(57)【要約】【課題】産業用装置の装置パラメータの再利用を容易にする。【解決手段】第１実施形態の製造システム１は、製造装置１２のユーザが製造装置１２を管理するためのシステムである。製造装置１２は、筐体の内部で複数のユニット１２２を組み合わせて構成されるとともに、装置パラメータ群Ｄ１２に基づいてユニット１２２の各々を制御する組み込みコンピュータ１２４を内蔵している。組み込みコンピュータ１２４は、装置パラメータ群Ｄ１２の変更に同期して、変更直前の装置パラメータ群Ｄ１２をパラメータ履歴Ｄ１４に追加し、装置パラメータ群Ｄ１２の一連の変更履歴を確実に記憶部１２４２に記憶させておく。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
産業用装置における制御の基礎となるパラメータ群を管理するパラメータ管理装置であって、
前記パラメータ群の一連の変更履歴を記憶する記憶手段と、
前記パラメータ群の変更に同期して前記変更履歴を更新する更新手段と、
を備える、
ことを特徴とするパラメータ管理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のパラメータ管理装置において、
前記更新手段は、変更直前又は変更直後の前記パラメータ群を前記変更履歴に追加することにより、前記変更履歴を更新する、
ことを特徴とするパラメータ管理装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のパラメータ管理装置において、
前記パラメータ管理装置は、複数の前記産業用装置の各々における制御の基礎となる前記パラメータ群を管理し、
前記記憶手段は、前記産業用装置ごとに前記変更履歴を記憶する、
ことを特徴とするパラメータ管理装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のパラメータ管理装置において、
前記産業用装置は、決められた処理を行うユニットを組み合わせて構成されており、
前記記憶手段は、前記ユニットごとに前記変更履歴を記憶する、
ことを特徴とするパラメータ管理装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のパラメータ管理装置において、
前記記憶手段に記憶されている前記変更履歴から前記パラメータ群を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得した前記パラメータ群を比較対象に含めて、複数の前記パラメータ群を比較し、比較結果を出力する比較手段と、
をさらに備える、
ことを特徴とするパラメータ管理装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のパラメータ管理装置において、
前記記憶手段に記憶されている前記変更履歴から前記パラメータ群を取得する取得手段と、
前記取得手段によって取得した前記パラメータ群を出力する出力手段と、
をさらに備え、
前記産業用装置において、前記出力手段が出力した前記パラメータ群を取得し、取得した前記パラメータ群に基づいて制御を行う、
ことを特徴とするパラメータ管理装置。
【請求項７】
産業用装置における制御の基礎となるパラメータ群を管理するパラメータ管理プログラムであって、コンピュータに、
前記パラメータ群の一連の変更履歴を記憶する記憶手順と、
前記パラメータ群の変更に同期して前記変更履歴を更新する更新手順と、
を実行させる、
ことを特徴とするパラメータ管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用装置における制御の基礎となるパラメータ群を管理するパラメータ管理装置及びパラメータ管理プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置に代表される産業用装置は、通常、設定された装置パラメータに基づいて制御される。従来、当該装置パラメータを変更する場合、装置パラメータの変更内容、変更作業者、変更日時等を手作業で記録していた。
【０００３】
なお、特許文献１は、本発明と関連する先行技術文献であり、個々の装置パラメータの初期値及び変更値を自動的に記憶する技術を開示している（図３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１９５５９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の技術では、装置パラメータの変更前後で産業用装置の処理結果が異なる場合、その原因を明らかにするために、手作業による記録を参照し、産業用装置の装置パラメータが記録通りに設定されているか否かを産業用装置まで確認しに行くという煩雑な作業が発生していた。
【０００６】
また、従来の技術では、産業用装置のベンダが、産業用装置を出荷してユーザの工場において立ち上げ作業を行う際に、産業用装置の装置パラメータの初期値が適切でないことを発見した場合、立ち上げ作業中の産業用装置の装置パラメータを変更した上で、それ以降に出荷する産業用装置の装置パラメータの初期値を変更後の装置パラメータに設定するという煩雑な作業が発生していた。
【０００７】
すなわち、従来の技術では、産業用装置の装置パラメータの再利用が容易ではないため、煩雑な作業が発生していた。
【０００８】
本発明は、この問題を解決するためになされたもので、産業用装置の装置パラメータの再利用を容易にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、産業用装置における制御の基礎となるパラメータ群を管理するパラメータ管理装置であって、前記パラメータ群の一連の変更履歴を記憶する記憶手段と、前記パラメータ群の変更に同期して前記変更履歴を更新する更新手段とを備える。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載のパラメータ管理装置において、前記更新手段は、変更直前又は変更直後の前記パラメータ群を前記変更履歴に追加することにより、前記変更履歴を更新する。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のパラメータ管理装置において、前記パラメータ管理装置は、複数の前記産業用装置の各々における制御の基礎となる前記パラメータ群を管理し、前記記憶手段は、前記産業用装置ごとに前記変更履歴を記憶する。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のパラメータ管理装置において、前記産業用装置は、決められた処理を行うユニットを組み合わせて構成されており、前記記憶手段は、前記ユニットごとに前記変更履歴を記憶する。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のパラメータ管理装置において、前記記憶手段に記憶されている前記変更履歴から前記パラメータ群を取得する取得手段と、前記取得手段によって取得した前記パラメータ群を比較対象に含めて、複数の前記パラメータ群を比較し、比較結果を出力する比較手段とをさらに備える。
【００１４】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のパラメータ管理装置において、前記記憶手段に記憶されている前記変更履歴から前記パラメータ群を取得する取得手段と、前記取得手段によって取得した前記パラメータ群を出力する出力手段と、をさらに備え、前記産業用装置において、前記出力手段が出力した前記パラメータ群を取得し、取得した前記パラメータ群に基づいて制御を行う。
【００１５】
請求項７の発明は、産業用装置における制御の基礎となるパラメータ群を管理するパラメータ管理プログラムであって、コンピュータに、前記パラメータ群の一連の変更履歴を記憶する記憶手順と、前記パラメータ群の変更に同期して前記変更履歴を更新する更新手順とを実行させる。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明によれば、産業用装置のパラメータ群を容易に再利用することができる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、パラメータ群の一連の変更履歴を確実に記憶手段に記憶させておくことができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、産業用装置ごとにパラメータ群を再利用することができる。
【００１９】
請求項４の発明によれば、ユニットごとにパラメータ群を再利用することができる。
【００２０】
請求項５の発明によれば、パラメータ群の異同を容易に知ることができる。
【００２１】
請求項６の発明によれば、産業用装置においてパラメータ群を再利用することができる。
【００２２】
請求項７の発明によれば、産業用装置のパラメータ群を容易に再利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下では、産業用装置の装置パラメータの一連の変更履歴を記憶しておき、記憶した変更履歴から装置パラメータを読み出して再利用する技術について説明する。そして、第１実施形態では、このようなパラメータ管理機能を産業用装置に付加した場合、すなわち、産業用装置がパラメータ管理装置を内蔵している場合について説明しており、第２実施形態及び第３実施形態では、パラメータ管理機能を有するパラメータ管理装置を産業用装置とは別に設けた場合について説明している。
【００２４】
ここで、「産業用装置」とは、事業に用いられる装置、特に、第１実施形態ないし第３実施形態で説明するような、製品の製造に用いられる製造装置をいう。「製造装置」は、対象物を加工する装置を含むことは当然であるが、対象物を加工しなくても、製品の製造に必要な装置、例えば、検査装置、搬送装置、環境管理装置等も含む。「製造装置」には、例えば、半導体製造用の洗浄装置、熱処理装置、不純物導入装置、薄膜形成装置、リソグラフィー装置、平坦化装置等が含まれる。ただし、これらの装置は、「製造装置」の例示に過ぎず、本発明の適用範囲を制限するものではない。
【００２５】
また、「装置パラメータ」とは、産業用装置における処理条件を規定するパラメータである。装置パラメータには、例えば、回転するシリコンウエハの被洗浄面に薬液を供給しつつ被洗浄面をブラッシングする洗浄装置（スクラバ）における、洗浄液の流量を規定するパラメータ、被洗浄面と薬液を供給するノズルの薬液吐出口との距離を規定するパラメータ、シリコンウエハの回転速度を規定するパラメータ等がある。ただし、これらのパラメータも、装置パラメータの例示に過ぎず、本発明の適用範囲を制限するものではない。
【００２６】
＜１  第１実施形態＞
第１実施形態の製造システム１は、製造装置１２のユーザが製造装置１２を管理するためのシステムである。
【００２７】
＜１．１  製造システムの構成＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る製造システム１の概略構成を示すブロック図である。図１に示すように、製造システム１は、製品を製造する製造装置１２と、データを記憶する外部記憶装置１４と、パラメータ管理機能にアクセスするパラメータ管理クライアント１６とを備える。
【００２８】
｛製造装置｝
製造装置１２は、筐体の内部で複数のユニット１２２を組み合わせて構成されるとともに、ユニット１２２の各々を制御する組み込みコンピュータ１２４を内蔵している。製造装置１２は、組み込みコンピュータ１２４にユニット１２２の各々を制御させて複数のユニット１２２を協働させることにより、製品の製造における一部又は全部の工程を担う。ここで、「一部又は全部の工程」というのは、製品の製造における全部の工程を製造装置１２が担う必要はなく、製品の製造における一部の工程を製造装置１２が担うのみでもよいという趣旨である。例えば、製造装置１２は、洗浄工程、熱処理工程、不純物導入工程、薄膜形成工程、リソグラフィー工程、平坦化工程等を繰り返す半導体の製造における一の洗浄工程を担うのみでもよい。
【００２９】
ユニット１２２の各々は、決められた処理を行う製造装置１２の構成単位であり、装置パラメータに応じた処理を行う。図１においては、製造装置１２を構成するユニット１２２の数（以下、「ユニット数」）が３個である場合を示しているが、ユニット数は、２個以下又は４個以上となってもよい。ユニット数は、２個以上となるのが一般的であるが、このことは、ユニット数が１個となることを妨げるものではない。
【００３０】
製造装置１２を構成するユニット１２２としては、例えば、製造装置１２が半導体製造用のウエハ洗浄装置であれば、薬液洗浄ユニット、スクラバユニット、ポリマ除去ユニット、べベル洗浄ユニット、気相洗浄ユニット等を例示することができる。ただし、これらのユニット１２２は例示であり、本発明の適用範囲を制限するものではない。もちろん、製造装置１２を構成するユニット１２２に同種のものが含まれていてもよいし、より大きな構成単位又はより小さな構成単位をユニット１２２として扱うこともできる。ここでいう「同種」とは、行うことができる処理が同様であり、制御に用いられる装置パラメータも同様であることを意味している。
【００３１】
組み込みコンピュータ１２４は、装置パラメータに基づいてユニット１２２の各々を制御する。加えて、組み込みコンピュータ１２４は、装置パラメータを管理するパラメータ管理装置としての役割も果たしている。このように、製造装置１２にパラメータ管理機能を付加した場合、製造装置１２のみでパラメータ管理機能を提供することができ、パラメータ管理装置を別途準備する必要がない。
【００３２】
一般的にいって、ユニット１２２を制御するためには、２個以上の装置パラメータが必要となるから、組み込みコンピュータ１２４は、一群の装置パラメータ（以下、「装置パラメータ群」）Ｄ１２を管理することになる。製造装置１２に付加されたパラメータ管理機能は、装置パラメータの数が多くなり、人間の手作業による管理が困難になるような場合に特に有効である。ただし、このことは、装置パラメータの数が１個である場合を本発明から除外するものではなく、「装置パラメータ群」という語は、"２個以上の装置パラメータ"はもちろんのこと、"１個の装置パラメータの集合"も包含する意味に解釈すべきである。
【００３３】
組み込みコンピュータ１２４は、プログラムやデータを記憶する記憶部１２４２と、プログラムを実行するＣＰＵ１２４４とを備える。さらに、組み込みコンピュータ１２４には、ユーザインターフェースとして、データの入力手段となるキーボード、マウス、タッチパネル等の入力装置１２４６と、データの出力手段となるディスプレイ１２４８とが設けられている。もちろん、データの出力手段として、ディスプレイ１２４８に代えて又はディスプレイ１２４８とともに、プリンタ等を設けてもよい。
【００３４】
記憶部１２４２は、制御プログラムＰ１２及び管理プログラムＰ１４に加えて、装置パラメータ群Ｄ１２を記憶する。さらに、記憶部１２４２には、装置パラメータ群Ｄ１２の一連の変更履歴（以下、パラメータ履歴）Ｄ１４が記憶されるパラメータ管理用のデータベース（以下、「パラメータ管理データベース」）ＤＢ１２が構築されている。記憶部１２４２は、半導体メモリ等の主記憶装置によって又は半導体メモリ等の主記憶装置とハードディスクドライブ等の補助記憶装置とによって構成される。
【００３５】
ＣＰＵ１２４４は、制御プログラムＰ１２を読み出して実行する。これにより、組み込みコンピュータ１２４は、装置パラメータ群Ｄ１２に基づいてユニット１２２の各々を制御することができる。また、ＣＰＵ１２４４は、管理プログラムＰ１４を読み出して実行する。これにより、組み込みコンピュータ１２４は、パラメータ履歴Ｄ１２を管理することができる。制御プログラムＰ１２及び管理プログラムＰ１４は、単一のプログラムであってもよいし、複数のプログラムの集合であってもよい。また、制御プログラムＰ１２と管理プログラムＰ１４とを一体化したプログラムを用いてもよい。管理プログラムＰ１４は、パラメータ管理データベースＤＢ１１にアクセスするデータベースアプリケーションともなっているので、操作者は、組み込みコンピュータ１２４の入力装置１２４６及びディスプレイ１２４８を用いて、パラメータ履歴Ｄ１４を閲覧することができる。
【００３６】
｛外部記憶装置｝
外部記憶装置１４は、製造装置１２から入力されたデータを記憶するとともに、記憶しているデータを製造装置１２へ出力する。外部記憶装置１４は、ＵＳＢストレージ等により構成され、製造装置１２への取り付け又は製造装置１２からの取り外しが自在となっている。したがって、製造装置１２から外部記憶装置１４へデータを転送した後に、外部記憶装置１４を製造装置１２から取り外して他の装置に取り付け、外部記憶装置１４から他の装置へデータを転送すれば、製造装置１２から他の装置へデータを移行することができる。又は、他の装置から外部記憶装置１４へデータを転送した後に、外部記憶装置１４を他の装置から取り外して製造装置１２に取り付け、外部記憶装置１４から製造装置１２へデータを転送すれば、他の装置から製造装置１２へデータを移行することができる。もちろん、外部記憶装置１４をリムーバブルストレージで構成すれば、リムーバブルメディアを用いて、製造装置１２と他の装置との間でデータを移行することができる。
【００３７】
｛パラメータ管理クライアント｝
パラメータ管理クライアント１６は、製造装置１２と通信可能に接続され、製造装置１２に付加されたパラメータ管理機能を遠隔で利用することができるコンピュータである。すなわち、操作者は、パラメータ管理クライアント１６の入力装置１６６及びディスプレイ１６８を用いても、パラメータ履歴Ｄ１４を閲覧することができる。
【００３８】
パラメータ管理クライアント１６は、プログラムやデータを記憶する記憶部１６２と、プログラムを実行するＣＰＵ１６４とを備える。さらに、パラメータ管理クライアント１６には、ユーザインターフェースとして、データの入力手段となるキーボード、マウス等の入力装置１６６と、データの出力手段となるディスプレイ１６８とが設けられている。
【００３９】
記憶部１６２は、クライアントプログラムＰ１６を記憶する。記憶部１６２は、記憶部１２４２と同様に、主記憶装置によって又は主記憶装置と補助記憶装置とによって構成される。
【００４０】
ＣＰＵ１６４は、クライアントプログラムＰ１６を読み出して実行する。これにより、パラメータ管理クライアント１６は、製造装置１２に付加されたパラメータ管理機能を遠隔で利用することができる。
【００４１】
｛データ構成｝
図２は、パラメータ履歴Ｄ１４のデータ構造を示す図である。
【００４２】
パラメータ履歴Ｄ１４は、過去の装置パラメータ一式ＥＰ１２を含む。なお、図２は、パラメータ履歴Ｄ１４が、「過去パラメータ一式１」「過去パラメータ一式２」の２個の装置パラメータ一式ＥＰ１２を含む場合を示しているが、実際には、パラメータ履歴Ｄ１４が含む過去の装置パラメータ一式ＥＰ１２の数は、製造装置１２において装置パラメータ群Ｄ１２を変更するたびに１個ずつ増加する。
【００４３】
装置パラメータ一式ＥＰ１２とは、ユニット１２２の制御の基礎となる装置パラメータ群Ｄ１２に、装置タイプＤ１２１、装置ＩＤ Ｄ１２２、更新者Ｄ１２３、コメントＤ１２４、更新日時Ｄ１２５、装置構成情報Ｄ１２６を追加したデータである。図３は、このような装置パラメータ一式ＥＰ１２のデータ構成例を示している。
【００４４】
図３において、装置タイプＤ１２１は、製造装置１２の種類を示すデータである。装置タイプＤ１２１が同じ製造装置１２は、ユニット１２２の組み合わせ（以下、「ユニット構成」）を同じにすれば、全体として同様の処理を行うことができる。装置ＩＤ Ｄ１２２は、製造装置１２の各々に与えられた固有のデータである。更新者Ｄ１２３は、装置パラメータ群Ｄ１２を変更した操作者を示すデータである。コメントＤ１２４は、装置パラメータ群Ｄ１２の変更時に操作者が任意に入力するデータである。更新日時Ｄ１２５は、装置パラメータ群Ｄ１２を変更した日時を示すデータである。
【００４５】
装置構成情報Ｄ１２６は、製造装置１２のユニット構成を示すデータである。装置構成情報Ｄ１２６は、例えば、製造装置１２を構成するユニット１２２の各々を特定する「ユニット名」及び「ユニットタイプ」のデータを含む。「ユニット名」は、ユニット１２２の各々を他のユニット１２２から識別するデータであり、「ユニットタイプ」は、ユニットの種類を示すデータである。「ユニットタイプ」が同じユニット１２２は、同種のユニット１２２とみなすことができる。
【００４６】
過去の装置パラメータ群Ｄ１２は、装置構成情報Ｄ１２６で列挙したユニット１２２ごとに、個々の装置パラメータ、すなわち、「パラメータ名」及び「パラメータ値」を示したデータとなっている。なお、ユニット１２２は、「ユニット名」で特定される。
【００４７】
このような過去の装置パラメータ群Ｄ１２を装置パラメータ一式ＥＰ１２に含め、ユニット１２２ごとに装置パラメータ群Ｄ１２を記憶しておくと、ユニット１２２ごとに装置パラメータ群Ｄ１２を再利用することができる。
【００４８】
なお、装置パラメータ一式ＥＰ１２に含まれる装置パラメータ群Ｄ１２は、変更を加えた装置パラメータのみならず、変更を加えていない装置パラメータも含む。このように、変更の有無に関わらず全ての装置パラメータを画一的に記憶しておくのは、装置パラメータは相互に有機的に関連しているため、個々の装置パラメータのみを再利用するよりも、全ての装置パラメータを一括して再利用する方が望ましい場合が多いからである。
【００４９】
＜１．２  製造システムの動作＞
｛製品の製造｝
図４は、制御プログラムＰ１２にしたがって行われる、製造装置１２において製品を製造する際の手順を示すフローチャートである。
【００５０】
図４に示すように、操作者が入力装置１２４６を操作して製品の製造開始を指示すると、組み込みコンピュータ１２４は、記憶部１２４２に記憶されている現在の装置パラメータ群Ｄ１２を読み出す（ステップＳ１０１）。
【００５１】
そして、組み込みコンピュータ１２４は、読み出した装置パラメータ群Ｄ１２に基づいてユニット１２２の各々を制御し（ステップＳ１０２）、ユニット１２２を協動させることにより、製品の製造をユニット１２２に行わせる（ステップＳ１０３）。
【００５２】
｛装置パラメータ群の変更｝
図５は、管理プログラムＰ１４にしたがって行われる、装置パラメータ群Ｄ１２を変更する際の手順を示すフローチャートである。
【００５３】
図５に示すように、操作者が入力装置１２４６を操作して装置パラメータ群Ｄ１２の変更を開始すると、組み込みコンピュータ１２４は、記憶部１２４２に記憶されている現在の装置パラメータ群Ｄ１２を記憶部１２４２の退避領域へいったん退避させる（ステップＳ１１１）。
【００５４】
そして、組み込みコンピュータ１２４は、操作者が入力装置１２４６を操作して入力したデータに応じて装置パラメータ群Ｄ１２を変更し（ステップＳ１１２）、装置パラメータ群Ｄ１２の変更の完了を検出すると（ステップＳ１１３で"YES"）、退避領域へ退避させた装置パラメータ群Ｄ１２から装置パラメータ一式ＥＰ１２を生成してパラメータ履歴Ｄ１４に追加することにより、パラメータ履歴Ｄ１４を更新する（ステップＳ１１４）。
【００５５】
一方、組み込みコンピュータ１２４は、装置パラメータ群Ｄ１２の変更の完了を検出できない場合（ステップＳ１１３で"NO"）、退避領域へ退避させておいた装置パラメータ群Ｄ１２を現在の装置パラメータ群Ｄ１２として元の領域へ書き戻すことになる（ステップＳ１１５）。
【００５６】
このように、装置パラメータ群Ｄ１２の変更に同期して、変更直前の装置パラメータ群Ｄ１２をパラメータ履歴Ｄ１４に装置パラメータ一式ＥＰ１２の一部として追加するようにすれば、装置パラメータ群Ｄ１２の一連の変更履歴を確実に記憶部１２４２に記憶させておくことができ、過去に用いられた装置パラメータ群Ｄ１２を読み出して再利用することが容易になる。ここで、「一連」というのは、ユニット１２２の制御に適用される装置パラメータ群Ｄ１２の変化を途切れなく記憶させておくという趣旨である。
【００５７】
なお、製造装置１２において、ユニット構成を変更した場合、必然的に装置パラメータ群Ｄ１２も変更することになるので、装置パラメータ群Ｄ１２の変更の際にパラメータ履歴Ｄ１４も更新されることになる。
【００５８】
｛装置パラメータ群の比較｝
図６は、管理プログラムＰ１４にしたがって行われる、装置パラメータ群Ｄ１２を比較する際の手順を示すフローチャートである。
【００５９】
装置パラメータ群Ｄ１２の比較は、複数の装置パラメータ群Ｄ１２の間で行うことができるが、以下では、２個の装置パラメータ群Ｄ１２の間で比較を行う場合を例として説明を進める。ただし、このことは、３個以上の装置パラメータ群Ｄ１２の間で比較を行うことを妨げるものではない。
【００６０】
図６に示すように、操作者が入力装置を操作して装置パラメータ群Ｄ１２の比較を開始すると、組み込みコンピュータ１２４は、操作者が指定した比較対象の装置パラメータ群Ｄ１２のいずれかが現在の装置パラメータ群Ｄ１２であるか否かを調べる（ステップＳ１２１）。
【００６１】
そして、比較対象の装置パラメータ群Ｄ１２のいずれかが現在の装置パラメータ群Ｄ１２である場合、すなわち、現在の装置パラメータ群Ｄ１２と過去の装置パラメータ群Ｄ１２との比較を行う場合（ステップＳ１２１で"YES"）、組み込みコンピュータ１２４は、現在の装置パラメータ群Ｄ１２を記憶部１２４２から読み出して現在の装置パラメータ一式ＥＰ１２を生成して取得するともに（ステップＳ１２２）、パラメータ管理データベースＤＢ１２にアクセスして、過去の装置パラメータ一式ＥＰ１２をパラメータ履歴Ｄ１４から取得する（ステップＳ１２３）。
【００６２】
一方、比較対象の装置パラメータ群Ｄ１２のいずれも過去の装置パラメータ群Ｄ１２である場合、すなわち、ある過去の装置パラメータ群Ｄ１２と他の過去の装置パラメータ群Ｄ１２との比較を行う場合（ステップＳ１２１で"NO"）、組み込みコンピュータ１２４は、パラメータ管理データベースＤＢ１２にアクセスして、過去の装置パラメータ一式ＥＰ１２をパラメータ履歴Ｄ１４から取得する（ステップＳ１２４）。
【００６３】
なお、装置パラメータ群Ｄ１２の変更に同期して、変更直後の装置パラメータ群Ｄ１２を含む装置パラメータ一式ＥＰ１２をパラメータ履歴Ｄ１４に追加すれば、現在の装置パラメータ一式ＥＰ１２もパラメータ履歴Ｄ１４から取得することができるようになるが、現在の装置パラメータ一式ＥＰ１２をパラメータ管理データベースＤＢ１２に依存しないで取得すれば、何らかの事情で装置パラメータ群Ｄ１２の変更に同期してパラメータ履歴Ｄ１４が正しく更新されなかった場合でも、現在の装置パラメータ一式ＥＰ１２を正しく取得することができる。
【００６４】
比較対象の装置パラメータ一式ＥＰ１２の取得後、組み込みコンピュータ１２４は、装置パラメータ群Ｄ１２を比較し（ステップＳ１２５）、比較結果をディスプレイ１２４８に出力する（ステップＳ１２６）。装置パラメータ群Ｄ１２の比較は、ユニット１２２ごとに、同じパラメータ名を有するパラメータ値を比較することにより行われる。このような比較結果の出力により、装置パラメータ群Ｄ１２の異同をユニット１２２ごとに認識することが容易になる。例えば、図７に示すように、ユニット１２２ごとに欄を区分して、パラメータ値をパラメータ名とともにディスプレイ１２４８に一覧表示すればよい。このとき、図７に示すように、パラメータ値が異なる部分を強調表示するようにすれば、装置パラメータ群Ｄ１２の異同の詳細を操作者が容易に認識することができる。もちろん、全てのユニット１２２についての比較結果をまとめて一覧表示することは必須ではなく、各ユニットについての比較結果を別々に一覧表示してもよい。なお、図７では、パラメータ値が存在しない場合は、その旨を「×」であらわしている。
【００６５】
ここでいう「パラメータ値が異なる」場合は、図７における「ユニット名２」の「パラメータ名４」「パラメータ名６」のように、比較対象のいずれかで具体的なパラメータ値が異なる場合を含むのは当然であるが、図７における「ユニット名１」の「パラメータ名３」や「ユニット３」の「パラメータ名８」「パラメータ名９」「パラメータ名１０」のように、比較対象のいずれかでパラメータ値が存在しない場合も含む。このような状況は、ユニット１２２に改造等が施され、ユニット１２２が部分的に異なったものとなっている場合や、製造装置１２のユニット構成が変更され、対応するユニット１２２が存在しなくなった場合に起こりうる。さらに、比較対象のいずれかでパラメータ値が異なる場合と、比較対象のいずれかでパラメータ値が存在しない場合とで、強調表示の態様（文字色、背景色、グレーアウトの有無等）を異ならせることが望ましい。
【００６６】
なお、上述の説明では、装置パラメータ群Ｄ１２の全部の装置パラメータを比較する場合を説明したが、同種のユニット１２２について、装置パラメータ群Ｄ１２を比較することも可能である。
【００６７】
＜２  第２実施形態＞
第２実施形態の製造システム２も、第１実施形態の製造システム１と同様に、製造装置２２のユーザが製造装置２２を管理するためのシステムである。
【００６８】
＜２．１  製造システムの構成＞
図８は、本発明の第２実施形態に係る製造システム２の概略構成を示すブロック図である。図８に示すように、製造システム２は、複数の製造装置２２及びパラメータ管理クライアント２６を備える点及び製造装置２２とは別にパラメータ管理装置２８を設けた点等が、製造システム１とは異なっている。このように、パラメータ管理機能を製造装置２２に付加せず、製造装置２２とは別にパラメータ管理装置２８を設けた場合、製造装置２２に組み込まれた組み込みコンピュータのコンピュータ資源の制約を受けることなく、多くのコンピュータ資源を必要とする高度なパラメータ管理機能を実現することができる。また、製造装置２２とは別にパラメータ管理装置２８を設けた場合、製造装置２２として、従来から用いられている製造装置に小改良を施したものを用いることができる。
【００６９】
図８を参照しつつ、製造システム２の構成を具体的に説明すると、製造システム２は、製品を製造する５個の製造装置２２と、パラメータ管理機能にアクセスする２個のパラメータ管理クライアント２６と、装置パラメータを管理するパラメータ管理装置２８とを備える。ただし、製造システム２が含む製造装置２２の数は、４個以下又は６個以上であってもよいし、製造システム２が含むパラメータ管理クライアント２６の数は１個以下又は３個以上であってもよい。
【００７０】
２個の「タイプＡ」と３個の「タイプＢ」とからなる５個の製造装置２２のうち、４個の製造装置２２は、工場内のイントラネット等のローカルネットワーク２９２を介してパラメータ管理装置２８と接続され、残余の１個の製造装置２２は、インターネットや電話回線等のグローバルネットワーク２９４を介してパラメータ管理装置２８と接続される。また、２個のパラメータ管理クライアント２６のうち、１個のパラメータ管理クライアント２６は、ローカルネットワーク２９２を介してパラメータ管理装置２８と接続され、残余の１個のパラメータ管理クライアント２６は、グローバルネットワーク２９４を介してパラメータ管理装置２８と接続される。
【００７１】
製造装置２２及びパラメータ管理クライアント２６の通信先のパラメータ管理装置２８は、ＩＰアドレス等のネットワークアドレスによって指定する。このようなネットワークアドレスによる指定を採用すれば、ネットワーク２９２，２９４に複数のパラメータ管理装置２８が混在して接続されている状態でも製造システム２を適切に運用可能である。
【００７２】
製造装置２２とパラメータ管理装置２８との通信及びネットワーク管理クライアント２６とパラメータ管理装置２８との通信をネットワーク２９２，２９４を介して行うようにすれば、製造装置２２、パラメータ管理クライアント２６、パラメータ管理装置２８を遠隔地に分散して設置することもできるため、利便性が向上する。例えば、各地の工場に分散して設置された製造装置２２の装置パラメータ群Ｄ２２をオフィスに設置されたパラメータ管理装置２８で集中管理し、パラメータ履歴Ｄ２４を、各地の工場に分散して設置されたパラメータ管理クライアント２６で閲覧することができる。このような分散設置は、ネットワーク２９２，２９４の一部又は全部にグローバルネットワーク２９４を用いれば、容易に実現することができる。
【００７３】
｛パラメータ管理装置｝
パラメータ管理装置２８は、プログラムやデータを記憶する記憶部２８２と、プログラムを実行するＣＰＵ２８４とを備えるコンピュータである。また、パラメータ管理装置２８には、ユーザインターフェースとして、データの入力手段となるキーボード、マウス等の入力装置２８６と、データの出力手段となるディスプレイ２８８とが設けられている。もちろん、データの出力手段として、ディスプレイ２８８に代えて又はディスプレイ２８８とともに、プリンタ等を設けてもよい。さらに、パラメータ管理装置２８には、外部記憶装置２８９が設けられている。
【００７４】
記憶部２８２は、管理プログラムＰ２４を記憶する。さらに、記憶部２８２には、装置パラメータ群Ｄ２２の一連の変更履歴（以下、パラメータ履歴）Ｄ２４が記憶され、パラメータ管理用のデータベース（以下、「パラメータ管理データベース」）ＤＢ２２が構築されている。記憶部２８２は、半導体メモリ等の主記憶装置によって又は半導体メモリ等の主記憶装置とハードディスクドライブ等の補助記憶装置とによって構成される。
【００７５】
ＣＰＵ２８４は、管理プログラムＰ２４を読み出して実行する。これにより、パラメータ管理装置２８は、パラメータ履歴Ｄ２２を管理することができる。管理プログラムＰ２４は、単一のプログラムであってもよいし、複数のプログラムの集合であってもよい。管理プログラムＰ２４は、パラメータ管理データベースＤＢ２２にアクセスするデータベースアプリケーションともなっているので、操作者は、パラメータ管理装置２８の入力装置２８６及びディスプレイ２８８を用いて、パラメータ履歴Ｄ２２を閲覧することができる。
【００７６】
外部記憶装置２８９は、第１実施形態の外部記憶装置１４と同様に、ＵＳＢストレージ等により構成され、パラメータ管理装置２８への取り付け又はパラメータ管理装置２８からの取り外しが自在となっている。もちろん、外部記憶装置２８９もリムーバブルストレージで構成することができる。
【００７７】
｛製造装置｝
製造装置２２は、パラメータ管理機能が付加されていない点を除いて、第１実施形態の製造装置１２と同様の構成を有し、図９のブロック図に示すように、筐体の内部で複数のユニット２２２を組み合わせて構成されるとともに、ユニット２２２の各々を制御する組み込みコンピュータ２２４を内蔵している。製造装置２２の各々は、組み込みコンピュータ２２４にユニット２２２の各々を制御させて複数のユニット２２２を協働させることにより、製品の製造における一部又は全部の工程を担う。
【００７８】
組み込みコンピュータ２２４は、第１実施形態の組み込みコンピュータ１２４と同様に、記憶部２２４２、ＣＰＵ２２４４、入力装置２２４６、ディスプレイ２２４８を備える。記憶部２２４２、ＣＰＵ２２４４、入力装置２２４６、ディスプレイ２２４８は、それぞれ、組み込みコンピュータ１２４の記憶部１２４２、ＣＰＵ１２４４、入力装置１２４６、ディスプレイ１２４８に相当する。また、組み込みコンピュータ２２４は、図示しないインターフェースを有しており、ネットワーク２９２を介して、パラメータ管理装置２８と通信可能である。
【００７９】
記憶部２２４２には、組み込みコンピュータ１２４と同様に、制御プログラムＰ２２及び装置パラメータ群Ｄ２２が記憶されている。制御プログラムＰ２２及び装置パラメータ群Ｄ２２は、それぞれ、組み込みコンピュータ１２４の制御プログラムＰ１２及び装置パラメータ群Ｄ１２に相当する。ただし、製造装置２２にはパラメータ管理機能が付加されていないので、記憶部２２４２には、組み込みコンピュータ１２４の制御プログラムＰ１４やパラメータ履歴Ｄ１４に相当するものは記憶されておらず、パラメータ管理データベースＤＢ１２に相当するものも構築されていない。
【００８０】
ＣＰＵ２２４４は、組み込みコンピュータ１２４と同様に、制御プログラムＰ２２を読み出して実行する。これにより、組み込みコンピュータ２２４は、装置パラメータ群Ｄ２２に基づいてユニット２２２の各々を制御することができる。
【００８１】
｛パラメータ管理クライアント｝
パラメータ管理クライアント２６は、第１実施形態のパラメータ管理クライアント１６と同様に、パラメータ管理装置とネットワーク２９２及び２９４を介してパラメータ管理装置２８に付加されたパラメータ管理機能を遠隔で利用することができるコンピュータである。すなわち、操作者は、パラメータ管理クライアント２６の入力装置２６６及びディスプレイ２６８を用いても、パラメータ履歴Ｄ２４を閲覧することができる。
【００８２】
パラメータ管理クライアント２６は、図１０のブロック図に示すように、パラメータ管理クライアント１６と同様に、記憶部２６２と、ＣＰＵ２６４とを備える。さらに、パラメータ管理クライアント２６には、パラメータ管理クライアント１６と同様に、ユーザインターフェースとして、データの入力手段となるキーボード、マウス等の入力装置２６６と、データの出力手段となるディスプレイ２６８とが設けられている。記憶部２６２、ＣＰＵ２６４、入力装置２６６、ディスプレイ２６８は、それぞれ、パラメータ管理クライアント１６の記憶部１６２、ＣＰＵ１６４、入力装置１６６、ディスプレイ１６８に相当する。また、パラメータ管理クライアント２６は、図示しないインターフェースを有しており、ネットワーク２９２及び２９４と接続されている。
【００８３】
記憶部２６２は、パラメータ管理クライアント１６と同様に、クライアントプログラムＰ２６を記憶する。クライアントプログラムＰ２６は、パラメータ管理クライアント１６のクライアントプログラムＰ１６に相当する。
【００８４】
ＣＰＵ２６４は、クライアントプログラムＰ２６を読み出して実行する。これにより、パラメータ管理クライアント２６は、パラメータ管理装置２８に付与されたパラメータ管理機能を遠隔で利用することができる。
【００８５】
｛データ構成｝
図１１は、パラメータ履歴Ｄ２４のデータ構造を示す図である。パラメータ履歴Ｄ２４は、第１実施形態のパラメータ履歴Ｄ１４と同様に、過去の装置パラメータ一式ＥＰ２２を含む。ただし、パラメータ管理装置２８は、複数の製造装置２２の装置パラメータ群Ｄ２２を管理しているので、パラメータ管理データベースＤＢ２２は、製造装置２２ごとにパラメータ履歴Ｄ２４を記憶している。例えば、パラメータ管理データベースＤＢ２２は、図１１に示すように、「製造装置１」について、パラメータ履歴Ｄ２４を構成する過去の装置パラメータ一式ＥＰ２２として、「過去パラメータ一式１」「過去パラメータ一式２」を記憶しており、「製造装置２」について、パラメータ履歴Ｄ２４を構成する過去の装置パラメータ一式ＥＰ２２として、「過去パラメータ一式１」「過去パラメータ一式２」「過去パラメータ一式３」を記憶している。
【００８６】
なお、装置パラメータ一式ＥＰ２２とは、第１実施形態と同様に、ユニット２２２の制御に用いられる装置パラメータ群Ｄ２２に、装置タイプＤ２２１、装置ＩＤ Ｄ２２２、更新者Ｄ２２３、コメントＤ２２４、更新日時Ｄ２２５、装置構成情報Ｄ２２６を追加したデータである（図３参照）。
【００８７】
＜２．２  製造システムの動作＞
製品の製造は、第１実施形態の製造システム１と同様に、制御プログラムＰ２２にしたがって行われ、その際の手順は、図４のフローチャートに示す手順と同様である。
【００８８】
また、装置パラメータ群Ｄ２２を変更する際の手順は、製造システム１と同様に、管理プログラムＰ２４にしたがって行われ、その際の手順は、装置パラメータ一式ＥＰ２２をパラメータ履歴Ｄ２４に追加する際に、製造装置２２からパラメータ管理装置２８へネットワーク２９２，２９４を介して装置パラメータ一式ＥＰ２２が送信される点を除いては、図５のフローチャートに示す手順と同様である。
【００８９】
このため、以下では、製品を製造する際の手順及び装置パラメータ群Ｄ２２を変更する際の手順についての説明は省略し、装置パラメータ群Ｄ２２を比較する際の手順について説明する。
【００９０】
｛装置パラメータ群の比較｝
図１２は、管理プログラムＰ２４にしたがって行われる、装置パラメータ群Ｄ２２を比較する際の手順を示すフローチャートである。
【００９１】
図１２に示すように、操作者が入力装置を操作して装置パラメータ群Ｄ２２の比較を開始すると、パラメータ管理装置２８は、操作者が指定した比較対象の装置パラメータ群Ｄ２２の組み合わせを調べる（ステップＳ２２１）。
【００９２】
そして、比較対象の装置パラメータ群Ｄ２２が現在の装置パラメータ群Ｄ２２と過去の装置パラメータ群Ｄ２２との組み合わせである場合、すなわち、現在の装置パラメータ群Ｄ２２と過去の装置パラメータ群Ｄ２２との比較を行う場合（ステップＳ２２１で"現在＋過去"）、パラメータ管理装置２８は、組み込みコンピュータ２２４が生成した現在の装置パラメータ一式ＥＰ２２を取得するとともに（ステップＳ２２３）、パラメータ管理データベースＤＢ２２にアクセスして、過去の装置パラメータ一式ＥＰ２２をパラメータ履歴Ｄ２４から取得する（ステップＳ２２４）。
【００９３】
一方、比較対象の装置パラメータ群Ｄ１２のいずれも過去の装置パラメータ群Ｄ２２である場合、すなわち、ある過去の装置パラメータ群Ｄ２２と他の過去の装置パラメータ群Ｄ２２との比較を行う場合（ステップＳ２２１で"すべて過去"）、パラメータ管理装置２８は、パラメータ管理データベースＤＢ２２にアクセスして、過去の装置パラメータ一式ＥＰ２２をパラメータ履歴Ｄ２４から取得する（ステップＳ２２５）。
【００９４】
また、比較対象の装置パラメータ群Ｄ２２のいずれも現在の装置パラメータ群Ｄ２２である場合、すなわち、ある現在の装置パラメータ群Ｄ２２と他の現在の装置パラメータ群Ｄ２２との比較を行う場合（ステップＳ２２１で"すべて現在"）、パラメータ管理装置２８は、組み込みコンピュータ２２４が生成した装置パラメータ一式ＥＰ２２を取得する（ステップＳ２２２）。
【００９５】
装置パラメータ一式ＥＰ２２の取得後、パラメータ管理装置２８は、装置パラメータ一式ＥＰ２２に記述されている装置タイプＤ２２１が一致しているか否かをチェックし（ステップＳ２２７）、一致している場合（ステップＳ２２８で"YES"）、装置パラメータ群Ｄ２２を比較し（ステップＳ２２５）、比較結果をディスプレイ２８８に出力し（ステップＳ２２６）、一致していない場合（ステップＳ２２８で"NO"）、比較が失敗した旨をディスプレイ２８８に出力するようになっている（ステップＳ２２９）。このような分岐は、パラメータ管理装置２８が複数の製造装置２２の装置パラメータ群Ｄ２２を管理しており、比較が困難な異種の製造装置２２の装置パラメータ群Ｄ２２が比較対象として指定される可能性があるために必要となる。
【００９６】
なお、比較対象の装置パラメータ群Ｄ２２が現在の装置パラメータ群Ｄ２２のみである場合、パラメータ管理データベースＤＢ２２へのアクセスは行われず、製造装置２２から装置パラメータ一式ＥＰ２２を直接取得することになる。
【００９７】
＜３  第３実施形態＞
第３実施形態の出荷システム３は、製造装置のベンダが製造装置をユーザへ出荷するためのシステムである。
【００９８】
＜３．１  出荷システムの構成＞
図１３は、本発明の第３実施形態に係る出荷システム３の概略構成を示すブロック図である。図１３に示すように、出荷システム３は、製品を製造する３個の製造装置３２と、装置パラメータを管理する初期パラメータ管理装置３８とを備える。
【００９９】
２個の「タイプＡ」と１個の「タイプＢ」とからなる３個の製造装置３２のうち、１個の製造装置３２は、ユーザＵ１の工場Ｆ３１において立ち上げ作業中であり、インターネットや電話回線等のグローバルネットワーク３９４を介して初期パラメータ管理装置３８と接続され、１個の製造装置３２はユーザＵ２の工場Ｆ３２において立ち上げ作業中であり、外部記憶装置３４と接続されている。また、残余の１個の製造装置３２は、ベンダの工場Ｆ３３において出荷準備中であり、工場内のイントラネット等のローカルネットワーク３９２を介して初期パラメータ管理装置３８と接続されている。もちろん、立ち上げ作業中の製造装置３２や出荷準備中の製造装置３２の数は増減しうるし、立ち上げ作業中の製造装置３２や出荷準備中の製造装置３２の装置タイプは状況によって変化する。
【０１００】
製造装置３２の通信先の初期パラメータ管理装置３８は、ＩＰアドレス等のネットワークアドレスによって指定する。このようなネットワークアドレスによる指定を採用すれば、ネットワーク３９２，３９４に複数の初期パラメータ管理装置３８が混在して接続されている状態でも出荷システム３を適切に運用可能である。ただし、ユーザＵ１の工場Ｆ３１とベンダの工場Ｆ３３との間の通信回線として、インターネットや電話回線等のグローバルネットワーク３９４を用いることは必須ではない。
【０１０１】
｛初期パラメータ管理装置｝
初期パラメータ管理装置３８は、プログラムやデータを記憶する記憶部３８２と、プログラムを実行するＣＰＵ３８４とを備えるコンピュータである。また、初期パラメータ管理装置３８には、ユーザインターフェースとして、データの入力手段となるキーボード、マウス等の入力装置３８６と、データの出力手段となるディスプレイ３８８とが設けられている。もちろん、データの出力手段として、ディスプレイ３８８に代えて又はディスプレイ３８８とともに、プリンタ等を設けてもよい。さらに、パラメータ管理装置３８には、外部記憶装置３８９が設けられている。
【０１０２】
記憶部３８２は、管理プログラムＰ３４を記憶する。さらに、記憶部３８２には、装置パラメータ群Ｄ３２の一連の変更履歴（以下、パラメータ履歴）Ｄ３４が記憶され、パラメータ管理用のデータベース（以下、「パラメータ管理データベース」）ＤＢ３２が構築されている。記憶部３８２は、半導体メモリ等の主記憶装置によって又は半導体メモリ等の主記憶装置とハードディスクドライブ等の補助記憶装置とによって構成される。
【０１０３】
ＣＰＵ３８４は、管理プログラムＰ３４を読み出して実行する。これにより、初期パラメータ管理装置３８は、パラメータ履歴Ｄ３４を管理することができる。管理プログラムＰ３４は、単一のプログラムであってもよいし、複数のプログラムの集合であってもよい。管理プログラムＰ３４は、パラメータ管理データベースＤＢ３２にアクセスするデータベースアプリケーションともなっているので、操作者は、パラメータ管理装置３８の入力装置３８６及びディスプレイ３８８を用いて、パラメータ履歴Ｄ３４を閲覧することができる。
【０１０４】
外部記憶装置３８９は、第１実施形態の外部記憶装置１４と同様に、ＵＳＢストレージ等により構成され、初期パラメータ管理装置３８への取り付け又は初期パラメータ管理装置３８からの取り外しが自在となっている。もちろん、外部記憶装置３８９もリムーバブルストレージで構成することができる。
【０１０５】
｛製造装置｝
製造装置３２は、パラメータ管理機能が付加されていない点を除いて、第１実施形態の製造装置１２と同様の構成を有し、図９のブロック図に示すように、筐体の内部で複数のユニット３２２を組み合わせて構成されるとともに、ユニット３２２の各々を制御する組み込みコンピュータ３２４を内蔵している。製造装置３２の各々は、組み込みコンピュータ３２４にユニット３２２の各々を制御させて複数のユニット３２２を協働させることにより、製品の製造における一部又は全部の工程を担う。
【０１０６】
組み込みコンピュータ３２４は、第１実施形態の組み込みコンピュータ１２４と同様に、記憶部３２４２、ＣＰＵ３２４４、入力装置３２４６、ディスプレイ３２４８を備える。記憶部３２４２、ＣＰＵ３２４４、入力装置３２４６、ディスプレイ３２４８は、それぞれ、組み込みコンピュータ１２４の記憶部１２４２、ＣＰＵ１２４４、入力装置１２４６、ディスプレイ１２４８に相当する。
【０１０７】
記憶部３２４２には、組み込みコンピュータ１２４と同様に、制御プログラムＰ３２及び装置パラメータ群Ｄ３２が記憶されている。制御プログラムＰ３２及び装置パラメータ群Ｄ３２は、それぞれ、組み込みコンピュータ１２４の制御プログラムＰ１２及び装置パラメータ群Ｄ１２に相当する。ただし、製造装置３２にはパラメータ管理機能が付加されていないので、記憶部３２４２には、組み込みコンピュータ１２４の制御プログラムＰ１４やパラメータ履歴Ｄ１４に相当するものは記憶されておらず、パラメータ管理データベースＤＢ１２に相当するものも構築されていない。
【０１０８】
ＣＰＵ３２４４は、組み込みコンピュータ１２４と同様に、制御プログラムＰ３２を読み出して実行する。これにより、組み込みコンピュータ３２４は、装置パラメータ群Ｄ３２に基づいてユニット３２２の各々を制御することができる。
【０１０９】
｛外部記憶装置｝
外部記憶装置３４は、第１実施形態の外部記憶装置１４と同様に、製造装置３２から入力されたデータを記憶するとともに、記憶しているデータを製造装置３２へ出力する。外部記憶装置３４は、ＵＳＢストレージ等により構成され、製造装置３２への取り付け又は製造装置３２からの取り外しが自在となっている。もちろん、外部記憶装置３４もリムーバブルストレージで構成することができる。
【０１１０】
｛データ構成｝
図１４は、パラメータ履歴Ｄ３４のデータ構造を示す図である。パラメータ履歴Ｄ３４は、第１実施形態のパラメータ履歴Ｄ１４と同様に、過去の装置パラメータ一式ＥＰ３２を含むのみならず、最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２も含む。また、初期パラメータ管理装置３８は、複数のユーザ及び複数の装置タイプの製造装置３２の装置パラメータ群Ｄ３２を管理しているので、パラメータ管理データベースＤＢ３２は、各ユーザに出荷された装置タイプごとにパラメータ履歴Ｄ３４を記憶している。例えば、パラメータ管理データベースＤＢ３２は、図１４に示すように、ユーザＵ１に出荷された、装置タイプが「タイプＡ」の製造装置３２について、パラメータ履歴Ｄ３４を構成する最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２として「最新パラメータ一式」を、過去の装置パラメータ一式ＥＰ３２として「過去パラメータ一式１」を記憶しており、ユーザＵ２に出荷された、装置タイプが「タイプＢ」の製造装置３２について、パラメータ履歴Ｄ３４を構成する最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２として「最新パラメータ一式」を、過去の装置パラメータ一式ＥＰ３２として「過去パラメータ一式１」「過去パラメータ一式２」を記憶している。
【０１１１】
なお、装置パラメータ一式ＥＰ３２とは、第１実施形態と同様に、ユニット３２２の制御に用いられる装置パラメータ群Ｄ３２に、装置タイプＤ３２１、装置ＩＤ Ｄ３２２、更新者Ｄ３２３、コメントＤ３２４、更新日時Ｄ３２５、装置構成情報Ｄ３２６を追加したデータである（図３参照）。
【０１１２】
＜３．２  出荷システムの動作＞
｛製造装置の出荷及び立ち上げ作業｝
図１５は、ベンダの工場Ｆ３３からユーザＵ１の工場Ｆ３１へ製造装置３２を出荷し、ユーザＵ１の工場Ｆ３１において製造装置３２の立ち上げ作業を行う際の手順を示すフローチャートである。
【０１１３】
図１５に示すように、まず、初期パラメータ管理装置３８の側で、出荷及び立ち上げ作業の対象となっている製造装置（以下、「対象製造装置」）３２ａの出荷先のユーザＵ１に出荷済の、同一の装置タイプの製造装置３２について、立ち上げ作業が未完了のものが存在するか否かが管理プログラムＰ３４にしたがって調べられる（ステップＳ３０１）。
【０１１４】
ここで、立ち上げ作業が未完了の製造装置３２が存在する場合（ステップＳ３０１で"YES"）、初期パラメータ管理装置３８は、管理プログラムＰ３４にしたがって、立ち上げ作業中の製造装置３２が存在する旨の警告をディスプレイ３８８に出力する（ステップＳ３０２）。この警告は、製造装置３２の立ち上げ作業により装置パラメータ群Ｄ３２が変更される可能性があることを操作者に認識させるために行われている。
【０１１５】
しかる後に、初期パラメータ管理装置３８は、管理プログラムＰ３４にしたがって、初期パラメータ管理データベースＤＢ３２にアクセスし、ユーザＵ１に出荷された、装置タイプが「タイプＡ」のパラメータ履歴Ｄ３４から最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２を取得し、取得した装置パラメータ一式ＥＰ３２が含む装置パラメータ群Ｄ３２をローカルネットワーク３９２を経由して対象製造装置３２ａへ出力する（ステップＳ３０３）。
【０１１６】
一方、立ち上げ作業が未完了の製造装置３２が存在しない場合（ステップＳ３０１で"NO"）、初期パラメータ管理装置３８は、警告を出力することなく、初期パラメータ管理データベースＤＢ３２にアクセスし、ユーザＵ１に出荷された、装置タイプが「タイプＡ」のパラメータ履歴Ｄ３４から最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２を取得し、取得した装置パラメータ一式ＥＰ３２が含む装置パラメータ群Ｄ３２をローカルネットワーク３９２を経由して対象製造装置３２ａへ出力する（ステップＳ３０３）。
【０１１７】
これに応答して、対象製造装置３２ａの組み込みコンピュータ３２４は、制御プログラムＰ３２にしたがって、初期パラメータ管理装置３８が出力した装置パラメータ群Ｄ３２を取得し、取得した装置パラメータ群Ｄ３２を初期パラメータ群として記憶部３２４２に記憶させる（ステップＳ３０４）。これにより、対象製造装置３２ａは、取得した装置パラメータ群Ｄ３２に基づいてユニット３２２を制御することになる。
【０１１８】
ステップＳ３０１〜Ｓ３０４を経てベンダの工場Ｆ３３における出荷の準備が完了した対象製造装置３２ａはユーザＵ１の工場Ｆ３１へ搬入され、ユーザＵ１の工場Ｆ３１で対象製造装置３２ａの立ち上げ作業が行われる（ステップＳ３０５）。この立ち上げ作業において、装置パラメータ群Ｄ３２の初期値が不適切であることが判明すれば、立ち上げ作業者によって装置パラメータ群Ｄ３２が変更される。
【０１１９】
ここで、組み込みコンピュータ３２４は、制御プログラムＰ３２にしたがって、装置パラメータ群Ｄ３２が変更されたか否かを検出し（ステップＳ３０６）、変更を検出した場合のみ（ステップＳ３０６で"YES"）、グローバルネットワーク３９４を経由して、初期値の変更を初期パラメータ管理装置３８へ通知し、変更後の装置パラメータ群Ｄ３２から生成した最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２を初期パラメータ管理装置３８へ出力する（ステップ３０７）。
【０１２０】
これに応答して、初期パラメータ管理装置３８は、管理プログラムＰ３４にしたがって、最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２をパラメータ履歴Ｄ３４に追加することにより、パラメータ履歴を更新する（ステップＳ３０８）。
【０１２１】
このように、装置パラメータ群Ｄ３２の初期値の変更に同期して、変更直後の装置パラメータ群Ｄ３２をパラメータ履歴Ｄ３４に装置パラメータ一式ＥＰ３２の一部として追加するようにすれば、装置パラメータ群Ｄ３２の一連の変更履歴を記憶部３８２に記憶させておくことができ、最新の装置パラメータ群Ｄ３２を読み出して以後に出荷する製造装置３２において再利用することが容易になる。もちろん、何らかの事情で過去の装置パラメータ群Ｄ３２が必要になった場合は、過去の装置パラメータ群Ｄ３２を読み出して再利用することも可能である。
【０１２２】
さらに、組み込みコンピュータ３２４は、制御プログラムＰ３２にしたがって、グローバルネットワーク３９４を経由して、立ち上げ作業の完了を初期パラメータ管理装置３８へ通知する（ステップＳ３０９）。これにより、初期パラメータ管理装置３８では、立ち上げ作業が未完了の製造装置３２が存在するか否かを調べることができるようになる。
【０１２３】
さらに続いて、初期パラメータ管理装置３８は、管理プログラムＰ３４にしたがって、立ち上げ作業が未完了の製造装置３２のリストをディスプレイ３８８に表示する（ステップＳ３１０）。
【０１２４】
なお、図１６は、ベンダの工場Ｆ３３からユーザＵ２の工場Ｆ３２へ製造装置３２を出荷し、ユーザＵ２の工場Ｆ３２において製造装置３２の立ち上げ作業を行う際の手順を示すフローチャートである。
【０１２５】
このような場合でも、図１５のフローチャートと同様の手順を採用することができ、図１６のフローチャートのステップＳ３１１〜Ｓ３１６は、図１５のフローチャートのステップＳ３０１〜Ｓ３０６に対応している。ただし、このような場合は、グローバルネットワーク３９４を経由して、初期値の変更や立ち上げ作業の完了を初期パラメータ管理装置３８に通知することができないので、変更後の装置パラメータ群Ｄ３２から生成した最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２を外部記憶装置３４へ出力し（ステップＳ３１７）、最新の装置パラメータ一式ＥＰ３２が書き込まれた外部記憶装置３４をベンダの工場Ｆ３３へ持ち帰って初期パラメータ管理装置３８に読み取らせることにより、変更後の装置パラメータ群Ｄ３２を初期パラメータ管理装置３８に取得させ、パラメータ履歴Ｄ３４を更新させるともに（ステップＳ３１８）、立ち上げ作業の完了操作を初期パラメータ管理装置３８で行い（ステップＳ３１９）、立ち上げ作業が未完了の製造装置３２のリストをディスプレイ３８８に表示するようにしている（ステップＳ３１０）。
【０１２６】
＜４  その他＞
先述の第２実施形態の製造システム２では、パラメータ管理装置２８とネットワーク２９２，２９４で接続された製造装置２２の間で装置パラメータ群Ｄ２２を比較することができたが、外部記憶装置の活用により、パラメータ管理装置とネットワークで接続されていない製造装置の間又は異なるパラメータ管理装置とネットワークで接続された製造装置の間で装置パラメータ群を比較することもできる。
【０１２７】
例えば、図１７に示すように、工場Ｆ５１において、製造装置５１１，５１２の装置パラメータ群がパラメータ管理装置５１３に管理されており、工場Ｆ５２において、製造装置５２１，５２２の装置パラメータ群がパラメータ管理装置５２３に管理されており、工場Ｆ５３には、パラメータ管理機能が付加されていない製造装置５３１が設置されている場合でも、パラメータ管理装置５１３，５２３及び製造装置５３１に接続された外部記憶装置５１４，５２４，５３２を活用して、比較対象の装置パラメータ群をパラメータ管理装置５１３又は５２３に集約するようにすれば、パラメータ管理装置とネットワークで接続されていない製造装置の間又は異なるパラメータ管理装置とネットワークで接続された製造装置の間で装置パラメータ群を比較することができる。なお、工場Ｆ５１，Ｆ５２に、パラメータ管理機能が付加された製造装置が設置されている場合も同様である。
【０１２８】
例えば、製造装置５１１と製造装置５２１との間で装置パラメータ群を比較する場合、製造装置５１１の装置パラメータ一式を外部記憶装置５１４に書き込み、当該外部記憶装置５１４をパラメータ管理装置５２３に読み取らせた上で、パラメータ管理装置５２３において、製造装置５１１の装置パラメータ一式と製造装置５２１の装置パラメータ一式とを比較することができる。
【０１２９】
また、製造装置５２１と製造装置５３１との間で装置パラメータ群を比較する場合、製造装置５３１の装置パラメータ一式を外部記憶装置５３２に書き込み、当該外部記憶装置５３２をパラメータ管理装置５２３に読み取らせ、パラメータ管理装置５２３において、製造装置５２１の装置パラメータ一式と製造装置５３１の装置パラメータ一式とを比較することができる。この場合、製造装置５３１にはパラメータ管理機能が付加されていないので、製造装置５３１については、現在の装置パラメータ一式のみを比較対象に含めることができる。
【０１３０】
さらに、管理オフィス（工場でもよい）Ｆ５５において、パラメータ管理装置５５１に外部記憶装置５５２が接続されている場合、パラメータ管理機能が付加されておらず、パラメータ管理装置にネットワークで接続されていない製造装置５３１の装置パラメータ一式を外部記憶装置５３２に書き込み、当該外部記憶装置５３２をパラメータ管理装置５５１に読み取らせることにより、製造装置５３１の装置パラメータ一式をパラメータ管理装置５５１に登録して管理することができる。又は、製造装置５３１の装置パラメータ一式を外部記憶装置５３２に書き込み、当該外部記憶装置５３２をパラメータ管理装置５５１に読み取らせるのに加えて、さらに別の工場Ｆ５４に設置された、パラメータ管理機能が付加されておらず、パラメータ管理装置にネットワークで接続されていない製造装置５４１の装置パラメータ一式を外部記憶装置５４２に書き込み、当該外部記憶装置５４２をメータ管理装置５５１に読み取らせることにより、製造装置５３１の装置パラメータ一式と製造装置５４１の装置パラメータ一式とをパラメータ管理装置５５１で比較することができる。
【０１３１】
また、製造システム１において、図１８に示すように、パラメータ管理クライアント１６に外部記憶装置１８を接続し、製造装置１２の装置パラメータ一式ＥＰ１２をパラメータ管理クライアント１６から直接管理する際に、製造装置１２に接続された外部記憶装置１４と同様に外部記憶装置１８を使用できるようにしてもよい。また、製造システム２において、図１８に示すように、パラメータ管理クライアント２６に外部記憶装置２７を接続し、製造装置２２の装置パラメータ一式ＥＰ２２をパラメータ管理クライアント２６から直接管理する際に、製造装置２８に設けられた外部記憶装置２８９と同様に外部記憶装置２７を使用できるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る製造システム１の概略構成を示すブロック図である。
【図２】パラメータ履歴Ｄ１４のデータ構造を示す図である。
【図３】装置パラメータ一式ＥＰ１２のデータ構成例を示す図である。
【図４】製造装置１２において製品を製造する際の手順を示すフローチャートである。
【図５】装置パラメータ群Ｄ１２を変更する際の手順を示すフローチャートである。
【図６】装置パラメータ群Ｄ１２を比較する際の手順を示すフローチャートである。
【図７】比較結果の出力例を示す図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る製造システム２の概略構成を示すブロック図である。
【図９】製造装置２２の概略構成を示すブロック図である。
【図１０】パラメータ管理クライアント２６の概略構成を示すブロック図である。
【図１１】パラメータ履歴Ｄ２４のデータ構造を示す図である。
【図１２】装置パラメータ群Ｄ２２を比較する際の処理の流れを示すフローチャートである。
【図１３】本発明の第３実施形態に係る出荷システム３の概略構成を示すブロック図である。
【図１４】パラメータ履歴Ｄ３４のデータ構造を示す図である。
【図１５】ベンダの工場Ｆ３３からユーザＵ１の工場Ｆ３１へ製造装置３２を出荷し、ユーザＵ１の工場Ｆ３１において製造装置３２の立ち上げ作業を行う際の手順を示すフローチャートである。
【図１６】ベンダの工場Ｆ３３からユーザＵ２の工場Ｆ３２へ製造装置３２を出荷し、ユーザＵ２の工場Ｆ３２において製造装置３２の立ち上げ作業を行う際の手順を示すフローチャートである。
【図１７】パラメータ管理装置とネットワークで接続されていない製造装置の間又は異なるパラメータ管理装置とネットワークで接続された製造装置の間で装置パラメータ群を比較する場合やパラメータ管理機能が付加されておらず、パラメータ管理装置にもネットワークで接続されていない製造装置の装置パラメータ一式を管理する場合について説明する図である。
【図１８】パラメータ管理クライアント１６に外部記憶装置１８を接続した状態を示すブロック図である。
【図１９】パラメータ管理クライアント２６に外部記憶装置２７を接続した状態を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１３３】
１，２  製造システム
３  出荷システム
１２，２２，３２  製造装置
２８  パラメータ管理装置
３８  初期パラメータ管理装置
１２２，２２２，３２２  ユニット
１２４，２２４，３２４  組み込みコンピュータ
Ｄ１２，Ｄ２２，Ｄ３２  装置パラメータ群
Ｄ１４，Ｄ２４，Ｄ３４  パラメータ履歴
ＥＰ１２，ＥＰ２２，ＥＰ３２  装置パラメータ一式
Ｐ１４，Ｐ２４，Ｐ３４  管理プログラム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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