(57)【要約】【課題】第１シール部材及び第２シール部材の各開口部に対する衝撃力を低減し、かつ各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができる。【解決手段】９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａが正方向にさらに回転されると、連動カム３１のピン部３１Ａとゼネバカム２９の溝部２９Ｃとの係合が解除されているので、偏心シャフト１７のみが所定の方向に回動する。偏心シャフト１７が９０度の位置から１８０度（０度の位置から２７０度）だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側に移動する。これにより、弁体５２が第１開口部４６に着座し、第１開口部４６が閉塞される。【選択図】      図９
2008045640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体に所定の処理を施す処理チャンバを区画する壁部に形成され前記被処理体が通過する搬入開口を、閉塞又は開放するゲートバルブ装置であって、
一方の側壁部には前記搬入開口と連通する第１開口部が形成され、他方の側壁部には外部空間と連通する第２開口部が形成された筐体と、前記筐体の内部に設けられ前記第１開口部又は前記第２開口部に着座して前記第１開口部又は前記第２開口部を閉塞又は開放する弁体と、前記弁体を回動させて前記第１開口部又は前記第２開口部に対向する位置に移動させるとともに前記弁体を径方向に移動させて前記第１開口部又は前記第２開口部に着座させる弁体駆動部と、を有し、
前記弁体には、前記弁体が前記第１開口部に着座したときに前記第１開口部を気密にシールする第１シール部材と、前記弁体が前記第２開口部に着座したときに前記第２開口部を気密にシールする第２シール部材と、が設けられ、
前記弁体駆動部は、前記筐体に設けられ前記弁体を回動可能に支持する支持部と、回動可能となるように設けられ前記弁体に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有する偏心シャフトと、を備え、
前記偏心シャフトが前記支持部とは独立して回動することにより、前記弁体が径方向外側に移動して前記第１開口部又は前記第２開口部に着座することを特徴とするゲートバルブ装置。
【請求項２】
前記偏心シャフトは、前記支持部の回動中心上の部位に中心が位置する同心軸部を有し、
前記弁体駆動部は、
前記同心軸部に取り付けられて前記偏心シャフトの回動とともに回動し、係合部が形成された第１カム部と、
前記係合部と係合する被係合部が形成され、前記支持部と接続され前記支持部とともに回動し、前記第１カム部が所定の角度の範囲を回動する場合には前記係合部と前記被係合部が係合し前記第１カム部と連動して回動し、前記第１カム部が所定の角度の範囲以外の範囲を回動する場合には前記係合部と前記被係合部との係合が解除され回動が停止する第２カム部と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のゲートバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被処理体に対して所定の処理を行う処理チャンバに用いられるゲートバルブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体デバイスの製造工程にあっては、半導体ウエーハに各種の処理、例えば、ドライエッチング、スパッタリング、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等の各種のプロセスが繰り返し行われる。上記した各種の処理の多くは真空雰囲気にて行われ、この種の処理を行う処理チャンバに対してウエーハの搬出入を行う搬入開口は、処理時にはゲートバルブ装置によって気密性が高い状態でシールされる。
【０００３】
この種のゲートバルブ装置は、例えば真空引き可能になされた処理チャンバの側壁にウエーハが通過し得る程度の大きさの僅かな幅の搬入開口を形成し、この搬入開口に取り付けられる。そして、プロセス時にはこのゲートバルブ装置のＯリング等の付いた弁体で上記搬入開口を気密に閉じた状態でプロセス処理を行うことになる。
【０００４】
ここで、図１１及び図１２に示すように、従来のゲートバルブ装置１００は、筐体１０２と、筐体１０２の内部に駆動可能に設けられた弁体１０４と、弁体１０４を回転駆動後、弁座に押圧する弁体駆動部１０６と、を有している。また、筐体１０２には、隣接する処理チャンバ（図示省略）と連通するための第１開口部１０８と、弁体１０４に設けられた後述の第１シール部材１１２のメンテナンスを行うための第２開口部１１０と、がそれぞれ形成されている。上記弁体１０４は、弁体駆動部１０６により回転駆動され、弁座に押圧されることにより、第１開口部１０８又は第２開口部１１０を閉塞することができるようになっている。なお、弁体１０４の表面には、第１開口部１０８を閉塞したときに第１開口部１０８を気密にシールするための第１シール部材１１２と、第２開口部１１０を閉塞したときに第２開口部１１０を気密にシールするための第２シール部材１１４と、がそれぞれ設けられている。
【０００５】
上記構成のゲートバルブ装置１００では、弁体により第１開口部１０８が閉塞されている状態では第１シール部材１１２が弾性変形されており、また、弁体１０４により第２開口部１１０が閉塞されている状態では第２シール部材が１１４弾性変形されている。このように、各シール部材１１２、１１４が弾性変形されることにより、第１開口部１０８又は第２開口部１１０を気密にシールすることができる。
【特許文献１】特開２００６−１７０３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記構成のゲートバルブ装置では、弁体駆動部が、回動機構と、弁体を昇降するための昇降機構を併せ持った複雑な構造であるため、信頼性の高い駆動部の実現に若干の問題があった。また、弁体駆動部の推力により弁体を各開口部に押し付けているため、弁体が各開口部に押し付けられるときに弁体の移動速度が速くなり、弁体が各開口部に着座したときの衝撃力が大きくなってしまう。この結果、各シール部材が劣化、破損し易くなり、パーティクルが発生する問題がある。
【０００７】
そして、第１シール部材及び第２シール部材の潰し代の管理あるいは設定は弁体駆動部の推力のみで制御されている構造となっているため、第１シール部材及び第２シール部材の潰し代の管理あるいは設定を弁体駆動部の推力のみで制御しようとすると、細かい制御をすることが困難となり、第１シール部材及び第２シール部材が潰れ過ぎの状態となることがある。この結果、安定したシール性能が得られず、第１シール部材及び第２シール部材の製品寿命が低下するとともに、パーティクルが発生し易くなる問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情を考慮し、簡易な構成で、回動機構と昇降機構の駆動機構に信頼性が高く、第１シール部材及び第２シール部材の各開口部に対する衝撃力を低減し、かつ各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にでき、高いシール性能を有するゲートバルブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、被処理体に所定の処理を施す処理チャンバを区画する壁部に形成され前記被処理体が通過する搬入開口を、閉塞又は開放するゲートバルブ装置であって、一方の側壁部には前記搬入開口と連通する第１開口部が形成され、他方の側壁部には外部空間と連通する第２開口部が形成された筐体と、前記筐体の内部に設けられ前記第１開口部又は前記第２開口部に着座して前記第１開口部又は前記第２開口部を閉塞又は開放する弁体と、前記弁体を回動させて前記第１開口部又は前記第２開口部に対向する位置に移動させるとともに前記弁体を径方向に移動させて前記第１開口部又は前記第２開口部に着座させる弁体駆動部と、を有し、前記弁体には、前記弁体が前記第１開口部に着座したときに前記第１開口部を気密にシールする第１シール部材と、前記弁体が前記第２開口部に着座したときに前記第２開口部を気密にシールする第２シール部材と、が設けられ、前記弁体駆動部は、前記筐体に設けられ前記弁体を回動可能に支持する支持部と、回動可能となるように設けられ前記弁体に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有する偏心シャフトと、を備え、前記偏心シャフトが前記支持部とは独立して回動することにより、前記弁体が径方向外側に移動して前記第１開口部又は前記第２開口部に着座することを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のゲートバルブ装置において、前記偏心シャフトは、前記支持部の回動中心上の部位に中心が位置する同心軸部を有し、前記弁体駆動部は、前記同心軸部に取り付けられて前記偏心シャフトの回動とともに回動し、係合部が形成された第１カム部と、前記係合部と係合する被係合部が形成され、前記支持部と接続され前記支持部とともに回動し、前記第１カム部が所定の角度の範囲を回動する場合には前記係合部と前記被係合部が係合し前記第１カム部と連動して回動し、前記第１カム部が所定の角度の範囲以外の範囲を回動する場合には前記係合部と前記被係合部との係合が解除され回動が停止する第２カム部と、をさらに備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、弁体が外部空間と連通する第２開口部と対向する位置にある状態を基準にすると、偏心シャフトと支持部とが連動して所定の方向に回動されることにより、弁体が第１開口部に対向する位置に移動される。そして、偏心シャフトが支持部とは独立して回動されることにより、弁体は径方向外側に移動されて第１開口部に着座する。このとき、第１開口部は第１シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。一方、偏心シャフトが支持部とは独立して逆方向に回動することにより、弁体は径方向内側に移動され、第１開口部が開放される。
【００１２】
また、偏心シャフトと支持部とが連動して逆方向に回動されることにより、弁体が第２開口部に対向する位置に移動される。そして、偏心シャフトが支持部とは独立して回動されることにより、弁体は径方向外側に移動されて第２開口部に着座する。このとき、第２開口部は第２シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。一方、偏心シャフトが支持部とは独立して正方向に回動することにより、弁体は径方向内側に移動され、第２開口部が開放される。
【００１３】
以上のように、本発明によれば、弁体の径方向外側への移動量は、偏心シャフトの偏心軸部の偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフトの偏心軸部の偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体の径方向外側への移動量が一定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができ、さらに、各シール部材の各開口部に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、各シール部材の製品寿命の低下を抑制することができ、また、各シール部材が原因となるパーティクルの発生を防止することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、偏心シャフトに取り付けられた第１カム部が所定の角度の範囲を回動する場合には、第１カム部の係合部と第２カム部の被係合部とが係合し、第２カム部は第１カム部と連動して回動する。そして、第２カム部と接続されている支持部も回動する。このとき、偏心シャフトは、第１カム部の係合部と第２カム部の被係合部とが係合されているので、支持部に対して独立して回動することはなく、支持部とともに回動する。これにより、弁体を第１開口部又は第２開口部と対向する位置に移動させることができる。
【００１５】
また、第１カム部が所定の角度の範囲以外の範囲を回動する場合には、係合部と被係合部との係合が解除されるため、第２カム部に駆動力が伝達されず第２カム部の回動が停止する。これにより、偏心シャフトは、支持部に対して独立して回動する。偏心シャフトが支持部に対して独立して回動することにより、弁体を径方向外側又は径方向内側に移動させることができるため、第１開口部又は第２開口部を閉塞又は開放することができる。つまり、簡易な構成で、弁体を回動させる回動機構と、弁体を径方向に移動させる昇降機構とが実現可能で、信頼性の高い駆動機構を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置について、図面を参照して説明する。
【００１７】
図１に示すように、処理チャンバ１２を区画する側壁３６には、例えばウエーハなどの被処理体を通過させて搬出入させる細長い搬入開口３８が形成され、また搬送室１４を区画する側壁４０にも開口４２が形成されている。そして、ゲートバルブ装置２０は、例えばアルミニウムよりなる略直方体状の筐体４４を有している。この筐体４４の一側には、処理チャンバ１２内に連通する細長い第１開口部４６が形成されている。筐体４４と上記処理チャンバ１２及び搬送室１４との接合面には、Ｏリング４８、５０がそれぞれ介在されて気密性を保持できるようになっている。
【００１８】
また、筐体４４内には一部に弁体５２とこの弁体５２を駆動する弁体駆動機構（弁体駆動部）１１が設けられており、必要に応じて弁体５２が上記第１開口部４６に着座してこれを気密にシールできるようになっている。なお、上記第１開口部４６と搬入開口３８とは一体的に連通されているので、上記第１開口部４６を開閉することにより搬入開口３８も開閉されることになる。
【００１９】
具体的には、弁体５２には、第１開口部４６を閉塞又は開放する平面状の第1シール面５６と、後述のメンテナンス用開口（第２開口部）６２を閉塞又は開放する平面状の第２シール面５７が形成されている。この第１シール面５６には、弁体５２が第１開口部４６を閉塞したときに第１開口部４６を気密にシールする弁体シール部（第１シール部材）５８が設けられている。また、第２シール面５７には、弁体シール部５８の外側に位置し弁体５２がメンテナンス用開口６２を閉塞したときにメンテナンス用開口６２を気密にシールするメンテナンスシール部（第２シール部材）６０が設けられている。なお、弁体シール部５８及びメンテナンスシール部６０は、Ｏリングで構成されていることが好ましい。
【００２０】
そして、弁体５２の第１シール面５６は第１開口部４６と略同じ形状に形成され、第1シール面５６の縁部には上述した弁体シール部５８が装着されている。また、弁体５２の第２シール面５７はメンテナンス用開口６２と略同じ形状に形成されている。また、第２シール面５７の縁部には、メンテナンス用シール部６０が装着されている。
【００２１】
また、弁体５２の長手方向両端部近傍には、弁体５２を筐体４４に対して回動させ又は径方向に移動させるための弁体駆動機構１１が取り付けられている。
【００２２】
ここで、弁体５２を駆動させる弁体駆動機構１１の構成について詳細に説明する。
【００２３】
図１乃至図３に示すように、弁体５２の長手方向両端部には、支持部１３が取り付けられている。この支持部１３は、中空状に形成されている。この支持部１３は、筐体４４の軸受部１５により回動可能となるように支持されている。また、支持部１３の内側には、軸受部（図示省略）を介して偏心シャフト１７が回動可能となるように配置されている。この偏心シャフト１７は、シャフト本体部１７Ａと、シャフト本体部１７Ａの中心（軸心）から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部１７Ｂと、シャフト本体部１７Ａの中心（軸心）上に中心が位置する同心軸部１７Ｃと、で構成されている。偏心軸部１７Ｂには、すべり軸受け（図示省略）を介してローラ２２が配置され、この偏心軸部１７Ｂの外周には、ローラ２２を介して径方向に延在した支持片１９が取り付けられている。すなわち、この支持片１９には、偏心軸部１７Ｂが挿入される挿入部２１が形成され、偏心軸部１７Ｂが回動可能に接続された構成となっている。上記した支持片１９の径方向外側端部は、弁体５２と接続されている。なお、支持片１９と弁体５２とは、ビスやネジなどの固着具により接続されている。
【００２４】
また、支持部１３の一方側端部の外周部には、第１ギア部２５が取り付けられている。筐体４４には、第１ギア部２５と噛み合う第２ギア部２７が回動可能に取り付けられている。すなわち、第２ギア部２７の中心には回転軸が取り付けられており、この回転軸には、ゼネバカム（第２カム部）２９が取り付けられている。ゼネバカム２９は、円盤状部材２９Ａに２つの切り欠き部２９Ｂ（一方の切り欠き部２９Ｂのみ図示）が形成された構成となっている。そして、径方向に沿って延在した溝部（被係合部）２９Ｃが形成されている。この溝部２９Ｃの径方向側端部は開放しており、外部から溝部２９Ｃの内部に後述の連動カム３１のピン部３１Ａが挿入できるようになっている。
【００２５】
また、偏心シャフト１７の同心軸部１７Ｃには、連動カム（第１カム部）３１が取り付けられている。この連動カム３１の径方向外側には、ピン部（係合部）３１Ａが取り付けられている。このピン部３１Ａは、同心軸部１７Ｃの軸方向に突出しており、ゼネバカム２９の溝部２９Ｃの内部に挿入可能となっている。
【００２６】
また、図２及び図３に示すように、偏心シャフト１７の同心軸部１７Ｃには、第１駆動ギア３３が取り付けられている。
【００２７】
さらに、筐体４４には、駆動モータ６６が取り付けられている。この駆動モータ６６は、正方向及び逆方向に回転するモータ回転軸６６Ａを備えている。このモータ回転軸６６Ａには、第２駆動ギア３４が取り付けられている。そして、この第２駆動ギア３４と前記第１駆動ギア３３とが連動するように、ベルト３５が設けられている。
【００２８】
上記弁体駆動機構によれば、図３に示すように、駆動モータ６６が駆動してモータ回転軸６６Ａが所定の方向に回転駆動されると、第２駆動ギア３４が回動する。第２駆動ギア３４が回動すると、ベルト３５を介して第１駆動ギア３３が回動する。第１駆動ギア３３が回動すると、偏心シャフト１７が回動する。このとき、連動カム３１のピン部３１Ａがゼネバカム２９の溝部２９Ｃの内部に挿入され両者が係合されて、ゼネバカム２９は連動カム３１と連動して回動する。ゼネバカム２９が回動すると、第２ギア部２７が回動する。第２ギア部２７が回動すると、第２ギア部２７と噛み合っている第１ギア部２５が回動する。第１ギア部２５が回動すると支持部１３が回動するため、偏心シャフト１７と支持部１３は一緒に回動することになる。一方、連動カム３１のピン部３１Ａがゼネバカム２９の溝部２９Ｃの内部に挿入されておらず両者の係合が解除されている状態では、連動カム３１のみが回動するため、偏心シャフト１７は支持部１３とは独立して回動する。このとき、連動カム３１に締結された回動規制フランジ２４にて、ゼネバカム２９は９０度回動したところでそれ以上回動しないように規制される。この回動規制フランジ２４は、一部切り欠き部が形成された円盤状の形状を有し、この円盤部とゼネバカムの切り欠き部２９Ｂが係合することによって、ゼネバカム２９は回動せず、よって、支持部１３も回動しない。
【００２９】
また、図１及び図２に示すように、筐体４４の天井部には、弁体シール部５８を取り替えるための細長いメンテナンス用開口６２が形成されている。具体的には、このメンテナンス用開口６２は、この周囲の着座面に弁体５２を着座させたときに内側の弁体シール部５８だけが露出された状態で外側のメンテナンス用シール部６０が着座面に接触して気密にシールし得るような大きさに設定されている。換言すれば、上記メンテナンス用開口６２は、上記第１開口部４６の大きさより、僅かな幅だけ広くなるように形成されており、このメンテナンス用開口６２をメンテナンス用シール部６０で気密にシールする一方、内側の弁体シール部５８をメンテナンス用開口６２内に露出させるようになっている。
【００３０】
また、図１に示すように、メンテナンス用開口６２には、その外側からメンテナンス用開閉蓋６８がＯリング７０を介して気密に取り付けられている。この場合、メンテナンス用開閉蓋６８は、複数本のボルト７２により着脱可能に取り付けられている。また、例えば、このメンテナンス用開閉蓋６８として、アクリル樹脂板等よりなる透明板を用いれば、メンテナンス用開閉蓋６８を取り外すことなく、弁体シール部５８の劣化の程度を外側から視認することができる。この場合、メンテナンス用開閉蓋６８の一部に、内部を視認できる透明な窓部を設けるようにしてもよい。
【００３１】
また、上記弁体５２を上記メンテナンス用開口６２に着座させ閉塞したときに、上記メンテナンス用開閉蓋６８と着座した弁体５２との間に形成される空隙７４内を大気圧復帰させるために空隙給気系７６が設けられている。具体的には、図１に示すように、空隙給気系７６は、上記メンテナンス用開口６２を区画する区画壁に、上記空隙７４と外部とを連通する流路７８を設け、この流路７８に開閉弁８０を介設して必要に応じてＮ２ガスや清浄空気等を供給できるようになっている。
【００３２】
また、上記空隙７４内を真空引きするための空隙真空排気系８２が設けられている。この空隙真空排気系８２は、上記メンテナンス用開口６２を区画する区画壁に、上記空隙７４と外部空間とを連通する流路８４を設け、この流路８４に開閉弁８６を介設して必要に応じて空隙７４内の雰囲気を真空排気できるようになっている。
【００３３】
次に、本実施形態のゲートバルブ装置２０の作用について説明する。本実施形態の作用では、弁体５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態（ＯＰＥＮ状態）を基準に説明する。
【００３４】
図２乃至図４に示すように、弁体５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態（ＯＰＥＮ状態）では、筐体４４の内部と処理チャンバ１２内とは第１開口部４６を介して連通した状態となっている。このＯＰＥＮ状態では、連動カム３１のピン部３１Ａが最上点（０度の位置）の位置にあり、ゼネバカム２９の溝部２９Ｃは最上点から−９０度開いた位置（２７０度の位置）にあり、溝部２９Ｃの開口部がピン部３１Ａの近傍に位置している。また、ＯＰＥＮ状態では、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、回動中心を基準としてメンテナンス用開口６２側と反対側に位置している。
【００３５】
図２及び図３に示すように、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａが正方向に回転されると、上記各駆動ギア３３、３４及びベルト３５を介して、駆動モータ６６の駆動力が偏心シャフト１７に伝達される。駆動モータ６６の駆動力が偏心シャフト１７に伝達されると、偏心シャフト１７が所定の方向（図３中矢印Ａ方向）に回動する。このとき、連動カム３１のピン部３１Ａがゼネバカム２９の溝部２９Ｃの内部に挿入され両者が係合される状態になる。このため、ゼネバカム２９は連動カム３１と連動して所定の方向（図３中矢印Ｃ方向）に回動する。ゼネバカム２９が回動すると、第２ギア部２７が回動する。第２ギア部２７が回動すると、第２ギア部２７と噛み合っている第１ギア部２５が偏心シャフト１７の回動方向と同じ方向に回動する。第１ギア部２５が回動すると支持部１３が偏心シャフト１７の回動方向（図３中矢印Ａ方向）と同じ方向に回動するため、偏心シャフト１７は支持部１３と連動して同じ方向（図３中矢印Ａ方向）に９０度回動することになる。上記駆動モータ６６の駆動により、弁体５２は、図５に示す４５度の位置を経て、図６に示す９０度の位置に移動する。図６に示す９０度の位置では、弁体５２が第１開口部４６と対向する位置にある。ここで、図６に示す９０度の位置（シール直前状態）では、連動カム３１のピン部３１Ａとゼネバカム２９の溝部２９Ｃとの係合が解除される。
【００３６】
図７に示すように、図６に示す９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａが正方向にさらに回転されると、連動カム３１のピン部３１Ａとゼネバカム２９の溝部２９Ｃとの係合が解除されているので、偏心シャフト１７のみが所定の方向（図３中矢印Ａ方向）に回動する。さらに、回動規制フランジ２４にて、ゼネバカム２９は９０度回動したところでそれ以上回動しないように規制されているため、ゼネバカム２９が動くことがない。よって、このとき、支持部１３は回転しない。偏心シャフト１７が図６に示す９０度の位置から１８０度（０度の位置から２７０度）だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側に移動する。これにより、弁体５２が第１開口部４６に着座し、第１開口部４６が閉塞される（ＣＬＯＳＥ時状態）。このとき、弁体５２の押圧力により、弁体シール部５８は弾性変形されている。
【００３７】
図８に示すように、図７に示す２７０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを正方向にさらに若干回転させた位置をモータの駆動端、つまり、これ以上回転しないように設定する。これにより、偏心シャフト１７が上死点を超え、さらに１〜５度程度回動する。偏心シャフト１７が上死点を超えているため、仮に弁体５２に対しシールを解除する方向に圧力などが加わった場合や、駆動モータ６６の駆動力が消失した場合でも、偏心シャフト１７を逆回転させ、上死点を超えたうえで弁体シール部５８の気密を解除することは困難となる。つまり、ロック機能が働き、安定した弁体押付力を維持できる。
【００３８】
一方、第１開口部４６を開放する場合には、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向に回転させて偏心シャフト１７を逆方向（図３中矢印Ｂ方向）に回転させる。偏心シャフト１７を逆方向（図３中矢印Ｂ方向）に回転させると、偏心シャフト１７は、やがて図６に示す９０度の位置に戻り、弁体５２が第１開口部４６から離間する。偏心シャフト１７が図６に示す９０度の位置に戻ると、連動カム３１のピン部３１Ａがゼネバカム２９の溝部２９Ｃの内部に挿入され両者が係合される状態になる。
【００３９】
図６に示す９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向にさらに回転させると、偏心シャフト１７が回動することになるが、このとき、連動カム３１のピン部３１Ａがゼネバカム２９の溝部２９Ｃの内部に挿入され両者が係合されているため、ゼネバカム２９は連動カム３１と連動して所定の方向（図３中矢印Ｄ方向）に回動する。ゼネバカム２９が回動すると、第２ギア部２７が回動する。第２ギア部２７が回動すると、第２ギア部２７と噛み合っている第１ギア部２５が偏心シャフト１７の回動方向と同じ方向に回動する。第１ギア部２５が回動すると支持部１３が偏心シャフト１７の回動方向と同じ方向に回動するため、偏心シャフト１７と支持部１３は連動して同じ方向（図３中矢印Ｂ方向）に回動することになる。上記駆動モータ６６の駆動により、弁体５２は、図５に示す４５度の位置を経て、図４に示す０度の位置に移動する。
【００４０】
ここで、図９に示すように、弁体５２でメンテナンス用開口６２を閉塞する場合には、図２に示すメンテナンスハンドル３８を作動させ、メンテナンスピン３７を解除し、図４に示す０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向に回転させる。駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向に回転させると、偏心シャフト１７が逆方向に１８０度回動する場合には連動カム３１のピン部３１Ａとゼネバカム２９の溝部２９Ｃとの係合が解除されているので、偏心シャフト１７のみが所定の方向（図３中矢印Ｂ方向）に回動する。なお、このとき、支持部１３は回転しない。偏心シャフト１７が図４に示す０度の位置から１８０度（０度の位置から−１８０度）だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけメンテナンス用開口６２側に移動する。これにより、弁体５２がメンテナンス用開口６２に着座し、メンテナンス用開口６２が閉塞される。このとき、弁体５２がメンテナンス用開口６２に着座した状態では、弁体５２の押圧力によりメンテナンスシール部６０が弾性変形されており、メンテナンス用開口６２が気密にシールされる（メンテナンス時状態）。
【００４１】
以上のように、本実施形態のゲートバルブ装置２０によれば、弁体５２の径方向外側への移動量は、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂの偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂの偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体５２の径方向外側への移動量が一定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、各シール部材５８、６０の各開口部４６、６２に対する押付量を一定にすることができ、さらに、各シール部材５８、６０の各開口部４６、６２に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、各シール部材５８、６０の製品寿命の低下を抑制することができ、また、各シール部材５８、６０が原因となるパーティクルの発生を防止することができる。さらに、本実施形態のゲートバルブ装置２０によれば、簡易な構成で、弁体５２を回動させる回動機構と、弁体５２を径方向に移動させる昇降機構とが実現可能で、信頼性の高い駆動機構を提供できる。
【００４２】
次に、上記実施形態のゲートバルブ装置２０の変形例について説明する。
なお、上記実施形態のゲートバルブ装置２０と同様の構成及び駆動機構については同符号を付し、その説明を適宜省略する。
【００４３】
図１０に示すように、ゲートバルブ装置２０の弁体５３の形状が断面湾曲状に構成されていてもよい。弁体５３の断面形状を湾曲状にすることにより、弁体５３の回転軌跡が描く円の半径が小さくなり、弁体５３の径方向外側への移動量を小さくすることが可能となる。つまり、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂの偏心量を僅かな量に押さえることが可能となり、弁体駆動機構１１の小型化に寄与する。
【００４４】
また、弁体５３を支持する支持部１３には、支持片１９を囲むようにベローズ５５が取り付けられている。このベローズ５５を設けることにより、支持部１３内部から発生したパーティクルを筐体内に放出することなく、高いクリーン性能を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の取り付け状態を示す拡大断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の要部を示す部分拡大図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の要部を側面側から見た内部構成図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体が０度の位置にある状態を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体が４５度の位置にある状態を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体が９０度の位置にある状態を示す断面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体がＣＬＯＳＥ時の位置にある状態を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体がロック時の位置にある状態を示す断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体がメンテナンス時の位置にある状態を示す断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係るゲートバルブ装置の変形例の要部を示し、弁体が０度の位置にある状態を示す断面図である。
【図１１】従来技術のゲートバルブ装置の部分的な断面図である。
【図１２】従来技術のゲートバルブ装置の弁体と弁駆動機構との取り付け状態を示す後方からの斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
１１        弁体駆動機構（弁体駆動部）
１２        処理チャンバ
１３        支持部
１７        偏心シャフト
１７Ｂ      偏心軸部
１７Ｃ      同心軸部
２０        ゲートバルブ装置
２９        ゼネバカム（第２カム部）
２９Ｃ      溝部（被係合部）
３１        連動カム（第１カム部）
３１Ａ      ピン部（係合部）
３８        搬入開口
４４        筐体
４６        第１開口部
５２        弁体
５３        弁体
５６        第１シール面
５７        第２シール面
５８        弁体シール部（第１シール部材）
６０        メンテナンスシール部（第２シール部材）
６２        メンテナンス用開口（第２開口部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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