(57)【要約】【課題】ステアリング軸に加わる操舵トルクを、トーションバーを用いることなく高精度に検出可能なトルク検出装置を提供する。【解決手段】車両の操舵部材としてのステアリングホイール30の操作を舵取機構に伝えるステアリング軸３の表面に平坦部33を設け、この平坦部33に絶縁材料製の下地膜50を成膜し、この下地膜50の表面のステアリング軸３の軸心に対して互いに回転対称とならない位置に一対の抵抗体51，51を被着形成し、これらの抵抗体51，51を含むブリッジ回路の出力に基づいてステアリング軸３に加わる操舵トルクを算出する構成とする。【選択図】図２
2008122243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両の操舵部材の操作を舵取機構に伝えるステアリング軸の中途に配してあり、操舵のために前記操舵部材に加えられる操舵トルクを検出するトルク検出装置において、
前記ステアリング軸の表面に成膜された絶縁材料製の下地膜と、
該下地膜の表面に、前記ステアリング軸の軸心に対して互いに回転対称でない位置に被着形成された一対の抵抗体と、
これらの抵抗体を含むブリッジ回路の出力に基づいて前記操舵トルクを算出する手段とを備えることを特徴とするトルク検出装置。
【請求項２】
前記下地膜は、２０ａｔｍ％以上のＨと、１０ａｔｍ％以下のＳｉ及びＮとを含むダイヤモンドライクカーボン膜である請求項１記載のトルク検出装置。
【請求項３】
前記下地膜は、前記ステアリング軸の表面に設けた平坦部に成膜してある請求項１又は請求項２記載のトルク検出装置。
【請求項４】
前記抵抗体の形成部を含めて前記下地膜の上部を覆う絶縁材料製のカバー膜を備える請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のトルク検出装置。
【請求項５】
前記下地膜の成膜域を覆うように前記ステアリング軸に装着されたカバー体を備える請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のトルク検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両の操舵部材に操舵のために加えられる操舵トルクを検出するトルク検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の車両には、操舵に要する運転者の労力負担を軽減することを目的として、電動モータを操舵補助用のアクチュエータとして備える電動パワーステアリング装置が広く装備されている。この電動パワーステアリング装置は、ステアリングホイール等の操舵部材に加えられる操舵トルクを、操舵部材と舵取機構とを連結するステアリング軸の中途に配したトルク検出装置により検出し、検出された操舵トルクの方向及び大きさに基づいて操舵補助用のモータを駆動制御し、このモータの発生力を舵取機構に加える構成となっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような電動パワーステアリング装置において用いられるトルク検出装置は、一般的に、検出対象となるステアリング軸を操舵部材の側の第１軸と舵取機構の側の第２軸とに分割し、これらを細径のトーションバーにより同軸上に連結して、操舵部材の操作によりステアリング軸に加わる操舵トルクを、前記トーションバーの捩れを伴って第１，第２軸間に生じる相対角変位を媒介として検出するように構成されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００４−３３８５６２号公報
【特許文献２】特開２００３−１１８３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上の如きトルク検出装置において、第１，第２軸を連結するトーションバーは、操舵トルクの作用により生じる第１，第２軸の相対角変位を大とし、検出精度を高めるために設けてあるが、このトルク検出装置を備える電動パワーステアリング装置においては、操舵部材の操作がなされてから操舵トルクの検出がなされるまでの間にトーションバーの捩れに要する時間遅れが生じ、例えば、操舵開始時、又は一方向から他方向への切り返し操舵時に操舵補助力の応答が遅れ、操舵感の悪化を招来するという問題がある。
【０００５】
また、車両が凹凸を有する路面を走行する場合、路面からの振動が、舵取機構、ステアリング軸を介して操舵部材に伝わり、更に、車両が凍結路面等の低μ路を走行する場合、路面反力の急減が、同様にして操舵部材に伝わり、操舵部材を操作する運転者に、所謂、路面情報（ロードインフォメーション）として体感される。運転者は、このような路面情報を体感することにより、走行中の路面の状況を正確に認識して的確なステアリング操作を行うことができる。ところが、前述したトルク検出装置を備えるパワーステアリング装置においては、路面情報の伝達時にトーションバーがダンパとしての作用をなすため、運転者が体感する路面情報が不足し、的確なステアリング操作を妨げる一因となり、良好な操舵感が得られなくなる虞れがある。
【０００６】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、ステアリング軸に加わる操舵トルクをトーションバーを用いることなく高精度に検出可能であり、電動パワーステアリング装置への適用により、操舵部材と舵取機構との間の応答性の悪化を防止して、良好な操舵感が得られるトルク検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１発明に係るトルク検出装置は、車両の操舵部材の操作を舵取機構に伝えるステアリング軸の中途に配してあり、操舵のために前記操舵部材に加えられる操舵トルクを検出するトルク検出装置において、前記ステアリング軸の表面に成膜された絶縁材料製の下地膜と、該下地膜の表面に、前記ステアリング軸の軸心に対して互いに回転対称でない位置に被着形成された一対の抵抗体と、これらの抵抗体を含むブリッジ回路の出力に基づいて前記操舵トルクを算出する手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また本発明の第２発明に係るトルク検出装置は、第１発明における下地膜が、２０ａｔｍ％以上のＨと、１０ａｔｍ％以下のＳｉ及びＮとを含むダイヤモンドライクカーボン膜であることを特徴とする。
【０００９】
また本発明の第３発明に係るトルク検出装置は、第１又は第２発明における下地膜が、前記ステアリング軸の表面に設けた平坦部に成膜してあることを特徴とする。
【００１０】
更に本発明の第４発明に係るトルク検出装置は、前記抵抗体の形成部を含めて前記下地膜の上部を覆う絶縁材料製のカバー膜を備えることを特徴とし、第５発明に係るトルク検出装置は、前記下地膜の成膜域を覆うように前記ステアリング軸に装着されたカバー体を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の第１発明に係るトルク検出装置においては、操舵部材の操作を舵取機構に伝えるステアリング軸の表面に絶縁材料製の下地膜を介して一対の抵抗体を被着形成し、これらが操舵トルクの作用によりステアリング軸の表面に発生する歪に応じて伸縮し、抵抗値の変化が生じることを利用して、両抵抗体を含むブリッジ回路の出力に基づいて操舵トルクを求める。
【００１２】
一対の抵抗体は、ステアリング軸の軸心に対して互いに回転対称でない位置に形成してあり、操舵トルクの作用時に伸縮して夫々に抵抗値の変化が生じるから、前記操舵トルクを方向を含めて算出することができる。また、ステアリング軸の表面に成膜された下地膜に被着形成してある一対の抵抗体は、ステアリング軸の表面に発生する歪に良好に追随して伸縮するから、この歪の原因となる操舵トルクを、高精度に、しかも応答遅れを生じることなく検出することができる。
【００１３】
第２発明に係るトルク検出装置においては、絶縁材料製の下地膜として、金属製のステアリング軸及び抵抗体との密着強度に優れ、高硬度を有するダイヤモンドライクカーボン膜を用いてあるから、下地膜及び抵抗体の剥がれを防止することができ、また２０ａｔｍ％以上のＨと、１０ａｔｍ％以下のＳｉ及びＮとを含むダイヤモンドライクカーボン膜は、適度の弾性を有し、脆さが緩和されているから、継続的に歪が発生する条件下においても割れが生じる虞れがなく、良好な絶縁性を発揮することができる。
【００１４】
第３発明に係るトルク検出装置においては、ステアリング軸の表面に設けた平坦部に下地膜を成膜し、この下地膜の表面に一対の抵抗体を被着形成したから、これらの抵抗体を良好な形状及び位置精度を有して形成することができ、両抵抗体の抵抗変化に基づく操舵トルクの検出を高精度に行わせることができる。
【００１５】
第４，第５発明に係るトルク検出装置においては、抵抗体が被着形成された下地膜の成膜域をカバー膜又はカバー体により覆ったから、導電性を有する塵埃が抵抗体の表面に付着して、誤検出又は検出不能が生じる虞れを回避することができる等、本発明は優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。図１は、本発明に係るトルク検出装置を備える電動パワーステアリング装置の全体構成を示す模式図である。図示の電動パワーステアリング装置は、車体の左右方向に延設されたラックハウジング10の内部に軸長方向への移動自在に支持されたラック軸１と、ラックハウジング10の中途に交叉するピニオンハウジング20の内部に回転自在に支持されたピニオン軸２とを有するラックピニオン式の舵取機構を備えている。
【００１７】
ラック軸１の両端は、ラックハウジング10の両側から外部に突出され、操舵用の車輪としての左右の前輪12，12に各別のタイロッド11，11を介して連結してある。ピニオン軸２の一端は、ピニオンハウジング20の上部から外側に突出され、上位置に対向するステアリング軸３の下端に連結されている。ピニオンハウジング20の内部に延びるピニオン軸２の下半部には、図示しないピニオンが形成されており、該ピニオンは、ラックハウジング10との交叉部においてラック軸１に適長に亘って形成されたラックに噛合させてある。
【００１８】
ステアリング軸３は、筒形をなすコラムハウジング31の内部に回転自在に支持され、該コラムハウジング31を介して、図示しない車室の内部に前方を下とした傾斜姿勢を保って支持されている。ステアリング軸３の両端は、コラムハウジング31の上下両側から外部に突出しており、下方への突出端には、前述の如くピニオン軸２が連結され、上方への突出端には、操舵部材としてのステアリングホイール30が固設されている。
【００１９】
以上の構成により、操舵のためにステアリングホイール30が回転操作された場合、この回転がステアリング軸３を介してピニオン軸２に伝達され、該ピニオン軸２が軸周りに回転する。ピニオン軸２が回転した場合、下半部に設けたピニオンの回転がラックとの噛合部において運動変換され、ラック軸１がラックハウジング10内にて軸長方向に移動する。このように生じるラック軸１の移動は、両端のタイロッド11，11を介して左右の前輪12，12に伝わり、これらの前輪12，12が押し引きされて操舵がなされる。
【００２０】
図１に示す電動パワーステアリング装置は、以上のように実行される操舵を補助するモータ４と、ステアリングホイール30の回転操作によってステアリング軸３に加えられる操舵トルクを検出するトルク検出装置５とを備えている。
【００２１】
操舵補助用のモータ４は、コラムハウジング31の下端部近傍の外側に軸心を略直交させて取り付けてあり、コラムハウジング31の内部に延びる出力軸の回転を、例えば、ウォーム及びウォームホイールを備えるウォームギヤ減速機により減速してステアリング軸３に伝え、該ステアリング軸３に回転力を付与するように伝動構成されている。この構成によりモータ４の回転力は、ステアリング軸３に減速伝動され、該ステアリング軸３の下端に連結されたピニオン軸２を介してラック軸１に伝えられ、該ラック軸１の移動により前述の如くなされる操舵を補助することができる。
【００２２】
トルク検出装置５は、図１中に破線により示すように、操舵補助用のモータ４の取り付け部よりも上位置のコラムハウジング31の内部に設けてある。図２は、トルク検出装置５の構成を略示する断面図である。このトルク検出装置５は、操舵のためのステアリングホイール30の操作によりステアリング軸３自体に生じる微小な捩れを検出すべく、ステアリング軸３の表面に下地膜50を介して形成された抵抗体51，51を備えている。
【００２３】
コラムハウジング31の内部に軸受32，32によって支持されたステアリング軸３の中途には、図において正面を向けた周面の１箇所を適長に亘って平坦化して平坦部33が設けてある。この平坦部33には、図中にハッチングを施すように、略全域に亘って絶縁体製の下地膜50が成膜されており、この下地膜50の表面には、導電性金属からなる抵抗体51，51が被着形成されている。
【００２４】
下地膜50は、成膜面としてのステアリング軸３の平坦部33と、表面に形成される抵抗体51，51との間の絶縁を保つ作用をなすものであり、絶縁性を有し、平坦部33への成膜が可能な適宜の材料製、例えば、非晶質シリコン製とすることができるが、平坦部33及び抵抗体51，51の双方に対する被着強度が高く、繰り返し加わる捩れに対して十分な耐性を有する必要があり、ダイヤモンドライクカーボン製とするのが望ましい。
【００２５】
ダイヤモンドライクカーボンは、ダイヤモンドに近い構造及び性質を有する非晶質の炭素材料であり、高硬度であると共に耐摩耗性に優れている。ダイヤモンドライクカーボン製の下地膜50は、例えば、メタン（ＣＨ4 ）、エチレン（Ｃ2 Ｈ4 ）等の炭素を含む反応ガスを用いたプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ) 法により、ステアリング軸３に設けた平坦部33の表面に高い被着強度を有して成膜することができる。
【００２６】
一方、ダイヤモンドライクカーボンは、高硬度であることに相反する性質として、衝撃荷重に対して脆いという欠点を有しており、後述のように捩れ荷重が繰り返して作用する条件下において割れが生じる虞れがある。従って本発明においては、硬度を高めるために炭素に結合（ｓｐ3 結合）させてある添加物（Ｈ，Ｓｉ, Ｎ）の含有量を多くし、脆さを緩和し、弾性を高めたダイヤモンドライクカーボンにより下地膜50を形成している。具体的には、２０ａｔｍ％以上のＨを含有し、１０ａｔｍ％以下のＳｉ及びＮを含有するダイヤモンドライクカーボンにより下地膜50を形成することにより、捩れ荷重の繰り返しに対して十分な耐性を確保することができる。
【００２７】
図３は、下地膜50の表面における抵抗体51，51の形成態様を示す説明図である。抵抗体51，51は、ステアリング軸３の軸心と直交する面Ｘ−Ｘに対して対称をなす位置に，互いに逆向きに等しい角度θを有して設定された短冊形の領域内に、長手方向に延びる連続した導電線として形成されている。なお図２には、下地膜50の表面上の抵抗体51，51の形成領域のみが白抜きのブロックにより示されている。
【００２８】
図３（ａ）に示す抵抗体51，51は、延設方向の一端に２か所、他端に１か所の折り返し部を有するＭ字形の形態をなしており、図３（ｂ）に示す抵抗体51，51は、延設方向の一端に１か所の折り返し部のみを有するＵ字形の形態をなしている。このような折り返し部を設けることにより、限られた領域内での抵抗体51，51の長さを増し、後述する伸縮量を大とすることができる。このような形態をなす抵抗体51，51は、下地膜50の表面を覆うマスクに所望のパターンを形成し、このパターン上に、Ｎｉ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ等の良好な導電性を有する金属、又はこれらの化合物を、スパッタリング法等の蒸着法により積層形成し、その後にマスクを除去する公知の手順により形成することができる。
【００２９】
以上の如く形成された抵抗体51，51の端部は、図２に示すように、夫々に近接するように下地膜50上に設けた各別の端子片52，52に接続され、これらを介してコラムハウジング31の周面に設けた基板室34の内部の回路基板53に接続してある。抵抗体51と端子片52，52とは、例えば、アルミワイヤボンディング、金線ボンディング、銅リボン抵抗溶接等の適宜の接続法により接続することができ、また端子片52，52と回路基板53とは、例えば、ステアリング軸３に巻回保持され、ステアリング軸３の回転に応じて巻き数を増減するリード線により接続することができる。
【００３０】
図４は、回路基板53に設けられたブリッジ回路を示す図である。本図に示す如く回路基板53には、直列接続された一対の抵抗体51，51と、直列接続された一対の固定抵抗54，54との並列回路を電源55に接続してあり、抵抗体51，51間と固定抵抗54，54間との間の電位差を出力電圧Ｖ0 として取り出すブリッジ回路56が形成されている。なおこのブリッジ回路56には、バランス調整のための抵抗を追加してもよい。
【００３１】
前述の如く、ステアリングホイール30の回転操作によってステアリング軸３に操舵トルクが加えられた場合、ステアリング軸３の周面、及びこの周面を平坦化して設けた平坦部33に歪が生じ、この平坦部33上に下地膜50を介して設けた抵抗体51，51は伸縮し、これらの抵抗体51，51の抵抗値が増減する。
【００３２】
抵抗体51，51は、ステアリング軸３の軸心に対して互いに回転対称でなく、軸心と直交する面Ｘ−Ｘに対して対称をなす位置に、互いに逆向きに等角度傾斜して設けられているから、操舵トルクの作用による抵抗体51，51の伸縮及び抵抗値の増減は互いに逆向きに生じる。例えば、図２中に矢符にて示す向きの操舵トルクがステアリング軸３に加えられた場合、図の右側の抵抗体51は、伸長して抵抗値を増し、左側の抵抗体51は、短縮して抵抗値を減じる一方、ステアリング軸３に矢符と逆向きの操舵トルクが加えられた場合には、左側の抵抗体51の抵抗値が増大し、右側の抵抗体51の抵抗値が減少する。
【００３３】
このように抵抗体51，51の抵抗値は、ステアリングホイール30の操作によりステアリング軸３に加わる操舵トルクの方向に応じて増減し、この増減量は、抵抗体51，51が形成された平坦部33に生じる歪の大きさ、即ち、ステアリング軸３に加わる操舵トルクの大きさに対応する。図４に示すブリッジ回路56の出力電圧Ｖ0 は、固定抵抗54，54の抵抗値が不変であることから、抵抗体51，51の抵抗値の増減に応じて正負となり、その大きさは、抵抗体51，51の抵抗値の増減量に一義に対応する。従って、出力電圧Ｖ0 の正負は、ステアリング軸３に加わる操舵トルクの方向を示し、出力電圧Ｖ0 の絶対値は、操舵トルクの大きさを示すこととなり、ブリッジ回路56の出力電圧Ｖ0 に基づいてステアリング軸３に加わる操舵トルクを算出することができる。
【００３４】
ブリッジ回路56の出力電圧Ｖ0 は、図１に示すようにアシスト制御部６に与えられている。アシスト制御部６は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭを備え、ＲＯＭに記憶された制御プログラムに従うＣＰＵの動作により以下の制御動作を実行するＥＣＵとして構成されており、操舵トルクの算出は、このアシスト制御部６においてなされる。一方、図２に示す回路基板53に演算回路を形成し、この演算回路により操舵トルクを算出する構成とすることもできる。
【００３５】
アシスト制御部６の出力は、前述した操舵補助用のモータ４の駆動回路に与えられていおり、前記モータ４は、アシスト制御部６から与えられる制御指令に従って駆動されるようになしてある。またアシスト制御部６には、操舵補助用のモータ４に付設されたモータ電流センサ40から、該モータ４の駆動電流の検出値が与えられ、更に、車両の各部に設けた走行状態センサ60から、車速、ヨーレート等、操舵に影響を及ぼす走行状態の検出結果が与えられている。
【００３６】
アシスト制御部６は、トルク検出装置５の出力を適宜のサンプリング周期にて取り込み、ステアリング軸３に加えられる操舵トルクを算出又は認識し、得られたトルク検出値をＲＯＭに記憶させてある補助力マップに適用して、操舵補助用のモータ４に発生させるべき操舵補助力を算出し、この操舵補助力を発生すべく操舵補助用のモータ４に動作指令を発し、該モータ４をアシスト駆動する。
【００３７】
このアシスト駆動は、電流センサ40から与えられる駆動電流の検出値を用いたフィードバック制御により行われ、この駆動によりモータ４が発生する操舵補助力がラック軸１に加えられ、前述の如く操舵を補助することができる。目標補助力の算出に用いる補助力マップは、車速、ヨーレート等、操舵に影響を与える走行状態毎に設定してあり、走行状態センサ60による走行状態の検出結果は、補助力マップの選定に用いられる。これにより、走行状態に応じて適正な操舵補助が実行される。
【００３８】
以上の如く構成されたトルク検出装置５において、抵抗体51，51は、ステアリング軸３の周面の平坦部33に成膜された下地膜50の表面に積層形成されており、平坦部33に発生するわずかな歪に確実に追随して伸縮する。従って、ブリッジ回路56の出力電圧Ｖ0 による操舵トルクの算出は、高い精度を有して実現することができる。抵抗体51，51が、ステアリング軸３の軸心と直交する面Ｘ−Ｘに対して対称をなし、等しい傾斜角度θを有して設けてあるのは、操舵トルクの作用下における両抵抗体51，51の伸縮を同条件の下で生じさせるためである。両抵抗体51，51の傾斜角度θは、０°及び90°以外の適宜の角度とすることができるが、他の制約がない限り、45°又はその近傍の角度とするのが望ましい。
【００３９】
下地膜50の材料であるダイヤモンドライクカーボンは、各種の金属材料に対して高い被着強度を有して成膜可能な材料であり、下地膜50、及び該下地膜50の表面に積層形成された抵抗体51，51は、操舵トルクの作用による捩れが繰り返される環境下においても平坦部33から剥離せず、前述したトルク検出を長期に亘って安定して行わせることができる。また前述したように、２０ａｔｍ％以上のＨを含有し、１０ａｔｍ％以下のＳｉ及びＮを含有しており、脆さを緩和し、弾性を高めたダイヤモンドライクカーボンにより下地膜50を形成しているから、捩れ荷重が繰り返し作用する条件下においても割れ等の損傷が生じる虞れがなく、平坦部33と抵抗体51，51との絶縁を良好に維持することができ、確実なトルク検出が可能となる。
【００４０】
下地膜50及び抵抗体51，51は、ステアリング軸３の周面に直接形成することもできる。この場合、抵抗体51，51の位置及び形状精度が低下する虞れがあることから、実施の形態に示すように、ステアリング軸３の周面に平坦部33を設け、この平坦部33に下地膜50及び抵抗体51，51を形成するのが望ましい。下地膜50は、抵抗体51，51及び端子片52，52…の下位置にのみ局所的に形成してもよいが、実施の形態に示すように、平坦部33の略全面に設けることにより均質な成膜が可能となり、抵抗体51，51及び端子片52，52…の絶縁状態を良好に維持することができる。
【００４１】
トルク検出装置５は、外部とは隔絶されたコラムハウジング31の内部に構成されているが、コラムハウジング31の内部には、導電性の塵埃が存在又は進入する虞れがあり、この種の塵埃が抵抗体51，51に付着した場合、操舵トルクの誤検出又は検出不能を招来する虞れがある。図５、図６は、本発明の他の実施の形態を示す図であり、塵埃の付着防止のための構成を備えている。
【００４２】
図５に示す実施の形態においては、下地膜50が成膜されたステアリング軸３の平坦部33の全体を覆うカバー体57を備えている。図示の如くカバー体57は、平坦部33と略等しい長さ及び幅を有し、ステアリング軸３の周面に沿うようにアーチ形に成形された樹脂板又は金属板であり、長さ方向の端部の中央に固定用のブラケット58を有している。このカバー体57は、図５（ａ）に示すように、平坦部33の上位置に整合するように位置決めし、ブラケット58に設けた挿通孔に通した止めねじ59を、ステアリング軸３の外周面の該当部位に形成したねじ孔34に締め付けることにより、図５（ｂ）に示すように下地膜50の成膜域の全体を覆うように取り付けられる。
【００４３】
このようなカバー体57の取り付けにより、下地膜50及び抵抗体51，51への塵埃の接近を防止することができ、導電性を有する塵埃の付着による誤検出又は検出不能の発生を未然に防止することができる。カバー体57は、長さ方向の一カ所を止めねじ59により固定されているのみであり、ステアリング軸３の捩れによる応力が加わることがなく、封止状態を良好に維持することができる。
【００４４】
なお、カバー体57とステアリング軸３との接触部には、接触圧力や応力を緩和するための樹脂部材を被着することができる。この被着は、超音波溶着、加硫接着等の手段により実現される。樹脂部材としては、例えば、ＢＲ，ＮＢＲ，ＮＰＤ、エポキシ樹脂等を用いいることができる。
【００４５】
またカバー体57をステアリング軸３に固定するブラケット58及び止めねじ59の位置は、図５に示す位置に限定されず、カバー体57の一辺をステアリング軸３に固定し、対角に位置する辺及び隣り合う辺を固定しないようにすればよい。
【００４６】
図６に示す実施の形態においては、抵抗体51，51が形成された下地膜50の上部を絶縁材料製のカバー膜 50aにより覆うことにより塵埃の付着防止を図っている。図６には、下地膜50、抵抗体51，51及びカバー膜 50aの形成手順が示されており、まず図６（ａ）に示すように、平坦部33の表面に下地膜50を成膜し、次に図６（ｂ）に示すように、下地膜50の上面に抵抗体51，51を形成し、最後に図６（ｃ）に示すように、抵抗体51，51が形成された下地膜50の上部に絶縁材料製のカバー膜 50aを形成する。
【００４７】
前述したように下地膜50は、プラズマＣＶＤ法により成膜されたダイヤモンドライクカーボン製の成膜層として形成することができ、同じく抵抗体51，51は、スパッタリング法等の蒸着法によりパターン形成された導電線として形成することができる。抵抗体51，51の材質は、Ｎｉ，Ｃｕ，Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ等の導電性金属、又はその化合物とすることができる。カバー膜 50aは、下地膜50と同様のダイヤモンドライクカーボン製の成膜層として形成してもよいが、抵抗体51，51への塵埃の付着を防止する作用を果たし得ればよく、抵抗体51，51及び下地膜50に対する高い被着強度は要求されないことから、例えば、樹脂材を塗布して乾燥させる等の簡易な手段により形成することもできる。
【００４８】
このようなカバー膜 50aの形成により、コラムハウジング31内の塵埃はカバー膜 50aの表面に付着するのみであり、導電性を有する塵埃が抵抗体51，51及びワイヤボンディング等の配線材に付着する虞れを回避することができる。またカバー膜 50aは、抵抗体51，51及び配線材への湿度の影響を排除する機能も果たし、操舵トルクの誤検出又は検出不能の発生を未然に防止することができる。
【００４９】
トルク検出装置５の抵抗体51，51は、ステアリング軸３に加わる操舵トルクに応じて、同一の条件下にて互いに逆向きに伸縮し得るならば、適宜の配置にて形成することができる。図７は、本発明の更に他の実施の形態を示す図であり、抵抗体51，51の他の形成態様が示されている。
【００５０】
この実施の形態においては、ステアリング軸３の周面に、軸心線を含む面に対して対称をなす２カ所に平坦部33，33を設け、夫々の平坦部33，33に下地膜50を介して抵抗体51，51が形成されている。図中には、正面側の平坦部33に形成された抵抗体51を実線により示し、背面側の平坦部33に形成された抵抗体51を破線により示してあり、両抵抗体51，51は、ステアリング軸３の軸心に対して互いに回転対称の位置になく、軸心線と同じ向きで等しい傾斜角度を有して形成されている。
【００５１】
このように形成された抵抗体51，51も、操舵トルクの作用下での夫々の平坦部31，31に生じる歪によって、互いに同条件にて逆向きに伸縮するから、これらの抵抗体51，51を含んで図４に示すように構成されたブリッジ回路56の出力電圧Ｖ0 に基づいて操舵トルクを算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係るトルク検出装置を備える電動パワーステアリング装置の全体構成を示す模式図である。
【図２】トルク検出装置の構成を略示する断面図である。
【図３】下地膜の表面における抵抗体の形成態様を示す説明図である。
【図４】回路基板に設けられたブリッジ回路を示す図である。
【図５】本発明の他の実施の形態を示す図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示す図である。
【図７】本発明の更に他の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
３  ステアリング軸、30  ステアリングホイール（操舵部材）、５  トルク検出装置、33  平坦部、50  下地膜、50a カバー膜、51  抵抗体、56  ブリッジ回路、57  カバー体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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