(57)【要約】【課題】初期値の設定に関わらず、収束時間の増大を抑制し、所望の性能を発揮できる磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】磁気ヘッド５の位置を制御する回路が、誤差信号の周波数を推定する周波数推定器であって、当初、初期値を設定するとともに、当該初期値と、誤差信号に含まれる除去対象の信号の周波数との差に関わらず、当該除去対象の信号周波数に対する推定する周波数の収束率が一定となるよう、推定する周波数の更新幅を制御する周波数推定器と、誤差信号に含まれる、周波数推定器によって推定された周波数成分の信号とは逆相の信号を生成して出力する外乱除去器と、を含む磁気ディスク装置である。【選択図】図３
2008052794.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の軌道に沿ってデータが記録されている磁気ディスク媒体と、
前記磁気ディスク媒体に対して相対移動し、前記データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドと、
前記所定軌道に対する前記磁気ヘッドの位置誤差を表わす誤差信号の入力を受け入れ、前記磁気ヘッドが前記所定の軌道上に位置するよう、磁気ヘッドの位置を制御する位置制御回路と、を備え、
前記位置制御回路が、
前記誤差信号に含まれる外乱の周波数の推定値を生成する周波数推定器であって、外乱の周波数に対する前記推定値と、当該推定値の時間変化量とを用い、前記推定値を更新しつつ出力する周波数推定器と、
前記誤差信号に含まれる、前記周波数推定器によって推定された周波数成分の信号とは逆相の信号を生成して出力する外乱除去器と、
を含むことを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ディスク装置において、
前記外乱除去器は、前記周波数推定器における演算とは異なる回路により、外乱除去信号を生成し、当該生成された外乱除去信号に基づいて、前記誤差信号に含まれる、前記周波数推定器によって推定された周波数成分の信号とは逆相の信号を生成して出力することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
所定の軌道に沿ってデータが記録されている磁気ディスク媒体と、
前記磁気ディスク媒体に対して相対移動し、前記データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドと、
前記所定軌道に対する前記磁気ヘッドの位置誤差を表わす誤差信号の入力を受け入れ、前記磁気ヘッドが前記所定の軌道上に位置するよう、磁気ヘッドの位置を制御する位置制御回路と、を備え、
前記位置制御回路が、
前記誤差信号の周波数を推定する周波数推定器であって、当初、初期値を設定するとともに、当該初期値と、前記誤差信号に含まれる除去対象の信号の周波数との差に関わらず、当該除去対象の信号周波数に対する前記推定する周波数の収束率が一定となるよう、前記推定する周波数の更新幅を制御する周波数推定器と、
前記誤差信号に含まれる、前記周波数推定器によって推定された周波数成分の信号とは逆相の信号を生成して出力する外乱除去器と、
を含むことを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクなどの磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク等の磁気ディスク装置では、磁気記録媒体である円盤（ディスク）上に形成された円周状の軌道（トラック）に、データが記録される。そこで、このデータを書き込み、または読み出すため、磁気ヘッドをトラックの位置に移動させる、位置決め制御が必要となる。こうしたヘッドの位置決め機構においては、様々な要因によって生じる周期的な外乱への対策が種々施されている。
【０００３】
ところが、これらの外乱には、例えば磁気ディスク装置が外部から受ける振動など、予めその周波数などが特定しにくいものや、周波数が時間的に変動していく外乱もある。一方で、目標となるトラックに対して磁気ヘッドの位置を維持するための追従制御は、幅広い帯域にわたる外乱抑圧を行う目的で設計されている。このため、特定の周波数成分の外乱に対し、その抑圧能力が十分でない場合がある。
【０００４】
近年では、磁気ディスク装置は、携帯型のコンピュータや、携帯電話装置、カーナビゲーションシステムなど幅広い分野に利用されるようになっており、外部的な振動を十分に抑圧する技術が求められている。
【０００５】
そこで、特定の周波数成分の信号を除去する共振フィルタを用い、この共振フィルタの共振周波数を反復的に更新し、外乱の周波数に漸近させ、外乱を除去する方法が、特許文献１に開示されている。また、非特許文献１には、この反復的な更新を行うときに、位置誤差の二乗を最小とするよう更新幅を変更する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１０９３３５号公報
【非特許文献１】M.Kisaka, "FrequencyChasing Peak Filter", IEE of Japan Technical Meeting Record, No.IIC-04-70, pp.19-23 (2004)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この非特許文献１に開示の方法によれば、収束の速度を高めつつ、更新幅を一定とした場合に比し、共振フィルタの共振周波数をより目的の周波数に近接させることができ、外乱抑圧性能を向上できる。しかしながら、非特許文献１に開示の方法でも、推定周波数の初期値が目標の周波数から大きくなるほど、収束時間が大きくなるため、初期値と外乱の関係によっては、収束時間が増大し、所望の性能を発揮できない場合がある。
【０００７】
本発明は上記実情に鑑みて為されたもので、初期値の設定に関わらず、収束時間の増大を抑制し、所望の性能を発揮できる磁気ディスク装置を提供することを、その目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記従来例の問題点を解決するための本発明は、磁気ディスク装置であって、所定の軌道に沿ってデータが記録されている磁気ディスク媒体と、前記磁気ディスク媒体に対して相対移動し、前記データの書き込み及び読み出しを行う磁気ヘッドと、前記所定軌道に対する前記磁気ヘッドの位置誤差を表わす誤差信号の入力を受け入れ、前記磁気ヘッドが前記所定の軌道上に位置するよう、磁気ヘッドの位置を制御する位置制御回路と、を備え、前記位置制御回路が、前記誤差信号の周波数を推定する周波数推定器であって、当初、初期値を設定するとともに、当該初期値と、前記誤差信号に含まれる除去対象の信号の周波数との差に関わらず、当該除去対象の信号周波数に対する前記推定する周波数の収束率が一定となるよう、前記推定する周波数の更新幅を制御する周波数推定器と、前記誤差信号に含まれる、前記周波数推定器によって推定された周波数成分の信号とは逆相の信号を生成して出力する外乱除去器と、を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。本発明の実施の形態に係る磁気ディスク装置は、例えば図１に示すようなハードディスク装置であり、磁気ディスク媒体１と、スピンドルモータ（ＳＰＭ）２と、磁気ヘッド５と、キャリッジ６と、サスペンション７と、フレキシブルサーキット８と、ヘッド信号増幅器９と、変復調器１０と、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１１と、マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）１４と、記憶部１６と、ディジタル・アナログ変換回路（Ｄ／Ａ変換回路）１８と、駆動用アンプ１９と、インタフェースコントローラ２０と、ホスト側コントローラ２１とを含んで構成される。なお、Ｄ／Ａ変換回路１８、変復調器１０、ＭＰＵ１４、記憶部１６、インタフェースコントローラ２０は、相互にバスライン１５を介して接続されている。
【００１０】
磁気ディスク媒体１はＳＰＭ２によって回転駆動される。この磁気ディスク媒体１上には、回転中心を中心とした同心円状のトラック３が複数形成されている。本実施の形態では、この同心円状のトラック３によって規定される軌道上にユーザデータが記録される。また、各トラック３上には、磁気ヘッド５の位置を検出するためのサーボセクタ４が記録されている。
【００１１】
サーボセクタ４は、図２に示すように、セクタ先頭を示すマーカ部Ｍ、ＡＧＣ（Automatic Gain Control）部Ｇ、トラック番号Ｔ、トラック間の位置を検出するためのバースト信号ＡからＤを含んで構成される。磁気ヘッド５が読み取るこのサーボセクタ４の情報に基づいて、ＳＰＭ２の回転数と１トラックあたりのセクタ数とで定められるサンプリング周期Ｔｓごとに、磁気ディスク媒体１上での磁気ヘッド５の位置が検出できる。
【００１２】
磁気ヘッド５は、キャリッジ６の先端部に配されたサスペンション７により支持される。磁気ヘッド５が磁気ディスク装置１から読み出した信号は、フレキシブルサーキット８を介してヘッド信号増幅器９に出力される。また、この磁気ヘッド５は、ヘッド信号増幅器９からフレキシブルサーキット８を介して入力される信号に基づき、磁気ディスク媒体に情報を記録する。
【００１３】
またキャリッジ６は、ＶＣＭ１１により、ピボットを軸として回転駆動される。これにより、キャリッジ６の先端部に設けられた磁気ヘッド５が、磁気ディスク媒体１に対して相対移動し、前記データの書き込み及び読み出しを行うこととなる。
【００１４】
ヘッド信号増幅器９は、磁気ヘッド５が読み出した信号を増幅して、変復調器１０に出力する。またこのヘッド信号増幅器９は、変復調器１０が出力する信号を増幅して、磁気ヘッド５に出力する。
【００１５】
変復調器１０は、アナログ・ディジタル変換回路（Ａ／Ｄ変換回路）を備えており、ヘッド信号増幅器９が出力する信号をディジタル信号に変換して復調し、復調の結果をＭＰＵ１４に出力する。また、この変復調器１０は、ディジタル・アナログ変換回路（Ｄ／Ａ変換回路）を備えており、ＭＰＵ１４が出力する、記録の対象となるデータを変調し、さらにアナログ信号に変換して、ヘッド信号増幅器９に出力する。
【００１６】
ＶＣＭ１１は、ＭＰＵ１４から入力されるＶＣＭ駆動信号により制御される。ＭＰＵ１４は、このＶＣＭ１１の制御により、磁気ヘッド５を、読み出しや記録の対象となるトラックの位置に移動し、また、当該トラックに磁気ヘッド５を追従させる制御を行う。このＭＰＵ１４が出力するＶＣＭ駆動信号は、Ｄ／Ａ変換回路１８でアナログ信号に変換され、駆動用アンプ１９によって増幅されてＶＣＭ１１に出力されることとなる。
【００１７】
ＭＰＵ１４は、記憶部１６に格納されたプログラムに従って動作する。記憶部１６は、ＲＡＭ（Random Access Memory）１６ａと、ＲＯＭ（Read Only Memory）１６ｂとを含んで構成される。ここでＲＡＭ１６ａは、ＭＰＵ１４のワークメモリとしても動作する。また、ＲＯＭ１６ｂは、ＭＰＵ１４が実行するプログラムなどを格納する。具体的な例として、このＭＰＵ１４は、ホスト側から入力される読み出しや書き込みの指示に従って、ＶＣＭ１１を制御し、磁気ヘッド５を所望のトラックへ移動させた上で、データの読み出しや書き込みの制御を行う。このＶＣＭ１１の制御の処理については、後に詳しく述べる。
【００１８】
インタフェースコントローラ２０は、磁気ディスク媒体１から読み出されたデータの入力を、ＭＰＵ１４から受けて、ホスト側コントローラ２１に出力する。また、このインタフェースコントローラ２０は、ホスト側コントローラ２１が出力するデータや、読み出しや書き込みの指示などを、ＭＰＵ１４へ出力する。
【００１９】
ホスト側コントローラ２１は、パーソナルコンピュータ等のホスト側装置に接続される。このホスト側コントローラ２１は、インタフェースコントローラ２０が出力するデータを、ホスト側装置へ出力する。また、ホスト側装置から入力されるデータや、指示をインタフェースコントローラ２０へ出力する。
【００２０】
ここでＭＰＵ１４によるＶＣＭ１１の制御の処理について述べる。本実施の形態のＭＰＵ１４が実行するＶＣＭ１１の制御の処理は、機能的には図３に示すように、追従制御補償器２２と、周期的外乱除去器２３と、第１加算器２４と、第２加算器２５とを含んで構成される。また周期的外乱除去器２３は、周波数発生器３１と、周波数更新器３２と、フィルタ３３とを含んで構成される。
【００２１】
追従制御補償器２２は、磁気ヘッド５の所望の位置と実際の位置との差である位置誤差信号ＰＥＳの入力を受けて、比較的広い帯域に亘る位置誤差成分を抑制し、制御系全体を安定化する制御信号を生成する。この追従制御補償器２２は、位置誤差の非周期的成分を抑制する回路として広く知られている回路を用いることができるので、その詳しい説明を省略する。
【００２２】
周期的外乱除去器２３は、追従制御補償器２２と同様に、所望の位置と実際の位置との差である位置誤差信号ＰＥＳの入力を受けて、そのフィルタ３３と周波数発生器３１とに出力する。ここで周波数発生器３１は、予め定められた内部モデル（インターナルモデル）の状態変数を、位置誤差信号ＰＥＳに基づいて更新し、出力する。
【００２３】
周波数更新器３２は、周波数発生器３１が出力する状態変数と、位置誤差信号ＰＥＳとに基づいて周波数の更新信号ω（ｋ）を出力する。フィルタ３３は、指定された周波数の成分の信号を生成する共振フィルタ（ピークフィルタ）であり、ここでは周波数更新器３２が出力する更新信号ω（ｋ）に基づき、位置誤差信号ＰＥＳのうち、ω（ｋ）の周波数成分を増幅した信号を出力する。このフィルタ３３では、位置誤差信号ＰＥＳのうち、ω（ｋ）の周波数成分とは逆相の信号を生成して出力する。この信号は磁気ヘッド５の先端部にて外乱（磁気ヘッド５の先端の位置に影響を与える物理的外力）とキャンセルしあう力を生じさせる信号となる。
【００２４】
ここで周波数発生器３１が用いるインターナルモデルの状態変数を外乱除去信号として用いることも可能である。しかし本実施の形態では、これとは異なる回路として、外乱除去信号を生成する回路（フィルタ３３）を設けている。これにより、推定周波数の収束速度を低下させることなく、制御系の安定を図ることができる。
【００２５】
第１加算器２４は、指定された位置を表わす参照位置信号Ｒから、磁気ヘッド５が検出した実際のヘッド位置の信号を差し引いて、位置誤差信号ＰＥＳを出力する。
【００２６】
第２加算器２５は、追従制御補償器２２の出力信号と、周期的外乱除去器２３のフィルタ３３が出力した信号とを加算し、さらに磁気ヘッド５を所望の位置へ移動させるための信号を加算して、磁気ヘッド５の位置を制御するためのＶＣＭ駆動信号として出力する。ここで追従制御補償器２２の出力信号が、磁気ヘッド５を所望の位置へ移動させるための信号であり、フィルタ３３が出力する信号が、磁気ヘッド５の先端位置に対する外乱の影響をキャンセルするための信号となる。
【００２７】
次に、周期的外乱除去器２３のより詳しい動作を述べる。ここでは連続系（観測により得られる値が、時間的に連続的に観測された値である系）における動作を仮定してまず説明する。
【００２８】
すなわち、周波数発生器３１におけるインターナルモデルの演算式は、任意のゲインＫｆ、インターナルモデルの周波数ωを用いて、時間について一階の微分方程式として、
【数１】
2008052794.tif 000003
と表すことができる。
【００２９】
いま、未知の外乱が単一正弦波であり、他の外乱とノイズとを無視できると仮定して、外乱の角速度をωc として、入力信号を
e(t) = A sin(ωc t)
と表すとすると、状態変数ｘ1（ｔ）、ｘ2（ｔ）は、周波数ωにおけるこのシステムの振幅と位相とをそれぞれＢ、θとして、
【数２】
2008052794.tif 000004
と選択できる。つまり、これらの状態変数は推定された外乱の成分と、その時間微分となる。このインターナルモデルは、L.J.Brown, Q.Zhang, "Periodic disturbance cancellation with uncertain frequency," Automatica, Vol.40, No.4, pp. 631-637, 2004 などで提案されているものである。
【００３０】
ここから、状態変数ｘ1（ｔ）、ｘ2（ｔ）と周波数ωとの関係を、
【数３】
2008052794.tif 000005
すなわち、
【数４】
2008052794.tif 000006
と表すことができる。このようにして外乱と、その周波数との関係が得られる。
【００３１】
ここでωcが未知であるので、このωcが、現在の周波数ωに十分近接していると仮定して近似値
【数５】
2008052794.tif 000007
を
【数６】
2008052794.tif 000008
として求める。この（５）式は、アークタンジェントの微分
【数７】
2008052794.tif 000009
から求められる。ここで、
【数５】
2008052794.tif 000010
とωとの差をεとすると、このεは（１）式を用いて、
【数８】
2008052794.tif 000011
と表すことができる。すなわち、本実施の形態では推定誤差が、外乱周波数の推定値とインターナルモデルの状態変数及び位置誤差信号によって表される。
【００３２】
理想的な条件の下であれば、この誤差εと現在の周波数ωとから直ちに
【数５】
2008052794.tif 000012
を求めることが可能であるが、現実には、系には様々なノイズがあって、
【数５】
2008052794.tif 000013
を求めるだけでは意味がない。また、
【数５】
2008052794.tif 000014
は、ωcの近似値であるので、真の周波数ωcを求めるためには、
【数９】
2008052794.tif 000015
を時間積分して求めることとする。ここでＫｅは、収束の速度を定める任意の係数である。この時間積分により、ω＝ωcの平衡点が求められる。
【００３３】
安定な閉ループ系において、（７）式で表される周波数の変化が、制御の対象の動的な挙動に対して十分遅い場合、つまりＫｅが十分に小さく、またωの初期値がωcに十分近い（局所的）である場合、平衡点においてωが安定なことと指数関数的に収束することとが証明されている。
【００３４】
このように本実施の形態では、外乱周波数そのものを、状態空間において近似的に求めて、この近似による誤差とその他の誤差とを上記時間積分を行う積分器によってゼロに収束させるものであり、従来のように位置決め誤差を最小とすることで間接的に、外乱の周波数を推定するものとは異なる。
【００３５】
なお、（７）式はω＝ωcだけでなく、ω＝−ωcと、ω＝０とにおいて平衡点を持つが、
cos(−ωｔ)＝cos（ωｔ）
であるから、ω＝−ωcの平衡点は、ω＝ωcの平衡点と等価である。また、ωが、ω＝０の平衡点に収束したときには、ωをゼロ以外の値に初期化することとすればよい。
【００３６】
次に、以上の演算を離散系であるディジタルコントローラによって処理するために、一定のサンプル周期Ｔで離散化した演算を示す。この場合、（１）式に対応する差分方程式が、
【数１０】
2008052794.tif 000016
であり、その係数は
【数１１】
2008052794.tif 000017
と求めることができる。
【００３７】
また、（７）式の周波数更新の微分方程式は、オイラーの式を用いて、
【数１２】
2008052794.tif 000018
と、近似できる。
【００３８】
なお、ＭＰＵ１４では、有限語長にて演算を行うので、各変数の桁落ちを可能な限り低減するようにしてもよい。つまり演算の回数を低減するため、ω（ｋ）ｘ1（ｋ）を、新たにｘ1（ｋ）と再定義し、ＫｅとＫｆの積の値をＫｅと再定義して、ＫｅをＫｆから独立させると、インターナルモデルの状態方程式と周波数更新の微分方程式とは、それぞれ、
【数１３】
2008052794.tif 000019
となる。
【００３９】
また、（８）式の伝達関数を求めると、
【数１４】
2008052794.tif 000020
となり、これにより、
【数１５】
2008052794.tif 000021
として、ｘ1（ｋ）と、ｘ2（ｋ）とに関する独立した差分式を得ることができる。
【００４０】
フィルタ３３の伝達関数は、
【数１６】
2008052794.tif 000022
と表わすことができる。ここでは、インターナルモデルの出力ｘ2（ｋ）をそのまま外乱除去信号として用いるのではなく、フィルタ３３を介して外乱除去を行わせている。このことで、（１４）式の分子（安定性に寄与する因子）を、好適な状態に定めることができる。すなわち周波数更新のためのゲインＫｅと、系の安定性のための係数ｂ１，ｂ２，ｂ０をそれぞれ独立に設計できる。このように調整パラメータを増加させることで、系全体の安定性を確保しつつ周波数更新の効率化を図ることが可能となる。
【００４１】
本実施の形態によると、磁気ヘッド５が磁気ディスク媒体１から読み取ったサーボ信号を用い、磁気ヘッド５の位置決めに作用する外乱を、周波数発生器３１と周波数更新器３２とにより推定する。この推定はインターナルモデルにより行われ、周波数発生器３１は、前回推定した外乱と、その時間差分を表す差分方程式により推定値の更新を行う。なお、周波数更新器３２には当初、外乱周波数の推定値の初期値を設定しておく。
【００４２】
そして、周波数更新器３２が、当該推定された外乱及びその周波数に基づいて、推定値と本来除去するべき周波数との誤差（近似誤差）を算出し、その算出した近似誤差に比例した量だけ周波数値を更新する。なお、更新後の周波数が「０」となってしまったときには、周波数更新器３２は、出力する周波数の値をゼロ以外の所定の値にセットし直す。
【００４３】
フィルタ３３は、周波数更新器３２が出力する周波数の信号を中心周波数として、当該中心周波数成分の信号を位置誤差信号ＰＥＳから抽出し、増幅した信号を生成する。この信号は、第２加算器２５にて、追従制御補償器２２の出力信号と加算され、磁気ヘッド５の位置を制御するためのＶＣＭ駆動信号として出力されることとなる。
【００４４】
このような更新方法では、また、周波数推定器３２に対して当初設定された初期値と、誤差信号に含まれる除去対象の信号の周波数との差に関わらず、当該除去対象の信号周波数に対する前記推定する周波数の収束率が一定となるよう、推定する周波数の更新幅が制御される。
【００４５】
このように本実施の形態によると、初期値の設定に関わらず、一定の収束率を保証でき、収束時間の増大を抑制し、所望の性能を発揮できる。
【実施例】
【００４６】
以上のように構成した本実施の形態の磁気ディスク装置において、３００Ｈｚと、４００Ｈｚの周波数の外乱を加えた場合の実験例について述べる。なお、推定周波数の初期値として、推定周波数ωは、１５０Ｈｚであるとする。比較のため、本実施の形態の構成を用いずに、位置決め誤差を最小とすることで間接的に、外乱の周波数を推定する方式を採用した例を併せて示す。まず、本実施の形態の構成を用いない場合の周波数の更新の状況と、位置誤差信号の収束の状況とを図４に示す。
【００４７】
図４には、本実施の形態の構成を用いない場合は、初期値と、除去するべき信号の周波数との差が大きいほど、収束時間が大きくなり、また、収束率が減少していることが示されている。
【００４８】
また、本実施の形態の構成を用いた場合の、周波数の更新状況と、位置誤差信号の収束率とを図５に示す。図５から明らかなように本実施の形態の構成では、外乱周波数と初期値との差にかかわらず、推定周波数の収束率（収束時間）と、位置誤差信号の収束率がいずれも一定となっている。
【００４９】
また、図６には、図４，５に示した推定周波数を、外乱周波数と推定周波数の初期値との差で規格化したグラフを示す。この図６からも明らかなように、本実施の形態の手法を用いない場合は、外乱周波数と初期値として設定した周波数との差が大きくなるにつれて収束が緩慢となるが、本実施の形態の手法を用いると、外乱周波数と初期値との差にかかわらず、略同じ軌道で収束している。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態に係るディスク装置の構成例を表す概要図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るディスク装置に記録されたサーボ信号の例を表す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るディスク装置の磁気ヘッドの位置決めを行う構成例を表す機能ブロック図である。
【図４】本発明の実施例に係るディスク装置との比較に係る、本実施の形態の構成を有しない磁気ディスクの動作例を表す説明図である。
【図５】本発明の実施例に係るディスク装置の動作例を表す説明図である。
【図６】本発明の実施例に係るディスク装置の別の動作例を表す説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  磁気ディスク媒体、２  スピンドルモータ、５  磁気ヘッド、６  キャリッジ、７  サスペンション、８  フレキシブルサーキット、９  ヘッド信号増幅器、１０  変復調器、１１  ボイスコイルモータ、１４  マイクロプロセッサ、１５  バスライン、１６  記憶部、１８  ディジタル・アナログ変換回路、１９  駆動用アンプ、２０  インタフェースコントローラ、２１  ホスト側コントローラ、２２  追従制御補償器、２３  周期的外乱除去器、２４，２５  加算器、３１  周波数発生器、３２  周波数更新器、３３  フィルタ。
【図１】
2008052794.tif 000023
【図２】
2008052794.tif 000024
【図３】
2008052794.tif 000025
【図４】
2008052794.tif 000026
【図５】
2008052794.tif 000027
【図６】
2008052794.tif 000028