(57)【要約】【課題】垂直記録磁気ヘッドの主磁極及び再生素子の素子高さを制御するために、ローバーを傾斜させて研磨すると、傾斜角度によってはローバーの角部が研磨定盤に接触し、研磨定盤に傷をつけてしまう恐れがある。また、ローバーを空気流入端側に傾けて研磨すると、ヘッド素子側が研磨されず、ＥＬＧ信号が得られないので、素子高さの制御が不安定になる。【解決手段】再生素子８と主磁極１２の位置ずれに応じて、ローバー５０をスライダ長手方向に傾斜させて浮上面の研磨を行う場合、傾斜角度θcを目標の傾斜角度θtに対して、θc、θx、θtと段階的に変化させ、かつ各段階における傾斜角を中心にスライダ長手方向にαだけ揺動させながら研磨を行う。揺動幅αは徐々に減衰するように制御する。これにより、研磨定盤６２に傷をつけることなく、主磁極１２及び再生素子８の素子高さを制御することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ上に、再生ヘッド及び再生用加工検知パターンと、記録ヘッド及び記録用加工検知パターンを形成する工程と、
前記ウェハを切断し、複数のヘッド素子が連なったローバーに切り出す工程と、
前記ローバーを回転する研磨定盤に押し付け、かつ研磨定盤の半径方向に揺動させ、前記再生用加工検知パターンと記録用加工検知パターンをモニターしながら浮上面を研磨する工程であって、前記再生ヘッドと記録ヘッドの素子高さ方向の位置ずれを補正するために、前記ローバーをスライダ長手方向に傾斜させて研磨する場合、傾斜角度を段階的に変化させ、かつ各段階における傾斜角を中心にしてスライダ長手方向に揺動させながら研磨する工程と、
前記ローバーの研磨後の浮上面に保護膜を形成する工程と、
前記ローバーを切断し、個々の磁気ヘッドスライダに分離する工程と、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項２】
前記ローバーの浮上面を研磨する工程において、ローバーをスライダ長手方向に揺動させる幅は、徐々に減衰させることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項３】
前記ローバーの浮上面を研磨する工程において、ローバーをスライダ長手方向に揺動させながら研磨する際には、ローバーのヘッド素子形成部側と空気流入端側を交互に研磨することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項４】
前記再生ヘッドと記録ヘッドの素子高さ方向の位置ずれが、再生ヘッドの素子高さが研磨されて設計寸法になったときに、記録ヘッドの素子高さが短すぎる方向へのずれの場合には、前記ローバーを空気流入端側が前記研磨定盤に近づくように傾斜させることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項５】
前記再生ヘッドと記録ヘッドの素子高さ方向の位置ずれが、再生ヘッドの素子高さが研磨されて設計寸法になったときに、記録ヘッドの素子高さが長すぎる方向へのずれの場合には、前記ローバーをヘッド素子形成部側が前記研磨定盤に近づくように傾斜させることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項６】
前記再生用加工検知パターンと記録用加工検知パターンをモニターすることにより、再生ヘッドと記録ヘッドの素子高さ方向の位置ずれを検出し、その位置ずれを補正するために、前記ローバーのスライダ長手方向の傾斜角を段階的に変化させることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項７】
前記記録用加工検知パターンは、前記記録ヘッドを構成する主磁極と同じ層に形成され、前記主磁極のスロートハイトをモニターするための検知パターンと、前記ローバーの傾斜角度を調整するための検知パターンとからなることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項８】
前記再生用加工検知パターンは、前記再生ヘッドの再生素子と同じ層に形成され、前記再生素子のセンサーハイトをモニターするための検知パターンと、前記ローバーの傾斜角度を調整するための検知パターンとからなることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項９】
前記ローバーの浮上面を研磨する工程において、さらにローバーの背面に偏荷重を加えることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１０】
ウェハ上に、再生ヘッド及び再生用加工検知パターンと、記録ヘッド及び記録用加工検知パターンを形成する工程と、
前記ウェハを切断し、複数のヘッド素子が連なったローバーに切り出す工程と、
前記ローバーを切断し、個々の磁気ヘッドスライダに分離する工程と
前記磁気ヘッドスライダを回転する研磨定盤に押し付け、かつ研磨定盤の半径方向に揺動させ、前記再生用加工検知パターンと記録用加工検知パターンの出力をモニターしながら浮上面を研磨する工程であって、前記再生ヘッドと記録ヘッドの素子高さ方向の位置ずれを補正するために、前記磁気ヘッドスライダをスライダ長手方向に傾斜させて研磨する場合、傾斜角度を段階的に変化させ、かつ各段階における傾斜角を中心にしてスライダ長手方向に揺動させながら研磨する工程と、
前記磁気ヘッドスライダの研磨後の浮上面に保護膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１１】
前記磁気ヘッドスライダの浮上面を研磨する工程において、磁気ヘッドスライダをスライダ長手方向に揺動させる幅は、徐々に減衰させることを特徴とする請求項１０記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項１２】
前記磁気ヘッドスライダの浮上面を研磨する工程において、磁気ヘッドスライダ長手方向に揺動させながら研磨する際には、磁気ヘッドスライダのヘッド素子形成部側と空気流入端側を交互に研磨することを特徴とする請求項１０記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ等の情報処理装置の外部記録装置として使用される磁気ディスク装置は、記録容量の大容量化が求められ、それに対応するために主に記録密度の向上が図られている。しかし、従来の長手磁気記録方式を用いて高密度化を行うと、媒体上の磁化の転移領域で反磁界が大きいため、記録層厚を薄くする必要があり、その結果、熱的な錯乱によって記録されたデータが消えてしまうという問題がある。一方、記録磁化の方向が媒体の膜厚方向である垂直磁気記録方式は、磁化転移領域で反磁界が小さいため媒体の膜厚を薄くする必要が比較的少なく、高記録密度化を達成しやすい。
【０００３】
垂直記録媒体に垂直記録磁気ヘッドを用いて信号を記録する場合、電気信号はコイルによって磁気信号に変換され、主磁極及び副磁極に磁束が励起される。この磁束の一部は副磁極から主磁極を通間し、記録媒体の垂直記録層を貫通する。そして、垂直記録層の下層の軟磁性下地層を通り副磁極へと戻る閉ループを描く。この際、副磁極は、主磁極から記録媒体の垂直記録層及び軟磁性下地層に生じた磁束を磁気的に効率よく、再び主磁極に戻すために用いられる。このような磁束の流れによって垂直記録媒体上に磁化として信号の記録が行われる。
【０００４】
垂直記録方式において、記録密度を向上するためには、再生ヘッドの素子高さを高精度に加工するとともに、記録ヘッドの素子高さも高精度に加工する必要がある。特許文献１には、スライダになる部分それぞれに、再生ヘッド専用の浮上面加工用検知パターンと、記録ヘッド専用の浮上面加工用検知パターンを設け、記録ヘッド側の浮上面加工用検知パターンを用いて、記録ヘッドの素子高さ（スロートハイト）をモニターしながら浮上面研磨を行い、この際、再生ヘッドの浮上面加工用検知パターンもモニターすることによって、記録ヘッドの素子高さ（スロートハイト）及び再生ヘッドの素子高さ（センサーハイト）の両方をコントロールできることが記載されている。また、ヘッドの浮上面研磨加工の途中で、記録ヘッド及び再生ヘッド用の加工検知パターンの抵抗をチェックし、再生ヘッドのセンサーハイトに比較して、記録ヘッドのスロートハイトが大きいことが分かれば、記録ヘッドのスロートハイトが小さくなるように、傾けて研磨加工することが記載されている。
【０００５】
特許文献２には、再生ヘッドのセンサ近傍に第１の電気的ラッピングガイド（ＥＬＧ）を設け、記録ヘッドの主磁極近傍に第２のＥＬＧと第１の光学的ラッピングガイド（ＯＬＧ）を設け、第１のＥＬＧの抵抗値と第２のＥＬＧの抵抗値及び第１のＯＬＧの幅との相関をとることにより、再生ヘッドのセンサーハイトを制御しつつ、これとは独立して、記録ヘッドのスロートハイトを制御することが記載されている。また、センサの上方に主磁極領域を形成する際に生じた素子高さ方向の位置ずれを補償するために、研磨面を傾けることが記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−４８８０６号公報
【特許文献２】特開２００５−３３９７８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来技術のように、再生ヘッド及び記録ヘッドの素子高さを制御するために、ローバーあるいはスライダの研磨面を傾斜させて、研磨定盤に押し当てながら研磨する場合は、傾斜角度によってはローバーあるいはスライダの角部が研磨定盤に接触し、研磨定盤に傷をつけてしまう可能性がある。また、ローバーあるいはスライダを空気流入端側に傾けて研磨する場合には、空気流出端側に形成されているＥＬＧは研磨されないので、ＥＬＧの抵抗値は変化しない。したがって、空気流入端側を研磨している間はＥＬＧ信号が得られないので、素子高さの制御は不安定になる。
本発明の目的は、ローバーあるいは磁気ヘッドスライダを傾斜させて浮上面を研磨する場合、研磨定盤を傷つけることなく、再生ヘッド及び記録ヘッドの素子高さ制御を可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドスライダの製造方法においては、ウェハ上にヘッド素子を形成する工程と、ウェハをローバーに切り出す工程の後の浮上面研磨工程において、再生素子と主磁極の素子高さ方向位置ずれを補正するために、ローバーをスライダ長手方向に傾斜させて研磨する場合、ローバーの傾斜角度を目標の傾斜角度に対して段階的に変化させ、かつ各段階における傾斜角を中心にスライダ長手方向に揺動させながら研磨を行うものである。この製造方法によれば、研磨定盤に傷をつけることなく、主磁極及び再生素子の素子高さを制御することができる。
【０００９】
また、上記浮上面研磨は、ローバーを切断して個々の磁気ヘッドスライダに分離し、
分離した磁気ヘッドスライダに対して行うこともできる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ローバーあるいは磁気ヘッドスライダを傾斜させて浮上面を研磨する  
【００１１】
場合、研磨定盤を傷つけることなく、再生ヘッド及び記録ヘッドの素子高さを制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
まず、図１１及び図１２を参照して本発明が適用される垂直記録磁気ヘッド及び磁気ヘッドスライダの構成を説明する。図１１はウェハ４０と、ウェハから切り出されたローバー５０と、ローバー上の垂直記録磁気ヘッド４の概略構成を示す図である。図１２は、ローバー５０を切断して得た磁気ヘッドスライダ１の構成を示す図である。図１１を参照するに、垂直記録磁気ヘッド４は記録ヘッド９と再生ヘッド５で構成されている。記録ヘッド９は図示しない磁気ディスクの記録層に記録するための磁界を発生するヘッドであり、主磁極１２、補助磁極１０、及び主磁極と補助磁極が作る磁気回路に鎖交する薄膜コイル１１を備える単磁極ヘッドである。再生ヘッド５は磁気ディスクの記録層に書き込まれた情報を読み取るためのヘッドであり、上下一対の磁気シールド６，７に挟まれたＧＭＲ素子、ＴＭＲ素子等の再生素子８を備える。記録時は、記録ヘッド９の主磁極１２から出た磁束は磁気ディスクの記録層、軟磁性下地層を通り、補助磁極１０に戻る磁束路を形成し、記録層に磁化パターンを記録する。良好な記録再生を実現するためには、記録ヘッド９の主磁極１２の浮上面（ＡＢＳ）からフレアポイントまでの高さである素子高さ（スロートハイト）Ｔｈと、再生ヘッド５の再生素子８のＡＢＳからの高さである素子高さ（センサーハイト）Ｓｈを高精度に加工する必要がある。
【００１３】
図１２を参照するに、磁気ヘッドスライダ１は、スライダ２とヘッド素子部３とを有し、ヘッド素子部３に上記垂直記録磁気ヘッド４が形成されている。磁気ヘッドスライダ１の磁気ディスクと対向する浮上面には、浮上レール１７と、浅溝レール１８と、深溝１９が形成されている。
【００１４】
次に図１０を参照して、本発明の特徴である、スロートハイトＴｈとセンサーハイトＳｈを高精度に制御する浮上面揺動研磨工程を含む、磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する。図１１及び図１２も合わせて参照されたい。
ステップ１００：ウェハ形成工程では、ウェハ４０上にスパッタリング、イオンミリング、フォトリソグラフィー等の薄膜プロセスにより、再生ヘッド５及び記録ヘッド９を形成する。また、後述するが、図５及び図６に示すように、再生素子８の形成の際に再生用加工検知パターン（ＥＬＧ）２０〜２４を形成し、主磁極１２の形成の際に、記録用加工検知パターン（ＥＬＧ）３０〜３３を形成する。
ステップ１１１：ローバー切断工程では、ダイヤモンド切断砥石を工具としたスライシングにより、ウェハ４０を切断してローバー５０に切り出す。ローバー５０は、約５０個のヘッド素子が連結したものであり、長さＬは約５０ｍｍ、厚さｔは約０.３ｍｍである。
ステップ１１２：浮上面揺動研磨工程は、スロートハイトＴｈとセンサーハイトＳｈを制御するための浮上面研磨工程であり、ローバー５０の研磨面（浮上面）を、回転する研磨定盤に押し付け、スライダ長手方向に傾斜及び揺動させながら浮上面を研磨する。この工程では、研磨加工中にインプロセスで素子高さを測定するために、ＥＬＧ２０〜２４、ＥＬＧ３０〜３３の抵抗値を測定している。なお、浮上面揺動研磨の詳細については、後で説明する。
ステップ１１３：最終浮上面研磨工程は、浮上面表面粗さの向上、加工段差の低減を目的として浮上面を研磨する工程である。
ステップ１１４：浮上面保護膜形成工程では、浮上面に露出した再生ヘッド５と記録ヘッド９を保護するため、厚さ３〜６nmの保護膜を形成する。保護膜は、密着層としてＳｉ膜を形成し、その上にダイヤモンドライクカーボンを形成する。
ステップ１１５：浮上面レール形成工程では、浮上面に浮上レール１７と浅溝レール１８と深溝１９をイオンミリングやＲＩＥ等のドライ加工により形成する。具体的には、ローバー５０をレール形成用の治具に熱可塑性の接着テープを用いて固定し、浮上面の表面にレジストを塗布し、露光・現像した後に、レール以外の部分を上記ドライ加工により除去する。その後、浮上面上に残ったレジストを剥離する。上記レジスト塗布からレジスト剥離までのプロセスを２回繰り返すことにより、図１２に示すような２段形状の浮上レール１７、浅溝レール１８、深溝１９を有する浮上面を形成することができる。
ステップ１１６：スライダ切断工程では、ダイヤモンド切断砥石を工具としたスライシングにより、ローバー５０を切断して個々の磁気ヘッドスライダ１に分離する。
ステップ１１７：検査工程では、磁気ヘッドスライダに分離後、記録ヘッド９及び再生ヘッド５の特性測定と外観チェックを行い、良品を選別する。
【００１５】
次に、上記浮上面揺動研磨工程１１２の詳細を説明する前に、浮上面平行研磨と、浮上面傾斜研磨について説明する。図７は、浮上面研磨前のローバー５０（磁気ヘッドスライダ部分１′）の断面図である。図７に示すように、ウェハ形成工程において、記録ヘッド９と再生ヘッド５に合わせずれが生じている場合、ローバー５０（磁気ヘッドスライダ部分１′）の浮上面を、実線で示すように浮上面に平行に研磨すると、再生ヘッド５のセンサーハイトＳｈが設計寸法Ｘとなったときには、記録ヘッド９のスロートハイトＴｈは設計寸法Ｙに対して短すぎることになる。ローバー５０を、点線の位置が研磨定盤６２と平行になるように傾斜させると、再生ヘッド５と記録ヘッド９の素子高さを設計寸法通りに制御することができる。しかしながら、図８に示すように、ローバー５０の角度補正を一度に行うと、ローバー５０の空気流入端側の角部が研磨定盤６２に接触するので、研磨定盤６２の表面に傷をつける恐れがある。研磨定盤６２は通常、錫などの柔質な金属で構成されているので、角部が接触した場合には、傷がつく可能性は高い。研磨定盤６２の表面に傷がついた場合は、研磨加工を中断し、研磨定盤６２の表面を修復するか、あるいは研磨定盤６２を交換する必要があるので、生産効率の低下及び生産コストの上昇を招く。
【００１６】
なお、図７で説明したのとは逆方向に、記録ヘッド９と再生ヘッド５の位置がずれている場合もあるが、その場合は、図９に示すように、ヘッド素子形成部側が研磨定盤６２に近づくようにローバー５０を傾斜させることになるが、その場合も上記と同様の問題が発生する。
【００１７】
また、図８に示すように、ヘッド素子形成部と反対側の空気流入端側が研磨定盤６２に近づくようにローバー５０を傾斜させた場合は、ヘッド素子が研磨されない場合があり、その場合にはＥＬＧ信号が変化しないので、素子高さの制御が不安定になるという問題が生じる。
【００１８】
そこで本発明では、上記浮上面揺動研磨工程１１２において、ローバー５０の傾斜角度を、目標の傾斜角度に対して、段階的に変化させ、かつ各段階においてスライダ長手方向に揺動させながら研磨を行うようにするものである。図１及び図２を参照してローバー５０の傾斜及び揺動研磨を詳細に説明する。図１に研磨時のローバー５０（磁気ヘッドスライダ部分１′）の動きを示す。図２にローバー５０の揺動制御の概念を示す。図７に示した研磨開始時の角度θc(θcurrent)から、図８に示す目標傾斜角度θt(θtarget)まで変化させる場合、図１に示すように、角度θcをθx、θtと段階的に変化させる。また、各段階においてローバー５０（磁気ヘッドスライダ部分１′）をスライダ長手方向にαだけ揺動させる。揺動幅αは、図２に示すように徐徐に減衰させる。
【００１９】
このように、再生素子８と主磁極１２の位置ずれを補正するために、ローバー５０をスライダ長手方向に傾斜させる場合、傾斜角度を段階的に変化させ、かつ各段階においてその傾斜角を中心にスライダ長手方向に揺動させるので、研磨定盤に傷をつけることなく、主磁極１２及び再生素子８の素子高さを制御することができる。
【００２０】
図３に浮上面研磨装置の概略構成を示す。研磨装置６０は、錫を主成分とした軟質金属定盤（研磨定盤）６２と、被研磨体であるローバー５０（あるいは磁気ヘッドスライダ）を保持する研磨治具６４とを有する。研磨定盤６２は１０〜７０ｒ／ｍｉｎの回転速度で矢印方向Ａに回転し、研磨治具６４は、研磨定盤６２の半径方向Ｂに２０〜６０ｍｍ／ｓｅｃの揺動速度で揺動する。研磨治具６４は、研磨定盤６２の周方向Ｃに傾斜することで、ローバー５０の傾斜角度θを調整する。また、研磨装置６０は、ローバー５０をスライダ長手方向に揺動幅αで揺動させる揺動機構を備えている。さらに、研磨装置６０は、図４に示すように、ローバー５０に偏荷重Ｇを加えることでローバー５０内の加工量に分布をつくり、この加工量の分布を制御することで素子高さを制御するための、ボイスコイルあるいはエアーシリンダ等による研磨荷重制御機構を備えている。研磨の際には、ローバー５０を研磨治具６４にワックス等により固定した後、研磨面（浮上面）を研磨定盤６２に押し付け、加工能率の確保と浮上面の表面粗さ向上を目的に、記録ヘッド９及び再生ヘッド５の素子高さが所望の寸法になる手前までは、ダイヤモンド砥粒を含有した油性の研磨液を用いて研磨し、その後、記録ヘッド及び再生ヘッドの素子高さが所望の寸法になる間は、ダイヤモンドを含まない油性の研磨液を滴下しながら研磨する。
【００２１】
図５にローバー５０（磁気ヘッドスライダ部分１′）の浮上面を研磨加工する際に、垂直記録磁気ヘッド４のスロートハイトＴｈとセンサーハイトＳｈを制御するための加工検知パターン（ＥＬＧ）の配置例を示す。ローバー５０に含まれる一つの磁気ヘッドスライダ部分Ｍ（１′）の、主磁極１２と同じ層に記録用ＥＬＧ３０を配置し、再生素子８と同じ層に再生用ＥＬＧ２０を配置し、ローバー５０に含まれる別の一つの磁気ヘッドスライダ部分Ｎ（１′）の、主磁極１２と同じ層に記録用ＥＬＧ３１を配置し、再生素子８と同じ層に再生用ＥＬＧ２１を配置した例である。図６に配置構成を理解しやすくするために、記録用ＥＬＧ３０〜３３と再生用ＥＬＧ２０〜２４を、同じ平面に並べて模式的に示す。記録用ＥＬＧ３０〜３３のうち、ＥＬＧ３０は主磁極１２のスロートハイトＴｈをモニターするための検知パターンであり、ＥＬＧ３１、３２、３３はローバー５０の傾斜角度(Wedge Angle)を調整するため検知パターンである。ＥＬＧ３１、３２、３３の先端位置は、スロートハイトＴｈと相関性を有している。再生用ＥＬＧ２０〜２４のうち、ＥＬＧ２０、２３、２４は再生素子８のセンサーハイトＳｈをモニターするための検知パターンであり、ＥＬＧ２１、２２はローバー５０の傾斜角度(Wedge Angle)を調整するための検知パターンである。ＥＬＧ２１、２２の後端位置はセンサーハイトＳｈと相関性を有している。これらの用途を持った記録用ＥＬＧ及び再生用ＥＬＧは、ローバー５０に含まれる磁気ヘッドスライダ毎に異なった種類の記録用ＥＬＧ及び再生用ELGを有し、ローバー５０の浮上面を研磨加工する際に、必要に応じて利用する。
【００２２】
以上説明したように、本発明の実施例による磁気ヘッドスライダの製造方法によれば、再生素子と主磁極の位置ずれに応じて、ローバーをスライダ長手方向に傾斜させて研磨する場合、傾斜角度を段階的に変化させ、かつ各段階においてその傾斜角を中心にスライダ長手方向に揺動させながら研磨するので、研磨定盤に傷をつけることなく、主磁極及び再生素子の素子高さを制御することができる。
【００２３】
なお、上記実施例では、ウェハから切り出されたローバーに対して浮上面研磨加工を行ったが、ローバーを切断して、個々の磁気ヘッドスライダに分離した後、磁気ヘッドスライダに対して上記と同じ研磨加工を行うようにしても良い。浮上面研磨加工後は、最終浮上面研磨、浮上面保護膜形成、浮上面レール形成、検査が行われる。この場合でも、上記実施例と同じ効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例における浮上面研磨時のローバーの傾斜及び揺動を示す図である。
【図２】ローバーの揺動の制御を示す図である。
【図３】本発明の実施例に適用される研磨装置の概略構成図である。
【図４】ローバーに偏荷重を加える様子を示す図である。
【図５】本発明の実施例における加工検知パターン（ＥＬＧ）の配置例を示す図である。
【図６】記録用ＥＬＧと再生用ＥＬＧを、平面に並べて示す模式図である。
【図７】浮上面研磨前のローバー上の磁気ヘッドスライダ部分の断面図である。
【図８】ローバーの空気流入端側を傾斜させた状態における磁気ヘッドスライダ部分の断面図である。
【図９】ローバーのヘッド素子形成部側を傾斜させた状態における磁気ヘッドスライダ部分の断面図である。
【図１０】本発明の実施例による磁気ヘッドスライダの製造方法の工程図である。
【図１１】ウェハと、ウェハから切り出されたローバーと、ローバー上の垂直記録磁気ヘッドの概略構成を示す図である。
【図１２】磁気ヘッドスライダの構成例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２５】
１…磁気ヘッドスライダ、
１′…磁気ヘッドスライダ部分、
２…スライダ、
３…ヘッド素子部、
４…垂直記録磁気ヘッド、
５…再生ヘッド、
６…下部磁気シールド、
７…再生素子、
８…上部磁気シールド、
９…記録ヘッド、
１０…補助磁極、
１１…薄膜コイル、
１２…主磁極、
１７…浮上レール、
１８…浅溝レール、
１９…深溝、
２０，２１，２２，２３，２４…再生用加工検知パターン、
３０，３１，３２，３３…記録用加工検知パターン、
４０…ウェハ、
５０…ローバー、
６０…研磨装置、
６２…研磨定盤、
６４…研磨治具、
Ｔｈ…スロートハイト、
Ｓｈ…センサーハイト
θ…傾斜角度、
α…揺動幅。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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