(57)【要約】【課題】分散性と保存安定性優れる微粒子分散液を提供する。【解決手段】金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる粒径１５０ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液であって、前記分散液中の微粒子の平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下であること特徴とする、微粒子分散液。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる粒径１５０ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液であって、前記分散液中の微粒子の平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下であること特徴とする、微粒子分散液。
【請求項２】
前記アミド基を有する有機溶媒がＮ−メチルアセトアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−メチルプロパンアミド、ホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、１−メチル−２−ピロリドン、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、２−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、及びアセトアミドの中から選択される１種又は２種以上である、請求項１に記載の微粒子分散液。
【請求項３】
前記アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒が、前記アミド基を有する有機溶媒と、分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコールとの混合溶媒であり、かつ該極性有機溶媒を構成する各溶媒の体積分率に、それぞれの比誘電率を乗じて得られる値の合計の比誘電率が１０以上の溶媒である、請求項１又は２に記載の微粒子分散液。
【請求項４】
前記分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコールがエチレングリコ−ル、ジエチレングリコ−ル、１，２−プロパンジオ−ル、１，３−プロパンジオ−ル、１，２−ブタンジオ−ル、１，３−ブタンジオ−ル、１，４−ブタンジオ−ル、２−ブテン−１，４−ジオール、２，３−ブタンジオ−ル、ペンタンジオ−ル、ヘキサンジオ−ル、オクタンジオ−ル、グリセロール、１，１，１−トリスヒドロキシメチルエタン、２−エチル−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、グリセロ−ル、トレイトール、エリトリト−ル、ペンタエリスリト−ル、ペンチト−ル、及びヘキシト−ルの中から選択される１種又は２種以上である、請求項３に記載の微粒子分散液。
【請求項５】
前記金属が、銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択される１種又は２種以上、前記合金が前記金属の２種以上からなる合金、並びに前記金属化合物が前記金属及び合金の酸化物である、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の微粒子分散液。
【請求項６】
金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に分散されている微粒子分散液の製造方法であって、該微粒子分散液の製造方法には、
（ｉ）前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子を、保護被膜を形成しうる水溶性高分子を含む水溶液中又は有機溶媒中で、還元剤を使用した還元反応により、該水溶性高分子から形成される保護被膜で被覆された微粒子状態で形成する工程、次いで
（ii）前記水溶液中又は有機溶媒中に凝集促進剤を添加して微粒子を凝集沈殿させて回収する工程
が含まれていることを特徴とする、微粒子分散液の製造方法。
【請求項７】
前記水溶性高分子が、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、デンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上であることを特徴とする、請求項６に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項８】
前記凝集促進剤がエチレンクロロヒドリン、塩化アリル、塩化エチル、塩化ベンジル、塩化メチル、塩化メチレン、クロロナフタリン、クロロプロピレン、クロロベンゾール、クロロホルム、クロロプレン、四塩化アセチレン、四塩化エタン、四塩化炭素、ジクロロルエタン、ジクロロエチレン、ジクロロベンゾール、トリクロロルエチレン、トリクロロルメタン、ブロムベンゾール、ブロモホルム、及びヘキサクロロエタンの中から選択される１種又は２種以上である、請求項６又は７に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項９】
少なくとも下記工程１ないし３を含む、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子が分散されている微粒子分散液の製造方法。
（ａ）工程１
少なくとも１種の金属イオンと、保護被膜を形成しうる水溶性高分子とを溶解させた水溶液中に還元剤を添加して金属イオンを還元することにより、水溶液中に水溶性高分子から形成される保護被膜で被覆された粒径が１〜５００ｎｍの金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）を形成する、
（ｂ）工程２
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）が分散する水溶液中に凝集促進剤を添加して撹拌し、該金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）を凝集沈殿させた後、（ｉ）該凝集沈殿物を溶剤により洗浄すると共に分離・回収し、又は（ii）該凝集沈殿物を分離・回収後に該凝集沈殿物を溶剤により洗浄して、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を得る、
（ｃ）工程３
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に再分散して、該微粒子（Ｂ）が極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液を得る。
【請求項１０】
前記工程１における前記金属イオンが銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択される１種又は２種以上の金属の金属イオンである、請求項９に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１１】
前記工程１における前記水溶性高分子が、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、デンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上であることを特徴とする、請求項９又は１０に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１２】
前記工程１における前記還元剤が水素化ホウ素ナトリウム、ヒドラジン、ジメチルアミノボラン、及びトリメチルアミノボランの中から選択される１種又は２種以上である、請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１３】
前記工程２における前記凝集促進剤がエチレンクロロヒドリン、塩化アリル、塩化エチル、塩化ベンジル、塩化メチル、塩化メチレン、クロロナフタリン、クロロプロピレン、クロロベンゾール、クロロホルム、クロロプレン、四塩化アセチレン、四塩化エタン、四塩化炭素、ジクロロルエタン、ジクロロエチレン、ジクロロベンゾール、トリクロロルエチレン、トリクロロルメタン、ブロムベンゾール、ブロモホルム、及びヘキサクロロエタンの中から選択される１種又は２種以上である、請求項９ないし１２のいずれか１項に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１４】
前記工程２で使用する溶剤が、水、及び／又は分子中に少なくとも1以上の水酸基を有するアルコールである、請求項９ないし１３のいずれか１項に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１５】
前記工程３で使用する前記アミド基を有する有機溶媒がＮ−メチルアセトアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−メチルプロパンアミド、ホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、１−メチル−２−ピロリドン、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、２−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、及びアセトアミドの中から選択される１種又は２種以上である、請求項９ないし１４のいずれか１項に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１６】
前記極性有機溶媒が、前記アミド基を有する有機溶媒と、分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコールとの混合溶媒であり、かつ該極性有機溶媒を構成する各溶媒の容積分率に、それぞれの比誘電率を乗じて得られる値の合計の比誘電率が１０以上の溶媒である、請求項９ないし１５のいずれか１項に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１７】
前記金属が、銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択される１種又は２種以上、前記合金が前記金属の２種以上からなる合金、並びに前記金属化合物が前記金属及び合金の酸化物である、請求項９ないし１６のいずれか１項に記載の微粒子分散液の製造方法。
【請求項１８】
請求項９ないし１７のいずれか１項に記載の微粒子分散液を基板に塗布し、乾燥後、不活性ガス雰囲気下１５０℃〜５００℃で焼成して導電性を有する金属含有薄膜又は金属含有細線を形成することを特徴とする、金属薄膜又は金属細線の製造方法。
【請求項１９】
前記焼成が不活性ガス雰囲気下１９０℃〜２５０℃で行われることを特徴とする、請求項１８に記載の金属薄膜又は金属細線の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分散性、保存安定性等に優れる、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子が特定の極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液及びその製造方法、並びに金属薄膜又は金属細線の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノサイズ（粒径が１μｍ以下）の金属微粒子は、バルク材料にはない様々な特異な特性を持つことが知られている。そしてこの特性を生かした様々な工学的応用が、現在、エレクトロニクス、バイオ、エネルギー等の各分野で、大いに期待されている。
中でも、銅、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、銀等の工業的な汎用金属及びそれらの合金からなるナノサイズの金属微粒子は、導電回路、バンプ、ビア、パッド等の実装部品の形成材料、高密度磁気記憶媒体やアンテナ用の磁性素子、ガス改良フィルタや燃料電池電極用の触媒材料として、大いに期待されている。
【０００３】
このようなナノサイズの金属微粒子を製造する方法としては、大きく気相合成法と液相合成法の２種類の製法が知られている。ここで気相合成法とは、気相中に導入した金属蒸気から固体の金属微粒子を形成する方法であり、他方、液相合成法とは、溶液中に分散させた金属イオンを還元することにより金属微粒子を析出させる方法である。
また、液相合成法においては、一般にその金属イオンを還元するための還元剤を使用する方法と、電気化学的にカソード電極上で還元を行う方法とが知られている。
【０００４】
また、最近では、金属微粒子を含有するインクを使用して、配線パターンをインクジェットプリンタにより印刷し、焼成して配線を形成する技術が注目されている。しかし、インクジェットプリンタのインクとして、金属微粒子を含有するインクを使用する場合、インク中において分散性を長期間保つことが重要である。そのため、インク中において分散性を長期間保つ金属微粒子の製造方法が提案されている。
【０００５】
本発明者らは先の出願で、金属イオンを、有機物保護被膜を溶解させた水溶液の中で還元剤の使用により粒径が１〜５００ｎｍ程度の有機物保護被膜で被覆された金属微粒子を形成し、これに凝集促進剤を添加して粒子成分を分離・回収すると共に洗浄して、分子中に１つ以上の水酸基を有するアルコール溶媒に再分散する、金属微粒子分散液の製造方法を提案した。
また、金属微粒子分散液を乾燥後に焼成して金属薄膜又は金属細線を得る方法として下記の特許文献が公開されている。
【０００６】
銅微粒子を得る方法として、核生成のためのパラジウムイオンを添加すると共に、分散剤としてポリエチレンイミンを添加してポリエチレングリコール又はエチレングリコール溶液中でパラジウムを含有する粒径５０ｎｍ以下の銅微粒子を形成し、ついでこの銅微粒子分散液を用いて、基板上にパターン印刷を行うために、４％Ｈ２−Ｎ２気流中において２５０℃×３時間の熱処理を行うことによって、微細な銅の導電膜を形成したことが記載されている（特許文献１）。
１次粒径が１００ｎｍ以下である金属酸化物微粒子を含むインクジェット用インクをインクジェット法により基板上に塗布した後、水素ガス雰囲気下で３５０℃／１時間の熱処理を施して、酸化第一銅の還元を行い、金属配線のパターンを得たことが開示されている（特許文献２）。
金属の周りに分散剤として有機金属化合物が付着している金属ナノ粒子をスピンコート法により、基板（ガラス）上に塗布し、１００℃で乾燥し、２５０℃での焼成により銀の薄膜を作製したことが開示されている（特許文献３）。
また、ジエチレングリコール中に懸濁された、２次粒子の平均粒径５００μｍの酢酸銅を濃度が３０重量％になるように濃縮し、さらに超音波処理を施して、導電性インクとした後、スライドガラス上に塗布して、還元雰囲気で３５０℃、１ｈ加熱して銅薄膜を得たことが記載されている（特許文献４）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３３０５５２号公報
【特許文献２】特開２００４−２７７６２７号公報
【特許文献３】特開２００５−８１５０１号公報
【特許文献４】特開２００４−３２３５６８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記した、金属イオンを、有機物保護被膜を溶解させた水溶液の中で還元剤の使用により有機物保護被膜で被覆された金属微粒子を形成し、これに凝集促進剤を添加して粒子成分を分離・回収すると共に洗浄して、分子中に１つ以上の水酸基を有するアルコール溶媒に再分散する、金属微粒子分散液の製造方法では、溶媒中への金属微粒子の分散性等になお改良の余地があった。
また、上記した特許文献１、２をはじめ、特許文献３及び特許文献４における従来の製造方法では、２５０〜３００℃に近い高温で熱処理をしなければ、導電性の金属を得ることができず、また、熱処理のときに、水素ガス等の還元剤を使用しなければならないという問題点もあった。
更に、金属微粒子をアルコール溶媒に分散させた微粒子分散液は、熱処理により基板上に導電性の焼成膜を得ることが出来ても、焼成膜の基板密着性は未だ不十分なものであった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、アミド基を有する有機溶媒を含む、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に金属等の微粒子を分散させると、分散性と保存安定性が顕著に向上し、更に前記金属薄膜又は金属細線を作製する際に基板密着性に優れる微粒子分散液が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明の第１の態様は、（１）金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる粒径１５０ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液であって、前記分散液中の微粒子の平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下であること特徴とする、微粒子分散液に関する発明である。
【００１０】
本発明の上記第１の態様である「微粒子分散液」においては更に下記（２）ないし（５）に記載の態様とすることができる。
（２）前記アミド基を有する有機溶媒がＮ−メチルアセトアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−メチルプロパンアミド、ホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、１−メチル−２−ピロリドン、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、２−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、及びアセトアミドの中から選択される１種又は２種以上である。
（３）前記アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒が、前記アミド基を有する有機溶媒と、分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコールとの混合溶媒であり、かつ該極性有機溶媒を構成する各溶媒の体積分率に、それぞれの比誘電率を乗じて得られる値の合計の比誘電率が１０以上の溶媒である。
（４）前記（３）における、分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコールがエチレングリコ−ル、ジエチレングリコ−ル、１，２−プロパンジオ−ル、１，３−プロパンジオ−ル、１，２−ブタンジオ−ル、１，３−ブタンジオ−ル、１，４−ブタンジオ−ル、２−ブテン−１，４−ジオール、２，３−ブタンジオ−ル、ペンタンジオ−ル、ヘキサンジオ−ル、オクタンジオ−ル、グリセロール、１，１，１−トリスヒドロキシメチルエタン、２−エチル−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール、グリセロ−ル、トレイトール、エリトリト−ル、ペンタエリスリト−ル、ペンチト−ル、及びヘキシト−ルの中から選択される１種又は２種以上である。
（５）前記金属が、銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択される１種又は２種以上、前記合金が前記金属の２種以上からなる合金、並びに前記金属化合物が前記金属及び合金の酸化物である。
【００１１】
本発明の第２の態様は、（６）金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に分散されている微粒子分散液の製造方法であって、該微粒子分散液の製造方法には、
（ｉ）前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子を、保護被膜を形成しうる水溶性高分子を含む水溶液中又は有機溶媒中で、還元剤を使用した還元反応により、該水溶性高分子から形成される保護被膜で被覆された微粒子状態で形成する工程、次いで
（ii）前記水溶液中又は有機溶媒中に凝集促進剤を添加して微粒子を凝集沈殿させて回収する工程
が含まれていることを特徴とする、微粒子分散液の製造方法、に関する。
【００１２】
本発明の上記第２の態様である「微粒子分散液の製造方法」においては更に下記（７）及び（８）に記載の態様とすることができる。
（７）前記水溶性高分子が、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、デンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上である。
（８）前記凝集促進剤がエチレンクロロヒドリン、塩化アリル、塩化エチル、塩化ベンジル、塩化メチル、塩化メチレン、クロロナフタリン、クロロプロピレン、クロロベンゾール、クロロホルム、クロロプレン、四塩化アセチレン、四塩化エタン、四塩化炭素、ジクロロルエタン、ジクロロエチレン、ジクロロベンゾール、トリクロロルエチレン、トリクロロルメタン、ブロムベンゾール、ブロモホルム、及びヘキサクロロエタンの中から選択される１種又は２種以上である。
【００１３】
本発明の第３の態様は、（９）少なくとも下記工程１ないし３を含む、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子が分散されている微粒子分散液の製造方法。
（ａ）工程１
少なくとも１種の金属イオンと、保護被膜を形成しうる水溶性高分子とを溶解させた水溶液中に還元剤を添加して金属イオンを還元することにより、水溶液中に水溶性高分子から形成される保護被膜で被覆された粒径が１〜５００ｎｍの金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）を形成する、
（ｂ）工程２
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）が分散する水溶液中に凝集促進剤を添加して撹拌し、該金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）を凝集沈殿させた後、（ｉ）該凝集沈殿物を溶剤により洗浄すると共に分離・回収し、又は（ii）該凝集沈殿物を分離・回収後に該凝集沈殿物を溶剤により洗浄して、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を得る、
（ｃ）工程３
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に再分散して、該微粒子（Ｂ）が極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液を得る。
【００１４】
本発明の上記第３の態様である「微粒子分散液の製造方法」においては更に下記（１０）ないし（１７）に記載の態様とすることができる。
（１０）前記工程１における前記金属イオンが銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択される１種又は２種以上の金属の金属イオンである。
（１１）前記工程１における前記水溶性高分子が、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、デンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上である。
（１２）前記工程１における前記還元剤が水素化ホウ素ナトリウム、ヒドラジン、ジメチルアミノボラン、及びトリメチルアミノボランの中から選択される１種又は２種以上である。
（１３）前記工程２における前記凝集促進剤がエチレンクロロヒドリン、塩化アリル、塩化エチル、塩化ベンジル、塩化メチル、塩化メチレン、クロロナフタリン、クロロプロピレン、クロロベンゾール、クロロホルム、クロロプレン、四塩化アセチレン、四塩化エタン、四塩化炭素、ジクロロルエタン、ジクロロエチレン、ジクロロベンゾール、トリクロロルエチレン、トリクロロルメタン、ブロムベンゾール、ブロモホルム、及びヘキサクロロエタンの中から選択される１種又は２種以上である。
（１４）前記工程２で使用する溶剤が、水、及び／又は少なくとも１つ以上の水酸基を有するアルコールである。
（１５）前記工程３で使用する前記アミド基を有する有機溶媒がＮ−メチルアセトアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−メチルプロパンアミド、ホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、１−メチル−２−ピロリドン、ヘキサメチルホスホリックトリアミド、２−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、及びアセトアミドの中から選択される１種又は２種以上である。
（１６）前記極性有機溶媒が、前記アミド基を有する有機溶媒と、分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコールとの混合溶媒であり、かつ該極性有機溶媒を構成する各溶媒の容積分率に、それぞれの比誘電率を乗じて得られる値の合計の比誘電率が１０以上の溶媒である。
（１７）前記金属が、銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択される１種又は２種以上、前記合金が前記金属の２種以上からなる合金、並びに前記金属化合物が前記金属及び合金の酸化物である。
【００１５】
本発明の第４の態様は、（１８）前記（９）ないし（１７）に記載の微粒子分散液を基板に塗布し、乾燥後、不活性ガス雰囲気下１５０℃〜５００℃で焼成して導電性を有する金属含有薄膜又は金属含有細線を形成することを特徴とする、金属薄膜又は金属細線の製造方法、に関する。
本発明の上記第４の態様においては更に下記（１９）に記載の態様とすることができる。
（１９）前記（１８）において焼成が不活性ガス雰囲気下１９０℃〜２５０℃で行われる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の微粒子分散液は、アミド基を有する有機溶媒を含む、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子が分散されているので、該極性有機溶媒に存在する微粒子の分散性と保存安定性に優れている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明において、比誘電率の測定は、Scientifica社製、誘電率計  型式：Ｍ−８７０を使用して行った。測定温度は、室温（約２５℃付近）である。
〔１〕第１の態様
本発明の第１の態様である「微粒子分散液」は、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる粒径１５０ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液であって、前記分散液中の微粒子の平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下であること特徴とする。
【００１８】
（１）金属、合金、及び金属化合物
本発明で使用可能な「金属、合金、及び金属化合物」は、特に制限されるものではなく、前記金属が、銅、銀、金、ニッケル、コバルト、鉄、亜鉛、スズ、アルミニウム、ビスマス、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウム、ロジウム、マンガン、クロム、バナジウム、及びチタンの中から選択された金属の1種又は２種以上、これらの金属の２種以上からなる合金、及びこれらの金属の1種又は２種以上の金属化合物から、目的・用途に合わせて適宜選定すれば良い。
上記金属化合物には、金属及び合金の酸化物も含まれる。本発明の微粒子を製造する際に金属及び合金の酸化物が含まれてくる場合が多い、特に銅をはじめとする遷移金属粒子の場合に酸化物がまったく含まれないものは少ない。尚、この酸化のレベルは微粒子生成時および保管時の雰囲気、温度、保持時間によってさまざまであり、微粒子の最表面だけ薄く酸化されて内側は金属のままの場合や、微粒子が完全に酸化されている場合もある。本発明でいう“金属化合物”はこのようなさまざまな酸化状態の粒子をすべて含有する。
上記金属のうち、Ｃｕ、Ａｇ、及びＡｕ等の金属から選ばれた１種もしくは２種以上の金属、又はこれらの金属の２種以上からなる合金が好ましい。
【００１９】
（２）極性有機溶媒
本発明における「極性有機溶媒」は、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒である。該極性有機溶媒は、アミド基を有する有機溶媒以外に他の極性有機溶媒を加えて、該極性有機溶媒を構成する各溶媒の体積分率に、それぞれの比誘電率を乗じて得られる値の合計の比誘電率が１０以上の極性有機溶媒となる溶媒である。アミド基を有する有機溶媒以外の溶媒として、分子中に少なくとも１以上の水酸基を有するアルコール及び／もしくは多価アルコール等からなる極性の溶媒を使用することが好ましい。
極性有機溶媒中でアミド基を有する有機溶媒は、分散性と保存安定性を向上し、更に前記金属等の微粒子を含有している状態で基板上に焼成した場合に基板密着性を向上する作用を有している。
以下にアミド基を有する有機溶媒と、アルコールと多価アルコールを例示する。
アミド基を有する極性有機溶媒として、Ｎ−メチルアセトアミド（191.3 at 32℃）、Ｎ−メチルホルムアミド（182.4 at 20℃）、Ｎ−メチルプロパンアミド(172.2 at 25℃)、ホルムアミド（111.0 at 20℃）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド（37.78 at 25℃）、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン（37.6 at 25℃）、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（36.7 at 25℃）、１−メチル−２−ピロリドン（32.58 at 25℃）、ヘキサメチルホスホリックトリアミド（29.0 at 20℃）、２−ピロリジノン、ε−カプロラクタム、アセトアミド等が挙げられるが、これらを混合して使用することもできる。尚、上記アミド基を有する有機溶媒における括弧中の数字は各溶媒の測定温度における比誘電率を示す。これらの中でも比誘電率が１００以上である、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、ホルムアミド、アセトアミドなどがより好ましい。
【００２０】
比誘電率が１０以上のアルコールとして、炭素数が１以上のアルコール、及び多価アルコールが例示でき、具体的には、エチレングリコ−ル、ジエチレングリコ−ル、１，２−プロパンジオ−ル、１，３−プロパンジオ−ル、１，２−ブタンジオ−ル、１，３−ブタンジオ−ル、１，４−ブタンジオ−ル、２−ブテン−１，４−ジオール、２，３−ブタンジオ−ル、ペンタンジオ−ル、ヘキサンジオ−ル、オクタンジオ−ル、グリセロール、１，１，１−トリスヒドロキシメチルエタン、２−エチル−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２，３−ヘキサントリオール、１，２，４−ブタントリオール等を例示できる。また、グリセロ−ル、トレイトール、エリトリト−ル、ペンタエリスリト−ル、ペンチト−ル、ヘキシト−ル等の糖アルコ−ル類も使用可能であり、ペンチトールには、キシリトール、リビトール、アラビトールが含まれる。また、ヘキシトールには、マンニトール、ソルビトール、ズルシトール等が含まれる。また、グリセリンアルデヒド、ジオキシアセトン、トレオース、エリトルロース、エリトロース、アラビノース、リボース、リブロース、キシロース、キシルロース、リキソース、グルコ−ス、フルクト−ス、マンノース、イドース、ソルボース、グロース、タロース、タガトース、ガラクトース、アロース、アルトロース、ラクト−ス、キシロ−ス、アラビノ−ス、イソマルト−ス、グルコヘプト−ス、ヘプト−ス、マルトトリオース、ラクツロース、トレハロース、等の糖類も使用可能である。
また、上記アルコール類のなかでは、２個以上のヒドロキシル基を有する多価アルコールがより好ましく、エチレングリコール及びグリセリンが特に好ましい。
【００２１】
前記極性有機溶媒中にはアミド基を有する有機溶媒が１０体積％以上含まれていることが望ましい。アミド基を有する有機溶媒が１０体積％未満では、極性有機溶媒における金属等の分散性と保存安定性が不十分になるおそれがある。極性溶媒中の好ましいアミド基を有する有機溶媒濃度は３０〜１００体積％、より好ましくは４０〜１００体積％、特に好ましくは６０〜９０体積％である。尚、アミド基を有する有機溶媒の中でＮ−メチルアセトアミド（融点２６℃〜２８℃）のように常温で固体の場合には他の溶媒と混合して作業温度で液状とする方が望ましい。
（３）金属、合金、及び金属化合物の形状
極性溶媒中に分散されている微粒子の粒径は、金属薄膜、金属細線等の使用目的を考慮すると１５０ｎｍ以下が望ましい。このような微粒子は後述する第２と第３の態様に記載するような金属イオンの還元法、又は公知の方法により形成することができる。
また、本発明の極性有機溶媒は、微粒子の分散性に優れているので、これらの微粒子からなる２次凝集粒子の平均２次凝集サイズを５００ｎｍ以下とすることが可能である。
（４）かくして得られたアミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子が分散されている微粒子分散液は、分散性と保存安定性に優れ、更に該微粒子分散液を基板に塗布して乾燥後、加熱焼成すると優れた基板密着性を発揮する。
【００２２】
〔２〕第２の態様
本発明の第２の態様は、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の微粒子が、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に分散されている微粒子分散液の製造方法であって、該微粒子分散液の製造方法には、
（ｉ）前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子を、保護被膜を形成しうる水溶性高分子を含む水溶液中又は有機溶媒中で、還元剤を使用した還元反応により、該水溶性高分子から形成される保護被膜で被覆された微粒子状態で形成する工程、次いで
（ii）前記水溶液中又は有機溶媒中に凝集促進剤を添加して微粒子を凝集沈殿させて回収する工程
が含まれていることを特徴とする。
【００２３】
第２の態様で使用する金属、合金、及び金属化合物は第１の態様に記載した金属、合金、及び金属化合物と同様である。
金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子は、保護被膜を形成しうる水溶性高分子を溶解させた前記水溶液中又は有機溶媒中で還元剤を添加する無電解還元、もしくは電解還元、又は公知の方法を用いて水溶性高分子からなる有機物保護被膜で被覆された微粒子として形成される。
前記保護被膜を形成しうる水溶性高分子として好ましいのは、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン等のアミン系の高分子；ポリアクリル酸、カルボキシメチルセルロース等のカルボン酸基を有する炭化水素系高分子；ポリアクリルアミド等のアクリルアミド；ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキシド、更にはデンプン、及びゼラチンの中から選択される１種又は２種以上である。
【００２４】
上記例示した水溶性高分子化合物の具体例として、ポリビニルピロリドン（分子量：１０００〜５００、０００）、ポリエチレンイミン（分子量：１００〜１００，０００）、カルボキシメチルセルロース（ヒドロキシル基Ｎａ塩のカルボキシル基への置換度：０．４以上、分子量：１０００〜１００，０００）、ポリアクリルアミド（分子量：１００〜６，０００，０００）、ポリビニルアルコール（分子量：１０００〜１００，０００）、ポリエチレングリコール（分子量：１００〜５０，０００）、ポリエチレンオキシド（分子量：５０，０００〜９００，０００）、ゼラチン（平均分子量：６１，０００〜６７，０００）、水溶性のデンプン等が挙げられる。
上記かっこ内にそれぞれの高分子化合物の数平均分子量を示すが、このような分子量範囲にあるものは水溶性を有するので、本発明の有機物保護被膜として好適に使用できる。尚、これらの２種以上を混合して使用することもできる。
また、水溶性高分子化合物の添加量は、還元反応溶液に存在する金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上（以下、金属等ということがある。）に対する質量比（［（水溶性高分子化合物）／（金属等）］質量比）として０．０１〜３０が好ましい。水溶性高分子化合物の添加量比が前記３０を超えると溶液の粘性が高くなる場合があり、還元反応終了後の粒子精製に支障をきたす場合がある。一方、前記０．１未満では粒子が粗大化したり、もしくは架橋効果により粒子同士が強固な凝集体を形成したりする場合がある。より好ましい上記添加量比は０．５〜１０である。
【００２５】
第２の態様において使用する凝集促進剤として好ましいのは、エチレンクロロヒドリン、塩化アリル、塩化エチル、塩化ベンジル、塩化メチル、塩化メチレン、クロロナフタリン、クロロプロピレン、クロロベンゾール、クロロホルム、クロロプレン、四塩化アセチレン、四塩化エタン、四塩化炭素、ジクロロルエタン、ジクロロエチレン、ジクロロベンゾール、トリクロロルエチレン、トリクロロルメタン、ブロムベンゾール、ブロモホルム、ヘキサクロロエタン等の中から選択される１種又は２種以上である。
このような凝集促進剤の添加量は、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子質量（以下、金属等質量ということがある。）に対して（［凝集促進剤（ｍｏｌ）］／［金属等質量（ｇ）］）比で、０．０１〜１０．０が好ましく、０．１〜１．０がより好ましい。
【００２６】
第２の態様においては、上記水溶液又は有機溶媒中に凝集促進剤を添加して微粒子を凝集沈殿させて回収する工程の後に、回収された微粒子を例えば水、及び／又は分子中に少なくとも1以上の水酸基を有するアルコール溶媒で洗浄することにより、該微粒子に付着していた不純物は容易に除去される。このように不純物が除去された微粒子を、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に分散される。尚、前記分子中に少なくとも1以上の水酸基を有するアルコール溶媒としては、炭素数が１〜５程度のアルコール溶媒が好ましい。
第２の態様で使用する、前記アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒は、第１の態様に記載した極性有機溶媒と同様である。
かくして得られたアミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の前記金属等の微粒子が分散されている微粒子分散液は、分散性と保存安定性に優れ、更に該微粒子分散液を基板に塗布して乾燥後、加熱焼成すると優れた基板密着性を発揮する。
【００２７】
〔３〕第３の態様
本発明の第３の態様は、少なくとも下記工程１ないし３を含む、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒中に平均２次凝集サイズが５００ｎｍ以下の金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子が分散されている微粒子分散液の製造方法である。
（ａ）工程１
少なくとも１種の金属イオンと、保護被膜を形成しうる水溶性高分子とを溶解させた水溶液中に還元剤を添加して金属イオンを還元することにより、水溶液中に水溶性高分子から形成される保護被膜で被覆された粒径が１〜５００ｎｍの金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）を形成する、
（ｂ）工程２
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）が分散する水溶液中に凝集促進剤を添加して撹拌し、該金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ａ）を凝集沈殿させた後、（ｉ）該凝集沈殿物を溶剤により洗浄すると共に分離・回収し、又は（ii）該凝集沈殿物を分離・回収後に該凝集沈殿物を溶剤により洗浄して、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を得る、
（ｃ）工程３
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を、アミド基を有する有機溶媒濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に再分散して、該微粒子（Ｂ）が極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液を得る。
【００２８】
以下に第３の態様の「微粒子分散液の製造方法」に係る工程１〜３について説明する。
（ａ）工程１
工程１で使用可能な金属イオンの金属は、第１の態様で例示したと同様の金属のイオンであり、保護被膜を形成する水溶性高分子とその配合割合は、第２の態様で説明したのと同様である。
好ましい還元剤の例としては、水素化ホウ素ナトリウム、ヒドラジン、ジメチルアミノボラン、トリメチルアミノボラン等の中から選択された１種又は２種以上が例示できる。前記還元剤を用いて、公知の方法により還元して水溶性高分子からなる保護被膜で被覆された微粒子が形成される。
工程１の１例をあげると、酢酸銅から形成される銅の金属イオンを、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）等の有機物保護被膜を溶解させた前記水溶液の中で水素化ホウ素ナトリウム等の還元剤を添加して還元することにより、粒径が１〜１５０ｎｍ程度の水溶性高分子からなる保護被膜で被覆された銅微粒子を形成する。
【００２９】
（ｂ）工程２
工程２で使用可能な、凝集促進剤は、ハロゲン系炭化水素であり、その具体例として、エチレンクロロヒドリン、塩化アリル、塩化エチル、塩化ベンジル、塩化メチル、塩化メチレン、クロロナフタリン、クロロプロピレン、クロロベンゾール、クロロホルム、クロロプレン、四塩化アセチレン、四塩化エタン、四塩化炭素、ジクロロルエタン、ジクロロエチレン、ジクロロベンゾール、トリクロロルエチレン、トリクロロルメタン、ブロムベンゾール、ブロモホルム、及びヘキサクロロエタン等の中から選択された少なくとも１種が例示できる。
このような凝集促進剤の添加量は、金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子質量に対して、（［凝集促進剤（ｍｏｌ）］／［金属等質量（ｇ）］）比で、０．０１〜１０が好ましく、０．１〜１．０がより好ましい。
【００３０】
工程２における（ｉ）「該凝集沈殿物を溶剤により洗浄すると共に分離・回収」する操作は、例えば遠心分離機を使用して、溶剤でリンスしながら微粒子を回収できる。
また、（ii）「該凝集沈殿物を分離・回収後に該凝集沈殿物を溶剤により洗浄」する操作は、ろ過、遠心分離操作等により粗微粒子を回収した後に溶剤洗浄し、その後更にろ過、遠心分離操作等により洗浄溶媒を除去することもできる。
このような洗浄に使用可能な好ましい溶剤として、水、及び／又は少なくとも１つ以上の水酸基を有するアルコールが挙げられ、溶剤洗浄により、より分散性の優れた該微粒子（Ｂ）の分散液を得ることができる。尚、前記分子中に少なくとも1以上の水酸基を有するアルコール溶媒としては、炭素数が１〜５程度のアルコール溶媒が好ましい。
工程２の操作の一例をあげると、工程１で得られた、水溶性高分子の保護被膜で被覆された粒径が１５０ｎｍ以下の該微粒子（Ａ）を含む水溶液中に、クロロホルム等の凝集促進剤を添加して撹拌後に粒子成分を凝集沈殿させる。該沈殿物を遠心分離機等の使用により粒子成分を回収する。回収された粒子成分を水、メタノール等の洗浄により、還元剤等の不純物を十分に除去する。  
【００３１】
（ｃ）工程３
前記金属、合金、及び金属化合物の１種又は２種以上からなる微粒子（Ｂ）を、アミド基を有する有機溶媒の濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒に再分散して、該金属微粒子（Ｂ）が極性有機溶媒に分散されている微粒子分散液を得る工程である。
前記アミド基を有する有機溶媒の濃度が１０体積％以上である、比誘電率１０以上の極性有機溶媒は、第１の態様に記載した極性有機溶媒と同様である。
【００３２】
かくして得られた微粒子分散液は、第４の態様に記載する通り、２００℃程度の比較的低温でかつ水素ガス等の還元剤を使用することなく焼成して導電材化することが可能であり、ガラスエポキシ、ポリイミド等の基板に金属微粒子を２００℃程度の低温焼成で金属的導電性を有する焼成部材を形成する要求に十分対応可能である。
【００３３】
〔４〕第４の態様
本発明の第４の態様である「金属薄膜又は金属細線の製造方法」は、前記第１ないし３の態様に記載した微粒子分散液を基板に塗布し、乾燥後、不活性ガス雰囲気下１９０〜２５０℃で焼成して導電性を有する金属含有薄膜又は金属含有細線を形成することを特徴とする。
上記基板は特に制限はなく使用目的等により、ガラス、ポリイミド等が使用でき、乾燥と焼成は、アルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行われる。乾燥条件は、使用する極性溶媒にもよるが例えば１００〜２００℃で１５〜３０分程度であり、焼成条件は、塗布厚みにもよるが例えば１９０〜２５０℃で２０〜４０分間程度、好ましくは１９０〜２００℃で２０〜４０分間程度である。
かくして得られる金属含有薄膜又は金属含有細線は、導電性を有しており、その電気抵抗値は、１．０Ωｃｍ以下で例えば、１．０×１０−５Ωｃｍ〜１０×１０−５Ωｃｍ程度を達成することが可能である。
【実施例】
【００３４】
以下に本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明は下記方法に限定されるものではない。
[実施例１、比較例１] 
銅微粒子分散液の分散性の評価を行った。
（１）銅微粒子分散液の調製
始めに水溶性高分子からなる有機物保護被膜で被覆された銅微粒子を次の手順で準備した。
先ず、銅微粒子の原料として酢酸銅（（ＣＨ３ＣＯＯ）２Ｃｕ・１Ｈ２Ｏ）０．２ｇを蒸留水１０ｍｌに溶解させた酢酸銅水溶液１０ｍｌと、金属イオン還元剤として５．０ｍｏｌ／リットル（ｌ）となるように水素化ホウ素ナトリウムと蒸留水とを混合した水素化ホウ素ナトリウム水溶液１００ｍｌを作成した。その後、上記水素化ホウ素ナトリウム水溶液に、保護被膜を形成する水溶性高分子としてポリビニルピロリドン（ＰＶＰ、数平均分子量約３５００）０．５ｇを添加して、攪拌溶解させた後、窒素ガス雰囲気中で、上記酢酸銅水溶液１０ｍｌを滴下した。
この混合液を約６０分間よく攪拌しながら反応させた結果、粒径５〜１０ｎｍの銅微粒子が水溶液中に分散した微粒子分散液が得られた。
【００３５】
次に、上記方法で得られた銅微粒子が分散した分散液１００ｍｌに、凝集促進剤としてクロロホルムを５ｍｌ添加してよく攪拌した。数分間攪拌した後、反応液を遠心分離機に入れ、粒子成分を沈殿回収した。その後、試験管に得られた粒子と適量の蒸留水とを入れ、超音波ホモジナイザーを用いてよく攪拌した後、遠心分離機で粒子成分を回収する水洗浄を３回、続いて、同じく試験管中で、得られた粒子と適量のブタノールとを入れ、超音波ホモジナイザーを用いてよく攪拌した後、遠心分離機で粒子成分を回収するアルコール洗浄を３回行った。
【００３６】
以上の工程により回収された銅微粒子を、アミド基を有する有機溶媒を含有した極性有機溶媒の１例として、Ｎ-メチルアセトアミドとエチレングリコールを、１：０（実施例１-１）、２：１（実施例１-２）、１：２（実施例１-３）の体積割合で混合した溶媒１０ｍｌにそれぞれ分散させ、超音波ホモジナイザーを用いて十分によく攪拌することで、本発明のアミド基を含む極性有機溶媒に分散された微粒子分散液が得られた。また比較例として、上述の銅微粒子を、Ｎ-メチルアセトアミドとエチレングリコールを、１：１９（比較例１-１）、０：１（比較例１-２）の体積割合で混合した溶媒１０ｍｌにそれぞれ分散させた微粒子分散液も調製した。
尚、Ｎ-メチルアセトアミドの比誘電率は１９１．３（ａｔ３２℃）であり、エチレングリコール比誘電率は３８．７（室温）であり、使用した極性有機溶媒の比誘電率は、少なくとも３８．７以上で１９１．３以下である。
尚、実施例１-１における溶媒混合比１：０（Ｎ−メチルアセトアミドのみ）の溶媒は室温（２０℃）で固体のため、４０℃に加温して上記実験を実施した。その他の溶媒については室温（２０℃）で実施した。
（２）銅微粒子分散液の分散性の評価
上記で得られた微粒子分散液の粒度分布（２次凝集サイズ）を、動的光散乱型粒度分布測定装置（ゼータサイザーナノシリーズ）を用いて測定した結果を表１に示す。この結果、銅微粒子をアミド基を含む極性有機溶媒を含有する極性有機溶媒に分散させることで粒子の凝集が低減し、高い液中分散性を持つ微粒子分散液が得られることが確認された。
【００３７】
【表１】
2008231531.tif 000002
【００３８】
［実施例２、比較例２］
アミド基を有する有機溶媒を含む極性有機溶媒に分散された微粒子分散液の基板密着性の評価を行った。
実施例１に記載の方法で調製した、本発明のアミド基を含む有機溶媒を含有した極性有機溶媒に分散された微粒子分散液（実施例１-１〜３に対応する分散液をそれぞれ実施例２-１〜３とする。）と、比較例（比較例１-１〜２に対応する分散液を比較例２-１〜２とする。）として表２に示す分散液を使用して得られた微粒子分散液を、それぞれガラス基板（サイズ：２ｃｍ×２ｃｍ）上に塗布した後、窒素雰囲気中２００℃で１時間熱処理することによって導電性の金属焼成膜を得た。
得られた焼成膜についてクロスカットテープ剥離試験（１ｍｍ幅クロスカット１０×１０、使用テープ：（株）寺岡製作所製、型番６３１Ｓ＃２５）を行った。その結果を表２に示す。表２の結果から、アミド基を含む有機溶媒を含有した極性有機溶媒に分散された微粒子分散液（実施例２-１〜３）の塗布焼成膜ではテープ剥離が見られず、比較例（比較例２-１〜２）の微粒子分散液に比べ、強い基板密着性を有することが確認された。
【００３９】
【表２】
2008231531.tif 000003
【００４０】
［実施例３、比較例３］
微粒子分散液から得られた焼成膜の導電性の評価を行った。
まず実施例１に記載の方法で作成した、アミド基を含む有機溶媒を含有した溶媒に分散された微粒子分散液（実施例１-１〜３に対応する分散液をそれぞれ実施例３-１〜３とする。）と、比較例３として（株）アルバック製、銅ナノ粒子分散液（商品名：Ｃｕナノメタルインク「Ｃｕ１Ｔ」）をそれぞれガラス基板（サイズ：２ｃｍ×２ｃｍ）上に塗布した後、窒素雰囲気中２００℃で１時間熱処理することによって焼成膜を得た。
得られた焼成膜に対し、直流四端子法（使用測定機：Ｋｅｉｔｈｌｅｙ社製、デジタルマルチメータＤＭＭ２０００型（四端子電気抵抗測定モード））によりその電気抵抗を測定した。
その結果を表３に示す。これよりアミド基を含む有機溶媒を含有した極性有機溶媒に分散された微粒子分散液の塗布焼成膜では、窒素雰囲気中２００℃で１時間熱処理でも導電性の焼成膜が得られることが判明した。
【００４１】
【表３】
2008231531.tif 000004
【００４２】
［実施例４］
アミド基を含む有機溶媒を含む極性有機溶媒に分散された微粒子分散液の保存安定性の評価を行った。
まず実施例１に記載の方法で作製した、アミド基を含む有機溶媒を含有した極性有機溶媒に分散された微粒子分散液（実施例１-１〜３に対応する分散液をそれぞれ実施例４-１〜３とする。）と、比較例として表４に示す溶媒を使用して得た微粒子分散液（比較例１-１〜２に対応する分散液をそれぞれ比較例４-１〜２とする。）を、それぞれ容量１０ｍｌのガラス容器に入れ、実施例４−１は４０℃で、実施例４−２、３は室温（２５℃）で１週間保持し、凝集沈殿の有無について調べた。
その結果を表４に示す。これよりアミド基を含む有機溶媒を含有した極性有機溶媒に分散された本発明の微粒子分散液は、長期間の保管時にも顕著な凝集沈殿を生じることなく、安定してその液中に分散性されていることが判明した。
【００４３】
【表４】
2008231531.tif 000005