(57)【要約】【課題】多数の処理室を必要とする場合や、多数の処理ステーションを必要とする場合でも、占有床面積を縮小することのできる基板処理装置を提供すること。【解決手段】基板処理装置１には、処理ステーション７１〜７６のいずれにも、平面視したときに正八角形のチャンバー１１〜１６が用いられている。このため、１つのチャンバー１１〜１６に接続可能な処理室１００の数が多い。処理ステーション７２は、正八角形のチャンバー１２において直交する方向に延びた２つの辺部１２ｃ、１２ｅを介して処理ステーション７１、７４と接続され、辺部１２ｅと対向する辺部１２ａを介して処理ステーション７３と接続されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバーと、このチャンバー内に配置された基板搬送ロボットとを備えた処理ステーションを複数有する基板処理装置において、
前記複数の処理ステーションには、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備えた第１の処理ステーションと、当該八角形のチャンバーの８つの辺部のうち、直交する方向に延びた２つの辺部を介して基板の授受が行なわれる２つの第２の処理ステーションとが含まれていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記第２の処理ステーションは、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備え、
前記第１の処理ステーションの八角形のチャンバーと、前記第２の処理ステーションの八角形のチャンバーとは、辺部同士が対向するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記複数の処理ステーションには、さらに、前記第１の処理ステーションの前記八角形のチャンバーにおいて直交する方向に延びた２つの辺部のうちの一方と平行な辺部を介して基板の授受が行なわれる第３の処理ステーションが含まれていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記第３の処理ステーションは、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備え、
前記第１の処理ステーションの八角形のチャンバーと、前記第３の処理ステーションの八角形のチャンバーとは、辺部同士が対向するように配置されていることを特徴とする請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記八角形のチャンバーを備えた処理ステーションには、正八角形のチャンバーの８つの辺部の全てが各々、他の処理ステーションとの間での基板の授受、あるいは基板に対する処理室の接続に用いられている処理ステーションが含まれていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記複数の処理ステーションはいずれも、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備えていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記八角形のチャンバーは、正八角形のチャンバーであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気と異なる複数の雰囲気下で基板を処理するための基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス装置、液晶装置、半導体装置などは大気と異なる雰囲気下での工程を経て製造されるため、かかる装置を製造する場合には、大気と異なる雰囲気とされるチャンバーと、このチャンバー内に配置された基板搬送ロボットとを備えた処理ステーションを有する基板処理装置が用いられる。
【０００３】
チャンバーとしては、例えば、平面視において、正六角形の相対向する２つの角を切り欠いた八角形のチャンバーが提案されており、かかる八角形のチャンバーは、実質、正六角形のチャンバーとして用いられる。すなわち、８つの辺部のうち、約１３５°の角度をなす２つの辺部で外部との間で基板の授受が行なわれ、残り４つの辺部は、基板に対する処理室の接続に用いられている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許公開２００６−１９０８９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、平面視において正六角形のチャンバーでは、図３に示す処理ステーション９１、９８のように、チャンバー２１、２８の２つの辺部で外部との基板の授受が行なわれる場合、チャンバー２１、２８に接続可能な処理室１００の数が４つであり、少ない。また、処理ステーション９２、９４、９６のように、チャンバー２２、２４、２６の３つの辺部で外部との基板の授受が行なわれる場合、チャンバー２２、２４、２６に接続可能な処理室１００の数が３つであり、少ない。さらに、処理ステーション９３、９５、９７のように、チャンバー２３、２５、２７の１つの辺部で外部との基板の授受が行なわれる場合でも、チャンバー２３、２５、２７に接続可能な処理室１００の数が５つであり、少ない。このため、例えば、計３２の処理室１００が必要な場合には、８つの処理ステーション９１〜９８を必要し、それに伴って、多くの搬送路４を必要とするので、基板処理装置が占有する床面積が広くなってしまうという問題点がある。
【０００５】
また、平面視において正六角形のチャンバーでは、矢印Ｃ１〜Ｃ６で示すメインとなる搬送経路の他に、矢印Ｃ７〜Ｃ９で示すように、処理ステーション９２、９３の間、処理ステーション９４、９５の間、および処理ステーション９６、９７の間で基板を往復させる搬送経路を設けた場合には、処理ステーション９２、９４、９６のように、互いに１２０°の角度をなす斜め方向に３つの処理ステーションが接続することになるため、無駄なスペースが多く発生するなど、基板処理装置が占有する床面積が広くなってしまうという問題点がある。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、多数の処理室を必要とする場合や、多数の処理ステーションを必要とする場合でも、占有床面積を縮小することのできる基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、チャンバーと、このチャンバー内に配置された基板搬送ロボットとを備えた処理ステーションを複数有する基板処理装置において、前記複数の処理ステーションには、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備えた第１の処理ステーションと、当該八角形のチャンバーの８つの辺部のうち、直交する方向に延びた２つの辺部を介して基板の授受が行なわれる２つの第２の処理ステーションとが含まれていることを特徴とする。
【０００８】
なお、本発明において「基板の授受」とは、処理ステーションの間で直接、基板の搬入または／および搬出が行なわれる構成の他、搬送路を介して基板の搬入または／および搬出が行なわれる構成を含む意味である。
【０００９】
本発明では、隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーが用いられており、かかる正八角形のチャンバーであれば、例えば、８つの辺部の全てを各々、他の処理ステーションとの間で基板の授受が行なわれる辺部と、基板に対する処理室が接続された辺部とに用いることも可能である。すなわち、正八角形のチャンバーであれば、８つの辺部の２つを他の処理ステーションとの間で基板の授受用に用い、残り６つの辺部を基板に対する処理室の接続用に用いることも可能である。また、３つの辺部を他の処理ステーションとの間で基板の授受用に用い、残り５つの辺部を基板に対する処理室の接続用に用いることも可能である。従って、例えば、計３２の処理室が必要な場合には、６つの処理ステーションで済み、六角形のチャンバーを用いた場合と比較して、チャンバーの数が少なくてよく、その分、搬送路の数も少なくてよい。また、八角形のチャンバーにおいて、８つの辺部のうち、直交する方向に延びた２つの辺部を介して基板の授受が行なわれる２つの第２の処理ステーションを配置したので、３つの処理ステーション（第１の処理ステーションおよび第２の処理ステーション）をＬ字形に配置することができ、処理ステーションを斜めに接続した場合と比較して、無駄なスペースを縮小できる。それ故、基板処理装置が占有する床面積を縮小することができる。一方、チャンバーの平面形状を正四角形にした場合も、処理チャンバーをＬ字形状に接続できるが、この場合、辺部の数が少ないので、処理ステーションの数が増大させる必要があり、基板処理装置が占める床面積が逆に拡大する。また、チャンバーの平面形状を正十二角形にした場合も、処理チャンバーをＬ字形状に接続できるが、辺部で基板の出し入れを行なうには各辺部を長くする必要があるため、チャンバーが大型化し、基板処理装置が占める床面積が逆に拡大することになる。よって、チャンバーの平面形状は正八角形が最も好ましい。
【００１０】
本発明において、前記第２の処理ステーションは、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備え、前記第１の処理ステーションの八角形のチャンバーと、前記第２の処理ステーションの八角形のチャンバーとは、辺部同士が対向するように配置されていることが好ましい。このように構成すると、処理ステーションの拡張などを容易に行なうことができる。
【００１１】
本発明において、前記複数の処理ステーションには、さらに、前記第１の処理ステーションの前記八角形のチャンバーにおいて直交する方向に延びた２つの辺部のうちの一方と平行な辺部を介して基板の搬送が行なわれる第３の処理ステーションが含まれていることが好ましい。このように構成すると、４つの処理ステーション（第１の処理ステーション、第２の処理ステーションおよび第３の処理ステーション）をＴ字形に配置することができ、処理ステーションを斜めに接続した場合と比較して、無駄なスペースを縮小できる。それ故、基板処理装置が占有する床面積を縮小することができる。
【００１２】
本発明において、前記第３の処理ステーションは、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備え、前記第１の処理ステーションの八角形のチャンバーと、前記第３の処理ステーションの八角形のチャンバーとは、辺部同士が対向するように配置されていることが好ましい。このように構成すると、処理ステーションの拡張などを容易に行なうことができる。
【００１３】
本発明において、前記八角形のチャンバーを備えた処理ステーションには、正八角形のチャンバーの８つの辺部の全てが各々、他の処理ステーションとの間での基板の授受、あるいは基板に対する処理室の接続に用いられている処理ステーションが含まれていることが好ましい。このように構成すると、多数の処理室が必要な場合でも、処理ステーションの数が少なく済む。
【００１４】
本発明において、前記複数の処理ステーションはいずれも、平面視したときに隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす八角形のチャンバーを前記チャンバーとして備えていることが好ましい。このように構成すると、処理ステーションの配置変更や追加などを容易に行なうことができる。
【００１５】
本発明において、前記八角形のチャンバーは、正八角形のチャンバーであることが好ましい。このように構成すると、チャンバーの向きに制約が生じないので、処理ステーションの配置変更や追加などを容易に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した基板処理装置について説明する。
【００１７】
（全体構成）
図１は、本発明を適用した基板処理装置を平面視したときの概略構成図である。図１に示す基板処理装置１は、有機エレクトロルミネッセンス装置、液晶装置、半導体装置などの製造に用いられる装置であり、有機エレクトロルミネッセンス装置、液晶装置、半導体装置などを製造する際、大気と異なる雰囲気下で複数の工程を行なうのに用いられる。例えば、表示装置や、電子写真方式を利用したプリンタに使用されるラインヘッドとして用いられる有機エレクトロルミネッセンス装置では、素子基板に対して、真空雰囲気下でのＣＶＤ法、スパッタ法や蒸着法などの成膜工程、フォトリソグラフィ技術を利用したパターニング工程、窒素雰囲気下での封止工程が行なわれ、場合によっては、インクジェット技術を利用した印刷工程が行われるが、これらの工程の全てあるいは大部分は、基板処理装置１で行なわれる。
【００１８】
このため、本形態の基板処理装置１は、上記の工程を連続的して行なうためのクラスタ型の処理ステーション７１〜７６を備えており、本形態では、基板処理装置１が有する処理室１００の数が計３２である場合を示してある。各処理ステーション７１〜７６は各々、複数の処理室１００が接続されたチャンバー１１〜１６を備えてり、各チャンバー１１〜１６の内部には、基板搬送ロボット６が配置されている。また、図示を省略するが、チャンバー１１〜１６や各処理室１００には、チャンバー１１〜１６内や処理室１００内を大気とは異なる雰囲気（例えば、真空雰囲気、窒素雰囲気など）とするための雰囲気置換装置（例えば、真空引き装置やガス供給装置など／図示せず）が構成されている。
【００１９】
（処理ステーションの詳細構成）
本形態の基板処理装置１においては、いずれの処理ステーション７１〜７６でも、チャンバー２１〜２６は、隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度をなす正八角形の平面形状を有しており、対向する辺部同士は平行である。また、チャンバー２１〜２６において、１つおきに隣接する辺部同士は直交する方向に延びている。
【００２０】
まず、処理ステーション７１のチャンバー１１では、８つの辺部１１ａ〜１１ｈのうち、辺部１１ｅにロード室３が接続され、辺部１１ｅに対向する辺部１１ａには、処理ステーション７２との間で基板を搬送するための搬送路４１が接続されている。残りの６つの辺部１１ｂ〜１１ｄ、１１ｆ〜１１ｈには処理室１００が各々接続されている。
【００２１】
処理ステーション７２のチャンバー１２では、８つの辺部１２ａ〜１２ｈのうち、チャンバー１２の中央を中心としたとき、互いに９０°ずつずれた角度方向に位置する３つの辺部１２ａ、１２ｃ、１２ｅには、処理ステーション７３との間で基板を搬送するための搬送路４２、処理ステーション７４との間で基板を搬送するための搬送路４３、および処理ステーション７１との間で基板を搬送するための搬送路４１が各々接続され、残りの５つの辺部１２ｂ、１２ｄ、１２ｆ〜１２ｈには処理室１００が各々接続されている。
【００２２】
処理ステーション７３のチャンバー１３では、８つの辺部１３ａ〜１３ｈのうち、１つの辺部１３ｅに、処理ステーション７２との間で基板を搬送するための搬送路４２が接続され、残りの７つの辺部１３ａ〜１３ｄ、１３ｆ〜１３ｈには処理室１００が各々接続されている。
【００２３】
処理ステーション７４のチャンバー１４では、８つの辺部１４ａ〜１４ｈのうち、チャンバー１４の中央を中心としたとき、互いに９０°ずつずれた角度方向に位置する３つの辺部１４ａ、１４ｅ、１４ｇには、処理ステーション７５との間で基板を搬送するための搬送路４４、処理ステーション７６との間で基板を搬送するための搬送路４５、および処理ステーション７２との間で基板を搬送するための搬送路４３が各々接続され、残りの５つの辺部のうち、４つの辺部１４ｂ、１４ｄ、１４ｆ、１４ｈには処理室１００が各々接続されている。
【００２４】
処理ステーション７５のチャンバー１５では、８つの辺部１５ａ〜１５ｈのうち、１つの辺部１５ｅに、処理ステーション７４との間で基板を搬送するための搬送路４４が接続され、残りの７つの辺部１５ａ〜１５ｄ、１５ｆ〜１５ｈには処理室１００が各々接続されている。
【００２５】
処理ステーション７６のチャンバー１６では、８つの辺部１６ａ〜１６ｈのうち、辺部１６ｅにアンロード室５が接続され、辺部１５ｅに対向する辺部１５ａには、処理ステーション７４との間で基板を搬送するための搬送路４５が接続されている。残りの６つの辺部１６ｂ〜１６ｄ、１６ｆ〜１６ｈのうち、３つの辺部１６ｆ〜１６ｈには処理室１００が接続されている。
【００２６】
なお、チャンバー１１〜１６の各辺部のうち、ロード室３、アンロード室５、搬送路４１〜４５、および処理室１００と接続された辺部には、この辺部を開状態および閉状態に切り換えるゲートバルブ（図示せず）が配置されている。
【００２７】
（動作）
このように構成した基板処理装置１においては、ロード室３から搬入した基板に対して、処理ステーション７１〜７６の各処理室１００で基板に対する処理を行なった後、アンロード室５から基板を搬送する。すなわち、ロード室３に搬入された基板は、図１に矢印Ａ１〜Ａ５で示すメインの搬送経路を搬送される間に、各処理ステーション７１、７２、７４、７５に配置された処理室１００で所定の処理が施される。また、本形態の基板処理装置１においては、矢印Ａ６、Ａ７で示すように、基板が矢印Ａ１〜Ａ５で示すメインの搬送経路を搬送される途中において、処理ステーション７２、７３の間、および処理ステーション７４、７５の間で往復搬送され、処理ステーション７４、７５に配置された処理室１００でも所定の処理が施される。
【００２８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の基板処理装置１には、処理ステーション７１〜７６のいずれにも、平面視したときに正八角形のチャンバー１１〜１６が用いられている。このため、１つのチャンバー１１〜１６に接続可能な処理室１００の数が多い。例えば、処理ステーション７１、７６のチャンバー１１、１６には、最大で６つの処理室１００を接続可能であり、処理ステーション７２、７４のチャンバー１２、１４には、最大で５つの処理室１００を接続可能であり、処理ステーション７３、７５のチャンバー１３、１５には、最大で７つの処理室１００を接続可能である。しかも、本形態において、チャンバー１１〜１６には、８つの辺部の全体が各々、他の処理ステーションとの間での基板の授受、あるいは処理室１００の接続に用いられたチャンバー１１、１２、１３、１５が含まれている。従って、図１に示すように、計３２の処理室１００が必要な場合には、６つの処理ステーション７１〜７６で済み、六角形のチャンバーを用いた場合と比較して、チャンバーの数が少なくてよく、その分、搬送路４１〜４５の数も少なくてよい。
【００２９】
また、処理ステーション７１〜７６のうち、処理ステーション７２は、正八角形のチャンバー１２の８つの辺部１２ａ〜１２ｈのうち、直交する方向に延びた２つの辺部１２ｃ、１２ｅ（あるいは辺部１２ａ、１２ｃ）を介して基板の授受が行なわれる第１の処理ステーションとして構成され、かかる処理ステーション７２には、２つの処理ステーション７１、７４（あるいは処理ステーション７３、７４）が第２の処理ステーションとして接続されている。従って、３つの処理ステーション７１、７２、７４（あるいは、処理ステーション７２、７４、７３）をＬ字形に配置することができる。
【００３０】
さらに、処理ステーション７２に対しては、正八角形のチャンバー１２において直交する方向に延びた２つの辺部１２ｃ、１２ｅのうち、辺部１２ｅと平行な辺部１２ａに対しては、処理ステーション７３が第３の処理ステーションとして接続されている。従って、４つの処理ステーション７１、７２、７３、７４をＴ字形に配置することができる。
【００３１】
同様に、処理ステーション７４は、正八角形のチャンバー１５の８つの辺部１４ａ〜１４ｈのうち、直交する方向に延びた２つの辺部１４ｅ、１４ｇ（あるいは辺部１４ａ、１４ｇ）を介して基板の授受が行なわれる第１の処理ステーションとして構成され、かかる処理ステーション７４には、２つの処理ステーション７６、７２（あるいは処理ステーション７５、７２）が第２の処理ステーションとして接続されている。従って、３つの処理ステーション７２、７４、７６（あるいは、処理ステーション７２、７４、７５）をＬ字形に配置することができる。
【００３２】
さらに、処理ステーション７４に対しては、正八角形のチャンバー１４において直交する方向に延びた２つの辺部１４ｅ、１４ｇのうち、辺部１４ｅに平行な辺部１４ａに対しては、処理ステーション７５が第３の処理ステーションとして接続されている。従って、４つの処理ステーション７２、７４、７５、７６をＴ字形に配置することができる。
【００３３】
それ故、処理ステーションを斜めに接続した場合と比較して、無駄なスペースを縮小できるので、基板処理装置１が占有する床面積を縮小することができる。また、本形態の基板処理装置１では、処理ステーションを増設する際の拡張性にも優れている。
【００３４】
（その他の実施の形態）
上記実施の形態において、ロード室３、アンロード室５、および搬送路４１〜４５と、チャンバー１１〜１６との接続箇所には、蛇腹状の金属ベローズを配置してもよい。このように構成すると、ロード室３、アンロード室５、搬送路４、処理室１００、およびチャンバー１１〜１６を製作した後、ロード室３、アンロード室５、および搬送路４と、チャンバー１１〜１６とを連結する際、加工精度などの影響により、位置がずれている場合でも容易に補正できるという利点がある。
【００３５】
また、図２に示すように、搬送路４１を処理室として利用してもよい。この場合、搬送路４１は、図１に示す例に比較して拡大されるので、その分、搬送路４５を延長すればよい。この場合も、例えば、搬送路４１とチャンバー１１との接続箇所などに蛇腹状の金属ベローズ４１０を配置し、双方の位置がずれている場合の補正を行なってもよい。
【００３６】
さらに、上記形態では、処理ステーションをＬ字形あるいはＴ字形に接続した例を説明したが、処理ステーションを十字形に接続してもよい。
【００３７】
さらにまた、上記形態では、チャンバーを正八角形の平面状としたが、隣接する辺部同士がいずれも１３５°の角度を成す形態であれば、対向する２つの辺部を部分的に延ばした形状の八角形に形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明を適用した基板処理装置を平面視したときの概略構成図である。
【図２】本発明を適用した別の基板処理装置を平面視したときの概略構成図である。
【図３】従来の基板処理装置を平面視したときの概略構成図である。
【符号の説明】
【００３９】
１・・基板処理装置、３・・ロード室、５・・アンロード室、６・・基板搬送ロボット、１１〜１６・・チャンバー、４１〜４５・・搬送路、７１〜７６・・処理ステーション、１００・・処理室
【図１】
2008198758.tif 000003
【図２】
2008198758.tif 000004
【図３】
2008198758.tif 000005