(57)【要約】【課題】少ない労力とエネルギーを用いガラスを再利用することが可能であるとともに、液晶、透明導電膜中のインジウムを回収することが可能である、廃液晶パネルのガラス基板を回収する方法および装置を提供する。【解決手段】貼り合わされた２枚のガラス基板を分離するガラス基板分離工程と、分離されたガラス基板上の液晶およびインジウムを回収する液晶およびインジウム回収工程と、液晶およびインジウムを回収した後の液晶ガラス基板からバス電極材料を除去する電極除去工程と、バス電極を除去した後のガラス基板を回収するガラス基板回収工程とを含む、廃液晶パネルからガラス基板を回収する方法、ならびに、廃液晶パネルから分離されたガラス基板をプラズマ処理する手段として、プラズマ発生装置を備える、廃液晶パネルからガラス基板を回収するために用いられる装置。【選択図】図１
2008216566.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
廃液晶パネルからガラス基板を回収する方法であって、
貼り合わされた２枚のガラス基板を分離するガラス基板分離工程と、
分離されたガラス基板上の液晶およびインジウムを回収する液晶およびインジウム回収工程と、
液晶およびインジウムを回収した後の液晶ガラス基板からバス電極材料を除去する電極除去工程と、
バス電極を除去した後のガラス基板を回収するガラス基板回収工程とを含む、方法。
【請求項２】
前記電極除去工程が、プラズマ処理によって、ガラス基板に付着した電極材料を除去する工程であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
廃液晶パネルからガラス基板を回収するために用いられる装置であって、廃液晶パネルから分離されたガラス基板をプラズマ処理する手段として、プラズマ発生装置を備える、装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、廃液晶パネルのガラス基板を回収する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、社会における生産・消費活動全般について一般廃棄物や産業廃棄物が増加し、不法投棄や埋立地逼迫など地球環境問題が注目を集め、これまでの大量生産、大量消費、大量廃棄型の経済システムから資源循環型経済システムへの転換が社会的に重要な課題となってきている。
【０００３】
このような状況を受けて、たとえば２００１年４月には家電リサイクル法は施行された。家電リサイクル法においては、２００７年１月現在において、エアコン、テレビ、冷蔵庫、洗濯機の家電４品目のリサイクルが義務付けられ、また、それぞれの製品の再商品化率についてはエアコン６０％以上、テレビ５５％以上、冷蔵庫５０％以上、洗濯機５０％以上の法定基準値が定められている。
【０００４】
これら家電４品目においては、関係者の鋭意努力のもと、法律施行当初に比べリサイクルが格段に進んでいる。現在、家電４品目に使用されている鉄、銅、アルミニウムなどの金属はもとより、プラスチックについてもリサイクルが拡大しつつある。また、テレビにおいては、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）のガラスを切断して電子銃や蛍光体を除去した後、ガラスカレットとして元のＣＲＴ用ガラスに再生使用するリサイクル技術が既に実用化されている。
【０００５】
ところで、近年、液晶パネルを用いたテレビ、パーソナルコンピュータ、モニタ、ビデオ、カメラ、携帯電話、カーナビゲーション、情報携帯端末、小型ゲーム機などの製品が急速に普及している。ここで、上述した液晶パネルとは、貼り合せた２枚のガラス基板の内側に液晶材料を注入、封入し、各ガラス基板の外側に偏光板（樹脂）を貼り付けたものを指す。液晶パネルを用いた製品の普及に伴い、液晶パネルの廃棄物（本明細書中では「廃液晶パネル」と呼称する。）の数量も急速に増加しているが、環境との共存が期待される循環型社会の形成の中、廃液晶パネルについてもリサイクルし資源を有効に利用することが要望されている。
【０００６】
現在、家電製品や情報機器などの廃棄物に含まれる廃液晶パネルは、廃棄物の量としては少ないこともあって、廃棄物の処理施設にて製品ごとに破砕された後、プラスチックを多量に含むシュレッダーダストと共に、埋め立て処理あるいは焼却処理されている。
【０００７】
廃液晶パネルのリサイクルにおいて考慮すべき点は、ガラス、インジウム、液晶などの材料の再生である。液晶パネルの基材は、主にガラス基板が用いられている。ガラスは製品重量の大半を占めるため、リサイクル率向上の観点からも再資源化が望ましく、再度同一製品のガラス原料として再生するなどの高品位なリサイクルを行うことがより望ましい。また、ガラス基板上には透明導電膜としてＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などのインジウム化合物が形成されている。インジウムは希少金属であり、昨今の液晶パネル市場拡大も影響し価格が高騰してきており、回収、リサイクルが模索されている。また、２枚のガラス基板間に封入された液晶は非常に高価な材料であり回収再利用する声がある。加えて、液晶はその毒性が問題にならないほど小さいことが分かってはいるが、自然には非常に分解しにくい材料であるため、高収率で回収し、環境中への拡散をできるだけ少なくすることが望ましい。
【０００８】
上述の観点から、液晶パネル中のガラス、インジウムおよび液晶の回収、リサイクルは非常に意義深いものであるが課題も多い。たとえばガラスの同一材料への再生においては大きく２点の課題が挙げられる。１点目は不純物の完全な除去、２点目はガラスの分別である。前者においてはガラス基板上に形成された電極材料やカラーフィルタ、配向膜、また、ガラス基板間に封入された液晶材料など、ガラス以外の成分は完全に除去する必要がある。特に、ガラス基板に直接付着している電極材料は、ガラスとの付着力が強固であり、かつ、液晶パネルとしての信頼性の観点から、タンタル、チタンなどの耐腐食性の高い金属を使用しているため、酸溶解などの手段により除去するのは容易ではない。後者は組成の異なるガラスは特性が変わるために分別する必要があり、製造メーカの異なるガラスは勿論のこと、同一メーカでもグレートの異なるガラスは分別する必要がある。一方、インジウムについては回収方法が種々検討されてきているが、廃液晶パネルからのインジウム回収は経済性が伴わず、製造工程で発生する使用済みターゲットや装置、冶具に付着したＩＴＯ残渣を回収するに留まっている。また、液晶パネルに使用されている液晶の量は微量であるため、少ない労力とエネルギーで液晶を高純度で劣化を伴わずに回収し再利用することが望ましい。
【０００９】
液晶パネルの製造工場から排出される不良の廃液晶パネルや家電製品および情報機器などの廃棄物に含まれる廃液晶パネルの処理方法として、液晶パネルの製造工場や廃棄物の処理施設にて製品ごと破砕後、非鉄精錬炉に投入し珪石の代替材料として処理する方法が一部で実施されている（たとえば、特開２０００−８４５３１号公報（特許文献１）を参照。）。この特許文献１に開示された方法では、有機物は炉内で完全燃焼され、二酸化炭素や水素などに分解される。しかしながらこの方法では、液晶パネルは、ガラス成分がスラグとなりセメント材料として再利用されるのみでガラス材料としては再利用されず、また、透明導電膜に含まれるインジウムも再利用されていない。
【００１０】
また液晶パネルに用いられているガラスを回収する方法として、たとえば、特開２００５−２９２３９４号公報（特許文献２）には、塩酸、硫酸、硝酸、フッ化水素酸などの強酸溶液を用いてガラス表面に付着している金属薄膜などの無機成分を除去する方法が提案されている。しかしながら、この特許文献２に開示された方法では、強酸を使用するため、発生する廃液の処理に多大な労力とエネルギーを必要とする。
【００１１】
液晶パネルに用いられているインジウムの回収方法として、たとえば特開２００５−３３４８３８号公報（特許文献３）には、液晶パネルを塩酸溶液に浸漬することによって、ガラス表面のＩＴＯ膜を溶出し、インジウムを回収する方法が提案されている。しかしながらこの方法では、塩酸を使用するため、作業環境が悪化するとともに、発生する廃液の処理に多大な労力とエネルギーとを必要とする。
【００１２】
また、たとえば特開２０００−１６９９９１号公報（特許文献４）には、インジウム含有物を塩酸で溶解した後、中和して金属イオンを析出させて除去させ、さらに硫化させた後電解を行なうことでインジウムを回収する方法が提案されている。しかしながら、この特許文献４に開示された方法では塩酸を用いるため、インジウムを回収した後に発生する廃液の処理に多大な労力とエネルギーを必要とする。
【００１３】
液晶パネルに用いられている液晶材料の回収方法として、アセトン、イソプロピルアルコールなどの有機溶剤を用いて液晶パネル表面の液晶を溶解することにより回収する方法が提案されている（たとえば、特開２００１−３０５５０２号公報（特許文献５）を参照。）。しかし、特許文献５では上述したような有機溶剤を用いて液晶を溶解させるため、液晶パネル表面の配向膜、カラーフィルタなどの有機物が溶解されてしまう。このため、不純物が混入してしまうことになり、高純度で液晶を回収することができない。また、アセトンなどの有機溶剤は、揮発性が高く、人体に有害である。さらに、この方法では、液晶が溶解させた有機溶剤を蒸留によって有機溶剤と液晶とに分離することで液晶を回収するものであるが、液晶は温度依存性が高いため、蒸留の際に変質してしまう虞がある。
【００１４】
また特開２００２−１２６６８８号公報（特許文献６）には、液晶パネルに用いられている液晶材料の回収方法として、超臨界流体を用いて、液晶材料を分解する方法が提案されている。しかし、このような方法を具現化する設備を用いる場合、耐圧、耐腐食性の要件から、通常設備のイニシャルコストが大きくなり、ランニングコストも高くなる。また、大量のエネルギーを使用するため二酸化炭素の排出量が増大し環境に対する負荷も大きくなる。
【特許文献１】特開２０００−８４５３１号公報
【特許文献２】特開２００５−２９２３９４号公報
【特許文献３】特開２００５−３３４８３８号公報
【特許文献４】特開２０００−１６９９９１号公報
【特許文献５】特開２００１−３０５５０２号公報
【特許文献６】特開２００２−１２６６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
液晶パネルは、省電力・省資源に貢献できる表示装置であるので、今後、高度情報化社会の進展に伴って、急激に生産量が増大するとともに、その表示面積も大型化することが予測され、これに伴って、今後、廃液晶パネルも、数・量ともに急激に増大すると予想される。
【００１６】
従来では、適切な液晶パネルの処理方法が確立されておらず、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）その他の家電製品や部品と比較して技術確立などが遅れているのが実情である。したがって、今後、廃液晶パネルの増加に備えた処理方法の確立が早急に要求される。
【００１７】
液晶パネルの重量の大半を占めるガラスは、廃棄物の低減と資源を大切にする観点から、酸などを使用することのない、環境負荷の低い方法で再生利用することが望ましい。さらに、複雑な設備を用いたり廃液処理に多大な労力およびエネルギーを必要とすることなく、液晶およびインジウムを廃液晶パネルから高純度、高収率で回収することのできる処理方法は未だ提案されていない。
【００１８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、少ない労力とエネルギーを用いガラスを再利用することが可能であるとともに、液晶、透明導電膜中のインジウムを回収することが可能である、廃液晶パネルのガラス基板を回収する方法および装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、廃液晶パネルからガラス基板を回収する方法であって、貼り合わされた２枚のガラス基板を分離するガラス基板分離工程と、分離されたガラス基板上の液晶およびインジウムを回収する液晶およびインジウム回収工程と、液晶およびインジウムを回収した後の液晶ガラス基板からバス電極材料を除去する電極除去工程と、バス電極を除去した後のガラス基板を回収するガラス基板回収工程とを含むことを特徴とする。
【００２０】
ここにおいて、前記電極除去工程は、プラズマ処理によって、ガラス基板に付着した電極材料を除去する工程であることが好ましい。
【００２１】
また本発明は、廃液晶パネルからガラス基板を回収するために用いられる装置であって、廃液晶パネルから分離されたガラス基板をプラズマ処理する手段として、プラズマ発生装置を備える装置についても提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、経済的にかつ高純度かつ高収率で、劣化を伴わずに液晶の回収を行うことができるという効果を奏する。また、本発明によれば、希少金属であるインジウムを経済的に高純度で回収することができるという効果が奏される。さらに本発明によれば、ほとんど廃棄物を排出せず、ガラスを再利用することができるという効果を奏する。したがって本発明により、少ない労力とエネルギーを用いて、液晶を完全に回収することができるとともに、透明導電膜に含まれる希少金属であるインジウムを回収することができ、さらにガラスカレット（ガラス片）も再利用することができる。したがって、ほとんど廃棄物を排出せず、経済的な廃液晶パネルの処理が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、廃液晶パネルのガラス基板を回収する本発明の方法の好ましい一例を模式的に示すフローチャートである。本発明は、廃液晶パネルからガラス基板を回収する方法であって、〔１〕ガラス基板分離工程（ステップＳ１）、〔２〕液晶およびインジウム回収工程（ステップＳ２）、〔３〕電極除去工程（ステップＳ３）、〔４〕ガラス基板回収工程（ステップＳ６）を基本的に含む。また、図１のフローチャートに示すように、電極除去工程（ステップＳ３）とガラス基板回収工程（ステップＳ６）との間に、廃液晶パネルから偏光板を剥離する偏光板剥離工程（ステップＳ４）およびガラス基板をガラスの種類（品種）別に選別するガラス基板選別工程（ステップＳ５）をさらに含むことが好ましい。このような本発明の方法によれば、少ない労力とエネルギーを用いて、液晶を完全に回収することができるとともに、透明導電膜に含まれる希少金属であるインジウムを回収することができ、さらにはガラスカレット（ガラス片）も再利用することができ、ほとんど廃棄物を排出しない経済的な廃液晶パネルの処理が可能となる。
【００２４】
上記各工程の具体的な説明に先立ち、本発明に供される液晶パネルの典型的な構造について、まずは説明する。図２は、本発明の方法に供される典型的な一例の液晶パネル１を模式的に示す断面図である。本発明には、従来公知の適宜の構造の液晶パネルを特に制限されることなく供することができる。たとえば、液晶パネルの製造工場において廃棄される液晶パネル、液晶表示装置の組立工場にて廃棄された液晶表示装置を分解処理して排出される液晶パネル、液晶を応用した製品の製造工場にて廃棄された製品を分解処理して排出される液晶パネル、ならびに、市場にて廃棄された情報表示装置、映像表示装置などを解体処理して排出される液晶パネルを適用することができる。図２には、一例として、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などのアクティブ素子（図示せず）を備えた液晶パネル１を示しているが、本発明には、ＴＮ（Ｔｗｅｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶パネル、ＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ  Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶パネルなどのデューティ液晶パネルも勿論適用可能である。
【００２５】
図２に示す例の液晶パネル１は、たとえば、対向配置された厚さ０．４〜１．１ｍｍ程度の２枚のガラス基板（カラーフィルタ側ガラス基板２ａ、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ）を備える。これらガラス基板２ａ，２ｂは、対向配置された側（内面側）に、周縁部に沿ってシール樹脂体（シール材）３が設けられ、互いに貼り合わされてなる。また、これらガラス基板２ａ，２ｂとシール樹脂体３とによって密封された領域には、液晶が封入され、厚さ４〜６μｍ程度の液晶層４が形成されている。また、各ガラス基板２ａ，２ｂの対向配置された側とは反対側（外面側）に、厚さ０．２〜０．４ｍｍ程度の偏光板５が粘着剤により貼着されている。
【００２６】
ここで、図３は、図２に示した例の液晶パネル１のカラーフィルタ側ガラス基板２ａおよびその周辺を一部拡大して示す断面図である。典型的な液晶パネル１では、図３に示すように、カラーフィルタ側ガラス基板２ａの内面側に、カラーフィルタ６、反射防止膜７、透明導電膜８および配向膜９が形成されている。カラーフィルタ６は有機物を主体とした材料からなる。反射防止膜７は炭素を主成分とした薄膜などからなる。透明導電膜８はインジウムなどを含む薄膜からなる。配向膜９はポリイミドなどの有機物からなる。カラーフィルタ側ガラス基板２ａの表面には、反射防止膜６の材料およびカラーフィルタ７の材料が直接付着している。
【００２７】
また図４は、図２に示した例の液晶パネル１のＴＦＴ側ガラス基板２ｂおよびその周辺を一部拡大して示す断面図である。典型的な液晶パネル１では、図４に示すように、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側に、画素電極１０、バス電極１１、絶縁膜１２、透明導電膜８および配向膜９が形成されている。透明導電膜８は、インジウムなどを含む薄膜からなる。画素電極１０およびバス電極１１はタンタル、モリブデン、アルミニウム、チタンなどの金属を主成分とする薄膜からなる。ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの表面には、バス電極１１の材料および絶縁膜１２の材料が直接付着している。前記カラーフィルタ６、反射防止膜７、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２の膜厚は、前記２枚のガラス基板２ａ，２ｂの厚さと比較して、十分に薄い。
【００２８】
廃液晶パネルからガラス基板を回収する本発明の方法には、たとえば上述したような構造を備える液晶パネルの廃棄物（廃液晶パネル）を適用する。以下、本発明の方法における各工程について、図２に示した例の液晶パネル１を適用する場合を例に挙げて詳細に説明する。
【００２９】
〔１〕ガラス基板分離工程
まず、図１のフローチャートに示すように、貼り合されたガラス基板２ａ，２ｂを、２枚に分離する（ステップＳ１）。分離方法としては、たとえばシール樹脂体３を加熱する方法、ガラス基板２ａ，２ｂのエッジ部分を切断する方法などが挙げられる。ガラス基板２ａ，２ｂを分離すると、ガラス基板２ａ，２ｂの隙間に封入されていた液晶層４が表面に露出する。
【００３０】
シール樹脂体３を加熱して分離する方法では、シール樹脂体３を加熱し、シール樹脂体３の強度を低下させることにより分離する。上述したように、ガラス基板２ａ，２ｂは、通常、対向配置された側（内面側）に、周縁部に沿ってシール樹脂体３が設けられ、互いに貼り合わされてなる。シール樹脂体３としては、通常、エポキシ系樹脂などが用いられ、加熱することでシール樹脂体３の強度を低下させることができる。シール樹脂体３の加熱温度としては、シール樹脂体３の形成材料に応じて適宜選択することができ、特に制限されるものではないが、たとえばエポキシ系樹脂のシール樹脂体３の場合には、３００℃以上が望ましく、４００℃以上がより望ましい。加熱の方法としては、たとえば、ランプ加熱、赤外線加熱、ヒートプレスなどが挙げられる。加熱によりシール樹脂体３の強度を低下させることで、手作業で容易にガラス基板２ａ，２ｂを分離することが可能となる。
【００３１】
また、ガラス基板２ａ，２ｂのエッジ部分を切断することによってガラス基板２ａ，２ｂを分離する場合には、ガラス基板２，２ｂの内側の四辺を切断することで、それぞれ１枚ずつガラスを切り出すようにすればよい。ガラス基板２ａ，２ｂの切断には、たとえば、ガラスカッター、ダイヤモンドソー、スクライバーなどを用いることができる。
【００３２】
〔２〕液晶およびインジウム回収工程
次に、上述のようにして分離されたガラス基板２ａ，２ｂ上に露出する液晶を回収する（ステップＳ２）。ここで、図５は、本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、液晶の回収方法の一例を模式的に示す図である。液晶は、たとえば、ガラス基板２ａ，２ｂの表面を液晶回収用のスクレーパ２１を用いてスクレーピングすることによって回収することができる（図５には、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の液晶を回収する場合を示している）。液晶回収用のスクレーパ２１としては、ガラス基板２ａ，２ｂ上に形成されている配向膜９より柔らかいポリプロピレンゴム、ポリエチレンゴムなどで形成されたスクレーパを好適に用いることができる。このような液晶回収用のスクレーパ２１を用いることにより、配向膜９を削り取らずに液晶のみを回収することができる。
【００３３】
インジウムは、たとえば、上述のように液晶を回収した後に、ガラス基板２ａ，２ｂの内面側に形成された反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２などの薄膜（カラーフィルタ側ガラス基板２ａの側では、反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９などの薄膜、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの側では、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２などの薄膜）と一緒にガラス基板から回収し、高純度のインジウム含有粉末を得て、回収する。
【００３４】
上述した薄膜を除去する方法としては、たとえばスクレーピングを好適に用いることができる。スクレーピングを採用する場合、たとえば薄膜除去用のスクレーパ３１を用いて、ガラス基板２ａ，２ｂの内面側に形成された上記薄膜をそれぞれ削り取る。ここで、図６は、本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の薄膜の除去方法の第１の例を模式的に示す図である。カラーフィルタ側ガラス基板２ａの内面側には、反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９が形成されているが、このうちカラーフィルタ側ガラス基板２ａに直接付着している材料は、反射防止膜６およびカラーフィルタ７である。反射防止膜６およびカラーフィルタ７は、有機物を主体とした材料からなり、ファンデルワールス力によりガラス基板２ａに付着しているため、スクレーピングにより反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９の全ての薄膜を容易に除去することができる。薄膜除去用のスクレーパ３１としては、たとえばステンレス、チタン合金などの金属製のスクレーパを好適に用いることができる。
【００３５】
上述のようにインジウムは透明導電膜８に含まれる。スクレーピングによりガラスフィルタ側ガラス基板２ａの内面側から除去されたこの透明導電膜８を含む薄膜は、有機物とＩＴＯ粉末とからなるインジウム含有粉末として回収される。このインジウム含有粉末を焼成することで、有機物を燃焼させて、残存したＩＴＯ粉末を回収することができる。回収されたＩＴＯ粉末は、非鉄精錬メーカなどにより金属インジウムに精製あるいはＩＴＯターゲットに加工される。また、スクレーピングにより反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９が除去されたカラーフィルタ側ガラス基板２ａは、後述のガラス基板回収工程（ステップＳ６）でガラスへとリサイクルされる。
【００３６】
また図７は、本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ側の薄膜の除去方法の第１の例を模式的に示す図である。ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側には、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２が形成されている。図７に示すように、カラーフィルタ側ガラス基板２ａと同様に、薄膜除去用のスクレーパ４１を用いて、スクレーピングにより、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２を除去することができる。薄膜除去用のスクレーパ４１としては、上述した薄膜除去用のスクレーパ３１と同様に、たとえばステンレス、チタン合金などの金属製のスクレーパを好適に用いることができる。
【００３７】
ここで、図８は、図７に示したようにスクレーピングを行った後の状態のＴＦＴ側ガラス２ｂを模式的に示す断面図である。ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側において、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂに直接付着しているのは、タンタル、モリブデン、アルミニウムまたはチタンなどで形成された金属薄膜からなるバス電極１１である。バス電極１１とＴＦＴ側ガラス基板２ｂとはアンカー効果により付着しているため付着力が強く、図７に示したようなスクレーピングでは完全に除去することができず、一部残存する（図８）。このため、バス電極１１は、後述する電極除去工程（ステップＳ３）にて除去する。
【００３８】
スクレーピングによりＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側から除去された透明導電膜８を含む薄膜は、有機物とＩＴＯ粉末と画素電極材料である金属からなるインジウム含有粉末として回収される。このインジウム含有粉末を焼成することで、有機物を燃焼させて、残存したＩＴＯ粉末および画素電極材料の金属を回収することができる。回収されたＩＴＯ粉末および画素電極材料の金属は、非鉄精錬メーカなどにより金属インジウム、画素電極材料の金属をそれぞれ回収することができる。
【００３９】
また、本発明における液晶およびインジウム回収工程では、サンドブラストを用いて液晶を除去した後のガラス基板２ａ，２ｂの内面側に形成された上記薄膜を除去するようにしてもよい。サンドブラストを採用する場合、微粒子の砂をガラス基板２ａ，２ｂに勢いよく吹き付けて、上記薄膜をそれぞれ除去する。ここで、図９は、本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の薄膜の除去方法の第２の例を模式的に示す図である。図９に示すように、カラーフィルタ側ガラス基板２ａに微粒子の砂をブラストガン５１により吹き付けると、カラーフィルタ側ガラス基板２ａの内面側に形成されている反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９を全て除去することができる。
【００４０】
サンドブラストによりガラスフィルタ側ガラス基板２ａの内面側から除去された透明導電膜８を含む薄膜は、有機物とＩＴＯ粉末とからなるインジウム含有粉末と、サンドブラストに用いた微粒子の砂との混合物として回収される。この混合物から、まず、分級によって微粒子の砂を分離する。分離した砂は、サンドブラストに再使用することができる。次に、砂と分離したインジウム含有粉末を焼成することにより有機物を燃焼し、残存するＩＴＯ粉末を回収する。回収されたＩＴＯ粉末は、非鉄精錬メーカなどにより金属インジウムに精製あるいはＩＴＯターゲットに加工される。また、サンドブラストにより反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９が除去されたカラーフィルタ側ガラス基板２ａについても、後述のガラス基板回収工程（ステップＳ６）でガラスへとリサイクルされる。
【００４１】
また図１０は、本発明の液晶ガラスの回収方法における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ側の薄膜の除去方法の第２の例を模式的に示す図である。ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側には、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２が形成されている。図１０に示すように、カラーフィルタ側ガラス基板２ａと同様にブラストガン６１によりＴＦＴ側ガラス基板２ｂに微粒子の砂を勢いよく吹き付けることで、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側に形成された透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０および絶縁膜１２を除去することができる。しかしながらバス電極１１についてはサンドブラストによって除去されずに、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ上に残存するため、サンドブラストを行った後は、図８に示したのと同様の状態となる。
【００４２】
サンドブラストによりＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側から除去された透明導電膜８を含む薄膜は、有機物とＩＴＯ粉末と画素電極材料である金属からなるインジウム含有粉末と、サンドブラストに用いた微粒子の砂との混合物として回収される。この混合物から、まず、分級によって微粒子の砂を分離する。分離した砂は、サンドブラストに再使用することができる。次に、砂と分離したインジウム含有粉末インジウム含有粉末を焼成することで、有機物を燃焼させて、残存したＩＴＯ粉末および画素電極材料の金属を回収することができる。回収されたＩＴＯ粉末および画素電極材料の金属は、非鉄精錬メーカなどにより金属インジウム、画素電極材料の金属をそれぞれ回収することができる。
【００４３】
さらに、本発明における液晶およびインジウム回収工程では、回転研磨を用いて液晶を除去した後のガラス基板２ａ，２ｂの内面側に形成された上記薄膜を除去するようにしてもよい。回転する金属ブラシあるいは研磨パッドによりガラス基板２ａ，２ｂ上の付着物を研磨する。ここで、図１１は、本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の薄膜の除去方法の第３の例を模式的に示す図である。図１１に示すように、カラーフィルタ側ガラス基板２ａに研磨パッド７１により回転研磨処理を施すと、カラーフィルタ側ガラス基板２ａの内面側に形成されている反射防止膜６、カラーフィルタ７、透明導電膜８および配向膜９を全て除去することができる。
【００４４】
回転研磨によりガラスフィルタ側ガラス基板２ａの内面側から除去された透明導電膜８を含む薄膜は、有機物とＩＴＯ粉末とからなるインジウム含有粉末として回収される。この粉末を焼成することにより有機物を燃焼し、残存するＩＴＯ粉末を回収する。回収されたＩＴＯ粉末は、非鉄精錬メーカなどにより金属インジウムに精製あるいはＩＴＯターゲットに加工される。また、回転研磨によりカラーフィルタ７、反射防止膜６、透明導電膜８および配向膜９が除去されたカラーフィルタ側ガラス基板２ａについても、後述のガラス基板回収工程（ステップＳ６）でガラスへとリサイクルされる。
【００４５】
また図１２は、本発明の液晶ガラス基板の回収方法における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ側の薄膜の除去方法の第３の例を模式的に示す図である。ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側には、透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０、バス電極１１および絶縁膜１２が形成されている。図１２に示すように、カラーフィルタ側ガラス基板２ａと同様に研磨パッド８１により回転研磨によりＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側に形成された透明導電膜８、配向膜９、画素電極１０および絶縁膜１２を除去することができる。しかしながらバス電極１１については回転研磨によって除去されずに、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ上に残存するため、回転研磨を行った後は、図８に示したのと同様の状態となる。
【００４６】
回転研磨によりＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側から除去された透明導電膜８を含む薄膜は、有機物とＩＴＯ粉末と画素電極材料である金属からなるインジウム含有粉末として回収される。このインジウム含有粉末を焼成することで、有機物を燃焼させて、残存したＩＴＯ粉末および画素電極材料の金属を回収することができる。回収されたＩＴＯ粉末および画素電極材料の金属は、非鉄精錬メーカなどにより金属インジウム、画素電極材料の金属をそれぞれ回収することができる。
【００４７】
〔３〕電極除去工程
次に、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂのバス電極１１を除去する（ステップＳ３）。除去の方法としては、たとえば、プラズマ照射による方法を用いる。バス電極１１は、タンタル、モリブデン、アルミニウムあるいはチタンなどのバス電極形成材料がアンカー効果によりガラス基板２ｂに付着しており、機械的手法により容易に除去できない。酸性溶液などを用いてこれらのバス電極材料を溶解し除去するようにしてもよいが、この方法では、酸性雰囲気により作業環境が悪化するほか、廃液処理に多大なエネルギーと労力を必要とし、環境に悪影響を及ぼす虞がある。また、タンタルおよびモリブデンなどの高融点金属は、フッ酸などの酸化力が非常に強い酸性溶液を使用しなければ除去できない場合もあり、作業安全上の問題も生じる。
【００４８】
液晶パネルに用いられるガラス基板をリサイクルするためには、リサイクルされたガラス基板の機械的および光学的特性の劣化を避けるため、ガラス基板表面の不純物を完全に除去する必要がある。このガラス基板表面の不純物の中では、上述のようにガラス基板表面に直接付着したバス電極材料が、除去が最も困難であり、環境負荷の低い方法で除去することが必要とされる。本発明においては、このバス電極の除去に、プラズマ処理を利用することが好ましい。プラズマ処理を利用してガラス基板表面からバス電極を除去することによって、従来の酸性溶液を用いた場合とは異なり環境に負荷を与える物質を使用することがないという利点がある。さらに、プラズマ処理を利用すれば、水を使用することもないので乾燥などにエネルギーが不要であり地球にやさしい技術で、持続可能な環境を維持するための材料リサイクルを実現することができる。
【００４９】
図１３は、本発明における電極除去工程に用いられる好ましい一例のプラズマ発生装置１０１を模式的に示す図である。ここで、プラズマ処理に用いる放電方式・プラズマ発生方法は公知のものを適宜使用することができ、特に制限されるものではないが、たとえば図１３に示すようなプラズマ発生装置１０１が好適に利用され得る。図１３には、円筒状金属で形成されたＡ電極１０５と、その対となる金属棒状または線状のＢ電極１０６とが、一定の間隔をあけ、その間にＢ電極１０６に密着して内側から覆う円筒状の誘電体１０７を介在させるように配置されたトーチ１０３を備えるように構成された例のプラズマ発生装置１０１を示している。図１３に示す例では、Ａ電極１０５およびＢ電極１０６に電源１０４が電気的に接続され、また、Ａ電極１０５と誘電体１０７との間には、原料ガスを供給するためのガス供給路１０８が形成されている。
【００５０】
図１３に示すプラズマ発生装置１０１において、まず、トーチ１０３内のガス供給路１０８に原料ガスを供給しつつ、電源１０４からＡ電極１０５およびＢ電極１０６に電圧を印加する。電源１０４は、空気や水蒸気およびその他の気体を活性化し得る電源であれば、直流、交流、パルスのいずれでもよいが、パルス電源が好ましく使用される。電源１０４よりＡ電極１０５およびＢ電極１０６にある値以上の電圧が印加されると、Ａ電極１０５とＢ電極１０６とが対向する領域で放電を生じるが、図１３に示すような誘電体バリア放電の場合、片方の電極（すなわちＢ電極１０６）の内側が誘電体１０７で覆われているため、放電が生じる領域が集中することなく、誘電体１０７で覆われた領域に応じて広く分布して放電が生じ、大きなプラズマ領域を得ることができるという利点がある。
【００５１】
ここで、電源１０４をパルス電源とした場合、周波数は特に限定されないが、たとえば１〜１００ｋＨｚとすることができる。Ａ電極１０５の形成材料としては、たとえばタングステンなどが使用できるがこれに限定されるものではなく、従来公知の適宜のものが使用できる。Ｂ電極１０６の形成材料としては、たとえばＳＵＳ、真鍮、銅などが使用できるがこれに限定されるものではなく、従来公知の適宜のものが使用できる。また、誘電体１０７の形成材料としては、たとえば石英ガラス、アルミナなどが使用できるがこれに限定されるものではなく、従来公知の適宜のものが使用できる。
【００５２】
なお、図１３に示すようなプラズマ発生装置１０１を用いた誘電体バリア放電は、あくまでも一例であって、たとえば他に熱プラズマ、コロナ放電やグロー放電、アーク放電など種々の放電発生方式、あるいはそれらの組み合わせを有する従来公知の適宜のプラズマ発生装置を本発明におけるバス電極除去工程に好適に適用可能である。
【００５３】
バス電極除去工程にプラズマ処理を利用する場合、上述したようにして発生したプラズマを、液晶およびインジウムを回収した後のガラス基板表面に照射することによって、ガラス基板に残存したバス電極材料を除去する。すなわち、放電によってガス供給路１０８から入ってくるガスの成分が高速に加速された電子と衝突することにより、電離・解離・励起され、ガスの成分に起因する各種のイオンやラジカルが生成する。これらのラジカルがガラス基板に残存したバス電極材料に作用し、ガラス基板からバス電極材料を分離させる。
【００５４】
ガラス基板表面にプラズマを照射する時間は、ガラス基板上のバス電極材料が除去できるのであれば特に限定されないが、たとえば、１秒〜１時間である。また、ガラス基板の表面をより高度に洗浄するために、たとえば、ガラス基板上のバス電極材料を除去した後に、さらにプラズマ照射を行なってもよい。
【００５５】
プラズマ発生装置１０１における電源電圧、周波数もまた、特に限定されず、プラズマ処理の途中で変更してもよい。プラズマを発生させる領域とガラス基板との間の距離も特に限定されず、たとえば数ｍｍ〜数ｍの直線距離とすることができる。
【００５６】
プラズマ発生装置１０１に供給される原料ガスとしては、たとえば、酸素ガス、窒素ガス、空気、水蒸気、ヘリウムガス、アルゴン、二酸化炭素、水素ガス、メタンガス、アンモニアガス、フッ素ガスなどが挙げられるがこれに限定されるものではない。
【００５７】
ここで、ガラス基板からバス電極材料を除去するのに有効なラジカルは種々存在するが、有毒であるものや高価なものは避けるべきであり、空気そのものを原料ガスとして用いるのが好ましいが、プラズマ処理領域における酸素ラジカル濃度を上げるために、空気に少量の酸素ガスを付加するか、あるいは、水蒸気を付加するのが好ましい。なお、水蒸気を付加する方法は、酸素ガスを付加する方法と比較して簡便であり、より好適である。
【００５８】
また上述のように酸素ガスまたは水蒸気を付加した空気を原料ガスとして用いる場合には、付加した酸素ガスまたは水蒸気を供給段階で制御するよりは、プラズマ発生装置２によりプラズマを照射する領域を観察して、この観察された結果に応じて電源６の周波数を変化させるように制御して、当該領域における酸素ラジカルの濃度を調整するように実現することが好ましい。すなわち、空気そのものを原料ガスとして用いることが経済的で安全ではなるが、湿度の変化がプラズマを照射する領域における酸素ラジカル濃度の変化として現れてくることは好ましくなく、これを適正に保つために、電源６の周波数の制御、酸素ガスまたは水蒸気の添加量の制御などを行うことが好ましい。
【００５９】
バス電極１１が完全に除去されたＴＦＴ側ガラス基板２ｂは、表面の付着物が除去された素ガラスの状態であり、続くガラス回収工程においてガラスへとリサイクルすることができる。なお、ガラス基板からバス電極材料が除去され、ガラス基板が十分に洗浄されていることは、たとえば、エネルギー分散型Ｘ線分析装置を用いてガラス基板表面を分析することにより、確認することができる。また、プラズマ処理を施したガラス基板にスクレーピング、サンドブラスト、回転研磨等の機械的な処理を施すことにより、バス電極材料の残存をさらに少なくすることもできる。
【００６０】
〔４〕偏光板剥離工程
たとえば図２に示したように、各ガラス基板２ａ，２ｂの外面側に偏光板５が貼着された液晶パネル１の場合には、偏光板５を剥離する工程を含むことが好ましい（ステップＳ４）。なお、図１のフローチャートでは、この偏光板剥離工程（ステップＳ４）を電極剥離工程（ステップＳ３）とガラス基板選別工程（ステップＳ５）（後述）との間に行う場合を例示しているが、偏光板剥離工程は後述するガラス基板回収工程（ステップＳ６）の前のいずれかのステップで行えばよく、この順序に限定されるものではない。たとえば、パネル分離工程（ステップＳ１）の前、液晶およびインジウム回収工程（ステップＳ２）の前、電極除去工程（ステップＳ３）の前のいずれかに行うようにしてもよい。また、偏光板を有しない液晶パネルの場合には、この偏光板剥離工程を削除しても勿論よい。
【００６１】
偏光板５の剥離は、機械的な手法によって行うことができる。機械的な手法によって偏光板５を剥離することで、液晶回収前に当該偏光板剥離工程を行った場合（たとえば、上述のようにパネル分離工程（ステップＳ１）の前に行う場合、液晶およびインジウム回収工程（ステップＳ２）の前に行う場合）であっても、液晶を加熱処理しないため、加熱処理による液晶の変質を防止でき、液晶を高品質な状態で回収することが可能となる。偏光板５の剥離は、たとえば手作業で行ってもよく、また市販の偏光板剥離装置を用いるようにしてもよい。
【００６２】
〔５〕ガラス基板選別工程
次に、ガラス基板２ａ，２ｂをガラスの種類（品種）別に選別する（ステップＳ５）。なお、図１のフローチャートでは、このガラス基板選別工程（ステップＳ５）を偏光板剥離工程（ステップＳ４）とガラス基板回収工程（ステップＳ６）（後述）との間に行う場合を例示しているが、ガラス基板選別工程は後述するガラス基板回収工程（ステップＳ６）の前のいずれかのステップで行えばよく、この順序に限定されるものではない。たとえば、パネル分離工程（ステップＳ１）の前、液晶およびインジウム回収工程（ステップＳ２）の前、電極除去工程（ステップＳ３）の前、偏光板剥離工程（ステップＳ４）の前のいずれかに行うようにしてもよい。
【００６３】
液晶パネルに用いられるガラス基板は、ガラスメーカーによって、あるいはガラス品種、品番などによって組成が異なる。したがって、回収したガラス基板をたとえばガラス基板用の材料として再利用するためには、多種多様なガラス基板を品種別に選別することが必要となる。また、回収したガラス基板をたとえば一般ガラス用の材料として再利用する場合にも、ある程度、ガラス基板を品種別に選別することが要求される場合がある。
【００６４】
液晶パネルのガラス基板を品種別に選別する方法としては、たとえば、液晶パネルにガラス品種の表示を設けることによって行うことができる。ここで図１４は、ガラス品種の表示を設ける場合を模式的に示す斜視図である。図１４には、図２に示した例の液晶パネルの斜視図を示している。たとえば図１４に示すように、ガラス基板２ａ，２ｂの少なくとも一方（図１４に示す例では、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ）に、ガラス品種表示２０１を設ける。ガラス品種表示２０１は、ガラス品種を印刷したシールなどを貼着したり、または文字・記号・バーコードなどの印刷もしくは刻印、または表面加工によってガラス基板に設けることが可能である。このガラス品種表示２０１を識別することで、ガラス基板を種類（品種）別に短時間で、確実に、かつ経済的に選別することができる。
【００６５】
また本発明においては、蛍光Ｘ線装置を用いて、液晶パネルのガラス基板のガラスを品種別に選別するようにしてもよい。この場合、具体的には、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置を用いガラス基板に軟Ｘ線を直接照射することが挙げられる。これにより、ガラス基板に含まれるそれぞれの元素に特有なエネルギーをもった蛍光Ｘ線が発せられる。この蛍光Ｘ線を蛍光Ｘ線センサにてエネルギーごとにカウントすることで、ガラス基板にどのような元素がどのような割合で含まれているかを測定（分析）する。ガラスの化学組成を品種ごとに予め調べておき、それらの値とガラス基板の測定値とを比較することにより、ガラス基板をガラス品種ごとに短時間で、確実に、かつ経済的に選別することができる。
【００６６】
〔６〕ガラス基板回収工程
次に、表面の付着物が除去されたガラス基板２ａ，２ｂからガラスを回収する（ステップＳ６）。回収の方法としては、たとえば、表面の付着物が除去されたガラス基板を液晶パネルの製造工程へ投入する方法、あるいは、ガラス基板２ａ，２ｂを破砕し、ガラスメーカーで同一用途に再生する方法、珪石代替材料やタイル材料として再資源化する方法などが挙げられる。
【００６７】
ガラス基板２ａ，２ｂを破砕し、リサイクルする具体的方法について以下に説明する。まず、ガラス基板２ａ，２ｂの破砕を行う。ガラス基板２ａ，２ｂは、上述したガラス基板選別工程（ステップＳ５）において既にガラス品種別に選別されており、単一の品種のガラス基板ごとに破砕する。ガラス基板２ａ，２ｂの破砕においては、市販の各種方式の破砕機を使用することができる。破砕機の種類は特に限定されるものではないが、塵の発生が少なく容易に破砕することができ、環境に悪影響を及ぼさず、かつ、ランニングコストが安価であるなどの観点から、２軸剪断方式の破砕機がより好ましい。該破砕機は、サイズの揃った破砕物が得られやすいこと、微粉末の発生比率が小さく、破砕物をガラスカレットとして最終的に再利用しやすいことなどの利点も有している。破砕のサイズは自由であるが、１５ｍｍ以下が好ましい。
【００６８】
回収されたガラスカレットは、上述したガラス基板選別工程（ステップＳ５）において既にガラス品種別に選別されている。このため、回収されたガラスカレットは、単一の品種のガラスであり、かつ、ガラス基板用の原料ガラスと代わらない化学組成を有している。それ故、ガラスカレットを原料ガラスに添加混合することにより、または、原料ガラスに置き換えて、再使用（マテリアルリサイクル）することができる。再使用する際には、たとえば、ガラスカレットを原料ガラスと共に溶融炉で溶融させればよい。さらに、回収されたガラスカレットは、たとえば、一般ガラス用の材料として再使用することもできる。なお、ガラス基板２ａ，２ｂは、ガラスカレットの状態で回収されることで、その保管、運搬および再処理に必要なスペースを小さくすることができ、かつ、保管作業および運搬作業を容易に行うことができるという利点もある。このように本発明の液晶ガラス基板の回収方法では、ほとんど廃棄物を排出することなく、液晶、および透明導電膜中のインジウムを回収でき、ガラスについても再利用することができる。
【００６９】
以上のような本発明の方法によって回収された液晶、インジウムおよびガラスは、各種材料として再利用することができる。なお、本発明の方法は、上述したようにガラス基板分離工程（ステップＳ１）、液晶およびインジウム回収工程（ステップＳ２）、バス電極除去工程（ステップＳ３）およびガラス基板回収工程（ステップＳ６）を少なくとも含んでいればよく、図１のフローチャートに示した手順に限定されるものではなく、図１に示されていないステップが必要により付加されてもよい。
【００７０】
また本発明では、好ましくはバス電極除去工程にプラズマ処理を利用する。ここで、プラズマ発生の技術自体は、ＩＣ産業や電子部品産業の分野で実用化が進んでいる物質の分解や改質に関する技術として応用されている。しかしながら、本発明においては、当該プラズマ技術を液晶パネルのリサイクルの分野に応用しようとするものであり、具体的には表面に不純物が残存したガラス基板にプラズマを照射することにより、残存したバス電極材料を除去し、ガラス基板をリサイクルする方法である。このような着眼は、従来にはない、画期的なものである。
【００７１】
ここで、図１５は、本発明の好ましい一例の装置３０１を模式的に示す図である。本発明は、廃液晶パネルからガラス基板を回収するために好適に用いられる装置についても提供するものである。本発明の装置は、液晶パネルから分離されたガラス基板をプラズマ処理する手段としてプラズマ発生装置を備えるものであれば特に制限されるものではないが、図１５に示すような構成を備える装置３０１にて実現されることが好ましい。このような本発明の装置は、上述した本発明の方法におけるバス電極除去工程（ステップＳ３）に好適に利用され得る。
【００７２】
図１５に示す例の装置３０１は、プラズマ発生装置３０２と、プラズマ発生装置３０２において発生したプラズマ３０９によって処理するためのガラス基板３１３を収容するための反応炉３０４とを備える。プラズマ発生装置３０２は、図１３に示した例と同様に、たとえば円筒状金属で形成されたＡ電極と、その対となる金属棒状または線状のＢ電極とが一定の間隔をあけ、その間にＢ電極に密着して内側から覆う円筒状の誘電体を介在させるように配置されたトーチ３０３を備える。また、図１３に示した例と同様に、Ａ電極と誘電体との間には、原料ガスを供給するためのガス供給路が形成されている（図１５において、Ａ電極、Ｂ電極、誘電体およびガス供給路は図示していない）。図１５に示す例では、プラズマ発生装置３０２のトーチ３０３に電源３０４が電気的に接続されており（図示しないが、電源３０４は、トーチ３０３内のＡ電極およびＢ電極に電気的に接続されている）、またトーチ３０３に所定の原料ガスを供給するガスボンベ３１１ａ，３１１ｂと、トーチ３０３に供給する原料ガスの流量を所定量に調整するガス弁３１２ａ，３１２ｂとガス供給路３０８とを基本的に備える（図示しないが、ガスボンベ３１１ａ，３１１ｂから供給された原料ガスは、ガス供給路３０８を通過し、トーチ３０３内のＡ電極と誘電体との間に形成されたガス供給路に供給されるように構成されている）。
【００７３】
図１５に示した装置３０１を用いたプラズマ発生は、まず、ガスボンベ３１１ａ，３１１ｂよりガス弁３１２ａ，３１２ｂを介してトーチ１０３内のガス供給路に原料ガスを供給しつつ、電源３０４からトーチ３０３内のＡ電極およびＢ電極に電圧を印加することによって、プラズマ３０９を形成させる。このようにした発生したプラズマ３０９を、反応炉３１４内に載置されたガラス基板３１３に照射することで、ガラス基板表面に付着したバス電極材料などの不純物を除去し、ガラス基板表面を洗浄することが可能となる。
【００７４】
図１５に示す例におけるプラズマ発生装置３０２でも、各電極および誘電体の形成材料、電源および原料ガスの種類、放電方式などは、図１３に示したプラズマ発生装置１０１を例に挙げて説明したのと同様に、特に制限されるものではない。なお、図１５に示す例の装置３０１では、原料ガスの供給は、たとえば、ガスボンベ３１１ａより酸素ガスを、ガスボンベ３１１ｂより窒素ガスを供給することができるが、原料ガスの供給方法はこれに限定されるものではなく、従来公知の方法を適宜使用することができる。原料ガスの１つに空気を用いる場合には、送風機を用いて供給するようにしてもよい。
【００７５】
なお、図１５に示した装置３０１はあくまでも一例であり、本発明の装置は、廃液晶パネルからガラス基板を回収するために用いられ、廃液晶パネルから分離されたガラス基板をプラズマ処理する手段としてプラズマ発生装置を備えるものであれば、その具体的構造は特に制限されるものではない。
【００７６】
以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００７７】
＜実施例＞
図２に示したような１５型の廃液晶パネル１について、以下の手順にて処理を行った。
【００７８】
〔１〕パネル分離工程（ステップＳ１）
廃液晶パネル１のシール樹脂体３を、ハロゲンランプにより４５０℃で３０秒間加熱した後、手作業で２枚のガラス基板に分離した。
【００７９】
〔２〕液晶およびインジウム回収工程（ステップＳ２）
次に、分離した各ガラス基板２ａ，２ｂから、ポリプロピレン製のスクレーパを用いて、液晶を回収した。廃液晶パネルに含有されている液晶量は３８０ｍｇであったのに対し、回収された液晶の量は３４６ｍｇであり、９１％という高い収率で液晶を回収できた。なお、液晶の定量分析にはガスクロマトグラフィを用いた。
【００８０】
次に、ステンレス製のスクレーパを使用し、カラーフィルタ側ガラス基板２ａから、インジウムの回収を行った。残ったカラーフィルタ側ガラス基板２ａの表面を蛍光Ｘ線で分析した結果、内面側の付着物は完全に除去されていることが確認できた。カラーフィルタ側ガラス基板２ａ上のカラーフィルタ６、反射防止膜７、透明導電膜８および配向膜９は完全に除去されていた。
【００８１】
次に、ステンレス製のスクレーパを使用し、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂから、インジウムの回収を行った。残ったＴＦＴ側ガラス基板２ｂの表面を蛍光Ｘ線で分析した結果、内面側には、バス電極１１の形成材料であるタンタルのみが残存していた。
【００８２】
〔３〕電極除去工程（ステップＳ３）
次に、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂの内面側に残存するバス電極１１の除去を行った。図１５に示した例のプラズマ発生装置３０２を備える本発明の装置３０１を用い、縦１０ｍｍ、横１０ｍｍのサイズに切断した液晶パネルディスプレイをサンプルとして、プラズマ処理の実験を行った。プラズマ発生装置は、負極であるＡ電極としてタングステン製電極、正極であるＢ電極としてＳＵＳ製電極を用い、誘電体として石英ガラスチューブ製のものを用いた（トーチ３０３の長さ：１００ｍｍ、ノズル径：２ｍｍ、Ａ電極−Ｂ電極間距離：２ｍｍ）。原料ガスとしては窒素ガスを用いた（総ガス流量：３０リットル／分）。サンプルは、プラズマジェットのノズルとの間の距離が５ｍｍとなるように配置した。電源３０４からの出力は、電圧値Ｖ＋，Ｖ−が４ｋＶ、パルスの立ち上がり時間および立ち下がり時間が１μｓｅｃ、パルス幅が２μｓｅｃ、周波数が５ｋＨｚ、電力が４００Ｗとなるように設定した。このような条件で、プラズマ処理を５分間行った。さらに、プラズマ処理後のガラス基板２ｂ表面をステンレス製のスクレーパを用いてスクレーピング処理した。
【００８３】
この電極除去工程を行う前にＴＦＴ側ガラス基板２ｂに付着していたバス電極材料であるタンタル量は０．２３ｍｇであったのに対し、電極除去工程を行った後にＴＦＴ側ガラス基板２ｂに付着していたタンタル量は検出限界以下であり、電解エッチングによってバス電極１１の形成材料であるタンタルはほぼ完全にＴＦＴ側ガラス基板２ｂから除去されていることが確認された。なお、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂに付着しているタンタル量の定量分析には、当該ＴＦＴ側ガラス基板２ｂから酸性の水溶液を用いて抽出したサンプルをＩＣＰ発光装置を用いて分析した。
【００８４】
〔４〕ガラス基板回収工程（ステップＳ６）
上記〔２〕で得られたカラーフィルタ側ガラス基板２ａおよび上記〔３〕で得られたＴＦＴ側ガラス基板２ｂを、２軸剪断方式の破砕機を用いて破砕し、ガラスカレットとして回収した。
【００８５】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
廃液晶パネルの埋立地への投棄量を極力抑え、資源を有効に利用することのできる液晶ガラス基板の回収方法および回収装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】廃液晶パネルのガラス基板を回収する本発明の方法の好ましい一例を模式的に示すフローチャートである。
【図２】本発明の方法に供される典型的な一例の液晶パネル１を模式的に示す断面図である。
【図３】図２に示した例の液晶パネル１のカラーフィルタ側ガラス基板２ａおよびその周辺を一部拡大して示す断面図である。
【図４】図２に示した例の液晶パネル１のＴＦＴ側ガラス基板２ｂおよびその周辺を一部拡大して示す断面図である。
【図５】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、液晶の回収方法の一例を模式的に示す図である。
【図６】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の薄膜の除去方法の第１の例を模式的に示す図である。
【図７】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ側の薄膜の除去方法の第１の例を模式的に示す図である。
【図８】図７に示したようにスクレーピングを行った後の状態のＴＦＴ側ガラス２ｂを模式的に示す断面図である。
【図９】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の薄膜の除去方法の第２の例を模式的に示す図である。
【図１０】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ側の薄膜の除去方法の第２の例を模式的に示す図である。
【図１１】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、カラーフィルタ側ガラス基板２ａ側の薄膜の除去方法の第３の例を模式的に示す図である。
【図１２】本発明における液晶およびインジウム回収工程に好適に採用され得る、ＴＦＴ側ガラス基板２ｂ側の薄膜の除去方法の第３の例を模式的に示す図である。
【図１３】本発明における電極除去工程に用いられる好ましい一例のプラズマ発生装置１０１を模式的に示す図である。
【図１４】ガラス品種の表示を設ける場合を模式的に示す斜視図である。
【図１５】本発明の好ましい一例の装置３０１を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００８８】
１  液晶パネル、２ａ  ガラス基板（カラーフィルタ側ガラス基板）、２ｂ  ガラス基板（ＴＦＴ側ガラス基板）、３  シール樹脂体、４  液晶層、５  偏光板、６  反射防止膜、７  カラーフィルタ、８  透明導電膜、９  配向膜、１０  画素電極、１１  バス電極、２１  液晶回収用のスクレーパ、３１，４１  薄膜除去用のスクレーパ、５１，６１  ブラストガン、７１，８１  研磨パッド、１０１，３０２  プラズマ発生装置、１０３，３０３  トーチ、１０４，３０４  電源、１０５  Ａ電極、１０６  Ｂ電極、１０７  誘電体、１０８，３０８  ガス供給路、１０９，３０９、プラズマ、２０１  ガラス品種表示、３０１  液晶ガラス基板の回収装置、３１１ａ，３１１ｂ  ガスボンベ、３１２ａ，３１２ｂ  ガス弁、３１３  ガラス基板、３１４  反応炉。
【図１】
2008216566.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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