(57)【要約】【課題】本発明はディスクリートトラックメディアまたはパターンドメディアに用いて好適な記録媒体及びその製造方法及び記録再生装置に関し、研磨加工を実施することなく表面の平滑化を図れると共に十分な潤滑性を得ることを課題とする。【解決手段】ディスクリートトラックタイプの記録媒体において、表面に溝１７を有する磁性層１２上に、固定層１４と流動層１５とを積層した潤滑剤１６を形成する。固定層１４は前記溝１７を埋めるように配設されると共に硬化処理が行われる。流動層１５は固定層１４の上層に位置しており、流動性を有して磁気ヘッドとの摺接性を向上させる。【選択図】図１
2008171506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクリートトラックタイプまたはパターンドタイプの記録媒体において，
表面に凹凸を有する記録層と、
該記録層上に形成されており、前記凹凸に配設されると共に硬化処理が行われた固定層と、前記固定層上に位置しており流動性を有した流動層とが一体的に積層された潤滑剤層とを有することを特徴とする記録媒体。
【請求項２】
ディスクリートトラックタイプまたはパターンドタイプの記録媒体において，
表面に凹凸を有する記録層と、
該記録層上に形成されており、前記凹凸に配設されると共に表面が平坦面とされた潤滑剤固定層と、
前記固定層上に積層形成されており流動性を有した潤滑剤流動層とを有することを特徴とする記録媒体。
【請求項３】
記録層を隔絶する溝を設けたディスクリートトラックタイプの記録媒体の製造方法において，
前記溝部内にも配設されるよう、流動性のある潤滑剤を配設する配設工程と、
前記潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い、該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層とし、残る表面に近い側を流動層とする硬化工程と
を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とする請求項３記載の記録媒体の製造方法。
【請求項５】
非磁性層にナノホールを設けると共に該ナノホールに磁性層を配設した記録層を有するパターンドタイプの記録媒体の製造方法において、
前記ナノホール内にも配設されるよう、流動性のある潤滑剤を配設する配設工程と、
前記潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い、該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層とし、残る表面に近い側を流動層とする硬化工程と
を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とする請求項５記載の記録媒体の製造方法。
【請求項７】
請求項１または２記載の記録媒体と、該記録媒体に対して記録再処理を行う手段とを有することを特徴とする記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は記録媒体及びその製造方法及び記録再生装置に係り、特にディスクリートトラックメディアまたはパターンドメディアに用いて好適な記録媒体及びその製造方法及び記録再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に種々の記録媒体が提供されているが、その一種としてＨＤＤ等で使用されるディスク状の磁気記録媒体がある。この磁気記録媒体は、記録される情報量が増大する一方で小型化が望まれており、記録密度の高密度化が進んでいる。
【０００３】
このため、磁気記録媒体の隣接トラック間の干渉を低減し，トラック密度を高めるディスクリートトラックメディアや、隣接ビット間の干渉を低減して線記録密度を高めるパターンドメディアが提案されている。この種の磁気記録媒体は、記録トラック間を充分に小さくしても互いのトラック間の磁気的影響（クロストーク）を抑制できることから記録密度の高密度化を図ることができる。
【０００４】
一方、この種の磁気記録媒体に対する記録再生処理は、ディスク状の磁気記録媒体を高速回転し、このディスクの上で空気の抵抗（粘度）により浮上する磁気ヘッドを用いて行われる。この際、高密度記録を行うためには磁気ヘッドと磁気記録媒体が近接していることが望ましく、よって磁気ヘッドの浮上量は低減することが望ましい。
【０００５】
しかしながら、ディスクリートトラックメディアやパターンドメディアにおいては、記録層を溝等により隔絶するため、その表面に微小な段差が必然的に発生する。そして、この段差が生じている状態のディスクリートトラックメディアやパターンドメディアに対し、磁気ヘッドの浮上量を極限まで低くすると、磁気ヘッドと各メディアが摺接（当接）することが考えられ、この場合には摺動により発生する熱や衝撃でディスク表面に形成された記録層が劣化、あるいは破壊されエラーの原因となるおそれがある。
【０００６】
この段差が記録ヘッドの浮上に悪影響を及ぼさないようにするため、従来では平坦化技術を用いて段差を無くすることが行われていた。この平坦化技術を用いて形成された記録媒体を図１８に示す。
【０００７】
同図に示す記録媒体１００Ａは、ディスクリートトラックメディアである。この記録媒体１００Ａにおいて磁性層１１２に溝１１７を形成することにより生じた段差を除去するには、溝１１７をアルミナやＳｉＯ２などの酸化膜からなる硬質の非磁性層１３１で埋め、その後に表面をＣＭＰ（化学的機械的研磨）等の研磨技術により平坦化加工し、その上に保護膜１１３を設け、更に潤滑剤１１６を配設していた。
【０００８】
また他の方法としては、特許文献１に開示され方法が提案されている。図１９は、特許文献１に開示された記録媒体１００Ｂを示している。同図に示すように特許文献１に開示された記録媒体１００Ｂは、ディスク基板１１２の表面に多数条のデータトラックが同心円に並ぶ記録ディスクの溝部１１７に対し、一定体積以上の媒体潤滑剤１１６を配設した構成とされていた。
【特許文献１】特開２０００−２９３８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、ＣＭＰは精度の高い平坦面を形成できるものの、設備が高価でかつその構成が複雑で、ＣＭＰを用いることにより記録媒体の製造工程が複雑となり、また記録媒体の製品コストも上昇してしまうという問題点があった。
【００１０】
また、特許文献１に開示された技術では、最表面に潤滑剤１１６が露出しておらず、よって十分な潤滑性が得にくいと考えられる。よって、磁気ヘッドが記録媒体１００Ｂと摺接した場合、やはり摺動により発生する熱や衝撃で記録層が劣化したり破壊されたりするおそれがある。
【００１１】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、研磨加工を実施することなく表面の平滑化を図れると共に十分な潤滑性を得ることができる記録媒体及びその製造方法及び記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項１記載の発明は、
ディスクリートトラックタイプまたはパターンドタイプの記録媒体において，
表面に凹凸を有する記録層と、
該記録層上に形成されており、前記凹凸に配設されると共に硬化処理が行われた固定層と、前記固定層上に位置しており流動性を有した流動層とが一体的に積層された潤滑剤層とを有することを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項２記載の発明は、
ディスクリートトラックタイプまたはパターンドタイプの記録媒体において，
表面に凹凸を有する記録層と、
該記録層上に形成されており、前記凹凸に配設されると共に表面が平坦面とされた潤滑剤固定層と、
前記固定層上に積層形成されており流動性を有した潤滑剤流動層とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項３記載の発明は、
記録層を隔絶する溝を設けたディスクリートトラックタイプの記録媒体の製造方法において，
前記溝部内にも配設されるよう、流動性のある潤滑剤を配設する配設工程と、
前記潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い、該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層とし、残る表面に近い側を流動層とする硬化工程とを有することを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項４記載の発明は、
請求項３記載の記録媒体の製造方法において、
前記配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項５記載の発明は、
非磁性層にナノホールを設けると共に該ナノホールに磁性層を配設した記録層を有するパターンドタイプの記録媒体の製造方法において、
前記ナノホール内にも配設されるよう、流動性のある潤滑剤を配設する配設工程と、
前記潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い、該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層とし、残る表面に近い側を流動層とする硬化工程とを有することを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項６記載の発明は、
請求項５記載の記録媒体の製造方法において、
前記配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とするものである。
【００１９】
また、請求項７記載の発明に係る記録再生装置は、
請求項１または２記載の記録媒体と、該記録媒体に対して記録再処理を行う手段とを有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、記録層の表面に段差が存在しても潤滑剤層の表面は平坦面となるため、従来必要とされていたＣＭＰ等の研磨処理は不要となり、記録媒体の製造工程の簡単化及び記録媒体の低コスト化を図ることができる。
【００２１】
更に、固定層上には流動性を有した流動層が存在するため潤滑性を維持することができ、よって浮上磁気ヘッドと記録媒体との摺動に起因した熱や衝撃による記録層の劣化や破壊を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。
【００２３】
図１は本発明の第１実施例である記録媒体１０Ａを示しており、図２はその製造方法を示している。尚、以下説明する図１乃至８に示す記録媒体はディスクリートトラックメディアを例として挙げているため、図１乃至８に示す各実施例の説明では各記録媒体をディスクリートトラックメディア１０Ａ〜１０Ｄと示し説明するものとする。
【００２４】
図１に示すディスクリートトラックメディア１０Ａは、例えば垂直磁気記録媒体として使用されるものである。このディスクリートトラックメディア１０Ａは、大略すると図示しない基板上に軟磁性層１１、磁性層１２（記録層）、保護膜１３、及び潤滑剤１６等が積層された構成とされている。
【００２５】
軟磁性層１１は、例えば絶縁材（例えばガラスやアルミ合金等）の基板上に形成されている。この軟磁性層１１は、高透磁率を有するバーマロイ（Ni−Fe合金）を用いることができる。また、軟磁性層１１の厚さは、例えば500〜1000Åである。
【００２６】
この軟磁性層１１の上部には磁性層１２が形成されている。この磁性層１２としては、例えばCoCrP、CoCrTa、CoCrTi、CoCrGe、CoNi、CoNiZr、CoCrW、CoCrV等のCo系磁性合金、またはγ−Fe2O3等のFe系磁性材料を用いることができる。この磁性層の厚さは、例えば200〜800Åである。
【００２７】
また、本実施例に係る記録媒体はディスクリートトラックメディア１０Ａであるため、この磁性層１２には溝１７が形成されている。この溝１７は、電子線リソグラフィやナノインプリントリソグラフィ技術を用いて、データトラック形成位置の間に形成されている。このように、磁性層１２に溝１７が形成されることにより、磁性層１２には段差（凹凸）が形成されることとなる。
【００２８】
本実施例では、上記した磁性層１２の上部に保護膜１３を形成した構成としている。この保護膜１３は磁性層１２に腐食が発生することを防止するために設けられるものであり、材料としてはダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）や二酸化珪素等を用いることができる。また、保護膜１３の厚さは、例えば100〜200Åである。
【００２９】
この保護膜１３は、前記のように磁性層１２を保護するものであるため、磁性層１２の表面全体を被覆するよう形成される。また、磁性層１２には溝１７が形成されているため、この溝１７の内部にも保護膜１３は形成される。しかしながら、保護膜１３の厚さは前記のように薄いため、保護膜１３により溝１７が埋まることはなく、保護膜１３にも溝１７に起因した段差（凹凸）が形成されている。
【００３０】
潤滑剤１６は、磁気ヘッド４２（図１７参照）との摺動時の摩擦係数を下げて摩耗を軽減すると共に、表面を溌水性にして腐食を防ぐなどの目的で配設される。この潤滑剤１６の材質としては、例えばパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を用いることができる。このＰＦＰＥは常温では流動性を有しており、よって磁気ヘッド４２がディスクリートトラックメディア１０Ａと摺接したときの摩擦低減を図ることができる。
【００３１】
本実施例では、潤滑剤１６が固定層１４と流動層１５とにより構成されていることを特徴としている。固定層１４は磁性層１２側に位置した部分であり、後述するように加熱処理等を行うことにより硬化（ゲル状も含む）した部分である。これに対し、流動層１５は加熱処理等は行われておらず、よって流動性を有したままの状態となっている。本実施例では、固定層１４と流動層１５は連続的かつ一体的な構成とされている。
【００３２】
後に詳述するように、固定層１４は、硬化処理が行われる前の流動性を有した状態で保護膜１３上に配設され、その後に硬化処理が行われる。即ち、固定層１４となる潤滑剤材料２０（図２（Ｄ）参照）は、保護膜１３に形成されている段差（凹凸）の内部に配設された後に硬化処理が行われる。
【００３３】
このため、固定層１４の表面１４ａ及び流動層１５の表面１５ａは平滑な面となり、磁気ヘッド４２との摺動性を良好なものとすることができる。更に、固定層１４と流動層１５は連続的かつ一体的な構成とされているため、流動層１５と固定層１４との結合力が強く、磁気記録再生時にディスクリートトラックメディア１０Ａが高速回転しても流動層１５が固定層１４から離脱して飛散することを防止できる。
【００３４】
続いて、図２を参照し、上記構成とされたディスクリートトラックメディア１０Ａの製造方法について説明する。尚、図２において、図１に示した構成と同一構成については同一符号を付して、その説明を省略するものとする。
【００３５】
図２（Ａ）は、図示しない基板上に軟磁性層１１及び磁性層１２が積層された状態を示している。基板上への軟磁性層１１の形成、及び軟磁性層１１上への磁性層１２の形成は、いずれもスパッタリングを用いることができる。
【００３６】
続いて、図２（Ｂ）に示すように、磁性層１２に溝１７の形成処理が実施される。この溝１７の形成は、例えば電子線リソグラフィやナノインプリントリソグラフィ技術を用いて、データトラックが形成される所定位置の間に形成される。このように、磁性層１２に溝１７が形成されることにより、同図に矢印Ａ１示すように、磁性層１２には段差（凹凸）が形成されることとなる。
【００３７】
磁性層１２に溝１７が形成されると、続いて軟磁性層１１及び磁性層１２の上部に保護膜１３が成膜される（請求項に記載の成膜工程に相当）。この保護膜１３は、例えばスパッタリングにより形成することができる。図２（Ｃ）は、保護膜１３が形成された状態を示している。
【００３８】
前記のように保護膜１３はＤＬＣや二酸化珪素等の非磁性材料であり、磁気記録再生特性を高めるためには、磁性層１２を保護しうる範囲で最小の膜厚とすることが望ましい。このため、保護膜１３が形成されても溝１７は保護膜１３により埋まることはなく、保護膜１３にも溝１７に起因した凹凸が形成される（図２（Ｃ）に矢印Ａ２で示す）。
【００３９】
上記のように保護膜１３が形成されると、続いて潤滑剤１６となる潤滑剤材料２０（潤滑剤１６の材料となるもの）が保護膜１３の上部に配設される。この潤滑剤材料２０は前記したＰＦＰＥを用いており、このＰＦＰＥは常温において流動性を有している。また、潤滑剤材料２０の保護膜１３上に対し配設する厚さは、固定層１４及び流動層１５を含めた厚さとなるよう設定されている。
【００４０】
図２（Ｄ）は、保護膜１３上に潤滑剤材料２０が配設された状態を示している。流動性を有する潤滑剤材料２０を配設することにより、潤滑剤材料２０は保護膜１３上に形成されている段差Ａ２の内部まで配設される（請求項に記載の配設工程に相当）。
【００４１】
この際、この段差内に潤滑剤材料２０を配設するのに特別な配設工程は必要でなく、単に保護膜１３上に潤滑剤材料２０を配設するだけで、流動性を有した潤滑剤材料２０は上記段差内に配設される。また、潤滑剤材料２０は流動性を有しているため、段差を有した保護膜１３上に潤滑剤材料２０を配設しても、潤滑剤材料２０の表面２０ａは保護膜１３の表面の段差形状を履歴することはなく平坦な面となる。
【００４２】
潤滑剤材料２０の配設処理が終了すると、軟磁性層１１の下面側から潤滑剤材料２０に対して加熱処理が実施される。この加熱処理により、熱は軟磁性層１１，磁性層１２，及び保護膜１３を介して潤滑剤材料２０に熱伝達される。即ち、ＰＦＰＥよりなる潤滑剤材料２０は、磁性層１２側の位置から加熱処理が実施される（請求項に記載の硬化工程に相当）。
【００４３】
この加熱処理により、潤滑剤材料２０の磁性層１２に近い所定領域において架橋が生じ、これにより硬化されて固定層１４が形成される。この固定層１４の表面１４ａは、平坦な面となる。
【００４４】
これに対して潤滑剤材料２０の表面側は、加熱による熱が伝達されないため熱硬化は発生せず、よって固定層１４の上部には流動性を有した流動層１５が自動的に形成される。この際、流動層１５の下層となる固定層１４の表面１４ａは平坦面であるため、流動層１５の表面１５ａも平坦な面となる。
【００４５】
このようにして、固定層１４と流動層１５とを積層した構造の潤滑剤１６が形成される。また、このように形成された潤滑剤１６は、配設された潤滑剤材料２０の一部を加熱することにより固定層１４が形成され、残る部分が流動層１５とされるため、固定層１４と流動層１５とは連続的かつ一体的な構成となる。
【００４６】
上記した製造工程を実施することにより、図２（Ｅ）に示すディスクリートトラックメディア１０Ａが製造される。この本実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ａの製造方法では、高密度化によるクロストークの発生を防止するために磁性層１２に溝１７を形成し、これにより磁性層１２に段差が形成されても、固定層１４（潤滑剤１６）の表面は平坦面となる。このため、従来必要とされていたＣＭＰ等の研磨処理は不要となり、ディスクリートトラックメディア１０Ａの製造工程の簡単化及び低コスト化を図ることができる。
【００４７】
また、固定層１４の上部には流動性を有した流動層１５が存在するため潤滑性を維持することができ、よって磁気ヘッド４２とディスクリートトラックメディア１０Ａとの摺動に起因した熱や衝撃による記録層の劣化や破壊を防止することができる。更に、固定層１４は硬化されているため、磁性層１２（保護膜１３）に形成された段差部分に強く保持され、かつ固定層１４と流動層１５との密着性も良好であるため、ディスクリートトラックメディア１０Ａが高速回転しても流動層１５の飛散を防止することができる。
【００４８】
次に、第２実施例について説明する。
【００４９】
図３は第２実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｂを示しており、図４はディスクリートトラックメディア１０Ｂの製造方法を示している。尚、第２乃至第４実施例の説明で使用する図３乃至図８において、図１及び図２に示した構成と対応する構成については同一符号を付して、その説明を省略するものとする。
【００５０】
前記した第１実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ａは、潤滑剤材料２０の一部に熱印加することにより、潤滑剤１６を固定層１４と流動層１５とが連続的かつ一体的な構成とされていた。これに対して本実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｂは、図３に示すように、保護膜１３上にそれぞれ独立して形成された潤滑剤固定層１８と潤滑剤流動層１９を積層した構成としたことを特徴とするものである。
【００５１】
このディスクリートトラックメディア１０Ｂを製造するには、図４（Ａ）に示すように基板上に形成されている軟磁性層１１上に磁性層１２をスパッタリング等により形成し、更に図４（Ｂ）の示すように溝１７を形成する。更に、溝１７が形成された磁性層１２及び軟磁性層１１上に、図４（Ｃ）の示すように保護膜１３スパッタリング等により形成する。ここまでの製造工程は、図２（Ａ）〜（Ｃ）に示す工程と同一である。
【００５２】
続いて本実施例では、先ず潤滑剤固定層１８となる潤滑剤材料２０（図に現れず）を保護膜１３の上部に配設する（請求項に記載の第１の配設工程）。潤滑剤材料２０は流動性を有しているため、保護膜１３に形成されている溝１７に起因した段差Ａ２内にも配設される。また、潤滑剤材料２０が段差Ａ２内に配設された状態において、流動性を有していることにより潤滑剤材料２０の表面は平坦な面となる。
【００５３】
続いて、この潤滑剤材料２０の上方から加熱処理を行うことにより硬化させ、図４（Ｄ）に示すように保護膜１３上に潤滑剤固定層１８を形成する（硬化工程）。前記のように硬化前の潤滑剤材料２０の表面２０ａが平坦であることにより、熱硬化された潤滑剤固定層１８の表面１８ａも平坦な面となる。
【００５４】
上記のように潤滑剤固定層１８が形成されると、その上部に更に潤滑剤材料２０が配設される（請求項に記載の第２の配設工程に相当する）。潤滑剤材料２０に対しては熱硬化処理は実施されないため、よって潤滑剤材料２０はそのまま潤滑剤流動層１９となる。上記した製造工程を実施することにより、図４（Ｅ）に示すディスクリートトラックメディア１０Ｂが製造される。
【００５５】
本実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｂの製造方法においても、従来必要とされていたＣＭＰ等の研磨処理を不要とすることができ、製造工程の簡単化及び低コスト化を図ることができる。また、潤滑剤固定層１８の上部には流動性を有した潤滑剤流動層１９が存在するため潤滑性を維持することができ、よって磁気ヘッド４２とディスクリートトラックメディア１０Ｂとの摺動に起因した熱や衝撃による記録層の劣化や破壊を防止することができる。
【００５６】
次に、第３実施例について説明する。
【００５７】
図５は第３実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｃを示しており、図６はディスクリートトラックメディア１０Ｃの製造方法を示している。本実施例は、基本的には図１及び図２を用いて説明した第１実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ａ及びその製造方法と略同様のものである。
【００５８】
しかしながら、第１実施例においては、磁性層１２の上部に保護膜１３が形成されているのに対し、本実施例ではこの保護膜１３を除去した構成としたことを特徴とするものである。よって、本実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｃは、図５に示すように、軟磁性層１１及び磁性層１２の上部に直接潤滑剤１６が形成された構成とされている。
【００５９】
また、ディスクリートトラックメディア１０Ｃの製造方法においても、図６（Ａ），（Ｂ）は、図２（Ａ），（Ｂ）と同一の製造工程であるが、本実施例では磁性層１２に溝１７が形成された後、図６（Ｃ）に示すように直ちに潤滑剤材料２０を配設する（配設工程）。
【００６０】
その後、潤滑剤材料２０に対して背面側から加熱処理を行うことにより固定層１４を形成し、潤滑剤材料２０を固定層１４と流動層１５に分離させ潤滑剤１６を形成すること（硬化工程）は、前記した第１実施例と同様である。図６（Ｄ）は、本実施例に係る方法により製造されたディスクリートトラックメディア１０Ｃを示している。
【００６１】
前記したように、保護膜１３はＤＬＣや二酸化珪素等の非磁性材料であり、磁気記録再生特性を高めるためには、磁性層１２を保護しうる範囲で最小の膜厚とすることが望ましい。また、磁性層１２の材質として、耐腐食性を有する材料を選定した場合には、必ずしも保護膜１３を設ける必要はない。
【００６２】
このため、本実施例ではこの保護膜１３を除去し、軟磁性層１１及び磁性層１２の上部に直接潤滑剤１６を形成した。この構成することにより、保護膜１３を成膜する工程（成句工程）が不要となり、製造工程の簡単化を図ることができる。更に、保護膜１３が不要となることにより部品点数を削減でき、ディスクリートトラックメディア１０Ｃの低コスト化を図ることができる。
【００６３】
次に、第４実施例について説明する。
【００６４】
図７は第４実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｄを示しており、図８はディスクリートトラックメディア１０Ｄの製造方法を示している。本実施例は、基本的には図３及び図４を用いて説明した第２実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｂ及びその製造方法と略同様のものである。
【００６５】
しかしながら、第２実施例においては、磁性層１２の上部に保護膜１３が形成されているのに対し、本実施例ではこの保護膜１３を除去した構成としたことを特徴とするものである。よって、本実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｄは、図７に示すように、軟磁性層１１及び磁性層１２の上部に直接潤滑剤固定層１８及び潤滑剤流動層１９が積層して形成された構成とされている。
【００６６】
また、ディスクリートトラックメディア１０Ｄの製造方法においても、図８（Ａ），（Ｂ）は、図４（Ａ），（Ｂ）と同一の製造工程であるが、本実施例では磁性層１２に溝１７が形成された後、図８（Ｃ）に示すように直ちに潤滑剤固定層１８用の潤滑剤材料２０を配設する（第１の配設工程）。その後、上部から加熱処理を行うことにより潤滑剤材料２０を硬化させて潤滑剤固定層１８を形成する。この時、潤滑剤固定層１８の表面１８ａは、平坦面となっている。そして、潤滑剤固定層１８の上部に潤滑剤流動層１９を形成し、これにより図８（Ｄ）に示すディスクリートトラックメディア１０Ｄが製造される。
【００６７】
本実施例に係るディスクリートトラックメディア１０Ｄ及びその製造方法は、前記の第３実施例と同様に保護膜１３が除去された構成であるため、保護膜１３を成膜する工程（成句工程）が不要となり、製造工程の簡単化を図ることができる。更に、保護膜１３が不要となることにより部品点数を削減でき、ディスクリートトラックメディア１０Ｄの低コスト化を図ることができる。
【００６８】
次に、第５実施例について説明する。
【００６９】
図９は本発明の第５実施例である記録媒体３０Ａを示しており、図１０はその製造方法を示している。尚、以下説明する図９乃至１６に示す記録媒体はパターンドメディアを例として挙げているため、図９乃至１６に示す各実施例の説明では各記録媒体をパターンドメディア３０Ａ〜３０Ｄと示し説明するものとする。また、図９及び図１０において、図１乃至図８に示した構成と対応する構成については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００７０】
図９に示すパターンドメディア３０Ａも、例えば垂直磁気記録媒体として使用されるものである。このパターンドメディア３０Ａは、図１に示したディスクリートトラックメディア１０Ａと同様に、図示しない基板上に軟磁性層１１、磁性層１２、保護膜１３、及び潤滑剤１６等が積層された構成とされている。
【００７１】
しかしながら、ディスクリートトラックメディア１０Ａは、高密度化によるクロストークの発生を防止するために磁性層１２に溝１７を形成していたのに対し、パターンドメディア３０Ａは非磁性層３１に微細な小孔（以下、ナノホール３２という）を形成し、このナノホール３２内に磁性層１２を形成したことを特徴としている。
【００７２】
このように、パターンドメディア３０Ａでは、ナノホール３２内に磁性層１２を形成（成長）させるため、非磁性層３１の上面と磁性層１２の上面とを精度よく一致させることは困難であり、よって非磁性層３１の上面と磁性層１２の上面との間に段差（凹凸）が発生してしまう。
【００７３】
一方、本実施例においても、磁性層１２及び非磁性層３１の上部に磁性層１２を保護する保護膜１３が形成されている。前記のように保護膜１３の厚さは薄いため、保護膜１３により段差が埋まることはなく、保護膜１３にも非磁性層３１の上面と磁性層１２の上面との間の段差に起因した段差（凹凸）が形成される。
【００７４】
次に、潤滑剤１６について説明する。本実施例の潤滑剤１６は、第１実施例で示したのと同様に、潤滑剤１６固定層１４と流動層１５とにより構成されている。固定層１４は磁性層１２側に位置した部分であり、下方より加熱処理等を行うことにより硬化（ゲル状も含む）した部分である。これに対し、流動層１５は加熱処理等は行われておらず、よって流動性を有したままの状態となっている。よって、本実施例においても、固定層１４と流動層１５は連続的かつ一体的な構成とされている。
【００７５】
続いて、図１０を参照し、上記構成とされたパターンドメディア３０Ａの製造方法について説明する。尚、図１０において、図９に示した構成と同一構成については同一符号を付して、その説明を省略するものとする。
【００７６】
図１０（Ａ）は、図示しない基板上に軟磁性層１１及び非磁性層３１が積層された状態を示している。この非磁性層３１に対しては、図１０（Ｂ）に示すように、ナノホール３２の形成処理が実施される。このナノホール３２の形成は、例えば電子線リソグラフィや光リソグラフィ技術を用いて形成される。
【００７７】
非磁性層３１にナノホール３２が形成されると、続いてナノホール３２の内部に磁性層１２が形成される。図１０（Ｃ）は、ナノホール３２内に磁性層１２が形成された状態を示している。この際、非磁性層３１の上面と磁性層１２の上面とを精度よく一致させることは困難であり、よって非磁性層３１の上面と磁性層１２の上面との間に段差Ｂ１（凹凸）が発生してしまう。
【００７８】
ナノホール３２内に磁性層１２が形成されると、続いて磁性層１２及び非磁性層３１の上部に保護膜１３が成膜される（請求項に記載の成膜工程に相当）。この保護膜１３は、例えばスパッタリングにより形成することができる。図１０（Ｄ）は、保護膜１３が形成された状態を示している。また、保護膜１３が形成されても前記の段差Ｂ１は保護膜１３により埋まることはなく、保護膜１３にも段差Ｂ１に起因した段差Ｂ２が形成される（図１０（Ｄ）に矢印で示す）。
【００７９】
上記のように保護膜１３が形成されると、続いて潤滑剤１６となる潤滑剤材料２０が保護膜１３の上部に配設される。図１０（Ｅ）は、保護膜１３上に潤滑剤材料２０が配設された状態を示している。流動性を有する潤滑剤材料２０を配設することにより、潤滑剤材料２０は保護膜１３上に形成されている段差Ｂ２を完全に覆った状態となる（請求項に記載の配設工程に相当）。
【００８０】
この際、この段差Ｂ２を覆うように潤滑剤材料２０を配設するのに特別な配設工程は必要でなく、単に保護膜１３上に潤滑剤材料２０を配設するだけで、流動性を有した潤滑剤材料２０は段差Ｂ２を覆うように配設される。また、潤滑剤材料２０は流動性を有しているため、段差Ｂ２を有した保護膜１３上に潤滑剤材料２０を配設しても、潤滑剤材料２０の表面２０ａは保護膜１３の表面の段差形状を履歴することはなく平坦な面となる。
【００８１】
潤滑剤材料２０の配設処理が終了すると、軟磁性層１１の下面側から潤滑剤材料２０に対して加熱処理が実施される。この加熱処理により、熱は軟磁性層１１，磁性層１２，及び保護膜１３を介して潤滑剤材料２０に熱伝達される（請硬化工程）。この加熱処理により、潤滑剤材料２０の磁性層１２に近い所定領域において架橋が生じて硬化し、これにより固定層１４が形成される。
【００８２】
これに対して潤滑剤材料２０の表面側は、加熱による熱が伝達されないため熱硬化は発生せず、よって固定層１４の上部には流動性を有した流動層１５が自動的に形成される。この際、流動層１５の下層となる固定層１４の表面１４ａは平坦面であるため、流動層１５の表面１５ａも平坦な面となる。この際、本実施例においても、固定層１４と流動層１５は連続的かつ一体的な構成となる。
【００８３】
上記した製造工程を実施することにより、図１０（Ｆ）に示すパターンドメディア３０Ａが製造される。この本実施例に係るパターンドメディア３０Ａの製造方法では、非磁性層３１と磁性層１２との間に段差が形成されても、前記した第１実施例と同様に固定層１４（潤滑剤１６）の表面は平坦面となる。
【００８４】
このため、従来必要とされていたＣＭＰ等の研磨処理は不要となり、ディスクリートトラックメディア１０Ａの製造工程の簡単化及び低コスト化を図ることができる。また、固定層１４の上部には流動性を有した流動層１５が存在するため潤滑性を維持することができ、よって磁気ヘッド４２とパターンドメディア３０Ａとの摺動に起因した熱や衝撃による記録層の劣化や破壊を防止することができる。
【００８５】
次に、第６実施例について説明する。
【００８６】
図１１は第６実施例に係るパターンドメディア３０Ｂを示しており、図１２はパターンドメディア３０Ｂの製造方法を示している。尚、第６実施例以降の説明で使用する図１３乃至図１６において、図９及び図１０に示した構成と対応する構成については同一符号を付して、その説明を省略するものとする。
【００８７】
前記した第５実施例に係るパターンドメディア３０Ａは、潤滑剤材料２０の一部に熱印加することにより、潤滑剤１６を固定層１４と流動層１５とが連続的かつ一体的な構成とされていた。これに対して本実施例に係るパターンドメディア３０Ｂは、図１１に示すように、保護膜１３上にそれぞれ独立して形成された潤滑剤固定層１８と潤滑剤流動層１９を積層した構成としたことを特徴とするものである。
【００８８】
このパターンドメディア３０Ｂを製造するには、図１２（Ａ）に示すように基板上に形成されている軟磁性層１１上に非磁性層３１を形成し、次に図１２（Ｂ）の示すように非磁性層３１にナノホール３２を形成し、更にナノホール３２の内部に磁性層１２を形成する。更に、磁性層１２及び非磁性層３１上に、図１２（Ｄ）の示すように保護膜１３スパッタリング等により形成する。ここまでの製造工程は、図１０（Ａ）〜（Ｄ）に示す工程と同一である。
【００８９】
続いて本実施例では、先ず潤滑剤固定層１８となる潤滑剤材料２０（図に現れず）を保護膜１３の上部に配設する（請求項に記載の第１の配設工程）。潤滑剤材料２０は流動性を有しているため、保護膜１３に形成されている段差Ｂ２も潤滑剤材料２０により覆われた状態となる。また、潤滑剤材料２０は流動性を有しているため、段差Ｂ２を覆っても潤滑剤材料２０の表面は平坦な面となる。
【００９０】
続いて、この潤滑剤材料２０の上方から加熱処理を行うことにより硬化させ、図１２（Ｅ）に示すように保護膜１３上に潤滑剤固定層１８を形成する（硬化工程）。前記のように硬化前の潤滑剤材料２０の表面２０ａが平坦であることにより、熱硬化された潤滑剤固定層１８の表面１８ａも平坦な面となる。
【００９１】
上記のように潤滑剤固定層１８が形成されると、その上部に更に潤滑剤材料２０が配設される（請求項に記載の第２の配設工程に相当する）。潤滑剤材料２０に対しては熱硬化処理は実施されないため、よって潤滑剤材料２０はそのまま潤滑剤流動層１９となる。上記した製造工程を実施することにより、図１２（Ｆ）に示すパターンドメディア３０Ｂが製造される。
【００９２】
本実施例に係るパターンドメディア３０Ｂの製造方法においても、従来必要とされていたＣＭＰ等の研磨処理を不要とすることができ、製造工程の簡単化及び低コスト化を図ることができる。また、潤滑剤固定層１８の上部には流動性を有した潤滑剤流動層１９が存在するため潤滑性を維持することができ、よって磁気ヘッド４２とパターンドメディア３０Ｂとの摺動に起因した熱や衝撃による記録層の劣化や破壊を防止することができる。
【００９３】
次に、第７実施例について説明する。
【００９４】
図１３は第７実施例に係るパターンドメディア３０Ｃを示しており、図１４はパターンドメディア３０Ｃの製造方法を示している。本実施例は、基本的には図９及び図１０を用いて説明した第５実施例に係るパターンドメディア３０Ａ及びその製造方法と略同様のものである。
【００９５】
しかしながら、第５実施例においては、磁性層１２の上部に保護膜１３が形成されているのに対し、本実施例ではこの保護膜１３を除去した構成としたことを特徴とするものである。よって、本実施例に係るパターンドメディア３０Ｃは、図１３に示すように、磁性層１２及び非磁性層３１の上部に直接潤滑剤１６が形成された構成とされている。
【００９６】
また、パターンドメディア３０Ｃの製造方法においても、図１４（Ａ）〜（Ｃ）は、図１０（Ａ）〜（Ｃ）と同一の製造工程であるが、本実施例ではナノホール３２に磁性層１２が形成された後、図１４（Ｄ）に示すように直ちに潤滑剤材料２０を配設する（配設工程）。
【００９７】
その後、潤滑剤材料２０に対して背面側から加熱処理を行うことにより固定層１４を形成し、潤滑剤材料２０を固定層１４と流動層１５に分離させ潤滑剤１６を形成すること（硬化工程）は、前記した第５実施例と同様である。図１４（Ｅ）は、本実施例に係る方法により製造されたパターンドメディア３０Ｃを示している。
【００９８】
本実施例では保護膜１３を除去し、磁性層１２及び非磁性層３１の上部に直接潤滑剤１６を形成した。この構成することにより、保護膜１３を成膜する工程（成句工程）が不要となり、製造工程の簡単化を図ることができる。更に、保護膜１３が不要となることにより部品点数を削減でき、パターンドメディア３０Ｃの低コスト化を図ることができる。
【００９９】
次に、第８実施例について説明する。
【０１００】
図１５は第８実施例に係るパターンドメディア３０Ｄを示しており、図１６はパターンドメディア３０Ｄの製造方法を示している。本実施例は、基本的には図１１及び図１２を用いて説明した第６実施例に係るパターンドメディア３０Ｂ及びその製造方法と略同様のものである。
【０１０１】
しかしながら、第６実施例においては、磁性層１２の上部に保護膜１３が形成されているのに対し、本実施例ではこの保護膜１３を除去した構成としたことを特徴とするものである。よって、本実施例に係るパターンドメディア３０Ｄは、図１５に示すように、磁性層１２及び非磁性層３１の上部に直接潤滑剤固定層１８及び潤滑剤流動層１９が積層された構成とされている。
【０１０２】
また、パターンドメディア３０Ｄの製造方法においても、図１６（Ａ）〜（Ｃ）は、図１２（Ａ）〜（Ｃ）と同一の製造工程であるが、本実施例ではナノホール３２内に磁性層１２が形成された後、図１６（Ｄ）に示すように直ちに潤滑剤固定層１８用の潤滑剤材料２０を配設する（第１の配設工程）。その後、上部から加熱処理を行うことにより潤滑剤材料２０を硬化させて潤滑剤固定層１８を形成する。この時、潤滑剤固定層１８の表面１８ａは、平坦面となっている。そして、潤滑剤固定層１８の上部に潤滑剤流動層１９を形成し、これにより図１６（Ｅ）に示すパターンドメディア３０Ｄが製造される。
【０１０３】
本実施例に係るパターンドメディア３０Ｄ及びその製造方法は、前記の第７実施例と同様に保護膜１３が除去された構成であるため、保護膜１３を成膜する工程（成句工程）が不要となり、製造工程の簡単化を図ることができる。更に、保護膜１３が不要となることにより部品点数を削減でき、パターンドメディア３０Ｄの低コスト化を図ることができる。
【０１０４】
上記した第１乃至第４実施例で示したディスクリートトラックメディア１０Ａ〜１０Ｄ、及び第５乃至第８実施例で示したパターンドメディア３０Ａ〜３０Ｄは、図１７に示すような磁気ディスク装置４０（記録再生装置）に適用することができる。その場合、磁気ヘッド４２と各メディア１０Ａ〜１０Ｄ，３０Ａ〜３０Ｄとの摺動性を良好とすることができ、また磁性層１２の損傷も防止できるため、信頼性の高い磁気ディスク装置４０を実現することができる。
【０１０５】
尚、上記した各実施例では潤滑剤材料２０を硬化させるのに熱を用いた例を示したが、赤外線を用いて硬化させる構成としてもよい。
【０１０６】
また、第２，４，６．８実施例では、潤滑剤固定層１８と潤滑剤流動層１９の材料を同一材料としたが、必ずしも同一にする必要はなく、適用される環境や条件に応じて適宜選定することが可能である。
【０１０７】
以上の説明に関し、更に以下の項を開示する。
（付記１）
ディスクリートトラックタイプまたはパターンドタイプの記録媒体において，
表面に凹凸を有する記録層と、
該記録層上に形成されており、前記凹凸に配設されると共に硬化処理が行われた固定層と、前記固定層上に位置しており流動性を有した流動層とが一体的に積層された潤滑剤層とを有することを特徴とする記録媒体。
（付記２）
ディスクリートトラックタイプまたはパターンドタイプの記録媒体において，
表面に凹凸を有する記録層と、
該記録層上に形成されており、前記凹凸に配設されると共に表面が平坦面とされた潤滑剤固定層と、
前記固定層上に積層形成されており流動性を有した潤滑剤流動層とを有することを特徴とする記録媒体。
（付記３）
記録層を隔絶する溝を設けたディスクリートトラックタイプの記録媒体の製造方法において，
前記溝部内にも配設されるよう、流動性のある潤滑剤を配設する配設工程と、
前記潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い、該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層とし、残る表面に近い側を流動層とする硬化工程と
を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
（付記４）
前記配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とする付記３記載の記録媒体の製造方法。
（付記５）
記録層を隔絶する溝を設けたディスクリートトラックタイプの記録媒体の製造方法において，
前記溝部内に配設されると共にその表面が平坦となるよう、流動性のある第１の潤滑剤を配設する第１の配設工程と、
前記第１潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い潤滑剤固定層を形成する硬化工程と、
前記潤滑剤固定層上に、流動性のある第２の潤滑剤を配設し潤滑剤流動層を形成する第２の配設工程と
を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
（付記６）
前記第１の配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とする付記５記載の記録媒体の製造方法。
（付記７）
非磁性層にナノホールを設けると共に該ナノホールに磁性層を配設した記録層を有するパターンドタイプの記録媒体の製造方法において、
前記ナノホール内にも配設されるよう、流動性のある潤滑剤を配設する配設工程と、
前記潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い、該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層とし、残る表面に近い側を流動層とする硬化工程と
を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
（付記８）
前記配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とする付記７記載の記録媒体の製造方法。
（付記９）
非磁性層にナノホールを設けると共に該ナノホールに磁性層を配設した記録層を有するパターンドタイプの記録媒体の製造方法において、
前記ナノホール内に配設されると共にその表面が平坦となるよう、流動性のある第１の潤滑剤を配設する第１の配設工程と、
前記第１潤滑剤に熱または赤外線照射により硬化処理を行い潤滑剤固定層を形成する硬化工程と、
前記潤滑剤固定層上に、流動性のある第２の潤滑剤を配設し潤滑剤流動層を形成する第２の配設工程と
を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
（付記１０）
前記第１の配設工程を実施する前に、前記記録層の全面に一様に保護膜を成膜する成膜工程を実施することを特徴とする付記７記載の記録媒体の製造方法。
（付記１１）
前記記録層は磁性層であり、該磁性層の下層に軟磁性層が形成されていることを特徴とする付記１または２記載の記録媒体。
（付記１２）
前記該潤滑剤の前記記録層に近い側の一部を硬化させて固定層を形成する際、前記熱または赤外線照射は、背面側から印加或いは照射することを特徴とする付記３，４，７，８のいずれか１項に記載の記録媒体の製造方法。
（付記１３）
請求項１または２記載の記録媒体と、該記録媒体に対して記録再処理を行う手段とを有することを特徴とする記録再生装置。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】図１は、本発明の第１実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図２】図２は、本発明の第１実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図４】図４は、本発明の第２実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図５】図５は、本発明の第３実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図６】図６は、本発明の第３実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図７】図７は、本発明の第４実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図８】図８は、本発明の第４実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図９】図９は、本発明の第５実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第５実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図１１】図１１は、本発明の第６実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の第６実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図１３】図１３は、本発明の第７実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の第７実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図１５】図１５は、本発明の第８実施例である記録媒体の部分断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第８実施例である記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図１７】図１７は、本発明に係る記録媒体を搭載した磁気ディスク装置を示す平面図である。
【図１８】図１８は、第１従来例である記録媒体の部分断面図である。
【図１９】図１９は、第２従来例である記録媒体の部分断面図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１０Ａ〜１０Ｄ  ディスクリートトラックメディア
１１  軟磁性層
１２  磁性層
１３  保護膜
１４  固定層
１５  流動層
１６  潤滑剤
１７  溝
１８  潤滑剤固定層
１９  潤滑剤流動層
３０Ａ〜３０Ｄ  パターンドメディア
３１  非磁性層
３２  ナノホール
４０  磁気ディスク装置
４２  磁気ヘッド
４３  アーム４３
【図１】
2008171506.tif 000003
【図２】
2008171506.tif 000004
【図３】
2008171506.tif 000005
【図４】
2008171506.tif 000006
【図５】
2008171506.tif 000007
【図６】
2008171506.tif 000008
【図７】
2008171506.tif 000009
【図８】
2008171506.tif 000010
【図９】
2008171506.tif 000011
【図１０】
2008171506.tif 000012
【図１１】
2008171506.tif 000013
【図１２】
2008171506.tif 000014
【図１３】
2008171506.tif 000015
【図１４】
2008171506.tif 000016
【図１５】
2008171506.tif 000017
【図１６】
2008171506.tif 000018
【図１７】
2008171506.tif 000019
【図１８】
2008171506.tif 000020
【図１９】
2008171506.tif 000021