(57)【要約】【課題】  圧電振動片の電気的特性を低下させることなく小型化を実現し、かつ圧電振動片の小型化に伴って周波数調整領域が縮小化しても、周波数調整幅を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片を提供することにある。【解決手段】  基部２０と、この基部から突出するとともに励振電極２３，２４と周波数調整膜２５，２６が形成された複数の脚部２１，２２とからなる圧電振動片２が有り、前記周波数調整を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部５が形成され、当該凹部５によって形成される側壁部の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されている。【選択図】  図２
2008054273.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、この基部から突出するとともに励振電極と周波数調整膜が形成された複数の脚部とからなる圧電振動片が有り、前記周波数調整膜を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、
各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されてなることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記脚部の主面には、前記凹部、あるいは凸部とは脚部の主面を介して独立して形成された溝部を有し、前記励振電極の一部が前記溝部の内部に形成されてなることを特徴とする特許請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記周波数調整膜は脚部の表裏主面において、両主面に形成される領域と１主面のみに形成される領域を具備してなることを特徴とする特許請求項１、または特許請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
特許請求項１乃至３に記載の圧電振動片がパッケージ基体に搭載されることを特徴とする圧電振動子。
【請求項５】
特許請求項１乃至３に記載の圧電振動片の周波数調整方法であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に周波数調整膜の一部が形成されてなるとともに、前記側壁部を含んだ周波数調整膜を増減することで周波数調整することを特徴とする圧電振動片の周波数調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基部と、この基部から突出された複数の脚部とからなる圧電振動片、その圧電振動片からなる圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電振動片を、音叉型水晶振動片を例にして説明すると、例えば、音叉型水晶振動片が基部と、この基部から突出された２本の脚部とから構成される。そして、これら基部および脚部の外面に励振電極が形成され、各脚部主面の先端部には周波数調整用の調整電極（周波数調整膜）が形成されている。励振電極は、例えば、一方の脚部の表裏主面と他方の脚部の両側面に第１の励振電極が形成され、一方の脚部の両側面と他方の脚部の表裏主面に第２の励振電極が形成されている。つまり、一方の脚部表裏主面中央に第１の励振電極が形成され、前記第１の励振電極から離隔して脚部の稜に近接した側面に第２の励振電極が形成されるとともに、他方の脚部表裏主面中央に第２の励振電極が形成され、前記第２の励振電極から離隔して脚部の稜に近接した側面に第１の励振電極が形成されている。このような音叉型水晶振動片は、小型化に伴って、フォトリソグラフィ技術を用いて水晶ウェハを化学的エッチングすることにより、複数個の音叉型水晶振動片を作成している。
【０００３】
近年、このような圧電振動片の周波数調整手法として、粗調整工程と微調整工程で方法を異ならせることが多い。例えば、特許文献１に開示されているように、粗調整では調整電極の一部を完全に除去させることで調整幅のより高いレーザーを用いる一方で、微調整工程ではマスク治具を用いて調整電極（周波数調整膜）を全体的に薄肉化させより調整幅が緩やかであるとともに、金属屑の発生が少ないミーリング等のドライエッチングを用いることがある。このように粗調整工程と微調整工程とで手法を変えることで、圧電振動子の電気的特性の高性能化や高安定化が実現できるものである。また、このような周波数調整のうち、粗調整はウェハ状態で実施し、微調整はウェハから取り出された個々の圧電振動片をパッケージ基体に搭載した後に実施される。ウェハで全ての周波数調整（粗調整と微調整）を終えた後に、圧電振動片をパッケージに搭載すると、搭載時の応力であったり接着剤硬化の際の加熱処理等の外的要因によって、周波数変動が生じることがある。このため、微調整工程をパッケージ搭載後に実施することで、圧電振動片をパッケージ搭載することによる周波数変動の外的要因を排除することができるのでより好ましい。
【特許文献１】特開２００３−３１８６８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、圧電振動片が小型化するに伴って、周波数調整領域も縮小化されているので、周波数調整幅が得られないという問題があった。特に圧電振動片が音叉型振動子の場合、各脚部先端部の主面領域の一部に限定されるとともに、同じ脚部に励振電極が近接して形成されている。このため、周波数調整領域を拡大すると励振電極の領域が縮小化し、直列共振抵抗値などの圧電振動子の電気的特性を低下させる原因となることもあった。つまり、周波数調整幅を稼ぐためには周波数調整領域を確保する必要がある一方で、圧電振動子の電気的特性を維持向上するためには励振電極領域も確保する必要があり、これらの領域はお互いにトーレードオフの関係にある。このように各々の領域を満足した状態で確保することは、圧電振動片の小型化に伴ってますます困難となっているのが現状である。また、周波数調整幅が小さくなると、複数の周波数調整工程を繰り返す必要があり、結果として周波数調整効率が悪くなるといった問題もあった。
【０００５】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、圧電振動片の電気的特性を低下させることなく小型化を実現し、かつ圧電振動片の小型化に伴って周波数調整領域が縮小化しても、周波数調整幅を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片、その圧電振動片を用いた圧電振動子、およびその圧電振動片の周波数調整方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するため、本発明の特許請求項１に係る圧電振動片では、基部と、この基部から突出するとともに励振電極と周波数調整膜が形成された複数の脚部とからなる圧電振動片が有り、前記周波数調整膜を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されてなることを特徴とする。
【０００７】
本発明の特許請求項１によれば、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されているので、前記周波数調整膜の表面積を増大することができる。この周波数調整膜を増減させることで周波数調整する場合、各脚部の主面に形成された周波数調整膜の一部だけでなく、凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部の周波数調整膜も調整することができる。つまり、凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に形成された周波数調整膜の分だけ周波数調整領域を広げることができるので、圧電振動片の小型化に伴って周波数調整領域が主平面として縮小化したとしても、周波数調整幅を低下させることない。また、周波数調整幅を低下させないので、より少ない周波数調整工程により所望の周波数に調整でき、結果として周波数調整効率が低下させることもない。また、凹部を形成することで、直列共振抵抗値などの圧電振動子の電気的特性が良好に改善される。
【０００８】
また、本発明の特許請求項２に係る圧電振動片では、上述の構成に加えて、前記脚部の主面には、前記凹部、あるいは凸部とは脚部の主面を介して独立して形成された溝部を有し、前記励振電極の一部が前記溝部の内部に形成されてなることを特徴とする。
【０００９】
本発明の特許請求項２によれば、上述の作用効果に加えて、前記脚部の主面には、溝部を有し、前記励振電極の一部が前記溝部の内部に形成されているので、圧電振動片を小型化しても脚部の励振電極が小さくなることによる振動損失が抑制され、直列共振抵抗値を低く抑えることができる。加えて、前記凹部あるいは凸部と溝部とは各脚部の主面を介して独立して形成されているので、前記凹部あるいは凸部に形成される励振電極と前記溝部に形成される調整電極も当該脚部の主面の平坦部分で境界を形成することができる。結果として、励振電極と調整電極とが確実に分割された状態で形成される。また、前記凹部あるいは凸部と溝部とは各脚部の主面を介して独立して形成されているので、圧電振動片の機械的な強度を低下させることもない。
【００１０】
また、本発明の特許請求項３に係る圧電振動片では、上述の構成に加えて、前記周波数調整膜は脚部の表裏主面において、両主面に形成される領域と１主面のみに形成される領域を具備してなることを特徴とする。
【００１１】
本発明の特許請求項３によれば、上述の作用効果に加えて、前記周波数調整膜は脚部の表裏主面において、両主面に形成される領域と１主面のみに形成される領域を具備しているので、周波数調整膜を減じる周波数調整する場合、両主面に形成される領域と１主面のみに形成される領域とを使い分けることで、周波数変化量が通常のものに加え、通常の半分の調整が行えるので、周波数のさらなる微調整が行える。結果として、圧電振動片の目標周波数への周波数調整精度が高まり、周波数の調整が容易となる。
【００１２】
また、本発明の特許請求項４では、上述の構成に具備した圧電振動片がパッケージ基体に搭載された圧電振動子であってもよい。
【００１３】
本発明の特許請求項４によれば、前記した本発明にかかる圧電振動片と同様の作用効果が得られた圧電振動子を提供できる。
【００１４】
本発明の特許請求項５では、上述の構成に具備した圧電振動片の周波数調整方法であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に周波数調整膜の一部が形成されてなるとともに、前記内面部を含んだ周波数調整膜を増減することで周波数調整することを特徴とする。
【００１５】
本発明の特許請求項５によれば、上述の圧電振動片と同様の作用効果が得られた圧電振動片の周波数調整方法を提供できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、圧電振動片の電気的特性を低下させることなく小型化を実現し、かつ圧電振動片の小型化に伴ってビーム照射する周波数調整領域が縮小化しても、周波数調整幅を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片、その圧電振動片を用いた圧電振動子、およびその圧電振動片の周波数調整方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施の形態では、圧電振動片として音叉型水晶振動片に本発明を適用し、周波数調整膜の一部を減じることで周波数調整するビーム照射（レーザービーム）を用いた方法を例として説明する。図１は本形態に係る水晶ウェハ１を示す平面図であり、図２は本形態に係る音叉型水晶振動片２を模式的に示したもので、励振電極２３，２４の配設状態を示す斜視図である。また、図３は図２のＡ−Ａ線に沿った断面図であり、図４は図２のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【００１８】
１枚のウェハ１は、フォトリソグラフィ等の工法により、複数個の音叉型水晶振動片２，２・・・を得るようにし、これら音叉型水晶振動片２，２・・・を切り離す前に、各音叉型水晶振動片２，２・・・に、第１および第２の励振電極２３，２４および調整電極２５，２６（周波数調整膜）が形成されるとともに、各音叉型水晶振動片２，２・・・に対応して検査電極１１，１２が設けられている。この検査電極１１，１２は、図示しない導電パターンにより前記第１および第２の励振電極２３，２４に接続されている。このウェハ１では、検査電極１１，１２から周波数調整対象とする音叉型水晶振動片２の第１および第２の励振電極２３，２４へ電圧を印加されて、音叉型水晶振動片２が励振される。そして励振された状態で音叉型水晶振動片２の周波数測定が行えるようになっている。なお、水晶振動子は、以上のような音叉型水晶振動片２を、パッケージ基体（図示省略）に搭載し、パッケージの上部に音叉型水晶振動片２を覆うように平板状のキャップ（図示省略）を取り付けて音叉型水晶振動片２を気密封止して製造される。
【００１９】
また、図２に示すように、上記ウェハ１の中に形成される１つの音叉型水晶振動片２は、基部２０と２本の脚部２１，２２を備えている。その脚部の主面（表裏面）には溝部２１１，２２１が形成されている。ここでいう溝部は、窪み部状のもの図示しているが、貫通孔として形成することも可能である。この溝部２１１，２２１の内部には、後述する励振電極２３，２４の一部が形成されている。このため、音叉型水晶振動片２を小型化しても脚部の励振電極が小さくなることによる振動損失が抑制され、ＣＩ値（クリスタルインピーダンス）を低く抑えることができる。また、溝部２１１，２２１は、後述する凹部５とは独立して形成されている。このため、前記励振電極２３，２４と前記調整電極２５，２６とは、脚部の主面の平坦部分である後述する第１の無電極部２１２，２２２において境界を形成することができる。結果として、励振電極２３，２４と調整電極２５，２６とが確実に分割された状態で形成される。特に、本形態に示すようなフォトリソグラフィの工法による電極形成では、脚部の主面の平坦部分に境界を形成することで、前記凹部５、溝部２１１，２２１で境界を形成する場合と比較して影となる部分が一切なく、確実に露光されるので、より安定した状態で確実に電極形成することができる。また、溝部２１１，２２１は、後述する凹部５とは独立して形成しているので、凹部と溝部の深さをお互いに違った設定とすることも容易となり、より設計自由度も向上する。
【００２０】
各脚部２１，２２には、第１および第２の励振電極２３，２４が形成されている。前記励振電極２３，２４は、脚部２１の表裏主面と脚部２２の稜に近接する部分に第１の励振電極２３が形成され、脚部２１の稜に近接する部分と脚部２２の表裏主面に第２の励振電極２４が形成されている。前記脚部２１には、先端部に調整電極２５（周波数調整膜）が形成されている。当該調整電極２５から第１の無電極部２１２を介して表裏主面中央には、前記第１の励振電極２３の一部である主面中央励振電極２３１が形成されている。当該主面中央励振電極２３１から第２の無電極部２１３を介して脚部２１の稜の近傍には、前記第２の励振電極２４の一部である端部励振電極２４２が形成されている。前記脚部２２には、先端部に調整電極２６（周波数調整膜）が形成されている。当該調整電極２６から第１の無電極部２２２を介して表裏主面中央には、前記第２の励振電極２４の一部である主面中央励振電２４１が形成されている。当該主面中央励振電極２４１から第２の無電極部２２３を介して脚部２２の稜の近傍には、前記第１の励振電極２３の一部である端部励振電極２３２が形成されている。
【００２１】
これら励振電極２３，２４は、例えば、金属蒸着によって形成されたクロム（Ｃｒ）の上層に金（Ａｕ）の薄膜がフォトリソグラフィ等の工法により形成されている。調整電極膜２５，２６は、例えば、金属蒸着によって形成されたクロム（Ｃｒ）の上層に金（Ａｕ）フォトリソグラフィ等の工法により形成され、その上部にさらに銀（Ａｇ）等が蒸着マスクを用いた金属蒸着あるいはスパッタリング等によって形成された薄膜となっている。
【００２２】
本発明では、図３に示すように、音叉型水晶振動片２の各脚部２１，２２の先端部分の主面領域の一部には、有底の凹部５，５が形成されている。この凹部５によって形成される側壁部の一部または全部には、前記周波数調整用錘としての調整電極２５，２６（周波数調整膜）の一部が形成されている。つまり、各脚部２１，２２の調整電極２５，２６は、表裏主面と内外側面に加えて、各凹部５の側壁部の一部または各凹部５の側壁部や底面にも形成されているので、調整電極の表面積を増大することができる。このため、音叉型水晶振動片２の小型化に伴って周波数調整領域が主平面として縮小化したとしても、有底の凹部の側壁部で周波数調整領域を加味することで、周波数調整幅を稼ぐことができる。
【００２３】
また、前記有底の凹部５は、後述するビーム照射の走査方向と直交する方向である脚部２１，２２の突出方向に沿って細長い溝形状に形成されており、後述するビーム照射の走査方向である脚部の幅方向に沿って、２つ並んで（複数隣接して）形成されている。このような形状の有底の凹部５は、上記溝部２１１，２２１とともに、エッチング工法により容易に形成することができる。
【００２４】
このように、前記凹部５は、ビーム照射の走査方向と直交する方向に沿って細長い溝形状に形成されているので、ビーム走査位置によって凹部の有無位置がばらつくことがない。結果として周波数調整幅のばらつきをなくし、より精度の高い周波数調整が行える。また、前記凹部５は、ビーム照射の走査方向に沿って、２つ以上の複数の凹部が隣接して形成されているので、一度のビーム照射による周波数調整膜の除去量が大きく設定され、周波数調整幅をより一層稼ぐことができる。結果として、圧電振動片を大型化することなく、ビーム照射による単位面積あたりの周波数調整効率をより向上させることができる。
【００２５】
なお、本形態の実施形態では、調整電極２５，２６（周波数調整膜）は、最上部が銀（Ａｇ）により形成されているが、金（Ａｕ）などでもよい。周波数調整膜としては、比重が高く、膜形成の容易性から金属からなる電極材料がより好ましいが、金属材料以外のものであってもよく、本形態のように多層構造の周波数調整膜に限らず単層構造の周波数調整膜であってもよい。
【００２６】
以上のように構成された調整電極２５，２６は、ビーム照射によって除去されることで、音叉型水晶振動片２の発振周波数を調整することができる。このとき、調整電極２５，２６は、周波数調整前の振動子１の発振周波数が目標周波数よりも低くなるように形成されている。本形態では、図５に示すように、ビーム照射手段としてレーザービームを用いており、例えば、各脚部の幅方向に沿ってレーザービームを走査して周波数調整を実施した。
【００２７】
なお、上記実施形態に限らず、図６、図７に示すような形態であってもよい。すなわち、前記有底の凹部５は、ビーム照射する表面側のみに形成されているが、図６（ａ）に示すように、表裏面の両方に形成してもよい。この場合、音叉型水晶振動片の表裏面での形状が対称形状となるので面による方向性をなくすことができる。また、前記有底の凹部５は、脚部の突出方向に沿って細長い溝形状に形成としているが、図６（ｂ）に示すように、脚部の幅方向に細長いものを用いることもできる。この場合、ビーム照射の走査方向は本形態とは異なり各脚部の突出方向とするのがより好ましい。図６（ｃ）に示すように、溝形状に限らず点状のものを複数配列したものであってもよく、図６（ｄ）に示すように、前記溝形状の凹部と前記点状の凹部を組み合わせることもできる。さらに、前記有底の凹部５は、ビーム照射の走査方向である脚部の幅方向に沿って、２つの凹部が並んで形成されているが、図６（ｅ）に示すように、２つ以上の複数の凹部が隣接して形成されてもよい。上記各実施形態では、音叉型水晶振動片２の各脚部２１，２２の先端部分の主面領域の一部には、有底の凹部５，５が形成されている。この凹部５によって、同じ形状の音叉型水晶振動片であっても、より高周波数に対応できる。つまり、上記各実施形態のように凹部形状や凹部の数を増減させることで、音叉型水晶振動片の振動周波数を高周波数側へシフトさせることができるので、音叉型水晶振動片の外形寸法（脚の長さや幅等）を設計し直すことなく、より簡易な構成により最適な高周波化が実現できる。
【００２８】
また、本形態では、前記調整電極２５，２６は、音叉型水晶振動片２の脚部先端において表裏両主面で対向合致するように形成しているが、図６（ｆ）表面側の平面図と図６（ｇ）裏面側の平面図に示すように、前記調整電極２５，２６は脚部２１，２２の表裏主面において、両主面に形成される領域と１主面のみに形成される領域を具備するようにしてもよい。すなわち、表面側では凹部５の全領域に対して調整電極２５，２６を形成する一方で、裏面側では向かって凹部５の上半分の領域のみに形成している。その結果、音叉型水晶振動片２の脚部先端の上側領域に存在する調整電極２５，２６は表裏両主面で対向合致するように両主面に形成されるが、音叉型水晶振動片２の脚部先端の下側領域に存在する調整電極２５，２６領域は表面側（１主面）のみに形成される。なお、調整電極が対向合致する領域と１主面のみに形成される領域は、本形態のように凹部５の全領域と上半分の領域に限ることなく、周波数調整状態に応じて各領域の形成位置や面積を変化させて形成できる。このように形成することで、調整電極２５，２６を減じる周波数調整する場合、両主面に形成される領域（脚部先端の上側領域）と１主面のみに形成される領域（脚部先端の下側領域）とを使い分けることで、周波数変化量が通常のものに加え、通常の半分の調整が行えるので、周波数のさらなる微調整が行える。結果として、音叉型水晶振動片２の目標周波数への周波数調整精度が高まり、周波数の調整が容易となる。
【００２９】
また、本形態では、前記有底の凹部５の表面に調整電極（周波数調整膜）を形成しているが、図７（ａ）に示すように、凹部５の内面に調整電極を充填した構成であってもよい。前記有底の凹部を圧電振動片の脚部に形成しているが、図７（ｂ）に示すように、凸部６を圧電振動片の脚部に形成したものでもよい。この場合、凸部６によって形成される側壁部の一部または全部には、前記周波数調整用錘としての調整電極２５，２６（周波数調整膜）の一部が形成されているので、上記実施形態と同様に調整電極の表面積を増大することができ、周波数調整幅を稼ぐことができる。さらに、図７（ｃ）に示すように、前記凸部６１は、金属膜など圧電振動片の母材以外の別材質のものを付加して形成したものであってもよい。上記図７の各実施形態では、音叉型水晶振動片２の各脚部２１，２２の先端部分の主面領域の一部には、有底の凸部６が形成されている。この凸部６によって、同じ形状の音叉型水晶振動片であっても、より低周波に対応できる。つまり、上記各実施形態のように凸部形状や凸部の数を増減させることで、音叉型水晶振動片の振動周波数を低周波数側へシフトさせることができるので、音叉型水晶振動片の外形寸法（脚の長さや幅等）を設計し直すことなく、より簡易な構成により最適な低周波化が実現できる。
【００３０】
以下、上述の如く構成された複数個の音叉型水晶振動片を有するウェハ１を用いたレーザービームによる周波数調整方法について説明する。
【００３１】
−レーザー照射前準備−
発振周波数を調整しようとする前記ウェハ１は、真空チャンバ内部に搬入され、画像認識装置によってウェハ１とウェハ１に形成されている各音叉型水晶振動片２，２・・・の位置が認識される。この際、音叉型水晶振動片２上の周波数調整のレーザー照射エリアである前記調整電極の位置が設定されることになる。その状態で各音叉型水晶振動片２の周波数を測定し、各音叉型水晶振動片２の調整量が決定される。
【００３２】
−レーザー照射工程−
この決定された発振周波数の調整量に基づく調整信号はレーザー制御手段に送られる。このレーザー制御手段では、ウェハ１上に形成されている各音叉型水晶振動片２，２・・・に対する発振周波数を前記目標周波数との差だけ変化させるためにレーザー照射により前記調整電極が除去されるエリア（レーザー照射座標）が決定される。この決定に従って、レーザー照射機はレーザー制御手段により制御され、前記決定された調整電極が除去されるエリアに対するレーザー照射を連続して行う。
【００３３】
このとき、本発明による音叉型水晶振動片の周波数調整方法では、調整量が大きい場合により有効となる。例えば、図５に示すように、前記脚部２１の調整電極２５の外側の稜部分に対して、当該脚部の厚み方向へレーザー照射し、ここを始点として当該脚部２１の内側に向かって連続的する。対向する前記脚部２２の調整電極２６の外側の稜部分を終点として、脚部の幅方向にレーザービームを走査する。この一回のレーザービームの走査により、脚部２１の表裏主面と内外側面と凹部５の側壁部の一部または全部（凹部の側壁部の一部または凹部の側壁部や底面）に形成された調整電極２５、および脚部２２の表裏主面と内外側面と凹部５の側壁部の一部または全部（凹部の側壁部の一部または凹部の側壁部や底面）に形成された調整電極２６に対して、より表面積の大きい状態で調整電極の一部を幅方向にライン状に除去することができる。このため、音叉型水晶振動片２の小型化に伴ってレーザービーム照射する調整電極領域が主平面として縮小化したとしても、周波数調整幅を低下させることない。
【００３４】
なお、調整量が小さい場合には、例えば、脚部２１の表裏主面と内外側面と凹部５の側壁部の一部または全部（凹部の側壁部の一部または凹部の側壁部や底面）に形成された調整電極２５、および脚部２２の表裏主面と内外側面と凹部５の側壁部の一部または全部（凹部の側壁部の一部または凹部の側壁部や底面）に形成された調整電極２６に対して、１つ以上の領域を調整幅に応じて選択し、ドット状に除去すればよい。
【００３５】
−測定工程−
上述のレーザー照射動作が終了した後、再び、全ての音叉型水晶振動片２，２・・・に対して発振周波数の測定動作に移る。この発振周波数の測定動作では、各音叉型水晶振動片２，２・・・の発振周波数が目標周波数に一致しているか否かが判定される。この際、発振周波数が目標周波数に一致している場合にはウェハ１は真空チャンバから取り出されて後工程に搬送される。一方、発振周波数が目標周波数に一致していない場合には、前記と同様の周波数調整動作が再度行われる。
【００３６】
以上のようにウェハの段階で各音叉型水晶振動片を一括して周波数調整を実施すれば、生産効率を飛躍的に向上させることができる。ただし、レーザー照射動作では、上記のようにウェハ状の音叉型水晶振動片に対して一括で実施する場合に限らず、パッケージ上に搭載された音叉型水晶振動片に対してレーザー照射機からのレーザー照射を行ってもよい。
【００３７】
なお、上記実施形態では、圧電振動片として音叉型水晶振動片を適用した場合を示しているが、ＡＴカット音叉型水晶振動片やＧＴカット音叉型水晶振動片、あるいは音叉型水晶振動片に限らずセラミック振動片など他の圧電振動片を用いた圧電振動子にも適用できる。周波数調整手段として、上記調整電極（周波数調整膜）に対してレーザービームにより調整電極（周波数調整膜）の一部を除去(減少)する手法を例にしたが、電子ビーム等の他のビーム照射でもよく、ミーリング法、プラズマエッチング法、および反応性ガスイオン等を用いたドライエッチングの手法であってもよい。また、上記調整電極（周波数調整膜）に対して、同様の材質の調整電極（本形態の場合銀のパーシャル蒸着等）を付加（増加）することで周波数調整する手段であってもよい。さらに、目的の周波数と調整前の周波数の近似状況によって、後工程で別手法による微調整手法（ビーム照射、ドライエッチング法、パーシャル蒸着法等）を組み合わせることも可能である。
【００３８】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施できるので、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求範囲によって示すものであって、明細書本文に拘束されるものではない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本形態に係る水晶ウェハを示す平面図。
【図２】図１の水晶ウェハの１つの音叉型水晶振動片を模式的に示した斜視図。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図。
【図４】図２のＢ−Ｂ線に沿った断面図。
【図５】本発明のレーザー照射形態を示す図。
【図６】本形態の変形例を示す図。
【図７】本形態の変形例を示す図。
【符号の説明】
【００４０】
１  水晶ウェハ
２  音叉型水晶振動片（圧電振動片）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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