(57)【要約】【課題】  生産面積効率が高いクリーンルームを構成するフォトリソグラフィー工程設備を実現する。【解決手段】  フォトリソグラフィー工程設備２０では、フォトリソグラフィー装置１２は、観察窓１５を備えた筐体１４の内部に収容されており、観察窓１５は、少なくとも感光材を感光させる波長の光を遮断するように形成されているため、筐体１４外部で白色光による照明を行っても、観察窓１５が感光材を感光させる波長の光を透過しないので、フォトリソグラフィー装置１２において用いられる感光材の感光を防止することができる。これにより、照明装置として白色光による白色照明１７を使用することができるため、フォトリソグラフィー工程設備２０のための部屋を設ける必要がないので、生産面積効率を高くすることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内に設置され、紫外線により感光する感光材を用いてフォトリソグラフィー工程を行うフォトリソグラフィー装置と、
前記フォトリソグラフィー装置が設置された前記クリーンルーム内の領域の照明を行う照明装置とを備えたフォトリソグラフィー工程設備において、
前記フォトリソグラフィー装置は、前記フォトリソグラフィー装置を観察するための観察窓を備えた筐体の内部に収容されており、
前記観察窓は、少なくとも前記感光材を感光させる波長の光を遮断するように形成されていることを特徴とするフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項２】
前記観察窓は、波長が５００ｎｍ以下の光を遮断するように形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項３】
前記観察窓は、表面に黄色の被膜が形成された透光性材料により形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項４】
前記感光材を感光させる波長の光が遮断された前記筐体の内部を照らすための内部照明装置を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項５】
前記内部照明装置は、黄色光による黄色照明であることを特徴とする請求項４に記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項６】
前記照明装置は、白色光による白色照明と、前記感光材を感光させる波長の光が遮断された第２の照明とを備え、前記白色照明による照明と前記第２の照明による照明とが切替可能に構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項７】
前記白色照明と前記第２の照明とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項６に記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【請求項８】
前記第２の照明は、黄色光による黄色照明であることを特徴とする請求項６または請求項７に記載のフォトリソグラフィー工程設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、フォトリソグラフィー工程を行うフォトリソグラフィー装置と、フォトリソグラフィー装置の設置領域の照明を行う照明装置とを備え、クリーンルーム内に設置されたフォトリソグラフィー工程設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造プロセスにおいて、イオン注入工程、ドライエッチング工程、フォトリソグラフィー工程等の各工程を行う装置は、防塵設備を備えたクリーンルーム内に設置されている。
ここで、フォトリソグラフィー工程において用いられるフォトレジストは紫外線により感光するため、フォトリソグラフィー工程で用いられる塗布現像装置（コーター／ディベロッパー）及び投影露光装置（ステッパー）を備えたフォトリソグラフィー装置は、他工程で用いられる装置から区画された部屋に設けられ、当該部屋には、フォトリソグラフィー装置への紫外線の照射を遮断するための対策が施されている。
例えば、非特許文献１には、図３に示すように、壁１００ｂによりフォトリソグラフィー装置１１２が設置された部屋１３２（いわゆるフォトルーム）とその他の装置１１１が設置された部屋１３１とに区画され、フォトリソグラフィー工程を行う部屋１３２の照明として紫外線が遮断された黄色蛍光灯１２０を用い、他工程を行う部屋１３１の照明として輝度の高い白色照明１１７を用いたクリーンルーム１１０が開示されている。
【非特許文献１】「半導体リソグラフィ技術」、産業図書株式会社、１９８４年、ｐ．１３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述のクリーンルーム１１０では、クリーンルーム１１０内に壁１００ｂにより区画された部屋１３２を設けなければならないので、床面積が増大し、生産面積効率が低くなるという問題があった。また、これにより、清浄度を維持するため高額な空調費が必要になるという問題もあった。
【０００４】
そこで、この発明では、生産面積効率が高いクリーンルームを構成するフォトリソグラフィー工程設備を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、クリーンルーム内に設置され、紫外線により感光する感光材を用いてフォトリソグラフィー工程を行うフォトリソグラフィー装置と、前記フォトリソグラフィー装置が設置された前記クリーンルーム内の領域の照明を行う照明装置とを備えたフォトリソグラフィー工程設備において、前記フォトリソグラフィー装置は、前記フォトリソグラフィー装置を観察するための観察窓を備えた筐体の内部に収容されており、前記観察窓は、少なくとも前記感光材を感光させる波長の光を遮断するように形成されている、という技術的手段を用いる。
【０００６】
請求項１に記載の発明によれば、クリーンルーム内に設置されるフォトリソグラフィー工程設備において、フォトリソグラフィー装置は、フォトリソグラフィー装置を観察するための観察窓を備えた筐体の内部に収容されており、観察窓は、少なくとも感光材を感光させる波長の光を遮断するように形成されているため、筐体外部で白色光による照明を行っても、観察窓が感光材を感光させる波長の光を透過しないので、フォトリソグラフィー装置において用いられる感光材の感光を防止することができる。
これにより、照明装置として白色光による白色照明を使用することができるため、フォトリソグラフィー工程設備のための部屋を設ける必要がないので、生産面積効率を高くすることができる。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記観察窓は、波長が５００ｎｍ以下の光を遮断するように形成されている、という技術的手段を用いる。
【０００８】
請求項２に記載の発明によれば、観察窓は、波長が５００ｎｍ以下の光を遮断するように形成されているため、紫外線領域の光をすべて遮断することができるので、より効果的に感光材の感光を防止することができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、請求項１または請求項２に記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記観察窓は、表面に黄色の被膜が形成された透光性材料により形成されている、という技術的手段を用いる。
【００１０】
請求項３に記載の発明によれば、観察窓は、表面に黄色の被膜が形成された透光性材料により形成されるため、例えば、アクリルに黄色のフィルムを貼り付けることなどにより、容易に作製することができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記感光材を感光させる波長の光が遮断された前記筐体の内部を照らすための内部照明装置を更に備えた、という技術的手段を用いる。
【００１２】
請求項４に記載の発明によれば、感光材を感光させる波長の光が遮断された筐体の内部を照らすための内部照明装置を更に備えているため、筐体内部の照度を確保することができるので、観察窓から筐体内部を観察する場合やメンテナンスを行う場合などに、筐体内部の様子を見やすくすることができる。
【００１３】
請求項５に記載の発明では、請求項４に記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記内部照明装置は、黄色光による黄色照明である、という技術的手段を用いる。
【００１４】
特に、請求項４に記載の発明では、請求項５に記載の発明のように、内部照明装置として、紫外線が発生しない黄色蛍光灯のような黄色光による黄色照明を好適に用いることができる。
【００１５】
請求項６に記載の発明では、請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記照明装置は、白色光による白色照明と、前記感光材を感光させる波長の光が遮断された第２の照明とを備え、前記白色照明による照明と前記第２の照明による照明とが切替可能に構成されている、という技術的手段を用いる。
【００１６】
請求項６に記載の発明によれば、照明装置は、白色光による白色照明と、感光材を感光させる波長の光が遮断された第２の照明とを備え、白色照明による照明と第２の照明による照明とが切替可能に構成されているため、通常のフォトリソグラフィー工程を行う場合には、白色照明による照明を行い、設備のメンテナンスなどのため筐体を開放する場合には、白色照明を消灯し、第２の照明による照明に切り替えることができる。
これにより、筐体内部に紫外線が照射されることを防ぐことができるので、感光材が感光することがない。
【００１７】
請求項７に記載の発明では、請求項６に記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記白色照明と前記第２の照明とが一体的に形成されている、という技術的手段を用いる。
【００１８】
請求項７に記載の発明によれば、白色照明と第２の照明とが一体的に形成されているため、白色光による照明と感光材を感光させる波長の光が遮断された光による照明と１つの照明の切替により行うことができるので、照明装置を設置する領域を少なくすることができる。また、消灯された照明装置をなくすことができるので、十分な照度を確保することができる。
【００１９】
請求項８に記載の発明では、請求項６または請求項７に記載のフォトリソグラフィー工程設備において、前記第２の照明は、黄色光による黄色照明である、という技術的手段を用いる。
【００２０】
特に、請求項６または請求項７に記載のフォトリソグラフィー工程設備において、請求項８に記載の発明のように、第２の照明として、紫外線が発生しない黄色蛍光灯のような黄色光による黄色照明を好適に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［第１実施形態］
この発明に係るフォトリソグラフィー工程設備の第１実施形態について、図を参照して説明する。図１は、第１実施形態に係るフォトリソグラフィー工程設備の説明図である。
【００２２】
図１に示すように、クリーンルーム１０には、塗布現像装置１２ｂ及び投影露光装置１２ａを備えたフォトリソグラフィー装置１２と、例えば、イオン注入装置、ドライエッチング装置、ＣＭＰ装置、成膜装置、酸化・拡散装置などの、その他の装置１１とが設置されている。
【００２３】
塗布現像装置１２ｂでは、ウェハ上への感光材の塗布と所定のパターンが投影露光されたウェハ上の感光材の現像とを行い、投影露光装置１２ａでは、感光材が塗布されたウェハに所定のパターンを投影露光する。投影露光装置１２ａの光源としては、波長４３６ｎｍのｇ線、波長３６５ｎｍのｉ線、波長２５０ｎｍ以下の各種エキシマレーザーなどが用いられる。感光材は、上述のような紫外線領域の光により感光する
塗布現像装置１２ｂには、フォトレジストなどの感光材を貯蔵し、塗布現像装置１２ｂに供給するためのタンク１３が接続されている。ウェハは所定の加工順序に従って、塗布現像装置１２ｂ及び投影露光装置１２ａ間を移動する。
【００２４】
クリーンルーム１０の天井部１０ａには、白色蛍光灯などの白色光による白色照明１７と室内の清浄度を保つためのファンフィルターユニット１８とが設けられている。
フォトリソグラフィー工程設備２０は、フォトリソグラフィー装置１２と、フォトリソグラフィー装置１２を内部に収容する筐体１４と、筐体１４の上方に配置された白色照明１７と、を備えている。
【００２５】
フォトリソグラフィー装置１２は、紫外線を透過しない筐体１４の内部に収容されている。筐体１４の側面には、フォトリソグラフィー装置１２において、ウェハが塗布現像装置１２ｂ及び投影露光装置１２ａ間を移動する様子などを外部から観察するための観察窓１５が形成されている。観察窓１５は、感光材を感光させる波長の紫外線を遮断する材料、例えば、５００ｎｍ以下の波長の光を遮断することができる黄色のフィルムが貼られたアクリルなどの透光性材料により形成されている。観察窓１５は、アクリルなどの透光性材料に黄色の塗料を塗布して形成してもよい。
【００２６】
筐体１４の上方内側には、筐体１４の内部を照らすため黄色照明からなる内部照明装置１６が設けられている。ここで、内部照明装置１６は、感光材を感光させる波長の紫外線が遮断された照明である。内部照明装置１６は、例えば、ガラス管の外面に紫外線遮断用の黄色樹脂性の被膜を設けた蛍光灯であり、５００ｎｍ以下の波長の光を遮断することができる。
内部照明装置１６により筐体１４内部の照度を確保することができるので、観察窓１５から筐体１４内部を観察する場合やメンテナンスを行う場合などに内部照明装置１６を点灯することにより、筐体１４内部の様子を見やすくすることができる。
【００２７】
上述のように、フォトリソグラフィー装置１２が筐体１４に収容されるとともに、観察窓１５が紫外線を透過しないため、感光材が塗布されたウェハが塗布現像装置１２ｂ及び投影露光装置１２ａ間を移動する場合にも、白色照明１７からの紫外線により感光材が感光することがない。また、タンク１３内の感光材やタンク１３から塗布現像装置１２ｂへの感光材の供給経路中の感光材も感光することがない。
また、５００ｎｍ以下の波長の光を遮断することにより、紫外線領域の光をすべて遮断することができるので、より効果的に感光材の感光を防止することができる。
【００２８】
これにより、フォトリソグラフィー工程設備２０に白色照明１７を使用することができるため、他の装置１１とフォトリソグラフィー装置１２とを壁で区画してフォトリソグラフィー工程設備２０のための部屋を設ける必要がないので、生産面積効率を高くすることができる。
更に、輝度の高い白色照明１７を用いることができるので、作業者の疲労を少なくすることができ、作業効率を向上することができる。
【００２９】
［第１実施形態の効果］
（１）本実施形態のフォトリソグラフィー工程設備２０では、フォトリソグラフィー装置１２は、観察窓１５を備えた筐体１４の内部に収容されており、観察窓１５は、少なくとも感光材を感光させる波長の光を遮断するように形成されているため、筐体１４外部で白色光による照明を行っても、観察窓１５が感光材を感光させる波長の光を透過しないので、フォトリソグラフィー装置１２において用いられる感光材の感光を防止することができる。
これにより、照明装置として白色光による白色照明１７を使用することができるため、フォトリソグラフィー工程設備２０のための部屋を設ける必要がないので、生産面積効率を高くすることができる。
【００３０】
（２）観察窓１５は、波長が５００ｎｍ以下の光を遮断するように形成されているため、紫外線領域の光をすべて遮断することができるので、より効果的に感光材の感光を防止することができる。また、観察窓１５は、表面に黄色の被膜が形成された透光性材料により形成されるため、例えば、アクリルに黄色のフィルムを貼り付けることなどにより、容易に作製することができる。
【００３１】
（３）筐体１４の上方内側には、筐体１４の内部を照らすため黄色照明からなる内部照明装置１６が設けられているため、筐体１４内部の照度を確保することができるので、観察窓１５から筐体１４内部を観察する場合やメンテナンスを行う場合などに、筐体１４内部の様子を見やすくすることができる。
［第２実施形態］
この発明に係るフォトリソグラフィー工程設備の第２実施形態について、図を参照して説明する。図２は、第２実施形態に係るフォトリソグラフィー工程設備の説明図である。
なお、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を使用するとともに説明を省略する。
【００３２】
図２に示すように、第２実施形態に係るフォトリソグラフィー工程設備２１では、クリーンルーム１０の天井部１０ａに、白色照明１７に加えて黄色照明１９が設けられている。白色照明１７による照明と黄色照明１９による照明とは、切替可能に構成されており、白色照明１７を点灯する場合には、黄色照明１９を消灯し、黄色照明１９を点灯する場合には、白色照明１７を消灯することができる。図２では、フォトリソグラフィー工程設備２１に、白色照明１７と黄色照明１９とが同数設けられている場合を例示している。
【００３３】
通常のフォトリソグラフィー工程を行う場合には、フォトリソグラフィー工程設備２１において白色照明１７による照明を行う。
また、設備のメンテナンスなどのため筐体１４を開放する場合には、筐体１４内部に紫外線が入ることを防ぐために、白色照明１７を消灯し、白色照明１７による照明を黄色照明１９による照明に切り替える。このとき、筐体１４内部に設けられた内部照明装置１６も点灯することができる。
これにより、筐体１４を開放した場合にも、フォトリソグラフィー装置１２に紫外線が照射されることがないので、タンク１３内の感光材やタンク１３から塗布現像装置１２ｂへの感光材の供給経路中の感光材が感光することがない。
【００３４】
本実施形態では、白色照明１７に加えて黄色照明１９を設けることにより、白色照明１７による照明と黄色照明１９による照明とを切替可能に構成したが、白色照明と黄色照明とが一体的に形成され、白色光と黄色光とを切替可能な、例えば、ＬＥＤや液晶ランプなどの光源を用いることもできる。この構成を用いると、１つの照明で白色光と黄色光とによる照明を行うことができるので、照明装置を設置する領域を少なくすることができる。また、照明を消灯する必要がないので、十分な照度を確保することができる。
【００３５】
［第２実施形態の効果］
（１）本実施形態のフォトリソグラフィー工程設備２１では、白色照明１７と黄色照明１９とが設けられており、白色照明１７による照明と黄色照明１９による照明とが切替可能に構成されているため、通常のフォトリソグラフィー工程を行う場合には、白色照明１７による照明を行い、設備のメンテナンスなどのため筐体１４を開放する場合には、白色照明１７を消灯し、黄色照明１９による照明に切り替えることができる。
これにより、筐体１４内部に紫外線が照射されることを防ぐことができるので、感光材の感光を防止することができる。
【００３６】
（２）照明装置として、白色照明と黄色照明とが一体的に形成され、白色光と黄色光とを切替可能な、例えば、ＬＥＤや液晶ランプなどの光源を用いると、１つの照明で白色光と黄色光とによる照明を行うことができるので、照明装置を設置する領域を少なくすることができる。また、照明を消灯する必要がないので、十分な照度を確保することができる。
【００３７】
［その他の実施形態］
（１）観察窓１５は、感光材を感光させる波長の紫外線を遮断する材料であれば、黄色のフィルムが貼られたアクリル以外の材質で構成することができる。例えば、黄色フィルムに代えてＵＶカットフィルムを貼ってもよいし、観察窓１５をＵＶカットガラスで形成してもよい。
【００３８】
（２）上述した実施形態では、感光材を感光させる波長の光が遮断された照明として、黄色照明を採用したが、輝度が確保できれば赤色照明なども用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１実施形態に係るフォトリソグラフィー工程設備の説明図である。
【図２】第２実施形態に係るフォトリソグラフィー工程設備の説明図である。
【図３】従来のフォトリソグラフィー工程設備を備えたクリーンルームの説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０    クリーンルーム
１２    フォトリソグラフィー装置
１２ａ  塗布現像装置
１２ｂ  投影露光装置
１４    筐体
１５    観察窓
１６    内部照明装置
１７    白色照明
１９    黄色照明
２０    フォトリソグラフィー工程設備
【図１】
2008198888.tif 000003
【図２】
2008198888.tif 000004
【図３】
2008198888.tif 000005