(57)【要約】【課題】ウエブ供給装置からウエブ処理設備へとウエブを供給するためのエントリーロックシステム、並びにこのようなエントリーロックシステムを備えたウエブ処理設備及びそれらを使用するための方法を提供すること。【解決手段】  エントリーロックシステムは、入口ポート及び出口ポートを有する第１チャンバと、入口ポートを有する第２チャンバと、上記第１チャンバの上記入口ポートに配置された第１シールと、上記第１チャンバと上記第２チャンバとの間に配置された第２シールと、上記第１チャンバに配置された第１ウエブ貯蔵装置と、上記第２チャンバに配置された第２ウエブ貯蔵装置とを備える。【選択図】      図１Ａ
2008218990.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエブ供給装置（１２０）からウエブ処理設備（３００）へとウエブを供給するためのエントリーロックシステム（１００）において、
ａ）入口ポート（１９０）及び出口ポート（１７０）を有する第１チャンバ（１１０）と、
ｂ）入口ポート（１８０）を有する第２チャンバ（２１０）と、
ｃ）上記第１チャンバの上記入口ポートに配置された第１シール（１０５）と、
ｄ）上記第１チャンバと上記第２チャンバとの間に配置された第２シール（２０５）と、
ｅ）上記第１チャンバに配置された第１ウエブ貯蔵装置（１３０、１４０、１５０）と、
ｆ）上記第２チャンバに配置された第２ウエブ貯蔵装置（２３０、２４０、２５０）と、
を備えるエントリーロックシステム。
【請求項２】
上記第２チャンバは、上記ウエブ処理設備（３００）に接続される出口ポート（１９５）を有する、請求項１に記載のエントリーロックシステム。
【請求項３】
上記第１チャンバ及び／又は上記第２チャンバは、少なくとも１つの真空ポンプを備える、請求項１又は２に記載のエントリーロックシステム。
【請求項４】
上記第１ウエブ貯蔵装置及び／又は上記第２ウエブ貯蔵装置は、複数のローラー（１３０、１４０、２３０、２４０）を備える、請求項１から３のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項５】
上記第１シール及び／又は上記第２シールは、可撓性真空シールである、請求項１から４のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項６】
上記第１シール及び／又は上記第２シールは、膨張式シールである、請求項１から５のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項７】
上記第１シール及び／又は上記第２シールは、シャッターシールである、請求項１から６のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項８】
上記第１ウエブ貯蔵装置及び／又は上記第２ウエブ貯蔵装置は、上記ウエブ貯蔵装置内で移動するための少なくとも１つの可動ローラー（１４０；２４０）を備える、請求項１から７のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項９】
上記移動は、一次元並進移動である、請求項８に記載のエントリーロックシステム。
【請求項１０】
少なくとも２つの可動ローラーを備え、上記少なくとも２つの可動ローラーは、キャリッジ（１５０；２５０）を介して接続されている、請求項８又は９に記載のエントリーロックシステム。
【請求項１１】
上記第１チャンバ及び上記第２チャンバは、互いに直接接触している、請求項１から１０のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項１２】
上記第２チャンバは、上記ウエブ処理設備の一部分である、請求項１から１１のいずれかに記載のエントリーロックシステム。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれかに記載の少なくとも１つのエントリーロックシステムを有するウエブ処理設備。
【請求項１４】
上記ウエブ処理設備の入口ポートに配置された１つのエントリーロックシステム及び／又は上記ウエブ処理設備の出口ポートに配置された１つのエントリーロックシステムを有する、請求項１３に記載のウエブ処理設備。
【請求項１５】
ウエブ処理設備にウエブを供給するための方法において、
ａ）第１圧力を有する第１チャンバへ周囲空気から上記ウエブを供給するステップと、
ｂ）上記第１チャンバへ供給された上記ウエブを上記第１チャンバに貯蔵するステップと、
ｃ）上記第１チャンバを密閉し、上記第１チャンバを第２圧力まで排気するステップと、
ｄ）第３の圧力を有する第２チャンバへ、上記第１チャンバに貯蔵された上記ウエブを供給するステップと、
ｅ）上記第２チャンバへ供給された上記ウエブを上記第２チャンバに貯蔵するステップと、
ｆ）上記第２チャンバを上記第１チャンバから密閉するステップと、
を備えた方法。
【請求項１６】
上記第２チャンバに貯蔵された上記ウエブを上記ウエブ処理設備のウエブ処理応用装置へ供給するステップを更に含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
上記ステップａ）−ｆ）は、少なくとも１回、典型的に、少なくとも１０回繰り返される、請求項１５又は１６に記載の方法。
【請求項１８】
上記ステップｃ）は、上記ステップａ）及びｂ）の後に行われ、及び／又は、上記ステップｆ）は、上記ステップｄ）及びｅ）の後に行われる、請求項１５から１７のいずれかに記載の方法。
【請求項１９】
上記ウエブ処理設備への上記供給は、連続的である、請求項１５から１８のいずれかに記載の方法。
【請求項２０】
上記第２圧力及び上記第３の圧力は、同一である、請求項１５から１９のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエブ処理設備に使用するためのエントリーロックシステム、ウエブ処理設備及びウエブ処理設備に供給するための方法に関する。本発明は、特に、ウエブ処理設備内の圧力よりも相当に高い周囲空気から供給されるウエブを、そのウエブ処理設備へ供給できるようにするエントリーロックシステムに関する。
【発明の背景】
【０００２】
ウエブコーティングの如き、多くのウエブ処理応用装置においては、そのウエブ処理設備内の圧力は、大気圧よりも相当に低い。しかしながら、これらのウエブ処理応用装置において処理すべきウエブは、典型的に、大気圧を有する周囲からそのウエブ処理設備へと供給される。従って、ウエブ処理設備内の真空が損なわれないようにして、ウエブをそのウエブ処理設備へと供給することが望ましい。
【０００３】
こうするため、従来技術においては、ウエブ処理設備内へのウエブの移動を許すが、外側のより高い圧力に対してウエブ処理設備を密閉することができるようなシールを、ウエブ処理設備の入口に設けることが知られている。これらのシールは理論的には有効であるが、これらシールは、実際には、大気圧である外側に対して、ウエブ処理設備の内側空間を完全に望ましいレベルで密閉することはできない。例えば、あるシールは、移動するウエブの縁部に沿ってぴったりと寄り添うことはできない。従って、ウエブの縁部に沿う僅かな自由空間のため、外側からの空気がウエブ処理設備に入り込み、それにより、その高い真空が減少させられてしまう。
【０００４】
この点において更に開発された技術としては、いわゆるエアツーエアシステムがある。エアツーエアシステムは、直列に配置された、幾つかの圧力ステージ、即ち、チャンバを通して圧力差が減ぜられていくようなモジュラーロックシステムである。これらの個々のチャンバは、開口によって互いに接続されている。これらのシステムにおいては、ウエブは、圧力の減じた多数のチャンバを通して移動させられる。ウエブ処理設備の入口に配置された単一シールと比較して、各々が隣接するチャンバに対して密閉されている圧力の減じたチャンバを多数配置することにより、ウエブ処理設備に入る空気の量は減ぜられる。これは、隣接するチャンバ間の圧力差が周囲空気とウエブ処理設備との全圧力差に比較して小さいことによるものである。しかしながら、ウエブ処理設備の入口に多数のチャンバを直列に配置するのでは、そのために相当の空間が費やされてしまうことになる。また、エアツーエアシステムは、圧力ステージを設けるのに大きな排気能力を必要としている。更に又、最初の圧力ステージ内に発生される強い空気流及び乱流のために基板が引き裂かれてしまうことがあるので、基板厚さの限界はより低いものとなってしまう。
【発明の概要】
【０００５】
従来技術の問題点のうち少なくとも幾つかは、特許請求の範囲の請求項１によるエントリーロックシステム、特許請求の範囲の請求項１３によるウエブ処理設備及び特許請求の範囲の請求項１５によるウエブ処理設備に供給するための方法によって克服される。更なる態様、詳細及び効果は、特許請求の範囲の従属請求項、詳細な説明及び添付図面から明らかであろう。
【０００６】
前述したことに鑑み、ウエブ供給装置からウエブ処理設備へとウエブを供給するためのエントリーロックシステムが提供される。このエントリーロックシステムは、入口ポート及び出口ポートを有する第１チャンバと、入口ポートを有する第２チャンバと、上記第１チャンバの上記入口ポートに配置された第１シールと、上記第１チャンバと上記第２チャンバとの間に配置された第２シールと、上記第１チャンバに配置された第１ウエブ貯蔵装置と、上記第２チャンバに配置された第２ウエブ貯蔵装置とを含む。
【０００７】
本発明の別の態様によれば、前述したような少なくとも１つのエントリーロックシステムを有するウエブ処理設備が提供される。
【０００８】
本発明の別の態様によれば、ウエブ処理設備にウエブを供給するための方法が提供される。この方法は、
ａ）第１圧力を有する第１チャンバへ周囲空気から上記ウエブを供給するステップと、
ｂ）上記第１チャンバへ供給された上記ウエブを上記第１チャンバに貯蔵するステップと、
ｃ）上記第１チャンバを密閉し、上記第１チャンバを第２圧力まで排気するステップと、
ｄ）第３の圧力を有する第２チャンバへ、上記第１チャンバに貯蔵された上記ウエブを供給するステップと、
ｅ）上記第２チャンバへ供給された上記ウエブを上記第２チャンバに貯蔵するステップと、
ｆ）上記第２チャンバを上記第１チャンバから密閉するステップと、
を含む。
【０００９】
以下に、本発明の実施形態について、図面に関連してより詳細に説明する。
【実施形態の詳細な説明】
【００１０】
次に、本発明の種々な実施形態について詳細に説明する。それら実施形態の１つ以上の実施例が図に例示されている。各実施例は、本発明の説明として与えられており、本発明をこれらに限定しようとしているものではない。例えば、１つの実施形態の部分として例示され又は説明されている特徴は、他の実施形態に又はそれと関連して使用して更に別の実施形態を形成することができるものである。本発明は、このような変更及び変形を含まんとするものである。
【００１１】
本発明は、異なる圧力を有するチャンバへ又はそれらチャンバを通して、コイルから可撓性基板が連続して搬送されなければならない全ての用途に使用できる。特に、本発明は、周囲大気から真空へとウエブを供給するのにも使用できる。本適用例の範囲内で、用語「ウエブ」、「フォイル」、「ストリップ」、「基板」等は、同義のものとして使用されている。
【００１２】
図１は、本発明によるエントリーロックシステムの１つの実施形態を示している。このエントリーロックシステムは、第１チャンバ１１０及び第２チャンバ２１０を備える。第１チャンバの出口ポート１７０と第２チャンバの入口ポート１８０との間には、シール２０５が配置されている。第１チャンバの入口ポート１９０に、別のシール１０５が配置されている。第１チャンバ及び第２チャンバの両者は、特定の量のウエブを貯蔵するための空間を与えている。典型的に、本発明によれば、０．５ｍと４０ｍとの間の長さのウエブを貯蔵することができ、ある実施形態では、５ｍと２０ｍとの間又は８ｍと１２ｍとの間の長さのウエブを貯蔵することができる。ある応用装置では、１ｍと２ｍとの間の長さのウエブを各チャンバに貯蔵することができる。ウエブは、コイル１２０から第１シール１０５を通して第１ウエブ貯蔵装置まで、エントリーロックシステムへと供給される。第１ウエブ貯蔵装置は、第１チャンバ内にある。図１Ａに示される実施形態では、ウエブ貯蔵装置は、５つのローラーと、キャリッジとを備える。ローラー１３０は、固定軸を有しているが、ローラー１４０は、第１チャンバ１１０内において移動できるものである。図示した実施形態では、それらローラーの移動方向は、第１チャンバ内で上下方向である。ローラー１４０は、キャリッジ１５０を介して互いに接続されている。
【００１３】
典型的に、第１チャンバ及び第２チャンバは、互いに直接接触するものでよく、即ち、それらは、すぐ隣にあるものである。これら第１チャンバ及び第２チャンバは、共通の壁部を有するものであってもよい。典型的に、第２シールは、第１チャンバの出口ポート及び／又は第２チャンバの入口ポートに配置される。
【００１４】
本発明の典型的な実施形態では、ウエブ貯蔵装置は、固定軸を有するローラーと、可動のローラーとを備える。典型的に、固定軸ローラーは、第１チャンバ及び／又は第２チャンバの上方部分に配置される。可動ローラーは、典型的に、第１チャンバ及び／又は第２チャンバ内で一次元的な並進移動を行えるものである。即ち、可動ローラーの軸は、典型的に、並進移動を行うことができる。一般的に、ウエブ貯蔵装置は、少なくとも１つの可動ローラーと、少なくとも２つの固定軸ローラーとを備える。典型的に、固定軸ローラーの数は、可動ローラーの数に１を加えたものに等しい。ウエブ貯蔵装置が２つ又は３つ以上の可動ローラーを備える場合には、それら可動ローラーは、典型的に、キャリッジ等により互いに接続される。典型的に、固定ローラー及び／又は可動ローラーの数は、第１チャンバ及び第２チャンバの両者において同一である。典型的に、可動ローラー及び／又は可動ローラーを接続するキャリッジの重さは、ウエブがコイルから供給されるときに、それらローラーが下方に移動するようなものとされている。チャンバは、それらローラー及び／又はキャリッジの上下動を案内するための案内レールを備えることができる。他の実施形態では、可動ローラーは、電気モータ等の如き、駆動システムにより外部から駆動移動させられるものとすることもできる。
【００１５】
本発明によれば、ウエブは、ウエブ供給装置から第１チャンバへ供給される。ウエブ供給装置は、典型的に、ウエブが巻かれているコイルである。そのコイルのウエブの典型的な長さは、５００ｍと１５ｋｍとの間の範囲にある。他の実施形態では、ウエブ供給装置は、本発明によるエントリーロックシステムの第１チャンバへと供給されるようにウエブが出て行く出口ポートを有する処理チャンバである。
【００１６】
第１チャンバにおけるローラー１３０及び１４０に沿って進行した後、そのウエブは、第１チャンバの出口ポート１７０から出て、シール２０５を通して、第２チャンバ２１０の入口ポート１８０で第２チャンバ２１０内へと進行していく。チャンバ２１０において、ウエブは、図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃの実施形態においては、第１チャンバのウエブ貯蔵装置と同一な第２ウエブ貯蔵装置を通過しなければならない。その後に、ウエブは、出口ポート１９５で第２チャンバを出て行く。典型的に、第２チャンバの出口ポート１９５は、例えば、そのウエブが洗浄されたり又はコーティングされたりするウエブ処理装置のチャンバへの入口である。本発明の典型的な実施形態では、このようなチャンバの圧力、即ち、ウエブ処理設備内の圧力は、１０−４ミリバールの如き、１０−３ミリバールと１０−５ミリバールとの間である。本適用例内で、用語「約」は、特定された値から＋／−２０％の偏差を含むものとして理解されたい。第２チャンバの出口ポート１９５とウエブ処理設備の続くチャンバ（図示していない）の入口との間に、別のシール（図示していない）を設けることができる。
【００１７】
一般に、第１シール及び／又は第２シールは、可撓性のある真空シールであってよい。それらが可撓性であるため、第１シール及び／又は第２シールは、ウエブに十分ぴったりと寄り添うことができ、それらの間を空気が通過するのを防止することができる。これら第１シール及び／又は第２シールは、容易に開閉できるものである。別の仕方として、シャッターシール及び／又はスリット弁を使用することができる。
【００１８】
他の実施形態では、第１シール及び／又は第２シールは、膨張式シールである。これらのシールは、膨張してその体積を増大して、ウエブに対して圧接することができる。それらシールは、回転シールであることもできる。これらのシールは、シールの低圧側から高圧側へと又はその逆にウエブと共に移動する回転シール表面を与える。従って、シールとウエブとの間に摩擦はない。これは、特に、８マイクロメーターの如き、１マイクロメーターと１０マイクロメーターとの間の厚さを有するウエブの如き薄いウエブの場合に有用である。また、本発明の別の実施形態では、国際出願ＷＯ２００５／１１６５０１  Ａ１に開示されているようなロック弁のようなシールを、第１チャンバと第２チャンバとの間の第１チャンバの入口ポート又は第２チャンバの出口ポートのシールとして使用することができる。
【００１９】
次に、本発明のエントリーロックシステムの動作の仕方について、図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ及び図７に関連して説明する。もし、ウエブコイルがウエブ処理設備によって使い尽くされた場合には、新しいコイル１２０を、そのウエブ処理設備へ付与しなければならない。ウエブが第１チャンバ及び第２チャンバに装着されると、図１Ａに示すような状態となる。このステップは、典型的に、手動で行われる。別の仕方として、フライングスプライスを使用することができる。第２シール２０５が閉じられ、第２チャンバ及びこの第２チャンバに接続されているウエブ処理装置の１つ以上のチャンバの両者が排気される。この時点で、ウエブ処理を開始することができる。
【００２０】
第１ウエブ貯蔵装置１３０、１４０、１５０は、ウエブが第１チャンバに貯蔵されるように作動される。これは、図１Ｂに示されており、ここでは、ウエブ１６０は、コイル１２０から巻きほどかれ、開放されたシール１０５を通してローラー１３０、１４０へと供給されている。第２シールがこの供給中に閉じられているので、第２チャンバにおけるウエブは、第１チャンバにウエブが貯蔵されていく間は移動していない。巻きほどかれている間、そのウエブは、第１チャンバへ供給されているだけである。それらウエブの重さのため、可動ローラーが第１チャンバの底部に向かって下方移動させられ、可動ローラーと固定軸ローラーとの間にウエブが貯蔵されていく。
【００２１】
第１チャンバにおける第１ウエブ貯蔵装置が充填されるとき、第１シール１０５が閉じられる。図１Ａから図１Ｃに示す実施形態では、ウエブ貯蔵装置は、可動ローラーが第１チャンバの底部に向かって移動することにより、充填されていく。それから、第１チャンバが排気される。これは、例えば、第１チャンバに配置され又は第１チャンバに接続され空気が第１チャンバから排除されるようにする１つ以上の真空ポンプにより行うことができる。典型的に、処理のこのステージでは、第１チャンバは、その圧力が第２チャンバ内の圧力に対応する圧力に達するまで、排気される。第２チャンバ内の圧力は、典型的に、この第２チャンバに続くチャンバの圧力と同一又は同様のものである。これに関連して、用語「同様」は、せいぜい１桁分の大きさの偏差を含むものとして理解されたい。もし、ギャップ弁が使用される場合には、その圧力差は、２桁分の大きさまでであってよい。前述したように、このチャンバは、典型的に、洗浄又はコーティングチャンバの如き、ウエブ処理チャンバの一部である。
【００２２】
一般的に、チャンバは、通常、排気ステップの前に密閉される。これに関し、チャンバが完全に密閉される前に、排気を開始することが原理的にはできる。これは、排気されるべきチャンバのサイズ及び達成されるべき真空のレベルに依存している。排気を既に有効に開始できる程度まで、密閉ステップが完了していればよい。
【００２３】
第１チャンバ内に十分な程度の真空が達成されるとき、第１チャンバと第２チャンバとの間の第２シール２０５が開かれる。ウエブ１６０が、第１チャンバから第２チャンバのウエブ貯蔵装置へと供給される。これにより、第２ウエブ貯蔵装置は、例えば、図１Ｃに示される如く、完全に充填されるまで、充填されていく。この時点で、第１チャンバ及び第２チャンバを含む処理チャンバ内の圧力は、典型的に、同様又は同一であることに注意されたい。即ち、この適用例では、典型的に、処理のこの時点で、第１チャンバを第２チャンバに対して密閉すること及び／又は第２チャンバを続くチャンバに対して密閉することは必要ない。他の実施形態では、第１チャンバと第２チャンバとの間のシールは、第１チャンバから第２チャンバへの空気の流れに対しては本質的に閉じたままであるが、これらチャンバ間のウエブの移動は許すものとされる。例えば、ウエブと共に移動する回転表面を備えるようなシールを使用することができる。
【００２４】
一般的に、第２チャンバの出口ポート１９５にシールを設けることができる。このシールは、第２チャンバの第２ウエブ貯蔵装置にウエブを貯蔵する時には閉じることができる。このようなシールを設けることは、第２チャンバにおける真空レベルが続くチャンバにおける真空レベルよりも連続的に又は一時的に低いようなこれらの適用例において有用である。しかしながら、第２チャンバとウエブ処理設備の続くチャンバとの間にシールを配置しないことも可能である。第１チャンバと第２チャンバとの間のシールに関して前述したようなシールを、第２チャンバの出口ポートのシールとして使用することができる。
【００２５】
第２チャンバの第２ウエブ貯蔵装置にウエブを貯蔵している間に、一般的には、第２チャンバの下流に配置されたウエブ処理装置へのウエブの供給を停止することもできるし又は継続することもできる。ある適用例の場合には、ウエブ処理設備内のウエブ処理を停止することはできず、第２チャンバからのウエブの供給は、典型的に、コイルが使い尽くされるまで継続される。このときには、その貯蔵容量は、そのウエブの進行速度に適応したものとされる。
【００２６】
ウエブの進行速度に依存して、特定の適用例においては、その処理を停止せずにコイルを交換することも可能である。換言すると、エンドレスなウエブ供給装置でもって連続処理を行うことが可能である。
【００２７】
第１チャンバの第１ウエブ貯蔵装置に貯蔵されたウエブの全てが第２チャンバの第２ウエブ貯蔵装置へ供給されるとき、第２シール２０５が閉じられる。ウエブは、第２貯蔵装置から出口ポート１９５を通してウエブ処理設備へと供給される。典型的に、同時に、第１ウエブ貯蔵装置は、ウエブコイル１２０から巻きほどかれるウエブで再充填される。そうするために、シール１０５が開かれ、その結果として、典型的に、第１チャンバへの通気が生じてしまう。使用されているシールに依存して、その通気を最小とすることができる。第１チャンバ内の圧力の増大が少なければ少ない程、その第１チャンバの第１ウエブ貯蔵装置を充填した後に行わなければならない第１チャンバの排気を少なくて済むようにすることができる。
【００２８】
第１ウエブ貯蔵装置を再充填することにより、前述したような供給プロセスが繰り返される。本発明によれば、ウエブ処理設備へウエブを連続して供給することができる。換言すると、ウエブは、ウエブ処理設備へ間断なく供給される。ウエブ処理設備へ連続供給する場合には、第１ウエブ貯蔵装置への充填と、続く第１チャンバの排気との両方を、第２チャンバの第２ウエブ貯蔵装置が完全に使い尽くされる前に完了しておく必要がある。第１ウエブ貯蔵装置を充填し第１チャンバを排気するための典型的な時間間隔は、約２分の如く０．５分と５分との間である。この時間間隔は、特に、必要とされる真空のレベルに依存している。本適用例の範囲内では、用語「真空」は、１０ミリバールより低い圧力を指している。真空の典型的なレベルは、１０−２ミリバールと１０−４ミリバールとの間である。前述したようなサイクルは、典型的に、コイルが完全に使い尽くされるまで又はウエブ処理が停止されるまで、繰り返される。本発明の典型的な適用例では、１０メートル／分の如き１−２５メートル／分の間の速度でウエブ処理設備へ連続してウエブを供給することができる。
【００２９】
図２は、本発明によるウエブ処理設備の１つの実施形態を示している。エントリーロックシステム１００の下流に、少なくとも１つのウエブ処理チャンバ３００が配置されている。エントリーロックシステム１００は、典型的に、第１チャンバ及び第２チャンバを備える。本適用例の範囲内で、用語「下流」及び「上流」は、ウエブの進行方向に対してのものであることを理解されたい。典型的に、この少なくとも１つのウエブ処理チャンバは、エントリーロックシステムの第２チャンバと直接接触している。従って、エントリーロックシステムの第２チャンバ内に貯蔵されたウエブは、ウエブ処理設備の続くウエブ処理チャンバへと直接供給される。
【００３０】
図３は、本発明の１つの実施形態の概略図である。この図は、ウエブ処理設備内に本発明のエントリーロックシステムを配置することができることを示している。この場合でも、そのエントリーロックシステム１００は、典型的に、第１チャンバ及び第２チャンバを備えている。例えば、ウエブコイルからの材料がエントリーロックシステムの第１チャンバ及び第２チャンバ以外のチャンバへ供給され、その後に、エントリーロックシステムの第１チャンバへと供給されるようなウエブ処理設備の構成とすることが可能である。ウエブを供給する別の仕方としては、エントリーロックシステムが配置されているチャンバ３００へ連続供給するようなもの、チャンバ３００内にコイルを設けてそのより大きなチャンバ内でエントリーロックシステムの機能を使用するようにするもの等がある。原理的には、真空を損なうことなく処理チャンバへウエブを連続的に供給するためエントリーロックシステムの機能を効果的に使用できるようにする多くの配置構成が考えられるものである。
【００３１】
より大きなチャンバ３００内で、ウエブを貯蔵するためエントリーロックシステムへ供給する前に、幾つかのウエブの処理及び／又は取り扱いステップが行われる。チャンバ３００のエントリーポートからウエブ１６０をエントリーロックシステム１００の入口ポートへと案内するためのローラーをチャンバ３００内に配置することができる。チャンバ３００は、２つのチャンバＣ１及びＣ２へと分割することができる。入口ロックシステム１００の入口ポート及び出口ポートがＣ１又はＣ２のいずれかと連通するように、分離壁部ｗが間に配置される。こうすることにより、更なるオプションとして、エントリーロックシステムの前及び後に２つの異なる真空ステージを設けることが可能なものとすることができる。更なる技術的オプションとして、チャンバ３００の後に付加的なエントリーロックシステムを配置することもできる。
【００３２】
図３において真空シールを配置する幾つかのオプションがある。技術的な要件に従って、チャンバ３００の入口ポート（図示していない）及び／又はチャンバ３００の出口ポート（図示していない）に真空シールを配置することができる。エントリーロックシステム１００の入口ポートに真空シールが示されている。これに加えて（又はそれに代えて）、エントリーロックシステム１００の出口ポート（図示していない）に真空シールを配置することもできる。
【００３３】
原理的には、本発明のエントリーロックシステムは、ウエブ処理設備内に任意のステージに適用することができる。特に、図４に示されるように、ウエブ処理設備の出口ポートに、本発明のエントリーロックシステムを設けることもできる。これは、ウエブ処理設備がそのウエブ処理設備のウエブ出口を通して通気してしまうのを防止するためである。ウエブ処理設備の出口に配置されたエントリーロックシステムを連続モードで、即ち、第１チャンバへのウエブの受入を停止せずに動作させるときには、そのエントリーロックシステムの動作は、図１Ａ、図１Ｂ及び図１Ｃに関して前述したものと同様にして行われる。特に、それらのステップは、次のようにして行うことができる。第１チャンバのウエブ貯蔵装置が充填される。この時点で、第２チャンバが排気されねばならず、第１チャンバと第２チャンバとの間の第２シール２０５は開かれる。第１ウエブ貯蔵装置に貯蔵されたウエブは、第２チャンバの第２ウエブ貯蔵装置へと供給される。典型的に、ウエブ処理設備の下流で動作されるとき、第２チャンバの出口ポートにシールが設けられる。このシールは、ウエブが第１チャンバから第２チャンバへと供給されるときには、閉じられなければならない。第２ウエブ貯蔵装置が充填されるとき、第１チャンバと第２チャンバとの間のシールは、閉じられ、一方、第２チャンバのシールは、ウエブを導き出すため、典型的に、ウエブを巻き取るため開かれる。第２チャンバの第２ウエブ貯蔵装置が引き出されている間に、第１チャンバの第１ウエブ貯蔵装置は、その第１チャンバへと連続的に供給されるウエブで再充填される。
【００３４】
図５は、本発明によるエントリーロックシステムの別の実施形態を示している。図示されるように、本発明によれば、第２チャンバをウエブ処理設備の一部分とすることができる。典型的に、第２ウエブ貯蔵装置は、ウエブ処理応用装置の上流に配置される。図５に示す実施形態では、典型的なウエブ処理応用装置が示されており、参照符号６００で示されている。例えば、このウエブ処理応用装置は、洗浄応用装置、スパッタリング応用装置、コーティング応用装置等である。一般的には、本発明によれば、エントリーロックシステムの第２チャンバとウエブ処理設備の続くウエブ処理応用装置との間にシール及び／又は壁部を設けないようにすることができる。更に又、ウエブ１６０は、図５に示す如くウエブ処理設備を出て、ウエブ処理設備の外で巻き取られること（図示していない）ができ、又は、ウエブはウエブ処理設備内で巻き取られることができる。
【００３５】
図６ａ及び図６ｂは、本発明によるウエブ貯蔵装置を有するチャンバの別の実施形態を示している。図６ａ及び図６ｂに示すチャンバは、本発明によるエントリーロックシステムの第１チャンバ及び／又は第２チャンバとして使用することができる。このチャンバは、ウエブ貯蔵装置として作用する少なくとも２つのローラー６３０を備える。これらのローラーは、横方向に移動できるものである。これらローラーは、１つ又は２つ以上のキャリッジによって接続することができる。
【００３６】
図６ａ及び図６ｂに示すウエブ貯蔵装置は、次のように作動する。ウエブは、図６ａに示されるように取り付けられる。ウエブを貯蔵するため、それらローラーは、図６ｂに示される位置に達するまで、それらローラーのうちの一部が左側へと移動し、それらローラーの他の部分が右側へと移動する。電動機駆動装置又は液圧駆動装置の如き駆動装置を、これらローラーを移動するのに使用することができる。典型的に、これらローラーは、壁部に接近して、その状態でウエブ貯蔵装置が充填されるようになるまで、移動させられる。本発明の典型的な実施形態では、これらローラーは、案内レール上を移動させられる。
【００３７】
ウエブ貯蔵装置が引き出されているとき、これらローラーは、図６ａに示されるような位置となるまで、互いに向かって移動させられていく。第１シール及び第２シールを閉じるための正しいタイミングは、前述したようなものである。
【００３８】
図６ａ及び図６ｂに関して説明した貯蔵技法は、本発明の全ての実施形態において使用できる。別の代替方法としては、貯蔵チャンバの中心位置から貯蔵チャンバ壁部に向かって放射方向に移動できるようなローラーを使用するものがある。こうすることによっても、ウエブ材料を、第２チャンバへ供給する前に、第１チャンバに貯蔵することができる。
【００３９】
本説明は、最良の形態を含めて本発明を開示し、また、当業者が本発明を実施し使用することができるようにするため、種々な実施例を使用してなされている。本発明を種々な特定の実施形態について説明してきたのであるが、当業者には、特許請求の範囲の精神及び範囲内で本発明を種々変形して実施できることは理解されよう。特に、前述した実施形態の相互に非排他的な特徴は、互いに組み合わせることができるものである。本発明の特許の範囲は、特許請求の範囲によって定められ、当業者に考えつくようなその他の実施例を含みうるものである。そのような他の実施例は、もし、それらが特許請求の範囲の記載の文言と異ならないような構成要素を有するならば、又は、それらが特許請求の範囲の記載の文言と実質的に異ならないような均等の構成要素を含むならば、特許請求の範囲の記載の範囲内に入るものとする。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１Ａ】本発明によるエントリーロックシステムの実施形態を、ある処理ステージにおいて示している。
【図１Ｂ】本発明によるエントリーロックシステムを、異なる処理ステージにおいて示している。
【図１Ｃ】本発明によるエントリーロックシステムを、更に異なる処理ステージにおいて示している。
【図２】本発明によるウエブ処理設備の実施形態を示している。
【図３】本発明によるウエブ処理設備の別の実施形態を示している。
【図４】本発明によるウエブ処理設備の更に別の実施形態を示している。
【図５】ウエブ処理設備の一体部分として第２チャンバを有する本発明によるエントリーロックシステムの実施形態を示している。
【図６ａ】本発明によるエントリーロックシステムの第１チャンバ又は第２チャンバの実施形態を、ある処理ステージにおいて示している。
【図６ｂ】本発明によるエントリーロックシステムの第１チャンバ又は第２チャンバの実施形態を、異なる処理ステージにおいて示している。
【図７】本発明によるウエブ処理設備に供給するための方法に従う方法ステップのフローチャートを示している。
【符号の説明】
【００４１】
１００…エントリーロックシステム、１０５…第１シール、１１０…第１チャンバ、１２０…ウエブコイル、１３０…固定軸ローラー、１４０…可動ローラー、１５０…キャリッジ、１６０…ウエブ、１７０…第１チャンバの出口ポート、１８０…第２チャンバの入口ポート、１９０…第１チャンバの入口ポート、１９５…第２チャンバの出口ポート、２０５…第２シール、２１０…第２チャンバ、２３０…固定軸ローラー、２４０…可動ローラー、２５０…キャリッジ、３００…ウエブ処理チャンバ（ウエブ処理設備）、ｗ…分離壁部、Ｃ１…チャンバ、Ｃ２…チャンバ、６００…ウエブ処理応用装置、６３０…ローラー
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【外国語明細書】
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