(57)【要約】【課題】後フランジやフランジナットを高速回転させたとしても、後フランジやフランジナットがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない切断刃装着装置を提供する。【解決手段】切断刃を高速回転させられる回転軸に装着するための切断刃装着装置であって、前記回転軸が貫入され該回転軸に固定される後フランジ本体と、前記後フランジ本体に設けられたボス部と、を備える後フランジと、前記後フランジのボス部が貫入される切断刃と、前記後フランジのボス部に螺合することにより、前記後フランジと自己との間に前記切断刃を挟持するフランジナットと、を備え、前記後フランジには溝が形成されていることを特徴とする切断刃装着装置。【選択図】  図１
2008036743.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断刃を高速回転させられる回転軸に装着するための切断刃装着装置であって、
前記回転軸が貫入され該回転軸に固定される後フランジ本体と、前記後フランジ本体に設けられたボス部と、を備える後フランジと、
前記後フランジのボス部が貫入される切断刃と、
前記後フランジのボス部に螺合することにより、前記後フランジと自己との間に前記切断刃を挟持するフランジナットと、
を備え、
前記後フランジには溝が形成されていることを特徴とする切断刃装着装置。
【請求項２】
前記溝は、前記後フランジ本体の前記フランジナットが対向する面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の切断刃装着装置。
【請求項３】
前記溝は、環状の溝であることを特徴とする請求項２に記載の切断刃装着装置。
【請求項４】
前記フランジナットには溝が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の切断刃装着装置。
【請求項５】
前記溝は、前記フランジナットの前記後フランジが対向する面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の切断刃装着装置。
【請求項６】
前記溝は、環状の溝であることを特徴とする請求項５に記載の切断刃装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は切断刃装着装置に係り、 特に高速回転させてもスラスト方向に変形しにくい切断刃装着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、切断刃（以下ブレードともいう）を、高速回転させられる回転軸に装着するための切断刃装着装置が知られている。この種の切断刃装着装置として、例えば、図３に示すように、外周に近づくにつれて厚みが薄くなる後フランジ３０´、この後フランジ３０´の図示しないボス部が貫入される切断刃２０´、このボス部先端に螺合し締めつけられることで自己と後フランジ３０´との間に切断刃２０´を挟持するフランジナット４０´、スピンドルモータの回転軸Ｓが貫入された後フランジ３０´を該スピンドルモータの回転軸Ｓに固定するための固定ナット５０´等を備えたものがある。特許文献１に記載の切断刃装着装置も同様の構成である。
【０００３】
後フランジ３０´（及び、フランジナット４０´）を高速回転（例えば分速１０万回転）させると、後フランジ３０´は図３中左側に加わる力によりスラスト方向に膨らんで厚みが薄くなり、フランジナット４０´は図３中右側に加わる力により同じくスラスト方向に膨らんで厚みが薄くなる。後フランジ３０´（及び、フランジナット４０´）のスラスト方向の変形量の測定結果を表１に示す。
【０００４】
【表１】
2008036743.tif 000003
【特許文献１】特開平７−２４８２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
表１に示すように後フランジ３０´やフランジナット４０´がスラスト方向に膨らむと、後フランジ３０´と切断刃２０´との間の摩擦やフランジナット４０´と切断刃２０´との間の摩擦力が小さくなり、切削時の負荷等により、後フランジ３０´が緩んだり、切断刃２０´が空回りしたり、切断刃２０´が脱落したり、フランジナット４０´が緩んだりする可能性があるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、後フランジやフランジナットを高速回転させたとしても、後フランジやフランジナットがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない切断刃装着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、切断刃を高速回転させられる回転軸に装着するための切断刃装着装置であって、前記回転軸が貫入され該回転軸に固定される後フランジ本体と、前記後フランジ本体に設けられたボス部と、を備える後フランジと、前記後フランジのボス部が貫入される切断刃と、前記後フランジのボス部に螺合することにより、前記後フランジと自己との間に前記切断刃を挟持するフランジナットと、を備え、前記後フランジには溝が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、後フランジに溝を形成したので、溝が形成されていない従来の後フランジと比較して、後フランジを高速回転させたとしても、後フランジがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、後フランジを高速回転させても、後フランジが緩んだり、切断刃が空回りしたり、切断刃が脱落したり、フランジナットが緩んだりするのを防止することが可能となる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記溝は、前記後フランジ本体の前記フランジナットが対向する面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、後フランジ本体のフランジナットが対向する面とは反対側の面に溝を形成したので、溝が形成されていない従来の後フランジと比較して、後フランジを高速回転させたとしても、後フランジがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、後フランジを高速回転させても、後フランジが緩んだり、切断刃が空回りしたり、切断刃が脱落したり、フランジナットが緩んだりするのを防止することが可能となる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記溝は、環状の溝であることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、後フランジ本体のフランジナットが対向する面とは反対側の面に環状の溝を形成したので、溝が形成されていない従来の後フランジと比較して、後フランジを高速回転させたとしても、後フランジがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、後フランジを高速回転させても、後フランジが緩んだり、切断刃が空回りしたり、切断刃が脱落したり、フランジナットが緩んだりするのを防止することが可能となる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の発明において、前記フランジナットには溝が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、フランジナットに溝を形成したので、溝が形成されていない従来のフランジナットと比較して、フランジナットを高速回転させたとしても、フランジナットがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、フランジナットを高速回転させても、後フランジが緩んだり、切断刃が空回りしたり、切断刃が脱落したり、フランジナットが緩んだりするのを防止することが可能となる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の発明において、前記溝は、前記フランジナットの前記後フランジが対向する面とは反対側の面に形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、フランジナットの後フランジ本体が対向する面とは反対側の面に溝を形成したので、溝が形成されていない従来のフランジナットと比較して、フランジナットを高速回転させたとしても、フランジナットがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、フランジナットを高速回転させても、後フランジが緩んだり、切断刃が空回りしたり、切断刃が脱落したり、フランジナットが緩んだりするのを防止することが可能となる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記溝は、環状の溝であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、フランジナットに環状の溝を形成したので、溝が形成されていない従来のフランジナットと比較して、フランジナットを高速回転させたとしても、フランジナットがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、フランジナットを高速回転させても、後フランジが緩んだり、切断刃が空回りしたり、切断刃が脱落したり、フランジナットが緩んだりするのを防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、後フランジやフランジナットが高速回転させられたとしても、後フランジやフランジナットがスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃の挟持力が殆ど低下することがない切断刃装着装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態である切断刃装着装置について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態である切断刃装着装置の全体構成を説明するための図である。図２は、後フランジの構成を説明するための図である。
【００２１】
図１に示すように、切断刃装着装置１０は、不図示のワーク（半導体ウェーハ等）を切断する切断刃２０（図１ではハブブレードを例示）を、不図示のダイシング装置のワーク切断部を構成するスピンドルモータＭの回転軸Ｓに装着するためのものである。
【００２２】
図１に示すように、切断刃装着装置１０は、略円筒形状の小径部３１及び大径部３２を有する後フランジ本体３３、及び、略円筒形状のボス部３４等を備える後フランジ３０、ハブ部２１及びハブ部２１周囲に形成された刃先２２を備え後フランジ３０のボス部３４が貫入される切断刃２０、後フランジ３０のボス部３４先端に螺合し締めつけられることで自己と後フランジ３０との間に切断刃２０を挟持するフランジナット４０、スピンドルモータＭの回転軸Ｓが貫入された後フランジ３０を該スピンドルモータの回転軸Ｓに固定するための固定ナット５０等を備えている。図２に示すように、後フランジ３０（大径部３２）のフランジナット４０が対向する側の面には、外周側に切断刃２０を挟持するための環状面３２ａが形成されており、内周側に環状面３２ａより一段低い非接触面３２ｂが形成されている。
【００２３】
後フランジ３０には、スピンドルモータＭの回転軸Ｓが貫入され該回転軸Ｓに固定される。すなわち、後フランジ３０には先細りの（図１、図２中右方向に向かうにつれて小径となるように傾斜している）貫通孔３５が形成されており、この貫通孔３５には、図１に示すように、スピンドルモータＭの回転軸Ｓ（図１中右方向に向かうにつれて小径となるように傾斜している）が貫入される。貫入後、スピンドルモータＭの回転軸Ｓの先端に固定用ナット５０を螺合させ締めつけると、後フランジ３０には図１中左方向に移動させようとする力が加えられる。これにより、後フランジ３０の貫通孔３５内周面とスピンドルモータＭの回転軸Ｓの外周面とが密着し両者は強固に固定される（楔効果）。以上のようにして、後フランジ３０は、スピンドルモータＭの回転軸Ｓに固定される。
【００２４】
後フランジ本体３３（大径部３２）のフランジナット４０が対向する面とは反対側の面には、スピンドルモータＭの回転軸Ｓの回転中心を中心とする環状の溝３２ｃが形成されている。同様に、フランジナット４０の後フランジ３０が対向する面とは反対側の面にスピンドルモータＭの回転軸Ｓの回転中心を中心とする環状の溝４１が形成されている。
【００２５】
このように溝３２ｃ（及び、溝４１）を形成することにより、後フランジ３０（及び、フランジナット４０）を高速回転（例えば分速１０万回転）させたとしても、後フランジ３０のスラスト方向への膨らみ（及び、フランジナット４０のスラスト方向への膨らみ）が従来と比較して小さくなる。溝３２ｃが形成された後フランジ３０´（及び、溝４１が形成されたフランジナット４０´）のスラスト方向の変形量の測定結果を表２に示す。
【００２６】
【表２】
2008036743.tif 000004
この表２及び表１から明らかなように、溝３２ｃが形成された後フランジ３０（及び、溝４１が形成されたフランジナット４０）の変形量は、溝が形成されていない従来の後フランジ３０´（及び、フランジナット４０´）と比較して、極めて小さくなっている。すなわち、後フランジ３０（及び、フランジナット４０）を高速回転させたとしても、後フランジ３０（大径部３２）及びフランジナット４０はスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃２０の挟持力が殆ど低下しない。なお、各溝３２ｃ、４１の深さを変えることで、後フランジ３０（及び、フランジナット４０）の変形量を調整可能である。
【００２７】
以上説明したように、本実施形態の切断刃装着装置１０によれば、後フランジ３０（及び、フランジナット４０）に溝３２ｃ（及び、溝４１）を形成したので、溝が形成されていない従来の後フランジ３０´（及び、フランジナット４０´）と比較して、後フランジ３０（及び、フランジナット４０）を高速回転させたとしても、後フランジ３０（大径部３２）とフランジナット４０がスラスト方向に殆ど膨らまず、切断刃２０の挟持力が殆ど低下することがない。したがって、後フランジ３０（及び、フランジナット４０）を高速回転させても、後フランジ３０が緩んだり、切断刃２０が空回りしたり、切断刃２０が脱落したり、フランジナット４０が緩んだりするのを防止することが可能となる。
【００２８】
次に、変形例について説明する。
【００２９】
上記実施形態では、各溝３２ｃ、４１は、スピンドルモータＭの回転軸Ｓの回転中心を中心とする環状の溝であるように説明したが本発明はこれに限定されない。
【００３０】
例えば、各溝３２ｃ、４１は、スピンドルモータＭの回転軸Ｓの回転中心を中心とする円周上に所定間隔ごとに形成された溝（非連続の溝）であってもよい。
【００３１】
また、上記実施形態では、切断刃２０を後フランジ３０とフランジナット４０との間に挟持するように説明したが、本発明はこれに限定されない。
【００３２】
例えば、後フランジ３０のボス部３４が貫入される前フランジを設け、フランジナット４０を締めつけることにより後フランジ３０と前フランジとの間に切断刃２０を挟持するようにしてもよい。この場合、前フランジに溝４１と同様の溝を形成することで前フランジのスラスト方向の脹らみを防止することが可能である。
【００３３】
上記実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎない。これらの記載によって本発明は限定的に解釈されるものではない。本発明はその精神または主要な特徴から逸脱することなく他の様々な形で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態である切断刃装着装置の全体構成を説明するための図である。
【図２】後フランジの構成を説明するための図である。
【図３】従来の切断刃装着装置の全体構成を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０…切断刃装着装置、２０…切断刃、２１…ハブ部、２２…刃先、３０…後フランジ、３１…小径部、３２…大径部、３２ａ…環状面、３２ｂ  非接触面、３２ｃ…溝、３３…後フランジ本体、３４…ボス部、３５…貫通孔、４０…フランジナット、４１…溝、５０…固定ナット、Ｍ…スピンドルモータ、Ｓ…回転軸
【図１】
2008036743.tif 000005
【図２】
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【図３】
2008036743.tif 000007