(57)【要約】【課題】ディスクリート媒体上を浮上するヘッドスライダにおいて、浮上量が小さくても、浮上量変動を抑制する。【解決手段】ヘッドスライダ（１１２）の複数のパッド（３０，３２，３４）の内、流出端部のパッド（３４）形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状（３８）で構成した。圧力分布を改善でき、且つ流体による圧力を平均化できるため、ディスクリートメデイアの溝による浮上量変動を抑制でき、安定な浮上が可能となる。しかも、小さい浮上量で、安定浮上できるため、高密度記録／再生を正確に実現できる。【選択図】図２
2008226396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データゾーンとサーボゾーンとを有し、表面に溝を有する磁気ディスクと、
前記磁気ディスクを回転するスピンドルモータと、
アームを前記磁気ディスクの半径方向に駆動するアクチュエータと、
前記アームの先端に設けられた磁気ヘッドを含むヘッドスライダとを有し、
前記ヘッドスライダは、
流出端側に設けられた前記磁気ヘッドと、
複数のパッドを有する軸受面を有し、
前記複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成された
ことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
前記流出端部のパッドの楔形状の長さが、前記磁気ディスクのサーボゾーンの最大幅より長い
ことを特徴とする請求項１の磁気ディスク装置。
【請求項３】
前記流出端部のパッドの楔形状の頂角が、９０度以下である
ことを特徴とする請求項１の磁気ディスク装置。
【請求項４】
前記流出端部のパッドは、少なくとも２層で構成され、
２層の内、表面層が、楔形状に構成された
ことを特徴とする請求項１の磁気ディスク装置。
【請求項５】
前記流出端部のパッドは、
楔形状で構成された表面層と、
前記表面層の下に設けられ、前記磁気ヘッドを構成するためのヘッド構成層とを有する
ことを特徴とする請求項１の磁気ディスク装置。
【請求項６】
データゾーンとサーボゾーンとを有し、表面に溝を有する磁気ディスク上を浮上するヘッドスライダにおいて、
流出端側に設けられた前記磁気ヘッドと、
複数のパッドを有する軸受面とを有し、
前記複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成された
ことを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項７】
前記流出端部のパッドの楔形状の長さが、前記磁気ディスクのサーボゾーンの最大幅より長い
ことを特徴とする請求項６のヘッドスライダ。
【請求項８】
前記流出端部のパッドの楔形状の頂角が、９０度以下である
ことを特徴とする請求項６のヘッドスライダ。
【請求項９】
前記流出端部のパッドは、少なくとも２層で構成され、
２層の内、表面層が、楔形状に構成された
ことを特徴とする請求項６のヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記流出端部のパッドは、
楔形状で構成された表面層と、
前記表面層の下に設けられ、前記磁気ヘッドを構成するためのヘッド構成層とを有する
ことを特徴とする請求項６のヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転する磁気ディスクに対し、磁気ヘッドを浮上させ、磁気ヘッドで、磁気ディスクのトラックをリード／ライトする磁気ディスク装置及びヘッドスライダに関し、特に、ディスクリート媒体で構成された磁気ディスクの浮上量を安定化するための磁気ディスク装置及びヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の磁気ディスクにおける記憶密度の向上のため、磁気ディスク表面に、物理的な凹凸を形成して、トラック間を分離したディスクリートメデイアの開発が進んでいる。
【０００３】
図１１は、ディスクリートメデイアの正面図、図１２は、従来のヘッドスライダの説明図、図１３は、従来のヘッドスライダの流体軸受面（Air Bearing Surface）の説明図である。
【０００４】
図１１に示すように、ディスクリートトラック媒体１０は、通常の情報を記録／再生するデータゾーン１２と，ヘッド位置決めに使用されるサーボ情報等があらかじめ記録されたサーボゾーン１１とが混在する。
【０００５】
これらの２つのゾーンでは、その機能の差違から、媒体１０の表面に加工される溝の形態等の表面形状も異なる。データゾーン１２上には、各トラック１２ｂを分離する円周方向に沿った溝１２ａが加工されている。一方、サーボゾーン１１は、幅Ｂを持ち、媒体半径方向の溝１１ａにより、サーボ情報記録領域１１ｂが，分離されている。
【０００６】
サーボ情報は、グレイコード（トラック番号を示す）、タイミング制御等のためのプリアンブル及び位置情報を有し、これらが、溝１１ａで分離されたサーボ情報記録領域１１ｂに記録される。サーボ情報は、媒体１０の円周方向に形成される各トラックに対し、媒体の半径方向の同一位置に形成するため、サーボゾーン１１では、半径方向に溝１１ａを形成し、サーボ情報の干渉を防止する。
【０００７】
このように、２つのゾーン１１，１２で、媒体１０の表面構造が異なるため、各ゾーン１１，１２で、媒体１０の表面の流体抵抗も異なる。このため、情報を記録／再生するヘッドを搭載した浮上ヘッドスライダの浮上量も、サーボゾーン１１上を浮上しているときと、データゾーン１２上を浮上しているときで変化する。
【０００８】
図１２に示すように、ヘッドスライダ２０は、媒体１０の面に対抗し、媒体１０の移動による流体圧力で、浮上する。近年の記録密度の向上に伴い、浮上量は、１０ナノメータ程度である。このヘッドスライダ２０の側面には、電磁変換素子（リード／ライト素子）２４が設けられている。図１２のヘッドスライダ２０の左端が、流体の流入端であり、右端が、流出端である。
【０００９】
ヘッドスライダ２０は、単に、電磁変換素子２４を媒体１０面から浮上させるだけでなく、浮上姿勢も制御する。このため、図１３に示すように、流入端側に、比較的面積の大きなフロントパッド２１を設け、流出端側に、電磁変換素子２４の幅Ｗｈに等しい面積のリアパッド２３を設けている。
【００１０】
フロントパッド２１とリアパッド２３の面積の差により、スライダ２０は、流入端より流出端側（電磁変換素子２４）側が、媒体１０に近づくように、浮上する。即ち、最流出端縁Ｅで、最も浮上すき間が小さくなる。フロントパッド２１とリアパッド２３との間に設けられたミドルパッド２２は、軸受面の上下両端付近に、一対設けられ、スライダ２０のトラック横断方向の姿勢を制御する。
【００１１】
図１２は、図１３のリアパッド２３の断面図であり、スライダベース２０に、二層の膜で構成されたリアパッド２３が設けられる。図１２は、その層構成を段階で示す。
【００１２】
図１４は、長さＬのヘッドスライダ２０が、図１１、図１２で説明したような、一様でない表面溝構造を持つ媒体１０上を浮上した場合の浮上量を測定した例を示す。ここでは、媒体１０の表面の溝深さは一様に１５ｎｍ（ナノメートル）である。図１４は、横軸に時間（移動位置）、縦軸に、浮上量を示す。図１４に見られるように、ヘッドスライダ２０の浮上量が、ほぼ１０ｎｍであったものが、５ｎｍ程度急激に変化している。
【００１３】
これは、ヘッドスライダ２０の最流出端部のパッド２３が、サーボゾーン１０上を通過した際，サーボゾーン１１の表面で流体抵抗が変化したことにより、発生圧力が変化したことに起因する現象である。このような、大きく浮上量変化が生じた場合は、電磁変換素子２４の再生信号の信号レベルが変化して、情報が再生できなくなる、あるいは正確な情報を記録できないという不都合が生じる。
【００１４】
このような現象を防止するため、従来、スライダ２０の長さＬを、サーボゾーン１１の幅Ｂより大きくすることにより、サーボゾーン１１での浮上量変化を防止することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１５】
又、他の従来技術では、ヘッドスライダ２０のパッドの合計面積と、パッド直下の媒体１０の凸部の合計面積の比を、最適化することにより、浮上量変化を防止することが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平５−８１８０８号公報
【特許文献２】特開２００５−５０４８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、第１の従来技術では、浮上量が大きくてよい場合には、大きい浮上量に対し、相対的に変動幅を小さくするのに有効であるが、浮上量が小さい場合には、相対的な変動幅が大きくなり、浮上量変化を抑制することは、困難である。
【００１７】
又、第２の従来技術でも、特許文献１の図５に示されるように、浮上量が、２０ｎｍと比較的大きい場合には、相対的に変動幅を小さくするのに有効であるが、浮上量が小さい場合（例えば、１０ｎｍ）には、相対的な変動幅が大きくなり、浮上量変化を抑制することは、困難である。
【００１８】
従って、本発明の目的は、ディスクリートメデイアのサーボゾーン通過時の浮上量変化を抑制するための磁気ディスク装置及びヘッドスライダを提供することにある。
【００１９】
又、本発明の他の目的は、ディスクリートメデイアのサーボゾーン通過時の浮上量変化を抑制し、正確な記録／再生を実現するための磁気ディスク装置及びヘッドスライダを提供することにある。
【００２０】
更に、本発明の他の目的は、ディスクリートメデイアに対する浮上量を小さくしても、浮上量変化を抑制し、高密度の記録／再生を実現するための磁気ディスク装置及びヘッドスライダを提供することにある。
【００２１】
更に、本発明の他の目的は、浮上量変動を抑制し、垂直磁気記録の高密度化に最適な浮上量を実現するための磁気ディスク装置及びヘッドスライダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
この目的の達成のため、本発明の磁気ディスク装置は、データゾーンとサーボゾーンとを有し、表面に溝を有する磁気ディスクと、前記磁気ディスクを回転するスピンドルモータと、アームを前記磁気ディスクの半径方向に駆動するアクチュエータと、前記アームの先端に設けられた磁気ヘッドを含むヘッドスライダとを有し、前記ヘッドスライダは、流出端側に設けられた前記磁気ヘッドと、複数のパッドを有する軸受面を有し、前記複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成された。
【００２３】
又、本発明のヘッドスライダは、データゾーンとサーボゾーンとを有し、表面に溝を有する磁気ディスク上を浮上するヘッドスライダにおいて、流出端側に設けられた前記磁気ヘッドと、複数のパッドを有する軸受面とを有し、前記複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成された。
【００２４】
更に、本発明では、好ましくは、前記流出端部のパッドの楔形状の長さが、前記磁気ディスクのサーボゾーンの最大幅より長い。
【００２５】
更に、本発明では、好ましくは、前記流出端部のパッドの楔形状の頂角が、９０度以下である。
【００２６】
更に、本発明では、好ましくは、前記流出端部のパッドは、少なくとも２層で構成され、２層の内、表面層が、楔形状に構成された。
【００２７】
更に、本発明では、好ましくは、前記流出端部のパッドは、楔形状で構成された表面層と、前記表面層の下に設けられ、前記磁気ヘッドを構成するためのヘッド構成層とを有する。
【００２８】
更に、本発明では、好ましくは、前記ヘッド構成層は、前記最流出端で、前記磁気ヘッドを構成するための幅を有し、且つ前記最流出端以外は、前記表面層の形状で構成した。
【００２９】
更に、本発明では、好ましくは、前記流出端部のパッドの楔形状は、頂点を有する。
【００３０】
更に、本発明では、好ましくは、前記流出端部のパッドの楔形状は、前記流出端に直線部を有する。
【００３１】
更に、本発明では、好ましくは、前記磁気ディスクは、前記磁気ディスクの円周方向に沿って、溝で分離された複数のトラックからなる前記データゾーンと、前記磁気ディスクの半径方向に設けられ、溝で分離されたサーボゾーンとからなる。
【００３２】
更に、本発明では、好ましくは、前記ヘッドスライダは、前記流入端に設けられたフロントパッドと、前記流出端に設けられたリアパッドとを有する。
【発明の効果】
【００３３】
ヘッドスライダの複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成したため、圧力分布を改善でき、且つ流体による圧力を平均化できるため、ディスクリートメデイアの溝による浮上量変動を抑制でき、安定な浮上が可能となる。しかも、小さい浮上量で、安定浮上できるため、高密度記録／再生を正確に実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施の形態を、磁気ディスク装置、磁気ヘッドスライダの第１の実施の形態、磁気ヘッドスライダの第２の実施の形態、他の実施の形態の順で説明するが、本発明は、この実施の形態に限られない。
【００３５】
（磁気ディスク装置）
図１は、本発明の磁気ディスク装置の一実施の形態の構成図であり、垂直記録方式の磁気ディスク装置を例に示す。図１に示すように、垂直磁気記憶媒体である磁気ディスク１０２が、スピンドルモータの回転軸１０４に設けられている。スピンドルモータは、回転軸１０４を回転して、磁気ディスク１０２を回転する。アーム１０８は、回転軸１１０を中心に、ＶＣＭ（Ｖｏｉｃｅ  Ｃｏｉｌ  Ｍｏｔｏｒ）１０６により回転される。このアーム１０８の先端に、サスペンション１１６が取り付けられる。
【００３６】
サスペンション１１６の先端には、磁気ヘッド（リード素子及びライト素子）を搭載したヘッドスライダ１１２が設けられる。又、磁気ヘッドを、磁気ディスク１０２から退避し、パーキングするランプロード機構１１４が設けられる。これらの機構は、装置筐体１００内に収容される。
【００３７】
この磁気ディスク１０２は、図１１及び図１２で説明したディスクリートメデイアで構成される。又、磁気ディスク装置では、ＶＣＭ１０６により、アーム１０８を磁気ディスク１０２の半径方向に回転し、磁気ヘッドを含むヘッドスライダ１１２を、磁気ディスク１０２の所望のトラックに位置付ける。
【００３８】
図１１、図１２で説明したように、磁気ディスク１０２には、同心円上にトラックが、溝で分離されて、形成されており、磁気ヘッドは、磁気ディスク１０２の回転により、トラック１周の任意のセクタのデータのリード及びライトを行う。
【００３９】
磁気ヘッドは、リード素子と、ライト（垂直記録）素子とからなり、ヘッドスライダに、磁気抵抗（ＭＲ）素子を含むリード素子を積層し、その上にライトコイルを含むライト素子を積層して、構成される。
【００４０】
（ヘッドスライダの第１の実施の形態）
図２は、本発明の第１の実施の形態のヘッドスライダの軸受面形状を示す図、図３は、その断面図、図４は、図２及び図３のリアパッドの説明図である。
【００４１】
図２に示すように、ヘッドスライダ１１２は、流入端側に、比較的面積の大きなフロントパッド３０を設け、流出端側に、電磁変換素子（磁気ヘッド）４０の幅Ｗｈに等しい面積のリアパッド３４を設けている。図３に示すように、フロントパッド３０とリアパッド３４の面積の差により、スライダ１１２は、流入端より流出端側（電磁変換素子４０）側が、媒体１０２に近づくように、浮上する。即ち、最流出端縁Ｐで、最も浮上すき間が小さくなる。
【００４２】
この例では、フロントパッド３０とリアパッド３４との間に設けられたミドルパッド３２は、軸受面の上下両端付近に、一対設けられ、スライダ１１２のトラック横断方向の姿勢を制御する。
【００４３】
図２、図３に示すように、最流出端パッドであるリアパッド３４は、スライダベース３１上に、ヘッド構成層３７と、ヘッド構成層３７上に設けられた表面層３６とを有し、表面層３６が、流出端に向かって、徐々にその幅が狭くなるような楔状形状で構成されている。楔の頂角は、Ｐで表している。
【００４４】
図３の最流出端パッド３４のスライダ中心線ＣＣ‘に沿った断面形状に示すように、最流出端パッド表面層３６から段差ｄｓ＝２ｎｍを持って，ヘッドが構成される層３７が設けられ、この層３７も、流出端に向かって幅が狭くなる構造をとっている。
【００４５】
但し、ヘッド構成層３７は、最流出端部では、ヘッドを構成するための幅Ｗｈが確保されている。このように、最流出端パッド３４の表面層３６を楔状に構成することにより、図１３の従来例では、直線状の最流出端縁Ｅで、浮上すき間が最小となっていたのに対し、本実施例では、楔形状部分の頂点Ｐ上で、浮上すき間が最小となる。
【００４６】
又、表面層３６の楔形状を構成する部分３８の長さＬｗは、媒体１０２上におけるサーボゾーン１１の幅Ｂの最大値より大きくなるように設定する。
【００４７】
このように、リアパッド３４に、楔形状部分を形成した理由を説明する。図４は、図１３の従来のヘッドスライダの中心線ＣＣ‘に沿った圧力分布の計算結果を示し、横軸は、スライダの流入端を基準とした位置（距離）ｙであり、縦軸は、圧力である。
【００４８】
図４において、細線は、図１３のスライダ２０がデータゾーン上を浮上しているときの圧力分布を示し，太線は、最流出端縁Ｅがサーボゾーン上にある場合の圧力分布である。又、図中，サーボゾーン範囲と示す部分が、サーボゾーンに対応している。
【００４９】
いずれの場合も、スライダ２０の最流出端パッド部２１で大きな圧力が発生している。又、最流出端縁Ｅより上流（流入端側）では、気体は圧縮され、圧力が上昇するのに対して、下流（流出端）側では、すき間が大きくなり、気体は急激に膨張して、圧力は減少する。したがって、最流出端縁Ｅで、圧力はピーク値をとる。
【００５０】
また、最流出端縁Ｅが、サーボゾーン１１上にある場合は、データゾーン１２上にある場合と比較して、さらに大きな圧力が発生している。この結果，最流出端縁Ｅが、データゾーンからサーボゾーンへと移行する時点で浮上量が大きくなる。図１４において、浮上量が急変し始める時点ｔ１は、ヘッドスライダ２０の最流出端縁Ｅが、データゾーン１２とサーボゾーン１１の境界（図３の矢印）と一致した時点である。また，最流出端縁Ｅは、ヘッド２４を構成するためにある程度の幅Ｗｈが要求され，この幅が大きいと、浮上量変化も大きくなる。
【００５１】
即ち、この最流出端部のパッドが、最流出端縁Ｅの圧力に影響を与える。そこで、この最流出端部のパッド３４の形状により、浮上量変化を抑圧する。
【００５２】
図５は、ディスク１０２の回転によって、サーボゾーン１１が、ヘッドスライダ１１２の最流出端パッド３４の表面層３６の楔状部分３８を移動していく様子を示している。楔状部分３８とサーボゾーン１１が重複している領域３９（図の斜線部）は、図のように台形となる。
【００５３】
この最流出端パッド３６が、サーボゾーン１１上を通過するとき、この部分での圧力は上昇するが，パッド表面層３６を楔形状３８にすると、楔形状部３８の側面側へ、高圧気体が流出する効果が大きくなり、特にこの効果が、楔形状３８の頂点Ｐに近づくにつれて大きくなる。したがって，従来例では、最流出端縁Ｅの圧力に、サーボゾーン通過の影響が集中的に現れたのに対して，この実施例では、圧力分布が改善され、緩和される。
【００５４】
図７は、本実施例におけるスライダ中心線ＣＣ‘に沿った圧力分布の計算結果を、最流出端パッド部３４の近傍を拡大して示す。３つの圧力分布が示されている。図７において、横軸がスライダ上の位置（距離）であり、縦軸が圧力である。図７は、サーボゾーンとスライダの相対位置関係に対応した圧力分布を示す。点線は、スライダ１１２が、サーボゾーン上を通過しない場合の圧力分布を示し、黒太線は、サーボゾーン１１が、最流出端パッド３４の楔形状部分３８の流入端側にある場合（即ち、楔形状部分３８の頂点Ｐが、サーボゾーン１１に含まれない）、細線は、スライダの楔形状部分３８の頂点Ｐが、サーボゾーン１１の中央と一致している場合に対応する。
【００５５】
この図７と先の図４（従来例）とを比較すると，図４では、最流出端縁Ｅとサーボゾーン１１の位置関係によって、特に流出端部の圧力の大きさが大きく異なったのに対し，図７の場合，サーボゾーン１１とスライダ１１２の位置関係による圧力の大きさに、大きな差がなくなっていることが分かる。
【００５６】
このように最流出端パッド表面３６を楔形状３８とすることにより、最流出端パッド３４が、サーボゾーン１１を通過する影響を低減することができる。
【００５７】
第２に、この実施例では、最流出端パッド部での発生力を調整している。図５に示したように、重複領域３９が、パッド３８のより流出端に近い部分にある場合、浮上すき間は平均的に小さく，その結果，発生圧力は大きくなるが、重複領域３９の平均幅Ｗｒは小さい。
【００５８】
一方，重複領域３９が、流入端側にある場合、すき間は大きく発生圧力は小さいが、重複領域の幅Ｗｒは大きい。したがって、重複領域３９で発生する力（＝面積（Ｗｒ×Ｂ（サーボパターン幅））×圧力）は、この重複領域３９が、流入端側にある場合と、流出端側にある場合とで大きな差はなく、どのような相対位置関係でも、発生力の相対差は小さい。
【００５９】
図１３の従来のヘッドスライダでは、サーボゾーン１１が流出端縁Ｅと一致する位置の前後で、発生力が急激に大きく変化するので，それに伴い急激な浮上量変化が生じた。しかし、図２に示す本実施の形態のヘッドスライダでは、サーボゾーン１１が、楔形状部分３８を通過し、流出端点Ｐ近傍に達しても，楔形状の効果によって、発生力は大きく変化しない。したがって、急激な浮上変動は発生しない。
【００６０】
図６は、本実施例（図２）によるヘッドスライダと従来のヘッドスライダ（図１３）との浮上量変動特性図であり、計算により求めたものである。太線が、本実施例のヘッドスライダが、媒体１０２上のサーボゾーン１１を通過した場合の浮上量変化を示し、細線が、従来のヘッドスライダ（図１３）が、サーボパターンを通過した場合の浮上量変化を示す。
【００６１】
図６に示すように、本実施例によるヘッドスライダ１１２では，軸受面形状が異なることもあって、定常値浮上量（Hs）は、約９．２ｎｍとなり、従来の図１３で示したヘッドスライダの場合の９．４ｎｍとは若干異なっているが、浮上量の変化が、明らかに小さくなっていることがわかる。
【００６２】
本実施の形態でも、従来と同じく，サーボゾーン１１とデータゾーン１２の境界が、最流出端パッド３４の表面層３６の楔状部分３８の最流出端点Ｐに到達した時点ｔ１から浮上量が、大きくなる傾向がある。その変動幅は、従来のΔＨに比し、はるかに小さい。
【００６３】
このように、本実施例において、サーボゾーン通過時の浮上量変動が小さく抑制された要因は、前述のように、側面による圧力分布の改善と、最流出端パッド部での発生力が調整される効果である。
【００６４】
図６に示すように、最流出端点Ｐが、データゾーン１２とサーボゾーン１１の境界と一致する時点ｔ１より以前の時点ｔ２から、浮上量は徐々に増加している。これは、楔形状の効果により，サーボゾーン１１が、楔状部分３８のより流入端側にある時点での、楔状部分３８とサーボゾーン１１の重複領域３９における発生力が相対的に大きく，この影響を受けて浮上量が変化した結果である。
【００６５】
結局，本実施の形態に示すヘッドスライダでは、サーボゾーン１１が、最流出端パッド部３６を通過することに伴う浮上量変化が平均化され，浮上変動の波高値を小さく抑制することが可能となる。
【００６６】
上記の最流出端パッド３４の表面層３６の形状効果は，楔形状部分３８の長さＬｗが、サーボゾーンの最大幅Ｂより大きいことによって、高められることは、前述の説明から明らかである。
【００６７】
さらに，この効果を十分発揮させるためには、楔形状３８の頂角θ（図２参照）が、鋭角であることが望ましい。図８は、楔形状の頂角θに対して、サーボゾーン通過時の浮上量変動波高値ΔＨ（図６の最大浮上量と定常浮上量の差）を計算した結果である。
【００６８】
図８から、本実施の形態のヘッドスライダでは、頂角角度θは、７８度に設定されており，浮上量変動波高値ΔＨ＝１ｎｍと、十分小さく抑制されていることがわかる。又、頂角角度θが、９０度を超えると、浮上量変動波高値ΔＨが急激に大きくなることがわかる。このため、望ましくは、楔形状部分３８の頂角は、９０度以下である。
【００６９】
また、本実施例では、図２に示したように，ヘッドが構成される層３７に関しても、なるべくパッド表面層３６と同じ楔状形状を踏襲することが効果的である。実際、ヘッドが構成される層３７と、パッド表面層３６との段差は、２ｎｍ程度であり，この層３７も楔形状に近い形状とすることは、より効果が発揮できる。
【００７０】
（磁気ヘッドスライダの第２の実施の形態）
図９及び図１０は、本発明の磁気ヘッドスライダの第２の実施の形態の説明図であり、最流出端部パッド表面層３６のみの形状を示す。図２の第１の実施の形態では、ヘッドスライダ１１２の中心線に対して、対称な楔状３８を示した。
【００７１】
しかし、設計条件によっては、図９に示すような、非対称の楔形状３８Ａとしても、全く効果が損なわれることはない。更に、同様に，図１０に示すように、流出端側に短辺を持つ台形状の楔３８Ｂとすることも可能である。ただし，図１０の場合は、楔状の場合より効果が減ることは否めないが、従来に比し大幅に、浮上量変動を抑制できる。
【００７２】
（他の実施の形態）
前述の実施の形態では、磁気ディスク装置を、垂直磁気ディスク装置の例で説明したが、水平磁気記録装置、光アシスト垂直磁気ディスク装置等の他のディスク装置にも適用できる。又、前述のように、リアパッドを台形状とした場合に、リアパッドを一層で構成しても良い。更に、ディスクリートメデイアは、図１１の構成に限らず、他のディスクリートメデイアと呼ばれるものにも適用できる。しかも、ミドルパッドを設けない構成にも、適用できる。
【００７３】
以上、本発明を、実施の形態で説明したが、本発明は、その趣旨の範囲内で種々の変形が可能であり、これを本発明の範囲から排除するものではない。
【００７４】
（付記１）データゾーンとサーボゾーンとを有し、表面に溝を有する磁気ディスクと、前記磁気ディスクを回転するスピンドルモータと、アームを前記磁気ディスクの半径方向に駆動するアクチュエータと、前記アームの先端に設けられた磁気ヘッドを含むヘッドスライダとを有し、前記ヘッドスライダは、流出端側に設けられた前記磁気ヘッドと、複数のパッドを有する軸受面を有し、前記複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成されたことを特徴とする磁気ディスク装置。
【００７５】
（付記２）前記流出端部のパッドの楔形状の長さが、前記磁気ディスクのサーボゾーンの最大幅より長いことを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００７６】
（付記３）前記流出端部のパッドの楔形状の頂角が、９０度以下であることを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００７７】
（付記４）前記流出端部のパッドは、少なくとも２層で構成され、２層の内、表面層が、楔形状に構成されたことを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００７８】
（付記５）前記流出端部のパッドは、楔形状で構成された表面層と、前記表面層の下に設けられ、前記磁気ヘッドを構成するためのヘッド構成層とを有することを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００７９】
（付記６）前記ヘッド構成層は、前記最流出端で、前記磁気ヘッドを構成するための幅を有し、且つ前記最流出端以外は、前記表面層の形状で構成したことを特徴とする付記５の磁気ディスク装置。
【００８０】
（付記７）前記流出端部のパッドの楔形状は、頂点を有することを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００８１】
（付記８）前記流出端部のパッドの楔形状は、前記流出端に直線部を有することを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００８２】
（付記９）前記磁気ディスクは、前記磁気ディスクの円周方向に沿って、溝で分離された複数のトラックからなる前記データゾーンと、前記磁気ディスクの半径方向に設けられ、溝で分離されたサーボゾーンとからなることを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００８３】
（付記１０）前記ヘッドスライダは、前記流入端に設けられたフロントパッドと、前記流出端に設けられたリアパッドとを有することを特徴とする付記１の磁気ディスク装置。
【００８４】
（付記１１）データゾーンとサーボゾーンとを有し、表面に溝を有する磁気ディスク上を浮上するヘッドスライダにおいて、流出端側に設けられた前記磁気ヘッドと、複数のパッドを有する軸受面とを有し、前記複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成されたことを特徴とするヘッドスライダ。
【００８５】
（付記１２）前記流出端部のパッドの楔形状の長さが、前記磁気ディスクのサーボゾーンの最大幅より長いことを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００８６】
（付記１３）前記流出端部のパッドの楔形状の頂角が、９０度以下であることを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００８７】
（付記１４）前記流出端部のパッドは、少なくとも２層で構成され、２層の内、表面層が、楔形状に構成されたことを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００８８】
（付記１５）前記流出端部のパッドは、楔形状で構成された表面層と、前記表面層の下に設けられ、前記磁気ヘッドを構成するためのヘッド構成層とを有することを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００８９】
（付記１６）前記ヘッド構成層は、前記最流出端で、前記磁気ヘッドを構成するための幅を有し、且つ前記最流出端以外は、前記表面層の形状で構成したことを特徴とする付記１５のヘッドスライダ。
【００９０】
（付記１７）前記流出端部のパッドの楔形状は、頂点を有することを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００９１】
（付記１８）前記流出端部のパッドの楔形状は、前記流出端に直線部を有することを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００９２】
（付記１９）前記磁気ディスクは、前記磁気ディスクの円周方向に沿って、溝で分離された複数のトラックからなる前記データゾーンと、前記磁気ディスクの半径方向に設けられ、溝で分離されたサーボゾーンとからなることを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【００９３】
（付記２０）前記ヘッドスライダは、前記流入端に設けられたフロントパッドと、前記流出端に設けられたリアパッドとを有することを特徴とする付記１１のヘッドスライダ。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
ヘッドスライダの複数のパッドの内、流出端部のパッド形状が、流出端に向かって、幅が狭くなる楔形状で構成したため、圧力分布を改善でき、且つ流体による圧力を平均化できるため、ディスクリートメデイアの溝による浮上量変動を抑制でき、安定な浮上が可能となる。しかも、小さい浮上量で、安定浮上できるため、高密度記録／再生を正確に実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の磁気ディスク装置の一実施形態の構成図である。
【図２】図１のヘッドスライダの軸受面の説明図である。
【図３】図２のリアパッドの断面図である。
【図４】従来のヘッドスライダの圧力分布図である。
【図５】図２のリアパッドの拡大図である。
【図６】図２のヘッドスライダの浮上量変化の特性図である。
【図７】図２のヘッドスライダの圧力分布図である。
【図８】図２のリアパッドの頂角と浮上変動の関係図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態のヘッドスライダの構成図である。
【図１０】本発明の第２の実施の形態のヘッドスライダの変形例の構成図である。
【図１１】ディスクリートメデイアの構成図である。
【図１２】従来のヘッドスライダの説明図である。
【図１３】従来のヘッドスライダの軸受面の説明図である、
【図１４】従来のヘッドスライダの浮上量の特性図である、
【符号の説明】
【００９６】
１０２  磁気ディスク（ディスクリートメデイア）
１０４  スピンドルモータの回転軸
１０６  ＶＣＭ（回転型アクチュエータ）
１１０  回転軸
１０８  アーム
１１６  サスペンション
１１２  ヘッドスライダ
３４  リアパッド
３８  楔形状部
４０  磁気ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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