(57)【要約】【課題】結合端及び結合端の周辺に付着した液状体が乾燥することに起因して、結合端に形成されている液状体の流路の詰りや、結合端とヘッドとの結合の不具合などが発生するという課題の少なくとも一部を解決するためになされた、液状体供給システム、液状体供給方法、検査装置、及び検査方法を提供する。【解決手段】液状体供給システムは、液導入口を介して導入した液状体を吐出するヘッドに、液状体を供給するための液状体供給システムであって、液状体の貯留部と、貯留部に連通する供給管と、供給管の一端に形成されており、液導入口部に結合可能な導入口結合端を有し、当該導入口結合端を液導入口部に結合することによってヘッドと供給管とを連通させる管結合部と、貯留した液体に、少なくとも導入口結合端を浸した状態で、ヘッドに結合していない状態の管結合部を保持可能な結合部保持部と、を備える液状体供給システムである。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を導入するための液導入口を備え、当該液導入口を介して導入した前記液状体を吐出する液滴吐出ヘッドに、前記液状体を供給するための液状体供給システムであって、
液状体を貯留する貯留部と、
前記貯留部に連通する供給管と、
前記供給管の一端に形成されており、前記液導入口が形成された液導入口部に結合可能な導入口結合端を有し、当該導入口結合端を前記液導入口部に結合することによって前記液滴吐出ヘッドと前記供給管とを連通させる管結合部と、
液体を貯留し、当該液体に、前記液滴吐出ヘッドに結合していない状態である前記管結合部の、少なくとも前記導入口結合端を浸した状態で、前記管結合部を保持可能な結合部保持部と、を備えることを特徴とする液状体供給システム。
【請求項２】
前記液体は、前記液状体であることを特徴とする、請求項１に記載の液状体供給システム。
【請求項３】
前記液体は、前記液状体の溶媒であることを特徴とする、請求項１に記載の液状体供給システム。
【請求項４】
前記液滴吐出ヘッドを載置可能な保持テーブルと、
前記保持テーブルに載置された前記液滴吐出ヘッドに対して、前記管結合部を、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合する方向に付勢する結合維持装置と、をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体供給システム。
【請求項５】
前記結合維持装置は、前記管結合部を、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合する方向に付勢する力によって、前記液滴吐出ヘッドを前記保持テーブルに当接させるように付勢することを特徴とする、請求項４に記載の液状体供給システム。
【請求項６】
押圧ブロックをさらに備え、前記結合維持装置は、当該押圧ブロックを介して前記液滴吐出ヘッドを前記保持テーブルに当接させるように付勢することを特徴とする、請求項５に記載の液状体供給システム。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドは複数の前記液導入口部を備え、前記管結合部は、当該複数の前記液導入口部に対応する複数の前記導入口結合端を有することを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体供給システム。
【請求項８】
液状体を導入するための液導入口を備え、当該液導入口を介して導入した前記液状体を吐出する液滴吐出ヘッドに、前記液状体を供給するための液状体供給方法であって、
前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給するための給液ユニットの導入口結合端を、前記液導入口が形成された液導入口部に結合する結合工程と、
前記導入口結合端及び前記液導入口部を介して、前記給液ユニットから前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する給液工程と、
前記導入口結合端を、前記液導入口部から取外す取外し工程と、
前記取外し工程と次の前記結合工程との間に、前記結合工程を実施することによって前記給液工程を実行可能となる状態を維持しながら待機する待機工程と、を有し、
前記待機工程では、少なくとも前記導入口結合端を液体に浸した状態で待機することを特徴とする液状体供給方法。
【請求項９】
前記液体は、前記液状体であることを特徴とする、請求項８に記載の液状体供給方法。
【請求項１０】
前記液体は、前記液状体の溶媒であることを特徴とする、請求項８に記載の液状体供給方法。
【請求項１１】
前記給液工程において、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合する方向に前記導入口結合端を付勢する結合維持装置を用いて、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合した状態を維持することを特徴とする、請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の液状体供給方法。
【請求項１２】
前記給液工程において、前記結合維持装置によって、前記液滴吐出ヘッドが前記液滴吐出ヘッドを載置する保持テーブルに固定された状態を維持することを特徴とする、請求項１１に記載の液状体供給方法。
【請求項１３】
前記結合維持装置は、押圧ブロックを介して、前記液滴吐出ヘッドを前記保持テーブルに当接させるように付勢することを特徴とする、請求項１２に記載の液状体供給方法。
【請求項１４】
前記液滴吐出ヘッドが複数の前記液導入口部を備え、給液ユニットは、当該複数の前記液導入口部に対応する複数の前記導入口結合端を有し、
前記結合工程において、前記複数の液導入口部のそれぞれの前記液導入口部に対して、前記複数の導入口結合端の対応する前記導入口結合端のそれぞれを略同時に結合させ、
前記取外し工程において、前記複数の液導入口部のそれぞれの前記液導入口部から前記複数の導入口結合端のそれぞれの前記導入口結合端を略同時に取外すことを特徴とする、請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の液状体供給方法。
【請求項１５】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体供給システムを備え、当該液状体供給システムを用いて、検査対象の液滴吐出ヘッドに検査吐出用の液状体を供給することを特徴とする検査装置。
【請求項１６】
検査対象の前記液滴吐出ヘッドを保持して移動可能なヘッド移動装置をさらに備え、前記結合部保持部は、前記ヘッド移動装置に固定されていることを特徴とする請求項１５に記載の検査装置。
【請求項１７】
請求項８乃至１４のいずれか一項に記載の液状体供給方法を用いて、検査対象の液滴吐出ヘッドに検査吐出用の液状体を供給することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を導入し、導入した当該液状体を吐出する液滴吐出ヘッドに液状体を供給する液状体供給システム、及び液状体供給方法、並びに液滴吐出ヘッドを検査するための検査装置、及び液滴吐出ヘッドの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有し、液状体の液滴を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液滴吐出装置などの液状体吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置においては、吐出動作が行われていない時に、吐出口及び吐出口の周辺に付着した液状体が乾燥することに起因して、液状体の増粘や固化などのような液状体の変質が発生する場合があった。そして、液状体の増粘や固化などに起因して、吐出口の変形や詰りが発生したり、液状体の年度変化や吐出口の変形に起因して、吐出された液状体の方向が変動したりする場合があった。このような吐出口及び吐出口の周辺に付着した液状体が乾燥することに起因する不具合を抑制するための装置として、特許文献１には、ノズル（吐出口）及びノズルの周辺を洗浄するノズル洗浄装置が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２７２０９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、液状体の増粘や固化などは、吐出口に限らず、液状体が雰囲気に曝される部分においては容易に発生する。液滴吐出ヘッドを検査する際には、液滴吐出ヘッドに液状体を供給する必要があるため、検査時にのみ液滴吐出ヘッドに結合して液状体を供給する供給装置が用いられるが、そのような供給装置の液滴吐出ヘッドとの結合端においては、液滴吐出ヘッドに結合されていない状態では、結合端及び結合端の周辺に付着した液状体が雰囲気に曝されることによって乾燥することに起因して、液状体の増粘や固化などのような液状体の変質が発生する場合があった。液状体の増粘や固化によって、結合端に形成されている液状体の流路の詰りや、結合端と液滴吐出ヘッドとの結合の不具合などが発生するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液状体供給システムは、液状体を導入するための液導入口を備え、当該液導入口を介して導入した前記液状体を吐出する液滴吐出ヘッドに、前記液状体を供給するための液状体供給システムであって、液状体を貯留する貯留部と、前記貯留部に連通する供給管と、前記供給管の一端に形成されており、前記液導入口が形成された液導入口部に結合可能な導入口結合端を有し、当該導入口結合端を前記液導入口部に結合することによって前記液滴吐出ヘッドと前記供給管とを連通させる管結合部と、液体を貯留し、当該液体に、前記液滴吐出ヘッドに結合していない状態である前記管結合部の、少なくとも前記導入口結合端を浸した状態で、前記管結合部を保持可能な結合部保持部と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この液状体供給システムによれば、液滴吐出ヘッドに結合していない状態の管結合部を、管結合部の導入口結合端を液体に浸した状態で、結合部保持部に保持させることができる。導入口結合端が液体に浸されていることで、導入口結合端は雰囲気に触れる機会が減少するため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制して、液状体の増粘や固化に起因して、導入口結合端に形成された液状体の流路の詰りや、液滴吐出ヘッドとの結合の不具合などが発生することを抑制することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体供給システムにおいて、前記液体は、前記液状体であることが好ましい。
【０００９】
この液状体供給システムによれば、導入口結合端が液状体に浸されているため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制することができる。液体に浸された導入口結合端には液体が付着する可能性が高いため、次に導入口結合端が液滴吐出ヘッドに接続された際に、導入口結合端が接続された液滴吐出ヘッドの内部に当該液体が入る可能性がある。液滴吐出ヘッドに、供給されるべき液状体と異なる特性の液体が供給されると、液滴吐出ヘッドが悪影響を受ける可能性があるが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体が液滴吐出ヘッドに悪影響を与える可能性は極めて小さいため、導入口結合端が浸された液体が液滴吐出ヘッドに入ることによって、液滴吐出ヘッドが悪影響を受ける可能性を、極めて小さくすることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体供給システムにおいて、前記液体は、前記液状体の溶媒であることが好ましい。
【００１１】
この液状体供給システムによれば、導入口結合端が液状体の溶媒に浸されているため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制することができる。液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の溶媒が液滴吐出ヘッドに悪影響を与える可能性は極めて小さいため、次に導入口結合端が液滴吐出ヘッドに接続された際に、導入口結合端が浸された液体が液滴吐出ヘッドに入ることによって液滴吐出ヘッドが悪影響を受ける可能性を、極めて小さくすることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体供給システムにおいて、前記液滴吐出ヘッドを載置可能な保持テーブルと、前記保持テーブルに載置された前記液滴吐出ヘッドに対して、前記管結合部を、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合する方向に付勢する結合維持装置と、をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
この液状体供給システムによれば、結合維持装置が、導入口結合端が液導入口部に結合する方向に管結合部を付勢することで、導入口結合端と液導入口部との結合状態を確実に維持することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体供給システムにおいて、前記結合維持装置は、前記管結合部を、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合する方向に付勢する力によって、前記液滴吐出ヘッドを前記保持テーブルに当接させるように付勢することが好ましい。
【００１５】
この液状体供給システムによれば、結合維持装置は、液滴吐出ヘッドを保持テーブルに当接させるように付勢することで、導入口結合端と液導入口部との結合状態を維持する力によって、液滴吐出ヘッドを保持テーブル上に固定することができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体供給システムにおいて、押圧ブロックをさらに備え、前記結合維持装置は、当該押圧ブロックを介して前記液滴吐出ヘッドを前記保持テーブルに当接させるように付勢することが好ましい。
【００１７】
この液状体供給システムによれば、押圧ブロックを介して液滴吐出ヘッドを保持テーブルに当接させるように付勢するため、液滴吐出ヘッドを付勢するための力を、結合した導入口結合端と液導入口部とを介して液滴吐出ヘッドに加えることが不要になることから、導入口結合端と液導入口部とに加える力を抑制することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体供給システムにおいて、前記液滴吐出ヘッドは複数の前記液導入口部を備え、前記管結合部は、当該複数の前記液導入口部に対応する複数の前記導入口結合端を有することが好ましい。
【００１９】
この液状体供給システムによれば、複数の液導入口部に対して、複数の導入口結合端を略同時に結合させることができる。
【００２０】
［適用例８］本適用例にかかる液状体供給方法は、液状体を導入するための液導入口を備え、当該液導入口を介して導入した前記液状体を吐出する液滴吐出ヘッドに、前記液状体を供給するための液状体供給方法であって、前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給するための給液ユニットの導入口結合端を、前記液導入口が形成された液導入口部に結合する結合工程と、前記導入口結合端及び前記液導入口部を介して、前記給液ユニットから前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する給液工程と、前記導入口結合端を、前記液導入口部から取外す取外し工程と、前記取外し工程と次の前記結合工程との間に、前記結合工程を実施することによって前記給液工程を実行可能となる状態を維持しながら待機する待機工程と、を有し、前記待機工程では、少なくとも前記導入口結合端を液体に浸した状態で待機することを特徴とする。
【００２１】
この液状体供給方法によれば、導入口結合端が液滴吐出ヘッドに結合していない待機状態において、導入口結合端を液体に浸した状態で待機する。導入口結合端が液体に浸されていることで、導入口結合端は雰囲気に触れる機会が減少するため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制して、液状体の増粘や固化に起因して、導入口結合端に形成された液状体の流路の詰りや、液滴吐出ヘッドとの結合の不具合などが発生することを抑制することができる。
【００２２】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体供給方法において、前記液体は、前記液状体であることが好ましい。
【００２３】
この液状体供給方法よれば、導入口結合端が液滴吐出ヘッドに結合していない待機状態において、導入口結合端が液状体に浸されているため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制することができる。液体に浸された導入口結合端には液体が付着する可能性が高いため、次に導入口結合端が液滴吐出ヘッドに接続された際に、導入口結合端が接続された液滴吐出ヘッドの内部に当該液体が入る可能性がある。液滴吐出ヘッドに、供給されるべき液状体と異なる特性の液体が供給されると、液滴吐出ヘッドが悪影響を受ける可能性があるが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体が液滴吐出ヘッドに悪影響を与える可能性は極めて小さいため、導入口結合端が浸された液体が液滴吐出ヘッドに入ることによって液滴吐出ヘッドが悪影響を受ける可能性を、極めて小さくすることができる。
【００２４】
［適用例１０］上記適用例にかかる液状体供給方法において、前記液体は、前記液状体の溶媒であることが好ましい。
【００２５】
この液状体供給方法によれば、導入口結合端が液滴吐出ヘッドに結合していない待機状態において、導入口結合端が液状体の溶媒に浸されているため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制することができる。液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の溶媒が液滴吐出ヘッドに悪影響を与える可能性は極めて小さいため、次に導入口結合端が液滴吐出ヘッドに接続された際に、導入口結合端が浸された液体が液滴吐出ヘッドに入ることによって液滴吐出ヘッドが悪影響を受ける可能性を、極めて小さくすることができる。
【００２６】
［適用例１１］上記適用例にかかる液状体供給方法において、前記給液工程においては、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合する方向に前記導入口結合端を付勢する結合維持装置を用いて、前記導入口結合端が前記液導入口部に結合した状態を維持することが好ましい。
【００２７】
この液状体供給方法によれば、結合維持装置が導入口結合端を、導入口結合端が液導入口部に結合する方向に付勢することで、導入口結合端と液導入口部との結合状態を確実に維持することができる。
【００２８】
［適用例１２］上記適用例にかかる液状体供給方法において、前記給液工程においては、前記結合維持装置によって、前記液滴吐出ヘッドが前記液滴吐出ヘッドを載置する保持テーブルに固定された状態を維持することが好ましい。
【００２９】
この液状体供給方法によれば、結合維持装置は、液滴吐出ヘッドを保持テーブルに当接させるように付勢することで、導入口結合端と液導入口部との結合状態を維持する力によって、液滴吐出ヘッドを保持テーブル上に固定することができる。
【００３０】
［適用例１３］上記適用例にかかる液状体供給方法において、前記結合維持装置は、押圧ブロックを介して、前記液滴吐出ヘッドを前記保持テーブルに当接させるように付勢することが好ましい。
【００３１】
この液状体供給方法によれば、押圧ブロックを介して液滴吐出ヘッドを保持テーブルに当接させるように付勢するため、液滴吐出ヘッドを付勢するための力を、結合した導入口結合端と液導入口部とを介して液滴吐出ヘッドに加えることが不要になることから、導入口結合端と液導入口部とに加える力を抑制することができる。
【００３２】
［適用例１４］上記適用例にかかる液状体供給方法において、前記液滴吐出ヘッドが複数の前記液導入口部を備え、給液ユニットは、当該複数の前記液導入口部に対応する複数の前記導入口結合端を有し、前記結合工程において、前記複数の液導入口部のそれぞれの前記液導入口部に対して、前記複数の導入口結合端の対応する前記導入口結合端のそれぞれを略同時に結合させ、前記取外し工程において、前記複数の液導入口部のそれぞれの前記液導入口部から前記複数の導入口結合端のそれぞれの前記導入口結合端を略同時に取外すことが好ましい。
【００３３】
この液状体供給方法によれば、複数の液導入口部に対して、複数の導入口結合端を略同時に結合させる、又は複数の液導入口部に対して、複数の導入口結合端を略同時に取外す。このため、液導入口部に対して導入口結合端を結合させるのに要する時間、又は液導入口部から導入口結合端を取外すのに要する時間を抑制することができる。
【００３４】
［適用例１５］本適用例にかかる検査装置は、上記適用例にかかる液状体供給システムを備え、当該液状体供給システムを用いて、検査対象の液滴吐出ヘッドに検査吐出用の液状体を供給することを特徴とする。
【００３５】
この検査装置によれば、検査対象の液滴吐出ヘッドに結合していない状態の管結合部を、管結合部の導入口結合端を液体に浸した状態で、結合部保持部に保持させることができる。導入口結合端が液体に浸されていることで、導入口結合端は雰囲気に触れる機会が減少するため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制して、液状体の増粘や固化に起因して、導入口結合端に形成された液状体の流路の詰りや、液滴吐出ヘッドとの結合の不具合などが発生することを抑制することができる。
【００３６】
［適用例１６］上記適用例にかかる検査装置において、検査対象の前記液滴吐出ヘッドを保持して移動可能なヘッド移動装置をさらに備え、前記結合部保持部は、前記ヘッド移動装置に固定されていることが好ましい。
【００３７】
この検査装置によれば、検査対象の液滴吐出ヘッドと結合部保持部とが、同一のヘッド移動装置に固定されるため、管結合部が検査対象の液滴吐出ヘッドに結合している状態と、結合部保持部に保持された状態との間で、管結合部が移動することを必要とする移動量を少なくすることができる。また、管結合部が検査対象の液滴吐出ヘッドに結合している状態と、結合部保持部に保持された状態とで、貯留部から管結合部に至る経路の状態を略同一にすることができる。
【００３８】
［適用例１７］本適用例にかかる検査方法は、上記適用例にかかる液状体供給方法を用いて、検査対象の液滴吐出ヘッドに検査吐出用の液状体を供給することを特徴とする。
【００３９】
この検査方法によれば、導入口結合端が検査対象の液滴吐出ヘッドに結合していない待機状態において、導入口結合端を液体に浸した状態で待機する。導入口結合端が液体に浸されていることで、導入口結合端は雰囲気に触れる機会が減少するため、導入口結合端に付着した液状体が乾燥することを抑制して、液状体の増粘や固化に起因して、導入口結合端に形成された液状体の流路の詰りや、液滴吐出ヘッドとの結合の不具合などが発生することを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、液状体供給システム、液状体供給方法、検査装置、及び検査方法の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドに検査吐出を実行させて、その吐出結果から当該液滴吐出ヘッドの良否を判定するために用いられる検査装置を例に説明する。
【００４１】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出ヘッド１０（図２参照）を備える液滴吐出装置１について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４２】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１０を有するヘッド機構部２と、液滴吐出ヘッド１０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有するワーク機構部３と、液滴吐出ヘッド１０への機能液の供給を行う機能液供給部４と、液滴吐出ヘッド１０の保守を行うメンテナンス装置部５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。機能液供給部４の給液チューブ２４が液滴吐出ヘッド１０に接続されており、給液チューブ２４を介して機能液が液滴吐出ヘッド１０に供給される。
【００４３】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１０に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００４４】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２２とを有し、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３をＸ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４５】
このように、液滴吐出ヘッド１０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１０とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。
【００４６】
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１０について、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの概要を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの外観を示す斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの接続針周りの概構造を示す部分断面図である。
【００４７】
図２（ａ）に示すように、この液滴吐出ヘッド１０は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針１２，１２を有する液体導入部１１と、液体導入部１１の側方に連なるヘッド基板１５と、液体導入部１１に連なる方形のヘッド本体１６とを備えている。ヘッド本体１６は、液体導入部１１に連なるポンプ部１７と、ポンプ部１７に連なるノズル形成プレート１８と、を有している。ノズル形成プレート１８には、ノズル形成面１８ａに開口する吐出ノズル１９が形成されている。液滴吐出ヘッド１０においては、一列あたり１８０個の吐出ノズル１９からなるノズル列が２列形成されている。ポンプ部１７には、ピエゾ圧電素子が設けられており、当該ピエゾ圧電素子を駆動することによって、液体導入部１１から供給されてきた機能液を吐出ノズル１９から吐出する。一個の吐出ノズル１９に対応して一個のピエゾ圧電素子が設けられており、それぞれの吐出ノズル１９毎に独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板１５には、一対のコネクタ１４，１４が設けられている。このコネクタ１４が、ＦＦＣケーブルによって、吐出装置制御部６（図１参照）と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１０が吐出装置制御部６と接続される。
【００４８】
図２（ｂ）に示すように、液体導入部１１の２連の接続針１２，１２には、それぞれ給液チューブ２４（図１参照）に連通する配管接続部材２５が接続される。接続針１２に配管接続部材２５が接続された状態では、接続針１２の先端側が、配管接続部材２５の端に形成された封止部を貫通して、配管接続部材２５の機能液の流路に達している。接続針１２の先端の脇には、ポンプ部１７に連通する流路の端の導入口が開口しており、配管接続部材２５の機能液の流路に満たされた機能液が、導入口から液滴吐出ヘッド１０の液体導入部１１に流入する。
【００４９】
＜ヘッド検査装置＞
次に、ヘッド検査装置３０について、図３を参照して説明する。図３はヘッド検査装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００５０】
図３に示すように、ヘッド検査装置３０は、機能液供給ユニット３１と、ヘッド機構部３２と、機能液充填装置３４と、受容体機構３３と、Ｘ軸走査機構３５と、撮像軸走査機構３６と、観測軸走査機構３７と、撮像ユニット３８と、観測ユニット３９と、検査装置制御部６６と、を備えている。さらに、ヘッド検査装置３０は、床上に設置された複数の支持脚６８と、支持脚６８の上側に設置された定盤６９とを備えており、上記各装置などが定盤６９の上に配置されている。また、図示省略した入力装置と、出力装置と、表示装置と、を備えている。
【００５１】
Ｘ軸走査機構３５は、定盤６９の上に、Ｘ軸方向に延在するように配設されている。Ｘ軸走査機構３５の上方には、定盤６９に固定された２本の支持柱で支持されている撮像軸走査機構３６が、Ｘ軸走査機構３５と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配設されている。観測軸走査機構３７も、定盤６９に固定された２本の支持柱で支持されて、Ｘ軸走査機構３５と直交するＹ軸方向に延在して配設されている。撮像軸走査機構３６の傍らには、機能液供給ユニット３１の供給タンク６２などが配設されている。撮像軸走査機構３６の観測軸走査機構３７側の傍らには、機能液充填装置３４の吸引ユニット３４ａが配設されている。検査装置制御部６６は、定盤６９の下側に収容されている。
【００５２】
ヘッド機構部３２は、ヘッドキャリッジ４２と、ユニット保持部４３と、ヘッド保持ユニット４４とを有している。ヘッド保持ユニット４４は、検査対象の液滴吐出ヘッド１０（図２参照）を着脱可能であって、液滴吐出ヘッド１０を、受容体機構３３に載置された液受板７０に向けて検査吐出できるように保持することができる。ユニット保持部４３は、ヘッドキャリッジ４２に固定されており、ヘッド保持ユニット４４を、図示省略した回動機構及び昇降機構によって、図３のθ方向に回動可能に、又Ｚ軸方向に昇降可能に、支持している。ヘッドキャリッジ４２は、撮像軸走査機構３６に、当該撮像軸走査機構３６によってＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。
【００５３】
機能液供給ユニット３１は、機能液タンク６１と、供給タンク６２と、供給管６４と、圧力付与部６３と、結合ユニット５６と、結合ユニット保持部５５と、を有している。機能液タンク６１に貯留された機能液７５（図８参照）は、圧力付与部６３による圧力付与によって、供給タンク６２から供給管６４を介して結合ユニット５６に圧送される。結合ユニット５６は、液滴吐出ヘッド１０の液体導入部１１（図２参照）に形成された接続針１２（図２参照）に結合可能である。結合ユニット５６が、ヘッド機構部３２のヘッド保持ユニット４４に保持された液滴吐出ヘッド１０の接続針１２に結合されて、機能液供給ユニット３１から当該液滴吐出ヘッド１０に検査吐出用の機能液７５を供給可能となる。供給管６４は、内部に機能液７５の流路が形成された可撓性を有する管である。結合ユニット保持部５５は、ヘッドキャリッジ４２の上面に固定されており、液滴吐出ヘッド１０に結合されていない時の結合ユニット５６を保持する。機能液タンク６１が貯留部に相当し、結合ユニット５６が管結合部に相当し、結合ユニット保持部５５が、結合部保持部に相当し、機能液７５が液状体に相当する。機能液供給ユニット３１、又は機能液供給ユニット３１及びヘッド機構部３２が、液状体供給システムに相当する。
【００５４】
機能液充填装置３４は、吸引ユニット３４ａと、廃液タンク３４ｂとを有する。吸引ユニット３４ａは、ヘッド保持ユニット４４に保持された液滴吐出ヘッド１０のヘッド本体１６（図２参照）に結合して、ノズル形成プレート１８（図２参照）の吐出ノズル１９（図２参照）から、液滴吐出ヘッド１０内の機能液７５を吸引することによって、機能液供給ユニット３１から液滴吐出ヘッド１０に供給された機能液７５を、液滴吐出ヘッド１０の内部に充填する。
【００５５】
受容体機構３３は、受容体載置台３３ａと、スライド台３３ｂとを有している。受容体載置台３３ａは、図示省略した固定機構を備え、吐出された機能液７５を着弾させる液受板７０を保持する。受容体載置台３３ａは、スライド台３３ｂに固定されており、スライド台３３ｂは、Ｘ軸走査機構３５に、当該Ｘ軸走査機構３５によってＸ軸方向に移動可能に取り付けられている。
【００５６】
撮像ユニット３８は、撮像カメラ３８ａと、カメラ保持装置３８ｂと、カメラキャリッジ３８ｃとを有しており、撮像カメラ３８ａによって、液受板７０に着弾した機能液７５の液滴の形状などの画像データや複数の液滴間の相互の着弾位置関係などの画像データなどを取得する。撮像カメラ３８ａは、受容体載置台３３ａに載置された液受板７０の表面を撮影可能となるようにカメラ保持装置３８ｂに支持されている。カメラ保持装置３８ｂは、カメラキャリッジ３８ｃに固定されており、撮像カメラ３８ａを、図示省略した回動機構及び昇降機構によって、図３のθ方向に回動可能に、又、Ｚ軸方向に昇降可能に、支持している。カメラキャリッジ３８ｃは、ヘッドキャリッジ４２と同様に、撮像軸走査機構３６に、当該撮像軸走査機構３６によってＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。カメラキャリッジ３８ｃと、ヘッドキャリッジ４２とは、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。
【００５７】
撮像軸走査機構３６は、撮像軸ガイド３６ａと、撮像軸リニアモータ３６ｂとを有している。撮像軸走査機構３６に取り付けられているヘッドキャリッジ４２及びカメラキャリッジ３８ｃは、Ｙ軸方向に延在する撮像軸ガイド３６ａにガイドされ、撮像軸リニアモータ３６ｂよる駆動力を受けることにより、撮像軸ガイド３６ａに沿ってＹ軸方向の任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。この構成により、ヘッド保持ユニット４４に取り付けられることによって、ユニット保持部４３及びヘッド保持ユニット４４を介してヘッドキャリッジ４２に支持される液滴吐出ヘッド１０は、受容体載置台３３ａ上に保持された液受板７０や、機能液充填装置３４の吸引ユニット３４ａに対向する位置に移動される。また、当該位置に保持される。同様に、カメラ保持装置３８ｂを介してカメラキャリッジ３８ｃに支持されている撮像カメラ３８ａは、受容体載置台３３ａ上に保持された液受板７０に対向する位置に移動される。また、当該位置に保持される。
【００５８】
観測ユニット３９は、観測カメラ３９ａ及び観測カメラ３９ｂと、観測カメラ保持装置３９ｃと、観測カメラキャリッジ３９ｄとを有しており、観測カメラ３９ａ及び観測カメラ３９ｂによって、液受板７０に着弾した機能液７５の液滴の形状などの画像データや複数の液滴間の相互の着弾位置関係などの画像データなどを取得する。観測カメラ３９ａ及び観測カメラ３９ｂは、受容体載置台３３ａに載置された液受板７０の表面を撮影可能となるように観測カメラ保持装置３９ｃに支持されている。観測カメラ保持装置３９ｃは、観測カメラキャリッジ３９ｄに固定されており、観測カメラ３９ａ及び観測カメラ３９ｂを、図示省略した回動機構及び昇降機構によって、それぞれ独立して、図３のθ方向に回動可能に、又、Ｚ軸方向に昇降可能に、支持している。観測カメラキャリッジ３９ｄは、観測軸走査機構３７に、当該観測軸走査機構３７によってＹ軸方向に移動可能に取り付けられている。
【００５９】
観測軸走査機構３７は、観測軸ガイド３７ａと、観測軸リニアモータ３７ｂとを有している。観測軸走査機構３７に取り付けられている観測カメラキャリッジ３９ｄは、Ｙ軸方向に延在する観測軸ガイド３７ａにガイドされ、観測軸リニアモータ３７ｂよる駆動力を受けることにより、観測軸ガイド３７ａに沿ってＹ軸方向の任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。この構成により、観測カメラ保持装置３９ｃを介して観測カメラキャリッジ３９ｄに支持されている観測カメラ３９ａ及び観測カメラ３９ｂは、受容体載置台３３ａ上に保持された液受板７０に対向する位置に移動される。また、当該位置に保持される。
【００６０】
Ｘ軸走査機構３５は、Ｘ軸ガイド３５ａと、Ｘ軸リニアモータ３５ｂとを有している。Ｘ軸走査機構３５に取り付けられているスライド台３３ｂは、Ｘ軸方向に延在するＸ軸ガイド３５ａにガイドされ、Ｘ軸リニアモータ３５ｂよる駆動力を受けることにより、Ｘ軸ガイド３５ａに沿ってＸ軸方向の任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。この構成により、受容体載置台３３ａに取り付けられることによって、スライド台３３ｂに支持される液受板７０は、ヘッドキャリッジ４２に支持される液滴吐出ヘッド１０や、撮像カメラ３８ａや、観測カメラ３９ａや、観測カメラ３９ｂに対向する位置に移動される。また、当該位置に保持される。
【００６１】
検査装置制御部６６は、図示省略した入力装置を介して入力される指令に基づいて、上記した各機構部等を総括的に制御する。検査装置制御部６６は、また、取得した画像情報などを、出力装置（図示省略）から出力させたり、表示装置（図示省略）に表示させたりする。
【００６２】
＜ヘッド保持ユニット＞
次に、ヘッド保持ユニット４４について、図４を参照して説明する。図４はヘッド保持ユニットの概略構成を示す外観斜視図である。図４に示すように、ヘッド保持ユニット４４は、結合保持部４６と、ヘッド板４７と、支柱４８と、ユニット板４９と、を有している。結合保持部４６は、摺動台５３と、当接ブロック５２と、付勢ばね５１と、を有している。
【００６３】
ヘッド保持ユニット４４は、ユニット板４９がユニット保持部４３（図３参照）に固定されることで、ユニット保持部４３に支持されている。ユニット保持部４３の下面に固定されユニット板４９に、４本の支柱４８の一端（上端）が固定されて吊着されている。４本の支柱４８の他端（下端）には、ヘッド板４７が固定されている。ヘッド板４７には、ヘッド開口４７ａが形成されており、検査対象の液滴吐出ヘッド１０（図２参照）は、当該ヘッド開口４７ａにヘッド本体１６（図２参照）が遊嵌するように、ヘッド板４７の上にセットされる。結合保持部４６は、摺動台５３の一端がユニット板４９に固定されることで、ユニット板４９に吊着されている。当接ブロック５２は、Ｚ軸方向に摺動自在に、摺動台５３と係合している。付勢ばね５１はコイルばねであり、ユニット板４９と当接ブロック５２との間に圧縮されて配置されており、当接ブロック５２をヘッド板４７側に付勢する力を、当該当接ブロック５２に加えている。当接ブロック５２は、付勢ばね５１に付勢されて、摺動台５３の下端（ユニット板４９に固定された側の反対側）に形成された係止部に当接している。なお、図４では、係止部を明示するために、当接ブロック５２が係止部から離れたように記載している。ヘッド板４７が保持テーブルに相当し、結合保持部４６が結合維持装置に相当する。
【００６４】
＜結合ユニット及び結合ユニット保持部＞
次に、結合ユニット５６、及び結合ユニット保持部５５について、図５を参照して説明する。図５は、結合ユニット及び結合ユニット保持部の概略図である。図５（ａ）は、結合ユニットの外観斜視図であり、図５（ｂ）は、結合ユニット保持部の外観斜視図であり、図５（ｃ）は、結合ユニットが結合ユニット保持部に保持された状態を示す断面図である。
【００６５】
図５に示すように、結合ユニット５６は、針結合端部５７と、端部固定板５８と、端部ブロック５９と、を有している。針結合端部５７は、封止球５７ａと、封止ばね５７ｂと、を有している。針結合端部５７は、供給管６４の端に連なっており、それぞれの内部に形成されている機能液７５の流路が連通している。液滴吐出ヘッド１０（図２参照）は接続針１２（図２参照）を２本有するため、結合ユニット５６は２本の針結合端部５７を有している。２本の針結合端部５７のそれぞれには、１本の供給管６４が２本に分岐した端部６４ａがそれぞれ接続している。２本の針結合端部５７は、液滴吐出ヘッド１０に形成された２本の接続針１２とそれぞれ嵌合できるように、２本の接続針１２の軸間距離と同じ軸間距離を隔てて、端部固定板５８に嵌入して固定されている。端部ブロック５９は、当接ブロック５２（図４参照）を当接させるためのもので、端部固定板５８と一体に形成されている。針結合端部５７が、導入口結合端に相当する。接続針１２が、液導入口部に相当する。
【００６６】
針結合端部５７の流路の開口側の部分は、液滴吐出ヘッド１０の接続針１２（図２参照）と嵌合する嵌合流路部５７ｃが形成されており、封止球５７ａと封止ばね５７ｂとが収容されている封止流路部５７ｄが、嵌合流路部５７ｃに連接して形成されている。嵌合流路部５７ｃの内径は、接続針１２に嵌合して、隙間なく接続針１２に密着するような寸法になっている。封止流路部５７ｄの内径は、嵌合流路部５７ｃより大きくなっており、嵌合流路部５７ｃの内径より大きい外形を有する封止球５７ａは、封止ばね５７ｂに付勢されて、封止流路部５７ｄと嵌合流路部５７ｃとの段差部分に当接しており、流路を封止している。
【００６７】
結合ユニット保持部５５は、升状の形状を有しており、升形状の内部の空間である液溜部５５ｂには、機能液７５が充填されている。結合ユニット５６は、液溜部５５ｂの開口を形成する液溜枠５５ａの上に、端部固定板５８が支持され、針結合端部５７の先端側が液溜部５５ｂに充填された機能液７５に浸された状態で、結合ユニット保持部５５に保持される。
【００６８】
＜機能液の供給＞
次に、液滴吐出ヘッド１０の検査工程における機能液７５の供給工程について、図６、図７、及び図８を参照して説明する。図６は、液滴吐出ヘッドに機能液を供給する工程を示すフローチャートである。図７は、液滴吐出ヘッドがヘッド保持ユニットに保持された状態を示す外観斜視図であり、図８は、針結合端部が接続針に嵌合した状態を示す断面図である。
【００６９】
図６のステップＳ１では、液滴吐出ヘッド１０を、ヘッド検査装置３０のヘッド保持ユニット４４にセットする。図７及び図８に示すように、液滴吐出ヘッド１０を、ヘッド本体１６（図２参照）がヘッド開口４７ａに遊嵌してノズル形成面１８ａが下側に向くように、ヘッド板４７上に載置する。液滴吐出ヘッド１０がＸ軸Ｙ軸平面方向において液受板７０（図３参照）又は吸引ユニット３４ａ（図３参照）とＺ軸方向に重なる位置に位置すると、下側に向いたノズル形成面１８ａは、液受板７０又は吸引ユニット３４ａに対向する。
【００７０】
次に、図６のステップＳ２では、ヘッド板４７上に載置した液滴吐出ヘッド１０に供給管６４を接続する。図７及び図８に示すように、押圧ブロック７２を、押圧ブロック７２が２本の接続針１２を囲む状態で、液滴吐出ヘッド１０の液体導入部１１の上に載置し、針結合端部５７の嵌合流路部５７ｃに接続針１２が嵌入するように、押圧ブロック７２の上に結合ユニット５６を載置する。嵌合流路部５７ｃに接続針１２が嵌合し、ヘッド板４７の上で液滴吐出ヘッド１０の液体導入部１１の上に、押圧ブロック７２と結合ユニット５６の端部固定板５８とが重なった状態となる。ステップＳ２が、結合工程に相当する。
【００７１】
このとき、結合ユニット５６の方向を、端部ブロック５９が、結合保持部４６側になるようにすると共に、端部ブロック５９を当接ブロック５２の下側（ヘッド板４７側）に位置させることで、付勢ばね５１が当接ブロック５２を付勢して端部ブロック５９を押圧する。端部ブロック５９が押圧される力によって、端部固定板５８が押圧ブロック７２を押圧して、液滴吐出ヘッド１０をヘッド板４７上に押圧固定する。また、針結合端部５７は、接続針１２と嵌合する方向に付勢されて、針結合端部５７の嵌合流路部５７ｃと接続針１２とが嵌合した状態が維持される。図８に示すように、嵌合流路部５７ｃと接続針１２とが嵌合した状態では、接続針１２の先端が当接した封止球５７ａは、封止ばね５７ｂの付勢力に抗して封止流路部５７ｄと嵌合流路部５７ｃとの段差部分から離されるため、流路の封止が解除されて、供給管６４から液滴吐出ヘッド１０まで連通する機能液７５の流路が形成される。
【００７２】
次に、図６のステップＳ３では、液滴吐出ヘッド１０が機能液７５を正常に吐出可能となるように、液滴吐出ヘッド１０に機能液７５を充填する。供給管６４が結合された液滴吐出ヘッド１０を保持するヘッド保持ユニット４４が固定されたヘッドキャリッジ４２（図３参照）を、ヘッド機構部３２（図３参照）によって移動させて、液滴吐出ヘッド１０のノズル形成面１８ａが吸引ユニット３４ａに対向する位置に位置させる。図３では図示省略した昇降機構によって、ノズル形成面１８ａを吸引ユニット３４ａに当接させて、ノズル形成プレート１８の吐出ノズル１９から、液滴吐出ヘッド１０内の機能液７５を吸引することによって、機能液供給ユニット３１から液滴吐出ヘッド１０に供給された機能液７５を、液滴吐出ヘッド１０の内部に充填する。
【００７３】
次に、ステップＳ４では、液滴吐出ヘッド１０から液受板７０（図３参照）に向けて、検査吐出を実施する。機能液７５が充填されて正常な吐出が可能となった液滴吐出ヘッド１０をヘッド機構部３２によって移動させて、液滴吐出ヘッド１０のノズル形成面１８ａが受容体載置台３３ａ（図３参照）に載置された液受板７０に対向する位置に位置させる。当該位置において、液滴吐出ヘッド１０の吐出ノズル１９（図２参照）から機能液７５の液滴を吐出させて液受板７０に着弾させる。
【００７４】
液受板７０に着弾した機能液７５の液滴の映像を、図３を参照して説明した撮像カメラ３８ａや観測カメラ３９ａや観測カメラ３９ｂによって取得して、液滴吐出ヘッド１０の良否を判定する。液受板７０として、紙などのように機能液７５を吸収しやすい材料を用いることで、各液滴の着弾位置の相対位置が明確になるため、液滴吐出ヘッド１０の吐出ノズル１９の相対位置と比較することによって、吐出された液滴の飛行方向の良否を判定することができる。吐出ノズル１９それぞれの吐出不良の有無も検査することができる。液受板７０として、機能液７５を吸収しない材料を用いることで、各液滴の体積を測定することができるため、吐出ノズル１９それぞれの吐出量の良否も検査することができる。
【００７５】
次に、ステップＳ５では、液滴吐出ヘッド１０から供給管６４を取外す。即ち、液滴吐出ヘッド１０から結合ユニット５６を取外す。
次に、ステップＳ６では、液滴吐出ヘッド１０から取外した結合ユニット５６を、図５（ｃ）に示したように、液溜部５５ｂの開口を形成する液溜枠５５ａの上に、端部固定板５８が支持され、針結合端部５７の先端側が液溜部５５ｂに充填された機能液７５に浸された状態で、結合ユニット５６を結合ユニット保持部５５（図３参照）に保持させる。結合ユニット５６が結合ユニット保持部５５に保持されている状態を維持する工程が、待機工程に相当する。
次に、ステップＳ７では、液滴吐出ヘッド１０を、ヘッド検査装置３０のヘッド保持ユニット４４から取外す。
次に、ステップＳ８では、検査吐出を実行するべき別の液滴吐出ヘッド１０の有無を判定する。検査吐出を実行するべき別の液滴吐出ヘッド１０が有る場合（ステップＳ８でＹＥＳ）は、ステップＳ１に戻り、ステップＳ１からステップＳ７を繰り返す。検査吐出を実行するべき別の液滴吐出ヘッド１０が無い場合（ステップＳ８でＮＯ）は、液滴吐出ヘッド１０に機能液７５を供給する工程を終了する。
【００７６】
なお、検査吐出が終了して取外された液滴吐出ヘッド１０は、内部の機能液７５を洗浄した後、次の工程に回される。また、液滴吐出ヘッド１０に検査吐出を実行させるためには、液滴吐出ヘッド１０に駆動信号を印加することが必要であり、検査吐出の前後で、コネクタ１４への駆動信号を伝えるためのＦＦＣケーブルの着脱を、結合ユニット５６の着脱と同様に実行する。
【００７７】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液滴吐出ヘッド１０に結合していない状態の結合ユニット５６を、針結合端部５７の先端側が液溜部５５ｂに充填された機能液７５に浸された状態で、結合ユニット保持部５５に保持させる。針結合端部５７の先端側が機能液７５に浸されていることで、針結合端部５７の先端側が雰囲気に触れる機会が減少するため、針結合端部５７の先端側に付着した機能液７５が乾燥することを抑制することができる。これにより、機能液７５の増粘や固化に起因して、針結合端部５７に形成された液体の流路の詰りや、針結合端部５７と接続針１２との結合の不具合などが発生することを抑制することができる。
【００７８】
（２）結合ユニット５６の針結合端部５７の嵌合流路部５７ｃが接続針１２に嵌合した状態で、結合ユニット５６の端部ブロック５９が、付勢ばね５１によって付勢された当接ブロック５２によって押圧される。これにより、結合ユニット５６は、嵌合流路部５７ｃが接続針１２に嵌合する方向に押圧されて、針結合端部５７と接続針１２との嵌合を確実に維持することができる。
【００７９】
（３）ヘッド板４７上に載置された液滴吐出ヘッド１０上に押圧ブロック７２が載置され、押圧ブロック７２の上に結合ユニット５６が載置された状態で、結合ユニット５６の端部ブロック５９が、付勢ばね５１によって付勢された当接ブロック５２によって押圧される。このため、結合ユニット５６は、押圧ブロック７２を介して液滴吐出ヘッド１０をヘッド板４７に押付けるように押圧する。これにより、液滴吐出ヘッド１０をヘッド板４７上に固定することができる。
【００８０】
（４）結合ユニット５６は、押圧ブロック７２を介して液滴吐出ヘッド１０をヘッド板４７に押付けるように押圧する。これにより、液滴吐出ヘッド１０をヘッド板４７に押圧する力は、針結合端部５７と接続針１２とを介することなく液滴吐出ヘッド１０に伝えることができるため、液滴吐出ヘッド１０をヘッド板４７に固定できるような大きな力が針結合端部５７と接続針１２とに加えられることを抑制することができる。
【００８１】
（５）液滴吐出ヘッド１０が接続針１２を２本有することに対応して、結合ユニット５６は２本の針結合端部５７を有しており、２本の針結合端部５７は、２本の接続針１２の中心間距離と略等しい中心間距離を隔てて端部固定板５８に固定されている。これにより、２本の針結合端部５７を、２本の接続針１２に略同時に着脱することができる。
【００８２】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、前記実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００８３】
（変形例１）前記実施形態においては、導入口結合端としての針結合端部５７を浸すための液体として、結合ユニット保持部５５の液溜部５５ｂには、機能液７５が充填されていたが、導入口結合端を浸すための液体が、液滴吐出ヘッドから吐出する液状体と同一であることは必須ではない。導入口結合端に付着した液状体の乾燥を抑制できる液体であって、液滴吐出ヘッド内に入ったとしても液滴吐出ヘッドの機能を損なう可能性が実質的にない液体であれば、どのような液体であってもよい。液状体の溶媒も、液状体の乾燥を抑制できると共に、液滴吐出ヘッド内に入ったとしても液滴吐出ヘッドの機能を損なう可能性が実質的にないという条件を満たす液体であって、導入口結合端を浸すための液体として好適に用いることができる。
【００８４】
（変形例２）前記実施形態においては、液状体供給システムとしての機能液供給ユニット３１は、検査装置としてのヘッド検査装置３０に設けられていたが、液状体供給システムを備える装置が検査装置であることは必須ではない。液状体を供給するべき供給先に供給端末を接続して、液状体を供給先に供給する供給装置を備え、供給端末を供給先に接続していない状態が存在するような装置であればよい。
【００８５】
（変形例３）前記実施形態においては、機能液供給ユニット３１は１個の管結合部としての結合ユニット５６を有し、保持テーブルとしてのヘッド保持ユニット４４には１個の液滴吐出ヘッド１０が載置可能であり、同時に機能液７５を供給する液滴吐出ヘッド１０は１個であったが、略同時に機能液７５を供給する液滴吐出ヘッドが１個であることは必須ではない。複数の液滴吐出ヘッドを搭載可能なヘッド保持ユニットと、複数の管結合部とを備え、同時に複数の液滴吐出ヘッドに液状体を供給する構成であってもよい。
【００８６】
（変形例４）前記実施形態においては、ヘッド検査装置３０は、保持テーブルとしてのヘッド板４７を有するヘッド保持ユニット４４を備えており、液滴吐出ヘッド１０はヘッド板４７に載置されていたが、液状体供給システムが液滴吐出ヘッドを保持するための保持テーブルを備えることは必須ではない。液滴吐出ヘッドを保持する方法又は構成は、どのような方法又は構成であってもよい。
【００８７】
（変形例５）前記実施形態においては、ヘッド検査装置３０は、撮像軸走査機構３６を備えており、ヘッド機構部３２をＹ軸方向に移動することで、ヘッド機構部３２に搭載された液滴吐出ヘッド１０を、液受板７０又は吸引ユニット３４ａに対向させていたが、ヘッド検査装置が撮像軸走査機構３６のようなヘッド移動機構を備えることは必須ではない。液滴吐出ヘッドを固定する位置は液状体を吐出する位置に固定であって、吸引ユニットを液滴吐出ヘッドに結合可能な位置に移動する構成であってもよい。或は、手作業で、液滴吐出ヘッド１０を、液受板７０又は吸引ユニット３４ａに対向させる位置に移動させてもよいし、液受板７０及び吸引ユニット３４ａを、それぞれ液滴吐出ヘッド１０に対向させる位置に移動させてもよい。
【００８８】
（変形例６）前記実施形態においては、ヘッド検査装置３０は、Ｘ軸走査機構３５を備えており、受容体載置台３３ａをＸ軸方向に移動することで、受容体載置台３３ａに搭載された液受板７０を、液滴吐出ヘッド１０又は観測ユニット３９に対向させていたが、ヘッド検査装置がＸ軸走査機構３５のような吐出された液状体を受ける受容体を移動する機構を備えることは必須ではない。受容体を固定する受容体載置台は、手作業などによって、受容体を移動させる構成であってもよい。
【００８９】
（変形例７）前記実施形態においては、ヘッド検査装置３０が備える撮像ユニット３８及び観測ユニット３９は、液受板７０に吐出された機能液７５の画像を取得する撮像装置であったが、ヘッド検査装置が備える撮像装置は、他の画像を取得する装置であってもよい。例えば、液滴吐出ヘッドから液状体が吐出される様子を側面から観測できる装置であってもよい。
【００９０】
（変形例８）前記実施形態においては、ヘッド検査装置３０は、撮像機能を有する撮像ユニット３８及び観測ユニット３９を備えていたが、撮像機能を有する装置を複数備えることは必須ではない。液滴吐出ヘッドの検査に必要な特性を取得するために備える装置の数は限定されない。また、撮像機能を有する装置と、液滴吐出ヘッドに検査吐出を実行させる装置とを、個別に設けた装置構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）液滴吐出ヘッドの外観を示す斜視図。（ｂ）液滴吐出ヘッドの接続針周りの概構造を示す部分断面図。
【図３】ヘッド検査装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図４】ヘッド保持ユニットの概略構成を示す外観斜視図。
【図５】（ａ）結合ユニットの外観斜視図。（ｂ）結合ユニット保持部の外観斜視図。（ｃ）結合ユニットが結合ユニット保持部に保持された状態を示す断面図。
【図６】液滴吐出ヘッドに機能液を供給する工程を示すフローチャート。
【図７】液滴吐出ヘッドがヘッド保持ユニットに保持された状態を示す外観斜視図。
【図８】針結合端部が接続針に嵌合した状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００９２】
１…液滴吐出装置、１０…液滴吐出ヘッド、１１…液体導入部、１２…接続針、１６…ヘッド本体、１７…ポンプ部、１８…ノズル形成プレート、１９…吐出ノズル、３０…ヘッド検査装置、３１…機能液供給ユニット、３２…ヘッド機構部、３３…受容体機構、３４…機能液充填装置、３８…撮像ユニット、３９…観測ユニット、４２…ヘッドキャリッジ、４３…ユニット保持部、４４…ヘッド保持ユニット、４６…結合保持部、４７…ヘッド板、４７ａ…ヘッド開口、５２…当接ブロック、５５…結合ユニット保持部、５５ａ…液溜枠、５５ｂ…液溜部、５６…結合ユニット、５７…針結合端部、５７ｃ…嵌合流路部、５７ｄ…封止流路部、５８…端部固定板、５９…端部ブロック、６１…機能液タンク、６４…供給管、７０…液受板、７２…押圧ブロック、７５…機能液。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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