(57)【要約】【課題】既存のワイヤボンディング装置に使用できると共に、ワイヤを曲げることなしにスムーズにキャピラリに挿通できる。【解決手段】ワイヤボンディング装置のキャピラリ３１の真上に配設され、ワイヤ３４を案内する案内路１１、２１が形成された案内部１０Ａ、１０Ｂ、２０Ａ、２０Ｂを有し、案内部１０Ａ、１０Ｂ、２０Ａ、２０Ｂの案内路１１、２１にエアを送ってワイヤ３４をキャピラリ３１に導くエア供給手段を備えたワイヤ通し治具である。案内部１０Ａ、１０Ｂ、２０Ａ、２０Ｂの案内路１１、２１は、２分割された一対の分割案内部よりなり、この一対の分割案内部は開閉可能に構成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤボンディング装置のキャピラリの真上に配設され、ワイヤを案内する案内路が形成された案内部を有し、この案内部の案内路にエアを送ってワイヤを前記キャピラリに導くエア供給手段を備えたワイヤ通し治具において、前記案内部の案内路は、２分割された一対の分割案内部よりなり、この一対の分割案内部は開閉可能に構成されていることを特徴とするワイヤ通し治具。
【請求項２】
前記案内部は、支軸を中心として開閉自在に交差して配設された一対の開閉部材に設けられ、この一対の開閉部材は、前記案内部が開放するようにスプリング部材で付勢されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ通し治具。
【請求項３】
前記分割案内部は、上部分割案内部と、この上部分割案内部の下方に設けられ下方部分が円錐状に形成された下部分割案内部とからなることを特徴とする請求項１又は２記載のワイヤ通し治具。
【請求項４】
前記下部分割案内部は、透明部材よりなることを特徴とする請求項３記載のワイヤ通し治具。
【請求項５】
前記下部分割案内部は、弾性部材よりなることを特徴とする請求項３記載のワイヤ通し治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤボンディング装置のキャピラリにワイヤを通すワイヤ通し治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤボンディング装置において、ワイヤがキャピラリより抜けてしまった場合、または送り出されるワイヤが無くなり、新しいワイヤ（スプール）に交換する場合には、キャピラリにワイヤを通す作業を行う。従来、ワイヤ通し作業を、容易に、かつ迅速に行うことができるワイヤ通し治具及び該ワイヤ通し治具を具備したワイヤボンディング装置として、例えば特許文献１及び２が挙げられる。
【特許文献１】特開平６−２５２１９７号公報
【特許文献２】特開平９−４５７２１号公報
【０００３】
特許文献１は、従来のワイヤボンディング装置が有するエアバックテンション機構（第１のエアテンション機構）と組み合わせてワイヤボンディング装置に設置することを前提としている。第１のエアテンション機構はワイヤに対して上向きのエア力を作用させるものであり、この第１のエアテンション機構上に第２のエアテンション機構が設けられている。第２のエアテンション機構は、ワイヤに対して下向きのエア力を作用させることができ、第１のエアテンション機構のエア力は第２のエアテンション機構のエア力より大きくなっている。
【０００４】
特許文献２のワイヤ通し治具（ワイヤ案内治具）は、ワイヤを案内する案内部材を有し、案内部材にはワイヤを案内する案内路の上方にワイヤの導入を促すテーパ面が形成されている。案内路には該案内路に連通する連通路が外周側から案内路の下側に向かって傾斜して形成されており、連通路にはエアが供給される。またワイヤ通し治具の案内部材には、ワイヤの案内位置から退避位置に移動できるように軸方向に沿ってスリットが形成されており、案内部材に挿通されていたワイヤが抜け出るようになっている。このように形成された案内部材は、少なくともワイヤをワイヤクランパとキャピラリの挿通穴内に案内してワイヤの挿通を行うようになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１は、ワイヤボンディング装置の有する第１のエアテンション機構に第２のエアテンション機構を組み合わせて設置した特殊なワイヤボンディング装置となる。即ち、既存のワイヤボンディング装置には設置できない。またキャピラリとワイヤクランパ間に２個の第１及び第２のエアテンション機構を設置する必要があり、キャピラリとワイヤクランパ間が長くなって装置が大型化する。
【０００６】
特許文献２は、案内部材をワイヤの案内位置から退避位置に移動させるために、挿通されていたワイヤが抜けるように軸方向に沿ってスリットが形成されている。なお、特許文献２には、スリットは圧搾空気の噴射と空気の吸引に関してそれ程大きな影響を与えるものではないと記載されている。しかし、前記スリットは案内部材の側面に形成されているので、このスリットから外側へのエアの漏れは避けられなく、ワイヤ挿通方向へのエア力が減殺される。またスリット方向へのエアの流れにより、ワイヤがスリット方向に押されてワイヤ先端が曲がり、キャピラリにワイヤがスムーズに挿通されないことが生じる。
【０００７】
本発明の課題は、既存のワイヤボンディング装置に使用できると共に、ワイヤを曲げることなしにスムーズにキャピラリに挿通できるワイヤ通し治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ワイヤボンディング装置のキャピラリの真上に配設され、ワイヤを案内する案内路が形成された案内部を有し、この案内部の案内路にエアを送ってワイヤを前記キャピラリに導くエア供給手段を備えたワイヤ通し治具において、前記案内部の案内路は、２分割された一対の分割案内部よりなり、この一対の分割案内部は開閉可能に構成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、上記請求項１において、前記案内部は、支軸を中心として開閉自在に交差して配設された一対の開閉部材に設けられ、この一対の開閉部材は、前記案内部が開放するようにスプリング部材で付勢されていることを特徴とする。
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、上記請求項１又は２において、前記分割案内部は、上部分割案内部と、この上部分割案内部の下方に設けられ下方部分が円錐状に形成された下部分割案内部とからなることを特徴とする。
【００１１】
上記課題を解決するための本発明の請求項４は、上記請求項３において、前記下部分割案内部は、透明部材よりなることを特徴とする。
【００１２】
上記課題を解決するための本発明の請求項５は、上記請求項３において、前記下部分割案内部は、弾性部材よりなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１及び２によると、ワイヤを案内する案内路が形成された分割案内部は開閉可能に構成されているので、分割案内部を閉じることによりワイヤを案内する案内路の内周が閉塞して形成され、分割案内部を開くことによりキャピラリに挿通されたワイヤから抜け出すことができる。即ち、ワイヤ挿通時には案内路の内周は閉塞されて外部へのエアの流れがなく、ワイヤを曲げることなしにスムーズにキャピラリに挿通される。またワイヤ通し治具はワイヤボンディング装置に設置したものではなく、既存のワイヤボンディング装置に使用できる。
【００１４】
請求項３によると、分割案内部を上部分割案内部と下部分割案内部とし、下部分割案内部の下方を円錐状に形成するので、下部分割案内部の下端がキャピラリの挿通穴の上部に合わせ易くなる。
【００１５】
請求項４によると、下部分割案内部は透明材となっているので、下部分割案内部からキャピラリへの挿通状態が観察できる利点が生じる。
【００１６】
請求項５によると、下部分割案内部は弾性体なっているので、下部分割案内部をキャピラリの上面に密着させることができると共に、キャピラリの上面を傷付けたりすることが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明のワイヤ通し治具の一実施の形態を図１及び図２により説明する。ワイヤ通し治具１は、交差して配設された一対の開閉部材２Ａ、２Ｂを有し、開閉部材２Ａ、２Ｂは交差部に設けられた図示しない支軸に回転自在に支承されている。開閉部材２Ａ、２Ｂの一端部には分割案内部３Ａ、３Ｂが設けられており、この分割案内部３Ａ、３Ｂと反対側は該分割案内部３Ａ、３Ｂを開閉させるつまみ部４Ａ、４Ｂとなっている。分割案内部３Ａ、３Ｂを開放方向に付勢するように、つまみ部４Ａ、４Ｂの交差部側にはスプリング部材５が配設されている。
【００１８】
分割案内部３Ａ、３Ｂは、上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂと下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂとからなっている。上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂは開閉部材２Ａ、２Ｂと一体に形成されており、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂは上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂの下方に固定されている。
【００１９】
上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂは、開閉部材２Ａ、２Ｂを閉じた状態において、ワイヤを案内する案内路１１が形成され、案内路１１の上方部にはワイヤを導入させるテーパ面１２が形成されている。一方の上部分割案内部１０Ａには、案内路１１に連通するエア連通路１３が外周側からワイヤを案内する下側に向かって傾斜して形成されている。上部分割案内部１０Ａの側面にはエア連通路１３に連通するようにエア通路１４が形成されており、エア通路１４にはパイプ継手１５が接続されている。パイプ継手１５には、図示しないパイプの一端が接続され、パイプの他端はエアコンプレッサに圧力又は流量調整弁である電磁バルブを介して接続されている。
【００２０】
下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂは、下方が円錐状に形成された透明の弾性体よりなり、案内路１１に連通するようにワイヤを案内する案内路２１が形成され、案内路２１の上方部にはワイヤを導入させるテーパ面２２が形成されている。上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂには内側に突出した係合突起１５が形成されており、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂの外周には係合突起１５に弾性係合する係合溝２３が形成されている。
【００２１】
次に使用方法について説明する。ワイヤボンディング装置は、図３に示すように、超音波ホーン３０の端部にキャピラリ３１が固定されており、キャピラリ３１の上方にはクランパ３２が配設されている。クランパ３２はクランパアーム３３に固定されており、図示しないクランパ開閉手段で開閉される。図示しないスプールに巻回されたワイヤ３４は、クランパ３２を通してキャピラリ３１に挿通されている。かかるワイヤボンディング装置において、何らかの理由でワイヤ３４がキャピラリ３１より抜けた場合にワイヤ通し治具１を使用する。
【００２２】
ワイヤ３４がキャピラリ３１より抜けた場合には、つまみ部４Ａ、４Ｂを握りしめて分割案内部３Ａ、３Ｂを閉じた状態で、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂの案内路２１がキャピラリ３１の挿通穴に一致するように、キャピラリ３１とクランパ３２間に配設する。そして、図示しないスイッチをオンにしてパイプにエアを供給し、ワイヤの先端を開状態のクランパ３２より上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂの案内路１１に通す。案内路１１にはエア連通路１３からエアが下側に向けて噴射されているので、このエアの噴射によってワイヤ３４は強制的に下方に送られ、キャピラリ３１の挿通穴に挿通される。ワイヤ３４がキャピラリ３１に挿通されたら、つまみ部４Ａ、４Ｂを緩めると、スプリング部材５の付勢力で分割案内部３Ａ、３Ｂが開く。これにより、ワイヤ通し治具１の分割案内部３Ａ、３Ｂをキャピラリ３１とクランパ３２間より退避させることができる。
【００２３】
このように、ワイヤ３４を案内する案内路１１、２１が形成された分割案内部３Ａ、３Ｂは開閉可能に構成されているので、分割案内部３Ａ、３Ｂを閉じることによりワイヤ３４を案内する案内路１１、２１の内周が閉塞して形成され、分割案内部３Ａ、３Ｂを開くことによりキャピラリ３１に挿通されたワイヤ３４から抜け出すことができる。即ち、ワイヤ挿通時には案内路１１、案内路２１の内周は閉塞されて外部へのエアの流れがなく、ワイヤ３４を曲げることなしにスムーズにキャピラリ３１に挿通される。またワイヤ通し治具１はワイヤボンディング装置に設置したものではなく、既存のワイヤボンディング装置に使用できる。
【００２４】
また分割案内部３Ａ、３Ｂを上部分割案内部１０Ａ、１０Ｂと下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂとし、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂの下方を円錐状に形成することにより、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂの下端がキャピラリ３１の挿通穴の上部に合わせ易くなる。また下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂを透明材とすることにより、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂからキャピラリ３１への挿通状態が観察できる利点が生じる。また下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂを弾性体とすることにより、下部分割案内部２０Ａ、２０Ｂがキャピラリ３１の上面に密着させることができると共に、キャピラリ３１の上面を傷付けたりすることが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のワイヤ通し治具の一実施の形態を示し、（ａ）は分割案内部を開いた状態の斜視図、（ｂ）は分割案内部を閉じた状態の平面図である。
【図２】図１（ａ）のＡ−Ａ線断面拡大図である。
【図３】使用状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１    ワイヤ通し治具
２Ａ、２Ｂ    開閉部材
３Ａ、３Ｂ    分割案内部
４Ａ、４Ｂ    つまみ部
１０Ａ、１０Ｂ    上部分割案内部
１１    案内路
１２    テーパ面
１３    エア連通路
２０Ａ、２０Ｂ    下部分割案内部
２１    案内路
２２    テーパ面
３０    超音波ホーン
３１    キャピラリ
３２    クランパ
３４    ワイヤ
【図１】
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【図２】
2008130973.tif 000004
【図３】
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