(57)【要約】【課題】            複数枚の基板をレールに沿って処理薬品液中を垂直搬送させながら表面処理する表面処理方法と、この表面処理方法を実施する複列チャックハンガーと、この複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置を提供する。【解決手段】        複列チャックハンガー１で並列状態に吊持した複数の基板Ｗをレール２に沿って処理薬品液中を搬送させながら表面処理する方法を提供する。複数の基板Ｗを並列状態に吊持できる複数列の開閉チャック３Ａ，３Ｂ，３Ｃで構成した複列チャック５をもつ複列チャックハンガー１を提供し、この複列チャックハンガー１の複数列の前記開閉チャック３Ａ，３Ｂ，３Ｃを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に独立した駆動部によって単独作動できるチャック開閉作動部２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃを有する複列チャック開閉装置２０を提供する。【選択図】          図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を、レールに沿って移動自在に取り付けられた複列チャックハンガーを介して、各基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態にあり、且つ並列状態にある各基板の一側端部が前記レールに沿う移動方向に向く姿勢状態に吊持し、この複列チャックハンガーに吊持された複数の基板をレールに沿って処理薬品液中を搬送させながら表面処理する複列基板垂直搬送による表面処理方法。
【請求項２】
レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとしたことを特徴とする複列チャックハンガー。
【請求項３】
前記複列チャックを、吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャックを配置して構成したことを特徴とする請求項２に記載の複列チャックハンガー。
【請求項４】
複列チャックハンガーと、この復列チャックハンガーの複列チャック開閉装置とから成り、前記複列チャックハンガーは、レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックは常態において基板を吊持できる閉じ状態にバネによる付勢力を与えて構成されており、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとし、
前記復列チャック開閉装置は、前記レールの基板取替え位置に対応して設けられ、この基板取替え位置に前記レールに沿って搬送された前記複列チャックハンガーに対して、この複列チャックハンガーの複数列の前記開閉チャックを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に単独作動させる各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部を有し、このチャック開閉作動部を各列の開閉チャックの開閉作動を可能にする進出位置とレールに沿った前記複列チャックハンガーの移動を許容する後退位置とに進退移動するように構成したことを特徴とする複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置。
【請求項５】
前記複列チャックを、吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャックを配置して構成し、各列にそれぞれ設けた複数の開閉チャックは、各列の開閉チャックに対応した前記チャック開閉作動部によって同列にある複数の開閉チャックの開閉をいっしょに行なえるよう開閉作動を連動させたことを特徴とする請求項４に記載の複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無電解メッキ処理される基板を吊持するチャックハンガーとチャックハンガーのチャック開閉装置に係り、複数枚の基板を好適に吊持するチャックハンガーとこのチャックハンガーのチャック開閉装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数枚の基板を化学銅浴で同時に無電解メッキする場合、従来は複数枚の基板を網状のバスケットで各基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に保持し、このバスケットごと複数枚の基板を化学銅浴中に浸漬して行なうバスケット浸漬方式が公知である。
【０００３】
また、陰極として機能するレールに吊持ハンガーを介して一枚ずつ基板を移動自在に吊持し、各吊持ハンガーに一枚ずつ吊持した基板をレールに沿ってメッキ浴中の陽極間を垂直搬送させながら電気メッキする垂直搬送方式が公知である（例えば、特許第２９４３０７０号公報）。
【０００４】
この垂直搬送方式で用いている吊持ハンガーとしては、バネの付勢力を利用したクリップ式のものが公知（例えば、実用新案登録第３０８５８４９号公報、特許第３６７７４８８号公報）であるが、一つのハンガーで複数の基板を並列状態に吊持できるようにしたものは、知られていない。
【０００５】
しかし、薬品による表面処理の技術分野において、並列状態に吊持した複数の基板をレールに沿って処理薬品液中を垂直搬送させながら表面処理する技術は知られていない。
【０００６】
【特許文献１】特許第２９４３０７０号公報
【特許文献２】実用新案登録第３０８５８４９号公報
【特許文献３】特許第３６７７４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような技術背景に鑑み、本発明者は、先ず、並列に配置した複数のレールにそれぞれ吊持ハンガーを介して一枚ずつ基板を吊持し、複数の吊持ハンガーで並列状態に吊持した複数の基板をレールに沿って処理薬品液中を垂直搬送する方式を想到した。しかし、この方式では設備コストが高くなり実用性に乏しいことが判明した。
【０００８】
本発明は、このような技術背景に鑑み、複数枚の基板を表面処理する方法として、レールにハンガー治具を介して複数枚の基板を各基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持し、この複数枚の基板をレールに沿って処理薬品液中を垂直搬送させながら処理薬品で表面処理する新規な表面処理方法を提供しようとするものである。また、この表面処理方法を実施するのに好適な複列チャックハンガーとこの複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明は、複数の基板を、レールに沿って移動自在に取り付けられた複列チャックハンガーを介して、各基板面が所定間隔を空けて向き合う平行な並列状態にあり、且つ並列状態にある各基板の一側端部が前記レールに沿う移動方向に向く姿勢状態に吊持し、この複列チャックハンガーに吊持された複数の基板をレールに沿って処理薬品液中を搬送させながら表面処理する方法を提供する。
【００１０】
また、この表面処理方法を実施するのに好適な復列チャックハンガーとして、本発明は、レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックは常態において基板を吊持できる閉じ状態にバネによる付勢力を与えて構成されており、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う平行な並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとした複列チャックハンガーを提供する。
【００１１】
この複列チャックハンガーの前記複列チャックは、吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャックを配置して構成してある。
【００１２】
また、前記した複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置として、本発明は、前記レールの基板取替え位置に対応して設けられ、この基板取替え位置に前記レールに沿って搬送された前記複列チャックハンガーに対して、この複列チャックハンガーの複数列の前記開閉チャックを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に独立した駆動部によって単独作動させる各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部を有し、このチャック開閉作動部を各列の開閉チャックの開閉作動を可能にする進出位置とレールに沿った前記複列チャックハンガーの移動を許容する後退位置とに進退移動するように構成した複列チャック開閉装置を提供する。
【００１３】
そして、前記複列チャックを、吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャックを配置して構成した複列チャックハンガーにおいては、前記複列チャック開閉装置を、各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部によって同列にある複数の開閉チャックの開閉をいっしょに行なえるよう開閉作動を連動させたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る複列基板垂直搬送による表面処理方法によれば、複数の基板を均等な処理条件下で表面処理でき、しかも比較的低い設備コストで実施可能である。
【００１５】
また、本発明に係る複列チャックハンガーを用いれば、比較的狭い空間を隔てて並列状態に吊持された複数基板が処理薬品液中で充分析出反応され、前記複列基板垂直搬送による表面処理方法を効果的に実施できる。
【００１６】
また、本発明に係る複列チャックハンガー及びこの複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置を用いれば、ハンガーへの複数基板の装着及び脱着が容易であり、作業性が良く、自動化もしやすい。また、ハンガーの複列チャックの開閉を各列で単独作動するようにしたため、各列の開閉チャックに対する基板の装着を任意に実施できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。先ず、本発明の複列チャックハンガーについて、その実施形態を示した図１〜図３に基づき説明する。図１〜図３は搬送メッキ処理工程にある複列チャックハンガーを示し、図１はその概略側面図、図２はその概略正面図、図３はその概略平面図である。
【００１８】
本発明の複列チャックハンガー１は、レール２に沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板Ｗの上端部を着脱自在に挟持して該基板Ｗを垂直状態に吊持する開閉チャック３（この開閉チャック３は後述するように常態において基板を吊持できる閉じ状態にバネによる付勢力を与えて構成される。）を有し、この開閉チャック３を、複数（本実施例では３枚）の基板Ｗを各基板面が所定間隔を空けて向き合う平行な並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数（３枚）の前記基板Ｗをその一側端部が前記レール２に沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体４を介して複数（３枚）の基板に対応した複数列（３列）の並列状態に配置して設けた複列チャック５として構成してある。
【００１９】
この複列チャックハンガー１は、上部をレール２に沿って摺動される被支持部６とし、この被支持部６と該チャックハンガーの下部に設けた前記チャック取付け体４とを連結固定部材７を介して連結固定している。なお、複列チャックハンガー１の最上部に設けた係合突起８に図示しないプッシャーを係合させることによって、この複列チャックハンガー１をレール２に沿って移動できるようにしている。
【００２０】
この複列チャック５は図示した実施例では、図１において左側から（図３においては下側から）順に第１列開閉チャック３Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃの３列の開閉チャック３で構成し、各列の開閉チャック３で１枚ずつ合計３枚の基板Ｗを吊持できるようにしている。そして、前記第１列開閉チャック３Ａを前列、前記第２列開閉チャック３Ｂを中列、第３列開閉チャック３Ｃを後列として機能させるようにしている。各列の開閉チャック３の間隔、すなわち各列の開閉チャック３に吊持される基板Ｗの間隔は、これらの基板Ｗがレールに沿って処理薬品液中を搬送される際、この処理薬品液中で充分析出反応されるものとしてある。この実施例では吊持される３枚の基板Ｗの各間隔を数センチメートルとしてある。
【００２１】
この複列チャック５を構成する各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）は、吊持する基板Ｗの幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャック３を配置して設けている。図示した実施例では、第１列開閉チャック３Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃにそれぞれ４個ずつの開閉チャック３を設けている。したがって、図示した実施例の複列チャック５は、３列で４個ずつ合計１２個の開閉チャック３で構成してある。なお、同列の４個の開閉チャック３は、後述するように対応するチャック開閉作動部によって４個いっしょに連動させ開閉作動される。
【００２２】
合計１２個の各開閉チャック３は、固定杆１０と可動杆１１をもち、固定杆１０は前記チャック取付け体４に固着固定され、可動杆１１は、バネ１２の付勢力で通常は上部を拡開し下部を固定杆１０の下部に向けて閉じるように軸ピン１３を介して前記チャック取付け体４に固定してある。そして、前記可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して固定杆１１の上部方向へ押圧することによって、可動杆１１の下部を固定杆１０の下部から離れる方向へ移動させ、開閉チャック３を開くようにしてある。合計１２個の各開閉チャック３は、全て図１において左側の前列方向に可動杆１１側を配し、バネ１２の付勢力を同方向に向けている。前記チャック取付け体４は、図３に示したように、各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を各１個ずつ取り付け可能なチャック取り付け架設杆４ａを、吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて４つ並べ、これらのチャック取り付け架設杆４ａの両端部を固定杆４ｂで固着した骨組み構造を有し、このチャック取付け体４に３列で各列４個ずつ合計１２個の開閉チャック３を取り付けてある。
【００２３】
複数（３枚の）の基板Ｗを、レール２に沿って移動自在に構成された前記複列チャックハンガー１の第１列開閉チャック３Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃの３列の開閉チャック３によって、各基板面が所定間隔を空けて向き合う平行な並列状態にあり、且つ並列状態にある各基板Ｗの一側端部が前記レール２に沿う移動方向に向く姿勢状態に吊持し、この複列チャックハンガー１に吊持された複数（３枚の）の基板Ｗをレール２に沿って処理薬品液中を搬送させながら処理薬品液で無電解メッキするようにした。図１〜図３において符号１５は処理薬品液を入れる処理槽である。
【００２４】
次に、前記復列チャックハンガー１の複列チャック開閉装置２０について、前記複列チャックハンガー１と複列チャック開閉装置２０の関係を示した図４〜図７の図面に基づいて説明する。図４はチャック開閉作動部（２１）を進出させた状態の側面図、図５はチャック開閉作動部（２１）を後退させた状態の側面図、図６は正面図、図７は複列チャックハンガー１と複列チャック開閉装置２０を便宜的に離して示した平面図である。
【００２５】
この復列チャック開閉装置２０は、前記レール１の基板取替え位置に対応して設けられ、この基板取替え位置に前記レール１に沿って搬送された前記複列チャックハンガー１に対して、この複列チャックハンガー１の複数列の前記開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を各列の開閉チャックごとバネ１２による付勢力に抗して押圧した開状態に独立した駆動部によって単独作動させる各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）に対応したチャック開閉作動部２１を有し、このチャック開閉作動部２１を各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）の開閉作動を可能にする進出位置とレール２に沿った前記複列チャックハンガー１の移動を許容する後退位置とに進退移動するように構成してある。
【００２６】
前記チャック開閉作動部２１は、復列チャック開閉装置２０の固定支持体２２に軸支された回転コロ２３を介して進退移動可能に支持された開閉作動部支持体２４に支持され、この開閉作動部支持体２４と開閉装置２０の固定基枠２５に連結された進退動シリンダー２６の往復駆動力を得て、各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）の開閉作動を可能にする図４に示した進出位置（図７の実線位置）とレール２に沿った複列チャックハンガー１の移動を許容する図５に示した後退位置（図７の二点鎖線位置）とに進退移動するように構成してある。したがって、前記チャック開閉作動部２１は、図７に実線で示した複列チャックハンガー１（このハンガー１には複数の基板Ｗが吊持されている。）がレール２に沿って基板取替え位置へ送られ該位置で静止した状態で、図７に示した二点鎖線で示した後退位置から同図の実線で示した進出位置へ進出移動され、この進出位置で複列チャックハンガー１の複列チャック５を開閉作動させ、複数基板Ｗの取り外しと装着を行なえるようにしている。
【００２７】
前記チャック開閉作動部２１は、第１列開閉チャック３Ａに対応した第１列チャック開閉作動部２１Ａ、第２列開閉チャック３Ｂに対応した第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃに対応した第３列チャック開閉作動部２１Ｃによって構成され、これらのチャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）は独立した駆動部（後述する第１作動シリンダー３３Ａ、第２作動シリンダー３３Ｂ、第３作動シリンダー３３Ｃ）によって単独作動するように構成してある。
【００２８】
前述したように、前記複列チャック５は、吊持する基板Ｗの幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ４個ずつ開閉チャック３を配置して構成してあり、各列にそれぞれ４個ずつ設けた開閉チャック３は、対応するチャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）によって４個いっしょに連動して開閉作動するように構成してある。
【００２９】
第１列開閉チャック３Ａ（前列開閉チャックとして機能される。）に対応する第１列チャック開閉作動部２１Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ（中列開閉チャックとして機能される。）に対応する第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃ（後列開閉チャックとして機能される。）に対応する第３列チャック開閉作動部２１Ｃの各作動機構を図示の実施例に基づき説明する。
【００３０】
後列として機能させた第３列開閉チャック３Ｃに対応する第３列チャック開閉作動部２１Ｃは、第３列開閉チャック３Ｃを構成する複数（４個）の開閉チャック３に対応して係合する複数（４個）の作動レバー３０を回動軸３１（この回動軸３１はチャック開閉作動部２１を支持している前記開閉作動部支持体２４の支持基枠に軸架してある。）の軸方向に複数（４個）の開閉チャック３に対応して固定し、各作動レバー３０を回動軸３１の回動によって回動軸３１を軸心として連動して回動するように構成してある。前記回動軸３１には該回動軸３１を回動させ前記作動レバー３０をレバーの作用部として機能させるレバーアーム３２を固定し、このレバーアーム３２の先端部に第３作動シリンダー３３Ｃ（この作動シリンダーの他端側は前記開閉作動部支持体２４の後端部に連結してある。）の往復ロッド側を連結し、この往復ロッドの往復動によって、同列の複数の作動レバー３０が該作動レバーの端部に設けた回転子３０ａを介して対応する第３列開閉チャック３Ｃの各開閉チャック３の可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して押圧し、該開閉チャック３を開けさせる係合位置と、開閉チャック３の可動杆１１から離れた不係合位置を連動して作動するように構成してある。
【００３１】
中列として機能させた第２列開閉チャック３Ｂに対応する第２列チャック開閉作動部２１Ｂも前述した第３列チャック開閉作動部２１Ｃと同様な作動機構であり、第２列開閉チャック３Ｂを構成する複数（４個）の開閉チャック３に対応して係合する複数（４個）の作動レバー３０を回動軸３１（この回動軸３１はチャック開閉作動部２１を支持している前記開閉作動部支持体２４の支持基枠に軸架してある。）の軸方向に複数（４個）の開閉チャック３に対応して固定し、各作動レバー３０を回動軸３１の回動によって回動軸３１を軸心として連動して回動するように構成してある。前記回動軸３１には該回動軸３１を回動させ前記作動レバー３０をレバーの作用部として機能させるレバーアーム３２を固定し、このレバーアーム３２の先端部に第２作動シリンダー３３Ｂ（この作動シリンダーの他端側は前記開閉作動部支持体２４の後端部に連結してある。）の往復ロッド側を連結し、この往復ロッドの往復動によって、同列の複数の作動レバー３０が該作動レバーの端部に設けた回転子３０ａを介して対応する第２列開閉チャック３Ｂの各開閉チャック３の可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して押圧し、該開閉チャック３を開けさせる係合位置と、開閉チャック３の可動杆１１から離れた不係合位置を連動して作動するように構成してある。
【００３２】
前列として機能する第１列開閉チャック３Ａに対応する第１列チャック開閉作動部２１Ａも前述した前記第３列チャック開閉作動部２１Ｃ及び第２列チャック開閉作動部２１Ｂと実質的に同様な作動機構を有するが、第１列チャック開閉作動部２１Ａの進出状態において複列チャックハンガー１の前記連結固定部材７との衝突を回避させる回避作動機構としている。すなわち、第１列開閉チャック３Ａを構成する複数（４個）の開閉チャック３に対応して係合する複数（４個）の作動レバー３０を２本に分離した同軸心の回動軸３１ａ，３１ａ（この回動軸はチャック開閉作動部３１を支持している前記開閉作動部支持体２４の支持基枠に軸架してある。）の軸方向に２個ずつ合計４個を４個の開閉チャック３に対応して固定してある。２本の回動軸３１ａ，３１ａの各内側端部に各回動軸を回動させ前記作動レバー３０をレバーの作用部として機能させるレバーアーム３２をそれぞれ固定し、各レバーアーム３２の上端部を平面視コ字状の迂回連結杆３５に軸ピン３６を介して連結し、この迂回連結杆３５に第１作動シリンダー３３Ａ（この作動シリンダーの他端側は前記開閉作動部支持体２４の後端部に連結してある。）の往復ロッド側を連結してある。この往復ロッドの往復動によって、前記迂回連結杆３５及び前記各レバーアーム３２を介して分離した２本の回動軸３１ａ，３１ａをいっしょに回動させ、各回動軸３１ａ，３１ａに固定した２個ずつの作動レバー３０が該作動レバーの端部に設けた回転子３０ａを介して対応する第１列開閉チャック３Ａの各開閉チャック３の可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して押圧し、該開閉チャック３を開けさせる係合位置と、開閉チャック３の可動杆１１から離れた不係合位置を連動して作動するように構成してある。
【００３３】
独立した駆動部（第１作動シリンダー３３Ａ、第２作動シリンダー３３Ｂ、第３作動シリンダー３３Ｃ）によって単独作動する各チャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）は、前列の第１列開閉チャック３Ａに対応した第１列チャック開閉作動部２１Ａ、中列の第２列開閉チャック３Ｂに対応した第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、後列の第３列開閉チャック３Ｃに対応した第３列チャック開閉作動部２１Ｃの順に閉状態にある各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を開作動させるように制御され、前列の第１列開閉チャック３Ａ、中列の第２列開閉チャック３Ｂ、後列の第３列開閉チャック３Ｃの順に開作動される各列の開閉チャックで吊持されていた表面処理済の各基板Ｗは順次各列の開閉チャックから外され脱着される。次に空の各列の開閉チャックにこれから表面処理される基板をチャッキングし吊持させる場合は、各チャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）を、後列の第３列開閉チャック３Ｃに対応した第３列チャック開閉作動部２１Ｃ、中列の第２列開閉チャック３Ｂに対応した第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、前列の第１列開閉チャック３Ａに対応した第１列チャック開閉作動部２１Ａの順に各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を開作動から開作動を終了させる不係合状態に制御し、各開閉チャック３のバネ１２の付勢力で後列の第３列開閉チャック３Ｃ、中列の第２列開閉チャック３Ｂ、前列の第１列開閉チャック３Ａの順に閉じられる各列の開閉チャックにこれから表面処理される基板を順次チャッキングし吊持させる。このようにして、復列チャックハンガー１の複列チャック５へ複数の基板を容易に装着でき、装着されていた複数の基板を容易に脱着できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】搬送表面処理工程にある複列チャックハンガーの概略側面図である。
【図２】搬送表面処理工程にある複列チャックハンガーの概略正面図である。
【図３】搬送表面処理工程にある複列チャックハンガーの概略平面図である。
【図４】複列チャックハンガーと複列チャック開閉装置の関係を示す側面図である。
【図５】複列チャックハンガーと複列チャック開閉装置の関係を示す側面図である。
【図６】複列チャックハンガーと複列チャック開閉装置の関係を示す正面図である。
【図７】複列チャックハンガーと複列チャック開閉装置の関係を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  複列チャックハンガー
２  レール
３  開閉チャック
３Ａ  第１列開閉チャック
３Ｂ  第２列開閉チャック
３Ｃ  第３列開閉チャック
４  チャック取付け体
５  複列チャック
１０  固定杆
１１  可動杆
１２  バネ
１３  軸ピン
１５  処理槽
２０  複列チャック開閉装置
２１  チャック開閉作動部
２１Ａ  第１列チャック開閉作動部
２１Ｂ  第２列チャック開閉作動部
２１Ｃ  第３列チャック開閉作動部
２４  開閉作動部支持体２４
２６  進退動シリンダー
３０  作動レバー
３１  回動軸
３１ａ  回動軸
３２  レバーアーム
３３Ａ  第１作動シリンダー
３３Ｂ  第２作動シリンダー
３３Ｃ  第３作動シリンダー
３５  迂回連結杆
【図１】
2008254914.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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