(57)【要約】【課題】摩耗による不具合を発生させることなく無駄なく使用することが可能な保持ピンを提供する。【解決手段】保持ピン７は、使用限界となる摩耗量に相当する厚さＤに設定された表層部１４と、該表層部１４の内側に設けられ表層部１４と識別可能に構成された使用限界報知部１５とを備えており、保持ピン７が摩耗し使用限界となると、表層部１４と識別可能に構成された使用限界報知部１５が露出するようになっている。【選択図】図２
2008147423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を保持する保持装置に設けられ、前記対象物に当接する保持ピンであって、
使用限界となる摩耗量に相当する厚さに設定され前記対象物と当接する表層部と、
前記表層部における前記対象物との当接部分の内側に設けられ前記表層部と識別可能に
構成された使用限界報知部とを備えたことを特徴とする保持ピン。
【請求項２】
前記使用限界報知部は、前記表層部と異なる色を有することを特徴とする請求項１に記
載の保持ピン。
【請求項３】
前記表層部は、前記対象物の当接方向に沿って配列され互いに識別可能に構成された複
数の層からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の保持ピン。
【請求項４】
前記表層部及び前記使用限界報知部は、導電性樹脂材料からなることを特徴とする請求
項１〜３の何れか１項に記載の保持ピン。
【請求項５】
対象物に当接する保持ピンを備え、前記対象物を保持する保持装置であって、
前記保持ピンは、
使用限界となる摩耗量に相当する厚さに設定された表層部と、
前記表層部の内側に設けられ前記表層部と識別可能に構成された使用限界報知部とを備
えたことを特徴とする保持装置。
【請求項６】
前記保持ピンを支持する保持ピン支持部を備え、
前記保持ピンは、前記保持ピン支持部に、前記表層部の前記対象物に対する当接位置を
変更可能に固定されたことを特徴とする請求項５に記載の保持装置。
【請求項７】
前記保持ピンを前記対象物に当接する方向に付勢する保持ピン当接手段と、
前記保持ピンを前記対象物から離間する方向に付勢する保持ピン離間手段とを備えたこ
とを特徴とする請求項５又は６に記載の保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、対象物を保持する保持装置に設けられ該対象物に当接する保持ピン及びこ
れを備えた保持装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ等の基板を保持する保持装置として、例えば特許文献１及び特
許文献２にて開示されているものがある。
特許文献１にて開示されている保持装置は、水平方向（基板の基板面方向）に移動可能
に設けられた保持ピンを備え、該保持ピンの外周を基板の各辺に当接させて適切な位置に
保持する。また、特許文献２にて開示されている保持装置は、上下方向に移動可能な保持
ピンを備え、該保持ピンの先端を基板の下面に当接させて持ち上げる。
【０００３】
ところで、このような保持装置では、保持ピンと基板との当接が繰り返されるため、当
接部分が摩耗し保持ピンの表面にその摩耗量に応じた窪みが形成される。この窪みは、基
板の保持位置がずれたり、基板が保持ピンに引っかかり破損する等の不具合の原因となる
ため、作業者は、処理した基板の枚数や動作回数や日数等の使用期間、若しくは、作業者
による目視確認等により保持ピンが使用限界となったか否かを判断して保持ピンを交換し
ている。
【特許文献１】特開２０００−３５３７３７号公報
【特許文献２】特開２００４−１７２４９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、使用期間に基づいて使用限界を判断する場合、不具合が発生しないよう
、保持ピンの使用期間を使用を開始してから実際に使用限界となる期間よりも短く設定す
るため、保持ピンが無駄に交換されてしまう。また、作業者による目視確認により使用限
界を判断する場合、作業者が目測を誤り不具合が発生する虞がある。
【０００５】
この発明は、こうした従来の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、摩耗によ
る不具合を発生させることなく無駄なく使用することが可能な保持ピン及び保持装置を提
供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明では、対象物を保持する保持装置に設けられ、前記対
象物に当接する保持ピンであって、使用限界となる摩耗量に相当する厚さに設定され前記
対象物と当接する表層部と、前記表層部における前記対象物との当接部分の内側に設けら
れ前記表層部と識別可能に構成された使用限界報知部とを備えたことを要旨とする。
【０００７】
同構成によれば、使用限界となる摩耗量に相当する厚さに設定した表層部の内側に同表
層部と識別可能な使用限界報知部を設けたため、保持ピンが摩耗し使用限界となると、表
層部と識別可能に構成された使用限界報知部が露出する。よって、作業者は、使用限界報
知部を視認することにより、保持ピンが使用限界となったことを容易に把握することが可
能となり、保持ピンを、摩耗による不具合を発生させることなく無駄なく使用することが
できる。
【０００８】
本発明の保持ピンにおいては、前記使用限界報知部は、前記表層部と異なる色を有する
。
同構成によれば、使用限界報知部は、表層部と異なる色を有するため、作業者は、その
色に基づいて保持ピンが使用限界となったことを容易に把握することができる。
【０００９】
本発明の保持ピンにおいては、前記表層部は、前記対象物の当接方向に沿って配列され
互いに識別可能に構成された複数の層からなる。
同構成によれば、表層部は、対象物の当接方向に沿って配列され互いに識別可能に構成
された複数の層からなるため、作業者は、使用限界となるまでの保持ピンの摩耗量（摩耗
の程度）を、段階的に把握することができる。
【００１０】
本発明の保持ピンにおいては、前記表層部及び前記使用限界報知部は、導電性樹脂材料
からなる。
同構成によれば、表層部及び使用限界報知部は導電性樹脂材料からなるため、静電気の
発生を防止することができる。
【００１１】
上記目的を達成するために本発明では、対象物に当接する保持ピンを備え、前記対象物
を保持する保持装置であって、前記保持ピンは、使用限界となる摩耗量に相当する厚さに
設定された表層部と、前記表層部の内側に設けられ前記表層部と識別可能に構成された使
用限界報知部とを備えたことを要旨とする。
【００１２】
同構成によれば、表層部の厚さを使用限界となる摩耗量に相当する厚さに設定したため
、保持ピンが摩耗し使用限界となると、表層部と識別可能に構成された使用限界報知部が
露出する。よって、作業者は、使用限界報知部を視認することにより、保持ピンが使用限
界となったことを容易に把握することが可能となり、保持ピンを摩耗による不具合を発生
させることなく無駄なく使用することができる。
【００１３】
本発明の保持装置において、前記保持ピンを支持する保持ピン支持部を備え、前記保持
ピンは、前記保持ピン支持部に、前記表層部の前記対象物に対する当接位置を変更可能に
固定された。
【００１４】
同構成によれば、保持ピンは、保持ピン支持部に、表層部の対象物に対する当接位置を
変更可能に固定されたため、当接位置を変更することで、１つの保持ピンをより長期間使
用することができる。
【００１５】
本発明の保持装置において、前記保持ピンを前記対象物に当接する方向に付勢する保持
ピン当接手段と、前記保持ピンを前記対象物から離間する方向に付勢する保持ピン離間手
段とを備えた。
【００１６】
同構成によれば、保持ピンは、対象物に当接する方向と、対象物から離間する方向とに
付勢されるため、保持ピンが摩耗し保持ピンの表面に、基板の保持位置がずれたり基板が
保持ピンに引っかかり破損する等の不具合の原因となる窪みが形成される場合がある。し
かしながら、上述した構成により、保持ピンが使用限界となったことを容易に把握するこ
とができるため、保持ピンを摩耗による不具合を発生させることなく無駄なく使用するこ
とができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１は、洗浄処理を経た液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板（対象物）Ｗを回
転させて乾燥させるスピン乾燥装置１の概略構成図である。
【００１８】
スピン乾燥装置１は、略有底円筒状の処理槽２と、処理槽２内に配置された基板支持台
３とを備えている。ガラス基板Ｗは、長方形板状に形成されており、基板支持台３は、ガ
ラス基板Ｗの対角線に沿うように延びる４つの支持腕部３ａを備えた略十字状に形成され
ている。基板支持台３は、回転駆動装置Ｍ１により回転駆動される。
【００１９】
基板支持台３には、上方向（鉛直方向）に突出する略円柱状の９つの支持ピン４が設け
られている。各支持ピン４は、導電性樹脂材料からなり、基板支持台３の中央部分に１つ
と、各支持腕部３ａにその延設方向に沿って等間隔に２つずつ設けられている。各支持ピ
ン４は、図示しない昇降装置により駆動され、上下方向に移動する。ガラス基板Ｗは、図
示しない移送装置により基板支持台３の上側に移送されるようになっており、支持ピン４
は、ガラス基板Ｗの下面に当接するまで上昇し、ガラス基板Ｗを受け取った後にガラス基
板Ｗを水平に保ちながら下降する。
【００２０】
また、各支持腕部３ａの先端部であって、ガラス基板Ｗの角部に対応する位置には、保
持装置５が設けられている。保持装置５は、保持ピン支持部としての長方形板状の基台６
と、該基台６の上面６ａから垂直方向に延びる一対の保持ピン７とを備えている。基台６
は、保持ピン当接手段及び保持ピン離間手段としてのシリンダＭ２により支持腕部３ａの
延設方向に沿って駆動されるようになっており、保持ピン７は、そのシリンダＭ２により
ガラス基板Ｗに当接する方向とガラス基板Ｗから離間する方向とに付勢される。保持ピン
７は、ガラス基板Ｗの角部を挟んで対向するように配置されており、ガラス基板Ｗを受け
取った支持ピン４が下降し、基台６がガラス基板Ｗ側へ移動すると、ガラス基板Ｗの側面
に当接し基板支持台３の回転時におけるガラス基板Ｗの移動を規制するようになっている
。
【００２１】
図２に示すように、本実施の形態では、保持ピン７は、基台６に固定される固定部材８
と、略円柱状に形成され基台６から突出する当接部材９とから構成されている。固定部材
８は、略正四角柱状に形成されており（図３（ｂ）参照）、保持装置５の基台６の上面６
ａには、固定部材８に対応する略正四角柱状の保持ピン固定部６ｂが凹設されている。固
定部材８は、その保持ピン固定部６ｂに挿入され基台６に対して回転不能に固定される。
【００２２】
当接部材９は、固定部材８の上面８ａに着脱可能に固定された略円柱状のシャフト１１
と、シャフト１１の先端に着脱可能に固定されたキャップ１２と、シャフト１１の外周に
設けられ同シャフト１１の外径と略等しい内径を有する略円筒状の緩衝部材１３とを備え
ており、緩衝部材１３のみを交換することが可能となっている。シャフト１１は、十分に
剛性が高い材料（例えばステンレス等の金属材料）からなり、その下端面１１ａには、固
定部材８の上面８ａに設けられたネジ穴８ｂに対応するネジ部１１ｂが設けられている。
シャフト１１は、そのネジ部１１ｂが固定部材８のネジ穴８ｂに螺合することにより、固
定部材８に回転不能に固定される。
【００２３】
キャップ１２は、前記緩衝部材１３の外径と略等しい直径を有する下底面１２ａと該下
底面１２ａよりも小さな直径を有する上底面１２ｂとを備えた略円錐台状に形成されてい
る。キャップ１２の下底面１２ａには、シャフト１１の上端面１１ｃに設けられたネジ穴
１１ｄに対応するネジ部１２ｃが設けられており、上底面１２ｂには、工具と係合する係
合部１２ｄ（図３（ａ）参照）が設けられている。キャップ１２は、そのネジ部１２ｃが
シャフト１１のネジ穴１１ｄに螺合することにより、シャフト１１及び固定部材８に回転
不能に固定される。
【００２４】
ここで、シャフト１１の長さは、シャフト１１及びキャップ１２が固定部材８に固定さ
れた状態で、固定部材８の上面８ａからキャップ１２の下底面１２ａまでの距離が緩衝部
材１３の長さよりも若干短くなるように設定されている。これにより、緩衝部材１３は、
固定部材８及びキャップ１２により狭持され、固定部材８に対して回転不能に固定される
。また、固定部材８は、基台６の保持ピン固定部６ｂに挿抜できるようになっており、作
業者により保持ピン７のガラス基板Ｗに対する当接位置を周方向に変更することができる
ようになっている（図５参照）。
【００２５】
本実施の形態では、緩衝部材１３は、使用限界となる摩耗量に相当する厚さＤに設定さ
れた表層部１４と、該表層部１４の内側に設けられ表層部１４と識別可能に構成された使
用限界報知部１５とを備えている。
【００２６】
表層部１４は、導電性樹脂材料からなり、使用限界報知部１５の全周に設けられている
。表層部１４は、保持ピン７の周方向において均一の厚さで形成されており、その厚さＤ
は、表層部１４が磨耗し使用限界報知部１５に到達した窪みＤ１（図４（ｄ）参照）にガ
ラス基板Ｗが引っかかり破損しない程度の厚さ（０．１ｍｍ〜０．４ｍｍ）に設定されて
いる。使用限界報知部１５は、導電性樹脂材料からなり、表層部１４の径方向内側に一体
的に設けられている。本実施の形態では、表層部１４全体の色は、肌色となっており、使
用限界報知部１５全体の色は、赤色となっている。なお、表層部１４及び使用限界報知部
１５の色は、互いに異なる色であれば適宜変更可能である。
【００２７】
このような保持装置５に設けられた保持ピン７は、図４（ａ）〜（ｄ）に示すように、
ガラス基板Ｗとの当接が繰り返されることによりその当接部分が摩耗し、保持ピン７（表
層部１４）の表面１４ａにその摩耗量に応じた窪みＤ１が形成される。本実施の形態の保
持ピン７は、表層部１４の厚さＤを、実験などにより求めた許容範囲内（例えば０．４ｍ
ｍ）に設定したため、表層部１４の表面１４ａに生じる窪みＤ１がガラス基板Ｗと引っか
かる虞のある深さになるよりも前に使用限界報知部１５が露出する。従って、作業者はそ
の使用限界報知部１５を視認することにより、保持ピン７の使用限界を把握し、摩耗によ
り表層部１４の表面１４ａに生じる窪みＤ１がガラス基板Ｗと引っかかる虞のある深さに
なる前に保持ピン７を交換することができる。
【００２８】
次に、上記実施の形態の作用効果を以下に記載する。
（１）使用限界となる摩耗量に相当する厚さに設定した表層部１４の内側に同表層部１
４と識別可能な使用限界報知部１５を設けたため、保持ピン７が摩耗し使用限界となると
、表層部１４と識別可能に構成された使用限界報知部１５が露出する。よって、作業者は
、使用限界報知部１５を視認することにより、保持ピン７が使用限界となったことを容易
に把握することが可能となり、保持ピン７を、摩耗による不具合を発生させることなく無
駄なく使用することができる。
【００２９】
（２）使用限界報知部１５は、表層部１４と異なる色を有するため、作業者は、その色
に基づいて保持ピン７が使用限界となったことを容易に把握することができる。
（３）表層部１４及び使用限界報知部１５は導電性樹脂材料からなるため、静電気の発
生を防止することができる。
【００３０】
（４）保持ピン７は、基台６に、表層部１４のガラス基板Ｗに対する当接位置を変更可
能に固定されたため、当接位置を順次変更することで、１つの保持ピン７をより長期間使
用することができる。
【００３１】
なお、上記実施の形態では、以下の態様に変更した変形例を採用してもよい。
・上記実施の形態では、使用限界報知部１５は、表層部１４と異なる色としたが、この
ような態様に限定されず、例えば、光沢のある材料から表層部１４を形成し光沢のない材
料から使用限界報知部１５を形成するなど、表層部１４と使用限界報知部１５とが識別可
能に構成されれば適宜変更可能である。また、上記実施の形態では、使用限界報知部１５
全体を表層部１４と異なる色としたが、例えば使用限界報知部１５の表面のみを表層部１
４と異なる色としてもよい。
【００３２】
・上記実施の形態においては、図６（ａ）〜（ｄ）に示すように、表層部２０を、ガラ
ス基板Ｗの当接方向に沿って配列され互いに識別可能に構成された複数の層２０ａ〜２０
ｃから構成してもよい。このような構成によれば、作業者は、保持ピン７を構成する層２
０ａ〜２０ｃが保持ピン７の摩耗量に応じて順次露出するため、保持ピン７の使用限界と
なるまでの保持ピン７の摩耗量（摩耗の程度）を、段階的に認識することができる。
【００３３】
・上記実施の形態では、固定部材８を略正四角柱状に形成したが、その他の正多角柱状
に形成してもよくまた、基台６に対して回転不能に固定されれば、略円柱状に形成しても
よい。また、上記実施の形態では、保持ピン７を略円柱状に形成したが、例えば正多角柱
状に形成してもよい。
【００３４】
・上記実施の形態では、保持ピン７は、表層部１４のガラス基板Ｗに対する当接位置を
作業者により周方向に変更可能に固定されるが、図７に示すように、保持ピン７の上下方
向に変更可能に固定されてもよい。また、図８に示すように、例えば当接部材９をシャフ
ト１１周りで回転可能とし、表層部１４のガラス基板Ｗに対する当接位置がガラス基板Ｗ
との当接に追従して変更されるようにしてもよい。また、図９に示すように、保持ピン７
を回転させる回転装置Ｍ３を設け、その回転装置により表層部１４のガラス基板Ｗに対す
る当接位置が定期的に変更されるようにしてもよい。
【００３５】
・上記実施の形態では、保持ピン７の固定部材８と当接部材９とは別部材としたが、一
体としてもよい。
・上記実施の形態では、使用限界報知部１５は、表層部１４の径方向内側に設けられた
が、表層部１４におけるガラス基板Ｗとの当接部分の内側に設けられればよく、例えば、
保持ピン７の先端部分が当接部分となる場合（支持ピン４など）は、表層部１４を保持ピ
ン７の先端部分に設け、使用限界報知部１５を表層部１４の軸方向内側に設ける。
【００３６】
・上記実施の形態では、使用限界報知部１５の全周に表層部１４を設けたが、表層部１
４は、保持ピン７のガラス基板Ｗの当接部分に設けられていればよく、使用限界報知部１
５の外周面（表面１５ａ）の一部分に設けてもよい。また、上記実施の形態では、表層部
１４は周方向に均一の厚さとしたが、ガラス基板Ｗの当接部分が使用限界となる摩耗量に
相当する厚さＤであればよく、均一でなくてもよい。
【００３７】
・上記実施の形態では、保持ピン７は、スピン乾燥装置１の回転時にガラス基板Ｗを保
持するためのものとしたが、例えば、ガラス基板Ｗやケース等の対象物の位置決めをする
ためのものなど、対象物に対して繰り返し当接するものに適用可能である。また、上記実
施の形態では、対象物を液晶ディスプレイ等（有機ＥＬディスプレイ、プラズマディスプ
レイ（ＰＤＰ）、表面電界ディスプレイ（ＳＥＤ））に用いられるガラス基板Ｗとしたが
、例えば、半導体ウェハに用いられるものとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】スピン乾燥機の概略構成図。
【図２】本実施の形態の保持ピンの断面図。
【図３】（ａ）本実施の形態の保持ピンを上側から見た図、（ｂ）本実施の形態の保持ピンを下側から見た図。
【図４】（ａ）〜（ｄ）本実施の形態の保持ピンの効果を説明するための説明図。
【図５】本実施の形態の保持ピンの効果を説明するための説明図。
【図６】（ａ）〜（ｄ）別例の保持ピンの効果を説明するための説明図。
【図７】別例の保持ピンの説明図。
【図８】別例の保持ピンの説明図。
【図９】別例の保持ピンの説明図。
【符号の説明】
【００３９】
５…保持装置、６…保持ピン支持部としての基台、７…保持ピン、８…被固定部として
の固定部材、１４，２０…表層部、１４ａ…表層部の表面、１５…使用限界報知部、１５
ａ…使用限界報知部の表面、２０ａ〜２０ｃ…層、Ｍ２…保持ピン当接手段及び保持ピン
離間手段としてのシリンダ、Ｄ…表層部の厚さ。
【図１】
2008147423.tif 000003
【図２】
2008147423.tif 000004
【図３】
2008147423.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008147423.tif 000008
【図７】
2008147423.tif 000009
【図８】
2008147423.tif 000010
【図９】
2008147423.tif 000011