(57)【要約】【課題】本発明は、傷などをつけずに、確実にシートを剥離する方法とそれに用いる剥離装置を提供する。【解決手段】三枚のシートを貼付してなる積層シート８の一辺を挟持して懸架する懸架手段９と、前記積層シート８の角部を表裏面側より支持する、第一、第二の支持部１０、１１と、前記角部の表裏面へエアを噴きつけシートをめくり上げる第一、第二のノズル部１２、１３と、このめくり上げたシートを前記第一、第二の支持部１０、１１とでそれぞれ挟持する第一、第二の剥離部１６、１７と、残る中央のシートの一辺を把持し、前記第一、第二の剥離部とともに移動させることで前記積層シートから両面のシートを剥離する把持手段１８とを備えた積層シートの剥離装置であって、前記第一、第二のノズル部１２、１３を、積層シート８の対角線に略沿ってその角部へ移動させながらエアを噴きつけることにより、前記角部のシートをめくり上げる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三枚のシートを貼付してなる積層シートの一辺を挟持して懸架する第一の工程と、前記積層シートの角部を、第一の支持部材で裏面側を支持する第二の工程と、前記角部の表面へエアを噴きつけて、この角部のシートの一部をめくり上げる第三の工程と、前記角部を、第二の支持部材でその表面側を支持する第四の工程と、前記角部の裏面へエアを噴きつけて、この角部のシートの一部をめくり上げる第五の工程と、前記第三、第五の工程でめくり上げた角部のシートを保持して移動することにより前記シートを剥離する剥離方法であって、前記第三、第五の工程で、積層シートの対角線に略沿ってエアを噴きつけながら角部まで移動させて、前記角部のシートをめくり上げる積層シートの剥離方法。
【請求項２】
エアの噴きつけを、積層シートの垂線に対して最大３０度の範囲で傾斜させた請求項１に記載の積層シートの剥離方法。
【請求項３】
第三、第五の工程で、角部の一部を両面から挟持してエアを噴きつける、請求項１または請求項２に記載の積層シートの剥離方法。
【請求項４】
中央のシートは、プリプレグである請求項１〜３のいずれか一つに記載の積層シートの剥離方法。
【請求項５】
三枚のシートを貼付してなる積層シートの一辺を挟持して懸架する懸架手段と、前記積層シートの角部を表裏面側より支持する、第一、第二の支持部と、前記角部の表裏面へエアを噴きつけシートをめくり上げる第一、第二のノズル部と、このめくり上げたシートを前記第一、第二の支持部とでそれぞれ挟持する第一、第二の剥離部と、残る中央のシートの一辺を把持し、前記第一、第二の剥離部とともに移動させることで前記積層シートから両面のシートを剥離する把持手段とを備えた積層シートの剥離装置であって、前記第一、第二のノズル部を、積層シートの対角線に略沿ってその角部へ移動させながらエアを噴きつけることにより、前記角部のシートをめくり上げる積層シートの剥離装置。
【請求項６】
ノズル部は、積層シートの垂線に対し、最大３０度傾斜させた請求項５に記載の積層シートの剥離装置。
【請求項７】
第一、第二の支持部に、それぞれノズル部を設けた請求項５または請求項６に記載の積層シートの剥離装置。
【請求項８】
第一、第二の支持部材に、吸引手段をさらに設けた請求項５〜７のいずれか一つに記載の積層シートの剥離装置。
【請求項９】
第一、第二の支持部より積層シートの内側に、一定の幅で前記積層シートの角部を、その両面から挟持する挟持手段をさらに設けた請求項５〜８のいずれか一つに記載の積層シートの剥離装置。
【請求項１０】
挟持手段に、ダストを吸引する吸引機構をさらに設けた請求項９に記載の積層シートの剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のシートを貼付して積層した積層シートから、シートをめくり上げて剥離する方法とそれに用いる剥離装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、多層基板などのプリント配線板の製造工程において、シート状の基材にフィルムを貼付した積層シートが用いられている。基材としては、ガラスエポキシやアラミド不織布、銅張積層板などであり、フィルムとしてはフィルムレジストやその保護フィルム、ＰＥＴなどである。層間の電気的導通を得るためのビア孔の加工工程や、回路パターンを形成する露光工程で使用される。
【０００３】
これらのフィルムは、その工程の終了後に基材から剥離する必要があり、従来は図１０に示す剥離方法が用いられていた。図１０は銅張積層板１に熱圧着されたフィルムレジスト２の表面を保護する保護フィルム３を、その片端よりめくり上げて剥離する方法を示している。
【０００４】
まず初めに、保護フィルム３上から振動ペン４を用いて、一辺の中央あたりに傷をつける。次に銅張積層板１の一辺へ、その進行方向からエアノズル５により略水平にエアを噴きつけることにより、傷を起点として保護フィルム３の一端をめくり上げる。最後に光電センサ６により、保護フィルム３の両端のめくり上がり部分を検出してフィルム巻取り手段７で把持して剥離を行う方法である。
【０００５】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平８−１８１４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の方法は、めくり上がりの起点を作るため、エアを噴きつける前に必ず振動ペン４などを用いて保護フィルム３に傷を付ける必要があった。しかし、保護フィルム３のみに傷を付けることは非常に困難であり、またフィルム巻取り手段７に把持して剥離を行う際に、保護フィルムが傷を起点にして途中で切れるなどの課題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、傷などを付けずに確実にフィルムを剥離できる方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、三枚のシートを貼付してなる積層シートの一辺を挟持して懸架する第一の工程と、前記積層シートの角部を、第一の支持部材で裏面側を支持する第二の工程と、前記角部の表面へエアを噴きつけて、この角部のシートの一部をめくり上げる第三の工程と、前記角部を、第二の支持部材でその表面側を支持する第四の工程と、前記角部の裏面へエアを噴きつけて、この角部のシートの一部をめくり上げる第五の工程と、前記第三、第五の工程でめくり上げた角部のシートを保持して移動することにより前記シートを剥離する剥離方法であって、前記第三、第五の工程で、積層シート材の対角線に略沿ってエアを噴きつけながら角部まで移動させて、前記角部のシートをめくり上げるので、予めめくり上がりの起点となる傷を付ける必要がなく、三枚のシートを貼付してなる積層シートから、確実に両面のシートを剥離することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る積層シートの剥離方法とそれに用いる剥離装置は、三枚のシートを貼付してなる積層シートを、その一辺を挟持して懸架した後、積層シートの角部を、表裏面順番に第一、第二の支持部材で支持するとともに、対角線に略沿って角部まで移動しながらエアを積層シート上へ噴きつけることで、この積層シートの角部のシートを容易にめくり上げて、このめくり上がりを起点として全面からシートを剥離することができる。そのため、予めシートにめくり上がりの起点となる傷などを入れる必要がなく、また上記剥離を、積層シートを懸架した状態で行うため、三枚のシートを貼付した積層シートであっても、容易にその両面のシートを剥離することができる作用効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の詳細を、図を用いて説明する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施の形態における積層シートの構成を示す拡大斜視図である。本実施の形態の積層シート８は、三枚のシート８ａ、８ｂ、８ｃを積層して貼付した三層構造とした。中央のシート８ｂとしては、グリーンシートや、ガラスエポキシ、アラミド不織布からなるプリプレグなどであり、その表裏面のシート８ａ、８ｃとしては、ＰＰやＰＥＴなどからなるフィルムである。これらの表裏面のシート８ａ、８ｃを、中央のシート８ｂの両面に、熱圧着などにより貼付したものである。
【００１２】
図２は、本発明の一実施の形態における積層シートの剥離装置の構成を示す斜視図である。図中の矢印は、以下に説明する各構成部品の移動可能な方向をそれぞれ示している。
【００１３】
本実施の形態における積層シートの剥離装置は、積層シート８の一辺を挟持して懸架する懸架手段９と、積層シート８を挟んで両面側に配置された第一、第二の支持部１０、１１と、積層シート８の表裏面へエアを噴きつけて表裏面のシート８ａ、８ｃ（図１）をめくり上げる第一、第二のノズル部１２、１３と、積層シート８の角部を挟持する挟持手段１４と、この挟持手段１４の近傍に設けたダスト吸引用の吸引機構１５と、めくり上げた表裏面のシート８ａ、８ｃを、第一、第二の支持部１０、１１とでそれぞれ挟持する第一、第二の剥離部１６、１７と、表裏面のシート８ａ、８ｃを剥離した後の中央のシート８ｂを把持する把持手段１８とから構成されている。
【００１４】
懸架手段９は、少なくとも積層シート８の一辺の一部、回路パターンなどが形成されていない部分を両面から挟持する構成となっている。
【００１５】
第一、第二の支持部１０、１１は、交互に積層シート８の表裏面に当接させて支持する支持面１０ａ、１１ａを有し、この支持面１０ａ、１１ａは必ず積層シート８の角部より大きくすることで、この角部全体を支持する。また、この支持面１０ａ、１１ａには、積層シート８上へエアを噴きつける加圧源に連接された第一、第二のノズル部１２、１３がそれらの一部に設けられている。さらに、これら第一、第二の支持部１０、１１は、少なくとも、ｘ、ｚ方向と、積層シート８の対角線に略沿った矢印Ａの方向に移動可能な機構を有している。尚、第一、第二のノズル部１２、１３は、加圧源と連接するとともに、真空源とも連接させ、電磁弁等で適宜選択できるようにしてもよい。上記構成とすることで、めくり上げた表裏面のシート８ａ、８ｃを吸引して剥離することが可能となる。
【００１６】
挟持手段１４は、少なくとも、積層シート８に対して、第一、第二の支持部１０、１１よりも中央よりに配置されており、積層シート８の両面を挟持して保持する。本実施の形態では、この挟持手段１４を二枚の矩形板で構成し、積層シート８の角部へ導く対角線に対して、略直交するように配置した。このように略直交するように配置することで、第一、第二のノズル部１２、１３から積層シート８上へ噴きつけられるエアを、積層シート８の外側へ回避することができるので、エア噴きつけによるダストなどの飛散を防止することができる。さらに、この挟持手段１４の近傍へ、ダストの吸引機構１５を設けることで、上記の効果をさらに高めることができる。
【００１７】
第一、第二の剥離部１６、１７は、積層シート８の一辺の延長線上に配置されており、ｘ、ｙ、ｚの三方向に移動可能な機構を有している。本実施の形態では、積層シート８の一辺に略水平な二枚の矩形板から構成している。この矩形板をそれぞれｙ方向に移動し、めくり上げた表裏面のシート８ａ、８ｃと中央のシート８ｂとの間にそれぞれを挿入した後、ｘ方向に移動させることで、第一、第二の支持部１０、１１とでそれぞれ表裏面のシート８ａ、８ｃを挟持する。
【００１８】
把持手段１８も、第一、第二の剥離部１６、１７と略同じ構造であり、少なくとも、ｘ、ｚ方向の二方向に移動可能な機構を有している。表裏面のシート８ａ、８ｃがめくり上げられた残りの中央のシート８ｂを、その両側から挟持することで把持する。
【００１９】
上記、第一、第二の支持部１０、１１と、第一、第二の剥離部１６、１７、把持手段１８はお互いに同期して移動することにより、積層シート８から、表裏面のシート８ａ、８ｃの全面を剥離する。
【００２０】
次に、図を用いて、剥離方法について詳細を説明する。
【００２１】
まず初めに、図３に示すごとく、懸架手段９へ積層シート８を挿入し、挟持しながら懸架する。このとき、積層シート８の両角部は挟持せず、自由端としておく。また、積層シート８の下端の一辺に重りを設けることで、適度な張力を積層シート８に付加しても良い。尚、本実施の形態では、積層シート８は、図面手前側より、表面のシート８ａ、中央のシート８ｂ、裏面のシート８ｃの三枚を貼付して積層した構成として以下説明する。
【００２２】
次に、図４に示すごとく、積層シート８の角部を、その両端から挟持手段１４により挟持した後、第一の支持部１０の主面１０ａを積層シート８の角部に裏面へ当接させることにより支持する。一方、第二の支持部１１は、表面のシート８ａ上に一定の間隔で維持する。このとき、挟持手段１４と、第一、第二の支持部１０、１１をカム機構などで連結することにより、積層シート８を挟持するとともに、第一の支持部１０を積層シート８の裏面へ当接させてもよい。尚、第一、第二の支持部１０、１１は、当接させる積層シート８の角部よりその外形を大きくすることで、積層シート８の角部全体を当接させて支持できるようにする。また、挟持手段１４は、積層シート８の角部へ通じる対角線に対して、略直交するように配置されている。
【００２３】
次に、図５（ａ）に示すごとく、第一の支持部１０でその裏面を支持された積層シート８の角部へ、第二の支持部１１に設けた第二のノズル部１３からエアを噴きつけながら、積層シート８の角部へ対角線に略沿って移動させることにより、表面のシート８ａと中央のシート８ｂをめくり上げる。このとき、ダスト吸引機構１５により吸引することで、エアの噴きつけと共に周辺に飛散するダストを、吸引して除去することができる。また、図中の二点鎖線がめくり上がり部であり、斜線部が露出した裏面のシート８ｃを示す。上記工程において、積層シート８のめくり上がる界面は、概ね、質量の大きい界面からめくり上がるものである。図５（ｂ）に積層シート８の角部に通じる対角線Ａ−ＡＡにおける断面図を示す。本実施の形態では、第二のノズル部１３から、表面のシート８ａの略垂直上方よりエアを噴きつける構成とした。三枚のシート８ａ、８ｂ、８ｃがそれぞれ同じ厚みの場合、裏面のシート８ｃを残して、表面、中央のシート８ａ、８ｂが共にめくり上がる。そして、上記工程後、第二の支持部１１を初期位置へと戻し、積層シート８の裏面のシート８ｃに対しても上記と同様の工程を行う。すなわち、第二の支持部１１を積層シート８の角部へ当接させて支持し、第一の支持部１０を、裏面のシート８ｃ上に一定間隔で維持する。そして、第一の支持部１０に設けた第一のノズル部１２により、裏面のシート８ｃ上へエアを噴きつけながら、対角線に略沿って、その角部へ第一のノズル１２を移動させることにより、表面のシート８ａから中央のシート８ｂをめくり上げる。上記工程により、三枚のシートを貼付してなる積層シート８の角部において、その両面のシート８ａ、８ｃをめくり上げることができる。このように、第一、第二のノズル部１２、１３を、積層シート８の対角線に略沿って角部へ移動させることにより、その角部では、エアで積層シート８を押さえつける一方で、三枚のシート８ａ、８ｂ、８ｃの界面へエアを噴きつけてめくり上げるものである。そのため、積層シート８が角部を有するものであれば、有用であり、その対角線から１５度程度ずれても、効果は小さくなるが有効である。上記工程の最後に、挟持手段１４を干渉しない位置へ回避させる。
【００２４】
次に、図６に示すごとく、懸架された積層シート８の一辺に平行に、その延長線上から第一、第二の剥離部１６、１７を、それぞれ裏面のシート８ｃと中央のシート８ｂ間と、表面のシート８ａと中央のシート８ｂ間とに挿入する。そして、これら第一、第二の剥離部１６、１７を、ｘ方向に互いに離すように移動させ、第一、第二の支持部１０、１１とで裏面のシート８ｃと表面のシート８ａとをそれぞれ挟持する。尚、第一、第二のノズル部１２、１３に、例えば真空源と連結させることで吸引機能を設け、これにより、これら第一、第二のノズル部１２、１３でそれぞれ表裏面のシート８ａ、８ｃとを吸引しながらｘ方向に若干量移動させ、第一、第二の剥離部１６、１７を、図６（ｂ）に示すＢ−ＢＢ断面図のように、めくり上げた表裏面のシート８ａ、８ｃと中央のシート８ｂ間に確実に挿入し、挟持することができる。そして、把持手段１８を積層シート８の近くまでｚ方向に移動させる。
【００２５】
次に、図７に示すごとく、第一、第二の支持部１０、１１と、第一、第二の剥離部１６、１７とを、それぞれ表裏面のシート８ａ、８ｃを挟持しながら、ｘ方向、すなわち互いに引き離す方向へ移動させて、表裏面のシート８ａ、８ｃをさらにめくり上げる。そして、把持手段１８まで、このめくり上がり部分が拡がった後、把持手段１８を挿入して中央のシート８ｂを挟持して把持する。そして、懸架手段９を、ｘ方向に移動させて、積層シート８の懸架を解除した後、干渉しない位置まで移動させる。
【００２６】
そして最後に、図８に示すごとく、第一、第二の支持部１０、１１と、第一、第二の剥離部１６、１７をｚ方向に移動させることで、積層シート８の全面から、表裏面のシート８ａ、８ｃをめくり上げて剥離する。尚、このとき、把持手段１８を、第一、第二の支持部１０、１１および、第一、第二の剥離部１６、１７の移動方向と同期させて逆方向に移動させることで、上記剥離に要する時間を短縮させることができる。
【００２７】
上述した剥離方法では、第一、第二のノズル部１２、１３から、積層シート８の表裏面に対して略垂直上方よりエアを噴きつけたが、図９に示す図５におけるＡ−ＡＡ断面図の別の一例のように、傾斜角Ｒを設けることで、めくり上がりに必要なエアの圧力をより低くすることができる。この傾斜角Ｒは、第一、第二のノズル部１２、１３の移動方向、すなわち積層シート８の対角線に略沿った方向に対して、最大３０度傾斜させた。このように、３０度傾斜させることにより、０．３ＭＰａ必要なめくり上げに要するエアの圧力を、０．２５ＭＰａ低くした場合であっても、積層シート８の角部の表裏面のシート８ａ、８ｃを容易にめくり上げることができた。
【００２８】
このように、上述した剥離方法と剥離装置を用いることにより、予めシートに傷を入れることなく、三枚のシートを貼付した積層シートから、容易にその両面のシートを剥離することができる。
【００２９】
上述した剥離方法および装置は、グリーンシート上の保護フィルムや、フィルムレジスト上の保護フィルムの剥離、またＡＬＩＶＨなどの多層回路基板の製造工程で用いるビア孔加工後のプリプレグ上の保護フィルムなど、三枚のシート材を貼付した積層シートから基材を傷つけることなく容易に剥離することができる。
【００３０】
また、上記実施の形態は、三枚のシートを貼付して積層した積層シートの一例であるが、二枚のシートを貼付して積層した積層シートでも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明に係る積層シートの剥離方法とそれに用いる剥離装置は、三枚のシートを貼付してなる積層シートを、その一辺を挟持して懸架した後、積層シートの角部を、表裏面順番に第一、第二の支持部材で支持するとともに、対角線に略沿って角部まで移動しながらエアを積層シート上へ噴きつけることで、この積層シートの角部のシートを容易にめくり上げて、このめくり上がりを起点として全面からシートを剥離することができる。そのため、予めシートにめくり上がりの起点となる傷などを入れる必要がなく、また上記剥離を、積層シートを懸架した状態で行うため、三枚のシートを貼付した積層シートであっても、容易にその両面のシートを剥離することができるので、複数のシートを貼付して積層した積層シートから、シートを確実にめくり上げて剥離する方法およびそれに用いる剥離装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本実施の形態における積層シートの一例を示す部分斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における剥離装置の構成を説明する斜視図
【図３】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図４】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図５】（ａ）装置における剥離方法を説明する部分斜視図、（ｂ）同図（ａ）のＡ−ＡＡの拡大断面図
【図６】（ａ）同装置における剥離方法を説明する部分斜視図、（ｂ）同図（ａ）のＢ−ＢＢの拡大断面図
【図７】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図８】同装置における剥離方法を説明する部分斜視図
【図９】同装置における別の一例のノズル部を説明する拡大断面図
【図１０】従来の剥離方法を説明する側面図
【符号の説明】
【００３３】
８  積層シート
９  懸架手段
１０  第一の支持部
１１  第二の支持部
１２  第一のノズル部
１３  第二のノズル部
１４  挟持手段
１５  ダスト吸引機構
１６  第一の剥離部
１７  第二の剥離部
１８  把持手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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