(57)【要約】【課題】  設計者が種々のタイプの障害に対する設計の感受性を改善することを可能にするように、設計のクリティカル・エリアと、欠陥に対してレイアウト形状の辺を関係付ける情報を提供する方法、システム、及びコンピュータ・プログラムを得ること。【解決手段】  定められたクリティカル・エリアのパターンに寄与する設計の１つ又は複数の辺間の相互作用を視覚的に表すための方法、装置、及びコンピュータ・プログラムが提供される。【選択図】      図１０
2008171406.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路を設計する方法であって、
集積回路の設計のクリティカル・エリアを表すためのボロノイ図を作成するステップであって、前記ボロノイ図は、各々が前記設計の１つ又は複数の対応する辺間の相互作用を表す１つ又は複数の二等分線を有する、ステップと、
前記１つ又は複数の対応する辺の部分と、それらの互いの相互作用とを視覚的に識別するステップと、
を含む方法。
【請求項２】
集積回路を設計するための装置であって、
集積回路の設計のクリティカル・エリアを表すためのボロノイ図を作成するための手段であって、前記ボロノイ図は、各々が前記設計の１つ又は複数の対応する辺間の相互作用を表す１つ又は複数の二等分線を有する、手段と、
前記１つ又は複数の対応する辺の部分と、それらの互いの相互作用とを視覚的に識別するための手段と、
を含む装置。
【請求項３】
前記視覚的に識別するための手段は、
前記設計の１つ又は複数の対応する辺間の前記相互作用を表すように、前記１つ又は複数の二等分線の各々を割り当てるための手段
を含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記視覚的に識別するための手段は、
前記１つ又は複数の二等分線の各々について互いに相互作用する前記設計の前記辺の前記部分を定める識別可能な領域を作成するための手段
を含む、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記視覚的に識別するための手段は、
前記識別可能な領域に接触する前記相互作用する辺の前記部分を視覚的に識別するための手段
を含む、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記視覚的に識別するための手段は、
前記１つ又は複数の相互作用する辺間にベクトルを作成するための手段
を含む、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記ベクトルを作成するための手段は、
所定の基準に従って前記相互作用する辺の重要度を表す色で前記ベクトルを表示するための手段
を含む、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記所定の基準は、前記関連付けられたクリティカル・エリアに対する所定の影響を含む、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記関連付けられたクリティカル・エリアに対する前記所定の影響は、前記関連付けられたクリティカル・エリアの大きさと相関する、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記視覚的に識別するための手段は、
所定の基準に基づいて前記ベクトルをフィルタするための手段
を含む、請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
前記所定の基準は、フィルタされるように予め指定された辺の相互作用と関連付けられたベクトルを含む、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記辺の相互作用の前記指定は、
フィルタされる位置ベクトルを指定するための多角形マーカを作成する手段
を含む、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記所定の基準は、前記二等分線に隣接する１つ又は複数の隣接するボロノイ領域のクリティカル・エリアに対するそれらの関連付けられた二等分線の相対的なクリティカル・エリアの寄与に基づいて、前記相互作用する辺に割り当てられたクリティカル・エリア値である、請求項７に記載の装置。
【請求項１４】
前記クリティカル・エリア値は、前記隣接するボロノイ領域の前記クリティカル・エリアに、前記１つ又は複数のボロノイ領域の境界を成す、辺の相互作用を表す全ての二等分線のクリティカル・エリアの寄与の総計に関する前記関連付けられた二等分線が寄与するクリティカル・エリアの百分率を掛けたものである、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記識別可能な領域は、多角形の形状を有する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
集積回路を設計するためのコンピュータ使用可能プログラム・コードを有するコンピュータ使用可能媒体を含むコンピュータ・プログラムであって、
集積回路の設計のクリティカル・エリアを表すためのボロノイ図を作成するためのコンピュータ使用可能プログラム・コードであって、前記ボロノイ図は、各々が前記設計の１つ又は複数の対応する辺間の相互作用を表す１つ又は複数の二等分線を有する、コンピュータ使用可能プログラム・コードと、
前記１つ又は複数の対応する辺の部分と、それらの互いの相互作用とを視覚的に識別するためのコンピュータ使用可能プログラム・コードと、
を含む、コンピュータ・プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、半導体設計に関し、より具体的には、このような設計のためのクリティカル・エリアの表示及び変更に関する。
【背景技術】
【０００２】
特定の製造技術についてウェーハの歩留まりを正確に予測し、改善する能力は、半導体産業にとってますます重要となっている。歩留まり予測は、入札及び生産能力の決定のために用いられているので、製造設備の収益性に直接関連付けられる。明らかに、歩留まりを改善する能力は非常に望ましいものである。
【０００３】
歩留まり予測の１つの態様は、埃、材料、及び装置から持ち込まれる粒子状汚染物質に起因するランダム欠陥に対する設計の感受性を判定することである。ここ３０年間、半導体産業は、粒子状汚染物質に対する設計の感受性を判定するためにランダム欠陥歩留まり予測モデリングを用いている。
【０００４】
ランダム欠陥モデリングについての中心となる概念は、半導体設計のどの部分が粒子状汚染物質に起因する特定の欠陥障害メカニズムに対して感受性が高いかについての定量化であるクリティカル・エリアの概念である。これらの粒子状汚染物質は、異なる導電性領域間の短絡をもたらす材料過剰欠陥、及び開路をもたらす材料欠損欠陥を生じさせる可能性がある。
【０００５】
設計のクリティカル・エリアを、モンテカルロ法及び形状変換（shapeshifting)のような種々のランダム欠陥歩留まり予測モデリング技術と共に用いて、粒子状汚染物質に起因する欠陥障害に対するその設計の感受性を決定することができる。
【０００６】
これらの技術は、その設計がどれくらい粒子の欠陥障害に対して感受性があるかについての情報を設計者に提供するが、その感受性が設計のレイアウト形状の辺（edge）からどのように改善されることができるかについての何の情報も提供することができない。
【０００７】
【特許文献１】米国特許第６，３１７，８５９号
【特許文献２】米国特許第６，２４７，８５３号
【特許文献３】米国特許第６，１７８，５３９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、設計者が種々のタイプの障害に対する設計の感受性を改善することを可能にするように、設計のクリティカル・エリアと、欠陥に対してレイアウト形状の辺を関係付ける情報を提供する方法、システム、及び、コンピュータ使用可能媒体に記憶された
コンピュータ使用可能プログラム・コードを含むコンピュータ・プログラムを得ることは、明確な利点となるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
１つの態様において、本発明は、集積回路を設計する方法である。本方法は、集積回路の設計のクリティカル・エリアを表すためのボロノイ図を作成するステップを含み、このボロノイ図は、その各々が設計の１つ又は複数の対応する辺間の相互作用を表す１つ又は複数の二等分線を有する。本方法はまた、１つ又は複数の対応する辺の部分と、それらの互いの相互作用とを視覚的に識別するステップを含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、添付の明細書と併せて以下の図面を参照することによって、当業者にはより良く理解され、その利点はより明らかになるであろう。
【００１１】
本発明は、定められたクリティカル・エリアのパターンに寄与する、設計の１つ又は複数の辺間の相互作用を視覚的に識別するための方法、装置、及びコンピュータ・プログラムである。より具体的には、その設計についてのボロノイ図を作成し、その二等分線を１つ又は複数の相互作用する辺に割り当てる。これらの二等分線を用いて、互いに相互作用する辺の部分を識別する多角形領域が作成される。設計者には、所定の基準に従って相互作用の重大度を示す視覚的キューが提供される。
【００１２】
障害のタイプ
クリティカル・エリアは、半導体チップのどの部分が特定の欠陥障害メカニズムに対して感受性が高いかについての定量化であり、特定の障害メカニズムの関数としてランダム欠陥に起因するチップの歩留まり損失を予測するために用いられる。障害メカニズムは、ランダム欠陥が、引き金となるレイアウトの辺に基づいてあるタイプの障害（チップの動作に対する電気的な破壊）を引き起こす方式と定義される。障害は、後述されるもののような、材料に付着するか又は材料の欠損をもたらす異物粒子から引き起こされる。
【００１３】
図１は、障害を引き起こすことなく粒子がどのようにネット（骨子）に接触することができるかを示す図である。より具体的には、粒子２００は、ネット１１４に接触し、ネット１１４のある部分を別の部分に短絡させるが、それは、所望の電気的特性を変えるものではない（すなわち、電流は依然として予期される通りに流れる）。しかしながら、粒子２０２は、それが２つの異なるネット１１６及びネット１１４に接触し、それらを互いに結合するため、「短絡」障害と呼ばれるタイプの障害を生成する。
【００１４】
「開路」障害と呼ばれる別のタイプの障害は、図２によって示されるように、異物粒子がネットにおいて完全な遮断を引き起こすのに十分な材料を所望の位置から除去する場合に生じる。例としては、粒子３０３は、ネット１１４を完全に遮断するのに十分な材料を除去する。ネット１１４は、粒子３００によって除去された材料によって一部のみが遮断されるので、障害は生成されない。
【００１５】
「ビア・ブロック」障害は、図３に示すように、粒子がビア又はコンタクトを完全にブロックするのに十分な材料を付着させるときに生成される。より具体的には、ビア４０２は、粒子４０６によって完全にブロックされてビア・ブロックを生成し、他方、ビア４０４は粒子４００によって部分的にブロックされているのみである。
【００１６】
クリティカル・エリアの抽出
クリティカル・エリアは、半導体チップのどの部分が特定の欠陥障害メカニズムに対して感受性が高いかについての定量化であり、特定の障害メカニズムの関数としてランダム欠陥に起因するチップの歩留まり損失を予測するために用いられる。
【００１７】
クリティカル・エリアを決定するためのこうした技術の１つがボロノイ図である。ボロノイ図は、概念的に、平面内の形状の集合をとり、そして、その領域内の全ての点がある特定の特徴の最も近接した形状辺と関連付けられるという特性を各々が有する領域に、その平面を分割する。
【００１８】
回路設計に基づいて、かつ適切な幾何学的形状下で、ボロノイ図を構築して、周知且つ理解されている方式で過剰材料及び欠損材料によりもたらされる障害の影響をモデリングすることができる（例えば、特許文献１、特許文献２、及び特許文献３参照）。
【００１９】
ボロノイ図は、レイアウト内の領域についてのクリティカル・エリアを示すが、設計を改善する目的のためにクリティカル・エリアをレイアウト形状辺にどのように関連付けるべきかを設計者に示すことができない。本発明は、後述のように、ボロノイ図を付加的な情報と組み合わせて用いて、設計者にこの関係を知らせるものである。
【００２０】
例えば、図４は、２つのネットＡ及びネットＢと、円５０２によって示されるポイント（ｘ，ｙ）についてのクリティカル・エリアとを示す。ネットＢの辺Ｂと相互作用するネットＡの辺の各々が、辺Ｂから延びる一方向矢印で示されている。ここで、短絡がポイント（ｘ，ｙ）上の障害によりもたらされると仮定する。何らかの更なる情報がなければ、設計者は、クリティカル・エリアを改善するために、相互作用する辺のいずれを広げるか又は他の方法で変更すべきかを確認することができない。
【００２１】
別の例において、図５は、辺Ａと多数の相互作用する辺との間で生じる可能性がある開路が円によって示されている、単一のネットＡを示す。この場合も、何らかの更なる情報がなければ、設計者は、クリティカル・エリアを改善するために、辺Ａのどの部分を移動させるか又は他の方法で変更すべきかを確認することができない。
【００２２】
本発明は、比例配分法でボロノイ領域のクリティカル・エリアをその二等分線（以後、「母線」と称する）の部分集合に割り当てることによって、この付加的な情報を提供する。母線は、ボロノイ領域内でそこから距離が測定される二等分線である。母線は、図６及び図７と関連させてより詳細に後述されるように、設計内で特定の障害タイプに関して相互作用する形状辺の対と関連付けられる。
【００２３】
ここで、図６を参照すると、互いに相互作用することができる辺を有する形状によって定められるネットＡ及びネットＢの対を備えた設計を示す図が示されている。ネットＢは、辺７２０と辺７１８と辺Ｂとを含む。ネットＡは、辺７０４から辺７１５までを含む。
【００２４】
ここで、図７を参照すると、本発明の教示による、図６のネットＡとネットＢとの間の短絡についてのボロノイ領域７００の例を示す図が示されている。図７の例は短絡についてのものであるが、同じプロセス及び分析が同様に開路及びビア・ブロックに適用可能であることを理解すべきである。ボロノイ図は、周知且つ理解されている技術（例えば、引用により本明細書に組み入れられる、特許文献１、特許文献２、及び特許文献３）を用いて、図６の形状から構築される。この例においては、ボロノイ領域７００は、辺Ｂと関連付けられ、対応する領域７０４−７１０として識別される、辺７０４、辺７０６、辺７０８、及び辺７１０と関連付けられた隣接するボロノイ領域を有する。
【００２５】
ここで、図８を参照すると、本発明の教示による、ネットＡ及びネットＢ上の相互作用する辺の一部を示す図が示されている。双方向矢印を用いて、ボロノイ領域７００に関係するネットＡ及びネットＢ上の相互作用する辺が識別されている。例えば、双方向矢印７２４は、ネットＡの辺７０６と、ネットＢの辺Ｂに接触する。双方向矢印の各々が通過する、ボロノイ領域７００の境界を定める二等分線は、母線として識別される。
【００２６】
面のクリティカル・エリアがその面の境界を定める各々の二等分線のクリティカル・エリアの寄与の累積であることは、十分理解されている。本発明の教示に従って識別されると、母線は、これらの二等分線の部分集合を表す。クリティカル・エリアの表示目的のために各々の母線（したがって、関連付けられた辺の相互作用）が割り当てられるクリティカル・エリアは、ボロノイ領域の総クリティカル・エリアに、面の周りの全ての母線のクリティカル・エリア寄与の総計に対するその母線のクリティカル・エリア寄与の百分率を掛けたものである。一般に、各々の母線は、２つのボロノイ領域の境界を成し、（今説明した）両方の領域から割り当てられたクリティカル・エリアを合計して、その母線及び関連付けられた辺の相互作用に対する最終的なクリティカル・エリアの割り当てを生成することができる。
【００２７】
ここで、図９を参照すると、本発明の教示による、選択された母線８０４に関する、より詳細な図８のボロノイ領域７００の例を示す図が示されている。この例においては、母線８０４は、双方向矢印７２４を用いて示されているように、辺７０６と辺Ｂとの相互作用によって形成される。本発明の教示によれば、母線８０４には、ボロノイ領域７００のクリティカル・エリアに母線８０４のクリティカル・エリアの寄与を掛け、これをボロノイ領域７００の境界を定める全ての母線のクリティカル・エリアの寄与で割ったものに等しいクリティカル・エリアが割り当てられる。
【００２８】
クリティカル・エリアを改善するために変更することができる、設計内の形状の辺の部分を決定するために、母線８０４の重みの中に含まれる母線８０４の周りの点の集合の外形から多角形領域８０２が作成され、点の重みは、相互作用する辺７０６又は辺Ｂのいずれかまでのその距離である。
【００２９】
多角形領域は、関連付けられたクリティカル・エリアを改善するために変更することができる相互作用する辺の部分を識別するために用いられる。より具体的には、多角形領域に接触する辺の部分は、関連付けられた母線を作成した辺間の相互作用に関連付けられたクリティカル・エリアに対する影響を有する、変更することができる部分である。多角形領域に接触していない辺の如何なる部分の修正も、関連付けられたクリティカル・エリアを改善することができない。
【００３０】
この例において、多角形領域８０２に接触する辺７０６の部分は、辺７０６と辺Ｂとの間のクリティカル・エリアを改善するように（例えば、それをもっと先に移動させることによって）変更することができる。しかしながら、多角形領域８０２に接触していない辺７０６の如何なる部分の如何なる修正も、クリティカル・エリアを改善することができない。
【００３１】
本発明の好ましい実施形態において、こうした情報は、視覚的描画によって設計者に提供される。より具体的には、クリティカル・エリアの影響の重大度に応じて、設計者には、図１０に示されるように、重大度レベル及び相互作用する辺を示す視覚的描画が提供される。
【００３２】
ここで、図１０を参照すると、本発明の教示による、母線８０４を生成する相互作用する辺についての視覚表示を有する、図９のボロノイ領域７００を示す図が示されている。より具体的には、ベクトル９０２が、相互作用している辺７０６の部分と辺Ｂとの間で生成され、重大度によって色がコード化され（例えば、クリティカルについては赤）、このようにして視覚的キューを提供することができる。
【００３３】
辺の相互作用の総数は、数百万に達する場合がある。したがって、本発明の好ましい実施形態は、設計者が、クリティカル・エリア値の範囲又はクリティカル値の百分率範囲、及び固定として、非固定として、又は他の方法で排除されるように設計者がマークを付けた相互作用をフィルタ除去する能力に基づいて、相互作用の部分集合を識別し、表示することを可能にする。
【００３４】
例えば、辺の相互作用、関連付けられた多角形領域、及び関連付けられたクリティカル・エリアの寄与のリストを維持することができる。次に、寄与が高いほうから１０パーセントの相互作用を表示し、寄与値の大きさによって色付けすることができる。このことは、設計者が最大の改善をもたらすように変更することができる辺を識別することを可能にする。他の指定された基準を用いることもできる。
【００３５】
更なる例として、設計者によって変更又は選択された相互作用は、フィルタされるべきそれらの相互作用又は相互作用のグループに触れているか又はそれらをカバーする多角形マーカを維持することによって、表示からフィルタすることができる。これらの多角形マーカは、変更を行った後の次のクリティカル・エリアの再計算まで持続することができ、表示からフィルタされるように先に指定された相互作用を識別するために用いることができる。
【００３６】
ここで、図１１を参照すると、本発明の教示による、短絡についての寄与の高いエラー・ベクトルを示す図が示されている。既述のように、表示されているエラー・ベクトルは、指定された基準に従ってフィルタされ、色、又は短絡に対するそれらのランク若しくは寄与を示す他の手段を用いて表示されることができる。
【００３７】
例えば、ベクトル１２０２は、色（例えば、赤）又は他の手段を用いることによって、短絡に対して最もクリティカルに寄与するベクトルの１つとして示される。ベクトル１２０４及び１２０６は、色（例えば、黄色）又は他の手段を用いることによって短絡ビアに対して次に最もクリティカルに寄与するベクトルとして示される。
【００３８】
同様の方法で、図１２によって示されるように、開路についての寄与の高いエラー・ベクトルを表示することができる。例えば、ベクトル１３０４は、色（例えば、赤）又は他の手段を用いることによって、開路に対して最もクリティカルに寄与するベクトルの１つとして示され、ベクトル１３０２は、同様の方法で次に最もクリティカルに寄与するベクトルとして示される。
【００３９】
同様に、ビアに対して寄与の高いエラー・ベクトルを同様の方法で表示することができる。
【００４０】
ここで、図１３を参照すると、上述のように、設計の相互作用する辺の視覚表示を行うことができるコンピュータ・システム１４００を示すブロック図が示されている。コンピュータ・システム１４００は、その各々がより詳細に後述される種々のコンポーネントを含む。
【００４１】
バス１４２２は、コンピュータ・システム１４００内で情報の通信を提供することができる任意のタイプのデバイス（例えば、システム・バス、ＰＣＩバス、クロスバー・スイッチ等）を表す。
【００４２】
プロセッサ１４１２は、通常動作の際に、ランダム・アクセス・メモリ（ＲＡＭ）１４１４のような動的記憶装置及び読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）１４１６のような静的記憶装置内に格納されたオペレーティング・システム及びアプリケーション・ソフトウェア１４１０の制御下でデータを処理する汎用プロセッサ（例えば、ＩＢＭによって製造されているＰｏｗｅｒＰＣ（商標）又はＩｎｔｅｌによって製造されているＰｅｎｔｉｕｍ（登録商標）（商標））とすることができる。オペレーティング・システムは、ユーザへのグラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）を提供することが好ましい。
【００４３】
代替的な好ましい実施形態を含む本発明は、本発明の教示に従ってコンピュータ・システム１４００をプログラムして、プロセスを実行するために用いられる機械実行可能命令をそれに格納した機械可読媒体上に含まれる状態で、コンピュータ・プログラムとして提供することができる。
【００４４】
本明細書において用いられる「機械可読媒体」という用語は、プロセッサ１４１２又はコンピュータ・システム１４００の他のコンポーネントに実行のための命令を与えることに関与する如何なる媒体をも含む。このような媒体は、これらに限定されるものではないが、不揮発性媒体及び伝送媒体を含む多くの形態をとることができる。不揮発性媒体の一般的な形態は、例えば、フロッピー（登録商標）・ディスク、フレキシブル・ディスク、ハード・ディスク、磁気テープ又はその他のあらゆる磁気媒体、コンパクト・ディスクＲＯＭ（ＣＤ−ＲＯＭ）、デジタル・ビデオ・ディスクＲＯＭ（ＤＶＤ−ＲＯＭ）又は静的若しくは書き換え可能（例えば、ＣＤＲＷ及びＤＶＤ  ＲＷ）を問わずその他のあらゆる光学式媒体、パンチ・カード又は穴のパターンを有するその他のあらゆる物理媒体、プログラム可能なＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、消去可能なＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ）、電気的ＥＰＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ）、フラッシュ・メモリ、その他のあらゆるメモリ・チップ又はカートリッジ、或いはコンピュータ・システム１４００が読み出すことができ、命令を格納するのに適したその他のあらゆる媒体を含む。好ましい実施形態において、不揮発性媒体の例は、ハード・ドライブ１４０２である。
【００４５】
揮発性媒体は、ＲＡＭ１４１４のような動的メモリを含む。伝送媒体は、同軸ケーブル、銅線、又は光ファイバを含み、バス１４２２を構成する配線を含む。伝送媒体は、電波又は赤外線データ通信の際に生成されるような、音波又は光波の形態をとることもできる。
【００４６】
さらに、本発明は、コンピュータ・プログラム製品としてダウンロードすることができ、この場合、プログラム命令は、バス１４２２に結合された通信インタフェース１４３２へのネットワーク・リンク１４３４（例えば、モデム又はネットワーク接続）を介して、搬送波又は他の伝搬媒体において具現化されるデータ信号によって、サーバ１４３９のようなリモート・コンピュータから要求するコンピュータ・システム１４００に転送されることができる。
【００４７】
通信インタフェース１４３２は、例えば、ローカル・エリア・ネットワーク（ＬＡＮ）、ワイド・エリア・ネットワーク（ＷＡＮ）に、又は図示されているように直接インターネット・サービス・プロバイダ（ＩＳＰ）１４３７に接続することができるネットワーク・リンク１４３４につながれ、双方向のデータ通信を提供する。特に、ネットワーク・リンク１４３４は、有線及び／又は無線ネットワーク通信を１つ又は複数のネットワークに提供することができる。
【００４８】
そして次に、ＩＳＰ１４３７は、インターネット１４３８又は他のネットワークを介してデータ通信サービスを提供する。インターネット１４３８は、互いに通信するために、伝送制御プロトコル（ＴＣＰ）及びインターネット・プロトコル（ＩＰ）のような特定のプロトコルを用いるネットワーク及びゲートウェイの世界的な集合体と言うことができる。ＩＳＰ１４３７とインターネット１４３８は両方とも、デジタル又はアナログ・データ・ストリームを搬送する、電気信号、電磁信号、又は光信号を用いる。コンピュータ・システム１４００の内外にデジタル又はアナログ・データを搬送する、種々のネットワークを介した信号及びネットワーク・リンク１４３４上での通信インタフェース１４３２を介した信号は、情報を移送する搬送波の例示的な形態である。
【００４９】
さらに、多数の周辺コンポーネントをコンピュータ・システム１４００に付加することができる。例えば、音声出力を制御するために音声デバイス１４２８がバス１４２２に取り付けられる。さらに、視覚、触覚、又は他の図形表示形式を提供するために、ディスプレイ１４２４がバス１４２２に取り付けられる。ディスプレイ１４２４は、モニタのような不透明な表面と、ヘッドセット・サングラス又は車両フロントガラス・ディスプレイのような透明な表面の両方を含むことができる。
【００５０】
キーボード１４２６、及びマウス、トラックボール、又はカーソル方向キーのようなカーソル制御デバイス１４３０は、コンピュータ・システム１４００へのユーザ入力のためのインタフェースとしてバス１４２２に結合される。
【００５１】
コンピュータ・システム１４００上のアプリケーション・ソフトウェア１４１０の実行は、図７−１３と関連させて上述されたように、設計の辺を視覚的に識別するための方法を実施するものである。しかしながら、当業者であれば、本発明が上記の実施に限定されるものではなく、如何なるコンピュータ／システム・アーキテクチャとも無関係であることに留意し、それを理解すべきである。したがって、本発明は、他の計算プラットフォーム、プログラミング言語、及びオペレーティング・システム上で同様に実行することができ、回路又は他の計算用コンポーネント内にハードワイヤードで組み込まれることもできる。
【００５２】
このように、本発明の動作及び構成は、以上の説明から明らかとなると思われる。示され、説明された方法及びシステムは、好ましいものとして特徴付けられたが、特許請求の範囲内で定められる本発明の精神及び範囲から逸脱することなく種々の変更及び／又は修正を加えることができることが容易に分かるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】障害を引き起こすことなく材料を付着させる幾つかの粒子を示す図である。
【図２】開路型障害を示す図である。
【図３】ビア・ブロック型障害を示す図である。
【図４】２つのネットＡ及びネットＢと、ポイント（ｘ，ｙ）についてのクリティカル・エリアを示す図である。
【図５】辺Ａと多数の相互作用する辺との間で生じる可能性がある開路が円によって示される単一ネットを示す図である。
【図６】互いに相互作用することができる辺を有する形状によって定められるネットＡ及びネットＢの対を備えた設計を示す図である。
【図７】本発明の教示による、図６のネットＡとネットＢとの間の短絡についてのボロノイ領域の例を示す図である。
【図８】本発明の教示による、ネットＡ及びネットＢ上の相互作用する辺の一部を示す図である。
【図９】本発明の教示による、選択された母線に関するより詳細な図８のボロノイ領域の例を示す図である。
【図１０】本発明の教示による、母線を生成する相互作用する辺についての視覚表示を有する、図９のボロノイ領域を示す図である。
【図１１】本発明の教示による、短絡についての寄与の高いエラー・ベクトルを示す図である。
【図１２】本発明の教示による、開路についての寄与の高いエラー・ベクトルを示す図である。
【図１３】本発明の教示による、設計の相互作用する辺の視覚表示を行うことができるコンピュータ・システムを示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１４、１１６：ネット
２００、２０２、３００、３０３、４００、４０６：粒子
４０２、４０４：ビア
５０２、７００：クリティカル・エリア
７０４、７０６、７０８、７１０、７１２、７１４、７１５：ネットＡの辺
７１８、７２０：ネットＢの辺
８０２：多角形領域
８０４：母線
９０２、１２０４、１２０６、１３０２、１３０４：ベクトル
【図１】
2008171406.tif 000003
【図２】
2008171406.tif 000004
【図３】
2008171406.tif 000005
【図４】
2008171406.tif 000006
【図５】
2008171406.tif 000007
【図６】
2008171406.tif 000008
【図７】
2008171406.tif 000009
【図８】
2008171406.tif 000010
【図９】
2008171406.tif 000011
【図１０】
2008171406.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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