(57)【要約】【課題】吐出量を精度良く測定できる吐出量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを複数備え、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの吐出量を測定する吐出量測定方法に係る。液滴吐出ヘッドにおけるノズル付近の温度であるノズル温度８０が、予め設定された暖機設定温度９５ａに達するまで暖機駆動する暖機駆動工程と、液滴吐出ヘッドに所属するノズルから液滴を吐出する測定用吐出工程と、吐出された吐出量８１を測定する測定工程とを有し、暖機駆動工程と、測定用吐出工程と、測定工程とを繰り返すことにより、各液滴吐出ヘッドにおける吐出量８１を測定する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するノズル群を複数備え、前記ノズルから液滴を吐出する前記ノズル群の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、
前記ノズル群における前記ノズル付近の温度であるノズル温度が、予め設定された暖機設定温度に達するまで暖機駆動する暖機駆動工程と、
前記ノズル群に所属する前記ノズルから前記液滴を吐出する測定用吐出工程と、
吐出された前記吐出量を測定する測定工程とを有し、
前記暖機駆動工程と、前記測定用吐出工程と、前記測定工程とを繰り返すことにより、各ノズル群における前記吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記ノズルを備えた液滴吐出ヘッドを有し、
前記暖機駆動工程では、前記ノズルから前記液滴が吐出されない程度に、前記液滴吐出ヘッドを駆動することを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項３】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記ノズルを備えた液滴吐出ヘッドを有し、
前記暖機駆動工程では、前記液滴吐出ヘッドを駆動して、前記ノズルから前記液滴を吐出して塗布することを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項４】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記測定用吐出工程では、複数の前記ノズル群において、１個の前記ノズル群における前記ノズルから、前記液滴を吐出することを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項５】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記測定用吐出工程では、複数の前記ノズル群における前記ノズルから、並行して、前記液滴を吐出することを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項６】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記暖機設定温度に達するのに、必要な暖機駆動回数である暖機駆動設定回数を設定する暖機条件設定工程を有し、
前記暖機駆動工程では、前記暖機駆動設定回数の暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項７】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記暖機駆動工程は、前記ノズル温度を測定する測定工程と、
前記ノズル温度と前記暖機設定温度とを比較して、暖機駆動を継続するか、停止するかの判断をする暖機駆動判断工程と、
暖機駆動する駆動工程とを有し、前記ノズル温度を測定し、測定した前記ノズル温度が、前記暖機設定温度に達するまで、暖機駆動することを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項８】
請求項１に記載の吐出量測定方法であって、
前記暖機駆動工程を行う場所と、前記測定用吐出工程を行う場所とは近い場所に配置されていることを特徴とする吐出量測定方法。
【請求項９】
ワークに液状体をノズルから液滴にして吐出する液状体の吐出方法であって、
前記ノズルから吐出する前記液滴の吐出量を測定する吐出量測定工程と、
前記吐出量を調整する吐出量調整工程と、
前記ワークに前記液滴を吐出する塗布工程とを有し、
前記吐出量測定工程では、請求項１〜８のいずれか一項に記載の吐出量測定方法を用いて測定することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項１０】
基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記カラーインクを吐出して塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
第１基板と第２基板とに配向膜を形成し、前記第１基板と前記第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板と前記第２基板とのうち少なくとも一方に、前記配向膜の材料を吐出して塗布することにより前記配向膜を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
第１基板に液晶を塗布した後、前記第１基板と第２基板との間に、前記液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第１基板に前記液晶を吐出して塗布することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記電極材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記配線材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１６】
基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項９に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法に係り、特に、ノズルから吐出する液滴の吐出量を精度良く測定する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する方法として、インクジェット式の液滴吐出装置を用いて吐出する方法が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
ワークに対して、液滴にした後、吐出することにより、塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、吐出量を精度良く測定することが困難であった。
【０００４】
この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を精度良く測定する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出装置をチャンバ内に設置した後、チャンバ内の温度と湿度を調整することにより、液滴吐出装置の環境を制御して吐出量を測定している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液滴吐出ヘッドのキャビティを、圧電素子を用いて加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっている。また、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、液滴吐出ヘッドの温度が変動する要因となっている。
【０００７】
吐出量を測定するときに、吐出量は温度の影響を受けることから、測定時におけるヘッド温度は、測定する毎に略同じ温度条件で測定する必要がある。
【０００８】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、吐出量を精度良く測定できる吐出量測定方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の吐出量測定方法は、複数のノズルを有するノズル群を複数備え、ノズルから液滴を吐出するノズル群の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、ノズル群におけるノズル付近の温度であるノズル温度が、予め設定された暖機設定温度に達するまで暖機駆動する暖機駆動工程と、ノズル群に所属するノズルから液滴を吐出する測定用吐出工程と、吐出された吐出量を測定する測定工程とを有し、暖機駆動工程と、測定用吐出工程と、測定工程とを繰り返すことにより、各ノズル群における吐出量を測定することを特徴とする。
【００１０】
この吐出量測定方法によれば、暖機設定温度に達するまで暖機駆動を行った後、液滴を吐出し、吐出した吐出量を測定している。
【００１１】
ノズルから液滴を吐出するとき、液状体を加圧する。液状体に加圧することにより、液状体の圧力が高くなる。このとき、ノズルでは、液状体と気体とが接した状態となっている。そして、液状体の圧力が、気体の気圧より高くなることから、液状体の一部が液滴となって、気体中に吐出される。
【００１２】
液状体を加圧するとき、加圧するエネルギの一部は、熱に変換される。そして、ノズル付近の温度が上昇する。
【００１３】
液状体は、温度が変わると、液状体を構成する分子の運動エネルギが増加するので、粘度が低くなるものが多い。液状体の粘度が変化すると、ノズル等の流路を通過するときの流体抵抗が変化する。そして、ノズルから吐出される液状体の吐出量が変化する。
【００１４】
この吐出方法では、各ノズル群のノズル温度が暖機設定温度に達した後、吐出されるときの吐出量を測定している。つまり、複数のノズル群において、略同一の温度条件における吐出量を測定している。従って、各ノズル群のノズル温度差に影響されることなく吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。
【００１５】
本発明の吐出量測定方法では、ノズルを備えた液滴吐出ヘッドを有し、暖機駆動工程では、ノズルから液滴が吐出されない程度に、液滴吐出ヘッドを駆動することを特徴とする。
【００１６】
この吐出量測定方法によれば、ノズルから液滴が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量測定方法とすることができる。
【００１７】
本発明の吐出量測定方法では、ノズルを備えた液滴吐出ヘッドを有し、暖機駆動工程では、液滴吐出ヘッドを駆動して、ノズルから液滴を吐出して塗布することを特徴とする。
【００１８】
この吐出量測定方法によれば、ノズルから液滴を吐出して暖機駆動している。液滴を吐出しないときに比べて、液滴を吐出する方が液状体を加圧するとき、加圧するエネルギに大きなエネルギを加えるので、発熱量が大きくなる為、短い時間で暖機駆動することができる。
【００１９】
本発明の吐出量測定方法は、測定用吐出工程では、複数のノズル群において、１個のノズル群におけるノズルから、液滴を吐出することを特徴とする。
【００２０】
この吐出量測定方法によれば、１個のノズル群における吐出量を測定するために吐出するとき、他のノズル群からは、液滴を吐出しない。ノズルから液滴を吐出するとき、発生する熱量が、伝熱することにより、他のノズル群に影響を与える可能性がある。この吐出方法では、吐出量を測定するために吐出するとき、他のノズル群から伝熱することがない。従って、測定用に吐出しているノズル以外のノズル温度による影響を受け難くすることができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。
【００２１】
本発明の吐出量測定方法は、測定用吐出工程では、複数のノズル群におけるノズルから、並行して、液滴を吐出することを特徴とする。
【００２２】
この吐出量測定方法によれば、複数のノズル群におけるノズルから、並行して、液滴を吐出している。従って、１回に１個のノズル群から吐出する場合に比べて、少ない回数で、測定する予定の総てのノズル群から吐出することができる。その結果、生産性良く、ノズル群から液滴を吐出して、測定することができる。
【００２３】
本発明の吐出量測定方法は、暖機設定温度に達するのに、必要な暖機駆動回数である暖機駆動設定回数を設定する暖機条件設定工程を有し、暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数の暖機駆動を行うことを特徴とする。
【００２４】
この吐出量測定方法によれば、暖機条件設定工程において、暖機駆動設定回数を設定した後、暖機駆動工程において、暖機駆動設定回数に相当する回数の吐出を行っている。そして、暖機駆動工程において、ノズル温度が暖機設定温度になった後、測定用吐出工程に移行している。従って、測定用吐出工程では、ノズル温度が暖機設定温度になっている状態において、吐出することができる。そして、各ノズル群において、同様な方法にて吐出することにより、各ノズル群において、ノズル温度が略同じ温度にて吐出する吐出量を測定することができる。その結果、吐出するときのノズル温度の分散による影響を受け難い状況において、吐出量を測定することができる。
【００２５】
そして、暖機駆動するときに、ノズル温度を測って、暖機駆動の停止と継続との判断をする必要がなく、吐出回数で制御する為、簡便な制御にてノズル温度を制御することができる。
【００２６】
本発明の吐出量測定方法では、暖機駆動工程は、ノズル温度を測定する測定工程と、ノズル温度と暖機設定温度とを比較して、暖機駆動を継続するか、停止するかの判断をする暖機駆動判断工程と、暖機駆動する駆動工程とを有し、ノズル温度を測定し、測定したノズル温度が、暖機設定温度に達するまで、暖機駆動することを特徴とする。
【００２７】
この吐出量測定方法によれば、暖機駆動工程にて、ノズル温度を測定して、暖機駆動を継続するか、停止するかを判断している。従って、ノズル温度を精度良く測定することにより、各ノズル群において、吐出量を測定することにより、吐出するときのノズル温度を、精度良く、略同じ温度にすることができる。従って、吐出するときのノズル温度に影響され難い状態にして、吐出量を測定することができる。
【００２８】
本発明の吐出量測定方法は、暖機駆動工程を行う場所と、測定用吐出工程を行う場所とは近い場所に配置されていることを特徴とする。
【００２９】
この吐出量測定方法によれば、暖機駆動工程を行う場所と、測定用吐出工程を行う場所とが近い場所となっている。従って、暖機駆動工程の後、測定用吐出工程に移行するとき、暖機駆動工程を行う場所から測定用吐出工程を行う場所へ移動する時間を短くすることができる。従って、暖機駆動工程の後、ノズル温度が下がらない間に、測定用吐出工程に移行することができる。つまり、移動するときにノズル温度が低下することによる変動を小さくすることができる。その結果、各ノズル群において、吐出量を測定するときに、吐出するときのノズル温度を、略同じ温度にすることができる。
【００３０】
上記課題を解決するために、本発明の液状体の吐出方法は、ワークに液状体をノズルから液滴にして吐出する液状体の吐出方法であって、ノズルから吐出する液滴の吐出量を測定する吐出量測定工程と、吐出量を調整する吐出量調整工程と、ワークに液滴を吐出する塗布工程とを有し、吐出量測定工程では、上記に記載の吐出量測定方法を用いて測定することを特徴とする。
【００３１】
この液状体の吐出方法によれば、吐出量を測定した後、吐出量を調整することにより、吐出量を所望の吐出量にして、ワークに吐出している。従って、精度良く測定した吐出量の測定値を基に、吐出量を調整する為、ワークに吐出する吐出量は、精度良く調整された吐出量の吐出をすることができる。その結果、吐出量を精度良くワークに吐出することができる。
【００３２】
上記課題を解決するために、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板にカラーインクを吐出して塗布することを特徴とする。
【００３３】
このカラーフィルタの製造方法によれば、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布することから、カラーインクの塗布量が精度良く塗布されるカラーフィルタの製造方法とすることができる。
【００３４】
上記課題を解決するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、第１基板と第２基板とに配向膜を形成し、第１基板と第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、第１基板と第２基板とのうち少なくとも一方に、配向膜の材料を吐出して塗布することにより配向膜を形成することを特徴とする。
【００３５】
この液晶表示装置の製造方法によれば、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。
【００３６】
上記課題を解決するために、本発明の液晶表示装置の製造方法は、第１基板に液晶を塗布した後、第１基板と第２基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、第１基板に液晶を吐出して塗布することを特徴とする。
【００３７】
この液晶表示装置の製造方法によれば、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、液晶の塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。
【００３８】
上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする。
【００３９】
この電気光学装置の製造方法によれば、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布される電気光学装置の製造方法とすることができる。
【００４０】
上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に液状体の電極材料を吐出して塗布することを特徴とする。
【００４１】
この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、電極材料の塗布量が精度良く塗布されて、電極が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。
【００４２】
上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に液状体の配線材料を吐出して塗布することを特徴とする。
【００４３】
この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配線材料の塗布量が精度良く塗布されて、配線が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。
【００４４】
上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記に記載の液状体の吐出方法を用いて、基板に液状体の半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする。
【００４５】
この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されて、半導体が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００４７】
（第１の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出して描画する、本発明の特徴的な吐出方法の例について、図１〜図９に従って説明する。
【００４８】
（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図３に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００４９】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００５０】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂがＹ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号をＹ軸モータに入力すると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００５１】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００５２】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決めされて、固定されるようになっている。
【００５３】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。
【００５４】
案内部材９の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００５５】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。
【００５６】
基台２の上側であって、ステージ４の片側の一方（図中右側）には、クリーニングユニット１５が配置されている。クリーニングユニット１５は、保守ステージ１６と、保守ステージ１６の上に配置されている、予備吐出領域としてのフラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９、重量測定装置２０等により構成されている。
【００５７】
保守ステージ１６は、案内レール３ａ，３ｂ上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。主走査位置検出装置５を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。
【００５８】
フラッシングユニット１７は、液滴吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１４から吐出される液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を液滴吐出ヘッド１４から排除するため、液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１７が行う。
【００５９】
キャッピングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をする装置である。液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【００６０】
ワイピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１４において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触して、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット１９は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【００６１】
重量測定装置２０には、電子天秤が設置され、電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定する。重量測定装置２０は、吐出前後の受け皿における重量の差分を演算して、吐出する液滴の重量を測定する。
【００６２】
保守ステージ１６が、案内レール３ａ，３ｂに沿って移動して、キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９、重量測定装置２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。
【００６３】
ステージ４及び保守ステージ１６が、案内レール３ａ，３ｂに沿って、Ｙ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１４は、クリーニングユニット１５、又は、基板７と対向する場所に移動し、液滴を吐出するようになっている。
【００６４】
液滴吐出装置１は、四隅に支柱２１を備え、上部（図中上側）に、空気制御装置２２を備えている。空気制御装置２２は、ファン、フィルタ、冷暖房装置、湿度調整装置などを備えている。ファン（送風機）は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵、埃を除去し、清浄化された空気を供給する。
【００６５】
冷暖房装置は、液滴吐出装置１の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置１の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。
【００６６】
４本の支柱２１の間には、シート２３が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。空気制御装置２２から供給される空気は、空気制御装置２２から床２４に向かって（図中上から下へ向かう方向）流れ、シート２３に囲まれる空間内の塵や埃は、床２４に向かって流動する。それにより、基板７に塵や埃が付着しにくいようになっている。
【００６７】
さらに、シート２３が、空気の流れを制限することにより、シート２３に囲まれる空間内の温度及び湿度を、シート２３の外から影響され難くしている。そして、空気制御装置２２がシート２３に囲まれる空間内の温度及び湿度を制御し易くなっている。
【００６８】
図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、キャリッジ１２には、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの１２個の液滴吐出ヘッド１４が配置され、液滴吐出ヘッド１４の表面には、ノズルプレート３０が配置されている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が複数、配置されている。ノズル３１の数は、吐出するパターンと基板７の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート３０には、ノズル３１の配列が２列形成され、各列には１５個のノズル３１が配置されている。
【００６９】
図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図２（ａ）に示すキャリッジをＹ方向から見た図である。図２（ｂ）に示すように、キャリッジ１２は、ベース板３２を備えている。ベース板３２の上側には、走査手段としての移動機構３３が配置されており、キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って移動するための機構が収納されている。
【００７０】
ベース板３２の下側には、支持部３４を介して駆動回路基板３５が配置されている。そして、駆動回路基板３５の下側には、ヘッド駆動回路３６が配置されている。さらに、ベース板３２には、支持部３７を介して、ヘッド取付板３８が配置され、ヘッド取付板３８の下面には、液滴吐出ヘッド１４が配置されている。ヘッド駆動回路３６と液滴吐出ヘッド１４とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３６が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１４に入力されるようになっている。
【００７１】
ベース板３２の下側には、供給装置３９が配置され、収容タンク１０と供給装置３９との間、及び、供給装置３９と液滴吐出ヘッド１４との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク１０から供給される機能液が、供給装置３９により液滴吐出ヘッド１４に供給されるようになっている。
【００７２】
図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であって、ノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ４０が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ４０には、収容タンク１０に貯留されている液状体としての機能液４１が供給される。
【００７３】
キャビティ４０の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ４０内の容積を拡大縮小する振動板４２と、上下方向に伸縮して振動板４２を振動させる圧電素子４３が配設されている。圧電素子４３が上下方向に伸縮して振動板４２を加圧して振動し、振動板４２がキャビティ４０内の容積を拡大縮小してキャビティ４０を加圧する。それにより、キャビティ４０内の圧力が変動し、キャビティ４０内に供給された機能液４１は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。
【００７４】
そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子４３を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子４３が伸張して、振動板４２がキャビティ４０内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液４１が液滴４４として吐出される。ノズル３１から液滴４４を吐出するとき、液滴４４を吐出するために、液滴吐出ヘッド１４に加えられるエネルギの一部が、熱に変換される。そして、液滴４４を吐出するノズル３１の周辺は加熱されて、温度が上昇する。
【００７５】
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４８と、各種情報を記憶するメモリ４９とを有する。
【００７６】
主走査駆動装置５０、副走査駆動装置５１、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路３６は、入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。さらに、入力装置５４、ディスプレイ装置５５、重量測定装置２０、フラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９も入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。同じく、クリーニングユニット１５において、保守ステージ１６を駆動する保守ステージ駆動装置５６及び、保守ステージ１６の位置を検出する保守ステージ位置検出装置５７も入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８に接続されている。
【００７７】
主走査駆動装置５０は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５１は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置５０が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置５１が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
【００７８】
入力装置５４は、液滴４４を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴４４を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置５５は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置５５に表示される情報を基に、入力装置５４を用いて操作を行う。
【００７９】
重量測定装置２０は、電子天秤及び受け皿を備え、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴４４と、液滴４４を受ける受け皿との重量を測定する装置である。液滴４４が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４８に送信する。
【００８０】
保守ステージ駆動装置５６は、フラッシングユニット１７、キャッピングユニット１８、ワイピングユニット１９、重量測定装置２０から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に位置するように、保守ステージ１６を移動する装置である。そして、保守ステージ位置検出装置５７が、保守ステージ１６の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置５６が保守ステージ１６を移動することにより、所望の装置又はユニットが、確実に、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、移動可能となっている。
【００８１】
メモリ４９は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５８を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５９を記憶するための記憶領域も設定される。
【００８２】
他にも、液滴吐出ヘッド１４の暖機駆動において、駆動回数データなどの暖機駆動データ６０が設定される。さらに、ノズル３１から吐出される液滴４４の重量を測定するときに、圧電素子４３を駆動する測定用駆動データ６１を記憶するための記憶領域が設定される。
【００８３】
さらに、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４８のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００８４】
ＣＰＵ４８は、メモリ４９内に記憶されたプログラムソフト５８に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴４４吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部６２を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１４を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部６３や、液滴吐出ヘッド１４を暖機駆動するときに、暖機駆動する液滴吐出ヘッド１４の選択や、暖機駆動時間の制御を行う暖機制御演算部６４を有する。
【００８５】
他に、液滴吐出ヘッド１４によって液滴４４を吐出するための演算を行う吐出演算部６５などを有する。吐出演算部６５を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部６６を有する。さらに、吐出演算部６５は、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部６７を有する。加えて、吐出演算部６５は、液滴吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６８を有する。さらに、吐出演算部６５は液滴吐出ヘッド１４内に複数あるノズルのうち、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部６９等といった各種の機能演算部を有する。
【００８６】
（吐出方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板７に描画する吐出方法について図４〜図９にて説明する。図４は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。図５〜図９は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。
【００８７】
ステップＳ１は、暖機条件設定工程に相当し、暖機駆動時間を設定する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、暖機駆動工程に相当し、ノズルから液滴が吐出しない程度に圧電素子を駆動する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。
【００８８】
ステップＳ６は、総ての吐出ヘッドの吐出量を測定したか、を判断する工程に相当し、第１液滴吐出ヘッド〜第１２液滴吐出ヘッドの総てのヘッドにおける吐出量を測定したかを判断する工程である。吐出量を測定していない吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ２に移行する。ステップＳ６において、総ての吐出ヘッドの吐出量を測定したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ７に移行する。ステップＳ２〜ステップＳ６のステップによりステップＳ１１の吐出量測定工程が構成される。
【００８９】
ステップＳ７は、吐出量調整工程に相当し、ノズルから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ８に移行する。ステップＳ８は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に塗布する製造工程を終了する。
【００９０】
次に、図５〜図９を用いて、図４に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く測定して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。
図５〜図６は、ステップＳ１に対応する図であり、図５（ａ）は、ノズルプレートの温度を測定する方法を説明するための図である。図５（ａ）に示すように、赤外線放射温度計７４を用いて、ノズル３１付近の温度であるノズル温度を計測する。重量測定装置２０の横には、エリアセンサを備えた赤外線カメラ７５が配置され、赤外線カメラ７５は、配列されているノズル３１を撮像可能となっている。赤外線カメラ７５には、温度分析装置７６が電気的に接続され、赤外線カメラ７５及び温度分析装置７６などにより赤外線放射温度計７４が構成されている。赤外線カメラ７５は、ノズルプレート３０が発光する赤外線を受光し、電気信号に変換して、温度分析装置７６に出力する。温度分析装置７６は、赤外線カメラ７５が受光する光エネルギを温度に変換する。従って、ノズルプレート３０の各ノズル３１の周囲における温度をノズル温度として計測可能となっている。
【００９１】
続いて、ノズル３１から液滴４４を重量測定装置２０に向けて、吐出する。重量測定装置２０は、電子天秤７７を備え、電子天秤７７の上には受け皿７８が配置され、受け皿７８の中には、スポンジ状の受容体７９が格納されている。ノズル３１から吐出される液滴４４が受容体７９に着弾するとき、液滴４４は、受容体７９に吸収され、液滴４４の一部が受け皿７８の外へ飛び出さないようになっている。また、液滴４４が揮発性のある液体を含んでいるとき、液滴４４が、受容体７９に染み込むことにより、液滴４４が外気と接触し難くなり、揮発し難くなっている。１回のステップで吐出する吐出回数は、赤外線放射温度計７４の応答性を鑑みて設定するのが好ましく、本実施形態では、例えば、１００回を採用している。従って、ステップＳ１１を１２回繰り返すとき、ノズル３１から１２００回吐出することとなる。
【００９２】
図５（ｂ）は、連続して吐出するときのノズル温度と吐出量との関係を示すグラフである。図において、横軸は、ノズル温度８０の変化を示し、右側が左側より高い温度となっている。縦軸は、吐出量８１の変化を示し、上側が下側より大きい量となっている。そして、第１機能液を吐出する場合に、ノズル温度８０が変化するときの、吐出量８１の変化を第１吐出量温度相関線８２ａに示す。同様に、第２機能液を吐出する場合を、第２吐出量温度相関線８２ｂに示し、第３機能液を吐出する場合を、第３吐出量温度相関線８２ｃに示す。
【００９３】
この第１機能液〜第３機能液は、例えば、カラーフィルタを製造する場合は、赤インク、青インク、緑インクが該当する。他に、配線を形成する場合は、溶剤に分散する金属粉末濃度の異なる機能液が該当する。他に液晶表示装置を製造するときに、複数の異なる機能液を吐出する場合が該当する。この機能液には、液晶を含有する液、配向膜の材料を含有する液、配線を形成する材料を含有する液などが該当する。
【００９４】
第１機能液〜第３機能液共に、ノズル温度８０が低いときに比べて、ノズル温度８０が高いときに、吐出量８１が大きくなる。機能液は、溶媒に溶質が溶解もしくは、分散している状態となっている。そして、溶媒及び溶質の温度が高くなるとき、溶媒及び溶質を構成する分子が振動する振幅が大きくなるので、溶質の流動性が高くなる。従って、ノズル温度８０が高くなるとき、機能液の粘度が低くなる。そして、機能液が液滴吐出ヘッド１４の流路やノズル３１を通過するとき、機能液の流体抵抗が低くなるので、機能液が吐出し易くなる。その結果、吐出量８１が大きくなる。
【００９５】
このとき、第１機能液〜第３機能液において、機能液の粘度と温度との関係は各々異なるので、吐出量８１は、第１機能液〜第３機能液毎に異なっている。
【００９６】
図６（ａ）及び図６（ｂ）は液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートである。図６（ａ）は、液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を連続吐出するときの一例であり、ヘッド駆動回路３６が、圧電素子４３を駆動する吐出駆動波形８３を３個分表示している。図の横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示す。吐出駆動波形８３は、略台形の波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧８６及び吐出パルス幅８７は、所定の電圧及び時間に設定されている。そして、吐出駆動波形８３の周期である吐出波形周期８８も、所定の時間間隔に形成されている。吐出電圧８６、吐出パルス幅８７及び吐出波形周期８８は、圧電素子４３や振動板４２の動特性に合わせて設定する必要がある。従って、実際に吐出する予備試験を実施して、最適な吐出条件を導くことが望ましい。
【００９７】
図６（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を吐出せずに駆動することにより、暖機駆動するときの一例である非吐出駆動波形８９を３個分表示している。非吐出駆動波形８９は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧９０は、液滴４４を吐出しない範囲で、圧電素子４３を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧９０は、吐出電圧８６の約３分の１程度の電圧を採用している。非吐出時のパルス幅である非吐出パルス幅９１は、吐出パルス幅８７と同じ値を採用している。そして、非吐出駆動波形８９の波形周期である非吐出波形周期９２は、圧電素子４３が振動する間隔に設定する。非吐出波形周期９２は、本実施形態では、例えば、吐出波形周期８８と同一の時間間隔を採用している。
【００９８】
図６（ｃ）は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの駆動吐出回数とノズル温度との関係を示すグラフである。図６（ｃ）において、横軸は、圧電素子４３を駆動する駆動回数９３の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。圧電素子４３を連続して駆動して、液滴４４を吐出するときにおける、駆動回数９３の経過に対するノズル温度８０の推移を吐出ノズル温度曲線９４に示す。吐出ノズル温度曲線９４において、駆動を開始するときの吐出開始点９４ａにおける吐出ノズル温度曲線９４は、駆動回数９３の経過に伴いノズル温度８０が上昇する。温度上昇域９４ｂの間では、駆動回数９３の経過に伴いノズル温度８０が上昇する。
【００９９】
そして、駆動回数９３が経過しても、ノズル温度８０が上昇しない温度平衡域９４ｃになる。温度平衡域９４ｃでは、ノズル３１の近くにおいて、液滴吐出ヘッド１４が放熱する熱エネルギと、吐出により発生する熱エネルギとが等しい平衡状態となる。ノズル温度８０が上昇すると、ノズル温度８０と、液滴吐出ヘッド１４の周辺を取り囲む気体（以下、周辺気体と称す）との温度差が大きくなる。ノズル温度８０と周辺気体の温度との差が大きい程、液滴吐出ヘッド１４から放熱する熱エネルギが大きくなる。従って、ノズル温度８０が上昇せずに、あるノズル温度８０で安定する。この温度を平衡ノズル温度９５とする。
【０１００】
ノズル３１から液滴４４を吐出せずに、暖機駆動するときにおける、駆動回数９３の経過に対するノズル温度８０の推移を非吐出ノズル温度曲線９６に示す。非吐出ノズル温度曲線９６においても、暖機吐出を開始するときの暖機開始点９６ａにおける非吐出ノズル温度曲線９６は、駆動回数９３の経過に伴いノズル温度８０が上昇する。そして、温度上昇域９６ｂの間では、駆動回数９３の経過に伴いノズル温度８０が上昇した後、平衡ノズル温度９５に到達する。そして、駆動回数９３が経過しても、ノズル温度８０が上昇しない温度平衡域９６ｃとなる。
【０１０１】
非吐出駆動波形８９の非吐出電圧９０は、吐出駆動波形８３の吐出電圧８６に比べて、低い電圧で、圧電素子４３を駆動するため、液滴吐出ヘッド１４に供給されるエネルギは小さい。従って、暖機駆動するときは、液滴４４を吐出するときに比べて、液滴吐出ヘッド１４が加熱されない。その結果、温度上昇域９６ｂにおいて、非吐出ノズル温度曲線９６は、吐出ノズル温度曲線９４に比べて、緩やかにノズル温度８０が上昇する。
【０１０２】
そして、吐出駆動するときには、加熱された液滴４４を吐出するので、吐出する液滴４４により熱が奪われる。従って、吐出駆動するときは、供給されるエネルギが大きく、失うエネルギも大きくなっている。一方、非吐出駆動するときは、供給されるエネルギが吐出駆動するときに比べて小さく、失うエネルギも小さくなっている。そのため、ノズル温度８０は略同じ平衡ノズル温度９５となっている。ただし、吐出駆動するときと非吐出駆動するときとで、平衡ノズル温度９５が同じとならないこともあるので、実験にて確認することが好ましい。この平衡ノズル温度９５を、暖機駆動するときの暖機設定温度９５ａとする。
【０１０３】
図６（ｄ）は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの駆動回数とノズル温度との関係を示すグラフである。図６（ｄ）において、横軸は、液滴吐出ヘッドを駆動するときの駆動回数９３の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。ノズル３１から液滴４４を吐出せずに、暖機駆動するときにおける、駆動回数９３の経過に対するノズル温度８０の推移を非吐出ノズル温度曲線９６及び非吐出ノズル温度曲線９７に示す。
【０１０４】
非吐出ノズル温度曲線９６は、図６（ｃ）に示す非吐出ノズル温度曲線９６と同じ曲線である。非吐出ノズル温度曲線９７が、非吐出ノズル温度曲線９６と異なる点は、暖機開始点９７ａが暖機開始点９６ａより高いノズル温度８０となっている点にある。
【０１０５】
そして、非吐出ノズル温度曲線９７では、ノズル温度８０の暖機開始点９７ａが暖機開始点９６ａより高いので、少ない駆動回数９３で平衡ノズル温度９５に達する。従って、温度上昇域９７ｂは、温度上昇域９６ｂより少ない回数となる。非吐出ノズル温度曲線９７が平衡ノズル温度９５に達した後の温度平衡域９７ｃでは、ノズル温度８０は、非吐出ノズル温度曲線９６における温度平衡域９６ｃと同じく、平衡ノズル温度９５にて推移する。
【０１０６】
暖機駆動するときの駆動回数を暖機駆動設定回数とする。そして、暖気開始するときのノズル温度８０が低いときに、ノズル温度８０が平衡ノズル温度９５に達するのに必要な、暖機駆動回数以上の回数に、暖機駆動設定回数を設定する。このとき、暖気開始点のノズル温度８０が高いノズル３１においても、暖機駆動後のノズル温度８０を平衡ノズル温度９５にすることができる。
【０１０７】
図７（ａ）はステップＳ２に対応する図である。図７（ａ）に示すように、保守ステージ１６とキャリッジ１２とを移動させることにより、第１液滴吐出ヘッド１４ａと対向する場所に重量測定装置２０が位置するようにする。
【０１０８】
図７（ｂ）はステップＳ３に対応する図である。図７（ｂ）に示すように、第１液滴吐出ヘッド１４ａの圧電素子４３に非吐出駆動波形８９の電圧を印加することにより、圧電素子４３を駆動する。そして、第１液滴吐出ヘッド１４ａは、圧電素子４３が駆動するときに発生する熱と、ヘッド駆動回路３６が発生する熱により加熱される。
【０１０９】
図７（ｃ）はステップＳ４に対応する図である。図７（ｃ）に示すように、第１液滴吐出ヘッド１４ａの圧電素子４３に吐出駆動波形８３の電圧を印加することにより、圧電素子４３を駆動する。そして、ノズル３１から重量測定装置２０に液滴４４が吐出される。
【０１１０】
図８（ａ）は、ステップＳ２〜ステップＳ４における、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示している。そして、図８（ａ）〜（ｅ）に示すように、時間８４の経過において、第１非駆動区間９８ａ、暖機駆動区間９８ｂ、第２非駆動区間９８ｃ、吐出駆動区間９８ｄ、第３非駆動区間９８ｅの順に推移する。
【０１１１】
図８（ａ）に示すように、第１非駆動区間９８ａは、ステップＳ２において、液滴吐出ヘッド１４を重量測定装置２０と対向する場所に移動する時間と、暖機駆動するための準備を行う区間であり、この区間では、駆動電圧８５は出力されない。
【０１１２】
暖機駆動区間９８ｂは、ステップＳ３において、暖機駆動する区間であり、非吐出駆動波形８９の駆動信号が圧電素子４３に出力される。そして、液滴４４が吐出しない程度に圧電素子４３が、振動板４２を振動させる区間である。この暖機駆動区間９８ｂの間に、暖機駆動設定回数以上の回数分圧電素子４３が駆動される。
【０１１３】
第２非駆動区間９８ｃは、暖機駆動から吐出する駆動に切り換えるための準備区間であり、回路における動作の変更指示が行われる。従って、この区間では、駆動電圧８５は出力されない。
【０１１４】
吐出駆動区間９８ｄは、ステップＳ４において、吐出駆動波形８３の駆動信号が圧電素子４３に出力される。そして、ノズル３１から液滴４４を重量測定装置２０に吐出する区間である。
【０１１５】
第３非駆動区間９８ｅは、吐出を終了した後、液滴吐出ヘッド１４を重量測定装置２０と対向する場所から移動する区間であり、この区間では、駆動電圧８５は出力されない。
【０１１６】
図８（ｂ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線９９は、時間８４の推移に対するノズル温度８０の変化を示している。
【０１１７】
図８（ｂ）に示すように、第１非駆動区間９８ａでは、ノズル温度８０が一定の温度９９ａで推移する。そして、暖機駆動区間９８ｂにおいて、暖機駆動することにより、圧電素子４３及び振動板４２が振動して、エネルギの一部が熱に変換されて、ノズル温度８０が上昇する。
【０１１８】
ヘッド駆動回路３６が圧電素子４３に電圧をかけるとき、ヘッド駆動回路３６が発熱する。発熱するヘッド駆動回路３６の熱の一部が、放射されて、液滴吐出ヘッド１４を加熱する。さらに、ヘッド駆動回路３６と液滴吐出ヘッド１４とは、近い場所に配置されるので、暖機駆動する液滴吐出ヘッド１４は、ヘッド駆動回路３６に加熱されて、ノズル温度８０が上昇する。そして、圧電素子４３を暖機駆動設定回数以上の回数分、駆動することにより、ノズル温度８０は、暖機設定温度９５ａまで上昇する。
【０１１９】
第２非駆動区間９８ｃにおいて、液滴吐出ヘッド１４は、周辺気体と接触することにより熱を奪われて放熱する。従って、ノズル温度８０が低下する。
【０１２０】
吐出駆動区間９８ｄでは、液滴４４を吐出するために、圧電素子４３及び振動板４２が振動して、エネルギの一部が熱に変換されて、ノズル温度８０が上昇する。さらに、吐出する液滴吐出ヘッド１４は、ヘッド駆動回路３６に加熱されて、ノズル温度８０が上昇する。そして、温度上昇時間９９ｂの間、ノズル温度８０が暖機設定温度９５ａまで上昇した後、同じノズル温度８０で推移する。
【０１２１】
第３非駆動区間９８ｅでは、第２非駆動区間９８ｃと同様に、放熱するので、徐々にノズル温度８０が低下する。
【０１２２】
図８（ｃ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャートであり、ノズル温度８０が、図８（ｂ）のノズル温度推移線９９にて温度変化するときの、吐出量の変化を示している。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、吐出量８１の変化を示す。そして、吐出量推移線１００は、時間８４の推移に対する吐出量８１の変化を示している。
【０１２３】
ノズル温度８０が高い程、機能液４１の流体抵抗が少なくなるため、吐出量８１が大きくなる。従って、吐出量増加時間１００ａの間では、ノズル温度８０が上昇するので、吐出量８１が増加する。そして、吐出量推移線１００は、吐出駆動区間９８ｄにおいて、ノズル温度推移線９９と連動して推移する。従って、ノズル温度推移線９９の温度上昇時間９９ｂと、吐出量推移線１００の吐出量増加時間１００ａとは略同じ時間となっている。
【０１２４】
図８（ｄ）は、滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線１０１は、時間８４の推移に対するノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線１０１は、図８（ｂ）に示すノズル温度推移線９９に比べて、第１非駆動区間９８ａにおける温度１０１ａが温度９９ａより高くなっている場合におけるノズル温度８０の変化を示している。
【０１２５】
第１非駆動区間９８ａにおける温度１０１ａが温度９９ａより高いので、暖機駆動区間９８ｂにおいて、ノズル温度推移線１０１が暖機設定温度９５ａに達する時間１０１ｂは、ノズル温度推移線９９の場合よりも短い時間となる。そして、ノズル温度推移線１０１が、暖機設定温度９５ａに達した後、ノズル温度推移線１０１は、暖機設定温度９５ａを維持する。それで、第２非駆動区間９８ｃ、吐出駆動区間９８ｄ、第３非駆動区間９８ｅの区間では、ノズル温度推移線９９とノズル温度推移線１０１とは、略同じ温度変化で推移する。従って、吐出駆動区間９８ｄにおいて、ノズル温度推移線９９の温度上昇時間９９ｂと、ノズル温度推移線１０１の温度上昇時間１０１ｃとは略同じ時間となる。
【０１２６】
図８（ｅ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャートであり、ノズル温度８０が、図８（ｄ）のノズル温度推移線１０１にて温度変化するときの、吐出量の変化を示している。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、吐出量８１の変化を示す。そして、吐出量推移線１０２は、時間８４の推移に対する吐出量８１の変化を示している。図８（ｅ）に示すように、吐出量推移線１０２は、吐出駆動区間９８ｄにおいて、ノズル温度推移線１０１と連動して推移する。
【０１２７】
吐出駆動区間９８ｄにおいて、ノズル温度推移線９９とノズル温度推移線１０１とが略同じノズル温度８０にて、推移する。従って、吐出量推移線１０２は、吐出量推移線１００と略同じ吐出量８１にて、推移するので、吐出量増加時間１００ａと吐出量増加時間１０２ａとは略同じ時間となる。そして、吐出駆動区間９８ｄの間に、吐出量推移線１００が吐出する吐出量８１と、吐出量推移線１０２が吐出する吐出量８１とは略同じ吐出量８１となる。つまり、温度１０１ａが、温度９９ａより高い温度の場合においても、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッド１４の吐出量８１は略同じ量となる。
【０１２８】
ステップＳ５において、重量測定装置２０は、吐出された液滴４４の重量を測定する。重量測定装置２０は、ステップＳ４にて、液滴４４が吐出される前の受け皿７８の重量である吐出前重量と、液滴４４が吐出された後の受け皿７８の重量である吐出後重量とを計測する。そして、その吐出後重量から吐出前重量を引いた差分を演算することにより、吐出した液滴４４の重量を測定する。次に、測定した液滴４４の重量を、吐出した回数で除算することにより、１回の吐出によって吐出される液滴４４の吐出量を算出する。
【０１２９】
続いて、第２液滴吐出ヘッド１４ｂ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌを、重量測定装置２０と対向する場所に、順次移動して、同様に吐出量８１の測定を行う。そして、ステップＳ６において、総ての液滴吐出ヘッド１４の吐出量８１の測定が終了したことを確認した後、ステップＳ７に移行する。
【０１３０】
次に、ステップＳ７において、吐出量の調整を行う。この工程では、相関表を用いて調整を行う。この相関表は、ステップＳ１１における測定条件にて測定する吐出量と、ステップＳ８にて、基板７に吐出するときの吐出量との相関を示す表である。そして、この相関表は、上記に記載したステップとは、異なるステップにて調査することにより設定した表である。そして、ステップＳ１１にて測定した吐出量の測定値と相関表とを用いて、ステップＳ８にて吐出するときの吐出量を推定し、推定した吐出量を推定吐出量とする。次に、ステップＳ８にて目標とする吐出量である目標吐出量と推定吐出量とを比較する。そして、推定吐出量が、目標吐出量より小さいとき、吐出駆動波形８３の電圧振幅を大きくする。一方、推定吐出量が、目標吐出量より大きいとき、吐出駆動波形８３の電圧振幅を小さくする。
【０１３１】
吐出量の調整を液滴吐出ヘッド１４毎に行い、各液滴吐出ヘッド１４の吐出量を目標吐出量に近づける。総ての液滴吐出ヘッド１４における吐出量を調整して、ステップＳ７を終了する。
【０１３２】
図９はステップＳ８に対応する図である。図９に示すように、キャリッジ１２及びステージ４を移動して、液滴吐出ヘッド１４と基板７とが対向するように、液滴吐出ヘッド１４と基板７とを移動する。次に、所定の描画パターンに基づいて、液滴４４を吐出して、基板７に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップＳ８を終了し、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。
【０１３３】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、各液滴吐出ヘッド１４のノズル温度８０が暖機設定温度９５ａに暖機された後、吐出される吐出量を測定している。そして、複数の液滴吐出ヘッド１４において、同一の温度条件における吐出量を測定している。従って、ノズル温度８０に影響されて変動されることなく吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。
【０１３４】
（２）本実施形態によれば、ノズル３１から液滴４４が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴４４が無駄に吐出されない為、省資源に暖機駆動して、吐出量を測定することができる。
【０１３５】
（３）本実施形態によれば、１個の液滴吐出ヘッド１４における吐出量を測定するために、液滴４４を吐出するとき、他の液滴吐出ヘッド１４は、液滴４４を吐出しない。ノズル３１から液滴４４を吐出するとき、発生する熱量が、伝熱することにより、他の液滴吐出ヘッド１４に影響を与える可能性がある。この吐出方法では、吐出量を測定するために吐出するとき、他の液滴吐出ヘッド１４から伝熱することがない。従って、ノズル温度の変動を受け難くすることができる。
【０１３６】
（４）本実施形態によれば、ステップＳ１の暖機条件設定工程において、暖機駆動設定回数を設定した後、ステップＳ３の暖機駆動工程において、暖機駆動設定回数に相当する回数以上の吐出を行っている。そして、暖機駆動工程において、ノズル温度が暖機設定温度になった後、ステップＳ４の測定用吐出工程に移行している。従って、暖機駆動するときに、ノズル温度を測って、暖機駆動の停止と継続との判断をする必要がなく、吐出回数で制御する為、簡便な制御にてノズル温度を制御することができる。
【０１３７】
（５）本実施形態によれば、ステップＳ１１にて、吐出量を測定した後、ステップＳ７にて、吐出量を調整することにより、吐出量を所望の吐出量にして、ワークに吐出している。従って、精度良く測定した吐出量の測定値を基に、吐出量を調整する為、基板７に吐出する吐出量は、精度良く調整された吐出量の吐出をすることができる。その結果、吐出量を精度良く基板７に吐出することができる。
【０１３８】
（第２の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出してワークに塗布する、本発明の特徴的な吐出方法の一実施形態について図１０を用いて説明する。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、重量測定装置に複数の電子天秤が配置されている点にある。
【０１３９】
図１０は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１０５により、機能液が吐出され塗布される。図１０に示すように、重量測定装置２０は、１２個の電子天秤７７を備えている。そして、各電子天秤７７は、図５（ａ）に示す受け皿７８と受容体７９とを備えている。
【０１４０】
キャリッジ１２には、１２個の液滴吐出ヘッド１４を備えており、液滴吐出ヘッド１４の個数と電子天秤７７との個数とが同じ個数となっている。そして、キャリッジ１２と保守ステージ１６とを移動して、液滴吐出ヘッド１４が重量測定装置２０と対向する場所に移動するとき、各液滴吐出ヘッド１４と各受け皿７８とが対向する場所となるように配置されている。
【０１４１】
図１１は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。
【０１４２】
ステップＳ２１は、暖機条件設定工程に相当し、暖機駆動時間を設定する工程である。次にステップＳ２２に移行する。ステップＳ２２は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ２３に移行する。ステップＳ２３は、暖機駆動工程に相当し、ノズルから液滴が吐出しない程度に圧電素子を駆動する工程である。このとき、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの総ての液滴吐出ヘッド１４において、暖機駆動を行う。
【０１４３】
次にステップＳ２４に移行する。ステップＳ２４は測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。このとき、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの総ての液滴吐出ヘッド１４において、吐出を行う。次にステップＳ２５に移行する。ステップＳ２５は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。このとき、第１液滴吐出ヘッド１４ａ〜第１２液滴吐出ヘッド１４ｌの総ての液滴吐出ヘッド１４において、計測と演算とを行う。そして、ステップＳ２２〜ステップＳ２５のステップによりステップＳ３１の吐出量測定工程が構成される。
【０１４４】
ステップＳ２６は、吐出量調整工程に相当し、ノズルから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ２７に移行する。ステップＳ２７は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に塗布する製造工程を終了する。
【０１４５】
上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）、（２）、（４）、（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、複数の液滴吐出ヘッド１４におけるノズル３１から、並行して、液滴４４を吐出している。従って、１回に１個の液滴吐出ヘッド１４から吐出する場合に比べて、少ない回数で、測定する予定の総ての液滴吐出ヘッド１４から吐出することができる。その結果、生産性良く、液滴吐出ヘッド１４から液滴４４を吐出して、測定することができる。
【０１４６】
（第３の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出して、ワークに塗布する、本発明の特徴的な吐出方法の一実施形態について図１２〜図１５を用いて説明する。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッドに温度センサが内蔵されている点にある。
【０１４７】
図１２は、液滴吐出ヘッドの要部模式断面図である。すなわち、本実施形態では、図１２に示すように、液滴吐出ヘッド１０６が構成されている。液滴吐出ヘッド１０６は、ノズルプレート３０を備えている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ４０が形成されている。そして、ノズルプレート３０及びキャビティ４０内の機能液４１と接するように温度センサ１０７が形成されている。温度センサ１０７は、応答速度が速く、精度良く計測可能な温度センサであれば良く、例えば、本実施形態では、サーミスタを採用している。
【０１４８】
温度センサ１０７は、ノズルプレート３０及びキャビティ４０内の機能液４１と接していることから、ノズルプレート３０及びキャビティ４０内の機能液４１の温度を検出可能となっている。このノズルプレート３０及び機能液４１は、ノズル３１付近に位置することから、温度センサ１０７が検出する温度は、ノズル３１付近の温度であるノズル温度とすることができる。
【０１４９】
液滴吐出ヘッド１０６は、複数のノズル３１を備え、１個のノズル３１と対応して、１個の温度センサ１０７が、配置されている。そして、各ノズル３１付近の温度を検出可能となっており、配列されている総てのノズル３１における、ノズル温度の分布が検出される。
【０１５０】
図１３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。液滴吐出装置１０８は、液滴吐出ヘッド１０６を１個配置し、液滴吐出ヘッド１０６は、ノズル３１を３０個備えている。そして、温度センサ１０７は、各ノズル３１に、１個配置されている。つまり、ノズル３１が３０個配置されていることから、温度センサ１０７も３０個配置されている。
【０１５１】
温度センサ１０７は、ノズル温度検出装置１０９と接続されている。又、ノズル温度検出装置１０９は、入出力インターフェース５２及びデータバス５３を介してＣＰＵ４８と接続されている。温度センサ１０７及び、ノズル温度検出装置１０９などから、温度計測部が構成されている。
【０１５２】
温度センサ１０７は、ノズル３１付近の温度に対応する電圧信号をノズル温度検出装置１０９に出力する。ノズル温度検出装置１０９は、電圧信号を入力して、ノズル温度に対応するデジタル信号に変換し、ＣＰＵ４８に出力する。温度センサ１０７が各ノズル３１付近に配置され、ＣＰＵ４８は、各ノズル３１のノズル温度を認識可能となっている。
【０１５３】
図１４は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。図１５は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。
【０１５４】
図１４において、ステップＳ４１は、暖機条件設定工程に相当し、暖機駆動時間を設定する工程である。次にステップＳ４２に移行する。ステップＳ４２は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップＳ４３に移行する。
【０１５５】
ステップＳ４３は、測定工程に相当し、ノズル温度を測定する工程である。次にステップＳ４４に移行する。ステップＳ４４は、ノズル温度が暖機設定温度に達したか、を判断する工程に相当し、測定したノズル温度と暖機設定温度とを比較して、ノズル温度が暖機設定温度に達しているかを判断する工程である。ノズル温度が暖機設定温度に達していないと判断したとき、（ＮＯのとき）、ステップＳ４５に移行する。ステップＳ４４において、ノズル温度が暖機設定温度に達していると判断したとき（ＹＥＳのとき）、暖機駆動を停止して、ステップＳ４６に移行する。
【０１５６】
ステップＳ４５は、駆動工程に相当し、ノズルから液滴が吐出しない程度に圧電素子を駆動する工程である。次にステップＳ４３に移行する。ステップＳ４３〜ステップＳ４５のステップによりステップＳ６１の暖機駆動工程が構成される。
【０１５７】
ステップＳ４６は測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップＳ４７に移行する。ステップＳ４７は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出１回当りの吐出量を演算する工程である。
【０１５８】
ステップＳ４８は、総ての吐出ヘッドの吐出量を測定したか、を判断する工程に相当し、第１液滴吐出ヘッド〜第１２液滴吐出ヘッドの総てのヘッドにおける吐出量を測定したかを判断する工程である。吐出量を測定していない吐出ヘッドがあるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ４２に移行する。ステップＳ４８において、総ての吐出ヘッドの吐出量を測定したとき（ＹＥＳのとき）、ステップＳ４９に移行する。ステップＳ４２〜ステップＳ４８のステップによりステップＳ６２の吐出量測定工程が構成される。次にステップＳ４９に移行する。
【０１５９】
ステップＳ４９は、吐出量調整工程に相当し、ノズルから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップＳ５０に移行する。ステップＳ５０は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に塗布する製造工程を終了する。
【０１６０】
次に、図１５を用いて、図１４に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く測定して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。
【０１６１】
ステップＳ４１は、第１の実施形態と略同じ工程であり、暖機設定温度を設定する工程である。詳細な説明は省略する。図１５は、ステップＳ４２〜ステップＳ４７に対応する図である。
【０１６２】
図１５（ａ）は、ステップＳ４２〜ステップＳ４７において、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示す。図１５（ａ）〜（ｃ）に示すように、横軸において、時間８４の経過は、第１非駆動区間９８ａ、暖機駆動区間９８ｂ、第２非駆動区間９８ｃ、吐出駆動区間９８ｄ、第３非駆動区間９８ｅの順に推移する。図１５（ａ）は、第１の実施形態と同じであり、説明を省略する。
【０１６３】
第１非駆動区間９８ａが、ステップＳ４２に対応し、暖機駆動区間９８ｂが、ステップＳ６１に対応する。そして、第２非駆動区間９８ｃと吐出駆動区間９８ｄとが、ステップＳ４６に対応し、第２非駆動区間９８ｃは、非吐出駆動波形８９から吐出駆動波形８３へ切り換える準備期間である。そして、第３非駆動区間９８ｅは、ステップＳ４７及びステップＳ４２に対応する。
【０１６４】
図１５（ｂ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線１１０は、時間８４の推移に対するノズル温度８０の変化を示している。
【０１６５】
図１５（ｂ）に示すように、第１非駆動区間９８ａにおいて、ノズル温度８０は、温度１１０ａとなっている。そして、暖機駆動区間９８ｂでは、ステップＳ４５において、暖機駆動することにより、圧電素子４３及び振動板４２が振動して、エネルギの一部が熱に変換されて、ノズル温度８０が上昇する。
【０１６６】
そして、ステップＳ４３では、温度センサ１０７が各液滴吐出ヘッド１０６のノズル温度を検出し、電圧信号に変換して、ノズル温度検出装置１０９に出力する。ノズル温度検出装置１０９は、ノズル温度を示す電圧信号をデジタル信号に変換して、ＣＰＵ４８に出力する。ＣＰＵ４８は、ノズル温度を示すデジタル信号を受信して、各ノズル３１のノズル温度を認識する。
【０１６７】
ステップＳ４４では、暖機制御演算部６４が暖機駆動データ６０から、暖機設定温度９５ａの設定値を読み取る。暖機制御演算部６４は、暖機設定温度９５ａの設定値と各ノズル３１のノズル温度とを比較し、ノズル温度がノズル温度の設定値より低いノズル３１を抽出する。
【０１６８】
ステップＳ４５では、ＣＰＵ４８が、ヘッド駆動回路３６へ暖機駆動の指示信号を出力する。このとき、ＣＰＵ４８は、ステップＳ４４で抽出したノズル３１に対して、暖機駆動する指示信号を出力する。ヘッド駆動回路３６は、指示信号を入力し、液滴吐出ヘッド１４を駆動する。そして、液滴吐出ヘッド１４は、ステップＳ４４で抽出されたノズル３１に対して、暖機駆動する。つまり、液滴吐出ヘッド１４は、ノズル温度８０が暖機設定温度９５ａより低いノズル３１において、暖機駆動する。
【０１６９】
ステップＳ６１では、ステップＳ４３〜ステップＳ４５を繰り返すことにより、各ノズル３１の温度が上昇する。そして、総てのノズル３１のノズル温度が、暖機設定温度９５ａの設定値に達したとき、暖機駆動区間９８ｂが終了する。そして、ステップＳ４４からステップＳ４６へ移行する。
【０１７０】
ステップＳ４６では、駆動電圧８５を非吐出駆動波形８９から吐出駆動波形８３へ切り換える。この時間が第２非駆動区間９８ｃに相当し、液滴吐出ヘッド１４が駆動されずに放熱するので、ノズル温度８０が少し低くなる。
【０１７１】
次に、吐出駆動区間９８ｄにおいて、第１の実施形態と同様に、温度上昇時間１１０ｂの間、ノズル温度８０が暖機設定温度９５ａまで上昇した後、同じノズル温度８０で推移する。
【０１７２】
第３非駆動区間９８ｅにおいても、第１の実施形態と同様に、放熱するので、徐々にノズル温度８０が低下する。
【０１７３】
図１５（ｃ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャートであり、ノズル温度８０が、図１５（ｂ）のノズル温度推移線１１０にて温度変化するときの、吐出量の変化を示している。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、吐出量８１の変化を示す。そして、吐出量推移線１１１は、時間８４の推移に対する吐出量８１の変化を示している。
【０１７４】
吐出量推移線１１１は、第１の実施形態と同様に、吐出駆動区間９８ｄにおいて、ノズル温度推移線１１０と連動して推移する。そして、ノズル温度推移線１１０の温度上昇時間１１０ｂと、吐出量推移線１１１の吐出量増加時間１１１ａとは略同じ時間となっている。
【０１７５】
図１５（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートであり、図１５（ｅ）は、滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すグラフである。横軸は時間８４の経過を示す。そして、図１５（ａ）〜図１５（ｃ）と同様に、第１非駆動区間９８ａから、第３非駆動区間９８ｅへと推移する。
【０１７６】
図１５（ｄ）の縦軸は、駆動電圧８５の変化を示し、図１５（ｅ）の縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線１１２は、時間８４の推移に対するノズル温度８０の変化を示す。ノズル温度推移線１１２は、図１５（ｂ）に示すノズル温度推移線１１０に比べて、第１非駆動区間９８ａにおける温度１１２ａが温度１１０ａより高くなっている場合におけるノズル温度８０の変化を示している。
【０１７７】
第１非駆動区間９８ａにおける温度１１２ａが温度１１０ａより高いので、暖機駆動区間９８ｂにおいて、ノズル温度推移線１１２が暖機設定温度９５ａに達する時間１１２ｂは、ノズル温度推移線１１０の場合よりも短い時間となる。そして、ノズル温度推移線１１２が、暖機設定温度９５ａに達した後、非吐出駆動波形８９の出力を停止する。
【０１７８】
次に、第２非駆動区間９８ｃに移行する。第２非駆動区間９８ｃ、吐出駆動区間９８ｄ、第３非駆動区間９８ｅの区間では、ノズル温度推移線１１２とノズル温度推移線１１０とは、同じ温度変化で推移する。従って、吐出駆動区間９８ｄにおいて、ノズル温度推移線１１０の温度上昇時間１１０ｂと、ノズル温度推移線１１２の温度上昇時間１１２ｃとは略同じ時間となる。
【０１７９】
その結果、ノズル温度推移線１１２に対する吐出量の推移は、吐出量推移線１１１と同じとなる。つまり、第１非駆動区間９８ａにおける温度１１２ａが、温度１１０ａより高い温度の場合においても、液滴吐出ヘッド１４の吐出量は略同じ量となる。
【０１８０】
ステップＳ４８以降の工程は、第１の実施形態と同様であり、説明を省略する。そして、予定した描画パターンを塗布するステップＳ５０を終了し、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。
【０１８１】
上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）、（２）、（３）、（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ４３の測定工程にて、ノズル温度８０を測定して、暖機駆動を継続するか、停止するかを判断している。従って、ノズル温度８０を精度良く測定することにより、ノズル３１において、吐出量を測定するために、吐出するときのノズル温度８０の温度差を、精度良く、略同じ温度にすることができる。従って、吐出するときのノズル温度８０に影響され難い状態にて、吐出量を測定することができる。
【０１８２】
（第４の実施形態）
本実施形態では、液滴を吐出して、ワークに塗布する、本発明の特徴的な吐出方法の一実施形態について図１６を用いて説明する。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、暖機駆動で吐出する点と、暖機駆動工程と測定用吐出工程とを連続して行う点にある。第１の実施形態における、暖機駆動工程から測定工程以外の工程は、第１の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【０１８３】
図１６は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。そして、図１６（ａ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートである。図１６（ａ）〜（ｃ）の、横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、駆動電圧８５の変化を示す。横軸において、時間８４の経過は、第１非駆動区間９８ａ、暖機駆動区間９８ｂ、吐出駆動区間９８ｄ、第３非駆動区間９８ｅの順に推移する。
【０１８４】
図１６（ａ）に示すように、暖機駆動区間９８ｂ及び吐出駆動区間９８ｄにおいて、吐出駆動波形８３が圧電素子４３に出力される。そして、この２つに区間では、液滴４４が、ノズル３１から重量測定装置２０の受け皿７８に吐出される。
【０１８５】
図１６（ｂ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャートである。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、ノズル温度８０の変化を示す。そして、ノズル温度推移線１１３は、時間８４の推移に対するノズル温度８０の変化を示している。
【０１８６】
図１６（ｂ）に示すように、第１非駆動区間９８ａにおいて、ノズル温度８０は、温度１１３ａとなっている。そして、暖機駆動区間９８ｂでは、暖機駆動することにより、圧電素子４３及び振動板４２が振動して、エネルギの一部が熱に変換されて、ノズル温度８０が上昇する。そして、圧電素子４３を暖機駆動設定回数以上の回数分、駆動することにより、ノズル温度８０は、暖機設定温度９５ａまで上昇する。
【０１８７】
ノズル温度８０が、暖機設定温度９５ａに達した後も継続して吐出する。このとき、ノズル温度８０は、暖機設定温度９５ａにて推移したまま、吐出駆動区間９８ｄに移行する。
【０１８８】
図１６（ｃ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャートであり、ノズル温度８０が、図１６（ｂ）のノズル温度推移線１１３にて温度変化するときの、吐出量の変化を示している。横軸は時間８４の経過を示し、縦軸は、吐出量８１の変化を示す。そして、吐出量推移線１１４は、時間８４の推移に対する吐出量８１の変化を示している。
【０１８９】
暖機駆動区間９８ｂでは、ノズル温度推移線１１３の上昇に伴い、吐出量８１が増加する。そして、ノズル温度推移線１１３が暖機設定温度９５ａに達した後、ノズル温度推移線１１３の変動が少なくなるので、吐出量推移線１１４の変動も少なくなる。そして、吐出量推移線１１４の変動が少ない状態にて、吐出駆動区間９８ｄに移行する。
【０１９０】
吐出駆動区間９８ｄの開始時９８ｆ及び終了時９８ｇにおいて、電子天秤７７は、受け皿７８の重量を計測する。そして、終了時９８ｇにおける吐出量８１の計測値から、開始時９８ｆにおける吐出量８１の計測値を引いた差分を演算することにより、吐出した液滴４４の重量を測定する。次に、測定した液滴４４の重量を、吐出した回数で除算することにより、１回の吐出によって吐出される液滴４４の吐出量を算出する。
【０１９１】
測定工程移行の工程は、第１の実施形態と同様であり、説明を省略する。そして、予定した描画パターンを塗布する塗布工程を終了し、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。
【０１９２】
上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態における効果（１）、（３）、（４）、（５）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、暖機駆動区間９８ｂにおいて、ノズル３１から液滴４４を吐出して暖機駆動している。液滴４４を吐出しないときに比べて、液滴４４を吐出する方が機能液４１を加圧するとき、加圧するエネルギに大きなエネルギを加えることができるので、発熱量が大きくなる為、短い時間で暖機駆動することができる。従って、生産性良く暖機駆動することができる。
【０１９３】
（２）本実施形態によれば、暖機駆動工程を行う場所と、測定用吐出工程を行う場所とが同じ場所となっている。従って、暖機駆動工程の後、測定用吐出工程に移行するとき、暖機駆動工程を行う場所から測定用吐出工程を行う場所へ液滴吐出ヘッド１４を移動する時間を省くことができる。従って、暖機駆動工程の後、ノズル温度８０が下がらない間に、測定用吐出工程に移行することができる。つまり、移動するときにノズル温度８０が低下することによる変動を小さくすることができる。その結果、各液滴吐出ヘッド１４において、吐出量８１を測定するために、吐出するときのノズル温度８０は、各ノズル３１とも、略同じ温度にすることができる。
【０１９４】
（第５の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用して液晶表示装置を製造する一実施形態について図１７を用いて説明する。
【０１９５】
まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図１７は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０１９６】
図１７に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置１２０は、透過型の液晶表示パネル１２１と、液晶表示パネル１２１を照明する照明装置１２２とを備えている。液晶表示パネル１２１は、液晶１２３を第１基板としての素子基板１２４と第２基板としての対向基板１２５とで挟持して配置されている。そして、素子基板１２４における下側の表面には、下偏光板１２６が配置され、対向基板１２５における上側の表面には、上偏光板１２７が配置される。
【０１９７】
素子基板１２４は、光透過性のある材料からなる基板１２８を備え、基板１２８の上側には、絶縁膜１２９が形成されている。絶縁膜１２９上には、マトリクス状に電極としての画素電極１３０が形成され、各画素電極１３０には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１３１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１３１のドレイン端子に画素電極１３０が接続されている。
【０１９８】
各画素電極１３０及びＴＦＴ素子１３１を囲んで、格子状に、配線としての走査線１３２及び配線としてのデータ線１３３が形成されている。そして、走査線１３２は、ＴＦＴ素子１３１のゲート端子と接続され、データ線１３３は、ＴＦＴ素子１３１のソース端子と接続されている。
【０１９９】
そして、画素電極１３０、ＴＦＴ素子１３１、走査線１３２、データ線１３３などからなる素子層１３４の液晶１２３側には、配向膜１３５が形成されている。
【０２００】
対向基板１２５は、光透過性のある材料からなる基板１３７を備えている。基板１３７の下側には、遮光性を有する材料からなる下層バンク１３８が格子状に形成され、下層バンク１３８の下側には、有機化合物などからなる上層バンク１３９が形成されている。そして、下層バンク１３８及び上層バンク１３９により隔壁部１４０が構成されている。
【０２０１】
隔壁部１４０によってマトリクス状に区画された凹部には、着色層１４１として、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂが形成されている。そして、隔壁部１４０とカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層１４２が形成されている。このオーバーコート層１４２を覆うようにＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる電極としての対向電極１４３が形成されている。さらに、対向電極１４３の液晶１２３側には、配向膜１４４が形成されている。配向膜１４４と配向膜１３５とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶１２３が凹凸に沿って配列して形成されている。
【０２０２】
液晶１２３は、該液晶１２３を挟持する画素電極１３０と対向電極１４３とに電圧を印加すると液晶１２３の傾き角度が変化する性質を持っており、ＴＦＴ素子１３１のスイッチング動作により、液晶１２３にかける電圧をコントロールして液晶１２３の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶１２３により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにＴＦＴのスイッチング動作により、液晶１２３をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【０２０３】
画素電極１３０は、ＴＦＴ素子１３１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１３３から供給される画素信号が各画素電極１３０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１３０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板１２５の対向電極１４３と画素電極１３０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶１２３の光透過量が変化する。
【０２０４】
照明装置１２２は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル１２１に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等を備えている。光源には、白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。
【０２０５】
尚、下偏光板１２６及び、上偏光板１２７は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル１２１は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin Film Diode）素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【０２０６】
対向基板１２５のカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、基板１３７に下層バンク１３８及び上層バンク１３９を形成して、隔壁部１４０を形成する。隔壁部１４０の形成方法は、公知であり、説明を省略する。そして、カラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂの材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、各色のカラーインクを製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、このカラーインクを隔壁部１４０に囲まれた凹部に吐出して塗布する。
【０２０７】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、カラーインクの吐出を行って塗布する。その後、塗布されたカラーインクを加熱乾燥して固化することによりカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを形成する。
【０２０８】
さらに、対向基板１２５において、オーバーコート層１４２の下側に対向電極１４３を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、対向電極１４３の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液をオーバーコート層１４２の表面に吐出して塗布する。
【０２０９】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより対向電極１４３を形成する。
【０２１０】
さらに、対向基板１２５において、対向電極１４３の下側に配向膜１４４を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１４４の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配向膜の材料液を対向電極１４３の下側に吐出して塗布する。
【０２１１】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１４４を形成する。
【０２１２】
さらに、素子基板１２４の素子層１３４に走査線１３２及びデータ線１３３の配線を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２１３】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１３２及びデータ線１３３を形成する。
【０２１４】
さらに、素子基板１２４において、素子層１３４にＴＦＴ素子１３１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、ＴＦＴ素子１３１を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のＴＦＴ素子の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、ＴＦＴ素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、このＴＦＴ素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２１５】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、ＴＦＴ素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、ＴＦＴ素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、ＴＦＴ素子１３１を形成する。
【０２１６】
さらに、素子基板１２４において、素子層１３４の表面に画素電極１３０を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極１３０の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を素子層１３４の表面に吐出して塗布する。
【０２１７】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極１３０を形成する。
【０２１８】
さらに、素子基板１２４において、素子層１３４の上側に配向膜１３５を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１３５の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配向膜の材料液を素子層１３４の上側に吐出して塗布する。
【０２１９】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１３５を形成する。
【０２２０】
さらに、液晶１２３を素子基板１２４と対向基板１２５とで挟持させるために、素子基板１２４に液晶１２３を塗布する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置１を用いて、この液晶の材料液を配向膜１３５の上側に吐出して塗布する。
【０２２１】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、液晶の材料液の吐出を行って塗布する。
【０２２２】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、カラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラーインクの塗布量を精度良く塗布されたカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを製造することができる。
【０２２３】
（２）本実施形態によれば、配向膜１３５，１４４を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布された配向膜１３５，１４４を製造することができる。
【０２２４】
（３）本実施形態によれば、液晶を塗布する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、液晶の塗布量が精度良く塗布された液晶表示装置１２０を製造することができる。
【０２２５】
（４）本実施形態によれば、画素電極１３０及び対向電極１４３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極１３０及び対向電極１４３を製造することができる。
【０２２６】
（５）本実施形態によれば、走査線１３２及びデータ線１３３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１３２及びデータ線１３３を製造することができる。
【０２２７】
（６）本実施形態によれば、ＴＦＴ素子１３１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたＴＦＴ素子１３１を製造することができる。
【０２２８】
（第６の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用して有機ＥＬ装置を製造する一実施形態について図１８を用いて説明する。
【０２２９】
まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１８は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０２３０】
図１８に示すように、電気光学装置としての有機ＥＬ装置１４７は、基板１４８を備えている。基板１４８の上側には、絶縁膜１４９が形成されている。絶縁膜１４９上には、コンタクト電極１５０がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極１５０と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子１５１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１５１のドレイン端子にコンタクト電極１５０が接続されている。
【０２３１】
各コンタクト電極１５０及びＴＦＴ素子１５１を囲むように、配線としての走査線１５２及び配線としてのデータ線１５３が格子状に形成されている。そして、走査線１５２は、ＴＦＴ素子１５１のゲート端子と接続され、データ線１５３は、ＴＦＴ素子１５１のソース端子と接続されている。
【０２３２】
そして、コンタクト電極１５０、ＴＦＴ素子１５１、走査線１５２、データ線１５３などからなる素子層１５４が形成されている。素子層１５４の上側には、絶縁膜１５５が形成され、絶縁膜１５５の上側には、バンク１５６が格子状に形成されている。
【０２３３】
バンク１５６により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極１５７が形成され、画素電極１５７は、コンタクト電極１５０と電気的に接続されている。画素電極１５７の上面には、発光素子としての正孔輸送層１５８が形成され、正孔輸送層１５８の上面には、発光素子としての発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層１５８と発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂとにより発光素子としての機能層１６０が形成されている。
【０２３４】
発光層１５９Ｒは、赤色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層であり、発光素子としての発光層１５９Ｇは、緑色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層１５９Ｂは、青色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。
【０２３５】
機能層１６０及びバンク１５６の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料などからなる電極としての陰極１６１が形成されている。本実施形態においては、陰極１６１は、例えば、ＩＴＯを採用している。
【０２３６】
陰極１６１の上面には、光透過性を有する材料などからなる封止膜１６２が形成され、陰極１６１及び機能層１６０が空気中の酸素により酸化されることを防止している。
【０２３７】
画素電極１５７と陰極１６１との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層１５８は、正孔のみを流動する。そして、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂは、正孔輸送層１５８から供給される正孔と陰極１６１から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子１５１は、スイッチング動作を行い、機能層１６０にかける電圧をコントロールすることにより、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【０２３８】
画素電極１５７は、ＴＦＴ素子１５１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１５３から供給される画素信号が各画素電極１５７に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１５７に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極１６１と画素電極１５７との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂが発光する光量が変化する。
【０２３９】
素子層１５４に走査線１５２及びデータ線１５３の配線を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２４０】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１５２及びデータ線１５３を形成する。
【０２４１】
さらに、素子層１５４にＴＦＴ素子１５１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、ＴＦＴ素子１５１を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のＴＦＴ素子の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、ＴＦＴ素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、このＴＦＴ素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２４２】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、ＴＦＴ素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、ＴＦＴ素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、ＴＦＴ素子１５１を形成する。
【０２４３】
さらに、絶縁膜１５５の表面に画素電極１５７を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極１５７の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１５５の表面に吐出して塗布する。
【０２４４】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極１５７を形成する。
【０２４５】
さらに、画素電極１５７の表面に正孔輸送層１５８を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての正孔輸送層１５８の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、正孔輸送層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極１５７の表面に吐出して塗布する。
【０２４６】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、正孔輸送層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、正孔輸送層の材料液を加熱乾燥して固化することにより正孔輸送層１５８を形成する。
【０２４７】
さらに、正孔輸送層１５８の表面に発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂの材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層１５８の表面に吐出して塗布する。
【０２４８】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、発光層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層１５９Ｒ，１５９Ｇ，１５９Ｂを形成する。
【０２４９】
さらに、機能層１６０及びバンク１５６の上面に陰極１６１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、陰極１６１の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、陰極の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この陰極の材料液を機能層１６０及びバンク１５６の上面に吐出して塗布する。
【０２５０】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、陰極の材料液の吐出を行って塗布する。その後、陰極の材料液を加熱乾燥して固化することにより陰極１６１を形成する。
【０２５１】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、走査線１５２及びデータ線１５３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１５２及びデータ線１５３を製造することができる。
【０２５２】
（２）本実施形態によれば、ＴＦＴ素子１５１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたＴＦＴ素子１５１を製造することができる。
【０２５３】
（３）本実施形態によれば、画素電極１５７及び陰極１６１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極１５７及び陰極１６１を製造することができる。
【０２５４】
（４）本実施形態によれば、機能層１６０を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布された機能層１６０を製造することができる。
【０２５５】
（第７の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用して表面電界表示装置を製造する一実施形態について図１９を用いて説明する。
【０２５６】
まず、電気光学装置の一つである表面電界表示装置について説明する。図１９は、表面電界表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０２５７】
図１９に示すように、電気光学装置としての表面電界表示装置１６３は、主に、素子基板１６４と対向基板１６５とから構成されている。そして、素子基板１６４は、基板１６６を備えている。基板１６６の上には、絶縁膜１６７が形成されている。絶縁膜１６７上には、対をなす略円状の電極としての電子放出素子１６８がマトリクス状に形成され、一方の電子放出素子１６８が機能しないとき、他の一方の電子放出素子１６８が動作するようになっている。各電子放出素子１６８の対を囲むように、配線としての走査線１６９及び配線としてのデータ線１７０の配線が格子状に形成されている。データ線１７０は１対が電子放出素子１６８の対の間に配置されている。
【０２５８】
電子放出素子１６８は、中心を通る線で２分割されており、電子放出素子１６８の一方は、走査線１６９と接続されている。そして、電子放出素子１６８のもう一方は、データ線１７０と接続されている。この電子放出素子１６８、走査線１６９、データ線１７０などにより素子層１７１が構成されている。
【０２５９】
対向基板１６５は、光透過性の材料からなる基板１７２を備えている。そして、基板１７２の下側には、光透過性の材料からなる電極としての陽極１７３が形成されている。陽極１７３の下面には、発光素子としてのカラー蛍光膜１７４が形成され、カラー蛍光膜１７４と陽極１７３とを覆うように保護膜１７５が形成されている。
【０２６０】
素子基板１６４と対向基板１６５とが、図示しないスペーサを介して接合され、素子基板１６４と対向基板１６５との間は、脱気されて略真空状態となっている。
【０２６１】
電極が２つに分割されている電子放出素子１６８において、２つの電極間に電圧を印加するとき、電極間の隙間が狭く形成されているので、２つの電極間に微小の電子が通過する。そして、電子放出素子１６８と陽極１７３との間に電圧を印加することにより、電場を形成するとき、２つの電極間を通過する電子に電磁力が作用することにより、電子が陽極１７３に移動する。
【０２６２】
陽極１７３に向かって移動する電子の一部は、カラー蛍光膜１７４に衝突する。カラー蛍光膜１７４は、電子の衝突によるエネルギを光に変換するので、発光する。表面電界表示装置１６３は、図示しないデータ電圧駆動回路と走査電圧駆動回路とを備え、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、電子放出素子１６８に印加される電圧を制御する。電子放出素子１６８に印加される電圧とカラー蛍光膜１７４が発光する光量とは正の相関があるので、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、カラー蛍光膜１７４が発光する光量を制御可能となっている。
【０２６３】
そして、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。カラー蛍光膜１７４には、赤、青、緑の各光を発光する各色の蛍光膜が配置されており、データ電圧駆動回路及び走査電圧駆動回路は、発光する色を選択して制御することによりカラー画像を表示することが可能となっている。
【０２６４】
素子層１７１に走査線１６９及びデータ線１７０の配線を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２６５】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線１６９及びデータ線１７０を形成する。
【０２６６】
さらに、素子層１７１に電子放出素子１６８を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、電子放出素子１６８における電極の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１６７の表面に吐出して塗布する。
【０２６７】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより電子放出素子１６８における電極を形成する。
【０２６８】
さらに、基板１７２の表面に陽極１７３を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、陽極１７３における電極の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を基板１７２の表面に吐出して塗布する。
【０２６９】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより陽極１７３を形成する。
【０２７０】
さらに、陽極１７３の表面にカラー蛍光膜１７４を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としてのカラー蛍光膜の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、カラー蛍光膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を陽極１７３の表面に吐出して塗布する。
【０２７１】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、カラー蛍光膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、カラー蛍光膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりカラー蛍光膜１７４を形成する。
【０２７２】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、走査線１６９及びデータ線１７０を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線１６９及びデータ線１７０を製造することができる。
【０２７３】
（２）本実施形態によれば、電子放出素子１６８及び陽極１７３を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された電子放出素子１６８及び陽極１７３を製造することができる。
【０２７４】
（３）本実施形態によれば、カラー蛍光膜１７４を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラー蛍光膜形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラー蛍光膜形成材料の塗布量が精度良く塗布されたカラー蛍光膜１７４を製造することができる。
【０２７５】
（第８の実施形態）
次に、本発明の吐出方法を応用してプラズマ表示装置を製造する一実施形態について図２０を用いて説明する。
【０２７６】
まず、電気光学装置の一つであるプラズマ表示装置について説明する。図２０は、プラズマ表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０２７７】
図２０に示すように、電気光学装置としてのプラズマ表示装置１７８は、主に、背面板１７９と前面板１８０とから構成されている。背面板１７９は、基板１８１を備えている。基板１８１の上面には、絶縁膜１８２が形成され、絶縁膜１８２の上面には、電極としてのアドレス電極１８３と絶縁膜１８４とが縞状に形成されている。
【０２７８】
そして、アドレス電極１８３及び絶縁膜１８４の上面には、誘電体層１８５が形成されている。誘電体層１８５の上面には、格子状のリブ１８６が形成され、リブ１８６により囲まれて形成される凹状領域の各底部に、蛍光体などにより形成された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の発光素子としての発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂが形成されている。そして、この発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂは、アドレス電極１８３と対向する場所に形成されている。
【０２７９】
前面板１８０は、光透過性の材料からなる基板１８８を備え、基板１８８の下面には、絶縁膜１８９が形成されている。そして、絶縁膜１８９の下面には、アドレス電極１８３が延在する方向と直交する方向に電極としてのバス電極１９０が形成されている。バス電極１９０と隣接して、発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂと対向する場所には、光透過性の材料からなる矩形の電極としての維持電極１９１が形成され、バス電極１９０と維持電極１９１とが、電気的に接続されている。
【０２８０】
維持電極１９１の下面には、誘電体層１９２が形成され、バス電極１９０の下面には、非光透過性の絶縁材料からなる絶縁膜１９３が形成されている。そして、背面板１７９と前面板１８０とが接合され、背面板１７９と前面板１８０との間は、脱気されて略真空状態にした後、キセノンガス等のガスが封入されている。
【０２８１】
アドレス電極１８３と維持電極１９１との間にパルス電圧を印加するとき、誘電体層１８５と誘電体層１９２との間にプラズマが発生する。プラズマは、紫外線を発光し、発光した紫外線が発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂに含まれる蛍光体を励起することにより赤、緑、青色の可視光が発光される。
【０２８２】
プラズマ表示装置１７８は、アドレス電極１８３と維持電極１９１との間に印加されるパルス電圧を制御する駆動回路を、備えている。この駆動回路は、パルス電圧の電圧値とタイミングとを制御することにより、画素毎に発光する光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができるようになっている。
【０２８３】
背面板１７９の絶縁膜１８２の表面にアドレス電極１８３を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜１８２上にバンク状の絶縁膜１８４を形成する。次に、アドレス電極１８３の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１８２により形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２８４】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりアドレス電極１８３を形成する。
【０２８５】
前面板１８０の絶縁膜１８９の表面にバス電極１９０及び維持電極１９１を形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜１８９上にバンク状の絶縁膜１９３を形成する。次に、バス電極１９０及び維持電極１９１の材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液を絶縁膜１９３により形成された凹部に吐出して塗布する。
【０２８６】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することによりバス電極１９０及び維持電極１９１を形成する。
【０２８７】
さらに、誘電体層１８５の表面に発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、発光素子形成材料としての発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂの材料を、溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、発光層の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この発光層の材料液を誘電体層１８５の表面に吐出して塗布する。
【０２８８】
このとき、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。次に、吐出量調整工程にて、吐出量を調整した後、発光層の材料液の吐出を行って塗布する。その後、発光層の材料液を加熱乾燥して固化することにより発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを形成する。
【０２８９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、アドレス電極１８３、バス電極１９０及び維持電極１９１を製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布されたアドレス電極１８３、バス電極１９０及び維持電極１９１を製造することができる。
【０２９０】
（２）本実施形態によれば、発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、発光層の材料の塗布量が精度良く塗布された発光層１８７Ｒ，１８７Ｇ，１８７Ｂを製造することができる。
【０２９１】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、液滴吐出ヘッド１４毎に吐出量を測定したが、これに限らず、ノズル３１を他の分け方で分割して吐出量を測定してもよい。例えば、液滴吐出ヘッド１４の列毎に測定しても良い。又、１つの液滴吐出ヘッド１４のノズル３１を３等分して吐出量を測定しても良い。塗布工程において、描画するパターンに合わせて、測定するノズル３１を分割して、吐出量を測定しても良い。
【０２９２】
（変形例２）
前記第１の実施形態において、ノズル３１の温度を測定する温度計に、赤外線カメラ７５を用いたが、他の温度計を用いても良い。温度計は、ノズル３１の温度を検出可能であれば良い。他に、例えば、熱電対、白金測温抵抗体、水晶振動子等を、サーミスタを温度センサとして使用することができる。ノズル温度に対して感度の良いセンサを用いることにより、精度良く温度を検出することができる。
【０２９３】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、キャビティ４０を加圧する加圧手段に、圧電素子４３を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板４２を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ４０内にヒータ配線を配置して、機能液４１に含む気体を膨張して加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板４２を変形させて、加圧しても良い。
【０２９４】
いずれの場合においても、第１の実施形態における吐出方法を用いることができる。つまり、暖機条件設定工程にて、暖機駆動設定回数を設定する。次に、暖機駆動工程では、暖機駆動設定回数以上の回数分の吐出を行うことにより、ノズル温度８０を暖機設定温度９５ａにする。そして、測定用吐出工程にて、吐出した後、吐出量を測定する。この方法により、いずれの吐出方法の場合にも、前記実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０２９５】
（変形例４）
前記第１の実施形態において、ノズル３１から吐出する液滴４４の重量を測定して、吐出量を算出したが、吐出量の体積を測定して、吐出量を測定しても良い。例えば、断面積が一定の管に吐出する液滴４４を溜めて、管内における液体の長さを測定することにより体積を計測し、吐出量を推定しても良い。揮発性の高い液体の場合に、揮発しにくい状態で計測することができる。
【０２９６】
（変形例５）
前記第１の実施形態では、図８に示すように、非吐出駆動波形８９から吐出駆動波形８３に切り換えるための時間に第２非駆動区間９８ｃを設けた。しかし、非吐出駆動波形８９から吐出駆動波形８３への切換が、瞬時に行える場合には、第２非駆動区間９８ｃがなくとも良い。暖機駆動区間９８ｂの後、吐出駆動区間９８ｄに移行する間で、ノズル温度８０が低くなることがない為、ノズル温度８０が暖機設定温度９５ａのまま、測定用に吐出することができる。従って、吐出駆動区間９８ｄの間で、ノズル温度８０の変動を少なくすることができる。
【０２９７】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、液滴吐出装置１に１個のキャリッジ１２を備えているが、複数のキャリッジ１２を備えていても良い。キャリッジ１２を複数にすることにより、各キャリッジ１２を小さくすることができる。キャリッジ１２が大きいときに比べて、小さい方が、軽量となり操作し易くなる為、保守しやすいキャリッジ１２にすることができる。
【０２９８】
（変形例７）
前記第１の実施形態では、１個のキャリッジ１２に、１２個の液滴吐出ヘッド１４を配置しているが、これに限定されない。１個のキャリッジ１２に配置する液滴吐出ヘッド１４の数は１個でも良く、複数でも良い。液滴４４を吐出する描画パターンに適した個数と配置にするのが好ましい。
【０２９９】
（変形例８）
前記第１の実施形態では、１個の液滴吐出ヘッド１４から吐出して、吐出量の測定を行った。そして、第２の実施形態では、１２個の液滴吐出ヘッド１４から吐出して、吐出量の測定を行った。同時に測定するときの、液滴吐出ヘッド１４の個数はこれに限らない。装置構成に合わせて測定しても良い。
【０３００】
（変形例９）
前記第５の実施形態では、液晶表示パネル１２１の内部にカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂを備えている。カラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂは、液晶表示パネル１２１の内部に備えず、液晶表示パネル１２１とは別の部品として備えても良い。検査工程で選別された液晶表示パネル１２１の良品と、同じく検査工程で選別されたカラーフィルタを備える部品の良品とを組み合わせることにより、液晶表示装置１２０の歩留りを向上することができる。
【０３０１】
（変形例１０）
前記第３の実施形態において、温度センサ１０７にサーミスタを採用しているが、液滴吐出ヘッド１０６の温度を検出可能であれば良い。他に、例えば、熱電対、白金測温抵抗体、水晶振動子等を、温度センサ１０７として使用することができる。機能液４１の温度に対して感度の良いセンサを用いることにより、精度良く温度を検出することができる。
【０３０２】
（変形例１１）
前記第５〜第８の実施形態において、第１の実施形態における吐出方法を用いて塗布したが、第２の実施形態における吐出方法を用いて、塗布しても良い。１２個の液滴吐出ヘッド１４から同時に吐出して、吐出量を測定する為、生産性良く吐出量を測定することができる。
【０３０３】
（変形例１２）
前記第５〜第８の実施形態において、第１の実施形態における吐出方法を用いて塗布したが、第３の実施形態における吐出方法を用いて、塗布しても良い。ノズル３１毎の温度を測定しながら暖気駆動することから、ノズル温度８０の温度差を、精度良く略同じ温度にすることができる。従って、吐出するときのノズル温度８０を略同じ温度にて、吐出量８１を測定することができる。そして、精度良く吐出量を測定した後、調整することにより、吐出量を精度良く吐出して塗布する為、塗布量を精度良く塗布することができる。
【０３０４】
（変形例１３）
前記第５〜第８の実施形態において、第１の実施形態における吐出方法を用いて塗布したが、第４の実施形態における吐出方法を用いて、塗布しても良い。暖機駆動工程において、ノズル３１から液滴４４を吐出して暖機駆動している為、短い時間で暖機駆動することができる。そして、暖機駆動工程から測定用吐出工程へ連続して移行している為、暖機駆動工程から測定用吐出工程へ移行する間に液滴吐出ヘッド１４のノズル温度８０が下がらない。その結果、各液滴吐出ヘッド１４において、吐出量８１を測定するとき、吐出するときのノズル温度８０は、略同じ温度にすることができる。そして、精度良く吐出量を測定した後、調整することにより、吐出量を精度良く吐出して塗布する為、塗布量を精度良く塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【０３０５】
【図１】第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、キャリッジの模式平面図、（ｂ）は、キャリッジの構造を説明するための模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図５】（ａ）は、ノズルプレートの温度を測定する方法を説明するための図、（ｂ）は、ノズル温度と吐出量との関係を示すグラフ。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャート、（ｃ）及び（ｄ）は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの駆動吐出回数とノズル温度との関係を示すグラフ。
【図７】液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図。
【図８】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャート、（ｂ）及び（ｄ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャート、（ｃ）及び（ｅ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャート。
【図９】液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図。
【図１０】第２の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図１１】基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図１２】第３の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの要部模式断面図。
【図１３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図１４】基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図１５】（ａ）及び（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャート、（ｂ）及び（ｅ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャート、（ｃ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャート。
【図１６】第４の実施形態に係り、（ａ）は、液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャート、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドにおけるノズル温度の変化を示すタイムチャート、（ｃ）は、滴吐出ヘッドにおける吐出量の変化を示すタイムチャート。
【図１７】第５の実施形態に係る液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１８】第６の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１９】第７の実施形態に係る表面電界表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図２０】第８の実施形態に係るプラズマ表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【符号の説明】
【０３０６】
７…ワークとしての基板、１４…ノズル群としての液滴吐出ヘッド、３１…ノズル、４１…液状体としての機能液、４４…液滴、８０…ノズル温度、８１…吐出量、９４…吐出ノズル温度曲線、１２０…電気光学装置としての液晶表示装置、１２２…照明装置、１２４…第１基板としての素子基板、１２５…第２基板としての対向基板、１３０，１５７…電極としての画素電極、１３１，１５１…半導体としてのＴＦＴ素子、１３２，１５２，１６９…配線としての走査線、１３３，１５３，１７０…配線としてのデータ線、１３５，１４４…配向膜、１４３…電極としての対向電極、１４７…電気光学装置としての有機ＥＬ装置、１４８，１６６，１７２，１８１，１８８…基板、１５８…発光素子としての正孔輸送層、１５９Ｂ，１５９Ｇ，１５９Ｒ，１８７Ｂ，１８７Ｇ，１８７Ｒ…発光素子としての発光層、１６０…発光素子としての機能層、１６１…電極としての陰極、１６３…電気光学装置としての表面電界表示装置、１６８…電極としての電子放出素子、１７３…電極としての陽極、１７４…発光素子としてのカラー蛍光膜、１７８…電気光学装置としてのプラズマ表示装置、１８３…電極としてのアドレス電極、１９０…電極としてのバス電極、１９１…電極としての維持電極。
【図１】
2008216728.tif 000003
【図２】
2008216728.tif 000004
【図３】
2008216728.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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