(57)【要約】【課題】スケールの発生を抑える。【解決手段】アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）、および気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）に分解する加熱炉１１と、フッ化アンモニウム（３）を吸収液（９）中に吸収させる気液接触部１９と、吸収液（９）中に吸収されたフッ化アンモニウム（３）とフッ化水素（４）とを反応させて、前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウム（５）を生成する反応槽１２と、を備えるフッ素含有廃スラッジの処理装置１０であって、加熱炉１１と気液接触部１９とを連結する移送管２６には、その内部を流れるフッ化アンモニウム（３）を保温する保温手段２７が設けられている。【選択図】図１
2008055296.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解する加熱炉と、
前記フッ化アンモニウムを吸収液中に吸収させる気液接触部と、
前記吸収液中に吸収された前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて、前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成する反応槽と、を備えるフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記加熱炉と気液接触部とを連結する移送管には、その内部を流れる前記フッ化アンモニウムを保温する保温手段が設けられていることを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項２】
請求項１記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記加熱炉は、筒状体の両端が閉塞された状態でその一端部から他端部に向かう下り勾配をもってその中心軸線回りに回転可能に設けられ、その内部に前記一端部から前記フッ素含有廃スラッジが供給されるとともに、前記他端部から前記フッ化アルミニウムが排出される構成とされて、この加熱炉の内部における全域が加熱可能とされたロータリーキルンであることを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記移送管には、この移送管内に熱風を供給して、この熱風とともに前記フッ化アンモニウムを前記気液接触部に向けて移送する熱風供給手段が連結されていることを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、
前記気液接触部は、内部に吸収液が充填される第１吸収部本体と、この第１吸収部本体と前記移送管とをつなぐ第１吸収部とを備え、前記吸収液は、第１吸収部の内周面に液膜をなしてこの第１吸収部の内周面を伝って前記第１吸収部本体に供給される構成とされたことを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理装置。
【請求項５】
アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解した後に、前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成するフッ素含有廃スラッジの処理方法であって、
請求項１から４のいずれかに記載のフッ素含有廃スラッジの処理装置を用いて、前記フッ化水素アンモニウムを生成することを特徴とするフッ素含有廃スラッジの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを処理するフッ素含有廃スラッジの処理装置およびフッ素含有廃スラッジの処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
このようなフッ素含有廃スラッジの処理装置として、例えば下記特許文献１に示されるような、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解する加熱炉と、前記フッ化アンモニウムを吸収液中に吸収させる気液接触部と、前記吸収液中に吸収された前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて、前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成する反応槽と、を備える構成が知られている。そして、この処理装置を用いたフッ素含有廃スラッジの処理方法として、前記加熱炉で生成されたフッ化アンモニウムをキャリアガスとともに水中に導入して、この水にフッ化アンモニウムを吸収させ、その後、この溶液内にフッ化水素を導入して、この溶液中でフッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させる方法が知られている。
【特許文献１】特開２００５−２３３６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、前記従来のフッ素含有廃スラッジの処理装置では、フッ化アンモニウムが加熱炉から気液接触部に向けて移送される移送管内で、このフッ化アンモニウム等が析出してスケールが発生し、処理効率を低下させたり、メンテナンスの頻度が多くなり装置の稼働率を低下させるおそれがあった。
【０００４】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、スケールの発生を抑えることができるフッ素含有廃スラッジの処理装置およびフッ素含有スラッジの処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明のフッ素含有廃スラッジの処理装置は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解する加熱炉と、前記フッ化アンモニウムを吸収液中に吸収させる気液接触部と、前記吸収液中に吸収された前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて、前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成する反応槽と、を備えるフッ素含有廃スラッジの処理装置であって、前記加熱炉と気液接触部とを連結する移送管には、その内部を流れる前記フッ化アンモニウムを保温する保温手段が設けられていることを特徴とする。
この発明によれば、加熱炉と気液接触部とを連結する移送管内に、加熱炉からの前記フッ化アンモニウムを保温する保温手段が設けられているので、加熱炉内で発生した前記フッ化アンモニウムを高温に保った状態で気液接触部に向けて移送することが可能になり、この移送の過程で前記フッ化アンモニウムが冷却させられたことにより析出して、スケールが発生するのを抑えることができる。
なお、前記吸収液はフッ化アンモニウムが溶解可能な液体（例えば水）、またはフッ化水素アンモニウムが生成可能な液体（例えば、フッ化水素が溶解した水）を採用することができる。さらに、保温手段としては、移送管の外周面を断熱材で囲繞することによって、加熱炉からのフッ化アンモニウムの温度が低下するのを抑制するようにしてもよいし、あるいは、移送管の外周面を加熱することによって前記フッ化アンモニウムの温度が低下するのを抑制するようにしてもよいし、さらには、移送管の外周面に、加熱部と断熱材とをこの順に配置してこれらを併用することにより保温手段を構成するようにしてもよい。
【０００６】
ここで、前記加熱炉は、筒状体の両端が閉塞された状態でその一端部から他端部に向かう下り勾配をもってその中心軸線回りに回転可能に設けられ、その内部に前記一端部から前記フッ素含有廃スラッジが供給されるとともに、前記他端部から前記フッ化アルミニウムが排出される構成とされて、この加熱炉の内部における全域が加熱可能とされたロータリーキルンでもよい。
この場合、ロータリーキルンの内部の全域が加熱可能とされているので、この内部で生成されたフッ化アンモニウムが析出するのを防止することが可能になり、高純度のフッ化アルミニウムを生成することができる。
【０００７】
また、前記移送管には、この移送管内に熱風を供給して、この熱風とともに前記フッ化アンモニウムを前記気液接触部に向けて移送する熱風供給手段が連結されてもよい。
この場合、移送管内の前記フッ化アンモニウムを確実に高温に保つことが可能になる。さらに、前記熱風を加熱炉ではなく移送管に供給するので、熱風供給手段を設けたことにより加熱炉内における例えば温度等の加熱処理条件がばらついたり、あるいは加熱炉内のフッ素含有廃スラッジやフッ化アルミニウムが飛散し移送管の内面に付着してスケールが生じ易くなるのも防ぐことができる。
【０００８】
さらに、前記気液接触部は、内部に吸収液が充填される第１吸収部本体と、この第１吸収部本体と前記移送管とをつなぐ第１吸収部とを備え、前記吸収液は、第１吸収部の内周面に液膜をなしてこの第１吸収部の内周面を伝って前記第１吸収部本体に供給される構成とされてもよい。
この場合、第１吸収部の内周面が、液膜をなした吸収液に覆われた状態で、フッ化アンモニウムがこの第１吸収部を通って第１吸収部本体内に供給されることになるので、フッ化アンモニウムが移送管から前記第１吸収部に到達したときにその温度が低下させられて析出しようとしても、この析出物を堆積させることなく連続的に第１吸収部本体内に向けて前記第１吸収部から流出させることが可能になり、スケールの発生を確実に抑えることができる。
【０００９】
また、本発明のフッ素含有廃スラッジの処理方法は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジを加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム、および気体成分としてのフッ化アンモニウムに分解した後に、前記フッ化アンモニウムとフッ化水素とを反応させて前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウムを生成するフッ素含有廃スラッジの処理方法であって、本発明のフッ素含有廃スラッジの処理装置を用いて、前記フッ化水素アンモニウムを生成することを特徴とする。
この発明によれば、加熱炉と気液接触部とを連結する移送管内にスケールが発生するが抑えられるので、処理効率を向上させることが可能になるとともに、メンテナンスの頻度を低減させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、スケールの発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照し、この発明の実施の形態について説明する。本実施形態のフッ素含有廃スラッジの処理装置１０は、アルミニウム成形体の表面処理時に発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱処理して、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）、および気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）に分解する加熱炉１１と、フッ化アンモニウム（３）を後述する吸収液（９）中に吸収させる気液接触部１９と、吸収液（９）中に吸収されたフッ化アンモニウム（３）とフッ化水素（４）とを反応させて、前記表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウム（５）を生成する反応槽１２と、が備えられている。
【００１２】
さらに、本実施形態では、加熱炉１１内に例えば空気等のキャリアガス（６）を供給して、フッ化アンモニウム（３）を、加熱炉１１内から加熱炉１１と気液接触部１９とを連結する移送管２６内に排出する送風装置１３と、後述する除害塔２１から大気中にガスを排出する誘引ブロワ２３とが備えられている。
【００１３】
なお、フッ素含有廃スラッジ（１）は、ヘキサフルオロアルミニウムアンモニウム（ＮＨ４）３ＡｌＦ６を主体とした材質とされている。また、加熱炉１１は、筒状体の両端が閉塞された状態でその一端部から他端部に向かう下り勾配をもってその中心軸線回りに回転可能に設けられ、その内部に一端部からフッ素含有廃スラッジ（１）が供給されるとともに、他端部からフッ化アルミニウム（２）が排出される構成とされて、この加熱炉１１の内部における全域が加熱可能とされたロータリーキルンとされている。なお、加熱炉１１は、このロータリーキルンに代えて例えば流動層加熱装置としてもよい。
【００１４】
本実施形態では、さらに、図示されない表面処理槽で発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱炉１１で加熱処理する前に予め、このフッ素含有廃スラッジ（１）から液分を分離する濾過装置１５が備えられている。そして、この濾過装置１５からの濾液（７）、および気液接触部１９等でフッ化アンモニウム（３）を吸収した濾液（７）が貯められる濾液槽１６が備えられている。ここで、濾液槽１６に貯められる前記両濾液（７）を以下、吸収液（９）という。
【００１５】
また、この処理装置１０には、濾過装置１５で液分が分離されたフッ素含有廃スラッジ（１）を造粒して加熱炉１１内に供給する造粒機１８が設けられている。
一方、この処理装置１０における濾液槽１６側には、前記吸収液（９）中に、加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）を吸収させる気液接触部１９およびセパレータ２０と、これらの気液接触部１９およびセパレータ２０を通過したガスから、未だ残存しているフッ化アンモニウム（３）を除去する除害塔２１とが備えられている。
【００１６】
そして、本実施形態では、加熱炉１１と気液接触部１９とを連結する移送管２６には、その内部を流れるフッ化アンモニウム（３）を保温する保温手段２７が設けられている。保温手段２７は、移送管２６の全長にわたってその外周面を囲うように設けられ、フッ化アンモニウム（３）が加熱炉１１から気液接触部１９に到達するまでの全過程においてこのフッ化アンモニウム（３）を保温できるようになっている。
【００１７】
保温手段２７としては、例えば、移送管２６の外周面を断熱材で囲繞することによって、加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）の温度が低下するのを抑制するようにしてもよいし、あるいは、移送管２６の外周面を加熱することによってフッ化アンモニウム（３）の温度が低下するのを抑制するようにしてもよいし、さらには、移送管２６の外周面に、加熱部と断熱材とをこの順に配置してこれらを併用することにより保温手段２７を構成するようにしてもよい。
【００１８】
また、本実施形態では、移送管２６に、その内部に熱風を供給して、この熱風とともに加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）を気液接触部１９に向けて移送する熱風供給手段３０が連結されている。熱風供給手段３０は、例えば電気ヒータ炉若しくはバーナ炉等とされ、その内部に例えば空気等のガスが供給されて、このガスを、その温度を高めた状態で移送管２６内に供給するようになっている。図示の例では、前記送風装置１３から、加熱炉１１内に供給するキャリアガス（６）の流量よりも多くのガスが熱風供給手段３０に供給されるようになっている。また、熱風供給手段３０は、移送管２６において加熱炉１１側の端部に連結されている。
【００１９】
ここで、気液接触部１９は、内部に吸収液（９）が充填された第１吸収部本体１９ａと、この第１吸収部本体１９ａと移送管２６とをつなぐ第１吸収部２４とを備えている。そして、吸収液（９）は、第１吸収部２４の内周面全域に液膜をなしてこの第１吸収部２４の内周面を伝って第１吸収部本体１９ａ内に供給されるようになっている。
また、セパレータ２０は、フッ化アンモニウム（３）と吸収液（９）とを接触させる第２吸収部２５と、この第２吸収部２５を通過したフッ化アンモニウム（３）に、さらに吸収液（９）を接触させる第３吸収部２０ａとを備えている。
【００２０】
そして、本実施形態では、第１吸収部２４は、図２に示されるように、その中心軸線が鉛直方向に延びるように配置され、下方に向かうに従い漸次縮径された円錐形状の管体とされている。そして、第１吸収部２４の上端開口部外周面にその全周にわたって液貯め部３１が設けられている。この液貯め部３１は、上方に向けて開口するように配置された半割りの管状体とされ、その開口部に平面視リング状の上蓋部３１ｂが嵌められて、この液貯め部３１と上蓋部３１ｂとの間に内部空間が形成されている。上蓋部３１ｂには、前記中心軸線回りに環状に複数の貫通孔３１ａが形成されている。吸収液（９）は、この液貯め部３１の内部にその外周面側から充填されるようになっている。そして、この液貯め部３１内に充填された吸収液（９）を貫通孔３１ａから溢れ出させ、第１吸収部２４の上端開口面をその径方向内方に乗り越えさせることによって、この吸収液（９）が第１吸収部２４の内周面全域を伝って第１吸収部本体１９ａに向けて流下し、この第１吸収部本体１９ａ内に充填されるようになっている。すなわち、吸収液（９）は、第１吸収部２４の内周面上にその全域にわたって液膜をなして、第１吸収部本体１９ａに向けて流下するようになっている。
【００２１】
次に、以上のように構成されたフッ素含有廃スラッジの処理装置１０を用いてフッ素含有廃スラッジ（１）を処理する方法について説明する。
まず、濾過装置１５において、前記表面処理槽で発生したフッ素含有廃スラッジ（１）から液分を分離し、この濾液（７）を濾液槽１６内に貯留する。一方、液分が分離されたフッ素含有廃スラッジ（１）は造粒機１８に供給される。
【００２２】
その後、フッ素含有廃スラッジ（１）を造粒機１８で造粒し、所定の大きさに造粒されたフッ素含有廃スラッジ（１）を加熱炉１１内に供給する。
そして、この加熱炉１１内において、その内部を４５０℃以上７００℃以下、好ましくは約６００℃〜６５０℃で加熱した状態で中心軸線まわりに回転させつつ、フッ素含有廃スラッジ（１）を前記中心軸線方向の一端部から他端部に向けて移動させて加熱処理することにより、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）と気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）とに分解する。
【００２３】
このうち、固体成分としてのフッ化アルミニウム（２）は、図示されない梱包装置により梱包される。そして、このフッ化アルミニウム（２）は、例えば、純アルミニウムおよびアルミニウム合金を鋳造する際のフラックス剤の原料として再利用することができる。ここで、加熱炉１１内での加熱温度を４５０℃よりも低くすると、加熱処理に要する時間が長くなり、また、この加熱温度を７００℃よりも高くすると、得られたフッ化アルミニウム（２）がさらに分解させられ、その純度が低くなり商品としての価値が低下する。
【００２４】
一方、気体成分としてのフッ化アンモニウム（３）は、送風装置１３から配管２８を介して加熱炉１１内に約１〜３０ｍ３／Ｈの流量で供給されたキャリアガス（６）により、その濃度が希釈された状態で、フッ素含有廃スラッジ（１）およびフッ化アルミニウム（２）が移動する方向とは逆向きに、つまりこの加熱炉１１の前記一端部に向けて移送されて、加熱炉１１から移送管２６内に移送される。その後、このフッ化アンモニウム（３）は、さらに移送管２６内を気液接触部１９に向けて移送される。
【００２５】
ここで、本実施形態では、熱風供給手段３０が、前述したように移送管２６のうち加熱炉１１側の端部に連結されているので、加熱炉１１から移送管２６内に約１０ｍ３／Ｈの流量で流入したフッ化アンモニウム（３）とキャリアガス(６)には、この流入の当初から、熱風供給手段３０からの熱風（３００℃以上３５０℃以下）が約２４ｍ３／Ｈの流量で合流し、この熱風とともに気液接触部１９に向けて移送される。これにより、フッ化アンモニウム（３）は、加熱炉１１から移送管２６内への流入とほぼ同時に、あるいはその直後から、前記熱風によって、気液接触部１９に向けた移送速度が速められる。
【００２６】
ところで、前述した加熱処理およびフッ化アンモニウム（３）の移送の各過程において、本実施形態では、移送管２６は、保温手段２７によりその内部が３００℃以上３５０℃以下となるよう加熱されている。なお、この場合、保温手段２７の設定温度は例えば４００℃以上４３０℃以下に設定される。
【００２７】
そして、前記熱風およびキャリアガス（６）とともに気液接触部１９に向けて移送されたフッ化アンモニウム（３）は、まず、第１吸収部２４および第１吸収部本体１９ａに移送されてその一部が吸収液（９）中に吸収された後に、セパレータ２０に移送され、このセパレータ２０における第２吸収部２５および第３吸収部２０ａにより前記フッ化アンモニウム（３）が吸収液（９）中にほぼ全て吸収される。さらにその後、このフッ化アンモニウム（３）を少量含有するガスが除害塔２１内に移送され、この除害塔２１内で残りのフッ化アンモニウム（３）がほぼ完全に除去される。そして、このようにして無害化されたガス（８）が誘引ブロワ２３により除害塔２１から大気中に排出される。
【００２８】
ところで、濾過装置１５から濾液槽１６内に貯留された濾液（７）は、気液接触部１９およびセパレータ２０でフッ化アンモニウム（３）を吸収する吸収液（９）として用いられる。以下、この吸収液（９）の流れについて説明する。
【００２９】
この吸収液（９）は、まず、濾液槽１６からセパレータ２０に移送され、フッ化アンモニウム（３）を含む気液接触部１９から移送されたガスと接触することにより、フッ化アンモニウム（３）を吸収するとともに、加熱される。そして、この吸収液（９）は、第３吸収部２０ａ内に貯留される吸収液（９）の量が常時一定となるように、規定量になったときにオーバーフローして順次、第１吸収部本体１９ａに向けて流出する。
【００３０】
このようにして第１吸収部本体１９ａ内に流入した吸収液（９）は、フッ化アンモニウム（３）を含む加熱炉１１から移送されたガスと接触することにより、さらに、フッ化アンモニウム（３）を吸収するとともに、加熱される。その後、この吸収液（９）は濾液槽１６に戻されるが、その過程において、この吸収液（９）の一部が、気液接触部１９の第１吸収部２４に設けられた液貯め部３１の内部にその外周面側から充填され、前述したように、吸収液（９）を貫通孔３１ａから溢れ出させることによって、この吸収液（９）が第１吸収部２４の内周面全域を伝って第１吸収部本体１９ａに向けて流下し、この第１吸収部本体１９ａ内に充填される。この際、移送管２６から第１吸収部２４内に供給されたフッ化アンモニウム（３）は、第１吸収部２４の内周面上にその全域にわたって液膜をなして流下する吸収液（９）の表面に沿って第１吸収部本体１９ａ内に向けて流れ、このときに、フッ化アンモニウム（３）の一部が吸収液（９）中に吸収されるとともに、この吸収液（９）が加熱される。なお、第１吸収部２４の液貯め部３１に充填される吸収液（９）の温度は例えば２０℃以上５０℃以下とされる。
【００３１】
一方、第１吸収部本体１９ａから濾液槽１６に向けて流出した吸収液（９）のうち、濾液槽１６および第１吸収部２４に供給されなかった残りの吸収液（９）は、反応槽１２に供給される。そして、この反応槽１２において、供給されたフッ化水素（４）と、前記残りの吸収液（９）中に吸収されているフッ化アンモニウム（３）とが反応し、アルミニウム成形体の表面処理に再利用可能なフッ化水素アンモニウム（５）が生成される。その後、このフッ化水素アンモニウム（５）は、前記表面処理槽に供給して前記表面処理に用いられる。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態によるフッ素含有廃スラッジの処理装置１０によれば、加熱炉１１と気液接触部１９とを連結する移送管２６に、加熱炉１１からのフッ化アンモニウム（３）を保温する保温手段２７が設けられているので、加熱炉１１内で発生したフッ化アンモニウム（３）を高温に保った状態で気液接触部１９に向けて移送することが可能になり、この移送の過程でフッ化アンモニウム（３）が冷却させられたことにより析出して、スケールが発生するのを抑えることができる。
【００３３】
さらに、本実施形態では、移送管２６には、この移送管２６内に熱風を供給して、この熱風とともにフッ化アンモニウム（３）を気液接触部１９に向けて移送する熱風供給手段３０が連結されているので、移送管２６内のフッ化アンモニウム（３）を確実に高温に保つことが可能になる。
また、本実施形態では、移送管２６に供給される前記熱風の流量が、キャリアガス（６）の流量よりも大きいので、移送管２６内での前記フッ化アンモニウム（３）の移送速度を速めることも可能になり、このフッ化アンモニウム（３）を加熱炉１１から気液接触部１９に向けて移送する過程で温度が低下するのを一層確実に防ぐことができる。
さらに、前記熱風を加熱炉１１ではなく移送管２６に供給するので、熱風供給手段３０を設けたことにより加熱炉１１内における例えば温度等の加熱処理条件がばらついたり、加熱炉１１内のフッ素含有廃スラッジ（１）やフッ化アルミニウム（２）が飛散し、移送管２６等の内面に付着してスケールが生じ易くなるのも防ぐことができる。
【００３４】
さらにまた、第１吸収部２４の内周面がその全域にわたって、液膜をなして第１吸収部本体１９ａに向けて流下する吸収液（９）に覆われた状態で、フッ化アンモニウム（３）がこの第１吸収部２４を通って第１吸収部本体１９ａ内に供給されるので、フッ化アンモニウム（３）が移送管２６から第１吸収部２４に到達したときにその温度が低下させられて析出しようとしても、この析出物を堆積させることなく連続的に第１吸収部本体１９ａ内に向けて第１吸収部２４から流出させることが可能になり、スケールの発生を確実に抑えることができる。
【００３５】
また、本実施形態では、加熱炉１１内においてキャリアガス（６）が流れる方向と、フッ素含有廃スラッジ（１）およびフッ化アルミニウム（２）が移動する方向とが逆向きとされているので、加熱炉１１内で分解されたフッ化アルミニウム（２）とフッ化アンモニウム（３）とが混合させられた状態で、移送管２６、および前記梱包装置にそれぞれ到達するのを抑えることが可能になり、得られるフッ化アルミニウム（２）およびフッ化水素アンモニウム（５）の各純度を向上させることができる。
【００３６】
なお、本発明の技術的範囲は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、前記実施形態では、フッ化アンモニウム（３）を濾液（７）中に吸収させたが、これに代えて、例えば水に吸収させてもよい。
【００３７】
さらに、前記表面処理槽でのアルミニウム成形体の表面加工は、例えば、この成形体を脱脂工程および水洗工程をこの順に経た後に、アルカリエッチング処理工程またはフッ化水素アンモニウム溶液処理工程を経て、その後、水洗工程、スマット除去工程、水洗工程、陽極酸化工程、電解着色工程および電着塗装工程をこの順に経ることによって行うことができる。この場合、フッ素含有廃スラッジ（１）は、前記フッ化水素アンモニウム溶液処理工程で発生する。
【００３８】
また、前記実施形態では、前記表面処理槽で発生したフッ素含有廃スラッジ（１）を、一旦濾過装置１５に搬送して液分を分離し、その後、この廃スラッジ（１）を加熱炉１１で加熱処理したが、これに代えて、前記表面処理槽から濾過装置１５を通さずに直接加熱炉１１に供給して加熱処理するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
スケールの発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の一実施形態に係るフッ素含有廃スラッジの処理装置の全体概略図である。
【図２】図１に示す第１吸収部の拡大縦断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  フッ素含有廃スラッジの処理装置
１１  加熱炉
１２  反応槽
１３  送風装置
１９  気液接触部
１９ａ  第１吸収部本体
２４  第１吸収部
２６  移送管
２７  保温手段
３０  熱風供給手段
【図１】
2008055296.tif 000003
【図２】
2008055296.tif 000004