(57)【要約】  【課題】表示領域部、非表示領域部において、隔壁断線、隔壁倒れ、隔壁ハガレ、がないプラズマディスプレイ用部材を提供でき、さらに不灯、クロストーク等の欠陥がなく、高品位、高輝度のＰＤＰを提供する。  【解決手段】  基板上にストライプ状のアドレス電極ならびに該誘電体層上に設けられ、アドレス電極と平行な主隔壁および該誘電体層上に設けられ、主隔壁と直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁と、非表示領域上下に補助隔壁を設けないストライプ状隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、非表示領域上下端部にはがれ防止部を有し、主隔壁の上下端部の底部幅Ａ１が表示領域における主隔壁の平均底部幅Ａ２よりも大きいことを満たすことを特徴とするディスプレイ用部材。【選択図】図１
2008181872.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を被覆する誘電体層、ならびに該誘電体層上に設けられ該アドレス電極と略平行な主隔壁および該誘電体層上に設けられ該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、表示領域の上下に位置する非表示領域の上下端部における主隔壁の底部幅Ａ１が、表示領域の主隔壁の平均底部幅Ａ２よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイ用部材。
【請求項２】
前記主隔壁が、表示領域の上下に位置する非表示領域に底部幅がＡ１であるはがれ防止部と、底部幅がＡ２よりも大きくＡ１よりも小さい中間部を有する請求項１に記載のプラズマディスプレイ用部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイを構成するプラズマディスプレイ用部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、プラズマディスプレイ（以下、ＰＤＰと略す）が注目されている。
【０００３】
ＰＤＰの輝度を高め、クロストークなどの画像表示上の問題を抑制するため、主隔壁および補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するＰＤＰが知られている（特許文献１）。このようなＰＤＰにおいて、表示面となる前面板側のガラス基板には、対をなす複数のサステイン電極が銀やクロム、アルミニウム、ニッケル等の材料で形成され、さらにサステイン電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が２０〜５０μｍ厚みで形成され、誘電体層を被覆してＭｇＯ層が形成されている。一方、背面板側のガラス基板には、複数のアドレス電極が略ストライプ状に形成され、アドレス電極を被覆してガラスを主成分とする誘電体層が形成されている。誘電体層上に放電セルを仕切るために、アドレス電極と略平行な主隔壁および主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁が形成され、隔壁側面と誘電体層表面に蛍光体層が形成されている。フルカラー表示が可能なＰＤＰにおいては、蛍光体層は、ＲＧＢの各色の発光により構成される。前面板側のガラス基板のサステイン電極と背面板側のアドレス電極が互いに直交するように、前面板と背面板が封着され、それらの基板の間隙内にヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される希ガスが封入されＰＤＰが形成される。スキャン電極とアドレス電極の交点を中心として画素セルが形成されるので、ＰＤＰは複数の画素セルを有し、画像の表示が可能になる。
【０００４】
ＰＤＰにおいて表示を行う際、選択された画素セルにおいて、発光していない状態からサステイン電極とアドレス電極との間に封入ガスの放電開始電圧以上の電圧を印加すると電離によって生じた陽イオンや電子は、画素セルが容量性負荷であるために放電空間内を反対極性の電極へと向けて移動して両側のＭｇＯ層の内壁に帯電し、内壁の電荷はＭｇＯ層の抵抗が高いために減衰せずに残留する。この壁電荷により放電空間内に外部からの印加電圧とは逆極性の電界が形成されるのでセル内の電界は弱められて放電は直ちに停止する。
【０００５】
次に、スキャン電極間に放電維持電圧を印加することにより放電は維持される。壁電荷により放電開始電圧より低い電圧での放電が継続される。該放電により放電空間内のキセノンガスが励起され、約１４７ｎｍの紫外線が発生し、該紫外線が蛍光体を励起することにより、発光表示が可能になる。
【０００６】
近年、プラズマディスプレイの高精細化が求められており、隔壁ピッチを従来と比べて狭くする必要がある。隔壁ピッチを狭くする場合、ある程度の放電空間を確保するためには隔壁の底部幅を小さくする必要がある。一般に、表示領域の上下に位置する非表示領域には補助隔壁を設ける必要がないため、非表示領域の上下端部は補助隔壁を設けないストライプ状隔壁領域となる。
【０００７】
隔壁を形成する方法としては、ガラスを含む無機微粒子と有機バインダーからなるガラスペーストをパターン加工した後に高温で焼成する方法が一般的であるが、焼成時に有機バインダーが除去されて収縮が起こるため、上述のように高精細化のため隔壁の底部幅が小さくなると、主隔壁の上下端部において、主隔壁のはがれが発生するという問題があった。
【特許文献１】特開平１０−３２１１４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、底部幅の小さな主隔壁を設ける場合であっても、主隔壁の上下端部におけるはがれを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のプラズマディスプレイ用部材は、基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を被覆する誘電体層、ならびに該誘電体層上に設けられ該アドレス電極と略平行な主隔壁および該誘電体層上に設けられ該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であって、表示領域の上下に位置する非表示領域の上下端部における主隔壁の底部幅Ａ１が、表示領域の主隔壁の平均底部幅Ａ２よりも大きいことを特徴とするディスプレイ用部材である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、底部幅の小さな主隔壁を設ける場合であっても、主隔壁の上下端部におけるはがれを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のＰＤＰ用部材は、基板上に略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を被覆する誘電体層、ならびに該誘電体層上に設けられ該アドレス電極と略平行な主隔壁および該誘電体層上に設けられ該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するＰＤＰ用部材である。このような構成のＰＤＰ用部材とすることによって、上述のようにＰＤＰの輝度を高め、クロストークなどの画像表示上の問題を抑制することができる。
【００１２】
本発明のＰＤＰ用部材は、表示領域の上下に位置する非表示領域には必ずしも補助隔壁を設ける必要はない。非表示領域においては、蛍光体層の面積を大きくする必要がなく、クロストークが発生する恐れがないためである。また、後述のようにディスペンサー法を用いて蛍光体ペーストを隔壁間に塗着させる場合は、塗布開始部および塗布終了部付近で蛍光体ペーストの塗着量が多くなる場合があるので、補助隔壁の頂部に過剰の蛍光体ペーストが付着し、混色等の問題が発生するのを防ぐため、表示領域の上下に位置する非表示領域には補助隔壁を設けないことが好ましい。なお、本発明において表示領域とは、サステイン電極、アドレス電極およびスキャン電極を設け、放電させ、蛍光体を発光させ表示に使用するセル群からなる領域を指す。なお、ここでセルとは、基板上において主隔壁および補助隔壁で囲まれた各色の画素単位を指す。
【００１３】
本発明のＰＤＰ用部材は、表示領域の上下に位置する非表示領域の上下端部おける主隔壁の底部幅Ａ１が表示領域における主隔壁の平均底部幅Ａ２よりも大きいことを特徴とする。本発明において、隔壁の底部幅とは、隔壁の長手方向と直交する断面において、下地である誘電体と接触している底辺長さのことをいう。また、表示領域の主隔壁の平均底部幅Ａ２は、同一の主隔壁の表示領域内における５点以上の底部幅の平均値を用いる。
【００１４】
表示領域の上下に位置する非表示領域の上下端部における主隔壁の底部幅Ａ１を表示領域における主隔壁の平均底部幅Ａ２よりも大きくすることによって、隔壁端部における隔壁の底部と下地の誘電体層との接触面積を大きくし、十分な密着力を得ることができる。非表示領域の上下端部における主隔壁の底部幅が表示領域における主隔壁の底部幅と同じか、小さな場合は、主隔壁の上下端部においてはがれやすいという問題が生じる。
【００１５】
また、Ａ１はＡ２の１．０２倍以上であることがはがれ防止の面でさらに好ましい。Ａ１の上限は特に限定はないが、主隔壁のピッチよりも大きくすることはできない。これは隣接する隔壁とつながってしまうためである。また、後述のように、ディスペンサー法を用いて蛍光体ペーストを隔壁間に塗着させる場合は、主隔壁の頂部に蛍光体ペーストが付着するのを防ぐため、上下端部における主隔壁の底部幅Ａ１は、表示領域における主隔壁の平均底部幅Ａ２の１．５倍以下であることが好ましい。
【００１６】
主隔壁の端部における主隔壁のはがれやすさは、ＰＤＰ用部材を形成した後のはがれの有無を目視観察することによっても確認できるが、隔壁を形成した後に強制的な剥離試験を行い、十分な密着性を有するか確認する方法が好ましく用いられる。試験方法としては、粘着テープを隔壁頂部に貼り付けて、はがす方法がよい。隔壁と下地の誘電体との密着が悪い時は隔壁がはがれてしまう。密着が悪い場合、隔壁を形成した後の工程や、ＰＤＰとした後の使用時における変形や振動などによって隔壁端部にハガレが発生し、表示異常の原因となる場合がある。
【００１７】
本発明のＰＤＰ用部材は、表示領域の上下に位置する非表示領域の上下端部における主隔壁の底部幅Ａ１が、表示領域の主隔壁の平均底部幅Ａ２よりも大きければよいが、主隔壁が、非表示領域の上下端部に底部幅がＡ１であるはがれ防止部と、底部幅がＡ２よりも大きくＡ１よりも小さい中間部を有することが好ましい。中間部は、上述の関係を満たす一定の底部幅を有するものであっても良いが、図１に示すように、表示領域に隣接した部分からはがれ防止部にかけて、連続的に主隔壁の底部幅が大きくなっていく形状であることが好ましい。特に表示領域の上下に位置する非表示領域に補助隔壁を設けない場合、中間部を設けず非表示領域に位置する全域で主隔壁の底部幅を太くしてしまうと、補助隔壁の交差部において主隔壁が凹形状になってしまう場合がある。また、中間部を設けず底部幅が急激に変化する部分が存在すると、その位置で主隔壁のはがれが発生する場合がある。
【００１８】
以下、本発明のＰＤＰ用部材の製造方法について説明する。
【００１９】
まず、基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属により略ストライプ状のアドレス電極が形成される。形成する方法としては、これらの金属の粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを用いてパターン露光し、不要な部分を現像工程で溶解除去し、さらに４００〜６００℃に加熱・焼成して金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロムやアルミニウム等の金属をスパッタリングした後にレジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより不要な部分の金属を取り除くエッチング法を用いることができる。電極厚みは１〜１０μｍが好ましく、１．５〜８μｍがより好ましい。電極厚みが薄すぎると、パターンの抜けが生じやすくなったり、抵抗値が大きくなり正確な駆動が困難となる傾向にある。一方、厚すぎると材料が多く必要とされ、コスト的に不利な傾向にある。アドレス電極の幅は好ましくは２０〜２００μｍ、より好ましくは３０〜１５０μｍである。アドレス電極の幅が細すぎると、断線、欠けなどの欠陥が生じやすくなり歩溜まりが低下する、また抵抗値が高くなり正確な駆動が困難となる傾向にある。一方、太すぎると無効電力が増加する、隣合う電極間の距離が小さくなるためショート欠陥が生じやすいなどの傾向がある。さらに、アドレス電極は表示セル（画素の各ＲＧＢを形成する領域）に応じたピッチで形成される。通常のＰＤＰでは１００〜５００μｍ、高精細ＰＤＰにおいては５０〜４００μｍのピッチで形成するのが好ましい。なお、本発明において略ストライプ状とは、略平行なライン状パターンからなるストライプ状パターンを有するか、又はストライプ状パターンの電極の一部を太くしたり、一部を屈曲させたりしたパターンのものを指す。
【００２０】
次いで、誘電体層が形成される。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストをアドレス電極を覆う形で塗布した後に、４００〜６００℃で焼成することにより形成できる。誘電体層に用いるガラスペーストに用いるガラス粉末としては、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛、酸化リンの少なくとも１種類以上を含有し、これらを合計で１０〜８０重量％含有するガラス粉末を好ましく用いることができる。該配合物を１０重量％以上とすることで、６００℃以下での焼成が容易になり、８０重量％以下とすることで、結晶化を防ぎ透過率の低下を防止する。
【００２１】
これらのガラス粉末と有機バインダーと混練してペーストを作製できる。また、用いる有機バインダーとしては、エチルセルロース、メチルセルロース等に代表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルアクリレート等のアクリル系化合物等を用いることができる。
【００２２】
また、ガラスペースト中に、溶媒、可塑剤等の添加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ等の汎用溶媒を用いることができる。可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエチルフタレート等を用いることができる。
【００２３】
さらに、ガラス粉末以外にフィラー成分を添加することにより、反射率が高く、輝度の高いＰＤＰを得ることができる。フィラーとしては、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等が好ましく、粒子径０．０５〜３μｍの酸化チタンを用いることが特に好ましい。フィラーの含有量はガラス粉末：フィラーの比で、１：１〜１０：１が好ましい。フィラーの含有量をガラス粉末の１０分の１以上とすることで、特に輝度向上の実効を得ることができる。また、ガラス粉末の等量以下とすることで、特に高い焼結性を保つことができる。また、導電性微粒子を添加することにより駆動時の信頼性の高いＰＤＰを作製することができる。導電性微粒子は、ニッケル、クロムなどの金属粉末が好ましく、粒子径は１〜１０μｍが好ましい。１μｍ以上とすることで十分な効果を発揮でき、１０μｍ以下とすることで誘電体上の凹凸を抑え隔壁形成を容易にすることができる。これらの導電性微粒子が誘電体層に含まれる含有量としては、０．１〜１０重量％が好ましい。０．１重量％以上とすることで有効な導電性を得ることができ、１０重量％以下とすることで、隣り合うアドレス電極間でのショートを十分防ぐことができる。誘電体層の厚みは好ましくは３〜３０μｍ、より好ましくは３〜１５μｍである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホールが多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くなり、消費電力が大きくなる傾向にある。
次に、誘電体層上に隔壁を形成する。隔壁は、ガラスを含む無機微粒子と有機バインダーを含むガラスペーストを隔壁の形状にパターン形成した後に、４００〜６００℃に焼成して隔壁を形成する方法が一般的である。
【００２４】
無機微粒子としては、ガラス以外に、セラミック（アルミナ、コーディライトなど）などを用いることができる。
【００２５】
有機バインダーは、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステル−メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレン重合体、ブチルメタクリレート樹脂、エチルセルロースやメチルセルロース等のセルロース化合物を用いることができる。さらに、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤やレベリング剤などの添加剤を加えることも行われる。
【００２６】
さらに、その溶液の粘度を調整したい場合、有機溶媒を加えてもよい。このとき使用される有機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチルラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸などやこれらのうちの１種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。
【００２７】
また、本発明のＰＤＰ用部材の隔壁を後述の感光性ペースト法により形成する場合には、ガラスペーストに感光性モノマー、感光性オリゴマー、感光性ポリマーのうちの少なくとも１種類から選ばれた感光性成分を含有し、更に、必要に応じて、光重合開始剤、光吸収剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤を添加すると良い。
【００２８】
感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽和結合を含有する化合物で、その具体的な例として、単官能および多官能性の（メタ）アクリレート類、ビニル系化合物類、アリル系化合物類などを用いることができる。これらは１種または２種以上使用することができる。
【００２９】
また、この感光性ガラスペーストには、有機バインダーして感光性ポリマーおよび／または感光性オリゴマーを用いるのが好ましい。そのオリゴマーまたはポリマーは、炭素−炭素２重結合を有する化合物から選ばれた成分の重合または共重合により得られる。ポリマーやオリゴマーに不飽和カルボン酸などの不飽和酸を共重合することによって、感光後のアルカリ水溶液での現像性を向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、または、これらの酸無水物などが挙げられる。こうして得られた側鎖にカルボキシル基などの酸性基を有するポリマー、もしくは、オリゴマーの酸価（ＡＶ）は、５０〜１８０の範囲が好ましく、７０〜１４０の範囲がより好ましい。以上に示したポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性をもつ感光性ポリマーや感光性オリゴマーとして用いることができる。好ましい光反応性基は、エチレン性不飽和基を有するものである。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル基などが挙げられる。
【００３０】
光重合開始剤の具体的な例として、ベンゾフェノン、Ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４，４−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、２，３−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニル−２−フェニルアセトフェノンなどが挙げられる。これらを１種または２種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性成分に対し、好ましくは０．０５〜１０重量％の範囲で添加され、より好ましくは、０．１〜５重量％の範囲で添加される。重合開始剤の量が少な過ぎると、光感度が低下する傾向にあり、光重合開始剤の量が多すぎると、露光部の残存率が小さくなり過ぎる傾向にある。
【００３１】
光吸収剤としては、有機系染料からなるものが好ましく用いられる。具体的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ベンゾフェノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、ｐ−アミノ安息香酸系染料などが使用できる。有機系染料は、焼成後の絶縁膜中に残存しないので、光吸収剤による絶縁膜特性の低下を少なくできるので好ましい。これらの中でも、アゾ系およびベンゾフェノン系染料が好ましい。有機染料の添加量は、０．０５〜５重量％が好ましく、より好ましくは、０．０５〜１重量％である。添加量が少なすぎると、光吸収剤の添加効果が減少する傾向にあり、多すぎると、焼成後の絶縁膜特性が低下する傾向にある。
【００３２】
増感剤は、感度を向上させるために添加される。増感剤の具体例としては、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，３−ビス（４−ジエチルアミノベンザル）シクロペンタノン、２，６−ビス（４−ジメチルアミノベンザル）シクロヘキサノンなどが挙げられる。これらを１種または２種以上使用することができる。増感剤を感光性ペーストに添加する場合、その添加量は、感光性成分に対して通常０．０５〜１０重量％、より好ましくは０．１〜１０重量％である。増感剤の量が少な過ぎると光感度を向上させる効果が発揮されない傾向にあり、増感剤の量が多過ぎると、露光部の残存率が小さくなる傾向にある。
【００３３】
ガラスペーストを隔壁の形状にパターン形成する方法としては、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、感光性ペースト法、フォト埋め込み法、型転写法等の方法を用いることができる。
スクリーン印刷法は、形成したいパターン以外の部分に乳剤層を形成したスクリーン版上にペーストを広げ、スキージを用いて基板上に転写する方法である。転写可能な厚みが１０〜３０μｍ程度であるため、５〜１５回の繰り返し印刷を行い必要な高さを確保した後に、焼成して隔壁を形成する。
各種の隔壁形成方法の中で、高精細化・工程の簡便性の点で、感光性ペースト法が優れている。次に、感光性ペーストを用いた隔壁形成手順の一例を以下に示す。
【００３４】
ガラス基板に、感光性ペーストを塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイコーター、ブレードコーターなど一般的な方法を用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。また、ポリエステルフィルムなどのフィルム上に感光性ペーストを塗布した感光性シートを作成して、ラミネーターなどの装置を用いて基板上に感光性ペーストを転写する方法を用いても良い。
【００３５】
感光性ペーストを塗布した後、露光装置を用いて露光を行う。露光は、通常のフォトリソグラフィで行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する方法が一般的である。用いるマスクは、感光性有機成分の種類によって、ネガ型もしくはポジ型のどちらかを選定する。また、フォトマスクを用いずに、レーザ光などで直接描画する方法を用いても良い。露光に使用される活性光線は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線、レーザ光などが挙げられる。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、１〜１００ｍＷ／ｃｍ２の出力の超高圧水銀灯を用いて０．１〜１０分間露光を行う。  露光後、露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行うが、その際、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等が用いられる。
【００３６】
現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合は、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、０．０１〜１０重量％、より好ましくは０．１〜５重量％である。アルカリ濃度が低過ぎると可溶部が除去さ難くなる傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎると、パターン部を剥離させ、また、非可溶部を腐食する傾向にある。また、現像時の現像温度は、２０〜５０℃で行うことが工程管理上好ましい。
【００３７】
次に、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、４００〜８００℃で行う。基板がガラスである場合は、４５０〜６２０℃の温度で１０〜６０分間保持して焼成を行う。
隔壁は、熱軟化点の低いガラス基板上にパターン形成されるため、無機微粒子として、熱軟化温度が３５０℃〜６００℃のガラス微粒子を６０重量％以上含むものを用いることが好ましい。一方、熱軟化温度が６００℃以上のガラス微粒子やセラミック微粒子を添加することによって、焼成時の収縮率を抑制することができるが、その量は、４０重量％以下が好ましい。
【００３８】
用いるガラス粉末としては、焼成時にガラス基板にそりを生じさせないためには線膨脹係数が５０〜９０×１０−７／Ｋ、更には、６０〜９０×１０−７／Ｋのガラス微粒子を用いることが好ましい。
【００３９】
主隔壁の高さは、８０μｍ〜２００μｍが適している。８０μｍ以上とすることで蛍光体とスキャン電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、２００μｍ以下とすることで、スキャン電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十分な輝度を得ることができる。主隔壁のピッチ（Ｐ）は、７０μｍ≦Ｐ≦５００μｍのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ（Ｐ）が、７０μｍ≦Ｐ≦２５０μｍである。７０μｍ以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を得ることができ、５００μｍ以下とすることで画素の細かいきれいな映像表示ができる。２５０μｍ以下にすることにより、１９２０画素×１０８０画素程度の解像度を有するいわゆるフルハイビジョン（FＨＤ）レベルの美しい映像を表示することができる。また、１５０μｍ以下にすることで、４０００画素×２０００画素程度の解像度を有するいわゆるスーパーハイビジョン（ＳＨＤ）レベルのより美しい映像を表示することができる。
【００４０】
表示領域における主隔壁の平均底部幅Ａ２は１０〜２００μｍの範囲が好ましいが、本発明は特に平均底部幅Ａ２が１０〜８０μｍの狭幅の主隔壁を設ける場合に、特に有効である。
補助隔壁の高さは、主隔壁の高さよりも低いことが好ましく、さらには主隔壁の高さの１／２〜５／６の高さであることが好ましい。補助隔壁の高さを隔壁の高さの１／２以上とすることで、発光面積を大きくとることによる輝度向上の効果をより一層得ることができる。また、隔壁よりも低くすることで、製造工程において蛍光体層の形成をより容易にすることができる。
主隔壁や補助隔壁の幅を表す指標として、上述の底部幅以外に、最頂部の幅および半値幅がある。隔壁の半値幅は隔壁の頂部幅の０．８〜１．５倍、隔壁の底部幅は隔壁の頂部幅の１〜２．５倍であることが好ましい。半値幅、底部幅が前記範囲未満ではＰＤＰとした場合、隔壁の機械的強度が低下する傾向にあり、また前記範囲を超えるとＰＤＰとした場合、パネル輝度が低下するという問題が生じやすくなる。
【００４１】
隔壁を形成するガラス微粒子の組成としては、ケイ素および／またはホウ素の酸化物を必須成分としたものが好ましく用いられる。
【００４２】
酸化ケイ素は、３〜６０重量％の範囲で配合されていることが好ましい。３重量％以上とすることで、ガラス層の緻密性、強度や安定性が向上し、また、熱膨脹係数を所望の範囲内とし、ガラス基板とのミスマッチを防ぐことができる。また、６０重量％以下にすることによって、熱軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能になるなどの利点がある。
【００４３】
酸化ホウ素は、５〜５０重量％の範囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨脹係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性を向上することができる。５０重量％とすることでガラスの安定性を保つことができる。
【００４４】
さらに、酸化ビスマス、酸化鉛、酸化亜鉛のうちの少なくとも１種類を合計で５〜５０重量％含有させることによって、ガラス基板上にパターン加工えるのに適した温度特性を有するガラスペーストを得ることができる。特に、酸化ビスマスを５〜５０重量％含有するガラス微粒子を用いると、ペーストのポットライフが長いなどの利点が得られる。ビスマス系ガラス微粒子としては、例えば次の組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
【００４５】
酸化ビスマス  ：１０〜４０重量％
酸化ケイ素  ：  ３〜５０重量％
酸化ホウ素  ：１０〜４０重量％
酸化バリウム  ：  ８〜２０重量％
酸化アルミニウム  ：１０〜３０重量％。
【００４６】
また、酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウムのうち、少なくとも１種類を合計で３〜２０重量％含むガラス微粒子を用いてもよい。アルカリ金属酸化物の添加量は、２０重量％以下、好ましくは、１５重量％以下にすることによって、ペーストの安定性を向上することができる。上記３種のアルカリ金属酸化物の内、酸化リチウムがペーストの安定性の点で、特に好ましい。リチウム系ガラス微粒子としては、例えば次に示す組成を含むガラス粉末を用いることが好ましい。
【００４７】
酸化リチウム  ：  ２〜１５重量％
酸化ケイ素  ：１５〜５０重量％
酸化ホウ素  ：１５〜４０重量％
酸化バリウム  ：  ２〜１５重量％
酸化アルミニウム  ：  ６〜２５重量％。
【００４８】
また、酸化鉛、酸化ビスマス、酸化亜鉛のような金属酸化物と酸化リチウム，酸化ナトリウム、酸化カリウムのようなアルカリ金属酸化物の両方を含有するガラス微粒子を用いれば、より低いアルカリ含有量で、熱軟化温度や線膨脹係数を容易にコントロールすることができる。
【００４９】
また、ガラス微粒子中に、酸化アルミニウム、酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、酸化ジルコニウムなど、特に、酸化アルミニウム、酸化バリウムを添加することにより、加工性を改良することができるが、熱軟化点、熱膨脹係数の点からは、その含有量は、４０重量％以下が好ましく、より好ましくは２５重量％以下である。
【００５０】
次いで隣接する主隔壁の間に、Ｒ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストの有機バインダーとして前述の感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができるが、コストの理由からスクリーン印刷法、ディスペンサー法が本発明では好ましく適用される。
Ｒ蛍光体層の厚みをＴｒ、Ｇ蛍光体層の厚みをＴｇ、および、Ｂ蛍光体層の厚みをＴｂとしたとき、好ましくは、８μｍ≦Ｔｒ≦Ｔｂ≦５０μｍ、８μｍ≦Ｔｇ≦Ｔｂ≦５０μｍとなる関係を有することにより、色バランスに優れた（色温度の高い）プラズマディスプレイを作製できる。蛍光体層の厚みとしては、８μｍ以上とすることで十分な輝度を得ることができる。また、５０μｍ以下とすることで放電空間を広くとり高い輝度を得ることができる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔壁の中間点での形成厚みとして測定する。つまり、放電空間（セル内）の底部に形成された蛍光体層の厚みとして測定する。塗着させた蛍光体層を必要に応じて、４００〜５５０℃で焼成する事により、本発明のプラズマディスプレイ用部材を作製することができる。
ディスペンサー法で、蛍光体ペーストを隔壁間に塗着させる場合は、主隔壁の頂部に蛍光体ペーストが付着するのを防ぐため、上下端部における主隔壁の底部幅Ａ１は、表示領域における主隔壁の平均底部幅Ａ２の１．５倍以下であることが好ましい。
【実施例】
【００５１】
以下に、本発明を実施例を用いて、具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定はされない。
【００５２】
（実施例１）
解像度が１９２０画素×１０８０画素の、いわゆるフルハイビジョン対応のプラズマディスプレイ用部材を作成した。
【００５３】
ガラス基板は、６８０×１１５０×２．８ｍｍのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を使用した。この基板上に感光性銀ペーストを用いてアドレス電極を作製した。感光性銀ペーストを塗布、乾燥、露光、現像、焼成工程を経て、線幅２０μｍ、厚み３μｍ、ピッチ１００μｍのアドレス電極を形成した。
【００５４】
次に、酸化ビスマスを７８重量％、酸化珪素１４重量％、酸化アルミニウム３重量％、酸化亜鉛３重量％、酸化硼素２重量％を含有する低融点ガラスの粉末を６０％、平均粒子径０．３μｍの酸化チタン粉末を１０重量％、エチルセルロース１５％、テルピネオール１５％誘電体ペースト塗布した後、５８０℃で焼成して、厚み１０μｍの誘電体層を形成した。
【００５５】
誘電体層上に、１層目の感光性ガラスペーストを塗布した。感光性ガラスペーストはガラス粉末と感光性成分を含む有機成分から構成され、ガラス粉末としては、酸化リチウム１０重量％、酸化珪素２５重量％、酸化硼素３０重量％、酸化亜鉛１５重量％、酸化アルミニウム５重量％、酸化カルシウム１５重量％からなる組成のガラスを粉砕した平均粒子径２μｍのガラス粉末を用いた。感光性成分を含む有機成分としては、カルボキシル基を含有するアクリルポリマー３０重量％、トリメチロールプロパントリアクリレート３０重量％、光重合開始剤である“イルガキュア３６９”（チバガイギー社製）１０重量％、γ−ブチロラクトン３０重量％からなるものを用いた。感光性ペーストは、これらのガラス粉末と感光性成分を含む有機成分をそれぞれ７０：３０の重量比率で混合した後に、ロールミルで混練して作製した。
【００５６】
次にこの感光性ペーストをダイコーターを用いて乾燥後厚み２００μｍになるように塗布した。乾燥は、クリーンオーブン（ヤマト科学社製）で行った。乾燥後、示されるピッチ５７０μｍ、線幅５０μｍのパターンが等間隔に配列された、ストライプパターンを有する補助隔壁形成用のフォトマスクを用いて、フォトマスクのストライプパターンの長手方向がアドレス電極の長手方向と垂直方向になるように配置し、５００ｍＪで露光した。なおこのときのフォトマスクと塗布面のギャップ量を１５０μｍとした。露光後、上記感光性ペーストをさらに前記露光膜上に塗布し、乾燥後の合計厚みが３００μｍの塗布膜を得た。
【００５７】
次に、表示領域（基板中央部６２２×１１０６ｍｍ）形成用領域におけるピッチが１９０μｍ、線幅４０μｍ、非表示領域上下端部から７．５ｍｍの範囲にピッチが１９０μｍ、線幅が４４μｍであるはがれ防止部形成用パターンを有し、さらに表示領域上下端部とはがれ防止部の間の長さ２ｍｍの領域において、線幅が４０μｍから４４μｍに連続的に太くなる中間部形成用領域を有する主隔壁形成用フォトマスクを用いて、主隔壁の長手方向がアドレス電極の長手方向と平行になうように配置し、露光した。なおこのときのフォトマスクと塗布面のギャップ量は１５０μｍとした。露光量は、表示領域主隔壁底部幅が焼成後７２μｍとなるように調整して行った。
【００５８】
上記のようにして形成した露光済みの基板を０．５重量％のエタノールアミン水溶液にて現像し、隔壁パターンを形成した。
【００５９】
次にパターン形成済み基板を５６０℃で１５分間焼成することにより、表示領域における主隔壁の頂部幅が４０μｍ、底部幅が７２μｍであり、はがれ防止部における頂部幅が４２μｍ、底部幅が７６μｍであり、中間部の表示領域に隣接する部分からはがれ防止部に隣接する部分にかけて、主隔壁の頂部幅が４０μｍから４２μｍに、底部幅が７２μｍから７６μｍに、それぞれ連続的に太くなる形状を有し、高さが１２２μｍの主隔壁と、基板の中央部６２２ｍｍ×１１０６ｍｍの領域に、ピッチが５７０μｍ、頂部幅が４３μｍ、底部幅が８０μｍ、高さが１０８μｍである補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材を得た。
【００６０】
次に、主隔壁の上下端部において粘着テープを用いた剥離試験を行い、主隔壁端部におけるはがれやすさを評価した。住友３M製粘着テープ（幅１００ｍｍ×長さ１０ｍｍ）を、表示領域上部の非表示領域上端の主隔壁頂部に付着させ、垂直方向に剥離した。剥離後の主隔壁表面を光学顕微鏡を用いて観察した結果、主隔壁のはがれはなく、良好な密着性があることがわかった。
【００６１】
また、蛍光体をディスペンサー法で、隔壁間に塗着させたが、隔壁頂部に蛍光体付着は見られなかった。
【００６２】
（比較例１）
実施例１において、２回目の露光で用いたフォトマスクを、表示領域、非表示領域の全面のピッチが１９０μｍ、線幅が４０μｍであるストライプ状パターンに変更した他は同様にしてプラズマディスプレイ用部材を得た。
【００６３】
かくして得られたプラズマディスプレイ用部材は、表示領域、非表示領域の全面において主隔壁の頂部幅が４０μｍ、底部幅が７２μｍ高さが１２２μｍである主隔壁と、基板の中央部６２２ｍｍ×１１０６ｍｍの領域に、ピッチが５７０μｍ、頂部幅が４３μｍ、底部幅が８０μｍ、高さが１０８μｍである補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材を得た。
こうして得られたＰＤＰ用部材について、実施例１と同様に剥離試験を行った結果、主隔壁の端部にはがれが見られ、密着性が実施例１と比較して悪いことがわかった。
【００６４】
（比較例２）
実施例１において、２回目の露光で用いたフォトマスクを、表示領域（基板中央部６２２×１１０６ｍｍ）形成用領域におけるピッチが１９０μｍ、線幅４０μｍ、非表示領域上下端部から７．５ｍｍの範囲にピッチが１９０μｍ、線幅が３６μｍであるパターンを有し、さらに表示領域上下端部とはがれ防止部の間の長さ２ｍｍの領域において、線幅が４０μｍから３６μｍに連続的に細くなる中間部形成用領域を有する主隔壁形成用フォトマスクに変更した以外は同様にしてプラズマディスプレイ用部材を得た。
【００６５】
かくして得られたプラズマディスプレイ用部材は、表示領域の頂部幅が４０μｍ、底部幅が７２μｍであり、表示領域外の端部にかけて頂部幅が４０μｍから３６μｍに、底部幅が７２μｍから６８μｍに、それぞれ連続的に細くなる形状であり、高さが１２２μｍの主隔壁と、基板の中央部６２２ｍｍ×１１０６ｍｍの領域に、ピッチが５７０μｍ、頂部幅が４３μｍ、底部幅が８０μｍ、高さが１０８μｍである補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材であった。
こうして得られたＰＤＰ用部材について、実施例１と同様に剥離試験を行った結果、主隔壁の端部にはがれが見られ、密着性が実施例１と比較して悪いことがわかった。
（実施例２）
解像度が４０００画素×２０００画素の、いわゆるスーパーハイビジョン対応のプラズマディスプレイ用部材を作成した。ガラス基板は、５９０×９６４×１．８ｍｍのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を使用した。この基板上に感光性銀ペーストを用いてアドレス電極を作製した。感光性銀ペーストを塗布、乾燥、露光、現像、焼成工程を経て、線幅２０μｍ、厚み２μｍ、ピッチ７０μｍのアドレス電極を形成した。
【００６６】
次に、５８０℃で焼成して、厚み１０μｍの誘電体層を形成した。
【００６７】
誘電体層上に、１層目の感光性ガラスペーストをダイコーターを用いて乾燥後厚み１５０μｍになるように塗布した。乾燥後、示されるピッチ２１０μｍ、線幅２０μｍのパターンが等間隔に配列された、ストライプパターンを有する補助隔壁形成用のフォトマスクを用いて、フォトマスクのストライプパターンの長手方向がアドレス電極の長手方向と垂直方向になるように配置し、露光した。なおこのときのフォトマスクと塗布面のギャップ量を１００μｍとした。露光後、感光性ペーストをさらに前記露光膜上に塗布し、乾燥後の合計厚みが１８０μｍの塗布膜を得た。
【００６８】
次に、表示領域におけるピッチが７０μｍ、線幅２０μｍ、非表示領域上下端部から７．５ｍｍの範囲にピッチが７０μｍ、線幅が２４μｍであるはがれ防止部形成用パターンを有し、さらに表示領域上下端部とはがれ防止部の間の長さ２ｍｍの領域において、線幅が２０μｍから２４μｍに連続的に太くなる中間部形成用領域を有する主隔壁形成用フォトマスクを用いて、主隔壁の長手方向がアドレス電極の長手方向と平行になうように配置し、露光した。なおこのときのフォトマスクと塗布面のギャップ量は１００μｍとした。露光量は、表示領域主隔壁底部幅が焼成後３０μｍとなるように調整して行った。
【００６９】
上記のようにして形成した露光済みの基板を０．５重量％の炭酸ナトリウム水溶液にて現像し、隔壁パターンを形成した。
【００７０】
次にパターン形成済み基板を５９０℃で１５分間焼成することにより、表示領域における主隔壁の頂部幅が２０μｍ、底部幅が３０μｍであり、はがれ防止部における頂部幅が２４μｍ、底部幅が３５μｍであり、中間部の表示領域に隣接する部分からはがれ防止部に隣接する部分にかけて、主隔壁の頂部幅が２０μｍから２４μｍに、底部幅が３０μｍから３６μｍに、それぞれ連続的に太くなる形状を有し、高さが９０μｍの主隔壁と、表示領域における、ピッチが２１０μｍ、頂部幅が２０μｍ、底部幅が３０μｍ、高さが７５μｍである補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材を得た。
【００７１】
次に、主隔壁の上下端部において粘着テープを用いた剥離試験を行い、主隔壁端部におけるはがれやすさを評価した。住友３M製粘着テープ（幅１００ｍｍ×長さ１０ｍｍ）を、表示領域上部の非表示領域上端の主隔壁頂部に付着させ、垂直方向に剥離した。剥離後の主隔壁表面を光学顕微鏡を用いて観察した結果、主隔壁のはがれはなく、良好な密着性があることがわかった。
【００７２】
（比較例３）
実施例２において、２回目の露光で用いたフォトマスクを、表示領域、非表示領域の全面のピッチが７０μｍ、線幅が２０μｍであるストライプ状パターンに変更した他は同様にしてプラズマディスプレイ用部材を得た。
【００７３】
かくして得られたプラズマディスプレイ用部材は、表示領域、非表示領域の全面において主隔壁の頂部幅が２０μｍ、底部幅が３０μｍ高さが９０μｍである主隔壁と、表示領域に、ピッチが２１０μｍ、頂部幅が２０μｍ、底部幅が３０μｍ、高さが７５μｍである補助隔壁からなる格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材を得た。
こうして得られたＰＤＰ用部材について、実施例２と同様に剥離試験を行った結果、主隔壁の端部にはがれが見られ、密着性が実施例２と比較して悪いことがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施形態の隔壁の上端部における形状を示す模式図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  主隔壁
２  補助隔壁
３  はがれ防止部
４  表示領域
５  非表示領域
【図１】
2008181872.tif 000003