(57)【要約】      （修正有）【課題】洗浄水を自動的に汚れの少ない洗浄液とそうでない洗浄液に分けて回収できる洗浄装置を提供する。【解決手段】基板Ｗの搬送路１の下方は搬送方向に沿った仕切り板５で中央回収部６と側方回収部７とに分離されている。中央回収部６では洗浄に関与しなかった洗浄液がそのまま回収される量が多いため、汚れの少ない洗浄液が回収され、逆に側方回収部７では洗浄に関与して汚れた洗浄液が回収される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送しつつ基板表面に洗浄水を供給する洗浄装置において、前記基板の搬送路の下方は搬送方向に沿った仕切り板で中央回収部と側方回収部とに分離されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄装置において、前記洗浄水の供給は基板の搬送方向に沿って複数のノズルが配置され、このうち次の槽に移る手前のノズルの軸線を基板の進行方向とは逆に傾斜せしめ、基板上に供給された洗浄液が基板の進行方向前方に落ちるのを防止することを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体ウェーハなどの基板の洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に組み込まれるガラス基板にはＴＦＴアレイなどが形成されている。このＴＦＴアレイはガラス基板に半導体集積回路の形成プロセスと同一の方法にて形成される。そして半導体集積回路の形成プロセスにはレジスト膜の形成があり、このレジスト膜はスピンコータなどを用いてガラス基板表面にレジスト液を塗布した後にベークすることで形成される。そして、レジスト液を塗布する前にガラス基板の表面からゴミ、異物を除去しておかなければならない。
【０００３】
洗浄装置としては、特許文献１または特許文献２に開示されるように、多数の搬送ローラにて搬送路を構成し、この搬送路の上方に洗浄水を基板表面に向けて噴出する複数のノズルを搬送方向と直交する方向に配置している。
【０００４】
そして従来にあっては効果的に洗浄を行うため、搬送路の下方に超音波発振装置を配置したり、イオン水を基板表面に向けて高圧でジェット噴射している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−０１３９６０号公報
【特許文献２】特開平１１−３３３３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した先行文献は洗浄効果の向上についての考慮はしているが、洗浄に使用した水には現像液などが混ざるため、そのまま廃棄し水のリサイクルについては考慮していない。
【０００７】
しかしながら、水は極めて貴重な資源であり、特に水資源の乏しい地域や国において液晶表示装置を製造する工場を建設する場合には、解決しなければならない根本的な課題となる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため本発明は、基板を搬送しつつ基板表面に洗浄水を供給する洗浄装置において、前記基板の搬送路の下方は搬送方向に沿った仕切り板で中央回収部と側方回収部とに分離された構成とした。
【０００９】
前記中央回収部で回収される洗浄水は側方回収部で回収される洗浄水よりも汚れが少なく、リサイクルすることが可能である。中央回収部で回収される洗浄水の汚れが少ないのは、連続して搬送される基板と基板の間では、洗浄水が洗浄に関与せずにそのまま落下すること、更に基板の表面に供給された洗浄水の一部は基板の前端及び後端から落下するが、多くは基板の側端から落下するからと考えられる。
【００１０】
また、次の槽に移る手前のノズルの軸線を基板の進行方向とは逆に傾斜せしめ、基板上に供給された洗浄液が基板の進行方向前方に落ちるのを防止するようにしてもよい。このようにすることで、次の槽に汚れた洗浄液が持ち込まれることがなくなる。また中央回収部で回収される洗浄液の汚れが少なくなる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る洗浄装置によれば、ガラス基板などの被洗浄物に供給された洗浄水を自動的に汚れた部分と殆んど汚れていない部分に分けることができ、その結果汚れていない洗浄水を再度洗浄水として利用するなどリサイクルが可能になり、省資源に有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明の最適な実施例を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る洗浄装置の平面図、図２は図1のＡ−Ａ方向から見た断面図、図３は図1のＢ−Ｂ方向から見た断面図である。
【００１３】
洗浄装置はトンネル状をなす搬送路１を備えている。この搬送路１はモータによって駆動される複数の搬送ローラ２…から構成され、搬送ローラ２…上を複数のガラス基板Ｗが一定の間隔で搬送されつつ、搬送路に沿って設けた第1洗浄エリアＲ１及び第２洗浄エリアＲ２で順に洗浄される。
【００１４】
第1洗浄エリアＲ１では後述するように第２洗浄エリアＲ２で回収した汚れの少ない洗浄液を用いて洗浄し、第２洗浄エリアＲ２では新液を用いて洗浄する。
【００１５】
各洗浄エリアＲ１、Ｒ２の上方には洗浄装置３が配置されている。洗浄装置３は搬送方向と直交する方向に複数の洗浄液噴出ノズル４…を配置している。また、搬送路１の下方は各洗浄エリアＲ１、Ｒ２毎に搬送方向に沿った仕切り板５，５で中央回収部６と側方回収部７，７とに分離されている。
【００１６】
尚、中央回収部６及び側方回収部７の底面は傾斜面とされ、最も低くなった箇所に回収穴６ａ，７ａが形成されている。前記中央回収部６では洗浄に関与しなかった洗浄液がそのまま回収される量が多いため、汚れの少ない洗浄液が回収され、逆に側方回収部７では洗浄に関与して汚れた洗浄液が回収される。
【００１７】
そして、本実施例にあっては、第２洗浄エリアＲ２の中央回収部６で回収した洗浄液を配管８を介して第1洗浄エリアＲ１のノズル４に供給するようにしている。
【００１８】
即ち、図においてガラス基板Ｗは右から左に向かって搬送される。ガラス基板Ｗは先ず第1洗浄エリアＲ１において洗浄される。このときの洗浄液は前記したように若干汚れた第２洗浄エリアＲ２の中央回収部６で回収した洗浄液を用いる。そして、ある程度洗浄されたガラス基板Ｗは第２洗浄エリアＲ２に搬送され、ここで新液を使って洗浄される。
【００１９】
実施例では第1洗浄エリアＲ１においても仕切り板５によって中央回収部６と側方回収部７に分けており、中央回収部６で回収した洗浄液を更に上流側の洗浄で使用してもよい。また、第1洗浄エリアＲ１及び第２洗浄エリアＲ２のいずれにおいても側方回収部７で回収した洗浄液は汚れているので廃棄する。尚、洗浄槽が多数ある場合には、側方回収部７で回収した洗浄液は更に汚れが少なくなっていくので、最初の洗浄液がある程度汚れていてもよい槽の洗浄には使用可能である。
【００２０】
図４は別実施例を示す図２と同様の図であり、この実施例にあっては洗浄装置３を構成する複数の洗浄液噴出ノズル４…のうち、次の槽に移る手前のノズル４ａの軸線を基板の進行方向とは逆に傾斜せしめ、基板上に供給された洗浄液が基板の進行方向前方に落ちるのを防止するようにしてもよい。
このようにすることで、更に次の槽に汚れた洗浄液が混入することを防ぐことができる。
【００２１】
尚、実施例では第２洗浄エリアＲ２で回収した洗浄液を第1洗浄エリアＲ１で再利用する態様を示したが、これに限定されるものではなく、洗浄エリアは１つとし、中央回収部で回収した比較的汚れの少ない洗浄水を別の箇所で使用するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る洗浄装置の平面図
【図２】図1のＡ−Ａ方向から見た断面図
【図３】図1のＢ−Ｂ方向から見た断面図
【図４】別実施例を示す図２と同様の図
【符号の説明】
【００２３】
１…搬送路、２…搬送ローラ、３…洗浄装置、４，４ａ…洗浄液噴出ノズル、５…仕切り板、６…中央回収部、７…側方回収部、８…配管、Ｒ１…第1洗浄エリア、Ｒ２…第２洗浄エリア、Ｗ…ガラス基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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