(57)【要約】【課題】  水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、回転Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視の諸機能を実現できる多機能Ｘ線検査装置を提供する。【解決手段】  本発明の装置は、Ｘ線を照射するＸ線管と、対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器をＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を同一線上に位置するように支持するアームと、３次元方向に移動制御可能な架台と、架台上に設置される回転ステージと、架台又は回転ステージに支持されて対象物を設置する手段と、アームをＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を結ぶ光軸上の点を回転中心として、対象物がセットされる水平面に対して回転させる手段とを有する。回転Ｘ線ＣＴの場合、少なくとも360°一様なスピードで回転させる。水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視では、０から９０°の範囲で回転させ、その角度で撮像する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面に垂直な軸で回転する対象物に水平方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する水平Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線ＣＴ撮像と、水平面に固定している対象物に水平面に対してＸ線の照射方向を少なくとも360°回転させ撮像する回転Ｘ線ＣＴ撮像と、固定または回転する対象物に対する垂直方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する垂直Ｘ線透視撮像または傾斜Ｘ線透視撮像とを行うことのできる多機能Ｘ線検査装置。
【請求項２】
対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器を同一軸上に前記Ｘ線管と前記Ｘ線検出器の間の距離を可変にできるように取り付けたアームを含み、前記アームは、前記Ｘ線管の焦点と前記Ｘ線検出器の中心を結ぶ線（光軸）上の点を回転中心として、対象物がセットされる水平面に対して回転できることを特徴とする請求項１記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項３】
前記アームは、前記回転中心を軸として360°以上回転できることを特徴とする請求項２記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項４】
前記アームは、対象物がセットされる水平面に対し0°〜90°の範囲の任意の角度に設定できることを特徴とする請求項２又は３記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項５】
前記アームは、対象物がセットされる水平面に対して360°以上連続して回転することを特徴とする請求項２又は３記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項６】
対象物を搭載する対象物設置台または着脱可能な対象物固定治具を固定する架台が前記アームの回転に干渉しない位置まで移動できることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１に記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項７】
対象物設置台または着脱可能な対象物固定治具は、前記架台に取り外し可能に設置できることを特徴とする請求項６記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項８】
前記アームで前記Ｘ線管と前記Ｘ線検出器の間の距離を可変にできることを特徴とする請求項２乃至７のいずれか１に記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項９】
多機能Ｘ線検査装置であって、Ｘ線を照射するＸ線管と、対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、対象物を挟んで前記Ｘ線管と前記Ｘ線検出器を前記Ｘ線管の焦点と前記Ｘ線検出器の中心を同一線上に位置するように支持するアームと、３次元方向に移動制御可能な架台と、前記架台上に設置される回転ステージと、前記架台又は前記回転ステージに支持されて対象物を設置する手段とを有し、前記アームを前記Ｘ線管の焦点と前記Ｘ線検出器の中心を結ぶ線（光軸）上の点を回転中心として対象物がセットされる水平面に対して、水平Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線ＣＴ撮像の場合には、0°〜90°未満の範囲の任意の角度回転させ、回転Ｘ線ＣＴ撮像の場合には、少なくとも360°所定の速度で回転させ、垂直Ｘ線透視撮像の場合には、90°回転させ、傾斜Ｘ線透視撮像の場合には、0°〜90°の範囲の傾斜角に回転させる手段を含む多機能Ｘ線検査装置。
【請求項１０】
前記アームの回転又は所定の角度に設定されたアームの位置と対象物が干渉しないで前記対象物にＸ線を照射するように前記アームに対して前記架台を移動する手段を有することを特徴とする請求項９記載の多機能Ｘ線検査装置。
【請求項１１】
水平面に垂直な軸で回転する対象物に水平方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する水平Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線ＣＴ撮像手段と、水平面に固定している対象物に水平面に対してＸ線の照射方向を少なくとも360°回転させ撮像する回転Ｘ線ＣＴ撮像手段と、固定または回転する対象物に対する垂直方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する垂直Ｘ線透視撮像または傾斜Ｘ線透視撮像手段とを有する多機能Ｘ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関し、特に、電子部品、実装基板、樹脂部品、金属部品、複合部品、樹脂製品、機械・金属、食品・飲料の非破壊検査、実験動物等の生体、歯、骨等の組織検査、資源・素材研究分野、医薬実験分野等に有効な産業用Ｘ線検査装置に関する。これら装置の中でも、とりわけ、Ｘ線ＣＴとＸ線透視の両機能を単独装置で実現することのできるＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置として、Ｘ線ＣＴ（Computed Tomography）装置、Ｘ線透視装置が知られている。Ｘ線ＣＴ装置は、図1に示すように、対象物設置台に設置した検査対象物に対してＸ線照射の方向が水平方向になるように、Ｘ線管及び検出器を配置している。一方、Ｘ線透視装置は、図２に示すように、Ｘ線照射の方向が垂直方向となるような構成にしている。即ち、図２（ｂ）の平面図及びその側側面図である図２（ａ）に示すように、対象物固定治具の片持ち支持部に検査対象物を固定し、Ｘ線照射の方向が垂直方向となるようにＸ線管を検査対象物の上方に配置している。このような照射方向の違う配置の仕方は、測定対象物の操作性、対象物回転時の回転軸の安定性を配慮して決めている。
【０００３】
Ｘ線を用いた工業製品の非破壊検査においては、Ｘ線透視で多数の対象物を順次検査し、問題となった対象物をＸ線ＣＴにより評価解析できることが望ましい。しかし、このために２種類の装置を用意するのは、コスト的に問題がある。
【０００４】
このため、Ｘ線ＣＴとＸ線透視の両機能を持った多機能型Ｘ線検査装置が有効である。しかし、現在知られているのは、Ｘ線透視装置に、Ｘ線ＣＴ機能が付加できる装置であり、しかも、この場合、Ｘ線照射の方向が垂直方向に限られるため、ＣＴとして使用する場合、対象物を片持ちにして水平軸を中心に回転させることになり、回転の安定性に欠ける。その結果、Ｘ線ＣＴ撮像で得られる再構成画像の画質が、水平Ｘ線ＣＴ撮像から得られる再構成画像の画質より劣る。
【０００５】
Ｘ線照射を水平方向に行うＸ線ＣＴ装置（図１）及びＸ線照射を垂直方向に行うＸ線透視装置（図２）に対し、斜め方向からＸ線照射を行うＸ線ＣＴ装置やＸ線透視装置がある。すなわち、Ｘ線照射を斜めに行う傾斜Ｘ線透視（特許文献１）は垂直照射では見えない部分を透視するためには有効である。Ｘ線照射を斜め方向から行う傾斜Ｘ線ＣＴ（特許文献２、特許文献３）は、水平方向への照射では撮像困難なアスペクト比の大きな平たく大きな対象物のＣＴ画像を撮像するのに有用である。
【０００６】
これら装置では、図３に示すように、Ｘ線照射方向が水平面から傾斜した方向から対象物に照射される。
【０００７】
現在、傾斜Ｘ線ＣＴ機能をＸ線透視装置に付加した装置が知られている。この装置では、Ｘ線検出器をＸ線管のＸ線照射の中心方向からずらして斜めに設定し、傾斜Ｘ線ＣＴ機能を実現する構造であり、Ｘ線ＣＴ撮像に際しては、照射するＸ線の中心部分ではなく、Ｘ線の広がり部分を利用している。しかし、広がり部分のＸ線は中心部分のＸ線よりも減衰が大きいため、対象物を透過しにくく撮像データから得られる画像の画質に影響する。
【０００８】
さらに、実験動物等の生体や希少サンプル、丁寧な扱いが必要な素材など、ＣＴ撮像に際して、対象物を回転させることを避けたい場合には、対象物を固定しその対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器を配置した回転アームを光軸上の点を回転中心として回転させる回転Ｘ線ＣＴが有効であるが、現在、水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、回転Ｘ線ＣＴの各機能を単独で同時に具備している装置はない。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−２２２５９９号公報
【特許文献２】特開２００３−２６００４９号公報
【特許文献３】特開２００３−３２９６１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
このため、検査や実験の目的毎に、あるいは対象物のタイプ毎に適切な撮像法を具備したＸ線検査装置を別々に設置しなければならず、費用はもとより検査、実験等の効率や装置の稼働率に問題が生じている。
【００１１】
したがって、本発明の目的は、水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、回転Ｘ線ＣＴ、垂直Ｘ線透視、傾斜Ｘ線透視の諸機能を単独の装置で実現できる多機能Ｘ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によれば、水平面に垂直な軸で回転する対象物に水平方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する水平Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線ＣＴ撮像と、水平面に固定している対象物に水平面に対してＸ線の照射方向を360°以上回転させ撮像する回転Ｘ線ＣＴ撮像と、固定または回転する対象物に対する垂直方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する垂直Ｘ線透視撮像または傾斜Ｘ線透視撮像とを行うことのできる多機能Ｘ線検査装置が得られる。
【００１３】
本発明の多機能Ｘ線検査装置は、Ｘ線ＣＴ撮像装置としてもＸ線透視装置としても機能し、切り替えて実行できる。
【００１４】
また、本発明の多機能Ｘ線検査装置は、Ｘ線ＣＴ撮像を行う場合には、水平面に垂直な軸で回転する対象物に対しては水平面に対して0°、即ち水平方向からＸ線を照射しての水平Ｘ線ＣＴ撮像を、または水平面に対して0°〜90°未満の斜め方向からＸ線を照射しての傾斜Ｘ線ＣＴ撮像を、水平面に固定している対象物に対しては光軸上の点を回転中心にＸ線管とＸ線検出器を360°以上回転させての回転Ｘ線ＣＴ撮像のいずれかを選択して行うことができる。
【００１５】
本発明の多機能Ｘ線検査装置は、Ｘ線透視撮像を行う場合には、対象物に対して垂直方向または斜めにＸ線を照射する垂直Ｘ線透視または傾斜Ｘ線透視のどちらかを選択して行うことができる。
【００１６】
本発明の実施形態によれば、対象物を挟んでＸ線管とＸ線検出器を同一軸上に前記Ｘ線管と前記Ｘ線検出器の間の距離を可変にできるように取り付けたアームを含み、前記アームは、前記Ｘ線管の焦点と前記Ｘ線検出器の中心を結ぶ線（光軸）上の点を回転中心として、対象物がセットされる水平面に対して360°以上回転できる。
【００１７】
本発明の多機能Ｘ線検査装置は、アームを、対象物がセットされる水平面に対して0°〜90°の範囲の任意の角度に設定できる。
【００１８】
本発明の多機能Ｘ線検査装置は、対象物を搭載する対象物設置台または着脱可能な対象物固定治具を固定する架台がＸ線管焦点とＸ線検出器中心を結ぶ軸（光軸）の奥の位置と360°以上回転するアームと干渉しない手前の位置までの間を移動できる。
【００１９】
本発明の多機能Ｘ線検査装置は、前記架台に対象物設置台または着脱可能な対象物固定治具を取り付けできる。
【００２０】
また、本発明によれば、多機能Ｘ線検査装置であって、Ｘ線を照射するＸ線管と、対象物を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、対象物を挟んで前記Ｘ線管と前記Ｘ線検出器を前記Ｘ線管の焦点と前記Ｘ線検出器の中心を同一線上に位置するように支持するアームと、３次元方向に移動制御可能な架台と、前記架台上に設置される回転ステージと、前記架台又は前記回転ステージに支持されて対象物を設置する手段とを有し、前記アームを前記Ｘ線管の焦点と前記Ｘ線検出器の中心を結ぶ線（光軸）上の点を回転中心として対象物がセットされる水平面に対して、水平Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線ＣＴ撮像の場合には、0°〜90°未満の範囲の任意の角度を回転させ、回転Ｘ線ＣＴ撮像の場合には、少なくとも360°所定の速度で回転させ、垂直Ｘ線透視撮像の場合には、90°回転させ、傾斜Ｘ線透視撮像の場合には、0°〜90°の範囲の傾斜角回転させる手段を含む多機能Ｘ線検査装置が得られる。
【００２１】
さらに、本発明によれば、水平面に垂直な軸で回転する対象物に水平方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する水平Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線ＣＴ撮像手段と、水平面に固定している対象物に水平面に対してＸ線の照射方向を少なくとも360°回転させ撮像する回転Ｘ線ＣＴ撮像手段と、固定または回転する対象物に対する垂直方向または斜め方向からＸ線を照射して撮像する垂直Ｘ線透視撮像または傾斜Ｘ線透視撮像手段とを有する多機能Ｘ線検査装置が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明による多機能Ｘ線検査装置は、単独の装置でＸ線ＣＴ撮像とＸ線透視撮像を実行でき、さらにＸ線ＣＴ撮像では水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴおよび回転Ｘ線ＣＴのいずれかを選択して実行可能であり、またＸ線透視撮像では垂直Ｘ線透視および傾斜Ｘ線透視のどちらかを選択して実行可能である。このため、非破壊検査をはじめ研究開発時の実験等において、単独の装置によって検査や実験の目的にあわせて適切な撮像方式を容易に選択し、あるいは組み合わせて実行できるため、検査や実験等の効率化、装置の稼働率向上とそれらにかかる諸費用および設備購入費の大幅減少を達成できる。
【００２３】
また、複数の撮像方式があるため、小さいサイズから平たく大きなサイズまでの対象物や実験動物等の生体や希少素材など丁寧な扱いが必要な対象物までいろいろな対象物に対して、その特性に合わせて拡大率を損なうことなく、高画質なＸ線ＣＴ画像あるいはＸ線透視画像を得ることができる。
【００２４】
これにより、非破壊検査における検査対象領域の拡大・発展、検査の高精度化、検査効率の向上が可能となるとともに、医療実験や薬理研究、自然界の資源・素材調査等各種研究開発分野での基礎データ収集が容易に行えるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２６】
図４は、本発明のＸ線検査装置を示し、図４の（ａ）は、装置の上から見た主要部の平面図、（ｂ）は、その正面から見た立面図である。
【００２７】
Ｘ線検査装置は水平面上に設置されるものとする。図において、装置の水平方向をＸ軸とＹ軸、水平面の垂直方向をZ軸とする。１はＸ軸、２はＹ軸、３はZ軸を示している。４（a)、４（b)、４（c)は架台を構成しており、４（a)はＹ軸移動、４（b)はＸ軸移動、４（c)はZ軸移動をおこなう。図中の矢印５（a)、５（b)、５（c)は移動方向を示している。Ｙ軸架、Ｘ軸架、Z軸架にはそれぞれ原点信号があり、この原点信号を基準に架台の位置調整を行うことができる。Z軸架台４（c)の上には、対象物を搭載する回転ステージ６およびステージ対象物設置台７と、対象物を固定する対象物固定治具８およびホルダー９が取り付けてある。回転ステージ６および対象物設置台７は固定的に取付けるが、一方、対象物固定治具８およびホルダー９は対象物固定治具取付けネジ10により容易に取り外し可能なようになっている。回転ステージ６およびその上に取り付けた対象物設置台は、水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴおよび傾斜Ｘ線透視を行う場合に使用する。また、対象物固定治具８およびホルダー９は、回転Ｘ線ＣＴおよび垂直Ｘ線透視を行う場合に使用する。
【００２８】
11は回転アームであって、その両端にＸ線管12とＸ線検出器13および画像処理用PC14が対向して取り付けられている。Ｘ線管12は回転アーム11に沿って左右に移動可能なように回転アーム11に取り付けられる。Ｘ線は、光軸と呼ばれるＸ線管の焦点とＸ線検出器の中心を結ぶ軸の方向に照射される。Ｘ線管12をアームに沿って光軸方向で左右に移動機構（図示せず）で移動することにより、Ｘ線管12とＸ線検出器13の間の距離は可変となり、撮像時の幾何学的倍率を可変にできる。
【００２９】
まず、回転Ｘ線ＣＴまたは垂直Ｘ線透視を行う場合について説明する。図４において、回転アーム11の回転中心15はＸ軸１、Ｙ軸２、Z軸３の交点におけるＹ軸方向に設定され、回転アーム11は水平面に垂直なＸ-Z面でＹ軸を中心として時計回りまたは反時計回りに回転する。架台４（a)、４（b)、４（c)はＹ軸架台４（a)をＹ軸移動ガイド17に沿って回転アーム12の回転エリア16の範囲外に位置するように装置の手前側に移動し、架台４（a)、４（b)、４（c)および対象物固定治具8と回転アーム11が干渉しないようにしている。また、架台４（a)、４（b)、４（c)は対象物固定治具８に装着するホルダー９の中心がアームの回転中心と重なるように位置決めされる。回転Ｘ線ＣＴでは、ホルダー９に実験動物等の対象物18をセットし、回転アームを360°以上回転させてＸ線照射すればＣＴ撮像を行うことができる。また、垂直Ｘ線透視では、回転アーム11を、Ｘ線管12が上に位置するように、水平面に対して垂直（Ｘ-Ｙ軸に対して90°）な位置になるまで回転させて固定し、Ｘ線を垂直方向に照射すればＸ線透視撮影を行うことができる。
【００３０】
回転Ｘ線ＣＴの場合に、検査対象物、Ｘ線管、Ｘ線検出器、Ｘ線管とＸ線検出器を保持して回転する回転アーム、対象物固定治具、ホルダー等の位置関係及びＸ線照射方向を模式的に示すと図６のようになる。なお、図において、図６（ｂ）は正面図、図６（ａ）は、右側面図である。架台は回転アームと干渉しない位置に移動され、対象物固定治具が取り付けられている状態を示す。
【００３１】
垂直Ｘ線透視の場合における検査対象物、Ｘ線管、Ｘ線検出器、対象物固定治具、ホルダー等の位置関係とＸ線照射方向を模式的に示すと図７のようになる。なお、図において、図７（ｂ）は正面図、図７（ａ）は、右側面図である。同図には、架台は回転アームと干渉しない位置に移動され、対象物固冶具が取り付けられている状態が表示されている。
【００３２】
次に、水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、または傾斜Ｘ線透視を行う場合について説明する。
【００３３】
図４において、対象物固定治具８およびホルダー９は対象物固定治具取付けネジ10をゆるめて外す。また、架台４（a)、４（b)、４（c)および回転ステージ６および対象物設置台７の位置をＹ軸移動ガイド17に沿って装置の手前側から中央側へ移動する。さらに、回転ステージ６上の対象物設置台７に対象物１９を設置する。
【００３４】
図５は、このよう調整した各要素の位置関係を示し、図５の（ａ）は、装置の上から見た主要部の平面図、（ｂ）は、その正面から見た立面図である。
【００３５】
対象物設置台７は、Ｙ軸架台４（a)、Ｘ軸架台４（b)、Z軸架台４（c)を駆動することによりそれぞれの軸方向５（a)、５（b)、５（c)に移動可能である。Ｘ軸方向の移動により撮像の幾何学的倍率が可変になる。さらに回転ステージ６によりＺ軸を中心に回転可能である。この状態で対象物設置台７上に機械部品等の対象物19をセットしてＸ線照射すればＸ線ＣＴ撮像またはＸ線透視撮像を行うことができる。Ｘ線管球12を右側にして回転アーム11を水平（Ｘ-Ｙ面）に設定し、回転ステージ６を駆動して対象物設置台とセットされた対象物を回転させ、Ｘ線を照射すれば水平Ｘ線ＣＴ撮像が行える。回転アーム11を回転させて、Ｘ軸に対して90°未満の角度の位置に傾斜固定してＸ線を照射すれば傾斜Ｘ線ＣＴ撮像または傾斜Ｘ線透視撮影を行うことができる。傾斜Ｘ線透視撮影の場合は回転ステージ６の駆動または停止は自由である。
【００３６】
図８に、水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、または傾斜Ｘ線透視の場合における、検査対象物、Ｘ線管、Ｘ線検出器、Ｘ線管とＸ線検出器を保持して回転できる回転アーム、対象物設置台等の位置関係及びＸ線照射方向を模式的に示す。図において、水平Ｘ線ＣＴの場合には、Ｘ線管とＸ線検出器は対象物を挟んで水平に配置され、対象物設置台の回転により対象物が回転する。傾斜Ｘ線ＣＴの場合、Ｘ線管とＸ線検出器が設置される回転アームは、Ｘ線管の焦点とＸ線検出器の中心を結ぶ光軸が水平方向から90°までの間の任意の位置に固定され、Ｘ線管とＸ線検出器の間に設置された対象物を回転させながらＸ線照射を行う。また、傾斜Ｘ線透視の場合、対象物を回転せずに、Ｘ線を照射し、透視像を得ることができる。
【００３７】
図４及び図５では、アームの回転機構は省略してあるが、これについて簡単に説明すると、回転機構が筐体の支柱に固定され、回転機構に取り付けたアーム取り付け台に、回転中心となるアームの位置が、回転機構の回転軸と一致するように設置される。回転機構は、アーム駆動装置に取り付けられ駆動装置への入力信号によって、所定の角度だけ回転する。回転Ｘ線ＣＴ撮像の場合には、回転の起動時に加速し、所定の角速度に達した時点で一様な角速度で少なくとも360°回転し、その後減速して停止するような入力信号を印加する。他のモードでは、直ぐに所定の角度になるような入力信号が印加される。そして、その角度で回転角を保持する。
【００３８】
以上本発明の実施例について説明してきたが、本発明は、これら実施例に限定されることはなく、発明の本旨を逸脱しない限り種々の変形が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】従来のＸ線を対象物に対して水平方向に照射するＸ線ＣＴ装置の概念図で、Ｘ線管焦点と検出器を点線で結ぶＸ線ビームの広がりを合わせて表示している。
【図２】従来のＸ線を対象物に対して垂直方向に照射するＸ線透視装置の概念図で、(a)は側面図、(b)は正面図である。
【図３】Ｘ線を斜め方向に照射してＣＴ撮像を行う従来の傾斜Ｘ線ＣＴ装置および透視撮像を行う傾斜Ｘ線透視装置の概念図である。
【図４】本発明の実施の形態に関わるＸ線検査装置の構造図で、(a)は上から見た平面図、(b)は正面図である。Ｘ線管とＸ線検出器を取り付けた回転アームを光軸上の点を回転中心として回転させてＣＴ撮像を行えば回転Ｘ線ＣＴを、Ｘ線管を上にＸ線検出器を下にして垂直（水平面に対して90°）に設定すれば垂直Ｘ線透視を実現できることを示す。
【図５】本発明の実施の形態に関わる多機能Ｘ線検査装置の構造図で、(a)は上から見た平面図、(b)は正面図である。Ｘ線管とＸ線検出器を取り付けた回転アームを光軸上の点を回転中心として水平面に対して0°〜90°未満の任意の位置に固定して水平Ｘ線ＣＴまたは傾斜Ｘ線ＣＴあるいは傾斜Ｘ線透視する場合の配置を示す。
【図６】本発明の実施形態において、回転Ｘ線ＣＴの場合における、検査対象物、Ｘ線管、Ｘ線検出器、Ｘ線管とＸ線検出器を保持して回転する回転アーム、対象物固定治具、ホルダー等の位置関係とＸ線照射方向を模式的に示す図で、図６（ａ）は正面図、図６（ｂ）は、右側面図である。
【図７】本発明の実施形態において、垂直Ｘ線透視の場合における、検査対象物、Ｘ線管、Ｘ線検出器、対象物固定治具、ホルダー等の位置関係とＸ線照射方向を模式的に示す図で、図７（ａ）は正面図、図７（ｂ）は右側面図である。
【図８】本発明の実施形態において、水平Ｘ線ＣＴ、傾斜Ｘ線ＣＴ、または傾斜Ｘ線透視の場合における、検査対象物、Ｘ線管、Ｘ線検出器、Ｘ線管とＸ線検出器を保持して回転できる回転アーム、対象物設置台等の位置関係及びＸ線照射方向を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１      Ｘ軸
２      Ｙ軸
３      Ｚ軸
４(a)    Ｙ軸架台
４(b)    Ｘ軸架台
４(c)    Ｚ軸架台
５(a)    Ｙ軸架台の移動方向
５(b)    Ｘ軸架台の移動方向
５(c)    Ｚ軸架台の移動方向
６      回転ステージ
７      対象物設置台
８      対象物固定治具
９      ホルダー
１０    対象物固定治具取付けネジ
１１    回転アーム
１２    Ｘ線管
１３    Ｘ線検出器
１４    画像処理用PC
１５    回転中心
１６    回転エリア
１７    Ｙ軸移動ガイド
１８    対象物
１９    対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008122337.tif 000008
【図７】
2008122337.tif 000009
【図８】
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