(57)【要約】【課題】スクリーン印刷機の吸着装置において、被印刷物と載置台のとの間に介在する紗に十分な張力を保持させて、確実に平面性を保つことを目的とする。【解決手段】通気性を有する紗１２を枠１１に張ることで紗１２に張力を持たせた紗張り版１０と、紗張り版１０の裏面に設けられ紗１２の裏面に向かって複数の通気孔２１が形成された多孔版２０と、多孔版２０の複数の通気孔２１を介して気体を多孔板２０の裏面へ吸引して、枠１１に張った紗１２の表面にある被印刷物４０を紗１２の表面に吸着する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吸着物を吸着する吸着装置であって、
通気性を有する紗を枠に張った紗張り版と、
紗張り版の裏面に設けられ、紗の裏面に向かって複数の通気孔が形成された多孔版と、
前記多孔版の複数の通気孔を介して気体の流通をさせる通気源機構と
を備えたことを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
紗の裏面が多孔版の表面に密着するように、紗張り版の枠を多孔版に固定する取付部を備えたことを特徴とする請求項１記載の吸着装置。
【請求項３】
前記紗張り版の紗は、
通気性を有する通気部と、充填材を充填した無通気部とを有し、通気部は被吸着物により覆われることを特徴とする請求項１または２に記載の吸着装置。
【請求項４】
前記充填材は、感光性乳剤であることを特徴とする請求項３に記載の吸着装置。
【請求項５】
前記充填材は、メッキされた金属であることを特徴とする請求項３に記載の吸着装置。
【請求項６】
前記紗張り版の紗は、
充填材を充填した無通気部の面のうち少なくとも表面をフラット加工することを特徴とする請求項４又は５に記載の吸着装置。
【請求項７】
前記通気源機構は、
複数の通気孔を介して気体を多孔版の裏面へ吸引し、
前記吸着装置は、
複数の通気孔を介して気体を通気源機構により多孔版の裏面へ吸引することにより紗張り版の表面にある被吸着物を紗張り版の表面に吸着することを特徴とする請求項１記載の吸着装置。
【請求項８】
前記多孔版は、
多孔版の表面から略垂直方向にスライドするピンを有し、
前記紗張り版は、
紗張り版の紗の無通気部に前記ピンを通す貫通孔を有する
ことを特徴とする請求項３記載の吸着装置。
【請求項９】
前記通気源機構は、
多孔版の裏面から表面へ向かって複数の通気孔から気体を流出させ、
前記吸着装置は、
多孔版の裏面から表面へ向かって通気源機構により複数の通気孔から気体を流出させることにより、被吸着物を紗張り版の表面から吸着解除することを特徴とする請求項１記載の吸着装置。
【請求項１０】
紗を枠に張った紗張り版の裏面に複数の通気孔が形成された多孔版を設け、通気源機構により多孔版の複数の通気孔を介して気体を多孔版の裏面へ吸引して、紗を枠に張った紗張り版の表面にある被吸着物を紗の表面に吸着する吸着工程を有することを特徴とする吸着方法。
【請求項１１】
前記吸着方法は、さらに、
通気源機構により多孔版の裏面から表面へ向かって複数の通気孔から気体を流出させて、吸着した被吸着物を紗の表面から吸着解除する吸着解除工程を有することを特徴とする請求項１０記載の吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、被印刷物をテーブルに吸着固定してスクリーン印刷をするための吸着装置及び吸着方法に関する。また、例えば、薄膜や薄板を吸着して運搬する運搬装置及び運搬方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機において、気体を吸引するための通気孔を設けた載置台に薄膜状の被印刷物を吸着固定する技術がある。この場合、図７（ａ）に示すように通気孔からの吸引力により被印刷物の通気孔を覆う部分に凹みが生じ、被印刷物の平面性が保てない場合がある。また、従来技術では、被印刷物と載置台との間にメッシュ状の織布を介在させて吸着固定することにより、貫通孔からの吸引力をメッシュ状の織布に略均一に分散させて被印刷物の表面の平面性を保つ技術がある。
【特許文献１】特開平９−１５６０７２号公報
【特許文献２】特開昭５９−１１８４６０号公報
【特許文献３】実願昭６３−９３１２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来技術では、被印刷物と載置台との間に介在する織布に十分な張力がないために、貫通孔からの吸引力がメッシュ状の織布の繊維部分にかかった場合に、織布の貫通孔を覆う部分に多少の凹みが生じ、十分な平面性を保てないという課題がある。また、図７（ｂ）に示すように被印刷物の周縁部から織布のメッシュを介して吸引時の空気が漏れることにより、十分な吸着力を発揮できないという課題がある。
【０００４】
また、薄板や薄膜を吸着する際に、確実に平面性を保たないと破損する可能性がある。
【０００５】
本発明は、例えば、吸着装置や運搬装置などで、被印刷物である被吸着物と載置台のとの間に介在する織布に十分な張力を保持させ、確実に平面性を保つことを目的とする。
【０００６】
また、吸引のための気体が被吸着物の周縁部から漏れないようにして、被吸着物の吸着力を増加させ、また、空気が漏れないことにより少ない負荷で効果的な吸着力を得ることを目的とする。さらに効果的な吸着力を得ることにより、通気源機構の負荷を減少させてコストダウンを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る吸着装置は、
被吸着物を吸着する吸着装置であって、
通気性を有する紗を枠に張った紗張り版と、
紗張り版の裏面に設けられ、紗の裏面に向かって複数の通気孔が形成された多孔版と、
前記多孔版の複数の通気孔を介して気体の流通をさせる通気源機構と
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
前記吸着装置は、さらに、
紗の裏面が多孔版の表面に密着するように、紗張り版の枠を多孔版に固定する取付部を備えたことを特徴とする。
【０００９】
前記紗張り版の紗は、
通気性を有する通気部と、充填材を充填した無通気部とを有し、通気部は被吸着物により覆われることを特徴とする。
【００１０】
前記充填材は、感光性乳剤であることを特徴とする。
【００１１】
前記充填材は、メッキされた金属であることを特徴とする。
【００１２】
前記紗張り版の紗は、
充填材を充填した無通気部の面のうち少なくとも表面をフラット加工することを特徴とする。
【００１３】
前記通気源機構は、
複数の通気孔を介して気体を多孔版の裏面へ吸引し、
前記吸着装置は、
複数の通気孔を介して気体を通気源機構により多孔版の裏面へ吸引することにより紗張り版の表面にある被吸着物を紗張り版の表面に吸着する
ことを特徴とする。
【００１４】
前記多孔版は、
多孔版の表面から略垂直方向にスライドされるピンを有し、
前記紗張り版は、
紗張り版の紗の無通気部に前記ピンを通すための貫通孔を有する
ことを特徴とする。
【００１５】
前記通気源機構は、
多孔版の裏面から表面へ向かって複数の通気孔から気体を流出させ、
前記吸着装置は、
多孔版の裏面から表面へ向かって通気源機構により複数の通気孔から気体を流出させることにより、被吸着物を紗張り版の表面から吸着解除する
ことを特徴とする。
【００１６】
本発明に係る吸着方法は、
複数の通気孔が形成された多孔版を紗を枠に張った紗張り版の裏面に設け、通気源機構により多孔版の複数の通気孔を介して気体を多孔版の裏面へ吸引して、枠に張った紗の表面にある被吸着物を紗の表面に吸着する吸着工程を有することを特徴とする。
【００１７】
前記吸着方法は、さらに、
通気源機構により多孔版の裏面から表面へ向かって複数の通気孔から気体を流出させて、吸着した被吸着物を紗の表面から離すことにより吸着解除する吸着解除工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、複数の通気孔が形成された多孔版と被吸着物との間に、枠に張った紗を備えているので、多孔版の通気孔を介して被吸着物を吸引した場合に、被吸着物にかかる吸引力が枠に張った紗によって略均一に分散され、被吸着物の平面性を保つことができるという効果を奏する。
【００１９】
また、紗を枠に張ることにより、紗の張力が増し、被吸着物の平面性をより確実に保つことができるという効果を奏する。
【００２０】
さらに、紗張り版の紗に無通気部を設け、通気部を被吸着物で覆うことにより、吸引時の密閉度が向上し、被吸着物を効果的に吸着することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
実施の形態１．
実施の形態１について、図面を参照して以下に説明する。ここで、吸着装置１００とは、例えば、テーブルに載置した被印刷物（被吸着物の一例）に対してスクリーン製版とスキージを用いてスクリーン印刷をおこなう際に、被印刷物を吸着してテーブルに固定する装置である。
【００２２】
図１（ａ）は、実施の形態１にかかる吸着装置１００の分解斜視図、図１（ｂ）は吸着装置１００の全体斜視図である。
【００２３】
図１（ａ）と図１（ｂ）を用いて吸着装置１００の構成について説明する。
【００２４】
紗張り版１０は、通気性を有する紗１２を枠１１に張ったものである。
【００２５】
また、紗張り版１０の紗１２は、通気性を有する通気部１４と、充填材を充填することで通気性を有しない無通気部１３とを備えている。また、無通気部１３は、後述するピン２４を通すためのピン穴１５（貫通孔の一例）を備える。
【００２６】
テーブル部２３は、多孔版２０と箱体３３とから構成される。箱体３３は、上面が開放している箱状体であり、開放している箱体３３の上面には多孔版２０が蓋状に取り付けられている。
【００２７】
多孔版２０には、多孔版の表面から裏面へと貫通する複数の通気孔２１が形成されている。さらに、多孔版２０の表面には、被印刷物４０の位置決めのためのピン２４が設置されている。ピン２４は、例えばスクリーン印刷時にスキージ等の動作の妨げにならないように、被印刷物４０の位置決め終了後であってスクリーン印刷開始前には、多孔版２０に埋設するように略垂直方向にスライド可能に構成されている。
【００２８】
パイプ３２は、箱体３３の下面から箱体３３の内部と連通するように配設されている。
【００２９】
通気源３１は、パイプ３２に接続しており、通気孔２１と箱体３３の内部とパイプ３２とを介して気体の流通をする。通気源３１は、例えばポンプ等である。
【００３０】
通気源機構３０は、通気源３１とパイプ３２と箱体３３とから構成されている。通気源３１は、パイプを介さずに直接箱体３３に接続されていても構わない。
【００３１】
被印刷物４０は、薄膜状の被印刷物であり、例えばフィルム状の基板等である。
【００３２】
図１（ｂ）に示すように、スクリーン印刷時には、被印刷物４０は紗張り版１０の表面に無通気部１３を覆うように載置される。すなわち、被印刷物４０無通気部１４を覆う位置に決定されるように、被印刷物４０の位置決め用のピン２４が配置される。ピン２４は、被印刷物４０の位置決め終了後であってスクリーン印刷開始前には、下方向にスライドして多孔版２０に埋設される。
【００３３】
図２は、実施の形態１にかかる吸着装置１００の紗張り版１０の平面図である。図２に示すように、被印刷物４０は紗張り版１０の通気部１４を覆うように載置される。重なり部１６は、被印刷物４０の周縁部と無通気部１３とが所定の幅だけ重なる部分である。また、紗張り版１０は紗１２を枠１１に張る構造となっているので、紗張り版１０の紗１２に対して紗張り版１０の中心部から枠１１方向全体に十分な張力を持たせることができる。
【００３４】
図３（ａ）は、図１（ｂ）に示す吸着装置１００のＡ−Ａ断面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示すＤ部分の部分拡大図、図７は、Ｄ部分における従来の図である。
【００３５】
図３（ａ）において、多孔版２０は、紗張り版１０の裏面に設けられており、紗張り版１０の紗１２の裏面に向かって複数の通気孔２１が形成されている。すなわち、テーブル部２３の多孔版２０の表面に紗張り版１０が設置されている。
【００３６】
ネジ２５は、紗張り版１０の枠１１と箱体３３の側面とを固定している。すなわち、ネジ２５は、紗１２の裏面が多孔版２０の表面に密着（接着）するように、紗張り版１０の枠１１を多孔版２０及び箱体３３に固定する取付部の一例である。取付部の他の具体例については後述する。
【００３７】
被印刷物４０は、上述したようにピン２４を利用して位置決めされ、被印刷物４０が紗張り版１０の通気部１４を覆うように、紗張り版１０の表面に載置される。位置決め・載置終了後、ピン２４は図示していない機構により略垂直下方向にスライドして多孔版２０に埋設される。
【００３８】
通気源３１は、複数の通気孔２１と箱体３３の内部に連通したパイプ３２とを介して気体を多孔版２０の裏面方向Ｂへ吸引する。これにより、多孔版２０の通気孔２１部分に吸引力が発生し、発生した吸引力により紗張り版１０の表面にある被印刷物４０を紗張り版１０の紗１２を介して吸引し、紗張り版１０の表面に吸着して固定する。位置決め用のピン２４は、スキージの動作の邪魔にならないように略垂直下方向にスライドして多孔版２０に埋設される。そして、スクリーン製版１１０とスキージ１２０を用いて、被印刷物４０に対してスクリーン印刷をおこなう。
【００３９】
ここで、例えば、被印刷物４０に対して通気孔２１からＢ方向に直接吸引力がかかると、図７（ａ）の従来例に示すように、被印刷物４０の通気孔部分に凹みができてしまい被印刷物４０の平面性が損なわれるおそれがある。そこで、図７（ｂ）に示すように被印刷物４０と多孔版２０との間にメッシュ状の紗を配設することにより、通気孔２１部分の吸引力をメッシュ状の紗の隙間によって略均一に分散することができる。しかし、ただ単にメッシュ状の紗を被印刷物４０と多孔版２０との間に介在させただけでは、紗の繊維部分にかかる吸引力により、紗の通気孔２１を覆う部分に若干の凹みができてしまい、結果的に被印刷物４０の平面性を十分に保持することはできないおそれがある。また、紗により被印刷物４０と多孔版２０との間に隙間ができ、吸引時に十分な吸着力を維持できないおそれがある。
【００４０】
本実施の形態によれば、紗１２を枠１１に張った紗張り版１０を使用するので、紗１２に十分な張力を持たせることができる。紗１２の枠方向への張力は、紗１２に対して凹みを生じさせる紗１２への通気孔２１からの吸引力より生じる紗１２に対して凹みを生じさせる力より大きいようにする。多孔版２０と被印刷物４０との間に配設された紗張り版１０の紗１２は、通気孔２１からの吸引力を紗１２の隙間によって略均一に分散することができ、さらに、紗１２の繊維部分に吸引力がかかったとしても紗１２が有する十分な張力により、紗１２の通気孔２１を覆う部分に凹みができることなく、被印刷物４０の平面性を十分に保持することができる。
【００４１】
紗１２は、例えば、細かいポリエステル・ナイロン・テトロン（登録商標）等の化学繊維又はステンレス等の金属繊維を紗織りした織布である。
【００４２】
スクリーン印刷機におけるスクリーン製版１１０のスクリーン１３０を、紗１２として適用することができる。また、スクリーン印刷機におけるスクリーン製版１１０のスクリーン枠１４０を、枠１１として適用することができる。
【００４３】
また、紗張り版１０として、マスク処理を施す前のスクリーン製版を適用することができる。この場合、例えば、マスク処理を施す前のスクリーン製版に対して、被印刷物４０の大きさに基づいて決定された無通気部１３の範囲に、マスク処理で使用する感光性乳剤等を充填材とした充填処理を施すことで無通気部１３を形成し、効果的な紗張り版１０を容易に製造することができる。
【００４４】
このように、紗張り版１０として、スクリーン製版を応用することにより、スクリーン印刷機や被印刷物４０の大きさに合った紗張り版を、容易にしかも安価に製造することができる。
【００４５】
図３（ｂ）は、図３（ａ）に示すＤ部分の拡大断面図である。
【００４６】
紗１２の無通気部１３は、充填材１８により充填されており、通気性がない部分である。充填材１８は、例えば、上述したように、スクリーン製版のマスク処理に使用する感光性乳剤等の樹脂である。
【００４７】
あるいは、紗１２に対して両面から金属（充填材１８の一例）でメッキを施すことにより、無通気部１３を形成してもよい。この場合は、メッキした金属部分に電荷が溜まる可能性があるため、アース線を接続するとよい。
【００４８】
図３（ｂ）に示すように、被印刷物４０の周縁部と無通気部１３とが重なる重なり部１６によって、被印刷物４０の周縁部と多孔版２０の隙間は略密封されている。これにより、通気孔２１からＢ方向に気体を吸引した場合に、気体が被印刷物４０の周縁部と多孔版２０の隙間から漏れることがなく、吸引力を無駄なく被印刷物４０にかけることができる。したがって、被印刷物４０に対する吸着力を向上させることができる。また、気体の漏れがないため、通気源機構３０による気体の吸引が効率よくおこなわれるので、通気源機構３０の負荷を減少させることができコストの削減につなげることができる。
【００４９】
紗張り版１０の紗１２は、紗１２の両面の平滑性を向上させるためにフラット加工される。あるいは、紗１２の面のうち少なくとも表面をフラット加工する。また、フラット加工は、紗１２の全面ではなく、充填材１８を充填した無通気部１４の面のみに施しても構わない。フラット加工により、感光性乳剤を充填あるいはメタルメッキにより金属を充填した無通気部１４の感光性乳剤（あるいはメタルメッキ）の最少の厚みが２μ以下となることが好ましい。
【００５０】
紗１２の両面のフラット加工により、紗１２の両面の平滑性が向上し、無通気部１４の表面と被印刷物４０の裏面との密着性および無通気部１４の裏面と多孔版２０の表面との密着性が向上し、被印刷物４０の周縁部と多孔版２０との隙間の密封度はより向上する。
【００５１】
実施の形態１にかかる吸着装置における取付部の他の具体例について図４を用いて説明する。図４は吸着装置１００の他の例を示す断面図である。
【００５２】
図４（ａ）は、箱体３３の側面の上面に、紗張り版１０の枠１１を嵌め込むための枠用溝２７２を形成した例である。紗１２の裏面が多孔版２０の表面に密着（接着）するように紗張り版１０の枠１１を枠用溝２７２に嵌め込み、ネジ２７１を用いて箱体３３の側面に固定する。ネジ２７１及び枠用溝２７２は、取付部の一例である。箱体３３をこのような形状とすることで、枠１１が外側、周辺方向（Ｇ方向）にずれることなく固定できるので、より紗張り版１０の紗１２の張力を向上させることができる。
【００５３】
図４（ｂ）は、枠１１の断面形状をＬ字形とし、枠１１に引掛け部２８３を設け、さらに断面が鍵状の取付金具２８１により枠１１を箱体３３に取り付けた例である。取付金具２８１の鍵部分を枠の上部に引っかけて下方向（Ｂ方向）に引張りながら引張りネジ２８２で固定することにより、紗張り版１０の紗１２と多孔版２０の表面と密着（接着）させている。下方向に引張ることにより紗張り版１０と多孔版２０との密着度（接着度）が向上し、被印刷物４０の平面性をより向上させることができる。取付金具２８１および引張りネジ２８２は取付部の一例である。
【００５４】
図４（ｃ）は、エアチューブ２９１を利用した取付部の例である。枠１１と箱体３３との間にエアチューブ２９１を配置するためのエアチューブ用溝２９２を形成する。さらに、枠１１の断面形状をＬ字形とし、下部にエアチューブ２９１を引掛ける引掛け部２９３を設けている。エアチューブ２９１に圧縮空気を注入しその圧力により、紗張り版１０を枠の周囲に向かって（枠方向、Ｇ方向）押し広げ、かつ引掛け部２９３により下方（Ｂ方向）にも押し広げることにより、多孔版２０と箱体３３とに固定している。また、エアチューブ２９１の膨張力により紗張り版の枠方向に力がかかり、紗張り版１０の紗１２の張力を増加して安定させることができる。下方にも押し広げているため、紗１２と多孔版２０の密着度（接着度）を向上させることができる。エアチューブ２９１およびエアチューブ用溝２９２は取付部の一例である。
【００５５】
以上のように、取付部により箱体３３に紗張り版１０を取り付けることで、紗張り版１０がずれることがなく、紗張り版１０の紗１２の裏面と多孔版２０の表面との密着度（接着度）を向上させることができる。これにより、紗１２の張力がより向上し、被印刷物４０の表面の平面性が向上する。
【００５６】
実施の形態２．
実施の形態１では、吸着装置１００は、例えば、スクリーン印刷時においてテーブルに被印刷物を十分な平面性を保持しつつ吸着・固定するための装置として説明した。
【００５７】
実施の形態２では、ピン２４のない吸着装置１００の上下を反転して移動源に配設することにより、被印刷物を被印刷物置き場からスクリーン印刷機のテーブルまで、被印刷物がよれたり皺になったりしないように運搬する運搬装置２００として使用する場合について説明する。ここで、移動源とは、ピン２４のない吸着装置１００を取り付けて、吸着装置１００を上下左右に移動させる、あるいは、回転させることができる機構をいう。
【００５８】
図５は、実施の形態２にかかる運搬装置２００の構成および運搬装置２００の吸着・運搬方法を示す図である。
【００５９】
運搬装置２００は、被印刷物置き場５０にある被印刷物４０を上方から吸着固定し、スクリーン印刷機の吸着装置１００の上部まで移送し、運搬装置２００の表面から被印刷物４０を吸着解除して（離間して）吸着装置１００の表面に被印刷物を載置する。それと同時に吸着装置１００が被印刷物４０の平面性を保持しつつ吸着固定し、被印刷物４０に対してスクリーン印刷をおこなう。
【００６０】
図５において、運搬装置２００は、実施の形態１における吸着装置１００の上下を反転させた状態で移動源６０に配設する構成となっている。すなわち、運搬装置２００は、吸着装置１００の一例である。
【００６１】
図５において、紗張り版１０、枠１１、紗１２、無通気部１３、通気部１４、多孔版２０、通気孔２１、箱体３３、通気源機構３０、通気源３１、パイプ３２、被印刷物４０については、実施の形態１で説明したものと同様の構造であるため、同じ記号を付して説明を省略する。
【００６２】
ピン凹部２６は、吸着装置１００における被印刷物４０の位置決め用のピン２４を収納するための凹部である（図５（ｃ）参照）。位置決めのために、ピン凹部２６の内径はピン２４の径より十分大きいものとする。移動源６０は、運搬装置２００を移動させるための移動源である。本実施の形態では、移動源６０は、少なくとも被印刷物置き場５０の上方から吸着装置１００の上方まで運搬装置２００を往復移動させる。また、移動源６０は、運搬装置２００を上下方向にも移動させることが可能である。被印刷物置き場５０は、例えば、スクリーン印刷前の被印刷物４０を格納している場所である。
【００６３】
図６は、実施の形態２にかかる運搬装置２００の吸着・運搬方法を示すフロー図である。
【００６４】
図５、図６を用いて、運搬装置２００の吸着・運搬方法について説明する。
【００６５】
＜第１の吸着工程：Ｓ６０１＞（吸着工程の一例）
まず、運搬装置２００は、移動源６０によって、被印刷物置き場５０に積載されている被印刷物４０の上方であり、運搬装置２００の紗張り版１０の表面が被印刷物４０の表面に接した場合に、被印刷物４０が紗張り版１０の通気部１４を覆う位置の上方に移動する。次に、移動源６０の上下方向の移動により、運搬装置２００の紗張り版１０の表面が被印刷物４０の表面に接するか、あるいは、所定の距離だけ離れた位置に配置する。次に、通気源機構３０により多孔版２０の複数の通気孔２１を介して気体を多孔版２０の裏面の方向（Ｅ方向）へ吸引して、枠に張った紗（紗張り版１０の紗１２）の表面にある被印刷物４０を紗１２の表面に吸着する（図５（ａ））。
【００６６】
＜移動工程：Ｓ６０２＞
運搬装置２００は、被印刷物４０を吸着した状態を保ったまま、移動源６０により移動する（図５（ｂ））。実施の形態１で説明したように、被印刷物４０の周縁部と多孔版２０の隙間は略密封されているので、通気孔２１からＥ方向に気体を吸引した場合に、気体が被印刷物４０の周縁部と多孔版２０の隙間から漏れることがなく、吸引力を無駄なく被印刷物４０にかけることができ、被印刷物４０に対する吸着力を向上させることができる。
【００６７】
このため、実施の形態１にかかる吸着装置１００を、吸着装置１００の上下を反転させた運搬装置２００に応用した場合でも、被印刷物４０が落下するおそれのない安全な運搬装置２００を提供することができる。
【００６８】
＜吸着解除工程：Ｓ６０３＞
次に、運搬装置２００は、移動源６０によって、吸着装置１００の上方であり、運搬装置２００が被印刷物４０を吸着解除して表面から離した場合に、被印刷物４０が吸着装置１００の紗張り版１０の通気部１４を覆うような位置に位置する。運搬装置２００は、被印刷物４０が吸着装置１００の紗張り版１０の通気部１４を覆うような位置に位置決め用のピン２４を利用して厳密に位置させる。運搬装置２００が被印刷物４０を吸着解除したときに、位置決め用のピン２４を利用して、正しい位置に載置してから吸着装置１００で吸着することができるからである。
【００６９】
すなわち、移動源６０の上下方向の移動により、運搬装置２００の紗張り版１０の表面にある被印刷物４０の表面が吸着装置１００の多孔版２０の表面に接するように位置決めする。このとき、運搬装置２００の下方にある吸着装置１００の、被印刷物４０の位置決め用のピン２４が突出している。運搬装置２００は、突出しているピン２４をピン凹部２６に納めることにより、運搬装置２００を吸着装置１００に平行に接近させて位置することができる。
【００７０】
運搬装置２００の通気源機構３０により多孔版２０の裏面から表面の方向（Ｆ方向）へ向かって、複数の通気孔２１から気体を流出させて、運搬装置２００の紗張り版１０の表面に吸着した被印刷物４０を紗１２の表面から吸着解除する（離す）。すなわち、運搬装置２００は、運搬装置２００の複数の通気孔２１から気体を流出することにより、表面に吸着していた被印刷物４０を紗の表面から押し出して、表面から離す（被印刷物４０と運搬装置２００の表面を離間させる）。
【００７１】
＜第２の吸着工程：Ｓ６０４＞（吸着工程の一例）
次に、運搬装置２００が運搬装置２００の紗張り版１０の表面に吸着した被印刷物４０を吸着解除することにより、被印刷物４０は吸着装置１００の表面に載置され、ピン２４を利用して正しい位置へ位置決めされる。そして、吸着装置１００によって、被印刷物４０は紗張り版１０の表面に平面性を保持しつつ吸着固定され（図５（ｄ））、スクリーン印刷がおこなわれる。
【００７２】
Ｓ６０４のあと（印刷後）、運搬装置２００は、印刷済みの被印刷物４０を運ぶときにも使用する。すなわち、運搬装置２００は、場所は異なるがＳ６０１〜Ｓ６０３と同様の動作により、スクリーン印刷機のテーブルから印刷済みの被印刷物の格納場所まで、印刷済みの被印刷物の運搬をする。
【００７３】
以上のように、実施の形態２では、強い吸着力を利用して逆さにしても被印刷物が落下する心配のない、安全な運搬装置２００を提供することができる。
【００７４】
また、ピンを除き吸着装置１００と同一のものを運搬装置２００に適用することができるので、大面積の被印刷物の運搬を容易におこなう運搬装置２００を提供することができる。さらに、ピンを除き吸着装置１００と同一のものを運搬装置２００に適用することができるので、運搬装置２００の製造が容易にできる。
【００７５】
運搬装置２００は、スクリーン印刷に限らず、全ての薄板、薄膜の運搬に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】実施の形態１にかかる吸着装置の分解斜視図（ａ）および全体斜視図（ｂ）である。
【図２】実施の形態１にかかる吸着装置の紗張り版の平面図である。
【図３】実施の形態１にかかる吸着装置の断面図（ａ）および拡大断面図（ｂ）である。
【図４】実施の形態１にかかる吸着装置の取付部の具体例を示す図である。
【図５】実施の形態２にかかる運搬装置の構成および運搬装置の吸着・運搬方法を示す図である。
【図６】実施の形態２にかかる運搬装置の吸着・運搬方法を示すフロー図である。
【図７】従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０  紗張り版、１１  枠、１２  紗、１３  無通気部、１４  通気部、１５  ピン穴、１６  重なり部、１８  充填材、２０  多孔版、２１  通気孔、２３  テーブル部、２４  ピン、２５  ネジ、２６  ピン凹部、３０  通気源機構、３１  通気源、３２  パイプ、３３  箱体、４０  被印刷物、５０  被印刷物置き場、６０  移動源、１００  吸着装置、１１０  スクリーン製版、１２０  スキージ、１３０  スクリーン、１４０  スクリーン枠、２００  運搬装置、２７１  ネジ、２７２  枠用溝、２８１  取付金具、２８２  引張りネジ、２９１  エアチューブ、２９２  エアチューブ用溝、２９３  引掛け部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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