(57)【要約】      （修正有）【課題】高精度な軸受隙間を形成することで高い軸受性能を発揮し得る流体軸受装置を低コストに提供する。【解決手段】軸２の外周面の、少なくともラジアル軸受隙間に面する領域を電鋳部１１で構成すると共に、軸２の電鋳部１１を除く領域を樹脂部１２で構成した。このように、ラジアル軸受面を含む軸２の外周部分を金属めっき部（ここでは電鋳部１１）で形成し、軸２の電鋳部１１を除く残りの部分を樹脂部１２で構成することで、樹脂部１２の外径側への膨張を外径側に設けた電鋳部１１によって抑制することができる。そのため、温度上昇に伴い軸２が外径側に膨張し、軸受部材９の内周面９ａとの間に形成されるラジアル軸受隙間が大きく変動する事態を避けて、当該軸受隙間を適正な間隔に維持することができる。【選択図】図２
2008045695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受隙間と、軸受隙間を形成する固定部材と回転部材のうち何れか一方を構成し、外周面が軸受隙間に面する軸とを備え、軸受隙間に形成される流体の膜で回転部材を支持する流体軸受装置において、
軸の外周面の軸受隙間に面する領域を金属めっき部で構成し、かつ軸の金属めっき部を除く領域を樹脂部で構成したことを特徴とする流体軸受装置。
【請求項２】
軸受隙間に面する領域を、金属めっき部の析出開始側の面で形成した請求項１記載の流体軸受装置。
【請求項３】
樹脂部に、金属めっき部と軸方向で係合する係合部を設けた請求項１又は２記載の流体軸受装置。
【請求項４】
マスターの内周面で、金属めっき部の外周面との間に軸受隙間を形成した請求項２記載の流体軸受装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載の流体軸受装置を備えたモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体軸受装置は、相対回転する一対の部材のうち回転側の部材を、軸受隙間に生じる流体の膜で支持するものである。この種の軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を備えるものであり、情報機器をはじめ種々の電気機器に搭載されるモータ用の軸受装置として、より具体的にはＨＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置等におけるディスクドライブのスピンドルモータ用の軸受装置として、あるいはレーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイールモータ、ファンモータなどのモータ用軸受装置として好適に使用される。
【０００３】
例えば、ＨＤＤ用のスピンドルモータに組み込まれる流体軸受装置においては、軸部材をラジアル方向に支持するラジアル軸受部と、軸部材をスラスト方向に支持するスラスト軸受部の一方または双方を動圧軸受で構成する場合がある。この場合、軸受スリーブの内周面と、これに対向する軸部材の外周面との何れか一方に動圧発生部を構成する動圧溝が形成されると共に、両面間のラジアル軸受隙間にラジアル軸受部が形成されることが多い（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
これら軸部材をはじめとする流体軸受装置の各構成部品には、情報機器の益々の高性能化に伴って必要とされる高い回転性能を確保すべく、高い加工精度や組立て精度が求められる。その一方で、流体軸受装置に対するコスト低減の要求も益々厳しくなっている。
【０００５】
流体軸受装置の低コスト化のための対策として、軸部材を樹脂で形成することが提案されている（例えば、特許文献２を参照）。
【０００６】
しかしながら、軸部材を樹脂で形成した場合、温度上昇に伴い軸部材が外径側へ膨張し、結果的にラジアル軸受隙間を減少させる可能性がある。軸受スリーブを同種の樹脂で形成して軸受隙間を維持する手段も考えられるが、樹脂製部品は、成形時の収縮を考慮に入れて成形寸法（金型寸法）を設定する必要があるため、当該部品を高精度に成形することは難しい。ましてや軸受隙間を形成する部材を共に樹脂で形成する場合には、両者の成形寸法のばらつきが影響するため、高精度な軸受隙間を得ることは困難である。
【特許文献１】特開２００３−２３９９５１号公報
【特許文献２】特開２０００−３３００６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上の事情に鑑み、本発明では、高精度な軸受隙間を形成することで高い軸受性能を発揮し得る流体軸受装置を低コストに提供することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本発明は、軸受隙間と、軸受隙間を形成する固定部材と回転部材のうち何れか一方を構成し、外周面が軸受隙間に面する軸とを備え、軸受隙間に形成される流体の膜で回転部材を支持するものにおいて、軸の外周面の軸受隙間に面する領域を金属めっき部で構成し、かつ軸の金属めっき部を除く領域を樹脂で構成したことを特徴とする流体軸受装置を提供する。
【０００９】
上述のように、本発明は、固定部材と回転部材の何れか一方を構成する軸の外周面の、軸受隙間に面する領域を金属めっき部で形成することを特徴とするものである。この構成によれば、軸の外周面のうち軸受隙間に面する領域が金属めっき部で覆われるので、例えば高温時、軸の樹脂形成領域が膨張する場合であっても、これを覆う金属めっき部で樹脂部の外径側への膨張を抑えて、軸受隙間の変動を最小限に抑えることができる。従って、上記構成の軸であれば、小型化を図りつつも、高精度な軸受隙間を確保することができる。また、金属めっき部であれば非常に薄肉に形成することができるので、樹脂部の割合を極力増やして樹脂化による低コスト化のメリットを享受できる。
【００１０】
なお、本発明における金属めっき部は、電解めっき加工に準じる方法により形成されたものの他、無電解めっき加工に準じる方法で形成されたものも含む。ここでいう無電解めっき加工は、電気を用いず、金属塩の水溶液に加えた還元剤の作用により金属の析出を行う方法を意味する。もちろん、後述の電鋳部に関しても同様の方法で形成されたものが含まれる。
【００１１】
軸の外周面のうち軸受隙間に面する領域を、例えば金属めっき部の析出開始側の面で形成することもできる。このような構成をなすものは電鋳部と呼ばれ、母型（マスター）の表面に金属を電解析出させて形成した後、マスターから剥離させることで得られる。このようにして形成された電鋳部であれば、上記各種めっき加工の特性上、電鋳部のマスター側の表面（析出開始側の面）にマスターの表面形状が非常に微細なレベルまで高精度に転写される。そのため、マスターの表面精度を高め、かつ電鋳部の析出開始側の面を軸受隙間を形成する面として使用すれば、特段の後加工を施すことなく、高い面精度を有する軸受面を低コストに得ることができる。また、その加工精度（面精度）は対応するマスターの面精度にのみ依存し、そのサイズには依存しない。従って、電鋳部を備えた軸であれば、小型化を図りつつも、高い加工精度（面精度）を確保することができる。
【００１２】
また、上述のように、軸の外周に金属めっき部を形成する場合、樹脂部に、金属めっき部と軸方向で係合する係合部を設けるのが好ましい。樹脂部の成形時、収縮は軸中心側に向けて生じるため、樹脂部の外周に形成した金属めっき部との間で密着力が低下し、場合によっては抜け落ちを生じる恐れがあるが、上述のように、係合部を設けておくことで、金属めっき部の抜止めを図ることができる。かかる係合部は、金属めっき部の形成前に、係合部に対応する箇所を設けた（例えば環状の段部を設けた）成形金型を用いて樹脂部を成形することで形成することができる。あるいは、電鋳部（およびマスター）をインサート部品とする樹脂部の射出成形を行う場合であれば、電鋳部の軸方向両端に樹脂を回り込ませるようにして樹脂部を成形することで係合部を形成することもできる。
【００１３】
上記構成の軸は回転部材と固定部材の何れを構成するものであってもよい。また、この場合、軸を設けた側の部材（回転部材あるいは固定部材）の少なくとも一部を軸の樹脂部と一体に形成することも可能である。
【００１４】
また、金属めっき部（電鋳部）を形成するのに使用したマスターで、電鋳部の外周面との間に軸受隙間を形成することもできる。あるいは、マスターをインサート部品とする樹脂の射出成形でハウジングと一体に固定部材を形成することも可能である。これらは何れもマスターをそのまま軸受スリーブとして使用するものであるから、互いに軸受隙間を形成する電鋳部の外周面とマスターの内周面とは転写元の面と転写先の面との関係にある。そのため、電鋳部とマスターとで軸受隙間を構成すれば、非常にばらつきの少ない高精度な軸受隙間を得ることができ、通常であれば行う可能性のある軸と軸受スリーブとのマッチング工程を省略することができる。
【００１５】
上記構成をなす流体軸受装置は、例えば当該軸受装置を備えたモータとして使用でき、例えば軸流ファンなど小型のモータに対しても好適に使用することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明によれば、高精度な軸受隙間を形成することで高い軸受性能を発揮し得る流体軸受装置を低コストに提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。なお、以下の説明における『上下』方向は単に各図における上下方向を便宜的に示すもので、流体軸受装置の設置方向や使用態様等を特定するものではない。図６以降で示す他の実施形態に係る説明についても同様である。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る流体軸受装置１を具備したモータの断面図を示している。このモータは、例えば同図に示すように、ファンを備えた冷却用のモータとして用いられるもので、軸２を回転自在に支持する流体軸受装置１と、軸２の一端に設けられたロータプレート部３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４ａおよびロータマグネット４ｂとからなる駆動部４と、流体軸受装置１のハウジング８を内周に固定したベース５とを備える。ロータプレート部３の内径側にはヨーク７を介してロータマグネット４ｂが固定されると共に、その外径側には１又は複数枚のファン（羽根）６が配設される。ファン６はロータプレート部３と一体に形成することもでき、別体に形成したものを後付けでロータプレート部３に固定することもできる。
【００１９】
上記構成のモータにおいて、ステータコイル４ａに通電すると、ステータコイル４ａとロータマグネット４ｂとの間の励磁力でロータマグネット４ｂが回転し、それによって、ロータプレート部３およびロータプレート部３に固定されたファン６が軸２と一体に回転する。この回転により、ファン６はモータの回転軸方向への空気流を生じ、この空気流を冷却対象となる部品（図示は省略）に向けて送り込むことで、当該部品を冷却するようになっている。
【００２０】
図２は、流体軸受装置１を示している。この流体軸受装置１は、ベース５に固定されるハウジング８と、ハウジング８の内周に配設される軸受部材９と、ハウジング８および軸受部材９に対して相対回転する軸２と、ハウジング８の一端開口側に位置し、軸２とハウジング８との間で流体をシールするシール部１０とを備える。この実施形態では、ロータプレート部３を一体に有する軸２で回転部材が構成される。また、ハウジング８と軸受部材９、およびシール部１０とで固定部材が構成される。
【００２１】
ハウジング８は有底筒状をなすもので、例えば樹脂材料で形成される。この実施形態では、ハウジング８は、内周側に配置した軸受部材９をインサート部品として、シール部１０と一体に樹脂の射出成形で形成される。ハウジング８の底部の上端面８ａは、軸２を軸受部材９の内周に挿入した状態では、軸２の一端面１２ａと当接し、軸２を回転させた状態では、軸２との間に後述するピボット軸受を構成する。
【００２２】
軸受部材９はスリーブ状をなすもので、例えばＣｕとＦｅの何れか一方または双方を主成分とする焼結金属で形成される。軸受部材９の内周面９ａは、後述する金属めっき部としての電鋳部１１の外周面１１ａとの間にラジアル軸受隙間を形成するようになっている。この実施形態では、図示は省略するが、内周面９ａの全面あるいは一部領域に、動圧発生部として、複数の動圧溝を所定形状（例えばヘリングボーン形状など）に配列した領域が設けられる。なお、軸受部材９を焼結金属以外の金属（鋳鉄や発泡金属など）、あるいは樹脂やセラミック等、金属以外の材料で形成しても構わない。また、内部に空孔を有する場合、当該空孔の量やサイズは問わない。
【００２３】
シール部１０は、軸受部材９と軸２との間に形成されるラジアル軸受隙間の一端開放側に配設される。シール部１０の内周面１０ａは大気開放側に向けて漸次拡径する形状をなしており、この面に対向する軸２の外周面（ここでは樹脂部１２の大径面１２ｃ）との間にテーパ状のシール空間Ｓを形成する。
【００２４】
軸２は、金属めっき部としての電鋳部１１と樹脂部１２とからなる。詳細には、軸２の外周面のうち少なくともラジアル軸受隙間に面する領域が電鋳部１１で構成され、かつ軸２の電鋳部１１を除く領域が樹脂部１２で構成される。この実施形態では、筒状をなす電鋳部１１をインサート部品として、樹脂部１２およびロータプレート部３を一体に有する軸２が樹脂の射出成形で形成される。なお、ラジアル軸受隙間の半径幅寸法は、軸２や軸受部材９の半径幅寸法に比べれば僅かであるが、図２では、理解の容易化のため、実際の寸法よりも拡大して描いている。後述する図６および図９のラジアル軸受隙間についても同様である。
【００２５】
上記構成の軸２は、例えば以下の工程を経て製造される。
【００２６】
軸２は、電解めっき加工で使用するマスター２１の表面を絶縁性材料でマスキングする工程、マスキングを施したマスター２１に電解めっき加工を行って電鋳部１１を形成する工程、電鋳部１１およびマスター２１をインサート部品として軸２の型成形（インサート成形）を行う工程、電鋳部１１をマスター２１から分離する工程とを順に経て製造される。
【００２７】
電鋳部１１の母型となるマスター２１は、例えばステンレス鋼でスリーブ状に形成される。マスター２１の表面のうち、内周面２１ａの電鋳部１１の形成予定領域は、析出形成すべき電鋳部１１の外周面１１ａに倣った形状をなす。この実施形態では、図３に示すように、電鋳部１１の外周面１１ａが断面真円形状となるよう、これに対応した形状の内周面２１ａが形成される。この場合、内周面２１ａの面精度は、ラジアル軸受面となる電鋳部１１の外周面１１ａの面精度を直接左右するので、なるべく高精度に仕上げておくことが望ましい。
【００２８】
マスター２１の材料としては、ステンレス鋼以外にも、例えばクロム系合金やニッケル系合金など、マスキング性、導電性、耐薬品性を有するものであれば金属、非金属を問わず任意に選択可能である。
【００２９】
マスター２１の表面には、図３に示すように、電鋳部１１の形成予定領域を除き、マスキングが施される。この実施形態では、スリーブ状をなすマスター２１の外周面と両端面、および内周面２１ａの電鋳部１１の形成予定領域を除いた領域にマスキング部２２が形成される（図３中散点模様で示す領域）。マスキング部２２形成用の被覆材としては、絶縁性、および電解質溶液に対する耐食性を有する材料が選択使用される。
【００３０】
電解めっき加工は、ＮｉやＣｕ等の金属イオンを含んだ電解質溶液にマスター２１を浸漬し、電解質溶液に通電して目的の金属をマスター２１の内周面２１ａのうち、マスキング部２２を除く領域に電解析出させることにより行われる。電解質溶液には、ＰＴＦＥやカーボンなどの摺動材、あるいはサッカリン等の応力緩和材を必要に応じて含有させることも可能である。この実施形態では、ＰＴＦＥ粒子を摺動材として電解質溶液中に含有させたものを使用している。析出金属の種類は、軸受の軸受面に求められる硬度、あるいは潤滑油に対する耐性（耐油性）など、必要とされる特性に応じて適宜選択される。
【００３１】
以上の工程を経ることにより、図４に示すように、マスター内周面２１ａのマスキング部２２で被覆されていない領域に薄肉円筒状の電鋳部１１が形成される。なお、電鋳部１１の厚みは、これが薄すぎると軸受面（外周面１１ａ）の耐久性低下等につながり、厚すぎるとマスター２１からの剥離性が低下する可能性があるので、求められる軸受性能や軸受サイズ、用途等に応じて最適な厚み、例えば５μｍ〜２００μｍの範囲に設定される。なお、電鋳部１１の形成手段として、上述の電解めっきに準じる方法の他、還元剤の作用により目的の金属をマスター表面に析出形成する、いわゆる無電解めっきに準じる方法を採用することも可能である。
【００３２】
上記工程を経て形成された電鋳部１１は、樹脂部１２をインサート成形する成形型内に例えばマスター２１と一体にインサート部品として供給配置される。この場合、使用される成形金型２３、２４は、型締め時、図４に示すように、軸２（およびロータプレート部３）に倣ったキャビティ２５を有する。この成形金型２３、２４を用いて例えばゲート２６より溶融樹脂をキャビティ２５内に充填し、これを固化させることで、同図に示す形状の樹脂部１２と電鋳部１１、さらにこの実施形態ではロータプレート部３とを一体に有する軸２が成形される。
【００３３】
樹脂部１２の材料、すなわち成形金型２３、２４のキャビティ２５内に充填される材料は、電鋳部１１の材料よりも低い凝固点を有する材料であればよく、例えば樹脂や金属等が使用可能である。このうち、樹脂材料としては、例えば液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリアミド（ＰＡ）等の結晶性樹脂、あるいは、ポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）等の非晶性樹脂がベース樹脂として使用可能である。また、必要に応じて強化材（繊維状、粉末状等の形態は問わない）や潤滑剤、導電化剤等の各種充填材を加えてもよい。
【００３４】
成形後、マスター２１と電鋳部１１、および樹脂部１２（この実施形態では、樹脂部１２とロータプレート部３）とが一体となった成形品を金型２３、２４から脱型する。この成形品は、その後の分離工程において軸２とマスター２１とに分離される。
【００３５】
分離工程では、例えばマスター２１あるいは電鋳部１１に衝撃を加えることで、電鋳部１１の外周面１１ａをマスター２１の内周面２１ａから剥離させる。これにより、マスター２１が電鋳部１１および樹脂部１２から引抜かれ、完成品としての軸２が得られる。
【００３６】
なお、電鋳部１１の分離手段としては、上記手段以外に、例えば電鋳部１１とマスター２１とを加熱（又は冷却）し、両者間に熱膨張量差を生じさせることによる方法、あるいは両手段（衝撃と加熱）を併用する手段等が使用可能である。
【００３７】
上述の如く形成された軸２を、ハウジング８に固定された軸受部材９の内周に挿入し、ラジアル軸受隙間の大気開放側（シール部１０の側）から潤滑油を注油する。これにより、ラジアル軸受隙間を含む軸受内部空間を潤滑油で充満した流体軸受装置１が完成する。また、シール部１０の内周面１０ａとこれに対向する軸２の外周面（ここでは樹脂部１２の大径面１２ｃ）との間にはシール空間Ｓが形成されるが、上述のように軸受内部空間を潤滑油で満たした状態では、潤滑油の油面が常時シール空間Ｓ内に維持されるようになっている。
【００３８】
上記構成の流体軸受装置１において、軸２の回転時、電鋳部１１の外周面１１ａはラジアル軸受面として、軸受部材９の内周面９ａと対向する。また、内周面９ａに形成された動圧溝配列領域（図示は省略）と、電鋳部１１の外周面１１ａとの間にはラジアル軸受隙間が形成される。軸２の回転に伴い、軸受内部空間の潤滑油が内周面９ａに形成された動圧溝によりラジアル軸受隙間に引き込まれ、この隙間における圧力が上昇する。このような動圧発生部（動圧溝）の動圧作用によって、ラジアル軸受隙間に軸２をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部Ｒが形成される。同時に、軸２の一端面１２ａが、これに対向するハウジング８底部の上端面８ａにより接触支持（ピボット支持）され、これにより両面１２ａ、８ａ間に、軸２をスラスト方向に回転自在に支持するスラスト軸受部Ｔが形成される。
【００３９】
このように、ラジアル軸受面を含む軸２の外周部分を金属めっき部（ここでは電鋳部１１）で形成し、軸２の電鋳部１１を除く残りの部分を樹脂部１２で構成することで、樹脂部１２の外径側への膨張を外径側に設けた電鋳部１１によって抑制することができる。そのため、温度上昇に伴い軸２が外径側に膨張し、軸受部材９の内周面９ａとの間に形成されるラジアル軸受隙間が大きく変動する事態を避けて、当該軸受隙間を適正な間隔に維持することができる。
【００４０】
また、電鋳部１１は、上述の如く、電解めっき加工あるいは無電解めっき加工に準じる方法で形成されるものであるから、当該加工の特性上、電鋳部１１の析出開始側の面（外周面１１ａ）にマスター２１の表面形状（ここでは内周面２１ａの面形状）が非常に微細なレベルまで高精度に転写される。そのため、マスター２１の内周面２１ａの表面精度を高め、かつ電鋳部１１の析出開始側の面をラジアル軸受面として使用すれば、特に面仕上げ等の後加工を施すことなく、高精度な外周面１１ａを低コストに得ることができる。また、その加工精度（面精度）は対応するマスター２１の面精度にのみ依存し、そのサイズには依存しないため、軸２を小型化した場合であっても、高い面精度を有する電鋳部１１の外周面１１ａを得ることができる。そのため、小型化を図りつつも、高い面精度ひいては高精度な軸受隙間を有する流体軸受装置１を低コストに形成することができる。
【００４１】
また、この種の形状をなすマスター２１に対して電解めっき加工を行う際、マスター２１内周に形成した電鋳部１１の最外表面（ここでは内周面１１ｂ）が粗くなる傾向を利用して、電鋳部１１の抜止め作用を軸２に付与することができる。すなわち、電鋳部１１の内周面１１ｂを適度に粗くした状態で樹脂部１２を成形することで、電鋳部１１との密着面となる樹脂部１２の小径面１２ｂとの密着力を高め、これにより電鋳部１１の抜止めを図ることができる。
【００４２】
また、この実施形態では、電鋳部１１をインサート部品として軸２を型成形することで、軸２の電鋳部１１以外の箇所（樹脂部１２）の成形と、これらの組付けとを一工程で同時に行うことができ、コストダウンにもつながる。また、電鋳部１１をマスター２１と一体にインサートすることで、電鋳部１１の肉厚が薄い場合であっても、樹脂部１２と容易に一体成形することができ、電鋳部１１単体のハンドリング性を考慮せずに済む。
【００４３】
また、軸２を、電鋳部１１をインサート部品とする樹脂の射出成形で形成することで、例えばロータプレート部３など、軸２の一端に取り付けるべき部材を軸２と一体的に形成することができる。そのため、流体軸受装置１の使用時、軸２と軸２の一端に取り付ける部材との間（固定面間）から潤滑油が漏れ出すのを防止することができる。
【００４４】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限られるものではなく、軸２を、ラジアル軸受隙間に面する金属めっき部と樹脂部１２とで構成するものである限り、他の形態を採ることも可能である。
【００４５】
上記実施形態では、軸２を構成する樹脂部１２を異径形状とし、小径部の外周に電鋳部１１を固定することで一体化した場合を説明したが、電鋳部１１の抜止め力向上のため、これ以外の構成を採ることも可能である。例えば、キャビティ２５の、樹脂部１２の一端を予め大径に形成しておくことで、電鋳部１１の上下端に樹脂を回りこませるようにして樹脂部１２を形成することができる。これにより、例えば図６に示すように、樹脂部１２の一端側（軸２の先端側）に、電鋳部１１を外周に設けた小径部より大径の大径部１２ｄを設けて、大径部１２ｄを係合部として電鋳部１１と軸方向で係合させることができる。従って、電鋳部１１の抜止め力向上を図ることが可能となる。また、同図に示すように、電鋳部１１を軸方向両側から挟持することで、さらなる抜止め力の向上を図ることができる。
【００４６】
あるいは、図７に示すように、マスター内周面２１ａの電鋳部１１形成予定領域内の一部にマスキング部２７（同図では２箇所）を設けておき、これらマスキングを施した領域２２、２７以外の領域に電鋳部１１を形成する。このように、マスキング部２７上に電鋳部１１を形成させずに残すことで、筒状をなす電鋳部１１の、マスキング部２７に対応する箇所に凹部（ここでは孔）２８を形成することができる。従って、この凹部２８を有する電鋳部１１をインサートして軸２（樹脂部１２）を成形することで、溶融樹脂がマスキング部２７により形成された空間（凹部２８）に流れ込み、固化する。凹部２８に流れ込んで固化した部分は、電鋳部１１と軸方向で係合する係合部として作用するため、これをもって電鋳部１１の抜止めとすることが可能となる。なお、電鋳部１１に対する抜止めとして作用する限り、凹部２８の形状は任意である。図８に示す孔状の他、円周方向に延びる帯状など、種々の形状が採用可能である。もちろん、電鋳部１１に限らず、金属めっき部が形成されていれば、例えば樹脂部１１の金型形状を工夫するなどして、上述の係合部を形成することも可能である。
【００４７】
また、上記実施形態では、軸２のインサート成形後、電鋳部１１をマスター２１から分離して引き抜いたものを、ハウジング８に一体的に固定された軸受部材９の内周に挿入することで、流体軸受装置１を構成した場合を例示したが、マスター２１をそのまま軸受部材９として使用することも可能である。例えば図示は省略するが、電鋳部１１をマスター２１から分離して引き抜いた後、マスター２１を成形金型にインサートした状態で図２に示すハウジング８を樹脂で一体に成形する。このようにしてハウジング８の内周側に配設されたマスター２１の内周に軸２を挿入することで、マスター２１を軸受部材として使用することができる。もちろん、電鋳部１１をマスター２１と分離した後、電鋳部１１（を備えた軸２）を引き抜くことなく、そのままマスター２１を軸受部材９として使用することもできる。この場合、互いにラジアル軸受隙間を形成する電鋳部１１の外周面１１ａとマスター２１の内周面２１ａとは転写元の面と転写先の面との関係にある。そのため、電鋳部とマスターとで軸受隙間を構成すれば、非常にばらつきの少ない高精度な軸受隙間を得ることができる。また、実際には、製品ごとに寸法上のばらつきが生じるため、例えばラジアル軸受隙間が所定の範囲に収まるよう、作製した複数の軸２と軸受部材９との間でマッチングを行うのが通常であるが、この種の方法で軸受隙間を形成するのであれば、上述のマッチング工程を省略することができ、効率的である。
【００４８】
また、上記実施形態では、電鋳部１１および樹脂部１２からなる軸２で流体軸受装置１の回転部材を構成した場合を説明したが、これとは逆に、流体軸受装置１の固定部材を軸２で構成することも可能である。図９はその一例を示すもので、同図に示す流体軸受装置１では、電鋳部１１および樹脂部１２からなる軸２がハウジング８と一体的に形成されている。また、軸受部材９をインサート部品とする筒部１３が形成されており、この筒部１３がロータプレート部３に一体的に設けられている。シール部１０は、筒部１３と一体に形成されている。従って、この実施形態では、軸２とハウジング８とで固定部材が構成されると共に、軸受部材９とシール部１０、および筒部１３とで回転部材が構成されている。この場合、筒部１３の上端側を覆う蓋部１３ａの下端面１３ｂが、これと対向する軸２の一端面１２ａにより接触支持（ピボット支持）され、これにより軸受部材９および筒部１３を有する回転部材がスラスト方向に回転自在に支持される。上述の構成は、電鋳部１１に限らず、金属めっき部を軸２に設けたものである限り適用可能である。
【００４９】
以上、本発明の流体軸受装置１への適用例について説明したが、上記構成の流体軸受装置１は、例示のファンモータだけでなく、ＨＤＤ用のスピンドルモータをはじめとするディスクドライブ用スピンドルモータの軸受装置など、種々の電気機器用モータの軸受装置として好適に適用可能である。例えば、ＨＤＤ用のモータに本発明に係る流体軸受装置１を適用する場合、ディスクを搭載するハブを、また、ポリゴンスキャナモータに流体軸受装置１を使用する場合、ポリゴンミラーを保持するターンテーブル等がそれぞれ軸２に取り付けられ、あるい図示のように軸２と一体に形成される。なお、この際、電鋳部１１やマスター２１以外の部品、例えばヨーク７やこれを備えたロータマグネット４ｂを一体に形成することも可能である。
【００５０】
また、以上の説明では、ラジアル軸受部Ｒを構成する動圧発生部として、複数の動圧溝を所定の形状（へリングボーン形状など）に配列したものを例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明に係る流体軸受装置１は、ラジアル軸受面を有する電鋳部１１と樹脂部１２とからなる軸２を備えるものであればよく、動圧発生部の有無は問題にはならない。従って、本発明に係る流体軸受装置１は、動圧発生部を、軸受部材９と軸２、何れの側に設けたものでもよく、あるいは動圧発生部を持たないいわゆる流体真円軸受を構成するものであってもよい。また、動圧発生部としては、上述の配列形状に限らず、任意の形態をなす動圧発生部（例えばスパイラル形状の動圧溝領域、ステップ軸受、多円弧軸受など）が構成可能である。
【００５１】
また、以上の説明では、スラスト軸受部Ｔを、ピボット軸受で構成した場合を例示したが、ラジアル軸受部Ｒと同様、軸方向に対向する両面１２ａ、８ａ間にスラスト軸受隙間を介在させ、この隙間に動圧作用を生じる動圧発生部を何れか一方の面に設けることでスラスト軸受部Ｔを構成することもできる。もちろんその場合には、へリングボーン形状やスパイラル形状をなす動圧溝配列領域など、ラジアル軸受部と同様、種々の動圧発生部を採用することができる。
【００５２】
また、以上の説明では、流体軸受装置１の内部に充満し、ラジアル軸受隙間に流体の流体膜を形成可能な流体として潤滑油を例示したが、それ以外にも当該軸受隙間に流体の流体膜を発生可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体等の流動性を有する潤滑剤、あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体軸受装置を具備したモータの断面図である。
【図２】流体軸受装置の断面図である。
【図３】マスキング部を設けた状態のマスターの縦断面図である。
【図４】電鋳部を形成したマスターの縦断面図である。
【図５】電鋳部をインサートした状態の軸の成形金型の断面図である。
【図６】他構成の軸を備えた流体軸受装置の断面図である。
【図７】他構成のマスキング部を設けた状態のマスターの縦断面図である。
【図８】他構成の電鋳部を形成したマスターの縦断面図である。
【図９】他の実施形態に係る流体軸受装置の断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１      流体軸受装置
２      軸
８      ハウジング
９      軸受部材
９ａ    内周面
１１    電鋳部（金属めっき部）
１１ａ  外周面
１２    樹脂部
２１    マスター
２１ａ  内周面
２２    マスキング部
Ｒ      ラジアル軸受部
Ｔ      スラスト軸受部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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