(57)【要約】【課題】本発明の目的は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性や耐食性・耐摩耗性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体を加圧する圧力室を有するノズル本体と、前記圧力室に連通し加圧した液体を吐出させるためのノズル孔を有するノズルプレートと、を備え、前記ノズルプレートは、前記ノズル本体の一端面に成膜することにより形成されたものであること、を特徴とするインクジェットヘッドを提供する。【選択図】図１
2008037005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を加圧する圧力室を有するノズル本体と、
前記圧力室に連通し加圧した液体を吐出させるためのノズル孔を有するノズルプレートと、
を備え、
前記ノズルプレートは、前記ノズル本体の一端面に成膜することにより形成されたものであること、を特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記ノズルプレートは、非晶質合金からなること、を特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記成膜は無電解メッキによりおこなわれること、を特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記ノズルプレートの一部は、前記ノズル本体の前記圧力室に向けて延出してなることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
圧力室が開口しているノズル本体の端面に成膜してノズルプレートを形成する工程と、
前記ノズルプレートにノズル孔を形成する工程と、
備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
ノズル本体の一端面に成膜してノズルプレートを形成する工程と、
前記ノズル本体に圧力室を形成し、前記圧力室に連通したノズル孔を前記ノズルプレートに形成する工程と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
民生用プリンタなどの記録装置、液晶表示装置や半導体装置などの製造に用いられる成膜装置においては、インクジェット法によりインクや膜素材を対象物に向けて吐出、飛翔させて着色や成膜を行う技術が知られている。
【０００３】
このインクジェット法に用いられる吐出ヘッドは、一般に「インクジェットヘッド」と呼ばれ、精巧な技術を駆使して製造された精密部品である。特に、インクや膜素材が吐出されるノズル孔部分は、着弾特性・飛翔特性などの基本的な動作特性に大きな影響を与えるため極めて高い加工精度が要求されている。
【０００４】
しかしながらこのような、精巧でかつ高い加工精度が要求されるノズル孔部分の加工は極めて加工が難しく、その生産性は極めて低いものとなる。そのため、ノズル孔部分の加工を容易にして生産性を向上させるために、ノズル孔部分をインクジェットヘッドのノズル本体と別個に構成して、それぞれを別加工した後に接着剤などで一体化する技術が開示されている（特許文献１、特許文献２参照）。
【０００５】
しかし、このような貼り合わせ技術においては、接着条件や接着面の管理が難しく製造プロセス上の安定性に欠け、ノズル孔位置のズレや接着剤のはみ出しなどの不具合を完全には防止することができなかった。
【０００６】
また、ノズル孔部分に大きめの孔をあけ、その後、電気メッキを施すことによりノズル孔開口寸法を縮小する技術も開示されている（特許文献３参照）。
【０００７】
しかし、電気メッキでノズル孔開口寸法を縮小する技術においても、メッキ条件の管理などが難しく製造プロセス上の安定性に欠け、ノズル孔の形状や寸法の不均一、孔位置のズレなどの不具合を完全には防止することができなかった。
【特許文献１】特開平０４−３５８８４１号公報
【特許文献２】特開平０３−２７４１６０号公報
【特許文献３】特開平０５−２５４１３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性や耐食性・耐摩耗性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様によれば、液体を加圧する圧力室を有するノズル本体と、前記圧力室に連通し加圧した液体を吐出させるためのノズル孔を有するノズルプレートと、を備え、前記ノズルプレートは、前記ノズル本体の一端面に成膜することにより形成されたものであること、を特徴とするインクジェットヘッドが提供される。
【００１０】
また、本発明の他の一態様によれば、圧力室が開口しているノズル本体の端面に成膜してノズルプレートを形成する工程と、前記ノズルプレートにノズル孔を形成する工程と、備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
【００１１】
また、本発明のさらに他の一態様によれば、ノズル本体の一端面に成膜してノズルプレートを形成する工程と、前記ノズル本体に圧力室を形成し、前記圧力室に連通したノズル孔を前記ノズルプレートに形成する工程と、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、着弾特性・飛翔特性などの動作特性や耐食性・耐摩耗性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
【００１４】
まず、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドについて説明する。  
図１は、インクジェットヘッドの外観を説明するための模式図である。図２は、図１のＡ−Ａ方向断面の模式拡大図である。
【００１５】
図１に例示するインクジェットヘッド１は、複数のノズル孔１２を備えるいわゆるマルチノズル型インクジェットヘッドである。インクジェットヘッドの駆動方式には、加熱により気泡を発生させ膜沸騰現象を利用して液体を吐出させる「サーマル型」と、圧電素子の屈曲変位を利用して液体を吐出させる「圧電型」と、があるが、説明の便宜上、ここでは圧電型を例にとって説明する。
【００１６】
図２に示すように、インクジェットヘッド１において、ノズル本体２上に可撓性膜３が設置され、さらに可撓性膜３上に圧電素子４が設置された構造を有する。圧電素子４は、下部材６、駆動電極７、上部材５、駆動電極８の順に積層した後、一体焼成したものである。このように圧電素子４を一体焼成すれば、強度が高く取扱も容易となる。ノズル本体２の下方には圧力室９が設けられ、圧力室９の上方端は流路１０に連通しており、下方端はノズル本体２の一端面に開口している。圧力室９は複数設けられ、それぞれの圧力室９に連通した流路１０がそれぞれ存在する。ノズル本体２の下方には、ノズルプレート１１が形成されており、圧力室９に連通するようにノズル孔１２が設けられている。ノズルプレート１１の形成についての詳細は、後述する。ただし、これらの配置や形状は図１に例示したものに限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えばそれぞれの圧力室９はそれぞれの流路１０に連通していなくてもよく、流路１０が複数の圧力室９と連通してもよい。圧電素子４についても構造的に下部材６を振動板、上部材５を圧電体としているが、これに限定されるわけではなく、また、変位を生じさせる各種の駆動形式を採用することもできる。
【００１７】
ノズル本体２の材質はステンレスやニッケル合金などとすることができ、可撓性膜３の材質はポリエチレンテレフタレートなどとすることができる。また、圧電素子４の下部材６と上部材５の材質は、圧電セラミックス（例えば、ジルコンチタン酸鉛）とすることができ、駆動電極７と駆動電極８は銅合金などとすることができる。ノズルプレート１１は非晶質金属よりなるが、詳細は後述する。ただし、ノズルプレート１１以外の材質はこれらに限定されるものではなく、種々の変更が可能である。
【００１８】
ノズルプレート１１の材質について説明する。
【００１９】
ノズルプレート１１は非晶質金属よりなる。非晶質金属としては、鉄族遷移金属（例えば、ニッケル、コバルト、鉄、クロムなど）とボロン、炭素、リン、硫黄などとの合金を例示できる。ここで、インクジェットヘッド１は、吐出させる液体の性質からいって高い耐食性が要求される。また、近年、液晶表示装置・半導体製造装置の成膜工程にインクジェット法が使われるようになってきたが、これらの用途に使われる場合には吐出させる液体に硬質の微粒子（例えば、二酸化ケイ素）を含ませる場合がある。そのため、高い耐摩耗性や強靱性をも要求されるようになってきている。その上、ノズル孔に対する精巧でかつ高い加工精度を確保したまま高い生産性をも達成させるためには、成膜プロセスの安定性、均一性などの被覆特性、加工の容易性などをも考慮する必要がある。本発明者は、このようなインクジェットヘッド特有の課題解決のためには、ノズルプレート１１の材質を非晶質金属とし、その中でも非晶質ニッケル合金、非晶質クロム合金とすることが適切であるとの知見を得た。非晶質合金が耐食性に優れているのは、表面が活性で自己不動態化しやすいからであるが、特にリンやクロムを含む場合は表面にリン酸やクロム酸化物を含む被膜を形成しやすいのでさらに耐食性が増すからである。また、このような非晶質合金は、機械的に高い強度を持つとともに高い耐摩耗性をも有しているからでもある。
【００２０】
非晶質クロム合金としては、クロムとタングステン、クロムとモリブデン、クロムと鉄、クロムと炭素などの合金を例示することができる。また、特に高い生産性を考慮すれば非晶質ニッケル合金とすることがより適切であるとの知見も得た。非晶質ニッケル合金としては、ニッケルとボロン、ニッケルと炭素、ニッケルとリン、ニッケルと硫黄などの合金を例示することができるが、この中でもニッケルとリンの非晶質合金とすることが、インクジェットヘッドに要求される特有の課題を解決するためには最も適切であるとの知見を得た。ニッケルとリンの非晶質合金としては、例えば、ニッケルに重量パーセントで７〜１１ｗｔ％のリンを加えたものをあげることができる。
【００２１】
非晶質合金の製造法としては、金属ガスあるいはイオンの凝縮法、液体金属の急冷法、結晶へ欠陥を導入する方法などが考えられる。ここで、ノズル本体２の一端面にノズルプレート１１を形成させるためには、ノズル本体２の一端面に直接非晶質金属を成膜（堆積）させればよい。この場合、ノズル本体２に与える熱の影響や成膜速度・製造プロセス上の安定性・経済性などをも考慮する必要がある。本発明者は、インクジェットヘッド用の非晶質合金の成膜方法のひとつとして、電解メッキ法や無電解メッキ法が適切であるとの知見を得た。なかでも特に、無電解メッキ法を採用すれば、成膜厚さの均一性や平坦性・成膜プロセス上の安定性・経済性などの面からもより適切であるとの知見を得た。尚、無電解メッキによる成膜については、後述するインクジェットヘッドの製造方法に関して説明する。
【００２２】
主な部分の寸法などを例示すれば、ノズル本体２の厚みは１ｍｍ〜数ｍｍ程度、ノズルプレート１１の厚みは５０μｍ〜１００μｍ程度、流路１０の断面形状は高さ最大数ｍｍ程度（ノズル２の厚みより薄い高さ）×幅１００μｍ程度、円柱状の開孔であるノズル孔１２は直径が２０μｍ〜５０μｍ程度、圧力室９は直径が５０μｍ〜１００μｍ程度、可撓性膜３は厚さが１０μｍ程度、圧電素子４は厚さが３０μｍ程度とすることができる。また図では流路１０の断面形状が矩形であるがこれに限らず角に丸みを有していてもよい。これらの寸法や形状は例示したものに限定されるものではなく、種々の変更が可能である。
【００２３】
インクジェットヘッド１の作用を説明する。
【００２４】
駆動電極７、駆動電極８に電圧を印加させると上部材５が下方に凸の屈曲変位をし、これに伴って積層構造の圧電素子４が下方に凸の屈曲変位をする。この屈曲変位は、可撓性膜３を図中波線で示すように下方に押し下げ、圧力室９内の液体をノズル孔１２方向に向かって加圧する。そのため、屈曲変位に応じた液体がノズル孔１２より吐出される。吐出により減少した液体は、流路１０を通じて図示しない液体供給手段から補充される。印加電圧を制御すれば圧電素子４の屈曲変位を制御できるので、図示しない制御装置により印加電圧を制御して、吐出量の制御をすることができる。尚、圧電素子４の屈曲変位は可撓性膜３に吸収され、隣接する圧電素子や圧力室との間の相互干渉が防止される。
【００２５】
次に、インクジェットヘッドの製造方法について説明する。
【００２６】
図３は、ノズル本体２とノズルプレート１１の加工に用いられる加工手段１３を例示するための模式図である。フレーム１４の上面にはＸ軸テーブル１５が設けられ、Ｘ軸テーブル１５上にはＹ軸テーブル１６が設けられている。また、Ｙ軸テーブル１６上にはスペーサ１７を介して回転スピンドル１８が設けられ、回転スピンドル１８には工具保持手段２０が設けられている。また、工具保持手段２０に保持された工具１９は図示しない工具交換手段により交換可能となっている。工具保持手段２０に対向するように、フレーム１４の上面にはＺ軸テーブル２１が設けられ、Ｚ軸テーブル２１には被加工物を保持するための保持手段２２が設けられている。フレーム１４の下面にはフット２３が設けられている。
【００２７】
Ｘ軸テーブル１５はＹ軸テーブル１６を図中のＸ軸方向に移動させる機能を有し、Ｙ軸テーブル１６はスペーサ１７と回転スピンドル１８を図中のＹ軸方向に移動させる機能を有する。回転スピンドル１８は、工具保持手段２０により保持された工具１９を回転させる機能を有する。スペーサ１７は外部の振動が回転スピンドル１８に伝わることを防止する機能を有してもよい。Ｚ軸テーブル２１は保持手段２２により保持させた被加工物を図中のＺ軸方向に移動させる機能を有する。フット２３は外部からの振動がフレーム１４に伝わることを防止するとともに、フレーム１４の上面が水平となるよう調整する機能を有する。Ｘ軸テーブル１５、Ｙ軸テーブル１６、Ｚ軸テーブル２１の位置制御や回転スピンドル１８の回転制御などは図示しない制御手段により行われる。
【００２８】
尚、図３に例示した加工手段１３はあくまで例示であり、これに限定されるわけではない。また、加工方式としても切削加工、ドライエッチング加工、ウェットエッチング加工、放電加工、レーザー加工、塑性加工などの各種の物理的・化学的除去方法を採用することができ、このような方法を必要に応じて適宜組み合わせることもできる。
【００２９】
図４〜図６は、インクジェットヘッド１の製造を説明するための工程断面図である。尚、図２と同様の部分には同じ符号を付すこととする。
【００３０】
まず、図４（ａ）に示すように板材の外周を加工し、いわゆるブランク状態のノズル本体２を作成する。
【００３１】
次に、図４（ｂ）に示すように、このブランク状態のノズル本体２を前述した加工手段１３の保持手段２２に保持させ、工具保持手段２０に保持させた工具１９ａを回転スピンドル１８で回転させて流路１０を加工する。この際用いられる工具１９ａは、溝を切るのに適したものを使用することができる。また、図示しない制御手段により加工位置がＸ軸テーブル、Ｙ軸テーブル、Ｚ軸テーブルの移動により決められ、工具回転速度などの加工条件も適宜決められる。
【００３２】
次に、図４（ｃ）に示すように工具保持手段２０に保持させた工具１９ｂを回転スピンドル１８で回転させて圧力室９を形成する。この際用いられる工具１９ｂは、孔をあけるのに適したものを使用することができる。また、加工位置や加工条件などは前述の場合と同様に適宜決められる。尚、工具１９ｂは図示しない工具交換手段により交換される。
【００３３】
前述のノズル本体２の加工後（圧力室９、流路１０の加工後）、図４（ｄ）に示すように、無電解メッキ法により非晶質ニッケル（ニッケル−リン）合金をメッキ（成膜）し、ノズルプレート１１を形成する。この無電解ニッケルメッキは、例えば次亜リン酸ナトリウムを還元剤とするものであり、次亜リン酸イオンの還元作用によりニッケルイオンが還元されて被メッキ物に析出されるものである。無電解メッキの前処理としては、メッキ面以外の面のマスキング、脱脂、洗浄などが行われる。また、メッキ面をブラスト処理などで荒らしておく（微細な凹凸を設けるようにする）ことが望ましい。無電解メッキによれば接着をする場合よりも遥かに高いノズルプレート１１の剥離強度が得られるが、メッキ面を荒らしておけば、いわゆるアンカー（いかり）効果のためノズルプレート１１がさらに剥離しにくくなるからである。また、密着性にも優れ接着をする場合よりも遥かに高い液密性が得られる。後処理としては、マスクの除去、洗浄を行い、必要があればノズルプレート１１の表面２８が平坦になるよう加工する。この加工は、前述の加工手段１３により行うことができる。
【００３４】
このような無電解ニッケルメッキにおいては、メッキ液を攪拌することにより圧力室９の開口部にもメッキ層を成膜することができる。そして、圧力室９の壁面から析出が始まるので断面形状が略Ｖ字のメッキ層２６が圧力室９の開口部内側付近に形成される。つまり、ノズルプレート１１の一部が、ノズル本体２の圧力室に向けて延出している。本実施形態によれば、このようにメッキ層２６が圧力室９の開口部内側付近にも形成されるので、ノズルプレート１１がなおさら剥離しにくくなる。また、後述するノズル孔１２の加工の後でもメッキ層２６の「山」部２７が残るので、この「山」部２７により、吐出に伴いノズル出口付近に発生する気泡を消滅させることもできる。そして、液密性もさらに高くすることができる。これらの効果は、ノズル本体とノズルプレートを別体として作り接着剤などで固着した場合には得られない優れた効果である。
【００３５】
次に、図５（ａ）に示すように、ノズル本体２を加工手段１３の保持手段２２に保持させ、工具保持手段２０に保持させた工具１９ｃを回転スピンドル１８で回転させてノズル孔１２の下孔加工を行う。この下孔加工は、次のノズル孔１２加工の加工精度を上げるためのものである。具体的には、ノズル孔１２より径が大きく略Ｖ字の刃先形状を持つ工具１９ｃで、略Ｖ字の凹み２９を加工する。また、回転スピンドル１８の回転を止め、工具１９ｃを衝撃的に押し当てて塑性加工により凹み２９を形成させるようにすることもできる。尚、工具１９ｃは図示しない工具交換手段により交換される。
【００３６】
次に、図５（ｂ）に示すように、工具保持手段２０に保持させた工具１９ｄを回転スピンドル１８で回転させてノズル孔１２の孔加工を行う。このとき、略Ｖ字の凹み２９のセンタリング作用により工具１９ｄの振れが押さえられ、また、いわゆる食いつきが良くなるので加工当初の切削性も良好となる。ノズル孔１２の孔加工後、加工部分のバリ取り、加工屑の除去などを行う。
【００３７】
このような工程の加工を行えば、真円度、同芯度、真直度、寸法精度、位置精度などの高い優れたノズル孔１２を得ることができる。このような高い精度のノズル孔１２を得ることができるということは、ノズル本体２とノズルプレート１１を別個に作り接着剤などで固着した場合や、大きめの孔をあけ電気メッキを施すことによりノズル孔開口寸法を縮小させる場合には得られない優れた効果である。
【００３８】
次に、図５（ｃ）に示すように、ノズル本体２の流路１０の上面に可撓性膜３をエポキシ接着剤で液密になるよう接着する。
【００３９】
次に、図６に示すように、可撓性膜３の上面に圧電素子４を設置する。この際、圧力室９の真上に圧電素子４が設置されるようにする。尚、圧電素子４は、下部材６、駆動電極７、上部材５、駆動電極８の順に積層した後、一体焼成したものを予め製造しておく。このようにして、本実施形態のインクジェットノズルの要部が完成する。
【００４０】
次に、本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法について説明する。
【００４１】
図７は、インクジェットヘッド１の製造工程を説明するための工程断面図である。  
本実施の形態においては、無電解メッキによるメッキ（成膜）後、ノズル本体２の加工  （流路１０、圧力室９の加工）を行うところが図４〜図６に関して前述したものとは異なる。尚、図４〜図６に関して前述したものと同様の要素には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４２】
まず、図７（ａ）に示すように板材の外周を加工し、いわゆるブランク状態のノズル本体２を作成する。
【００４３】
次に、図７（ｂ）に示すように、無電解メッキ法により非晶質ニッケル（ニッケル−リン）合金をブランク状態のノズル本体２の一端面にメッキ（成膜）しノズルプレート３１を形成させる。メッキの内容、前処理、後処理に関しては図４の場合と同様である。
【００４４】
次に、図７（ｃ）に示すように、流路１０、圧力室９、凹み２９、ノズル孔１２の加工を順次行う。各加工については図４の場合と同様である。
【００４５】
次に、図７（ｄ）に示すように、ノズル本体２の流路１０の上面に可撓性膜３を設置し、可撓性膜３の上面に圧電素子４を設置する。この手順は、図６に関して前述したものと同様である。
【００４６】
このような手順で、インクジェットノズル１を製造した場合、図４〜図６に関して前述したものと異なり、メッキ層２６や「山」部２７が形成されない。しかしながら、最初の段階で無電解メッキを行い、その後は一貫した流路１０、圧力室９、凹み２９、ノズル孔１２の加工をすることができるので、段取り換え（被加工物の取り付け、取り外しなど）の必要がなく、段取り換えに伴う位置ズレや振れ、交換時間などの問題がない。そのため、その分高い加工精度と生産性を確保することができる。また、無電解メッキによれば接着をする場合よりも遥かに高いノズルプレート３１の剥離強度が得られ、メッキ面をブラスト処理などで荒らしておけばさらに剥離しにくくすることができるという効果も同様に得られる。また、密着性にも優れ接着をする場合よりも遥かに高い液密性が得られることにも変わりはない。
【００４７】
次に、本発明の第３の実施形態に係るインクジェットヘッド及びその製造方法について説明する。
【００４８】
図８は、加熱により液体を吐出させるサーマル型インクジェットヘッドの構成を例示するための模式断面図である。図２に関して前述したものと同様の要素には同一の記号を付し、異なる部分のみを主に説明する。
【００４９】
インクジェットヘッド３２は、ノズル本体２上に保護膜３４を設置し、さらに保護膜３４上に発熱素子３３を設置している。発熱素子３３は電気抵抗材料からなる抵抗薄膜により形成され、図示しない電力供給手段から電力が供給されるとジュール発熱を起こす。保護膜３４は酸化珪素や窒化珪素などの無機材料により形成されている。保護膜３４は厚さが２μｍ程度、発熱素子３３は厚さが３μｍ程度とすることができる。ただし、これらの配列、形状、寸法、材質は図６で例示したものに限定されるものではなく、種々の変更が可能である。
【００５０】
次に作用を説明する。図示しない電力供給手段から電力を発熱素子３３に供給して発熱素子３３を発熱させる。発熱素子３３の発熱により液中に気泡３５が発生する。発生した気泡３５の圧力により圧力室９内の液体をノズル孔１２方向に加圧する。圧力に応じた液体がノズル孔１２より吐出される。吐出により減少した液体は、流路１０を通じて図示しない液体供給手段から補充される。発生した気泡３５は周囲の液体に熱を取られて収縮するように消滅し、次の発熱、気泡の発生を待つ。この一連の過程で供給電力を制御すれば気泡３５の大きさやその発生のタイミングを制御できるので、図示しない制御装置により供給電力の制御をすれば、吐出量や吐出タイミングの制御をすることができる。
【００５１】
インクジェットヘッド３２の製造方法は、可撓性膜３が保護膜３４に、圧電素子４が発熱素子３３に代わるほかは図４〜図６または図７に関して前述したものと同様であるので説明は省略する。
【００５２】
以上、説明したように、本発明によれば、着弾特性・飛翔特性などの動作特性や耐食性・耐摩耗性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法が提供される。
【００５３】
また、具体例を参照して本発明を説明したが、本発明はこれらの具体例には限定されない。前述の具体例に係るインクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に含有される。例えば、本発明はマルチノズル型インクジェットヘッドのみならず単一のノズル孔を有するインクジェットヘッドにも適用することができる。可撓性膜３も、吐出される液体が圧電素子４に浸透することを遮蔽でき、可撓性を有するものであれば、例示した樹脂膜に限らず金属膜などいかなる材料を用いてもよい。圧電素子４も２層構造に限られず３層以上であってもよいし、材質も例示したものには限られない。また、一体焼成型積層圧電素子でなくてもよい。可撓性膜３上に圧電素子４を設置する際、エポキシ系接着剤を始めとする接合方法で固定することもできる。保護膜３４についても吐出される液体が発熱素子３４に浸透することを遮蔽でき、耐熱性を有するものであれば、例示した無機材料に限られない。発熱素子３４と保護膜３５、保護膜３５とノズル本体２との接合方法も、エポキシ系接着剤などに限らず他の接合方法を用いることもできる。また、無電解メッキの条件なども適宜選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの外観を説明するための模式図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向断面の模式拡大図である。
【図３】ノズル本体とノズルプレートの加工に用いる加工手段を例示するための模式図である。
【図４】インクジェットヘッドの製造工程を説明するための工程図である。
【図５】インクジェットヘッドの製造工程を説明するための工程図である。
【図６】インクジェットヘッドの製造工程を説明するための工程図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を説明するための工程図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係るインクジェットヘッドの構成を例示するための模式断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  インクジェットヘッド、２  ノズル本体、９  圧力室、１１  ノズルプレート、１２  ノズル孔、３２  インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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