(57)【要約】【課題】光学素子の角度を高精度で調整可能であり、角度調整後にロックネジを螺合することなく、そのまま設定角度が長期間安定する光学素子ホルダの実現。【解決手段】ミラー46を装着する保持部材14と、保持部材14と対向配置されたベース部材12と、ベース部材12の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材14の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、保持部材14とベース部材12間を接合方向に付勢する圧縮コイルバネ70を備え、各角度調整ネジの軸にベアリング76のインナーレース76aを装着すると共に、そのアウターレース76bにプーリー78を装着し、このプーリー78間に弾性ベルト80を掛け渡した光学素子ホルダ10。【選択図】図２
2008216836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子を装着する保持部材と、
この保持部材と対向配置されたベース部材と、
ベース部材の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、
保持部材とベース部材間を接合方向に付勢する手段を備えた光学素子ホルダにおいて、
上記角度調整ネジの少なくとも一つに対し、ネジの軸と交差する方向に力を加える付勢手段を設けたことを特徴とする光学素子ホルダ。
【請求項２】
上記付勢手段が、複数の調整ネジ間に設けられた弾性部材であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子ホルダ。
【請求項３】
上記付勢手段が、複数の調整ネジ間に掛け渡された弾性ベルトであることを特徴とする請求項２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項４】
上記付勢手段が、複数の調整ネジ間に装着された引張りバネであることを特徴とする請求項２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項５】
上記付勢手段が、複数の調整ネジ間に装着された圧縮バネであることを特徴とする請求項２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項６】
上記付勢手段が、複数の調整ネジ間に装着されたワイヤーバネであることを特徴とする請求項２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項７】
上記付勢手段が、複数の調整ネジ間に装着された板バネであることを特徴とする請求項２に記載の光学素子ホルダ。
【請求項８】
上記付勢手段が、ベース部材に取り付けられた複数の板バネであり、各調整ネジが対応の板バネによって付勢されることを特徴とする請求項１に記載の光学素子ホルダ。
【請求項９】
上記調整ネジの回転が、上記付勢手段を介して他の調整ネジに伝わることを防止する干渉防止手段を設けたことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の光学素子ホルダ。
【請求項１０】
上記干渉防止手段が、各調整ネジの軸に装着されたベアリングであることを特徴とする請求項９に記載の光学素子ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ミラーやレンズ等の光学素子を所定の角度で光路内に設置するための光学素子ホルダに係り、特に、光学素子の角度を微調整した後にその角度を長時間保持するための機構を備えた光学素子ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び２に示すように、光学素子の角度を微調整するための機構及び微調整後に角度をロックする機構を備えた光学素子ホルダが、これまでも種々提案されている。
【特許文献１】特開２００２−２１８３５
【特許文献２】特開２００５−２１５５０７
【０００３】
すなわち、特許文献１に記載のミラーホルダは、ミラーを保持するための前板と、レーザ装置内に取り付けるための本体と、それぞれの対応位置に形成されたバネ収納用の複数の貫通孔と、この貫通孔内に挿通される引張りコイルバネと、本体部に形成された調整ネジ挿通用の複数の貫通ネジ穴と、複数本の調整ネジとを備えている。
前板と本体部とは、それぞれのバネ収納用貫通孔を合わせて形成された貫通孔内に引張りコイルバネを挿通させ、その両端をピンを用いて前板及び本体に引っ掛けることにより、バネの収縮力によって接合される。
そして、本体部に形成された貫通ネジ穴に調整ネジを螺合させることにより、その先端が前板の内面に当接される。この状態で任意の調整ネジをさらに回転させると、当該調整ネジの突出量が増大し、前板と本体間の距離が部分的に変化する結果、ミラーを保持する前板のあおり角度あるいは回転角度の調整が実現される。
このミラーホルダの場合、調整ネジによる角度調整が完了した後、調整ネジの軸方向と平行な力を調整ネジに加えるロック部材にロックビスを螺合させ、その先端を本体に押圧させることによって調整ネジの動きがロックされる仕組みを備えている。
【０００４】
特許文献２に記載のミラーホルダも、ミラーを保持するためのプレートと、レーザ装置内に取り付けるためのブロックと、それぞれの対応位置に形成されたバネ収納用の複数の貫通孔と、この貫通孔内に挿通される引張りコイルバネと、本体部に形成された調整ネジ挿通用の複数の貫通ネジ穴と、複数本の調整ネジとを備えている。
プレートとブロックとは、それぞれのバネ収納用貫通孔を合わせて形成された貫通孔内に引張りコイルバネを挿通させ、その両端をピンを用いてプレート及びブロックに引っ掛けることにより、バネの収縮力によって接合される。
そして、ブロックに形成された貫通ネジ穴に調整ネジを螺合させることにより、その先端がプレートの内面に当接される。この状態で任意の調整ネジをさらに回転させると、当該調整ネジの突出量が増大し、プレートとブロック間の距離が部分的に変化する結果、ミラーを保持するプレートのあおり角度あるいは回転角度の調整が実現される。
このミラーホルダの場合、調整ネジによる角度調整が完了した後、１本の固定ネジをブロックの貫通孔に挿通させ、その先端をプレートに形成されたネジ孔に螺合させることにより、プレートをブロックに締結させる構造を備えている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、従来の光学素子ホルダでも角度を調整する機能や調整済の角度を保持するためのロック機能を備えているため、使用目的によってはこれらで十分な場合もある。
しかしながら、例えば高精度な光学干渉計を構成する場合、あるいは量子コンピュータの基礎研究として量子テレポーテーション実験を行う際には、特殊なレンズやミラーを多数配置して複雑なレーザ光路を形成し、２方向から照射されたレーザビームを直角に交差させることが必要となる。このためには、各レンズやミラーの角度を超高精度で調整すると同時に、一旦調整した角度がそのまま長期に亘って維持されることが求められる。
【０００６】
これに対し、上記した従来の光学素子ホルダの場合、調整ネジと貫通ネジ穴との間に存する「遊び」に起因して横ブレが生じ易いため、精度の向上に限界があり、またロックネジの螺合によって余計な外力が加えられることにより、せっかく最適化した角度に狂いが生じ易いという問題があった。
【０００７】
この発明は、従来の光学素子ホルダが抱える上記の問題を解決するために案出されたものであり、光学素子の角度を高精度で調整可能であると共に、角度調整が完了した後に敢えてロックネジを螺合するまでもなく、そのまま設定角度が長期間安定する機構を備えた光学素子ホルダを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、請求項１に記載の光学素子ホルダは、光学素子を装着する保持部材と、この保持部材と対向配置されたベース部材と、ベース部材の貫通ネジ穴に螺合され、先端が保持部材の対向面に当接する複数の角度調整ネジと、保持部材とベース部材間を接合方向に付勢する手段を備えた光学素子ホルダにおいて、上記角度調整ネジの少なくとも一つに対し、ネジの軸と交差する方向に力を加える付勢手段を設けたことを特徴としている。
【０００９】
請求項２に記載の光学素子ホルダは、請求項１のホルダであって、さらに、  上記付勢手段が複数の調整ネジ間に設けられた弾性部材であることを特徴としている。
【００１０】
請求項３に記載の光学素子ホルダは、請求項２のホルダであって、上記付勢手段が複数の調整ネジ間に掛け渡された弾性ベルトであることを特徴としている。
【００１１】
請求項４に記載の光学素子ホルダは、請求項２のホルダであって、上記付勢手段が複数の調整ネジ間に装着された引張りバネであることを特徴としている。
【００１２】
請求項５に記載の光学素子ホルダは、請求項２のホルダであって、上記付勢手段が複数の調整ネジ間に装着された圧縮バネであることを特徴としている。
【００１３】
請求項６に記載の光学素子ホルダは、請求項２のホルダであって、上記付勢手段が複数の調整ネジ間に装着されたワイヤーバネであることを特徴としている。
【００１４】
請求項７に記載の光学素子ホルダは、請求項２のホルダであって、上記付勢手段が複数の調整ネジ間に装着された板バネであることを特徴としている。
【００１５】
請求項８に記載の光学素子ホルダは、請求項１のホルダであって、上記付勢手段がベース部材に取り付けられた複数の板バネであり、各調整ネジが対応の板バネによって付勢されることを特徴としている。
【００１６】
請求項９に記載の光学素子ホルダは、請求項１〜７のホルダであって、さらに、上記調整ネジの回転が上記付勢手段を介して他の調整ネジに伝わることを防止する干渉防止手段を設けたことを特徴としている。
「干渉防止手段」としては、例えば付勢手段と調整ネジの軸との間に塗布されたグリースが該当する。
【００１７】
請求項１０に記載の光学素子ホルダは、請求項９のホルダであって、上記干渉防止手段が各調整ネジの軸に装着されたベアリングであることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
この種の光学素子ホルダの場合、一般に、保持部材とベース部材を接合する方向（調整ネジの軸方向）については付勢手段によって常時力が加えられているのに対し、調整ネジの軸と交差する横方向についてはほとんど力が作用していないため、上記の通り調整ネジと貫通ネジ穴との間の遊びに起因して横ブレが生じやすく、これが角度調整時及び調整後の不安定さの要因となっていたものと考えられる。
これに対し、この発明に係る光学素子ホルダにあっては、調整ネジの軸に対して横方向に常時力を加える付勢手段を備えているため、遊びに基づく横ブレが規制される。この結果、高精度な調整を可能にすると共に、調整後の安定性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１はこの発明に係る光学素子ホルダ10を示すものであり、この光学素子ホルダ10は、アルミニウムよりなるベース部材12と保持部材14とを備えている。
図２は、図１のＡ−Ａ断面図である。また、図３はベース部材12の外面16を示す平面図であり、図４はベース部材12の対向面18を示す平面図である。さらに、図５は保持部材14の外面20を示す平面図であり、図６は保持部材14の対向面22を示す平面図である。
【００２０】
図２に示すように、ベース部材12は接地面Ｇに対して垂直に配置される取付板部24と、接地面Ｇに載置されるフランジ部26とを備えている。
また、フランジ部26の底面には、接地面Ｇに固定する際に用いられるネジ穴27が形成されている。
【００２１】
図３に示すとおり、ベース部材12の外面16には３つの貫通孔28が形成されており、各貫通孔28にはブッシュ30が嵌装・接着されている。また、各ブッシュ30の内周面には雌ねじが刻設されており、それぞれ第１の調整ネジ32、第２の調整ネジ34、第３の調整ネジ36が螺合される。
各調整ネジの先端凹部には、ボール38が嵌装されている。
図４は、ベース部材12の対向面18に各調整ネジのボール38が露出した様子を示している。
【００２２】
このベース部材12の中央には、光を通すための貫通孔40が形成されている。この貫通孔40は、斜め方向からの光を通すように、楕円形をやや変形させた形状を備えている。
また、貫通孔40には、同じく斜め方向からの光を通すために、ザグリ溝42が連設されている。
【００２３】
さらに、ベース部材12には、一対の連結用貫通孔44が形成されている。
この貫通孔44は、図２に示すように、ベース部材12の外面16側に開口した広径部44aと、対向面18側に開口した小径部44bを連通させた形状を備えており、この結果、広径部44aと小径部44bとの境に段部44cが形成されている。
【００２４】
図５に示す通り、保持部材14の外面20の中央には、ミラー46やレンズ（図示省略）等の光学素子を装着するための円形凹部48が形成されており、この円形凹部48の底面には光を通すための円形貫通孔50が形成されている。
ミラー46は、一対のピン52間に装着された後、上部のネジ54を締め付けることによって固定される。
【００２５】
保持部材14の対向面22には、図６に示すとおり、一対の円筒状シャフト56が立設されている。
この円筒状シャフト56は、図２に示すように、その後端部56aが保持部材14の対向面22に埋設されており、ベース部材12との係合時には先端部56bがベース部材12の貫通孔44に挿通される。
また、その先端部56bには凹部56cが形成されており、その内面には雌ねじが刻設されている。
【００２６】
また、保持部材14の対向面22には、第１の調整ネジ32のボール38が当接する第１の受部58と、第２の調整ネジ34のボール38が当接する第２の受部60と、第３の調整ネジ36のボール38が当接する第３の受部62が設けられている。
【００２７】
第１の受部58は平坦な円形をなしており、焼入れ鋼やサファイア板等によって形成されている。また、第２の受部60は中心に凹部を備えた円形をなしており、これも焼入れ鋼やサファイア板より形成されている。図２に示すように、第１の受部58及び第２の受部60は、共に保持部材14の対向面22に形成された凹部64内に嵌装されている。
【００２８】
これに対し第３の受部62は、焼入れ鋼等よりなる一対のシャフト66を保持部材14の対向面22に埋設してなり、平行に配置されたシャフト66，66間の溝に沿って第３の調整ネジ36のボール38が往復滑動する仕組みとなっている。
【００２９】
以下において、ベース部材12と保持部材14との係合方法について説明する。
まず、図２に示すように、保持部材14の一対の円筒状シャフト56をベース部材12の対向面18側から各貫通孔44に挿通させる（図２においては一の円筒状シャフト56及び貫通孔44のみが表されている）。
つぎに、上記の各貫通孔44内において、ワッシャ68及び圧縮コイルバネ70を円筒状シャフト56の先端56aに挿通させる。
つぎに、ワッシャ72を係合させた連結ネジ74を圧縮コイルバネ70に挿通し、その先端を円筒状シャフト56の凹部（ねじ穴）56cに螺合させる。
この結果、連結ネジ74の頭部74aと貫通孔44の段部44cとの間に圧縮コイルバネ70が伸縮自在に装填されることとなり、この圧縮コイルバネ70の反発力によって保持部材14がベース部材12に対して接合方向に強く付勢されることとなる。
【００３０】
第１の調整ネジ32、第２の調整ネジ34、第３の調整ネジ36の軸には、それぞれベアリング（転がり軸受）76が装着されており、各ベアリング76の外周にはプーリー78が嵌装されている。
そして、図１に示すように、３本の調整ネジのプーリー78には、１本の弾性ベルト（例えばシリコン系輪ゴム、フッ素系輪ゴム、ニトリル系輪ゴム）80が掛け渡されている。
この結果、各調整ネジの軸には、弾性ベルト80の収縮力によって調整ネジ間の中心に向かう横方向の押圧力が常時加えられることとなる。
【００３１】
つぎに、この第１の光学素子ホルダ10の角度調整方法について説明する。
まずユーザが、第１の調整ネジ32を左右に必要量回動させると、その先端の突出量が増減し、第２の調整ネジ34のボール38及び第２の受部60の凹部と第３の調整ネジ36のボール38及び第３の受部62の二本のシャフト66で形成されたVガイドを回転軸として、ベース部材12と保持部材14間のあおり角度が増減される。
また、第３の調整ネジ36を左右に必要量回動させると、同じくその先端の突出量が増減し、第２の調整ネジ34のボール38及び第２の受部60の凹部と第１の調整ネジ32の先端部を回転軸とし、第３の受部62の二本のシャフト66で形成されたVガイドで回転軸に傾きを与えないようにしてベース部材12と保持部材14間の回転角度が増減される。
ベース部材12と保持部材14間の距離を調整したい場合には、３つの調整ネジ（第１の調整ネジ32、第２の調整ネジ34、第３の調整ネジ36）を同じ量だけ左右に回動させる。
【００３２】
この第１の光学素子ホルダ10にあっては、上記の通り、各調整ネジの軸に対し弾性ベルト80によって常時横方向（軸と直交する方向）に力が加えられており、この結果、調整ネジの軸とブッシュ30間の遊びに起因する横ブレが有効に抑制される。
このため、ユーザが調整を行った後に調整ネジのツマミから指を離した瞬間にズレが生じるようなことがなくなり、長期間に亘って設定角度を維持することが可能となる。
【００３３】
しかも、図７に示すように、ベアリング76のインナーレース76aが調整ネジの軸と接合され、弾性ベルト80はベアリング76のアウターレース76bに接合されたプーリー78に係合される構造を備えているため、ある調整ネジを回転させてもベアリング76の転動体（ボールまたはころ）76cの存在により、アウターレース76b及びプーリー78側にその回転力が伝導することはない。
また、ベアリング76は、各調整ネジの軸に形成された段部Ｘと、ツマミの下端縁部Ｙによってインナーレース76aを挟み込むことによって固定されており、ツマミの下端縁部Ｙとアウターレース76b及びプーリー78間には間隙αが形成されているため、ツマミの回転がベルトに伝導することも完全に排除されている。
この結果、ある調整ネジの回転により、他の調整ネジに狂いが生じる危険性を完全に排除できる。
【００３４】
上記においては、３本の調整ネジを備えた光学素子ホルダ10を念頭において説明したが、この発明はこれに限定されるものではなく、第２の調整ネジ34を省略したタイプの光学素子ホルダにも応用可能である。
この場合、第１の調整ネジ32及び第３の調整ネジ36間に、１本の弾性ベルトが掛け渡される。
【００３５】
また、上記のように、３本の調整ネジ間に１本の弾性ベルト80を装着する代わりに、図８に示すように、第１の調整ネジ32−第２の調整ネジ34間に第１の弾性ベルト82を装着すると共に、第２の調整ネジ34−第３の調整ネジ36間に第２の弾性ベルト84を装着し、第１の調整ネジ32−第３の調整ネジ36間に第３の弾性ベルト85を装着するように構成することもできる。
【００３６】
この場合、図９に示すように、第１の調整ネジ32の軸には、第１の弾性ベルト82を係合するためのベアリング76＋プーリー78の他に、第３の弾性ベルト85を係合するためのベアリング76＋プーリー78を設けておく。同様に、第２の調整ネジ34の軸にも、第１の弾性ベルト82を係合するためのベアリング76＋プーリー78の他に、第２の弾性ベルト84を係合するためのベアリング76＋プーリー78を設けておく。さらに、図示は省略したが、第３の調整ネジ36の軸にも、第２の弾性ベルト84を係合するためのベアリング76＋プーリー78の他に、第３の弾性ベルト85を係合するためのベアリング76＋プーリー78が設けられている。
【００３７】
この場合も、各ベアリング76間にリング86が嵌装される結果、双方のアウターレース76b及びプーリー78間に隙間βが確保されるため、ある調整ネジの回転が他の調整ネジに伝導することはない。
【００３８】
図示は省略したが、上記第１の弾性ベルト82〜第３の弾性ベルト85の何れか１本の装着を省略することもできる。この場合であっても、残り２本の弾性ベルトによって各調整ネジの軸に横方向の力が加えられるため、所定の効果を奏することができる。
【００３９】
複数の調整ネジの軸間に弾性ベルトを掛け渡す代わりに、引張りバネの弾性力を用いて各調整ネジの軸に横方向の力を加えることもできる。
図１０はその一例を示すものであり、第１の調整ネジ32の軸と第２の調整ネジ34の軸との間に第１の引張りバネ90が装着され、この第１の引張りバネ90の収縮力によって第１の調整ネジ32及び第２の調整ネジ34間が内側方向に常時付勢されると共に、第２の調整ネジ34の軸と第３の調整ネジ36の軸との間に第２の引張りバネ92が装着され、この第２の引張りバネ92の収縮力によって第２の調整ネジ34及び第３の調整ネジ36間が内側方向に常時付勢される。また、第１の調整ネジ32の軸と第３の調整ネジ36の軸との間に第３の引張りバネ93が装着され、この第３の引張りバネ93の収縮力によって第１の調整ネジ32及び第３の調整ネジ36間が内側方向に常時付勢される
【００４０】
図１１に示すように、第１の調整ネジ32の軸には一対のベアリング76が上記と同様の要領で装着されると共に、第２の調整ネジ34の軸にも一対のベアリング76が上記と同様の要領で装着されている。また、図示は省略したが、第３の調整ネジ36の軸にも一対のベアリング76が装着されている。
そして、第１の引張りバネ90、第２の引張りバネ92、及び第３の引張りバネ93は、それぞれの両端を各ベアリング76のアウターレース76bに嵌合されたリング94に係合することによって装着されている。
また、各調整ネジに装着された一対のベアリング76間にはリング86が嵌装されており、この結果、双方のベアリング76間には隙間βが確保されている。
【００４１】
したがって、各調整ネジを回転させてもそれぞれのベアリング76によって回転力が吸収される結果、引張りバネ90を経由して他の調整ネジに回転力が伝導することを有効に回避できる。
【００４２】
この場合も、図示は省略したが、第１の引張りバネ90〜第３の引張りバネ93の何れか１本の装着を省略することができる。この場合であっても、残り２本の引張りバネによって各調整ネジの軸に横方向の力が加えられるため、所定の効果を奏することができる。
【００４３】
各調整ネジの軸を横方向に付勢する手段としては、上記した弾性ベルト及び引張りバネに限定されるものではない。
例えば、圧縮バネを一対の調整ネジ間に装着し、その反発力によって各調整ネジを外側方向に押圧するように構成してもよい。
あるいは、各調整ネジの軸を横方向に押圧する複数の板バネを、ベース部材12に取り付けてもよい。
【００４４】
図１２に示すように、所定の形状を備えたワイヤーバネ94を、付勢手段として各調整ネジ間に装着することもできる。
このワイヤーバネ94は、ステンレス等の弾性部材よりなり、第１の調整ネジ32と係合するための第１の湾曲部95と、第２の調整ネジ34と係合するための第２の湾曲部96と、第３の調整ネジ36と係合するための第３の湾曲部97を備えている。
各調整ネジの軸には、上記と同様、それぞれベアリング76が装着されており、その外周に嵌装されたプーリー78にワイヤーバネ94の各湾曲部が係合される。
【００４５】
装着前のワイヤーバネ94の第１の湾曲部95と第３の湾曲部97間の距離は、第１の調整ネジ32のプーリー78と第３の調整ネジ36のプーリー78間の距離よりも若干短く設定されているため、装着時には第１の湾曲部95と第３の湾曲部97をやや広げる必要がある。
この結果、装着後にはワイヤーバネ94の反発力が作用し、第１の調整ネジ32及び第３の調整ネジ36には、外側に向かって押し出すような横方向の力が加えられることとなる。
【００４６】
また、ワイヤーバネ94の第２の湾曲部96は第２の調整ネジ34に装着されたプーリー78の外周の半分以上を取り囲む形状を備えているため、ワイヤーバネ94の反発力が第２の調整ネジ34に作用し、第２の調整ネジ34に対してもは外側に向かって押し出すような横方向の力が加えられることとなる。
【００４７】
各調整ネジの軸にはベアリング76が装着されているため、ある調整ネジを回転させても、それが他の調整ネジに伝わるおそれはない。
【００４８】
このワイヤーバネ94の場合には、上記のようにその形状に工夫を凝らしたため、光学素子ホルダ10の光路を妨害することなく、１本で３本の調整ネジ間に装着でき、同時に各調整ネジを外側方向に付勢することができる利点を備えている。
【００４９】
もっとも、２本の調整ネジ間に装着するためのワイヤーバネを３本用意し、それぞれを第１の調整ネジ32−第２の調整ネジ34間、第２の調整ネジ34−第３の調整ネジ36間、第１の調整ネジ32−第３の調整ネジ36間に装着させることもできる。
あるいは、２本の調整ネジ間に装着するためのワイヤーバネを２本用意し、それぞれを第１の調整ネジ32−第２の調整ネジ34間、第２の調整ネジ34−第３の調整ネジ36間に装着させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】この発明に係る光学素子ホルダを示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】ベース部材の外面を示す平面図である。
【図４】ベース部材の対向面を示す平面図である。
【図５】保持部材の外面を示す平面図である。
【図６】保持部材の対向面を示す平面図である。
【図７】調整ネジとベアリング、弾性ベルトとの係合関係を示す部分拡大図である。
【図８】この発明に係る光学素子ホルダの変形例を示す平面図である。
【図９】調整ネジとベアリング、弾性ベルトとの係合関係を示す部分拡大図である。
【図１０】この発明に係る光学素子ホルダの変形例を示す平面図である。
【図１１】調整ネジとベアリング、引張りバネとの係合関係を示す部分拡大図である。
【図１２】この発明に係る光学素子ホルダの変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５１】
10 光学素子ホルダ
12 ベース部材
14 保持部材
16 ベース部材の外面
18 ベース部材の対向面
20 保持部材の外面
22 保持部材の対向面
24 ベース部材の取付板部
26 ベース部材のフランジ部
28 貫通孔
30 ブッシュ
32 第１の調整ネジ
34 第２の調整ネジ
36 第３の調整ネジ
38 ボール
44 連結用貫通孔
46 ミラー
56 円筒状シャフト
70圧縮コイルバネ
74 連結ネジ
76 ベアリング
76a ベアリングのインナーレース
76bベアリングのアウターレース
78 プーリー
80 弾性ベルト
82 第１の弾性ベルト
84 第２の弾性ベルト
85 第３の弾性ベルト
90 第１の引張りバネ
92 第２の引張りバネ
93 第３の引張りバネ
94 ワイヤーバネ
【図１】
2008216836.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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