(57)【要約】【課題】基板に対するＴＣＰの実装精度を向上させるようにした実装装置を提供することにある。【解決手段】Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源によってＴＣＰ９を駆動して基板ＷとＴＣＰを相対的に位置合わせしたときに、撮像カメラはＴＣＰに設けられた並設された複数の第２の端子Ｔ２の配置方向両端の端子を撮像し、演算処理部は撮像に基づいて複数の第２の端子の配置方向中心の第２の中心座標Ｘ２を算出し、Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源は、算出された第２の中心座標と、予め算出された基板の一対の第１の位置合わせマークｍ１の中心の第１の中心座標Ｘ１が同一直線上に位置するよう基板とＴＣＰを相対的に位置決めする。【選択図】      図５
2008218567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の側辺部に設けられた複数の第１の端子に、電子部品に設けられた複数の第２の端子を位置合わせして上記基板に上記電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板に設けられた一対の第１の位置合わせマークと上記電子部品に上記第１の位置合わせマークと対応する間隔で設けられた一対の第２の位置合わせマークのそれぞれの一方と他方を同一視野内で同時に撮像する一対の撮像手段と、
この撮像手段によって撮像された上記第１、第２の位置合わせマークから上記基板と上記電子部品の相対位置及び上記基板の一対の第１の位置合わせマークの配置方向中心の第１の中心座標を算出する算出手段と、
この算出手段によって算出された上記基板と上記電子部品の相対位置に基づいて各一対の上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークが重なり合うよう上記基板と上記電子部品を相対的に位置合わせする駆動手段を具備し、
上記駆動手段によって上記基板と上記電子部品を相対的に位置合わせしたときに、
上記撮像手段は上記電子部品に設けられた複数の第２の端子の配置方向両端の端子を撮像し、
上記算出手段は上記撮像に基づいて複数の第２の端子の配置方向中心の第２の中心座標を算出し、
上記駆動手段は上記算出に基づいて上記第１の中心座標と上記第２の中心座標が上記各端子の配置方向と直交する同一直線上に位置するよう上記基板と上記電子部品を相対的に位置決めすることを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記駆動手段は、上記電子部品を駆動して上記基板に対して位置決めすることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
基板の側辺部に設けられた複数の第１の端子に、電子部品に設けられた複数の第２の端子を位置合わせして上記基板に上記電子部品を実装する実装方法であって、
上記基板に設けられた一対の第１の位置合わせマークと上記電子部品に上記第１の位置合わせマークと対応する間隔で設けられた一対の第２の位置合わせマークのそれぞれの一方と他方を同一視野内で同時に撮像する工程と、
撮像された上記第１、第２の位置合わせマークから上記基板と上記電子部品の相対位置及び上記基板の一対の第１の位置合わせマークの配置方向中心の第１の中心座標を算出する工程と、
上記基板と上記電子部品の相対位置の算出に基づいて上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークが重なり合うよう上記基板と上記電子部品を位置合わせする工程と、
上記基板と上記電子部品を位置合わせした後、この電子部品に設けられた複数の第２の端子の配置方向両端の端子を撮像し、その撮像に基づいて上記第２の端子の配置方向中心の第２の中心座標を算出する工程と、
算出された第２の中心座標と上記第１の中心座標が上記各端子の配置方向と直交する同一直線上に位置するよう上記基板と上記電子部品を相対的に位置決めする工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板の一側部の上面に電子部品を精密に位置合わせして実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての液晶セルには接着材料としての異方性導電部材を介して電子部品であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）が圧着される。上記液晶セルは、２枚のガラス板がシール材を介して所定の間隔で液密に接着され、これらガラス板間に液晶が封入されるとともに、各ガラス板の外面にそれぞれ偏光板を貼着して構成される。そして、上記構成の液晶セルには、その側部上面にテープ状の上記異方性導電部材を圧着し、この異方性導電部材に上記ＴＣＰを仮圧着した後、本圧着するようにしている。
【０００３】
上記液晶セルに対して上記ＴＣＰを仮圧着するには、液晶セルの下面をバックアップツールの上端面で支持し、その支持された部分の上面に実装ツールによって上記電子部品を圧着するようにしている。
【０００４】
液晶セルにＴＣＰを圧着する際、液晶セルの一側部の上面に設けられた複数の第１の端子と、上記ＴＣＰに設けられた複数の第２の端子を精密に位置合わせしなければならない。とくに最近では液晶セルの高性能化に伴いその第１の端子の配置密度や上記ＴＣＰの第２の端子の配置密度がたとえばμｍ単位で狭ピッチ化する傾向にある。
【０００５】
そのため、液晶セルにＴＣＰを実装する際、上記基板とＴＣＰの相対的位置が各端子の配置方向（この方向をＸ方向とする）に対してわずかでもずれると、上記第１の端子と第２の端子の接触不良を招くということがある。
【０００６】
そこで、液晶セルに対して上記ＴＣＰを実装するとき、液晶セルとＴＣＰに設けられたそれぞれ一対の位置合わせマークを一対の撮像カメラで撮像する。そして、その撮像に基づいて上記液晶セルとＴＣＰとの相対的位置を算出し、その算出によって上記ＴＣＰに対して上記液晶セルをＸ、Ｙ及びθ方向に駆動して位置合わせした後、上記ＴＣＰを基板に実装するようにしている。このような先行技術は特許文献１に示されている。
【特許文献１】特許登録第２９５６８４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記液晶セルとＴＣＰを位置合わせするとき、通常は、最初に液晶セルとＴＣＰに設けられたそれぞれ一対の位置合わせマークを、撮像カメラの撮像に基づいて上記Ｘ、Ｙ及びθ方向のうち、Ｘ方向及びθ方向に対して相対的に仮位置合わせする。このとき、液晶セルとＴＣＰの位置合わせマークはＸ方向と直交するＹ方向に対して離れている。なお、Ｘ方向は液晶セルとＴＣＰに設けられたそれぞれ複数の端子の配置方向であり、Ｙ方向は端子の配置方向と直交する方向である。
【０００８】
ついで、液晶セルの一対の位置合わせマークの上方にＴＣＰの一対の位置合わせマークを重なるよう、上記液晶セルをＴＣＰに対してＹ方向に駆動して位置決めした後、上記ＴＣＰを下降させて上記液晶セルに実装するようにしている。
【０００９】
従来は液晶セルとＴＣＰを重ならない状態で接近させた後、これらの位置合わせマークを撮像カメラによって撮像し、その撮像結果に基づいて上述した液晶セルとＴＣＰの位置合わせを順次行い、液晶セルにＴＣＰを実装するようにしている。
【００１０】
しかしながら、Ｘ方向及びθ方向に対して仮位置決めされた液晶セルとＴＣＰを、Ｙ方向に相対的に駆動して位置決めする際、その位置決めはたとえば液晶セルが載置されたテーブルを機械的に駆動して行われる。そのため、機械的な動力伝達誤差によって、液晶セルとＴＣＰがＸ方向やＹ方向に対してずれてしまうことがある。
【００１１】
Ｙ方向に対するずれは大きな問題にならないが、Ｘ方向（複数の端子の配置方向）に対するずれはわずかであっても、液晶セルとＴＣＰに設けられた端子が液晶セルの高性能化に伴いμｍ単位で狭ピッチ化されていると、相互の端子が確実に接続されずに接触不良を招くということがある。
【００１２】
このような実装不良を防止するためには、液晶セルとＴＣＰをＸ方向及びθ方向に位置決めし、ついで液晶セルをＹ方向に駆動してＴＣＰに対して位置決めしたとき、液晶セルとＴＣＰに設けられたそれぞれ一対の位置合わせマークの位置合わせからＸ方向に対してずれがあるか否かを確認できれば、Ｘ方向の位置ずれを補正して液晶セルにＴＣＰを実装できるから、互いの端子の接触不良をなくすことが可能となる。
【００１３】
Ｙ方向に位置決めされた液晶セルとＴＣＰの位置合わせマークを確認する場合、位置決めされて重なり合った液晶セルとＴＣＰの一対の位置合わせマークを撮像カメラで撮像して画像処理し、それらが精密に位置決めされているか否かを判断するということが考えられる。
【００１４】
しかしながら、液晶セルとＴＣＰの重なり合った位置合わせマークを撮像すると、その撮像信号を二値化処理した画像からは、両者の位置合わせマークの重なり度合までを精密に判別することはできない。つまり、重なり合った位置合わせマークを二値化処理すると、その画像は１つの黒画像となってしまう。
【００１５】
そのため、液晶セルをＴＣＰに対してＸ方向及びθ方向に対して位置決めしてからＹ方向に移動させたとき、その移動方向と直交するＸ方向に対して液晶セルとＴＣＰにずれが生じたか否かを精密に判定することができない。
【００１６】
つまり、二値化処理された画像からは、重なり合った一方の位置合わせマークと他方の位置合わせマークの中心が精密に一致しているか否かを判断することができないから、互いの端子を精密に位置決めして接続することが難しいということがあった。
【００１７】
この発明は、基板と電子部品を位置合わせする際、種々の原因によって位置ずれが生じても、そのずれを確実に補正して上記電子部品を基板に実装することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この発明は、基板の側辺部に設けられた複数の第１の端子に、電子部品に設けられた複数の第２の端子を位置合わせして上記基板に上記電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板に設けられた一対の第１の位置合わせマークと上記電子部品に上記第１の位置合わせマークと対応する間隔で設けられた一対の第２の位置合わせマークのそれぞれの一方と他方を同一視野内で同時に撮像する一対の撮像手段と、
この撮像手段によって撮像された上記第１、第２の位置合わせマークから上記基板と上記電子部品の相対位置及び上記基板の一対の第１の位置合わせマークの配置方向中心の第１の中心座標を算出する算出手段と、
この算出手段によって算出された上記基板と上記電子部品の相対位置に基づいて各一対の上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークが重なり合うよう上記基板と上記電子部品を相対的に位置合わせする駆動手段を具備し、
上記駆動手段によって上記基板と上記電子部品を相対的に位置合わせしたときに、
上記撮像手段は上記電子部品に設けられた複数の第２の端子の配置方向両端の端子を撮像し、
上記算出手段は上記撮像に基づいて複数の第２の端子の配置方向中心の第２の中心座標を算出し、
上記駆動手段は上記算出に基づいて上記第１の中心座標と上記第２の中心座標が上記各端子の配置方向と直交する同一直線上に位置するよう上記基板と上記電子部品を相対的に位置決めすることを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００１９】
上記駆動手段は、上記電子部品を駆動して上記基板に対して位置決めすることが好ましい。
【００２０】
この発明は、基板の側辺部に設けられた複数の第１の端子に、電子部品に設けられた複数の第２の端子を位置合わせして上記基板に上記電子部品を実装する実装方法であって、
上記基板に設けられた一対の第１の位置合わせマークと上記電子部品に上記第１の位置合わせマークと対応する間隔で設けられた一対の第２の位置合わせマークのそれぞれの一方と他方を同一視野内で同時に撮像する工程と、
撮像された上記第１、第２の位置合わせマークから上記基板と上記電子部品の相対位置及び上記基板の一対の第１の位置合わせマークの配置方向中心の第１の中心座標を算出する工程と、
上記基板と上記電子部品の相対位置の算出に基づいて上記第１の位置合わせマークと第２の位置合わせマークが重なり合うよう上記基板と上記電子部品を位置合わせする工程と、
上記基板と上記電子部品を位置合わせした後、この電子部品に設けられた複数の第２の端子の配置方向両端の端子を撮像し、その撮像に基づいて上記第２の端子の配置方向中心の第２の中心座標を算出する工程と、
算出された第２の中心座標と上記第１の中心座標が上記各端子の配置方向と直交する同一直線上に位置するよう上記基板と上記電子部品を相対的に位置決めする工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、基板に設けられた一対の第１の位置合わせマークの中心座標を予め求めておき、基板と電子部品とをこれらに設けられた位置合わせマークが重なり合うよう相対的に位置決めしたときに、電子部品に設けられた複数の第２の端子の配置方向の中心座標を求め、一対の第１の位置合わせマークの中心座標と、第２の端子の配置方向の中心座標が同一直線上に位置するよう基板と電子部品との相対的位置を補正する。  
そのため、基板と電子部品との端子にずれが生じることないよう、これらを精密に位置合わせして基板に電子部品を実装することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１に示す実装装置はベーステーブル１を備えている。このベーステーブル１上にはＸテーブル２が設けられている。このＸテーブル２は上記ベーステーブル１の一側面に設けられたＸ駆動源３によって紙面と直交するＸ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００２３】
上記Ｘテーブル２上には保持テーブルとしてのＹテーブル４が上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル４は上記Ｘテーブル２の一側面に設けられたＹ駆動源５によって同図に矢印で示す上記Ｘ方向と直交するＹ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００２４】
上記Ｙテーブル４の上面、つまり保持面４ａには、２枚のガラス板を貼り合わせた液晶セルなどの基板Ｗがその一側部をＹテーブル４の一側から突出させて吸着保持される。基板Ｗを保持したＹテーブル４は上記Ｘ駆動源３とＹ駆動源５が図３に示す制御装置６によって駆動が制御されることで位置決めされる。
【００２５】
上記制御装置６には、基板Ｗのサイズなどに応じて図示しない入力部によって予め位置情報が入力設定されていて、その位置情報に基づいて上記Ｘ駆動源３とＹ駆動源５が駆動されて上記Ｙテーブル４に保持された上記基板Ｗの一側部が所定の位置に位置決めされるようになっている。
【００２６】
位置決めされた上記基板Ｗの一側部の上面には後述する電子部品としてのＴＣＰ９が実装される。そのとき、ＴＣＰ９が実装される上記基板Ｗの一側部の下面はバックアップツール８によって支持される。
【００２７】
上記バックアップツール８は、バックアップテーブル１１に下部Ｚ駆動源１２を介して上下方向に駆動可能に設けられている。上記ベーステーブル１の一端部の上面にはＸ方向に沿って下部Ｘガイドレール１３が設けられている。
【００２８】
上記バックアップテーブル１１は下部Ｘガイドレール１３に沿って図示せぬリニアモータで駆動されるようになっている。それによって、上記バックアップツール８は上記基板Ｗの上記ＴＣＰ９が実装される一側部の下面で、この一側部に沿う方向、つまり図２に示すＸ方向に沿って駆動可能に設けられている。
【００２９】
上記下部Ｚ駆動源１２のＸ方向に沿う幅方向の両側面には撮像手段としての第１、第２の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂが設けられている。一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂの撮像信号は図３に示すように画像処理部１５でＡ／Ｄ変換（二値化処理）されて上記制御装置６に内蔵された算出手段としての演算処理部１６に出力される。
【００３０】
一対の上記撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂは、図４と図５に示すように上記基板Ｗの一側部に設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ１と、上記ＴＣＰ９の一端部に設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ２の一方と他方をそれぞれの視野Ｓ１，Ｓ２内で同時に撮像する。また、基板ＷとＴＣＰ９の両端の端子Ｔ１、Ｔ２もこのときの視野Ｓ１，Ｓ２内に入って撮像可能となる。
【００３１】
なお、この実施の形態では、第１の位置合わせマークｍ１は二重丸で、第２の位置合わせマークｍ２は第１の位置合わせマークｍ１よりも大きな二重丸であるが、これら位置合わせマークｍ１、ｍ２の形状は四角と十字形状など、他の形状であっても差し支えない。
【００３２】
上記基板Ｗの一側部にはＹ方向に沿う複数の第１の端子Ｔ１がＸ方向に所定間隔で設けられ、これら第１の端子Ｔ１のＸ方向（配置方向）の外側に上記一対の第１の位置合わせマークｍ１が設けられている。
【００３３】
上記ＴＣＰ９の一端部には第２の端子Ｔ２が上記第１の端子Ｔ１に対応する数及び間隔で設けられていて、これら第２の端子Ｔ２の配置方向の外側に一対の上記第２の位置合わせマークｍ２が第１の位置合わせマークｍ１と同じ間隔で設けられている。つまり、一対の第１の位置合わせマークｍ１の中心間の距離と、一対の第２の位置合わせマークｍ２の中心間の距離は図４にＬで示すように同じに設定されている。
【００３４】
上記演算処理部１６は、上記画像処理部１５で二値化処理された上記一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂの撮像信号から各一対の第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２のＸ，Ｙ座標及びそのＸ，Ｙ座標から各一対の第１、第２の位置合わせマークｍ１、ｍ２の位置ずれ量を算出する。
【００３５】
上記演算処理部１６で算出された第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２の位置ずれ量は駆動出力部１７に出力される。駆動出力部１７は演算処理部１６で算出された位置ずれ量に基づいて上記基板Ｗに対して上記ＴＣＰ９をＸ方向及びθ方向に対して位置合わせした後、Ｙ方向に位置合わせして上記基板Ｗの一側部に後述するように実装する。
【００３６】
図１に示すように、上記バックアップツール８の上方には実装ツール２１が設けられている。この実装ツール２１は先端部に吸着ノズル２２を有し、この吸着ノズル２２に上記ＴＣＰ９の一端部が吸着保持される。上記実装ツール２１はＸ・Ｙ・θ・Ｚ駆動源２３によってＸ，Ｙ，θ及びＺ方向に駆動されるようになっている。  
上記下部Ｚ駆動源１２及び上記Ｘ・Ｙ・θ・Ｚ駆動源２３は上記制御装置６によって駆動が制御されるようになっている。
【００３７】
つぎに、上記構成の実装装置によって基板Ｗの一側部にＴＣＰ９を実装するときの動作について説明する。
【００３８】
運転を開始すると、制御装置６に予め設定された設定値に基づいてＸ駆動源３とＹ駆動源５とが駆動されてＹテーブル４の保持面４ａに保持された基板ＷがＸ，Ｙ方向に対して所定の位置に位置決めされる。つまり、Ｙ方向において、基板Ｗの一側部がバックアップツール８の上方になるよう位置決めされる。
【００３９】
基板Ｗが位置決めされると、実装ツール２１が駆動されてＴＣＰ９が位置決めされる。つまり、ＴＣＰ９は、図４に示すように基板Ｗに設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ１と、ＴＣＰ９に設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ２のそれぞれ一方と他方が一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂのそれぞれの視野Ｓ１、Ｓ２に入る位置まで、Ｘ・Ｙ・θ・Ｚ駆動源２３によってＸ，Ｙ方向に駆動される。このときのＴＣＰ９のＸ，Ｙ座標は、制御装置６によって撮像位置として予め設定されている。
【００４０】
ＴＣＰ９が撮像位置に位置決めされると、それぞれ一対の第１位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２が第１、第２の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂによって撮像される。一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂの撮像信号は画像処理部１５でＡ／Ｄ変換処理されて演算処理部１６で各位置合わせマークｍ１、ｍ２のＸ，Ｙ座標が演算処理される。
【００４１】
それによって、基板Ｗに設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ１とＴＣＰ９に設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ２の位置ずれ量が算出される。このとき、演算処理部１６は一対の第１の位置合わせマークｍ１のＸ座標から、２つの第１の位置合わせマークｍ１のＸ方向の中心座標Ｘ１を算出する。
【００４２】
上記、演算処理部１６で算出された算出値は駆動出力部１７に出力される。駆動出力部１７はまず、Ｘ・Ｙ・θ・Ｚ駆動源２３によってＴＣＰ９をＸ方向及びθ方向に駆動し、ＴＣＰ９に設けられた一対の第２の位置合わせマークｍ２を、基板Ｗに設けられた一対の第１の位置合わせマークｍ１に対してＸ方向及びθ方向に対して位置決めする。
【００４３】
つまり、図４に示すように一対の第１の位置合わせマークｍ１を結ぶ直線と、一対の第２の位置合わせマークｍ２を結ぶ直線が平行になるとともに、対向する各一対の第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２が同じＸ座標になるよう位置決めされる。
【００４４】
ついで、上記ＴＣＰ９は第２の位置合わせマークｍ２の中心が第１の位置合わせマークｍ１の中心に一致して重なる位置までＹ方向に沿って駆動される。ＴＣＰ９を予め算出された第１の位置合わせマークｍ１のＹ座標と第２の位置合わせマークｍ２のＹ座標に基づいてＹ方向に駆動したならば、その時点で一対の撮像カメラ１４Ａ，１４ＢによってＴＣＰ９に設けられた複数の第２の端子Ｔ２の両端部を撮像する。
【００４５】
一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂの撮像信号は、画像処理部１５でＡ／Ｄ変換された後、演算処理部１６で図５に示す一対の視野Ｓ１，Ｓ２内に位置する幅方向両端に位置する一対の第２の端子Ｔ２の外縁Ｅ１，Ｅ２のＸ座標を算出し、これら外縁Ｅ１，Ｅ２のＸ座標から複数の第２の端子Ｔ２のＸ方向の中心座標Ｘ２を求める。
【００４６】
このとき、ＴＣＰ９の第２の端子Ｔ２は、一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂの視野Ｓ１，Ｓ２内において基板Ｗの第１の端子Ｔ１と一端部だけが重なっていて、他端部は重なっていないから、重なっていない部分の画像から、一対の第２の端子Ｔ２の外縁Ｅ１，Ｅ２のＸ座標を精密に求め、それらのＸ座標から中心座標Ｘ２を算出することが可能となる。
【００４７】
なお、このとき、基板Ｗの第１の位置合わせマークｍ１と、ＴＣＰ９の第２の位置合わせマークｍ２は上下方向に重なっている。そのため、その部分の画像をＡ／Ｄ変換によって二値化処理しても全体的に黒画像となるから、第１の位置合わせマークｍ１と第２の位置合わせマークｍ２の中心が精密に一致しているかどうかを判別することは難しい。
【００４８】
ついで、一対の位置合わせマークｍ１のＸ方向の中心座標Ｘ１と、複数の第２の端子Ｔ２のＸ方向の中心座標Ｘ２が上記制御装置６に設けられた演算処理部１６で比較される。上記一対の中心座標Ｘ１とＸ２はＴＣＰ９をＹ方向に駆動したとき、Ｘ・Ｙ・θ・Ｚ駆動源２３によって実装ツール２１が精密に駆動されれば、上記ＴＣＰ９がＸ方向に対してずれが生じないから、上記中心座標Ｘ１とＸ２は精密に一致する。
【００４９】
その場合には、基板Ｗに設けられた複数の第１の端子Ｔ１と、ＴＣＰ９に設けられた複数の第２の端子Ｔ２ともＸ方向に対して一致するから、その位置で実装ツール２１が下降方向に駆動されてＴＣＰ９が基板Ｗの一側部の上面に実装される。
【００５０】
上記実装ツール２１がＹ方向に精密に駆動されない場合、一対の位置合わせマークｍ１のＸ方向の第１の中心座標Ｘ１と、複数の第２の端子Ｔ２のＸ方向の第２の中心座標Ｘ２とが一致しなくなる。その場合、第１の中心座標Ｘ１と、第２の中心座標Ｘ２のずれ量に応じて実装ツール２１をＸ方向に駆動する。
【００５１】
上記ＴＣＰ９を中心座標Ｘ１とＸ２のずれ量に応じてＸ方向に駆動したならば、一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂで第２の端子Ｔ２の配置方向両端部を再度撮像し、配置方向両端に位置する一対の第２の端子Ｔ２の外縁Ｅ１，Ｅ２のＸ座標から第２の中心座標Ｘ２を算出し、その第２の中心座標Ｘ２と一対の第１の位置合わせマークｍ１から算出された第１の中心座標Ｘ１のＸ座標の比較を繰り返し、ＴＣＰ９を位置決めするということを所定の許容範囲となるまで繰り返して行う。
【００５２】
そして、ＴＣＰ９の第２の中心座標Ｘ２と基板Ｗの一対の第１の位置合わせマークｍ１の第１の中心座標Ｘ１のＸ方向のずれ量が許容範囲内になったならば、上記ＴＣＰ９を下降させて基板Ｗの一側部の上面に実装すればよい。  
なお、第１の中心座標Ｘ１と第２の中心座標Ｘ２とのずれ量の補正は複数回行わずに１回であってもよい。
【００５３】
このように、基板ＷとＴＣＰ９をＸ方向及びθ方向に対して位置決めした後、ＴＣＰ９をＹ方向に駆動して基板Ｗに実装する前に、ＴＣＰ９に設けられた複数の第２の端子Ｔ２の配置方向の中心座標Ｘ２を一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂの撮像に基づいて算出し、その中心座標Ｘ２を基板Ｗの一対の第１の位置合わせマークｍ１の中心座標Ｘ１と比較し、これらの中心座標Ｘ１，Ｘ２が一致するよう、ＴＣＰ９をＸ方向に対して位置補正してから、上記ＴＣＰ９を基板Ｗに実装するようにした。
【００５４】
そのため、ＴＣＰ９の第２の端子Ｔ２と基板Ｗの第１の端子Ｔ１を、これら端子Ｔ１、Ｔ２の配置方向に対して精密に位置決めできるから、基板Ｗの高性能化などによって端子Ｔ１、Ｔ２の配置密度が狭ピッチ化しても、各端子Ｔ１、Ｔ２の接触不良を招くことなく、ＴＣＰ９を基板Ｗに実装することができる。
【００５５】
実装ツール２１をＹ方向に駆動したとき、ＴＣＰ９は基板Ｗに対してＸ方向だけでなく、Ｙ方向に対してもずれが生じることがある。しかしながら、基板ＷとＴＣＰ９に設けられたそれぞれ複数の第１、第２の端子Ｔ１、Ｔ２はＸ方向に沿って所定間隔で設けられているから、Ｙ方向に対してずれが生じても、複数の第１の端子Ｔ１と第２の端子Ｔ２が接触不良を招くことはない。したがって、Ｙ方向のずれは、ＴＣＰ９の実装精度にほとんど影響することがない。
【００５６】
ＴＣＰ９を基板Ｗに実装する際、位置決めされた基板Ｗに対してＴＣＰ９をＸ，Ｙ及びθ方向に駆動して位置決めした後、さらにＺ方向に駆動して実装するようにした。ＴＣＰ９に代わり、基板ＷをＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向に駆動すると、基板Ｗは薄くて大きいため、駆動に伴い振れが生じる。
【００５７】
そのため、基板Ｗの振れが静定するまで、一対の撮像カメラ１４Ａ，１４Ｂによる撮像やＴＣＰ９の実装を行うことができなくなるから、その分、タクトタイムが長く掛かり、生産性の低下を招くということがある。
【００５８】
それに対し、この実施の形態では上述したように基板Ｗに対して十分に小さいＴＣＰ９をＸ，Ｙ，及びＺ方向に駆動して基板Ｗに対して位置決めするようにした。そのため、ＴＣＰ９には基板Ｗのように振れが生じ難く、たとえ振れが生じたとしても短時間で静定するから、基板Ｗを駆動して位置決めする場合に比べて生産性を向上させることができる。
【００５９】
上記一実施の形態ではＴＣＰと基板を位置合わせするとき、予め位置決めされた基板に対してＴＣＰをＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向に駆動するようにしたが、電子部品に代わって基板を駆動するようにしてもよく、要は基板と電子部品とをＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向に対して相対的に駆動してこれらを位置決めして実装すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】この発明の一実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。
【図２】バックアップツールが設けられたバックアップテーブルの正面図。
【図３】制御系統のブロック図。
【図４】Ｘ方向とθ方向に位置決めされた基板の一部とＴＣＰを下側から見た説明図。
【図５】基板とＴＣＰをＸ方向とθ方向に位置決めした後、ＴＣＰをＹ方向に駆動して位置決めした状態を下側から見た説明図。
【符号の説明】
【００６１】
２…Ｘテーブル、４…Ｙテーブル、６…制御装置、８…バックアップツール、９…ＴＣＰ、１４Ａ，１４Ｂ…撮像カメラ（撮像手段）、１５…画像処理部、１６…演算処理部、１７…駆動出力部、２１…実装ツール、２２…吸着ノズル、２３…Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源、Ｗ…基板、Ｔ１、Ｔ２…端子。
【図１】
2008218567.tif 000003
【図２】
2008218567.tif 000004
【図３】
2008218567.tif 000005
【図４】
2008218567.tif 000006
【図５】
2008218567.tif 000007