(57)【要約】      （修正有）【課題】エッチャントをシャワーノズルから吹き付けてフィルムキャリアのウエットエッチングを行う場合に好適な、パターンピッチの微細化に伴う問題点を解決できるシャワー処理装置を提供する。【解決手段】合成樹脂製フィルムの表面に配線パターン形成用の金属箔が形成されたフレキシブルテープ（フィルムキャリア）１に対して、エッチャントをシャワーノズル６から吹き付けてウエットエッチングを行うシャワー処理装置であって、フィルムキャリア１のシャワーノズル６が配置される側の面に存在するエッチャントに超音波振動を付与する超音波付与手段７を有する。【選択図】図１
2008223074.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムキャリアに対して、液体をシャワーノズルから吹き付けて処理を行うシャワー処理装置であって、
前記フィルムキャリアの前記シャワーノズル側の面に存在する前記液体に超音波振動を付与する超音波付与手段を有することを特徴とするシャワー処理装置。
【請求項２】
フィルムの表面に金属箔が形成されたフィルムキャリアに対して、エッチャントをシャワーノズルから吹き付けて前記金属箔をウエットエッチングするシャワー処理装置であって、
前記フィルムキャリアの前記シャワーノズル側の面に存在する前記エッチャントに超音波振動を付与する超音波付与手段を有することを特徴とするシャワー処理装置。
【請求項３】
前記シャワーノズルは、複数個配置され、
前記超音波付与手段は、金属を網状に形成した振動伝達部材と、この振動伝達部材に超音波振動を付与する超音波振動子と、からなり、
前記振動伝達部材は、前記網をなす格子の各目の中心が、前記複数のシャワーノズルのうち一つのシャワーノズルとオーバーラップする位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載のシャワー処理装置。
【請求項４】
前記シャワーノズルは、平面視でフィルムキャリアの面内に複数個並列に存在するように配置され、
前記超音波付与手段は、金属を網状に形成した振動伝達部材と、この振動伝達部材に固定した超音波振動子と、からなり、
前記振動伝達部材は、前記網をなす格子の各目の中心を、前記複数のシャワーノズルの各位置に合わせて配置されていることを特徴とする請求項１または２記載のシャワー処理装置。
【請求項５】
前記振動伝達部材を構成する金属はチタンであることを特徴とする請求項３または４記載のシャワー処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、合成樹脂製フィルムの表面に配線パターン形成用の金属箔が形成されたフィルムキャリアに対して、液体（エッチャント等）をシャワーノズルから吹き付けて処理（ウエットエッチング等）を行うシャワー処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、合成樹脂製フィルムの表面に配線パターン形成用の金属箔が形成されたフィルムキャリアを用いた、半導体チップのパッケージングが行われている。長尺なフィルムキャリア（フレキシブルテープ）を用いたパッケージング方法はＴＡＢと称され、この方法で製造されたパッケージはＴＣＰと称されている。
ＴＡＢでは、先ず、フレキシブルテープの金属箔にフォトリソグラフィおよびエッチングにより配線パターンを形成するが、パターンピッチの微細化に伴って、エッチングの際に、エッチャント（エッチング液）がパターン間に行き渡らなくなったり、パターン間に滞ったりするという問題点がある。
このような問題点を解決するために、下記の特許文献１には、エッチング液に超音波振動を与える方法が記載されている。
【特許文献１】特許第２７０５２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記特許文献１には、エッチャントをシャワーノズルから吹き付けてフィルムキャリアのウエットエッチングを行う場合に好適な、前記問題点を解決できるシャワー処理装置に関する記載はない。
本発明の課題は、エッチャントをシャワーノズルから吹き付けてフィルムキャリアのウエットエッチングを行う場合に好適な、パターンピッチの微細化に伴う問題点を解決できるシャワー処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、発明１のシャワー処理装置は、フィルムキャリアに対して、液体をシャワーノズルから吹き付けて処理を行うシャワー処理装置であって、前記フィルムキャリアの前記シャワーノズル側の面に存在する前記液体に超音波振動を付与する超音波付与手段を有することを特徴とする。
発明２のシャワー処理装置は、フィルムの表面に金属箔が形成されたフィルムキャリアに対して、エッチャントをシャワーノズルから吹き付けて前記金属箔をウエットエッチングするシャワー処理装置であって、前記フィルムキャリアの前記シャワーノズル側の面に存在する前記エッチャントに超音波振動を付与する超音波付与手段を有することを特徴とする。
【０００５】
発明３のシャワー処理装置は、発明１および２のシャワー処理装置において、前記シャワーノズルは、複数個配置され、前記超音波付与手段は、金属を網状に形成した振動伝達部材と、この振動伝達部材に超音波振動を付与する超音波振動子と、からなり、前記振動伝達部材は、前記網をなす格子の各目の中心が、前記複数のシャワーノズルのうち一つのシャワーノズルとオーバーラップする位置に配置されていることを特徴とする。
【０００６】
発明４のシャワー処理装置は、発明１および２のシャワー処理装置において、前記シャワーノズルは、平面視でフィルムキャリアの面内に複数個並列に存在するように配置され、前記超音波付与手段は、金属を網状に形成した振動伝達部材と、この振動伝達部材に固定した超音波振動子と、からなり、前記振動伝達部材は、前記網をなす格子の各目の中心を、前記複数のシャワーノズルの各位置に合わせて配置されていることを特徴とする。
【０００７】
発明５のシャワー処理装置は、発明３または４のシャワー処理装置において、前記振動伝達部材を構成する金属はチタンであることを特徴とする。
発明１のシャワー処理装置によれば、超音波付与手段からの超音波振動が、前記フィルムキャリアのシャワーノズル側の面に存在する液体に付与されることで、前記面に対する前記液体の作用が促進されるため、前記液体による処理が効果的に行われる。
【０００８】
発明２のシャワー処理装置によれば、超音波付与手段からの超音波振動が、前記フィルムキャリアのシャワーノズル側の面に存在するエッチャントに付与されることで、前記面に対する前記エッチャントの作用が促進されるため、ウエットエッチングが効果的に行われる。すなわち、パターンピッチが微細な場合に、エッチャントがパターン間に行き渡らなくなったり、パターン間に滞ったりするといった問題点が解決される。
発明３のシャワー処理装置によれば、網状の振動伝達部材の網をなす格子の各目の中心が、前記複数のシャワーノズルのうち一つのシャワーノズルとオーバーラップする位置に配置されているため、フィルムキャリアのシャワーノズルが配置される側の面に存在する液体（エッチャント）の全面に、均一に超音波振動を付与することができる。
【０００９】
発明４のシャワー処理装置によれば、網状の振動伝達部材が、格子の各目の中心を複数のシャワーノズルの各位置に合わせて配置されているため、フィルムキャリアのシャワーノズル側の面に存在する液体（エッチャント）の全面に、均一に超音波振動を付与することができる。
発明５のシャワー処理装置によれば、チタン製の振動伝達部材を用いることで、振動伝達部材がエッチャントで腐食することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、この実施形態の処理装置を示す概略構成図である。
この装置は、フレキシブルテープ（フィルムキャリア）１のコイルを取り付けて払い出す払い出しリール２と、エッチング空間３と、エッチング空間３内でフレキシブルテープ１を所定の長さだけ拡げた状態で搬送する搬送ローラ４と、エッチング空間３を出たフレキシブルテープを巻き取る巻き取りリール５と、からなるエッチング装置である。エッチング空間３内には、上部にシャワーノズル６が配置され、フレキシブルテープ１の例えば１０μｍ上となる位置にチタン製の網（振動伝達部材）７が配置されている。
なお、この実施形態におけるフレキシブルテープ１は、合成樹脂製フィルムの表面に配線パターン形成用の金属箔が形成された長尺なフィルムキャリアである。
【００１１】
図２は、エッチング空間３内を示す平面図である。このエッチング空間３には平面視でフレキシブルテープ１の幅方向に３個、移動方向に６個の計１８個のシャワーノズル６が配置され、各シャワーノズル６の位置に、チタン製の網７をなす格子の各目の中心が合わせてある。言い換えると、各シャワーノズル６と、チタン製の網７がなす格子の各目の中心がオーバーラップするように、チタン製の網７が配置されている。また、網７をなす棒材のうち、フレキシブルテープ１の幅方向と平行に配置された７本の棒材の中心に配置された棒材７１と、その両側に１本空けて配置された棒材７２，７３の先端に、超音波振動子８が固定されている。
【００１２】
このエッチング装置では、金属箔に配線パターン形成のフォトリソグラィ工程が施された状態で、金属箔を外側にしてコイル状に巻かれているフレキシブルテープ１が、払い出しリール２から払い出され、エッチング空間３内で、金属箔側を上に向けて所定の長さだけ拡げた状態で搬送ローラ４により搬送され、巻き取りリール５で巻き取られる。そして、エッチング空間３内で、シャワーノズル６から吹き付けられたエッチャントにより、フレキシブルテープ１の金属箔に対するウエットエッチングが連続的に行われる。
【００１３】
その際に、超音波振動子８からの超音波振動がチタン製の網７に伝達され、この伝達された超音波振動がさらに、フレキシブルテープ１の上面（シャワーノズル側の面）に存在するエッチャントの全面に均一に付与される。これにより、フレキシブルテープ１の上面に対するエッチャントの作用が促進されるため、ウエットエッチングが効果的に行われて、パターンピッチが微細な場合でも、エッチャントがパターン間に行き渡り易くなり、パターン間の滞りも生じ難くなる。
【００１４】
なお、付与する超音波振動の振動方向を、フレキシブルテープ１の幅方向と長さ方向（搬送方向）のいずれに合わせるかは、パターンの形成状態やエッチャントの滞り易い方向等によって適宜選択する。
また、この実施形態ではエッチング装置について記載されているが、これ以外の液体をシャワーノズルからフィルムキャリアに吹き付けて処理を行うシャワー処理装置にも適用できる。
また、この実施形態では、フレキシブルテープ（フィルムキャリア）１の上側にシャワーノズル６を配置した例が記載されているが、フィルムキャリアの下側にシャワーノズルを配置した場合にも適用できる。その場合には、網状の振動伝達部材をフィルムキャリアの直下に配置する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この実施形態の処理装置を示す概略構成図。
【図２】図１の処理装置を構成するエッチング空間を示す平面図
【符号の説明】
【００１６】
１…フレキシブルテープ（フィルムキャリア）、２…払い出しリール、３…エッチング空間、４…搬送ローラ、５…巻き取りリール、６…シャワーノズル、７…チタン製の網（振動伝達部材）、８…超音波振動子。
【図１】
2008223074.tif 000003
【図２】
2008223074.tif 000004