(57)【要約】【課題】ワークの種類や大きさが異なる場合でも、基準マークの位置認識時間を短縮すること。【解決手段】液滴吐出装置１は、一対の基準マークＭの位置が異なる複数種のワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を主走査方向に相対的に移動させて描画を行なう描画手段と、給材された各ワークＷをプリアライメント状態にセットすると共に各ワークＷに対しθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージ２１と、副走査方向に延在する帯状の認識可能領域８４を有し、一対の基準マークＭを画像認識する画像認識手段８０と、認識結果に基づいて、ワークステージ２１をアライメント動作させるアライメント制御手段と、ワークステージ２１に対し、各ワークＷを除給材する除給材手段７０と、を備え、除給材手段７０は、主走査方向において、一対の基準マークＭが認識可能領域８４と合致する位置に各ワークＷを給材する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基準マークの位置が異なる複数種のワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させて描画を行なう描画手段と、
給材された前記各ワークをプリアライメント状態にセットすると共に、セットした前記各ワークに対し少なくともθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージと、
副走査方向に延在する帯状の認識可能領域を有し、プリアライメントされた前記各ワークの一対の基準マークを画像認識する画像認識手段と、
前記画像認識手段の認識結果に基づいて、前記ワークステージを前記アライメント動作させるアライメント制御手段と、
前記ワークステージに対し、前記各ワークを除給材する除給材手段と、を備え、
前記除給材手段は、主走査方向において、前記一対の基準マークが前記認識可能領域と合致する位置に前記各ワークを給材することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記画像認識手段は、前記各基準マークを画像認識する２台の認識カメラと、前記２台の認識カメラを副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記描画手段は、前記機能液滴吐出ヘッドに対し、前記ワークステージを介して前記各ワークを主走査方向に移動させるよう構成されており、
前記除給材手段による前記各ワークの給材に際し、主走査方向において、前記各ワークの中心が前記θ補正の中心に合致するように前記ワークステージを移動させることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
一対の基準マークの位置が異なる複数種のワークをそれぞれ導入し、前記各ワークに対しインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより描画を行なう液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドに対し、前記各ワークを主走査方向に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させて描画を行なう描画手段と、
給材された前記各ワークをプリアライメント状態にセットすると共に、セットした前記各ワークに対し少なくともθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージと、
それぞれが副走査方向に延在する帯状の認識可能領域を有してプリアライメントされた前記各ワークの一対の基準マークを画像認識可能に構成され、主走査方向に相互に間隔を存して配置した複数の画像認識手段と、
前記描画手段、前記ワークステージおよび前記複数の画像認識手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記描画手段により、セットした前記各ワークを、主走査方向において前記一対の基準マークが任意の１の前記画像認識手段の前記認識可能領域と合致するように移動させた後、前記任意の１の画像認識手段により、前記一対の基準マークを画像認識させ、この認識結果に基づいて、前記ワークステージを前記アライメント動作させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
前記複数の画像認識手段は、主走査方向に等しい配置ピッチで配設されており、
前記任意の１の画像認識手段は、前記複数の画像認識手段のうち前記一対の基準マークに最も近い位置にあるものであることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
描画休止時に、前記機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで前記機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けると共に、前記ワークステージに平行になるように副走査方向に延在するフラッシングユニットを、更に備え、
前記制御手段は、前記各ワークの給材に先立ち前記ワークステージを、前記フラッシングユニットから前記配置ピッチの１／２以上離した位置に移動させることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
描画休止時に、前記機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで前記機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、前記ワークステージに平行になるように副走査方向に延在する吐出検査ユニットを、更に備え、
前記制御手段は、前記各ワークの給材に先立ち前記ワークステージを、前記吐出検査ユニットから前記配置ピッチの１／２以上離した位置に移動させることを特徴とする請求項５または６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記複数の画像認識手段は、主走査方向に等しい配置ピッチで配設されており、
前記任意の１の画像認識手段は、前記複数の画像認識手段のうち前記一対の基準マークに対し前記機能液滴吐出ヘッドに近い側の直近に位置するものであることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
描画休止時に、前記機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで前記機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けると共に、前記ワークステージに平行になるように副走査方向に延在するフラッシングユニットを、更に備え、
前記制御手段は、前記各ワークの給材に先立ち前記ワークステージを、前記フラッシングユニットから前記配置ピッチ以上離した位置に移動させることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
描画休止時に、前記機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで前記機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、前記ワークステージに平行になるように副走査方向に延在する吐出検査ユニットを、更に備え、
前記制御手段は、前記各ワークの給材に先立ち前記ワークステージを、前記吐出検査ユニットから前記配置ピッチ以上離した位置に移動させることを特徴とする請求項８または９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記各画像認識手段は、前記各基準マークを画像認識する２台の認識カメラと、前記２台の認識カメラを副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構と、を有していることを特徴とする請求項４ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記ワークステージに対し、前記各ワークを除給材する除給材手段、を更に備え、
前記除給材手段は、前記各ワークを、その中心が前記θ補正の中心と合致するように給材することを特徴とする請求項４ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを用いてワークに描画を行なう液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、基板搬送テーブルを主走査方向に移動させる主走査移動機構と、機能液吐出ヘッドを有するヘッドユニットを副走査方向に移動させる副走査移動機構と、基板搬送テーブル上の基板（ワーク）に臨み、ワークをアライメントするためのカメラユニットと、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。カメラユニットは、１眼のアライメントカメラと、アライメントカメラを副走査方向に移動させるカメラ移動機構と、を有しており、アライメントカメラの副走査方向への移動とワークの主走査方向への移動とを協働させることにより、ワークのアライメントマーク（基準マーク）の位置認識を行なっている。
【特許文献１】特開２００４−２４３１８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の液滴吐出装置では、ワークの種類や大きさにより基準マークの位置が異なる場合には、基準マークの位置にまでアライメントカメラを相対的に主走査方向および副走査方向に移動させる必要があるため、基準マークの位置認識時間がかかってしまう問題がある。
【０００４】
本発明は、ワークの種類や大きさが異なる場合でも、基準マークの位置認識時間を短縮することができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出装置は、一対の基準マークの位置が異なる複数種のワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させて描画を行なう描画手段と、給材された各ワークをプリアライメント状態にセットすると共に、セットした各ワークに対し少なくともθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージと、副走査方向に延在する帯状の認識可能領域を有し、プリアライメントされた各ワークの一対の基準マークを画像認識する画像認識手段と、画像認識手段の認識結果に基づいて、ワークステージをアライメント動作させるアライメント制御手段と、ワークステージに対し、各ワークを除給材する除給材手段と、を備え、除給材手段は、主走査方向において、一対の基準マークが認識可能領域と合致する位置に各ワークを給材することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、除給材手段が、主走査方向において、各ワークの一対の基準マークを副走査方向に延在する認識可能領域に合致する位置に給材するので、各ワークを主走査方向に移動させることなく、ワークの画像認識が可能となる。したがって、基準マークの位置認識時間を短縮することができ、全体として、ワークへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【０００７】
この場合、画像認識手段は、各基準マークを画像認識する２台の認識カメラと、２台の認識カメラを副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構と、を有していることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、ワークの種類や大きさ等により、一対の基準マークの位置が異なるワークであっても、２台の認識カメラにより各基準マークをそれぞれ認識するため、一対の基準マークの位置認識を短時間で行なうことができる。
【０００９】
これらの場合、描画手段は、機能液滴吐出ヘッドに対し、ワークステージを介して各ワークを主走査方向に移動させるよう構成されており、除給材手段による各ワークの給材に際し、主走査方向において、各ワークの中心がθ補正の中心に合致するようにワークステージを移動させることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、描画手段が、各ワークの給材の際に、各ワークの中心とθ補正の中心とを合致するようにワークステージを移動させるので、各種ワークに対し正確にθ補正を行なうことができると共に、効率良くθ補正を行なうことができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、一対の基準位置が異なる複数種のワークをそれぞれ導入し、各ワークに対しインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより描画を行なう液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドに対し、各ワークを主走査方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出させて描画を行なう描画手段と、給材された各ワークをプリアライメント状態にセットすると共に、セットした各ワークに対し少なくともθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージと、それぞれが副走査方向に延在する帯状の認識可能領域を有してプリアライメントされた各ワークの一対の基準マークを画像認識可能に構成され、主走査方向に相互に間隔を存して配置した複数の画像認識手段と、描画手段、ワークステージおよび複数の画像認識手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、描画手段により、セットした各ワークを、主走査方向において一対の基準マークが任意の１の画像認識手段の認識可能領域と合致するように移動させた後、任意の１の画像認識手段により、一対の基準マークを画像認識させ、この認識結果に基づいて、ワークステージをアライメント動作させることを特徴とする。
【００１２】
この場合、複数の画像認識手段は、主走査方向に等しい配置ピッチで配設されており、任意の１の画像認識手段は、複数の画像認識手段のうち一対の基準マークに最も近い位置にあるものであることが好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、複数の画像認識手段のうち一対の基準マークに最も近い位置にある任意の１の画像認識手段（の認識可能領域）に基準マークを合致させるので、各種ワークに対するアライメントにおいてワークステージの移動を極力少なくすることができ、ワークの画像認識を含むアライメント時間を短縮することができる。これにより、全体として、ワークへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００１４】
この場合、描画休止時に、機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで機能液滴吐出ヘッドからの捨て吐出を受けると共に、ワークステージに平行になるように副走査方向に延在するフラッシングユニットを、更に備え、制御手段は、各ワークの給材に先立ち、ワークステージを、フラッシングユニットから配置ピッチの１／２以上離した位置に移動させることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、ワークステージを、フラッシングユニットから配置ピッチの１／２以上離した位置に移動させるので、ワークステージがフラッシングユニットに向かって最も長い距離移動した場合でも、ワークステージとフラッシングユニットとが干渉することなく、基準マークの位置認識時にフラッシングユニットを移動させる必要がない。すなわち、機能液滴吐出ヘッドに捨て吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００１６】
これらの場合、描画休止時に、機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、ワークステージに平行になるように副走査方向に延在する吐出検査ユニットを、更に備え、制御手段は、各ワークの給材に先立ち前記ワークステージを、吐出検査ユニットから配置ピッチの１／２以上離した位置に移動させることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、ワークステージを、吐出検査ユニットから配置ピッチの１／２以上離した位置に移動させるので、ワークステージが吐出検査ユニットに向かって最も長い距離移動した場合でも、ワークステージと吐出検査ユニットとが干渉することなく、基準マークの位置認識時に吐出検査ユニットを移動させる必要がない。すなわち、機能液滴吐出ヘッドに検査吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００１８】
この場合、複数の画像認識手段は、主走査方向に等しい配置ピッチで配設されており、任意の１の画像認識手段は、複数の画像認識手段のうち一対の基準マークに対し機能液滴吐出ヘッドに近い側の直近に位置するものであることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、主走査方向において、ワークを機能液滴吐出ヘッドに向かう方向に移動させて基準マークと認識可能領域とを合致させるようにしているので、アライメントに際し、ワークは常に機能液滴吐出ヘッドに近づくことになる。このため、アライメント後の描画において、機能液滴吐出ヘッドの主走査方向への助走距離を短くすることができる。すなわち、アライメントから描画への移行時間を短縮することができ、全体として、ワークへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００２０】
この場合、描画休止時に、機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで機能液滴吐出ヘッドのからの捨て吐出を受けると共に、ワークステージに平行になるように副走査方向に延在するフラッシングユニットを、更に備え、制御手段は、各ワークの給材に先立ちワークステージを、フラッシングユニットから配置ピッチ以上離した位置に移動させることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、ワークステージを、フラッシングユニットから配置ピッチ以上離した位置に移動させるので、ワークステージがフラッシングユニットに向かって最も長い距離移動した場合でも、ワークステージとフラッシングユニットとが干渉することがなく、基準マークの位置認識時にフラッシングユニットを移動させる必要がない。すなわち、機能液滴吐出ヘッドに捨て吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００２２】
これらの場合、描画休止時に、機能液滴吐出ヘッドの直下に臨んで機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けると共に、ワークステージに平行になるように副走査方向に延在する吐出検査ユニットを、更に備え、制御手段は、各ワークの給材に先立ちワークステージを、吐出検査ユニットから配置ピッチ以上離した位置に移動させることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、ワークステージを、吐出検査ユニットから配置ピッチ以上離した位置に移動させるので、ワークステージが吐出検査ユニットに向かって最も長い距離移動した場合でも、ワークステージと吐出検査ユニットとが干渉することがなく、基準マークの位置認識時に吐出検査ユニットを移動させる必要がない。すなわち、機能液滴吐出ヘッドに検査吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００２４】
これらの場合、各画像認識手段は、各基準マークを画像認識する２台の認識カメラと、２台の認識カメラを副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構と、を有していることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、ワークの種類や大きさ等により、一対の基準マークの位置が異なるワークであっても、２台の認識カメラにより各基準マークをそれぞれ認識するため、一対の基準マークの位置認識を短時間で行なうことができる。
【００２６】
これらの場合、ワークステージに対し、各ワークを除給材する除給材手段、を更に備え、除給材手段は、各ワークを、その中心がθ補正の中心と合致するように給材することが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、給材手段が、各ワークの中心とθ補正の中心とを合致するようにワークを給材するので、各種ワークに対して正確にθ補正を行なうことができると共に、効率良くθ補正を行なうことができる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする
【００２９】
本発明の電気光学装置は、上記した記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３０】
これらの構成によれば、上記液滴吐出装置を用いて、ワークのアライメント処理および機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を並列に行うことで、製造のサイクルタイムを短縮することができ、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field  Emission  Display）やＳＥＤ（Surface-conduction  Electron-Emitter  Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３１】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３２】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３４】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワーク（基板）ＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、ワークステージ２１に数種のワークＷを除給材する除給材ロボット（除給材手段）７０と、Ｘ軸テーブル１１に支持されると共に、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された画像認識ユニット（画像認識手段）８０と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７（図示省略）が搭載された１０個のキャリッジユニット５１とから成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。なお、Ｘ軸テーブル１１、Ｙ軸テーブル１２および複数の機能液滴吐出ヘッド１７は、請求項で言う描画手段を構成し、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、一対の基準マーク（アライメントマーク）Ｍの位置が異なる複数種のワークＷに対して、所定の描画パターンを描画する。
【００３５】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット（吐出検査ユニット）１８から成るメンテナンスユニット５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンスユニット５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている。
【００３６】
また、同図では省略したが、液滴吐出装置１には、装置全体を制御する制御手段７（図８参照）が備えられており、後述するアライメント処理、描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段７による制御に基づいて行われている。
【００３７】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするワークステージ２１と、ワークステージ２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してワークＷをＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００３８】
Ｙ軸テーブル１２は、ヘッドユニット１３を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。
【００３９】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する（副走査）。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００４０】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００４１】
図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００４２】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。また、機能液滴吐出ヘッド１７は、各吐出ノズル９８ごとに液滴を自在に吐出することができるように構成されている。
【００４３】
図４に示すように、ヘッドユニット１３には、サブキャリッジ５３を介して、複数（１２個）の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつ（Ｒ・Ｇ・Ｂそれぞれ２個ずつ）Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド群５４を構成している。本実施形態のものでは、全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）の２回の副走査により、Ｙ軸方向に連続するＲＧＢ３色の描画ラインがそれぞれ形成される。この描画ラインの長さは、ワークステージ２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。
【００４４】
ところで、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており（図５参照）、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。この描画パターンには、図６に示すように３種類のパターンがあり、本実施形態では、図６（ａ）の描画パターン（ビットマップデータ）により描画が行われる。
【００４５】
液滴吐出装置１の描画動作は、まず、ワークＷをＸ軸テーブルにより、Ｘ軸方向で移動させながら（図１中左側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット１３を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中右側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット１３を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中左側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このような描画動作により、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。
【００４６】
次に、メンテナンスユニット５を構成するフラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、および吐出性能検査ユニット１８について説明する。
【００４７】
吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、機能液滴吐出ヘッド１７を吸引して、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に排出させるものである。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る（ワイピングを行う）ものである。
【００４８】
吐出性能検査ユニット１８は、ヘッドユニット１３に搭載された全機能液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル９８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものであり、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット１６１と、被描画ユニット１６１に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット１６２と、を備えている。なお、吐出性能検査ユニット１８は、ワークステージ２１に対して、主走査方向における最大のワークＷの一対の基準マークＭと、最小のワークＷの一対の基準マークＭとの距離以上、離間した位置に設けられている。
【００４９】
フラッシングユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル９８からの捨て吐出（フラッシング）により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、描画前フラッシングユニット１１１と、定期フラッシングユニット１１２と、で構成されている。描画前フラッシングユニット１１１は、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス１２１を有し、ワークＷに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動して行なう、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものである。
【００５０】
図１、図２および図７に示すように、定期フラッシングユニット１１２は、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行なわれる、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けるためのものであり、機能液を受ける定期フラッシングボックス１３１と、上記のＸ軸第２スライダ２３に搭載され、定期フラッシングボックス１３１の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材１３２と、を有している。定期フラッシングボックス１３１は、ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の全機能液滴吐出ヘッド１７を包含し得る大きさに構成され、ヘッドユニット１３の全機能液滴吐出ヘッド１７を同時に定期フラッシングできるようになっている。
【００５１】
図１および図２に示すように、ワークステージ２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２と、を有しており、給材された各ワークＷをプリアライメント状態にセットすると共に、セットした各ワークＷの中心とθ補正の中心とを合致させることにより、θ補正（アライメント動作）可能に構成されている。図１における図示左側の位置が、ワークＷのアライメントを行なうためのアライメント位置４１（除給材位置）となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させるようになっている。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。なお、ワークステージ２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１が添設されている。
【００５２】
画像認識ユニット８０は、上記したＸ軸共通支持ベース２４に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、給材された各種ワークＷの各基準マークＭを画像認識する２台の認識カメラ８１と、２台の認識カメラ８１を保持するカメラホルダ８２と、Ｘ軸共通支持ベース２４に支持され、カメラホルダ８２を介して、２台の認識カメラ８１を副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構８３と、を有している。画像認識ユニット８０は、２台の認識カメラ８１の各視野領域Ｒを含んだ副走査方向に延在する帯状の認識可能領域８４（図９参照）を有している。すなわち、認識可能領域８４は、各認識カメラ８１の各視野領域Ｒの副走査方向における移動軌跡により形成されている。各認識カメラ８１は、この認識可能領域８４内を副走査方向に移動しながら、後述する除給材ロボット７０が給材した各種ワークＷの一対の基準マークＭを撮像して、各種ワークＷの位置認識を行なう。そして、この認識カメラ８１の撮像結果に基づいて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のデータ補正が行われると共に、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が行われる。
【００５３】
除給材ロボット７０は、ロボット本体７１と、一端がロボット本体７１に接続され、他端が各種ワークＷを載せるための載置部７２が設けられたロボットアーム７３と、で構成されている。ロボットアーム７３は、主走査方向において、ワークステージ２１に対し、各種ワークＷに形成された一対の基準マークＭが上記認識可能エリア８４に合致する位置に各ワークＷを給材すると共に、描画処理後のワークＷを除材する。すなわち、除給材ロボット７０による給材位置は、ワークステージ２１に対し、常に一定の位置ではなく、ワークＷの大きさ、種類等により異なる位置となる。なお、除給材ロボット７０によるワークＷの除給材は、ワークステージ２１に組み込んだリフトアップピン（図示省略）との協働で行なわれる。すなわち、リフトアップピンによりワークステージ２１上にリフトアップされたワークＷに、ロボットアーム７３が下側から臨んでワークＷを受け渡し、除材が行なわれ、また逆の手順でワークＷの給材が行なわれる。
【００５４】
次に、図８を参照して、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッドユニット１３（機能液滴吐出ヘッド１７）を有する液滴吐出部１９１と、Ｘ軸テーブル１１を有し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるワーク移動部１９２と、Ｙ軸テーブル１２を有し、ヘッドユニット１３をＹ軸方向へ移動させるヘッド移動部１９３と、メンテナンスユニット５の各ユニットを有するメンテナンス部１９４と、各種センサを有し、各種検出を行なう検出部１９５と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部１９６と、各部に接続され、液滴吐出装置１全体を制御する制御部１９７（制御手段７）と、を備えている。
【００５５】
制御部１９７には、各部を接続するためのインタフェース２０１と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭ２０２と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するＲＯＭ２０３と、ワークＷに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各部からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク２０４と、ＲＯＭ２０３やハードディスク２０４に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するＣＰＵ２０５と、これらを互いに接続するバス２０６と、が備えられている。
【００５６】
そして、制御部１９７は、各部からの各種データを、インタフェース２０１を介して入力すると共に、ハードディスク２０４に記憶された（または、ＣＤ−ＲＯＭドライブ等により順次読み出される）プログラムに従ってＣＰＵ２０５に演算処理させ、その処理結果を、駆動部１９６（各種ドライバ）を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置１の各種処理が行なわれる。
【００５７】
ところで、実施形態のものでは、ワークステージ２１に大きさの異なる複数種のワークＷ、すなわち一対の基準マークＭの位置が異なる複数種のワークＷが導入されるようになっており、これらワークＷの種別や一対の基準マークＭの位置等のデータが、予め制御部１９７に入力されている。また、ワークステージ２１は、各ワークＷをセンター中心（θテーブルと同心）でセットし、プリアライメントできるようになっている。さらに、一対の基準マークＭが、機能液滴吐出ヘッド１７から最も遠い位置となるワークＷをセンター中心で給材するときに、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４とが干渉しないように、給材時のワークステージ２１の位置が設定されている。
【００５８】
次に、図９を参照し、各種ワークＷの基準マークＭの位置認識動作について説明する。まず、除給材ロボット７０は、ワークＷの給材を開始すると、画像認識ユニット８０は、２台の認識カメラ８１を給材されるワークＷに合わせて副走査方向に移動させ、待機状態にする。また、同時に、Ｘ軸テーブル１１は、ワークステージ２１をワークＷがセンター中心でセット（給材）される位置に移動させる。すなわち、給材するワークＷの一対の基準マークＭ１の位置と、２台の認識カメラ８１の各視野領域Ｒを含む認識可能領域８４とが、主走査方向において距離ａ分ずれている状態（図９（ａ）参照）から、上記データに基づいて、除給材ロボット７０は、一対の基準マークＭ１が、認識可能領域８４に合致するように、距離ａ分だけ主走査方向（右方向）に移動させ、この移動と並行するように、ワークＷの中心とワークステージ２１のθ補正の中心とが合致するようにワークステージ２１が移動する（図９（ｂ）参照）。そして、除給材ロボット７０は、ワークＷの一対の基準マークＭ１と認識可能領域８４とが合致する状態で、ワークＷをワークステージ２１（吸着テーブル３１）に給材する。そして、認識カメラ８１はワークＷを撮像し、撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が行なわれる。
【００５９】
また、上述したように、吐出性能検査ユニット１８と、ワークステージ２１とは、最大のワークＷの一対の基準マークＭと、最小のワークＷの一対の基準マークＭとの距離以上離間しているため、ワークステージ２１を主走査方向に移動させた場合でも、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４とは干渉しない。したがって、ワークＷの画像認識処理と並行して、フラッシングユニット１４は、機能液滴吐出ヘッド１７の直下に臨んで機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出を受けることができる。同様に、ワークステージ２１を主走査方向に移動させた場合でも、ワークステージ２１と吐出性能検査ユニット１８とは干渉しないため、ワークＷの画像認識処理と並行して、吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７の直下に臨んで機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を行うことができる。
【００６０】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１では、除給材ロボット７０が、主走査方向において、各ワークＷの一対の基準マークＭを副走査方向に延在する認識可能領域に合致する位置に給材するので、各ワークＷを主走査方向に移動させることなく、ワークＷの画像認識が可能となる。したがって、基準マークＭの位置認識時間を短縮することができ、全体として、ワークＷへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。これにより、ワークＷの生産性を向上させることができる。
【００６１】
次に、図１０および図１１を参照して、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。なお、上記実施形態１に係る液滴吐出装置１と同じ構成については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６２】
この実施形態では、除給材時のワークステージ２１は常に定位置となっており、これに対し、除給材ロボット７０は、各種ワークＷの中心位置が、θ補正の中心位置（センター中心）に合致するように、各種ワークＷを給材すると共に、描画処理後のワークＷを除材する。すなわち、除給材ロボット７０による給材位置は、大きさ等の異なる複数種のワークＷを給材する場合でも、ワークステージ２１に対して常に一定位置になる。
【００６３】
本実施形態では、第１実施形態と同一の画像認識ユニット８０を複数（実施形態では４つ）有しており、複数の画像認識ユニット８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄは主走査方向に等しい配置ピッチで配設されている。各画像認識ユニット８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄは、それぞれＸ軸共通支持ベース２４に支持されており、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、給材された各種ワークＷの各基準マークＭを画像認識する２台の認識カメラ８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄと、２台の認識カメラ８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄを保持するカメラホルダ８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、８２ｄと、Ｘ軸共通支持ベース２４に支持され、カメラホルダ８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、８２ｄを介して、複数の２台の認識カメラ８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄを副走査方向にのみ移動させるカメラ移動機構８３ａ、８３ｂ、８３ｃ、８３ｄと、を有している。複数の画像認識ユニット８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄは、各認識カメラ８１の一対の視野領域Ｒを含んだ副走査方向に延在する帯状の認識可能領域８４ａ、８４ｂ、８４ｃ、８４ｄ（図１２および１３参照）をそれぞれ有している。すなわち、各認識可能領域８４ａ、８４ｂ、８４ｃ、８４ｄは、各認識カメラ８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄの各視野領域Ｒの副走査方向における移動軌跡によりそれぞれ形成されている。そして、セットしたワークＷを、主走査方向において一対の基準マークＭが任意の１の画像認識ユニット８０の認識可能領域８４と合致するように移動させた後、任意の１の画像認識ユニット８０は、一対の基準マークＭを画像認識する。ここで、任意の１の画像認識ユニット８０は、複数の画像認識ユニット８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄのうち一対の基準マークＭに対し機能液滴吐出ヘッド１７に近い側の直近に位置するものである。この場合、ワークステージ２１を移動させた場合に、フラッシングユニット１４（定期フラッシングユニット１１２）とが干渉しないように、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４（本実施形態では、吐出性能検査ユニット１８）との間は、画像認識ユニット８０の配置ピッチ以上離した位置に設定される。
【００６４】
次に、図１２を参照し、液滴吐出装置１の各種ワークＷの画像認識動作について説明する。まず、除給材ロボット７０は、ワークＷの給材を開始すると、画像認識ユニット８０は、２台の認識カメラ８１を給材されるワークＷに合わせて副走査方向に移動させ、待機状態にする。そして、除給材ロボット７０は、ワークステージ２１（吸着テーブル３１）に対し、ワークＷの中心とθ補正の中心とが合致する位置に、未処理のワークＷに給材する。ここで、給材されたワークＷの一対の基準マークＭ２が図１２（ａ）に示す位置である場合、複数の画像認識ユニット８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの内、基準マークＭ２に対し機能液滴吐出ヘッド１７に近い側の直近に位置する画像認識ユニット８０ｂが選択される。この一対の基準マークＭ２と、画像認識ユニット８０ｂの認識可能領域８４ｂ（認識カメラ８１ｂの視野領域Ｒの中心）とは、主走査方向において距離ａ分ずれた状態にあるため、ワークステージ２１を距離ａ分だけ主走査方向（矢印方向）に移動させ、一対の基準マークＭ２と認識可能領域８４ｂとを合致させる（図１２（ｂ）参照）。これにより、２台の認識カメラ８１ｂの各視野領域Ｒ内に、一対の基準マークＭ２がそれぞれ入り、且つワークＷの中心とθ補正の中心とが合致する。そして、認識カメラ８１ｂはワークＷを撮像し、撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が行なわれる。
【００６５】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、複数の画像認識ユニット８０のうち一対の基準マークＭに対し機能液滴吐出ヘッド１７に近い側の直近に位置する任意の１の画像認識ユニット８０（の認識可能領域８４）に基準マークＭを合致させるので、各種ワークＷに対するアライメントにおいてワークステージ２１の移動を極力少なくすることができ、ワークＷの画像認識を含むアライメント時間を短縮することができる。すなわち、主走査方向において、ワークＷを機能液滴吐出ヘッド１７に向かう方向に移動させて基準マークＭと認識可能領域８４とを合致させるようにしているので、アライメントに際し、ワークＷは常に機能液滴吐出ヘッド１７に近づき、アライメントから描画への移行時間を短縮することができる。これにより、全体として、ワークＷへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００６６】
また、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４との間は、画像認識ユニット８０の配置ピッチ以上離間しているため、ワークステージ２１を主走査方向に移動させた場合でも、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４とは干渉しない。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００６７】
また、ワークステージ２１と吐出性能検査ユニット１８との間は、画像認識ユニット８０の配置ピッチ以上離間しているため、ワークステージ２１を主走査方向に移動させた場合でも、ワークステージ２１と吐出性能検査ユニット１８とは干渉しない。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７に検査吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００６８】
図１３は、液滴吐出装置１の各種ワークＷの画像認識動作の変形例であり、この変形例では、任意の１の画像認識ユニット８０として、複数の画像認識ユニット８０のうち一対の基準マークＭに最も近い位置にある画像認識ユニット８０が選択される。この場合、ワークステージ２１を移動させた場合に、フラッシングユニット１４（定期フラッシングユニット１１２）とが干渉しないように、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４（本実施形態では、吐出性能検査ユニット１８）との間は、画像認識ユニット８０の配置ピッチの１／２以上離した位置に設定される。
【００６９】
例えば、給材されたワークＷの一対の基準マークＭ３が図１３（ａ）に示す位置である場合、任意の１の画像認識ユニット８０は、複数の画像認識ユニット８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄの内、基準マークＭ３に最も近い画像認識ユニット８０ａとなる。そして、ワークステージ２１を主走査方向（矢印方向）に移動させ、一対の基準マークＭ３と画像認識ユニット８０ａの認識可能領域８４ａとを合致させる（図１３（ｂ）参照）。これにより、２台の認識カメラ８１ａの各視野領域Ｒ内に、一対の基準マークＭ３がそれぞれ入り、且つワークＷの中心とθ補正の中心とが合致する。そして、認識カメラ８１ａはワークＷを撮像し、撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が行なわれる。
【００７０】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、複数の画像認識ユニット８０のうち一対の基準マークＭに最も近い位置にある任意の１の画像認識ユニット８０（の認識可能領域８４）に基準マークＭを合致させるので、各種ワークＷに対するアライメントにおいてワークステージ２１の移動を極力少なくすることができ、ワークＷの画像認識を含むアライメント時間を短縮することができる。これにより、全体として、ワークＷへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００７１】
また、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４との間は、画像認識ユニット８０の配置ピッチの１／２以上離間しているため、ワークステージ２１をフラッシングユニット１４に向かって最も長い距離移動させた場合でも、ワークステージ２１とフラッシングユニット１４とは干渉しない。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００７２】
また、ワークステージ２１と吐出性能検査ユニット１８との間は、画像認識ユニット８０の配置ピッチの１／２以上離間しているため、ワークステージ２１を吐出性能検査ユニット１８に向かって最も長い距離移動させた場合でも、ワークステージ２１と吐出性能検査ユニット１８とは干渉しない。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７に検査吐出を行なわせながら、アライメントを行なうことができる。
【００７３】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００７４】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１４は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１５（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７５】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１５（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１５（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７６】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７７】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１５（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７８】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１５（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７９】
図１６は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１５に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００８０】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００８１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１６において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００８２】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８３】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８４】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００８５】
図１７は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８７】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８８】
図１８は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８９】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００９０】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００９１】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００９２】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９３】
次に、図１９は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９４】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９５】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９６】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９７】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９８】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９９】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１００】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１０１】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１０２】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１０３】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１０４】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０５】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２０〜図２８を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２０に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０６】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２１に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２２に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０７】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０８】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０９】
図２３に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２４に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１１０】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１１１】
そして次に、図２５に示すように、各色のうちのいずれか（図２５の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１１２】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２６に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１１３】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２７に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１４】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１５】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２８に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１６】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１７】
次に、図２９は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１８】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１９】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１２０】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２１】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のワークステージ２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１２２】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１２３】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２４】
次に、図３０は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２５】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２６】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２７】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２８】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２９】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３１（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３１（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１３０】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。
【図６】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。
【図７】Ｘ軸第２スライダ廻りの外観斜視図である。
【図８】液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。
【図９】本実施形態のワークの画像認識処理を説明するための模式図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図１１】本実施形態に係る液滴吐出装置の側面図である。
【図１２】本実施形態のワークの画像認識処理を説明するための模式図である。
【図１３】変形例のワークの画像認識処理を説明するための図である。
【図１４】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２１】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２２】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２７】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２９】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３０】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３１】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１３２】
１…液滴吐出装置  ７…制御手段  １１…Ｘ軸テーブル  １２…Ｙ軸テーブル  １４…フラッシングユニット  １７…機能液滴吐出ヘッド  ２１…ワークステージ  ３２…θテーブル  ７０…除給材ロボット  ８０…画像認識ユニット  ８１…認識カメラ  ８３…カメラ移動機構  Ｍ…一対の基準マーク  Ｗ…ワーク
【図１】
2008227305.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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