(57)【要約】【課題】脈動がなく、高圧を発生できる安価なポンプまたは圧縮機を提供すること。【解決手段】  ピストン１の往復動により流体が供給されて加圧される加圧室３（３１、３２、３３）をピストン１の外部に備え、上記加圧室３を連結してなる。加圧室は逆流防止手段（８１、８２、８３）を介して流体が供給され、流体の加圧及び吐出が行われる。第２室３２では、ハウジング２の外部へ流体の吐出と、第１室３１からの流体の供給がなされる。第３室３３では、第２室３２からの流体の供給と、ハウジング２の外部への流体の吐出が行われる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の吸入口と吐出口を有し内部に大径のシリンダを形成したハウジングと、該ハウジング内に嵌合して往復動されるピストンを備え、ピストンはハウジングの端面部材より突出する中径のピストンロッドと、他方の端面部の小シリンダに嵌合する小径軸との中央に大径のピストン部が一体となって形成され、大径のピストン部は前記の大径のシリンダに嵌合し、ハウジング内の前記のピストン部の側室において小径軸側の空間にピストンの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室と、ピストンロッド側のピストン部の側室に吸入圧縮排出手段を成す第２室と、ハウジング内の小径軸の先端の空間に吸入圧縮排出手段を成す第３室とを備え、吸入口から第１室への第１流路と、第１室から第２室への第２流路と、第２室から第３室への第３流路と、第３室から吐出口への第４流路とを備え、前記の第１流路，第２流路と第３流路とに逆流防止手段を具備することを特徴とする高圧発生装置。
【請求項２】
流体の吸入口と吐出口を有し内部に大径のシリンダを形成したハウジングと、該ハウジング内に嵌合して往復動されるピストンを備え、ピストンはハウジングの端面部材より突出するピストンロッドと、他方の端面部の小シリンダに嵌合する中径軸との中央に大径のピストン部が一体となって形成され、大径のピストン部は前記の大径のシリンダに嵌合し、ハウジング内の前記のピストン部の側室においてピストンロッド側の空間にピストンの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室と、前記のピストンロッドより外径の大きい中径軸側のピストン部の側室に吸入圧縮排出手段を成す第２室を備え、又は  中径軸の先端の空間に第２室とを備え、前記のピストンロッドの延長部を往復動させる駆動装置に対してピストンロッドと反対側にピストンロッドと連動して往復動される小径のプランジャを備え、小径のプランジャの先端の空間に吸入圧縮排出手段を成す第３室を備え、吸入口から第１室への第１流路と、第１室から第２室への第２流路と、第２室から第３室への第３流路と、第３室から吐出口への第４流路を備え、前記の第１流路，第２流路と第３流路とに逆流防止手段を具備することを特徴とする高圧発生装置。
【請求項３】
流体の吸入口と吐出口を有し内部に中径のシリンダを形成したハウジングと、該ハウジング内に嵌合して往復動されるピストンを備え、ピストンはハウジングの端面部材より突出するピストンロッドと前記の中径のシリンダに嵌合する中径のピストン部とが一体で形成され、ピストンロッドの延長部を往復動させる駆動装置に対してピストンロッドと反対側に、ピストンロッドと連動して往復動される前記のピストン部の外径より大きい外径のプランジャを備え、該プランジャの先端のハウジング内の空間に吸入圧縮排出手段を成す第１室を備え、中径のピストン部の先端のハウジング内の空間に吸入圧縮排出手段を成す第２室を備え、ピストン部の側室においてピストンロッド側の空間に吸入圧縮排出手段を成す第３室を備え、吸入口から第１室への第１流路と、第１室から第２室への第２流路と、第２室から第３室への第３流路と、第３室から吐出口への第４流路を備え、前記の第１流路、第２流路と第３流路とに逆流防止手段を具備することを特徴とする高圧発生装置。
【請求項４】
吸入圧縮吐出手段のピストン又はピストンとプランジャとの一方向の移動によりハウジングの外部へ吐出される流体の圧力と、他方向の移動によりハウジングの外部へ吐出される流体の圧力の差を３０％以内にすることを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３に記載の高圧発生装置。
【請求項５】
吸入圧縮排出手段を成す第１室又は第２室に連通する補助室を備え、該補助室の容積を増減する手段を具備することを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３又は請求項４に記載の高圧発生装置。
【請求項６】
吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャを往復動させるアクチュエータは、制御用ピストンが往復動するように作動流体の通路を自動的に切換える手段を具備することを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３又は請求項４又は請求項５に記載の高圧発生装置。
【請求項７】
吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャを往復動させるアクチュエータの制御用ピストンの側室に交互に作動流体が自動的に流入するように、圧力源から作動流体が導かれ制御用ピストンの作動方向を制御する方向制御弁と、制御用ピストンがハウジングの一端近傍に到達すると、作動する制御用ピストンで押されるとともに作動流体の流路を切換えて、上記の方向制御弁を他端方向へ切換える第１のパイロットバルブと、制御用ピストンがハウジングの他端近傍に到達すると、作動するピストンで押されるとともに作動流体の流路を切換えて上記の方向制御弁を一端方向へ切換える第２のパイロットバルブを具備することを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３又は請求項４又は請求項５に記載の高圧発生装置。
【請求項８】
流体の吸入口と吐出口を有し内部に大径のシリンダを形成したハウジングと、該ハウジング内に嵌合して往復動されるピストンを備え、ピストンはハウジングの端面部材より突出するピストンロッドと他方の端面部の小シリンダに嵌合する中径軸との中央に大径のピストン部が一体となって形成され、大径のピストン部は  前記の大径のシリンダに嵌合し、ピストン部の側室においてピストンロッド側の空間にピストンの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室と中径軸の先端の空間に第２室を備え、又はピストン部の両側室の一方を第１室とし他方を第２室とし、第１室の圧縮容積を第２室の膨張容積より大きくし、吸入口から第１室への第１流路と、第１室から第２室への第２流路と、第２室から吐出口への第３流路を備え、前記の第１流路と第２流路と第３流路に逆流防止手段を具備することを特徴とする装置。
【請求項９】
内径加工する部品は  他端面に必要精度を有する基準となる面を設けて、該面を加工機械の取付治具の面に密着固定して加工を行い、ピストンやプランジャのような外径加工をする部品は部品の両端にセンター穴  又は円錐状の雄形状を設けるように加工を行い、ピストン又はプランジャのシリンダに嵌合する外径部の端部から１〜２０ｍｍの長さの間を該外径より０．０１〜０．５ｍｍ小さくなるように外径の加工を行うことを特徴とする請求項１〜７の高圧発生装置の主要部品の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は  高圧の液体を連続吐出する高圧ポンプ装置及び、高圧の気体を連続供給する圧縮機のように高圧の流体を発生する高圧発生装置に関わる技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】  従来、流体を高圧で吐出するためには、プランジャポンプ（ピストンポンプとも呼ばれる）が使用される。このプランジャポンプは吸入圧縮排出手段を成すピストンが外部からの動力源によりシリンダ内を往復動されて、外部より流体を吸入し、圧縮した高圧流体を吐出する構造である。【０００３】  該ピストンを往復動する駆動装置は電気，エンジン又は圧力流体を利用した装置であり、動力軸の回転を往復運動に変換して利用したり、圧力流体を流体圧シリンダに供給して  内部の制御用ピストンを往復動させ、該ピストンと一体のピストンロッドと吸入圧縮排出手段を成すピストンを接続して往復動させる様々な態様がある。【０００４】  流体を一定の圧力にするには  ピストンにより流体を圧縮する必要がある。したがって、ピストンは流体を一定の圧力にするために圧縮行程を経た後に、圧縮した高圧の流体を吐出している。吐出圧力の脈動を少なくするために複数のピストンを備えたり、アキュムレータを併用したり、空気の場合には補助タンクを設けて使用されている。【０００５】
【非特許文献１】日本機械学会流体工学部門講演会講演論文集（１９９８．８．２７，２８長野市）往復動型無脈動ポンプの脈動異常の解析  小西義昭，小倉哲彦
【特許文献１】特公昭６２−２１９９４号公報
【特許文献２】特公第３６５００３１号公報
【特許文献３】ＵＳ特許ＵＳ７１６５９５１Ｂ２号公報
【特許文献４】ＵＳ特許ＵＳ６５８１６２４Ｂ１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  従来のプランジャポンプにおいては  吐出圧力に変動のない  いわゆる無脈動のものが理想的であり、ピストンの数を多くするほど吐出圧力の脈動は少なくなり、またアキュムレータや補助タンクを備えて圧力の変動を少なくしているが、大型化し構造が複雑になり、コストが増大する課題があった。【０００７】  流体を加圧する場合、大気圧の状態から圧縮すると必要な圧力に達するまでに無駄な時間を要し、液体を超高圧にするには液体に混入している空気も圧縮するために圧力の立ち上がりに長い時間を要するという課題があった。【０００８】  図１５に示されている前出願特許（ＵＳ７１６５９５１Ｂ２号公報）の発明は本願発明とは一見類似しているが、ピストンの内部に３つの加圧室を備えているために構造が複雑で、生産する場合  要求される精度内に部品を加工するのはきわめて難しいという課題があった。
ハウジング内にピストンが同一軸上で往復動するためには、構成部品は高精度な同芯度と直角度を要求される。構成部品が多いほど誤差は集積されて拡大する。また、機械加工の際に加工物をチャッキングし直して加工すると、初めの加工箇所との同芯度と直角度に大きな誤差を生じる。【０００９】  そして、高圧発生装置が小型の場合には  逆流防止手段はピストンの内部に設けることが不可能になり、態様が整わないという課題がある。【００１０】  本発明はこれらの問題を解決しようとするものであり、３つの加圧室をピストンの外側に設けることにより、高精度な同芯度と直角度を有した部品による構成品とし、小型で簡易な構造の低価格の高圧発生装置を得ることを目的とする。
なお、駆動装置による作動の初動段階より圧縮した高圧流体を連続して吐出する高圧発生装置を得ることを目的とする。【００１１】  本発明は前記の目的を達成するためになされたものであり、ハウジングの内部で嵌合して往復動するピストン又はピストンとプランジャの外側に３つの加圧室を備え、吸入圧縮排出手段を成す前記の３つの加圧室を連通し、ピストン又はピストンとプランジャを往復動することにより流体を吸入し、圧縮した高圧の流体を連続して吐出する効果を発揮することで解決する。【００１２】  機械のチャックやテーブル面そのものを利用する従来の加工方法では  本発明の請求項１〜７の高圧発生装置の主要部品に必要な精度を確保することが極めて困難であった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】  請求項１の解決の手段による作用は次の通りである。【００１４】  吸入圧縮排出手段のピストンの一方向の作動によりハウジングの吸入口を通して流体が第１室に吸入され、他方向の作動により圧縮される第１室から膨張する第２室へ吐出される。第１室の圧縮容積を第２室の膨張容積よりも大きいために第２室へは圧縮した流体が流入する。一方向の作動により第２室から膨張する第３室へ圧縮した流体を吐出し、残りの圧縮した流体をハウジングの吐出口から吐出する。また、他方向の作動により第３室からハウジングの吐出口を通して圧縮した高圧流体を吐出する。
つまり、ピストンがどちらに作動されても作動当初より圧縮した高圧の流体を吐出する効果を発揮する。【００１５】  ここで圧縮容積とはピストンの移動により加圧室が圧縮される容積を意味し、膨張容積とは加圧室が膨張する容積を意味する。【００１６】  この手段による作用は  圧力流体，電気あるいはエンジンなどを利用した一般的な動力手段による駆動装置により吸入圧縮排出手段のピストンを往復動させ、ハウジングの吸入口を通して流体を外部から吸入し、圧縮した高圧流体をハウジングの吐出口から連続して吐出する効果を発揮する。【００１７】  図１７に示す高圧発生装置６１０の例は駆動装置の回転する動力軸に偏芯したカム又は軸受を一体化して構成し、該カム又は軸受を凹状の動力伝達手段によって挟み、吸入圧縮排出手段のピストンと連結した前記の動力伝達手段を往復動させる構成となっている。【００１８】  図１８に示す高圧発生装置６４０の例は駆動装置の回転する動力軸にクランク機構を用いてピストンを往復動させる構成となっている。【００１９】  また、図にはないが  吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャと連結したボールネジを備え、該ボールネジに螺合するナットを電気モータ又はエンジンの回転する動力軸よりベルト又は歯車を介して回転することにより吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャを往復動させ無脈動ポンプとして提供できる。【００２０】  請求項２の解決の手段による作用は次の通りである。【００２１】  ピストンの一方向の作動によりハウジングの吸入口を通して流体が第１室に吸入され、他方向の作動により第１室から膨張する第２室へ吐出される。第１室の圧縮容積が第２室の膨張容積よりも大きいために第２室へは圧縮した流体が流入する。一方向の作動により第２室から膨張する第３室へ圧縮した流体を吐出し、残りの圧縮した流体をハウジングの吐出口から吐出する。また、他方向の作動により第３室からハウジングの吐出口を通して圧縮した流体を吐出する。
つまり、ピストンがどちらに作動されても作動当初より圧縮した流体を吐出する効果を発揮する。【００２２】  圧力流体，電気あるいはエンジンなどを利用した一般的な動力手段による駆動装置により吸入圧縮排出手段のピストンとプランジャを往復動させ、ハウジングの吸入口を通して流体を外部から吸入し、圧縮した高圧流体をハウジングの吐出口から連続して吐出する効果を発揮する。【００２３】  図１９に示す高圧発生装置６２０の例は駆動装置の回転する動力軸に偏芯したカム又は軸受を一体化して構成し、該カム又は軸受を凹状の動力伝達手段によって挟み、吸入圧縮排出手段のピストンと連結した前記の動力伝達手段を往復動させる構成となっている。【００２４】  請求項３の解決手段による作用は次の通りである。【００２５】  この手段では  駆動装置を間にして中径のピストン部とピストンロッドを一体化したピストンと、反対側に大径のプランジャを設けている。大径のプランジャの先端にプランジャの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室を設け、ピストンの中径のピストン部の奥の側室に吸入圧縮排出手段を成す第２室と、ピストンロッド側のピストン部の側室に第３室とを設けている。【００２６】  ピストンの一方向への作動によりハウジングの吸入口を通して流体が第１室に吸入され、他方向への作動により圧縮する第１室から膨張する第２室へ吐出される。第１室の圧縮容積が第２室の膨張容積よりも大きいために第２室へ圧縮した流体が流入する。一方向への作動により第２室から膨張する第３室へ圧縮した流体を吐出し、残りの圧縮した流体をハウジングの吐出口から吐出する。また、他方向への作動により第３室からハウジングの吐出口を通して圧縮した流体を吐出する。
つまり、ピストンがどちらに作動しても作動当初より圧縮した流体を吐出する効果を発揮する。【００２７】  圧力流体，電気あるいはエンジンなどを利用した一般的な動力手段による駆動装置により吸入圧縮排出手段のピストンとプランジャを往復動させ、ハウジングの吸入口を通して流体を外部から吸入し、圧縮した高圧流体をハウジングの吐出口から連続して吐出する効果を発揮する。【００２８】  図２０に示す高圧発生装置６３０の例は  駆動装置の回転する動力軸に偏芯したカム又は軸受を一体化して構成し、該カム又は軸受を凹状の動力伝達手段によって挟み、吸入圧縮排出手段のピストンと連結した前記の動力伝達手段を往復動させる構成となっている。【００２９】  請求項４の解決手段による作用は次の通りである。【００３０】  この手段は駆動装置の推力に対応して、第１室，第２室と第３室に流体の作用する受圧面面積に応じた圧力が発生することを利用するものである。【００３１】  駆動装置の推力に均衡する力は、加圧室の流体の作用する受圧面面積と発生圧力との積で表される。【００３２】  駆動装置の推力による一方向（左方向）への作動の場合  第２室が圧縮され、圧縮した流体が膨張する第３室へ吐出され、同時に残余の圧縮した流体を吐出口から吐出する。駆動装置の推力に均衡するために、第２室において流体の作用する受圧面面積と反対方向に作用する第３室の流体の作用する受圧面面積とに応じた圧力が発生する。該圧力の流体が吐出口より外部へ吐出される。
また、駆動装置の推力による他方向（右方向）への作動の場合  第３室が圧縮され、圧縮した流体が吐出される。駆動装置の推力に均衡するために、第３室における流体の作用する受圧面面積に応じた圧力が発生する。該圧力の流体が吐出口より外部へ吐出される。さらに、第１室と第２室の受圧面面積の面積差によって圧力が発生する。【００３３】  したがって、一方向（左方向）への作動の際の吐出圧力と他方向（右方向）への作動の際の吐出圧力を等しくするには、駆動装置の推力に対応して第２室の流体の作用する受圧面面積と第３室の流体の作用する受圧面面積とを選定することになる。
他方向（右方向）へ作動する場合  流体の作用する第１室と第２室の受圧面面積の差の値によって作動が進むにつれて第１室の圧力が上昇する。このために第３室からの吐出圧力は作動とともに下がっていく、又は駆動側の推力に余裕がある場合は吐出圧力は変化せずに駆動側の推力が上昇する。【００３４】  吐出口から吐出する圧力は吐出先の負荷により決まる。
最高圧力で吐出する場合、例えば  本発明の高圧発生装置において微少な口径のノズルから噴射するときの吐出口における圧力は  低い吐出圧力の場合は変動はわずかであり、吐出圧力が高いほど変動は大きい。【００３５】  駆動装置により他方向（右方向）へ作動される場合、流体Ｆが作用する第１室の受圧面面積と第２室の受圧面面積の差によって発生する第１室内の圧力により吐出口から外部へ吐出される流体の圧力は作動にともなって変化する。この変化する吐出圧力を３０％以内にするには流体の圧縮率に基づいて第１室と第２室の流体の作用する受圧面面積の差を選定することによる。【００３６】  請求項５の解決手段による作用は次の通りである。【００３７】  この手段ではハウジング内に第１室又は第２室に連通する補助室を設け、該補助室の容積を増減する手段を備えることにより流体の圧縮率を増減して発生圧力を正確に制御する効果を発揮する。【００３８】  ピストン又はピストンとプランジャの作動による第１室の圧縮容積と第２室の膨張容積によって流体の圧縮率は定まる。構成部品は加工誤差が生じ、このために発生圧力はバラツキを生じる。
補助室の容積を増加させると圧縮率が小さくなり発生圧力は低くなる。容積を減少させると圧縮率が大きくなり発生圧力は高くなる。【００３９】  請求項６の解決手段による作用は次の通りである。【００４０】  吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャと接続して連動するアクチュエータの制御用ピストンを往復動させる手段として、該制御用ピストンの両側室に作動流体を交互に流入させる方向制御弁は電磁切換弁を使用する。ピストン（摺動体）に一体化した磁性体又は突起物より電気信号を捉えて、前記の電磁切換弁を切換え作動流体の流路を切換える。【００４１】  圧力源からの作動流体を方向制御弁を介して、制御用ピストンの側室に流入作用させ、制御用ピストンの他方の側室の流体は方向制御弁を介してタンクに連通させることにより制御用ピストンは作動する。
制御用ピストンが行程の一端近傍に到達すると電気信号により方向制御弁は切換わり制御用ピストンは逆方向へ作動する。【００４２】  該手段により吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャを往復動させて吸入口を通して流体を外部より吸入し、圧縮した高圧流体を連続して吐出口から吐出する効果を発揮する。【００４３】  請求項７の解決手段による作用は次の通りである。【００４４】  この手段では特公第３６５００３１号公報・圧力流体自動切換装置において、往復動する制御用ピストンと一体のピストンロッドを該装置より突出させて本発明の吸入圧縮排出手段のピストン，又はピストンとプランジャに接続している。【００４５】  作動流体を供給すると  作動流体により往復動する制御用ピストンと一体のピストンロッドと接続して連動する吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャが自動的に往復動されて吸入口より流体を吸入し、圧縮した高圧流体を連続して吐出する効果を発揮する。【００４６】  請求項８の解決手段による作用は次の通りである。【００４７】  この手段では、吸入口と吐出口を有し内部にシリンダと該シリンダの奥に小シリンダを有するハウジングと、ハウジング内に嵌合して往復動するピストンとで形成されている。該ピストンの外側にピストンの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室と第２室を設け、該吸入圧縮排出手段のピストンの一方向の移動によりハウジングの吸入口を通して流体を第１室に吸入し、他方向の移動により圧縮される第１室から膨張する第２室へ圧縮した流体が流入し、一方向の移動により圧縮した高圧流体を第２室から吐出する。【００４８】  したがって、ピストンが他方向へ作動する際は  作動に伴い流体は圧縮されて第１室から第２室に流入する。そして、ピストンの一方向への作動の際は吸入口から流体を第１室へ吸入すると同時に第２室から吐出口を通して、圧縮した高圧流体を初動段階から吐出する効果を発揮する。【００４９】  ピストンはピストンロッドと中径軸との中央に大径のピストン部が一体で形成されていて、ピストン部の側室においてピストンロッド側の空間を第１室とし、中径軸の先端のハウジング内の空室を第２室とし、第１室の圧縮容積を第２室の膨張容積より大きくして構成されている。【００５０】  またはピストン部の側室の一方を第１室とし、他方を第２室とする。ピストンロッド側の空間を第１室とし中径軸側の側室を第２室とした場合は、ピストンロッドの外径を中径軸の外径より小さくする。中径軸側の側室を第１室とし、ピストンロッド側の側室を第２室とする場合は、ピストンロッドの外径を中径軸の外径より大きく構成されている。【００５１】  請求項９の高圧発生装置の主要部品の製造における加工方法は次の通りである。【００５２】  高精度を必要とする高圧発生装置の主要部品は、再固定することなく１回の取付固定（ワンチャック）により加工箇所を切削加工して、最終仕上げ加工において  被削物が変形するような負荷を与えずに極微少な均一のとりしろ（加工時の切落とし部分）などを切削加工することにより課題は解決する。【００５３】  請求項１〜７のような構成の高圧発生装置の主要部品の高精度な加工は、１回の取付固定状態にて高精度に加工する。【００５４】  本発明の高圧発生装置の主要部品の外径部を加工する方法として  部品の両側にセンターを突き当てる加工面を設け、次工程において最終仕上げの際に両センターを利用した被削品の保持手段により研削，研磨加工を行うようにする。
また、高圧発生装置の主要部品の内径部を加工する方法として機械側の治具に突き当て固定する基準となる加工面を該主要部品にあらかじめ設ける。該加工面は組み立てする際に必要な精度を確保し寸法測定にも使う。前記基準となる面に密接するための機械側の取付治具の面をあらかじめ必要な精度になる加工により仕上げておく。
該取付治具の面に主要部品の基準面を密着させ、主要部品に歪みを与えないで取付治具に主要部品を固定する。この状態で切削加工又は研削加工を行う。【００５５】  前述の加工方法により  該主要部品は高圧発生装置に必要な同芯度，直角度，真円度，円筒度を確保するとともに加工後の寸法などの測定も容易となる。【００５６】  前記の加工方法により製造する際に  本発明の高圧発生装置の主要部品の仕様としてピストンとプランジャの端部に端部より長さ２ｍｍの外径部を片肉０．０２５ｍｍすなわち外径で０．０５ｍｍ小さくした案内部を設けることにより該主要部の組立てを短時間で行えるようにする。
【発明の効果】
【００５７】  以上のように  本発明に係る高圧発生装置によれば、吸入圧縮排出手段を成す第１室，第２室と第３室をピストン又はピストンとプランジャの外側に備えることで、構成部品の重要箇所の機械加工は１回のチャッキングで加工することになり、このために構成部品は同一軸上を往復動するために要求される同芯度と直角度を有する加工が容易になる。【００５８】  また、吸入圧縮排出手段のピストン又はピストンとプランジャが作動される初動段階から圧縮した高圧流体を吐出するようになり、アキュムレータや補助タンクを備える必要性もなくなり、構造が簡単になり大幅なコストダウンが実現できる。【００５９】  圧力室をピストンの外側に備える構成のために小型の高圧発生装置においても逆流防止手段を設けることができる。【００６０】  吸入圧縮排出手段の構成部分と駆動装置との距離を隔てて構成することができるので、耐熱性やお互いの流体の純度の維持においても有利であり、様々な態様の高圧発生装置を提供できる。【００６１】  請求項９解決の手段とその作用は次の通りである。【００６２】  高精度を要求される構成品は再固定をすることなく、１回の取付け固定（ワンチャック）状態において  重要箇所の加工を行い、最終仕上げにおいて  被削物に負担を与えないように極微少な均一の加工代を削除する高精度加工を行うことが重要である。【００６３】  ピストン又はプランジャの外側に吸入圧縮排出手段を成す３つの加圧室を設ける構成により  主要部品の重要箇所の加工は１回の取付け固定状態において  高精度な加工ができる。【００６４】  対象となる外径部を加工する場合は  部品の両側にセンターを突き当てる加工面を設け、次工程において最終仕上げの際に両センターを利用した被削品の保持手段により研削，研磨作業をおこなう。
対象となる内径部を加工する場合は  機械側の取付治具に突き当て固定するための基準となる加工面を被削物に設ける。該面は組み立て構成上においても必要な精度を確保できるし、寸法測定の際にも重要な役割を成す。前記の基準面に接する機械側の取付治具の面を高精度な加工で仕上げておく。なぜなら、機械のチャックやテーブルの面そのものを利用するには本発明の要求される精度を満足する加工はできないからである。機械側の取付治具の面をあらかじめ必要とする精度に仕上げておき被削物には機械側の取付治具に押し当てる基準面を設け、前記の取付治具の加工面に被削物の基準面を密着させながら加工しようとする部分に歪みを与えないようにして被削物を取付治具に固定し切削加工又は研削加工を行う。【００６５】  なお、前述の手段によって加工部品は要求される同芯度，直角度，真円度と円筒度を確保することが可能であり、完成品の寸法の測定を容易に行うことができる。【００６６】  ピストンとプランジャの端部に  標準仕様として  端部より長さ２ｍｍの外径部を片肉０．０２５ｍｍ  すなわち、外径で０．０５ｍｍ小さくした案内部を設けることにより組み立て挿入作業の際に部品のかじりや欠損，損傷を生じることなく短時間内に容易に行うことができる。【００６７】  本発明の加工方法によれば  特殊な加工機械を使わずに済み、加工時間も短くなり、高圧発生装置の主要部品の加工コストを大幅に安くできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６８】  以下、本発明に係る高圧発生装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。【００６９】  本発明の請求項１に係る高圧発生装置の実施の形態（１）の例を図１〜８に示すものである。図１と図２は実施の形態の断面図を示し、図３〜８は作動を説明する断面図である。【００７０】  高圧発生装置１１０は、ハウジング２の内部に嵌合して往復動するピストン１の外側に吸入圧縮排出手段を成す３つの加圧室（３１，３２，３３）を連通して備え、流体Ｆを吸入し、圧縮した高圧の流体を連続して吐出する無脈動ポンプとして利用するものである。
ピストン１はアクチュエータ６により駆動される構成となっている。アクチュエータ６は作動流体Ｌを供給することにより往復動する片ロッド型流体圧シリンダによるものである。【００７１】  ハウジング２は、内部に大径のシリンダ８ａとシリンダ８ａの奥の端面部の中央にピストン１の小径軸９と嵌合する小シリンダ９ｂを設け、シリンダ８ａの手前の端面部材の中央にピストン１の中径のピストンロッド７と嵌合する貫通穴７ａを設けている。
ピストン１はハウジング２の端面部材より突出する中径のピストンロッド７と小径軸９との中央に大径のピストン部８を一体となって形成され、ハウジング２内のシリンダ８ａに大径のピストン部８が嵌合して、ピストン１が往復動されるように構成されている。大径のピストン部８の側室において小径軸９側の第１室３１と、ピストンロッド７側に第２室３２と、小径軸９の先端の空間に第３室３３を設けている。
ハウジング２には流体Ｆが供給される吸入口２５７と第１室への第１流路２５４が設けられ、該流路に逆止め弁８１が備えられている。逆止め弁はボール８１２とスプリング８１３で構成されている。ハウジング２には第１室３１から第２室への第２流路３１１が設けられ、該流路に逆止め弁８２が備えられている。又  第２室から第３室への第３流路２７１が設けられ、該流路に逆止め弁８３が備えられている。第３室から流体が外部へ吐出される吐出口２６７への第４流路が設けられている。【００７２】  図１のように、ピストン１の一方向（左方向）への作動で第１室３１の容積は膨張（増大）し、該室内の圧力が流体Ｆの圧力ＰＳよりも低くなると、吸入口２５７より流体Ｆが供給（吸入）され、図２のようにピストン１の他方向（右方向）への作動で第１室３１内の流体Ｆの加圧が行われる。そして、逆止め弁８１を閉じて第１室３１内の流体Ｆの圧力はさらに上がるが、後述するように第２室３２は膨張するので逆止め弁８２は開き、第２室３２への流体Ｆの供給（吐出）が行われる。そして、図１６に記載のように第１室３１の小径軸９の外径Ｄ３を第２室３２のピストンロッド７の外径Ｄ２よりも所定の値だけ小さくしているので、第１室３１と第２室３２は同時に加圧される構成となっている。【００７３】  図１のようにピストン１が一方向（左方向）への作動する際、第２室３２が圧縮し  第３室３３が膨張するので逆止弁８３が開き第２室３２内の他方向（右方向）への作動により圧縮流入していた高圧の流体Ｆが第３室３２へ供給されるのに加え、ハウジング２の吐出口２６７より外部へ圧縮した高圧の流体Ｆを吐出される構成となっている。【００７４】  そして、図２のようにピストン１の他方向（右方向）へ作動する際、第３室３３は圧縮され、吐出口２６７よりハウジングの外部へ圧縮した高圧の流体Ｆが吐出される。【００７５】  したがって、ピストンの一方向（左方向）への作動では外部から吸入口２５７を通して流体を吸入するに加えて、第２室３２から圧縮した高圧の流体Ｆが吐出口２６７より吐出され、ピストンの他方向（右方向）への作動では第３室３３から圧縮した高圧の流体Ｆが吐出され、流体が連続的に吐出されるように構成されている。【００７６】  次に  このように構成された高圧発生装置１１０の動作について説明する。図３〜図５は  ピストン１が他方向（右方向）へ作動する状態から一方向（左方向）へ作動する状態に変化する断面図であり、図３は  ピストン１が他方向（右方向）へ作動している状態を示し、図４は  停止した瞬間の状態を示し、図５は  反転してピストン１が一方向（左方向）へ作動している状態を示している。【００７７】  図３は  ピストン１が他方向（右方向）へ作動しているので、第１室は加圧されて逆止め弁８１は閉じるが、第２室３２は膨張して逆止め弁８２が開放されるので、第１室３１の加圧される容積（圧縮容積）をΔＶ１，第２室の膨張する容積（膨張容積）をΔＶ２とすると、（ΔＶ１＋ΔＶ２）の容積がピストンの他方向（右方向）への作動で容積変化する（加圧される）。
したがって、この容積変化する分に応じて第１室３１の圧力Ｐ１と第２室３２の圧力Ｐ２が高められる。【００７８】  一方、第３室３３はピストン１が他方向（右方向）へ作動することで加圧され、吐出口２６７の外部に設けられている図示しない絞りや圧力負荷などで決まる吐出圧力Ｐｄまで高められた状態の流体が吐出される。ここで、第３室３３からの吐出圧力Ｐｄに等しくなるように  第１室３１の圧縮容積ΔＶ１を第２室の膨張容積より大きくしたので、ピストンが他方向（右方向）へ作動すると第２室の圧力Ｐ２が第３室の圧力Ｐ３に近づいてゆき、ピストンが逆方向に反転する際には  吐出圧力の変化をほとんどなくすことが可能となる。【００７９】  なお、第１室の小径軸の外径Ｄ３と第２室のピストンロッド径Ｄ２との差は、使用する吐出圧力Ｐｄに応じて決められ、大きな吐出圧力ＰｄとするほどＤ２をより大きくすることになる。【００８０】  ここで、加圧（圧縮）される流体が水の場合、２０℃の水の圧縮率βは１．０１３２５×１０５Ｐａ〜５００×１．０１３２５×１０５Ｐａの圧力範囲においてβ＝０．４２８×１０−９ｍ２／Ｎという値である。このように圧縮率βが小さいということは、わずかに圧縮するだけで圧力が急激に増大することを意味している。ただし  実際には流体に空気が混入することが多く、空気の混入率に応じて圧縮率は低下することになる。【００８１】  図３から図４の位置付近までは、圧力源Ｐよりの一定の圧力が第１制御室３６に作用してピストンに推力を加えるので、第３室３３から一定の吐出圧力Ｐｄで吐出が行われる。この場合、第１室の圧縮容積と第２室の膨張容積の差により、両室の圧力が徐々に高まることにより、アクチュエータの推力が消費され、吐出圧力Ｐｄはわずかであるが圧力が下がっていく，または駆動側の推力に余力がある場合は吐出圧力Ｐｄは下がらない。
図４のように  ピストン１が行程端に達する際に方向制御弁を切換えてピストン１を逆方向（左方向）に移動させるようにする。【００８２】  この切換時はピストン１は瞬間停止の状態となる。しかし、第２室３２は吐出圧力Ｐｄにほぼ等しい圧力に高められているので、吐出圧力Ｐｄの低下はほとんどなく、ピストン１が一方向（左方向）へ作動することで第３室３３は膨張するので、第２室３２の加圧により吐出した流体Ｆは  その一部が第３室３３の容積拡大に費やされる。【００８３】  図５は  図４で反転したピストン１が一方向（左方向）へ作動中の状態を示しており、逆止め弁８３が開放されて、第２室３２から圧縮して高圧になった流体Ｆが吐出されている。一方、第２室３２の高圧により逆止め弁８２は閉じられ、第１室３１が膨張状態にあり負圧になっているので逆止め弁８１は開放されて、吸入口２５７から流体Ｆが吸入されている。この状態はピストン１が一方向（左方向）へ作動中の間、継続される。【００８４】  図６〜図８は  ピストン１が一方向（左方向）へ作動している状態から他方向（右方向）へ作動する状態に変化するのを説明する断面図である。【００８５】  図６は  ピストン１が一方向（左方向）へ作動している状態を示し、図７は停止した瞬間の状態を示し、図８は反転してピストン１が他方向（右方向）へ作動している状態を示している。図６は図５の状態のまま、ピストン１が左方に寄った状態であるが、逆止め弁の開き方などは図５の状態が継続されている。【００８６】  図７の位置のように  ピストン１が行程端に作動した際に、方向制御弁６０を切換えてピストン１を逆方向（右方向）へ作動させるようにする。
この切換時はピストン１は瞬間停止する状態々なる。しかし、第３室３３は吐出圧力Ｐｄに等しい圧力に高められているので、吐出圧力Ｐｄの低下はほとんどなく、ピストン１が他方向（右方向）へ作動するとともに第３室３３からの吐出が行われることになる。そして、第２室３２はピストン１が他方向（右方向）へ作動することで膨張するが、逆止め弁８２が開放され、第３室３３からの吐出圧力に等しくなるように第１室３１の圧縮容積を第２室の膨張容積よりも大きくしているので、第２室３２の圧力Ｐ２は第１室３１の圧力Ｐ１と等しく、第３室３３の圧力Ｐ３と等しい圧力に近づいていく。【００８７】  図８は  図３と同じ状態を示しており、図３から図８までで１サイクルが形成される。【００８８】  駆動装置であるアクチュエータの実施の形態の例として、片ロッド型流体圧シリンダの構成を図１と図２に示すものである。【００８９】  アクチュエータとして、１つの制御用ピストン４３を有する片ロッド型流体圧シリンダを用いており、シリンダチューブ４７をヘッドカバー４４と，ピストンロッド４６との嵌合穴を中央に持つロッドカバー４５とで閉塞し、ロッドカバー４５とヘッドカバー４４の一部分がシリンダチューブと嵌合し、嵌合部分にパッキン４８を設けて、作動流体Ｌの外部への漏れを防いでいる。
シリンダチューブ４７内に嵌合して往復動する制御用ピストン４３にパッキン４９を設け、該ピストンと一体のピストンロッド４６の外周面をシールするパッキン５０をロッドカバー４５内に設ける。ロッドカバー４５をハウジング２に接し、ヘッドカバー４４の外側よりボルト４によってハウジング２にネジ込み、固定している。【００９０】  ピストン１は  ハウジング２の端面部材より突出したピストンロッド７の延長部がアクチュエータ６のピストンロッド４６と連結し、アクチュエータの作動と連動する構成である。アクチュエータ６のロッドカバー４５とヘッドカバー４４には  作動流体Ｌの供給及び排出を行う第１制御ポート２２１と第２制御ポート２２２が設けられ、第１制御ポート２２１は第１制御室３５に連通している。また、第２制御ポート２２２は第２制御室３６に連通している。第１制御室３５の圧力Ｐ３５は、制御用ピストン４３の作用面１１２に作用し、第２制御室３６の圧力Ｐ３６は制御用ピストン４３の作用面１２２に作用する構成となっている。【００９１】  圧力源Ｐに接続され作動流体Ｌの作動方向を切換える方向制御弁６０は電気的手段などで流路を切換える弁であり、図１の状態では６０１の流路状態が選択され、作動流体Ｌは流路６１から第１制御ポート２２１に入り、第１制御室３５の作用面１１２に作用する。一方、流路６２は流路６４を通してドレンタンクＤにつながり、第２制御室３６には圧力が作用せず、ピストン１を図１のように一方向（左方向）へ作動させる駆動形態となる。【００９２】  また、図２に示すように方向制御弁６０が６０２の流路状態に切換えられると、作動流体Ｌは流路６２から第２制御ポート２２２に入り、第２制御室３６の作用面１２２に作用する。逆に第１制御室３５の作動流体Ｌはドレンされるので、ピストン１は図２のように他方向（右方向）へ作動される駆動形態となるように構成されている。【００９３】  駆動装置として流体圧シリンダを用いる場合は、作動流体Ｌの流量が一定であると、ピストン又はピストンとプランジャは一定の速度で作動することになる。したがって、吐出する流体Ｆは変動のない一定の流量を得ることになる。【００９４】  圧力を有する作動流体Ｌを発生させる圧力源Ｐと、圧力源から作動流体の流れる方向を切換える方向制御弁６０を介して制御用ピストンの作用面１１２，１２２に交互に作動流体を作用させて制御用ピストンを往復動させる。
作動流体の通路として、圧力源から方向制御弁６０への流路６３と，ヘッドカバーとロッドカバーに設けられた制御用ピストンの側室に連通する制御ポート２２２，２２１への流路６２，６１と方向制御弁６０からドレンタンクＤへの流路６４とを備えている。【００９５】  １つの制御用ピストン４３を有する片ロッド型シリンダは  作動流体を受ける制御用ピストン４３の両作用面１１２，１２２の受圧面面積は異なるので、制御用ピストン４３の外径とピストンロッド４６の外径寸法は  ピストン１の外側の加圧室の流体Ｆが作用する受圧面面積との関係で定められる。（後述の請求項４の実施例の（４）式に基づいて決められている。）【００９６】  図２３は、以上説明した高圧発生装置１１０による吐出圧力Ｐｄの圧力波形を従来のものに比べて理論検討したグラフである。図２３（ａ）は、従来の技術（例えば特公昭６２−２１９９４号公報）による圧力波形Ｐの理論検討結果であり、本発明の高圧発生装置において第１室がない装置に相当するものである。一方、図２３（ｂ）が高圧発生装置１１０による吐出圧力Ｐｄの理論検討結果である。【００９７】  高圧発生装置１１０による吐出圧力Ｐｄは図２３（ｂ）に示すように、運転開始時は圧力ゼロから加圧が１回だけあるものの、その後は常に加圧された流体Ｆを吐出するので、ピストンの作動方向が切換わる瞬間停止状態Ｓを除き、圧力は一定に保持されることになる。したがって、この高圧発生装置１１０では吐出圧力Ｐｄの低下がほとんどないのでアキュムレータを用いる必要がなく、脈動のない高圧ポンプを得られる。【００９８】  本発明の請求項２に係る高圧発生装置２１０ａと２１０ｂの実施の形態（２）と（３）の例を図９〜図１２に示すものである。図９と図１０は  実施の形態の断面図を示し、図１１と図１２は作動を説明する断面図である。【００９９】  高圧発生装置２１０ａと２１０ｂは吸入圧縮排出手段のピストン１と吸入圧縮排出手段のプランジャ１８をアクチュエータ６を中間にして左右に配置し、ハウジング２内のピストン１の外側に吸入圧縮排出手段を成す第１室３１と第２室３２を備え、他方のプランジャ１８の先端の空間に吸入圧縮排出手段を成す第３室３３を備え、３つの加圧室（３１，３２，３３）を連通した構成である。
ピストン１とプランジャ１８はアクチュエータ６により駆動され往復動を行う。
アクチュエータ６は両ロッド型流体圧シリンダによるもので作動流体Ｌを供給することによりピストン１とプランジャ１８を往復動させて流体Ｆを吸入し、圧縮した高圧の流体を連続して吐出する無脈動ポンプとして利用するものである。【０１００】  図９と図１０に示す高圧発生装置２１０ａと２１０ｂは本発明の請求項２に係る高圧発生装置の実施の形態（２）と（３）の例を示すものである。図９と図１０とは第２室３２の設ける位置のみが異なる。【０１０１】  吸入口２５７を有し内部にピストン１が嵌合して往復動するハウジング２と、吐出口２６７を有し内部にプランジャ１８が嵌合して往復動するヘッドカバー４４とをアクチュエータ６のシリンダチューブ４７を間に挟んだ形でボルト４によって締結されている。ハウジング２は内部に大径のシリンダ８ａと該シリンダ８ａの奥の端面部の中央にピストン１の中径軸９ａと嵌合する小シリンダ９ｂを設け、シリンダ８ａの手前の端面部材の中央にピストン１のピストンロッド７と嵌合する貫通穴７ａを設けている。ピストン１はピストンロッド７と中径軸９ａの中間にピストン部８を有した一体構成で、ピストン１のピストンロッド７側のピストン部８の側室に第１室３１を備え、高圧発生装置２１０ａは図９に示すように中径軸９ａ側のピストン部８の側室に第２室３２を備え、又は高圧発生装置２１０ｂは図１０に示すように中径軸９ａの先端の空間に第２室を備えている。
アクチュエータ６を中間にしてピストン１と反対側に小径のプランジャ１８を設け、作動流体Ｌによって作動する該プランジャ１８の先端の空間に第３室３３を備えている。ハウジングの吸入口２５７から第１室３１への第１流路に逆止め弁８１を設け、第１室３１から第２室３２への第２流路に逆止め弁８２を設け、第２室３２から第３室３３への第３流路に逆止め弁８３を設け、第３室３３からハウジングの吐出口２６７への第４流路を設けている。【０１０２】  図９，図１０，図１１（ａ），図１２（ａ）に示す高圧発生装置２１０ａと２１０ｂはピストン１とプランジャ１８がアクチュエータ６によって一方向（左方向）へ作動される状態を示している。【０１０３】  第１室３１はピストンの一方向（左方向）による膨張で真空となり、逆止め弁８１は開き、吸入口２５７より流体Ｆを第１室３１に吸入する。第２室３２は圧縮することで逆止め弁８２は閉止し、第３室３３への流路に設けられた逆止め弁８３は開放する。プランジャ先端の第３室３３は第２室３２が圧縮するのとは逆で、膨張するので、第２室３２からの圧縮した流体の一部が流入し、残りの圧縮した流体は吐出口２６７より外部へ吐出する。【０１０４】  図１１（ｂ）と図１２（ｂ）に示す高圧発生装置２１０ａと２１０ｂは  ピストン１とプランジャ１８がアクチュエータ６によって他方向（右方向）へ作動される状態を示している。【０１０５】  第１室３１はピストン１の他方向（右方向）への作動による圧縮により吸入口２５７からの流路に設けられた逆止め弁８１は閉止する。第２室３２は膨張し、第１室３１の圧縮により吐出された流体Ｆは第２室３２に流入する。
この場合に  第１室３１の圧縮容積は第２室３２の膨張容積より大きいので、両室の流体の圧力が徐々に高まり、第２室３２に圧縮した高圧の流体が流入することになる。プランジャ１８の先端の第３室３３は圧縮され、前述の膨張時に第２室より流入していた圧縮した高圧流体Ｆを吐出する【０１０６】  したがって、一方向（左方向）への作動の際は外部からの吸入口２５７を通して流体Ｆを吸入するに加えて、吐出口２６７より第２室３２の圧縮により圧縮した高圧流体Ｆが吐出され、他方向（右方向）への作動の際は第３室３３の圧縮により圧縮した高圧流体が吐出され、流体Ｆが連続して吐出される構成である。【０１０７】  本発明の請求項３に係る高圧発生装置３１０の実施の形態（４）の例を図１３と図１４に示すものである。図１３は実施の形態を示す断面図で、図１４は作動を示す断面図である。【０１０８】  高圧発生装置３１０は吸入圧縮排出手段のピストン１と吸入圧縮排出手段のプランジャ１８をアクチュエータ６を中間にして左右に配置し、ハウジング２内のピストン１の外側に吸入圧縮排出手段を成す第２室３２と第３室３３を備え、他方のプランジャの先端の空間に吸入圧縮排出手段を成す第１室を備え、前記の３つの加圧室（３１，３２，３３）を連通した構成である。
ピストン１とプランジャ１８はアクチュエータ６により往復動を行う。
アクチュエータ６は２ヶの制御用ピストンを有する両ロッド型流体圧シリンダによるもので  作動流体Ｌを供給して制御用ピストンを往復動させることにより、ピストン１とプランジャ１８を往復動させて流体Ｆを吸入し、圧縮した高圧流体を連続して吐出する無脈動ポンプとして利用するものである。【０１０９】  図１３は  吐出口２６７を有し内部にピストン１が嵌合して往復動するハウジング２と，吸入口２５７を有し内部にプランジャ１８が嵌合して往復動するハウジング２ａとをアクチュエータ６を間に挟んだ形でボルトによって締結されている。【０１１０】  アクチュエータ６によって往復動されるピストン１と大径のプランジャ１８をアクチュエータ６を中間にして左右に配置し、大径のプランジャ１８の先端に吸入圧縮排出手段を成す第１室３１を備え、プランジャ１８と連動して往復動されるピストン１のプランジャ１８より小さい外径のピストン部８の奥の側室に第２室３２を備え、ピストンロッド７側のピストン部８の側室に第３室３３を備えた構成である。ハウジングの吸入口２５７から第１室３１への第１流路に逆止め弁８１を設け、第１室３１から第２室３２への第２流路に逆止め弁８２を設け、第２室３２から第３室３３への第３流路に逆止め弁８３を設け、第３室３３からハウジングの吐出口２６７への第４流路を設けている。【０１１１】  図１４（ａ）に示す高圧発生装置３１０は  ピストン１と大径のプランジャ１８がアクチュエータ６により一方向（左方向）へ作動されている状態を示している。【０１１２】  プランジャ１８の一方向（左方向）への作動により第１室３１は膨張して真空となり、逆止め弁８１は開いて吸入口２５７より流体Ｆを吸入する。他方のピストン１の一方向（左方向）への作動により第２室３２は圧縮し、逆止め弁８２は閉止し、第３室３３への流路に設けられた逆止め弁８３は開放する。第３室３３は膨張するので第２室３２からの圧縮した流体の一部が流入し、残りの圧縮した流体は吐出口２６７より吐出する。【０１１３】  図１４（ｂ）に示す高圧発生装置３１０は  ピストン１と大径のプランジャ１８がアクチュエータ６により他方向（右方向）へ作動される状態を示している。【０１１４】  第１室３１はプランジャ１８の他方向（右方向）への作動により圧縮し、吸入口２５７からの流路に設けられた逆止め弁８１は閉止する。第２室３２は膨張し、第１室３１の圧縮により圧縮した流体Ｆは第２室に流入する。この場合にプランジャ１８の外径はピストン１のピストン部８の外径より大きいので、第１室３１の圧縮容積は第２室３２の膨張容積より大きいために、作動するに従い両室の流体の圧力は徐々に高まり、第２室３２に圧縮した高圧の流体が流入することになる。そして、第３室３３は圧縮され、前述の膨張時に第２室３２より流入していた圧縮した高圧の流体Ｆを吐出する。
したがって、駆動装置であるアクチュエータ６によってピストン１とプランジャ１８が一方向（左方向）への作動の際は、外部から吸入口２５７を通して流体Ｆを吸入するに加えて、吐出口２６７より第２室３２の圧縮により圧縮した高圧の流体Ｆが吐出され、他方向（右方向）への作動の際は第３室３３の圧縮により圧縮した高圧流体が吐出され、流体Ｆは連続して吐出される構成である。【０１１５】  本発明の請求項４に係る高圧発生装置の実施の形態（５）は図１と図２と図１６（図１の部分拡大した断面図）に基づいて説明する。【０１１６】  吸入圧縮排出手段のピストンの一方向（左方向）への作動によりハウジングの外部へ吐出される流体の圧力と、他方向（右方向）への作動によりハウジングの外部へ吐出される流体の圧力の差を３０％以内にするには、駆動装置による一方向（左方向）への推力と他方向（右方向）への推力が働いた場合に  第１室３１，第２室３２と第３室３３に流体Ｆの作用する受圧面面積に応じた圧力が発生することを基本として第１室３１，第２室３２と第３室３３の受圧面面積を決定することにある。【０１１７】  図１６において  シリンダ８ａの内径をＤ１，ピストンロッド７の外径をＤ２，小径軸９の外径をＤ３とすると、第１室３１の受圧面面積Ｂ１と第２室３２の受圧面面積Ｂ２と第３室の受圧面面積Ｂ３は次のように表される。
【数１】
2008223751.tif 000003
【０１１８】  図２に記載の高圧発生装置において、アクチュエータ６によりピストン１が他方向（右方向）へ作動される場合、駆動装置による推力ｆ１はアクチュエータの制御用ピストン４３の制御室３６内の作用面１２２の受圧面面積Ａ１と該受圧面面積Ａ１に作用する作動流体Ｌの圧力３６との積によって表される。該推力に対して第３室３３に流体Ｆの圧力が発生することによる力で釣り合うことになる。該力は第３室の受圧面面積Ｂ３と発生圧力Ｐ３との積である。該発生圧力Ｐ３が吐出圧力Ｐｄとなる。
【数２】
2008223751.tif 000004
実際にピストン１が他方向（右方向）へ作動する場合  第１室３１が圧縮されて逆止め弁８２が開き、膨張する第２室３２に流体Ｆが流入する。第１室３１の圧縮容積を第２室３２の膨張容積より大きくしているために、第１室３１の圧力はアクチュエータ６の行程に伴い徐々に上昇する。このため、アクチュエータの推力をわずかであるが、費やすことになる。
したがって、ピストン１が他方向（右方向）へ作動する場合、吐出口２６７からの吐出圧力Ｐｄはわずかであるが徐々に低くなる。またはアクチュエータ６の制御室３６の圧力Ｐ３６にゆとりがある場合には吐出圧力Ｐｄは変化せずに制御室３６の圧力Ｐ３６が高くなる。
第１室３１の受圧面面積Ｂ１と第２室３２の受圧面面積Ｂ２との差、すなわち  Ｂ１−Ｂ２と発生圧力との積の値がアクチュエータの推力を費やす力である。
【数３】
2008223751.tif 000005
ピストン１が他方向（右方向）へ作動するに従い零から徐々に大きくなっていく。この結果、吐出圧力Ｐｄは低くなっていくのである。【０１１９】  ただし、上述の吐出圧力の変動が生じるのは  吐出先の負荷により発生することであり、例えば最高吐出圧力で吐出する場合には吐出圧力Ｐｄは変動する。【０１２０】  図１に記載の高圧発生装置において、アクチュエータによりピストンが一方向（左方向）へ作動される場合、駆動装置による推力ｆ２はアクチュエータの制御用ピストンの作用面１１２の受圧面面積Ａ２と該受圧面面積に作用する作動流体Ｌの圧力３５との積で表される。この推力に対して第２室３２に流体Ｆの圧力Ｐ２が発生し、該圧力により逆止め弁８３が開放して第２室３２と反対方向に力が働く第３室３３に圧力Ｐ２が作用して釣り合うことになる。該発生推力Ｐ２が吐出圧力Ｐｄとなる。
【数４】
2008223751.tif 000006
2008223751.tif 000007
ここで、アクチュエータの制御室３５と３６に流入する作動流体Ｌの圧力Ｐ３５とＰ３６は等しく、また  流体Ｆの吐出口２６７よりの吐出圧力Ｐｄについて  他方向（右方向）時の吐出圧力Ｐ３と一方向（左方向）時の吐出圧力Ｐ２とが等しいとすると
（１）式と（３）式より
【数５】
2008223751.tif 000008
となる。該（４）式は本発明の高圧発生装置の基本となるものである。【０１２１】  したがって、ピストン１の一方向（左方向）時と他方向（右方向）時の吐出圧力を等しくするにはアクチュエータ６の制御用ピストン４３の作動流体Ｌが作用する受圧面面積に対してピストン１の第２室３１の受圧面面積Ｂ２と第３室３３の受圧面面積Ｂ３を前述の（４）式が成立するように選定することが重要である。
（４）式に記載の値は  高圧発生装置の吐出口２６７より吐出する流体Ｆの圧力Ｐｄに対するアクチュエータへの作動流体Ｌの供給圧力Ｐ３５とＰ３６は  増圧比である。【０１２２】  流体が空気の場合  圧縮率ｎ％はピストンの他方向（右方向）への作動前の第１室と第２室の総容積Ｖ０と他方向（右方向）への作動後の総容積Ｖ１によって定まる。
【数６】
2008223751.tif 000009
Ｂ１−Ｂ２によって流体の圧縮率は定まる。しかし、流体が液体の場合  第１室と第２室の容積に余分の容積が少ないほど圧縮率は高くなり、実際は構造上余分な容積があり、また空気が混入しているため（Ｂ１−Ｂ２）／Ｂ２は小さくしたいが大きく設定することになる。
流体が水の場合  水は圧縮することにより高い圧力になり、７５℃のとき２００ＭＰａに昇圧するには６．７９％，３．９℃のとき４．３９％圧縮して得られる。水の中に混入空気があると更に圧縮することになる。【０１２３】  ピストンの他方向（右方向）時と一方向（左方向）時の推力が等しい場合第２室の受圧面面積Ｂ２は第３室の受面面積Ｂ３の２倍である。
前述の条件の場合  圧縮率に関係するＢ１−Ｂ２に対する第２室の受圧面面積Ｂ２はＢ１−Ｂ２に対する第３室の受圧面面積Ｂ３の２倍になる。そのために総圧縮率を１５％とした場合  第３室の吐出圧力Ｐｄは３０％の影響を受けることになる。【０１２４】  請求項４に明示している圧力差を３０％以内にする理由は上述の内容によるものである。【０１２５】  吐出圧力に対して如何に総圧縮率を小さくするかが構造上において重要なことである。【０１２６】  また、本発明による駆動装置が前述の（４）式に基づく液体圧シリンダの高圧発生装置に作動流体Ｌを供給して、液体圧シリンダを作動させて仕事をする場合、駆動側の推力に余裕があると吐出口２６７から吐出する流体Ｆの吐出圧力は変動しないで高圧発生装置に供給する作動流体Ｌの圧力が上昇することになる。すなわち、高圧発生装置の第１室を圧縮しながら第３室の圧縮により流体Ｆを吐出する際に吐出圧力は変動しないで作動流体Ｌの圧力が上昇することになる。そして、吐出口２６７からの吐出する流体Ｆと作動流体Ｌの流量は変動しない。【０１２７】  図２において  アクチュエータの制御用ピストン４３の側室である第２制御室３６に作動流体Ｌが流量Ｑで流入し、第２制御室の制御用ピストン４３の受圧面面積Ａ１に作用し、制御用ピストン４３を他方向（右方向）へ移動速度υ１で作動させる。この作動により第３室３３は圧縮し、第３室の受圧面面積Ｂ３が作用して、高圧流体Ｆを流量ｑ１で吐出口２６７を通して吐出する。
【数７】
2008223751.tif 000010
【０１２８】  また、図１において  アクチュエータの制御用ピストン４３の側室である第１制御室３５に作動流体Ｌが流量Ｑで流入し、第１制御室の制御用ピストン４３の受圧面面積Ａ２に作用し、制御用ピストン４３を一方向（左方向）へ移動速度υ２で作動させる。この作動により第２室３２は圧縮し、第２室の受圧面面積Ｂ２が作用して高圧流体Ｆの一部を膨張する第３室３３へ吐出し、他の高圧流体Ｆを流量ｑ２で吐出口２６７より吐出する。
【数８】
2008223751.tif 000011
上記の（５）式と（６）式より
【数９】
2008223751.tif 000012
【０１２９】  アクチュエータが他方向（右方向）へ作動する際に  吐出口２６７から吐出される流量ｑ１と，一方向（左方向）へ作動する際に吐出される流量ｑ２を等しいとすると、
（７）式より
【数１０】
2008223751.tif 000013
前述の（４）式と同じ結果を得られる。【０１３０】  したがって、ピストンの他方向（右方向）の際と一方向（左方向）の際の吐出圧力Ｐｄが等しいということは吐出流量も等しいということでもある。【０１３１】  駆動装置による推力が他方向（右方向）と一方向（左方向）の際の推力が等しい場合には（３）式より
【数１１】
2008223751.tif 000014
したがって、第２室３２の流体Ｆが作用する受圧面面積Ｂ２を第３室３３の流体Ｆが作用する受圧面面積Ｂ３の２倍にすれば、吐出口２６７から等しい圧力，等しい流量の高圧流体Ｆを吐出することが可能となる。【０１３２】  したがって、例えば  電気又はエンジンなどを利用した回転する動力を駆動装置とする高圧発生装置の場合には上記の（８）式によることになる。【０１３３】  本発明の請求項５に係る高圧発生装置の実施の形態（６）を図１の部分拡大した断面図である図１６に基づいて説明する。【０１３４】  第２室３２に連通する補助室５２のために、ハウジング２に円筒穴５３を形成し、該円筒穴の口元にネジを施し、円筒穴は流路５２１によって第２室に連通している。
前記の円筒穴５３に嵌合する円筒軸と該円筒軸に連なる延長部に外径ネジを施したアジャストスクリュウ５４を、ハウジング２の円筒穴５３に挿入してネジ込み、ハウジングより突出した雄ネジ部に廻り止め用ナット９３を螺合して固定する。アジャストスクリュウ５４の先端の円筒穴の空間が補助室５２である。アジャストスクリュウの円筒軸の外周部のパッキン装着用溝にパッキング５１を装着して、補助室から外部へ流体が洩れないようにしている。
アジャストスクリュウ５４を回転することにより、螺合に沿って円筒軸が円筒穴５３を前進したり、後進して補助室の内容積を増減することが可能な構成である。【０１３５】  ピストン又はピストンとプランジャの他方向（右方向）への作動により第１室３１が圧縮し、逆止め弁８２が開放し、同時に第２室３２は膨張する。その際に圧縮容積の方が膨張容積よりも大きいので、流体の圧力は上昇する。【０１３６】  圧縮容積から膨張容積を引いた容積に対する第１室と第２室と補助室と導通路の総容積の比によって、第２室に発生する圧力Ｐ２が定まる。【０１３７】  したがって、補助室５２の容積をアジャストスクリュウ５４の回転により増やすと発生圧力Ｐ２は低くなり、容積を減らすと発生圧力Ｐ２は高くなる。液体の場合、発生圧力は混入空気量，又温度によっても左右される。しかし、補助室の容積を増減する手段により室内に生じる最高圧力Ｐ２を正確に設定することが可能となる。【０１３８】  本発明の請求項６に係る高圧発生装置８１０の実施の形態（７）の例を示す断面図である図２１に基づいて説明する。【０１３９】  吸入圧縮排出手段のピストン１を往復動させるアクチュエータ６は両ロッド型流体圧シリンダを用いた構成である。
制御用ピストン４３と一体化したピストンロッド４６はピストン１のピストンロッド７と連結し、制御用ピストン４３と他方に一体化したロッド９０はヘッドカバー４４の中央部の丸穴に嵌合し突出して往復動する構成である。
ロッド９０の突出部には該ロッドの外径より大きいリング９１が固定されている。【０１４０】  圧力源より作動流体Ｌが方向制御弁である電磁切換弁６０ａを介して制御用ピストン４３の第１制御室３５に供給され、他方の第２制御室３６が電磁切換弁６０ａを介してタンクに連通すると、制御用ピストン４３は作動する。該制御用ピストンが行程の終端近傍に到達すると、ロッド９０のリング９１が電気スイッチ９２ｂに作用することにより電磁切換弁６０ａが切換わり流路の切換えにより制御用ピストン４３は反転作動する。続いて行程の終端近傍に到達するとロッド９０のリング９１が電気スイッチ９２ａに作用して電磁切換弁６０ａを切換え、流路の切換えを行う。したがって、制御用ピストン１も往復動することになり吸入口から流体Ｆを吸入し、圧縮した高圧の流体を連続して吐出する。【０１４１】  本発明の請求項７に係る高圧発生装置４１０の実施の形態（８）の例を図２２に示すものである。【０１４２】  図２２に記載の２点鎖線に囲まれた部分は特公第３６５００３１号公報圧力流体自動切換装置によるもので内蔵の制御用ピストン４３にピストンロッドを一体化して該装置より突出し、本発明のピストン１と連結した状態を示している。【０１４３】  この高圧発生装置４１０では  アクチュエータを以上のような自動切換装置としたので、作動流体Ｌを供給ポート７０に供給するだけで実施の形態（１）又は（２）又は（３）又は（４）又は（５）又は（６）に示した効果に加え、電気的な切換手段を使用しないでより信頼性の高いシステムとなる。【０１４４】  本発明は請求項８に係る装置７１０ａと７１０ｂの実施の形態（９）と（１０）の例を図２４と図２５に示すものである。【０１４５】  内部に大径のシリンダ８ａと，奥の端面部に小シリンダ９ｂと，手前の端面部材に貫通穴７ａを有したハウジング２には、吸入口２５７と吐出口２６７が設けてある。該ハウジング２内に嵌合して往復動するピストン１を備えている。該ピストン１はハウジング２の前記の端面部材の貫通穴７ａに嵌合し端面部材より突出するピストンロッド７と前記の端面部の小シリンダ９ｂに嵌合する中径軸９ａとの中央に大径のピストン部８が一体となって形成されている。大径のピストン部８は大径のシリンダ８ａに嵌合して往復動する。ピストン部８の側室において  ピストンロッド７側の空間にピストン１の往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室３１を設ける。装置７１０ａは図２４に示すように中径軸９ａの先端の空間に第２室３２を設け、または装置７１０ｂは図２５に示すように中径軸９ａ側のピストン部８の側室に吸入圧縮排出手段を成す第２室３２を設けている。吸入口２５７から第１室３１への第１流路２５４と，第１室３１から第２室３２への第２流路３１１と，第２室３２から吐出口２６７への第３流路２７１を備え、前記の第１流路２５４に逆流防止手段（逆止め弁）８１を設け、第２流路３１１に逆流防止手段（逆止め弁）８２を設け、第３流路２７１に逆流防止手段８３を設けている。【０１４６】  第１室３１の圧縮容積を第２室３２の膨張容積より大きくする。図２４（ａ）と図２５（ａ）において  該吸入圧縮排出手段のピストン１のピストンロッド７の延長部を一方向（���方向）へ作動させることにより第１室３１に吸入口２５７より流体Ｆを吸入する。
図２４（ｂ）と図２５（ｂ）において  ピストンロッド７の延長部を他方向（右方向）へ作動させることにより第１室３１から第２室３２に圧縮流体を流入し、一方向（左方向）へ作動させることにより第２室３２から圧縮した流体を吐出する。【０１４７】  実施例として  装置の実施の形態（９）と（１０）は  例えば  請求項２の実施例の高圧発生装置に使用される。また、実施の形態（９）と（１０）を複数個使用して相互の吐出口を接続したポンプは  脈動のない連続して吐出するポンプとなる。【０１４８】  以下、請求項９に係る高圧発生装置の生産方法を説明する。【０１４９】  高圧発生装置の主要部分は０．００１５〜０．０１５ｍｍの公差を基準とする同芯度，直角度と真円度において  ０．００８以内の精度の仕上げが必要である。従来の方法では、図面指示の例として  ２カ所の加工面の同芯度は１回の固定（ワンチャック）手段による加工において最大０．０２ｍｍ、再固定（トンボ）加工の際は最大０．０５ｍｍとして指示される例がある。実際の仕上がりは前述の値の半分以下で仕上がり、本発明の高圧発生装置の主要部品の加工には不十分である。【０１５０】  本発明の加工方法は次のように実施する。
旋盤，ミーリング，マシニング，研削による加工は被削物を１回の取り付け（ワンチャック）状態にて行う。旋盤加工の際は回転する被削物とバイトの間で反発力を生じたり、引き合う力が生じたりすることのない中間の状態にバイトをセットし、また刃物（バイト）の形状選定においても前述のように中間の状態を保持する刃先形状にして加工を行う。切削中に被削物の固定部分に余分な負荷を与えたり、振動の発生，熱発生，構成刃先の発生を極力抑えるようにする。また研削加工の際は被削物の表面に残留応力を残さないために下向き研削加工にて  研削速度が速いと引張応力，遅いと圧縮応力を残すので中間の速度の設定と切込み量を定めて、残留応力を残しにくいポラゾン砥石を使用して仕上げ加工を行う。【０１５１】  前記の取付治具にあらかじめ加工した基準面に被削物に設けた基準面を密着させながら被削物の加工部に歪みを与えないようにして被削物を取付治具に固定する。この状態において被削物の切削加工を行い又研削加工を行う。
両端にセンター受けを設けた主要部品の最終研削加工は被削物を両端よりセンターにて挟んだ状態で回転を与え、側面より下向き研削加工にて仕上げ加工を行う。【０１５２】  必要な加工精度を確保する上記の加工方法により加工した主要部品は加工完了後の精度検査も容易にする。【０１５３】  組立作業の際に構成部品に損傷を与えることなく短時間内に容易に組み立てられることが必要であり、ピストンとプランジャの端部に案内部を設けて極微少すきまの嵌合作業を容易にする。この案内部を設ける加工方法は限界ゲージである円筒形プラグゲージにも使用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１５４】
【図１】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）の例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）を示す断面図で、作動状態の異なるものである。
【図３】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図４】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図５】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図６】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図７】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図８】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図９】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（２）の例を示す断面図である。
【図１０】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（３）の例を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（２）において、作動を示す断面図である。（ａ）と（ｂ）は作動が異なるものである。
【図１２】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（３）の例を示す断面図である。（ａ）と（ｂ）は作動が異なるものである。
【図１３】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（４）の例を示す断面図である。
【図１４】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（４）において作動を示す断面図である。（ａ）と（ｂ）は作動が異なるものである。
【図１５】前出願特許（ＵＳ７１６５９５１Ｂ２号公報）の高圧発生装置の実施の形態を示す断面図である。
【図１６】図１の中心部の拡大図において、実施の形態（５）及び実施の形態（６）を示す断面図である。
【図１７】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【図１８】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【図１９】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【図２０】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【図２１】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（７）の例を示す断面図である。
【図２２】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（８）の例を示す断面図である。
【図２３】本発明と従来の高圧発生装置による吐出圧力の理論検討結果を示すグラフである。
【図２４】本発明に係る装置の実施の形態（９）の例を示す断面図である。
【図２５】本発明に係る装置の実施の形態（１０）の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１５５】１      ピストン
２      ハウジング
３      加圧室
６      アクチュエータ
７      ピストンロッド
７ａ    貫通穴
８      ピストン部
８ａ    シリンダ
９      小径軸
９ａ    中径軸
９ｂ    小シリンダ
１７    延長部
１８    プランジャ
３１    第１室
３２    第２室
３３    第３室
３５    第１制御室
３６    第２制御室
４３    制御用ピストン
４４    ヘッドカバー
４５    ロッドカバー
４６    ピストンロッド
４７    シリンダチューブ
４８，４９，５０，５１  パッキン
５２    補助室
５４    アジャストスクリュウ
６０    方向制御弁
６０ａ  電磁切換弁
８１，８２，８３  逆流防止手段（逆止め弁）
９０    ロッド
９１    リング
９２ａ，９２ｂ  電気スイッチ
１１２，１２２  作用面
２２１  第１制御ポート
２２２  第２制御ポート
２５４  第１流路
２５７  吸入口
２６７  吐出口
２７１  第３流路
３１１  第２流路
１１０，２１０ａ，２１０ｂ，３１０，４１０  高圧発生装置
６１０，６２０，６３０，６４０，７１０，８１０，９１０  高圧発生装置
【図１】
2008223751.tif 000015
【図２】
2008223751.tif 000016
【図３】
2008223751.tif 000017
【図４】
2008223751.tif 000018
【図５】
2008223751.tif 000019
【図６】
2008223751.tif 000020
【図７】
2008223751.tif 000021
【図８】
2008223751.tif 000022
【図９】
2008223751.tif 000023
【図１０】
2008223751.tif 000024
【図１１】
2008223751.tif 000025
【図１２】
2008223751.tif 000026
【図１３】
2008223751.tif 000027
【図１４】
2008223751.tif 000028
【図１５】
2008223751.tif 000029
【図１６】
2008223751.tif 000030
【図１７】
2008223751.tif 000031
【図１８】
2008223751.tif 000032
【図１９】
2008223751.tif 000033
【図２０】
2008223751.tif 000034
【図２１】
2008223751.tif 000035
【図２２】
2008223751.tif 000036
【図２３】
2008223751.tif 000037
【図２４】
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【図２５】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年11月21日(2007.11.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の吸入口と吐出口を有し内部に大径のシリンダを形成したハウジングと、該ハウジング内に嵌合して往復動されるピストンを備え、ピストンはハウジングの端面部材より突出する中径のピストンロッドと、他方の端面部の小シリンダに嵌合する小径軸との中央に大径のピストン部が一体となって形成され、大径のピストン部は前記の大径のシリンダに嵌合し、ハウジング内の前記のピストン部の側室において小径軸側の空間にピストンの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室と、ピストンロッド側のピストン部の側室に吸入圧縮排出手段を成す第２室と、ハウジング内の小径軸の先端の空間に吸入圧縮排出手段を成す第３室とを備え、吸入口から第１室への第１流路と、第１室から第２室への第２流路と、第２室から第３室への第３流路と、第３室から吐出口への第４流路とを備え、前記の第１流路，第２流路と第３流路とに逆流防止手段を具備することを特徴とする高圧発生装置。
【請求項２】
吸入圧縮排出手段のピストンの一方向の作動によりハウジングの外部へ吐出される液体の圧力と、他方向の作動によりハウジングの外部へ吐出される液体の圧力の差を３０％以内にすることを特徴とする請求項１に記載の高圧発生装置。
【請求項３】
吸入圧縮排出手段を成す第１室又は第２室に連通する補助室を備え、該補助室の容積を増減する手段を具備することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高圧発生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は  高圧の液体を連続吐出する高圧ポンプ装置に関わる技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】  従来、液体を高圧で吐出するためには、プランジャポンプ（ピストンポンプとも呼ばれる）が使用される。このプランジャポンプは吸入圧縮排出手段を成すピストンが外部からの動力源によりシリンダ内を往復動されて、外部より流体を吸入し、圧縮した高圧の液体を吐出する構造である。【０００３】  該ピストンを往復動する駆動装置は電気，エンジン又は圧力流体を利用した装置であり、動力軸の回転を往復運動に変換して利用したり、圧力流体を流体圧シリンダに供給して  内部の制御用ピストンを往復動させ、該ピストンと一体のピストンロッドと吸入圧縮排出手段を成すピストンを接続して往復動させる様々な態様がある。【０００４】液体を一定の圧力にするには  ピストンにより液体を圧縮する必要がある。したがって、ピストンは液体を一定の圧力にするために圧縮行程を経た後に、圧縮した高圧の液体を吐出している。吐出圧力の脈動を少なくするために複数のピストンを備えたり、アキュムレータを併用したり、補助タンクを設けて使用されている。【０００５】
【非特許文献１】日本機械学会流体工学部門講演会講演論文集（１９９８．８．２７，２８長野市）往復動型無脈動ポンプの脈動異常の解析  小西義昭，小倉哲彦
【特許文献１】特公昭６２−２１９９４号公報
【特許文献２】特公第３６５００３１号公報
【特許文献３】ＵＳ特許ＵＳ７１６５９５１Ｂ２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  従来のプランジャポンプにおいては  吐出圧力に変動のない  いわゆる無脈動のものが理想的であり、ピストンの数を多くするほど吐出圧力の脈動は少なくなり、またアキュムレータや補助タンクを備えて圧力の変動を少なくしているが、大型化し構造が複雑になり、コストが増大する課題があった。【０００７】液体を加圧する場合、大気圧の状態から圧縮すると必要な圧力に達するまでに無駄な時間を要し、液体を超高圧にするには液体に混入している空気も圧縮するために圧力の立ち上がりに長い時間を要するという課題があった。【０００８】図９に示されている前出願特許（ＵＳ７１６５９５１Ｂ２号公報）の発明は本願発明とは一見類似しているが、ピストンの内部に３つの加圧室を備えているために構造が複雑で、生産する場合  要求される精度内に部品を加工するのはきわめて難しいという課題があった。
ハウジング内にピストンが同一軸上で往復動するためには、構成部品は高精度な同芯度と直角度を要求される。構成部品が多いほど誤差は集積されて拡大する。また、機械加工の際に加工物をチャッキングし直して加工すると、初めの加工箇所との同芯度と直角度に大きな誤差を生じる。【０００９】  そして、高圧発生装置が小型の場合には  逆流防止手段はピストンの内部に設けることが不可能になり、態様が整わないという課題がある。【００１０】  本発明はこれらの問題を解決しようとするものであり、３つの加圧室をピストンの外側に設けることにより、高精度な同芯度と直角度を有した部品による構成品とし、小型で簡易な構造の低価格の高圧発生装置を得ることを目的とする。
なお、駆動装置による作動の初動段階より圧縮した高圧の液体を連続して吐出する高圧発生装置を得ることを目的とする。【００１１】  本発明は前記の目的を達成するためになされたものであり、ハウジングの内部で嵌合して往復動するピストンの外側に３つの加圧室を備え、吸入圧縮排出手段を成す前記の３つの加圧室を連通し、ピストンを往復動することにより液体を吸入し、圧縮した高圧の液体を連続して吐出する効果を発揮することで解決する。【００１２】  機械のチャックやテーブル面そのものを利用する従来の加工方法では  本発明の請求項１，請求項２，請求項３の高圧発生装置の主要部品に必要な精度を確保することが極めて困難であった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】  請求項１の解決の手段による作用は次の通りである。【００１４】  吸入圧縮排出手段のピストンの一方向の作動によりハウジングの吸入口を通して液体が第１室に吸入され、他方向の作動により圧縮される第１室から膨張する第２室へ吐出される。第１室の圧縮容積を第２室の膨張容積よりも大きいために第２室へは圧縮した液体が流入する。一方向の作動により第２室から膨張する第３室へ圧縮した液体を吐出し、残りの圧縮した液体をハウジングの吐出口から吐出する。また、他方向の作動により第３室からハウジングの吐出口を通して圧縮した高圧の液体を吐出する。
つまり、ピストンがどちらに作動されても作動当初より圧縮した高圧の液体を吐出する効果を発揮する。【００１５】  ここで圧縮容積とはピストンの作動により加圧室が圧縮される容積を意味し、膨張容積とは加圧室が膨張する容積を意味する。【００１６】  この手段による作用は  圧力流体，電気あるいはエンジンなどを利用した一般的な動力手段による駆動装置により吸入圧縮排出手段のピストンを往復動させ、ハウジングの吸入口を通して液体を外部から吸入し、圧縮した高圧の液体をハウジングの吐出口から連続して吐出する効果を発揮する。【００１７】図１１に示す高圧発生装置６１０の例は駆動装置の回転する動力軸に偏芯したカム又は軸受を一体化して構成し、該カム又は軸受を凹状の動力伝達手段によって挟み、吸入圧縮排出手段のピストンと連結した前記の動力伝達手段を往復動させる構成となっている。【００１８】図１２に示す高圧発生装置６４０の例は駆動装置の回転する動力軸にクランク機構を用いてピストンを往復動させる構成となっている。【００１９】  また、図にはないが  吸入圧縮排出手段のピストンと連結したボールネジを備え、該ボールネジに螺合するナットを電気モータ又はエンジンの回転する動力軸よりベルト又は歯車を介して回転することにより吸入圧縮排出手段のピストンを往復動させ無脈動ポンプとして提供できる。【００２０】請求項２の解決手段による作用は次の通りである。【００２１】  この手段は駆動装置の推力に対応して、第１室，第２室と第３室に液体の作用する受圧面面積に応じた圧力が発生することを利用するものである。【００２２】  駆動装置の推力に均衡する力は、加圧室の液体の作用するピストンの受圧面面積と発生圧力との積で表される。【００２３】  駆動装置の推力による一方向（左方向）への作動の場合  第２室が圧縮され、圧縮した液体が膨張する第３室へ吐出され、同時に残余の圧縮した液体を吐出口から吐出する。駆動装置の推力に均衡するために、第２室において液体の作用する受圧面面積と反対方向に作用する第３室の液体の作用する受圧面面積とに応じた圧力が発生する。該圧力の液体が吐出口より外部へ吐出される。
また、駆動装置の推力による他方向（右方向）への作動の場合  第３室が圧縮され、圧縮した液体が吐出される。駆動装置の推力に均衡するために、第３室における液体の作用する受圧面面積に応じた圧力が発生する。該圧力の液体が吐出口より外部へ吐出される。さらに、第１室と第２室の受圧面面積の面積差によって圧力が発生する。【００２４】  したがって、一方向（左方向）への作動の際の吐出圧力と他方向（右方向）への作動の際の吐出圧力を等しくするには、駆動装置の推力に対応して第２室の液体の作用する受圧面面積と第３室の液体の作用する受圧面面積とを選定することになる。
他方向（右方向）へ作動する場合液体の作用する第１室と第２室の受圧面面積の差の値によって作動が進むにつれて第１室の圧力が上昇する。このために第３室からの吐出圧力は作動とともに下がっていく、又は駆動側の推力に余裕がある場合は吐出圧力は変化せずに駆動側の推力が上昇する。【００２５】  吐出口から吐出する圧力は吐出先の負荷により決まる。
最高圧力で吐出する場合、例えば  本発明の高圧発生装置において微少な口径のノズルから噴射するときの吐出口における圧力は  低い吐出圧力の場合は変動はわずかであり、吐出圧力が高いほど変動は大きい。【００２６】駆動装置により他方向（右方向）へ作動される場合、液体が作用する第１室の受圧面面積と第２室の受圧面面積の差によって発生する第１室内の圧力により吐出口から外部へ吐出される液体の圧力は作動にともなって変化する。この変化する吐出圧力を３０％以内にするには液体の圧縮率に基づいて第１室と第２室の液体の作用する受圧面面積の差を選定することによる。【００２７】請求項３の解決手段による作用は次の通りである。【００２８】  この手段ではハウジング内に第１室又は第２室に連通する補助室を設け、該補助室の容積を増減する手段を備えることにより液体の圧縮率を増減して発生圧力を正確に制御する効果を発揮する。【００２９】ピストンの作動による第１室の圧縮容積と第２室の膨張容積によって液体の圧縮率は定まる。構成部品は加工誤差が生じ、このために発生圧力はバラツキを生じる。
補助室の容積を増加させると圧縮率が小さくなり発生圧力は低くなる。容積を減少させると圧縮率が大きくなり発生圧力は高くなる。【００３０】請求項１，請求項２，請求項３の高圧発生装置の主要部品の製造における加工方法は次の通りである。【００３１】  高精度を必要とする高圧発生装置の主要部品は、再固定することなく１回の取付固定（ワンチャック）により加工箇所を切削加工して、最終仕上げ加工において被削物が変形するような負荷を与えずに極微少な均一のとりしろ（加工時の切落とし部分）などを切削加工することにより課題は解決する。
【発明の効果】
【００３２】  以上のように  本発明に係る高圧発生装置によれば、吸入圧縮排出手段を成す第１室，第２室と第３室をピストンの外側に備えることで、構成部品の重要箇所の機械加工は１回のチャッキングで加工することになり、このために構成部品は同一軸上を往復動するために要求される同芯度と直角度を有する加工が容易になる。【００３３】  また、吸入圧縮排出手段のピストンが作動される初動段階から圧縮した高圧流体を吐出するようになり、アキュムレータや補助タンクを備える必要性もなくなり、構造が簡単になり大幅なコストダウンが実現できる。【００３４】  圧力室をピストンの外側に備える構成のために小型の高圧発生装置においても逆流防止手段を設けることができる。【００３５】  吸入圧縮排出手段の構成部分と駆動装置との距離を隔てて構成することができるので、耐熱性やお互いの流体の純度の維持においても有利であり、様々な態様の高圧発生装置を提供できる。【００３６】  高精度を要求される構成品は再固定をすることなく、１回の取付け固定（ワンチャック）状態において  重要箇所の加工を行い、最終仕上げにおいて  被削物に負担を与えないように極微少な均一の加工代を削除する高精度加工を行うことが重要である。【００３７】本発明によれば  特殊な加工機械を使わずに済み、加工時間も短くなり、高圧発生装置の主要部品の加工コストを大幅に安くできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】  以下、本発明に係る高圧発生装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。【００３９】  本発明の請求項１に係る高圧発生装置の実施の形態（１）の例を図１〜８に示すものである。図１と図２は実施の形態の断面図を示し、図３〜８は作動を説明する断面図である。【００４０】  高圧発生装置１１０は、ハウジング２の内部に嵌合して往復動するピストン１の外側に吸入圧縮排出手段を成す３つの加圧室（３１，３２，３３）を連通して備え、液体を吸入し、圧縮した高圧の液体を連続して吐出する無脈動ポンプとして利用するものである。
ピストン１はアクチュエータ６により駆動される構成となっている。アクチュエータ６は作動流体Ｌを供給することにより往復動する片ロッド型流体圧シリンダによるものである。【００４１】  ハウジング２は、内部に大径のシリンダ８ａとシリンダ８ａの奥の端面部の中央にピストン１の小径軸９と嵌合する小シリンダ９ｂを設け、シリンダ８ａの手前の端面部材の中央にピストン１の中径のピストンロッド７と嵌合する貫通穴７ａを設けている。
ピストン１はハウジング２の端面部材より突出する中径のピストンロッド７と小径軸９との中央に大径のピストン部８を一体となって形成され、ハウジング２内のシリンダ８ａに大径のピストン部８が嵌合して、ピストン１が往復動されるように構成されている。大径のピストン部８の側室において小径軸９側の第１室３１と、ピストンロッド７側に第２室３２と、小径軸９の先端の空間に第３室３３を設けている。
ハウジング２には液体が供給される吸入口２５７と第１室への第１流路２５４が設けられ、該流路に逆止め弁８１が備えられている。逆止め弁はボール８１２とスプリング８１３で構成されている。ハウジング２には第１室３１から第２室への第２流路３１１が設けられ、該流路に逆止め弁８２が備えられている。又  第２室から第３室への第３流路２７１が設けられ、該流路に逆止め弁８３が備えられている。第３室から液体が外部へ吐出される吐出口２６７への第４流路が設けられている。【００４２】  図１のように、ピストン１の一方向（左方向）への作動で第１室３１の容積は膨張（増大）し、該室内の圧力が外部の液体Ｆの圧力よりも低くなると、吸入口２５７より液体Ｆが供給（吸入）され、図２のようにピストン１の他方向（右方向）への作動で第１室３１内の液体Ｆの加圧が行われる。そして、逆止め弁８１を閉じて第１室３１内の液体Ｆの圧力はさらに上がるが、後述するように第２室３２は膨張するので逆止め弁８２は開き、第２室３２への液体Ｆの供給（吐出）が行われる。そして、図１０に記載のように第１室３１の小径軸９の外径Ｄ３を第２室３２のピストンロッド７の外径Ｄ２よりも所定の値だけ小さくしているので、第１室３１と第２室３２は同時に加圧される構成となっている。【００４３】  図１のようにピストン１が一方向（左方向）への作動する際、第２室３２が圧縮し  第３室３３が膨張するので逆止弁８３が開き第２室３２内の他方向（右方向）への作動により圧縮流入していた高圧の液体Ｆが第３室３２へ供給されるのに加え、ハウジング２の吐出口２６７より外部へ圧縮した高圧の液体Ｆを吐出される構成となっている。【００４４】  そして、図２のようにピストン１の他方向（右方向）へ作動する際、第３室３３は圧縮され、吐出口２６７よりハウジングの外部へ圧縮した高圧の液体Ｆが吐出される。【００４５】  したがって、ピストンの一方向（左方向）への作動では外部から吸入口２５７を通して液体を吸入するに加えて、第２室３２から圧縮した高圧の液体Ｆが吐出口２６７より吐出され、ピストンの他方向（右方向）への作動では第３室３３から圧縮した高圧の液体Ｆが吐出され、液体が連続的に吐出されるように構成されている。【００４６】  次に  このように構成された高圧発生装置１１０の動作について説明する。図３〜図５は  ピストン１が他方向（右方向）へ作動する状態から一方向（左方向）へ作動する状態に変化する断面図であり、図３は  ピストン１が他方向（右方向）へ作動している状態を示し、図４は  停止した瞬間の状態を示し、図５は  反転してピストン１が一方向（左方向）へ作動している状態を示している。【００４７】  図３は  ピストン１が他方向（右方向）へ作動しているので、第１室は加圧されて逆止め弁８１は閉じるが、第２室３２は膨張して逆止め弁８２が開放されるので、第１室３１の加圧される容積（圧縮容積）をΔＶ１，第２室の膨張する容積（膨張容積）をΔＶ２とすると、（ΔＶ１＋ΔＶ２）の容積がピストンの他方向（右方向）への作動で容積変化する（加圧される）。
したがって、この容積変化する分に応じて第１室３１の圧力Ｐ１と第２室３２の圧力  Ｐ２が高められる。【００４８】  一方、第３室３３はピストン１が他方向（右方向）へ作動することで加圧され、吐出口２６７の外部に設けられている図示しない絞りや圧力負荷などで決まる吐出圧力Ｐｄまで高められた状態の液体が吐出される。ここで、第３室３３からの吐出圧力Ｐｄに等しくなるように  第１室３１の圧縮容積ΔＶ１を第２室の膨張容積より大きくしたので、ピストンが他方向（右方向）へ作動すると第２室の圧力Ｐ２が第３室の圧力Ｐ３に近づいてゆき、ピストンが逆方向に反転する際には  吐出圧力の変化をほとんどなくすことが可能となる。【００４９】  なお、第１室の小径軸の外径Ｄ３と第２室のピストンロッド径Ｄ２との差は、使用する吐出圧力Ｐｄに応じて決められ、大きな吐出圧力ＰｄとするほどＤ２をより大きくすることになる。【００５０】  ここで、加圧（圧縮）される液体が水の場合、２０℃の水の圧縮率βは１．０１３２５×１０５Ｐａ〜５００×１．０１３２５×１０５Ｐａの圧力範囲においてβ＝０．４２８×１０−９ｍ２／Ｎという値である。このように圧縮率βが小さいということは、わずかに圧縮するだけで圧力が急激に増大することを意味している。ただし  実際には液体に空気が混入することが多く、空気の混入率に応じて圧縮率は低下することになる。【００５１】  図３から図４の位置付近までは、圧力源Ｐよりの一定の圧力が第１制御室３６に作用してピストンに推力を加えるので、第３室３３から一定の吐出圧力Ｐｄで吐出が行われる。この場合、第１室の圧縮容積と第２室の膨張容積の差により、両室の圧力が徐々に高まることにより、アクチュエータの推力が消費され、吐出圧力Ｐｄはわずかであるが圧力が下がっていく，または駆動側の推力に余力がある場合は吐出圧力Ｐｄは下がらない。
図４のように  ピストン１が行程端に達する際に方向制御弁を切換えてピストン１を逆方向（左方向）に移動させるようにする。【００５２】  この切換時はピストン１は瞬間停止の状態となる。しかし、第２室３２は吐出圧力Ｐｄにほぼ等しい圧力に高められているので、吐出圧力Ｐｄの低下はほとんどなく、ピストン１が一方向（左方向）へ作動することで第３室３３は膨張するので、第２室３２の加圧により吐出した液体Ｆは  その一部が第３室３３の容積拡大に費やされる。【００５３】  図５は  図４で反転したピストン１が一方向（左方向）へ作動中の状態を示しており、逆止め弁８３が開放されて、第２室３２から圧縮して高圧になった液体Ｆが吐出されている。一方、第２室３２の高圧により逆止め弁８２は閉じられ、第１室３１が膨張状態にあり負圧になっているので逆止め弁８１は開放されて、吸入口２５７から液体Ｆが吸入されている。この状態はピストン１が一方向（左方向）へ作動中の間、継続される。【００５４】  図６〜図８は  ピストン１が一方向（左方向）へ作動している状態から他方向（右方向）へ作動する状態に変化するのを説明する断面図である。【００５５】  図６は  ピストン１が一方向（左方向）へ作動している状態を示し、図７は停止した瞬間の状態を示し、図８は反転してピストン１が他方向（右方向）へ作動している状態を示している。図６は図５の状態のまま、ピストン１が左方に寄った状態であるが、逆止め弁の開き方などは図５の状態が継続されている。【００５６】  図７の位置のように  ピストン１が行程端に作動した際に、方向制御弁６０を切換えてピストン１を逆方向（右方向）へ作動させるようにする。
この切換時はピストン１は瞬間停止する状態となる。しかし、第３室３３は吐出圧力  Ｐｄに等しい圧力に高められているので、吐出圧力Ｐｄの低下はほとんどなく、ピストン１が他方向（右方向）へ作動するとともに第３室３３からの吐出が行われることになる。そして、第２室３２はピストン１が他方向（右方向）へ作動することで膨張するが、逆止め弁８２が開放され、第３室３３からの吐出圧力に等しくなるように第１室３１の圧縮容積を第２室の膨張容積よりも大きくしているので、第２室３２の圧力Ｐ２は第１室３１の圧力Ｐ１と等しく、第３室３３の圧力Ｐ３と等しい圧力に近づいていく。【００５７】  図８は  図３と同じ状態を示しており、図３から図８までで１サイクルが形成される。【００５８】  駆動装置であるアクチュエータの実施の形態の例として、片ロッド型流体圧シリンダの構成を図１と図２に示すものである。【００５９】  アクチュエータとして、１つの制御用ピストン４３を有する片ロッド型流体圧シリンダを用いており、シリンダチューブ４７をヘッドカバー４４と，ピストンロッド４６との嵌合穴を中央に持つロッドカバー４５とで閉塞し、ロッドカバー４５とヘッドカバー４４の一部分がシリンダチューブと嵌合し、嵌合部分にパッキン４８を設けて、作動流体Ｌの外部への漏れを防いでいる。
シリンダチューブ４７内に嵌合して往復動する制御用ピストン４３にパッキン４９を設け、該ピストンと一体のピストンロッド４６の外周面をシールするパッキン５０をロッドカバー４５内に設ける。ロッドカバー４５をハウジング２に接し、ヘッドカバー４４の外側よりボルト４によってハウジング２にネジ込み、固定している。【００６０】  ピストン１は  ハウジング２の端面部材より突出したピストンロッド７の延長部がアクチュエータ６のピストンロッド４６と連結し、アクチュエータの作動と連動する構成である。アクチュエータ６のロッドカバー４５とヘッドカバー４４には作動流体Ｌの供給及び排出を行う第１制御ポート２２１と第２制御ポート２２２が設けられ、第１制御ポート２２１は第１制御室３５に連通している。また、第２制御ポート２２２は第２制御室３６に連通している。第１制御室３５の圧力Ｐ３５は、制御用ピストン４３の作用面１１２に作用し、第２制御室３６の圧力Ｐ３６は制御用ピストン４３の作用面１２２に作用する構成となっている。【００６１】  圧力源Ｐに接続され作動流体Ｌの作動方向を切換える方向制御弁６０は電気的手段などで流路を切換える弁であり、図１の状態では６０１の流路状態が選択され、作動流体Ｌは流路６１から第１制御ポート２２１に入り、第１制御室３５の作用面１１２に作用する。一方、流路６２は流路６４を通してドレンタンクＤにつながり、第２制御室３６には圧力が作用せず、ピストン１を図１のように一方向（左方向）へ作動させる駆動形態となる。【００６２】  また、図２に示すように方向制御弁６０が６０２の流路状態に切換えられると、作動流体Ｌは流路６２から第２制御ポート２２２に入り、第２制御室３６の作用面１２２に作用する。逆に第１制御室３５の作動流体Ｌはドレンされるので、ピストン１は図２のように他方向（右方向）へ作動される駆動形態となるように構成されている。【００６３】  駆動装置として流体圧シリンダを用いる場合は、作動流体Ｌの流量が一定であると、ピストンは一定の速度で作動することになる。したがって、吐出する液体Ｆは変動のない一定の流量を得ることになる。【００６４】  圧力を有する作動流体Ｌを発生させる圧力源Ｐと、圧力源から作動流体の流れる方向を切換える方向制御弁６０を介して制御用ピストンの作用面１１２，１２２に交互に作動流体を作用させて制御用ピストンを往復動させる。
作動流体の通路として、圧力源から方向制御弁６０への流路６３と，ヘッドカバーとロッドカバーに設けられた制御用ピストンの側室に連通する制御ポート２２２，２２１への流路６２，６１と方向制御弁６０からドレンタンクＤへの流路６４とを備えている。【００６５】  １つの制御用ピストン４３を有する片ロッド型シリンダは  作動流体を受ける制御用ピストン４３の両作用面１１２，１２２の受圧面面積は異なるので、制御用ピストン４３の外径とピストンロッド４６の外径寸法は  ピストン１の外側の加圧室の液体Ｆが作用する受圧面面積との関係で定められる。（後述の請求項２の実施例の（４）式に基づいて決められている。）【００６６】図１３は、以上説明した高圧発生装置１１０による吐出圧力Ｐｄの圧力波形を従来のものに比べて理論検討したグラフである。図１３（ａ）は、従来の技術（例えば特公昭６２−２１９９４号公報）による圧力波形Ｐの理論検討結果であり、本発明の高圧発生装置において第１室がない装置に相当するものである。一方、図１３（ｂ）が高圧発生装置１１０による吐出圧力Ｐｄの理論検討結果である。【００６７】  高圧発生装置１１０による吐出圧力Ｐｄは図１３（ｂ）に示すように、運転開始時は圧力ゼロから加圧が１回だけあるものの、その後は常に加圧された液体Ｆを吐出するので、ピストンの作動方向が切換わる瞬間停止状態Ｓを除き、圧力は一定に保持されることになる。したがって、この高圧発生装置１１０では吐出圧力Ｐｄの低下がほとんどないのでアキュムレータを用いる必要がなく、脈動のない高圧ポンプを得られる。【００６８】  本発明の請求項２に係る高圧発生装置の実施の形態（２）は図１と図２と図１０（図１の部分拡大した断面図）に基づいて説明する。【００６９】  吸入圧縮排出手段のピストンの一方向（左方向）への作動によりハウジングの外部へ吐出される液体の圧力と、他方向（右方向）への作動によりハウジングの外部へ吐出される液体の圧力の差を３０％以内にするには、駆動装置による一方向（左方向）への推力と他方向（右方向）への推力が働いた場合に  第１室３１，第２室３２と第３室３３に液体Ｆの作用する受圧面面積に応じた圧力が発生することを基本として第１室３１，第２室３２と第３室３３の受圧面面積を決定することにある。【００７０】図１０において  シリンダ８ａの内径をＤ１，ピストンロッド７の外径をＤ２，小径軸９の外径をＤ３とすると、第１室３１の受圧面面積Ｂ１と第２室３２の受圧面面積Ｂ２と第３室の受圧面面積Ｂ３は次のように表される。
【数１】
2008223751.tif 000040
【００７１】  図２に記載の高圧発生装置において、アクチュエータ６によりピストン１が他方向（右方向）へ作動される場合、駆動装置による推力ｆ１はアクチュエータの制御用ピストン４３の制御室３６内の作用面１２２の受圧面面積Ａ１と該受圧面面積Ａ１に作用する作動流体Ｌの圧力Ｐ３６との積によって表される。該推力に対して第３室３３に液体Ｆの圧力が発生することによる力で釣り合うことになる。該力は第３室の受圧面面積Ｂ３と発生圧力Ｐ３との積である。  該発生圧力Ｐ３が吐出圧力Ｐｄとなる。
【数２】
2008223751.tif 000041
2008223751.tif 000042
実際にピストン１が他方向（右方向）へ作動する場合  第１室３１が圧縮されて逆止め弁８２が開き、膨張する第２室３２に液体Ｆが流入する。第１室３１の圧縮容積を第２室３２の膨張容積より大きくしているために、第１室３１の圧力はアクチュエータ６の行程に伴い徐々に上昇する。このため、アクチュエータの推力をわずかであるが、費やすことになる。
したがって、ピストン１が他方向（右方向）へ作動する場合、吐出口２６７からの吐出圧力Ｐｄはわずかであるが徐々に低くなる。またはアクチュエータ６の制御室３６の圧力Ｐ３６にゆとりがある場合には吐出圧力Ｐｄは変化せずに制御室３６の圧力Ｐ３６が高くなる。
第１室３１の受圧面面積Ｂ１と第２室３２の受圧面面積Ｂ２との差、すなわちＢ１−Ｂ２と発生圧力との積の値がアクチュエータの推力を費やす力である。
【数３】
2008223751.tif 000043
ピストン１が他方向（右方向）へ作動するに従い零から徐々に大きくなっていく。この結果、吐出圧力Ｐｄは低くなっていくのである。【００７２】  ただし、上述の吐出圧力の変動が生じるのは  吐出先の負荷により発生することであり、例えば最高吐出圧力で吐出する場合には吐出圧力Ｐｄは変動する。【００７３】  図１に記載の高圧発生装置において、アクチュエータによりピストンが一方向（左方向）へ作動される場合、駆動装置による推力ｆ２はアクチュエータの制御用ピストンの作用面１１２の受圧面面積Ａ２と該受圧面面積に作用する作動流体Ｌの圧力Ｐ３５との積で表される。この推力に対して第２室３２に液体Ｆの圧力Ｐ２が発生し、該圧力により逆止め弁８３が開放して第２室３２と反対方向に力が働く第３室３３に圧力Ｐ２が作用して釣り合うことになる。  該発生推力Ｐ２が吐出圧力Ｐｄとなる。
【数４】
2008223751.tif 000044
ここで、アクチュエータの制御室３５と３６に流入する作動流体Ｌの圧力Ｐ３５と    Ｐ３６は等しく、また液体Ｆの吐出口２６７よりの吐出圧力Ｐｄについて他方向（右方向）時の吐出圧力Ｐ３と一方向（左方向）時の吐出圧力Ｐ２とが等しいとすると
（１）式と（３）式より
【数５】
2008223751.tif 000045
となる。該（４）式は本発明の高圧発生装置の基本となるものである。【００７４】  したがって、ピストン１の一方向（左方向）時と他方向（右方向）時の吐出圧力を等しくするにはアクチュエータ６の制御用ピストン４３の作動流体Ｌが作用する受圧面面積に対してピストン１の第２室３１の受圧面面積Ｂ２と第３室３３の受圧面面積Ｂ３を前述の（４）式が成立するように選定することが重要である。
（４）式に記載の値は  高圧発生装置の吐出口２６７より吐出する液体Ｆの圧力Ｐｄに対するアクチュエータへの作動流体Ｌの供給圧力Ｐ３５とＰ３６は  増圧比である。【００７５】  圧縮率ｎ％は、ピストンの他方向（右方向）への作動前の第１室と第２室の総容積Ｖ０と他方向（右方向）への作動後の総容積Ｖ１によって定まる。
【数６】
2008223751.tif 000046
Ｂ１−Ｂ２によって流体の圧縮率は定まる。しかし、流体が液体の場合  第１室と第２室の容積に余分の容積が少ないほど圧縮率は高くなり、実際は構造上余分な容積があり、また空気が混入しているため（Ｂ１−Ｂ２）／Ｂ２は小さくしたいが大きく設定することになる。
流体が水の場合  水は圧縮することにより高い圧力になり、７５℃のとき２００ＭＰａに昇圧するには６．７９％，３．９℃のとき４．３９％圧縮して得られる。水の中に混入空気があると更に圧縮することになる。【００７６】  吐出圧力に対して如何に総圧縮率を小さくするかが構造上において重要なことである。【００７７】  また、本発明による駆動装置が前述の（４）式に基づく液体圧シリンダの高圧発生装置に作動流体Ｌを供給して、液体圧シリンダを作動させて仕事をする場合、駆動側の推力に余裕があると吐出口２６７から吐出する液体Ｆの吐出圧力は変動しないで高圧発生装置に供給する作動流体Ｌの圧力が上昇することになる。すなわち、高圧発生装置の第１室を圧縮しながら第３室の圧縮により液体Ｆを吐出する際に吐出圧力は変動しないで作動流体Ｌの圧力が上昇することになる。そして、吐出口２６７からの吐出する液体Ｆと作動流体Ｌの流量は変動しない。【００７８】  図２において  アクチュエータの制御用ピストン４３の側室である第２制御室３６に作動流体Ｌが流量Ｑで流入し、第２制御室の制御用ピストン４３の受圧面面積Ａ１に作用し、制御用ピストン４３を他方向（右方向）へ移動速度υ１で作動させる。この作動により第３室３３は圧縮し、第３室の受圧面面積Ｂ３が作用して、高圧の液体Ｆを流量ｑ１で吐出口２６７を通して吐出する。
【数７】
2008223751.tif 000047
【００７９】  また、図１において  アクチュエータの制御用ピストン４３の側室である第１制御室３５に作動流体Ｌが流量Ｑで流入し、第１制御室の制御用ピストン４３の受圧面面積Ａ２に作用し、制御用ピストン４３を一方向（左方向）へ移動速度υ２で作動させる。  この作動により第２室３２は圧縮し、第２室の受圧面面積Ｂ２が作用して高圧の液体Ｆの一部を膨張する第３室３３へ吐出し、他の高圧の液体Ｆを流量ｑ２で吐出口２６７より吐出する。
【数８】
2008223751.tif 000048
上記の（５）式と（６）式より
【数９】
2008223751.tif 000049
【００８０】  アクチュエータが他方向（右方向）へ作動する際に  吐出口２６７から吐出される流量ｑ１と，一方向（左方向）へ作動する際に吐出される流量ｑ２を等しいとすると、
（７）式より
【数１０】
2008223751.tif 000050
前述の（４）式と同じ結果を得られる。【００８１】  したがって、ピストンの他方向（右方向）の際と一方向（左方向）の際の吐出圧力Ｐｄが等しいということは吐出流量も等しいということでもある。【００８２】  駆動装置による推力が他方向（右方向）と一方向（左方向）の際の推力が等しい場合には（４）式より
【数１１】
2008223751.tif 000051
したがって、第２室３２の流体Ｆが作用する受圧面面積Ｂ２を第３室３３の液体Ｆが作用する受圧面面積Ｂ３の２倍にすれば、吐出口２６７から等しい圧力，等しい流量の高圧の液体Ｆを吐出することが可能となる。【００８３】  したがって、例えば  電気又はエンジンなどを利用した回転する動力を駆動装置とする高圧発生装置の場合には上記の（８）式によることになる。【００８４】  本発明の請求項３に係る高圧発生装置の実施の形態（３）を図１の部分拡大した断面図である図１０に基づいて説明する。【００８５】  第２室３２に連通する補助室５２のために、ハウジング２に円筒穴５３を形成し、該円筒穴の口元にネジを施し、円筒穴は流路５２１によって第２室に連通している。
前記の円筒穴５３に嵌合する円筒軸と該円筒軸に連なる延長部に外径ネジを施したアジャストスクリュウ５４を、ハウジング２の円筒穴５３に挿入してネジ込み、ハウジングより突出した雄ネジ部に廻り止め用ナット９３を螺合して固定する。アジャストスクリュウ５４の先端の円筒穴の空間が補助室５２である。アジャストスクリュウの円筒軸の外周部のパッキン装着用溝にパッキング５１を装着して、補助室から外部へ流体が洩れないようにしている。
アジャストスクリュウ５４を回転することにより、螺合に沿って円筒軸が円筒穴５３を前進したり、後進して補助室の内容積を増減することが可能な構成である。【００８６】ピストンの他方向（右方向）への作動により第１室３１が圧縮し、逆止め弁８２が開放し、同時に第２室３２は膨張する。その際に圧縮容積の方が膨張容積よりも大きいので、液体の圧力は上昇する。【００８７】  圧縮容積から膨張容積を引いた容積に対する第１室と第２室と補助室と導通路の総容積の比によって、第２室に発生する圧力Ｐ２が定まる。【００８８】  したがって、補助室５２の容積をアジャストスクリュウ５４の回転により増やすと発生圧力Ｐ２は低くなり、容積を減らすと発生圧力Ｐ２は高くなる。液体の場合、発生圧力は混入空気量，又温度によっても左右される。しかし、補助室の容積を増減する手段により室内に生じる最高圧力Ｐ２を正確に設定することが可能となる。【００８９】  以下、請求項１，請求項２，請求項３に係る高圧発生装置の生産方法を説明する。【００９０】  高圧発生装置の主要部分は０．００１５〜０．０１５ｍｍの公差を基準とする同芯度，直角度と真円度において  ０．００８以内の精度の仕上げが必要である。従来の方法では、図面指示の例として  ２カ所の加工面の同芯度は１回の固定（ワンチャック）手段による加工において最大０．０２ｍｍ、再固定（トンボ）加工の際は最大０．０５ｍｍとして指示される例がある。実際の仕上がりは前述の値の半分以下で仕上がり、本発明の高圧発生装置の主要部品の加工には不十分である。【００９１】  本発明の加工方法は次のように実施する。
旋盤，ミーリング，マシニング，研削による加工は被削物を１回の取り付け（ワンチャック）状態にて行う。旋盤加工の際は回転する被削物とバイトの間で反発力を生じたり、引き合う力が生じたりすることのない中間の状態にバイトをセットし、また刃物（バイト）の形状選定においても前述のように中間の状態を保持する刃先形状にして加工を行う。切削中に被削物の固定部分に余分な負荷を与えたり、振動の発生，熱発生，構成刃先の発生を極力抑えるようにする。また研削加工の際は被削物の表面に残留応力を残さないために下向き研削加工にて  研削速度が速いと引張応力，遅いと圧縮応力を残すので中間の速度の設定と切込み量を定めて、残留応力を残しにくいポラゾン砥石を使用して仕上げ加工を行う。【００９２】  前記の取付治具にあらかじめ加工した基準面に被削物に設けた基準面を密着させながら被削物の加工部に歪みを与えないようにして被削物を取付治具に固定する。この状態において被削物の切削加工を行い又研削加工を行う。
両端にセンター受けを設けた主要部品の最終研削加工は被削物を両端よりセンターにて挟んだ状態で回転を与え、側面より下向き研削加工にて仕上げ加工を行う。【００９３】  必要な加工精度を確保する上記の加工方法により加工した主要部品は加工完了後の精度検査も容易にする。【００９４】  組立作業の際に構成部品に損傷を与えることなく短時間内に容易に組み立てられることが必要であり、ピストンの端部に案内部を設けて極微少すきまの嵌合作業を容易にする。この案内部を設ける加工方法は限界ゲージである円筒形プラグゲージにも使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）の例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）を示す断面図で、作動状態の異なるものである。
【図３】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図４】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図５】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図６】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図７】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図８】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態（１）において、作動を説明する断面図である。
【図９】前出願特許（ＵＳ７１６５９５１Ｂ２号公報）の高圧発生装置の実施の形態を示す断面図である。
【図１０】図１の中心部の拡大図において、実施の形態（２）及び実施の形態（３）を示す断面図である。
【図１１】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【図１２】本発明に係る高圧発生装置の実施の形態の例を示す断面図である。
【図１３】本発明と従来の高圧発生装置による吐出圧力の理論検討結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００９６】１      ピストン
２      ハウジング
３      加圧室
６      アクチュエータ
７      ピストンロッド
７ａ    貫通穴
８      ピストン部
８ａ    シリンダ
９      小径軸
９ｂ    小シリンダ
１７    延長部
３１    第１室
３２    第２室
３３    第３室
３５    第１制御室
３６    第２制御室
４３    制御用ピストン
４４    ヘッドカバー
４５    ロッドカバー
４６    ピストンロッド
４７    シリンダチューブ
４８，４９，５０，５１  パッキン
５２    補助室
５４    アジャストスクリュウ
６０    方向制御弁
８１，８２，８３  逆流防止手段（逆止め弁）
１１２，１２２  作用面
２２１  第１制御ポート
２２２  第２制御ポート
２５４  第１流路
２５７  吸入口
２６７  吐出口
２７１  第３流路
３１１  第２流路
１１０，６１０，６４０  高圧発生装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008223751.tif 000052
【図２】
2008223751.tif 000053
【図３】
2008223751.tif 000054
【図４】
2008223751.tif 000055
【図５】
2008223751.tif 000056
【図６】
2008223751.tif 000057
【図７】
2008223751.tif 000058
【図８】
2008223751.tif 000059
【図９】
2008223751.tif 000060
【図１０】
2008223751.tif 000061
【図１１】
2008223751.tif 000062
【図１２】
2008223751.tif 000063
【図１３】
2008223751.tif 000064
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月14日(2008.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体の吸入口と吐出口を有し内部に大径のシリンダを形成したハウジングと、該ハウジング内に嵌合して往復動されるピストンを備え、ピストンはハウジングの端面部材より突出する中径のピストンロッドと、他方の端面部の小シリンダに嵌合する小径軸との中央に大径のピストン部が一体となって形成され、大径のピストン部は前記の大径のシリンダに嵌合し、ハウジング内の前記のピストン部の側室において小径軸側の空間にピストンの往復動により吸入圧縮排出手段を成す第１室と、ピストンロッド側のピストン部の側室に吸入圧縮排出手段を成す第２室と、ハウジング内の小径軸の先端の空間に吸入圧縮排出手段を成す第３室とを備え、吸入口から第１室への第１流路と、第１室から第２室への第２流路と、第２室から第３室への第３流路と、第３室から吐出口への第４流路とを備え、前記の第１流路，第２流路と第３流路とに逆流防止手段を具備し、ピストンが他方向へ作動するときの推力に対する前記第３室の液体の作用するピストンの受圧面面積との比と、前記他方向とは逆の一方向へ作動するときの推力に対する前記第２室、及び前記第３室双方の液体の作用するピストンの受圧面面積の差分との比に等しくなるように、該第２室及び該第３室双方の前記受圧面面積を設定したものであることを特徴とする高圧発生装置。
【請求項２】
吸入圧縮排出手段を成す第１室又は第２室に連通する補助室を備え、該補助室の容積を増減する手段を具備することを特徴とする請求項１に記載の高圧発生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
機械のチャックやテーブル面そのものを利用する従来の加工方法では本発明の請求項１、請求項２の高圧発生装置の主要部品に必要な精度を確保することが極めて困難であった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項２の解決手段による作用は次の通りである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１、請求項２の高圧発生装置の主要部品の製造における加工方法は次の通りである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
高圧発生装置の実施の形態（２）は図１と図２と図１０（図１の部分拡大した断面図）に基づいて説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
本発明の請求項２に係る高圧発生装置の実施の形態（３）を図１の部分拡大した断面図である図１０に基づいて説明する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
以下、請求項１、請求項２に係る高圧発生装置の生産方法を説明する。