(57)【要約】 【構成】  処理装置４の物品搬出入用のシャッタ８の周囲３方に、出退自在な庇２２を設ける。無人搬送車が到着すると、庇２２を前進させて処理装置４と無人搬送車の間の隙間を塞ぎ、処理装置４や無人搬送車からの高クリーン度の空気で物品の搬出入経路を充たす。搬出入後のシャッタ８等を閉じると、庇２２を後退させて無人搬送車の走行を容易にする。【効果】  無人搬送車と処理装置との隙間から、低クリーン度の空気が物品側に侵入しない。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品の搬出入用の開口と該開口を覆うシャッタとを備えたクリーンルーム内装置であって、
前記開口の上部と左右双方とを囲むように設けたつばと、前記装置側に後退した状態と前記装置から進出した状態との間で、前記つばを出退させるための手段を設けたことを特徴とする、クリーンルーム内装置。  
【請求項２】
前記開口の上部でつばを上方へ突出させたことを特徴とする、請求項１のクリーンルーム内装置。
【請求項３】
処理装置もしくは搬送車の少なくともいずれかに請求項１または２の庇を設け、
搬送車が処理装置の近傍で停止すると前記つばを進出させて、搬送車と処理装置間の物品の搬出入経路の上部と左右とを囲むと共に、処理装置もしくは搬送車からの高クリーン度の空気で前記搬出入経路を充たした状態で、搬送車と処理装置のシャッタを開き、
搬送車と処理装置間での物品の搬出入を終えると、搬送車と処理装置のシャッタを閉じると共に、つばを後退させるようにした、クリーンルーム内システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体や液晶基板などの処理装置や搬送車などのクリーンルーム内装置と、クリーンルームシステムに関し、特に物品の移載時の防塵に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームでは搬送車と処理装置などとの間で、半導体や液晶基板などのカセットの搬出入を行う。このため処理装置や搬送車の物品保管スペースにシャッタを設けて、シャッタの内側の物品保管スペースを高クリーン度に保つ。なお処理装置や搬送車の外部はクリーン度の低い空気で充たされ、搬送車内や処理装置内を局所的にクリーン度の高い環境に保っている。そして搬送車と処理装置の間で物品を搬出入する際に、処理装置や搬送車側からファンフィルタユニットで処理したクリーンエアを吹き付け、搬送車と処理装置間の搬出入経路をクリーンに保つ（特許文献１：特開２００４−３６３２０７）。
【０００３】
しかしながら搬送車を処理装置に隙間無しに停止させることは困難なので、搬送車と処理装置の間には隙間ができる。この隙間からクリーン度の低い空気が入り込未、搬出入する物品を汚染するおそれがある。そこで処理装置や搬送車に庇を設けて、搬出入経路を庇で囲み、クリーン度の低い環境と遮断できれば良い。しかしながら搬送車を庇に隙間無しに停止させることは困難なので、単に庇を設けるだけでは問題は解決しない。
【特許文献１】特開２００４−３６３２０７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、処理装置への搬送車等の接近を妨げずに、処理装置と搬送車などの間の物品の搬出入経路をクリーンに保つことにある。
請求項２の発明での追加の課題は、物品の搬出入経路をさらにクリーンに保つことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、物品の搬出入用の開口と該開口を覆うシャッタとを備えたクリーンルーム内装置であって、
前記開口の上部と左右双方とを囲むように設けたつばと、前記装置側に後退した状態と前記装置から進出した状態との間で、前記つばを出退させるための手段を設けたことを特徴とする。  
好ましくは、前記開口の上部でつばを上方へ突出させる。
またこの発明では、処理装置もしくは搬送車の少なくともいずれかに上記の庇を設け、
搬送車が処理装置の近傍で停止すると前記つばを進出させて、搬送車と処理装置間の物品の搬出入経路の上部と左右とを囲むと共に、処理装置もしくは搬送車からの高クリーン度の空気で前記搬出入経路を充たした状態で、搬送車と処理装置のシャッタを開き、
搬送車と処理装置間での物品の搬出入を終えると、搬送車と処理装置のシャッタを閉じると共に、つばを後退させる。
【発明の効果】
【０００６】
この発明のクリーンルーム内装置では、庇のつばを処理装置や搬送車から出退自在にする。そしてつばを進出させると、処理装置や搬送車の開口の上部と左右双方を囲むので、搬送車と処理装置間の物品の搬出入経路にクリーン度の低い空気が入り込むことを防止できる。またつばは出退自在なので、処理装置や搬送車内に後退させると、搬送車の停止や走行を妨げない。
【０００７】
ここで開口の上部でつばの先端を上側に突出させると、庇の上部に接触した気流が、つばの先端から下向きに流れて物品の搬出入経路に進入することを防止できる。従って搬出入経路をさらにクリーンに保つことができる。
【０００８】
この発明のクリーンルーム内システムでは、搬送車が処理装置の近傍で停止すると、つばを進出させて搬送車と処理装置間の物品の搬出入経路の上部と左右とを囲う。そして処理装置もしくは搬送車から高クリーン度の空気を吹き出させて搬出入経路を充たし、処理装置と搬送車のシャッタを開いて、クリーンな環境下で物品を搬出入する。物品の搬出入を終えると、シャッタを閉じて開口を塞ぎ、つばを後退させて、搬送車を走行させる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１０】
図１〜図６に実施例とその変形とを示す。各図において、２はクリーンルームで、４は半導体処理装置や液晶表示パネルの製造装置などの処理装置で、検査装置を含むものとする。６は無人搬送車で、床面を無軌道で走行するが、有軌道台車や天井走行車等でも良く、またシャッタ付きの物品保管スペースを備えた手押し車でも良い。８は処理装置４側のシャッタ、１０は無人搬送車側のシャッタで、１２は処理装置４内のクリーンスペースで、物品１６を保管し、１３は無人搬送車６内のクリーンスペースで、同様に物品１６を保管する。１４は台で、物品１６を支持する。無人搬送車６にはスカラアーム１７などの移載装置を設け、処理装置４のクリーンスペース１２との間で物品１６の搬出入する。
【００１１】
処理装置４にはファンフィルタユニット１８を設けて、クリーンスペース１２に高クリーン度の空気を供給する。無人搬送車６にも同様のファンフィルタユニットを設けても良い。２０は無人搬送車６の車輪で、２１は駆動部であり、各車輪２０を独立に駆動することにより、無人搬送車６を走行させる。
【００１２】
処理装置４には、シャッタ８の上方及び左右双方を囲むように庇２２を設け、庇２２にはナット２５を設けて、ボールネジ２４とモータ２６とにより、処理装置４内に少なくとも部分的に収納された状態と、外側に進出した状態との間で進退させる。ボールネジ２４〜モータ２６により庇２２の出退手段を構成し、出退機構の種類は任意である。さらにシャッタ８の周囲で、処理装置４に庇２２の収納スペース２８を設ける。
【００１３】
庇２２はシャッタ８の周囲の３つのつば３６〜３８を備え、つば３６はシャッタ８の上側に、つば３７，３８はシャッタ８の左右にあり、これらは一体でつば３６〜３８の間に隙間は無い。そして上側のつば３６は、上方に突き出した突出部３０を備えている。つば３６〜３８は中間部３１に取り付けられ、中間部３１は基部３２に対して進退動できる。中間部３１には弾性体３４を設けて、つば３６〜３８が無人搬送車６のシャッタ１０に弾性的に接触し、基部３２に対して進退動できる。さらにつば３６〜３８の先端にウレタンゴムなどのフランジ３５を設けて、弾性体３４からの押圧力により、無人搬送車６のシャッタ１０の周囲に気密に接し、かつ無人搬送車６と接触しても発塵しないようにしてある。なおフランジ３５は、ウレタンゴムなどの弾性体に代えて、ポリテトラフルオラエチレンなどの合成樹脂で構成しても良い。庇２２には、つば３６〜３８以外に、シャッタ８の下部に排気口４１を残して、下部のつば４０を設けても良い。
【００１４】
実施例では、庇２２が無人搬送車６に衝突することを防止するため、弾性体３４を用いる。しかし処理装置４に、無人搬送車６との間隔を測定するためのセンサを設けて、庇２２の出退を制御しても良い。
【００１５】
実施例の動作を示す。無人搬送車６が処理装置４に向けて走行し停止するまでは、庇２２は収納スペース２８に収納されて、処理装置４から突き出していない。次に無人搬送車６が処理装置４に対して停止すると、ボールネジ２４やモータ２６により庇２２を無人搬送車６側へ前進させる。無人搬送車６の停止位置にはある程度の誤差が伴うが、この誤差分を弾性体３４で吸収し、庇２２と無人搬送車６との間に過大な力が働かないようにする。そしてつば３６〜３８は弾性体３４からの押圧力で、無人搬送車６のシャッタ１０の周囲に接触させて、無人搬送車６との隙間をシールする。
【００１６】
次いで例えば処理装置４側のシャッタ８を開いて、ファンフィルタユニット１８からの高クリーン度の空気を処理装置４と無人搬送車６との間のスペースに流し込む。この時、処理装置４と無人搬送車６との間の物品の搬出入経路では、上部がつば３６で覆われ、左右がつば３７，３８で覆われているので、周囲のクリーン度の低い空気が流れ込みにくい。そしてファンフィルタユニット１８から供給された空気は、つば３６〜３８で囲われた搬出入経路の下側から排気される。
【００１７】
ここで突出部３０は、庇２２の上部に衝突した低クリーン度の気流が、搬出入経路に入り込むのを防止する。なお無人搬送車６の天井面側から突出部３０へ衝突した気流も、突出部３０で向きを変えるため、搬出入経路へ進入しにくくなる。搬出入経路を高クリーン度の空気で置換すると、無人搬送車６側のシャッタ１０も開き、物品を移載する。物品の移載を完了するとシャッタ８，１０を閉じ、庇２２を収納スペース２８に格納し、無人搬送車６を発車させる。
【００１８】
実施例では処理装置４側に庇２２を設けたが、無人搬送車６側に設けても良い。この場合無人搬送車６にもファンフィルタユニットを設けることが好ましい。さらに庇２２を処理装置４と無人搬送車６の双方に設けても良く、このような変形例を図６に示す。図６の変形例は、庇２２を処理装置４と無人搬送車６の双方に設けた点以外は、図１〜図５の実施例と同様である。
【００１９】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  庇２２が出退自在なので、無人搬送車６が処理装置４の付近に停止あるいは発進することを妨げない。
(2)  つば３６〜３８で、処理装置４と無人搬送車６間の物品の搬出入経路を囲むので、クリーン度の低い空気が搬出入経路に進入しない。特につば３６〜３８に設けたフランジ３５を弾性体３４の押圧力で無人搬送車側に接触させるので、クリーン度の低い空気が入り込む隙間が塞がれる。
(3)  突出部３０により、庇２２の上部に衝突した低クリーン度の気流が、搬出入経路に入り込むのを防止できる。
(4)  つば３６〜３８は弾性体３４により支持されているので、処理装置４に対する無人搬送車６の停止位置のばらつきを吸収できる。このため距離センサなどを用いずに、庇２２と無人搬送車６との衝突を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例の処理装置に無人搬送車が横付けした状態を示す要部平面図
【図２】実施例の処理装置に無人搬送車が横付けした状態を示す要部側面図
【図３】実施例の処理装置の要部正面図
【図４】実施例の作用を示す図
【図５】実施例の庇の構造を示す図
【図６】無人搬送車と処理装置の双方に、実施例の庇を設けた状態を模式的に示す図
【符号の説明】
【００２１】
２          クリーンルーム
４          処理装置
６          無人搬送車
８，１０    シャッタ
１２，１３  クリーンスペース
１４        台
１６        物品
１８        ファンフィルタユニット
２０        車輪
２１        駆動部
２２        庇
２４        ボールネジ
２５        ナット
２６        モータ
２８        収納スペース
３０        突出部
３１        中間部
３２        基部
３４        弾性体
３５        フランジ
３６〜３８  つば
４０        つば
４１        排気口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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