(57)【要約】【課題】本発明は、部材の変形の影響を抑制して、部材上に発生した可能性がある突出部の突出量の正確な測定を可能ならしめる、外形測定方法、外観検査方法、外形測定装置、及び外観検査装置を提供する。【解決手段】本発明による外形測定方法は、平板状の部材の略平坦な平板面の外形形状を測定する外形測定方法であって、平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を測定する基準位置取得工程と、平板面上の測定対象部分の、平板面に垂直な方向の位置である測定部位置を測定する位置測定工程と、測定部位置を、基準位置取得工程で取得した垂直基準位置の中で当該測定対象部分から平板面方向の距離が最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、測定対象部分の高さを求める高さ算出工程と、を有する外形測定方法である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の部材の略平坦な平板面の外形形状を測定する外形測定方法であって、
前記平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における前記平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を測定する基準位置取得工程と、
前記平板面上の測定対象部分の、前記平板面に垂直な方向の位置である測定部位置を測定する位置測定工程と、
前記測定部位置を、前記基準位置取得工程で取得した前記垂直基準位置の中で当該測定対象部分から前記平板面方向の距離が最も近い前記基準領域の前記垂直基準位置と比較することで、前記測定対象部分の高さを求める高さ算出工程と、を有することを特徴とする外形測定方法。
【請求項２】
前記基準位置取得工程、及び前記位置測定工程において、接触式の変位計を用いて、前記垂直基準位置又は前記測定部位置を測定することを特徴とする、請求項１に記載の外形測定方法。
【請求項３】
平板状の部材の略平坦な平板面の外観形状を検査する外観検査方法であって、
前記外観形状を規定する設計値及び当該設計値の許容誤差を含む規格値を取得する規格値取得工程と、
前記平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における前記平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を測定する基準位置取得工程と、
前記平板面上の検査対象部分の、前記平板面に垂直な方向の位置である検査部位置を測定する位置測定工程と、
前記検査部位置を、前記基準位置取得工程で取得した前記垂直基準位置の中で当該検査部位置を有する前記検査対象部分から前記平板面方向の距離が最も近い前記基準領域の前記垂直基準位置と比較することで、前記検査対象部分の高さを求める高さ算出工程と、
前記高さ算出工程で求めた前記検査対象部分の高さを、前記規格値と比較して、規格内か否か判定する判定工程と、を有することを特徴とする外観検査方法。
【請求項４】
前記基準位置取得工程、及び前記位置測定工程において、接触式の変位計を用いて、前記垂直基準位置又は前記検査部位置を測定することを特徴とする、請求項３に記載の外観検査方法。
【請求項５】
平板状の部材の略平坦な平板面の外形形状を測定する外形測定装置であって、
前記平板面の部分の前記平板面に垂直な方向の位置を測定する垂直位置測定部と、
前記垂直位置測定部が計測した、前記平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における前記平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を記憶する基準位置情報記憶部と、
前記垂直位置測定部が計測した、前記平板面上の測定対象部分の、前記平板面に垂直な方向の位置である測定部位置を記憶する測定位置情報記憶部と、
前記測定部位置を、前記基準位置情報記憶部に記憶された前記垂直基準位置の中で当該測定部位置を有する前記測定対象部分から前記平板面方向の距離が最も近い前記基準領域の前記垂直基準位置と比較することで、前記測定対象部分の高さを求める高さ算出部と、を備えることを特徴とする外形測定装置。
【請求項６】
前記垂直位置測定部は、前記垂直基準位置又は前記測定部位置を測定するために前記基準領域又は前記測定対象部分に接触させる接触プローブを備えることを特徴とする、請求項５に記載の外形測定装置。
【請求項７】
前記接触プローブは、当該接触プローブの自重によって前記基準領域又は前記測定対象部分に当接することを特徴とする、請求項６に記載の外形測定装置。
【請求項８】
前記接触プローブに着脱可能に固定された荷重用錘をさらに備え、前記接触プローブは、当該接触プローブの自重及び前記荷重用錘の重量によって前記基準領域又は前記測定対象部分に当接することを特徴とする、請求項６に記載の外形測定装置。
【請求項９】
前記接触プローブの自重、又は前記接触プローブの自重と前記荷重用錘の重量との和が、３０グラムであることを特徴とする、請求項６または７に記載の外形測定装置。
【請求項１０】
前記垂直位置測定部は、差動トランス方式の変位計であることを特徴とする、請求項５乃至９のいずれか一項に記載の外形測定装置。
【請求項１１】
前記接触プローブの重力加速度方向への移動を規制する先端吊り下げ板を更に備えることを特徴とする、請求項６乃至９のいずれか一項に記載の外形測定装置。
【請求項１２】
平板状の部材の略平坦な平板面の外観形状を検査する外観検査装置であって、
予め入力された、前記外観形状を規定する設計値及び当該設計値の許容誤差を含む規格値を記憶する規格値記憶部と、
前記平板面の部分の前記平板面に垂直な方向の位置を測定する垂直位置測定部と、
前記垂直位置測定部が計測した、前記平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における前記平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を記憶する基準位置情報記憶部と、
前記垂直位置測定部が計測した、前記平板面上の検査対象部分の、前記平板面に垂直な方向の位置である検査部位置を記憶する測定位置情報記憶部と、
前記検査部位置を、前記基準位置情報記憶部に記憶された前記垂直基準位置の中で当該検査部位置を有する前記検査対象部分から前記平板面方向の距離が最も近い前記基準領域の前記垂直基準位置と比較することで、前記検査対象部分の高さを求める高さ算出部と、
前記高さ算出部が求めた前記測定対象部分の高さを、前記規格値と比較して、規格内か否か判定する高さ判定部と、を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項１３】
前記垂直位置測定部は、前記垂直基準位置又は前記検査部位置を測定するために前記基準領域又は前記検査対象部分に接触させる接触プローブを備えることを特徴とする、請求項１２に記載の外観検査装置。
【請求項１４】
前記接触プローブは、当該接触プローブの自重によって前記基準領域又は前記検査対象部分に当接することを特徴とする、請求項１３に記載の外観検査装置。
【請求項１５】
前記接触プローブに着脱可能に固定された荷重用錘をさらに備え、前記接触プローブは、当該接触プローブの自重及び前記荷重用錘の重量によって前記基準領域又は前記検査対象部分に当接することを特徴とする、請求項１３に記載の外観検査装置。
【請求項１６】
前記接触プローブの自重、又は前記接触プローブの自重と前記荷重用錘の重量との和が、３０グラムであることを特徴とする、請求項１４または１５に記載の外観検査装置。
【請求項１７】
前記垂直位置測定部は、差動トランス方式の変位計であることを特徴とする、請求項１２乃至１６のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【請求項１８】
前記接触プローブの重力加速度方向への移動を規制する先端吊り下げ板を更に備えることを特徴とする、請求項１２乃至１７のいずれか一項に記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状の部材の平板面の外形形状を測定する外形測定方法、外形測定装置、平板状の部材の外観形状を検査する外観検査方法、及び外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜や有機エレクトロルミネセンス装置の発光膜などの機能膜を形成する技術として、液体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状材料の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させ、着弾した液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、その多数の液滴吐出ノズルが微小間隔で形成されていることで基板上の任意の位置に効率良く液滴を着弾させることができる。微小間隔で連なる液滴吐出ノズルや、当該液滴吐出ノズルに液体を供給する流路などの微細形状を効率良く形成することができる液滴吐出ヘッドの構造としては、液滴吐出ノズルや流路などを構成する孔を形成した板状やフィルム状の部材を積層する構造が知られている。このような板状やフィルム状の部材は、最初に大判のシート状の板やフィルムに多数の部材を構成し、次に大判シートを各部材に分割することで、効率良く製造される。
【０００３】
液滴吐出ノズルや流路などを構成する孔はプレス加工などによって形成されるが、当該加工の際に、孔の縁にバリが形成されることがある。積層される際に他の部材と接触する面に突出するバリは部材を密着させる妨げになるため、部材面から突出するバリが発生した部材は、排除する必要がある。バリの発生の有無の検出は、部材面の形状を測定することで行われる。特許文献１には、形状を精度良く測定できる３次元形状測定装置が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０―１９５０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、液滴吐出ヘッドを構成する部材は、孔は微小間隔で形成されているため、バリが発生する可能性があって測定対象とするべき被測定部分が互いに近接しており、被測定部分に隣接した部材面を基準位置として測定することは困難な場合がある。また、板状やフィルム状の部材は、反りやうねりなどが発生し易いため、反りやうねりなどによって部材面に垂直な方向の形状の変形が発生することで、平坦な状態を保ち難い。従って、部材面から突出するバリの突出量を、バリの発生位置から離れた部材面を基準として測定すると、部材面に垂直な方向の変形の影響によって、バリの突出量の正確な測定は困難であるという課題があった。部材単体においては微小な変形であっても多数の部材が形成された大判シートにおいては変形量が大きくなることで、大判シートにおけるバリの突出量の正確な測定はより困難であるという課題もあった。例えば、うねりなどによって被測定部分が高くなると、あたかも、うねりなどによる変形量に相当する高さのバリが発生したかのように測定される。反対に、うねりなどによって被測定部分が低くなると、うねりなどによる変形量に相当する高さのバリが発生しても、バリが発生していないかのように測定される。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するものであり、部材の変形の影響を抑制して、部材上に発生した可能性がある突出部の突出量の正確な測定を可能ならしめる、外形測定方法、外観検査方法、外形測定装置、及び外観検査装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による外形測定方法は、平板状の部材の略平坦な平板面の外形形状を測定する外形測定方法であって、平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を測定する基準位置取得工程と、平板面上の測定対象部分の、平板面に垂直な方向の位置である測定部位置を測定する位置測定工程と、測定部位置を、基準位置取得工程で取得した垂直基準位置の中で当該測定対象部分から平板面方向の距離が最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、測定対象部分の高さを求める高さ算出工程と、を有することを特徴とする。なお、平板面は、平板状の部材の板面、即ち外形を構成する面の中の面積が大きい二面である。
【０００８】
本発明に係る外形測定方法によれば、測定対象部分の測定部位置を、当該測定対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較して、当該測定対象部分の高さが算出される。本来、高さは、測定対象部分の測定対象部分近傍の平板面からの高さであって、測定対象部分の測定部位置を測定対象部分近傍の平板面と比較することで、正確な高さを求めることができる。本発明に係る外形測定方法によれば、測定対象部分近傍の平板面の代わりに垂直基準位置を取得する基準領域を定めることで、垂直基準位置を取得する部分が不定の場合に比べて、垂直基準位置のばらつきを抑制することができる。さらに、測定対象部分の測定部位置を測定対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、他の基準領域の垂直基準位置を測定対象部分の測定部位置と比較する場合に比べて、部材の反りやうねりなどに起因する測定対象部分近傍の平板面と基準領域との平板面に垂直な方向の位置ずれの量を抑制することができる。これにより、部材上に発生した可能性がある突出部の突出量の正確な測定を可能ならしめることができる。
【０００９】
本発明において外形測定方法は、基準位置取得工程、及び位置測定工程において、接触式の変位計を用いて、垂直基準位置又は測定部位置を測定することが好ましい。
【００１０】
この方法によれば、接触式の変位計は、測定時には部材に接触して接触圧を加える。部材の反りやうねりなどによる変形は、この接触圧で矯正される可能性があり、部材の反りやうねりなどに起因する誤差を抑制することができる。
【００１１】
本発明による外観検査方法は、平板状の部材の略平坦な平板面の外観形状を検査する外観検査方法であって、外観形状を規定する設計値及び当該設計値の許容誤差を含む規格値を取得する規格値取得工程と、平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を測定する基準位置取得工程と、平板面上の検査対象部分の、平板面に垂直な方向の位置である検査部位置を測定する位置測定工程と、検査部位置を、基準位置取得工程で取得した垂直基準位置の中で当該検査部位置を有する検査対象部分から平板面方向の距離が最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、検査対象部分の高さを求める高さ算出工程と、高さ算出工程で求めた検査対象部分の高さを、規格値と比較して、規格内か否か判定する判定工程と、を有することを特徴とする。なお、平板面は、平板状の部材の板面、即ち外形を構成する面の中の面積が大きい二面である。
【００１２】
本発明に係る外観検査方法によれば、検査対象部分の測定部位置を、当該検査対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較して、当該検査対象部分の高さが算出される。本来、高さは、検査対象部分の検査対象部分近傍の平板面からの高さであって、検査対象部分の検査部位置を検査対象部分近傍の平板面と比較することで、正確な高さを求めることができる。本発明に係る外観検査方法によれば、検査対象部分近傍の平板面の代わりに垂直基準位置を取得する基準領域を定めることで、垂直基準位置を取得する部分が不定の場合に比べて、垂直基準位置のばらつきを抑制することができる。さらに、検査対象部分の検査部位置を検査対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、他の基準領域の垂直基準位置を検査対象部分の検査部位置と比較する場合に比べて、部材の反りやうねりなどに起因する検査対象部分近傍の平板面と基準領域との平板面に垂直な方向の位置ずれの量を抑制することができる。これにより、部材上に発生した可能性がある突出部の突出量の正確な測定を可能ならしめることができる。突出部の突出量の正確な測定が可能となることで、突出部の突出量の可否を正しく判定できる、正確な外観検査を実行することができる。
【００１３】
本発明において外観検査方法は、基準位置取得工程、及び位置測定工程において、接触式の変位計を用いて、垂直基準位置又は検査部位置を測定することが好ましい。
【００１４】
この外観検査方法によれば、接触式の変位計は、測定時には部材に接触して接触圧を加える。部材の反りやうねりなどによる変形は、この接触圧で矯正される可能性があり、部材の反りやうねりなどに起因する誤差を抑制することができる。
【００１５】
本発明による外形測定装置は、平板状の部材の略平坦な平板面の外形形状を測定する外形測定装置であって、平板面の部分の平板面に垂直な方向の位置を測定する垂直位置測定部と、垂直位置測定部が計測した、平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を記憶する基準位置情報記憶部と、垂直位置測定部が計測した、平板面上の測定対象部分の、平板面に垂直な方向の位置である測定部位置を記憶する測定位置情報記憶部と、測定部位置を、基準位置情報記憶部に記憶された垂直基準位置の中で当該測定部位置を有する測定対象部分から平板面方向の距離が最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、測定対象部分の高さを求める高さ算出部と、を備えることを特徴とする。なお、平板面は、平板状の部材の板面、即ち外形を構成する面の中の面積が大きい二面である。
【００１６】
本発明に係る外形測定装置によれば、高さ算出部は、測定対象部分の測定部位置を、当該測定対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較して、当該測定対象部分の高さを算出する。本来、高さは、測定対象部分の測定対象部分近傍の平板面からの高さであって、測定対象部分の測定部位置を測定対象部分近傍の平板面と比較することで、正確な高さを求めることができる。本発明に係る外形測定装置によれば、測定対象部分近傍の平板面の代わりに垂直基準位置を取得する基準領域を定めることで、垂直基準位置を取得する部分が不定の場合に比べて、垂直基準位置のばらつきを抑制することができる。さらに、測定対象部分の測定部位置を測定対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、測定対象部分の測定部位置を他の基準領域の垂直基準位置と比較する場合に比べて、部材の反りやうねりなどに起因する測定対象部分近傍の平板面と基準領域との平板面に垂直な方向の位置ずれの量を抑制することができる。これにより、部材上に発生した可能性がある突出部の突出量の正確な測定を可能ならしめることができる。
【００１７】
本発明において外形測定装置は、垂直位置測定部が、垂直基準位置又は測定部位置を測定するために基準領域又は測定対象部分に接触させる接触プローブを備えることが好ましい。
【００１８】
この外形測定装置によれば、垂直位置測定部は、測定時には、部材に接触プローブを接触させて接触圧を加える。部材の反りやうねりなどによる変形は、この接触圧で矯正される可能性があり、部材の反りやうねりなどに起因する誤差を抑制することができる。
【００１９】
本発明において外形測定装置は、接触プローブが、当該接触プローブの自重によって基準領域又は測定対象部分に当接することが好ましい。
【００２０】
この外形測定装置によれば、接触プローブの自重が、測定を実行する際の接触圧となる。接触プローブの自重は一定であり、弾性部材のように変形量によって発生する力が異なる圧力発生部材を使用する場合に比べて、測定を実行する際の接触圧を一定に保つことができる。
【００２１】
本発明において外形測定装置は、接触プローブに着脱可能に固定された荷重用錘をさらに備え、接触プローブは、当該接触プローブの自重及び荷重用錘の重量によって基準領域又は測定対象部分に当接することが好ましい。
【００２２】
この外形測定装置によれば、荷重用錘の重量を変えることで、測定を実行する際の接触圧を調整することができる。
【００２３】
本発明において外形測定装置は、接触プローブの自重、又は接触プローブの自重と荷重用錘の重量との和が、３０グラムであることが好ましい。
【００２４】
この外形測定装置によれば、測定を実行する際の接触圧が約３０グラムとなる。接触圧が約３０グラムであれば、突出部を潰す可能性を小さくすることと、部材の反りやうねりなどによる変形を矯正することとの両方を実現することができる可能性が高いことが、本発明の発明者らによって確認されている。
【００２５】
本発明において外形測定装置は、垂直位置測定部が、差動トランス方式の変位計であることが好ましい。
【００２６】
この外形測定装置によれば、差動トランス方式は構造が簡単であり、測定装置を小型軽量にすることができる。また、接触プローブが固定された可動部が摺動自在に嵌合した固定部と、可動部との間で物理的な力を及ぼしあうことがないため、固定部と可動部（接触プローブ）との相対位置によって接触プローブの接触圧が変化することを殆どなくすることができる。
【００２７】
本発明において外形測定装置は、接触プローブの重力加速度方向への移動を規制する先端吊り下げ板を更に備えることが好ましい。
【００２８】
この外形測定装置によれば、接触プローブが固定された可動部が摺動自在に嵌合した固定部に対する、可動部（接触プローブ）の移動量を小さくして、接触プローブを部材に離接させるための変位計の移動量を抑制することができる。変位計の移動量を抑制することで、測定に要する時間を短縮することができる。
【００２９】
本発明による外観検査装置は、平板状の部材の略平坦な平板面の外観形状を検査する外観検査装置であって、予め入力された、外観形状を規定する設計値及び当該設計値の許容誤差を含む規格値を記憶する規格値記憶部と、平板面の部分の平板面に垂直な方向の位置を測定する垂直位置測定部と、垂直位置測定部が計測した、平板面上に設定された複数の基準領域の、それぞれの基準領域における平板面に垂直な方向の位置である垂直基準位置を記憶する基準位置情報記憶部と、垂直位置測定部が計測した、平板面上の検査対象部分の、平板面に垂直な方向の位置である検査部位置を記憶する測定位置情報記憶部と、検査部位置を、基準位置情報記憶部に記憶された垂直基準位置の中で当該検査部位置を有する検査対象部分から平板面方向の距離が最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、検査対象部分の高さを求める高さ算出部と、高さ算出部が求めた測定対象部分の高さを、規格値と比較して、規格内か否か判定する高さ判定部と、を備えることを特徴とする。なお、平板面は、平板状の部材の板面、即ち外形を構成する面の中の面積が大きい二面である。
【００３０】
本発明に係る外観検査装置によれば、高さ算出部は、検査対象部分の検査部位置を、当該測定対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較して、当該検査対象部分の高さを算出する。本来、高さは、検査対象部分の検査対象部分近傍の平板面からの高さであって、検査対象部分の検査部位置を検査対象部分近傍の平板面と比較することで、正確な高さを求めることができる。本発明に係る外形測定装置によれば、検査対象部分近傍の平板面の代わりに垂直基準位置を取得する基準領域を定めることで、垂直基準位置を取得する部分が不定の場合に比べて、垂直基準位置のばらつきを抑制することができる。さらに、検査対象部分の検査部位置を検査対象部分に最も近い基準領域の垂直基準位置と比較することで、検査対象部分の検査部位置を他の基準領域の垂直基準位置と比較する場合に比べて、部材の反りやうねりなどに起因する検査対象部分近傍の平板面と基準領域との平板面に垂直な方向の位置ずれの量を抑制することができる。これにより、部材上に発生した可能性がある突出部の突出量の正確な測定を可能ならしめることができる。突出部の突出量の正確な測定が可能となることで、突出部の突出量の可否を正しく判定できる、正確な外観検査を実行することができる。
【００３１】
本発明において外観検査装置は、垂直位置測定部が、垂直基準位置又は検査部位置を測定するために基準領域又は検査対象部分に接触させる接触プローブを備えることが好ましい。
【００３２】
この外観検査装置によれば、垂直位置測定部は、測定時には、部材に接触プローブを接触させて接触圧を加える。部材の反りやうねりなどによる変形は、この接触圧で矯正される可能性があり、部材の反りやうねりなどに起因する誤差を抑制することができる。
【００３３】
本発明において外観検査装置は、接触プローブが、当該接触プローブの自重によって基準領域又は検査対象部分に当接することが好ましい。
【００３４】
この外観検査装置によれば、接触プローブの自重が、測定を実行する際の接触圧となる。接触プローブの自重は一定であり、弾性部材のように変形量によって発生する力が異なる圧力発生部材を使用する場合に比べて、測定を実行する際の接触圧を一定に保つことができる。
【００３５】
本発明において外観検査装置は、接触プローブに着脱可能に固定された荷重用錘をさらに備え、接触プローブは、当該接触プローブの自重及び荷重用錘の重量によって基準領域又は検査対象部分に当接することが好ましい。
【００３６】
この外観検査装置によれば、荷重用錘の重量を変えることで、測定を実行する際の接触圧を調整することができる。
【００３７】
本発明において外観検査装置は、接触プローブの自重、又は接触プローブの自重と荷重用錘の重量との和が、３０グラムであることが好ましい。
【００３８】
この外観検査装置によれば、測定を実行する際の接触圧が約３０グラムとなる。接触圧が約３０グラムであれば、突出部を潰す可能性を小さくすることと、部材の反りやうねりなどによる変形を矯正することとの両方を実現することができる可能性が高いことが、本発明の発明者らによって確認されている。
【００３９】
本発明において外観検査装置は、垂直位置測定部が、差動トランス方式の変位計であることが好ましい。
【００４０】
この外観検査装置によれば、差動トランス方式は構造が簡単であり、測定装置を小型軽量にすることができる。また、接触プローブが固定された可動部が摺動自在に嵌合した固定部と、可動部との間で物理的な力を及ぼしあうことがないため、固定部と可動部（接触プローブ）との相対位置によって接触プローブの接触圧が変化することを殆どなくすることができる。
【００４１】
本発明において外観検査装置は、接触プローブの重力加速度方向への移動を規制する先端吊り下げ板を更に備えることが好ましい。
【００４２】
この外観検査装置によれば、接触プローブが固定された可動部が摺動自在に嵌合した固定部に対する、可動部（接触プローブ）の移動量を小さくして、接触プローブを部材に離接させるための変位計の移動量を抑制することができる。変位計の移動量を抑制することで、測定に要する時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明に係る外形測定方法、外観検査方法、外形測定装置、及び外観検査装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。本発明の実施形態は、液滴吐出ヘッドを構成するプレートが区画形成された大判プレートのプレート面の外形形状を測定することでプレートの良否を判定する外観検査装置を例に説明する。
【００４４】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置１について、図１を参照して説明する。液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１０（図２参照）を備え、液滴吐出ヘッド１０は、本発明の外観検査装置及び外観検査方法を用いて良否を判定する流路プレート２０（図２又は３参照）を有する液滴吐出ヘッド１０である。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００４５】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１０を有するヘッド機構部２と、液滴吐出ヘッド１０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３００を載置するワーク載置台３０１を有するワーク機構部３と、液滴吐出ヘッド１０への液状体の供給を行う機能液供給部４と、液滴吐出ヘッド１０の保守を行うメンテナンス装置部５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００４６】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１０に連通する供給管を有する機能液供給部４の液状体タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００４７】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１０を有するヘッドユニット２２１と、ヘッドユニット２２１を支持するヘッドキャリッジ２２２とを有し、ヘッドキャリッジ２２２をＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台３０１をＸ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０１に載置されたワーク３００をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４８】
このように、液滴吐出ヘッド１０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３００のＸ軸方向の移動に同調して、液状体を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク３００と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１０とを相対的に制御することにより、ワーク３００上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。
【００４９】
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、外観検査装置を用いて外観検査を実行する検査対象である流路プレート２０を有する液滴吐出ヘッド１０について、図２及び図３を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの要部であるヘッド体を示す図である。図２（ａ）は、ヘッド体の外観を示す斜視図であり、図２（ｂ）は、ヘッド体の概構造を示す断面図である。
【００５０】
図２（ｂ）に示すように、ヘッド体１０Ａは、ノズルプレート１１と、ノズルフィルム２１と、液室プレート２２と、液室フィルム２３と、流路プレート２０と、圧力室フィルム２４と、圧力室プレート２６と、素子プレート２７と、を有しており、これらが積層されて、互いに接着されている。これらのプレートやフィルムには様々な孔が形成されており、プレートやフィルムが積層されることで、孔が立体的に接続されて、液状体の流路などを構成している。
【００５１】
図２（ａ）に示すように、ヘッド体１０Ａの１面はノズルプレート１１によって形成されており、ノズルプレート１１には、材料液の液滴を吐出する吐出ノズル１２が形成されている。複数の吐出ノズル１２がノズル列を形成するように設けられており、液滴吐出ヘッド１０は、当該ノズル列を２本有している。ノズルプレート１１の反対側の面には、圧電素子２８の駆動信号などを伝達するためのフラットケーブル１６が接続されている。ヘッド体１０Ａは、液滴吐出ヘッド１０の主要部であり、図２（ｂ）に示したようにヘッドケース３６に組み込まれて、液滴吐出ヘッド１０を構成する。
【００５２】
図２（ｂ）に示すように、吐出ノズル１２は、ノズルフィルム２１と液室プレート２２と液室フィルム２３とに形成された孔と、流路プレート２０に形成された連通口孔２０ｃと、圧力室フィルム２４に形成された孔と、を介して圧力室３３に連通している。圧力室３３は、素子プレート２７に形成された孔が、圧力室フィルム２４と素子プレート２７とに挟まれて形成された空間である。素子プレート２７の圧力室３３に対応する位置の圧力室３３の反対面には、圧電素子２８が配設されている。圧電素子２８を変形させることによって圧力室３３の容積を変化させることで、吐出ノズル１２から液状体を液滴として吐出する。
【００５３】
圧力室３３は、圧力室フィルム２４に形成された孔と、流路プレート２０に形成された供給口孔２０ｂと、を介して液たまり３２に連通している。液たまり３２は、ノズルフィルム２１と液室プレート２２と液室フィルム２３とに形成された孔が、ノズルプレート１１と流路プレート２０とに挟まれて形成された空間である。流路プレート２０に形成された導入口孔２０ａを介して供給されてくる液状体が、液たまり３２に貯留される。圧力室３３の液状体が吐出ノズル１２から吐出されるのに対応して、液状体が、供給口孔２０ｂを介して、液たまり３２から圧力室３３に供給される。
【００５４】
導入口孔２０ａには、導入口３１を有する導入口部材２９が配設されており、ヘッド体１０Ａがヘッドケース３６に組み込まれた状態で、導入口３１は、液滴吐出ヘッド１０の液状体導入部に接続される。機能液供給部４の供給管が液状体導入部に接続されて、液状体が導入口３１を通って液滴吐出ヘッド１０に供給される。液滴吐出ヘッド１０は、ノズルプレート１１がワーク３００を載置するワーク載置台３０１に臨むようにヘッドユニット２２１に固定されている。ノズルプレート１１の周囲には、ヘッドカバー１４が被されており、ノズルプレート１１の吐出ノズル１２が形成された面が他の部材などに当ったりすることがないように保護している。機能液供給部４から液状体導入部を介して供給された液状体は、図２（ｂ）に矢印ａ，ｂ，ｃで示したように、導入口３１を通って液たまり３２に入り、供給口孔２０ｂを通って圧力室３３に供給され、圧力室３３で圧縮されることで、連通口孔２０ｃを通って吐出ノズル１２から液滴として吐出される。
【００５５】
＜流路プレートの構成＞
次に、流路プレート２０の構成について、図３を参照して説明する。図３（ａ）は、流路プレートを示す概略平面図であり、図３（ｂ）は、複数の流路プレートが形成されたマザープレートの概略平面図である。
【００５６】
図３（ａ）に示すように、流路プレート２０には、上述した導入口孔２０ａと、供給口孔２０ｂと、連通口孔２０ｃと、が形成されている。また、プレート内基準孔４１と、図示省略した空気逃げ孔と、が形成されている。吐出ノズル１２に１対１に対応する連通口孔２０ｃは、９２個の連通口孔２０ｃからなる孔列が２列形成されており、１枚の流路プレート２０あたり１８４個の孔が形成されている。供給口孔２０ｂは、連通口孔２０ｃに並列するように、１８４個の孔が形成されている。なお、図３では連通口孔２０ｃ及び供給口孔２０ｂの形状及び配列を分かり易く示すために、それらの幅及び間隔を実際よりも大幅に広く描いている。よって、連通口孔２０ｃ及び供給口孔２０ｂの個数が少なく描かれている。導入口孔２０ａは、１枚の流路プレート２０あたり２個の孔が形成されている。プレート内基準孔４１は、流路プレート２０と、上述した他のプレート又はフィルムとを貼り合わせる際の位置決めの基準となる孔であって、１枚の流路プレート２０あたり４個の孔が形成されている。
【００５７】
図３（ｂ）に示すように、流路プレート２０は、マザープレート２０Ａ上にマトリクス状に形成され、マザープレート２０Ａを分割することにより取り出される。マザープレート２０Ａは、２種類のステンレス鋼板を貼り合せた複合材を用いることができる。分割方法としては、ダイシング、レーザーカット、プレス等を用いることができる。
【００５８】
流路プレート２０には、流路プレート２０に形成される孔の他に、方向識別穴５４と、アライメント孔５３と、分割基準孔５２と、が形成されている。また、図３（ｂ）に二点鎖線で示した基準領域５１が設定されている。方向識別穴５４は、加工や検査の際に、加工装置や検査装置に載置されたマザープレート２０Ａの方向を識別するための孔であって、１枚のマザープレート２０Ａに１個形成されている。アライメント孔５３は、加工や検査の際に、加工装置や検査装置に載置されたマザープレート２０Ａの位置及び方向を正確に位置決めするための基準とする孔であって、１枚のマザープレート２０Ａに２個形成されている。分割基準孔５２は、マザープレート２０Ａから流路プレート２０を分割形成する際に基準とする孔であって、１枚のマザープレート２０Ａに４個形成されている。
【００５９】
マザープレート２０Ａに形成される上記した各孔は、プレス加工を用いて形成される。プレス加工では、プレート面から突出するいわゆる縦バリが発生する可能性がある。縦バリは、流路プレート２０と他のフィルムなどとを貼り合せる際に、流路プレート２０と他のフィルムなどとの密着を妨げることで好適な貼り合わせを阻害する可能性がある。このため、縦バリが発生した流路プレート２０を排除するために、縦バリの有無を確認する、検査が必要である。上記したように多数の孔が形成される流路プレート２０においては、縦バリの有無を確認するべき位置が近接しているため、縦バリの高さの基準として測定するべき流路プレート２０の面が、孔の近傍では得られない。そのため、各流路プレート２０の周辺にあたる位置に基準領域５１が設定されている。マザープレート２０Ａでは、基準領域５１が、９個所設定されている。
【００６０】
＜外観検査装置＞
次に、本実施形態で用いる外観検査装置６０について説明する。最初に、外観検査装置６０の全体構成について、図４を参照して説明する。図４は、外観検査装置の構成を示す模式図である。図４に示すように、外観検査装置６０は、変位計６１と、変位計昇降機構６２と、プレート移動機構６３と、これらの各機構などを制御するメインコンピュータ６６と、これらの各機構などを支持する枠体である装置台８８と、を備えている。
【００６１】
変位計６１は、変位検出部７１と、変位計保持部７８と、接触子７４と、荷重錘７６と、吊下げ板７７と、Ａ／Ｄ変換部７９とを備えている。変位検出部７１は、固定軸７３と、固定軸７３に摺動自在に嵌合している移動軸７２とを有している。変位計６１は差動トランス方式の変位計であり、固定軸７３に固定された３本のコイル（図示省略）と、移動軸７２に固定された可動鉄心（図示省略）とを有する。３本のコイルの中の一次コイルに交流電流を流した状態で、移動軸７２が固定軸７３に対して移動することで、３本のコイルに対して可動鉄心が動くと、その変位量に応じて２本の二次コイルに誘起電圧が発生する。これを電圧差として取り出し、Ａ／Ｄ変換部７９でデジタル信号に変換して、変位量を求める。
【００６２】
固定軸７３は、変位計保持部７８に固定されている。移動軸７２の先端には接触子７４が固定されており、中間には荷重錘７６が固定されている。吊下げ板７７は変位計保持部７８に固定されており、先端側が荷重錘７６を係止することで、移動軸７２と接触子７４と荷重錘７６とを支持している。変位計保持部７８が図４のＺ軸下方方向に移動し、接触子７４が測定対象物２００に当接すると、二点鎖線で示したように、吊下げ板７７と荷重錘７６との係合が外れて、接触子７４は、移動軸７２と接触子７４と荷重錘７６との重量による力で測定対象物２００を押圧する。二点鎖線で示した接触子７４は、模式的に大きく表示した縦バリ２００ａに当接している。移動軸７２と接触子７４と荷重錘７６との重量の合計は、例えば３０グラムになるように、荷重錘７６の重量を調節する。
【００６３】
変位計昇降機構６２は、固定部６２ｂと、固定部６２ｂに摺動自在に嵌合している昇降部６２ａと、を備えている。昇降部６２ａは、図示省略した昇降駆動機構によって、Ｚ軸方向に移動させられると共に、任意の位置で保持される。固定部６２ｂは図示省略した支持機構を介して装置台８８に支持されている。昇降部６２ａには、変位計保持部７８が固定されており、昇降部６２ａを昇降させることで、変位計保持部７８が支持する接触子７４を測定対象物２００に離接させることができる。
【００６４】
昇降部６２ａを降下させて、接触子７４を測定対象物２００に接触させると、その位置で接触子７４及び移動軸７２は停止し、昇降部６２ａと共にさらに下降した固定軸７３と移動軸７２とは相対移動する。固定軸７３と移動軸７２との相対移動が発生した状態で昇降部６２ａを保持すると、上述したように、固定軸７３と移動軸７２との相対移動量が、電圧差として取り出されて、変位量が求められる。当該変位量と、昇降部６２ａのＺ軸方向の位置とから、接触子７４の先端位置、即ち、測定対象物２００の表面のＺ軸方向の位置を検出する。
【００６５】
プレート移動機構６３は、Ｘ軸スライド機構８１と、Ｙ軸スライド機構８２と、回動機構８４と、ステージ８３と、を備えている。Ｘ軸スライド機構８１を構成するＸ軸スライド台８１ｂが装置台８８に固定されており、Ｘ軸スライド機構８１を構成するＸ軸スライダ８１ａが、Ｘ軸方向に摺動自在且つ固定可能にＸ軸スライド台８１ｂと係合している。Ｙ軸スライド機構８２を構成するＹ軸スライド台８２ｂがＸ軸スライダ８１ａに固定されており、Ｙ軸スライド機構８２を構成するＹ軸スライダ８２ａが、Ｙ軸方向に摺動自在且つ固定可能にＹ軸スライド台８２ｂと係合している。回動機構８４を構成する回動機構台８４ｂがＹ軸スライダ８２ａに固定されており、回動機構８４を構成する回動テーブル８４ａが、Ｚ軸回りに回動自在且つ固定可能に回動機構台８４ｂと係合している。Ｘ軸スライダ８１ａ、Ｙ軸スライダ８２ａ、回動テーブル８４ａは、それぞれＸ軸スライド台８１ｂ、Ｙ軸スライド台８２ｂ、回動機構台８４ｂとの間に構成されたサーボモータ（図示省略）によって駆動される。
【００６６】
ステージ８３は、回動テーブル８４ａに固定されており、マザープレート２０Ａなどの測定対象物２００を載置するために用いられる。ステージ８３に載置された測定対象物２００は、回動機構８４によって、Ｚ軸回りに回動可能であり、測定対象物２００のＺ軸回り方向の姿勢が補正できる。Ｘ軸スライド機構８１及びＹ軸スライド機構８２によって、測定対象物２００を、Ｘ軸Ｙ軸平面方向に移動することで、測定対象物２００の任意の部分を、接触子７４が臨む位置に移動する。
【００６７】
上記各構成を制御する制御部としてのメインコンピュータ６６は、制御装置９１を備えている。また、メインコンピュータ６６には、外観測定の際に用いられる各種データを入力する入力装置６８と、測定結果や良否判定などの各種情報を表示する表示装置６７が接続されている。
【００６８】
次に、図５を参照して、外観検査装置６０の機能的構成について説明する。図５は、外観検査装置の機能的構成を示す機能ブロック図である。上述したように、外観検査装置６０は、変位計６１と、変位計昇降機構６２と、プレート移動機構６３と、これらを統括制御する制御装置９１と、を備えており、変位計６１は、変位検出部７１と、Ａ／Ｄ変換部７９と、を備えている。図５に示したように、制御装置９１は、統括制御部９２と、基準位置情報記憶部９３と、測定位置情報記憶部９４と、規格値記憶部９５と、高さ算出部９７と、高さ判定部９８と、変位計制御部１０１と、位置情報取得部９９と、変位計昇降制御部１０２と、プレート移動制御部１０３と、を備えている。これらの各部は、内部バス１０６で相互に接続されている。入力装置６８と、表示装置６７とは、入出力インタフェース１０７を介して、統括制御部９２と、内部バス１０６で相互に接続されている。
【００６９】
プレート移動制御部１０３は、プレート移動機構６３を制御して、ステージ８３をＸ軸Ｙ軸平面内で移動することで、測定対象物２００の任意の部分を、接触子７４が臨む位置に移動する。変位計昇降制御部１０２は、変位計昇降機構６２を制御して、変位計６１をＺ軸方向に移動させることで、接触子７４を測定対象物２００に当接させる。変位計制御部１０１は、変位計６１を制御して、接触子７４が測定対象物２００に当接したときの、Ｚ軸方向の位置を計測させる。位置情報取得部９９は、変位検出部７１から出力され、Ａ／Ｄ変換部７９でデジタル信号に変換された位置情報を取得する。
【００７０】
基準位置情報記憶部９３は、位置情報取得部９９が取得した位置情報の中から、基準領域（マザープレート２０Ａの基準領域５１）の位置情報を、垂直基準位置として、記憶する。垂直基準位置は、当該位置であることを測定された基準領域のＸ軸Ｙ軸平面方向の位置（以降、「基準領域平面位置」と表記する。）と、対応付けられて記憶される。測定位置情報記憶部９４は、位置情報取得部９９が取得した位置情報の中から、測定対象部分の位置情報を、測定部位置として、記憶する。測定部位置は、当該測定部位置であることを測定された測定対象部分のＸ軸Ｙ軸平面方向の位置（以降、「対象平面位置」と表記する。）と、対応付けられて記憶される。
【００７１】
高さ算出部９７は、測定部位置を、当該測定部位置であることを測定された測定対象部分の対象平面位置に最も近い基準領域平面位置である基準領域の垂直基準位置と比較することで、当該測定対象部分の高さを算出する。
【００７２】
規格値記憶部９５は、入力装置６８などを介して予め入力された、測定対象部分の高さの規格値及び許容誤差を記憶する。高さ判定部９８は、高さ算出部９７が算出した測定対象部分の高さを、規格値記憶部９５に記憶された規格値及び許容誤差と比較して、測定対象部分の高さの良否を判定する。
【００７３】
＜外観検査＞
次に、外観検査装置６０を用いて、マザープレート２０Ａの表面における縦バリ２００ａの有無を検査する外観検査について、図６を参照して説明する。図６は、外観検査の工程を示すフローチャートである。
【００７４】
図６のステップＳ２１では、マザープレート２０Ａの外観検査の実行に先立って、マザープレート２０Ａにおける測定対象部分の規格値を、入力装置６８を介して入力する。入力された規格値は、規格値記憶部９５に記憶される。マザープレート２０Ａの面は平坦であって、バリなどが無いことが好ましい。従って、マザープレート２０Ａの面である測定対象部分の高さの設計値は零であり、許容誤差は、縦バリ２００ａの許容値である。マザープレート２０Ａの母材が持っていた歪や、プレス加工による部分変形なども、必要に応じて考慮する。ステップＳ２１が、規格値取得工程に相当する。
【００７５】
次に、ステップＳ２２では、マザープレート２０Ａをステージ８３に載置してセットする。次に、ステップＳ２３では、マザープレート２０Ａに形成された方向識別穴５４（図３（ｂ）参照）を検出する。方向識別穴５４の検出は、画像認識装置を用いて、マザープレート２０Ａがステージ８３に正しくセットされた場合に方向識別穴５４が在るべきあたりを認識することで、実行する。
【００７６】
次に、ステップＳ２４では、ステージ８３にセットされたマザープレート２０Ａの方向が概ね正しいか否かを判定する。方向識別穴５４はマザープレート２０Ａに１個だけ形成されているため、マザープレート２０Ａの方向が約９０度或は約１８０度違ってセットされた場合には、方向識別穴５４が在るべきあたりでは検出できないことから、ステップＳ２３で方向識別穴５４を検出できれば、マザープレート２０Ａは正しい方向でセットされたと判定できる。
【００７７】
マザープレート２０Ａが正しい方向でセットされていなかった場合（ステップＳ２４でＮＯ）には、ステップＳ２５に進む。ステップＳ２５では、マザープレート２０Ａを正しい方向で再セットする。ステップＳ２５の次はステップＳ２３に進み、ステップＳ２３とステップＳ２４とを再度実行する。なお、ステップＳ２２とステップＳ２５とを手作業で行い、ステップＳ２３は目視によって確認し、ステップＳ２４は操作者が判断してもよい。
【００７８】
マザープレート２０Ａが正しい方向でセットされていた場合（ステップＳ２４でＹＥＳ）には、ステップＳ２６に進む。ステップＳ２６では、マザープレート２０Ａに２個形成されているアライメント孔５３を、それぞれ検出して、それぞれのＸ軸Ｙ軸平面における位置を取得する。次に、ステップＳ２７では、ステージ８３にセットされたマザープレート２０Ａの方向が正しいか否か、即ち、Ｘ軸又はＹ軸方向に対する傾きが規格内であるか否かを判定する。詳細には、ステップＳ２６で取得したアライメント孔５３のＸ軸Ｙ軸平面における位置から、２個のアライメント孔５３の中心を結ぶ直線の、Ｘ軸又はＹ軸に対する傾きが規格内であるか否かを判定する。
【００７９】
マザープレート２０Ａの傾きが規格を満たさない場合（ステップＳ２７でＮＯ）には、ステップＳ２８に進む。ステップＳ２８では、マザープレート２０Ａの方向を調整して、傾きを修正する。マザープレート２０Ａの方向の調整は、回動機構８４によってステージ８３をＺ軸回りに回動させることで実行する。ステップＳ２８の次はステップＳ２６に進み、ステップＳ２６とステップＳ２７とを再度実行する。
【００８０】
マザープレート２０Ａの傾きが規格を満たしていた場合（ステップＳ２７でＹＥＳ）には、ステップＳ２９に進む。ステップＳ２９では、基準領域５１のＺ軸方向の位置を測定して、垂直基準位置を取得する。より具体的には、最初に、プレート移動制御部１０３が、プレート移動機構６３を制御して、ステージ８３をＸ軸Ｙ軸平面内で移動することで、マザープレート２０Ａ上に設定された基準領域５１を、接触子７４が臨む位置に移動する。この状態で、変位計昇降制御部１０２が、変位計昇降機構６２を制御して、変位計６１をＺ軸方向に移動させることで、接触子７４を基準領域５１に当接させる。変位計制御部１０１が、変位計６１を制御して、接触子７４が基準領域５１に当接した状態の、Ｚ軸方向の位置を計測させる。位置情報取得部９９が、変位検出部７１から出力され、Ａ／Ｄ変換部７９でデジタル信号に変換されたＺ軸方向の位置情報を、垂直基準位置として取得する。取得された垂直基準位置は、測定した基準領域５１の基準領域平面位置と共に、基準位置情報記憶部９３に記憶される。垂直基準位置の取得は、マザープレート２０Ａ上に設定された９個所の基準領域５１のそれぞれについて実行する。ステップＳ２９が、基準位置取得工程に相当する。接触子７４が、接触プローブに相当する。
【００８１】
次に、ステップＳ３０では、測定対象部分のＺ軸方向の位置を測定して、測定部位置を取得する。より具体的には、最初に、プレート移動制御部１０３が、プレート移動機構６３を制御して、ステージ８３をＸ軸Ｙ軸平面内で移動することで、マザープレート２０Ａ上の測定対象部分を、接触子７４が臨む位置に移動する。この状態で、変位計昇降制御部１０２が、変位計昇降機構６２を制御して、変位計６１をＺ軸方向に移動させることで、接触子７４を測定対象部分に当接させる。変位計制御部１０１が、変位計６１を制御して、接触子７４が測定対象部分に当接した状態の、Ｚ軸方向の位置を計測させる。位置情報取得部９９が、変位検出部７１から出力され、Ａ／Ｄ変換部７９でデジタル信号に変換されたＺ軸方向の位置情報を、測定部位置として取得する。取得された測定部位置は、測定した測定対象部分の対象平面位置と共に、測定位置情報記憶部９４に記憶される。接触子７４の先端面は例えば直径３ｍｍの円形であり、接触子７４の先端面が覆うマザープレート２０Ａ上の円形の範囲が１回で測定する測定対象部分の範囲となる。測定部位置の取得は、マザープレート２０Ａの孔が形成された部分の総てについて実行する。ステップＳ３０が、位置測定工程に相当する。変位計昇降機構６２と、変位計６１とが、垂直位置測定部に相当する。測定対象部分が、検査対象部分又は測定対象部分に相当し、測定部位置が、検査部位置又は測定部位置に相当する。
【００８２】
次に、ステップＳ３１では、測定対象部分の高さを算出する。より具体的には、高さ算出部９７が、測定位置情報記憶部９４に記憶されている測定対象部分の対象平面位置の情報と、基準位置情報記憶部９３に記憶されている基準領域５１の基準領域平面位置の情報とから、高さを算出する測定対象部分に最も近い基準領域５１を特定する。続いて、基準位置情報記憶部９３に記憶されている当該最も近い基準領域５１の垂直基準位置を取得し、測定位置情報記憶部９４に記憶されている測定部位置を取得した垂直基準位置と比較することで、当該測定対象部分の高さを算出する。マザープレート２０Ａにおいては、測定対象部分と基準領域５１とは同一の平面の一部であって、変形が生じたり、バリが発生したりすることがなければ、高さは零になる。ステップＳ３１が、高さ算出工程に相当する。
【００８３】
次に、ステップＳ３２では、測定対象部分の高さが規格内か否かを判定する。より具体的には、高さ判定部９８が、ステップＳ３１で高さ算出部９７が算出した高さを、予め入力されて規格値記憶部９５に記憶された規格値に照らして、測定対象部分の高さが規格を満たすか否かを判定する。ステップＳ３２が、判定工程に相当する。
【００８４】
測定対象部分の高さが規格を満たしていなかった場合（ステップＳ３２でＮＯ）は、ステップＳ３３に進む。ステップＳ３３では、表示装置６７に、算出した高さを測定結果として表示すると共に、測定対象のマザープレート２０Ａが規格を満たさない旨の不良表示を表示する。
【００８５】
測定対象部分の高さが規格を満たしていた場合（ステップＳ３２でＹＥＳ）は、ステップＳ３４に進む。ステップＳ３４では、表示装置６７に、算出した高さを測定結果として表示する。ステップＳ３４又はステップＳ３３を終了して、マザープレート２０Ａの外観検査を終了する。
【００８６】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）縦バリの高さの基準として測定するべき流路プレート２０の面として基準領域５１が設定されている。基準高さを測定する位置を基準領域５１に限定することで、基準高さを測定する位置が不定の場合に比べて、基準高さのばらつきを抑制することができる。
【００８７】
（２）高さ算出部９７が、測定位置情報記憶部９４に記憶されている測定対象部分の対象平面位置の情報と、基準位置情報記憶部９３に記憶されている基準領域５１の基準領域平面位置の情報とから、高さを算出する測定対象部分に最も近い基準領域５１を特定する。続いて、基準位置情報記憶部９３に記憶されている当該最も近い基準領域５１の垂直基準位置を取得し、測定位置情報記憶部９４に記憶されている測定部位置を取得した垂直基準位置と比較することで、当該測定対象部分の高さを算出する。測定対象部分の測定部位置を測定対象部分に最も近い基準領域５１の垂直基準位置と比較することで、他の基準領域５１の垂直基準位置を測定対象部分の測定部位置と比較する場合に比べて、マザープレート２０Ａの反りやうねりなどに起因する測定対象部分近傍のマザープレート２０Ａの面と基準領域５１とのマザープレート２０Ａの面に垂直な方向の位置ずれの量を抑制することができる。
【００８８】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記実施形態に限らない。本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【００８９】
（変形例１）前記実施形態においては、外観検査装置６０は高さ判定部９８を備え、高さ判定部９８が、測定値の良否を判定することでマザープレート２０Ａの良否を判定していたが、高さ判定部を設けることや、良否判定を行うことは必須ではない。高さ判定部を設けない外形測定装置を用いて、良否判定は装置の操作者などが実行してもよい。
【００９０】
（変形例２）前記実施形態においては、外観検査装置６０は表示装置６７を備え、測定結果及び判定結果を表示装置６７に表示していたが、表示装置を設けることや測定結果などを表示装置に表示することは必須ではない。表示装置に代えて他の出力装置を用いてもよい。出力装置としては、例えば、後工程の分割装置に、オンライン又は記録媒体を介して、不良のマザープレートのデータを出力する装置などであってもよい。
【００９１】
（変形例３）前記実施形態においては、外観検査装置６０は回動機構８４を備え、マザープレート２０Ａの平面方向の傾きを検出して、回動機構８４によって平面方向に回動させることで、マザープレート２０Ａの方向調整をしていたが、回動機構を設けることや方向調整を実行することは必須ではない。回動機構は設けず、測定対象物を載置する際の位置決め精度を確保することで、平面方向の傾きを所定の規格内に収めてもよい。例えば、ステージ８３に突起を形成し、当該突起にアライメント孔５３を係合させることで方向を定めてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）ヘッド体の外観を示す斜視図。（ｂ）ヘッド体の概構造を示す断面図。
【図３】（ａ）流路プレートを示す概略平面図。（ｂ）複数の流路プレートが形成されたマザープレートの概略平面図。
【図４】外観検査装置の構成を示す模式図。
【図５】外観検査装置の機能的構成を示す機能ブロック図。
【図６】外観検査の工程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００９３】
１０…液滴吐出ヘッド、２０…流路プレート、２０Ａ…マザープレート、２０ａ…導入口孔、２０ｂ…供給口孔、２０ｃ…連通口孔、４１…プレート内基準孔、５１…基準領域、５２…分割基準孔、５３…アライメント孔、５４…方向識別穴、６０…外観検査装置、６１…変位計、６２…変位計昇降機構、６３…プレート移動機構、７１…変位検出部、７４…接触子、７６…荷重錘、７７…吊下げ板、８１…Ｘ軸スライド機構、８２…Ｙ軸スライド機構、８３…ステージ、８４…回動機構、９１…制御装置、９２…統括制御部、９３…基準位置情報記憶部、９４…測定位置情報記憶部、９５…規格値記憶部、９７…高さ算出部、９８…高さ判定部、１０１…変位計制御部、１０２…変位計昇降制御部、１０３…プレート移動制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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