(57)【要約】【課題】処理効率を向上させる。【解決手段】アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱処理して固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）、および気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）に分解する加熱炉１１と、フッ化アンモニウム（３）とフッ化水素（４）とを反応させてフッ化水素アンモニウム（５）を生成する反応槽１２と、が備えられたフッ素含有廃スラッジの処理装置１０であって、フッ化アンモニウム（３）を吸収液（９）中に吸収させる吸収部３５が備えられ、この吸収部３５は、フッ化アンモニウム（３）を含むガスを吸収液（９）に接触させることにより、この吸収液（９）中にフッ化アンモニウム（３）を吸収させるとともに、吸収液（９）を加熱し、反応槽１２は、吸収部３５から移送された吸収液（９）中のフッ化アンモニウム（３）とフッ化水素（４）とを反応させてフッ化水素アンモニウム（５）を生成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解する加熱炉と、
前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成する反応槽と、が備えられたフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記フッ化アンモニウムを吸収液中に吸収させる吸収部が備えられ、
この吸収部は、前記フッ化アンモニウムを含むガスを吸収液に接触させることにより、この吸収液中にフッ化アンモニウムを吸収させるとともに、吸収液を加熱し、
前記反応槽は、吸収部から移送された前記吸収液中のフッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させてフッ化水素アンモニウムを生成する構成とされたことを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項２】
請求項１記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記吸収部は、前記吸収液を反応槽に移送する過程で、その一部を吸収部に回収して再度前記ガスに接触させる構成とされたことを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記吸収部は、加熱炉から移送された前記ガスを吸収液に接触させる第１吸収部と、この第１吸収部から移送された前記ガスを吸収液に接触させる第２吸収部と、を備え、
前記吸収液は、第２吸収部、および第１吸収部をこの順に通過した後に、前記反応槽に移送される構成とされたことを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
加熱炉で加熱処理する前のフッ素含有廃スラッジから液分を分離する濾過装置が備えられ、前記吸収液はこの液分とされていることを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項５】
アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解した後に、前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成するフッ素含有廃スラッジの処理方法であって、
請求項１から４のいずれかに記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置を用いて、前記フッ化水素アンモニウムを生成することを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを処理するフッ素含有廃スラッジの処理装置およびフッ素含有廃スラッジの処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
このようなフッ素含有廃スラッジの処理装置として、例えば下記特許文献１に示されるような、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解する加熱炉と、前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成する反応槽と、が備えられた構成が知られている。
【特許文献１】特開２００５−２３３６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年では、前記フッ化水素アンモニウムの生成効率を向上させたり、さらには、フッ化アンモニウムを吸収した吸収液が流れる配管内でスケールが発生するのを抑えることによって、フッ素含有廃スラッジの処理効率を向上させることに対する要望がある。
【０００４】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、フッ素含有廃スラッジの処理効率を向上させることができるフッ素含有廃スラッジの処理装置およびフッ素含有廃スラッジの処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明のフッ素含有廃スラッジの処理装置は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解する加熱炉と、前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成する反応槽と、が備えられたフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、前記フッ化アンモニウムを吸収液中に吸収させる吸収部が備えられ、この吸収部は、前記フッ化アンモニウムを含むガスを吸収液に接触させることにより、この吸収液中にフッ化アンモニウムを吸収させるとともに、吸収液を加熱し、前記反応槽は、吸収部から移送された前記吸収液中のフッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させてフッ化水素アンモニウムを生成する構成とされたことを特徴とする。
この発明によれば、吸収部で、吸収液中に前記ガスのフッ化アンモニウムを吸収させる際、前記ガスを吸収液に接触させることによりこの吸収液を加熱するので、吸収液中へのフッ化アンモニウムの溶解度を上昇させることが可能になり、吸収部におけるフッ化アンモニウムの吸収効率を向上させることができる。したがって、フッ化アンモニウムの濃度が高められた吸収液を、反応槽に移送することが可能になり、フッ化水素アンモニウムの生成効率を向上させることができる。
さらに、吸収部で加熱された吸収液が反応槽に移送されるので、これらの吸収部と反応槽とをつなぐ配管内に、吸収液の温度が低いことに起因してフッ化アンモニウム等が析出しスケールが発生するのを抑制することができる。
【０００６】
ここで、前記吸収部は、前記吸収液を反応槽に移送する過程で、その一部を吸収部に回収して再度前記ガスに接触させる構成とされてもよい。
この場合、前記吸収液を吸収部から反応槽に移送する過程で、その一部を吸収部に回収して再度前記ガスに接触させるので、このガスを、既に加熱されて溶解度が上昇した吸収液に接触させることが可能になり、反応槽に移送される吸収液中のフッ化アンモニウムの濃度を一層向上させることができる。また、吸収液の前記一部が、吸収部に回収されて再度前記ガスと接触することにより、その温度がさらに上昇するので、吸収部内に充填される吸収液全体の温度を上昇させることが可能になり、この吸収部におけるフッ化アンモニウムの吸収効率を一層向上させることができる。
【０００７】
また、前記吸収部は、加熱炉から移送された前記ガスを吸収液に接触させる第１吸収部と、この第１吸収部から移送された前記ガスを吸収液に接触させる第２吸収部と、を備え、  前記吸収液は、第２吸収部、および第１吸収部をこの順に通過した後に、前記反応槽に移送される構成とされてもよい。
この場合、吸収液が、第２吸収部、および第１吸収部をこの順に通過するので、吸収液の温度は、第１吸収部内の吸収液の方が高くなる。したがって、第１吸収部内の吸収液中に第２吸収部で既にフッ化アンモニウムが吸収されているにもかかわらず、この吸収液のフッ化アンモニウムの溶解度を上昇させることが可能になる。これにより、フッ化アンモニウムの濃度が高い、加熱炉から第１吸収部に移送された前記ガスに、このように溶解度が高められた吸収液を接触させることによって、前記ガス中のフッ化アンモニウムを大量に吸収させることが可能になり、前記吸収効率を一層向上させることができる。
この場合において、第１吸収部から反応槽に移送される吸収液の一部を第１吸収部に回収すると、第１吸収部内の吸収液の温度をより一層上昇させることが可能になり、前記吸収効率を確実に向上させることができる。
【０００８】
さらに、加熱炉で加熱処理する前のフッ素含有廃スラッジから液分を分離する濾過装置が備えられ、前記吸収液はこの液分とされてもよい。
この場合、濾過装置により液分が分離されたフッ素含有廃スラッジを加熱炉で加熱処理することが可能になり、この加熱処理効率の向上および加熱炉にかかる負担を低減させることができる。しかも、吸収液として前記液分を用いるので、フッ素含有廃スラッジの処理コストを低減させることも可能になる。さらに、前記液分には塩が含まれてフッ化アンモニウムの溶解度が低くなっているにもかかわらず、その温度を前述のように上昇させてこの溶解度が高められるので、前述した作用効果が顕著に奏効されることになる。
【０００９】
また、本発明のフッ素含有廃スラッジの処理方法は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解した後に、前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成するフッ素含有廃スラッジの処理方法であって、本発明のフッ素含有廃スラッジの処理装置を用いて、前記フッ化水素アンモニウムを生成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、フッ素含有廃スラッジの処理効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。本実施形態のフッ素含有廃スラッジの処理装置１０は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）、および気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）に分解する加熱炉１１と、フッ化アンモニウム（３）とフッ化水素（４）とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウム（５）を生成する反応槽１２と、が備えられている。
【００１２】
なお、フッ素含有廃スラッジ（１）は、ヘキサフルオロアルミニウムアンモニウム（ＮＨ４）３ＡｌＦ６を主体とした材質とされている。また、加熱炉１１は、筒状体の両端が閉塞された状態で横倒し姿勢とされてその中心軸線回りに回転可能に設けられるとともに、内部が加熱可能とされたロータリーキルンとされている。
【００１３】
本実施形態では、さらに、加熱炉１１内に例えば空気等のキャリアガス（６）を供給してフッ化アンモニウム（３）を加熱炉１１内から排出する送風装置１３と、図示されない表面処理槽で発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱炉１１で加熱処理する前に予め、このフッ素含有廃スラッジ（１）から液分を分離する濾過装置１５と、後述する除害塔２１から大気中にガスを排出する誘引ブロワ２３とが備えられている。
そして、この濾過装置１５からの濾液（７）、および後述する吸収部３５でフッ化アンモニウム（３）を吸収した濾液（７）が貯められる濾液槽１６が備えられている。ここで、濾液槽１６に貯められる前記両濾液（７）を以下、吸収液（９）という。
【００１４】
また、この処理装置１０には、濾過装置１５で液分が分離されたフッ素含有廃スラッジ（１）を造粒して加熱炉１１内に供給する造粒機１８が設けられている。
一方、この処理装置１０における濾液槽１６側に、フッ化アンモニウム（３）を吸収液（９）中に吸収させる前記吸収部３５と、この吸収部３５を通過したガスから、未だ残存しているフッ化アンモニウム（３）を除去する除害塔２１とが備えられている。
【００１５】
そして、本実施形態では、吸収部３５は、フッ化アンモニウム（３）を含むガスを吸収液（９）に接触させることにより、この吸収液（９）中にフッ化アンモニウム（３）を吸収させるとともに、前記ガスの熱で吸収液（９）を加熱するようになっている。また、反応槽１２は、吸収部３５から移送された吸収液（９）中のフッ化アンモニウム（３）とフッ化水素（４）とを反応させてフッ化水素アンモニウム（３）を生成する構成とされている。
【００１６】
図示の例では、吸収部３５は、加熱炉１１から移送された前記ガスを吸収液（９）に接触させる第１吸収部１９と、第１吸収部１９から移送された前記ガスを吸収液（９）に接触させる第２吸収部２０と、を備えている。そして、濾液槽１６から吸収部３５に移送された吸収液（９）は、第２吸収部２０、および第１吸収部１９をこの順に通過した後に、反応槽１２に移送されるようになっている。さらに、第１、第２吸収部１９、２０でフッ化アンモニウム（３）を吸収し、かつ加熱された吸収液（９）は、第１吸収部１９から反応槽１２に移送される一方、一部は第１吸収部１９に回収され、再度、加熱炉１１から移送されたフッ化アンモニウム（３）を含むガスに接触させられ、残りは濾液槽１６に回収されるようになっている。
【００１７】
また、本実施形態では、加熱炉１１から吸収部３５に向けて延設された第１配管２６に、フッ化アンモニウム（３）がこの第１配管２６内を流れる過程において、その温度が所定温度以上に保温される保温手段２７が設けられている。図示の例では、第１配管２６は、第１吸収部１９に備えられた後述する第１導入管２４と加熱炉１１とを連結し、保温手段２７は、この第１配管２６の全長にわたってその外周面を囲うように設けられ、フッ化アンモニウム（３）が加熱炉１１から第１導入管２４に到達するまでの全過程においてこのフッ化アンモニウム（３）を保温できるようになっている。
【００１８】
保温手段２７としては、例えば、第１配管２６の外周面を断熱材で囲繞することによって、加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）の温度が低下するのを抑制するようにしてもよいし、あるいは、第１配管２６の外周面を加熱することによってフッ化アンモニウム（３）の温度が低下するのを抑制するようにしてもよいし、さらには、第１配管２６の外周面に、加熱部と断熱材とをこの順に配置してこれらを併用することにより保温手段２７を構成するようにしてもよい。
【００１９】
また、本実施形態では、第１配管２６に、その内部に熱風を供給して、この熱風とともに加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）を吸収部３５に向けて移送する熱風供給手段３０が連結されている。熱風供給手段３０は、例えば電気ヒータ炉若しくはバーナ炉等とされ、その内部に例えば空気等のガスが供給されて、このガスを、その温度を高めた状態で第１配管２６内に供給するようになっている。図示の例では、前記送風装置１３から、加熱炉１１内に供給するキャリアガス（６）の流量よりも多くのガスが熱風供給手段３０に供給されるようになっている。また、熱風供給手段３０は、第１配管２６において加熱炉１１側の端部に連結されている。
【００２０】
ここで、第１吸収部１９は、内部に吸収液（９）が充填された第１吸収部本体１９ａと、この第１吸収部本体１９ａと第１配管２６とをつなぐ前記第１導入管２４とを備えている。
また、第２吸収部２０は、内部に供給されたフッ化アンモニウム（３）を吸収液（９）中に吸収させる第２吸収部本体２０ａと、フッ化アンモニウム（３）がこの第２吸収部本体２０ａ内に進入する前に通過する第２導入管２５とを備えている。
【００２１】
次に、以上のように構成されたフッ素含有廃スラッジの処理装置１０を用いてフッ素含有廃スラッジ（１）を処理する方法について説明する。
まず、濾過装置１５において、前記表面処理槽で発生したフッ素含有廃スラッジ（１）から液分を分離し、この濾液（７）を濾液槽１６内に貯留する。一方、液分が分離されたフッ素含有廃スラッジ（１）は造粒機１８に供給される。
【００２２】
その後、フッ素含有廃スラッジ（１）を造粒機１８で造粒し、所定の大きさに造粒されたフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱炉１１内に供給する。
そして、この加熱炉１１内において、その内部を４５０℃以上７００℃以下、好ましくは約６００℃〜６５０℃で加熱した状態で中心軸線まわりに回転させつつ、フッ素含有廃スラッジ（１）を前記中心軸線方向の一端部から他端部に向けて移動させて加熱処理することにより、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）と気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）とに分解する。
【００２３】
このうち、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）は、図示されない梱包装置により梱包される。そして、このフッ化アルミニウム（２）は、例えば、純アルミニウムおよびアルミニウム合金を鋳造する際のフラックス剤の原料として再利用することができる。ここで、加熱炉１１内での加熱温度を４５０℃よりも低くすると、加熱処理に要する時間が長くなり、また、この加熱温度を７００℃よりも高くすると、得られたフッ化アルミニウム（２）がさらに分解させられ、その純度が低くなり商品としての価値が低下する。
【００２４】
一方、気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）は、送風装置１３から第２配管２８を介して加熱炉１１内に約１〜３０ｍ３／Ｈの流量で供給されたキャリアガス（６）により、その濃度が希釈された状態で、フッ素含有廃スラッジ（１）およびフッ化アルミニウム（２）が移動する方向とは逆向きに、つまりこの加熱炉１１の前記一端部に向けて移送されて、加熱炉１１から移送管２６内に移送される。その後、このフッ化アンモニウム（３）は、さらに第１配管２６内を反応槽１２に向けて移送される。
【００２５】
ここで、本実施形態では、熱風供給手段３０が、前述したように第１配管２６のうち加熱炉１１側の端部に連結されているので、加熱炉１１から第１配管２６内に約１０ｍ３／Ｈの流量で流入したフッ化アンモニウム（３）には、この流入の当初から、熱風供給手段３０からの熱風（３００℃以上３５０℃以下）が約２４ｍ３／Ｈの流量で合流し、この熱風とともに反応槽１２に向けて移送される。これにより、フッ化アンモニウム（３）は、加熱炉１１から第１配管２６内への流入とほぼ同時に、あるいはその直後から、前記熱風によって、反応槽１２に向けた移送速度が速められる。
【００２６】
そして、前記熱風およびキャリアガス（６）とともに反応槽１２に向けて移送されたフッ化アンモニウム（３）は、まず、第１吸収部１９に移送されてその一部が吸収液（９）中に吸収された後に、第２吸収部２０に移送され、この第２吸収部２０において、前記フッ化アンモニウム（３）が吸収液（９）中にほぼ全て吸収される。さらにその後、このフッ化アンモニウム（３）を少量含有するガスが除害塔２１内に移送され、この除害塔２１内で残りのフッ化アンモニウム（３）がほぼ完全に除去される。そして、このようにして無害化されたガス（８）が誘引ブロワ２３により除害塔２１から大気中に排出される。
【００２７】
ところで、濾過装置１５から濾液槽１６内に貯留された濾液（７）は、吸収部３５でフッ化アンモニウム（３）を吸収する吸収液（９）として用いられる。以下、この吸収液（９）の流れについて説明する。
【００２８】
この吸収液（９）は、まず、濾液槽１６から第２吸収部２０に移送され、フッ化アンモニウム（３）を含む第１吸収部１９から移送されたガスと接触することにより、フッ化アンモニウム（３）を吸収するとともに、このガスの熱で加熱される。そして、この吸収液（９）は、第２吸収部本体２０ａ内に貯留される量が常時一定となるように、規定量になったときにオーバーフローして順次、第１吸収部本体１９ａに向けて流出する。
【００２９】
このようにして第１吸収部本体１９ａ内に流入した吸収液（９）は、フッ化アンモニウム（３）を含む加熱炉１１から移送されたガスと接触することにより、さらに、フッ化アンモニウム（３）を吸収するとともに、このガスの熱で加熱される。その後、この吸収液（９）は反応槽１２に移送されるが、その過程において、この吸収液（９）の一部が、第１吸収部１９の第１導入管２４の内周面全域を伝って第１吸収部本体１９ａに向けて流下し、この第１吸収部本体１９ａ内に充填される。このように吸収液（９）が、第１導入管２４および第１吸収部本体１９ａを通過する過程で、加熱炉１１からのガスと接触することにより、フッ化アンモニウム（３）を吸収するとともに、このガスの熱で加熱される。なお、第１導入管２４に供給される吸収液（９）の温度は例えば２０℃以上５０℃以下とされる。
【００３０】
一方、吸収液（９）が第１吸収部本体１９ａから反応槽１２に移送されると、この吸収液（９）中に吸収されているフッ化アンモニウム（３）と、この反応槽１２に供給されたフッ化水素（４）とが反応することにより、アルミニウム成形体の表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウム（５）が生成される。その後、このフッ化水素アンモニウム（５）は前記表面処理槽に供給され前記表面処理に用いられる。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態によるフッ素含有廃スラッジの処理装置１０によれば、吸収部３５で、吸収液（９）中に前記ガスのフッ化アンモニウム（３）を吸収させる際、前記ガスを吸収液（９）に接触させることによりこの吸収液（９）を加熱するので、吸収液（９）中へのフッ化アンモニウム（３）の溶解度を上昇させることが可能になり、吸収部３５におけるフッ化アンモニウム（３）の吸収効率を向上させることができる。したがって、フッ化アンモニウム（３）の濃度が高められた吸収液（９）を、反応槽１２に移送することが可能になり、フッ化水素アンモニウム（５）の生成効率を向上させることができる。
さらに、吸収部３５で加熱された吸収液（９）が反応槽１２に移送されるので、これらの吸収部３５と反応槽１２とをつなぐ配管内に、吸収液（９）の温度が低いことに起因してフッ化アンモニウム（３）が析出しスケールが発生するのを抑制することができる。
【００３２】
特に本実施形態では、加熱炉１１から吸収部３５に向けて延設された第１配管２６に、加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）を保温する保温手段２７が設けられているので、加熱炉１１内で発生したフッ化アンモニウム（３）を高温に保った状態で反応槽１２に向けて移送することが可能になり、吸収部３５内の吸収液（９）を確実に加熱することができる。さらに、本実施形態では、第１配管２６に、その内部に熱風を供給して、この熱風とともにフッ化アンモニウム（３）を吸収部３５に向けて移送する熱風供給手段３０が連結されているので、第１配管２６内のフッ化アンモニウム（３）を確実に高温に保つことが可能になる。さらにまた、第１配管２６に供給される前記熱風の流量が、キャリアガス（６）の流量よりも大きいので、第１配管２６内での前記フッ化アンモニウム（３）の移送速度を速めることも可能になり、このフッ化アンモニウム（３）を加熱炉１１から吸収部３５に向けて移送する過程でその温度が低下するのを一層確実に防ぐことができる。
【００３３】
また、本実施形態では、吸収液（９）を吸収部３５から反応槽１２に移送する過程で、その一部を吸収部３５に回収して再度前記ガスに接触させるので、このガスを、既に加熱されて溶解度が上昇した吸収液（９）に接触させることが可能になり、反応槽１２に移送する吸収液（９）中のフッ化アンモニウム（３）の濃度を一層向上させることができる。また、吸収液（９）の前記一部が、吸収部３５に回収されて再度前記ガスと接触することにより、その温度がさらに上昇するので、吸収部３５内に充填される吸収液（９）全体の温度を上昇させることが可能になり、この吸収部３５におけるフッ化アンモニウム（３）の吸収効率を一層向上させることができる。
【００３４】
さらに、本実施形態では、吸収液（９）が、第２吸収部２０、および第１吸収部１９をこの順に通過して、吸収液（９）の温度が、第１吸収部１９内の吸収液（９）の方が高くなるので、この第１吸収部１９内の吸収液（９）中に第２吸収部２０で既にフッ化アンモニウム（３）が吸収されているにもかかわらず、この吸収液（９）のフッ化アンモニウム（３）の溶解度を上昇させることが可能になる。したがって、フッ化アンモニウム（３）の濃度が高い、加熱炉１１から第１吸収部１９に移送された前記ガスに、このように溶解度が高められた吸収液（９）を接触させることにより、前記ガス中のフッ化アンモニウム（３）を大量に吸収することが可能になり、前記吸収効率を一層向上させることができる。
特に本実施形態では、第１吸収部１９から反応槽１２に移送される吸収液（９）の一部を第１吸収部１９に回収するので、第１吸収部１９内の吸収液（９）の温度をより一層上昇させることが可能になり、前記吸収効率を確実に向上させることができる。
【００３５】
また、本実施形態では、濾過装置１５が備えられているので、この濾過装置１５により液分が分離されたフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱炉１１で加熱処理することが可能になり、この加熱処理効率の向上および加熱炉１１にかかる負担を低減させることができる。しかも、吸収液（９）として前記液分を用いるので、フッ素含有廃スラッジ（１）の処理コストを低減させることも可能になる。さらに、前記液分には塩が含まれてフッ化アンモニウム（３）の溶解度が低くなっているにもかかわらず、その温度を前述のように上昇させることにより、フッ化アンモニウム（３）の溶解度を高めることが可能になり、前述した作用効果が顕著に奏効されることになる。
【００３６】
なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、前記実施形態では、フッ化アンモニウム（３）を濾液（７）中に吸収させたが、これに代えて、例えば水に吸収させてもよい。
また、前記実施形態では、前記表面処理槽で発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を、一旦濾過装置１５に搬送して液分を分離し、その後、この廃スラッジ（１）を加熱炉１１で加熱処理したが、これに代えて、前記表面処理槽から濾過装置１５を通さずに直接加熱炉１１に供給して加熱処理するようにしてもよい。
【００３７】
さらに、前記表面処理槽でのアルミニウム成形体の表面加工は、例えば、この成形体を脱脂工程および水洗工程をこの順に経た後に、アルカリエッチング処理工程またはフッ化水素アンモニウム溶液処理工程を経て、その後、水洗工程、スマット除去工程、水洗工程、陽極酸化工程、電解着色工程および電着塗装工程をこの順に経ることによって行うことができる。この場合、フッ素含有廃スラッジ（１）は、前記フッ化水素アンモニウム溶液処理工程で発生する。
【００３８】
また、前記実施形態では、吸収部３５として、第１吸収部１９および第２吸収部２０を備えた構成を示したが、これに代えて、いずれか一方のみを備えた構成としても適用可能である。さらに、保温手段２７および熱風供給手段３０は設けなくてもよい。さらにまた、前記実施形態に代えて、第１配管２６を第２吸収部２０に連結してもよいし、また、濾液槽１６と第１吸収部１９とを連結してもよい。さらに、濾液槽１６を有しない構成においても適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
フッ素含有廃スラッジの処理効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の一実施形態に係るフッ素含有廃スラッジの処理装置の全体概略図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  フッ素含有廃スラッジの処理装置
１１  加熱炉
１２  反応槽
１５  濾過装置
１９  第１吸収部
２０  第２吸収部
３５  吸収部
【図１】
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