(57)【要約】【課題】カーボン冶具を使用することなくハーメチックシールを実現して金属製の保持部品の浸炭を無くすようにした浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールを提供する。【解決手段】金属部材からなる保持部品１１に貫通した穴１１ｄにガラス管１２を挿入し該ガラス管に接続ピン１３を挿入し、冶具１５に立設させて加熱しガラス管を溶融させて保持部品の穴の内周面と接続ピンの外周面とに密着させて封止するハーメチックシールであって、保持部品を冶具に立設したときに保持部品の穴１１ｄ内にガラス管１２を保持する保持機構を設けた構成としたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部材からなる保持部品に貫通した穴にガラス管を挿入し該ガラス管に接続ピンを挿入し、冶具に立設させて加熱し前記ガラス管を溶融させて前記保持部品の穴の内周面と接続ピンの外周面とに密着させて封止するハーメチックシールであって、
前記保持部品を前記冶具に立設したときに前記保持部品の穴内に前記ガラス管を保持する硝子保持機構を設けたことを特徴とする浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシール。
【請求項２】
前記硝子保持機構は、前記保持部品の穴の下端部を前記ガラス管の外径よりも僅かに小径かつ前記接続ピンの外径よりも大径に同心状に形成し、前記ガラス管の下端面を支持することを特徴とする、請求項１に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシール。
【請求項３】
前記硝子保持機構は、前記保持部品の穴の上部に該穴よりも大径の穴を同心状に段差をなして形成し、前記ガラス管の上端部に前記保持部品の上部の穴に嵌合可能な大径部を同心状に段差をなして形成し前記穴の段差に係止させて前記穴内に保持することを特徴とする、請求項１に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシール。
【請求項４】
前記冶具は、金属部材により形成されていることを特徴とする、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハーメチックシールに関し、特に浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のようにハーメチックシールは、高い圧力の加わる箇所等の液密を保つ必要のある場合や真空容器などの高い気密性を必要とする場合のセンサ等のシールに適したもので、コバールやステンレス鋼（以下「ＳＵＳ」という）等の金属部材からなる保持部品（シェル或いはケース）と接続ピンとの間をガラス（硝子）で焼き固めた構造になっている。このため、信頼性が極めて高く高耐圧、高液密又は高気密、高絶縁性等を要するセンサの接続端子（接続ピン）のシールに適用されている。
【０００３】
図３及び図４は、従来のハーメチックシールを適用した金属製の保持部品に接続ピンを封止する場合を示す。保持部品１は、円柱形状をなし軸方向に沿いかつ周方向に等間隔で複数例えば４つの穴１ａが貫通されており、各穴１ａには夫々ガラス管２が嵌挿され、各ガラス管２に夫々接続ピン３が嵌挿される。
【０００４】
冶具５は、上面５ａに保持部品１の下部が嵌合する円形の凹部５ｂと、凹部５ｂの底面５ｃに突設され保持部品１の各穴１ａの下端部に夫々嵌合する円柱状の突起（ボス）５ｄと、突起５ｄの中心に接続ピン３を挿通させかつ該接続ピン３の突出長さを決める位置決め用のピン穴５ｅが形成されている。冶具６は、保持部品１の上端に冠着され各接続ピン３と対応して位置決め用のピン穴６ａが形成されている。
【０００５】
保持部品１は、下部が冶具５の凹部５ｂに立設して嵌合されて保持され、下面１ｂの全面が凹部５ｂの底面５ｃに当接し、外周面下部が全周面に亘り凹部５ｂの内周面に当接し、穴１ａの下端部に突起５ｄが嵌合される。ガラス管２は、保持部品１の穴１ａに嵌挿され自重により落下して下端面が突起５ｄの上面に当接して支持される。接続ピン３は、ガラス管２及び冶具５のピン穴５ｅに嵌挿されて自重により落下して下端面が穴５ｅの底面に当接して位置決めされる。
【０００６】
そして、冶具６が保持部品１に冠着されてピン穴６ａに接続ピン３の上部が挿通されて位置決めされた後電気炉に搬入されて所定の高温度に加熱される。ガラス管２は、加熱により溶融して保持部品１の穴１ａの内周面と接続ピン３の外周面に密着されて保持部品１と接続ピン３との間を封止する。
【０００７】
ところで、近年環境問題が重要視されてきており、これに伴いハーメチックシールのガラス管として溶融温度の低い鉛ガラスが敬遠されてきている。このためハーメチックシールに使用されるガラスとして硼珪酸ガラス等が使用され、高い封着温度（溶融温度）が必要となり、おおよそ９００℃以上であることが多い。
【０００８】
このため、金属部材からなる保持部品１とガラス管２との位置関係を決める冶具５は、耐熱性に優れかつ溶融したガラスと密着しない材質が求められ、一般にはカーボンを固めたものを加工した冶具（以下「カーボン冶具」という）を使用している。尚、冶具６は、溶融したガラスと接触しないために通常ＳＵＳ等の金属部材で形成しても良い。
【０００９】
ハーメチックシールを適用したものとして例えば気密端子の製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平４−１０３７２号公報（２頁、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、ＳＵＳ等の金属部材からなる保持部品１とガラス管２との位置関係を決める冶具５としてカーボン冶具を使用した場合、図４に太線で示すように保持部品１の冶具５と接触する底面１ｂ及び外周面下部は、浸炭されることが多い。浸炭された保持部品１は、ハーメチックシールの後工程として実施される酸化膜除去や溶接に不具合を発生させる。例えば保持部品１と他の部品とを溶接するときに保持部品１の浸炭部分が割れやす等の問題がある。また、カーボン冶具は、消耗品とされるために費用が嵩む。
【００１１】
また、特許文献１に開示されている技術は、金属外環の内径に比較してガラス封止高さが２.５倍以上大きい気密端子の製造方法に関するもので、上述したカーボン冶具や金属外環の浸炭等については何ら記述されていない。
【００１２】
本発明の目的は、カーボン冶具を使用することなくハーメチックシールを実現して金属製の保持部品の浸炭を無くすようにした浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した課題を解決するために、本発明に係わる浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールは、金属部材からなる保持部品に貫通した穴にガラス管を挿入し該ガラス管に接続ピンを挿入し、冶具に立設させて加熱し前記ガラス管を溶融させて前記保持部品の穴の内周面と接続ピンの外周面とに密着させて封止するハーメチックシールであって、前記保持部品を前記冶具に立設したときに前記保持部品の穴内に前記ガラス管を保持する硝子保持機構を設けたことを特徴としている。
【００１４】
保持部品の穴に挿入したガラス管を硝子保持機構により当該穴内に保持して保持部品を冶具に立設した際にガラス管が穴から抜け落ちることを防止する。これによりハーメチックシール時のガラス管が溶融した際に冶具と接触することがなくなり、冶具に密着することが完全に防止される。これにより、冶具に金属部材を使用することができ、ハーメチックシールを行う際に保持部品の浸炭を完全に無くすことができる。
【００１５】
また、本発明の請求項２に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールは、請求項１に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールにおいて、前記硝子保持機構は、前記保持部品の穴の下端部を前記ガラス管の外径よりも僅かに小径かつ前記接続ピンの外径よりも大径に同心状に形成し、前記ガラス管の下端面を支持することを特徴としている。
【００１６】
保持部品の穴の下端部を僅かに小径として段差部を形成し、穴に挿入したガラス管の下端面を自重により当接させて係止する。これにより、保持部品の穴内にガラス管を抜け落ちることなく保持することができる。
【００１７】
また、本発明の請求項３に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールは、請求項１に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールにおいて、前記硝子保持機構は、前記保持部品の穴の上部に該穴よりも大径の穴を同心状に段差をなして形成し、前記ガラス管の上端部に前記保持部品の上部の穴に嵌合可能な大径部を同心状に段差をなして形成し前記穴の段差に係止させて前記穴内に保持することを特徴としている。
【００１８】
保持部品の穴の上部を僅かに大径の穴として段差部を形成し、ガラス管の上端部を僅かに大径として段差部を形成し、前記穴の上部の段差部にガラス管の上端部の段差部を自重により当接させて係止させる。これにより、保持部品の穴内にガラス管を抜け落ちることなく保持することができる。
【００１９】
また、本発明の請求項４に記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールは、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールにおいて、前記冶具は、金属部材により形成されていることを特徴としている。
【００２０】
ガラス管を溶融させてハーメチックシールを行う際に保持部品を立設保持する冶具を金属部材により形成することにより保持部品の浸炭を完全に無くすことができる。また、消耗品としてのカーボン冶具を削減することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、カーボン冶具を使用することなく保持部品と接続ピンとの間のハーメチックシールを実現することができ、保持部品の浸炭を完全に無くすことができると共に、消耗品であるカーボン冶具を削減することができ、コストの低減と相俟って設備費の低減を図ることが可能となる。
【００２２】
また、保持部品の浸炭が防止されることでハーメチックシールの後工程として実施される酸化膜除去や溶接等における不具合を防止することが可能となる。また、簡単な構成で保持部品の穴内にガラス管を保持することができ、作業性の向上が図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係わる浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールの第１の実施形態を図面に基づいて説明する。図１に示すように保持部品１１は、円柱形状をなし、上面１１ａに大径の凹部１１ｂが同心状に形成され、この凹部１１ｂの底面１１ｃに軸方向に沿ってかつ周方向に等間隔で複数例えば４個の穴１１ｄが形成されている。穴１１ｄは、所定の内径とされ、下端部１１ｅが僅かに小径かつ接続ピン１３の外径よりも大径とされている。即ち、穴１１ｄは、下端部１１ｅが同心状に僅かに小径の段付穴とされている。そして、穴１１ｄと下端部１１ｅとの段差部１１ｆがガラス管１２を保持する硝子保持機構とされている。この保持部品１１は、耐熱性、耐圧性、耐銹性等に優れた例えばＳＵＳ等の金属部材により形成されている。
【００２４】
封止硝子としてのガラス管１２は、外径が保持部品１１の穴１１ｄに極めて僅かな隙間（クリアランス）を存して嵌挿可能かつ当該穴１１ｄの下端部１１ｅの内径よりも僅かに大径に形成され、長さが穴１１ｄの上端から段差部１１ｆまでの深さよりも僅かに短く設定されている。これにより、ガラス管１２は、穴１１ｄ内に挿入されたときに下端部１１ｅとの段差部１１ｆにより下端面が係止保持されて抜け落ちないようにされると共に溶融したときに穴１１ｄから突出しないようにされている。このガラス管１２は、例えば硼珪酸ガラスにより形成されている。
【００２５】
接続ピン１３は、保持部品１１の長さよりも長い所定の長さを有しかつガラス管１２に極めて僅かな隙間（クリアランス）で挿通可能な外径に形成されている。この接続ピン１３は、例えばコバール等の金属部材により形成されている。尚、接続ピン１３は、ハーメチックシールの終了後仕様に応じて更に他の金属メッキ例えば金メッキ等が施される。
【００２６】
冶具（金型）１５は、保持部品１１よりも大径の円盤状をなし、上面１５ａに同心的に凹部１５ｂ、凹部１５ｃが順次段差をなして形成されている。凹部１５ｂは、保持部品１１の下端部が嵌合する内径とされ浅く形成されている。凹部１５ｃは、凹部１５ｂよりも僅かに小径とされ、保持部品１１の下面から突出する接続ピン１３の長さと同じ深さに形成されている。また、凹部１５ｂと凹部１５ｃとの段差部１５ｄの幅は、狭く形成されている。これにより、保持部品１１を冶具１５に装着したときに当該保持部品１１の外周面下部及び下面１１ｇの周縁部と冶具１５の凹部１５ｂの内周面及び段差部１５ｄとの接触面積を小さくすることが可能となる。
【００２７】
この冶具１５は、例えばニッケル等の金属部材により形成されている。保持部品１１を前述したようにＳＵＳ部材で形成した場合、冶具１５をＳＵＳ以外のニッケルで形成することにより、ガラス管１２を溶融するために加熱した時に保持部品１１と冶具１５との熱拡散接合を有効に防止することができる。
【００２８】
尚、冶具１５の凹部１５ｂを浅く形成し、凹部１５ｂと凹部１５ｃとの段差部１５ｄの幅を狭く形成する代わりに凹部１５ｂの内周面及び段差部１５ｄの上面にそれぞれ周方向に沿って等間隔で複数箇所例えば３箇所に先端が小さな突起を形成し、これらの突起により保持部品１１の外周面下部及び下面１１ｇの周縁部を略点接触で支持するようにしても良い。このようにすると冶具１５と保持部品１１との接触面積を極めて小さくすることが可能となり有効である。
【００２９】
冶具（金型）１６は、冶具１５と略同径の円盤状をなし下面１６ａに円形の凹部１６ｂと凹部１６ｃが同心状にかつ段差をなして形成されている。凹部１６ｂは、保持部品１１の上端部が僅かに嵌合可能に浅く形成されている。凹部１６ｃは、凹部１６ｂよりも僅かに小径とされ、凹部１６ｂとの段差部１６ｄは、狭く形成されている。凹部１６ｃの底面１６ｅには保持部品１１の上方に突出する接続ピン１３と対応する位置にこれらを挿通させて位置決めするための位置決め用のピン穴１６ｆが形成されている。
【００３０】
凹部１６ｂは、浅く形成されていることによりその内周面の幅が狭くなり、保持部品１１の外周面上端部との接触面積を小さくすることができ、凹部１６ｃの内径を凹部１６ｂの内径よりも僅かに小さくして環状をなす段差部１６ｄの幅を狭くすることにより保持部品１１の上面１１ａの周縁部との接触面積を小さくすることができる。
【００３１】
尚、凹部１６ｂの内周面及び段差部１６ｄの下面にそれぞれ周方向に沿って等間隔で複数箇所例えば３箇所に先端が小さな突起を形成し、これらの突起により保持部品１１の外周面上部及び上面１１ａの周縁部を略点接触で支持するようにしても良い。この冶具１６は、冶具１５と同様に例えばニッケル等の金属部材により形成されている。また、保持部品１１、冶具１５，１６は、平面視円形でなくとも平面視四角形等の多角形でも同様の機能を持つ構造であれば良い。
【００３２】
次に、上記構成によるハーメチックシールについて説明する。図１に示すように冶具１５の凹部１５ｃに保持部品１１の下端部を嵌合して立設し、上方から穴１１ｄにガラス管１２を挿入する。ガラス管１２は、自重により下端面が穴１１ｄの下端部１１ｅとの段差部１１ｆに当接して係止され、当該位置に保持される。即ち、ガラス管１２は、保持部品１１に形成された保持機構により穴１１ｄから抜け落ちることを防止されかつ下端面が保持部品１１の下面１１ｇよりも僅かに内方（上方）位置に保持される。また、ガラス管１２の上端は穴１１ｄの上端近傍に位置している。
【００３３】
次に、上方からガラス管１２内に接続ピン１３を挿入する。接続ピン１３は、自重により下端面が冶具１５の凹部１５ｃの底面１５ｅに当接して位置決めされる。尚、ガラス管１２に接続ピン１３を予め挿入しておき、ガラス管１２と接続ピン１３とを保持部品１１の穴１１ｄに同時に挿入するようにしても良い。
【００３４】
そして、保持部品１１の上端に冶具１６を冠着し接続ピン１３の上部を位置決め用の穴に１６ｆに挿入して位置決めする。このように冶具１５に保持部品１１を取り付けた状態（初期状態）においてガラス管１２は、下端面が保持部品１１の穴１１ｄ内に下面１１ｇよりも内側に位置しかつ冶具１５の凹部１５ｃの底面１５ｅから大きく離隔して保持されている。
【００３５】
次に、これらを図示しない電気炉に搬入して所定の温度に加熱する。ガラス管１２は、所定温度に達すると溶融して穴１１ｄの内周面及び接続ピン１３の外周面に密着する。また、溶融したガラスは、穴１１ｄの下端部１１ｅ内に僅かに流れ込むものの粘性が高くかつ表面張力の作用も相俟って当該下端部１１ｅから流れ出ることはない。従って、ガラスが保持部品１１の下面１１ｇから突出することはない。
【００３６】
更に保持部品１１は、下面１１ｇの周縁部が冶具１５の凹部１５ｂと１５ｃとの段差部１５ｄに載置され、下面１１ｇが凹部１５ｃの底面１５ｅから接続ピン１３の突出分だけ離隔しているために溶融したガラスが冶具１５の底面１５ｅに密着することが完全に防止される。
【００３７】
また、ガラス管１２は、その長さが穴１１ｄの上端から段差部１１ｆまでの深さよりも短く設定されていることで、穴１１ｄの上端から流れ出ることもない。これにより、略図１に示すような状態で保持部品１１に接続ピン１３をハーメチックシールすることができる。
【００３８】
上述したようにハーメチックシールが終了した後、冶具１５、１６から保持部品１１を取り出す。冶具１５は、ニッケル等の金属部材により形成されていることによりハーメチックシールを行う時に保持部品１１の浸炭が完全に無くなる。また、保持部品１１と冶具１５との熱拡散接合も防止される。このように、本願発明によれば、カーボン冶具を使用することなくハーメチックシールを実現して金属製の保持部品１１の浸炭を完全に無くすことができると共にカーボン冶具を削減することができる。
【００３９】
また、ガラス管１２を保持する硝子保持機構は、保持部品１１の穴１１ｄの下端部１１ｅを僅かに小径に形成するだけで良く、ガラス管１２は、長いガラス管を所定の長さに切断するだけで対応することが可能であり、構成が極めて簡単である。
【００４０】
図２は、本発明に係わる浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールの第２の実施形態を示す。尚、図２において図１に示す部材と同一又は相当する部材には同一又は相当する符号を付して詳細な説明を省略する。図２に示すように保持部品１１の穴１１ｄの上部に当該穴１１ｄよりも僅かに大径かつ所定の深さの穴１１ｈが同心的に形成されており、これらの穴１１ｄと穴１１ｈとが段差をなして連設されている。即ち、穴１１ｄは、上部が同心状をなし僅かに大径の穴１１ｈとされた段付穴とされている。
【００４１】
一方、ガラス管２２は、上端部２２ａが穴１１ｈに僅かな隙間（クリアランス）で嵌挿可能な外径とされ、この上端部２２ａから下方即ち主要部である管部２２ｂが穴１１ｄに僅かな隙間（クリアランス）で嵌挿可能とされている。即ち、ガラス管２２は、上端部２２ａが段付とされている。ガラス管２２は、上端部２２ａの長さが穴１１ｈの深さよりも僅かに短く、管部２２ｂの長さが穴１１ｄの段差部１１ｉから保持部品１１の下面１１ｇまでの深さ即ち穴１１ｄの深さよりも僅かに短く形成されている。このようなガラス管２２は、例えばガラス粉末と少量のバインダからなる混合物を金型中で圧縮成形した後に炉中で焼結して得られる。
【００４２】
そして、保持部品１１の穴１１ｄと上部の穴１１ｈとの段差部１１ｉと、ガラス管２２の上端部２２ａと管部２２ｂとの段差部２２ｃとにより保持部品１１の穴１１ｃ内にガラス管２２を保持する硝子保持機構が構成されている。
【００４３】
そして、冶具１５に保持部品１１を立設し上方から穴１１ｈ、穴１１ｄにガラス管２２を挿入する。ガラス管２２は、上端部２２ａが穴１１ｈに挿入され、管部２２ｂが穴１１ｄに挿入され、段差部２２ｃが自重により保持部品１１の段差部１１ｉに当接して当該位置に係止保持される。即ち、ガラス管２２は、保持部品１１の穴１１ｄ内に係止保持されて抜け落ちることを防止されかつ下端面が保持部品１１の下面１１ｇよりも僅かに内方位置に保持される。また、ガラス管１２の上端部２２ａは、穴１１ｈの上部近傍に位置している。
【００４４】
次に、上方からガラス管２２内に接続ピン１３を挿入する。接続ピン１３は、自重により下端面が冶具１５の凹部１５ｃの底面１５ｅに当接して位置決めされる。尚、ガラス管２２に接続ピン１３を予め挿入しておき、ガラス管２２と接続ピン１３とを保持部品１１の穴１１ｃに同時に挿入するようにしても良い。
【００４５】
そして、保持部品１１の上端に冶具１６を冠着し接続ピン１３の上部を位置決め用の穴に１６ｆに挿入して位置決めする。このように冶具１５に保持部品１１を取り付けた状態（初期状態）においてガラス管２２の下端面が保持部品１１の下面１１ｇよりも内側に位置しかつ冶具１５の凹部１５ｃの底面１５ｅから大きく離隔して保持されている。
【００４６】
次に、これらを図示しない電気炉に搬入して所定の温度に加熱する。ガラス管２２は、所定温度に達すると溶融して穴１１ｄ、穴１１ｈの内周面及び接続ピン１３の外周面に密着する。ガラス管２２の管部２２ｂの長さは穴１１ｄの深さよりも僅かに短く形成されており、しかも、溶融したガラスは粘性が高くかつ表面張力の作用も相俟って穴１１ｄの下端から流れ出ることはない。従って、溶融したガラスが保持部品１１の下面１１ｇから突出することはない。そして、保持部品１１と冶具１５とが溶融したガラスにより密着することが完全に防止される。
【００４７】
尚、保持部品１１の穴１１ｄ内にガラス管を保持する必要な時間は、ガラス管１２を穴１１ｄに挿入してから溶融させるまでの間である。従って、保持部品１１の穴１１ｄ内にガラス管１２を係止保持する硝子保持機構として上述したように穴１１ｄの下端部１１ｅに段差部１１ｆを形成したり、穴１１ｄの上部の穴１１ｈとガラス管２２の上端部２２ａとにそれぞれ段差部１１ｉ，２２ｃを形成する構成に限るものではなく、他の例えば穴１１ｄの下端開口端に半径方向内方に向けて僅かに突出しかつ周方向に沿って複数例えば等間隔に少なくとも３箇所にコーキング（打痕）を形成してガラス管の下端面を係止保持するようにしても良い。また、穴１１ｄの下端に内径が接続ピン１３の外径よりも大径の金属製Ｏリングやワッシャ等を嵌合させても良い。或いは穴１１ｄの下端部を僅かにテーパ状に縮径させるようにしても良い。
【００４８】
また、上記第１、第２実施形態において硝子保持機構を形成する保持部品１１の穴１１ｄと下端部１１ｅとの段差部１１ｆ、穴１１ｄの上部と穴１１ｈとの段差部１１ｉ、ガラス管２２の上端部２２ａと管部２２ｂとの段差部２２ｃは、平面に限るものではなくテーパ面としても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係わる浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールの第１の実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係わる浸炭防止硝子保持機構付ハーメチックシールの第２の実施形態を示す断面図である。
【図３】従来のハーメチックシールを適用した保持部品の一例を示す平面図である。
【図４】図３に示した保持部品に接続ピンをハーメチックシールする場合の説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１    保持部品
１ａ    穴
１ｂ    下面
２    ガラス管
３    接続ピン
５    冶具
５ａ    上面
５ｂ    凹部
５ｃ    底面
５ｄ    突起
５ｅ    位置決め用のピン穴
６    冶具
６ａ    位置決め用のピン穴
１１    保持部品
１１ａ    上面
１１ｂ    凹部
１１ｃ    底面
１１ｄ    穴
１１ｅ    下端部
１１ｆ    段差部
１１ｇ    下面
１１ｈ    穴
１１ｉ    段差部
１２    ガラス管
１３    接続ピン
１５    冶具
１５ａ    上面
１５ｂ，１５ｃ    凹部
１５ｄ    段差部
１５ｅ    底面
１６    冶具
１６ａ    下面
１６ｂ，１６ｃ    凹部
１６ｄ    段差部
１６ｅ    底面
１６ｆ    位置決め用のピン穴
２２    ガラス管
２２ａ    上端部
２２ｂ    管部
２２ｃ    段差部
【図１】
2008027630.tif 000003
【図２】
2008027630.tif 000004
【図３】
2008027630.tif 000005
【図４】
2008027630.tif 000006