(57)【要約】【課題】テストヘッドケーブルに過度の負荷が加わらず、テストヘッドの回動ができる半導体テスタ装置を実現する。【解決手段】マニピュレータに載置されテストヘッド面が水平面位置と鉛直面位置とに９０度回転配置されるテストヘッドを具備する半導体テスタ装置において、このテストヘッドに一端が接続され途中が前記マニピュレータの底部に固定され他端が装置本体に接続され折返部を有するテストヘッドケーブルと、前記テストヘッドに設けられこのテストヘッドケーブルが前記テストヘッドの底面に沿うようにこのテストヘッドケーブルの折返部を保持する折返部保持手段とを具備したことを特徴とする半導体テスタ装置である。【選択図】図１
2008051724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マニピュレータに載置されテストヘッド面が水平面位置と鉛直面位置とに９０度回転配置されるテストヘッドを具備する半導体テスタ装置において、
このテストヘッドに一端が接続され途中が前記マニピュレータの底部に固定され他端が装置本体に接続され折返部を有するテストヘッドケーブルと、
前記テストヘッドに設けられこのテストヘッドケーブルが前記テストヘッドの底面に沿うようにこのテストヘッドケーブルの折返部を保持する折返部保持手段と
を具備したことを特徴とする半導体テスタ装置。
【請求項２】
前記折返部保持手段は、前記テストヘッドケーブルの折返部を保持するケーブルガイドバーと、
このケーブルガイドバーを駆動する駆動手段と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の半導体テスタ装置。
【請求項３】
前記駆動手段は、前記ケーブルガイドバーの両端にそれぞれ一端が接続されたステーと、
前記マニピュレータに取り付けられ一端に前記ステーの他端が固定されるステー駆動軸と、
このステー駆動軸の他端と前記テストヘッドの９０度回転駆動軸とを連動する連動手段と
を具備したことを特徴とする請求項２記載の半導体テスタ装置。
【請求項４】
前記連動手段は、前記ステー駆動軸の他端に固定されたスプロケットと、
前記スプロケットに一端側が係止され他端側が前記テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されたスプロケットに係止されたチェーンと
を具備したことを特徴とする請求項３記載の半導体テスタ装置。
【請求項５】
前記連動手段は、前記ステー駆動軸の他端に固定された駆動軸歯車と、
前記テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されこのステー駆動軸歯車に歯合する歯車と
を具備したことを特徴とする請求項３記載の半導体テスタ装置。
【請求項６】
前記連動手段は、前記ステー駆動軸の他端に固定されたプーリーと、
このプーリーに一端側が係止され他端側が前記テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されたプーリーに係止されたプーリーベルトと
を具備したことを特徴とする請求項３記載の半導体テスタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストヘッドケーブルに過度の負荷が加わらず、テストヘッドの回動ができる半導体テスタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体テスタ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３００８１９号公報
【特許文献２】実開平７−０４３９４０号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ），（Ｃ）は動作説明図である。
図において、１はハンドラ、２はテストヘッド、３はテストヘッド２を載置するマニュピレータ、４はマニュピレータの底面部に設けられ、テストヘッドケーブル５を固定するケーブルクランプである。
【０００５】
以上の構成において、図４（ａ）に示す如く、テストヘッド面２ａがハンドラ１に対向した、垂直位置から、図４（ｂ）に示す如き位置を経由して、図４（ｃ）に示す如く、テストヘッド面２ａが水平位置に回転して、半導体の測定が開始される。
テストヘッドケーブル５は、テストヘッド２にしたがって図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）のように変形する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような装置においては、以下の間題点がある。
テストヘッドケーブルが、テストヘッドにしたがって図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）のように変形する為にはケーブルが動く空間が必要になる。
近年、多極化により、テストヘッドが大型化し、ケーブルが動く空間が狭くなって来ている。
【０００７】
ハンドラ１も並列測定数が倍増した結果、ハンドラ１の測定開口部が広くなって、テストヘッドのセンタたかさが低くなり、ハンドラのテストヘッドを接続する高さ位置が低くなっている。その為、テストヘッドケーブルが動く空間が狭くなってフォーミングが取れない。
このような状態で、テストヘッドの回転を繰り返すとケーブルに過度の負荷がかかり、テストヘッドケーブル断線の原因となってしまう。
【０００８】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、テストヘッドケーブルに過度の負荷が加わらず、テストヘッドの回動ができる半導体テスタ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体テスタ装置においては、
マニピュレータに載置されテストヘッド面が水平面位置と鉛直面位置とに９０度回転配置されるテストヘッドを具備する半導体テスタ装置において、このテストヘッドに一端が接続され途中が前記マニピュレータの底部に固定され他端が装置本体に接続され折返部を有するテストヘッドケーブルと、前記テストヘッドに設けられこのテストヘッドケーブルが前記テストヘッドの底面に沿うようにこのテストヘッドケーブルの折返部を保持する折返部保持手段とを具備したことを特徴とする半導体テスタ装置。
【００１０】
本発明の請求項２の半導体テスタ装置においては、請求項１記載の半導体テスタ装置において、
前記折返部保持手段は、前記テストヘッドケーブルの折返部を保持するケーブルガイドバーと、このケーブルガイドバーを駆動する駆動手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の請求項３の半導体テスタ装置においては、請求項２記載の半導体テスタ装置において、
前記駆動手段は、前記ケーブルガイドバーの両端にそれぞれ一端が接続されたステーと、前記マニピュレータに取り付けられ一端に前記ステーの他端が固定されるステー駆動軸と、このステー駆動軸の他端と前記テストヘッドの９０度回転駆動軸とを連動する連動手段とを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項４の半導体テスタ装置においては、請求項３記載の半導体テスタ装置において、
前記連動手段は、前記ステー駆動軸の他端に固定されたスプロケットと、前記スプロケットに一端側が係止され他端側が前記テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されたスプロケットに係止されたチェーンとを具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項５の半導体テスタ装置においては、請求項３記載の半導体テスタ装置において、
前記連動手段は、前記ステー駆動軸の他端に固定された駆動軸歯車と、前記テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されこのステー駆動軸歯車に歯合する歯車とを具備したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項６の半導体テスタ装置においては、請求項３記載の半導体テスタ装置において、
前記連動手段は、前記ステー駆動軸の他端に固定されたプーリーと、
このプーリーに一端側が係止され他端側が前記テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されたプーリーに係止されたプーリーベルトとを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
テストヘッドケーブルがテストヘッドの底面に沿うように、テストヘッドケーブルの折返部を保持する折返部保持手段が設けられたので、省スペースにて狭い空間でもテストヘッドケーブルに過度の負荷がかからず、テストヘッドの回動ができる半導体テスタ装置が得られる。
【００１６】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
折返部保持手段は、テストヘッドケーブルの折返部を保持するケーブルガイドバーと、ケーブルガイドバーを駆動する駆動手段とが設けられたので、ケーブルガイドバーにより多数のテストヘッドケーブルを容易に保持できる半導体テスタ装置が得られる。
【００１７】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
駆動手段は、ケーブルガイドバーの両端にそれぞれ一端が接続されたステーと、マニピュレータに取り付けられ一端にステーの他端が固定されるステー駆動軸と、ステー駆動軸の他端とテストヘッドの９０度回転駆動軸とを連動する連動手段とが設けられたので、テストヘッドの９０度回転駆動軸と容易に連動できる半導体テスタ装置が得られる。
【００１８】
ステー駆動軸と９０度回転駆動軸との相対位置、連動手段の諸構成要素のファクターを適切に選定することができるので、ケーブルガイドバーの位置変化の円滑な動きを容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
連動手段は、ステー駆動軸の他端に固定されたスプロケットと、スプロケットに一端側が係止され他端側がテストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されたスプロケットに係止されたチェーンとが設けられたので、連動動作が確実にできる半導体テスタ装置が得られる。
スプロケットとチェーンのファクターを適切に選定することができるので、ケーブルガイドバーの位置変化の円滑な動きを容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
連動手段は、ステー駆動軸の他端に固定された駆動軸歯車と、テストヘッドの９０度回転駆動軸に固定され，ステー駆動軸歯車に歯合する歯車とが設けられたので、連動動作がより確実にできる半導体テスタ装置が得られる。
連結される歯車の歯車比を適切に選定することができるので、ケーブルガイドバーの位置変化を容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
連動手段は、ステー駆動軸の他端に固定されたプーリーと、このプーリーに一端側が係止され他端側がテストヘッドの９０度回転駆動軸に固定されたプーリーに係止されたプーリーベルトとが設けられたので、安価な半導体テスタ装置が得られる。
プーリーとプーリーベルトのファクターを適切に選定することができるので、ケーブルガイドバーの位置変化の円滑な動きを容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は平面図、図２は図１の要部詳細説明図、図３は図１の動作説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００２３】
図１において、折返部保持手段１１は、テストヘッド２に設けられ、テストヘッドケーブル５がテストヘッド２の底面に沿うように、テストヘッドケーブルの折返部５ａを保持する。
この場合は、折返部保持手段１１は、テストヘッドケーブルの折返部５ａを保持するケーブルガイドバー１２と、ケーブルガイドバー１２を駆動する駆動手段１３とを有する。
【００２４】
駆動手段１３は、図２に示す如く、ケーブルガイドバー１２の両端にそれぞれ一端が接続されたステー１４と、マニピュレータ３に途中が取り付けられ一端に、ステー１４の他端が固定されるステー駆動軸１５と、このステー駆動軸１５の他端と、テストヘッドの９０度回転駆動軸１６とを連動する連動手段１７とを有する。
【００２５】
連動手段１７は、ステー駆動軸１５の他端に固定されたスプロケット１８と、スプロケット１８に一端側が係止され他端側がテストヘッドの９０度回転駆動軸１６に固定されたスプロケット１９に係止されたチェーン２１とを有する。
【００２６】
なお、テストヘッドケーブル５はケーブルガイドバー１２で折り返され、テストヘッド２に固定されたケーブルクランプ３１と、マニピュレータ３に固定されたケーブルクランプ３２に固定されている。
テストヘッドの９０度回転駆動軸１６はウォームギア３５を介してモーター３６により駆動される。
【００２７】
なお、連動手段１７は、ステー駆動軸１５の他端に固定された駆動軸歯車と、テストヘッドの９０度回転駆動軸１６に固定されこのステー駆動軸歯車に歯合する歯車とが使用されても良い。
【００２８】
また、連動手段１７は、ステー駆動軸１５の他端に固定されたプーリーと、プーリーに一端側が係止され他端側がテストヘッドの９０度回転駆動軸１６に固定されたプーリーに係止されたプーリーベルトとが使用されても良い。
【００２９】
以上の構成において、図３（ａ）に示す如く、テストヘッド面２ａがハンドラ１に対向した、垂直位置から、図３（ｂ）に示す如き位置を経由して、図３（ｃ）に示す如く、テストヘッド面２ａが水平位置に回転して、半導体の測定が開始される。
テストヘッド２の９０°回転と共にテストヘッドケーブル５の状態が変化するが、ケーブルガイドバー１２もテストヘッド２の９０°回転と共に動き、テストヘッドケーブル５がテストヘッド２の底面に沿うように、テストヘッドケーブル５を保持する。
【００３０】
この結果、
テストヘッドケーブル５がテストヘッド２の底面に沿うように、テストヘッドケーブルの折返部５ａを保持する折返部保持手段１１が設けられたので、省スペースにて狭い空間でもテストヘッドケーブル５に過度の負荷がかからず、テストヘッド２の回動ができる半導体テスタ装置が得られる。
【００３１】
折返部保持手段１１は、テストヘッドケーブルの折返部５ａを保持するケーブルガイドバー１２と、ケーブルガイドバー１２を駆動する駆動手段１３とが設けられたので、ケーブルガイドバー１２により多数のテストヘッドケーブル５を容易に保持できる半導体テスタ装置が得られる。
【００３２】
駆動手段１３は、ケーブルガイドバー１２の両端にそれぞれ一端が接続されたステー１４と、マニピュレータ３に途中が取り付けられ一端にステー１４の他端が固定されるステー駆動軸１５と、ステー駆動軸１５の他端とテストヘッドの９０度回転駆動軸１６とを連動する連動手段１７とが設けられたので、テストヘッドの９０度回転駆動軸１６と容易に連動できる半導体テスタ装置が得られる。
【００３３】
ステー駆動軸１５と９０度回転駆動軸１６との相対位置、連動手段１７の諸構成要素のファクターを適切に選定することができるので、ケーブルガイドバー１２の位置変化を容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００３４】
連動手段１７は、ステー駆動軸１５の他端に固定されたスプロケット１８と、スプロケット１８に一端側が係止され他端側がテストヘッドの９０度回転駆動軸１６に固定されたスプロケット１９に係止されたチェーン２１とが設けられたので、連動動作が確実にできる半導体テスタ装置が得られる。
スプロケット１８とチェーン２１のファクターを適切に選定することができるので、ケーブルガイドバーの位置変化を容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００３５】
なお、連動手段１７は、ステー駆動軸１５の他端に固定された駆動軸歯車と、テストヘッドの９０度回転駆動軸１６に固定され，ステー駆動軸歯車に歯合する歯車とが設けられれば、連動動作がより確実にできる半導体テスタ装置が得られる。
連結される歯車の歯車比を適切に選定することができるので、ケーブルガイドバー１２の位置変化を容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００３６】
また、連動手段１７は、ステー駆動軸１５の他端に固定されたプーリーと、このプーリーに一端側が係止され他端側がテストヘッドの９０度回転駆動軸１６に固定されたプーリーに係止されたプーリーベルトとが設けられれば、安価な半導体テスタ装置が得られる。
プーリーとプーリーベルトのファクターを適切に選定することができるので、ケーブルガイドバー１２の位置変化を容易に最適化できる半導体テスタ装置が得られる。
【００３７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部詳細説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１      ハンドラ
２      テストヘッド
２ａ    テストヘッド面
３      マニュピレータ
４      ケーブルクランプ
５      テストヘッドケーブル
５ａ    テストヘッドケーブルの折返部
１１    折返部保持手段
１２    ケーブルガイドバー
１３    駆動手段
１４    ステー
１５    ステー駆動軸
１６    テストヘッドの９０度回転駆動軸
１７    連動手段
１８    スプロケット
１９    スプロケット
２１    チェーン
３１    ケーブルクランプ
３２    ケーブルクランプ
３５    ウォームギア
３６    モーター
【図１】
2008051724.tif 000003
【図２】
2008051724.tif 000004
【図３】
2008051724.tif 000005
【図４】
2008051724.tif 000006