(57)【要約】【課題】二つの情報記録層から良好な記録信号特性が得られる片面二層記録再生タイプの光記録媒体の提供。【解決手段】光学的に読み取り可能な情報を記録及び／又は再生できる光記録媒体であって、少なくとも、有機色素からなる第１記録層と半透過性の第１反射層が積層された第１基板と、少なくとも、第２反射層と有機色素からなる第２記録層が積層された第２基板とが、透明中間層を介して両基板が外側になるように設けられており、第１反射層の膜厚をｆとし、ｆｉｎを内周（ｒ＝２５ｍｍ）、ｆｍｉｄを中周（ｒ＝４０ｍｍ）、ｆｏｕｔを外周（ｒ＝５７ｍｍ）での膜厚とし、ｆｉｎ、ｆｍｉｄ及びｆｏｕｔのうちの最大膜厚をｆｍａｘ、最小膜厚をｆｍｉｎとしたときに、（ｆｍａｘ−ｆｍｉｎ）／（ｆｍａｘ＋ｆｍｉｎ）が、０．０３以上０．１０以内となるように、第１反射層の膜厚に面内差を付けた光記録媒体。【選択図】図２
2008181620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的に読み取り可能な情報を記録及び／又は再生できる光記録媒体であって、少なくとも、有機色素からなる第１記録層と半透過性の第１反射層が積層された第１基板と、少なくとも、第２反射層と有機色素からなる第２記録層が積層された第２基板とが、透明中間層を介して両基板が外側になるように設けられており、第１反射層の膜厚をｆとし、ｆｉｎを内周（ｒ＝２５ｍｍ）、ｆｍｉｄを中周（ｒ＝４０ｍｍ）、ｆｏｕｔを外周（ｒ＝５７ｍｍ）での膜厚とし、ｆｉｎ、ｆｍｉｄ及びｆｏｕｔのうちの最大膜厚をｆｍａｘ、最小膜厚をｆｍｉｎとしたときに、（ｆｍａｘ−ｆｍｉｎ）／（ｆｍａｘ＋ｆｍｉｎ）が、０．０３以上０．１０以内となるように、第１反射層の膜厚に面内差を付けたことを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
第２基板上に第２反射層、第１保護層、第２記録層、第２保護層が積層されていることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項３】
第２基板上に第２反射層、第２記録層、第２保護層が積層されていることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体。
【請求項４】
第１反射層膜厚が７〜１０ｎｍであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の光記録媒体。
【請求項５】
第１反射層の光透過率が３０〜６０％で且つ第１反射層の光反射率が１５〜３５％であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の光記録媒体。
【請求項６】
第１反射層に隣接して補助層を有し、該補助層が、金属又は半金属の酸化物、或いは、金属又は半金属の窒化物からなることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の光記録媒体。
【請求項７】
第１反射層が、金属又は半金属の単体と、金属又は半金属の酸化物と、金属又は半金属の窒化物とから選ばれた少なくとも２種の混合物からなることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の光記録媒体。
【請求項８】
第１反射層に隣接して補助層を有し、第１反射層が、金属又は半金属の単体からなり、補助層が、金属又は半金属の酸化物、或いは金属又は半金属の窒化物からなることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は片面二層記録再生タイプの光記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
読み出し専用のＤＶＤ−ＲＯＭなどの光記録媒体に加えて、記録可能なＤＶＤ（ＤＶＤ＋ＲＷ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＡＭなど）が実用化されている。このＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ＋ＲＷなどは、従来の記録可能なＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ（記録型コンパクトディスク）技術の延長線上に位置するもので、再生専用ＤＶＤとの再生互換性を確保するために、記録密度（トラックピッチ、信号マーク長）と基板厚さがＣＤ条件からＤＶＤ条件に合うように設計されている。
例えば、ＤＶＤ＋Ｒでは、ＣＤ−Ｒと同様に基板上に色素をスピンコーティングして光記録層を設け、その背後に金属反射層を設けた情報記録用基板を、貼り合せ材を介して同形状の基板と貼り合せるという構成が採用されている。この場合、光記録層としては色素系材料が用いられる。ＣＤ−ＲはＣＤの規格を満足する高反射率（６５％）を有することが特徴の一つであるが、上記構成において高反射率を得るためには、光吸収層が記録再生光波長で特定の複素屈折率を満足する必要があり、色素の光吸収特性が適していたからである。このことはＤＶＤでも同様である。
【０００３】
ところで、読み出し専用ＤＶＤでは、記録容量を増大させるために、二層の情報記録層を有するものが提案されている。図１はこのような情報記録層を有するＤＶＤの構造を示す断面図である。基板１と基板２は、紫外線硬化樹脂で形成された透明中間層５を挟むことにより貼り合わされている。基板１の内側の面には、凸凹状の記録マークが形成された第１情報記録層である半透過層３が形成されており、基板２の内側の面には第２情報記録層である反射層４が形成されている。半透過層３は誘電体膜又は薄い金属膜で形成され、反射層４は金属膜などで形成されている。
各情報記録層に記録された情報は、再生レーザー光を反射・干渉する効果により読み取る。二層の情報記録層から信号を読み取るため、最大８．５ＧＢ程度の記憶容量が得られる。また、基板１及び基板２の厚みはそれぞれ０．６ｍｍであり、透明中間層５の厚みは約４０μｍである。半透過層３は、その反射率が３０％程度となるように形成されており、第２情報記録層の情報を再生するために照射されるレーザー光は、第１情報記録層で全光量の約３０％が反射して減衰したのち、第２情報記録層である反射層４で反射し、更に半透過層３で減衰を受けた後、ディスクから出ていく。再生光であるレーザー光を第１又は第２情報記録層上に焦点が来るように絞り、反射光を検出することにより各情報記録層の信号を再生することができる。なお、ＤＶＤの場合、記録再生に用いるレーザー光波長は約６５０ｎｍである。
【０００４】
しかしながら、上記の記録可能なＤＶＤ、即ちＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷなどでは、片面から読み取れる情報記録層が一層のものしかなく、これらの光記録媒体でより大きな記憶容量を得るためには、両面から再生できるものとする必要があった。一方、片面二層記録再生タイプの光記録媒体は、情報記録層が二層あるので、光学ピックアップから奥の情報記録層に焦点を当てて書き込み用レーザ光を照射し信号を記録するとき、第１情報記録層がレーザー光を減衰させるため、第２情報記録層の記録に必要な光吸収と光反射が両立できないという問題があった。
この問題に対応する公知技術として、特許文献１には、半透過層がＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの何れかを主成分とし、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種を含有する合金からなり、色素記録層を用いた光記録媒体が、特許文献２には、複数の情報記録層を有する書き込み可能な光記録媒体であって、反射膜の材料がＡｇＣであるため、材料コストの増大を抑制しながら、高い光透過率、熱伝導性及び保存信頼性を確保できることを特徴とした光記録媒体が開示されている。
しかし、二層又は多層の情報記録層を有する場合、情報記録層以外に保護層、半透過層などを積層していくため各層の膜厚分布のバラツキによって記録特性等に面内でのバラツキが生じてしまう。特に面内での記録感度のバラツキが大きくなると、実際に用いられているドライブによっては、最適な記録パワーからずれる可能性があり、再生する際にエラーなどの記録特性の不具合が生じる。特に第２情報記録層では、半透過層の膜厚の均一性が悪化すると、面内で照射される光量のバラツキが大きくなるため、面内での記録感度悪化が懸念される。
この問題に対して特許文献１、２には課題及びその解決手段に関する記述は全く無い。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−０５０４９７号公報
【特許文献２】特開２００４−０３９１４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題点を解消し、二つの情報記録層から良好な記録信号特性が得られる片面二層記録再生タイプの光記録媒体の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光記録媒体は、光学的に読み取り可能な情報を記録及び／又は再生できる光記録媒体であって、少なくとも、有機色素からなる第１記録層と半透過性の第１反射層が積層された第１基板と、少なくとも、第２反射層と有機色素からなる第２記録層が積層された第２基板とが、透明中間層を介して両基板が外側になるように設けられており、第１反射層の膜厚をｆとし、ｆｉｎを内周（ｒ＝２５ｍｍ）、ｆｍｉｄを中周（ｒ＝４０ｍｍ）、ｆｏｕｔを外周（ｒ＝５７ｍｍ）での膜厚とし、ｆｉｎ、ｆｍｉｄ及びｆｏｕｔのうちの最大膜厚をｆｍａｘ、最小膜厚をｆｍｉｎとしたときに、（ｆｍａｘ−ｆｍｉｎ）／（ｆｍａｘ＋ｆｍｉｎ）が、０．０３以上０．１０以内となるように、第１反射層の膜厚に面内差を付けたことを特徴とする。
この場合、第２基板上に第２反射層、第１保護層、第２記録層、第２保護層が積層されていることが好ましい。
また、第２基板上に第２反射層、第２記録層、第２保護層が積層されていることが好ましい。
また、第１反射層膜厚が７〜１０ｎｍであることが好ましい。
また、第１反射層の光透過率が３０〜６０％で且つ第１反射層の光反射率が１５〜３５％であることが好ましい。
また、第１反射層に隣接して補助層を有し、該補助層が、金属又は半金属の酸化物、或いは、金属又は半金属の窒化物からなることが好ましい。
また、第１反射層が、金属又は半金属の単体と、金属又は半金属の酸化物と、金属又は半金属の窒化物とから選ばれた少なくとも２種の混合物からなることが好ましい。
また、第１反射層に隣接して補助層を有し、第１反射層が、金属又は半金属の単体からなり、補助層が、金属又は半金属の酸化物、或いは金属又は半金属の窒化物からなることが好ましい。
【０００８】
以下、上記本発明について詳細に説明する。
本発明の光記録媒体の層構成例を図２、図３に示す。
図２は、光案内溝を有する表面に、有機色素からなる第１記録層２３と半透過性の第１反射層２４を順次積層した第１情報層を有する第１基板２１と、光案内溝を有する表面に、第２反射層２９、第１保護層（無機保護層）２８、有機色素からなる第２記録層２７、第２保護層（無機保護層）２６を順次積層した第２情報層を有する第２基板２２とを、透明中間層２５を介して互いに積層膜が対向するように記録層を内側にして貼り合わせ、第１基板側からレーザー光を照射することにより、第１及び第２記録層に対して信号情報の記録再生を行う光記録媒体である。
図３は、光案内溝を有する表面に、有機色素からなる第１記録層２３と半透過性の第１反射層２４を順次積層した第１情報層を有する第１基板２１と、光案内溝を有する表面に、第２反射層２９、有機色素からなる第２記録層２７、第２保護層（無機保護層）２６を順次積層した第２情報層を有する第２基板２２とを、透明中間層２５を介して互いに積層膜が対向するように記録層を内側にして貼り合わせ、第１基板側からレーザー光を照射することにより、第１及び第２記録層に対して信号情報の記録再生を行う光記録媒体である。
【０００９】
上記構成において、半透過性の第１反射層を、合金で形成するか、合金と金属又は半金属の酸化物及び／又は窒化物の混合物で形成するか、金属又は半金属の単体、酸化物、窒化物から選ばれた少なくとも２種の混合物で形成することにより、欠陥が少なく信頼性が高い光記録媒体を得ることができる。
半透過性の第１反射層は、通常の場合、記録再生レーザー光に対する光透過率を３０〜６０％、光反射率を１５〜３５％とすることが好ましい。光透過率が３０％未満では、光透過率が低すぎて第２記録層の記録再生が難しくなることがあるし、光反射率が１５％未満では、光反射率が低すぎて第１記録層の記録再生が難しくなることがあるため、良好な片面二層記録再生が難しくなることがある。また、光透過率と光反射率と光吸収率とを併せて１００％であるが、光透過率と光反射率は背反する関係にあり、光透過率が大きくなると光反射率が低下し、光反射率が大きくなると光透過率が低下するため、光透過率の上限は６０％、光反射率の上限は３５％とすることが好ましい。上記数値範囲とするには、後述する材料の中から適宜選択した材料に合わせて膜厚を選択すればよい。
【００１０】
第１反射層の膜厚は、通常５〜３０ｎｍとする。５ｎｍより薄くなると、透過率が上がり、第１記録層の特性の劣化防止が難しくなるので好ましくなく、３０ｎｍを超えると、上記光透過率を満足させることが難しくなるので好ましくない。好ましい範囲は７〜１０ｎｍであり、更に好ましくは８〜９ｎｍである。
ここで、図２に示す層構成の片面二層記録再生タイプの光記録媒体において、第１反射層膜厚を振った（変化させた）ときの第２記録層の記録パワーと、アシンメトリ及びＤＣジッターの関係を図４、図５に示す。波長６５７ｎｍ、ＮＡ：０．６５、線速度３０．６４ｍ／ｓでＤＶＤ（８−１６）信号を記録した後、線速度３．８３ｍ／ｓで再生評価を行った結果である。各層の具体的層構成は、第１反射層膜厚を除き、後述する実施例１のものと同じである。
図４、図５から、第１反射層膜厚を９．１〜９．７ｎｍの範囲で振ると、固定記録パワーでのアシンメトリが約１０％、最適記録パワーＰｏ（ジッターが最小になる記録パワー）が約２ｍＷ変化することが分かる。
【００１１】
一方、第２記録層の場合と同様にして第１記録層の記録再生を行ったときの、記録パワーと、アシンメトリ及びジッターの関係を、それぞれ図６、図７に示す。図６、図７から、第１記録層に関しては、第１反射層膜厚を９．１〜９．７ｎｍの範囲で振っても、第２記録層に比べて感度差が殆ど変化しない（固定記録パワーでのアシンメトリ差は約２〜３％）ことが分かる。
以上の結果から、第１反射層膜厚を変えることにより、第２記録層のみの感度を変えられることが確認された。この知見を応用すれば、第１反射層膜厚を変えて光透過率を変化させることにより、第２記録層のみの感度を制御することが可能となる。
特に内周部又は外周部において極端に記録感度が悪化することがあり、第１反射層膜厚ｆに意図的に面内差を付けることで面内の記録感度差を抑えることが出来る。
第１反射層の膜厚の面内差は、ｆｉｎを内周（ｒ＝２５ｍｍ）、ｆｍｉｄを中周（ｒ＝４０ｍｍ）、ｆｏｕｔを外周（ｒ＝５７ｍｍ）での膜厚とし、ｆｉｎ、ｆｍｉｄ及びｆｏｕｔのうち最大膜厚をｆｍａｘ、最小膜厚をｆｍｉｎとしたとき、（ｆｍａｘ−ｆｍｉｎ）／（ｆｍａｘ＋ｆｍｉｎ）を、０．０３以上０．１０以内、好ましくは０．０５以上０．０７以内とする。０．１０を超えると、第１反射層の膜厚のばらつきが大きくなり、面内において第１記録層の記録感度差が生じて、記録品質に悪影響を及ぼす。また、０．０３未満では、ｆｍａｘとｆｍｉｎの差が小さいため面内差を付ける効果が十分に現れない。
【００１２】
＜基板（第１、第２基板）について＞
基板は、基板側から記録再生を行なう場合には使用レーザに対して透明でなければならないが、記録層側から記録再生を行なう場合には透明である必要はない。
基板材料としては、例えばポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂などのプラスチック、或いは、ガラス、セラミック、金属などを用いることができる。
なお、基板の表面にはトラッキング用の案内溝や案内ピット、更にアドレス信号などのプリフォーマットが形成されていても良い。
また第１基板と第２基板に形成する溝形状は同一ではない。４．７ＧＢ、０．７４μｍピッチのＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ−Ｒの場合、第１基板の溝形状は、溝深さ：１０００〜２０００Å、溝幅（底幅）：０．２〜０．３μｍが好ましい。スピンコート製膜の場合には溝内に色素が充填される傾向があるため、第１記録層と第１反射層の界面形状はこの充填量と基板溝形状により決定されるので、界面反射を利用するには上記範囲が適している。
一方、第２基板の溝形状は、溝深さ：２００〜６００Å、溝幅：０．２〜０．４μｍが好ましい。第２記録層と第２反射層の界面形状は基板溝形状で決定されるので、界面反射を利用するには上記範囲が適している。
第１基板、第２基板共に、上記溝形状範囲よりも溝深さが深いと反射率が低下し易い。また、上記溝形状範囲よりも溝深さが浅いか又は溝幅がずれると、形成される記録マークの形状が揃い難くなりジッターが増加し易い。
【００１３】
＜記録層（第１、第２記録層）について＞
記録層はレーザ光の照射により何らかの光学的変化を生じさせ、その変化により情報を記録するものであり、その材料としては有機色素を主成分とするものを用いる。ここで、主成分とは、記録再生に必要十分な量の有機色素を含有することを意味するが、通常は、必要に応じて適宜添加する少量の添加剤を除き、有機色素のみを用いる。
有機色素の例としては、アゾ系、ホルマザン系、ジピロメテン系、（ポリ）メチン系、ナフタロシアニン系、フタロシアニン系、テトラアザポルフィリン系、スクアリリウム系、クロコニウム系、ピリリウム系、ナフトキノン系、アントラキノン系（インダンスレン系）、キサンテン系、トリフェニルメタン系、アズレン系、テトラヒドロコリン系、フェナンスレン系、トリフェノチアジン系色素、或いはそれらの金属錯体などが挙げられる。
中でも好ましいのは、アゾ（金属キレート）色素、ホルマザン（金属キレート）色素、スクアリリウム（金属キレート）色素、ジピロメテン（金属キレート）色素、トリメチンシアニン色素、テトラアザポルフィリン色素である。
上記色素は、熱分解特性として分解開始温度１００〜３６０℃のものが好ましく、特に１００〜３５０℃のものが好ましい。分解開始温度が３６０℃を越えると記録時のピット形成がうまく行われずジッター特性が悪くなる。また、１００℃未満であるとディスクの保存安定性が悪化する。
【００１４】
上記色素には光学特性、記録感度、信号特性などの向上の目的で他の有機色素、金属、金属化合物を混合してもよく、或いは色素層と他の有機色素、金属、金属化合物からなる層を積層しても良い。
このような金属、金属化合物の例としては、Ｉｎ、Ｔｅ、Ｂｉ、Ｓｅ、Ｓｂ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ａｌ、Ｂｅ、ＴｅＯ２、ＳｎＯ、Ａｓ、Ｃｄなどが挙げられ、それぞれを分散混合するか或いは積層して用いることができる。
更に、上記色素中に高分子材料、例えばアイオノマー樹脂、ポリアミド樹脂、ビニル系樹脂、天然高分子、シリコーン、液状ゴムなどの種々の材料、或いはシランカップリング剤などを分散混合しても良いし、特性改良の目的で安定剤（例えば遷移金属錯体）、分散剤、難燃剤、滑剤、帯電防止剤、界面活性剤、可塑剤などを混ぜることも出来る。
好ましい色素膜厚は、第１記録層（溝部）で４０〜１０００Åであり、第２記録層（溝間部）で６００〜３０００Åである。色素膜厚がこの範囲よりも薄いと信号変調度（コントラスト）が得難く、反対に厚いとマークの形状が揃い難くジッターが増加し易いためである。
【００１５】
記録層の形成は、蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ、溶剤塗布などの通常の手段によって行うことができる。塗布法を用いる場合には、上記染料などを有機溶剤に溶解し、スプレー、ローラーコーティグ、ディッピング、スピンコーティングなどの慣用のコーティング法によって行うことが出来る。用いられる有機溶媒としては一般にメタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどのアミド類；ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類；テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル類；酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル類；クロロホルム、塩化メチレン、ジクロルエタン、四塩化炭素、トリクロルエタンなどの脂肪族ハロゲン化炭化水素類；ベンゼン、キシレン、モノクロルベンゼン、ジクロルベンゼンなどの芳香族類；メトキシエタノール、エトキシエタノールなどのセロソルブ類；ヘキサン、ペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなどの炭化水素類などが挙げられる。
【００１６】
＜反射層（第１、第２反射層）について＞
第１反射層材料としては、レーザー光波長に対する反射率の高い物質が好ましく、その例としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種の金属及び半金属を挙げることができるが、中でも、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕの何れかを主成分とし、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種を０．０１〜１０重量％添加した合金が好ましく、特にＩｎが好ましい（合金であるから、当然ながらＡｕとＡｕ、ＡｇとＡｇ、ＣｕとＣｕの組合せは除く）。０．０１重量％以上添加することにより、結晶粒が微細化し耐蝕性に優れた薄膜となる。しかし、１０重量％を超えて添加すると反射率が低下するため好ましくない。
母材としてはスパッタレートが高いＡｇが最も好ましく、添加物としては屈折率ｎが小さく吸収係数ｋが大きいＡｕ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｉｎが特に好ましい。Ａｇは全元素中で最もｎが小さく光利用効率が最も高いので、その特性を損なわないようにするためには添加物の総量を５重量％以下にすることが特に好ましい。
【００１７】
第１反射層に用いられる金属又は半金属の酸化物としては、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化クロム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化シリコン、酸化カルシウム、酸化錫、酸化インジウム、酸化インジウム錫などが挙げられる。同じく金属又は半金属の窒化物としては、窒化アルミニウム、窒化チタン、窒化シリコン、窒化ジルコニウムなどが挙げられる。
第１反射層の材料として、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕの何れかを主成分とする合金を用いる場合には、母材となる高反射率金属に、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｍｇ、Ｐｄ、Ｚｒ、Ｐｔ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｉｎから選ばれた少なくとも１種を１〜１０重量％添加したターゲットを用いて、圧力０．０１Ｐａから数ＰａのＡｒ雰囲気下、１〜２０Ｗ／ｃｍ２のパワーでスパッタリングすることにより合金反射層を形成することができる。
また、第１反射層の材料として、上記の合金と、金属又は半金属の酸化物及び／又は窒化物との混合物を用いる場合、或いは、金属又は半金属の単体、酸化物、窒化物から選ばれた少なくとも２種の混合物を用いる場合には、各材料を所定の比率で混合したターゲットを用いてスパッタリングにより形成することができる。また、混合物の各材料をセットした複数のターゲットを同時に放電してスパッタリングさせることにより混合物薄膜を形成することもできる。
【００１８】
第１反射層は、補助層を設けて積層構成としてもよい。補助層材料としては金属又は半金属の酸化物又は窒化物を用いることができる。
金属又は半金属からなる第１反射層と金属又は半金属の酸化物又は窒化物からなる補助層を積層する場合には、まず、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｇ、Ｔａ、Ｗ、Ｓｉ、Ｚｒなどの何れかからなる膜をスパッタリングにより形成し、続いて酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化クロム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化タンタル、酸化シリコン、酸化カルシウム、酸化錫、酸化インジウムなどの少なくとも１種からなるターゲットを用いたスパッタリングにより積層膜を形成しても良いし、上記金属又は半金属からなるスパッタ膜の上にＡｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｇ、Ｚｒ、Ｔａ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｓｎ、Ｉｎ、ＩＴＯなどの少なくとも１種をターゲットにして、Ａｒ、Ｏ２混合ガスを用いた反応性スパッタリングにより酸化膜を形成しても良い。
同様に、上記金属又は半金属からなるスパッタ膜の上に、窒化アルミニウム、窒化チタン、窒化シリコン、窒化ジルコニウムなどの少なくとも１種をターゲットにして窒化膜を積層することもできるし、Ａｌ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｚｒなどの少なくとも１種をターゲットにしてＡｒとＮ２混合ガスを用いた反応性スパッタリングにより窒化膜を形成することもできる。
【００１９】
更に、前述したＡｕ、Ａｇ、Ｃｕの何れかを主成分とする合金からなる第１反射層上に上記と同様の補助層を積層する場合には、まず合金からなる反射層をスパッタリングにより形成し、続いて上記と同様にして補助層を積層すればよい。
第２反射層についても基本的には上記と同様の材料を用いるが、欠陥が少なく信頼性が高い光記録媒体を得るためには、合金が好ましい。
好ましい第１反射層膜厚は、前述したように７〜１０ｎｍである。また、好ましい第２反射層膜厚は５０〜５０００Å、更に好ましくは１００〜３０００Åである。５０Åよりも薄いと充分なウォブル特性が得難くなるし、５０００Åよりも厚いとジッター特性が悪くなる。
【００２０】
＜無機保護層（第１、第２保護層）について＞
第１保護層は主に案内溝、案内ピット、プレフォーマットの形成を目的として設けており、材料としてＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｉＯ２等の混合物が好ましい。
また第２保護層は、透明中間層の材料に対して、色素からなる第２記録層を化学的及び物理的に保護する目的で設けており、材料としてＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２、ＳｎＯ２、ＺｎＳ、ＺｎＳ−ＳｉＯ２等の光透過性が高い無機物質が好ましい。
保護層膜厚は、第１保護層で５０〜３００Å、第２保護層は５０〜３００Å又は８００〜２０００Åの範囲にすることが好ましい。第１保護層については、５０Åよりも薄いと充分なウォブル特性が得難いし、３００Åより厚いとジッター特性が悪くなる。また第２保護層については、前記範囲を外れると反射率特性を得難くなる。
【００２１】
＜透明中間層について＞
透明中間層は接着層として用いることが好ましく、その材料としては既存のアクリレート系、エポキシ系、ウレタン系の紫外線硬化型又は熱硬化型接着剤等が使用できる。更に、透明シートにより貼り合わせる方法でも良い。
膜厚は４５〜７０μｍの範囲にすることが好ましい。この範囲を外れると、再生光であるレーザー光を第１又は第２情報記録層上に焦点が来るように絞って照射し、反射光を検出することにより各情報記録層の信号を再生することが難しくなる。
【発明の効果】
【００２２】
二つの情報記録層から面内での感度差が小さく良好な記録信号特性が得られる片面二層記録再生タイプの光記録媒体を提供することができる。
【実施例】
【００２３】
以下、実施例及び比較例を示して本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。また、第１反射層、第１保護層、第２保護層の膜厚／スパッタ条件を表１に示したが、これにより面内分布の調整を行った。
なお、スパッタリングには、Ｕｎａｘｉｓ社製スパッタリング装置Ｂｉｇ  Ｓｐｒｉｎｔｅｒを用い、スパッタガスにはＡｒを用いた。
【００２４】
＜実施例１〜３、比較例１〜３＞
直径１２０ｍｍ、厚さ０．６０ｍｍのポリカーボネート基板の表面上に、溝深さ約３４ｎｍ、溝幅約０．２５５μｍ、トラックピッチ０．７４μｍの案内溝凸凹パターンを有する第２基板を用意し、その上に、スパッタ法により、厚さ約１２０ｎｍのＡｇからなる第２反射層を形成した。Ａｒ流量２０ｓｃｃｍ、スパッタリングパワー３．５ｋＷで行い、スパッタリングレートは３０ｎｍ／ｓとした。
次に、第２反射層上に、第１保護層として、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｉＯ２の混合物〔組成比、６９．９：１６．０：１４．１（重量％）〕を、表１に示すスパッタリング条件で厚さ１５ｎｍ形成した。
次に、第１保護層の上に（実施例４、５では第２反射層の上に）、下記〔化１〕のスクアリリウム色素化合物を吸光度が１．０４の膜厚となるようにスピンコート製膜して第２記録層を形成した。
更に、第２記録層の上に、表１に示すスパッタリング条件で、スパッタ法によりＺｎＳ−ＳｉＯ２を約１５ｎｍの厚さに設けて第２保護層を形成した。但し、実施例３では厚さを１４０ｎｍとした。
【００２５】
一方、直径１２０ｍｍ、厚さ０．５８ｍｍのポリカーボネート基板の表面上に、溝深さ約１６７ｎｍ、溝幅約０．２４５μｍ、トラックピッチ０．７４μｍの案内溝凸凹パターンを有する第１基板を用意し、その上に、下記〔化１〕のスクアリリウム色素と下記〔化２〕のホルマザンキレート色素を７：３（重量比）の割合で混合し、２，２，３，３−テトラフルオルプロパノールに溶解した塗布液をスピンコートして第１記録層を形成した。この記録層の最大吸収波長は６０９ｎｍ、最大吸収波長での吸光度（Ａｂｓ）は０．６５であった。このときのグルーブ部の記録層膜厚は６０ｎｍであった。
更に、第１記録層の上に、ＡｇＩｎ合金（Ａｇ：Ｉｎ＝９９．９７：０．０３重量％）のスパッタリングターゲットを用いて、スパッタ法により第１反射層を形成した。
次いで、上記製膜済みの第１基板と第２基板を、紫外線硬化型接着剤（日本化薬社製：ＫＡＲＡＹＡＤ  ＤＶＤ００３）で貼り合わせ、図２に示す層構成の光記録媒体を得た。
【００２６】
＜実施例４〜５＞
第１保護層を設けなかった点以外は、実施例１と同様にして、第２基板の上に第２反射層、第２記録層、第２保護層を形成した。
次に、実施例１と同様にして、第１基板の上に第１記録層と第１反射層を形成した後、実施例１と同様にして製膜済みの第１基板と第２基板を貼り合わせて、図３に示す層構成の光記録媒体を得た。
【００２７】
上記実施例１〜５と比較例１〜３の光記録媒体について評価を行った。
ＤＶＤ用評価装置（パルステック社製ＤＤＵ１０００、波長：６５７ｎｍ、ＮＡ：０．６５）を用い、線速度２２．９８ｍ／ｓで、各半径位置（２５、４０、５５、５７ｍｍ）にＤＶＤ（８−１６）信号を記録し、線速度３．８３ｍ／ｓで再生評価を行った。このときの、面内の固定パワー（Ｐｗ＝３４ｍＷ）でのアシンメトリ差（Δアシンメトリ）＝アシンメトリ（面内のｍａｘ）−アシンメトリ（面内のｍｉｎ）について表２に示す。
実施例１〜５では、第１情報層（Ｌ０）、第２情報層（Ｌ１）ともに、Δアシンメトリが０．０４以下であり、比較例１〜３と比べて顕著に優れていることが分かる。
【化１】
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【化２】
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【００２８】
【表１】
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【表２】
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【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】二層の情報記録層を有する読み出し専用ＤＶＤの構造を示す断面図。
【図２】本発明の光記録媒体の層構成例を示す図。
【図３】本発明の光記録媒体の他の層構成例を示す図。
【図４】図２に示す層構成の光記録媒体において、第１反射層膜厚を振ったときの、第２記録層の記録パワーとアシンメトリの関係を示す図。
【図５】図２に示す層構成の光記録媒体において、第１反射層膜厚を振ったときの、第２記録層の記録パワーとＤＣジッターの関係を示す図。
【図６】図２に示す層構成の光記録媒体において、第１反射層膜厚を振ったときの、第１記録層の記録パワーとアシンメトリの関係を示す図。
【図７】図２に示す層構成の光記録媒体において、第１反射層膜厚を振ったときの、第１記録層の記録パワーとＤＣジッターの関係を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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