(57)【要約】【課題】塗布不良をより確実に防止する。【解決手段】塗布装置１０は、ステージ４と、ノズル２１〜２３と、ノズル移動機構１と、被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌと、塗着位置変更手段とを備える。ステージ４は、基板Ｗを載置する。ノズル２１〜２３は、下方に向けて塗布液を液柱状態で吐出する。ノズル移動機構１は、塗布液の吐出中に基板Ｗ上を横断するようにノズル２１〜２３を往復移動させる。被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌは、ノズル２１〜２３が基板上から外れた時に当該ノズル２１〜２３から吐出される塗布液が塗着される位置に配置される。塗着位置変更手段は、被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌにおいて塗布液が塗着される位置を変更する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記基板を載置するステージと、
下方に向けて塗布液を液柱状態で吐出するノズルと、
塗布液の吐出中に前記基板上を横断するように前記ノズルを往復移動させるノズル移動機構と、
前記ノズルが基板上から外れた時に当該ノズルから吐出される塗布液が塗着される位置に配置される被塗着部材と、
前記被塗着部材において塗布液が塗着される位置を変更する塗着位置変更手段とを備える、塗布装置。
【請求項２】
前記被塗着部材は、その中心軸が前記ノズルの移動方向と平行に配置された円柱形部材であり、
前記塗着位置変更手段は、前記円柱形部材を中心軸周りに回転させる、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記円柱形部材の側面に当接するように配置されたスキージをさらに備える、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記被塗着部材は、複数のプーリー間に張られた帯状部材であり、
前記塗着位置変更手段は、前記プーリーを回転させることによって前記帯状部材を移動させる、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記被塗着部材は、略水平に配置された板状部材であり、
前記塗着位置変更手段は、前記板状部材を回転または移動させる、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記被塗着部材に塗着された塗布液を除去する除去手段をさらに備える、請求項１から請求項５のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項７】
前記除去手段は、前記被塗着部材において塗布液が塗着した面に当接した状態で当該被塗着部材に対して相対移動するスキージを含む、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記除去手段は、前記被塗着部材において塗布液が塗着した部分に対して気体を噴射するエアノズルを含む、請求項６に記載の塗布装置。
【請求項９】
前記液柱状態の塗布液が前記被塗着部材に衝突してから前記除去手段によって塗布液が除去されるまでの間に、当該塗布液が塗着された部分を当該塗布液の溶剤で洗浄する洗浄手段をさらに備える、請求項６に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関し、より特定的には、ノズルから塗布液を吐出することによって基板に塗布液を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ表示装置を製造する装置において、発光層となる有機ＥＬ材料を基板に形成する際に、有機ＥＬ材料をノズルから吐出することによって基板に塗布する方法が考えられている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、有機ＥＬ材料をポンプで所定の圧力にしてノズルから吐出することによって基板に有機ＥＬ材料を吹き付けるのである。この方法では、有機ＥＬ材料を吐出するノズルを基板上で所定方向に往復移動させるとともに、ノズルが半往復する度に当該所定方向に対して垂直な方向に基板をピッチ送りする。これによって、基板上においてストライプ状に有機ＥＬ材料（発光層）のパターンを形成することができる。有機ＥＬ材料をノズルによって塗布する方法は、インクジェットによって塗布を行う方法に比べて高速に塗布を行うことができる点で有効である。
【０００３】
上記の塗布装置においては、ノズルからの塗布液の吐出をオンオフで制御することが困難であるので、１枚の基板について塗布を行うために上記往復移動を繰り返す間、ノズルから塗布液が吐出し続けられる。また、基板上でノズルを等速移動させるべく、塗布装置は、基板の両側に関して所定長さだけ広い幅でノズルが基板上を横断するようにノズルを往復移動させている。そのため、上記塗布装置では、基板外においても有機ＥＬ材料が吐出されるので、基板の両側に箱状の液受け部が設けられる。
【０００４】
ここで、ノズルから吐出される塗布液は、ノズルからの距離が近い位置では液柱状態（直線棒状となっている状態）であるものの、ノズルからの距離がある程度離れると、液柱状態であった塗布液が表面張力により液滴化（ミスト化）する。そのため、液受け部ではミスト状の塗布液が発生してしまう。このようなミスト状の塗布液がノズルの移動による空気の流れによって舞い上がって基板に付着すると、塗布不良の原因となる。そこで、上記塗布装置では、スリットを設けた部材で液受け部の上面を覆うようにしている。これによれば、ノズルから吐出される塗布液は、液柱状態を保ったままでスリットを通過し、液受け部内部に到達した後でミスト化するので、ミスト状の塗布液が基板に付着することを防止することができる。
【特許文献１】特開２００６−１８１４１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記塗布装置では、スリットを設けた部材によってミスト状の塗布液が液受け部の外部に飛散することを防止しているが、スリットの部分からミスト状の塗布液が外部に出ることを防止することはできない。特にノズルの数を多くした場合にはスリットの幅を大きくしなければならないので、この場合、ミスト状の塗布液が基板に付着することを十分に防止することができないおそれがあった。つまり、上記塗布装置では、ミスト状の塗布液が飛散して基板に付着することによる塗布不良を十分に防止することができないおそれがあった。
【０００６】
それ故、本発明の目的は、塗布不良をより確実に防止することができる塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために、以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明は、基板に塗布液を塗布する塗布装置である。塗布装置は、ステージと、ノズルと、ノズル移動機構と、被塗着部材と、塗着位置変更手段とを備える。ステージは、前記基板を載置する。ノズルは、下方に向けて塗布液を液柱状態で吐出する。ノズル移動機構は、塗布液の吐出中に前記基板上を横断するように前記ノズルを往復移動させる。被塗着部材は、前記ノズルが基板上から外れた時に当該ノズルから吐出される塗布液が塗着される位置に配置される。塗着位置変更手段は、前記被塗着部材において塗布液が塗着される位置を変更する。
【０００８】
第２の発明においては、前記被塗着部材は、その中心軸が前記ノズルの移動方向と平行に配置された円柱形部材であってもよい。このとき、前記塗着位置変更手段は、前記円柱形部材を中心軸周りに回転させる。
【０００９】
第３の発明においては、塗布装置は、前記円柱形部材の側面に当接するように配置されたスキージをさらに備えていてもよい。
【００１０】
第４の発明においては、前記被塗着部材は、複数のプーリー間に張られた帯状部材であってもよい。このとき、前記塗着位置変更手段は、前記プーリーを回転させることによって前記帯状部材を移動させる。
【００１１】
第５の発明においては、前記被塗着部材は、略水平に配置された板状部材であってもよい。このとき、前記塗着位置変更手段は、前記板状部材を回転または移動させる。
【００１２】
第６の発明においては、塗布装置は、前記被塗着部材に塗着された塗布液を除去する除去手段をさらに備えていてもよい。
【００１３】
第７の発明においては、前記除去手段は、前記被塗着部材において塗布液が塗着した面に当接した状態で当該被塗着部材に対して相対移動するスキージを含んでいてもよい。
【００１４】
第８の発明においては、前記除去手段は、前記被塗着部材において塗布液が塗着した部分に対して気体を噴射するエアノズルを含んでいてもよい。
【００１５】
第９の発明においては、塗布装置は、前記液柱状態の塗布液が前記被塗着部材に衝突してから前記除去手段によって塗布液が除去されるまでの間に、当該塗布液が塗着された部分を当該塗布液の溶剤で洗浄する洗浄手段をさらに備えていてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
第１の発明によれば、被塗着部材を配置することにより、ノズルから吐出された塗布液を被塗着部材で受けることができるので、基板の外側で吐出された塗布液がミスト化して飛散し、基板に付着することを防止することができる。さらに、塗着位置変更手段によって被塗着部材に対して塗布液が塗着される位置（塗着位置）を変更することができるので、塗着位置に液たまりが形成されることを防止することができる。すなわち、吐出された塗布液が液たまりに衝突することにより塗布液がミスト化して飛散し、ミスト化した塗布液が基板Ｗに付着することをより確実に防止することができる。以上のように、第１の実施形態によれば、ミスト化した塗布液が基板Ｗに付着することを確実に防止することができるので、塗布不良を確実に防止することができる。
【００１７】
第２の発明によれば、被塗着部材を円柱形部材によって構成し、塗着位置変更手段によって円柱形部材を回転させることによって、容易に塗着位置を変更することができる。
【００１８】
第３の発明によれば、円柱形部材の側面にスキージを当接させることによって、塗着位置変更手段による回転によって、側面に塗着された塗布液をスキージによって除去することができる。したがって、円柱形部材に液たまりが形成されることをより確実に防止することができ、ミスト化した塗布液が基板Ｗに付着することをより確実に防止することができる。また、この構成によればスキージを移動させる必要がないので、スキージを移動させるための機構を設けなくてもよい分、塗布装置の構成を簡易化することができる。
【００１９】
第４の発明によれば、プーリー間に帯状部材（例えばベルトやテープ等）を張った機構によって、帯状部材に塗布液を塗着させるとともに、容易に塗着位置を変更することができる。
【００２０】
第５の発明によれば、被塗着部材を板状部材によって構成し、板状部材を回転または移動させることによって、容易に塗着位置を変更することができる。
【００２１】
第６〜第８の発明によれば、被塗着部材に塗着された塗布液を除去手段によって除去することができるので、被塗着部材に液たまりが形成されることをより確実に防止することができる。したがって、被塗着部材に液たまりが形成されることをより確実に防止することができ、ミスト化した塗布液が基板Ｗに付着することをより確実に防止することができる。特に第７の発明によれば、スキージによって塗布液を容易に除去することができ、第８の発明によれば、エアノズルによって塗布液を容易に除去することができる。
【００２２】
第９の発明によれば、除去手段によって塗布液を除去する前に、塗布液が塗着された部分が溶剤によって洗浄される。これによれば、溶剤による洗浄によって塗布液を被塗着部材から除去することができるとともに、除去手段によってより確実に塗布液を除去することができる。したがって、第９の発明によれば、被塗着部材に液たまりが形成されることをより確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係る塗布装置について説明する。具体的には、有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置を製造するために用いられる塗布装置を例として説明する。この塗布装置は、ステージ上に載置された基板に対して有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を所定のパターン形状に塗布するものである。
【００２４】
まず、図１および図２を参照して、塗布装置の全体構成を説明する。図１は、塗布装置１０の構成を示す平面図および正面図である。図１（ａ）は、塗布装置１０を上側から見た図であり、図１（ｂ）は、塗布装置１０を側面からＹ軸正方向の向きに見た図である。また、図２は、塗布装置１０の各部と制御部との接続関係を示す図である。なお、塗布装置１０は、上述したように有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等の複数種類の塗布液を用いて塗布を行うことが可能であるが、以下では、それらの代表として有機ＥＬ材料を塗布液として用いる場合を例として説明を行う。
【００２５】
図１に示すように、塗布装置１０は、ノズル移動機構１、ノズルユニット２、被塗着機構３Ｒおよび３Ｌ（以下では、２つの被塗着機構３Ｒおよび３Ｌを特に区別しない場合には単に「被塗着機構３」と記載する。）、ステージ４、ならびにステージ移動機構５を備えている。また、図２に示すように、塗布装置１０は制御部６を備えている。制御部６は、ノズル移動機構１、ノズルユニット２、被塗着部材移動部３３Ｒおよび３３Ｌ、ならびにステージ移動機構５と電気的に接続されている。
【００２６】
図１に示すように、ステージ４には塗布処理の対象となる基板Ｗが載置される。基板Ｗには、Ｘ軸方向に平行に等間隔で複数本の溝が形成されている。本塗布装置１０は、この溝に対して有機ＥＬ材料を吐出することによって溝に有機ＥＬ材料を流し込む。なお、図示していないが、ステージ４には、加熱機構や吸着機構が設けられている。加熱機構は、有機ＥＬ材料が塗布された基板Ｗをステージ４上で予備加熱処理するためのものである。吸着機構は、基板Ｗをステージ４上に吸着して固定するためのものである。
【００２７】
ステージ移動機構５は、ステージ４の下側に接続される。具体的には、ステージ移動機構５は、旋回部５１、平行移動テーブル５２、ガイド受け部５３、およびガイド部材５４を有している。ガイド部材５４は、ノズル移動機構１の下方を通るようにＹ軸方向に延設されて固定される。ガイド受け部５３は、ガイド部材５４上を滑動するようにガイド部材５４上に設置される。平行移動テーブル５２は、ガイド受け部５３の上面に固設される。平行移動テーブル５２は、内部のモータ（図示せず）からの駆動力を受けてガイド部材５４に沿った図示Ｙ軸方向への移動が可能である。旋回部５１は、平行移動テーブル５２の上面に固設される。旋回部５１は、内部のモータ（図示せず）からの駆動力を受けて、Ｚ軸を中心とした回動が可能である。上記ステージ４は、旋回部５１の上面に固設される。以上より、ステージ４は、ステージ移動機構５によってＹ軸方向に平行移動が可能であるとともに、Ｚ軸を中心として回転可能である（図１（ａ）に示す矢印参照）。なお、ステージ移動機構５の動作は制御部６によって制御される。
【００２８】
また、ステージ４の上方には塗布機構（ノズル移動機構１およびノズルユニット２）が配置される。ノズル移動機構１はＸ軸方向（ステージ４の載置面と平行な方向）に延びるレール１１を有し、レール１１に沿って移動可能なようにノズルユニット２がノズル移動機構１に接続される。ノズルユニット２は、ノズルから塗布液を吐出することによって基板に対して塗布を行う塗布機構であり、例えば赤色の有機ＥＬ材料の処理液を吐出する３本のノズル２１〜２３を有する。ノズルユニット２の各ノズル２１〜２３は、処理液を吐出する向きが（鉛直）下向きとなるようにノズルユニット２の下側に配置される。なお、各ノズル２１〜２３は、Ｙ軸方向に関して少しずれた位置に配置される。具体的には、各ノズル２１〜２３はＹ軸方向に関して、基板Ｗに形成された溝の３列分の長さ（Ｙ軸方向の長さ）だけ間隔を空けて配置されている。ノズルユニット２の移動、および、各ノズル２１〜２３からの有機ＥＬ材料の吐出は、制御部６によって制御される。
【００２９】
レール１１は、Ｘ軸方向について基板Ｗよりも長く構成され、ノズルユニット２は、Ｘ軸方向に関して基板Ｗの幅よりも広い範囲を移動することが可能である。つまり、ノズルユニット２の各ノズル２１〜２３は、基板Ｗを横断するように移動する。したがって、ノズルユニット２がレール１１の一端から他端まで移動することによって、Ｘ軸方向に関して基板Ｗの一端から他端まで有機ＥＬ材料を塗布することができる。ただし、ノズルユニット２がレール１１の一端から他端まで移動する間に各ノズル２１〜２３から有機ＥＬ材料が吐出されると、基板Ｗに有機ＥＬ材料が塗布されるだけでなく、基板Ｗの外側においても有機ＥＬ材料が吐出されることとなる。そこで、基板Ｗの外側で吐出された有機ＥＬ材料を受ける目的で被塗着機構３が設置される。２つの被塗着機構３は、ノズルユニット２の移動方向（Ｘ軸方向）に関して基板Ｗの両側に配置されている。すなわち、ステージ４のＸ軸正方向側に被塗着機構３Ｒが配置され、ステージ４のＸ軸負方向側に被塗着機構３Ｌが配置される。図１に示すように、被塗着機構３Ｌは、被塗着部材３１Ｌ、軸３２Ｌ、被塗着部材移動部３３Ｌ、およびスキージ３４Ｌを備え、被塗着機構３Ｒは、被塗着部材３１Ｒ、軸３２Ｒ、被塗着部材移動部３３Ｒ、およびスキージ３４Ｒを備えている。
【００３０】
図３は、図１に示す被塗着機構３Ｌの詳細な構成を示す図である。第１の実施形態では、被塗着部材３１Ｌは図３に示すように円柱形の部材である。被塗着部材３１Ｌは、各ノズル２１〜２３が基板上から外れた時に当該各ノズル２１〜２３から吐出される塗布液が、被塗着部材３１Ｌの側面に塗着される位置に配置される。具体的には、被塗着部材３１Ｌは、ノズルユニット２が移動するラインの下方の位置に配置され、被塗着部材３１Ｌの向きは、中心軸がノズルユニット２の移動方向（Ｘ軸方向）と略平行である。また、図１に示されるように、被塗着部材３１Ｌの上端は、ステージ４上に載置された基板Ｗの上面よりもやや下側になる。被塗着部材３１Ｌと各ノズル２１〜２３の先端との間の距離は、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が液柱状態を保つ程度の距離である。なお、ノズルから吐出された塗布液が液柱状態を保つことができる距離は、ノズルの穴径や塗布液の流量や速度にもよるが、当該距離が４０［ｍｍ］程度であるとすると、被塗着部材３１Ｌと各ノズル２１〜２３の先端との間の距離は、４０［ｍｍ］よりも短い距離、例えば１０〜２０［ｍｍ］程度に設定される。なお、基板と各ノズル２１〜２３の先端との間の距離は、例えば０．５［ｍｍ］程度である。また、被塗着部材３１Ｌの両端のうちのステージ４に近い方の端部は、基板Ｗの鉛直下方向に位置するように配置される。つまり上から見た場合には基板Ｗと被塗着部材３１Ｌとは重なっており、基板Ｗと被塗着部材３１Ｌとの間には隙間がない。したがって、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液は、基板Ｗと被塗着部材３１とのいずれかに塗着するようになっている。
【００３１】
なお、被塗着部材３１Ｌの材質は特に問わない。ただし、本実施形態のように被塗着部材３１Ｌに塗着された塗布液をスキージ３４Ｌ等によって除去する（詳細は後述する）場合、アルミや、ＰＴＦＥ（ポリトラフルオロエチレン）等の樹脂や、ガラス等、表面が平滑なものを用いることが好ましい。
【００３２】
被塗着部材３１は、ステージ４から遠い方の底面において軸３２Ｌと接続される。軸３２Ｌは、当該底面の中心において被塗着部材３１Ｌの中心軸と平行に接続される。また、図３では図示していないが、軸３２Ｌには被塗着部材移動部３３Ｌが接続される。被塗着部材移動部３３Ｌは、モータ等を備えており、軸３２Ｌを回転させることによって被塗着部材３１Ｌを中心軸周りに回転可能である（図３に示す矢印参照）。したがって、本実施形態では、被塗着部材移動部によって被塗着部材が回転されることによって、被塗着部材において塗布液が塗着される位置が変更される。つまり、本実施形態では、被塗着部材移動部が、請求項に記載の塗着位置変更手段に相当する。
【００３３】
さらに、図３に示すように、被塗着部材３１Ｌの側面に当接するようにスキージ３４Ｌが配置される。詳細は後述するが、スキージ３４Ｌは、被塗着部材３１Ｌに塗着された塗布液を除去するために設けられる。なお、図示していないが、スキージ３４Ｌの下方にはスキージ３４Ｌによって除去された塗布液を受ける液受け部が設けられる。当該液受け部には排出流路が設けられており、液受け部で受けられた塗布液は当該排出流路から外部へ排出される。
【００３４】
なお、図３においては被塗着機構３Ｌについて詳細な構成を説明したが、被塗着機構３Ｒについても被塗着機構３Ｌと同様の構成を有する。
【００３５】
次に、以上のように構成された塗布装置１０の動作の概要について説明する。塗布装置１０における塗布処理の対象となる基板Ｗは、図示しない搬送ロボット等によって塗布装置１０に搬入されてステージ４上に載置される。なお、塗布装置１０に搬入されてくる基板Ｗには、陽極および正孔輸送層がすでに形成されているものとする。
【００３６】
塗布装置１０に搬入された基板Ｗがステージ４に固定されると、制御部６は、ステージ４およびノズルユニット２を初期位置に移動させる。具体的には、制御部６は、予め定められた初期位置にステージ４を基板Ｗごと移動させるとともに、レール１１の一端にノズルユニット２を移動させる。なお、ステージ４の初期位置は、基板ＷにおいてＹ軸方向に並んで形成された複数本の溝のうちの最もＹ軸正方向側にある溝の真上にノズル２１（各ノズル２１〜２３のうちで最もＹ軸正方向側にあるノズル）が位置する位置である。以上のようにステージ４およびノズルユニット２が初期位置に配置されると、制御部６は塗布動作を開始する。
【００３７】
本実施形態においては、塗布動作を開始する前または開始と同時に、制御部６は各被塗着部材移動部３３Ｒおよび３３Ｌに対して制御指令を与えることによって、被塗着部材３１Ｌおよび３１Ｒの回転を開始させる。そして、制御部６は、ノズルユニット２およびステージ移動機構５を制御し、ノズルユニット２およびステージ移動機構５の動作を開始させる。すなわち、制御部６は、ノズルユニット２のＸ軸方向の移動とステージ４のＹ軸方向の移動とを制御するとともに、各ノズル２１〜２３による有機ＥＬ材料の吐出を制御する。これによって、以降、ノズルユニット２のＸ軸方向の移動動作（第１動作）とステージ４のＹ軸方向の移動動作（第２動作）とが繰り返される。
【００３８】
具体的には、まず、第１動作として、ノズルユニット２の各ノズル２１〜２３から赤色の有機ＥＬ材料が吐出されるとともにノズルユニット２がレール１１の一端から他端へ移動する。なお、上述のように、各ノズル２１〜２３はＹ軸方向に関して、基板Ｗに形成された溝の３列分の長さ（Ｙ軸方向の長さ）だけ間隔を空けて配置されている。そのため、１回の第１動作においては、互いに２列ずつ間隔を空けた３列分の溝について塗布が行われる。これによって、基板Ｗに形成された溝に対する３列分の塗布が完了する。また、第１動作においては、基板Ｗに有機ＥＬ材料が塗布されるだけでなく、基板Ｗの両側に配置されている被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌにも有機ＥＬ材料が塗着される。このように、本実施形態では、基板Ｗの外側の領域において各ノズル２１〜２３から吐出された有機ＥＬ材料は、ミスト化する前に液柱状態で被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌに塗着される。したがって、基板Ｗの外側の領域において吐出された有機ＥＬ材料がミスト化して飛散し、基板Ｗに付着することを防止することができる。
【００３９】
次に、第２動作として、基板Ｗに形成された溝の９列分の長さだけＹ軸の正方向にステージ４がピッチ送りされる。以降、第１動作と第２動作とを繰り返すことによって、基板Ｗへの塗布が３列分ずつ行われる。これによって、基板Ｗに有機ＥＬ材料がストライプ状に塗布されていく。
【００４０】
第１動作および第２動作は、基板Ｗの有効領域（溝が形成されている領域）に対して有機ＥＬ材料が塗布されるまで行われる。なお、この時点では、Ｘ軸方向に関しては基板Ｗの有効領域以外の部分についても有機ＥＬ材料が塗布されるが、有効領域以外の領域に塗布された有機ＥＬ材料は、後述する除去処理によって除去される。以上によって、１枚の基板Ｗに対する塗布動作が終了する。
【００４１】
図４は、塗布動作中における被塗着部材３１Ｌを示す図である。図４に示されるように、上記塗布動作中、各被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌは回転している。そのため、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液（有機ＥＬ材料）が塗着した箇所は、図４に示すように、被塗着部材３１Ｌにスキージ３４Ｌが当接する位置（当接位置）の方へ移動していく。そして、当該塗布液が塗着した箇所が当接位置に達すると、塗布液は、当接位置でスキージ３４Ｌによって被塗着部材３１から除去される。つまり、スキージ３４Ｌは、被塗着部材３１において塗布液が塗着した面に当接した状態で当該被塗着部材３１に対して相対移動することによって、塗布液を除去する。なお、除去された塗布液は、スキージ３４Ｌの下方に配置される液受け部によって受けられる。以上より、被塗着部材３１Ｌの側面領域のうちで、各ノズル２１〜２３から吐出された液柱状態の塗布液が衝突する位置（衝突位置）から（被塗着部材３１Ｌが回転する向きに見て）上記当接位置までの領域Ａにおいては塗布液が塗着される一方、（被塗着部材３１Ｌが回転する向きに見て）当接位置から衝突位置までの領域Ｂでは塗布液は塗着していないこととなる。したがって、各ノズル２１〜２３から新たに塗布される塗布液は、塗布液が塗着していない面に塗着される。ここで、塗布液がすでに塗着している箇所にさらに塗布液が吐出されると当該箇所に液たまりが形成され、液たまりに塗布液が衝突すると塗布液が飛散し、ミスト化した塗布液が基板Ｗに付着するおそれがある。これに対して、本実施形態では、被塗着部材３１Ｌを回転させるとともに塗着した塗布液をスキージ３４Ｌによって除去することにより、常に新しい面（塗布液が塗着していない面）で塗布液を受けることができるので、液たまりの形成を防止し、塗布液がミスト化して基板Ｗに付着することを防止することができる。なお、図４では被塗着部材３１Ｌにおける動作を示しているが、被塗着部材３１Ｒにおいても同様に、塗布液がミスト化して基板Ｗに付着することを防止することができる。
【００４２】
なお、本実施形態では、被塗着部材３１（以下では、２つの被塗着部材３１Ｒおよび３１Ｌを特に区別しない場合には単に「被塗着部材３１」と記載する。）は上記塗布動作中は継続して回転することとしたが、断続的（間欠的）に回転を行うようにしてもよい。具体的には、制御部６は、上記第２動作としてステージ４がピッチ送りされるタイミングで、所定角度だけ被塗着部材３１を回転させるようにしてもよい。これによっても上記実施形態と同様、常に新しい箇所で塗布液を受けるようにすることができる。なお、すでに塗着している塗布液の量が少量であれば塗布液がミスト化して飛散する量もごく少量であると考えられるので、他の実施形態においては、制御部６は、ステージ４が複数回ピッチ送りされる度に１回の割合で被塗着部材３１を回転させるようにしてもよい。
【００４３】
以上のように、第１の実施形態においては、基板Ｗの外側に被塗着部材３１を配置することにより、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液を、ミスト化する前の液柱状態で被塗着部材３１によって受けるので、塗布液がミスト化して飛散し、基板Ｗに付着することを防止することができる。さらに、第１の実施形態においては、被塗着部材３１を回転させるとともに塗着した塗布液をスキージによって除去するので、常に新しい面で塗布液を受けることができる。したがって、塗布液がミスト化して基板Ｗに付着することをより確実に防止することができる。
【００４４】
なお、塗布装置１０における塗布処理が完了した基板Ｗは、図示しない搬送ロボットにより塗布装置１０から搬出される。搬出された基板Ｗに対しては、基板Ｗの有効領域以外の領域に塗布された有機ＥＬ材料が除去される。除去処理は、基板Ｗ上の有機ＥＬ材料を除去する方法であればどのような方法であってもよく、例えば、レーザアブレーションによって有機ＥＬ材料を除去する方法であってもよいし、除去領域に予めマスキングテープを貼付しておく方法であってもよい。そして、除去処理が完了した基板Ｗに対して乾燥処理（ベーク処理）が行われる。以上によって、赤色の有機ＥＬ材料について塗布・乾燥処理が完了したことになる。この後、基板Ｗに対しては、赤色の場合と同様に、緑色および青色の有機ＥＬ材料について塗布・乾燥処理が行われる。すなわち、緑色の有機ＥＬ材料を塗布する処理、塗布された緑色の有機ＥＬ材料を乾燥させる処理、青色の有機ＥＬ材料を塗布する処理、および、塗布された青色の有機ＥＬ材料を乾燥させる処理が順に行われる。このように赤色、緑色および青色の有機ＥＬ材料について塗布・乾燥処理が行われることによって、有機ＥＬ表示装置の発光層が形成される。さらに、発光層が形成された基板に対して例えば真空蒸着法により陰極電極が発光層上に形成されることによって、有機ＥＬ表示装置が製造される。
【００４５】
なお、他の実施形態においては、各ノズル２１〜２３から赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料をそれぞれ吐出してもかまわない。この場合、赤、緑、および青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が１つの塗布工程で形成される。また、上述した実施形態では、３個１組のノズル２１〜２３で基板Ｗの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでいるが、この３個１組のノズル２１〜２３を複数組設けて基板Ｗの各溝内に有機ＥＬ材料を流し込んでもかまわない。
【００４６】
（除去手段の他の例）
上記第１の実施形態においては、被塗着部材３１に塗着された塗布液を除去する除去手段としてスキージ３４Ｒおよび３４Ｌを用いることとした。ここで、除去手段は、スキージに限らず、例えば以下に説明する構成であってもよい。
【００４７】
図５および図６は、除去手段の第１の変形例を示す図である。図５は第１の変形例における除去手段の断面図であり、図６は、第１の変形例における除去手段の外観斜視図である。なお、図５は、塗布装置１０を側面からＹ軸正方向の向きに見たときの図である。図５および図６に示す変形例において、塗布装置は、除去手段であるエアノズル７１、および、カバー７２を備えている。なお、本変形例における塗布装置の構成は、スキージに代えてエアノズル７１およびカバー７２を備えている点以外は第１の実施形態と同じである。また、図５および図６では、被塗着部材３１Ｌについてエアノズルおよびカバーが設けられる構成を示しているが、被塗着部材３１Ｒについても被塗着部材３１Ｌと同様にエアノズルおよびカバーが設けられる。
【００４８】
カバー７２は、箱状の形状であり、上面に開口７２Ａが設けられるとともに、下面に吸気口７２Ｂが設けられている。図６に示すように、カバー７２は、被塗着部材３１Ｌの下方に配置され、被塗着部材３１Ｌの下側の一部が開口７２Ａからカバー７２の内部に含まれるように配置される。なお、開口７２Ａは、開口７２Ａの外周部分と被塗着部材３１Ｌとの隙間が十分小さくなるように設けられる。また、塗布装置は図示しない吸引手段を備えており、吸引手段は、カバー７２の下面の吸引口７２Ｂからカバー７２内の空気を吸引する。
【００４９】
エアノズル７１は、図５に示すように、カバー７２の内部に配置され、その噴射口が被塗着部材３１Ｌの側面を向くように配置される。なお、エアノズル７１は、噴射口から気体（空気）を噴射するものであり、本変形例では、ノズル２１〜２３の移動方向に沿って幅広の噴射口を有する。
【００５０】
本変形例においては、エアノズル７１は、基板Ｗに対する塗布動作の間、噴射口から被塗着部材３１Ｌに対して空気を噴射する。これによって、被塗着部材３１Ｌに塗着された塗布液が被塗着部材３１Ｌから除去される。なお、本変形例ではエアノズル７１によって塗布液が被塗着部材３１Ｌから吹き飛ばされるので、ミスト化した塗布液が被塗着部材３１Ｌの周囲に飛散することになる。そのため、第１の変形例では、飛散した塗布液がカバー７２の外部へ出ないように、被塗着部材３１Ｌから塗布液が除去される箇所の周囲をカバー７２によって覆っている。また、カバー７２内で飛散している塗布液は、吸引手段による吸気によって吸引口７２Ｂから外部へ回収される。
【００５１】
図７は、除去手段の第２の変形例を示す図である。なお、図７は第２の変形例における除去手段の断面図であり、塗布装置１０を側面からＹ軸正方向の向きに見たときの断面図である。図７に示す第２の変形例において、塗布装置は、除去手段として、スキージ３４Ｌに加えて溶剤槽７５を備えている。なお、本変形例における塗布装置の構成は、スキージ３４Ｌの位置が異なる点、および、溶剤槽７５を備えている点以外は第１の実施形態と同じである。また、図７では、被塗着機構３Ｌについての構成を示しているが、被塗着機構３Ｒについても被塗着機構３Ｌと同じ構成である。
【００５２】
本変形例において、溶剤槽７５には、塗布液（有機ＥＬ材料）の溶剤７６が溜められている。溶剤槽７５は、被塗着部材３１Ｌの下方に配置され、被塗着部材３１Ｌの下側の部分が溶剤に浸されるように配置される（図７参照）。つまり、本変形例においては、溶剤槽７５が請求項に記載の洗浄手段に相当する。
【００５３】
また、本変形例では、スキージ３４Ｌと被塗着部材３１Ｌとの当接位置は、被塗着部材３１Ｌが回転する向きに見て、被塗着部材３１Ｌ溶剤中に浸されている位置から上記衝突位置（各ノズル２１〜２３から吐出された液柱状態の塗布液が衝突する位置）までの間に設定される。したがって、液柱状態の塗布液が被塗着部材３１Ｌに衝突してからスキージ３４Ｌによって塗布液が除去されるまでの間に、当該塗布液が塗着された部分に対して溶剤を用いた洗浄が行われることとなる。
【００５４】
本変形例においても塗布装置は第１の実施形態と同様の動作を行う。ここで、本変形例においては、被塗着部材３１に塗着された塗布液は、被塗着部材３１の回転によって溶剤槽７５内の溶剤に浸される。これによって、塗布液を被塗着部材３１から除去することができる。さらに、溶剤に浸された部分（洗浄された部分）は、スキージ３４Ｌとの当接位置に達するので、被塗着部材３１に付着した溶剤、および、溶剤によって除去しきれずに被塗着部材３１Ｌに残留している塗布液は、スキージ３４Ｌによって除去される。以上のように、本変形例によれば、被塗着部材３１に塗着した塗布液をより確実に除去することができる。
【００５５】
なお、上記第２の変形例において、スキージ３４Ｌに代えて第１の変形例で示したエアノズルを用いるようにしてもよい。さらにこのとき、第１の変形例で示したカバーを用いるようにしてもよい。
【００５６】
また、上記第２の変形例においては、被塗着部材３１を溶剤槽７５に浸すことによって被塗着部材３１に対する洗浄を行ったが、他の実施形態においては、溶剤を吐出するノズルを洗浄手段として用いて、吐出口から溶剤を吐出することによって被塗着部材３１に対して溶剤を吹き付けるようにしてもよい。
【００５７】
なお、上記実施形態においては、被塗着部材として円柱形の部材を用いたが、被塗着部材の構成はこれに限らず、種々の構成が考えられる。以下、他の実施形態として、被塗着機構の他の構成例を説明する。
【００５８】
（第２の実施形態）
以下、図８および図９を参照して、第２の実施形態について説明する。図８および図９は、第２の実施形態における被塗着機構の構成を示す図である。図８は被塗着機構を示す斜視図であり、図９は被塗着機構を側面（Ｙ軸方向）から見たときの図である。図８および図９に示すように、被塗着機構は、ベルト８１、２つのプーリー８２Ａおよび８２Ｂ、ならびにスキージ８３を備えている。第２の実施形態においては、図１に示す被塗着機構３Ｒおよび３Ｌに代えて図９に示す被塗着機構が、ステージ４の両側の位置にそれぞれ配置される。第２の実施形態では、被塗着機構をベルト機構により構成したものである。
【００５９】
図８に示されるように、帯状部材の一例であるベルト８１は、プーリー８２Ａおよび８２Ｂの間に張られており、プーリー８２Ａおよび８２Ｂが回転することによってベルト８１が移動するように構成される。被塗着機構は、ノズルユニット２から吐出された塗布液が、プーリー８２Ａおよび８２Ｂの間に張られるベルト８１のうちの上側の部分に塗着されるように配置される。つまり、第２の実施形態では、ベルト８１が被塗着部材として機能する。具体的には、被塗着機構は、ベルト８１の上側部分が、ノズルユニット２が移動するラインの下方に位置するように配置される。ベルト８１は、ノズルユニット２から吐出された塗布液が衝突する面が略水平となるように配置される。また、ベルト８１の上側部分は、ステージ４上に載置された基板Ｗの上面よりもやや下側に配置され、ベルト８１の上側部分と各ノズル２１〜２３の先端との間の距離は、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が液柱状態を保つ程度の距離である。さらに、被塗着機構は、ベルト８１の移動方向がノズルユニット２の移動方向（Ｘ軸方向）に対して垂直な方向（Ｙ軸方向）となるように、かつ、その一部が基板Ｗの鉛直下方向に位置するように配置される。これは、上から見た場合に基板Ｗと被塗着部材３１Ｌとの間に隙間ができないようにするためである。なお、ベルト８１の材質はどのようなものであってもよいが、第１の実施形態と同様の理由で、表面が平滑なものが好ましい。
【００６０】
また、図示していないが、被塗着機構は、プーリー８２Ａおよび８２Ｂを回転させる被塗着部材移動部を備えている。被塗着部材移動部は、モータ等を備えており、プーリー８２Ａおよび８２Ｂを回転させることによってベルト８１を移動させることが可能である（図８に示す矢印参照）。なお、被塗着部材移動部は、制御部６による制御指令に従って動作する。
【００６１】
スキージ８３は、ベルト８１の下側部分に当接するように配置される。なお、図示していないが、スキージ８３の下方にはスキージ８３によって除去された塗布液を受ける液受け部が設けられる。当該液受け部には排出流路が設けられており、液受け部で受けられた塗布液は当該排出流路から外部へ排出される。
【００６２】
本例において、ノズルユニット２による第１動作、および、ステージ４による第２動作に関しては第１の実施形態と同じである。また、第１の実施形態と同様に、制御部６は、第１動作および第２動作を開始する前または開始時に、２つの被塗着部材移動部に対して制御指令を与えることによって、２つのベルト８１の移動を開始させる。
【００６３】
塗布動作中において、ベルト８１は回転しているので、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が塗着した箇所は、ベルト８１とスキージ８３との当接位置の方へ移動していく。そして、塗布液が塗着した箇所が当接位置に達すると、当接位置でスキージ８３によって塗布液がベルト８１から除去される。したがって、ベルト８１が移動する向きに見て当接位置から衝突位置（各ノズル２１〜２３から吐出された液柱状態の塗布液がベルト８１に衝突する位置）までの領域では塗布液は塗着していないこととなるので、ベルト８１に液たまりが形成されることを防止することができ、塗布液が塗着していない新しい面で塗布液を受けることができる。
【００６４】
なお、本例においては、除去手段としてスキージ８３に代えて、上述したエアノズルを用いるようにしてもよい。さらにこのとき、ベルト８１から塗布液が除去される箇所の周囲をカバーによって覆うようにすることが好ましい。また、第２の変形例と同様に、ベルト８１の下側部分を溶剤に浸した後でベルト８１にスキージ８３を当接させるようにしてもよい。
【００６５】
また、他の実施形態においては、ベルトに代えて、使い捨てのテープを用いる用にしてもよい。つまり、第２の実施形態において、一方のプーリー（リール）にテープを巻き付け、他方のプーリーの方へテープを巻き取るようにしてもよい。さらにこのとき、テープが当該他方のプーリーへ全て巻き取られた場合にはテープを交換するようにしてもよい。このようにテープを使い捨てにする場合にはスキージ等の除去手段は不要になる。
【００６６】
（第３の実施形態）
図１０は、第３の実施形態における被塗着機構の構成を示す図である。図１０に示すように、被塗着機構は、板状（円盤状）の被塗着部材８５、軸８６、およびスキージ８７を備えている。また、図示していないが、被塗着機構は、被塗着部材８５および軸８６を回転させるための被塗着部材移動機構を備えている。第３の実施形態においては、図１に示す被塗着機構３Ｒおよび３Ｌに代えて図１０に示す被塗着機構が、ステージ４の両側の位置にそれぞれ配置される。
【００６７】
図１０に示すように、被塗着部材８５は、板状の部材であり、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が上面に塗着されるように配置される。具体的には、被塗着部材８５は、ノズルユニット２が移動するラインの下方において、一方の面が上方を向き他方の面が下方を向くように配置される。また、第１の実施形態と同様、被塗着部材８５は、ステージ４上に載置された基板Ｗの上面よりもやや下側に配置され、被塗着部材８５の上面と各ノズル２１〜２３の先端との間の距離は、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が液柱状態を保つ程度の距離である。さらに、上から見た場合に基板Ｗと被塗着部材３１Ｌとの間に隙間ができないようにするため、被塗着部材８５は、その一部が基板Ｗの鉛直下方向に位置するように配置される。なお、被塗着部材８５の材質は、第１の実施形態における被塗着部材３１Ｌと同じ材質でよい。
【００６８】
被塗着部材８５は、下面において軸８６と接続される。軸８６は、当該下面の中心において被塗着部材８５の中心軸と平行に接続される。また、軸８６には被塗着部材移動部（図示せず）が接続される。被塗着部材移動部は、モータ等を備えており、軸８６を回転させることによって被塗着部材８５を中心軸周り（Ｚ軸周り）に回転可能である（図１０に示す矢印参照）。なお、被塗着部材移動部は、制御部６による制御指令に従って動作する。
【００６９】
スキージ８７は、被塗着部材８５の上面に当接するように配置される。また、図示していないが、被塗着部材８５の下方には、スキージ８７によって除去された塗布液を受ける液受け部が設けられる。当該液受け部には排出流路が設けられており、液受け部で受けられた塗布液は当該排出流路から外部へ排出される。
【００７０】
第３の実施形態における塗布動作において、ノズルユニット２による第１動作、および、ステージ４による第２動作に関しては第１の実施形態と同じである。また、第１の実施形態と同様に、制御部６は、第１動作および第２動作を開始する前または開始時に、２つの被塗着部材移動部に対して制御指令を与えることによって、２つの被塗着部材８５の回転を開始させる。
【００７１】
塗布動作中において、被塗着部材８５は回転しているので、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が塗着した箇所は、被塗着部材８５とスキージ８７との当接位置の方へ移動していく。そして、当該箇所が当接位置に達すると、塗布液は、当接位置でスキージ８７によって被塗着部材８５から除去される。したがって、被塗着部材８５が回転する向きに見て、当接位置から衝突位置（各ノズル２１〜２３から吐出された液柱状態の塗布液が被塗着部材８５に衝突する位置）までの領域では塗布液は塗着していないこととなるので、塗布液が塗着していない新しい面で塗布液を受けることができる。
【００７２】
なお、第３の実施形態では、当接位置において塗布液が溜まっていくおそれがあるので、塗布装置は、溜まった塗布液を吸引することにより外部へ排出する手段を備えるようにしてもよい。また、塗布装置は、スキージ８７をワイパーのように移動させる移動手段を備えるようにしてもよい。具体的には、移動手段は、スキージ８７を被塗着部材８５の上面に沿って当接させながら、円板の周の外側へ移動させる。これによって、塗布液を円板の外側に排出することができる。なお、このとき、排出された塗布液を受ける液受け部を被塗着部材８５の下方に設けておくとよい。
【００７３】
（被塗着部材の移動に関する変形例）
上記第１〜第３の実施形態においては、被塗着部材を回転させることによって液たまりの形成を防止する構成であった。ここで、他の実施形態においては、被塗着部材を往復移動させることによって液たまりの形成を防止するようにしてもよい。図１１および図１２は、他の実施形態における被塗着機構の構成を示す図である。図１１および図１２に示す板状の被塗着部材９０は、図示しない塗着部材移動部によって、ノズルユニット２の移動方向（Ｘ軸方向）と略垂直な方向に往復移動することが可能である（図１１に示す矢印参照）。具体的には、被塗着部材９０は、各ノズル２１〜２３から吐出される塗布液が上面の第１領域に塗着される第１位置（図１１）と、当該塗布液が上面の第２領域に塗着される第２位置（図１２）との間を往復移動する。また、図１１および図１２に示す例においては、塗布装置は２つのスキージ９１Ａおよび９１Ｂを備えている。各スキージ９１Ａおよび９１Ｂは、各ノズル２１〜２３によって塗布液が塗着される位置の（被塗着部材９０の移動方向に関して）両側に配置される。
【００７４】
なお、被塗着部材９０の上面の位置は、上記実施形態と同様、ステージ４上に載置された基板Ｗの上面よりもやや下側であり、被塗着部材９０の上面と各ノズル２１〜２３の先端との間の距離は、各ノズル２１〜２３から吐出された塗布液が液柱状態を保つ程度の距離である。また、上記実施形態と同様、被塗着部材９０は、ステージ４に近い側の端部が基板Ｗの鉛直下方向に位置するように配置される。
【００７５】
図１１および図１２に示す例においては、塗布動作中、被塗着部材９０は、第１位置と第２位置とを交互に移動する。なお、移動を行うタイミングは、例えば、塗布液を吐出しているノズルユニット２が被塗着部材９０の上方に位置しなくなってから、ノズルユニット２が次に被塗着部材９０の上方に位置するまでの間のタイミングである。例えば被塗着部材９０が第１位置から第２位置に移動した場合、それまで塗布液が塗着されていた上記第１領域は、ノズルユニット２が移動するラインの下方の位置から他の位置へずれる。このとき、スキージ９１Ｂは、被塗着部材９０に当接した状態で第１領域上を移動することによって、第１領域に塗着された塗布液を除去する（図１２参照）。また、例えば被塗着部材９０が第２位置から第１位置に移動した場合、それまで塗布液が塗着されていた上記第２領域は、ノズルユニット２が移動するラインの下方の位置から他の位置へずれる。このとき、スキージ９１Ａは、被塗着部材９０に当接した状態で第２領域上を移動することによって、第２領域に塗着された塗布液を除去する。以上のように、被塗着部材９０が第１位置と第２位置との間を交互に移動する度に、第１領域および第２領域に塗着された塗布液が除去される。これによって、被塗着部材９０に液たまりが形成されることを防止することができ、ミスト化した塗布液が基板Ｗに付着することを防止することができる。
【００７６】
なお、図１１および図１２に示した例では、各スキージ９１Ａおよび９１Ｂは塗布液を除去する際、Ｘ軸方向に移動するものとしているが、除去した塗布液を被塗着部材９０の上面の外側へ排出することができればどのように移動してもよい。なお、被塗着部材９０の上面の外側へ排出された塗布液は、被塗着部材９０の下方に設けられる液受け部によって受けられて回収される。
【００７７】
（除去手段の除去タイミングに関する変形例）
また、上記第１〜第３の実施形態では、１枚の基板Ｗに対する塗布動作中に被塗着部材を移動させることによって、被塗着部材に塗着された塗布液を除去するようにした。ここで、他の実施形態においては、被塗着部材の面積を大きくすることによって、除去動作を行う頻度を減らすことも可能である。以下、図１３を参照して詳細を説明する。
【００７８】
図１３は、他の実施形態における被塗着機構の構成を示す図である。図１３においては、塗布装置は、被塗着部材９５Ｒおよび９５Ｌ（以下では、２つの被塗着部材９５Ｒおよび９５Ｌを特に区別しない場合には単に「被塗着部材９５」と記載する。）を備えている。２つの被塗着部材９５は、板状の部材であり、上記実施形態と同様、ノズルユニット２の移動方向に関して基板Ｗの両側に１つずつ配置される。ここで、被塗着部材９５は、ステージ４の移動方向（Ｙ軸方向）に関して、基板Ｗと同じ長さである。また、塗布動作中において、被塗着部材９５は、ステージ４と同じように移動する。したがって、被塗着部材９５はステージ４に固定されていてもよい。
【００７９】
なお、被塗着部材９５の上面の位置（高さ）は、図１１に示す被塗着部材９０と同様である。また、被塗着部材９０と同様、被塗着部材９５は、ステージ４に近い側の端部が基板Ｗの鉛直下方向に位置するように配置される。
【００８０】
図１３に示す例においては、１枚の基板Ｗに対する塗布動作の間、常に新しい箇所に塗布液が塗着されることになるので、被塗着部材９５に塗着された塗布液を除去する処理を行わなくてもよい。したがって、本例においては、１枚（または複数枚）の基板Ｗに対する塗布動作が終了する度に１回の割合で、スキージ等の除去手段によって除去処理を行うようにすればよい。また、被塗着部材９５に対して除去処理を行う代わりに、被塗着部材９５を新たなものに交換するようにしてもよい。
【００８１】
（液たまりを防止する他の方法）
なお、上記実施形態では、被塗着部材に対する塗布液の塗着位置を変更することによって、液たまりの形成を防止するようにした。ここで、液たまりの形成を防止する他の方法としては、塗布液が塗着された位置を所定のタイミングで除去手段により除去することが考えられる。図１４は、液たまりを防止するための他の構成例を示す図である。図１４においては、塗布装置は、被塗着部材１００と、スキージ１０１とを備えている。なお、被塗着機構を除く他の構成は図１と同様である。
【００８２】
図１４において、被塗着部材１００は、上記実施形態とは異なり、固定されている。つまり、被塗着部材１００において塗布液が塗着される位置は固定である。なお、被塗着部材１００の上面の位置（高さ）は、図１１に示す被塗着部材９０と同様である。また、被塗着部材９０と同様、被塗着部材１００は、ステージ４に近い側の端部が基板Ｗの鉛直下方向に位置するように配置される。
【００８３】
一方、除去手段であるスキージ１０１は、被塗着部材１００における塗着位置を含む領域に当接した状態で移動する（図１４に示す矢印参照）。これによって、塗着位置に塗着された塗布液をスキージ１０１によって除去することができる。なお、スキージ１０１による除去動作は、例えば、ノズルユニット２が被塗着部材１００の上方に位置しなくなってから、ノズルユニット２が次に被塗着部材１００の上方に位置するまでの期間に行われる。なお、除去動作は、当該期間が到来する度に毎回行われなくてもよく、複数回に１回の割合で行われてもよい。以上の方法によっても、被塗着部材１００上に液たまりが形成されることを防止することができる。
【００８４】
また、上述した実施形態では、塗布液として有機ＥＬ材料や正孔輸送材料を塗布液とした有機ＥＬ表示装置の製造装置を一例にして説明したが、本発明は他の塗布装置にも適用できる。例えば、レジスト液やＳＯＧ（Ｓｐｉｎ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）液やＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）を製造するのに使用される蛍光材料を塗布する装置にも適用することができる。また、液晶カラーディスプレイをカラー表示するために液晶セル内に構成されるカラーフィルタを製造するために使用される色材を塗布する装置にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
以上のように、本発明は、塗布不良をより確実に防止すること等を目的として、例えば有機ＥＬ材料や正孔輸送材料等を基板に塗布する塗布装置等として利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】塗布装置１０の構成を示す平面図および正面図
【図２】塗布装置１０の各部と制御部との接続関係を示す図
【図３】図１に示す被塗着機構３Ｌの詳細な構成を示す図
【図４】塗布動作中における被塗着部材３１Ｌを示す図
【図５】除去手段の第１の変形例を示す図
【図６】除去手段の第１の変形例を示す図
【図７】除去手段の第２の変形例を示す図
【図８】第２の実施形態における被塗着機構の構成を示す図
【図９】第２の実施形態における被塗着機構の構成を示す図
【図１０】第３の実施形態における被塗着機構の構成を示す図
【図１１】他の実施形態における被塗着機構の構成を示す図
【図１２】他の実施形態における被塗着機構の構成を示す図
【図１３】他の実施形態における被塗着機構の構成を示す図
【図１４】液たまりを防止するための他の構成例を示す図
【符号の説明】
【００８７】
１  ノズル移動機構
２  ノズルユニット
３Ｒ，３Ｌ  被塗着機構
４  ステージ
５  ステージ移動機構
６  制御部
３１Ｒ，３１Ｌ，８５，９０，９５Ｒ，９５Ｌ，１００  被塗着部材
３２Ｒ，３２Ｌ  軸
３３Ｒ，３３Ｌ  被塗着部材移動部
３４Ｒ，３４Ｌ，８３，８７，９１Ａ，９１Ｂ，１０１  スキージ
７１  エアノズル
７２  カバー
７５  溶剤槽
８１  ベルト
８２Ａ，８２Ｂ  プーリー
【図１】
2008284456.tif 000003
【図２】
2008284456.tif 000004
【図３】
2008284456.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008284456.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008284456.tif 000009
【図８】
2008284456.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2008284456.tif 000012
【図１１】
2008284456.tif 000013
【図１２】
2008284456.tif 000014
【図１３】
2008284456.tif 000015
【図１４】
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