(57)【要約】【課題】面積効果を低減した高精度な放射温度計を提供する。【解決手段】測定対象からの出射された赤外線を集光する対物レンズ６を有し、赤外線量から温度計測を行う放射温度計１において、対物レンズ１は接合型のダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂの計３枚のレンズで構成され、ダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂの間隔（ｄｍｍ）と対物レンズ６の光学系焦点距離（ｆｍｍ）とで以下の２つの関係式がともに成り立つことを特徴とする。  ８０ｍｍ≦ｆ≦１００ｍｍ    （関係式１）  ０．７≦ｄ／ｆ≦０．７５    （関係式２）【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象から出射された赤外線を集光するための対物レンズを有し、赤外線量から温度計測を行なう放射温度計において、
該対物レンズは接合型タブレットレンズと単レンズの計３枚のレンズで構成され、該タブレットレンズと該単レンズの間隔（ｄｍｍ）と前記対物レンズの光学系焦点距離（ｆｍｍ）とで以下の２つの関係式が成り立つ放射温度計。
８０ｍｍ≦ｆ≦１００ｍｍ  （関係式１）
０．７≦ｄ／ｆ≦０．７５  （関係式２）
【請求項２】
前記対物レンズを構成する各レンズの各面間における反射光線のゴースト像位置が、各レンズの屈折光線による正規の結合位置に配置される視野絞りの位置から所定距離以上離れているか、或いは該反射光線が発散光線となるように、各レンズの各面の曲率半径を定めている請求項１記載の放射温度計。
【請求項３】
前記対物レンズを構成する各レンズにおいて、その硝種の屈折率（ｎｄ）とアッベ数（νｄ）が、前記ダブレットレンズではｎｄ＝１．６５±０．３、νｄ＝５５±５とｎｄ＝１．８０±０．５、νｄ＝２５±５である２枚の光学ガラスの貼り合わせであり、前記単レンズではｎｄ＝１．６５±０．３、νｄ＝５５±５の光学ガラスで、且つ像側レンズ面の曲率半径が２００ｍｍ≦Ｒ＜４００ｍｍのメニスカス形状である請求項１または２記載の放射温度計。
【請求項４】
比較黒体炉を用いて放射温度計の目盛校正に使用される請求項１〜３の何れかに記載の標準用単色放射温度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象から放射される赤外線により測定対象の温度を測定する放射温度計に係り、特に放射温度計の温度校正を行う標準用単色放射温度計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、測定対象である物体から温度センサへの電磁波としての熱の移動（熱放射）が行われ、その電磁波の状態変化を捉えることで、測定対象の温度を求める温度計として放射温度計が知られている。そして、この種の放射温度計の標準体系である標準放射温度計を用いた校正には、亜鉛（４１９．５２７℃）、アルミニウム（６６０．３２３℃）、銀（９６１．７８℃）、銅（１０８４．６２℃）の定点物質の凝固点を利用した定点黒体が採用されている。
【０００３】
標準放射温度計には、以下に説明するように、ＪＩＳ（日本工業規格）の規定（標題  放射温度計の性能試験方法通則  ＪＩＳ  Ｃ  １６１２：２０００、以下「ＪＩＳ  Ｃ  １６１２」）により定められた０．９μｍ形と、０．６５μｍ形の２種類の単色放射温度計が用いられている。
・０．９μｍ形：測定波長帯域の中心波長が０．８５μｍ〜０．９５μｍまでの範囲にある単色放射温度計で、中心波長から０．１μｍ以上離れた波長領域における分光感度が中心波長の２×１０-4以下とする。
・０．６５μｍ形：測定波長帯域の中心波長が０．６４μｍ〜０．６６μｍまでの範囲にある単色放射温度計で、中心波長から０．１μｍ以上離れた波長領域における分光感度が中心波長の１×１０-4以下とする。
【０００４】
図１０は、非特許文献である「ＪＩＳ  Ｃ  １６１２」に記載されている標準用単色放射温度計の概略説明図である。標準放射温度計５１は、接眼レンズ５２、減光フィルタ５３、リレーレンズ５４、偏光ミラー５５、アパチャミラー（視野絞り）５８及び対物レンズ５６を介して測定対象である対象物（不図示）に焦点を合せる。
一方、対象物から出射された測定波長である光（電磁波）が対物レンズ５６に集光され、開口絞り５７を通してアパチャミラー５８上に結像するように配置されている。アパチャミラー５８には、視野を限定する小さな穴５８ａが開口しており、この穴５８ａを通過した光のみがコンデンサレンズ５９及び干渉フィルタ６０を通過し、シリコン検出素子６１に導かれる構成である。
【０００５】
また、図１１に示すように、可視領域から近赤外域までの色収差（光の波長の違いに起因する収差）を補正するため、対物レンズ５６を低分散高屈折率硝子５６Ａａと高分散低屈折率硝子５６Ａｂとの内面同士が接着された接合型ダブレットであるダブレットレンズ５６Ａと単レンズ５６Ｂとで構成されている。
【０００６】
さらに、放射温度計の場合、測定距離が変わっても指示値（出力値）が変化しないように開口絞り５７を設け、ピント合わせ操作により対物レンズが前後に移動しても、レンズ視野角θを一定にしている。
【０００７】
そして、この種の放射温度計に用いられる対物レンズ光学系には、以下の性能が求められる。
１．低温での出力感度を得るためのレンズ開口角の大きい、明るい光学系であること。
２．測定距離によってピント合せが可能で、なお且つ、定点黒体炉の一般的な開口径φ６    ｍｍを観測するために、最小の集光エリアの大きさ（以下、最小標的サイズ）はφ３    ｍｍ以下とする。０．６５μｍ単色放射温度計の場合は、最小標的サイズはφ１ｍｍ    以下であること。
３．直視ファインダーによるピント合わせを行うために、可視領域と測定を行う近赤外域    とで色収差の小さい光学系であること。
４．高精度な測定を行うための面積効果の少ない光学系であること。
【０００８】
前述の性能に関する要求事項１を満たすために、標準用単色放射温度計の対物レンズは一般的に焦点距離が８０〜１００ｍｍ、レンズ開口径が凡そφ４０ｍｍの仕様となっている。従って、例えば０．９μｍ標準用単色放射温度計では、測定温度範囲の最低温度４００℃において約０．１℃の測定感度を得るためには、レンズ開口径はφ４０ｍｍ程度必要である。
【０００９】
さらに、性能要求事項３を満たすための色収差（光の波長の違いに起因する収差）を補正する一般的な手法として、低分散高屈折率硝子と高分散低屈折率硝子の２つの素子を貼り合わた複合レンズであるダブレットレンズ（素子の間に空気間隔がある空気分離型タブレットと、内面で両者が接着している接合型ダブレットとがある）を用いることが広く知られており、放射温度計用対物レンズにもこの技術が応用されている。このダブレットレンズ構成とすることで、可視域から近赤外域まで（５５０〜１０００ｎｍ）の色収差補正が可能である。
【００１０】
また、性能要求事項４にある面積効果とは、温度が同じであっても、測定対象物である熱源の大きさによって放射温度計の指示値が変動する現象であり、一般的には熱源が大きくなるほど指示値が高くなる傾向にある。非特許文献１によれば、面積効果は光学系開口絞りによる回折、対物レンズでの散乱、或いはレンズ鏡筒内反射などが原因となって生じていると考えられている。
【００１１】
一般的に、標準用単色放射温度計にて他の放射温度計の目盛校正を行う場合は、通常比較黒体炉を用いて行うが、定点黒体炉の開口径は概してφ６ｍｍであるのに対し、比較黒体炉の開口径はφ３０ｍｍ〜φ５０ｍｍである。それ故、定点黒体炉にて目盛校正された標準用単色放射温度計は開口径の大きい比較黒体炉を計測すると、面積効果によって誤差を生じることとなり、正確な目盛校正が実施できない。これが面積効果の小さい単色放射温度計が望まれる理由である。
【非特許文献１】ＪＩＳ  Ｃ  １６１２：２０００  放射温度計の性能試験方法通則
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述のように、放射温度計の光学系が測定精度に及ぼす誤差要因としては、光学系の明るさ不足や実際の測定対象と光学スポット（標的）の不一致、各種光学収差や色収差の影響、或いは測定物体の面積の違いによって放射温度計の出力が変化する面積効果などが挙げられ、物体の温度を非接触で計測できる放射温度計において、高精度な測定性能が求められている。
【００１３】
また、従来の標準用単色放射温度計に用いられてきた対物レンズは、主に明るさの確保と色収差の補正に設計の主眼が置かれ、面積効果の低減に対してはあまり注意が払われてこなかった。これは面積効果の要因が複雑であり、明確でなかったことに起因しているが、標準用単色放射温度計は一般の放射温度計の目盛校正を行う目的に使用されるため、前述の光学系による誤差要因の極小化が特段に求められる温度計である。
【００１４】
さらに、図１２または図１３に示すように、従来の放射温度計はダブレットレンズ５６Ａと単レンズ５６Ｂとで構成される対物レンズ５６の間隔を狭くして配置しているため、対物レンズ５６間のレンズのピントを無限遠に合わせた時よりも、図１３に示す短い方に対応させた位置、つまりレンズを前方に移動させるほど第１面の光束径（有効径）が大きくなって、明るさが制限される。また、無限遠に合わせたレンズ位置では、レンズ中央部の限られた部分を通る光線のみ集光し、それ以外の外周部の光線は鏡筒内での迷光成分となる虞がある。
【００１５】
そこで、この発明の目的は以上の点に鑑み、放射温度計の対物レンズにおいて、可視域から近赤外域（５５０〜１０００ｎｍ）までの色収差や球面収差の補正を行い、明るさと結像性能を確保し、且つ、レンズ表面での２次反射光の進行方向を制御することで、面積効果の影響を低減した高精度な放射温度計を達成しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の課題を解決するため、本発明の請求項１記載の放射温度計は、測定対象からの出射された赤外線を集光する対物レンズを有し、赤外線量から温度計測を行う放射温度計において、該対物レンズは接合型のダブレットレンズと単レンズの計３枚のレンズで構成され、該ダブレットレンズと該単レンズの間隔（ｄｍｍ）と前記対物レンズの光学系焦点距離（ｆｍｍ）とで以下の２つの関係式がともに成り立つことを特徴とする。
８０ｍｍ≦ｆ≦１００ｍｍ    （関係式１）
０．７≦ｄ／ｆ≦０．７５    （関係式２）
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の放射温度計において、前記対物レンズを構成する各レンズの各面間における反射光線のゴースト像位置が、各レンズの屈折光線による正規の結像位置に配置される視野絞りの位置から所定距離以上離れているか、或いは該反射光線が発散光線となるように、各レンズの各面の曲率半径を定めていることを特徴とする。
【００１８】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の放射温度計おいて、前記対物レンズを構成する各レンズにおいて、その硝種の屈折率（ｎｄ）とアッベ数（νｄ）が、前記ダブレットレンズではｎｄ＝１. ６５±０. ３、νｄ＝５５±５とｎｄ＝１. ８０±０. ５、νｄ＝２５±５である２枚の光学ガラスの貼り合わせであり、前記単レンズではｎｄ＝１. ６５±０. ３、νｄ＝５５±５の光学ガラスで、且つ、像側レンズ面の曲率半径（Ｒ）が２００ｍｍ≦Ｒ＜４００ｍｍのメニスカス形状（片面が凸面で、反対面が凹面のレンズ）であることを特徴とする。
【００１９】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れかに記載の放射温度計において、比較黒体炉を用いて放射温度計の目盛校正に使用される標準用単色放射温度計としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
以上の構成により、この発明によれば、ダブレットレンズと単レンズの間隔を比較的大きくとることで、レンズ表面での反射光を鏡筒側壁に逃してやること、不要なレンズ外周部の光線や光軸中心から大きく離れた光源からの光線が直接レンズ内部まで入射しないようにすることで、面積効果が低減される。
【００２１】
また、ダブレットレンズと単レンズの間隔を大きくとることで、ある一定のレンズ有効径にて最大のレンズ明るさを確保することが可能となっている。
【００２２】
さらに、対物レンズの各面間における反射光線を順次シミュレーションし、そのゴースト像位置が、レンズの屈折光線による正規の結像位置である視野絞りの位置から所定距離以上離れるように、或いは発散光線状態となるように、レンズ各面の曲率半径を定めることで、面積効果をさらに低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、この発明の最良の形態について、添付する図１〜図９を参照しながら説明する。図１は本発明に係る放射温度計の光学系のレイアウト図であり、図２はレンズ間距離ｄとＦナンバーの関係を示すグラフ図であり、図３は本発明に係る放射温度計の光学系の無限遠ピント位置における光路図であり、図４は本発明に係る放射温度計の光学系の近距離ピント位置における光路図であり、図５は本発明に係る放射温度計の対物レンズにおける各レンズ面を説明するための説明図であり、図６（ａ）〜（ｃ）は図５における第４面と第３面を反射面として各種光線を追跡した場合のシミュレーション図であり、図７（ａ）〜（ｃ）は図５における第５面と第１面を反射面として各種光線を追跡した場合のシミュレーション図であり、図８（ａ）〜（ｃ）は図７において視野絞り近くに集光した場合のシュミレーション図であり、図９は本発明の放射温度計と従来の放射温度計との面積効果測定結果の比較例を示すグラフ図である。
【００２４】
まず、図１〜図４を参照しながら、本例の放射温度計の構成について具体的に説明する。なお、以下で説明する放射温度計は、構成する対物レンズの最大口径をφ４０ｍｍに固定した放射温度計とし、接眼レンズ等のファインダー光学系の構成については説明を省略する。
【００２５】
図１に示すように、本例の放射温度計１は、低分散高屈折率硝子６Ａａと高分散低屈折率硝子６Ａｂとの内面同士が接着された接合型ダブレットであるダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂとで構成される対物レンズ６で測定対象（不図示）から放射される赤外線を集光し、この集光した赤外線を開口絞り７を介して視野絞り８に集光した後、コンデンサレンズ９と干渉フィルタ１０を通ってシリコン検出素子１１に達して、この集光した赤外線量に応じた電気信号に変換される。
【００２６】
さらに説明すると、低分散高屈折率硝子６Ａａと高分散低屈折率硝子６Ａｂとで構成されるダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂの３枚構成の対物レンズ６において、レンズの最大開口径をφ４０ｍｍに固定した場合の距離４００ｍｍから無限遠までのピントあわせが可能な焦点距離ｆ＝１００ｍｍ光学系における間隔ｄと実現可能な最小Ｆナンバー（絞り値のことで、口径比でレンズの明るさを表すと１より小さな数値になるので、口径比の逆数、すなわち焦点距離を各絞りでの有効口径で割った数値が使用されている。故に、レンズの明るさはＦナンバーの二乗に反比例する。）の関係を調べると、図２に示すようにｄ＝７２ｍｍにて、Ｆナンバーは最小値３をとり、焦点距離がｆ＝８８ｍｍの場合には、同様にｄ＝６２ｍｍにて、Ｆナンバー最小値２. ６をとり、焦点距離がｆ＝８０ｍｍの場合には、同様にｄ＝５６ｍｍ、Ｆナンバー最小値２．４をとる。対物レンズ６が、ダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂにおける間隔ｄとレンズ焦点距離ｆとの間で、８０ｍｍ≦ｆ≦１００ｍｍにおいて０．７≦ｄ/ ｆ≦０．７５の関係を満たすとＦナンバーが最小となり、明るいレンズとなる。
【００２７】
また、対物レンズ６は、迷光成分による面積効果が低減するため、各面間における反射光線のゴースト像位置が、レンズの屈折光線による正規の結像位置である視野絞り８の位置から所定距離以上離れるか、或いは反射光線が発散光線状態となるように、レンズ各面の曲率半径を定めている。
【００２８】
さらに、対物レンズ６は、色収差を低減するため、各レンズの屈折率（ｎｄ：フラウンホーファー線のｄ線（５８７ｎｍ）に対する屈折率）とアッベ数（νｄ：光学ガラスの分散率を示す数値で、光学恒数ともいう。フラウンホーファー線のＣ線、Ｄ線、ｄ線、Ｆ線に対する屈折率をｎＣ，ｎＤ，ｎｄ、ｎＦとして、νｄ＝（ｎｄ−１）／（ｎＦ−ｎＣ）で定義される。）とに基づく関係として、光学特性がｎｄ＝１. ６５±０．3 、νd ＝５５±５とｎｄ＝１. ８０±０. ５、νd ＝２５±５である２枚の光学ガラスの貼り合わせであるタブレットレンズと、光学特性がｎｄ＝１. ６５±０. ３、νｄ＝５５±５である光学ガラスである単レンズ６Ｂとで構成されている。また、面積効果を低減するため、単レンズ６Ｂの像側レンズ面の曲率半径（Ｒ）が２００ｍｍ≦Ｒ＜４００ｍｍのメニスカス形状としている。
【００２９】
このように、上記関係が成り立つ対物レンズ６を具備することで、φ４０ｍｍの開口径にてＦナンバーが最小となり明るい光学系となる。また、レンズのピント位置に依らず常時レンズのほぼ全面を通る光線を集光する光学系となり、面積効果の原因であるところの迷光となり得る、余分な光線の入射を防ぐものとなる。
【００３０】
さらに、図３または図４に示すように、従来の放射温度計の光学系と比べて対物レンズ６の間隔ｄが大きく設定されているため、主点の位置がレンズ系の中に移ることで、ピント合わせによるレンズを移動させても、レンズ第１面の有効径の増加度合は小さくなり、無限遠の位置の場合の有効径とほぼ変わらなくすることが可能となる。
【００３１】
次に、図５〜図８を参照しながら、本例の放射温度計１の面積効果についての性能を調べるため、各レンズ表面における反射光の影響についてシミュレーション実験を行った。    
【００３２】
図５に示すように、本実験では、図中左方向の物体側から対物レンズ６のレンズ面をそれぞれ第１面、第２面、・・・、第５面とし、第６面は開口絞り面７とし、第１面から左に５００ｍｍ離れた位置を物体面とした。また、結像面には視野絞り８を置いた。そして、３枚構成の対物レンズ６における上記レンズ面から任意の２面を選び、これらの面を１度目に入射した際は反射面として、２度目の入射の際は屈折面として作用させることで、光線の進行方向を追跡して計算し、視野絞りを通過する光線の度合を調べた。なお、本実験では、物体からレンズ第１面に入射する光線の本数は３９６８本とし、次のレンズ面に到達した光線は追跡を続け、レンズ面の外に外れた光線は計算を中止させることを繰り返し、最終的に視野絞りを通過する光線の本数を求めた。
【００３３】
具体例として第４面と第３面を反射面にとり、入射角０°、７°、１０°の光線をシュミレーションして追跡した場合の光路図を図６に示す。図６（ａ）は入射角０°における光路図、図６（ｂ）は入射角７°における光路図、図６（ｃ）は入射角１０°における光路図である。図６（ａ）〜（ｃ）では、ダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂの間隔を離すことで反射光が光学系の外側に逸れることが判る。
【００３４】
また、図７の光路図は、第５面と第１面を反射面にとり、図６と同種の光線をシュミレーションして追跡したものであり、図７（ａ）は入射角０°における光路図、図７（ｂ）は入射角７°における光路図、図７（ｃ）は入射角１０°における光路図である。図７（ａ）〜（ｃ）では、入射角を有する光線は光学系の外側に逸れることが判る。
【００３５】
一方、図７と同じ構成の対物レンズ６であっても、レンズの曲率半径によっては図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、視野絞り８の近くにゴースト像を結ぶことで、視野絞り８を通過する反射光の量が大きくなる場合もある。しかし、その場合には、レンズ最終面である第５面の曲率半径を変えた上で光学系全体を調整することにより、視野絞り８を通過する反射光の量を低減することができる。
【００３６】
このように、上述したシュミレーション結果から、対物レンズ６の各面間における反射光線のゴースト像位置が、レンズの屈折光線による正規の結像位置である視野絞り８の位置から所定距離以上離れるか、或いは反射光線が発散光線状態となるように、レンズ各面の曲率半径を定めることで、面積効果を低減することができる。
【００３７】
以下、本例の放射温度計１について実施例により更に具体的に説明する。なお、下記実施例は本発明を限定する性質のものではなく、前・後記の趣旨に徴して設計変更することはいずれも本発明の技術的範囲に含まれるものである。
（実施例１）
実施条件としては、焦点距離ｆ＝８８ｍｍ、Ｆナンバー２．６、波長０．９μｍとし、各レンズにおける面番号：Ｓ、曲率半径：Ｒ（ｍｍ）、次面までの面間隔：Ｌ（ｍｍ）、屈折率：ｎはそれぞれ表１に示す通りである。また、第１面及び第４面の硝種としてはガラスコード６５１５６２（Ｓ−ＬＡＬ５４）、第２面の硝材としてはガラスコード８０５２５４（Ｓ−ＴＩＨ６）を使用する。
【００３８】
【表１】
2008045891.tif 000003
【００３９】
図９は、上記実施例１で構成した対物レンズ６を具備した単色放射温度計と従来の対物レンズを用いた単色放射温度計の面積効果測定例である。図９に示すように、本発明による放射温度計１は従来型と比べて、面積効果が凡そ１／４に低減していることがわかる。    
【００４０】
以上のように、本発明による放射温度計１は、ダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂにおける間隔ｄとレンズ焦点距離ｆとの間に８０ｍｍ≦ｆ≦１００ｍｍ、０．７≦ｄ/ ｆ≦０．７５の関係が成り立つ対物レンズ６を具備しているため、可視域から近赤外域（５５０〜１０００ｎｍ）までの色収差や球面収差の補正を行い、明るさと結像性能を確保し、面積効果の原因であるところの、直接測定には関与しない余分な迷光成分の光学系内への進入を防ぎ、さらにレンズ表面での反射光の進行方向を制御することで、面積効果の影響を低減した高精度な放射温度計１を達成するものである。
【００４１】
また、対物レンズ６の各面間における反射光線のゴースト像位置が、レンズの屈折光線による正規の結像位置である視野絞り８の位置から所定距離以上離れるか、或いは反射光線が発散光線状態となるように、レンズ各面の曲率半径を定めることで、面積効果を低減する効果を奏する。
【００４２】
以上、本願発明における最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術等はすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係る放射温度計の光学系のレイアウト図である。
【図２】レンズ間距離ｄとＦナンバーの関係を示すグラフ図である。
【図３】本発明に係る放射温度計の光学系の無限遠ピント位置における光路図である。
【図４】本発明に係る放射温度計の光学系の近距離ピント位置における光路図である。
【図５】本発明に係る放射温度計の対物レンズにおける各レンズ面を説明するための説明図である。
【図６】図５における第４面と第３面を反射面として各種光線を追跡した場合のシミュレーション図である。
【図７】図５における第５面と第１面を反射面として各種光線を追跡した場合のシミュレーション図である。
【図８】図７において視野絞り近くに集光した場合のシュミレーション図である。
【図９】本発明の放射温度計と従来の放射温度計との面積効果測定結果の比較例を示すグラフ図である。
【図１０】従来の標準用単色放射温度計の概略説明図である。
【図１１】従来の放射温度計の光学系のレイアウト図である。
【図１２】従来の光学系の無限遠ピント位置における光路図である。
【図１３】従来の光学系の近距離ピント位置における光路図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  放射温度計
２  接眼レンズ
３  減光フィルタ
４  リレーレンズ
５  偏向ミラー
６  対物レンズ
６Ａ  ダブレットレンズ
６Ａａ  低分散高屈折率硝子
６Ａｂ  高分散低屈折率硝子
６Ｂ  単レンズ
７  開口絞り
８  視野絞り（アパチャミラー）
９  コンデンサレンズ
１０  干渉フィルタ
１１  シリコン検出素子
【図１】
2008045891.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008045891.tif 000010
【図８】
2008045891.tif 000011
【図９】
2008045891.tif 000012
【図１０】
2008045891.tif 000013
【図１１】
2008045891.tif 000014
【図１２】
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【図１３】
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