(57)【要約】【課題】  ブラシ２の芯出しを容易にするとともに、ガラス基板１の内側端面を均一に研磨する。【解決手段】  ブラシ２の両端に円錐台状のストッパ５Ａ，５Ｂを設ける。このブラシ２の両端を保持する左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂには、ブラシ２のストッパ５Ａ，５Ｂが嵌る円錐状のストッパ収納室４０ａが互いに先端側を向かい合わせて設けられる。片側のストッパホルダ４０Ｂは、軸受けスライド機構８０により進退駆動可能となっており、軸受けスライド機構８０により左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂ間の離隔を広げることによりブラシ２のストッパ５Ａ，５Ｂをストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂのストッパ収納室４０ａに引き入れる。これにより正確にブラシ２の芯出しが行われるとともに、ブラシ２に張力が働いてブラシ振れが防止される。この結果、均一な研磨が可能となる。【選択図】  図１
2008254084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心に円孔を有する円板状の記録媒体用ガラス基板の内周端面を研磨する研磨装置において、
上記ガラス基板を同軸上に複数重ねて保持するガラス基板保持手段と、
ブラシ軸の回りに無数のブラシ毛を有する軸付ブラシと、
上記ガラス基板保持手段に保持された複数のガラス基板の円孔内に上記軸付ブラシを挿通した状態で、上記軸付ブラシの両端を保持するブラシ保持手段と、
上記ガラス基板の円孔内で上記軸付ブラシがガラス基板の重ね方向に往復動するように上記軸付ブラシと上記ガラス基板との軸方向の相対位置を変化させる往復動駆動手段と、
上記ブラシ保持手段に保持された軸付ブラシを軸回りに回転させるブラシ回転駆動手段とを備え、
上記軸付ブラシは、そのブラシ軸の両端部に、先細り状に形成されたストッパをその先端側を互いに向かい合わせてそれぞれ有し、
上記ブラシ保持手段は、上記ブラシ軸の両端に設けられたストッパを収納するための先細りのストッパ収納室を形成したストッパホルダを、上記ブラシ軸が上記ガラス基板保持手段に保持されたガラス基板の円孔中心と同軸上となる位置にて、収納室先細り側が互いに向かい合うように備えるとともに、上記向かい合うストッパホルダを互いに離れる方向に付勢する付勢手段を設けたことを特徴とする記録媒体用ガラス基板の研磨装置。
【請求項２】
上記ストッパは、その先端が円錐状あるいは円錐台状に形成され、
上記ストッパホルダに形成されるストッパ収納室は、上記ストッパの円錐状あるいは円錐台状の部分が嵌り込み可能な空間を備えることを特徴とする請求項１記載の記録媒体用ガラス基板の研磨装置。
【請求項３】
上記ブラシ軸の両端に設けられる少なくとも一方のストッパは、上記ブラシ軸に対して着脱可能に設けられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の記録媒体用ガラス基板の研磨装置。
【請求項４】
上記ブラシ保持手段は、２本の平行なブラシ保持アームを備え、上記各ブラシ保持アームに上記ストッパホルダを回転可能に軸支して向かい合わせるとともに、上記少なくとも一方のストッパホルダの軸受け部を軸方向にスライド可能に設けて、そのスライド可能なストッパホルダを上記付勢手段により軸方向に付勢することを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れか一項記載の記録媒体用ガラス基板の研磨装置。
【請求項５】
上記ガラス基板保持手段は、上記ガラス基板を同軸上に複数重ねて収納する基板収納ケースと、上記向かい合うブラシ保持アームの間に平行に設けられ上記基板収納ケースをその両端で保持する基板保持アームとを備えたことを特徴とする請求項４記載の記録媒体用ガラス基板の研磨装置。
【請求項６】
上記基板保持アームとブラシ保持アームとは、互いに平行のまま揺動可能に設けられることを特徴とする請求項５記載の記録媒体用ガラス基板の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等の情報記録媒体用ディスクに用いられるガラス基板の内周端面を研磨する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話、携帯音楽プレーヤといった情報端末装置には、高容量のハードディスク装置を搭載するものが登場してきた。このため、記録媒体となる磁気ディスクの高容量化、小型化が望まれている。こうしたニーズに応えるために、ハードディスクに使用される磁気ディスクとしては、従来のアルミニウム系合金基板に代わって、ガラス基板が使用されるようになってきている。
【０００３】
ガラス基板は、中央に円孔を有する円板状に形成されるが、その内周端面および外周端面の角部が内部応力により欠けやすい。そのため、ガラス基板の内・外周端面は、回転砥石等による研削にて面取加工が施される。こうして面取加工が施されると、次に、ガラス基板内周端の角部をブラシにより研磨して滑らかにする処理が施される。このガラス基板の内周端面のブラシ研磨技術としては、例えば、特許文献１に提案されている。
【０００４】
この特許文献１のものでは、円板状のガラス基板をワークセッティング部に上下方向に複数積層し、その複数積層したガラス基板の円孔内に軸付ブラシを上方から挿入してガラス基板内周面に臨ませるとともに、軸付ブラシを上下方向に往復動させる。この場合、軸付ブラシは、その上端部で支持されて上下方向に往復動するだけでなく、その軸回りに回転する。
【特許文献１】特開平１１−３３８８６号公報
【発明の開示】
【０００５】
しかしながら、この特許文献１にて提案された従来の装置においては、ハンドル操作により移動テーブルをスライドさせてガラス基板の位置を軸付ブラシの丁度下方となるように調整している。従って、軸付ブラシをガラス基板の円孔中心に正しく配置することが難しい。また、軸付ブラシをガラス基板の円孔中心に配置できたとしても、軸付ブラシを回転させるとブラシの先端側が振れてしまう。つまり、軸付ブラシは、その上方端のみが支持されており、しかも、ブラシ軸体は細い棒状体であるため、その自由端となる下方端が回転駆動により振れてしまう。また、仮に、軸付ブラシの両端を支持して回転および往復動駆動するように構成したとしても、やはり、軸付ブラシの中央部が「なわとび」のように外側に振れてしまう。特に、ブラシ軸が弾性変形する金属線を使用した場合には、ブラシ振れが顕著に現れる。
【０００６】
このため、ブラシ毛がガラス基板の内周端面に均一に当たらない。従って、ガラス基板の内周端面を均一に研磨することができない。また、ガラス基板は、その積層される位置によっても研磨状態が異なってしまう。特に、情報記録媒体として使用するガラス基板は、非常に高い加工精度が要求されることから、こうした研磨面の仕上がり不良は大きな問題となる。そこで、作業者は、こうした問題に対処するために、ガラス基板や軸付ブラシの位置を途中で変えたりする必要があり、研磨作業時間が長くなっていた。
【０００７】
本発明の目的は、上記問題に対処するためになされたもので、ガラス基板と軸付ブラシとの同芯度を向上して、ガラス基板の内周端面を均一に研磨し作業性を向上することにある。
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の特徴は、中心に円孔を有する円板状の記録媒体用ガラス基板の内周端面を研磨する研磨装置において、上記ガラス基板を同軸上に複数重ねて保持するガラス基板保持手段と、ブラシ軸の回りに無数のブラシ毛を有する軸付ブラシと、上記ガラス基板保持手段に保持された複数のガラス基板の円孔内に上記軸付ブラシを挿通した状態で、上記軸付ブラシの両端を保持するブラシ保持手段と、上記ガラス基板の円孔内に上記軸付ブラシがガラス基板の重ね方向に往復動するように上記軸付ブラシと上記ガラス基板との軸方向の相対位置を変化させる往復動駆動手段と、上記ブラシ保持手段に保持された軸付ブラシを軸回りに回転させるブラシ回転駆動手段とを備え、上記軸付ブラシは、そのブラシ軸の両端部に、先細り状に形成されたストッパをその先端側を互いに向かい合わせてそれぞれ有し、上記ブラシ保持手段は、上記ブラシ軸の両端に設けられたストッパを収納するための先細りのストッパ収納室を形成したストッパホルダを、上記ブラシ軸が上記ガラス基板保持手段に保持されたガラス基板の円孔中心と同軸上となる位置にて、収納室先細り側が互いに向かい合うように備えるとともに、上記向かい合うストッパホルダを互いに離れる方向に付勢する付勢手段を設けたことにある。
【０００９】
この発明においては、複数のガラス基板がガラス基板保持手段により同軸上に重ねられて保持され、その保持されたガラス基板の円孔内に軸付ブラシが挿通される。この軸付ブラシは、その両端にてブラシ保持手段により保持される。往復動駆動手段は、軸付ブラシとガラス基板との軸方向の相対位置を変化させてガラス基板の円孔で軸付ブラシを往復動させる。この場合、ブラシ保持手段を往復動させてもよいし、ガラス基板保持手段を往復動させてもよいし、両保持手段を往復動させてもよい。この往復動と合わせて、ブラシ回転駆動手段が軸付ブラシを軸回りに回転させる。これにより、ガラス基板の内周端面が研磨される。
【００１０】
なお、このとき研磨剤を研磨部（ガラス基板の円孔と軸付ブラシのブラシ毛の接触部）に供給するとよい。また、複数のガラス基板は、中心に円孔を有する円板状のスペーサを各ガラス基板の間に介装して重ねて収納してもよい。この場合、そのスペーサは、外径がガラス基板の外径と等しく、円孔径がガラス基板の円孔径より大きく形成されものを使用するとよい。また、ガラス基板保持手段を軸付ブラシの回転方向と逆方向に回転させるガラス基板回転駆動手段を備えても良い。
【００１１】
こうした軸付ブラシを用いた研磨時においては、ガラス基板の円孔中心軸線上に軸付ブラシのブラシ軸を配置する必要がある。つまり、ガラス基板と軸付ブラシとの同芯度を高く保つ必要がある。そこで、本発明においては、軸付ブラシの芯出しを行う構成を備える。この芯出しは、先細り状に形成されたストッパのストッパホルダへの嵌め込みにより行う。
【００１２】
軸付ブラシは、そのブラシ軸の両端部に、先細り状に形成されたストッパをその先端側（先細り側）を互いに向かい合わせて備える。一方、ブラシ保持手段は、２つのストッパをそれぞれ収納する先細りのストッパ収納室（ストッパ収納空間）を形成した２つのストッパホルダを備える。このストッパホルダは、ブラシ軸がガラス基板の円孔中心と同軸上となる位置にて、ストッパ収納室の先細り側が互いに向かい合うように設けられる。そして、付勢手段が向かい合うストッパホルダを互いに離れる方向に付勢する。
【００１３】
従って、ブラシ軸の両端に設けられた２つのストッパは、ブラシ保持手段に設けられたストッパ収納室内の先端側（先細り側）にそれぞれ導かれて位置決めされる。更に、２つのストッパは、ストッパホルダにより互いに離れる方向に引っ張られるため、ブラシ軸に張力が発生する。この結果、軸付ブラシは、ガラス基板の円孔中心軸線上に位置決めされるとともに、張力によりブラシ振れが防止される。従って、ガラス基板の内周端面を均一に研磨することができる。また、それに伴って研磨時間を短縮することができる。
【００１４】
本発明の他の特徴は、上記ストッパは、その先端が円錐状あるいは円錐台状に形成され、上記ストッパホルダに形成されるストッパ収納室は、上記ストッパの円錐状あるいは円錐台状の部分が嵌り込み可能な空間を備えることにある。
【００１５】
この発明によれば、付勢手段によりストッパホルダを互いに離れる方向に付勢すると、先端が円錐状あるいは円錐台状のストッパがストッパホルダのストッパ収納室に嵌り込み、ストッパとストッパホルダとの軸中心が一致する。この結果、簡単に軸付ブラシの芯出しを行うことができる。
【００１６】
本発明の他の特徴は、上記ブラシ軸の両端に設けられる少なくとも一方のストッパは、上記ブラシ軸に対して着脱可能に設けられることにある。
【００１７】
この発明によれば、重ね合わせたガラス基板のトンネル状の円孔にブラシ軸を挿通するにあたり、ブラシ軸からストッパを取り外すことができるため、ストッパが邪魔にならずスムーズにブラシ軸をトンネル状円孔に挿通することができる。
【００１８】
本発明の他の特徴は、上記ブラシ保持手段は、２本の平行なブラシ保持アームを備え、上記各ブラシ保持アームに上記ストッパホルダを回転可能に軸支して向かい合わせるとともに、上記少なくとも一方のストッパホルダの軸受け部を軸方向にスライド可能に設けて、そのスライド可能なストッパホルダを上記付勢手段により軸方向に付勢することにある。
【００１９】
この発明によれば、２本のブラシ保持アームに設けたストッパホルダの軸受け部を付勢手段により軸方向（ストッパホルダが互いに離れる方向）にスライドさせることで、簡単に軸付ブラシの芯出しを行うことができるともに、ブラシ軸に張力を与えることができる。
【００２０】
本発明の他の特徴は、上記ガラス基板保持手段は、上記ガラス基板を同軸上に複数重ねて収納する基板収納ケースと、上記向かい合うブラシ保持アームの間に平行に設けられ上記基板収納ケースをその両端で保持する基板保持アームとを備えたことにある。
【００２１】
この発明によれば、ガラス基板を収納する基板収納ケースの両端を基板保持アームで保持し、この基板保持アームをブラシ保持アームの間に平行に設けている。従って、ブラシ保持アームに設けた向かい合うストッパホルダの間に、複数のガラス基板をストッパホルダと同軸上に配置することができる。この結果、ブラシ軸をガラス基板の円孔中心に簡単に配置することができる。
【００２２】
本発明の他の特徴は、上記基板保持アームとブラシ保持アームとは、互いに平行のまま揺動可能に設けられることにある。
【００２３】
この発明によれば、ガラス基板に軸付ブラシを挿通した状態で、基板保持アームとブラシ保持アームとを一緒に揺動させて基板ケース位置を変更することができる。この結果、例えば、軸付ブラシを同軸上に挿通したまま基板ケースを研磨液槽内の中に入れたり、研磨液槽から取り出したりすることが簡単にできるため、研磨作業が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係る記録媒体用ガラス基板の研磨装置について図面を用いて説明する。図１〜図３は、実施形態としての記録媒体用ガラス基板の内周端面を研磨する研磨装置全体の概略構成を表すもので、図１は外観構成を簡単に表す正面図、図２は回転駆動機構の構成を説明するための正面説明図、図３は図１のＡ−Ａ方向における主にシャフトの構成を説明するための側面説明図である。また、図１７は、本実施形態の研磨装置により研磨されるワークとなるガラス基板の斜視図である。
【００２５】
本実施形態の研磨装置にて研磨されるガラス基板は、図１７に示すように、厚さ０．５ｍｍ、外径２２ｍｍ、内径１０ｍｍのドーナツ状の円板で、最終的には表面に磁性膜等を積層することによりハードディスクドライブの磁気ディスクとして使用される。このガラス基板１は、前の加工工程において、その内周端面の面取加工が施されている。本実施形態の研磨装置は、この面取加工が施されたガラス基板１の内周端面１ａを研磨して平滑面に仕上げるものである。
【００２６】
研磨装置は、複数のガラス基板１を重ね合わせて基板収納ケース１０に収納した状態で、軸付ブラシ２（以下、単にブラシ２と呼ぶ）をガラス基板１の円孔１ｈ内を往復動させるとともに、ブラシ２および基板収納ケース１０を互いに逆方向に軸回りに回転させることでガラス基板１の内周端面１ａを研磨する。
【００２７】
研磨装置は、図示しない作業台に固定されるメインフレーム２０（図１、図２には省略し図３に示す）と、メインフレーム２０に回転可能に軸支されるメインシャフト２１と、メインシャフト２１の回転力が伝達されてメインシャフト２１を中心軸として揺動する左右１対となる第１揺動アーム２２Ａ、第２揺動アーム２２Ｂとを備える。第１揺動アーム２２Ａは、メインシャフト２１に固定されるが、第２揺動アーム２２Ｂは、メインシャフト２１の外周面をその軸方向に摺動可能にスプライン結合されている。第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとは、メインシャフト２１に対して同じ角度で連結され互いに平行になっている。尚、第１揺動アーム２２Ａ、第２揺動アーム２２Ｂは、本発明における基板保持アームに相当する。
【００２８】
図３に示すように、メインシャフト２１には、アーム揺動用エアシリンダ２３が駆動アーム２４を介して連結される。アーム揺動用エアシリンダ２３は、そのロッド２３ａを伸縮させることによりメインシャフト２１を回転駆動する。これにより、第１揺動アーム２２Ａおよび第２揺動アーム２２Ｂは所定角度揺動する。第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとは、その先端に第１ケース保持部５０Ａ，第２ケース保持部５０Ｂを備え、研磨開始時にアーム揺動用エアシリンダ２３のロッド２３ａを伸長してケース保持部５０Ａ，５０Ｂを研磨液槽１００に満たされた研磨液内に浸漬させ、研磨終了時にアーム揺動用エアシリンダ２３のロッド２３ａを縮めて両ケース保持部５０Ａ，５０Ｂを研磨液から取り出す。
【００２９】
第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとの間には、両者間の離隔を変更して基板収納ケース１０の着脱を行うためのケース着脱用エアシリンダ２５が設けられる。ケース着脱用エアシリンダ２５は、そのシリンダボディ２５ｂが第１揺動アーム２２Ａの側面に連結され、ロッド２５ａが第２揺動アーム２２Ｂの側面に連結される。第１揺動アーム２２Ａはメインシャフト２１に対して摺動不能に固定されることから、ケース着脱用エアシリンダ２５のロッド２５ａを伸縮させた場合には、第２揺動アーム２２Ｂがメインシャフト２１に対して左右に摺動して両アーム２２Ａ，２２Ｂ間の離隔が調整される。ケース着脱用エアシリンダ２５は、第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとの先端に設けた両ケース保持部５０Ａ，５０Ｂに基板収納ケース１０を着脱するときに使用される。
【００３０】
第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂには、その中央部に、ブラシ保持アーム支持シャフト２６がそのシャフト軸方向に摺動可能に貫通して設けられる。このブラシ保持アーム支持シャフト２６は、その両端に第１ブラシ保持アーム２７Ａ、第２ブラシ保持アーム２７Ｂが連結される。
【００３１】
更に、第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂには、メインシャフト２１とブラシ保持アーム支持シャフト２６との貫通する中間位置に、ブラシ回転駆動用シャフト２８が貫通して設けられる。このブラシ回転駆動用シャフト２８は、第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂに、回転自在かつシャフト軸方向に摺動自在に軸支される。ブラシ回転駆動用シャフト２８は、その両端にタイミングプーリ２８ａ，２８ｂが固定され、一方端が第１ブラシ保持アーム２７Ａの上端側に回転可能に軸支され、他方端が第２ブラシ保持アーム２７Ｂの上端側に回転可能に軸支される。尚、図中において、軸受けについては記載を省略しているが適宜設けるものとする。
【００３２】
第１揺動アーム２２Ａには、ブラシ回転駆動用モータ３１と、ブラシ回転駆動用シャフト２８にスプライン結合されたタイミングプーリ２８ｃが設けられる。ブラシ回転駆動用シャフト２８とタイミングプーリ２８ｃとは、軸方向に相対移動可能でかつ相対回転が不能な状態で連結される。ブラシ回転駆動用モータ３１の出力軸３１ａにはタイミングプーリ３１ｂが固定される。このブラシ回転駆動用モータ３１の出力軸３１ａに設けたタイミングプーリ３１ｂとブラシ回転駆動用シャフト２８にスプライン結合されたタイミングプーリ２８ｃとは、タイミングベルト３２により連結される。従って、ブラシ回転駆動用モータ３１の回転トルクによりブラシ回転駆動用シャフト２８を回転させるように構成されている。
【００３３】
第１ブラシ保持アーム２７Ａの下端側には、ブラシ２の片側端を係止する第１ストッパホルダ４０Ａの回転軸４１が回転可能に軸支される。この第１ストッパホルダ４０Ａの回転軸４１にはタイミングプーリ４１ａが固定される。そして、第１ストッパホルダ４０Ａの回転軸４１に固定されるタイミングプーリ４１ａとブラシ回転駆動用シャフト２８の一方端に固定されるタイミングプーリ２８ａとは、タイミングベルト４２により連結される。従って、ブラシ回転駆動用モータ３１の回転トルクが、タイミングベルト３２、ブラシ回転駆動用シャフト２８、タイミングベルト４２を介して第１ストッパホルダ４０Ａの回転軸４１に伝達され、第１ストッパホルダ４０Ａを回転させるように構成されている。
【００３４】
同様に、第２ブラシ保持アーム２７Ｂの下端側には、ブラシ２の他方端を係止する第２ストッパホルダ４０Ｂが後述する軸受けスライド機構８０により回転可能に軸支される。この軸受けスライド機構８０の入力軸８１にはタイミングプーリ８１ａが固定される。そして、軸受けスライド機構８０の入力軸８１に固定されるタイミングプーリ８１ａとブラシ回転駆動用シャフト２８の他方端に固定されるタイミングプーリ２８ｂとは、タイミングベルト４３により連結される。従って、ブラシ回転駆動用モータ３１の回転トルクが、タイミングベルト３２、ブラシ回転駆動用シャフト２８、タイミングベルト４３を介して軸受けスライド機構８０の入力軸８１に伝達され、第２ストッパホルダ４０Ｂを回転させるように構成されている。
【００３５】
ブラシ保持アーム支持シャフト２６には、第１ブラシ保持アーム２７Ａと第２ブラシ保持アーム２７Ｂとを一緒にブラシ２の軸方向に往復動させるブラシオシレーション用エアシリンダ４４が装着される。このブラシオシレーション用エアシリンダ４４は、そのシリンダボディ４４ｂがブラシ保持アーム支持シャフト２６と連結金具４４ｃにより連結固定されるとともに、ロッド４４ａが第１揺動アーム２２Ａに連結される。従って、ブラシオシレーション用エアシリンダ４４のロッド４４ａを伸縮させることにより第１揺動アーム２２Ａとブラシ保持アーム支持シャフト２６との相対位置が変化する。この場合、第１揺動アーム２２Ａがメインシャフト２１に対して左右方向に摺動不能に設けられていることから、ブラシ保持アーム支持シャフト２６は左右に往復動する。この結果、ブラシ保持アーム支持シャフト２６に連結された第１ブラシ保持アーム２７Ａと第２ブラシ保持アーム２７Ｂとが平行状態を保って一緒に左右に往復動する。
【００３６】
第２揺動アーム２２Ｂには、基板回転駆動用モータ４５が設けられる。この基板回転駆動用モータ４５の出力軸４５ａには、タイミングプーリ４５ｂが固定される。また、第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとの間には基板回転駆動用同期シャフト４６が回転自在に軸支される。基板回転駆動用同期シャフト４６の左側端にはタイミングプーリ４６ａが固定され、右側端には２つのタイミングプーリ４６ｂ，４６ｃが固定される。基板回転駆動用モータ４５に固定したタイミングプーリ４５ｂと、基板回転駆動用同期シャフト４６の右側端に固定したタイミングプーリ４６ｃとは、タイミングベルト４７により連結される。
【００３７】
第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂは、その先端側の向かい合う面に、基板収納ケース１０を左右で保持する第１ケース保持部５０Ａ、第２ケース保持部５０Ｂが設けられる。第１ケース保持部５０Ａは、基板収納ケース１０の左側を保持するとともに基板収納ケース１０に回転駆動力を与えるもので、駆動ローラ５１Ａと２つの従動ローラ５２Ａ，５３Ａとを備える。この３つのローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａは、それぞれ回転可能に第１揺動アーム２２Ａに軸支される。また、３つのローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａは、図３に示すように、同一円周上に略等間隔にて配置される。
【００３８】
第１揺動アーム２２Ａには、３つのローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａが同一円周上に配置される円の中心位置に、ブラシ２の挿通孔５４Ａが貫通して形成される。この挿通孔５４Ａは、第１揺動アーム２２Ａの手前側面にまでスリット５５Ａにより連通している。駆動ローラ５１Ａの回転軸５１ｃには、タイミングプーリ５１ｄが固定される。そして、この駆動ローラ５１Ａの回転軸５１ｃに固定されたタイミングプーリ５１ｄと基板回転駆動用同期シャフト４６の左端に固定したタイミングプーリ４６ａとは、タイミングベルト５６により連結される。
【００３９】
第２揺動アーム２２Ｂに設けられる第２ケース保持部５０Ｂは、基板収納ケース１０の右側を保持するとともに基板収納ケース１０に回転駆動力を与えるもので、駆動ローラ５１Ｂと２つの従動ローラ５２Ｂ，５３Ｂとを備える。この３つのローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂは、それぞれ回転可能に第２揺動アーム２２Ｂに軸支される。また、３つのローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂは、第１ケース保持部５０Ａと同様に、同一円周上に略等間隔にて配置される。
【００４０】
第２揺動アーム２２Ｂには、３つのローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂが同一円周上に配置される円の中心位置に、ブラシ２の挿通孔５４Ｂが貫通して形成される。この挿通孔５４Ｂは、第２揺動アーム２２Ｂの手前側面にまでスリット５５Ｂにより連通している。駆動ローラ５１Ｂの回転軸５１ｅには、タイミングプーリ５１ｆが固定される。そして、この駆動ローラ５１Ｂの回転軸５１ｅに固定されたタイミングプーリ５１ｆと基板回転駆動用同期シャフト４６の右端に固定したタイミングプーリ４６ｂとは、タイミングベルト５７により連結される。
【００４１】
従って、基板回転駆動用モータ４５の回転トルクは、タイミングベルト４７、基板回転駆動用同期シャフト４６、タイミングベルト５６，５７を介してそれぞれ左右の駆動ローラ５１Ａ，５１Ｂに伝達される。
【００４２】
次に、ブラシ２について説明する。ブラシ２は、図５に示すように、金属細線を撚ってワイヤ状にしたブラシ軸３の回りにブラシ毛４を螺旋状に植毛したものである。ブラシ軸３の一方端には、略円錐台状の第１ストッパ５Ａが固着される。ブラシ軸３の他方端には、表面に雄ねじ６ａを形成したねじ体６が固着され、そのねじ体６に略円錐台状の第２ストッパ５Ｂが螺合される。第２ストッパ５Ｂは、その中心に貫通孔５Ｂａが形成され、その貫通孔５Ｂａの内周面に形成した雌ねじ５Ｂｂをねじ体６の雄ねじ６ａに螺合し、その外側からナット７をねじ体６に螺合することで抜止めされる。従って、第２ストッパ５Ｂは、ブラシ軸３に着脱可能となっている。この２つの円錐台状の第１ストッパ５Ａ，第２ストッパ５Ｂは、その先端側（先細り側）を互いに向かい合う方向に向けて設けられる。
【００４３】
ブラシ２は、その一方端が第１ストッパホルダ４０Ａに、他方端が第２ストッパホルダ４０Ｂに係止される。第１ストッパホルダ４０Ａおよび第２ストッパホルダ４０Ｂは、同一形状であるため、それらを特定する必要がない場合には、以下、その２つを単にストッパホルダ４０と総称して説明する。また、第１ストッパ５Ａおよび第２ストッパ５Ｂについても、それらを特定する必要がない場合には、それらを単にストッパ５と総称して説明する。
【００４４】
ストッパホルダ４０は、図６、図７に示すように、同軸異径円柱体の外形形状をなし、その大径円柱部に円錐台状のストッパ５を収納する略円錐状空間を有するストッパ収納室４０ａと、ストッパ５をストッパ収納室４０ａ内に挿入する入り口となる挿入開口４０ｂとを有する。ストッパ収納室４０ａは、ストッパ５の円錐台外周面と同一傾斜角を有する円錐状空間を形成し、ストッパ５を密着して収納可能となっている。
【００４５】
また、挿入開口４０ｂは、ストッパ収納室４０ａに並んで設けられ、大径円柱部を貫通する四角孔となっている。また、ストッパホルダ４０のストッパ収納室４０ａの側部には、その円錐状空間に連通し軸方向に平行となる細いスリット４０ｃが円錐状空間の軸中心まで径方向に形成される。このスリット４０ｃは、ブラシ２のブラシ軸３を挿入するための挿入口となる。また、ストッパ収納室４０ａの先端とスリット４０ｃとの交差する部分がブラシ２の出口孔４０ｄとなる。
【００４６】
ストッパホルダ４０は、その小径円柱部の表面にねじ４０ｅが形成される。このねじ４０ｅにより、第１ストッパホルダ４０Ａは、第１ブラシ保持アーム２７Ａに設けた回転軸４１に連結され、第２ストッパホルダ４０Ｂは、第２ブラシ保持アーム２７Ｂの下端側に設けた軸受けスライド機構の回転軸８３に連結される。従って、第１ストッパホルダ４０Ａと第２ストッパホルダ４０Ｂとは、ストッパ収納室４０ａをその円錐状空間の先端側（先細り側）が向かい合うように配置される。
【００４７】
ブラシ２は、このように向き合った左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂの間に張設される。この場合、図８に示すように、ブラシ軸３をストッパホルダ４０のスリット４０ｃに沿わせながらストッパ５をストッパホルダ４０の挿入開口４０ｂに挿入することで、ブラシ２が左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂの間に仮に保持される。このとき、ブラシ２には張力がかかっていないため一直線状にはなっていない。
【００４８】
その後、後述する軸受けスライド機構８０により第２ストッパホルダ４０Ｂを第１ストッパホルダ４０Ａから離れる方向（図１において右方向）に移動させることにより、図９に示すように、左右のストッパ５がそれぞれストッパ収納室４０ａ内に押し込まれ、ブラシ２に張力が働く。この結果、ブラシ２は、一直線状となって、ストッパホルダ４０のストッパ収納室４０ａの軸心と同一直線上に配置される。
【００４９】
このブラシ２に張力をかける軸受けスライド機構８０について図４を用いて説明する。
軸受けスライド機構８０は、第２ブラシ保持アーム２７Ｂの先端内面側に開口された取付孔８２に液密に装着され、第２ストッパホルダ４０Ｂと連結する回転軸８３の軸受け部８４をブラシ軸方向に進退させるものである。
【００５０】
軸受け部８４は、回転軸８３を回転自在に軸支するベアリング８５，８６とベアリングケース８７を備える。ベアリングケース８７の先端には、回転軸８３との隙間をシールするオイルシール８８が設けられる。また、第２ブラシ保持アーム２７Ｂに開口された取付孔８２の内周面には、ベアリングケース８７を保持する２つのリング状の保持壁８９ａ，８９ｂが所定間隔をあけて設けられる。この保持壁８９ａ，８９ｂは、その先端にベアリングケース８７の外周面と軸方向にスライド可能に密着するＯリング９０ａ，９０ｂが設けられ、研磨液の取付孔８２内への侵入を防止すると共に、ベアリングケース８７と取付孔８２内周面との間に密閉空間を形成する。また、ベアリングケース８７の外周面には、径方向に延びた鍔体９１が形成される。この鍔体９１は、その先端にＯリング９１ａが設けられ、取付孔８２の内周面と軸方向にスライド可能に密着して上記密閉空間を第１密閉室９２ａと第２密閉室９２ｂとに分割する。
【００５１】
第２ブラシ保持アーム２７Ｂには、第１エアポート９３ａ、第２エアポート９３ｂが形成される。第１エアポート９３ａは、第１エア導管９４ａを介して第１密閉室９２ａと連通し、第２エアポート９３ｂは、第２エア導管９４ｂを介して第２密閉室９２ｂと連通する。第１エアポート９３ａおよび第２エアポート９３ｂは、高圧エア供給装置９５に接続される。
【００５２】
ベアリングケース８７は、第２ブラシ保持アーム２７Ｂに開口された取付孔８２の内周面に軸方向にスライド可能に設けられ、第１密閉室９２ａおよび第２密閉室９２ｂの圧力バランスに応じた位置に保持される。高圧エア供給装置９５は、第１エアポート９３ａ，第２エアポート９３ｂへの空気供給調整により、第１密閉室９２ａに比べて第２密閉室９２ｂの空気圧を高くすることでストッパホルダ４０Ｂを前進（図４左方向）させ、逆に、第２密閉室９２ｂに比べて第１密閉室９２ａの空気圧を高くすることでストッパホルダ４０Ｂを後退させる。
【００５３】
軸受け部８４の回転軸８３は、基板回転駆動用モータ４５の回転トルクが伝達されるタイミングプーリ８１ａに固定された回転軸８１とスプライン結合される。つまり、軸受け部８４の回転軸８３は、中空軸となっており、その中空部内に回転軸８１が挿入され、両軸８１，８３が、軸方向に相対移動可能でかつ相対回転が不能な状態で連結される。従って、軸方向にスライド可能な軸受け部８４の回転軸８３に基板回転駆動用モータ４５の回転トルクを伝達できるようになっている。尚、図中において、符号９５は回転軸８１を支持する支持キャップである。
【００５４】
次に、ガラス基板１を収納する基板収納ケース１０の構成について説明する。図１０は、ガラス基板１の収納状態を表す基板収納ケース１０の断面図であり、図１１は基板収納ケース１０（本体ケースのみ）の斜視図である。基板収納ケース１０は、円筒部１１と、円筒部１１の両端に設けられるキャップ１２，１３とからケース本体を構成している。左右のキャップ１２，１３は、円錐台状に形成され、その傾斜面１２ａ，１３ａが、それぞれ第１ケース保持部５０Ａのローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａおよび第２ケース保持部５０Ｂのローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂとそれぞれ当接して保持されるとともにローラ５１Ａ，５１Ｂの回転駆動力が伝達される面となる。
【００５５】
キャップ１２，１３は、その中心位置にブラシ２のブラシ軸３を挿通するための挿通孔１２ｂ，１３ｂが形成され、外周端に円筒部１１の端部と連結するためのねじ１２ｃ，１３ｃが形成される。キャップ１２，１３の中央部の内側には平坦面が形成され、後述するカートリッジ６０のストッパとして機能する。円筒部１１には、研磨液を基板収納ケース１０内に取り込むための外側流入開口１１ａが形成される。この外側流入開口１１ａは、円筒部１１の軸方向にほぼ全長にわたって延びたスリット状の開口であり、例えば、向かい合って２列形成される（図１の手前側と奥側）。
尚、基板収納ケース１０は、必ずしも円筒部１１とキャップ１２，１３とから本体ケースを構成する必要はなく、ブラシ２が挿通可能な挿通孔と、研磨液を本体ケース内に流入させる外側流入開口とを形成したものであればよい。
【００５６】
基板収納ケース１０には、ガラス基板１が複数のカートリッジ６０内に分割されて収納される。本実施形態においては、複数のガラス基板１を４つのカートリッジ６０内に分割して積層し、そのカートリッジ６０を基板収納ケース１０内に直列に収納して連結する。カートリッジ６０は、図１０、図１２〜図１４に示すように、同軸異径円筒体で、大径円筒部が基板収納筒部６１、小径円筒部が連結用筒部６２となっている。基板収納筒部６１は、ガラス基板１を重ねて収納する基板収納室６１ａを形成する。連結用筒部６２は、カートリッジ６０を連結するとともに、連結時に各基板収納筒部６１に積層されたガラス基板１の円孔通路（円孔１ｈを直列につないだトンネル状通路）をカートリッジ６０間で連通した研磨液供給路６２ａを形成する。基板収納筒部６１は、基板収納ケース１０の円筒部１１にほぼ隙間なく収納されるように、その外径が基板収納ケース１０の円筒部１１の内径と略同一である。また、基板収納筒部６１の内径は、連結用筒部６２の外径と略同一となっている。
【００５７】
基板収納筒部６１の円筒壁には、軸方向に沿って円筒基部６１ｂ（連結用筒部６２との連設段部）から先端開口部６１ｃにまで延びた切り欠き６１ｄが形成される。切り欠き６１ｄは、互いに向かい合うように平行に２箇所設けられる。
【００５８】
カートリッジ６０の小径円筒部となる連結用筒部６２は、管内に研磨液を流入させる流入開口６２ｂがその側面に形成される。この流入開口６２ｂは、基板収納筒部６１の切り欠き６１ｄと同様に、向かい合って２箇所設けられる。
【００５９】
研磨作業者は、積層したガラス基板１の外周面を２本の指（例えば、親指と人差し指）でつまみながらカートリッジ６０内に収納するが、この基板収納筒部６１の円筒壁に切り欠き６１ｄを形成したため、積層したガラス基板１を指でつまんだまま基板収納室６１ａの奥にまで収納することができる。つまり、積層したガラス基板１を指でつまみ、その指を切り欠き６１ｄ内にスライドさせることで、ガラス基板１を基板収納筒部６１内に簡単に収納することができる。また、研磨作業が終了してガラス基板１を基板収納筒部６１から取り出すときにも、積層されたガラス基板１の外周面を切り欠き孔６１ｄの外側から指でつまみ、そのまま引き出すことで簡単にガラス基板１を取り出すことができる。
【００６０】
ガラス基板１は、図１５に示すように、スペーサＳを各ガラス基板１の間に介装して重ねてカートリッジ６０の基板収納筒部６１内に収納される。スペーサＳは、中央に円孔Ｓｈを有する円板で、その外径がガラス基板１と同一であり、内径がガラス基板１よりも大きく形成される。
【００６１】
基板収納ケース１０は、ガラス基板１を収納した４組のカートリッジ６０を直列に連結して収納する。基板収納ケース１０にカートリッジ６０を収納する場合、基板収納ケース１０の一方のキャップ１３（図１０における右側のキャップ１３）を外しておき、そのキャップ１３の外された開口から、ガラス基板１を収納した１つのカートリッジ６０をその連結用筒部６２側から挿入する。
【００６２】
続いて、ガラス基板１を収納した２つめのカートリッジ６０を同様に基板収納ケース１０の開口から挿入する。２つめのカートリッジ６０は、その連結用筒部６２が１つめのカートリッジ６０の基板収納筒部６１の基板収納室６１ａ内に挿入される。この場合、カートリッジ６０の基板収納室６１ａに収納しておくガラス基板１の収納量は、連結用筒部６２が基板収納筒部６１に挿入される分だけ少なめにしておく。同様にして、残り２つのカートリッジ６０を基板収納ケース１０内に挿入する。こうしてカートリッジ６０は、基板収納ケース１０と同軸に一直線上に配置される。尚、カートリッジ６０は、直列に連結しておいて基板収納ケース１０に挿入しても良いし、１個ずつ挿入してもよい。
【００６３】
全てのカートリッジ６０を基板収納ケース１０内に挿入した後、図１０に示すように、基板押さえ部材６３を基板収納ケース１０内に挿入する。この基板押さえ部材６３は、同軸異径円筒体で、大径円筒部６３ａがバネ受け部となり、小径円筒部６３ｂがカートリッジ６０の基板収納筒部６１内に挿入されてガラス基板１を押さえる部分となる。この基板押さえ部材６３は、大径円筒部６３ａ、小径円筒部６３ｂともに中央貫通孔６３ｃが形成されて研磨液の流通路を形成するとともにブラシ２の挿通路となる。また小径円筒部６３ｂの側面には、カートリッジ６０と同様に管内に研磨液を流入させる流入開口６３ｄが向かい合って２箇所設けられる。基板押さえ部材６３を挿入した後、圧縮バネ６４を介装して基板収納ケース１０の円筒部１１にキャップ１３をねじ込むことによりガラス基板１の基板収納ケース１０への収納が終了する。
【００６４】
このように基板収納ケース１０内にカートリッジが収納された状態においては、連結用筒部６２が基板収納筒部６１よりも小径であるため、各連結用筒部６２の周囲にリング状空間Ｒが形成される。また、このリング状空間Ｒは、基板収納ケース１０に形成した外側流入開口１１ａおよび連結用筒部６２に形成した流入開口６２ｂと連通することから、基板収納ケース１０を研磨液内に浸漬したときに研磨液をガラス基板１の円孔１ｈ内に導く流路を形成する。また、連結用筒部６２に形成した流入開口６２ｂは、各基板収納筒部６１のあいだに設けられガラス基板１の円孔と接近しているため、研磨液に含まれる研磨剤をブラシ挿通孔に良好に供給することができるようになっている。
【００６５】
次に、基板収納ケース１０およびブラシ２の研磨装置への取り付けについて説明する。基板収納ケース１０は、予め、その中にブラシ２を挿通した状態で研磨装置に取り付けられる。この場合、ブラシ軸３の片側端のストッパ５Ｂを取り外した状態で、その先端を基板収納ケース１０の片側のキャップ１２の挿通孔１２ｂから挿通する。これにより、ブラシ軸３の片側端は、キャップ１２→４つのカートリッジ６０→基板押さえ部材６３→キャップ１３の順に挿通されて基板収納ケース１０の他端から露出する。こうしてブラシ２が基板収納ケース１０内に挿通されると、ブラシ軸３の先端にストッパ５Ｂを取り付けナット７で抜け止めしておく。
【００６６】
この状態で、基板収納ケース１０の両端を第１揺動アーム２２Ａに設けられる第１ケース保持部５０Ａと第２揺動アーム２２Ｂに設けられる第２ケース保持部５０Ｂとに保持させる。この場合、前もって、アーム揺動用エアシリンダ２３を作動させて第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとを揺動させて、その先端部の第１ケース保持部５０Ａと第２ケース保持部５０Ｂとを研磨液槽１００の上方に持ち上げておく。また、ケース着脱用エアシリンダ２５を作動させて第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとの離隔を拡げておく。
【００６７】
そして、基板収納ケース１０の一方端を第１ケース保持部５０Ａの３つのローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａの中間位置に、基板収納ケース１０の他方端を第２ケース保持部５０Ｂの３つのローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂの中間位置に配置し、ケース着脱用エアシリンダ２５を作動させて第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとの離隔を狭くして基板収納ケース１０の両端を第１ケース保持部５０Ａと第２ケース保持部５０Ｂとでつまみ込む。従って、基板収納ケース１０の一方のキャップ１２の傾斜面１２ａがローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａの傾斜面と当接し、他方のキャップ１３の傾斜面１３ａがローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂの傾斜面と当接して、基板収納ケース１０が第１ケース保持部５０Ａと第２ケース保持部５０Ｂとによって回転可能に保持される。このとき、基板収納ケース１０の両端から露出しているブラシ軸３を第１揺動アーム２２Ａ、第２揺動アーム２２Ｂに形成されたスリット５５Ａ，５５Ｂに挿通しておく。
【００６８】
続いて、図８に示すように、ブラシ２の両端のストッパ５Ａ，５Ｂを左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂの挿入開口４０ｂに装着する。この場合、前もって、左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂ間の離隔が狭くなるように、第２揺動アーム２２Ｂに設けられた軸受けスライド機構８０の第２密閉室９２ｂ側を高圧エア供給装置９５により高圧にしてベアリングケース８７を前進させておく。尚、ブラシ２は、このときのストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂの離隔で、ブラシ２の左右のストッパ５Ａ，５Ｂが左右のストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂの挿入開口４０ｂに挿入できる寸法に設定されている。
【００６９】
ブラシ２の左右のストッパ５Ａ，５Ｂをストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂの挿入開口４０ｂに挿入したら、次に、軸受けスライド機構８０の第１密閉室９２ａ側を高圧エア供給装置９５により高圧にしてベアリングケース８７を後退させる。従って、第２ストッパホルダ４０Ｂが後退し、第１ストッパホルダ４０Ａとの離隔が拡がる。これにより、図９に示すように、左右のストッパ５Ａ，５Ｂがそれぞれストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂのストッパ収納室４０ａ内に押し込まれ、その先端位置に達すると移動が規制されてブラシ軸３に張力が働く。この結果、ブラシ２は、一直線状となって、ストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂのストッパ収納室４０ａの軸心と同一直線上に配置される。また、ストッパ５Ａ，５Ｂは、その外周面がストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂと密着するため、ストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂが回転したときに一緒に回転するようになっている。
【００７０】
左右のストッパ収納室４０ａは、両者の軸心を結ぶ直線が、第１揺動アーム２２Ａ、第２揺動アーム２２Ｂに設けた第１ケース保持部５０Ａ、第２ケース保持部５０Ｂの軸心、つまり、ローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａおよびローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂがそれぞれ同一円周上に配置される円の中心を通過するように配置される。従って、ブラシ２は、ブラシ軸３が基板収納ケース１０の中心軸上、つまり、ガラス基板１の円孔１ｈの中心位置に挿通されることになる。
【００７１】
このようにして基板収納ケース１０およびブラシ２の研磨装置への取り付けが完了する。続いて、ガラス基板１の内周端面の研磨を行うにあたり、アーム揺動用エアシリンダ２３を作動させて第１揺動アーム２２Ａと第２揺動アーム２２Ｂとを下方に揺動させ、第１ケース保持部５０Ａと第２ケース保持部５０Ｂとに挟持された基板収納ケース１０を研磨液槽１００の研磨液内に浸漬しておく。尚、研磨液は、その主成分である研磨剤として酸化セリウムが使用されるが、他の研磨剤を用いることもできる。
【００７２】
この状態で、ブラシ２の軸回りの回転と軸方向往復動、および、基板収納ケース１０の軸回りの回転を同時に行う。ブラシ２の軸回りの回転は、ブラシ回転駆動用モータ３１を駆動して第１ストッパホルダ４０Ａおよび第２ストッパホルダ４０Ｂを回転させることにより行う。また、ブラシの軸方向往復動は、ブラシオシレーション用エアシリンダ４４のロッド４４ａを所定周期で伸縮させて第１ブラシ保持アーム２７Ａおよび第１ブラシ保持アーム２７Ａを左右に往復動させることにより行う。
【００７３】
また、基板収納ケース１０の軸回りの回転は、基板回転駆動用モータ４５を駆動して左右の駆動ローラ５１Ａ，５１Ｂを回転させることにより行う。この場合、基板収納ケース１０は、その左右のキャップ１２，１３の傾斜面１２ａ，１３ａがローラ５１Ａ，５２Ａ，５３Ａおよびローラ５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂと圧接されているため、駆動ローラ５１Ａ，５１Ｂの回転力が良好に伝達され、図１６（第１ケース保持部５０Ａの例）に示すように、ローラ５１Ｂ，５１Ｃおよびローラ５２Ｂ，５２Ｃを回転させながらスムーズに軸回りに回転する。尚、図１６は、第１ブラシ保持アーム２７側から視た第１ケース保持部５０Ａの作動原理図である。この場合、ブラシ２の回転方向と基板収納ケース１０の回転方向とを逆方向にする。これによりブラシ２と基板収納ケース１０との相対回転速度が速くなる。
【００７４】
こうしたブラシ２および基板収納ケース１０の動作により、基板収納ケース１０内に収納されたガラス基板１の内周端面１ａは、ブラシ毛４により研磨される。研磨液は、基板収納ケース１０の側面に設けた外側流入開口１１ａから基板収納ケース１１内に浸入し、リング状空間Ｒを経て各カートリッジ６０に設けた流入開口６２ｂからガラス基板１の円孔１ｈ内に供給される、ガラス基板１は、その円孔１ｈ内に研磨剤が供給された状態で円孔１ｈ内を往復動するブラシ毛４により研磨される。
【００７５】
この場合、ブラシ２は、第１ストッパホルダ４０Ａと第２ストッパホルダ４０Ｂとにより正確に芯出しされるため、ガラス基板１の円孔１ｈの中心を往復動することができる。しかも、ブラシ２は、その両端が左右に引っ張られるため一直線状になり回転により振られることもない。従って、ブラシ毛４の先端をガラス基板１の内周端面１ａに均一に接触させることができる。また、基板収納ケース１０の軸方向においても均一に研磨することができる。つまり、基板収納ケース１０の中央側に収納されるガラス基板１と左右端側に収納されるガラス基板１とを比較しても、その研磨仕上がり状態に差異が生じない。また、ブラシ振れによりブラシ軸３がガラス基板内周端面１ａに当たってしまいガラス基板１を破損させてしまうといったこともない。
【００７６】
また、ガラス基板１を複数のカートリッジ６０に分割して収納し、そのカートリッジ６０間にそれぞれ研磨液が流入する流入開口６２ｂを設けているため、重ね合わせたガラス基板１全体にわたってその円孔１ｈ内に研磨液の主成分である研磨剤を均一にいきわたらせることができる。これらの結果、基板収納ケース１０に収納された全てのガラス基板１を均一に効率よく研磨することができ、研磨時間を短縮することができる。
【００７７】
また、カートリッジ６０は、基板収納ケース１０に挿入するだけでそのまま一直線状に連結され、この連結によりガラス基板１が固定される。このため、カートリッジ６０を連結するための特別な作業や部材、および、ガラス基板１を固定する特別な作業や部材も不要となる。従って、作業時間を短縮することができるとともに、基板収納ケース１やカートリッジ６０の構成が簡単となり、取り扱いも容易となる。
【００７８】
更に、カートリッジ６０の側面に切り欠き６１ｄを設けたことにより、カートリッジ６０からのガラス基板１の出し入れが極めて簡単となる。つまり、積層したガラス基板１を指でつまんだまま、その指を切り欠き孔６１ｄにスライドさせることで、ガラス基板１をカートリッジ６０内に簡単に収納でき、また、簡単に取り出すことができる。
【００７９】
また、基板収納ケース１０を研磨装置にセットするにあたっては、その両端をケース保持部５０Ａ，５０Ｂに挟むことで完了するため、その作業が簡単であり作業性が向上する。
【００８０】
以上、本実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
例えば、本実施形態においては、ブラシ２をその軸方向に往復動させているが、基板収納ケース１０をその軸方向に往復動させるようにしてもよく、要するに、ガラス基板とブラシとの軸方向の相対移動が行われるものであればよい。
また、本実施形態においては、基板収納ケース１０を回転させる構成を採用しているが、基板収納ケース１０を回転させずに、ブラシ２の往復動と回転とにより研磨する構成であってもよい。
また、本実施形態においては軸受けスライド機構８０によりブラシ２に張力を付与しているが、例えば、２本のブラシ保持アーム２７Ａ，２７Ｂ間の離隔を拡げるように付勢してブラシ２に張力を付与するようにしてもよい。また、機械的なバネを用いて、ストッパホルダ４０Ａ，４０Ｂを互いに離れる方向に付勢するようにしてもよい。
また、本実施形態においては、ストッパ５Ａ，５Ｂを円錐台形状としているが、その先端が先細りのものであれば、これに限るものではなく種々のものを採用することができる。例えば、円錐状形状、角錐状形状のストッパを使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】実施形態にかかる記録媒体用ガラス基板の研磨装置の外観構成を簡単に表す正面図である。
【図２】実施形態にかかる記録媒体用ガラス基板の研磨装置の回転駆動機構の構成を説明するための正面説明図である。
【図３】図１のＡ−Ａ方向における主にシャフトの構成を説明するための側面説明図である。
【図４】軸受けスライド機構の正面断面図である。
【図５】ブラシの正面図である。
【図６】ストッパホルダの正面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ方向における側面断面図である。
【図８】ブラシのストッパとストッパホルダとの位置関係（挿入時）を表す説明図である。
【図９】ブラシのストッパとストッパホルダとの位置関係（引っ張り時）を表す説明図である。
【図１０】基板収納ケース内のカートリッジの収納状態を表す断面図である。
【図１１】基板収納ケース（本体ケースのみ）の斜視図である。
【図１２】ガラス基板のカートリッジ内への収納方法を表す説明図である。
【図１３】カートリッジの正面図である。
【図１４】カートリッジの側面図である。
【図１５】ガラス基板の積層状態を表す説明図である。
【図１６】第１ケース保持部の作動説明図である。
【図１７】ガラス基板の斜視図である。
【符号の説明】
【００８２】
１…ガラス基板、１ａ…内周端面、１ｈ…円孔、２…軸付ブラシ、３…ブラシ軸、４…ブラシ毛、５Ａ…第１ストッパ、５Ｂ…第２ストッパ、６…ねじ体、７…ナット、１０…基板収納ケース、１１…円筒部、１１ａ…外側流入開口、１２，１３…キャップ、１２ａ，１３ａ…傾斜面、１２ｂ，１３ｂ…挿通孔、２２Ａ…第１揺動アーム、２２Ｂ…第２揺動アーム、２３…アーム揺動用エアシリンダ、２５…ケース着脱用エアシリンダ、２６…ブラシ保持アーム支持シャフト、２７Ａ…第１ブラシ保持アーム、２７Ｂ…第２ブラシ保持アーム、２８…ブラシ回転駆動用シャフト、３１…ブラシ回転駆動用モータ、４０Ａ…第１ストッパホルダ、４０Ｂ…第２ストッパホルダ、４０ａ…ストッパ収納室、４０ｂ…挿入開口、４０ｃ…スリット、４０ｄ…出口孔、４４…ブラシオシレーション用エアシリンダ、４５…基板回転駆動用モータ、４６…基板回転駆動用同期シャフト、５０Ａ…第１ケース保持部、５０Ｂ…第２ケース保持部、５１Ａ，５２Ａ，５３Ａ，５１Ｂ，５２Ｂ，５３Ｂ…ローラ、５４Ａ，５４Ｂ…挿通孔、５５Ａ，５５Ｂ…スリット、６０…カートリッジ、６１…基板収納筒部、６１ａ…基板収納室、６１ｄ…切り欠き、６２…連結用筒部、６２ｂ…流入開口、６３…基板押さえ部材、８０…軸受けスライド機構、８４…軸受け部、８５，８６…ベアリング、８７…ベアリングケース、９２ａ…第１密閉室、９２ｂ…第２密閉室、９３ａ…第１エアポート、９３ｂ…第２エアポート、９５…高圧エア供給装置、１００…研磨液槽。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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