(57)【要約】【課題】本発明は、アクチュエータ及び試験装置に関し、例えば半導体の試験装置に適用して、従来に比して構成を簡略化する。【解決手段】本発明は、ブルドン管７Ａ、７Ｂの弾性変形によりコンタクトピン２を可動させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内圧の変化により弾性変形し、可動対象を可動させるブルドン管と、
前記ブルドン管の内圧を変化させる圧力可変機構とを有する
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記ブルドン管は、
前記可動対象側の一端に、前記可動対象の可動を所定方向にガイドするガイド機構が設けられた
ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
試験対象にコンタクトピンを接触させて、前記試験対象を試験する試験装置において、
内圧の変化により弾性変形し、前記コンタクトピンを可動させるブルドン管と、
前記ブルドン管の内圧を変化させる圧力可変機構とを有する
ことを特徴とする試験装置。
【請求項４】
前記ブルドン管は、
前記コンタクトピン側の一端に、前記コンタクトピンの可動を所定方向にガイドするガイド機構が設けられた
ことを特徴とする請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記ブルドン管の変形量を検出して前記圧力可変機構による前記ブルドン管の内圧の変化を制御する制御機構を有する
ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ及び試験装置に関し、例えば半導体の試験装置に適用することができる。本発明は、ブルドン管の弾性変形によりコンタクトピンを可動させることにより、従来に比して構成を簡略化する。
【背景技術】
【０００２】
従来、集積回路の試験装置においては、例えば特開２００３−３３２３９５号公報に開示のように、ボールねじを用いたアクチュエータによりコンタクトピンを垂直方向に可動し、試験対象であるＩＣチップ等にコンタクトピンを接触させている。
【０００３】
これに対して圧力計は、ブルドン管を用いて計測対象の圧力を計測している。
【０００４】
ところでボールねじを用いたアクチュエータは、ボールねじ、ナット、軸受け、モータ等が組み合わされて形成されることから、構成が煩雑になる問題があり、これにより従来の試験装置は、構成が煩雑になる問題がある。
【特許文献１】特開２００３−３３２３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、従来に比して構成を簡略化したアクチュエータ、このアクチュエータを用いた試験装置を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
係る課題を解決するため請求項１の発明は、アクチュエータにおいて、内圧の変化により弾性変形し、可動対象を可動させるブルドン管と、前記ブルドン管の内圧を変化させる圧力可変機構とを有するようにする。
【０００７】
また請求項２の発明は、請求項１の構成において、前記ブルドン管は、前記可動対象側の一端に、前記可動対象の可動を所定方向にガイドするガイド機構が設けられる。
【０００８】
また請求項３の発明は、試験対象にコンタクトピンを接触させて、前記試験対象を試験する試験装置において、内圧の変化により弾性変形し、前記コンタクトピンを可動させるブルドン管と、前記ブルドン管の内圧を変化させる圧力可変機構とを有するようにする。
【０００９】
また請求項４の発明は、請求項３の構成において、前記ブルドン管は、前記コンタクトピン側の一端に、前記コンタクトピンの可動を所定方向にガイドするガイド機構が設けられる。
【００１０】
また請求項５の発明は、請求項３又は請求項４の構成において、前記ブルドン管の変形量を検出して前記圧力可変機構による前記ブルドン管の内圧の変化を制御する制御機構を有する。
【００１１】
請求項１の構成によれば、ブルドン管の弾性変形により可動対象を可動して全体構成を簡略化することができる。
【００１２】
また請求項２の構成によれば、ガイド機構により可動対象の可動をガイドして、所望の方向に可動対象を可動させることができる。
【００１３】
また請求項３の構成によれば、ブルドン管の弾性変形によりコンタクトピンを可動して全体構成を簡略化することができる。
【００１４】
また請求項４の構成によれば、ガイド機構によりコンタクトピンの可動をガイドして、所望の方向にガイドピンを可動させることができる。
【００１５】
また請求項５の構成によれば、バックラッシュを有効に回避して、精度良くコンタクトピンを可動させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、従来に比して構成を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、適宜図面を参照しながら本発明の実施例を詳述する。
【実施例１】
【００１８】
（１）実施例の構成
図１は、本発明の実施例の試験装置に適用される可動機構を示す斜視図である。この試験装置は、この可動機構１によりコンタクトピン２を試験対象の所望の箇所に接触させ、この試験対象を試験する。なおここで試験対象は、例えば半導体である。
【００１９】
すなわち可動機構１は、この試験装置の上側端面に可動部３が設けられ、この可動部３は、矢印Ｘ及びＹに示すように、図示しないコントローラの制御によりアクチュエータ４を保持したベース材５を前後左右に可動する。なお可動部３は、例えば空気圧、モータの駆動力等を利用してベース材５を可動する。
【００２０】
アクチュエータ４は、ベース材６が可動部３のベース材５に保持され、このベース材６の先端に、１対のブルドン管７Ａ、７Ｂが設けられる。
【００２１】
ここでブルドン管７Ａ、７Ｂは、内圧の変化により弾性変形する所定形状の金属管であり、内圧の増大により一端が他端より遠ざかるように変形する。この実施例において、ブルドン管７Ａ、７Ｂは、外形形状が円弧形状であるいわゆるＣ型ブルドン管である。ブルドン管７Ａ、７Ｂは、一端が他端のほぼ真下となるように、また両端のほぼ中央で最も間隔が大きくなるように向き合ってベース材６にそれぞれ他端が保持される。これによりブルドン管７Ａ、７Ｂは、内圧の変化により、一端がベース材６から遠ざかるように変形したり、ベース材６に近づくように変形することになる。
【００２２】
アクチュエータ４は、このブルドン管７Ａ、７Ｂの一端が連結部材８で連結され、この連結部材８の背面に、ガイド部材９が設けられる。ここでガイド部材９は、ベース材６に保持され、連結部材８側面に、上下方向に延長するガイドレールが設けられる。連結部材８は、ガイド部材９側面に、このガイドレールとかみ合うガイド溝が形成される。
【００２３】
これによりアクチュエータ４は、連結部材８及びガイド部材９により、ブルドン管７Ａ、７Ｂの一端の可動を上下方向にガイドするガイド機構が形成される。なおこの実施例では、ブルドン管７Ａ、７Ｂを向き合わせて配置したことにより、１つのブルドン管のトルクを２倍にし、コンタクト圧の調整範囲を拡大している。
【００２４】
アクチュエータ４は、この連結部材８にコンタクトピン２を保持する保持機構１０が設けられ、これによりブルドン管７Ａ、７Ｂの内圧の可変により、コンタクトピン２を上下方向に可動する。なおこの図１では、コンタクトピン２の間隔を強調して示す。
【００２５】
さらにアクチュエータ４は、ガイド部材９に連結部材８の可動量を検出するスケールが設けられ、このスケールの出力信号が図示しないコントローラに出力される。
【００２６】
さらにアクチュエータ４は、ベース材６に、コントローラの制御により、ブルドン管の内圧を可変する圧力可変機構１１が設けられる。ここで圧力可変機構１１は、例えば電圧制御レギュレータ等により形成され、スケールを介して検出される可動量をコントローラでモニタして、このコントローラの制御によりブルドン管の内圧を可変する。これによりアクチュエータ４は、コントローラを用いたフィードバック制御により可動量が制御されて、コンタクトピン２を上下方向に可動させる。
【００２７】
（２）実施例の動作
以上の構成において、この実施例の試験装置では、試験対象を図示しないテーブルに保持した状態で、可動機構１の可動部３によりコンタクトピン２が前後左右に可動し、試験対象の電極上部にコンタクトピン２が移動する。続いて試験装置では、アクチュエータ４において、圧力可変機構１１の駆動によりブルドン管７Ａ、７Ｂの内圧が増大し、ベース材６に保持された他端に対して、一端が遠ざかるようにブルドン管７Ａ、７Ｂが変形する。試験装置では、このブルドン管７Ａ、７Ｂの変形により、ブルドン管７Ａ、７Ｂの一端に保持された連結部材８がガイド部材９にガイドされて下方向に可動し、この連結部材８に保持された保持機構１０によりガイドピン２が下方向に可動して試験対象に接触する。
【００２８】
この試験装置では、コンタクトピン２が試験対象に接触すると、コンタクトピン２を介して試験対象の特性等を試験し、試験が完了すると、圧力可変機構１１によりブルドン管７Ａ、７Ｂの内圧が減少し、コンタクトピン２が上方向に可動して試験対象から遠ざかる。これによりこの試験装置では、さらにはアクチュエータでは、ボールねじ等を用いてコンタクトピンを可動させる場合に比して、格段的に構成を簡略化することができる。
【００２９】
さらにこの試験装置では、ガイド部材９に設けられたスケールにより連結部材８の可動量をコントローラでモニタして、ブルドン管７Ａ、７Ｂの内圧が制御され、これにより内圧を増大させた場合と、内圧を減少させた場合のバックラッシュの発生が有効に回避される。またこのように内圧を制御することにより、数ミクロン単位でコンタクトピン２を可動させることができ、可動量を精度良く制御することができる。
（３）実施例の効果
以上の構成によれば、ブルドン管の弾性変形により可動対象であるコンタクトピンを可動させることにより、従来に比して構成を簡略化することができる。
【００３０】
またコンタクトピンの可動を所定方向にガイドするガイド機構を設けることにより、所望する方向に確実にコンタクトピンを可動させることができる。
【００３１】
またブルドン管の変形量を検出して圧力可変機構によるブルドン管の内圧の変化を制御することにより、バックラッシュの発生を有効に回避し、可動量を精度良く制御することができる。
【実施例２】
【００３２】
なお上述の実施例においては、Ｃ型ブルドン管を使用する場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えばヘリカル型のブルドン管等、種々の形状のブルドン管を広く適用することができる。
【００３３】
また上述の実施例においては、ブルドン管を使用してコンタクトピンを上下方向に可動させる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば前後方向に可動させる場合、左右方向に可動させる場合、さらに複数のブルドン管を組み合わせて直交する２方向、３方向等、種々の方向に可動させるようにしてもよい。
【００３４】
また上述の実施例においては、ガイド機構、スケールを用いた制御によりコンタクトピンを可動させる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、実用上十分に確実にコンタクトピンを可動できる場合には、これらの双方又は一方を省略するようにしてもよい。
【００３５】
また上述の実施例においては、本発明を試験装置に適用してコンタクトピンを可動させる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々の可動対象を可動させる構成に広く適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、例えば半導体を検査する試験装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施例１の試験装置に適用される可動機構の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３８】
１……可動機構、２……コンタクトピン、３……可動部、４……アクチュエータ、５、６……ベース材、７Ａ、７Ｂ……ブルドン管、８……連結部材、９……カイド部材
【図１】
2008198812.tif 000003