(57)【要約】【課題】リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供する。【解決手段】リニアモータによって、レール２３０に案内されて移動する移動ユニット１００を備える駆動案内装置であって、移動ユニット１００は、通電によって磁界を発生する可動子１４０と、可動子１４０を挟んでレール２３０が固定される基台２１０と反対側に設けられるテーブル１１０と、テーブル１１０と可動子１４０の間に設けられ、可動子１４０で生じる熱を放熱するための放熱フィン１５０と、を備える駆動案内装置において、放熱フィン１５０は、第１の放熱フィン１５１と、第１の放熱フィン１５１よりも高さが低い第２の放熱フィン１５２と、を備え、第１の放熱フィン１５１の間に第２の放熱フィン１５２を配置する。【選択図】図１
2008253108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、
前記移動ユニットは、
通電によって磁界を発生する可動子と、
前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、
前記テーブルと前記可動子の間に設けられ、前記可動子で生じる熱を放熱する複数の放熱フィンと、
を備える駆動案内装置において、
前記複数の放熱フィンには、
第１の放熱フィンと、
第１の放熱フィンよりも高さが低い第２の放熱フィンと、
がそれぞれ複数含まれ、
第１の放熱フィンと第１の放熱フィンの間に第２の放熱フィンが配置されることを特徴とする駆動案内装置。
【請求項２】
第１の放熱フィンと第２の放熱フィンは交互に配置されることを特徴とする請求項１に記載の駆動案内装置。
【請求項３】
前記放熱フィンは、
前記放熱フィンの放熱面の法線方向が、前記テーブルの移動方向と直交する構成であることを特徴とする請求項１または２に記載の駆動案内装置。
【請求項４】
前記テーブルには、
前記複数の放熱フィンと対向する部分に孔部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の駆動案内装置。
【請求項５】
前記孔部は、
前記テーブルの移動方向に直交する方向に長い長孔であることを特徴とする請求項４に記載の駆動案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータの通電側で生じた熱を放熱する放熱フィンを備える駆動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、案内ガイドが設けられる基台に対して移動する移動ユニットを備える駆動案内装置が知られている。また、このような駆動案内装置であって、移動ユニットの駆動源としてリニアモータを用いるものが知られている。特許文献１は、リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置の構成を開示するものである。
【０００３】
リニアモータを駆動源として用いる駆動案内装置は、通電されることで磁界を生じる可動子を移動ユニットに備え、基台の、可動子と対向する部分に磁石を有する固定子を備え、可動子が通電されて可動子と固定子の間に磁気相互力が生じることで、移動ユニットが案内ガイドに案内されて基台に対して移動する構成である。
【０００４】
この構成によれば、可動子と固定子が非接触の状態で移動ユニットが移動するので、移動ユニットの移動過程において可動子と固定子が接触することで生じる騒音、振動等がほとんどなく、その結果、駆動案内装置の低騒音化、低振動化を実現することが可能になる。さらに、可動子と固定子との間で摩擦が生じないので、移動ユニットの加速性能を向上させることが可能になる。
【０００５】
図１１は、特許文献１に開示する、リニアモータを駆動源とする従来の駆動案内装置の概略構成を示すものである。図１１に示すように、駆動案内装置には、テーブル１１０、移動ブロック１２０、可動子１４０、から構成される移動ユニット１００を備える。また、基台２１０には、固定子２２０が設けられる。
【０００６】
また、基台２１０には、移動ユニット１００の移動を案内するためのレール２３０（案内ガイド）が固定され、移動ユニット１００に備えられる移動ブロック１２０がレール２３０に取り付けられる。この際、移動ブロック１２０は、一般的にボールやローラなどの転動体を介して、ある程度の予圧がかけられた状態でレール２３０に対して取り付けられる。予圧をかける行為は、移動ブロック１２０とレール２３０の間でガタを生じさせないために行われるものである。
【０００７】
さらに移動ユニット１００には、図１１に示すように、可動子１４０とテーブル１１０との間にヒートシンク１３０が設けられ、ヒートシンク１３０上には複数の放熱フィン１５０が形成される（図１２）。また、ヒートシンク１３０とテーブル１１０の間には断熱材４００が設けられている。
【０００８】
この放熱フィン１５０、及び断熱材４００は、可動子１４０に通電して移動ユニット１００を移動させる際に、可動子１４０から生じる熱をテーブル１１０へ伝達させないために設けられるものである。
【０００９】
すなわち、可動子１４０を通電した際に可動子１４０で生じた熱がテーブル１１０へ伝達すると、テーブル１１０が熱膨張を起こして変形する。そして、移動ブロック１２０がレール２３０に取り付けられた状態でテーブル１１０が熱膨張すると、テーブル１１０が湾曲して移動ブロック１２０とレール２３０との取り付け状態に変動をきたす。
【００１０】
その結果、移動ブロック１２０とレール２３０の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、また、駆動案内装置の寿命が短くなるといった問題を生じる。
【００１１】
これに対し、従来例に係る駆動案内装置においては、可動子１４０で生じる熱をテーブル１１０へ伝達させない為に、テーブル１１０と可動子１４０の間に断熱材４００を設けた。さらに、可動子１４０とテーブル１１０との間に放熱フィン１５０を設け、放熱フィン１５０によって、可動子１４０において生じた熱を放熱する構成とした。
【特許文献１】特開２００４−８８９８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、例えば移動ユニット１００の推力を上げることを目的として、より大きな磁界を発生させる可動子１４０を用いる場合には、可動子１４０で生じる熱量が増加してしまい、従来の構成ではそれらの熱を十分に断熱または放熱しきれず、テーブル１１０へ熱が伝達しまう。
【００１３】
上記で説明したように、テーブル１１０に熱が伝達してテーブル１１０が熱膨張すると、移動ブロック１２０とレール２３０の取り付け状態に変動をきたし、移動ブロック１２０とレール２３０の間でガタを生じて振動、騒音が発生したり、駆動案内装置の寿命が短くなる。
【００１４】
この解決策として、放熱フィン１５０の放熱効率を上げることが考えられるが、一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるためには、複数の放熱フィンの総表面積を大きくする必要がある。具体的には、隣り合う放熱フィンの間隔を狭め、単位長さあたりに設置される放熱フィンの数を増やしたり、放熱フィンの高さを高くして放熱フィンの１枚あたりの表面積を大きくする、といった方法が考えられる。
【００１５】
しかしながら、放熱フィンの間隔を狭めたり、放熱フィンの高さを高くすると、隣り合うフィンの間で空気対流が起きにくくなる恐れがあり、その結果放熱フィンから十分に放熱がされず、逆に放熱効率が下がってしまう。
【００１６】
つまり図１２に示すように、従来例における放熱フィン１５０は、放熱フィン１５０の高さを全て同じにする構成であるので、放熱効率を上げるために隣り合う放熱フィン１５０の間隔を狭めたり放熱フィン１５０の高さを高くしても、所望の放熱効果を得られないばかりか、逆に放熱効率が低くなってテーブル１１０の熱膨張を防ぎきれなくなる、といった問題点を生じる。
【００１７】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであり、リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために本発明にあっては、リニアモータによって、案内ガイドに案内されて移動する移動ユニットを備える駆動案内装置であって、前記移動ユニットは、通電によって磁界を発生する可動子と、前記可動子に対して前記案内ガイドが固定される基台とは反対側に設けられるテーブルと、前記テーブルと前記可動子の間に設けられ、前記可動子で生じる熱を放熱する複数の放熱フィンと、を備える駆動案内装置において、前記複数の放熱フィンには、第１の放熱フィンと、第１の放熱フィンよりも高さが低い第２の放熱フィンと、がそれぞれ複数含まれ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンの間に第２の放熱フィンが配置されることを特徴とする。
【００１９】
この構成によると、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間に、これらよりも高さの低い第２の放熱フィンを設けるので、高さの高い第１の放熱フィンによって放熱面の面積を確保しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間には第２の放熱フィンが設置されることで、第２の放熱フィンによっても放熱しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間で空気が対流する空間を確保することが可能になる。
【００２０】
また、第１のフィンと第２のフィンは交互に配置されるとよい。
【００２１】
また、前記放熱フィンは、前記放熱フィンの放熱面の法線方向が、前記テーブルの移動方向と直交する構成であることも好適である。
【００２２】
この構成によれば、テーブルの移動に伴って放熱フィンの間を空気が通り抜けていき易くなるので、放熱フィンからの放熱がより効果的に行われる。
【００２３】
また、前記テーブルには、前記複数の放熱フィンと対向する部分に孔部が形成されていることも好適である。
【００２４】
この構成によると、テーブルの複数の放熱フィンと対向する部分に孔部を形成することで、放熱フィンから放熱される熱が、孔部を通じてテーブルの外側へ逃げやすくなる。
【００２５】
また、前記孔部は、前記テーブルの移動方向に直交する方向に長い長孔であることも好適である。
【００２６】
この構成によると、孔部の形状を長孔として孔部の面積を大きくすることで、孔部を通じてテーブルの外側へ逃げる熱量をより多くし、かつ長孔の形状をテーブルの移動方向に直交する方向に長い形状とすることで、長孔をテーブルの移動方向に長い形状とする場合よりも剛性を確保することができる。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように、本発明によれば、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間に、これらよりも高さの低い第２の放熱フィンを設けるので、高さの高い第１の放熱フィンによって放熱面の面積を確保しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間には第２の放熱フィンが設置されることで、第２の放熱フィンによっても放熱しつつ、第１の放熱フィンと第１の放熱フィンとの間で空気が対流する空間を確保することが可能になる。よって、リニアモータを駆動源として用い、可動子で生じた熱を放熱するための放熱フィンを備える駆動案内装置において、放熱フィンからの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を、実施の形態に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００２９】
以下、図１〜図１０を参照して、本発明の実施の形態に係る駆動案内装置について説明する。
【００３０】
［移動ユニットと基台の構成］
図１、図２に、本実施の形態に係る駆動案内装置の概略構成を示す。図１は、本実施の
形態に係る駆動案内装置の概略構成の斜視図である。また、図２は本実施の形態に係る駆動案内装置の断面における概略構成図である。
【００３１】
図１、２に示すように、本実施の形態に係る駆動案内装置は、移動ユニット１００と、移動ユニット１００の移動方向を案内する案内ガイドとしてのレール２３０が固定される基台２１０と、を備える。
【００３２】
そして、移動ユニット１００には、通電されることで磁界を生じる可動子１４０と、テーブル１１０と、移動ブロック１２０と、が備えられる。
【００３３】
可動子１４０は、不図示の電磁子コアと電磁子コイルを有する。また、可動子１４０とテーブル１１０との間には、複数の放熱フィン１５０が設けられたヒートシンク１３０が備えられる。なお、放熱フィン付きのヒートシンク１３０の構成については後に説明する。
【００３４】
また、可動子１４０はヒートシンク１３０の下面に設けられ、ヒートシンク１３０の上面には複数の放熱フィン１５０が設けられる。さらにヒートシンク１３０は、テーブル１１０にボルト等によって固定される。また、テーブル１１０の幅方向の両端には、それぞれ移動ブロック１２０が設けられる。
【００３５】
一方、基台２１０には、移動ブロック１２０の移動を案内する案内ガイドとして、一対のレール２３０が互いに平行に固定される。また、基台２１０には、可動子１４０と対向する部分に磁石等を有する固定子２２０が設けられる。なお、固定子２２０と可動子１４０との間には隙間が設けられる。
【００３６】
そして、移動ブロック１２０がレール２３０に取り付けられることで、移動ユニット１００はレール２３０に沿って移動自在に構成される。なお、移動ブロック１２０とレール２３０の取り付け部分の構成等に関しては、後に説明する。
【００３７】
このように構成される駆動案内装置において、不図示の電源から可動子１４０が通電されると、可動子１４０が磁界を生じる。そして、固定子２２０が形成する磁界との磁気相互作用によって、可動子１４０が設けられる移動ユニット１００がレール２３０に沿って移動する。
【００３８】
すなわち、本実施の形態における駆動案内装置においては、可動子１４０と固定子２２０とによって構成されるリニアモータによって、移動ユニット１００が基台２１０に対して移動する構成である。
【００３９】
［移動ブロックとレールの取り付け部分の構成］
本実施の形態においては、移動ブロック１２０とレール２３０との間に、転動体（ボール、ローラ等）を介在させることで、移動ブロック１２０がレール２３０に案内されて移動することが可能な転がり案内を有する構成とした。以下、図３〜図５を参照して、移動ブロック１２０と、レール２３０の取り付け部分の構成について説明する。ここでは、転動体の一例としてボールを用いる場合について説明を行う。
【００４０】
図４に示すように、レール２３０には、その長手方向に沿って転動体転走面としてのボール転走溝２３１が左右側面に２条ずつ形成される。一方、移動ブロック１２０には、ボール転走溝２３１に対向する負荷転動体転走路をなす負荷転走溝１２１を含む、無限循環路が形成される。
【００４１】
そして無限循環路には、レール２３０に対する移動ブロック１２０の相対移動に伴って、ボール転走溝２３１と負荷転走溝１２１との間で転動して循環する複数のボール２３２が配列、収容されている。
【００４２】
また、図３に示すように、移動ブロック１２０は、負荷転走溝１２１及び、これに平行なボール戻し路を備える移動ブロック本体１２０ａと、この移動ブロック本体１２０ａの両端にそれぞれ結合される一対のエンドキャップ１２０ｂと、を備える。なお、エンドキャップ１２０ｂは、負荷転走溝１２１とボール戻し路を連結するものである。
【００４３】
上記移動ブロック１２０に形成された負荷転走溝１２１は、レール２３０に形成された各ボール転走溝２３１に対向して形成されており、負荷転走溝１２１とボール転走溝２３１との間には複数のボール２３２が介在する。
【００４４】
そして、これら複数のボール２３２は、移動ブロック１２０の移動に伴い、エンドキャップ１２０ｂに形成された方向転換路を介してボール戻し路へと送り込まれ、再び負荷転走溝１２１に導かれ、無限循環路を循環する。
【００４５】
図５に示すように、複数のボール２３２は、保持部材２３５によって回転自在に保持される。この保持部材２３５は、ボール２３２と交互に配置された間座１２２と、間座１２２を接続する薄板状の可撓性を有するベルト２３４とで構成される。
【００４６】
また、図４に示すように、レール２３０の上面と移動ブロック１２０との間、並びにレール２３０の側面と移動ブロック１２０との間には、シール部材１２５，１２６が配設される。
【００４７】
シール部材１２５，１２６は、ボール転走溝２３１と負荷転走溝１２１との間に充填される潤滑剤の外部への漏れ、または外部からの塵埃の侵入を防ぐために設けられるものである。
【００４８】
ところで、上記では、レール２３０と移動ブロック１２０とがボールなどの転動体（ボール又はローラ）を介して相対移動自在である、転がり案内の構成について説明したが、本実施の形態における駆動案内装置の構成はこれに限らず、すべり案内の構成を採用してもよい。
【００４９】
図８は、すべり方式の案内機構を備えた駆動案内装置の概略構成例を示す図である。
【００５０】
図８に示すように、すべり方式の案内機構は、断面矩形状のレール２３０と、レール２３０に跨架状態にして相対運動自在に組み付けられ、上面にテーブル１１０が装着される移動ブロック１２０を有しており、基台２１０上に左右一対設けられている。
【００５１】
レール２３０及び移動ブロック１２０は、すべり案内、つまり、互いの間に転動体は介装されず、直接当接して摺動自在に組み込まれている。
【００５２】
［放熱フィンの構成］
図１、図２に示す本実施の形態に係る駆動案内装置における放熱フィン１５０の取り付け部分を拡大して、図６，図７に示す。
【００５３】
図６、図７に示すように、上記のように構成される駆動案内装置においては、可動子１４０が通電されて発熱した場合に、生じた熱を放熱するための放熱フィン１５０を設ける構成とした。
【００５４】
具体的には、ヒートシンク１３０の上面に放熱フィン１５０を複数設ける構成とした。また、本実施の形態においては、放熱フィン１５０が高さの異なる第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２を含むものとした。
【００５５】
そして、第１の放熱フィン（高いほうのフィン）１５１と第２の放熱フィン（低いほうのフィン）１５２を交互に設ける構成とした。また、放熱フィン１５０は、移動ユニット１００の移動方向と平行になるように並べた。そうすることによって、放熱フィン１５０の放熱面の法線方向が、テーブル１１０の移動方向と直交するように構成される。
【００５６】
また、第１の放熱フィン１５１は、その表面積が大きくなるように、高さをできる限り大きくした。一方で、寸法公差等を考慮して、その上面がテーブル１１０の下面に当接しない高さに設定した。
【００５７】
次に放熱のメカニズムについて説明する。まず、リニアモータの駆動と共に可動子１４０で発生した熱は、上記で説明した放熱フィン付きヒートシンク１３０に伝わる。なお、放熱フィン付きヒートシンク１３０には、例えば内部にヒートパイプが配設された既知の構成のものを用いるものとする。
【００５８】
そして、ヒートシンク１３０に伝わった熱は、ヒートシンク１３０上に備えられる放熱フィン１５０から放熱される。図６、図７に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン１５０として、高さの異なる第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２を用いるものとし、第１のフィン（高いほうのフィン）の間に第２のフィン（低いほうのフィン）が設けられる構成とした。
【００５９】
一般的に放熱フィンの放熱効率を上げるための手法としては、放熱フィンの表面積を増やすことが考えられる。特に複数の放熱フィンがそれぞれ平行に配列されるような場合では、放熱フィン全体の総表面積を増やすことで、放熱効率を上げることが可能となる。具体的には、１枚１枚の放熱フィンを大きくして表面積を増やす、または並べられる放熱フィンの間隔を狭めて、単位長さあたりの放熱フィンの数を増やす、などが考えられる。
【００６０】
しかしながら、１枚１枚の放熱フィンの高さを出来る限り大きくして放熱フィンの表面積を増やす、または放熱フィンの間隔を狭めて単位長さあたりの放熱フィンの数を増やすと、放熱フィンの間のスペースで空気が対流しにくくなってしまう。
【００６１】
そこで本実施の形態においては、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間に、これらよりも高さの低い第２の放熱フィン１５２を設け、高さの高い第１の放熱フィン１５１によって放熱面の面積を確保しつつ、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間には第２の放熱フィン１５２が設置されることで、第２の放熱フィン１５２によっても放熱しつつ、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間で空気が対流する空間を確保する構成とした。
【００６２】
その結果、放熱フィン同士の間隔を狭めて単位長さ辺りの放熱フィンの数を増やしつつ、放熱フィン間で空気が対流できるスペースを確保することができ、放熱効率を上げることが可能になる。
【００６３】
また、放熱フィン付きヒートシンク１３０は、テーブル１１０の下面に対して、ヒートシンク１３０に設けられる壁部１７０の上面が当接することで固定される。図６に示すように、本実施の形態においては、壁部１７０が３箇所設けられ、それぞれの壁部１７０の上面がテーブル１１０の下面に固定される。
【００６４】
また、第１の放熱フィン１５１、及び第２の放熱フィン１５２ともに壁部１７０の上面よりも高さを低くすることで、第１の放熱フィン１５１、及び第２の放熱フィン１５２ともに、その上面がテーブル１１０の下面に当接しない構成とした。なお、壁部１７０の上面はテーブル１１０下面に対してボルト等で固定される。
【００６５】
また、本実施の形態では、壁部１７０を介してヒートシンク１３０からテーブル１１０に熱を伝え、テーブル１１０において放熱可能に構成される。そのような構成とすることで、放熱フィン１５０で熱を放熱しきれなかった場合に、放熱しきれなかった熱をテーブル１１０に伝え、テーブル１１０において放熱をすることが可能になるので、放熱量を増加させることができる。また、本実施の形態では、ヒートシンク１３０の熱をより効果的に放熱するために、ヒートシンク１３０の表面に黒色表面処理を施す構成とした。
【００６６】
[テーブルの構成]
また、図９に示すように、本実施の形態においては、放熱フィン１５０の放熱効率をさらに向上させるために、テーブル１１０の放熱フィン１５０と対向する部分に孔部１１１を形成する構成とした。
【００６７】
この構成によると、テーブル１１０の放熱フィン１５０と対向する部分に孔部１１１を形成することで、放熱フィン１５０から放熱される熱が孔部１１１を通じてテーブル１１０の外側へ逃げやすくなる。その結果、放熱フィン１５０からの放熱量が増加する。また、テーブル１１０に孔部１１１を形成するのでテーブル１１０を軽量化することも可能になる。
【００６８】
また、孔部１１１の形状を長孔とすることで、テーブル１１０の幅方向の熱分布の偏りを抑制できる。
【００６９】
ここで駆動案内装置において、移動ユニットの推力を高めるためには磁界を大きくしなければならず、そのためには、コイルの数を増やしたり、コイルを大きくする必要がある。
【００７０】
そのため、高さ寸法、長さ寸法、幅寸法のうち少なくともいずれかを大きくしなければならない。しかしながら、高さ寸法を高くすることは、移動ユニット１００の高さが高くなってしまうことから、その高さを制限されることがある。
【００７１】
また、長さ寸法を長くすることは、移動ユニット１００の移動方向の長さが増えるために、その分移動ユニット１００の移動範囲が狭まってしまう。
【００７２】
このように、高さ寸法と長さ寸法に制限がある場合は、移動ユニット１００の推力を高めるためには、テーブル１１０の幅寸法を大きくせざるを得ない。
【００７３】
その結果、可動子１４０、及びテーブル１１０の幅方向の寸法が大きくなる。そして、可動子１４０、及びテーブル１１０の幅方向の寸法が大きくなると、可動子１４０及び固定子２２０の磁気吸引力等により、テーブル１１０の移動ブロック１２０を支点とする下方への撓み量が増大する傾向となる。
【００７４】
特に、テーブル１１０に長孔を設ける場合、長孔の形状をテーブル１１０の移動方向に長い形状とする場合は、テーブル１１０の撓み量は大きくなってしまう。
【００７５】
しかし、本実施の形態のように長孔の形状をテーブル１１０の移動方向に直交する方向
に長い形状とすることで、長孔の形状をテーブル１１０の移動方向に長い形状とする場合よりも、テーブル１１０の撓み量を低減させることが可能になる。
【００７６】
ただし、放熱フィン１５０からの放熱で足りる場合は、図１０に示すように、テーブル１１０に孔部１１１を設けない構成であってもよい。孔部１１１を設けないことによって、テーブル１１０の剛性を上げることが可能になる。
【００７７】
また、本実施の形態においては、テーブル１１０に伝わった熱をより効果的に放熱するために、テーブル１１０の表面に黒色表面処理を施す構成とした。
【００７８】
また、テーブル１１０に、従来のアルミニウム合金（熱膨張係数１９〜２３×（１０−６／Ｋ））や鉄（熱膨張係数１１〜１２×（１０−６／Ｋ））に対して、株式会社榎本鋳工製ノビナイト（登録商標）ＣＤ−５（熱膨張係数１１〜１２×（１０−６／Ｋ））を用いた。この構成によれば、放熱フィン１５０で放熱しきれなかった熱がテーブル１１０に伝わる場合に、テーブル１１０の熱膨張量を抑えることができる。
【００７９】
しかしながら、上記で説明したテーブル１１０の表面に黒色表面処理を施す方法は、放熱フィン１５０で放熱しきれない熱がテーブル１１０に伝わった場合に、テーブル１１０で効果的に放熱するための方法であるので、放熱フィン１５０からの放熱で十分に品質を満たすような場合は、この方法を用いなくともよい。
【００８０】
以上より、本実施の形態によれば、放熱フィン１５０の放熱効率を上げることが可能になるので、放熱フィン１５０からの放熱がより効率的に行われる駆動案内装置を提供することが可能になる。また、従来のように可動子１４０とテーブル１１０の間に断熱材を挟むと、一般的に断熱材の剛性は低いので、装置本体の強度が不足してしまう。しかし、本実施の形態においては、可動子１４０とテーブル１１０の間に断熱材を設ける構成ではないので、装置本体の強度を向上させることが可能になる。
【００８１】
（その他の実施の形態）
上記では第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２を交互に配列するものとしたが、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１との間に第２の放熱フィンを複数設ける構成であってもよい。具体的には、第１の放熱フィン１５１と第１の放熱フィン１５１の間に第２の放熱フィン１５２を２枚設ける構成などが挙げられる。
【００８２】
また、上記では放熱フィン１５０は、高さの異なる２種類の放熱フィン（第１の放熱フィン１５１と第２の放熱フィン１５２）を含む構成としたが、放熱フィン１５０の構成はこれに限られるものではなく、例えば第１の放熱フィン１５１、第２の放熱フィン１５２の他に、第１、第２の放熱フィンと高さが異なる放熱フィンを有する構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図
【図２】本実施の形態に係る駆動案内装置の正面図
【図３】本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図
【図４】本実施の形態における案内ガイドと移動ブロックの取り付け構成図
【図５】本実施の形態における移動ブロックの概略構成図
【図６】本実施の形態における放熱フィンの正面図
【図７】本実施の形態における放熱フィンの斜視図
【図８】すべり案内の案内機構を備える駆動案内装置の概略構成図
【図９】本実施の形態におけるテーブルの斜視図
【図１０】本実施の形態に係る駆動案内装置の斜視図
【図１１】従来例に係る駆動案内装置の概略構成図
【図１２】従来例に係る放熱フィンの概略構成図
【符号の説明】
【００８４】
１００    移動ユニット
１１０    テーブル
１１１    孔部
１２０    移動ブロック
１２０ａ  移動ブロック本体
１２０ｂ  エンドキャップ
１２１    負荷転走溝
１２２    間座
１２５    シール部材
１２６    シール部材
１３０    ヒートシンク
１３５    隙間
１３６    ネジ穴
１４０    可動子
１５０    放熱フィン
１５１    第１の放熱フィン
１５２    第２の放熱フィン
１７０    壁部
２１０    基台
２２０    固定子
２３０    レール（案内ガイド）
２３１    ボール転走溝
２３２    ボール
２３４    ベルト
２３５    保持部材
４００    断熱材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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