(57)【要約】【課題】駆動の安定した振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラを提供する。【解決手段】振動体（１１）と、振動体に加圧接触され、振動体の振動により、振動体との間で相対移動する相対移動部材（１４）と、振動体と相対移動部材とを加圧接触させる加圧部（１８，２８，３８，４８）とを有する振動アクチュエータであって、加圧部は、温度変化に応じて加圧方向に変位する変位部（１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ）を有することを特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）とした。【選択図】図２
2008259266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体と、前記振動体に加圧接触され、前記振動体の振動により、前記振動体との間で相対移動する相対移動部材と、前記振動体と前記相対移動部材とを加圧接触させる加圧部とを有する振動アクチュエータであって、
前記加圧部は、温度変化に応じて加圧方向に変位する変位部を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記変位部は、可撓性を有する材料よって形成され、密閉された空間を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記変位部は、前記加圧方向に直交する方向の端部の厚さに比べて、前記加圧方向の端部の厚さの方が薄いこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記変位部は、本体部と、前記加圧方向に移動可能な可動部とを有し、前記本体部と前記可動部とによって密閉された空間を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記変位部は、本体部と、可撓性を有する材料で形成された可撓部とを有し、前記本体部と前記可撓部とによって密閉された空間を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項２から請求項５に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記密閉された空間には、気体又は液体が封入されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記加圧部は、加圧力を発生させる弾性部材を有し、
前記弾性部材は、前記加圧方向において、前記変位部よりも前記振動体側に設けられていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。
【請求項９】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、振動アクチュエータに用いられる振動体は、弾性体と電気機械変換素子とを有しており、振動アクチュエータでは、電気機械変換素子を駆動信号によって伸縮させ、この伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波とする）を発生させる。そして、この進行波によって、振動体の駆動面に楕円運動が生じ、楕円運動の波頭に加圧接触した相対移動部材が駆動されることにより、駆動力が取り出される。
このような振動アクチュエータは、使用される環境の温度によって、その特性が変化する。そのため、特に高温や低温の環境下において、常温での駆動に比べて駆動特性が変化するという問題があった。
【０００３】
このような振動アクチュエータの温度に対する駆動特性の変化を安定させるために、特許文献１には、振動体を構成する圧電体（電気機械変換素子）に、駆動電極とともに少なくとも２つ以上のセンサ電極を形成し、振動体の温度を検出して、移動体（相対移動部材）の速度制御の温度補正を行う例が開示されている。
しかし、このような手法では、検出や制御のための回路等が必要となり、構成が複雑になって、生産コストが高くなるという問題があった。
【特許文献１】特開平５−３４４７６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、駆動の安定した振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
請求項１の発明は、振動体（１１）と、前記振動体に加圧接触され、前記振動体の振動により、前記振動体との間で相対移動する相対移動部材（１４）と、前記振動体と前記相対移動部材とを加圧接触させる加圧部（１８，２８，３８，４８）とを有する振動アクチュエータであって、前記加圧部は、温度変化に応じて加圧方向（矢印Ａ）に変位する変位部（１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（１８ｄ，２８ｄ）は、可撓性を有する材料よって形成され、密閉された空間（１８ｅ，２８ｅ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項３の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（２８ｄ）は、前記加圧方向（矢印Ａ）に直交する方向の端部の厚さに比べて、前記加圧方向の端部の厚さの方が薄いこと、を特徴とする振動アクチュエータ（２０）である。
請求項４の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（３８ｄ）は、本体部（３８１）と、前記加圧方向（矢印Ａ）に移動可能な可動部（３８２）とを有し、前記本体部と前記可動部とによって密閉された空間（３８ｅ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（３０）である。
請求項５の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記変位部（４８ｄ）は、本体部（４８１）と、可撓性を有する材料で形成された可撓部（４８２）とを有し、前記本体部と前記可撓部とによって密閉された空間（４８ｅ）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（４０）である。
請求項６の発明は、請求項２から請求項５に記載の振動アクチュエータにおいて、前記密閉された空間（１８ｅ，２８ｅ，３８ｅ，４８ｅ）には、気体又は液体が封入されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）である。
請求項７の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記加圧部（１８，２８，３８，４８）は、加圧力を発生させる弾性部材（１８ｂ）を有し、前記弾性部材は、前記加圧方向（矢印Ａ）において、前記変位部（１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ）よりも前記振動体（１１）側に設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）である。
請求項８の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）を備えるレンズ鏡筒（３）である。
請求項９の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）を備えるカメラ（１）である。
なお、本発明をわかり易く説明するために、実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。さらに、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、駆動の安定した振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態を挙げてさらに詳しく説明する。なお、以下の実施形態は、振動アクチュエータとして、超音波領域の振動を利用した超音波モータを例に挙げて説明する。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のカメラ１を示す図である。
本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１では、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０は、略円環形状であり、その円環中心軸方向が光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。この超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられており、超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４は、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５が回転すると、レンズ４は、カム筒５とのカム係合によって光軸方向へ移動し、焦点調節が行われる。
【０００９】
図２は、第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。図２では、超音波モータ１０の円環中心軸方向での断面を示している。なお、以下に示す図３から図５においても同様の断面での形状を示している。
第１実施形態の超音波モータ１０は、振動子１１，移動体１４，緩衝部材１５，支持体１６，緩衝部材１７，加圧部１８，固定部材１９等を備えている。
振動子１１は、略円環形状の部材であり、弾性体１２，圧電体１３等を備えている。
弾性体１２は、ステンレス材料やインバー材料等の鉄合金や真鍮等の弾性変形が可能な金属材料を用いて形成された略円環形状の部材であり、一方の端面には、圧電体１３が設けられ、他方の面には、複数の溝１２ａを切って形成された櫛歯部１２ｂが形成されている。この櫛歯部１２ｂの先端面は、圧電体１３の励振により、進行波が発生し、移動体１４を駆動する駆動面となる。
【００１０】
圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有し、本実施形態では、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いて形成され、導電性の接着剤等を用いて、弾性体１２に接合されている。
圧電体１３上には、不図示のフレキシブルプリント基板と電気的に接続された不図示の電極が形成されており、このフレキシブルプリント基板から供給される駆動信号によって、圧電体１３が励振される。
【００１１】
移動体１４は、略円環形状の部材であり、後述する加圧部１８の加圧力によって弾性体１２の駆動面に加圧接触され、弾性体１２の進行波によって摩擦駆動される。
緩衝部材１５は、ゴム等を用いて形成された略円環形状の部材である。この緩衝部材１５は、移動体１４の振動を支持体１６側へ伝えないようにする部材であり、移動体１４と支持体１６との間に設けられている。
支持体１６は、移動体１４を支持する部材であり、移動体１４と一体となって回転して移動体１４の回転運動を不図示の被駆動部材に伝達し、かつ、移動体１４の回転中心軸方向の位置を規制する部材である。
【００１２】
加圧部１８は、振動子１１と移動体１４とを加圧接触させる加圧力を発生する部分であり、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部１８ｄ等を備えている。加圧部１８についての詳細な説明は、後述する。
緩衝部材１７は、不織布やフェルト等を用いて形成された略円環形状の部材である。この緩衝部材１７は、振動子１１の振動を加圧部１８側へ伝えないようにする部材であり、圧電体１３と加圧板１８ａとの間に設けられている。
固定部材１９は、本実施形態の超音波モータ１０をレンズ鏡筒３に固定する部材である。
【００１３】
本実施形態の超音波モータ１０の加圧部１８について説明する。加圧部１８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部１８ｄを備え、超音波モータ１０の円環中心軸方向（図２中の矢印Ａ方向）に沿って加圧力を発生させ、振動子１１と移動体１４とを加圧接触させる機能を有する。なお、本実施形態では、加圧部１８の加圧方向は、カメラ１の光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）に略等しい。
皿バネ１８ｂは、矢印Ａ方向の加圧力を発生させる部材であり、加圧板１８ａは、皿バネ１８ｂが発生する加圧力を受ける、略円環形状の板である。
【００１４】
加圧力調整部１８ｄは、加圧部１８が発生する加圧力を調整する部材であり、本実施形態では、皿バネ１８ｂより固定部材１９側に設けられている。加圧力調整部１８ｄは、本実施形態では、略円環形状の部材であって、可撓性及び気密性を有する材料を用いて中空に形成されている。加圧力調整部１８ｄは、全周にわたって中空であり、内部には密閉された空間１８ｅが形成され、気体が所定の圧力で封入されている。本実施形態では、密閉された空間１８ｅに封入された気体は、空気である。
この加圧力調整部１８ｄは、超音波モータ１０が使用される環境の温度によって、密閉された空間１８ｅに封入された空気の体積が変化することにより変位する。
【００１５】
なお、加圧力調整部１８ｄの変位が、加圧方向のみの変位となるように、加圧力調整部１８ｄの内周及び外周の両端部に接するように不図示の壁部等を設けてもよい。
また、本実施形態では、加圧力調整部１８ｄは、その加圧方向における断面が略円形状としたが、これに限らず、例えば、補助板１８ｃ、固定部材１９と接する面を平面状とし、内径側及び外形側は円弧状であるような略長円形状としてもよい。
【００１６】
補助板１８ｃは、皿バネ１８ｂと加圧力調整部１８ｄとの間に設けられた略円環形状の板であり、加圧力調整部１８ｄの加圧方向の変位を皿バネ１８ｂに伝える部材である。補助板１８ｃを設けることにより、加圧力調整部１８ｄの変位を皿バネ１８ｂ側の周方向において偏りなく均一に伝えることができる。
【００１７】
ここで、本実施形態の超音波モータ１０の温度変化に対する駆動特性について説明する。
超音波モータでは、使用される環境の温度変化によって、その駆動特性が変化するという問題があった。これは、温度変化によって、弾性体と圧電体との熱膨張係数の違いから弾性体と圧電体の接合面が変形したり、使用される環境下の空気の湿度が変化して振動子と移動体との摩擦接触面の摩擦係数が変化したり、圧電体の静電容量が変化したりするためである。
例えば、超音波モータが高温環境下に置かれた場合、圧電体の静電容量が大きくなり、振動子の発する進行波が移動体を駆動する力は増大し、移動体の回転数が上がり、超音波モータの発する駆動力が大きくなる。また、弾性体と圧電体との接合面が変形し、移動体の駆動が不安定になり易くなる。そのため、超音波モータは、高温環境下では、常温時に比べ、移動体の回転数の向上や、それに伴う移動体の振動によって異音が発生し易くなるという傾向がある。
一方、超音波モータが低温環境下に置かれた場合、圧電体の静電容量が小さくなり、振動子の発する進行波が移動体を駆動する力は減少し、超音波モータの発する駆動力が小さくなる。また、低温環境下では、空気中の水分量が低下するため、振動子と移動体との摩擦接触面の摩擦係数が上がる。このようなことから、超音波モータは、低温環境下では、起動特性や低速での駆動特性等が常温時に比べて劣るという傾向がある。
【００１８】
本実施形態の超音波モータ１０では、例えば、高温環境下に置かれた場合、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅ内に封入された気体の体積が膨張する。
例えば、室温が２５℃から４０℃に変化した場合、気体の体積は、約５％膨張する。このような気体の熱膨張率は、気体の種類による差が殆ど無いに等しい。従って、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅ内に封入された空気の体積も、室温が２５℃から４０℃に変化した場合、約５％膨張する。
加圧部１８は、加圧方向における寸法が定められているため、皿バネ１８ｂは、加圧力調整部１８ｄの変位に応じて伸縮する。従って、加圧力調整部１８ｄの変位に応じて、加圧部１８全体として発生する加圧力は変化する。
従って、高温環境下では、密閉された空間１８ｅに封入された空気が膨張することによって、皿バネ１８ｂが縮み、加圧部１８全体が発生する加圧力は増大する。この増大した加圧力によって、高速で回転しているために生じている移動体１４の振動が抑えられる。
よって、本実施形態によれば、高温環境下で超音波モータを駆動した場合に発生し易い異音を抑制することができる。
【００１９】
一方、低温環境下に本実施形態の超音波モータが置かれた場合、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅ内に封入された空気の体積が収縮する。
例えば、室温が２５℃から−１０℃に変化した場合、気体の体積は、約１３％収縮する。高温時の体積の膨張と同様に、低温時の体積の収縮率も、気体の種類による差が殆ど無いに等しい。従って、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入された空気の体積も、室温が２５℃から−１０℃に変化した場合、約１３％収縮する。
従って、低温環境下では、密閉された空間１８ｅに封入された空気が収縮したことによって、皿バネ１８ｂが伸び、加圧部１８全体が発生する加圧力は減少するので、移動体１４の回転数が上がる。
よって、本実施形態によれば、低温環境下で超音波モータを駆動した場合の、起動特性や、低速での駆動特性を向上させることができる。
【００２０】
なお、本実施形態では、通常超音波モータ１０が使用されると想定される温度範囲内（例えば、−１０℃から４０℃までの範囲）における、密閉された空間１８ｅ内に封入された気体の体積変化は、予め測定や計算等によって求められており、それに合わせて、封入時の圧力等が規定されている。従って、気体の膨張等による加圧力調整部１８ｄの破損等の恐れはない。
【００２１】
上述のように、本実施形態によれば、超音波モータ１０が使用される環境の温度によって、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入された気体の体積は、気体の熱膨張率に従って変化するので、加圧部１８の加圧力や使用環境の温度，移動体１４の回転数等を検出するセンサや、加圧力調整部１８ｄに封入された気体の圧力や移動体１４の回転数等を制御する制御装置等を用いずとも、加圧部１８全体の加圧力を調整でき、移動体１４の回転数等を自動的に制御でき、温度変化に依らず、安定した駆動を得ることができる。
また、加圧力調整部１８ｄは、製造が容易であって、生産コストを抑えることができる。
【００２２】
さらに、本実施形態によれば、超音波モータ１０の組み立て工程時に、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入される気体の圧力を調整することにより、皿バネ１８ｂや振動子１１等の個体差による超音波モータ１０の個々の駆動特性のばらつきを抑えることができる。例えば、皿バネ１８ｂは、規格範囲内であるが、発生する加圧力に個体差を有している場合がある。そこで、加圧力調整部１８ｄの密閉された空間１８ｅに封入される気体の圧力を調整することにより、加圧部１８の加圧力のばらつきを抑え、超音波モータ１０の個々の駆動特性のばらつきを抑えることができる。
従って、本実施形態によれば、超音波モータ１０の個体差を抑え、品質の安定した超音波モータ１０を提供することができる。
【００２３】
（第２実施形態）
図３は、第２実施形態の超音波モータ２０を示す図である。
第２実施形態の超音波モータ２０は、加圧部２８の加圧方向（円環中心軸方向）における断面形状が、第１実施形態に示した加圧力調整部１８ｄとは異なる点以外は、第１実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。従って、第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。なお、後述する第３実施形態、第４実施形態においても同様に、第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
第２実施形態の超音波モータ２０に用いられる加圧部２８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部２８ｄを有している。
加圧力調整部２８ｄは、図３に示すように、加圧方向（図３中に示す矢印Ａ方向）での厚さが、加圧方向に直交する方向（超音波モータ１０の径方向）での厚さに比べて薄く形成されている。
加圧力調整部２８ｄをこのような形状とすることによって、温度変化による加圧力調整部２８ｄの変位を、加圧方向の変位のみとすることができる。従って、加圧力調整部２８ｄの変位による超音波モータ１０の駆動制御をより的確に行うことができる。
【００２４】
（第３実施形態）
図４は、第３実施形態の超音波モータ３０を示す図である。
第３実施形態の超音波モータ３０は、加圧力調整部３８ｄの形状が第１実施形態に示した加圧力調整部１８ｄとは異なる点以外は、第１実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。
第３実施形態の超音波モータ３０に設けられた加圧部３８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，加圧力調整部３８ｄを有している。
加圧力調整部３８ｄは、本体部３８１と、可動蓋部３８２と、本体部３８１と可動蓋部３８２とによって密閉された空間３８ｅを有しており、例えば、シリンダー（本体部３８１に相当）とピストン（可動蓋部３８２に相当）のように、密閉された空間３８ｅの体積の変化によって可動蓋部３８２が加圧方向に移動する形態である。
【００２５】
本体部３８１は、略円環形状の部材であり、図４に示すように、皿バネ１８ｂ側の端面に全周にわたって凹形状３８１ａが形成されており、本体部３８１の径方向での断面形状は、皿バネ１８ｂ側が略矩形に凹んだ形態となっている。
可動蓋部３８２は、本体部３８１の凹形状３８１ａの開口側に配置された略円環形状の部材であり、密閉部３８２ａとバネ受け部３８２ｂとを有している。
密閉部３８２ａは、本体部３８１の凹形状３８１ａの開口を密閉する部分であり、本体部３８１と密閉部３８２ａとにより密閉された空間３８ｅが形成されている。密閉部３８２ａの径方向の幅は、凹形状３８１ａの径方向の幅に等しい。バネ受け部３８２ｂは、皿バネ１８ｂと接する部分であり、その径方向における幅は皿バネ１８ｂの径方向における幅に略等しい。
【００２６】
可動蓋部３８２は、密閉された空間３８ｅ内に封入された気体（本実施形態では、空気）の体積の変化に合わせて、本体部３８１の凹形状３８１ａの内壁を密閉部３８２ａの側面が摺動しながら、加圧部３８の加圧方向（図４中の矢印Ａ方向）に移動可能である。
なお、本体部３８１及び可動蓋部３８２は、共に気密性を有する材料を用いて形成されているが、可動蓋部３８２の密閉部３８２ａの本体部３８１との接触面に、ゴム等で形成されたＯリングを用いてもよいし、密閉部３８２ａと本体部３８１との接触面にグリス等を用いてもよい。
【００２７】
本実施形態によれば、温度変化によって密閉された空間３８ｅ内に封入された気体の体積の変化を、加圧力調整部３８ｄの加圧方向のみの変位とすることができ、より的確に超音波モータ３０の駆動特性を制御し、温度変化に依らず、安定した駆動を行う超音波モータ３０とすることができる。
【００２８】
（第４実施形態）
図５は、第４実施形態の超音波モータ４０を示す図である。
第４実施形態の超音波モータ４０は、加圧力調整部４８ｄの形状が第１実施形態に示した加圧力調整部１８ｄとは異なる点以外は、第１実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。
第４実施形態の超音波モータ４０の加圧部４８は、加圧板１８ａ，皿バネ１８ｂ，補助板１８ｃ，加圧力調整部４８ｄを有している。
加圧力調整部４８ｄは、本体部４８１と、可撓蓋部４８２と、本体部４８１と可撓蓋部４８２とによって密閉された空間４８ｅを有している。
【００２９】
本体部４８１は、第３実施形態に示した加圧力調整部３８ｄの本体部と略同様の形態であり、略円環形状であって、図５に示すように、皿バネ１８ｂ側の端面に全周にわたって凹形状４８１ａが形成され、本体部４８１の径方向での断面形状は、皿バネ１８ｂ側が略矩形に凹んだ形態となっている。
可撓蓋部４８２は、本体部４８１の凹形状４８１ａの開口を密閉するように設けられた部材であり、可撓性及び気密性を有する材料によって形成されている。この可撓蓋部４８２によって、本体部４８１の凹形状４８１ａの開口を密閉することにより、密閉された空間４８ｅが形成されている。
【００３０】
密閉された空間４８ｅ内に封入された気体（本実施形態では、空気）には、所定の圧力が与えられており、常温環境下では、可撓蓋部４８２は、図５に示すように、皿バネ１８ｂ側への緩やかな凸形状となるように張り出している。
高温環境下では、この可撓蓋部４８２は、密閉された空間４８ｅ内に封入された気体の体積が膨張するため、これに合わせて皿バネ１８ｂ側へさらに凸形状となるように張り出し、皿バネ１８ｂが縮み、加圧部４８全体の加圧力が増大する。
また、低温環境下では、密閉された空間４８ｅ内に封入された気体の体積が収縮するため、可撓蓋部４８２は、皿バネ１８ｂ側への突出量が減って撓み、皿バネ１８ｂが伸びて、加圧部４８全体の加圧力が減少する。なお、超音波モータ４０の使用環境として想定される最も低温時には、密閉された空間４８ｅ内の気体の体積が、凹形状４８１ａの体積と略同等まで収縮し、可撓蓋部４８２は、本体部４８１の皿バネ１８ｂ側端部を径方向に平行に覆う形状となる。
よって、温度変化に応じて加圧力調整部４８ｄが加圧方向（図５中の矢印Ａ方向）に変位し、加圧部４８全体の加圧力を調整するので、超音波モータ４０の温度変化に対する駆動特性が安定する。
【００３１】
本実施形態によれば、温度変化によって加圧力調整部４８ｄの密閉された空間４８ｅ内に封入された気体の体積の変化を、加圧力調整部４８ｄの加圧方向のみの変位とすることができ、より的確に超音波モータ４０の駆動特性を制御することができる。また、加圧力調整部４８ｄは、本体部４８１の凹形状４８１ａの開口側を密閉するだけでよく、製造が容易である。
【００３２】
（変形形態）
以上説明した各実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能である。
（１）各実施形態において、皿バネは、加圧力調整部よりも加圧方向において振動体側に配置される例を示したが、これに限らず、加圧方向において加圧力調整部を皿バネよりも振動体側に配置してもよい。
【００３３】
（２）各実施形態において、加圧力調整部の密閉された空間には空気が封入されている例を示したが、これに限らず、気体の熱膨張率は気体の種類を問わず略同様であるので、他の気体を用いてもよい。また、加圧力調整部の密閉された空間には、気体に限らず、液体を封入してもよく、例えば、体積膨張係数が約１．０×１０-3／℃と他の液体に比べて非常に大きいシリコンオイル等が好ましい。また、線膨張係数が大きい材料であるならば、固体を用いてもよく、その場合は、そのような材料を用いてリング状に形成した部材を加圧力調整部として用いればよい。
【００３４】
（３）各実施形態において、密閉された空間は、加圧力調整部の略全周にわたって形成される例を示したが、これに限らず、例えば、周方向において複数の部分に分断する仕切りが設けられていてもよいし、密閉された空間が加圧力調整部の周方向において等間隔に配置された形態としてもよい。
【００３５】
（４）第３実施形態及び第４実施形態において、本体部は、全周にわたって凹形状が形成され、凹形状の開口側を密閉するように可動蓋部，可撓蓋部が設けられる例を示したが、これに限らず、本体部は、加圧方向の両端部が開口した形状とし、可動蓋部，可撓蓋部は、その両端部の開口を密閉するように設けてもよい。
【００３６】
（５）各実施形態において、超音波モータは、その円環中心軸が光軸方向と略一致するようにレンズ鏡筒内に配置される例を示したが、これに限らず、円環中心軸が光軸方向とは異なる方向に沿って配置されてもよい。
【００３７】
（６）各実施形態において、振動アクチュエータとして、移動体が回転駆動される超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、移動体が直線方向に駆動されるリニア型の振動アクチュエータとしてもよい。また、ロッド型、ペンシル型、円盤型等の振動アクチュエータとしてもよい。
【００３８】
（７）各実施形態において、振動アクチュエータとして、超音波領域の振動を用いる超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を利用する振動アクチュエータとしてもよい。
【００３９】
（８）各実施形態において、超音波モータは、カメラのフォーカス動作時のレンズの駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、カメラのズーム動作時の駆動源としてもよいし、カメラの撮像系の一部を駆動して手振れを補正する手振れ補正機構の駆動源として用いてもよい。また、複写機の駆動部、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部、時計の駆動装置等に用いてもよい。
なお、各実施形態及び各変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１実施形態のカメラ１を示す図である。
【図２】第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。
【図３】第２実施形態の超音波モータ２０を示す図である。
【図４】第３実施形態の超音波モータ３０を示す図である。
【図５】第４実施形態の超音波モータ４０を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０，２０，３０，４０：超音波モータ、１１：振動子、１４：移動体、１８，２８，３８，４８：加圧部、１８ｂ：皿バネ、１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ：加圧力調整部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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