(57)【要約】【課題】キャップが必要ないディスク塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】中心孔が設けられたディスクを回転可能に保持する回転テーブルと、前記中心孔に対応する位置であって、前記回転テーブルの回転軸線とほぼ同心に配置され、前記ディスクの中心孔を覆うフィルム部材を回転可能に保持するフィルム保持部と、前記ディスクに液状材料を供給する塗布手段と、前記回転テーブル若しくは前記フィルム保持部を回転させる回転駆動手段と、前記回転テーブルの前記回転軸線に沿って前記回転テーブル及び前記フィルム保持部が互いに離間するように前記回転テーブル若しくは前記フィルム保持部を移動させる昇降手段と、前記回転テーブルの回転と前記フィルム保持部の回転とを同期させる同期手段と、を備えるディスク塗布装置【選択図】図１
2008027502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔が設けられたディスクを回転可能に保持する回転テーブルと、
前記中心孔に対応する位置であって、前記回転テーブルの回転軸線とほぼ同心に配置され、前記ディスクの中心孔を覆うフィルム部材を回転可能に保持するフィルム保持部と、
前記ディスクに液状材料を供給する塗布手段と、
前記回転テーブル若しくは前記フィルム保持部を回転させる回転駆動手段と、
前記回転テーブルの前記回転軸線に沿って前記回転テーブル及び前記フィルム保持部が互いに離間するように前記回転テーブル若しくは前記フィルム保持部を移動させる昇降手段と、
前記回転テーブルの回転と前記フィルム保持部の回転とを同期させる同期手段と、を備えるディスク塗布装置。
【請求項２】
前記フィルム保持部は、真空吸引力を発生させる吸引源に連結される吸着部を有し、真空吸引力により前記フィルム部材を前記吸着部に吸着保持する請求項１に記載のディスク塗布装置。
【請求項３】
前記フィルム部材は磁性体であり、前記フィルム保持部は磁石からなる吸着部を有し、磁気吸引力により前記フィルム部材を前記吸着部に吸着保持する請求項１に記載のディスク塗布装置。
【請求項４】
前記回転テーブルには、真空吸引力を発生させる吸引源に連結される貫通孔が設けられ、前記貫通孔から真空吸引力を前記ディスクに作用させることにより前記ディスク部材を吸着保持する請求項１〜３のいずれか一項に記載のディスク塗布装置。
【請求項５】
前記回転テーブルと前記回転駆動手段とを連結するシャフト部材に同心に、前記フィルム保持部材と前記昇降手段とを連結する軸部材が配置され、
前記同期手段は、前記シャフト部材と前記軸部材との間で回転モーメントを伝達可能にし、かつ、前記シャフト部材と前記軸部材とが互いに相対的に前記回転軸線方向に移動可能にし、前記シャフト部材と前記軸部材との間に介在する軸受である請求項１〜４のいずれか一項に記載のディスク塗布装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のディスク塗布装置と、
前記ディスクに紫外線を照射する照射部と、
前記回転駆動手段を駆動するタイミングと照射部により紫外線を照射するタイミングとを同期させるための制御手段と、を備えるディスク製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転テーブル上に保持したディスクの表面に、液状材料を回転塗布し薄膜を形成するディスク塗布装置及びディスク製造装置に関し、特に、フィルム部材をディスクの中心孔に配置した状態で、回転塗布するディスク塗布装置及びディスク製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、高密度の情報記録媒体として利用されている光ディスクは、ポリカーボネートに代表される合成樹脂の基板の片面に情報記録のためのピットまたはプリグループを有し、その上に記録層や光反射層として作用する金属や、有機色素膜等を主成分とする各種機能層が形成される。
【０００３】
この機能層は外部から物理的及び化学的な影響を受け易いので、機能層の上に紫外線硬化樹脂等で保護層を設けることが行われている。保護層の形成方法の一つとしては、スピンコート法がある。スピンコート法とは、光ディスクの保護層形成面に液状材料を滴下し、ディスクの中心を回転軸として回転し、液状材料を展延し、余分な液状材料を吹き飛ばすことで目的の厚みを有する保護層を形成する方法である。
【０００４】
近年、塗布層の厚みに関し、より高精度での均一性や厚膜化といった新たな要求に対応するため、ディスクの中心に形成されている中心孔をキャップで塞ぎ、そのキャップの上から液体材料を塗布する方法及び装置が提案されている。
【０００５】
以下に、従来のディスク塗布装置について説明する。図６（ａ）は、ディスクにキャップを装着した状態の回転テーブルを示す模式図であり、図６（ｂ）は、キャップの上方より樹脂を塗布している状態を示す模式図である。
【０００６】
従来のディスクの塗布装置において、図６（ａ）に示されるように、中心に中心孔を有するディスク５１１が、回転テーブル５０７のほぼ中心に配置される。次に、電磁石からなるキャップ保持部材５８０を用い、磁性材料からなるキャップ５１５をディスク５１１の中心孔５１３に嵌め込む。
【０００７】
次に、図６（ｂ）に示すように、キャップ５の中心に、液状の光硬化性樹脂５１９を塗布する。次に回転テーブル５０７を回転し、液状の光硬化性樹脂５１９を展延するとともに、不要な樹脂を飛散させる。その後、樹脂層５１９に紫外線を照射し樹脂を硬化させてディスクの塗布作業が終了する。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２１３４５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のようにディスクの中心孔にキャップを嵌合させて樹脂の塗布を行う場合、樹脂の残留物が付着した使用済みキャップの洗浄が必要になる。実際、洗浄する際のキャップの取り扱いは非常に難しい。例えば、キャップに傷がつくと、それが僅かな傷だとしても、次に使用する際、キャップ上の樹脂の流れが不均一になり展延する樹脂の厚さにむらができる恐れがある。また、キャップを洗浄するための設備が必要となり、ディスク塗布に伴う費用が嵩む。従って、キャップを利用せずに樹脂等の液状材料の塗布を行うディスク塗布装置が必要とされている。
【００１０】
また、キャップをディスクから取り除いた後に、樹脂の内周部分を適正な形状とするために、キャップの外周が薄く剛性が高い円錐形状としたが、このような形状にするためには、加工精度を高くする必要があり、製造コストが嵩む傾向にある。
【００１１】
さらに、塗布した液状の樹脂を硬化させる前にキャップをディスクから離間させる必要がある。キャップ上からディスク表面まで連続した樹脂層が形成されることを防止するためである。しかし、従来の方法では、キャップを脱着するために、キャップの硬化前の樹脂が付着した面をキャップ着脱手段により保持する際、キャップ着脱手段に樹脂が付着するという課題が存在した。
【００１２】
そこで、本発明は、キャップを使用せずに、容易かつ確実に液状材料の厚さを均一に塗布できるディスク塗布装置及びディスク製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するための本発明のディスク塗布装置の第１の態様は、中心孔が設けられたディスクを回転可能に保持する回転テーブルと、前記中心孔に対応する位置であって、前記回転テーブルの回転軸線とほぼ同心に配置され、前記ディスクの中心孔を覆うフィルム部材を回転可能に保持するフィルム保持部と、前記ディスクに液状材料を供給する塗布手段と、前記回転テーブル若しくは前記フィルム保持部を回転させる回転駆動手段と、前記回転テーブルの前記回転軸線に沿って前記回転テーブル及び前記フィルム保持部が互いに離間するように前記回転テーブル若しくは前記フィルム保持部を移動させる昇降手段と、前記回転テーブルの回転と前記フィルム保持部の回転とを同期させる同期手段と、を備える。
【００１４】
本発明のディスク塗布装置の第２の態様によれば、前記フィルム保持部は、真空吸引力を発生させる吸引源に連結される吸着部を有し、真空吸引力により前記フィルム部材を前記吸着部に吸着保持する。フィルムの着脱を容易に行うことができる。
【００１５】
本発明のディスク塗布装置の第３の態様によれば、前記フイルム部材は磁性体であり、前記フィルム保持部は磁石からなる吸着部を有し、磁気吸引力により前記フィルム部材を前記吸着部に吸着保持する。
【００１６】
上記ディスク塗布装置の第２、第３の態様によれば、例えば、前記フィルム部材を吸着部に粘着剤等で固定する構成と比較して、フィルム部材の着脱を容易に行うことができる。
【００１７】
本発明のディスク塗布装置の第４の態様によれば、前記回転テーブルには、真空吸引力を発生させる吸引源に連結される貫通孔が設けられ、前記貫通孔から真空吸引力を前記ディスクに作用させることにより前記ディスク部材を吸着保持する。
【００１８】
本発明のディスク塗布装置の第５の態様によれば、前記回転テーブルと前記回転駆動手段とを連結するシャフト部材に同心に、前記フィルム保持部材と前記昇降手段とを連結する軸部材が配置され、前記同期手段は、前記シャフト部材と前記軸部材との間で回転モーメントを伝達可能にし、かつ、前記シャフト部材と前記軸部材とが互いに相対的に前記回転軸線方向に移動可能にし、前記シャフト部材と前記軸部材との間に介在する軸受である。
【００１９】
さらに、上記課題を解決するための本発明のディスク製造装置の一態様は、上述の第１〜第５の態様のいずれかに記載のディスク塗布装置と、前記ディスクに紫外線を照射する照射部と、前記回転駆動手段を駆動するタイミングと照射部により紫外線を照射するタイミングとを同期させるための制御手段と、を備える。
【００２０】
本発明のディスク製造装置の上記態様によれば、塗布された液状材料を硬化させる前に、フィルム部材の硬化前の液状材料が付着した面に触れることなく、フィルム部材をディスクから離間することができる。
【００２１】
本明細書において、吸引手段は吸引源と吸引回路を備え、吸引源は吸引力を発生する部材を意味し、吸引回路は吸引源で発生した吸引力を吸引対象物に導き作用させるための経路を構成する部材を意味する。
【００２２】
また、本明細書において、同期とは、複数要素間で回転数（もしくは回転速度）を一致させることを意味し、各駆動部に電気信号を送り電気的に制御して各駆動部を同期させる方式や、ギヤ等を用いて各要素間の回転数を機械的に同期させる方式を含む。
【００２３】
ディスク製造装置は、ディスクに液状材料を塗布するディスク塗布装置に照射部材を加えたものを意味する。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のディスク塗布装置及びディスク製造装置によれば、ディスクの中心孔に嵌合するキャップを使用することなく、安価な使い捨てのフィルム部材を使用しているので、キャップの形状を高精度で製造する必要がなく、マスク製作のコストを削減できる。よって、ディスク塗布作業に要する費用を削減できる。また、使い捨てのフィルム部材を用いるので、キャップを洗浄する作業、それに伴う設備を省くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明によるディスク塗布装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２６】
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態によるディスク塗布装置の概略断面図である。
ディスク塗布装置３は、中心孔を有するディスク１１を保持する回転テーブル７と、回転テーブル７の回転軸線とほぼ同心で、ディスク１１の中心孔１１ｂの近傍においてフィルム部材１５を吸着保持するフィルム保持部１７と、回転テーブル７及びフィルム保持部１７を回転駆動する回転駆動手段すなわち回転駆動部９と、フィルム保持部１７を回転テーブル７に対して相対的に上下動させる昇降手段１９と、回転テーブル７の回転とフィルム保持部１７の回転とを同期させる同期手段と、ディスク１１に液状材料を供給する塗布手段（図３の符号７７参照。）と、を備える。
【００２７】
以下に各要素について詳細に説明する。回転ディスクを載置するための環状の回転テーブル７は、円筒中空のシャフト部材２５の上端に固定されている。シャフト部材２５の下端は一回り細い径の段差形状となっており、後述する第２タイミングプーリー６１に連結されている。シャフト部材２５の外周面には、一対のボールベアリング２１、２３の内輪が軸方向に離間して嵌合している。ボールベアリング２１、２３の外輪は、円筒中空の支持フレーム５に固定されている。従って、シャフト部材２５は、支持フレーム５に対して相対的に回動可能な構成である。本実施形態では、支持フレーム５は、シャフト部材２５を支持する固定部材である。よって、シャフト部材２５が回動する。
【００２８】
ここで、一対のボールベアリング２１、２３はシール付きボールベアリングであり、シール２１ａ（２３ａ）、２１ｂ（２３ｂ）により軸の延在方向に関して気密を保つことができる。従って、支持フレーム５とシャフト部材２５との間には、一対のボールベアリング２１、２３によって上下方向の境界面が画定され、周囲空間から隔絶された中空領域９０が形成される。中空領域９０は後述の吸引継手６７と連通している。
【００２９】
さらに、シャフト部材２５の内径側には、シャフト部材２５と同心に、中空棒状の軸部材２７が貫通している。軸部材２７の外周には軸方向に延在するスプライン溝が刻設され、スプライン軸となっている。シャフト部材２５の内周面には一対のスリーブ２９、３１が、カラー９１を両スリーブの間に挟んで軸方向に離間して固定されている。スリーブ２９、３１の内周面には、保持溝が形成されており、両溝間に球状部材が転動自在に保持されている。上記のようにボールスプラインを、シャフト部材２５と軸部材２７の間に介在させる。なお、本実施形態では、ボールスプラインが、回転テーブル１１の回転とフィルム保持部１７の回転を同期させる同期手段である。
【００３０】
軸部材２７の上端部には、図中において下方が開口する円筒状のフィルム保持部１７が覆い被さるように嵌合している。フィルム保持部１７は、軸部材２７の側面を覆う筒状体の胴部３７と、胴部３７の一端部に連結し多孔質体（焼結金属）からなる、フィルム部材１５が吸着保持される吸着部３９とを備える。また、フィルム保持部１７が軸部材２７に装着された状態では、吸着部３９と軸部材２７の内径部２８が連通する。なお、本実施形態では、フィルム部材１５としてＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）フィルムを用いている。
【００３１】
軸部材２７の下端部は、軸部材２７の軸方向に移動させる昇降手段１９に連結されている。本実施形態の昇降手段１９は、流体圧シリンダ２０と、流体圧シリンダ２０と軸部材２７との間に介在する連結部４５と、を備える。流体圧シリンダ２０は、円筒状シリンダ４１と、円筒状シリンダ４１内のピストンに連結され、一端部が円筒状シリンダ４１から突出し、鉛直方向（図１の上下方向）に移動するピストンロッド４３とを備える。ピストンロッド４３の先端部は、吸引継手７３を保持する連結部材４５に接続されている。吸引継手７３は、真空吸引力を発生する真空源である吸引ポンプＰ２に連通する。
【００３２】
連結部材４５は、水平方向に平行な板状部材４７、４９と、両板状部材４７，４９の両端を接続する棒状部材５１、５３とを備える。上方に配置される板状部材４９は、環状の孔が設けられており、ボールベアリング５５を介して、軸部材固定部５７と連結されている。軸部材２７の先端部は、円柱状の軸部材固定部５７に固定される。従って、軸部材固定部５７に固定される軸部材２７が、連結部材４５に対して回転可能に支持される。
【００３３】
一方、流体圧シリンダ２０を駆動すると、連結部材４５が上下動し、軸部材固定部５７を介して軸部材２７が昇降する。結果として、軸方向に関し、軸部材２７に連結されているフィルム保持部１７と、回転テーブル７とが互いに離間するように移動させる。なお、本実施形態では、軸部材２７を上下動可能とし、回転テーブル７を上下方向に関し固定する構成としたが、本発明はこの構成に限定されることはない。すなわち、フィルム保持部３７とディスク回転テーブル７とを互いに離間するように移動させ、フィルム部材１５を取り除くことができる構成の昇降手段であればよい。さらに、昇降手段としては、公知の電動モータとボールねじの組合せ機構等に適宜変更できることは言うまでもない。
【００３４】
さらに、シャフト部材２５には、巻き掛け式の伝動機構９が連結されている。巻き掛け機構は、同一平面において回転軸線が平行に配置される一対のタイミングプーリーである第１タイミングプーリー５９、第２タイミングプーリー６１と、両タイミングプーリー５９，６１の周囲に巻回され、回転を伝達するタイミングベルト６３と、を備える。なお、シャフト部材２５と第２タイミングプーリー６１とはほぼ同心である。
【００３５】
回転駆動手段は、回転駆動力を発生する公知の回転サーボモータ６４と、第１タイミングプーリー５９が固定される回転軸６５と、を備える。よって、回転サーボモータ６４の回転力は、第１タイミングプーリー５９、タイミングベルト６３、第２タイミングプーリー６１、シャフト部材２５、スリーブ２９、３１を介して軸部材２７に伝達される。伝達された回転力により、軸部材２７が回転する。また、昇降部材４１を駆動することにより軸部材２７を昇降させることが可能であるので、ボールスプラインを構成するスリーブ２９、３１を利用することにより、軸部材２７は、回動と昇降を同時に行うことができる。
【００３６】
次に、ディスク塗布装置３が備える２つの吸引部について説明する。ディスク１１を回転テーブル７に吸着保持するための第１吸引部と、フィルム部材１５をフィルム保持部１７に吸着保持するための第２吸引部と、を備える。
【００３７】
第１吸引部は、吸引継手６７に連結され吸引力を発生させ真空吸引力を発生する吸引源である気体ポンプＰ１と、気体ポンプＰ１からの吸引力を被吸引物に導く第１吸引回路と、を備える。第１吸引回路は、吸引継手６７と、前述の支持フレーム５内部に画定される中空領域９０と、シャフト部材２５の長手方向に延在する吸気路６９と、回転テーブル７を厚さ方向に貫通する貫通孔７１（すなわち、第１吸着孔）と、が互いに連通することで形成される。すなわち、真空ポンプＰ１からの吸引力は、吸引継手６７、中空領域９０、吸気路６９、貫通孔７１を介してディスク１１の裏面１１ａに作用する。
【００３８】
次に、第２吸引部について説明する。第２吸引部は、吸引源である気体ポンプＰ２と、気体ポンプＰ２からフィルム部材１５に吸引力を伝達する第２吸引回路と、を備える。第２吸引回路は、吸引継手７３と、軸部材固定部５７の内部に設けられた導入路７５と、軸部材２７の内部で長手方向に延在する内径部２８と、フィルム保持部１７の吸着部３９と、が連通し形成される。ここで、吸着部３９は、前述のように多孔質体から構成されている。従って、気体ポンプＰ２からの真空吸引力は、吸引継手７３、導入路７５、内径部２８、多孔質体である吸着部３９の細孔を介してフィルム部材１５に作用する。
【００３９】
次に、上記構成のディスク塗布装置３を用いて、ディスクに光硬化性樹脂を塗布する工程を含むディスク製造工程について、図１〜図３を参照しつつ説明する。図２は、ディスクへの樹脂膜を作製する工程を示すフローチャートである。図３は、図２のフローチャートの各工程に対応した装置の動作を示す模式図である。
【００４０】
まず、ディスク１１の中心孔１１ｂを、回転テーブル７に設けた突起部７ａに嵌合するように載置するディスク供給工程である（ステップＳ１０１、図３（Ａ））。次に、気体ポンプＰ１を作動させ、ディスク１１を吸着保持するディスク吸着工程である（ステップＳ１０２、図３（Ａ））。
【００４１】
ディスク１１の中心孔１１ｂより径の大きい円形状のフィルム部材１５を用意する。そして中心孔１１ｂを覆うようにフィルム保持部１７上に載置するフィルム供給工程（ステップＳ１０３、図３（Ｂ））を行う。そして、気体ポンプＰ２を作動させて吸引力をフィルム部材１５へ作用させ、フィルム保持部１７に吸着保持する（ステップＳ１０４、図３（Ｂ））。
【００４２】
次は、光硬化性樹脂材料７９をディスク表面に塗布する液吐出工程である（ステップＳ１０５、図３（Ｃ）参照。）。図３（Ｃ）に示されるように、ディスク１１のほぼ中央部の上方に配置される、不図示の樹脂吐出装置の吐出ノズル７７から、光硬化性樹脂材料７９がディスク１１の中央部に塗布される。
【００４３】
次は、回転テーブル７を回転させるスピン振り切り工程である（ステップＳ１０６、図３（Ｄ）参照）。回転サーボモータ６４を駆動すると駆動軸６５が回転し、その回転力は、タイミングプーリー５９、プーリーベルト６３、タイミングプーリー６１へと伝達される。この回転力は、タイミングプーリー６１に固定されているシャフト部材２５を回動する。さらに、回転力は、シャフト部材２５に装着されているスリーブ２９、３１を介して軸部材２７に伝達される。よって、支持シャフト２５及び軸部材２７は、回転速度が同期された状態（同速度）で回転する。
【００４４】
このスピン振り切り工程においてディスク１１及びフィルム保持部１７を回転させることにより、フィルム部材１５に塗布された光硬化性樹脂材料７９が徐々にディスク１１の外周縁部に向かい展延していく。
【００４５】
次は、フィルム部材１５を突き上げる工程（ステップＳ１０９）である（図３（Ｆ））。昇降部１９の昇降シリンダ４１を駆動させることにより、軸部材２７を図中の上方向に移動させ、ディスク１１に対してフィルム保持部１７を相対的に軸方向に上昇させ、フィルム部材１５をディスク１１から取り除く。なお、回転駆動手段は駆動した状態であるので、フィルム保持部は、回転しながら上昇する。
【００４６】
さらに、ＵＶ照射を行い光硬化性樹脂材料７９の硬化を行うＵＶ照射硬化工程である（ステップＳ１１０、図３（Ｇ））。この工程では、ＵＶ照射部８３をディスク１１のほぼ中心に対して上方に配置し、紫外線８５をディスク１１に照射する。このとき、照射量は、光硬化性樹脂材料７９がディスク１１の回転により生じる遠心力によっても流動しない程度に硬化させるのに十分な量とする。
【００４７】
そして、回転サーボモータ６３の駆動を停止し、ディスク１１の回転を停止する（ステップＳ１１２、図３（Ｈ））。この時、軸部材１１の回転も停止する。すなわち、スピン振り切り工程Ｓ１０６から、スピン停止Ｓ１１２まで、回転サーボモータ６３を駆動させ、フィルム保持部と回転テーブルが回転させている。
【００４８】
さらに、第２真空ポンプＰ２の吸引作動を解除しフィルム部材１５を取り除く（ステップＳ１１３）。さらに、第１真空ポンプＰ１の作動を解除し、光硬化性樹脂材料７９がコーティングされたディスク１１をディスク塗布装置３から取り外し、ディスクの製造作業が終了する。
【００４９】
（実施形態２）
本発明の実施形態２に係るディスク塗布装置を図４を参照して説明する。図４は本発明の実施形態２によるディスク塗布装置の概略断面図である。
ディスク塗布装置の構成及び当該ディスク塗布装置を用いたディスクの製造方法について、実施形態１のディスク塗布装置と異なる部分について説明する。
【００５０】
実施形態１では、吸引力によりフィルム部材をフィルム保持部により吸着保持する構成としたが、実施形態２では、磁力によりフィルム部材を保持する構成である。具体的には、フィルム部材２１５は磁性体からなる。他方、フィルム保持部２１７の先端部には、吸着部である磁石２３９が装着されている。この構成により、フィルム部材２１５は、フィルム保持部２１７に磁力吸引力で固定される。
【００５１】
フィルム部材２１５をフィルム保持部２１７へ着脱する際には、磁石２３９が発生する磁力より大きな力でフィルム部材２１５を保持すれば着脱可能である。
従って、フィルム保持部２１７、軸部材２２７、軸保持固定部２５７に吸引経路や気体ポンプを設ける必要はなく、実施形態１に比較して、ディスク塗布装置の構成を簡易とすることができる。
【００５２】
なお、その他の構成は実施形態１と同じである。また、吸着部２１７のフィルム部材２１５を保持する構成が異なるのみで、ディスクを製造する方法も実施形態１で説明した図２、図３と同様である。
【００５３】
さらに、磁石２３９として電磁石を用い、磁力の発生をＯＮ／ＯＦＦ可能とすれば、フィルム部材２１５の着脱をより容易に行うことができる。また、フィルム部材２１５は磁性体を含有する合成樹脂であっても構わない。
【００５４】
（実施形態３）
実施形態３のディスク塗布装置３０３は、実施形態１と異なり、回転テーブル及びフィルム保持部を回転駆動するための駆動部をそれぞれ独立に設ける構成である。以下に第３実施形態のディスク塗布装置について、実施形態１と異なる部分を主として説明する。
【００５５】
シャフト部材３２５を回転する回転駆動手段である第１回転部３６２（第１サーボモータ３６３、駆動軸３６４）は、第１実施形態と同様の構成である。さらに、本実施形態のディスク塗布装置３０３は、軸部材３２７を回転するための回転駆動手段である第２回転部３７６を備える。
【００５６】
第２回転部３７６は、第２回転サーボモータ３７７と、駆動軸３７９とを備える。また、第２回転部３７６の回転力は、巻き掛け式の第２の伝動機構３９９により軸部材３２７に伝達される。巻き掛け式の第２の伝達機構３９９は、同一平面において回転軸が平行に配置される一対のタイミングプーリー３８１、３８５と、両タイミングプーリー３８１，３８５の周囲に巻回され、回転力を伝達するタイミングベルト３８３と、を備える。その構成は、第１の伝達機構３０９（プーリー３５９、３６１及びベルト３６３）と同じである。また、タイミングプーリー３８１は、駆動軸３７９に同心に装着されている。第２回転サーボモータ３７７が回転すると、その回転力がタイミングプーリー３８１にタイミングベルト３８３を介してタイミングプーリー３８５に伝達される。さらに、タイミングプーリー３８５の回転力は、軸部材固定部３５７を介して軸部材３２７に伝達される。
【００５７】
また、軸部材３２７を軸方向及び回転方向に移動可能に支持するために、直線回転複合軸受３２９、３３１を軸方向に離間させて嵌合させている。直線回転複合軸受としては、例えば、日本ベアリング社製のスライダロータリブッシュを用いる。
【００５８】
さらに、本実施形態では、回転テーブル３０７及びフィルム保持部３３７との回転を同期させるために、第１回転サーボモータ３６３及び第２回転サーボモータ３７７の回転の同期を取るための同期手段である制御部３８７が設けられている。制御部３８７から、駆動信号を両回転サーボモータ３６３、３７７に同時に付与し、回転を同期させる。回転テーブル３０７と吸着部３３９との間の回転のずれがあると、ディスク３１１とフィルム部材３１５との間に回転量のずれが生じ、フィルム部材３１５が不意に剥れたり、ディスク３１１表面に傷をつける場合があるからである。
【００５９】
上記構成において、軸部材３２７と支持フレーム３２５とを回転させた状態において、軸部材３２７を昇降運動することが可能である。なお、第２回転サーボモータ３７７は、板状部材３４９によって支持されているため、軸部材３２７の軸方向移動に合わせて第２回転部３７６及び第２の伝達機構３９９が一緒に上下動することになる。
【００６０】
また、実施形態３のディスク塗布装置を用いるディスク製造方法は、実施形態１で説明した工程（図２、３）と同じであるので詳細は割愛する。
【００６１】
なお、フィルム保持部３１７及び回転テーブル３０７は、それぞれ独立の回転サーボモータである第１回転サーボモータ３６３、第２回転サーボモータ３７７に連結されているので、フィルム突き上げ工程（Ｓ１０９）の後は、フィルム保持部３１７の回転を停止するように制御部３８７で制御してもよい。この構成により、粘性が低いため、わずかな遠心力でも液体材料が飛び散る恐れがある場合には、フィルム保持部３１７を停止させることにより、このような予期せぬ事態を回避することが可能である。
【００６２】
本実施形態及び実施例においては、フィルム部材としてＰＥＴ(ポリエチレンテレフタレート)フィルムを使用したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、樹脂ラミ若しくは樹脂コート工程紙等樹脂材料なども利用できる。
【００６３】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態１によるディスク塗布装置の概略断面図である。
【図２】ディスクの樹脂膜を形成する工程を示すフローチャートである。
【図３】図２のフローチャートの各工程に対応したディスク塗布装置の動作を示す模式図である。
【図４】本発明の実施形態２によるディスク塗布装置の概略断面図である。
【図５】本発明の実施形態３によるディスク塗布装置の概略断面図である。
【図６】（ａ）は、従来のディスク塗布装置についてキャップを装着した状態の回転テーブルを示す模式図であり、（ｂ）は、従来のディスク塗布装置についてキャップの上方より樹脂を塗布している状態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６５】
３              ディスク塗布装置
５              支持フレーム
７              回転テーブル
９              回転駆動手段
１１            ディスク
１５            フィルム部材
１７            フィルム保持部
１９            昇降手段
【図１】
2008027502.tif 000003
【図２】
2008027502.tif 000004
【図３】
2008027502.tif 000005
【図４】
2008027502.tif 000006
【図５】
2008027502.tif 000007
【図６】
2008027502.tif 000008