(57)【要約】【課題】  ステージの駆動機構をシンプルな構成とする。【解決手段】  ベース１５上の一端縁部寄り位置に、Ｘ方向スライドバー１６を設ける。Ｘ方向スライドバー１６に、摩擦駆動機構１８を備えたＸステージ１７を取り付ける。Ｘステージ１７のベース中央寄り端部に、Ｙ方向スライドバー１９の一端部を取り付ける。Ｙ方向スライドバー１９に、摩擦駆動機構２１を備えたＹステージ２０を取り付けて、ＸＹステージ装置を形成する。Ｘステージ１７は、摩擦駆動機構１８によりＸ方向スライドバー１６に沿って駆動させ、Ｙステージ２０は、摩擦駆動機構２１によりＹ方向スライドバー１９に沿って駆動させる。【選択図】図１
2008290198.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＸＹ直交座標系の一方の軸方向に沿うスライドバーを設けて、該スライドバーに、摩擦駆動機構により長手方向に駆動可能なステージを取り付け、更に、上記ステージの一側に、ＸＹ直交座標系の他方の軸方向に沿うスライドバーの一端部を取り付けると共に、該他方の軸方向に沿うスライドバーに、摩擦駆動機構により長手方向に駆動可能なステージを取り付けてなる構成を有することを特徴とするＸＹステージ装置。
【請求項２】
ステージの摩擦駆動機構を、スライドバーの一側面に接触させる一側面側ローラと、該一側面側ローラに対するテーブル移動方向の前後両側位置で上記スライドバーの他側面に接触させる複数の他側面側ローラと、上記一側面側及び他側面側の各ローラのうちのいずれか１つのローラを駆動ローラとして回転駆動させるための駆動モータを備えてなる構成とした請求項１記載のＸＹステージ装置。
【請求項３】
各ステージの摩擦駆動機構の少なくとも一方に、各ローラをステージ移動方向と直角の方向に個別に変位させるための変位機構を備えるようにした請求項２記載のＸＹステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送ステージをＸＹ直交座標系で位置決めできるようにしてあるＸＹステージ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、工作機械等において、ワークやその他の位置決め対象物を、搬送ステージに載置した状態で、直交する二軸方向、すなわち、ＸＹ直交座標系で位置決めするための装置としてＸＹステージ装置が知られている。
【０００３】
この種のＸＹステージ装置の１つとしては、たとえば、図４にその一例の概略を示す如きものが提案されている。
【０００４】
すなわち、図４に示すＸＹステージ装置は、ベース１上に、Ｙ軸方向に延びるガイドレール２が配設してある。更に、上記ガイドレール２に沿ってＹ軸方向に延在するヘッド部３ａと、該ヘッド部３ａの長さ方向の中間よりＸ軸方向に延在する直線案内部３ｂとからなる平面視Ｔ字形のＹスライダ３における上記ヘッド部３ａを、上記ガイドレール２に、長手方向にスライド可能に取り付けた構成としてある。更に、上記Ｙスライダ３のヘッド部３ａ側となる一端側と、自由端側となる他端側には、それぞれ独立して、Ｙスライダ３の一端側をＹ軸方向に駆動する第１Ｙ軸リニアモータ４と、他端側をＹ軸方向に駆動する第２Ｙ軸リニアモータ５が設けてある。
【０００５】
更に、上記Ｙスライダ３の直線案内部３ｂにＸスライダ６をＸ軸方向にスライド自在に組み付けると共に、Ｙスライダ３の本体の上面に設置したＸ軸リニアモータ７によって、上記Ｘスライダ６をＸ軸方向に駆動できる構成としてある。
【０００６】
以上の構成としてあるＸＹステージ装置によれば、ベース１上に設置されたガイドレール２のみに力を支持させた状態で、上記第１と第２の各Ｙ軸リニアモータ４，５によるＹスライダ３のガイドレール２に沿うＹ軸方向への駆動と、上記Ｘ軸リニアモータ７による上記Ｘスライダ６の上記Ｙスライダ３の直線案内部３ｂに沿うＸ軸方向への駆動を組み合わせることで、上記Ｘスライダ６を、ベース１に対してＸＹ直交座標系の任意の位置に位置決め制御できるようにしてある。
【０００７】
更に、上記第１と第２のＹ軸リニアモータ４と５による上記Ｙスライダ３の一端側と他端側の位置制御を独立に行うことで、上記Ｙスライダ３の直線案内部３ｂの方向を、Ｙ軸方向より所要角度傾けて、該直線案内部３ｂ上の上記Ｘスライダ６の面内回転方向の位置決め制御も行うことができるようにしてある（たとえば、特許文献１参照）。
【０００８】
ところで、半導体関連の製造、検査等の精密な位置決めを行う精密機械では、搬送ステージ（搬送テーブル）等の移動体を該機械の固定部に対して移動させるときに、移動体の精密な位置決め、たとえば、μｍオーダー以下の精度での位置決めを行うことが要求されることがある。
【０００９】
そのために、上記のような精密機械における移動体を移動させると共に該移動体の精密な位置決めを行うことができるようにするための駆動機構として、本出願人は、以前の出願（特願２００６−２５７７６０号）において、移動体としての搬送ステージの真直性を確保しながら長ストローク化を図ることが可能な摩擦駆動搬送装置の駆動機構として、図５及び図６に示す如き摩擦駆動機構を提案している。
【００１０】
すなわち、図５及び図６に示した摩擦駆動機構は、搬送テーブル８の移動方向に延びるスライドバー９を備え、且つ上記搬送テーブル８側に、上記スライドバー９の一側面に接触させる一側面側ローラ１０と、該一側面側ローラ１０に対するテーブル移動方向の前後両側位置で上記スライドバー９の他側面に接触させる複数の他側面側ローラ１１と、上記一側面側ローラ１０及び他側面側ローラ１１のすべて、又は、いずれかをテーブル移動方向と直角の方向に個別に変位させるためのピエゾアクチュエータ等の変位機構１２と、上記一側面側及び他側面側の各ローラ１０，１１のうちのいずれか１つのローラ１０にたわみ継手１３を介して連結して、該ローラ１０を駆動ローラ１０として回転駆動させるための駆動モータ１４とを設けた構成としてある。
【００１１】
以上の構成としてある摩擦駆動機構によれば、上記各変位機構１２により上記駆動ローラ１０を上記スライドバー９の一側面に、又、他の各ローラ１１をバックアップローラ１１として上記スライドバー９の他側面にそれぞれ押し当てた状態にて、上記駆動モータ１４の正逆転駆動により上記駆動ローラ１０を回転駆動させることで、上記駆動ローラ１０と上記スライドバー９との接触面に作用する摩擦を利用して、上記移動体としての搬送テーブル８を上記スライドバー９の長手方向に移動させることできるようにしてある。
【００１２】
しかも、上記各変位機構１２により、上記スライドバー９の他側面に接触させている各バックアップローラ１１を、搬送テーブル８自体の向きから所要角度ずれた方向に沿って並ぶように配置させることで、該各バックアップローラ１１を他側面に接触させるようにしてあるスライドバー９の軸線方向を基準として、上記移動体である搬送テーブル８自体の向きを、微小に面内回転させることができるようにしてある。
【００１３】
【特許文献１】特許第３６７３１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところが、図４に示した如き従来のＸＹステージ装置では、Ｙスライダ３をＹ軸方向へ駆動するために、２基１組のリニアモータ４と５を必要とするため、構造が複雑で、コストが嵩むという問題がある。更に、上記Ｙスライダ３及びＸスライダ６のいずれか一方の軸方向のスライダを駆動すると、その反力が直交する他方の軸方向のスライダに作用するため、高速、高精度な面内の位置決めが難しいという問題もある。
【００１５】
そこで、本発明は、本出願人が以前の出願において提案している摩擦駆動機構を応用することで、ＸＹ直交座標系の各軸方向のステージを、それぞれ１つの駆動機構で駆動できて、駆動機構の数を削減することができ、しかも、ＸＹ直交座標系の一方の軸方向のステージを駆動する際にも、その反力の影響が他方の軸方向のステージに作用する虞を未然に防止できて、ステージの精密位置決めの精度を高めることができるＸＹステージ装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、ＸＹ直交座標系の一方の軸方向に沿うスライドバーを設けて、該スライドバーに、摩擦駆動機構により長手方向に駆動可能なステージを取り付け、更に、上記ステージの一側に、ＸＹ直交座標系の他方の軸方向に沿うスライドバーの一端部を取り付けると共に、該他方の軸方向に沿うスライドバーに、摩擦駆動機構により長手方向に駆動可能なステージを取り付けてなる構成とする。
【００１７】
又、上記構成において、ステージの摩擦駆動機構を、スライドバーの一側面に接触させる一側面側ローラと、該一側面側ローラに対するテーブル移動方向の前後両側位置で上記スライドバーの他側面に接触させる複数の他側面側ローラと、上記一側面側及び他側面側の各ローラのうちのいずれか１つのローラを駆動ローラとして回転駆動させるための駆動モータを備えてなる構成とする。
【００１８】
更に、上記構成において、各ステージの摩擦駆動機構の少なくとも一方に、各ローラをステージ移動方向と直角の方向に個別に変位させるための変位機構を備えるようにした構成とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のＸＹステージ装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。 
（１）ＸＹ直交座標系の一方の軸方向に沿うスライドバーを設けて、該スライドバーに、摩擦駆動機構により長手方向に駆動可能なステージを取り付け、更に、上記ステージの一側に、ＸＹ直交座標系の他方の軸方向に沿うスライドバーの一端部を取り付けると共に、該他方の軸方向に沿うスライドバーに、摩擦駆動機構により長手方向に駆動可能なステージを取り付けてなる構成、具体的には、ステージの摩擦駆動機構を、スライドバーの一側面に接触させる一側面側ローラと、該一側面側ローラに対するテーブル移動方向の前後両側位置で上記スライドバーの他側面に接触させる複数の他側面側ローラと、上記一側面側及び他側面側の各ローラのうちのいずれか１つのローラを駆動ローラとして回転駆動させるための駆動モータを備えてなる構成とした構成としてあるので、上記各ステージを、それぞれ１つの摩擦駆動機構によって駆動できることから、従来のリニアモータを駆動機構として用いていたＸＹステージ装置に比して、構造をシンプルなものとすることができて、コストダウンを図るのに有利なものとすることができる。 
（２）更に、上記各ステージをそれぞれ対応するスライドバーに沿わせて駆動する機構に、リニアモータのような非接触要素を用いないため、上記各ステージの駆動機構を高剛性のものとすることができて、片方の軸方向のステージを駆動する際に、その反力が、直交するもう片方の軸方向のステージに影響を及ぼす虞を未然に防止できる。よって、各ステージの高精度の移動が可能になることから、搬送ステージとなるステージのＸＹ直交座標系における高精度の位置決めを行うことができる。 
（３）各ステージの摩擦駆動機構の少なくとも一方に、各ローラをステージ移動方向と直角の方向に個別に変位させるための変位機構を備えるようにした構成とすることにより、搬送ステージとするステージに対して微小な面内回転方向の変位を与えることが可能になる。したがって、上記各スライドバーに、製造時の誤差等によって該各スライドバーの軸線方向が、それぞれ対応する各ステージの本来の移動方向から多少撓んでいるとしても、上記搬送ステージとなるステージの向きを、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に正確に揃うように補正することも可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００２１】
図１乃至図３は本発明のＸＹステージ装置の実施の一形態を示すもので、以下のようにしてある。
【００２２】
すなわち、ベース１５上の一端縁部寄り位置に、ＸＹ直交座標系における一方の軸方向、たとえば、Ｘ軸方向に延びるＸ方向スライドバー１６を配置して、該Ｘ方向スライドバー１６の両端部を、所要の高さ寸法を有する取付部材１６ａを介して上記ベース１５に取り付ける。
【００２３】
上記Ｘ方向スライドバー１６には、図５及び図６に示した摩擦駆動機構と同様に、移動体の上記Ｘ方向スライドバー１６の長手方向に沿う移動と、移動体のＸ方向スライドバー１６と直角方向へのシフトと、Ｘ方向スライドバー１６の軸線方向を基準として移動体自体の微小な面内回転を行うことができるようにしてある摩擦駆動機構１８を備えた移動体としてのＸステージ１７を取り付ける。
【００２４】
更に、上記Ｘステージ１７におけるベース中央寄りの端部に、ＸＹ直交座標系の他方の軸方向であるＹ軸方向に水平に延びるＹ方向スライドバー１９の基端部となる長手方向一端部を取り付ける。
【００２５】
上記Ｙ方向スライドバー１９に、図５及び図６に示した摩擦駆動機構と同様に、移動体の上記Ｙ方向スライドバー１９の長手方向に沿う移動と、移動体のＹ方向スライドバー１９と直角方向へのシフトと、Ｙ方向スライドバー１９の軸線方向を基準として移動体自体の微小な面内回転を行うことができるようにしてある摩擦駆動機構２１を備えた移動体としてのＹステージ２０を取り付けて、ＸＹステージ装置を構成する。
【００２６】
詳述すると、上記Ｘステージ１７は、底部に摩擦係数の小さい材質性の摩擦低減部材、あるいは、気体を噴出する等して摩擦抵抗を低減できるようにしてある摩擦低減機構２３を備えて、上記ベース１５上にてＸ軸方向にスライド可能なフレーム２２を備える。該フレーム２２には、上記Ｘ方向スライドバー１６の一側面に接触させる駆動ローラ２４と、該駆動ローラ２４に対するＸステージ移動方向の前後両側位置で上記Ｘ方向スライドバー１６の他側面に接触させる複数、たとえば、２個のバックアップローラ２５と、上記駆動ローラ２４及びバックアップローラ２５をＸステージ移動方向と直角方向に個別に変位させるためのピエゾアクチュエータ等の変位機構２６と、上記駆動ローラ２４に連結して、該駆動ローラ２４を回転駆動させるための駆動モータ２７とを備えてなる構成としてある。これにより、上記各変位機構２６により上記駆動ローラ２４及び各バックアップローラ２５を上記Ｘ方向スライドバー１６の両側面に押し当てた状態にて、上記駆動モータ２７の正逆転駆動により上記駆動ローラ２４を回転駆動させることで、上記駆動ローラ２４と上記Ｘ方向スライドバー１６との接触面に作用する摩擦を利用して、上記移動体としてのＸステージ１７を上記Ｘ方向スライドバー１６の長手方向に移動させることできるようにしてある。更に、上記各変位機構２６により、上記Ｘ方向スライドバー１６の他側面に接触させている各バックアップローラ２５を、Ｘステージ１７自体の向きから所要角度ずれた方向に沿って並ぶように配置させることで、該各バックアップローラ２５を他側面に接触させるようにしてあるＸ方向スライドバー１６の軸線方向を基準として、上記Ｘステージ１７の向きを微小に面内回転方向に変位させることができるようにしてある。
【００２７】
上記Ｘステージ１７のフレーム２２におけるベース１５中央寄りの端部には、上記Ｙ方向スライドバー１９の一端部を剛接合した構成としてある。
【００２８】
上記Ｙステージ２０は、頂部にワークやその他の位置決め対象物を載置するための搬送ステージ本体２９を備え、且つ底部に摩擦係数の小さい材質性の摩擦低減部材、あるいは、気体を噴出する等して摩擦抵抗を低減できるようにしてある摩擦低減機構３０を備えて、上記ベース１５上にて任意の方向にスライド可能なフレーム２８を備える。且つ上記フレーム２８には、上記Ｙ方向スライドバー１９の一側面に接触させる駆動ローラ３１と、該駆動ローラ３１に対するＹステージ移動方向の前後両側位置で上記Ｙ方向スライドバー１９の他側面に接触させる複数、たとえば、２個のバックアップローラ３２と、上記駆動ローラ３１及び各バックアップローラ３２をＹステージ移動方向と直角方向に個別に変位させるためのピエゾアクチュエータ等の変位機構３３と、上記駆動ローラ３１に連結して、該ローラ３１を回転駆動させるための駆動モータ３４とを備えてなる構成としてある。これにより、上記各変位機構３３により上記駆動ローラ３１及び各バックアップローラ３２を上記Ｙ方向スライドバー１９の両側面に押し当てた状態にて、上記駆動モータ３４の正逆転駆動により上記駆動ローラ３１を回転駆動させることで、上記駆動ローラ３１と上記Ｙ方向スライドバー１９との接触面に作用する摩擦を利用して、上記移動体としてのＹステージ２０を上記Ｙ方向スライドバー１９の長手方向に移動させることできるようにしてある。更に、上記各変位機構３３により、上記Ｙ方向スライドバー１９の他側面に接触させている各バックアップローラ３２を、Ｙステージ２０自体の向きから所要角度ずれた方向に沿って並ぶように配置させることで、該各バックアップローラ３３を他側面に接触させるようにしてあるＹ方向スライドバー１９の軸線方向を基準として、上記Ｙステージ２０の向きを微小に面内回転方向に変位させることができるようにしてある。
【００２９】
ここで、上記したようにＹ方向スライドバー１９は、その一端部のみがＸステージ１７のフレーム２２に固定されているものであるため、該Ｙ方向スライドバー１９が長尺である等に起因して、自由端となる他端側の下方への撓み量が大きくなることが想定される場合がある。このような場合には、図２に二点鎖線で示す如く、上記Ｙ方向スライドバー１９の他端部の下側に、上記ベース１５の上側でスライド可能な支持部材３５を取り付けて、該Ｙ方向スライドバー１９の他端部の高さ位置を保持させるようにしてもよい。
【００３０】
なお、上記Ｘステージ１７及びＹステージ２０にて、駆動ローラ２４，３１と各バックアップローラ２５，３２をそれぞれのステージ移動方向と直角方向に変位可能に保持する機構の構成は、本出願人が特願２００６−２５７７６０号において提案している図５及び図６に示した如き摩擦駆動搬送装置の摩擦駆動機構における駆動ローラ１０及びバックアップローラ１１をテーブル移動方向と直角方向に変位可能に保持する機構の構成と同様であり、ここでは詳細な説明は省略する。
【００３１】
以上の構成としてあるＸＹステージを使用する場合は、上記Ｘステージ１７の摩擦駆動機構１８により、該Ｘステージ１７を、Ｘ方向スライドバー１６に沿って駆動して、Ｘステージ１７を所定位置まで移動させることで、該Ｘステージ１７に取り付けてあるＹ方向スライドバー１９を、搬送ステージ本体２９を位置決めすべき目的個所のＸ座標位置に応じた位置まで移動させる。更に、上記Ｙステージ２０の摩擦駆動機構２１により、該Ｙステージ２０を、上記Ｙ方向スライドバー１９に沿って駆動して、該Ｙステージ２０を、搬送ステージ本体２９を位置決めすべき目的個所のＹ座標位置に応じた位置まで移動させると、上記Ｙステージ２０の頂部に設けてある上記搬送ステージ本体２９が、位置決めすべき目的個所のＸＹ座標に応じた位置まで移動させられるようになる。よって、上記搬送ステージ本体２９を、ＸＹ直交座標系の任意の位置に位置決めすることができるようになる。
【００３２】
上記において、Ｘステージ１７を、摩擦駆動機構１８よりＸ方向スライドバー１６に沿って駆動するときには、その反力が、上記Ｙステージ２０に対して、Ｙ方向スライドバー１９に直角な方向の力として作用するようになる。この際、上記Ｙステージ２０の摩擦駆動機構２１では、駆動ローラ３１と各バックアップローラ３２を、Ｙ方向スライドバー１９の両側面にそれぞれ押し当てて直接接触させてあるため、上記摩擦駆動機構２１と、Ｙ方向スライドバー１９との間には隙間がない。このため、上記Ｙステージ２０が、上記Ｘステージ１７を駆動するときの反力の影響を受けてＹ方向スライドバー１９と直角な方向へ揺れる虞は未然に防止されるようになる。
【００３３】
又、上記Ｙステージ２０を、摩擦駆動機構２１によりＹ方向スライドバー１９に沿って駆動するときには、その反力が、上記Ｘステージ１７に対して、Ｘ方向スライドバー１６に直角な方向の力として作用するようになる。この際、上記Ｘステージ１７の摩擦駆動機構１８では、駆動ローラ２４と各バックアップローラ２５をＸ方向スライドバー１６の両側面にそれぞれ押し当てて直接接触させてあるため、上記摩擦駆動機構１８と、Ｘ方向スライドバー１６との間には隙間がない。よって、上記Ｘステージ１７が、上記Ｙステージを駆動するときの反力の影響を受けてＸ方向スライドバー１６と直角な方向へ揺れる虞は未然に防止されるようになる。
【００３４】
更に、上記Ｘステージ１７に設けてある摩擦駆動機構１８は、各バックアップローラ２５を、それぞれ対応する変位機構２６により変位させることで、Ｘステージ１７自体の向きを、Ｘステージ移動方向であるＸ方向スライドバー１６の軸線方向を基準として所要角度回転できるようにしてあることから、該Ｘステージ１７に取り付けてあるＹ方向スライドバー１９の向きを、Ｙ軸方向に対してやや傾けることができる。よって、該Ｙ方向スライドバー１９に取り付けてあるＹステージ２０と一体に、搬送ステージ本体２９に対して微小な面内回転方向の変位を与えることが可能になる。
【００３５】
又、上記のように、Ｘステージ１７自体の向きを、Ｘ方向スライドバー１６の軸線方向を基準として所要角度回転させることに代えて、Ｙステージ２０に設けてある摩擦駆動機構２１にて、各バックアップローラ３２を、それぞれ対応する変位機構３３により変位させることによっても、Ｙステージ２０自体の向きを、Ｙステージ移動方向であるＹ方向スライドバー１９の軸線方向を基準として所要角度回転させて、上記搬送ステージ本体２９に対し微小な面内回転方向の変位を与えることも可能になる。
【００３６】
したがって、たとえば、上記Ｘ方向スライドバー１６や、Ｙ方向スライドバー１９に、製造時の誤差等によって該各スライドバー１６，１９の軸線方向が、それぞれ対応する各ステージ１７，２０の本来の移動方向から多少撓んでいるとしても、上述したようにして上記Ｘ方向スライドバー１６や、Ｙ方向スライドバー１９の軸線方向を基準として、Ｘステージ１７やＹステージ２０を所要角度面内回転方向に変位させることで、上記搬送ステージ本体２９の向きを、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に正確に揃うように補正することも可能になる。
【００３７】
このように、本発明のＸＹステージ装置によれば、Ｘステージ１７とＹステージ２０を、それぞれ１つの摩擦駆動機構１８と２１によって駆動できることから、従来のリニアモータを駆動機構として用いていたＸＹステージ装置に比して、構造をシンプルなものとすることができて、コストダウンを図るのに有利なものとすることができる。
【００３８】
更に、上記Ｘステージ１７をＸ方向スライドバー１６に沿わせて駆動する機構、及び、Ｙステージ２０をＹ方向スライドバー１９に沿わせて駆動する機構に、リニアモータのような非接触要素を用いないため、上記Ｘステージ１７及びＹステージ２０の駆動機構を高剛性のものとすることができて、一方の軸方向のステージ１７又は２０を駆動する際に、その反力が、直交する他方の軸方向のステージ２０又は１７に影響を及ぼす虞を未然に防止できることから、各ステージ１７，２０の高精度の移動が可能になる。よって、上記搬送ステージ本体２９のＸＹ直交座標系における高精度の位置決めを行うことができる。
【００３９】
なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、Ｘステージ１７及びＹステージ２０に設ける摩擦駆動機構１８，２１は、対応するスライドバー１６，１９の両側面に駆動ローラ２４，３１とバックアップローラ２５，３２とを両側から押し付けた状態で上記駆動ローラ２４，３１を正逆転駆動できるようにしてあれば、駆動ローラ２４，３１と一方のバックアップローラ２５，３２との配置を入れ替えたり、バックアップローラ２５，３２の数を増やしてもよい。各ステージ１７，２０のフレーム２２，２８の形状は適宜変更してよい。ベース１５上におけるＸ方向とＹ方向の各スライドバー１６，１９を配設する高さ位置は適宜変更してもよい。
【００４０】
更に、上記実施の形態においては、Ｘステージ１７及びＹステージ２０の双方に、位置及び圧力調整可能な駆動ローラ２４，３１とバックアップローラ２５，３２を設けてなる構成として示したが、上記Ｘステージ１７とＹステージ２０のいずれか一方は、圧力調整のみ可能な駆動ローラ２４，３１とバックアップローラ２５，３２を設けてなる構成としてもよい。その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のＸＹステージ装置の実施の一形態を示す一部切断概略平面図である。
【図２】図１の装置のＡ−Ａ方向矢視拡大図である。
【図３】図１の装置のＢ−Ｂ方向矢視拡大図である。
【図４】従来提案されているＸＹステージ装置の一例の概略を示す一部切断平面図である。
【図５】本出願人が提案している摩擦駆動搬送装置を示す概略切断平面図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ方向矢視図である。
【符号の説明】
【００４２】
１６  Ｘ方向スライドバー（スライドバー）
１８  摩擦駆動機構
１７  Ｘステージ（ステージ）
１９  Ｙ方向スライドバー（スライドバー）
２１  摩擦駆動機構
２０  Ｙステージ（ステージ）
２４  駆動ローラ（ローラ）
２５  バックアップローラ（ローラ）
２６  変位機構
２７  駆動モータ
３１  駆動ローラ（ローラ）
３２  バックアップローラ（ローラ）
３３  変位機構
３４  駆動モータ
【図１】
2008290198.tif 000003
【図２】
2008290198.tif 000004
【図３】
2008290198.tif 000005
【図４】
2008290198.tif 000006
【図５】
2008290198.tif 000007
【図６】
2008290198.tif 000008