(57)【要約】      （修正有）【課題】移載動作の反復による搬送物の帯電を防止するようにした移載機を提供する。【解決手段】搬送物１をハンド２上に載せて移載する移載機において、移載動作による搬送物１の帯電を防止する帯電防止部材３をハンド２に設ける。この場合において、帯電防止部材３を、搬送物１への接触代を３〜５ｍｍとした静電ブラシにより構成し、搬送物１を損耗したり逆に損耗を受けたりすることなく、発塵を少なくするとともに帯電防止部材３を取付が容易で安価なものとすることができる。また帯電防止部材３を、ハンド２上面にハンド２と一体となるよう配設する合成樹脂プレート２Ｐの一部又は全部に帯電防止樹脂プレートを配設して、構成することにより、既設のハンド２には他の部材を取り付けないので設計を変更する必要がなく、一部又は全部の合成樹脂プレート２Ｐを帯電防止樹脂プレートと交換するだけで確実に搬送物１の帯電を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物をハンド上に載せて移載する移載機において、移載動作による搬送物の帯電を防止する帯電防止部材をハンドに設けたことを特徴とする移載機。
【請求項２】
帯電防止部材を、搬送物への接触代を３〜５ｍｍとした静電ブラシにより構成したことを特徴とする請求項１記載の移載機。
【請求項３】
帯電防止部材を、ハンド上面に一体に配設する合成樹脂プレートの一部又は全部に帯電防止樹脂プレートを配設して構成したことを特徴とする請求項１記載の移載機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶、有機ＥＬ、半導体等の電子部品用基板（以下、「電子部品用基板」という。）の移載機に関し、特に、複数枚の電子部品用基板を収納したカセットの移載動作の反復により、カセット等の搬送物に帯電するのを防止するようにした移載機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、電子部品用基板は、電子部品製造工場において多数の処理工程を経て加工されているが、これらの処理工程では処理時間が異なるため、処理装置から処理装置へ直接搬送することは困難である。
そこで、電子部品用基板は、次工程への待機中にカセットに複数枚収納された状態でカセットストッカに一旦保管される。また、このカセットは、近年の電子部品用基板の大型化に伴い強度的に大なるステンレススチールを用いて製作されている。
【０００３】
このカセットストッカには、カセットを効率よく収納するために、複数の棚と、これら複数の棚に上記カセットを移載する移載機が配設されている。この移載機には、図１，２に示すように、伸縮するアームと、該アームの先端に設けられたハンド（フォークプレート）を備え、かつハンド上面に合成樹脂プレートを配設し、この合成樹脂プレート上にカセットが載置されるようにして金属製のカセットと金属製のハンドとが直接接触するのを防ぎ、かつカセットの滑りを良くしてカセットの摩耗及び摺動による発塵を抑制するようにしている。
【０００４】
移載機は、上面に合成樹脂プレートを配設したハンド上にカセットを載せて、例えば、搬送車と棚又は製造装置との間で移載を繰り返すが、この移載動作の繰り返しによって静電気が発生し、この静電気がカセット等の搬送物に帯電し、これが許容以上の電圧或いは帯電量に達すると金属製の移載機或いは棚との間で放電し易くなり危険であるとともに、カセット内に収納した電子部品用基板に悪影響を及ぼすという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来の移載機が有する問題点に鑑み、移載動作の反復による搬送物の帯電を防止するようにした移載機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の移載機は、搬送物をハンド上に載せて移載する移載機において、移載動作による搬送物の帯電を防止する帯電防止部材をハンドに設けたことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、帯電防止部材を、搬送物への接触代を３〜５ｍｍとした静電ブラシにより構成することができる。
【０００８】
また、帯電防止部材を、ハンド上面にハンドと一体となるよう配設する合成樹脂プレートの一部又は全部に、帯電防止樹脂プレートを配設して構成することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の移載機によれば、搬送物をハンド上に載せて移載する移載機において、移載動作による搬送物の帯電を防止する帯電防止部材をハンドに設けることから、移載動作の反復による搬送物の帯電を防止するとともに、搬送中や製造工程中の搬送物の帯電を移載機にて防止することができる。
【００１０】
この場合、帯電防止部材を、搬送物に対する接触代を３〜５ｍｍとした静電ブラシにより構成することにより、搬送物を損耗したり、逆に損耗を受けたりすることなく、発塵を少なくするとともに、帯電防止部材を取付が容易で安価なものとすることができる。
【００１１】
また、帯電防止部材を、ハンド上面にハンドと一体となるよう配設する合成樹脂プレートの一部又は全部に、帯電防止樹脂プレートを配設して構成することにより、既設のハンドに他の部材を取り付けないので設計を変更する必要がなく、一部又は全部の合成樹脂プレートを帯電防止樹脂プレートと交換するだけで確実に搬送物の帯電を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の移載機の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１〜図３に、本発明の移載機の第１実施例を示す。
この移載機は、カセット等の搬送物１をハンド２上に載せて、例えば、搬送車からカセットストッカ（共に図示省略）に移載するようにしている。
そして、この移載機は、前記ハンド２に、移載動作による搬送物１の帯電を防止する帯電防止部材３を設けている。
【００１４】
移載機は、図３（ｃ）に示すように、カセットストッカに沿って走行するスタッカクレーン４に搭載されており、該スタッカクレーン４に昇降可能に設けられたベース部５と、該ベース部５からカセットストッカ側に伸縮するアーム６（フォーク）と、該アーム６の先端に設けられたハンド２（フォークプレート）とを備えている。
このハンド２の上面には、１枚又は複数枚（図示の実施例では９枚）に分割した合成樹脂プレート２Ｐを沿わせて配設し、取付ビス或いはボルトにてハンド２と一体とし、これにより、移載するカセットの摩耗を防止するとともに、発塵をも抑制するようにしている。
【００１５】
帯電防止部材３は、本第１実施例では、毛先を上向きにした静電ブラシからなり、移載機のハンド２（又はガイドフレーム２１）の外周の一部に、ブラシ毛が載置した搬送物１に接触するように配設されている。
帯電防止部材３は、搬送物１に対するブラシ毛の接触代を３〜５ｍｍとしており、これにより、搬送物１を損耗したり、逆に損耗を受けたりすることがないようにして発塵を少なくしている。
帯電防止部材３の接触代は、搬送物１が確実に少しだけ接触できれば、帯電防止できることが実験で確認されている。
これ以上の接触代を設けて搬送物１で押されたときには、こすりから発塵したり、ブラシ毛が折れたりする不具合が生じるため、搬送物１に押されることによりブラシ毛が軽く曲がって接触する程度がよい。
【００１６】
搬送物１に帯電する静電気が、移載機のハンド２に静電ブラシを取り付けることによって、どのように変化するか実験を行った。
測定方法は下記の通りである。また、測定は、移載機が棚に搬送物１を卸した後、図３（ｄ）に示すように、スタッカクレーン側の角のポイントで測定した。
【００１７】
静電ブラシを取り付ける前に、図３（ｃ）に示すように、スタッカクレーン４にて搬送物１の積卸を実施し、静電気の帯電の様子を測定した。
その結果、下記表１及び図４（ａ）に示すように、搬送物１への帯電は、カセットの積卸を重ねると、次第に静電気電圧が増してきた。
【００１８】
その後、スタッカクレーン４の移載機のハンド２に静電ブラシを取り付け、帯電した搬送物１の静電気が除去されるかどうかを確認した。
移載機のハンド２に静電ブラシを取り付け、搬送物１の積卸を重ねると、下記表１及び図４（ｂ）に示すように、搬送物１に帯電していた静電気電圧が、良好な基準値である０．６を下回るように次第に減少していることが判明した。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
かくして、本実施例の移載機は、搬送物１をハンド２上に載せて移載する移載機において、移載動作による搬送物１の帯電を防止する帯電防止部材３をハンド２に設けることから、移載動作の反復による搬送物１の帯電を防止するとともに、搬送中や製造工程中の搬送物１の帯電を移載機にて防止することができる。
この場合、帯電防止部材３を、搬送物１に対する接触代を３〜５ｍｍとした静電ブラシにより構成することにより、搬送物１を損耗したり、逆に損耗を受けたりすることなく、発塵を少なくするとともに、帯電防止部材３を取付が容易で安価なものとすることができる。
【実施例２】
【００２１】
図５に、本発明の移載機の第２実施例を示す。
この移載機は、ハンド２に取り付ける帯電防止部材として、静電ブラシに代えて、帯電防止樹脂プレート７を用いるようにしている。
この帯電防止樹脂プレート７は、ハンド２の上面に沿わせるようにして配設している合成樹脂プレート２Ｐの一部（図示の実施例ではハンドの四隅部分）或いは全部と入れ替えてハンド２に取り付けるようにする。この取付は、従来の合成樹脂プレート２Ｐと同様に取付ビス或いはボルトにて行う。
また、移載機の構成は、第１実施例と同じであるため、同じ部材には同じ符号の説明を付し、その詳細説明は省略する。
【００２２】
この帯電防止樹脂プレート７は、恒久的帯電防止製ハイテク素材のベースポリマーにカーボンを添加して構成したものである。ベースポリマーとして、特に限定されるものではないが、例えば、ポリアセタール、ポリエーテルイミド素材、強化ＰＴＥＥ（ポリ四フッ化エチレン）素材、ポリアミドイミド素材等を用いることができ、より具体的には、例えば、日本ポリペンコ株式会社製の「セミトロンＥＳＤ２２５」、「セミトロンＥＳＤ４１０、４２０」、「セミトロンＥＳＤ５００」、「セミトロンＥＳＤ５２０ＨＲ」（いずれも商品名）等を採用することができる。
【００２３】
このように、ハンド上面に少なくともカセットと接触する部分に帯電防止樹脂プレート７を配設することで、このハンド上にカセットを載せるだけで移載動作の反復による起電される静電気はカセットへ帯電することなく、起電した静電気は帯電防止樹脂プレート７を経てハンド側に通電して除電することができる。
【００２４】
以上、本発明の移載機について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせるなど、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明の移載機は、移載動作の反復による搬送物の帯電を防止するとともに、搬送中や製造工程中の搬送物の帯電を移載機にて防止するという特性を有していることから、例えば、クリーンルームにおけるカセットの移載機として好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の移載機の第１実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】同移載機を示し、（ａ）はハンドを伸ばした側面図、（ｂ）は同正面図である。
【図３】（ａ）はカセットを載せたハンドの平面図、（ｂ）は静電ブラシの二面図、（ｃ）はカセットの移載を示す説明図、（ｄ）はカセットの静電気の測定状態を示す斜視図である。
【図４】カセットの移載運転回数と静電気電圧との関係を示し、（ａ）は帯電防止部材を取り付ける前の状態を示すグラフ、（ｂ）は帯電防止部材を取り付けた後の状態を示すグラフである。
【図５】本発明の移載機の第２実施例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    搬送物（カセット）
２    ハンド
２１  ガイドフレーム
２Ｐ  合成樹脂プレート
３    帯電防止部材
４    スタッカクレーン
５    ベース部
６    アーム
７    帯電防止樹脂プレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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