(57)【要約】【課題】供給口から入射した軟Ｘ線が排出口に至る間に、衝突回数を少なくとも３回以上とすることにより、軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させて、排出口からの軟Ｘ線の漏洩を防止する。【解決手段】第１外層シート２に、イオン化空気１１の供給口５が開口され、中間層シート３に、前記供給口５と連通するイオン化空気流入開口６を備えたイオン化空気通路７が開口され、第２外層シート４に、前記イオン化空気通路６に連通する排出口８が開口される一方、前記各シート２・３・４を積層固着して、前記供給口５、イオン化空気通路６および排出口８を連通して設けられたイオン化空気通過部９を１個、または複数個備える軟Ｘ線遮蔽シート１を形成する。【選択図】図２
2008052973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軟Ｘ線を通さない素材より成る第１外層シート、中間層シートおよび第２外層シートのうち、前記第１外層シートには、イオン化空気の供給口が開口され、且つ前記中間層シートには、前記供給口と連通するイオン化空気流入開口を備えたイオン化空気通路が開口され、更に、前記第２外層シートには、前記イオン化空気通路に連通する排出口が開口される一方、前記第１外層シート、中間層シートおよび第２外層シートを積層固着して、前記供給口、イオン化空気通路および排出口を連通して設けられたイオン化空気通過部を１個、または複数個備えて形成されたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シート。
【請求項２】
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートにおける中間層シートが、１層、または、２層以上に亘って形成され、且つ１層、または、２層以上のシートにイオン化空気通路が段差を有して分離して形成されたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シート。
【請求項３】
請求項１記載の軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートにおいて、供給口から排出口に至るイオン化空気通路に、少なくとも１個所以上の折曲部を備えたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シート。
【請求項４】
軟Ｘ線を通さない素材より成る第１外層シート、中間層シートおよび第２外層シートのうち、前記第１外層シートにイオン化空気の供給口を、前記中間層シートに前記供給口と連通するイオン化空気流入開口を備えたイオン化空気通路を、また、前記第２外層シートに前記イオン化空気通路と連通する排出口をそれぞれ開口する各開口パターンが、写真技術とエッチング加工、またはプレス加工して形成され、然る後、前記各シートを積層固着して１枚のシートにすることを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの製造方法において、中間層シートが、１層、または、２層以上に亘って形成され、且つ１層、または、２層以上のシートにイオン化空気通路が段差を有して分離して形成されたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの製造方法。
【請求項６】
請求項４記載の軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの製造方法において、供給口から排出口に至るイオン化空気通路に、少なくとも１個所以上の折曲部を備えたことを特徴とする軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、有機ＥＬの製造工程において、半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の表面への塵の付着を防止すると共に、静電気の帯電を防止して、前記各基板の回路の破壊を阻止する軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体、液晶、有機ＥＬの製造工程においては、半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の加工・ハンドリング工程で、該基板表面に静電気を帯電し、該静電気で前記半導体基板、液晶基板、有機ＥＬ基板の回路が破壊するトラブルが多発している。更に、前記各基板の帯電は表面への塵の付着を引き起こしている。
【０００３】
前記トラブル対策として、半導体、液晶、有機ＥＬ製造装置において、基板表面上の帯電防止・静電気を除去するためのイオン発生装置が設置されている。前記イオン発生装置には、高電圧で空気をイオン化する電気式イオン発生装置と、軟Ｘ線を空気に照射して、空気をイオン化する軟Ｘ線式イオン発生装置がある。
【０００４】
そして、軟Ｘ線式静電気除去装置につき、過去の特許文献を遡及検索したところ、下記特開２００１−２５７０９６号に開示されているものが公知である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２５７０９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記電気式イオン発生装置は、取り扱いが簡単であるが、長時間の高電圧放電により電極が摩耗し、電極の交換が必要なだけでなく、電極からの塵が発生し、基板に付着するという課題があった。
【０００７】
更に、電気式イオン発生装置では、放電時に多量のオゾンを発生するため、基板の酸化、劣化などの悪影響を及ぼすという課題があった。
【０００８】
一方、軟Ｘ線式イオン発生装置は、オゾンは発生せず、クリーンなイオン発生装置であるが、軟Ｘ線が人体に悪影響を及ぼすため、軟Ｘ線が外部に漏洩しないように構成する必要があるという課題があった。
【０００９】
また、軟Ｘ線が外部へ漏洩することなく、イオン化された空気のみを取り出すことができる各種の軟Ｘ線式イオン発生装置が開発されているが、いずれの軟Ｘ線式イオン発生装置もイオン噴出し部の構造が複雑で大きく、更に、前記イオン化空気通路の屈曲、通路の短縮化が困難で、軟Ｘ線の漏洩をなくし、多量のイオンを効率よく取り出すことが困難であるという課題があった。
【００１０】
前記特許文献１の実施例に、ファンフィルタユニットに軟Ｘ線管を組み込み、
内部でイオンを生成し、イオン化空気噴出し側に２枚のパンチングボードをそれぞれの開口が重ならないようにして、３ｍｍの隙間をおいて配設し、更にハニカム構造のシートを配設することにより、軟Ｘ線の漏洩を防ぎ、イオン化空気だけを噴出し、帯電物の除電時間を試験した旨の記載がある。
【００１１】
しかしながら、前記特許文献１記載のものは、現在開発されている軟Ｘ線静電除去装置における軟Ｘ線の遮断性能、帯電物の除電時間の点で、製造ラインからの要求に、充分に応えているとはいえないという課題があった。
【００１２】
最近の液晶・半導体メーカーからの性能要求は一段と厳しくなり、オペレータの保護の観点から軟Ｘ線の漏洩量は、更に少なく、且つ限りなく零にするように、除電性能は更に高くするようにとの強い要求がある。
【００１３】
このような最近の液晶・半導体メーカーからの性能要求を満たすには、軟Ｘ線の遮蔽方法、およびイオン取り出し方法を根本から見直す必要が出てきた。本発明は、前記観点より、発明をなしたもので、供給口から入射した軟Ｘ線が排出口に至る間に衝突回数を少なくとも３回以上とすることにより、軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させて、排出口からの軟Ｘ線の漏洩を防止する軟Ｘ線遮蔽シートおよびその製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、軟Ｘ線を通さない素材より成る第１外層シート、中間層シートおよび第２外層シートのうち、前記第１外層シートには、イオン化空気の供給口が開口され、且つ前記中間層シートには、前記供給口と連通するイオン化空気流入開口を備えたイオン化空気通路が開口され、更に、前記第２外層シートには、前記イオン化空気通路に連通する排出口が開口される一方、前記第１外層シート、中間層シートおよび第２外層シートを積層固着して、前記供給口、イオン化空気通路および排出口を連通して設けられたイオン化空気通過部を１個、または複数個備えて形成するという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
【発明の効果】
【００１５】
供給口から入射した軟Ｘ線が排出口にいたる間のイオン化空気通路の内側面への衝突回数を少なくとも３回以上として軟Ｘ線の直進性を阻止して、軟Ｘ線を減衰・消滅させて、排出口よりの軟Ｘ線の漏洩を防止することができる。更に、前記軟Ｘ線の減衰・消滅に要するイオン化空気通路が短くなり、更に、イオン化空気通路の短縮化により、再結合によるプラスイオン、マイナスイオンの減少、および内側面への吸収が防がれ、イオン化空気通過部１個あたりのイオン取り出し量を増加することができる。更に、イオン化空気通過部のパターンを圧縮でき、且つシートに形成できるイオン化空気通過部の個数を多くすることができるので、軟Ｘ線遮蔽シート１枚当たりのイオンの取り出し量が多くなるという優れた効果を有する。
【実施例１】
【００１６】
本発明の実施例１を図面に基づいて詳細に説明すると、実施例１に係る軟Ｘ線遮蔽シートは、３枚の軟Ｘ線を通さない素材より成るシートにそれぞれ異なるパターンにより、イオン化空気が通過する通気開口を設けると共に、該３枚のシートを積層固着して１個、または複数個のイオン化空気通過部を備えた軟Ｘ線遮蔽シートが形成される。
【００１７】
すなわち、図１は本発明の実施例１による軟Ｘ線遮蔽シートの分解斜視図、図２は同縦断面図である。実施例１による軟Ｘ線遮蔽シート１は、第１外層シート２、中間層シート３および第２外層シート４の３枚のシートのうち、第１外層シート２には、イオン化空気の供給口５が開口され、中間層シート３には、その両端部にイオン化空気流入開口６を備えてイオン化空気通路７が開口され、更に第２外層シート４には、イオン化空気の排出口８が開口されている。
【００１８】
前記第１外層シート２の供給口５は、該第１外層シート２の両側端位置にそれぞれ間隔を有して２個開口されており、また、前記中間層シート３のイオン化空気通路６は、前記第１外層シート２の供給口５と連通する位置にそれぞれ開口されたイオン化空気流入開口６を備えると共に、該各イオン化空気流入開口６と連通して形成されており、更に、前記第２外層シート４の排出口８は、前記中間層シート３のイオン化空気通路７と連通する位置に開口されている。
【００１９】
前記のように形成された第１外層シート２、中間層シート３および第２外層シート４を積層固着すると、第１外層シート２の各供給口５と中間層シート３の各イオン化空気流入開口６とが連通され、更に中間層シート３のイオン化空気通路６の中央位置において、該イオン化空気通路７と、第２外層シート４の排出口８とを連通して形成されたイオン化空気通過部９を、１個、または複数個備えて、本発明の実施例１による軟Ｘ線遮蔽シート１が形成される。なお、図１においては、１個のイオン化空気通過部９を形成する方法が図示されている。
【００２０】
前記イオン化空気通路７は、軟Ｘ線１０が供給口５から入射して排出口８に至る間に、第２外層シート４の内側面４ａと、第１外層シート２の内側面２ａへの衝突回数が増え、前記軟Ｘ線１０が減衰・消滅するように、イオン化空気通路７が平面上で９０度折曲した折曲部１１を設けて形成されている。
【００２１】
また、イオン化されたイオン化空気１２の流体抵抗を抑え、短時間で排出口８に至り、プラスイオン１３と、マイナスイオン１４の再結合を抑えるように、前記イオン化空気通路７の各折曲部１１は、イオン化空気１２の流体抵抗を低くするべく、それぞれ湾曲した湾曲面１５を備えて形成されている。すなわち、イオン化空気通路７は、前記平面上で９０度折曲した、少なくとも１個所以上の折曲部１１を備え、軟Ｘ線１０の内側面への衝突による消滅を図っている。
【００２２】
前記構成より成る本発明の実施例１の軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの作用につき、図２に基づいて説明する。軟Ｘ線遮蔽シート１の上流側では、軟Ｘ線１０により、プラスイオン１３とマイナスイオン１４にイオン化されたイオン化空気１２が加圧された状態にある。前記イオン化空気１２は、各供給口５から流入し、イオン化空気流入開口６からイオン化空気通路７を経て、排出口８より、該軟Ｘ線遮蔽シート１の下流側へ排出される。
【００２３】
一方、軟Ｘ線１０は、各供給口５から入射し直進して、イオン化空気流入開口６からイオン化空気通路７を経て、排出口８に至る間に、図２に示すように、第２外層シート４の内側面４ａと、第１外層シート２の内側面２ａへ少なくとも３回は衝突して直進性が阻止されるよう形成されているため、前記各内側面４ａ・２ａへの衝突で、軟Ｘ線１０は減衰・消滅してしまい、前記排出口８から危険な軟Ｘ線１０が漏洩されることはない。
【００２４】
そして、前記供給口５から導入されたイオン化空気１２は、前記イオン化空気通路７を経て排出口８に至るが、軟Ｘ線１０の漏洩防止の観点から設けた、前記イオン化空気通路７の折曲部１１は、イオン化空気通路７のパターンの縮小化を図ることができ、更に、折曲部１１を湾曲面１５とすることによる流体抵抗の低下で、イオン化空気１２が短時間で排出口８に至り、プラスイオン１３とマイナスイオン１４の再結合が抑えられ、大量のイオンが、前記排出口８より下流側に排出される。
【００２５】
なお、図１・図２に示す軟Ｘ線遮蔽シート１の場合、供給口５が２個所、排出口８が１個所となっているが、前記イオン化空気通路７を経て、双方から流れてくるイオン化空気１２が、前記排出口８で衝突することにより、排出口８からのイオン化空気１２を垂直に噴出させることができるのである。
【実施例２】
【００２６】
本発明の実施例２を図面に基づいて詳細に説明すると、実施例２は、実施例１における中間層シートに相当するものが、２層に亘って形成されている点が、実施例１と異なっているのみであって、実施例１における中間層シート３に開口されたイオン化空気通路７が、実施例２においては、２枚の第１・第２中間層シート２２・２３に分割して形成されているのである。
【００２７】
すなわち、実施例２における軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートを構成する第１・第２中間層シート２２・２３は、図３、図４に示すように形成されている。第１中間層シート２２には、前記実施例１と同一構成の第１外層シート２４の各供給口２５と連通する位置にそれぞれ開口されたイオン化空気流入開口２６を備えると共に、該各イオン化空気流入開口２６には、平面上で９０度折曲した折曲部２７を設けた短い第１イオン化空気通路２８ａがそれぞれ間隔を有して開口されている。なお、前記折曲部２７は、実施例１と同様に、湾曲した湾曲面２９を備えている。
【００２８】
また、第２中間層シート２３は、前記第１中間層シート２２を該第２中間層シート２３に積層したとき、該第１中間層シート２２の各短い第１イオン化空気通路２８ａが連通するように、直線状の第２イオン化空気通路２８ｂが開口されている。また、第２外層シート３０も、前記実施例１と同一構成の排出口３１を備えている。
【００２９】
前記第１・第２中間層シート２２・２３を積層することにより、初めて前記各第１イオン化空気通路２８ａと第２イオン化空気通路２８ｂとが段差３２を有して連通されて、イオン化空気通路２８が形成される。
【００３０】
前記実施例１と同様に、前記のように構成された第１外層シート２４、第１中間層シート２２、第２中間層シート２３および第２外層シート３０を積層固着すると、第１外層シート２４の各供給口２５と、第１・第２中間層シート２２・２３より成るイオン化空気通路２８とが連通され、更に、前記イオン化空気通路２８の中央位置において、該イオン化空気通路２８と第２外層シート３０の排出口３１とを連通して１個、または複数個のイオン化空気通過部３３を備えて、本発明実施例２による軟Ｘ線遮蔽シート２１が形成される。なお、図４においては、１個のイオン化空気通過部３３を形成する方法が図示されている。
【００３１】
本発明の実施例２の作用について説明する。実施例２による軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シート２１は、実施例１による軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シート１と異なり、イオン化空気通路２８は２枚の第１・第２中間層シート２２・２３により形成されるので、段差３２を備えており、供給口２５から入射した軟Ｘ線１０が排出口３１に至るまでに、第２中間層シート２３の内側面２３ａ、第１外層シート２４の内側面２４  ａおよび第２外層シート３０の内側面３０ａに衝突を繰返す。
【００３２】
前記各内側面２３ａ・２４ａ・３０ａに衝突する回数を、実施例１における場合よりも実施例２のように段差３２を設けることにより、更に増やして、イオン化空気通路２８の通路長の平面距離を短縮し、結果として、本発明実施例２による軟Ｘ線遮蔽シート２１の各開口パターンを縮小することができる。
【００３３】
そして、その他の作用および効果は、実施例１のものと同一であるので、説明を省略する。なお、前記軟Ｘ線遮蔽シート２１の開口パターンの微細化により、軟Ｘ線遮蔽シート２１へのイオン化空気通路２８の集積度が上がり、イオン化空気排出量の増加が可能である。
【００３４】
前記図３・図４においては、中間層シートが２層に亘って形成されているが、中間層シートとして、２層以上のシートを用いて複数段の段差を有するイオン化空気通路を形成してもよい。
【００３５】
図５は、本発明の実施例１による３層シートを積層固着して形成された軟Ｘ線遮蔽シート１の説明図を示す。図５に示す軟Ｘ線遮蔽シート１は、第１外層シート２には供給口５、中間層シート３にはイオン化空気通路７、第２外層シート４には排出口８の開口パターンが、写真技術とエッチング加工、またはプレス加工されて、それぞれ３４０個のイオン化空気通過部９が形成され、これら３枚のシート２・３・４を積層固着して１枚のシートにして、軟Ｘ線遮蔽シート１を製造する。
【００３６】
図５に示す軟Ｘ線遮蔽シート１の仕様は下記の通りである。
１）シートサイズ：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ
２）シート厚み：
第１外層シート：３００ミクロン
中間層シート  ：３００ミクロン
第２外層シート：２００ミクロン
３）開口パターン：図１に示す。
イオン化空気通過部パターンサイズ：５ｍｍ×４ｍｍ
４）開口パターン数：３４０個／シート
【００３７】
前記軟Ｘ線遮蔽シート１を軟Ｘ線式静電除去装置に取付け、軟Ｘ線遮断性能および除電性能の実験を行った。実験装置を図６に示す。
【００３８】
軟Ｘ線遮蔽シートの軟Ｘ線遮蔽性能試験
図６の軟Ｘ線式静電除去装置に、前記本発明による軟Ｘ線遮蔽シートを装着して、軟Ｘ線発信管を作動させ、軟Ｘ線測定装置（スタチロン、シシド静電気製）を、前記軟Ｘ線遮蔽シートに接近させ、軟Ｘ線漏洩量を測定した。軟Ｘ線測定装置の目盛りはゼロのままで、軟Ｘ線漏洩量は、自然界にあるＸ線量の０．５μＳｖ／ｈ以下と推定された。前記軟Ｘ線遮蔽シートを東京都産業技術研究所で測定した結果、軟Ｘ線漏洩量は０．００００５μＳｖ／ｈ以下が確認された。
【００３９】
軟Ｘ線遮蔽シートを装着した軟Ｘ線式静電除去装置による除電性能試験
図６の軟Ｘ線式静電除去装置に、前記本発明による軟Ｘ線遮蔽シートを装着して、前記装置に空気を送り、軟Ｘ線発信管を作動させ、除電性能を試験した。パラメータとして、除電性能試験測定器面でのイオン化空気風速を３段階に切り替え、除電時間を測定した。その測定結果を図７に示す。図７においては、プラスイオンの結果のみを記載したが、マイナスイオンの場合も同等の除電性能が確認できた。なお、前記除電性能は、除電時間測定器の上面プレートを帯電させ、＋１ＫＶから＋１００Ｖ、または−１ＫＶから−１００Ｖまでの除電に要する時間で表示した。
【００４０】
前記試験で使用した前記軟Ｘ線遮蔽シートの仕様は次のとおりである。
１）供給口の設けられる第１外層シートの厚み：３００ミクロン
２）イオン化空気通路の設けられる中間層シートの厚み：３００ミクロン
３）排出口の設けられる第２外層シートの厚み：２００ミクロン
４）供給口〜イオン化空気通路〜排出口までの通路長：３ｍｍ
５）イオン化空気通路幅：０．３ｍｍ
【００４１】
更に、下記仕様の軟Ｘ線遮蔽シートの性能試験を行った。
１）供給口の設けられる第１外層シートの厚み：５００ミクロン
２）イオン化空気通路の設けられる中間層シートの厚み：５００ミクロン
３）排出口の設けられる第２外層シートの厚み：４００ミクロン
４）供給口〜イオン化空気通路〜排出口までの通路長：３ｍｍ
５）イオン化空気通路幅：０．６ｍｍ
軟Ｘ線遮蔽性能は、軟Ｘ線遮蔽シートと同等で、除電性能は２倍に向上した。
イオン化空気通路の断面積を大きくし、イオン化空気通路の圧力損失を抑え、イオン化空気通過部のパターンを設計すると、圧力の低いファンでも、イオン化空気を効率よく取り出せる薄い放射線遮断シートが実現できる。
【００４２】
前記エア源の圧力を考え、放射線が完全に遮断されることを前提に、イオン化空気通過部の各部の寸法を変えながら、イオンがもっとも効率よく取り出せるイオン化空気通過部の最適仕様を求める実験を行った。その結果、最適仕様は下記の通りであるということができる。
【００４３】
１）供給口の設けられる第１外層シートの厚み：２００ミクロン〜６００ミクロン
２）イオン化空気通路の設けられる中間層シートの厚み：２００ミクロン〜６００ミクロン
３）排出口の設けられる第２外層シートの厚み：任意の厚みでよい。
４）供給口〜イオン化空気通路〜排出口までの通路長：２ｍｍ〜６ｍｍ
５）イオン化空気通路幅：０．２ｍｍ〜１．２ｍｍ
６）軟Ｘ線は衝突時点で２次放射、３次放射のため、光の反射と同じではないが、便宜的に光の光路・反射と考え、供給口〜イオン化空気通路〜排出口までの側壁への衝突が３回以上となること。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施例１による軟Ｘ線遮蔽シートの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施例１による軟Ｘ線遮蔽シートの縦断面図である。
【図３】本発明の実施例２による軟Ｘ線遮蔽シートの縦断面図である。
【図４】本発明の実施例２による軟Ｘ線遮蔽シートの縦断面図である。
【図５】本発明軟Ｘ線式静電除去装置に使用する軟Ｘ線遮蔽シートの製造方法により製造された軟Ｘ線遮蔽シートの説明図である。
【図６】本発明による軟Ｘ線遮蔽シートを軟Ｘ線式静電除去装置に装着して軟Ｘ線漏洩量を測定する実験装置の説明図である。
【図７】本発明による軟Ｘ線遮蔽シートを軟Ｘ線式静電除去装置に装着して除電性能を測定した図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    軟Ｘ線遮蔽シート
２    第１外層シート
３    中間層シート
４    第２外層シート
５    供給口
６    イオン化空気流入開口
７    イオン化空気通路
８    排出口
９    イオン化空気通過部
１０    軟Ｘ線
１１    折曲部
１２    イオン化空気
２１    軟Ｘ線遮蔽シート
２２    第１中間層シート
２３    第２中間層シート
２４    第１外層シート
２５    供給口
２６    イオン化空気流入開口
２８    イオン化空気通路
２９    折曲部
３０    第２外層シート
３１    排出口
３２    段差
３３    イオン化空気通過部
【図１】
2008052973.tif 000003
【図２】
2008052973.tif 000004
【図３】
2008052973.tif 000005
【図４】
2008052973.tif 000006
【図５】
2008052973.tif 000007
【図６】
2008052973.tif 000008
【図７】
2008052973.tif 000009