(57)【要約】【課題】Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる垂直磁気記録ヘッド装置を提供すること。【解決手段】本発明の垂直磁気ヘッド装置は、記録媒体Ｍとの対向面で露出する主磁極を有する磁性層２４と、前記磁性層２４上に非磁性層を介して設けられたリターンヨーク層２７と、前記磁性層２４及び前記リターンヨーク層２７に記録磁界を与えるためのコイル層１８，２３と、を具備し、リターンヨーク層２７は、ハイト方向（Ｙ方向）に沿う断面において、略アーチ部２７ｄ，２７ｅを含む形状を有する。【選択図】図４
2008027527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、ハイト方向に沿う断面において、略アーチ部を含む形状を有することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド装置。
【請求項２】
前記略アーチ部が前記対向面で露出する位置に設けられたことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録ヘッド装置。
【請求項３】
前記略アーチ部が前記対向面よりも内側に設けられたことを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体に対向する面（媒体対向面）に、主磁極層上に非磁性絶縁層を介してリターンヨーク層を設けてなる積層構造を有する。主磁極層とリターンヨーク層とは、媒体対向面よりもハイト方向における奥部で磁気的に接続されている。また、非磁性絶縁層内には、主磁極層及びリターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層が埋設されている。このような構成を有する磁気ヘッド装置において、コイル層に通電することにより、主磁極層とリターンヨーク層との間に記録磁界が誘導され、この記録磁界が主磁極層の媒体対向面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、記録媒体のソフト膜を通ってリターンヨーク層に帰還する。これにより、記録媒体における主磁極層と対向する領域に情報記録される（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００５−１２２８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
垂直磁気記録ヘッド装置におけるリターンヨーク層やシールド層は、一般的に略長方形の薄膜磁性体で構成されており、ハイト方向の外部磁界を印加した場合に磁性体内部の磁束が薄膜のエッジに集中する。このとき、磁化方向成分の中でハイト方向成分が最も大きくなり、これが既存情報の上書き（Edge Write）の原因となる。すなわち、Edge Write磁界を低減するためには、リターンヨーク層やシールド層のエッジから発生するハイト方向成分の磁界を小さくする必要がある。
【０００４】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる垂直磁気記録ヘッド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、ハイト方向に沿う断面において、略アーチ部を含む形状を有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、第２磁性層がハイト方向に沿う断面において略アーチ部を含む形状を有する。略アーチ部においては、磁化困難軸方向に外部磁界が印加された状態となり、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなる。このため、相対的に薄いリターンヨーク層であってもEdge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【０００７】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記略アーチ部が前記対向面で露出する位置に設けられたことが好ましい。また、本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記略アーチ部が前記対向面よりも内側に設けられたことが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、ハイト方向に沿う断面において、略アーチ部を含む形状を有するので、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
垂直磁気記録ヘッド装置において、情報記録時に内部の温度が高くなると、リターンヨーク層を構成する材料と、リターンヨーク層の周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いにより、リターンヨーク層が媒体対向面から突出し易くなるという、いわゆるＰＴＰ（Pole Tip Protrusion）現象が起こる。
【００１０】
本発明者らは、リターンヨーク層の膜厚を薄くすることにより、ＰＴＰ現象を抑制することができることを見出した。しかしながら、ＰＴＰ抑制のためにリターンヨーク層の膜厚を一様に薄くして、媒体対向面に露出するリターンヨーク層の面積が小さくなると、リターンヨーク層がハイト方向に磁化し易くなり、発生するハイト方向成分磁界強度が大きくなるためEdge Writeが発生するという恐れがある。したがって、本発明者らは、ＰＴＰ現象を抑制しつつ、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることを目的としている。
【００１１】
すなわち、本発明の骨子は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に対して非磁性層を介して設けられた第２磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を具備し、前記第２磁性層は、ハイト方向に沿う断面において、略アーチ部を含む形状を有する垂直磁気記録ヘッド装置により、ＰＴＰ現象を抑制しつつ、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることである。
【００１２】
図１は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。ここでは、第２磁性層がリターンヨーク層である場合について説明する。図２は、図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。図１において、Ｘはトラック幅方向を示し、Ｙはハイト方向を示し、Ｚは膜厚方向を示す。各方向は残り２つの方向に対して直交する関係となっている。
【００１３】
図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨＷは、記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させる。記録媒体Ｍは、例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａを有し、その内側に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転中心となって回転するように構成されている。
【００１４】
スライダ１０は、Ａｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどの非磁性材料で構成されている。スライダ１０の対向面１０ａは記録媒体Ｍに対向しており、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１０が記録媒体Ｍの表面から浮上し、又はスライダ１０が記録媒体Ｍに摺動する。スライダ１０のトレーリング側端面（上面）１０ｂには、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性絶縁層１２が形成されており、この非磁性絶縁層１２上に読取り部ＨＲが形成されている。
【００１５】
読取り部ＨＲは、非磁性絶縁層１２上に形成された下部シールド層１３と、下部シールド層１３上に無機絶縁層（ギャップ絶縁層）１５を介して形成された上部シールド層１６とを有する。無機絶縁層１５内には、読み取り素子１４が設けられている。読み取り素子１４としては、ＡＭＲ（Anisotropic MagnetoResistance）素子 、ＧＭＲ（Giant MagnetoResistance）素子、ＴＭＲ（Tunnel
MagnetoResistance）素子などの磁気抵抗効果素子が用いられる。
【００１６】
上部シールド層１６上には、コイル絶縁下地層１７を介して、導電性材料で構成された複数本の下層コイル片１８が形成されている。下層コイル片１８は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、下層コイル片１８は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
【００１７】
下層コイル片１８の周囲には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層１９が形成されている。コイル絶縁層１９の上面は平坦に形成され、この上面に、メッキ下地層（図示せず）が形成され、このメッキ下地層上に、主磁極層２４が設けられている。主磁極層２４の周囲は、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などで構成された絶縁層３２によって埋められ、主磁極層２４の上面と絶縁層３２の上面とが略同一平面になるように平坦化処理されている。主磁極層２４は、例えばＮｉＦｅ、ＣｏＦｅ、ＮｉＦｅＣｏなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で構成されており、例えばメッキにより形成される。
【００１８】
図２に示すように、主磁極層２４は、記録媒体との対向面Ｈ１ａ（対向面Ｈ１ａはスライダ１０の対向面１０ａと略同一平面で形成されている）からハイト方向（図示Ｙ方向）にトラック幅Ｔｗで形成された細長い形状の前方部２４ａと、前方部２４ａのハイト方向後方において前方部２４ａよりもトラック幅方向（図示Ｘ方向）の幅寸法が広い後方部２４ｂ（最大幅寸法Ｔ２）とを有する。
【００１９】
図１に示すように、主磁極層２４上には、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性層であるギャップ層２１が形成されている。ギャップ層２１上には、コイル絶縁下地層２２を介して上層コイル片２３が形成されている。ギャップ層２１は、上層コイル片２３の絶縁下地としても機能しているので、コイル絶縁下地層２２は形成されていなくても良い。上層コイル片２３は、下層コイル片１８と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。上層コイル片２３は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、上層コイル片２３は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
【００２０】
下層コイル片１８と上層コイル片２３とは、図２に示すように、ソレノイド状に配置され、各コイル片のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における端部同士が電気的に接続されている。下層コイル片１８及び上層コイル片２３には、それぞれ引き出し部１８ａ，２３ａが形成されており、この引き出し部１８ａ、２３ａから電流がソレノイド状コイルに供給されるようになっている。
【００２１】
上層コイル片２３上には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で構成されたコイル絶縁層２６が形成されている。また、本実施の形態においては、ギャップ層２１上に、無機材料又は有機材料で構成された間隔調整絶縁層２８が形成されている。コイル絶縁層２６の前縁は、間隔調整絶縁層２８上に重なっている。図２に示すように、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、トラック幅方向（図示Ｘ方向）と略平行な方向に向けて直線状に延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、対向面Ｈ１ａからハイト方向に所定距離（ギャップデプス）Ｌ１だけ離れて形成されている。間隔調整絶縁層２８は、図２に示すように、トラック幅方向（図示Ｘ方向）に長く延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａの幅寸法Ｔ３は、少なくとも主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも大きく形成される。
【００２２】
ソレノイド状のコイル層を用いる場合、上層コイル片２３のトラック幅方向の幅寸法は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも必ず大きくなるので、上層コイル片２３上を覆うコイル絶縁層２６の最大幅寸法Ｔ４は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２より必ず大きくなる。間隔調整絶縁層２８は、例えば有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成される。熱処理により間隔調整絶縁層２８の縦断面形状は、矩形状から略半楕円形状（あるいは少なくとも上面２８ｂは曲面状）となる。間隔調整絶縁層２８上に一部重なってハイト方向に向けて形成されるコイル絶縁層２６も有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成されたものであり、コイル絶縁層２６の対向面側上面２６ｂは、間隔調整絶縁層２８の上面２８ｂから曲面形状に盛り上がって形成される。間隔調整絶縁層２８及びコイル絶縁層２６（以下、この２層を「絶縁層３０」と称する場合がある）は、ギャップ層２１の上面を基準平面としたとき、基準平面よりも上方（図示Ｚ方向）に盛り上がって形成されている。絶縁層３０の周囲には、ギャップ層２０の上面が露出している。以下では、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａと対向面Ｈ１ａとの間の領域を前方領域Ａ（図３に示す斜線領域）と称し、絶縁層３０のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における両側の領域を両側領域Ｂと称する。
【００２３】
図１及び図２に示すように、前方領域Ａ上、絶縁層３０上、及び両側領域Ｂ上には、パーマロイなどの磁性材料で構成された第２磁性層であるリターンヨーク層２７が形成されている。図１に示すように、リターンヨーク層２７のハイト方向の後端部は、主磁極層２４と磁気的に接続する接続部２７ｈとなっている。リターンヨーク層２７上は、無機絶縁材料などで構成された保護層３１により覆われている。なお、第２磁性層としては、接続部２７ｈを有しない、すなわち主磁極を有する磁性層と磁気的結合のない、単なるシールド作用を有する層であっても良い。
【００２４】
リターンヨーク層２７は、中央部２７ａと、中央部２７ａのトラック幅方向（図示Ｘ方向）の両側に位置する両側端部２７ｂとで形成される。中央部２７ａは、主磁極層２４と膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する位置に形成されている。図１及び図２に示すように、中央部２７ａには、絶縁層３０上から前方領域Ａ上にかけて上方に向けて突出する突出部２７ａ１が形成されている。絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７は、そもそも絶縁層３０が両側領域Ｂよりも盛り上がって形成されているから両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７に比べて突出して形成される。このとき、絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚と、両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚はあまり変わらない。なお、リターンヨーク層２７の厚さは、ＰＴＰ現象を抑制することを考慮すると、０．１μｍ〜１．０μｍであることが好ましい。
【００２５】
上記したように前方領域Ａ上は平坦化面で形成されているので、図３に示すように、前方領域Ａ上に形成されるリターンヨーク層２７の下面は平坦化面で形成され、対向面Ｈ１ａでは、前記リターンヨーク層２７の下辺２７ｃは、トラック幅方向（図示Ｘ方向）と平行な方向の直線状で現れる。また、リターンヨーク層２７の平面形状は、ほぼ矩形状で形成され、図３に示すように、対向面Ｈ１ａに現れるリターンヨーク層２７のトラック幅方向における幅寸法Ｔ４は、主磁極層２４のトラック幅Ｔｗに比べて十分に大きく形成される。
【００２６】
リターンヨーク層２７は、ハイト方向（Ｙ方向）に沿う断面において、略アーチ部を含む形状を有する。アーチ部は、少なくとも図４〜図６に示す形状を有するものを含む。例えば、アーチ部としては、図４（ａ）及び図５（ａ）に示すような、ハイト方向（Ｙ方向）に沿う断面における略半円状のアーチ部２７ｄや、図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すような、ハイト方向（Ｙ方向）に沿う断面における略台形状のアーチ部２７ｅを含む。また、リターンヨーク層２７におけるアーチ部の位置は、ハイト方向（Ｙ方向）に沿う断面におけるいずれの位置であっても良く、図４（ａ），（ｂ）に示すように、媒体対向面で露出する位置であっても良く、図５（ａ），（ｂ）に示すように、媒体対向面よりも内側の位置であっても良い。
【００２７】
また、アーチ部２７ｄとしては、図６（ａ）に示すように、トラック幅方向（Ｘ方向）において、中央に向って下降するようなテーパ面２７ｆを有する形状でも良く、図６（ｂ）に示すように、平面２７ｇと前記テーパ面２７ｆとを含む形状でも良く、図６（ｃ）に示すように、平面２７ｇを有し、テーパ面２７ｆを有しない形状でも良い。なお、ここでは、略半円状のアーチ部２７ｄを用いて説明しているが、略台形状のアーチ部２７ｅやそれ以外のアーチ部でも同様である。
【００２８】
本発明者らは、薄い磁性体膜であるリターンヨーク層の反磁界に着目し、略アーチ形状を設けて反磁界を利用することにより、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができることを見出し本発明をするに至った。
【００２９】
反磁界（Ｈｄ）は、磁性体の磁化と同時に、磁極が磁性体内部に作り出す磁化方向と逆向きの磁界である。そして、一般的に直交座標系における反磁界係数は、Ｎｘ＋Ｎｙ＋Ｎｚ＝１という関係がある。
【００３０】
磁性体を膜厚≒０の薄膜とすると、磁性体の反磁界係数Ｎｘ，Ｎｙが０であり、Ｎｚが１であると考えることができる。この場合において、磁性体に外部磁界が印加されることを考える。磁化容易軸方向に外部磁界が印加されると、図７（ａ）に示すように、磁性体が磁化し易く、発生する磁界が大きくなり、一方、磁化困難軸方向に外部磁界が印加されると、図７（ｂ）に示すように、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなると考えられる。
【００３１】
このような考え方を垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層２７に適用すると、薄膜のリターンヨーク層２７においては、図７（ｃ）に示すように、外部磁界に対して磁性体の磁化が薄膜のエッジに集中することになる。したがって、リターンヨーク層において、薄膜磁性体の磁化し難い方向を生じさせるために略アーチ形状の部分を設けている。これにより、図７（ｄ）に示すように、ハイト方向成分の磁界を低減して、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させている。このような観点から、アーチ部のハイト方向（Ｙ方向）に沿う断面形状については、薄膜磁性体の磁化し難い方向を生じさせるための形状であれば特に制限されない。
【００３２】
次に、このようなリターンヨーク層を有する垂直磁気記録ヘッドの製造方法について説明する。図８（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る垂直磁気記録ヘッド装置の製造方法を説明するための図である。図８（ａ）〜（ｄ）は、媒体対向面から見た図であり、図８（ｂ）〜（ｄ）については、Ｃ−Ｃ線に沿う断面図も併記する。
【００３３】
スライダ１０上に、非磁性絶縁層１２、下部シールド層１３、無機絶縁層１５、上部シールド層１６を形成し、上部シールド層１６上に主磁極層２４を含む絶縁層１９を形成し、絶縁層１９上にギャップ層２１を形成し、ギャップ層２１上にパターニングしたコイル絶縁下地層２２を形成し、コイル絶縁下地層２２上に上層コイル片２３を形成して、図８（ａ）に示す構造を作製する。なお、図８（ａ）に示す構造を作製する際の方法における条件や材料などについては通常使用されるものを採用することができる。
【００３４】
次いで、図８（ｂ）に示すように、コイル絶縁下地層２２及び上層コイル片２３を含むギャップ層２１上に、コイル絶縁層であるレジスト層２６を形成する。このレジスト層２６は、コイル絶縁下地層２２及び上層コイル片２３を覆う。アーチ部を形成するために設けられるレジスト層３３は、レジスト層２６と共に又はレジスト層２６とは別に形成する。すなわち、レジスト層は、コイル絶縁下地層２２及び上層コイル片２３上と、アーチ部形成領域上とに設けられる。具体的には、コイル絶縁下地層２２及び上層コイル片２３を含むギャップ層２１上にレジスト材料を被覆し、レジスト形成領域が開口したマスクを介してレジスト材料を露光し、現像することによりレジスト層３３を形成する。なお、レジスト層３３のポストベークの条件を変えることにより、ハイト方向に沿う断面における形状を変えることが可能である。例えば、ポストベークの温度を相対的に高くすることにより略半円形の断面形状を得ることができ、ポストベークの温度を相対的に低くすることにより、略台形の断面形状を得ることができる。
【００３５】
次いで、図８（ｃ）に示すように、レジスト層３３上にリターンヨーク層２７を形成する。この場合、レジスト層３３上にメッキ処理を施すことによりリターンヨーク層２７を形成する。このリターンヨーク層２７は、アーチ部形成領域においては、レジスト層３３上に形成されるので、レジスト層３３の形状に沿って形成される。すなわち、アーチ部を含むリターンヨーク層２７を形成することができる。次いで、図８（ｄ）に示すように、リターンヨーク層２７上に絶縁層３１を形成する。
【００３６】
このようにして、アーチ部を含むリターンヨーク層２７を有する垂直磁気記録ヘッドを作製することができる。この垂直磁気記録ヘッドは、図８（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図から分かるように、媒体対向面においてアーチ部が露出した状態となる。アーチ部においては、磁化困難軸方向に外部磁界が印加された状態となり、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなる。このため、相対的に薄いリターンヨーク層２７であってもEdge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【００３７】
なお、図８においては、略半円形状のアーチ部が媒体対向面で露出する位置に設けられた場合について説明しているが、アーチ部が略台形状であっても同様な効果を発揮することができ、アーチ部が媒体対向面よりも内側に設けられても同様な効果を発揮することができる。アーチ部が媒体対向面よりも内側にあることにより、媒体対向面からの突出（ＰＴＰ）を抑えることができる。
【００３８】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
ここでは、静磁界シミュレーションにより効果を確認した。このシミュレーションでは、垂直磁気記録ヘッドにおいて、外部磁界耐性にかかわる部位をモデル化し、外部磁界印加時の磁化状態を計算した。なお、磁界強度最大量は、リターンヨーク層から発生するハイト方向成分の磁界強度分布のうち、磁界強度が最大の値とした。また、ハイト方向成分の磁界強度分布は、記録磁性膜の膜厚中央に位置する平面において測定した。リターンヨーク層の厚さが０．５μmであり、ハイト方向に沿う断面において略半円状の断面形状を有するアーチ部をリターンヨーク層に含む垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大量を求めた。その結果を図９に示す。また、この磁気記録ヘッドにおいて、リターンヨーク層におけるアーチ部の位置を変えた場合（リセス０μｍ（媒体対向面）、０．５μｍ、１．５μｍ）の磁界強度最大値についても調べた。その結果を図９に併記する。
【００３９】
リターンヨーク層の厚さが０．５μｍであり、リターンヨーク層に、ハイト方向に沿う断面において略台形状の断面形状を有するアーチ部を含む垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大値を上記と同様にして求めた。その結果を図９に併記する。また、この磁気ヘッドにおいて、リターンヨーク層におけるアーチ部の位置を変えた場合（リセス０μｍ（媒体対向面）、０．５μｍ、１μｍ、１．５μｍ）の磁界強度最大値についても調べた。その結果を図９に併記する。
【００４０】
また、比較のために、リターンヨーク層の厚さが０．５μｍであり、リターンヨーク層にアーチ部を含まない垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについて磁界強度最大値を上記と同様にして求めた。その結果を図９に併記する。
【００４１】
図９から分かるように、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについては、リセス量に拘りなく、磁界強度が３ｋＯｅ以下であり、外部磁界耐性を向上させることができる。一方、リターンヨーク層にアーチ部を含まない垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについては、磁界強度最大量が４ｋＯｅ近くあり、記録した媒体の保磁力によってはEdge Writeが発生する。
【００４２】
本発明は、垂直磁気記録ヘッド装置において、種々の変更を行うことができる。例えば、図１０（ａ）に示すように、リターンヨーク層２７の後端部側（媒体対向面に対して内側）の形状を変えても良い。例えば、リターンヨーク層２７の後端部側にテーパ面Ｄなどを設けて、内側に進むにしたがって幅が狭くなるようにしても良い。また、図１０（ｂ）に示すように、リターンヨーク層２７の媒体対向面側に湾曲面Ｅなどを設けて、内側に進むにしたがって幅が広くなるようにしても良い。このような場合においても、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【００４３】
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、垂直磁気記録ヘッドの各層の構成や形状については、リターンヨークを含むシールド層に、ハイト方向に沿う断面において、アーチ部を含むものであれば、特に制限はない。また、上記実施の形態においては、リターンヨーク層にアーチ部が含まれている場合について説明しているが、本発明はこれに限定されず、リターンヨーク層以外のシールド層、例えば上部シールド層や下部シールド層にも同様に適用することができる。すなわち、上部シールド層や下部シールド層に、ハイト方向に沿う断面において、アーチ部を含む形状を導入することにより、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。もちろん、リターンヨーク層と、上部シールド層及び／又は下部シールド層とにアーチ部を設けて、Edge  Write磁界をより低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。また、上記実施の形態で説明した数値や材質については特に制限はない。また、上記実施の形態で説明したプロセスについてはこれに限定されず、工程間の適宜順序を変えて実施しても良い。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。
【図２】図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。
【図３】図１に示す垂直磁気記録ヘッドを記録媒体との対向面から見た部分正面図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、リターンヨーク層の形状を説明するための図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、リターンヨーク層の形状を説明するための図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、リターンヨーク層の形状を説明するための図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の原理について説明するための図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係る垂直磁気記録ヘッド装置の製造方法を説明するための図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドの特性を示す図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドにおけるリターンヨーク層の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  スライダ
１２  非磁性絶縁層
１３  下部シールド層
１５  無機絶縁層
１６  上部シールド層
１８  下層コイル片
２１  ギャップ層
２３  上層コイル片
２４  主磁極層
２６  コイル絶縁層
２７  リターンヨーク層
２７ｄ，２７ｅ  アーチ部
２７ｆ  テーパ面
２７ｇ  平面
２８  間隔調整絶縁層
３３  レジスト層
【図１】
2008027527.tif 000003
【図２】
2008027527.tif 000004
【図３】
2008027527.tif 000005
【図４】
2008027527.tif 000006
【図５】
2008027527.tif 000007
【図６】
2008027527.tif 000008
【図７】
2008027527.tif 000009
【図８】
2008027527.tif 000010
【図９】
2008027527.tif 000011
【図１０】
2008027527.tif 000012