(57)【要約】【課題】  製造が容易な構造を有する放熱部品およびそれを用いた放熱構造体を提供する。【解決手段】  金属製の板状の基部１１と、基部に一体化された金属製のフィン３とを備え、フィン３は、基部に接触する側の端部の根元部３ｂ、および該根元部に連続して基部の面から立つ板状部３ａを有し、根元部３ｂは、非矩形断面形状を有し、基部には根元部が嵌め込まれる非矩形断面溝１１ａが設けられている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製の板状の基部と、
前記基部に固定された金属製のフィンとを備え、
前記フィンは、前記基部側の端の根元部、および該根元部に連続して前記基部の面から立つ板状部を有し、
前記根元部は、非矩形断面形状を有し、
前記基部には前記根元部が嵌め込まれる非矩形断面溝が設けられ、前記フィンは前記根元部を前記非矩形断面溝に嵌め込まれて一体化されていることを特徴とする、放熱部品。
【請求項２】
前記根元部が、前記フィンの端部が曲げられたもの、前記フィンの端部が張り出す断面部分を持つように圧縮加工されたもの、前記フィンの端部に凸部および／または凹部を持つもの、または前記フィンの端部に添え部材が取り付けられたもの、であり、前記非矩形断面溝は、前記根元部が嵌め込まれる断面形状を有することを特徴とする、請求項１に記載の放熱部品。
【請求項３】
前記フィンは、前記板状部が前記基部の板状面に対して傾斜して前記非矩形断面溝に嵌め込まれていることを特徴とする、請求項１または２に記載の放熱部品。
【請求項４】
前記非矩形断面の根元部の外面、および／または、前記非矩形断面溝の内面に、凹凸形成処理が施され、その凹凸に、金属が導入されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の放熱部品。
【請求項５】
前記基部が複数の金属層で形成されており、前記非矩形断面溝がその内の１つの金属層に設けられていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の放熱部品。
【請求項６】
前記基部が銅層とアルミニウム層とで形成され、前記非矩形断面溝が前記アルミニウム層に設けられていることを特徴とする、請求項５に記載の放熱部品。
【請求項７】
発熱体との間に、熱伝導性絶縁層、ヒートスプレッダおよび配線材の少なくとも１つを介在させて、前記請求項１〜７のいずれかに記載の放熱部品の基部が前記介在された物の底部に接続されていることを特徴とする、放熱構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱部品および放熱構造体に関し、より具体的には、各種の発熱体の温度上昇を抑えるための放熱部品および放熱構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高速のデータ処理演算装置、通信装置、自動車等には多くの半導体デバイスが用いられており、これらの半導体デバイスからは損失電力に起因する多くの熱が発生する。これら装置では、装置の大容量化、小型化、処理の高速化などに伴い、半導体デバイスから発生する熱問題が深刻化している。十分な放熱をしない場合には、半導体デバイスの温度が上昇し、正常な動作を遂行することができなくなるので、半導体デバイスには放熱フィンを設けた放熱部品を接続する方策がとられてきた。
【０００３】
上記の放熱部品の製造の容易化、とくに多数の放熱部（フィン）を形成する際の煩雑さを簡単化するための構造の提案がなされてきた。たとえば、ベース金属板に直溝（矩形断面溝）を設け、その溝（ストレート溝または直溝）に、金属板から形成したフィン（一列フィン）を順次挿し込んで組み立てる構造が提案されている（特許文献１）。また、下側の金属板にプレートフィンを挿入する直溝を形成し、上下から並行する多数の薄板状のプレートフィンを挟んで係止する構造が提案された（特許文献２）。上記特許文献１および２に開示の構造によれば、放熱部品の構成を簡単化して製造を容易化することが可能である。
【特許文献１】特開平６−２７５７４７号公報
【特許文献２】特開２００１−１２７４７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の特許文献１に開示の放熱部品では、ベース金属板の直溝の幅およびフィン板厚みの工作寸法誤差に起因するガタの発生が生じる。このような工作寸法精度のばらつきの影響を解消するために、特許文献１では、ジグ等を用いて、溶接か、ろう付けか、またはカシメて、ガタの発生を抑える方法が示されている。しかし、ジグを用いることは部品点数が増え、かつ製造工程が複雑化して、高価な放熱部品とならざるをえない。
【０００５】
また、特許文献２に開示の放熱部品は、上側からカバーをかぶせるので、ガタ発生の問題は解消されるかもしれないが、主要部品の点数が増えることになる。さらに、上記の特許文献１および２の構造では、製造工程中に、多数のフィンを金属板の直溝に挿し込んだままの不安定な状態を経過しなければならず、この種の部品の製造中に必然的に生じる振動や接触により、フィンの整列状態が崩れ、手戻りをする工程を根絶することは難しい。
【０００６】
もとより部品点数は少ないほうが好ましく、また手戻り工程がないような工程からなる構造であることが望ましい。とくに、上記ＩＧＢＴなどのパワーデバイスを用いた半導体パワーモジュールは、放熱経路に複数の金属層を用いることにより、放熱性を確保しながら熱応力を抑制する方策が有力な一方策として地位を確立するにいたっている状況下では、複数の金属層だけでも部品点数が増えるので、その他の機能を果たすための部品点数は増やさないことが望ましい。また、フィン付き放熱部品を手戻り等なく容易に製造することができる構造であれば、そのような構造は、基部とフィンとが異種金属で構成されるか否かにかかわらず、この分野で大きな有用性を持つことは言うまでもない。すなわち、フィン付きの放熱部品を手戻り等なく容易に製造することができれば、それが異種金属を組み合わせたものあるなしに係わらず、この分野の要求に応えるものである。
【０００７】
本発明は、部品点数を増やさず、製造が容易な構造を有する放熱部品およびそれを用いた放熱構造体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の放熱部品は、金属製の板状の基部と、基部に固定された金属製のフィンとを備える。この放熱部品では、フィンは、基部側の端の根元部、および該根元部に連続して基部の面から立つ板状部を有し、根元部は、非矩形断面形状を有する。そして、基部には根元部が嵌め込まれる非矩形断面溝が設けられ、フィンは根元部を非矩形断面溝に嵌め込まれて一体化されていることを特徴とする。
【０００９】
ここで、上記の非矩形断面形状は、根元部の端と板状部の厚みとで決まる仮想的な矩形断面形状から、はみ出す部分や不足して凹む部分、すなわち逸脱する部分を有する。上記の構成により、フィンの根元部を非矩形断面溝に差し込むだけで、固定をしっかりしたものにすることができる。すなわちフィンの根元部と基部の溝とが、非矩形断面の根元部と溝とで、面を通して応力を及ぼし合い、その結果、フィン根元部が受ける拘束応力の方向が多方向となり、また応力を及ぼし合う面の面積も増大し、固定を堅固にすることができる。このため、製造中に、一度形成したフィンの整列状態が乱されて、製造途中に手戻りする問題はなくなる。なお、「嵌め込み」と「差し込み」は、同じ意味で用い、動作を重視する場合は「差し込み」を用い、動作が終わった結果物の状態を重視する場合は「嵌め込み」を用いるが、本質的な相違はないと解釈されるべきである。また、フィンの板状部は、厚みと幅を持つ平面とを持てばどのようなものでもよく、幅の大きさは小さくても大きくてもよい。幅が厚みと同程度のものであってもよく、したがって棒状であってもよい。また、フィン根元部を基部の溝に差し込んだ後、さらに溶接、はんだ付け、ろう付けまたはかしめ等を施すことができる。また、基部を形成する金属と、フィンを形成する金属とは、異種であっても同種であってもよい。
【００１０】
上記の根元部は、フィンの端部が曲げられたもの、フィンの端部が張り出す断面部分を持つように圧縮加工されたもの、フィンの端部に凸部および／または凹部を持つもの、またはフィンの端部に添え部材が取り付けられたもの、であり、非矩形断面溝は、上記の根元部が嵌め込まれる断面形状を有する構成とすることができる。これによって、フィンの端部に簡単に非矩形断面形状を与えることができる。部品点数を増やすことがなく、周知の設備を用いて容易に根元部を形成して、基部の溝に横から差し込むことができる。
【００１１】
上記のフィンは、板状部が基部の板状面に対して傾斜して非矩形断面溝に嵌め込まれるようにできる。この構成により、フィンが不安定な釣り合いの均衡点を中心に、わずかの外力によりふらつくことがなく、フィン根元部を基部の溝に嵌め込んだ状態を、安定に保つことができる。
【００１２】
上記の非矩形断面の根元部の外面、および／または、非矩形断面溝の内面に、凹凸形成処理を施し、その凹凸に、金属を導入することができる。これにより、フィンを基部に差し込んだ後、ろう付けやはんだ付けで、ろう、はんだ等の低融点の金属を導入して、固定を完全なものにすることができる。金属を含む接着剤と呼ばれる範疇のものであってもよい。
【００１３】
また、基部を複数の金属層で形成し、非矩形断面溝をその内の１つの金属層に設けることができる。これにより、たとえば基部を非常に熱伝導度が高いが加工しにくい金属と、熱伝導度はある程度高くかつ加工しやすい金属とで構成して、加工しやすい金属層に非矩形断面溝を設けることができる。すなわち、たとえば基部のうち、加工しない金属層を銅層とし、非矩形断面溝をアルミニウム層に設けることができる。このような異種金属の組み合わせによって、熱膨張率のミスマッチを緩和することに、放熱経路の最終端部品である放熱部品自体が寄与することが可能となる。なお、以後の説明において、銅またはアルミニウムと記すとき、これらの合金について併記しない場合、それぞれ銅合金またはアルミニウム合金をも含むこととする。
【００１４】
本発明の放熱構造体は、発熱体との間に、熱伝導性絶縁層、ヒートスプレッダおよび配線材の少なくとも１つを介在させて、上記のいずれかの放熱部品の基部を、上記介在された物の底部に接続することを特徴とする。
【００１５】
上記の放熱構造体の構成によれば、製造が容易な放熱部品を用いて放熱構造体を形成することができる。また、基部を異種金属の複合層とすることによって、放熱性を確保しながら、発熱体との熱膨張率のミスマッチを緩和することに寄与することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の放熱部品および放熱構造体によれば、部品点数を増やさずに、製造が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における放熱部品の断面図である。この放熱部品１０では、フィン３は、板状部３ａと根元部３ｂとから形成され、図１の左端のフィン３の根元部３ｂに関係付けて示すように、根元部３ｂが、仮想上の矩形断面形状Ａからはみ出す部分を持ち、非矩形断面形状を有する。図１からわかるように、仮想上の矩形断面形状Ａは、根元部３ｂの端と板状部３ａの厚みとで決まる。基部１１は、上記のフィン根元部３ｂが横から差し込まれて、きちんと嵌合するように、フィン根元部３ｂの形状に適合した雌型の非矩形断面溝１１ａを有する。非矩形断面形状は、図１の根元部３ｂでは、はみ出す部分と不足する凹む部分とを持つが、どちらか一方だけでもかまわない。矩形断面からはみ出す部分または凹む部分があるかどうか判断がつきにくい場合は、直溝から変形している限り、できるだけ矩形断面からはみ出す部分または凹む部分があると解釈される仕方に従って、判断がなされるべきである。なぜなら、直溝から変形した部分により、フィン３の基部１１への嵌め込みが堅固になるからである。
【００１８】
従来、一律に行われてきた矩形断面の直溝と根元部との嵌め合いでは、フィン３の整列状態を安定的に維持することが難しく、フィン３の乱れが生じ易く、手戻りのため生産性を阻害することが多かった。しかし、図１に示すような、非矩形断面形状の根元部３ｂと溝１１ａとの嵌め込み構造によれば、フィン３の基部１１への取り付けを堅固に行うことができ、手戻りの必要性がほとんどなくなり、生産性を向上させることができる。また、上記のフィンの製造、基部の製造およびフィンの基部への差し込み、は、それぞれ簡単な製造工程であり、既知の製造方法に基づき、容易に行うことができる。
【００１９】
たとえば、図１のフィン３は、幅広の板状片または狭幅の短冊片の端部に曲げ加工を施して製造される。根元部３ｂにおいて、矩形断面形状Ａからはみ出す部分Ｌの大きさについて、好ましい範囲を図２に示す。また、図２には、フィン間隔Ｓとフィン厚みｄとの好ましい関係についても示す。フィン間隔Ｓはフィン厚みｄ以上とするのがよく、また矩形断面形状Ａからはみ出す長さＬはフィン厚みｄ以上とするのがよい。さらにフィン３の基部１１への取り付けをより堅固にするには、上記はみ出し長さＬは（２×ｄ）以上とするのがよい。
【００２０】
図１および図２では、フィン３の板状部３ａは、基部１１の表面に直交して立つ構成であったが、図３に示すように、フィン３を少し傾斜した姿勢にしてもよい。図３において、角度θは鋭角であり、９０°から数度〜十数度減ずるようにする。角度θの補角Θ（＝１８０°−θ）は、当然、鈍角となる。基部１１から直立するフィン３の場合、直立状態は不安定な均衡状態であり、外力の少しの変動に応じてふらつくが、図３のように傾斜させると、この傾斜状態を安定維持するので、ふらつくことがなく、手戻り工程をさらに確実になくすことができる。図３のように、傾斜する場合、根元部３ｂの矩形断面形状Ａからはみ出す部分は、鈍角Θの側にあるのがよく、鋭角θがより小さくなるような動きを、はみ出し部分で効果的に止めることができる。
【００２１】
図４は、図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。図４において、フィン根元部３ｂの表面には微細な凹凸の形成処理がなされ、このため、基部１１の溝１１ａとの間に、微細な隙間を生じており、その隙間にはんだ、ろう等の低融点金属９や金属フィラー含有の接着剤が充填されている。ろう材やはんだ材は、たとえば改訂４版金属データデータブック（金属学会編
丸善株式会社平成16年2月29日発行）pp.355-359に示されているなかから適切なものを用いることができる。近年、公害防止から開発が進んでいる鉛フリーや化学物質規制に対応した材料を用いることが好ましい。接着と接合との相違は厳密に区別する必要はなく、接合によって形成される複合層の基部における場合も含めて、接合という表現は接着という概念を含むこととする。微細な凹凸は、梨地のような形態であってもよいし、きさげ加工が施された形態であってもよい。また上記の微細な凹凸は、基部の溝１１ａに付されてもよい。上記の微細な凹凸によって、フィン３を基部１１にさらに強固に固定するためはんだ付けやろう付けをする際に、はんだやろうの溝１１ａと根元部３ｂとの間への侵入が容易となり、はんだ付けやろう付けを容易に、かつ確実、強固にすることができる。
【００２２】
次に、図１の放熱部品１０の製造方法について説明する。図５は基部１１を示す断面図である。基部１１は、金属を押出し法、ダイキャスト法で製造するが、その際に、図５に示すような非矩形断面溝１１ａを設ける。押出し法の場合はダイス、ダイキャスト法の場合は雌型に対して、非矩形断面溝１１ａが形成される型を形成する。また、図１に示すフィン３は、やはり金属を押出し法またはダイキャスト法または鈑金法等で製造される。上記の基部１１の溝１１ａは、幅方向に沿って同じ断面で延びているので、フィン３の根元部３ｂの非矩形断面形状を差し込んで、スライドさせることにより、所定位置にフィン３を取り付けることができる。フィン３の幅が、基部１１の幅に比べて狭い場合には、複数のフィン３を、順次、差し込み所定位置までスライドさせて、ろう付けやはんだ付けで固定して、所望の放熱部品１０を得ることができる。
【００２３】
図６〜図１０は、フィン根元部３ｂの変形例の断面形状を示す図である。図６では、フィン根元部３ｂは、梁状部品を取り付けられて、逆Ｔ字状の非矩形断面形状とされている。また、図７は、根元部３ｂが板状部３ａに向かって圧縮加工され、据え込まれて、横方向に張り出す部分を生じ、この張り出し部分が矩形断面Ａからはみ出している。また、図８は、フィン根元部３ｂは、板状部分に３角断面の添え部材を固定されて非矩形断面形状を形成している。また図９は、根元部３ｂに凸部を設けることで、非矩形断面形状ができている。図９において、根元部３ｂの凸部を、凹部に置き換えることができる。さらに図１０の根元部３ｂでは、非矩形断面形状は、長手方向に沿う延長部分が矩形断面からはみ出すことで形成されている。図１０に示すように、矩形断面からはみ出す部分または凹む部分があるかどうかは、ここに示す変形例だけでは判断がつかない場合は、上述のように、できるだけ矩形断面からはみ出す部分または凹む部分があると解釈される仕方に従って、判断がなされるべきである。なぜなら、そのようなはみ出す部分または凹む部分は、従来なかったフィン根元部３ｂの形状を構成しており、その形状の部分により、上述のフィン３の基部１１への嵌め込みが堅固になるからである。図１０の変形例の場合、フィン３は図示する方向に傾いていたほうが、はみ出し部分は、鈍角Θ側に位置することになり、その鈍角Θ側において、上記の嵌め込みを堅固、かつ安定に維持するのに寄与することができる。
【００２４】
（実施の形態２）
図１１は、本発明の実施の形態２における放熱部品を示す断面図である。この放熱部品１０は、基部が、非矩形断面溝１１ａを持つ金属層１１と、別の金属層１２とで形成されている点に特徴を有する。基部を構成する金属層１１と金属層１２とは、同種金属であってもよいが、異種金属とすることにより、上述のように、発熱体を構成する素材たとえばシリコンと、放熱経路の構成材との熱膨張率のミスマッチを緩和するのに有効に作用することができる。金属層１１は非矩形断面溝１１ａを形成しやすい金属たとえばアルミニウムまたはアルミニウム合金とするのがよい。また、金属層１２は、熱伝導率に優れるが加工が比較的難しい銅または銅合金とするのがよい。
【００２５】
図１１の放熱部品１０の製造方法は、図１２に示すように、非矩形断面溝１１ａを含む２つの金属層１１，１２を形成しておく。製造方法は、金属層１２とは別に、金属層１１を押出し法、ダイキャスト法等で製造する。その際に、非矩形断面溝１１ａを設ける。押出し法の場合はダイス、またダイキャスト法の場合は雌型に対して、非矩形断面溝１１ａが形成される型を形成する。上記のように製造された金属層１１と、板状の金属層１２とは、めっき層を付されまたは付されずに、ろう付けまたははんだ付けによって接合され、基部１１，１２となる。また、フィン３は、やはり金属に対する押出し法またはダイキャスト法等で製造される。フィン３を形成する金属は、押出し法、ダイキャスト法などの加工性に優れ、熱伝導度が高いアルミニウムまたはその合金とするのがよい。上記の基部１１，１２の溝１１ａは、幅方向に沿って同じ断面で延びているので、フィン３の根元部３ｂの非矩形断面形状を差し込んで、スライドさせることにより、所定位置にフィン３を取り付けることができる。フィン３の幅が、基部１１の幅に比べて狭い場合には、複数のフィン３を、順次、差し込み所定位置までスライドさせて、ろう付けやはんだ付けで固定して、所望の放熱部品１０を得ることができる。
【００２６】
上記の放熱部品１０は、基部が２層１１，１２であること以外は、実施の形態１と同じである。したがって、実施の形態１の放熱部品１０と同様に、製造における手戻り工程をなくし、製造を容易にして生産効率を向上させることができる。このような生産の容易さに加えて、本実施の形態では発熱体を構成する素材たとえばシリコンと、放熱経路の構成材との熱膨張率のミスマッチを緩和するのに、本放熱部品自身、寄与することができる。
【００２７】
（実施の形態３）
図１３は、本発明の実施の形態３における放熱構造体５０を示す図である。この放熱構造体５０には、図１および図１１に示した放熱部品１０が組み込まれている。図１３において、発熱体である半導体デバイス３０の底面にはんだ層２７を介してアルミニウム板または銅板２５が配置されている。そのアルミニウム板または銅板の下には、ＡｌＮなどの熱伝導性絶縁板３１が配置され、さらにその下にアルミニウム板または銅板２５が配置される。さらに、その下にはんだ層２９によってヒートスプレッダ３３が接続され、そのヒートスプレッダ３３の下に放熱部品１０が配置される。放熱部品１０は、基部１１または１２をヒートスプレッダ３３に図示しないグリースなどを介して接して、図示しないフィンは、筐体３５と基部１１または１２とで形成された熱媒体流路内に位置している。ヒートスプレッダ３３と、放熱部品１０と、筐体３５とは、ねじ２３によって締結されている。
【００２８】
半導体デバイス３０は、ハイブリッドカーに用いられる電力用スイッチング素子のパワー半導体では、非常に多量の発熱があり、効率のよい放熱経路の構築は必須となる。上記の放熱構造体５０は、半導体デバイスで発生した多量の熱を、放熱部品１０によって効率よく熱媒体に放熱することができる。また、放熱部品１０の基部が、異なる２種の金属１１，１２で形成した複合層の場合には、半導体デバイスとフィンの熱膨張率のミスマッチを、一層、緩和することができ、熱応力を低減することができる。
【００２９】
また、上記の放熱部品１０は、上述のように手戻り工程がなく製造が容易であり生産効率を高くすることができ、このため、製造費用を低減することができる。したがって、自動車、とくに発熱量が大きいハイブリッドカー等に搭載されるパワーモジュールにおいて、有用性を発揮すると考えられる。
【００３０】
（実施の形態４）
図１４は、本発明の実施の形態４における放熱構造体５０を示す図である。実施の形態３の放熱構造体５０との相違は、半導体デバイス３０から放熱部品１０にいたる放熱経路の構成だけにあり、放熱部品１０の構成は、実施の形態３と同じである。本実施の形態においては、実施の形態３における（アルミニウム板または銅板２５＋熱伝導性絶縁基板３１＋アルミニウム板または銅板２５）で構成される配線機能を配線材３７で置き換えた点に特徴を有する。図１４において、半導体デバイス３０ははんだ層２７により配線材３７に接続され、配線材３７は絶縁性接続層３８により放熱部品１０に接続されている。配線材３７は、通常、銅板または（銅板＋めっき）によって形成される。
【００３１】
図１４の放熱構造体５０では、製造工程を簡単化することができる。さらに半導体デバイス３０から放熱部品１０にいたる放熱経路の長さを短縮して、熱伝導を促進することができる。また、上述のように放熱部品１０の基部を２層１１，１２で形成することにより、半導体デバイスと放熱部品の熱膨張率のミスマッチを緩和することができ、熱応力を低減することができる。ハイブリッドカーのパワーモジュールに好適に用いることができる点では、上記実施の形態３で説明したことがそのまま該当する。
【００３２】
上記において、本発明の実施の形態および実施例について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態および実施例は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の放電部品および放熱構造体によれば、フィンを簡単に基部に取り付けることができ、製造が容易になるので放熱部品を安価に製造することができ、また、複数の金属で構成する放熱経路の製造の容易化にも寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施の形態１における放熱部品を示す断面図である。
【図２】図１の放熱部品のフィン根元部の望ましい寸法範囲を示す図である。
【図３】基部に対して傾けたフィンを示す図である。
【図４】フィン根元部の外表面に微細な凹凸を付して低融点金属を導入した状態を示す図である。
【図５】図１の基部の製造方法を説明するための図である。
【図６】フィン根元部の変形例（梁状根元部）を示す図である。
【図７】フィン根元部の変形例（被圧縮加工根元部）を示す図である。
【図８】フィン根元部の変形例（添え部材付き根元部）を示す図である。
【図９】フィン根元部の変形例（凸部付き根元部）を示す図である。
【図１０】フィン根元部の変形例（斜め延長部付き根元部）を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態２における放熱部品を示す断面図である。
【図１２】図１２の基部の製造方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の実施の形態３における放熱構造体の断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４における放熱構造体の断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
３  フィン、３ａ  板状部、３ｂ  根元部、９  ろう材またははんだ材、１０  放熱部品、１１  基部、１１ａ  溝（非矩形断面溝）、１２  基部（底面側金属層）、２３  ねじ、２５  アルミニウム板または銅板、２７，２９  はんだ、３０  半導体デバイス、３１  熱伝導性絶縁層（ＡｌＮ基板）、３３  ヒートスプレッダ、３５  筐体、３７  配線材、３８  絶縁性接続層、５０  放熱構造体、Ａ  矩形断面、ｄ  フィン厚み、Ｌ  フィン根元部の矩形はみ出し長さ、Ｓ  フィン間隔、θ  鋭角、Θ  鈍角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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