(57)【要約】  【課題】磁気ディスク装置に用いる磁気記録媒体へのサーボパターン書き込みに使用されるマスタ担体を使用する磁気転写装置において、磁気記録媒体のサーボ領域以外の非転写領域において、マスタ担体が撓み、磁気転写時に本来転写を必要としない領域がマスタ担体と接触することを回避し、これにより、磁気記録媒体表面に塗布された潤滑剤がサーボ領域以外の非転写領域において剥離したり、不要な接触による汚れの付着を防止する磁気転写装置を提供することを目的とする。【解決手段】マスタ担体とスレーブ媒体との対向部にスレーブ媒体の外周部とマスタ担体とで挟むリング状のスペーサを設け、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に正圧を生じさせ、サーボ領域以外の領域においてマスタ担体とスレーブ媒体とが互いに接触しないようにする。 【選択図】図１
2008130204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気転写用マスタ担体を用いる磁気転写装置において、
マスタ担体とスレーブ媒体との対向部に前記スレーブ媒体の少なくとも外周部と前記マスタ担体とで挟まれる弾性部材よりなるリング状のスペーサと、
前記スペーサを介して前記マスタ担体と前記スレーブ媒体とを前記スペーサを圧縮する方向に加圧することにより、前記マスタ担体と前記スレーブ媒体と前記スペーサとに囲まれた空間に正圧を生じさせる加圧手段とを有することを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記マスタ担体と前記スレーブ媒体と前記スペーサとに囲まれた前記空間に加圧された気体を満たし正圧を生じさせる加圧手段をさらに設けたことを特徴とする請求項１記載の磁気転写装置。
【請求項３】
磁気転写用マスタ担体を用いる磁気転写装置において、
マスタ担体とスレーブ媒体との対向部に前記スレーブ媒体の少なくとも外周部と前記マスタ担体とで挟まれる剛性部材よりなるリング状のスペーサと、
前記スペーサを介して前記マスタ担体と前記スレーブ媒体とを前記スペーサを圧縮する方向に近接させ前記マスタ担体と前記スレーブ媒体と前記スペーサとに囲まれた空間に加圧された気体を満たし正圧を生じさせる加圧手段を設けたことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３記載の磁気転写装置を用いて製造された磁気ディスク媒体。
【請求項５】
前記磁気ディスク媒体を有する磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
磁気ディスク装置に使用される磁気記録媒体にサーボパターンを書き込む磁気転写装置に関し、特に、磁気記録媒体であるスレーブ媒体の表面に、サーボパターンに対応する磁性体を備えた磁気転写のマスタ担体を磁界印加しながら接触させ、スレーブ媒体表面にサーボパターンを磁気転写させる磁気転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のハードディスクの高密度化に伴い、ディスクのデータ領域の記録密度が増加するに従って、磁気ヘッドの位置決めに必要なサーボ信号の書込においても、さらなる高密度化が求められている。
【０００３】
磁気ディスク装置において、磁気ディスク媒体上の磁気ヘッドの位置決めをするために、データ領域と交互にサーボ領域が形成されている。従来、サーボ領域に書き込まれたサーボデータはＳｅｒｖｏＴｒａｃｋ Ｗｒｉｔｅｒによって、専用ヘッドを用いて記録されてきた。磁気ディスク媒体上のサーボ領域では、磁気ヘッドに対して上流側から順番にプリアンブル域、サーボマーク域およびサーボデータ域が区画される。プリアンブル域では、周方向に沿って均一な間隔で交互に正負の磁極が形成される。サーボデータ域では、半径方向に変化する所定のパターンで磁極が形成される。
【０００４】
磁気ディスク装置ではプリアンブル域で読み出される磁気情報から同期信号が得られる。
【０００５】
サーボデータ域から読み出される磁気情報に基づきヘッドは正確に記録トラック上に位置決めされる。
【０００６】
従来のＳｅｒｖｏ Ｔｒａｃｋ Ｗｒｉｔｅｒによりサーボデータを書き込むＳＴＷ（ＳＥＲＶＯ  ＴＲＡＣＫ  ＷＲＩＴＩＮＧ）方法においては、書込データの高密度化に伴い、磁気記録媒体１枚あたりのサーボ情報書込に要する時間の増加が、ハードディスク装置の量産時のネックとされている。これに対しては、磁気転写法を用いたＳＴＷ方法が提案されている。磁気転写法とは、予めサーボ情報が記録されたマスタ担体を磁界印加しながら媒体に密着することにより磁気記録媒体であるスレーブ媒体にサーボ情報を記録するというものである。
【０００７】
マスタ担体の構造は、図４の磁気転写用マスタ担体の一例に示されるように、円板状のマスタ担体４０の表面に湾曲して放射状に複数のサーボ領域４１が延びていて、サーボ領域４１内は凹凸部からなるサーボパターン４２が形成され、隣り合うサーボ領域４１とサーボ領域４１と間にあるスレーブ媒体のデータ領域対応部４３は凹んでいる。
【０００８】
湾曲状の黒色で示されたサーボ領域４１は、サーボパターン４２が転写された後のスレーブ媒体（図示省略）が磁気ディスク装置に組み込まれ、スレーブ媒体表面の内外周端部内を、説明のために図示されている磁気ヘッド４４が回転型ポジショナ４５により扇状に左右に回転駆動され、スレーブ媒体表面に転写されたサーボパターンを読み出すようになっており、サーボ領域４１の幅は実際には、マスタ担体４０の内周側で狭く、外周側では広くなっている。
【０００９】
図５は、従来の磁気転写装置の一例を示す。ａ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを近接する前の時点における要部を示し、ｂ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを近接させ磁気転写している時点における要部を示す。マスタ担体５０は、その表面にＮｉの薄い板にエッチング技術で作られたサーボパターン５４と内周部突起５２と外周部突起５３が設けられ、図示されていない補強用部材で裏打ちされている。
【００１０】
図において、マスタ担体５０の表面にはサーボパターン５４と、サーボパターン５４の凸部と同じ高さの内周部突起５２、同様にサーボパターン５４の凸部と同じ高さの外周部突起５３とが設けられ、内周部突起５２と外周部突起５３はそれぞれスレーブ媒体５１の内外周近くに対応する箇所に同心円状に均一にサーボパターン５４の凸部と同じ高さで作られている。スレーブ媒体５１には、ガラス基板の表面にマスタ担体５０上のサーボパターン５４の設けられている面側に磁気記録層が設けられている（図示省略）。マスタ担体用回転軸付きホルダ５５に保持されたマスタ担体５０とスレーブ媒体用回転軸付きホルダ５６に保持されたスレーブ媒体５１は、図示されていない磁気転写装置のマスタ担体５０とスレーブ媒体５１との位置合わせ機構制御部によってそれぞれの回転中心軸及び相対回転角度が合わされ、マスタ担体５０とスレーブ媒体５１との表面が接し、互いにずれることなく回転しながら、電磁石５７によって磁気転写に必要な外部磁界がマスタ担体５０とスレーブ媒体５１とに加えられ磁気転写が行われる。
【００１１】
この磁気転写法をハードディスク装置に用いる磁気記録媒体の量産に適用するにあたり、スレーブ媒体表面に設けられている潤滑剤がマスタ担体に接触し、マスタ担体に潤滑剤が付着することにより引き起こされる問題を考慮しなければならない。すなわち、スレーブ媒体に塗布された潤滑剤がサーボ領域以外の非転写領域の広範囲に渡り剥離すること、およびマスタ担体に付着したコンタミ（夾雑物・不純物・異物・汚染物等）がスレーブ媒体に再付着する可能性が高くなるといった問題が生ずることが考えられる。
【００１２】
スレーブ媒体の非転写領域がマスタ担体と接触すること自体が問題ということになる。スレーブ媒体の非転写領域とマスタ担体との接触を回避するための関連する公知例として、特開２００２−２５１７２１号公報においては、磁気転写用マスタ担体の非転写領域に、転写時におけるスレーブ媒体と転写領域に形成される凹凸パターンとの接触圧を低減するための凸部を設け、マスタ担体の寿命を伸ばす技術が開示され、また、特開２００４−７９０５９号公報においては、マスタ担体は、スレーブ媒体である磁気記録媒体と接触する部分に、その部分の平均面からの高さが１００ｎｍ以下の複数の突起を形成し、平均面からの高さが５０ｎｍ以上の突起が９０μｍ２当たり３０個以下、かつ平均面からの高さが２ｎｍ以上の突起が９０μｍ２当たり５個以上、３００個以下の割合で形成する。スレーブ媒体と接触する部分に突起がない場合と比較して、スレーブ媒体との密着時に、エアが抜きやすくなり、空気だまりが発生しにくくなると共に、突起によるスペーシングロスによる密着不良を生じることなく密着性を向上させ、この密着性の向上により、信号抜けの発生を防止して転写信号の記録品質を高める。また、スレーブ媒体と密着させて転写した後、スレーブ媒体と剥離する際に剥離しにくくなるとマスタ担体もしくはスレーブ媒体に余計な力を加える必要が生じ、これが破損の原因になることもあるが、真実接触面積が小さければ剥離しやすくなり、破損の一因を排除することができる旨の技術が記載されている。
【００１３】
図６は、従来の磁気転写装置の一例詳細図である。図５におけるマスタ担体５０とスレーブ媒体５１との関係をさらに詳細に図示する断面図である。
【００１４】
ａ）図はマスタ担体断面図、ｂ）図はマスタ担体とスレーブ媒体との合わせ断面図、ｃ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを押し付け合わせたときの断面図である。
【００１５】
ａ）図において、マスタ担体６０の表面にはサーボパターン６４と、サーボパターン６４の凸部と同じ高さの内周部突起６２、同様にサーボパターン６４の凸部と同じ高さの外周部突起６３とが設けられ、内周部突起６２と外周部突起６３はそれぞれ以下で説明するスレーブ媒体の内外周近くに対応する箇所に同心円状に均一にサーボパターン６４の凸部と同じ高さで作られている。マスタ担体６０の中心軸は中心軸６５で表わされている。
【００１６】
ｂ）図において、スレーブ媒体６１には、ガラス基板の表面にマスタ担体６０上のサーボパターン６４の設けられている面側に磁気記録層が設けられている（図示省略）。
【００１７】
ｃ）図において、マスタ担体用回転軸付きホルダ６６に保持されたマスタ担体６０とスレーブ媒体用回転軸付きホルダ６７に保持されたスレーブ媒体６１は、図示されていない磁気転写装置のマスタ担体６０とスレーブ媒体６１との位置合わせ機構制御部によってそれぞれの回転中心軸及び相対回転角度が合わされ、マスタ担体６０とスレーブ媒体６１との表面が接する。
【００１８】
ここにおいて、スレーブ媒体６１は基板がガラスであって剛性を有するのに対し、マスタ担体６０は、例えば、厚さ数１００μｍ程度の薄いＮｉの板に補強の役目をする合成樹脂製のサブマスタを貼り付けてあり、サーボ領域以外の非転写領域では図に示されるごとく、サブマスタが撓む。図は半径方向の断面を示した図であり、トラック方向に注目したときには更に、磁気転写時に本来転写を必要としないスレーブ媒体のデータ領域（非転写領域）はサブマスタと容易に接触しやすくなっている。
【００１９】
すなわち、磁気記録媒体の量産時に上記の公知例のような構造のマスタ担体を適用した場合においても、サーボ領域間距離がサーボパターン高さ（数10ｎｍ〜数１００ｎｍ）の例えば１００００倍程度であるため、隣接サーボ領域間でのマスタ担体表面とスレーブ媒体表面との接触を回避するには不十分である。接触する必要がない箇所が、マスタ担体表面の平面度や僅かな撓み等により、接触するのを防止するのは困難である。たとえ、サブマスタの部材を合成樹脂の代わりに金属としても、マスタ担体表面の平面度、撓みによるスレーブ媒体表面との接触は起こりうる。
【００２０】
ここで、図６においては、スレーブ媒体の基板は例えばガラスでできており、マスタ担体に対し十分な剛性をもつため、転写圧着時のスレーブ媒体の変位はマスタ担体の変位に比較して無視するものとして描かれている。
【特許文献１】特開２００２−２５１７２１号公報
【特許文献２】特開２００４−７９０５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明は、磁気ディスク装置に用いる磁気記録媒体へのサーボパターン書き込みに使用される磁気転写装置において、磁気記録媒体のサーボ領域以外の非転写領域において、マスタ担体が撓み、磁気転写時に本来転写を必要としない領域がマスタ担体と接触することを回避し、これにより、磁気記録媒体表面に塗布された潤滑剤がサーボ領域以外の非転写領域において剥離したり、不要な接触による汚れの付着を防止する磁気転写装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明の請求項１に記載の発明は、磁気転写用マスタ担体を用いる磁気転写装置において、マスタ担体とスレーブ媒体との対向部に前記スレーブ媒体の少なくとも外周部と前記マスタ担体とで挟まれる弾性部材よりなるリング状のスペーサと、前記スペーサを介して前記マスタ担体と前記スレーブ媒体とを前記スペーサを圧縮する方向に加圧することにより、前記マスタ担体と前記スレーブ媒体と前記スペーサとに囲まれた空間に正圧を生じさせる加圧手段とを有することを特徴とする磁気転写装置である。
【００２３】
図１に本発明による磁気転写装置の第１の実施例を示す。ａ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを近接する前の時点における要部を示し、ｂ）図はマスタ担体とスレーブ媒体との間に弾性部材よりなるリング状のスペーサをスレーブ媒体の外周部に近い対応箇所に１個設け、ｃ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを弾性部材よりなるリング状の外周部スペーサを介して近接させ、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサに囲まれた空間に正圧力を生じさせて磁気転写している時点における要部を示す。
【００２４】
マスタ担体１０とスレーブ媒体１１との対向部に、スレーブ媒体１１の外周部に近い位置とマスタ担体１０とで挟む弾力性のあるリング状の外周部スペーサ１３を設ける。外周部スペーサ１３は、例えば、ネオプレンゴムでできており、図示のごとく矩形の断面形状をしたリング状のスペーサであって、外周部スペーサ１３の初期高さはサーボパターン１４の凸部よりも高く、弾力性を有するスペーサは、マスタ担体１０を保持するマスタ担体用回転軸付きホルダ１５とスレーブ媒体１１を保持するスレーブ媒体用回転軸付きホルダ１６によりマスタ担体１０とスレーブ媒体１１との位置合わせが行なわれ、磁気転写時にはサーボパターン１４の凸部の高さまで収縮される。このとき、マスタ担体１０とスレーブ媒体１１と外周部スペーサ１３とに囲まれた空間の空気は閉じ込められ、磁気転写時には、内部に所定の正圧力がかかるようになっている。
【００２５】
内部に閉じ込められた空気の圧力により、マスタ担体１０が前記空間内に撓もうとする力を打ち消し、サーボパターン１４の設けられたサーボ領域（図示省略）以外の領域においてスレーブ媒体１１とマスタ担体１０が接触するのを防止し、この状態で図ｃ）に示す回転方向にスレーブ媒体１１とマスタ担体１０は回転し、電磁石１７（リード線は図示省略）が外部磁界を発生させながらスレーブ媒体用回転軸付きホルダの外側を半径方向に移動することにより、数１００μｍ厚さのＮｉでできたマスタ担体１０の表面に形成されている、表面が凹凸でできたサーボパターン１４をスレーブ媒体１１に磁気的に転写する。
【００２６】
ここで、電磁石１７は永久磁石であっても構わない。また、マスタ担体１０とスレーブ媒体１１が上下反対の位置にあってもよい。さらに、マスタ担体１０とスレーブ媒体１１は複数枚であってもよく、スレーブ媒体１１は片面あるいは両面のどちらの面に磁気記録
媒体層を有するものであっても構わない。
【００２７】
請求項１に記載の発明によれば、マスタ担体とスレーブ媒体との対向部にスレーブ媒体の少なくとも外周部とマスタ担体とで挟む弾性部材よりなるリング状のスペーサを設け、スペーサを介してマスタ担体とスレーブ媒体とをスペーサを圧縮する方向に加圧することにより、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に正圧を生じさせ、サーボ領域以外の領域においてマスタ担体とスレーブ媒体とが互いに接触しないようにすることを特徴とする磁気転写装置である。
【００２８】
マスタ担体とスレーブ媒体との対向部にスレーブ媒体の少なくとも外周部とマスタ担体とで挟む弾力性のあるリング状のスペーサを設置する。このスペーサの初期高さはサーボパターンの凸部よりも高く、磁気転写時には弾力性を有するスペーサは、サーボパターンの凸部の高さまで収縮される。このとき、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間の空気は閉じ込められ、外部に空気が漏れない構造とすることにより、磁気転写時には内部に所定の正圧力がかかるようになっている。
【００２９】
例えば、ネオプレン製のスペーサをマスタ担体とスレーブ媒体との間に挟み、マスタ担体とスレーブ媒体の外側にそれぞれ補強板を介してスペーサを圧縮し、マスタ担体とスレーブ媒体とがマスタ担体上に設けられたサーボバターンの凸部で接する高さまで圧縮した時、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に数気圧〜数１０気圧の正圧力を生じさせることにより、マスタ担体とスレーブ媒体とがサーボ領域以外の領域において接触しないようにしている。
【００３０】
ここで、マスタ担体とスレーブ媒体との対向部にスレーブ媒体の少なくとも外周部とマスタ担体とで挟む弾力性のあるリング状のスペーサを設置するとしており、例えば、スレーブ媒体の外周部に１つ、そしてスレーブ媒体の内周部に１つ弾力性のあるリング状のスペーサといったように複数のスペーサを設置しても構わない。
【００３１】
また、本発明における磁気転写装置は、垂直磁気記録媒体、水平面内磁気記録媒体いずれの磁気記録媒体をスレーブ媒体とする場合も含まれる。さらに、スレーブ媒体を複数枚重ねて磁気転写する場合も含まれる。
【００３２】
また、スレーブ媒体の磁気記録面が片面、両面、どちらの場合であっても構わない。
【００３３】
本発明の請求項２に記載の発明は、前記マスタ担体と前記スレーブ媒体と前記スペーサとに囲まれた前記空間に加圧された気体を満たし正圧を生じさせる加圧手段をさらに設けたことを特徴とする請求項１記載の磁気転写装置である。
【００３４】
請求項２に記載の発明によれば、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間の正圧力の制御をより正確に行うため、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に外部より、例えば、高圧アルゴンガス・ボンベにより供給される高圧アルゴンガスを導入し、磁気転写装置に備えられた圧力計にて空間の圧力を確認する構造とすることにより、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間の圧力を、スペーサの初期高さから圧縮が始まりマスタ担体のサーボパターンの凸部とスレーブ媒体の磁気記録面とが接触するまで、所望の圧力に制御しながらマスタ担体とスレーブ媒体とを近接させることができ、かつ、磁気転写時には所望の圧力を保つことができる。
【００３５】
本発明の請求項３に記載の発明は、磁気転写用マスタ担体を用いる磁気転写装置において、マスタ担体とスレーブ媒体との対向部に前記スレーブ媒体の少なくとも外周部と前記マスタ担体とで挟まれる剛性部材よりなるリング状のスペーサと、前記スペーサを介して前記マスタ担体と前記スレーブ媒体とを前記スペーサを圧縮する方向に近接させ前記マスタ担体と前記スレーブ媒体と前記スペーサとに囲まれた空間に加圧された気体を満たし正圧を生じさせる加圧手段を設けたことを特徴とする磁気転写装置である。
【００３６】
請求項３に記載の発明によれば、リング状のスペーサの部材を例えば、Ｎｉあるいはステンレススチールとし、厚さをマスタ担体上に設けられたサーボバターンの凸部の高さと同じかそれ以上の厚さとした平板な矩形断面を有するリング状スペーサを、スレーブ媒体の外周に近い内側に１箇所、あるいはスレーブ媒体の外周に近い内側とスレーブ媒体の内周に近い内側とのそれぞれ各１箇所に設けることにより、マスタ担体とスレーブ媒体とを接し、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に外部より、例えば、高圧アルゴンガス・ボンベにより供給される１０気圧〜数１００気圧の正圧力を生じさせることにより、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に大きな正圧力を生じさせ、マスタ担体とスレーブ媒体とがサーボ領域以外の領域においてさらに接触しにくくすることができる。
【００３７】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３記載の磁気転写装置を用いて製造された磁気ディスク媒体である。
【００３８】
本発明の請求項５に記載の発明は、前記磁気ディスク媒体を有する磁気ディスク装置である。
【発明の効果】
【００３９】
本発明により、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとにより囲まれた空間を正圧力に保つことにより、スレーブ媒体のサーボ領域以外のデータ領域に相当する部分がマスタ担体に接触することを防いでマスタ担体の寿命を延ばすことができる。さらに、スレーブ媒体の表面に不要な異物を付着させることなく、スレーブ媒体の品質劣化を回避することができる。また、スレーブ媒体の内外周近くにスペーサを設けることにより、マスタ担体のサーボパターンの凸部がスレーブ媒体にかかる圧力を均一化することで、媒体全面のサーボパターンの転写ムラを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
本発明は、マスタ担体とスレーブ媒体との対向部にスレーブ媒体の外周部とマスタ担体とで挟むリング状のスペーサを設け、スペーサを介してマスタ担体とスレーブ媒体とをスペーサを圧縮する方向に加圧することにより、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサとに囲まれた空間に正圧を生じさせ、サーボ領域以外の領域においてマスタ担体とスレーブ媒体とが互いに接触しないようにすることを特徴とする。
【００４１】
前述のように、図１は本発明による磁気転写装置の第１の実施例を示すものである。図中のａ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを近接する前の時点における要部を示し、ｂ）図はマスタ担体とスレーブ媒体との間に弾性部材よりなるリング状のスペーサをスレーブ媒体の外周部に近い対応箇所に１個設け、ｃ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを弾性部材よりなるリング状の外周部スペーサを介して近接させ、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサに囲まれた空間に正圧力を生じさせて磁気転写している時点における要部を示す。
【００４２】
マスタ担体１０とスレーブ媒体１１との対向部に、スレーブ媒体１１の外周部に近い位置とマスタ担体１０とで挟む弾力性のあるリング状の外周部スペーサ１３を設ける。外周部スペーサ１３は、例えば、ネオプレンゴムでできており、図示のごとく矩形の断面形状をしたリング状のスペーサであって、外周部スペーサ１３の初期高さはサーボパターン１４の凸部よりも高く、弾力性を有するスペーサは、マスタ担体１０を保持するマスタ担体用回転軸付きホルダ１５とスレーブ媒体１１を保持するスレーブ媒体用回転軸付きホルダ１６によりマスタ担体１０とスレーブ媒体１１との位置合わせが行なわれ、磁気転写時にはサーボパターン１４の凸部の高さまで収縮される。
【００４３】
このとき、マスタ担体１０とスレーブ媒体１１と外周部スペーサ１３とに囲まれた空間の空気は閉じ込められ、磁気転写時には、内部に所定の正圧力がかかるようになっている。
【００４４】
内部に閉じ込められた空気の圧力により、マスタ担体１０が前記空間内に撓もうとする力を打ち消し、サーボパターン１４の設けられたサーボ領域（図示省略）以外の領域においてスレーブ媒体１１とマスタ担体１０が接触するのを防止し、この状態で図ｃ）に示す回転方向にスレーブ媒体１１とマスタ担体１０は回転し、電磁石１７（リード線は図示省略）が外部磁界を発生させながらスレーブ媒体用回転軸付きホルダの外側を半径方向に移動することにより、数１００μｍ厚さのＮｉでできたマスタ担体１０の表面に形成されている、表面が凹凸でできたサーボパターン１４をスレーブ媒体１１に磁気的に転写する。
【００４５】
ここで、電磁石１７は永久磁石であっても構わない。また、マスタ担体１０とスレーブ媒体１１が上下反対の位置にあってもよい。さらに、マスタ担体１０とスレーブ媒体１１は複数枚であってもよく、スレーブ媒体１１は片面あるいは両面のどちらの面に磁気記録
媒体層を有するものであっても構わない。
【００４６】
図２に本発明による磁気転写装置の第２の実施例を示す。ａ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを近接する前の時点における要部を示し、ｂ）図はマスタ担体とスレーブ媒体との間に弾性部材よりなるリング状のスペーサをスレーブ媒体の外周部に近い対応箇所に１個、内周部に近い対応箇所に１個、各々設け、ｃ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを弾性部材よりなるリング状の外周部スペーサと内周部スペーサを介して近接させ、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサに囲まれた空間に正圧力を生じさせて磁気転写している時点における要部を示す。
【００４７】
マスタ担体２０とスレーブ媒体２１との対向部にスレーブ媒体２１の外周部とマスタ担体２０とで挟む弾力性のあるリング状の外周部スペーサ２３と、スレーブ媒体２１の内周部とマスタ担体２０とで挟む弾力性のあるリング状の内周部スペーサ２２とを設ける。
【００４８】
内周部スペーサ２２および外周部スペーサ２３は、例えば、ネオプレンゴムでできており、図示のごとく矩形の断面形状をしたリング状のスペーサであって、内周部スペーサ２２および外周部スペーサ２３の初期高さはサーボパターン２４の凸部よりも高く、弾力性を有する内周部スペーサ２２および外周部スペーサ２３は、マスタ担体２０を保持するマスタ担体用回転軸付きホルダ２５とスレーブ媒体２１を保持するスレーブ媒体用回転軸付きホルダ２６によりマスタ担体２０とスレーブ媒体２１との位置合わせが行なわれ、磁気転写時にはサーボパターン２４の凸部の高さまで収縮される。このとき、マスタ担体２０、スレーブ媒体２１、内周部スペーサ２２、および外周部スペーサ２３とに囲まれた空間の空気は閉じ込められ、磁気転写時には、内部に所定の正圧力がかかるようになっている。
【００４９】
内部に閉じ込められた空気の圧力により、マスタ担体２０が前記空間内に撓もうとする力は打ち消され、サーボパターン２４の設けられたサーボ領域（図示省略）以外の領域においてスレーブ媒体２１とマスタ担体２０が接触するのを防止し、この状態で図ｃ）に示す回転方向にスレーブ媒体２１とマスタ担体２０は回転し、電磁石２７（リード線は図示省略）が外部磁界を発生させながらスレーブ媒体用回転軸付きホルダの外側を半径方向に移動することにより、数１００μｍ厚さのＮｉでできたマスタ担体２０の表面に形成されている、表面が凹凸でできたサーボパターン２４をスレーブ媒体２１に磁気的に転写する。
【００５０】
ここで、電磁石２７は永久磁石であっても構わない。また、マスタ担体２０とスレーブ媒体２１が上下反対の位置にあってもよい。さらに、マスタ担体２０とスレーブ媒体２１は複数枚であってもよく、スレーブ媒体２１は片面あるいは両面のどちらの面に磁気記録
媒体層を有するものであっても構わない。
【００５１】
外周部スペーサ２３に加えて内周部スペーサ２２を設けることにより、マスタ担体２０とスレーブ媒体２１との近接をより安定なものとすることができる。
【００５２】
図３に本発明による磁気転写装置の第３の実施例を示す。ａ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを近接する前の時点における要部を示し、ｂ）図はマスタ担体とスレーブ媒体との間に弾性部材よりなるリング状のスペーサをスレーブ媒体の外周部に近い対応箇所に１個、内周部に近い対応箇所に１個、各々設け、ｃ）図はマスタ担体とスレーブ媒体とを弾性部材よりなるリング状の外周部スペーサと内周部スペーサを介して近接させ、マスタ担体とスレーブ媒体とスペーサに囲まれた空間に正圧力を生じさせて磁気転写している時点における要部を示す。
【００５３】
マスタ担体３０とスレーブ媒体３１との対向部にスレーブ媒体３１の外周部とマスタ担体３０とで挟む弾力性のあるリング状の外周部スペーサ３３と、スレーブ媒体３１の内周部とマスタ担体３０とで挟む弾力性のあるリング状の内周部スペーサ３２とを設ける。
【００５４】
内周部スペーサ３２および外周部スペーサ３３は、例えば、ネオプレンゴムでできており、図示のごとく矩形の断面形状をしたリング状のスペーサであって、かつ、マスタ担体３０のスペーサが設けられる位置には、図に示すような切欠き３８が設けられている。
【００５５】
内周部スペーサ３２および外周部スペーサ３３の初期高さにおいては、サーボパターン３４の凸部がスレーブ媒体３１の表面に当たらないようになっており、弾力性を有する内周部スペーサ３２および外周部スペーサ３３は、マスタ担体３０を保持するマスタ担体用回転軸付きホルダ３５とスレーブ媒体３１を保持するスレーブ媒体用回転軸付きホルダ３６によりマスタ担体３０とスレーブ媒体３１との位置合わせが行なわれ、磁気転写時にはサーボパターン３４の凸部の高さまで収縮される。このとき、マスタ担体３０、スレーブ媒体２１、内周部スペーサ３２、および外周部スペーサ３３とに囲まれた空間の空気は閉じ込められ、磁気転写時には、内部に所定の正圧力がかかるようになっている。
【００５６】
内部に閉じ込められた空気の圧力により、マスタ担体３０が前記空間内に撓もうとする力は打ち消され、サーボパターン３４の設けられたサーボ領域（図示省略）以外の領域においてスレーブ媒体３１とマスタ担体３０が接触するのを防止し、この状態で図ｃ）に示す回転方向にスレーブ媒体３１とマスタ担体３０は回転し、電磁石３７（リード線は図示省略）が外部磁界を発生させながらスレーブ媒体用回転軸付きホルダの外側を半径方向に移動することにより、数１００μｍ厚さのＮｉでできたマスタ担体３０の表面に形成されている、表面が凹凸でできたサーボパターン２４をスレーブ媒体２１に磁気的に転写する。
【００５７】
ここで、電磁石３７は永久磁石であっても構わない。また、マスタ担体３０とスレーブ媒体３１が上下反対の位置にあってもよい。さらに、マスタ担体３０とスレーブ媒体３１は複数枚であってもよく、スレーブ媒体３１は片面あるいは両面のどちらの面に磁気記録
媒体層を有するものであっても構わない。
【００５８】
マスタ担体３０のスペーサが設けられる位置には切欠き３８が設けられているため、スペーサの初期厚さを大きくとることができ、マスタ担体３０とスレーブ媒体３１とを近接させるまでに大きな変位を設定することができるため、マスタ担体３０、スレーブ媒体３１、及び弾力性のあるリング状の内周部スペーサ３２外周部スペーサ３３とにより形成れる空間により正確な正圧を加えることができる。
【００５９】
図７は、本発明による磁気転写装置の第４の実施例を示す。図はマスタ担体７０とスレーブ媒体と７１を弾性部材よりなるリング状の内周部スペーサ７２と外周部スペーサ７３を介して近接させ、マスタ担体７０とスレーブ媒体７１と内周部スペーサ７２と外周部スペーサ７３に囲まれた空間に正圧力を生じさせると共に、外部からマスタ担体７０とスレーブ媒体７１と内周部スペーサ７２と外周部スペーサ７３に囲まれた空間に所望の正圧を保ちながら磁気転写している時点における要部を示す。
【００６０】
マスタ担体７０とスレーブ媒体７１との対向部にスレーブ媒体７１の内周部とマスタ担体７０とで挟む弾力性のあるリング状の内周部スペーサ７２と、スレーブ媒体７１の外周部とマスタ担体７０とで挟む弾力性のあるリング状の外周部スペーサ７３とを設ける。
【００６１】
内周部スペーサ７２および外周部スペーサ７３は、例えば、ネオプレンゴムでできており、図示のごとく矩形の断面形状をしたリング状のスペーサであって、かつ、マスタ担体７０のスペーサが設けられる位置には、図に示すような切欠きが設けられている。
【００６２】
内周部スペーサ７２および外周部スペーサ７３の初期高さにおいては、サーボパターン７４の凸部がスレーブ媒体７１の表面に当たらないようになっており、弾力性を有する内周部スペーサ７２および外周部スペーサ７３は、マスタ担体７０を保持するマスタ担体用回転軸付きホルダ７５とスレーブ媒体７１を保持するスレーブ媒体用回転軸付きホルダ７６によりマスタ担体７０とスレーブ媒体７１との位置合わせが行なわれ、磁気転写時にはサーボパターン７４の凸部の高さまで収縮される。
【００６３】
このとき、マスタ担体７０、スレーブ媒体７１、内周部スペーサ７２、および外周部スペーサ７３とで囲まれた空間の空気は閉じ込められ、磁気転写時には、内部に所定の正圧力がかかるようになっている。
【００６４】
内部に閉じ込められた空気の圧力により、マスタ担体７０が前記空間内に撓もうとする力は打ち消され、サーボパターン７４の設けられたサーボ領域（図示省略）以外の領域においてスレーブ媒体７１とマスタ担体７０が接触するのを防止し、この状態で図に示す回転方向にスレーブ媒体７１とマスタ担体７０は回転し、電磁石７７（リード線は図示省略）が外部磁界を発生させながらスレーブ媒体用回転軸付きホルダ７６の外側を半径方向に移動することにより、数１００μｍ厚さのＮｉでできたマスタ担体７０の表面に形成されている、表面が凹凸でできたサーボパターン７４をスレーブ媒体７１に磁気的に転写する。
【００６５】
本実施例においては、さらに、マスタ担体用回転軸付きホルダ７５の内部には高圧ガスジャケット７８が設けられ、圧縮された空気、窒素ガス、アルゴンガス等を、例えば、図示されていない高圧ガスボンベから、回転可能なマスタ担体用回転軸付きホルダ７５の軸の内部に設けられた高圧ガス注入口７８−１から注入できるようになっている。高圧ガスジャケット７８からはマスタ担体７０を貫いた管を通して、マスタ担体７０、スレーブ媒体７１、内周部スペーサ７２、および外周部スペーサ７３とで囲まれた空間に所望の気体を供給できるようになっている。
【００６６】
ここで、電磁石７７は永久磁石であっても構わない。また、マスタ担体７０とスレーブ媒体７１が上下反対の位置にあってもよい。さらに、マスタ担体７０とスレーブ媒体７１は複数枚であってもよく、スレーブ媒体７１は片面あるいは両面のどちらの面に磁気記録
媒体層を有するものであっても構わない。
【００６７】
高圧ガスジャケット７８には、圧力計７９が取り付けられ、圧力を確認しながら、図示されていない磁気転写装置の制御部によって任意の圧力に保てるようになっているため、必要に応じて高い精度でマスタ担体７０、スレーブ媒体７１、内周部スペーサ７２、および外周部スペーサ７３とで囲まれた空間に所望の種類の気体を所望の圧力で満たすことができる。
【００６８】
図８は本発明による磁気転写装置の第５の実施例を示す。図はマスタ担体８０とスレーブ媒体８１とを剛性部材よりなるリング状の内周部スペーサ８２と外周部スペーサ８３を介して近接させ、マスタ担体７０とスレーブ媒体７１と内周部スペーサ８２と外周部スペーサ８３に囲まれた空間を、外部より高圧の気体を供給することにより、所望の正圧力に保って磁気転写している時点における要部を示す。
【００６９】
剛性部材よりなるリング状の内周部スペーサ８２と外周部スペーサ８３は、例えば、Ｎｉあるいはステンレススチールとし、厚さをマスタ担体８０上に設けられたサーボバターン８４の凸部の高さと同じ厚さとした平板な矩形断面を有するリング状スペーサであって、スレーブ媒体８１の内周に近い部分に１箇所、スレーブ媒体８１の外周に近い部分に１箇所設けられている。マスタ担体８０とスレーブ媒体８１とを近接し、マスタ担体８０とスレーブ媒体８１と内周部スペーサ８２と外周部スペーサ８３とに囲まれた空間に外部より、例えば、高圧アルゴンガス・ボンベにより供給される１０気圧〜数１００気圧の正圧力を生じさせることにより、マスタ担体８０とスレーブ媒体８１と内周部スペーサ８２と外周部スペーサ８３とに囲まれた空間に大きな正圧力を生じさせ、マスタ担体８０とスレーブ媒体８１とがサーボ領域以外の領域においてさらに接触しにくくすることができる。
【００７０】
マスタ担体用回転軸付きホルダ８５の内部には高圧ガスジャケット８８が設けられ、圧縮された空気、窒素ガス、アルゴンガス等を、例えば、図示されていない高圧ガスボンベから、回転可能なマスタ担体用回転軸付きホルダ８５の軸の内部に設けられた高圧ガス注入口８８−１から注入できるようになっている。高圧ガスジャケット８８からはマスタ担体８０を貫いた管を通して、マスタ担体８０、スレーブ媒体８１、内周部スペーサ８２、および外周部スペーサ８３とで囲まれた空間に所望の気体を供給できるようになっている。
【００７１】
ここで、電磁石８７は永久磁石であっても構わない。また、マスタ担体８０とスレーブ媒体８１が上下反対の位置にあってもよい。さらに、マスタ担体８０とスレーブ媒体８１は複数枚であってもよく、スレーブ媒体８１は片面あるいは両面のどちらの面に磁気記録
媒体層を有するものであっても構わない。
【００７２】
高圧ガスジャケット８８には、圧力計８９が取り付けられ、圧力を確認しながら、図示されていない磁気転写装置の制御部によって任意の圧力に保てるようになっているため、必要に応じて高い精度でマスタ担体８０、スレーブ媒体８１、内周部スペーサ８２、および外周部スペーサ８３とで囲まれた空間に所望の種類の気体を所望の圧力で満たすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明による磁気転写装置の第１の実施例
【図２】本発明による磁気転写装置の第２の実施例
【図３】本発明による磁気転写装置の第３の実施例
【図４】磁気転写用マスタ担体の一例
【図５】従来の磁気転写装置の一例
【図６】従来の磁気転写装置の一例詳細図
【図７】本発明による磁気転写装置の第４の実施例
【図８】本発明による磁気転写装置の第５の実施例
【符号の説明】
【００７４】
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０、８０  マスタ担体
１１、２１、３１、５１、６１、７１、８１  スレーブ媒体
２２、３２、７２、８２  内周部スペーサ
１３、２３、３３、７３、８３  外周部スペーサ
１４、２４、３４、５４、６４、７４、８４  サーボパターン
１５、２５、３５、５５、６５、７５、８５  マスタ担体用回転軸付きホルダ
１６、２６、３６、５６、６６、７６、８６  スレーブ媒体用回転軸付きホルダ
１７、２７、３７、５７、７７、８７  電磁石
４１  サーボ領域
４２  サーボパターン
４３  データ領域
４４  磁気ヘッド
４５  回転型ポジショナ
５２  内周部突起
５３  外周部突起
６７  中心軸
７８、８８  高圧ガスジャケット
７９、８９  圧力計    
【図１】
2008130204.tif 000003
【図２】
2008130204.tif 000004
【図３】
2008130204.tif 000005
【図４】
2008130204.tif 000006
【図５】
2008130204.tif 000007
【図６】
2008130204.tif 000008
【図７】
2008130204.tif 000009
【図８】
2008130204.tif 000010