(57)【要約】【課題】ローラによる剥離方式のようなスムーズな接着シートの剥離と、ピールプレートによる剥離方式のような確実な接着シートの剥離とを達成しうるシート貼付装置を提供する。【解決手段】帯状の剥離シートＲＬ上に接着シートＳが仮着された原反Ｒから接着シートＳを剥離してウエハＷ上方に臨むように繰り出し、押圧ローラ３によって貼付するのにあたり、接着シートＳは剥離手段１２で急激に折り返されることにより原反Ｒから剥離されるものとし、また、その剥離の直前で当該原反Ｒは剥離手段１２の支持面１２Ａで支持され、この支持面１２のエッジ部１２Ｂで剥離シートＲＬから接着シートＳに最大の引張力が作用するものとする。【選択図】図２
2008227242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反から前記接着シートを剥離して被着体上方に臨むように繰り出し、押圧手段によって貼付するシート貼付装置であって、
前記シート貼付装置は、
前記原反を支持する支持手段と、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記原反の接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段とを備え、
前記剥離手段は、前記原反に相対する第１の面と、前記接着シートが剥離された剥離シートに相対する第２の面とを有する板状部材からなり、前記第１の面と第２の面とは、前記接着シートが剥離される直前で前記原反を支持する支持面によって連結され、この支持面と前記第２の面とで剥離シートを折り返すエッジ部を形成すること
を特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離手段の支持面は、側面視略円弧状であること
を特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記剥離手段の支持面は、前記押圧手段の方向に向かって傾斜し、
前記接着シートは、前記エッジ部で剥離される前後において前記支持面の傾斜角度を維持するように直線的な姿勢、又は前記エッジ部から前記剥離シートの折り返し方向へ屈折した姿勢で剥離されるように構成されていること
を特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記剥離シートは、前記剥離手段の支持面の前端から一直線の姿勢で剥離されるように構成されていること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記剥離手段は、内部に温度調節手段を有すること
を特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するために保護シート等の接着シートを貼付したり、裏面にダイボンディングシートのような接着シートを貼付したりすることが行われており、このような接着シートを貼付するシート貼付装置については、例えば特許文献１、特許文献２に記載されている。
【０００３】
特許文献１に記載のシート貼付装置では、図４のように、帯状の剥離シート（ＰＳ）上に接着シート（Ｓ）が仮着された原反（Ｌ）を用い、その剥離シート（ＰＳ）をピールプレート（２２）で急激に折り返すことにより、当該原反（Ｌ）から接着シート（Ｓ）を剥離してウエハ（Ｗ）上方に臨むように繰り出し、押圧ローラ（１４）でウエハ（Ｗ）の上面に接着シート（Ｓ）を貼付するようにしている。
【０００４】
前記のような特許文献１に記載のシート貼付装置によると、ピールプレート（２２）を使用した剥離方式であるため、確実に接着シート（Ｓ）を剥離することができる。しかしながら、このピールプレート（２２）による剥離方式では、図４のように、ピールプレート（２２）から離れたＰ１の位置で、剥離シート（ＰＳ）に最大の引張力が作用する。つまり、剥離シート（ＰＳ）がピールプレート（２２）の右下の角Ｃ１によって折り曲げられることなく一直線となったときに、剥離シート（ＰＳ）に最大の引張力が作用する。このため、特に剥離し難い接着シート（Ｓ）の場合は、剥離シート（ＰＳ）が接着シート（Ｓ）に接着したままＰ１の位置まで繰り出され、その瞬間に剥離シート（ＰＳ）に最大の引張力が作用し、剥離シート（ＰＳ）は、ピールプレート（２２）の右上の角Ｃ２の位置まで急激に剥離される。このピッチ送りのような剥離が原因で、スムーズでない断片的な剥離を繰り返し、バリバリといった不快音を立てて剥離される。そのうえ、接着シート（Ｓ）の接着剤側には、図４中Ｐ１、Ｃ２にあたる位置に筋が入ってしまい、接着シート貼付後の見栄えが非常に悪くなるという問題点がある。尚、前記カッコ内の符号は特許文献１で用いられている符号である。
【０００５】
一方、特許文献２に記載のシート貼付装置は、図５のように、ピールプレートを使用せず、ローラ（ガイドローラ４）を用いて原反から接着シート（保護テープＴ１）を剥離する方式であるため、ピールプレートを使用した剥離方式のような前記問題は発生しにくく、剥離直前の原反がそのローラの面で支持されているためスムーズに接着シートを剥離することができる。しかしながら、このようなローラによる剥離方式では、剥離シート（セパレータＳ）に対して急激な折り返しができないため、同図のような剥離不良が発生しやすいという不具合がある。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１９２３９号公報
【０００７】
【特許文献２】特開２００３−１１５４６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ローラによる剥離方式のようなスムーズな接着シートの剥離と、ピールプレートによる剥離方式のような確実な接着シートの剥離とを同時に達成しうるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反から前記接着シートを剥離して被着体上方に臨むように繰り出し、押圧手段によって貼付するシート貼付装置であって、前記シート貼付装置は、前記原反を支持する支持手段と、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段とを備え、前記剥離手段は、前記原反に相対する第１の面と、前記接着シートが剥離された剥離シートに相対する第２の面とを有する板状部材からなり、前記第１の面と第２の面とは、前記接着シートが剥離される直前で前記原反を支持する支持面によって連結され、この支持面と前記第２の面とで剥離シートを折り返すエッジ部を形成するように構成したことを特徴とする。
【００１０】
前記剥離手段の支持面は、側面視円弧状であってよい。
【００１１】
前記剥離手段の支持面は、前記押圧手段の方向に向かって傾斜し、前記接着シートは、前記エッジ部で剥離される前後において前記支持面の傾斜角度を維持するように直線的な姿勢、又は前記エッジ部から前記剥離シートの折り返し方向へ屈折した姿勢で剥離されるように構成してもよい。
【００１２】
前記剥離シートは、前記剥離手段の支持面の前端から一直線の姿勢で剥離されるように構成されるようにしてもよい。
【００１３】
前記剥離手段は、内部に温度調節手段を有する構成を採用することもできる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、前記の通り、剥離手段の構造として、接着シートを剥離する直前で原反を面で支持し、この支持面のエッジ部で接着シートと剥離シートとを剥離するように構成した。このため、剥離直前の原反が面で支持されるため、スムーズに接着シートを剥離することができるとともに、この支持面に連設されたエッジ部で剥離シートを急激に折り返すことができるため、確実に接着シートを剥離することができる。よって、従来のように、音を伴う剥離や、接着シートに筋が入る現象、更に、ローラによる剥離不良を回避することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明を適用したシート貼付装置の正面図、図２は図１の剥離手段の前端部の拡大図である。
【００１７】
本シート貼付装置Ｍは、図１に示したように、被着体としてのウエハＷの表面に例えば保護シート等の接着シートＳを貼付する装置であって、図示しないベース上に設置されたシート繰出ユニット１と、ウエハＷを吸着保持して支持する支持テーブル２と、接着シートＳをウエハＷに貼付する押圧手段としての押圧ローラ３と、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッタ装置４と、切断後の不要な接着シートＳを巻き取る巻取装置５とを備えて構成される。
【００１８】
シート繰出ユニット１は、フレームＦに取り付けられたユニット構成部品として、剥離シートＲＬ上に接着シートＳが仮着された原反Ｒ（図２参照）を支持する支持手段としての支持ローラ１０と、支持ローラ１０から原反Ｒを繰り出す繰出手段としてのドライブローラ１１と、原反Ｒから接着シートＳを剥離する剥離手段１２と、接着シートＳが剥離された剥離シートＲＬを巻き取る回収ローラ１３、ガイドローラ１４Ａ、１４Ｂ、ピンチローラ１５などを備えて構成される。
【００１９】
原反Ｒは、支持ローラ１０からガイドローラ１４Ａ、１４Ｂを介して剥離手段１２方向へ導かれる。
【００２０】
剥離手段１２は、剥離シートＲＬを急激に折り返すことにより原反Ｒから接着シートＳを剥離する手段であって、図２のように、前記原反Ｒに相対する第１の面１２−１と、前記接着シートＳが剥離された剥離シートＲＬに相対する第２の面１２−２とを有する板状部材からなり、前記第１の面１２−１と第２の面１２−２とは、前記接着シートＳが剥離される直前で前記原反Ｒを支持する支持面１２Ａによって連結され、この支持面１２Ａと前記第２の面１２−２とで剥離シートＲＬを折り返すエッジ部１２Ｂを形成している。
【００２１】
前記剥離手段１２の支持面１２Ａは押圧ローラ３方向に向かって下り勾配の傾斜を有しており、接着シートＳは、前記剥離手段１２のエッジ部１２Ｂで剥離される前後において前記支持面１２Ａの傾斜角度θを維持するように直線的な姿勢で剥離されるように構成されている。本実施形態では、前記支持面１２Ａを側面視略円弧状としたが、平面であってもよい。尚、前記「支持面１２Ａの傾斜角度θ」とは、剥離手段１２の第２の面１２−２と支持面１２Ａとの挟角（θ）であり、特に、本実施形態のように支持面１２Ａが側面視略円弧状の場合は、その円弧上に位置するエッジ部１２Ｂに接する接線Ｌと第２の面１２−２との挟角を「支持面１２Ａの傾斜角度θ」とする。
【００２２】
また、本実施形態では、剥離シートＲＬが前記エッジ部１２Ｂからドライブローラ１１方向へ一直線で剥離されるように構成しており、この構成により、剥離シートＲＬは図４で示したような折り曲げなくエッジ部１２Ｂからドライブローラ１１まで一直線の姿勢で剥離されるようになっている。
【００２３】
更に、剥離手段１２は、その内部に温度調節手段としてのヒータ１６を備えることができ、このようなヒータ１６の採用により、当該ヒータ１６によって暖められた剥離手段１２の表面で接着シートＳを加熱し、その接着剤を軟化させるようにしてもよい。
【００２４】
前記ドライブローラ１１は、モータＭ１により回転駆動され、剥離手段１２で剥離された剥離シートＲＬをピンチローラ１５との間に挟んで引っ張ることにより、支持ローラ１０から原反Ｒを繰り出すようになっており、ドライブローラ１１を通過した剥離シートＲＬは、モータＭ２によって駆動される前記回収ローラ１３で巻き取られて回収される。
【００２５】
前記支持テーブル２は、その下面に取り付けられたスライダ２１を介してレール２２上をスライド可能に設置され、かつ、モータＭ３により回転駆動されるネジ軸２３と該ネジ軸２３に係合するナット部材２４とを介して、図中左右方向へ移動できるようになっている。
【００２６】
前記押圧ローラ３は、剥離手段１２によって剥離された接着シートＳを支持テーブル２上のウエハＷ上方に臨むように導く機能と、その支持テーブル２が図中右方向へ移動することにより接着シートＳをウエハＷに押圧して貼付する機能とを備えている。また、ウエハＷ上方に繰り出された接着シートＳは、押圧ローラ３から巻取装置５側のガイドローラ５１へ導かれ、これら２つのローラ３、５１によってウエハＷの上面と略平行になるようにセットされる。
【００２７】
前記カッタ装置４は、支持テーブル２の上方位置で図示しない昇降装置を介して昇降可能に設けられるとともに、回転中心軸４０に取り付けられた回転アーム４１と、回転アーム４１に支持されたカッタ刃４２とを含んで構成されており、この構成のカッタ装置４では、回転中心軸４０周りにカッタ刃４２を回転させることにより、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断できるようになっている。そして、その切断後の不要な接着シートＳはモータＭ４により回転駆動される巻取装置５の回収ローラ５０で巻き取られる。
【００２８】
次に、上記の如く構成された本シート貼付装置の動作について説明する。
【００２９】
本シート貼付装置によると、初めに、図示しない搬送装置が図１のように支持テーブル２の上面にウエハＷを配置し、図示しない吸着手段が当該ウエハＷを吸着保持する。そして、支持テーブル２が図中右方向へ前進し、ウエハＷの先端部Ｗ１が押圧ローラ３の直下に移動したことを図示しないセンサが検知すると、ドライブローラ１１および回収ローラ１３、５０が支持テーブル２の移動速度に同期して回転する。
【００３０】
ドライブローラ１１は、モータＭ１の駆動により剥離シートＲＬを引っ張り、支持ローラ１０から剥離手段１２方向へ原反Ｒを繰り出し、剥離手段１２のエッジ部１２Ｂで剥離シートＲＬが急激に折り返され、当該原反Ｒから接着シートＳが剥離される。
【００３１】
このとき、エッジ部１２Ｂからドライブローラ１１方向へ、折り曲げられることなく一直線上に剥離シートＲＬが引っ張られることにより、エッジ部１２Ｂで接着シートＳに最大の引張力が作用し、剥離開始の直前まで接着シートＳは支持面１２Ａで支持されることから、スムーズに接着シートＳを剥離することができるとともに、この支持面１２Ａに連設されたエッジ部１２Ｂで剥離シートＲＬを急激に折り返すことができるため、確実に接着シートＳを剥離することができる。よって、従来のように音を伴う剥離や、接着シートＳに筋が入る現象、更に、ローラによる剥離不良が起きることを防止することができる。
【００３２】
また、剥離手段１２にヒータ１６を内蔵する構成の場合は、ヒータ１６を動作させ、剥離手段１２の表面で接着シートＳを積極的に加熱し、その接着剤を軟化させることにより前記のような接着シートＳの断片的な剥離現象をより効果的に防止することができる。
【００３３】
前記のように剥離された接着シートＳはウエハＷの上方に繰り出され、図中右方向への支持テーブル２の移動に伴い、押圧ローラ３が接着シートＳをウエハＷの上面に押し付け貼付する。
【００３４】
そして、ウエハＷの後端部Ｗ２が押圧ローラ３の直下を通過すると、当該ウエハＷへの接着シートＳの貼付は完了し、引き続き接着シートＳの繰り出しと支持テーブル２の移動は行われる。そして、ウエハＷが図中二点破線で示すカッタ装置４の直下に移動したことを図示しないセンサが検知すると、支持テーブル２、ドライブローラ１１、回収ローラ１３、５０が停止する。
【００３５】
その後、カッタ装置４が図中二点破線で示すように下降し、カッタ刃４２が回転中心軸４０回りに回転することによりウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断する。この切断が完了すると、支持テーブル２は、図示しない昇降装置によって一旦下降して図中左方向へ後退し、カッタ装置４は上昇して元の位置へ復帰する。その後、ドライブローラ１１、回収ローラ１３、５０の回転が再開し、回収ローラ５０によって切断後の不要な接着シートＳが巻き取られる。
【００３６】
前記実施形態では、図２のように、接着シートＳはエッジ部１２Ｂで剥離する前後において支持面１２Ａの傾斜角度θを維持するように直線的な姿勢で剥離される構成を採用したが、この接着シートＳは、図３のように、エッジ部１２Ｂから剥離シートＲＬの折り返し方向へ所定の角度α範囲内で屈折した姿勢で剥離されるよう構成することもできる。ここで、前記「所定の角度α範囲内」とは、図２の直線的な姿勢の接着シートＳをエッジ部１２Ｂで折り返した剥離シートＲＬの直前まで折り曲げたときの折曲げ角（α）の範囲内である。
【００３７】
以上のように、本発明の実施形態を開示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、前記実施形態では、接着シートとして保護シートを例示したが、これに替えてダイボンディングシート等の感熱接着性の接着シートを貼付することも可能である。また、被着体の面を保護するための感熱接着性の保護シートであってもよい。更に、特開２００２−２８０３２９号に開示された保護膜形成用のシートや、ドライレジストフイルムを対象とすることもできる。
【００３８】
また、被着体としてウエハＷを対象としたが、これに替えて、ガラス、鋼板、樹脂板その他の板状部材や、それ以外の他の形状の部材も対象とすることができ、ウエハはシリコーンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明を適用したシート貼付装置の正面図。
【図２】剥離手段の前端部の拡大図。
【図３】本発明の他の実施形態の説明図。
【図４】（ａ）は従来のピールプレートによる剥離方式の説明図、（ｂ）ピールプレートの前端部の拡大図。
【図５】従来のローラによる剥離方式の説明図。
【符号の説明】
【００４０】
１  シート繰出ユニット
３  押圧ローラ（押圧手段）
１０  支持ローラ（支持手段）
１１  ドライブローラ（繰出手段）
１２  剥離手段
１２−１  第１の面
１２−２  第２の面
１２Ａ  支持面
１２Ｂ  エッジ部
１４Ａ、１４Ｂ  ガイドローラ
１６  ヒータ（温度調節手段）
Ｒ  原反
ＲＬ  剥離シート
Ｓ  接着シート
Ｍ  シート貼付装置
Ｗ  ウエハ（被着体）
【図１】
2008227242.tif 000003
【図２】
2008227242.tif 000004
【図３】
2008227242.tif 000005
【図４】
2008227242.tif 000006
【図５】
2008227242.tif 000007