(57)【要約】      （修正有）【課題】ウェハの剛性にかかわらず、一のウェハ収納ケースから他のウェハ収納ケースにウェハをスムーズに移載する。【解決手段】複数の溝にウェハを挿脱可能に収容するとともに、他端に貫通孔を有する第１のウェハ収納ケースに、略同一形状の空の第２のウェハ収納ケースを、出入口を対向させた状態に配置して支持するケース支持部材３と、ケース支持部材に移動可能に設けられ、第２のウェハ収納ケースの貫通孔を介して挿脱され、ウェハ収納ケース内に収容状態の全てのウェハの端縁を突き当て可能な押出部材５と、ケース支持部材を、２つのウェハ収納ケースの高低差が反転するように回転させる回転機構と、上側の第２のウェハ収納ケースの貫通孔から押出部材を挿入してウェハの端縁に突き当てる一方、回転機構による反転により下側に配された第２のウェハ収納ケースの貫通孔から押出部材を抜き出す押出部材挿脱機構６とを備える。【選択図】図１
2008227459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両側壁に対向して設けられた複数の溝にウェハを掛け渡し、一端に設けられた出入口を介して前記溝に沿う方向に挿脱可能に複数収容するとともに、他端に貫通孔を有する第１のウェハ収納ケースに、略同一形状の空の第２のウェハ収納ケースを、前記出入口を対向させた状態に配置して支持するケース支持部材と、
該ケース支持部材に移動可能に設けられ、前記第２のウェハ収納ケースの貫通孔を介して挿脱され、前記第１のウェハ収納ケース内に収容状態の全てのウェハの端縁を突き当て可能な押出部材と、
前記ケース支持部材を、前記２つのウェハ収納ケースの高低差が反転するように回転させる回転機構と、
上側の第２のウェハ収納ケースの前記貫通孔から前記押出部材を挿入してウェハの端縁に突き当てる一方、前記回転機構による反転により下側に配された第２のウェハ収納ケースの前記貫通孔から前記押出部材を抜き出す押出部材挿脱機構とを備えるウェハ移載装置。
【請求項２】
前記ケース支持部材が、前記ウェハが略鉛直面に沿って配置されるように前記ウェハ収納ケースを支持する請求項１に記載のウェハ移載装置。
【請求項３】
前記押出部材挿脱機構が、前記回転機構による前記ケース支持部材の回転と、前記押出部材の挿脱とを同期させるカム機構を備える請求項１または請求項２に記載のウェハ移載装置。
【請求項４】
前記ケース支持部材が、２つのウェハ収納ケースを上下に配置した状態で着脱可能に設けられ、
前記押出部材挿脱機構が、ウェハ収納ケースの着脱時に前記押出部材の前記貫通孔への挿入を禁止するストッパを備える請求項３に記載のウェハ移載装置。
【請求項５】
前記押出部材挿脱機構が、下側に配置されている前記押出部材の前記貫通孔からの急激な抜け出しを禁止する緩衝機構を備える請求項３または請求項４に記載のウェハ移載装置。
【請求項６】
前記押出部材に、前記回転機構によりケース支持部材を回転させるためのハンドルが設けられている請求項１から請求項５のいずれかに記載のウェハ移載装置。
【請求項７】
前記押出部材が、前記２つのウェハ収納ケースの貫通孔にそれぞれ挿脱可能に２つ備えられている請求項１から請求項６のいずれかに記載のウェハ移載装置。
【請求項８】
両側壁に設けられた複数の溝にウェハを掛け渡し、一端に設けられた出入口を介して前記溝に沿う方向に挿脱可能に複数収容した第１のウェハ収納ケースに、略同一形状の空の第２のウェハ収納ケースを、前記出入口を対向させた状態に配置し、
前記ウェハを略鉛直方向に配置した状態で、第１のウェハ収納ケースから押し出すウェハの移載方法。
【請求項９】
ウェハをエッチングすることにより水晶振動子を切り出すための溝を形成するエッチングステップと、
ウェハの表面に電極用の金属膜を形成する金属膜形成ステップと、
電極用の金属の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ステップと、
加熱によりレジストを硬化させる加熱ステップと、
レジストに電極用のマスクをパターニングして露光する露光ステップと、
薬液により露光されたレジストを除去して電極形状のレジストを現像する現像ステップと、
現像されたレジストを加熱して形状を定着させる定着ステップと、
薬液により電極以外の金属を剥離させる金属剥離ステップと、
薬液によりレジストを除去するレジスト除去ステップとを備え、
前記加熱ステップと前記露光ステップとの間で、請求項１から請求項７のいずれかに記載のウェハ移載装置を用いてウェハ収納ケースを入れ替える水晶振動子の製造方法。
【請求項１０】
前記露光ステップと前記現像ステップとの間で、請求項１から請求項７のいずれかに記載のウェハ移載装置を用いてウェハ収納ケースを入れ替える請求項９に記載の水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハ移載装置、ウェハの移載方法および水晶振動子の製造方法に関し、特に、水晶ウェハ等の極めて薄いウェハを移載する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハを一のウェハ収納ケースから他のウェハ収納ケースへと移載するウェハ移載装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
この特許文献１のウェハ移載装置は、一のウェハ収納ケース内に略水平に収容されたウェハを移載する際に、ウェハの先端が下がって引っかかり、他のウェハ収納ケースへの移載が妨げられることを防止するために、押出部材の押出面に斜面を有する溝を設け、該溝によってウェハの後端を下降させ先端を持ち上げ気味に押すこととしている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−７１７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、半導体ウェハのように、比較的厚く、剛性の高いウェハの場合には、特許文献１のウェハ移載装置も効果的であるが、剛性の低いウェハの場合には、押出部材によって後端側を押し下げても、これによって先端側を持ち上げることは困難である。すなわち、厚さが薄い水晶ウェハ、特に、水晶振動子片を切り出すための複数の切り込みを形成した水晶ウェハのような剛性の極めて低いウェハの場合には、ウェハ収納ケース内に収容された状態で大きく撓んでしまう。
【０００５】
このようなウェハの後端を押し下げても局部的に湾曲させるだけで、先端側を持ち上げることはできない。その結果、ウェハを移載する際に、ウェハの先端が他のウェハ収納ケースの出入口に引っかかってしまい、ウェハやウェハ収納ケースを損傷してしまうという不都合がある。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ウェハの剛性にかかわらず、一のウェハ収納ケースから他のウェハ収納ケースにウェハをスムーズに移載することができるウェハ移載装置、ウェハの移載方法および水晶振動子の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、両側壁に対向して設けられた複数の溝にウェハを掛け渡し、一端に設けられた出入口を介して前記溝に沿う方向に挿脱可能に複数収容するとともに、他端に貫通孔を有する第１のウェハ収納ケースに、略同一形状の空の第２のウェハ収納ケースを、前記出入口を対向させた状態に配置して支持するケース支持部材と、該ケース支持部材に移動可能に設けられ、前記第２のウェハ収納ケースの貫通孔を介して挿脱され、前記第１のウェハ収納ケース内に収容状態の全てのウェハの端縁を突き当て可能な押出部材と、前記ケース支持部材を、前記２つのウェハ収納ケースの高低差が反転するように回転させる回転機構と、上側の第２のウェハ収納ケースの前記貫通孔から前記押出部材を挿入してウェハの端縁に突き当てる一方、前記回転機構による反転により下側に配された第２のウェハ収納ケースの前記貫通孔から前記押出部材を抜き出す押出部材挿脱機構とを備えるウェハ移載装置を提供する。
【０００８】
本発明によれば、出入口を対向させた状態に支持された第１、第２のウェハ収納ケースに高低差を付けることにより、ウェハを支持する溝を傾斜あるいは直立させ、ウェハに板厚方向に作用する重力成分を低減することができる。これにより、溝に掛け渡された状態のウェハに生ずる撓みを減少させ、平面に近づけることができ、出入口に引っかかることなくスムーズに移載することが可能となる。
【０００９】
この場合において、第１および第２のウェハ収納ケース内のウェハが、相対的に下側に配置される第１のウェハ収納ケース内に収容されている状態で、押出部材挿脱機構の作動により、上側の第２のウェハ収納ケースの貫通孔から該第２のウェハ収納ケース内に押出部材を挿入してウェハの端縁に突き当てておく。
【００１０】
この状態で、回転機構を作動させると、２つのウェハ収納ケースの高低差が反転するので、ウェハは重力により上側になった第１のウェハ収納ケースから下側になった第２のウェハ収納ケースに向かって移動しようとするが、端縁に突き当てられている押出部材によって移動が抑制される。そして、押出部材挿脱機構の作動により、押出部材を貫通孔から抜き出すことにより、押出部材と同時にウェハが第１のウェハ収納ケースから第２の収納ケースに向かって移動させられ、移載作業が完了する。
【００１１】
すなわち、本発明によれば、ウェハの重力による撓みを抑制して平面状に維持しつつ移載するので、剛性が高いウェハのみならず、剛性が極めて低いウェハであってもスムーズに移載することができる。また、回転機構の作動により、ウェハに作用する重力を利用して、簡易に移載することができる。そして、移載に際してウェハの端縁に押出部材を押し当てるので、ウェハが重力により急激に落下するように移載されることを防止し、ウェハやウェハ収納ケースの破損を防止することが可能となる。
【００１２】
上記発明においては、前記ケース支持部材が、前記ウェハが略鉛直面に沿って配置されるように前記ウェハ収納ケースを支持する構成としてもよい。
このように構成することで、ウェハの板厚方向に作用する重力をなくし、ウェハが重力により撓むことをより確実に防止できる。剛性の低いウェハであっても、その表面に沿う方向の剛性は板厚方向の剛性と比較して十分に高いので、重力による変形を抑制することができる。これにより、第１のウェハ収納ケースから第２のウェハ収納ケースへと、ウェハをスムーズに移載することができる。
【００１３】
また、上記発明においては、前記押出部材挿脱機構が、前記回転機構による前記ケース支持部材の回転と、前記押出部材の挿脱とを同期させるカム機構を備える構成としてもよい。
このように構成することで、カム機構の作動により、押出部材が貫通孔に挿入されてウェハの端縁に突き当てられた後に、回転機構によるケース支持部材の回転が行われ、その後、所定の時期に、押出部材が貫通孔から抜き出されるように、移載が手順通りに行われる。
これにより、押出機構が貫通孔に挿入されないまま回転機構によってケース支持部材が回転されてしまったり、ケース支持部材の回転前に押出部材が貫通孔から抜き出されてしまったりして、ウェハが落下する不都合の発生を未然に防止し、ウェハをより健全な状態で移載することができる。
【００１４】
また、上記発明においては、前記ケース支持部材が、２つのウェハ収納ケースを上下に配置した状態で着脱可能に設けられ、前記押出部材挿脱機構が、ウェハ収納ケースの着脱時に前記押出部材の前記貫通孔への挿入を禁止するストッパを備える構成としてもよい。
このように構成することで、ウェハを収容した第１のウェハ収納ケースの出入口を上向きにして、ウェハが安定して収納された状態で、２つのウェハ収納ケースをケース支持部材に着脱できる。この場合に、ストッパの作動により押出部材の貫通孔への挿入が禁止されるので、ウェハ収納ケースのケース支持部材への着脱作業が押出部材によって邪魔されることなく容易に行うことができる。
【００１５】
また、上記発明においては、前記押出部材挿脱機構が、下側に配置されている前記押出部材の前記貫通孔からの急激な抜け出しを禁止する緩衝機構を備える構成としてもよい。
このように構成することで、回転機構の作動によって２つのウェハ収納ケースの高低差が反転されたときに、緩衝機構の作動により、下側に配置されたウェハ収納ケースの貫通孔から、ウェハを突き当てている押出部材が急激に抜け出すことが防止される。これにより、ウェハに加わる衝撃が低減され、ウェハの健全性を維持しつつ移載することができる
【００１６】
また、上記発明においては、前記押出部材に、前記回転機構によりケース支持部材を回転させるためのハンドルが設けられている構成としてもよい。
このように構成することで、押出部材挿脱機構による押出部材の挿脱動作と、回転機構によるケース支持部材の回転動作とを、押出部材に設けられたハンドルを操作するだけで、簡易に行うことができる。
【００１７】
また、上記発明においては、前記押出部材が、前記２つのウェハ収納ケースの貫通孔にそれぞれ挿脱可能に２つ備えられている構成としてもよい。
このように構成することで、回転機構によりケース支持部材を１／２回転させるごとに、新たなウェハ収納ケースを着脱して、ウェハの移載を行うことができる。
【００１８】
また、本発明は、両側壁に設けられた複数の溝にウェハを掛け渡し、一端に設けられた出入口を介して前記溝に沿う方向に挿脱可能に複数収容した第１のウェハ収納ケースに、略同一形状の空の第２のウェハ収納ケースを、前記出入口を対向させた状態に配置し、前記ウェハを略鉛直方向に配置した状態で、第１のウェハ収納ケースから押し出すウェハの移載方法を提供する。
【００１９】
本発明によれば、ウェハを略鉛直方向に配置した状態で第１のウェハ収納ケースから第２のウェハ収納ケースに向けてウェハを押し出すので、ウェハの板厚方向に作用する重力成分を低減し、ウェハを撓ませることなく移載することができる。これにより、ウェハの先端側が第２のウェハ収納ケースの出入口に引っかかることが防止され、ウェハやウェハ収納ケースを破損させることなくスムーズに移載することができる。
【００２０】
また、本発明は、ウェハをエッチングすることにより水晶振動子を切り出すための溝を形成するエッチングステップと、ウェハの表面に電極用の金属膜を形成する金属膜形成ステップと、電極用の金属の表面にレジストを塗布するレジスト塗布ステップと、加熱によりレジストを硬化させる加熱ステップと、レジストに電極用のマスクをパターニングして露光する露光ステップと、薬液により露光されたレジストを除去して電極形状のレジストを現像する現像ステップと、現像されたレジストを加熱して形状を定着させる定着ステップと、薬液により電極以外の金属を剥離させる金属剥離ステップと、薬液によりレジストを除去するレジスト除去ステップとを備え、前記加熱ステップと前記露光ステップとの間で、上記いずれかのウェハ移載装置を用いてウェハ収納ケースを入れ替える水晶振動子の製造方法を提供する。
【００２１】
本発明によれば、加熱ステップにおいては耐熱性のウェハ収納ケースを使用して、該ウェハ収納ケースに収容されている複数枚のウェハを同時に加熱した後に、上記ウェハ移載装置を用いて高精度に構成された露光用のウェハ収納ケースに入れ替えることができる。
これにより、水晶振動子を切り出すための溝が形成された剛性が極めて低いウェハを耐熱性のウェハ収納ケースから高精度のウェハ収納ケースに、重力を利用してスムーズに移載することができる。
【００２２】
上記発明においては、前記露光ステップと前記現像ステップとの間で、上記いずれかに記載のウェハ移載装置を用いてウェハ収納ケースを入れ替えることとしてもよい。
このようにすることで、露光ステップにおいて使用される高精度のウェハ収納ケースから、上記ウェハ移載装置を用いて、耐薬品性のウェハ収納ケースに入れ替えることができる。これにより、水晶振動子を切り出すための溝が形成された剛性が極めて低いウェハを高精度のウェハ収納ケースから耐薬品性のウェハ収納ケースに、重力を利用してスムーズに移載することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、ウェハの剛性にかかわらず、一のウェハ収納ケースから他のウェハ収納ケースにウェハをスムーズに移載することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の一実施形態に係るウェハ移載装置１について、図１〜図１９を参照して以下に説明する。
本実施形態に係るウェハ移載装置１は、図１〜図３に示されるように、ベース２と、該ベース２に対して水平な回転軸線Ｏ回りに回転可能に支持されたケース支持部材３と、該ケース支持部材３を前記ベース２に対して回転可能に支持する回転機構４（図４参照。）と、前記ケース支持部材３に、半径方向に直線移動可能に支持された２つの押出部材５と、該押出部材５を半径方向に移動させる押出部材挿脱機構６とを備えている。
【００２５】
前記ベース２は足のついた水平なベースプレート２ａと、該ベースプレート２ａから鉛直上方に延びて配置された直立プレート２ｂとを備えている。直立プレート２ｂには、図６に示されるように、前記ケース支持部材３側の面にカム溝７が形成されている。カム溝７の作用については後述する。
【００２６】
前記ケース支持部材３は、図１に示されるように、前記ベース２の直立プレート２ｂに沿うように配置され、前記カム溝７を覆う円板状のカバープレート８と、該カバープレート８に固定された支持部材本体９と、該支持部材本体９に、ヒンジ１０（図３参照。）により揺動可能に取り付けられた２つの断面略Ｌ字状のカバー部材１１とを備えている。
【００２７】
前記カバープレート８には、図８に示されるように、その中央部近傍から半径方向両方向に延びる直線状の貫通溝８ａが、板厚方向に貫通して形成されている。
また、各カバー部材１１には、図１に示されるように、該カバー部材１１が閉じられた状態で前記支持部材本体９にロックするロック装置１２が設けられている。
【００２８】
２つのカバー部材１１が閉じられると、図１に示されるように、これらのカバー部材１１と前記支持部材本体９とにより囲まれる空間Ｘが形成されるようになっている。この空間Ｘには、図１２に示されるように、２つのウェハ収納ケース１３をその出入口１３ａを対向させた状態で移動しないように収容することができるようになっている。
【００２９】
ウェハ収納ケース１３は、図９に示されるように、対向する両側壁１３ｂに平行間隔をあけた複数条の溝１３ｃを備え、対向する各溝１３ｃに略円板状のウェハＷ（図１１および図１２参照。）をそれぞれ掛け渡して複数枚支持するようになっている。溝１３ｃの一端側には、ウェハＷを出し入れ可能に開口する出入口１３ａが設けられ、他端側には、ウェハＷを突き当てる側壁１３ｄが設けられるとともに、該側壁１３ｄに、前記押出部材５を挿脱するための貫通孔１３ｅが設けられている。
【００３０】
前記回転機構４は、図４および図５に示されるように、前記支持部材本体９に設けられたシャフト９ａを直立プレート２ｂに対して前記回転軸線Ｏ回りに回転可能に支持するベアリング４ａにより構成されている。
前記押出部材５は、図２および図７に示されるように、前記ケース支持部材３の回転軸線Ｏに沿う方向に延びる断面略Ｌ字状の部材であって、ウェハ収納ケース１３の貫通孔１３ｅに挿入されたときに、ウェハ収納ケース１３内に収容されている複数のウェハＷの全ての端縁に突き当たる長さ寸法を有している。
【００３１】
また、押出部材５には、図４および図５に示されるように、ウェハＷの端縁に突き当たる端面５ａに、各ウェハＷを板厚方向に位置ズレしないように保持する多数のＶ溝５ｂが形成されている。押出部材５は、ケース支持部材３の回転軸線Ｏを挟んで対向する位置に２箇所に設けられている。また、２つの押出部材５には、それぞれハンドル１４が固定されている。
【００３２】
前記押出部材挿脱機構６は、図４〜図７に示されるように、前記支持部材本体９に固定され、ケース支持部材３の回転軸線Ｏに直交する方向に延びる２本のガイドレール６ａと、該ガイドレール６ａに沿って直線移動可能に設けられた２つのスライダ部材６ｂと、前記直立プレート２ｂに形成された前記カム溝（カム機構）７と、前記カバープレート８の貫通溝８ａを貫通して前記カム溝に挿入されるカムフォロワ（カム機構）１５ａ，１５ｂとを備えている。
【００３３】
前記各スライダ部材６ｂには、前記押出部材５が、それぞれ揺動可能に取り付けられている。スライダ部材６ｂと押出部材５との間には、図１０〜図１４に示されるように、コイルスプリング１６が設けられ、スライダ部材６ｂに対して押出部材５を図１０の位置と図１４の位置の２つの状態に付勢するようになっている。
【００３４】
前記カム溝７は、図６に示されるように、前記回転軸線Ｏ回りに形成された大きな半径の半円弧状の大円弧軌道７ａと、小さい半径の半円弧状の小円弧軌道７ｂと、半径方向に延びてこれら円弧軌道７ａ，７ｂを連結して単一の軌道に形成する２つの直線軌道７ｃ，７ｄとを備えている。
大円弧軌道７ａは、該大円弧軌道７ａにカムフォロワ１５ａ，１５ｂを配置することにより、スライダ部材６ｂを半径方向の最外方位置に維持するようになっている。小円弧軌道７ｂは、該小円弧軌道７ｂにカムフォロワ１５ａ，１５ｂを配置することにより、スライダ部材６ｂを半径方向の最内方位置に維持するようになっている。
【００３５】
第１の直線軌道７ｃは、回転軸線Ｏから鉛直下方に向かって延びている。この第１の直線軌道７ｃには、下方に向かって軌道の幅を漸次狭めるように延びる板バネ（緩衝機構）１７が設けられている。この第１の直線軌道７ｃに配置されたカムフォロワ１５ａ，１５ｂが板バネ１７と該直線軌道７ｃの側面との間に挟まれることにより、カムフォロワ１５ａ，１５ｂを取り付けたスライダ部材６ｂの急激な落下が回避されるようになっている。
【００３６】
第２の直線軌道７ｄは、回転軸線Ｏから鉛直上方に対して若干傾いた方向に向かって延びている。これにより、カムフォロワ１５ａ，１５ｂが回転軸線Ｏの鉛直上方に配置されても大円弧軌道７ａ内に維持され、スライダ部材６ｂの鉛直下方への移動を禁止するストッパが構成されている。
【００３７】
図４に示されるように、直立プレート２ｂには、カバープレート８に設けられた凹部８ｂにおいて突出し、直立プレート２ｂに対してカバープレート８の回転を係止するボールプランジャ１８が設けられている。凹部８ｂは、図８に示されるように、周方向に等間隔をあけて２箇所に設けられ、２つの押出部材５がそれぞれ鉛直上方に配置される位置で直立プレート２ｂに対してカバープレート８を一時的に係止するようになっている。
【００３８】
このように構成された本実施形態に係るウェハ移載装置１の作用について、以下に説明する。
本実施形態に係るウェハ移載装置１を用いて、ウェハＷを収容した第１のウェハ収納ケース１３Ａから、ウェハＷを収容していない空の第２のウェハ収納ケース１３ＢにウェハＷを移載するには、まず、ベース２の直立プレート２ｂに対してケース支持部材３を水平な回転軸線Ｏ回りに回転させ、ボールプランジャ１８が凹部８ｂに突出してケース支持部材３の回転が係止される位置に配置する。
【００３９】
このとき、カム溝７内のカムフォロワ１５ａ，１５ｂの位置は、図１５（ａ）に示される通りであり、２つのカムフォロワ１５ａ，１５ｂはいずれも大円弧軌道７ａに配置され、２つのスライダ部材６ｂは、半径方向に最も離れた位置に配置されている。
この状態で、上側に配置されたハンドル１４を操作して持ち上げることにより、図１０に示されるように、スライダ部材６ｂに対して押出部材５を上方に揺動させる。これにより、ウェハ収納ケース１３を収容する空間Ｘの上方から押出部材５が退避させられ、コイルスプリング１６によりこの状態が維持される。
【００４０】
次いで、上側のカバー部材１１に設けられたロック装置１２によるロックを解除して、支持部材本体９に対するカバー部材１１の揺動を可能とし、図１０に示されるように、カバー部材１１を持ち上げる。これにより、ウェハ収納ケース１３を収容する空間Ｘが上方に開放されるので、図１１に示されるように、ウェハＷを収容した第１のウェハ収納ケース１３Ａ、図１２に示されるように、空の第２のウェハ収納ケース１３Ｂの順に、空間Ｘ内に２つのウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂを収容する。
【００４１】
このとき、第１のウェハ収納ケース１３Ａは鉛直上方に出入口１３ａを向けて配置され、第２のウェハ収納ケース１３Ｂは、該第１のウェハ収納ケース１３Ａの出入口１３ａに、下向きにした出入口１３ａを対向させて載置される。この状態における第１、第２のウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂ、ウェハＷおよび押出部材５の位置関係を図１５（ｂ）に示す。
【００４２】
このようにすることで、第１のウェハ収納ケース１３Ａ内のウェハＷは、略鉛直面に沿う方向に配置されるので、重力はウェハＷの表面に沿う方向に作用し、板厚方向には作用しない。その結果、ウェハＷの剛性が極めて低い場合であっても、第１のウェハ収納ケース１３Ａ内に収容された状態のウェハＷが重力によって撓むことが回避される。
【００４３】
この状態で、図１３に示されるように、支持部材本体９に対して、持ち上げていたカバー部材１１を押し下げて閉じ、ロック装置１２をロックする。これにより、支持部材本体９内の空間Ｘに、２つのウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂが出入口１３ａどうしを合わせた状態で、支持部材本体９に対して移動しないように固定される。
【００４４】
そして、図１４に示されるように、持ち上げていた押出部材５を押し下げることにより、コイルスプリング１６の作動によって、押出部材５がその端面５ａを水平にした状態に付勢される。
このとき、上述したように、図１５（ａ）に示されるように、上側のスライダ部材６ｂに固定されたカムフォロワ１５ａは、カム溝７の大円弧軌道７ａ内に配置され、第２の直線軌道７ｄとの交点まで達していないので、スライダ部材６ａは鉛直下方に下降することができず、押出部材５は、図１５（ｂ）に示されるように、ウェハ収納ケース１６Ｂの貫通孔１３ｅの外側に維持される。
【００４５】
これにより、ウェハＷを移載する準備が整ったので、ハンドル１４を操作して、ケース支持部材３をベース２の直立プレート２ｂに対して水平な回転軸線Ｏ回りに回転させる。
そして、ケース支持部材３が若干回転させられると、図１６（ａ）に示されるように、上側のスライダ部材６ｂに固定したカムフォロワ１５ａが、カム溝７の大円弧軌道７ａと第２の直線軌道７ｄとの交点に到達するので、上側のスライダ部材６ｂは第２の直線軌道７ｄに沿って半径方向内方（矢印Ｐの方向）に移動可能となる。
【００４６】
そこで、ハンドル１４を操作して、スライダ部材６ｂを半径方向内方に移動させることにより、図１６（ｂ）に示されるように、押出部材５が半径方向内方（矢印Ｐの方向）に移動させられ、その端面５ａが第２のウェハ収納ケース１３Ｂの貫通孔１３ｅ内に挿入されていく。
そして、図１７（ａ）に示されるように、上側のスライダ部材６ｂに固定されたカムフォロワ１５ａが、第２の直線軌道７ｄと小円弧軌道７ｂとの交点に到達すると、図１７（ｂ）に示されるように、押出部材５の端面５ａが第１のウェハ収納ケース１３Ａ内のウェハＷの端縁に突き当たる。
【００４７】
この状態で、上側のスライダ部材６ｂに固定されたカムフォロワ１５ａは小円弧軌道７ｂに沿って矢印Ｑの方向に移動可能となるので、図１８（ａ）に示されるように、上側のスライダ部材６ｂに固定されたカムフォロワ１５ａを小円弧軌道７ｂに沿って、第１の直線軌道７ｃとの交点まで移動させることにより、ケース支持部材３がほぼ反転させられ、図１８（ｂ）に示されるように、第１のウェハ収納ケース１３Ａと第２のウェハ収納ケース１３Ｂとの上下関係が反転する。
【００４８】
すなわち、ウェハＷを収容していた第１のウェハ収納ケース１３Ａは、その出入口１３ａを鉛直下方に向けて配置されることとなるが、全てのウェハＷの端縁には押出部材５の端面５ａが突き当てられているので、ウェハＷは落下することなく、押出部材５の端面５ａに載置された状態でその場に維持される。
そして、ハンドル１４を操作して、図１９（ａ）に示されるように、カムフォロワ１５を第１の直線軌道７ｃに沿って鉛直下方に移動させることにより、図１９（ｂ）に示されるように、押出部材５が、下側となった第２のウェハ収納ケース１３Ｂの貫通孔１３ｅから鉛直下方に抜き出される。
【００４９】
このとき、押出部材５の下降とともに、その端面５ａに載置されていた全てのウェハＷが、第１のウェハ収納ケース１３Ａの溝に沿って下降し、第１のウェハ収納ケース１３Ａの下方に、鉛直上方に出入口１３ａを向けて配置されている第２のウェハ収納ケース１３Ｂ内に挿入されていくことになる。
これにより、全てのウェハＷを第１のウェハ収納ケース１３Ａから第２のウェハ収納ケース１３Ｂに移載することができる。
【００５０】
この場合において、本実施形態に係るウェハ移載装置１によれば、ウェハＷを鉛直面に沿う方向に配置して板厚方向に撓まないように維持しつつ移載するので、ウェハＷの先端が第２のウェハ収納ケース１３Ｂの出入口１３ａに引っかかって移載が阻害される不都合を防止できる。したがって、ウェハＷやウェハ収納ケース１３Ｂの損傷を防止でき、健全な状態を維持しながら簡易に移載することができるという利点がある。
【００５１】
特に、ウェハＷが水晶ウェハのように極めて薄く、あるいは、エッチングされて多数の切り込みが形成されるなど剛性の低いものである場合においても、ウェハＷを板厚方向に撓ませることなく、スムーズに移載することができるという利点がある。
【００５２】
また、本実施形態に係るウェハ移載装置１によれば、第１の直線軌道７ｃに板バネ１７が設けられているので、カムフォロワ１５ａは板バネ１７と第１の直線軌道７ｃとの間に挟まれてその下降動作を抑制される。すなわち、カムフォロワ１５ａは、板バネ１７を変形させながら下降しなければならないので、第１の直線軌道７ｃを一気に落下することができず、ゆっくりと下降させられることになる。その結果、押出部材５の貫通孔１３ｅからの急激な抜け出しが防止され、ウェハＷの急激な落下による損傷を防止することができる。
【００５３】
さらに、本実施形態によれば、押出部材５の挿脱とケース支持部材３の回転とがカム溝７とカムフォロワ１５ａ，１５ｂとにより同期して行われるので、手順を間違えることなく実行することができる。すなわち、押出部材５を挿入しないままウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂを反転させたり、ウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂの回転途中で押出部材５が貫通孔１３ｅから抜き出されたりすることによるウェハＷの落下による破損等の不都合の発生を未然に防止することができる。
【００５４】
また、このとき、他方のカムフォロワ１５ｂは、大円弧軌道７ａ内に配置されて、回転軸線Ｏの鉛直上方に配置されているので、ハンドル１４を操作して押出部材５を持ち上げるとともに、ロック装置１２を解除してカバー部材１１を上方に開くことにより、支持部材本体９内に収容されている２つのウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂを簡易に取り出すことができる。第１のウェハ収納ケース１３Ａは空になり、第２のウェハ収納ケース１３ＢにはウェハＷが移載されている。
【００５５】
また、本実施形態に係るウェハ移載装置１によれば、押出部材５が回転軸線Ｏを挟んで対向する位置に２個設けられているので、移載を終えたウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂを取り出した直後に、空いた空間Ｘに新たに移載すべき２つのウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂを配置して、移載作業を継続的に行うことができる。これにより、移載作業の効率を向上することができる。
【００５６】
なお、本実施形態に係るウェハ移載装置１においては、２つのウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂを上下に重ね合わせて移載することにより、ウェハＷを鉛直面に沿う方向に配置し、重力によるウェハＷの撓みが極力発生しないようにすることで、移載をスムーズに行わせることとしたが、これに代えて、ケース支持部材３を水平方向に対して傾斜した回転軸線Ｏ回りに回転させることで、２つのウェハ収納ケース１３Ａ，１３Ｂの高低差を反転させてもよい。これによっても、ウェハＷの厚さ方向にかかる重力成分を低減し、撓みを抑えることができる。
【００５７】
また、押出部材５を２つ設けることで、ケース支持部材３を反転させるだけで、継続的にウェハＷの移載を行うこととしたが、これに代えて、押出部材５を１つだけ設けることとしてもよい。
また、本実施形態においては、ウェハＷを鉛直面に沿う方向に配置して、上下方向に配置したウェハ収納ケース１３間でウェハＷを移載することとしたが、これに代えて、水平方向に配置したウェハ収納ケース１３間でウェハＷを移載することにしてもよい。
【００５８】
次に本発明の一実施形態に係る水晶振動子の製造方法について、図２０を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る水晶振動子の製造方法は、図２０に示されるように、第１〜第２６ステップＳ１〜Ｓ２６を備えている。
【００５９】
第１ステップ（エッチングステップ）Ｓ１は、平板状のウェハＷに対して薬液によりウェハＷを厚さ方向に貫通する溝を形成することにより多数の水晶振動子の形状を切り出すようになっている。溝を形成することにより、ウェハＷの剛性は低下し、ウェハ収納ケース１３の両側壁１３ｂの溝１３ｃに掛け渡されるように収納されると、大きく撓んだ状態に支持されるようになる。
【００６０】
第２ステップＳ２は、第１ステップＳ１において使用したエッチング液を洗浄するようになっている。
第３ステップＳ３は、第２ステップＳ２において洗浄されたウェハＷを乾燥するようになっている。
【００６１】
第４ステップ（金属膜形成ステップ）Ｓ４は、ウェハＷの表裏全面に導電性の金属膜をスパッタリングにより付着させるようになっている。
第５ステップ（レジスト塗布ステップ）Ｓ５は、表面側の金属膜の表面にレジスト膜を塗布するようになっている。
【００６２】
第６ステップ（加熱ステップ）Ｓ６は、第５ステップＳ５において塗布されたレジスト膜を加熱により硬化させるようになっている。
第７ステップ（露光ステップ）Ｓ７は、第６ステップＳ６により硬化させられたレジスト膜の表面に、電極用のマスクをパターニングして露光するようになっている。
【００６３】
第８ステップ（現像ステップ）Ｓ８は、第７ステップにおいて露光された部分のレジストを薬液により除去するようになっている。
第９ステップ（定着ステップ）Ｓ９は、第８ステップにおいて不要部分を除去されて電極部分に対応するレジストを加熱により硬化させ定着させるようになっている。
【００６４】
第１０ステップ（金属剥離ステップ）Ｓ１０は、第９ステップにおいて硬化されたレジストにより被覆されておらず露出している金属を薬液により剥離させるようになっている。
第１１ステップＳ１１は、第１０ステップＳ１０において使用した薬液を洗浄するようになっている。第１２ステップＳ１２は、第１１ステップＳ１１において洗浄されたウェハを乾燥するようになっている。
【００６５】
第１３ステップ（除去ステップ）Ｓ１３は、薬液によりウェハＷの表面側の金属を被覆している全てのレジストを除去するようになっている。
第１４ステップＳ１４は、第１３ステップＳ１３において使用した薬液を洗浄するようになっている。第１５ステップＳ１５は、第１４ステップＳ１４において洗浄されたウェハＷを乾燥するようになっている。
【００６６】
これにより、ウェハＷの表面側の処理が終了する。
第１６〜第２６ステップＳ１６〜Ｓ２６は、ウェハＷの裏面側に対して、第５〜第１５ステップＳ５〜Ｓ１５において実施したのと同じ処理を行うようになっている。
これにより、ウェハＷの表裏面の全ての処理が終了する。
【００６７】
この場合において、本実施形態においては、各ステップにおいて使用するウェハ収納ケース１３の材質が相違する。
例えば、エッチング液や薬液がウェハＷに付着しているステップＳ１〜Ｓ３、Ｓ８〜Ｓ１５、Ｓ１９〜Ｓ２６は、それぞれ耐薬品性の材質、例えば、４フッ化エチレン製のウェハ収納ケース１３が使用され、露光を行うステップＳ７，Ｓ１８においては、露光装置への位置決めを精度よく行うために高精度に構成されたウェハ収納ケース１３が使用され、加熱処理を行うステップＳ６，Ｓ９，Ｓ１７，Ｓ２０においては、耐熱性の材質、例えば、４フッ化エチレン製のウェハ収納ケース１３が使用される。また、それ以外のステップＳ４，Ｓ５，Ｓ１６においては、安価なポリプロピレン製のウェハ収納ケース１３が使用される。
【００６８】
これらの場合に、特に、ステップＳ６，Ｓ１７においては、ウェハ収納ケース１３に収納された状態のウェハＷに対して加熱処理が行われるので、次のステップＳ７，Ｓ１８に移る際には、上述したウェハ移載装置１が使用されて、高精度のウェハ収納ケース１３に全てのウェハＷが移し替えられる。また、ステップＳ７，Ｓ１８においては高精度のウェハ収納ケース１３への出し入れが行われるので、次のステップＳ８，Ｓ１９に移る際には、上述したウェハ移載装置１が使用されて、耐薬品性の材質からなるウェハ収納ケース１３に全てのウェハＷが移し替えられる。
【００６９】
これにより、水晶振動子を切り出すための溝が形成された剛性が極めて低いウェハＷを耐熱性のウェハ収納ケース１３から高精度のウェハ収納ケース１３に、あるいは高精度のウェハ収納ケース１３から耐薬品性のウェハ収納ケース１３に、重力を利用してスムーズに移載することができる。
すなわち、ウェハＷを板厚方向に撓ませることなく、スムーズに移載することができ、ウェハＷの破損を防止することができるという利点がある。
【００７０】
なお、本実施形態においては、特にステップＳ６〜Ｓ８，Ｓ１７〜Ｓ１９において、ウェハ移載装置１を使用してウェハ収納ケース１３を入れ替えることとしたが、これに加えて、他の全てのステップ間において、ウェハ移載装置１を使用してウェハ収納ケース１３を入れ替えることにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の一実施形態に係るウェハ移載装置を示す斜視図である。
【図２】図１のウェハ移載装置を示す正面図である。
【図３】図１のウェハ移載装置の側面図である。
【図４】図２のウェハ移載装置におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】図２のウェハ移載装置におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図３のウェハ移載装置におけるＣ−Ｃ矢視図である。
【図７】図３のウェハ移載装置におけるＤ−Ｄ矢視図である。
【図８】図４のウェハ移載装置におけるＥ−Ｅ矢視図である。
【図９】図１のウェハ移載装置により移載するウェハを収容するウェハ収納ケースの一例を示す斜視図である。
【図１０】図１のウェハ移載装置へのウェハ収納ケースの装着方法を説明する図である。
【図１１】図１０のウェハ移載装置に一方のウェハ収納ケースを装着した状態を示す図である。
【図１２】図１１のウェハ移載装置に２つのウェハ収納ケースを装着した状態を示す図である。
【図１３】図１２のウェハ移載装置のカバー部材を閉じて２つのウェハ収納ケースを固定した状態を示す図である。
【図１４】図１３のウェハ移載装置の押出部材を押し下げた状態を示す図である。
【図１５】図１のウェハ移載装置によるウェハの移載作業の第１の状態を説明する図であり、（ａ）カム溝とカムフォロワとの関係、（ｂ）ウェハ収納ケースと押出部材との関係をそれぞれ示す図である。
【図１６】図１のウェハ移載装置によるウェハの移載作業の第２の状態を説明する図であり、（ａ）カム溝とカムフォロワとの関係、（ｂ）ウェハ収納ケースと押出部材との関係をそれぞれ示す図である。
【図１７】図１のウェハ移載装置によるウェハの移載作業の第３の状態を説明する図であり、（ａ）カム溝とカムフォロワとの関係、（ｂ）ウェハ収納ケースと押出部材との関係をそれぞれ示す図である。
【図１８】図１のウェハ移載装置によるウェハの移載作業の第４の状態を説明する図であり、（ａ）カム溝とカムフォロワとの関係、（ｂ）ウェハ収納ケースと押出部材との関係をそれぞれ示す図である。
【図１９】図１のウェハ移載装置によるウェハの移載作業の第５の状態を説明する図であり、（ａ）カム溝とカムフォロワとの関係、（ｂ）ウェハ収納ケースと押出部材との関係をそれぞれ示す図である。
【図２０】本発明の一実施形態に係る水晶振動子の製造方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７２】
Ｗ  ウェハ
１  ウェハ移載装置
３  ケース支持部材
５  押出部材
４  回転機構
６  押出部材挿脱機構
７  カム溝（カム機構）
７ａ  大円弧軌道（カム機構）
７ｂ  小円弧軌道（カム機構）
７ｃ  第１の直線軌道（カム機構）
７ｄ  第２の直線軌道（カム機構）
１３  ウェハ収納ケース
１３ａ  出入口
１３ｂ  側壁
１３ｃ  溝
１３ｅ  貫通孔
１３Ａ  第１のウェハ収納ケース
１３Ｂ  第２のウェハ収納ケース
１４  ハンドル
１５ａ，１５ｂ  カムフォロワ（カム機構）
１７  板バネ（緩衝機構）
Ｓ１  第１ステップ（エッチングステップ）
Ｓ４  第４ステップ（金属膜形成ステップ）
Ｓ５  第５ステップ（レジスト塗布ステップ）
Ｓ６  第６ステップ（加熱ステップ）
Ｓ７  第７ステップ（露光ステップ）
Ｓ８  第８ステップ（現像ステップ）
Ｓ９  第９ステップ（定着ステップ）
Ｓ１０  第１０ステップ（金属剥離ステップ）
Ｓ１３  第１３ステップ（除去ステップ）
Ｓ１６  第１６ステップ（レジスト塗布ステップ）
Ｓ１７  第１７ステップ（加熱ステップ）
Ｓ１８  第１８ステップ（露光ステップ）
Ｓ１９  第１９ステップ（現像ステップ）
Ｓ２０  第２０ステップ（定着ステップ）
Ｓ２１  第２１ステップ（金属剥離ステップ）
Ｓ２４  第２４ステップ（除去ステップ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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