(57)【要約】【課題】固定接点と可動接点との接触信頼性を向上できるマイクロリレーを提供することにある。【解決手段】マイクロリレーは、一対の固定接点２０からなる固定接点部が一表面側の長手方向両端側それぞれに設けられたボディ２と、固定接点部との接触時に一対の固定接点２０間を電気的に接続する可動接点５０が長手方向両端側それぞれに設けられ可動接点５０が固定接点部に対して接離するようにボディ２に揺動自在に支持されたアーマチュア５とを備え、アーマチュア５には、可動接点５０と固定接点部との接触時にボディ２に当接してアーマチュア５の揺動範囲を規制する一対の規制突起５５が、アーマチュア５の揺動軸方向において各可動接点５０の両側に位置する形で設けられ、且つ、ボディ２に当接してアーマチュア５の揺動支点となる支点突起７が、アーマチュア５の長手方向中央部に長手方向においていずれの規制突起５５とも重ならない形に設けられている。【選択図】図１
2008218026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の固定接点からなる固定接点部が一表面側に設けられたボディと、固定接点部に対応する部位に固定接点部との接触時に複数の固定接点間を電気的に接続する可動接点を有し当該可動接点が固定接点部に対して接離するようにボディに揺動自在に支持されたアーマチュアと、アーマチュアを揺動させる駆動手段とを備え、
ボディとアーマチュアのいずれか一方には、可動接点と固定接点部との接触時に他方に当接してアーマチュアの揺動範囲を規制する一対の規制突起が、アーマチュアの揺動軸方向において可動接点の両側に位置する形で設けられ、
ボディとアーマチュアのいずれか一方には、他方に当接してアーマチュアの揺動支点となる支点突起が、前記一表面内で前記揺動軸方向に直交する方向においていずれの規制突起とも重ならない形に設けられていることを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
駆動手段は電磁石装置からなり、アーマチュアは、半導体基板から形成されたアーマチュア本体と、アーマチュア本体におけるボディとの対向面側に取り付けられた磁性材料からなる接極子板とを有し、支点突起は、アーマチュア本体の前記対向面に一体に突設され、接極子板は、前記支点突起が貫装される開孔部が形成されてなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項３】
支点突起は、アーマチュアにおけるボディとの対向面に設けられ、前記対向面内で前記揺動軸方向に直交する方向に沿った方向を軸方向とする半円柱状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項４】
前記軸方向における支点突起の両側面は、支点突起の先端側ほど両側面間の距離が短くなるように傾斜したテーパ面からなることを特徴とする請求項３記載のマイクロリレー。
【請求項５】
支点突起は、半球状に形成されてなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレー、特に半導体微細加工技術を利用して形成されたマイクロリレーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体微細加工技術を利用して形成されたマイクロリレーが提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１に示すようなマイクロリレーは、常開接点と常閉接点とを備えた所謂ラッチング型リレーであり、一表面側の長手方向両端側それぞれに一対の固定接点からなる固定接点部が形成されたボディと、各固定接点部に対応する部位に固定接点部に接触して一対の固定接点間を電気的に接続する可動接点を有し可動接点が固定接点部に選択的に接離するようにボディに揺動自在に支持されたアーマチュアと、アーマチュアを揺動させる電磁石装置とを備えている。
【０００４】
ここで、アーマチュアは、図７に示すように、半導体基板（例えば、シリコン基板）から形成された矩形板状のアーマチュア本体１００と、アーマチュア本体１００におけるボディ（図示せず）との対向面側（図７における上面側）に接合された磁性材料からなる接極子板２００とで構成されている。
【０００５】
アーマチュア本体１００の前記対向面側における長手方向両側それぞれには、可動接点１１０が形成され、各可動接点１１０の近傍には、アーマチュア１００の揺動時にボディに当接してアーマチュア１００の揺動範囲を規制する規制突起１２０が、アーマチュア１００の揺動軸方向（アーマチュア１００の幅方向）において可動接点１１０の両側に位置する形に形成されている。また、アーマチュア本体１００の前記対向面側における長手方向中央部には、アーマチュア本体１００の揺動支点となる一対の支点突起１３０が、アーマチュア１００の幅方向で離間する形に形成されている。
【０００６】
アーマチュアは、長手方向一端側の可動接点１１０のみが固定接点部に接触する第１位置と、長手方向他端側の可動接点１１０のみが固定接点部に接触する第２位置との間で揺動自在にリレー本体に収納される。第１位置では、長手方向一端側の一対の規制突起１２０がリレー本体に当接するため、アーマチュアは、長手方向一端側の一対の規制突起１２０と一対の支点突起１３０との計４点でリレー本体に支持される。また、第２位置では、長手方向他端側の一対の規制突起１２０がリレー本体に当接するため、アーマチュアは、長手方向他端側の一対の規制突起１２０と一対の支点突起１３０との計４点でリレー本体に支持される。
【０００７】
なお、特許文献２には、アーマチュアに一対の支点突起の代わりに、アーマチュアの幅方向の略全体に亘る形に形成された支点突起を設けてなるマイクロリレーが開示されている。
【特許文献１】特開２００６−２１００８１号公報（図１，２参照）
【特許文献２】特開２００６−２１００６６号公報（明細書の段落番号〔００３４〕，〔００３５〕、および図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献１に示すようなマイクロリレーでは、一対の規制突起１２０の突出寸法（アーマチュア本体１００からの突出寸法）の差が大きいと、突出寸法が大きい方の規制突起１２０および一対の支点突起１３０のみでアーマチュアがリレー本体に当接して、突出寸法が小さい方の規制突起１２０がリレー本体に当接せずに浮いてしまう場合があった。
【０００９】
このような場合には、可動接点と固定接点との接圧が設計値よりも低くなって、固定接点と可動接点との接触信頼性が低下するという問題が生じていた。
【００１０】
一方、特許文献２に示すようなマイクロリレーでは、一対の規制突起と、支点突起との計３点でアーマチュアがリレー本体に支持されているが、この支点突起は、上述したようにアーマチュア本体１００の幅方向の略全体に亘るように形成されているため、実質的には、アーマチュアがリレー本体に４点で支持されているものと変わらず、このような特許文献２でも上記の問題を解決できていなかった。
【００１１】
本発明は上述の点に鑑みて為されたもので、その目的は、固定接点と可動接点との接触信頼性を向上できるマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明では、複数の固定接点からなる固定接点部が一表面側に設けられたボディと、固定接点部に対応する部位に固定接点部との接触時に複数の固定接点間を電気的に接続する可動接点を有し当該可動接点が固定接点部に対して接離するようにボディに揺動自在に支持されたアーマチュアと、アーマチュアを揺動させる駆動手段とを備え、ボディとアーマチュアのいずれか一方には、可動接点と固定接点部との接触時に他方に当接してアーマチュアの揺動範囲を規制する一対の規制突起が、アーマチュアの揺動軸方向において可動接点の両側に位置する形で設けられ、ボディとアーマチュアのいずれか一方には、他方に当接してアーマチュアの揺動支点となる支点突起が、前記一表面内で前記揺動軸方向に直交する方向においていずれの規制突起とも重ならない形に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項１の発明によれば、アーマチュアは、ボディの一表面内で揺動軸方向と直交する方向においていずれの規制突起とも重ならない形に形成された支点突起によりボディに揺動自在に支持されているので、可動接点と固定接点部との接触時には、アーマチュアが一対の規制突起と支点突起との３点でボディに支持されるから、従来のようにアーマチュアがボディに４点で支持される場合や、支点突起が前記一表面内で揺動軸方向と直交する方向において一対の規制突起の両方と重なる形に形成されている場合とは異なり、一対の規制突起の突出寸法の差が大きい場合でも、可動接点と固定接点部との接触時に片方の規制突起がボディに当接せずに浮いてしまうことがなくなり、可動接点と固定接点との接圧の低下を抑制でき、可動接点と固定接点との接触信頼性の向上が図れる。
【００１４】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、駆動手段は電磁石装置からなり、アーマチュアは、半導体基板から形成されたアーマチュア本体と、アーマチュア本体におけるボディとの対向面側に取り付けられた磁性材料からなる接極子板とを有し、支点突起は、アーマチュア本体の前記対向面に一体に突設され、接極子板は、前記支点突起が貫装される開孔部が形成されてなることを特徴とする。
【００１５】
請求項２の発明によれば、製造時に、半導体微細加工技術を利用して半導体基板からアーマチュア本体を形成する際に、支点突起を同時に形成できるから、支点突起の形成が容易に行え、製造工程の簡略化が図れる。
【００１６】
請求項３の発明では、請求項１の発明において、支点突起は、アーマチュアにおけるボディとの対向面に設けられ、前記対向面内で前記揺動軸方向に直交する方向に沿った方向を軸方向とする半円柱状に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項３の発明によれば、アーマチュアにおけるボディとの対向面内で揺動軸方向に直交する方向を法線方向とする面内においてアーマチュアが傾き易くなるから、一対の規制突起が他方に当接する位置にアーマチュアをスムーズに移動させることができる。
【００１８】
請求項４の発明では、請求項３の発明において、前記軸方向における支点突起の両側面は、支点突起の先端側ほど両側面間の距離が短くなるように傾斜したテーパ面からなることを特徴とする。
【００１９】
請求項４の発明によれば、アーマチュアが揺動軸の回りに揺動し易くなるから、可動接点が固定接点部に接触する位置にアーマチュアをスムーズに移動させることができる。
【００２０】
請求項５の発明では、請求項１の発明において、支点突起は、半球状に形成されてなることを特徴とする。
【００２１】
請求項５の発明によれば、アーマチュアがいずれの方向にも傾き易くなるから、可動接点が固定接点部に当接するとともに一対の規制突起がボディに当接する位置にアーマチュアをスムーズに移動させることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、可動接点と固定接点との接触信頼性を向上できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（実施形態１）
本実施形態のマイクロリレーは、例えば、常開接点と常閉接点とを備えた所謂ラッチング型リレーであり、図２に示すように、一対の固定接点２０からなる固定接点部が一表面側（図２における上面側）の長手方向両端側それぞれに設けられたボディ２と、固定接点部それぞれに対応する部位に固定接点部との接触時に一対の固定接点２０間を電気的に接続する可動接点５０を有し当該可動接点５０が固定接点部に対して接離するようにボディ２に揺動自在に支持されたアーマチュア５と、ボディ２の前記一表面側に接合されアーマチュア５が内側に配置されるフレーム３と、フレーム３におけるボディ２側とは反対側に接合されたカバー４と、アーマチュア５を揺動させる駆動手段となる電磁石装置６とを備えている。なお、本実施形態のマイクロリレーでは、ボディ２とフレーム３とカバー４とによってリレー本体１が構成されている。
【００２４】
ボディ２は、例えば、直方体状のガラス基板により形成され、その前記一表面側の長手方向両端側それぞれに一対の固定接点２０からなる固定接点部が形成されている。ここで、固定接点２０は、例えば、ＣｕやＡｕなどの導電性が良好な金属材料からなる金属薄膜であって、スパッタ法や、電気めっき法、真空蒸着法などを利用して形成されている。また、固定接点２０は、単層構造のものに限らず、例えば、ボディ２の前記一表面側に形成されたＴｉ層と、Ｔｉ層におけるボディ２側とは反対側に形成されたＡｕ層とからなる多層構造のものであってもよい。
【００２５】
また、ボディ２において各固定接点２０それぞれと厚み方向で重なる部位には、スルーホール（図示せず）が、ブラスト加工、またはフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用して形成され、スルーホールの内周面には、図示しない外部回路（例えば、マイクロリレーを実装するプリント基板の電気回路）などと固定接点２０とを電気的に接続する貫通孔配線（図示せず）が、電気めっき法などを用いて形成されている。
【００２６】
一方、ボディ２の中央部には、ボディ２を厚み方向に貫通する電磁石装置６収納用の開孔部（図示せず）が形成され、ボディ２の前記一表面側には、例えば厚みが５〜５０μｍ程度（好ましくは２０μｍ程度）に形成されたシリコン板やガラス板などからなり開孔部全体を閉塞する閉塞板２１が密着接合されている。したがって、開孔部の内周面と閉塞板２１とで囲まれる空間部により電磁石装置６の収納室が構成されている。
【００２７】
フレーム３は、図２に示すように、アーマチュア５が内側に配置される開口３ａを有する矩形枠状に形成され、開口３ａにおいてフレーム３の短手方向で対向する内側面それぞれの長手方向中央部には、フレーム３の長手方向に沿った方向でのアーマチュア５の移動を規制する一対の規制突起３ｂが形成されている。なお、フレーム３はボディ２のサイズと同サイズに形成されている。
【００２８】
アーマチュア５は、図１（ａ）および図２に示すように、フレーム３の開口３ａ内に配置されるアーマチュア本体５１を有している。アーマチュア本体５１は、フレーム３の長手方向に沿った方向を長手方向とする長方形状に形成され、ボディ２との対向面側（図１（ａ）における下面側）に接極子板５２が接合された主部５３と、主部５３の長手方向両端側それぞれに配置された接点基台５４とを備えている。
【００２９】
ここで、接極子板５２は、電磁石装置６で発生させる磁力によりアーマチュア５を揺動させるためのものであり、電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイなどの磁性材料を機械加工して形成され、接着、溶接、熱着、ロウ付けなどの方法で、主部５３に接合されている。
【００３０】
主部５３の厚みは、アーマチュア５におけるボディ２との対向面（すなわち、主部５３に接合された接極子板における主部５３とは反対側の表面）よりも、フレーム３におけるボディ２との対向面が、ボディ２側に位置するような厚みに設定されている。したがって、フレーム３をボディ２に接合した際には、アーマチュア５におけるボディ２との対向面とボディ２の前記一表面との間に、アーマチュア５を揺動自在とするための空間部が形成される。
【００３１】
主部５３の短手方向両側における長手方向中央部には、それぞれ短手方向へ延出する延設片５３ａが中心線を一致させた形で一体に延設されている。延出片５３ａは、図２に示すように、フレーム３の一対の規制突起３ｂ間に配置され、延出片５３ａが一対の規制突起３ｂのいずれかとフレーム３の長手方向において当接することで、フレーム３の長手方向に沿った方向へのアーマチュア５の移動が規制される。
【００３２】
さらに、主部５３の四隅それぞれには、短手方向側に突出する矩形板状の突設片５３ｂが一体に形成されている。各突設片５３ｂにおけるボディ２との対向面側には、図１（ａ）に示すように、可動接点５０と固定接点部との接触時にボディ２と当接することでアーマチュア５の揺動範囲を規制する四角柱状の規制突起５５が一体に突設されている。つまり、アーマチュア５の長手方向両端側それぞれには、アーマチュア５の揺動軸方向において可動接点５０の両側に位置する形で設けられている。
【００３３】
なお、本実施形態では、閉塞板２１の四隅部に矩形状の切欠部２１ａを設けることで、ボディ２の前記一表面において各規制突起５５と対向する部位には、閉塞板２１が存在しないようにし、規制突起５５が閉塞板２１と衝突しないようにしている。また、各規制突起５５の突出寸法は、アーマチュア５の長手方向とボディ２の前記一表面の長手方向とを沿わせた平衡状態では、各規制突起５５がボディ２の前記一表面と当接しないような値に設定されている。
【００３４】
ところで、アーマチュア本体５１におけるボディ２との対向面の長手方向（ボディ２の前記一表面内で前記揺動軸方向に直交する方向）における中央部には、ボディ２（本実施形態では、ボディ２の閉塞板２１の表面）に当接してアーマチュア５の揺動動作（シーソ動作）の支点となる円柱状の支点突起７が、前記対向面内で一対の規制突起５５間の中心線上に中心が位置するとともに、ボディ２の長手方向でいずれの規制突起５５とも重ならない形で一体に突設されている。
【００３５】
これに対応して、接極子板５２の中央部には、図１（ａ），（ｂ）に示すように、支点突起７が貫装される円形状の開孔部５２ａが厚み方向に貫設されており、支点突起７の軸方向の長さ寸法は、接極子板５２の厚み寸法より大きく設定されている。なお、図１（ｂ）はアーマチュア５の主部５３および接極子板５２の幅方向に直交する面内での概略断面図を示している。
【００３６】
接点基台５４は、フレーム３の短手方向に沿った方向を長手方向とする直方体状に形成され、ボディ２との対向面（図２における下面）には、可動接点５０が形成されている。なお、可動接点５０は固定接点２０と同様の方法により形成している。
【００３７】
各接点基台５４は、一対の連結片５６により図２に示すように主部５３と一体に連結されている。連結片５６は、厚み方向に直交する面内で少なくとも一部が接点基台５４の長手方向に沿った方向に進む形に蛇行した形状に形成され、接点基台５４の可動接点５０が固定接点２０に接触した際に、所定の接圧を付与できるようにしている。
【００３８】
ところで、アーマチュア本体５１は、図２に示すように支持片５７によりフレーム３と一体に連結されている。支持片５７は、フレーム３の開口３ａの短手方向における内側面と、当該内側面に対向するアーマチュア本体５１の短手方向の外側面とを一体に連結するものであって、アーマチュア５の揺動軸に対して線対称となるように４つ形成されている。
【００３９】
支持片５７は、厚み方向に直交する面内で少なくとも一部がアーマチュア本体５１の長手方向に沿った方向に進むように蛇行した形状に形成されているから、アーマチュア５がフレーム３に揺動自在に支持されることになる。また、支持片５７を蛇行した形状に形成することで、支持片５７の長さを長くでき、アーマチュア５が揺動動作する際に支持片５７がねじられることで生じるばね力のばね定数を適切に小さくできるとともに、支持片５７に加えられる応力も分散できる。なお、支持片５７は、フレーム３よりも厚みが薄く形成され、幅方向の寸法が厚み寸法よりも小さく形成されている。
【００４０】
ところで、本実施形態では、アーマチュア本体５１とフレーム３とが同じ基板から形成されている。すなわち、アーマチュア本体５１を構成する主部５３、接点基台５４、連結片５６、および支持片５７と、フレーム３とは、例えば、５０μｍ〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚みのシリコン基板をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術などを利用してパターニングすることにより形成されている。
【００４１】
カバー４は、例えば、耐熱ガラスなどの耐熱性に優れる材料によりボディ２と同サイズの矩形板状に形成され、フレーム３との対向面側（図２における下面側）には、アーマチュア５との接触を防止してアーマチュア５をリレー本体１内に揺動自在に収納するための逃げ凹部（図示せず）が形成されている。
【００４２】
電磁石装置６は、図２に示すように、ヨーク６０と、永久磁石６３と、一対のコイル６４とを備えている。ヨーク６０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工あるいは鍛造加工してなり、長尺矩形板状の中央片６１と、中央片６１の表面側（図２における上面側）の長手方向両端部それぞれに突設された矩形板状の脚片６２とを一体に備えている。永久磁石６３は、脚片６２の中央片６１からの突出寸法と略同寸法の厚みの直方体状に形成され、厚み方向の一面側と他面側とが互いに異極となるように着磁されている。この永久磁石６３は、前記他面をヨーク６０の中央片６１の前記表面における長手方向中央部に当接させた状態でヨーク６０に取着される。各コイル６４は、各脚片６２と永久磁石６３との間の中央片６１の部位それぞれに巻回されている。
【００４３】
そして、本実施形態のマイクロリレーは、上述したボディ２の前記一表面側に、アーマチュア５の各接点基台５４の可動接点５０と一対の固定接点２０からなる各固定接点部とがそれぞれ対向する形で、フレーム３を接合（例えば、陽極接合）し、フレーム３におけるボディ２側とは反対側にカバー４を接合（例えば、陽極接合）し、ボディ２の開孔部にボディ２の他表面側（図２における下面側）から電磁石装置６を収納することによって構成されている。
【００４４】
このマイクロリレーでは、アーマチュア５は、可動接点５０が固定接点部に接触して一対の固定接点２０間を電気的に接続する閉位置と、可動接点５０が固定接点部から離間して一対の固定接点部２０間を電気的に接続しない開位置との間で移動するようにリレー本体１に揺動自在に収納され、可動接点５０と固定接点部によってリレー本体１の長手方向両端側それぞれに接点機構部が構成される。なお、リレー本体１内には不活性ガスを充填してもよい。
【００４５】
次に、本実施形態のマイクロリレーの動作について図１および図２を参照して説明する。なお、以下の説明では、一対の固定接点２０に関しては、必要に応じて、リレー本体１の長手方向一端側（図２における右下側）のものと他端側（図２における左上側）のものとを区別するために、符号２０Ａ，２０Ｂで表す。また、同様の理由から、可動接点５０を符号５０Ａ，５０Ｂで、接点基台５４を符号５４Ａ，５４Ｂで、規制突起５５を符号５５Ａ，５５Ｂで、脚片６２を符号６２Ａ，６２Ｂで、コイル６４を符号６４Ａ，６４Ｂでそれぞれ表す。また、初期状態（上述の平衡状態）では、可動接点５０がいずれの固定接点２０とも接触していないとする。
【００４６】
初期状態から電磁石装置６の両コイル６４それぞれに所定方向に電流が流れるように通電すると、コイル６４で発生する磁束は、例えば、脚片６２Ａでは永久磁石６３が発生する磁束と同方向となり、脚片６４Ｂでは永久磁石６３が発生する磁束と逆方向となるから、脚片６２Ａの先端面とアーマチュア５の接極子板５２との間に吸引力が生じる。
【００４７】
これによりアーマチュア５は、主部５３の支点突起７の先端部を支点として揺動動作する。ここで、アーマチュア５は、ボディ２の長手方向（ボディの一表面内で揺動軸方向と直交する方向）においていずれの規制突起とも重ならない形に形成された支点突起７によりボディ２に揺動自在に支持されているので、一対の規制突起５５Ａ間におけるアーマチュア本体５１からの突出寸法の差が大きい場合でも、可動接点５０Ａと固定接点部（一対の固定接点２０Ａ）との接触時に片方の規制突起５５Ａがボディ２に当接せずに浮いてしまうことがなく、アーマチュア５の長手方向一端側（リレー本体１の長手方向一端側と同じ側）の一対の規制突起５５Ａがボディ２に当接した状態となる。
【００４８】
このとき、規制突起５５Ａはボディ２の前記一表面に当接することで、接極子板５２が閉塞板２１に衝突しないから閉塞板２１の破損が防止される。
【００４９】
このようにアーマチュア５が前記初期状態から傾いた状態では、接点基台５４Ａの可動接点５０Ａが、一対の固定接点２０Ａからなる固定接点部と所定の接圧で接触して、一対の固定接点２０Ａ間を電気的に接続する閉位置に位置する。一方、接点基台５４Ｂの可動接点５０Ｂは、一対の固定接点２０Ｂからなる固定接点部から離間して、一対の固定接点２０Ｂ間を電気的に接続しない開位置に位置する。
【００５０】
したがって、電磁石装置６の両コイル６４それぞれに前記所定方向に電流を流すと、一対の固定接点２０Ａ間のみが電気的に接続される。
【００５１】
この状態で、両コイル６４への通電を停止した場合には、永久磁石６３が発生する磁束が、永久磁石６３→接触子板→脚片６２Ａ→永久磁石６３という閉磁路を通るため、上記状態が保持される。
【００５２】
その後に、両コイル６４それぞれに、前記所定方向とは逆方向に電流が流れるように通電すると、コイル６４が発生する磁束は、脚片６２Ｂでは永久磁石６３が発生する磁束と同方向となり、脚片６４Ａでは永久磁石６３が発生する磁束と逆方向となるから、脚片６２Ｂの先端面とアーマチュア５の接極子板５２との間に吸引力が生じる。
【００５３】
これによりアーマチュア５は、主部５３の支点突起７の先端部を支点として揺動動作する。ここで、アーマチュア５は、上述の支点突起７によりボディ２に揺動自在に支持されているので、一対の規制突起５５Ｂ間におけるアーマチュア本体５１からの突出寸法の差が大きい場合でも、可動接点５０Ｂと固定接点部（一対の固定接点２０Ｂ）との接触時に片方の規制突起５５Ｂがボディ２に当接せずに浮いてしまうことがなく、アーマチュア５の長手方向他端側（リレー本体１の長手方向他端側と同じ側）の一対の規制突起５５Ｂがボディ２に当接した状態となる。
【００５４】
このようにアーマチュア５が傾いた状態では、接点基台５４Ｂの可動接点５０Ｂが、一対の固定接点２０Ｂからなる固定接点部と所定の接圧で接触して、一対の固定接点２０Ｂ間を電気的に接続する閉位置に位置する。一方、接点基台５４Ａの可動接点５０Ａは、一対の固定接点２０Ａからなる固定接点部から離間して、一対の固定接点２０Ａ間を電気的に接続しない開位置に位置する。
【００５５】
したがって、電磁石装置６の両コイル６４それぞれに前記所定方向とは逆方向に電流を流すと、一対の固定接点２０Ｂ間のみが電気的に接続される。
【００５６】
この状態で、両コイル６４への通電を停止した場合には、永久磁石６３が発生する磁束が、永久磁石６３→接触子板→脚片６２Ｂ→永久磁石６３という閉磁路を通るため、上記状態が保持される。
【００５７】
そして、一対の固定接点２０Ａ間を電気的に接続したい場合には、両コイル６４に前記所定方向に電流が流れるように通電すればよい。
【００５８】
このように本実施形態のマイクロリレーは、両コイル６４への通電方向によって、常開接点と常閉接点とが切り換えられるラッチング型リレーとなっている。
【００５９】
以上述べた本実施形態のマイクロリレーによれば、アーマチュア５は、ボディ２の前記一表面内で揺動軸方向と直交する方向（ボディ２の長手方向）においていずれの規制突起５５とも重ならない形に形成された支点突起７によりボディ２に揺動自在に支持されているので、可動接点５０と固定接点部との接触時にアーマチュア５が一対の規制突起５５と支点突起７との３点でボディ２に支持されるから、従来例のようにアーマチュア５がボディ２に４点で支持される場合や、支点突起７がボディ２の前記一表面内で揺動軸方向と直交する方向において一対の規制突起５５の両方と重なる形に形成されている場合とは異なり、例えば一対の規制突起５５の長さ（アーマチュア本体５１からの突出寸法）の差が大きい場合でも、可動接点５０と固定接点部との接触時に片方の規制突起５５がボディ２に当接せずに浮いてしまうことがなく、可動接点５０と固定接点２０との接圧の低下を抑制でき、可動接点５０と固定接点２０との接触信頼性の向上が図れる。
【００６０】
また、半導体微細加工技術を利用して半導体基板からアーマチュア本体５１を形成する際に、支点突起７をアーマチュア本体５１と同時に形成できるから、支点突起７を接極子板５２に形成する場合に比べて、支点突起７の形成が容易に行え、製造工程の簡略化が図れる。
【００６１】
なお、本実施形態のマイクロリレーでは、一対の固定接点２０により固定接点部を構成しているが、固定接点部はさらに多くの固定接点２０により構成され、可動接点５０が固定接点部に接触した際には、可動接点５０によって全ての固定接点２０が電気的に接続されるようにしてもよい。また、本実施形態のマイクロリレーでは、アーマチュア５を駆動する駆動手段として、永久磁石６３を用いた有極型の電磁石装置６を用いているが、永久磁石６３を用いない無極型の電磁石装置を用いてもよい。さらに、本実施形態のマイクロリレーでは、ラッチング型のリレーを例示しているが、これに限定する趣旨ではない。
【００６２】
また、本実施形態では、アーマチュア５に一対の規制突起５５および支点突起７の両方を設けるようにしているが、規制突起５５は、ボディ２に設けるようにしてもよく、同様に、支点突起７も、ボディ２に設けるようにしてもよい。また、必ずしも規制突起５５と支点突起７との両方をアーマチュア５やボディ２に設ける必要はなく、例えば、規制突起５５をボディ２に設け、支点突起７をアーマチュア５に設けるようにしてもよい。
【００６３】
要は、規制突起５５が、ボディ２とアーマチュア５のいずれか一方に、アーマチュア５の揺動軸方向において可動接点５０の両側に位置する形で設けられ、支点突起７が、ボディ２とアーマチュア５のいずれか一方に、ボディ２の一表面内で揺動軸方向に直交する方向でいずれの規制突起５５とも重ならない形に設けられていればよい。これらの点は後述する実施形態２〜４においても同様である。
【００６４】
（実施形態２）
本実施形態のマイクロリレーは、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、アーマチュア５の構成が実施形態１と異なっており、その他の構成は実施形態１と同様であるから説明を省略する。なお、図３（ｂ）はアーマチュア５の主部５３および接極子板５２の幅方向に直交する面内での概略断面図を示し、図３（ｃ）は接極子板５２の長手方向の側面図を示している。
【００６５】
本実施形態のおけるアーマチュア５は、図３（ａ）に示すように、アーマチュア本体５１に支点突起７が形成されておらず、接極子板５２に開孔部５２ａが形成される代わりに支点突起７が形成されている。
【００６６】
本実施形態における支点突起７は、図３（ａ）に示すように、接極子板５２におけるアーマチュア本体５１側とは反対側の面（すなわち、アーマチュア５におけるボディ２との対向面）に設けられている。この支点突起７は、中心軸を含む平面で円柱を切断した形の半円柱状のものであって、その（中心）軸方向（長手方向）を、アーマチュア５の長手方向（アーマチュア５の前記対向面内で揺動軸方向に直交する方向）に沿わせた形で、アーマチュア５の前記対向面に設けられている。すなわち、支点突起７は、アーマチュア５の前記対向面内で揺動軸方向に直交する方向（アーマチュア５の長手方向）に沿った方向を軸方向とする半円柱状に形成されてなる。
【００６７】
以上述べた本実施形態のマイクロリレーによれば、支点突起７の軸方向、すなわちアーマチュア５の長手方向を法線方向とする面内で、アーマチュア５が揺動し易く（傾き易く）なるから、一対の規制突起５５がボディ２に当接する位置にアーマチュア５をスムーズに移動させることができる。そのため、アーマチュア５が急激に移動して規制突起５５がボディ２に当接する場合に比べれば、規制突起５５をボディ２に静かに当接させることが可能となり、また、当接時に生じる撃力を低減できる。
【００６８】
（実施形態３）
本実施形態のマイクロリレーは、図４（ａ），（ｂ）に示すように、支点突起７の構成が実施形態２と異なっており、その他の構成は実施形態２と同様であるから説明を省略する。なお、図４（ｂ）はアーマチュア５の主部５３および接極子板５２の幅方向に直交する面内での概略断面図を示している。
【００６９】
本実施形態における支点突起７は、実施形態２と同様に、ボディ２の長手方向に沿った方向が軸方向となる半円柱状のものであるが、図４（ａ），（ｂ）に示すように、その軸方向における両側面７ａが、支点突起７の先端側（ボディ２と対向する側）ほど両側面７ａ間の距離が短くなるように傾斜したテーパ面からなる。すなわち、支点突起７は、揺動軸方向に直交する面における断面形状が先端側を短辺とする台形状となっている。
【００７０】
したがって、本実施形態における支点突起７では、前記軸方向における両側面７ａの法線方向が、接極子板５２におけるボディ２との対向面と鋭角となっている。
【００７１】
以上述べた本実施形態のマイクロリレーによれば、実施形態２と同様の効果を奏する上に、支点突起７の軸方向の両側面７ａを上述したようなテーパ面としたことによって、アーマチュア５が揺動軸の回りに揺動し易くなるので、可動接点５０が固定接点部に接離する方向にアーマチュア５が移動し易くなるから、可動接点５０が固定接点部に接触する位置にアーマチュア５をスムーズに移動させることができる。そのため、実施形態２に比べれば、可動接点５０を固定接点部に静かに当接させることが可能となり、また、当接時に生じる撃力を低減できる。
【００７２】
また、支点突起７の側面７ａを、図５に示すような円錐の外周面の一部を構成する曲面形状となるようにしてもよく、このようにすれば、図４（ａ），（ｂ）に示す例に比べて、側面７ａがボディ２に当接した状態でも、アーマチュア５が、支点突起７の軸方向（アーマチュア５の長手方向）を法線方向とする面内で、揺動し易く（傾き易く）なるから、一対の規制突起５５がボディ２に当接する位置にアーマチュア５をスムーズに移動させることができ、規制突起５５をボディ２にさらに静かに当接させることが可能となり、また、当接時に生じる撃力をさらに低減できる。
【００７３】
なお、支点突起７の側面７ａを、仮想的な球面の一部を構成する曲面形状（所謂ＳＲ形状）に形成してもよく、このようにすれば、アーマチュア５をさらにスムーズに移動できるようになる。
【００７４】
（実施形態４）
本実施形態のマイクロリレーは、図６（ａ），（ｂ）に示すように、支点突起７の構成が実施形態２と異なっており、その他の構成は実施形態２と同様であるから説明を省略する。なお、図６（ｂ）はアーマチュア５の主部５３および接極子板５２の幅方向に直交する面内での概略断面図を示している。
【００７５】
本実施形態における支点突起７は、図６（ａ），（ｂ）に示すように、半球状に形成されている。したがって、本実施形態における支点突起７は、その表面が、仮想的な球面の一部を構成する曲面形状（所謂ＳＲ形状）に形成されている。
【００７６】
以上述べた本実施形態のマイクロリレーによれば、アーマチュア５がいずれの方向にも傾き易く（揺動し易く）なるから、可動接点５０が固定接点部に接触するとともに一対の規制突起５５がボディ２に当接する位置にアーマチュア５をスムーズに移動させることができて、可動接点５０および規制突起５５をボディ２に静かに当接させることが可能となり、また、当接時に生じる撃力を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】実施形態１のマイクロリレーの要部を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は概略断面図である。
【図２】同上におけるマイクロリレーの分解斜視図である。
【図３】（ａ）は実施形態２のマイクロリレーの要部の斜視図、（ｂ）は同上における概略断面図、（ｃ）は接極子板の側面図である。
【図４】実施形態３のマイクロリレーの要部を示し、（ａ）は部分斜視図、（ｂ）は概略断面図である。
【図５】実施形態３のマイクロリレーの要部の他例の部分斜視図である。
【図６】実施形態４のマイクロリレーの要部を示し、（ａ）は部分斜視図、（ｂ）は概略断面図である。
【図７】従来例のマイクロリレーの要部の斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
２    ボディ
５    アーマチュア
６    電磁石装置（駆動手段）
７    支点突起
７ａ  側面
２０    固定接点
５０    可動接点
５１    アーマチュア本体
５２    接極子板
５２ａ  開孔部
５５    規制突起
【図１】
2008218026.tif 000003
【図２】
2008218026.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008218026.tif 000007
【図６】
2008218026.tif 000008
【図７】
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