(57)【要約】【課題】抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）が不要な簡易で且つ低コストな回路構成で精度良くＳＭＡアクチュエータの駆動制御を行う。【解決手段】形状記憶合金に直列に接続された固定抵抗と、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値を検出する検出手段と、前記形状記憶合金に前記固定抵抗を介して電力を供給して通電加熱する駆動手段と、前記検出手段により検出された各電圧値の情報に基づいて、前記駆動手段の駆動量を制御する制御手段とを備える駆動制御装置であって、前記制御手段は、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御することで前記駆動手段の駆動量を制御する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
形状記憶合金に直列に接続された固定抵抗と、
前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値を検出する検出手段と、
前記形状記憶合金に前記固定抵抗を介して電力を供給して通電加熱する駆動手段と、
前記検出手段により検出された各電圧値の情報に基づいて、前記駆動手段の駆動量を制御する制御手段とを備える駆動制御装置であって、
前記制御手段は、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御することで前記駆動手段の駆動量を制御することを特徴とする駆動制御装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記固定抵抗にかかる電圧値を所定ゲイン倍してなる電圧値と、前記形状記憶合金にかかる電圧値との差がゼロとなるように前記電圧値の比率を制御することを特徴とする請求項１に記載の駆動制御装置。
【請求項３】
前記ゲイン倍の値は、前記形状記憶合金の目標とする抵抗値を、前記固定抵抗の抵抗値で除算した値であることを特徴とする請求項２に記載の駆動制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状記憶合金からなるアクチュエータの駆動を制御する駆動制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
形状記憶合金（ＳＭＡ；Shape Memory Alloy）は、マルテンサイト変態終了温度以下の温度において所定の外力を受けて塑性変形したとしても、逆変態終了温度以上の温度に加熱されると形状が回復する特性を有している。このＳＭＡに通電すると、自身のジュール熱によって発熱し、上記逆変態終了温度以上の温度になると形状が回復する。この特性を利用すると、ＳＭＡをアクチュエータとして使用することが可能となる。このＳＭＡのアクチュエータ（ＳＭＡアクチュエータ）の駆動制御に関し、例えば特許文献１には、ＳＭＡの抵抗値を実際に検出して制御する技術が開示されている。
【特許文献１】特許第２９１１０５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術では、ＳＭＡの抵抗値を検出するために、抵抗値検出回路、サンプルホールド回路やＰＩＤコントローラなどを設ける必要があり、回路構成が複雑になってしまう。一般的に、ＳＭＡアクチュエータの駆動制御に際しては当該抵抗値を得る必要があるが、この抵抗値を計算によって求めるには所謂割り算回路が必要（ＣＰＵを備えずとも、少なくとも割り算回路は必要）となるため、同じく回路構成が複雑になる。
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）が不要な簡易で且つ低コストな回路構成であるとともに、精度良くＳＭＡアクチュエータの駆動制御を行うことが可能な駆動制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る駆動制御装置は、形状記憶合金に直列に接続された固定抵抗と、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値を検出する検出手段と、前記形状記憶合金に前記固定抵抗を介して電力を供給して通電加熱する駆動手段と、前記検出手段により検出された各電圧値の情報に基づいて、前記駆動手段の駆動量を制御する制御手段とを備える駆動制御装置であって、前記制御手段は、前記形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御することで前記駆動手段の駆動量を制御することを特徴とする。
【０００６】
上記構成によれば、駆動制御装置が、形状記憶合金に直列に接続された固定抵抗と、形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値を検出する検出手段と、形状記憶合金に固定抵抗を介して電力を供給して通電加熱する駆動手段と、検出手段により検出された各電圧値の情報に基づいて、駆動手段の駆動量を制御する制御手段とを備える駆動制御装置とされ、制御手段によって、形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御することで駆動手段の駆動量が制御されるので、すなわち、実際に形状記憶合金の抵抗値を検出せずに、形状記憶合金の電圧値と固定抵抗の電圧値との比率（電圧比）を制御することで、駆動手段の駆動量つまり形状記憶合金及び固定抵抗に流す電流量を制御することができるので、抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）を備えることなく簡易で且つ低コストな回路構成で精度良く形状記憶合金（形状記憶合金のアクチュエータ）の駆動制御を行うことができる。
【０００７】
また、上記構成において、前記制御手段は、前記固定抵抗にかかる電圧値を所定ゲイン倍してなる電圧値と、前記形状記憶合金にかかる電圧値との差がゼロとなるように前記電圧値の比率を制御することが好ましい（請求項２）。
【０００８】
これによれば、制御手段によって、固定抵抗にかかる電圧値を所定ゲイン倍してなる電圧値と、形状記憶合金にかかる電圧値との差がゼロとなるように電圧値の比率が制御されるので、当該電圧値の比率の制御を容易に行うことができる。
【０００９】
また、上記構成において、前記ゲイン倍の値は、前記形状記憶合金の目標とする抵抗値を、前記固定抵抗の抵抗値で除算した値であることが好ましい（請求項３）。
【００１０】
これによれば、上記ゲイン倍の値が、単に、形状記憶合金の目標とする抵抗値を固定抵抗の抵抗値で除算した値とされるので、固定抵抗にかかる電圧値を所定ゲイン倍する際のこのゲイン倍の値を容易に設定することができ、ひいては容易且つ確実に形状記憶合金（形状記憶合金のアクチュエータ）の駆動制御を行うことができる。
【発明の効果】
【００１１】
実際に形状記憶合金の抵抗値を検出せずに、形状記憶合金の電圧値と固定抵抗の電圧値との比率（電圧比）を制御することで、駆動手段の駆動量つまり形状記憶合金及び固定抵抗に流す電流量を制御することができるので、抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）を備えることなく簡易で且つ低コストな回路構成で精度良く形状記憶合金（形状記憶合金のアクチュエータ）の駆動制御を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明の実施形態に係る駆動制御装置の一例を示すブロック構成図である。駆動制御装置１は、ＳＭＡ部２、駆動部３、制御量算出部４及び比較部５を備えている。ＳＭＡ部２は、例えばＮｉ−Ｔｉ−Ｃｕ合金からなるＳＭＡ（後述のＳＭＡ２３或いはＳＭＡ抵抗２１）と、このＳＭＡに電気的に接続された固定抵抗（後述の固定抵抗２２）とを備えるとともに、これらＳＭＡ及び固定抵抗それぞれの電圧値を検出するものである。
【００１３】
ところで、ＳＭＡは、一般的に例えば図４に示すような抵抗値と歪率（変態率）との関係（抵抗歪み特性という）を有している。すなわち、ＳＭＡの抵抗値と歪率とは１：１の関係があり、歪率が大きくなるほど抵抗値は小さくなる。ＳＭＡのこの抵抗歪み特性は、周囲温度が変動（例えば−２０℃〜＋７０℃の範囲で変動）しても変わらない。本発明はＳＭＡのこの特性を利用するものである。後で詳述するが、例えば或る駆動部材を或る目標位置（歪率）まで移動させたい場合、ＳＭＡの抵抗値が、その目標位置（歪率）での抵抗値（目標抵抗値という）となるように制御することで、当該目標位置への移動を行うことができる。このようにＳＭＡの抵抗歪み特性を利用した制御を行うことで、位置センサ等が不要となり、広範囲な環境温度下での高精度な位置決めが可能となる。
【００１４】
駆動部３は、制御量算出部４から送信されてくる信号値（後述の制御量）に応じてＳＭＡ部２におけるＳＭＡを駆動するものである。制御量算出部４は、比較部５から送信されてくる各種信号値に応じてＳＭＡ駆動制御における制御量を算出し、この制御量を駆動部３に出力するものである。比較部５は、ＳＭＡ部２において検出されたＳＭＡ及び固定抵抗における２つの電圧値の比（現在の電圧比；現在電圧比という）を算出するとともに、この現在電圧比と比較部５に入力された指示値すなわち目標となる電圧比（目標電圧比という）とを比較し、現在電圧比と目標電圧比との差に応じた各種信号値（算出値）を制御量算出部４に出力するものである。このように駆動制御装置１は、ＳＭＡ部２の現在の状態（現在電圧比）を検出し、この現在電圧比を比較部５へフィードバックし、比較部５に与えられた目標電圧比と比較してこの比較結果に基づき制御量を算出してこの制御量でＳＭＡ部２を駆動し、再び、この制御量で駆動されているときの現在電圧比を検出してこれに基づいて制御量を算出する、というような所謂ループ制御を行う。このループ制御によって、ＳＭＡの歪率が、最終的に目標電圧比に相当する歪率に収束する。
【００１５】
図２は、上記図１に示すブロック構成における、実際の回路構成の一例を示す回路図である。この回路図に示すように、駆動制御装置１は、ＳＭＡ部２における、ＳＭＡの抵抗に相当するＳＭＡ抵抗２１及び所定の固定抵抗２２と、駆動部３に相当するドライバ３１と、制御量算出部４に相当する電圧加算器４１と、比較部５に相当する、差分アンプ５１、ＶＧＡ５２（Variable Gain Amplifier；増幅器）、差分アンプ５３及びアンプ５４とを備えている。
【００１６】
この回路において、固定抵抗２２はＳＭＡ抵抗２１に直列に接続されており（ＳＭＡ抵抗２１の一端はＧＮＤ；基準電位０Ｖ）、この固定抵抗２２の両端の電圧がそれぞれ差分アンプ５１に入力される。差分アンプ５１は、この固定抵抗２２の両端の電圧の差の電圧ＶｄをＶＧＡ５２に出力するとともに、電圧加算器４１に出力する。この電圧Ｖｄは、ドライバ３１から出力された電流Ｉによって固定抵抗２２にかかる電圧値と等しい。ＶＧＡ５２は、差分アンプ５１の出力すなわち電圧Ｖｄを増幅し（電圧ＶｄをゲインＧｖ倍する）、この増幅した電圧（Ｖｄ×Ｇｖ）を差分アンプ５３に出力するとともに、電圧加算器４１に出力する。
【００１７】
ここで、図５は、ＶＧＡ５２における指示値と増幅率との関係を示す特性グラフである。この特性グラフに示すように、ＶＧＡ５２の増幅率は、当該外部から与えられる指示値に比例して変化する（指示値が大きくなると増幅率も大きくなる）ようになっている。差分アンプ５３は、ＶＧＡ５２の出力電圧（Ｖｄ×Ｇｖ）とＳＭＡ抵抗２１にかかる電圧Ｖｓとの差の電圧（Ｖｓ−Ｖｄ×Ｇｖ）を、アンプ５４に出力する。アンプ５４は、当該ＶＧＡ５２の出力電圧とＳＭＡ抵抗２１にかかる電圧Ｖｓとの差の電圧をゲインＧｐ倍し、この電圧（（Ｖｓ−Ｖｄ×Ｇｖ）×Ｇｐ）を電圧加算器４１に出力する。電圧加算器４１は、入力された上記３つの電圧（電圧Ｖｄ、電圧Ｖｄ×Ｇｖ、電圧（Ｖｓ−Ｖｄ×Ｇｖ）×Ｇｐ）を加算し、この加算電圧（後述の（３）式における制御値に相当）をドライバ３１に出力する。ドライバ３１は、電圧加算器４１からの加算電圧値に応じた電流Ｉ（電圧）をＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２に流す、すなわち電流Ｉを流すことによる電圧降下によってＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２それぞれに電圧Ｖｄ、Ｖｓを印加する。なお、差分アンプ５３とアンプ５４とを纏めて１個のアンプで構成してもよい。
【００１８】
次に、当該回路構成を有する駆動制御装置１による具体的な制御方法について説明する。図２において、ＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２の抵抗値をそれぞれＲｓ、Ｒｄとし、これらＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２にドライバ３１からの電流Ｉが流れたとする。このとき、ＳＭＡ抵抗２１にかかる電圧ＶｓはＶｓ＝Ｒｓ×Ｉで与えられ、固定抵抗２２にかかる電圧ＶｄはＶｄ＝Ｒｄ×Ｉで与えられる。
【００１９】
これより以下の（１．１）及び（１．２）式を経て（１．３）式の関係が導かれる。
Ｒｄ：Ｒｓ＝Ｖｄ：Ｖｓ    ・・・（１．１）
Ｖｓ／Ｖｄ＝Ｒｓ／Ｒｄ    ・・・（１．２）
Ｖｓ＝Ｖｄ×（Ｒｓ／Ｒｄ）    ・・・（１．３）
但し、Ｒｄは、固定抵抗２２の抵抗値であることから、固定値である。また、記号「／」は除算を示す（以下同様）。
【００２０】
したがって、Ｒｓを目標の値Ｒｔにしたい場合には、（１．３）式より、Ｖｓを以下の（２）式に示すものとすればよいことになる。
Ｖｓ＝Ｖｄ×（Ｒｔ／Ｒｄ）    ・・・（２）
【００２１】
ここで、（２）式における（Ｒｔ／Ｒｄ）を上述のゲインＧｖ（目標の比；後述の目標抵抗比或いは目標電圧比）とし（Ｇｖ＝Ｒｔ／Ｒｄ）、制御式を以下の（３）式とする。
制御値＝（Ｖｓ−Ｖｄ×Ｇｖ）×Ｇｐ＋（Ｖｄ＋Ｖｄ×Ｇｖ）    ・・・（３）
但し、この制御値つまり（３）式の右辺各項は、上記電圧加算器４１に入力された３つの電圧値、Ｖｄ、Ｖｄ×Ｇｖ、及び（Ｖｓ−Ｖｄ×Ｇｖ）×Ｇｐの加算（合計）値に相当する。
【００２２】
この（３）式は、上記Ｒｓが目標の抵抗値Ｒｔとなると、Ｖｓ＝Ｖｄ×（Ｒｔ／Ｒｄ）（（２）式参照）となる、すなわちＧｖ＝Ｒｔ／Ｒｄであるから、Ｖｓ＝Ｖｄ×Ｇｖとなると、上記（３）式の右辺左項がゼロ（ＶｓとＶｄ×Ｇｖとの差がゼロ）となるようにしている。また、Ｇｐは、ＳＭＡの変位の速度を速くするためのゲインであり、Ｇｐの値が大きい程この変位速度を速くすることができるが、大きすぎると発振してしまうため、適度な値に設定する必要がある。
【００２３】
また、上記（３）式の右辺右項の（Ｖｄ＋Ｖｄ×Ｇｖ）は、制御が安定点に達してＶｓ＝Ｖｄ×（Ｒｔ／Ｒｄ）＝Ｖｄ×Ｇｖとなり、上記左項がゼロとなったときのオフセット量である。これは、制御が安定点に達するとＶｓ＝Ｖｄ×Ｇｖとなり、このとき、ＳＭＡ（ＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２）に対する制御量すなわち駆動量（Ｖｄ＋Ｖｓ）は、制御が安定点に達するとＶｓ＝Ｖｄ×Ｇｖとなっていることから、この駆動量（Ｖｄ＋Ｖｓ）のＶｓをＶｄ×Ｇｖに入れ替えて得られる（Ｖｄ＋Ｖｄ×Ｇｖ）がオフセット量として与えられている。なお、この（Ｖｄ＋Ｖｓ）は、駆動部３（ドライバ３１）から出力される電流ＩによってＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２で得られる電圧Ｖｓ、Ｖｄであることから、上記“駆動量”は、駆動部３の駆動量であると言える。駆動部３は、制御量算出部４からの制御量の情報に基づいて当該駆動量を制御することで、ＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２に流す電流Ｉの流量（電流出力）を制御する。
【００２４】
また、上述のように、ＶｄをゲインＧｖ倍するのはＶＧＡ５２で行われるが、このＶＧＡ５２にＧｖ倍に相当する指示値を入力するとＶｄがＧｖ倍される構成となっている。このとき、例えば固定抵抗２２の抵抗値Ｒｄ＝３Ωとし、ＳＭＡ抵抗２１の抵抗値ＲｓがＲｔ＝３０Ωの目標値となるように制御したい場合は、Ｇｖ＝１０倍（＝３０／１０＝Ｒｔ／Ｒｄ）に相当する指示値をＶＧＡ５２に入力すればよい。例えば同様にＲｔ＝２７Ωにしたい場合はＧｖ＝９倍に相当する指示値を入力すればよい。なお、Ｒｔ／Ｒｄ（＝Ｇｖ）のことを、目標抵抗比という。
【００２５】
このようにＧｖの値を制御することは、「抵抗比を制御する」、つまり抵抗比は電圧比に置き換えることができるので「電圧比を制御する」ことになる。上述では、ＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２における現在の抵抗比（Ｒｓ／Ｒｄ）が上記目標抵抗比（Ｒｔ／Ｒｄ）になるような、すなわちこの現在抵抗比に対応する上記現在電圧比が上記目標電圧比になるようなＧｖ値を与えている。本実施形態では、このようにＳＭＡ抵抗２１及び固定抵抗２２のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御する（電圧比制御を行う）ことで、実際にはＳＭＡ（ＳＭＡ抵抗２１）の抵抗値を検出していないにも拘わらず、ＳＭＡが目標の抵抗値となるように制御することができる。すなわち、抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）を備えることなく、実際の抵抗値検出による制御（抵抗値制御という）を行う場合と同じく精度良くＳＭＡ（後述の駆動機構２０、ＳＭＡアクチュエータ）の駆動制御（後述の可動部材２４の位置決め等）を行うことができる。
【００２６】
なお、本実施形態における駆動制御装置１は、例えば図３に示す駆動機構２０に適用される。駆動機構２０は、ＳＭＡ２３、可動部材２４、ベース２５、回転軸２６及び付勢バネ２７等を備えている。ＳＭＡ２３は上述におけるＳＭＡ（ＳＭＡ抵抗２１）であって、例えば変位方向と垂直な方向の断面形状が略真円である線材とされている。このＳＭＡ２３の一端側は可動部材２４に連結（固定）されており、他端側はベース２５（筐体）に連結（固定）されている。可動部材２４は、同図に示すように略Ｌ字状をしており、該Ｌ字の屈曲部において回転軸２６によって回転（揺動）可能に軸支されている。この可動部材２４の一端側（第１アーム；例えば同図に示すように腕の長さが短い方）に上記ＳＭＡ２３が連結されている。また可動部材２４の他端側（第２アーム；腕の長さが長い方）とベース２５との間には、付勢バネ２７が取り付けられている。これら可動部材２４、ＳＭＡ２３及び付勢バネ２７は、回転軸２６を支点として、可動部材２４の一端側（第１アーム）におけるＳＭＡ２３が連結されている箇所を力点、可動部材２４の他端側の先端部（第２アームの先端）を作用点とする所謂“梃子”を構成している。ここではこのように第１アームの長さよりも第２アームの長さの方が長くなっているので、可動部材２４の他端側の先端部は、ＳＭＡ２３の変位よりも大きく移動することができる。
【００２７】
図３では図示省略しているが、ＳＭＡ２３に上記固定抵抗２２が直列に接続されるとともに、上記駆動部３、制御量算出部４及び比較部５の各回路が接続されている。この構成において、ＳＭＡ２３は予め所定形状（例えば所定寸法の長さの形状）が記憶されており、ＳＭＡ２３に電流Ｉを流すと、自己の抵抗によりジュール熱を発生し、加熱（通電加熱）されてＳＭＡ２３が収縮し、可動部材２４の上記付勢バネ２７側の先端部が同図中の上方向に移動する（回転軸２６を中心に回転する）。当該電流を流すのを止めると、可動部材２４が付勢バネ２７による付勢力で押し戻されて同図中の下方向に回転移動することでＳＭＡが伸長されて元の長さに戻る。このＳＭＡ２３に対する電流Ｉの値（電流量）を変えることで、可動部材２４先端部の移動位置を変える（位置決めを行う）ことができる。なお、駆動機構２０におけるＳＭＡ２３やその他各部の形状（構成）はこれに限定されない。
【００２８】
以上のように、本実施形態における駆動制御装置１によれば、駆動制御装置１が、形状記憶合金（ＳＭＡ２３、ＳＭＡ抵抗２１）に直列に接続された固定抵抗２２と、上記形状記憶合金及び固定抵抗２２のそれぞれにかかる電圧値（Ｖｓ、Ｖｄ）を検出する検出手段（比較部５、差分アンプ５１）と、形状記憶合金に固定抵抗２２を介して電力を供給して通電加熱する（形状記憶合金及び固定抵抗２２に電流Ｉを流す駆動を行う）駆動手段（駆動部３、ドライバ３１）と、上記検出手段により検出された各電圧値の情報に基づいて、駆動手段の駆動量（出力電流量）を制御する制御手段（制御量算出部４及び比較部５）とを備える駆動制御装置１とされ、上記制御手段によって、形状記憶合金及び固定抵抗のそれぞれにかかる電圧値の比率を制御することで駆動手段の駆動量（駆動手段に対する制御量）が制御されるので、すなわち、実際に形状記憶合金の抵抗値を検出せずに（抵抗値制御を行うことなく）、形状記憶合金の電圧値と固定抵抗の電圧値との比率（電圧比；Ｇｖ値）を制御する（電圧比制御を行う）ことで、上記駆動手段の駆動量つまり形状記憶合金及び固定抵抗に流す電流量（電流Ｉ）を制御することができるので、抵抗値検出回路や割り算回路（ＣＰＵ）を備えることなく簡易で且つ低コストな回路構成で精度良く形状記憶合金（ＳＭＡアクチュエータ）の駆動制御を行うことができる。
【００２９】
また、上記制御手段によって、固定抵抗２２にかかる電圧値（Ｖｄ）を所定ゲイン（Ｇｖ）倍してなる電圧値（Ｖｄ×Ｇｖ）と、形状記憶合金にかかる電圧値（Ｖｓ）との差がゼロとなるように電圧値の比率が制御されるので、当該電圧値の比率の制御を容易に行うことができる。
【００３０】
さらに、上記ゲイン倍（Ｇｖ）の値が、単に、形状記憶合金の目標とする抵抗値（Ｒｔ）を固定抵抗２２の抵抗値（Ｒｄ）で除算した値とされるので、固定抵抗２２にかかる電圧値（Ｖｓ）を所定ゲイン（Ｇｖ）倍する際のこのＧｖの値を容易に設定することができ、ひいては容易且つ確実に形状記憶合金（ＳＭＡアクチュエータ）の駆動制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態に係る駆動制御装置の一例を示すブロック構成図である。
【図２】図１に示すブロック構成における、実際の回路構成の一例を示す回路図である。
【図３】上記駆動制御装置が適用される一例としての駆動機構の概略構成図である。
【図４】上記駆動制御装置におけるＳＭＡの抵抗値と歪率との関係を示すグラフ図である。
【図５】上記図２に示すＶＧＡにおける指示値と増幅率との関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  駆動制御装置
２  ＳＭＡ部
２１  ＳＭＡ抵抗
２２  固定抵抗
３  駆動部
３１  ドライバ
４  制御量算出部
４１  電圧加算器
５  比較部
５１、５３  差分アンプ
５２  ＶＧＡ
５４  アンプ
２０  駆動機構
２３  ＳＭＡ
２４  可動部材
２５  ベース
２６  回転軸
２７  付勢バネ
【図１】
2008259301.tif 000003
【図２】
2008259301.tif 000004
【図３】
2008259301.tif 000005
【図４】
2008259301.tif 000006
【図５】
2008259301.tif 000007