(57)【要約】【課題】生産性が高く、容易に製膜ができ、発光輝度を高めた無機EL素子を提供すると共に、このEL素子を備える、多くの用途に有用な照明品位の高い照明装置を提供する。【解決手段】絶縁層と発光層との間に高誘電バッファー層（第２の絶縁層）を備えることで、絶縁層と発光層の密着性を大幅に向上でき発光輝度を高めることができる。即ち、本発明によれば、背面電極、絶縁層、発光層、透明電極が順に積層されているEL素子であって、前記絶縁層は有機バインダーを含まない第1の絶縁層と、有機バインダーを含む第2の絶縁層とを含み、前記第2の絶縁層上に発光層が積層されていることを特徴とする無機EL素子が提供される。【選択図】  図２
2008251321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
背面電極、絶縁層、発光層、透明電極が順に積層されているEL素子であって、前記絶縁層は有機バインダーを含まない第1の絶縁層と、有機バインダーを含む第2の絶縁層とを含み、前記第2の絶縁層上に発光層が積層されていることを特徴とする無機EL素子。
【請求項２】
前記第1の絶縁層がセラミックス材料であることを特徴とする請求項1記載の無機EL素子。
【請求項３】
前記第1の絶縁層がチタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、及びこれらを組み合わせたものからなる群から選ばれる誘電体であることを特徴とする請求項1又は2記載の無機EL素子。
【請求項４】
前記第1の絶縁層の膜厚が、5〜200μmの範囲内であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の無機EL素子。
【請求項５】
前記第2の絶縁層が少なくとも誘電体微粒子と有機バインダーを含み、前記誘電体微粒子と有機バインダーは重量比で1：2〜49：1の割合で含まれることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の無機EL素子。
【請求項６】
前記第2の絶縁層に含まれる前記誘電体微粒子の平均粒径が50〜500nmであることを特徴とする請求項5に記載の無機EL素子。
【請求項７】
請求項1〜6のいずれか1項に記載の無機EL素子を備えることを特徴とする照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機EL素子と、これを備えることを特徴とする照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
無機EL素子は、高精細、高コントラスト、応答速度が速いといった特徴から液晶ディスプレイ用バックライト、各種インテリア用照明、車載用表示装置等への応用が期待されている。無機EL素子には素子を蒸着等の手段で通常数μmの厚さに形成する薄膜型EL素子と、スクリーン印刷等の手段で通常数10 μmの厚さに形成する分散型EL素子がある。
【０００３】
薄膜型EL素子として1974年に猪口らによって2重絶縁構造の素子が提案された。本素子は、高い輝度と長寿命を持つことが示され、車載用ディスプレイ等へと実用化された。また、2重絶縁構造を構成する一方の絶縁層に厚膜誘電体層を用いた無機ELが知られている（例えば特許文献1）。この無機EL素子では、製造工程のコンタミ等によって形成されるピンホールに起因した駆動時の絶縁破壊を減らすことができる。また、厚膜誘電体層を用いることで絶縁層の誘電率を高め、これにより絶縁層への印加電圧の分割分を少なくすることができ、駆動電圧を低下させると共に発光輝度を高めることができる。
【０００４】
一方、分散型無機EL素子は、通常PET（ポリエチレンテレフタレート）等からなる基材の片面に、ＩＴＯ（酸化インジウム）等からなる透明導電層を形成した透明電極と、有機バインダー中に蛍光体微粒子を分散してなる発光層と、有機バインダー中に誘電体微粒子を分散してなる絶縁層と、アルミニウムや銀等からなる背面電極を順次積層して構成されており、さらに防湿、耐久性向上を目的とした表面保護層が設けられている。近年、分散型EL素子の絶縁層として厚膜誘電体層を用いた報告がなされている（例えば特許文献2）。図１において、具体的には、ＰｂＮｂＯ３やＢａＴｉＯ３、ＳｒＴｉＯ３、ＰｂＴｉＯ３、（Ｓｒ，Ｃａ）ＴｉＯ３などのペーストを用い、背面電極２の上にスクリーン印刷にて絶縁層３として形成、焼成する焼成セラミックス材料が用いられ、その絶縁層３上に分散型発光層4をスクリーン印刷法にて形成、乾燥させるものである。
【特許文献１】特開昭61-230296号公報
【特許文献２】特開2005-317251号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
焼成セラミックス材料で構成された絶縁層に、スパッタリング法や真空蒸着法を用いて発光層を作製した薄膜型無機EL素子では、発光層の膜厚は1μm程度であり、この薄膜発光層を欠陥無く製膜するためには下層の平滑性が重要である。このため通常は絶縁層の研磨処理、絶縁層の複層化等の対策が必要になり、生産性は低いものとなっている。
【０００６】
一方で、上述の通り焼成セラミックス材料を絶縁層として用い、この絶縁層の上に蛍光体を有機バインダー中に分散させたペーストをスクリーン印刷することで、EL素子を作製する方法では、生産性の向上に関しては一定の解決を得たが、発光輝度を十分上げることができなかった。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、生産性が高く、容易に製膜ができ、発光輝度を高めた無機EL素子を提供すると共に、このEL素子を備える、多くの用途に有用な照明品位の高い照明装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の目的は下記手段によって達成される。
[1] 背面電極、絶縁層、発光層、透明電極が順に積層されているEL素子であって、前記絶縁層は有機バインダーを含まない第1の絶縁層と、有機バインダーを含む第2の絶縁層とを含み、前記第2の絶縁層上に発光層が積層されていることを特徴とする無機EL素子。
[2] 前記第1の絶縁層がセラミックス材料であることを特徴とする[1]記載の無機EL素子。
[3] 前記第1の絶縁層がチタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、及びこれらを組み合わせたものからなる群から選ばれる誘電体であることを特徴とする[1]又は[2]記載の無機EL素子。
[4] 前記第1の絶縁層の膜厚が、5〜200μmの範囲内であることを特徴とする[1]〜[3]のいずれか１項に記載の無機EL素子。
[5] 前記第2の絶縁層が少なくとも誘電体微粒子と有機バインダーを含み、前記誘電体微粒子と有機バインダーは重量比で1：2〜49：1の割合で含まれることを特徴とする[1]〜［4］のいずれか１項に記載の無機EL素子
[6] 前記第2の絶縁層に含まれる前記誘電体微粒子の平均粒径が50〜500nmであることを特徴とする[5]に記載の無機EL素子。
[7] [1]〜[6]のいずれか1項に記載の無機EL素子を備えることを特徴とする照明装置。
【発明の効果】
【０００９】
上記［1］に記載の発明で、絶縁層は有機バインダーを含まない第1の絶縁層と、有機バインダーを含む第2の絶縁層とを含み、前記第2の絶縁層上に発光層が積層されていることで、絶縁層の誘電率を高めた状態で発光層との密着性を高めることができる。
【００１０】
上記［2］に記載の発明で、前記第1の絶縁層がセラミックス材料であることで、ピンホールに起因した駆動時の絶縁破壊を減らすことができる。
上記［3］に記載の発明で、前記第1の絶縁層がチタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、及びこれらを組み合わせたものからなる群から選ばれる誘電体であることで、絶縁層の誘電率が高まり、無機EL素子の発光輝度が向上する。
【００１１】
上記［4］に記載の発明で、前記第1の絶縁層の膜厚が、5〜200μmの範囲内であることで、駆動時の絶縁破壊を減らすことができ、デバイスを安定駆動することができる。
上記［5］に記載の発明で、第2の絶縁層が少なくとも誘電体微粒子と有機バインダーを含み、前記誘電体微粒子と有機バインダーは重量比で1：2〜49：1の割合で含まれることで、生産性を向上させることができる。
【００１２】
上記［6］に記載の発明で、第2の絶縁層に含まれる前記誘電体微粒子の平均粒径が50〜500nmであることで、絶縁層の誘電率が高まり、無機EL素子の発光輝度が向上する。
上記［7］に記載の発明は、本発明の無機EL素子を備えることで、輝度が均一で明るく、照明品位の高い照明装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。図２は本発明の無機EL素子の一例を示す概略断面図である。本発明の無機EL素子は、背面基板11の上に、背面電極12と、有機バインダーを含まない第1の絶縁層13と、有機バインダーを含む第2の絶縁層14と、有機バインダーに無機蛍光体粒子が分散した発光層15と、透明電極16と、カバー層17とが順に積層されており、後述のEL表示装置における発光部を形成する。
【００１４】
＜背面基板＞
背面基板11は、その上部に設ける第1の絶縁層13の製膜時における焼成温度に耐えうるものでなければならない。焼成温度が600℃程度以下であればガラス基板を用いることができる。また、焼成温度が600℃を超え、1,000℃以下であれば石英基板やセラミックス基板等を用いることができる。さらに、焼成温度が1,000℃を超えた場合アルミナ、ジルコニア等のセラミックス基板、シリコンウェハを用いることができる。
【００１５】
＜背面電極＞
光を取り出さない側の背面電極12は、上層の絶縁層形成時の加熱焼成後も導電性を保つ材料であることが必要とされる。この背面電極12には、例えばAuやPd、Ptのような貴金属や、Cr、W、Mo、Ni等の金属、またはこれらの合金を用いることができる。これらの材料は焼成温度、焼成雰囲気、導電性によって選ばれる。
【００１６】
＜絶縁層＞
第1の絶縁層13は有機バインダーを含まないことを特徴とし、好ましくは強誘電体材料からなる。強誘電体材料を用いることで、絶縁層の静電容量を充分大きくすることができ、絶縁層への印加電圧の分割分を低下させることが可能となる。第1の絶縁層13の比誘電率は、好ましくは500〜25000であり、より好ましくは1000〜10000である。基本となる誘電体は、高誘電率を得るためにペロブスカイト構造を有するセラミック材料が好ましく、例えばPbNbO3、BaTiO3、BaTixZr1-xO3、SrTiO3、PbTiO3、（Sr, Ca）TiO3、PbZr1-xTixO3などが挙げられる。より好ましくはBaTiO3、BaTixZr1-xO3、PbZr1-xTixO3、及びこれらを組み合わせたものからなる群から選ばれる誘電体である。
【００１７】
第1の絶縁層13の膜厚は、厚くするほうが絶縁破壊に対する信頼性が向上するが、厚くすることで静電容量が減少するため、その膜厚は200μm以下が好ましい。一方、膜厚を薄くした場合は、膜厚減少による絶縁破壊の信頼性が低下するため、5μm以上の膜厚が好ましい。この第1の絶縁層13は、誘電体材料粉末と有機バインダーと混合・撹拌し、塗布により製膜した後、加熱焼成する方法、誘電体材料粉末と有機バインダーを混合しキャスティングによりグリーンシートを作製し、電極と積層圧着した後、焼成する方法などの手法により作製することができる。製膜はキャスティング、ドクターブレード、スクリーン印刷等の周知の厚膜技術で形成される。製膜後、所定の温度で上記誘電体材料の前駆体を焼成して、誘電体からなる第1の絶縁層13を形成する。また、所定の膜厚を得るために複数回製膜しても良い。
【００１８】
第2の絶縁層14は、少なくとも誘電体微粒子と有機バインダーを含む。誘電体微粒子としては、誘電率と絶縁性が高く、且つ高い誘電破壊電圧を有する材料であれば任意のものが用いられる。これらは金属酸化物、窒化物から選択され、例えばTiO2、BaTiO3、SrTiO3、PbTiO3、KNbO3、PbNbO3、Ta2O5、BaTa2O6、LiTaO3、Y2O3、Al2O3、ZrO2、AlON、ZnSなどが用いられる。絶縁層全体の静電容量を低下させないためには、BaTiO3、BaTixZr1-xO3、PbZr1-xTixO3等の強誘電体材料を用いることがより好ましい。誘電体微粒子の粒径は、小さいほうが第2の絶縁層の膜厚を減少でき静電容量を向上させることができるが、一般的に誘電体微粒子の粒径は小さくなるとその誘電率は低下するという相反する関係にある。また、誘電体微粒子の粒径が小さすぎると粒子の凝集が強く、スクリーン印刷などに適したペーストの調製が困難になる傾向がある。従って、本発明で用いられる誘電体微粒子の粒径は、50〜500nmの範囲内であるのが好ましい。
【００１９】
有機バインダーとしては、シアノエチルセルロース系樹脂のように、比較的誘電率の高いポリマーや、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ化ビニリデンなどの樹脂を用いることができる。分散方法としては、ホモジナイザー、遊星型混練機、ロール混練機、超音波分散機などを用いることができる。
【００２０】
本発明で用いる第2の絶縁層14の誘電率は、静電容量を減少させないために高いほうがより好ましい。第２の絶縁層の比誘電率は好ましくは300以下である。第2の絶縁層の誘電率を向上させるためには有機バインダーの添加量を減少させる必要があるが、有機バインダー量を減少させると均質な製膜が困難になる、発光層との密着性が低下するなどの問題が生じ、逆に発光輝度の低下を招く。従って、誘電体微粒子と有機バインダーは重量比で1：2〜49：1の割合で含まれるほうが好ましく、特に好ましいのは1：1〜9：1である。
【００２１】
第2の絶縁層14は、スピンコート法、ディップコート法、バーコート法、あるいはスプレー塗布法などを用いて塗布することが好ましい。特に、スクリーン印刷法のような印刷面を選ばない方法やスライドコート法のような連続塗布が可能な方法を用いることが好ましい。例えば、スクリーン印刷法は、誘電体の微粒子を高誘電率のポリマー溶液に分散した分散液を、スクリーンメッシュを通して塗布する。メッシュ数、乳剤膜厚、印刷速度、スキージの硬さ、塗布回数を選択することにより膜厚を制御できる。本発明における第2の絶縁層14の膜厚を厚くした場合には、均質な膜が作製しやすく膜、発光層との密着性も充分得られるが、その一方で第1の絶縁層13の膜厚を厚くした場合同様に、静電容量が減少するため、駆動電圧の上昇といった課題が生じる。そのため、第2の絶縁層14の膜厚は0.1〜50μmが好ましく、0.5〜10μmがより好ましい。
【００２２】
＜発光層＞
発光層15は、蛍光体粒子を有機バインダーに分散したものを用いる。有機バインダーとしては、第2の絶縁層と同様に、シアノエチルセルロース系樹脂のように、比較的誘電率の高いポリマーや、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン系樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ化ビニリデンなどの樹脂を用いることができる。これらの樹脂に、BaTiO3やSrTiO3などの高誘電率の微粒子を適度に混合して誘電率を調整することもできる。分散方法としては、ホモジナイザー、遊星型混練機、ロール混練機、超音波分散機などを用いることができる。本発明で用いる蛍光体粒子と有機バインダーは重量比で4.2：1〜20：1が好ましく、特に好ましいのは4.5：1〜10：1である。
【００２３】
発光層15は、スピンコート法、ディップコート法、バーコート法、あるいはスプレー塗布法などを用いて塗布することが好ましい。特に、スクリーン印刷法のような印刷面を選ばない方法やスライドコート法のような連続塗布が可能な方法を用いることが好ましい。本発明で用いる発光層15の膜厚は100μm以下が好ましく、1〜50μmがより好ましい。
【００２４】
＜蛍光体微粒子＞
本発明に用いる蛍光体微粒子の製造方法は、特に限定されないが焼成法、尿素溶融法、噴霧熱分解法、水熱合成法などを用いることができる。
【００２５】
本発明に利用可能な蛍光体粒子を、硫化亜鉛を母体として、固相法で形成する場合、先ず液相法で10〜50nmの微粒子粉末を作製し、これを一次粒子として用い、これに付活剤と呼ばれる不純物を混入させて融剤とともに坩堝にて900〜1300℃の高温で30分〜10時間、第1の焼成を行い、粒子を得る。
【００２６】
第1の焼成によって得られる中間蛍光体粉末をイオン交換水で繰り返し洗浄してアルカリ金属ないしアルカリ土類金属及び過剰の付活剤、共付活剤を除去する。
次いで、得られた中間体粉末に第2の焼成を施す。第2の焼成は、第1の焼成より低温の500〜800℃で、また短時間の30分〜3時間の加熱をする。
【００２７】
これらの焼成により蛍光体粒子内には多くの積層欠陥が発生するが、微粒子で且つより多くの積層欠陥が蛍光体粒子内に含まれるように、第1の焼成と第2の焼成の条件を適宜選択することが好ましい。
【００２８】
また、第1の焼成物に、ある範囲の大きさの衝撃力を加えることにより、粒子を破壊することなく、積層欠陥の密度を大幅に増加させることができる。衝撃力を加える方法としては、中間蛍光体粒子同士を接触混合させる方法、アルミナ等の球体を混ぜて混合させる（ボールミル）方法、粒子を加速させて衝突させる方法、超音波を照射する方法などを好ましく用いることができる。これらの方法により、5nm以下の間隔で10層以上の積層欠陥を有する粒子を形成することができる。
【００２９】
その後、該中間蛍光体を、HCl等の酸でエッチングして表面に付着している金属酸化物を除去し、さらに表面に付着した硫化銅を、KCNで洗浄して除去する。続いて該中間蛍光体を乾燥してEL蛍光体を得る。
【００３０】
また、硫化亜鉛の場合などは、蛍光体結晶中に多重双晶構造を導入するため、蛍光体の粒子形成方法として、水熱合成法を用いることも好ましい。水熱合成法では、粒子は、よく撹拌された水溶媒に分散されており、且つ粒子成長を起こす亜鉛イオン及び/又は硫黄イオンは、反応容器外から、水溶液で制御された流量で、決められた時間で添加する。従って、この系では粒子は水溶媒中で自由に動くことができ、かつ添加されたイオンは水中を拡散して粒子成長を均一に起こすことができるため、粒子内部における付活剤若しくは共付活剤の濃度分布を変化させることが可能で、サイズ分布の狭い単分散な硫化亜鉛粒子を得ることが可能となる。核形成過程と成長過程の間に、オストワルド熟成工程を入れることが粒子サイズの調節及び、多重双晶の実現のために好ましい。
【００３１】
また、本発明に利用可能な蛍光体の形成方法として、尿素溶融法を用いることも好ましい。尿素溶融法は、蛍光体を合成する媒体として溶融した尿素を用いる方法である。尿素を融点以上の温度に維持して溶融状態にした液中に、蛍光体母体や付活剤を形成する元素を含む物質を溶解する。必要に応じて、反応剤を添加する。例えば、硫化物蛍光体を合成する場合は、硫酸アンモニウム、チオ尿素、チオアセトアミドなどの硫黄源を添加して沈殿反応を起こさせる。その融液を450℃程度まで徐々に昇温すると、蛍光体粒子や蛍光体中間体が、尿素由来の樹脂中に均一分散した固体が得られる。この固体を微粉砕した後、電気炉中で樹脂を熱分解させながら焼成する。焼成雰囲気として、不活性雰囲気、酸化性雰囲気、還元性雰囲気、アンモニア雰囲気、真空雰囲気を選択することで、酸化物、硫化物、窒化物を母体として蛍光体粒子が合成できる。
【００３２】
また、本発明に利用可能な蛍光体の形成方法として、噴霧熱分解法を用いることも好ましい。蛍光体の前駆体溶液を、霧化器を用いて微小液滴化して、液滴内での凝縮や化学反応または液滴周囲の雰囲気ガスとの化学反応により、蛍光体粒子または蛍光体中間生成物を合成できる。液滴化の条件を好適にすることで、微粒子化、微量不純物の均一化、球形化、狭粒子サイズ分布化した粒子を得ることができる。微小液滴を生成する霧化器としては、2流体ノズル、超音波霧化器、静電霧化器を用いることが好ましい。霧化器によって生成した微小液滴を、キャリアガスで電気炉などに導入し、加熱することで、脱水・縮合し、さらに液滴内物質同士の化学反応や焼結、または雰囲気ガスとの化学反応により目的とする蛍光体粒子または蛍光体中間生成物を得る。得られた粒子を、必要に応じて追加焼成する。例えば、硫化亜鉛蛍光体を合成する場合は、硝酸亜鉛とチオ尿素の混合液を霧化し、800℃程度で、不活性ガス（例えば窒素）中で熱分解して、球形の硫化亜鉛蛍光体を得る。出発溶液の混合溶液中に、Mn、Cu及び希土類などの微量不純物を溶解させておけば、これらの不純物は発光中心として作用する。
【００３３】
蛍光体粒子の付活剤として銅、マンガン、銀、金及び希土類元素から選択された少なくとも一種のイオンを好ましく用いることができる。
共付活剤が塩素、臭素、ヨウ素、及びアルミニウムから選択された少なくとも一種のイオンを好ましく用いることができる。
【００３４】
＜透明電極＞
本発明のEL素子においては、透明電極は一般的に用いられている任意の透明電極材料が用いられる。例えば、錫ドープ酸化インジウム、フッ素ドープ酸化錫、アンチモンドープ酸化錫、アルミニウムドープ酸化亜鉛、ガリウムドープ酸化亜鉛などの酸化物及びそれらの微粒子と有機バインダーからなる導電性ペースト、銀の薄膜を高屈折率層で挟んだ多層構造、ポリアニリン、ポリピロールなどのπ共役系高分子などが挙げられる。透明電極の表面抵抗は、0.1Ω/□〜200Ω/□の範囲が好ましい。
【００３５】
＜ＥＬ表示装置＞
本発明の無機ＥＬ素子を用いて無機ＥＬ表示装置が得られる。無機ＥＬ表示素子には無機ＥＬ素子自体の発光を用いて表示する場合と、別途無機ＥＬ素子の発光方向に表示素子を設ける場合が挙げられる。無機ＥＬ素子自体の発光を用いて表示する場合、例えば素子の発光を制御して情報を表示する場合、特に複数の素子の発光を制御する場合、更に異なる色の複数の素子の発光を制御する場合、などが挙げられる。例えば緑、青、赤の発光をする無機ＥＬ素子を周期的に複数配列し、これらの発光を制御することがカラー画像などを得ることができる。一方、表示素子を別途設ける場合は、例えばＬＣＤパネルなどの透過型表示素子を発光方向に配置することでＬＣＤ表示装置のような透過型表示装置となる。なおここで述べる表示装置とはこれら表示能を有するデバイス、これらデバイスに情報処理装置、チューナー、スピーカーなど種々の部材を追加したテレビ受像機、モニター装置、ノートパソコンなどを含む。
【実施例】
【００３６】
以下に、本発明について更に詳細に説明する。なお、本発明はここに説明する実施例に限定されるものではない。
(実施例1）
背面基板にはジルコニア（日本ファインセラミックス製：3Yジルコニア、0.5mm厚）を用いた。この上にPtペースト（田中貴金属製：TR7091）をスクリーン印刷し、1400℃で1時間焼成して背面電極を形成した。第1の絶縁層は、誘電体材料としてBaTiO3（平均粒径500nm）6ｇ、有機ビヒクル（エチルセルロース）0.12ｇ、溶媒（テルピネオール）1.7ｇからなるペーストを調製し、背面電極の上にスクリーン印刷し、1400℃で1時間焼成を行った。このプロセスを3回繰り返し、膜厚が約30μmの誘電体厚膜Aを形成した。これにAu電極を作製しLCRメーター（Agilent製：E4980A）にて測定した比誘電率は2000であった。
【００３７】
第2の絶縁層は、誘電体微粒子としてBaTiO3（平均粒径500nm）および有機バインダーとしてシアノレジン（信越化学社製：CR-V）を下記の組成比でジメチルホルムアミド（DMF）に添加し、遊星型撹拌脱泡機（シンキー社製：AR-250）にて分散させ、スクリーン印刷に適切な粘度に調整した。
【００３８】
チタン酸バリウム・・・・・・・・90重量部
シアノレジン・・・・・・・・・・30重量部
スクリーン印刷を用いて上記誘電体ペーストを乾燥塗膜の膜厚が5μmになるように誘電体厚膜A上に印刷した。印刷後、120℃で乾燥して誘電体厚膜積層体Bを得た。別途、本誘電体ペーストをPt電極を備えたジルコニア基板上に製膜し、Au電極を取り付けLCRメーター（Agilent製：E4980A）にて測定した比誘電率は90であった。
【００３９】
蛍光体ペーストの調製は以下のようにして行った。蛍光体粒子（オスラムシルバニア製  GG45）と有機バインダーとしてシアノレジン（信越化学社製：CR-V）を下記の組成比でDMF有機溶媒中に添加し、遊星型撹拌脱泡機にて分散させ、スクリーン印刷に適切な粘度に調整した。
【００４０】
蛍光体粒子・・・・・・・・・・・60重量部
シアノレジン・・・・・・・・・・10重量部
スクリーン印刷を用いて上記蛍光体ペーストを乾燥塗膜の膜厚が30μmになるように誘電体厚膜積層体B上に印刷した。印刷後、120℃で乾燥して積層体を得た。
【００４１】
透明電極は、ITOゾルペースト（住友金属鉱山製：SC120）を用い、スクリーン印刷にて印刷後、120℃で乾燥し、EL素子を得た。
上記のように作製された無機EL素子の透明電極一端に接続した電圧印加用リード線と、背面電極の一端に接続した電圧印加用リード線との間に100V、400Hzの電圧を印加し、EL素子を発光させ、その輝度を色彩輝度計（トプコン社製  BM7）にて測定したところ、その発光輝度は136cd/m2であった。
【００４２】
（実施例2）
第1の絶縁層の誘電体材料としてBaTixZr1-xO3（平均粒径500nm）6ｇ、有機ビヒクル（エチルセルロース）0.12ｇ、溶媒（テルピネオール）1.7ｇからなるペーストを用いた以外は実施例１と同様の方法にて無機ＥＬ素子を作成した。このとき実施例１と同様の方法で評価した第1の絶縁層の比誘電率は2300であり、ＥＬ素子の発光輝度は145cd/m2であった。
【００４３】
（実施例3）
BaTiO3（平均粒径100nm）10ｇ、有機ビヒクル（エチルセルロース）1ｇ、可塑剤としてジブチルフタレート0.5ｇ、溶媒（テルピネオール）4.5ｇからなるペーストをボールミルで48時間混練して、セラミックスグリーンシート用のスラリーを得た。
【００４４】
前記のスラリーを離型処理したポリエステルフィルム上に流延し、常温で30分間風乾した後、熱風乾燥機を用いて約80℃で1時間乾燥し、セラミック基体となるグリーンシートを作製した。このグリーンシート上にスクリーン印刷によりNiペーストを印刷し、電極を作製した。前記のスラリーを用いて第1の絶縁層用のグリーンシートを別途キャスティング製膜し、前記Ni電極積層したグリーンシート上に積層圧着し、端部の不要部分を切断した後、1300℃で焼成し、積層セラミック構造体を作製した。焼成後、第1の絶縁層の膜厚は200μmであった。これにAu電極を作製し測定した誘電率は3000であった。
【００４５】
前記積層セラミック構造体を第1の絶縁層として用いた以外は実施例1と同様な方法にて、無機EL素子を作製し、発光輝度の測定を実施したところ104cd/m2であった。
（実施例4）
第１の絶縁層の誘電体材料としてPbZr1-xTixO3（平均粒径500nm）6ｇ、有機ビヒクル（エチルセルロース）0.12ｇ、溶媒（テルピネオール）1.7ｇからなるペーストを用いた以外は、実施例1と同様にして無機EL素子を作製した。このとき実施例１と同様にして評価した第１の絶縁層の誘電率は1450であり、EL素子の発光輝度は121cd/m2であった。
【００４６】
（実施例5）
第１の絶縁層の膜厚が300μmである以外は、実施例1と同様にして作製した無機EL素子の透明電極の一端に接続した電圧印加用リード線と、背面電極の一端に接続した電圧印加用リード線との間に100V、400Hzの電圧を印加し、EL素子を発光させ、その輝度を色彩輝度計（トプコン社製  BM7）にて測定したところ、その発光輝度は95cd/m2であった。
【００４７】
（実施例6）
第２の絶縁層の誘電体粒子と有機バインダーの重量比を１：３にして誘電体ペーストを調製した以外は、実施例1と同様にして作製した無機EL素子の透明電極の一端に接続した電圧印加用リード線と、背面電極の一端に接続した電圧印加用リード線との間に100V、400Hzの電圧を印加し、EL素子を発光させ、その輝度を色彩輝度計（トプコン社製  BM7）にて測定したところ、その発光輝度は103cd/m2であった。
【００４８】
（比較例1）
第2の絶縁層を備えない以外は、実施例1と同様にして作製した無機EL素子の透明電極一端に接続した電圧印加用リード線と、背面電極の一端に接続した電圧印加用リード線との間に100V、400Hzの電圧を印加し、EL素子を発光させ、その輝度を色彩輝度計（トプコン社製  BM7）にて測定したところ、その発光輝度は82cd/m2であった。
【００４９】
（比較例2）
第2の絶縁層を備えない以外は、実施例3と同様にして作製した無機EL素子の透明電極一端に接続した電圧印加用リード線と、背面電極の一端に接続した電圧印加用リード線との間に100V、400Hzの電圧を印加し、EL素子を発光させ、その輝度を色彩輝度計（トプコン社製  BM7）にて測定したところ、その発光輝度は62cd/m2であった。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】図１は従来の無機EL素子断面の概略図である。
【図２】図２は本発明の無機EL素子断面の概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
1．背面基板
2．背面電極
3．絶縁層
4．発光層
5．透明電極
6．カバー層
11．背面基板
12．背面電極
13．第1の絶縁層
14．第2の絶縁層
15．発光層
16．透明電極
17．カバー層
【図１】
2008251321.tif 000003
【図２】
2008251321.tif 000004