(57)【要約】【課題】寄生容量を低減し、省エネルギー化を図る。【解決手段】第１電極部材７８は共通電極７４と電気的に分離されているので、圧力室５０上にある圧電体４６の部位が駆動し、個別電極７２の端部７２Ａと第１電極部材７８に挟まれた圧電体４６の部位、すなわち、導電性材料６５と接触する端部７２Ａ近傍の圧電体４６の部位は、駆動しない。このため、寄生容量を低減し、省エネルギー化を図ることができる。【選択図】図４
2008254234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室にそれぞれ通じ、前記液体を液滴として吐出するノズルと、
前記複数の圧力室の一部を構成する振動板と、
前記振動板上に配置され、前記振動板を変位可能とする圧電体と、
前記圧電体の下面又は前記圧電体の上面の一方に前記圧力室毎に形成され、前記圧電体の一方の極性となる個別電極と、
前記複数の圧力室にまたがって前記圧電体の下面又は前記圧電体の上面の他方に形成され、前記圧電体の他方の極性となる共通電極と、
前記個別電極の所定部位に接触して前記個別電極と電気的に接続される電気接続部と、
前記共通電極と同一面上に形成され、前記圧電体を挟んで前記所定部位の反対側に配置され、前記共通電極と電気的に分離された第１電極部材と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記個別電極は、前記圧電体の下面に形成され、
前記共通電極は、前記圧電体の上面に形成され、
前記電気接続部は、前記圧電体の上面側から前記圧電体の下面側へ貫通して前記個別電極に電気的に接続され、
前記第１電極部材は、前記電気接続部により前記個別電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記個別電極と同一面上に形成され、前記個別電極と電気的に分離され、前記共通電極と電気的に接続されている第２電極部材を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１電極部材が形成された圧電体の部位は、他の部位と分離されていることを特徴とする１〜３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記ノズルから記録媒体へ液滴を吐出する請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドと、
前記記録媒体を搬送する搬送手段と、
画像データに基づき駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに供給する制御手段と、
を備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出ヘッドとしては、インク滴を吐出して画像を記録するインクジェット記録ヘッドが知られている。インクジェット記録ヘッドとしては、特許文献１に開示されるインクジェット記録ヘッドが公知である。
【０００３】
特許文献１のインクジェットヘッドでは、圧電体上に、ノズル側に全面を覆ってＣｒ、Ｎｉ、Ａｕよりなる厚さ０．５μｍ程度の共通電極が配設されている。また、圧電体上には、ノズルの反対側の面に、厚さ２０μｍのＮｉで形成された弾性体振動部が配設され、これにつづいて配線部が配設されている。
【０００４】
このように、ノズル上に配置された圧電体、弾性体振動部、共通電極が、インク滴を吐出するための圧力を発生させる圧力発生部材となっている。
【特許文献１】特許第３０５２３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、寄生容量を低減し、省エネルギー化を図る液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係る液滴吐出ヘッドは、液体が充填される複数の圧力室と、前記液体を液滴として吐出する前記複数の圧力室にそれぞれ通じるノズルと、前記複数の圧力室の一部を構成する振動板と、前記振動板上に配置され、前記振動板を変位可能とする圧電体と、前記圧電体の下面又は前記圧電体の上面の一方に前記圧力室毎に形成され、前記圧電体の一方の極性となる個別電極と、前記複数の圧力室にまたがって前記圧電体の下面又は前記圧電体の上面の他方に形成され、前記圧電体の他方の極性となる共通電極と、前記個別電極の所定部位に接触して前記個別電極と電気的に接続される電気接続部と、前記共通電極と同一面上に形成され、前記圧電体を挟んで前記所定部位の反対側に配置され、前記共通電極と電気的に分離された第１電極部材と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
本発明の請求項２に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１の構成において、前記個別電極は、前記圧電体の下面に形成され、前記共通電極は、前記圧電体の上面に形成され、前記電気接続部は、前記圧電体の上面側から前記圧電体の下面側へ貫通して前記個別電極に電気的に接続され、前記第１電極部材は、前記電気接続部により前記個別電極と電気的に接続されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項３に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１又は請求項２の構成において、前記個別電極と同一面上に形成され、前記個別電極と電気的に分離され、前記共通電極と電気的に接続されている第２電極部材を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項４に係る液滴吐出ヘッドは、請求項１〜３のいずれか１項の構成において、前記第１電極部材が形成された圧電体の部位は、他の部位と分離されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の請求項５に係る画像形成装置は、前記ノズルから記録媒体へ液滴を吐出する請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドと、前記記録媒体を搬送する搬送手段と、画像データに基づき駆動波形を前記液滴吐出ヘッドに供給する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の請求項１の構成によれば、電気接続部の近傍では圧電体が駆動しないため、本構成を有していない場合に比して、寄生容量を低減し、省エネルギー化を図ることができる。
【００１２】
本発明の請求項２の構成によれば、個別電極と第１電極部材が同電位になり、圧電体に欠陥があっても、本構成を有していない場合に比して、個別電極と第１電極部材との間で生じるショートが防止できる。
【００１３】
本発明の請求項３の構成によれば、共通電極と第２電極部材が同電位になり、圧電体に欠陥があっても、本構成を有していない場合に比して、共通電極と第２電極部材との間で生じるショートが防止できる。
【００１４】
本発明の請求項４の構成によれば、圧電体に欠陥があっても、本構成を有していない場合に比して、個別電極と共通電極との間で生じるショートが防止できる。
【００１５】
本発明の請求項５の構成によれば、電気接続部の近傍では圧電体が駆動しないため、本構成を有していない場合に比して、寄生容量を低減し、省エネルギー化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。
【００１７】
本実施形態では、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの一例として、インク滴を吐出して記録媒体に画像を記録するインクジェット記録ヘッドについて説明する。
【００１８】
また、画像を形成する画像形成装置の一例として、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを備え、そのインクジェット記録ヘッドからインク滴を吐出して記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置について説明する。
【００１９】
なお、液滴吐出ヘッドとしては、画像を記録するものに限定されるものではなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。液滴吐出ヘッドとしては、例えば、フィルムやガラス上にインク等を吐出してカラーフィルタを製造する液滴吐出ヘッド、溶解状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成する液滴吐出ヘッド、金属を含む液体を吐出して配線パターンを形成する液滴吐出ヘッド及び液滴を吐出して膜を形成する各種成膜用の液滴吐出ヘッドであってもよく、液滴を吐出するものであればよい。
【００２０】
（本実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成）
まず、本実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成を説明する。図１には、本実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成が概略図にて示されている。
【００２１】
インクジェット記録装置１０は、図１に示すように、記録媒体の一例としての記録用紙Ｐを送り出す用紙供給部１２と、記録用紙Ｐの姿勢を制御するレジ調整部１４と、インク滴を吐出して記録用紙Ｐに画像形成する記録ヘッド部１６、画像データに基づき記録ヘッド部１６のインクジェット記録ユニット３０のインクジェット記録ヘッド３２に駆動波形を供給する制御手段の一例としてのコントローラ３５及び記録ヘッド部１６のメンテナンスを行うメンテナンス部１８を備える記録部２０と、記録部２０で画像形成された記録用紙Ｐを排出する排出部２２とを備えている。
【００２２】
用紙供給部１２は、記録用紙Ｐが積層されて収容される用紙収容部２４と、用紙収容部２４から１枚ずつ取り出してレジ調整部１４に搬送する搬送装置２６とから構成されている。レジ調整部１４は、ループ形成部２８と、記録用紙Ｐを案内して記録用紙Ｐの姿勢を制御する案内部材２９とを有しており、記録用紙Ｐは、この部分を通過することによって、そのコシを利用して、記録用紙Ｐの用紙搬送方向に対する傾きが矯正されるとともに、搬送タイミングが制御されて記録部２０に供給される。そして、排出部２２は、記録部２０で画像が形成された記録用紙Ｐを、排紙ベルト２３を介して用紙収容部２５に収容する。
【００２３】
記録ヘッド部１６とメンテナンス部１８の間には、記録用紙Ｐが搬送される用紙搬送路２７が構成されている（用紙搬送方向を矢印ＰＦで示す）。用紙搬送路２７（搬送手段）は、スターホイール１７と搬送ロール１９とを有し、このスターホイール１７と搬送ロール１９とで記録用紙Ｐを挟持しつつ連続的に搬送する。そして、この記録用紙Ｐに対して、記録ヘッド部１６からインク滴が吐出され、記録用紙Ｐに画像が形成される。
【００２４】
メンテナンス部１８は、インクジェット記録ユニット３０に対して対向配置されるメンテナンス装置２１を有しており、インクジェット記録ヘッド３２に対するキャッピングや、ノズル面の払拭、更には、インク滴の予備吐出やインクの吸引等の処理を行う。
【００２５】
図２で示すように、各インクジェット記録ユニット３０は、矢印ＰＦで示す用紙搬送方向と交差する方向に配置された支持部材３４を備えており、この支持部材３４に複数のインクジェット記録ヘッド３２が取り付けられている。インクジェット記録ヘッド３２には、２次元状に複数のノズル５６が形成されており、記録用紙Ｐの幅方向には、インクジェット記録ユニット３０全体として一定のピッチでノズル５６が並設されている。
【００２６】
そして、用紙搬送路２７を連続的に搬送される記録用紙Ｐに対し、ノズル５６からインク滴を吐出することで、記録用紙Ｐ上に画像が記録される。なお、インクジェット記録ユニット３０は、例えば、いわゆるフルカラーの画像を記録するために、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色に対応して、４つ配置されている。
【００２７】
図３で示すように、それぞれのインクジェット記録ユニット３０のノズル５６による印字領域幅は、このインクジェット記録装置１０での画像記録が想定される記録用紙Ｐの用紙最大幅ＰＷよりも長くされており、インクジェット記録ユニット３０を紙幅方向に移動させることなく、記録用紙Ｐの全幅にわたる画像記録が可能とされている。
【００２８】
ここで、印字領域幅とは、記録用紙Ｐの両端から印字しないマージンを引いた記録領域のうち最大のものが基本となるが、一般的には印字対象となる用紙最大幅ＰＷよりも大きくとっている。これは、記録用紙Ｐが搬送方向に対して所定角度傾斜して搬送されるおそれがあるためと、縁無し印字の要望が高いためである。
【００２９】
（本実施形態に係るインクジェット記録ヘッド３２の構成）
次に、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッド３２の構成について説明する。図４は、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッド３２を部分的に取り出して主要部分が明確になるように示した概略縦断面図である。
【００３０】
本実施形態に係るインクジェット記録ヘッド３２は、図４に示すように、ノズルプレート３３、流路形成プレート３６、振動板３８、圧電体４６、供給路プレート４０、天板４２を備えている。ノズルプレート３３、流路形成プレート３６、振動板３８、圧電体４６、供給路プレート４０、天板４２は、この順に積層されている。
【００３１】
ノズルプレート３３には、インク滴を吐出する複数のノズル５６が形成されており、これらのノズル５６は所定の間隔で、２次元状に配置されている（図２参照）。
【００３２】
ノズルプレート３３上に形成された流路形成プレート３６には、ノズルプレート３３の各ノズル５６に対応する上方位置に、ノズル径よりも大径とされた第１通路４８がそれぞれ形成されている。この第１通路４８は、ノズル５６と通じ、第１通路４８からノズル５６へインクが流通可能となっている。
【００３３】
さらに、流路形成プレート３６には、第１通路４８の上方位置に、所定の大きさの空間とされた圧力室５０が形成されている。この圧力室５０の一端部が第１通路４８と通じ、圧力室５０から第１通路４８へインクが流通可能となっている。これにより、圧力室５０は、第１通路４８を介してノズル５６と通じている。なお、圧力室５０は、ノズル５６に対応して２次元状に配置されている。
【００３４】
流路形成プレート３６上に形成された振動板３８は、圧力室５０の上部開口を閉鎖して、圧力室５０の上壁をなすことにより、圧力室５０の一部を構成している。また、振動板３８には、流路形成プレート３６の圧力室５０の他端部の上方位置に、図５に示すように、貫通孔５８がそれぞれ形成されている。
【００３５】
振動板３８上に形成された圧電体４６には、振動板３８の貫通孔５８と合わさって、貫通孔５８と通じる貫通孔５９が形成されている（図７参照）。
【００３６】
圧電体４６の上面には、一方の極性となる個別電極７２を有する電極層７５が形成されている（図８参照）。圧電体４６の下面には、他方の極性となる共通電極７４を有する電極層７７が形成されている（図９参照）。また、電極層７７は、第１電極部材７８を有し、電極層７５は、第２電極部材７３を有している。なお、電極層７５及び電極層７７の構成の詳細については後述する。
【００３７】
個別電極７２は、圧力室５０毎に個別に形成され、各圧力室５０上に配置されている。一方、共通電極７４は、複数の圧力室５０に対して一体に形成され、複数の圧力室５０上にまたがって配置されている。すなわち、共通電極７４は、複数の圧力室５０に対し、共通な電極として用いられる。
【００３８】
また、圧電体４６は、振動板３８を変位可能とされており、個別電極７２及び共通電極７４を介して、駆動信号としての電気信号を取得して駆動し、振動板３８を変位させる構成となっている。
【００３９】
圧電体４６、個別電極７２及び共通電極７４は、低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０で被覆保護されている。低透水性絶縁膜（ＳｉＯｘ膜）８０は、水分透過性が低くなる条件で着膜するため、水分が圧電体４６の内部に侵入しないようになっている。
【００４０】
圧電体４６上に形成された供給路プレート４０には、流路形成プレート３６の圧力室５０の他端部の上方位置に、貫通孔５８及び貫通孔５９の径よりも小径とされた供給路５２がそれぞれ形成されている。供給路５２の外周部には、振動板３８側、すなわち下方へ突出する突出部６０が形成されており、この突出部６０が、貫通孔５８及び貫通孔５９に嵌るように構成されている。供給路５２は、圧力室５０の他端部と通じ、供給路５２から圧力室５０へインクを供給可能となっている。供給路５２から圧力室５０へインクを供給されることにより、インク滴として吐出されるインクが圧力室５０に充填される。
【００４１】
また、供給路プレート４０には、圧力室５０の上方に、所定の大きさの空間とされた空間部６２が形成されている。
【００４２】
また、供給路プレート４０には、図６に示すように、第１電気接続孔６８がそれぞれ形成されている。この第１電気接続孔６８は、個別電極７２の所定部位の上面に配置されている。本実施形態では、円形状に形成された個別電極７２の端部７２Ａの上面に配置されている（図８参照）。
【００４３】
供給路プレート４０上に形成された天板４２には、供給路プレート４０の各供給路５２と対応する上方位置に、供給路５２の径よりも大径とされた第２通路５４がそれぞれ形成されている。すなわち、供給路５２は、第２通路５４よりも通路面積が狭くされている。第２通路５４は、供給路５２と通じ、供給路５２へインクを流通可能となっている。
【００４４】
第２通路５４の内壁面は、インク貯留室６６から供給路プレート４０へ向けて、傾斜しており、第２通路５４は、上方から下方に向けて徐々に縮径されるテーパー形状に形成されている。
【００４５】
また、天板４２には、供給路プレート４０の各第１電気接続孔６８に対応する上方位置に、第１電気接続孔６８の径よりも大径の円形貫通孔からなる第２電気接続孔６９がそれぞれ形成されている。第２電気接続孔６９は、第２通路５４と、同一形状とされている。
【００４６】
さらに、天板４２の上面には、配線パターン７０が形成されている。この配線パターン７０の一端部は、電気接続部の一例としての導電性材料６５と電気的に接続されている。
【００４７】
導電性材料６５は、ペースト状に形成され、第１電気接続孔６８及び第２電気接続孔６９に充填されており、導電性材料６５の上部が配線パターン７０に接触して、導電性材料６５と配線パターン７０とが電気的に接続されている。
【００４８】
導電性材料６５の下部とは、個別電極７２の端部７２Ａと接触しており、導電性材料６５と個別電極７２とが電気的に接続されている。
【００４９】
配線パターン７０の他端部は、図示しない駆動ＩＣに電気的に接続されている。共通電極７４は、図示しない信号配線により駆動ＩＣと電気的に接続されている。
【００５０】
駆動ＩＣは、外部から制御信号を取得し、その制御信号に基づいて、圧電体４６に駆動信号としての電気信号を送って、各圧電体４６をそれぞれ所定のタイミングで駆動させる。
【００５１】
圧電体４６は、電気信号が加えられて、圧力室５０内の容積を減少させるように振動板３８を変位させて、圧力室５０へ圧力を付与する。これより、圧力室５０から第１通路４８を介してノズル５６へインクが送られ、ノズル５６からインク滴が吐出される。
【００５２】
また、天板４２には、耐インク性を有する材料で構成された貯留室部材６４が貼着されており、天板４２との間に、所定の形状及び容積を有するインク貯留室６６が形成されている。貯留室部材６４には、インクタンク（図示省略）と通ずるインク供給口６７が所定箇所に形成されており、インク供給口６７から注入されたインクは、インク貯留室６６に貯留される。
【００５３】
（圧電体４６に形成された電極層７５及び電極層７７の構成）
次に、圧電体４６に形成された電極層７５及び電極層７７の構成について説明する。
【００５４】
図７には、圧電体４６の形成パターンが示されている。図８には、電極層７５の形成パターンが示されている。図９には、電極層７７の形成パターンが示されている。
【００５５】
本実施形態では、圧電体４６の上面に電極層７５が形成されている。すなわち、図７の形成パターンの上面に、図８の形成パターンが形成されることになる。
【００５６】
また、圧電体４６の下面に電極層７７が形成されている。すなわち、図７の形成パターンの下面に、図９の形成パターンが形成されることになる。
【００５７】
圧電体４６には、図７に示すように、振動板３８の貫通孔５８と通じる貫通孔５９が複数形成されている。この貫通孔５９は、２次元状に配置されている。
【００５８】
圧電体４６の上面に形成された電極層７５は、図８に示すように、一方の極性となる個別電極７２と、個別電極７２と電気的に分離された第２電極部材７３とを備えている。
【００５９】
第２電極部材７３は、個別電極７２と第２電極部材７３との間に隙間が形成されることにより、個別電極７２と切り離され、個別電極７２と分離している。
【００６０】
また、第２電極部材７３には、圧電体４６の貫通孔５９と合わさって、貫通孔５９と通じる貫通孔６１が形成されている。この貫通孔６１は、貫通孔５９に対応して、２次元状に配置されている。
【００６１】
個別電極７２は、２次元状に配置された圧力室５０毎に個別に形成され、各圧力室５０上に配置されている。また、個別電極７２は、一端部が円形状に形成され、他端部が長円状に形成されている。円形状に形成された端部７２Ａと、長円状に形成された端部７２Ｂとは、連結部７２Ｃにより連結されている。
【００６２】
個別電極７２は、円形状に形成された端部７２Ａの上面に、電気接続部の一例としての導電性材料６５が接触し、導電性材料６５と電気的に接続される。
【００６３】
長円状に形成された端部７２Ｂは、圧力室５０上に配置され、端部７２Ａは圧力室５０上からずれた位置に配置されており、端部７２Ｂが、導電性材料６５から端部７２Ａ及び連結部７２Ｃを通じて送られた電気信号により駆動し、振動板３８を変位させて圧力室５０へ圧力を付与する。一方、個別電極７２と分離された第２電極部材７３には、電気信号が付与されず、第２電極部材７３が形成された圧電体４６は非駆動領域となっている。ここで、非駆動領域は、寄生容量とならないことも意味している。
【００６４】
なお、個別電極７２の形状は、任意に形成することができ、端部７２Ａの形状は、円形状に限られず、また、端部７２Ｂの形状は、長円形状に限られない。
【００６５】
圧電体４６の下面に形成された電極層７７は、図９に示すように、他方の極性となる共通電極７４と、共通電極７４と電気的に分離された第１電極部材７８を備えている。
【００６６】
第１電極部材７８は、共通電極７４と第１電極部材７８との間に隙間が形成されることにより、共通電極７４と切り離され、共通電極７４と分離している。
【００６７】
共通電極７４には、圧電体４６の貫通孔５９と合わさって、貫通孔５９と通じる貫通孔６３が複数形成されており、供給路プレート４０の突出部６０が、振動板３８の貫通孔５８、圧電体４６の貫通孔５９、電極層７５の貫通孔６１及び電極層７７の貫通孔６３に嵌るように構成されている。この貫通孔６３は、貫通孔５９に対応して、２次元状に配置されている。
【００６８】
第１電極部材７８は、圧電体４６を挟んで、個別電極７２の端部７２Ａの反対側に配置されている（図６参照）。第１電極部材７８は、個別電極７２の端部７２Ａと同様に円形状に形成されており、端部７２Ａの真下の位置に配置されている。なお、第１電極部材７８は、形状が円形状でなくてもよい。また、第１電極部材７８は、端部７２Ａの真下の位置に配置されていなくても良く、端部７２Ａの真下の位置からずれた位置に配置されていてもよい。
【００６９】
また、第１電極部材７８は、共通電極７４と分離されており、第１電極部材７８が形成された圧電体４６は非駆動領域となっている。即ち、寄生容量とならない。
【００７０】
ここで、電極層７５及び電極層７７の形成方法の一例を説明する。
【００７１】
電極層７７は、振動板３８の上面に、スパッタ法により、例えば、Ａｕ膜により成膜される。振動板３８の上面に形成された電極層７７をパターニングし、共通電極７４と第１電極部材７８に分離する。具体的には、ホトリソグラフィー法によるレジスト形成、パターニング、ＲＩＥ法によるエッチング、酸素プラズマによるレジスト剥離である。
【００７２】
個別電極７２の上面に、圧電体４６の材料であるＰＺＴ膜と、電極層７５となるＡｕ膜を順にスパッタ法で積層し、圧電体４６及び電極層７５をパターニングし、個別電極７２と第２電極部材７３に分離する。具体的には、ＰＺＴ膜スパッタ、Ａｕ膜スパッタ、ホトリソグラフィー法によるレジスト形成、パターニング（エッチング）、酸素プラズマによるレジスト剥離である。なお、電極層７５及び電極層７７の電極材料としては、圧電体４６であるＰＺＴ材料との親和性が高く、耐熱性がある、例えばＡｕ、Ｉｒ、Ｒｕ、Ｐｔ等が挙げられる。
【００７３】
このように、個別電極７２及び第２電極部材７３は、共に、電極層７５に形成され、圧電体４６の上面に形成されている。すなわち、個別電極７２及び第２電極部材７３は、共に、同一層であって、同一面上に形成されている。また、個別電極７２及び第２電極部材７３は、同一の工程で同一の材料で形成されている。なお、個別電極７２及び第２電極部材７３は、別工程で、別材料で形成される構成であっても良い。
【００７４】
共通電極７４及び第１電極部材７８は、共に、電極層７７に形成され、圧電体４６の下面に形成されている。すなわち、共通電極７４及び第１電極部材７８は、共に、同一層であって、同一面上に形成されている。また、共通電極７４及び第１電極部材７８は、同一の工程で同一の材料で形成されている。なお、共通電極７４及び第１電極部材７８は、別工程で、別材料で形成される構成であっても良い。
【００７５】
（本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用）
次に、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用について説明する。
【００７６】
本実施形態の構成によれば、駆動ＩＣが、圧電体４６に駆動信号としての電気信号を送って、各圧電体４６をそれぞれ所定のタイミングで駆動させる。
【００７７】
圧電体４６は、電気信号が加えられて、圧力室５０内の容積を減少させるように振動板３８を変位させて、圧力室５０へ圧力を付与する。これより、圧力室５０から第１通路４８を介してノズル５６へインクが送られ、ノズル５６からインク滴が吐出される。
【００７８】
ここで、本実施形態の構成では、第１電極部材７８は共通電極７４と電気的に分離されているので、個別電極７２の端部７２Ａと第１電極部材７８に挟まれた圧電体４６の部位、すなわち、導電性材料６５と接触する端部７２Ａ近傍の圧電体４６の部位は、駆動せず、圧力室５０上にある圧電体４６の部位が駆動する。
【００７９】
このように、個別電極７２の端部７２Ａ近傍では圧電体４６が駆動せずに圧力室５０上にある圧電体４６の部位が駆動することにより、振動板３８において、圧力室５０内の容積を減少させてノズル５６からインク滴を吐出させるのに寄与する部位が変位する。
【００８０】
なお、共通電極７４と分離される第１電極部材７８が配置される位置としては、個別電極７２の端部７２Ａの真下の位置に限られず、圧電体４６を挟んで端部７２Ａの反対側であって、圧力室５０の上部からずれた位置、すなわち圧電体４６を駆動させたとしてもインク滴の吐出に寄与しない位置に配置されていればよい。
【００８１】
また、上記の実施形態では、圧電体４６の上方にインク貯留室６６が配置され、圧電体４６の下方に圧力室５０及びノズル５６が配置されていた。すなわち、圧電体４６を挟んで一方にインク貯留室６６が配置され、他方に圧力室５０及びノズル５６が配置された構成であった。この構成に限られず、例えば、圧電体４６の片側、例えば、圧電体４６の下方に、インク貯留室６６、圧力室５０及びノズル５６が配置される構成であってもよい。
【００８２】
圧電体４６を挟んで一方にインク貯留室６６が配置され、他方に圧力室５０及びノズル５６が配置される構成では、本実施形態に係る供給路５２のように、圧電体４６を通過する流路を形成する必要があるのに対して、圧電体４６の片側にインク貯留室６６、圧力室５０及びノズル５６が配置される構成では、圧電体４６を通過する流路を形成する必要がないため、図１０に示すように、個別電極７２を有する電極層７５において、貫通孔を形成する必要がなくなる。
【００８３】
また、図１１に示すように、共通電極７４を有する電極層７７において、貫通孔を形成する必要がなくなる。
【００８４】
（個別電極７２及び共通電極７４の配置を変えた変形例）
次に、個別電極７２及び共通電極７４の配置を変えた変形例について説明する。
【００８５】
上記の実施形態では、個別電極７２が圧電体４６の上面に配置され、共通電極７４が圧電体４６の下面に配置されていたが、本変形例では、共通電極７４が圧電体４６の上面に配置され、個別電極７２が圧電体４６の下面に配置される構成となっている。
【００８６】
図１２には、圧電体４６の形成パターンが示されている。図１３には、個別電極７２を有する電極層７５の形成パターンが示されている。図１４には、共通電極７４を有する電極層７７の形成パターンが示されている。
【００８７】
本変形例では、圧電体４６の下面に、一方の極性となる個別電極７２を有する電極層７５が形成されている。すなわち、図１２の形成パターンの下面に、図１３の形成パターンが形成されることになる。
【００８８】
本変形例では、圧電体４６の上面に、他方の極性となる共通電極７４を有する電極層７７が形成されている。すなわち、図１２の形成パターンの上面に、図１４の形成パターンが形成されることになる。
【００８９】
圧電体４６には、図１２に示すように、振動板３８の貫通孔５８と通じる貫通孔５９が複数形成されている。この貫通孔５９は、２次元状に配置されている。
【００９０】
圧電体４６は、圧力室５０毎に分離された分離圧電体４７を備えている。分離圧電体４７は、２次元状に配置された各圧力室５０上に配置されている。また、分離圧電体４７は、一端部が円形状に形成され、他端部が長円状に形成されている。円形状に形成された端部４７Ａと、長円状に形成された端部４７Ｂとは、連結部４７Ｃにより連結されている。
【００９１】
分離圧電体４７は、長円状に形成された端部４７Ｂが、圧力室５０上に配置され、端部４７Ａは圧力室５０上からずれた位置に配置されている。また、円形状に形成された端部４７Ａには、貫通孔４９が形成されている。
【００９２】
なお、分離圧電体４７の形状は、任意に形成することができ、端部４７Ａの形状は、円形状に限られず、また、端部４７Ｂの形状は、長円形状に限られない。
【００９３】
圧電体４６の下面に形成された電極層７５は、図１３に示すように、一方の極性となる個別電極７２と、個別電極７２と電気的に分離された第２電極部材７３とを備えている。
【００９４】
第２電極部材７３は、個別電極７２と第２電極部材７３との間に隙間が形成されることにより、個別電極７２と切り離され、個別電極７２と分離している。
【００９５】
また、第２電極部材７３には、圧電体４６の貫通孔５９と合わさって、貫通孔５９と通じる貫通孔６１が形成されている。この貫通孔６１は、貫通孔５９に対応して、２次元状に配置されている。
【００９６】
個別電極７２は、２次元状に配置された圧力室５０毎に個別に形成され、各分離圧電体４７上に配置されている。また、個別電極７２は、一端部が円形状に形成され、他端部が長円状に形成されている。円形状に形成された端部７２Ａと、長円状に形成された端部７２Ｂとは、連結部７２Ｃにより連結されている。
【００９７】
個別電極７２は、端部７２Ａが分離圧電体４７の端部４７Ａ上に、端部７２Ｂが分離圧電体４７の端部４７Ｂ上に、連結部７２Ｃが分離圧電体４７の連結部４７Ｃ上に配置されている。
【００９８】
また、個別電極７２は、円形状に形成された端部７２Ａの上面に、電気接続部の一例としての導電性材料６５が接触し、導電性材料６５と電気的に接続される。
【００９９】
長円状に形成された端部７２Ｂは、導電性材料６５から端部７２Ａ及び連結部７２Ｃを通じて送られた電気信号により駆動し、振動板３８を変位させて圧力室５０へ圧力を付与する。一方、第２電極部材７３は、個別電極７２と分離されており、第２電極部材７３が形成された圧電体４６は非駆動領域となっている。
【０１００】
なお、個別電極７２の形状は、任意に形成することができ、端部７２Ａの形状は、円形状に限られず、また、端部７２Ｂの形状は、長円形状に限られない。
【０１０１】
圧電体４６の上面に形成された電極層７７は、図１４に示すように、他方の極性となる共通電極７４と、共通電極７４と電気的に分離された第１電極部材７８を備えている。
【０１０２】
第１電極部材７８は、共通電極７４と第１電極部材７８との間に隙間が形成されることにより、共通電極７４と切り離され、共通電極７４と分離している。
【０１０３】
共通電極７４には、圧電体４６の貫通孔５９と合わさって、貫通孔５９と通じる貫通孔６３が複数形成されており、供給路プレート４０の突出部６０が、振動板３８の貫通孔５８、圧電体４６の貫通孔５９、電極層７５の貫通孔６１及び電極層７７の貫通孔６３に嵌るように構成されている。この貫通孔６３は、貫通孔５９に対応して、２次元状に配置されている。
【０１０４】
第１電極部材７８は、圧電体４６を挟んで、個別電極７２の端部７２Ａの反対側に配置されている（図１５参照）。第１電極部材７８は、個別電極７２の端部７２Ａと同様に円形状に形成されており、端部７２Ａの真上の位置に配置されている。
【０１０５】
なお、第１電極部材７８は、形状が円形状でなくてもよい。また、第１電極部材７８は、端部７２Ａの真上の位置に配置されていなくても良く、端部７２Ａの真上の位置からずれた位置に配置されていてもよい。
【０１０６】
第１電極部材７８には、分離圧電体４７の貫通孔４９と合わさって、貫通孔４９と通じる貫通孔５１が形成されている。この貫通孔５１及び分離圧電体４７の貫通孔４９には、図１５及び図１６に示すように、導電性材料６５が充填され、導電性材料６５は圧電体４６の上面側から圧電体４６の下面側へ貫通する。これにより、導電性材料６５の下部が、個別電極７２の端部７２Ａと接触し、導電性材料６５と個別電極７２とが電気的に接続される。
【０１０７】
個別電極７２は、第１電極部材７８の貫通孔５１及び分離圧電体４７の貫通孔４９に充填された導電性材料６５により、第１電極部材７８と電気的に接続され、個別電極７２と第１電極部材７８とは同電位とされている。
【０１０８】
また、第１電極部材７８は、共通電極７４と分離しており、第１電極部材７８が形成された圧電体４６は非駆動領域となっている。
【０１０９】
このように、個別電極７２及び第２電極部材７３は、共に、電極層７５に形成され、圧電体４６の下面に形成されている。すなわち、個別電極７２及び第２電極部材７３は、共に、同一層であって、同一面上に形成されている。
【０１１０】
共通電極７４及び第１電極部材７８は、共に、電極層７７に形成され、圧電体４６の下面に形成されている。すなわち、共通電極７４及び第１電極部材７８は、共に、同一層であって、同一面上に形成されている。
【０１１１】
なお、圧電体４６、電極層７５及び電極層７７は、上記の実施形態と同様の方法により形成される。
【０１１２】
また、図１６に示すように、共通電極７４と第２電極部材７３とが電気的に接続されている。本変形例では、個別電極７２と第１電極部材７８とを接続するのと同様に、供給路プレート４０に形成された第１電気接続孔８８及び天板４２に形成された第２電気接続孔８９に充填された導電性材料８５により、共通電極７４と第２電極部材７３とが電気的に接続されている。
【０１１３】
導電性材料８５の上部が、天板４２に形成された配線パターン９０の一端部に接触して、導電性材料８５と配線パターン９０とが電気的に接続されている。配線パターン９０の他端部は、図示しない駆動ＩＣに電気的に接続され、共通電極７４と駆動ＩＣとが電気的に接続されている。
【０１１４】
本変形例の構成によれば、第１電極部材７８は共通電極７４と電気的に分離されているので、個別電極７２の端部７２Ａと第１電極部材７８に挟まれた圧電体４６の部位（図１７（Ａ）、（Ｂ）において２点鎖線Ａ部分）、すなわち、導電性材料６５と接触する端部７２Ａ近傍の圧電体４６の部位は駆動せず、圧力室５０上にある圧電体４６の部位（図１７（Ａ）、（Ｂ）において２点鎖線Ｂ部分）が駆動する。
【０１１５】
このように、個別電極７２の端部７２Ａの近傍では圧電体４６が駆動せずに圧力室５０上にある圧電体４６の部位が駆動することにより、振動板３８において、圧力室５０内の容積を減少させてノズル５６からインク滴を吐出させるのに寄与する部位が変位する。
【０１１６】
なお、共通電極７４と分離される第１電極部材７８が配置される位置としては、個別電極７２の端部７２Ａの真上の位置に限られず、圧電体４６を挟んで端部７２Ａの反対側であって、圧力室５０の上部からずれた位置、すなわち圧電体４６を駆動させたとしてもインク滴の吐出に寄与しない位置に配置されていればよい。
【０１１７】
また、図１７（Ａ）に示すように、個別電極７２と第１電極部材７８が電気的に接続されておらず、同電位とされていない構成では、駆動しない２点鎖線Ａ部分において、圧電体４６にピンホール等の欠陥部があった場合、第１電極部材７８と個別電極７２との間で大電流が瞬時に流れる場合がある。
【０１１８】
これに対して、図１７（Ｂ）に示す本変形例のように、個別電極７２と第１電極部材７８が電気的に接続されて同電位とされた構成では、駆動しない２点鎖線Ａ部分において、圧電体４６にピンホール等の欠陥部があった場合でも、第１電極部材７８と個別電極７２との間で大電流が瞬時に流れない。
【０１１９】
また、本変形例では、共通電極７４と第２電極部材７３が電気的に接続されて同電位とされているので、圧電体４６にピンホール等の欠陥部があった場合でも、共通電極７４と第２電極部材７３との間で大電流が瞬時に流れない。
【０１２０】
なお、図１８に示すように、分離圧電体４７は、第１電極部材７８が形成された部位４５が、他の部位と分離されている構成であっても良い。
【０１２１】
この構成では、図１９に示すように、個別電極７２と第１電極部材７８が電気的に接続されて同電位とされた構成では、駆動しない２点鎖線Ａ部分において、圧電体４６にピンホール等の欠陥部があった場合でも、共通電極７４と個別電極７２との間で大電流が瞬時に流れない。本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置を示す概略正面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの配列を示す説明図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る記録媒体の幅と印字領域の幅との関係を示す説明図である。
【図４】図４は、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを部分的に取り出して主要部分が明確になるように示した概略縦断面図である。
【図５】図５は、図４において、供給路部分を拡大した拡大図である。
【図６】図６は、図４において、個別電極が電気接続させる部分を拡大した拡大図である。
【図７】図７は、本実施形態に係る圧電体の形成パターンを示す図である。
【図８】図８は、本実施形態に係る圧電体の上面に形成された電極層の形成パターンを示す図である。
【図９】図９は、本実施形態に係る圧電体の下面に形成された電極層の形成パターンを示す図である。
【図１０】図１０は、本実施形態に係る圧電体の上面に形成された電極層の形成パターンの変形例を示す図である。
【図１１】図１１は、本実施形態に係る圧電体の下面に形成された電極層の形成パターンの変形例を示す図である。
【図１２】図１２は、個別電極及び共通電極の配置を変えた変形例において、圧電体の形成パターンを示す図である。
【図１３】図１３は、個別電極及び共通電極の配置を変えた変形例において、圧電体の上面に形成された電極層の形成パターンを示す図である。
【図１４】図１４は、個別電極及び共通電極の配置を変えた変形例において、圧電体の下面に形成された電極層の形成パターンを示す図である。
【図１５】図１５は、個別電極及び共通電極の配置を変えた変形例において、個別電極が電気接続させる部分を拡大した拡大図である。
【図１６】図１６は、個別電極及び共通電極の配置を変えた変形例において、インクジェット記録ヘッドを部分的に取り出して主要部分が明確になるように示した概略縦断面図である。
【図１７】図１７（Ａ）は、個別電極と電極部材が同電位とされていない構成において、圧電体に欠陥部がある場合を示す模式図であり、図１７（Ｂ）は、個別電極と電極部材が同電位とされた構成において、圧電体に欠陥部がある場合を示す模式図である。
【図１８】図１８は、個別電極及び共通電極の配置を変えた変形例において、電極部材が形成された圧電体の部位が、他の部位と分離されている構成を示す図である。
【図１９】図１９は、図１８に示す構成において、圧電体に欠陥部がある場合を示す模式図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１０   インクジェット記録装置（画像形成装置）
３２   インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
３８   振動板
４６   圧電体
５０   圧力室
５６   ノズル
６５   導電性材料（電気接続部）
７２   個別電極
７３   第２電極部材
７４   共通電極
７８   第１電極部材
【図１】
2008254234.tif 000003
【図２】
2008254234.tif 000004
【図３】
2008254234.tif 000005
【図４】
2008254234.tif 000006
【図５】
2008254234.tif 000007
【図６】
2008254234.tif 000008
【図７】
2008254234.tif 000009
【図８】
2008254234.tif 000010
【図９】
2008254234.tif 000011
【図１０】
2008254234.tif 000012
【図１１】
2008254234.tif 000013
【図１２】
2008254234.tif 000014
【図１３】
2008254234.tif 000015
【図１４】
2008254234.tif 000016
【図１５】
2008254234.tif 000017
【図１６】
2008254234.tif 000018
【図１７】
2008254234.tif 000019
【図１８】
2008254234.tif 000020
【図１９】
2008254234.tif 000021