(57)【要約】【課題】  マスター担体に形成された凹凸形状または凹凸形状により表される転写情報を生産性がよくスレーブ媒体上に忠実に再現するための転写装置、転写方法、及び記録媒体を提供すること。【解決手段】  スレーブディスク１４とマスターディスク１０とを保持するホルダ２へシート１１を固定し、ホルダ２とシート１１との間に流体を供給することにより、マスターディスク１０をシート１１で押圧してスレーブディスク１４へ密着させる。【選択図】図４
2008198274.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、
前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかの転写を受けるスレーブ媒体と、
前記マスター担体を前記スレーブ媒体へ流体の圧力により押圧する可撓性膜と、
前記可撓性膜の周縁部が固定され、前記スレーブ媒体と前記マスター担体とを保持するホルダと、を備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項２】
前記可撓性膜には、中央部に前記マスター担体が固定され、該マスター担体を前記スレーブ媒体へ流体の圧力により押圧することを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
【請求項３】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、
前記凹凸形状または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかの転写を受けるスレーブ媒体と、
前記凹凸形状が形成されていない前記マスター担体の周縁部が固定され、前記スレーブ媒体を保持するホルダと、を備えたことを特徴とする転写装置。
【請求項４】
前記転写装置は、前記ホルダと該ホルダに固定された前記可撓性膜または該ホルダに固定された前記マスター担体との間に生じる空隙内へ流体を供給する加圧手段、及び前記ホルダ内部の前記空隙を除く密閉された空間内の流体を排出する減圧手段を備えていることを特徴とする請求項１、２、または３のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項５】
前記空隙は、前記ホルダに形成された穴の上に前記可撓性膜または前記マスター担体が固定されることにより生じることを特徴とする請求項１、２、３、または４のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項６】
前記可撓性膜、または前記マスター担体は接着剤、溶接、固定具による締結、磁力による接合の少なくとも１つ以上の方法により前記ホルダへ固定されることを特徴とする請求項１、２、３、４、または５のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項７】
前記転写装置は、転写を行う際、前記スレーブ媒体の両面へ前記マスター担体を密着させることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、または６のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項８】
前記転写装置には、前記ホルダへ前記スレーブ媒体と前記マスター担体を供給する供給手段が備えられていることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、または７のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項９】
前記転写装置には、前記ホルダを移動させるホルダ移動手段が備えられていることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、または８のいずれか１項に記載の転写装置。
【請求項１０】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に可撓性膜を介して流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、
前記スレーブ媒体と前記マスター担体とを保持するホルダへ前記可撓性膜を固定し、該ホルダと該可撓性膜との間に流体を供給することにより、前記マスター担体を前記可撓性膜で押圧して前記スレーブ媒体へ密着させることを特徴とする転写方法。
【請求項１１】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に可撓性膜を介して流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、
前記マスター担体が前記可撓性膜の一方の面の中央部に固定されるとともに、該マスター担体が固定された部分を除く前記可撓性膜の周縁部が前記スレーブ媒体を保持するホルダに固定され、該ホルダと該可撓性膜との間に流体を供給することにより、該マスター担体を押圧して該ホルダに保持された前記スレーブ媒体へ密着させることを特徴とする転写方法。
【請求項１２】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する転写方法において、
前記スレーブ媒体を保持するホルダへ、前記マスター担体の前記凹凸形状が形成されていない周縁部を固定し、該ホルダと該マスター担体との間に流体を供給することにより、該マスター担体を押圧して該ホルダに保持された前記スレーブ媒体へ密着させることを特徴とする転写方法。
【請求項１３】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に可撓性膜を介して流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する際、前記スレーブ媒体と前記マスター担体とを保持するホルダへ前記可撓性膜を固定し、該ホルダと該可撓性膜との間に流体を供給することにより、前記マスター担体を前記可撓性膜で押圧して前記スレーブ媒体へ密着させて製造されたことを特徴とする記録媒体。
【請求項１４】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に可撓性膜を介して流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する際、前記マスター担体が前記可撓性膜の一方の面の中央部に固定されるとともに、該マスター担体が固定された部分を除く前記可撓性膜の周縁部が前記スレーブ媒体を保持するホルダに固定され、該ホルダと該可撓性膜との間に流体を供給することにより、該マスター担体を押圧して該ホルダに保持された前記スレーブ媒体へ密着させて製造されたことを特徴とする記録媒体。
【請求項１５】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する際、前記スレーブ媒体を保持するホルダへ、前記マスター担体の前記凹凸形状が形成されていない周縁部を固定し、該ホルダと該マスター担体との間に流体を供給することにより、該マスター担体を押圧して該ホルダに保持された前記スレーブ媒体へ密着させて製造されたことを特徴とする記録媒体。
【請求項１６】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に可撓性膜を介して流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する際、前記スレーブ媒体と前記マスター担体とを保持するホルダへ前記可撓性膜を固定し、該ホルダと該可撓性膜との間に流体を供給することにより、前記マスター担体を前記可撓性膜で押圧して前記スレーブ媒体へ密着させることにより製造された記録媒体を備えた磁気記録装置。
【請求項１７】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に可撓性膜を介して流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する際、前記マスター担体が前記可撓性膜の一方の面の中央部に固定されるとともに、該マスター担体が固定された部分を除く前記可撓性膜の周縁部が前記スレーブ媒体を保持するホルダに固定され、該ホルダと該可撓性膜との間に流体を供給することにより、該マスター担体を押圧して該ホルダに保持された前記スレーブ媒体へ密着させることにより製造された記録媒体を備えた磁気記録装置。
【請求項１８】
微小な凹凸形状が形成されたマスター担体をスレーブ媒体に密着させると共に流体の圧力により押圧し、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかを前記スレーブ媒体へ転写する際、前記スレーブ媒体を保持するホルダへ、前記マスター担体の前記凹凸形状が形成されていない周縁部を固定し、該ホルダと該マスター担体との間に流体を供給することにより、該マスター担体を押圧して該ホルダに保持された前記スレーブ媒体へ密着させることにより製造された記録媒体を備えた磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小な凹凸形状か形成されたマスター担体より、凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報のいずれかをスレーブ媒体へ転写する転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク等の各種情報記録媒体では、より小型かつ大容量化が求められている。また、電子デバイス、光デバイスなどにおいても、携帯端末の普及などにより小型化されるとともに、量産需要が高まっている。このような背景から、例えば記録媒体においては、記録されている記録信号ビットのトラック幅、線記録方向の磁化反転長等は数百、数十ｎｍにまで小さくなっている。
【０００３】
このような狭トラック化された記録媒体より正確に情報を取り出す為には、情報読み書きを行うヘッドを狭いトラック幅の中で正確に走査する必要があり、磁気ディスクには、所定の間隔でトラッキング用のサーボ信号やアドレス情報信号、及び再生クロック信号等が、磁気ヘッドのトラッキングサーボを行うためにプリフォーマットされて記録されている。
【０００４】
この記録は、磁気ヘッドにより行うこともできるが、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれたマスター担体としてのマスターディスクより一括転写する方法が効率的であり、好ましい。例えば、高密度磁気記録媒体となるスレーブ媒体としてのスレーブディスクに、転写すべき情報に対応した凹凸パターンの磁性層を有するマスターディスクを用意するとともに、スレーブディスクの磁性層を予めトラックの一方向に初期磁化し、その後、この初期磁化されたスレーブディスクとマスターディスクとを密着させた状態で初期磁化方向と略逆向きの転写用磁界を印加する磁気転写方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、トラック密度の向上による、隣接トラック間のイレーズノイズ、クロストークノイズの発生、または線記録密度の向上により記録磁化の熱揺らぎによる減磁などについても問題となっており、これに対応するため、ディスクリートトラックメディア、パターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体も提案されている。
【０００６】
ディスクリートトラックメディア、パターンドメディアと呼ばれる形態の磁気記録媒体では、磁気記録媒体の表面を所定の形状にパターンニングする必要がある。パターンニングにおいては、記録媒体全体を微細加工していくことは困難であるため、小型の電子デバイスや光デバイスを大量生産するのと同様に、所定の形状パターンが形成されたマスターディスク（スタンパ）をスレーブディスクに押圧することにより、マスターディスクの形状をスレーブディスクに転写するインプリント方法が用いられる。
【０００７】
上記記録媒体の転写方法では、いずれの場合もマスターディスクとスレーブディスクを全面にわたって均一な力で押圧し、密着させることが重要である。密着不良がある場合、転写された情報に信号抜けが生じ、信号品位が低下する。例えば、記録された信号がサーボ信号の場合、トラッキング機能が十分に得られず、信頼性が低下する問題が発生する。このような問題に対応するため、例えば、マスターディスクを保持するホルダに緩衝材を設けて密着性を向上させる磁気転写装置のホルダが提案されている（例えば、特許文献２。）。
【特許文献１】特開２００１−１４６６７号公報
【特許文献２】特開２００４−８６９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、このようなホルダや緩衝材を用いた押圧では、ホルダや緩衝材の加工精度に限界があるため、これらの部材の加工精度によっては、押圧時にマスター担体が変形し、マスター担体における形状と転写された形状との間に差異が発生する問題があった。
【０００９】
このため、加工精度によらずにマスター担体を均一な圧力で押圧する方法として、流体による加圧が考えられる。流体による加圧では、スレーブ媒体とマスター担体とを位置決めして密着させた後、密閉容器内に収めて流体を供給する。これにより、マスター担体が全面にわたり均一に押圧され、精度よくスレーブ媒体に密着する。
【００１０】
ところが、流体の圧力によりマスター担体を押圧する際には、密閉された容器内へ正確に位置決めされたスレーブ媒体とマスター担体を供給する必要があり、更にマスター担体を可撓性膜等を介して流体の圧力により押圧する場合には、転写を行う度に可撓性膜をマスター担体上に合わせる必要があり、生産性を下げる原因となっていた。
【００１１】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、マスター担体に形成された凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報を生産性がよくスレーブ媒体上に忠実に再現するための転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明では前記目的を達成するために、請求項１に記載される発明として、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、前記凹凸形状、または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかの転写を受けるスレーブ媒体と、前記マスター担体を前記スレーブ媒体へ流体の圧力により押圧する可撓性膜と、前記可撓性膜の周縁部が固定され、前記スレーブ媒体と前記マスター担体とを保持するホルダとを備えたことを特徴としている。
【００１３】
請求項１に記載される発明によれば、供給手段により、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、マスター担体の凹凸形状、または凹凸形状により表される転写情報のいずれかの転写を受けるスレーブ媒体とが転写装置のホルダへ供給され、位置決めされる。ホルダ内部には、マスター担体とスレーブ媒体の中心部を保持する保持部が設けられ、保持部の周囲には、マスター担体を押圧する可撓性膜が、ホルダとの間に密閉された空隙を作って固定されている。
【００１４】
ホルダは、供給されたスレーブ媒体とマスター担体とが正確に位置決めされた後、保持部で保持し、移動して可撓性膜によりスレーブ媒体とマスター担体とを挟みこむ。このとき可撓性膜は、流体の圧力によりマスター担体を押圧してスレーブ媒体へ密着させる。
【００１５】
これにより、本発明の転写装置では、マスター担体とスレーブ媒体の位置決めが正確に行われ、可撓性膜を取り付ける作業が簡略化され、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【００１６】
請求項２に記載される発明では、請求項１に記載される発明において、前記可撓性膜には、中央部に前記マスター担体が固定され、該マスター担体を前記スレーブ媒体へ流体の圧力により押圧することを特徴としている。
【００１７】
請求項２に記載される発明によれば、中央部にマスター担体が固定された可撓性膜が、マスター担体の固定されていない周縁部をホルダに固定され、ホルダとの間に密閉された空隙を形成している。
【００１８】
ホルダは、スレーブ媒体がマスター担体の位置に合わせて供給されると保持部で保持し、移動して可撓性膜に固定されたマスター担体でスレーブ媒体を挟みこむ。このとき可撓性膜は、流体の圧力によりマスター担体を押圧してスレーブ媒体へ密着させる。
【００１９】
これにより、本発明の転写装置では、マスター担体とスレーブ媒体の位置決めが正確に行われ、可撓性膜を取り付ける作業が簡略化され、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【００２０】
請求項３に記載される発明では、微小な凹凸形状が形成されたマスター担体と、前記凹凸形状または前記凹凸形状により表される転写情報のいずれかの転写を受けるスレーブ媒体と、前記凹凸形状が形成されていない前記マスター担体の周縁部が固定され、前記スレーブ媒体を保持するホルダとを備えたことを特徴としている。
【００２１】
請求項３に記載される発明によれば、ホルダ内部には、スレーブ媒体の中心部を保持する保持部が設けられている。保持部の周囲には、マスター担体が、凹凸形状の形成されていない周縁部をホルダに固定されてホルダとの間に密閉された空隙を形成している。
【００２２】
ホルダは、供給手段によりスレーブ媒体がマスター担体の位置に合わせて供給されると保持部で保持し、ホルダ移動手段によりスレーブ媒体をマスター担体で挟みこむ。このときマスター担体は流体の圧力により押圧され、スレーブ媒体へ密着する。
【００２３】
これにより、本発明の転写装置では、マスター担体とスレーブ媒体の位置決めが正確に行われるとともに、マスター担体を供給する作業が簡略化され、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【００２４】
請求項４に記載される発明では、請求項１、２、または３のいずれか１項に記載される発明において、前記転写装置は、前記ホルダと該ホルダに固定された前記可撓性膜または該ホルダに固定された前記マスター担体との間に生じる空隙内へ流体を供給する加圧手段、及び前記ホルダ内部の前記空隙を除く密閉された空間内の流体を排出する減圧手段を備えていることを特徴としている。
【００２５】
請求項４に記載される発明によれば、本発明の転写装置には、ホルダと、ホルダに固定された可撓性膜、またはマスター担体との間に生じる空隙内へ流体を供給する加圧手段、及びホルダと、ホルダに固定された可撓性膜、またはマスター担体との間に生じる空隙を除く、ホルダ内部の密閉された空間内の流体を排出する減圧手段が備えられている。
【００２６】
転写装置では、マスター担体と接触させたスレーブ媒体をホルダで挟みこんだ後、加圧手段により流体を供給することでマスター担体の押圧を行い、スレーブ媒体へマスター担体を密着させる。
【００２７】
さらに、転写装置では、マスター担体と接触させたスレーブ媒体をホルダで挟みこんだ後、減圧手段によりホルダ内部の密閉された空間内部の圧力が大気圧より下がることによって、ホルダが大気圧によって押圧されて密着して閉じられる。
【００２８】
これにより、本発明の転写装置では、マスター担体の押圧の為の押圧装置や、ホルダの密閉開閉に必要なシリンダ等の大型の装置が不要であって、装置のサイズがよりコンパクトになり、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【００２９】
請求項５に記載される発明では、請求項１、２、３、または４のいずれか１項に記載される発明において、前記空隙は、前記ホルダに形成された穴の上に前記可撓性膜または前記マスター担体が固定されることにより生じることを特徴としている。
【００３０】
請求項５に記載される発明によれば、ホルダは、内側の一部が掘り込まれて穴が形成されている。マスター担体または可撓性膜はこの穴の周囲に周縁が固定され、ホルダと可撓性膜またはホルダとマスター担体との間に空隙が形成される。
【００３１】
マスター担体または可撓性膜とホルダとの間に形成された空隙は、ホルダに形成された穴により十分に間隔が確保され、ホルダが閉じられた際に可撓性膜またはマスター担体が撓むなどにより、空隙が閉じてしまうことがなくなる。これにより、確実に空隙内に流体が供給されるとともに、マスター担体の押圧が行われ、スレーブ媒体へマスター担体を密着させることが可能となる。
【００３２】
請求項６に記載される発明では、請求項１、２、３、４、または５のいずれか１項に記載される発明において、前記可撓性膜、または前記マスター担体は接着剤、溶接、固定具による締結、磁力による接合の少なくとも１つ以上の方法により前記ホルダへ固定されることを特徴としている。
【００３３】
請求項６に記載される発明によれば、可撓性膜、またはマスター担体はホルダに対して隙間無く確実に固定され、流体の供給、または排出時に固定部からの流体の流失が無く、安定した転写を行うことが可能となる。
【００３４】
請求項７に記載される発明では、請求項１、２、３、４、５、または６のいずれか１項に記載される発明において、前記転写装置は、転写を行う際、前記スレーブ媒体の両面へ前記マスター担体を密着させることを特徴としている。
【００３５】
請求項７に記載される発明によれば、本発明の転写装置では、転写を行う際にスレーブ媒体の両面へ、それぞれ別のマスター担体を同時に密着させて転写を行う。これにより、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【００３６】
請求項８に記載される発明では、請求項１、２、３、４、５、６、または７のいずれか１項に記載される発明において、前記転写装置には、前記ホルダへ前記スレーブ媒体と前記マスター担体を供給する供給手段が備えられていることを特徴としている。
【００３７】
請求項８に記載される発明によれば、転写装置では、転写を開始する前に、スレーブ媒体とマスター担体とが、供給手段により自動で正確に位置決めされて供給されるとともに、ホルダに備えられた保持部で保持される。
【００３８】
請求項９に記載される発明では、請求項１、２、３、４、５、６、７、または８のいずれか１項に記載される発明において、前記転写装置には、前記ホルダを移動させるホルダ移動手段が備えられていることを特徴としている。
【００３９】
請求項９に記載される発明によれば、転写装置では、スレーブ媒体とマスター担体とが、供給手段により自動で正確に位置決めされて供給された後、ホルダに備えられた保持部で保持され、ホルダは移動手段により自動で移動を開始し、スレーブ媒体とマスター担体とを挟みこむ。
【発明の効果】
【００４０】
以上説明したように、本発明の転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置によれば、供給手段によりマスター担体とスレーブ媒体の位置決めが正確に行われるとともに、可撓性膜、またはマスター担体を取り付ける作業が簡略化され、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下添付図面に従って本発明に係る転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００４２】
始めに、本発明の転写装置、および転写方法が適用される、ハードディスク等の生産技術である磁気転写の方法について説明する。図１はスレーブ媒体としてのマスターディスク１０を使用して磁気転写を行うための磁気転写装置２０の要部斜視図である。
【００４３】
磁気転写時には図３（ａ）に示される後記する初期直流磁化を行った後のスレーブ媒体としてのスレーブディスク１４のスレーブ面（磁気記録面）を、マスター担体としてのマスターディスク１０の情報担持面１３に接触させ、所定の押圧力で密着させる。そして、このスレーブディスク１４とマスターディスク１０との密着状態で、磁界生成手段３０により転写用磁界を印加して、マスターディスク１０に形成されている転写情報としての凹凸パターンＰをスレーブディスク１４に磁気的に転写する。
【００４４】
スレーブディスク１４は、表面に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状記録媒体であり、マスターディスク１０に密着させる以前に、グライドヘッド、研磨体などにより表面の微小突起及び付着塵埃を除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。
【００４５】
スレーブディスク１４の磁気記録層には、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層を採用できる。金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ等）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ等）、を用いることができる。これらは磁束密度が大きいこと、磁界印加方向と同じ方向（面内記録なら面内方向）の磁界異方性を有していることにより、明瞭な転写を行えるため好ましい。そして、磁性材料の下（支持体側）に必要な磁気異方性を付与するために、非磁性の下地層を設けることが好ましい。この下地層には、結晶構造と格子定数を磁性層１２に合わすことが必要である。その為には、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ等を用いることが好ましい。
【００４６】
転写用磁界を印加する磁界生成手段３０は、密着保持されたスレーブディスク１４とマスターディスク１０の半径方向に延びるギャップ３１を有するコア３２にコイル３３が巻き付けられた電磁石装置３４、３４が上下両側に配設されており、上下で同じ方向にトラック方向と平行な磁力線Ｇ（図２参照）を有する転写用磁界を印加する。図２は、円周トラック４０Ａ、４０Ａ…と磁力線Ｇとの関係を示したものである。
【００４７】
磁界印加時には、スレーブディスク１４とマスターディスク１０とを一体的に回転させつつ磁界生成手段３０によって転写用磁界を印加させ、マスターディスク１０の凹凸パターンにより表される転写情報をスレーブディスク１４のスレーブ面に磁気的に転写する。尚、この構成以外に磁界生成手段の方を回転移動させるようにしてもよい。
【００４８】
転写用磁界は、最適転写磁界強度範囲（スレーブディスク１４の保磁力Ｈｃの０．６〜１．３倍）の最大値を超える磁界強度がトラック方向のいずれにも存在せず、最適転写磁界強度範囲内の磁界強度となる部分が１つのトラック方向で少なくとも１カ所以上存在し、これと逆向きのトラック方向の磁界強度が何れのトラック方向位置においても最適転写磁界強度範囲内の最小値未満である磁界強度分布の磁界をトラック方向の一部分で発生させている。
【００４９】
図３は、面内記録による磁気転写方法の基本工程を説明する説明図である。
【００５０】
先ず、図３（ａ）に示すように、予めスレーブディスク１４に初期磁界Ｈi をトラック方向の一方向に印加して初期磁化（直流消磁)を施しておく。次に、図３（ｂ)に示すように、このスレーブディスク１４の記録面（磁気記録部）とマスターディスク１０の凹凸パターンＰが形成された情報担持面１３とを密着させ、スレーブディスク１４のトラック方向に初期磁界Ｈｉとは逆方向に転写用磁界Ｈｄ を印加して磁気転写を行う。転写用磁界Ｈd が凹凸パターンＰの凸部の磁性層１２に吸い込まれてこの部分の磁化は反転せず、その他の部分の磁界が反転する結果、図３（ｃ）に示すように、スレーブディスク１４の磁気記録面にはマスターディスク１０の凹凸パターンＰにより表される転写情報が磁気的に転写記録される。
【００５１】
次に、本発明に係わる転写装置、転写方法、記録媒体、及び磁気記録装置について説明する。図４は本発明に係わる転写装置を示した斜視図、図５は転写を行っている際の転写装置の断面図である。
【００５２】
転写装置１は、図４に示すように、マスターディスク１０とスレーブディスク１４を保持するホルダ２、ホルダ２を移動させるホルダ移動手段としてのガイド軸５、マスターディスク１０又はスレーブディスク１４をホルダ２へ供給する供給手段としてのロボットアーム４が備えられている。
【００５３】
ホルダ２は、マスターディスク１０とスレーブディスク１４を接触した状態で内部に保持することが可能な密閉容器であって、ケース２Ａとケース２Ｂの２つに別れ、ケース２Ａ、２Ｂはそれぞれテーブル７Ａ、７Ｂ上に設けられたホルダベース３Ａ、３Ｂに設けられている。
【００５４】
ケース２Ａ、２Ｂの内部には、マスターディスク１０、又はスレーブディスク１４を保持する為の吸着部１５がそれぞれ設けられている。吸着部１５の周囲は、図５に示すように掘り込まれて穴が形成され、ステンレス材、ペット樹脂等により形成される可撓性膜としてのシート１１が穴の周囲に周縁を固定されることにより、空隙１９Ａ、１９Ｂを形成している。
【００５５】
シート１１は、ケース２Ａ、２Ｂに対して、接着剤、溶接、ボルト等の固定具、又は磁石等を利用して固定されている。シート１１は、空隙１９Ａ、１９Ｂ内へ空気や水等の流体を不図示の加圧手段で流路２１Ａ、２１Ｂより供給されることにより、マスターディスク１０を押圧する。
【００５６】
ガイド軸５は、ガイド５Ａ、５Ｂの間にホルダベース３Ａ、３Ｂが設けられたテーブル７Ａ、７Ｂを備えており、モーター、エアシリンダ等の駆動装置６によりテーブル７Ａ、７Ｂを接離可能に移動させる。これにより、ケース２Ａ、２Ｂは、接触して密閉状態とされることと、離れてマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４の供給、位置合わせ、及び搬出をされることが可能となる。
【００５７】
ロボットアーム４は、多関節のアーム型ロボットであって、先端にマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４を吸着、または把持することにより保持する保持ハンド４Ａが設けられている。ロボットアーム４は、不図示のディスク供給部に貯留されたマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４を、保持ハンド４Ａで保持してホルダ２へ供給するとともに位置あわせを行い、転写終了後は、ホルダ２よりマスターディスク１０、又はスレーブディスク１４をディスク供給部へ搬出する。
【００５８】
なお、本実施の形態では供給手段を多関節のアーム型ロボットとしているが、本発明はそれに限らず、ガイド軸、モーター、シリンダ等を組み合わせた搬送機構であっても、マスターディスク１０、又はスレーブディスク１４の供給、位置合わせ、搬出が行えるものであれば、いずれの形態であってもよい。
【００５９】
このような構成の転写装置において、本発明の転写方法では、ケース２Ａ、２Ｂに夫々固定されたシート１１の中央部に、マスターディスク１０が接着等の方法により予め固定される。
【００６０】
この状態のケース２Ａ、またはケース２Ｂのいずれかのマスターディスク１０上に、ロボットアーム４によりスレーブディスク１４が供給される。供給されたスレーブディスク１４は、マスターディスク１０に形成される凹凸形状の位置に合わせてロボットアーム４により位置決めされ、吸着部１５によりマスターディスク１０上に保持される。
【００６１】
スレーブディスクが保持された後、テーブル７Ａ、７Ｂが移動手段６により接近し、ケース２Ａ、２Ｂは、図５に示すように、ニトリルゴム等により形成されるシール材１８を間に挟んで密着することにより、内部が密閉状態となる。密閉状態となったホルダ２は、空隙１９Ａ、１９Ｂを除くホルダ２内の空間２３の空気を流路２２Ａ、２２Ｂより不図示の減圧手段で排出することにより、外部からの大気圧で押圧され確実に閉じられる。
【００６２】
このとき、ケース２Ａ、２Ｂに形成された穴により十分に空隙１９Ａ、１９Ｂ内の間隔が確保され、ケース２Ａ、２Ｂが閉じられた際にシート１１が撓むなどにより、空隙１９Ａ、１９Ｂが閉じてしまうことがなくない。
【００６３】
これにより、不図示の加圧手段により、確実に流路２１Ａ、２１Ｂから空隙１９Ａ、１９Ｂへ空気や水等の流体が供給され、スレーブディスク１４の両面に接触するマスターディスク１０がシート１１により押圧される。
【００６４】
シート１１により押圧されたマスターディスク１０は、スレーブディスク１４の両面へそれぞれ押圧される。押圧されるマスターディスク１０は、流体による押圧のため全面に渡り均一に押圧され、スレーブディスク１４に精度よく密着する。
【００６５】
この状態で、記録媒体を製造する場合には、先に述べた磁気転写の手順により磁気転写を行い、スレーブディスク１４へマスターディスク１０に形成された凹凸形状により表される転写情報を磁気的に転写する。
【００６６】
製造された磁気記録媒体は、磁気的な情報の読み書きを行う磁気ヘッド、磁気記録媒体を高速回転させるスピンドル等の装置とともに組み立てられ、磁気記録装置となる。
【００６７】
なお、本実施の形態では、マスターディスク１０はシート１１により押圧されているが、本発明ではこれに限らず、図６、図７に示されるように、ケース２Ａ、２Ｂに対して、スレーブディスク１４よりも大きい外径を備えたマスターディスク１０Ａをシート１１と同様に、接着剤、溶接、ボルト等の固定具、又は磁石等を利用し、ケース２Ａ、２Ｂ内に形成された穴の周囲に周縁を固定し、空隙１９Ａ、１９Ｂを形成するように固定しても良い。
【００６８】
このような装置における転写方法では、図７に示すように、密閉状態のホルダ２内でスレーブディスク１４とマスターディスク１０Ａとが接触した状態で、不図示の加圧手段により空気や水等の流体を供給する、または減圧手段により空気を排出することによりマスターディスク１０Ａをスレーブディスク１４の方向へ押圧する。
【００６９】
マスターディスク１０Ａは、流体による押圧のため、凹凸形状の形成された転写面の全面に渡り均一に押圧され、スレーブディスク１４に精度よく密着する。
【００７０】
この状態で、記録媒体を製造する場合には、先に述べた磁気転写の手順により磁気転写を行うことにより、スレーブディスク１４へマスターディスク１０Ａに形成された凹凸形状により表される転写情報が磁気的に転写される。
【００７１】
以上説明したように、本発明に係る転写装置、転写方法、及び記録媒体によれば、供給手段によりマスター担体とスレーブ媒体の位置決めが正確に行われるとともに、可撓性膜、またはマスター担体を取り付ける作業が簡略化され、効率がよく生産性の高い転写を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】磁気転写を実施する磁気転写装置の要部斜視図。
【図２】転写用磁界の印加方法を示す平面図。
【図３】磁気転写方法の基本工程を示す工程図。
【図４】本発明に係わる転写装置を示した斜視図。
【図５】転写を行っている際の本発明に係わる転写装置の断面図。
【図６】本発明に係わる別の転写装置を示した斜視図。
【図７】転写を行っている際の本発明に係わる別の転写装置の断面図。
【符号の説明】
【００７３】
１…転写装置，２…ホルダ，２Ａ、２Ｂ…ケース，３Ａ、３Ｂ…ホルダベース，４…ロボットアーム（供給手段），５…ガイド軸（ホルダ移動手段），６…駆動手段，７Ａ、７Ｂ…テーブル，１０、１０Ａ…マスターディスク（マスター担体），１１…シート（可撓性膜），１２…磁性層，１４…スレーブディスク（スレーブ媒体），１５…保持部，１９Ａ、１９Ｂ…空隙，２０…磁気転写装置，２３…空間，３０…磁界生成手段，３１…ギャップ，３２…コア，３３…コイル，３４…電磁石装置，４３…転写層，Ｐ…凹凸パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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