(57)【要約】【課題】ガラス基板等の基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく、基板を搬送したり反転させることが可能な基板及びその搬送方法を提供する。【解決手段】所定の厚さを有する平板であって表裏面Ａ１，Ｂ１を有する基板において、表面及び互いに対向する一方の側方面１ａに対してそれぞれ傾斜して表面と一方の側方面とを連結する第１の傾斜部２ａと、裏面及び一方の側方面に対してそれぞれ傾斜して裏面と一方の側方面とを連結する第２の傾斜部２ｂと、表面及び互いに対向する他方の側方面１ｂに対してそれぞれ傾斜して表面と他方の側方面とを連結する第３の傾斜部３ａと、裏面及び他方の側方面に対してそれぞれ傾斜して裏面と他方の側方面とを連結する第４の傾斜部３ｂと、を有する基板１とし、これら第１〜第４の傾斜部に基板搬送手段１１，１２を当接させることによって、基板を挟持して保持する。【選択図】図１
2008251949.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の厚さを有する平板であって表裏面を有する基板において、
前記表面及び互いに対向する一方の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記一方の側方面とを連結する第１の傾斜部と、
前記裏面及び前記一方の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記一方の側方面とを連結する第２の傾斜部と、
前記表面及び互いに対向する他方の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記他方の側方面とを連結する第３の傾斜部と、
前記裏面及び前記他方の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記他方の側方面とを連結する第４の傾斜部と、
を有することを特徴とする基板。
【請求項２】
請求項１記載の基板において、
前記第１の傾斜部乃至前記第４の傾斜部は曲面を含んでなることを特徴とする基板。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の基板を搬送するための搬送方法であって、
前記第１の傾斜部に当接可能な第１の保持部と前記第２の傾斜部に当接可能な第２の保持部とを有する第１の基板保持手段を、前記第１の端面側に配置すると共に、前記第３の傾斜部に当接可能な第３の保持部と前記第４の傾斜部に当接可能な第４の保持部とを有する第２の基板保持手段を、前記第２の端面側に配置し、
前記第１の基板保持手段及び前記第２の基板保持手段を移動させて、前記第１の保持部乃至前記第４の保持部を前記基板の前記第１の傾斜面乃至前記第４の傾斜部にそれぞれ当接させ、
前記第１の保持部乃至前記第４の保持部が前記第１の傾斜面乃至前記第４の傾斜面にそれぞれ当接された状態で、前記第１の基板保持手段及び前記第２の基板保持手段を連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法。
【請求項４】
所定の厚さを有する平板であって表裏面と、互いに対向する第１の側方面及び第２の側方面と、互いに対向する第３の側方面及び第４の側方面と、からなる基板において、
前記表面，前記第１の側方面，及び前記第３の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第１の側方面と前記第３の側方面とを連結する第１の傾斜部と、
前記裏面，前記第１の側方面，及び前記第３の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第１の側方面と前記第３の側方面とを連結する第２の傾斜部と、
前記表面，前記第３の側方面，及び前記第２の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第３の側方面と前記第２の側方面とを連結する第３の傾斜部と、
前記裏面，前記第３の側方面，及び前記第２の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第３の側方面と前記第２の側方面とを連結する第４の傾斜部と、
前記表面，前記第２の側方面，及び前記第４の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第２の側方面と前記第４の側方面とを連結する第５の傾斜部と、
前記裏面，前記第２の側方面，及び前記第４の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第２の側方面と前記第４の側方面とを連結する第６の傾斜部と、
前記表面，前記第４の側方面，及び前記第１の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第４の側方面と前記第１の側方面とを連結する第７の傾斜部と、
前記裏面，前記第４の側方面，及び前記第１の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第４の側方面と前記第１の側方面とを連結する第８の傾斜部と、
を有することを特徴とする基板。
【請求項５】
請求項４記載の基板において、
前記第１の傾斜部乃至前記第８の傾斜部は曲面を含んでなることを特徴とする基板。
【請求項６】
請求項４または請求項５記載の基板を搬送するための搬送方法であって、
前記第１の傾斜部に当接可能な第１の保持部と前記第２の傾斜部に当接可能な第２の保持部とを有する第１の基板保持手段と、前記第５の傾斜部に当接可能な第３の保持部と前記第６の傾斜部に当接可能な第４の保持部とを有する第２の基板保持手段とを、前記基板を介して対向配置すると共に、前記第３の傾斜部に当接可能な第５の保持部と前記第４の傾斜部に当接可能な第６の保持部とを有する第３の基板保持手段と、前記第７の傾斜部に当接可能な第７の保持部と前記第８の傾斜部に当接可能な第８の保持部とを有する第４の基板保持手段とを、前記基板を介して対向配置し、
前記第１の基板保持手段乃至前記第４の基板保持手段を移動させて、前記第１の保持部乃至前記第８の保持部を前記基板の前記第１の傾斜部乃至前記第８の傾斜部にそれぞれ当接し、
前記第１の保持部乃至前記第８の保持部が前記第１の傾斜部乃至前記第８の傾斜部にそれぞれ当接された状態で、前記第１の基板保持手段乃至前記第４の基板保持手段を連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法。
【請求項７】
前記第１の基板保持手段と前記第３の基板保持手段とが一体化されてなる、または、前記第２の基板保持手段と前記第４の基板保持手段とが一体化されてなる請求項６記載の基板の搬送方法。
【請求項８】
前記第１の基板保持手段と前記第４の基板保持手段とが一体化されてなる、または、前記第２の基板保持手段と前記第３の基板保持手段とが一体化されてなる請求項６記載の基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板及びその搬送方法に係り、特に、液晶表示素子等に用いられるガラス基板等の基板及びその搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子の製造過程において、液晶表示素子の構成部品であるガラス基板を搬送する際に、ガラス基板の外周部をメカニカルチャックによって挟持したり、ガラス基板の一面側を真空チャックによって吸着して保持する場合がある。
しかしながら、ガラス基板の外周部をメカニカルチャックによって挟持した際にガラス基板のエッジ部が欠けることがあり、この欠けたガラス片がガラス基板の表面例えば画像表示部に相当する領域に付着すると、液晶表示素子の製造歩留まりを低下させる原因となる。
また、ガラス基板の一面側を真空チャックによって吸着して保持した際、チャック部にゴミや汚れが付着していると、ガラス基板におけるチャック部が接触した範囲にこのゴミや汚れが転写され、液晶表示素子の製造歩留まりを低下させる原因となる。
【０００３】
そこで、上述したメカニカルチャックや真空チャックに代わるガラス基板の搬送手段の一例として、ガラス基板の下面を爪部材で支持して搬送する方法が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平１１−２２７９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されている搬送方法では、ガラス基板の表裏が逆になるようにガラス基板を反転させる場合に、ガラス基板は爪部材上に載置されているだけなので反転の際にガラス基板が落下してしまう。
そこで、反転の際にガラス基板が落下しないように、ガラス基板を保持して反転させるための別の保持手段が必要になるが、ガラス基板を搬送するための搬送装置の構成が複雑になるため、その改善が望まれる。
【０００５】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、ガラス基板等の基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく、基板を搬送したり反転させることが可能な基板及びその搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本願各発明は次の手段を有する。
１）所定の厚さを有する平板であって表裏面（Ａ１，Ｂ１）を有する基板において、前記表面及び互いに対向する一方の側方面（１ａ）に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記一方の側方面とを連結する第１の傾斜部（２ａ）と、前記裏面及び前記一方の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記一方の側方面とを連結する第２の傾斜部（２ｂ）と、前記表面及び互いに対向する他方の側方面（１ｂ）に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記他方の側方面とを連結する第３の傾斜部（３ａ）と、前記裏面及び前記他方の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記他方の側方面とを連結する第４の傾斜部（３ｂ）と、を有することを特徴とする基板（１）である。
２）１）項記載の基板において、前記第１の傾斜部乃至前記第４の傾斜部は曲面を含んでなることを特徴とする基板である。
３）１）項または２）項記載の基板を搬送するための搬送方法であって、前記第１の傾斜部に当接可能な第１の保持部（１５ａ）と前記第２の傾斜部に当接可能な第２の保持部（１５ｂ）とを有する第１の基板保持手段（１１）を、前記第１の端面側に配置すると共に、前記第３の傾斜部に当接可能な第３の保持部（１５ｃ）と前記第４の傾斜部に当接可能な第４の保持部（１５ｄ）とを有する第２の基板保持手段（１２）を、前記第２の端面側に配置し、前記第１の基板保持手段及び前記第２の基板保持手段を移動させて、前記第１の保持部乃至前記第４の保持部を前記基板の前記第１の傾斜面乃至前記第４の傾斜部にそれぞれ当接させ、前記第１の保持部乃至前記第４の保持部が前記第１の傾斜面乃至前記第４の傾斜面にそれぞれ当接された状態で、前記第１の基板保持手段及び前記第２の基板保持手段を連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法である。
４）所定の厚さを有する平板であって表裏面（Ａ２１，Ｂ２１）と、互いに対向する第１の側方面及び第２の側方面と、互いに対向する第３の側方面及び第４の側方面と、からなる基板において、前記表面，前記第１の側方面，及び前記第３の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第１の側方面と前記第３の側方面とを連結する第１の傾斜部（２２ａ）と、前記裏面，前記第１の側方面，及び前記第３の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第１の側方面と前記第３の側方面とを連結する第２の傾斜部（２３ａ）と、前記表面，前記第３の側方面，及び前記第２の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第３の側方面と前記第２の側方面とを連結する第３の傾斜部（２２ｂ）と、前記裏面，前記第３の側方面，及び前記第２の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第３の側方面と前記第２の側方面とを連結する第４の傾斜部（２３ｂ）と、前記表面，前記第２の側方面，及び前記第４の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第２の側方面と前記第４の側方面とを連結する第５の傾斜部（２２ｃ）と、前記裏面，前記第２の側方面，及び前記第４の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第２の側方面と前記第４の側方面とを連結する第６の傾斜部（２３ｃ）と、前記表面，前記第４の側方面，及び前記第１の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記表面と前記第４の側方面と前記第１の側方面とを連結する第７の傾斜部（２２ｄ）と、前記裏面，前記第４の側方面，及び前記第１の側方面に対してそれぞれ傾斜し、前記裏面と前記第４の側方面と前記第１の側方面とを連結する第８の傾斜部（２３ｄ）と、を有することを特徴とする基板（２１）である。
５）４）項記載の基板において、前記第１の傾斜部乃至前記第８の傾斜部は曲面を含んでなることを特徴とする基板である。
６）４）項または５）項記載の基板を搬送するための搬送方法であって、前記第１の傾斜部に当接可能な第１の保持部（３１ａ）と前記第２の傾斜部に当接可能な第２の保持部（３１ｂ）とを有する第１の基板保持手段（３１）と、前記第５の傾斜部に当接可能な第３の保持部（３３ａ）と前記第６の傾斜部に当接可能な第４の保持部（３３ｂ）とを有する第２の基板保持手段（３３）とを、前記基板を介して対向配置すると共に、前記第３の傾斜部に当接可能な第５の保持部（３２ａ）と前記第４の傾斜部に当接可能な第６の保持部（３２ｂ）とを有する第３の基板保持手段（３２）と、前記第７の傾斜部に当接可能な第７の保持部（３４ａ）と前記第８の傾斜部に当接可能な第８の保持部（３４ｂ）とを有する第４の基板保持手段（３４）とを、前記基板を介して対向配置し、前記第１の基板保持手段乃至前記第４の基板保持手段を移動させて、前記第１の保持部乃至前記第８の保持部を前記基板の前記第１の傾斜部乃至前記第８の傾斜部にそれぞれ当接し、前記第１の保持部乃至前記第８の保持部が前記第１の傾斜部乃至前記第８の傾斜部にそれぞれ当接された状態で、前記第１の基板保持手段乃至前記第４の基板保持手段を連携させて任意の方向に移動または反転させることにより、前記基板を前記任意の方向に移動または反転させることを特徴とする基板の搬送方法である。
７）前記第１の基板保持手段と前記第３の基板保持手段とが一体化されてなる、または、前記第２の基板保持手段と前記第４の基板保持手段とが一体化されてなる６）項記載の基板の搬送方法である。
８）前記第１の基板保持手段と前記第４の基板保持手段とが一体化されてなる、または、前記第２の基板保持手段と前記第３の基板保持手段とが一体化されてなる６）項記載の基板の搬送方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る基板及びその搬送方法によれば、ガラス基板等の基板のエッジ部が欠けたり表面にゴミや汚れが付着することなく基板を搬送したり反転させることが可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の実施の形態を、好ましい実施例である第１実施例及び第２実施例により図１及び図２を用いて説明する。
図１は本発明の基板及びその搬送方法の第１実施例を説明するための図であり、図２は本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例を説明するための図である。
【０００９】
＜第１実施例＞
本発明の基板及びその搬送方法の第１実施例について図１を用いて説明する。
図１において、（ａ）は第１実施例における基板を説明するための斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）に示す基板を保持して搬送する搬送方法を説明するための斜視図及び断面図である。
また、図１中の一点鎖線は第１実施例における基板の重心を通る直線を表している。
【００１０】
まず、図１（ａ）を用いて、第１実施例における基板について説明する。
基板１は、ガラス基板であり、長さＬ１が２０ｍｍ、幅Ｗ１が１０ｍｍ、厚さｔ１が１ｍｍである。
ここで、便宜上、図１（ａ）における基板１の上側の面を表（おもて）面Ａ１、下側の面を裏面Ｂ１と称す。
また、基板１は、その長さＬ１方向の一方の端面１ａと表面Ａ１との接縁部を部分的にＣ面取りした第１の傾斜面部２ａと、一方の端面１ａと裏面Ｂ１との接縁部を部分的にＣ面取りした第２の傾斜面部２ｂと、を有すると共に、他方の端面１ｂと表面Ａ１との接縁部を部分的にＣ面取りした第３の傾斜面部３ａと、他方の端面１ｂと裏面Ｂ１との接縁部を部分的にＣ面取りした第４の傾斜面部３ｂと、を有している。
【００１１】
これら第１〜第４の傾斜面部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｃは、周知のＣ面取り加工方法により形成することができる。また、他の方法としては、上記基板が複数得られる大判の母材にＶ字状の溝をダイサー等を用いた機械加工により部分的に形成した後、この溝に沿って母材を切断または分断することにより、これら第１〜第４の傾斜面部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｃを得ることができる。
【００１２】
第１実施例では、第１〜第４の傾斜面部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｃの長さＬ２をそれぞれ０．８ｍｍとし、幅Ｗ２をそれぞれ３ｍｍとし、第１の傾斜面部及び第３の傾斜面部２ａ，３ａと表面Ａ１との接触角θ２、並びに、第２の傾斜面部及び第４の傾斜面部２ｂ，３ｂと裏面Ｂ１との接触角θ３をそれぞれ１５０°とした。
【００１３】
次に、図１（ｂ），（ｃ）を用いて、上述した基板１を保持して搬送する搬送方法について説明する。
図１（ｂ）に示すように、図示しない基板搬送装置に、第１の基板保持手段１１が基板１の一方の端面１ａ側に、第２の基板保持手段１２が基板１の他方の端面１ｂ側にそれぞれ配置されており、第１の基板保持手段１１と第２の基板保持手段１２とは、図示しない駆動手段によって、互いに接離する方向に移動することができる。
また、第１の基板保持手段１１及び第２の基板保持手段１２はそれぞれ一対の爪部１３ａ，１３ｂ、及び、１４ａ，１４ｂを有している。
【００１４】
第１の基板保持手段１１において、爪部１３ａは、第１の基板保持手段１１を基板１に向かって移動させた際に基板１の第１の傾斜面部２ａに当接する第１の当接面部１５ａを有し、爪部１３ｂは、基板１の第２の傾斜面部２ｂに当接する第２の当接面部１５ｂを有している。
また、第２の基板保持手段１２において、爪部１４ａは、第２の基板保持手段１２を基板１に向かって移動させた際に基板１の第３の傾斜面部２ｃに当接する第３の当接面部１５ｃを有し、爪部１４ｂは、基板１の第４の傾斜面部２ｄに当接する第４の当接面部１５ｄを有している。
【００１５】
第１実施例では、爪部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂの長さＬ１１，幅Ｗ１１，及び厚さｔ１１をそれぞれ２ｍｍ，１ｍｍ，及び０．３ｍｍとし、爪部１３ａと爪部１３ｂとの間隔幅ｄ１１ａ及び爪部１４ａと爪部１４ｂとの間隔幅ｄ１１ｂをそれぞれ６ｍｍとした。
ところで、第１の基板保持手段１１及び第２の基板保持手段１２、並びに爪部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂの各形状や各寸法は、これに限定されるものではない。例えば、第１実施例では１つの基板保持手段１１（１２）に２つの爪部１３ａ，１３ｂ（１４ａ，１４ｂ）を設けた構成としたが、基板１を爪部で保持して移動したり反転させたりすることが可能な形状や寸法であれば、１つの基板保持手段１１（１２）に１つの爪部を設けた構成としてもよいし３つ以上の爪部を設けた構成としてもよい。
【００１６】
そして、図１（ｃ）に示すように、第１の基板保持手段１１と第２の基板保持手段１２とを互いに基板１に接近する方向に移動させて、第１，第２の基板保持手段１１，１２の第１〜第４の当接面部１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄを、基板１の第１〜第４の傾斜面部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｃにそれぞれ当接させることによって、基板１を第１の基板保持手段１１と第２の基板保持手段１２とで両側から挟持して保持することができる。
さらに、基板１を保持した状態で第１の基板保持手段１１と第２の基板保持手段１２とを連携させて任意の方向に移動または反転させることによって、基板１をその面方向や面と直交する方向に移動したり、基板１の表裏が反対になるように基板１を反転させることができる。
【００１７】
上述した基板の搬送方法によれば、基板１のエッジ部や表面及び裏面に基板保持手段を接触させることなく、該基板１を保持して移動させたり回転させることができるので、基板１のエッジ部が欠けたり表面及び裏面にゴミや汚れが付着することなく、基板１を任意の方向に搬送させたり回転させることができる。
【００１８】
また、図１（ｃ）に示すように、第１の基板保持手段１１及び第２の基板保持手段１２で基板１を保持した際に、第１の基板保持手段１１及び第２の基板保持手段１２が基板１の表面Ａ１及び裏面Ｂ１よりも突出しないことが好ましい。
第１の基板保持手段１１及び第２の基板保持手段１２が基板１の表面Ａ１及び裏面Ｂ１よりも突出しない構成とすることにより、基板１に成膜やパターニングの処理を円滑に行うことができる。
【００１９】
＜第２実施例＞
本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例について図２を用いて説明する。
図２において、（ａ）は第２実施例における基板を説明するための斜視図、（ｂ）及び（ｃ）は（ａ）に示す基板を保持して搬送する搬送方法を説明するための斜視図及び断面図である。
また、図２中の一点鎖線は第２実施例における基板の重心を通る直線（対角線）を表している。
【００２０】
まず、図２（ａ）を用いて、第２実施例における基板について説明する。
基板２１は、ガラス基板であり、長さＬ２１が２０ｍｍ、幅Ｗ２１が１０ｍｍ、厚さｔ２１が１ｍｍである。
ここで、便宜上、図２（ａ）における基板２１の上側の面を表（おもて）面Ａ２１、下側の面を裏面Ｂ２１と称す。
また、基板２１は、表面Ａ２１側の４つの角部をそれぞれＣ面取りした第１の傾斜面部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを有すると共に、裏面Ｂ２１側の４つの角部をそれぞれＣ面取りした第２の傾斜面部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄを有している。
これら第１の傾斜面部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ及び第２の傾斜面部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄは、周知のＣ面取り加工方法により形成することができる。
【００２１】
第２実施例では、第１の傾斜面部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄの各幅Ｗ２２、及び、第２の傾斜面部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの各幅Ｗ２３をそれぞれ１ｍｍとした。
また、第１の傾斜面部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと表面Ａ２１との接触角θ２２、及び、第２の傾斜面部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄと裏面Ｂ２１との接触角θ２３をそれぞれ１５０°とした。
【００２２】
次に、図２（ｂ），（ｃ）を用いて、上述した基板２１を保持して搬送する搬送方法について説明する。
図２（ｃ）は図２（ｂ）中のＡＡ−ＢＢ線における模式的断面図である。
【００２３】
図２（ｂ）に示すように、図示しない基板搬送装置に、第１の基板保持手段３１と第３の基板保持手段３３とが基板２１の重心を通る一方の対角線上に配置されており、第２の基板保持手段３２と第４の基板保持手段３４とが基板２１の重心を通る他方の対角線上に配置されている。
また、第１の基板保持手段３１と第３の基板保持手段３３とは図示しない駆動手段によって互いに接離する方向に移動することができ、第２の基板保持手段３２と第４の基板保持手段３４とは図示しない駆動手段によって互いに接離する方向に移動することができる。
【００２４】
また、第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４は、これら第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４を基板２１に向かってそれぞれ移動させた際に基板２１の第１の傾斜面部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄにそれぞれ当接する第１の当接面部３１ａ，３２ａ，３３ａ，３４ａを有すると共に、基板２１の第２の傾斜面部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄに当接する第２の当接面部３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂを有している。
【００２５】
そして、図２（ｃ）に示すように、これら第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４をそれぞれ基板２１に向かって移動させ、第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４の第１の当接面部３１ａ，３２ａ，３３ａ，３４ａを基板２１の第１の傾斜面部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄにそれぞれ当接させると共に、第２の当接面部３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂを基板２１の第２の傾斜面部２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄにそれぞれ当接させることによって、基板２１を第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４で挟持して保持することができる。
さらに、基板２１を保持した状態でこれら第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４を連携させて任意の方向に移動または反転させることによって、基板２１をその面方向や面と直交する方向に移動したり、基板２１の表裏が反対になるように基板２１を反転させることができる。
【００２６】
上述した基板の搬送方法によれば、基板２１のエッジ部や表面及び裏面に基板保持手段を接触させることなく、該基板２１を保持して移動させたり回転させることができるので、基板２１のエッジ部が欠けたり表面及び裏面にゴミや汚れが付着することなく、基板２１を任意の方向に搬送させたり回転させることができる。
【００２７】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００２８】
例えば、第１実施例及び第２実施例の基板及び基板保持手段の形状や寸法は一例であり、これに限定されるものではない。
【００２９】
ここで、第２実施例の変形例について図３を用いて説明する。
図３は、第２実施例の変形例を説明するための斜視図であり、図３中の一点鎖線は変形例における基板の重心を通る直線を表している。
【００３０】
図３に示すように、基板４１は、表（おもて）面Ａ４１，この表面Ａ４１とは反対側の裏面Ｂ４１，及び８つの端面を有する１０面体の基材における、表面Ａ４１と第１〜第４の端面４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄとの接縁部をＣ面取りすることによって得られる第１〜第４の傾斜面部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ、及び、裏面Ｂ４１と第１〜第４の端面４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄとの接縁部をＣ面取りすることによって得られる第５〜第８の傾斜面部４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを有している。
そして、第２実施例における第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４の第１の当接面部３１ａ，３２ａ，３３ａ，３４ａ及び第２の当接面部３１ｂ，３２ｂ，３３ｂ，３４ｂを、基板４１の第１〜第４の傾斜面部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ及び第５〜第８の傾斜面部４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄにそれぞれ当接可能な形状及び寸法とすることによって、基板４１をこれら第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４で挟持して保持することができる。
さらに、基板４１を保持した状態でこれら第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４を連携させて任意の方向に移動または反転させることによって、基板４１をその面方向や面と直交する方向に移動したり、基板４１の表裏が反対になるように基板４１を反転させることができる。
【００３１】
上述した基板の搬送方法によれば、基板４１のエッジ部や表面及び裏面に基板保持手段を接触させることなく、該基板４１を保持して移動させたり回転させることができるので、基板４１のエッジ部が欠けたり表面及び裏面にゴミや汚れが付着することなく、基板４１を任意の方向に搬送させたり回転させることができる。
【００３２】
また、第２実施例及び変形例では、４つの基板保持手段、即ち、第１〜第４の基板保持手段３１，３２，３３，３４を用いたがこれに限定されるものではなく、例えば、第１の基板保持手段３１と第４の基板保持手段３４とが一体化した基板保持手段、または、第２の基板保持手段３２と第３の基板保持手段３３とが一体化した基板保持手段を用いて、基板２１，４１を保持するようにしてもよい。
同様に、第１の基板保持手段３１と第２の基板保持手段３２とが一体化した基板保持手段、または、第３の基板保持手段３３と第４の基板保持手段３４とが一体化した基板保持手段を用いて、基板２１，４１を保持するようにしてもよい。
【００３３】
また、第１実施例では、基板１をその長手方向から第１の基板保持手段１１と第２の基板保持手段１２とで挟持して保持したが、これに限定されるものではなく、例えば、基板１の短手方向側に第１実施例の第１〜第４の傾斜面部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｃと同様の傾斜面部を設け、この基板１をその短手方向から第１の基板保持手段１１と第２の基板保持手段１２とで挟持して保持するようにしてもよい。
【００３４】
また、第１実施例，第２実施例，及び変形例では、傾斜面部２ａ，２ｂ，３ａ，３ｃ，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ，４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄをそれぞれ平坦な面としたが、これに限定されるものではなく、例えば、曲面を含む面とすることもできる。
【００３５】
また、第１実施例及び第２実施例では、搬送される基板としてガラス基板を用いたがこれに限定されるものではなく、半導体ウエハ等を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の基板及びその搬送方法の第１実施例を説明するための図である。
【図２】本発明の基板及びその搬送方法の第２実施例を説明するための図である。
【図３】第２実施例の変形例を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
１，２１  基板、  ２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ，１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄ，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，３１ａ,３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３４ａ，３４ｂ  面部、  １１，１２，３１，３２，３３，３４  基板保持手段、  １３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ  爪部、  Ｌ１，Ｌ２，Ｌ１１，Ｌ２１  長さ、  Ｗ１，Ｗ２，Ｗ１１，Ｗ２１，Ｗ２２，Ｗ２３  幅、  ｔ１，ｔ１１，ｔ２１  厚さ、  Ａ１，Ｂ１，Ａ２１，Ｂ２１，１ａ，１ｂ  面、  θ２，θ３，θ２２，θ２３  接触角、  ｄ１１ａ，ｄ１１ｂ  間隔幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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