(57)【要約】【課題】当該製造装置の製造状態を監視し、不具合が発生した際、その原因を容易に特定することができるとともに、無駄な作業を回避して、所望の感光性積層体を効率的に製造する。【解決手段】長尺状感光性ウエブのテンション、搬送速度、温度、ガラス基板の搬送速度、温度、貼り付け機構における圧着圧力、感光性積層体の画像等の製造状態情報を取得して所定の判定値と比較し、その判定結果をモニタ１５８に表示させるとともに、他の処理装置に送信することにより、不具合の有無を事前に把握し、必要に応じて調整して処理を遂行する。【選択図】図５
2008246678.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離して前記感光材料層を露出させた後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置する一方、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の製造装置において、
前記設定手段は、前記自他識別情報を前記基板に記録設定することを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項３】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラ間に供給される前記長尺状感光性ウエブの搬送速度を前記製造状態情報として測定するウエブ搬送速度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項４】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラ間に供給される前記基板の搬送速度を前記製造状態情報として測定する基板搬送速度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項５】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラの直前における前記長尺状感光性ウエブの温度を前記製造状態情報として測定するウエブ温度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項６】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラの直前における前記基板の温度を前記製造状態情報として測定する基板温度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項７】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラによる前記基板に対する前記長尺状感光性ウエブの圧着圧力を前記製造状態情報として測定する圧力測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項８】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記基板に供給される前記長尺状感光性ウエブのテンションを前記製造状態情報として取得するテンション測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項９】
請求項１記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた前記感光性積層体の画像を前記製造状態情報として撮影して取得する撮影手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項１０】
請求項１記載の製造装置において、
前記処理手段は、前記判定結果を前記自他識別情報とともに表示する表示手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【請求項１１】
請求項１記載の製造装置において、
前記処理手段は、前記判定結果を前記自他識別情報とともに他の処理装置に送信する送信手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板は、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ（圧着ローラ）間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図７に示すように、ロール１から感光性シート体２を繰り出してハーフカッタ装置３に供給し、感光性シート体２を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部４に前記感光性シート体２を供給し、基板５の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ間に供給する。一方、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ間には、加熱された基板５が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体２が基板５の下面部に加熱圧着される。感光性シート体２が加熱圧着された基板５は、熱圧着ローラ６ａ、６ｂから搬出された後、分離装置７によって基板５間の感光性シート体２が切断され、図示しない剥離装置により支持体が剥離されて感光性積層体が製造される。
【０００５】
【特許文献１】特許第３３１６０９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、このような製造装置を用いて、貼り付けむらや気泡の混入がなく、また、皺や段差のない高品質な感光性積層体を製造するためには、感光性シート体２及び基板５の温度や搬送速度、熱圧着ローラ６ａ、６ｂにより付与される圧着圧力等を監視して、これらを高精度に調整する必要がある。
【０００７】
この場合、現状の製造装置では、例えば、熱圧着ローラ６ａ、６ｂ自体の温度を測定し、その温度が所定温度となるように制御を行っている。また、搬送速度については、熱圧着ローラ６ａ、６ｂの回転速度を搬送速度として検出している。
【０００８】
しかしながら、貼り付け時の温度は、供給される感光性シート体２及び基板５の温度に依存しており、例えば、感光性シート体２又は基板５の温度が熱圧着ローラ６ａ、６ｂよりも低いと、実際の貼り付け時の温度は、測定された熱圧着ローラ６ａ、６ｂの温度よりも低くなってしまう。また、熱圧着ローラ６ａ、６ｂと、感光性シート体２との間では、感光性シート体２の伸びや滑りの影響があるため、熱圧着ローラ６ａ、６ｂの回転速度から得た搬送速度と、実際の搬送速度との間にずれが生じてしまう。
【０００９】
一方、例えば、液晶パネル用基板等を製造する場合には、上記の製造装置で製造された感光性積層体に対して、露光処理、現像処理、ベーク処理等の多数の後処理が施される。この場合、これらの多数の処理を経た最終製品上で不具合の有無を判定しようとすると、不具合が発見されたときには、既に多数の処理が施された後であるため、不具合を含む各処理に要した時間が無駄になってしまう。また、不具合の原因と思われる個所を上流に遡って確認しなければならないため、解析作業に多大な時間を要することになる。
【００１０】
本発明は、前記の不具合に鑑みなされたものであり、当該製造装置の製造状態を監視し、不具合が発生した際、その原因を容易に特定することができるとともに、無駄な作業を回避して、所望の感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離して前記感光材料層を露出させた後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置する一方、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、当該製造装置の製造状態を判定値と比較しながら監視し、不具合が発生した際、その判定結果に基づいて不具合の原因を容易に特定することができる。また、不具合を含む状態で製造された感光性積層体が他の処理装置に搬送されて処理が行われる事態を事前に回避することができるため、無駄な作業を無くし、所望の感光性積層体を効率的に製造することができる。さらに、適切な製造状態情報を取得して製造状態の良否を判定することにより、製造装置の状態を正確に把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置であるラミネート装置２０の概略構成図であり、このラミネート装置２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製造工程中、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００１４】
図２は、ラミネート装置２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、クッション層２７と、中間層２９と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを順次積層して構成される。
【００１５】
可撓性ベースフイルム２６は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成され、クッション層２７は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層２９は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層２８は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム３０は、ポリプロピレンで形成される。なお、クッション層２７は、ガラス基板２４の微小な凹凸に影響されることなく、気泡が混入しない状態で感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けるためのものである。
【００１６】
図１に示すように、ラミネート装置２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された長尺状感光性ウエブ２２の保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に、２個所のハーフカット部位（加工部位）３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、接着ラベル３８（図３参照）を保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００１７】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４と、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００１８】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像を撮影する撮影部４７が配設される。ラミネート装置２０は、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６に対するハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ２２の送り量の補正を行う。
【００１９】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構３２を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。
【００２０】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、所定距離だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００２１】
図２に示すように、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、丸刃５２ａ、５２ｂに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００２２】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００２３】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００２４】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００２５】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００２６】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００２７】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００２８】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００２９】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を特定するための自他識別情報である基板ＩＤ情報を、例えば、バーコード等の形態でガラス基板２４に記録するプリンタ７２（設定手段）と、ガラス基板２４を挟持するように配設され、ガラス基板２４を所定の温度、例えば、１００℃〜１５０℃に加熱する基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を貼り付け機構４６に供給する搬送機構７６とを備える。
【００３０】
基板供給機構４５と貼り付け機構４６との間には、貼り付け機構４６に供給されるガラス基板２４の搬送速度を測定する基板搬送速度測定器７７と、ガラス基板２４の温度を測定する基板温度測定器７８とが配設される。また、撮影部４７の下流側のローラ７３と貼り付け機構４６との間には、貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２の搬送速度を測定するウエブ搬送速度測定器７９と、貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２を所定の温度、例えば、７０℃〜９０℃に予熱するウエブ予熱部８１と、長尺状感光性ウエブ２２の温度を測定するウエブ温度測定器８５とが配設される。さらに、ローラ７３には、長尺状感光性ウエブ２２に付与されるテンションを測定するテンション測定器７１が連結される。
【００３１】
基板搬送速度測定器７７及びウエブ搬送速度測定器７９としては、例えば、非接触式の測定器であるドップラ速度測定器を用いることができる。また、基板温度測定器７８及びウエブ温度測定器８５は、図４に示すように、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２の搬送方向と直交する幅方向に長尺に構成され、搬送されるガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２の二次元温度分布を測定する、例えば、赤外線サーモカメラを用いることができる。
【００３２】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ（圧着ローラ）８０ａ、８０ｂを備える。ゴムローラ８０ａ、８０ｂには、バックアップローラ８２ａ、８２ｂが摺接する。バックアップローラ８２ｂは、ローラクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４によりゴムローラ８０ｂ側に押圧される。
【００３３】
ゴムローラ８０ａの回転軸８８には、ゴムローラ８０ａによるガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２の圧着圧力を測定する圧力測定器８９が配設される。この圧力測定器８９としては、例えば、回転軸８８の加圧時における歪みを検出して圧着圧力を測定する歪みゲージを用いることができる。
【００３４】
長尺状感光性ウエブ２２及びガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ９０ａ、９０ｂによって冷却機構１００に搬送されて冷却される。冷却機構１００の下流には、ガラス基板２４に貼り付けられた長尺状感光性ウエブ２２から可撓性ベースフイルム２６を剥離するための剥離機構１０２と、可撓性ベースフイルム２６が剥離されることで分離された感光性積層体２４ａに貼り付けられた感光性樹脂層２８の状態を検査するため、感光性積層体２４ａの画像を撮影する撮影部１０４（撮影手段）とが配設される。
【００３５】
剥離機構１０２は、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２を上方向に押し上げることで、可撓性ベースフイルム２６の剥離を容易とするためのプッシャ１０６と、可撓性ベースフイルム２６を剥離しながら巻き取る巻き取りローラ１０８とを備える。
【００３６】
撮影部１０４は、例えば、感光性積層体２４ａにガラス基板２４側から赤外線等の照明光を照射する照明光源１１０と、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２を透過した照明光を受光して感光性積層体２４ａの画像を撮影するＣＣＤカメラ１１２とを備える。
【００３７】
なお、以上のように構成されるラミネート装置２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４、テンション制御機構６６並びに撮影部４７が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記撮影部４７までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００３８】
ラミネート装置２０内は、仕切り壁１１４を介して第１クリーンルーム１１６ａと第２クリーンルーム１１６ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム１１６ａには、ウエブ送り出し機構３２からテンション制御機構６６までが収容され、第２クリーンルーム１１６ｂには、撮影部４７以降の機構が収容される。第１クリーンルーム１１６ａと第２クリーンルーム１１６ｂとは、貫通部１１８を介して連通する。
【００３９】
図５は、ラミネート装置２０を構成するプリンタ７２を制御するとともに、取得手段により取得した製造状態情報に基づく製造状態の判定処理を行うラミネート制御装置１２８の詳細な構成ブロックを示す。なお、ラミネート制御装置１２８には、感光性積層体２４ａの製造状態を管理する上位の生産管理コンピュータ１２７が接続される。
【００４０】
ラミネート制御装置１２８は、基板供給機構４５に配設されるプリンタ７２を制御するプリンタ制御部１３６と、テンション測定器７１によって測定された長尺状感光性ウエブ２２のテンションを所定の判定値と比較して判定するテンション判定部１３７と、ウエブ搬送速度測定器７９によって測定されたウエブ搬送速度を所定の判定値と比較して判定するウエブ搬送速度判定部１３８と、基板搬送速度測定器７７によって測定された基板搬送速度を所定の判定値と比較して判定する基板搬送速度判定部１４０と、ウエブ温度測定器８５によって測定された長尺状感光性ウエブ２２の温度を所定の判定値と比較して判定するウエブ温度判定部１４２と、基板温度測定器７８によって測定されたガラス基板２４の温度を所定の判定値と比較して判定する基板温度判定部１４４と、圧力測定器８９によって測定されたゴムローラ８０ａ、８０ｂによるラミネート圧力を所定の判定値と比較して判定するラミネート圧力判定部１４６と、撮影部１０４のＣＣＤカメラ１１２によって撮影された感光性積層体２４ａの画像を所定の判定値と比較して検査判定する画像検査判定部１４８とを備える。
【００４１】
プリンタ制御部１３６には、ラミネート装置２０に供給される個々のガラス基板２４を特定するための自他識別情報である基板ＩＤ情報が基板ＩＤ情報記憶部１５０から供給される。また、判定手段であるテンション判定部１３７、ウエブ搬送速度判定部１３８、基板搬送速度判定部１４０、ウエブ温度判定部１４２、基板温度判定部１４４、ラミネート圧力判定部１４６、画像検査判定部１４８には、所望の感光性積層体２４ａを製造するために必要な長尺状感光性ウエブ２２のテンション、速度、温度、圧力、画像パラメータ等の許容範囲に係る判定値が判定値記憶部１５２から供給される。基板ＩＤ情報及び判定値は、生産管理コンピュータ１２７から送信されて基板ＩＤ情報記憶部１５０及び判定値記憶部１５２に記憶される。
【００４２】
長尺状感光性ウエブ２２のテンションの判定値は、貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２が所定の伸び率の範囲内にあり、且つ、長尺状感光性ウエブ２２にたるみ等が発生しない値として設定されるものであり、例えば、長尺状感光性ウエブ２２の単位幅当たり５０Ｎ／ｍ〜１５０Ｎ／ｍの範囲として設定される。ウエブ搬送速度及び基板搬送速度の判定値は、感光性積層体２４ａの製造のタクトタイム、製造に使用するガラス基板２４のサイズに基づいて設定されるものであり、例えば、１．０ｍ／分〜１０．０ｍ／分の範囲として設定される。貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２の温度の判定値は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの加熱温度、例えば、８０℃〜１４０℃よりも低い温度範囲、例えば、７０℃〜９０℃の範囲として設定される。貼り付け機構４６に供給されるガラス基板２４の温度の判定値は、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの加熱温度に近い温度範囲、例えば、１００℃〜１５０℃の範囲として設定される。ゴムローラ８０ａ、８０ｂによるラミネート圧力の判定値は、例えば、線圧として５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍの範囲として設定される。なお、これらの判定値は、供給される長尺状感光性ウエブ２２及びガラス基板２４の材質によって適宜選択できるようにすることが好ましい。
【００４３】
画像検査判定部１４８に供給される判定値としては、例えば、図６に示すように、ＣＣＤカメラ１１２によって撮影された感光性積層体２４ａの撮影域１５４の画像において、ガラス基板２４の幅方向両端部と感光性樹脂層２８の幅方向両端部との距離Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ、ガラス基板２４の後端部と感光性樹脂層２８の後端部との距離Ｌ２に対する許容範囲を設定することができる。同様に、ガラス基板２４の前端部と感光性樹脂層２８の前端部との距離に対する許容範囲を設定することができる。また、画像検査判定部１４８に供給される他の判定に係る項目としては、例えば、撮影された画像に含まれる気泡、異物、感光性樹脂層２８の段差、長尺状感光性ウエブ２２のクッション層２７の剥がれ状態、可撓性ベースフイルム２６の剥離状態等を含めることができる。
【００４４】
さらに、ラミネート制御装置１２８は、テンション判定部１３７、ウエブ搬送速度判定部１３８、基板搬送速度判定部１４０、ウエブ温度判定部１４２、基板温度判定部１４４、ラミネート圧力判定部１４６、画像検査判定部１４８による判定結果を、基板ＩＤ情報記憶部１５０から読み出した基板ＩＤ情報と関連させて処理する判定結果処理部１５６（処理手段）を備える。判定結果処理部１５６は、基板ＩＤ情報及びその判定結果をモニタ１５８（表示手段）に表示させるとともに、判定結果送信部１６０（送信手段）を介して他の処理装置及び生産管理コンピュータ１２７に送信する。
【００４５】
次に、以上のように構成されるラミネート装置２０の動作について説明する。
【００４６】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００４７】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８〜可撓性ベースフイルム２６まで切り込み、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅だけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。これにより、長尺状感光性ウエブ２２には、残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる。
【００４８】
なお、残存部分Ｂの幅は、長尺状感光性ウエブ２２が延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定される。また、一組のハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ２２に形成される。
【００４９】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５０】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５１】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部４７において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位３４ａ、３４ｂを含む長尺状感光性ウエブ２２の画像が撮影される。撮影部４７を通過した長尺状感光性ウエブ２２は、ウエブ予熱部８１によって所定の予熱温度まで加熱された後、貼り付け機構４６に供給される。
【００５２】
一方、ガラス基板２４は、プリンタ７２によって所定の部位に基板ＩＤ情報が記録された後、基板供給機構４５に供給される。すなわち、ラミネート制御装置１２８におけるプリンタ制御部１３６は、生産管理コンピュータ１２７から供給されて基板ＩＤ情報記憶部１５０に記憶されている基板ＩＤ情報に基づき、プリンタ７２を制御してガラス基板２４に基板ＩＤ情報を記録するとともに、この基板ＩＤ情報を判定結果処理部１５６に供給する。次いで、基板供給機構４５に供給されたガラス基板２４は、基板加熱部７４によって所定温度に加熱された後、貼り付け機構４６に供給される。
【００５３】
ここで、貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２のテンションは、テンション測定器７１によって測定され、テンション判定部１３７に供給される。テンション判定部１３７は、判定値記憶部１５２に記憶されているテンションの判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ２２のテンションとを比較し、前記テンションが規定の範囲内にあるか否かの判定を行う。また、貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２及びガラス基板２４の搬送速度は、ウエブ搬送速度測定器７９及び基板搬送速度測定器７７によって測定され、ウエブ搬送速度判定部１３８及び基板搬送速度判定部１４０に供給される。ウエブ搬送速度判定部１３８は、判定値記憶部１５２に記憶されている判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ２２の搬送速度とを比較し、前記搬送速度が規定速度の範囲内にあるか否かの判定を行う。同様にして、基板搬送速度判定部１４０は、判定値記憶部１５２に記憶されている判定値と、測定されたガラス基板２４の搬送速度とを比較し、前記搬送速度が規定速度の範囲内にあるか否かの判定を行う。これらの判定結果は、判定結果処理部１５６によって処理され、モニタ１５８に表示されるとともに、判定結果送信部１６０により他の処理装置及び生産管理コンピュータ１２７に送信される。
【００５４】
そこで、例えば、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが許容範囲内に設定されていないとする判定結果が得られた場合、貼り付け機構４６における貼り付け処理を直ちに停止させ、あるいは、上流のテンション制御機構６６に対して測定されたテンションの値をフィードバックし、テンションの調整を行うことができる。
【００５５】
また、搬送速度が許容範囲内に設定されていないとする判定結果が得られた場合、貼り付け機構４６における貼り付け処理を直ちに停止させ、あるいは、長尺状感光性ウエブ２２又はガラス基板２４の搬送速度が所定の搬送速度となるような調整処理を行うことにより、不適切な感光性積層体２４ａが製造されてしまう事態を事前に回避することができる。
【００５６】
また、貼り付け機構４６に供給される長尺状感光性ウエブ２２及びガラス基板２４の温度は、貼り付け機構４６の直前において、ウエブ温度測定器８５及び基板温度測定器７８によって測定され、ウエブ温度判定部１４２及び基板温度判定部１４４に供給される。ウエブ温度判定部１４２は、判定値記憶部１５２に記憶されている判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ２２の温度とを比較し、前記温度が規定温度の範囲内にあるか否かの判定を行う。同様にして、基板温度判定部１４４は、判定値記憶部１５２に記憶されている判定値と、測定されたガラス基板２４の温度とを比較し、前記温度が規定温度の範囲内にあるか否かの判定を行う。これらの判定結果は、判定結果処理部１５６によって処理され、モニタ１５８に表示されるとともに、判定結果送信部１６０により他の処理装置及び生産管理コンピュータ１２７に送信される。
【００５７】
この場合、測定された温度が許容範囲内に設定されていないときには、テンションや搬送速度の場合と同様の処理を行うことで、不適切な感光性積層体２４ａが製造されてしまう事態を事前に回避することができる。なお、ウエブ温度測定器８５及び基板温度測定器７８は、図４に示すように、搬送される長尺状感光性ウエブ２２及びガラス基板２４の温度を二次元的に測定し、測定された温度の分布に基づいて良否判定を行うことにより、温度むらの影響を考慮したより適切な良否判定を行うことができる。
【００５８】
一方、長尺状感光性ウエブ２２のテンション、搬送速度及び温度が所定の許容範囲内に設定されている場合、貼り付け機構４６において、ガラス基板２４に長尺状感光性ウエブ２２を転写する処理（ラミネート）が行われる。この場合、撮影部４７によって撮影されたハーフカット部位３４ａ、３４ｂの画像に基づき、貼り付け機構４６におけるハーフカット部位３４ａ、３４ｂの位置が調整される。
【００５９】
貼り付け機構４６では、当初、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが離間した状態に設定されており、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間の所定位置に長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構４５を構成する基板加熱部７４によって所定温度に加熱されたガラス基板２４の先端部が搬送機構７６によってゴムローラ８０ａ、８０ｂ間に搬入されると、加圧シリンダ８４の作用下にバックアップローラ８２ｂ及びゴムローラ８０ｂが上昇し、ゴムローラ８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ８０ａ、８０ｂは、所定のラミネート温度に加熱されている。
【００６０】
次いで、ゴムローラ８０ａ、８０ｂが回転し、ガラス基板２４及び長尺状感光性ウエブ２２が矢印Ｙ方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００６１】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／分〜１０．０ｍ／分、ゴムローラ８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記ゴムローラ８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムローラ８０ａ、８０ｂのラミネート圧力（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６２】
この場合、ゴムローラ８０ａの回転軸８８に配設された圧力測定器８９によりラミネート圧力が測定され、ラミネート圧力判定部１４６において、判定値記憶部１５２に記憶されている判定値と、測定されたラミネート圧力とが比較され、ラミネート圧力が規定圧力の範囲内にあるかの判定が行われる。この判定結果は、判定結果処理部１５６によって処理され、モニタ１５８に表示されるとともに、判定結果送信部１６０により他の処理装置及び生産管理コンピュータ１２７に送信される。そして、ラミネート圧力が不適正である場合には、感光性積層体２４ａの製造処理を中断してラミネート圧力の調整を行うことにより、不良品の発生を最小限に抑えることができる。
【００６３】
適切な状態でラミネート処理が行われた長尺状感光性ウエブ２２及びガラス基板２４は、基板搬送ローラ９０ａ、９０ｂによって冷却機構１００に搬送されて冷却された後、剥離機構１０２に供給される。剥離機構１０２では、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２がプッシャ１０６によって持ち上げられることで可撓性ベースフイルム２６の一部がクッション層２７から剥離された後、可撓性ベースフイルム２６が巻き取りローラ１０８によって巻き取られる。このとき、ガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２も巻き取りローラ１０８に巻き取られることで、ガラス基板２４が分離され、感光性積層体２４ａが製造される。
【００６４】
分離された感光性積層体２４ａは、撮影部１０４に搬送され、ＣＣＤカメラ１１２を用いて感光性積層体２４ａの貼り付け状態の検査が行われる。
【００６５】
すなわち、撮影部１０４を構成する照明光源１１０から出力された照明光は、感光性積層体２４ａを透過してＣＣＤカメラ１１２に入射し、感光性積層体２４ａの画像が撮影される。画像検査判定部１４８は、撮影された画像と、判定値記憶部１５２から供給される判定値とを用いて、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の貼り付け状態の検査判定処理を行う。なお、感光性樹脂層２８には、クッション層２７が装着されており、このクッション層２７は、現像処理の際に除去される。
【００６６】
例えば、図６に示すように、撮影された画像を処理することで、ガラス基板２４の端部と感光性樹脂層２８の端部との距離Ｌ１ａ、Ｌ１ｂ、Ｌ２が許容範囲内にあるか否かを判定し、また、撮影された画像に気泡、異物、段差があるか否かを判定し、感光性樹脂層２８上のクッション層２７の一部が剥がれているか否かを判定し、可撓性ベースフイルム２６が確実に剥離されているか否かを判定する。これらの判定結果は、判定結果処理部１５６によって処理され、モニタ１５８に表示されるとともに、判定結果送信部１６０により他の処理装置及び生産管理コンピュータ１２７に送信される。
【００６７】
この場合、例えば、撮影部１０４によって撮影された画像に基づく判定結果として、感光性積層体２４ａに不具合があるものと判定された場合、他側の処理装置への感光性積層体２４ａの搬送処理を停止させることにより、無駄な処理を遂行してしまう事態を回避することができる。
【００６８】
なお、上述した実施形態では、１本の感光性ウエブロール２３から供給される長尺状感光性ウエブ２２をガラス基板２４に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体２４ａを製造するように構成しているが、例えば、２本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ２２を供給してガラス基板２４に貼り付け、いわゆる、２丁張り、３丁張り等の感光性積層体２４ａを製造するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本実施形態に係るラミネート装置の概略構成図である。
【図２】長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】貼り付け機構の近傍における構成斜視図である。
【図５】ラミネート装置及びラミネート制御装置における判定処理のための構成ブロック図である。
【図６】ラミネート装置の撮影部によって撮影される画像の説明図である。
【図７】従来技術に係る製造装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００７０】
２０…ラミネート装置
２２…長尺状感光性ウエブ
２４…ガラス基板
４５…基板供給機構
４６…貼り付け機構
４７、１０４…撮影部
７１…テンション測定器
７２…プリンタ
７７…基板搬送速度測定器
７８…基板温度測定器
７９…ウエブ搬送速度測定器
８５…ウエブ温度測定器
８９…圧力測定器
１１２…ＣＣＤカメラ
１２８…ラミネート制御装置
１３６…プリンタ制御部
１３７…テンション判定部
１３８…ウエブ搬送速度判定部
１４０…基板搬送速度判定部
１４２…ウエブ温度判定部
１４４…基板温度判定部
１４６…ラミネート圧力判定部
１４８…画像検査判定部
１５０…基板ＩＤ情報記憶部
１５２…判定値記憶部
１５６…判定結果処理部
１５８…モニタ
１６０…判定結果送信部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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