(57)【要約】【課題】装置本体の軽量化に貢献することができると共に強度の確保を実現することができる浮上搬送装置を提供する。【解決手段】装置本体に複数配置されたノズル部材２２に形成されたノズル２２ｄの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送すると共に、ハニカム状に構成された天板３１に臨むノズル部材２２を水平面内で回転可能な円柱体から構成した。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置本体に複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送する浮上搬送装置において、
前記ノズル部材を水平面内で回転可能な円柱体から構成すると共に、前記装置本体の天板を前記ノズル部材が臨むハニカム状に構成したことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
前記ノズル部材は、その外壁が前記ハニカム状の内壁に接していることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被搬送体に対して圧力気体を噴射することによって被搬送体を浮上した状態にし、この状態で被搬送体を移動・停止・静止・方向転換させる浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開２００５−１５４０５７号公報  従来から、成形・加工工程における液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成されるウエハ等の板状の被搬送体を気流の噴射によって行う浮上搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この浮上搬送装置では、圧力流体を噴射するノズル部材を装置本体の天板から露出させると共に水平面内で回転可能な円柱体から構成し、圧力流体の噴射方向を可変することで被搬送体の搬送方向等を制御可能としている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年の被搬送体、特に、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板にあっては、その大型化が急激に進み、それにつれて装置本体も大型化する傾向にある。
【０００５】
これにより、浮上搬送装置を複数組み合わせると共にその搬送経路中に他の処理装置等を設置して製造ラインを構成する場合、被搬送体の大きさや種類等の変更に伴い、他の処理装置等との組み合わせの等の製造ラインを変更する場合等、浮上搬送装置を移動させるのが困難であるなどの問題が生じていた。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するため、装置本体の軽量化に貢献することができると共に強度の確保を実現することができる浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
その目的を達成するため、請求項１に記載の浮上搬送装置は、装置本体に複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送する浮上搬送装置において、前記ノズル部材を水平面内で回転可能な円柱体から構成すると共に、前記装置本体の天板を前記ノズル部材が臨むハニカム状に構成したことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の浮上搬送装置は、前記ノズル部材は、その外壁が前記ハニカム状の内壁に接していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の浮上搬送装置によれば、水平面内で回転可能な円柱体から構成されると共にハニカム状とされた装置本体の天板に臨むノズル部材から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体が浮上されつつ所定方向に搬送されることにより、装置本体の強度を確保しつつ計量化を実現することができる。
【００１０】
請求項２に記載の浮上搬送装置によれば、ノズル部材の外壁をハニカム状の内壁に接するように配置することにより、装置本体の搬送時等にノズル部材にズレ等が発生することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明の浮上搬送装置及び浮上搬送方法を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１は本発明の浮上搬送装置の一部を破断した平面図、図２は本発明の浮上搬送装置に使用される搬送部の平面図、図３は本発明の浮上搬送装置に使用される搬送部の斜視図、図４は本発明の浮上搬送装置に使用される搬送部の断面図、図５は本発明の浮上搬送装置の要部の拡大平面図である。
【００１３】
図において、本発明の浮上搬送装置１０は、図示を略する移送用ユニットや制御用ユニットと併用して縦横に複数配置することにより製造ラインを構築するものである。
【００１４】
浮上搬送装置１０は、コンプレッサー等の圧力気体供給源（図示せず）に配管１１ａを介して接続されたコントロールバルブ１１と、このコントロールバルブ１１が一端に固定された供給管１２と、供給管１２の側壁に複数固定された搬送部２０とを備えている。
【００１５】
コントロールバルブ１１は、供給管１２への圧力気体の流量を制御するもので、基板３０にビス１３を介して固定された断面Ｌ字形状の長尺なフレーム１４の一端寄りに配置されて、供給管１２の一端に固定されている。
【００１６】
供給管１２は、フレーム１４にネジ１５を介して固定される供給管保持ブラケット１６により空中に保持されている。
【００１７】
供給管保持ブラケット１６は、金属フレーム等によって供給管１２を保持する断面コ字形状の保持部１６ａを形成すると共に、保持部１２ａの一部にこの保持部１６ａとは逆向きの固定用舌片１６ｂを切り起こし等によって形成し、この固定用舌片１６ｂにネジ１５を螺合することでフレーム１４に供給管１２を固定するものである。
【００１８】
搬送部２０は、基板３０とフレーム１４とで挟持されると共にボルト１７によって基板３０に固定されたベース部２１と、各ベース部２１に水平面内で回転可能に保持されたノズル部材２２と、各ベース部２１に固定された電磁弁（制御弁）２３と、供給管１２の外壁とベース部材２１の外壁との間に介装された環状パッキン２４とを備えている。
【００１９】
ベース部２１は、略クランク形状の連通路２１ａと、シャフト保持穴２１ｂと、このシャフト保持穴２１ｂに連通する供給穴２１ｃと、常開ポート挿入穴２１ｄとが形成されている。また、連通路２１ａの傾斜部分の延長上にある穴２１ｅは形成時にできたもので常時はパッキン２５により閉成されている。さらに、連通路２１ａの上流端には供給管１２に固定されて環状パッキン２４を貫通した状態でボルト状のポート部材１８の先端が臨んでいる。このポート部材１８の軸線には、供給管１２と連通路２１ａとを連通する貫通穴（図示せず）が形成されている。さらに、ベース部材２１には、ボルト１７のネジ部と螺合する雌ネジ穴２１ｆが形成されている。
【００２０】
ノズル部材２２は、その外壁全体が環状に凹陥されてシャフト保持穴２１ｂの内壁と協働して環状の供給路２６を形成する環状凹部２２ａと、環状凹部２２ａの内壁面間に軸線を経由して貫通する連通穴２２ｂと、ノズル部材２２の軸線上に形成されて連通穴２２ｂと連通する軸穴２２ｃと、軸穴２２ｃの上端部と連通してノズル部材２２の上端面に開口するノズル２２ｄとを備えている。このノズル２２ｄは、必要に応じて（設置場所に応じて）ノズル部材２２に垂直若しくは傾斜状態で形成されている。尚、ノズル部材２２は、鋳型若しくは射出成形等によって形成された後、環状凹部２２ａの内壁面間を貫通するように連通穴２２ｂを形成すると共に、ノズル部材２２の下端面から軸線上に軸穴２２ｃを形成した後、ノズル２２ｄを穿孔している。これにより、軸穴２２ｃの連通穴２２ｂよりも下方はパッキン２７により密閉されている。さらに、ノズル部材２２の下端面には、ノズル部材２２を水平面内で手動若しくは自動で回転させる際の工具先端が挿入されるスリット２２ｅが形成されている。このため、ノズル部材２２の下端は、基板３０の底面と面一となるように基板３０に臨んでいる。一方、ノズル部材２２の上端は、基板３０と対向する天板３１に臨んでいる。
【００２１】
この天板３１は、比較的軽量で剛性の高いアルミやアルミ合金等からハニカム状に形成されており。そのハニカム部分（略正六角形）の内壁面に外壁面が接するようにノズル部材２２の上端が臨んでいる。これにより、浮上搬送装置１０の軽量化に貢献することができると共に強度の確保を実現することができる。また、搬送経路設計変更等のために浮上搬送装置１０を移動させたりする場合に、ノズル部材２２にズレ等が発生することを防止することができる。
【００２２】
電磁弁２３は、連通路２１ａの他端に接続されたコモンポート２３ａと、供給穴２１ｃに接続される常閉ポート２３ｂと、常開ポート挿入穴２１ｄに接続される常開ポート２３ｃとを備えている。
【００２３】
上記の構成において、コンプレッサー等のコントロールバルブ１１が駆動すると、その圧力気体が供給管１２並びにポート部材１８を介してベース部材２１へと供給され、連通路２１ａ、コモンポート２３ａ、電磁弁２３、常閉ポート２３ｂ、供給穴２１ｃ、供給路２６（環状凹部２２ａ）、連通穴２２ｂ、軸穴２２ｃをこの順に介してノズル２２ｄから噴射される。
【００２４】
この際、ノズル部材２２は、ベース部２１に対して水平面内で回転可能となっていることから、ノズル２２ｄから噴射される圧力気体の噴射方向を調整することができる。
【００２５】
また、供給穴２１ｃから供給される圧力気体は、環状凹部２２ａによってノズル部材２２の水平面内での回転位置に拘わらず供給することができる。
【００２６】
これにより、手動若しくは自動により調整工具の先端をスリット２２ｅに挿入し、ノズル部材２２を水平面内で回転させるだけで容易に調整が可能となる。
【００２７】
さらに、電磁弁２３をベース部２２に個々に設けたことから、その圧力気体の供給量やタイミングを独立して制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の浮上搬送装置の一部を破断した平面図である。
【図２】本発明の浮上搬送装置に使用される搬送部の平面図である。
【図３】本発明の浮上搬送装置に使用される搬送部の斜視図である。
【図４】本発明の浮上搬送装置に使用される搬送部の断面図である。
【図５】本発明の浮上搬送装置の要部の拡大平面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０…浮上搬送装置
１１…コントロールバルブ
１２…供給管
２２…ノズル部材
２２ｄ…ノズル
２３…電磁弁
３０…基板
３１…天板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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