(57)【要約】      （修正有）【課題】移動部材の端部から落下した潤滑油によって周囲が汚損されることを防止できる軸上移動機構、二次元移動機構及び電子部品実装装置を提供する。【解決手段】Ｘ軸ナット部材４１のＸ軸螺子軸４２が貫通した部分の端部を覆ってＸ軸潤滑油カバー４６を設け、Ｘ軸螺子軸４２の下方には、Ｘ軸螺子軸４２と平行に延びたＸ軸樋部材４７を設ける。Ｘ軸潤滑油カバー４６はＸ軸ナット部材４１の端部から落下した潤滑油を受け、下方に開口した潤滑油排出口から潤滑油を排出する。Ｘ樋部材４７は、Ｘ軸潤滑油カバー４６から排出された潤滑油を受容して流下させる。【選択図】図２
2008130783.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平に保持された軸部材及びこの軸部材が貫装された移動部材から成り、移動部材を軸部材上で移動させる軸上移動機構であって、
移動部材の軸部材が貫通した部分の端部を覆って設けられ、移動部材の端部から落下した潤滑油を受けて下方に開口した排出口から排出させる潤滑油カバーと、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられ、潤滑油カバーから排出された潤滑油を受容して流下させる樋部材とを備えたことを特徴とする軸上移動機構。
【請求項２】
軸上移動機構が、軸部材である螺子軸が移動部材であるナット部材と螺合し、螺子軸をナット部材に対して相対回転させることにより、ナット部材を螺子軸上で移動させるボール螺子移動機構であることを特徴とする請求項１に記載の軸上移動機構。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の軸上移動機構が上下２段に設けられ、下段の軸上移動機構の移動部材は上段の軸上移動機構の軸部材を支持しており、下段の軸上移動機構の潤滑油カバーに、上段の軸上移動機構の樋部材から流下した潤滑油の受容口が設けられたことを特徴とする二次元移動機構。
【請求項４】
軸部材及びこの軸部材が貫装された移動部材から成り、移動部材を軸部材上で移動させる軸上移動機構が上下２段に設けられ、下段の軸上移動機構の移動部材は上段の軸上移動機構の軸部材を支持し、上段の軸上移動機構の移動部材は移載ヘッドを支持しており、下段の軸上移動機構により上段の軸上移動機構の軸部材を移動し、上段の軸上移動機構により移載ヘッドを移動させることにより、移載ヘッドにピックアップさせた電子部品を基板に実装させる電子部品実装装置であって、
上段及び下段それぞれの軸上移動機構が、移動部材の軸部材が貫通した部分の端部を覆って設けられ、移動部材の端部から落下した潤滑油を受けて下方に開口した排出口から排出させる潤滑油カバーと、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられ、潤滑油カバーから排出された潤滑油を受容して流下させる樋部材とを備え、下段の軸上移動機構の潤滑油カバーに、上段の軸上移動機構の樋部材から流下した潤滑油の受容口が設けられたことを特徴とする電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平に保持された軸部材上で移動部材を移動させる軸上移動機構、この軸上移動機構を備えた二次元移動機構及び電子部品実装装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
軸部材が貫装された移動部材を軸部材上で移動させる軸上移動機構の例としてボール螺子移動機構が知られている。ボール螺子移動機構は、外周に螺子溝が形成された螺子軸を内周に螺子溝が形成されたナット部材と螺合させて成り、螺子軸をナット部材に対して相対回転させることによってナット部材に取り付けた移動対象物を移動させるものであり、ロボット等の構成要素として多用されている。このようなボール螺子移動機構を上下２段に設けることによって、移動対象物を水平面内で移動させることができる二次元移動機構を構成することができ、このような二次元移動機構を備えた装置の例としては、例えば電子部品をピックアップして基板に実装する電子部品実装装置がある。
【０００３】
軸上移動機構では、移動部材と軸部材との間の潤滑油が不足すると両者の間の摩擦が大きくなって磨耗が進行し、不具合を生じることになる。このため従来、移動部材の端部に設けた潤滑油シールによって潤滑油が移動部材の外部に漏れにくくする提案（特許文献１）や、移動部材と軸部材の接触面に常時潤滑油を供給する提案（特許文献２）がなされている。
【特許文献１】特開２００６−１１８６０２号公報
【特許文献２】特開平４−８８２９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、潤滑油は使用とともに劣化するものであり、潤滑油シールによって軸部材と移動部材の間から潤滑油が漏れないようにすると、劣化した潤滑油を使い続けることになり、却って不都合な場合がある。このため、軸部材と移動部材の接触面には常時新しい潤滑油が供給されることが望ましいといえるが、移動部材が軸部材上で移動すると、軸部材上の潤滑油は移動部材によって掻き出されてしまい、そのまま下方に垂れて周囲が汚損されるおそれがある。特に、軸上移動機構がボール螺子である場合には、軸部材の回転によって潤滑油が飛散してしまうおそれもある。
【０００５】
そこで本発明は、移動部材の端部から落下した潤滑油によって周囲が汚損されることを防止できる軸上移動機構、二次元移動機構及び電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の軸上移動機構は、水平に保持された軸部材及びこの軸部材が貫装された移動部材から成り、移動部材を軸部材上で移動させる軸上移動機構であって、移動部材の軸部材が貫通した部分の端部を覆って設けられ、移動部材の端部から落下した潤滑油を受けて下方に開口した排出口から排出させる潤滑油カバーと、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられ、潤滑油カバーから排出された潤滑油を受容して流下させる樋部材とを備えた。
【０００７】
請求項２に記載の軸上移動機構は、請求項１に記載の軸上移動機構であって、軸上移動機構が、軸部材である螺子軸が移動部材であるナット部材と螺合し、螺子軸をナット部材に対して相対回転させることにより、ナット部材を螺子軸上で移動させるボール螺子移動
機構である。
【０００８】
請求項３に記載の二次元移動機構は、請求項１又は２に記載の軸上移動機構が上下２段に設けられ、下段の軸上移動機構の移動部材は上段の軸上移動機構の軸部材を支持しており、下段の軸上移動機構の潤滑油カバーに、上段の軸上移動機構の樋部材から流下した潤滑油の受容口が設けられた。
【０００９】
請求項４に記載の電子部品実装装置は、軸部材及びこの軸部材が貫装された移動部材から成り、移動部材を軸部材上で移動させる軸上移動機構が上下２段に設けられ、下段の軸上移動機構の移動部材は上段の軸上移動機構の軸部材を支持し、上段の軸上移動機構の移動部材は移載ヘッドを支持しており、下段の軸上移動機構により上段の軸上移動機構の軸部材を移動し、上段の軸上移動機構により移載ヘッドを移動させることにより、移載ヘッドにピックアップさせた電子部品を基板に実装させる電子部品実装装置であって、上段及び下段それぞれの軸上移動機構が、移動部材の軸部材が貫通した部分の端部を覆って設けられ、移動部材の端部から落下した潤滑油を受けて下方に開口した排出口から排出させる潤滑油カバーと、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられ、潤滑油カバーから排出された潤滑油を受容して流下させる樋部材とを備え、下段の軸上移動機構の潤滑油カバーに、上段の軸上移動機構の樋部材から流下した潤滑油の受容口が設けられた。
【発明の効果】
【００１０】
本発明における軸上移動機構、二次元移動機構及び電子部品実装装置では、移動部材の端部から落下した潤滑油は、移動部材の軸部材が貫通した部分の端部を覆って設けられた潤滑油カバーによって受け止められた後、下方に滴下排出され、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられた樋部材から流下・排出されるので、移動部材の端部から落下した潤滑油によって周囲が汚損されることを防止できる。また、潤滑油シールのように潤滑油の漏れを抑制するわけではないので、劣化した潤滑油を使い続けるようなことがなく、移動部材と軸部材の間の潤滑状態を常に良好に保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態における電子部品実装装置が備える二次元移動機構の部分斜視図、図３は本発明の一実施の形態における電子部品実装装置が備える二次元移動機構の部分正面図、図４は本発明の一実施の形態における電子部品実装装置が備える二次元移動機構を図３の矢視ＩＶ−ＩＶから見た断面図である。
【００１２】
図１において、電子部品実装装置１は基台２、基台２に設けられた搬送路３及び基台２の上面を移動自在な移載ヘッド４と、基台２の両側方に取り付けられた多数のパーツフィーダ（例えばテープフィーダ）５を備えている。搬送路３は基台２の上面に水平面内の一方向（Ｘ軸方向とする）に延びて設けられており、基板６を搬送して所定の電子部品実装位置に位置決めする。各パーツフィーダ５は所定のピックアップ位置Ｓに電子部品を供給し、移載ヘッド４はそのピックアップ位置Ｓに供給された電子部品をピックアップして基板６に実装する。移載ヘッド４は下方に延びて設けられた複数のノズル４ａ（図３参照）の下端部に電子部品を吸着する。
【００１３】
図２、図３及び図４において、移載ヘッド４は基台２上に設けられた二次元移動機構７によって水平面内（ＸＹ面内）で移動される。二次元移動機構７は下段の軸上移動機構である２基のＹ軸上移動機構（ボール螺子移動機構）８と、上段の軸上移動機構である１基のＸ軸上移動機構（ボール螺子移動機構）９から成り、下段の軸上移動機構によって上段の軸上移動機構をＹ軸方向に移動させ、上段の軸上移動機構によって移載ヘッド４をＸ軸方向に移動させる構成となっている。
【００１４】
２基のＹ軸上移動機構８は、図１に示すように、基台２のＸ軸方向に対向して設けられており、各Ｙ軸上移動機構８は、基台２のＸ軸方向の端部をＸ軸と直交する水平面内方向（Ｙ軸方向とする）に延びたＹ軸テーブル２０を有している。各Ｙ軸テーブル２０にはＹ軸方向に延びて上方に突出したＹ軸ガイド２１が設けられており、このＹ軸ガイド２１にはＹ軸ナット部材２２が上方からスライド自在に嵌入している。
【００１５】
各Ｙ軸テーブル２０の上方には、Ｙ軸方向に延びたＹ軸螺子軸２３がＹ軸ナット部材２２と螺合して（Ｙ軸螺子軸２３がＹ軸ナット部材２２に貫装されて）おり、Ｙ軸螺子軸２３の両端はＹ軸テーブル２０の両端に設けられたベアリング内蔵のＹ軸螺子軸支持部材２４によって回転自在に支持されている。このようにＹ軸ナット部材２２とＹ軸螺子軸２３はボール螺子を構成しており、Ｙ軸ナット部材２２はＹ軸ガイド２１によってＹ軸螺子軸２３まわりの回転が規制されているため、Ｙ軸テーブル２０の端部に設けられたＹ軸螺子軸駆動モータ２５（図１）によってＹ軸螺子軸２３を回転駆動すると、Ｙ軸ナット部材２２はＹ軸テーブル２０に沿ってＹ軸方向へスライドする。
【００１６】
Ｘ軸上移動機構９は、両Ｙ軸ナット部材２２の上部に両端が固定されてＸ軸方向に延びたＸ軸テーブル４０を有する。Ｘ軸テーブル４０は水平に突出した上下のフランジ部４０ａ，４０ｂを有して断面コの字状になっており（図２及び図４参照）、この断面形状に合致する断面形状を有するＸ軸ナット部材４１がＸ軸テーブル４０に沿ってスライド自在に係合している。Ｘ軸部材４１には移載ヘッド４が固定されている。
【００１７】
Ｘ軸テーブル４０の側方には、Ｘ軸方向に延びたＸ軸螺子軸４２がＸ軸ナット部材４１と螺合して（Ｘ軸螺子軸４２がＸ軸ナット部材４１に貫装されて）おり、Ｘ軸螺子軸４２の両端は両Ｙ軸ナット部材２２の上部に取り付けられたベアリング内蔵のＸ軸螺子軸移動部材４３によって回転自在に支持されている。このようにＸ軸ナット部材４１とＸ軸螺子軸４２はボール螺子を構成しており、Ｘ軸ナット部材４１はＸ軸テーブル４０に係合してＸ軸螺子軸４２まわりの回転が規制されているため、Ｘ軸テーブル４０の端部に設けられたＸ軸螺子軸駆動モータ４４によってＸ軸螺子軸４２を回転駆動すると、Ｘ軸ナット部材４１はＸ軸テーブル４０に沿ってＸ軸方向へスライドする。
【００１８】
上記のようにＸ軸テーブル４０の両端は両Ｙ軸ナット部材２２に固定されているので、両Ｙ軸螺子軸２３を同時かつ同方向に回転駆動すると、Ｘ軸テーブル４０はＹ軸方向へ移動する。また、Ｘ軸螺子軸４２はその両端がＸ軸螺子軸支持部材４３を介して両Ｙ軸ナット部材２２に取り付けられているので、Ｘ軸テーブル４０がＹ軸方向へ移動すると、Ｘ軸螺子軸４２もＹ軸方向へ移動する。
【００１９】
このような構成の二次元移動機構７において、両Ｙ軸上移動機構８によるＸ軸上移動機構９のＹ軸方向への移動と、Ｘ軸上移動機構９によるＸ軸ナット部材４１のＹ軸方向への移動とを組み合わせることにより、移載ヘッド４を水平面内（ＸＹ面内）で移動させて、移載ヘッド４にピックアップさせた電子部品を基板６に実装することができる。
【００２０】
ところで、この二次元移動機構７におけるＸ軸ナット部材４１とＸ軸螺子軸４２の接触面及び各Ｙ軸ナット部材２２とＹ軸螺子軸２３の接触面には、図示しない潤滑油供給装置により、必要に応じて潤滑油が供給される。これにより部材同士の接触面の焼き付き等が防止されるわけであるが、Ｘ軸螺子軸４２上及びＹ軸螺子軸２３上の潤滑油は、Ｘ軸ナット部材４１がＸ軸螺子軸４２上を移動し、またＹ軸ナット部材２２がＹ軸螺子軸２３上を移動することによってＸ軸ナット部材４１の両端部及びＹ軸ナット部材２２の両端部に掻き出されてしまう。このようにＸ軸ナット部材４１及びＹ軸ナット部材２２に掻き出された潤滑油がそのまま下方に垂れてしまうと基板６や電子部品等に付着して不都合であるの
で、このような潤滑油により周囲が汚損されることを防止するため、本実施の形態における電子部品実装装置１（二次元移動機構７）の軸上移動機構（Ｙ軸上移動機構８及びＸ軸上移動機構９）には、以下に説明する潤滑油カバー及び樋部材から成る潤滑油回収装置が備えられている。
【００２１】
図２、図３及び図４において、Ｘ軸ナット部材４１には、Ｘ軸ナット部材４１のＸ軸螺子軸４２が貫通した部分の両端部をＸ軸ナット部材４１の外方から覆うＸ軸潤滑油カバー４６が設けられており、Ｘ軸螺子軸４２の下方にはＸ軸螺子軸４２と平行に延びたＸ軸樋部材４７がＸ軸テーブル４０の下面に取り付けられている。そして、Ｘ軸潤滑油カバー４６には下方に開口した潤滑油排出口４６ａが設けられており、Ｘ軸樋部材４７の両端部には上下に貫通した潤滑油排出口４７が設けられている。ここで、Ｘ軸潤滑油カバー４６の潤滑油排出口４６ａはＸ軸樋部材４７と上下に対向しており、Ｘ軸樋部材４７はその中間部から両端部に向けて下降するように若干の傾斜が設けられている。
【００２２】
また、Ｙ軸ナット部材２２にはＹ軸ナット部材２２のＹ軸螺子軸２３が貫通した部分の両端部をＹ軸ナット部材２２の外方から覆うＹ軸潤滑油カバー２８が設けられており、Ｙ軸螺子軸２３の下方にはＹ軸螺子軸２３と平行に延びたＹ軸樋部材２９がＹ軸テーブル２０の下面に取り付けられている。
【００２３】
各Ｙ軸潤滑油カバー２８には下方に開口した潤滑油排出口２８ａが設けられており、そのうちＸ軸樋部材４７の下方に位置するものには、上方に開口した潤滑油受容口２８ｂが設けられている。各Ｙ軸潤滑油カバー２８の潤滑油排出口２８ａとその下方のＹ軸樋部材２９は上下に対向し、潤滑油受容口２８ｂが設けられたＹ軸潤滑油カバー２８については、その潤滑油受容口２８ｂはＸ軸樋部材４７の潤滑油排出口４７と上下に対向している。そして、Ｙ軸樋部材２９はその中間部から両端部に向けて下降するように若干の傾斜が設けられている。
【００２４】
ここで、Ｘ軸ナット部材４１がＸ軸螺子軸４２上を移動すると、Ｘ軸ナット部材４１のＸ軸螺子軸４２が貫通した部分の端部からＸ軸ナット部材４１によって掻き出された潤滑油が落下する（場合によってはＸ軸螺子軸４２の回転によって飛散する）が、その落下した潤滑油はＸ軸潤滑油カバー４６によって受け止められて、潤滑油排出口４６ａから下方のＸ軸樋部材４７に滴下排出される（図４中に示す矢印Ａ）。そして、Ｘ軸樋部材４７に排出された潤滑油は、Ｘ軸樋部材４７に沿って端部側へ向けて流下し、潤滑油排出口４７から滴下してその直下のＹ軸潤滑油カバー２８の潤滑油受容口２８ｂからＹ軸潤滑油カバー２８内へ流入する（図４中に示す矢印Ｂ）。
【００２５】
また、各Ｙ軸ナット部材２２がＹ軸螺子軸２３上を移動すると、Ｙ軸ナット部材２２のＹ軸螺子軸２３が貫通した部分の端部からＹ軸ナット部材２２によって掻き出された潤滑油が落下する（場合によってはＹ軸螺子軸２３の回転によって飛散する）が、その落下した潤滑油はＹ軸潤滑油カバー２８によって受け止められて、潤滑油排出口２８ａから下方のＹ軸樋部材２９に滴下排出される（図４中に示す矢印Ｃ）。潤滑油受容口２８ｂが設けられて上方のＸ軸樋部材４７からの潤滑油が滴下されるＹ軸潤滑油カバー２８については、そのＸ軸樋部材４７からＹ軸潤滑油カバー２８内に流入した潤滑油も潤滑油排出口２８ａから下方のＹ軸樋部材２９に滴下排出される。
【００２６】
このように、各Ｙ軸樋部材２９に排出された潤滑油は、それぞれＹ軸樋部材２９を流下し、その端部に設けられた所定の潤滑油回収孔（図示せず）に滴下排出され、回収される。
【００２７】
このように、本実施の形態における電子部品実装装置１は、下段の軸上移動機構（２基
のＹ軸上移動機構８）と上段の軸上移動機構（Ｘ軸上移動機構９）から成る二次元移動機構７を有しており、各軸上移動機構８，９はそれぞれ、水平に保持された軸部材（Ｘ軸螺子軸４２、Ｙ軸螺子軸２３）及びこの軸部材が貫装された移動部材（Ｘ軸ナット部材４１、Ｙ軸ナット部材２２）を有している。そして、移動部材の軸部材が貫通した部分の端部を覆って設けられ、移動部材の端部から落下した潤滑油を受けて下方に開口した排出口から排出させる潤滑油カバー（Ｘ軸潤滑油カバー４６、Ｙ軸潤滑油カバー２８）と、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられ、潤滑油カバーから排出された潤滑油を受容して流下させる樋部材（Ｘ軸樋部材４７、Ｙ軸樋部材２９）を備えている。そして更に、下段の軸上移動機構の移動部材であるＹ軸ナット部材２２は上段の軸上移動機構の軸部材であるＸ軸螺子軸４２を支持しており、下段の軸上移動機構の潤滑油カバー（Ｙ軸潤滑油カバー２８）に、上段の軸上移動機構の樋部材（Ｘ軸樋部材４７）から流下した潤滑油の受容口（潤滑油受容口２８ｂ）が設けられている。
【００２８】
このような構成の電子部品実装装置１（二次元移動機構７、Ｙ軸上移動機構８、Ｘ軸上移動機構９）では、移動部材（Ｘ軸ナット部材４１、Ｙ軸ナット部材２２）の端部から落下した潤滑油は潤滑油カバー（Ｘ軸潤滑油カバー４６、Ｙ軸潤滑油カバー２８）によって受け止められた後、下方に滴下排出され、軸部材の下方をその軸部材と平行に延びて設けられた樋部材（Ｘ軸樋部材４７、Ｙ軸樋部材２９）から流下・排出されるので、移動部材の端部から落下した潤滑油によって周囲が汚損されることを防止できる。また、潤滑油シールのように潤滑油の漏れを抑制するわけではないので、劣化した潤滑油を使い続けるようなことがなく、移動部材と軸部材の間の潤滑状態を常に良好に保つことができる。
【００２９】
特に、軸部材が螺子軸（Ｘ軸螺子軸４２、Ｙ軸螺子軸２３）であり、移動部材がナット部材（Ｘ軸ナット部材４１、Ｙ軸ナット部材２２）であって、螺子軸をナット部材に対して相対回転させることにより、ナット部材を螺子軸上で移動させるボール螺子移動機構であるＸ軸上移動機構９とＹ軸上移動機構８では、軸部材の回転によって潤滑油が飛散してしまうおそれがあることから、非常に大きな効果が得られる。
【００３０】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、二次元移動機構７（すなわち軸上移動機構８，９）が移載ヘッド４によって電子部品をピックアップして基板６に実装する電子部品実装装置１に適用される例を示したが、本発明の二次元移動機構（軸上移動機構）は電子部品実装装置１に限られず、移動対象物を軸上或いは水平面内で移動させるあらゆる装置に適用することができる。また、上述の実施の形態では、Ｙ軸樋部材２９及びＸ軸樋部材４７はいずれもその中間部から両端部に向けて下降するように若干の傾斜が設けられているとしていたが、これら樋部材の傾斜は必ずしも設けられていなくても構わない。
【００３１】
また、上述の実施の形態では、Ｘ軸潤滑油カバー４６はＸ軸螺子軸４２の全周を囲む形状になっていたが、移載ヘッド４側（図４における右側）のみをカバーする形状（すなわちＸ軸テーブル４０側に開口した形状）であってもよい。これは、移載ヘッド４とは反対の側（図４における左側）にはＸ軸テーブル４０が設けられており、Ｘ軸ナット部材４１の端部からＸ軸テーブル４０側に飛び散った潤滑油はＸ軸テーブル４０によって受け止められ、下側のフランジ部４０ｂからＸ軸樋部材４７に流下させることができるためである。
【００３２】
また、上述の実施の形態では、螺子軸がナット部材と螺合し、螺子軸をナット部材に対して相対回転させることによりナット部材を螺子軸上で移動させるボール螺子移動機構を本発明の軸上移動機構の例として示したが、本発明はこのようなボール螺子移動機構に限られず、水平に保持された軸部材とこの軸部材が貫装された移動部材から成って移動部材
を軸部材上で移動させる他の形態の軸上移動機構（例えば円形断面のロッドとこのロッドが貫装された部材から成る軸上移動機構）に対しても適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
移動部材の端部から落下した潤滑油によって周囲が汚損されることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態における電子部品実装装置が備える二次元移動機構の部分斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における電子部品実装装置が備える二次元移動機構の部分正面図
【図４】本発明の一実施の形態における電子部品実装装置が備える二次元移動機構を図３の矢視ＩＶ−ＩＶから見た断面図
【符号の説明】
【００３５】
１  電子部品実装装置
４  移載ヘッド
６  基板
７  二次元移動機構
８  Ｙ軸上移動機構（下段の軸上移動機構、ボール螺子移動機構）
９  Ｘ軸上移動機構（上段の軸上移動機構、ボール螺子移動機構）
２２  Ｙ軸ナット部材（移動部材、ナット部材）
２３  Ｙ軸螺子軸（軸部材、螺子軸）
２８  Ｙ軸潤滑油カバー（潤滑油カバー）
２８ａ  潤滑油排出口（排出口）
２８ｂ  潤滑油受容口（受容口）
２９  Ｙ軸樋部材（樋部材）
４１  Ｘ軸ナット部材（移動部材、ナット部材）
４２  Ｘ軸螺子軸（軸部材、螺子軸）
４６  Ｘ軸潤滑油カバー（潤滑油カバー）
４６ａ  潤滑油排出口（排出口）
４７  Ｘ軸樋部材（樋部材）
【図１】
2008130783.tif 000003
【図２】
2008130783.tif 000004
【図３】
2008130783.tif 000005
【図４】
2008130783.tif 000006