(57)【要約】 【課題】ワイドバンドギャップ系半導体結晶内に形成する電界効果トランジスタに用いられるオーム性電極の直列抵抗を著しく減少させ、性能を向上できる電界効果トランジスタおよびその製造方法を提供する。【解決手段】基板１上にアンドープＧａＮ層（電子走行層）２と高抵抗またはｎ型ＡｌＧａＮ層（電子供給層）３が順次形成され、電子供給層上にゲート電極４、ソース電極５およびドレイン電極６を形成する際に、ソース電極５およびドレイン電極６直下の深さ方向に、電子供給層と電子走行層間の２次元電子ガスの層９を挟むように２重の不純物の高濃度領域７，８が形成され、それぞれの高濃度領域７、８は、ゲート電極４直下の電子供給層と電子走行層の不純物濃度よりそれぞれ高濃度となるよう形成されており、かつソース電極５とゲート電極４間及びドレイン電極６とゲート電極４の間の半導体層の表面が平坦である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に窒化物半導体からなる電子走行層と電子供給層が順次形成され、電子供給層上にゲート電極、ソース電極およびドレイン電極を形成した電界効果トランジスタにおいて、ソース電極およびドレイン電極直下の深さ方向に、電子供給層と電子走行層の間の２次元電子ガスの層を挟むように２重の不純物の高濃度領域が形成され、それぞれの高濃度領域は、ゲート電極直下の電子供給層と電子走行層の不純物濃度よりそれぞれ高濃度となるよう形成されており、かつソース電極とゲート電極の間およびドレイン電極とゲート電極の間の半導体層の表面が平坦であることを特徴とする電界効果トランジスタ。
【請求項２】
電子供給層内に形成される第１の高濃度領域のキャリア濃度が１×１０18〜１０20ｃｍ-3、電子走行層内に形成される第２の高濃度領域のキャリア濃度１×１０18〜１０19ｃｍ-3で、かつ第１の高濃度領域のキャリア濃度が第２の高濃度領域のキャリア濃度より高くなるように形成されている請求項１記載の電界効果トランジスタ。
【請求項３】
基板上に窒化物半導体からなる電子走行層と電子供給層を順次形成し、電子供給層上にゲート電極、ソース電極およびドレイン電極を形成する電界効果トランジスタの製造方法において、ソース電極およびドレイン電極直下の電子供給層と電子走行層に２段階で不純物を注入して、その深さ方向に、電子供給層と電子走行層間の２次元電子ガスの層を挟むように２重の不純物の高濃度領域を形成し、それぞれの高濃度領域がゲート電極直下の電子供層と電子走行層の不純物濃度よりそれぞれ高濃度となるよう形成したことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
【請求項４】
電子供給層内に形成される第１の高濃度領域のキャリア濃度が１×１０18〜１０20ｃｍ-3、電子走行層内に形成される第２の高濃度領域のキャリア濃度１×１０18〜１０19ｃｍ-3で、かつ第１の高濃度領域のキャリア濃度が第２の高濃度領域のキャリア濃度より高くなるように注入不純物イオンの加速エネルギとドーズ量が調整される請求項３記載の電界効果トランジスタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化物系化合物半導体内に形成された電界効果トランジスタに係り、特に、ソースおよびドレイン寄生抵抗値が著しく低く、ドレイン飽和電流が非常に高く、かつ相互コンダクタンスを非常に高く設計できる電界効果トランジスタおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＧａＩｎＮなどのワイドバンドギャップ窒化物系化合物半導体は、高耐圧・高出力のＨＥＭＴを含む電界効果トランジスタの材料として注目を集めている。
【０００３】
半導体装置には通常オーム性電極と非オーム性電極がある。
【０００４】
一般にワイドバンドギャップ系半導体結晶を用いて電界効果トランジスタを形成、例えばサファイア基板上に電子走行層としてのアンドープＧａＮ層、電子供給層としての高抵抗またはｎ型ＡｌＧａＮを形成し、この電子供給層上にソース電極、ドレイン電極を形成すると、これらオーム性電極の直列抵抗が高くなり、性能が劣化する。
【０００５】
従来、電子装置形成用エピタキシャル結晶成長法等を用いて、Ｓｉ等のイオン注入により高濃度領域を形成し、その高濃度領域上に電極を形成してオーム性電極の直列抵抗を減少させたリセス型電界効果トランジスタが提案されている（特許文献１）。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２２３６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、リセス型電界効果トランジスタには、非オーム性電極も設けることが必須で、その電極を形成すべき領域を確保するには、当該高濃度領域はエッチングなどの技術を用いて除去しなければならなかった。その結果、製造工程の難しさに加え形成された電界効果トランジスタの表面凹凸が大きくなり、電極配線等に著しく不利であった。
【０００８】
本発明の目的は、ワイドバンドギャップ系半導体結晶内に形成する電界効果トランジスタに用いられるオーム性電極の直列抵抗を著しく減少させ、性能を向上できる電界効果トランジスタおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、基板上に窒化物半導体からなる電子走行層と電子供給層が順次形成され、電子供給層上にゲート電極、ソース電極およびドレイン電極を形成した電界効果トランジスタにおいて、ソース電極およびドレイン電極直下の深さ方向に、電子供給層と電子走行層間の２次元電子ガスの層を挟むように２重の不純物の高濃度領域が形成され、それぞれの高濃度領域は、ゲート電極直下の電子供給層と電子走行層の不純物濃度よりそれぞれ高濃度となるよう形成されており、かつソース電極とゲート電極の間およびドレイン電極とゲート電極の間の半導体層の表面が平坦であることを特徴とする電界効果トランジスタである。
【００１０】
請求項２の発明は、電子供給層内に形成される第１の高濃度領域のキャリア濃度が１×１０18〜１０20ｃｍ-3、電子走行層内に形成される第２の高濃度領域のキャリア濃度１×１０18〜１０19ｃｍ-3で、かつ第１の高濃度領域のキャリア濃度が第２の高濃度領域のキャリア濃度より高くなるように形成されている請求項１記載の電界効果トランジスタである。
【００１１】
請求項３の発明は、基板上に窒化物半導体からなる電子走行層と電子供給層を順次形成し、電子供給層上にゲート電極、ソース電極およびドレイン電極を形成する電界効果トランジスタの製造方法において、ソース電極およびドレイン電極直下の電子供給層と電子走行層に２段階で不純物を注入して、その深さ方向に、電子供給層と電子走行層間の２次元電子ガスの層を挟むように２重の不純物の高濃度領域を形成し、それぞれの高濃度領域がゲート電極直下の電子供層と電子走行層の不純物濃度よりそれぞれ高濃度となるよう形成したことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法である。
【００１２】
請求項４の発明は、電子供給層内に形成される第１の高濃度領域のキャリア濃度が１×１０18〜１０20ｃｍ-3、電子走行層内に形成される第２の高濃度領域のキャリア濃度１×１０18〜１０19ｃｍ-3で、かつ第１の高濃度領域のキャリア濃度が第２の高濃度領域のキャリア濃度より高くなるように注入不純物イオンの加速エネルギとドーズ量が調整される請求項３記載の電界効果トランジスタの製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、オーム性電極であるソース電極、ドレイン電極下の電子供給層と電子走行層に、第１及び第２の高濃度領域を形成することにより、直列抵抗の著しく小さな電極が形成できる。イオン注入を用いた製造方法を活用すれば表面の凹凸の少ない電界効果トランジスタが製造可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１５】
本発明は、電界効果トランジスタに用いられるオーム性電極を形成するにあたり、電極下のみに選択的に高濃度層を形成することによって達成される。
【００１６】
以下にこれを詳しく説明する。
【００１７】
図１に示すようにＭＯＣＶＤ法で、サファイヤ（Ａｌ2Ｏ3）や炭化珪素（ＳｉＣ）基板１上に電子走行層としてのアンドープＧａＮ層２を形成し、その上部に高抵抗またはｎ型ＡｌＧａＮ層３を形成するとその界面に２次元電子ガスの層９が形成される。
【００１８】
この２次元電子ガスの層９を応用して、電界効果トランジスタが形成できる。
【００１９】
ＡｌＧａＮ層３は高抵抗のため、表面に堆積したオーム性電極（ドレイン電極）６との抵抗は大きい。
【００２０】
しかし、高抵抗またはｎ型ＡｌＧａＮ層３に第１の高濃度領域７をイオン注入法で形成すると高濃度領域７と電極６との接触になるため接触抵抗は著しく小さくなる。
【００２１】
また、第２の高濃度領域８をＡｌＧａＮ／ＧａＮ界面より深く形成すると、アンドープＧａＮ層２内に選択的に高濃度領域８が形成できるので、シート抵抗の減少が可能となる。そのため、矢印で示したようにＡｌＧａＮ／ＧａＮ界面の２次元電子ガスの層９に沿って流れる電子は、矢印のように高濃度領域８，７のみを通過し、オーム性電極６の抵抗は減少する。
【００２２】
図２はオーム性電極の直下の深さ方向の不純物濃度分布を示したもので、高抵抗またはｎ型ＡｌＧａＮ層に、キャリア濃度のピーク値が１×１０18〜１０20ｃｍ-3の第１の高濃度領域７が形成され、２次元電子ガスの層９を介してキャリア濃度のピーク値が１×１０18〜１０19ｃｍ-3の第２の高濃度領域８が形成される。
【００２３】
このように本発明は、オーム性電極となるソース電極５（またはドレイン電極６）の直下の電子供給層としての高抵抗またはｎ型ＡｌＧａＮ層３と電子走行層としてのアンドープＧａＮ層２内に、Ｓｉ等の不純物の高濃度領域７，８を形成し、そのｎ型ＡｌＧａＮ層３にゲート電極４（図３）を形成することで、これら電極４，５，６が同一平面上に形成でき、従来のリセス型電界効果トランジスタのような表面に凹凸がなくなり、電極配線が容易となり、しかも高性能の電界効果トランジスタとすることができる。
【００２４】
次に、図３により、本発明のより具体的な実施の形態を説明する。
【００２５】
周知のＭＯＣＶＤ法によりサファイア基板または半絶縁性ＳｉＣ基板１上にアンドープＧａＮ（厚さ２０００ｎｍ）２と高抵抗またはＳｉドープｎ形ＡｌＧａＮ（厚さ３０ｎｍ）３を順に成長したウェハを用意する。
【００２６】
原料ガスには一般に用いられるトリメチルガリウム、トリメチルアルミニウム、アンモニア、ジシランを使用した。成長時の温度と圧力はそれぞれ１１００℃と常圧である。このウェハの電気伝導度を計測したところ約５００オームのシート抵抗値が得られた。
【００２７】
さらに、ソース電極５およびドレイン電極６を形成する箇所に加速エネルギー８０ｋｅＶ、ドーズ量１Ｅ１５ｃｍ-2でシリコンイオンを注入し、さらに加速エネルギー３０ｋｅＶ、ドーズ量１Ｅ１５ｃｍ-2でシリコンイオンを注入して２段階でイオン注入を行った。その後、このウェハを窒素雰囲気中で１２００℃で３分間加熱した。
【００２８】
次にこのウェハ上にＮｉＡｕゲート電極４とＴｉＡｌソース電極５およびＴｉＡｌドレイン電極６を形成した。
【００２９】
このようにして製作した電界効果トランジスタと従来のリセス型電界効果トランジスタの性能を比較すると、ターンオン抵抗が４分の１に、また、飽和ドレイン電流が４倍、相互コンダクタンスは２倍、遮断周波数は４倍に向上した。その原因は、オーム性電極であるソース電極及びドレイン電極の直列抵抗が１０分の１に減少したためであった。
【００３０】
以上、本実施の形態について具体的に説明したが、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【００３１】
例えば、上述の実施の形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。また、第１および第２の高濃度領域７，８はそれらが重なっていてもよくまた離れていても同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施の形態を示す概略図である。
【図２】本発明において、低抵抗オーム性電極を実現する深さ方向の不純物濃度分布を示す図である。
【図３】本発明の一実施の形態を示す電界効果トランジスタの構造図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  サファイアまはた半絶縁性ＳｉＣ基板
２  アンドープＧａＮ層（電子走行層）
３  高抵抗またはｎ形ＡｌＧａＮ層（電子供給層）
４  ゲート電極
５  ソース電極
６  ドレイン電極
７  第１の高濃度領域
８  第２の高濃度領域
９  ２次元電子ガスの層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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