(57)【要約】【課題】薄膜磁気ヘッドをキャリアに対して傾斜のない正しい姿勢で接着固定できる薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法を得る。【解決手段】列状に配置された複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層状態で有するヘッド素子スタックを、研磨加工機の可動支持台に脱着されるキャリアに接着固定し、該可動支持台を研磨定盤に対して相対移動させることにより薄膜磁気ヘッド素子列の媒体対向面を研磨する薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法であって、先ず、キャリアの基準面に当接するキャリア支持面とキャリア支持面に平行なヘッド支持面とを有する接着基準治具を準備する。次に、接着基準治具のキャリア支持面にキャリアの基準面を当接させて載置する。そして、接着基準治具のヘッド支持面にヘッド素子スタックの基準面を当接させて載置し、接着基準治具のキャリア支持面上のキャリアに該ヘッド素子スタックを接着固定する。【選択図】図５
2008130133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
列状に配置された複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層状態で有するヘッド素子スタックを、研磨加工機の可動支持台に脱着されるキャリアに接着固定し、該可動支持台を研磨定盤に対して相対移動させることにより薄膜磁気ヘッド素子列の媒体対向面を研磨する薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法であって、
前記キャリアの基準面に当接するキャリア支持面と、このキャリア支持面と平行なヘッド支持面とを有する接着基準治具を準備するステップと、
この接着基準治具の前記キャリア支持面に前記キャリアの基準面を当接させて載置するステップと、
前記接着基準治具のヘッド支持面に前記ヘッド素子スタックの基準面を当接させて載置し、接着基準治具のキャリア支持面上の前記キャリアに該ヘッド素子スタックを接着固定するステップと、
を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法。
【請求項２】
請求項１記載の薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法において、前記ヘッド素子スタックの基準面は、薄膜磁気ヘッド素子列のリーディング端面である薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法において、前記キャリアには、前記接着基準治具のキャリア支持面上に載置する前に、前記ヘッド素子スタックを接着固定するための接着剤を塗布する薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッドは、スライダのトレーリング端面上に薄膜形成された、磁気抵抗効果を利用して記録媒体から磁気記録情報を読み出す再生素子と記録媒体に記録磁界を印加して記録動作する記録素子を含むヘッド素子を有している。従来の薄膜磁気ヘッド製造方法では、基板であるスライダ上にヘッド素子を列状に多数形成した後、スライダを各列に切断し、さらに記録媒体との対向面（媒体対向面）となるスライダ端面を研磨することで、複数個のヘッド素子が一列に並ぶバー状の薄膜磁気ヘッドあるいは１個のヘッド素子が形成されたチップ状の薄膜磁気ヘッドとして形成される。
【０００３】
上記媒体対向面となるスライダ端面を研磨するスライダ加工では、ヘッド素子のハイト長が規定される。ヘッド素子のハイト長は、具体的には再生素子のＭＲハイト、長手記録方式であれば記録素子の磁気ギャップ層のギャップ長、垂直記録方式であれば記録素子の主磁極層のネックハイトであって、再生特性や記録特性に寄与する重要な要素であるから、正確に規定することが望ましい。特に垂直記録磁気ヘッドでは、ネックハイトの寸法精度が厳しく要求される。
【０００４】
従来のスライダ加工方法は、例えば特許文献２に記載されるように、バー状の薄膜磁気ヘッド単位で行っている。具体的には、図８（Ａ）に示すように、研磨加工機の可動支持台に脱着されるキャリア（保持部材）１０４にバー状の薄膜磁気ヘッド１００を接着固定し、該可動支持台を研磨定盤２に対して相対移動させることにより、所望のハイト長が得られるまで薄膜磁気ヘッド１００の媒体対向面となるスライダ端面１００ｃを研磨する。
【特許文献１】特開平１１−３２８６４２号公報
【特許文献２】特開２０００−１５８３３５号公報
【特許文献３】特開２０００−２９８８１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来方法においては、薄膜磁気ヘッドとキャリアの接着固定時に、薄膜磁気ヘッドがキャリアに対して傾いてしまう場合があった。図８（Ｂ）に示されるように薄膜磁気ヘッド１００のスライダ端面１００ｃが傾斜した状態のまま研磨されると、再生素子Ｒ側と記録素子Ｗ側で研磨量にばらつきが生じ、再生素子Ｒのハイト長と記録素子Ｗのハイト長を同時に精度良く規定することができない。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、薄膜磁気ヘッドをキャリアに対して傾斜のない正しい姿勢で接着固定できる薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、薄膜磁気ヘッドの基準面とキャリアの基準面を互いに平行に保持した状態で両者を接着固定すれば、薄膜磁気ヘッドがキャリアに対して傾斜することなく接着固定され、キャリアを取り付けた可動支持台が研磨定盤に対して相対移動するときに薄膜磁気ヘッドのヘッド基準面と研磨定盤の直角度が確保され、該ヘッド基準面に直交するスライダ端面を均一に研磨できることに着目してなされたものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、列状に配置された複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層状態で有するヘッド素子スタックを、研磨加工機の可動支持台に脱着されるキャリアに接着固定し、該可動支持台を研磨定盤に対して相対移動させることにより薄膜磁気ヘッド素子列の媒体対向面を研磨する薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法であって、キャリアの基準面に当接するキャリア支持面と、このキャリア支持面と平行なヘッド支持面とを有する接着基準治具を準備するステップと、この接着基準治具のキャリア支持面に前記キャリアの基準面を当接させて載置するステップと、接着基準治具のヘッド支持面にヘッド素子スタックの基準面を当接させて載置し、接着基準治具のキャリア支持面上のキャリアに該ヘッド素子スタックを接着固定するステップとを有することを特徴としている。
【０００９】
上記態様によれば、接着基準治具のキャリア支持面とヘッド支持面によりキャリアの基準面とヘッド素子スタックの基準面とが互いに平行に保持され、この保持状態で接着固定されるので、接着固定時にヘッド素子スタックがキャリアから傾くことがない。また、列状に配置された複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層状態で有するヘッド素子スタックを用いることで、ヘッド素子スタックの基準面とヘッド支持面との接触面積が十分に確保され、ヘッド支持面を介してヘッド素子スタックをキャリア支持面及びキャリアの基準面と平行に保持することが容易になる。
【００１０】
ヘッド素子スタックの基準面は、薄膜磁気ヘッド素子列のリーディング端面とすることが実際的である。
【００１１】
キャリアには、接着基準治具のキャリア支持面上に載置する前に、ヘッド素子スタックを接着固定するための接着剤を塗布することが好ましい。この態様によれば、ヘッド素子スタックの基準面をヘッド支持面に載置することで、該薄膜磁気ヘッドとキャリアを接着固定することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のスライダ加工方法によれば、互いに平行なキャリア支持面とヘッド支持面を有する接着基準治具を用いてヘッド素子スタックとキャリアを接着固定するので、ヘッド素子スタックがキャリアに対して傾斜することなく正しい姿勢で接着固定される。これにより、キャリアを取り付けた可動支持台が研磨定盤に対して相対移動するときは、薄膜磁気ヘッドのスライダ端面と研磨定盤の直角度が確保され、該スライダ端面を均一に研磨することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面に基づいて、本発明を適用した薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法の一実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本スライダ加工方法で用いる研磨加工機の主要構成を示す模式断面図である。研磨加工機は、テーブル上に水平に回転自在に設置された円盤状の研磨定盤２と、この研磨定盤２を回転駆動する回転駆動機構３と、研磨加工対象物を接着固定するキャリア４と、このキャリア４を脱着自在に支持する可動支持台５と、この可動支持台５を研磨定盤２に対して上下左右方向に相対移動させる相対駆動機構６とを備えている。キャリア４は、研磨加工対象物を接着固定する際の基準となるキャリア基準面４ａを有し、このキャリア基準面４ａが研磨定盤２の表面（図示上面）に対して垂直となるように可動支持台５に装着される。
【００１５】
キャリア４に接着固定される研磨加工対象物は、列状に配置された複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層状態で有するヘッド素子スタック（スタック状態の薄膜磁気ヘッド）１０である。ヘッド素子スタック１０は、図２に示すように、スライダ１１のトレーリング端面１１ａ上にヘッド素子Ｈを薄膜により列状に多数形成し、このスライダ１１を複数の薄膜磁気ヘッド素子列毎に切り出すことで得られる。本実施形態のヘッド素子スタック１０は、１５の薄膜磁気ヘッド素子列を有し、各薄膜磁気ヘッド素子列が８０個のヘッド素子Ｈで構成されている。薄膜磁気ヘッド素子列及びヘッド素子Ｈの数は任意である。ヘッド素子Ｈには、磁気抵抗効果を利用して記録媒体から磁気記録情報を読み出す再生素子Ｒと、記録媒体に記録磁界を与えて記録情報を記録する記録素子Ｗとが含まれる。
【００１６】
本実施形態では、ヘッド素子スタック１０を構成する複数の素子列において、媒体対向面となるスライダ端面１１ｃが露出している側を最下段の素子列Ｈｘ、スライダ端面１１ｃとは反対側のスライダ端面１１ｄが露出している側を最上段の素子列Ｈ１と定義する。
【００１７】
本スライダ加工方法では、先ず、研磨加工対象であるヘッド素子スタック１０とキャリア４とを接着固定する。
【００１８】
この接着固定工程は、互いに平行なヘッド支持面２１とキャリア支持面２４を設けた接着基準治具２０（図３〜図５）を用いて行う。接着基準治具２０は、略中央部にキャリア４を収納する凹部２０ａを有しており、この凹部底面に設けた一対の突起２０ｂよりキャリア支持面２４が形成され、凹部２０ａに沿う上面によりヘッド支持面２１が形成されている。
【００１９】
キャリア４は、図３に示すように、一端面（キャリア端面）４ｂの一部に接着剤３０を塗布し、この接着剤３０がヘッド支持面２１側に露出する向きで、接着基準治具２０のキャリア支持面２４にキャリア基準面４ａを当接させて載置する。この載置状態において、キャリア基準面４ａと接着基準治具２０のキャリア支持面２４は一致し（平行となり）、キャリア端面４ｂとヘッド支持面２１が直交する位置関係にある。接着剤３０には、例えば熱可塑性樹脂接着剤を用いる。
【００２０】
キャリア４を接着基準治具２０にセットしたら、図４に示すように、同接着基準治具２０のヘッド支持面２１にヘッド素子スタック１０のリーディング端面（ボトム面）１１ｂを当接させて載置する。リーディング端面１１ｂはヘッド素子スタック１０の基準面（ヘッド基準面）１０ａである。ヘッド支持面２１上のヘッド素子スタック１０は、図５に示すように、ヘッド基準面１０ａがキャリア４、キャリア基準面４ａ及びキャリア支持面２４と平行に保持されていて、最下段の素子列のスライダ端面（研磨加工面）１１ｃが図示右側に露出し、該スライダ端面１１ｃとは反対側に位置する最上段の素子列のスライダ端面１１ｄがキャリア端面４ｂに接触する。キャリア端面４ｂには接着剤３０が塗布されているので、この接着剤３０により、ヘッド支持面２１上のヘッド素子スタック１０とキャリア支持面２４上のキャリア４が接着固定される。接着基準治具２０のヘッド支持面２１とキャリア端面４ｂとの間に生じている空間２９は、接着剤３０の逃げ部である。図６に接着固定したキャリア４とヘッド素子スタック１０を示す。
【００２１】
このように接着基準治具２０を用いれば、ヘッド支持面２１及びキャリア支持面２４を介してヘッド基準面１０ａとキャリア基準面４ａを厳密に平行な状態で保持でき、この保持状態でヘッド素子スタック１０とキャリア４を接着固定することができる。キャリア４に対するヘッド素子スタック１０の直角度は、±０．１５ｄｅｇ範囲に収まることを確認してある。ヘッド素子スタック１０は、複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層していることからヘッド基準面１０ａを大きく確保すること、すなわち、ヘッド基準面１０ａとヘッド支持面２１との接触面積を大きく確保することができる。これにより、ヘッド基準面１０ａをキャリア基準面４ａ及びキャリア支持面２４に対して容易且つ安定に平行とすることができる。
【００２２】
接着固定後は、ヘッド素子スタック１０と一体化したキャリア４を図１に示す研磨加工機の可動支持台５に取り付ける。これにより、ヘッド素子スタック１０はキャリア４及び可動支持台５を介して研磨定盤２の上方に保持され、最下段の素子列のスライダ端面１１ｃが研磨定盤２に対向する。キャリア４はキャリア基準面４ａが研磨定盤２に対して垂直に装着されるので、キャリア基準面４ａと平行なヘッド基準面１０ａも同様に研磨定盤２に対して垂直に保持される。
【００２３】
次に、研磨定盤２を回転駆動機構３により回転駆動させ、相対駆動機構６を介して可動支持台５を下降させて、図７に示すように、回転駆動中の研磨定盤２上にヘッド素子スタック１０を載置する。続いて、相対駆動機構６を介して可動支持台５を研磨定盤２に対して相対移動させ、これによりヘッド素子スタック１０の最下段の素子列のスライダ端面１１ｃを研磨する。研磨加工中、ヘッド基準面１０ａはキャリア４及び可動支持台５を介して研磨定盤２と垂直に支持されるので、スライダ端面１１ｃはその全面が均一に研磨される。このようにスライダ端面１１ｃが満遍なく研磨されれば、最下段の薄膜磁気ヘッド素子列の各ヘッド素子Ｈにおいて、再生素子Ｒ側と記録素子Ｗ側の研磨ばらつきは生じず、再生素子Ｒのハイト長と記録素子Ｗのハイト長の両方を同時に且つ精度良く規定することができる。
【００２４】
研磨加工後は、キャリア４を可動支持台５から取り外し、キャリア４に接着固定したままのヘッド素子スタック１０から研磨加工済みの最下段の素子列を切断して、新たな素子列を上記最下段の素子列とする。つまり、新たな素子列のスライダ端面１１ｃを露出させ、次の研磨加工面とする。
【００２５】
そして、上述した、ヘッド素子スタック１０と一体化したキャリア４を可動支持台５に取り付ける工程、最下段の素子列のスライダ端面１１ｃを研磨する工程及びキャリア４を取り外し、研磨加工済みの素子列を切断する工程を、ヘッド素子スタック１０の素子列の個数に対応する回数だけ繰り返す。最後の素子列（最上段の素子列）の研磨加工が終了したときは、キャリア４を可動支持台５から取り外した後、キャリア４と最上段の素子列のスライダ端面１１ｄとの接着部位を剥離する。これにより、ヘッド素子スタック１０のスライダ加工は完了する。
【００２６】
以上のように本実施形態では、互いに平行なヘッド支持面２１とキャリア支持面２４を有する接着基準治具２０を用いてヘッド素子スタック１０のヘッド基準面１０ａとキャリア４のキャリア基準面４ａを厳密な平行状態とし、この接着基準治具２０上で平行状態を保持したままヘッド素子スタック１０とキャリア４を接着固定するので、ヘッド素子スタック１０をキャリア４に対して傾斜のない正しい姿勢で接着固定することができる。これにより、キャリア４を装着した可動支持台５が研磨定盤２に対して相対移動するときに、ヘッド素子スタック１０のヘッド基準面１０ａと研磨定盤２の直角度が確保されてスライダ端面１１ｃを均一に研磨することができ、各ヘッド素子Ｈの再生素子Ｒ及び記録素子Ｗのハイト長の両方を同時に精度良く規定することができる。
【００２７】
本実施形態では、列状に配置された複数の薄膜磁気ヘッド素子列を積層状態で有するヘッド素子スタック１０を研磨加工対象物としているので、ヘッド基準面１０ａとヘッド支持面２１との接触面積が十分に確保され、ヘッド支持面２１を介してヘッド基準面１０ａをキャリア支持面２４及びキャリア基準面４ａと平行に保持することが容易である。また、ヘッド素子スタック１０をキャリア４に接着固定した後は最下段に新たな素子列を露出させて研磨加工するので、薄膜磁気ヘッド素子列を各列毎にキャリア４に接着固定して研磨加工する場合よりも手間及び時間が省け、スライダ加工が簡易化する。
【００２８】
本実施形態では、キャリア支持面２４を接着基準治具２０の凹部底面に設けた一対の突起２０ｂにより形成しているが、該キャリア支持面２４は、単に、凹部２０ａの凹部底面で形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明による薄膜磁気ヘッドのスライダ加工方法で用いる研磨加工機の主要構成を示す模式断面図である。
【図２】研磨加工対象であるヘッド素子スタック（スタック状態の薄膜磁気ヘッド）を示す平面図である。
【図３】同薄膜磁気ヘッドのスライダ方法の一工程を説明する断面図である。
【図４】図３の次工程を説明する断面図である。
【図５】図４の次工程を説明する断面図である。
【図６】接着固定したキャリアとヘッド素子スタックを示す斜視図である。
【図７】キャリアに接着固定したヘッド素子スタックを研磨定盤上に載置した状態を示す断面図である。
【図８】（Ａ）従来方法で薄膜磁気ヘッドとキャリアが正常に接着固定された場合の研磨加工工程を説明する断面図である。（Ｂ）従来方法で薄膜磁気ヘッドとキャリアの接着固定がずれてしまった場合の研磨加工工程を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
２  研磨定盤
３  回転駆動機構
４  キャリア
４ａ  キャリア基準面
４ｂ  キャリア端面
５  可動支持台
６  相対駆動機構
１０  ヘッド素子スタック（スタック状態の薄膜磁気ヘッド）
１０ａ  ヘッド基準面
１１  スライダ
１１ａ  トレーリング端面
１１ｂ  リーディング端面
１１ｃ  スライダ端面（媒体対向面とする研磨加工面）
１１ｄ  スライダ端面（媒体対向面とは反対側の面）
２０  接着基準治具
２０ａ  凹部
２０ｂ  突起
２１  ヘッド支持面
２４  キャリア支持面
２９  空間（逃げ部）
３０  接着剤
Ｈ  ヘッド素子
Ｒ  再生素子
Ｗ  記録素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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