(57)【要約】【課題】格納室に収容した板状ワークの汚染を防止する。【解決手段】台車本体３に、搬器２を収容する格納室２１を設け、格納室２１の給気面２１Ｆに、搬器２に保持された板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの全面に均一にクリーンエアＡを放出する分散給気部２４を設け、格納室２１の排気面２１Ｒに、積み重ね隙間Ｗｄを通過後のクリーンエアＡを均一に排出する分散排気部２５を設け、格納室２１の左右側面に、シャッター１２を有する出し入れ口１３を形成し、台車本体３の底部に、分散排気部２５からのクリーンエアを通気床に向かって排出する排気口を設けた。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内で、複数の板状ワークを所定隙間をあけて積み重ね状に保持する搬器を搬送するための無人搬送車の換気装置であって、
走行車輪を有する台車本体に、少なくとも対称側面に板状ワークの積み重ね隙間が開口するように板状ワークを保持する搬器の格納室を設け、
格納室で板状ワークの積み重ね隙間が開口される対称側面が対面する対向側面の一方を給気面とするとともに、他方を排気面とし、
格納室の他の組の一対の対向側面の少なくとも一方に、開閉扉を有する出し入れ口を形成し、
前記給気面に、クリーンルームから吸引されたクリーンエアを、板状ワークの積み重ね隙間の全面に均一に放出する分散給気部を設け、
前記排気面に、板状ワークの積み重ね隙間から排出されるクリーンエアを均一に排出する分散排気部を設け、
台車本体の底部に、前記分散排気部から排出されるクリーンエアを走行用床面に向かって排出する排気口を設けた
ことを特徴とする無人搬送車の換気装置。
【請求項２】
分散給気部は、台車本体の外面に開口された吸気口と、前記吸気口からフィルタを介してろ過されたクリーンエアを吸引して加圧する吸気ファンと、クリーンエアのエア圧を保持する給気加圧室と、当該給気加圧室内のクリーンエアを格納室に均一に放出する多数の通気孔を有する給気分散板とを具備し、
分散排気部は、多数の通気孔からクリーンエアを均一に排出する排気分散板と、当該排気分散板から排出したクリーンエアのエア圧を調整する排気調圧室とを具備した
ことを特徴とする請求項１記載の無人搬送車の換気装置。
【請求項３】
格納室の底板に形成された複数のローラ用開口部に、搬器を案内する複数の移載ローラを設け、
前記ローラ用開口部と排気口とを連通して、格納室のクリーンエアの一部を排気口から排出するように構成した
ことを特徴とする請求項１または２記載の無人搬送車の換気装置。
【請求項４】
搬器に、複数の板状ワークを水平姿勢で上下方向に積み重ね隙間をあけて保持させ、
格納室の天井部に、昇降自在な可動整流板と、当該可動整流板を昇降して可動整流板と最上段の板状ワークとの間にクリーンエアを流送可能な整流用隙間を形成する整流板昇降装置とを設けた
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の無人搬送車の換気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内で、複数の板状ワークを所定隙間をあけて積み重ね状に保持したカセットなどの搬器を、格納室に収容して搬送する無人搬送車の換気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で、無人搬送車により、塵埃を嫌うフラットパネルディスプレイやガラス基板などの板状ワークを格納室に収容し搬送する場合、格納室の出し入れ口を開閉するシャッターの摺動部から発生する塵埃が、板状ワークに付着するのを防止するため、特許文献１には、出し入れ口を開放するとともに、クリーンルーム内から取り込んだエアを、出し入れ口の開放面に沿って進行方向の前部から後方に向かって放出し、エアカーテンを形成するものが提案されている。
【特許文献１】特開２００１−１５３４２０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、出し入れ口の近傍では、エアカーテンによるエアの流れによるエアの滞留は少ないが、板状ワーク近傍ではエアが滞留しやすく、格納室に侵入した塵埃があると、板状ワークに付着しやすく汚染されやすいという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記問題点を解決して、格納室に収容した板状ワークの汚染を効果的に防止することができる無人搬送車の換気装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明は、クリーンルーム内で、複数の板状ワークを所定隙間をあけて積み重ね状に保持する搬器を搬送するための無人搬送車の換気装置であって、走行車輪を有する台車本体に、少なくとも対称側面に板状ワークの積み重ね隙間が開口するように板状ワークを保持する搬器の格納室を設け、格納室で板状ワークの積み重ね隙間が開口される対称側面が対面する対向側面の一方を給気面とするとともに、他方を排気面とし、格納室の他の組の一対の対向側面の少なくとも一方に、開閉扉を有する出し入れ口を形成し、前記給気面に、クリーンルームから吸引されたクリーンエアを、板状ワークの積み重ね隙間の全面に均一に放出する分散給気部を設け、前記排気面に、板状ワークの積み重ね隙間から排出されるクリーンエアを均一に排出する分散排気部を設け、台車本体の底部に、前記分散排気部から排出されるクリーンエアを走行用床面に向かって排出する排気口を設けたものである。
【０００６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の構成において、分散給気部は、台車本体の外面に開口された吸気口と、前記吸気口からフィルタを介してろ過されたクリーンエアを吸引して加圧する吸気ファンと、クリーンエアのエア圧を保持する給気加圧室と、当該給気加圧室内のクリーンエアを格納室に均一に放出する多数の通気孔を有する給気分散板とを具備し、分散排気部は、多数の通気孔からクリーンエアを均一に排出する排気分散板と、当該排気分散板から排出したクリーンエアのエア圧を調整する排気調圧室とを具備したものである。
【０００７】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の構成において、格納室の底板に形成された複数のローラ用開口部に、搬器を案内する複数の移載ローラを設け、前記ローラ用開口部と排気口とを連通して、格納室のクリーンエアの一部を排気口から排出するように構成したものである。
【０００８】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の構成において、搬器に、複数の板状ワークを水平姿勢で上下方向に積み重ね隙間をあけて保持させ、格納室の天井部に、昇降自在な可動整流板と、当該可動整流板を昇降して可動整流板と最上段の板状ワークとの間にクリーンエアを流送可能な整流用隙間を形成する整流板昇降装置とを設けたものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、格納室では、給気面に設けられた分散給気部から、板状ワークの積み重ね隙間の全面にわたってクリーンエアを均一に吹き込んで、板状ワークの表面と裏面に沿ってクリーンエアを流送し、通過後のクリーンエアを排気面に設けられた分散排気部から均一に排出するので、板状ワークの周辺部にクリーンエアの渦流や滞留が発生することがなく、板状ワークが汚染されるのを効果的に防止することができる。
【００１０】
請求項２記載の発明によれば、分散給気部では、吸気ファンにより吸引されたクリーンエアを給気加圧室に一旦溜めてエア圧を高めることにより、給気分散板の通気孔から全面にわたって均一にクリーンエアを放出することができる。また板状ワークの積み重ね隙間を通過後のクリーンエアを、排気分散板の通気孔から排気調圧室に流入させるので、クリーンエアが滞留することなく格納室からスムーズに排気され、板状ワークが汚染されることがない。
【００１１】
請求項３記載の構成によれば、格納室内のクリーンエアの一部を、ローラ用開口部から排気口に排出するので、移載ローラと搬器との摺接部や開閉扉の摺接部で発生した塵埃をスムーズに排出することができ、板状ワークの汚染を防止することができる。
【００１２】
請求項４記載の構成によれば、最上段の板状ワークの上方部に、クリーンエアが滞留しやすい大きい空間ができる場合、整流板昇降装置により可動整流板を下降し、最上段の板状ワークの上方に、クリーンエアを流送する整流用隙間を形成することにより、最上段の板状ワークの汚染を効果的に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
［実施の形態１］
本発明に係る無人搬送車の換気装置を図１〜図４を参照して説明する。
【００１４】
この無人搬送車１は、クリーンルームＣＲ内の製造室や貯蔵庫などの出庫ゲートで、板状ワークＷを保持したカセットなどの搬器２を格納室２１に移載し、通路の通気床（走行用床面）Ｆ上を走行させて製造室や貯蔵庫などの入庫ゲートに搬器２を搬送するものである。
【００１５】
搬器２は、図３に示すように、フラットパネルディスプレイやガラス基板などのような板状ワークＷを数十枚、たとえば水平姿勢で一定の隙間（以下、積み重ね隙間Ｗｄという）をあけて保持するもので、この搬器２は、積み重ね状の板状ワークＷの対称側面である少なくとも前面と後面が開放され、板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの前面と後面の全面がそれぞれ開口されている。
【００１６】
無人搬送車１の台車本体３の底部には、複数の操向用および走行駆動用の走行車輪４と、通気床Ｆに敷設された磁気テープなどからなる誘導路の位置識別部を検出する検出センサ５が設けられており、入力された搬送指令と、検出センサ５により位置識別部から検出された位置データとに基づいて、図示しない操向装置および走行駆動装置により、走行車輪４を操向および回転駆動し、無人搬送車１を出庫ゲートから目的の入庫ゲートまで走行する。
【００１７】
台車本体３上には、搬器２を収容可能な格納室２１が設けられている。そして台車本体３の左右側面（対向側面）に、シャッター（開閉扉）１２を有する出し入れ口１３がそれぞれ形成されている。なお、左右の出し入れ口１３は、左右の一方の側面のみであってもよい。前記シャッター１２は、上下方向に複数段に分割され連動して上下動可能な分割扉１２ａからなり、図示しないが、たとえば防塵用のプーリとタイミングベルトなどからなる開閉駆動装置により、分割扉１２ａを連動して昇降させ、出し入れ口１３を開閉するように構成されている。
【００１８】
格納室２１は、収容された搬器２の板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの前面（対向側面の一方）に対面する面を給気面２１Ｆとし、積み重ね隙間Ｗｄの後面（対向側面の他方）に対面する面を排気面２１Ｒとしており、本発明に係る換気装置２２は、給気面２１Ｆに設けられた分散給気部２４から板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの開口面全面に均一にクリーンエアＡを放出して、全ての積み重ね隙間Ｗｄに沿ってクリーンエアＡをそれぞれ流送する。そして、通過後のクリーンエアＡを排気面２１Ｒの分散排気部２５に均一に排出し、さらに排出後のクリーンエアＡを分散排気部２５から排気空間部２６を介して台車本体３の底部の排気口２３に排出する。排気口２３から排気されるクリーンエアＡは、クリーンルームＣＲの通路内のエアを吸引している通気床（床面）Ｆに排出される。
【００１９】
これにより、格納室２１では、クリーンエアＡを積み重ね隙間Ｗｄに沿ってそれぞれ均一に流送することで、クリーンエアＡの滞留を防止して板状ワークＷの汚染を効果的に防止することができる。
【００２０】
なお、格納室２１の給気面２１Ｆと排気面２１Ｒとが前後逆であってもよい。
前記分散給気部２４は、台車本体３の前面に開口された吸気口３１と、この吸気口３１に取り付けられた高効率粒子除去用のフィルタ３２と、前記吸気口３１からクリーンルームＣＲの通路内のエアを吸引して加圧する吸気ファン３３と、クリーンエアＡを所定のエア圧Ｐ１に保持する給気加圧室３４と、給気加圧室３４内のクリーンエアＡを多数の通気孔から格納室２１内に均一に放出する給気分散板３５とを具備している。前記給気分散板３５は、搬器２１に保持された板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの前面全体に広がる大きさに形成されるとともに、全面に均一に多数の小径の通気孔が形成され、給気ファン３３の能力と通気孔の開口率とにより、給気加圧室３４のクリーンエアＡのエア圧Ｐ１を保持可能に構成されている。
【００２１】
したがって、吸気ファン３３によりフィルタ３２を介して給気加圧室３４に吸引されたクリーンエアＡがエアＰ１に保持され、クリーンエアＡを、給気分散板３５の通気孔から板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの開口面に均一に供給することができる。
【００２２】
前記分散排気部２５は、排気面２１Ｒに配置された排気分散板３６と、この排気分散板３６の後面側に形成された中空状の排気調圧室３７とで構成されている。前記排気分散板３６は給気分散板３５と同一の大きさに形成され、全面にわたって多数の小径の通気孔が均一に形成されている。排気分散板３６の通気孔は、格納室２１を給気加圧室３４のエア圧Ｐ１より低く、かつクリーンルームＣＲの通路のエア圧Ｐより高いエア圧Ｐ２に保持することができる開口率に形成されている。これにより、搬器２に保持された板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄの開口面から排出されるクリーンエアＡを排気分散板３６から排気調圧室３７に均一に排出することができる。ここで、排気空間部２６のエア圧をＰ３とすると、換気装置２２と通路のクリーンエア圧の関係は、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３＞Ｐとなる。
【００２３】
また格納室２１の底板１４には、前後両側に搬器２を案内する左右一対のガイドレール１５が取り付けられている。そしてガイドレール１５の内側の底板１４に、幅方向に一定間隔毎にローラ用開口部１６がそれぞれ形成され、これらローラ用開口部１６に移載ローラ１７がそれぞれ配置されている。そして、これら移載ローラ１７は、図示しない移載用駆動装置により前後方向の軸心周りに回転駆動されて、搬器２を出し入れ口１３から移載可能に構成されている。前記ローラ用開口部１６は排気空間部２６を介して排気口２３に連通され、格納室２１内のクリーンエアＡの一部をローラ用開口部１６から排気空間部２６を介して排気口２３に排出するように構成されている。この構成により、移載ローラ１７と搬器２との摺接部やシャッター１２の摺接部で発生する塵埃を、ローラ用開口部１６から排気口２３に排出することができる。
【００２４】
格納室２１内で、搬器２に保持された板状ワークＷの高さが低い場合、最上段の板状ワークＷの上方に広い空間が形成されるが、この広い空間は、クリーンエアＡに渦流などが生じて滞留しやすく、板状ワークＷが汚染されやすいという問題がある。これを解決するために、格納室２１の天井部に、整流板昇降装置４１により昇降自在な可動整流板４２が配置されている。
【００２５】
すなわち、最上段の板状ワークＷの上方に、搬器２に保持された板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄと同一間隔か、大きいが渦流を生じない程度の整流用隙間Ｗｃをあけて可動整流板４２を配置することにより、整流用隙間ＷｃにクリーンエアＡを流送することで最上段の板状ワークＷの汚染を防止することができる。
【００２６】
前記整流板昇降装置４１は、図４に示すように、格納室２１の天井板２１ａの少なくとも四隅位置から可動整流板４２に、吊下用ばね４１ａが内挿された蛇腹状の伸縮筒４１ｂを連結し、台車本体１に搭載したエアユニット（図示せず）から加圧エアをポート４１ｃを介して伸縮筒４１ｂに供給、排出することにより、吊下用ばね４１ａに抗して伸縮筒４１ｂを進展、収縮させ、可動整流板４２を昇降させることにより、整流用隙間Ｗｃを形成することができる。
【００２７】
また図５は整流板昇降装置の他の実施の形態を示す。この整流板昇降装置５１は、格納室２１の天井板２１ａから格納室２１の四隅位置近傍に垂設されたボールねじ軸５１ａと、可動整流板４２の四隅位置に取り付けられてボールねじ軸５１ａにそれぞれ螺合する雌ねじ部材５２ｂと、前記ボールねじ軸５１ａを減速機５１ｃを介して回転駆動する昇降用モータ５１ｄなどの防塵仕様の構成部材で構成されている。これにより、先の整流板昇降装置４１と同様の作用効果を奏することができる。
【００２８】
さらに整流板昇降装置のさらに他の実施の形態として、シャッター１２の開閉駆動装置と同様に、防塵用のタイミングベルトとプーリとで構成することもできる。
上記実施の形態によれば、格納室２１の換気装置２２を、給気面２１Ｆの分散給気部２４から、クリーンエアＡを板状ワークＷの前面で積み重ね隙間Ｗｄの開口面全面に均一に吹き込み、各板状ワークＷの表面と裏面に沿ってクリーンエアを流送し、積み重ね隙間Ｗｄを通過後のクリーンエアＡを排気面２１Ｒの分散排気部２５から均一に排出するように構成したので、板状ワークＡの積み重ね隙間Ｗｄ内にクリーンエアＡの渦流が生じたり、滞留することがなく、板状ワークＷが汚染されるのを効果的に防止することができる。
【００２９】
また分散給気部２４では、吸気ファン３３により吸引されたクリーンエアＡを給気加圧室３４に一旦溜めてエア圧を高めることにより、給気分散板３５の通気孔から均一にクリーンエアＡを放出することができる。また板状ワークＷの積み重ね隙間Ｗｄを通過後のクリーンエアＡを、排気分散板３６の通気孔から均一に排気調圧室３７にスムーズに排気することができ、板状ワークＷが汚染されるのを防止することができる。
【００３０】
さらに格納室２１内のクリーンエアＡの一部を、ローラ用開口部１６から排気空間部２６を介して排気口２３に排出するので、移載ローラ１７と搬器２との摺接部やシャッター１２の摺接部で発生した塵埃を、格納室２１からスムーズに排出することができ、板状ワークＷの汚染を防止することができる。
【００３１】
さらにまた最上段の板状ワークＷの上方にクリーンエアＡが滞留しやすい大きい空間が生じた場合、整流板昇降装置４１により可動整流板４２を下降して、可動整流板４２と最上段の板状ワークＷとの間にクリーンエアＡを流送する整流用隙間Ｗｃを形成することにより、整流用隙間ＷｃにクリーンエアＡを流送することができ、最上段の板状ワークＷの汚染を効果的に防止することができる。
【００３２】
なお、上記実施の形態の搬器２では、水平姿勢の複数の板状ワークＷを上下方向に複数段に積み重ね隙間Ｗｄをあけて保持させたが、図６に示すように、垂直姿勢の複数の板状ワークＷを、幅方向（左右方向）に積み重ね隙間Ｗｄをあけて積み重ね状に保持させてもよいし、また図７に示すように、傾斜姿勢の複数の板状ワークＷを、幅方向（左右方向）に積み重ね隙間Ｗｄをあけて積み重ね状に保持させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る無人搬送装置の換気装置の実施の形態を示す側面図である。
【図２】無人搬送車の格納室を示す平面視の断面図である。
【図３】格納室内の搬器の板状ワークの保持状態を説明する概略斜視図である。
【図４】整流板昇降装置を説明する側面視の断面図である。
【図５】他の整流板昇降装置の実施の形態を説明する側面視の断面図である。
【図６】搬器の板状ワークの他の保持状態を説明する概略斜視図である。
【図７】搬器の板状ワークのさらに他の保持状態を説明する概略斜視図である。
【符号の説明】
【００３４】
Ｗ    板状ワーク
Ｗｄ  積み重ね隙間
Ｗｃ  整流用隙間
Ａ    クリーンエア
ＣＲ  クリーンルーム
Ｆ    通気床
１    無人搬送車
２    搬器
３    台車本体
４    走行車輪
１２    シャッター
１３    出し入れ口
１４    床板
１５    ガイドレール
１６    ローラ用開口部
１７    移載ローラ
２１    格納室
２１Ｆ  給気面
２１Ｒ  排気面
２２    換気装置
２３    排気口
２４    分散給気部
２５    分散排気部
２６    排気空間部
３１    吸気口
３２    フィルタ
３３    吸気ファン
３４    給気加圧室
３５    給気分散板
３６    排気分散板
３７    排気調圧室
４１    整流板昇降装置
４２    可動整流板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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