(57)【要約】【課題】大きい起振力にも十分対応でき、また耐久性に優れた振動抑制装置を提供することを目的とする。【解決手段】駆動歯車１と従動歯車２とが互いに噛み合って回転してこれらの歯車の間でトルクを伝達することに伴う振動を抑制する振動抑制装置であって、表裏両面に電極８ａ，８ｂが設けられかつ応力に応じて電圧を生じる圧電素子ユニット３が、前記駆動歯車１と従動歯車２との少なくともいずれか一方の歯車における少なくとも一方の側面に円環状に配列して設けられ、それらの圧電素子ユニット３における電位差を低減する回路９が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動歯車と従動歯車とが互いに噛み合って回転してこれらの歯車の間でトルクを伝達することに伴う振動を抑制する振動抑制装置において、
表裏両面に電極が設けられかつ応力に応じて電圧を生じる圧電素子ユニットが、前記駆動歯車と従動歯車との少なくともいずれか一方の歯車における少なくとも一方の側面に円環状に配列して設けられ、それらの圧電素子ユニットにおける電位差を低減する回路が設けられていることを特徴とする歯車の振動抑制装置。
【請求項２】
前記圧電素子ユニットは、前記歯車の側面に沿った環状を成す圧電素子と、その圧電素子の表裏両面のそれぞれに、円周方向に分割して設けられた前記電極とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の歯車の振動抑制装置。
【請求項３】
前記圧電素子ユニットは、前記歯車の側面に沿った円周方向で複数に分割された圧電素子と、それぞれの圧電素子の表裏両面に設けられた電極とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の歯車の振動抑制装置。
【請求項４】
前記圧電素子ユニットは、前記歯車の両方の側面のそれぞれに設けられ、
前記回路は、所定の応力が生じた場合に、一方の側面に設けられた圧電素子ユニットにおける正側の電極と他方の側面に設けられた圧電素子ユニットにおける負側の電極とを結線して構成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の歯車の振動抑制装置。
【請求項５】
前記回路は、各圧電素子ユニットにおける電極同士の間に直列に接続された抵抗器とコイルとからなるＬ−Ｒ共振回路を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の歯車の振動抑制装置。
【請求項６】
前記圧電素子ユニットは、前記歯車の側面の中心を中心とした同心円状の二重の円環状に配列され、内周側と外周側との一方における圧電素子ユニット同士の境界を跨ぐように他方における圧電素子ユニットが配列されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の歯車の振動抑制装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、駆動歯車と従動歯車（被駆動歯車）との間でトルクを伝達する際に、いわゆる伝達位相のズレなどが要因となって生じる歯車の振動を抑制する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、歯車は大きいトルクを伝達することができるなどの利点がある半面、駆動歯車の回転数に対する従動歯車の回転数が周期的に変動する。これは、歯の噛み合いおよびその噛み合いの解消が周期的に生じるなどのいわゆる伝達位相ズレが要因となっている。その回転変動の周期と歯車の曲げ固有振動数とが一致すると、歯車の曲げ共振が生じ、その歯車が変速機を構成している場合には、その共振による起振力によってトランスミッションケースなどが共振してノイズ源となることがある。従来、歯車におけるこのような振動を抑制する技術が特許文献１に記載されており、これは、変形に対する内部抵抗が大きい高振動減衰能合金を歯車のリムおよびハブに取り付けるものである。
【０００３】
【特許文献１】実開昭６０−１８９６５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した特許文献１に記載されている発明は、歯車と共に高振動減衰能合金が振動し、それに伴う内部摩擦によって振動のエネルギを熱エネルギに変えることにより、振動を抑制するものである。しかしながら、上記の合金は、繰り返し変形して発熱し、その温度が上昇するために経時的に劣化しやすく、制振効果が低下する可能性があり、また大きい駆動力が作用することに伴って起振力が大きい場合には、必ずしも十分な制振作用を生じない可能性がある。
【０００５】
この発明は上記の技術的課題に着目してなされたものであり、大きい起振力が作用する場合であっても歯車の振動を十分に抑制でき、またその制振作用を長期に亘って維持することのできる振動抑制装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するため、請求項１の発明は、駆動歯車と従動歯車とが互いに噛み合って回転してこれらの歯車の間でトルクを伝達することに伴う振動を抑制する振動抑制装置において、表裏両面に電極が設けられかつ応力に応じて電圧を生じる圧電素子ユニットが、前記駆動歯車と従動歯車との少なくともいずれか一方の歯車における少なくとも一方の側面に円環状に配列して設けられ、それらの圧電素子ユニットにおける電位差を低減する回路が設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記圧電素子ユニットは、前記歯車の側面に沿った環状を成す圧電素子と、その圧電素子の表裏両面のそれぞれに、円周方向に分割して設けられた前記電極とから構成されていることを特徴とする歯車の振動抑制装置である。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、前記圧電素子ユニットは、前記歯車の側面に沿った円周方向で複数に分割された圧電素子と、それぞれの圧電素子の表裏両面に設けられた電極とから構成されていることを特徴とする歯車の振動抑制装置である。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明において、前記圧電素子ユニットは、前記歯車の両方の側面のそれぞれに設けられ、前記回路は、所定の応力が生じた場合に、一方の側面に設けられた圧電素子ユニットにおける正側の電極と他方の側面に設けられた圧電素子ユニットにおける負側の電極とを結線して構成されていることを特徴とする歯車の振動抑制装置である。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明において、前記回路は、各圧電素子ユニットにおける電極同士の間に直列に接続された抵抗器とコイルとからなるＬ−Ｒ共振回路を含むことを特徴とする歯車の振動抑制装置である。
【００１１】
請求項６の発明は、請求項１ないし５のいずれかの発明において、前記圧電素子ユニットは、前記歯車の側面の中心を中心とした同心円状の二重の円環状に配列され、内周側と外周側との一方における圧電素子ユニット同士の境界を跨ぐように他方における圧電素子ユニットが配列されていることを特徴とする歯車の振動抑制装置である。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１の発明によれば、歯車の振動に伴う応力が圧電素子ユニットに作用すると、その応力に応じた起電力が生じるが、その電位差が回路によって低減されるので、圧電素子ユニットおよびこれが取り付けられている歯車の変形が抑制される。そのため、歯車に大きい起振力が作用しても効果的に振動を抑制でき、またその制振効果を長期に亘って維持することができる。
【００１３】
請求項２あるいは３の発明によれば、歯車の側面が二次の振動モードでいわゆる波打つように振動する場合であっても、圧電素子ユニットがその歯車の側面に円周方向に配列され、それぞれが個別に制振作用を行うので、歯車の振動を効果的に抑制することができる。
【００１４】
請求項４の発明によれば、一方の側面に設けられた圧電素子ユニットによって生じた電圧が他方の側面に設けられている圧電素子ユニットの電位差を低減するように作用するので、各圧電素子ユニットが歯車の側面の変形を抑制するように作用し、その結果、歯車の振動を効果的に抑制することができる。
【００１５】
請求項５の発明によれば、Ｌ−Ｒ共振回路によって各圧電素子ユニットにおける応力に応じた電位差が低減され、その変形が抑制されるので、歯車の振動を効果的に抑制することができる。
【００１６】
請求項６の発明によれば、圧電素子ユニットがいわゆる円周方向に分割もしくは区分されていることによる圧電素子ユニットの境界部分に相当する箇所の変形もしくは振動が、その圧電素子ユニットの内周側もしくは外周側の他の圧電素子ユニットによって抑制される。そのため、歯車の全周に亘って効果的に制振することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
つぎにこの発明を図に示す具体例に基づいて説明する。図１はこの発明の一例を示しており、駆動歯車１と従動歯車（被駆動歯車）２とが噛み合っており、両者の間でトルクを伝達するようになっている。その駆動歯車１における両方の側面に圧電素子ユニット３が取り付けられている。なお、この側面とは、歯が成形されているリム４と軸が挿入されるボス５との間のハブ６に相当する部分の表面の部分である。
【００１８】
圧電素子ユニット３は、ピエゾ素子として知られているものであって、図２に示すように、応力が作用することにより起電力を生じる材料によって環状に形成された圧電素子７と、その表裏両面に円周方向に配列して設けられた電極８ａ，８ｂとを備え、各電極８ａ，８ｂが設けられている各部分が、それぞれ個別の圧電素子ユニット３となっている。言い換えれば、環状の圧電素子７を複数に区画した部分が圧電素子ユニット３となっている。
【００１９】
なお、図１に示す例では、各側面毎に８つの圧電素子ユニット３が設けられている。この圧電素子ユニット３の数は複数であれば、偶数あるいは奇数のいずれかの適宜の数でよいが、歯車の共振で問題となる振動は、１次および２次の振動モードであるから、圧電素子ユニット３の数（もしくは電極の分割数）が少ないと、一つの圧電素子ユニット３の中で電荷が相殺されて、歯車が１回転するうちで制振効果を得られない角度が生じることがある。これを考慮すると、圧電素子ユニット３の数（電極の分割数）は「８」以上であることが好ましい。また、各電極８ａ，８ｂは導電性の板片を圧電素子７に取り付けて形成したもの、あるいはメッキなどの手段で圧電素子７の表面に形成したもののいずれであってもよい。さらに、圧電素子ユニット３は駆動歯車１の側面に一体化されており、そのための手段は接着や機械的な締結のいずれであってもよい。そして、圧電素子７は、駆動歯車１の側面が波打つように振動することにより可及的に大きい起電力を生じるものであることが好ましく、したがって半径方向の歪みに対する圧電定数の高い分極を施したものを用いることが好ましい。
【００２０】
一方の側面における圧電素子ユニット３と他方の側面における圧電素子ユニット３との間には、それぞれの圧電素子ユニット３における電位差を低減するように作用する回路９が設けられている。具体的には、分極特性が同じになるように圧電素子ユニット３を配列した場合には、図３に示すように、駆動歯車１の軸線方向で対向する位置にある各圧電素子ユニット３の表面側の電極８ａと裏面側の電極８ｂとが導線１０によって導通されている。言い換えれば、駆動歯車１におけるハブ６に相当する部分の変形によって各圧電素子ユニット３に応力が生じた場合に一方の圧電素子ユニット３で正極となる電極と、他方の圧電素子ユニット３における負極となる電極とが結線されている。
【００２１】
上述した駆動歯車１と従動歯車２との間でトルクの伝達が行われ、その際のそれぞれの歯車１，２の間における伝達位相ズレが要因となって駆動歯車１の歯数に応じた回転変動が発生する。その周波数と駆動歯車１の固有振動数とが一致すると駆動歯車１の曲げ共振が発生し、そのハブ６に相当する部分に撓みが生じる。それに伴って前記各圧電素子ユニット３に歪むと同時に駆動歯車１への取り付け面とこれとは反対側の面とで電位差が生じる。その圧電素子ユニット３は、前述したように、その電位差を低減するように結線されているので、圧電素子ユニット３に歪みが復元する方向に応力が生じる。その結果、駆動歯車１の撓みに対してこれに制限する方向に圧電素子ユニット３が作用するので、駆動歯車１の曲げ振動が抑制される。
【００２２】
なお、この発明では、駆動歯車１に前記圧電素子ユニット３を設けるだけでなく、従動歯車２にも圧電素子ユニット３を同様に設けることができる。その例を図４の（ａ）および（ｂ）に示してある。このような構成であれば、互いに噛み合ってトルクを伝達している各歯車１，２の振動を抑制することができるので、制振効果を更に向上させることができる。したがって、これらの歯車１，２が変速機を構成していれば、変速機のケーシングに伝搬する振動が低減されることにより、そのケーシングの膜振動などを少なくしてノイズを防止もしくは抑制することができる。
【００２３】
つぎにこの発明の他の例を説明する。上述した図１あるいは図４に示す例は、一つの環状の圧電素子７に、円周方向に分割されている電極８ａ，８ｂを設けることにより、一つの環状の圧電素子７のうち各電極８ａ，８ｂが設けられている部分のそれぞれを圧電素子ユニット３とした例であるが、この発明では、圧電素子を環状に形成せずに、歯車の円周方向に分割した円弧状のものとし、これに電極８ａ，８ｂを設けた構成とすることができる。その例を図５および図６に示してある。
【００２４】
図５に示す例は、駆動歯車１のハブ６に相当する部分の両側面に圧電素子ユニット１３を取り付けた例である。この圧電素子ユニット１３は、図６に示すように、これを取り付ける側面の半径とほぼ等しい半径の円弧状をなす圧電素子１７の表裏両面に電極１８ａ，１８ｂをそれぞれ設けたものである。これらの圧電素子ユニット１３同士の結線状態を含めた他の構成は、図１に示す例と同様であるから、図６に図１と同様の符号を付してその説明を省略する。
【００２５】
図６に示す構成では、各圧電素子ユニット１３が電気的および構造上、それぞれ独立しており、駆動歯車１の曲げ振動に伴って歪みおよびそれに応じた応力を生じる。そして、駆動歯車１の一方の側面における圧電素子ユニット１３と他方の側面における圧電素子ユニット１３とが、歪みもしくは応力に応じて生じる電位差を低減する回路構成となるように結線されているので、各圧電素子ユニット１３は、前述した図１に示す例と同様に、駆動歯車１の振動に伴う撓みを制限する方向の作用を生じ、その結果、駆動歯車１の曲げ振動が抑制される。
【００２６】
図６に示すように、構造上でも円周方向に分割した圧電素子ユニット１３を、駆動歯車１だけでなく、従動歯車２にも設けることができる。その例を図７の（ａ）および（ｂ）に示してある。このような構成であれば、互いに噛み合ってトルクを伝達している各歯車１，２の振動を抑制することができるので、制振効果を更に向上させることができる。したがって、これらの歯車１，２が変速機を構成していれば、変速機のケーシングに伝搬する振動が低減されることにより、そのケーシングの膜振動などを少なくしてノイズを防止もしくは抑制することができる。
【００２７】
上述した各具体例は、圧電素子ユニット３，１３を歯車１，２の各側面のそれぞれに一重の円環状に配列した例であるが、この発明では、圧電素子ユニット３，１３を同心円状に二重に配列してもよい。その一例を図８の（ａ）および（ｂ）に示してある。ここに示す例は、前述した図１あるいは図２に示す構成と同様の構成の圧電素子ユニット３を、駆動歯車１の両側面に二重の円環状に配列して設けた例である。その内周側および外周側のそれぞれに８つの圧電素子ユニット３が配列されており、かつ内周側と外周側とではその配列ピッチが半ピッチずれている。すなわち、内外周のいずれかにおける圧電素子ユニット３の境界部分に、その内周側もしくは外周側の圧電素子ユニット３の円周方向での中心部が位置している。そして、駆動歯車１の両側面における内周側の圧電素子ユニット３同士および外周側の圧電素子ユニット３同士が、前述した図１あるいは図３に示すように、それぞれの電位差を相互に低減させるように結線されている。
【００２８】
各歯車１，２が噛み合って回転することによりトルクを伝達する場合、前述したように伝達位相ズレによって回転変動が生じ、それに伴う２次の振動モードでは歯車１，２の側面が波打つように振動する。したがって、歯車１，２が１回転する間に、その側面には振動の山となる部分と、谷となる部分と、その中間の特に変形のない部分とが生じる。内外周いずれかの側におけるいずれかの圧電素子ユニット３が、振動の山と谷との間の特に変形のない部分に到ると、歪みあるいは応力が小さくなるため、その圧電素子ユニット３による制振作用が低下する。しかしながら、その圧電素子ユニット３に対して内周側もしくは外周側に位置する他の圧電素子ユニット３は、半ピッチずれて配置されているので、振動の山もしくは谷の部分に位置し、その歪みあるいは応力が大きくなっている。したがって、当該他の圧電素子ユニット３が駆動歯車１の曲げ振動による撓みを制限するように作用するので、結局は、内周側および外周側の圧電素子ユニット３がそれぞれ補完しあって駆動歯車１の曲げ振動を抑制する。そのため、圧電素子ユニット３を一重の円環状に配列した構成に比較して、制振効果を向上させることができる。
【００２９】
なお、圧電素子ユニット３は三重以上に配列してもよい。その場合、圧電素子ユニット３を配列した円環の数で圧電素子ユニット３の配列ピッチを除した寸法ずつ、各円環での圧電素子ユニット３の配列ピッチをずらすことになるが、これは、圧電素子ユニット３を二重の円環状に配列した場合の圧電素子ユニット３の数もしくは各円環での圧電素子７の分割数を増やした構成とほぼ同様の制振効果を奏するものとなる。
【００３０】
上記の二重の円環状に配列した圧電素子ユニット３を、駆動歯車１だけでなく、従動歯車２にも同様に設けることができる。その例を図９の（ａ）および（ｂ）に示してある。このような構成であれば、互いに噛み合ってトルクを伝達している各歯車１，２の振動を抑制することができるので、制振効果を更に向上させることができる。したがって、これらの歯車１，２が変速機を構成していれば、変速機のケーシングに伝搬する振動が低減されることにより、そのケーシングの膜振動などを少なくしてノイズを防止もしくは抑制することができる。
【００３１】
また、複数の同心円状に配列する圧電素子ユニットは、圧電素子自体を円弧状に分割した図５あるいは図６に示す構成の圧電素子ユニット１３であってもよい。その圧電素子ユニット１３を駆動歯車１の両側面に二重の円環状に配列した例を図１０の（ａ）および（ｂ）に示してある。その回路構成を含む他の構成は、図８に示す構成と同様であるから、図１０に図８と同様の符号を付してその説明を省略する。さらに、その駆動歯車１におけるのと同様の圧電素子ユニット１３を従動歯車２の両側面に設けた例を図１１の（ａ）および（ｂ）に示してある。その回路構成を含む他の構成は、図９に示す構成と同様であるから、図１１に図９と同様の符号を付してその説明を省略する。そして、これら図１０および図１１に示すように構成した場合であっても、図８あるいは図９に示すように構成した場合と同様の制振効果、ノイズ防止効果を得ることができる。
【００３２】
上述した各例は、歯車１，２の一方の側面に設けた圧電素子ユニット３，１３によって他方の側面に設けた圧電素子ユニット３，１３の電位差を低減させるように構成した例であるが、圧電素子ユニット３，１３の歪みもしくは応力に伴う電位差を低減する回路は、上述した構成以外に外部に設けた回路であってもよい。その例を図１２ないし図１７のそれぞれに示してある。
【００３３】
図１２の（ａ）および（ｂ）に示す例は、駆動歯車１の一方の側面に図１あるいは図２に示す圧電素子ユニット３を取り付け、各圧電素子ユニット３における表裏の電極８ａ，８ｂを、Ｌ−Ｒ共振回路１９を介して接続した例である。このＬ−Ｒ共振回路１９は、抵抗器ＲとコイルＬとを直列に接続したものであって、その抵抗値とインダクタンスとは、低減するべき駆動歯車１の振動の周波数に基づいて設定されている。
【００３４】
したがって図１２に示す構成では、駆動歯車１の曲げ振動によって圧電素子ユニット３に歪みや応力が生じ、それに基づいて各電極８ａ，８ｂの間に電位差が生じると、その電荷がＬ−Ｒ共振回路１９によって増幅されてフィードバックされる。そのため、各圧電素子ユニット３には、フィードバックされた電荷によって、その歪みを抑制する方向の応力が生じるので、駆動歯車１の撓みに対してこれに制限する方向に圧電素子ユニット３が作用し、駆動歯車１の曲げ振動が抑制される。
【００３５】
また、図１３の（ａ）および（ｂ）に示す例は、上記のＬ−Ｒ共振回路１９を有する圧電素子ユニット３を、駆動歯車１だけでなく、従動歯車２の片方の側面に設けた例である。このような構成であれば、駆動歯車１と従動歯車２との両方の振動を抑制することができるので、変速機などに適用した場合には、そのケーシングの膜振動などを少なくしてノイズを防止もしくは抑制することができる。
【００３６】
図１４の（ａ）および（ｂ）に示す例は、駆動歯車１および従動歯車２の両側面に、上記のＬ−Ｒ共振回路１９を有する圧電素子ユニット３を設けた例である。したがって、各歯車１，２の曲げ振動を各々の両面側の圧電素子ユニット３で抑制することができるので、制振効果やノイズの低減効果を更に向上させることができる。
【００３７】
なお、Ｌ−Ｒ共振回路１９を設ける圧電素子ユニットは、前述した図２に示す構成のもの以外に、図６を参照して説明したいわゆる円周方向に分割した構造の圧電素子ユニット１３であってもよい。図１５の（ａ）および（ｂ）に示す例は、Ｌ−Ｒ共振回路１９を設けたいわゆる分割構造の圧電素子ユニット１３を駆動歯車１の一方の側面に円環状に配列して取り付けた例である。このような構造であっても、前述した図１２に示す例と同等以上の制振効果、ノイズ低減効果を得ることができる。
【００３８】
さらに、Ｌ−Ｒ共振回路１９を有する圧電素子ユニット３を用いる場合、同心円状に二重の円環状に配列した構成とすることもできる。図１６の（ａ）および（ｂ）に示す例は、駆動歯車１の一方の側面に、Ｌ−Ｒ共振回路１９を有する圧電素子ユニット３を二重の円環状に配置した例である。なお、内周側と外周側との圧電素子ユニット３の配列ピッチが、互いに半ピッチずれていることは前述した図８あるいは図９に示す例と同様である。このような構造であれば、図１２あるいは図１５に示す例と同等もしくはそれ以上の制振効果、ノイズ低減効果を得ることができる。
【００３９】
そして、図１７の（ａ）および（ｂ）に示す例は、図１６に示す圧電素子ユニット３をいわゆる分割構造の圧電素子ユニット１３に変更した例である。このような構造であっても、図１６に示す例と同様の制振効果、ノイズ低減効果を得ることができる。
【００４０】
この発明の振動抑制装置は、上述した各具体例に基づいて説明したように、圧電素子が歯車の曲げ振動を抑制するように作用することによって振動を防止もしくは抑制するものであるから、歯車で伝達するトルクが大きいなどのことによって大きい起振力が生じる場合であっても、従来にない優れた制振効果を得ることができ、またその耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】この発明の一例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図２】その圧電素子ユニットの一例の構造を説明するための模式的な斜視図である。
【図３】その回路を説明するための、圧電素子ユニット同士の結線状態を示す図である。
【図４】この発明の他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図５】この発明の更に他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図６】この発明で使用できる圧電素子ユニットの他の例の構造を説明するための模式的な斜視図である。
【図７】この発明の他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図８】この発明のまた更に他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図９】この発明の更に他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１０】この発明の更にまた他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１１】この発明のそして又他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１２】Ｌ−Ｒ共振回路を用いたこの発明の一例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１３】Ｌ−Ｒ共振回路を用いたこの発明の他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１４】Ｌ−Ｒ共振回路を用いたこの発明の更に他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１５】Ｌ−Ｒ共振回路を用いたこの発明のまた更に他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１６】Ｌ−Ｒ共振回路を用いたこの発明の他の一例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【図１７】Ｌ−Ｒ共振回路を用いたこの発明の更に又他の例を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は縦断側面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１…駆動歯車軸受外輪、  ２…従動歯車、  ３，１３…圧電素子ユニット、  ７，１７…圧電素子、  ８ａ，８ｂ，１８ａ，１８ｂ…電極、  ９…回路、  １９…Ｌ−Ｒ共振回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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