(57)【要約】【課題】コンタミが付着しにくいスライダを有する検査用ヘッドを提供する。【解決手段】ディスク面（２２）に異常な突起があるかどうかを検査する検査装置（１）に使用され、ディスク面上で浮上する検査用ヘッド（２）であって、ディスク面に形成された潤滑層（２６）に対して撥水性を有する潤滑層（１６）で覆われた浮上面（１１）を有することを特徴とするスライダ（１０）を有する検査用ヘッドを提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク面に異常な突起があるかどうかを検査する検査装置に使用され、前記ディスク面上で浮上する検査用ヘッドであって、
前記ディスク面に形成された第１の潤滑層に対して撥水性を有する第２の潤滑層で覆われた浮上面を有することを特徴とする検査用ヘッド。
【請求項２】
請求項１記載の検査用ヘッドを特徴とする検査装置。
【請求項３】
ディスク面に異常な突起があるかどうかを検査する検査装置に使用され、前記ディスク面上で浮上する検査用ヘッドの製造方法であって、
前記検査用ヘッドの浮上面に前記ディスクの第１の潤滑層に対して撥水性を有する第２の潤滑層を塗布によって形成するステップと、
前記潤滑剤に紫外線照射を行って前記浮上面を潤滑剤で覆うステップとを有することを特徴とする製造方法。
【請求項４】
前記潤滑剤は末端に水酸基を有さないパーフルオロポリエーテル系化合物であることを特徴とする請求項３記載の製造方法。
【請求項５】
前記形成ステップは、前記第２の潤滑層の膜厚を１．５ｎｍ乃至２．６ｎｍの間に設定することを特徴とする請求項３記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般には、磁気ディスクの検査装置に係り、特に、ハードディスク装置（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｃ Ｄｒｉｖｅ：ＨＤＤ）に搭載されるディスクがスライダに所期の浮上量を与えられるかどうかを検査するグライド検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤにおいてはヘッドを搭載したスライダがディスクから浮上した状態でヘッドがディスクに記録再生を施す。ディスクが回転すると空気流が発生し、かかる空気流はスライダをディスク面から浮上させる浮力を生成する。一方、スライダを支持するサスペンションはスライダの浮力と対向する弾性力をスライダに加える。ＨＤＤはかかる浮力と弾性力との釣り合いにより、スライダの浮上量を制御する。
【０００３】
浮上量が大きすぎるとヘッドがディスクから離れすぎて記録再生ができなくなる。浮上量が少なすぎるとスライダがディスクに衝突して両者又は一方が損傷したり、接触によりディスクに記録されたデータが消去されたりする。そして、ディスクの高記録密度化によって浮上量は低下している現在のＨＤＤにおいては浮上量の制御は重要である。
【０００４】
ディスク面に異常な突起があるとスライダと突起が衝突して浮上量制御を損ねる。このため、従来からディスク面に異常な突起のある不良品ディスクを検出するグライド（Ｇｌｉｄｅ）検査装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照のこと）。グライド検査装置が検出した不良品ディスクはＨＤＤに搭載される候補から除かれることによってディスク面の平滑性とスライダの安定浮上を確保することができる。
【特許文献１】特開２００１−１８４６３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
グライド検査装置は、検査対象としてのディスク面上で検査用ヘッドを浮上させてその浮上状態を検査する。検査中にディスク上のコンタミが検査用ヘッドに付着して浮上性が悪化すると適正な検査ができなくなる。また、ディスク欠陥と検査用ヘッドの衝突によって浮上バランスが崩れてディスクに検査用ヘッドが吸着する場合がある。吸着を起こすとディスクと検査用ヘッドが検査終了まで離れないことがある。この影響で検査用ヘッドが損傷したり、コンタミの堆積したりして検査用ヘッドの交換率が高くなる。
【０００６】
そこで、本発明は、コンタミが付着しにくい検査用ヘッドを提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施例としての検査用ヘッドは、ディスク面に異常な突起があるかどうかを検査する検査装置に使用され、前記ディスク面上で浮上する検査用ヘッドであって、前記ディスク面に形成された第１の潤滑層に対して撥水性を有する第２の潤滑層で覆われた浮上面を有することを特徴とする。かかるスライダによれば第２の潤滑層により、スライダの表面にコンタミが付きにくくなり、また、ディスク面に吸着しても離れ易くなる。例えば、前記第１の潤滑層はテトラオールから構成され、前記第２の潤滑層はホンブリンである。
【０００８】
かかる検査用ヘッドを有することを特徴とする検査装置はヘッド交換する頻度が低いので検査のスループットが上がる。
【０００９】
本発明の別の側面としてのディスク面に異常な突起があるかどうかを検査する検査装置に使用され、前記ディスク面上で浮上するスライダを有する検査用ヘッドの製造方法であって、前記検査用ヘッドの浮上面に前記ディスクの第１の潤滑層に対して撥水性を有する第２の潤滑層を塗布によって形成するステップと、前記潤滑剤に紫外線照射を行って前記浮上面を潤滑剤で覆うステップとを有することを特徴とする。かかる製造方法により、検査用のセンサを焼き付けによって熱損傷せずに第２の潤滑層を形成することができる。
【００１０】
前記潤滑剤は、例えば、末端に水酸基を有さないパーフルオロポリエーテル系化合物である。
【００１１】
前記形成ステップは、前記第２の潤滑層の膜厚を１．５ｎｍ乃至２．６ｎｍの間に設定することガ好ましい。この範囲でテイクオフ周速（Ｔａｋｅ Ｏｆｆ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ：ＴＯＶ）の改善の効果が見られたからである。
【００１２】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、コンタミが付着しにくい検査用ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図１を参照して、グライド検査装置（磁気ディスク検査装置）１における検査用ヘッド２の構造について説明する。グライド検査装置は、ディスク面２２に異常な突起があるかどうかを検査する検査装置であり、他の図示しない構成要素と共にスライダ１０が形成された検査用ヘッド２を有する。ここで、図１左側はスライダ１０の概略斜視図であり、図１右側は図１左側Ａ部のスライダ１０の拡大断面図である。また、図１右側のディスク２０のＢ部の部分拡大断面をその上に示す。図２にはスライダ１０が形成された検査用ヘッド２が示されており、図２（ａ）が検査用ヘッド２の概略平面図、図２（ｂ）が検査用ヘッド２の概略側面図、図２（ｃ）が検査用ヘッド２の概略背面図となっている。
【００１５】
スライダ１０は、略直方体に形成されるＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製であり、記録再生用のヘッドは搭載しておらず回転する磁気ディスク２０の表面２２から浮上する。スライダ１０はアルチック製でない場合にはダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）コーティングを施すことが好ましい。スライダ１０は、浮上面１１と、サイドウイング１４と、潤滑層１６とを有する。
【００１６】
浮上面１１は、ディスク２０に対向する媒体対向面である。ディスク２０の回転に基づき生成される気流は浮上面１１に受け止められる。浮上面１１には、空気流入端から空気流出端に向かって延びる２筋のレール１２が形成される。各レール１２の頂上面はいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）として機能する。ＡＢＳは気流の働きに応じて浮力が生成される。
【００１７】
サイドウイング１４にはピエゾセンサ１５を搭載する搭載部である。ピエゾセンサ１５はグライド検査装置１による検査に利用される。
【００１８】
潤滑層１６は、ディスク面２２に形成された潤滑層２６に対して撥水性を有し、浮上面１１を覆う。ディスク２０は、例えば、基本層２４と潤滑層２６とを有する。基本層２４は、例えば、非磁性基板上にＣｒを含む下地層、中間層、ＣｏＣｒ系合金材料からなる記録層としての磁性層、保護層から構成されるがこれに限定されない。潤滑層２６は、テトラオールなどの高分子材料からなる。
【００１９】
潤滑層１６は、末端に水酸基を有さないパーフルオロポリエーテル系化合物から構成される（Ｚ25フォンブリン等）。本実施例では、潤滑層１６は、図１右側に示すようにスライダ１０の全体を覆っているが、少なくともＡＢＳ面を覆えば足りる。潤滑層１６により、スライダ１０の表面にコンタミが付きにくくなり、また、ディスク面２２に吸着しても離れ易くなる。
【００２０】
以下、図３乃至図５（ｃ）を参照して、潤滑層１６の効果について説明する。図３は、潤滑層１６を有しない従来のスライダと本実施例のスライダ１０とのテイクオフ周速（Ｔａｋｅ Ｏｆｆ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ： ＴＯＶ）とタッチダウン周速（Ｔｏｕｃｈ Ｄｏｗｎ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ： ＴＤＶ）とを比較したグラフである。ＴＤＶは、浮上しているスライダの周速を下げた場合にディスク面２２に落下して衝突する時の周速をいう。ＴＯＶは、ディスク面２２上にあるスライダの周速を増加した場合に再び浮上するときの周速をいう。
【００２１】
従来のスライダは、６．５ｍ／ｓのＴＤＶと１０．８ｍ／ｓのＴＯＶを有する。これに対して、スライダ１０は、５．２ｍ／ｓのＴＤＶと７．４ｍ／ｓのＴＯＶを有する。グライド検査装置１は、ディスク２０の内周から外周に亘る周速が一定になるように構成されており、また、周速を変更する手段を有しなかった。周速が大きすぎるとスライダ１０の浮上量が大きくなりすぎてディスク面２２上の異常な突起を検知することができない。従って、周速が、例えば、約８ｍ／ｓであれば、何らかの理由でスライダ１０がディスク面２２に吸着するとＴＤＶ未満であるために再び浮上することができない。一方、スライダ１０は、ＴＤＶよりも大きいために再び浮上することができる。従って、スライダ１０は、従来のスライダよりも低い周速で浮上することができるので好ましい。
【００２２】
図４は、潤滑層１６を有しない従来のスライダと本実施例のスライダ１０について、ピッチ角とＴＯＶ−ＴＤＶとの関係を示すグラフである。従来は、スライダの吸着防止をピッチ角を変更することで改善している。ピッチ角を上げるとスライダの浮上面はディスク面２２に垂直に近づいて風を受け易くなる。このため、ピッチ角を上げるとスライダがディスク面２２に吸着してもスライダは離れ易くなる。しかし、ピッチ角を上げ過ぎると、風の影響を受けてスライダが振動するピッチ角をあまり大きくすることは好ましくない。図４から、スライダ１０のＴＯＶ−ＴＤＶ（ｍ／ｓ）がある範囲のピッチ角に亘って小さいことが理解される。例えば、スライダ１０は、従来のスライダが１６５°のピッチ角が必要であったＴＯＶ−ＴＤＶ（ｍ／ｓ）をピッチ角１５５°付近で達成することができるので好ましい。
【００２３】
図５（ａ）は、潤滑層１６の膜厚とＴＯＶ改善量との関係を示すグラフである。膜厚が１．５ｎｍ乃至２．６ｎｍの範囲でＴＯＶ量が大きく改善していることが分かる。図５（ｂ）は、潤滑層１６の膜厚とＴＯＶ改善量との関係を示すグラフである。膜厚が１．５ｎｍ乃至２．６ｎｍの範囲で純水との接触角が１００°以上を維持することができる。図５（ｃ）は、潤滑層１６の膜厚とスライダ１０の表面との固着率との関係を示すグラフである。固着率は、膜厚が１．０ｎｍ乃至２．６ｎｍの範囲で問題ない固着率を有する。固着率は、潤滑層１６を形成した後で焼き固めたりＵＶ照射をしたりする工程でどの程度の潤滑剤１６がスライダ１０に残るかを示すグラフである。以上から、潤滑層１６の膜厚は１．５ｎｍ乃至２．６ｎｍの範囲が好ましい。
【００２４】
図６（ａ）乃至図６（ｃ）は、潤滑層１６のない従来のスライダを使用してグライド検査装置１で検査した検査結果で、図７（ａ）乃至図７（ｃ）は、潤滑層１６のない従来のスライダを使用してグライド検査装置１で検査した検査結果を示している。１枚から１２枚の異常な突起がディスク面２２にないディスクを用意した。図中横軸はディスク２０の中心からのスライダの位置であり、縦軸はピエゾセンサ１５の出力である。
【００２５】
図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、１面目のディスクの検査時には、どちらのスライダを有した検査用ヘッド２を使用してもピエゾセンサ１５は異常な突起を検出していない。図６（ａ）及び図７（ａ）に示す波形はベースノイズと呼ばれ、ベースノイズがある閾値に到達すると検査ができなくなる。
【００２６】
その後、いずれのスライダにも間欠的にディスク面２２に衝突するが、スライダ１０には潤滑層２６がこびりつきにくい。そして、図６（ｂ）に示すように、１０面目のディスクの検査時には、従来のスライダには潤滑層２６の一部がこびりついてディスク面２２に衝突し易くなる。この結果、ベースノイズはかなり大きく、また、位置に対してピエゾセンサ１５の出力が不安定であり、一部は閾値を超えている。このため、従来のスライダを有したヘッドは交換する必要性が高い。図６（ｃ）に示すように、１２面目のディスクの検査時には、従来のスライダのベースノイズは閾値を完全に超えており、交換しなければならない。
【００２７】
これに対して、図７（ｂ）及び図７（ｃ）に示すように、１０面目及び１２面目のディスクの検査時において、スライダ１０のベースノイズは低く安定して耐久性が高く交換頻度は低下する。このように、本実施例のスライダ１０は、交換頻度が低下するので検査のスループットが向上する。
【００２８】
スライダ１０の製造方法は、図８に示すように、まず、ピエゾセンサ１５がサイドウイング１４に搭載されているスライダ１０の浮上面１１に潤滑層２６に対して撥水性を有する潤滑層１６を塗布によって形成する（ステップ１００２）。次に、潤滑剤１６に波長１７２ｎｍの紫外線（ＵＶ）照射を行って浮上面１１を潤滑剤で覆う（ステップ１００４）。ＵＶ照射により焼き付けによってスライダ全体を固めなくても潤滑層１６を固めることができる。このため、ピエゾセンサ１５を焼き付けによって熱損傷せずに潤滑層１６を形成することができる。
【００２９】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。
【００３０】
本発明は更に以下の事項を開示する。
【００３１】
（付記１）  
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明のグライド検査装置とスライダの概略斜視図及び部分拡大断面図である。
【図２】図２（ａ）は、図１に示すスライダを有する検査用ヘッドの概略平面図である。  図２（ｂ）は、図１に示すスライダを有する検査用ヘッドの概略側面図である。  図２（ｃ）は、図１に示すスライダを有する検査用ヘッドの概略背面図である。
【図３】図１に示すスライダと従来のスライダのテイクオフ周速とタッチダウン周速の関係を示したグラフである。
【図４】ピッチ角とテイクオフ周速とタッチダウン周速の差との関係を示すグラフである。
【図５】図５（ａ）は図１に示すスライダの潤滑層の膜厚とテイクオフ周速との関係を示すグラフである。図５（ｂ）は図１に示すスライダの潤滑層の膜厚と純水との接触角との関係を示すグラフである。図５（ｃ）は図１に示すスライダの潤滑層の膜厚と固着率％との関係を示すグラフである。
【図６】図６（ａ）は従来のスライダが異常な突起のないディスクの１面目を検査した場合のディスクの中心からの距離とセンサ出力との関係を示すグラフである。図６（ｂ）は従来のスライダが異常な突起のないディスクの１０面目を検査した場合のディスクの中心からの距離とセンサ出力との関係を示すグラフである。図６（ｃ）は従来のスライダが異常な突起のないディスクの１２面目を検査した場合のディスクの中心からの距離とセンサ出力との関係を示すグラフである
【図７】図７（ａ）は従来のスライダが異常な突起のないディスクの１面目を検査した場合のディスクの中心からの距離とセンサ出力との関係を示すグラフである。図７（ｂ）は従来のスライダが異常な突起のないディスクの１０面目を検査した場合のディスクの中心からの距離とセンサ出力との関係を示すグラフである。図７（ｃ）は従来のスライダが異常な突起のないディスクの１２面目を検査した場合のディスクの中心からの距離とセンサ出力との関係を示すグラフである
【図８】図１に示すスライダの製造方法を説明するときのフローチャートである。
【符号の説明】
【００３３】
１                    グライド検査装置
２                    検査用ヘッド
１０                  スライダ
１１                  浮上面
１６                  潤滑層
２０                  ディスク
２２                  ディスク面
２６                    潤滑層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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