(57)【要約】【課題】小型化・省スペース化を図ることができ、構成が簡単で、据付作業が容易で、作業性と処理効率を向上することができる、エアフィルタユニットの洗浄装置を提供する。【解決手段】循環経路に沿って等間隔に配置され、それぞれ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する複数のハンドリング装置３８と、ハンドリング装置の間隔を保ちながら全てのハンドリング装置を循環経路に沿って同時に移動させる搬送装置３０と、循環経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に等間隔に配置され、それぞれが同時にハンドリング装置に対向する複数の処理槽２２，２４，２６，２８とを備える。ハンドリング装置３８が処理槽２２，２４，２６，２８を順に移動し、ハンドリング装置３８に保持さているエアフィルタユニットが処理槽２２，２４，２６，２８で順に処理される。【選択図】図１
2008055380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
循環経路に沿って等間隔に配置され、それぞれ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する複数のハンドリング装置と、
前記ハンドリング装置の間隔を保ちながら全ての前記ハンドリング装置を前記循環経路に沿って同時に移動させる搬送装置と、
前記循環経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に等間隔に配置され、前記ハンドリング装置にそれぞれが同時に対向する複数の処理槽とを備え、
前記搬送装置により、前記ハンドリング装置が、それぞれ、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に前記処理槽を移動し、前記ハンドリング装置に保持されているエアフィルタユニットが、それぞれ、前記処理槽において工程順に処理されることを特徴とする、エアフィルタユニットの洗浄装置。
【請求項２】
前記ハンドリング装置の個数と、前記処理槽の個数とが、同じであることを特徴とする、請求項１に記載のエアフィルタユニットの洗浄装置。
【請求項３】
前記ハンドリング装置の個数は、前記処理槽の個数に１以上の整数を加えた個数であることを特徴とする、請求項１に記載のエアフィルタユニットの洗浄装置。
【請求項４】
前記搬送装置は、
中心軸の周りの回転と、前記中心軸方向の移動とが可能な回転軸と、
前記回転軸に一端が固定され、前記回転軸から等間隔に放射状に延在する複数のアームと、
を含み、
前記ハンドリング装置は、前記各アームの他端側にそれぞれ取り付けられることを特徴とする、請求項１、２又は３に記載のエアフィルタユニットの洗浄装置。
【請求項５】
中心軸の周りの回転と前記中心軸方向の移動とが可能な回転軸と、前記回転軸に一端が固定され、前記中心軸と非平行に延在する、少なくとも１本のアームと、を含む搬送装置と、
前記アームの他端側に取り付けられ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する、少なくとも一つのハンドリング装置と、
前記搬送装置によって搬送される前記ハンドリング装置の搬送経路に沿って配置され、前記ハンドリング装置に保持されている前記エアフィルタユニットを洗浄するための、複数の処理槽と、
を備えたことを特徴とする、エアフィルタユニットの洗浄装置。
【請求項６】
前記搬送装置は、前記回転軸が１方向にのみ回転し、複数の前記アームが前記中心軸から放射状に等間隔に延在し、
それぞれの前記アームに前記ハンドリング装置が取り付けられ、
前記処理槽は、前記搬送装置によって搬送される前記ハンドリング装置の前記搬送経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に配置され、少なくとも２つの前記処理槽がそれぞれ前記ハンドリング装置に同時に対向することを特徴とする、請求項５に記載のエアフィルタユニットの洗浄装置。
【請求項７】
前記ハンドリング装置の個数は、前記処理槽の個数以上の個数であることを特徴とする、請求項６に記載のエアフィルタユニットの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアフィルタユニットの洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ビルディング、工場、事務所などの空気調和設備においては、取り入れ外気や循環空気中の粉じんをろ材で除去するエアフィルタユニットが用いられている。このようなエアフィルタユニットを繰り返し使用するため、エアフィルタユニットを洗浄する洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」という。）が提案されている。洗浄装置は、小型化・小スペース化、構成の簡素化、作業性・処理効率の向上などが要求されている。
【０００３】
例えば図１０に模式的に示したエアフィルタユニットの洗浄装置１００は、第１反転装置１０４、前処理槽１１２、超音波洗浄槽１１３、中継台１１４、すすぎ槽１１５、殺菌槽１１６及び第２反転装置１０６を一列に配置し、２台の搬送装置１２０，１３０を備える。第１搬送装置１２０は、第１反転装置１０４〜中継台１１４間において、アーム１２４でエアフィルタユニット１０２を把持しながら、矢印１４０〜１４４で示すようにエアフィルタユニット１０２の搬送を行う。第２搬送装置１３０は、中継台１１４〜第２反転装置１０６間において、アーム１３４でエアフィルタユニット１０２を把持しならが、矢印１４５〜１４８で示すように、エアフィルタユニット１０２の搬送を行う。搬送装置１２０，１３０の動作は、制御装置１１４によって制御される（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−５２７２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の洗浄装置１００は、第１反転装置１０４〜第２反転装置１０６間のレイアウトを、中継台１１４で折り曲げることにより、全長を短くし、小型化・省スペース化を図ることができる。
【０００５】
しかし、中継台１１４の長さ分は削ることができないため、全長の短縮には限界がある。また、２台の搬送装置１２０，１３０と中継台１１４とを備えるため、構成が複雑になり、洗浄装置の設置に必要な面積も大きくなる。搬送装置１２０，１３０はガイドレール上を移動する構成であるため、洗浄装置１００は高くならざるを得ない。さらに、中継台１１４でエアフィルタユニット１０２の受け渡しを行うため、第１搬送装置１２０と第２搬送装置１３０との位置合わせが必要となるなど、据付時の調整作業が煩雑である。さらに、洗浄装置１００の据付や搬入のためのスペースも必要となる。
【０００６】
そのため、洗浄装置１００を設置できるのは、工場内のように、天井が高く、広いスペースの確保が容易な場所に限られていた。
【０００７】
さらに、洗浄装置１００は、第１搬送装置１２０と第２搬送装置１３０とが連携しながら動作するため、制御が複雑になる。そのため、エアフィルタユニットの汚れ具合に応じて洗浄時間を変えるなどの調整作業が難しい。また、第１搬送装置１２０は、前処理槽１１２又は超音波洗浄槽１１３のいずれか一方での処理しか行うことができない。第２搬送装置１３０は、すすぎ槽１１５又は殺菌槽１１６のいずれか一方での処理しか行うことができない。エアフィルタユニットは中継台１１４で受け渡す必要がある。
【０００８】
このようなことから、洗浄装置１００は、処理効率の向上には限界がある。
【０００９】
本発明は、上記のような問題を解決しようとするものであり、小型化・省スペース化を図ることができ、構成が簡単で、据付作業が容易で、作業性と処理効率を向上することができる、エアフィルタユニットの洗浄装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の構成のエアフィルタユニットの洗浄装置を提供する。
【００１１】
エアフィルタユニットの洗浄装置は、（１）循環経路に沿って等間隔に配置され、それぞれ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する複数のハンドリング装置と、（２）前記ハンドリング装置の間隔を保ちながら全ての前記ハンドリング装置を前記循環経路に沿って同時に移動させる搬送装置と、（３）前記循環経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に等間隔に配置され、前記ハンドリング装置にそれぞれが同時に対向する複数の処理槽とを備える。前記搬送装置により、前記ハンドリング装置が、それぞれ、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に前記処理槽を移動し、前記ハンドリング装置に保持されているエアフィルタユニットが、それぞれ、前記処理槽において工程順に処理される。
【００１２】
上記構成において、処理槽は、エアフィルタユニットを洗浄する最初の工程の洗浄槽から最後の工程の洗浄槽までが等間隔に配置されていればよく、最初の洗浄槽と最後の洗浄槽とが隣接する間隔は、他の隣り合う洗浄槽同士の間隔と同じでなくてもよい。
【００１３】
上記構成において、エアフィルタユニットを保持するハンドリング装置が、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に処理槽を移動することによって、エアフィルタユニットの洗浄を行うことができる。ハンドリング装置が、最終の工程の処理槽を通過した後、最初の工程の処理槽に達するまでの間に、ハンドリング装置に保持するエアフィルタユニットを交換する。
【００１４】
上記構成によれば、１台の搬送装置で、複数のエアフィルタユニットを同時に搬送するので、構成が簡単になり、小型化・省スペース化を図ることができる。全ての処理槽は同時にハンドリング装置に対向するので、ハンドリング装置に保持されているエアフィルタユニットを各処理槽において略同時に処理できる。各処理槽の稼働率が高まり、処理効率が向上する。搬送装置が１台しかないので、据付作業も容易である。また、ハンドリング装置に保持するエアフィルタユニットの交換を同じ場所で行うようにして、作業性を向上することができる。
【００１５】
具体的には、以下のように種々の態様の構成とすることができる。
【００１６】
好ましくは、前記ハンドリング装置の個数と、前記処理槽の個数とが、同じである。
【００１７】
この場合、ハンドリング装置と処理槽とは、同じ間隔で配置される。搬送装置により、ハンドリング装置が、各処理槽に対向する処理位置を順に移動する。搬送装置、ハンドリング装置や処理槽に無駄がない簡単な構成とし、小型化・省スペース化を図ることができる。
【００１８】
好ましくは、前記ハンドリング装置の個数は、前記処理槽の個数に１以上の整数を加えた個数である。
【００１９】
この場合、全ての処理槽にハンドリング装置が対向しているときに、処理槽に対向していないハンドリング装置について、ハンドリング装置に保持するエアフィルタユニットの交換を行うことができる。エアフィルタユニットの交換は、他のエアフィルタユニットが処理槽で処理されているときに行うことができるので、処理効率を高めることができる。
【００２０】
より好ましくは、前記ハンドリング装置の個数は、前記処理槽の個数に１を加えた個数である。この場合、構成をより簡単にし、より一層の小型化・省スペース化を図ることができる。
【００２１】
好ましくは、前記搬送装置は、（ａ）中心軸の周りの回転と、前記中心軸方向の移動とが可能な回転軸と、（ｂ）前記回転軸に一端が固定され、前記回転軸から等間隔に放射状に延在する複数のアームとを含む。前記ハンドリング装置は、前記各アームの他端側にそれぞれ取り付けられる。
【００２２】
この場合、搬送装置は、中心軸の周りの円形の循環経路に沿って、ハンドリング装置の間隔を保ちながら、全てのハンドリング装置を同時に移動させることができる。搬送装置の構成は、簡単になる。
【００２３】
また、本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したエアフィルタユニットの洗浄装置を提供する。
【００２４】
エアフィルタユニットの洗浄装置は、（１）中心軸の周りの回転と前記中心軸方向の移動とが可能な回転軸と、前記回転軸に一端が固定され、前記中心軸と非平行に延在する、少なくとも１本のアームと、を含む搬送装置と、（２）前記アームの他端側に取り付けられ、エアフィルタユニットを着脱自在に保持する、少なくとも一つのハンドリング装置と、（３）前記搬送装置によって搬送される前記ハンドリング装置の搬送経路に沿って配置され、前記ハンドリング装置に保持されている前記エアフィルタユニットを洗浄するための、複数の処理槽と、を備える。
【００２５】
上記構成によれば、エアフィルタユニットをハンドリング装置に装着する場所と、ハンドリング装置からエアフィルタユニットを取り出す場所とを同じにすることができ、作業性を向上することができる。また、搬送装置の回転軸のまわりに処理槽を配置して、小型化・省スペース化を図ることができる。さらに、搬送装置の構成が簡単であり、据付作業が容易である。
【００２６】
好ましくは、前記搬送装置は、前記回転軸が１方向にのみ回転し、複数の前記アームが前記中心軸から放射状に等間隔に延在する。それぞれの前記アームに前記ハンドリング装置が取り付けられる。前記処理槽は、前記搬送装置によって搬送される前記ハンドリング装置の前記搬送経路に沿って、エアフィルタユニットを洗浄する工程順に配置され、少なくとも２つの前記処理槽がそれぞれ前記ハンドリング装置に同時に対向する。
【００２７】
この場合、複数の処理槽でエアフィルタユニットを同時に処理することで、処理効率を向上することができる。
【００２８】
好ましくは、前記ハンドリング装置の個数は、前記処理槽の個数以上の個数である。
【００２９】
この場合、全ての処理槽が同時にハンドリング装置に対向するようにして、最も処理効率を向上することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明のエアフィルタユニットの洗浄装置は、小型化・省スペース化を図ることができ、構成が簡単で、据付作業が容易で、作業性と処理効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態として実施例を、図１〜図９を参照しながら説明する。
【００３２】
＜実施例１＞  実施例１のエアフィルタユニットの洗浄装置（以下、単に「洗浄装置」ともいう。）１０について、図１〜図６を参照しながら説明する。
【００３３】
洗浄装置１０は、枠にろ材が収められたエアフィルタユニットを、連続的に洗浄する装置である。
【００３４】
図１の平面図に示すように、洗浄装置１０は、基台１２の上に、４つの処理槽（すなわち、前処理槽２２、超音波洗浄槽２４、すすぎ槽２６及び後処理槽２８）と、搬送装置３０と、制御盤１４とを備える。搬送装置３０は、基台１２の中央に配置されている。前処理槽２２、超音波洗浄槽２４、すすぎ槽２６及び後処理槽２８は、搬送装置３０を中心に９０度ごとに、すなわち４等分位置に、それぞれ配置されている。
【００３５】
搬送装置３０は、図１及び図１の線Ａ−Ａに沿って見た側面図である図２に示すように、基台１２の中央に配置された本体部３２と、本体部３２から垂直上方に延在する回転軸３４と、回転軸３４の上部に一端が固定された４本のアーム３６とを備える。各アーム３６の他端（先端）３７には、それぞれ、ハンドリング装置３８が固定されている。
【００３６】
回転軸３４は、垂直（鉛直）方向に延在する中心軸の周りを回転するだけではなく、本体部３２に対して上下方向に移動して本体部３２から出没するようになっている。本体部３２の内部には、回転軸３４を回転・昇降するための駆動装置（図示せず）が収納されている。各アーム３６は、回転軸３４から放射状に略水平方向に延在し、回転軸３４の中心軸の周りに９０度ごとに配置されている。
【００３７】
ハンドリング装置３８は、エアフィルタユニット（図示せず）を保持する装置である。実施例１では、ハンドリング装置３８として、エアフィルタユニットを収納するための網目状のかごがアーム３６の先端３７に吊り下げられるように構成されている。この場合、ハンドリング装置３８のかごに対するエアフィルタユニットの厳密な位置決めを不要とし、ハンドリング装置３８のかごに収納するエアフィルタユニットを短時間で交換できるようにすることができる。
【００３８】
なお、ハンドリング装置３８はこの他の構成としてもよい。例えば、エアフィルタユニットの上部を爪状の部材で、着脱自在に把持又は係合する構成としてもよい。また、ハンドリング装置３８に保持するエアフィルタユニットの交換（着脱）は、作業員が行うようにしても、機械化・自動化してもよい。
【００３９】
ハンドリング装置３８は、等間隔に配置され、回転軸３４の回転に伴って、図１において矢印８０で示す方向に、円形の循環経路を移動する。また、回転軸３４の昇降に伴って、図２において矢印８２で示すように、上下方向に移動する。
【００４０】
各処理槽２２，２４，２６，２８は、ハンドリング装置３８の循環経路に沿って矢印８０で示す方向にエアフィルタユニットを洗浄する工程順に、等間隔に配置される。各処理槽２２，２４，２６，２８は、搬送装置３０の駆動により移動する４つのハンドリング装置３８に、それぞれ、同時に対向する。各処理槽２２，２４，２６，２８の上面には開口（図示せず）が設けられ、搬送装置３０の回転軸３４の昇降に伴い、４つのハンドリング装置３８にそれぞれ保持されたエアフィルタユニットを、上方から各処理槽２２，２４，２６，２８の内部に、同時に出し入れすることができるようになっている。
【００４１】
前処理槽２２は、エアフィルタユニットに前処理液を噴射し、エアフィルタユニットに付着した粉じんを浮きやすくし、剥がれた粉じんを洗い流す。超音波洗浄槽２４は、洗浄液中に浸したエアフィルタユニットに超音波を当て、エアフィルタユニットに付着した粉じんを剥離させる。すすぎ槽２６は、エアフィルタユニットに残った洗浄液を除去する。後処理槽２８は、エアフィルタユニットに対して霧状の殺菌剤、抗菌剤を吹き付けたり、オゾンを噴き付けるなどして、殺菌、抗菌処理を行う。
【００４２】
図５のブロック図は、洗浄装置１０の制御系の構成を示す。制御盤１４（図１参照）に収納された制御装置１６には、搬送装置３０の回転軸３４の昇降・回転のための昇降モーター４２及び回転モーター４４と、前処理槽２２、超音波洗浄槽２４、すすぎ槽２６及び後処理槽２８とが接続されている。制御装置１６は、各ハンドリング装置３８に保持されたエアフィルタユニットの搬送と、各処理槽２２，２４，２６，２８におけるエアフィルタユニットのすすぎ・洗浄等の処理とが同期するように、制御する。
【００４３】
次に、洗浄装置１０の動作について説明する。
【００４４】
図１の線Ｂ−Ｂに沿って見た模式図である図３及び図４に示すように、搬送装置３０の回転軸３４は、回転軸３４が上方に突出した上昇位置（図３）と、回転軸３４の下部が本体部３２内に収納された下降位置（図４）との間を移動し、これに伴って、各アーム３６の他端３７に固定されたハンドリング装置３８が昇降する。ハンドリング装置３８は、図３に示すように、上昇位置では各処理槽２２，２４，２６，２８（図３では、２２のみ図示）の上方に位置する。一方、下降位置では各処理槽２２，２４，２６，２８（図３では、２２のみ図示）の内部に入る。
【００４５】
搬送装置３０の回転軸３４は、図１において矢印８０で示す方向に、４５度ごとに間欠的に回転し、実線で示した待機位置と、鎖線で示した処理位置との間を移動する。ハンドリング装置３８は、待機位置では、隣接する処理槽２２，２４，２６，２８間の中間に位置し、処理位置では、各処理槽２２，２４，２６，２８の上方に位置する。
【００４６】
回転軸３４は、待機位置と処理位置とで昇降する。待機位置で４つのハンドリング装置３８が同時に下降するとき、前処理槽２２と後処理槽２８との間にあるハンドリング装置３８のかごから処理済みのエアフィルタユニットを取り出し、代わりに、未処理のエアフィルタユニットをハンドリング装置３８のかごに入れる。処理位置では、ハンドリング装置３８が下降位置にあるとき、ハンドリング装置３８に保持されているエアフィルタユニットが、各処理槽２２，２４，２６，２８内で処理される。
【００４７】
搬送装置３０は、２回の昇降と２回の回転を１サイクルとする動作を繰り返す。
【００４８】
すなわち、図６のタイミングチャートに示すように、一定周期Ｔ１の動作を繰り返す。図６（ａ）は、回転軸３４を昇降のタイミングチャートであり、駆動装置５０の昇降モーター４２（図５参照）の正転・逆転により、符号５０，５４で示す下降位置と、符号５２，５６で示す上昇位置との間で、昇降を繰り返す。図６（ｂ）は、搬送装置３０の回転のタイミングチャートであり、符号５３，５７で示すように、図６（ａ）において符号５２，５６で示す上昇位置で、搬送装置４０の回転モーター４４が一方向に回転する。符号５１，５５で示すように、搬送装置４０の回転モーター４４が停止しているとき、ハンドリング装置３８は、それぞれ、処理位置と待機位置にある。
【００４９】
具体的には、搬送装置３０は、符号５０，５１で示すように、処理位置においてハンドリング装置３８を下降させる。このとき、各処理槽２２，２４，２６，２８は、各ハンドリング装置３８に保持されたエアフィルタユニットに対して、所定の処理を行う。
【００５０】
次いで、符号５２で示すように、ハンドリング装置３８を上昇させた後、符号５３で示すように所定時間回転させ、符号５５で示すように、待機位置まで移動させる。
【００５１】
次いで、符号５４で示すように、待機位置においてハンドリング装置３８を下降させる。このとき、同時に下降する４つのハンドリング装置３８うち、前処理槽２２と後処理槽２８との間に位置するハンドリング装置３８のかごから、処理済みのエアフィルタユニットを取り出し、代わりに、未処理のエアフィルタユニットをハンドリング装置３８のかごに入れる。
【００５２】
次いで、符号５６で示すようにハンドリング装置３８を上昇させ後、符号５７で示すように所定時間回転し、符号５１で示す処理位置まで移動させる。
【００５３】
以上の一連の動作を１サイクルとして繰り返す。
【００５４】
ハンドリング装置３０は、前処理槽２２と後処理槽２８との間の中間位置（初期位置）で、未処理のエアフィルタユニットを保持し、各処理槽２２，２４，２６，２８を順に移動する。このとき、ハンドリング装置３０に保持されたエアフィルタユニットは、各処理槽２２，２４，２６，２８で工程順に処理される。ハンドリング装置３８が初期位置に戻ると、ハンドリング装置３８から処理済みのエアフィルタユニットが取り出される。
【００５５】
なお、待機位置での回転軸３４の昇降をなくして、ハンドリング装置３８が高い位置にある状態でエアフィルタユニットの交換を行うようにしてもよい。あるいは、待機位置で搬送を停止せずに、ハンドリング装置３８が移動中にエアフィルタユニットの交換を行うようにしてもよい。さらには、処理位置で搬送を停止せずに、ハンドリング装置３８が移動中に各処理槽２２，２４，２６，２８で処理を行うことも可能である。
【００５６】
＜実施例２＞  実施例２の洗浄装置１０ａについて、図７〜図９を参照しながら説明する。実施例２の洗浄装置１０ａは、実施例１の洗浄装置１０と略同様に構成されている。以下では、実施例１と同様の構成部分には同じ符号を用い、相違点を中心に説明する。
【００５７】
図７の平面図に示すように、洗浄装置１０ａは、基台１２の上に、実施例１と同様に、搬送装置３０ａ、制御盤１４、前処理槽２２、超音波洗浄槽２４、すすぎ槽２６及び後処理槽２８を備える。
【００５８】
実施例１と異なり、基台１２の上には、前処理槽２２と後処理槽２８の間に、フィルタユニット台２０を備える。搬送装置３０ａは、実施例１と同様に基台１２の中央に配置されているが、実施例１とは異なり、搬送装置３０ａの周りに、フィルタユニット台２０、前処理槽２２、超音波洗浄槽２４、すすぎ槽２６及び後処理槽２８が５等分する位置に、すなわち７２度ごとに配置されている。
【００５９】
搬送装置３０ａは、図７及び図７の線Ｃ−Ｃに沿って見た模式図である図８に示すように、実施例１と同様に、基台１２の上に配置される本体部３２と、本体部３２から垂直上方に延在する回転軸３４と、回転軸３４の上部に一端が固定され、回転軸３４から放射状に略水平方向に延在するアーム３６と、アーム３６の先端３７に固定されたハンドリング装置３９とを備える。実施例１と異なり、５本のアーム３６を備え、各アーム３６は、回転軸３４の周りに５等分するように、すなわち７２度ごとに配置されている。
【００６０】
アーム３６の先端３７に取る付けるハンドリング装置３９として、実施例２ではエアフィルタユニット２の上部を着脱自在に把持する構成を例示しているが、これに限るものではない。例えば、実施例１のように、網目状のかごであってもよい。
【００６１】
実施例１と異なり、搬送装置３０ａの回転軸３４は、図７において矢印８１で示す方向に、７２度ごとに間欠的に回転し、ハンドリング装置３９は、図７において実線で示した処理位置を、矢印８１で示す方向に順に移動する。すなわち、ハンドリング装置３９は、処理槽２２，２４，２６，２８の間で停止することなく、各処理槽２２，２４，２６，２８を順に移動する。
【００６２】
次に、洗浄装置１０ａの動作について説明する。
【００６３】
図８において実線で示すように、搬送装置３０ａの回転軸３４は、回転軸３４が上方に突出した上昇位置と、鎖線で示すように、回転軸３４が下降して下部が本体部３２内に収納された下降位置との間を移動し、これに伴って、ハンドリング装置３９が昇降する。ハンドリング装置３９は、上昇位置ではフィルタユニット台２０及び各処理槽２２，２４，２６，２８（図８では、２２のみ図示）の上方に位置する。一方、下降位置では、エアフィルタユニット２に保持されているエアフィルタユニット２が、フィルタユニット台２０に載置されたり、各処理槽２２，２４，２６，２８（図３では、２２のみ図示）の内部に入ったりする。
【００６４】
また、搬送装置３０ａの回転軸３４は、図７において矢印８１で示す方向に、７２度ごとに間欠的に回転し、実線で示した処理位置の間を移動し、中間位置では停止しない。
【００６５】
搬送装置３０ａは、上昇と下降を繰り返すとともに、上昇しているときにのみ回転する。すなわち、図９のタイミングチャートに示すように、一定周期Ｔ２の動作を繰り返す。図９（ａ）は、昇降のタイミングチャートであり、符号６０で示す下降位置と、符号６２で示す上昇位置との間を移動する。図９（ｂ）は、搬送装置３０ａの回転のタイミングチャートであり、符号３で示すように、図９（ａ）において符号６２で示す上昇位置において、所定時間回転する。つまり、１サイクルで１回の昇降と１回の回転を行う。
【００６６】
具体的には、搬送装置３０ａは、符号６０で示すように、処理位置において下降する。このとき、各処理槽２２，２４，２６，２８内において、ハンドリング装置３９に保持されたエアフィルタユニット２に対して、所定の処理を行う。また、フィルタユニット台２０に載置された処理済みのエアフィルタユニット２をハンドリング装置３９から取り外し、代わりに、未処理のエアフィルタユニットをハンドリング装置３９に取り付ける。エアフィルタユニット２の着脱には、十分な時間を確保することができる。
【００６７】
次いで、符号６２で示すように上昇した後、符号６３で示すように所定時間回転し、ハンドリング装置３９は隣の処理槽２２，２４，２６，２８の上方まで移動した後、符号６０で示すように、下降する。
【００６８】
以上の一連の動作を繰り返すことにより、フィルタユニット台２０でハンドリング装置３９に取り付けられたエアフィルタユニット２は、各処理槽２２，２４，２６，２８で工程順に処理され、再びフィルタユニット台２に戻ると、ハンドリング装置３９から取り出される。
【００６９】
洗浄装置１０ａでは、ハンドリング装置３９に保持するエアフィルタユニット２の交換を、各処理槽２２，２４，２６，２８での処理と並行して行うことでき、時間的に余裕があるので、エアフィルタユニット２の着脱を自動化することが容易である。
【００７０】
＜変形例＞  実施例１、２では、複数本のアーム３６を備えているが、処理能力の要求が高くない場合には、アーム３６の本数を減らし、洗浄装置の構成を簡略化することができる。例えば、図１の実施例１では４本のアーム３６を備えているが、これを１８０度ごとの２本に減らしてもよい。この場合、回転・昇降の制御は同じである。処理槽のうち２つは、それぞれ、２本のアームに取り付けられたハンドリング装置に同時に対向する。
【００７１】
アームが１本のみの場合には、最も簡略化した構成となる。実施例１、２のように複数のアームが連動し同時に回転する場合には、アームの角度ピッチに対応して、工程順に処理槽を等間隔に配置する必要があるが、アームが１本の場合には、処理槽の位置に応じてアームの回転角度を制御すればよいので、処理槽を任意の間隔で配置することができる。この場合、処理槽やフィルタ台のレイアウトの制約が小さくなり設計自由度が高くため、洗浄装置を小型化したり、設置スペースに応じて処理槽のレイアウトを選択したり、製造コストを考慮して処理槽のレイアウトを最適化したりすることができる。
【００７２】
さらには、実施例１、２では、搬送装置の回転軸が一方向のみに等角度ピッチで回転することにより、ハンドリング装置が工程順に処理槽を移動するが、アームが１本の場合には、搬送装置の回転軸を両方向に回転させても、ハンドリング装置が工程順に処理槽を移動するようにすることが可能である。例えば、搬送装置のまわりに、超音波洗浄槽、フィルタ台、すすぎ槽を、９０度ごとに順に配置し、１本のアームが扇状に１８０度の範囲を往復するように構成する。そして、アームが、フィルタ台から超音波槽に正方向に９０度移動し、次いで逆方向に１８０度回転して超音波槽からすすぎ槽に移動し（途中、フィルタ台を通過）、次いで正方向に９０度回転してフィルタ台に戻るようにする。搬送装置の回転軸が両方向に回転し、アームが所定角度範囲を往復するように構成すると、洗浄装置の設置スペースを小さくすることができる。
【００７３】
＜まとめ＞  以上に説明したエアフィルタユニットの洗浄装置１０，１０ａは、搬送装置３０，３０ａの周りに各処理槽２２，２４，２６，２８を配置することにより、全長を短くし、小型化・省スペース化を図ることができ、構成を簡略化できる。洗浄装置１０，１０ａは、従来装置を設置できなかった狭い場所、天井が低い室内にも設置することができるので、例えばビル内に設置し、ビルで使用するエアフィルタユニットをビル内で洗浄することができる。この場合、エアフィルタユニットをビルに搬入・搬出する手間がなくなり、エアフィルタユニットを使用する場所の近くで、効率よく洗浄することができる。さらに、洗浄装置１０，１０ａは、小型化に伴い質量が小さくなるので、据付場所の床荷重も小さくすることができ、設置場所の制約が小さくなる。
【００７４】
また、洗浄装置１０，１０ａは、搬送装置３０，３０ａが１台だけであるため、据付時の調整作業が容易である。構成が簡単であるので、装置の据付や搬入のためのスペースも小さくてよい。装置構成が簡単であるので、メンテナンスが容易であり、故障も少なく、装置の稼働率も向上する。
【００７５】
さらに、洗浄装置１０，１０ａは、搬送装置３０，３０ａが回転と昇降を繰り返すだけであり、制御が簡単である。また、エアフィルタユニットの汚れ具合に応じて洗浄時間を変える場合、各処理槽２２，２４，２６，２８のうち最も処理時間が長くなる槽（通常は、超音波洗浄槽２４）での処理時間に対応して、処理位置での下降時間Ｔ０（図６、図９参照）を調整すればよいため、エアフィルタユニットの汚れに応じた調整作業も容易である。
【００７６】
また、洗浄装置１０，１０ａは、各処理槽２２，２４，２６，２８で並行して同時に処理を行うことができるので、処理効率を向上することができる。
【００７７】
例えば、実施例１のエアフィルタユニットの洗浄装置１０と、図１０に示した従来装置とについて、諸元の比率を比較すると、次の表１のようになる。実施例２のエアフィルタユニットの洗浄装置１０ａについても、表１と略同様である。
【表１】
2008055380.tif 000003
洗浄装置１０，１０ａは、設置面積、高さ、容積を従来装置よりも小さくすることができる上、処理能力（単位時間あたりのエアフィルタユニットの処理枚数）も向上することができる。
【００７８】
なお、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々の態様で実施することが可能である。
【００７９】
例えば、処理槽が４槽の場合を例示したが、処理槽が３槽以下であっても、５槽以上であってもよい。また、処理槽の種類の組合せは自由であり、同種類の処理槽を２槽以上備えるように構成してもよい。
【００８０】
また、搬送装置の回転軸が回転中に昇降するようにしてもよい。循環経路は円形に限らず、矩形など、任意の形状とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】エアフィルタユニットの洗浄装置の平面図である。（実施例１）
【図２】図１の直線Ａ−Ａに沿って側面図である。（実施例１）
【図３】図１の直線Ｂ−Ｂに沿って見た構成図である。（実施例１）
【図４】図１の直線Ｂ−Ｂに沿って見た構成図である。（実施例１）
【図５】図１の洗浄装置のブロック図である。（実施例１）
【図６】図１の洗浄装置のタイミングチャートである。（実施例１）
【図７】エアフィルタユニットの洗浄装置の平面図である。（実施例２）
【図８】図７の直線Ｃ−Ｃに沿って見た構成図である。（実施例２）
【図９】図７の洗浄装置のタイミングチャートである。（実施例１）
【図１０】エアフィルタユニットの洗浄装置の構成図である。（従来例）
【符号の説明】
【００８２】
１０，１０ａ  洗浄装置
２２  前処理槽（処理槽）
２４  超音波洗浄槽（処理槽）
２６  すすぎ槽（処理槽）
２８  後処理槽（処理槽）
３０，３０ａ  搬送装置
３８，３９  ハンドリング装置
【図１】
2008055380.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2008055380.tif 000012
【図１０】
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