(57)【要約】【課題】磁歪が大きく、機械的強度に優れるＦｅＧａＡｌ系合金、及びこれを用いた磁歪式トルクセンサを提供すること。【解決手段】ＦｅＧａＡｌ系合金は、（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｃｚ…（１）（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）で表される組成を有する。また、（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｂｚ…（２）（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）で表される組成を有していてもよい。  熱処理を行い、結晶方位、析出物を制御された合金である。バルク状態をなす。  磁歪式トルクセンサは、このようなＦｅＧａＡｌ系合金を用いて形成されたものである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
次式（１）
（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｃｚ…（１）
（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）で表される組成を有することを特徴とするＦｅＧａＡｌ系合金。
【請求項２】
次式（２）
（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｂｚ…（２）
（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）で表される組成を有することを特徴とするＦｅＧａＡｌ系合金。
【請求項３】
熱処理を行い、結晶方位、析出物を制御して成ることを特徴とする請求項１又は２に記載のＦｅＧａＡｌ系合金。
【請求項４】
バルク状態をなすことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載のＦｅＧａＡｌ系合金。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つの項に記載のＦｅＧａＡｌ系合金を用いて成ることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鉄（Ｆｅ）合金系の磁歪材料に係り、更に詳細には、磁歪が大きいＦｅＧａＡｌ系合金、及びこれを用いた磁歪式トルクセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、磁歪の大きい材料が出現し注目されてきたが、高価な希土類元素を主たる組成成分としているため用途が限られていた。このような背景において、近年、ＦｅＧａ（鉄ガリウム）合金系の材料が開発されている。ＦｅＧａ合金系の材料は希土類元素を含まず、且つ磁歪も大きいため、センサやアクチュエータ用として期待されている。
【０００３】
かかるＦｅＧａ合金としては、例えば特許文献１に提案されているものがあるが、ＦｅＧａ合金は、磁歪が大きいものの機械的強度などには改善を要するため、ＦｅＧａＡｌ（鉄ガリウムアルミニウム）合金が研究されている（例えば、非特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２８６５５０号公報
【非特許文献１】Ｎ．Ｓｒｉｓｕｋｈｕｍｂｏｗｏｒｎｃｈａｉ  ａｎｄ  Ｓ．Ｇｕｒｕｓｗａｍｙ，”Ｌａｒｇｅ  ｍａｎｅｔｏｓｔｒｉｃｔｉｏｎ  ｉｎ  ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌｌｙ  ｓｏｌｉｄｉｆｉｅｄ  ＦｅＧａ  ａｎｄ  ＦｅＧａＡｌ  ａｌｌｏｙｓ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．ｖｏｌ．９０，Ｎｏ．１１（２００１），ｐ．５６８０−５６８８．
【０００４】
ところで、このような磁歪材料の用途として、磁歪を利用したトルクセンサが知られており、種々提案がなされているものの、車輌用として実用化されているものはないようである。車輌のミッションの出力軸トルクをモニターできるようになると、ＡＴの変速ショックに対し、現状行われているような難しい制御を行わなくともよいようになる。また、車輌の総合制御が可能になり、省燃費な車輌の実現に資するため、廉価で小型のトルクセンサの要望は潜在的にあり、研究開発されてきている。
【０００５】
そして、このような車輌用の磁歪式トルクセンサに用いられる磁歪材料としては、磁歪が大きいことと、十分な機械的強度を有することの双方が要求される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来のＦｅＧａ合金系の材料は強度的に十分ではない。また、従来のＦｅＧａＡｌ合金は磁歪が確かに大きいが、本発明者らが検討加えたところ、機械的強度が十分ではなく、脆性を示し、引張強度も低かった。
更に、従来から知られているＦｅＡｌ合金（アルフェノール）は、磁歪は大きいが、硬くて脆いため、センサ等に用いるには不向きである。また、ＦｅＣｏＶ合金（パーメンジュール）は引張強度は３００ＭＰａ程度と低く、脆性を示す。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、磁歪が大きく、機械的強度に優れるＦｅＧａＡｌ系合金、及びこれを用いた磁歪式トルクセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、添加元素とその添加量、組織、熱処理などを適切に制御することにより、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
即ち、本発明のＦｅＧａＡｌ系合金は、次式（１）
（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｃｚ…（１）
（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）で表される組成を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の他のＦｅＧａＡｌ系合金は、
次式（２）
（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｂｚ…（２）
（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）で表される組成を有することを特徴とする。
【００１１】
一方、本発明の磁歪式トルクセンサは、上述如きＦｅＧａ合金を用いて成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、添加元素とその添加量、組織、熱処理などを適切に制御することとしたため、磁歪が大きく、機械的強度に優れるＦｅＧａＡｌ合金系磁歪材料、及びこれを用いた磁歪式トルクセンサを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明のＦｅＧａＡｌ系合金、及び磁歪式トルクセンサにつき詳細に説明する。なお、本明細書において、濃度、充填量、添加量などについての「％」は特記しない限り質量百分率を表すものとする。
【００１４】
上述の如く、本発明のＦｅＧａＡｌ系合金は、Ｃ（炭素）又はＢ（ホウ素）含むＦｅＧａＡｌ系の合金であり、次式（１）
（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｃｚ…（１）
（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）
又は次式（２）
（Ｆｅ（１００−ｘ−ｙ）−Ｇａｘ−Ａｌｙ）１００−ｚ−Ｂｚ…（２）
（式中のｘは１２〜１４、ｙは４〜７、ｚは１〜２である）
で表される組成を有する。
【００１５】
（１）式及び（２）式において、ｘが１２未満又は１４を超えると、磁歪特性が劣化する。また、ｙが４未満又は７を超えると、磁歪特性が劣化し、強度が不十分となる。更に、Ｚが１未満又は２を超えると、磁歪劣化となる。
【００１６】
本発明のＦｅＧａＡｌ系合金においては、熱処理を行って、結晶方位や析出物を制御することが可能であり、かかる熱処理によって、磁歪特性を良好にできるという利点が得られる。
ここで、熱処理としては、例えば、１１７３Ｋで１時間保持した後、徐冷することを挙げることができる。
【００１７】
また、本発明のＦｅＧａＡｌ系合金は、薄膜状や薄帯状であっても使用できるが、バルク状態での使用することができ、これにより、センサ、アクチュエータへの応用範囲を大幅に拡大することができる。
ここで、バルク状態とは、代表的には、厚さ０．５ｍｍ以上で幅０．５ｍｍ以上という状態を意味するものとする。
【００１８】
次に、本発明の磁歪式トルクセンサについて説明する。
上述の如く、本発明の磁歪式トルクセンサは、以上に説明したＦｅＧａＡｌ系合金を用いて構成されるものであり、この合金をトルクの検出に利用していれば、その構造等は特に限定されるものではないが、以下に、かかる磁歪式トルクセンサの代表例を挙げて説明する。
【００１９】
図１は、本発明の磁歪式トルクセンサの一実施形態を示す概略的な側面図であり、その構造自体はガルシェリスの磁歪リング方式のトルク検出装置として知られている（Ｉ．Ｊ．Ｇａｒｓｈｅｌｉｓ：ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓ，ｏｎ  Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ，ｖｏｌ．２８，Ｎｏ．５，２２０２，Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ  １９９２）（Ｉ．Ｊ．Ｇａｒｓｈｅｌｉｓ  ａｎｄ  Ｃ．Ｒ．Ｃｏｎｔｏ：ＪＡＰ，ｖｏｌ．７９，Ｎｏ．８，４７５６，１９９６．）。
この磁歪式トルクセンサは、上記ＦｅＧａＡｌ系合金で形成され磁歪を有するリング２を有し、このリング２が回動軸１に嵌められている。これにより、リング２には、周方向に引張応力（Ｈｏｏｐ  ｓｔｒｅｓｓ）が働いていることになる。また、周方向に着磁すると、磁化は周方向に向く。
【００２０】
かかる磁歪式トルクセンサにおいて、回動軸１にトルクがかかると、４５度方向に引張応力（それと直交して圧縮応力）が作用するので、磁歪の逆効果により磁化は軸方向に倒される。従って、リング２の端部には磁極が現われ、漏れ磁束が発生する。よって、ホール素子等のセンサ３を配置しておくと、トルクに相関のある信号が検出される。
【００２１】
本実施形態のセンサでは、軸方向長さは短くてよいし、検出センサ３は小さいので、径方向にも小型化が図れる。また、センサ３を構成するホール素子も省電力であることから省電力・小型化が図れるという利点がある。
また、リング２が上記本発明のＦｅＧａＡｌ系合金で形成されているので、磁歪が大きく検出感度が良好であり、且つ機械的強度にも優れるため耐久性が良好である。
【実施例】
【００２２】
以下、本発明を実施例及び比較例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００２３】
以下の実施例では、上述の技術背景を考慮して、機械的強度の向上及び磁気特性の調査のため、Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金にＣ（炭素）やＢ（ホウ素）を第４元素として少量添加して検証を行った。
また、調製したＦｅＧａＡｌ系合金の試料に熱処理を施し、析出物相及び結晶配向性などを調査し、磁気特性への影響を検証した。
一般的に、Ｆｅ基磁性材料では、容易磁化結晶方位は［１００］であり、熱処理後の内部応力緩和や一次再結晶効果などにより、当該ＦｅＧａＡｌ系合金でも磁気特性の向上（磁化されやすいゆえに磁化率上昇）が期待できる。また、磁歪の向上も期待できる。一方、熱処理に伴う析出物分散効果により、塑性すべり（＝転位の移動）を抑制し、これら材料の機械的強度を上昇させる効果が期待できるからである。
【００２４】
上記の検証は以下の流れにて実行した。
Ｉ．Ｃ（炭素）及びＢ（ホウ素）少量添加の影響検証
ＩＩ．Ｃ添加量の影響検証
ＩＩＩ．強度特性検証
これらＩ及びＩＩにより、調製した試料をある程度選定した後に行った。
試料組成として、ＦｅＧａＡｌに対しＣをそれぞれ１．５，  ３．０，  ５．０ａｔ％を添加した試料と、ＦｅＧａＡｌに対しＢを３．０ａｔ％添加した試料を作製し、諸特性を検証した。また、トルクシステムの測定装置を組み立て、次いで、選定した試料をリング形状に加工し、トルク印加試験を行い出力特性について検証した。
【００２５】
１．試料作成
「合金作製」
原子比組成（Ｆｅ８２Ｇａ１３Ａｌ５）１００−ｘＣｘ（ｘ＝１．５，３．０，５．０ａｔ％）のＦｅ−Ｇａ−Ａｌ−Ｃ合金と、（Ｆｅ８２Ｇａ１３Ａｌ５）９７Ｂ３の原子比組成であるＦｅ−Ｇａ−Ａｌ−Ｂ合金の母合金インゴットを作製することを目的とした。
【００２６】
電解鉄（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｓｉｓ  Ｉｒｏｎ，純度９９．９９９％）、ガリウム（Ｇａｌｌｉｕｍ，純度９９．９９９９％）、アルミニウム（Ａｌｍｉｎｕｍ，純度９９．９９９％）、炭素（Ｃａｒｂｏｎ，純度９９．９９％）、ホウ素（Ｂｏｒｏｎ，純度９９．８％）を電子天秤〔ＳＨＩＭＡＺＵ社製：ＬＩＢＲＯＲ  ＡＥＧ−１２０〕にてそれぞれ秤量した。
試料をアーク溶解炉〔アーク溶解型急冷試料作成装置ＴＩＧ４００Ｆ：東栄科学産業社製〕によって合金化し、母合金インゴットを作製した。組成の均一な試料を得る目的で大電流１５０Ａを用い、溶解した合金の対流（混合）を促し、溶解させる度に試料を裏返す工程を５回繰り返した。また、より組成の均一なインゴットを得るため、作製したインゴットを砕き、再度同じ工程を経て合金インゴットを得た。
【００２７】
「試料加工」
得られた合金インゴットから各測定用の試料を作成するため、まずファイン・カッター〔マルトー社製：Ｍｉｌｌｉｏｎ  Ｃｕｔｔｅｒ２〕により測定用試料に近い形状に切り出し、試料表面の加工ひずみ面の除去及び形状の調整をかねてＳｉＣ（炭化珪素）研磨紙で研磨を行った。その後、加工ひずみ除去を目的とした熱処理をした。これは真空中５７３Ｋで３０分保持し徐冷することにより行った。
【００２８】
「熱処理」
熱処理条件は、（１）８２３Ｋ，６０分保持後徐冷、（２）１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷、（３）１１７３Ｋ，６０分保持水冷、その後８２３Ｋ，６０分保持後徐冷の３パターンとした。
【００２９】
（１）については、リング材料に強い加工ひずみが導入された際の加工ひずみ除去を目的とした熱処理、また、シャフトへの装着方法に焼きはめを選択することが考えられるので、この温度での熱処理効果を考えるため選択した。
（２）については、Ｆｅ−Ｇａ状態図を参考に単相領域での熱処理を考え１１７３Ｋを選択した。
（３）については、本発明者らの過去の研究において、急冷薄帯試料に対し規則ｆｃｃ構造Ｆｅ３Ｇａ導入を抑止する目的で１１７３Ｋの熱処理後水冷という方法をとっていた。それを参考に今回の多結晶バルク試料でも水冷効果を検証した。但し、高温域からの急速な冷却は試料に大きな内部応力を導入する懸念がある。そこで水冷後、８２３Ｋでの熱処理で試料の内部応力緩和を狙った。
【００３０】
酸化による影響を考慮して、試料は石英管又はパイレックスガラス管に入れ、ロータリーポンプにより雰囲気を１Ｐａ程度にしたあと封入した。その後電気炉にてそれぞれの条件で熱処理をした。
【００３１】
２．測定方法
定性・定量分析により作製試料の組成を評価し、その後、Ｘ線による構造解析によって結晶構造解析を行い、更に磁化−磁場特性、磁歪特性を検証し、その後に強度特性を評価した。
【００３２】
「定性・定量分析」
組成の分析については、電子マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）及び炭素・硫黄分析装置を使用し、作製した試料の定性及び定量分析を行った。
ＥＰＭＡ用の試料としては、板状に加工し表面をＳｉＣ紙で１０００番まで粗研磨、その後アセトン溶液中にて超音波洗浄したものを使用した。炭素−硫黄分析装置用の試料については、１ｇ程度の試料を粉末状にしたものを使用した。
【００３３】
「結晶構造解析」
各試料の結晶構造解析のために、粉末Ｘ線回折装置〔マック・サイエンス社製：Ｍ１８ＸＨＦ−ＳＲＡ〕を用いた。測定は、回折角ステップ幅０．０２〜０．０５ｄｅｇ、回折角走査範囲２０〜１００ｄｅｇ、加速電圧３０  Ｖ、電流１００  ｍＡで行った。
【００３４】
「磁化測定」
測定は、振動試料型磁力計（ＶＳＭ：Ｖｉｂｒａｔｉｎｇ  Ｓａｍｐｌｅ  Ｍａｇｎｅｔｏｍｅｔｅｒ）〔東英工業製：ＶＳＭ  ｍｏｄｅｌ−５〕を用いた。磁化曲線（磁化−磁場ヒステリシス曲線：Ｍ−Ｈ  Ｌｏｏｐ）を測定し、その結果から磁化率χ及び保磁力Ｈｃを求めた。試料寸法はすべての試料で約縦２．５×横１．８×長さ６ｍｍ、重さ約０．２７ｇとした。
ＰＣ（パソコン）制御による最大印加磁場を５ｋＯｅとし、この範囲で目的に合わせて調整した。ステップ数（Ｓｔｅｐ  Ｂｉｔｓ）１０、安定化待ち時間（Ｗａｉｔ  Ｔｉｍｅ）０．１  ｓｅｃ、時定数  ０．０３ｓｅｃとして測定した。
【００３５】
「磁歪測定」
磁歪測定は、Ｃｕ−Ｎｉ系ゲージ〔共和電業：ＫＦＧ−１−１２０−Ｄ１６−１１Ｌ３Ｍ２Ｓ，ＫＦＧ−０２−１２０−Ｃ１−１１Ｌ３Ｍ２Ｒ〕と、静ひずみデータロガー〔共和電業：ＵＣＡＭ−２０ＰＣ〕を用いて行った。
図２に、磁歪測定装置の概略的な断面図を示す。ストレイン・ゲージ４は試料５の長さ方向両面に一枚ずつ平行に貼り、二枚の真鍮板６で試料５を挟み、予荷重をかけるときは、ねじ７を締め圧縮荷重をかけた。
【００３６】
「強度測定」
引張破断試験には小型引張試験機〔米倉製作所製：高温小型引張試験装置〕を用い、破断面の観察にはデジタルマイロスコープ［島津理化器械株式会社製：ＳＣＺ−ＢＳ，Ｍｏｔｉｃａｍ２０００］を用いた。
ビッカース硬度試験にはマイクロビッカース硬さ試験機〔Ａｋａｓｈｉ製：ＭＶＫ−ＶＬ〕を用い、加重３００ｇで試験を行った。
ヤング率測定は中型万能引張試験機［島津製作所製：ＡＧＳ−Ｈ］及びひずみゲージ〔共和電業製：ＫＦＧ−１−１２０−Ｄ１６−１１Ｌ３Ｍ２Ｓ〕を用いて行った。
【００３７】
３．検討結果
［Ｃ及びＢ添加の影響検証］
・Ｘ線構造解析による分析
図３は、Ｆｅ−１１．３Ｇａ−６．３Ａｌ［ａｔ％］，（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］，（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］未熱処理試料のＸ線構造解析結果を示す。
【００３８】
Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ−Ｂの結晶構造ｂｃｃで格子定数はａ＝０．２９０８ｎｍであった。（１１０）ピーク強度と（２００）ピーク強度の比（２００）／（１１０）が０．２６であり、添加前のＦｅ−Ｇａ−Ａｌ合金のピーク強度の比（２００）／（１１０）の値０．４７に比べ減少している。一方、Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ−Ｃ１．５ａｔ％は結晶構造ｂｃｃで格子定数はａ＝０．２９０８ｎｍ、ピーク強度の比（２００）／（１１０）が０．１３と同じく減少していた。
しかし、４０°付近にＦｅ−Ｇａ−ＡｌやＦｅＧａＡｌ−Ｂには見られないピークが見られた。これはＦｅ−Ｇａ規則ｆｃｃ構造のＦｅ３ＧａかＣ添加による相のどちらかである。格子定数の計算ではａ＝０．３７３２ｎｍ、Ｆｅ３Ｇａの格子定数ａ＝０．３６８３ｎｍであるため異なる。そこで、ＩＣＤＤ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｅｎｔｒｅ  ｆｏｒ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ  Ｄａｔａ）カードの解析の結果を参照したところ、ｆｃｃ構造のＧａＦｅ３Ｃ０．５であると分かった。
【００３９】
次に、熱処理による影響を検証する。
（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］及び（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］試料を（１）８２３Ｋ，６０分保持後徐冷、（２）１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷、（３）１１７３Ｋ，６０分保持水冷という３つの熱処理条件に従って熱処理した。
【００４０】
まず、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］試料のＸ線構造解析結果を図４に示す。それぞれ格子定数は（１）ａ＝０．２９４５ｎｍ、（２）ａ＝０．２８９７ｎｍ、（３）ａ＝０．２８８９ｎｍであった。
ピーク強度の比（２００）／（１１０）は条件（１）の熱処理で０．８５、条件（２）の熱処理で０．０３と、温度が上昇するに従って低下しているのが分かる。
【００４１】
また、図５に３０°〜５０°範囲での拡大したＸ線構造解析データを示す。３５°、４２°及び４５°付近など多くのピークが見られる。このピークは熱処理温度が高いほど大きく出ている。ピークの同定ができなかったが、ＦｅとＢの化合物ではないかと考えられる。
また、条件（３）の熱処理試料はピーク強度の比（２００）／（１１０）は０．０５となり他の相と思われるピークも４５°付近にしか観察できなかった。
【００４２】
次に、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］のＸ線構造解析結果を図６に示す。それぞれ格子定数は（１）ａ＝０．２９０３ｎｍ、（２）ａ＝０．２９０２ｎｍ、（３）ａ＝０．２９０４ｎｍであった。
条件（１）での熱処理では、ピーク強度の比（２００）／（１１０）が０．１７であり若干であるがピークの上昇が見られた。条件（２）ではピーク強度の比（２００）／（１１０）が０．４１と大きくピークが上昇していた。
【００４３】
また、図７に４０°〜５０°範囲での拡大したＸ線構造解析データを示す。４２°、４８°付近にピークが見られ、熱処理後もＧａＦｅ３Ｃ０．５もピークが見られることから、これら２つの温度での熱処理が有効であると考える。
条件（３）の熱処理では、ピーク強度の比（２００）／（１１０）が０．０４と逆に低下した。上記（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］と同様に、多結晶バルク材料では高温域からの水冷は適していないことが分かった。
【００４４】
「磁化特性解析」
図８には、Ｆｅ−１１．３Ｇａ−６．３Ａｌ（ａｔ％）、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］試料、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］試料の未熱処理試料の磁化曲線を示す。
磁化率χ、保磁力ＨＣはそれぞれＦｅ−１１．３Ｇａ−６．３Ａｌ（ａｔ％）でχ＝１５４．２、ＨＣ＝５．０Ｏｅ、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］でχ＝１２３．６、ＨＣ＝６．１Ｏｅ、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］でχ＝７７．１、ＨＣ＝１０．９Ｏｅであった。
【００４５】
Ｃ添加で磁化率が大きく減少している。３ｄ遷移元素炭化物の磁性研究の報告によると、Ｃ体心立方Ｆｅ格子の大きな格子間隙である四面体位置より、比較的狭い八面体位置にはいり、それに隣接するＦｅ原子の内部磁界を減少させることがある。これが（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］で磁化率が減少した理由と考えられる。
保磁力はＢ添加ではほとんど変化が見らないが、Ｃ添加は増加が見られた。これはＣ添加による炭化物相ＧａＦｅ３Ｃ０．５の影響と考えられる。
【００４６】
図９には、１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷で熱処理を施したＢ添加、Ｃ添加試料の磁化曲線を示す。磁化率χ、保磁力ＨＣはそれぞれ（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］でχ＝１１７．９、ＨＣ＝６．９Ｏｅ、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］でχ＝７０．７、ＨＣ＝８．７Ｏｅであった。熱処理により磁化率・保磁力に微量の変化しか見られなかった。
【００４７】
「磁歪特性解析」
磁歪測定に用いた試料の寸法は（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］が縦５．９×横５．４×長さ８．５ｍｍ、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］が縦６．５×横４．８×長さ９．１ｍｍである。試料写真を図１０に示す。
１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷で熱処理を施した（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］試料、Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ−Ｂ試料の磁歪測定の結果を図１１（予荷重０ＭＰａ）、図１２（予荷重１０ＭＰａ）にそれぞれ示す。
【００４８】
磁歪量は（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］で予荷重０ＭＰａのとき５０ｐｐｍ、予荷重１０ＭＰａで６２ｐｐｍとなった。（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］では予荷重０ＭＰａのとき４０ｐｐｍ、予荷重１０ＭＰａで５０ｐｐｍとなった。Ｆｅ−１１．３Ｇａ−６．３Ａｌ［ａｔ％］では、予荷重１０ＭＰａで７０ｐｐｍである。Ｃ、Ｂ添加により磁歪は減少するが、特にＣ添加では減少率が少ないことがわかった。
【００４９】
「Ｃ添加量を変化させた試料」
・Ｘ線構造解析による分析
Ｃをそれぞれ１．５，３．０，５．０ａｔ％と添加した試料の熱処理前試料のＸ線構造解析結果を図１３に示す。
それぞれ格子定数はＣ添加量１．５ａｔ％でａ＝０．２９０８ｎｍ、３．０ａｔ％でａ＝０．２８９８ｎｍ、５．０ａｔ％でａ＝０．２９０３ｎｍであった。Ｃ添加量１．５ａｔ％でのピーク強度の比（２００）／（１１０）は上述した通り０．１３、Ｃ添加量３．０ａｔ％では０．３７、Ｃ添加量５．０ａｔ％では０．０６とＣ添加量３．０ａｔ％の時が最も大きく５．０ａｔ％添加では最も小さい。
【００５０】
一方、ｆｃｃ相ＧａＦｅ３Ｃ０．５の回折ピークで最も強度の高いピーク（１１１）とｂｃｃ回折ピークの（１１０）ピーク強度の比（１１１）／（１１０）を比べることで材料中のＧａＦｅ３Ｃ０．５の量を考える。
Ｃ添加量１．５ａｔ％でのピーク強度の比（１１１）／（１１０）は０．０３、Ｃ添加量３．０ａｔ％では０．１、Ｃ添加量５．０ａｔ％では０．２８であり、Ｃ添加量に比例してＧａＦｅ３Ｃ０．５ｆｃｃ相の割合が増加している。
【００５１】
次に、１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷で熱処理を施した試料のＸ線構造解析結果を図１４に示す。
ピーク強度の比（２００）／（１１０）は１．５ａｔ％添加した試料が０．４１と最も大きく、３．０ａｔ％添加試料で０．１と熱処理前より減少し、５．０ａｔ％添加試料では０．０８とほとんど変化しなかった。
【００５２】
Ｃ添加量１．５ａｔ．％でのピーク強度の比（１１１）／（１１０）は０．０２、Ｃ添加量３．０ａｔ％では０．１７、Ｃ添加量５．０ａｔ％では０．２であり、やはりＣ添加量に比例してＧａＦｅ３Ｃ０．５ｆｃｃ相の割合が増加している。
Ｃ添加量が多くなると（３ａｔ％〜５ａｔ％）、ｂｃｃ構造Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ相は減少し、そのことが（２００）ピーク強度の減少につながっているのではないかと考える。  
これらのデータからＧａＦｅ３Ｃ０．５を少量得る、且つピーク強度の比（２００）／（１１０）を大きく得るＣ添加量は１．５ａｔ％程度が良好であると考えられる。
【００５３】
・磁化解析
Ｃをそれぞれ１．５，３．０，５．０ａｔ％と添加した試料の未熱処理試料の磁化曲線を図１５に示す。
磁化率χ、保磁力ＨＣはそれぞれ１．５ａｔ％添加でχ＝７７．１、ＨＣ＝１０．９Ｏｅ、３．０ａｔ％添加でχ＝６９．２、ＨＣ＝２０．０Ｏｅ、５．０ａｔ％添加でχ＝６０．１、ＨＣ＝５４．６Ｏｅであった。この結果から、Ｃ添加量の増加とともに磁化率は減少するが逆に保磁力が増加する傾向にあることがわかった。このことからもＧａＦｅ３Ｃ０．５が保磁力に影響を及ぼしていることがわかる。
【００５４】
次に、１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷で熱処理を施したＣ添加試料の磁化曲線を図１６に示す。
磁化率χ、保磁力ＨＣはそれぞれ１．５ａｔ．％添加でχ＝７０．７、ＨＣ＝８．７Ｏｅ、３．０ａｔ％添加でχ＝７４．４、ＨＣ＝９．１３Ｏｅ、５．０ａｔ％添加でχ＝８２．２、ＨＣ＝１３．５Ｏｅであった。
【００５５】
熱処理前と比べ３つの試料とも保磁力は減少している。特に３．０ａｔ％及び５．０ａｔ％添加の２つの試料の保磁力は大きく減少し、逆に磁化率は増加している。これは熱処理により結晶粒径が大きくなったためと考えられる。保磁力及び磁化率は結晶粒径と密接な関係があり、粒径が大きいと磁壁移動のピニングサイトとなる結晶粒径の密度が減少するので、粒径が大きくなるほど保磁力が下がる。このとき保磁力は結晶粒径１／Ｄに比例して減少するが結晶粒が小さくなると、磁壁の頻度が高くなるので保磁力は増加する。磁化率は逆に結晶粒径が大きいとピンニングの影響を受けづらくなるため増加する。
１．５ａｔ％添加の試料は他の２つと比べ熱処理による影響は少ない。このことからＣ添加量が多いとより熱処理の影響を受けやすいと考えた。よってＣ添加量が少ないため磁化特性がほとんど変化しなかったのではないかと考えられる。
【００５６】
・磁歪測定
１１７３Ｋ，６０分保持後徐冷で熱処理を施したＣをそれぞれ１．５，３．０，５．０ａｔ％と添加した試料の磁歪測定の結果を図１７に示す。
試料寸法は１．５ａｔ％添加試料で縦５．９×横５．４×長さ８．５ｍｍ、３．０ａｔ％添加試料で縦７．０×横１．５×長さ９．０ｍｍ、５．０ａｔ％添加試料で縦６．８×横３．０×長さ１０．５ｍｍである。
【００５７】
１．５ａｔ％添加試料で５０ｐｐｍ、３．０ａｔ％添加試料で３０ｐｐｍ、５．０ａｔ％添加試料で２２ｐｐｍと、Ｃ添加量の増加とともに磁歪量が減少していくことがわかった。３．０ａｔ％添加試料のグラフの飽和が他の２つに比べ早いのは形状の影響である。材料加工の関係で他の２つの試料より断面積が小さくなったため、磁化が早くなり、その結果立ち上がりが早いが最大磁歪量には影響しないのでこの試料を実験に使用した。
【００５８】
Ｘ線構造解析の結果からもわかるように、Ｃ添加量の増加とともに磁化容易方向の（２００）ピーク強度が減少していることが磁歪減少の原因といえる。Ｃ添加量の増加でＧａＦｅ３Ｃ０．５相の割合は増加し、その結果ｂｃｃ構造ＦｅＧａＡｌの割合が減少する。そのことが（２００）ピーク強度の減少、そして磁歪の減少に影響していると考える。
【００５９】
以上の結果を検討し、強度測定は磁歪特性の良好な（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ及び（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂについて行うこととした。
【００６０】
「強度測定」
・引張破断試験
（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］試料、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］試料の引張破断試験の結果を図１８に示す。
試料寸法は平行部幅１．８×厚さ０．４×長さ６．０ｍｍである。（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］試料はひずみε＝０．０１３７において６６７ＭＰａで破断、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］試料はε＝０．００５８において４５３ＭＰａで破断した。Ｆｅ−１１．３Ｇａ−６．３Ａｌ［ａｔ％］の破断強度が２９４ＭＰａであることから、Ｂ添加、Ｃ添加とも強度特性の向上が見られる。
【００６１】
次に、それぞれの破断試料の写真を図１９に示す。
これを見ると、Ｃ添加試料では表面が細かなぎざぎざ状の破断面であったが、Ｂ添加では大きなぎざぎざ状の破断面であり、グラフからも降伏伸びも観測できなかったため、Ｂ添加によるＦｅ−Ｇａ−Ａｌ合金の強度改善は見られたが脆性改善は見られないと言える。Ｃ添加では強度が大きく向上し、且つ脆性特性も改善が見られた。
【００６２】
・ヤング率測定
ヤング率測定時の応力−ひずみ線図を図２０に示す。
試料寸法は平行部幅２．４×厚さ１．７×長さ５．０ｍｍである。応力は４０ＭＰａ程度まで負荷し、測定結果は３回の試験の結果を平均したデータを載せている。その結果、ヤング率は１３８ＧＰａという結果を得た。
【００６３】
・ビッカース硬度測定
マイクロビッカース硬度測定試験の結果を表１に示す。試料は測定面をＳｉＣ研磨紙で２０００番まで研磨した試料を使用した。測定点は７箇所でそれらの結果を平均した結果を示している。
（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］試料Ｈｖ＝２８１．４、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］試料Ｈｖ＝２７２．７であり、Ｆｅ−１１．３Ｇａ−６．３Ａｌ［ａｔ％］試料のＨｖ＝２８８に比べ若干減少した。
【００６４】
【表１】
2008069434.tif 000002
【００６５】
（センサへの適用例）
リング材料として、（Ｆｅ−１３Ｇａ−５Ａｌ）−１．５Ｃについてはアーク溶解法により作製した合金インゴット用い、比較用として一般加工用炭素鋼材料［ＳＫ−１０５］をそれぞれ機械加工し作製した。各材料の特性を表２に示す。
また、図２１にリングの寸法図、図２２に加工した磁歪リングの写真を示す。本例では、フープ応力を約１００ＭＰａ程度に設定したいので、リング形はＦｅＧａＡｌＣ、ＳＫ−１０５鋼ともｄＲＩＮＧ＝９．９９［ｍｍ］、ｔ＝１．００５［ｍｍ］，幅Ｌ＝６．０［ｍｍ］とした。
【００６６】
（Ｆｅ−１３Ｇａ−５Ａｌ）−１．５Ｃリングは加工後、真空中１１７３Ｋで１ｈｒ徐冷の熱処理を施した。シャフトには直径１０．０ｍｍのステンレス鋼［ＳＵＳ３０４］を用いた。また、各寸法からリングにかかるたが応力の値を計算した結果を表３に示す。
【００６７】
【表２】
2008069434.tif 000003
【００６８】
【表３】
2008069434.tif 000004
【００６９】
・リングの装着
リングの装着には装着処置後の時間的余裕の確保や磁歪リングの材質変化をできるだけ抑制するために、冷やしはめを選択した。シャフトを十分に温度が低下するまで液体窒素中（−１９６℃）に浸し、十分にシャフトが冷却された後にリングを装着した。
このとき、シャフトは熱収縮によりリング内径より小さくなっているため装着が可能となる。装着後温度が徐々に室温に戻ると熱膨張によりシャフトが元の寸法に戻り、リングとシャフトは接着される。
【００７０】
・リングの着磁
リングの周方向着磁には、ネオジム磁石（Ｎｄ２Ｆｅ１４Ｂ）を用いた。形状は円柱状で直径８ｍｍ、高さ６ｍｍのものを用いた。シャフトを回転数５００ｒｐｍで回転させた状態にて、磁石とリングの距離を０．５ｍｍとして約５分間着磁を行った。
【００７１】
・トルクと出力の関係
トルクを段階的にかけていき、出力磁場との関係を検証した。トルクはひずみゲージにより検出した。トルクは約１４Ｎ・ｍまで１Ｎ・ｍごとに磁場をギャップＧ＝０．１ｍｍの条件でホールセンサを用いて測定した。測定回数は３回とした。
【００７２】
図２３には、ＳＫ−１０５、（Ｆｅ−１３Ｇａ−５Ａｌ）−１．５Ｃリング、シャフト材料をＳＵＳ３０４としてトルク計測を行った、測定データ及びその近似直線を示す。
このグラフから、（Ｆｅ−１３Ｇａ−５Ａｌ）−１．５ＣリングはＳＫ−１０５リングよりも感度が約２．６倍高いことがわかる。
【００７３】
以上に説明したように、本発明に属する実施例によれば、以下のような結果が得られた。
１．Ｃ添加効果
（１）熱処理なし試料の場合
Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ合金にＣを添加するとＧａＦｅ３Ｃ０．５の析出物相を得ることができた。これは母相内部にこれらが分散されており、（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］合金においては保磁力が元素添加前の試料より１１４％増加した。
（２）熱処理あり試料の場合
（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］合金において、１１７３Ｋで１時間保持後に徐冷する条件で熱処理を施した合金は、破断強度が６６７ＭＰａとなり、Ｃを添加前のＦｅＧａＡｌ合金に比べ破断強度が１２６％と大きく増加した。また、磁歪量は６０ｐｐｍと添加前試料と比べ１７％の減少であった。
（３）Ｃ量添加の影響
Ｃ添加量を増加させるとＧａＦｅ３Ｃ０．５は比例して増加する、その結果、保磁力も増加するが一方Ｃ添加量の増加とともに磁歪量は減少していく。
【００７４】
２．Ｂ添加効果
（１）熱処理なし試料の場合
Ｂ添加では磁化率・保磁力にはあまり影響を及ぼさなかった。
（２）熱処理あり試料の場合
（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−５．６Ａｌ）−１．６Ｂ［ａｔ％］，１１７３Ｋで１時間保持後に徐冷した試料では破断強度が４５３ＭＰａとＢ添加前の試料と比べ５４％増加した。
これらの結果を表４にまとめる。
【００７５】
【表４】
2008069434.tif 000005
【００７６】
これらの結果を踏まえ、強度と磁歪、両特性のもっとも良好であった（Ｆｅ−１３．６Ｇａ−６．０Ａｌ）−１．４Ｃ［ａｔ％］合金を１１７３Ｋで１時間保持後に徐冷する熱処理による試料を候補材料とした。
この材料をリング形状に加工し、構築したトルク測定システム用いて、トルク印加試験を行い出力特性について検証した。その際、比較用として一般に使われている低炭素鋼であるＳＫ−１０５を同様にリング形状に加工し、出力特性の比較を行った。
【００７７】
（Ｆｅ−１３Ｇａ−５Ａｌ）−１．５Ｃ合金のリングと、ＳＫ−１０５のリングおいてトルクと出力磁場の測定を行った結果、（Ｆｅ−１３Ｇａ−５Ａｌ）−１．５ＣリングでＳＫ−１０５リングでの感度の２．６倍にあたる感度であった。よって、Ｂ添加でも、磁歪の大きさからして、大きな感度の実現が期待される。
【００７８】
以上説明してきたように、本実施例のＦｅＧａＡｌ系合金は、機械的な特性に優れ、且つ磁歪の大きい材料を実現するものである。また、磁歪式トルクセンサに応用した場合に良好な特性が得られることを例示したが、センサ分野やアクチュエータ分野において、この材料への期待には計り知れないものがある。
【００７９】
以上、本発明を若干の実施形態及び実施例により詳細に説明したが、本発明はこれら実施形態や実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形が可能である。
例えば、図１に示した磁歪式トルクセンサにおいて、トルク検出用の磁気センサとしてはホールセンサのみを示したが、省電力で小型であるところの、ホールＩＣ、及びＭＩセンサを使うこともできることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の磁歪式トルクセンサの一実施形態を示す概略的な側面図である。
【図２】磁歪測定装置の概略的な断面図である。
【図３】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図４】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図５】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図６】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図７】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図８】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁化曲線を示すグラフである。
【図９】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁化曲線を示すグラフである。
【図１０】磁歪測定に用いた試料の写真である。
【図１１】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁歪測定の結果を示すグラフである。
【図１２】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁歪測定の結果を示すグラフである。
【図１３】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図１４】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のＸ線構造解析結果を示す図である。
【図１５】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁化曲線を示すグラフである。
【図１６】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁化曲線を示すグラフである。
【図１７】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の磁歪測定の結果を示すグラフである。
【図１８】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の引張破断試験の結果を示すグラフである。
【図１９】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金の破断試料の写真である。
【図２０】Ｆｅ−Ｇａ−Ａｌ系合金のヤング率測定時の応力−ひずみ線図である。
【図２１】磁歪リングの寸法図である。
【図２２】に加工した磁歪リングの写真である。
【図２３】トルクと出力磁場との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００８１】
１    回動軸
２    リング
３    センサ
４    ストレイン・ゲージ
５    試料
６    真鍮板
７    ねじ
【図１】
2008069434.tif 000006
【図２】
2008069434.tif 000007
【図３】
2008069434.tif 000008
【図４】
2008069434.tif 000009
【図５】
2008069434.tif 000010
【図６】
2008069434.tif 000011
【図７】
2008069434.tif 000012
【図８】
2008069434.tif 000013
【図９】
2008069434.tif 000014
【図１０】
2008069434.tif 000015
【図１１】
2008069434.tif 000016
【図１２】
2008069434.tif 000017
【図１３】
2008069434.tif 000018
【図１４】
2008069434.tif 000019
【図１５】
2008069434.tif 000020
【図１６】
2008069434.tif 000021
【図１７】
2008069434.tif 000022
【図１８】
2008069434.tif 000023
【図１９】
2008069434.tif 000024
【図２０】
2008069434.tif 000025
【図２１】
2008069434.tif 000026
【図２２】
2008069434.tif 000027
【図２３】
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