(57)【要約】【課題】本発明は、カメラを固定した後でも基板に対するカメラの向きの容易に調整することができ、作業性に優れるカメラ保持装置を得ることにある。【解決手段】カメラ(17)を据付部材(12)に固定するカメラ保持装置(18)は、据付部材(12)に固定される固定部(20)と、カメラ(17)を支持する可動部(21)と、調整機構(52)と、を備えている。固定部(20)および可動部(21)のうちの一方にボール状の継手(41)が固定され、他方にボール状の継手(41)が摺動可能に嵌合する嵌合部(28)が設けられている。調整機構(52)は、嵌合部(28)との間でボール状の継手(41)を解除可能に締め付けることで、固定部(20)と可動部(21)との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、ボール状の継手(41)の締め付けを解除することで、ボール状の継手(41)を中心に固定部(20)に対する可動部(21)の向きを変化させる。【選択図】      図３
2008250206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒状のスペーサが散布された基板を撮影するカメラを据付部材に固定するカメラ保持装置であって、
上記据付部材に固定される固定部と、
上記カメラを支持する可動部と、
上記固定部および上記可動部のうちの一方に設けられたボール状の継手と、
上記固定部および上記可動部のうちの他方に設けられ、上記継手が摺動可能に嵌合する嵌合部と、
上記嵌合部との間で上記ボール状の継手を解除可能に締め付けることで、上記固定部と上記可動部との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、上記ボール状の継手の締め付けを解除することで、上記ボール状の継手を中心に上記固定部に対する上記可動部の向きを変化させる調整機構と、を備えていることを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項２】
請求項１の記載において、上記ボール状の継手と上記嵌合部との嵌合状態を保持する保持板をさらに備えることを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項３】
請求項２の記載において、上記調整機構は、上記ボール状の継手を上記保持板との間で挟み込む押圧板と、この押圧板を上記ボール状の継手に向けて押圧する押圧軸と、この押圧軸を上記固定部又は上記可動部に締め付け固定する固定部材と、を備えることを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項４】
請求項３の記載において、上記ボール状の継手の外周面と上記押圧板との間にリング状の中間部材が介在され、この中間部材は、上記ボール状の継手よりも軟質であることを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項５】
粒状のスペーサが散布された基板を撮影するカメラを据付部材に固定するカメラ保持装置であって、
上記据付部材に固定される固定部と、
上記カメラを支持する可動部と、を含み、
上記可動部は、上記固定部に向けて突出するボール状の継手を有し、
上記固定部は、上記ボール状の継手が摺動可能に嵌合する嵌合部と、上記嵌合部との間で上記ボール状の継手を解除可能に締め付けることで、上記固定部と上記可動部との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、上記ボール状の継手の締め付けを解除することで上記ボール状の継手を中心に上記固定部に対する上記可動部の向きを変化させる調整機構と、を有することを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項６】
請求項５の記載において、上記嵌合部は、上記可動部に向けて開口する凹みであり、この凹みが開口する上記固定部の面に、上記ボール状の継手を上記嵌合部に保持する保持板が取り付けられていることを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項７】
請求項６の記載において、上記ボール状の継手は、上記可動部から突出する軸部と、この軸部の先端に位置するボールとを含み、上記保持板は、上記ボールの外周面に接する開口縁を有する円形の孔が形成された第１の板と、この第１の板に積層されるとともに上記継手の軸部が貫通する長孔が形成された第２の板とを備えることを特徴とするカメラ保持装置。
【請求項８】
粒状のスペーサが散布された基板を、この基板の搬送方向と交差する方向に一列に並べられた複数のカメラで撮影することにより、上記スペーサの分布状態を光学的に検査するスペーサ検査装置であって、
上記カメラが据え付けられる据付部材と、
上記カメラを上記据付部材に個々に固定する複数のカメラ保持装置と、を具備し、
上記カメラ保持装置は、
上記据付部材に固定される固定部と、
上記カメラを支持する可動部と、
上記固定部および上記可動部のうちの一方に設けられたボール状の継手と、
上記固定部および上記可動部のうちの他方に設けられ、上記ボール状の継手が摺動可能に嵌合する嵌合部と、
上記嵌合部との間で上記ボール状の継手を解除可能に締め付けることで、上記固定部と上記可動部との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、上記ボール状の継手の締め付けを解除することで、上記ボール状の継手を中心に上記固定部に対する上記可動部の向きを変化させる調整機構と、を備えることを特徴とするスペーサ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル用のガラス基板の上に散布されたスペーサの分布状態を撮影するカメラを保持するためのカメラ保持装置に関する。さらに、本発明は、ガラス基板の上に散布されたスペーサに塊があるか否かを光学的に検査するスペーサ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、二枚のガラス基板を互いに間隔を存して積層し、これらガラス基板間の隙間に液晶を充填している。このガラス基板の間に隙間を形成するため、従来では、一方のガラス基板の上に微粒子状のスペーサを散布した後、一方のガラス基板の上に他方のガラス基板を重ね合わせている。
【０００３】
この種のスペーサは、ガラス基板に対し満遍なく均等に分散させる必要があるが、散布状況によっては、スペーサがガラス基板上の特定位置に塊となって凝集することがあり得る。スペーサの塊は、液晶表示パネルの透光性を低下させる一つの要因となることが知られている。
【０００４】
この対策として、従来では一方のガラス基板の上にスペーサを散布した後、このスペーサの分布状態を検査し、スペーサの凝集が認められたガラス基板を不良品として生産ラインから排除する作業を実行している。
【０００５】
例えば特許文献１は、複数のカメラを用いてスペーサの分布状態を監視するようにしたスペーサ検査装置を開示している。このスペーサ検査装置では、スペーサが散布されたガラス基板を搬送する搬送経路上に複数のカメラを配置している。カメラから送られる画像信号は、コンピュータを有する画像処理部に送られる。画像処理部は、画像信号を処理することでスペーサの分布状態を判定し、この判定結果に基づいてガラス基板を不良品と適正品とに仕分けしている。
【特許文献１】特開平８−３０４２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のスペーサ検査装置によると、個々のカメラは、ガラス基板上の予め決められた検査領域を撮影するようになっている。例えば複数のカメラを用いてガラス基板をライン状に撮影する場合、カメラは、ガラス基板の搬送方向と直交する方向に延びる据付部材に個々に固定される。
【０００７】
この場合、ガラス基板の全面を満遍なく高精度に撮影するためには、隣り合うカメラの間隔を極力狭めるとともに、各カメラの視野内に予め決められたガラス基板上の検査領域が位置するように、個々のカメラの向きを調整することが必要となる。
【０００８】
従来のカメラは、ガラス基板に対する向きを調整した後、接着あるいは専用のベルトを用いて据付部材に強固に固定している。しかしながら、この固定の仕方では、一旦カメラを据付部材に固定してしまうと、各カメラの姿勢を微調整することが甚だ困難となる。特に隣り合うカメラの間隔が狭い場合には、一つのカメラの向きを無理に調整した時に、このカメラが隣のカメラに接触して隣のカメラの向きが狂ってしまうのを否めない。
【０００９】
また、ある一つのカメラの向きを再調整した場合、隣接している視野を合わせる必要があるため、隣り合うカメラにおいても向きを再調整する作業が必要となる。そのため、結局は全てのカメラの向きの再調整が必要となってしまう。
【００１０】
したがって、カメラを固定した後、再度カメラの向きを微調整する場合には、全てのカメラの固定を解除してからカメラの固定作業を最初からやり直しをしなければならず、カメラの固定および向きの調整作業に多大な手間と労力を要するといった不具合がある。
【００１１】
本発明の目的は、カメラを固定した後でも基板に対するカメラの向きの容易に調整することができ、作業性に優れるカメラ保持装置を得ることにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、複数のカメラを据付部材に一列に並べて固定する場合に、基板に対する個々のカメラの向きを容易に調整できるカメラ保持装置を有し、スペーサの分布状態を精度よく的確に検査できるスペーサ検査装置を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るカメラ保持装置は、  
粒状のスペーサが散布された基板を撮影するカメラを据付部材に固定するカメラ保持装置であって、  
上記据付部材に固定される固定部と、上記カメラを支持する可動部と、上記固定部および上記可動部のうちの一方に設けられたボール状の継手と、上記固定部および上記可動部のうちの他方に設けられ、上記ボール状の継手が摺動可能に嵌合する嵌合部と、上記嵌合部との間で上記ボール状の継手を解除可能に締め付けることで、上記固定部と上記可動部との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、上記ボール状の継手の締め付けを解除することで、上記ボール状の継手を中心に上記固定部に対する上記可動部の向きを変化させる調整機構と、を備えることを特徴としている。
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るスペーサ検査装置は、  
粒状のスペーサが散布された基板を、この基板の搬送方向と交差する方向に一列に並べられた複数のカメラで撮影することにより、上記スペーサの分布状態を光学的に検査するスペーサ検査装置であって、上記カメラが据え付けられる据付部材と、上記カメラを上記据付部材に個々に固定する複数のカメラ保持装置と、を具備している。  
上記カメラ保持装置は、上記据付部材に固定される固定部と、上記カメラを支持する可動部と、上記固定部および上記可動部のうちの一方に設けられたボール状の継手と、上記固定部および上記可動部のうちの他方に設けられ、上記ボール状の継手が摺動可能に嵌合する嵌合部と、上記嵌合部との間で上記ボール状の継手を解除可能に締め付けることで、上記固定部と上記可動部との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、上記ボール状の継手の締め付けを解除することで、上記ボール状の継手を中心に上記固定部に対する上記可動部の向きを変化させる調整機構と、を備えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、調整機構によるボール状の継手の締め付けを解除することで、カメラを支持する可動部を、ボール状の継手を中心に任意な方向に自由に動かすことができる。このため、カメラの視野内にカメラ毎に決められた基板上の検査領域が位置するように、カメラの向きを簡単に調整することができる。よって、カメラを据付部材に固定する際の作業性が良好となるとともに、基板上に散布されたスペーサの分布状態を精度よく的確に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を、図１ないし図７に基づいて説明する。
【００１７】
図１および図２において、符号１は、液晶表示パネルの製造ラインを構成するレールあるいはコンベアのような搬送装置を示している。搬送装置１は、液晶表示パネル用のガラス基板２を一方向に搬送するためのものであって、水平に配置されている。
【００１８】
搬送装置１の途中にスペーサ検査装置４が配置されている。スペーサ検査装置４は、ガラス基板２の上面に散布された多数の微粒子状のスペーサ５（図６又は図７を参照）の分布状態を検査するためのものである。スペーサ５は、ガラス基板２の上面の全域に亘って均等に分散されているのが適正であるが、散布状況によっては、図７に領域Ａで囲んで示すように、ガラス基板２の特定箇所にスペーサ５が塊となって凝集することがあり得る。
【００１９】
図１および図２に示すように、スペーサ検査装置４は、台座７とフレーム８とを備えている。台座７は、一対の第１の支柱９（一方のみを図示）と、一対の第２の支柱１０（一方のみを図示）とを有している。第１および第２の支柱９，１０は、夫々台座７から起立するとともに、ガラス基板２の搬送方向に互いに離れている。
【００２０】
図２に示すように、フレーム８は、一対の側板１１ａ，１１ｂと据付部材１２とを有している。側板１１ａ，１１ｂは、搬送装置１を間に挟んで互いに向かい合っている。据付部材１２は、搬送装置１の上方において側板１１ａ，１１ｂの間に跨るとともに、ガラス基板２の搬送方向と直交するように水平に配置されている。
【００２１】
フレーム８の側板１１ａ，１１ｂは、第１および第２の支柱９，１０の上端部の間に介在されている。側板１１ａ，１１ｂの一端は、第１の支柱９の上端部にピボット軸１３を介して支持されている。そのため、フレーム８は、ピボット軸１３を中心として搬送装置１に近づける方向あるいは遠ざかる方向に揺動可能となっている。フレーム８の側板１１ａ，１１ｂに固定ねじ１４が取り付けられている。固定ねじ１４は、フレーム８が揺動する際のガイドとなり、フレーム８の揺動位置を調整した後、フレーム８の側板１１ａ，１１ｂを第２の支柱１０に固定する。
【００２２】
図１に示すように、据付部材１２は、フラットな据付面１２ａを有する断面角型の棒状をなしている。据付部材１２の据付面１２ａは、搬送装置１に沿って搬送されるガラス基板２と向かい合うとともに、ガラス基板２の搬送方向に沿う下流側に進むに従い下向きに傾斜している。
【００２３】
据付部材１２は、複数の円筒状のカメラ１７を保持している。カメラ１７は、ガラス基板２の上面に散布されたスペーサ５の分布状態を光学的に撮影するためのものであり、ガラス基板２の搬送方向と直交する方向に一列に並んでいる。
【００２４】
カメラ１７は、個々にカメラ保持装置１８を介して据付部材１２に固定されている。カメラ保持装置１８は、カメラ１７を据付部材１２に固定する機能ばかりでなく、各カメラ１７の視野内にカメラ毎に決められたガラス基板２上の検査領域が位置するように、カメラ１７の向きを調節する機能を有している。
【００２５】
図３ないし図５に示すように、カメラ保持装置１８は、固定部２０および可動部２１を備えている。固定部２０および可動部２１は、夫々四角いブロック状をなすとともに、例えばアルミニウム合金のような金属材料で作られている。
【００２６】
固定部２０は、据付部材１２の据付面１２ａに突き合わされる第１の面２３ａと、この第１の面２３ａの反対側に位置する第２の面２３ｂとを有している。第１および第２の面２３ａ，２３ｂは、夫々フラットであるとともに、互いに平行をなしている。
【００２７】
固定部２０の第１の面２３ａに、円筒状の支持部２４と一対のねじ孔２５ａ，２５ｂが形成されている。支持部２４は、第１の面２３ａの中央から垂直に突出するとともに、据付部材１２に開けた貫通孔２６に挿入されている。支持部２４の先端は、据付部材１２の上に突出している。支持部２４は、軸方向に沿うガイド孔２７を有している。ガイド孔２７は支持部２４の軸線Ｏ１の上に位置している。ねじ孔２５ａ，２５ｂは、支持部２４を間に挟んだ両側に振り分けて配置されている。
【００２８】
固定部２０の第２の面２３ｂに凹部２８と一対のねじ孔２９ａ，２９ｂが形成されている。凹部２８は、嵌合部の一例であって、支持部２４の軸線Ｏ１と同軸の円筒状をなしている。図５に示すように、凹部２８は、第２の面２３ｂの中央に位置する開口３０と、ガイド孔２７が開口する終端面３１と、終端面３１の周縁と開口３０の開口縁との間を結ぶ周面３２とを有している。ねじ孔２９ａ，２９ｂは、凹部２８の開口３０を間に挟んだ両側に振り分けて配置されている。
【００２９】
固定部２０は、一対のボルト３３を介して据付部材１２に固定されている。ボルト３３は、据付部材１２を貫通して固定部２０のねじ孔２５ａ，２５ｂにねじ込まれている。このねじ込みにより、固定部２０の第１の面２３ａが据付部材１２の据付面１２ａに突き合わされている。
【００３０】
一方、可動部２１は、固定部２０と向かい合う第１の面３５ａと、第１の面３５ａの反対側に位置する第２の面３５ｂと、第１の面３５ａの一端と第２の面３５ｂの一端との間を結ぶ第３の面３５ｃと、第１の面３５ａの他端と第２の面３５ｂの他端との間を結ぶ第４の面３５ｄとを有している。
【００３１】
第１の面３５ａは、フラットであり、その中央よりもやや一端側にずれた位置にねじ孔３６が形成されている。第３の面３５ｃは、第１の面３５ａと直交するように上下方向に延びており、この第３の面３５ｃの中央部にレンズ筒３７が取り付けられている。レンズ筒３７は、図示しない複数のレンズを収容するとともに、第３の面３５ｃから垂直に突出している。
【００３２】
可動部２１の内部に円筒状のカメラ取り付け孔３８が形成されている。カメラ取り付け孔３８の一端は、レンズ筒３７に開口している。カメラ取り付け孔３８の他端は、可動部２１の第４の面３５ｄに開口している。カメラ取り付け孔３８の軸線Ｏ２は、レンズ筒３７の軸線Ｏ３に対し可動部２１の内部で交差している。本実施の形態では、カメラ取り付け孔３８の軸線Ｏ２およびレンズ筒３７の軸線Ｏ３は、ガラス基板２の搬送方向に沿う下流側に進むに従い下向きに傾斜している。
【００３３】
図３に示すように、カメラ１７は、可動部２１のカメラ取り付け孔３８に嵌合されている。カメラ１７は、カメラ取り付け孔３８の軸方向に移動させることで焦点合わせが実行される。さらに、カメラ１７は、一対のロックねじ３９を締め付けることで、焦点が合った位置で可動部２１に固定されるようになっている。
【００３４】
可動部２１の第１の面３５ａに継手４１が取り付けられている。継手４１は、例えばステンレスのような金属材料で作られている。継手４１は、軸部４２とボール４３とを備えている。軸部４２は、可動部２１の第１の面３５ａに開口するねじ孔３６にねじ込まれて、第１の面３５ａから垂直に突出している。ボール４３は、軸部４２の先端に一体に形成されている。ボール４３は、固定部２０の凹部２８に下から挿入されて、その外周面が凹部２８の周面３２に摺動可能に接している。
【００３５】
図３ないし図５に示すように、固定部２０の第２の面２３ｂに保持板４４が取り付けられている。保持板４４は、継手４１のボール４３を凹部２８内に抜け止め保持するものであり、例えばステンレスのような金属材料で作られている。
【００３６】
保持板４４は、第１の板４５と第２の板４６とを備えている。第１の板４５の中央に円形の孔４７が形成されている。孔４７は、凹部２８よりも小径であり、エッジ状に尖る開口縁が凹部２８の開口３０内に位置している。第２の板４６の中央に長孔４８が形成されている。長孔４８は、ガラス基板２の搬送方向に沿って延びる細長い開口形状を有し、第１の板４５の孔４７の開口範囲内に位置している。
【００３７】
第１の板４５および第２の板４６は、一対のボルト５０を介して固定部２０に固定されている。ボルト５０は、第１および第２の板４５，４６を貫通して固定部２０のねじ孔２９ａ，２９ｂにねじ込まれている。このねじ込みにより、第１および第２の板４５，４６が互いに積層されるとともに、第１の板４５が固定部２０の第２の下面２３ｂと第２の板４６との間で挟み込まれている。
【００３８】
第１および第２の板４５，４６を固定部２０に固定した状態では、継手４１の軸部４２が長孔４８および孔４７を貫通するとともに、第１の板４５の孔４７の開口縁がボール４３の外周面に周方向に連続して接触している。この接触により、凹部２８からのボール４３の脱落が阻止されるとともに、固定部２０と可動部２１が互いに連結されている。
【００３９】
さらに、第２の板４５の長孔４８は、軸部４２がガラス基板２の搬送方向に沿って前後に首を振るように、軸４２の回動方向および回動範囲を規定している。
【００４０】
図３に示すように、固定部２０は、調整機構５２を備えている。調整機構５２は、固定部２０と可動部２１との相対的な位置関係を固定的に定めるとともに、固定部２０に対する可動部２１の向きを調整するためのものである。
【００４１】
調整機構５２は、押圧板５３、押圧軸５４および固定部材５５を備えている。押圧板５３は、凹部２８の終端面３１とボール４３との間に介在されている。押圧板５３は、円盤状をなしており、その外周縁部が凹部２８の周面３２に摺動可能に接している。押圧軸５４は、支持部２４のガイド孔２７内に軸方向に摺動可能に挿入されている。押圧軸５４の一端は、押圧板５３の中央に突き当っている。押圧軸５４の他端は、ガイド孔２７内に位置している。
【００４２】
固定部材５５は、ねじ軸５６とナット５７とで構成されている。ねじ軸５６は、ガイド孔２７の上端部にねじ込まれている。ねじ軸５６の一端は、ガイド孔２７内で押圧軸５４の他端に突き当たっている。ねじ軸５６の他端は、支持部２４の上方に突出している。ナット５７は、ねじ軸５６の他端にねじ込まれている。ナット５７は、ガイド孔２７にねじ軸５６を固定するためのものであって、このナット５７を弛めることで、ねじ軸５６を締め付け方向あるいは弛緩方向に回転させることができる。
【００４３】
押圧板５３とボール４３との間にリング状の中間部材５８が介在されている。中間部材５８は、例えばボール４３よりも軟質な真鍮で作られている。中間部材５８は、ボール４３よりも小さな内径を有し、この中間部材５８のエッジ状に尖る内周縁がボール４３の外周面に接している。
【００４４】
このような構成の調整機構５２において、ナット５７を緩めた状態でねじ軸５６をガイド孔２７にねじ込んでいくと、このねじ軸５６を介して押圧軸５４が軸方向に押圧される。この押圧により、押圧板５３および中間部材５８がボール４３に向けて押圧されるとともに、中間部材５８の内周縁がボール４３の外周面に周方向に連続して接触する。
【００４５】
この結果、ボール４３が中間部材５８の内周縁と第１の保持板４５の孔４７の開口縁との間で挟み込まれ、ボール４３と中間部材５８との接触部分およびボール４３と第１の保持板４５との接触部分に夫々接触抵抗が生じる。よって、凹部２８内でのボール４３の自由な動きが制限されて、固定部２０と可動部２１との相対的な位置が固定的に定まり、カメラ１７が据付部材１２に保持される。
【００４６】
ナット５７を緩めた状態では、ボール４３は凹部２８内で自由に動き得る状態にある。このため、図３の矢印Ａで示すように、可動部２１は、上記支持部２４の軸線Ｏ１を中心に回動可能であるとともに、図３の矢印Ｂで示すように、長孔４８の範囲内でガラス基板２の搬送方向と直交する方向に沿って前後に首を振るように回動可能となっている。
【００４７】
図６に示すように、調整機構５２を用いてカメラ１７を据付部材１２に固定した状態では、カメラ１７のレンズ筒３７がガラス基板２の搬送方向下流側に進むに従い斜め下向きに傾斜した状態に保持される。
【００４８】
このカメラ１７の下方に照明器具６０が配置されている。照明器具６０は、図６に矢印で示すように、カメラ１７よりもガラス基板２の搬送方向下流側に向けて光を照射する。照明器具６０は、図７の一点鎖線で囲んだブロックＢに示すように、ガラス基板２を搬送方向とは直交する方向に沿って横長に照明する。照明器具６０からの光は、ガラス基板２の上面および上面に散布されたスペーサ５に対し所定の角度で入射するとともに、ここでレンズ筒３７に向けて反射する。この反射光は、レンズ筒３７を通じてカメラ１７に導かれる。カメラ１７によって撮影された画像は、画像信号としてモニターを有する画像処理部（図示せず）に送られ、このモニター上に個々のカメラ１７で撮影された画像が表示される。
【００４９】
さらに、図２に示すように、各カメラ１７は、レンズ筒３７をガラス基板２の搬送方向下流側に向けた姿勢で一列に並べて据付部材１２に保持されている。本実施形態の場合、隣り合うカメラ１７の配置間隔Ｌは、画像の精度を高めるために例えば１４ｍｍ、もしくは１３．５ｍｍに設定されている。
【００５０】
このような構成のスペーサ検査装置４において、据付部材１２に一列に並べて保持された各カメラ１７は、夫々の視野内に予め決められたガラス基板２上の検査領域が位置するように向きを調整する。この調整作業は、以下のようにして実行される。
【００５１】
最初にナット５７を緩めた状態でねじ軸５６をガイド孔２７にねじ込み、中間部材５８と第１の保持板４５との間で継手４１のボール４３を挟み込むことで、ボール４３の自由な動きを拘束する。この状態でナット５７を締め付けて、ねじ軸５６を固定部２０の支持部２４に固定する。これにより、固定部２０に対する可動部２１の仮止めがなされる。
【００５２】
次に、各カメラ１７の向きが適正となるように、可動部２１を回動させる。この作業は、図示しないモニターに表示される画像を基に行う。例えば特定のカメラ１７の視野がガラス基板２上の検査領域から外れている場合は、ナット５７を弛めて第１の保持板４５と中間部材５８とによるボール４３の挟み込みを解除する。
【００５３】
これにより、カメラ１７を保持する可動部２１は、軸線Ｏ１回りに回動可能となるとともに、ガラス基板２の搬送方向に沿って前後に首を振るように回動可能となる。そのため、可動部２１を手で把持して予め決められたガラス基板２上の検査領域にカメラ１７の視野が位置するように、可動部２１の向きを調整する。
【００５４】
次に、ナット５７を締め付けて、ボール４３を第１の保持板４５と中間部材５８との間で挟み込む。これにより、固定部２０に対する可動部２１の向きが固定的に定まり、カメラ１７を正規の姿勢で固定することができる。
【００５５】
このような操作を全てのカメラ１７毎に実行することで、据付部材１２に対するカメラ１７の固定作業が完了する。
【００５６】
このような本発明の実施の形態によれば、据付部材１２に複数のカメラ１７を互いに間隔を存して一列に並べた状態において、各カメラ１７を保持する可動部２１を個々に任意な方向に動かすことができる。このため、各カメラ１７の視野内に予め決められたガラス基板２の上の検査領域が位置するように、個々のカメラ１７の向きを簡単に調整することができる。
【００５７】
したがって、複数のカメラ１７が狭い間隔で一列に並んでいるにも拘らず、個々のカメラ１７の向きを微調整する際の自由度が増大する。これにより、従来との比較においてカメラ１７を据付部材１２に固定する際の作業性が格段に向上する。
【００５８】
それとともに、ガラス基板２に対する全てのカメラ１７の向きが適正に保たれるので、ガラス基板２の上面に散布されたスペーサ５に塊があるか否かを精度よく的確に検出することができる。したがって、信頼性が高く、検査効率を高めることができるスペーサ検査装置４を提供することができる。
【００５９】
さらに、上記実施の形態によると、凹部２８内でボール４３に接する中間部材５８は、ボール４３よりも軟質な真鍮で作られている。そのため、中間部材５８を押圧軸５４によってボール４３に押し付けても、ボール４３の外周面が損傷し難くなり、継手４１を長期に亘って継続して使用できるといった利点がある。
【００６０】
なお、本発明は上記実施の形態に特定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施可能である。
【００６１】
例えば、上記実施の形態では、カメラを保持する可動部にボール状の継手を設け、据付部材に固定される固定部に継手が嵌合する嵌合部を設けている。しかしながら、本発明はこれに限らず、固定部に継手を設けるとともに、可動部に嵌合部および調整機構を設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態に係るスペーサ検査装置の側面図。
【図２】本発明の実施の形態に係るスペーサ検査装置の平面図。
【図３】本発明の実施の形態に係るカメラ保持装置の断面図。
【図４】本発明の実施の形態に係るカメラ保持装置の斜視図。
【図５】本発明の実施の形態において、カメラ保持装置の固定部の凹部と可動部のボールとの位置関係を分解して示す斜視図。
【図６】本発明の実施の形態において、据付部材に保持されたカメラ、照明器具およびスペーサが散布されたガラス基板の位置関係を模式的に示す側面図。
【図７】本発明の実施の形態において、スペーサが散布されたガラス基板の平面図。
【符号の説明】
【００６３】
２…基板（ガラス基板）、５…スペーサ、１２…据付部材、１７…カメラ、１８…カメラ保持装置、２０…固定部、２１…可動部、２８…嵌合部（凹部）、４１…ボール状の継手、５２…調整機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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