(57)【要約】【課題】半導体発光素子であるエレクトロルミネッセンス素子及びフォトルミネッセンス素子に関して、発光効率のより一層の向上を図る。【解決手段】ｐｎ接合を有する半導体発光素子の製造方法であって、基板２上部にｎ型半導体層３と、ｐ型半導体層４とを順次積層して、ｐｎ接合型のダイオード構造１を形成する工程と、減圧下で水蒸気を導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記ダイオード構造を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理を行う工程と、前記ダイオード１に電極１５・１６を形成する工程とを含む製造方法を適用する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｐｎ接合を有する半導体発光素子の製造方法であって、基板上部にｎ型半導体層と、ｐ型半導体層とを順次積層して、ｐｎ接合型のダイオード構造を形成する工程と、減圧下で水蒸気を導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記ダイオード構造を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理の工程と、前記ダイオード構造に電極を形成する工程とを含むことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
【請求項２】
前記半導体層が、ＧａＮ系半導体であることを特徴とする請求項１に記載の半導体発光素子の製造方法。
【請求項３】
前記半導体発光素子が、エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする請求項１に記載の半導体発光素子の製造方法。
【請求項４】
前記水蒸気として重水蒸気を用いることを特徴とする請求項１に記載の半導体発光素子の製造方法。
【請求項５】
酸化亜鉛結晶を焼結して焼結体を作製する工程と、減圧下で水蒸気もしくは水蒸気と水素との混合ガスを導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記酸化亜鉛結晶を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理の工程とを含むことを特徴とするフォトルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項６】
前記水蒸気として重水蒸気を用いることを特徴とする請求項５に記載のフォトルミネッセンス素子の製造方法。
【請求項７】
前記酸化亜鉛結晶が、多結晶酸化亜鉛であることを特徴とする請求項５に記載のフォトルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体発光素子の製造方法に関し、特に半導体発光材料・デバイスのプラズマ処理による特性向上の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、様々な色や波長で発光する発光ダイオード（ＬＥＤ）は、多岐にわたり実用化され、日常生活の至る所に用いられるようになっている。特に照明用白色発光ダイオードは、その発光効率が蛍光灯に匹敵するまでになった。ただし、白色ＬＥＤが蛍光灯に置き換わるためには初期設置費用面での不利をカバーし得るだけのさらなる効率化が不可欠である。また、照明用白色発光ダイオードは、長寿命性、高効率性、廃棄時の無害性などのメリットにより、省資源、省エネルギー、地球温暖化防止、脱水銀などの地球環境保全などの面から人類の福祉向上へ大きく寄与するばかりでなく、国内だけで１兆円を超える照明機器市場を擁する産業界へのインパクトは計り知れない。そのため、ＬＥＤによる白色生成方式はいくつか考案され検討が重ねられているが、高効率性、高演色性、デバイス構造の単純さなどの点から青色ＬＥＤ＋赤・緑２波長蛍光体による３波長型白色ＬＥＤが最も有望である。このＬＥＤの変換効率を高めるには、白色生成の元になる青色発光の高効率化と青色を赤色・緑色へと変換する蛍光体の高効率化が必要であるが、中でも青色発光の効率化は最重要課題である。ＧａＮ系半導体をベースにした青色ＬＥＤや青色レーザ・ダイオード（ＬＤ）がすでに実用化されているが、これらはいずれもＩｎＧａＮやＡｌＧａＮなどを用いて量子井戸構造を構成する複雑な構造をとっている（特許文献１参照）。
【０００３】
以上のような従来の青色発光技術が有する課題を解消する、特に発光効率を向上することを目的として、本発明者等は、先ず非特許文献１に示す研究成果を提案した。
図１から図３を用いて、当該非特許文献１にかかる研究成果を示す。この非特許文献１に記載された技術内容は、発明者等のグループにより、水蒸気リモートプラズマ処理によるＧａＮ基板の発光効率を最大２０倍向上させることを世界で初めて見出したものである（図１参照）。詳しくは、Ｍｇをドープしたｐ型ＧａＮ基板を光で励起して生じた発光（フォトルミネッセンス：ＰＬ、図２参照）を観測したものである。なお、リモートプラズマ処理とは、従来のプラズマ処理とは異なり、直接プラズマに曝して処理するのではなく、被処理基板の場所とは異なる離れた場所でプラズマを発生させて、それを被処理基板表面に導きプラズマ処理を行うことである。
また、本発明者等は、当該非特許文献１にかかる研究成果において、水蒸気プラズマの発光分析を行い、水蒸気プラズマから高効率で発生する原子状水素が重要な役割を担っていることを突き止めた（図３参照）。水蒸気リモートプラズマ処理によりＧａＮ膜の電気抵抗は変化しないことから、この効果はいわゆる従来の水素のパシペーション効果ではなく、まったく新しい現象であることも明らかにした。
ただし、当該研究成果は、本発明とはサンプル構造や励起方法が異なり、主に基礎的研究成果を発表したものに過ぎない。つまり、本発明の前段階の基礎研究にあたるものである。本発明のように実際のデバイス化に際して励起方法を変えるにあたっては、この研究成果に基づき、後述する幾つかの実用化のための課題の解決を必要とするものである。
【特許文献１】特開２００５−２９４７５３号公報
【特許文献２】特許第３７２１３９９号公報
【特許文献３】国際公開ＷＯ２００４／０９６９４９号公報
【非特許文献１】Ｊａｐａｎｅｓｅ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．２９，２００５，ｐｐ．Ｌ９２６−Ｌ９２８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されているような量子井戸構造などの複雑な構造を有する発光素子では製造コストがかさみ、初期設置費用を下げることは困難である。したがって、できるだけ単純なデバイス構造で高効率の青色発光を実現することが重要課題である。
また、医療用の超小型照明用として白色ＬＥＤを用いるためには小型化・高輝度化は必須条件であり、白色ＬＥＤの効率化は緊急の課題である。
そこで本発明は、以上の課題に鑑みてなされたものであり、半導体発光素子に関して、単純なダイオード構造を用い、これに順方向電流を流してそれを光に変換する注入発光を実現し、発光効率のより一層の向上を図ることを目的とする。
＜実用化のための課題＞
水蒸気１００％のプラズマ（以下、水蒸気プラズマ）を用いてＧａＮ基板の発光増大を実現した発明者等の研究（非特許文献１）は、従来無かった斬新なアイデアに基づくものである。しかし、この研究では単に基板を光で励起したもの（ＰＬ：フォトルミネッセンス）であり、照明などへの実用化のためにはまだ検討不十分であり、少なくても以下の３つの問題点を克服する必要がある。
１．（ダイオード構造の形成とそのプラズマ処理）
サンプル構造を従来技術（非特許文献１）で示した単なる基板ではなく、デバイス化のためにｐ型とｎ型を接合したダイオード構造とする必要がある。さらに、ダイオードに水蒸気プラズマ処理等の処理条件のプロセス検討を行い、発光効率を向上するための新たなプロセス設計（最適化設計）を行う必要がある。
２．（電流注入法の採用）
ダイオード構造に順方向電流を流し、それを光に変換する注入発光が実現するかどうかの検証が必要である。
３．（発光増大効果の耐熱性の向上）
本発明者等の研究によりｐ型ＧａＮ基板の場合、水蒸気プラズマ処理により得られる発光増大効果は５００℃以上で消失することがわかっている。この特性により、実デバイスを製造する際に後プロセスの温度が５００℃以下に制限されてしまう。したがって、この耐熱性を向上させることがプロセスの柔軟性（プロセス設計のし易さ）の点から重要である。
【０００５】
前述した従来技術及び実用化のための課題は、主にＧａＮ系半導体発光素子について説明したものであるが、ＧａＮ系以外の材料として、例えば酸化亜鉛（ＺｎＯ）の場合においては、まだ十分な実用化検討が行われているとは言えない。酸化亜鉛は、図８に示すように約３．３ｅＶのバンドギャップを持つ半導体であり、発光波長が約３８０ｎｍで紫外発光するとともに、約５００ｎｍ付近に発光強度のピークを持つ青緑色の発光をすることが良く知られている。この青緑色発光の原因は作製時に導入される欠陥によるものであり、酸化亜鉛の結晶構造中に生成する酸素空孔あるいは格子間亜鉛が形成するドナー準位であると考えられている。これらの酸素空孔、格子間亜鉛は、酸化亜鉛の理想的化学組成から、酸素が欠損することにより生じる。従来技術においては、紫外発光（約３８０ｎｍ付近）を増大させる技術（特許文献２参照）と、青緑色発光の白色化（発光波長の広帯域化）についての技術（特許文献３参照）があるが、青緑色発光（５００ｎｍ付近の発光）の発光強度を増大させるための技術はこれまで無かった。
そこで本発明は、前述したＧａＮ系半導体発光素子に加えて、前述した酸化亜鉛を用いたフォトルミネッセンス素子の製造方法の課題に鑑みてなされたものであり、半導体発光素子であるエレクトロルミネッセンス素子及びフォトルミネッセンス素子に関して、発光効率のより一層の向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者等は、上記課題について鋭意研究を行った結果、半導体発光素子としてｐｎ接合のダイオード構造を形成し、該ダイオード構造のデバイスに水蒸気を用いてリモートプラズマ処理を行えば、高効率で発生する原子状水素の効果により、発光効率の格段の向上を図ることができることを見出して、実用化の前段階として本発明を完成するに至った。
【０００７】
さらに、本発明者等は、フォトルミネッセンス素子として焼結体を形成し、該焼結体を水蒸気を用いてリモートプラズマ処理を行えば、高効率で発生する原子状水素の効果により、発光効率の格段の向上を図ることができることを見出して、実用化の前段階として本発明を完成するに至った。
【０００８】
即ち、請求項１に記載の発明は、ｐｎ接合を有する半導体発光素子の製造方法であって、基板上部にｎ型半導体層と、ｐ型半導体層とを順次積層して、ｐｎ接合型のダイオード構造を形成する工程と、減圧下で水蒸気を導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記ダイオード構造を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理の工程と、前記ダイオード構造に電極を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記半導体層が、ＧａＮ系半導体であることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記半導体発光素子が、エレクトロルミネッセンス素子であることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、前記水蒸気として重水蒸気を用いることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、酸化亜鉛結晶を焼結して焼結体を作製する工程と、減圧下で水蒸気もしくは水蒸気と水素との混合ガスを導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記酸化亜鉛結晶を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理の工程とを含むことを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、前記水蒸気として重水蒸気を用いることを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、前記酸化亜鉛結晶が、多結晶酸化亜鉛であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のように、水蒸気プラズマ処理を実デバイスの製造プロセスに応用することにより、通常のガス（Ｈ２、Ｏ２、Ｎ２など）を用いたプラズマ処理と比較して発光効率の格段の向上を図ることができる。また、このような応用例はおそらく世界初である。
また、リモートプラズマ処理なので、従来の直接照射に比べプラズマダメージを生じにくく、さらに発光の高効率化に有利である。
また、ＧａＮエピ基板（サファイア基板等）からｐｎホモ接合ダイオードを作製することで、欠陥を抑制し、白色ＬＥＤの発光効率を上げることができる。そして、シンプルなダイオード構造で高発光効率を実現できるために製造コストを下げることができる。
また、水蒸気プラズマ処理による発光増強効果は低温処理で顕著なので、水蒸気プラズマ処理を低温プロセスとしてＬＥＤ製造ライン等に適用することが可能である。具体的には、上記の効果は６００℃以下では破壊されないので、水蒸気プラズマ処理の後処理温度を５００℃程度まで上げることが可能となる。
また、水蒸気として重水蒸気を用いてプラズマ処理を行った場合、後処理温度のさらなる上昇が期待でき、プロセス設計の自由度が向上する。
また、水蒸気を発生させる原料として水を用いるので、原料保管スペースもはるかに少なくて済み、設備の省スペース化も可能である。
さらに、本発明における発光効率の向上効果は、水蒸気プラズマ処理により大量に発生する原子状水素によるものであるが、この原理を水素による表面処理を行う他分野で利用することも可能である。
【００１６】
さらに、発光素子の材料として酸化亜鉛を用いた焼結体に対して水蒸気プラズマ処理を施し、半導体発光素子であるフォトルミネッセンス素子を製造した場合、前述したようにプラズマによる試料へのダメージを低減し、かつ可視発光の高効率化、特に青緑色発光の発光強度を増大させることが可能となる。さらには、水を使用して水素プラズマを発生させる水蒸気プラズマ処理を行うことは製造時おけるガス取り扱い上のリスクが小さくなる。また、酸化亜鉛は環境に対して無害である。また、資源として豊富にある酸化亜鉛を用いることにより発光素子の製造コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図４はｐｎ接合ダイオードを示す断面図、図５はリモートプラズマ処理装置の装置構成を示す図、図６はｐｎ接合ダイオードを示す斜視図、図７は水蒸気プラズマ処理前後のＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：エレクトロルミネッセンス）測定結果を示す図である。
【実施例１】
【００１８】
まず、図４を用いて本発明に係る半導体発光素子の一例であるｐｎ接合ダイオードの形成工程について説明する（これを、第一工程とする。）。
ｐｎ接合ダイオード１は、図４に示すようにサファイア基板２上にＭＯＣＶＤ法（有機金属化学気相蒸着法）によりｎ型半導体層となるｎ型ＧａＮ膜３（膜厚３．９μｍ）を気相成長させて成膜した。そして、前記ｎ型ＧａＮ膜３上に、ｐ型半導体層となるＭｇがドープされたｐ型ＧａＮ膜４（膜厚０．１μｍ）を同じくＭＯＣＶＤ法により気相成長してｐｎ接合型のダイオード構造を作製した。ｐ型ＧａＮ膜４のＭｇの濃度は１×１０２０／ｃｍ３である。Ｍｇをドープする濃度としては、キャリヤ濃度等を考慮して１×１０１８／ｃｍ３〜５×１０２１／ｃｍ３とすることが好ましい。
なお、前記サファイア基板２上にＧａＮ系半導体層を形成する方法としては、従来から公知である上記のＭＯＣＶＤ法（ＭＯＶＰＥ法とも称される）のほか、例えばＨＶＰＥ法、ＭＢＥ法などの気相成長法を、用いることができる。
また、発光層となるＧａＮ系半導体の組成を適宜選択することにより、波長が異なる光（赤色から紫外域）を発光させることも可能である。例えば、照明用としては青色発光だけでよいが、他の色を必要とする場合は、発光の色（波長）を変化させるために、ＧａＮのＧａ原子を一部Ｉｎ原子に入れ替えた混晶を用いて発光増大を実現するなどしてもよい。
また、ＧａＮ系半導体は、化学式ＡｌａＩｎｂＧａ１−ａ−ｂＮ（０≦ａ≦１、０≦ｂ≦１、０≦ａ＋ｂ≦１）で決定される３族窒化物からなる化合物半導体であって、本実施例では半導体組成をＧａＮとしているが、例えば、ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＡｌＩｎＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮなどの組成も上げられる。また、上記化学式において、３族元素の一部をＢ、Ｔｌなどで置換したもの、また、Ｎの一部をＰ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂｉなどで置換したものも、ＧａＮ系半導体に含まれる。
また、ｐ型ＧａＮ膜４については、必要に応じて、ドープしたＭｇを活性化させるための処理を行ってもかまわない。そのような処理としては、例えば、電子線照射処理やアニーリング処理等が挙げられる。
【００１９】
以上、本実施例において上記のようにｐｎ接合ダイオード１の構成を説明したが、特にこの構成に限定するものではない。例えば、ＧａＮ系半導体層を成長させるための基板としては、ＧａＮ系半導体結晶の成長に適した基板であればよく、本実施例のようなサファイア基板２の他に、ＳｉＣ基板、ＧａＮ基板、ＡｌＧａＮ基板、ＡｌＮ基板、Ｓｉ基板、ＧａＡｓ基板、ＧａＰ基板、スピネル基板、ＺｎＯ基板、ＮＧＯ（ＮｄＧａＯ３）基板、ＬＧＯ（ＬｉＧａＯ２）基板、ＬＡＯ（ＬａＡｌＯ３）基板、ＺｒＢ２基板、ＴｉＢ２基板等を用いることができる。また、サファイア基板などの表面に、予め下地層としてＧａＮ系半導体結晶層が成長されたテンプレートも使用可能である。ｐｎ接合ダイオード構造を構成するｎ型ＧａＮ膜、ｐ型ＧａＮ膜は、ｎ型ＧａＮ膜に注入される電子と、ｐ型ＧａＮ膜に注入される正孔が、再結合して発光が生じるように組合せられていればよく、各層の結晶組成、不純物の種類・濃度、厚さなどにおいて特に限定するものではない。
【００２０】
次に、図５を用いてリモートプラズマ処理に用いるリモートプラズマ処理装置の装置構成を説明する。
図５に示すように、リモートプラズマ処理装置１０は、マイクロ波キャビティ１１、石英管１２、試料ホルダー１３、ニクロム炉１４、温度計１７、真空ポンプ（図示せず）、ガスバルブ（図示せず）、真空バルブ（図示せず）などで構成される。
石英管１２は、略水平に配置されており、該石英管１２の上流側はガスバルブを介して種々のガス（水蒸気、水素、酸素、窒素）供給手段（図示せず）と接続されており、種々のガスが単独もしくは混合して供給可能となっている。また、石英管１２の下流側は、真空バルブを介して真空ポンプと接続されている。前記上流側ガスバルブと下流側真空バルブとの間に配置された石英管１２は、マイクロ波キャビティ１１を介してニクロム炉１４に挿通している。該ニクロム炉１４を挿通している石英管１２内には試料ホルダー１３が配置されている。マイクロ波キャビティ１１と試料ホルダー１３とは所定の距離（本実施例では１５ｃｍ）を有して配置しており、試料が直接プラズマに曝されることによるダメージを軽減する構成としている。マイクロ波キャビティ１１には、プラズマ化用のマイクロ波電源（図示せず）が接続される。なお、リモートプラズマ処理装置１０には、バルブ、ガス流量制御装置、ガス濃度計などを必要に応じて接続可能である。
なお、上述したマイクロ波キャビティ１１と試料ホルダー１３との間の距離は、特に限定するものではなく、リモートプラズマ処理装置の仕様に応じて適宜距離を設定してかまわない。本実施例のリモートプラズマ処理装置１０において、マイクロ波キャビティ１１と試料ホルダー１３との間は、５ｃｍ〜５０ｃｍ程度の距離を有して配置することが好ましい。５ｃｍより短いとプラズマによる試料のダメージが大きくなり、また、５０ｃｍよりも長くなると十分なプラズマ処理効果が得られない。
【００２１】
次に、リモートプラズマ処理装置１０の各部の詳細について説明する。
マイクロ波キャビティ１１は、種々の気体を放電させ、プラズマ化するための構成物である。本実施例において使用したのは、周波数２．４５ＧＨｚで、最大２００Ｗのマイクロ波パワーを注入することができるものである。
なお、上記のプラズマ化させる構成物としては、マイクロ波キャビティ１１に特に限定するものでなく、他の代替としては、例えば高周波数１３．６５ＭＨｚの誘導コイルや容量結合用平板電極を用いることも可能である。これらを駆動するためには、それぞれの周波数の交流電圧を発生する電源が必要である。
また、プラズマ化用のプラズマ放電の形式としては直流放電でも交流放電でもかまわない。また、交流放電の場合、高周波放電だけに限らず低周波放電でもかまわない。さらに、高周波放電の場合、誘導型でも容量型でもよい。また、本実施例のようにマイクロ波キャビティのみならず、エレクトロンサイクロトロン共鳴方式やヘリコンプラズマ方式のキャビティを使用してもかまわない。また上記プラズマ放電方式を併用して使用することも可能である。
【００２２】
試料ホルダー１３は、石英製であり、リモートプラズマ処理を施す試料をサポートする役割とともに、サーモカップルなどの温度計１７を試料のすぐ近くまで挿入することができる構造となっている。
【００２３】
ニクロム炉１４は、試料の処理温度を室温から９００℃まで変化させることができる。温度設定精度は±０．５℃である。
なお、本実施例においてはニクロム炉１４を使用する構成としたが、特に限定するものではなく、ニクロム炉を他の構造で代替することも可能であり、さらに高温まで処理温度を上げることができる。例えばシリコニット炉で１６００℃、赤外線加熱炉で１８００℃程度まで昇温可能である。
【００２４】
また、本実施例に係るリモートプラズマ処理装置１０内に導入するガスとしては、主として水蒸気（Ｈ２Ｏ）を用いるが、調整用として他のガス種（Ｈ２、Ｎ２、Ｏ２）も利用可能なように構成している。発明者等の研究によりｐ型ＧａＮ基板の場合、水蒸気プラズマ処理により得られる発光増大効果は５００℃以上で消失する。そこで本発明では、発光増大効果の耐熱性向上のために重水蒸気（Ｄ２Ｏ）も用いて処理することも可能としている。また典型的なガス流量は、５−１００ｓｃｃｍであり、ガス圧力は１０−１０００Ｐａである。
【００２５】
このような構成において、まず第一工程として、ＭＯＣＶＤ法により気相成長させて、ｐ型ＧａＮ膜４とｎ型ＧａＮ膜３を接合してダイオード構造とし、ｐｎ接合ダイオード１を形成する。次に第二工程として、前記ｐｎ接合ダイオード１の水蒸気リモートプラズマ処理を行う。詳しくは、前述したリモートプラズマ処理装置１０を使用して前記ｐｎ接合ダイオード１を試料ホルダー１３に載置して、上流側ガスバルブを閉めて、下流側真空バルブを開く。このとき、ニクロム炉１４は約４００℃に加熱しておく。次に真空ポンプを稼動させて石英管１２内を所定の圧力（本実施例では１０Ｐａ）まで減圧する。そうして、上流側ガスバルブを開けて図示せぬ水蒸気供給手段より水蒸気（１００％、石英管１２内圧力６０Ｐａ）を石英管１２の上流側から所定の流量（本実施例では、流量５ｓｃｃｍ）で供給する。前記水蒸気は、マイクロ波キャビティ１１近傍（プラズマ領域）を通過する際に、高周波電圧が印加されて、プラズマが生成する。このとき、本発明者等が突き止めたプラズマで生成された原子である前述（図３参照）の原子状水素が高効率で発生し、この原子状水素を含んだガスが下流へ流れ、試料ホルダー１３に載置された前記ｐｎ接合ダイオード１がガスに曝される。このようにして、ｐｎ接合ダイオード１の表面が約３０分間、水蒸気リモートプラズマ処理される。該水蒸気リモートプラズマ処理の終了後は、上流側ガスバルブを閉めて、下流側真空バルブを開けて真空ポンプで排気を行い、処理後のｐｎ接合ダイオード１を試料ホルダー１３から取り外す。
なお、リモートプラズマ処理の条件としてガス流量、ガス圧力、加熱温度、または加熱時間は、上記に限定されるものでなく、処理による効果に応じて適宜設定することができる。例えば、ガス流量は２．５〜１０ｓｃｃｍ、ガス圧力は４０〜１００Ｐａの範囲内で問題なくリモートプラズマ処理が可能である。特に、発光効率の向上を考慮した場合は、加熱温度としては１００〜７００℃程度、加熱時間としては３０〜１２０分程度の範囲で処理を施すことが好ましい。
また、本実施例では水蒸気１００％をリモートプラズマ処理装置内に導入して、水蒸気リモートプラズマ処理を実施する構成としたが、特に限定するものではなく水蒸気を主として他のガス種（Ｈ２、Ｎ２、Ｏ２等）を適宜少量混合してもかまわない。
【００２６】
上記のように、ｐｎ接合ダイオード１が水蒸気リモートプラズマ処理された後で、第三工程として図６に示すようにｐｎ接合ダイオード１を所定の大きさにカットして、ｐ型ＧａＮ膜４の表面とｎ型ＧａＮ膜３の一側とに、Ａｕ線１５ａ・１６ａをＩｎで半田付けを行い、ｐｎ接合型のダイオード構造体に電極１５・１６を形成する。また、比較用として上記と同じ層構成のｐｎ接合ダイオードを作製し、水蒸気リモートプラズマ処理を施さない比較用試料（ａｓ−ｇｒｏｗｎ）を準備した。
なお、本実施例では１５ａ・１６ａとしてＡｕ線を用い、Ｉｎの半田付けにより電極１５・１６を形成しているが、特に限定するものではなく、例えば、Ａｕ、Ｎｉ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｉｎなどの単体や、これらの合金を用いてもかまわない。
【００２７】
次に、本実施例のリモートプラズマ処理装置１０で処理されたｐｎ接合ダイオード１について、ｐ型ＧａＮ膜表面の電極１５から電流を供給する、すなわち順方向に電流注入（４６ｍＡ）を行うと、発光を生じた。このときのＥＬ測定を行った。
図７は水蒸気プラズマ処理前後のＥＬ測定結果を示す図である。図７において、横軸は波長（ｎｍ）であり、縦軸はＥＬ強度（ａｒｂ．ｕｎｉｔｓ）すなわち電流注入時の発光強度を示すものである。
【００２８】
結果としては、水蒸気プラズマ未処理のｐｎ接合ダイオード試料（ａｓ−ｇｒｏｗｎ）と水蒸気リモートプラズマ処理を施したｐｎ接合ダイオード１を比較すると、未処理のｐｎ接合ダイオードに対して発光強度が２倍近く増大している。発光ピーク波長は共に、約４００ｎｍである。
このように、複雑なダイオード構造ではなくシンプルなダイオード構造においても発光効率が高い半導体発光素子であるエレクトロルミネッセンス素子が形成される。
【００２９】
つまり、ｐｎ接合を有する半導体発光素子の製造方法であって、サファイア基板２上部にｎ型半導体層であるｎ型ＧａＮ膜３と、ｐ型半導体層であるｐ型ＧａＮ膜４とを順次積層して、ｐｎ接合型のダイオード構造１を形成する工程と、減圧下で水蒸気を導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子である原子状水素を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記ダイオード構造１を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理の工程と、前記ダイオード構造１に電極１５・１６を形成する工程とを含む製造方法を適用して、ＧａＮ系半導体で構成されるエレクトロルミネッセンス発光素子を形成することにより、通常のガス（Ｈ２、Ｏ２、Ｎ２など）を用いたプラズマ処理と比較して発光効率の格段の向上を図ることができる。
【００３０】
なお、本実施例の水蒸気リモートプラズマ処理により大量に発生する原子状水素を他分野へ適用することも可能である。適用例として幾つかあげると、例えば半導体、金属などの表面の酸化膜を、水素の還元作用で除去することも可能である。
また、半導体表面の水素化処理により、原子オーダーで平滑化も可能である。
さらに、半導体・金属の界面、半導体・絶縁体の界面に存在する電子準位（いわゆる界面準位）を、水素パシペーションにより不活性化（無害化）することも可能である。
また、本実施例の形態では青色発光ダイオードを例に挙げて説明したが、特に限定するものではなく、ｐｎ接合を有する半導体素子であれば本発明を適用することができる。
【実施例２】
【００３１】
次に、本発明に係るフォトルミネッセンス素子の一例である酸化亜鉛を用いたフォトルミネッセンス素子を製造方法について説明する。
図９は水蒸気プラズマ処理前後のＰＬ（Ｐｈｏｔｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：フォトルミネッセンス）測定結果を示す図、図１０はＥＳＲ（電子スピン共鳴法）による測定結果を示す図である。
まず、原料として市販の多結晶酸化亜鉛粉末（純度９９．９％）を、所定の大きさの成形型に入れて所定の圧力で高圧プレスを行う。そうして、成形型から取り出した多結晶酸化亜鉛の成形体を、電気炉により所定温度（１２００〜１８００℃程度。焼結状態を考慮して適宜選択可能）及び、該温度に応じた所定時間で焼結して多結晶酸化亜鉛焼結体（図示せず）を作製する（以上を、第一工程：酸化亜鉛焼結工程とする）。
なお、本実施例においては酸化亜鉛の焼結体を作製するための原料として前記多結晶酸化亜鉛粉末を使用しているが、特にこれに限定するものではなく、例えば単結晶酸化亜鉛粉末もしくは単結晶酸化亜鉛粉末と多結晶酸化亜鉛粉末との混合物を原料として使用してもかまわない。また、本実施例においては高純度の多結晶酸化亜鉛（純度９９．９％）を用いたが、特に高純度酸化亜鉛に限定するものではない。
また、本実施例では多結晶酸化亜鉛焼結体の作製工程を示したが、特に限定するものではなく一般的に市販されている多結晶酸化亜鉛焼結体を使用してもかまわない。
【００３２】
そして、本実施例において前記多結晶酸化亜鉛焼結体に対してリモートプラズマ処理を施すリモートプラズマ処理装置は、実施例１で示したリモートプラズマ処理装置１０と同一の装置を用いる。実施例１と同一装置の使用であるため装置構成の説明は省略する。
【００３３】
また、本実施例に係るリモートプラズマ処理装置１０内に導入するガスとしては、水蒸気（Ｈ２Ｏ）を用いるが、調整用として他のガス種（Ｈ２、Ｎ２、Ｏ２）も利用可能なように構成している。また、本発明では、発光増大効果の耐熱性向上のために重水蒸気（Ｄ２Ｏ）も用いて処理することも可能としている。また典型的なガス流量は、５−１００ｓｃｃｍであり、ガス圧力は１０−１０００Ｐａである。
【００３４】
このような構成において、まず第一工程（焼結体焼結工程）として、上述したように市販の多結晶酸化亜鉛粉末を、成形型を用いて成形体を形成し、該成形体を電気炉により所定温度・所定時間で焼結して多結晶酸化亜鉛焼結体を作製する。次に第二工程（焼結体プラズマ処理工程）として、前記多結晶酸化亜鉛焼結体に対して水蒸気リモートプラズマ処理を行う。詳しくは、前述したリモートプラズマ処理装置１０を使用して前記多結晶酸化亜鉛焼結体を試料ホルダー１３に載置して、上流側ガスバルブを閉めて、下流側真空バルブを開く。このとき、ニクロム炉１４は約８００℃に加熱しておく。次に真空ポンプを稼動させて石英管１２内を所定の圧力（本実施例では２０Ｐａ）まで減圧する。そうして、上流側ガスバルブを開けて図示せぬ水蒸気供給手段より水蒸気（１００％）を石英管１２の上流側から所定の流量（本実施例では、流量５ｓｃｃｍ）と、図示せぬ水素供給手段により水素（１００％）を同じく石英管１２の上流側から所定の流量（本実施例では、流量１００ｓｃｃｍ）で供給する。つまり、本実施例においては水蒸気と水素の混合ガス（石英管１２内圧力２０００Ｐａ）としてマイクロ波キャビティ１１に供給される。前記水蒸気及び水素の混合ガスは、マイクロ波キャビティ１１近傍（プラズマ領域）を通過する際に、高周波電圧が印加されて、プラズマが生成する。このとき、本発明者等が突き止めたプラズマで生成された原子である前述（図２参照）の原子状水素が高効率で発生し、この原子状水素を含んだガスが下流へ流れ、試料ホルダー１３に載置された前記多結晶酸化亜鉛焼結体がガスに曝される。このようにして、多結晶酸化亜鉛焼結体の表面が所定時間（２０分間、４０分間、１５０分間の３条件）水蒸気リモートプラズマ処理される。該水蒸気リモートプラズマ処理の終了後は、上流側ガスバルブを閉めて、下流側真空バルブを開けて真空ポンプで排気を行い、処理後の多結晶酸化亜鉛焼結体を試料ホルダー１３から取り外す。
【００３５】
なお、リモートプラズマ処理の条件としてガス流量、ガス圧力、加熱温度、または加熱時間は、上記に限定されるものでなく、処理による効果に応じて適宜設定することができる。本実施例では、ガス流量は１〜１１０ｓｃｃｍ、ガス圧力は２０〜２０００Ｐａの範囲内で問題なくリモートプラズマ処理が可能である。特に、本実施例で示す多結晶酸化亜鉛焼結体の発光効率の向上を考慮した場合は、第二工程となる焼結体プラズマ処理工程においてニクロム炉１４による多結晶酸化亜鉛焼結体の加熱温度として６００〜９００℃程度、加熱時間としては３０〜１２０分程度の範囲で処理を施すことが好ましく、特に加熱温度については、７５０〜８５０℃程度で処理を施すことがより好ましい。
また、本実施例では水蒸気と水素との混合ガスをリモートプラズマ処理装置内に導入して、水蒸気リモートプラズマ処理を実施したが、特に限定するものではなく水蒸気１００％もしくは水蒸気を主として他のガス種（Ｎ２、Ｏ２等）を適宜混合しても青緑色発光の発光強度の向上が可能である。
【００３６】
上記のように、多結晶酸化亜鉛焼結体が水蒸気リモートプラズマ処理された後で、多結晶酸化亜鉛焼結体を所定の大きさにカットして、ＰＬ測定用試料（前述した処理時間２０分間、４０分間、１５０分間の各試料）を作製するとともに、水蒸気リモートプラズマ処理を施さない多結晶酸化亜鉛焼結体のＰＬ測定比較用試料（ａｓ−ｇｒｏｗｎ）を準備した。
【００３７】
次に、前記多結晶酸化亜鉛焼結体のＰＬ測定用試料のそれぞれの試料に対して、レーザー光（Ｈｅ−Ｃｄレーザー）で励起して生じた発光（フォトルミネッセンス：ＰＬ）を観測した。このときのＰＬ測定を行った。
図９は水蒸気プラズマ処理前後のＰＬ測定結果を示す図である。図９において、横軸は波長（ｎｍ）であり、縦軸はＰＬ強度（ａｒｂ．ｕｎｉｔｓ）すなわちレーザー照射時の発光強度を示すものである。
【００３８】
結果としては、水蒸気プラズマ未処理の多結晶酸化亜鉛焼結体のＰＬ測定比較用試料（ａｓ−ｇｒｏｗｎ）と水蒸気リモートプラズマ処理を施した多結晶酸化亜鉛焼結体のＰＬ測定用試料（プラズマ処理時間２０分間、４０分間、１５０分間の各試料）とを比較すると、未処理の多結晶酸化亜鉛焼結体（図９に示す処理前）に対して、水蒸気プラズマ処理時間が２０分→４０分→１５０分と増加するにともなって、青緑色発光の発光強度が数十倍から最大１３０倍程度まで増大している。また、発光ピーク波長は、青緑色発光となる約４９０〜５００ｎｍとなっている。
このように、青緑色発光の発光効率が高い半導体発光素子であるフォトルミネッセンス素子が形成される。
【００３９】
次に、前記水蒸気プラズマ未処理の多結晶酸化亜鉛焼結体のＰＬ測定比較用試料（ａｓ−ｇｒｏｗｎ）と水蒸気リモートプラズマ処理を施した多結晶酸化亜鉛焼結体ＰＬ測定用試料（プラズマ処理時間６０分）に対して、ＥＳＲ（電子スピン共鳴法）による測定を行った。
図１０はＥＳＲ（電子スピン共鳴法）による測定結果を示す図である。図１０において、横軸は磁場（ｍＴ）であり、縦軸はＥＳＲ信号強度（ａｒｂ．ｕｎｉｔｓ）を示すものである。処理前試料（水蒸気プラズマ未処理）と処理後試料（水蒸気プラズマ処理６０分）とを比較すると処理後試料が処理前試料に対してＥＳＲ信号強度（縦軸：結晶内の欠陥量に比例）が１割程度になっている。酸化亜鉛が発する青緑色発光強度の強弱は、酸化亜鉛結晶構造中に存在する欠陥量に由来すると考えられており、上記ＥＳＲの測定結果は、この欠陥のうち発光に寄与しない欠陥量を示したものであると考えられる。すなわち、本実施例における水蒸気と水素との混合ガスを用いてプラズマ処理を行ったことにより発光に寄与しない欠陥量をコントロールして青緑色発光の発光強度を向上させたのである。
【００４０】
つまり、酸化亜鉛結晶である多結晶酸化亜鉛を焼結して焼結体を作製する工程と、減圧下で水蒸気を導入し、プラズマ領域にて高周波電圧の印加によりプラズマ生成を行い、該プラズマで生成された原子である原子状水素を前記プラズマ領域から離れた位置に導き、該位置に前記多結晶酸化亜鉛焼結体を配置して表面処理を行うリモートプラズマ処理の工程とを含む製造方法を適用して、多結晶酸化亜鉛焼結体で構成されるフォトルミネッセンス素子を形成することにより、プラズマによる試料へのダメージを低減し、かつ、通常のガス（Ｈ２、Ｏ２、Ｎ２など）を用いたプラズマ処理と比較して可視発光、特に青緑色発光の発光強度を増大させることが可能となる。この増大化した青緑色発光を利用することで、酸化亜鉛を可視発光ダイオードなどの可視域での発光素子として応用することができる。さらには、水を使用して水素プラズマを発生させる水蒸気プラズマ処理を行うことは製造時におけるガス取り扱い上のリスクが小さくなる。また、酸化亜鉛は環境に対して無害である。また、資源として豊富にある酸化亜鉛を用いることにより発光素子の製造コストを抑えることができる。また、多結晶酸化亜鉛粉末は単結晶酸化亜鉛粉末と比較して、製造コストが安く、低コストの半導体素子を製造する上で好適な材料である。
【００４１】
なお、実施例２で示した酸化亜鉛の水蒸気プラズマ処理により半導体発光素子の製造方法については、可視発光ダイオード、光エレクトロニクスにおける可視発光素子及び青緑色蛍光体等に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】水蒸気プラズマ処理前後のＰＬ測定結果を示す図。
【図２】フォトルミネッセンス（ＰＬ）法によるｄｏｎｏｒ−ａｃｃｅｐｔｏｒ（Ｄ−Ａ）ｐａｉｒの観測を示す図。
【図３】水蒸気プラズマの発光分析を示す図。
【図４】ｐｎ接合ダイオードを示す断面図。
【図５】リモートプラズマ処理装置の装置構成を示す図。
【図６】ｐｎ接合ダイオードを示す斜視図。
【図７】水蒸気プラズマ処理前後のＥＬ測定結果を示す図。
【図８】酸化亜鉛の発光を示す説明図。
【図９】水蒸気プラズマ処理前後のＰＬ測定結果を示す図。
【図１０】ＥＳＲ（電子スピン共鳴法）による測定結果を示す図。
【符号の説明】
【００４３】
１・２０  ｐｎ接合ダイオード
２    サファイア基板
３    ｎ型ＧａＮ膜
４    ｐ型ＧａＮ膜
１５・１６  電極
【図１】
2008218965.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2008218965.tif 000009
【図９】
2008218965.tif 000010
【図５】
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【図１０】
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