(57)【要約】【課題】パターンビルドアップの前に、キャビティが形成された放熱層で電子素子をカバーし、キャビティの一側を介して陰圧を提供しながら、キャビティの他側を介して接着剤を注入することにより、接着剤間の空隙の発生を防止し、ハンドリングの安定化及び小型化を具現することができる、電子素子パッケージ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る電子素子パッケージの製造方法は、第１絶縁層の一面に電子素子を実装するステップと、電子素子をカバーするように、電子素子に対応してキャビティが形成された放熱板を第１絶縁層の一面にボンディングするステップと、キャビティに接着剤を充填するステップと、第１絶縁層の他面に回路パターンを形成するステップと、を含むことを特徴とする。【選択図】図３
2008218980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１絶縁層の一面に電子素子を実装するステップと、
前記電子素子をカバーするように、前記電子素子に対応してキャビティが形成された放熱板を前記第１絶縁層の一面にボンディングするステップと、
前記キャビティに接着剤を充填するステップと、
前記第１絶縁層の他面に回路パターンを形成するステップと、
を含む電子素子パッケージの製造方法。
【請求項２】
前記放熱板には、前記キャビティに前記接着剤を注入するための注入口と、前記キャビティに陰圧を提供するための吸入口が形成され、
前記接着剤を充填するステップが、
前記吸入口を介して前記キャビティに陰圧を提供するステップと、
前記注入口を介して前記キャビティに前記接着剤を注入するステップと、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の電子素子パッケージの製造方法。
【請求項３】
前記注入口と前記吸入口が、互いに対向する面に形成されることを特徴とする請求項２に記載の電子素子パッケージの製造方法。
【請求項４】
前記接着剤が、熱媒介物質（ＴＩＭ）を含む材質からなることを特徴とする請求項１に記載の電子素子パッケージの製造方法。
【請求項５】
前記第１絶縁層が、ポリイミド（ＰＩ）を含む材質からなることを特徴とする請求項１に記載の電子素子パッケージの製造方法。
【請求項６】
前記第１絶縁層の他面にレイアップ層を積層するステップをさらに含む請求項１に記載の電子素子パッケージの製造方法。
【請求項７】
第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の一面に実装される電子素子と、
前記電子素子に対応してキャビティが形成され、前記電子素子をカバーするように前記第１絶縁層の一面にボンディングされる放熱板と、
前記キャビティに充填される接着剤と、
前記第１絶縁層の他面に形成される回路パターンと、
を含み、
前記放熱板には、前記放熱板を貫通する注入口と吸入口が各々形成されることを特徴とする電子素子パッケージ。
【請求項８】
前記注入口と前記吸入口が、互いに対向する面に形成されることを特徴とする請求項７に記載の電子素子パッケージ。
【請求項９】
前記接着剤が、熱媒介物質（ＴＩＭ）を含む材質からなることを特徴とする請求項７に記載の電子素子パッケージ。
【請求項１０】
前記第１絶縁層が、ポリイミド（ＰＩ）を含む材質からなることを特徴とする請求項７に記載の電子素子パッケージ。
【請求項１１】
前記第１絶縁層の他面に積層されるレイアップ層をさらに含む請求項７に記載の電子素子パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子素子パッケージ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、電子部品産業では、チップのＩ／Ｏ数が持続的に増加し、パッケージはより多機能化、複合化される傾向にある。ここで、フリップチップＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）パッケージにおけるソルダバンプを用いずに、チップ上のパッドをチップスケールそのままパッケージングするチップスケールパッケージが提示された。
【０００３】
図１Ａ〜  図１Ｋ  は、従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図であり、図２は、従来技術に係る電子素子パッケージを示す断面図である。  図１Ａ〜  図１Ｋ及び図２に示されているような従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法は、チップ１をモルディンする過程で空隙（ｖｏｉｄ）が発生するおそれがあり、ダム部材３及び接着剤４を用いてフレキシブル基板２にチップ１をモルディングした後に、放熱板８の貼り合せ及びレイアップ工程などのような後工程を行うことにより、ハンドリングが不安定になるという問題があった。
【０００４】
また、図２に示すように、接着層７を用いて放熱板８をダム部材３と結合することにより、耐久性が弱くなる問題を引き起こすおそれがあり、電子素子１の一面だけが放熱板８に対向するように配置されている構成から放熱効率が低下するおそれもあるという問題もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記のような従来技術の問題点に鑑み、本発明は、気圧差を用いて、電子素子のモルディングの際に、空隙の発生を減らせる方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態によれば、第１絶縁層の一面に電子素子を実装するステップと、電子素子をカバーするように、電子素子に対応してキャビティが形成された放熱板を第１絶縁層の一面にボンディングするステップと、キャビティに接着剤を充填するステップと、第１絶縁層の他面に回路パターンを形成するステップと、を含む電子素子パッケージの製造方法が提供される。
【０００７】
放熱板には、キャビティに接着剤を注入するための注入口と、キャビティに陰圧を提供するための吸入口が形成され、接着剤を充填するステップは、吸入口を介してキャビティに陰圧を提供するステップと、注入口を介してキャビティに接着剤を注入するステップを含むことができる。ここで、注入口と吸入口とは、互いに対向する面に形成されてもよい。
【０００８】
接着剤は、熱媒介物質（ＴＩＭ）を含む材質からなることがよく、第１絶縁層は、ポリイミド（ＰＩ）を含む材質からなることがよい。一方、多層のパッケージを製造するために、第１絶縁層の他面にレイアップ層を積層することができる。
【０００９】
本発明の他の実施形態によれば、第１絶縁層と、第１絶縁層の一面に実装される電子素子と、電子素子に対応してキャビティが形成され、電子素子をカバーするように第１絶縁層の一面にボンディングされる放熱板と、キャビティに充填される接着剤と、第１絶縁層の他面に形成される回路パターンと、を含み、放熱板には、放熱板を貫通する注入口と吸入口が各々形成されることを特徴とする電子素子パッケージが提供される。
【００１０】
注入口と吸入口とは、互いに対向する面に形成され、接着剤は、熱媒介物質を含む材質からなることがよく、第１絶縁層は、ポリイミドを含む材質からなることがよい。一方、第１絶縁層の他面にはレイアップ層が積層されてもよい。
【００１１】
前述した以外の他の実施形態、特徴、利点が以下の図面、本発明の特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明から明確になるだろう。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の好ましい実施例によれば、パターンビルドアップの前にキャビティが形成された放熱層で電子素子をカバーし、キャビティの一側を介して陰圧を提供し、キャビティの他側を介して接着剤を注入することにより、接着剤間の空隙の発生を防止でき、ハンドリングを安定化させることができ、小型化を具現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る印刷回路基板の好ましい実施例を添付図面を参照して詳細に説明することにし、添付図面を参照して説明するに当たって、同一構成要素および対応構成要素には、同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。
【００１４】
図３は、本発明の一実施形態に係る電子素子パッケージの製造方法を示すフローチャートであり、図４Ａ〜  図４Ｊ  は、図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図であり、図５Ａと図５Ｂ  は、図４Ｊの放熱板を示す斜視図である。  図４Ａ〜  図４Ｊ及び  図５Ａと図５Ｂを参照すると、電子素子１０、第１絶縁層２０、ビアホール２２，５２、回路パターン２４，５４、メッキ層２６，５６、接着剤３０、放熱板４０、キャビティ４２、注入口４４、吸入口４６、第２絶縁層５０、ソルダレジスト６２、ランド６４、ソルダバンプ６６が示されている。
【００１５】
まず、ステップＳ１１０で、第１絶縁層２０の一面に電子素子１０を実装する。効率的な接着のためには、第１絶縁層２０の一面に接着材料（図示せず）を塗布してもよい。一方、第１絶縁層２０は収縮力に優れ、薄型化に有利なポリイミドを主な材質にして形成することができる。
【００１６】
次に、ステップＳ１２０で、キャビティ４２が形成された放熱板４０を第１絶縁層２０の一面にボンディングする。放熱板４０は、電子素子１０から発生される熱を吸収、伝達する機能をするものであり、熱伝導性に優れた銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）などからなることがよい。上述した機能を考慮すると、放熱板４０が銅、アルミニウムを除いた他の金属材質からなってもよいことは勿論である。
【００１７】
図４Ｂと図５Ａと  図５Ｂに示すように、放熱板４０にはキャビティ４２が形成される。このような放熱板４０を第１絶縁層２０にボンディングすることにより、電子素子１０の側面と上面とは放熱板４０によりカバーできる。このような構造により、電子素子１０から発生する熱をより効率的に吸収、伝達することができるようになる。一方、図５Ａは放熱板を示す平面斜視図であり、図５Ｂは底面斜視図である。
【００１８】
次に、ステップＳ１３０で、キャビティ４２に接着剤３０を充填する。キャビティ４２に充填される接着剤３０の量は、キャビティ４２と電子素子１０との嵩などを考慮して、これに対応するように定めることがよい。すなわち、電子素子１０と放熱板４０の内壁との間に形成される空間の嵩だけ接着剤３０を充填することがよい。
【００１９】
ところで、キャビティ４２に接着剤３０を充填する場合、キャビティ４２に接着剤３０を行きわたるように供給しないと、空隙が生じるおそれがある。
【００２０】
これを考慮して、放熱板４０に注入口４４と吸入口４６とを形成した後、吸入口４６を介してキャビティ４２に陰圧を提供しながら、注入口４４を介してキャビティ４２に接着剤３０を注入する方法を用いることがよい。キャビティ４２に陰圧を提供する手段としては圧縮ポンプなどを用いればよい。図４Ｃに示した参照番号「３２」は接着剤を注入する注入手段を示し、参照番号「３４」はキャビティに陰圧を提供する吸入手段を示す。
【００２１】
注入口４４及び吸入口４６、また圧縮ポンプなどによりキャビティ４２の内部には気圧差が発生し、このような気圧差により接着剤３０がキャビティ４２の内部に行きわたらせて空隙の発生を抑制することができる。
【００２２】
より円滑な流れのために、注入口４４と吸入口４６は互いに対向する面に形成されることもよい。すなわち、図４Ａ〜  図４Ｊ及び図５Ａ示すように、放熱板４０の互いに対向する側面に形成されてもよい。このような配置の以外にも、放熱板４０の底面に注入口４４と吸入口４６が全て形成されてもよいことは勿論である。
【００２３】
一方、接着剤３０は、電子素子１０を強固に支持する機能だけでなく、電子素子１０から発生された熱を放熱板４０に効率的に伝達する機能もすることができる。これのために、接着剤３０として熱媒介物質（ｔｈｅｒｍａｌ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  ｍａｔｅｒｉａｌ、ＴＩＭ）を用いることもよい。
【００２４】
次に、ステップＳ１４０で、第１絶縁層２０の他面に回路パターンを形成する。回路パターン２４を形成すると共に、回路パターン２４と電子素子１０が電気的に接続できるようにビアを形成することも可能である。すなわち、図４Ｄに示すように、第１絶縁層２０を貫通するビアホール２２を形成し、メッキ層２６を形成することによりビアを形成することができる。勿論、図４Ａ〜図４Ｊに提示した方法は、ビアを形成する方法中の一例に過ぎなく、その他の多様な方法で回路パターンと電子素子１０とを電気的に接続させることができる。
【００２５】
次に、ステップＳ１５０で、第１絶縁層２０の他面にレイアップ層を形成する。レイアップ層を形成することにより多層構造を有する電子素子パッケージが形成できる。レイアップ層の形成は、第２絶縁層５０の積層（図４Ｅ参照）、ビアホール５２の穿孔（図４Ｆ参照）、メッキ層５６及び回路パターン５４の形成（図４Ｇ参照）などの過程を通して具現できる。以後、最外郭層にはソルダレジスト６２を塗布し（図４Ｈ参照）、ランド６４を形成した後（図４Ｉ参照）、ソルダバンプ６６を形成することができる（図４Ｊ参照）。
【００２６】
以上、本発明の一実施形態に係る電子素子パッケージの製造方法について説明したが、以下では本発明の他の実施形態に係る電子素子パッケージについて説明する。
【００２７】
図６は、本発明の他の実施形態に係る電子素子パッケージを示す断面図である。図６を参照すると、電子素子１０、第１絶縁層２０、ビアホール２２、回路パターン２４、メッキ層２６、接着剤３０、放熱板４０、キャビティ４２、注入口４４、吸入口４６、第２絶縁層５０、ソルダレジスト６２、ランド６４、ソルダバンプ６６が示されている。
【００２８】
第１絶縁層２０の一面には電子素子１０が実装される。電子素子１０が強固に実装できるようにするために、第１絶縁層２０の一面には接着層を形成してもよい。第１絶縁層２０としては、収縮力に優れ、薄型化に有利なポリイミド材質を用いることがよい。図６には、フェースダウン（ｆａｃｅ  ｄｏｗｎ）方式で第１絶縁層２０に実装された電子素子１０が示されている。
【００２９】
放熱板４０は、電子素子１０が実装された第１絶縁層２０の一面にボンディングされ、このような放熱板４０には電子素子１０に対応してキャビティ４２が形成されて、電子素子１０をカバーできるようになる。図５Ａと図５Ｂ及び図６に示すように、放熱板４０にはキャビティ４２が形成されているので、電子素子１０の側面と下面は全て放熱板４０によりカバーされる。このような構造から、放熱板４０の面積を増加させて放熱効率を増大させることができる。
【００３０】
放熱板４０は、電子素子１０から発生する熱を吸収、伝達する機能をするものであって、熱伝導性に優れた銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）などからなりことがよい。上述した機能を考慮すると、放熱板４０が銅、アルミニウム以外の他の金属材質からなってもよいことは勿論である。
【００３１】
放熱板４０の内壁と電子素子１０との間の空間、すなわちキャビティ４２の余分の空間には接着剤３０が充填される。このような接着剤３０は電子素子１０が放熱板４０のキャビティ４２に収容されるように強固に支持する機能をすることができる。
【００３２】
それだけでなく、電子素子１０から発生する熱を放熱板４０に伝達する機能もして、このような熱伝達機能をより効率的に行なうために、接着剤３０として熱媒介物質（ＴＩＭ）を用いることもできる。
【００３３】
このような接着剤３０の充填方法は、前述した電子素子パッケージの製造方法から提示した方法と同様であるので、これに対する具体的な説明は省略する。
【００３４】
第１絶縁層２０の他面には回路パターン２４が形成される。回路パターン２４は本実施例に係る電子素子パッケージが所定の機能を行えるようにする手段であり、第１絶縁層２０に形成されるビアを通して電子素子１０の電極と電気的に接続することになる。
【００３５】
一方、多層の電子素子パッケージを具現するために、第１絶縁層２０の他面にはレイアップ層が積層されることができる。レイアップ層を積層する方法は前述した電子素子パッケージの製造方法から提示した方法と同様であるので、これに対する具体的な説明は省略する。
【００３６】
前述した実施例の以外の多くの実施例が本発明の特許請求の範囲内に存在する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｂ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｃ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｄ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｅ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｆ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｇ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｈ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｉ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｊ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図１Ｋ】従来技術に係る電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図２】従来技術に係る電子素子パッケージを示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る電子素子パッケージの製造方法を示すフローチャートである。
【図４Ａ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｂ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｃ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｄ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｅ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｆ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｇ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｈ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｉ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図４Ｊ】図３の電子素子パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図５Ａ】図４Ｊの放熱板を示す斜視図である。
【図５Ｂ】図４Ｊの放熱板を示す斜視図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る電子素子パッケージを示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０：電子素子
２０：第１絶縁層
２２，５２：ビアホール
２４、５４：回路パターン
２６，５６：メッキ層
３０：接着剤
４０：放熱板
４２：キャビティ
４４：注入口
４６：吸入口
５０：第２絶縁層
６２：ソルダレジスト
６４：ランド
６６：ソルダバンプ
【図１Ａ】
2008218980.tif 000003
【図１Ｂ】
2008218980.tif 000004
【図１Ｃ】
2008218980.tif 000005
【図１Ｄ】
2008218980.tif 000006
【図１Ｅ】
2008218980.tif 000007
【図１Ｆ】
2008218980.tif 000008
【図１Ｇ】
2008218980.tif 000009
【図１Ｈ】
2008218980.tif 000010
【図１Ｉ】
2008218980.tif 000011
【図１Ｊ】
2008218980.tif 000012
【図１Ｋ】
2008218980.tif 000013
【図２】
2008218980.tif 000014
【図３】
2008218980.tif 000015
【図４Ａ】
2008218980.tif 000016
【図４Ｂ】
2008218980.tif 000017
【図４Ｃ】
2008218980.tif 000018
【図４Ｄ】
2008218980.tif 000019
【図４Ｅ】
2008218980.tif 000020
【図４Ｆ】
2008218980.tif 000021
【図４Ｇ】
2008218980.tif 000022
【図４Ｈ】
2008218980.tif 000023
【図４Ｉ】
2008218980.tif 000024
【図４Ｊ】
2008218980.tif 000025
【図５Ａ】
2008218980.tif 000026
【図５Ｂ】
2008218980.tif 000027
【図６】
2008218980.tif 000028