(57)【要約】【課題】触媒を使用することなくプラズマだけで有機物の処理を行うことができ、また、処理対象ガスを中心金属電極において直接反応させないようにする。【解決手段】処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設したことを特徴とするアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設したことを特徴とするアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。
【請求項２】
筒状誘電体外周壁の温度上昇を防止すべく金属外部電極を冷風ファンもしくは水冷により冷却する冷却手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。
【請求項３】
チューブ型プラズマユニット反応器の稼働前にプラズマ励起を発生可能としたことを特徴とする請求項１または２記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。
【請求項４】
チューブ型プラズマユニット反応器の中心電極を筒状誘電体と同心に設置するためのガラス、セラミックスあるいはガラスコーティングされたフッ素樹脂製のサポートを設置したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。
【請求項５】
前記した有機物処理装置の後段には、アスベスト捕獲用フィルターおよび位相差顕微鏡によるＰＣＭ測定装置を一体化もしくは連結によって設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。
【請求項６】
前記した有機物処理装置の後段には、レーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置を一体化もしくは連結によって設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置。
【請求項７】
処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設して成る有機物処理装置を前段処理手段とし、アスベスト捕獲用フィルターおよび位相差顕微鏡によるＰＣＭ測定装置、もしくはレーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置を処理対象ガス中のアスベスト量を測定する後段測定手段として使用したことを特徴とするアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理システム。
【請求項８】
筒状誘電体外周壁の温度上昇を防止すべく金属外部電極を冷風ファンもしくは水冷により冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項７記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理システム。
【請求項９】
チューブ型プラズマユニット反応器の稼働前にプラズマ励起を発生可能とした手段を有することを特徴とする請求項７または８記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理システム。
【請求項１０】
チューブ型プラズマユニット反応器の中心電極を筒状誘電体と同心に設置するためのガラス、セラミックスあるいはガラスコーティングされたフッ素樹脂製のサポート手段を有することを特徴とする請求項７乃至９のいずれか記載のアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チューブ型プラズマユニット反応器を使用した放電プラズマにより励起された処理対象ガスを分解処理可能とし、特にアスベスト検出装置等に使用するアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置および有機物処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プラズマを利用した洗浄装置としては下記のようなものであった。
【０００３】
すなわち、特許文献１に開示されているように、チャンバー内に供給された処理対象ガス中にプラズマを発生させ、該プラズマによって形成された処理対象ガスのラジカルやイオンを樹脂系基板上の接合部分に衝突（スパッタリング）させる技術がある。
【０００４】
また、特許文献２に開示されているように、電磁放射発生源を有する反応室内に、基板を配置させると共にプラズマ発生ガスを導入させ、電磁放射にプラズマ発生ガスを暴露させて、基板表面に接触するプラズマを発生させ、該プラズマを操作圧力で維持するものとした技術がある。
【０００５】
しかしながら、従来におけるプラズマを利用した洗浄装置では、基板や電磁放射発生源等を配置させるために、チャンバー・反応室内のスペースを十分に広くする必要があり、高圧電源の制御や操作圧力の制御が非常に困難なものとなる。しかも、製作費用も格段に高くなってしまう。さらに、処理対象ガスの濃度が増加すると放電分解効率が低下し、また、放電分解処理において酸素の供給量が少なくなれば、副生成物は重合反応等が進行し、臭気の強い生成物が多数発生してしまう虞れが有る。
【０００６】
そこで、本願発明者自身による先の出願では、処理対象ガスの濃度が増加しても放電分解効率を上げることができ、また、放電分解処理において酸素供給を可能にすることで副生成物の重合反応を阻止でき、しかも低コストで連続稼働させることができると共に、処理対象ガスへの酸素供給量を増加させて、ラジカル化またはイオン化反応を促進させることができるものとなり、これによって放電プラズマにより励起された処理対象ガスを分解・合成・改質可能とし、さらにドライ洗浄装置やオゾン発生装置として使用可能にした大気圧プラズマ素子を提供した。
【０００７】
すなわち、この大気圧プラズマ素子は、大気圧雰囲気中で処理対象ガスを流通可能とした筒状部材の外周壁に誘電体層を付設して外部電極とし、該筒状部材の内部に配され、互いに連設された螺旋状に正回転する第１羽根部分、螺旋状に逆回転する第２羽根部分それぞれを内部電極とし、処理対象ガスと酸素を筒状部材内で剪断力を受けて分割および合流を繰り返すことにより両者が攪拌混合されると同時に両電極間に高周波を印加させて放電プラズマを誘起させることで筒状部材内部の処理対象ガスを分解・合成・改質可能としている。また、前記第１羽根部分、第２羽根部分それぞれは、当該両羽根部分間に孔部を有する境界部を設けて筒状部材の長手方向に沿って交互に一体成形して成るかもしくは予め分割形成された両羽根部分を交互に溶接結合して成るものとし、該孔部の位置で前記境界部は、前記両羽根部分それぞれの端部が直交するように捩られて成る。さらに、処理対象ガスのキャリアガスとして大気圧を利用し、また、処理対象ガスに過剰な酸素を供給すべく筒状部材に酸素供給源を接続し、放電プラズマ反応と同時進行して、酸素を含むガスを放電プラズマにより酸化分解処理を行なうものとした。また、前記筒状部材内部での放電プラズマによる励起によってラジカル状になった処理対象ガスを樹脂系基板上の接合部分に吹き付けてドライ洗浄を可能にするプラズマ洗浄装置として使用可能にし、さらに、  前記大気圧プラズマ素子をオゾン発生装置として使用可能にしている。
【特許文献１】特開平５−１２１３８６号公報
【特許文献２】特開２００３−１２４６１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の大気圧プラズマ素子は、触媒材料を表面処理した中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起と触媒活性の相乗効果で分解するチューブ型プラズマユニット反応器を使用している。このように処理対象ガスは中心金属電極において直接化学反応させるため、中心金属電極の触媒材料の劣化、およびこれに伴うメンテナンス等の問題が指摘されている。しかも従来においては、筒状部材の外周壁に誘電体層を付設して成る外部電極は、自体の温度上昇によって誘電率が低下するため、処理対象ガスの処理能力にバラツキを生じる虞れがある。さらに、従来のチューブ型プラズマユニット反応器は、稼働中に静電気を発生させてしまうため、プラズマ励起に悪影響を及ぼすと共に、周辺機器への障害の原因となる問題点を有していた。特に、従来のＰＡＣＴ装置では、触媒材料を電極表面に配置しているため、プラズマと触媒材料が時間的および空間的（以下、時空間的という）に共存しており、パワーの強いアーク放電では触媒材料の消耗が激しく、時間とともに効率が低下し、そのためパワーの弱いグロー放電を用いざるをえなかった。また、装置毎に個別の電源を必要とし、コストの面でも課題があり、製品の標準化、システム化が困難であった。
【０００９】
さらに、チューブ型プラズマユニット反応器によって処理された処理対象ガスの中に未分解状態のままで残留するアスベストを含む繊維状有機物の測定を、処理対象ガスのアスベスト除去処理と同時進行して行えるようにしたシステムは未だ完成されていないのが実状である。
【００１０】
そこで、本発明は叙上のような従来存した諸事情に鑑み創出されたもので、触媒を使用することなくプラズマだけで処理を行うことができ、また、処理対象ガスを中心金属電極において直接反応させないようにして中心金属電極の電極材料の劣化を未然に防止することができ、さらに、外部電極自体の温度上昇を防止することで誘電率の低下を阻止でき、加えて、チューブ型プラズマユニット反応器の稼働中に静電気を発生させないようにすると共に、チューブ型プラズマユニット反応器によって処理された処理対象ガスの中に未分解状態のままで残留するアスベストを含む繊維状有機物の測定を、処理対象ガスのアスベスト除去処理と同時進行して行えるようにしたアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置および有機物処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明にあっては、処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設したことを特徴とする。
【００１２】
また、筒状誘電体外周壁の温度上昇を防止すべく金属外部電極を冷風ファンもしくは水冷により冷却する冷却手段を備えたことを特徴とする。
【００１３】
さらに、チューブ型プラズマユニット反応器の稼働前にプラズマ励起を発生可能としたことを特徴とする。
【００１４】
また、チューブ型プラズマユニット反応器の中心電極を筒状誘電体と同心に設置するためのガラス、セラミックスあるいはガラスコーティングされたフッ素樹脂製のサポートを設置したことを特徴とする。
【００１５】
前記した有機物処理装置の後段には、アスベスト捕獲用フィルターおよび位相差顕微鏡によるＰＣＭ測定装置を一体化もしくは連結によって設けられていることを特徴とする。
【００１６】
前記した有機物処理装置の後段には、レーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置を一体化もしくは連結によって設けられていることを特徴とする。
【００１７】
一方、本発明に係るアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理システムにあっては、処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体の外周壁に金属外部電極を付設し、表面にガラスコーティング処理を施すか、もしくは表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用してなる中心金属電極を筒状誘電体内に挿入し、筒状誘電体外周部の金属外部電極間に高周波を印加し、筒状誘電体内壁と中心金属電極間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設して成る有機物処理装置を前段処理手段とし、アスベスト捕獲用フィルターおよび位相差顕微鏡によるＰＣＭ測定装置、もしくはレーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置を処理対象ガス中のアスベスト量を測定する後段測定手段として使用したことを特徴とする。
【００１８】
そして、筒状誘電体外周壁の温度上昇を防止すべく金属外部電極を冷風ファンもしくは水冷により冷却する冷却手段を有することを特徴とする。
【００１９】
また、チューブ型プラズマユニット反応器の稼働前にプラズマ励起を発生可能とした手段を有することを特徴とする。
【００２０】
さらに、チューブ型プラズマユニット反応器の中心電極を筒状誘電体と同心に設置するためのガラス、セラミックスあるいはガラスコーティングされたフッ素樹脂製のサポート手段を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、触媒を使用することなくプラズマだけで処理を行うことができ、また、処理対象ガスを中心金属電極において直接反応させないようにして中心金属電極の電極材料の劣化を未然に防止することができ、さらに、外部電極自体の温度上昇を防止することで誘電率の低下を阻止でき、加えて、チューブ型プラズマユニット反応器の稼働中に静電気を発生させないようにすることができる。
【００２２】
また、従来のような基板や電磁放射発生源等を配置させるための広いスペースを有するチャンバー・反応室等を必要とせず、また、高圧電源の制御や操作圧力の制御等が不要となるため、反応器自体を容易且つ安価に作製することができる。
【００２３】
一方、本発明に係るアスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理システムにあっては、有機物処理装置を前段処理手段とし、アスベスト捕獲用フィルターおよび位相差顕微鏡によるＰＣＭ測定装置、もしくはレーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置を処理対象ガス中のアスベスト量を測定する後段測定手段として使用したので、チューブ型プラズマユニット反応器によって処理された処理対象ガスの中に未反応であるアスベストを含む繊維状有機物の測定を、処理対象ガスのアスベスト除去処理と同時進行して行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施する最良の形態について図面を参照して説明する。
【００２５】
本発明に係るアスベストを含む大気ガス中の所謂ファイバーと称する繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置１は、中心金属電極２を筒状誘電体３内に挿入し、筒状誘電体３外の金属外部電極４間に高周波を印加し、筒状誘電体３内壁と中心金属電極２間に非平衡プラズマを誘発させて処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起だけで分解するチューブ型プラズマユニット反応器Ｐを使用している。
【００２６】
すなわち、上記アスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去する有機物処理装置１は、図１に示すように、チューブ型プラズマユニット反応器Ｐの筒状誘電体３一端側にテフロン（登録商標）樹脂材等による継手部材５を接続して処理対象ガスの流入口６とし、筒状誘電体３の他端側は、テフロン（登録商標）樹脂材等による継手部材５を介して、例えば二酸化マンガン等のオゾン分解触媒を充填したケーシング１０を接続することで生成物の流出口１１としてある。尚、筒状誘電体３内の中心金属電極２は、芯出し用のサポート部材１３を介して継手部材５，９間で張設固定されている。
【００２７】
チューブ型プラズマユニット反応器Ｐは、チューブ型誘電体バリアー放電を採用しているため、処理対象ガスを流通可能とし、且つ放電プラズマ反応スペースとしている筒状誘電体３として例えば外径１２．５ｍｍ、管肉厚１．３ｍｍで、例えば石英ガラス等の誘電体を使用し、金属外部電極４は、この誘電体の外周部に密着設置されている。
【００２８】
一方、筒状誘電体３内に配した中心金属電極２の表面には、ガラスコーティング処理を施すか、あるいは、中心金属電極２として表面を硬質アルマイト処理されたアルミニウム製電極を使用することで、プラズマ雰囲気内に導入される処理対象ガスおよびプラズマ反応にて励起されたガス組成物質と金属（電極）との化学反応を防止している。こうすることで電極部表面に付着した生成物の除去を容易にしている。
【００２９】
そして、中心金属電極２と筒状誘電体３外の金属外部電極４との間に、例えば出力周波数１３〜１５ｋＨｚ、好ましくは１３．２ｋＨｚの高周波電源１２が接続され、この高周波印加により非平衡プラズマを誘発させ、処理対象ガスをプラズマと接触させることで処理対象ガスの約５μｍ径で約４０μｍ長のアスベストの微細粒子を含む大気ガス中の繊維状有機物を分解除去するものとしている。このとき、高周波電源１２は、チューブ型プラズマユニット反応器Ｐの稼働前にプラズマ励起を発生可能とするように設定してある。また、高周波の発生に際し、筒状誘電体３外周壁の温度上昇を防止すべく金属外部電極４を冷風ファンもしくは水冷により冷却する冷却手段１４を備えている。
【００３０】
また、金属外部電極４と筒状誘電体３間で放電にてオゾンが発生するため、金属外部電極４が外気に露出しないように耐オゾン性に優れた例えばＰＴＦＥ、ＰＦＡ、ＦＥＰ等のフッ素樹脂系熱収縮チューブにて金属外部電極４自体を被覆している。
【００３１】
尚、このフッ素樹脂系の素材を使用する場合には、組み付け前にガラスコーティング処理を施す。また、チューブ型プラズマユニット反応器Ｐの接ガス部分の金属材質としては、例えば表面にガラスコーティング処理を施したステンレス鋼を使用している。
【００３２】
また、本発明においては、処理対象ガスをプラズマと接触させることにより、当該処理対象ガスをプラズマ励起で分解するチューブ型プラズマユニット反応器、および該チューブ型プラズマユニット反応器の下流側にオゾン分解触媒を配設して成る有機物処理装置を前段処理手段として使用し、アスベスト捕獲用フィルターおよび位相差顕微鏡によるＰＣＭ測定装置、もしくはレーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置等を、処理対象ガス中に含まれているアスベスト量を測定するための後段測定手段２０として使用することで有機物処理システムを構築する。
【００３３】
すなわち、アスベスト量を測定するための後段測定手段２０において、流出口１１から生成物として流出された処理対象ガス内に含まれる未分解の残留アスベストの検出法としては、例えばＰＣＭ測定法（位相差顕微鏡法）に使用されるフィルターにこの処理対象ガスを通過させることによって当該フィルターに残留アスベストを捕獲させ、光学的な位相差顕微鏡を使っての人為的な目視計測によって測量する。尚、このＰＣＭ測定法の他に、透過型電子顕微鏡法（ＴＥＭ測定法）、Ｘ線回折分析法（ＸＲＤ測定法）、繊維状エアロゾルモニター法（ＦＡＭ測定法）等がある。
【００３４】
このときＰＣＭ測定法は、５μｍ以下の長さの繊維状粒子の微量な計測が不可能である。この場合には、以下に示すように１μｍ以上の長さの繊維状粒子（以下ファイバーと称す）の微量な測定を可能としたレーザー光源を使用した散乱光偏光測定による浮遊粒子測定装置を使用する。
【００３５】
このアスベスト量を測定するための後段測定手段２０としての浮遊粒子測定装置は、図２に示すように、流出口１１から生成物として流出された処理対象ガスをフロー管２１内に導入し、該フロー管２１の流路に対して直角方向に電極板２２によって高電圧をかけて例えば４００Ｈｚの周波数で振動させることでファイバーを電界方向に配向整列させながら、例えば波長６３２．８ｎｍの直線偏光させたヘリウムネオン（ＨｅＮｅ）レーザー等の光源２３による単色光を当該ファイバーの配向方向に対して垂直に入射するよう例えばフロー管２１の流路方向に照射し、この散乱光をフロー管２１の側壁に配置された光電子増倍管等の散乱光検出装置２４で検知するように構成されている。このとき、ファイバーは、電界によってＭ＝Ｖε０｛（ε―１）／（ε＋１）｝Ｅ２×ｓｉｎ２αなるモーメントが働く。ここで、Ｖはファイバーの体積、ε０は真空誘電率、εは比誘電率、Ｅは外部電場、αはファイバーの長軸と電界とのなす角度である。また、このような浮遊粒子測定装置では、リアルタイムに測定結果データをプリンタに出力したり、またはパソコン等にデータ蓄積保存したりすることが可能なので、長時間にわたる繊維状粒子濃度のモニタリングに好適である。また、光源としてはヘリウムネオン（ＨｅＮｅ）レーザーを使用する替わりに、波長４５７ｎｍから５１４ｎｍまでの発振線が得られるアルゴン（Ａｒ）イオンレーザーを使用しても良い。
【００３６】
このように構成された浮遊粒子測定装置は、散乱角度が９０゜付近の散乱光のみの計測が可能であり、それ以外の散乱角での計測が不可能である。これに対し散乱角度が９０゜付近以外の散乱光も計測することが可能な浮遊粒子測定装置としては、特許登録第２８８１７３１号の浮遊粒子測定方法を使用する。これは、流体中に浮遊する粒子を光学的にリアルタイムに検出できるのに加えて、その粒子の種類を識別することができる装置である。
【００３７】
すなわち、この浮遊粒子測定方法は、図３に示すように、フロー管２１に、当該フロー管２１の内壁の断面の大きさよりも小さい断面を有する枝管２５を複数個設け、この枝管２５から処理対象ガスの流れる方向に対して斜めから光源２３によるレーザー光ビームを入射し、またこれと対になるように散乱光検出装置２４を置く。また、フロー管２１に沿って前記枝管２５と直交する向きに一対の粒子配向用電極２６を配設する。このとき枝管２５の取り付け角度を変えることで、散乱角度が９０°以外に、前方散乱近くから後方散乱近くまで幅広く選択して測定できるようにしている。また、枝管２５の先端部に無反射光学窓２７を取り付けて枝管２５内を密封すると共に、無反射光学窓２７に接して乱反射光吸収用カバー２８を配設することにより純粋な散乱光のみを検出できるようにしている。これにより、微小な粒子や散乱強度の小さい粒子の検出を可能にしている。
【００３８】
さらに具体的な浮遊粒子測定装置の構成としては、フロー管２１内に導入した処理対象ガスに高電界をかけて電界方向にファイバーを配向させる繊維状粒子配向装置、ファイバーに偏光した散乱光を発生させるための４５°の直線偏光を有する検出用レーザー光源、ファイバーによる散乱光の２つの直交する偏光成分を検出するための偏光散乱光検出装置、および２波長の光源用レーザーの出力変動をモニターする２チャンネルレーザーパワーモニター等から構成される。これによってファイバーはフロー管２１の中を流れながら繊維状粒子配向装置の高電界（例えば１〜２ｋＶ／ｃｍ）によって配向させられ、入射された検出用レーザー光源からのレーザービームを横切ることで散乱パルス光が発生され、偏光散乱光検出装置で検出される。
【００３９】
尚、前記したＰＣＭ測定法に使用される位相差顕微鏡やフィルター、または浮遊粒子測定装置を構成する装置等によるアスベスト量の後段測定手段２０は、上記した有機物処理装置１の流出口１１下流側に連結して構成されるが、これに限らず、有機物処理装置１と一体化して構成しても良く、いずれにしても有機物処理装置１の後段に配置されたアスベスト量の測定手段として使用されるのであれば良い。
【００４０】
例えば、アスベスト量の後段測定手段２０を有機物処理装置１と一体化して構成する場合には、チューブ型プラズマユニット反応器Ｐ自体をアスベスト量の後段測定手段２０のフロー管２１として兼用させ、チューブ型プラズマユニット反応器Ｐの筒状誘電体３の下流側における流出口１１手前の例えば継手部材５の近傍位置に上記した構成による後段測定手段２０を設ければ良い。
【００４１】
次に、以上のように構成された最良の形態についての使用、動作の一例を説明するに、図１に示すように、有機物処理装置１のチューブ型プラズマユニット反応器Ｐの流入口６から、アスベストを含む大気ガス中の繊維状有機物等の処理対象ガスを例えば１分間当たり約２リットル程度の割合で吸入する。
【００４２】
これと同時に、処理対象ガスをチューブ型プラズマユニット反応器Ｐの筒状誘電体３内に導入し、中心金属電極２と筒状誘電体３外の金属外部電極４との間で、１３．２ｋＨｚの高周波を印加させて筒状誘電体３内部に非平衡プラズマを誘発させ、処理対象ガスをプラズマと接触させることで処理対象ガスがラジカル化した状態となり、約５μｍ径で約４０μｍ長のアスベストの微細粒子を含む大気ガス中の繊維状有機物が分解除去される。
【００４３】
そして、この処理されたガスは、オゾン分解触媒を充填したケーシング１０内に送り込まれてオゾンを分解した後、流出口１１から生成物として流出される。
【００４４】
この流出口１１から流出された処理対象ガスは、アスベスト量の後段測定手段２０として、ＰＣＭ測定法（位相差顕微鏡法）に使用されるフィルターを通過して残留アスベストが捕獲される。そして、このフィルターを取り外してから、光学的な位相差顕微鏡による目視計測によって測量される。
【００４５】
あるいは、アスベスト量の後段測定手段２０として、流出口１１から流出された処理対象ガスを、上記した構成の浮遊粒子測定装置内に導入させ、処理対象ガス中に残留するアスベスト等のファイバーをリアルタイムに検出すると同時にそのファイバーの種類を識別する。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明を実施するための最良の形態における有機物処理装置の概略構成を示すもので、（ａ）は平面側から見た断面図、（ｂ）は側面から見た断面図である。
【図２】アスベスト量の後段測定手段としてＰＣＭ測定法を採用した一例を示す概略構成図である。
【図３】アスベスト量の後段測定手段として浮遊粒子測定装置を使用した一例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００４７】
Ｐ          チューブ型プラズマユニット反応器
１          有機物処理装置
２          中心金属電極
３          筒状誘電体
４          金属外部電極
５、７、９  継手部材
６          流入口
１０          ケーシング
１１          流出口
１２          高周波電源
１３          芯出し用のサポート部材
１４          冷却手段
２０          アスベスト量の後段測定手段
２１          フロー管
２２          電極板
２３          光源
２４          散乱光検出装置
２５          枝管
２６          粒子配向用電極
２７          無反射光学窓
２８          乱反射光吸収用カバー
【図１】
2008036620.tif 000003
【図２】
2008036620.tif 000004
【図３】
2008036620.tif 000005