(57)【要約】【課題】軌道上に複数の搬送車を走行させてステーション間で物を搬送する搬送システムにおいて、複数の搬送車の連携動作を制御することにより、搬送システム全体の搬送効率を向上させる。【解決手段】位置情報取得手段３０２により得られた搬送車３０１Ｆ、３０１Ｇの位置情報及び作業状態監視手段により得られた作業状態に基づいて、先行搬送車３０１Ｆがステーション２００Ａに停車して搬送物の受け渡しをしており、且つ、当該先行搬送車３０１Ｆと後行搬送車３０１Ｇとの間隔が設定値以下になったと判断したとき、搬送車３０１Ｇの搬送物の属性情報に基づいて、後行搬送車３０１Ｇに、先行搬送車３０１Ｆが停車しているステーション２００Ａを搬送先とする搬送物が積載されているか否かを判断し、積載されている場合には、先行搬送車３０１Ｆに対して搬送物の受け渡しを中止させて次のステーション２００Ｃに移動させる制御を行う。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道上を走行する複数の搬送車の走行、及び搬送車とステーションとの間での搬送物の受け渡しを制御する搬送制御装置において、
搬送車の位置情報を取得する位置情報取得手段と、
搬送車の作業状態を監視する作業状態監視手段と、
搬送車が搬送する搬送物の属性情報を管理する搬送物属性情報管理手段と、
前記搬送車の位置情報及び作業状態に基づいて、先行搬送車がステーションに停車して搬送物の受け渡しをしており、且つ、当該先行搬送車とその直後を走行する後行搬送車との間隔が設定値以下になったと判断したとき、前記属性情報に基づいて、前記後行搬送車に、前記先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されているか否かを判断し、積載されていると判断した場合には、前記先行搬送車に対して搬送物の受け渡しを中止させて次のステーションに移動させる制御を行う搬送制御手段と、を備えることを特徴とする搬送制御装置。
【請求項２】
前記搬送制御手段は、前記後行搬送車に、前記先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されていないと判断した場合には、前記先行搬送車の搬送物の受け渡しを続行させ、その受け渡しの間、前記後行搬送車を停止させることを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
【請求項３】
ステーションに蓄積されている積み出しを必要とする搬送物の数量を検出する積み出し数量検出手段と、
搬送車の積載余力数量を検出する積載余力数量検出手段と、を更に備えており、
前記搬送制御手段は、前記後行搬送車に、前記先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されていないと判断した場合には、前記積み出し数量検出手段により、当該ステーションに蓄積されている積み出しを必要とする搬送物の数量を検出するとともに、前記積載余力数量検出手段により、前記先行搬送車及び前記後行搬送車の積載余力数量を検出し、これら検出した３種の数量に基づいて前記先行搬送車に積載させる搬送物の数量を決定することを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
【請求項４】
前記搬送物属性情報管理手段は、前記搬送物の属性情報を１個単位で管理することを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道上を走行する搬送車によってステーション間で物を搬送するための搬送システムを制御する搬送制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
軌道上に搬送車を走行させてステーション間で物を搬送する搬送システムは、工場、倉庫、店舗など種々の分野で採用されている。
【０００３】
例えば、工場での半導体装置の生産ラインを例に挙げて説明する。半導体装置の生産ラインでは、基板が多数の処理装置間で搬送システムによって搬送され、各処理装置にて基板に各種の処理が施される。例えば、成膜工程、レジスト工程、露光工程、エッチング工程などの処理が所定の層数だけ基板に繰返し施され、さらに、回路素子や配線が形成されることで半導体装置が生産される。
【０００４】
半導体装置の生産ラインでは、通常、処理装置と搬送車との間に、処理待ち基板及び処理済み基板を一時的に待機させる待機スペースが設置されている。この場合、待機スペース前が搬送車のステーションとなる。待機スペースは、例えば、多段の棚などで構成され、基板はその棚に収容される。
【０００５】
各処理装置で処理された基板は、処理装置から待機スペースへ送出され、処理待ちの基板は、待機スペースから処理装置内へ取り込まれる。搬送車が待機スペースに到着すると、新たに処理すべき基板が搬送車から待機スペースに送り込まれるとともに、処理済みの基板が待機スペースから搬送車に積み出される。搬送車に積み出された基板は、次工程の処理装置が設置されているステーションへ搬送される。
【０００６】
生産ラインの生産効率を高めるためには、処理装置の処理効率の向上を図ると同時に、搬送システムの搬送効率の向上を図る必要がある。例えば、待機スペースから搬送車へ積み出される基板の数に対して、処理装置から待機スペースへ送り込まれる基板の数が多い場合などのように、処理効率に対して搬送効率が悪いと、処理装置から待機スペースへ送出される処理済み基板で待機スペースがオーバーフローを起こすおそれがある。そうなると、処理装置の処理を停止せざるを得ず、生産ライン全体での生産効率が低下する。
【０００７】
ところで、搬送車を効率よく稼動させるための搬送システムに関する技術として、特許文献１に開示されている無人搬送車システムがある。この無人搬送車システムでは、連続して配置されている２つのステーションに、積み出しを必要とする搬送物がそれぞれ置かれており、そこに、無積載状態である空搬送車が２台連続して通過する際に効率的な搬送を実現する。具体的には、上記状況において、２台の空搬送車のうち、先行搬送車が最初のステーションを通過して次のステーションに停車し、後行搬送車が、先行搬送車が通過したステーションに停車する。そして、先行搬送車及び後行搬送車がそれぞれ停車したステーションに置かれている搬送物を積込んで搬送する、というものである。このような搬送車の連携制御が行われることで、後行搬送車の待ち時間が解消される。
【特許文献１】特開２００２−３３２１０５号公報（第３頁、第５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、特許文献１に係る無人搬送車システムでは、搬送車の稼働率がある程度高いと、搬送効率の向上が見込めないという問題がある。つまり、特許文献１に係る無人搬送システムは、空搬送車が２台連続して走行することを前提条件とするものであるが、搬送車の稼働率が高くなると、空搬送車が２台連続して走行するケースが少なくなり、その結果、前述した搬送車の連携制御を実行する機会が少なくなる。
【０００９】
また、特許文献１に係る無人搬送車システムでは、２つのステーションのうち、一方のステーションに偏って多数の搬送物が置かれている場合に、２台の搬送車間での積載率のバランスが崩れ、無人搬送車システム全体での搬送効率が悪化するという問題も生じ得る。例えば、搬送車の進行方向に対して上流側に設置されている第１ステーションに積み出しを必要とする１０個の搬送物が置かれており、他方、搬送車の進行方向に対して下流側に設けられている第２ステーションに積み出しを必要とする１個の搬送物が置かれているとき、先行搬送車は、第１ステーションを通過して第２ステーションに停車し、１個の搬送物を積み出す一方で、後行搬送車は第１ステーションに停車して１０個の搬送物を積み出す。そうすると、先行搬送車の搬送物と後行搬送車の搬送物の数は１対１０となり、２台の搬送車の積載率のバランスが崩れ、無人搬送システム全体での搬送効率が悪化するおそれがある。
【００１０】
また、例えば半導体装置等の生産ラインの搬送制御装置は、搬送物（基板）を複数枚（例えば２０枚）のロット単位で管理・搬送することが多い。この場合、ステーションにおいて、基板がロット枚数揃わなければ、搬出できないという制限が発生し、生産リードタイムが長くなり、歩留まりも悪化する。
【００１１】
本発明は、上記種々の問題を解消するためになされたものであり、軌道上に複数の搬送車を走行させてステーション間で物を搬送する搬送システムにおいて、搬送車の稼働率や、各ステーションでの積み出しを必要とする搬送物の個数の偏りなどに影響されることなく、搬送効率を向上させることができる搬送制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の搬送制御装置は、軌道上を走行する複数の搬送車の走行、及び搬送車とステーションとの間での搬送物の受け渡しを制御する搬送制御装置において、搬送車の位置情報を取得する位置情報取得手段と、搬送車の作業状態を監視する作業状態監視手段と、搬送車が搬送する搬送物の属性情報を管理する搬送物属性情報管理手段と、前記搬送車の位置情報及び作業状態に基づいて、先行搬送車がステーションに停車して搬送物の受け渡しをしており、且つ、当該先行搬送車とその直後を走行する後行搬送車との間隔が設定値以下になったと判断したとき、前記属性情報に基づいて、前記後行搬送車に、前記先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されているか否かを判断し、積載されていると判断した場合には、前記先行搬送車に対して搬送物の受け渡しを中止させて次のステーションに移動させる制御を行う搬送制御手段と、を備える。
【００１３】
かかる構成によれば、後行搬送車をステーションの無い場所に停車させることを防止することができる。しかも、後行搬送車には、先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されているため、先行搬送車が出発した後そのステーションに停車して搬送物を降ろすこととなり、その荷降ろしの間、接近した先行搬送車との距離を広げることができる。つまり、先行搬送車と後行搬送車とが接近し過ぎることにより生じる搬送効率の低下が防止される。
【００１４】
また、本発明の搬送制御装置は、上記構成において、前記搬送制御手段は、前記後行搬送車に、前記先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されていないと判断した場合には、前記先行搬送車の搬送物の受け渡しを続行させ、その受け渡しの間、前記後行搬送車を停止させるものである。
【００１５】
後行搬送車には先行搬送車が停車していたステーションを搬送先とする搬送物が積載されていない場合は、先行搬送車が直ちにステーションを出発しても、後行搬送車は当該ステーションに停車しない可能性が高いため、先行搬送車が次ステーションに停車したときに再び双方の搬送車の距離が接近し、先行搬送車の搬送物の受け渡しの中止動作が無駄な動作となる可能性が高い。かかる場合に、本発明の搬送制御装置によれば、先行搬送車の搬送物の受け渡しが続行され、その受け渡しの間、後行搬送車が停止されるので、上記した先行搬送車の無駄な動作が回避され、搬送効率の向上が図られる。
【００１６】
また、本発明の搬送制御装置は、上記構成において、ステーションに蓄積されている積み出しを必要とする搬送物の数量を検出する積み出し数量検出手段と、搬送車の積載余力数量を検出する積載余力数量検出手段と、を更に備えており、前記搬送制御手段は、前記後行搬送車に、前記先行搬送車が停車しているステーションを搬送先とする搬送物が積載されていないと判断した場合には、前記積み出し数量検出手段により、当該ステーションに蓄積されている積み出しを必要とする搬送物の数量を検出するとともに、前記積載余力数量検出手段により、前記先行搬送車及び前記後行搬送車の積載余力数量を検出し、これら検出した３種の数量に基づいて前記先行搬送車に積載させる搬送物の数量を決定するものである。
【００１７】
かかる構成によれば、各ステーションでの積み出しを必要とする搬送物の個数の偏りなどに影響されることなく、搬送車間での積載率の均等化を図ることができ、ひいては、搬送効率の向上が図られる。
【００１８】
また、本発明の搬送制御装置は、上記構成において、前記搬送物属性情報管理手段は、前記搬送物の属性情報を１個単位で管理するものである。
【００１９】
かかる構成によれば、搬送物が複数個のロット単位ではなく、１個単位で管理されるので、より繊細な制御が可能となり、より一層前述の作用効果が奏される。加えて、１個単位で搬送物の属性情報を管理できるので、ステーションと搬送車との間で搬送物を１個単位で受け渡しする場合にも対応できる。この結果、ステーションに放置する搬送物を少なくし、生産リードタイムの短縮、歩留まりの向上を図ることが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の搬送制御装置によれば、搬送車の稼働率や、各ステーションでの積み出しを必要とする搬送物の個数の偏りなどに影響されることなく、搬送効率の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。本発明の実施の形態においては、半導体装置の生産ラインに適用された搬送システムを例に挙げて説明する。勿論、本発明は半導体装置の生産ラインに限らず、複数の搬送車によりステーション間で物を搬送することを必要とする設備であれば適用し得る。
【００２２】
＜システム構成例＞
図１は、本発明の実施の形態に係る搬送システム１のシステム構成例を示している。この搬送システム１は、搬送制御装置１０１、複数のステーション２００、及び搬送装置３００を備える。ステーション２００及び搬送装置３００に設置されている各機器は、搬送制御装置１０１と通信可能にネットワーク１０４にて接続されている。
【００２３】
搬送制御装置１０１は、主に、搬送装置３００を構成する複数の搬送車３０１の走行、及び搬送車３０１とステーション２００との間での搬送物たる基板の受け渡しを制御する。この搬送制御装置１０１は、搬送情報管理部１２１、ステーション情報管理部１２２、搬送作業決定部１２３、搬送指示部１２４、搬送情報データベース１１１及びステーション情報データベース１１２を備えている。
【００２４】
搬送情報管理部１２１は、複数の搬送車３０１の位置情報や搬送車３０１が搬送している基板の属性情報を管理する。具体的には、搬送情報管理部１２１は、搬送車３０１の位置情報を、搬送装置３００に設けられた位置情報検出装置３０２から送出される情報に基づいて取得し、また、搬送車３０１が搬送している基板の属性情報を、基板搬出装置２０２等からの情報に基づいて取得する。搬送情報管理部１２１は、取得したこれらの情報を、大容量データベースである搬送情報データベース１１１に格納し、格納したそれらの情報を管理している。なお、搬送情報データベース１１１は物理的に単一の記憶装置に記憶する必要はなく、異なる記憶装置に分散して記憶させてもよい。
【００２５】
また、搬送情報管理部１２１は、搬送車３０１の上記位置情報のほか、搬送車３０１の作業状態、例えばステーション２００での基板の受け渡し動作など、を含めた搬送装置３００の稼動状況等を監視しており、搬送装置３００の故障やメンテナンスなど、搬送装置３００の使用可否を含めた稼動状態の情報を取得して搬送情報データベース１１１に格納する。
【００２６】
ステーション情報管理部１２２は、各ステーション２００に蓄積されている基板の情報、特に各ステーション２００に蓄積され、搬送車３０１による積み出しを必要としている処理済基板の属性情報を管理する。具体的には、ステーション情報管理部１２２は、ステーションに蓄積されている処理済基板の属性情報及び枚数情報を、処理装置２００等からの情報に基づいて取得し、大容量データベースであるステーション情報データベース１１２に格納することによりこれらの情報を管理している。なお、ステーション情報データベース１１２は物理的に単一の記憶装置に記憶する必要はなく、異なる記憶装置に分散して記憶させてもよい。
【００２７】
また、ステーション情報管理部１２２は、各ステーションに設置されている処理装置２０１、基板搬出装置２０２等の稼動状況に関する情報、例えば処理装置２０１の故障やメンテナンスなどの装置の使用可否を含めた稼動状況を監視しており、それらの情報を取得してステーション情報データベース１１２に格納する。
【００２８】
搬送作業決定部１２３は、搬送情報データベース１１１及びステーション情報データベース１１２から搬送車３０１の位置情報、搬送車３０１に積載されている基板の属性情報、ステーション２００に蓄積されている処理済基板の属性情報を読み出し、これら情報に基づいて、複数の搬送車３０１の搬送作業動作、例えば基板の積込み作業の開始及び中止、搬送車３０１の走行及び停車など、を決定する。
【００２９】
搬送指示部１２４は、搬送作業決定部１２３によって決定された搬送作業動作をネットワーク１０４を通じて各搬送車３０１に指示する。
【００３０】
ステーション２００は、搬送車３０１が走行する軌道（不図示）に沿って複数設けられている。ステーション２００には、処理装置２０１のほか、処理装置２０１と軌道との間に、処理待ち基板及び処理済み基板を一時的に待機させるための待機スペースを有する基板搬出装置２０２が設置されている。なお、基板搬出装置２０２ついては、後に更に詳述する。
【００３１】
処理装置２０１は、半導体装置の生産を行うために搬送物たる基板に処理を施すものであって、各ステーション２００に少なくとも１台割り当てられている。基板は、搬送車３０１によって、所定の順に、例えば製造工程の順に、各ステーション２００に順次搬送されて、搬送されたステーション２００に設置されている処理装置２０１によって各種の処理が施され、半導体装置として完成される。
【００３２】
搬送装置３００は、軌道（不図示）、この軌道上を走行する複数の搬送車３０１、位置情報検出装置３０２などで構成されている。搬送車３０１は、軌道上を走行し、複数のステーション間で基板の搬送を行う。位置情報検出装置３０２は、搬送車３０１の位置情報を検出し、検出した情報を搬送情報管理部１２１へ送出する。なお、位置情報検出装置３０２については、後に更に詳述する。
【００３３】
＜生産ラインのレイアウト例＞
図２は、半導体装置の生産ラインのレイアウト例を示した図である。この生産ラインでは、搬送装置３００の軌道３０３が環状に形成しており、基板が搬送車３０１によってこの生産ライン上を所定回数周回しつつ、その間、途中に配置されたステーション２００ａ〜２００ｐにそれぞれ設置された処理装置２０１によって、各種の処理が施される。
【００３４】
搬送車３０１は、図中の矢印が示す方向を進行方向としており、例えば、ステーション２００ａ、２００ｂが設置されている搬送装置３００では、搬送車３０１は、ステーション２００ａからステーション２００ｂの方向に向かって走行する。
【００３５】
ステーション２００ａ〜２００ｐは、環状の軌道３０３の内側及び外側に沿ってそれぞれ間隔をおいて配置されている。例えば、続けて施すべき製造工程（例えば「第１工程」、「第２工程」という。）を担っている２台の処理装置２０１、２０１がそれぞれステーション２００ａとステーション２００ｂに設置されている場合は、基板は搬送車３０１によってステーション２００ａに搬送され、そこに設置された処理装置２０１により第１工程の処理が施され、次いで、同一又は他の搬送車３０１によって、第１工程の処理が施された基板が、ステーション２００ｂへ搬送される。そして、そこに設置された処理装置２０１により基板に第２工程の処理が施される。その後同様に、基板は、搬送車３０１によりステーション２００間を搬送されつつ、各種工程の処理装置２０１によって所定層数の処理が施される。
【００３６】
続けて施すべき製造工程（例えば「第３工程」、「第４工程」という。）を担っている２台の処理装置２０１、２０１がそれぞれ軌道３０３を挟んで向かい合うステーション２００ｅ、２００ｇに設置されている場合は、先ず、基板は、搬送車３０１によってステーション２００ｅに搬送され、そこに設置された処理装置２０１により第３工程の処理が施され、次いで、同一又は他の搬送車３０１によって、第３工程の処理が施された基板が、ステーション２００ｅからステーション２００ｇへ軌道３０３を跨いで搬送される。そして、そこに設置された処理装置２０１により基板に第４工程の処理が施される。その後同様に、基板は、搬送車３０１によりステーション２００間を搬送されつつ、各種工程の処理装置２０１によって所定層数の処理が施される。
【００３７】
＜ステーションの構成例＞
図３は、軌道３０３上を矢印方向へ走行する搬送車３０１と、その軌道３０３の片側に沿って間隔をおいて設置された２つのステーション２００Ａ、２００Ｂとを表している。
【００３８】
ステーション２００Ａ、２００Ｂには、処理装置２０１Ａ、２０１Ｂがそれぞれ設置されており、処理装置２０１Ａ、２０１Ｂと軌道３０３との間には、基板搬出装置２０２、２０２がそれぞれ設けられている。
【００３９】
処理装置２０１Ａ、２０１Ｂにて処理された基板は、基板搬出装置２０２へ送出され、この装置２０２の基板待機スペースに格納される。搬送車３０１がステーション２０１Ａ、２０１Ｂに到着すると、格納された基板は、搬出装置２０２から搬送車３０３に積み込まれ、次ステーションへ搬送される。
【００４０】
一方、処理装置２０１Ａ、２０１Ｂにて処理すべき基板は、ステーション２００Ａ、２００Ｂに到着した搬送車３０１から基板搬出装置２０２の基板待機スペースに格納され、さらに、処理装置２０１Ａ、２０１Ｂは、基板搬出装置２０２に格納されている基板を取り込んで処理を施す。
【００４１】
基板搬出装置２０２の基板待機スペースは、例えば図４に示すように、基板を収容する複数段からなるスロットで構成されており、１台の基板搬出装置２０２で複数枚の基板を収容することができる。基板搬出装置２０２と、処理装置２０１又は搬送車３０１との基板の受け渡しに際しては、スロット位置に関係なく何れのスロットにもランダムにアクセスすることができるようになっている。なお、基板の収容には、カセット、トレイ容器など種々の形態の収容手段を適用できる。
【００４２】
図４は、処理装置２０１にて処理が完了した基板Ｘを基板搬出装置２０２の空きスロット２０２ｅに格納する状態を示している。図中では、基板搬出装置２０２の空きスロットは、白色部分の２０２ｅ、２０２ｆ、２０２ｈ、２０２ｓ、２０２ｔ、２０２ｕ、２０２ｗ、２０２ｙ、２０２ｚであり、それ以外の黒色部分については、１スロットに１枚の基板が格納されている状態を示している。
【００４３】
図５は、基板搬出装置２０２のスロットと搬送車３０１に搭載されているスロットとを示した図である。図内の矢印は、基板搬出装置２０２のスロット２０２ｘに格納されている基板Ｘが搬送車３０１のスロットに格納される状態を示したものである。図５中においても、基板搬出装置２０２の空きスロットは、白色部分の２０２ｆ、２０２ｈ、２０２ｓ、２０２ｔ、２０２ｕ、２０２ｗ、２０２ｙ、２０２ｚであり、それ以外の黒色部分については、１スロットに１枚の基板が格納されている。同様に、搬送車３０１の空きスロットについても白色部分で示しており、それ以外の黒色部分については、１スロットに１枚の基板が格納されている。
【００４４】
基板搬出装置２０２から搬送車３０１へ搬出される基板の選択については、搬送作業決定部１２３が、ステーション情報データベース１１２の情報に基づいて処理日時が古いものが優先的に選択される。或いは、スロット位置の情報から、例えばスロット番号の順に優先的に選択されるようにしてもよい。
【００４５】
図６は、ステーション情報データベース１１２にて保存されている基板搬出装置２０２のスロットに格納されている基板の属性情報で構成される基板属性情報テーブル６００である。この基板属性情報テーブル６００は、ステーション情報管理部１２２により管理されている。
【００４６】
図示する基板属性情報テーブル６００においては、左から順に各列に、スロット番号６０１、基板名６０２、工程番号６０３、装置名６０４、処理日時６０５等の基板の属性情報が格納されている。
【００４７】
スロット番号６０１は、基板が格納されている、基板搬出装置２０２のスロットに割り付けられているスロット番号を表わしている。スロット番号は「１」〜「ｎ」まで連番にて確保されている。なお、スロット番号（スロット）の数は処理装置２０１と基板搬出装置２０２との間で基板の転送作業を行うロボットアームなどの転送装置（不図示）の仕様、能力等によって定まる。また、基板が格納されたスロット番号は、例えば、処理装置２０１、基板搬出装置２０２の何れかにより、ステーション情報管理部１２２へ通知されるようになっている。
【００４８】
基板名６０２は、基板が生産ラインに投入される時に当該基板に付与された名称を表している。図中において、スロット番号６０１が「１」番であるスロットに格納されている基板の基板名６０２は「ＡＡＡＡＡ１０００１」であることを示している。基板名６０２が格納されていない行に対応するスロット番号６０１が割り付けられたスロット、例えばスロット番号６０１が「５」番であるスロット、には基板が格納されていないことが示されている。
【００４９】
基板が処理装置２０１又は基板搬出装置２０２内にある場合、換言すると、基板がステーション２００内にある場合は、ステーション情報管理部１２２にて基板の名称が管理されるが、基板が搬送車３０１内にある場合は、搬送情報管理部１２１にて基板の名称が管理される。基板搬出装置２０２と搬送車３０１との間で基板が受け渡しされる場合は、ステーション情報管理部１２２と搬送情報管理部１２１との間で、当該基板の属性情報が引き継がれ、それぞれが管理する搬送情報データベース１１１（基板属性情報テーブル７００等）又はステーション情報データベース１１２へ基板名６０２（基板属性情報テーブル６００等）が登録される。
【００５０】
工程番号６０３は、その基板に対し直近に施した処理の製造工程を識別するための番号を表している。また、装置名６０４は、その基板に対し直近に処理を施した装置の名称を表している。これらの情報は、例えば処理装置２０１が処理を完了した際に、ステーション情報管理部１２２に当該処理装置２０１が担当する工程番号６０３及び当該処理装置２０１の処理装置名６０４を通知する。例えば、図６に示す基板の属性情報テーブル６００では、基板搬出装置２０２に格納されている基板は、いずれも直近に装置名「Ａ」の処理装置２０１によって「３０００番工程」の処理が施されたことを示している。なお、図示する基板の属性情報テーブル６００では、処理済みの基板の属性情報のみが含まれ、処理待ちの基板の属性情報は含まれていないが、処理待ちの基板が基板搬送装置２０２のスロットに格納されている場合に、当該処理待ちの基板の属性情報を処理済み基板の属性情報テーブル６００に含めるようにしてもよいし、処理待ちの基板の属性情報を別個のテーブルにまとめて記憶するようにしてもよい。
【００５１】
処理日時６０５は、処理装置２０１にて処理された日時を表わしている。この情報は、例えば処理装置２０１が処理を完了した際に、ステーション情報管理部１２２に当該処理日時６０５を通知する。例えば、スロット番号が「１」番であるスロットに格納されている基板の処理日時は、「２０１０年１２月１日  ２０時３０分３０秒」である。
【００５２】
上記に説明した基板の各種属性情報は、基板搬出装置２０２と処理装置２０１との間で基板の受け渡しが行われるごとに更新される。
【００５３】
図７は、搬送情報データベース１１１にて保存されている、搬送車３０１が搬送している基板の属性情報で構成される基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇである。この基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇは、搬送情報管理部１２１により管理されている。
【００５４】
図７の左右に示す基板属性情報テーブルは、それぞれ異なる搬送車３０１、３０１が搬送している基板についての基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇである。基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇにおいては、左から順に各列に、それぞれ、スロット番号７０１、基板名７０２、工程番号７０３、装置名７０４等の情報が格納されている。
【００５５】
スロット番号７０１は、基板が格納されている搬送車３０１のスロットに割り付けられているスロット番号を表わしている。スロット番号は「１」〜「ｍ」まで連番にて確保されている。なお、スロット番号（スロット）の数は搬送車３０１と基板搬出装置２０２との間で基板の転送作業を行うロボットアームなどの転送装置（不図示）の仕様、能力等によって定まる。基板が格納されたスロット番号は、例えば、搬送車３０１又は基板搬出装置２０２の何れかにより、搬送情報管理部１２１へ通知される。
【００５６】
基板名７０２は、基板が生産ラインに投入される時に当該基板に付与された名称を表している。図中においては、スロット番号７０１が「６」番であるスロットに格納されている基板の基板名７０２は「ＢＢＢＢＢ５００１５」である。
【００５７】
基板名７０２が格納されていないレコードに対応するスロット番号７０１が割り付けられたスロット、例えばスロット番号７０１が「１」番であるスロットには基板が格納されていない。
【００５８】
基板が搬送車３０１内にある場合は、搬送情報管理部１２１にて基板の名称が管理されるが、基板が処理装置２０１又は基板搬出装置２０２内にある場合、つまり、基板がステーション２００内にある場合は、ステーション情報管理部１２２にて基板の名称が管理される。基板搬出装置２０２と搬送車３０１との間で基板が受け渡しされる場合は、既述したとおりである。
【００５９】
工程番号７０３は、基板の搬送先の製造工程を識別するための番号を表している。装置名７０４は、基板の搬送先の装置名を表している。搬送先の製造工程７０３及び装置名７０４は、搬送作業決定部１２３により決定され、搬送情報管理部１２１は、決定された搬送先の製造工程７０３及び装置名７０４を当該基板の属性情報として基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇ等に登録する。
【００６０】
これらの基板の属性情報は、基板搬出装置２０２と搬送車３０１との間で１枚の基板の授受が行われるごとに更新される。すなわち、搬送車３０１が搬送する基板の属性情報を管理する搬送情報管理部１２１は、基板の属性情報を１枚単位で管理している。
【００６１】
＜搬送車の連携動作＞
以下、２台の搬送車３０１の連携動作について、図８に基づいて説明する。図８においては、軌道３０３に沿って３つのステーション２００Ａ〜２００Ｃが間隔をおいて設置されている。軌道３０３上を走行する搬送車３０１Ｆ（以下「先行搬送車３０１Ｆ」ともいう。）が最初のステーション２００Ａに停止し、先行搬送車３０１Ｆの直後を走行する他の搬送車３０１Ｇ（以下「後行搬送車３０１Ｇ」ともいう。）が走行している状態を示している。各ステーション２００Ａ〜２００Ｃには、それぞれ処理装置２０１Ａ〜２０１Ｃと基板搬出装置２０２Ａ〜２０２Ｃが設置されている。これら処理装置２０１Ａ〜２０１Ｃ及び基板搬出装置２０２Ａ〜２０２Ｂは、ステーション情報管理部１２１により個々に管理されているとともに、同じ処理を施すことができる装置群や同条件にて設定されている装置群は同じグループにてステーション情報管理部１２１により管理される。ここでは、「装置グループＥＱ−Ａ」は、処理装置２０１Ａ、２０１Ｂの２台で構成され、「装置グループＥＱ−Ｂ」は処理装置２０１Ｃ単独で構成されている。図７に基づき説明した、搬送車３０１に格納されている基板の属性情報では、搬送先の装置名７０３が個々の装置名となっているが、装置グループ名が搬送先の装置名７０３として登録される場合もある。
【００６２】
先行搬送車３０１Ｆが、ステーション２００Ａ（基板搬出装置２０２Ａ）と基板の受け渡しをするために、当該ステーション２００Ａに停車中に、先行搬送車３０１Ｆと後行搬送車３０１Ｇとの間隔が設定距離ｙ以下になったとき、先行搬送車３０１Ｆへの基板の受け渡し作業を継続するか否かが、搬送作業決定部１２３にて決定され、決定された作業内容は、搬送指示部１２４にて搬送車３０１Ｆへ指示される。
【００６３】
ここで、前記設定距離ｙを取得するために必要な、搬送車３０１Ｆ、３０１Ｇの軌道３０３上における位置情報は、例えば、次のような手順により得られる。すなわち、搬送経路３０３に沿って多数設置された通過ポイント検出器３０２、３０２、・・・で構成される位置情報検出装置３０２によって、搬送車３０１の通過が検出され、その検出情報に基づいて、搬送情報管理部１２１が搬送車３０１の位置情報を把握する。つまり、通過ポイント検出器３０２及び搬送情報管理部１２１は、搬送車３０１の位置情報を取得する位置情報取得手段として機能する。
【００６４】
具体的には、通過ポイント検出器３０２の検出信号が搬送情報管理部１２１へ送信され、搬送情報管理部１２１は、その検出信号と、検出信号の送信元である個々の通過ポイント検出器３０２の設置位置とを照合することにより、搬送車３０１の現在位置を把握し、その位置情報を搬送情報データベース１１１に保存する。各通過ポイント検出器３０２の検出信号は、逐次、搬送情報管理部１２１へ送出され、搬送情報管理部１２１は、その都度、搬送情報データベース１１１の前記現在位置情報を更新する。なお、搬送車３０１の位置情報を検出するための手段としては、上記通過ポイント検出器３０２に限定されず、種々の位置検出技術を適用することができる。
【００６５】
なお、多数の通過ポイント検出器３０２のうち、処理装置２０１Ａ、２０１Ｂ、２０１Ｃの前に配置される通過ポイント検出器３０２ｂに搬送車３０１Ｆ、３０１Ｇのステーション停車時間を計測するカウンターを設けて、当該先行搬送車３０１Ｆの停止時間が設定値ｔを超過した場合に、先行搬送車３０１Ｆの基板の積み込み作業を中止させて、先行搬送車３０１Ｆを次のステーションへ移動させる制御を搬送制御装置１０１に行わせてもよい。そうすることで、後行搬送車３０１Ｇの過剰な待機時間を低減でき、ひいては、搬送システム全体としての搬送効率を向上させることができる。
【００６６】
＜制御フローの説明＞
図９は、処理装置２０１における基板の処理とステーション情報データベース１１２の更新との関係について説明したフローである。ここでは、基板が基板搬出装置２０２において枚葉処理にて管理される場合を説明する。
【００６７】
ステップＳ９０１では、処理装置２０１にて基板の処理を開始する。ステップＳ９０２では、処理装置２０１にて基板の処理が完了する毎に、処理装置２０１によって処理された基板が基板搬出装置２０２のスロットに格納される。
【００６８】
ステップＳ９０３では、基板が基板搬出装置２０２に格納される毎に処理装置２０１によりステーション情報管理部１２２へ当該基板の属性情報が送出される。基板の属性情報は、既述したスロット番号６０１、基板名６０２、工程番号６０３、装置名６０４、処理日時６０５等の情報（図６参照）であり、基板一枚が格納される毎に当該一枚の基板についての属性情報（図６に示す基板属性情報テーブル６００の１行分に相当する情報）がステーション情報管理部１２２へ送出される。
【００６９】
ステップＳ９０４では、ステーション情報管理部１２２からステーション情報データベース１１２へデータ更新の指示が行われる。つまり、ステーション情報管理部１２２は、ステーション情報データベース１１２に格納されている複数の基板属性情報テーブル６００のうち、Ｓ９０３で受信した属性情報に係る基板を格納した基板搬出装置２０２の基板属性情報テーブル６００について、属性情報の更新命令を行う。
【００７０】
ステップＳ９０５では、ステーション情報管理部１２２に指示されたデータ更新内容に従って、ステーション情報データベース１１２内の基板属性情報テーブル６００の更新が行われる。
【００７１】
以上のように、基板が一枚処理される毎に基板属性情報テーブル６００の更新が行われ、これにより、基板の基板搬出装置２０２における枚葉管理が行われる。
【００７２】
図１０及び図１１は、２台の搬送車３０１Ｆ、３０１Ｇの連携動作の制御を表わしたフローである。図８も併せて参照しつつ以下に説明する。
【００７３】
ステップＳ１００１では、搬送車３０１Ｆがステーション２００Ａに到着し停車する。停車状態にあることは、搬送情報管理部１２１が管理している搬送車３０１Ｆの位置情報により把握される。ステップＳ１００２では、基板搬出装置２０２Ａと搬送車３０１Ｆとの間で基板の受け渡し作業が開始される。この受け渡し作業は、搬送情報管理部１２１により監視されている。
【００７４】
ステップＳ１００３では、搬送車３０１Ｆ（以下「先行搬送車３０１Ｆ」ともいう。）が基板搬出装置２０２Ａから１枚の基板の受け渡しを完了する毎に、先行搬送車３０１Ｆとこの先行搬送車３０１Ｆの直後を走行する搬送車３０１（以下「後行搬送車３０１Ｇ」ともいう。）との間隔が搬送情報管理部１２１から搬送作業決定部１２３に提供され、搬送作業決定部１２３により、当該間隔が設定距離ｙ以下にあるか否かの判断が行われる。その判断の結果、前記間隔が設定距離ｙ以下に入っていなければ、そのまま先行搬送車３０１Ｆの基板の受け渡し作業が継続される。他方、前記間隔が設定距離ｙ以下に入っていれば次のステップに処理が進められる。
【００７５】
ステップＳ１００４では、後行搬送車３０１Ｇが搬送している基板の情報を確認するため、搬送情報管理部１２１は、搬送情報データベース１１１から後行搬送車３０１Ｇの搬送内容、つまり、後行搬送車３０１Ｇの基板属性情報テーブル７００Ｇ（図７右参照）を取得する。取得された基板属性情報テーブル７００Ｇは、搬送情報管理部１２１から搬送作業決定部１２３へ渡される。
【００７６】
ステップＳ１００５では、先行搬送車３０１Ｆが、基板の受け渡し作業のために停止しているステーション２００Ａを搬送先とする基板が、つまり、ステーション２００Ａに配置されている処理装置２０１に搬送すべき基板が、後行搬送車３０１Ｇが搬送している搬送内容に含まれているか否かが搬送作業決定部１２３により判断される。その判断の結果、後行搬送車３０１Ｇの搬送内容に処理装置２０１Ａに搬送すべき基板が含まれていれば、ステップＳ１００６に処理が進められ、処理装置２０１Ａに搬送すべき基板が含まれていなければ、図１１に示すフローに処理が進められる。
【００７７】
ステップＳ１００６では、前記判断結果に従い、搬送指示部１２４により先行搬送車３０１Ｆ及び基板搬出装置２０２に対して、先行搬送車３０１Ｆの基板の受け渡し作業の中止命令が出され、基板の受け渡しが中止される。ステップＳ１００７では、搬送指示部１２４により先行搬送車３０１Ｆに対して、次に停車すべきステーション２００（例えばステーション２００Ｃ）への出発命令が出され、先行搬送車３０１Ｆは、次ステーション２００へ移動する。
【００７８】
ステップＳ１００８では、搬送指示部１２４により後行搬送車３０１Ｇに対して、次に停車すべきステーション２００Ａへの停車命令が出され、後行搬送車３０１Ｇは、ステーション２００Ａへ停車する。
【００７９】
ステップ１００９では、後行搬送車３０１Ｇは、ステーション２００Ａの処理装置２０１Ａで処理すべき基板を基板搬出装置２０２Ａに送出するとともに、処理済み基板の積込み作業を行う。
【００８０】
Ｓ１００５で否定判断をした後に、ステーション情報管理部１２２は、ステーション２００Ａ（基板搬出装置２０２Ａ）に蓄積されている積み出しを必要とする基板（つまり処理装置２０１Ａによる処理が完了した基板）の数量を検出するとともに、搬送情報管理部１２１は、先行搬送車３０１Ｆ及び後行搬送車３０１Ｇの積載余力数量を基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇから算出することにより検出する。次いで、搬送作業決定部１２３は検出された３種の数量に基づいて先行搬送車３０１Ｆに積載させる基板の数量を決定する。そして、搬送指示部１２４を通じて、決定した数量の基板を先行搬送車３０１Ｆに積載させ、その間、後行搬送車３０１Ｇを停止させる制御を行う。
【００８１】
以下、上記したような、Ｓ１００５で否定判断をした後の具体的な処理動作の例を図１１のフローに基づいて更に詳細に説明する。
【００８２】
ステップＳ１１０１では、ステーション情報管理部１２２により、ステーション情報データベース１１２から基板搬出装置２０２の基板属性情報テーブル６００が取得される。そして、ステーション情報管理部１２２は、取得された情報に基づいて、基板搬出装置２０２のスロットに格納されており、且つ、処理装置２０１Ａによる処理が完了した基板の数（以下「積み出し待ち基板数」ともいう。）が算出されて検出される。
【００８３】
ステップＳ１１０２では、搬送情報管理部１２１により、搬送情報データベース１１１から先行搬送車３０１Ｆ及び後行搬送車３０１Ｇが搬送している基板の属性情報、すなわち、基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇが収集される。そして、搬送情報管理部１２１は、収集した基板属性情報テーブル７００Ｆ、７００Ｇに基づいて、先行搬送車３０１Ｆ及び後行搬送車３０１Ｇの空きスロット数（積載余力数）をそれぞれ算出することにより検出する。
【００８４】
ステップＳ１１０３では、搬送作業決定部１２３により、Ｓ１１０１で検出された積み出し待ち基板数と、Ｓ１１０２で検出された先行搬送車３０１Ｆ及び後行搬送車３０１Ｇの空きスロット数とが比較される。
【００８５】
ステップＳ１１０４では、搬送作業決定部１２３により、積み出し待ち基板数（ｘ）の１／２数と、先行搬送車３０１Ｆの空きスロット数（Ｔ２）とが比較され、積み出し待ち基板数（ｘ）の１／２数が先行搬送車３０１Ｆの空きスロット数（Ｔ２）の半分以下、つまり「ｘ／２≦Ｔ２」ならば、ステップＳ１１０５へ処理が進められ、それ以外ならば、ステップＳ１１１０へ処理が進められる。
【００８６】
ステップＳ１１０５では、搬送作業決定部１２３により、積み出し待ち基板数（ｘ）の１／２数と後行搬送車３０１Ｇの空きスロット数（Ｔ１）とが比較され、積み出し待ち基板数（ｘ）の１／２数が後行搬送車３０１Ｇの空きスロット数（Ｔ２）の半分以下、つまり、「ｘ／２≦Ｔ１」ならば、ステップＳ１１０６へ処理が進められ、それ以外ならば、ステップＳ１１１４へ処理が進められる。
【００８７】
ステップＳ１１０６では、搬送指示部１２４の指示により、後行搬送車３０１Ｇの走行を停止させて、ステップＳ１１０７での先行搬送車３０１Ｆの基板積み込み作業を優先させる。
【００８８】
ステップＳ１１０７では、基板搬出装置２０２に格納されている積み出し待ち基板数（ｘ）の１／２数が先行搬送車３０１Ｆに積み込まれ、先行搬送車３０１Ｆへの基板の積み込み作業が完了する（ステップＳ１１０８）。
【００８９】
ステップＳ１１０９では、基板の積込み作業を完了した先行搬送車３０１Ｆが搬送指示部１２４により、次に停車すべきステーションに向けて出発させられ、停止中の後行搬送車３０１Ｇも搬送指示部１２４により、次に停車すべきステーション２００に向けて出発させられる。
【００９０】
ステップＳ１１１０では、搬送指示部１２４の指示により、後行搬送車３０１Ｇの走行が停止され、ステップＳ１１１１での先行搬送車３０１Ｆの基板積み込み作業が優先される。
【００９１】
ステップＳ１１１１では、先行搬送車３０１Ｆの空きスロット数（Ｔ２）に相当する数の積み出し待ち基板が基板搬出装置２０２から先行搬送車３０１Ｆに積み込まれ、先行搬送車３０１Ｆへの基板の積み込み作業が完了する（ステップＳ１１１２）。
【００９２】
ステップＳ１１１３では、搬出作業を完了した先行搬送車３０１Ｆが搬送指示部１２４の指示により、次に停車すべきステーション２００に向けて出発し、停止中の後行搬送車３０１Ｇも搬送指示部１２４の指示により、次に停車すべきステーション２００に向けて出発する。
【００９３】
ステップＳ１１１４では、搬送作業決定部１２３により、先行搬送車３０１Ｆの空きスロット数（Ｔ２）と後行搬送車３０１Ｇの空きスロット数（Ｔ１）との和（Ｔ１＋Ｔ２）が算出され、これらの和と積み出し待ち基板数（ｘ）とが比較される。そして、積み出し待ち基板数（ｘ）が前記和（Ｔ１＋Ｔ２）以下、つまり、「ｘ≦（Ｔ１＋Ｔ２）」ならば、ステップＳ１１１５へ処理が進められ、それ以外ならば、ステップＳ１１１０へ処理が進められる。
【００９４】
ステップＳ１１１５では、搬送指示部１２４により、後行搬送車３０１Ｇの走行が停止され、ステップＳ１１１６での先行搬送車３０１Ｆへの基板積み込み作業が優先される。
【００９５】
ステップＳ１１１６では、基板搬出装置２０２に格納されている積み出し待ち基板数（ｘ）から後行搬送車３０１Ｇの空きスロット数（Ｔ１）を差し引いた数だけ、基板搬出装置２０２から先行搬送車３０１Ｆへ積み出し待ち基板が積み込まれ、先行搬送車３０１Ｆへの基板の積み込み作業が完了する（ステップＳ１１１７）。
【００９６】
ステップＳ１１１８では、搬出作業を完了した先行搬送車３０１Ｆが、搬送指示部１２４の指示により、次に停車すべきステーション２００に向けて出発し、停止中の後行搬送車３０１Ｇも搬送指示部１２４の指示により、次に停車すべきステーション２００に向けて出発する。
【００９７】
なお、Ｓ１００５で否定判断をしたとき、つまり、後行搬送車３０１Ｇの搬送内容に、ステーション２００Ａ（処理装置２０１Ａ）へ搬送すべき基板が含まれていない場合に、先行搬送車３０１Ｆの基板の受け渡し作業を続行させ、その受け渡しの間、後行搬送車３０１Ｇを停止させるようにしてもよい。また、Ｓ１１０４、Ｓ１１０５における（ｘ／２）の分母は、「２」以外の数値、例えば、「３」「２．５」などとしてもよい。
【００９８】
以上説明した実施の形態では、半導体装置の生産ラインを例に挙げて説明したが、本発明の適用は、半導体装置の生産ラインに限定されず、液晶デバイスなど半導体装置以外の生産ラインや、自動倉庫などの非生産ラインにも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明は、例えば、軌道上を走行する複数の搬送車によってステーション間で物を搬送する搬送システムなどに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送システムのシステム構成例を示した構成図である。
【図２】半導体装置の生産ラインのレイアウト例を示した平面図である。
【図３】軌道上を走行する搬送車及び２つのステーションを表した概略斜視図である。
【図４】基板を処理装置から基板搬出装置の空きスロットへ格納する状態を示す図である。
【図５】基板を基板搬出装置から搬送車の空きスロットへ格納する状態を示す図である。
【図６】基板搬出装置の基板属性情報テーブルを示す図である。
【図７】搬送車の基板属性情報テーブルを示す図である。
【図８】２台の搬送車と複数のステーションとの位置関係を示す図である。
【図９】処理装置における基板の処理とステーション情報データベースの更新との関係について説明するためのフローチャートである。
【図１０】２台の搬送車の連携動作の制御を表わしたフローチャートである。
【図１１】２台の搬送車の連携動作の制御を表わしたフローチャートである。
【符号の説明】
【０１０１】
１０１  搬送制御装置
１１１  搬送情報データベース
１１２  ステーション情報データベース
１２１  搬送情報管理部
１２２  ステーション情報管理部
１２３  搬送作業決定部
１２４  搬送指示部
２００、２００Ａ、２００Ｂ  ステーション
３０１、３０１Ａ、３０１Ｂ  搬送車
３０２  位置情報検出装置
３０３  軌道
６００  基板属性情報テーブル
７００、７００Ｆ、７００Ｇ  基板属性情報テーブル
【図１】
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【図２】
2008254838.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2008254838.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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