断される。また、散乱光の一部は遮光壁１４の開口１４ａを通り抜けることとなるが、この散乱光は遮光壁１４の開口１４ａでＷ（Ｗ’）以下の幅に制限されるので、ＭＥＭＳミラー１５上において散乱光はミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ内に収まることとなる。そのため、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ周りの部位への光の投射が抑えられることとなる。なお、遮光壁１４の開口１４ａを通り抜けた後の散乱光を、より確実にミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ内に収めるには、遮光壁１４をＭＥＭＳミラー１５側に近接させるのが望ましい。
【００２５】
そして、絞り部材１３で絞られた光束がＭＥＭＳミラー１５に到達した後は、振動ミラー１５ａの回転振動により光束が振られて、被走査面Ｆ上が良好に走査されることとなる。
【００２６】
以上によれば、本実施形態において以下のような効果を得ることができる。
遮光壁１４の開口１４ａの幅（Ｗ，Ｗ’）が、絞り部材１３の開口１３ａの幅（ａ，ａ’）よりも大きく、かつ、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの幅（ｂ，ｂ’，ｂ”）よりも小さく形成されることにより、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ周りの部位への光の投射が抑制されるので、被走査面Ｆ上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる。
【００２７】
遮光壁１４の開口１４ａが光の入射側から出射側に向けて徐々に拡開することにより、開口１４ａの内側が鋭く尖っているので、内面による光の散乱を抑えることができ、ひいては、被走査面Ｆ上における静止ゴースト像の発生をより抑制することができる。
【００２８】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施形態は、前記した第１の実施形態に係る光走査装置の一部の構造を変更したものであるため、第１の実施形態と同様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略することとする。参照する図面において、図３は、第２の実施形態に係る光走査装置の一部の構成部品を示す構成図（ａ）と、ＭＥＭＳミラーを示す平面図（ｂ）である。なお、図３においては、第１の実施形態と同様の構成要素である走査レンズ１６，１７を省略して示している。
【００２９】
図３（ａ）に示すように、第２の実施形態に係る光走査装置２は、第１の実施形態とは異なるカップリングレンズ２２、絞り部材２３および遮光壁２４を備えて構成されている。
【００３０】
カップリングレンズ２２は、レーザダイオード１１から出射された光を、発散する光束に変換するような形状に形成されている。ここで、カップリングレンズ２２によって所定の角度で発散する光束を、レーザダイオード１１側に仮想的に延長させると、レーザダイオード１１側の所定位置で集光する。本実施形態においては、この点を集光点Ｐとする。
【００３１】
絞り部材２３および遮光壁２４は、各開口２３ａ，２４ａの幅だけが第１の実施形態の絞り部材１３および遮光壁１４と異なるだけで、その他の形状は、第１の実施形態の絞り部材１３および遮光壁１４と同様となっている。詳しくは、絞り部材２３は、正方形状の開口２３ａを有しており、図３（ｂ）に示すように、絞った光の幅がＭＥＭＳミラー１５上で所定の幅「ａ」となるように、その開口２３ａの大きさやＭＥＭＳミラー１５からの位置が適宜決定されている。
【００３２】
遮光壁２４は、正方形状の開口２４ａを有しており、その開口２４ａの幅「Ｗ」は、以下の式（４）および（５）を全て満たすように設定されている。なお、本実施形態では、縦幅と横幅のみを代表して示す。
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂＬ’）／Ｌ  ・・・  （４）
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂ’Ｌ’）／Ｌ  ・・・  （５）
（ａ：絞り部材２３により制限された光束がＭＥＭＳミラー１５上に投射されたときの光束断面の幅Ｗに対応する幅、ｂ：ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの横幅、ｂ’：ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの縦幅、Ｌ：光束の集光点ＰからＭＥＭＳミラー１５までの距離、Ｌ’：光束の集光点Ｐから遮光壁２４までの距離）
【００３３】
なお、前記した距離Ｌは、具体的には、集光点Ｐから、振動ミラー１５ａが静止しているときの振動ミラー１５ａの中心までの距離である。さらに、距離Ｌ’は、集光点Ｐから、遮光壁２４の開口２４ａの光の入射側の縁部までの距離である。
【００３４】
なお、前記した説明では、便宜上、縦幅と横幅の関係のみを式として表したが、遮光壁２４の開口２４ａの任意の方向の幅は、上記のような式を満たすように設定される。すなわち、例えば開口２４ａの対角線方向の幅を「Ｗ’」とし、この幅Ｗ’に対応する絞り部材２３により制限される光束断面の幅を「ａ’」とし、幅Ｗ’に対応するミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの幅を「ｂ”」としたときには、以下の式（６）を満たすように、幅Ｗ’を設定すればよい。
（ａ’Ｌ’）／Ｌ≦Ｗ’＜（ｂ”Ｌ’）／Ｌ  ・・・  （６）
【００３５】
次に、光走査装置２の動作について説明する。
図３（ａ）に示すように、レーザダイオード１１から光を出射すると、その光は、カップリングレンズ１２で発散した光束（発散光）に変換された後、絞り部材２３で絞られてＭＥＭＳミラー１５側へ進む。ここで、遮光壁２４の開口２４ａの幅Ｗが（ａＬ’）／Ｌ以上の大きさで形成されることにより、絞り部材２３を通って遮光壁２４の開口２４ａまで到達した光束が遮光壁２４の開口２４ａを確実に通過して、振動ミラー１５ａ上に所定の幅ａで投射されることとなる。
【００３６】
なお、このとき、絞り部材２３の開口２３ａの内面で散乱した光（散乱光）の大部分は、遮光壁２４で良好に遮断され、散乱光の一部は遮光壁２４の開口２４ａを通り抜けることとなる。ただし、遮光壁２４の開口２４ａの幅Ｗが（ｂＬ’）／Ｌよりも小さく形成されることにより、遮光壁２４の開口２４ａを通過した散乱光が徐々に広がるように（絞り部材２３で絞られた発散光に沿うように）進んでも、ＭＥＭＳミラー１５上において散乱光がミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ内に収まることとなる。そのため、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ周りの部位への光の投射が抑えられることとなる。
【００３７】
以上によれば、本実施形態において以下のような効果を得ることができる。
ＭＥＭＳミラー１５へ投射させる光束が発散光であっても、所定の幅Ｗとなる開口を有する遮光壁２４を設けることにより、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ周りの部位への光の投射が抑制されるので、被走査面上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる。
【００３８】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施形態は、前記した第１の実施形態に係る光走査装置の一部の構造を変更したものであるため、第１の実施形態と同様の構成要素については、同一符号を付し、その説明を省略することとする。参照する図面において、図４は、第３の実施形態に係る光走査装置の一部の構成部品を示す構成図（ａ）と、ＭＥＭＳミラーを示す平面図（ｂ）である。
【００３９】
図４（ａ）に示すように、第３の実施形態に係る光走査装置３は、第１の実施形態とは異なるカップリングレンズ３２、絞り部材３３および遮光壁３４を備えて構成されている。
【００４０】
カップリングレンズ３２は、レーザダイオード１１から出射された光を、集束する光束に変換するような形状に形成されている。ここで、カップリングレンズ３２によって所定の角度で集束していく光束を仮想的に延長させると、ＭＥＭＳミラー１５側の所定位置で集光する。本実施形態においては、この点を集光点Ｐとする。
【００４１】
絞り部材３３および遮光壁３４は、各開口３３ａ，３４ａの幅だけが第１の実施形態の絞り部材１３および遮光壁１４と異なるだけで、その他の形状は、第１の実施形態の絞り部材１３および遮光壁１４と同様となっている。詳しくは、絞り部材３３は、正方形状の開口３３ａを有しており、図４（ｂ）に示すように、絞った光の幅がＭＥＭＳミラー１５上で所定の幅「ａ」となるように、その開口３３ａの大きさやＭＥＭＳミラー１５からの位置が適宜決定されている。
【００４２】
遮光壁３４は、正方形状の開口３４ａを有しており、その開口３４ａの幅「Ｗ」は、以下の式（７）および（８）を満たすように設定されている。なお、本実施形態では、縦幅と横幅のみを代表して示す。
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂＬ’）／Ｌ  ・・・  （７）
（ａＬ’）／Ｌ≦Ｗ＜（ｂ’Ｌ’）／Ｌ  ・・・  （８）
（ａ：絞り部材３３により制限された光束がＭＥＭＳミラー１５上に投射されたときの光束断面の幅Ｗに対応する幅、ｂ：ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの横幅、ｂ’：ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの縦幅、Ｌ：光束の集光点ＰからＭＥＭＳミラー１５までの距離、Ｌ’：光束の集光点Ｐから遮光壁３４までの距離）
【００４３】
なお、前記した距離Ｌは、具体的には、集光点Ｐから、振動ミラー１５ａが静止しているときの振動ミラー１５ａの中心までの距離である。さらに、距離Ｌ’は、集光点Ｐから、遮光壁３４の開口３４ａの光の入射側の縁部までの距離である。
【００４４】
なお、前記した説明では、便宜上、縦幅と横幅の関係のみを式として表したが、遮光壁３４の開口３４ａの任意の方向の幅は、上記のような式を満たすように設定される。すなわち、例えば開口３４ａの対角線方向の幅を「Ｗ’」とし、この幅Ｗ’に対応する絞り部材３３により制限される光束断面の幅を「ａ’」とし、幅Ｗ’に対応するミラー支持体１５ｂの開口１５ｅの幅を「ｂ”」としたときには、以下の式（９）を満たすように、幅Ｗ’を設定すればよい。
（ａ’Ｌ’）／Ｌ≦Ｗ’＜（ｂ”Ｌ’）／Ｌ  ・・・  （９）
【００４５】
次に、光走査装置３の動作について説明する。
図４（ａ）に示すように、レーザダイオード１１から光を出射すると、その光は、カップリングレンズ３２で集束した光束（集束光）に変換された後、絞り部材３３で絞られてＭＥＭＳミラー１５側へ進む。ここで、遮光壁３４の開口３４ａの幅Ｗが（ａＬ’）／Ｌ以上の大きさで形成されることにより、絞り部材３３を通って遮光壁３４の開口３４ａまで到達した光が遮光壁３４の開口３４ａを確実に通過して、振動ミラー１５ａ上に所定の幅ａで投射されることとなる。
【００４６】
なお、このとき、絞り部材３３の開口３３ａの内面で散乱した光（散乱光）の大部分は、遮光壁３４で良好に遮断され、散乱光の一部は遮光壁３４の開口３４ａを通り抜けることとなる。ただし、遮光壁３４の開口３４ａの幅Ｗが（ｂＬ’）／Ｌよりも小さく形成されることにより、遮光壁３４の開口３４ａを通過した散乱光が徐々に狭まるように（絞り部材２３で絞られた集束光に沿うように）進むと、ＭＥＭＳミラー１５上において散乱光がミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ内に収まることとなる。そのため、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ周りの部位への光の投射が抑えられることとなる。
【００４７】
以上によれば、本実施形態において以下のような効果を得ることができる。
ＭＥＭＳミラー１５へ投射させる光束が集束光であっても、所定の幅Ｗとなる開口を有する遮光壁３４を設けることにより、ミラー支持体１５ｂの開口１５ｅ周りの部位への光の投射が抑制されるので、被走査面上における静止ゴースト像の発生を抑制することができる。
【００４８】
なお、本発明は前記各実施形態に限定されることなく、以下に例示するように様々な形態で利用できる。
前記各実施形態では、絞り部材や遮光壁の開口を正方形状とし、ミラー支持体の開口を楕円状としたが、本発明はこれに限定されず、絞り部材や遮光壁の開口を楕円状、円状、長方形状等としてもよく、ミラー支持体の開口を正方形状、円状、長方形状等としてもよい。
【００４９】
前記各実施形態では、遮光壁の開口を光の入射側から出射側に向けて徐々に拡開するように形成したが、本発明はこれに限定されるものではなく、どのような形状であってもよい。ただし、遮光壁の開口は、前記各実施形態のようにその内側が尖っているのが望ましい。なお、尖った形状とするには、前記各実施形態に限らず、例えば、遮光壁の開口を光の出射側から入射側に向けて徐々に拡開するように形成してもよく、また、遮光壁の開口内面の中央から光の出射側および入射側に向けて徐々に拡開するように形成してもよい。
【００５０】
前記各実施形態では、ＭＥＭＳミラーとして電磁駆動方式のものを採用したが、本発明はこれに限定されず、例えば、静電力で振動ミラーを揺動させる静電駆動方式のものなどを採用してもよい。
前記各実施形態では、カップリングレンズと遮光壁との間に絞り部材を配置したが、本発明はこれに限定されず、例えばレーザダイオードとカップリングレンズとの間に絞り部材を配置してもよい。
【００５１】
前記各実施形態では、光源としてレーザダイオードを採用したが、本発明はこれに限定されず、例えば発光ダイオードなどを採用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】第１の実施形態に係る光走査装置を示す構成図である。
【図２】絞り部材を示す平面図（ａ）と、遮光壁を示す平面図（ｂ）と、ＭＥＭＳミラーを示す平面図（ｃ）である。
【図３】第２の実施形態に係る光走査装置の一部の構成部品を示す構成図（ａ）と、ＭＥＭＳミラーを示す平面図（ｂ）である。
【図４】第３の実施形態に係る光走査装置の一部の構成部品を示す構成図（ａ）と、ＭＥＭＳミラーを示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【００５３】
１      光走査装置
１１    レーザダイオード
１２    カップリングレンズ
１３    絞り部材
１３ａ  開口
１４    遮光壁
１４ａ  開口
１５    ＭＥＭＳミラー
１５ａ  振動ミラー
１５ｂ  ミラー支持体
１５ｃ  軸部
１５ｄ  ミラー部
１５ｅ  開口
１６    走査レンズ
１７    走査レンズ
Ｆ      被走査面
Ｌ      距離
Ｌ’    距離
Ｐ      集光点
Ｗ      幅
ａ      幅
ｂ      幅
【図１】
2008176181.tif 000003
【図２】
2008176181.tif 000004
【図３】
2008176181.tif 000005
【図４】
2008176181.tif 000006