(57)【要約】【課題】フォトマスクのうねりと、厚みムラによるマスク面への影響を解消して、プロキシミティギャップを均一に保つ。【解決手段】搬送ローラ４の外周と、この搬送ローラ４の外周に近接して配置されるフォトマスク６の間に第１基準部材１６及び第２基準部材１７を配置し、これらを高剛性な保持部材１８に取り付ける。フォトマスク６のマスク面６ｃは、マスク面６ｃよりも高い平面度を有する第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに当接され、背後からアクチュエータ１９で押圧される。第１基準部材１６及び第２基準部材１７は、フォトマスク６よりも剛性が高いので、マスク面６ｃは、第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに倣い、うねりが矯正され、マスク面６ｃに対するフォトマスク６の厚みムラの影響が小さくなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光層を有する帯状またはシート状のワークを外周に巻き付けて搬送する搬送ローラと、
前記搬送ローラの外周に近接して配置され、前記ワークに対面するマスク面にマスクパターンが設けられるフォトマスクと、
前記フォトマスクの露光に用いられる露光エリアに、前記ワークの搬送方向に直交する幅方向の全域で光を照射し、前記マスクパターンを介して前記ワークにプロキシミティ露光を行なう照明手段を備える露光装置のフォトマスク保持構造において、
前記搬送ローラの外周と前記フォトマスクとの間に配置される基準部材と、
前記マスク面に対面するように前記基準部材に設けられる基準面と、
前記マスク面の露光エリアの外周部を前記基準面に当接させて倣わせる当接手段を備えることを特徴とする露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項２】
前記基準部材は、前記露光エリアに対し、前記搬送ローラの回転方向の上流側に配置されて第１の基準面を有する第１の基準部材と、前記搬送ローラの回転方向の下流側に配置されて第２の基準面を有する第２の基準部材とから構成されており、前記第１及び第２の基準面には、前記マスク面の前記幅方向に沿う両端部が当接されることを特徴とする請求項１記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項３】
前記当接手段は、前記マスク面と反対側の面を押圧して、前記マスク面を前記基準面に押し付ける押圧機構であることを特徴とする請求項１または２記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項４】
前記当接手段は、前記基準面に前記マスク面を吸着させる吸着機構であることを特徴とする請求項１または２記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項５】
前記フォトマスク、基準部材の剛性は、基準部材＞フォトマスクの関係を有することを特徴とする請求項３または４記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項６】
前記フォトマスク、前記基準面の平面度は、基準面＞フォトマスクの関係を有することを特徴とする請求項３または４記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項７】
前記フォトマスクの背面側に、前記フォトマスクの前記露光エリア以外の領域を遮光するマスクホルダを配置し、前記押圧機構は、前記マスクホルダを介してフォトマスクを押圧することを特徴とする請求項３記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項８】
前記マスクホルダは、前記押圧機構によって押圧される部位が薄肉化されていることを特徴とする請求項７記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項９】
前記フォトマスク、基準部材、マスクホルダの剛性は、基準部材＞フォトマスク＞マスクホルダの関係を有することを特徴とする請求項７または８記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項１０】
前記基準部材の前記基準面側に、保持面を備える保持部材を配置し、前記基準面の一部が前記保持面に当接するように前記基準部材を前記保持部材に取り付けることを特徴とする請求項１〜９いずれか記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項１１】
前記保持部材は、前記フォトマスクが収納される開口を有するフレーム形状であり、前記基準部材は、前記開口内に向けて前記基準面が配置されるように取り付けられることを特徴とする請求項１０記載のフォトマスク保持構造。
【請求項１２】
前記当接手段は、前記保持部材に取り付けられることを特徴とする請求項１０または１１記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項１３】
前記フォトマスク、基準部材、保持部材の剛性は、保持部材＞基準部材＞フォトマスクの関係を有することを特徴とする請求項１０〜１２いずれか記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項１４】
前記基準面及び前記保持面の平面度は、保持面＞基準面の関係を有することを特徴とする請求項１０〜１３いずれか記載の露光装置のフォトマスク保持構造。
【請求項１５】
感光層を有する帯状またはシート状のワークを外周に巻き付けて搬送する搬送ローラと、
前記搬送ローラの外周に近接して配置され、前記ワークに対面するマスク面にマスクパターンが設けられるフォトマスクと、
前記フォトマスクの露光に用いられる露光エリアに、前記ワークの搬送方向に直交する幅方向の全域で光を照射し、前記マスクパターンを介して前記ワークにプロキシミティ露光を行なう照明手段を備える露光装置のフォトマスク保持方法において、
前記搬送ローラの外周と前記フォトマスクとの間に配置される基準面に前記マスク面を倣わせることを特徴とする露光装置のフォトマスク保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置のフォトマスク保持構造及び保持方法に関し、更に詳しくは、ワークを外周に巻き付けて搬送する搬送ローラと、ワークに近接して配置されるフォトマスクとを有する露光装置のフォトマスク保持構造及び保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに近接して配置されたフォトマスクを介して光を照射し、フォトマスクに設けられているマスクパターンをワークに露光するパターン露光装置（例えば、特許文献１参照）が知られている。このパターン露光装置において、マスクパターンを精度よくワークに露光するには、ワークとフォトマスクとの間隔、いわゆるプロキシミティギャップをできるだけ狭くし、かつ均一にする必要がある。しかし、フォトマスクは、薄いガラス板を基材として用いているため、サイズが大きくなると自重による撓みが発生し、プロキシミティギャップが不均一になる。
【０００３】
例えば、特許文献２記載の発明では、フォトマスクのワークに対する面の外周と、複数のパターン領域の間を保持することにより、フォトマスクの撓みを防止している。また、特許文献３記載の発明では、フォトマスクのワークに対する反対側の面の周辺部をマスクフレームで吸着するとともに、このマスクフレームの吸着面を３次曲面にすることで、フォトマスクに部分的に過度な歪みが発生するのを防止している。また、特許文献４記載の発明は、フォトマスクのワークに対する反対側の面の周辺部をマスクフレームで保持し、ワークの歪みに合せてフォトマスクを変形させることで、プロキシミティギャップが均一になるようにしている。
【特許文献１】特開平０９−２７４３２３号公報
【特許文献２】特開２００３−１００６１９号公報
【特許文献３】特開２００４−１９１６６１号公報
【特許文献４】特開２００６−３２３２６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワークを搬送しながら露光を行なうパターン露光装置に用いられるフォトマスクは、ワークの幅方向に長くされた長方形状となるため、単純な撓みではなく、長さ方向で複数の撓みが複合されるうねりが生じる。また、フォトマスクのガラス基板自体の厚みムラもプロキシミティギャップに悪影響を及ぼす。図８、９は、例えばＸ＝２００ｍｍ，Ｙ＝８００ｍｍ、厚さ４．８ｍｍで、フォトマスクの基材に用いられるガラス基板Ａ，Ｂを用意し、マスクパターンが形成される表面と、背面がそれぞれ上面となるように平面度の高い測定板上に平置きし、この測定板上からそれぞれの面までの高さの測定結果を記載したグラフであり、ガラス基板の厚み＋うねり＋厚みムラを表している。これらのグラフからも分るように、ガラス基板のうねりと厚みムラとが組み合わされることで、最大で０．０８ｍｍ程度の歪みがフォトマスクに生じる。
【０００５】
しかし、特許文献１〜３記載の発明では、単純な撓みは補正することができるものの、うねりを補正することはできない。また、厚みムラによるプロキシミティギャップを解消するには、特許文献３記載の発明のように、フォトマスクのワークに対する面をマスクフレームで保持すればよいが、フォトマスクとワークの間にマスクフレームが配置されるため、プロキシミティギャップの小さい露光装置には採用できない。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するために、フォトマスクのうねりと、厚みムラによる影響を解消して、プロキシミティギャップを均一にすることができる露光装置のマスク保持構造及び保持方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明のフォトマスク保持構造は、感光層を有する帯状またはシート状のワークを外周に巻き付けて搬送する搬送ローラと、搬送ローラの外周に近接して配置され、ワークに対面するマスク面にマスクパターンが設けられるフォトマスクと、フォトマスクの露光エリアに、ワークの搬送方向に直交する幅方向の全域で光を照射し、マスクパターンを介してワークにプロキシミティ露光を行なう照明手段とを備える露光装置のフォトマスク保持構造において、搬送ローラの外周とフォトマスクとの間に配置される基準部材と、フォトマスクに対面するように基準部材に設けられた基準面と、マスク面の露光エリアの外周部を基準面に当接させて倣わせる当接手段とから構成するものである。
【０００８】
また、基準部材は、露光エリアに対し、搬送ローラの回転方向の上流側に配置されて第１の基準面を有する第１の基準部材と、搬送ローラの回転方向の下流側に配置されて第２の基準面を有する第２の基準部材とから構成されており、第１及び第２の基準面には、マスク面の幅方向に沿う両端部が当接されるようにしたものである。
【０００９】
また、当接手段は、マスク面と反対側の面を押圧して、マスク面を基準面に押し付ける押圧機構から構成したものである。
【００１０】
また、別の当接手段は、基準面にマスク面を吸着させる吸着機構から構成したものである。
【００１１】
更に、フォトマスク、基準部材の剛性は、基準部材＞フォトマスクの関係を有するようにしたものである。
【００１２】
また、フォトマスク、基準面の平面度は、基準面＞フォトマスクの関係を有するようにしたものである。
【００１３】
また、フォトマスクの背面側に、フォトマスクの露光エリア以外の領域を遮光するマスクホルダが配置される場合には、押圧機構はマスクホルダを介してフォトマスクを押圧するようにしたものである。この場合、マスクホルダの押圧機構によって押圧される部位を薄肉化することが好ましい。
【００１４】
また、フォトマスク、基準部材、マスクホルダの剛性は、基準部材＞フォトマスク＞マスクホルダの関係を有するようにしたものである。
【００１５】
また、基準部材の基準面側に、保持面を備える保持部材を配置し、基準面が保持面に当接するように基準部材を保持部材に取り付けるようにしたものである。
【００１６】
また、保持部材は、フォトマスクが収納される開口を有するフレーム形状であり、基準部材は、開口内に向けて基準面が配置されるように保持部材に取り付けられるようにしたものである。
【００１７】
更に、当接手段は、保持部材に取り付けられるようにしたものである。
【００１８】
また、フォトマスク、基準部材、保持部材の剛性は、保持部材＞基準部材＞フォトマスクの関係を有するようにしたものである。
【００１９】
また、基準面及び保持面の平面度は、保持面＞基準面の関係を有するようにしたものである。
【００２０】
また、本発明のフォトマスク保持方法は、搬送ローラの外周とフォトマスクとの間に配置される基準面にマスク面を倣わせるようにしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のマスク保持構造及び保持方法によれば、搬送ローラの外周とフォトマスクとの間に配置される基準面にマスク面を倣わせるようにしたので、フォトマスクに生じるうねりを矯正し、マスク面に対する厚みムラの影響を小さくしてプロキシミティギャップのばらつきを小さくすることができる。
【００２２】
また、搬送ローラの外周とフォトマスクとの間で、搬送ローラの回転方向の上流側と下流側の空いているスペースに基準部材を配置したので、プロキシミティギャップを小さくすることができる。
【００２３】
更に、当接手段として押圧機構、または吸着機構を用い、基準部材の剛性がフォトマスクよりも高く、基準面の平面度がフォトマスクよりも高くなるようにしたので、マスク面を確実に基準面に倣わせることができる。
【００２４】
また、フォトマスクの背後にマスクホルダが配置される場合には、マスクホルダを介してフォトマスクを押圧するようにしたので、マスク面を基準面に倣わせることができる。更に、マスクホルダの押圧機構によって押圧される部位を薄肉化して剛性が低くなるようにし、またはマスクホルダの剛性がフォトマスクよりも低くなるようにしたので、マスクホルダの影響を受けずにマスク面を基準面に倣わせることができる。
【００２５】
また、基準面が保持面に当接するように基準部材を保持部材に取り付けるようにしたので、基準面の平面度、及びマスク面の平面度が向上する。更に、保持部材は、フォトマスクが収納される開口を有するフレーム形状とし、当接手段を保持部材に取り付けるようにしたので、マスク保持構造を小型化することができる。
【００２６】
また、保持部材の剛性が基準部材よりも高く、保持面の平面度が基準面よりも高くなるようにしたので、基準部材の撓みを防止し、基準面の平面度の向上に資することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１に示す本発明の露光装置２は、外周に帯状ワーク３が掛けられる搬送ローラ４と、この搬送ローラ４を矢印方向に回転させて帯状ワーク３を搬送するモータ５と、搬送ローラ４の外周面上で帯状ワーク３に近接して配置されるフォトマスク６を有するマスクユニット７と、このマスクユニット７を搬送ローラ４に近接する露光位置と、搬送ローラ４から離れる退避位置との間で移動させるスライド機構８と、フォトマスク６の露光エリアに光を照射して、帯状ワーク３にフォトマスク６のマスクパターンをプロキシミティ露光する照明部９と、各部を制御する制御部１０から構成されている。
【００２８】
帯状ワーク３は、例えば、透明なプラスチックフイルムで形成された長尺フイルムと、この長尺フイルム上に塗布される銀塩感材からなる。長尺フイルムは、例えば、厚さ１００μｍ、ワーク幅６５０〜７５０ｍｍの透明なＰＥＴフイルムであり、１００〜１０００ｍの長さのものがロール状に巻かれて露光装置２にセットされる。露光装置２にセットされた帯状ワーク３は、先端が引き出されて搬送ローラ４に掛けられ、モータ５によって搬送ローラ４が時計方向に回転することにより矢印方向に搬送される。
【００２９】
図２〜４に示すように、マスクユニット７は、フォトマスク６と、このフォトマスク６の外側に装着されるマスクホルダ１５と、フォトマスク６を受ける第１基準部材１６及び第２基準部材１７と、この第１基準部材１６及び第２基準部材１７を保持する保持部材１８と、マスクホルダ１５を介してフォトマスク６を押圧して第１基準部材１６及び第２基準部材１７に押し付けるアクチュエータ１９から構成されている。
【００３０】
図５に示すように、フォトマスク６は、垂直方向×幅方向の寸法が、例えば２００×８００ｍｍ、厚みが４．８ｍｍとされた透明なガラス基板６ａと、このガラス基板６ａの搬送ローラ４に対する面に形成される、例えば格子状のマスクパターン６ｂとから構成されている。ガラス基板６ａには、例えば一般的なソーダガラスが用いられている。なお、以下では、フォトマスク６のマスクパターン６ｂが設けられている側の面をマスク面６ｃと呼ぶ。
【００３１】
マスクホルダ１５は、フォトマスク６よりも大きな外形形状を有する本体板２２と、この本体板２２の前面側に設けられてフォトマスク６の角部に係止される爪部２３とから構成されている。このマスクホルダ１５は、フォトマスク６が本体板２２と各爪部２３との間に長手方向に沿って挿入されることにより、マスク面６ｃと反対側の面に装着され、傷や汚れ等からフォトマスク６を保護する。
【００３２】
本体板２２には、遮光性を有するプラスチックが用いられており、垂直方向の中央部には、幅方向に沿って配置されたスリット２６が形成されている。これにより、本体板２２がフォトマスク６を遮光する遮光板として機能し、照明部９による露光は、スリット２６内の露光エリアでのみ行なわれる。
【００３３】
本体板２２を形成するプラスチックには、ガラス基板６ａよりも剛性の低いものが使用されている。また、本体板２２の背面で、前述のアクチュエータ１９の押圧部材２９が当接する位置には、本体板２２の肉厚を薄くした薄肉部２２ａが設けられている。これにより、本体板２２がアクチュエータ１９による押圧によって容易に変形するため、アクチュエータ１９によるフォトマスク６の押圧を阻害することがない。
【００３４】
なお、本実施形態では、マスクホルダ１５を介してフォトマスク６を押圧することで、フォトマスク６に対するマスクホルダ１５の位置決めを同時に行なっているが、フォトマスク６に対するマスクホルダ１５の位置決めが別の手法で行なわれる場合には、例えば前記薄肉部２２ａの位置に穴を形成し、アクチュエータ１９でフォトマスク６を直接押圧してもよい。また、爪部２３を本体板２２に対して着脱自在とし、マスクホルダ１５に対するフォトマスク６の位置を変更できるようにしてもよい。
【００３５】
第１基準部材１６及び第２基準部材１７は、帯状ワーク３の幅方向に沿って形成された板状の部材であり、搬送ローラ４の外周とフォトマスク６との間で、かつ搬送ローラ４の搬送方向の上流側と下流側の空間内に配置されている。この第１基準部材１６及び第２基準部材１７は金属で形成されており、フォトマスク６よりも高い剛性を有している。搬送ローラ４に対する面には、干渉を避ける切欠部１６ａ，１７ａが設けられている。これにより、第１基準部材１６及び第２基準部材１７を搬送ローラ４に近接して配置することができるので、プロキシミティギャップを小さくすることができる。
【００３６】
また、第１基準部材１６及び第２基準部材１７のフォトマスク６に対面する側の面には、マスク面６ｃよりも高い平面度を有する第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂが形成されており、これらの第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂには、マスク面６ｃの幅方向の両端部が当接される。図３に示すように、マスクホルダ１５の爪部２３は、フォトマスク６を第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに当接させる際に、第１基準部材１６及び第２基準部材１７の外側に配置される。
【００３７】
保持部材１８は、マスクホルダ１５が外側に装着されたフォトマスク６が収納可能な大きさを有する開口部３３を備えたフレーム形状をしており、第１基準部材１６及び第２基準部材１７よりも高い剛性を有するように金属で形成されている。保持部材１８の前面には、第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂよりも高い平面度で形成された保持面３４が形成されている。第１基準部材１６及び第２基準部材１７は、この保持面３４に第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂが当接し、開口部３３内に向かうように複数のネジ３５によって保持部材１８に取り付けられる。
【００３８】
第１基準部材及び第２基準部材１７は、プロキシミティギャップを小さくするため、搬送ローラ４の外周とフォトマスク６の間のわずかなスペースに組みこむ必要がある。そのため、厚みが薄くなり、剛性が低くなる。また、加工時の熱処理等を考えると、基準面に高い平面度を確保することは難しい。そこで、本発明では、製作が容易で厚み寸法の大きい保持部材１８を用いることにより、高剛性と高い平面度を確保し、この保持部材１８の保持面３４に第１基準部材１６及び第２基準部材１７を締結することで、小さく均一性の高いプロキシミティギャップを得られるようにしている。
【００３９】
アクチュエータ１９には、例えばエアシリンダが用いられており、保持部材１８の開口部３３内にブラケット３８を介して取り付けられている。その取付位置は、押圧部材２９が第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂの端部に対面する位置とされている。このアクチュエータ１９は、例えば帯状ワーク３の幅方向に沿って、第１基準部材１６と第２基準部材１７とに対面する位置に等間隔で５個ずつ設けられており、例えば同一の押圧力でフォトマスク６の背面を押圧する。
【００４０】
スライド機構８は、マスクユニット７を保持するスライドステージ４１と、このスライドステージ４１を移動させるアクチュエータ４２から構成されている。スライド機構８は、露光装置２に帯状ワーク３をセットする際にマスクユニット７を退避位置に移動させ、露光時に搬送ローラ４に近接する露光位置に移動させる。
【００４１】
照明部９は、例えば、露光光源であるレーザ出力装置と、このレーザ出力装置から出力されたレーザ光をコリメートして平行光にするコリメートレンズと、レーザ光を反射する反射ミラーと、レーザ光を帯状ワークの幅方向で走査させるポリゴンミラーから構成されており、帯状ワークの搬送速度に同期して所定の周期で露光を行なうことで、フォトマスクのマスクパターンを搬送方向に周期的パターンとして露光する。
【００４２】
次に、上記実施形態の作用について説明する。フォトマスク６は、汚れ、傷等の防止のため、外側にマスクホルダ１５が装着された状態で取り扱われる。フォトマスク６のマスクユニット７への組み付けは、例えば、アクチュエータ１９及びブラケット３８が全て保持部材１８から取り外された状態で行なわれ、フォトマスク６及びマスクホルダ１５が開口部３３に背後から挿入され、マスク面６ｃの幅方向に沿う両端部が第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに当接される。
【００４３】
フォトマスク６の収納後、アクチュエータ１９及びブラケット３８を開口部３３内に取り付け、制御部１０の制御によってアクチュエータ１９を動作させる。アクチュエータ１９の押圧部材２９は、マスクホルダ１５の薄肉部２２ａを介してフォトマスク６を押圧し、マスク面６ｃを第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに押し付ける。
【００４４】
アクチュエータ１９により背後から押圧されたフォトマスク６は、マスク面６ｃが第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに倣う。また、第１基準部材１６及び第２基準部材１７は、保持部材１８に取り付けられて保持面３４に倣っている。これにより、フォトマスク６は、高い剛性及び平面度を有する保持面３４に間接的に倣うので、うねりが矯正され、マスク面６ｃに対するガラス基板６ａの厚みムラの影響が小さくなる。
【００４５】
図６は、上記実施形態を用いたときのフォトマスク６と帯状ワーク３との間のプロキシミティギャップの測定結果を示している。このグラフから分るように、プロキシミティギャップのバラツキは最大でも０．０１ｍｍ程度となり、ガラス基板６ａ単体でのうねり＋厚みムラである０．０８ｍｍよりも大幅に矯正することができる。これにより、高精細な露光を行なうことができる。
【００４６】
なお、アクチュエータ１９によってフォトマスク６を押圧する押圧力は、弱すぎるとマスク面６ｃが第１基準部材１６及び第２基準部材１７に倣わず、強すぎると第１基準部材１６及び第２基準部材１７自体が撓んでしまう。図７は、基準部材の端面から５ｍｍの位置を１９０ｍｍ間隔で、φ５ｍｍの押圧部材で押圧力を変更しながら押圧したときの基準部材の撓みを測定した結果である。これによれば、１００ｇ、１ｋｇでは基準部材にほぼ変化はなく、１０ｋｇの押圧力を加えたときでも０．００１ｍｍ程度しか撓まないので、プロキシミティギャップに影響はない。
【００４７】
また、グラフ中の▼印は、基準部材の自由端を２０ｍｍ程度伸ばして１０ｋｇの押圧力を加えた測定結果であるが、このときにも最大０．００２５ｍｍ程度の撓みしか生じないのでプロキシミティギャップに影響はない。これによれば、基準部材の自由端を伸ばして基準面とマスク面との接触面積を広くすることができ、より効果的にうねりを矯正して、厚みムラの影響を小さくすることができる。
【００４８】
上記実施形態では、第１基準部材１６及び第２基準部材１７を用いたが、これらを搬送ローラ４の側方で連結して一体に形成してもよい。この場合には、基準部材の連結部にも基準面を形成し、マスク面６ｃの外周全体を基準面に当接させてもよい。
【００４９】
また、フォトマスク６を第１基準部材１６及び第２基準部材１７に倣わせるためにアクチュエータ１９を用いたが、例えば、第１基準部材１６及び第２基準部材１７にエア通路を形成し、第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに吸着部を形成して、フォトマスク６を第１基準面１６ｂ及び第２基準面１７ｂに吸着させてもよい。
【００５０】
また、各アクチュエータ１９による押圧力を一定にしたが、フォトマスク６のうねり＋厚みムラに合せて各アクチュエータの押圧力を変えてもよい。また、アクチュエータ１９の数、間隔は、フォトマスク６の厚み、剛性に合せて適宜選択することができ、本実施形態に限定されるものではない。
【００５１】
また、露光装置でのマスク保持構造について説明したが、マスクを利用するエネルギービーム加工、連続ウェブ搬送加工等にも本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明を用いた露光装置の構成を示す概略図である。
【図２】マスクユニットの構成を示す断面図である。
【図３】マスクユニットの正面側斜視図である。
【図４】マスクユニットの背面側斜視図である。
【図５】フォトマスク及びマスクホルダの構成を示す外観斜視図である。
【図６】本発明実施後のプロキシミティギャップを示すグラフである。
【図７】押圧力の変化による基準部材の撓み量を示すグラフである。
【図８】フォトマスクの基材となるガラス基板Ａのうねり＋厚みムラを表すグラフである。
【図９】フォトマスクの基材となるガラス基板Ｂのうねり＋厚みムラを表すグラフである。
【符号の説明】
【００５３】
２  露光装置
３  帯状ワーク
４  搬送ローラ
６  フォトマスク
６ｃ  マスク面
７  マスクユニット
１５  マスクホルダ
１６  第１基準部材
１６ｂ  第１基準面
１７  第２基準部材
１７ｂ  第２基準面
１８  保持部材
１９  アクチュエータ
２２ａ  薄肉部
３４  保持面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008216653.tif 000006
【図５】
2008216653.tif 000007
【図６】
2008216653.tif 000008
【図７】
2008216653.tif 000009
【図８】
2008216653.tif 000010
【図９】
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