(57)【要約】【課題】独立したアライメント装置を設けることなくワークの位置合わせができるワーク搬送装置を実現する。【解決手段】搬送機構によってワークを保持し、この搬送機構を前記ワークの搬送方向に沿って移動させることにより前記ワークを搬送するワーク搬送装置において、  前記搬送機構は、前記ワークの保持状態を変化させるアライメント部を有することを特徴とする。【選択図】図１
2008254913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送機構によってワークを保持し、この搬送機構を前記ワークの搬送方向に沿って移動させることにより前記ワークを搬送するワーク搬送装置において、
前記搬送機構は、前記ワークの保持状態を変化させるアライメント部を有することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記搬送機構を搬送方向に移動させる駆動系が一つであることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記アライメント部は、前記ワークを保持するとともにそれぞれ独立に動く複数の保持部を有することを特徴とする請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記アライメント部は、それぞれの保持部を動かす量および方向を調整することによって前記ワークのアライメントを行うことを特徴とする請求項３に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記アライメント部は、リニアモータを用いて構成されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記アライメント部は、ボールネジ機構を用いて構成されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送機構によってワークを保持し、この搬送機構を前記ワークの搬送方向に沿って移動させることにより前記ワークを搬送するワーク搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造には、大型で薄板状のガラス基板が使用される。
【０００３】
ガラス基板を製造するにあたっては各種の加工工程、検査工程が存在する。ガラス基板は各工程間を搬送され、工程によってはガラス基板の搬送時の位置精度に高精度が要求される。
【０００４】
図３は従来のワーク搬送装置の一例を示す図である。
１００は搬送対象である長方形板状の大型ガラス基板などのワーク、１１０はワーク１００を搬送する搬送機構、１２０はリニアモータ、１２１はリニアモータ１２０によって駆動されるリニアモータスライダ、１３０はアライメント装置である。１１１と１１２はワーク１００を保持する保持部であり、搬送機構１１０の所定位置に設けられている。
【０００５】
ワーク１００は、ワークをエアーの吹き上げによって浮上させる浮上ステージ（図示せず）上に配置されている。ワーク１００を空気圧で一定の高さに浮上させることにより、ワーク１００と浮上ステージとの接触を断ち、摩擦がゼロの状態になる。
【０００６】
リニアモータ１２０はワーク搬送用駆動軸である。リニアモータ１２０はワーク１００の搬送方向に伸びており、リニアモータ１２０が駆動するリニアモータスライダ１２１もワーク１００の搬送方向（図中Ｘ軸方向）に移動する。リニアモータ１２０はリニアエンコーダ（図示せず）付きのリニアモータであり、リニアエンコーダの出力によりリニアモータスライダ１２１の位置を把握する。
【０００７】
搬送機構１１０はリニアモータスライダ１２１に連結され、リニアモータスライダ１２１とともに搬送方向に移動する。
【０００８】
保持部１１１，１１２は真空吸着パッド等であり、ワーク１００の表面を吸着保持する。ワーク１００は保持部１１１と１１２、搬送機構１１０およびリニアモータスライダ１２１を介してリニアモータ１２０に連結される。リニアモータ１２０はリニアモータスライダ１２１を駆動してワーク１００を搬送方向に移動させるとともに、ワーク１００の搬送位置を把握する。
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−２７９３３５号公報
【００１０】
アライメント装置１３０はワーク１００の位置合わせ装置である。ワーク１００は、搬送機構１１０による搬送前あるいは位置精度が要求される加工工程、検査工程の前に位置合わせ（アライメント）が行われる。アライメントには厳しい精度が要求されることもあり、アライメント装置１３０は搬送機構１１０と切り離して設けられているのが一般的である。
【００１１】
アライメントを行う際は、ワーク１００が搬送機構１１０から開放され、アライメント装置１３０の下方に配置される。その後、アライメント装置１３０のアライメント機構（ＸＹθステージ等）によってワーク１００のＸＹ平面内の位置および傾きθが調整される。これによりワーク１００が正規の位置および姿勢にアライメントされ、再度搬送機構１１０に保持される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、アライメント装置１３０を用いてワーク１００のアライメントを行う場合には、アライメントのためにワーク１００を移載する作業が生じ、ワーク搬送のスループットを上げることが難しい。
【００１３】
また、アライメント装置１３０が存在することによって、ワーク搬送装置をコンパクト化することが難しい。
【００１４】
さらに、アライメント装置１３０は高価であるため、ワーク搬送装置のコストアップとなる。
【００１５】
本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、独立したアライメント装置を設けることなくワークの位置合わせができるワーク搬送装置を実現することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記のような目的を達成するために、本発明の請求項１では、搬送機構によってワークを保持し、この搬送機構を前記ワークの搬送方向に沿って移動させることにより前記ワークを搬送するワーク搬送装置において、
前記搬送機構は、前記ワークの保持状態を変化させるアライメント部を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項２では、請求項１に記載のワーク搬送装置において、前記搬送機構を搬送方向に移動させる駆動系が一つであることを特徴とする。
【００１８】
請求項３では、請求項１または２に記載のワーク搬送装置において、前記アライメント部は、前記ワークを保持するとともにそれぞれ独立に動く複数の保持部を有することを特徴とする。
【００１９】
請求項４では、請求項３に記載のワーク搬送装置において、前記アライメント部は、それぞれの保持部を動かす量および方向を調整することによって前記ワークのアライメントを行うことを特徴とする。
【００２０】
請求項５では、請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク搬送装置において、前記アライメント部は、リニアモータを用いて構成されたことを特徴とする。
【００２１】
請求項６では、請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク搬送装置において、前記アライメント部は、ボールネジ機構を用いて構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
このように、ワークの搬送機構にアライメント部を設けたことによって、独立したアライメント装置を設けることなくワークの位置合わせができるワーク搬送装置を実現することができる。
【００２３】
アライメントの際にワークを移載する必要がなくなるため、ワーク搬送のスループットを上げることができる。また、独立したアライメント装置が不要となるため、ワーク搬送装置をコンパクト化できるとともに、コストダウンを図ることができる。
【００２４】
搬送機構を搬送方向に移動させる駆動系が一つであることにより、ワーク搬送用駆動軸が１軸で済み、ワーク搬送装置をコンパクトに構成することができる。
【００２５】
アライメント部にそれぞれ独立に動く複数の保持部を備えるようにすれば、ワークの複雑で細かい制御に有利となる。
また、それぞれの保持部を動かす量および方向を調整すれば、アライメントの際にワークのＸＹ位置の調整や回転の制御が容易となる。
【００２６】
アライメント部は、リニアモータを用いて構成されていてもよく、ボールネジ機構を用いて構成されていてもよい。
【００２７】
なお、ワークを水平方向に保持する場合だけでなく、垂直方向に保持している場合にも本発明を展開することが考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を用いて本発明のワーク搬送装置を説明する。
【実施例１】
【００２９】
図１は本発明のワーク搬送装置の一実施例を示す図である。
１は搬送対象である長方形板状の大型ガラス基板などのワーク、１０はワーク１を搬送する搬送機構、２０はリニアモータ、２１はリニアモータ２０によって駆動されるリニアモータスライダである。搬送機構１０には、ワーク１を保持する保持部１１，１２と、アライメント軸１３，１４が設けられている。保持部１１，１２およびアライメント軸１３，１４でアライメント部を構成する。
【００３０】
ワーク１は、ワークをエアーの吹き上げによって浮上させる浮上ステージ（図示せず）上に配置されている。ワーク１を空気圧で一定の高さに浮上させることにより、ワーク１と浮上ステージとの接触を断ち、摩擦がゼロの状態になる。
【００３１】
リニアモータ２０はワーク搬送用駆動軸である。リニアモータ２０はワーク１の搬送方向に伸びており、リニアモータ２０が駆動するリニアモータスライダ２１もワーク１の搬送方向（図中Ｘ軸方向）に移動する。リニアモータ２０はリニアエンコーダ（図示せず）付きのリニアモータであり、リニアエンコーダの出力によりリニアモータスライダ２１の位置を把握する。ワーク１の搬送方向への移動は、リニアモータ２０のみによる１軸制御である。
【００３２】
搬送機構１０はリニアモータスライダ２１に連結され、リニアモータスライダ２１とともに搬送方向に移動する。
【００３３】
保持部１１，１２は真空吸着パッド等であり、ワーク１の表面を吸着保持する。ワーク１は保持部１１と１２、搬送機構１０およびリニアモータスライダ２１を介してリニアモータ２０に連結される。リニアモータ２０はリニアモータスライダ２１を駆動してワーク１を搬送方向に移動させるとともに、ワーク１の搬送位置を把握する。
【００３４】
アライメント軸１３，１４は搬送機構１０に所定の間隔をあけて配置される。アライメント軸１３，１４はワーク１の搬送方向に対して垂直方向（図中Ｙ軸方向）に直動機構を有するものを使用する。アライメント軸１３，１４としては、リニアモータを用いたものやボールネジ機構を用いることが考えられる。
【００３５】
保持部１１，１２はそれぞれアライメント軸１３，１４に連結され、アライメント軸１３，１４によってそれぞれ独立に制御される。アライメント軸１３，１４を個々に制御することにより保持部１１，１２を動かし、ワーク１の保持状態を変化させて位置決めを行う。
【００３６】
保持部１１，１２は初期状態において搬送方向と平行な同一直線状に配置される。保持部１１，１２は、ワーク１を保持するとともにアライメント軸１３，１４の制御によりＹ軸方向に微動する。保持部１１，１２の動く量および動く方向はアライメント軸１３，１４によって調整される。
【００３７】
図２は本発明のワーク搬送装置のアライメント動作例を示す図であり、（ａ）はワーク１を＋Ｙ方向に動かす場合、（ｂ）はワーク１を−Ｙ方向に動かす場合、（ｃ）はワーク１を図中反時計回りに回転させる場合、（ｄ）はワーク１を時計回りに回転させる場合の動作例である。
【００３８】
図２（ａ）において、アライメント軸１３，１４を＋Ｙ方向に同じ量だけ動かすことにより、保持部１１，１２に保持されたワーク１が＋Ｙ方向に動く。
同様に、図２（ｂ）において、アライメント軸１３，１４を−Ｙ方向に同じ量だけ動かすことにより、保持部１１，１２に保持されたワーク１が−Ｙ方向に動く。
このように、アライメント軸１３，１４を同方向に動かすことにより、ワーク１のＹ軸方向のアライメントができる。
【００３９】
図２（ｃ）において、アライメント軸１３を−Ｙ方向に、アライメント軸１４を＋Ｙ方向に動かしている。これにより、ワーク１が図中半時計回りに回転する。
同様に、図２（ｄ）において、アライメント軸１３を＋Ｙ方向に、アライメント軸１４を−Ｙ方向に動かしている。これにより、ワーク１が図中時計回りに回転する。
このように、アライメント軸１３，１４を逆方向に動かすことにより、ワーク１の回転方向のアライメントができる。
【００４０】
アライメント軸１３，１４は常に両方動かす必要はなく、一方のみを動かしても良い。たとえば、アライメント軸１３は動かさず、アライメント軸１４を＋Ｙ方向に動かせば、ワーク１を半時計周りに回転させることができる。アライメント軸１３を動かさず、アライメント軸１４を−Ｙ方向に動かせば、ワーク１を時計周りに回転させることができる。
【００４１】
アライメント軸１３，１４を同方向に動かす場合であっても、動かす量は異なってもよい。たとえば、アライメント軸１３を＋Ｙ方向に動かし、アライメント軸１４をアライメント軸１３よりも大きく＋Ｙ方向に動かせば、ワーク１を＋Ｙ方向に移動させると同時に半時計周りに回転させることができる。
【００４２】
アライメント軸１３，１４は同期して動かす必要はなく、一方ずつ段階的に動かしても良い。
【００４３】
なお、搬送方向の位置合わせはワーク搬送用駆動軸であるリニアモータ２０の駆動により行う。
【００４４】
このように、リニアモータ２０と搬送機構１０に設けられたアライメント部により、ワーク１の正確な位置決めと、正確な姿勢を実現することができる。
【００４５】
なお、ワーク搬送装置としては、ワークの両側にそれぞれワーク搬送用駆動軸を設け、ワークの搬送を２軸で制御する構成も考えられる。しかし、ワークの搬送を２軸で駆動する場合には、各ワーク搬送用駆動軸の歪み等によって、ワークに不要な力が加わり、ワークを痛めてしまう恐れがある。また、駆動系が２軸だとモータ軸数が多くなり、制御が複雑になる。
これに対し、本発明ではワーク搬送用駆動軸が１軸であるため、ワークに不要な力が加わって損傷する恐れが少ない。また、駆動系が１軸となるため、モータ軸数が減って制御が容易となる。
【００４６】
また、上記の説明においてはアライメント部として２つの直動機構を用いた場合を例示したが、アライメント部の構成はこれに限られるものではなく、たとえば、回転軸機構を有するようなものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は本発明のワーク搬送装置の一実施例を示す図。
【図２】図２は本発明のワーク搬送装置のアライメント動作例を示す図。
【図３】図３は従来のワーク搬送装置の一例を示す図。
【符号の説明】
【００４８】
１          ワーク
１０        搬送機構
１１，１２  保持部
１３，１４  アライメント軸
１５        アライメント部
２０        リニアモータ
２１        リニアモータスライダ
【図１】
2008254913.tif 000003
【図２】
2008254913.tif 000004
【図３】
2008254913.tif 000005