(57)【要約】      （修正有） 【課題】天井走行車システムの周囲の装置などの移動時に、バッファが邪魔にならないようにする。また、バッファをコンパクトに格納できるとともに格納や復旧が容易にできるようにする。【解決手段】バッファ３０に、物品の載置部３３と該載置部３３を上方から吊り下げる支柱３４，３５，３６，３７とリンク３８，３９を設け、該支柱３４，３５，３６，３７を載置部３３側へ折り曲げ自在に構成した。また、バッファ３０を上方へ付勢する付勢手段４０，４１を設けた。【選択図】図４
2008169005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させると共に、該軌道に沿ってバッファを上方より吊り下げた天井走行車システムにおいて、
バッファを上方へ格納自在に構成したことを特徴とする、天井走行車システム。
【請求項２】
バッファを格納した際に、バッファの収納スペースにバッファの一部部材が格納されるようにしたことを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。
【請求項３】
バッファに、物品の載置部と該載置部を上方から吊り下げる支柱とを設け、該支柱を前記載置部側へ折り曲げ自在に構成したことを特徴とする、請求項１または２の天井走行車システム。  
【請求項４】
前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設けたことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかの天井走行車システム。
【請求項５】
上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させると共に、該軌道に沿ってバッファを上方より吊り下げた天井走行車システムにおいて、
バッファを物品の保管位置から退避もしくは折り畳み自在に構成したことを特徴とする、天井走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車の軌道に沿ってバッファを設けたシステムに関し、特に天井走行車システムを設置したスペース内で、処理設備の搬出入などを行う際に、バッファが障害にならないようにすることに関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、天井走行車の走行軌道の下部や側部にバッファを配設することを提案した（特許文献１）。このようにすると、物品の保管用のストッカを減らすことができ、搬送先のポート付近のバッファを利用できるので、搬送先のポート付近のバッファまで物品を搬送しておいて、ポートが空いた際に搬入するなどのことができる。またバッファを利用して、複数の天井走行車間で搬送作業を分割することができる。
【０００３】
しかしながらバッファは、周囲の処理装置などの設備を搬出入する際の妨げとなる。軌道下部のバッファは、天井走行車で搬送中の物品と干渉しないように、天井走行車よりも低い位置に配置される。また軌道側部のバッファは、天井走行車で搬送中の物品とほぼ同じ高さに配置される。設備の入れ替え時などには、天井走行車は邪魔にならない位置へ自走して退避できるが、バッファは軌道の周囲で通路の上部や設備の上部を塞ぎ、これらの移動を妨げる。
【特許文献１】特開２００５−２０６３７１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、天井走行車システムの周囲の装置などの移動時に、バッファが邪魔にならないようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、バッファをコンパクトに格納することにある。
請求項３の発明での追加の課題は、バッファをコンパクトにかつ出っ張りが生じないように格納することにある。
請求項４の発明での追加の課題は、バッファの格納や復旧を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させると共に、該軌道に沿ってバッファを上方より吊り下げた天井走行車システムにおいて、
バッファを上方へ格納自在に構成したことを特徴とする。
【０００６】
好ましくは、バッファを格納した際に、バッファの収納スペースにバッファの一部部材が格納されるようにする。
また好ましくは、バッファに、物品の載置部と該載置部を上方から吊り下げる支柱とを設け、該支柱を前記載置部側へ折り曲げ自在に構成する。
特に好ましくは、前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設ける。
【０００７】
またこの発明は、上方より吊り下げた軌道に沿って天井走行車を走行させると共に、該軌道に沿ってバッファを上方より吊り下げた天井走行車システムにおいて、
バッファを物品の保管位置から退避もしくは折り畳み自在に構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明では、処理装置の搬出入時などにバッファを上方へ格納できる。従ってクリーンルームのレイアウト変更などをバッファが妨げない。
またこの発明では、バッファを退避させたり折り畳んだりすることにより、処理装置の搬出入が可能になるように、スペースを設けることができる。このためクリーンルームのレイアウト変更などをバッファが妨げない。
【０００９】
ここでバッファを格納した際に、バッファの収納スペースにバッファの一部部材が格納されるようにすると、コンパクトにバッファを格納でき、格納時に追加のスペースを必要としない。
バッファに、物品の載置部と該載置部を上方から吊り下げる支柱とを設け、該支柱を前記載置部側へ折り曲げ自在に構成すると、支柱の折り曲げでバッファを格納でき、かつ格納時に出っ張りが生じない。
さらに前記バッファを上方へ付勢する付勢手段を設けると、バッファを上方へ格納するのも、格納したバッファを下へ降ろして復旧するのも容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図８に、実施例とその変形とを示す。なお各変形例において、特に指摘した点以外は、図１〜図５の実施例と同様である。各図において、２は天井走行車システムで、クリーンルームなどの建屋内に設け、半導体ウエハやレチクルなどの物品を例えばカセット２０に収納して搬送する。３は建屋の天井で、天井走行車６の軌道４を支柱５により上方から吊り下げ、同様にサイドバッファ３０を支柱３１などにより上方から吊り下げる。
【００１２】
天井走行車６はラテラルドライブ７とθドライブ８，昇降駆動部９，昇降台１０，並びにカバー１２を備え、ラテラルドライブ７によりθドライブ８〜昇降台１０を軌道４の長手方向に直交する方向に水平移動させる。θドライブ８は昇降駆動部９〜昇降台１０をを水平面内で旋回させ、特に設けなくてもよい。昇降駆動部９は図示しない巻き取りドラムを備えて昇降台１０を昇降させ、カバー１２は天井走行車６の走行方向の前後に設けられて、カセット２０などの物品の落下を防止する。そして昇降台１０はカセット２０のフランジ２２をチャックして支持する。
【００１３】
サイドバッファ３０は軌道４の側方に設けられてアンダーバッファ５０を支持し、アンダーバッファ５０は軌道４の下部に天井走行車６と干渉しないように配置されている。サイドバッファ３０は上部フレーム３２と下部フレーム３３とを備え、下部フレーム３３上にカセット２０を載置し、下部フレーム３３の上部のスペースが物品の収納スペースである。３４〜３７は支柱で、このうち支柱３５，３６は下部フレーム３３上の収納スペースへ折り畳み自在である。折り畳む方向は、軌道４の走行方向と例えば平行である。そして支柱３４〜３７はリンク３８，３９により互いに接続されている。また支柱３１と３４は同一の部材でもよい。４０は定張力バネで、下部フレーム３３を一定の張力で上向きに付勢し、４１は巻き取り部である。そして定張力バネ４０の張力は、その巻き取り長さによらず一定である。
【００１４】
アンダーバッファ５０は下部にフレーム５２を備えてカセット２０を載置し、支柱５３によりサイドバッファ３０の下部フレーム３３から支持されている。５４，５５は補強片で、設けなくてもよい。
【００１５】
６０は処理装置で、半導体の処理や検査などを行い、半導体処理装置に限らず、建屋内に配置された種々の装置を指す。そして軌道４やアンダーバッファ５０は処理装置６０の無い通路上に配置され、サイドバッファ３０は処理装置６０などの上部あるいは通路上に配置される。
【００１６】
図３に支柱間の接続を示し、ここでは支柱３６，３７間の接続を示し、支柱３４，３５間の接続も同様である。５６，５７は取付部材で、支柱３６，３７の継ぎ目付近に設け、これをリンク３８が接続し、５８はピンである。図３の上部左側は取付部材５６，５７の正面を示し、中央部はその側面を示す。ここから支柱３６，３７を互いに折り曲げると、図３の上部右側のように変形して、支柱３６を折り畳むことができる。また支柱３５，３６の接続では、図３の右下側のように、リンク３９を介して支柱３５，３６の向きを例えば１８０°変化させる。
【００１７】
図４，図５に、サイドバッファ３０とアンダーバッファ５０とを折り畳んだ姿を示す。Ｌ１は通常時のサイドバッファ３０の底面高さを、Ｌ２は通常時のアンダーバッファ５０の底面高さを示し、Ｈ１は折り畳んだ状態でのサイドバッファ３０の底面高さを、Ｈ２は折り畳んだ状態でのアンダーバッファ５０の底面高さを示す。なお図４の状態からアンダーバッファ５０をさらに９０°回動させて、フレーム５２を例えば鉛直向きにすると、アンダーバッファ５０の高さを高さＨ３まで上昇させることができる。
【００１８】
この状態で支柱３５，３６は、サイドバッファ３０の収納スペースの上部内側へ折り畳まれ、サイドバッファ３０が元々占めていたスペースから外に出っ張らない。そして折り畳まれた支柱３５，３６は、下部フレーム３３上の元々カセット２０の収納スペースであったスペースに収納されている。
【００１９】
サイドバッファ３０の下部フレーム３３は、定張力バネ４０により上向きに付勢されているので、軽い力で上側に押し上げることができる。そして下部フレーム３３を所定位置まで上昇させると、図示しないキーなどを用いて、この位置にサイドバッファ３０を固定する。あるいはまた、支柱３５，３６が所定角度まで折り曲げられたことにより、互いに係合する係合部材と被係合部材とを設け、下部フレーム３３を所定高さまで上昇させると、支柱３５，３６が互いに係合されるようにしてもよい。
【００２０】
このようにしてサイドバッファ３０とアンダーバッファ５０を上方へ格納すると、通路を自由に使える高さが高さレベルＨ２まで上昇し、処理装置６０などの搬出入が容易になる。図４よりもさらに背の高い処理装置の搬出入が必要な場合、アンダーバッファ５０を高さレベルＨ３まで退避させるようにするとよい。そして処理装置６０等の搬出入後に、元の状態にバッファ３０，５０を復旧させる場合、支柱３５，３６間の係合などを解除し、下部フレーム３３を下降させるとよい。下部フレーム３３の下降時に、バッファ３０，５０の重力の一部を低張力バネ４０が支えるので、簡単に下部フレーム３３を加工させることができる。下部フレーム３３を高さレベルＬ１まで下降させると、サイドバッファ３０等の自重と定張力バネ４０の張力との差により、サイドバッファ３０の姿が固定される。なおより確実に固定する場合、図示しないキーや係合手段により、支柱３４，３５及び支柱３５，３６、支柱３６，３７を互いに固定するとよい。
【００２１】
図６は第１の変形例を示し、７０〜７２はサイドバッファの支柱で、支柱７１を図６の鎖線のように上昇させて支柱７０に重ね、支柱７２も同様に図６の鎖線のように支柱７０に重ねる。７３，７４はガイドで、支柱７１，７２の上下動をガイドする。このようにしてサイドバッファを出っ張り無しに上方へ格納して、処理装置などの搬出入を妨げないようにする。
【００２２】
図７は第２の変形例のサイドバッファを示し、８１は支柱で、８２は上部フレーム、８３は下部フレームである。上部フレーム８２に沿って支柱８１，８１はスライド自在である。また下部フレーム８３はその中央部を図示しないヒンジで連結し、図７の鎖線のように折り畳み自在にしてある。ここで支柱８１，８１を下部フレーム８３の中央寄りにスライドさせると、下部フレーム８３が折り畳まれ、サイドバッファが占めるスペースを小さくできる。
【００２３】
図８は第３の変形例を示し、９１は新たな上部フレーム、９２，９２は新たな支柱で、支柱９２，９２は上部フレーム９１に対してスライド自在で、図８の鎖線位置のようにスライドして、処理装置などの搬出入用に空きスペースを設けることができる。
【００２４】
天井走行車の種類や構造は任意である。また実施例ではアンダーバッファ５０をサイドバッファ３０により支持したが、アンダーバッファ５０を天井３や軌道４などから折り畳み自在な支柱により支持して、サイドバッファ３０と同様に折り畳んでもよい。この場合、サイドバッファ３０を設けず、天井走行車にはラテラルドライブ７を設けなくてもよい。
【００２５】
図９〜図１４に各種の変形例を示す。図９〜図１１の１０１，１０２は支柱で、アンダーバッファを支持するものでもサイドバッファを支持するものでも良く、１０３はジョイントで、１０４はその軸、１０５，１０６は支柱１０１，１０２への取付片である。また図１０のジョイント１０８では、ピン１０９により支柱１０２への取り付け強度を改善している。
【００２６】
ここでジョイント１０３，１０８を９０°あるいは１８０°折り曲げ自在にすると、バッファの支柱１０１，１０２を９０°あるいは１８０°折り曲げることができる。そして図１１のように、バッファの支柱に例えば３つのジョイント１０３ａ，１０３ｂ，１０３ｃを設けると、バッファを上方へ格納することができる。
【００２７】
図１２はアコーディオン１１０を用いてバッファを昇降させる例を示し、左側はアコーディオンを展開しバッファを降ろした状態を、右側はアコーディオンを畳みバッファを格納した状態を示す。
【００２８】
図１３は、バッファ１２０を走行レール４に直角にスライドさせた後に、走行レール４に平行にスライドさせる例を示し、バッファ１２０の長さ分の通路を開けることができる。なお走行レール４に直角にスライドさせた状態のバッファを１２０'とし、引き続き走行レール４に平行にスライドさせた状態のバッファを１２０''として示す。
【００２９】
図１４はバッファ１２２を軸１２３を中心に９０°回転させる例を示し、図の左側はバッファ１２２の使用状態を平面視で示し、右側は軸１２３を中心に９０°回転させた状態を示す。このようにするとバッファの隙間に通路を設けることができ、バッファを天井走行車の走行方向に沿ってさらにスライドさせて１２２'の状態にすると、広い通路を開けることができる。
【００３０】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  サイドバッファ３０を上方へ格納できる。
(2)  格納したサイドバッファ３０は、サイドバッファ３０が通常時に占めていたスペースからはみ出さず、出っ張りがない。
(3)  またサイドバッファ３０の格納と連動して、アンダーバッファ５０も上方へ格納できる。
(4)  下部フレーム３３等へ加わる重力を、定張力バネ４０で軽減するので、サイドバッファ３０やアンダーバッファ５０の昇降が容易になる。従ってバッファ３０，５０を容易に格納でき、かつ容易に復旧できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例の天井走行車システムの正面図
【図２】実施例の天井走行車システムの要部側面図
【図３】実施例でのバッファの支柱のジョイントとその動作を示す図
【図４】サイドバッファを折り畳んだ状態での、実施例の天井走行車システムの正面図
【図５】サイドバッファを折り畳んだ状態での、実施例の天井走行車システムの要部側面図
【図６】変形例でのバッファの支柱の伸縮機構を示す図
【図７】第２の変形例でのバッファの折り畳みを模式的に示す図
【図８】第３の変形例でのバッファの退避を示す図
【図９】ジョイントの変形例を示す図で、上左側は左側面を、上右側は正面を、下左側はジョイントを９０°折り曲げた状態を、下右側はジョイントを１８０°折り曲げた状態を示す
【図１０】ジョイントの第２の変形例を示す図で、左側は左側面を、右側は正面を示す
【図１１】変形例のジョイントを用いたアンダーバッファを上方へ格納した状態を実線で、アンダーバッファを下側へ降ろした状態を鎖線で示す
【図１２】アコーディオンを用いた支柱の伸縮機構を示す図
【図１３】バッファの走行レール側方へのスライドと、走行レールに沿った方向のスライドとを組み合わせた変形例の要部平面図
【図１４】バッファの回転とスライドを用いた変形例の要部平面図
【符号の説明】
【００３２】
２          天井走行車システム
３          天井
４          軌道
５          支柱
６          天井走行車
７          ラテラルドライブ
８          θドライブ
９          昇降駆動部
１０        昇降台
１２        カバー
２０        カセット
２２        フランジ
３０        サイドバッファ
３１        支柱
３２        上部フレーム
３３        下部フレーム
３４〜３７  支柱
３８，３９  リンク
４０        定張力バネ
４１        巻き取り部
５０        アンダーバッファ
５２        フレーム
５３        支柱
５４，５５  補強片
５６，５７  取付部材
５８        ピン
６０        処理装置
７０〜７２  支柱
７３，７４  ガイド
８１        支柱
８２        上部フレーム
８３        下部フレーム
９１        上部フレーム
９２        支柱    
９１，９２  支柱
１０１，１０２  支柱
１０３，１０８  ジョイント
１０４          軸
１０５，１０６  取付片
１０９          ピン
１１０          アコーディオン
１２０，１２２  バッファ  
１２３          軸  
【図１】
2008169005.tif 000003
【図２】
2008169005.tif 000004
【図３】
2008169005.tif 000005
【図４】
2008169005.tif 000006
【図５】
2008169005.tif 000007
【図６】
2008169005.tif 000008
【図７】
2008169005.tif 000009
【図８】
2008169005.tif 000010
【図９】
2008169005.tif 000011
【図１０】
2008169005.tif 000012
【図１１】
2008169005.tif 000013
【図１２】
2008169005.tif 000014
【図１３】
2008169005.tif 000015
【図１４】
2008169005.tif 000016