(57)【要約】【課題】被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝から接着用ワックスを容易に除去可能とし、通路用溝の内部に接着用ワックスが塗着された状態で溜まることなく、回転切断刃表面への接着用ワックスのこびりつきや切断加工中の研削抵抗の上昇を抑制可能とした接着用ワックスの除去具と、該除去具を用いた接着用ワックスの除去方法を提供する。【解決手段】被加工物固定用治具２における多数の通路用溝２１に対応させて平行且つ等間隔に配列され、通路用溝２１の溝底部２１ａを被覆可能な幅Ｗに形成された多数のマスキング部材１１と、それらのマスキング部材１１の両端を支持する支持部材１２とを有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を回転切断刃で切断するために該被加工物を接着用ワックスで接着固定する被加工物固定用治具の固定面に設けられているところの多数の回転切断刃の通路用溝から、上記被加工物の接着固定のために付着させた接着用ワックスを除去するための接着用ワックスの除去具であって、
上記被加工物固定用治具における多数の通路用溝に対応させて平行且つ等間隔に配列され、該通路用溝の溝底部を被覆可能な幅に形成された多数のマスキング部材と、それらのマスキング部材の両端を支持する支持部材とを有する、
ことを特徴とする被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具。
【請求項２】
上記マスキング部材が、上記通路用溝の内側壁に付着した接着用ワックスを切断除去する切断刃としての機能を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具。
【請求項３】
マスキング部材が、支持台上に上記通路用溝の位置を一致させて並列配置した複数の被加工物固定用治具の一連の通路用溝に挿入できる長さを有する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具。
【請求項４】
請求項１に記載の接着用ワックスの除去具を用いて被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝から接着用ワックスを除去する方法であって、
上記除去具のマスキング部材により被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝の溝底部を被覆する第１の工程；
被加工物固定用治具における被加工物の固定面に接着用ワックスを付着させる第２の工程；
上記除去具の支持部材を支持して、上記マスキング部材を被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝から取り除くことにより、該通路用溝内に入っている上記接着用ワックスを除去する第３の工程；
を有する、
ことを特徴とする被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具を用いた接着用ワックスの除去方法。
【請求項５】
上記第１の工程において、マスキング部材により被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝の溝底部を被覆するにあたり、通路用溝の位置を一致させて並列配置した複数の被加工物固定用治具の一連の通路用溝にマスキング部材を挿入する、
ことを特徴とする請求項４に記載の被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具を用いた接着用ワックスの除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品関連の基板やウエハー等の電子部品用基板、あるいはそれから切り出したピース等の被加工物を回転切断刃で切断して個片化するために、その被加工物を被加工物固定用治具に接着用ワックスで接着固定するに際して、該被加工物固定用治具に設けられた多数の回転切断刃の通路用溝から上記接着用ワックスを除去するための被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具と、該除去具を用いた接着用ワックスの除去方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品関連の基板やウエハー、あるいはそれらから切り出したピース等の電子部品用基板からなる被加工物を回転切断刃で切断するに際して、その被加工物を、多数の回転切断刃の通路用溝を有する被加工物固定用治具の固定面に、接着用ワックスを用いて接着固定するのが望ましい。実際の加工では、この接着用ワックスによる接着強度が高いほど、上記被加工物を切断加工する際の加工精度が向上するため、上記被加工物を被加工物固定用治具の固定面に対して強力に接着固定することが重要になる。
【０００３】
而して、上記接着用ワックスによる接着強度を上げるためには、接着強度の高い、即ち高粘度の接着用ワックスを使用すればよいが、接着用ワックスの粘性が高いほど、該接着用ワックスを塗着する必要がある上記固定用治具の固定面のみに接着用ワックスを塗着するための操作が困難であり、該接着用ワックスを塗着する必要がない上記固定用治具における回転切断刃の通路用溝内などに接着用ワックスが塗着されてしまうことになる。このような通路用溝内などに接着用ワックスが塗着された場合には、該通路用溝から接着用ワックスを除去することが困難であり、上記被加工物の切断加工時に、該被加工物を切断すると同時に通路用溝の中に塗着された接着用ワックスを回転切断刃により除去する結果になっていた。しかも、切断加工時に回転切断刃が接着用ワックスに接触すると、その接着用ワックスが回転切断刃の表面にこびりつき、回転切断刃による切断加工中の研削抵抗が上昇するため、円滑な切断加工が妨げられて、回転切断刃の蛇行などによる切断精度の低下を招くばかりでなく、被加工物の切断面の面精度を低下させるという問題点もあった。特に、＃２０００以上の細粒仕様の砥石からなる回転切断刃を使用する場合は、回転切断刃に接着用ワックスがこびりつくことの悪影響が極めて大きくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
如上に鑑みて、本発明の技術的課題は、電子部品用基板からなる被加工物を回転切断刃で切断するために該被加工物を接着用ワックスで被加工物固定用治具に接着固定するに際し、該被加工物固定用治具に設けられた多数の回転切断刃の通路用溝から接着用ワックスを容易に除去可能とすることにより、該通路用溝の内部に接着用ワックスが塗着された状態で溜まることなく、該回転切断刃表面への接着用ワックスのこびりつきや切断加工中の研削抵抗の上昇を抑制することができるようにした接着用ワックスの除去具と、該除去具を用いた接着用ワックスの除去方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するための本発明は、被加工物を回転切断刃で切断するために該被加工物を接着用ワックスで接着固定する被加工物固定用治具の固定面に設けられているところの多数の回転切断刃の通路用溝から、上記被加工物の接着固定のために付着させた接着用ワックスを除去するための接着用ワックスの除去具であって、上記被加工物固定用治具における多数の通路用溝に対応させて平行且つ等間隔に配列され、該通路用溝の溝底部を被覆可能な幅に形成された多数のマスキング部材と、それらのマスキング部材の両端を支持する支持部材とを有することを特徴とするものである。
【０００６】
本発明に係る接着用ワックスの除去具の好ましい実施形態においては、上記マスキング部材が、上記通路用溝の内側壁に付着した接着用ワックスを切断除去する切断刃としての機能を有するものとして構成される。
本発明に係る接着用ワックスの除去具の他の好ましい実施形態においては、マスキング部材が、支持台上に上記通路用溝の位置を一致させて並列配置した複数の被加工物固定用治具の一連の通路用溝に挿入できる長さを有するものとして構成される。
【０００７】
また、上記被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具を用いた本発明の接着用ワックスの除去方法は、上記除去具のマスキング部材により被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝の溝底部を被覆する第１の工程；被加工物固定用治具における被加工物の固定面に接着用ワックスを付着させる第２の工程；上記除去具の支持部材を支持して、上記マスキング部材を被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝から取り除くことにより、該通路用溝内に入っている上記接着用ワックスを除去する第３の工程；を有することを特徴としている。
【０００８】
本発明に係る接着用ワックスの除去方法の好ましい実施形態においては、上記第１の工程において、マスキング部材により被加工物固定用治具における回転切断刃の通路用溝の溝底部を被覆するにあたり、通路用溝の位置を一致させて並列配置した複数の被加工物固定用治具の一連の通路用溝にマスキング部材を挿入する。
【発明の効果】
【０００９】
以上に詳述した本発明によれば、被加工物固定用治具に設けられた多数の回転切断刃の通路用溝から接着用ワックスを容易に除去することができるので、該通路用溝の内部に接着用ワックスが塗着された状態で溜まることなく、該回転切断刃表面への接着用ワックスのこびりつきや切断加工中の研削抵抗の上昇を抑制することができ、延いては、被加工物を高精度で加工することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明に係る被加工物固定用治具における接着用ワックスの除去具と、該除去具を用いた接着用ワックスの除去方法を実施するための最良の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施例に係る接着用ワックスの除去具１を用いて、通路用溝２１から接着用ワックス９を除去する被加工物固定用治具２の多数を、支持台３上に並列配置した状態を示し、図２は、本発明の実施例に係る接着用ワックスの除去具１の構成を示している。
図２に示す接着用ワックスの除去具１は、電子部品関連の基板やウエハー等の電子部品用基板、あるいはそれから切り出したピース等の被加工物４を回転切断刃で切断して個片化するために、その被加工物４を図１に示す被加工物固定用治具２の固定面２２に接着用ワックス９で接着固定するに際して（図４参照）、該被加工物固定用治具２に設けられた多数の回転切断刃の通路用溝２１から、上記被加工物４の接着固定のために付着させた接着用ワックス９を除去するためのもので、多数のワイヤー状または帯板状のマスキング部材１１と、それらのマスキング部材１１の両端を支持する支持部材１２とを有している。
【００１１】
上記被加工物固定用治具２は、その上面の固定面２２に固定した長い被加工物４を、多数の回転切断刃をスペーサを介して一定間隔で回転軸に取付けたマルチ切断刃（図示省略）によって切断するためのもので、図１に示すように、上記固定面２２には、被加工物４の切断時に回転切断刃が挿入される多数の通路用溝２１が設けられている。
【００１２】
なお、上記固定用治具２は、通常、多数の回転切断刃をスペーサを介して一定間隔で回転軸に取付けたマルチ切断刃による被加工物４の切断に際して、該被加工物４の固定に供するものであり、そのため、マルチ切断刃における回転切断刃間のある程度のピッチ公差等を考慮して上記通路用溝２１の溝幅等が設計されるものである。その場合に、被加工物４の固定剛性という観点からすれば、溝幅は極力回転切断刃の刃厚に近い方が有利であり、逆に、被加工物４の上記溝幅上に位置する非固定部分が多いと、被加工物４の切断精度やチッピングについて悪影響を及ぼす可能性がある。そのため、上記溝幅は極力狭くしたいが、上記公差を考慮して一般的には回転切断刃の刃厚よりも１００〜１５０μｍほど広く設計される。
【００１３】
一方、上記固定用治具２の固定面２２上に被加工物４の接着のために塗着する接着用ワックス９は、通常、精密加工用のホットメルト系仮止め接着剤として使用される固形ワックスが用いられ、該固形ワックスを加熱して溶解させたうえで、刷子等の塗布具によって塗布することにより、上記固定用治具２の固定面２２に対して付着させる。
なお、上記接着用ワックス９は、上述した固形ワックスを用いるものに限定されるものではなく、各種有機溶剤からなる溶媒にワックス成分を溶解した液状ワックスを用いることもできる。
【００１４】
上記マスキング部材１１は、図２及び図３に示すように、上記支持台３上に上記通路用溝２１の位置を一致させて並列配置した多数の被加工物固定用治具２の一連の通路用溝２１に挿入できる長さＬと、上記固定用治具２における複数の通路用溝２１の溝底部２１ａを被覆可能な幅Ｗを有するものとして形成され、その複数が上記通路用溝２１に対応させて平行且つ等間隔に配列されており、上記通路用溝２１の内側壁に付着した接着用ワックス９を除去するのに適した適宜断面形状のワイヤー状または帯板状部材により形成されている。該マスキング部材１１としては、例えば黄銅などの合金製の線材、あるいは合金製の線材の複数を撚り合わせた多重構造のワイヤー状部材を用いることができるが、特に、上記通路用溝２１の内側壁にこびりついた接着用ワックス９を切断除去する必要がある場合には、高炭素鋼や中炭素低合金鋼等の熱処理ばね鋼による線材、硬鋼線やピアノ線やステンレス線や冷間圧延鋼線やオイルテンパー線などの加工ばね鋼による線材、アラミド繊維線、ボロン繊維線、炭化ケイ素繊維線、アルミナ繊維線等の金属性素線、炭素繊維線、または非金属性素線により、あるいはそれらによって形成されたワイヤー状部材の複数を撚り合わせた多重構造のワイヤー状部材で構成することにより、該マスキング部材１１に切断刃としての機能をもたせたものを用いることができる。
【００１５】
上記構成の接着用ワックス９の除去具１を用いて、本発明に係る接着用ワックス９の除去方法により上記固定用治具２における回転切断刃の通路用溝２１から接着用ワックス９を除去する場合には、先ず、第１工程として、複数の上記固定用治具２をホットプレートで加熱したうえで、上記除去具１の複数のマスキング部材１１を、上記通路用溝２１の位置を一致させて並列配置した上記固定用治具２の一連の通路用溝２１内に挿入して、該通路用溝２１の溝底部２１ａを被覆させる（図３参照）。なお、上記除去具１のマスキング部材１１は、多数の固定用治具２をその通路用溝２１の位置を一致させるために利用することもできる。
【００１６】
次に、第２工程として、上記固定用治具２における被加工物４の固定面２２に、固形ワックスを加熱して溶解させた接着用ワックス９を、刷子等の塗布具による塗布等の適宜の手段により付着させる（図３参照）。このとき、上記除去具１におけるマスキング部材１１を、上記支持台３上に上記通路用溝２１の位置を一致させて並列配置した複数の被加工物固定用治具２の一連の通路用溝２１に挿入できる長さＬと、上記通路用溝２１の溝底部２１ａを被覆可能な幅Ｗを有するものとして形成しているので、上記支持第３上に並列配置した複数の上記被加工物固定用治具２の一連の通路用溝２１にわたって、該通路用溝２１の溝底部２１ａが確実に被覆され、全ての被加工物固定用治具２における通路用溝２の溝底部２１ａに接着用ワックス９が塗着するのを抑止することができる。
【００１７】
次いで、第３工程として、上記固定用治具２の固定面２２上に付着したワックスが流動性を失ったときに、上記除去具１の支持部材１２を支持して、上記マスキング部材１１を固定用治具２における回転切断刃の通路用溝２１から取り除くことにより、該通路用溝２１の内壁に塗着している上記ワックス９を確実に除去することができる。
そして、上記ワックス９が塗布されている固定用治具２の固定面２２上に、被加工物４の固定面を接着させるとともに、加熱によって軟化した状態の上記ワックス９を自然冷却または強制冷却し、該接着用ワックス９により被加工物４を上記固定用治具２の固定面２２に接着固定する（図４参照）。
【００１８】
しかる後に、上記固定用治具２に被加工物４が完全に接着固定された状態で、回転切断刃により固定面２２上の被加工物４を切断するが、上記除去具１により固定用治具２における回転切断刃の通路用溝２１内に塗着した接着用ワックス９を容易に除去することができるので、該通路用溝２１の内部に接着用ワックス９が塗着された状態で溜まることなく、該回転切断刃表面への接着用ワックス９のこびりつきや切断加工中の研削抵抗の上昇を抑制することができ、延いては、被加工物４を高精度で加工することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る接着用ワックスの除去具を用いて通路用溝から接着用ワックスを除去する被加工物固定用治具の多数を支持台上に並列配置した状態の部分平面図である。
【図２】本発明の実施例に係る接着用ワックスの除去具を示す部分平面図である。
【図３】図２の除去具を用いて、図１の被加工物固定用治具における通路用溝の溝底部を被覆した状態を示す部分平面図である。
【図４】本発明に係る接着用ワックスの除去具を用いて通路用溝から接着用ワックスを除去した被加工物固定用治具の固定面に、接着用ワックスで被加工物を接着固定した状態を示す要部拡大斜視図である。
【符号の説明】
【００２０】
１    除去具
２    被加工物固定用治具
３    支持台
４    被加工物
９    接着用ワックス
１１    マスキング部材
１２    支持部材
２１    通路用溝
２１ａ  溝底部
２２    固定面
Ｌ    長さ（マスキング部材）
Ｗ    幅（マスキング部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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