(57)【要約】【課題】簡単な機構により中心孔を有するディスク基板を安定して回転保持することができるディスク基板の保持装置を提供する。【解決手段】中心孔を有するディスク基板１００の内周縁１０２を保持して該ディスク基板１００を回転させるディスク基板の回転保持装置１０において、押圧体３４が鉛直方向に軸支されたスピンドル１２の中空孔１２ａに挿入されロッド２６を下方に付勢することで、ロッド２６の上端部に固定されたガイドコマ２８が弾性体３０を押圧して弾性体３０を拡径させディスク基板１００の内周縁１０２に弾性体３０を圧接させることでディスク基板１００を保持し、ロッド２６を押圧体３４の付勢力に反して上方へ移動させガイドコマ２８が弾性体３０に外力を加えていない状態において、弾性体３０は中心孔の口径より小さい直径をなしていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔を有するディスク基板の内周縁を保持して該ディスク基板を回転させるディスク基板の回転保持装置において、鉛直方向に軸支された中空のスピンドルと、前記スピンドルの上端に固定されたチャック基部と、前記スピンドルの中空孔に挿入され前記チャック基部を貫通するロッドと、前記ロッドの上端部に固定された前記中心孔の口径より小さい直径のガイドコマと、前記ロットに挿通され前記チャック基部と前記ガイドコマとの間に配された弾性体と、前記ロッドを下方へ付勢する押圧体と、を備え、
前記押圧体が前記ロッドを下方に付勢することで、前記ガイドコマが前記弾性体を押圧して前記弾性体を拡径させ前記ディスク基板の内周縁に前記弾性体を圧接させることで前記ディスク基板を保持し、
前記ロッドを前記押圧体の付勢力に反して上方へ移動させ前記ガイドコマが前記弾性体に外力を加えていない状態において、前記弾性体は前記中心孔の口径より小さい直径をなしていることを特徴とするディスク基板の回転支持装置。
【請求項２】
前記押圧体が、ロッドに挿通されたコイルバネであることを特徴とする請求項１に記載のディスク基板の回転支持装置。
【請求項３】
前記チャック基部の上面にディスク基板の下面を支持する突起が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のディスク基板の回転支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中心孔を有する円盤状のディスク基板を保持して高速回転させる装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ハードディスク装置のディスク基板に用いられるガラス基板は、ガラス円板の中心に直径２０〜２５ｍｍの孔を開け、その内外周を研磨して製作される。孔開けや研磨は、切削液をかけながらダイヤモンド砥石を用いて行われているため、加工後のガラス基板には、切削液が水滴となって付着している。孔開けや研磨加工が終了したガラス基板を次工程に移す前には、ガラス基板に付着した切削液を除去する必要がある。そこで、従来、ガラス基板を高速回転させ遠心力によって切削水を吹き飛ばす方法により切削液の除去が行われており、その際、ガラス基板の中心孔に挿入された複数の把持爪が、同期して拡径することでガラス基板の内周縁に押接することで、ガラス基板を保持して高速回転させる装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、上記の装置では、略Ｌ字状の爪保持アームを介して複数の把持爪が同期して拡縮径させる必要があり、そのための駆動機構が複雑となる問題がある。また、把持爪を支持する略Ｌ字状の爪保持アームは回転駆動軸に接続され高速回転するため、風切り音などの騒音や振動が生じやすいという問題がある。さらに、ガラス基板の内周縁が把持爪により点状に支持されているため、把持力が局所的に作用してガラス基板の内周縁を破損するおそれがあり問題である。
【特許文献１】特開２００２−２０８１３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、簡単な機構によりディスク基板を安定して回転保持することができるディスク基板の保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかるディスク基板の保持装置は、中心孔を有するディスク基板の内周縁を保持して該ディスク基板を回転させるディスク基板の回転保持装置において、鉛直方向に軸支された中空のスピンドルと、前記スピンドルの上端に固定されたチャック基部と、前記スピンドルの中空孔に挿入され前記チャック基部を貫通するロッドと、前記ロッドの上端部に固定された前記中心孔の口径より小さい直径のガイドコマと、前記ロットに挿通され前記チャック基部と前記ガイドコマとの間に配された弾性体と、前記ロッドを下方へ付勢する押圧体と、を備え、前記押圧体が前記ロッドを下方に付勢することで、前記ガイドコマが前記弾性体を押圧して前記弾性体を拡径させ前記ディスク基板の内周縁に前記弾性体を圧接させることで前記ディスク基板を保持し、前記ロッドを前記押圧体の付勢力に反して上方へ移動させ前記ガイドコマが前記弾性体に外力を加えていない状態において、前記弾性体は前記中心孔の口径より小さい直径をなしていることを特徴とする。
【０００６】
本発明に係るディスク基板の保持装置によれば、弾性体を拡縮径させることでディスク基板の保持とその解除を行うため、複数の爪保持アームを同期して制御する必要がなくディスク基板の保持機構が簡便なものとなる。また、これらの保持機構は回転軸であるスピンドルの径外方向に延在する部材が存在しないため、スピンドルの高速回転時に風切り音などの騒音や振動が生じにくい。また、ディスク基板の内周縁に沿って弾性体を圧接させることでディスク基板を保持しているため、保持力が内周全体に分散しガラス基板の内周縁を破損しにくくなる。
【０００７】
上記のディスク基板の保持装置において、押圧体がロッドに挿通されたコイルスプリングであってもよく、かかる場合、弾性体を拡径させる押圧体をスピンドルの中空孔内に収納することができ、スピンドルを安定して回転させることができる。また、前記チャック基部の上面にディスク基板の下面を支持する突起が設けられてもよく、これにより、ディスク基板をより安定して保持することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のディスク基板の保持装置によれば、簡単な機構によりディスク基板を安定して回転保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１０】
図１は本実施形態にかかるディスク基板の保持装置１０の断面図であり、図２は同ディスク基板の保持装置１０の動作を示す断面図である。
【００１１】
本実施形態にかかるディスク基板の保持装置１０は、ハードディスク用ガラス基板などの中心孔１０２を有する円盤状のディスク基板１００を保持して高速回転させる装置であって、図１に示すように、中空軸からなるスピンドル１２は、フレーム１４に軸受１６，１６を介して垂直方向に回転自在に軸支されている。スピンドル１２の下端にはプーリ１８が固定され、上端には板状のチャック基部２０が固定されており、フレーム１４を固定する支持板２２に配設した不図示のスピンドルモータが、ベルト２４を介してプーリ１８に回転力を伝え、スピンドル１２を回転駆動するようになっている。
【００１２】
スピンドル１２の中空部１２ａにはロッド２６が挿通されており、このロット２６はチャック基部２０を貫通しチャック基部２０より上方に突出している。チャック基部２０より上方に突出するロッド２６の上端部には中心孔１０２の口径より小さい直径のガイドコマ２８が固定され、チャック基部２０とガイドコマ２８との間には弾性体３０がロッド２６に挿通された状態で配置されている。この弾性体３０は、ガイドコマ２８により押圧されておらず外力を加えられていない状態において、中心孔１０２の口径より小さい直径に設けられている。また、チャック基部２０の上面にはディスク基板１００の下面を支持する突起２９，２９が設けられている。
【００１３】
ロッド２６の下端部には、ロッド２６より大きな直径を有するスライダ３２がスピンドル１２の中空部１２ａ内を摺動可能な状態で固定され、チャック基部２０の下面とスライダ３２との間には押圧部であるコイルバネ３４がロット２６に挿通されており、コイルバネ３４がスライダ３２を押圧してロッド２６を下方へ付勢している。また、スライダ３２の下方に配置されたシリンダ３６が、スライダ３２の下端を押し上げロッド２６をコイルバネ３４の付勢力に反して上方へ移動させるようになっている。
【００１４】
このようなディスク基板の保持装置１０は、図２（ａ）に示すように、コイルバネ３４がスライダ３２を押圧してロッド２６を下方へ付勢しており、これにより、ロッド２６の上端部に固定されたガイドコマ２８が弾性体３０を押圧して拡径させることで、ディスク基板１００の内周縁１０２ａに弾性体３０を圧接させてディスク基板１００を保持する。
【００１５】
次に、ディスク基板１００の保持を解除するには、図２（ｂ）に示すように、シリンダ３６によりコイルバネ３４の下方への付勢力に反してスライダ３２を上方に押し上げスライダ３２に固定されているロッド２６を上方に移動させることで、ロッド２６の上端部に固定されているガイドコマ２８も上方に移動する。ガイドコマ２８が弾性体３０に外力を加えていない状態において、弾性体３０は中心孔１０２の口径より小さい直径に設けられているため、ガイドコマ２８が上方に移動して弾性体３０への押圧を解除することで、弾性体３０が復元力で上方へ伸びながら縮径してディスク基板１００の内周縁１０２ａから弾性体３０が離れディスク基板１００の保持を解除する。
【００１６】
以上のように本発明のディスク基板の保持装置１０では、弾性体３０を拡縮径させることでディスク基板１００の内周縁１０２ａの保持とその解除を行うため、ディスク基板の保持機構が簡便なものとなる。また、弾性体３０を拡縮径させるスライダ３２やコイルバネ３４は、スピンドル１２の中空部１２ａに収納されているため、スピンドル１２が高速回転しても風切り音などの騒音や振動が生じにくい。また、弾性体３０は、ディスク基板を保持１００の中心孔１０２の内周縁１０２ａ全周と圧接した状態でディスク基板１００を保持しているため、保持力が内周縁１０２ａ全周に分散しガラス基板１００を破損しにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態にかかるディスク基板の保持装置の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるディスク基板の保持装置の動作を示す断面図であって、（ａ）はディスク基板の保持状態、（ｂ）はディスク基板の保持を解除した状態を示す。
【符号の説明】
【００１８】
１０…ディスク基板の保持装置
１２…スピンドル
１４…フレーム
１６…軸受
２０…チャック基部
２６…ロッド
２８…ガイドコマ
３０…弾性体
３４…コイルバネ（押圧体）
３６…シリンダ
１００…ディスク基板
１０２…中心孔
１０２ａ…内周縁
【図１】
2008036781.tif 000003
【図２】
2008036781.tif 000004