(57)【要約】【課題】液剤の滴下量の精度向上を図ることができる液剤滴下装置を提供すること。【解決手段】シリンジ２４を、プランジャ３１が水平方向に沿って往復動するように配置するとともに、プランジャ３１を水平方向に沿って往復動させることでシリンジ２４内への液晶の供給及びノズル７０からの液晶の吐出を行うようにした。そして、プランジャ３１を、リニアモータ８０によって往復動するようにした。【選択図】図１
2008284441.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液剤を貯留するシリンジと、
前記シリンジに移動可能に支持されたプランジャと、
前記プランジャを往復動させ前記シリンジ内に対して液剤を吸入・吐出する第１のアクチュエータと、
前記シリンジに貯留源から前記液剤を供給する供給流路を開閉する吸入側バルブと、
前記シリンジからノズルへ前記液剤を供給する吐出流路を開閉する吐出側バルブと、
を備えた液剤滴下装置であって、
前記シリンジは、前記プランジャが水平方向に沿って往復動するように配置され、
前記第１のアクチュエータは、前記プランジャを水平方向に沿って往復動させるリニアモータであることを特徴とする液剤滴下装置。
【請求項２】
前記吐出側バルブは、
前記シリンジの液剤貯留空間と連通するシリンジ流路を有するシリンジブロックと、
液剤を吐出するノズルの吐出口と連通するノズル流路を有するノズルブロックと、
貫通孔が形成されるとともに、前記貫通孔が前記シリンジ流路と前記ノズル流路とを連通する開路位置と、前記貫通孔が前記シリンジ流路と前記ノズル流路とを連通しない閉路位置との間で往復動されるスライド部材と
を備えたことを特徴する請求項１に記載の液剤滴下装置。
【請求項３】
前記スライド部材は往復動方向に沿って延びるとともに、該スライド部材には前記閉路位置に配置されたときに前記シリンジ流路と連通する凹部が形成され、
前記シリンジブロックには前記凹部と前記貯留源とを連通する外部流路が形成されることにより、前記吐出側バルブと前記吸入側バルブとが一体形成された
ことを特徴とする請求項２に記載の液剤滴下装置。
【請求項４】
前記リニアモータは、垂直方向に沿ったベースのモータ取付面に設けられることを特徴とする請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置。
【請求項５】
前記シリンジと前記ノズルとの間で前記スライド部材を摺動させる第２のアクチュエータと、
前記シリンジ内に液剤を供給する場合には、前記シリンジ流路と前記外部流路とを連通した状態で前記リニアモータを駆動して前記プランジャを後退させ、前記ノズルから液剤を吐出する場合には、前記シリンジ流路と前記ノズル流路とを連通した状態で前記リニアモータを駆動して前記プランジャを前進させる制御装置と
を備えたことを特徴とする請求項３又は４に記載の液剤滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液剤滴下装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶等の液剤が貯留されたバッファとシリンジとの間に設けられた吸入側バルブ及びシリンジとノズルとの間に設けられた吐出側バルブの開閉を制御してプランジャを操作することで、シリンジ内への液剤の供給及びシリンジ内に貯留された液剤の滴下を行う液剤滴下装置がある（例えば、特許文献１）。一般に、このような液剤滴下装置では、ボールねじをモータにより回転させて、該ボールねじに螺合する被移動部材を任意の位置に移動させるボールねじ駆動装置によってプランジャを操作している。
【特許文献１】特開２００５−１２５１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ボールねじ駆動装置では、ボールねじの加工精度が低いことに起因して、被移動部材の位置決め精度、即ちプランジャの操作精度が目標とする操作精度に対して不十分であり、液剤の滴下量の精度を向上させることが困難であるという問題があった。
【０００４】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、液剤の滴下量の精度向上を図ることができる液剤滴下装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、液剤を貯留するシリンジと、前記シリンジに移動可能に支持されたプランジャと、前記プランジャを往復動させ前記シリンジ内に対して液剤を吸入・吐出する第１のアクチュエータと、前記シリンジに貯留源から前記液剤を供給する供給流路を開閉する吸入側バルブと、前記シリンジからノズルへ前記液剤を供給する吐出流路を開閉する吐出側バルブと、を備えた液剤滴下装置であって、前記シリンジは、前記プランジャが水平方向に沿って往復動するように配置され、前記第１のアクチュエータは、前記プランジャを水平方向に沿って往復動させるリニアモータである。
【０００６】
同構成によれば、シリンジは、プランジャが水平方向に沿って往復動するように配置され、プランジャが水平方向に沿って往復動されることでシリンジ内への液晶の供給及びノズルからの液晶の吐出が行われる。そして、プランジャは、リニアモータによって往復動される。このようにプランジャを水平方向に往復動させる場合は、プランジャを垂直方向に往復動させる場合と異なり、自重によってプランジャが押し下げられないので、リニアモータによってプランジャを駆動することが可能となる。そして、リニアモータによってプランジャを駆動する場合には、ボールねじの加工精度によってプランジャの位置決め精度が影響されない。従って、プランジャの位置決め精度、即ちプランジャの操作精度が向上し、液剤の滴下量の精度向上が図られる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液剤滴下装置において、前記吐出側バルブは、前記シリンジの液剤貯留空間と連通するシリンジ流路を有するシリンジブロックと、液剤を吐出するノズルの吐出口と連通するノズル流路を有するノズルブロックと、貫通孔が形成されるとともに、前記貫通孔が前記シリンジ流路と前記ノズル流路とを連通する開路位置と、前記貫通孔が前記シリンジ流路と前記ノズル流路とを連通しない閉路位置との間で往復動されるスライド部材とを備えた。同構成によれば、シリンジからの液剤の吐出を制御する吐出側バルブは、スライド部材が開路位置と閉路位置との間で往復動することで開閉される。そのため、シリンジとノズルとの間の流路に可撓性を備えるチューブを用い、該チューブを挟着若しくは挟着を解除することで流路を開閉するピンチバルブにより液剤の吐出を行う場合に比べ、液剤に加わった圧力が分散され難く液剤の滴下量の精度向上が図られる。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の液剤滴下装置において、前記スライド部材は往復動方向に沿って延びるとともに、該スライド部材には前記閉路位置に配置されたときに前記シリンジ流路と連通する凹部が形成され、前記シリンジブロックには前記凹部と前記貯留源とを連通する外部流路が形成されることにより、前記吐出側バルブと前記吸入側バルブとが一体形成された。同構成によれば、シリンジ流路と外部流路とを凹部により連通して液剤の供給を可能にし、シリンジ流路とノズル流路とを貫通孔により連通して液剤の吐出を可能にする。そのため、ピンチバルブにより液剤の供給及び吐出を制御する場合に比べ、シリンジと貯留源との間の流路及びシリンジとノズルとの間の流路において、液剤に加わった圧力が分散され難く液剤の滴下量の精度向上が図られる。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のうちの何れか一項に記載の液剤滴下装置において、前記リニアモータは、垂直方向に沿ったベースのモータ取付面に設けられる。同構成によれば、リニアモータが垂直方向に沿ったベースのモータ取付面に設けられるため、水平方向に沿って固定されるベース上にリニアモータを設ける場合のように、ベースとシリンジとの間にリニアモータを設けるスペースを確保せずに済む。そのため、シリンジの液剤貯留空間からノズル先端までの距離を長くすることなくノズル先端を、水平方向に固定されたベース上にリニアモータを設ける場合に比べ、より下方に突出させることが可能となる。従って、液剤滴下装置を基板の搬送経路の上方に設けた場合に、容易にノズル先端と基板との距離を短くされる。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項３又は４に記載の液剤滴下装置において、前記シリンジと前記ノズルとの間で前記スライド部材を摺動させる第２のアクチュエータと、前記シリンジ内に液剤を供給する場合には、前記シリンジ流路と前記外部流路とを連通した状態で前記リニアモータを駆動して前記プランジャを後退させ、前記ノズルから液剤を吐出する場合には、前記シリンジ流路と前記ノズル流路とを連通した状態で前記リニアモータを駆動して前記プランジャを前進させる制御装置とを備えた。同構成によれば、制御装置によって自動で液剤の供給及び滴下が行われる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、液剤の滴下量の精度向上を図ることが可能な液剤滴下装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を液晶滴下装置に具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、液晶滴下装置１０の概略構成図である。液晶滴下装置１０は、液晶ディスプレイパネルの製造工程のうち、液晶ディスプレイパネルを構成する基板に液晶を滴下する工程において用いられる。液晶滴下装置１０は、基板が搬送される搬送経路の上方に位置するよう設けられるとともに、液晶滴下装置１０の下方を通過する基板に液晶を滴下する。
【００１３】
液晶滴下装置１０のベース１１は略長方形板状に形成されるとともに、搬送経路近傍に設けられた支持台（図示略）に対し水平方向に沿って固定されている。ベース１１上には、ディスペンサ２０及び第１のアクチュエータとしてのリニアモータ８０が固定されている。ディスペンサ２０の貯留源としてのバッファ２１には図示しないタンクが接続されるとともに、該タンクからバッファ２１の内部空間２２に液晶が供給されるようになっている。バッファ２１には、チューブ２３を介してシリンジ２４が接続されるとともに、バッファ２１内の液晶がシリンジ２４に供給されるようになっている。チューブ２３とシリンジ２４との間には吸入側バルブ及び吐出側バルブとしてのスライドバルブ４０がベース１１上に設けられている。チューブ２３の両端部は、継手部２５ａ，２５ｂを介してそれぞれバッファ２１及びスライドバルブ４０に接続されている。
【００１４】
シリンジ２４の基端部分２６は、中空略円筒状に形成されている。基端部分２６の先端（図１において左側）には、中空略円筒状に形成された先端部分２７が基端部分２６と同軸上にて内嵌合されている。基端部分２６及び先端部分２７の内部空間が液晶を貯留する液剤貯留空間２８を形成する。そして、シリンジ２４は、基端部分２６がスライドバルブ４０に嵌合されることで、シリンジ２４の軸線が水平方向に沿って固定されている。
【００１５】
また、シリンジ２４には、先端部分２７の先端に段差部２９が形成されるとともに、該段差部２９の中央に開口３０が形成されている。そして、シリンジ２４の液剤貯留空間２８には、開口３０を介して円柱状に形成されたプランジャ３１が軸方向、即ち水平方向に沿って往復動可能に挿入されている。プランジャ３１の外径は基端部分２６の内径と略同径に形成されている。先端部分２７とプランジャ３１との間には、シール材３２（例えば、バリシール（登録商標））及びスペーサ３３を介在させることにより、先端部分２７から液晶が溢れ出すことを防止している。さらに、プランジャ３１の把持部３４には、ベース１１上に固定されたリニアモータ８０が接続されている。
【００１６】
スライドバルブ４０の下端にはノズル７０が接続されている。ノズル７０は中空略円筒形状に形成されるとともに、該ノズル７０の下端に液晶を吐出する吐出口７１が形成されている。そして、ノズル７０は、吐出口７１がベース１１に形成された開口１２から、ベース１１の下方に突出するように設けられている。
【００１７】
スライドバルブ４０は、基端部分２６が外嵌されるシリンジブロック４１と、シリンジブロック４１の下端に固定されるノズルブロック４２と、シリンジブロック４１とノズルブロック４２との間に挿入されるスライド部材４３とから構成される。スライドバルブ４０は、スライド部材４３が長手方向（図１において左右方向）に沿って往復動することで、シリンジ２４（液剤貯留空間２８）内への液晶の供給とノズル７０からの液晶の吐出とを交互に切り換える。また、スライド部材４３は、高剛性の部材（例えば、ステンレス等）にて形成されている。そして、本実施形態では、スライドバルブ４０は、位置合わせ部材４４を介してベース１１上に設けられることで、シリンジ２４とベース１１との間にリニアモータ８０を設けるスペースを確保している。
【００１８】
シリンジブロック４１には、チューブ２３を介してバッファ２１内の内部空間２２と連通する外部流路４５が形成されるとともに、シリンジ２４内に形成された液剤貯留空間２８と連通するシリンジ流路４６が形成されている。ノズルブロック４２には、ノズル７０の吐出口７１と連通するノズル流路４７が形成されている。図２に示すように、シリンジブロック４１のノズルブロック４２との接合面４８中央には、長手方向に沿った溝４９が形成されている。ノズルブロック４２のシリンジブロック４１との接合面５０中央には、短手方向（図２において左右方向）の長さが溝４９と略同じである突部５１が溝４９と対向する位置に形成されている。シリンジブロック４１の接合面４８から溝４９の底面５２までの高さ（深さ）は、ノズルブロック４２の接合面５０から突部５１の上面５３までの高さよりも高く形成されている。
【００１９】
図３に示すように、スライド部材４３は略直方体状に形成されるとともに、該スライド部材４３には垂直方向に沿った貫通孔５４が形成されている。貫通孔５４は、スライド部材４３の短手方向における略中央に形成されるとともに、シリンジ流路４６とノズル流路４７とを連通する。貫通孔５４は、シリンジ流路４６及びノズル流路４７と略同径に形成されている。スライド部材４３の底面５２との接触面５５及び上面５３との接触面５６には、それぞれ貫通孔５４を囲繞して第１のシール部材としての第１のＯリング５７ａ，５７ｂが設けられている。また、接触面５５には、貫通孔５４から長手方向に沿ってずれた位置に凹部５８が形成されている。凹部５８は、長手方向に沿った略楕円状に形成されており、外部流路４５とシリンジ流路４６とを連通する。そして、凹部５８を囲繞して第２のシール部材としての第２のＯリング５９が設けられている。さらに、接触面５６には、凹部５８における長手方向貫通孔５４側の端部と対応する位置に閉塞部６０が形成されるとともに、該閉塞部６０を囲繞して第３のシール部材としての第３のＯリング６１が設けられている。シリンジ流路４６、ノズル流路４７及び貫通孔５４は吐出流路を構成し、外部流路４５、シリンジ流路４６及び凹部５８は供給流路を構成する。
【００２０】
そして、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２を互いに組み付けた状態で、溝４９と突部５１との間にスライド部材４３が挿入される。従って、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２の接合面４８，５０と、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２とスライド部材４３との接触面５５，５６とが同一平面上にならないように構成されている。
【００２１】
また、図１に示すように、スライド部材４３には、取っ手部６２がねじ止めされており、取っ手部６２には第２のアクチュエータ９１（例えば、ボールねじ駆動装置）が接続されている。スライド部材４３は、第２のアクチュエータ９１が駆動することにより、長手方向に沿って往復動する。そして、スライドバルブ４０は、図４（ａ）に示すように、シリンジ流路４６と外部流路４５とが凹部５８により連通されることで、シリンジ２４内に液晶が供給可能にされる。なお、この状態において、ノズル流路４７には閉塞部６０が位置することで閉塞される。このように、シリンジ流路４６とノズル流路４７とが貫通孔５４によって連通されず、外部流路４５とシリンジ流路４６とが連通される位置がスライド部材４３の閉路位置となる。また、スライドバルブ４０は、図４（ｂ）に示すように、シリンジ流路４６とノズル流路４７とが貫通孔５４により連通されることで、液剤貯留空間２８内に貯留された液晶をノズル７０から吐出可能となる。このように、シリンジ流路４６とノズル流路４７とが貫通孔５４によって連通される位置がスライド部材４３の開路位置となる。
【００２２】
液晶滴下装置１０は制御装置９０を備え、制御装置９０は、リニアモータ８０及び第２のアクチュエータ９１に接続されている。リニアモータ８０は、制御装置９０からの信号によってプランジャ３１を水平方向に沿って往復動させる。本実施形態では、リニアモータ８０には、可動子側に永久磁石が設けられた永久磁石可動型のリニアモータが用いられている。リニアモータ８０は、ベース１１上に固定される固定子８１と、該固定子８１上において長手方向に沿って移動可能に設けられた可動子８２とから構成されている。固定子８１の内側面には、長手方向に沿って形成された複数の磁極歯（図示略）にコイル（図示略）が巻回されている。また、可動子８２には、交互に極性が異なるように配置された永久磁石（図示略）がコイルと対向するように設けられるとともに、ブラケット８３が固定されている。ブラケット８３には、プランジャ３１の把持部３４が取付部材８４によって固定されている。そして、制御装置９０が、コイルに駆動電流を供給することにより可動子８２に長手方向の推力が発生し、可動子８２が長手方向に沿って移動することで、プランジャ３１が水平方向に沿って往復動するようになっている。また、第２のアクチュエータ９１は、スライドバルブ４０に接続されており、制御装置９０からの信号によってスライド部材４３を往復動させる。
【００２３】
次に、液晶滴下装置１０が液晶を滴下する動作について説明する。
図４（ａ）に示すように、制御装置９０は、第２のアクチュエータ９１を駆動してスライド部材４３を移動させ、外部流路４５とシリンジ流路４６とを凹部５８によって連通した状態で、リニアモータ８０を駆動してプランジャ３１を後退（シリンジ２４の先端部分２７側に移動）させる。プランジャ３１が後退することで液剤貯留空間２８内が負圧となるため、バッファ２１に貯留された液晶が、チューブ２３、外部流路４５、凹部５８及びシリンジ流路４６を介して液剤貯留空間２８に供給される。この状態において、第２のＯリング５９が凹部５８を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間をシールしているため、液剤貯留空間２８が負圧になっても、外部から気泡が混入することが防止される。また、第３のＯリング６１がノズル流路４７を閉塞する閉塞部６０を囲繞してスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液剤貯留空間２８が負圧になっても、ノズル７０先端から貫通孔５４に回り込んで液剤貯留空間２８内に気泡が混入することが防止される。
【００２４】
次に、図４（ｂ）に示すように、制御装置９０は、第２のアクチュエータ９１を駆動してスライド部材４３を移動させ、シリンジ流路４６とノズル流路４７とを貫通孔５４によって連通させた状態で、リニアモータ８０を駆動してプランジャ３１を前進（シリンジ２４の基端部分２６側に移動）させる。プランジャ３１が前進することで液剤貯留空間２８内の液晶に圧力が加わり、ノズル７０の吐出口７１から液晶が吐出される。
【００２５】
このように、プランジャ３１を水平方向に往復動させる場合は、プランジャを垂直方向に往復動させる場合と異なり、自重によってプランジャが下方に移動しないので、リニアモータ８０によってプランジャ３１を駆動することが可能となる。そして、リニアモータ８０によってプランジャ３１を駆動する場合には、ボールねじの加工精度によってプランジャ３１の位置決め精度が影響されない。従って、プランジャ３１の位置決め精度、即ちプランジャ３１の操作精度が向上し、液晶の滴下量の精度向上が図られる。
【００２６】
スライドバルブ４０は、外部流路４５とシリンジ流路と４６を凹部５８により連通して液剤の供給を可能にし、シリンジ流路４６とノズル流路４７とを貫通孔５４により連通して液剤の吐出を可能にする。そのため、可撓性を備えるチューブを用い、該チューブの挟着を解除することで流路を開閉する場合に比べ、バッファ２１とシリンジ２４との間の流路及びシリンジ２４とノズル７０との間の流路において、液晶に加わった圧力が分散され難く液晶の滴下量の精度向上が図られる。さらに、スライド部材４３は、高剛性の部材にて形成されているため、液晶に圧力が加わった場合であっても貫通孔５４が径方向外側に押し広げられ難く、液晶に加わった圧力の分散が抑制される。
【００２７】
また、第１のＯリング５７ａ，５７ｂが貫通孔５４を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液晶の滴下時に、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間から液晶が漏れ出すことが防止される。
【００２８】
さらに、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２の接合面４８，５０と、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２とスライド部材４３との接触面５５，５６とが同一平面上にならないように構成されている。そのため、仮に液晶が第１のＯリング５７ａ，５７ｂ又は第２のＯリング５９から漏れ出した場合であっても、スライドバルブ４０の外部まで漏れ出し難くなっている。
【００２９】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）シリンジ２４を、プランジャ３１が水平方向に沿って往復動するように配置するとともに、プランジャ３１を水平方向に沿って往復動させることでシリンジ２４内への液晶の供給及びノズル７０からの液晶の吐出を行うようにした。そして、プランジャ３１を、リニアモータ８０によって往復動するようにした。このようにプランジャ３１を水平方向に往復動させる場合は、プランジャを垂直方向に往復動させる場合と異なり、自重によってプランジャが下方に移動しないので、リニアモータ８０によってプランジャ３１を駆動することが可能となる。そして、リニアモータ８０によってプランジャ３１を駆動する場合には、ボールねじの加工精度によってプランジャ３１の位置決め精度が影響されない。従って、プランジャ３１の位置決め精度、即ちプランジャ３１の操作精度が向上し、液晶の滴下量の精度向上を図ることができる。
【００３０】
（２）スライドバルブ４０は、外部流路４５とシリンジ流路と４６を凹部５８により連通して液剤の供給を可能にし、シリンジ流路４６とノズル流路４７とを貫通孔５４により連通して液剤の吐出を可能にする。そのため、可撓性を備えるチューブを用い、該チューブの挟着を解除することで流路を開閉する場合に比べ、バッファ２１とシリンジ２４との間の流路及びシリンジ２４とノズル７０との間の流路において、液剤に加わった圧力が分散され難く液剤の滴下量の精度向上を図ることができる。
【００３１】
（３）第１のＯリング５７ａ，５７ｂが貫通孔５４を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液晶の滴下時に、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間から液晶が漏れ出すことを防止される。そのため、液晶が漏れ出すことによる圧力の低下が抑制され、液剤の滴下量の精度向上を図ることができる。
【００３２】
（４）第２のＯリング５９が凹部５８を囲繞してシリンジブロック４１とスライド部材４３との間をシールしているため、液剤貯留空間２８が負圧になっても、外部から気泡が混入することを防止できる。
【００３３】
（５）第３のＯリング６１がノズル流路４７を閉塞する閉塞部６０を囲繞してスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしているため、液剤貯留空間２８が負圧になっても、ノズル７０先端から貫通孔５４に回り込んで液剤貯留空間２８内に気泡が混入することが防止される。
【００３４】
（６）シリンジブロック４１及びノズルブロック４２の接合面４８，５０と、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２とスライド部材４３との接触面５５，５６とが同一平面上にならないように構成されている。そのため、仮に液晶が第１のＯリング５７ａ，５７ｂから漏れ出した場合であっても、スライドバルブ４０の外部まで漏れ出し難くなっている。従って、液晶がスライドバルブ４０の外部に漏れ出すことによる圧力の低下が抑制され、液剤の滴下量の精度向上を図ることができる。
【００３５】
（７）スライド部材４３が高剛性の部材にて形成されているため、液晶に圧力が加わった場合であっても貫通孔５４が径方向外側に押し広げられ難く、液晶に加わった圧力の分散が抑制され、液剤の滴下量の精度向上を図ることができる。
【００３６】
なお、本実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・本実施形態では、水平に固定されたベース１１上にリニアモータ８０を設けてプランジャ３１を駆動したが、これに限らない。例えば、図５（ａ）に示すように、垂直方向に沿って固定されたベース１０１における垂直方向に沿ったモータ取付面１０２にリニアモータ８０及び略Ｌ字状のバルブ支持部材１０３を設けるとともに、該バルブ支持部材１０３上にスライドバルブ４０を固定してもよい。このようにすることで、ベース１１とシリンジ２４との間にリニアモータ８０を設けるスペースを確保するために位置合わせ部材４４を介してスライドバルブ４０を設けずに済む。そのため、ベース１１上にリニアモータ８０を設けた場合（図２参照）に比べ、図５（ｂ）に示すように、液剤貯留空間２８からノズル７０の先端まで距離を変えることなくノズル７０先端を、ベース１１上にリニアモータを設ける場合に比べ、より下方にベース１１から突出させることができる。そのため、液晶滴下装置１０を基板の搬送経路の上方に設けた場合に、容易にノズル７０先端と基板との距離を短くすることができる。
【００３７】
・本実施形態では、スライド部材４３の貫通孔５４、凹部５８及び閉塞部６０をそれぞれ、第１のＯリング５７ａ，５７ｂ、第２のＯリング５９及び第３のＯリング６１で囲繞して、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間をシールしたが、これに限らない。例えば、少なくとも第１のＯリング５７ａ，５７ｂ、第２のＯリング５９及び第３のＯリング６１のうちの何れか１つを設けてもよい。さらに、シリンジブロック４１とスライド部材４３との間及びスライド部材４３とノズルブロック４２との間の隙間が十分小さい場合には、Ｏリングを設けなくともよい。
【００３８】
・本実施形態では、吸入側バルブ及び吐出側バルブは、スライドバルブ４０によって一体形成されたが、これに限らず、吐出側バルブと吸入側バルブとを別々に形成してもよい。また、吐出側バルブを、シリンジ流路４６を有するシリンジブロックと、ノズル流路４７を有するノズルブロック４２と、貫通孔５４及び閉塞部６０を有するスライド部材とを備えたスライドバルブにより形成してもよい。
【００３９】
・本実施形態では、リニアモータ８０に可動子側に永久磁石が設けられた永久磁石可動型のリニアモータが用いたが、これに限らず、固定子側に永久磁石が設けられたコイル可動型のリニアモータを用いてもよい。
【００４０】
・本実施形態では、シール部材としてＯリングを用いたが、これに限らず、スライドバルブ４０を介して液晶が漏れ出すこと及び気泡が混入することを防止できれば、どのようなシール部材を用いてもよい。
【００４１】
・本実施形態では、スライド部材４３をステンレスにて形成したが、これに限らず、その他高剛性の部材によって形成してもよい。
・本実施形態では、第２のアクチュエータ９１としてボールねじ駆動装置を用いたが、どのようなアクチュエータであってもよく、例えばリニアモータを用いてもよい。
【００４２】
・本実施形態では、シリンジブロック４１に溝４９を形成しノズルブロック４２に突部５１を形成したが、これに限らず、シリンジブロック４１に突部を形成しノズルブロック４２に溝を形成してもよい。また、シリンジブロック４１及びノズルブロック４２に溝を形成してもよい。
【００４３】
・本実施形態では、シリンジ流路４６と液剤貯留空間２８とを直接連通したが、これに限らず、シリンジ２４とシリンジブロック４１との間に、高剛性の部材で形成されたパイプ等を介して間接的に連通するようにしてもよい。同様に、ノズルブロック４２と吐出口７１との間に高剛性の部材で形成されたパイプ等を介して、ノズル流路４７とノズル７０とを間接的に連通してもよい。
【００４４】
・本実施形態では、シリンジブロック４１とノズルブロック４２とをそれぞれ別の部材から形成したが、これに限らず、シリンジブロック４１とノズルブロック４２とを１つの部材から一体形成してもよい。
【００４５】
・本実施形態では、液晶を滴下する液晶滴下装置１０に具現化したが、液晶以外の液剤を滴下してもよく、例えば接着剤やはんだペーストを滴下する装置に具現化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】液晶滴下装置の概略構成図。
【図２】液晶滴下装置の一部正面図。
【図３】スライド部材の平面図。
【図４】（ａ），（ｂ）スライドバルブの動作説明図。
【図５】（ａ）別の液晶滴下装置の側断面図、（ｂ）別の液晶滴下装置の一部正面図。
【符号の説明】
【００４７】
１１，１０１…ベース、２０…ディスペンサ、２１…バッファ、２４…シリンジ、２８…液剤貯留空間、３１…プランジャ、４０…スライドバルブ、４１…シリンジブロック、４２…ノズルブロック、４３…スライド部材、４５…外部流路、４６…シリンジ流路、４７…ノズル流路、５４…貫通孔、５８…凹部、７０…ノズル、７１…吐出口、８０…リニアモータ、９０…制御装置、９１…第２のアクチュエータ、１０２…モータ取付面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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