(57)【要約】【課題】ヘッド素子に潤滑剤の付着を確実に回避することができるヘッドスライダおよび記憶媒体駆動装置を提供する。【解決手段】ヘッドスライダ２２および記憶媒体１４の相対移動に基づき媒体対向面３４には気流が作用する。その結果、第２レール３９よりも空気流出側の負圧発生領域５６では負圧が発生する。記憶媒体１４の潤滑剤は負圧発生領域５６に巻き上げられる。負圧発生領域５６で巻き上げられた潤滑剤は第２レール３９から空気流出側に流れる。溝５２は負圧発生領域５６から第１レール３８を分断することから、第１レール３８に向かって流れる潤滑剤は溝５２に引き込まれる。第１レール３８に潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子３３に潤滑剤の付着は防止される。ヘッド素子３３の特性劣化は回避される。【選択図】図３
2008130207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成される第１レールと、第１レールに埋め込まれるヘッド素子と、ヘッド素子よりも空気流入側で媒体対向面に形成される１以上の第２レールと、第２レールよりも空気流出側に区画されて、第２レールの陰で負圧を発生させる複数の負圧発生領域と、媒体対向面に形成されて、スライダ本体の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域から第１レールを分断する溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端まで延びることを特徴とするヘッドスライダ
【請求項３】
請求項２に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端と協働で前記第１レールを途切れなく囲むことを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項４】
請求項１に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は、前記第１レールに向き合わせられる前記第２レールの縁に沿って延びることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項５】
記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成されてヘッド素子を保持するレールで構成される第１レール群と、媒体対向面に形成されて第１レール群以外のレールで構成される第２レール群と、媒体対向面に形成されて、第２レール群から第１レール群を分断する溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項６】
記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、スライダ本体の空気流入側で媒体対向面に形成されるフロントレールと、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に形成されるリアレールと、リアレールに埋め込まれるヘッド素子と、媒体対向面に形成されて、フロントレールの空気流出側端から、スライダ本体の前後方向に媒体対向面の縁を規定するスライダ本体の側縁に向かって延びる溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項７】
筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成される第１レールと、第１レールに埋め込まれるヘッド素子と、ヘッド素子よりも空気流入側で媒体対向面に形成される１以上の第２レールと、第２レールよりも空気流出側に区画されて、第２レールの陰で負圧を発生させる複数の負圧発生領域と、媒体対向面に形成されて、スライダ本体の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域から第１レールを分断する溝とを備えることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記憶媒体駆動装置に組み込まれるヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されるように、ヘッドスライダは、ハードディスク（ＨＤ）に向き合わせられる媒体対向面を区画するスライダ本体を備える。スライダ本体の空気流入側で媒体対向面にはフロントレールが形成される。スライダ本体の空気流出側で媒体対向面にはリアレールが形成される。リアレールには電磁変換素子が埋め込まれる。媒体対向面にはヘッド素子よりも空気流入側で１対の補助リアレールが形成される。
【０００３】
ＨＤの回転に基づき生成される気流はスライダ本体の空気流入側端から空気流出側端に向かって流通する。その結果、フロントレールの頂上面やリアレールの頂上面、補助リアレールの頂上面に規定される空気軸受け面の働きで正圧が生成される。同時に、フロントレールよりも空気流出側や補助リアレールよりも空気流出側では負圧が生成される。こうした正圧および負圧のバランスでヘッドスライダはＨＤ上を浮上することができる。
【特許文献１】特開２００４−１６４７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＨＤの表面には例えばパーフルオロポリエーテルといった潤滑剤が塗布される。フロントレールよりも空気流出側や補助リアレールよりも空気流出側で負圧が生成されると、負圧の働きで潤滑剤はＨＤの表面から媒体対向面に向かって巻き上げられる。例えば補助リアレールの空気流出側に巻き上げられる潤滑剤は気流の働きで空気流出側に移動する。潤滑剤は電磁変換素子に付着してしまう。電磁変換素子の特性は劣化してしまう。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、ヘッド素子に潤滑剤の付着を確実に回避することができるヘッドスライダおよび記憶媒体駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、第１発明によれば、記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成される第１レールと、第１レールに埋め込まれるヘッド素子と、ヘッド素子よりも空気流入側で媒体対向面に形成される１以上の第２レールと、第２レールよりも空気流出側に区画されて、第２レールの陰で負圧を発生させる複数の負圧発生領域と、媒体対向面に形成されて、スライダ本体の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域から第１レールを分断する溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【０００７】
ヘッドスライダおよび記憶媒体の相対移動に基づき媒体対向面には気流が作用する。その結果、第２レールよりも空気流出側の負圧発生領域では負圧が発生する。記憶媒体の潤滑剤は負圧発生領域に巻き上げられる。負圧発生領域で巻き上げられた潤滑剤は第２レールから空気流出側に流れる。溝は負圧発生領域から第１レールを分断することから、第１レールに向かって流れる潤滑剤は溝に引き込まれる。第１レールに潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。ヘッド素子の特性劣化は回避される。
【０００８】
こうしたヘッドスライダでは、溝はスライダ本体の空気流出側端まで延びればよい。こうして溝に沿って流れる潤滑剤はスライダ本体の空気流出側端からヘッドスライダの背後に排出される。このとき、溝はスライダ本体の空気流出側端と協働で第１レールを途切れなく囲めばよい。こうして第１レールに向かって流れる潤滑剤は確実に溝に引き込まれる。第１レールに潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。
【０００９】
ヘッドスライダでは、溝は、第１レールに向き合わせられる第２レールの縁に沿って延びればよい。媒体対向面では潤滑剤は第２レールの縁に沿って流れる。したがって、溝が第２レールの縁に沿って延びれば、潤滑剤は溝に直接に引き込まれる。第１レールに潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。
【００１０】
以上のようなヘッドスライダは記憶媒体駆動装置に組み込まれる。記憶媒体駆動装置は、筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成される第１レールと、第１レールに埋め込まれるヘッド素子と、ヘッド素子よりも空気流入側で媒体対向面に形成される１以上の第２レールと、第２レールよりも空気流出側に区画されて、第２レールの陰で負圧を発生させる複数の負圧発生領域と、媒体対向面に形成されて、スライダ本体の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域から第１レールを分断する溝とを備えればよい。
【００１１】
第２発明によれば、記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成されてヘッド素子を保持するレールで構成される第１レール群と、媒体対向面に形成されて第１レール群以外のレールで構成される第２レール群と、媒体対向面に形成されて、第２レール群から第１レール群を分断する溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００１２】
ヘッドスライダおよび記憶媒体の相対移動に基づき媒体対向面には気流が作用する。その結果、第２レールの空気流出側の陰で負圧が発生する。記憶媒体の潤滑剤は第２レールの陰に巻き上げられる。巻き上げられた潤滑剤は第２レールから空気流出側に流れる。溝は第２レール群から第１レール群を分断することから、第１レール群に向かって流れる潤滑剤は溝に引き込まれる。第１レール群に潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。ヘッド素子の特性劣化は回避される。
【００１３】
こうしたヘッドスライダでは、溝はスライダ本体の空気流出側端まで延びればよい。こうして溝に沿って流れる潤滑剤はスライダ本体の空気流出側端からヘッドスライダの背後に排出される。このとき、溝はスライダ本体の空気流出側端と協働で第１レール群を途切れなく囲めばよい。こうして第１レール群に向かって流れる潤滑剤は確実に溝に引き込まれる。第１レールに潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。
【００１４】
ヘッドスライダでは、溝は、第１レールに向き合わせられる第２レールの縁に沿って延びればよい。媒体対向面では潤滑剤は第２レールの縁に沿って流れる。したがって、溝が第２レールの縁に沿って延びれば、潤滑剤は溝に直接に引き込まれる。第１レール群に潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。
【００１５】
以上のようなヘッドスライダは記憶媒体駆動装置に組み込まれればよい。記憶媒体駆動装置は、筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成されてヘッド素子を保持するレールで構成される第１レール群と、媒体対向面に形成されて第１レール群以外のレールで構成される第２レール群と、媒体対向面に形成されて、第２レール群から第１レール群を分断する溝とを備えればよい。
【００１６】
第３発明によれば、記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、スライダ本体の空気流入側で媒体対向面に形成されるフロントレールと、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に形成されるリアレールと、リアレールに埋め込まれるヘッド素子と、媒体対向面に形成されて、フロントレールの空気流出側端から、スライダ本体の前後方向に媒体対向面の縁を規定するスライダ本体の側縁に向かって延びる溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダが提供される。
【００１７】
ヘッドスライダおよび記憶媒体の相対移動に基づき媒体対向面には気流が作用する。その結果、フロントレールの空気流出側の陰では負圧が発生する。記憶媒体の潤滑剤はフロントレールの陰に巻き上げられる。巻き上げられた潤滑剤はフロントレールから空気流出側に流れる。溝は、フロントレールの空気流出側端から、スライダ本体の側縁に向かって延びることから、第１レールに向かって流れる潤滑剤は溝に引き込まれる。潤滑剤はスライダ本体の側縁から排出される。第１レールに潤滑剤は行き着かない。ヘッド素子に潤滑剤の付着は防止される。ヘッド素子の特性劣化は回避される。
【００１８】
以上のようなヘッドスライダは記憶媒体駆動装置に組み込まれればよい。記憶媒体駆動装置は、筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、スライダ本体の空気流入側で媒体対向面に形成されるフロントレールと、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に形成されるリアレールと、リアレールに埋め込まれるヘッド素子と、媒体対向面に形成されて、フロントレールの空気流出側端から、スライダ本体の前後方向に媒体対向面の縁を規定するスライダ本体の側縁に向かって延びる溝とを備えればよい。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明によれば、ヘッド素子に潤滑剤の付着を確実に回避することができるヘッドスライダおよび記憶媒体駆動装置が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００２１】
図１は本発明に係る記憶媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は箱形のベース１３およびカバー（図示されず）から構成される。ベース１３は例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。カバーはベース１３の開口に結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。
【００２２】
収容空間には、記憶媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。磁気ディスク１４の表面には例えばパーフルオロポリエーテルといった潤滑剤が塗布される。
【００２３】
収容空間にはキャリッジ１６がさらに収容される。キャリッジ１６はキャリッジブロック１７を備える。キャリッジブロック１７は、垂直方向に延びる支軸１８に回転自在に連結される。キャリッジブロック１７には、支軸１８から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。キャリッジブロック１７は例えば押し出し成型に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００２４】
個々のキャリッジアーム１９の先端にはヘッドサスペンション２１が取り付けられる。ヘッドサスペンション２１はキャリッジアーム１９の先端から前方に延びる。ヘッドサスペンション２１の先端には後述のフレキシャが張り合わせられる。フレキシャにはいわゆるジンバルばねが区画される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２２はヘッドサスペンション２１に対してその姿勢を変化させることができる。後述されるように、浮上ヘッドスライダ２２にはヘッド素子すなわち電磁変換素子が搭載される。
【００２５】
磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で気流が生成されると、気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮力および負圧とヘッドサスペンション２１の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。
【００２６】
こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にキャリッジ１６が支軸１８回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。
【００２７】
キャリッジブロック１７には例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２３といった動力源が接続される。このＶＣＭ２３の働きでキャリッジブロック１７は支軸１８回りで回転することができる。こうしたキャリッジブロック１７の回転に基づきキャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１の揺動は実現される。
【００２８】
図２は本発明の一具体例に係る浮上ヘッドスライダ２２を示す。この浮上ヘッドスライダ２２は、例えば平たい直方体に形成されるスライダ本体３１を備える。スライダ本体３１の空気流出側端面には素子内蔵膜３２が積層される。この素子内蔵膜３２に前述の電磁変換素子３３が組み込まれる。
【００２９】
スライダ本体３１は例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）といった硬質の非磁性材料から形成されればよい。素子内蔵膜３２は例えばＡｌ２Ｏ３（アルミナ）といった比較的に軟質の絶縁非磁性材料から形成されればよい。スライダ本体３１は媒体対向面すなわち浮上面３４で磁気ディスク１４に向き合う。浮上面３４には平坦なベース面３５すなわち基準面が規定される。磁気ディスク１４が回転すると、スライダ本体３１の前端から後端に向かって浮上面３４には気流３６が作用する。
【００３０】
浮上面３４には、前述の気流３６の上流側すなわち空気流入側でベース面３５から立ち上がる１筋のフロントレール３７が形成される。フロントレール３７はベース面３５の空気流入端に沿ってスライダ幅方向に延びる。同様に、浮上面３４には、気流の下流側すなわち空気流出側でベース面３５から立ち上がるリアレール３８が形成される。リアレール３８はスライダ幅方向の中央位置に配置される。
【００３１】
浮上面３４には、電磁変換素子３３よりも空気流入側でベース面３５から立ち上がる左右１対の補助リアレール３９、３９がさらに形成される。補助リアレール３９、３９は、ベース面３５の前後方向に縁を規定する側縁に沿ってそれぞれ配置される。その結果、補助リアレール３９、３９同士はスライダ幅方向に間隔を空けて配置される。補助リアレール３９、３９同士の間にリアレール３８は配置される。
【００３２】
フロントレール３７の空気流出側端にはベース面３５から立ち上がるセンターレール４１が接続される。センターレール４１は、フロントレール３７の空気流出側端に接続される第１センターレール４２と、第１センターレール４２の空気流出側端から二股に分岐する１対の第２センターレール４３、４３とから区画される。第２センターレール４３は補助リアレール３９の空気流入側端に接続される。第２センターレール４３は、スライダ幅方向に延びた後、スライダ本体３１の前後方向に延びる。
【００３３】
なお、リアレール３８は本発明の第１レールまたは第１レール群を構成する。その一方で、フロントレール３７、補助リアレール３９およびセンターレール４１は本発明の第２レールまたは第２レール群を構成する。
【００３４】
フロントレール３７、リアレール３８および補助リアレール３９、３９の頂上面にはいわゆる空気軸受け面（ＡＢＳ）４４、４５、４６が規定される。空気軸受け面４４、４５、４６の空気流入端は段差４７、４８、４９でレール３７、３８、３９の頂上面に接続される。磁気ディスク１４の回転に基づき生成される気流３６は浮上面３４に受け止められる。このとき、段差４７、４８、４９の働きで空気軸受け面４４、４５、４６には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。
【００３５】
ＡＢＳ４４、４５、４６から外れた位置でフロントレール３７の頂上面やベース面３５にはパッド５１が形成される。スライダ本体３１の空気流入側に形成される１対のパッド５１、５１の先端は、ベース面３５からＡＢＳ４４、４５、４６と同じ高さでベース面３５に平行に広がる１仮想平面内で規定される。スライダ本体３１の空気流出側に形成される１対のパッド５１、５１の先端は、ベース面３５からＡＢＳ４４、４５、４６よりも低い高さでベース面３５に平行に広がる１仮想平面内で規定される。その結果、浮上ヘッドスライダ２６の浮上姿勢にばらつきが生じても、浮上ヘッドスライダ２２はパッド５１で磁気ディスク１４の表面に接触する。浮上ヘッドスライダ２２の損傷は回避される。
【００３６】
この浮上ヘッドスライダ２２では、リアレール３８と補助リアレール３９との間でベース面３５に例えば１対の溝５２、５２が形成される。溝５２の空気流入端はＡＢＳ４５の空気流入側端よりも空気流入側に規定される。溝５２はベース面３５の空気流出側端まで延びる。溝５２の空気流出側端は、ベース面３５の空気流出側端の２隅に形成される面取り部すなわち湾曲面５３内に規定される。湾曲面５３は浮上ヘッドスライダ２２の側面および空気流出側の端面に接続される。
【００３７】
ここで、ＡＢＳ４４、４５、４６からベース面３５の深さは例えば０．８μｍ〜２．０μｍ程度に設定される。同様に、ＡＢＳ４４、４５、４６から溝５２の深さは例えば２．５μｍ〜５．０μｍ程度に設定される。ＡＢＳ４４の外側に規定されるフロントレール３７の頂上面や、ＡＢＳ４５の外側に規定されるリアレール３８の頂上面、ＡＢＳ４６の外側に規定される補助リアレール３９の頂上面、センターレール４１の深さはＡＢＳ４４、４５、４６から例えば０．０７μｍ〜０．３０μｍ程度に設定される。
【００３８】
図３に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２では、フロントレール３７よりも空気流出側に負圧発生領域５５が区画される。同様に、補助リアレール３９よりも空気流出側に負圧発生領域５６が区画される。負圧発生領域５６は、補助リアレール３９の空気流出側端から第２センターレール４３の側面すなわち内向き面に沿って空気流入側に向かって延びる。こうした負圧発生領域５５、５６はフロントレール３７の陰や第２センターレール４３の陰、補助リアレール３９の陰で負圧を発生させる。浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。
【００３９】
前述の溝５２は、フロントレール３７、補助リアレール３９およびセンターレール４１からリアレール３８を分断する。ここでは、溝５２は、少なくともスライダ本体３１の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域５６からリアレール３８を分断する。
【００４０】
空気軸受け面４４、４５、４６ではスライダ本体３１の表面に例えば保護膜（図示されず）が形成される。前述の電磁変換素子３３はＡＢＳ４５の空気流出側でスライダ本体３１の表面から読み出しギャップや書き込みギャップを露出させる。保護膜は電磁変換素子３３の読み出しギャップや書き込みギャップに覆い被さる。保護膜には例えばＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）が用いられればよい。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。
【００４１】
いま、例えば磁気ディスク１４の回転中に浮上ヘッドスライダ２２が浮上すると、負圧発生領域５５、５６で負圧が発生する。磁気ディスク１４の潤滑剤は負圧発生領域５５、５６に巻き上げられる。負圧発生領域５５で巻き上げられた潤滑剤はフロントレール３７の空気流出側端に沿って溜まる。こうした潤滑剤はセンターレール４１の側面や補助リアレール３９の側面すなわち外向き面に沿って空気流出側に流れる。その一方で、負圧発生領域５６で巻き上げられた潤滑剤は第２センターレール４３の側面や補助リアレール３９の側面すなわち内向き面に沿って溜まる。こうした潤滑剤は第２センターレール４３の内向き面や補助リアレール３９の内向き面に沿って空気流出側にベース面３５を流れる。
【００４２】
浮上ヘッドスライダ２２では、溝５２は負圧発生領域５５、５６からリアレール３８を分断する。したがって、浮上ヘッドスライダ２２で所定のスキュー角が確立されても、補助リアレール３９の内向き面や外向き面に沿って流れる潤滑剤は溝５２に流れ込む。こうして溝５２は潤滑剤の流路として機能する。潤滑剤はベース面３５の空気流出側端から浮上ヘッドスライダ２２の背後に排出される。こうしてリアレール３８に向かって流れる潤滑剤は溝５２内に引き込まれる。リアレール３８には潤滑剤は行き着かない。電磁変換素子３３に潤滑剤の付着は防止される。電磁変換素子３３の特性劣化は回避される。
【００４３】
以上のような浮上ヘッドスライダ２２の製造にあたって、ウエハからウエハバーが切り出される。ウエハバーの切断面には例えばエッチング処理が施される。エッチング処理に基づきパッド５１やフロントレール３７、リアレール３８、補助リアレール３９、３９、センターレール４１が形成される。こうして浮上面３４が形成される。浮上面３４には溝５２の形成領域の外側でレジスト膜が形成される。レジスト膜の外側で浮上面３４にエッチング処理が施される。こうして溝５２が形成される。その後、ウエハバーから浮上ヘッドスライダ２２は切り出される。
【００４４】
図４に示されるように、ＨＤＤ１１には浮上ヘッドスライダ２２に代えて浮上ヘッドスライダ２２ａが組み込まれてもよい。この浮上ヘッドスライダ２２ａでは、リアレール３８と補助リアレール３９との間でベース面３５に例えば１筋の溝５７が形成される。溝５７の空気流出側端は湾曲面５３内に規定される。こうして溝５７はベース面３５の空気流出側端と協働でリアレール３８を途切れなく囲む。溝５７は負圧発生領域５５、５６からリアレール３８を分断する。前述と同様に、溝５７はＡＢＳ４４、４５、４６から例えば２．５μｍ〜５．０μｍ程度の深さに設定される。その他、前述の浮上ヘッドスライダ２２と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００４５】
こうした浮上ヘッドスライダ２２ａでは、前述と同様に、負圧発生領域５５、５６で負圧が発生する。磁気ディスク１４の潤滑剤は負圧発生領域５５、５６に巻き上げられる。溝５２は負圧発生領域５５、５６からリアレール３８を分断することから、負圧発生領域５５、５６で巻き上げられた潤滑剤は溝５７に引き込まれる。溝５７は潤滑剤の流路として機能する。潤滑剤はベース面３５の空気流出側端から浮上ヘッドスライダ２２ａの背後に排出される。潤滑剤はリアレール３８に行き着かない。電磁変換素子３３に潤滑剤の付着は防止される。電磁変換素子３３の特性劣化は回避される。
【００４６】
図５に示されるように、ＨＤＤ１１には浮上ヘッドスライダ２２、２２ａに代えて浮上ヘッドスライダ２２ｂが組み込まれてもよい。この浮上ヘッドスライダ２２ｂでは、前述の溝５７は、補助リアレール３９の空気流出側端から、リアレール３８の空気流入側端に向き合わせられる第２センターレール４３の内向き面および補助リアレール３９の内向き面に沿って延びる。溝５７は負圧発生領域５６にほぼ重なる。前述と同様に、溝５７の空気流出側端は湾曲面５３内に規定される。こうして溝５７は負圧発生領域５５、５６からリアレール３８を分断する。
【００４７】
ベース面３５にはフロントレール３７の空気流出側端から延びる１対の溝５８、５８が形成される。溝５８の空気流入側端はセンターレール４１の外側でフロントレール３７の空気流出側端の全長にわたって広がる。こうして溝５８は負圧発生領域５５にほぼ重なる。溝５８の空気流出側端はベース面３５の側縁に至る。前述と同様に、溝５８はベース面３５から例えば０．５μｍ〜３．０μｍ程度の深さに設定される。その他、前述の浮上ヘッドスライダ２２ａと均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００４８】
こうした浮上ヘッドスライダ２２ｂでは、負圧発生領域５５で負圧が発生する。磁気ディスク１４の潤滑剤は負圧発生領域５５に巻き上げられる。負圧発生領域５５には溝５８が重なることから、負圧発生領域５５で巻き上げられた潤滑剤は溝５８に引き込まれる。潤滑剤は溝５８内に溜め込まれる。溝５８は潤滑剤の流路として機能する。潤滑剤はベース面３５の側縁から浮上ヘッドスライダ２２ｂの側方に排出される。潤滑剤はリアレール３８に行き着かない。電磁変換素子３３に潤滑剤の付着は防止される。電磁変換素子３３の特性劣化は回避される。
【００４９】
同様に、浮上ヘッドスライダ２２ｂでは負圧発生領域５６で負圧が発生する。磁気ディスク１４の潤滑剤は負圧発生領域５６に巻き上げられる。溝５７は負圧発生領域５６に重なることから、負圧発生領域５６で巻き上げられた潤滑剤は溝５７に引き込まれる。潤滑剤は溝５７内に溜め込まれる。溝５７は潤滑剤の流路として機能する。前述と同様に、潤滑剤はベース面３５の空気流出側端から浮上ヘッドスライダ２２ｂの背後に排出される。潤滑剤はリアレール３８に行き着かない。電磁変換素子３３に潤滑剤の付着は防止される。電磁変換素子３３の特性劣化は回避される。
【００５０】
（付記１）  記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成される第１レールと、第１レールに埋め込まれるヘッド素子と、ヘッド素子よりも空気流入側で媒体対向面に形成される１以上の第２レールと、第２レールよりも空気流出側に区画されて、第２レールの陰で負圧を発生させる複数の負圧発生領域と、媒体対向面に形成されて、スライダ本体の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域から第１レールを分断する溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５１】
（付記２）  付記１に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端まで延びることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５２】
（付記３）  付記２に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端と協働で前記第１レールを途切れなく囲むことを特徴とするヘッドスライダ。
【００５３】
（付記４）  付記１に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は、前記第１レールに向き合わせられる前記第２レールの縁に沿って延びることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５４】
（付記５）  記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成されてヘッド素子を保持するレールで構成される第１レール群と、媒体対向面に形成されて第１レール群以外のレールで構成される第２レール群と、媒体対向面に形成されて、第２レール群から第１レール群を分断する溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５５】
（付記６）  付記５に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端まで延びることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５６】
（付記７）  付記６に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端と協働で前記第１レール群を途切れなく囲むことを特徴とするヘッドスライダ。
【００５７】
（付記８）  付記５に記載のヘッドスライダにおいて、前記溝は、前記第１レール群に向き合わせられる前記第２レールの縁に沿って延びることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５８】
（付記９）  記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、スライダ本体の空気流入側で媒体対向面に形成されるフロントレールと、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に形成されるリアレールと、リアレールに埋め込まれるヘッド素子と、媒体対向面に形成されて、フロントレールの空気流出側端から、スライダ本体の前後方向に媒体対向面の縁を規定するスライダ本体の側縁に向かって延びる溝とを備えることを特徴とするヘッドスライダ。
【００５９】
（付記１０）  筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成される第１レールと、第１レールに埋め込まれるヘッド素子と、ヘッド素子よりも空気流入側で媒体対向面に形成される１以上の第２レールと、第２レールよりも空気流出側に区画されて、２レールの陰で負圧を発生させる複数の負圧発生領域と、媒体対向面に形成されて、スライダ本体の空気流出側端に最も近く位置する負圧発生領域から第１レールを分断する溝とを備えることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６０】
（付記１１）  付記１０に記載の記憶媒体駆動装置において、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端まで延びることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６１】
（付記１２）  付記１１に記載の記憶媒体駆動装置において、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端と協働で前記第１レールを途切れなく囲むことを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６２】
（付記１３）  付記１０に記載の記憶媒体駆動装置において、前記溝は、前記第１レールに向き合わせられる前記第２レールの縁に沿って延びることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６３】
（付記１４）  筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、媒体対向面に形成されてヘッド素子を保持するレールで構成される第１レール群と、媒体対向面に形成されて第１レール群以外のレールで構成される第２レール群と、媒体対向面に形成されて、第２レール群から第１レール群を分断する溝とを備えることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６４】
（付記１５）  付記１４に記載の記憶媒体駆動装置において、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端まで延びることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６５】
（付記１６）  付記１５に記載の記憶媒体駆動装置において、前記溝は前記スライダ本体の空気流出側端と協働で前記第１レール群を途切れなく囲むことを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６６】
（付記１７）  付記１４に記載の記憶媒体駆動装置において、前記溝は、前記第１レール群に向き合わせられる前記第２レールの縁に沿って延びることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【００６７】
（付記１８）  筐体と、筐体に組み込まれるヘッドスライダと、ヘッドスライダで記憶媒体に向き合わせられる媒体対向面を規定するスライダ本体と、スライダ本体の空気流入側で媒体対向面に形成されるフロントレールと、スライダ本体の空気流出側で媒体対向面に形成されるリアレールと、リアレールに埋め込まれるヘッド素子と、媒体対向面に形成されて、フロントレールの空気流出側端から、スライダ本体の前後方向に媒体対向面の縁を規定するスライダ本体の側縁に向かって延びる溝とを備えることを特徴とする記憶媒体駆動装置。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明に係る記憶媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の一具体例に係るヘッドスライダの構造を概略的に示す斜視図である。
【図３】本発明の一具体例に係るヘッドスライダの構造を概略的に示す平面図である。
【図４】本発明の他の具体例に係るヘッドスライダの構造を概略的に示す平面図である。
【図５】本発明のさらに他の具体例に係るヘッドスライダの構造を概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１１  記憶媒体駆動装置（ハードディスク駆動装置）、１２  筐体（ハウジング）、１３  記憶媒体（磁気ディスク）、２２、２２ａ、２２ｂ  ヘッドスライダ（浮上ヘッドスライダ）、３１  スライダ本体、３３  ヘッド素子（電磁変換素子）、３４  媒体対向面（浮上面）、３７  第１レール（フロントレール）、３８  第２レール（リアレール）、３９  第１レール（補助リアレール）、４１  第１レール（センターレール）、５２  溝、
５５  負圧発生領域、５６  負圧発生領域、５７  溝、５８  溝。
【図１】
2008130207.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2008130207.tif 000006
【図５】
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