(57)【要約】【課題】出力軸に対してラジアル方向の外乱振動が生じたとしても、駆動源となる永久磁石が可動子と衝突して破損することが防止されるアクチュエータを提供する。【解決手段】固定子１の各端部に、シャフト２を貫通させる貫通孔７を有するフランジ８を設け、このシャフト２と、フランジ８に形成した貫通孔７の周縁との間隔（符号Ｄ２で示す）を、第１及び第２の磁石とシャフト２の可動子５との間隔（符号Ｄ１で示す）よりも小さい寸法に形成する。これにより外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、シャフト２が、フランジ８に形成した貫通孔７の周縁部に先に接触し、これによって磁石３・４と可動子５とが衝突してこれらが破損されることが防止される。【選択図】図１
2008259330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、この固定子内に配置されたシャフトと、このシャフトの途中に固定された鉄製の可動子と、前記固定子内にて異なる磁極を対向させて前記シャフトの可動子を挟むように配置された第１及び第２の磁石と、これら第１及び第２の磁石の磁界を間に位置させるようにこれら磁石の周囲にて巻回されたコイルとを具備し、前記第１及び第２の磁石のそれぞれを、異なる磁極を隣接させた一対の永久磁石から構成してなるインナー可動型のアクチュエータであって、
前記固定子の各端部には、シャフトに近接配置されて該シャフトをガイドするシャフトガイド部材が設けられ、このシャフトガイド部材と前記シャフトとの間隔は、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記シャフトガイド部材は、前記固定子の各端部に設けられかつ前記シャフトを貫通させる貫通孔を有するフランジによって構成され、
前記シャフトと前記フランジの貫通孔を形成する周縁との間隔は、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
固定子を途中に設けたシャフトと、このシャフトの周囲に固定子を囲むように配置されてその内部に鉄部材を有する可動子と、可動子側の鉄部材に近接配置されかつシャフトを挟んで異なる磁極が対向するように前記固定子に配置された第１及び第２の磁石と、これら第１及び第２の磁石の磁界を間に位置させるようにこれら磁石の周囲にて巻回されたコイルとを具備し、前記第１及び第２の磁石のそれぞれを、異なる磁極を隣接させた一対の永久磁石から構成してなるアウター可動型のアクチュエータであって、
前記可動子の各端部には、シャフトに近接配置されて該シャフトに沿ってガイドされるシャフトガイド部材が設けられ、このシャフトガイド部材と前記シャフトとの間隔は、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
前記シャフトガイド部材は、前記可動子の各端部に設けられかつ前記シャフトを貫通させる貫通孔を有するフランジによって構成され、
前記シャフトと前記フランジの貫通孔を形成する周縁との間隔は、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は自動車等の制振装置、ポンプ・コンプレッサのピストン駆動等に利用されるリニア型のアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、特許文献１（特開昭６１−２２０９２５号公報）に示される振動制御装置、及び特許文献２（特開２００６−９７３７号公報）に示される電動ポンプが知られている。特許文献１の振動制御装置は、ケーシングの中心に位置するガイド軸に沿って移動自在に支持されたヨークと、このヨークの間隙内に固定された永久磁石と、前記ケーシングにコイルサポートを介して固定されかつ前記ヨークの間隙内に永久磁石と対向するように配置されたコイルと、を具備するものであって、車体振動に応じてコイルに電流を流した場合に生じる磁界と、永久磁石から生じる磁界とに基づき、永久磁石に固定されたヨークをガイド軸に沿って移動させる。そして、このようなヨークのガイド軸に沿う移動により、該ヨークに連結される車体を制動する。
【０００３】
特許文献２の電動ポンプは、駆動源となるモータ部と、このモータ部の出力軸を通じて駆動されるポンプ部と、から構成されたものであって、これらモータ部とポンプ部とはブラケットを介して連結され、このブラケットには、ポンプ部にて発生した振動を減衰させるゴム製の振動減衰部材が固定されている。
【特許文献１】特開昭６１−２２０９２５号公報
【特許文献２】特開２００６−９７３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１に示される振動制御装置を例えば自動車に適用する場合、通常走行による振動以外に、悪路走行や段差乗り上げなどの大きな振動（以下、外乱振動と表現する）に対する配慮が必要となるが、このような外乱振動に対する対策がなされておらず、内部の永久磁石が他の部材と衝突して破損するという問題があった。特に、ガイド軸に対して直交する方向の外乱振動、すなわち、ラジアル方向の外乱振動に対する対策が必要とされている。
【０００５】
また、特許文献２に示される電動ポンプでは、ポンプ部にて発生した振動を減衰させる振動減衰部材が設けられているものの、特許文献１と同様に、モータ出力軸に対して直交するラジアル方向の外乱振動が生じた場合の対策がなされておらず、モータ出力軸を回転させるための永久磁石が他の部材と衝突して破損するという問題があった。
【０００６】
本発明は、従来の有していた問題を解決しようとするものであって、出力軸に対してラジアル方向の外乱振動が生じたとしても、駆動源となる永久磁石が可動子と接触して破損することが防止されるアクチュエータの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そして、上記目的を達成するために本発明の課題解決手段では、固定子と、この固定子内に配置されたシャフトと、このシャフトの途中に固定された鉄製の可動子と、前記固定子内にて異なる磁極を対向させて前記シャフトの可動子を挟むように配置された第１及び第２の磁石と、これら第１及び第２の磁石の磁界を間に位置させるようにこれら磁石の周囲にて巻回されたコイルとを具備し、前記第１及び第２の磁石のそれぞれを、異なる磁極を隣接させた一対の永久磁石から構成してなるインナー可動型のアクチュエータであって、前記固定子の各端部に、シャフトに近接配置されて該シャフトをガイドするシャフトガイド部材を設け、このシャフトガイド部材と前記シャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成する。
【０００８】
また、本発明の課題解決手段では、前述のインナー可動型のアクチュエータにおいて、シャフトガイド部材を、固定子の各端部に設けられかつシャフトを貫通させる貫通孔を有するフランジによって構成し、前記シャフトと前記フランジの貫通孔を形成する周縁との間隔を、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成する。
【０００９】
また、本発明の課題解決手段では、固定子を途中に設けたシャフトと、このシャフトの周囲に固定子を囲むように配置されてその内部に鉄部材を有する可動子と、可動子側の鉄部材に近接配置されかつシャフトを挟んで異なる磁極が対向するように前記固定子に配置された第１及び第２の磁石と、これら第１及び第２の磁石の磁界を間に位置させるようにこれら磁石の周囲にて巻回されたコイルとを具備し、前記第１及び第２の磁石のそれぞれを、異なる磁極を隣接させた一対の永久磁石から構成してなるアウター可動型のアクチュエータであって、前記可動子の各端部に、シャフトに近接配置されて該シャフトに沿ってガイドされるシャフトガイド部材を設け、このシャフトガイド部材と前記シャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成する。
【００１０】
また、本発明の課題解決手段では、前述のアウター可動型のアクチュエータにおいて、シャフトガイド部材を、可動子の各端部に設けられかつシャフトを貫通させる貫通孔を有するフランジによって構成し、前記シャフトと前記フランジの貫通孔を形成する周縁との間隔を、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成する。
【００１１】
上記のように構成されたアクチュエータでは以下のような作用が生じる。すなわち、本発明に係わるインナー可動型のアクチュエータでは、コイルに通電していない状態では、シャフトの可動子を挟むように異なる磁極を隣接かつ対向するように配置した一対の永久磁石（第１、第２の磁石）から生じる磁力により、該シャフトが固定子内の中立点に配置される。また、コイルに通電した場合に、そのコイルに流れる電流により生じる磁界と、永久磁石から生じる磁界の向きとに基づき、シャフトがその軸線に沿って往復動されるが、このとき、シャフトがいずれの方向に移動するかは、コイルに流れる電流の向きにより変化する磁界により定められる。一方、上記のようなアクチュエータでは、固定子に、シャフトに近接配置されて該シャフトをガイドするシャフトガイド部材を設け、このシャフトガイド部材とシャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、シャフトが、該シャフトに近接配置されたシャフトガイド部材に先に接触し、これによって磁石とシャフトの可動子との衝突により生じる該磁石の破損が防止される。
【００１２】
また、本発明に係わるアウター可動型のアクチュエータでは、コイルに通電していない状態では、可動子側の鉄部材に近接配置されるとともにシャフトを挟んで異なる磁極が隣接かつ対向するように固定子に配置された一対の永久磁石（第１、第２の磁石）から生じる磁力により、可動子が中立点に配置される。また、コイルに通電した場合に、そのコイルに流れる電流により生じる磁界と、永久磁石から生じる磁界の向きとに基づき、可動子がシャフトの軸線に沿って往復動されるが、このとき、可動子がいずれの方向に移動するかは、コイルに流れる電流の向きにより変化する磁界により定められる。一方、上記のようなアクチュエータでは、可動子の各端部に、シャフトに近接配置されて該シャフトに沿ってガイドされるシャフトガイド部材を設け、このシャフトガイド部材と前記シャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、前記シャフトガイドが、近接位置に配置されているシャフトに先に接触し、これによって磁石と可動子側の鉄部材との衝突により生じる該磁石の破損が防止される。
【発明の効果】
【００１３】
上記のように構成されたインナー可動型のアクチュエータでは、固定子に、シャフトに近接配置されて該シャフトをガイドするシャフトガイド部材を設け、このシャフトガイド部材とシャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、シャフトが、該シャフトに近接配置されたシャフトガイド部材に先に接触し、これによって磁石とシャフトの可動子との衝突により生じる該磁石の破損が防止され、装置の信頼性が向上する。
【００１４】
また、上記のように構成されたインナー可動型のアクチュエータでは、固定子の各端部に、シャフトを貫通させる貫通孔を有するフランジを設け、このフランジに形成した貫通孔の周縁とシャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石とシャフトの可動子との間隔よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、シャフトが、フランジに形成した貫通孔の周縁部に先に接触し、これによって磁石とシャフトの可動子との衝突により生じる該磁石の破損が防止され、装置の信頼性が向上する。
【００１５】
また、上記のように構成されたアウター可動型のアクチュエータでは、可動子の各端部に、シャフトに近接配置されて該シャフトに沿ってガイドされるシャフトガイド部材を設け、このシャフトガイド部材と前記シャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、前記シャフトガイドが、近接位置に配置されているシャフトに先に接触し、これによって磁石と可動子側の鉄部材との衝突により生じる該磁石の破損が防止され、装置の信頼性が向上する。
【００１６】
また、上記のように構成されたアウター可動型のアクチュエータでは、可動子の各端部に、シャフトを貫通させる貫通孔を有するフランジを設け、このフランジに形成した貫通孔の周縁とシャフトとの間隔を、第１及び第２の磁石と可動子側の鉄部材との間隔よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、フランジに形成した貫通孔の周縁部がシャフトに先に接触し、これによって磁石と可動子側の鉄部材との衝突により生じる該磁石の破損が防止され、装置の信頼性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施例１）
【００１８】
以下に本発明の実施例１を図１に基づいて説明する。図１は本発明に係わるインナー可動型のアクチュエータ１００の全体を示す側断面図であって、この図において符号１で示すものは固定子、符号２はこの固定子１を貫通するように配置されたシャフトである。
【００１９】
固定子１の内部には空隙１Ａが形成されており、この空隙１Ａ内には、第１の磁石３、第２の磁石４及び可動子５が設けられている。第１の磁石３は、固定子１内に配置されるものであって、異なる磁極（Ｎ・Ｓ）を隣接させた一対の永久磁石３Ａ・３Ｂから構成される。第２の磁石４は、シャフト２を挟んで第１の磁石３と反対側に位置する固定子１内に配置され、かつ異なる磁極（Ｓ・Ｎ）を隣接させかつ第１の磁極３に対しても異なる磁極が対向するように配置された一対の永久磁石４Ａ・４Ｂから構成される。可動子５は、シャフト２に固定される鉄片からなる積層体であって、固定子１側の磁石３及び磁石４に対して符号Ｄ１で示す間隔をおいて配置され、また、図示しないスペーサによって後述する一対の板ばね１０間に配置されている。そして、このような磁石３・４において、永久磁石３Ａと永久磁石４Ａとの間にて矢印ａで示される方向の磁界が発生し、永久磁石３Ｂと永久磁石４Ｂとの間にて矢印ｂで示される方向の磁界が発生する。
【００２０】
固定子１には、磁石３・４に形成される磁界を間に位置させるようにその周囲に導線からなるコイル６が設けられている。このコイル６は、固定子１に対して接着剤又は別部材によって固定され、かつシャフト２を挟んで対向配置される第１の磁石３、第２の磁石４の近傍にそれぞれ配置されるものであって、これら磁石３，４により生じる磁界（矢印ａ、矢印ｂで示される）の周囲に配置されている。そしてこのようなコイル６に対して図１に示されるような正方向の通電を行った場合に、矢印Ａで示すような磁束の流れが生じ、また、反対の負方向の通電を行った場合に、矢印Ｂで示すような磁束の流れが生じる。
【００２１】
また、固定子１の各端部には、シャフト２を貫通させる貫通孔７を有するフランジ８が設けられている。このフランジ８は、固定子１の空隙１Ａ内に外部から塵、ゴミなどの進入防止のために設けられているものであって、シャフト２とフランジ８の貫通孔７の周縁との間隔（符号Ｄ２で示す）は、磁石3・４とシャフト２の可動子５との衝突を防止するために、前述した磁石3・４とシャフト２の可動子５との間隔（符号Ｄ１で示す）よりも小さい寸法に形成されている。
【００２２】
固定子１の各端部には板ばね１０がそれぞれ配置されている。これら板ばね１０は、固定子１とフランジ８との間にネジ（図示略）固定され、かつ中央に位置する取付部（符号９で示す）が、シャフト２に形成された溝２Ａに嵌合されたものであって、弾性変形することにより、シャフト２を矢印（イ）−（ロ）方向に揺動自在に支持する軸受として機能する。
【００２３】
そして、上記のようなアクチュエータ１００では、コイル６に通電していない状態では、シャフト２の可動子５を挟むように異なる磁極を隣接かつ対向するように配置した一対の永久磁石３Ａ・３Ｂ／４Ａ・４Ｂから生じる磁力により、該シャフト２が固定子１内の中立点に配置される（図１に示される状態）。また、コイル６に通電した場合に、そのコイル６に流れる電流により生じる磁界と、永久磁石３Ａ・３Ｂ／４Ａ・４Ｂから生じる磁界の向きとに基づき、シャフト２がその軸線に沿って往復動されるが、このとき、シャフト２がいずれの方向に移動するかは、コイル６に流れる電流の向きにより変化する磁界により定められる。すなわち、コイル６に対して正方向の通電を行った場合（図１に示されるコイル６の通電により）、矢印Ａで示すような磁束の流れが生じ、電流から生じる磁束の流れと、永久磁石３Ａ・４Ｂから生じる磁束の流れ（矢印ａで示す）とから生じる磁束の偏りにより、可動子５に固定されたシャフト２を矢印（イ）方向に移動させる推力が発生する。また、負方向の通電を行った場合に、矢印Ｂで示すような磁束の流れが生じ、電流から生じる磁束の流れと、永久磁石４Ｂ・３Ｂから生じる磁束の流れ（矢印ｂで示す）とによって生じる磁束の偏りにより、可動子５に固定されたシャフト２を矢印（ロ）方向に移動させる推力が発生する。そして、このような正方向又は負方向の電流の切り換えが交互に行われることにより、板ばね１０に軸支されたシャフト２がその軸線に沿う矢印（イ）―（ロ）方向に往復動する。
【００２４】
以上説明したような本実施形態に示されるアクチュエータ１００では、固定子１の各端部に、シャフト２を貫通させる貫通孔７を有するフランジ８を設け、このシャフト２と、フランジ８に形成した貫通孔７の周縁との間隔（符号Ｄ２で示す）を、磁石３・４とシャフト２の可動子５との間隔（符号Ｄ１で示す）よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向（シャフトの径方向）の衝撃が加わったとしても、シャフト２が、フランジ８に形成した貫通孔７の周縁部に先に接触し、これによって磁石3・４とシャフト２の可動子５とが衝突して、これら磁石３・４が破損することが防止され、装置の信頼性が向上する。
【００２５】
また、ラジアル方向に移動したシャフト２は、符号Ｄ２で示される僅かな距離を移動しただけで、貫通孔７の周縁部に接触するので、接触による衝撃も少ない。また、これらシャフト２とフランジ７は鉄材により形成されているので、接触衝突により破損が生じることもない。また、磁石３・４とシャフト２の可動子５との間隔（符号Ｄ１で示す）が０．３ｍｍであるのに対して、シャフト２とフランジ８に形成した貫通孔７の周縁との間隔（符号Ｄ２で示す）を例えば、０．１ｍｍといった僅かな寸法とすることにより、この僅かなギャップを利用して、アクチュエータ１００を組み立てる際の基準面として利用することも可能となる。
【００２６】
上記の実施形態では、シャフト２をガイドするシャフトガイド部材として、フランジ８に形成された貫通孔７を利用したが、これに限定されず、固定子１の内部をシャフト２の近傍にまで突出させて、この突出部にてシャフト２のラジアル方向への移動を規制するようにしても良い。その際、この突出部とシャフト２との間隔（符号Ｄ２に相当）を、磁石３・４とシャフト２の可動子５との間隔（符号Ｄ１で示す）よりも小さい寸法に形成することで、磁石３・４とシャフト２の可動子５との接触、衝突が防止される。すなわち、この固定子１の内部に設けた突出部を、シャフト２をガイドするシャフトガイド部材として利用しても良い。また、このような突出部及び前述したフランジ８は、磁石３・４よりも硬度が高い材料により形成される。
【００２７】
（実施例２）
【００２８】
以下に本発明の実施例２を図２（ａ）及び（ｂ）に基づいて説明する。実施例２はアウター可動型のアクチュエータ１０１を示すものであるが、基本原理は実施例１のインナー可動型と同じである。
【００２９】
図２において、符号２０で示すものは固定側のシャフトであり、このシャフト２０の途中には、コアとなる固定子２１が設けられている。この固定子２１には、シャフト２０を挟んで異なる磁極が対向するよう配置された第１の磁石２２、第２の磁石２３が配置されている。第１の磁石２２は、異なる磁極（Ｎ・Ｓ）を隣接させた一対の永久磁石２２Ａ・２２Ｂから構成される。第２の磁石２３は、第１の磁石２２に対してシャフト２０を挟んで反対側に位置し、かつ異なる磁極（Ｓ・Ｎ）が隣接するように配置された一対の永久磁石２３Ａ・２３Ｂから構成される。また、シャフト２０には、これら磁石２２・２３により生じる磁界を間に位置させて、かつこれら磁石２２・２３の周囲にて巻回されるコイル２４が設けられている。なお、コイル２４は、固定側のシャフト２０に対して接着剤又は別部材を用いて固定されている。
【００３０】
シャフト２０の周囲には、固定子２１を囲むように配置されてその内部に鉄部材２５を有する可動子２６が設けられている。固定子２１内の鉄部材２５は、鉄片からなる積層体からなり、磁石２２・２３に近接する位置関係に設けられている。可動子２６の各端部には板ばね２８がそれぞれ設けられている。これら板ばね２８は、中央の取付部（符号２７で示す）がシャフト２０に形成された溝２０Ａに嵌合され、その上縁部及び下縁部が可動子２６とフランジ３０（後述する）との間にネジ（図示略）固定されている。また、これら板ばね２８は、弾性変形することにより、可動子２６を矢印（イ）−（ロ）方向に揺動自在に支持する軸受として機能する。
【００３１】
また、この可動子２６の各端部には、シャフト２０に近接配置されて、該シャフト２０に沿ってガイドされる貫通孔２９を有するフランジ３０が設けられている。なお、このフランジ２９は、可動子２６内に外部から塵、ゴミなどの進入防止、及びアウター可動型の場合に重量バランスをとる役割がある。また、このフランジ３０の貫通孔２９の周縁とシャフト２０の間隔（符号Ｄ３で示す）は、磁石２２・２３と鉄部材２５との衝突を防止するために、磁石２２・２３と鉄部材２５との間隔（符号Ｄ４で示す）よりも小さい寸法に形成されている。
【００３２】
そして、上記のようなアクチュエータ１０１では、コイル２４に通電していない状態では、シャフト２０の固定子２１を挟むように異なる磁極を隣接かつ対向するように配置した一対の永久磁石２２Ａ・２２Ｂ／２３Ａ・２３Ｂから生じる磁力により、該シャフト２０が固定子１内の中立点に配置される（図２（ｂ）に示される状態）。また、コイル２４に通電した場合に、そのコイル２４に流れる電流により生じる磁界と、永久磁石２２Ａ・２２Ｂ／２３Ａ・２３Ｂから生じる磁界の向きとに基づき、可動子２６がシャフト２０に沿って矢印（イ）−（ロ）方向に往復動されるが、このとき、シャフト２０がいずれの方向に移動するかは、コイル２４に流れる電流の向きにより変化する磁界により定められる。すなわち、コイル２４に対して正方向の通電を行った場合（図１に示されるコイル６と同方向のコイル２４への通電により）、矢印Ａで示すような磁束の流れが生じ、電流から生じる磁束の流れと、永久磁石２２Ａ・２３Ａから生じる磁束の流れ（矢印ａで示す）とから生じる磁束の偏りにより、可動子２６を矢印（イ）方向に移動させる推力が発生する。また、負方向の通電を行った場合に、矢印Ｂで示すような磁束の流れが生じ、電流から生じる磁束の流れと、永久磁石２３Ｂ・２２Bから生じる磁束の流れ（矢印ｂで示す）とによって生じる磁束の偏りにより、可動子２６を矢印（ロ）方向に移動させる推力が発生する。そして、このような正方向又は負方向の電流の切り換えが交互に行われることにより、板ばね２８に軸支された可動子２６がシャフト２０に沿って矢印（イ）―（ロ）方向に往復動する。
【００３３】
上記のように構成されたアクチュエータ１０１では、可動子２６の各端部に、シャフト２０を貫通させる貫通孔２９を有するフランジ３０を設け、このフランジ３０に形成した貫通孔２９の周縁とシャフト２０との間隔（符号Ｄ３で示す）を、磁石２２・２３と可動子２６側の鉄部材２５との間隔（符号Ｄ４で示す）よりも小さい寸法に形成したので、例えば外乱振動によってラジアル方向の衝撃が加わったとしても、フランジ３０に形成した貫通孔２９の周縁部がシャフト２０と先に接触し、これにより磁石２２・２３と可動子２６側の鉄部材２５とが衝突することにより該磁石２２・２３が破損されることが防止され、その結果、装置の信頼性が向上する。
【００３４】
また、可動子２６とともにラジアル方向に移動したフランジ３０は、符号Ｄ３で示される僅かな距離を移動しただけで、その貫通孔２９の周縁部がシャフト２０に接触するので、接触による衝撃も少ない。また、これらシャフト２０とフランジ３０は鉄材により形成されているので、接触衝突により破損が生じることもない。また、磁石２２・２３と可動子２６の鉄部材２５との間隔（符号Ｄ４で示す）が０．３ｍｍであるのに対して、シャフト２０とフランジ３０に形成した貫通孔２９の周縁との間隔（符号Ｄ３で示す）を例えば、０．１ｍｍといった僅かな寸法とすることにより、この僅かなギャップを利用して、アクチュエータ１０１を組み立てる際の基準面として利用することも可能となる。
【００３５】
また、上記の実施例では、シャフト２０にガイドされるシャフトガイド部材として、フランジ３０に形成された貫通孔２９を利用したが、これに限定されず、可動子２６の内壁をシャフト２０の近傍にまで突出させて、この突出部によりシャフト２０のラジアル方向への移動を規制しても良い。その際、この突出部とシャフト２０との間隔（符号Ｄ３に相当）を、磁石２２・２３と可動子２６側の鉄部材２５との間隔（符号Ｄ４で示す）よりも小さい寸法に形成することで、磁石２２・２３と可動子２６の鉄部材２５との接触、衝突が防止される。すなわち、この可動子２６の内部に設けた突出部を、シャフト２０にガイドされるシャフトガイド部材として利用しても良い。また、このような突出部及び前述したフランジ３０は、磁石２２・２３よりも硬度が高い材料により形成される。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係わるインナー可動型のアクチュエータ１００の全体を示す側断面図である。
【図２】本発明に係わるアウター可動型のアクチュエータ１０１を示す図であって、（ａ）その正面図、（ｂ）はその側断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  固定子
２  シャフト
３  第１の磁石
３Ａ  永久磁石
３Ｂ  永久磁石
４  第２の磁石
４Ａ  永久磁石
４Ｂ  永久磁石
５  可動子
６  コイル
７  貫通孔
８  フランジ（シャフトガイド部材）
２０  シャフト
２１  固定子
２２  第１の磁石
２２Ａ  永久磁石
２２Ｂ  永久磁石
２３  第２の磁石
２３Ａ  永久磁石
２３Ｂ  永久磁石
２４  コイル
２５  鉄部材
２６  可動子
２９  貫通孔
３０  フランジ（シャフトガイド部材）
１００  インナー可動型のアクチュエータ
１０１  アウター可動型のアクチュエータ
【図１】
2008259330.tif 000003
【図２】
2008259330.tif 000004