(57)【要約】【課題】  迅速に不良工程を探し出せる工程管理方法およびその方法を使用したシステムを提供する。【解決手段】  工程管理方法は、多数のウェハに対して第１工程から第ｎ工程（ただし、ｎは自然数）を順次に進行するが、第１工程から第ｎ工程内で多数のウェハの工程順序は各々互いに異なる第１工程から第ｎ工程順序になるように進行し、多数のウェハの各々に対する特性パラメータ値を算出し、第１工程から第ｎ工程順序の各々と特性パラメータ値間の関係を表す第１から第ｎ関係式を算出し、第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換して第１から第ｎ変換関係式を算出し、第１から第ｎ変換関係式各々を利用して第１から第ｎ関係式のパターン性を判断する工程を含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のウェハに対して第１から第ｎ（ただし、ｎは自然数）工程を順次に進行するが、前記第１から第ｎ工程内で前記多数のウェハの工程順序は各々第１から第ｎ工程の順序であり、前記第１から第ｎ工程順序のうち少なくとも２個は互いに異なり、
前記多数のウェハの各々に対する特性パラメータ値を算出し、
前記第１から第ｎ工程順序の各々と前記特性パラメータ値間の関係を表す第１から第ｎ関係式を算出し、
前記第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換して第１から第ｎ変換関係式を算出し、
前記第１から第ｎ変換関係式各々を利用して前記第１から第ｎ関係式のパターン性を判断することを含む工程管理方法。
【請求項２】
前記第１から第ｎ工程順序の各々は互いに異なる請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項３】
前記第１から第ｎ関係式のパターン性を判断するのは、前記第１から第ｎ変換関係式の各々からパターンパラメータ値を算出し、前記多数のパターンパラメータ値の各々を基準値と比較することを含む請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項４】
前記各パターンパラメータ値は、前記第１から第ｎ変換関係式の各々から算出された最大値と平均値の比率である請求項３に記載の工程管理方法。
【請求項５】
前記各パターンパラメータ値は、前記第１から第ｎ変換関係式の各々と、典型的なパターン性を表す多数のレファレンス関係式をフーリエ変換して算出した多数のレファレンス変換関係式間の相関係数である請求項３に記載の工程管理方法。
【請求項６】
前記第１から第ｎ工程に対して、前記第１から第ｎ変換関係式の各々から算出された前記パターンパラメータ値を表すグラフを図示することをさらに含む請求項３に記載の工程管理方法。
【請求項７】
前記第１から第ｎ関係式のパターン性を判断するのは、前記第１から第ｎ変換関係式のグラフを各々図示し、前記各グラフに表れる最大ピークを分析することを含む請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項８】
前記最大ピークを分析するのは、前記各グラフ上で最大ピークが表れる位置から前記第１から第ｎ関係式の各々のパターンの種類を決定し、前記最大ピークの高さから前記第１から第ｎ関係式の各々のパターン性の程度を決定する請求項７に記載の工程管理方法。
【請求項９】
前記第１から第ｎ関係式中にパターン性があると判断される関係式に対応される工程を不良工程として定義することをさらに含む請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項１０】
前記第１から第ｎ関係式のグラフを各々図示することと、前記第１から第ｎ変換関係式のグラフを各々図示することをさらに含む請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項１１】
前記工程で使用される工程設備がバッチ設備の場合、分類機を利用し前記工程での前記ウェハの工程順序を決定する請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項１２】
前記工程で使用される工程設備がシングル設備の場合、前記工程設備自体の機能を利用して前記工程での前記ウェハの工程順序を決定する請求項１に記載の工程管理方法。
【請求項１３】
特定工程順序で工程が進行された多数のウェハの各々に対する特性パラメータ値を算出し、
前記特定工程順序と前記特性パラメータ値間の関係を表す関係式を算出し、
前記関係式をフーリエ変換して変換関係式を算出し、
前記変換関係式を利用して前記関係式のパターン性を判断することを含む工程管理方法。
【請求項１４】
前記関係式のパターン性を判断するのは、前記変換関係式の各々からパターンパラメータ値を算出し、前記パターンパラメータ値を基準値と比較することを含む請求項１３に記載の工程管理方法。
【請求項１５】
前記パターンパラメータ値は、前記変換関係式から算出された最大値と平均値の比率である請求項１４に記載の工程管理方法。
【請求項１６】
前記パターンパラメータ値は、前記変換関係式と、典型的なパターン性を表す多数のレファレンス関係式をフーリエ変換して算出した多数のレファレンス変換関係式間の相関係数である請求項１４に記載の工程管理方法。
【請求項１７】
前記関係式のパターン性を判断するのは、前記変換関係式のグラフを図示し、前記グラフに表れる最大ピークを分析することを含む請求項１３に記載の工程管理方法。
【請求項１８】
前記最大ピークを分析するのは、前記グラフ上で最大ピークが表れる位置から前記関係式のパターンの種類を決定し、前記最大ピークの高さから前記関係式のパターン性の程度を決定する請求項１７に記載の工程管理方法。
【請求項１９】
多数のウェハに対して第１から第ｎ（ただし、ｎは自然数）工程を順次に進行する多数の工程設備であって、前記第１から第ｎ工程内で前記多数のウェハの工程順序は各々第１から第ｎ工程順序であり、前記第１から第ｎ工程順序のうち少なくとも２個は互いに異なる多数の工程設備と、
前記第１から第ｎ工程順序の各々と、前記多数のウェハの各々から算出された特性パラメータ値間の第１から第ｎ関係式を算出し、前記第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換して第１から第ｎ変換関係式を算出し、前記第１から第ｎ変換関係式の各々を利用して前記第１から第ｎ関係式のパターン性を判断する分析機と、
前記多数の工程設備および分析機を制御する制御機とを含む、工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２０】
前記第１から第ｎ工程順序の各々は互いに異なる請求項１９に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２１】
前記第１から第ｎ関係式のパターン性を判断するのは、前記第１から第ｎ変換関係式の各々からパターンパラメータ値を算出し、前記多数のパターンパラメータ値の各々を基準値と比較することを含む請求項１９に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２２】
前記各パターンパラメータ値は、前記第１から第ｎ変換関係式の各々から算出された最大値と平均値の比率である請求項２１に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２３】
前記各パターンパラメータ値は、前記第１から第ｎ変換関係式の各々と、典型的なパターン性を表す多数のレファレンス関係式をフーリエ変換して算出した多数のレファレンス変換関係式間の相関係数である請求項２１に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２４】
前記分析機は、前記第１から第ｎ関係式中にパターン性があると判断される関係式に対応される工程を不良工程として定義する請求項１９に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２５】
前記工程で使用される工程設備がバッチ設備の場合、前記制御機は分類機に順序コードを提供し、前記分類機はフープ内でのウェハの配列順序を前記順序コードに合わせて変更する請求項１９に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【請求項２６】
前記工程で使用される工程設備がシングル設備の場合、前記制御機は前記工程設備自体に順序コードを提供し、前記工程設備はウェハの工程順序を前記順序コードに合わせて進行する請求項１９に記載の工程管理方法を使用したシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工程管理方法およびその方法を利用したシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程のように、ある製品が多数の工程（例えば、約１００の工程）を経て製造される場合、製品の不良が発生した時、どの工程で不良が発生したのかを明らかにすることは難しい。これをどれほど早く発見し工程にフィードバック（ｆｅｅｄｂａｃｋ）を与えられるのかに対する能力が製造工程の競争力を代弁する。
【０００３】
従来の不良工程を明らかにする方法としては、共通性分析（ｃｏｍｍｏｎａｌｉｔｙ  ａｎａｌｙｓｉｓ）方法と、物理的不良分析（ｐｈｙｓｉｃａｌ  ｆａｉｌｕｒｅ  ａｎａｌｙｓｉｓ）方法がある。
【０００４】
共通性分析方法は、多数の不良ロット（ｌｏｔ）に対して共通に進行された工程設備を探し、共通に進行された工程設備の不良の可否を検討する。ところで、共通性分析方法で統計的有意性を得るためには、最小３個の不良ロットが発生しなければならず、多数の不良ロットの発生は、通常的に不良工程の他にも多くの工程において共通する。したがって、多くの工程を検査しなければならないため、時間および費用が多く要求される。
【０００５】
物理的不良分析方法は、不良チップ（ｃｈｉｐ）の不良ポイント（ｐｏｉｎｔ）を探し、ディレイアリング（ｄｅｌａｙｅｒｉｎｇ）しつつ不良を直接的に探す方法である。ところで、物理的不良分析方法は、不良チップの不良ポイントを正確に探すのが難しく、時間および費用が多く要求される。
【０００６】
【特許文献１】大韓民国登録特許１０−０５８３５３１号（要約１ページ、詳細説明３ページ、請求項１および図面参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする技術的課題は、迅速に不良工程を探し出すことができる工程管理方法を提供することにある。
【０００８】
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、迅速に不良工程を探し出すことができる工程管理方法を使用したシステムを提供することにある。
【０００９】
本発明の技術的課題は以上で言及した技術的課題に制限されず、言及されていない他の技術的課題は次の記載から当業者に明確に理解されるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記技術的課題を解決するための本発明の工程管理方法は、
多数のウェハに対して第１から第ｎ（ただし、ｎは自然数）工程を順次に進行するが、第１から第ｎ工程内で多数のウェハの工程順序は、各々互いに異なる第１から第ｎ工程順序となるように進行し、
多数のウェハの各々に対する特性パラメータ値（ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ  ｐａｒａｍｅｔｅｒ  ｖａｌｕｅ）を算出し、
第１から第ｎ工程順序の各々と特性パラメータ値間の関係を表す第１から第ｎ関係式を算出し、第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換（Ｆｏｕｒｉｅｒ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）して第１から第ｎ変換関係式を算出し、
第１から第ｎ変換関係式各々を利用して第１から第ｎ関係式のパターン性を判断することを含む。
【００１１】
前記技術的課題を達成するための本発明のもう一つの工程管理方法は、
特定工程順序で工程が進行された多数のウェハの各々に対する特性パラメータ値（ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ  ｐａｒａｍｅｔｅｒ  ｖａｌｕｅ）を算出し、
特定工程順序と特性パラメータ値間の関係を表す関係式を算出し、
関係式をフーリエ変換（Ｆｏｕｒｉｅｒ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）して変換関係式を算出し、
変換関係式を利用して関係式のパターン性を判断する。
【００１２】
前記技術的課題を解決するための本発明の工程管理方法を使用したシステムは、
多数のウェハに対して第１から第ｎ（ただし、ｎは自然数）工程を順次に進行する多数の工程設備であって、第１から第ｎ工程内で多数のウェハの工程順序は、各々互いに異なる第１から第ｎ工程順序となるように進行する多数の工程設備と、
第１から第ｎ工程順序の各々と、多数のウェハの各々から算出された特性パラメータ値（ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ  ｐａｒａｍｅｔｅｒ  ｖａｌｕｅ）間の第１から第ｎ関係式を算出し、第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換（Ｆｏｕｒｉｅｒ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）して第１から第ｎ変換関係式を算出し、第１から第ｎ変換関係式各々を利用して第１から第ｎ関係式のパターン性を判断する分析機と、
多数の工程設備および分析機を制御する制御機、とを含む。
その他の具体的な事項は詳細な説明および図に含まれている。
（発明の効果）
【００１３】
前記したような工程管理方法およびその方法を使用したシステムによれば、迅速に不良工程を探し出すことができるため、工程管理効率が高まる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の利点および特徴、そしてそれらを達成する方法は添付される図面と共に詳細に後述されている実施例を参照すれば明確になるものである。しかし本発明は以下で開示される実施例に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され得るものであり、単に本実施例は本発明の開示が完全なようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されているもので、本発明は請求項の範囲によってのみ定義される。明細書全体にかけて、同一参照符号は実質的に同一構成要素を指称する。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１５】
（第１実施例）
図１および図２は、本発明の第１実施例による工程管理方法を説明するための順序図および概念図である。図３から図７は、図１の各段階を具体的に説明するための図である。
【００１６】
図１および図２を参照すれば、まず多数のウェハに対して第１から第ｎ（ただし、ｎは自然数）工程を順次に進行する（Ｓ１０）。ここで、第１から第ｎ工程内で、多数のウェハの工程順序は、各々互いに異なる第１から第ｎ工程順序となるようにする。
【００１７】
具体的に、多数のウェハは、通常的にロット（ｌｏｔ）単位（例えば、２５個のウェハ）でフープ（ｆｏｕｐ）に保管、移動される。また、工程が進行される工程設備には、少なくとも一つの（通常的に１個から４個）ロット単位で工程を進行させるバッチ（ｂａｔｃｈ）設備と、フープからそれぞれのウェハを取り出して順次に工程を進行させるシングル（ｓｉｎｇｌｅ）設備と、がある。
本発明で、各工程でのウェハの工程順序が異なるという意味は、バッチ設備を利用する場合にはバッチ設備内に入っている多数のウェハのバッチ（ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）順序が異なることを意味し、シングル設備を利用する場合には多数のウェハがフープから取り出され工程が進行される順序が異なることを意味する。
【００１８】
第１から第ｎ工程順序は、図３のように定められる。第１工程での第１工程順序は、ウェハＩＤ（ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）ＮＸＸＸＸ．０１→ＮＸＸＸＸ．０２→ＮＸＸＸＸ．０３→ＮＸＸＸＸ．０４→ＮＸＸＸＸ．０５→・・・ＮＸＸＸＸ．２４→ＮＸＸＸＸ．２５順に進行され、第２工程での第２工程順序は、ウェハＩＤ  ＮＸＸＸＸ．０１→ＮＸＸＸＸ．０３→ＮＸＸＸＸ．０５→ＮＸＸＸＸ．０７→ＮＸＸＸＸ．０９→・・・ＮＸＸＸＸ．２２→ＮＸＸＸＸ．２４順に進行され得る。
【００１９】
第ｎ−１工程での第ｎ−１工程順序は、ウェハＩＤ（ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）  ＮＸＸＸＸ．２４→ＮＸＸＸＸ．２２→ＮＸＸＸＸ．２０→ＮＸＸＸＸ．１８→ＮＸＸＸＸ．１６→・・・ＮＸＸＸＸ．０３→ＮＸＸＸＸ．０１順に進行され、第ｎ工程での第ｎ工程順序は、ウェハＩＤ  ＮＸＸＸＸ．２５→ＮＸＸＸＸ．２４→ＮＸＸＸＸ．２３→ＮＸＸＸＸ．２２→ＮＸＸＸＸ．２１→・・・ＮＸＸＸＸ．０２→ＮＸＸＸＸ．０１順に進行され得る。
【００２０】
図４Ａに示すように、使用される工程設備がバッチ設備１２０の場合には、分類機（ｓｏｒｔｅｒ）１１０を利用して、その工程でのウェハの工程順序を決定することができる。
例えば、フープ（ｆｏｕｐ）１００のスロットに多数のウェハが整列されているが、分類機１１０は順序コード（ｏｒｄｅｒ  ｃｏｄｅ）を受けて、順序コードに合わせてフープ１００内の多数のウェハをシャッフリング（ｓｈｕｆｆｌｉｎｇ）し、フープ１００のスロットに再び入れる。このようなフープ１００はバッチ設備１２０に伝達され、工程が進行される。
バッチ設備１２０には、設備内にウェハの工程順序を変更できる機能がない場合が多いため、工程順序を変更するのに別の分類機１１０を利用する。
【００２１】
図４Ｂに示すように、使用される工程設備がシングル設備１２２の場合には、分類機１１０を使用せず、シングル設備１２２自体の機能を利用して、その工程での工程順序を決定することができる。
例えば、シングル設備１２２は、順序コードを受けて、順序コードに合わせてフープ１００のスロットからウェハを取り出し工程を進行して本来のスロットにウェハを再び入れる。
【００２２】
図４Ａおよび図４Ｂで、バッチ設備１２０は分類機１１０を利用して、シングル設備１２２は自体の機能を利用するもの、と記述したが、本発明はこれに限定されない。例えば、シングル設備１２２が分類機１１０を利用してもさしつかえない。
【００２３】
また、本発明の第１実施例では第１から第ｎ工程順序がすべて互いに異なるものだけを例にあげたが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、一部工程の工程順序は同一であり得る。例えば、第１および第２工程は工程順序が同一であり、第ｎ−１および第ｎ工程は工程順序が同一であり得る。
【００２４】
再び図１および図２を参照し、多数のウェハの各々に対する特性パラメータ値（ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ  ｐａｒａｍｅｔｅｒ  ｖａｌｕｅ）を算出する（Ｓ２０）。
【００２５】
具体的に、特性パラメータ値は、例えば、歩留まり、電流値、電圧値のようなＤＣパラメータ、二つのライン間の間隔、ラインまたはビアの最小エンクロージャー、ゲート酸化膜の厚さ、欠陥（ｄｅｆｅｃｔ）の個数等であり得る。また、特性パラメータ値は、すべての工程が終了した後測定され得て、工程の進行中に測定されることもできる。
図２では、第１から第ｎ工程が終了した後に歩留まりを測定する例をあげたが、本発明がこれに限定されるものではない。
【００２６】
続いて、第１から第ｎ工程順序の各々と前記特性パラメータ値間の関係を表す、第１から第ｎ関係式を算出する（Ｓ３０）。
【００２７】
すなわち、第１工程順序と特性パラメータ値間の第１関係式、第２工程順序と特性パラメータ値間の第２関係式、第ｎ−１工程順序と特性パラメータ値間の第ｎ−１関係式、第ｎ工程順序と特性パラメータ値間の第ｎ関係式を算出する。第１から第ｎ関係式をグラフで図示したものは、図２で示された図と同じである。
【００２８】
次に、第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換（Ｆｏｕｒｉｅｒ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）し、第１から第ｎ変換関係式を算出する（Ｓ４０）。
具体的に、フーリエ変換は波動（音波または電波など）を時間ドメイン（ｄｏｍａｉｎ）から周波数ドメインに変換する方法である。すなわち、フーリエ変換を通して、波動を、特定周波数を有する正弦波の和で表現することができるため、フーリエ変換を利用すれば、波動が特定周波数成分をどれほど多く有しているのかを探し出すことができる。
【００２９】
フーリエ変換（特に、ＤＦＴ（Ｄｉｓｃｒｅｔｅ  Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ））は数１と表示され得る。ωｐは周波数を表し、ｔｋはウェハＩＤを表す。Ｆ（ωｐ）はフーリエ変換された関数（すなわち、変換関係式）を意味し、ｆ（ｔｋ）はフーリエ変換される前の関数（すなわち、関係式）を意味する。
【数１】
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【００３０】
次に、第１から第ｎ変換関係式の各々を利用し、第１から第ｎ関係式のパターン性を判断する（Ｓ５０）。
【００３１】
すなわち、第１から第ｎ変換関係式が特定の形態のパターンを有するのか、例えば、特定周期を有するのか、持続的に上昇するのか、持続的に減少するのかなどを判断するようになる。
【００３２】
フーリエ変換を通して変換関係式を算出した時、周波数（ωｐ）の意味を例をあげて説明すると、次のとおりである。図５Ａから図５ＣはＳ３０段階で算出した関係式によるグラフを左側に図示し、Ｓ４０段階で算出した変換関係式によるグラフを右側に図示した図である。左側に図示された関係式グラフのｘ軸はｗａｆｅｒ  ＩＤであり、ｙ軸は特性パラメータ値であり、右側に図示された変換関係式グラフのｘ軸は周波数（ωｐ）であり、ｙ軸は振幅である。
【００３３】
一つのロットが２５個のウェハの場合、図５Ａのように、関係式が２周期であれば変換関係式の最大値に対応する周波数は約１２（∵ωｐ＝２５／２）となり、図５Ｂのように３周期であれば周波数は約８（∵ωｐ＝２５／３）となる。４周期ならば周波数は約６（∵ωｐ＝２５／４）となる。また、ある一つの関係式が持続的に上昇する進行性を有する場合には、変換関係式の最大値に対応する周波数ωｐは１になる。図５Ｃでのように特定のパターン性がない場合には変換関係式で目立つ最大値が存在しない。
【００３４】
本発明の第１実施例において、パターン性はオペレータ（ｏｐｅｒａｔｏｒ）により手動（ｍａｎｕａｌ）で判断されることもでき、一定の基準によって、自動的に判断され得る。
【００３５】
手動で判断する方法は、オペレータが第１から第ｎ変換関係式のグラフを調べ、各グラフに表れる最大ピーク（ｍａｘｉｍｕｍ  ｐｅａｋ）を分析するものである。
すなわち、オペレータは最大ピークに対応する周波数から第１から第ｎ変換関係式の各々のパターンの種類（２周期、３周期、持続性など）を決定し、最大ピークの高さから第１から第ｎ変換関係式の各々のパターン性の程度を決める。最大ピークの高さが高ければ高いほどパターン性の程度は高いと言える。
ところが、このように手動で判断するための正確な基準がないため、オペレータの性向にしたがってパターン性の有無が決定される。また、変換関係式のグラフは数百から数千枚になることがあるため、オペレータがこれを一々みて判断するのは難しいこともある。
【００３６】
一定の基準によって自動的に判断する方法は、第１から第ｎ変換関係式の各々からパターンパラメータ値を算出し、パターンパラメータ値の各々を基準値と比較して、パターン性があるのか否かを判断するものである。
【００３７】
パターンパラメータ値は、関係式がどんなパターン性を有しているかを判断するために変換関係式から算出したパラメータ値で、例えば、変換関係式での最大値と平均値の比率であり得る。ここで、平均値はパターンパラメータ値の効率を上げることができるように最大値を引いた残りの平均値を使用することができる。
【００３８】
図６はこのようなパターンパラメータ値を説明するための図である。図６で説明されている最大値（ＭＡＸ）と平均値（ＡＶＧ）の比率をＳＮＲ（Ｓｉｇｎａｌ  ｔｏ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）と呼ぶことにする。図６でＳＮＲ＝Ｂ／Ａとなり、Ａは変換関係式での平均値（ＡＶＧ）を意味し、Ｂは変換関係式での最大値（ＭＡＸ）を意味する。このようにＳＮＲは工程設備内で共通に存在する平均的成分を考慮したものであるため、パターン性の判断に正確性を高めることができる。
【００３９】
基準値は、オペレータの経験的判断から出る値であり得る。
パターンパラメータ値と基準値を比較し、パターンパラメータ値が基準値以上になれば、このようなパターンパラメータが出てきた関係式はパターン性があると判断でき、その関係式に対応する工程を不良工程として定義することができる。
【００４０】
図６に図示されたパターンパラメータ値は約５．６（∵ＳＮＲ＝Ｂ／Ａ＝４５／８）程度となり、基準値が約４だとすれば、パターンパラメータ値が基準値より大きいためパターン性があると判断することができる。特に、図６は約ωｐ＝１２で最大ピークが出てきたので、関係式は２周期を有すると評価することができる。したがって、このような関係式に対応する工程は、２周期性不良を有する工程として定義することができる。
【００４１】
２周期性不良は、次のような場合に表れ得る。
例えば、同一の工程を進行する２個の工程チェンバが存在し、多数のウェハは前記２個の工程チェンバを通して工程が進行される。ここで、２個の工程チェンバのうちの一つで問題が発生した場合、問題が発生した工程チェンバを経たウェハは歩留まりが落ちるようになるため、この場合２周期性不良が表れる。
したがって、特定工程が２周期性不良を有するものと定義されれば、前記特定ステップに使用される工程設備の２個の工程チェンバを調査してみれば良い。
【００４２】
また、パターンパラメータ値は、ＳＮＲ値の他に異なる値を使用してもさしつかえない。
例えば、２周期性、３周期性、４周期性、進行性などの典型的なパターン性を表す多数のレファレンス関係式を求め、これをフーリエ変換して多数のレファレンス変換関係式を算出する。第１から第ｎ変換関係式の各々と、多数のレファレンス変換関係式間の相関係数（例えば、ピアスン（Ｐｅａｒｓｏｎ）相関係数）を求め、このような相関係数をパターンパラメータ値として定義することもできる。
【００４３】
パターンパラメータ値を相関係数とする場合に、基準値は１となり、相関係数が１に近いほどパターン性があると判断することができる。
【００４４】
一方、図７のように、第１から第ｎ工程に対して、第１から第ｎ変換関係式の各々から算出されたパターンパラメータ値を表すグラフを図示することもできる。ｘ軸は工程であり、ｙ軸はパターンパラメータ値、例えば、ＳＮＲであり得る。このようにすれば、第１から第ｎ工程に対するパターンパラメータ値の変化をひと目で調べることができ、便利である。基準値よりさらに大きいパターンパラメータ値（図示された点線参照）を有する変換関係式に対応する工程を、簡単に調べることができる。
【００４５】
このように一定の基準によって自動的に判断することは、オペレータの性向と関係がなく、パターン性の有無が正確に判断され得る。また、迅速に不良工程を探し出せるため、工程管理効率が高まる。
【００４６】
（第２実施例）
本発明の第２実施例による工程管理方法を使用したシステムを説明するブロック図を、図８に示す。図８は、図１から図７を通して説明した、本発明による工程管理方法を具現するためのシステムを、例示的に図示したものである。
【００４７】
図８を参照すれば、本発明の第２実施例による工程管理方法を使用したシステムは、多数の工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）、分析機２２０、および制御機２３０を含む。
多数の工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）は、多数のウェハに対して第１から第ｎ（ただし、ｎは自然数）工程を順次に進行する。特に、第１から第ｎ工程内で、多数のウェハの工程順序は各々互いに異なる第１から第ｎ工程順序になるように進行することができるが、これに限定されるものではない。
【００４８】
分析機２２０は、第１から第ｎ工程順序の各々と、多数のウェハの各々から算出された特性パラメータ値（ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ  ｐａｒａｍｅｔｅｒ  ｖａｌｕｅ）間の第１から第ｎ関係式を算出し、第１から第ｎ関係式の各々をフーリエ変換（Ｆｏｕｒｉｅｒ  ｔｒａｎｓｆｏｒｍ）して第１から第ｎ変換関係式を算出し、第１から第ｎ変換関係式各々を利用して第１から第ｎ関係式のパターン性を判断する。
ここで、第１から第ｎ関係式のパターン性の判断は、第１から第ｎ変換関係式の各々からパターンパラメータ値を算出し、多数のパターンパラメータ値の各々を基準値と比較することであり得る。各パターンパラメータ値は、第１から第ｎ変換関係式の各々から算出された最大値と平均値の比率（すなわち、ＳＮＲ）であり得る。
【００４９】
または、第１から第ｎ変換関係式の各々と、典型的なパターン性を表す多数のレファレンス関係式をフーリエ変換して算出した多数のレファレンス変換関係式間の相関係数（例えば、ピアスン相関係数）であり得る。また、分析機２２０はパターン性判断結果、第１から第ｎ関係式中にパターン性があると判断される関係式に対応される工程を不良工程システムとして定義する。
【００５０】
制御機２３０は、多数の工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）および分析機２２０の動作を制御する。特に、使用される工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）がバッチ（ｂａｔｃｈ）設備の場合、制御機２３０は分類機（ｓｏｒｔｅｒ）に順序コードを提供し、分類機はフープ（ｆｏｕｐ）内でのウェハの配列順序を前記順序コードに合わせて変更するようになる。また、使用される工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）がシングル（ｓｉｎｇｌｅ）設備の場合、制御機２３０は工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）自体に順序コードを提供し、工程設備（２１０＿１〜２１０＿ｎ）はウェハの工程順序を前記順序コードに合わせて進行するようになる。
【００５１】
以上添付された図面を参照し、本発明の実施例を説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は本発明の技術的思想や必須の特徴を変更せず、他の具体的な形態で実施され得るということを理解し得るであろう。したがって以上で記述した実施例はすべての面で例示的なものであり、限定的ではないものと理解しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施例による工程管理方法を説明するための説明図である。
【図２】本発明の第１実施例による工程管理方法を説明するための説明図である。
【図３】本発明の第１実施例による工程管理方法において、図１のＳ１０段階を説明するための概念図である。
【図４Ａ】本発明の第１実施例による工程管理方法において、図１のＳ１０段階を遂行するための具体的な方法を示す説明図である。
【図４Ｂ】本発明の第１実施例による工程管理方法において、図１のＳ１０段階を遂行するための具体的な方法を示す説明図である。
【図５Ａ】図１のＳ３０段階での関係式によるグラフとＳ４０段階での変換関係式によるグラフを同時に図示した説明図である。
【図５Ｂ】本発明の第１実施例による工程管理方法において、図１のＳ３０段階での関係式によるグラフとＳ４０段階での変換関係式によるグラフを同時に図示した説明図である。
【図５Ｃ】本発明の第１実施例による工程管理方法において、図１のＳ３０段階での関係式によるグラフとＳ４０段階での変換関係式によるグラフを同時に図示した説明図である。
【図６】本発明の第１実施例による工程管理方法において、パターンパラメータ値、特に、ＳＮＲ（Ｓｉｇｎａｌ  ｔｏ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）値の定義を説明するための説明図である。
【図７】本発明の第１実施例による工程管理方法において、多数の工程に対して、多数の変換関係式の各々から算出された多数のパターンパラメータ値（例えば、ＳＮＲ）を示した説明図である。
【図８】本発明の第２実施例による工程管理方法を使用したシステムを説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
２１０＿１〜２１０＿ｎ：工程設備、２２０：分析機、２３０：制御機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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