(57)【要約】【課題】２つの電極端子を有し、２つの凸形スパイラル状接触子が近接ながら凸形の姿勢を保つことができる凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを提供する。【解決手段】凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、絶縁基板４上に接続端子と接触する平面視してスパイラル形状を有する２つの凸形のスパイラル状接触子２，３を備え、それぞれ電極端子２ｅ，３ｅから先端をフリーとし、スパイラル状接触子２，３が対峙してスパイラル状のすきま８が設けられ、かつ、スパイラル状に形成され、一方の電極端子２ｅから延設された前記スパイラル状接触子２の反対方向にはレッグ２ｓが延設され、他方の電極端子３ｅから延設されるスパイラル状接触子３の反対方向にもレッグ３ｓが延設されたことを特徴とする凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３である。【選択図】図１
2008251331.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続端子を有する被検査物の電子部品と電気的接続を行って電気的測定をする凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１３）であって、
絶縁基板（４）上に前記接続端子と接触する平面視してスパイラル形状を有する２つの凸形のスパイラル状接触子（２，３）を備え、それぞれ電極端子（２ｅ，３ｅ）から先端をフリーとし、前記スパイラル状接触子（２，３）が対峙してスパイラル状のすきま（８）が設けられ、かつ、スパイラル状に形成され、
一方の電極端子（２ｅ）から延設された前記スパイラル状接触子（２）の反対方向にはレッグ（２ｓ）が延設され、他方の電極端子（３ｅ）から延設される前記スパイラル状接触子（３）の反対方向にもレッグ（３ｓ）が延設されたことを特徴とする凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１３）。
【請求項２】
前記スパイラル状接触子（２，３）は、前記接続端子と接触する接触部を残して、少なくとも側面を電気的絶縁物（７）でコーティングしたことを特徴とする請求項１に記載された凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１３）。
【請求項３】
前記２つのスパイラル状接触子（２，３）の電極端子（２ｅ，３ｅ）のどちらか一方を他方の片側に寄せて配置したことを特徴とする請求項１に記載された凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１５）。
【請求項４】
前記スパイラル状接触子（２，３）は、前記接続端子と接触する接触部を残し、前記スパイラル状接触子（２，３）の渦巻き状のすきま（８）に電気的絶縁物（７）が充填され、一体に形成したことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載された凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１５）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
微小のゴミの侵入にもショートしない微細な電子機器の凸形スパイラル状接触子を用いた高密度化可能の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの姿勢を保持する構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６は、スパイラル接触子を複数個配置して形成したスパイラルコンタクタを示す平面図である。図６に示すように、スパイラルコンタクタ４０には、開口部５３が設けられ、この開口部５３の外周に支持部５２が形成され、スパイラル接触子５０を開口部５３の中央に臨ませている。また、ＢＧＡやＬＧＡ等の球状の接続端子を備えた電子部品に対して電気的に接続されるスパイラル接触子５０が格子状に配置され、単位面積当たりに実装密度を高めている。
【０００３】
図７は、従来のフラット形のケルビン・スパイラルコンタクタを示し、（ａ）は球状接続端子と接続する前の状態を示す平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＥ−Ｅ線の断面図である。ケルビン・スパイラルコンタクタ２１は、被検査物にケルビン接合することにより、微小物の物性の抵抗値を高精度に測定することができる。
図７に示すように、従来のフラット形のケルビン・スパイラルコンタク２１は、２つが１セットになり、フラット状で２重の渦巻き状に構成されている。
図７（ｂ）の断面図に示すように、スパイラル状接触子２２とスパイラル状接触子２３とが交互に並んでいる。その中央にはスルーホール２４が配置されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１７５８５９号公報（図１）
【特許文献２】特開２００４−２７１２９０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図７のケルビン・スパイラルコンタク２１を凸形のケルビン・スパイラルコンタクにするには、個々のスパイラル接触子２２，２３の単体を凸形に形成しなければならないが、スパイラル接触子２２，２３を凸形に形成すると、組立上ではすぐに傾倒し、凸形の姿勢を保つことができないため、組立作業が困難になるという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、２つの電極端子を有し、２つの凸形スパイラル状接触子が凸形の姿勢を保つことができる凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載された発明の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１３）は、接続端子を有する被検査物の電子部品と電気的接続を行って電気的測定をする凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１３）であって、絶縁基板（４）上に前記接続端子と接触する平面視してスパイラル形状を有する２つの凸形のスパイラル状接触子（２，３）を備え、それぞれ電極端子（２ｅ，３ｅ）から先端をフリーとし、前記スパイラル状接触子（２，３）が対峙してスパイラル状のすきま（８）が設けられ、かつ、スパイラル状に形成され、
一方の電極端子（２ｅ）から延設された前記スパイラル状接触子（２）の反対方向にはレッグ（２ｓ）が延設され、他方の電極端子（３ｅ）から延設される前記スパイラル状接触子（３）の反対方向にもレッグ（３ｓ）が延設されたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載された発明は、請求項１に記載された凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１３）であって、前記スパイラル状接触子（２，３）は、前記接続端子と接触する接触部を残して、少なくとも側面を電気的絶縁物（７）でコーティングしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載された発明は、請求項１に記載された凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１５）であって、前記２つのスパイラル状接触子（２，３）の電極端子（２ｅ，３ｅ）のどちらか一方を他方の片側に寄せて配置したことを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載された発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載された凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ（１５）であって、前記スパイラル状接触子（２，３）は、前記接続端子と接触する接触部を残し、前記スパイラル状接触子（２，３）の渦巻き状のすきま（８）に電気的絶縁物（７）が充填され、一体に形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明によれば、一方の電極端子から延設された前記スパイラル状接触子の反対方向にはレッグが延設され、他方の電極端子から延設される前記スパイラル状接触子の反対方向にもレッグが延設されたことにより、凸形の重心を中心に据えることができるため、安定したバランスがとれて、傾倒することが防止できる。また、スパイラル状接触子の凸形の姿勢を保つことができるため、組み付けやすくなり、生産性が向上できる。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、前記スパイラル状接触子は、前記接続端子と接触する接触部を残して、少なくとも側面を電気的絶縁物でコーティングしたことにより、２つのスパイラル状接触子によって形成されたすきまに微細なゴミが侵入した場合であっても、微細なゴミの侵入が原因によりショートすることがない、しかも、傾倒を防止できる凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを提供することができる。
【００１３】
請求項３に係る発明によれば、２つのスパイラル状接触子の電極端子のどちらか一方を他方の片側に寄せて配置したことにより、扱いが容易なため、組立作業が容易となる。また、これにより加工精度の向上が図れ、一体加工が容易にできる。なお、電極端子を片側に寄せることによって、スパイラル状接触子の全長の長さが異なるが、測定値には全く影響が無いレベルである。２つの電極端子を片側に寄せたことにより電気的接触しないようにすきまが設けられている。
【００１４】
請求項４に係る発明によれば、スパイラル状接触子は、接続端子と接触する接触部を残し、スパイラル状接触子の渦巻き状のすきまに電気的絶縁物が充填され、一体に形成したことにより、逆Ｔ字状になってスパイラル状接触子との接触面積が増加し、一体化によって支持することができるため、球状接続端子と接触する場合であっても、スパイラル状接触子と確実に電気的接触状態することができる。さらに、２つのスパイラル状接触子によって形成されたすきまに微細なゴミが侵入した場合であっても、微細なゴミの侵入が原因の電気的接触しない、ショートしない、しかも、傾倒を防止できる凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
＜第１実施の形態＞
以下、本発明の第１実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の第１実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを示し、（ａ）はスパイラル状接触子の組み合わせを拡大した拡大平面図である。
図１（ａ）に示すように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、２つのスパイラル状接触子２，３で１セットになる。凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、電極端子２ｅ，３ｅを左右対称に配置して、お互い接近する方向（内側）に向って干渉することなく、お互いが所定間隔をもって２回転する渦巻き状で構成されている。
【００１６】
一方の電極端子２ｅから延設されたスパイラル状接触子２の反対方向にはレッグ２ｓが延設されている。詳細には一方の斜め右上方向に向って、レッグ２ｓが輪郭９まで延設されている。また、他方の電極端子３ｅから延設されたスパイラル状接触子３の反対方向にもレッグ３ｓが延設されている。これも詳細には、他方の斜め左下方向に向って、レッグ３ｓが輪郭９まで延設されている。このレッグ２ｓ，３ｓを延設する限界は、ｙ軸を越えた位置までとすればよい。
このレッグ２ｓ，３ｓを設けた目的は、スパイラル状接触子２，３の凸形の姿勢を保つことにある。このレッグ２ｓがないと、傾倒し、凸形の姿勢を保つことは困難である。このレッグ２ｓ，３ｓにより、凸形の重心を中心に据えることができるため、姿勢は安定し、バランスがとれて、傾倒することを防止する。さらに、このレッグ２ｓ，３ｓの作用効果により、組み付けやすくなるため、生産性が向上する。
【００１７】
さらに、直交座標（ｘ軸、ｙ軸）で説明すると、例えば、電極端子２ｅは−ｘ軸上に配置され、電極端子３ｅは＋ｘ軸上に配置されており、直交するｙ軸に対して左右対称に配置されている。この凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、平面視してスパイラル（渦巻き）形状を有する２つのスパイラル状接触子２，３を備え、絶縁基板４上に配置されている。スパイラル状接触子２，３の電極端子２ｅ，３ｅを基端部にして先端をフリーとした各１本からなり、根元から先端（中心側）に進むにしたがって幅が狭くなるように形成されている。また、図１（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３のサイズはφ０．６ｍｍ〜０．１ｍｍであり、被検査物の接続端子のサイズが、φ１．２ｍｍ〜０．０５ｍｍに対応できる。
【００１８】
凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、ここでは反時計方向（左回り）の渦巻き状になっている。絶縁基板４上の左側に設けられたスパイラル状接触子２と、対峙して右側に設けられたスパイラル状接触子３とは、同じく左回りに渦巻き状になって、それぞれ独立して構成されている。スパイラル状接触子３は、スパイラル状接触子２に干渉することのないすきま８を確保して根元から先端（中心側）に進むにしたがって幅も狭くなっている。したがって、この断面図では交互に配置されている。このように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、設置スペースを拡大することなく２つの微細な凸形のスパイラル状接触子２，３によって構成されている。
【００１９】
なお、スパイラル状接触子２，３の渦巻き数は２回転巻きとしたが、２回転以上巻いてもよい。また、スパイラル状接触子２，３の平面視した渦巻き形状は、図１、図３、図４では曲線状にしたが、多角形、例えば、…８、１０、１２、１６、２４角形…等、どんどん角数を増やすことで曲線状に近づけることができることから、これらの多角形をした渦巻き形状であっても構わない。
【００２０】
図１の（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ線の断面図である。
図１の（ｂ）に示すように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３は、スパイラル状接触子２，３によって構成され、凸形である円錐形に形成されている。
凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３のスパイラル状接触子３（２）と被検査物との接触面を除く外周面全体は、電気的絶縁物７がコーティング（被膜）されている。電気的絶縁物７は、例えば、ＳｉＯ２（二酸化珪素）である。
たとえば、被検査物の球状接続端子６とスパイラル状接触子２，３とが接触する接触角αはそれぞれ異なるが、図１の（ｂ）に示すように、スパイラル状接触子ｄの場合では、接触角αは２０度の位置である。この接触角αは、被検査物の球状接続端子６のサイズによって変わるため、１０〜４０度である。
【００２１】
図１の（ｃ）は、（ｂ）に示すＢ部拡大図である。図１の（ｃ）に示すように、スパイラル状接触子３の上面３ｄにはコーティングされた電気的絶縁物７は形成されていない。また、側面２ｃ，３ｃにコーティングされた電気的絶縁物７の上部も、面取り加工をしたように除去されて、被検査物の接続端子と接触するスパイラル状接触子３の角３ａの稜線が露出しているのが判る。スパイラル状接触子２の角２ａ（図示せず）も同様である。
【００２２】
図１の（ｄ）は、（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの変形例の拡大平面図である。図１の（ｄ）に示すように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１４は、この電極端子２ｅ，３ｅの配置は同じにして、渦巻きを左回り（反時計回り）から右回り（時計回り）にしたもので、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１４は、このように、時計方向（右回り）の渦巻き状にしてもよい。そして、スパイラル状接触子２の電極端子２ｅから、斜め下方に向ってレッグ２ｓが２点鎖線で示す輪郭９まで延設されている。このレッグ３ｓの限界は、ｙ軸を越えた位置までの延設すれば凸形は支持される。また、スパイラル状接触子３の電極端子３ｅから、斜め上方に向ってレッグ３ｓがｙ軸を越えた位置まで延設されている。このレッグ３ｓを延設する目的は、前記したように、凸形の姿勢を保つことにある。このレッグ２ｓ，３ｓの延設により、スパイラル状接触子２，３の凸形の重心を中心に据えることができるため、安定してバランスがとれて、傾倒することがなく、組み付けやすくなるため、生産性が向上する。
なお、スパイラル状接触子２とスパイラル状接触子３の渦巻き状のすきま８に、電気的絶縁物７であるＳｉＯ２を塗布してもよいし、フォトＰＩＱ（Photosensitive PolyImide Insulated Quinones：感光性ポリミド）を充填しても構わない。フォトＰＩＱは絶縁膜材料であり、たとえば、半導体用高耐熱ファインポリマや、超ＬＳＩ用高耐熱ポリイミド、半導体絶縁膜用ポリミイドなどをいう。また、電気的絶縁物７とは、分子と分子が接続できないように、間に介在し、絶縁（insulation）状態を形成する物質をいい、電気を通さない材料のことをいう。
【００２３】
図２は、本発明の第１実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを配置した配置図を示し、（ａ）は千鳥状に配置した平面図である。
図２の（ａ）に示すように、上段から凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３…、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１４…、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３…、…、と交互に配列され、しかも、千鳥状に配置されている。このように、千鳥配置にしてもよい。
図２の（ｂ）は、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを格子状に配置した状態を示す平面図である。図２の（ｂ）に示すように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３…、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１４…を用いて千鳥状は位置に限らず、格子状配置であってもよいし、その他の配置方法であっても構わない。
【００２４】
図３は、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの構成に至る過程の説明図であり、（ａ）は基本形を示すスパイラル状接触子の拡大平面図、（ｂ）は中央に溝を設けて２つにしたスパイラル状接触子の拡大平面図、（ｃ）は電極端子の一方を移動し、さらに、スパイラル状接触子の先端部の他方を延長した状態を示すスパイラル状接触子の拡大平面図、（ｄ）は電極端子の半円を円形に変形させ、一方を近傍に配置した状態を示すスパイラル状接触子の拡大平面図である。
【００２５】
図３の（ａ）に示すように、この凸形ケルビン・スパイラルコンタクタのスパイラル状接触子は1本から構成された従来のスパイラル状接触子である。このスパイラル状接触子はａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆの順に幅が細く、かつ、凸形に形成されている。
図３の（ｂ）に示すように、スパイラル状接触子１３の中央に切り目が入り、すきま８が形成されると、２つの電極端子２ｅ，３ｅにならい、先端ｆまですきま８が形成された状態で２ピースになる。
図３の（ｃ）に示すように、今度は、電極端子３ｅを上方（近傍）へ移動させて、電極端子２ｅから離間させ、スペースを確保する。また、電極端子２ｅの先端ｆは、先端方向へ１８０度分延設し、先端ｇを確保する。
最後は、図３の（ｄ）に示すように、電極端子２ｅ，３ｅの双方を円形（円柱形）にまとめてそれぞれの近傍に配置する。円柱形とした場合は、信号線（ケーブル）としてもよい。
このように、スパイラル状接触子２，３を２つに分割することにより、２つが渦巻き状に添うことになる。また、電極端子２ｅ，３ｅが近いため、セットしやすく、取り扱いが容易になる。
【００２６】
＜第２実施の形態＞
図４は、本発明の第２実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを示し、（ａ）は接続端子と接続する前の状態を示す拡大平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＣ−Ｃ線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＤ部拡大図、（ｄ）は（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの変形例の拡大平面図である。
図４の（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１５と、前記した図１の（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１３との相違点について説明する。
図４の（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１５は、図１に示すスパイラル状接触子２，３の電極端子２ｅ，３ｅのうち、一方の電極端子２ｅをそのままの配置に残し，他方の電極端子３ｅの位置を電極端子２ｅの近傍に寄せて配置した点が異なる。
また、スパイラル状接触子２の電極端子２ｅからのレッグ２ｓは形成されていないが、
スパイラル状接触子３の電極端子３ｅからはレッグ３ｓが、水平に右方向へ、そして、下方へ向ってｕ軸まで延設されている。
このレッグ３ｓの限界は、ｕ軸を越えた位置までの延設すればよいが、少なくともｕ軸まで延設すれば凸形は支持される。
このスパイラル状接触子２は、電極端子２ｅからレッグ２ｓが形成されていないため、単独ではひっくり返ることになるが、スパイラル状接触子２，３の渦巻き状のすきま８に電気的絶縁物７が充填され、２つが一体に形成したことにより、スパイラル状接触子３の電極端子３ｅからはレッグ３ｓによって、凸形の姿勢を保つことができる。
このレッグ３ｓの延設により、凸形の重心を中心に据えることができるため、バランスがとれて、ひっくり返ることがなくなり、組み付けやすくなるため、生産性が向上する。しかも、これらのレッグ３ｓの延設は、図５に示すように、千鳥状配置、格子状配置に支障がない形状になっている。
【００２７】
このように、スパイラル状接触子２の電極端子２ｅに，スパイラル状接触子３の電極端子３ｅを寄せて配置したことにより、渦巻きを沿わせることができる。また、セットにしやすく、取り扱いが容易といったメリットがあり、極めて都合がよい。
なお、電極端子３ｅの位置は、ｘ軸を対称軸にして第２象限から第３象限としてもよい。さらには、これらを、ｙ軸を対称軸にして左右対称位置の第１象限としてもよいし、それ以外であっても構わない。なお、２つの電極端子２ｅ，３ｅを近づけたことにより電気的接触しないように充分なすきまが設けられている。
【００２８】
図４の（ｂ）は、（ａ）に示すＣ−Ｃ線の断面図である。
図４の（ｂ）に示すように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１５は、凸形に形成されている。スパイラル状接触子２，３も断面に示すように、凸形に形成されている。
２つの電極端子２ｅ，３ｅを近づけたことにより電気的接触しないように、スパイラル状接触子２，３のすきま８には電気的絶縁物７が充填されている。被検査物の接続端子が、例えば、球状接続端子６とした場合、スパイラル状接触子２，３との接触点は、球状接続端子６の直径によって変わるが、この図で言えば、先端部ｄと先端部ｈの角（稜線）になる。この接触点の場合は、球状接続端子６の中心位置から約２０度の位置である。
電気的絶縁物７は、例えば、フォトＰＩＱで説明したが、フォトＰＩＱに限定するものではなく、その他の電気的絶縁物７であっても構わない。
電気的絶縁物７とは、分子と分子が接触できないように間に介在し、絶縁状態を形成する。図４の（ｃ）は、図４の（ｂ）に示すＤ部拡大図である。
【００２９】
図４の（ｄ）は、（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの変形例の拡大平面図である。図４の（ｄ）に示すように、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１６は、電極端子２ｅの配置は同じにして、ｘ軸を対称軸にしてフリップし、電極端子３ｅの位置を第２象限から第３象限に移動し、さらに、渦巻き方向を右回り（時計回り）にしたものである。凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１６は、このように、右回りの渦巻き状にしてもよい。スパイラル状接触子３の電極端子３ｅから、水平に右方向へ、そして、上方へ向ってレッグ３ｓが仮想領域の境界まで延設されている。
これにより、スパイラル状接触子３が、球状接続端子６に接触して接触面積を広げるため、ショートの防止、接触不良の防止ができる。
【００３０】
図５は、本発明の第２実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを配置した配置図を示し、（ａ）は千鳥状配置、（ｂ）は格子状配置をした平面図である。
図５の（ａ）に示すように、上段から凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１６…、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１５…、凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ１６…、…、と交互に配列され、しかも、千鳥状に配置されている。このように、千鳥配置にすることにより、面積当たりの配列個数を増やすことができる。図５の（ａ）に示すように、格子状配置をしても構わない。
【００３１】
なお、本発明はその技術思想の範囲内で種々の改造、変更が可能である。本発明は、フォトリソグラフィ技術、メッキ製造技術により微細加工を施すことを特徴としており、これを用いた製造方法やスパッタリングによるコーティング法、コーティングされた電気的絶縁物をプラズマで除去、そして、面取りをする方法等を組み合わせた加工方法であっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを示し、（ａ）はスパイラル状接触子の組み合わせを拡大した拡大平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ部拡大図、（ｄ）は（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの変形例の拡大平面図である。
【図２】本発明の第１実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを配置した配置図を示し、（ａ）は千鳥状配置した平面図、（ｂ）は格子状配置の平面図である。
【図３】図４に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの構成に至る経緯の説明図であり、（ａ）は基本形を示すスパイラル状接触子の拡大平面図、（ｂ）は中央に溝を設けて２つにしたスパイラル状接触子の拡大平面図、（ｃ）は、電極端子の一方を移動し、さらに、スパイラル状接触子の先端部の他方を延長した状態を示すスパイラル状接触子の拡大平面図、（ｄ）は、電極端子の半円を円形に変形させ、一方を近傍に配置した状態を示すスパイラル状接触子の拡大平面図である。
【図４】本発明の第２実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを示し、（ａ）は接続端子と接続する前の状態を示す拡大平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＣ−Ｃ線の断面図、（ｃ）は（ｂ）に示すＤ部拡大図、（ｄ）は（ａ）に示す凸形ケルビン・スパイラルコンタクタの変形例の拡大平面図である。
【図５】本発明の第２実施の形態の凸形ケルビン・スパイラルコンタクタを配置した配置図を示し、（ａ）は千鳥状配置、（ｂ）は格子状配置をした平面図である。
【図６】従来のスパイラル接触子を複数個は位置して形成したスパイラルコンタクタのシートを示す平面図である。
【図７】従来のフラット形のケルビン・スパイラルコンタクタを示し、（ａ）は球状接続端子と接続する前の状態を示す平面図、（ｂ）は（ａ）に示すＥ−Ｅ線の断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１３，１４，１５，１６  凸形ケルビン・スパイラルコンタクタ
２，３    スパイラル状接触子
２ａ，３ａ    角
２ｂ，３ｂ    下面
２ｃ，３ｃ    側面
２ｄ，３ｄ    上面
２ｅ，３ｅ    電極端子
２ｆ，３ｆ    ランド
２ｓ，３ｓ    レッグ
４    絶縁基板
６    球状接続端子
６′  フラット状接続端子
７    電気的絶縁物
８    すきま
９    輪郭
ｘ，ｙ  座標軸
【図１】
2008251331.tif 000003
【図２】
2008251331.tif 000004
【図３】
2008251331.tif 000005
【図４】
2008251331.tif 000006
【図５】
2008251331.tif 000007
【図６】
2008251331.tif 000008
【図７】
2008251331.tif 000009