(57)【要約】【課題】被膜を有する半導体ウェーハなどの基板を研削加工するときに、ひげ状の屑などの障害物を発生させることなくウェーハの厚さを測定し、ウェーハを所望の厚さに確実に研削する。【解決手段】第一厚さ測定工程で、チャックテーブル２０の回転を停止した状態にして、変動プローブ５２ａを被膜２の表面２ａに降下させ、各測定位置４ａ、４ｂ、４ｃにおける被膜２を含んだウェーハ１の厚さを測定する。この第一厚さ測定工程で得られた厚さ測定値を、記憶手段７２に記憶する。次いで、変動プローブ５２ａを被膜２の表面２ａから退避させ、一次研削工程にて被膜２の研削を行う。その後、変動プローブ５２ａをウェーハ１の研削面１ａを接触させて一次研削工程後の厚さを測定し、ウェーハ１の厚さを測定しながら二次研削工程を行う。二次研削加工で、所望の研削量である一次所望研削量ｇ２に達したら、一次研削は終了となる。【選択図】図６
2008290201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一の面に積層物を有するウェーハの該積層物を有する面を、該積層物の厚さを超える第一の研削量を少なくとも含む所望の研削量のみ研削加工する加工方法であって、
前記ウェーハを、前記積層物を有する面が露出するよう保持手段の保持面に回転可能に保持する保持工程と、
該保持手段を適宜間欠的に回転させ、該保持手段に保持されたウェーハにおける前記積層物の表面の複数位置に、該保持手段の回転が停止した状態で厚さ測定手段の測定端子を接触させ、積層物を含んだウェーハの厚さを測定する第一厚さ測定工程と、
該第一厚さ測定工程で測定された複数の厚さ測定値と、前記所望の研削量のデータとを記憶手段に記憶する厚さ記憶工程と、
前記厚さ測定手段の測定端子を前記積層物の表面から退避させ、前記保持手段の回転軸と略平行な回転軸を有する研削ホイールを、回転可能かつ前記保持手段の保持面に対して進退可能に保持する研削手段を、該研削手段の送り動作を制御する送り制御手段によって該ウェーハの積層物の表面に第一の研削量送り込み、少なくとも前記積層物を除去するまで研削する第一研削工程と、
該第一研削工程後に前記厚さ測定手段の測定端子を該ウェーハの研削面に接触させ、測定端子のウェーハの研削面への接触状態を維持して該ウェーハの厚さを測定する第二厚さ測定工程と、
前記記憶手段に記憶された複数の厚さ測定値のうち最も厚い測定値から前記第二厚さ測定工程にて測定している測定値を差し引いた値が、前記記憶手段に記憶されている所望の研削量と一致するまで研削手段を送り制御手段によって該ウェーハに向けて送り込む第二研削工程とを備えることを特徴とする研削加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載の研削加工方法で前記ウェーハを連続で研削加工する加工方法であって、
研削加工した該ウェーハの前記第二研削工程完了時の前記厚さ測定手段により測定された厚さ測定値を、前記保持手段の前記保持面からの刃先位置として前記記憶手段に記憶する刃先位置記憶工程と、
後続のウェーハが研削される第一研削工程時に、前記第一厚さ測定工程にて測定された後続のウェーハの厚さ測定値と、前記記憶手段に記憶された前記刃先位置とに基づき、前記送り制御手段により該研削手段の刃先位置を、保持手段に保持された後続のウェーハの表面に接触しない直前の位置へ、研削加工時に送り込む速度より速い速度で送り込む早送り工程とを含むことを特徴とする請求項１に記載の研削加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被膜を有する半導体ウェーハなどの基板を研削加工する研削加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハの表面には、ＬＳＩなどの電子回路を構成するための金、銅、アルミニウムなどからなる金属膜が形成されるほか、ポリイミドなどによる樹脂膜が形成される場合がある。金属膜は例えば拡散炉装置やＣＶＤ装置によって形成されるが、これら装置にウェーハを供する際には、製品となるウェーハの歩留まりを向上させるために、製品とはならないダミーウェーハを投入することが行われている。ダミーウェーハは、使用後に廃棄してしまったのでは不経済なので再使用している。また、半導体ウェーハの処理工程で、表面に形成した半導体デバイスが不良になった場合にも、そのウェーハを再使用している。
【０００３】
これらウェーハを再使用するにあたっては、表面に形成されている金属膜や樹脂膜などの被膜を除去し、かつ所定厚さに加工している。この被膜の除去方法として、化学的エッチングによる方法や機械的な研削方法などがある。化学的エッチングは、相当な時間を要する上、エッチング液の処理が環境破壊につながるおそれがあるが、研削による方法であれば、比較的容易に被膜を除去することができる。この研削方法としては、例えば特許文献１に記載の方法がある。
【０００４】
このようにウェーハを研削加工する際、一般的にはウェーハの厚さを測定しながら行う。このとき使用される厚さ測定器として、例えば特許文献２に記載されるような接触式の測定器がある。この接触式の測定器のほかに非接触式の測定器も有るが、この非接触式の測定器は、特に金属膜などを有するウェーハを測定する場合、正確にウェーハの厚さを測定することが困難である。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２６９１７４公報
【特許文献２】特開昭６３−２５６３６０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記文献に記載の測定器および研削加工装置を使用して上記したような再使用するウェーハの被膜を研削すると、接触式の厚さ測定器の接触部分に比較的硬いダイヤモンドや超硬を使用しているため、接触部分が被膜を引っ掻き、被膜からひげ状に長く延びた屑が発生する場合がある。そして、このひげ状の屑が研削装置のウェーハ保持手段の保持面に付着するおそれがあり、ひげ状の屑が付着した状態の保持面に後続のウェーハを保持させると、そのウェーハと保持面との間にひげ状の屑を挟み込んで、ウェーハが浮き上がった状態で保持される。このような状態でウェーハを設定された研削量だけ研削すると、所望の厚さより薄く仕上がってしまうという不都合が生じる。
【０００７】
よって本発明は、被膜を有する半導体ウェーハなどの基板を研削加工するときに、ひげ状の屑などの障害物を発生させることなくウェーハの厚さを測定することで、保持面への障害物の付着を防ぎ、その結果、ウェーハを所望の厚さに確実に研削することのできるウェーハの研削加工方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の研削加工方法は、少なくとも一の面に積層物を有するウェーハの積層物を有する面を、積層物の厚さを超える第一の研削量を少なくとも含む所望の研削量のみ研削加工する加工方法であって、ウェーハを、積層物を有する面が露出するよう保持手段の保持面に回転可能に保持する保持工程と、保持手段を適宜間欠的に回転させ、保持手段に保持されたウェーハにおける積層物の表面の複数位置に、保持手段の回転が停止した状態で厚さ測定手段の測定端子を接触させ、積層物を含んだウェーハの厚さを測定する第一厚さ測定工程と、第一厚さ測定工程で測定された複数の厚さ測定値と、所望の研削量のデータとを記憶手段に記憶する厚さ記憶工程と、厚さ測定手段の測定端子を積層物の表面から退避させ、保持手段の回転軸と略平行な回転軸を有する研削ホイールを、回転可能かつ保持手段の保持面に対して進退可能に保持する研削手段を、研削手段の送り動作を制御する送り制御手段によってウェーハの積層物の表面に第一の研削量送り込み、少なくとも積層物を除去するまで研削する第一研削工程と、第一研削工程後に厚さ測定手段の測定端子をウェーハの研削面に接触させ、測定端子のウェーハの研削面への接触状態を維持してウェーハの厚さを測定する第二厚さ測定工程と、記憶手段に記憶された複数の厚さ測定値のうち最も厚い測定値から第二厚さ測定工程にて測定している測定値を差し引いた値が、記憶手段に記憶されている所望の研削量と一致するまで研削手段を送り制御手段によって該ウェーハに向けて送り込む第二研削工程とを備えることを特徴としている。
【０００９】
本発明の研削加工方法は、まず、被膜の研削加工前に厚さ測定手段の測定端子を保持手段の回転を停止させた状態で接触させ、被膜を含んだウェーハの厚さを測定する。次いで、測定端子を被膜表面から退避させ、被膜の研削加工を行う。被膜の研削が終了した後、再度、測定端子をウェーハ表面に接触させ、この接触状態を維持するとともに、ウェーハの厚さを測定しながら所望の厚さになるまで研削をする。最初の厚さ測定時には保持手段の回転を停止した状態で測定端子が接触して厚さを測定するとともに、被膜研削時に、測定端子が接触状態でないため、測定端子が被膜を引っ掻くことはない。そのため、ひげ状の屑の発生を防ぐことができる。このため、後続のウェーハを研削するときに、ウェーハの浮き上がりを防止することができる。この結果、ウェーハを所望の厚さに確実に研削することができる。
【００１０】
本発明の研削加工方法で連続的にウェーハを研削加工するとき、研削加工したウェーハの第二研削工程完了時の厚さ測定手段により測定された厚さ測定値を、保持手段の前記保持面からの刃先位置として記憶手段に記憶する刃先位置記憶工程と、後続のウェーハが研削される第一研削工程時に、第一厚さ測定工程にて測定された後続のウェーハの厚さ測定値と、記憶手段に記憶された刃先位置とに基づき、送り制御手段により研削手段の刃先位置を、保持手段に保持された後続のウェーハの表面に接触しない直前の位置へ、研削加工時に送り込む速度より速い速度で送り込む早送り工程とを含むことが好ましい。
【００１１】
ウェーハの研削を開始するとき、研削ホイールは、早送り工程で待機位置からウェーハの直前まで研削加工時に送り込む速さより、速い速度で送られる。この早送り工程は、ウェーハを研削してないときの送り動作を、研削加工時の送り動作と同じ速度で行うと加工時間にロスが生じるため、加工時間を短縮させるために行う。ところで、研削ホイールの刃は、ウェーハを研削するごとに磨耗が進んでいく。この刃の磨耗状態を把握できていないと、刃が磨耗した以前の刃先位置で早送り工程が終了してしまう。そのため、その分余計な加工時間が生じてしまい、生産効率の低下を招くおそれがある。しかしながら、刃先位置記憶工程によって、ウェーハ研削完了時の刃先位置を毎回確認し、記憶手段に記憶しているため、刃の磨耗状態を正確に把握することができる。そのため、厚さ測定値と刃先位置とを基にして、より正確な早送り工程を行うことできる。その結果、最適な加工時間で効率的にウェーハの研削加工を行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、厚さ測定器の測定端子での被膜の引っ掻きを防止することで、ひげ状の屑の発生を防止し、その結果、ひげ状の屑が保持面へ付着することを防ぎ、ウェーハを所望の厚さに確実に研削することができるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
［１］半導体ウェーハ
図１の符合１は、図２に示す一実施形態の研削加工装置によって研削される円盤状の半導体ウェーハ（以下ウェーハと略称）を示している。このウェーハ１はシリコンウェーハ等であって、加工前の厚さは例えば７００μｍ程度である。ウェーハ１の表面には、ＬＳＩなどの電子回路を構成するための金、銅、アルミニウムなどからなる金属膜やポリイミドなどによる樹脂膜などの被膜（積層物）２が形成される。この被膜２は、例えば蒸着法の一つである化学気相成長を行う拡散炉装置やＣＶＤ装置によって形成される。また、ウェーハ１の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すＶ字状の切欠き（ノッチ）３が形成されている。
【００１４】
上記拡散炉装置やＣＶＤ装置では、製品となるウェーハ１の歩留まりを向上させるために身代わりとなるダミーウェーハを投入する場合がある。このダミーウェーハは、何回か繰り返し利用後に廃棄処分される。しかしながら、このダミーウェーハを数回の使用で廃棄すると不経済なので、ウェーハ１の表面に形成された被膜２を除去し、ダミーウェーハとして再利用する。この被膜２の除去方法として、図２に示す研削加工装置１０を用いて、被膜２を研削する方法が行われる。
【００１５】
［２］研削加工装置の基本的な構成および動作
図２に示す一実施形態の研削加工装置１０は、上面が水平な直方体状の基台１１を備えている。図２では、基台１１の長手方向、幅方向および鉛直方向を、それぞれＹ方向、Ｘ方向およびＺ方向で示している。基台１１のＹ方向一端部（奥側の端部）には、Ｘ方向に並ぶ一対のコラム１２が立設されている。基台１１上のコラム１２側である奥側は、ウェーハ１を研削加工する加工エリア１１Ａとされ、手前側は、加工エリア１１Ａに加工前のウェーハ１を供給し、かつ、加工後のウェーハ１を回収する着脱エリア１１Ｂとされている。
【００１６】
加工エリア１１Ａには、回転軸がＺ方向と平行で上面が水平とされた円盤状のターンテーブル１３が回転自在に設けられている。このターンテーブル１３は、図示せぬ回転駆動機構によって矢印Ｒ方向に回転させられる。ターンテーブル１３上には、複数（この場合は３つ）の円盤状のチャックテーブル（保持手段）２０が、周方向に等間隔をおいて回転自在に配置されている。各チャックテーブル２０は、回転軸がＺ方向と平行に設定されており、図示せぬ回転駆動機構によって一方向に回転すなわち自転し、ターンテーブル１３が回転すると公転の状態になる。ウェーハ１は、略水平とされるこれらチャックテーブル２０の上面に同心状に保持される。
【００１７】
チャックテーブル２０は一般周知の真空チャック式であり、上面に載置されるウェーハ１を真空作用によって吸着、保持する。図３に示すように、チャックテーブル２０は外形が円盤状の枠体２２で形成され、この枠体２２の上面に形成された浅い凹部２２ｂに、多孔質の吸着エリア２１が形成されている。ウェーハ１は、吸着エリア２１の上面（保持面）２１ａに吸着、保持される。
【００１８】
図２に示すように２つのチャックテーブル２０がコラム１２に近接してＸ方向に並んだ状態において、それらチャックテーブル２０の直上には、研削ユニット（研削手段）３０がそれぞれ配されている。各チャックテーブル２０は、ターンテーブル１３の回転によって、各研削ユニット３０の下方の研削位置と、着脱エリア１１Ｂに最も近付いた着脱位置との３位置にそれぞれ位置付けられるようになっている。研削位置は２箇所あり、これら研削位置ごとに研削ユニット３０が配備されている。この場合、ターンテーブル１３の回転によるチャックテーブル２０の矢印Ｒで示す移送方向上流側（図２で左側）の研削位置が一次研削位置、下流側の研削位置が二次研削位置とされている。一次研削位置では粗研削が行われ、二次研削位置では仕上げ研削が行われる。
【００１９】
各研削ユニット３０は、コラム１２に昇降自在に取り付けられたスライダ４０に固定されている。スライダ４０は、Ｚ方向に延びるガイドレール４１に摺動自在に装着されており、サーボモータ４２によって駆動されるボールねじ式の送り機構４３によってＺ方向に移動可能とされている。各研削ユニット３０は、送り機構４３によってＺ方向に昇降し、下降してチャックテーブル２０に接近する研削送り動作により、チャックテーブル２０に保持されたウェーハ１の露出面を研削する。送り機構４３を回転させるサーボモータ４２の動作は、送り制御手段７１によって制御される。
【００２０】
研削ユニット３０は、図３に示すように、軸方向がＺ方向に延びる円筒状のスピンドルハウジング３１と、このスピンドルハウジング３１内に同軸的、かつ回転自在に支持されたスピンドルシャフト３２と、スピンドルハウジング３１の上端部に固定されてスピンドルシャフト３２を回転駆動するモータ３３と、スピンドルシャフト３２の下端に同軸的に固定された円盤状のフランジ３４とを具備している。そしてフランジ３４の下面に、砥石ホイール（研削ホイール）３５がねじ止め等の取付手段によって着脱自在に取り付けられる。
【００２１】
砥石ホイール３５は、アルミニウム等からなる環状のフレーム３６の下面に複数の砥石３７が配列されて固着されたものである。砥石３７による加工面は、研削ユニット３０の回転軸、すなわちスピンドルシャフト３２の軸方向に直交するように設定される。砥石３７は、例えばガラス質のボンド材中にダイヤモンド砥粒を混合して成形し、焼結したものが用いられる。ここで、一次研削用の研削ユニット３０の砥石３７は、例えば♯３２０〜♯４００程度の比較的粗い砥粒を含むものが用いられる。また、二次研削用の研削ユニット３０の砥石３７は、例えば♯２０００〜♯８０００程度の比較的細かい砥粒を含むものが用いられる。各フランジ３４および各砥石ホイール３５には、研削面の冷却や潤滑あるいは研削屑の排出のための研削水を供給する研削水供給機構（図示省略）が設けられ、該機構には給水ラインが接続されている。
【００２２】
図２に示すように、基台１１上には、基準側ハイトゲージ５１とウェーハ側ハイトゲージ５２との組み合わせで構成される厚さ測定ゲージ（厚さ測定手段）５０が、一次研削側および二次研削側に位置するチャックテーブル２０に対して、それぞれ配設されている。図３（ａ）に示すように、基準側ハイトゲージ５１は、揺動する基準プローブ５１ａの先端が、ウェーハ１で覆われないチャックテーブル２０の枠体２２の上面２２ａに接触し、該上面２２ａの高さ位置を検出するものである。枠体２２の上面２２ａは、実際にウェーハ１を吸着、保持する吸着エリア２１の上面２１ａと同一平面である。ウェーハ側ハイトゲージ５２は、揺動する変動プローブ（測定端子）５２ａの先端がチャックテーブル２０に保持されるウェーハ１の上面すなわち被研削面に接触することで、ウェーハ１の上面の高さ位置を検出するものである。
【００２３】
厚さ測定ゲージ５０によれば、ウェーハ側ハイトゲージ５２の測定値から基準側ハイトゲージ５１の測定値を引いた値に基づいてウェーハ１の厚さが測定される。この場合はウェーハ１の表面に被膜２が形成されているので、被膜２の厚さも加味してウェーハ１の厚さが算出される。ウェーハ側ハイトゲージ５２によるウェーハ１の厚さ測定位置、すなわち変動プローブ５２ａのウェーハ１への接触点は、ウェーハ１の外周縁に近い外周部分が好適である。
【００２４】
上記研削ユニット３０は、砥石ホイール３５が例えば３０００〜５０００ｒｐｍで回転しながら所定速度（例えば一次研削では３〜５μｍ／秒程度、二次研削では０．２〜０．５μｍ／秒程度）で研削送りされることにより、砥石ホイール３５の砥石３７がチャックテーブル２０上に保持されたウェーハ１の被研削面を押圧し、これによって被研削面が研削される。また、研削加工の際、ウェーハ１はチャックテーブル２０によって砥石ホイール３５と同方向に回転させられ、その回転速度は、１０ｒｐｍ程度から、最大で３００ｒｐｍ程度とされる。研削ユニット３０による研削量は、上記厚さ測定ゲージ５０によるウェーハ厚さ測定値と、記憶手段７２に記憶されているウェーハ１の所望の研削量とに基づいて制御される。このウェーハ１の所望の研削量は、研削加工前に記憶手段７２に記憶される。
【００２５】
図３に示すように、砥石ホイール３５の砥石３７による研削外径は、チャックテーブル２０の吸着エリア２１の半径よりも大きなものが用いられる。そして、一次研削位置および二次研削位置に位置付けられるチャックテーブル２０は、一定の幅を有する砥石３７の下端面である刃先３７ａがチャックテーブル２０の回転中心、すなわちウェーハ１の中心を通過するように、研削ユニット３０に対面して位置付けられる。この位置関係により、チャックテーブル２０上に保持され、チャックテーブル２０の回転によって自転するウェーハ１の被研削面全面が、砥石ホイール３５の砥石３７で一様に研削される。
【００２６】
ウェーハ１は、最初に一次研削位置で研削ユニット３０により一次研削された後、ターンテーブル１３が図２に示すＲ方向に回転することにより二次研削位置に移送され、ここで研削ユニット３０により二次研削される。一次研削は主にウェーハ１の被膜２を除去する工程であり、後に詳述する。
【００２７】
以上が加工エリア１１Ａに関する構成であり、次に、着脱エリア１１Ｂについて説明する。図２に示すように、着脱エリア１１Ｂの中央には、上下移動可能で２節リンク式の旋回アームを備えたピックアップロボット６０が設置されている。そしてこのピックアップロボット６０の周囲には、上から見て反時計回りに、供給カセット６１、位置合わせ台６２、供給アーム６３、洗浄ノズル６７、回収アーム６４、スピンナ式洗浄ユニット６５、回収カセット６６が、それぞれ配置されている。カセット６１，６６は複数のウェーハ１を水平な姿勢で、かつ上下方向に一定間隔をおいて積層状態で収容するもので、基台１１上の所定位置にセットされる。
【００２８】
研削加工されるウェーハ１は、はじめにピックアップロボット６０によって供給カセット６１内から取り出され、位置合わせ台６２上に載置されて一定の位置に決められる。次いでウェーハ１は、供給アーム６３によって位置合わせ台６２から取り上げられ、着脱位置で待機しているチャックテーブル２０上に裏面を上に向けて同心状に載置される。ウェーハ１はターンテーブル１３のＲ方向への回転によって一次研削位置と二次研削位置にこの順で移送され、これら研削位置で、研削ユニット３０により上記のようにして被研削面が研削される。
【００２９】
二次研削は、厚さ測定ゲージ５０によってウェーハ１の厚さを測定しながら行われ、その測定値に基づいて送り機構４３による砥石ホイール３５の研削送り量が制御され、二次研削終了の段階でウェーハ１は所望厚さまで研削される。なお、一次研削では、所望厚さの例えば２０〜４０μｍ手前まで粗研削され、残りが二次研削で仕上げ研削される。
【００３０】
二次研削が終了したウェーハ１は、さらにターンテーブル１３がＲ方向に回転することにより着脱位置に戻される。着脱位置に戻ったチャックテーブル２０上のウェーハ１は回収アーム６４によって取り上げられ、洗浄ユニット６５に移されて洗浄される。洗浄ユニット６５では、ウェーハ１が上記チャックテーブル２０と同様の回転式の吸着テーブルに吸着、保持され、回転の最中に純水等の洗浄水が被研削面に噴射されて研削屑等が除去され、この後、窒素ガスや乾燥エア等が吹き付けられて乾燥処理される。洗浄ユニット６５で洗浄処理されたウェーハ１は、ピックアップロボット６０によって回収カセット６６内に移送、収容される。洗浄ノズル６７からは、着脱位置に位置付けられたチャックテーブル２０に向けて洗浄水が噴射されるようになっており、ウェーハ１が研削されるごとにこの動作が繰り返され、これによって供給アーム６３からウェーハ１が供給される時のチャックテーブル２０は、常に洗浄された状態とされる。
【００３１】
［３］研削加工装置による被膜の研削方法
以上が研削加工装置１０の基本動作であるが、この装置１０では、一次研削である粗研削において、ウェーハ１の被膜２が研削される。以下、その研削方法を図２〜図６を用いて説明する。
【００３２】
ウェーハ１の研削加工を行う前に、少なくとも被膜２の厚さを超える量である第一の研削量ｇ１と、一次研削での所望研削量である一次所望研削量（所望の研削量）ｇ２とを決定し、記憶手段７２に記憶させる。この後、研削加工されるウェーハ１は供給カセット６１内から取り出され、チャックテーブル２０上に吸着、保持される。そして、ターンテーブル１３がＲ方向に回転し、ウェーハ１が一次研削位置に位置付けられる。
【００３３】
一次研削位置に位置付けられたウェーハ１は、一次研削側の厚さ測定ゲージ５０にて被膜２を含んだ厚さｔ１が測定される（第一厚さ測定工程）。このとき、図４に示すようにウェーハ１における複数位置の厚さが測定される。まず、図４（ａ）に示すように、回転が停止している状態のチャックテーブル２０上のウェーハ１の任意の位置（図では測定位置４ａ）で、変動プローブ５２ａを降下させて被膜２の表面（積層物の表面）２ａに接触させ、測定位置４ａにおけるウェーハ１の被膜２を含んだ厚さｔ１を測定する。測定位置４ａでの測定が完了したら、一旦、変動プローブ５２ａを上昇させ、被膜２の表面２ａから退避させる。次いで、チャックテーブル２０を所定の角度だけ回転させ、測定位置４ａとは別位置である測定位置４ｂに合わせて、測定位置４ａの測定方法と同様な方法で、測定位置４ｂでのウェーハ１の被膜２を含んだ厚さｔ１を測定する。この後、測定位置４ａから測定位置４ｂへ測定位置を移動させたのと同様な方法で、図４（ｃ）に示す測定位置４ｃまで測定位置を移動させ、測定位置４ｃでのウェーハ１の被膜２を含んだ厚さｔ１を測定する。第一厚さ測定工程の最終測定位置である測定位置４ｃの測定が終了したら、変動プローブ５２ａを被膜２の表面２ａから退避させる。
【００３４】
本実施形態では、測定位置４ａ、４ｂ、４ｃの３箇所の位置で測定したが、被膜２を含んだウェーハ１の厚さｔ１を正確に測定することができれば何箇所でも構わない。この測定位置４ａ、４ｂ、４ｃで測定された厚さ測定値は、記憶手段７２に記憶される（厚さ記憶工程）。
【００３５】
被膜２を含むウェーハ１の厚さ測定値が記憶手段７２に記憶されたら、図６（ａ）に示すように、変動プローブ５２ａを退避させた状態にして、チャックテーブル２０を回転させ、ウェーハ１を連続的に回転させる。そして、サーボモータ４２を作動させ、研削ユニット３０をウェーハ１へ向けて送り込む。このとき、研削ユニット３０は、砥石３７の刃先３７ａが、第一厚さ工程で測定し、記憶手段７２に記憶された厚さ測定値の中で最も厚い測定位置の直前位置に来るまで、研削時に送り込む速度より速い速度で送られる（早送り工程）。
【００３６】
研削ユニット３０が直前位置まで送り込まれたら、送り制御手段７１により研削ユニット３０の送り込む速度を研削時の速度にして、砥石３７の刃先３７ａを被膜２の表面２ａへ送り込み、ウェーハ１の研削を開始する（第一研削工程）。このとき、送り制御手段７１は、第一の研削量ｇ１と、第一厚さ測定工程で測定して記憶手段に記憶された厚さ測定値の中で最も厚い測定値とを記憶手段７２から読み取り、この最も厚い測定値を基準にして、第一の研削量ｇ１に達するまで研削ユニット３０をウェーハ１に向けて送り込む。このときの第一の研削量ｇ１は、送り制御手段７２により研削ユニット３０をウェーハ１に送り込むサーボモータ４２の回転数として認識される。この第一研削工程で、第一厚さ測定工程で測定された複数の測定値の中で最も厚い測定値を基準にするのは、ウェーハ１の過度な研削を防止するためである。
【００３７】
研削ユニット３０をウェーハ１へ送り込み、ウェーハ１の研削量が第一の研削量ｇ１に到達したら、研削ユニット３０の送り込みを一旦停止させる。そして、図６（ｂ）に示すように、再び、変動プローブ５２ａを降下させ、ウェーハ１の研削面１ａに接触させて第一研削工程後の厚さを測定する（第二厚さ測定工程）。第二厚さ測定工程以降、変動プローブ５２ａは常にウェーハ１の研削面１ａに接触している状態にして、ウェーハ１の厚さを測定する。
【００３８】
次いで、図５に示すように、記憶手段７２から一次所望研削量ｇ２を読み取り、ウェーハ１の研削量が一次所望研削量ｇ２に到達するまで、再び、送り制御手段７１によってサーボモータ４２の動作を制御し、研削ユニット３０をウェーハ１に向けて送り込む（第二研削工程）。このとき、第一厚さ測定工程で測定した厚さ測定値の中で最も厚い測定値から第二厚さ測定工程以降に測定している厚さ測定値を差し引いた値を、実際に研削された研削量として読み取る。図６（ｃ）に示すように、この差し引いた値が一次所望研削量ｇ２に到達したら、研削ユニット３０の送り込みを停止し、一次研削が終了する。このときの厚さ測定値を砥石３７の刃先３７ａの位置として、記憶手段７２にする（刃先位置記憶工程）。この刃先位置記憶工程は、後続のウェーハ１を研削するときに、この砥石３７の刃先３７ａの位置と、後続のウェーハ１の第一厚さ測定工程で測定される厚さ測定値を基にして、早送り工程を適確に行うものである。
【００３９】
このようにして、ウェーハ１の表面に形成された被膜２が除去される。一次研削で被膜２が除去されたウェーハ１は、二次研削位置へ移動し、仕上げ研削である二次研削が行われる。二次研削後、二次研削が終了したウェーハ１は、上記のように着脱位置に戻され、洗浄ユニット６５で洗浄され、回収カセット６６内に移送、収容される。
【００４０】
第一研削工程前の第一厚さ測定工程でウェーハ１を回転停止しているため、また第一研削工程時に、変動プローブ５２ａが被膜２の表面２ａと接触してないため、変動プローブ５２ａが被膜２を引っ掻くことはない。このため、ひげ状の屑が発生することはなく、ウェーハ１の研削後にひげ状の屑が吸着エリア２１の上面２１ａに付着することを防止できる。この結果、後続のウェーハ１を研削するときに、ウェーハ１の浮き上がりを防止することができ、ウェーハ１を所望の厚さに確実に研削することができる。
【００４１】
刃先位置記憶工程によって、ウェーハ１の研削完了時の砥石３７の刃先３７ａを毎回確認し、記憶手段７２に記憶しているため、砥石３７の磨耗状態を正確に把握することができる。そのため、厚さ測定値と砥石３７の刃先３７ａとを基にして、より正確な早送り工程を行うことできる。その結果、最適な加工時間で効率的にウェーハ１の研削加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】は、本発明の一実施形態で研削加工が施されるウェーハの（ａ）斜視図、（ｂ）側面図である。
【図２】は、本発明の一実施形態に係る研削加工装置の斜視図である。
【図３】は、図２に示した研削加工装置が備える研削ユニットによってウェーハ表面を研削している状態を示す（ａ）斜視図、（ｂ）側面図である。
【図４】は、一実施形態の研削加工方法の一次厚さ測定工程の様子を示した平面図である。
【図５】は、一実施形態の研削加工方法の二次研削工程の様子を示した側面図である。
【図６】は、一実施形態の研削加工方法の各工程におけるウェーハの研削の様子と、ウェーハの研削量とを示した側面図である
【符号の説明】
【００４３】
１…半導体ウェーハ（ウェーハ）
１ａ…ウェーハの研削面
２…被膜（積層物）
２ａ…被膜の表面（積層物の表面）
４ａ、４ｂ、４ｃ…測定位置（複数位置）
２０…チャックテーブル（保持手段）
２１ａ…吸着エリアの上面（保持面）
３０…研削ユニット（研削手段）
３５…砥石ホイール（研削ホイール）
５０…厚さ測定ゲージ（厚さ測定手段）
５２ａ…変動プローブ（測定端子）
７２…記憶手段
７１…送り制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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