(57)【要約】【課題】パターンの線幅、直進性および各パターンの高さなどの調節が容易であり、同時に透過度に優れてカラーフィルターのＯＣＬ形成用に特に適した感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明による感光性樹脂組成物は、カラーフィルターのＯＣＬ用感光性樹脂組成物であって、紫外線吸収剤を含むことを特徴とする。【選択図】図２
2008052278.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルターのＯＣＬ（Ｏｖｅｒ  ｃｏａｔｉｎｇ  ｌａｙｅｒ）形成用感光性樹脂組成物であって、
紫外線吸収剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記紫外線吸収剤が、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、トリアジン誘導体、オキサリックアニリド系、ピリミジン系またはサリチル酸誘導体である請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記紫外線吸収剤が、下記の式（１）、（２）、（３）または（４）
【化１】
2008052278.tif 000007
（式中、Ｒ１〜Ｒ５は、それぞれ独立的に水素またはＣＨ３である。）
からなる群から選択される１種以上の化合物である請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
ａ）樹脂５〜５０重量％；
ｂ）架橋性モノマー５〜３０重量％；
ｃ）光重合開始剤０．５〜５重量％；
ｄ）紫外線吸収剤０．１〜５重量％；および
ｅ）残量の溶剤を含む請求項１〜３のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記樹脂が、ａ）ｉ）ガラス転移温度が１５０℃以下であるアルカリ可溶性アクリレート樹脂、またはｉｉ）フォトポリマー樹脂である請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記アルカリ可溶性アクリレート樹脂が、不飽和カルボン酸２０〜５０重量％、芳香族単量体２０〜４０重量％、低ガラス転移温度付与能力を有する単量体３〜１５重量％、およびアクリル単量体１０〜３０重量％を重合して製造される請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記フォトポリマー樹脂が、下記の式（５）または下記の式（６）
【化２】
2008052278.tif 000008
（式中、Ｒ６は、それぞれ独立的に水素または炭素数１〜２のアルキル基であり、
Ｒ７はヒドロキシ基が置換されていてもよい炭素数２〜５の２価のアルキル基であり、
ａ＋ｂ＋ｃ＝１であり、０．１＜ａ＜０．４、０＜ｂ＜０．５、０．１＜ｃ＜０．５である。）
で示される化合物である請求項５に記載の感光性樹脂組成物：
【請求項８】
前記架橋性モノマーが、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、およびこれらのメタクリレート類からなる群より１種以上選択される化合物である請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記溶剤が、使用された溶媒総量を基準に、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート４０〜８０重量％、エトキシプロピオン酸エチル１５〜４０重量％、およびブチル酢酸１〜２０重量％で含まれる請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記感光性樹脂組成物が、界面活性剤、増感剤、硬化促進剤または顔料を感光性樹脂組成物に２重量％以下で追加的に含む請求項１〜９のいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
請求項１〜１０のうちのいずれか１つに記載の感光性樹脂組成物を使用することを特徴とするカラーフィルター形成方法。
【請求項１２】
請求項１１のカラーフィルター形成方法によって形成されることを特徴とするカラーフィルター。
【請求項１３】
請求項１２記載のカラーフィルターが適用されてなることを特徴とするＣＭＯＳイメージセンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性樹脂組成物に関し、より詳しくは、パターンの線幅、直進性および各パターンの高さなどの調節が容易であり、同時に透過度に優れてカラーフィルターのＯＣＬ（Ｏｖｅｒ  ｃｏａｔｉｎｇ  ｌａｙｅｒ）形成用に特に適した感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体素子のうちのカラーフィルターアレイは図１のような断面図を有し、図１はこのような従来の技術のうちの一つによって図式したカラーフィルターアレイの断面図であって、集光に関連する従来のＣＭＯＳイメージセンサーの主要構造部分が図式されている。
【０００３】
図１に示したように、カラーフィルターおよび関連平坦化層２、４の形成は、ＳＴＩ（ｓｈａｌｌｏｗ  ｔｒｅｎｃｈ  ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）およびパッシベーション（ｐａｓｓｉｖａｔｉｏｎ）工程が完了した半導体基板１、半導体基板１の上に形成された第１オーバーコーティング層（ＯＣＬ）２、第１オーバーコーティング層２の上に形成されたカラーフィルターアレイ（ＣＦＡ：ｃｏｌｏｒ  ｆｉｌｔｅｒ  ａｒｒａｙ）層３ａ、３ｂ、３ｃ、ＣＦＡ３ａ、３ｂ、３ｃに平坦化および素子保護用第２オーバーコーティング層４、および各カラーフィルターの対向位置にマイクロレンズ５がそれぞれ形成されている。
【０００４】
ここで、赤色、緑色、青色のカラーフィルター３ａ、３ｂ、３ｃの材料としては特定波長の光のみを吸収できる顔料形態に分散されたフォトレジストが主に使用され（特許文献１）、マイクロレンズ５の材料としてはポリマー系の樹脂が主に使用される。
【０００５】
このような方法で一般的なカラーフィルター３ａ、３ｂ、３ｃを３．２μｍ以下の大きさで形成する場合、その端部の境界部分の不明確による形成パターンの大きさと高さの均一度が低下するという問題点がある。また、各カラーフィルター３ａ、３ｂ、３ｃの大きさが異なることにより入射された光が他の光経路に誤って入射すると、結局、光を感知できなくなったり、所望しない隣接された他のカラーフィルター３ａ、３ｂ、３ｃに干渉現象を与えることによってＣＭＯＳイメージセンサーで高性能イメージを実現することに問題を有する。
【特許文献１】大韓民国公開特許第１０−２００６−００６３４７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来の技術の問題点を解決するために、本発明は、パターンの線幅、直進性および各パターンの高さなどの調節が容易であり、同時に透過度に優れてカラーフィルターのＯＣＬ用に特に適した感光性樹脂組成物を提供する。
【０００７】
本発明の他の目的は、前記感光性樹脂組成物で形成させたカラーフィルターおよびその製造方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、前記カラーフィルターを含むＣＭＯＳイメージセンサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明は、カラーフィルターのＯＣＬ用感光性樹脂組成物において、紫外線吸収剤を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。
また、本発明は、感光性樹脂組成物を使用することを特徴とするカラーフィルター形成方法を提供する。
【０００９】
さらに、本発明は、前記感光性樹脂組成物で形成されることを特徴とするカラーフィルターを提供する。
また、本発明は、前記カラーフィルターが適用されることを特徴とするＣＭＯＳイメージセンサーを提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による感光性樹脂組成物は、パターンの線幅、直進性および各パターンの高さなどの調節が容易であり、同時に透過度に優れてカラーフィルターのＯＣＬ用に特に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の感光性樹脂組成物は紫外線吸収剤を含むことを特徴とする。前記紫外線吸収剤以外の成分は通常の感光性樹脂組成物に使用される成分を適用でき、樹脂、架橋性モノマー、光重合開始剤、溶剤等を含むことができる。
【００１２】
本発明に使用される前記紫外線吸収剤は、露光時に発生する紫外線などの波長による乱反射性未パターン部上の重合禁止作用を果たす。
前記紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフェノン系、トリアジン誘導体、オキサリックアニリド系、ピリミジン系またはサリチル酸誘導体などの誘導体を用いることができ、好ましい具体的な例としては、下記の式（１）、（２）、（３）または（４）からなる群から選択される１種以上の化合物であるのが好ましい。
【００１３】
【化１】
2008052278.tif 000003
（式中、Ｒ１〜Ｒ５はそれぞれ独立的に水素またはＣＨ３である。）
【００１４】
前記紫外線吸収剤は、本発明の感光性樹脂組成物に０．１〜５重量％で含まれるのが好ましく、さらに好ましくは１〜２重量％で含まれる。その含量が０．１重量％未満である場合には、上部カラーフィルターの線幅が増加することがあり、５重量％を超える場合には硬化度が低下することがあるとともに、低い感度によって正常的な形状の実現が難しくなることがあり、パターンの直進性を確保しにくくなる傾向がある。
【００１５】
好ましくは、本発明の感光性樹脂組成物は、
ａ）樹脂５〜５０重量％；
ｂ）架橋性モノマー５〜３０重量％；
ｃ）光重合開始剤０．５〜５重量％；
ｄ）紫外線吸収剤０．１〜５重量％；および
ｅ）残量の溶剤を含むのが良い。
【００１６】
さらに好ましくは、本発明の感光性樹脂組成物は、
ａ）ｉ）ガラス転移温度が１５０℃以下であるアルカリ可溶性アクリレート樹脂、またはｉｉ）フォトポリマー樹脂５〜５０重量％；
ｂ）少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー５〜３０重量％；
ｃ）光重合開始剤０．５〜５重量％；
ｄ）紫外線吸収剤０．１〜５重量％；および
ｅ）残量の溶剤を含むのがよい。
【００１７】
前記ａ）ｉ）の低ガラス転移点アクリレート樹脂はガラス転移温度が１５０℃以下であるのが好ましく、ガラス転移温度が１５０℃以下である場合には最終感光性樹脂組成物の柔軟性付与に一層効果的である。
前記低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂は、不飽和カルボン酸、芳香族単量体、表面柔軟性付与能力を有する単量体、およびアクリル単量体を重合して製造することができる。
【００１８】
前記不飽和カルボン酸はアルカリ可溶性のために使用するものであって、具体的にアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれらの酸無水物などを使用できる。
【００１９】
前記不飽和カルボン酸は、低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂に２０〜５０重量％で含まれるのが好ましい。前記範囲内である場合には、現像工程時に現像時間が長くなる問題を解決することができ、重合時にゲル化または重合度調節が難しくなり、感光性樹脂組成物の保存安定性が悪化する問題を解決することができる。
【００２０】
前記芳香族単量体は、最終感光性樹脂組成物の耐化学性と耐熱性を向上させる作用を果たす。
前記芳香族単量体は、スチレン、ベンジルメタクリレート、ベンジルアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−ニトロフェニルアクリレート、４−ニトロフェニルアクリレート、２−ニトロフェニルメタクリレート、４−ニトロフェニルメタクリレート、２−ニトロベンジルメタクリレート、４−ニトロベンジルメタクリレート、２−クロロフェニルアクリレート、４−クロロフェニルアクリレート、２−クロロフェニルメタクリレート、または４−クロロフェニルメタクリレートなどが使用できる。
【００２１】
前記芳香族単量体は、低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂に１５〜４５重量％で含まれるのが好ましい。前記範囲内である場合には現像工程時に基板との密着性が落ちるパターンの剥離現象や形成されたパターンの直進性が悪化し安定したパターン実現が難しい問題を解決することができ、またドライフィルム形成時にフィルムの柔軟性が低下し、プラスチック基板に対する耐久性が悪化する問題を解決することができる。
前記低ガラス転移温度付与能力を有する単量体は、低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂のガラス転移点を低下させて高分子の柔軟性を増大させ、プラスチックに対する耐久性を向上させる作用を果たす。
【００２２】
前記表面柔軟性付与能力を有する単量体は、エトキシ化脂肪族アルコールのメタアクリリックエステル、イソトリデシルメタアクリレート、ステリルメタアクリレート、イソデシルメタアクリレート、エチルヘキシルメタアクリレート、エチルトリグリコールメタアクリレート、メトキシポリエチレングリコールメタアクリレート、またはブチルジグリコールメタアクリレートなどを使用できる。
【００２３】
前記表面柔軟性付与能力を有する単量体は低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂に３〜１５重量％で含まれるのが好ましい。前記範囲内である場合には低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂のガラス転移点が高くなって壊れやすかったり、形成された感光性樹脂組成物の柔軟性が悪化する問題を解決することができ、また現像工程時にパターンの剥離現象が激しくなったり、形成されたパターンの直進性が悪化する問題を解決することができる。
【００２４】
前記アクリル単量体は低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂の極性を調節する作用を果たし、具体的に、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、またはｎ−ブチルアクリレートなどが使用できる。
【００２５】
前記アクリル単量体は低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂に１０〜３０重量％で含まれるのが好ましい。前記範囲内である場合には低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂の耐熱性、分散性、および現像液との親水性を向上させることができる。
【００２６】
前記のような不飽和カルボン酸、芳香族単量体、表面柔軟性付与能力を有する単量体、およびアクリル単量体は、ゲル化を防止できる適切な極性を有する溶媒で重合して最終低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂を製造することができる。
【００２７】
前記低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂は重量平均分子量が１０，０００〜３５，０００であるのが好ましく、さらに好ましくは１５，０００〜２５，０００である。前記範囲内である場合には現像マージンが良くなり、現像過程で現像時間が遅くなり、残膜が生じる問題を解決することができる。
【００２８】
前記ガラス転移温度が１５０℃以下である低ガラス転移点アクリレート高分子樹脂は本発明の感光性樹脂組成物に５〜３０重量％で含まれるのが好ましく、さらに好ましくは１５〜２５重量％である。前記範囲内である場合には柔軟性が良くなり、コールドフローのような安定性問題を発生させない。
【００２９】
本発明の前記ａ）ｉｉ）のフォトポリマー樹脂は感光性樹脂組成物の感度を向上させる作用を果たす。
前記フォトポリマー樹脂はアルカリ水溶液に溶解される樹脂であって、下記の式（５）または下記の式（６）で示される化合物であるのが好ましい。
【００３０】
【化２】
2008052278.tif 000004
（式中、Ｒ６はそれぞれ独立的に水素または炭素数１〜２の２価のアルキル基であり、
Ｒ７はヒドロキシ基が置換されていてもよい炭素数２〜５のアルキル基であり、
ａ＋ｂ＋ｃ＝１であり、０．１＜ａ＜０．４、０＜ｂ＜０．５、０．１＜ｃ＜０．５で
ある。）
【００３１】
前記フォトポリマー樹脂の重量平均分子量は１０，０００〜８０，０００であるのが好ましく、より好ましくは１５，０００〜５０，０００である。前記フォトポリマーの重量平均分子量が前記範囲内である場合には現像時間と残膜除去程度においてさらによい。
【００３２】
前記フォトポリマー樹脂は本発明の感光性樹脂組成物に５〜３０重量％で含まれるのが好ましく、その含量が前記範囲内である場合には適正な粘度の感光性樹脂組成物を得ることができ、厚さの調節が容易であるという長所がある。
【００３３】
前記ａ）ｉ）ガラス転移温度が１５０℃以下であるアルカリ可溶性アクリレート樹脂またはｉｉ）フォトポリマー樹脂は、本発明の感光性樹脂組成物に単独でまたは混合して使用することができ、感光性樹脂組成物に５〜５０重量％で含まれるのが好ましく、前記範囲内である場合には工程に適した粘度および厚さの調節が容易であるという長所がある。
【００３４】
また、前記ｂ）の少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーは、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート誘導体、トリメチルプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールポリアクリレート、およびこれらのメタクリレート類などが使用できる。
【００３５】
前記少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマーは本発明の感光性樹脂組成物に５〜３０重量％で含まれるのが好ましい。前記範囲内である場合には感光性樹脂組成物の柔らかさおよび現像性および接着力を向上させる。
【００３６】
また前記ｃ）の光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線などの波長によって前記架橋性モノマーの重合を開始する作用を果たす。
前記光重合開始剤は、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、キサントン系化合物、またはイミダゾール系化合物などが使用でき、具体的に、２，４−ビストリクロロメチル−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−ｐ−メトキシスチリル−４，６−ビストリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−４−メチルナフチル−６−トリアジンなどのトリアジン系化合物；ベンゾフェノン、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどのベンゾイン系化合物；２，２−ジクロロ−４−フェノキシアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジブトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、ｐ−ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノンなどのアセトフェノン系化合物；キサントン、チオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソブチルチオキサントン、２−ドデシルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントンなどのキサントン系化合物；または２，２−ビス−２−クロロフェニル−４，５，４，５−テトラフェニル−２−１，２−ビスイミダゾール、２，２−ビス（２，４，６−トリシアノフェニル）−４，４，５，５−テトラフェニル−１，２−ビスイミダゾールなどのイミダゾール系化合物などが使用できる。
【００３７】
前記光重合開始剤は本発明の感光性樹脂組成物に０．５〜５重量％で含まれるのが好ましく、さらに好ましくは１〜２重量％である。前記範囲内である場合には硬化度が良くなり、感度が良くなって正常的なパターン形状の実現が容易になり、パターンの直進性にもよく、また、保存安定性、解像度がよくなり、形成されたパターン外の部分に残膜が発生しないようにするという長所がある。
【００３８】
本発明に使用される前記ｄ）の紫外線吸収剤は前記説明の通りである。
本発明に使用される前記ｅ）の溶剤は、溶解性、コーティング性などによって選択され、具体的に、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エトキシプロピオン酸エチル、ブチル酢酸、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、３−メトキシプロピオン酸エチル、または３−エトキシプロピオン酸メチルなどが使用でき、特にプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エトキシプロピオン酸エチル、またはブチル酢酸を使用するのが好ましい。
【００３９】
前記溶剤は、粘度または組成物内の総固形分含量に従ってその含量を別にして、本発明の感光性樹脂組成物に使用された固形分を除いた残り残量で含まれることができ、特に使用溶媒総量に対してプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート４０〜８０重量部、エトキシプロピオン酸エチル１５〜４０重量部、およびブチル酢酸１〜２０重量部で含まれるのが好ましい。前記溶剤が前記範囲内で含まれる場合には厚さ偏差を克服して感光性樹脂組成物の均一性を向上させることができる。
【００４０】
前記のような成分からなる本発明の感光性樹脂組成物は必要によって、ｆ）少なくとも２つ以上の二重結合を含む架橋性アクリルモノマーを追加的に含むことができる。前記架橋性アクリルモノマーはエチレンオキシドが付加されたビスフェノールＡジアクリレート、エチレンオキシドが付加されたビスフェノールＡジメタクリレート、プロピレンオキシド基が付加されたビスフェノールＡジアクリレート、プロピレンオキシドが付加されたビスフェノールＡジメタクリレート、エチレンオキシド基が付加されたジアクリレート、エチレンオキシド基が付加されたジメタクリレート、プロピレンオキシドが付加されたジアクリレート、またはプロピレンオキシドが付加されたジメタクリレートなどが好ましく、前記アクリレート系架橋性オリゴマーは本発明の感光性樹脂組成物に３〜１５重量％で含まれるのが好ましい。前記範囲内である場合には柔軟性および安定性が向上するという長所がある。
【００４１】
また、本発明の感光性樹脂組成物は必要によって、界面活性剤、増感剤、硬化促進剤、顔料など添加剤を追加的に含むことができる。特に、前記界面活性剤はシリコン系またはフッ素系界面活性剤が使用できる。
【００４２】
前記添加剤は感光性樹脂組成物にそれぞれ２重量％以下で含まれるのが好ましい。その含量が２重量％を超過する場合には、残膜が発生したり安定性が低下したり、イオン、不純物が液晶に溶出する現象が発生することがある。
【００４３】
また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を使用することを特徴とするカラーフィルター形成方法、前記方法で得られたカラーフィルター、およびカラーフィルターの適用されたＣＭＯＳイメージセンサーを提供する。
【００４４】
前記カラーフィルター形成方法は感光性樹脂組成物を適用して、通常的にカラーフィルターのＯＣＬを形成する方法において前記感光性樹脂組成物を使用することであり、その他の先後工程において公知のカラーフィルターの製造方法が適用できるはもちろんである。具体的な一例として、基板に前記感光性樹脂組成物をコーティングした後に乾燥することができる。その次に、感光性樹脂膜が形成された基板を適当なマスクまたは型板などを用いて光、特に紫外線に露光させることによって目的とする形態のパターンを形成する。このように、露光された基板はアルカリ現像水溶液に現像した後、超純水で３０〜９０秒間洗浄して、不必要な部分を除去し、乾燥して、パターンを形成し、パターンをオーブンなどの加熱装置によって１５０〜２５０℃の温度で３０〜９０分間加熱処理し、最終パターンを得ることができる。
【００４５】
また、本発明による感光性樹脂組成物はパターンの線幅、直進性および各パターンの高さなどの調節が容易であり、特に微細パターンでもパターンの大きさと高さの均一度が優れるという長所があり、同時に透過度に優れてカラーフィルターのＯＣＬ用に特に適合する。
【００４６】
以下、本発明の理解のために好ましい実施例を提示するが、下記の実施例は本発明を例示するものに過ぎず、本発明の範囲が下記の実施例に限定されるのではない。
実施例１
メタクリル酸３３ｇ、ベンジルメタクリレート４０ｇ、エチルトリグリコールメタクリレート１１ｇ、および２−ヒドロキシエチルメタクリレート１６ｇを溶媒のプロピレングリコールモノエチルエーテル５０ｇで重合して、重量平均分子量が２０，０００であり、ガラス転移点が１０２℃であるアクリレート高分子樹脂を得た。
【００４７】
このアルカリ可溶性のアクリレート樹脂３０ｇと、式（５）のフォトポリマー樹脂５ｇ、少なくとも２つ以上のエチレン系二重結合を有する架橋性モノマー（１，４−ブタンジオールジアクリレート）５ｇ、前記式（１）で示される紫外線吸収剤１ｇ、前記式（２）で示される紫外線吸収剤１ｇ、光重合開始剤としてベンゾフェノン系開始剤であるＩｒｇａｃｕｒｅ９０７（チバスペシャルティケミカルズ（Ｃｉｂａ  Ｓｐｅｃｉａｌｔｙ  Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ）製造）０．５ｇおよび４，４−ビスジエチルアミノベンゾフェノン０．２ｇ、溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート３８ｇ、３−エトキシプロピオン酸エチル１８ｇ、およびブチル酢酸６．３ｇを均一に混合して、液状の感光性樹脂組成物を製造した。
【００４８】
実施例２〜４および比較例１〜３
前記実施例１で下記表１に示す成分と組成比で使用したことを除いては前記実施例１と同一の方法で実施して、液状の感光性樹脂組成物を製造した。この時、表１の単位はｇである。なお、表１における各化合物の置換基Ｒ１〜Ｒ６は水素原子であり、Ｒ７は−Ｃ２Ｈ４−基である。
【表１】
2008052278.tif 000005
【００４９】
前記実施例１〜４および比較例１〜３の感光性樹脂組成物を利用して下記のように現像特性、パターン線幅、直進性および透過度の特性を評価した。
イ）現像特性評価
前記実施例１〜４および比較例１〜３で製造した感光性樹脂組成物を膜の厚さが１μｍの厚さになるようにスピンコーティングした後、９０℃のホットプレートの上で２分間乾燥して、コーティング膜を得た。次いで、カラーフィルター用レジスト（ＤＣＲ−７２０Ｂ、（株）トンジンセミケム製造）を塗布した後、９０℃のホットプレートの上で２分間乾燥して、コーティング膜を得た。続いて、フォトマスクを、得られたコーティング膜の上に配置し、２００ｎｍから４００ｎｍの波長の超高圧水銀灯を利用して３６５ｎｍを基準に約２００ｍＪ／ｃｍ２になるように一定時間露光し、ＫＯＨ現像液（ＤＣＤ−２６０ＣＦ、（株）トンジンセミケム製造）を利用して、一定時間スプレーノズルを通じて現像した。前記現像された微細パターンの接着力とパターン形状を通じて現像性を評価し、その結果を下記表２に示した。
【表２】
2008052278.tif 000006
【００５０】
表２に示されているように、本発明による実施例１〜４の感光性樹脂組成物は５０、２０、１０μｍのマスクの大きさで全てパターン形状と接着力が良好と示され、比較例１〜３と比較して優れていることが分かった。
【００５１】
ロ）パターンプロファイル
前記実施例１〜４の感光性樹脂組成物と比較例１〜３の感光性樹脂組成物に対してそれぞれパターンプロファイルを比較し、これをそれぞれ図２〜図８に示した。図面に示されるように、本発明の感光性樹脂組成物を利用した場合には比較例と比較して、パターンの線幅および直進性が非常に優れていることが確認できる。
【００５２】
ハ）透過度
ＵＶ測定器（Ｌａｍｂｄａ  ８５０−ｐｅｒｋｉｎ  ｅｌｍｅｒ社）を使用して各試料（フォトレジスト）をＢｅｅｒ−Ｌａｍｂｅｒｔの法則に基づいて薄めた後、溶液状態で測定して透過度を測定した。図９に示されているように、比較例と対比したところ、実施例ではＵＶ照射波長である３６５ｎｍの吸収領域を有することによって感度は低くなる反面、乱反射によるパターン拡張および直進性に対する利点を得ることができるのが確認できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】従来のカラーフィルターアレイの断面図である。
【図２】本発明の一実施例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図３】本発明の他の実施例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図４】本発明の他の実施例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図５】本発明の他の実施例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図６】本発明の比較例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図７】本発明の他の比較例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図８】本発明の他の比較例による感光性樹脂組成物を用いたパターンプロファイルを示す写真である。
【図９】本発明の実施例と比較例による感光性樹脂組成物を用いて透過度を測定したものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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