(57)【要約】【課題】不純物の影響を抑制できる液体材料およびその製造方法を低コストで提供すること。【解決手段】機能層形成材料が溶媒に溶解、または分散媒に分散されている液体材料であって、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質３３０がさらに分散されている液体材料である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能層形成材料が溶媒に溶解、または分散媒に分散されている液体材料であって、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質がさらに分散されていることを特徴とする液体材料。
【請求項２】
有機エレクトロルミネッセンス材料が溶媒に溶解、または分散媒に分散されている液体材料であって、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質がさらに分散されていることを特徴とする液体材料。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体材料を充填し、当該液体材料をインクジェット装置ヘ供給する供給口を備えることを特徴とする容器。
【請求項４】
請求項３に記載の容器であって、前記供給口の上流側に前記不純物捕捉物質を濾過可能なフィルタを備えることを特徴とする容器。
【請求項５】
有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる第１工程と、
前記溶媒または分散媒に、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を分散させる第２工程と、を含むことを特徴とする液体材料の製造方法。
【請求項６】
有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる第１工程と、
前記溶媒または分散媒に、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を分散させる第２工程と、
前記溶媒または分散媒に分散させた前記不純物捕捉物質の少なくとも一部を濾過して除去する第３工程と、を含むことを特徴とする液体材料の製造方法。
【請求項７】
有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる第１工程と、
前記溶媒または分散媒に、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を分散させる第２工程と、
前記溶媒または分散媒に分散させた前記不純物捕捉物質の少なくとも一部を濾過して除去する第３工程と、
前記第３工程を経た溶媒または分散媒に、再度不純物捕捉物質を分散させる第４工程と、を含むことを特徴とする液体材料の製造方法。
【請求項８】
請求項５〜請求項７のいずれか１項に記載の製造方法により製造された液体材料。
【請求項９】
互いに対向する平板状の電極の間に、少なくとも発光層を含む１または複数の材料層からなる機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記材料層のうちの少なくとも一層が、請求項１または請求項２に記載の液体材料を滴下後に前記溶媒又は分散媒を乾燥除去して形成されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス材料を含む液体材料、液体材料の製造方法、及び液体材料を充填する容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
自発光型の素子の一種に、１対の電極間に狭持した有機エレクトロルミネッセンス物質に電流を流し、当該通電による発光を利用する有機エレクトロルミネッセンス素子がある。エレクトロルミネッセンス物質の選択により赤、緑、青の３原色の発光が可能なため、上記有機エレクトロルミネッセンス素子をマトリクス状に配置することで、フルカラーの有機エレクトロルミネッセンス表示装置を得ることができる。大面積の有機エレクトロルミネッセンス表示装置を低コストで製造するために、調整工程、すなわち有機エレクトロルミネッセンス物質を溶媒に溶解又は分散する工程を経た液体材料の液滴を基板上に滴下し、上記溶媒を乾燥除去して有機エレクトロルミネッセンス物質からなる薄膜を形成するインクジェット法が注目されている。
【０００３】
一般的に有機エレクトロルミネッセンス分子は水分、酸素、その他の不純物に対して非常に敏感であり、これらの不純物が混入したまま有機エレクトロルミネッセンス素子に用いられた場合、寿命劣化、光学特性の低下を招く。そのため、上記液体材料を滴下する前に濾過して不純物を除去する手法（特許文献１）が提案されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１２７９１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、液体材料の調整工程において、上述の不純物を遮断する調液装置は設備が大掛かりになりコスト上昇の要因となるため、低コストというインクジェット法の利点が損なわれるという課題があった。本発明は上記の課題を考慮してなされたものであり、不純物の影響を抑制できる液体材料およびその製造方法を低コストで提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明にかかる液体材料は、機能層形成材料が溶媒に溶解、または分散媒に分散されている液体材料であって、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質がさらに分散されていることを特徴とする。
かかる液体材料であれば、当該液体材料の調整中に発生する不純物、および形成後の機能層内で発生する不純物を捕捉して、当該不純物により悪影響を抑制できる。
【０００７】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる液体材料は、有機エレクトロルミネッセンス材料が溶媒に溶解、または分散媒に分散されている液体材料であって、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質がさらに分散されていることを特徴とする。
かかる液体材料であれば、当該液体材料の調整中に発生する不純物、および形成後の有機エレクトロルミネッセンス層内で発生する不純物を捕捉して、当該不純物により悪影響を抑制できる。
【０００８】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる容器は、上記の不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質が分散された液体材料を充填し、当該液体材料をインクジェット装置ヘ供給する供給口を備えることを特徴とする。
かかる容器であれば、不純物捕捉物質が分散されている液体材料をインクジェット装置に供給でき、混在する不純物捕捉物質により、不純物の悪影響を抑制可能な機能層、特に有機エレクトロルミネッセンス層を容易に形成できる。
【０００９】
好ましくは、上記容器は、上記供給口の上流側に上記不純物捕捉物質を濾過可能なフィルタを備えることを特徴とする。
かかる容器であれば、形成後の機能層、特に有機エレクトロルミネッセンス層に混在する不純物捕捉物質の量および粒子サイズをコントロールでき、不純物の悪影響を抑制しつつ、過剰な不純物捕捉物質による品質の低下も抑制可能な機能層、特に有機エレクトロルミネッセンス層を形成できる。
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる液体材料の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる第１工程と、上記溶媒または分散媒に、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を分散させる第２工程と、を含むことを特徴とする。
かかる製造方法であれば、有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる調整工程で生じる不純物を、次工程で分散させる不純物捕捉物質で捕捉して無害化できる。したがって、寿命等の特性が向上した有機エレクトロルミネッセンス材料層を形成可能な液材を得ることができる。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる液体材料の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる第１工程と、上記溶媒または分散媒に、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を分散させる第２工程と、上記溶媒または分散媒に分散させた上記不純物捕捉物質の少なくとも一部を濾過して除去する第３工程と、を含むことを特徴とする。
かかる製造方法であれば、上記調整工程で生じた不純物を不純物捕捉物質で捕捉した後、不純物と不純物捕捉物質の双方を除去できる。したがって、寿命等の特性が向上した有機エレクトロルミネッセンス材料層を形成可能であり、かつ、発光には寄与しない物質の混在が抑制された液体材料を得ることができる。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる液体材料の製造方法は、有機エレクトロルミネッセンス材料を溶媒に溶解または分散媒に分散させる第１工程と、上記溶媒または分散媒に、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を分散させる第２工程と、上記溶媒または分散媒に分散させた上記不純物捕捉物質の少なくとも一部を濾過して除去する第３工程と、上記第３工程を経た溶媒または分散媒に、再度不純物捕捉物質を分散させる第４工程と、を含むことを特徴とする。
かかる製造方法であれば、上記調整工程で生じた不純物を不純物捕捉物質で捕捉して除去した後、新たに不純物捕捉物質を液体材料中に混在させることができる。したがって、調整時に生じる不純物と有機エレクトロルミネッセンス層に通電する際に生じる不純物の双方に対処可能となり、寿命等の特性がより一層向上した有機エレクトロルミネッセンス材料層を形成可能な液体材料を得ることができる。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかる液体材料は上記のいずれかの製造方法により製造されることを特徴とする。
かかる液体材料であれば、寿命等の特性がより向上した有機エレクトロルミネッセンス材料層を形成できる。
【００１４】
また、上記課題を解決すために、本発明にかかる有機エレクトロルミネッセンス素子は、互いに対向する平板状の電極の間に、少なくとも発光層を含む１または複数の材料層からなる機能層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、上記材料層のうちの少なくとも一層が、機能層形成材料が溶媒に溶解、または分散媒に分散されている液体材料であって不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質がさらに分散されている液体材料を滴下後に、上記溶媒又は分散媒を乾燥除去して形成されていることを特徴とする。
かかる有機エレクトロルミネッセンス素子であれば、上記液体材料を調整中に生じる不純物および上記機能層に通電中に生じる不純物の影響を抑制でき、寿命等の特性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面に従って説明する。本発明は有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、「ＥＬ」と称する。）の機能層をインクジェット法で形成する際の不純物の影響を抑制するものである。そこで、まず有機ＥＬ素子の概要と当該素子内で本発明にかかる液体材料（以下、「液材」と称する。）が用いられる機能層について述べる。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
【００１６】
（有機ＥＬ素子）
本発明にかかる液材、又は本発明にかかる製造方法により得られる液材を用いる有機ＥＬ素子の概要を述べる。図１は、有機ＥＬ素子１１４を、当該有機ＥＬ素子を駆動する駆動用ＴＦＴ１１２と共に示す模式断面図である。基板２０上に駆動用ＴＦＴ１１２が形成され、さらに層関絶縁膜等を介して有機ＥＬ素子１１４が形成されている。
【００１７】
駆動用ＴＦＴ１１２は、島状に形成されたポリシリコン膜からなる半導体層２０４と、当該半導体層のチャネル領域２１６上にゲート絶縁膜２０６を介して形成されたゲート電極２０８とからなる。半導体層２０４は不純物の導入によってソース領域２１２、ドレイン領域２１４が形成され、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域２１６となっている。
【００１８】
駆動用ＴＦＴ１１２上には、第１のコンタクトホール２２４を有する第１層間絶縁膜２３２、および第２のコンタクトホール２２８を有する第２層間絶縁膜２３４が積層されている。第１層間絶縁膜２３２には第１のコンタクトホール２２４が形成され、第２層間絶縁膜２３４が第２のコンタクトホール２２８に形成されており、駆動用ＴＦＴ１１２のドレイン領域２１４はドレイン電極２２６を介して画素電極２４０と導通している。
【００１９】
駆動用ＴＦＴ１１２はゲート電極２０８への電圧の供給によってオン／オフが切り替わり、オン状態となった場合には、画素電極２４０へ図示しない外部回路から供給される駆動電流を供給する。そして後述する陰極層２６０との間に駆動電流を流すことで、画素電極２４０と陰極層２６０との間に形成される機能層３００に含まれる有機発光層３０６（図２参照）を発光させる。
【００２０】
画素電極２４０上には、当該画素電極を底部とし隔壁２５０で周囲を囲まれた凹部が形成されている。そして当該凹部内には少なくとも発光層を含む機能層３００（破線の枠内）が形成され、その上層には、画素電極２４０と対向して当該画素電極と共に機能層３００を狭持する電極としての陰極層２６０と、封止層２７０とが積層される。
【００２１】
機能層３００に含まれる有機発光層３０６は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。画素電極２４０と陰極層２６０との間に電圧を印加することによって、有機発光層３０６には、画素電極２４０側から正孔が、また、陰極層２６０側から電子が注入される。有機発光層３０６は、これらが結合したときに発光する。有機発光層３０６を形成する材料の選択により赤、緑、青の３原色をそれぞれ発光させることができるため、かかる有機ＥＬ素子をマトリクス状に配置すればカラー表示装置を得られる。
【００２２】
（機能層）
図２（ａ）および図２（ｂ）に、機能層３００の模式断面図を示す。図１の破線の枠内を示すものであり、機能層３００を下層の画素電極２４０、および上層の陰極層２６０と共に示している。図２（ａ）は、不純物捕捉物質を混在させた液材を用いて形成した機能層を示すものである。一方、図２（ｂ）は、不純物捕捉物質により不純物を除去した後、当該不純物捕捉物質を濾過した液材を用いて各層を形成した場合を示すものである。
【００２３】
機能層３００は、有機発光層３０６の他に、正孔注入層３０２、正孔輸送層３０４、電子輸送層３０８、および電子注入層３１０の各材料層を含む。正孔輸送層３０４及び電子輸送層３０８は、それぞれ有機発光層３０６への正孔輸送性、電子輸送性を高めて発光効率を向上させる層である。また、正孔注入層３０２及び電子注入層３１０は、それぞれ画素電極２４０、陰極層２６０からの正孔注入効率、電子注入効率を高めて発光効率を向上させる層である。
【００２４】
本発明は、上記各層を、上記凹部内に滴下した液材から溶媒等を乾燥除去して形成する場合における、当該液材およびその製造方法にかかるものである。すなわち、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質を用いて、上記液材に混入している不純物を除去し、また、上記不純物捕捉物質が混在する液材により上記機能層を形成することで、上記機能層に通電する際に発生する不純物にも対応するものである。
なお有機ＥＬ材料とは、狭義では有機発光層３０６を形成する材料であるが、広義では上述の機能層３００を形成する各層の形成材料を示す場合もあり得る。
【００２５】
（第１の実施形態）
図３に、本発明の第１の実施形態にかかる液材の製造方法を示す。本実施形態は、調整工程すなわち機能層を形成する各層のいずれかの材料を分散または溶解する工程を経た液材３０を、連続して２つのカラムを通過させている。すなわち、不純物を取り込む機能を有する不純物捕捉物質としてのモレキュラーシーブ３３０が充填された第１カラム３３１を通過させた後、フィルタ３３６が充填された第２カラム３３２を通過させている。第１カラム３３１、および第２カラム３３２を通過した液材３０は容器３１６に移送され、その後、当該容器の注入口をシール材（図示せず）で密封される。
【００２６】
液槽３５３は、液材３０を調整する容器であり、溶媒又は分散媒（以下、「溶媒等」と称する。）に機能層形成材料を加えた後、振動装置３１８上に載置される。振動装置３１８は液槽３５３に振動を付与することで当該液槽内の液材３０を攪拌して、機能層形成材料を溶解又は分散させる。
【００２７】
第１カラム３３１には上述したように、不純物捕捉物質としてのモレキュラーシーブ３３０が充填されている。モレキュラーシーブ３３０は、結晶性ゼオライトであり、アルミノケイ酸塩質の結晶材料である。結晶中の微細な細孔により特定のサイズの分子を捕捉できる。捕捉された分子は、当該モレキュラーシーブの内部に向かって移動して、その内部で物理的に吸収されるため、捕捉された後に再び放出されることはない。したがって、第１カラム３３１内を通過する液材３０から、機能層形成材料以外の不純物を選択的に捕捉して取り除くことができる。
【００２８】
上記不純物の種類、あるいはサイズは多様であるため、第１カラム３３１内には複数の種類のモレキュラーシーブ３３０を混在させて、広範囲の不純物を捕捉させることが好ましい。モレキュラーシーブ３３０は、単分子または数個の分子の凝集体あるいは、径０．２μｍ程度の凝集体で用いる。
【００２９】
第２カラム３３２にはフィルタ３３６が充填されており、当該カラム内を通過する液材３０に混在する所定以上の大きさの粒子を濾過する。上記所定以上の大きさの粒子には、モレキュラーシーブ３３０と不純物との双方が含まれる。
【００３０】
不純物をフィルタ３３６で濾過するのは、モレキュラーシーブ３３０では濾過しきれない大きさの不純物に対処するためである。上述したように、モレキュラーシーブ３３０は不純物を内部に取り込むことで捕捉するものである。したがって、多くの種類のモレキュラーシーブ３３０を用いても、大きすぎて捕捉できない不純物が生じ得る。
【００３１】
モレキュラーシーブ３３０については、液材３０中に含まれる不純物を除去する機能のみを課す場合、容器３１６に密封する前の段階で、内部に捕捉した不純物ごと濾過する。モレキュラーシーブ３３０は機能層３００の発光には寄与しないため、かかる場合には濾過することが好ましい。
【００３２】
また、モレキュラーシーブ３３０に、機能層に通電することにより発生する不純物を捕捉する機能をも課す場合においても、所定の大きさ以上の凝集体として存在するものは取り除くことが好ましい。所定の大きさ以上のモレキュラーシーブ３３０は機能層３００を形成する各層の平坦性を損ねるため、結果的に品質を低下させるからである。
【００３３】
その他、ポンプ３１３は、液槽３５３内の液材を最終的に容器３１６まで流動させる圧力源であり第１〜第５のバルブ３２１〜３２５は、カラム等の交換時に対応している。第１バルブ３２１、第２バルブ３２２はポンプ３１３の交換時、第２バルブ３２２、第３バルブ３２３は第１カラム３３１の交換時、第４バルブ３２４、第５バルブ３２５は第２カラム３３２の交換時、にそれぞれ用いられる。
【００３４】
本実施形態にかかる液材３０の製造方法は、モレキュラーシーブ３３０による不純物の除去（捕捉）を液材３０の調整工程とは別工程としていることが特徴である。その結果、それぞれの工程を最適な条件で行うことができる。また、カラムを用いているため、モレキュラーシーブ３３０の分布が一部に偏ることが無く、すべての液材３０が均等にモレキュラーシーブ３３０と接触するように処理できる。さらに、液槽３５３を複数個用意して、調整が終了した液槽３５３を順次処理することで生産効率を向上させることもできる。
【００３５】
なお、図３では、モレキュラーシーブ３３０とフィルタ３３６にそれぞれ１個のカラムを用いているが、複数個のカラムを連結して用いることも可能である。そうすることにより、対象とする不純物に合わせて複数種のモレキュラーシーブ３３０を用いることが容易となる。
【００３６】
（第２の実施形態）
図４に、本発明の第２の実施形態にかかる液材の製造方法を示す。本実施形態は、液材３０の調整時に不純物の捕捉も同時に行うものである。したがって、モレキュラーシーブ３３０を充填したカラムは用いておらず、フィルタ３３６を充填したカラム３３３のみ用いている。図示するように、振動装置３１８上に載置された液槽３５３内にモレキュラーシーブ３３０加えて、液材３０を攪拌させて調整する。その際、モレキュラーシーブ３３０も同時に攪拌されるため、液材３０に混入している不純物を効率的に捕捉できる。調整および不純物の捕捉が終了した液材３０はカラム３３３を通過した後、容器３１６に収納され密封される。
【００３７】
カラム３３３に充填するフィルタ３３６の目の粗さ（密度）は、液槽３５３内に加えるモレキュラーシーブ３３０の粒径、および液材３０を容器３１６に密封する際に当該液材中にモレキュラーシーブ３３０を混在させるか否か等によって定める。液材３０の調整時に生じる不純物を除去することのみが目的であれば、フィルタ３３６の目を細かくして、液材３０を容器３１６に密封する際に完全にモレキュラーシーブ３３０を除去することが好ましい。また、機能層３００に通電する際に新たに生じる不純物に対処するため、フィルタ３３６の目を荒くして、若干のモレキュラーシーブ３３０を濾過せずに残留させることもできる。
【００３８】
なお、本実施形態のポンプ３１３やバルブ（符号なし）の機能は、第１の実施形態における機能と同様である。ポンプ３１３は、液槽３５３内の液材を最終的に容器３１６まで流動させる圧力源であり、バルブは、カラム３３３およびポンプ３１３の交換時等に使用する。
【００３９】
本実施形態は、モレキュラーシーブ３３０による不純物の捕捉を液槽３５３内で行うため、カラムを１本で済ますことができ、全体の構成を簡素化できる。また、液材３０の調整が終了した後も攪拌を続けてモレキュラーシーブ３３０による不純物の除去（捕捉）を継続できるため、モレキュラーシーブ３３０の能力を充分生かすことができ、一層純度の高い液材を得ることができる。さらに、カラム交換のコストも抑制できる。
【００４０】
（第３の実施形態）
図５に、本発明の第３の実施形態にかかる液材の製造方法を示す。本実施形態は、液槽を第１の液槽３５１と第２の液槽３５２の２槽用いていることが特徴である。第１の液槽３５１では液材３０の調整をモレキュラーシーブ３３０を混在させた状態で行う。そして、液材３０中に混入している不純物をモレキュラーシーブ３３０で捕捉する。第１の液槽３５１で用いるモレキュラーシーブ３３０は後工程で除去するため、機能層３００（図２参照）に与える影響を考慮することなく自由に選択できる。したがって、混在させる量や粒径等に考慮することなく、液材３０に混入している不純物の捕捉に最適なものを選択できる。
【００４１】
カラム３３３では、液材３０を当該カラムに充填されているフィルタ３３６を通過させて、当該液材に混在しているモレキュラーシーブ３３０を、当該モレキュラーシーブが捕捉した不純物もろとも濾過して除去する。濾過後の液材３０には新たにモレキュラーシーブ３３０を混在させるので、濾過時にはモレキュラーシーブ３３０を残留させる必要がない。したがって、カラム３３３内のフィルタ３３６の目は、他の実施形態におけるフィルタ３３６の目よりも細かくすることができる。
【００４２】
第２の液槽３５２では、濾過後の液材３０に新たにモレキュラーシーブ３３０を加えて、再度調整する。不純物は既に除去されているので、新たに加えたモレキュラーシーブ３３０が液材３０中に均一に分布されれば調整は終了する。
【００４３】
この工程で加えるモレキュラーシーブ３３０は、機能層３００に通電する際に発生し得る不純物を捕捉することのみが目的なので、かかる用途のみに適した種類および粒径等のモレキュラーシーブ３３０を選択することが好ましい。
【００４４】
調整後の液材３０は、上記他の実施形態と同様に容器３１６に収納され密封される。また、本実施形態はポンプを２台用いているが、バルブ（符号は省略）も含めて、その機能は他の実施形態における機能と同様である。第１のポンプ３１１は第１の液槽３５１内の液材３０をカラム３３３を経て第２の液槽３５２まで移送する。そして第２のポンプ３１２は、第２の液槽３５２内の液材３０を容器３１６まで移送する。
【００４５】
本実施形態の液材３０の製造方法は、液槽を２槽用意し、双方の液槽でモレキュラーシーブ３３０を混在させて液材３０の調整を行うことが特徴である。したがって、第１の液槽３５１では液材３０に混入している不純物の除去、第２の液槽３５２では機能層３００に分布させるモレキュラーシーブを加えての調整、と役割を分担させることができる。その結果、それぞれの役割に適したモレキュラーシーブ３３０を用いることができ、不純物の影響をより一層抑制した液材を得ることができる。
【００４６】
（密封容器）
図６に、上記第１の実施形態〜第３の実施形態により得られる液材を収容する容器を例示する。請求項３および４に対応するものであり、インクジェット装置の液材供給源となるものである。図６（ａ）に示す容器は硬質な材料で形成されたインクカートリッジであり、図６（ｂ）に示す容器は熱可塑性フィルム材料で形成されたインクパックである。
【００４７】
双方の容器とも、モレキュラーシーブ３３０により不純物を除去された液材を注入する注入口６０２と、インクジェット装置に液材を供給する供給口６０４を備えている。注入口は液材の収容が終了した後、シール材で封止される。
【００４８】
モレキュラーシーブ３３０を混在させた状態で液材を収容すると、使用（液材供給）直前まで不純物を捕捉できる効果があるが、一方で、機能層３００にモレキュラーシーブ３３０を混在させることが好ましくない場合もあり得る。その場合は、供給口６０４にフィルタを備えることで対処できる。
【００４９】
図７は、インクカートリッジにおける、かかる態様の供給口６０４の断面を示すものである。供給口６０４はインクカートリッジの下方に凸状に形成されており、遮気性フィルム７０２が貼付されたパッキン７０４で塞がれている。そして供給路７０６の入り口にはフィルタ７０８が装着されており、液材の使用直前にモレキュラーシーブ３３０を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】有機ＥＬ素子を、当該素子を駆動する駆動用ＴＦＴと共に示す模式断面図。
【図２】機能層の模式断面図。
【図３】第１の実施形態にかかる液材の製造方法を示す図。
【図４】第２の実施形態にかかる液材の製造方法を示す図。
【図５】第３の実施形態にかかる液材の製造方法を示す図。
【図６】液材を収容する容器を示す図。
【図７】供給口の断面図。
【符号の説明】
【００５１】
２０…基板、３０…液材、１１２…駆動用ＴＦＴ、１１４…有機ＥＬ素子、２０４…半導体層、２０６…ゲート絶縁膜、２０８…ゲート電極、２１２…ソース領域、２１４…ドレイン領域、２１６…チャネル領域、２２４…第１のコンタクトホール、２２６…ドレイン電極、２２８…第２のコンタクトホール、２３２…第１層間絶縁膜、２３４…第２層間絶縁膜、２４０…画素電極、２５０…隔壁、２６０…陰極層、２７０…封止層、３００…機能層、３０２…正孔注入層、３０４…正孔輸送層、３０６…有機発光層、３０８…電子輸送層、３１０…電子注入層、３１３…ポンプ、３１６…容器、３１８…振動装置、３２１…第１バルブ、３２２…第２バルブ、３２３…第３バルブ、３２４…第４バルブ、３２５…第５バルブ、３３０…モレキュラーシーブ、３３１…第１カラム、３３２…第２カラム、３３３…カラム、３３６…フィルタ、３５１…第１の液槽、３５２…第２の液槽、３５３…液槽、６０２…注入口、６０４…供給口、７０２…遮気性フィルム、７０４…パッキン、７０６…供給路、７０８…フィルタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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