(57)【要約】【課題】熱可塑性板の表面に凹凸パターンを転写する熱プレス成形において、熱可塑性板とスタンパとの接触状態を均一化する。【解決手段】プレス装置のスライド１０４とボルスタ１０２に、シリンダ機構１１２，１１４が搭載される。各シリンダ機構は、熱媒流体で満たされる圧力室１２６を内側にもつシリンダ１２０を有する。シリンダ１２０は可撓な天板１２４を有し、可撓な天板１２４は、圧力室１２６に面した内面と、スタンパ１２８を支持する外面とを有する。圧力室１２６内の熱媒流体を加熱及び冷却するための複数の熱交換パイプ１３４が、圧力室１２６内に配置される。予圧装置１６０が、天板１２４を外方へ膨らますためのバイアス圧を、圧力室１２６に印加する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタンパ（１２８）を押し付けて熱可塑性の板（２００）の表面に形状パターンを転写するための熱プレス成形装置（１００）において、
ボルスタ（１０２）と、スライド（１０４）と、前記スライドを駆動する駆動装置（１０６）とを有するプレス装置と、
前記スライド又はボルスタに搭載されるシリンダ機構（１１２，１１４）であって、熱媒流体で満たされる圧力室（１２６）を内側にもつシリンダ（１２０）を有し、前記シリンダは可撓な天板（１２４）を有し、前記可撓な天板は、前記圧力室に面した内面と、前記スタンパを支持する外面とを有する、前記シリンダ機構（１１２，１１４）と、
前記圧力室内の熱媒流体を加熱及び冷却する加熱冷却装置（１３４，１５０）と、
前記圧力室にバイアス圧を印加する予圧装置（１６０）と
を備えた熱プレス成形装置
【請求項２】
請求項１記載の熱プレス成形装置において、
前記プレス装置から前記シリンダ機構に加わるプレス力が上昇すると、前記圧力室の内圧が上昇するように、前記シリンダ機構が構成されている、
熱プレス成形装置。
【請求項３】
請求項３記載の熱プレス成形装置において、
前記シリンダ機構が、前記圧力室の容積を可変するように前記シリンダ内にスライド可能に挿入されたピストン（１１８）を更に有し、前記ピストンは、前記スライド又はボルスタに連結され、前記スライド又はボルスタから前記ピストンに加わるプレス力が上昇すると、前記圧力室の容積を減らすように前記シリンダ内でスライドする、
熱プレス成形装置。
【請求項４】
請求項1〜３のいずれか一項記載の熱プレス成形装置において、
前記加熱冷却装置が、前記圧力室内に設けられた熱交換パイプ（１３４）と、前記熱交換パイプ内に加熱流体及び冷却流体を供給する加熱冷却流体供給装置（１５０）とを有する、
熱プレス成形装置。
【請求項５】
請求項1〜３のいずれか一項記載の熱プレス成形装置において、
前記加熱冷却装置が、前記圧力室内に設けられた電気ヒータと、前記圧力室内に設けられた熱交換パイプと、前記電気ヒータを駆動するヒータ電源と、前記熱交換パイプ内に冷却流体を供給する冷却流体供給装置とを有する、
熱プレス成形装置。
【請求項６】
請求項1〜５のいずれか一項記載の熱プレス成形装置において、
前記予圧装置が、前記熱可塑性板への前記スタンパの押し付けを終了させるために前記スライドが上昇するときに、前記圧力室の内圧により前記天板が外方へ膨らみ出て凸形状となるのに必要な大きさの圧力を、前記バイアス圧として前記圧力室に印加する、
熱プレス成形装置。
【請求項７】
請求項1〜６のいずれか一項記載の熱プレス成形装置において、
前記圧力室の内圧を検出する圧力センサ（１６４）を更に備え、
前記駆動装置が、前記圧力センサからの検出圧力に基づき、前記圧力室の内圧が予め設定された設定圧になるように、前記スライドの移動を制御する、
プレス成形装置
【請求項８】
請求項1〜７のいずれか一項記載の熱プレス成形装置において、
前記圧力室内の前記熱媒流体の温度を検出する温度センサ（１４８）を更に備え、
前記加熱冷却装置が、前記温度センサからの検出温度に基づき、前記圧力室内の前記熱媒流体の温度を、予め設定された設定温度になるように制御する制御装置を有する、
プレス成形装置
【請求項９】
スタンパを押し付けて熱可塑性の板の表面に凹凸パターンを転写するための熱プレス成形装置のための金型システムにおいて、
前記熱プレス装置のスライド又はボルスタに搭載されるシリンダ機構であって、熱媒流体で満たされる圧力室を内側にもつシリンダを有し、前記シリンダは可撓な天板を有し、前記可撓な天板は、前記圧力室に面した内面と、前記スタンパを支持する外面とを有する、前記シリンダ機構と、
前記圧力室内の熱媒流体を加熱及び冷却する加熱冷却装置と、
前記圧力室にバイアス圧を与える予圧装置と
を備えた金型システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スタンパを押し付けて熱可塑性の板の表面に微細な形状のパターンを転写するための熱プレス成形装置、及び同装置用の金型システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の熱プレス成形装置は、例えば、液晶ディスプレイのバックライト用の導光板や拡散板、並びにレンズや光ディスク基板のように、微細な形状パターンを表面に有する光学部品や高意匠性のパネルを成形するために利用される。この種の熱プレス成形のための金型の構造が、例えば特許文献１に開示されている。この開示によれば、加熱冷却手段を有する加熱冷却板の上に板状のスタンパが取付けられ、加熱冷却板によってスタンパが加熱冷却され、そして、加熱冷却板を介してスタンパが熱可塑性樹脂板の表面に押付けられる。
【０００３】
【特許文献１】特開2004-74769号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の熱プレス成形により転写される形状パターンの凹凸の高さは、典型的に数μmから数十μｍである。一方、被加工材である熱可塑性樹脂板の厚さは±0.1mm程度のバラツキを持っている。さらに、スタンパを取付ける金型の寸法やスタンパ自身の厚みや平面度にも0.01〜0.05mm程度のバラツキがある。
【０００５】
また、特許文献１に開示された熱プレス成形では、スタンパを加熱冷却板で加熱した状態で被加工材の表面に押付け、そして、加熱冷却板でスタンパを冷却した後に、被加工材へのスタンパの押付けを終了させる。そのため、加熱冷却板には、加熱冷却時に熱ひずみによる反りが発生する。
【０００６】
これらの事象が原因となって、成形時においてスタンパと被加工材の接触面上の圧力分布が不均一になり、スタンパの一部分が被加工材に所要圧力で押付けられないという事態が発生する。結果として、被加工材の表面に部分的に、パターンが完全に転写されない欠陥が生じる。
【０００７】
この問題を解決するために幾つかの対策が考えられる。例えば、転写に必要な加圧力以上の大きな加圧力を負荷する。或いは、スタンパの加熱温度を上げて、転写に必要な面圧を下げる。或いは、加熱したスタンパの被加工材への押付け時間を長くして、被加工材の軟化層を大きくして転写に必要な面圧を下げる。
【０００８】
しかし、これらの対策は、設備コスト、ランニングコスト、生産時間の面で望ましくないばかりでなく、必要以上の温度や面圧を被加工材に負荷するため、成形時に材料側面の膨らみが大きくなり、成形終了後に膨らんだ材料側面の後加工が必要になる。
【０００９】
従って、本発明の目的は、熱可塑性板の表面に凹凸パターンを転写する熱プレス成形において、熱可塑性板とスタンパとの接触状態を均一化することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に従う、スタンパを押し付けて熱可塑性の板の表面に形状パターンを転写するための熱プレス成形装置は、ボルスタと、スライドと、前記スライドを駆動する駆動装置とを有するプレス装置と、前記スライド又はボルスタに搭載されるシリンダ機構とを備える。前記シリンダ機構は、熱媒流体で満たされる圧力室を内側にもつシリンダを有する。シリンダは可撓な天板を有する。可撓な天板は、圧力室に面した内面と、スタンパを支持する外面とを有する。さらに、この熱プレス成形装置は、圧力室内の熱媒流体を加熱及び冷却する加熱冷却装置と、圧力室にバイアス圧を印加する予圧装置とを備える。
【００１１】
この熱プレス成形装置は、圧力室内の熱媒流体を加熱することでスタンパを加熱し、スタンパの温度が熱可塑性板の材料軟化温度以上に加熱されると、プレス装置のスライドを降下させ、スタンパを熱可塑性板に押付ける。このとき、スタンパは、圧力室の内圧により、可撓な天板を介して、熱可塑性板の表面に押付けられるので、スタンパの熱可塑性板の表面への圧力の分布が、より均一になる。その後、この押し付け状態で圧力室内の熱媒流体が冷却される。スタンパの温度が熱可塑性板のの材料軟化温度以下まで冷却されると、スライドが上昇する。
【００１２】
好適な実施形態では、プレス装置からシリンダ機構に加わるプレス力が上昇すると、圧力室の内圧が上昇するように、シリンダ機構が構成されている。例えば、シリンダ機構が、圧力室の容積を可変するように前記シリンダ内にスライド可能に挿入されたピストンを更に有し、ピストンは、スライド又はボルスタに連結され、スライド又はボルスタからピストンに加わるプレス力が上昇すると、圧力室の容積を減らすようにシリンダ内でスライドするようになっている。
【００１３】
好適な実施形態では、前記加熱冷却装置が、圧力室内に設けられた熱交換パイプと、熱交換パイプ内に加熱流体及び冷却流体を供給する加熱冷却流体供給装置とを有する。或いは、変形例として、前記加熱冷却装置が、圧力室内に設けられた電気ヒータと、圧力室内に設けられた熱交換パイプと、電気ヒータを駆動するヒータ電源と、熱交換パイプ内に冷却流体を供給する冷却流体供給装置とを有していてもよい。
【００１４】
好適な実施形態では、前記予圧装置が、熱可塑性板へのスタンパの押し付けを終了させるためにスライドが上昇するときに、圧力室の内圧により天板が外方へ膨らみ出て凸形状となるのに必要な大きさの圧力を、前記バイアス圧として圧力室に印加するようになっている。
【００１５】
好適な実施形態では、圧力室の内圧を検出する圧力センサが更に設けられる。そして、上記駆動装置が、圧力センサからの検出圧力に基づき、圧力室の内圧が予め設定された設定圧になるように、スライドの移動を制御するようになっている。
【００１６】
好適な実施形態では、圧力室内の熱媒流体の温度を検出する温度センサが更に設けられる。そして、上記加熱冷却装置が、温度センサからの検出温度に基づき、圧力室内の熱媒流体の温度を、予め設定された設定温度になるように制御するようになっている。
【００１７】
本発明の別の側面に従う、スタンパを押し付けて熱可塑性の板の表面に凹凸パターンを転写するための熱プレス成形装置のための金型システムは、上述したシリンダ機構と、加熱冷却装置と、予圧装置とを備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、成形時の熱可塑性板とスタンパとの接触状態を均一化することにある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態にかかる熱プレス成形装置について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施形態にかかる熱プレス成形装置の全体構成を示す。
【００２１】
熱プレス成形装置１００は、汎用的なプレス装置と、熱プレス成形のための金型システムとの組み合わせとして構成される。汎用的なプレス装置は、床に固定されたボルスタ１０２と、このボルスタ１０２の上方に配置されたスライド１０４と、スライド１０４を駆動する駆動装置１０６を備える。スライド１０４は、駆動装置１０６によって駆動されることにより、ボルスタ１０２に対して接近及び離反するように、図示しない支柱に沿って上下方向に移動する。駆動装置１０６は、例えば、スライド１０４を駆動するサーボモータ１０８と、サーボモータ１０８を駆動し制御するモータコントローラ１１０を有する。駆動装置１０６として、図示のようなサーボモータを用いたものの代わりに、油圧アクチュエータを用いたものを用いてもよい。
【００２２】
金型システムは、ボルスタ１０２とスライド１０４にそれぞれ互いに対向配置されるように搭載された上下２つのシリンダ機構１１２，１１４を備える。図２は、これら２つのシリンダ機構１１２，１１４の部分を拡大して示している。２つのシリンダ機構１１２，１１４は実質的に同じ構成をもつので、上のシリンダ機構１１２を例にとり、その構成について図１と図２を参照して説明する。
【００２３】
上側のシリンダ機構１１２は、ダイセット１１６、ピストン１１８、シリンダ１２０及びホルダ１２２を有する。ダイセット１１６は、ほぼ矩形板形であり、スライド１０４上に固定される。ピストン１１８は、ほぼ矩形柱形であり、ダイセット１１６の中央部上に固定される。シリンダ１２０は、ほぼ矩形筒形であり、その底部が開口している。シリンダ１２０の底部の開口からシリンダ１２０の内側へ、ピストン１１８が挿入される。シリンダ１２０の内側面とピストン１１８の外側面とが密着した状態で、シリンダ１２０は、ピストン１１８に対して上下方向にスライド可能である（換言すれば、ピストン１１８は、シリンダ１２０に対して上下方向にスライド可能である）。ホルダ１２２は、ほぼ矩形輪形であり、ダイセット１１６上に固定され、シリンダ１２０の外周に嵌め込まれる。シリンダ１２０は、ホルダ１２２に対しても、上下方向にスライド可能である。ホルダ１２２は、シリンダ１２０を外側から拘束して、シリンダ１２０がスライドするときに傾かないようにする。
【００２４】
ホルダ１２２の頭面上に、その頭面上に真空パッキンを有した円環状の密閉枠１４４が、スプリング１４６を介して、取り付けられている。密閉枠１４４は、ホルダ１２２に対してスライド可能であり、スプリング１４６により、下方へ付勢されている。スライド１０４が降下して密閉枠１４４が下側のシリンダ機構１１４が当接すると、密閉枠１４４の内側に真空チャンバが形成されるようになっている。更にスライド１０４が降下すると、密閉枠１４４は、スプリング１４６からの押圧力で下側のシリンダ機構１１４に当接したままで、ホルダ１２２に対して上方へスライドする。図示しない真空ポンプと大気開放バルブによって、この真空チャンバの真空吸引と大気開放が自在に行える。
【００２５】
シリンダ１２０は、その頭部に天板１２４を有する。天板１２４は、可撓な薄い金属板である。シリンダ１２０内には、天板１２４と、ピストン１１８と、シリンダ１２０の側壁とにより、圧力室１２６が画成される。圧力室１２６内には、大気圧下でも高温に加熱することが可能な熱伝導率の高い熱媒流体（例えば、油やGALDEN（登録商標）等の液体）が充填される。圧力室１２６は、実質的に密閉され、圧力室１２６の内圧が高まっても圧力室１２６から外へ熱媒流体が漏れ出ないようになっている。
【００２６】
密閉された圧力室１２６の容積は、シリンダ１２０に対してピストン１１８がスライドすることによって変化することができる。スライド１０４からピストン１１８に加わるプレス力が増大すると、ピストン１１８がシリンダ１２０の頭部へ向かってスライドして圧力室１２６の容積を減らそうとするので、圧力室１２６の内圧が上昇する。可撓な天板１２４を除き、圧力室１２６に面したすべての壁は、剛体であって、圧力室１２６の内圧に応じて変形することはない。他方、可撓な天板１２４は、圧力室１２６の内圧が上昇すると、その内圧を内面に受け、外方へ膨らみ出るように変形する。
【００２７】
図２に示すように、シリンダ１２０の頭部の外面（頭面）上には、可撓な薄い板状のスタンパ１２８が固定される。スタンパ１２８の固定方法としては、例えば、シリンダ１２０の頭面上に加工された真空吸着溝１３０による真空吸引（そのための真空ポンプは図示省略）と、シリンダ１２０の頭面上に設けられた固定治具１３０との組み合わせを用いることができる。シリンダ１２０の頭部に固定されたスタンパ１２８は、その背面が可撓な天板１２４の外面に密着する。圧力室１２６の内圧により天板１２４が変形すると、スタンパ１２８も同様に変形することになる。熱プレス成形時には、熱可塑性樹脂の板である被加工材２００の上限両面に上下のスタンパ１２８，１２８が押し付けられる。このとき、上記のように圧力室１２６の内圧の上昇に伴ってスタンパ１２８，１２８が変形することにより、被加工材２００の表面へのスタンパ１２８，１２８の成形圧力の分布が従来より均一になる。
【００２８】
圧力室１２６内には、そこに充填された熱媒流体を加熱及び冷却するための装置が設けられる。この実施形態では、一例として、複数本の熱交換パイプ１３４が、圧力室１２６内に配置される。これら複数本の熱交換パイプ１３４の入口は、シリンダ１２０内に形成されたマニホールド１３８を介して、ダイセット１１６内に敷設された供給パイプ１３６に接続される。また、これら複数本の熱交換パイプ１３４の出口は、シリンダ１２０内に形成されたマニホールド１４２をを介して、ダイセット１１６内に敷設された排出パイプ１４０に接続される。さらに、圧力室１２６内の熱媒流体の温度を検出するための温度センサ１４８が、圧力室１２６内または圧力室１２６に面した壁面（この実施形態では、ピストン１１８の頭面上）に設けられている。
【００２９】
図１に示すように、供給パイプ１３６と排出パイプ１４０は、加熱冷却流体供給装置１５０に接続される。加熱冷却流体供給装置１５０は、流体循環装置１５２と制御装置１５４を有する。流体循環装置１５２は、温度調節された高温の加熱流体（例えば蒸気、湯、油等）と低温の冷却流体（例えば冷却水）を供給パイプ１３６に供給し、そして、熱交換パイプ１３４を通って排出パイプ１４０へ出た上記流体を吸収する。加熱流体と冷却流体を交互に熱交換パイプ１３４に流すことで、圧力室１２６内の熱媒流体を加熱及び冷却することができる。制御装置１５４、温度センサ１４８からの出力信号を受けて、その出力信号が示す圧力室１２６内の熱媒流体の温度が、予め設定された設定温度（加熱用の設定温度と冷却用の設定温度）になるように、流体循環装置１５２により供給される加熱流体と冷却流体の温度及び流量を制御する。
【００３０】
なお、圧力室１２６内の熱媒流体を加熱及び冷却するための変形構成例として、圧力室１２６内に電気ヒータ（図示省略）と熱交換パイプ１３４を設け、加熱時には外部のヒータ電源（図示省略）により電気ヒータに通電すると共に熱交換パイプ１３４への冷却流体の供給を停止して熱交換パイプ１２６へエアーを供給し、また、冷却時には電気ヒータへの通電を停止すると共に熱交換パイプ１２６へ冷却流体を供給するようにしてもよい。
【００３１】
また、図１に示すように、圧力室１２６には、予圧パイプ１６２を介して、予圧装置１６０が接続される。予圧装置１６２は、所定のバイアス圧を圧力室１２６に常に印加し続けると共に、圧力室１６２の内圧が所定の許容上限圧を超えた場合には、圧力室１６２の超過圧力を逃がして許容上限圧にする。ここで、上記バイアス圧は、パターン転写が行われた後に被加工材２００へのスタンパ１２８の押し付けを終了させるためにスライド１０４が上昇するときに、圧力室１２６の内圧により天板１２４が外方へ膨らみ出て凸形状となるのに必要な大きさの圧力（例えば、１MPa程度）である。このバイアス圧は、パターン転写に必要な圧力（例えば、４〜５MPa程度）よりは低い。また、上記許容上限圧は、パターン転写に必要な圧力（例えば、４〜５MPa程度）よりはずっと高い圧力である。
【００３２】
図１に示すように、圧力室１２６の内圧を検出するための圧力センサ１６４が、圧力室１２６又は予圧パイプ１６２（この実施例では予圧パイプ１６２）に設けられている。圧力センサ１６４の出力信号は、駆動装置１０６のモータコントローラ１１０に入力される。モータコントローラ１１０は、圧力センサ１６４の出力信号が示す圧力室１２６の内圧が、予め設定された設定内圧（加工工程に応じて変わる値である）になるように、サーボモータ１０８を駆動源とするスライド１０４の移動を制御する。その結果、サーボモータ１０８からスライド１０４に印加されるプレス力の大きさが制御される。
【００３３】
図３A〜Dは、上述した構成をもつ熱プレス成型装置１００が行う加工動作の流れを示す。
【００３４】
図３Aに示すように、スライド１０４が上限位置にある状態で、下側のスタンパ１２８上に、加工前の熱可塑性樹脂板である被加工材２００がセットされる。その後、図３Bに示すように、スライド１０４が下降して、密閉枠１４４が下側のホルダ１２２に接触する。密閉枠１４４の内側に真空チャンバ１７０が形成され、スライド１０４が停止する。図示しない真空ポンプによって、真空チャンバ１７０の真空引き開始されると共に、上下の熱交換パイプ１３４，１３４へ加熱媒体の供給が開始される。
【００３５】
その後、図３Cに示すように、上下の圧力室１２６，１２６内の熱媒流体の温度が所定の設定温度にまで上昇し、かつ真空チャンバ１７０内の真空度が所定の真空圧に到達すると、スライド１０４が再び降下を開始し、上下のスタンパ１２８，１２８が被加工材２００を挟んで被加工材２００を加圧する。その結果、スライド１０４とボルスタ１０２から上下のシリンダ機構１１２，１１４に加わるプレス力が増大する。さらにスライド１０４が降下を続けると、上下のシリンダ１２０，１２０に対して上下のピストン１１８，１１８がスライドしてそれぞれの圧力室１２６，１２６の容積を小さくするので、それぞれの圧力室１２６，１２６の内圧が、バイアス圧より高く上昇する。それにより、上下の可撓な天板１２４，１２４が圧力室１２６，１２６の高い内圧を受けて外方へ膨らみ出ようとするので、上下のスタンパ１２８，１２８の外面が、その全領域にわたって、被加工材２００の両面に高い均一な圧力で押付けられる。圧力室１２６，１２６の内圧は、それぞれの圧力センサ１４８，１４８で検出され、検出されたそれぞれの内圧が設定圧力（熱プレス成形に十分な高い圧力）となるように、スライド１０４の移動が調整される。所定の設定時間の間、前記設定圧力で、上下のスタンパ１２８，１２８が被加工材２００の両面に押付けられる。
【００３６】
その後、図３Dに示すように、上下の熱交換パイプ１３４への冷却流体の供給が開始される。圧力室１２６，１２６内の熱媒流体の温度が所定の低温に降下するまで、設定圧力でのスタンパ１２８，１２８の被加工材２００への押付けが継続される。その後、スライド１０４が上昇して図３Aの状態に戻り、成形を終了する。
【００３７】
このようにして可撓な天板１２８，１２８を介して圧力室１２６，１２６の内圧でスタンパ１２８，１２８を被加工材２００の表面に押付けることにより、被加工材、スタンパ、金型の寸法精度の影響を受けずに、被加工材２００の表面に均一な圧力でスタンパを押付けることが可能である。その結果、必要最小限のプレス力と加熱温度で熱プレス成形が可能になり、プレス成形装置の設備コスト及びランニングコストの低減、ならびに生産時間の短縮が可能になる。
【００３８】
また、上記実施形態では、圧力室内に熱媒流体を加熱冷却するための熱交換部材（熱交換パイプや電気ヒータなど）が配置されているので、熱交換部材の配置や、加熱と冷却の切り替えが容易であり、また、スタンパが取付けられる天板の外面の温度のバラツキも小さい。
【００３９】
さらに、上記実施形態では、圧力室は常にバイアス圧が印加された状態になっているため、成形後に被加工材からスタンパが離れたとき、圧力室の天板及びスタンパは、その中央部が外方へ僅かに膨らみ出た凸形状になる。このため、被加工材がスタンパから離型しやすい。
【００４０】
以上、本発明の実施形態を説明したが、上記実施形態は本発明の説明のための例示であり、本発明の範囲を上記実施形態にのみ限定する趣旨ではない。従って、本発明は、上記実施形態以外の態様でも実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態にかかる熱プレス成形装置１００の全体構成を示す図。
【図２】２つのシリンダ機構１１２，１１４の部分を拡大して示す図。
【図３】熱プレス成型装置１００が行う加工動作の流れを示す図。
【符号の説明】
【００４２】
１００  熱プレス成形装置、
１０２  ボルスタ
１０４  スライド
１０６  駆動装置
１１０  モータコントローラ
１１２，１１４  シリンダ機構
１１８  ピストン
１２０  シリンダ
１２２  ホルダ
１２４  天板
１２６  圧力室
１２８  スタンパ
１３４  熱交換パイプ
１４８  温度センサ
１５０  加熱冷却流体供給装置
１５４  制御装置
１６０  予圧装置
１６４  圧力センサ
２００  被加工材
【図１】
2008254350.tif 000003
【図２】
2008254350.tif 000004
【図３】
2008254350.tif 000005