(57)【要約】【課題】ワーク搬送パレットに載せられて搬送されてくるワークを試験位置で位置決め固定できる環境試験装置を提供すること。【解決手段】ワークは、ワーク搬送パレット２０上において、ワーク押さえ部材３０はバネ力によって位置決め板２２へ押し付けられて固定されている。ワークが試験位置１２まで搬送されてくると、ワーク位置決め機構５０がパレット位置決めピン５５、５６をパレット位置決め貫通孔２１ｂ、２１ｃに挿入して、ワーク搬送パレット２０の位置決めを行う。また、ワーク押さえ部材位置決めピン５７をワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａに挿入して、ワーク押さえ部材３０を位置決めする。この結果、バネ力による押し付け状態のいかんに拘らず、ワーク押さえ部材３０によってワークが確実に位置決め板２２に位置決め固定される。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク搬送パレットに載せたワークに、スライド式のワーク押さえ部材をばね力によって押し付けることにより、当該ワークをワーク搬送パレット上に固定し、
ワークが固定されたワーク搬送パレットを所定の搬送路に沿ってワーク検査位置まで搬送し、
ワークの検査に先立って、ワーク検査位置に到ったワーク搬送パレットを、当該ワーク検査位置に配置されているパレット位置決め部材によって位置決め固定すると共に、当該ワーク搬送パレット上のワーク押さえ部材を、当該ワーク検査位置に配置されているワーク位置決め部材によって位置決め固定することを特徴とするワーク検査装置のワーク位置決め方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法に用いるワーク搬送パレットであって、
パレット本体板と、
当該パレット本体板上の定まった位置に取り付けた固定側部材と、
当該パレット本体上において前記固定側部材に対して接近および離れる方向にスライド可能なワーク押さえ部材と、
当該ワーク押さえ部材を前記固定側部材に向けて付勢しているばね部材と、
前記パレット位置決め部材を係合させるために、前記パレット本体板に形成されたパレット位置決め係合部と、
前記ワーク位置決め部材を係合させるために、前記ワーク押さえ部材に形成されたワーク位置決め係合部とを有しており、
前記固定側部材および前記ワーク押さえ部材の間に、前記ばね部材のばね力によって検査対象のワークが固定されるようになっていることを特徴とするワーク搬送パレット。
【請求項３】
請求項１に記載の方法により通電試験対象のワークの位置決めを行う環境試験装置であって、
所定の温度条件の下でワークの通電試験を行う試験槽と、
当該試験槽を経由する搬送路に沿って、ワークが搭載されたパレットを搬送するパレット搬送機構と、
前記試験槽内の試験位置に配置され、前記ワークの通電部分に接触させて通電試験を行うために用いる通電用端子と、
当該試験位置に前記パレットを位置決めするためのパレット位置決め部材と、
当該試験位置に位置決め固定された前記パレットに搭載されている前記ワーク押さえ部材を位置決め固定するためのワーク位置決め部材とを有していることを特徴とする環境試験装置。
【請求項４】
請求項２に記載のワーク搬送パレットと、
請求項３に記載の環境試験装置とを有していることを特徴とする環境試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク搬送パレットに載せられて搬送されてくる電子部品などのワークを、検査位置で位置決め固定することができるワーク検査装置のワーク位置決め方法およびそのようなワーク位置決め方法に用いるワーク搬送パレットに関する。また、そのようなワーク位置決め方法を用いた環境試験装置および環境試験システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ライン型環境試験装置は、温度や湿度が調整された各試験槽に電子基板などのワークを順次に搬入して、当該ワークに対して異なる条件で通電などの環境試験を行うものである。このようなライン型環境試験装置は、例えば、特許文献１に記載されており、ワークを載せたワーク搬送パレットを各試験槽へ搬入し、各試験槽内を搬送する間にワークを所定温度に到達させ、搬送路上の所定の通電試験位置で通電試験を行ったのち搬出して、次の試験槽へと搬送する。
【０００３】
ここで、ワークはワーク搬送パレット上で位置決め固定された状態で搬送されてくる。また、通電試験は、ワーク搬送パレット上に位置決め固定されたワークに対して通電用端子を接触させて行なわれている。
【０００４】
ワークを位置決め固定した状態で搬送するワーク搬送パレットとしては、パレット本体上に取り付けられた固定側部材と、この固定側部材に接近および離れる方向にスライドするワーク押さえ部材と、このワーク押さえ部材を固定側部材の側に向かって付勢するバネ部材とを有し、固定側部材とワーク押さえ部材との間に挿入したワークを、ワーク押さえ部材がバネ力によって固定側部材へ押し付けて位置決め固定するものがある。
【特許文献１】特開平９−１９７０００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この構成のワーク搬送パレットでは、ワーク押さえ部材を押し付けるバネ部材の状態や、ワーク押さえ部材がスライドする際に摺接する他の部材との間で発生する摩擦によって、ワーク押さえ部材がワークを適切な力で押し付け固定できない場合がある。また、搬送の途中で、ワークを押し付けるバネ力が変化してしまう場合がある。これらの場合には、通電試験時までワーク搬送パレット上におけるワークの位置決め固定状態が維持されていないので、通電用端子とワークの通電部分との間の接触状態の信頼性が確保されない。その結果、通電試験の信頼性が低下してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、ワーク搬送パレットに載せられて搬送されてくるワークを、検査位置で位置決め固定することが可能なワーク位置決め方法およびそのような位置決め方法に用いるワーク搬送パレットを提案することにある。また、そのような位置決め方法を用いた環境試験装置および環境試験システムを提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明はワーク検査装置のワーク位置決め方法であって、ワーク搬送パレットに載せたワークに、スライド式のワーク押さえ部材をばね力によって押し付けることにより、当該ワークをワーク搬送パレット上に固定し、ワークが固定されたワーク搬送パレットを所定の搬送路に沿ってワーク検査位置まで搬送し、ワークの検査に先立って、ワーク検査位置に到ったワーク搬送パレットを、当該ワーク検査位置に配置されているパレット位置決め部材によって位置決め固定すると共に、当該ワーク搬送パレット上のワーク押さえ部材を、当該ワーク検査位置に配置されているワーク位置決め部材によって位置決め固定することを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、検査に先立ってワーク搬送パレットの位置決めを行うと共に、ワーク搬送パレット上でワークを押さえ付けているワーク押さえ部材の位置決めを行う。従って、ワーク押さえ部材がワークを固定するバネ力が適切でない場合や、搬送途中にそのバネ力が変化してしまった場合でも、検査時には、ワークの位置決め固定が確実なものになる。この結果、例えば、ワークと検査機器などを正確に接触させることができるので、検査装置による検査の信頼性を確保できる。
【０００９】
次に、本発明は、前記ワーク検査装置のワーク位置決め方法に用いるワーク搬送パレットであって、パレット本体板と、当該パレット本体板上の定まった位置に取り付けた固定側部材と、当該パレット本体上において前記固定側部材に対して接近および離れる方向にスライド可能なワーク押さえ部材と、当該ワーク押さえ部材を前記固定側部材に向けて付勢しているばね部材と、前記パレット位置決め部材を係合させるために、前記パレット本体板に形成されたパレット位置決め係合部と、前記ワーク位置決め部材を係合させるために、前記ワーク押さえ部材に形成されたワーク位置決め係合部とを有しており、前記固定側部材および前記ワーク押さえ部材の間に、前記ばね部材のばね力によって検査対象のワークが固定されるようになっていることを特徴とする。このようなワーク搬送パレットを用いれば、各位置決め用係合部を利用して、容易にワークの位置決め固定ができる。
【００１０】
また、本発明は、前記ワーク検査装置のワーク位置決め方法により通電試験対象のワークの位置決めを行う環境試験装置であって、所定の温度条件の下でワークの通電試験を行う試験槽と、当該試験槽を経由する搬送路に沿って、ワークが搭載されたパレットを搬送するパレット搬送機構と、前記試験槽内の試験位置に配置され、前記ワークの通電部分に接触させて通電試験を行うために用いる通電用端子と、当該試験位置に前記パレットを位置決めするためのパレット位置決め部材と、当該試験位置に位置決め固定された前記パレットに搭載されている前記ワーク押さえ部材を位置決め固定するためのワーク位置決め部材とを有していることを特徴とする。
【００１１】
本発明の環境試験装置によれば、試験位置においてワークが位置決め固定されるので、ワークと通電用端子とを正確に接触させることができる。ワークと通電用端子との接触状態の信頼性を確保できるので、環境試験装置による通電試験の信頼性を向上させることができる。
【００１２】
次に、本発明は、前記環境試験装置のパレットとして、前記ワーク搬送パレットを用いた環境試験システムとすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のワーク検査装置のワーク位置決め方法によれば、検査時には、ワークの位置決めが確実に行なわれている。従って、例えば、ワークと検査機器などを正確に接触させることができるので、検査装置による検査の信頼性を確保できる。
【００１４】
また、本発明のワーク搬送パレットを用いれば、試験位置においてワークの位置決めを容易に行うことができる。
【００１５】
さらに、本発明の環境試験装置および環境試験システムによれば、試験位置において、通電用端子とワークとの接触を正確に行うことができるので、通電試験の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して本発明を適用した環境試験装置の実施の形態を説明する。図１は、本発明を適用したライン型環境試験装置を示す概略縦断面図である。
【００１７】
（全体構成）
本実施の形態に係るライン型環境試験装置１は、温度や湿度が調整された試験槽５を備えた環境試験装置２、３を直列に連結したものである。電子基板などのワークをワーク搬送パレット２０に載せて各試験槽５に順次に搬入して、当該ワークに対して異なる条件下での通電試験を行う。
【００１８】
試験槽５は、断熱パネルで形成された直方体形状をしており、試験槽５の内部は冷却器および加熱器を備えた温度制御機構(不図示)によって所定の温度状態に保持されている。上流側の環境試験装置２の試験槽５は低温槽になっており、その上流には冷却槽へ搬入されるワークに結露が発生することを防止するための結露防止槽６が設けられている。下流側の環境試験装置３の試験槽５は高温槽となっており、その下流には試験槽５内で高温状態になったワークを冷却するための冷却槽７が設けられている。各試験槽５の搬入口８および搬出口９には、搬入、搬出されるワーク搬送パレット２０がそこを通過するのに同期して開閉する搬入口シャッタ１０、搬出口シャッタ１１が設けられている。
【００１９】
ここで、ライン型環境試験装置１は、各試験槽５内に設けられた試験位置１２を経由するように水平に延びる搬送路１５と、この搬送路１５に沿ってワークを載せたワーク搬送パレット２０を搬送するパレット搬送機構４０を備えている。パレット搬送機構４０は搬送路１５に沿って平行に延びる一対の水平案内レール４１、４２を備えており、ワーク搬送パレット２０を水平案内レール４１、４２上で間歇的にスライドさせて前進させる。
【００２０】
試験槽５内に設けられた試験位置１２には、搬送されてきたワークの位置決めを行うワーク位置決め機構５０と、ワークと接触させる複数の通電用端子８１を備えたプローブユニット８０が配置されている。また、ワーク位置決め機構５０およびプローブユニット８０を昇降移動させる昇降用エアシリンダ５３およびワーク搬送パレット２０を位置決めする際に利用されるバックアップ用エアシリンダ６０が配置されている。
【００２１】
ワークは、ワーク搬送パレット２０に載せられた状態で搬送路１５の上流端に供給されて、環境試験装置２の試験槽５内へ搬入される。その後、試験槽５内を搬送される間に低温温度に到達させられて、試験位置１２で停止する。試験位置１２では、ワーク位置決め機構５０によりワークの位置決めが行われ、しかる後に、ワークとプローブユニット８０の通電用端子８１とを接触させて通電試験が行なわれる。試験が終了すると試験槽５の他方の端に形成された搬出口９から搬出され、次の環境試験装置３の試験槽５内へ搬入される。同様にして、環境試験装置３では、高温状態における通電試験が行なわれる。
【００２２】
（ワーク搬送パレット）
図２、図３を参照して、ワークを搬送するワーク搬送パレットを説明する。図２(ａ)はワーク搬送パレットの平面図であり、(ｂ)は底面図である。その構成が分かるように、位置決め板とワーク押さえ部材との間隔を開けた状態で示してある。図３はワーク搬送パレット上にワークを位置決め固定する主要な構成を示す概略側面図である。本例において、ワークはコネクタ７１を備えた平板状の電子基板７０である。電子基板７０は、そのコネクタ７１を下にして直立した状態でワーク搬送パレット２０に固定される。
【００２３】
ワーク搬送パレット２０は一定厚さの長方形のパレット本体板２１を備えている。その表面部分には長手方向に延びる位置決め板(固定側部材)２２が取り付けられている。位置決め板２２の位置決め面２２ａには電子基板７０のコネクタ７１と係合する複数の突起２３が形成されている。コネクタ７１を位置決め面２２ａに当接させると、電子基板７０の位置をワーク搬送パレット２０上の長手方向および短手方向に位置決めすることができる。
【００２４】
位置決め板２２の長手方向の外側には、位置決め板２２と直交する方向に平行に延びる一対のスライドガイド２４、２５が取り付けられている。これらのスライドガイド２４、２５には、ワーク押さえ部材３０がこれらに沿ってスライド自在の状態で位置決め板２２と平行に架け渡されている。
【００２５】
ワーク押さえ部材３０は長手方向に延びる腕部３１と腕部３１の中央部分から位置決め板２２とは反対方向に延びる基部３２を備える略Ｔ字形状の部材である。腕部３１の両端部分には貫通口３１ａ、３１ｂが形成されている。この貫通口３１ａ、３１ｂにスライドガイド２４、２５をそれぞれ貫通させることにより、スライドガイド２４、２５に沿って位置決め板２２に接近する方向および離れる方向に移動可能になっている。腕部３１の両端部分の貫通口３１ａ、３１ｂよりも内側には、ワーク押さえ部材３０を位置決め板２２に向けて押し付けるコイルバネ２８、２９がそれぞれ取り付けられている。基部３２にはワーク押さえ部材位置決め貫通孔(ワーク位置決め係合部)３２ａが形成されている。
【００２６】
パレット本体板２１には、位置決め板２２に沿って矩形の通電開口２１ａが形成されている。通電開口２１ａの長手方向の外側には、パレット位置決め貫通孔(パレット位置決め係合部)２１ｂ、２１ｃが形成されている。また、ワーク押さえ部材３０のスライドに伴ってワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａが通過する領域には、長孔２１ｄが形成されている。
【００２７】
ここで、電子基板７０をワーク搬送パレット２０上で位置決め固定する際には、図３(ａ)に示すように、エアシリンダなどを備えたアクチュエータによって、ワーク押さえ部材３０をコイルバネ２８、２９の付勢力に抗して位置決め板２２から離す方向へスライドさせる。次に、電子基板７０を位置決め板２２とワーク押さえ部材３０との間へ挿入して、コネクタ７１を位置決め面２２ａへ当接させる。
【００２８】
この状態で、アクチュエータからワーク押さえ部材３０を開放すると、図３(ｂ)に示すように、ワーク押さえ部材３０がコイルバネ２８、２９の付勢力によってスライドして、コネクタ７１を位置決め板２２に押し付ける。この結果、電子基板７０はコネクタ７１を下にして直立した状態で、ワーク搬送パレット２０に位置決め固定される。電子基板７０のコネクタ７１は通電開口２１ａによって、ワーク搬送パレット２０の下側に向けて開放された状態になる。
【００２９】
（ワーク位置決め機構）
次に、試験槽５内を搬送されてきたワークを試験位置１２で位置決めするワーク位置決め機構５０を説明する。図４(ａ)、(ｂ)は、ワーク位置決め機構５０の正面図および左側面図である。水平案内レール４１、４２上を搬送されてきたワーク搬送パレット２０と、位置決め動作を行う前の待機位置にあるワーク位置決め機構５０との位置関係が分かるように示してある。図４(ｃ)はワーク位置決め機構５０を構成する昇降部材５１の平面図である。
【００３０】
ワーク位置決め機構５０は、水平案内レール４１、４２の下側に配置された昇降部材５１と、水平案内レール４１、４２の上側に配置されたバックアップ部材５２とを有している。
【００３１】
昇降部材５１は、水平案内レール４１、４２を搬送されてくるワーク搬送パレット２０と干渉しない待機位置で待機しており、通電試験時に昇降用エアシリンダ５３によって試験位置１２まで上昇する。昇降部材５１は、表面が水平面のプレート部５４と、このプレート部５４から垂直方向に延びる２本のパレット位置決めピン(パレット位置決め部材)５５、５６と、ワーク押さえ部材位置決めピン(ワーク位置決め部材)５７を有している。パレット位置決めピン５５、５６にはそれぞれ軸線方向に貫通するプローブユニット位置決め貫通孔５５ａ、５６ａが設けられている。各ピンの先端部分は、先細り形状となっており、位置ずれを修正しながら対応する各貫通孔へ差し込み可能である。
【００３２】
バックアップ部材５２は垂直に延びる２本の角柱５８、５９を有している。これら角柱５８、５９は、バックアップ用エアシリンダ６０によって支持されている。水平案内レール４１、４２を搬送されてくるワーク搬送パレット２０およびそこに固定された電子基板７０と干渉しない位置に配置されており、各角柱５８、５９の底面５８ａ、５９ａは水平面となっている。
【００３３】
電子基板７０を載せたワーク搬送パレット２０が試験位置１２に停止すると、昇降部材５１が垂直に上昇して、パレット位置決めピン５５、５６をワーク搬送パレット２０のパレット位置決め貫通孔２１ｂ、２１ｃに挿入する。また、ワーク押さえ部材位置決めピン５７を、ワーク搬送パレット２０の長孔２１ｄを介してワーク押さえ部材３０のワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａに挿入する。さらに、プレート部５４の表面がワーク搬送パレット２０のパレット本体板２１の底面部分に当接してワーク搬送パレット２０を水平案内レール４１、４２から僅かに持ち上げ、パレット本体板２１の表面部分をバックアップ部材５２の角柱５８、５９の底面５８ａ、５９ａに当接させて固定する。なお、バックアップ部材５２を昇降部材５１の上昇と同期するように下降させて、パレット本体板２１を固定することもできる。
【００３４】
（プローブユニット）
図５はプローブユニット８０の正面図および左側面図である。プローブユニット８０は水平案内レール４１、４２の下側の待機位置で待機しており、昇降用エアシリンダ５３によって、試験位置１２まで上昇するようになっている。複数の通電用端子８１と、これらの通電用端子８１を固定する複数の非導電性のブロック８２と、ブロック８２を固定している横長のプレート部材８３とを備えている。各通電用端子８１の先端部分はワークに接触する部分であり、弾性的に進退可能になっている。基端側はブロック８２に形成された固定孔に圧入されており、基端部分は配線されて不図示の試験装置に接続されている。
【００３５】
ブロック８２はプレート部材８３の長手方向に一列に固定されており、これらのブロック８２の長手方向の外側には、プレート部材８３から垂直方向に延びるプローブユニット位置決めピン８４、８５が取り付けられている。
【００３６】
（ワークの位置決め動作および通電試験動作）
次に、ワーク位置決め動作および通電試験動作を説明する。図６は、パレット位置決め貫通孔２１ｂを通過する縦断面図であり、試験位置１２においてワークが位置決め固定された状態を示している。
【００３７】
電子基板７０を載せたワーク搬送パレット２０が試験位置１２で停止すると、水平案内レール４１、４２の下側で待機していた昇降部材５１が上昇する。
【００３８】
昇降部材５１は、上述したとおり、上昇時にパレット位置決めピン５５、５６をパレット位置決め貫通孔２１ｂ、２１ｃに挿入する。また、ワーク押さえ部材位置決めピン５７をワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａに挿入する。さらに、ワーク搬送パレット２０を水平案内レール４１、４２から僅かに持ち上げて、バックアップ部材５２との間で挟み込む。
【００３９】
これらの動作によって、図６に示す状態になる。すなわち、ワーク搬送パレット２０が昇降部材５１とバックアップ部材５２との間で垂直方向に位置決め固定されるのに伴って、パレット位置決めピン５５、５６とパレット位置決め貫通孔２１ｂ、２１ｃとが係合する。これにより、ワーク搬送パレット２０が試験位置１２に位置決めされる。同時に、ワーク押さえ部材位置決めピン５７とワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａとが係合するので、ワーク押さえ部材３０が位置決めされる。すなわち、ワーク押さえ部材位置決めピン５７をワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａへ差し込むと、バネ力による押し付け状態のいかんに拘らず、ワーク押さえ部材３０によって電子基板７０が確実に位置決め板２２に押し付けられる。この結果、コネクタ７１に通電用端子８１を確実に接触させることができる位置に電子基板７０を位置決めすることができる。
【００４０】
その後、水平案内レール４１、４２の下側で待機していたプローブユニット８０が上昇する。プローブユニット８０はプローブユニット位置決めピン８４、８５を昇降部材５１のプローブユニット位置決め貫通孔５５ａ、５６ａに挿入して、プローブユニット８０と電子基板７０との相対位置を位置決めする。続いて、電子基板７０のコネクタ７１と各通電用端子８１の先端部分とを圧接させて、通電試験を行う。
【００４１】
通電試験が終了すると、プローブユニット８０は下降して、水平案内レール４１、４２の下方の待機位置へ戻る。また、昇降部材５１が下降して、電子基板７０を載せたワーク搬送パレット２０を水平案内レール４１、４２上に戻す。
【００４２】
水平案内レール４１、４２上に戻されたワーク搬送パレット２０は、パレット搬送機構４０によって搬送される。通電試験が終了してワーク搬送パレット２０が搬出口９から搬出されると、次の試験槽５に搬入されて、異なる温度条件下で同様の通電試験が行なわれる。
【００４３】
（パレット搬送機構）
なお、このようなワーク搬送パレット２０を搬送するパレット搬送機構４０の例を、図７を参照して、説明する。(ａ)はワーク搬送パレットが水平案内レール４１、４２上で停止している状態であり、(ｂ)はワーク搬送パレットが一括して搬送される状態である。
【００４４】
パレット搬送機構４０は、搬送路１５に沿ってワーク搬送パレット２０を搬送するために平行に配置された一対の水平案内レール４１、４２を備えている。ワーク搬送パレット２０はその長手方向の両端部が水平案内レール４１、４２に載せられている。なお、ワーク搬送パレット２０の表面側の両端部分には、パレット本体板２１から垂直方向に延びる係合突起２６、２７が取り付けられる。
【００４５】
一対の水平案内レール４１、４２の外側には、複数の送りピン４３が同一のピッチで取り付けられた一対の搬送シャフト４４、４５が設けられている。搬送シャフト４４、４５は、軸受部材４６により、前後方向にスライド自在、且つその中心軸線を中心として回転自在に支持されている。また、搬送シャフト４４、４５は、下流側の環境試験装置３の試験槽５の下流に配置された送り用エアシリンダ４７によって前後方向に往復移動可能であり、また、左右の回転用エアシリンダ４８によって回転可能である。
【００４６】
パレット搬送機構４０は、各送りピン４３が水平案内レール４１、４２の内側へ水平に倒れるように搬送シャフト４４、４５を所定の角度だけ回転させ、送りピン４３をワーク搬送パレット２０の係合突起２６、２７に係合させる。この状態で、搬送シャフト４４、４５を矢印方向の前方へ１ピッチ分送り出すことによって、ワーク搬送パレット２０を１ピッチ分搬送する。ワーク搬送パレット２０を搬送した後は、パレット搬送機構４０は搬送シャフト４４、４５を回転させて送りピン４３と係合突起２６、２７との係合を解除して、搬送シャフト４４、４５を１ピッチ分戻す。かかる動作を繰り返して行うことにより、水平案内レール４１、４２上にある各ワーク搬送パレット２０を１ピッチずつ間欠的に一括して搬送する。
【００４７】
以上、本例によれば、試験位置１２で電子基板７０の位置決め固定が行なわれる。この結果、通電用端子８１と電子基板７０のコネクタ７１とを正確に接触させることができるので、それらの接触状態の信頼性が確保され、通電試験の信頼性を向上させることができる。
【００４８】
また、ワーク搬送パレット２０は、パレット位置決め貫通孔２１ｂ、２１ｃおよびワーク押さえ部材位置決め貫通孔３２ａを備えているので、これらの貫通孔にそれぞれパレット位置決めピン５５、５６とワーク押さえ部材位置決めピン５７とを係合させるという簡単な動作で、試験位置１２におけるワークの位置決め固定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明を適用したライン型環境試験装置を示す概略縦断面図である。
【図２】ワーク搬送パレットの説明図である。(ａ)は平面図であり、(ｂ)は底面図である。
【図３】ワーク搬送パレット上にワークを位置決め固定する主要な構成を示す概略側面図である。(ａ)はワークをワーク搬送パレットに固定する直前の状態である。(ｂ)はワーク搬送パレット上に位置決め固定した状態である。
【図４】ワーク位置決め機構を説明するための説明図である。(ａ)、(ｂ)はワーク位置決め機構の正面図および左側面図である。(ｃ)はワーク位置決め機構の昇降部材の平面図である。
【図５】(ａ)はプローブユニットの正面図である。(ｂ)は側面図である。
【図６】ワークが試験位置で位置決め固定された状態を示す断面図である。
【図７】パレット搬送機構の例を示す説明図である。(ａ)はワーク搬送パレットが搬送路上で停止している状態である。(ｂ)はワーク搬送パレットが一括して搬送される状態である。
【符号の説明】
【００５０】
１  ライン型環境試験装置
２、３  環境試験装置
５  試験槽
８  搬入口
９  搬出口
１２  試験位置(検査位置)
１５  搬送路
２０  ワーク搬送パレット
２１  パレット本体板(パレット本体板)
２１ｂ、２１ｃ  パレット位置決め貫通孔(パレット位置決め係合部)
２１ｄ  長孔
２２  位置決め板(固定側部材)
２６、２７  係合突起
２８、２９  コイルバネ
３０  ワーク押さえ部材
３２ａ  ワーク押さえ部材位置決め貫通孔(ワーク位置決め係合部)
４０  パレット搬送機構
４１、４２  水平案内レール
４３  送りピン
４４、４５  搬送シャフト
４７  送り用エアシリンダ
４８  回転用エアシリンダ
５０  ワーク位置決め機構
５１  昇降部材
５２  バックアップ部材
５３  昇降用エアシリンダ
５４  プレート部
５５、５６  パレット位置決めピン(パレット位置決め部材)
５５ａ、５６ａ  プローブユニット位置決め貫通孔
５７  ワーク押さえ部材位置決めピン(ワーク位置決め部材)
５８、５９  角柱
６０  バックアップ用エアシリンダ
７０  電子基板
７１  コネクタ
８０  プローブユニット
８１  通電用端子
８４、８５  プローブユニット位置決め用ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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