(57)【要約】【課題】ザグリ孔に対応させてノズル孔を精度良く形成する。【解決手段】導電性のザクリプレート５２にプレス加工などにより複数のザクリ１１２を形成し、ザクリプレート５２を支持基板１５０に固定してザクリ１１２に非導電性の第１樹脂１５２を充填する。その後、ザクリプレート５２上にＮｉを電鋳成長させてノズルプレート５４を形成する。その際、電鋳時間を調整することで、ザクリ１１２の内側に所定の径のノズル１１０が形成される。その後、ザクリプレート５２から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂１５２を溶液処理により溶解剥離することで、ザグリ付ノズルプレート５０が形成される。【選択図】図４
2008055701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ザグリ孔を有する導電性のザグリプレートと、前記ザグリ孔に対応してノズル孔が形成されたノズルプレートとを有し、前記ノズルプレートが、前記ザグリプレート表面上に電鋳成長させて設けられたことを特徴とするザグリ付ノズルプレート。
【請求項２】
請求項１に記載のザグリ付ノズルプレートを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
導電性のザグリプレートに複数のザグリ孔を形成するザグリ孔形成工程と、
前記ザグリプレートを支持基板に固定して前記ザグリ孔に非導電性の第１樹脂を充填する第１樹脂充填工程と、
前記ザグリプレート上にノズル孔を有するノズルプレートを電鋳成長して形成する電鋳成長工程と、
前記ザグリプレートから前記支持基板を外して前記第１樹脂を剥離し、又は前記第１樹脂を剥離して前記ザグリプレートから前記支持基板を外す第１樹脂剥離工程と、
を有することを特徴とするザグリ付ノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
前記電鋳成長工程の後に、
前記ノズル孔に前記第１樹脂と異なる非導電性の第２樹脂を充填する第２樹脂充填工程と、
前記第１樹脂剥離工程と、
前記ザグリプレート表面と前記ノズル孔の周囲に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、
前記第２樹脂を剥離する第２樹脂剥離工程と、
を有することを特徴とする請求項４に記載のザグリ付ノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
前記ザグリプレートを非導電性部材又は導電性部材で形成し、
前記第１樹脂充填工程の後に、前記ノズルプレート表面にノズル孔形成位置を開口させるように導電性のシード層をパターニングするシード層形成工程と、
前記電鋳成長工程に代えて、前記シード層上にノズル孔を有するノズルプレートを電鋳成長して形成するシード層電鋳成長工程と、
を有することを特徴とする請求項４に記載のザグリ付ノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記第１樹脂充填工程の後に、前記第１樹脂上のノズル孔形成位置に非導電性のノズル規制層をパターニングして形成する規制層形成工程と、
前記電鋳成長工程の後に、前記ノズル規制層を剥離する規制層剥離工程と、
を有することを特徴とする請求項４に記載のザグリ付ノズルプレートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ザグリ付ノズルプレート、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及びザグリ付ノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のノズルから液滴を吐出し、用紙等の記録媒体に印字を行う液滴吐出装置には、インクジェット記録装置があり、このインクジェット記録装置は、小型で安価、静寂性等の種々の利点があり、広く市販されている。特に、圧電素子を用いて圧力室内の圧力を変化させてインク滴を吐出するピエゾインクジェット方式や、熱エネルギーの作用でインクを膨張させてインク滴を吐出する熱インクジェット方式の記録装置は、高速印字、高解像度が得られる等、多くの利点を有している。
【０００３】
このようなインクジェット方式の記録装置においては、複数のノズル孔（吐出口）からインク滴を吐出して記録媒体上に画像を形成するため、ノズル孔を精度良く形成すると共に、記録媒体の接触などを抑制してノズル孔の信頼性を保持する必要がある。
【０００４】
このため、例えば、ノズルプレートに形成されたノズル孔の周囲に窪んだ段差形状部分（ザグリ）を設けたインクジェット記録ヘッドが提案されている。このようなノズルプレートの製造方法としては、例えば、不導体基板上へ金属薄膜をノズルプレート形状に形成し、ノズル孔中心部の不導体基板上へ段差形状部分を形成するためのレジストをパターニングし、メッキ処理することにより段差形状部分を得る方法が開示されている。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−１０４７２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ザグリプレート上にザクリ孔と対応させて密着力の強いノズル孔を有するノズルプレートを形成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明に係るザグリ付ノズルプレートは、ザグリ孔を有する導電性のザグリプレートと、前記ザグリ孔に対応してノズル孔が形成されたノズルプレートとを有し、前記ノズルプレートが、前記ザグリプレート表面上に電鋳成長させて設けられたことを特徴としている。
【０００７】
請求項２に記載の発明に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１に記載のザグリ付ノズルプレートを有することを特徴としている。
【０００８】
請求項３に記載の発明に係る液滴吐出装置は、請求項２に記載の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴としている。
【０００９】
請求項４に記載の発明に係るザグリ付ノズルプレートの製造方法は、導電性のザグリプレートに複数のザグリ孔を形成するザグリ孔形成工程と、前記ザグリプレートを支持基板に固定して前記ザグリ孔に非導電性の第１樹脂を充填する第１樹脂充填工程と、前記ザグリプレート上にノズル孔を有するノズルプレートを電鋳成長して形成する電鋳成長工程と、前記ザグリプレートから前記支持基板を外して前記第１樹脂を剥離し、又は前記第１樹脂を剥離して前記ザグリプレートから前記支持基板を外す第１樹脂剥離工程と、を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のザグリ付ノズルプレートの製造方法において、前記電鋳成長工程の後に、前記ノズル孔に前記第１樹脂と異なる非導電性の第２樹脂を充填する第２樹脂充填工程と、前記第１樹脂剥離工程と、前記ザグリプレート表面と前記ノズル孔の周囲に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、前記第２樹脂を剥離する第２樹脂剥離工程と、を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載のザグリ付ノズルプレートの製造方法において、前記ザグリプレートを非導電性部材又は導電性部材で形成し、前記第１樹脂充填工程の後に、前記ノズルプレート表面にノズル孔形成位置を開口させるように導電性のシード層をパターニングするシード層形成工程と、前記電鋳成長工程に代えて、前記シード層上にノズル孔を有するノズルプレートを電鋳成長して形成するシード層電鋳成長工程と、を有することを特徴としている。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項４に記載のザグリ付ノズルプレートの製造方法において、前記第１樹脂充填工程の後に、前記第１樹脂上のノズル孔形成位置に非導電性のノズル規制層をパターニングして形成する規制層形成工程と、前記電鋳成長工程の後に、前記ノズル規制層を剥離する規制層剥離工程と、を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１によれば、本構成を使用していない場合と比較して、ザグリプレートと、ザクリ孔と対応するノズル孔を有するノズルプレートとの密着性が強くなる。
【００１４】
請求項２によれば、ノズル孔の周囲のザクリ孔によって記録媒体の接触などによるノズル孔の損傷を抑制できる。
【００１５】
請求項３によれば、請求項２の液滴吐出ヘッドを使用することで、記録媒体の接触などによるノズル孔の損傷が抑制される。
【００１６】
請求項４によれば、本構成を使用していない場合と比較して、ザグリプレート上に、ザクリ孔を位置の基準としてノズル孔を低コストで形成することができる。
【００１７】
請求項５によれば、本構成を使用していない場合と比較して、ザグリプレートの表面とノズル孔の周囲に撥水膜を効率よく形成することができる。
【００１８】
請求項６によれば、シード層を設けることで、本構成を使用していない場合と比較して、ザグリプレート上にザクリ孔と対応させてノズル孔を精度良く形成することができる。
【００１９】
請求項７によれば、ノズル規制層を設けることで、本構成を使用していない場合と比較して、ザグリプレート上にザクリ孔と対応させてノズル孔を精度良く形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を説明する。なお、記録媒体は記録紙Ｐとして説明をする。また、記録紙Ｐのインクジェット記録装置１０における搬送方向を副走査方向として矢印Ｓで表し、その搬送方向と直交する方向を主走査方向として矢印Ｍで表す。また、図において、矢印ＵＰ、矢印ＬＯが示されている場合は、それぞれ上方向、下方向を示すものとし、上下の表現をした場合は、上記各矢印に対応しているものとする。
【００２１】
最初に、本発明の一実施形態に係るインクジェット記録ヘッド３２を備えるインクジェット記録装置１０の概要を説明する。
【００２２】
図１で示すように、インクジェット記録装置１０は、ブラック、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクジェット記録ヘッド３２を備える各インクジェット記録ユニット３０（図２参照）を搭載するキャリッジ１２を備えている。このキャリッジ１２の記録紙Ｐの搬送方向上流側には一対のブラケット１４が突設されており、そのブラケット１４には円形状の開孔１４Ａ（図２参照）が穿設されている。そして、その開孔１４Ａに、主走査方向に架設されたシャフト２０が挿通されている。
【００２３】
また、主走査方向の両端側には、主走査機構１６を構成する駆動プーリー（図示省略）と従動プーリー（図示省略）が配設されており、その駆動プーリーと従動プーリーに巻回されて、主走査方向に走行するタイミングベルト２２の一部がキャリッジ１２に固定されている。したがって、キャリッジ１２は主走査方向に往復移動可能に支持される構成である。
【００２４】
また、このインクジェット記録装置１０には、画像印刷前の記録紙Ｐを束にして入れておく給紙トレイ２６が設けられており、その給紙トレイ２６の上方には、インクジェット記録ヘッド３２によって画像が印刷された記録紙Ｐが排出される排紙トレイ２８が設けられている。そして、給紙トレイ２６から１枚ずつ給紙された記録紙Ｐを所定のピッチで副走査方向へ搬送する搬送ローラー及び排出ローラーからなる副走査機構１８が設けられている。
【００２５】
その他、このインクジェット記録装置１０には、印刷時において各種設定を行うコントロールパネル２４と、メンテナンスステーション（図示省略）等が設けられている。メンテナンスステーションは、キャップ部材、吸引ポンプ、ダミージェット受け、クリーニング機構等を含んで構成されており、吸引回復動作、ダミージェット動作、ワイパー（図示略）によるワイピング動作等のメンテナンス動作を行うようになっている。
【００２６】
図２にも示すように、各色のインクジェット記録ユニット３０は、インクジェット記録ヘッド３２と、それにインクを供給するインクタンク３４とが一体に構成されたものである。インクジェット記録ヘッド３２の下面のノズル面１００Ａには、マトリックス状に二次元配置された複数のノズル１１０が形成されている。なお、正確には後述するが、ノズル１１０の周囲にはザグリ１１２（図３）が形成されているが、ここでは説明を省略する。
【００２７】
そして、この複数のノズル１１０が、記録紙Ｐと対向するようにキャリッジ１２上に搭載されている。したがって、インクジェット記録ヘッド３２が主走査機構１６によって主走査方向に移動しながら、記録紙Ｐに対してノズル１１０から選択的にインク滴を吐出することにより、所定のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録される。
【００２８】
そして、主走査方向への１回の移動が終了すると、記録紙Ｐは、副走査機構１８によって副走査方向に所定ピッチ搬送され、再びインクジェット記録ヘッド３２（インクジェット記録ユニット３０）が主走査方向（前述とは反対方向）に移動しながら、次のバンド領域に対して画像データに基づく画像の一部が記録されるようになっており、このような動作を複数回繰り返すことによって、記録紙Ｐに画像データに基づく全体画像がフルカラーで記録される。
【００２９】
つぎに、本発明の第１実施形態のザグリ付ノズルプレート５０を有するインクジェット記録ヘッド３２について詳細に説明する。
【００３０】
図３はインクジェット記録ヘッド３２の要部の構成を模式的に示す概略断面図である。
【００３１】
図３に示すように、インクジェット記録ヘッド３２は、ザグリプレート５２とノズルプレート５４とで構成されたザグリ付ノズルプレート５０を備えている。さらに、ザグリ付ノズルプレート５０を構成するノズルプレート５４の上方には、プールプレート５６と、連通孔プレート５８，６０と、圧力室プレート６２と、振動板６４とが位置合わせして積層されている。
【００３２】
ザグリ付ノズルプレート５０を構成するノズルプレート５４には、インクを吐出するノズル１１０が形成されている。ノズルプレート５４のインク吐出側面には、ザグリプレート５２が積層され、ザグリプレート５２には、ノズル１１０の孔径よりも大径の円形の窪みであるザグリ１１２（段差形状部分）が形成されている。このザグリ１１２によって、ノズル１１０の周囲の面がザグリプレート５２のノズル面１００Ａから凹状に後退している。また、ノズル１１０の断面は、ザグリプレート５２側の開口部分の縁部が尖形であり、プールプレート５６側が扇状（円の約１／４のＲ状）に突出した湾曲形状となっている。
【００３３】
また、プールプレート５６には、ノズル１１０と連通された連通孔１２４が形成されている。また、連通孔プレート５８，６０には、連通孔１２６，１２８がそれぞれ形成され、圧力室プレート６２には、圧力室１３０が形成されている。ノズル１１０、連通孔１２４、及び連通孔１２６，１２８は、ザグリ付ノズルプレート５０、プールプレート５６、及び連通孔プレート５８，６０が積層された状態で連通し、圧力室プレート６２に形成された圧力室１３０に繋がっている。
【００３４】
また、プールプレート５６には、インクプール１３２が形成され、インクタンク３４（図２参照）から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート５８，６０には、それぞれインクプール１３２と連結するように供給孔１３４，１３６が形成されている。インクプール１３２、供給孔１３４，１３６及び圧力室１３０は、プールプレート５６と連通孔プレート５８，６０と圧力室プレート６２が積層された状態で連通している。なお、図示しないが、振動板６４の上部には、圧力室１３０の上方に圧力発生手段としての単板型の圧電素子が取り付けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。
【００３５】
このようなインクジェット記録ヘッド３２では、インクプール１３２から供給孔１３４，１３６、圧力室１３０、連通孔１２８，１２６、連通孔１２４、ノズル１１０へと連続するインクの通路が形成されている。インクタンク３４（図２参照）から供給されインクプール１３２に貯留されたインクは、供給孔１３４，１３６を経て圧力室１３０内に充填される。そして、圧電素子（図示省略）に駆動電圧が印加されると、圧電素子とともに振動板６４がたわみ変形して圧力室１３０を膨張又は圧縮させる。これによって、圧力室１３０に体積変化が生じ、圧力室１３０内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル１１０から外部へインク滴が吐出される。
【００３６】
このようなインクジェット記録ヘッド３２では、複数のノズル１１０の周囲に形成されたザグリ１１２によって、印字時に浮き上がった記録紙Ｐがノズル１１０及びそのノズル１１０の周囲の面に接触することが抑制される。
【００３７】
次に、インクジェット記録ヘッド３２を構成するザグリ付ノズルプレート５０の製造方法について説明する。
【００３８】
図４（Ａ）に示すように、導電性のザグリプレート５２のノズル相当位置に、プレス加工によって、約φ１００μｍの貫通孔からなる複数のザグリ１１２を形成する（ザグリ孔形成工程）。ザグリプレート５２の厚みは約２０μｍであり、ザグリプレート５２の材料としては、例えばＮｉなどが用いられる。また、複数のザグリ１１２はエッチング、又はレーザーなどの簡便な方法によって形成することもできる。
【００３９】
次いで、図４（Ｂ）に示すように、ザグリプレート５２の片面が密着するように支持基板１５０に固定し、ザグリ１１２に非導電性の第１樹脂１５２を充填する（第１樹脂充填工程）。この第１樹脂１５２としては、例えば、リフトオフレジストなどが用いられる。本実施形態では、マイクロケム製の「ＰＭＧＩ」が用いられている。
【００４０】
次いで、図４（Ｃ）に示すように、ザグリプレート５２上にＮｉを約４０μｍの厚みとなるように電鋳成長（電気めっき）させ、ノズル１１０を備えたノズルプレート５４を形成する（電鋳成長工程）。このとき、電鋳の時間を調整することで、ノズルプレート５４を約４０μｍの厚みとなるように形成し、その過程でザグリ１１２の上方に、ザグリ１１２より小径の約２０μｍ（底面の孔部分の寸法）のノズル１１０が形成される。電鋳成長によりノズル１１０を形成すると、ノズル１１０の形状は、ザグリプレート５２側の開口が尖形で、プールプレート５６側が円の約１／４の全周Ｒ面（断面が扇状に突出した湾曲形状）となる。
【００４１】
次いで、図４（Ｄ）、図４（Ｅ）に示すように、ザグリプレート５２から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂１５２を所定の溶液処理により溶解剥離する（第１樹脂剥離工程）。これにより、ザグリプレート５２にノズルプレート５４が積層されたザグリ付ノズルプレート５０が完成する。
【００４２】
その後、図３に示すように、ノズルプレート５４側に、プールプレート５６と側に、連通孔プレート５８，６０と、圧力室プレート６２とを接合し、圧力室プレート６２の開口を覆うように振動板６４を接合する。
【００４３】
このようなザグリ付ノズルプレート５０の製造方法では、ザグリプレート５２に簡便なプレス加工などによって大径（約φ１００μｍ）の貫通孔からなるザグリ１１２を所望の位置に形成できる。また、ザグリプレート５２上に電鋳成長によりノズルプレート５４を形成することで、ザグリ１１２の上部の内側にノズル１１０が形成される。その際、電鋳の時間を適切に設定することで、所定の径のノズル１１０を形成することが可能である。
【００４４】
また、通常の電鋳では、使い捨ての金属製の母型、もしくは使用毎に再研磨した金属製の母型を用い、母型上にレジストをパターニングして電鋳成長させる必要があるが、本発明の実施形態では、母型を用いずに電鋳成長させることができ、また、フォトリソグラフィ工程も不要である。
【００４５】
次に、本発明の第２実施形態であるインクジェット記録ヘッドについて説明する。なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００４６】
図５に示すように、インクジェット記録ヘッド１６２では、複数のザグリ１１２が形成されたザグリプレート５２と、ザグリ１１２の内側にノズル１１０が形成されたノズルプレート５４とが積層され、さらにザグリプレート５２の表面に撥水膜１６６が形成されたザグリ付ノズルプレート１６４が設けられている。また、ザグリ付ノズルプレート１６４を構成するノズルプレート５４の上方には、プールプレート５６と、連通孔プレート５８，６０と、圧力室プレート６２と、振動板６４とが位置合わせして積層されている。
【００４７】
撥水膜１６６は、ザグリプレート５２の表面と、ザグリ１１２の側壁およびノズル１１０の周囲の面（ザグリ１１２の底面）に形成されている。この撥水膜１６６としては、ＰＴＦＥ（４フッ化エチレン樹脂）共析メッキなどが用いられる。本実施形態では、上村工業製の「メタフロンＦＳ」が用いられている。
【００４８】
次に、インクジェット記録ヘッド１６２を構成するザグリ付ノズルプレート１６４の製造方法について説明する。
【００４９】
ザグリ付ノズルプレート１６４の製造方法は、図４（Ａ）から図４（Ｃ）までは同じであり、これらの工程によって、図６（Ａ）に示すように、ザグリプレート５２上にＮｉを電鋳成長させてノズル１１０を備えたノズルプレート５４を形成する（電鋳成長工程）。
【００５０】
次いで、図６（Ｂ）に示すように、複数のノズル１１０に非導電性の第２樹脂１７０を充填する（第２樹脂充填工程）。この第２樹脂１７０の充填は、第１樹脂１５２を剥離する前に行い、剥離の際に選択性のある第１樹脂１５２とは別の樹脂を用いる。この第２樹脂１７０としては、例えば、剥離可能なエポキシレジストなどが用いられる。本実施形態では、マイクロケム製の「ＫＭＰＲ−１０００シリーズ」が用いられている。
【００５１】
次いで、図６（Ｃ）に示すように、ザグリプレート５２から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂のみを所定の溶液処理により溶解剥離する（第１樹脂剥離工程）。
【００５２】
次いで、図６（Ｄ）に示すように、ザグリプレート５２の表面、及びノズルプレート５４のノズル１１０の周囲の面に電着めっき等により撥水膜１６６を形成する（撥水膜形成工程）。撥水膜１６６は、共析めっきや塗工により形成することもできる。このとき、第２樹脂１７０表面に撥水膜１６６が形成されてもよい。
【００５３】
次いで、図６（Ｅ）に示すように、第２樹脂１７０を所定の溶液処理により溶解剥離する（第２樹脂剥離工程）。これにより、ザグリプレート５２表面およびノズル１１０の周囲の面のみに撥水膜１６６を形成することができる。このような工程により、ザグリ付ノズルプレート１６４を製造する。
【００５４】
その後、図５に示すように、ノズルプレート５４側に、プールプレート５６と側に、連通孔プレート５８，６０と、圧力室プレート６２とを接合し、圧力室プレート６２の開口を覆うように振動板６４を接合する。
【００５５】
次に、本発明の第３実施形態であるインクジェット記録ヘッドについて説明する。なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００５６】
図７に示すように、インクジェット記録ヘッド１８０では、複数のザグリ１８８が形成されたザグリプレート１８４の上に、導電性のシード層１８６が形成され、そのシード層１８６の開口１８６Ａの内側にノズル１１０を備えたノズルプレート５４が形成されたザグリ付ノズルプレート１８２が設けられている。また、ザグリ付ノズルプレート１８２を構成するノズルプレート５４の上方には、プールプレート５６と、連通孔プレート５８，６０と、圧力室プレート６２と、振動板６４とが位置合わせして積層されている。
【００５７】
次に、インクジェット記録ヘッド１８０を構成するザグリ付ノズルプレート１８２の製造方法について説明する。
【００５８】
図８（Ａ）に示すように、導電性のザグリプレート１８４のノズル相当位置に、プレス加工によって、複数のザグリ１８８を形成する（ザグリ孔形成工程）。また、複数のザグリ１８８はエッチング、又はレーザーなどの簡便な方法によって形成することもできる。
【００５９】
次いで、図８（Ｂ）に示すように、ザグリプレート１８４の片面に密着するように支持基板１５０に固定し、ザグリ１８８に非導電性の第１樹脂１５２を充填する（第１樹脂充填工程）。
【００６０】
次いで、図８（Ｃ）に示すように、ザグリプレート１８４及び第１樹脂１５２の上に導電性のシード層１８６を形成する。そして、図８（Ｄ）に示すように、シード層１８６のノズル孔形成位置に複数の開口１８６Ａをパターニングして形成する（シード層形成工程）。シード層１８６は、約０．２〜１μｍの厚みで形成され、電鋳成長させる時の高精度な成長基準となる。シード層１８６として、例えば、Ｎｉが用いられる。
【００６１】
次いで、図８（Ｅ）に示すように、シード層１８６上にＮｉを約４０μｍの厚みとなるように電鋳成長（電気めっき）させ、ノズル１１０を備えたノズルプレート５４を形成する（シード層電鋳成長工程）。
【００６２】
次いで、図８（Ｆ）に示すように、ザグリプレート１８４から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂１５２を所定の溶液処理により溶解剥離する（第１樹脂剥離工程）。これによって、ザグリ付ノズルプレート１８２を形成する。
【００６３】
このようなザグリ付ノズルプレート１８２の製造方法では、導電性のシード層１８６を設けるので、ザグリプレート１８４は導電性の材料、非導電性の材料の何れを用いても良い。ザグリプレート１８４の材料としては、例えば、ＳＵＳ、樹脂などを用いることができる。
【００６４】
次に、本発明の第４実施形態であるインクジェット記録ヘッドについて説明する。なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００６５】
図９に示すように、インクジェット記録ヘッド２００では、複数のザグリ２０６が形成されたザグリプレート２０４と、ザグリ２０６の内側にノズル１１０を備えたノズルプレート５４が形成されたザグリ付ノズルプレート２０２が設けられている。また、ザグリ付ノズルプレート２０２を構成するノズルプレート５４の上方には、プールプレート５６と、連通孔プレート５８，６０と、圧力室プレート６２と、振動板６４とが位置合わせして積層されている。
【００６６】
次に、インクジェット記録ヘッド２００を構成するザグリ付ノズルプレート２０２の製造方法について説明する。
【００６７】
図１０（Ａ）に示すように、導電性のザグリプレート２０４のノズル相当位置に、プレス加工によって、複数のザグリ２０６を形成する（ザグリ孔形成工程）。また、複数のザグリ２０６はエッチング、又はレーザーなどの簡便な方法によって形成することもできる。ザグリプレート２０４として、例えばＮｉが用いられる。
【００６８】
次いで、図１０（Ｂ）に示すように、ザグリプレート２０４の片面に密着するように支持基板１５０に固定し、ザグリ２０６に非導電性の第１樹脂１５２を充填する（第１樹脂充填工程）。
【００６９】
次いで、図１０（Ｃ）に示すように、第１樹脂１５２のノズル相当位置にフォトリソグラフィ法によって非導電性のレジストをパターニングしてノズル規制層２１０を形成する。このノズル規制層２１０は、最終ノズル径となるノズル相当位置に形成する。ノズル規制層２１０の材料として、例えば、ドライフィルムレジストが用いられる。また、ノズル規制層２１０の厚みは、例えば、１０μｍに設定されている。本実施形態では、旭化成エレクトロニクス製の「サンフォートＳＰＧ−１０２」が用いられている。
【００７０】
次いで、図１０（Ｄ）に示すように、ザグリプレート２０４上にＮｉを約４０μｍの厚みとなるように電鋳成長（電気めっき）させ、ノズル１１０を備えたノズルプレート５４を形成する（電鋳成長工程）。このとき、ザグリプレート２０４上に非導電性のノズル規制層２１０を設けているので、ノズル規制層２１０上にＮｉが電鋳成長することが抑制され、所定の径のノズル１１０を形成することが可能となる。
【００７１】
次いで、図１０（Ｅ）に示すように、ザグリプレート２０４から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂１５２を所定の溶液処理により溶解剥離する（第１樹脂剥離工程）。これによって、ザグリ付ノズルプレート２０２を形成する。
【００７２】
このようなザグリ付ノズルプレート１８２の製造方法では、ノズル規制層２１０の位置にＮｉが電鋳成長することが抑制され、また、突発的なめっき異常成長の影響を排除することが可能である。
【００７３】
なお、図１等に示した例では、主走査機構と副走査機構を有するインクジェット記録装置について説明したが、本発明の液滴吐出ヘッドは、これに限定されるものではなく、例えば、印刷幅が記録紙Ｐの幅以上の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置にも適用することができる。
【００７４】
また、図１等に示した例では、記録媒体として記録紙Ｐ上へ画像（文字を含む）を記録するものであったが、本発明の液滴吐出ヘッドは、これに限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりする等、工業用的に用いられる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置全般に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】インクジェット記録装置を示す概略斜視図である。
【図２】キャリッジに搭載されたインクジェット記録ユニットを示す概略斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示す部分断面図である。
【図４】図３に示すインクジェット記録ヘッドに用いられるザグリ付ノズルプレートの製造方法を示す工程図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示す部分断面図である。
【図６】図５に示すインクジェット記録ヘッドに用いられるザグリ付ノズルプレートの製造方法を示す工程図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示す部分断面図である。
【図８】図７に示すインクジェット記録ヘッドに用いられるザグリ付ノズルプレートの製造方法を示す工程図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を模式的に示す部分断面図である。
【図１０】図９に示すインクジェット記録ヘッドに用いられるザグリ付ノズルプレートの製造方法を示す工程図である。
【符号の説明】
【００７６】
１０   インクジェット記録装置（液滴吐出装置）
３０   インクジェット記録ユニット
３２   インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
５０   ザグリ付ノズルプレート
５２   ザグリプレート
５４   ノズルプレート
５６   プールプレート（流路プレート）
１１０ ノズル（ノズル孔）
１１２ ザグリ（ザグリ孔）
１５０ 支持基板
１５２  第１樹脂
１６２ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
１６４ ザグリ付ノズルプレート
１６６ 撥水膜
１７０ 第２樹脂
１８０ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
１８２ ザグリ付ノズルプレート
１８４ ザグリプレート
１８６ シード層
１８６Ａ      開口
１８８ ザグリ（ザグリ孔）
２００ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
２０２ ザグリ付ノズルプレート
２０４ ザグリプレート
２０６ ザグリ（ザグリ孔）
２１０ ノズル規制層
【図１】
2008055701.tif 000003
【図２】
2008055701.tif 000004
【図３】
2008055701.tif 000005
【図４】
2008055701.tif 000006
【図５】
2008055701.tif 000007
【図６】
2008055701.tif 000008
【図７】
2008055701.tif 000009
【図８】
2008055701.tif 000010
【図９】
2008055701.tif 000011
【図１０】
2008055701.tif 000012