(57)【要約】【課題】  ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供せんとするものであり、加えて、該固定具の装着のための貫通孔があっても発塵の可能性を最大限に抑制せしめることを目的とする。【解決手段】  ペリクル２を収納するための、少なくとも蓋４と、該ペリクル２を載置するペリクル載置台３とから構成されるペリクル収納容器１において、ペリクル載置台３のペリクル載置面３ａとは反対側の面に構造体７を配置し、かつ、該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂにワッシャー９を介して挿入された固定具８により該ペリクル載置台３に固定されていることを特徴とする。【選択図】    図３
2008216846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルを収納するための、少なくとも蓋と、該ペリクルを載置するペリクル載置台とから構成されるペリクル収納容器において、前記ペリクル載置台のペリクル載置面とは反対側の面に構造体を配置し、かつ、該構造体が前記ペリクル載置台に設けられた貫通穴にワッシャーを介して挿入された固定具により該ペリクル載置台に固定されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記ワッシャーが樹脂から成ることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
前記ワッシャーは、少なくとも、前記固定具と前記ペリクル載置台との間に配置され、かつ、該固定具の側面を覆っていることを特徴とする請求項２に記載のペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納して保管、搬送するためのペリクル収納容器に関し、特に液晶用大型ペリクルに好適なペリクル収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクルフレームの上縁面に、厚さ１０μm以下のニトロセルロース、セルロース誘導体或いはフッ素系ポリマー等の透明な高分子膜（以下、「ペリクル膜」という）を展張して接着し、且つ該ペリクルフレームの下縁面にマスク用粘着材を塗着すると共に、このマスク用粘着材上に所定の接着力で離型紙等の保護フィルムを粘着させたものである。
【０００３】
前記マスク用粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは該マスク用粘着材がその用に供するまで該マスク用粘着材の接着力を維持するために、該マスク用粘着材の接着面を保護するものである。
【０００４】
このペリクルを製造者から使用者に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをペリクル載置台と蓋とからなるペリクル収納容器に収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
【０００５】
ペリクル収納容器は樹脂材料を用いて、射出成形や真空成形にて製造するのが一般である。しかし、５インチ（１２．７mm）、６インチ（１５．２４mm）の半導体用ペリクル収納容器は、射出成形で成形することも多いが、面積が１０００cm２以上ともなる大型ペリクル用収納容器は、薄肉で大型一体成形品が容易に出来ることから真空成形する場合が多い。
【０００６】
ペリクル収納容器は形状が変化しないことを想定しており、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性と、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持し得る保持性とが要求される。
【０００７】
ペリクル載置台や蓋が反ったりねじれたりすると、マスク用粘着材にその変形が転写してしまう。ペリクル載置台に反りがあるとマスク用粘着材の一部に局所的に重量がかかり、マスク用粘着材が変形する可能性がある。また、蓋に反りやねじれが発生するとペリクルをペリクル載置台に押しつけることになり、更にマスク用粘着材にペリクル載置台の反りを転写させる可能性がある。
【０００８】
また、反りやたわみによって蓋がペリクル膜に接触すると、ペリクル膜に傷が付き、ペリクルの機能を果たさなくなることがある。
【０００９】
通常、ペリクルはマスクやレチクルのパターンに貼り付けられ、マスクやレチクルの保護時や露光時にはペリクルがマスクやレチクルの下面側に位置するように配置される。そのため、大型ペリクルでは重量が大きいために小型ペリクルでは問題にならないような小さな貼付不良でも経時的に貼付不良部が広がり、エアーパスと呼ばれるペリクル内外をつなぐ隙間ができ、その箇所からペリクル内に異物が侵入し、ペリクルの機能を果たさなくなることがある。
【００１０】
小型のペリクル収納容器であれば変形が問題となることは殆どないが、１０００cm２以上ともなる大型ペリクル用収納容器の場合には、両端を持って運ぶ際のたわみやねじれ、重ね置きで保管した際の自重による変形、温度による反り等の変形が生じる場合がある。
【００１１】
特に大型ペリクル収納容器は、５インチや６インチの半導体用ペリクル収納容器に比べ、面積が大きいためにペリクル収納容器の反りやねじれが大きくなる。そのためペリクル収納容器の変形がマスク用粘着材に転写し易く、貼付不良が発生する頻度が高くなる。
【００１２】
そこで、本出願人は特開２００５−４９７６５号公報（特許文献１）に記載したように、ペリクル載置台に補強板を取り付けてペリクル収納容器の変形を防止し、マスク用粘着材やペリクルフレームが変形することを防止する技術を提案している。
【００１３】
また、平坦性を向上させた容器が特開平０８−０６２８２８号公報（特許文献２）に記載されている。
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−４９７６５号公報（図６）
【特許文献２】特開平０８−０６２８２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、前述の特許文献１の技術では、厚みが５mm以下程度の補強板を用いるためハンドリングの際のペリクル収納容器の大きな反りやねじれの改善には効果があるものの、ペリクルフレームを載置する載置面の平坦性が十分に確保される保証がなく、マスク用粘着材の変形防止という観点からでは、補強効果により得られるペリクル収納容器の平坦性では、十分とは言えず、ペリクルフレームを載置する載置面にたわみや凹凸が生じた場合にその変形がマスク用粘着材に転写され、フォトマスクやレティクルへの接着力が不十分になったりエアーパスと呼ばれるペリクル内外を繋ぐ隙間が出来てその箇所からペリクル内に異物が浸入するとペリクルの機能を果たし得ない虞がある。
【００１６】
また、特許文献１の補強板は樹脂材料を充填して接着されるため補強板をペリクル収納容器から分離してリサイクルすることが困難であった。
【００１７】
また、特許文献２の技術では、成型によるものや、ガラス板を容器内に設置することで平坦性を向上させた容器であり、もともと、たわみや凹凸をもつ容器に直接平坦性を付与するというものではない。また、補強材がないため容器の両端を持って運ぶ際の撓みや捩れは解消されない。
【００１８】
本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクルの載置面の裏側に構造体を固定具により固定してペリクル収納容器の剛性を補強すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与してマスク用粘着材の変形を防止し、構造体のリサイクルも可能としたペリクル収納容器を提供せんとするものであり、加えて、該固定具の装着のための貫通孔があっても発塵の可能性を最大限に抑制せしめることである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記目的を達成するための本発明に係るペリクル収納容器の第１の構成は、ペリクルを収納するための、少なくとも蓋と、該ペリクルを載置するペリクル載置台とから構成されるペリクル収納容器において、前記ペリクル載置台のペリクル載置面とは反対側の面に構造体を配置し、かつ、該構造体が前記ペリクル載置台に設けられた貫通穴にワッシャーを介して挿入された固定具により該ペリクル載置台に固定されていることを特徴とするペリクル収納容器であることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係るペリクル収納容器の第２の構成は、前記第１の構成において、前記ワッシャーが樹脂製であることを特徴とする。
【００２１】
さらに、本発明に係るペリクル収納容器の第３の構成は、前記第２の構成におけるワッシャーが少なくとも、前記固定具と前記ペリクル載置台との間に配置され、かつ、該固定具の側面を覆っていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るペリクル収納容器によれば、ペリクル載置台のペリクルの載置面とは反対側の面に、少なくとも該ペリクルの載置面が該ペリクル載置台を介して対向するように構造体を配置し、且つ、該構造体が前記ペリクル載置台に設けられた貫通穴に挿通された固定具を用いて、ワッシャーを介して載置台により該ペリクル載置台に固定されたことで、該構造体の載置台への保持固定を確実なものとすることで載置台と構造体が一体化することとなり、該ペリクル収納容器の両端を持って運ぶ際の撓みや捩れを防止すると共にペリクルの載置面に直接平坦性を付与することが出来、これによりマスク用粘着材の変形を防止することができるようになった。
【００２３】
また、ワッシャーを樹脂製のものとすることで固定具と貫通穴との隙間を極小化することが可能となり貫通穴を通じて侵入してくる塵を抑止することも可能となった。
【００２４】
尚、当然に、固定具の固定を解除することにより構造体をペリクル収納容器から容易に分離することが出来、リサイクルも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図により本発明に係るペリクル収納容器の一実施形態を具体的に説明する。図１は本発明に係るペリクル収納容器の構成を示す斜視説明図、図２は本発明に係るペリクル収納容器を積層した様子を示す断面説明図、図３は固定具の固定構造を説明する図、図４はペリクル載置台のペリクルの載置面とペリクルフレームとの隙間についてたわみの場合と凹凸の場合について説明する図、図５はペリクルを把持するためのホルダの構成を示す斜視図、図６は固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制する様子を示す断面説明図、図７は固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制する様子を示す断面説明図、図８は容器全体が平坦な構造で形成された他のペリクル収納容器の構成を示す断面説明図、図９は各種の構造体の構成を示す斜視説明図、図10及び図11は他の各種の構造体の構成を示す図、図12は各種のワッシャーの構成を示す図である。
【００２６】
図９〜図11に示す構造体７の材料としては、金属や、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、セラミックス等、構造体７の形状を保つための剛性を持つ素材を使用することが出来る。
【００２７】
構造体７の形状はペリクル載置台３に構造体７を取り付けた際、該ペリクル載置台３のペリクルの載置面３ａを覆うように接触し、且つペリクル載置台３の最低面と面一か、該最低面よりも突出した形状ならば特に限定はしない。例えば、図９（ａ）及び図10（ａ）〜（ｃ）に示すような断面方形状の枠体が単純であるが、構造体７の軽量化を図るため、本発明でいうペリクルの載置面３ａの平坦性を維持する範囲で複数（多数）の穴を開けたり、図９（ｂ）及び図11（ｂ），（ｃ）に示すような断面Ｌ字形状に構成しても良い。
【００２８】
また、構造体７は図10（ａ）〜（ｃ）に示すように中実でも良いし、図11（ａ）に示すように中空でも良い。また、構造体７の上面は、図10（ａ）及び図11（ａ），（ｂ）に示すように、ペリクルの載置面３ａの裏面の幅方向の略全体に亘って形成されていても良いし、図10（ｂ），（ｃ）及び図11（ｃ）に示すように、ペリクルの載置面３ａの裏面の幅方向の一部に形成されていても良い。また、図10（ｃ）に示すように、ペリクルの載置面３ａの裏面側に固定された構造体７とはずれた位置にペリクル２を載置する場合でも良い。
【００２９】
また、構造体７のペリクル載置台３と接触する面の形状は、本発明でいうペリクルの載置面３ａの平坦性を確保出来るならば特に限定しない。例えば、平坦面が理想であるが、ペリクル載置台３のペリクルの載置面３ａの裏面側のみに接触する曲面でも良いし、ペリクルの載置面３ａの裏面側に複数点で接触する凹凸形状でも良い。
【００３０】
構造体７は上記材料を成型または削り出しにより製造出来る。本発明に係る構造体７の寸法は、ペリクル載置台３と、そこに載置されるペリクルフレーム２ａの大きさにより決まるものである。
【００３１】
固定具８の材料としては、金属やエンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、セラミックス等、固定に必要な強度、剛性を持つ素材を使用することが出来る。
【００３２】
固定具８の形状は、ペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通出来る形状ならば特に限定しない。例えば、棒形状が単純であり、ピンやネジが使用出来る。
【００３３】
尚、固定具８がネジならば、構造体７をペリクル載置台３に強固に締結が可能であり、また、締結解除も容易であるため望ましい。
【００３４】
固定具８の製法は特に限定はなく、公知の技術で切削や成型等により製作出来る。
【００３５】
本発明における固定具８の寸法は、ペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通出来、ペリクル載置台３に構造体７を固定出来る寸法ならば特に限定しない。
【００３６】
一方、ワッシャー９の材料としては、固定具８を用いてペリクル載置台３に構造体７を保持固定する際に、貫通穴３ｂをシールすることができる限りにおいて限定されないが、樹脂製であるほうが好ましく、具体的には、ナイロン６、ナイロン６６、ポリエチレン、フッ素系ポリマー等を挙げることができるが、中でも、シール性の高いナイロン６が好ましい。
【００３７】
また、ワッシャー９の形状は、少なくとも、固定具８とペリクル載置台３との間に配置され、かつ、固定具８の側面を覆っていれば良く、具体的には、その断面としては、図３（ｂ）に示したように、固定具８で構造体７をペリクル載置台３に保持固定した際に固定具８がワッシャー９の面より飛び出していないことが好ましい。
【００３８】
このようにすることで、図５及び図６に示して後述するように、ペリクルフレーム２ａをハンドリングする際に用いる金属製のフレームホルダ14のガイドとしてワッシャー９を用いることが可能となる。
【００３９】
そして、固定具８の周囲が樹脂製のワッシャー９により覆われていることで、ペリクル２と固定具８が直接接触することが防止できるので、擦れによる発塵・傷付きが防止できる。
【００４０】
さらに、ワッシャー９は、その断面が、固定具８で、構造体７をペリクル載置台３に保持固定する際に変形して貫通穴３ｂをシーリングさせる効果がある。構造体７のペリクル載置台３への平坦性付与を均一にするためには、固定具８の取り付け圧力（締め付けトルク）が一定であることが望ましい。そのためには、ワッシャー９の変形量を制御することが好ましい。具体的には、ワッシャー９がペリクル載置台３に接する面は、内周から外周までの部分はその断面形状が凹型になって、その凹型部分のみが、固定具８の取り付け圧力（締め付けトルク）により変形し、ドーナツ状のワッシャー９の外周から内周までの部分全体がペリクル載置台３に接するようにする。ワッシャー９の変形を制御することにより、過剰変形によるワッシャー９の偏芯も防止することができる。
【００４１】
ワッシャー９の固定具８挿通方向から見た形状は、固定具８の頭部８ａの側面を覆い隠すように固定具８の頭部８ａの周囲に沿って側壁９ａを有するものであれば構わない。
【００４２】
例えば、固定具８の挿通方向から見た頭部８ａの形状が円形のネジ状を用いた場合、図３（ｂ）に示すように、ワッシャー９も固定具８の挿通方向から見てネジ状の頭部８ａの側面を覆うように幅を持った側壁９ａが円形に繋がる形状であれば良い。
【００４３】
図１及び図２において、１はペリクル膜２ｃをペリクルフレーム２ａに貼り付けたペリクル２を収納するためのペリクル収納容器であり、少なくとも蓋４と、ペリクル２を載置するペリクル載置台３とを有して構成される。
【００４４】
ペリクル載置台３の材質は特に限定するものではないが、アクリル樹脂、ナイロン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることが出来る。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることも出来る。上記の樹脂には、制電性を付与しても良い。また、樹脂強化プラスチックも用いることが出来る。
【００４５】
ペリクル載置台３において、ペリクル２を載置する載置面３ａは、ペリクル載置台３の周辺に沿って形成された断面コ字形状の隆起部６の天片により構成される。
【００４６】
ペリクル載置台３は外周近傍を屈曲させているため、周辺部ではある程度の剛性を有しているが平面部は強度が弱く、またその面積が１０００cm２以上ともなると、ペリクル収納容器１全体の剛性が十分でなくなり、反りやたわみが生じ易い。そこで、本発明においては、より好ましくは、ペリクル載置台３の外面側で隆起部６の内部でペリクルの載置面３ａとは反対側の面に構造体７を取り付けている。これにより、ペリクル収納容器１全体の剛性を飛躍的に向上させることが出来る。
【００４７】
図８に示すように、ペリクル載置台３全体が平坦な構造でも良いが、図２に示すように、ペリクル２の載置面３ａのみを平坦とし、その他の部分は、その載置面３ａ（平面）よりも低く設定すると、輸送中等にペリクル膜２ｃ面が振動した時、ペリクル膜２ｃとペリクル載置台３の内側との接触が防止出来るためより好ましい。
【００４８】
また、ペリクル載置台３の裏面を補強することで平坦性を付与することは、自重によるたわみには効果的だが、下からの突き上げには効果が薄い。そのため、ペリクル２の載置面３ａよりも低く設定する部分は、構造体７の底面７ｂよりも下方に突出しないように設定する。
【００４９】
より好ましくは、ペリクル２の載置面３ａよりも低く設定する部分は、構造体７の底面７ｂと面一になるように設定する。こうすれば、ペリクル２の載置面３ａよりも低く設定した部分が、台等の載置面に置いたときに軽く接触することで、自重によるたわみを防止出来る。
【００５０】
ペリクル載置台３に設けられたペリクル２の載置面３ａは、ペリクル収納容器１全体に亘って同一平面上で平坦に形成されている。ペリクル２を載置する載置面３ａに、真空成型・射出成型等により凹凸形状を設けると、凹凸形状の周辺に局所的な凹凸が残るため載置面３ａの平坦性が悪化する。
【００５１】
このように、ペリクル２を載置する載置面３ａがペリクル収納容器１の容器全体に亘って同一平面上で平坦に形成されたことにより容器全体に亘ってペリクル２を載置する載置面３ａに直接平坦性を付与することが出来、これによりペリクルフレーム２ａの下面に設けられるマスク用粘着材２ｂの変形を防止することが出来る。
【００５２】
ペリクル載置台３は、上述の材質の板を用いて、真空成形或いは射出成形にて製造される。
【００５３】
本発明におけるペリクル載置台３の寸法は、該ペリクル載置台３に載置されるペリクルフレーム２ａの大きさにより決まるものである。
【００５４】
ペリクル収納容器１の蓋４の材質は特に限定するものではないが、アクリル樹脂、ナイロン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることが出来る。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることも出来る。上記の樹脂には、制電性を付与しても良い。また、樹脂強化プラスチックも用いることが出来る。
【００５５】
ペリクル収納容器１の蓋４は、その上にペリクル収納容器１を積み重ねた際に、下の蓋４からの突き上げによるペリクル載置台３の変形を防止しなければならない。
【００５６】
そのため、ペリクル収納容器１の蓋４の形状は、その上にペリクル収納容器１を積み重ねた際に、蓋４には積み重ねたペリクル収納容器１の内、構造体７のみが接触するような形状にしなければならない。上記用件を満たす形状であれば、特に限定しない。例えば構造体７の底面７ｂ（ペリクル載置台３と構造体７の接触面の対面）全体に蓋４が接触する形状でも良いし、構造体７の底面７ｂの４隅のみに蓋４が接触する形状でも良い。
【００５７】
ペリクル収納容器１の蓋４は、上述の材質の板を用いて、真空成形或いは射出成形により製造される。
【００５８】
本発明におけるペリクル収納容器１の蓋４の寸法はペリクル載置台３の大きさにより決まるものである。
【００５９】
ペリクル２は、ペリクル膜２ｃと、該ペリクル膜２ｃが貼着されたペリクルフレーム２ａ、及びペリクルフレーム２ａをマスクやレティクルに貼着するためのマスク用粘着材２ｂ等を有して構成されており、マスク用粘着材２ｂの表面には離型紙等の保護フィルム等からなる離型材２ｄが貼着されてペリクル載置台３に載置される。
【００６０】
ペリクル２のペリクル載置台３への固定方法としては、離型材２ｄのはみ出し部位を粘着テープによりペリクル載置台３に貼着したり、ペリクルフレーム２ａに形成した係止溝にペリクル載置台３に設けた係止部材を係止したり、ペリクル載置台３と蓋４とでペリクルフレーム２ａを挟持して固定する等、公知の方法ならば何でも良い。
【００６１】
ここで、本実施形態のペリクル収納容器１はペリクル膜２ｃの面積が１０００cm２を越える大型ペリクル２に特に好適である。
【００６２】
図１に示すように、ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａ上に該ペリクル２を載置した状態で該ペリクル載置台３に蓋４を被せることによってペリクル２を収納する。ペリクル載置台３と蓋４とを合わせた後は、四方の角にクリップ等を差し込んで留めるか、或いは粘着テープを周端辺に張り巡らすことによって密封する等、公知の方法ならば何でも良い。
【００６３】
ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａとは反対側の面に、少なくとも該ペリクル２の載置面３ａが該ペリクル載置台３を介して対向するように構造体７が配置され、該構造体７がペリクル載置台３に設けられた貫通穴３ｂに挿通された固定具８としてのネジとワッシャー９によりペリクル載置台３に固定される。
【００６４】
また好ましくは、ペリクル載置台３の外表面で隆起部６の内部に断面方形状の構造体７が嵌入され、ペリクル２の載置面３ａに設けられた貫通穴３ｂに固定具８としてのネジがワッシャー９を介して挿通されて構造体７に形成されたネジ孔７ａに螺合締結される。
【００６５】
ペリクル収納容器１の補強を効果的に行うためには、固定具８としてのネジの取り付け方向は、補強面となるペリクル２の載置面３ａに対して垂直方向であることがより効果的である。またネジ止めの補助として、構造体７と載置面３ａの裏面との間に接着剤や粘着剤を併用しても良い。
【００６６】
このように、ペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａに設けられた貫通穴３ｂに固定具８となるネジがワッシャー９を介して挿通されて構造体７に設けられたネジ孔７ａに締結されたことで、構造体７によりペリクル収納容器１の剛性を補強すると共にペリクル２を載置する載置面３ａに直接平坦性を付与することが出来、これによりペリクル２のマスク用粘着材２ｂの変形を防止することが出来る。さらには、貫通穴３ｂからの塵の侵入も防ぐことが可能となる。
【００６７】
また、固定具８となるネジの締結を解除することにより構造体７をペリクル収納容器１のペリクル載置台３から容易に分離することが出来、リサイクルも可能である。
【００６８】
但し、リサイクルを容易にするためにはネジ止めのみで固定するのが好ましい。接着剤・粘着剤を使用すると、ペリクル収納容器１と構造体７とを分離するのが困難であり、また、分離する際、大きな力がかかり、構造体７の変形をまねき、構造体７による平坦性向上効果が薄れる可能性がある。
【００６９】
このように、構造体７の底面７ｂが、ペリクル収納容器１のペリクル載置台３の最低面（最も低い位置にある底面）となる周囲面３ｄと面一か、若しくはペリクル収納容器１のペリクル載置台３の最低面となる周囲面３ｄよりも下方に突出するように構成したことで、ペリクル収納容器１を台等に載置した状態でその載置面に構造体７の底面７ｂが必ず当接しており、ペリクル収納容器１のペリクル載置台３の内側面３ｃが上方に押し上げられることにより発生するペリクルの載置面３ａの撓みを防止して平坦性を確保することが出来る。
【００７０】
また、図２に示すように、ペリクル収納容器１を複数積み重ねる積層方法として、下のペリクル収納容器１の蓋４に、上に積み重ねられるペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂが接するように積み重ねることで、上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂが下段のペリクル収納容器１の蓋４上に載置支持されることにより、ペリクル収納容器１が複数段に重ね置きされる場合であっても上段のペリクル収納容器１を下段のペリクル収納容器１の蓋４上に載置した状態でその蓋４面に上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂが必ず当接しており、ペリクル収納容器１のペリクル載置台３の内側面３ｃが上方（図２の上方向）に押し上げられることにより発生するペリクルの載置面３ａの撓みを防止して平坦性を確保することが出来る。
【００７１】
尚、図１及び図２に示すように、蓋４の上面の少なくとも４隅部は突形状で形成されており、上段のペリクル収納容器１の構造体７の底面７ｂのみと接触するように構成されている。
【００７２】
ペリクルフレーム２ａの下面に設けたマスク用粘着材２ｂが変形しないためには、ペリクル２を載置面３ａに載置したとき、図４（ａ）に示すように、ペリクル２の載置面３ａのペリクル接触部分のたわみ形状或いは凹凸形状と、載置面３ａにペリクル２を載置した状態でのペリクルフレーム２ａのたわみ形状或いは凹凸形状が一致していれば、載置面３ａとペリクルフレーム２ａとの間隔が一定に保たれるため、その間に存在するマスク用粘着材２ｂの高さ方向の変形が防止出来る。
【００７３】
そのため、本発明で言うペリクル２を載置する載置面３ａの平坦性とは、マスク用粘着材２ｂのない状態のペリクルフレーム２ａのみをペリクル載置台３の載置面３ａに直に載置した状態でのペリクルフレーム２ａと載置面３ａとの隙間が、３００μｍ以下、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは、５０μｍ以下であることを言う。
【００７４】
即ち、図４（ｂ）に示すように、ペリクル２の載置面３ａのペリクル接触部分のたわみ形状と、載置面３ａにペリクルフレーム２ａを直に載置した状態でのペリクルフレーム２ａのたわみ形状との隙間Ｗが最大箇所で３００μm以下に保たれ、或いは図４（ｃ）に示すように、ペリクル２の載置面３ａのペリクル接触部分の凹凸形状と、載置面３ａにペリクルフレーム２ａを直に載置した状態でのペリクルフレーム２ａの凹凸形状との隙間Ｗが最大箇所で３００μm以下に保たれ、その結果、ペリクルフレーム２ａと載置面３ａとの間に存在するマスク用粘着材２ｂの高さ方向の変形が防止出来る。
【００７５】
ペリクルフレーム２ａは、本発明で言う載置面３ａの平坦性が維持された場所に搭載され、固定具８となるネジは、本発明で言う載置面３ａが平坦となるように、ペリクル載置台３、構造体７の材質、大きさ、形状、構造等によりネジ止め個数、ネジ止め間隔が適宜設定される。
【００７６】
固定具８はペリクル載置台３のペリクル２の載置面３ａよりも上方に頭部８ａが突出する複数のネジにより構成される。このような構成において、固定具８となるネジの位置や頭部８ａの高さ、及びを適宜設定することにより以下のような位置規制手段を兼ねることが出来る。
【００７７】
例えば、ペリクル収納容器１からペリクル２を移動する方法として、固定具８となるネジの頭部８ａの天面よりも高い位置に配置させたワッシャー９の側壁９ａの高さに相当する天面を利用して、図５及び図６に示すようにペリクル２を把持するためのフレームホルダ14の高さ位置を規制することが出来る。
【００７８】
即ち、図６に示すように、構造体７に締結された固定具８となるネジの頭部８ａの天面よりも高い位置に配置されるワッシャー９の側壁９ａの高さに相当する天面は、ペリクル２を把持するためのフレームホルダ14の高さ位置を規制する位置に設定されており、ワッシャー９の側壁９ａの高さに相当する天面が、ペリクル２を把持するためのフレームホルダ14の高さ位置を規制することにより、ペリクル収納容器１からペリクル２を取り出す際にフレームホルダ14をそのペリクル２のペリクルフレーム２ａの側部に設けられたガイド挿入溝2a1に挿入し易く取り扱いが容易となる。このように、ネジ８の頭部８ａの高さ及びワッシャー９の側壁９ａの高さを調整することにより、ペリクル２を把持するためのフレームホルダ14のガイドとしても利用出来る。
【００７９】
また、ペリクル収納容器１にペリクル２を収納する方法として、ワッシャー９の側壁９ａにより、ペリクルフレーム２ａの面方向の位置を規制することが出来る。
【００８０】
即ち、構造体７に固定具８となるネジとともに締結されたワッシャー９は円形状で構成されており、ワッシャー９の側面位置がペリクルフレーム２ａの面方向（図７の左右方向）の位置を規制する位置に設定されている。これにより、ワッシャー９の側面が、ペリクルフレーム２ａの側面に当接してペリクルフレーム２ａの面方向の位置を規制することにより、ペリクル２をペリクル収納容器１内に安定して収納することが出来る。
【００８１】
このように、固定具８となるネジにより固定されたワッシャー９は、ペリクル２の位置ズレ防止のためのストッパとしても利用出来る。
【００８２】
図12（ａ）〜（ｉ）は各種のワッシャー９の構成を示す断面図であり、固定具８の頭部８ａを収容する溝部９ｂと該溝部９ｂに連通され固定具８の軸部が挿通される貫通孔９ｃが設けられる。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明のペリクル収納容器を用いれば、ＬＳＩ（大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納して保管、搬送するためのペリクル収納容器に適用でき、特に液晶用大型ペリクルの収納容器に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明に係るペリクル収納容器の構成を示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係るペリクル収納容器を積層した様子を示す断面説明図である。
【図３】固定具の各種の固定構造を説明する図である。
【図４】ペリクル載置台のペリクルの載置面とペリクルフレームとの隙間についてたわみの場合と凹凸の場合について説明する図である。
【図５】ペリクルを把持するためのホルダの構成を示す斜視図である。
【図６】固定具の天面によりペリクルを把持するためのホルダの高さ位置を規制する様子を示す断面説明図である。
【図７】固定具の側面によりペリクルの膜面方向の位置を規制する様子を示す断面説明図である。
【図８】容器全体が平坦な構造で形成された他のペリクル収納容器の構成を示す断面説明図である。
【図９】各種の構造体の構成を示す斜視説明図である。
【図１０】他の各種の構造体の構成を示す図である。
【図１１】他の各種の構造体の構成を示す図である。
【図１２】各種のワッシャーの断面説明図である。
【符号の説明】
【００８５】
１…ペリクル収納容器
２…ペリクル
２ａ…ペリクルフレーム
2a1…ガイド挿入溝
２ｂ…マスク用粘着材
２ｃ…ペリクル膜
２ｄ…離型材
３…ペリクル載置台
３ａ…ペリクルの載置面
３ｂ…貫通穴
３ｃ…内側面
３ｄ…周囲面
４…蓋
６…隆起部
７…構造体
７ａ…ネジ孔
７ｂ…底面
８…固定具
８ａ…頭部
９…ワッシャー
９ａ…側壁
９ｂ…溝部
９ｃ…貫通孔
14…フレームホルダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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