(57)【要約】【課題】薄型化する基板の撓みの発生を抑制することが可能な基板搬送装置を提供すること。【解決手段】テープ状の基板２を搬送する基板搬送装置４は、基板２を搬送するために基板２の幅方向の両端部に配置され、基板２の一方の面に当接する駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂおよび基板２の他方の面に当接する従動ローラ２２Ａ、２２Ｂと、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの基板２の搬送方向に対する傾斜角度を切替可能な角度切替機構２５Ａ、２５Ｂと、基板２に向かう方向および基板２から離れる方向へ、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを移動させる移動機構２６Ａ、２６Ｂとを備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状の基板を搬送する基板搬送装置において、
上記基板を搬送するために上記基板の幅方向の両端部に配置され、上記基板の一方の面に当接する第１ローラおよび上記基板の他方の面に当接する第２ローラと、上記第１ローラおよび／または上記第２ローラの上記基板の搬送方向に対する傾斜角度を切替可能な角度切替機構と、上記基板に向かう方向および上記基板から離れる方向へ、上記第１ローラおよび／または上記第２ローラを移動させる移動機構とを備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第１ローラは、駆動源に連結される駆動ローラであり、前記第２ローラは、前記第１ローラに対向配置されるとともに駆動源に連結されない従動ローラであり、
前記角度切替機構は、前記第２ローラの傾斜角度の切替を行い、前記移動機構は、前記第２ローラを移動させることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記移動機構は、前記第１ローラおよび／または前記第２ローラと一緒に前記角度切替機構を移動させることを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
テープ状の基板を搬送する基板搬送装置の制御方法において、
上記基板を搬送するために上記基板の幅方向の両端部に配置され、上記基板の一方の面に当接する第１ローラおよび上記基板の他方の面に当接する第２ローラの少なくともいずれか一方を上記基板から離れる方向へ移動させる移動ステップと、
上記移動ステップ後、移動させた上記第１ローラおよび／または上記第２ローラの、上記基板の搬送方向に対する傾斜角度の切替を行う角度切替ステップとを備えることを特徴とする基板搬送装置の制御方法。
【請求項５】
請求項１から３いずれかに記載の基板搬送装置または請求項４記載の基板搬送装置の制御方法で制御される基板搬送装置と、前記基板に対して所定の処理を行う基板処理部とを備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項５記載の基板処理装置を制御する基板処理装置の制御方法であって、
前記第１ローラおよび前記第２ローラを前記基板に当接させて前記基板を搬送する搬送ステップと、上記搬送ステップ後、前記基板を保持しながら、前記基板の処理を行う基板処理ステップと、上記基板処理ステップと平行して、前記第１ローラおよび／または前記第２ローラを前記基板から離れる方向へ移動させるとともに、その後再び、前記第１ローラおよび／または前記第２ローラを前記基板に当接させるローラ移動ステップとを備えることを特徴とする基板処理装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置、基板搬送装置の制御方法、基板処理装置および基板処理装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フレキシブルなテープ状の基板であるＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープを搬送する基板搬送装置として、ＴＡＢテープの上面に押圧される駆動ローラと、駆動ローラに対向配置され、ＴＡＢテープの下面に押圧される従動ローラとによって、ＴＡＢテープの搬送を行うテープ状部材搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載のテープ状部材搬送装置では、搬送されるＴＡＢテープの幅方向の撓みを取り除くため、駆動ローラの回転軸が、ＴＡＢテープの搬送方向に直交する方向に対して傾斜した状態で配置されている。また、このテープ状部材搬送装置は、駆動ローラの回転軸の傾斜角度を変更する角度変更手段を備えている。
【０００３】
また、記録紙を搬送する搬送装置として、記録紙の下面に押圧される駆動ローラと、駆動ローラに対向配置され、記録紙の上面に押圧される押えローラとによって、記録紙の搬送を行う記録紙搬送装置が知られている（たとえば、特許文献２参照）。この特許文献２に記載の記録紙搬送装置では、搬送される記録紙のしわの発生を防止するため、押えローラが、記録紙の搬送方向に対して傾斜した状態で配置されている。また、この記録紙搬送装置は、記録紙の搬送方向によって、押えローラの傾斜角度を２段階で切り替える移動機構を備えている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２４０２８１号公報
【特許文献２】特開平５−３９１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の駆動ローラを搬送方向に対して傾斜させる構成や、特許文献２に記載の押えローラを搬送方向に対して傾斜させる構成は、ＴＡＢテープ等の基板の撓みを取り除く手段として有効である。しかしながら、特許文献１に記載の基板搬送装置等で搬送されるテープ状の基板は年々、薄型化している。そして、特許文献１や特許文献２に記載の構成を用いた場合、この薄型化する基板に撓みを発生させてしまう状況が生じうる。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、薄型化する基板の撓みの発生を抑制することが可能な基板搬送装置および基板搬送装置の制御方法を提供することにある。また、本発明の課題は、かかる基板搬送装置またはかかる制御方法で制御される基板搬送装置を備える基板処理装置およびこの基板処理装置の制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明は、テープ状の基板を搬送する基板搬送装置において、基板を搬送するために基板の幅方向の両端部に配置され、基板の一方の面に当接する第１ローラおよび基板の他方の面に当接する第２ローラと、第１ローラおよび／または第２ローラの基板の搬送方向に対する傾斜角度を切替可能な角度切替機構と、基板に向かう方向および基板から離れる方向へ、第１ローラおよび／または第２ローラを移動させる移動機構とを備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の基板搬送装置は、基板の幅方向の両端部に配置される第１ローラおよび／または第２ローラの基板の搬送方向に対する傾斜角度を切り替えることができる角度切替機構を備えている。そのため、基板に撓みが生じない方向へ第１ローラや第２ローラを傾斜させることで、基板の撓みの発生を抑制できる。
【０００９】
また、本発明の基板搬送装置は、基板に向かう方向および基板から離れる方向へ、第１ローラおよび／または第２ローラを移動させる移動機構を備えている。そのため、第１ローラや第２ローラの傾斜角度を切り替える場合であっても、第１ローラや第２ローラに起因する基板の撓みの発生を防止することが可能になる。すなわち、第１ローラや第２ローラが基板に当接した状態で傾斜角度の切替を行うと、特に、薄型の基板の場合、基板の、第１ローラや第２ローラに当接した部分にねじれが生じ、そのねじれによって基板に撓みが発生するが、本発明では、移動機構によって、第１ローラや第２ローラを基板から離した状態で、第１ローラや第２ローラの傾斜角度を切り替えることができる。したがって、第１ローラや第２ローラの傾斜角度の切替の際の基板でのねじれの発生を防止できる。その結果、第１ローラや第２ローラの傾斜角度を切り替える場合であっても、基板の撓みの発生を防止することが可能となり、薄型化する基板の撓みの発生を抑制することが可能になる。
【００１０】
本発明において、第１ローラは、駆動源に連結される駆動ローラであり、第２ローラは、第１ローラに対向配置されるとともに駆動源に連結されない従動ローラであり、角度切替機構は、第２ローラの傾斜角度の切替を行い、移動機構は、第２ローラを移動させることが好ましい。このように構成すると、駆動源に連結される第１ローラの傾斜角度の切替、移動を行う場合と比較して、基板搬送装置の構成を簡素化することが可能になる。すなわち、このように構成すると、駆動源とともに、傾斜角度の切替や移動を行う必要がないため、基板搬送装置の構成を簡素化することが可能になる。
【００１１】
本発明において、移動機構は、第１ローラおよび／または第２ローラと一緒に角度切替機構を移動させることが好ましい。このように構成すると、移動機構によって、第１ローラや第２ローラを移動させながら、第１ローラや第２ローラの傾斜角度の切替を行うことが可能になる。また、第１ローラや第２ローラを基板に当接させた状態でも第１ローラや第２ローラの傾斜角度の切替を行うことが可能になる。そのため、第１ローラや第２ローラの傾斜角度の切替動作の柔軟性を高めることができる。
【００１２】
また、上記の課題を解決するため、本発明は、テープ状の基板を搬送する基板搬送装置の制御方法において、基板を搬送するために基板の幅方向の両端部に配置され、基板の一方の面に当接する第１ローラおよび基板の他方の面に当接する第２ローラの少なくともいずれか一方を基板から離れる方向へ移動させる移動ステップと、移動ステップ後、移動させた第１ローラおよび／または第２ローラの、基板の搬送方向に対する傾斜角度の切替を行う角度切替ステップとを備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明の基板搬送装置の制御方法では、角度切替ステップにおいて、第１ローラや第２ローラの基板の搬送方向に対する傾斜角度の切替を行っている。そのため、基板に撓みが生じない方向へ第１ローラや第２ローラを傾斜させることで、基板の撓みの発生を抑制できる。また、本発明の制御方法では、角度切替ステップの前の移動ステップにおいて、第１ローラや第２ローラを基板から離れる方向へ移動させている。そのため、第１ローラや第２ローラの傾斜角度を切り替える場合であっても、第１ローラや第２ローラに起因する基板の撓みの発生を防止することが可能となり、薄型化する基板の撓みの発生を抑制することが可能になる。
【００１４】
本発明の基板搬送装置、または、本発明の基板搬送装置の制御方法で制御される基板搬送装置は、基板に対して所定の処理を行う基板処理部を備える基板処理装置に用いることができる。このように構成された基板処理装置では、薄型化する基板の撓みの発生を抑制することが可能になる。
【００１５】
本発明の基板処理装置は、第１ローラおよび第２ローラを基板に当接させて基板を搬送する搬送ステップと、搬送ステップ後、基板を保持しながら、基板の処理を行う基板処理ステップと、基板処理ステップと平行して、第１ローラおよび／または第２ローラを基板から離れる方向へ移動させるとともに、その後再び、第１ローラおよび／または第２ローラを基板に当接させるローラ移動ステップとを備える制御方法で制御されることが好ましい。このような制御方法で制御される基板処理装置では、基板を保持した状態で基板の処置を行う基板処理ステップと平行するローラ移動ステップで、基板に対する第１ローラや第２ローラの当接力を一旦解放することができる。そのため、基板の位置ずれを防止しつつ、基板の両端部での第１ローラおよび第２ローラの当接力の差等に起因して生じうる基板の撓みの発生を抑制できる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明にかかる基板搬送装置、基板搬送装置の制御方法、基板処理装置および基板処理装置の制御方法では、薄型化する基板の撓みの発生を抑制することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（樹脂塗布装置の概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる樹脂塗布装置１の概略構成を正面（前面）から示す概略図である。図２は、図１に示す樹脂塗布装置１の概略構成を上面から示す概略図である。なお、図１、図２では、基板搬送装置４、５の一部のみを図示している。
【００１９】
本形態の基板処理装置１は、テープ状の基板２に実装された半導体チップ等の複数の電子部品３を封止し、固定するための熱硬化性の樹脂を基板２上へ塗布する樹脂塗布装置である。したがって、以下では、基板処理装置１を「樹脂塗布装置１」と表記する。この樹脂塗布装置１は、たとえば、樹脂塗布装置１に対して基板２を供給する基板供給装置（図示省略）と、樹脂塗布装置１で塗布された樹脂を加熱して硬化させる樹脂硬化装置（図示省略）と、この樹脂硬化装置から搬出される基板２を巻き取る基板巻取装置（図示省略）とを備える樹脂塗布システムに用いられる。
【００２０】
図１、図２に示すように、樹脂塗布装置１は、基板２を搬送する２個の基板搬送装置４、５と、基板２が搬送される搬送路６と、基板２の電子部品３が実装された部分に熱硬化性の樹脂を塗布する４個の樹脂塗布ヘッド７と、基板２上へ樹脂を塗布する際に、基板２が載置されて保持される４個の基板載置治具８とを備えている。本形態では、樹脂塗布ヘッド７は、基板２に対して所定の処理を行う基板処理部であり、基板載置治具８は、樹脂塗布ヘッド７で処理（すなわち、樹脂塗布）を行う際に、基板２を保持する基板保持部である。なお、樹脂塗布装置１が備える樹脂塗布ヘッド７および基板載置治具８の数は４個には限定されず、３個以下または５個以上の樹脂塗布ヘッド７等を樹脂塗布装置１が備えていても良い。
【００２１】
本形態では、図１の左右方向が、樹脂塗布装置１における基板２の搬送方向となるため、以下では、図１の左右方向を「搬送方向」とする。また、樹脂塗布装置１では、通常、図１の左側から右側に向かって（すなわち、矢印Ｖの方向へ）基板２が搬送されるため、図１の左側を「上流側」、図１の右側を「下流側」とする。さらに、図１の紙面垂直方向を、搬送方向に直交する「前後方向」とするとともに、図１の紙面手前側（図２の下側）を「前側」、図１の紙面奥側（図２の上側）を「後側」とする。この前後方向は、基板２の幅方向と一致する。また、図１の上下方向を「上下方向」とする。
【００２２】
基板２は、フレキシブルな樹脂基板であるＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ  ｏｒ  Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ  Ｂｏａｒｄ）テープやＴＡＢテープ等の基板である。本形態の樹脂塗布装置１では、厚さが比較的薄い基板２が用いられ、その厚さはたとえば、２０μｍ〜５０μｍである。また、基板２の幅はたとえば、３５ｍｍ〜２００ｍｍである。さらに、基板２はたとえば、ポリイミドで形成されている。なお、基板２の厚さはたとえば、８０μｍや１２５μｍであっても良い。
【００２３】
樹脂塗布装置１に供給される基板２には予め電子部品３が実装されている。具体的には、図２に示すように、複数の電子部品３が、搬送方向に所定の間隔をあけた状態で、基板２上に実装されている。
【００２４】
２個の基板搬送装置４、５はそれぞれ、樹脂塗布装置１の搬送方向外側端に配置されている。具体的には、基板搬送装置４が上流側に配置され、基板搬送装置５が下流側に配置されている。本形態の基板搬送装置４、５は、特に、薄型の基板２の搬送に適した搬送装置である。この基板搬送装置４、５の詳細な構成については後述する。
【００２５】
搬送路６は、基板２の両端を案内するための２個の基板ガイド１１と、基板ガイド１１が取り付けられる２個の取付ブラケット１２とを備えている。基板ガイド１１は、図１、図２に示すように、細長いブロック状の部材であり、取付ブラケット１２によって、前後方向に間隔をあけた状態で固定されている。
【００２６】
４個の樹脂塗布ヘッド７は、搬送路６の上方に、かつ、搬送方向で隣接するように配置されている。また、４個の樹脂塗布ヘッド７はそれぞれ、樹脂塗布ヘッド７を搬送方向、前後方向および上下方向に移動させる移動機構（図示省略）に連結されている。各樹脂塗布ヘッド７は、基板２の上面の電子部品３が実装された部分に向かって熱硬化性の樹脂を吐出するノズル部１３を先端部（図１の下端部）に有するシリンジ１４と、基板２に対する電子部品３の実装位置を検出等するために利用されるカメラ１５とを備えている。
【００２７】
４個の基板載置治具８は、４個の樹脂塗布ヘッド７に対応するように、搬送方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。また、基板載置治具８は、前後方向において、２個の基板ガイド１１の間に配置されている。この基板載置治具８の上面には、樹脂塗布時に基板２を吸着する複数の吸着孔（図示省略）が形成されている。また、基板載置治具８には、図示を省略する昇降機構が連結されている。
【００２８】
基板２の搬送時には、基板２の搬送の妨げとならないように、基板載置治具８は下降している。また、基板２への樹脂塗布時には、基板載置治具８が上昇する。そして、安定した樹脂塗布を行うため、基板２の、樹脂塗布が行われる電子部品３が配置された部分の下面に基板載置治具８の上面を当接させた状態で、基板載置治具８は、基板２を吸着し、保持する。
【００２９】
（基板搬送装置の構成）
図３は、図１に示す基板搬送装置４の概略構成を上流側から示す図である。図４は、図３のＥ−Ｅ方向から角度切替機構２５Ａを示す図である。図５は、図３のＦ−Ｆ方向から角度切替機構２５Ａを示す図である。図６は、図３に示す角度切替機構２５Ａの動作を説明するための図である。図７は、図３に示す従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの基板２の搬送時における状態を上面から示す図であり、（Ａ）は上流側から下流側に向かって基板２が搬送されるときの従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの状態を示し、（Ｂ）は下流側から上流側に向かって基板２が搬送されるときの従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの状態を示す。図８は、図３に示す従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの角度切替時の制御フローを示すフローチャートである。なお、図３では、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂが上昇した状態が図示されている。
【００３０】
基板搬送装置４は、基板２を搬送するために、第１ローラとしての駆動ローラ２１と、駆動ローラ２１に上下方向で対向配置される第２ローラとしての従動ローラ２２とを備えている。具体的には、図３に示すように、基板搬送装置４は、基板２の幅方向の両端部に配置される２個の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂと、基板２の幅方向の両端部に配置される２個の従動ローラ２２Ａ、２２Ｂとを備えている。
【００３１】
本形態では、駆動ローラ２１Ａと従動ローラ２２Ａとが基板２の後側端部に当接し、駆動ローラ２１Ｂと従動ローラ２２Ｂとが基板２の前側端部に当接する。また、本形態では、駆動ローラ２１が下側に配置され、従動ローラ２２が上側に配置されており、駆動ローラ２１は基板２の下面に当接し、従動ローラ２２は基板２の上面に当接する。さらに、本形態では、駆動ローラ２１は、搬送方向に平行な状態で配置され、従動ローラ２２は、搬送方向に対して傾斜した状態で配置されている。
【００３２】
また、基板搬送装置４は、２個の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂを回転駆動させる駆動機構２３と、前後方向に所定の間隔をあけた状態で配置され、駆動機構２３や後述の移動機構２６等が取り付けられる２枚の取付板２４とを備えている。なお、取付板２４は、樹脂塗布装置１の所定の架台（図示省略）に固定されている。
【００３３】
さらに、基板搬送装置４は、基板２の搬送方向に対する従動ローラ２２の傾斜角度を切り替える角度切替機構２５と、基板２に向かう方向および基板２から離れる方向（すなわち、上下方向）へ従動ローラ２２を移動（昇降）させる移動機構２６とを備えている。具体的には、図３に示すように、従動ローラ２２Ａの傾斜角度を切り替える角度切替機構２５Ａおよび従動ローラ２２Ｂの傾斜角度を切り替える角度切替機構２５Ｂと、従動ローラ２２Ａを移動させる移動機構２６Ａおよび従動ローラ２２Ｂを移動させる移動機構２６Ｂとを備えている。
【００３４】
本形態では、角度切替機構２５Ａを構成する後述の固定軸４０Ａに従動ローラ２２Ａが回動可能に支持されており、移動機構２６Ａは、従動ローラ２２Ａと一緒に角度切替機構２５Ａを昇降させる。同様に、移動機構２６Ｂは、従動ローラ２２Ｂと一緒に角度切替機構２５Ｂを昇降させる。
【００３５】
駆動機構２３は、駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂが固定される回転軸２７と、駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂを駆動する駆動源としての駆動モータ２８とを備えている。回転軸２７は、たとえば、２枚の取付板２４に回転可能に支持されており、駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂとともに回転する。駆動モータ２８には、回転軸２７が、継手等の連結手段によって直接、あるいは、歯車やプーリ、ベルト等の伝達手段を介して接続されている。
【００３６】
角度切替機構２５Ａは、図３から図５に示すように、移動機構２６Ａを構成する後述の昇降ブロック４５Ａに対して固定される固定部２９Ａと、上下方向を回動の軸方向として固定部２９Ａに対して回動可能な回動部３０Ａと、固定部２９Ａと回動部３０Ａとを連結する継手３１Ａおよび連結軸３２Ａとを備えている。
【００３７】
固定部２９Ａは、回動部３０Ａの回動角度を調整する２本の角度調整ネジ３３Ａと、２本の角度調整ネジ３３Ａが螺合されるネジ固定ブロック３４Ａと、回動部３０Ａの回動中心となる中心軸３５Ａと、回動部３０Ａを回動させる駆動源としてのエアシリンダ３６Ａと、ネジ固定ブロック３４Ａや中心軸３５Ａ等が固定される固定板３７Ａとを備えている。
【００３８】
ネジ固定ブロック３４Ａは、後側に向かって突出する２個のネジ螺合部３４１Ａを備え、図５に示すように、上下方向から見た形状が後側が開口する溝形状となるように形成されている。２個のネジ螺合部３４１Ａにはそれぞれ、搬送方向に貫通するネジ孔が形成されており、搬送方向の外側から角度調整ネジ３３Ａがねじ込まれている。
【００３９】
ネジ固定ブロック３４Ａは、図５に示すように、固定板３７Ａの上流端側かつ後端側で固定板３７Ａに固定されている。具体的には、ネジ螺合部３４１Ａが固定板３７Ａから後側に突出するように、ネジ固定ブロック３４Ａは固定板３７Ａの上面に固定されている。
【００４０】
エアシリンダ３６Ａは、固定板３７Ａの下流端側から後側に向かって突出する固定板３７Ａのシリンダ固定部に固定されている。具体的には、シリンダロッド３６１Ａが上流側へ突出するように、エアシリンダ３６Ａがシリンダ固定部の上面に固定されている。
【００４１】
中心軸３５Ａは、固定板３７Ａの上流端側かつ前端側で、固定板３７Ａに固定されている。具体的には、固定板３７Ａの下面から下側へ突出するように、中心軸３５Ａが固定板３７Ａに固定されている。なお、中心軸３５Ａは、回動部３０Ａを構成する後述の回動板４４Ａに固定されるとともに、固定板３７Ａが中心軸３５Ａを中心に回動可能に構成されても良い。
【００４２】
回動部３０Ａは、従動ローラ２２Ａを回転可能に支持する固定軸４０Ａと、固定軸４０Ａが固定された軸支持板４１Ａと、連結軸３２Ａの上流側端が固定された軸固定板４２Ａと、角度調整ネジ３３Ａに当接して回動部３０Ａの回動角度を規制する角度規制ブロック４３Ａと、軸支持板４１Ａ、軸固定板４２Ａおよび角度規制ブロック４３Ａが固定されるとともに中心軸３５Ａを中心に回動可能な回動板４４Ａとを備えている。
【００４３】
固定軸４０Ａの後側端は、軸支持板４１Ａに固定されている。また、固定軸４０Ａの前側端に従動ローラ２２Ａが取り付けられている。軸支持板４１Ａは、下方向へ突出するように、回動板４４Ａの下面の前後方向の略中心位置に固定されている。軸固定板４２Ａは、回動板４４Ａの上流端側かつ後端側で、上方向へ突出するように、回動板４４Ａに固定されている。
【００４４】
角度規制ブロック４３Ａは、上方向へ突出するように、回動板４４Ａに固定されている。具体的には、角度規制ブロック４３Ａの上端側が２個のネジ螺合部３４１Ａの間に配置されるように、角度規制ブロック４３Ａが回動板４４Ａの上面に固定されている。本形態では、搬送方向の外側からネジ螺合部３４１Ａにねじ込まれる２本の角度調整ネジ３３Ａと、角度規制ブロック４３Ａとによって、搬送方向に対する従動ローラ２２Ａの傾斜角度を調整する角度調整機構が構成されている。
【００４５】
回動板４４Ａは、固定板３７Ａの下方に配置されている。また、回動板４４Ａの前端側には、中心軸３５Ａが回動可能に取り付けられており、従動ローラ２２Ａは、中心軸３５Ａの下方に配置されている。
【００４６】
図４等に示すように、継手３１Ａによって、シリンダロッド３６１Ａの上流側端と連結軸３２Ａの下流側端とが連結されている。連結軸３２Ａの上流側端は、上述のように、軸固定板４２Ａに固定されている。本形態の継手３１Ａは、いわゆるフローティングジョイントであり、シリンダロッド３６１Ａの軸方向に対して連結軸３２Ａの軸方向を傾けることが可能となっている。
【００４７】
このように構成された角度切替機構２５Ａによって、本形態では、搬送方向に対する従動ローラ２２Ａの傾斜角度が２つの角度に切り替えられる。すなわち、エアシリンダ３６Ａの本体のヘッド側（図５の上側）に圧縮空気が供給され、図６に示すように、シリンダロッド３６１Ａが上流側へ押し出されると、角度規制ブロック４３Ａが上流側に配置される角度調整ネジ３３Ａに当接するまで回動部３０Ａが反時計方向に回動して、下流側へいくにしたがって後側へ傾くように、従動ローラ２２Ａが傾斜する。また、エアシリンダ３６Ａの本体のロッド側（図５の下側）に圧縮空気が供給され、シリンダロッド３６１Ａが下流側へ引き込まれると、角度規制ブロック４３Ａが下流側に配置される角度調整ネジ３３Ａに当接するまで回動部３０Ａが時計方向に回動して、下流側へいくにしたがって前側へ傾くように、従動ローラ２２Ａが傾斜する。
【００４８】
角度切替機構２５Ｂは、前後方向における従動ローラ２２Ａと従動ローラ２２Ｂと略中心位置に形成される鉛直面Ｐに関して、角度切替機構２５Ａと同一の構成が対称に配置されることで構成されている。そのため、角度切替機構２５Ｂの詳細な説明は省略する。なお、図２、図３では、角度切替機構２５Ａの各構成に対応する角度切替機構２５Ｂの各構成には、角度切替機構２５Ａの各構成に付された符号中の「Ａ」の部分を「Ｂ」に代えた符号を付している。
【００４９】
移動機構２６Ａは、上述のように、従動ローラ２２Ａと一緒に角度切替機構２５Ａを昇降させるため、角度切替機構２５Ａの固定板３７Ａが固定された昇降ブロック４５Ａと、昇降ブロック４５Ａを昇降させる駆動源としてのエアシリンダ４６Ａとを備えている。
【００５０】
本形態のエアシリンダ４６Ａは、いわゆるロッドレスシリンダであり、本体に対して昇降するスライダ４６１Ａを備えている。このエアシリンダ４６Ａは、取付板２４に固定されている。また、スライダ４６１Ａは、エアシリンダ４６Ａの本体に対して後側に配置されている。昇降ブロック４５Ａの上端は、固定板３７Ａに固定されている。また、昇降ブロック４５Ａの下端側かつ前側端は、スライダ４６１Ａに固定されている。なお、エアシリンダ４６Ａは、ロッド付のシリンダであっても良い。
【００５１】
このように構成された移動機構２６Ａによって、従動ローラ２２Ａは、角度切替機構２５Ａと一緒に上昇し、また、下降する。すなわち、エアシリンダ４６Ａへの圧縮空気の供給によって、スライダ４６１Ａとともに、従動ローラ２２Ａおよび角度切替機構２５Ａが上昇して、図３に示すように、基板２の上面から従動ローラ２２Ａが離れる。また、エアシリンダ４６Ａへの圧縮空気の供給によって、スライダ４６１Ａとともに、従動ローラ２２Ａおよび角度切替機構２５Ａが下降して、基板２の上面に従動ローラ２２Ａが当接する。なお、基板２の上面に従動ローラ２２Ａが当接するときの当接力は、基板２をわずかに押さえる程度の小さな力であれば良い。
【００５２】
移動機構２６Ｂは、移動機構２６Ａと同一の構成が、鉛直面Ｐに関して対称に配置されることで構成されている。そのため、移動機構２６Ｂの詳細な説明は省略する。なお、図３では、移動機構２６Ａの各構成に対応する移動機構２６Ｂの各構成には、移動機構２５Ａの各構成に付された符号中の「Ａ」の部分を「Ｂ」に代えた符号を付している。
【００５３】
本形態では通常、上述のように、矢印Ｖの方向へ基板２が搬送される。そして、矢印Ｖの方向へ基板２が搬送される場合、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度は、図７（Ａ）に示すように、下流側に向かって互いに離れるように設定される。すなわち、角度切替機構２５Ａでは、角度規制ブロック４３Ａが上流側に配置される角度調整ネジ３３Ａに当接した状態となり、角度切替機構２５Ｂでは、角度規制ブロック４３Ｂが上流側に配置される角度調整ネジ３３Ｂに当接した状態となる。
【００５４】
一方、樹脂塗布装置１の初期設定時の微調整等、必要に応じて、下流側から上流側へ向かって（矢印Ｖの反対方向へ）基板２が搬送される。この場合、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度は、図７（Ｂ）に示すように、下流側に向かって互いに近づくように設定される。すなわち、角度切替機構２５Ａでは、角度規制ブロック４３Ａが下流側に配置される角度調整ネジ３３Ａに当接した状態となり、角度切替機構２５Ｂでは、角度規制ブロック４３Ｂが下流側に配置される角度調整ネジ３３Ｂに当接した状態となる。
【００５５】
このように、本形態では、基板２の搬送方向によって、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度の切替が行われる。具体的には、図８の制御フローにしたがって、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度の切替が行われる。
【００５６】
すなわち、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度の切替を行う際には、まず、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを上昇させる（ステップＳ１）。具体的には、移動機構２６Ａ、２６Ｂによって、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂが基板２の上面から離れるまで、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを上昇させる。
【００５７】
その状態で、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度を切り替える（ステップＳ２）。具体的には、角度切替機構２５Ａ、２５Ｂによって、図７（Ａ）に示す状態から図７（Ｂ）に示す状態に、あるいは、図７（Ｂ）に示す状態から図７（Ａ）に示す状態に、基板２の搬送方向に応じて、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度を切り替える。
【００５８】
従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度の切替が終わると、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを下降させる（ステップＳ３）。具体的には、移動機構２６Ａ、２６Ｂによって、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂが基板２に当接するように、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを下降させる。
【００５９】
なお、本形態では、ステップＳ１は、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを基板２から離れる方向へ移動させる移動ステップであり、ステップＳ２は、搬送方向に対する従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの傾斜角度の切替を行う角度切替ステップである。
【００６０】
基板搬送装置５は、基板搬送装置４と同様に構成されている。そのため、基板搬送装置５の説明は省略する。
【００６１】
本形態では、基板搬送装置４、５間で基板２にたるみが生じないように、基板搬送装置４の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂと、基板搬送装置５の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂとは通常、同一の周速度で回転する。また、本形態では、基板搬送装置４の従動ローラ２２Ａ、２２Ｂと、基板搬送装置５の従動ローラ２２Ａ、２２Ｂとは同じ方向へ傾斜する。すなわち、矢印Ｖの方向へ基板２が搬送される場合には、基板搬送装置４、５の従動ローラ２２Ａ、２２Ｂは、図７（Ａ）に示すように傾斜し、矢印Ｖと反対の方向へ基板２が搬送される場合には、図７（Ｂ）に示すように傾斜する。
【００６２】
なお、基板２に所定の張力を与えるために、基板搬送装置４の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂの周速度を、基板搬送装置５の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂの周速度よりも遅くしても良い。また、所定のタイミングで、基板搬送装置４の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂの回転方向を、基板搬送装置５の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂの回転方向の逆方向として、基板２の所定の張力を与えても良い。この場合には、基板搬送装置５の従動ローラ２２Ａ、２２Ｂは、図７（Ａ）に示すように傾斜し、基板搬送装置４の従動ローラ２２Ａ、２２Ｂは、図７（Ｂ）に示すように傾斜する。
【００６３】
（樹脂塗布装置の概略制御）
図９は、図１に示す樹脂塗布装置１の概略の制御フローを示すフローチャートである。
【００６４】
本形態の樹脂塗布装置１では、基板搬送装置４、５の駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂが、所定距離だけ回転した後に、一定時間停止するという間欠動作を繰り返す。すなわち、基板２は、間欠的に搬送される。そして、間欠搬送の間の基板２の停止時に、樹脂塗布ヘッド７によって、基板２に樹脂が塗布される。具体的には、図９に示す制御フローにしたがって、１回の基板２の間欠搬送および１回の基板２の停止時の樹脂塗布（すなわち、１サイクルの樹脂塗布動作）が行われる。
【００６５】
すなわち、１サイクルの樹脂塗布動作では、まず、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを基板２に当接させた状態（すなわち、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを下降させた状態）で、基板２を所定量だけ搬送する（ステップＳ１１）。具体的には、駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂを回転させて基板２を所定量搬送する。基板２の搬送が終了すると、４個の基板載置治具８をそれぞれ上昇させ、基板載置治具８に基板２を載置して、基板載置治具８で基板２を保持する（ステップＳ１２）。具体的には、基板載置治具８の上面に形成された吸着孔に基板２を吸着して保持する。
【００６６】
その状態で、基板２に樹脂の塗布を行う（ステップＳ１３）。具体的には、基板載置治具８で基板２を保持した状態で、樹脂塗布ヘッド７を移動させて、電子部品３の周囲に樹脂を塗布する。また、樹脂の塗布と平行して、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを昇降させる（ステップＳ１４）。具体的には、移動機構２６Ａ、２６Ｂによって、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂをまず上昇させ、その後、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを下降させる。
【００６７】
ステップＳ１３で樹脂の塗布が終了すると、４個の基板載置治具８をそれぞれ下降させて（ステップＳ１５）、１サイクルの樹脂塗布動作が終了する。
【００６８】
なお、本形態では、ステップＳ１１は、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを基板２に当接させて基板２を搬送する搬送ステップであり、ステップＳ１３は、搬送ステップであるステップＳ１１の後、基板２を保持しながら、基板２の処理（具体的には樹脂の塗布）を行う基板処理ステップである。また、ステップＳ１４は、基板処理ステップであるステップＳ１３と平行して、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを基板２から離れる方向へ移動させる（すなわち、上昇させる）とともに、その後再び、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを基板に当接させる（すなわち、下降させる）ローラ移動ステップである。
【００６９】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の基板搬送装置４、５は、基板２の幅方向の両端部に配置される従動ローラ２２（２２Ａ、２２Ｂ）の搬送方向に対する傾斜角度を切り替える角度切替機構２５（２５Ａ、２５Ｂ）を備え、この角度切替機構２５によって、従動ローラ２２の搬送方向に対する傾斜角度の切替を行っている。そのため、基板２に撓みが生じない方向へ従動ローラ２２を傾斜させることで、基板２の撓みの発生を抑制できる。
【００７０】
また、本形態の基板搬送装置４、５は、従動ローラ２２を昇降させる移動機構２６（２６Ａ、２６Ｂ）を備え、従動ローラ２２の傾斜角度を切り替える際には、移動機構２６によって、従動ローラ２２を基板２から離れる方向へ移動させている。そのため、従動ローラ２２の傾斜角度を切り替える場合であっても、従動ローラ２２に起因する基板２の撓みの発生を防止できる。すなわち、従動ローラ２２が基板２に当接した状態で傾斜角度の切替を行うと、厚さが２０μｍ〜５０μｍであるような薄型の基板２の場合、従動ローラ２２の当接部分にねじれが生じ、そのねじれによって基板２に撓みが発生するが、本形態では、従動ローラ２２を基板２から離した状態で、従動ローラ２２の傾斜角度を切り替えている。したがって、従動ローラ２２の傾斜角度の切替の際の基板２でのねじれの発生を防止できる。その結果、基板２が薄型のものであり、かつ、従動ローラ２２の傾斜角度を切り替える場合であっても、基板２の撓みの発生を防止できる。また、従動ローラ２２の、基板２への当接部分の偏摩耗を防止できる。
【００７１】
本形態では、移動機構２６によって、従動ローラ２２を昇降させるとともに、角度切替機構２５によって、従動ローラ２２の角度の切替が行われている。そのため、駆動機構２３に連結された駆動ローラ２１を昇降させたり、駆動ローラ２１の傾斜角度を切り替える場合と比較して、基板搬送装置４、５の構成を簡素化できる。
【００７２】
本形態では、移動機構２６は、従動ローラ２２と一緒に角度切替機構２５を昇降させている。そのため、従動ローラ２２が上昇した状態、下降した状態、あるいは、従動ローラ２２を昇降させながら、従動ローラ２２の傾斜角度の切替を行うことが可能になる。その結果、従動ローラ２２の傾斜角度の切替動作の柔軟性を高めることができる。
【００７３】
本形態では、樹脂塗布装置１は、ステップＳ１３において、基板載置治具８で基板２を保持した状態で、樹脂塗布ヘッド７を移動させて、電子部品３の周囲に樹脂を塗布している。また、樹脂塗布装置１は、ステップＳ１３と平行して、ステップＳ１４において、従動ローラ２２Ａ、２２Ｂを昇降させている。そのため、樹脂塗布時における基板２の位置ずれを生じさせることなく、基板２に対する駆動ローラ２１Ａ、２１Ｂおよび従動ローラ２２Ａ、２２Ｂの当接力を一旦解放できる。したがって、基板２の後側端部に当接する駆動ローラ２１Ａおよび従動ローラ２２Ａの当接力と、基板２の前側端部に当接する駆動ローラ２１Ｂおよび従動ローラ２２Ｂの当接力との差等に起因して生じうる基板２の撓みの発生を抑制できる。また、駆動ローラ２１Ａおよび従動ローラ２２Ａの当接力と、駆動ローラ２１Ｂおよび従動ローラ２２Ｂの当接力との差等に起因して生じうる基板２の前後方向のずれを抑制できる。
【００７４】
（他の実施の形態）
上述した形態では、従動ローラ２２が搬送方向に対して傾斜した状態で配置され、角度切替機構２５によって従動ローラ２２の傾斜角度の切替が行われている。この他にもたとえば、従動ローラ２２に代えて、あるいは、従動ローラ２２とともに、駆動ローラ２１が搬送方向に対して傾斜した状態で配置され、駆動ローラ２１専用の角度切替機構によって、あるいは、駆動ローラ２１および従動ローラ２２に共通の角度切替機構によって、駆動ローラ２１の傾斜角度の切替が行われても良い。
【００７５】
また、上述した形態では、移動機構２６によって、従動ローラ２２を昇降させている。この他にもたとえば、従動ローラ２２に代えて、駆動ローラ２１を昇降させても良い。また、従動ローラ２２を昇降させるとともに、駆動ローラ２１を昇降させても良い。この場合には、駆動ローラ２１専用の移動機構によって、駆動ローラ２１を昇降させても良いし、駆動ローラ２１および従動ローラ２２に共通の移動機構によって、駆動ローラ２１を昇降させても良い。さらに、上述した形態では、駆動ローラ２１が下側に配置され、従動ローラ２２が上側に配置されているが、駆動ローラ２１が上側に配置され、従動ローラ２２が下側に配置されても良い。
【００７６】
上述した形態では、移動機構２６は、従動ローラ２２と一緒に角度切替機構２５を昇降させている。この他にもたとえば、従動ローラ２２の上昇位置に、角度切替機構が配置され、移動機構２６によって、従動ローラ２２を上昇させたときに、従動ローラ２２に角度切替機構が連結されても良い。
【００７７】
上述した形態では、従動ローラ２２の傾斜角度を切り替える駆動源は、エアシリンダ３６Ａである。この他にもたとえば、従動ローラ２２の傾斜角度を切り替える駆動源は、ソレノイドやリニアモータであっても良いし、回転型のモータを駆動源にするとともにボールネジ等を用いて駆動機構を構成しても良い。同様に、従動ローラ２２を昇降させる駆動源としてのエアシリンダ４６Ａに代えて、ソレノイドやリニアモータを駆動源としても良いし、回転型のモータを駆動源にするとともにボールネジ等を用いて駆動機構を構成しても良い。
【００７８】
上述した形態では、角度切替機構２５によって、従動ローラ２２の傾斜角度は２つの傾斜角度に切り替えられている。この他にもたとえば、従動ローラ２２の傾斜角度は、３つ以上の複数の傾斜角度に切り替えられても良い。
【００７９】
上述した形態では、基板搬送装置４、５を備える基板処理装置は、基板処理部として樹脂塗布ヘッド７を有する樹脂塗布装置１である。この他にもたとえば、基板搬送装置４、５を備える基板処理装置は、基板処理部として、基板２上あるいは電子部品３上にＵＶインクやレーザで印字を行う印字部を有する印字装置であっても良い。また、基板搬送装置４、５を備える基板処理装置は、基板処理部として、基板２に塗布された樹脂を硬化させる加熱部を有する樹脂硬化装置であっても良い。さらに、基板搬送装置４、５を備える基板処理装置は、基板２の搬送と処理を行うその他の装置であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施の形態にかかる樹脂塗布装置の概略構成を正面（前面）から示す概略図である。
【図２】図１に示す樹脂塗布装置の概略構成を上面から示す概略図である。
【図３】図１に示す基板搬送装置の概略構成を上流側から示す図である。
【図４】図３のＥ−Ｅ方向から角度切替機構を示す図である。
【図５】図３のＦ−Ｆ方向から角度切替機構を示す図である。
【図６】図３に示す角度切替機構の動作を説明するための図である。
【図７】図３に示す従動ローラの基板の搬送時における状態を上面から示す図であり、（Ａ）は上流側から下流側に向かって基板が搬送されるときの従動ローラの状態を示し、（Ｂ）は下流側から上流側に向かって基板が搬送されるときの従動ローラの状態を示す。
【図８】図３に示す従動ローラの角度切替時の制御フローを示すフローチャートである。
【図９】図１に示す樹脂塗布装置の概略の制御フローを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００８１】
１  樹脂塗布装置（基板処理装置）
２  基板
４、５  基板搬送装置
７  樹脂塗布ヘッド（基板処理部）
２１Ａ、２１Ｂ  駆動ローラ（第１ローラ）
２２Ａ、２２Ｂ  従動ローラ（第２ローラ）
２５Ａ、２５Ｂ  角度切替機構
２６Ａ、２６Ｂ  移動機構
２８  駆動モータ（駆動源）
Ｓ１  移動ステップ
Ｓ２  角度切替ステップ
Ｓ１１  搬送ステップ
Ｓ１３  基板処理ステップ
Ｓ１４  ローラ移動ステップ
【図１】
2008133118.tif 000003
【図２】
2008133118.tif 000004
【図３】
2008133118.tif 000005
【図４】
2008133118.tif 000006
【図５】
2008133118.tif 000007
【図６】
2008133118.tif 000008
【図７】
2008133118.tif 000009
【図８】
2008133118.tif 000010
【図９】
2008133118.tif 000011