(57)【要約】【課題】外気の汚染物質濃度が高い場合であっても、ケミカルフィルタの劣化を効果的に抑制することができる保管装置を提供する。【解決手段】物品を収納する収納室１３と、前記収納室１３の上流側に設けられたケミカルフィルタ４０，５０と、前記ケミカルフィルタ４０，５０によって浄化された気体を前記収納室１３に送風する送風機６０と、前記収納室１３に送風された浄化気体を循環させるために前記収納室１３の側壁１１に沿って設けられた循環流路３１と、を備えた保管装置１とする。【選択図】図１
2008251926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収納する収納室と、
前記収納室の上流側に設けられたケミカルフィルタと、
前記ケミカルフィルタによって浄化された気体を前記収納室に送風する送風機と、
前記収納室に送風された浄化気体を循環させるために前記収納室の側壁に沿って設けられた循環流路と、
を備えた
ことを特徴とする保管装置。
【請求項２】
前記循環流路は、前記ケミカルフィルタより下流側に設けられ、
前記収納室に送風された浄化気体の少なくとも一部は、前記ケミカルフィルタより下流側で循環される
ことを特徴とする請求項１に記載の保管装置。
【請求項３】
前記収納室の下流側に、前記収納室に収納された前記物品の出し入れを行うための扉を備え、
前記送風機は、前記収納室から前記扉に向けて送風するよう配置されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の保管装置。
【請求項４】
前記収納室の下流側に、前記収納室に収納された前記物品の出し入れを行うための扉を備え、
前記ケミカルフィルタと、前記送風機と、前記収納室と、前記扉と、は直列的に配置されている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の保管装置。
【請求項５】
前記循環流路は、前記側壁の一部に沿って前記収納室の下流側から上流側まで延びる副流路と、前記側壁の他の一部に沿って前記収納室の下流側から上流側まで延びて前記副流路に比して浄化気体の通風抵抗が小さくなるよう形成されている主流路と、を有する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の保管装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保管装置に関し、特に、ケミカルフィルタを備えた保管装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
物品を外気に含まれる汚染物質から保護しつつ保管するために、従来、例えば、内部に半導体ウエハを保管するクリーンボックスであって、その上流側からケミカルフィルタで浄化した空気を送風し、当該浄化された空気をそのまま下流端から排出するものがあった（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平７−２８３０９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、半導体ウエハを通過した浄化空気が全てクリーンボックスからそのまま排出されるため、例えば、外気の汚染物質濃度が高い場合には、ケミカルフィルタの劣化が急激に起こる等の問題があった。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであって、外気の汚染物質濃度が高い場合であっても、ケミカルフィルタの劣化を効果的に抑制することができる保管装置を提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明の一実施形態に係る保管装置は、物品を収納する収納室と、前記収納室の上流側に設けられたケミカルフィルタと、前記ケミカルフィルタによって浄化された気体を前記収納室に送風する送風機と、前記収納室に送風された浄化気体を循環させるために前記収納室の側壁に沿って設けられた循環流路と、を備えたことを特徴とする。この保管装置においては、外気の汚染物質濃度が高い場合であっても、ケミカルフィルタの劣化を効果的に抑制することができる。
【０００６】
また、前記循環流路は、前記ケミカルフィルタより下流側に設けられ、前記収納室に送風された浄化気体の少なくとも一部は、前記ケミカルフィルタより下流側で循環されることとしてもよい。この場合、ケミカルフィルタの劣化をより効果的に抑制することができる。
【０００７】
また、前記収納室の下流側に、前記収納室に収納された前記物品の出し入れを行うための扉を備え、前記送風機は、前記収納室から前記扉に向けて送風するよう配置されていることとしてもよい。この場合、収納室内の汚染を効果的に抑制することができる。
【０００８】
また、前記収納室の下流側に、前記収納室に収納された前記物品の出し入れを行うための扉を備え、前記ケミカルフィルタと、前記送風機と、前記収納室と、前記扉と、は直列的に配置されていることとしてもよい。この場合、保管装置の構成をシンプル且つコンパクトにすることができるとともに、収納室内の汚染を効果的に抑制することができる。
【０００９】
また、前記循環流路は、前記側壁の一部に沿って前記収納室の下流側から上流側まで延びる副流路と、前記側壁の他の一部に沿って前記収納室の下流側から上流側まで延びて前記副流路に比して浄化気体の通風抵抗が小さくなるよう形成されている主流路と、を有することとしてもよい。この場合、低コストで効果的に浄化気体を循環させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明の一実施形態に係る保管装置について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態においては、保管の対象とする物品として、その製造工程の途中で一時的に保管される半導体ウエハを用いる場合を例として説明する。
【００１１】
図１及び図２は、それぞれ本実施形態に係る保管装置１の平面図及び左側面図である。図１及び図２に示すように、保管装置１は、半導体ウエハＷを収納する収納室１３と、当該収納室１３の上流側に設けられた入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０と、当該入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０によって浄化された気体を当該収納室１３に送風する送風機６０と、当該収納室１３に送風された浄化気体を循環させるために当該収納室１３の周囲に設けられた循環流路部３０と、を備えている。
【００１２】
収納室１３は、送風機６０及び内部フィルタ５０を有する収納部１０の一部として設けられている。すなわち、収納室１３は、収納部１０のうち送風機６０及び内部フィルタ５０より下流側部分として設けられている。
【００１３】
この収納室１３には、複数の半導体ウエハＷが、所定の距離だけ互いに離れて、当該収納室１３内の送風機６０による送風方向（図１及び図２に示す矢印Ｂの指す方向）に対して並列に配置されている。
【００１４】
収納部１０は、直方体形状に形成され、収納室１３内の送風方向に沿って延びる４つの内側壁１１を有している。すなわち、収納部１０は、対向する左右一対の左内側壁１１ａ及び右内側壁１１ｂと、対向する上下一対の上内側壁１１ｃ及び下内側壁１１ｄと、を有している。そして、これら４つの内側壁１１に囲まれた空間内に、送風機６０と、内部フィルタ５０と、収納室１３と、が設けられている。
【００１５】
送風機６０は、収納部１０の上流端を塞ぐように設けられている。本実施形態において、送風機６０は、収納室１３内の送風方向に沿って配置された回転軸６１と、当該回転軸６１周りに回転可能に支持された羽根部６２と、当該羽根部６２を当該回転軸６１周りに回転させるための動力を発生させる図示しないモータ部と、を有する軸流ファンである。
【００１６】
この送風機６０は、図示しない電源からモータ部に電力が供給されて、羽根部６２が回転軸６１周りに回転することにより、当該送風機６０の上流側から下流側に向けて、当該回転軸６１に沿った方向に気体を送風することができる。
【００１７】
内部フィルタ５０は、送風機６０の下流側において、収納部１０の中途部分を塞ぐように設けられている。この内部フィルタ５０は、収納室１３に送風される気体を浄化する。本実施形態において、内部フィルタ５０は、気体中の化学汚染物質を除去できるケミカルフィルタである第一内部フィルタ５０ａ及び第二内部フィルタ５０ｂと、気体中の微粒子を除去できる集塵フィルタである第三内部フィルタ５０ｃと、から構成されている。
【００１８】
第一内部フィルタ５０ａ及び第二内部フィルタ５０ｂとしては、気体中の化学汚染物質を除去するものであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができるが、例えば、除去できる化学汚染物質の種類や量が互いに異なる２種類のケミカルフィルタを組み合わせて用いることができる。本実施形態においては、第一内部フィルタ５０ａとして、気体中の有機物質を除去できるモールド型のケミカルフィルタを用い、第二内部フィルタ５０ｂとして、気体中の塩基性物質を除去できるハニカム型のケミカルフィルタを用いている。
【００１９】
第三内部フィルタ５０ａとしては、目的に応じて気体中の所望の種類や大きさの粒子を除去できるものであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができる。本実施形態においては、第三内部フィルタ５０ａとして、ＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  Ａｉｒ）フィルタを用いている。
【００２０】
また、収納部１０において、送風機６０と内部フィルタ５０とは所定の距離だけ離れて配置され、これらの間には前室１２が形成されている。
【００２１】
また、収納部１０は、筐体部２０の内部に設けられている。すなわち、保管装置１は、収納部１０の外側を覆う筐体部２０を備えている。この筐体部２０は、収納部１０の形状に対応して直方体形状に形成され、収納室１３内の送風方向に沿って延びる４つの外側壁２１を有している。すなわち、筐体部２０は、対向する左右一対の左外側壁２１ａ及び右外側壁２１ｂと、対向する上下一対の上外側壁２１ｃ及び下外側壁２１ｄと、を有している。
【００２２】
そして、これら筐体部２０の左外側壁２１ａ、右外側壁２１ｂ、上外側壁２１ｃ、及び下外側壁２１ｄは、収納部１０の左内側壁１１ａ、右内側壁１１ｂ、上内側壁１１ｃ、及び下内側壁１１ｄの外面にそれぞれ対向するように設けられている。なお、説明の便宜上、図１においては筐体部２０の上外側壁２１ｃを省略し、図２においては当該筐体部２０の左外側壁２１ｂを省略して、保管措置１の内部を図示している。また、筐体部２０は、その上流端を塞ぐよう設けられた前外壁２２を有している。この前外壁２２の一部には開口２３が形成されている。
【００２３】
また、筐体部２０は、その下流端（すなわち、保管装置１の下流端）を塞ぐよう設けられた扉２４を有している。この扉２４は、保管装置１の利用者が、収納室１３に収納されている半導体ウエハＷの出し入れを行うことができるよう開閉可能に設けられている。
【００２４】
入口フィルタ４０は、保管装置１の上流端に設けられている。すなわち、入口フィルタ４０は、筐体部２０の前外壁２２の開口２３を塞ぐように設けられている。また、入口フィルタ４０は、前外壁２２から更に上流側に突出して設けられており、整備や交換のために着脱可能となっている。
【００２５】
この入口フィルタ４０は、保管装置１内に吸入される気体中の化学汚染物質を除去できるケミカルフィルタである。入口フィルタ４０としては、気体中の化学汚染物質を除去するケミカルフィルタであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができるが、例えば、気体中の有機物質、酸性物質、塩基性物質等を除去できるケミカルフィルタを用いることができる。本実施形態においては、入口フィルタ４０として、気体中の有機物質を除去できるモールド型のケミカルフィルタを用いている。
【００２６】
また、保管装置１は、入口フィルタ４０の開口面積を調節するための左右一対の入口ダンパ４１を備えている。この入口ダンパ４１は、左右一対の板状部材であって、入口フィルタ４１の外面に沿ってスライド可能に設けられている。このため、入口ダンパ４１が開閉することによって、入口フィルタ４１の外面の開口率を調整することができる。この開口率の調整によって、保管装置１に新たに吸入される外気の量や当該保管装置１内における浄化気体の循環量等を調整することができる。
【００２７】
循環流路部３０は、筐体部２０と収納部１０との間に設けられている。この循環流路部３０は、収納部１０の内側壁１１に沿って設けられ、当該収納部１０の下流側から上流側まで延びる側流路３１を有している。
【００２８】
側流路３１は、収納部１０を構成する４つの内側壁１１のうち、左内側壁１１ａ、右内側壁１１ｂ、及び下内側壁１１ｄの３つに沿ってそれぞれ設けられた左流路３１ａ、右流路３１ｂ、及び下流路３１ｃを有している。すなわち、左流路３１ａ、右流路３１ｂ、及び下流路３１ｃは、それぞれ、左内側壁１１ａと左外側壁２１ａとの間、右内側壁１１ｂと右外側壁２１ｂとの間、及び下内側壁１１ｄと下外側壁２１ｄとの間、に設けられている。
【００２９】
ここで、３つの側流路３１のうち、下流路３１ｃは、他の２つの左流路３１ａ及び右流路３１ｂに比して、浄化気体が流通する際の通風抵抗が小さくなるよう形成されている。すなわち、本実施形態において、下循環流路３１ｃの高さ（下内側壁１１ｄと下外側壁２１ｄとの距離）は、左循環流路３１ａ及び右循環流路３１ｂの高さ（左内側壁１１ａと左外側壁２１ａとの距離及び右内側壁１１ｂと右外側壁２１ｂとの距離）より大きくなっている。
【００３０】
また、循環流路部３０は、筐体部２０の前外壁２２と収納部１０の上流端との間に設けられた前流路３２と、当該収納部１０の下流端と扉２４との間に設けられた後流路３３と、を有している。すなわち、前流路３２は入口フィルタ４０と送風機６０との間に設けられ、後流路３３は収納室１３の下流端と扉２４との間に設けられている。
【００３１】
また、保管装置１は、収納部１０から循環流路部３０への浄化気体の流出量を調節するための収納部ダンパ１４を備えている。この収納部ダンパ１４は、収納部１０の内側壁１１の一部に開閉可能に設けられている。すなわち、本実施形態において、収納部ダンパ１４は、左内側壁１１ａ及び右内側壁１１ｂの下流側の一部に左右一対設けられている。各収納部ダンパ１４は、複数の孔が形成された２枚の板状部材（本実施形態においてはパンチングメタル）から構成され、左内側壁１１ａ又は右内側壁１１ｂに沿ってスライド可能となっている。この各収納部ダンパ１４の２枚のパンチングメタルをスライドさせて、これらの孔の重なり具合に応じて開口率を変化させるとともに、左内側壁１１ａ及び右内側壁１１ｂの下流端と扉２４との距離を変化させることにより、収納室１３から循環流路部３０への浄化気体の流出量を調節することができる。
【００３２】
また、保管装置１は、当該保管装置１の内部から外部への浄化気体の流出量を調節するための筐体部ダンパ２５を備えている。この筐体部ダンパ２５は、収納部ダンパ１４と同様に、筐体部２０の外側壁２１の一部に開閉可能に設けられている。すなわち、本実施形態において、筐体部ダンパ２５は、左外側壁２１ａ及び右外側壁２１ｂの下流側の一部に左右一対設けられている。そして、各筐体部ダンパ２５の２枚のパンチングメタルをスライドさせて、これらの孔の重なり具合に応じて開口率を変化させることにより、循環流路部３０から筐体部２０の外部への浄化気体の流出量を調節することができる。
【００３３】
このような保管装置１において、送風機６０を作動させると、当該保管装置１外の気体は、入口フィルタ４０を介して、図１及び図２に示す矢印Ａの指す方向に吸入される。このとき、入口フィルタ４０を通過する外気に含まれる化学汚染物質の大部分は、当該入口フィルタ４０によって除去される。
【００３４】
入口フィルタ４０によって浄化された気体は、筐体部２０内の前流路３２に流入する。前流路３２に流入した浄化気体は、送風機６０を介して収納部１０の前室１２に流入する。前室１２に流入した浄化気体は、更に内部フィルタ５０を介して収納室１３に流入する。
【００３５】
このとき、内部フィルタ５０を通過する気体に含まれる化学汚染物質は、第一内部フィルタ５０ａ及び第二内部フィルタ５０ｂによって除去され、また、当該気体に含まれる微粒子は、第三内部フィルタ５０ｃによって除去される。このため、収納室１３には、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０によって高度に浄化された気体が流入する。
【００３６】
収納室１３に流入した浄化気体は、当該収納室１３に配置されている複数の半導体ウエハの間を上流側から下流側に向けて通過する。そして、収納室１３を通過した浄化気体は、当該収納室１３の下流端（すなわち、収納部１０の下流端）から後流路３３に流出する。なお、この後流路３３への浄化気体の流出量は、収納部ダンパ１４の開口の程度によって調節することができる。
【００３７】
収納部１０から流出した浄化気体は、当該収納部１０内における送風方向の下流端を塞ぐ扉２４に行く手を阻まれる。この結果、後流路３３の浄化気体は、循環流路部３０を通って収納部１０の上流側に折り返すこととなる。
【００３８】
すなわち、収納室１３を通過した浄化気体の少なくとも一部は、収納部１０の脇に沿って設けられた３つの側流路３１を通って、当該収納部１０内の送風方向とは反対方向に当該収納部１０外を逆流し、前流路３２まで戻る。具体的に、浄化気体は、左流路３１ａ内を図１に示す矢印Ｃ１の指す方向に流通し、右流路３１ｂ内を図１に示す矢印Ｃ２の指す方向に流通し、下流路３１ｃ内を図２に示す矢印Ｃ３の指す方向に流通する。
【００３９】
なお、このとき、筐体部ダンパ２５の開口の程度によって、浄化気体の循環量を調節し、例えば、収納室１３を通過した浄化気体の一部を保管装置１外に流出させるとともに、残りの浄化気体を前流路３２まで循環させることができる。
【００４０】
この結果、左流路３１ａ、右流路３１ｂ、及び下流路３１ｃを通ってきた浄化気体は、図１及び図２に示す矢印Ｄ１、矢印Ｄ２、及び矢印Ｄ３の指す方向から前流路３２内で合流する。そして、循環された浄化気体は、循環流路部３０（特に、前流路３２）内において、入口フィルタ４０を介して保管装置１の外部から新たに流入してきた浄化気体と混合された後、再び収納部１０に流入する。
【００４１】
このように、保管装置１においては、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０によって浄化された気体を当該保管装置１内で循環させることができる。このため、例えば、従来のように浄化気体の全てを装置外に排出する場合に比べて、入口フィルタ４０を通過する外気の量を低減することができる。したがって、例えば、保管装置１外の気体に含まれる汚染物質の濃度が高い場合であっても、入口フィルタ４０の劣化を効果的に抑制することができる。更に、内部フィルタ５０を通過する気体に含まれる汚染物質の濃度を低減することにより、当該内部フィルタ５０の劣化をも効果的に抑制することができる。
【００４２】
また、循環流路部３０は、その全体が入口フィルタ４０より下流側に設けられている。このため、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０で浄化された気体を、浄化されていない外気と混合することなく、当該入口フィルタ４０より下流側で循環することができる。したがって、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０の劣化を効果的に抑制することができるとともに、収納室１３内の清浄度を高度に維持することができる。
【００４３】
また、送風機６０は、収納室１３から扉２４に向けて送風するよう配置されている。このため、例えば、保管装置１の利用者が、収納室１３に収納された半導体ウエハＷを取り出すために扉２４を開けた場合においても、当該収納室１３から当該保管装置１外に浄化気体を継続的に流出させることにより、外気が当該収納室１３内に流入することによる汚染を効果的に防止することができる。
【００４４】
また、入口フィルタ４０と、送風機６０と、収納室１３と、扉２４と、は直列的に配置されている。すなわち、上流側から下流側に向けて直線的に延びる収納部１０内において、送風機６０、内部フィルタ５０、収納室１３は一体的に設けられるとともに、当該収納部１０と、入口フィルタ４０と、扉２４と、は当該収納部１０内の送風方向に沿った一直線上に配置されている。このため、保管装置１の構成をシンプル且つコンパクトにすることができるとともに、扉２４の開閉に伴う収納室１３等の汚染を効果的に抑制することができる。
【００４５】
また、３つの側流路３１のうち、１つの下流路３１ｃにおいては、他の互いに対向する左流路３１ａ及び右流路３１ｂに比して、浄化気体の通風抵抗が小さくなっている。このため、浄化気体を、側流路３１のうち下流路３１ｃを優先的に通過させて、収納室１３の下流側から上流側まで循環させることができる。したがって、保管装置１における浄化気体の循環を低コストで効果的に行うことができる。
【００４６】
また、側流路３１は、４つの内側壁１１の一部である上内側壁１１ｃに沿っては設けられていない。このため、保管装置１のコンパクト化が可能となり、例えば、保管装置１を複数積み重ねる場合にも有利である。また、側流路３１の体積を低減して、保管装置１内に保持する浄化気体の量を低減できるため、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０の劣化を効果的に抑制することができる。
【００４７】
また、この保管装置１においては、外部からの気体の吸入、収納室１３内の浄化気体の流通、循環流路部３０内の浄化気体の循環等の気体の流通をいずれも１つの送風機６０によって行う。このため、低コストで効果的に浄化気体を循環させることができる。
【００４８】
［実施例］
次に、保管装置１内で浄化気体を循環させた場合における、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０の浄化性能及び使用寿命を評価した具体例について説明する。
【００４９】
本実施例では、入口フィルタ４０及び第一内部フィルタ５０ａとして有機物質を除去するモールド型のケミカルフィルタを備え、第二内部フィルタ５０ｂとして酸性物質を除去するハニカム型のケミカルフィルタを備え、第三内部フィルタ５０ｃとしてＵＬＰＡフィルタを備えた保管装置１を用いた。
【００５０】
入口フィルタ４０及び第一内部フィルタ５０ａの気体を吸入する外表面積は４５０ｍｍ×４５０ｍｍ、厚さ（気体が通過する方向における長さ）は１５ｍｍであり、第二内部フィルタ５０ｂの外表面積は４５０ｍｍ×４５０ｍｍ、厚さは１４０ｍｍであり、第三内部フィルタ５０ｃの外表面積は４５０ｍｍ×４５０ｍｍ、厚さは６５ｍｍであった。
【００５１】
また、比較の対照として、図３に示すように、浄化気体を循環することなく下流端からワンパスで全て排出する装置１００（以下、「対照装置１００」という）を用いた。すなわち、図３に示すように、この対照装置１００としては、保管装置１と同じ送風機６０、内部フィルタ５０、収納室１３を有し、当該保管装置１の収納部１０と同様の構造を有するものを用いた。
【００５２】
したがって、この対照装置１００においては、外気が集塵用プレフィルタ５１、送風機６０及び前室１２を介して内部フィルタ５０を通過し、当該内部フィルタ５０によって浄化された気体は、収納室１３を図３に示す矢印Ｘの指す方向に通過した後、当該収納室１３の下流端に形成された一対のダンパ１４から当該対照装置１００外に全て排出された。
【００５３】
そして、有機汚染物質としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）を１３００μｇ／ｍ３の濃度で含み、酸性汚染物質として酢酸を１０μｇ／ｍ３の濃度で含む空気を外気として用いた場合における、これら保管装置１及び対照装置１００内の初期ガス濃度と、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０の９０％除去予測寿命及び８０％除去予測寿命を評価した。保管装置１及び対照装置１００への外気の流入速度はいずれも０．１５ｍ／秒とした。また、保管装置１において、収納室１３を通過した浄化気体の１５％を筐体部ダンパ２５から当該保管装置１外へ排出し、残り８５％の浄化気体を循環させた（すなわち、浄化気体の循環率は８５％とした）。
【００５４】
具体的に、保管装置１及び対照装置１００の前室１２におけるＰＧＭＥＡ及び酢酸の濃度を第一初期ガス濃度、収納室１３におけるＰＧＭＥＡ及び酢酸の濃度を第二初期ガス濃度、としてそれぞれ測定した。これらＰＧＭＥＡ及び酢酸の濃度は、ガスクロマトグラフィーによって測定した。
【００５５】
更に、次のような方法で９０％除去予測寿命及び８０％除去予測寿命を評価した。すなわち、９０％除去予測寿命及び８０％除去予測寿命は、入口フィルタ４０又は内部フィルタ５０を通過する前の気体中におけるＰＧＭＥＡ又は酢酸の濃度Ｃｉを１００％とした場合において、使用に伴い当該入口フィルタ４０又は内部フィルタ５０の除去性能が低下することにより、当該入口フィルタ４０又は内部フィルタ５０を通過した後の対象気体中に残存しているＰＧＭＥＡ又は酢酸の濃度Ｃｏが上昇してそれぞれ１０％及び２０％になるまでの使用時間（ＰＧＭＥＡ又は酢酸の除去率が９０％及び８０％に低下するまでの使用時間）として評価した。具体的には、９０％除去予測寿命及び８０％除去予測寿命は、上述の測定条件に加え、入口フィルタ４０及び内部フィルタ５０における気体の浄化に有効な表面積、ＰＧＭＥＡ及び酢酸の物質移動係数等を用い、Ｆｉｃｋの法則に従った拡散現象の理論モデル式に基づいて、差分法による数値解析により算出した。なお、ＰＥＧＭＥＡ及び酢酸の除去率（％）は、下記の式（Ｉ）により求めた。
【数１】
2008251926.tif 000003
【００５６】
この結果、ＰＧＭＥＡについて、上述の方法により測定した第一初期ガス濃度は、それぞれ保管装置１において９１μｇ／ｍ３、対照装置１００において１３００μｇ／ｍ３であり、第二初期ガス濃度は、それぞれ保管装置１において２．２μｇ／ｍ３、対照装置１００において９１μｇ／ｍ３であった。また、酢酸について、第一初期ガス濃度は、それぞれ保管装置１において１．６μｇ／ｍ３、対照装置１００において１０μｇ／ｍ３であり、第二初期ガス濃度は、それぞれ保管装置１において０．０３μｇ／ｍ３、対照装置１００において０．０６μｇ／ｍ３であった。
【００５７】
そして、上述の方法により評価した９０％除去予測寿命は、保管装置１の入口フィルタ４０について３９８時間、保管装置１及び対照装置１００の第一内部フィルタ５０ａについてそれぞれ１５１９時間及び３９８時間、保管装置１及び対照装置１００の第二内部フィルタ５０ｂについてはいずれも３５．１年であった。また、８０％除去予測寿命は、保管装置１の入口フィルタ４０について７６７時間、保管装置１及び対照装置１００の第一内部フィルタ５０ａについてそれぞれ２２１０時間及び７６７時間、保管装置１及び対照装置１００の第二内部フィルタ５０ｂについてはいずれも４４．３年であった。
【００５８】
なお、本発明に係る保管装置は、上述の例に限られるものではない。すなわち、上述の例では、側流路３１が収納部１０の４つの内側壁１１のうち３つのみに沿って設けられる場合について説明したが、当該内側壁１１の全体に沿って設けることもできる。この場合、例えば、４つの側流路３１のうち１つの下流路３１ｃを、他の３つ（左流路３１ａ、右流路３１ｂ、及び上内側壁１１ｃと上外側壁２１ｃとの間に設けられた上側流路）に比して浄化気体の通風抵抗が小さくなるよう形成することができる。また、例えば、側流路３１のうち対向する一対（例えば、上側流路と下側流路３１ｃ）が、他の対向する一対（例えば、左流路３１ａと右流路３１ｂ）に比して浄化気体の通風抵抗が小さくなるよう形成することもできる。このように、循環流路部３０は、収納部１０の複数の側壁のうち一部の側壁に沿って設けられた副循環流路と、当該複数の側壁のうち他の一部の側壁に沿って設けられ、当該副循環流路に比して浄化気体の通風抵抗が小さくなるよう形成された主循環流路と、を有するものであれば、上述の例に限られない。
【００５９】
また、入口フィルタ４０や内部フィルタ５０に用いられるケミカルフィルタとしては、目的に応じた種類のものを任意に選択して用いることができる。すなわち、入口フィルタ４０としては、例えば、気体中の有機物質、酸性物質、塩基性物質等の化学汚染物質を吸着等によって除去できるケミカルフィルタ、気体中の異臭成分を吸着等によって除去できる脱臭フィルタ、気体中の化学汚染物質を分解除去できる触媒フィルタ等を用いることができる。この場合、入口フィルタ４０に用いられる機能剤として、例えば、活性炭、イオン交換樹脂、ゼオライト、光触媒、マンガン触媒、銅マンガン触媒等を用いることができる。機能剤としてイオン交換樹脂を有するケミカルフィルタを用いる場合には、例えば、空隙を多く有する無機繊維を骨格とした構造体に、気体中の酸性物質や塩基性物質が効果的に化学吸着するイオン交換樹脂を高密度に担持したものを好適に用いることができる。
【００６０】
また、内部フィルタ５０の一部又は全部として、目的に応じた種類の集塵フィルタを任意に選択して用いることができる。すなわち、例えば、気体中の所望の径の粒子を捕捉して除去できる集塵フィルタを用いることができる。また、上述の例では、内部フィルタ５０として、機能の異なる複数のフィルタを組み合わせたものを用いる場合について説明したが、これに限られず、例えば、他の組み合わせによる複数のフィルタから構成することができ、また、一つのフィルタから構成することもできる。
【００６１】
更に、入口フィルタ４０と内部フィルタ５０との組合せについても上述の例に限られず、互いに機能の異なる他のフィルタの組合せとすることができ、また、同種のフィルタの組合せとすることもできる。
【００６２】
また、入口フィルタ４０や内部フィルタ５０としては、目的に応じて、任意の形状のものを用いることができる。すなわち、例えば、ハニカム構造体、プリーツ構造体、ペレット、押し出し成形体、発泡体等を用いることができる。また、例えば、圧力損失が小さく汚染物質の除去寿命が長いという点でハニカム構造体を好適に用いることもできる。
【００６３】
また、上述の例では、収納部１０及び筐体部２０が、屈曲しながら連なる４つの内側壁１１及び外側壁２１を有する直方体形状の場合について説明したが、これに限られず、他の形状とすることができる。
【００６４】
また、上述の例では、送風機６０が軸流ファンである場合について説明したが、これに限られず、例えば、回転軸方向に気体を吸入して、羽根部の回転方向の接線方向に気体を排出するブロワや、その他のターボファン等を用いることもできる。なお、送風機６０として軸流ファン以外のものを用いた場合であっても、例えば、その排出口を扉２４に向けて配置し、又は適切に設計されたダクト等を用いることにより、当該送風機６０を、収納室１３から扉２４に向けて送風するよう配置することができる。すなわち、例えば、送風機６０としてブロワを用いる場合には、当該ブロワを、その排気口が下流側（図１及び図２に示す矢印Ｂの指す方向）に向くよう、収納部１０の上流端部分に配置することができる。また、送風機６０としてターボファンを用いる場合には、当該ターボファンを、軸流ファンと同様に、その回転軸が図１及び図２に示す矢印Ｂの指す方向に沿って延びるよう、収納部１０の上流端部分に配置することができる。また、送風機６０は、収納部１０より上流側であって前流路３２内に配置することもできる。
【００６５】
また、例えば、保管装置１において、入口ダンパ４１と筐体部ダンパ２５とを完全に閉じるとともに送風機６０を停止させて、当該保管装置１の内部を密閉状態にすれば、当該保管装置１内で送風することなく半導体ウエハＷを保管することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施形態に係る保管装置の平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る保管装置の側面図である。
【図３】比較の対象とする保管装置の平面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  保管装置、１０  収納部、１１  内側壁、１２  前室、１３  収納室、１４  収納部ダンパ、２０  筐体部、２１  外側壁、２２  前外壁、２３  開口、２４  扉、２５  筐体部ダンパ、３０  循環流路部、３１  側流路、３２  前流路、３３  後流路、４０  入口フィルタ、４１  入口ダンパ、５０  内部フィルタ、５１  プレフィルタ、６０  送風機、６１  回転軸、６２  羽根部、１００  対照装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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