(57)【要約】【課題】被加工物に、第１の孔と、第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成されている場合に、第１の孔の周壁部と第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を、略曲面状に加工することが可能な電解加工方法を提供する。【解決手段】第１の孔１１に、第２の孔１２の開口部１２ｂに対向する部位が開口した絶縁部材２を配置して、絶縁部材２と第１の孔１１の周壁部１１ａとの間の少なくとも第２の孔１２の開口部１２ｂの周囲に、チャンバー６を設け、第１の孔１１または第２の孔１２の少なくとも一方に電極を挿入し、第１の孔１１から第２の孔１２の開口部１２ｂを介して第２の孔１２に電解液を流入させるとともに、被加工物１と電極との間に電流を供給して、エッジ部１３を加工する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の孔と前記第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成された被加工物の、前記第１の孔の周壁部と前記第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を加工する電解加工方法であって、
前記第１の孔に、前記第２の孔の開口部に対向する部位が開口した絶縁部材を配置して、前記絶縁部材と前記第１の孔の周壁部との間の少なくとも前記第２の孔の開口部の周囲に、チャンバーを設け、
前記第１の孔または前記第２の孔の少なくとも一方に、電極を挿入し、
前記第１の孔から前記第２の孔の開口部を介して前記第２の孔に電解液を流入させるとともに、前記被加工物と前記電極との間に電流を供給して、前記エッジ部を加工することを特徴とする電解加工方法。
【請求項２】
前記第１の孔の周壁部の、前記第２の孔の開口部の周囲に、前記第１の孔の径方向における外方に凹む凹部を設けることにより、前記チャンバーを設けることを特徴とする請求項１記載の電解加工方法。
【請求項３】
第１の孔と前記第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成された被加工物の、前記第１の孔の周壁部と前記第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を加工するための電解加工装置であって、
前記第１の孔に挿入される第１の電極と、
前記第２の孔に挿入される第２の電極と、
を備え、
前記第１の電極には、前記第２の電極の先端部が挿入される被挿入部が形成されていることを特徴とする電解加工装置。
【請求項４】
前記第１の電極と前記第１の孔の周壁部との間に配設されて、前記第２の孔の開口部に対向する部位が開口し、前記第１の孔の周壁部との間の少なくとも前記第２の孔の開口部の周囲にチャンバーを形成する絶縁部材を備えることを特徴とする請求項３記載の電解加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物と電極との間に電解液を満たして両者間に電流を供給することにより行う電解加工方法及び電解加工装置に関し、特に、被加工物に、第１の孔と、第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成されている場合に、第１の孔の周壁部と第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を、略曲面状に加工するための電解加工方法及び電解加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電解加工方法は、図９（ａ）に示すように、電極１０２の形状を、製品の形状に合わせて形成しておき、硝酸ナトリウム（ＮａＮＯ3）や塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）等の水溶液からなる電解液１０３中で、電極１０２と被加工物１０１とを所定の間隔を置いて対向させ、被加工物１０１と電極１０２との間にパルス電流を供給することにより行っていた。
【０００３】
被加工物が鉄材であるとして、電解加工のメカニズムについて説明すると、被加工物１０１は電流供給開始時に、酸化膜Ｆｅ2Ｏ3に覆われた状態であり、この状態で電流が供給されると、酸化膜は、Ｆｅ2Ｏ3＋６Ｈ+＋２ｅ→２Ｆｅ2+＋３Ｈ2Ｏで示される反応によって電解液中に溶解する。そして、Ｆｅ2+＋２ＯＨ-→Ｆｅ（ＯＨ）2で示される反応により、スラッジＦｅ（ＯＨ）2が発生し、一方、２Ｈ+＋２ｅ→Ｈ2で示される反応により、水素ガスが発生する。電流が停止されると、スラッジとガスの排出が、電解液の流れにより促進され、被加工物１０１の母材が表面に現れて、被加工物１０１の表面が再び酸化膜で覆われる。そして、電流の供給、停止が繰り返されることにより、かかる酸化膜生成、酸化膜溶解、スラッジ及びガスの発生、スラッジ及びガスの排出、が繰り返されて、被加工物１０１の加工が進展することとなる。
【０００４】
ここで、従来の電解加工方法では、図９（ｂ）に示すように、加工が進むにつれて電極１０２を被加工物１０１の方に送ることにより、電極１０２と被加工物１０１との間隔を一定に保ち、電解液の流れの安定を図って、電極１０２の形状を、被加工物１０１に、いわば転写していた。
【０００５】
なお、従来の電解加工装置としては、次のものが知られている。
【特許文献１】特開平９−１４１５２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の電解加工方法では、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、被加工物１に、第１の孔１１と、第１の孔１１に交差する第２の孔１２とが形成されている場合に、第１の孔１１の周壁部１１ａと第２の孔１２の周壁部１２ａとが接する部分であるエッジ部１３に、転写により、図１０（ｃ）のようなＲ付け（曲面付け、丸み付け）加工をしようとしても、第１の孔１１と第２の孔１２との交差部分に対して、Ｒ形状を有する電極を挿入し、加工が進むにつれてその電極を送ることは、困難であるという問題があった。
【０００７】
ここで、交差とは、十字をなすように交わる場合のみならず、一方が他方に突き当たった状態で交わる場合（例えば、図１０の第１の孔１１と第２の孔１２のように略Ｔ字形状をなす場合や、略Ｙ字形状をなす場合）も含むものとする。かかる２つの孔の交差部分が、例えば高圧燃料の通路となるような場合には、その交差部分のエッジ部を丸めておくことが、耐圧性向上のためには望ましい。
【０００８】
そこで、図１１に示すように、第２の孔１２からのみ電極１０４を挿入し、電解液を第１の孔１１から第２の孔１２に流入させるとともに、被加工物１と電極１０４との間に電流を供給すると、エッジ部１３は電解加工されるが、単に角を取る所謂ダラシ加工や、バリ取り加工はできるものの、Ｒ付け加工を含めて、エッジ部１３を略曲面状にする加工はできないという問題があった。なお、第２の孔１２の加工したくない部分には、絶縁部材１０５を対向させている。
【０００９】
また、図１２に示すように、第１の孔１１からのみ電極１０６を挿入し、電解液を電極１０６内に形成された流路１０６ｂを介して、第１の孔１１に流入させ、第１の孔１１から第２の孔１２に流入させると、エッジ部１３は加工されるが、やはりダラシ加工やバリ取り加工はできるものの、略曲面状にする加工はできないという問題があった。なお、電極１０６には第２の孔１２に対向させて突出部１０６ａが形成され、また、第１の孔１１には絶縁部材１０７が挿入されて、加工したくない部分を覆っている。
【００１０】
この発明は、上述した問題を解決するものであり、被加工物に、第１の孔と、第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成されている場合に、第１の孔の周壁部と第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を、略曲面状に加工することが可能な電解加工方法を提供することを目的とする。
【００１１】
なお、この明細書及び特許請求の範囲において、略曲面状とは、略滑らかに曲がった面をなしている状態を言い、複数の曲がった面が略滑らかに連続している状態（波形面状）も含む意である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の電解加工方法は、第１の孔と前記第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成された被加工物の、前記第１の孔の周壁部と前記第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を加工する電解加工方法であって、前記第１の孔に、前記第２の孔の開口部に対向する部位が開口した絶縁部材を配置して、前記絶縁部材と前記第１の孔の周壁部との間の少なくとも前記第２の孔の開口部の周囲に、チャンバーを設け、前記第１の孔または前記第２の孔の少なくとも一方に、電極を挿入し、前記第１の孔から前記第２の孔の開口部を介して前記第２の孔に電解液を流入させるとともに、前記被加工物と前記電極との間に電流を供給して、前記エッジ部を加工することを特徴とする。
【００１３】
これによれば、チャンバーが電解液の液溜りになることにより、第１の孔から第２の孔に流れ込むときの電解液の急縮が抑制されて、電解液の流れが安定化するので、第１の電極及び第２の電極を、送りを行わない固定電極としても、第１の電極及び第２の電極と被加工物との間隔の変化による電解液の流れの変化を抑制でき、安定してガスやスラッジを排出でき、エッジ部の加工形状を安定化できるとともに、エッジ部を略曲面状に加工することが可能となる。
【００１４】
なお、前記第１の孔の周壁部の、前記第２の孔の開口部の周囲に、前記第１の孔の径方向における外方に凹む凹部を設けることにより、前記チャンバーを設けることとしてもよい。
【００１５】
本発明の電解加工装置は、第１の孔と前記第１の孔の周壁部に開口する第２の孔とが形成された被加工物の、前記第１の孔の周壁部と前記第２の孔の周壁部とが接する部分であるエッジ部を加工するための電解加工装置であって、前記第１の孔に挿入される第１の電極と、前記第２の孔に挿入される第２の電極と、を備え、前記第１の電極には、前記第２の電極の先端部が挿入される被挿入部が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
これによれば、第１の電極を第１の孔に挿入し、第２の電極を第２の孔に挿入して、第２の電極の先端部を第１の電極の被挿入部に挿入することにより、１つの電極では挿入が困難な２つの孔が交差する部分にも電極を配置することができ、２つの孔の周壁部が接するエッジ部に電流を集中させて、エッジ部を略曲面状に加工することが可能となる。
【００１７】
ここで、前記第１の電極と前記第１の孔の周壁部との間に配設されて、前記第２の孔の開口部に対向する部位が開口し、前記第１の孔の周壁部との間の少なくとも前記第２の孔の開口部の周囲にチャンバーを形成する絶縁部材を備えることが好ましい。
【００１８】
これによれば、チャンバーが電解液の液溜りになることにより、第１の孔から第２の孔に流れ込むときの電解液の急縮が抑制されて、電解液の流れが安定化するので、第１の電極及び第２の電極を、送りを行わない固定電極としても、第１の電極及び第２の電極と被加工物との間隔の変化による電解液の流れの変化を抑制でき、安定してガスやスラッジを排出でき、エッジ部の加工形状を安定化できるとともに、エッジ部を略曲面状に加工することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（第１実施形態）本発明の第１実施形態の電解加工方法について、図面に基づいて説明する。図１及び図２に示すように、鉄製の被加工物１には、断面略円形の第１の孔１１と、断面略円形の第２の孔１２とが形成されている。第２の孔１２は、第１の孔１１よりも小径である。第２の孔１２は、図１０に示すように、第１の孔１１に対して略Ｔ字形状をなすように交差しており、第１の孔１１の周壁部１１ａに一端が開口している。本実施形態では、絶縁性を有する部材（以下、絶縁部材と言う。）２と、第１の電極３と、第２の電極４とを備えた電解加工装置を用いて、第１の孔１１の周壁部１１ａと第２の孔１２の周壁部１２ａとが接する部分（すなわち、周壁部１１ａと周壁部１２ａとをつなぐ部分）であるエッジ部１３を加工する。
【００２０】
絶縁部材２は、有底の略円筒形状に形成されている。絶縁部材２の上壁部２２は、中央部に略円形状の挿入口２３が形成された略円環状をなし、外径は第１の孔１１と略同径とされている。絶縁部材２の下壁部２１は、第１の孔１１と略同径の略円形状をなしている。絶縁部材２の周壁部２４は、挿入口２３よりも大径で第１の孔１１よりも小径の外径を有する略円筒形状とされている。すなわち、下壁部２１と上壁部２２とは、周壁部２４よりも外側に鍔状に突出している。周壁部２４には、上壁部２２と下壁部２１との中間位置に、第２の孔１２よりも大径の略円形状の開口部２５が形成されている。
【００２１】
第１の電極３は、有底の略円筒形状に形成され、外径は挿入口２３と略同径である。第１の電極３の上端には、流入口３４が形成されている。第１の電極３の周壁部３３には、２つの流出口３１が、互いに対向するように形成されている。各流出口３１は、開口部２５より小径で、第２の電極４よりも大径の略円形状をなしている。
【００２２】
第２の電極４は、第２の孔１２よりも小径の略丸棒状に形成されており、先端部４１とは反対側の基端部には、絶縁部材４２が配設されている。
【００２３】
次に、以上のように構成された絶縁部材２、第１の電極３、及び、第２の電極４の配置手順について説明する。
【００２４】
本実施形態では、まず、絶縁部材２を、開口部２５が周壁部１１ａにおける第２の孔１２の開口部１２ｂに対向するように、第１の孔１１内に挿入する。
【００２５】
次に、第１の電極３を、挿入口２３から絶縁部材２内に、流出口３１の１つが開口部１２ｂに対向するように、絶縁部材２内に挿入する。流出口３１、３１を区別するときは、開口部１２ｂに対向する流出口３１を流出口３１ａ、その反対側の流出口３１を流出口３１ｂと表記する。流出口３１ａは、開口部２５の開口面を介して開口部１２ｂと対向し、流出口３１ａの周囲に相当する第１の電極３の一部が、開口部１２ｂの周囲と対向することとなる。流出口３１ａは、後述するように、第２の電極４の先端部４１が挿入される被挿入部となる。
【００２６】
そして、第１の電極３の周壁部３３と絶縁部材２の周壁部２４との間には間隔があき、周壁部２４と第１の孔１１の周壁部１１ａとの間にも間隔があくことから、周壁部３３と周壁部１１ａとの間には間隔が置かれることとなる。また、第１の電極３の下壁部３２と絶縁部材２の下壁部２１との間にも、間隔が置かれる。
【００２７】
なお、絶縁部材２内に第１の電極３を挿入しておいてから、その絶縁部材２を第１の孔１１内に挿入してもよい。
【００２８】
次に、第２の電極４を、第２の孔１２内に、第２の孔１２の周壁部１２ａとの間に間隔を置いて、開口部１２ｂとは反対側の開口部から挿入する。そして、第２の電極４の先端部４１を、開口部１２ｂから第１の孔１１内に突出させる。すなわち、第２の電極４の先端部４１を含む一部を、開口部１２ｂから第１の孔１１内に延設する。
【００２９】
そして、さらに、第２の電極４の先端部４１を、開口部２５に挿通して、流出口３１ａ内に挿入する。ここで、先端部４１が流出口３１ａに挿入できるということは、開口部２５及び流出口３１ａが開口部１２ｂに対向しており、第２の電極４が第２の孔１２の軸方向に略沿って挿入されていることを意味する。すなわち、先端部４１を流出口３１ａに挿入することにより、絶縁部材２、第１の電極３、及び、第２の電極４を正しく配置できることとなる。
【００３０】
また、被加工物１が＋側、第１の電極３及び第２の電極４が−側になるように、被加工物１と第１の電極３及び第２の電極４との間に、パルス電源５を接続する。なお、この接続は、絶縁部材２、第１の電極３、及び、第２の電極４の上述した配置の前か後かを問わない。
【００３１】
以上のように、絶縁部材２、第１の電極３、及び、第２の電極４を配置後、図示しないポンプにより、流入口３４を介して第１の電極３内に電解液（本実施形態ではＮａＮＯ3）を供給する。電解液は、図１及び図２の矢印に示すように、各流出口３１から、第１の電極３と絶縁部材２との間に流出し、さらに、開口部２５から、絶縁部材２と周壁部１１ａとの間に流出する。なお、流出口３１ｂから流出した電解液は、第１の電極３の周壁部３３と、絶縁部材２の周壁部２４との間を流通して、開口部２５から流出する。開口部２５から流出した電解液は、開口部１２ｂを介して第２の孔１２に流入する。
【００３２】
電解液は、第１の孔１１内の絶縁部材２の上壁部２２から下壁部２１までの部分と、第２の孔１２内とを満たした状態で、第１の孔１１から第２の孔１２へ流れるように、供給され続ける。なお、電解液が満たされた電解液槽内に被加工物１を配置するか否かは問わない。
【００３３】
そして、電解液を供給する一方、パルス電源５により、被加工物１と第１の電極３との間、及び、被加工物１と第２の電極４との間に、パルス電流を供給する。すると、図３の矢印に示すように、絶縁部材２及び絶縁部材４２に対向する部分を除いて、被加工物１は、第１の電極３と第２の電極４から電流を受けることとなる。特に、エッジ部１３の角部１３ａは、開口部１２ｂの周囲に対向する第１の電極３の一部と、開口部１２ｂ（開口部１２ｂの周縁部がエッジ部１３に相当する。）を通って第１の孔１１内に配置される第２の電極４の一部とから電流を受けて、電流が集中することとなるので、エッジ部１３は略曲面状に加工されることとなる。また、第１の電極３と第２の電極４の両方からの電流を受けるので、エッジ部１３の加工速度が速くなるとともに、要求されるＲ（曲率半径）の大きさの確保が可能となる。
【００３４】
また、第１の電極３の周壁部３３には、流出口３１、３１が対向して設けられ、下壁部３２には流出口が設けられていないので、電解液が第１の電極３から対称的に流出し、電解液の流れの偏りは小さくなる。このため、エッジ部１３を通過する電解液の流れも、エッジ部１３全周で略均等となって乱れにくくなり、エッジ部１３の加工形状を安定させることができる。
【００３５】
さらに、絶縁部材２の開口部２５は、上壁部２２と下壁部２１との中間位置に形成されており、開口部２５の位置に合わせて流出口３１ａが配置されることから、流出口３１ａ、３１ｂは、上壁部２２と下壁部２１との中間位置に配置される。このため、開口部１２ｂには、図２における上側と下側とから略均等に電解液が流れ込んで、流れが乱れにくくなり、エッジ部１３の加工形状は更に安定することとなる。
【００３６】
また、図４に示すように、電解液の供給方向を変えた実験では、第２の孔１２から第１の孔１１に電解液を供給した場合（正流方向）には、エッジ部１３に角やしわが発生し、第１の孔１１から、第２の孔１２の軸方向に略沿って、第２の孔１２に電解液を供給した場合（逆流方向）には、エッジ部１３にＲ付けが可能であり、第１の孔１１から、第２の孔１２の軸方向に対して略直交する方向に電解液を流すことにより、第２の孔１２に電解液を供給した場合（横流方向）には、エッジ部１３のＲ付けが不均一となった。すなわち、Ｒ付けするためには、本実施形態のように、第１の孔１１から、第２の孔１２の軸方向に略沿って、第２の孔１２に電解液を供給する逆流方向が、良いことが分かった。なお、図４に示す実験では、逆流方向の場合に流れ跡が発生したので、更に流れを安定させるために、本実施形態では、チャンバー６を設けた。
【００３７】
図５は、本実施形態のように、絶縁部材２の周壁部２４を、第１の孔１１の周壁部１１ａから離して配置することにより、絶縁部材２と周壁部１１ａとの間にチャンバー６を設けた場合の電解液の流れの様子の説明図であり、図６は、周壁部２４と周壁部１１ａとを離間させず、チャンバー６が設けられていない場合の電解液の流れの様子の説明図である。そして、図５（ａ）のＢ、Ｃ、Ｄに示す部位の流れを、図５（ｂ）（ｃ）（ｄ）に示し、図６（ａ）のＢ、Ｃに示す部位の流れを、図６（ｂ）（ｃ）に示す。
【００３８】
図５及び図６から分かるように、チャンバー６が設けられていない場合には、図６(ａ)の矢印に示すように、流れの急縮（急激な縮小）が起こって、流れが乱れてしまうが、チャンバー６を設けた場合には、流れの急縮が抑えられて、流れの乱れが抑制され、図５（ｃ）に示すように、流れが再層流化する。これは、図５（ｄ）の矢印Ｅに示すように、チャンバー６が液溜りとなることにより、チャンバー６内の流れ（矢印Ｆ）で、開口部２５から噴出される流れが、第２の孔１２の開口部１２ｂ側へ押さえ込まれるからであると推測される。
【００３９】
すなわち、本実施形態によれば、チャンバー６が電解液の液溜りになることにより、第１の孔１１から第２の孔１２に流れ込むときの電解液の急縮が抑制されて、電解液の流れが安定化する。このため、第１の電極３及び第２の電極４を、送りを行わない固定電極としても、第１の電極３及び第２の電極４と被加工物１との間隔の変化による電解液の流れの変化を抑制でき、安定してガスやスラッジを排出でき、エッジ部１３の加工形状を安定させることができて、エッジ部１３を略曲面状に加工することが可能となる。
【００４０】
（第２実施形態）次に、第２実施形態の電解加工方法について説明する。なお、第１実施形態の各構成要素と対応する構成要素については、第１実施形態と同じ符号を用い、その説明を適宜省略する。図７に示すように、第２実施形態では、第１の電極３及び第２の電極４の形状は、第１実施形態と同じであるが、絶縁部材２の形状が異なる。第２実施形態に用いる絶縁部材２は、周壁部２４が、第１の孔１１と略同径の外径を有する略円筒形状とされている。すなわち、第１実施形態に用いた絶縁部材２では、下壁部２１と上壁部２２とが、周壁部２４よりも外側に鍔状に突出していたが、第２実施形態に用いる絶縁部材２では、上壁部２２、周壁部２４、及び、下壁部２１の外径は、同じとされ、下壁部２１と上壁部２２とが鍔状に突出してはいない。
【００４１】
また、第２実施形態では、被加工物１の第２の孔１２の開口部１２ｂの周囲を、切削加工等により欠落させることにより、第１の孔１１の周壁部１１ａには、第２の孔１２の開口部１２ｂの周囲に、第１の孔１１の径方向における外方に凹む凹部１１ｂが設けられている。
【００４２】
かかる凹部１１ｂが設けられた状態で、絶縁部材２を第１の孔１１に挿入すると、絶縁部材２と第１の孔１１の周壁部１１ａとの間の、第２の孔１２の開口部１２ｂの周囲に、チャンバー６が設けられる。そして、第１の電極３と第２の電極４とを、第１実施形態と同様に挿入し、流入口３４から電解液を供給すると、チャンバー６が液溜りとなって、第１実施形態と同様の効果が得られる。なお、図７には図示しないが、被加工物１と、第１の電極３及び第２の電極４との間には、パルス電源５により電流を供給する。
【００４３】
（第３実施形態）第１、第２実施形態は、第１の孔１１と第２の孔１２とが略Ｔ字形状をなして交差する場合の加工方法であったが、図８に示すように、第１の孔１１と第２の孔１２とが略十字形状をなして交差しており、第１の孔１１の周壁部１１ａに、開口部１２ｂと対向して、第２の孔１２の開口部１２ｃが形成されている場合にも、本発明は適応可能である。以下、かかる場合の実施形態（第３実施形態）について説明する。なお、第１実施形態の各構成要素と対応する構成要素については、第１実施形態と同じ符号を用い、その説明を適宜省略する。
【００４４】
第３実施形態では、図８に示すように、絶縁部材２に、開口部２５に対向するもう１つの開口部２６を設けておき、絶縁部材２と第２の電極３とを、第１の孔１１に挿入する。そして、第２の電極４を第２の孔１２に挿入して、先端部４１を、開口部１２ｂから第１の孔１１内に入れ、開口部２５、流出口３１ａ、３１ｂ、開口部２６、開口部１２ｃに、この順に挿通する。これにより、第２の電極４は、第１の電極３を貫通して第１の電極３と交差するとともに、第１の孔１１を横切るように第１の孔１１と交差した状態となる。そして、第２の電極４の一部である中間部４３が、開口部１２ｂ、１２ｃから第１の孔１１内に延設された形となる。なお、第３実施形態の先端部４１は絶縁部材とされている。
【００４５】
かかる状態で、電解液及び電流を第１実施形態と同様に供給すれば、電解液が第１の孔１１から開口部１２ｂ、１２ｃを介して第２の孔１２に流入するとともに、エッジ部１３、及び、開口部１２ｃの周縁部であるエッジ部１４が、第１の電極３と第２の電極４の両方から電流を受けることになり、電流がエッジ部１３、１４に集中して、エッジ部１３、１４が略曲面状に加工されることとなる。
【００４６】
（その他の実施形態）なお第１、第２、第３実施形態では、面粗度向上のためパルス電源５を用いたが、単なる直流電源を用いることも可能である。
【００４７】
また、第１実施形態では、周壁部２４を全周に亙って周壁部１１ａから離間させることにより、チャンバー６を第１の孔１１の全周に亙って設けたが、チャンバー６は、第２実施形態のように、少なくとも第２の孔１２の開口部１２ｂの周囲に設ければよい。これは、第２実施形態のように、開口部１２ｂの周囲に凹部１１ｂを設けることによっても実現できるが、第２実施形態のような絶縁部材２において、開口部２５の周囲を、絶縁部材２の径方向における内方に凹ませることによっても実現できる。
【００４８】
さらに、絶縁部材２の下壁部２１と、第１の電極３の下壁部３２との間に、間隙を設けない実施形態とすることもできる。
【００４９】
すなわち、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で、本発明は種々の実施形態を採り得る。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】第１実施形態の電解加工装置の概略断面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ部位の概略断面及び電源を示す図である。
【図３】第１実施形態の電流の流れの様子の説明図である。
【図４】電解液の供給方向を変えて加工を行い、エッジ部の形状を調べた実験結果を示す図である。
【図５】チャンバーを設けたときの電解液の流れの様子の説明図である。
【図６】チャンバーを設けないときの電解液の流れの様子の説明図である。
【図７】第２実施形態の電解加工装置の概略断面図である。
【図８】第３実施形態の電解加工装置の概略断面及び電源を示す図である。
【図９】従来の電解加工の説明図である。
【図１０】（ａ）は、被加工物を第１の孔の軸方向に垂直な面で切断したときの概略断面図、（ｂ）は、被加工物を第１の孔の軸方向に沿った面で切断したときの概略斜視図、（ｃ）は、（ｂ）においてエッジ部を加工した状態の図である。
【図１１】第１の孔にのみ電極を挿入して電解加工を行った場合の説明図である。
【図１２】第２の孔にのみ電極を挿入して電解加工を行った場合の説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…被加工物
２…絶縁部材
３…第１の電極
４…第２の電極
６…チャンバー
１１…第１の孔
１１ａ…周壁部
１１ｂ…凹部
１２…第２の孔
１２ａ…周壁部
１２ｂ、１２ｃ…開口部
１３、１４…エッジ部
２５、２６…開口部
３１…流出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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