(57)【要約】【課題】不活性ガスを供給する配管を容易に形成でき、またモータの冷却を行なうことができ、更にギア室内のオイルミストが作動室内に侵入するのを抑制した真空ポンプを提供する。【解決手段】互いに噛み合う一対のスクリューロータ２，３がハウジング４内に収容され、前記スクリューロータ２，３が軸受８，９，１０，１１によって回転可能に支持され、かつ前記軸受８，９，１０，１１の近傍に軸シール１２，１３，１４，１５が設けられた真空ポンプ１であって、前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給すると共に、前記スクリューロータを回転させるモータ１８のロータ部１８ａに不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段４０，４１，５０，５１を備えている。【選択図】図１
2008223607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに噛み合う一対のスクリューロータがハウジング内に収容され、前記スクリューロータが軸受によって回転可能に支持され、かつ前記軸受の近傍に軸シールが設けられた真空ポンプであって、
前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給すると共に、前記スクリューロータを回転させるモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を備えていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記不活性ガス供給手段は、ポンプ動作中に少量の不活性ガスを供給するシールガス供給源と、ポンプ停止時に多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを供給するストップパージガス供給源と、シールガス供給源と前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路及びモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路とを接続する第１の配管と、ストップパージガス供給源と前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路及びモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路とを接続する第２の配管とを備え、
前記ポンプ動作中に、前記第１の配管を介してシールガス供給源から少量の不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給し、
前記ポンプ停止時に、前記第２の配管を介してストップパージガス供給源から多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給することを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記第２の配管に切換え弁が設けられると共に、第２の配管は前記第１の配管に接続されて前記第１の配管を介して前記軸シールと軸受の間及びモータの上部の不活性ガス流通路に接続され、
前記ポンプ動作中に、前記シールガス供給源から不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給し、
前記ポンプ停止時に、前記切換え弁を開き、ストップパージガス供給源から不活性ガスを不活性ガス流通路に供給することを特徴とする請求項２に記載された真空ポンプ。
【請求項４】
前記モータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路は、前記ハウジングの端面を封止する端板に形成されると共に、前記不活性ガス流通路には、軸受を迂回する迂回流路が形成されていることを特徴する請求項２または請求項３に記載された真空ポンプ。
【請求項５】
前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路は、前記ハウジングの端面を封止する上端板及び下端板に形成されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載された真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関し、特に半導体製造工程等の反応性ガスを流す工程で使用するスクリューロータを備える真空ポンプであって、前記スクリューロータを保持する軸受の反応性ガスによる腐蝕を抑制すると共に、反応性ガスにより生成される生成物の付着を抑制した真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
本願出願人は、特許文献１に示すように、先にスクリューロータを保持する軸受の反応性ガスによる腐蝕を抑制すると共に、反応性ガスにより生成される生成物の付着を抑制した真空ポンプを提案している。
この提案した真空ポンプについて、図３に基づいて説明する。図に示すように、このスクリュー式の真空ポンプ１００は、互いに噛み合う一対のスクリューロータ１０１及び１０２を備え、このスクリューロータ１０１、１０２は、ハウジング１０３の内部に収納されている。
【０００３】
このスクリューロータ１０１、１０２とハウジング１０３によって、作動室ａが形成される。この作動室ａ内には吸気口１０３ａからガスが導入され、前記スクリューロータ１０１、１０２の回転に伴い、前記作動室ａ内のガスは、順次、移送、圧縮されて、排気口１０３ｂから排気されるように構成されている。
【０００４】
更に詳述すると、スクリューロータ１０１は軸受１０４及び１０５によってハウジング１０３に回転可能に支持され、スクリューロータ１０２は軸受１０６及び１０７によってハウジング１０３に回転可能に支持されている。
また、軸シール１０８，１０９、１１０、１１１は、軸受１０４、１０５、１０６、１０７とハウジング１０３内の作動室ａと隔離し、軸受１０４、１０５、１０６、１０７の潤滑油が、ハウジング１０３内に漏洩することを防止している。
更に、軸シール１０８，１０９、１１０、１１１は、ハウジング１０３の作動室ａから軸受１０４、１０５、１０６、１０７に異物が侵入することを防止している。
【０００５】
また、スクリューロータ１０１及びスクリューロータ１０２の一端部には、タイミングギア１１２及び１１３が、それぞれ互いに噛み合うように取り付けられている。更に、スクリューロータ１０２の一端部には、モータ１１４が一体的に連結され、スクリューロータ１０２の回転に伴ってスクリューロータ１０１が回転するように構成されている。
【０００６】
また、前記タイミングギア１１２及び１１３が収納されるギア室１１５の底部には、潤滑油１１６が貯溜されている。前記ギア室１１５と前記モータ１１４とはオイルシール１１７及び１１８で封止され、ギア室１１５内の潤滑油１１６がモータ１１４側に漏れないようになされている。 
【０００７】
更に、図中の符号１１９、１２０，１２１、１２２は、ハウジングに形成された不活性ガスの流通路である。この不活性ガスの流通路１１９、１２０，１２１、１２２は、軸受１０４とシール１０８との間、軸受１０５とシール１０９との間、軸受１０６とシール１１０との間、軸受１０７とシール１１１との間に形成されている。
更にまた、ハウジング１０３の軸受部１２５，ギア室１１５には不活性ガス流通路１２３，１２４が形成されている。
【０００８】
そして、この真空ポンプ１００の運転中、前記不活性ガス流通路１１９、１２０、１２１、１２２から不活性ガスをわずかに流すことにより、作動室ａ内の反応性ガス、あるいはまた前記反応性ガスにより生成された生成物が前記軸受１０４、１０５、１０６、１０７に侵入しないようになされている。
【０００９】
また、この真空ポンプ１の停止時には、真空ポンプ１を制御している図示していないコントローラから停止信号を受け、不活性ガスが不活性ガス流通路１２３，１２４に供給される。このとき、作動室ａの圧力に対し軸受室１２５及びギア室１１５の圧力が常に同じもしくは高い状態を保つように、通常より多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを、前記不活性ガス流通路１２３，１２４から流す。
このように、真空ポンプ１が停止し、作動室ａが大気圧に復帰し、軸受室１２５、ギア室１１５が減圧状態にあっても、通常より多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスが不活性ガス流通路１２３，１２４に供給されるため、軸受室１２５、ギア室１１５に対する、反応性ガスや反応性ガスにより生成された生成物の侵入を抑制することができる。
【００１０】
その結果、真空ポンプの起動・停止を頻繁に行なっても、前記軸受の反応性ガスによる腐蝕を抑制できる。また反応性ガスにより生成される生成物が堆積することにより、軸受や軸シールが破壊されることもなく、軸受室及びギア室と前記作動室とを隔離でき、更にスクリューロータが回転不能に陥るという弊害を防止することができる。
【特許文献１】特開２００３−３４３４７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、前記した真空ポンプ１にあっては、運転中に不活性ガスを流す、いわゆるシールガスの配管と、運転停止時に不活性ガスを流す、いわゆるストップパージガスの配管とを別々に設けていた。即ち、前記不活性ガス流通路１１９，１２０，１２１，１２２に不活性ガスを供給する配管と、不活性ガス流通路１２３，１２４に不活性ガスを供給する配管とを別々に設け、夫々不活性ガスを供給していた。そのため、配管の形成が複雑化するという弊害があった。
また、前記した真空ポンプ１にあっては、モータ１１４によってスクリューロータ１０２を回転させているが、モータ１１４の冷却手段が設けられていなかった。そのため、冷却手段を別途設ける必要があり、真空ポンプの装置の構成を複雑なものにしていた。
更に、前記した真空ポンプ１にあっては、その停止時にギア室１１５の圧力が常に同じもしくは高い状態を保つように、通常より多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスをギア室１１５内に供給するように構成されている。そのため、ギア室１１５に貯留されている潤滑油１１６のミストが作動室ａ内に侵入することがあった。
【００１２】
本発明は、上記した技術的課題を解決するためになされたものであり、不活性ガスを供給する配管を容易に形成でき、またモータの冷却を行なうことができ、更にギア室内のオイルミストが作動室内に侵入するのを抑制した真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するためになされた本発明にかかる真空ポンプは、互いに噛み合う一対のスクリューロータがハウジング内に収容され、前記スクリューロータが軸受によって回転可能に支持され、かつ前記軸受の近傍に軸シールが設けられた真空ポンプであって、前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給すると共に、前記スクリューロータを回転させるモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を備えていることを特徴としている。
【００１４】
このように、前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給すると共に、前記スクリューロータを回転させるモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を備えているため、前記不活性ガスによりモータを冷却することができる。
また、提案した従来の真空ポンプと同様に、作動室内の反応性ガス、あるいはまた前記反応性ガスにより生成された生成物が前記軸受に侵入することがなく、前記軸受の反応性ガスによる腐蝕を抑制できる。また反応性ガスにより生成される生成物が堆積することにより、軸受や軸シールが破壊されることもなく、軸受と前記作動室とを隔離でき、更にスクリューロータが回転不能に陥るという弊害を防止することができる。 
【００１５】
ここで、前記不活性ガス供給手段は、ポンプ動作中に少量の不活性ガスを供給するシールガス供給源と、ポンプ停止時に多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを供給するストップパージガス供給源と、シールガス供給源と前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路及びモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路とを接続する第１の配管と、ストップパージガス供給源と前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路及びモータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路とを接続する第２の配管とを備え、前記ポンプ動作中に、前記第１の配管を介してシールガス供給源から少量の不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給し、前記ポンプ停止時に、前記第２の配管を介してストップパージガス供給源から多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給することが望ましい。
【００１６】
このようにポンプ停止時に、前記第２の配管を介してストップパージガス供給源から多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給するように構成されているため、真空ポンプの起動・停止を頻繁に行なっても、前記軸受の反応性ガスによる腐蝕を抑制できる。また反応性ガスにより生成される生成物が堆積することにより、軸受や軸シールが破壊されることもなく、軸受部と前記作動室の隔離でき、更にスクリューロータが回転不能に陥るという弊害を防止することができる。
【００１７】
また、前記第２の配管に切換え弁が設けられると共に、第２の配管は前記第１の配管に接続されて前記第１の配管を介して前記軸シールと軸受の間及びモータの上部の不活性ガス流通路に接続され、前記ポンプ動作中に、前記シールガス供給源から不活性ガスを、前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に供給し、前記ポンプ停止時に、前記切換え弁を開き、ストップパージガス供給源から不活性ガスを不活性ガス流通路に供給することが望ましい。
このように、前記第２の配管に切換え弁が設けられると共に、第２の配管は前記第１の配管に接続されて前記第１の配管を介して前記軸シールと軸受の間及びモータのロータ部の不活性ガス流通路に接続されているため、配管を共用することができ、配管を容易に形成することができる。
【００１８】
更に、前記モータのロータ部に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路は、前記ハウジングの端面を封止する端板に形成されると共に、前記不活性ガス流通路には、軸受を迂回する迂回流路が形成されていることが望ましい。
このように構成されているため、モータのロータ部に供給された不活性ガスは、軸受を通過することなく軸受を迂回する。その結果、軸受の潤滑油が漏洩し、ハウジング（作動室）内に侵入するのを防止でき、更に反応性ガスや反応性ガスにより生成された反応生成物の侵入を抑制できる。
【００１９】
更にまた、前記軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス流通路は、前記ハウジングの端面を封止する上端板及び下端板に形成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００２０】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、不活性ガスを供給する配管を容易に形成でき、またモータの冷却を行なうことができ、更にギア室内又は軸受からのオイルミストが作動室内に侵入するのを抑制し、また反応性ガスや反応性ガスにより生成された反応生成物の侵入を抑制した真空ポンプを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明にかかる真空ポンプの第１の実施形態を図１に基づいて説明する。
図に示すように、スクリュー式の真空ポンプ１は、互いに噛み合う一対のスクリューロータ２、３を備え、このスクリューロータ２、３は、ハウジング４の内部に収納されている。そして、前記ハウジング４の上端面及び下端面は、上端板２１及び下端板２２によって封止されている。また前記スクリューロータ２、３とハウジング４によって、作動室５が形成される。この作動室５内には吸気口６からガスが導入され、前記スクリューロータ２、３の回転に伴い、前記作動室５内のガスは、順次、移送、圧縮されて、排気口７から排気されるように構成されている。
【００２２】
前記スクリューロータ２は、上端板２１及び下端板２２に設けられた軸受８，９によって、ハウジング４に対して回転可能に支持されている。同様に、前記スクリューロータ３は、上端板２１及び下端板２２に設けられた軸受１０、１１によって、ハウジング４に対して回転可能に支持されている。
また、前記軸受８，９，１０，１１の近傍に設けられた軸シール１２，１３，１４，１５は、軸受１２，１３，１４，１５とハウジング４内の作動室５とを隔離し、軸受８，９，１０，１１の潤滑油がハウジング４内に漏洩するのを防止すると共に、ハウジング４の作動室５から軸受８，９，１０，１１に、反応生成物等の異物が侵入することの防止している。 
【００２３】
また、前記スクリューロータ２，３の一端部には、タイミングギア１６，１７が、それぞれ互いに噛み合うように取り付けられている。更に、スクリューロータ２一端部には、モータ１８が一体的に連結され、スクリューロータ２の回転に伴ってスクリューロータ３が回転するように構成されている。
尚、前記モータ１８としてはモータのロータ部が密閉されたキャンドモータが用いられる。また、前記タイミングギア１６，１７が収納されるギア室１９の底部には、潤滑油２０が貯溜されている。
【００２４】
次に、ハウジング４の上端板２１及び下端板２２に形成された不活性ガスの流通路について説明する。
まず、上端板２１には、不活性ガス供給口３０が形成され、前記不活性ガス供給口３０からモータ１８のロータ部１８ａに不活性ガスが供給される。
また、前記モータ１８のロータ部１８ａの下方には不活性ガス流通路３１ａが形成され、この不活性ガス流通路３１ａは、軸受８，１０の外側に形成された迂回流通路３１ｂに連通している。そして、迂回流通路３１ｂはスクリューロータ２、３の外周面方向に開口している。
尚、この開口は、スクリューロータ２、３の外周面に臨んで開口し、あるいは、スクリューロータ２、３の外周面と上端板２１間にシール部材（図示せず）を配置し、このシール部材の外周面に臨んで開口しても良い。
【００２５】
したがって、前記第１の不活性ガス供給口３０に供給された不活性ガスは、モータ１８のロータ部１８ａに供給され、モータ１８を冷却した後、不活性ガス流通路３１ａに流れ出る。
その後、軸受８，１０の外周に形成された迂回流通路３１ｂを通過して、前記開口からスクリューロータ２、３の外周面方向に不活性ガスが供給される。
【００２６】
また、前記上端板２１の側面には、不活性ガス供給口３２ａが形成され、この不活性ガス供給口３２ａから不活性ガス流通路３２ｂが形成されている。更に、前記上端板２１の側面には、不活性ガス供給口３３ａが形成され、この不活性ガス供給口３３ａから不活性ガス流通路３３ｂが形成されている。
そして、不活性ガス流通路３２ｂ、３３ｂを介して、軸受１０と軸シール１４との間及び軸受８と軸シール１２との間のスクリューロータ３の外周方向に、不活性ガスが供給される。
尚、不活性ガス流通路３２ｂ、３３ｂは、スクリューロータ２、３の外周面に臨んで開口し、あるいは、スクリューロータ２、３の外周面と上端板２１間にシール部材（図示せず）を配置し、このシール部材の外周面に臨んで開口しても良い。
【００２７】
このように、不活性ガス流通路３１ｂ、３２ｂ、３３ｂを介して、不活性ガスがスクリューロータ３の外周方向に供給されるため、軸受８，１０側と作動室５側を分離することができ、反応性ガスあるいは反応性ガスにより生成される生成物が軸受側に侵入するのを抑制することができる。
しかも、不活性ガス供給口３０に供給された不活性ガスによって、モータ１８を冷却することができる。更に、モータ１８の上部に供給された不活性ガスは、軸受８，１０を通過することなく軸受８，１０を迂回する。その結果、軸受８，１０の潤滑油が漏洩し、作動室５内に侵入するのを防止できる。
【００２８】
また、下端板２２の側面には、不活性ガス供給口３４ａが形成され、軸受１１と軸シール１５との間に、不活性ガス流通路３４ｂが形成されている。不活性ガス流通路３４ｂを介して、軸受１１と軸シール１５との間のスクリューロータ３の外周方向に、不活性ガスが供給される。
尚、不活性ガス流通路３４ｂは、スクリューロータ３の外周面に臨んで開口し、あるいは、スクリューロータ３の外周面と下端板２２間にシール部材（図示せず）を配置し、このシール部材の外周面に臨んで開口しても良い。
【００２９】
更に、下端板２２の側面には不活性ガス供給口３５ａが形成され、軸受９と軸シール１３との間に、不活性ガス流通路３５ｂが形成されている。不活性ガス流通路３５ｂを介して、軸受９と軸シール１３との間のスクリューロータ２の外周方向に、不活性ガスが供給される。尚、不活性ガス流通路３５ｂも、前記不活性ガス流通路３４ｂと同様、スクリューロータ２の外周面に臨んで開口し、あるいは、スクリューロータ２の外周面と下端板２２間にシール部材（図示せず）を配置し、このシール部材の外周面に臨んで開口しても良い。
【００３０】
また、前記不活性ガス供給口３０，３２ａ，３３ａ，３４ａ，３５ａは、シールガス供給源４０に接続されている。即ち、シールガス供給源４０に接続された配管４１は、上部配管４２ａと下部配管４２ｂに分岐し、上部配管４２ａは、絞り手段４５を介して不活性ガス供給口３２ａに接続されている。また、上部配管４２ａは分岐した枝配管４３ａを有し、不活性ガス供給口３０、３３ａに接続されている。
尚、不活性ガス供給口３３ａへの不活性ガス流路中に絞り手段を設け、不活性ガス供給口３０への不活性ガス流量を、不活性ガス供給口３３ａへの不活性ガス流量よりも多くしても良い。
一方、配管４１から分岐した下部配管４２ｂは、絞り手段４６を介して不活性ガス供給口３４ａに接続されている。また、下部配管４２ｂ分岐した枝配管４３ｂを有し、不活性ガス供給口３４ａ、３５ａに接続されている。
【００３１】
更に、ストップパージガス供給源５０には、切り換え弁５３を有する配管５１が接続されている。この配管５１は上部配管５２ａと下部配管５２ｂとに分岐し、逆止弁５４ａを介して、シールガス側の上部配管４２ａに設けられた絞り手段４５の下流位置に接続されている。同様に、下部配管５２ｂは逆止弁５４ｂを介して、シールガス側の下部配管４２ｂの絞り４６の下流位置に接続されている。
このように配管が接続されているため、ストップパージガス供給源５０からの配管とシールガス供給源４１からの配管とを共用することができ、不活性ガスを供給する配管を容易に形成することができる。
【００３２】
そしてこの真空ポンプ１にあっては、その運転中、切り換え弁５３は閉じられ、シールガス供給源４０から不活性ガスが不活性ガス供給口３０，３２ａ，３３ａ，３４ａ，３５ａに供給される。前記不活性ガス供給口３０に供給された不活性ガスは、モータ１８のロータ部１８ａに供給され、モータ１８を冷却した後、不活性ガス流通路３１ａを流れ、軸受８，１０の外周に形成された迂回流通路３１ｂを介して、スクリューロータ３の外周面側に供給される。
【００３３】
また、不活性ガス供給口３２ａ，３３ａに供給された不活性ガスは、流通路３２ｂ、３３ｂを介して、スクリューロータ２，３の外周面側に不活性ガスが供給される。更に、不活性ガス供給口３４ａ，３５ａに供給された不活性ガスは、流通路３４ｂ、３５ｂを介して、スクリューロータ３の外周面側に不活性ガスが供給される。
【００３４】
このように、この不活性ガスの流通路３２ｂ、３３ｂ、３４ｂ、３５ｂから不活性ガスをわずかに流すことにより、作動室５内の反応性ガス、あるいは前記反応性ガスにより生成された生成物が軸受８，９，１０、１１に侵入しないようになされる。即ち、前記作動室５から軸受８，９，１０，１１に反応性ガスや反応性ガスにより生成された生成物の侵入を抑制することができる。また、不活性ガス供給口３０から供給される不活性ガスによって、モータ１８を冷却することができる。
【００３５】
また、真空ポンプ１の停止時には、真空ポンプを制御している図示していないコントローラから停止信号を受け、切り換え弁５３が切り換えられ、ストップパージガス供給源５０から不活性ガスが配管５２ａ，５２ｂに供給され、上部配管４２ａ、下部配管４２ｂに供給される。このとき、作動室５の圧力に対し、軸受８，９，１０，１１側の圧力が常に同じもしくは高い状態を保つように、通常より多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスを、前記上部配管４２ａ、下部配管４２ｂに流す。
【００３６】
即ち、真空ポンプの停止し、作動室５が大気圧に復帰し、軸受８，９，１０，１１側が減圧状態にあっても、前記したように、多量かつ／もしくは高圧の不活性ガスが前記上部配管４２ａ、下部配管４２ｂを介して、不活性ガス流通路３０、３２ｂ，３３ｂ，３４ｂ，３５ｂに供給されるため、軸受８，９，１０，１１に対する、反応性ガスや反応性ガスにより生成された生成物の侵入を抑制することができる。
【００３７】
尚、この実施形態にあっては、ギア室１９には、不活性ガスを供給する供給口が設けられていないため、ギア室１９内の潤滑油２０のオイルミストが作動室５内に侵入するのを抑制することができる。この実施形態では不活性ガス流路３４ｂ及び３５ｂの流量を増やすことにより、ギア室１９内へ不活性ガスが流れ込むようにしている。
また、この実施形態にあっては、真空ポンプ１の停止中もシールガスが供給されるように構成されているが、配管４１に切り換え弁を設け、真空ポンプ１の停止中はシールガス供給源４０から不活性ガスが供給されないように構成しても良い。
更に、この実施形態にあっては、上端板２１及び下端板２２は単一の部材として表されているが、複数の部材を組み合わせて構成しても良い。
【００３８】
次に、本発明にかかる第２の実施形態を図２に基づいて説明する。この実施形態は、本発明をいわゆる２段ポンプに適用した場合を示すものである。尚、図２において、図１に示した部材と同一部材は、同一の符号を付することによってその説明を省略する。
この実施形態において、上流側の真空ポンプＡは、図１に示す真空ポンプと同一の構成を備えている。但し、上流側真空ポンプＡの排気口７は、下流側真空ポンプＢの吸気口６に接続されている。また、下流側真空ポンプＢの下端板には、不活性ガス流通路は形成されていない。下流側真空ポンプＢの排気口７の近傍は略大気圧であり、またギア室１９も大気圧であり、圧力差により反応性ガス，反応性ガスによる反応成生物が前記ギア室１９に侵入することがないためである。
このように、真空ポンプの排気口７側（下端板側）に、不活性ガス供給口及び不活性ガス供給路を設ける必要がない場合もある。
尚、この実施形態において、ストップパージガス供給口５０、シールガス供給源４０、切り換え弁５３を、夫々のポンプに対応して別々に設けた場合について説明したが、これらを共用するように構成しても良い。
また、この実施形態における定常運転時におけるシールガスの流量は、上流側真空ポンプＡの吸気側（不活性ガス供給路３２ｂ、３３ｂ）の流量が最も多く、続いて上流側真空ポンプＡの排気側（不活性ガス供給路３４ｂ、３５ｂ）の流量が多く、そして下流側真空ポンプＢの排気側（不活性ガス供給路３２ｂ、３３ｂ）の流量が最も少なくなるようにするのが望ましい。
また、この実施形態におけるストップパージガスの流量は、下流側真空ポンプＢの吸気側（不活性ガス供給路３２ｂ、３３ｂ）の流量が最も多く、続いて上流側真空ポンプＡの排気側（不活性ガス供給路３４ｂ、３５ｂ）の流量が多く、そして、前記真空ポンプＡの吸気側（不活性ガス供給路３２ｂ、３３ｂ）の流量が最も少なくなるようにするのが望ましい。
【００３９】
以上説明したように、本発明にかかる真空ポンプによれば、真空ポンプの起動・停止を頻繁に行なっても、反応性ガスによる軸受の腐蝕を抑制できる。また反応性ガスにより生成物が堆積し、軸受や軸シールが破壊されることによって、軸受部と前記作動室の隔離ができなくなるという弊害、またロータが回転不能に陥るという弊害を解消することができる。 特に、本発明にかかる真空ポンプによれば、不活性ガスを供給する配管を容易に形成でき、またモータの冷却を行なうことができ、更にギア室内または軸受からオイルミストが作動室内に侵入するのを抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上の説明から明らかなように、半導体製造工程等の反応性ガスを流す工程で使用するスクリューロータを備える真空ポンプに好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】図１は本発明にかかる真空ポンプの第１の実施形態を示す概略構成図である。
【図２】図２は第２の実施形態を示す概略構成図である。
【図３】図３は従来の真空ポンプを示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００４２】
１      真空ポンプ
２      スクリューロータ
３      スクリューロータ
４      ハウジング
５      作動室
６      吸気口
７      排気口
８      軸受
９      軸受
１０    軸受
１１    軸受
１２    軸シール
１３    軸シール
１４    軸シール
１５    軸シール
１８    モータ
１８ａ  ロータ部
３０    不活性ガス供給口
３１ａ  不活性ガス流通路
３１ｂ  迂回流通路
３２ａ  不活性ガス供給口
３２ｂ  不活性ガス供給路
３３ａ  不活性ガス供給路
３３ｂ  不活性ガス供給路
３４ａ  不活性ガス供給路
３４ｂ  不活性ガス供給路
３５ａ  不活性ガス供給路
３５ｂ  不活性ガス供給路
４０    シールガス供給源
４１    配管
４２ａ  上部配管
４２ｂ  下部配管
４３ａ  枝配管
４３ｂ  枝配管
５０    ストップパージガス供給源
５１    配管
５２ａ  上部配管
５２ｂ  下部配管
５３    切り換え弁
【図１】
2008223607.tif 000003
【図２】
2008223607.tif 000004
【図３】
2008223607.tif 000005