(57)【要約】【課題】オーバーシュートの発生による駆動案内装置の誤作動を最小限に抑制する。【解決手段】ステップＳＴ１で、リニアモータにおいてオーバーシュートが発生しているか否かの判定を行う。発生の検出までステップＳＴ１の判定を継続する。発生した場合、ステップＳＴ２に移行して、発生位置情報の検出を行う。過去において、同位置での発生情報が記憶されていなければ、ステップＳＴ４で第１の位置情報および第１のオーバーシュート量を発生情報として記憶する。他方、前回の発生情報が記憶されていれば、ステップＳＴ３で前回の第１のオーバーシュート量と比較され、第２のオーバーシュート量が第１のオーバーシュート量より大きい場合に、アラーム回路１０３からオーバーシュートの発生を報知する。【選択図】図６
2008253095.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電流が供給されるコイルを有して構成される一次側と、磁極が交互に並んだ磁石を有して構成される二次側とから構成されるリニアモータと、
前記リニアモータにおける前記一次側と前記二次側との相対的位置を検出して前記相対的位置に応じた位置情報を出力する位置検出手段と、
外部に情報を報知する報知手段と、
前記リニアモータおよび前記報知手段を制御するとともに記憶部が設けられた制御手段とを有し、
前記制御手段により、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無が検知され、オーバーシュートが発生した場合に、前記記憶部に、前記オーバーシュートの量が第１のオーバーシュート量として記憶されるとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報が第１の位置情報として記憶され、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無が検知され、オーバーシュートが発生した場合に、オーバーシュートの量が第２のオーバーシュート量として前記第１のオーバーシュート量と比較されるとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報が第２の位置情報として前記第１の位置情報と比較され、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報とが略同位置であり、かつ、前記第２のオーバーシュート量が前記第１のオーバーシュート量より大きい場合に、前記報知手段によりオーバーシュートの発生を報知可能に構成されている
ことを特徴とする駆動案内システム。
【請求項２】
前記報知手段により、オーバーシュートの発生を報知するとともに、前記制御手段により前記リニアモータの駆動を停止するように構成されている
ことを特徴とする請求項１記載の駆動案内システム。
【請求項３】
交流電流が供給されるコイルを有して構成される一次側と磁極が交互に並んだ磁石を有して構成される二次側とから構成されるリニアモータにおける前記一次側と前記二次側との相対的位置を検出して、前記相対的位置に応じた位置情報を出力する位置検出手段から出力される位置情報に基づいて、前記リニアモータおよび外部に情報を報知する報知手段を制御するとともに記憶部が設けられた制御手段が、
前記一次側と前記二次側との駆動時における前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無を検知し、オーバーシュートが発生した場合に、前記記憶部に、前記オーバーシュートの量を第１のオーバーシュート量として記憶するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第１の位置情報として記憶し、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無を検知して、オーバーシュートが発生した場合に、前記オーバーシュートの量を第２のオーバーシュート量として前記第１のオーバーシュート量と比較するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第２の位置情報として前記第１の位置情報と比較し、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報とが略同位置であり、かつ、前記第２のオーバーシュート量が前記第１のオーバーシュート量より大きい場合に、前記報知手段によりオーバーシュートの発生を報知するようにした
ことを特徴とする誤動作検出方法。
【請求項４】
前記報知手段により、オーバーシュートの発生を報知するとともに、前記制御手段により前記リニアモータの駆動を停止する
ことを特徴とする請求項３記載の誤動作検出方法。
【請求項５】
交流電流が供給されるコイルを有して構成される一次側と、磁極が交互に並んだ磁石を有して構成される二次側とから構成されるリニアモータにおける、前記一次側と前記二次側との相対位置に基づいた誤作動を検出するための、前記リニアモータおよび外部に情報を報知する報知手段を制御するとともに記憶部が設けられた制御手段により実行可能な誤作動検出プログラムにおいて、
前記一次側と前記二次側との相対的位置を検出して、前記相対的位置に応じた位置情報を出力する位置検出手段から出力された位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との駆動時における前記一次側と前記二次側との間のオーバーシュートの発生の有無を検知し、オーバーシュートが発生した場合に、前記記憶部に、前記オーバーシュートの量を第１のオーバーシュート量として記憶するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第１の位置情報として記憶し、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無を検知して、オーバーシュートが発生した場合に、前記オーバーシュートの量を第２のオーバーシュート量として前記第１のオーバーシュート量と比較するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第２の位置情報として前記第１の位置情報と比較し、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報とが略同位置情報であり、かつ、前記第２のオーバーシュート量が前記第１のオーバーシュート量より大きい場合に、前記報知手段に報知させる
ことを特徴とする誤動作検出プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、運動案内システムおよびこの誤動作検出方法に関し、特に、サーボドライバを用いて駆動案内装置を制御する際の誤動作検出方法に適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、サーボドライバにより制御されるリニアモータにおいては、サーボドライバからの信号にノイズが重畳されることを可能な限り抑制するように製造されている。
【０００３】
しかしながら、配線被膜の損傷や、電磁気の干渉に起因して、サーボドライバからの信号にノイズが重畳される可能性も否定できない。そして、リニアモータの駆動時において、サーボドライバから出力される信号、例えば移動距離の命令信号などにノイズが重畳されると、出力された信号に基づく移動位置より、実際の移動位置がずれてしまうことがある。
【０００４】
この点について、図面を参照しつつ説明する。図７に、従来技術によるリニアモータを採用した駆動案内装置を示す。
【０００５】
図７に示すように、従来技術においてリニアモータ２００は、コイルを有する通電側の一次側２１１と、Ｓ極およびＮ極が並べられて構成される非通電側の二次側２１２とを有して構成されている。また、一次側２１１には、磁極センサ２１１ａと、光学センサからなるスケールセンサ２１１ｂとが設けられている。
【０００６】
磁極センサ２１１ａおよびスケールセンサ２１１ｂから出力されるそれぞれの信号は、サーボドライバ２１３の制御部２１３ｂに供給される。また、制御部からの制御信号に基づいて、主回路電源部２１３ａから一次側２１１の３相コイルに交流電流が供給される。そして、ドライバ２１３における一次側２１１と二次側２１２との相対的位置関係に基づいて、適切な３相交流電流が主回路電源部２１３ａから一次側２１１に供給される。
【特許文献１】特開２００５−２８７２９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上述した制御部２１３ｂから出力される信号にノイズが重畳されると、制御部２１３ｂから出力された信号とスケールセンサ２１１ｂに供給される信号との間にずれが生じることが、本発明者により確認された。このずれにより、サーボドライバ２１３の制御部２１３ｂにおいて認識される移動量と、実際の移動量との間にずれが生じてしまい、最終的に大きな誤作動となってしまう。
【０００８】
すなわち、図７に示すように、制御部２１３ｂから出力された移動量信号に基づいた移動量がＬであるとする。このとき、リニアモータ２００が正常に動作するのであれば、移動量Ｌの移動動作が行われる。
【０００９】
これに対して、上述のように制御部２１３ｂから出力された移動量信号にノイズが重畳されると、制御部２１３ｂからの信号に基づく一次側２１１の移動量Ｌと一次側２１１の実際の移動量Ｌ´との間に差が生じる。なお、この状態において、サーボドライバ２１３の制御部２１３ｂにおいては、一次側２１１の移動量は「Ｌ」として認識されている。
【００１０】
そして、一次側２１１の往復運動などによって、このずれが蓄積されてゆく状態も生じ
得る。このずれの蓄積によって、制御部２１３ｂから一次側２１１に移動量Ｌの信号を供給した場合においても、実際の移動量がＬ″となることがある。このとき、一次側２１１における、サーボドライバ２１３において認識される位置と実際の位置とが異なるため、磁極位置がずれてしまう。
【００１１】
この磁極位置のずれは、リニアモータ２００の推力に影響を及ぼし、一次側２１１において十分な推力を発生させることが困難になる。そして、最適な推力を発生させられなくなることにより、制御部２１３ｂからの信号に基づいて、一次側２１１が停止すべき位置に到達した場合においても、推力が慣性力に抗することができなくなる。そのため、一次側２１１が過剰に移動する現象が生じる。この現象を、以下「オーバーシュート」と称する。なお、この場合においても、制御部２１３ｂから一次側２１１に供給される信号にノイズが重畳されていると、図７に示すように、制御部２１３ｂからの信号に基づいた一次側２１１が停止すべき位置は、本来の停止すべき位置からずれている状態となる。
【００１２】
また、このオーバーシュートが発生すると、制御部２１３ｂには、スケールセンサ２１１ｂから停止すべき位置からのずれ量（オーバーシュート量）が供給される。オーバーシュート量のデータが供給された制御部２１３ｂは、一次側２１１が停止すべき位置に復帰するように、一次側２１１に駆動電流を供給する。これにより、一次側２１１は停止すべき位置に復帰する。そして、このオーバーシュートが繰り返されると、最終的に大きな誤作動となる。
【００１３】
したがって、この発明の目的は、オーバーシュートの発生による駆動案内装置の誤作動を最小限に抑制することができる駆動案内システムおよび誤動作検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、この発明の第１の発明は、
交流電流が供給されるコイルを有して構成される一次側と、磁極が交互に並んだ磁石を有して構成される二次側とから構成されるリニアモータと、
前記リニアモータにおける前記一次側と前記二次側との相対的位置を検出して前記相対的位置に応じた位置情報を出力する位置検出手段と、
外部に情報を報知する報知手段と、
前記リニアモータおよび前記報知手段を制御するとともに記憶部が設けられた制御手段とを有し、
前記制御手段により、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無が検知され、オーバーシュートが発生した場合に、前記記憶部に、前記オーバーシュートの量が第１のオーバーシュート量として記憶されるとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報が第１の位置情報として記憶され、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無が検知され、オーバーシュートが発生した場合に、オーバーシュートの量が第２のオーバーシュート量として前記第１のオーバーシュート量と比較されるとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報が第２の位置情報として前記第１の位置情報と比較され、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報とが略同位置であり、かつ、前記第２のオーバーシュート量が前記第１のオーバーシュート量より大きい場合に、前記報知手段により報知可能に構成されている
ことを特徴とする駆動案内システムである。
【００１５】
また、この発明の第２の発明は、
交流電流が供給されるコイルを有して構成される一次側と磁極が交互に並んだ磁石を有して構成される二次側とから構成されるリニアモータにおける前記一次側と前記二次側との相対的位置を検出して、前記相対的位置に応じた位置情報を出力する位置検出手段から出力される位置情報に基づいて、前記リニアモータおよび外部に情報を報知する報知手段を制御するとともに記憶部が設けられた制御手段が、
前記一次側と前記二次側との駆動時における前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無を検知し、オーバーシュートが発生した場合に、前記記憶部に、前記オーバーシュートの量を第１のオーバーシュート量として記憶するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第１の位置情報として記憶し、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無を検知して、オーバーシュートが発生した場合に、前記オーバーシュートの量を第２のオーバーシュート量として前記第１のオーバーシュート量と比較するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第２の位置情報として前記第１の位置情報と比較し、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報とが略同位置であり、かつ、前記第２のオーバーシュート量が前記第１のオーバーシュート量より大きい場合に、前記報知手段により報知するようにした
ことを特徴とする誤動作検出方法である。
【００１６】
この発明の第３の発明は、
交流電流が供給されるコイルを有して構成される一次側と、磁極が交互に並んだ磁石を有して構成される二次側とから構成されるリニアモータにおける、前記一次側と前記二次側との相対位置に基づいた誤作動を検出するための、前記リニアモータおよび外部に情報を報知する報知手段を制御するとともに記憶部が設けられた制御手段により実行可能な誤作動検出プログラムにおいて、
前記一次側と前記二次側との相対的位置を検出して、前記相対的位置に応じた位置情報を出力する位置検出手段から出力された位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との駆動時における前記一次側と前記二次側との間のオーバーシュートの発生の有無を検知し、オーバーシュートが発生した場合に、前記記憶部に、前記オーバーシュートの量を第１のオーバーシュート量として記憶するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第１の位置情報として記憶し、
前記一次側と前記二次側との駆動時において、前記位置検出手段から供給される位置情報に基づいて、前記一次側と前記二次側との間におけるオーバーシュートの発生の有無を検知して、オーバーシュートが発生した場合に、前記オーバーシュートの量を第２のオーバーシュート量として前記第１のオーバーシュート量と比較するとともに、前記オーバーシュートの発生した位置の情報を第２の位置情報として前記第１の位置情報と比較し、
前記第１の位置情報と前記第２の位置情報とが略同位置情報であり、かつ、前記第２のオーバーシュート量が前記第１のオーバーシュート量より大きい場合に、前記報知手段に報知させる
ことを特徴とする誤動作検出プログラムである。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、この発明によれば、同じ位置において少なくとも２回オーバーシュートが発生して、さらに２回目でオーバーシュート量が増加した場合に、オーバーシュートの発生を報知するようにしていることにより、リニアモータにおけるオーバーシュートによる誤作動を最小限に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形
態の全図においては、同一または対応する部分には同一の符号を付す。図１に、この発明を適用可能な駆動案内装置の一例を示す。
【００１９】
（リニアモータ）
図１に示すように、リニアモータ１０は電機子コイルを含む通電側である一次側１１と、磁石などを備えた非通電側である二次側１２とから構成されている。リニアモータ１０の一次側１１は、テーブル１３を介して案内手段としての案内機構１４の、移動台としての移動ブロック１５に連結されている。また、リニアモータ１０の二次側１２は、ベース１６に固定され、このベース１６は定盤１７の上面に固定されている。
【００２０】
また、ベース１６には、移動ブロック１５とともに案内手段を構成する２本のレール１８が互いに平行に配設されている。そして、移動ブロック１５はリニアモータ１０から駆動力を得て、これらのレール１８に沿って移動可能に構成されている。
【００２１】
また、この一実施形態による駆動案内装置は、リニアモータ１０の一次側１１とテーブル１３との間に、一次側１１において発生する熱がテーブル１３に伝達するのを抑制する断熱材１９が設けられている。このように、リニアモータ１０の一次側１１とテーブル１３との間に断熱材１９を設けることにより、一次側１１の電機子コイル（図示せず）に駆動電流を通電させることによって生じる熱がテーブル１３や移動ブロック１５に伝達されなくなる。これによって、テーブル１３や移動ブロック１５の熱膨張を防止することができる。そのため、案内機構１４の移動ブロック１５の無限循環路に配列され、収容された複数のボール等の転動体に与えられた予圧（接触圧）に変動を与えることなく、転がり抵抗を一定に維持することが可能となり、駆動案内装置の長寿命化を実現可能となる。
【００２２】
なお、この断熱材１９は必ずしも設ける必要はなく、断熱材１９の代わりにフィンなどの空冷手段を設けるようにしても良い。また、この断熱材１９の材質としては、ガラス入りエポキシ樹脂材やセラミック材等が用いられる。また、テーブル１３の下面と断熱材１９に囲まれた部分に断熱空間として作用する凹部（図示せず）を設けて、一次側１１からの輻射熱を遮断することも可能である。また、断熱材１９はレール１８の長手方向、すなわちテーブル１３、移動ブロック１５の運動方向に沿って長尺とすることにより、この方向に沿った剛性が増加し、発振現象を防止することができる。
【００２３】
（駆動案内装置の具体的構成例）
次に、この発明の一実施形態による駆動案内装置の具体的構成例について説明する。図２および図３に、この一実施形態による駆動案内装置の構成例を示す。図２および図３において、図１におけると同一符号を付した部分は同一又は相当部分を示す。
【００２４】
図２および図３に示すように、リニアモータ１０の一次側１１は電機子コイル及び電機子コアから構成され、二次側１２はマグネットプレートで構成される。二次側１２はベース１６上に固定されている。マグネットプレートから構成されるリニアモータ１０の二次側１２の両側にはそれぞれレール１８がベース１６上に平行に配設（固定）されている。
【００２５】
また、このレール１８には、それぞれ複数個（図においては２個）の移動ブロック１５がレール１８に沿って移動自在に配設されている。そして、テーブル１３はそれぞれのレール１８に移動自在に配設された複数個（図においては４個）の移動ブロック１５に支持されている。
【００２６】
リニアモータ１０の一次側１１の電機子コイル（図示せず）に駆動電流を通電することによって、一次側１１と二次側１２との間に磁気相互作用が生じ、一次側１１が二次側１２に沿って移動する。その移動力がテーブル１３を介して移動ブロック１５に伝達されて
、移動ブロック１５はレール１８に沿って移動する。
【００２７】
ベース１６の両端部にはエンドプレート２１が取り付けられ、このエンドプレート２１には、それぞれストッパ２２が取り付けられている。また、テーブル１３の両端にはスクレーパ２３が取り付けられている。
【００２８】
そして、図３に示すように、ベース１６の一方の側部には、リニアモータ１０の二次側１２における磁石の磁極と同期するように磁極が交互に並べられた磁石からなるリニアスケール２４が設けられている。ここで、リニアスケール２４は二次側１２に設けられており、リニアモータ１０を駆動するための磁石と同じ周期で磁極が並べられて構成されている。
【００２９】
また、テーブル１３の一方の側部には、このリニアスケール２４を読み取り、テーブル１３の移動位置（移動距離）を検出するための、位置検出手段としての光学センサからなるスケールセンサ２５ａがブラケット２６を介して取り付けられている。さらに、テーブル１３の二次側１２に対向した部分には、磁極検知手段としての例えばホール（ＨＡＬＬ）センサからなる磁極センサ２５ｂが設けられている。この磁極センサ２５ｂにより、二次側１２における磁石の磁極の種類が検知される。そして、磁極センサ２５ｂからは、磁極に対応した０または１の信号が出力される。
【００３０】
また、図２に示すように、ベース１６の他方の側部には、ケーブルチェーン取付板２７が取り付けられ、テーブル１３の他方の側部にはケーブルチェーン受け２８が取り付けられている。ケーブルチェーン取付板２７に配置されたリニアモータ１０の一次側１１に駆動電力を供給するための動力ケーブル２９、信号を送受するための信号ケーブル３０、一次側１１を冷却するための水等を供給するナイロンチューブ３１はケーブルチェーン受け２８を通してリニアモータ１０の一次側１１に接続されている。
【００３１】
（案内機構）
図４に、案内手段としての案内機構１４の詳細構成を示す。図４に示すように、断面矩形状のレール１８には、その長手方向に沿って転動体転走面としてのボール転走溝１８−１が左右側面に２条ずつ、計４条形成されている。また、移動ブロック１５にはボール転走溝１８−１に対向する負荷転動体転走路をなす負荷転走溝１５−１を含む無限循環路が形成されている。さらに、この無限循環路には、レール１８及び移動ブロック１５の相対移動に伴ってボール転走溝１８−１と負荷転走溝１５−１との間で転動して循環する複数の転動体として複数のボール３２が配列・収容されている。この案内機構１４はラジアル方向の荷重、水平方向の荷重はもちろん各方向のモーメントなど、あらゆる方向の荷重を負荷できるように構成されている。
【００３２】
移動ブロック１５は、負荷転走溝１５−１及びこれに平行なボール戻し路が形成された移動ブロック本体１５ａと、移動ブロック本体１５ａの両端に結合されて該負荷転走溝１５−１及びボール戻し路を連絡する方向転換路を有するエンドキャップ１５ｂとから構成され、レール１８を跨ぐように取り付けられている。移動ブロック１５の上面はテーブル１３が搭載され取り付けられるようになっている。この移動ブロック１５に形成された負荷転走溝１５−１は、レール１８に形成されたそれぞれのボール転走溝１８−１に対向して形成されており、これら負荷転走溝１５−１とボール転走溝１８−１との間に、転動体としての複数のボール３２が挟み込まれている。これらのボール３２は移動ブロック１５の移動に伴い、エンドキャップ１５ｂに形成された方向転換路を介してボール戻し路へと送り込まれ、再び負荷転走溝１５−１に導かれ、無限循環路を循環する。
【００３３】
（モータ駆動ドライバ・サーボドライバ）
次に、以上のようにして構成された駆動案内装置（リニアモータアクチュエータ）を制御するモータ駆動ドライバ（サーボドライバ）について説明する。図５に、この発明の一実施形態による駆動案内装置とモータ駆動ドライバとからなる駆動案内システムのブロック図を示す。
【００３４】
図５に示すように、この一実施形態による駆動案内装置は、入力される駆動電流や出力される信号に基づくと、リニアモータとセンサ部とから構成される。すなわち、駆動案内装置は、３相コイルからなるモータ駆動回路を有する一次側１１と、磁極が交互に並んで構成された、少なくとも１つの磁石を有する二次側１２とから構成される。
【００３５】
また、この一実施形態において用いられるセンサ部は、スケールセンサ２５ａと、磁極センサ２５ｂとから構成される。スケールセンサ２５ａからは、位置を検出するための信号（位置検出信号）が出力され、サーボドライバ１０１の位置検出部１０８に供給される。他方、磁極センサ２５ｂからは、磁極に対応した信号（磁極検出信号）が出力され、サーボドライバ１０１の磁極検出部１０７に供給される。
【００３６】
また、この一実施形態によるサーボドライバ１０１は、制御手段としての例えばＣＰＵからなる制御部１０５を備えた制御回路１０２、出力電流制御回路１０４および、報知手段としての、例えば発光素子や音源素子、または表示部などからなるアラーム回路１０３を有して構成される。
【００３７】
制御回路１０２には、主たる制御手段としての制御部１０５および、この制御部１０５と情報の授受が行われ、情報を記憶可能なＲＡＭおよびプログラムが記憶されたＲＯＭから構成される記憶部１０６が設けられている。また、制御回路１０２には、磁極検出信号によって磁極を検出する磁極検出部１０７、位置検出信号により一次側１１と二次側１２との相対的位置を算出する位置検出部１０８が含まれている。
【００３８】
また、制御回路１０２により出力電流制御回路１０４およびアラーム回路１０３が制御されている。また、アラーム回路１０３から出力される信号により、出力電流制御回路１０４からモータ駆動回路を有する一次側１１への交流電流の供給を停止させることも可能に構成されている。
【００３９】
（誤動作検出方法）
次に、以上のように構成された駆動案内装置およびサーボドライバ１０１からなる駆動案内システムにおける誤動作検出方法について説明する。図６に、この一実施形態による誤動作検出方法および誤動作検出プログラムに相当するフローチャートを示す。
【００４０】
図６に示すように、まず、ステップＳＴ１において、スケールセンサ２５ａおよび制御回路１０２により、リニアモータにおいて、オーバーシュートが発生しているか否かの判定が行われる。オーバーシュートが発生していない場合（ステップＳＴ１：ＮＯ）、オーバーシュートの発生が検出されるまで、ステップＳＴ１の判定処理が継続される。他方、オーバーシュートが発生した場合（ステップＳＴ１：ＹＥＳ）、ステップＳＴ２に移行する。
【００４１】
ステップＳＴ２においては、まず、オーバーシュートの発生位置情報（制御回路１０２から一次側１１に供給された位置の指示情報）の検出が行われるとともに、制御回路１０２において、制御部１０５により、記憶部１０６に、ほぼ同位置ですでにオーバーシュートが発生した情報が記憶されているか否かの検索が行われる。その結果、記憶部１０６に、ほぼ同位置でのオーバーシュートの発生情報が記憶されていない場合（ステップＳＴ２：ＮＯ）、ステップＳＴ４に移行する。ステップＳＴ４においては、制御回路１０２から
一次側１１に供給された位置の指示情報および発生したオーバーシュートの量が、それぞれ第１の位置情報および第１のオーバーシュート量として記憶部１０６に記憶される。その後、ステップＳＴ１に移行して、次のオーバーシュートが発生するまで継続して判定処理が継続される。
【００４２】
他方、ステップＳＴ２において、オーバーシュートの発生位置情報の検出が行われ、制御部１０５によって、記憶部１０６に、同位置ですでにオーバーシュートが発生した情報が記憶されているか否かの検索が行われる。その結果、ほぼ同位置でのオーバーシュートの発生情報が、第１の位置情報および第１のオーバーシュート量として、記憶部１０６に記憶されている場合（ステップＳＴ２：ＹＥＳ）、ステップＳＴ３に移行する。
【００４３】
ステップＳＴ３においては、今回のオーバーシュートにおけるオーバーシュート量が、第２のオーバーシュート量として記憶部１０６に一時的に記憶されて、制御部１０５により、第１のオーバーシュート量との比較が実行される。その結果、第２のオーバーシュート量が第１のオーバーシュート量以下の場合（第１のオーバーシュート量≧第２のオーバーシュート量、オーバーシュート量が等しいか減少した場合）（ＳＴ３：ＮＯ）、ステップＳＴ１に復帰する。
【００４４】
他方、ステップＳＴ３において、第２のオーバーシュート量が第１のオーバーシュート量より大きい場合（第１のオーバーシュート量＜第２のオーバーシュート量、オーバーシュート量が増加した場合）（ＳＴ３：ＹＥＳ）、ステップＳＴ５に移行する。
【００４５】
ステップＳＴ５においては、報知手段としてのアラーム回路１０３から、「オーバーシュートの発生」が報知される。なお、この報知とともに、出力電流制御回路１０４に信号を供給して、一次側１１のモータ駆動回路への電流の供給を停止させることにより、駆動案内装置を停止させるような制御を行うことも可能である。
【００４６】
以上説明したように、この一実施形態によれば、少なくとも１回オーバーシュートが発生し、その後、このオーバーシュートと同じ位置で、より大きなオーバーシュートが発生した場合に、アラームを出力して、ユーザに報知するようにしていることにより、オーバーシュートが重なって駆動案内装置が暴走するのを防止することができる。
【００４７】
以上、この発明の一実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の一実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば、上述の実施形態において挙げた数値はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値を用いてもよい。
【００４８】
例えば、上述の一実施形態による駆動案内装置においては、駆動案内装置における通電側である一次側１１と非通電側である二次側１２とが並行に対向するような構成であるが、必ずしもこのような構成に限定されるものではなく、例えば、一次側１１の内部に二次側１２を貫通させるような構成を採用することも可能である。すなわち、磁極が交互に並べられた磁石からなる二次側１２が、一次側１１の電機子コイルの内部を貫通可能に構成され、二次側１２が一次側１１に対して、相対移動可能に構成されていてもよい。
【００４９】
また、例えば上述した一実施形態においては、直動案内装置を例に説明したが、リニアモータにおいて位置検出に磁気検知手段を用いたあらゆる構成を採用することが可能である。すなわち、この発明は、スプライン、ねじ、アクチュエータ関連製品全般に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】この発明の一実施形態による駆動案内装置の構成を示す断面図である。
【図２】この発明の一実施形態による駆動案内装置の構成を示す正面図である。
【図３】この発明の一実施形態による駆動案内装置の構成を示す側面図である。
【図４】この発明の一実施形態による駆動案内装置の案内機構を示す斜視図である。
【図５】この発明の一実施形態による駆動案内装置および駆動ドライバの構成を説明するためのブロック図である。
【図６】この発明の一実施形態による駆動案内システムにおける誤作動検出方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】従来技術による問題点を説明するための駆動案内システムを示す略線図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  リニアモータ
１１  一次側
１２  二次側
１３  テーブル
１４  案内機構
１５  移動ブロック
１５ｂ  エンドキャップ
１５ａ  移動ブロック本体
１５−１  負荷転走溝
１６  ベース
１７  定盤
１８  レール
１８−１  ボール転走溝
１９  断熱材
２１  エンドプレート
２２  ストッパ
２３  スクレーパ
２４  リニアスケール
２５ａ  スケールセンサ
２５ｂ  磁極センサ
２６  ブラケット
２７  ケーブルチェーン取付板
２９  動力ケーブル
３０  信号ケーブル
３１  ナイロンチューブ
３２  ボール
１０１  サーボドライバ
１０２  制御回路
１０３  アラーム回路
１０４  出力電流制御回路
１０５  制御部
１０６  記憶部
１０７  磁極検出部
１０８  位置検出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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