(57)【要約】【課題】活物質粒子が集電体上に衝突する際の衝撃が分散され、集電体が受けるダメージを軽減することが可能な非水電解質二次電池用電極の製造方法を提供する。【解決手段】非水電解質二次電池用電極の製造方法は、気体中に活物質粒子を分散させてエアロゾルを得る工程と、エアロゾルを集電体に間欠的に衝突させて、集電体上に活物質層を形成する工程とを含む。【選択図】図１
2008181708.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体中に活物質粒子を分散させてエアロゾルを得る工程と、
前記エアロゾルを集電体に間欠的に衝突させて、前記集電体上に活物質層を形成する工程とを含む非水電解質二次電池用電極の製造方法。
【請求項２】
前記気体が、不活性ガス、酸素ガス、窒素ガス、水素ガス、炭酸ガス、および乾燥空気からなる群より選択される少なくとも１つであることを特徴とする請求項１記載の非水電解質二次電池用電極の製造方法。
【請求項３】
前記活物質粒子が、リチウム含有複合酸化物、またはケイ素単体、ケイ素合金、ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物、スズ単体、スズ合金、スズと酸素とを含む化合物、スズと窒素とを含む化合物、および炭素材料からなる群より選択される少なくとも１つであることを特徴とする請求項１記載の非水電解質二次電池用電極の製造方法。
【請求項４】
前記集電体が、アルミニウム箔、銅箔、またはニッケル箔であることを特徴とする請求項１記載の非水電解質二次電池用電極の製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法により得られた非水電解質二次電池用電極。
【請求項６】
請求項５記載の電極を備える非水電解質二次電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集電体上に活物質層を形成するための非水電解質二次電池用電極の製造方法、非水電解質二次電池用電極、および非水電解質二次電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、非水電解質二次電池の高容量化を目的として、電極の製造方法として、活物質粒子を溶融または蒸発させずに気流中に分散させ、この気流を集電体に吹き付けて活物質粒子を集電体に衝突させ、この衝撃力で活物質粒子を集電体表面に接着させる方法が検討されている（例えば、特許文献１および２）。
特許文献１では、コールドスプレー法により電極を作製する方法が提案されている。粒子と集電体との結合を集電体金属の塑性変形を利用してアンカー効果を持たせることにより、粒子を集電体金属に直接的に結合させることができる。しかし、特許文献１のコールドスプレー法では、活物質粒子同士を強固に結合させることが困難である。すなわち、電極を厚膜化して高容量化を図ることが困難である。
【０００３】
また、特許文献２では、エアロゾルデポジション法（以下、ＡＤ法と表す。）により、活物質および固体電解質の混合粒子を気体に分散させたエアロゾルを集電体に噴射させ、活物質および固体電解質の混合粒子を集電体上に堆積させて集電体上に活物質層を形成して電極を得ることが提案されている。ＡＤ法では、電極を容易に厚膜化することができる。
しかし、ＡＤ法により電極を作製する場合、粒径が３μｍ以下、好ましくは１μｍ以下の超微粒子を用いる必要があり、粒径が３μｍを超えると、活物質層が緻密に形成されず、粒子の破壊強度が低下して電池製造に適さない場合がある。
また、正極活物質には、一般に、平均粒径１０μｍ程度のコバルト酸リチウムが用いられる。しかし、上記のＡＤ法において、集電体に衝突させる微粒子を得るために、これをさらに粉砕して平均粒径１μｍ以下に微粉化することは難しく、得られる粉末の収率も低下する。
【０００４】
さらに、正極集電体には、一般に、厚み２０μｍのアルミニウム箔が用いられる。しかし、上記ＡＤ法により、一般に用いられる平均粒径１０μｍ程度のコバルト酸リチウム粒子をこの集電体上に噴射させると、粒子の衝突による衝撃を受けて集電体が変形する場合がある。さらに集電体に貫通孔や皺が生じる場合がある。集電体に変形や皺を生じた正極を用いて電池を構成すると、正極のセパレータを介しての負極との密着性が悪くなる。また、集電体に貫通孔が生じると、集電体の貫通孔が存在する部分には活物質粒子が堆積しないため、正極容量が減少する。このような理由により、電池の充放電特性やサイクル特性が低下する場合がある。
【０００５】
上記アルミニウム箔の変形等を抑制する方法としては、アルミニウム箔の厚みを大きくすることが考えられるが、電池体積が増大し、体積当たりの電池容量が低下する。
また、ノズルから噴射される粒子の噴射速度を低下させることが考えられるが、アルミニウム箔上に接着しながら堆積するために必要な運動エネルギーが活物質粒子に十分に与えられないため、アルミニウム箔上に活物質粒子が接着し難くなり、成膜速度が大幅に低下する。
【特許文献１】特開２００５−３１０５０２号公報
【特許文献２】特開２００５−７８９８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、上記従来の問題を解決するため、非水電解質二次電池用の活物質で一般的な平均粒径１０μｍ程度の活物質粉末からなる、粒子サイズの比較的大きな粒子を、厚み２０μｍ程度の金属箔からなる集電体に衝突させて、集電体上に均一な活物質層を形成することが可能な非水電解質二次電池用電極の製造方法を提供することを目的とする。また、バインダーを用いずに、活物質粒子同士の間、および活物質粒子と集電体との間が強固に接着され、かつ体積あたりの容量密度の高い非水電解質二次電池用電極を提供することを目的とする。さらに、上記電極を用いて、サイクル特性に優れた高容量の非水電解質二次電池を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法は、気体中に活物質粒子を分散させてエアロゾルを得る工程と、前記エアロゾルを集電体に間欠的に衝突させて、前記集電体上に活物質層を形成する工程とを含む。
前記気体が、不活性ガス、酸素ガス、窒素ガス、水素ガス、炭酸ガス、および乾燥空気からなる群より選択される少なくとも１つであるのが好ましい。
前記活物質粒子が、リチウム含有複合酸化物、またはケイ素単体、ケイ素合金、ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物、スズ単体、スズ合金、スズと酸素とを含む化合物、スズと窒素とを含む化合物、および炭素材料からなる群より選択される少なくとも１つであるのが好ましい。
前記集電体が、アルミニウム箔、銅箔、またはニッケル箔であるのが好ましい。
また、本発明は、上記の製造方法により得られた非水電解質二次電池用電極に関する。
さらに、本発明は、上記の電極を用いた非水電解質二次電池に関する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法によれば、活物質粒子が集電体上に衝突する際の衝撃を時系列的に分散させることができるので、集電体が受けるダメージを軽減することができる。これにより、活物質層形成時に集電体に皺または貫通孔が発生するのを抑制することができる。このため、平均粒径が１０μｍ程度の比較的大きな粒径を有する活物質粒子を集電体に衝突させた場合でも、集電体がダメージを受けることなく、厚み２０μｍ程度の集電体上に活物質層を形成することができる。
また、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法により、バインダや導電材を用いずに、活物質粒子同士の間および活物質粒子と集電体との間が強固に接着され、かつ単位体積あたりの容量密度が高い非水電解質二次電池用電極が得られる。
さらに、本発明の非水電解質二次電池は、上記電極を用いることにより、サイクル特性に優れた高容量の非水電解質二次電池が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、エアロゾルデポジション法による非水電解質二次電池用電極の作製方法に関する。すなわち、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法は、気体中に活物質粒子を分散させてエアロゾルを得る工程と、前記エアロゾルを集電体に間欠的に衝突させて、前記活物質粒子を前記集電体に間欠的に衝突させ、前記集電体上に前記活物質粒子を堆積かつ接着させて、前記集電体上に活物質層を形成する工程とを含む点に特徴を有する。
これにより、活物質粒子が集電体上に衝突する際の衝撃を時系列的に分散させることができるので、集電体が受けるダメージを軽減することができる。また、活物質層形成時に集電体に皺または貫通孔が発生するのを抑制することができる。このため、例えば、平均粒径が１０μｍ程度の比較的大きな粒径を有する活物質粒子を、厚み２０μｍ程度の集電体に衝突させた場合でも、集電体がダメージを受けることなく、集電体上に活物質層を形成することができる。
また、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法により、バインダや導電材を用いずに、活物質粒子同士の間および活物質粒子と集電体との間が強固に接着され、かつ体積あたりの容量密度が高い非水電解質二次電池用電極が得られる。
さらに、本発明の非水電解質二次電池は、上記電極を用いることにより、サイクル特性に優れた高容量の非水電解質二次電池が得られる。
【００１０】
以下、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法の一実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
ここで、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法に用いられる製造装置の一例を図１に示す。図１は、ＡＤ法による製造装置の構成図である。図１に示すように、エアロゾルを発生させるための気体が貯蔵されているガスボンベ１１は、配管１２ａを介してエアロゾル発生器１３に連結されている。エアロゾル発生器１３と成膜チャンバー１４との間には、エアロゾルをノズル１５に送り込むための配管１２ｂが連結されている。配管１２ｂの一方の端部はエアロゾル発生器１３内に露出し、配管１２ｂの他方の端部は成膜チャンバー１４内に設置されたノズル１５に接続されている。基板ホルダ１７に基板（集電体）１６がノズルに対向して配置されている。成膜チャンバー１４内の真空度を調整するための排気ポンプ１８は成膜チャンバー１４に接続されている。エアロゾル発生器１３内には、あらかじめ一定量の活物質粉体２０が投入される。
電極を得るためには、一定の面積を有する活物質層を形成する必要があるが、基板１６が設置された基板ホルダ１７を横方向または縦方向に一定速度で移動させる機構（図示せず）を備えることにより、活物質層の面積を大きくすることができる。
【００１１】
ガスボンベ１１とエアロゾル発生器１３とを連結する配管１２ａの途中にバルブ１９が設けられている。例えば、このバルブ１９の開閉を交互に繰り返すことにより、気体中に粒子が分散された状態であるエアロゾルを間欠的に基板に衝突させることができる。バルブ１９の開閉は、例えば、コンピュータなどの制御装置（図示せず）により制御することができる。このようにすることにより、エアロゾル発生器１３へのガスの送り込み（間欠噴射）を自動的に制御することができる。
【００１２】
次に、上記の成膜装置を用いた活物質層の形成プロセスを説明する。ガスボンベ１１から気体を配管１２ａを通じてエアロゾル発生器１３に導入し、活物質粉体２０を容器内に撒き上げ、気体中に活物質粒子が分散した状態のエアロゾルを発生させる。発生したエアロゾルは、配管１２ｂを通じてノズル１５より基板１６に向けて高速で噴射される。エアロゾルの噴射速度は、ノズル１５の形状、配管１２ｂの長さや内径、ガスボンベ１１のガス内圧、排気ポンプ１８の排気量（成膜チャンバー１４の内圧）などにより制御される。例えば、エアロゾル発生器１３の内圧を数万Ｐａとし、成膜チャンバー１４の内圧を数百Ｐａとし、ノズルの開口部の形状を内径１ｍｍの円形状とした場合、エアロゾル発生器１３と成膜チャンバー１４との内圧差により、エアロゾルの噴射速度を数百ｍ／ｓｅｃとすることができる。
加速されて運動エネルギーを得たエアロゾル中の活物質粒子が基板１６に衝突して、衝撃エネルギーで細かく破砕される。そして、これらの破砕粒子が基板１６に接合されること、および破砕粒子同士が接合されることにより、緻密な活物質層が形成される。
【００１３】
バルブ１９が開の状態では、気体がエアロゾル発生器１３へ導入され、活物質粉体がエアロゾル発生器１３内に撒き上げられて、気体中に活物質粒子が分散された状態のエアロゾルが発生し、ノズル１５から基板１６に向けてエアロゾルが噴射される。バルブ１９が閉の状態では、上記の動作が停止する。このバルブ１９の開閉によりエアロゾルが間欠的に噴射される。このバルブ１９の開閉の繰り返し回数と、バルブ１９を開の状態とする時間、およびバルブ１９を閉の状態とする時間は、制御機構により制御することができる。
【００１４】
バルブ１９が開の状態である時間が長いほど、ノズルから基板へ向かって噴射される活物質粉体の量が多くなり、基板に与えるダメージが大きくなり、本発明の効果が小さくなる。バルブ１９の開閉時間は、活物質や基板の材質、および製膜条件に応じて適宜設定すればよいが、上記の観点から、おおむね数秒以下のオーダーで設定すればよい。
エアロゾルの発生量を一定に制御するために、さらにエアロゾル発生器１３に機械的振動機や撹拌羽を取り付けてもよい。
【００１５】
非水電解質二次電池用電極で一般的に使用されている厚さ２０μｍ程度の金属箔からなる集電体上に、平均粒径が１０μｍ程度の活物質粉体からなる活物質粒子が気体中に分散したエアロゾルを連続的に噴射させる従来の活物質層の形成方法では、金属箔に与えるダメージが大きく、集電体が変形する場合、または集電体に皺や貫通孔が生じる場合がある。
これに対して、本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法では、ＡＤ法において、ノズルから集電体へのエアロゾルの噴射が間欠的に行われる。この方法では、連続噴射の場合のように、一気に粉体原料を集電体に衝突させないため、集電体に与える衝撃が緩和され、集電体に薄い金属箔を用いた場合でも、集電体に変形または皺や貫通孔が生じない。
【００１６】
従って、本発明のＡＤ法を利用した電極の製造方法では、従来よりも薄い基板を用いることが可能であり、一般的に用いられる粒径の活物質粉体を用いることが可能である。例えば、正極活物質に平均粒径が１０μｍのリチウム含有複合酸化物の粉体を用い、基板１６にアルミニウム箔を用いて、上記方法により正極を作製する場合、アルミニウム箔として、５μｍ程度まで薄いものを用いることができる。
さらに、集電体への衝撃を緩和するために活物質粉体を粉砕して微粉化する必要がないため、容易に体積あたりのエネルギー密度の高い電極を製造することができる。そして、この電極を用いることにより、体積あたりの容量密度が大きく、かつサイクル特性に優れた非水電解質二次電池が得られる。
集電体のダメージを低減して、集電体の変形等を抑制する方法としては、図１の製造装置において、ボンベ１１からエアロゾル発生器１３に導入されるガス量を減らして、エアロゾルの発生量を減少させ、ノズル１５から基板１６へ噴射される活物質粒子の量を減少させる方法が考えられるが、本発明のエアロゾルの間欠噴射の場合と比べて、活物質層の形成に長時間を要する。
【００１７】
正極集電体に厚み２０μｍ程度の金属箔を用い、正極活物質に平均粒径が１０μｍ程度のリチウム含有複合酸化物の粉体を用いて正極を作製する場合の成膜条件としては、例えば、成膜チャンバー１４の内圧５〜５０００Ｐａ、バルブ１９が開状態の時間０．５〜５秒、およびバルブ１９が閉状態の時間０．５〜６０秒である。
そして、上記において、例えば、バルブの開状態の時間および閉状態の時間を一定とし、バルブの開閉を一定時間で交互に繰り返す方法が挙げられる。このとき、開状態の時間および閉状態の時間は同じでもよく、開状態の時間が閉状態の時間より長くてもよく、短くてもよい。
また、集電体上に、ある程度の厚みの活物質層が形成されれば、活物質粒子が集電体に直接衝突しなくなり、活物質粒子の衝突による集電体へのダメージが小さくなるので、活物質層の形成に伴い、すなわち成膜時間の経過に伴い、集電体にエアロゾルを噴射させる頻度を増大させてもよい。例えば、成膜時間の経過に伴い、一定の割合でバルブの開状態の時間を長くし、一定の割合でバルブの閉状態の時間を短くしてもよい。また、例えば、成膜開始から所定時間経過するまではバルブの開閉時間を一定とし、所定時間経過後、一定の割合で開状態の時間を長くし、一定の割合で閉状態の時間を短くしてもよい。この場合、成膜効率が向上し、成膜時間を短縮することができる。
【００１８】
エアロゾル中の活物質粒子は、一次粒子（例えば、粒径０．１〜１０μｍ）でもよく、一次粒子が凝集した二次粒子（例えば、粒径１〜５０μｍ）でもよい。
上記方法により形成される活物質層の空孔率は、例えば６０〜１０％である。
また、上記方法により形成される活物質層の厚みは、例えば、１〜１００μｍである。
エアロゾルの発生に用いられる気体としては、例えば、アルゴンやヘリウムのような不活性ガス、酸素ガス、窒素ガス、炭酸ガス、乾燥空気、またはそれらの混合ガスが用いられる。また、活物質の材料に応じて、水素ガスのような還元性ガスを用いてもよい。
【００１９】
正極活物質としては、リチウムイオンの挿入脱離が可能な公知のリチウム含有複合酸化物が用いられる。リチウム含有複合酸化物としては、例えば、コバルト酸リチウム、ニッケル酸リチウム、マンガン酸リチウム、またはこれらの化合物にアルミニウムを添加したものが用いられる。また、これらを単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
正極集電体として用いられる基板としては、例えば、アルミニウム箔が挙げられる。非水電解質二次電池の体積容量密度や得られる活物質層の厚みに応じて基板の厚みを適宜変えればよいが、概ね市販で入手可能な５〜２０μｍの範囲のアルミニウム箔を用いればよい。アルミニウム箔の厚みが５μｍ未満であると、箔の強度が弱いため成膜時に破損等の問題が生じ、作業効率が低下する。また、アルミニウム箔の厚みが２０μｍを超えると、非水電解質二次電池の体積容量密度が低下するため、本発明の製造方法を用いることの優位性が薄れる。
【００２０】
負極活物質としては、リチウムと電気化学的に反応するものであればよく、特に限定されない。リチウムとの反応性が比較的高く、高容量が得られるため、負極活物質は、ケイ素単体、ケイ素合金、ケイ素と酸素とを含む化合物、ケイ素と窒素とを含む化合物、スズ単体、スズ合金、スズと酸素とを含む化合物、およびスズと窒素とを含む化合物よりなる群から選択される少なくとも１種であるのが好ましい。
ケイ素合金としては、例えば、ＳｉＢ4、ＳｉＢ6、Ｍｇ2Ｓｉ、Ｎｉ2Ｓｉ、ＴｉＳｉ2、ＭｏＳｉ2、ＣｏＳｉ2、ＮｉＳｉ2、ＣａＳｉ2、ＣｒＳｉ2、Ｃｕ5Ｓｉ、ＦｅＳｉ2、ＭｎＳｉ2、ＮｂＳｉ2、ＴａＳｉ2、ＶＳｉ2、ＷＳｉ2、ＺｎＳｉ2、またはＳｉＣが挙げられる。
ケイ素と酸素とを含む化合物としては、例えば、Ｓｉ2Ｎ2Ｏ、ＳｉＯｘ（０＜ｘ≦２）、ＳｎＳｉＯ3、またはＬｉＳｉＯが挙げられる。
ケイ素と窒素とを含む化合物としては、例えば、Ｓｉ3Ｎ4やＳｉ2Ｎ2Ｏが挙げられる。
スズ合金としては、例えば、Ｍｇ2Ｓｎが挙げられる。
スズと酸素とを含む化合物としては、例えば、ＳｎＯｘ（０＜ｘ≦２）やＳｎＳｉＯ3が挙げられる。
スズと窒素とを含む化合物としては、例えば、Ｓｎ3Ｎ4やＳｎ2Ｎ2Ｏが挙げられる。
炭素材料としては、例えば、黒鉛が挙げられる。
負極集電体として用いられる基板としては、例えば、厚みが５〜５０μｍの銅箔やニッケル箔が挙げられる。
【００２１】
また、本発明は、正極、負極、および非水電解質を備えた非水電解質二次電池に関し、前記正極および前記負極のうち少なくとも一方に、上記の本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法により得られた電極を用いた点に特徴を有します。正極と負極の間には、例えば微多孔性フィルムからなるセパレータが配されます。
非水電解質は、一般的に非水電解質二次電池で使用可能なものであればよく、特に限定されない。非水電解質は、例えば、非水溶媒および前記非水溶媒中に溶解する支持塩からなる。非水溶媒には、例えば、エチレンカーボネートやプロピレンカーボネートのような環状カーボネートが用いられる。支持塩には、例えば、６フッ化リン酸リチウムが用いられる。
【実施例】
【００２２】
以下、本発明の実施例を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。  《実施例１》
図１と同じ装置を用いて、以下の方法により電極を作製した。
成膜チャンバー１４には市販の蒸着装置（ＵＬＶＡＣ社製、ＶＰＣ−４００）を改造したものを用いた。エアロゾル発生器１３には、市販の容積１リットル圧送ボトル（ＫＳＫ社製、ＲＢＮ−Ｓ）を超音波洗浄器（（株）島津製作所製、ＳＵＳ−１０３）中に設置したものを用いた。エアロゾル濃度、すなわちアルゴン中の活物質粒子の飛散量が増えるように、超音波洗浄器の発信周波数は４５kHzとした。なお、超音波洗浄器の代わりに、振動子や超音波式ホモジナイザーを用いてもよい。
【００２３】
次に、エアロゾル発生器１３から内径１ｍｍの配管１２ｂを成膜チャンバー１４内に引き込み、その先端を噴射ノズル１５とした。噴射ノズル１５から５ｍｍ離れた位置に、基板１６として厚み１５μｍのアルミニウム箔を設置した。一方で、圧送ボトルとアルゴンボンベ１１を内径３ｍｍの配管１２ａでつなぎ、その間に圧空バルブ１９を設けた。
【００２４】
上記装置を用いて、電極を以下のように作製した。
まず、平均粒径１０μｍのコバルト酸リチウム（日本化学工業（株）製）２０ｇをエアロゾル発生器１３内に仕込んだ。次に、バルブ１９を閉じ、排気ポンプ１８で成膜チャンバー１４からエアロゾル発生器１３までを真空引きした。そして、エアロゾル発生器１３内にアルゴンガスを送り込んで、アルゴンガス中に活物質粒子が分散したエアロゾルを発生させ、配管１２ｂを介して噴射ノズル１５よりエアロゾルを基板１６に向けて噴射した。このとき、アルゴンガスの流量は２リットル／分とし、圧空バルブ１９が、２秒間のうち１秒間は開いた状態となり、残りの１秒間は閉じた状態となるように、コンピュータで圧空バルブ１９の開閉状態を制御して、エアロゾルを間欠噴射させた。また、成膜時間は１０分（５分間：噴射、５分間：休止）とし、活物質層形成時における成膜チャンバー１４内の真空度は、圧空バルブ１９が閉じている時に５００Ｐａ程度とし、圧空バルブ１９が開いている時に５０００Ｐａ程度とした。ここでは短時間で電極が得られるように、基板ホルダー１７を移動させず、一箇所に噴射して活物質層を形成し、面積の小さい電極を作製した。
【００２５】
《比較例１》
上記電極作製時において、圧空バルブ１９を取り除き、成膜チャンバー１４内の気圧が５００Ｐａ程度となり、エアロゾル発生器１３内の気圧が１００００Ｐａ程度になるように、アルゴンガスの流量を調整して、エアロゾルを基板に向けて連続的に５分間噴射した。これ以外は、実施例１と同様の方法により、電極を作製した。
【００２６】
実施例１の電極および比較例１の電極について、活物質層の厚みをマイクロメーターを用いて測定した結果、いずれの電極も活物質層の厚みは１５μｍであった。
上記で得られた実施例１および比較例１の電極を目視により観察した結果、比較例１の電極では、集電体に皺や貫通孔が見られた。これに対して、実施例１の電極では、集電体に皺や貫通孔は見られなかった。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明の電極は、リチウムイオン電池、ニッケルカドミウム電池、またはニッケル水素電池のような非水電解質二次電池に好適に用いられる。また、本発明の非水電解質二次電池は、携帯機器や情報機器のような電子機器の電源として好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の非水電解質二次電池用電極の製造方法に用いられる製造装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００２９】
１１  ガスボンベ
１２ａ、１２ｂ  配管
１３  エアロゾル発生器
１４  成膜チャンバー
１５  ノズル
１６  基板
１７  基板ホルダ
１８  排気ポンプ
１９  バルブ
２０  活物質粉体
【図１】
2008181708.tif 000003