(57)【要約】【課題】ガラス製排気管封止の際に放出され、密封容器内に滞留する可能性のあった封止時の放出ガスを大幅に減少させる。【解決手段】本発明の画像表示装置の製造方法は、メッキ処理を施された金属からなる封止部位を備える排気管５００を容器に接続し、容器を大気圧より低い圧力に排気する工程と、排気管５００の封止部位５０１を圧着して封止し、切り離す工程とを有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキ処理を施された金属からなる封止部位を備える排気管を容器に接続し、該容器を大気圧より低い圧力に排気する工程と、
前記排気管の封止部位を圧着して封止し、切り離す工程と
を有することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記メッキ処理を施された金属からなる封止部位の厚みが該封止部位以外の部位の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記封止部位の厚みが該封止部位以外の部位の厚みの３０％乃至７０％であることを特徴とする請求項２に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記封止部位の金属は、銅、銅を含有する合金、アルミニウム、アルミニウムを含有する合金、銀、銀を含有する合金、タングステン、タングステンを含有する合金、モリブデン、モリブデンを含有する合金、のいずれかであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記メッキ処理は、亜鉛、金、錫、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、カドミウムからなる金属、或いはこれらの金属を１種類以上含む合金からなるメッキ処理であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記容器がガラス製であり、該容器に接続する前記排気管の接続部材が低融点ガラスであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記容器の熱膨張係数Ａと該容器に接続する前記排気管の接続部材の熱膨張係数Ｂとの間に、下記式
（熱膨張係数Ａ）×0.95≦（熱膨張係数Ｂ）≦（熱膨張係数Ａ）×1.10
で示す関係が成立することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記容器の熱膨張係数Ａと該容器に接続する前記排気管の接続部材の熱膨張係数Ｂと前記低融点ガラスの熱膨張係数Ｃとの間に、下記式
（熱膨張係数Ａ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張係数Ａ）×1.05
又は、
（熱膨張係数Ｂ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張係数Ｂ）×1.05
で示す関係が成立することを特徴とする請求項６又は７に記載の画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部を大気圧より低い圧力に保持する密封容器内に蛍光体と該蛍光体を発光させる機構と前記密封容器内を大気圧以下の状態に維持するため封止された管状排気管の封止部位が金属製である封止排気管を有する画像表示装置の製造方法に関するものであり、詳しくは,平板状画像表示装置を対象とする。
【背景技術】
【０００２】
従来、自発光型平板状画像表示装置には、例えば、プラズマディスプレイ、ＥＬ表示装置、電子線を用いた平板画像表示装置がある。
内部を大気圧より低い圧力に保持する密封容器を使用する画像表示装置としては、テレビのブラウン管等を代表的にあげる事ができるが、プラズマディスプレイ、電子線を用いた平板画像表示装置等も、内部を大気圧より低い圧力に保持する密封容器を利用した機器・装置である。
【０００３】
これら表示装置について、現在では、大画面化・高精細化の要求が増大し、益々自発光型平板状の画像表示装置のニーズが高まりつつある。
【０００４】
電子線を用いた自発光型平板状画像表示装置を構成するには、例えば、フェースプレートとリアプレート及び外枠に挟まれ、内部が大気圧より低い圧力に保持した密封用容器内に、電子ビームを発生する電子源として表面伝導型電子放出素子を用い、該電子ビームを加速し蛍光体に照射し発光させ画像表示させる薄型の画像表示装置が出願されている（特許文献１を参照）。
【０００５】
図１は表面伝導型電子放出素子を用いた平板状画像表示装置の断面の一部を示す。
同図において、１０１はソーダガラスなどの絶縁材で構成されるリアプレート、１０２は表面伝導型電子放出素子である。
【０００６】
図２（ｂ）に前記表面伝導型電子放出素子１０２の概略を示す。
同図において２０５、２０６は一定の間隔（２μｍ程度）を隔て設置された電極、２０７は有機Ｐｄ（ＣＣＰ４２３０奥野製薬株式会社製）を塗布して形成した導電性薄膜、２０８は電子放出部で、フォーミングと呼ばれる通電処理によって電子を放出する電子放出部２０８を形成する。
【０００７】
ここで、フォーミングとは、素子電極２０５、２０６間に電圧を印加通電し、局所的に前記導電性薄膜２０７を破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に高抵抗な状態にした電子放出部２０８を形成する事である。
なお、電子放出部２０８は導電性薄膜２０７の一部に亀裂が発生しその亀裂付近から電子放出が行われる場合もある。
【０００８】
この他、表面伝導型電子放出素子２００(図１における１０２に相当)の導電性薄膜２０７としてＳｎＯ2膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの（非特許文献１を参照）、カーボン薄膜によるもの（非特許文献２を参照）等が報告されている。
【０００９】
更に、図１において、１０３は前記表面伝導型電子放出素子１０２に電気信号を供給するための配線で、後述する図３に示すような駆動回路部３０６に接続されるものである。
【００１０】
１０５はソーダガラスからなるフェースプレート、前記フェースプレート１０５の内側表面にはＡl薄膜のメタルバック１０６で覆われた蛍光体１０７を塗布してある。１０８はフリットガラス、１０９は外枠であり、前記フェースプレート１０５とリアプレート１０１を外枠１０９で挟んでフリットガラス１０８を用いて封着し、大気圧以下に気密可能な密封容器１１２を形成する。
【００１１】
更に、１１０は画像に影響を及ぼさない領域、例えば、画像表示領域の外側に設置されたゲッタ、１１１は排気管である。
【００１２】
なお、電子源として使用されるものとして表面伝導型電子放出素子のほか、加熱カソードを用いた熱電子源、電界放出型電子放出素子(非特許文献３等）が知られている。
【００１３】
上述の構成において、初め排気管１１１に接続した真空ポンプ(不図示)によって前記密封容器内を排気する。排気管はできるだけ速く前記密封容器内を排気するため、内径ができるだけ大きい方が良い。
【００１４】
表面伝導型電子放出素子１０２に通電し前述のフォーミングを行い、加熱脱ガス、ゲッタ１１０をフラッシュ後、排気管１１１の封止(チップオフ)を行う。
【００１５】
更に、外部駆動回路(図示せず)によって表面伝導型電子放出素子１０２の素子電極１０４に画像表示信号である電気信号を供給すると電子放出部(図２（ｂ）  ２０８)より電子がビーム状に放出され、該電子は蛍光体１０７、メタルバック１０６に印加された高電圧(１〜１０ＫＶ)によって加速された蛍光体１０７に衝突し発光させ、画像を表示させる。
【００１６】
従来の密封容器内の圧力を維持するための封止手段としては、密封容器と一体になった、或いは物理的に接続された排気管、主にはガラス製の排気管を通して排気し、密封容器内が大気圧以下の排気状態で該排気管を加熱し、溶融させ封止した後に切断する手段が用いられていた。
【００１７】
このような封止・切断手段の極めて一般的な手段は、蛍光灯や白熱電球などの製造方法が知られている。
例えば、特許文献２の図３、図５には、封止用バーナをガラス製排気管の根元両側に当て、加熱軟化し、圧潰封止、或いは、バーナによる封止切りを行う事が開示され、特許文献３の図３〜図８には、封止用バーナをガラス製排気管の両側から当て、加熱軟化し、溶融させた後、カッターにより所定の位置にスクライブを行い、排気管封止部位の切断を行う事が開示されている。
【００１８】
更には、自発光型平板状画像表示装置の排気管のチップオフ法として特許文献４には、電気ヒータ加熱によって外径９mm、内径７mmの低熱膨張率硬質ガラス製の薄肉排気管を封止した実施例が開示されている。
【００１９】
【特許文献１】特開平２−２９９１３６号公報
【特許文献２】特開平５−１７４７１０号公報
【特許文献３】特開平６−１６２９９７号公報
【特許文献４】特開平７−５７６３７号公報
【非特許文献１】Ｇ.Dittmer："Thin Solid Films"，9,317(１９７２)
【非特許文献２】荒木久 他：真空、第２６巻、第1号、２２頁 (１９８３)
【非特許文献３】W．P．Dyke&W．W．Dolan，"Field emission"，Advance in Electron Physics, 8, 89(1956) や、C．A．Spindt，"Physical properties of thin-film field emission cathodes with molybdenum cones" ，J．Appl．Phys．,４７,５２４８(１９７６)等)、金属／絶縁層／金属型電子放出素子（C.A.Mead"The tunnel-emission amplifier ，J．Appl．Phys．，３２,６４６(１９６１)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
通常、ガラス製の排気管を加熱し軟化・溶融・収縮させる際には、管状排気管の外径、内径、肉厚、その均一性、使用するガラスの材質、すなわち硬質ガラス、軟質ガラス等の違いにより、加熱・軟化・溶融及び切断するための諸条件を設定し、場合によっては，封止のたびに条件を変更する必要が生じてしまう事になる。
【００２１】
また、前述した特許文献４にも開示されているように、大気圧以下の状態で加熱・軟化された管状ガラス製排気管は内側に凸状態になり、肉溜りと呼ばれる溶融状態を形成しやすく、場合によっては微小亀裂（クラック）が発生し、真空リークが生じてしまう懸念が常に存在する事になる。
【００２２】
更には、加熱・軟化・溶融を管状ガラス製排気管に実施する際には、管状ガラス製排気管のガラス自体に含まれる構造水等の多くのガス成分が放出される。排気管が複数本有り、排気が継続される状態で封止される最初の排気管から放出されるガス成分は，封止前の排気管を通じてある程度は排気されるが、ある程度の時間をおきながら封止を行う必要が生じる。
【００２３】
しかしながら、最後に封止される排気管を封止した際に放出されるガス成分は、排気側に排気される一方で、一部、又は排気側へ排気されるのと同量程度のガス成分を密封容器内にも滞留させてしまう事になる。
【００２４】
当然、構造水等を主成分とするガス成分が密封容器内に滞留する事は、極めて低い圧力状態で密封容器内を保持し、電子を放出する電子源とこれを用いた画像表示装置にとって好ましい事でない。
【００２５】
また、排気管を封止する際の放出ガスを極力少なくするには、加熱温度を低めに設定したり、加熱領域を極力少なくしたり、構造水の少ないガラス材質を選択する事である程度改善する事も可能であるが、軟化・溶融具合が低下する事により、封止自体の信頼性を低下させる事になってしまう。
【００２６】
一方、密封容器内に封止時の放出ガス種を吸着する、いわゆるゲッタ部材を配置する事も可能であるが、平板状画像表示装置の構成から、密封容器内に配置するゲッタの構成が複雑になる事は充分推察されるはずである。
【００２７】
また、ゲッタ材料がその能力を充分に発揮できるための条件、すなわち、蒸発型であればフラッシュさせ、非蒸発型であればゲッタ部材を通電又は加熱活性化した状態で、ガラス製の排気管を封止し、更には、密封容器内の圧力を維持するため、ゲッタ部材の吸着排気能力発現のための工程が必要になるなど、製造工程自体が煩雑になる。
【００２８】
封止前に吸着排気能力を発現したゲッタ部材は、封止時に放出される構造水等により初期に劣化してしまう事も充分推察されるはずである。
【００２９】
一方、排気管封止後にゲッタ部材を活性化、またはフラッシュさせ、その放出ガス吸着機能を発現させる場合でも、ゲッタ部材自身からの放出ガスが滞留し、密封容器内の圧力はゲッタ部材の吸着排気能力に頼ることになり、密封容器内の構成を複雑にする一因となる。
【００３０】
仮に、密封容器内の圧力が本来の圧力から一桁から二桁以上、圧力上昇することになれば、電子源或いは、画像表示装置としての信頼性・耐久性の低下につながる事が容易に推察されるはずである。
【００３１】
本発明は、上述従来技術が有する問題点を鑑みてなされたもので、上述の問題点を改善した、管状排気管封止部を有する画像表示装置における封止時の放出ガスが少ない管状排気管の封止方法、これを用いた平板画像表示装置及びその製造方法を提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００３２】
本発明者らは、従来の画像表示装置における上述の諸問題を解決して、本発明の目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、本発明に至ったものである。
本発明によって提供される画像表示装置及びその製造方法は以下のものである。
【００３３】
本発明の画像表示装置の製造方法は、メッキ処理を施された金属からなる封止部位を備える排気管を容器に接続し、該容器を大気圧より低い圧力に排気する工程と、前記排気管の封止部位を圧着して封止し、切り離す工程とを有する。
【００３４】
好ましくは、前記メッキ処理を施された金属からなる封止部位の厚みが該封止部位以外の部位の厚みよりも薄い。
【００３５】
好ましくは、前記封止部位の厚みが該封止部位以外の部位の厚みの３０％乃至７０％である。
【００３６】
好ましくは、前記封止部位の金属は、銅、銅を含有する合金、アルミニウム、アルミニウムを含有する合金、銀、銀を含有する合金、タングステン、タングステンを含有する合金、モリブデン、モリブデンを含有する合金、のいずれかである。
【００３７】
好ましくは、前記メッキ処理は、亜鉛、金、錫、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、カドミウムからなる金属、或いはこれらの金属を１種類以上含む合金からなるメッキ処理である。
【００３８】
好ましくは、前記容器がガラス製であり、該容器に接続する前記排気管の接続部材が低融点ガラスである。
【００３９】
好ましくは、前記容器の熱膨張係数Ａと該容器に接続する前記排気管の接続部材の熱膨張係数Ｂとの間に、下記式
（熱膨張係数Ａ）×0.95≦（熱膨張係数Ｂ）≦（熱膨張係数Ａ）×1.10
で示す関係が成立する。
【００４０】
好ましくは、前記容器の熱膨張係数Ａと該容器に接続する前記排気管の接続部材の熱膨張係数Ｂと前記低融点ガラスの熱膨張係数Ｃとの間に、下記式
（熱膨張係数Ａ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張係数Ａ）×1.05
又は、
（熱膨張係数Ｂ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張係数Ｂ）×1.05
で示す関係が成立する。
【００４１】
本発明によれば、排気管封止部が金属であることから、ガラス製排気管封止部位を封止する際に発生するガラス含有構造水などのガスはほとんど放出される事が無い。
【００４２】
密封容器に接続されている排気管が複数本あり、封止部位が金属製である排気管が一本で、その他の排気管封止部位がガラス製であっても、本発明による金属性排気管封止部位を最後に封止することにより、他のガラス製排気管の封止時に放出されるガスは、金属性封止部位を持つ排気管より密封容器外へ排気され、排気管封止時の放出ガスが密封容器内に滞留することによる弊害を取り除く事が可能になる。
【００４３】
封止時の放出ガスがほとんど無いことにより、密封容器内に設置される容器内圧力維持のための部材(ゲッタなど)の配置についても、部材点数を減らす事が可能となり、複雑な容器内構成を緩和でき、製造コストを低くする事が可能となる。
【００４４】
ガラス製排気管を封止する際に懸念されていた、肉溜まりの発生とこれに付随する微小破壊(クラック)の発生、リークの発生などの懸念を排除でき、封止工程の信頼性、歩留まりの向上に寄与できる。
【００４５】
また、ガラス製排気管の場合に求められる封止部位の肉厚や、排気管外径等に関する仕様を緩和する事が可能になり、その結果、部品コストを低減する事が可能となる。
【００４６】
また、金属製排気管封止部位の封止予定部位のみが他に比べて薄いので、排気管の強度を保ちながらも切断を容易に行うことができ、封止工程の歩留まりが向上する。
【００４７】
また、金属封止部の金属面にメッキ処理が施されていることから、排気管を密封容器に接合するパネル封着時に該金属表面の酸化が生じ無いため、排気管封止時に金属酸化物が金属表面から剥がれてパネル内及び製造装置に飛散することが無く、金属酸化物によるパネル内部の汚染や製造装置の排気装置へのダメージも無い。
【００４８】
更にまた、金属排気管の接続部材を密封容器の熱膨張係数に近い鉄とニッケルを含む合金又は、鉄とニッケルを含む合金とガラスにする事で、接続部材を密封容器に接続する際に、密封容器にクラックが生じる事が無く、歩留まりが向上する。
【００４９】
これらによって、画像表示装置の画像品位及び信頼性の向上が可能となると同時に、製造装置の稼働期間が延び、製造歩留まりが向上することで製造コストを下げることが可能となる。
【発明の効果】
【００５０】
本発明により、ガラス製排気管と比較し、排気管の封止信頼性を大幅に向上する効果がある。
【００５１】
本発明により、これまで、ガラス製排気管封止の際に放出され、密封容器内に滞留していた封止時の放出ガスを大幅に減少する事ができる。
【００５２】
これにより、排気管封止後の画像表示装置としての密封容器内の圧力を、短時間で所望の圧力までする事ができ、製造時間を短縮する事が可能になる。
【００５３】
また、封止時の放出ガスが少ないことから、ガラス排気管封止の際に設置されていたゲッタ部材などの、圧力維持構成部材点数を減らす事ができ、コストの低下に効果がある。
【００５４】
更に、金属面にメッキ処理が施されていることから、排気管を密封容器に接合するパネル封着時に該金属表面の酸化が生じ無いため、排気管封止時に金属酸化物が金属表面から剥がれてパネル内及び製造装置に飛散することが無く、金属酸化物によるパネル内部の汚染や製造装置の排気装置へのダメージも無い。
【００５５】
これらにより、これまでガラス製排気管封止時の放出ガス及び金属排気管の酸化に起因する画像表示品質の低下、すなわち、電子放出素子における電子源の劣化、或いは、放電セルにおける素子劣化などを軽減できる。
【００５６】
また、金属製排気管封止部位の封止予定部位のみが他に比べて薄いので、排気管の強度を保ちながらも切断を容易に行うことができ、封止工程の歩留まりが向上し、画像表示装置のコスト低下に効果がある。
【００５７】
更にまた、金属排気管の接続部材を密封容器の熱膨張係数に近い鉄とニッケルを含む合金又は、鉄とニッケルを含む合金とガラスにすることで、排気管を密封容器に接続する際に、密封容器にクラックが生じる事が無く、歩留まりが向上し、画像表示装置のコスト低下に効果がある。
【００５８】
また、このような圧着封止を機械化することができることにより、加熱コイルや、バーナー火炎などを用いる工程と比較し、作業者の安全性や製造装置の安全性を向上する事ができる。
【００５９】
更に、機械化によって画像表示装置の製造数量の増加を図ることができる。また、画像表示装置の製造工程を最適な条件で行えるため、画像表示装置の歩留まりが向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
以下、本発明を適用した好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００６１】
図４は、本発明における金属製排気管封止部位を封止する工程を示している。
図４（ａ）では、画像表示装置としての密封容器１１２と、密封容器内を大気圧以下に排気するための排気管１１１と、内面がメッキ処理された金属性排気管封止部位４０１と、排気系装置(不図示)と排気管１１１を接続している接続部４０３と、金属製排気管封止部位４０１を圧着封止するための装置(ピンチャーと呼ばれる油圧式締切り装置、以後ピンチャーと呼ぶ)４０２と、ピンチャー４０２の稼動締め切り部４０４(ビットと呼ばれる部位、以後、ビットと呼ぶ)に油圧による圧力を与えるための油圧装置４０５が示されている。なお、ビット４０４は固定された固定側ビット４０４ａと稼動する稼動側ビット４０４ｂから構成されている。
【００６２】
図４(ａ)では、密封容器１１２内を大気圧以下の状態に排気管１１１を通じて大気圧以下に排気しつつ、ピンチャーを封止予定部、すなわち、固定側ビット４０４ａを金属製排気管の封止部位４０１の端面に接触させ、稼動側ビットを金属製排気管の封止部位４０１の端面から離してセッティングしているところを示している。
【００６３】
図４（ｂ）では、油圧装置４０５からの圧力で,稼動側ビット４０４ｂが動き始め、排気管１１１の外径以下に、排気管形状を変形させ始めているところを示している。
【００６４】
図４(ｃ)では、更に稼動側ビット４０４ｂが動き、排気管１１１の肉厚以下にまで排気管形状を変形させ、圧着封止状態へ進んでいる事を示している。
【００６５】
図４(ｄ)では、稼動側ビット４０４ｂと固定側ビット４０４ａに挟まれて加わった圧力により、排気管１１１が圧着され、封じ切られる。そして、密封容器側と排気系側とに離れると共に、稼動側ビット４０４ｂが後退し始めているところを示している。
【００６６】
図５は、本発明による金属製管状排気管封止部位を有する排気管構成の一例を示したものである。
図５において、金属製管状排気管５００は円筒形状の排気管であり、該金属製管状排気管５００の表面はメッキ処理部位５０４で表面処理されており、金属製排気管封止部位５０１は金属製管状排気管５００の封止予定部位であり、金属製管状排気管５００の他の部位より薄い事を示している。
【００６７】
更に、密封容器に接続するための接続用部材５０３と、気密性を保持するための密封性接着剤５０２を用いて接続した金属製管状排気管５００からなる構成の排気管を用いることができる。
【００６８】
密封性接着剤５０２としては、銀ロウ部材等を使用する事ができるが、気密性が保持されれば、その他の接着部材であっても構わない。そして、接続用部材５０３としては、鉄とニッケルを含む合金部材を用いる事ができる。
【００６９】
図６は、図５で示した構成の排気管を密封容器６０１と排気系装置(不図示)に接続する一例を示し、密封容器６０１とは接続用部材５０３を低融点ガラス６０３で接続し、排気系機構（装置）とは金属製管状排気管５００を排気管接続部６０４のＯ‐リング６０６を用いて接続している一例を示している。
【００７０】
図６に示す密封容器６０１と接続用部材５０３との接続方法の一例としては、密封容器６０１を封着する際に図５に示す排気管の接続用部材５０３を低融点ガラス６０３で同時に接続することで、排気管の接合した密封容器６０１を作製する。
【００７１】
更に、図６に示すように、Ｏ−リング６０６を用いた排気管接続部６０４で、排気装置側に接続する事ができる。
【００７２】
図７は、排気装置との接続方法が図６とは異なる例であり、接続用部材５０５を密封性接着剤５０６で接着し、該接続用部材５０５を排気系機構側７０３の接続部７０２とを低融点ガラス７０１を用いて接続している他の例を示している。なお、接続用部材５０３と接続用部材５０５及び密封性接着剤５０２と密封性接着剤５０６は同一材質である。
【００７３】
図８は、排気管部における個別の放出ガス測定を行うために、図７に示す密封容器６０１をガラス基板８０１にし変えて、ガラス基板８０１と排気管からなる構成を示している。
【００７４】
また、図９は、本発明による金属製管状排気管封止部位を有する排気管構成の他の例を示したものである。
図９において、金属製管状排気管５００は円筒形状の排気管であり、該金属製管状排気管５００の表面はメッキ処理部位５０４で表面処理されており、金属製排気管封止部位５０１は金属製管状排気管５００の封止予定部位であり、金属製管状排気管５００の他の部位より薄い事を示している。
【００７５】
金属製管状排気管５００は、図９に示すように、密封容器に対しては密封容器側接続用部材１１０１を用い、接続用部材５０３とは気密性を保持するために低融点ガラス６０３を使用して接続し、また金属製管状排気管５００とは密封性接着剤５０２を使用して接続された構成の排気管を好適に用いることができる。
【００７６】
密封性接着剤５０２としては、銀ロウ部材等を使用する事ができるが、気密性が保持されれば、その他の接着部材であっても構わない。そして、接続用部材５０３としては、鉄とニッケルを含む合金部材を用いる事ができる。また、低融点ガラス６０３にはフリットガラスが好適に用いられるが、密封性接着剤５０２と同様に、機密性が保持さればその他の接着剤であっても構わない。
【００７７】
図１０は、図９で示した構成の排気管が、密封容器６０１と低融点ガラス６０３で接続され、排気系装置とは金属製管状排気管５００を排気管接続部６０４のＯ‐リング６０６を用いて接続している一例を示している。
【００７８】
図１０に示す密封容器６０１と接続用部材５０３との接続方法の一例としては、以下のような方法を用いて行うことができる。
【００７９】
密封容器６０１を封着する際に図９に示す密封容器側接続用部材９０１を低融点ガラス６０３で同時に接続することで、密封容器側接続用部材１１０１の接合した密封容器６０１を作製する。
【００８０】
その一方で、接続用部材５０３をあらかじめ金属製管状排気管５００に密封性接着剤５０２を用いて接続した排気管部材を準備しておく。
【００８１】
排気系装置に接続する前に、前述した密封容器側接続用部材９０１と接続用部材５０３を密封性接着剤５０２を用いて接続し、図１０に示すような密封容器に接続された排気管構成を作製する。
【００８２】
更に、図１０に示すように、O-リング６０６を用いた排気管接続部６０４で、排気装置側に接続する事ができる。
【００８３】
図１１は、排気装置との接続方法が図１０の例とは異なる例であり、接続用部材５０５を密封性接着剤５０６で接着し、更に排気系側接続用部材１１０１を低融点ガラス１１０２で接続し、該排気系側接続用部材１１０１を排気系機構側７０３の接続部７０２とを低融点ガラス７０１を用いて接続している他の例を示している。なお、接続用部材５０３と接続用部材５０５及び密封性接着剤５０２と密封性接着剤５０６、密封容器側接続用部材９０１と排気系側接続用部材１１０１は同一材質である。
【００８４】
図１２は、排気管部における個別の放出ガス測定を行うために、図１１に示す密封容器をガラス基板８０１に変えて、ガラス基板８０１と排気管からなる構成にした一例を示している。
【００８５】
図１３は図１に示す画像表示装置を図４に示す工程で圧着封止する際に用いた製造装置の一例を示す。
ビット４０４の位置を位置検出器１３０２を用いて排気管封止部位の圧着状態を検知し、制御装置１３０１で油圧装置４０５を制御する製造装置を示す。
【００８６】
図１は、本発明における画像表示装置としての密封容器の構成を示す概略図の一例である。
図１において、１０１はリアプレート、１０５は透明なガラス基板であるフェースプレート、１０７はフェースプレート１０５の内側に塗布された蛍光体、１０６は蛍光体１０７の表面に施されたメタルバック、１０９は外枠、１０８は低融点ガラスとしてのフリットガラス、１１０は密封容器内の圧力維持のために設置されたゲッタである。
【００８７】
図２（ａ）は、リアプレート１０１上に設置された表面伝導型電子放出素子、及び、同電子源を駆動するための配線などの一部を示した概略図である。
同図において、２００は複数ある内の一つの表面伝導型電子放出素子、２０２は上配線、２０１は下配線、２０３は上配線２０２と下配線２０１を電気的に絶縁する層間絶縁膜、２０４は配線パッドを示している。
【００８８】
図２（ｂ）は表面伝導型電子放出素子２００の構造を拡大して示した概略図である。
同図において、２０５、２０６は素子電極、２０７は導電性薄膜、２０８は電子放出部である。
【００８９】
図３は画像表示装置のブロック図を示した一例である。
同図において、３０８は画像表示装置、３０２は表示装置本体としての平板状表示パネル、３０１は平板状表示パネル内における画像表示部、３０４，３０５は素子電極（図２（ｂ）における２０５，２０６）に電圧を印加するための変調信号側Ｘｎ(図２（ａ）における下配線２０１)配線と、走査信号側Ｙｎ（図２（ａ）における上配線２０２）配線を表し、３０６は変調信号側Ｘｎ配線と、走査信号側Ｙｎ配線を駆動するための駆動回路部を表し、高圧印加装置３０７は、前述のフェースプレートに電子を衝突させるため、フェースプレート側に高電圧を印加するための装置を示している。
【００９０】
まず、表面伝導型電子放出素子を用いた平板型画像表示装置例について述べる。
図１の構成において、リアプレート１０１としてソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、SiO2を表面に形成したガラス基板及び、アルミナ等のセラミック基板等の絶縁性基板が用いられ、フェースプレート１０５としては透明なソーダガラス等のガラス基板が用いられる。
【００９１】
表面伝導型電子放出素子１０２(図２（ａ）における２００)の素子電極１０４(図２（ｂ）における２０５，２０６)の材料としては、一般的導電体が用いられ、例えば、Ni，Cr，Au，Mo，W，Pt，Ti，Al，Cu，Pd等の金属或いは合金、及び、Pd，Ag，Au，RuO2，Pd−Ag等の金属或いは金属酸化物とガラス等から構成される印刷導体、In2O3−SnO2等の透明導電体、及び、ポリシリコンなどの半導体材料等から適宜選択される。
【００９２】
素子電極の作製法は真空蒸着法、スパッタ法、化学気相堆積法等を用いる事で上記電極材料を成膜でき、フォトリソグラフィ技術(エッチング、リフトオフなどの加工技術も含む)等によって所望の形状に加工するか、その他の印刷法によっても作製可能である。
要するに、前記の素子電極材料の形状を所望の形状に形成できればよく、特に製法は問わない。
【００９３】
図２（ｂ）に示す素子電極間隔Ｌは好ましくは数百ｎｍから数百μｍである。再現性良く作製する事が要求されるため、より好ましい素子電極間Ｌは数μｍから数十μｍである。
【００９４】
素子電極長さＷは電極の抵抗値、電子放出特性等から数μｍから数百μｍが好ましく、また、素子電極２０５、２０６の膜厚は数十ｎｍから数μｍが好ましい。
【００９５】
なお、図２（ｂ）に示した構成だけでなく、リアプレート１０１上に導電性薄膜２０７、素子電極２０５、２０６の電極の順に形成させた構成にしてもよい。
【００９６】
導電性薄膜２０７は良好な電子放出特性を得るためには、微粒子で構成された微粒子膜が特に好ましく、その膜厚は、素子電極２０５、２０６へのステップカバレージ、素子電極２０５、２０６間の抵抗値及び、後述する通電フォーミング条件などによって設定されるが、好ましくは0.1ｎｍから数百ｎｍで、特に好ましくは１ｎｍから５０ｎｍである。
【００９７】
その抵抗値は、Rsが102〜107Ω/□の値である。なおRs は、厚さがt、幅がw、長さがlの薄膜の抵抗Rを、R=Rs(l/w)とおいたときに現れる量である。また、導電性薄膜２０７を構成する材料は、Ｐｄ,Ｐｔ,Ｒｕ,Ａｇ,Ａｕ,Ｔｉ,Ｉｎ,Ｃｕ,Ｃｒ,Ｆｅ,Ｚｎ,Ｓｎ,Ｔａ,Ｗ,Ｐｂ等の金属、ＰｂＯ,ＳｎＯ2,Ｉｎ2Ｏ3,ＰｂＯ,Ｓｂ2Ｏ3等の酸化物、ＨｆＢ2,ＺｒＢ2,ＬａＢ6,ＣｅＢ6,ＹＢ4,ＧｄＢ4等の硼化物、ＴｉＣ,ＺｒＣ,ＨｆＣ,ＴａＣ,ＳｉＣ,ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ,ＺｒＮ,ＨｆＮ等の窒化物、Ｓｉ,Ｇｅ等の半導体、カーボンなどを挙げる事ができる。
【００９８】
なお、ここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、或いは重なり合った状態(島状も含む) の膜を指しており、微粒子の直径は0.1ｎｍから数百ｎｍであり、好ましくは、１ｎｍから２０ｎｍである。
【００９９】
導電性薄膜２０７の作製法は素子電極２０５、２０６を設けたリアプレート１０１に、有機金属溶液を塗布して乾燥させる事により有機金属薄膜を形成する。
ここで、有機金属溶液とは、前述の導電性薄膜２０７を形成する金属を主元素とする有機金属化合物の溶液の事を言う。
【０１００】
その後、有機金属薄膜を加熱焼成処理し、リフトオフ、エッチング等によりパターニングし、導電性薄膜２０７を形成する。
【０１０１】
なお、導電性薄膜２０７を形成として、有機金属溶液の塗布法により説明したが、これに限るものでなく真空蒸着法、スパッタ法、化学気相堆積法、分散塗布法、ディッピング法、スピンナー法等によって形成される場合もある。
【０１０２】
電子放出部２０８は導電性薄膜２０７の一部に形成された高抵抗の亀裂であり、通電フォーミングと呼ばれる処理により形成される。
通電フォーミングは、素子電極２０５、２０６間に不図示の電極より通電を行い、導電性薄膜２０７を局所的に破壊、変形もしくは変質せしめ、構造を変化形成させるものである。
【０１０３】
通電時の電圧波形は特にパルス波形が好ましく、パルス波高値が一定の電圧パルスを連続的に印加する場合とパルス波高値を増加させながら、電圧パルスを印加する場合とがある。
【０１０４】
一例として、パルス波高値が一定電圧とした場合に付いて説明する。
パルス波形は三角波形を用い、パルス幅を数μsec〜１０msec、パルス間隔を数μsec〜１００msec、波高値( 通電フォーミング時のピーク電圧  )を表面伝導型電子放出素子２００の形態に応じて適宜選択し、好ましい大気圧以下の圧力、例えば、６.６７×１０-3Pa程度以下の圧力下で、数秒から数十分印加する。
【０１０５】
なお、素子電極２０５、２０６間に印加する波形は三角波形に限定する事はなく、矩形波など所望の波形を用いてもよい。
【０１０６】
一方、徐々に波高値を増加させながら電圧パルスを印加する場合は、三角波の波高値(通電フォーミング時のピーク電圧)は、例えば、０.１Vステップ程度づつ増加させ、適当な圧力下で印加する。
【０１０７】
なお、この場合の通電フォーミング処理はパルス間のある時間、導電性薄膜３０７を局所的に破壊、変形しない程度の電圧、例えば、０.１V程度の電圧を印加し、素子電流を測定し、抵抗値を求め、例えば、１MΩ以上の抵抗を示したときに通電フォーミングを終了としても良い。
【０１０８】
通電フォーミングが終了した素子に、活性化と呼ぶ処理を施す事が望ましい。
活性化処理とは、例えば、1.33×１０-2〜１０-3Pa程度の圧力で、通電フォーミング同様、適当な圧力中に存在する有機物質に起因する炭素、及び、炭素化合物を導電性薄膜上に堆積させ素子電流(素子電極２０５、２０６間に流れる電流)、放出電流(電子放出部２０８より放出される素子電流)を著しく変化させる処理である。
【０１０９】
活性化処理は素子電流と放出電流を測定しながら、例えば、放出電流が飽和した時点で終了する。
【０１１０】
印加する電圧パルスは画像表示時の動作駆動電圧化、それよりも大きな電圧で行う事が好ましい。形成された亀裂内には、０.１ｎｍから数十ｎｍの粒径の導電性微粒子を有する事もある。導電性微粒子は導電性薄膜２０７を構成する物質の少なくとも一部の元素を含んでいる。また、電子放出部２０８及び、その近傍の導電性薄膜２０７は炭素及び、炭素化合物を有する事もある。
【０１１１】
なお、表面伝導型電子放出素子２００としてリアプレート１０１の面上に平面状に表面伝導型電子放出素子２００を形成した平面型の他、リアプレート１０１に垂直な面上に形成した垂直型でもよく、更には、熱カソードを用いた熱電子源、電界放出型電子放出素子等、要するに電子放出素子を用いた平板型画像表示装置を例にするならば、電子を放出する素子であれば、特に制限はされない。
【０１１２】
次に、表面伝導型電子放出素子２００の配列、及び、同素子に画像表示用の電気(電力)信号を供給する配線に付いて説明する。
【０１１３】
配線の例としてそれぞれ直交した二つの配線(Y：上配線２０２、及び、X：下配線２０１、これを単純マトリクス配線と呼ぶ)を用いる事ができ、表面型電子放出素子２００の素子電極２０５、２０６のそれぞれに、上配線２０２からは配線パッド２０４を通して、下配線２０１からは直接電気的に接続する。
【０１１４】
上配線２０２、配線パッド２０４、及び、下配線２０１はスクリーン印刷法、オフセット印刷法などの印刷法によって複数作製する。
【０１１５】
使用する導電性ペーストは、Ａｇ,Ａｕ,Ｐｄ,Ｐｔ等の貴金属、Ｃｕ,Ｎｉ等の卑金属の単独、ないしは、これらを任意に組み合わせた金属を含み、印刷機で配線パターンを印刷後、５００℃以上の温度で焼成する。形成された上下印刷配線などの厚さは、数μｍ 〜数百μｍ程度である。
【０１１６】
更に、少なくとも上下配線２０２と下配線２０１が重なるところには、ガラスペーストを印刷、焼成(５００℃以上)した厚さ数〜数百μｍ程度の層間絶縁膜２０３を挟み、電気的な絶縁をとる。
【０１１７】
Y方向の上配線２０２の端部は表面伝導型電子放出素子２００のY側の行を入力信号に応じて走査するための画像表示信号である走査信号を印加するため、図３に示すように、走査側電極駆動手段としての駆動回路部３０６と電気的に接続されることになる。
【０１１８】
一方、X方向の下配線の端部は、表面伝導型電子放出素子２００の列の各列を入力信号に応じて変調するための画像表示信号である変調信号を印加するため、図３に示すように、変調信号駆動手段としての駆動回路部３０６と電気的に接続されることになる。また、リアプレート１０１には真空排気するための穴が設けられている。
【０１１９】
フェースプレート１０５の内側に塗布された蛍光体１０７はモノクロームの場合は単一の蛍光体のみからなるが、カラー画像を表示する場合、赤、緑、青の三原色を発光する蛍光体とブラックストライプ或いは、ブラックマトリックスを境界にして画素を形成する必要がある。
【０１２０】
作製法としては蛍光体スラリーを用いたフォトリソグラフィー法、或いは印刷法があり、所望の大きさの画素にパターニングし、それぞれの色の蛍光体を形成する。
【０１２１】
更に、高分子膜のフィルミングによりアルミニウム等の金属薄膜を成膜し、作製したメタルバック１０６を蛍光体１０７の表面に塗布する。メタルバック１０６には高電圧を印加するため、図３に示すように、高圧印加装置と３０７と電気的に接続されることになる。
【０１２２】
フェースプレート１０５には、更に導電性を高めるため蛍光体１０７とフェースプレート１０５の間に透明導電薄膜を設けてもよい。
【０１２３】
外枠１０９の材質としてフェースプレート１０５、又はリアプレート１０１と同材質、或いはそれらとほぼ同程度の熱膨張率を持つガラス、セラミックス、又は、金属などを使用する事ができる。
【０１２４】
更に、外枠１０９にはゲッタ１１０を設置する。或いは、外枠以外の支持部材を密封容器内部に設置し、これにゲッタを設置することもできる。
【０１２５】
リアプレート１０１、外枠１０９、フェースプレート１０５の順に挟み、フリットガラス１０８をフェースプレート１０５、リアプレート１０１と外枠１０９が接する部分に塗布し、また、リアプレート１０１の穴にリアプレート１０１と下記に示す関係式からなる熱膨張係数を持つ排気管１１１を設置し、接続部にフリットガラス１０８を塗布し、電気炉などで加熱し封着する。
【０１２６】
リアプレートの熱膨張係数をＡ、排気管の接続部材の熱膨張係数をＢ、フリットガラスの熱膨張係数をＣとすると、
Ａ×0.95≦Ｂ≦Ａ×1.10、Ａ×0.75≦Ｃ≦Ａ×1.05、Ｂ×0.75≦Ｃ≦Ｂ×1.0
の関係式が成り立つ。
【０１２７】
本発明においては、図５に示すような構成の排気管を初め作製しておいて、排気管１１１として密封容器の封着を行う際に同時に接合する事により、本発明で述べる密封容器を得る事ができる。
【０１２８】
図５に示すような構成の排気管を作製する方法は、まず金属製管状排気管５００を旋盤などで研削し、金属製排気管封止部位５０１を作製する。研削する量は、排気管としての強度を保持しながらピンチャーで切断し易くなる量が良く、金属製管状排気管５００の厚みの３０％から７０％の研削量が適宜用いられる。
【０１２９】
次に、研削された金属製管状排気管５００をメッキ処理する。メッキは金属性管状排気管５００の表面が熱による酸化で金属酸化物の形成を防止するために行い、金属製管状排気管５００の表面にメッキ処理部位５０４が形成されていれば良い。
【０１３０】
メッキ処理を行う方法としては、電解メッキ、無電解メッキ、合金メッキ、複合メッキ、レイデント、アルマイト処理等々から適宜選択することができる。メッキ処理により形成されるメッキ処理部位５０４の厚みは１μｍ〜１０００μｍから適宜選択され、好ましくは５μｍ〜２００μｍが適宜用いられる。
【０１３１】
次に、接続用部材５０３を密封性接着剤５０２で接着して排気管１１１を作製する。
また、他の排気管構成例として図９に示すように、接続用部材５０３に密封容器側接続用部材９０１を低融点ガラス９０２で接着した構成の排気管１１１を用いることもできる。
【０１３２】
なお、密封容器側接続用部材９０１は予め密封容器６０１に接着しておいて、その後接続用部材５０３の接着された排気管と接続しても良いし、密封容器側接続用部材９０１を接着した排気管１１１を密封容器に接続しても良い。
【０１３３】
外枠１０９の材質は、フェースプレート１０５又はリアプレート１０１と同材質、或いはそれらとほぼ同程度の熱膨張率を持つガラス、セラミックス又は金属などを使用する。
【０１３４】
更に、外枠１０９にはゲッタ１１０を設置する。そして、フリットガラス１０８をフェースプレート１０５及びリアプレート１０１と外枠１０９が接する部分に塗布し、リアプレート１０１、外枠１０９、フェースプレート１０５を接触させる。
【０１３５】
また、リアプレート１０１には、穴（図示せず）が設けられており、そこに、リアプレート１０１と排気管１１１を設置し、その接続部にもフリットガラス１０８を塗布し、電気炉などで加熱し封着する。
【０１３６】
なお、カラー表示の画像表示装置の場合は表面伝導型電子放出素子１０２と蛍光体１０７の画素(不図示)を一対一に対応させるため、フェースプレート１０５とリアプレート１０１の位置合わせを行い封着する。
【０１３７】
以上の工程により、リアプレート１０１、外枠１０９、フェースプレート１０５で囲まれる空間は、大気圧以下の圧力に密封維持可能な容器が形成される。
排気管１１１の端部には排気系につながったアダプタ（図６及び図１０における,排気管接続部６０４、図７及び図１１における排気系機構側の接続部７０２）を接続し、排気系装置によって前記密封容器内を概ね１.３３×１０-3Ｐａ程度以下の圧力まで減圧排気する。
【０１３８】
更に、前述の通電フォーミング、すなわち素子電極１０４（図２（ｂ）における２０５、２０６）にフォーミング用電気信号を印加し、通電処理を行い、更には活性化処理を行う。
【０１３９】
次に、前記密封容器内を前記排気系装置によって減圧排気しながら前記密封容器全体を加熱脱ガスする。
【０１４０】
次に、ゲッタ１１０を外部より高周波加熱し、Ｂａを主成分とするゲッタ材をフラッシュする。
【０１４１】
次に、図４に示すように排気管１１１のチップオフ工程について説明する。
まず、図４（ａ）に示すように、ピンチャー４０２の固定側ビット４０４ａが金属製排気管封止部位４０１の端面の位置になり、稼動側ビット４０４ｂが金属製排気管封止部位４０１の端面から離れた位置になるようにセッティングする。
【０１４２】
次に、図４（ｂ）に示すように、油圧装置４０５からの油圧圧力を加えることにより、稼動側ビット４０４ｂを稼動させ、固定側ビット４０４ａとの間で排気管１１１の金属製排気管封止部位４０１を潰し、その径を小さくする。
【０１４３】
次に、図４（ｃ）に示すように、稼動側ビット４０４ｂで更に金属製排気管封止部位４０１を潰し、金属製排気管封止部位４０１の肉厚以下にまで排気管形状を変形させ、圧着封止する。
【０１４４】
次に、図４（ｄ）に示すように、圧着封止終了後、油圧装置４０５からの油圧圧力を停止し、稼動側ビット４０４ｂを圧着封止された金属製排気管封止部位４０１から引き離す。
【０１４５】
上述した一連の処理により、密封容器は、画像表示装置となる。上述したように作製した画像表示装置において、上配線２０２に接続された走査駆動手段（図３における３０５、３０６）、下配線２０１に接続された変調駆動手段（図３における３０４、３０６）より、各表面伝導型電子放出素子１０２、２００に画像信号である走査信号と変調信号を提供する。
【０１４６】
それらの差電圧として駆動電圧すなわち電気信号が印加され、導電性薄膜２０７を電流が流れ、その一部が亀裂である電子放出部２０８より電子が前記電気信号に従った電子ビームとなって放出され、メタルバック１０６、蛍光体１０７に印加された高電圧(１〜１０ＫＶ)によって加速され、蛍光体１０７に衝突し蛍光体を発光させ、画像を表示する。
【０１４７】
なお、ここでのメタルバック１０６の目的は、蛍光体のうち内面側への光をフェースプレート１０５側へ鏡面反射する事により輝度を向上する事、電子ビーム加速電圧を印加するための電極として作用する事、前記密封容器内で発生した負イオンの衝突によるダメージからの蛍光体１０７の保護などである。
【０１４８】
上述した電子源として表面伝導型電子放出素子のほか、電界放出型電子放出素子を用いたものや、単純マトリクス型のほか、電子源から出た電子ビームを制御電極(グリッド電極配線)を用いて制御し画像を表示する画像表示装置、プラズマ放電を利用した画像表示装置などにおいても、本発明の画像表示装置の製造法を応用する事ができる。
【０１４９】
要するに、密封容器に排気管が接続されており、この排気管を用い、密封容器内を大気圧以下に保持する事を必要とする機器・装置であれば、本発明の金属製管状排気管封止部位を有する画像表示装置の製造方法、製造装置、及び画像表示装置は応用ができる。
【実施例】
【０１５０】
以下、本発明について、実施例を用いて具体的に説明する。  （実施例１）
図４〜図５、図８、図１４、図１５を用いて本発明について説明する。
厚さ２.８mmのソーダガラス基板（ＳＬ；日本板ガラス製  熱膨張係数：８６×１０-7（１/℃））製の容器を準備した。
【０１５１】
次に、図５に示すように、金属製管状排気管５００として、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）長さ１００ｍｍの銅製排気管を使用し、金属製管状排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍに旋盤装置で研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成した。
【０１５２】
次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に形成した。
【０１５３】
次に、接続用部材５０３には外径１０ｍｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金であるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を前記銅製排気管にあわせ、図５に示す構成を保持できるように円筒形に加工し、更に、金属製排気管封止部位の部材と密封性接着剤５０２として銀ロウ部材を使用し、金属製管状排気管５００に密封性を確保しつつ接続した。更に、図８に示すように金属管状排気管５００の排気系機構７０３側に銀ロウ部材５０６を使用し、接続用部材５０５を接続しソーダガラス基板に接続する排気管を作製した。
【０１５４】
このようにして準備、作製した排気管に対してソーダガラス基板８０１と接続するために、フリットガラス６０３（日本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８１  熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用いて、４１０℃、２０分間加熱して固定接続した。ガラス基板端面から排気管の接続用部材５０３端部まで、約１３５ｍｍであった。
【０１５５】
上述のように作製したものにはガラス基板にクラックや割れ等は全く発生していなかった。この容器を排気系装置の台(不図示)に固定する。
【０１５６】
その後、図８に示すように金属製管状排気管５００の接続用部材５０５と排気系機構側の接続部７０２とを、上述したものと同じフリットガラス７０１を用いて密封接続した。
【０１５７】
なお、不図示ではあるが、排気系装置には、排気管接続部７０２以降に圧力の観察に用いられる真空ゲージ（通称  BAゲージ）、排気中のガス種の観察、或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられる四重極質量分析装置(通称  Q-mass)および、差圧流量法(通称、オリフィス法又はスループット法)によるガス放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置されている。
【０１５８】
上記のように排気系装置の台(不図示)上にセッティングされた銅排気管を通して真空ポンプ等の外部の排気系装置(不図示)により、圧力が１.３３×１０-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リークチェックを行ったがリークは無かった。
【０１５９】
次に、前記容器を２５０℃で８時間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。内部の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をはじめとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持するため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱することは有効である。
【０１６０】
加熱脱ガス後の排気管内部の雰囲気情報は、排気系装置側の接続部以降に取り付けられた真空ゲージとQ-mass（四重極質量分析装置）、及び封止直後の放出ガス観察のためのオリフィス法に必要な圧力計(真空計)の数値から観察を行った。
【０１６１】
容器の温度が室温まで戻り、雰囲気が安定するまで待った後、銅排気管の中心部を（ガラス基板から約６７．５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に排気系装置側より容易に切り離れた。
【０１６２】
なお、銅排気管の外径などが更に大きくなった場合は、住電朝日精工（株）製パイプ締切装置ＡＬＭ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。
【０１６３】
ガラス基板表面から銅排気管を観察すると、図１５に示すように銅排気管内部に異物等は無くきれいなことが観察された。
【０１６４】
本実施例における封止直後の放出ガス量の変化を図１４に示す。なお、図１４に記載される『封止での総放出ガス量』とは、封止直後から1000秒後までの放出ガス積算量の値である。
【０１６５】
（参考例１）
実施例１で使用した銅排気管封止部位を有する排気管構成に替えて、図１７に示すようなガラス製排気管として外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ１２０ｍｍのソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日本電気ガラス製）と、ガラス製排気管を加熱溶融するための加熱封止冶具をあらかじめ取り付けておいた容器を用いた以外は実施例１と同様の処理を行い、加熱脱ガスまでを行った。
【０１６６】
その後、容器の温度が室温まで戻り、雰囲気が安定するまで待った後、加熱封止冶具を用いて、ガラス製排気管を軟化・溶融させ、更に排気系機構側の接続部７０２を管軸方向の排気系機構７０３側へ移動させることで軟化・溶融したガラス部位を延伸させた。
【０１６７】
引き続き、延伸変形した部位をハンドガスバーナーを用いて溶断し、封止を完了させた。
【０１６８】
なお、ガラス製排気管を加熱し軟化・溶融した状態で管軸方向の排気装置側に延伸するための機構は、図１７では不図示となっている。
【０１６９】
本参考例における封止直後の放出ガス量の変化を図１４に示す。
実施例１、参考例１での封止直後の放出ガス変化から明らかなように、金属製封止部位を封止した場合、放出ガスの増大、すなわち圧力の変化が非常に少ない事がわかる。
【０１７０】
また、ガラス製排気管の加熱溶融により封止処理放出されるガス種は、ガラス内に含有される構造水が最も多いことも判明した。
【０１７１】
画像表示装置としての密封容器が、同様にガラス製排気管の加熱溶融による封止を用いた製造方法で作製された場合、放出された構造水などが、電子放出する電子源にとって悪影響を及ぼすことは明白である。
【０１７２】
これを防ぐには、封止時の放出ガスをすばやく吸着させる機構・部材の設置や、密封容器内に設置されたゲッタ部材などが放出ガスを充分に吸着排気するまで放置しておくしかなく、密封容器内の構成を複雑にしたり、生産タクトの短縮化への障害になることは明らかである。
【０１７３】
（参考例２）
実施例１で銅排気管の封止部位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、容器を作製した。
銅排気管の中心部を（ガラス基板から約６５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着されて真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れなかった。
【０１７４】
圧着封止部が完全に切り離されなかったため、別途金属はさみを用いて切り離す必要があった。
【０１７５】
（参考例３）
実施例１で銅排気管にＮｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にして、容器を作製した。
封止後の放出ガス量変化は実施例1と同様に良好な結果であった。
【０１７６】
次に、ガラス基板表面から銅排気管を見ると、図１５に示すように多数の異物が銅排気管内部に多数存在しているのが観察された。
排気管をガラス基板から引き剥がし、銅排気管内部にある異物を分析したところ、銅の酸化物であることが判明した。
【０１７７】
（参考例４）
実施例１で接続用部材５０３を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したものには、排気管をフリットガラスで加熱接続する際に、ソーダガラス基板にクラックが生じてしまったものがあった。
【０１７８】
実施例１、参考例１〜参考例４の結果よりも明らかなように、ガラス製排気管封止処理と比較し、金属製排気管封止部位を有する排気管を用いての封止処理はガス放出量の方が明らかに少ない。
【０１７９】
更に、金属製排気管封止部位が他に比べ薄くなっていることで、排気管の強度を保ちつつ容易に圧着し封止することができ、封止の歩留まりが高い。
【０１８０】
更に、金属排気管をあらかじめメッキ処理しておくことで、金属酸化物の発生を防ぐことができ、排気管内に異物の混入が無い。
【０１８１】
更に、熱膨張係数を考慮した接続用部材を密封容器に対して用いることで、排気管接続時にガラス基板にクラックが生じないので、排気管接続の歩留まりが高い。
【０１８２】
（実施例２）
画像表示装置としての密封容器１１２の作製方法について、図１〜図６を使って説明する。
リアプレート１０１として厚さ2.8mm、大きさ240mm×320mm、フェースプレート１０５として厚さ2.8mm、大きさ190mm×270mmのソーダガラス(ＳＬ；日本板ガラス製熱膨張係数：８６×１０-7（１/℃）)を用いた。
【０１８３】
リアプレート1０1には、穴径Φ６.0mmの排気管用の穴が一箇所開いている。
電子源である表面伝導型電子放出素子１０２の素子電極１０４は、白金を蒸着法によって成膜し、フォトリソグラフィ技術(エッチング、リフトオフ法等の加工技術を含む)によって加工し、膜厚１００nｍ、電極間隔L=２μｍ、素子電極長さW＝３００μｍの形状に加工した。
【０１８４】
導電性薄膜２０７として有機金属溶液である有機パラジウム(奥野製薬(株)製、ＣＣＰ-４２３０)含有溶液を塗布した後、３００℃で１０分間の加熱処理をして、パラジウムを主成分とする微粒子(平均粒径8ｎｍ)からなる微粒子膜を形成し、フォトリソグラフィ技術(エッチング、リフトオフなどの加工技術を含む)によって加工し、２００×１００μmの導電性薄膜２０７とした。
【０１８５】
次に、上配線２０２(１００本)の幅は５００μm、厚さ１２μm、下配線２０１(２００本)配線パッド２０４(２００００個)の幅は３００μm、厚さは８μmであり、それぞれＡｇペーストインキを印刷、焼成し形成した。
【０１８６】
層間絶縁層２０３はガラスペーストを印刷、焼成(焼成温度５５０℃)し、厚さは２０μmとした。
【０１８７】
一方、フェースプレート１０５には、蛍光体１０７として、グリーンの蛍光体(化成オプトニクス(株)製、Ｐ２２ＧＮ４)を塗布し、更にメタルバック１０６として厚さ２００nmのアルミニウムを、高分子フィルミングを用いて作製した。
【０１８８】
外枠１０９の形状は、厚さ６mm、外形１５０mm×２３０mm、幅１０mm、材質はソーダガラス(ＳＬ；日本板ガラス製  熱膨張係数：８６×１０-7（１/℃）)を用い、ゲッタ１１０としてバリウムゲッタを取り付けた。
【０１８９】
前記外枠１０９をリアプレート１０１と前記フェースプレート１０５で挟み、該フェースプレート１０１、リアプレート１０５と外枠１０９が接する部分に塗布するフリットガラス１０８として、日本電気ガラス(株)製のＬＳ-３０８１（熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用い、４１０℃、２０分間加熱し固定した。
【０１９０】
次に、排気管として図５で示す金属製排気管封止部位５０１を持つ金属製管状排気管５００として、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）長さ１００ｍｍの銅製排気管を使用し、旋盤装置により金属製管状排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍに研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成した。
【０１９１】
次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に形成した。
【０１９２】
次に、接続用部材５０３には外径１０ｍｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金であるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を前記銅製排気管にあわせ、密封性接着剤５０２として銀ロウ部材を使用し、密封性を確保しながら接続し、ソーダガラス基板に接続する排気管を作製した。
【０１９３】
このようにして準備、作製した排気管をリアプレート１０１の排気用穴に図６で示すような密封容器側からの管状排気管（密封容器側接続用部材５０５）として、上述したフリットガラスを用いて４１０℃、２０分間加熱して固定接続した。リアプレート裏面から排気管の銅排気管５００端部まで、１１５ｍｍであった。
【０１９４】
上述のように作製した、密封容器はクラックや割れ等は全く発生していなかった。この密封容器を排気系装置の台(不図示)に固定する。
【０１９５】
その後、図６に示すように銅製排気管端部を、Ｏ‐リングを用いた排気装置側接続部６０１に接続した。
【０１９６】
なお、実施例１で前述したように、排気系装置には排気管接続部以降に圧力の観察に用いられる真空ゲージ（通称  BAゲージ）、排気中のガス種の観察、或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられる四重極質量分析装置(通称  Q-mass)および、差圧流量法(通称、オリフィス法又は、スループット法)によるガス放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置されている。
【０１９７】
上記のように排気系装置の台(不図示)上にセッティングされた密封容器内を排気管１１１、すなわち本発明においては、銅排気管封止部位を有する排気管を通して外部の真空排気系(不図示)により、圧力が1.33×１０-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リークチェックを行ったがリークは無かった。
【０１９８】
フォーミングは三角波形(底辺１msec、周期１０msec、波高値５Ｖ)の電圧パルス６０秒間印加し、電子放出部２０８を形成し、更に、活性化も行った。
【０１９９】
次に前記密封容器全体を２５０℃で８時間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。
密封容器内部の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をはじめとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持するため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱することは有効である。
【０２００】
次に、ゲッタ部材１１０を外部より高周波加熱し、Ｂaを主成分とするゲッタ材の蒸着膜を形成させる、ゲッタ処理を行った。
加熱脱ガス、ゲッタ処理後の密封容器内部の圧力と雰囲気情報は真空ゲージとQ-mass（四重極質量分析装置）とで監視を行った。
【０２０１】
密封容器が室温まで戻った後、金属製排気管封止予定部位を住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、封止予定部位を圧着し封止を行った。圧着封止部分は完全に切り離され、画像表示装置を作製した。
【０２０２】
ゲッタ部材蒸着膜に変化は無いことから、ゲッタ部材の蒸着膜を変化させるガス種の発生が無いことや、密封容器内の圧力が維持されている事がわかる。
【０２０３】
なお、金属製排気管の外径などが大きくなった場合は、住電朝日精工（株）製
パイプ締切装置  ＡＬＭ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。
【０２０４】
上述の方法で金属性排気管封止部位を封止した画像表示装置を用い、図３に示すような画像表示手段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、同時に蛍光体１０７とメタルバック１０６に５KV印加し発光させ、表示動作を確認したところ、明るくて、均一な画像表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方法で画像表示装置が製造できる事を確認した。
【０２０５】
（参考例５）
実施例２で使用した金属製排気管封止部位を有する排気管構成に替えて、図１６に示すような外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ１２０ｍｍのソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日本電気ガラス製）とガラス製排気管の封止冶具を取り付けた以外は、実施例２と全く同様の方法で,加熱脱ガス、ゲッタ処理までを行った。
【０２０６】
その後、参考例１と同様の方法で、加熱封止冶具を用い、ガラス製排気管を軟化・溶融させた後、排気管接続部を管軸方向の排気装置側へ移動させることで軟化・溶融したガラス部位を延伸した後、延伸変形した部位をハンドガスバーナーを用いて溶断し、封止を完了させた。
【０２０７】
封止終了後、ゲッタ部材の蒸着膜を観察したところ、排気管近傍の蒸着膜が僅かではあるが、後退縮小している事が観察された。
【０２０８】
これは、ガラス製排気管の加熱溶融封止時に放出されるガス種による影響と推測された。
【０２０９】
このように作製した画像表示装置を実施例２と同様の方法で表示動作確認をしたところ、実施例２で作製した画像表示装置と比較して、表示画面が全体的に少し暗くなっていた。
【０２１０】
また、実施例２で作製した画像表示装置と信頼性を比較するために寿命試験を行ったところ、寿命が半分程度しかなくガラス製排気管の加熱溶融封止時に放出されるガス種による影響と推測された。
【０２１１】
（参考例６）
実施例２で銅排気管の封止部位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、画像表示装置を作製した。
【０２１２】
銅排気管の中心部（ガラス基板から７５ｍｍの位置）を住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着されて真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れなかったので、金属はさみを用いて排気形装置から切り離す必要があった。
【０２１３】
（参考例７）
実施例２で銅排気管の内面にＮｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にして、画像表示装置を作製した。
この画像表示装置を分解して調べたところ、図１５に示すような異物がフェースプレート及びリアプレートの内側に多数付着しており、分析したところ銅酸化物であることがわかった。
【０２１４】
銅排気管を密封容器に接続する際に加熱することで、銅表面に銅酸化物ができ、これが銅排気管を圧着封止する際に、剥がれ落ちてパネル内に飛散したものと推測される。
【０２１５】
（参考例８）
実施例２で接続用部材５０３を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したものの中には排気管をフリットガラスで加熱接続する際に、リアプレート１０１にクラックが生じてしまうものがあった。
【０２１６】
実施例２、参考例５〜参考例８の結果よりも明らかなように、ガラス製排気管封止処理と比較し、金属製排気管封止部位を有する排気管を用いての画像表示装置製造方法の方が、封止工程の信頼性、画像表示装置製造方法の信頼性が向上する。
【０２１７】
更に、金属製排気管封止部位が他に比べ薄くなっていることで、排気管の強度を保ちつつ容易に圧着し封止することができ、画像表示装置の製造歩留まりが著しく向上する。
【０２１８】
更に、金属排気管をあらかじめメッキ処理しておくことで、金属酸化物の発生を防ぐことができ、画像表示装置の画像品位が向上する。
【０２１９】
更に、熱膨張係数を考慮した接続用部材を密封容器に対して用いることで、排気管接続時に密封容器にクラックが生じないので、画像表示装置の製造歩留まりが著しく向上する。
【０２２０】
（実施例３）
実施例２において、図７に示すＦＮ５０からなる接続用部材５０５を銀ロウ部材５０６を使用し、密封性を確保しつつ接続した銅排気管を、更に、接続用部材５０５を排気系機構側の接続部７０２に低融点ガラス７０１を用いて接続排気した以外は全く同様にして、画像表示装置を作製した。
【０２２１】
実施例２と同様に、図３に示すような画像表示手段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、同時に蛍光体１０７とメタルバック１０６に５ＫＶ印加し発光させ、表示動作を確認したところ、明るくて、均一な画像表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方法で画像表示装置が製造できることを確認した。
【０２２２】
（実施例４）
図４、図９、図１２、図１４、図１５を用いて本発明の他の実施例について説明する。
【０２２３】
厚さ２.８mmソーダガラス基板801（ＳＬ；日本板ガラス製  熱膨張係数：８６×１０-7（１/℃））製の容器を準備した。
【０２２４】
外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ３０ｍｍのソーダガラス製のガラス排気管（日本板硝子（株）製；Ｌ２９Ｆ  熱膨張係数：９２×１０-7（１/℃））を図１２で示すように、ガラス基板８０１側からの管状排気管（密封容器側接続用部材９０１）として接続するため、前述のガラス排気管をフリットガラス６０３（日本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８１  熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用いて、４１０℃、２０分間焼成し、ガラス基板８０１に接続した。
【０２２５】
次に、図９に示すように、金属製管状排気管５００として、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）長さ８０ｍｍの銅製排気管を使用し、金属製管状排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍに旋盤装置で研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成した。
【０２２６】
次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に形成した。
【０２２７】
次に、接続用部材５０３には外径１０ｍｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金であるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を前記銅製排気管にあわせ、図９に示す構成を保持できるように円筒形に加工し、密封性接着剤５０２として銀ロウ部材を使用し、金属製管状排気管５００の密封容器接続側に密封性を確保しつつ接続した。
【０２２８】
次に、図１２に示すように金属製管状排気管５００の排気系機構７０３側に、同様に接続用部材５０５を密封性接着剤５０６として銀ロウ部材を用い密封性を確保しつつ接続した。
【０２２９】
その後、排気系機構側の接続用部材５０５に、外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ３０ｍｍのソーダガラス製のガラス排気管１１０１（日本板ガラス（株）製；Ｌ２９Ｆ  熱膨張係数：９２×１０-7（１/℃））を低融点ガラス１１０２として前述のフリットガラスを用い、ハンドガスバーナ等を用いて溶融塗布し、密封接続した。
【０２３０】
このようにして準備、作製した排気管に対してソーダガラス基板８０１側の密封容器側接続用部材９０１と接続するために、フリットガラス９０２（日本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８１  熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用いて、４１０℃、２０分間加熱して固定接続した。ガラス基板端面から排気管の接続用部材５０３端部まで、１７０ｍｍであった。
【０２３１】
上述のように作製した容器を排気系装置の台(不図示)に固定する。
その後、図１２に示すように金属製管状排気管５００の排気系側接続用部材１１０１と排気系機構側の接続部７０２とを、上述したものと同じフリットガラス７０１を用いて密封接続した。
【０２３２】
なお、不図示ではあるが、排気系装置には、排気管接続部７０２以降に圧力の観察に用いられる真空ゲージ（通称  BAゲージ）、排気中のガス種の観察、或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられる四重極質量分析装置(通称  Q-mass)および、差圧流量法(通称、オリフィス法又は、スループット法)によるガス放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置されている。
【０２３３】
上記のように排気系装置の台(不図示)上にセッティングされた銅排気管を通して真空ポンプ等の外部の排気系装置(不図示)により、圧力が１.３３×１０-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リークチェックを行ったがリークは無かった。
【０２３４】
次に、前記封止検討用サンプル全体を２５０℃で８時間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。
内部の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をはじめとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持するため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱することは有効である。
【０２３５】
加熱脱ガス後の排気管内部の雰囲気情報は、排気系装置側の接続部以降に取り付けられた真空ゲージとQ-mass（四重極質量分析装置）、及び封止直後の放出ガス観察のためのオリフィス法に必要な圧力計(真空計)の数値から観察を行った。
【０２３６】
容器の温度が室温まで戻り、雰囲気が安定するまで待った後、銅排気管の中心部を（ガラス基板から８５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に排気系装置側より切り離れた。
【０２３７】
なお、銅排気管の外径などが更に大きくなった場合は、住電朝日精工（株）製パイプ締切装置ＡＬＭ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。
【０２３８】
本実施例における封止直後の放出ガス量の変化を図１４に示す。なお、図１４に記載される『封止での総放出ガス量』とは、封止直後から1000秒後までの放出ガス積算量の値である。
【０２３９】
容器のガラス基板表面から銅排気管を観察すると、図１５に示すように銅排気管内部に異物等は無くきれいなことが観察された。
【０２４０】
排気装置の圧力は、その後数日観察したが圧力は安定しており、封止部からの真空リーク発生の兆候すら見ることはできなかった。
【０２４１】
（参考例９）
実施例４で使用した銅排気管封止部位を有する排気管構成に替えて、図１７に示すようなガラス製排気管として外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ１２０ｍｍのソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日本電気ガラス製）と、ガラス製排気管を加熱溶融するための加熱封止冶具をあらかじめ取り付けておいた容器を用いた以外は実施例１と同様の処理を行い、加熱脱ガスまでを行った。
【０２４２】
その後、容器の温度が室温まで戻り、雰囲気が安定するまで待った後、加熱封止冶具を用いて、ガラス製排気管を軟化・溶融させ、更に排気系機構側の接続部７０２を管軸方向の排気系機構７０３側へ移動させることで軟化・溶融したガラス部位を延伸させた。
【０２４３】
引き続き、延伸変形した部位をハンドガスバーナーを用いて溶断し、封止を完了させた。
【０２４４】
なお、ガラス製排気管を加熱し軟化・溶融した状態で管軸方向の排気装置側に延伸するための機構は、図１７では不図示となっている。
【０２４５】
本参考例における封止直後の放出ガス量の変化を図１４に示す。
実施例４、参考例９での封止直後の放出ガス変化から明らかなように、金属製封止部位を封止した場合、放出ガスの増大、すなわち圧力の変化が非常に少ない事がわかる。
【０２４６】
また、ガラス製排気管の加熱溶融により封止処理放出されるガス種は、ガラス内に含有される構造水が最も多いことも判明した。
【０２４７】
画像表示装置としての密封容器が、同様にガラス製排気管の加熱溶融による封止を用いた製造方法で作製された場合、放出された構造水などが、電子放出する電子源にとって悪影響を及ぼすことは明白である。
【０２４８】
これを防ぐには、封止時の放出ガスをすばやく吸着させる機構・部材の設置や、密封容器内に設置されたゲッタ部材などが放出ガスを充分に吸着排気するまで放置しておくしかなく、密封容器内の構成を複雑にしたり、生産タクトの短縮化への障害になることは明らかである。
【０２４９】
（参考例１０）
実施例４で銅排気管の封止部位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、容器を作製した。
銅排気管の中心部を（ガラス基板から７０ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着されて真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れなかった。
【０２５０】
圧着封止部が完全に切り離されなかったため、金属はさみを用いて排気系装置より切り離す必要があった。
【０２５１】
（参考例１１）
実施例４で銅排気管の内面にＮｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にして、容器を作製した。
封止後の放出ガス量変化は実施例1と同様に良好な結果であった。
【０２５２】
次に、ガラス基板表面から銅排気管を見ると、図１５に示すように多数の異物が銅排気管内部に存在しているのが観察された。
排気管をガラス基板から引き剥がし、銅排気管内部にある異物を分析したところ、銅の酸化物であることが判明した。
【０２５３】
（参考例１２）
実施例４で接続用部材５０３を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したものの中には排気管をフリットガラスで加熱接続する際に、ソーダガラス基板にクラックが生じてしまうものがあった。
【０２５４】
（実施例５）
画像表示装置としての密封容器１１２の作製方法について、図１〜図４、図９〜図１０を使って説明する。
リアプレート１０１として厚さ2.8mm、大きさ240mm×320mm、フェースプレート１０５として厚さ2.8mm、大きさ190mm×270mmのソーダガラス(ＳＬ；日本板ガラス製熱膨張係数：８６×１０-7（１/℃）)を用いた。
【０２５５】
リアプレート1０1には、穴径Φ６.0mmの排気管用の穴が一箇所開いている。
電子源である表面伝導型電子放出素子１０２の素子電極１０４は、白金を蒸着法によって成膜し、フォトリソグラフィ技術(エッチング、リフトオフ法等の加工技術を含む)によって加工し、膜厚１００ｎｍ、電極間隔L=２μｍ、素子電極長さW＝３００μｍの形状に加工した。
【０２５６】
導電性薄膜２０７として有機金属溶液である有機パラジウム(奥野製薬(株)製、ＣＣＰ-４２３０)含有溶液を塗布した後、３００℃で１０分間の加熱処理をして、パラジウムを主成分とする微粒子(平均粒径８ｎｍ)からなる微粒子膜を形成し、フォトリソグラフィ技術(エッチング、リフトオフなどの加工技術を含む)によって加工し、２００×１００μｍの導電性薄膜２０７とした。
【０２５７】
次に、上配線２０２(１００本)の幅は５００μｍ、厚さ１２μｍ、下配線２０１(２００本)配線パッド２０４(２００００個)の幅は３００μｍ、厚さは８μｍであり、それぞれＡｇペーストインキを印刷、焼成し形成した。
【０２５８】
層間絶縁層２０３はガラスペーストを印刷、焼成(焼成温度５５０℃)し、厚さは２０μmとした。
【０２５９】
一方、フェースプレート１０５には、蛍光体１０７として、グリーンの蛍光体(化成オプトニクス(株)製、Ｐ２２ＧＮ４)を塗布し、更にメタルバック１０６として厚さ２００nmのアルミニウムを、高分子フィルミングを用いて作製した。
【０２６０】
外枠１０９の形状は、厚さ６mm、外形１５０mm×２３０mm、幅１０mm、材質はソーダガラス(ＳＬ；日本板ガラス製  熱膨張係数：８６×１０-7（１/℃）)を用い、ゲッタ１１０としてバリウムゲッタを取り付けた。
【０２６１】
前記外枠１０９をリアプレート１０１と前記フェースプレート１０５で挟み、該フェースプレート１０１、リアプレート１０５と外枠１０９が接する部分に塗布するフリットガラス１０８として、日本電気ガラス(株)製のＬＳ-３０８１（熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用い、４１０℃、２０分間加熱し固定した。
【０２６２】
なおこの時同時に、外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ３０ｍｍのソーダガラス製のガラス排気管（日本板ガラス（株）製；Ｌ２９Ｆ  熱膨張係数：９２×１０-7（１/℃））を図１０で示すように、密封容器６０１側からの管状排気管（密封容器側接続用部材９０１）として接続するため、前述のガラス排気管をフリットガラス６０３（日本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８１  熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用いて接続した。
【０２６３】
次に、排気管として図９で示す金属製排気管封止部位５０１を持つ金属製管状排気管５００として、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）長さ８０ｍｍの銅製排気管を使用し、旋盤装置により金属製管状排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍほど研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成した。
【０２６４】
次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に形成した。
【０２６５】
次に、接続用部材５０３には外径１０ｍｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金であるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を前記銅製排気管にあわせ、密封性接着剤５０２として銀ロウ部材を使用し、密封性を確保しながら接続し、ソーダガラス基板に接続する排気管を作製した。
【０２６６】
このようにして準備、作製した排気管は、リアプレート裏面から排気管の銅排気管５００端部まで、１１５ｍｍであった。
【０２６７】
上述のように作製した、密封容器はクラックや割れ等は全く発生していなかった。この密封容器を排気系装置の台(不図示)に固定する。
【０２６８】
その後、図１０に示すように銅製排気管端部を、Ｏ‐リングを用いた排気管接続部６０４に接続した。
【０２６９】
なお、実施例４で前述したように、排気系装置には排気管接続部以降に圧力の観察に用いられる真空ゲージ（通称、BAゲージ）、排気中のガス種の観察、或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられる四重極質量分析装置(通称  Q-mass)および、差圧流量法(通称、オリフィス法又は、スループット法)によるガス放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置されている。
【０２７０】
上記のように排気系装置の台(不図示)上にセッティングされた密封容器内を排気管１１１、すなわち本発明においては、銅排気管封止部位を有する排気管を通して外部の真空排気系(不図示)により、圧力が1.33×１０-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リークチェックを行ったがリークは無かった。
【０２７１】
フォーミングは三角波形(底辺１msec、周期１０msec、波高値５Ｖ)の電圧パルス６０秒間印加し、電子放出部２０８を形成し、更に、活性化も行った。
【０２７２】
次に、前記密封容器全体を２５０℃で８時間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。
密封容器内部の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をはじめとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持するため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱することは有効である。
【０２７３】
次に、ゲッタ部材１１０を外部より高周波加熱し、Ｂaを主成分とするゲッタ材の蒸着膜を形成させる、ゲッタ処理を行った。
加熱脱ガス、ゲッタ処理後の密封容器内部の圧力と雰囲気情報は真空ゲージとQ-mass（四重極質量分析装置）とで監視を行った。
【０２７４】
密封容器が室温まで戻った後、金属製排気管封止予定部位を住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、封止予定部位を圧着し封止を行った。
【０２７５】
圧着封止部分は完全に切り離され、画像表示装置を作製した。
ゲッタ部材蒸着膜に変化は無いことから、ゲッタ部材の蒸着膜を変化させるガス種の発生が無いことや、密封容器内の圧力が維持されている事がわかる。
【０２７６】
なお、金属製排気管の外径などが大きくなった場合は、住電朝日精工（株）製
パイプ締切装置  ＡＬＭ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。
【０２７７】
上述の方法で金属性排気管封止部位を封止した画像表示装置を用い、図３に示すような画像表示手段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、同時に蛍光体１０７とメタルバック１０６に５KV印加し発光させ、表示動作を確認したところ、明るくて、均一な画像表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方法で画像表示装置が製造できる事を確認した。
【０２７８】
（参考例１３）
実施例５で使用した金属製排気管封止部位を有する排気管構成に替えて、図１６に示すような外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ１２０ｍｍのソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日本電気ガラス製）とガラス製排気管の封止冶具を取り付けた以外は、実施例４と全く同様の方法で,加熱脱ガス、ゲッタ処理までを行った。
【０２７９】
その後、参考例９と同様の方法で、加熱封止冶具を用い、ガラス製排気管を軟化・溶融させた後、排気管接続部を管軸方向の排気装置側へ移動させることで軟化・溶融したガラス部位を延伸した後、延伸変形した部位をハンドガスバーナーを用いて溶断し、封止を完了させた。
【０２８０】
封止終了後、ゲッタ部材の蒸着膜を観察したところ、排気管近傍の蒸着膜が僅かではあるが、後退縮小している事が観察された。これは、ガラス製排気管の加熱溶融封止時に放出されるガス種による影響と推測された。
【０２８１】
このように作製した画像表示装置を実施例４と同様の方法で表示動作確認をしたところ、実施例５で作製した画像表示装置と比較して、表示画面が全体的に暗く、特に排気管周辺が極端に暗くなっていた。
【０２８２】
（参考例１４）
実施例５で銅排気管の封止部位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、画像表示装置を作製した。
銅排気管の中心部を（ガラス基板から７５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着されて真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れなかった。
【０２８３】
圧着封止部が完全に切り離されなかったため、金属はさみを用いて排気系装置より切り離す必要があった。
【０２８４】
（参考例１５）
実施例５で銅排気管の内面にＮｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にして、画像表示装置を作製した。
【０２８５】
この画像表示装置を分解して調べたところ、図１５に示すような異物がフェースプレート及びリアプレートの内側に多数付着しており、分析したところ銅酸化物であることがわかった。
【０２８６】
銅排気管を密封容器に接続する際に加熱することで、銅表面に銅酸化物ができ、これが銅排気管を圧着封止する際に、剥がれ落ちてパネル内に飛散したものと推測される。
【０２８７】
（参考例１６）
実施例５で接続用部材５０３と密封容器側接続用部材９０１を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したものの中には排気管をフリットガラスで加熱接続する際に、リアプレート１０１にクラックが生じてしまうものがあった。
【０２８８】
実施例５、参考例１３〜参考例１６の結果よりも明らかなように、ガラス製排気管封止処理と比較し、金属製排気管封止部位を有する排気管を用いての画像表示装置製造方法の方が、封止工程の信頼性、画像表示装置製造方法の信頼性を向上する事ができる。
【０２８９】
更に、金属製排気管封止部位が他に比べ薄くなっていることで、排気管の強度を保ちつつ容易に圧着し封止することができ、画像表示装置の製造歩留まりが著しく向上する。
【０２９０】
更に、金属排気管内部をあらかじめメッキ処理しておくことで、金属酸化物の発生を防ぐことができ、画像表示装置の画像品位が向上する。
【０２９１】
更に、熱膨張係数を考慮した接続用部材を密封容器に対して用いることで、排気管接続時に密封容器にクラックが生じないので、画像表示装置の製造歩留まりが著しく向上する。
【０２９２】
（実施例６）
実施例５において、図１１に示すＦＮ５０からなる接続用部材５０５を銀ロウ部材５０６を使用し、密封性を確保しつつ接続し、更に排気系側接続用部材１１０１として  を用い、フリットガラス１１０２で接続した銅排気管を、更に、排気系側接続用部材１１０１を排気系機構側の接続部７０２に低融点ガラス７０１を用いて接続排気した以外は全く同様にして、画像表示装置を作製した。
【０２９３】
実施例５と同様に、図３に示すような画像表示手段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、同時に蛍光体１０７とメタルバック１０６に５ＫＶ印加し発光させ、表示動作を確認したところ、明るくて、均一な画像表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方法で画像表示装置が製造できることを確認した。
【０２９４】
（実施例７）
実施例１で使用したガラス基板８０１に変えて下記に示す熱膨張係数を有するガラス基板との組み合わせで、金属排気管を接続するための容器を作製した以外は、全く実施例１と同様の方法で容器を作製し、排気系装置の接続部への接続と排気を行った。
【０２９５】
ガラス基板８０１と接続用部材５０３とを低融点ガラス（フリットガラス）６０３で接続した場合、接続部分の接着状態が重要であり、接続時及び接続後の接続用部材とフリットガラスとの剥離や、接続端部におけるガラス基板側の微少破壊（亀裂・クラック）発生、排気系装置への接続排気後の微少破壊（亀裂・クラック）発生や、剥離の発生の有無から検討した。
【０２９６】
【表１】
2008181898.tif 000003
【０２９７】
○・・・何ら異常の発生は無し。
△・・・フリット塗布状態、焼成後の降温速度等の条件によっては、剥離・クラックが発生した。
×・・・剥離・クラックの発生が頻発した。
なお、熱膨張係数の数値は室温から３００℃の値である。
【０２９８】
以上の結果から、接続部材の熱膨張係数がガラス基板の熱膨張係数の０．９５〜１．１０倍の範囲に入っていれば好適であることが判明した。
【０２９９】
（実施例８）
実施例７と同様に、使用する低融点ガラス（フリットガラス）とガラス基板と接続部材との関係を、室温から３００℃までの熱膨張係数に着目し、実施例７で使用したガラス基板と接続用部材の組み合わせに対し、ＬＳ３０８１以外に下表に示す低融点ガラスを各封着温度で使用し、実施例７と同様の観察を行なった。結果を下表に示す。
【０３００】
【表２】
2008181898.tif 000004
【０３０１】
○、△、×・・・実施例７と同じ意味の記号
以上の結果より、低融点ガラスの熱膨張係数が、低融点ガラスで接続される部材の各熱膨張係数の０．７５倍〜１．０５倍の時、好ましい接着状態が保持される事が判明した。
【０３０２】
（実施例９）
実施例４で使用したガラス基板８０１と密封容器側接続用部材９０１としてのガラス製排気管部材に変えて、下記に示す熱膨張係数を有するガラス基板とガラス製排気管部材との組み合わせで、金属排気管を接続するための容器を作製した以外は、全く実施例４と同様の方法で容器を作製し、排気系装置の接続部への接続と排気を行った。
【０３０３】
ガラス基板８０１と密封容器側接続用部材９０１とを低融点ガラス（フリットガラス）６０３で接続した場合、接続部分の接着状態が重要であり、接続時及び接続後の密封容器側接続用部材とフリットガラスとの剥離や、接続端部におけるガラス基板側の微少破壊（亀裂・クラック）発生、排気系装置への接続排気後の微少破壊（亀裂・クラック）発生や、剥離の発生の有無から検討した。
【０３０４】
【表３】
2008181898.tif 000005
【０３０５】
○、△、×・・・実施例７と同じ意味の記号
なお、熱膨張係数の数値は室温から３００℃の値である。
【０３０６】
以上の結果から、密封容器側接続用部材の熱膨張係数がガラス基板の熱膨張係数の０．９５〜１．１０倍の範囲に入っていれば好適であることが判明した。
【０３０７】
（実施例１０）
実施例９と同様に、使用する低融点ガラス（フリットガラス）とガラス基板と密封容器側接続用部材との関係を、室温から３００℃までの熱膨張係数に着目し、実施例９で使用したガラス基板と密封容器側接続用部材の組み合わせに対し、ＬＳ３０８１以外に下表に示す低融点ガラスを各封着温度で使用し、実施例７と同様の観察を行なった。結果を下表に示す。
【０３０８】
【表４】
2008181898.tif 000006
【０３０９】
△、×・・・実施例７と同じ意味の記号
以上の結果より、低融点ガラスの熱膨張係数が、低融点ガラスで接続される部材の各熱膨張係数の０．７５倍〜１．０５倍の時、好ましい接着状態が保持される事が判明した。
【０３１０】
（実施例１１）
実施例１で使用した銅製管状排気管に替えて、銀製管状排気管を用いて容器を作製した以外は、実施例１と全く同様の方法で容器を作製した。
【０３１１】
その結果、銀製管状排気管は、銅製排気管と比較して、変形しやすい欠点はあるものの、放出ガス等の懸念は、銅製排気管と同様の結果が得られた。
【０３１２】
（実施例１２）
実施例４で使用した銅製管状排気管に替えて、銀製管状排気管を用いて容器を作製した以外は、実施例３と全く同様の方法で容器を作製した。
【０３１３】
その結果、銀製管状排気管は、銅製排気管と比較して、変形しやすい欠点はあるものの、放出ガス等の懸念は、銅製排気管と同様の結果得られた。
【０３１４】
（実施例１３）
図１３は、本実施例の製造装置を示す図である。
図１３において、１３０２はピンチャ−装置４０３のビット４０４の位置を検出する位置検出器であり、１３０１は位置検出器１３０２から情報により油圧装置４０５を制御する制御装置である。
【０３１５】
なお、その他の引用符号は、図４（ａ）などに付した部材と同一の部材が同じものであることを示す。
【０３１６】
本実施例では、ビット４０４の位置を検出し、それによって得られる排気管の厚さの情報を基に、油圧装置４０５を制御しながら排気管１１１をチップオフする製造装置について説明する。
【０３１７】
画像表示装置は実施例２と同様にゲッタをゲッタ処理まで行った。次に、チップオフ工程を以下のように行った。
【０３１８】
銅排気管封止部位４０１に固定側のビット４０４ａを当てた状態にし、稼動側のビット４０４ｂが銅排気管封止部位４０１から１ｃｍ離れた状態での位置を位置検知器１３０２で検出し、０位置とする。
【０３１９】
油圧装置４０５に制御装置１３０１から信号を送り油圧を発生させ、稼動ビット４０４ｂを動かし銅排気管封止部位４０１圧着する。このときの油圧装置４０５の圧力は１Ｋｇ/cm2であった。
【０３２０】
この状態で１分後に、稼動側のビット４０４ｂの位置が2ｃｍ移動したことを位置検出器１００２で検出した。そこで、銅排気管封止部位４０１が圧着封止されたと判断し、制御装置１３０１から油圧装置４０５に信号を送り、油圧を止めた。
【０３２１】
その後、稼動側のビット４０４ｂが銅排気管封止部位から２ｃｍ離れたことを位置検出器１００２で検出し、圧着封止を完了した。
【０３２２】
本実施例では、銅排気管封止部位４０１の圧着封止状態をビットの位置を位置検出器１３０２で検出することで、圧着封止を行った。そのため、圧着封止工程の終了判断ができ、実施例２の歩留まり以上に歩留まりが向上し、歩留まりは９８％であった。
【図面の簡単な説明】
【０３２３】
【図１】本発明による密封容器（平板型画像表示装置）の構成を示す概略図である。
【図２】本発明による表面伝導型電子放出素子を用いたリアプレート及び表面伝導型電子放出素子２００の構造を拡大して示す構成概略図である。
【図３】本発明による画像表示装置のブロック概略図である。
【図４】本発明による金属製管状排気管の封止工程の概略図である。
【図５】本発明による金属製排気管封止部位を有する排気管構成の第一の例を示す概略図である。
【図６】本発明による図５の構成排気管を有する密封容器の排気装置への接続例を示す概略図である。
【図７】本発明による図５の構成排気管を有する密封容器の排気装置への他の接続例を示す概略図である。
【図８】本発明における排気管と容器との接続の構成例を示す概略図である。
【図９】本発明による金属製排気管封止部位を有する排気管構成の第二の例を示す概略図である。
【図１０】本発明による図９の構成排気管を有する密封容器の排気装置への接続例を示す概略図である。
【図１１】本発明による図９の構成排気管を有する密封容器の排気装置への他の接続例を示す概略図である。
【図１２】本発明による排気管と容器との接続の構成例を示す概略図である。
【図１３】本発明による画像表示装置の製造装置を示す概略図である。
【図１４】本発明と従来例による圧着封止後における放出ガス量変化を示す特性図である。
【図１５】メッキ処理の有無による圧着封止後の異物発生状況を示す顕微鏡写真である。
【図１６】従来のガラス排気管を有する構成の密封容器の排気系への接続を示す概略図である。
【図１７】ガラス製排気管と基板とを接続する構成例を示す概略図である。
【符号の説明】
【０３２４】
１０１  リアプレート
１０２、２００  表面伝導型電子放出素子
１０３  配線
１０４、２０５、２０６  素子電極
１０５  フェースプレート
１０６  メタルバック
１０７  蛍光体
１０８  フリットガラス
１０９  外枠
１１０  ゲッタ
１１１  排気管
１１２、６０１  密封容器
２０１  下配線
２０２  上配線
２０３  層間絶縁層
２０４  配線パッド
２０７  導電性薄膜
２０８  電子放出部
３０１  画像表示域
３０２  平板状表示パネル
３０３  光点発光域
３０４  変調信号側Ｘｎ配線
３０５  走査信号側Ｙｎ配線
３０６  駆動回路部
３０７  高圧印加装置
３０８  画像表示装置
４０１  金属製排気管封止部位
４０２  ピンチャー
４０３、６０４、７０２  排気系接続部
４０４  ビット  ４０４ａ  固定側ビット  ４０４ｂ  稼動側ビット
４０５  油圧装置
５００  金属製管状排気管
５０１  金属製排気管封止部位
５０２、５０６  密封性接着剤
５０３、５０５  接続用部材
５０４  メッキ処理部位
６０２  排気孔
６０３、７０１、９０２、１１０２  低融点ガラス
６０５  締め付けキャップ
６０６  Ｏ-リング
６０７  スペーサー
６０８  ネジ部
７０２  排気系機構側の接続部
７０３  排気系機構（装置）
８０１  ガラス板
９０１  密封容器側接続用部材
１１０１  排気系側接続用部材
１３０１  制御装置
１３０２  位置検知器
１６０１  ガラス製排気管
１６０２  封止治具
【図１】
2008181898.tif 000007
【図２】
2008181898.tif 000008
【図３】
2008181898.tif 000009
【図４】
2008181898.tif 000010
【図５】
2008181898.tif 000011
【図６】
2008181898.tif 000012
【図７】
2008181898.tif 000013
【図８】
2008181898.tif 000014
【図９】
2008181898.tif 000015
【図１０】
2008181898.tif 000016
【図１１】
2008181898.tif 000017
【図１２】
2008181898.tif 000018
【図１３】
2008181898.tif 000019
【図１４】
2008181898.tif 000020
【図１５】
2008181898.tif 000021
【図１６】
2008181898.tif 000022
【図１７】
2008181898.tif 000023