(57)【要約】【課題】複数のシートを貼付して積層した積層シートを、予め傷などをつけずに、確実にシートを剥離する方法とそれに用いる剥離装置を提供する。【解決手段】複数のシートを貼付け積層してなる積層シート８を載置し、位置決め保持する支持基台９と、真空吸着部を有し、前記積層シート８の一部に当接させて吸引保持した後、振動を印加して表層のシート８ａをめくり上げる振動源１０と、このめくり上げた表層のシート８ａを保持して移動させることにより、前記積層シート８の全面から剥離する剥離手段１２とからなる積層シート８の剥離装置であって、前記振動源１０を積層シート８の角部へ当接させて振動を印加することにより、表層のシート８ａをめくり上げる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のシートを貼付け積層してなる積層シートを、支持基台上に載置し位置決め保持する第一の工程と、真空吸着部を有した振動源を前記積層シートの一部へ当接させて吸引保持した後、振動を印加して前記積層シートの表層のシートをめくり上げる第二の工程と、このめくり上げたシートを保持して移動させることにより、前記積層シートの全面から剥離する第三の工程とからなる積層シートの剥離方法であって、前記第二の工程において、振動源を積層シートの角部へ当接させて表層のシートをめくり上げる積層シートの剥離方法。
【請求項２】
振動が超音波である請求項１に記載の積層シートの剥離方法。
【請求項３】
第二の工程において、振動源で吸引保持した積層シートの角部を持ち上げた後、振動を印加して前記積層シートの表層のシートをめくり上げる請求項１または請求項２に記載の積層シートの剥離方法。
【請求項４】
シートの共振周波数がそれぞれ異なる請求項１〜３のいずれか一つに記載の積層シートの剥離方法。
【請求項５】
シートは、プリプレグまたはＰＥＴフィルムである請求項４に記載の積層シートの剥離方法。
【請求項６】
複数のシートを貼付け積層してなる積層シートを載置し、位置決め保持する支持基台と、真空吸着部を有し、前記積層シートの一部に当接させて吸引保持した後、振動を印加して表層のシートをめくり上げる振動源と、このめくり上げた表層のシートを保持して移動させることにより、前記積層シートの全面から剥離する剥離手段とからなる積層シートの剥離装置であって、前記振動源を積層シートの角部へ当接させて振動を印加することにより、表層のシートをめくり上げる積層シートの剥離装置。
【請求項７】
振動源が超音波振動源である請求項６に記載の積層シートの剥離装置。
【請求項８】
支持基台の角部に昇降機構を設けた請求項６または請求項７に記載の積層シートの剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のシートを貼付して積層した積層シートから、シートをめくり上げて剥離する方法とそれに用いる剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、多層基板などのプリント配線板の製造工程において、シート状の基材にフィルムを貼付した積層シートが用いられている。基材としては、ガラスエポキシやアラミド不織布、銅張積層板などであり、フィルムとしてはフィルムレジストやその保護フィルム、ＰＥＴなどである。層間の電気的導通を得るためのビア孔の加工工程や、回路パターンを形成する露光工程で使用される。
【０００３】
これらのフィルムは、その工程の終了後に基材から剥離する必要があり、従来は図１２に示す剥離方法が用いられていた。図１２は銅張積層板１に熱圧着されたフィルムレジスト２の表面を保護する保護フィルム３を、その片端よりめくり上げて剥離する方法を示している。
【０００４】
まず初めに、保護フィルム３上から振動ペン４を用いて、一辺の中央あたりに傷をつける。次に銅張積層板１の一辺へ、その進行方向からエアノズル５により略水平にエアを噴きつけることにより、傷を起点として保護フィルム３の一端をめくり上げる。最後に光電センサ６により、保護フィルム３の両端のめくり上がり部分を検出してフィルム巻取り手段７で把持して剥離を行う方法である。
【０００５】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平８−１８１４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の方法は、めくり上がりの起点を作るため、エアを噴きつける前に必ず振動ペン４などを用いて保護フィルム３に傷を付ける必要があった。しかし、保護フィルム３のみに傷を付けることは非常に困難であり、またフィルム巻取り手段７に把持して剥離を行う際に、保護フィルムが傷を起点にして途中で切れるなどの課題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、傷などを付けずに確実にフィルムを剥離できる方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、複数のシートを貼付け積層してなる積層シートを、支持基台上に載置し位置決め保持する第一の工程と、真空吸着部を有した振動源を前記積層シートの一部へ当接させて吸引保持した後、振動を印加して前記積層シートの表層のシートをめくり上げる第二の工程と、このめくり上げたシートを保持して移動させることにより、前記積層シートの全面から剥離する第三の工程とからなる積層シートの剥離方法であって、前記第二の工程において、振動源を積層シートの角部へ当接させて表層のシートをめくり上げるので、予め積層シートに傷を入れる必要がない。また、本剥離装置を用いることにより、積層シートの全面から確実に表層のシートを剥離することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る積層シートの剥離方法によれば、複数のシートを貼付け積層してなる積層シートを位置決め保持した後、その角部へ真空吸着部を有する振動源を当接させて吸引保持しながら少し持ち上げ、超音波振動を印加することで、予めシートに傷などを付けることなくその角部から表層のシートを容易にめくり上げることができる作用効果を奏するものである。さらに、本発明に係る剥離装置を用いることにより、このめくり上げられた表層のシートを、積層シートの全面から確実に剥離することができる作用効果も同時に奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１を、図を用いて説明する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施の形態における積層シートの構成を示す拡大斜視図である。本実施の形態の積層シート８は、二枚のシート８ａ、８ｂを積層して貼付した二層構造とした。下層のシート８ｂは、グリーンシートや、プリプレグと呼ばれるガラスエポキシ、アラミド不織布にエポキシなどの熱硬化性樹脂を含浸させたシート状の基材であり、表層のシート８ａは、ＰＰやＰＥＴなどからなるシート状のフィルムである。この表層のシート８ａを、下層のシート８ｂへ、熱圧着などにより貼付したものである。
【００１２】
図２は、本発明の一実施の形態における積層シートの剥離装置の構成を示す正面図である。
【００１３】
本実施の形態における積層シートの剥離装置は、積層シート８を載置して位置決め保持する支持基台９と、積層シート８の角部の上方へ配設され、これら両方の角部を吸着保持して持ち上げ、振動を印加することで表層のシート８ａをめくり上げる振動源１０と、振動源１０に接続され、振動周波数、振動印加時間、振幅などを制御する制御ユニット１１と、通常は振動源１０より奥へ回避し、めくり上げられた表層のシート８ａを保持して移動することで、積層シート８の全面から剥離する剥離手段１２とから構成されている。
【００１４】
支持基台９の天面は、真空吸着、静電吸着などの機構を有しており、積層シート８の角部を、この天面部の角部へ正確に位置決めして保持することができる。さらに、支持基台９の角部の一部は、昇降可能な機構９ａを有しており、振動源１０に積層シート８の角部を吸引保持した後、この角部の裏面を支持しない位置、例えば点線で示す位置まで降下させる。そして、積層シート８の角部を振動源１０により自由振動させることにより、表層のシート８ａをめくり上げる。
【００１５】
振動源１０は、昇降機構１３と、振動ユニット１４とから構成されており、さらに振動ユニット１４は、ホーン１５、ホーン１５への振動を増幅させるコーン１６、超音波振動源１７とから構成されている。超音波振動源１７は、制御ユニット１１からの信号により、所定の周波数および振幅の超音波を発生させるものであり、フェライト振動子、ニッケル振動子などのいわゆる磁歪素子や、ＰＺＴなどの圧電アクチュエータなどである。これらの振動源を用いることにより、約１０〜４０ＫＨｚの発振周波数を得ることができる。
【００１６】
また、コーン１６、ホーン１５により、超音波振動源１７からの発振された超音波の縦方向の振幅、すなわち、ｚ方向の振幅を増幅させることができる。例えば、コーン１６およびホーン１５がそれぞれ二倍の振幅増幅率を有している場合、これらにより、超音波振動源１７から発振された２０ミクロンの振幅は、ホーン１５の先端（底面）で８０ミクロンまで増幅される。これらの増幅率は、表層のシート８ａと下層のシート８ｂとの接着強度を考慮して適宜選択するものである。また、ホーン１５の先端、積層シート８の表面へ当接させる面には真空吸着部を設けている。この真空吸着部は、ホーン１５の内部を通じ、吸引口１５ａを介して真空源に連結されている。
【００１７】
また、昇降機構１３は、リニアガイド１３ａと、振動ユニット１４と連結するジョイント１３ｂとを有し、スムーズに振動ユニット１４を昇降させることが可能である。支持基台９の角部に昇降可能な機構９ａを設けない場合、ホーン１５で積層シート８の角部を吸引保持した後、少し上昇させて積層シート８の裏面から支持をはずし、ホーン１５により積層シート８の角部を自由振動させる。このとき、積層シート８の角部、ホーン１５を当接させる位置は、図３の上面図に示すように、積層シート８の角部に通じる対角線上に略沿った位置とした。対角線上に略沿った位置で、積層シート８の角部を吸引保持することで、両端に拘束されず角部を自由端として振動させることができる。
【００１８】
制御ユニット１１は、その内部にＣＰＵ、メモリ、入出力インターフェース、Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータなどを有している。ＣＰＵなどで決定された超音波振動の周波数や振幅などのデジタル信号を、アナログ信号に変換して、超音波ユニット１４へ送り出す。
【００１９】
以下に、上記の剥離装置を用いた積層シートの剥離方法について、図を用いて説明する。尚、構成部品は一部簡略化している。
【００２０】
まず初めに、図４に示すごとく、支持基台９の天面部へ積層シート８を載置して位置決め保持する。そして、この積層シート８の上方に配設した振動ユニット１４（図２）の先端のホーン１５を降下（ｚ方向）させる。このとき、支持基台９の角部に設けた昇降可能な機構９ａは、支持基台９の天面部と略同じ高さに維持しておく。尚、支持基台９の天面部は、真空吸着または静電気などにより積層シート８を吸引保持する機構を有しており、積層シート８の角部を、支持基台９の角部の若干内側へ、角部に沿って位置決め固定する。
【００２１】
次に、図５に示すごとく、ホーン１５の先端（底面）を、積層シート８の角部へ当接させて、ホーン１５の先端の真空吸着部により吸引保持し、図６に示すごとく、支持基台９の角部に設けた昇降可能な機構９ａを降下させる。本実施の形態では、二つのホーン１５を、積層シート８の両角部へ当接させた後、吸引させる。昇降可能な機構９ａを降下させることにより、ホーン１５の先端に積層シート８の角部は裏面の支持がなく、持ち上げられることになる。尚、支持基台９の角部に昇降可能な機構９ａを設けない場合、ホーン１５を積層シート８の角部へ当接させた後、若干上昇させることで、角部の裏面を支持しない状態とすることができる。
【００２２】
次に、図７に示すごとく、積層シート８の角部をホーン１５の先端で持ち上げた状態で、ホーン１５を振動させることにより、角部を自由振動させる。図１に示したように、本実施の形態の積層シートは、ＰＥＴやＰＰなどからなる表層のシート８ａを、プリプレグなどからなる下層のシート８ｂへ貼付けしたものである。そのため、表層、下層のシート８ａ、８ｂは、それぞれ材料も異なり、通常、その厚さも異なる。例えば、ＡＬＩＶＨなどの多層基板の場合、ＰＥＴなどの上層のシート８ａは厚み１０〜２０ミクロン、下層のシート８ｂは厚み６０〜１００ミクロンである。また、ヤング率も、ＰＥＴが５５０ｋｇ／ｍｍ２に対し、アラミドが１０５０ｋｇ／ｍｍ２と異なる。したがって、両者の共振周波数は互いに異なることで、界面から表層のシート８ａがめくり上がることになる。さらに、積層シート８の角部へ通じる対角線上に略沿った位置で、角部を吸引保持することで、角部を自由端として両端に拘束されることなく振動させることができるので、容易に表層のシート８ａをめくり上げることができる。図７の斜線部は、積層シート８の角部で、表層のシート８ａがめくり上がり、下層のシート８ｂの表面が露出しているものである。
【００２３】
次に、図８に示すごとく、支持基台９の角部に設けた昇降可能な機構９ａを上昇させて、角部の裏面を支持する。そして、この積層シート８の角部、めくり上げられた表層のシート８ａ（図中、二点鎖線より外側の角部）へ、剥離手段１２を降下（ｚ方向）させて当接させる。剥離手段１２の底面には、真空吸着などの吸引機構を有しており、めくり上げられた表層のシート８ａに当接させた後に吸引して保持する。
【００２４】
そして最後に図９に示すごとく、めくり上げた表層のシート８ａを吸引保持した剥離手段１２を、一定の高さまで上昇（ｚ方向）させ、次に水平方向（ｙ方向）に移動させることにより、積層シート８の一辺から、平行に、表層のシート８ａを全面剥離する。
【００２５】
上記実施の形態は、積層シート８を、二枚のシートを貼付け積層した積層シートとしたが、下層のシート８ｂの両面に表層のシート８ａを貼付した三層の積層シートであっても適用可能である。
【００２６】
上述した、積層シートの剥離方法およびそれに用いる剥離装置により、複数のシートを貼付して積層した積層シートから、予めシートに傷をつけることなく、確実にその全面から剥離することができる。
【００２７】
（実施の形態２）
次に、実施の形態２を用いて、詳細を説明する。
【００２８】
図１０は、本発明の一実施の形態における、積層シートの剥離装置の別の一例を示す斜視図である。本実施の形態では、積層シートを、図１１に示す三枚のシート１８ａ、１８ｂ、１８ｃを貼付け積層した構成とし、その両面のシート１８ａ、１８ｃを剥離する装置の一例である。
【００２９】
図１０において、１９は第一のホーンを示し、図示していないが、コーン、超音波振動源、少なくともｙ−ｚ方向の駆動機構を有している。この第一のホーン１９の積層シート１８を当接させる面には、真空吸着部２０を設けてあり、この真空吸着部２０により、積層シート１８の角部を確実に吸着保持し、超音波振動源からの振動を積層シート１８に伝達する。本実施の形態では、超音波振動源からの振動で、積層シート１８がｘ方向に振動するように構成されている。
【００３０】
先ず初めに、積層シート１８の一辺を懸架手段２１で挟持して懸架する。次に、第一のホーン１９を、積層シート１８の角部へ当接させ、真空吸着部２０により吸引保持する。次に、第一のホーン１９により吸引保持した角部を振動させることで表層のシート１８ｃをめくり上げる。上記を再度、表層のシート１８ａへ、第二のホーン２２を当接させ、表層のシート１８ａをめくり上げる。そしてこれらめくり上げた表層のシート１８ａ、１８ｃを、第一、第二のホーン１９、２２で吸引しながら互いに引き離す方向（±ｘ方向）に移動させることで、めくり上がり部分を拡大させる。そして最後に、残るシート１８ｂを、把持手段２３を挿入して挟持し、第一、第二のホーン１９、２２と同期させて互いに逆方向へ移動させることで、その両面から表層のシート１８ａ、１８ｃとを剥離するものである。
【００３１】
上記の剥離方法と剥離装置により、めくり上がりの起点となる傷が不要で、確実に表層のシートを剥離することができる。さらに、上記実施の形態のように、懸架して行うことで、大面積の積層シートであっても、その両面から確実に表層のシートを剥離することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明に係る積層シートの剥離方法によれば、複数のシートを貼付け積層してなる積層シートを位置決め保持した後、その角部へ真空吸着部を有する振動源を当接させて、吸引保持しながら振動させることで、角部の表層のシートを容易にめくり上げることができる作用効果を奏するものである。さらに、本発明に係る剥離装置を用いることにより、大面積の積層シートであっても、その両面から表層のシートを確実に剥離することができるので、複数のシートを貼付して積層した積層シートから、シートをめくり上げて剥離する方法とそれに用いる剥離装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本実施の形態における積層シートの一例を示す部分斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における剥離装置の構成を説明する正面図
【図３】同装置におけるホーンの位置を説明する部分上面図
【図４】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図５】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図６】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図７】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図８】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図９】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図１０】本発明の別の剥離装置の構成を説明する斜視図
【図１１】本発明の別の剥離装置で用いる積層シートの一例を示す部分斜視図
【図１２】従来の剥離方法を説明する側面図
【符号の説明】
【００３４】
８  積層シート
９  支持基台
１０  振動源
１２  剥離手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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