(57)【要約】【課題】製造ライン上で調質加工を施すことができる調質装置を提供する。【解決手段】調質装置３４は、移載装置３５と、モータＭ１によって回転駆動されるターンテーブル３７と、調質加工用の加熱装置３９とを備えている。矢印Ｒの方向に回転されるターンテーブル３７上には支持具４６，４７，４８，４９が設けられている。移載装置３５は、鉛直線の周りに回転されるボディ３５１と、ボディ３５１に支持された移載アーム３５２と、移載アーム３５２の先端側に設けられたロボットハンド３６とを備えている。ロボットハンド３６は、供給コンベア５０によって搬送されてきた軸形状の素材１８０を２本単位で把持して、出入りステージ３７１にある支持具４６，４７，４８，４９へ移載する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工体に対して調質加工を行なうための加熱ステージと、
前記加熱ステージにある被加工体に対して加熱による調質加工を行なう調質加工手段と、
前記加熱ステージに至る前に被加工体を受け入れるための受け入れステージと、
調質加工後の被加工体を取り出すための取り出しステージと、
前記受け入れステージにある被加工体を加熱ステージ、取り出しステージの順に加熱ステージ及び取り出しステージに移動して配置する移動配置手段と、
前記受け入れステージへ調質加工前の被加工体を配置すると共に、前記取り出しステージにある調質加工後の被加工体を取り出す移載装置とを備えた調質装置。
【請求項２】
前記調質加工手段は、高周波電圧を発生させて前記加熱ステージにある被加工体を加熱する加熱装置と、前記加熱装置により加熱ステージにて加熱された前記加熱ステージにある被加工体を液体で冷却する第１冷却装置とを備え、前記加熱ステージと前記取り出しステージとの間には、前記第１冷却装置により冷却された後に前記加熱装置により加熱された被加工体を冷却するための冷却ステージを備えている請求項１に記載の調質装置。
【請求項３】
前記冷却ステージにおける被加工体の冷却は、空冷と液冷とからなり、該冷却ステージは、該冷却ステージにて空冷された被加工体を液体で冷却する第２冷却装置を備えている請求項２に記載の調質装置。
【請求項４】
前記移動配置手段は、回転可能なターンテーブルと、前記ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、前記ターンテーブルに設けられて前記被加工体を支持する支持手段とを備え、前記支持手段は、前記ターンテーブルの回転によって、前記受け入れステージと前記加熱ステージと前記冷却ステージと前記取り出しステージとに、受け入れステージ、加熱ステージ、冷却ステージ、取り出しステージの順に移動配置される請求項２又は請求項３のいずれか１項に記載の調質装置。
【請求項５】
前記受け入れステージと前記取り出しステージとは、両者を兼用する出入りステージである請求項４に記載の調質装置。
【請求項６】
前記出入りステージから前記加熱ステージへ至る途中に確認ステージが設けられており、前記確認ステージには、前記支持手段に支持され前記確認ステージにある被加工体の被支持状態を検査する被支持状態検査手段が設けられ、前記支持手段は、前記ターンテーブルの９０°毎の回転によって、前記出入りステージ、前記確認ステージ、前記加熱ステージ及び前記冷却ステージに移動配置される請求項５に記載の調質装置。
【請求項７】
前記支持手段は４つであり、各支持手段は、４つの支持具を備え、被加工体は、個々の支持具に支持され、前記ターンテーブルは、前記出入りステージにある支持手段の４つの支持具全てに前記被加工体が支持された状態のときに回転され、前記移載装置は、出入りステージにある支持手段へ調質加工前の被加工体を２つずつ配置し、出入りステージにある支持手段から調質加工後の被加工体を２つずつ取り出す請求項６に記載の調質装置。
【請求項８】
前記移載装置は、２つの被加工体を同時に把持可能なロボットハンドを備えている請求項７に記載の調質装置。
【請求項９】
前記ロボットハンドは、被加工体を１つ把持した後に別の被加工体を追加して把持可能であり、且つ把持している２つの被加工体のうち、一方の被加工体を離した後に他方の被加工体を離すことが可能である請求項８に記載の調質装置。
【請求項１０】
前記支持具は、前記ターンテーブル上に立設された筒である請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載の調質装置。
【請求項１１】
前記加熱装置は、高周波電圧を発生させる高周波電圧発生装置と、該高周波電圧発生装置により高周波電圧を印加されるコイルと、該コイルを移動して、調質加工が施される前記加熱ステージにある被加工体の被調質部を包囲する位置に配置する移動装置とを備えている請求項２乃至請求項１０のいずれか１項に記載の調質装置。
【請求項１２】
前記コイルは、前記加熱ステージにある被加工体の被調質部を包囲した状態で移動しながら高周波電圧を印加される請求項１１に記載の調質装置。
【請求項１３】
高周波電圧を印加されている前記コイルの移動範囲を規定する移動範囲規定手段を備えている請求項１２に記載の調質装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱によって被加工体に調質を施す調質装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シャフトのような被加工体の強度を高めるため、被加工体全体に加熱による調質（以下、全体調質という）を施す対策が用いられる場合がある。全体調質を施すには、例えば特許文献１に開示のように、複数の被加工体を集めた後、複数の被加工体を一遍に炉内で加熱するという所謂バッチ処理により複数の被加工体の調質が行われる。しかし、このようなバッチ処理による調質は、製造ラインから被加工体を製造ライン外に設置された炉に運び、製造ライン外で調質加工を被加工体に施した後に、製造ラインに被加工体を再び戻すため、調質加工（調質処理）を施される被加工体に切削加工、研削加工等を施して最終製品に仕上げる製造ライン上では行えない。
【０００３】
特許文献２，３では、軸（ステアリングラック軸）の軸方向箇所の一部分に加熱による調質（以下、部分調質という）を施す対策が開示されている。この部分調質は、高周波を発生するコイルを用いて行われる。このようなコイルを用いた調質は、調質加工を施される被加工体に切削加工、研削加工等を施して最終製品に仕上げる製造ライン上で遂行可能である。
【特許文献１】特開平８−１３４５３１号公報
【特許文献２】特開平６−２６４１４７号公報
【特許文献３】特開平６−２６４９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献２，３では、高周波を発生するコイルの加熱付与場所へ被加工体を供給するのに必要な具体的な構成や、加熱による調質加工を施された被加工体を調質付与場所から取り出すのに必要な具体的な構成等の開示はない。
【０００５】
本発明は、製造ライン上で調質加工を施すことができる調質装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明の調質装置は、被加工体に対して調質加工を行なうための加熱ステージと、
前記加熱ステージにある被加工体に対して加熱による調質加工を行なう調質加工手段と、
前記加熱ステージに至る前に被加工体を受け入れるための受け入れステージと、
調質加工後の被加工体を取り出すための取り出しステージと、
前記受け入れステージにある被加工体を加熱ステージ、取り出しステージの順に加熱ステージ及び取り出しステージに移動して配置する移動配置手段と、
前記受け入れステージへ調質加工前の被加工体を配置すると共に、前記取り出しステージにある調質加工後の被加工体を取り出す移載装置とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
移載装置が受け入れステージへの被加工体の配置、及び取り出しステージにある調質加工後の被加工体の取り出しを行なうため、被加工体に切削加工、研削加工等を施して最終製品に仕上げる製造ラインに調質装置を組み込むことが容易である。
【０００８】
好適な例では、前記調質加工手段は、高周波電圧を発生させて前記加熱ステージにある被加工体を加熱する加熱装置と、前記加熱装置により加熱ステージにて加熱された前記加熱ステージにある被加工体を液体で冷却する第１冷却装置とを備え、前記加熱ステージと前記取り出しステージとの間には、前記第１冷却装置により冷却された後に前記加熱装置により加熱された被加工体を冷却するための冷却ステージを備えている。
【０００９】
加熱ステージにて、加熱装置により被加工体を加熱した後に第１冷却装置にて液体で冷却する焼き入れを行い、更に液体で冷却された被加工体を加熱装置により再び加熱し、冷却ステージにて冷却する焼き戻しを行なう。これにより、被加工体の部分調質部位の強度を高め、且つ強度ムラを抑制することができる。
【００１０】
好適な例では、冷却ステージにおける被加工体の冷却は、空冷と液冷とからなり、該冷却ステージは、該冷却ステージにて空冷された被加工体を液体で冷却する第２冷却装置を備えている。
【００１１】
焼き戻しされた被加工体は、第２冷却装置により液冷されるので、被加工体を確実に冷却することができ、作業者の火傷を防止できる。
好適な例では、前記移動配置手段は、回転可能なターンテーブルと、前記ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、前記ターンテーブルに設けられて前記被加工体を支持する支持手段とを備え、前記支持手段は、前記ターンテーブルの回転によって、前記受け入れステージと前記加熱ステージと前記冷却ステージと前記取り出しステージとに、受け入れステージ、加熱ステージ、冷却ステージ、取り出しステージの順に移動配置される。
【００１２】
ターンテーブルは、加熱ステージや冷却ステージの設置効率を高める上で好適である。
好適な例では、前記受け入れステージと前記取り出しステージとは、両者を兼用する出入りステージである。
【００１３】
受け入れステージと取り出しステージとを共通化した構成は、受け入れステージ及び取り出しステージの設置効率を高める上で好適である。
好適な例では、前記出入りステージから前記加熱ステージへ至る途中に確認ステージが設けられており、前記確認ステージには、前記支持手段に支持され前記確認ステージにある被加工体の被支持状態を検査する被支持状態検査手段が設けられ、前記支持手段は、前記ターンテーブルの９０°毎の回転によって、前記出入りステージ、前記確認ステージ、前記加熱ステージ及び前記冷却ステージに移動配置される。
【００１４】
支持手段に支持された被加工体の被支持状態が正しいか否かが支持状態検査手段によって検査される。このような検査を行なうための確認ステージを含む４つのステージをターンテーブルの回転中心を中心とした等角度間隔に配置した構成は、各ステージに被加工体を的確に配置する上で、特に好適である。
【００１５】
好適な例では、前記支持手段は４つであり、各支持手段は、４つの支持具を備え、被加工体は、個々の支持具に支持され、前記ターンテーブルは、前記出入りステージにある支持手段の４つの支持具全てに前記被加工体が支持された状態のときに回転され、前記移載装置は、出入りステージにある支持手段へ調質加工前の被加工体を２つずつ配置し、出入りステージにある支持手段から調質加工後の被加工体を２つずつ取り出す。
【００１６】
出入りステージにある支持手段へ被加工体を移載装置によって２つずつ移載し、且つ出入りステージにある支持手段から調質加工済みの被加工体を移載装置によって２つずつ取り出す構成は、被加工体１つ当たりの調質加工時間を適正にする上で、好適である。
【００１７】
好適な例では、前記移載装置は、２つの被加工体を同時に把持可能なロボットハンドを備えている。
２つの被加工体を同時に把持可能なロボットハンドは、被加工体１つ当たりの調質加工時間を適正にする上で、好適な把持手段である。
【００１８】
好適な例では、前記ロボットハンドは、被加工体を１つ把持した後に別の被加工体を追加して把持可能であり、且つ把持している２つの被加工体のうち、一方の被加工体を離した後に他方の被加工体を離すことが可能である。
【００１９】
このようなロボットハンドは、調質加工前の被加工体を調質装置へ供給するための補助機構、及び調質加工後の被加工体を調質装置から取り出すための補助機構の簡素化に寄与する。
【００２０】
好適な例では、前記支持具は、前記ターンテーブル上に立設された筒である。
筒は、被加工体を支持する上で簡便な支持具である。
好適な例では、前記加熱装置は、高周波電圧を発生させる高周波電圧発生装置と、該高周波電圧発生装置により高周波電圧を印加されるコイルと、該コイルを移動して、調質加工が施される前記加熱ステージにある被加工体の被調質部を包囲する位置に配置する移動装置とを備えている。
【００２１】
コイルを用いて被加工体を加熱する構成は、軸形状の被加工体に部分調質を施す上で好適である。
好適な例では、前記コイルは、前記加熱ステージにある被加工体の被調質部を包囲した状態で移動しながら高周波電圧を印加される。
【００２２】
コイルを移動させながら被加工体を加熱する構成は、被加工体に部分調質を施す上で好適である。
好適な例では、高周波電圧を印加されている前記コイルの移動範囲を規定する移動範囲規定手段を備えている。
【００２３】
部分調質の範囲は、移動範囲規定手段によって規定されたコイルの移動範囲に対応し、部分調質の範囲を調整することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の調質装置は、製造ライン上で調質加工を施すことができるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した第１の実施形態を図１〜図１１に基づいて説明する。
本実施形態の調質加工、切削加工等を施して製造された最終製品は、図１１に示す可変容量型圧縮機１０に用いられる炭素鋼製の回転軸１８である。シリンダブロック１１の前端にはフロントハウジング１２が連結されている。シリンダブロック１１の後端にはリヤハウジング１３がバルブプレート１４、弁形成プレート１５，１６及びリテーナ形成プレート１７を介して連結されている。制御圧室１２１を形成するフロントハウジング１２とシリンダブロック１１とには回転軸１８がラジアルベアリング１９，２０を介して回転可能に支持されている。制御圧室１２１から外部へ突出する回転軸１８は、回転軸１８先端部の連結用の雄ネジ１８６を介して外部駆動源である車両エンジンＥから駆動力を得る。
【００２６】
回転軸１８には回転支持体２１が止着されていると共に、斜板２２が回転軸１８の軸方向へスライド可能かつ傾動可能に支持されている。回転支持体２１に形成されたガイド孔２１１には斜板２２に設けられたガイドピン２３がスライド可能に嵌入されている。斜板２２は、ガイド孔２１１とガイドピン２３との連係により回転軸１８の軸方向へ傾動可能かつ回転軸１８と一体的に回転可能である。斜板２２の傾動は、ガイド孔２１１とガイドピン２３とのスライドガイド関係、及び回転軸１８のスライド支持作用により案内される。
【００２７】
斜板２２の径中心部が回転支持体２１側へ移動すると、斜板２２の傾角が増大する。斜板２２の最大傾角は、回転支持体２１と斜板２２との当接によって規制される。図１１に実線で示す斜板２２は、最大傾角状態にあり、鎖線で示す斜板２２は、最小傾角状態にある。
【００２８】
シリンダブロック１１に貫設された複数のシリンダボア１１１内にはピストン２４が収容されている。斜板２２の回転運動は、シュー２５を介してピストン２４の前後往復運動に変換され、ピストン２４がシリンダボア１１１内を往復動する。
【００２９】
リヤハウジング１３内には吸入室１３１及び吐出室１３２が区画形成されている。バルブプレート１４、弁形成プレート１６及びリテーナ形成プレート１７には吸入ポート１４１が形成されている。バルブプレート１４及び弁形成プレート１５には吐出ポート１４２が形成されている。弁形成プレート１５には吸入弁１５１が形成されており、弁形成プレート１６には吐出弁１６１が形成されている。吸入室１３１内の冷媒は、ピストン２４の復動動作（図１１において右側から左側への移動）により吸入ポート１４１から吸入弁１５１を押し退けてシリンダボア１１１内へ流入する。シリンダボア１１１内へ流入したガス状の冷媒は、ピストン２４の往動動作（図１１において左側から右側への移動）により吐出ポート１４２から吐出弁１６１を押し退けて吐出室１３２へ吐出される。吐出弁１６１は、リテーナ形成プレート１７上のリテーナ１７１に当接して開度規制される。
【００３０】
リヤハウジング１３には電磁式の容量制御弁２６が組み付けられている。容量制御弁２６は、吐出室１３２と制御圧室１２１とを繋ぐ供給通路２７上に介在されている。容量制御弁２６の弁開度は、吸入室１３１の圧力、及び容量制御弁２６の電磁コイル（図示略）への通電のデューティ比に応じて調整される。容量制御弁２６の弁孔が閉じている場合には、吐出室１３２内の冷媒が制御圧室１２１へ送られることはない。
【００３１】
フロントハウジング１２と回転軸１８との間にはリップシール型の軸封装置２８が介在されている。回転支持体２１とフロントハウジング１２との間にはスラストベアリング２９が介在されている。スラストベアリング２９は、シリンダボア１１１からピストン２４、シュー２５、斜板２２及びガイドピン２３を介して回転支持体２１に作用する圧縮反力を受け止める。回転支持体２１とフロントハウジング１２との間には空隙部３０が存在する。制御圧室１２１内の冷媒と共に流動する潤滑油の一部は、空隙部３０及び通路３１を経由してラジアルベアリング１９及び軸封装置２８の収容空間に入り込んでラジアルベアリング１９及び軸封装置２８を潤滑する。
【００３２】
回転軸１８には通路３２が形成されている。軸封装置２８及びラジアルベアリング１９を収容する収容空間と通路３２とは、抜き孔３３を介して連通している。通路３２は、吸入室１３１に連通されている。制御圧室１２１内の冷媒は、空隙部３０、通路３１、抜き孔３３及び通路３２を経由して吸入室１３１へ流出する。抜き孔３３は、制御圧室１２１から吸入室１３１へ流出する冷媒の流量を規制する絞りとなっている。
【００３３】
容量制御弁２６の弁開度が大きくなると、吐出室１３２から供給通路２７を経由して制御圧室１２１へ流入する冷媒量が増え、制御圧室１２１内の圧力が上昇する。そのため、斜板２２の傾角が減少し、吐出容量が減る。容量制御弁２６の弁開度が小さくなると、吐出室１３２から供給通路２７を経由して制御圧室１２１へ流入する冷媒量が減り、且つ制御圧室１２１内の冷媒が通路３２を経由して吸入室１３１へ流出している。従って、制御圧室１２１内の圧力が低減する。そのため、斜板２２の傾角が増大し、吐出容量が増える。
【００３４】
このような可変容量型圧縮機１０に用いられる回転軸１８は、図１（ａ）に示す製造工程を経て製造される。
切断工程Ｋ１は、棒材を所定の長さに切断して被加工体としての素材１８０〔図１（ｂ）に図示〕を形成する工程であり、センタリング用孔形成工程Ｋ２は、素材１８０の両端面にセンタリング用の孔１８４，１８５を形成する工程である。図１（ｃ）は、センタリング用の孔１８４，１８５が形成された素材１８０を示す。
【００３５】
部分調質工程Ｋ３は、高周波電圧を印加されるコイルを用いた加熱による調質加工を回転軸１８の軸形状の素材１８０の一部分に行なう工程である。図１（ｄ）は、部分調質を施された被加工体１８Ａを示し、範囲Ｔ１は、被加工体１８Ａの径中心まで部分調質を施された部位の範囲を示す。
【００３６】
部分調質工程Ｋ３に続く外径切削工程Ｋ４は、部分調質を施された被加工体１８Ａの周面を所望の外径の形状に旋盤を用いて切削する工程である。外径切削は、旋盤の主軸をセンタリング用の孔１８４，１８５に合わせて被加工体１８Ａを回転させることにより行われる。図１（ｅ）は、外径切削工程Ｋ４にて切削加工された被加工体１８Ｂを示す。被加工体１８Ｂの外形は、小径部１８１と、大径部１８２と、小径部１８１と大径部１８２との間の段差部１８３とに分けられる。部分調質の範囲Ｔ１は、小径部１８１、段差部１８３及び大径部１８２の一部にわたる。範囲Ｔ１に調質を施すのは、回転軸１８の応力集中し易い段差部１８３付近での強度を向上するためである。
【００３７】
外径切削工程Ｋ４に続く孔空け工程Ｋ５は、周面に切削加工を施された被加工体１８Ｂの軸内に通路３２及び抜き孔３３を形成する工程である。図１（ｆ）は、軸内に通路３２及び抜き孔３３を形成した被加工体１８Ｃを示す。
【００３８】
孔空け工程Ｋ５に続く表面硬化工程Ｋ６は、焼き入れ硬化を被加工体１８Ｃの周面に対して行なう工程である。表面硬化工程Ｋ６では、高周波電圧を印加されるコイルを用いて誘導加熱が行われる。図１（ｇ）は、焼き入れを施されて大径部１８２の表面のみを硬化させた被加工体１８Ｄを示し、範囲Ｔ２は、焼き入れを施された部位の範囲を示す。
【００３９】
表面硬化工程Ｋ６に続く歪取り工程Ｋ７は、表面硬化工程Ｋ６にて被加工体１８Ｃに施された焼き入れ硬化によって被加工体１８Ｄに生じた歪みを歪取り機を用いて取り除く工程である。
【００４０】
歪取り工程Ｋ７に続く外径研削・ネジ形成工程Ｋ８は、歪取りを施された被加工体１８Ｄの小径部１８１の周面に雄ネジ１８６を形成すると共に、大径部１８２の周面を研削する工程である。図１（ｈ）は、雄ネジ１８６を形成した被加工体１８Ｅを示す。
【００４１】
外径研削・ネジ形成工程Ｋ８に続く超仕上げ工程Ｋ９は、最終仕上げの工程である。
次に、部分調質工程Ｋ３において、被加工体としての素材１８０に部分調質を行なうための調質装置について説明する。
【００４２】
図２（ａ）に示すように、調質装置３４は、移載装置３５と、モータＭ１によって回転駆動されるターンテーブル３７と、４つの長さ測定装置３８と、加熱装置３９と、第１冷却装置４０と、第２冷却装置４１とを備えている。回転駆動手段としてのモータＭ１の作動及び長さ測定装置３８の測定動作は、制御コンピュータＣによって制御される。矢印Ｒの方向に回転されるターンテーブル３７上には４つの支持手段４２，４３，４４，４５が設けられている。
【００４３】
図５に示すように、支持手段４４は、ターンテーブル３７に止着された支持台５７と、支持台５７に支持された支持具４６，４７，４８，４９とを備えており、各支持具４６，４７，４８，４９は、ターンテーブル３７に対して垂直状態に立設されている。他の支持手段４２，４３，４５も同じ構成であり、図２（ａ），（ｂ）に示すように、各支持手段４２，４３，４４，４５は、ターンテーブル３７の９０°の回転対称位置にそれぞれ配置されている。
【００４４】
筒形状の支持台５７は、ターンテーブル３７上に固定されており、支持具４６，４７，４８，４９は、支持台５７に軸受け５８を介して回転可能に支持されている。支持具４６，４７，４８，４９は、上部に筒６３を備え、支持具４６，４７，４８，４９の下端部には被動歯車５９が止着されている。
【００４５】
図２（ａ）に示すように、移載装置３５は、鉛直線の周りに回転されるボディ３５１と、ボディ３５１に支持された移載アーム３５２と、移載アーム３５２の先端側に設けられたロボットハンド３６とを備えている。移載アーム３５２は、ボディ３５１との連結位置を中心にして上下に回動可能であり、ロボットハンド３６は、供給コンベア５０によって搬送されてきた軸形状の素材１８０を２本単位で把持可能である。
【００４６】
図３（ａ），（ｂ）に示すように、素材１８０を搬送する供給コンベア５０の末端付近にはストッカ５１が設置されている。供給コンベア５０によって搬送されてきた素材１８０は、ストッカ５１内の第１受け入れ位置５１１に配置される。第１受け入れ位置５１１に配置された素材１８０は、アクチュエータ５２のプッシャ５２１の押し動作によってストッカ５１内の第２受け入れ位置５１２へ移される。
【００４７】
図２（ａ）に示すようにストッカ５１に配置された２本の素材１８０は、ロボットハンド３６によって把持される。ロボットハンド３６によって把持された調質加工前の被加工体としての２本の素材１８０は、移載装置３５により図２（ｂ）に示すようにターンテーブル３７上の受け入れステージとしての出入りステージ３７１に配置されている支持手段〔図２（ｂ）の例では支持手段４２〕の支持具４６，４７の筒６３内に挿入される。続いて、移載装置３５が支持具４６，４７の筒６３内に挿入される間に、ストッカ５１に配置された２本の素材１８０を、再びロボットハンド３６によって把持し、素材１８０が挿入された支持具４６，４７の隣に配置された支持具４８，４９の筒６３内に挿入される。
【００４８】
図７（ａ）に示すように、素材１８０が支持手段４２の一端側の支持具４９内に移載されると、投光器５３１及び受光器５３２からなる光電センサ５３が支持具４９内の素材１８０の有無を検出する。光電センサ５３によって検出された有無検出情報は、制御コンピュータＣへ送られる。支持具４９内に素材１８０がない場合には、制御コンピュータＣは、モータＭ１の作動を禁止してターンテーブル３７を回転させない。モータＭ１、ターンテーブル３７及び支持手段４２〜４５は、出入りステージ３７１にある被加工体（素材１８０）を確認ステージ３７２、加熱ステージ３７３、冷却ステージ３７４の順に移動して配置する移動配置手段を構成する。
【００４９】
支持手段４２の各支持具４６〜４９に素材１８０が移載された後にターンテーブル３７が図面上時計回りに９０°回転されると、図７（ｂ）に示すように、支持手段４２が長さ測定装置３８に対応する確認ステージ３７２に配置される。確認ステージ３７２には、図５，６に示すように確認ステージ３７２にある支持手段４２の素材１８０（被加工体）の被支持状態を検査する被支持状態検査手段としての長さ測定装置３８が設けられている。支持手段４２が確認ステージ３７２に配置されると、制御コンピュータＣは、長さ測定装置３８による測定を指令する。図５，６に示すように、確認ステージ３７２に配置された各支持具４６〜４９の筒６３内に挿入されている素材１８０の長さは、長さ測定装置３８の位置探査ピン３８１が素材１８０の端面に当接することによって計測される。長さ測定装置３８によって測定された測定情報は、制御コンピュータＣへ送られる。
【００５０】
素材１８０の長さを計測後、図７（ｂ）の状態からターンテーブル３７が再び図面上時計回りに９０°回転されると、図８（ａ）に示すように、支持手段４２が加熱ステージ３７３に配置される。加熱ステージ３７３には、図５に示すように加熱装置３９が設けられている。加熱装置３９は、高周波電圧発生装置３９０と、加熱用の４つのコイル３９１と、４つのコイル３９１を上下に移動させる移動装置３９２とを備えている。又、加熱ステージ３７３には、図２（ａ）に示すように、加熱ステージ３７３にある支持具４６〜４９に支持された素材１８０に冷却水（液体）を振りかける第１冷却装置４０が設けられている。
【００５１】
加熱ステージ３７３に対応する位置には、図６に示すように、ターンテーブル３７の下方に水平移動台６１が設けられている。水平移動台６１は、往復移動装置６２によって、図６に実線で示す待機位置と鎖線で示す作用位置とに配置される。水平移動台６１上にはモータＭ２及び駆動歯車６０が設けられている。モータＭ２は、駆動歯車６０を回転させる。水平移動台６１が鎖線で示す作用位置に配置されると、駆動歯車６０は、加熱ステージ３７３にある支持具４６〜４９の被動歯車５９に噛合する。被動歯車５９と駆動歯車６０とが噛合した状態でモータＭ２が作動されると、支持具４６〜４９が回転する。往復移動装置６２及びモータＭ２の作動は、制御コンピュータＣによって制御される。
【００５２】
移動装置３９２は、図６に示すように、加熱ステージ３７３にある支持具４６〜４９に支持された素材１８０の上端部を包囲する鎖線で示す位置と、素材１８０の上端よりも上方の実線で示す待機位置との間で４つのコイル３９１を移動可能である。コイル３９１の移動範囲は、被加工体としての素材１８０の被調質部である図１（ｄ）に示す範囲Ｔ１に対応しており、コイル３９１の移動範囲は制御コンピュータＣにより制御される。つまり、制御コンピュータＣはコイル３９１の移動範囲を規定する移動範囲規定手段として機能する。高周波電圧発生装置３９０は、所定の電圧の高周波電圧を発生させる。移動装置３９２及び高周波電圧発生装置３９０は、制御コンピュータＣの制御を受ける。
【００５３】
第１冷却装置４０は、図２（ａ）に示すように冷却水を蓄える冷却水タンク４００と、冷却水タンク４００に接続され、通路出口が各支持具４６〜４９に対応する位置に配置された放水パイプ４０１と、放水パイプ４０１の途中に介在された電磁開閉弁４０２とを備える。常閉型の電磁開閉弁４０２の励消磁は、制御コンピュータＣによって制御される。
【００５４】
素材１８０を支持する支持手段４２が加熱ステージ３７３に配置されると、制御コンピュータＣは、往復移動装置６２の往動作動を指令し、水平移動台６１が待機位置から作用位置に配置される。水平移動台６１が作用位置に配置されると、制御コンピュータＣは、移動装置３９２に所定量の移動作動を指令する。これにより、待機位置にあるコイル３９１が所定量下動される。コイル３９１が素材１８０の上端部を包囲する最下動位置に配置された後、制御コンピュータＣは、モータＭ２の作動を指令すると共に、高周波電圧発生装置３９０に高周波電圧のコイル３９１への印加を指令する。この指令により、モータＭ２が作動して加熱ステージ３７３にある支持具４６〜４９及び素材１８０が回転し、高周波電圧発生装置３９０は、所定電圧Ｖ１の高周波電圧をコイル３９１に印加する。これにより、コイル３９１に高周波電流が流れる。コイル３９１への高周波電圧の印加直後、制御コンピュータＣは、コイル３９１の上動を指令する。これにより、高周波電圧が印加されたコイル３９１によって素材１８０の上端部を誘導加熱（焼き入れ加熱）しながら上動してゆく。コイル３９１が素材１８０の上端を通過すると、制御コンピュータＣは、コイル３９１への高周波電圧の印加の停止を指令する。
【００５５】
コイル３９１が待機位置に復帰すると、制御コンピュータＣは、電磁開閉弁４０２の励磁を指令する。これにより、電磁開閉弁４０２が開状態となり、冷却水タンク４００内の冷却水が放水パイプ４０１から加熱ステージ３７３にある素材１８０に振りかけられる。電磁開閉弁４０２が開状態となってから所定時間経過すると、制御コンピュータＣは、電磁開閉弁４０２の消磁を指令する。これにより、電磁開閉弁４０２が閉状態となり、放水パイプ４０１から素材１８０への冷却水の放水が停止する。つまり、第１冷却装置４０から冷却水が加熱された素材１８０に所定量振りかけられて、素材１８０が冷却（焼き入れ冷却）される。この冷却により素材１８０の焼き入れが終了する。
【００５６】
冷却水の供給終了後、制御コンピュータＣは、待機位置にあるコイル３９１を所定量下動させる。コイル３９１が素材１８０の上端部を包囲する最下動位置に配置された後、制御コンピュータＣは、再びコイル３９１への高周波電圧の印加を指令する。この指令により、高周波電圧発生装置３９０は、所定電圧Ｖ２（＜Ｖ１）の高周波電圧をコイル３９１に印加させる。コイル３９１への高周波電圧の印加直後、制御コンピュータＣは、コイル３９１の上動を指令する。これにより、高周波電圧が印加されたコイル３９１によって素材１８０の上端部を誘導加熱（焼き戻し加熱）しながら上動してゆく。コイル３９１が素材１８０の上端を通過すると、制御コンピュータＣは、コイル３９１への高周波電圧の印加の停止を指令する。つまり、コイル３９１が再度上下動して素材１８０の上端部が再加熱（焼き戻し加熱）される。
【００５７】
加熱装置３９及び第１冷却装置４０は、加熱ステージ３７３にある被加工体に対して加熱による調質加工を行なう調質加工手段を構成する。
コイル３９１が待機位置に復帰すると、制御コンピュータＣは、モータＭ２の作動を停止させ、水平移動台６１を待機位置に復帰させる。
【００５８】
焼き戻し加熱終了後、図８（ａ）の状態からターンテーブル３７が９０°回転され、図８（ｂ）に示すように、支持手段４２が冷却ステージ３７４に配置される。図２（ａ）に示すように、冷却ステージ３７４には第２冷却装置４１が設けられている。第２冷却装置４１は、冷却水タンク４００と、冷却水タンク４００に接続され、通路出口が各支持具４６〜４９に対応する位置に配置された放水パイプ４１１と、放水パイプ４１１の途中に介在された常閉型の電磁開閉弁４１２とを備えている。冷却ステージ３７４にある支持手段４２に支持された素材１８０は、所定時間放置されて空冷（焼き戻し冷却）される。この所定時間の放置による空冷は、加熱された素材１８０の加熱部分（被調質部）を適正なソルバイト組織に調質するために行われる。この空冷により焼き戻しが終了し、同時に素材１８０の調質加工が完了する。所定時間が経過すると、制御コンピュータＣは、電磁開閉弁４１２の励磁を指令する。これにより、電磁開閉弁４１２が開状態となり、冷却水タンク４００内の冷却水が放水パイプ４１１から冷却ステージ３７４にある素材１８０に振りかけられる。電磁開閉弁４１２が開状態となってから所定時間経過すると、制御コンピュータＣは、電磁開閉弁４１２の消磁を指令する。これにより、電磁開閉弁４１２が閉状態となり、放水パイプ４１１からの冷却水の放水が停止する。つまり、第２冷却装置４１から冷却水が加熱された素材１８０上に所定量振りかけられて、素材１８０が冷却される。この冷却は、作業者の火傷防止のために行われる。冷却ステージ３７４における素材１８０の冷却は、所定時間の空冷と、第２冷却装置４１による液冷とからなる。
【００５９】
火傷防止用の冷却が行われた後、図８（ｂ）の状態からターンテーブル３７が時計回りに９０°回転され、図９（ａ）に示すように、支持手段４２が取り出しステージとしての出入りステージ３７１へ配置される。出入りステージ３７１は受け入れステージ及び取り出しステージとして機能する。この時点で、素材１８０は部分調質工程Ｋ３で部分調質を施された調質加工後の被加工体１８Ａとなっている。
【００６０】
図４（ａ），（ｂ）に示すように、排出コンベア５４の末端付近には配分器５５が設置されている。
図９（ｂ）に示すように、ロボットハンド３６は、出入りステージ３７１にある支持手段４２の支持具４６〜４９の筒６３内の被加工体１８Ａを２本単位で把持し、ロボットハンド３６は、把持した２本の被加工体１８Ａを図４（ａ）に示すように配分器５５内の第１受け入れ位置５５１と第２受け入れ位置５５２とに配置する。図１０（ａ）は、２本の被加工体１８Ａが配分器５５に配置された状態を示す。
【００６１】
第１受け入れ位置５５１に配置された被加工体１８Ａは、アクチュエータ５６のプッシャ５６１の押し動作によって図４（ｂ）に示すように配分器５５内の第２受け入れ位置５５２へ移され、第２受け入れ位置５５２にある被加工体１８Ａは、第２受け入れ位置５５２から排出コンベア５４へ押し出される。排出コンベア５４へ移された被加工体１８Ａは、排出コンベア５４によって次の外径切削工程Ｋ４へ搬送される。第１受け入れ位置５５１から第２受け入れ位置５５２へ移された被加工体１８Ａは、アクチュエータ５６のプッシャ５６１の再度の押し動作によって、排出コンベア５４へ押し出される。図１０（ｂ）は、出入りステージ３７１にある筒６３内の残りの２本の被加工体１８Ａをロボットハンド３６によって配分器５５へ移載途中の状態を示す。
【００６２】
筒６３内の全ての被加工体１８Ａが出入りステージ３７１から配分器５５へ移載されると、出入りステージ３７１にある支持手段４２の支持具４６〜４９の筒６３内に新たな素材１８０がストッカ５１内から移載装置３５により挿入され、再びターンテーブル３７の回転によって確認ステージ３７２・加熱ステージ３７３・冷却ステージ３７４の順に移動され、前記した素材１８０の移載、長さ計測、焼き入れ加熱、焼き戻し加熱、冷却、被加工体１８Ａの移載が繰り返される。支持手段４２が確認ステージ３７２にあるときには、支持手段４３が出入りステージ３７１にあって支持手段４３に支持された被加工体１８Ａが配分器５５へ移載された後に、素材１８０が支持手段４３の筒６３に移載される。支持手段４２が加熱ステージ３７３にあるときには、支持手段４３が確認ステージ３７２にあって素材１８０の長さ計測が行われると共に、支持手段４４が出入りステージ３７１にあって支持手段４４に支持された被加工体１８Ａが配分器５５へ移載された後に、素材１８０が支持手段４４の筒６３に移載される。支持手段４２が冷却ステージ３７４にあるときには、支持手段４３が加熱ステージ３７３にあると共に、支持手段４４が確認ステージ３７２にあり、さらに支持手段４５が出入りステージ３７１にある。
【００６３】
素材１８０を出入りステージ３７１へ移載するために必要な移載装置３５の動作時間ｔ１は、１０秒程度、被加工体１８Ａを出入りステージ３７１から取り出すために必要な移載装置３５の動作時間ｔ２は、１０秒程度である。以下、ｔ１，ｔ２をｔ０と記す。確認ステージ３７２での長さ測定に必要な長さ測定装置３８の動作時間ｔ３は、１０秒程度である。加熱ステージ３７３での焼き入れ加熱に必要な時間ｔ４は、１６秒程度であり、焼き入れ直後の冷却に必要な時間ｔ５は、８秒程度である。加熱ステージ３７３での焼き戻し加熱に必要な時間ｔ６は、１８秒程度である。冷却ステージ３７４での空冷（焼き戻し冷却）に必要な時間ｔ７は、３５秒程度であり、空冷後の火傷防止用の冷却に必要な時間ｔ８は、５秒程度である。ターンテーブル３７を９０°回転させるのに必要な時間ｔ９は、５秒程度である。
【００６４】
つまり、確認ステージ３７２、加熱ステージ３７３及び冷却ステージ３７４のうち、焼き入れ加熱・焼き入れ冷却・焼き戻し加熱に必要な時間（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）≒４２秒が最も長い。空冷（焼き戻し冷却）・火傷防止用の冷却に必要な時間（ｔ７＋ｔ８）は、４０秒程度である。冷却ステージ３７４での空冷（焼き戻し冷却）・火傷防止用の冷却は、時間（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）内に遂行でき、動作時間ｔ１，ｔ２を要する移載装置３５の動作も、時間（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）内に遂行できる。従って、ターンテーブル３７が９０°単位で回転移動して停止して、次にターンテーブル３７が９０°回転移動するまでのサイクルタイムは、〔（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）＋ｔ９〕≒４７秒である。
【００６５】
１本の回転軸１８を製造するのに必要な製造ラインサイクルタイムをｔ１０とし、調質装置３４においてサイクルタイム〔（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）＋ｔ９〕内に部分調質を施す素材１８０の本数をｎとすると、ｔ１０とｎとの間には次式（１）が成り立たねばならない。
【００６６】
ｔ１０×ｎ≧〔（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）＋ｔ９〕≒４７秒＞ｔ１０×（ｎ−１）
・・・（１）
これは、回転軸１８の１本あたりの部分調質加工時間を、回転軸１８の１本あたりの製造ラインサイクルタイムにできるだけ合わせるための条件である。回転軸１８の１本あたりの部分調質加工時間が回転軸１８の１本あたりの製造ラインサイクルタイムより長い場合、部分調質加工で、回転軸１８の製造が止まってしまうこととなる。従って、回転軸１８の１本あたりの部分調質加工時間は、回転軸１８の１本あたりの製造ラインサイクルタイム以上であって、且つ両者の時間は、できるだけ近いことが望ましい。１５秒≧ｔ１０≧１２秒とすると、（１）式が成立するｎの条件は、４本である。
【００６７】
移載装置３５がサイクルタイム〔（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）＋ｔ９〕内に動作できる最大回数ｍは、次式（２）を満たさねばならない。
〔（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）＋ｔ９〕÷ｔ０≧ｍ・・・（２）
〔（ｔ４＋ｔ５＋ｔ６）＋ｔ９〕≒４７秒であり、ｔ０≒１０秒であるから、最大回数ｍは、４回となる。出入りステージ３７１に移載される素材１８０の総本数は、４本であり、出入りステージ３７１から排出される被加工体１８Ａの総本数は、４本である。従って、ロボットハンド３６が４回の動作を行なう間に８本の被加工体を把持するには、１回の動作に２本の素材１８０又は被加工体１８Ａを把持すればよい。
【００６８】
なお、確認ステージ３７２にて長さ測定装置３８によって計測された素材１８０の長さが許容範囲内にない場合、許容範囲内にない素材１８０を支持する支持手段における全ての素材１８０が加熱ステージ３７３及び冷却ステージ３７４での調質加工を受けることはない。そして、許容範囲内にない素材１８０を支持する支持手段が、加熱ステージ３７３、冷却ステージ３７４を経て出入りステージ３７１へ配置されてくると、制御コンピュータＣは、移載装置３５に廃棄動作を指令する。これにより、ロボットハンド３６は、出入りステージ３７１にある許容範囲内にない素材１８０を支持する支持手段の全ての素材１８０を図示しない廃棄シュートへ廃棄する。
【００６９】
外径切削工程Ｋ４、孔空け工程Ｋ５、表面硬化工程Ｋ６、歪取り工程Ｋ７、外径研削・ネジ形成工程Ｋ８、超仕上げ工程Ｋ９のこれらの隣り合う工程間の被加工体１８Ａ〜１８Ｅの搬送は、いずれも図示しないコンベアを用いて搬送される。
【００７０】
第１の実施形態では以下のような効果が得られる。
（１）出入りステージ３７１にある支持手段の支持具４６〜４９の筒６３内への被加工体（素材１８０）の配置、及び出入りステージ３７１にある支持手段の支持具４６〜４９の筒６３内からの調質加工後の被加工体１８Ａの取り出しは、ロボットハンド３６及び移載アーム３５２を備えた移載装置３５によって行われる。そのため、被加工体１８Ａに切削加工、研削加工等を施して最終製品に仕上げる製造ラインに調質装置３４を組み込むことが容易である。
【００７１】
（２）素材１８０に対する部分調質加工では、焼き入れを行なった後に更に焼き戻しが行われる。焼き戻しを行うことで、被加工体１８Ａの部分調質部位の強度を高め、且つ強度ムラを抑制することができる。
【００７２】
（３）被加工体としての素材１８０は、ターンテーブル３７の回転によって、出入りステージ３７１、確認ステージ３７２、加熱ステージ３７３、冷却ステージ３７４へと順次配置される。ターンテーブル３７は、出入りステージ３７１、確認ステージ３７２、加熱ステージ３７３、冷却ステージ３７４の設置効率を高める上で好適である。
【００７３】
（４）出入りステージ３７１は、ストッカ５１にある被加工体としての素材１８０をターンテーブル３７上に載せる受け入れステージであり、且つターンテーブル３７上の被加工体１８Ａを配分器５５へ排出するための取り出しステージである。受け入れステージと取り出しステージとを共通化した構成は、受け入れステージ及び取り出しステージの設置効率を高める上で好適である。
【００７４】
（５）素材１８０は、出入りステージ３７１と加熱ステージ３７３との間の確認ステージ３７２にて長さを測定される。このような長さ測定は、本来の長さの素材１８０とは異なる長さの素材が紛れ込んだり、素材１８０が支持具４６〜４９の筒６３内に正しい姿勢で挿入されなかったりした場合を検出するためのものである。長さ測定装置３８は、確認ステージ３７２に配置された素材１８０（被加工体）の被支持状態を検査する被支持状態検査手段である。素材１８０の長さが許容範囲内にない場合には、許容範囲の長さでない素材１８０は、その後の加熱ステージ３７３及び冷却ステージ３７４にて部分調質を施されることなく廃棄される。このような長さ測定は、不必要な部分調質を回避する上で重要である。
【００７５】
（６）出入りステージ３７１、確認ステージ３７２、加熱ステージ３７３、冷却ステージ３７４の４つのステージは、ターンテーブル３７の回転中心を中心とした等角度間隔（９０°間隔）に配置されている。４つのステージを等角度間隔に配置した構成は、ターンテーブル３７の一定の回転角度単位（９０°単位）での回転移動によって、各ステージに被加工体を的確に配置可能である。又、ターンテーブル３７は、一定の回転角度単位（９０°単位）でのみ回転移動させればよく、ターンテーブル３７の回転移動の制御が容易である。
【００７６】
（７）素材１８０を移載装置３５によって２本ずつ出入りステージ３７１へ移載し、且つ調質加工後の被加工体１８Ａを移載装置３５によって出入りステージ３７１から２本ずつ取り出す構成は、被加工体１つ当たりの調質加工時間を製造ラインサイクルタイムｔ１０に合わせて適正にする上で、好適である。
【００７７】
（８）２本の素材１８０（被加工体）を同時に把持可能なロボットハンド３６は、素材１８０（被加工体）の１つ当たりの調質加工時間を適正にする上で、好適な把持手段である。
【００７８】
（９）素材１８０及び被加工体１８Ａは、ターンテーブル３７上に立設された支持具４６〜４９の筒６３内に挿入されて支持される。筒６３は、素材１８０及び被加工体１８Ａを支持する上で簡便な支持具である。
【００７９】
（１０）高周波電圧を印加されるコイル３９１を用いて素材１８０を加熱する構成は、軸形状の素材１８０の一部のみを加熱して部分調質を施す上で好適である。
（１１）高周波電圧を印加された状態で移動されるコイル３９１によって素材１８０を加熱する構成では、高周波電圧を印加された状態におけるコイル３９１の移動範囲を予め適正に設定しておくことによって、素材１８０の所望の範囲に適正な部分調質を施すことが可能である。
【００８０】
（１２）コイル３９１によって素材１８０を加熱するときには、支持具４６〜４９が回転され、素材１８０が回転しながら加熱される。素材１８０を回転しながら加熱する構成は、素材１８０に対する適正な部分調質の付与に有効である。
【００８１】
（１３）素材１８０に対する部分調質の付与の過程である加熱は、素材１８０の被調質部〔図１（ｄ）に示す範囲Ｔ１の部位〕を包囲するように配置されたコイル３９１を移動させることによって行われる。コイル３９１を用いて素材１８０を加熱する構成は、軸形状の素材１８０の調質が必要な部位にのみ部分調質を施す上で好適である。
【００８２】
（１４）高周波電圧を印加されているコイル３９１の移動範囲は、移動装置３９２及び制御コンピュータＣからなる移動範囲規定手段によって規定される。高周波電圧を印加されているコイル３９１の移動範囲は、自由に選択できるため、軸形状の素材１８０の調質が必要な部位にのみ部分調質を適正に施すことができる。
【００８３】
（１５）外径切削及び孔空けは、素材１８０に部分調質を施す部分調質工程Ｋ３の後の外径切削工程Ｋ４及び孔空け工程Ｋ５にて行われる。外径切削の範囲は、部分調質を施した部位の外周も含むが、素材１８０を全体調質した後に外径切削を行なう場合に比べて、切削用の刃具の寿命が長くなる。又、孔空けは、部分調質を施した範囲Ｔ１に入らないため、素材１８０を全体調質した後に外径切削を行なう場合に比べて、孔空け用の刃具（ドリル）の寿命が長くなる。
【００８４】
（１６）部分調質を施す前に外径切削工程Ｋ４で行なう外径切削を行なった場合、部分調質によって段差１８３付近の部位に極端な歪みが生じる。このような歪みが発生した場合には、段差１８３付近の部位の表面の仕上げ加工が必要となり、余分な仕上げ加工装置を追加しなければならない。
【００８５】
本実施形態では、部分調質を施した後に外径切削を行なうため、段差１８３付近の部位に極端な歪みが生じることはなく、余分な仕上げ加工装置を追加する必要はない。段差１８３付近の部位に部分調質を施した回転軸１８の製造は、本発明の適用対象として好適である。
【００８６】
次に、図１２及び図１３の第２の実施形態を説明する。第１の実施形態と同じ構成部には同じ符合が用いてある。
図１２（ａ）に示すように、素材１８０を搬送する供給コンベア５０の末端付近にはストッカ６４が設置されている。供給コンベア５０によって搬送されてきた素材１８０は、ストッカ６４内に配置される。ストッカ６４内の素材１８０は、ロボットハンド３６Ａによって把持される。１本の素材１８０の把持後、供給コンベア５０によって新たに搬送されてきた素材１８０がストッカ６４内に配置されると、素材１８０を１本把持しているロボットハンド３６Ａは、図１２（ｂ）に示すようにストッカ６４内の素材１８０も把持する。ロボットハンド３６Ａによって把持された２本の素材１８０は、図１２（ｃ）の鎖線にて示すようにターンテーブル３７上の出入りステージ３７１に配置されている支持手段〔図１２（ｃ）の例では支持手段４２〕の支持具４６，４７の筒６３内に挿入される。
【００８７】
図１３（ａ）に示すように、ロボットハンド３６Ａは、出入りステージ３７１にある調質加工後の被加工体１８Ａを２本単位で把持する。図１３（ｂ）に示すように、ロボットハンド３６Ａは、把持している２本の被加工体１８Ａのうちの一方を排出コンベア５４へ移し、所定時間後に、残りの把持している被加工体１８Ａを排出コンベア５４へ移す。
【００８８】
ロボットハンド３６Ａは、素材１８０又は被加工体１８Ａを１つ把持した後に別の素材１８０又は被加工体１８Ａを追加して把持可能であり、且つ把持している２つの素材１８０又は被加工体１８Ａの一方を離した後に他方を離すことが可能である。ロボットハンド３６を用いた第１の実施形態では、ストッカ５１及びアクチュエータ５２を備えた補助機構が調質加工前の素材１８０を調質装置３４へ供給するために必要であり、配分器５５及びアクチュエータ５６を備えた補助機構が調質加工後の被加工体１８Ａを調質装置３４から取り出すために必要であった。ロボットハンド３６Ａは、調質加工前の素材１８０を調質装置へ供給するために必要な補助機構を簡素にし、且つ調質加工後の被加工体１８Ａを調質装置から取り出すための補助機構を不要にする。
【００８９】
本発明では、以下のような実施形態も可能である。
○受け入れステージと取り出しステージとを別々の位置に設定してもよい。
○ターンテーブル３７の代わりにコンベアを用い、受け取りステージ、確認ステージ、加熱ステージ、冷却ステージ及び取り出しステージを前記コンベア上に設けるようにしてもよい。
【００９０】
○長さ測定装置３８を省略してもよい。
○加熱ステージ３７３において支持具４６〜４９を回転させることなく素材１８０を加熱するようにしてもよい。
【００９１】
○調質装置での処理本数は、製造ラインのサイクルタイムにより適宜変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】第１の実施形態を示し、（ａ）は、工程図。（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ），（ｆ），（ｇ），（ｈ）は、被加工体を示す断面図。
【図２】（ａ），（ｂ）は、調質装置を示す平面図。
【図３】（ａ）は、移載用の補助機構を示す一部破断側面図。（ｂ）は、移載用の補助機構を示す平面図。
【図４】（ａ）は、排出用の補助機構を示す一部破断側面図。（ｂ）は、排出用の補助機構を示す平面図。
【図５】コイルを示す正断面図。
【図６】長さ測定装置を示す正断面図。
【図７】（ａ）は、素材（被加工体）の供給用移載を説明するための平面図。（ｂ）は、出入りステージにあった素材（被加工体）が確認ステージへ配置された状態を示す平面図。
【図８】（ａ）は、確認ステージにあった素材（被加工体）が加熱ステージへ配置された状態を示す平面図。（ｂ）は、加熱ステージにあった被加工体が冷却ステージへ配置された状態を示す平面図。
【図９】（ａ），（ｂ）は、被加工体の排出用移載を説明するための平面図。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、被加工体の排出用移載を説明するための平面図。
【図１１】圧縮機全体の側断面図。
【図１２】第２の実施形態を示し、（ａ），（ｂ），（ｃ）は、素材（被加工体）の供給用移載を説明するための平面図。
【図１３】（ａ），（ｂ），（ｃ）は、被加工体の排出用移載を説明するための平面図。
【符号の説明】
【００９３】
１８０…被加工体としての素材。１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ，１８Ｄ，１８Ｅ…被加工体。３５…移載装置。３６，３６Ａ…ロボットハンド。３７…移動配置手段を構成するターンテーブル。３７１…受け入れステージ及び取り出しステージを兼ねる出入りステージ。３７２…確認ステージ。３７３…加熱ステージ。３７４…冷却ステージ。３８…被支持状態検査手段である長さ測定装置。３９０…加熱装置を構成する高周波電圧発生装置。３９１…加熱装置を構成するコイル。３９２…移動装置。４０…第１冷却装置。４１…第２冷却装置。４２〜４５…支持手段。４６〜４９…支持具。６３…筒。Ｍ１…回転駆動手段としてのモータ。Ｃ…移動範囲規定手段を構成する制御コンピュータ。Ｔ１…被調質部を示す範囲。
【図１】
2008169436.tif 000003
【図２】
2008169436.tif 000004
【図３】
2008169436.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008169436.tif 000009
【図８】
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【図９】
2008169436.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2008169436.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2008169436.tif 000015