(57)【要約】【課題】１９３ｎｍにおける透過率に優れる液浸露光用液体として好適な脂環式飽和炭化水素化合物の透過率をより向上させることができる製造方法を提供する。【解決手段】波長１９３ｎｍにおける透過率が液体の光路長１ｍｍあたり９９％以上である製造方法であって、１，１’−ビシクロヘキシル、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、およびｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンから選ばれた少なくとも１つの脂環式飽和炭化水素化合物をアルミナ、シリカアルミナおよびゼオライトから選ばれた少なくとも１つの酸化物からなる吸着剤が充填された２本以上のカラムを順に通過させる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長１９３ｎｍにおける透過率が液体の光路長１ｍｍあたり９９％以上である脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法であって、
原料となる脂環式飽和炭化水素化合物を吸着剤が充填された２本以上のカラムを順に通過させる工程を含むことを特徴とする脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【請求項２】
前記脂環式飽和炭化水素化合物は、１，１’−ビシクロヘキシル、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、およびｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンから選ばれた少なくとも１つの脂環式飽和炭化水素化合物であることを特徴とする請求項１記載の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【請求項３】
前記吸着剤は、アルミナ、シリカアルミナおよびゼオライトから選ばれた少なくとも１つの酸化物であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【請求項４】
前記脂環式飽和炭化水素化合物が１，１’−ビシクロヘキシルであり、前記吸着剤がシリカアルミナおよびゼオライトから選ばれた少なくとも１つの酸化物であることを特徴とする請求項２または請求項３記載の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【請求項５】
前記脂環式飽和炭化水素化合物がｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエンであり、前記吸着剤がシリカアルミナおよびゼオライトから選ばれた少なくとも１つの酸化物であることを特徴とする請求項２または請求項３記載の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【請求項６】
前記脂環式飽和炭化水素化合物がｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンであることを特徴とする請求項２記載の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【請求項７】
前記原料となる脂環式飽和炭化水素化合物のガスクロマトグラフィ法による純度が９９質量％以上であることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項記載の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法に関し、特に液浸露光装置または液浸露光方法に用いるために吸光度を低下させることができる製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等を製造するのに際し、フォトマスクとしてのレチクルのパターンを投影光学系を介して、フォトレジストが塗布されたウエハ上の各ショット領域に転写するステッパー型、またはステップアンドスキャン方式の投影露光装置が使用されている。
投影露光装置に備えられている投影光学系の解像度の理論限界値は、使用する露光波長が短く、投影光学系の開口数が大きいほど高くなる。そのため、集積回路の微細化に伴い投影露光装置で使用される放射線の波長である露光波長は年々短波長化しており、投影光学系の開口数も増大してきている。
このように、半導体素子等の製造分野においては、従来、露光光源の短波長化、開口数の増大により集積回路の微細化要求に応えてきており、現在では露光光源としてＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）を用いた１Ｌ１Ｓ（１：１ラインアンドスペース）ハーフピッチ９０ｎｍノードの量産化が検討されている。しかしながら、更に微細化が進んだ次世代のハーフピッチ６５ｎｍノードあるいは４５ｎｍノードについてはＡｒＦエキシマレーザの使用のみによる達成は困難であるといわれている。そこで、これらの次世代技術についてはＦ2エキシマレーザ（波長１５７ｎｍ）、ＥＵＶ（波長１３ｎｍ）等の短波長光源の使用が検討されている。しかしながら、これらの光源の使用については技術的難易度が高く、現状ではまだ使用が困難な状況にある。
【０００３】
ところで、上記の露光技術においては、露光されるウエハ表面にはフォトレジスト膜が形成されており、このフォトレジスト膜にパターンが転写される。従来の投影露光装置では、ウエハが配置される空間は屈折率が１の空気または窒素で満たされている。
屈折率ｎの液体を投影露光装置のレンズとウエハの間に満たし、適当な光学系を設定することにより、解像度の限界値および焦点深度をそれぞれｎ分の１、ｎ倍にすることが理論的に可能である。例えば、ＡｒＦプロセスで、レンズとウエハの間に満たす液体として水を使用すると波長１９３ｎｍの光の水中での屈折率ｎはｎ＝１．４４であるから、空気または窒素を媒体とする露光時と比較し、解像度が６９．４％、焦点深度が１４４％となる光学系の設計が理論上可能となる。
このように露光するための放射線の実効波長を短波長化し、より微細なパターンを転写できる投影露光する方法を液浸露光といい、今後のリソグラフィーの微細化、特に数１０ｎｍ単位のリソグラフィーには、必須の技術と考えられている。
【０００４】
本願出願人は、液浸露光方法において、従来液浸露光用液体として使用されている純水よりも屈折率が大きく、優れた透過性を有し、フォトレジスト膜あるいはその上層膜成分(とりわけ親水性成分)の溶出や溶解を防ぎ、レンズを浸食せずレジストパターンの生成時の欠陥を抑えることができ、液浸用液体として使用した場合、より解像度および焦点深度の優れたパターンを形成できる液浸露光用液体の提供を目的として、種々の化合物について検討を行なった結果、遠紫外領域における吸収が小さく、液浸露光用液体として好適な高屈折率を有する脂環式飽和炭化水素化合物について出願している（特許文献１）。
しかし、公知の方法で合成され、または市場で入手できる脂環式飽和炭化水素化合物を液浸露光用液体に用いた場合、一般に遠紫外領域に大きな吸収を有するため、透過率の不足により、感度低下に伴うスループットの低下、液体の光吸収による液体の発熱による屈折率変動に起因する光学像のデフォーカス、歪み、あるいは光学像のデフォーカスによる解像度、パターン形状の劣化等の問題が生じる場合があった。
【０００５】
遠紫外領域における吸収は、非常に微量であっても透過率に大きく影響する炭素−炭素不飽和結合または芳香族環を有する化合物、カルボニル基、水酸基等の官能基を有する化合物が不純物として原料となる脂環式飽和炭化水素化合物に僅かに存在しているためと考えられることから、処理温度の異なる複数の硫酸洗浄処理工程を含み、少なくとも最終硫酸洗浄処理工程の処理温度が該洗浄処理工程より前の処理工程の処理温度よりも低い処理温度で処理することを特徴とする方法を本発明者等は既に提案している（特許文献２）。  また、吸着剤を用いて脂環式飽和炭化水素化合物を精製する方法が開示されている（特許文献３および４）。
しかしながら、上記精製方法であっても脂環式飽和炭化水素化合物の１９３ｎｍにおける透過率が十分に向上しなかったり、工数が煩雑になったりするという問題がある。例えば特許文献３の方法では１９３ｎｍにおける透過率を光路長１ｍｍあたり９９％以上に高められない。また特許文献４の方法では透過率を高めるのに２種類の吸着剤を使用しなくてはならないという問題がある。更に、特許文献３および特許文献４の方法では、液浸露光用液体の工業的製造を図ろうとした場合に、効率よく、かつ少量の吸着剤で処理できないという問題がある。
【特許文献１】ＷＯ２００５／１１４７１１
【特許文献２】特願２００６−３２９２６５
【特許文献３】ＷＯ２００５／１１９３７１
【特許文献４】ＷＯ２００６／１１５２６８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はこのような問題に対処するためになされたもので、１９３ｎｍにおける透過率に優れる液浸露光用液体として好適な脂環式飽和炭化水素化合物の透過率をより向上させることができる製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
脂環式飽和炭化水素化合物に含まれる不純物を効率よく除去することに関して種々の検討を行なった結果、２本以上のカラムを順に通過させることにより効率よく極微量の不純物を除去できる。その結果、１９３ｎｍにおける透過率の高い液浸露光用液体が得られることを見出し発明を完成するに至った。
すなわち、本発明に係る脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法は、波長１９３ｎｍにおける透過率が液体の光路長１ｍｍあたり９９％以上である製造方法であって、原料となる脂環式飽和炭化水素化合物を吸着剤が充填された２本以上のカラムを順に通過させる工程を含むことを特徴とする。
また、上記脂環式飽和炭化水素化合物が、１，１’−ビシクロヘキシル、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、およびｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンから選ばれた少なくとも１つの脂環式飽和炭化水素化合物であることを特徴とする。
また、上記吸着剤が、アルミナ、シリカアルミナおよびゼオライトから選ばれた少なくとも１つの酸化物であることを特徴とする。
特に、上記脂環式飽和炭化水素化合物が１，１’−ビシクロヘキシル、またはｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエンである場合、上記吸着剤がシリカアルミナおよびゼオライトから選ばれた少なくとも１つの酸化物であることを特徴とする。
また、上記脂環式飽和炭化水素化合物がｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンであることを特徴とする。
本発明の製造方法において、原料となる脂環式飽和炭化水素化合物のガスクロマトグラフィ法による純度が９９質量％以上であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の製造方法は、原料脂環式飽和炭化水素化合物を２本以上のカラムを順に通過させることにより効率よく極微量の不純物を除去できる。吸着剤に対する各不純物の吸着平衡値が異なるために、１本のカラムのみを通過させる精製手段よりも、２本以上のカラムを通過させて精製した場合の方が、単位吸着剤量あたりの精製量を多くすることができるためと考えられる。その結果、波長１９３ｎｍにおける透過率が液体の光路長１ｍｍあたり９９％以上の液浸露光用液体が効率よく製造できる。
この液体を使用することにより、光吸収による発熱を抑えることができ、屈折率変動に起因する光学像のデフォーカス、歪み、あるいは光学像のデフォーカスによる解像度、パターン形状の劣化等の問題を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の製造方法により製造される脂環式飽和炭化水素化合物は、波長１９３ｎｍにおける光の透過率が液体の光路長１ｍｍあたり９９％以上である。
光路長１ｍｍあたりの透過率Ｔと光路長１ｃｍあたりの吸光度Ａとの間には、
Ｔ（％） ＝ １００ × １０−0.1A
の関係があるので、光路長１ｍｍあたり９９％以上の透過率は、光路長１ｃｍあたりの吸光度０．０４３７以下に相当する。透過率が上記範囲となることにより、光吸収による発熱を抑えることができ、屈折率変動に起因する光学像のデフォーカス、歪み、あるいは光学像のデフォーカスによる解像度、パターン形状の劣化等の問題を抑えることができる。
【００１０】
本発明の製造方法に使用できるカラムは、吸着剤が内部に充填されている容器である。好ましくは両端に開口部を有する筒状の容器であり、一方の開口部より原料となる脂環式飽和炭化水素化合物を投入し、精製物が他方の開口部より回収できる容器である。
本発明においては、このカラムを２本以上順に通過させて精製する。精製は、カラム自体を直接２本以上直列に接続して精製しても、第１のカラムを通過させて液体を回収した後に第２のカラムに投入するように、カラム毎に順に投入、回収を繰り返す方法で精製してもよい。
本発明においては、同じ１本のカラムを複数回通過させて精製するのではなく、１本のカラムは１回の通過のみである。
【００１１】
カラムは、未使用カラムを２本以上準備して使用することが好ましい。カラムの形状、吸着剤の種類は、同一であっても異なっていてもよい。同一の吸着剤が充填された２本以上のカラムを使用することが吸着剤の品質管理のし易さの理由で好ましい。複数の吸着剤を使用する場合には、吸着剤の種類の数だけ品質管理に労力がかかるためである。
【００１２】
本発明で使用できる吸着剤は、アルミナ、シリカアルミナ、ゼオライト、またはこれらを組み合わせて得られる酸化物である。
アルミナは組成式がＡｌ2Ｏ3で表される酸化物である。シリカアルミナは無定形シリカ・アルミナと称されるものであり、ゼオライトは、結晶性アルミノケイ酸塩と称されるものである。
本発明で使用できる吸着剤は、以下の方法により評価したとき、上記吸着剤に接触させた後の吸光度と、上記吸着剤に接触させる前の脂環式飽和炭化水素化合物の吸光度との比が１．１以下であれば使用できる。
＜評価方法＞
ガラス製容器内に波長１９３ｎｍにおける液体の光路長１ｃｍあたり０．０４３７以下の脂環式飽和炭化水素化合物３０ｍｌを入れ、この脂環式飽和炭化水素化合物中に１．５ｇの吸着剤を加えて窒素雰囲気下において、２５℃で７２時間静置する。吸着剤に接触させる前の吸光度（Ａ）と、接触させた後の吸光度（Ｂ）とを波長１９３ｎｍの光で測定し、その吸光度比（Ｂ／Ａ）を算出する。
【００１３】
本発明方法を採用することで吸着剤量を少なくできる。例えば、透過率９９％／ｍｍ以上の脂環式飽和炭化水素化合物１００ｍｌを製造するのに要する吸着剤量を２０ｇ未満とすることができる。
また、本発明で使用するために、吸着剤は２００〜５００℃、好ましくは２５０〜５００℃の温度で使用前に焼成することが好ましい。２００℃未満の焼成であったり、未焼成であったりする場合は、上記評価の値を達成することができなくなる。
【００１４】
上記吸着剤を用いる精製法において、原料となる脂環式飽和炭化水素化合物はカラムに投入する前のガスクロマトグラフィ法による純度が９９質量％以上であることが好ましい。ガスクロマトグラフィ法による純度は、Ａｇｉｌｅｎｔ６８９０ガスクロマトグラフィシステム、カラム（ＴＣ１７０１）、キャリアガス（ヘリウム）、検出器（ＴＣＤ）で測定できる。
【００１５】
上記吸着剤を用いる精製法において、原料となる脂環式飽和炭化水素化合物としては、１，１’−ビシクロヘキシル、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、およびｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンから選ばれる少なくとも１つの脂環式飽和炭化水素化合物であることが本発明の製造方法により透過率を９９％／ｍｍ以上としやすいため、好ましい。
脂環式飽和炭化水素化合物と吸着剤との組み合わせは、脂環式飽和炭化水素化合物が１，１’−ビシクロヘキシルまたはｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエンの場合、吸着剤はシリカアルミナ、ゼオライト、またはこれらの混合物が原料となる脂環式炭化水素化合物中に含まれている不純物を効率的に除去できるという理由で好ましい。
また、脂環式飽和炭化水素化合物がｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンの場合、アルミナ、シリカアルミナ、ゼオライト、またはこれらの混合物が原料となる脂環式炭化水素化合物中に含まれている不純物を効率的に除去できるという理由で好ましい。
【００１６】
本発明方法で製造された脂環式飽和炭化水素化合物は、レジスト成分とりわけ、揮発性不純物の溶出が少ないため、簡便な方法で回収、精製を行なうことにより、光学特性を再現性よく回復し、再利用することができる。
再利用する場合の精製の方法としては、水洗処理、酸洗浄（硫酸洗浄）、アルカリ洗浄、精密蒸留、適当なフィルター（充填カラム）を用いた精製、ろ過等の方法および、上記本発明方法による精製法、あるいはこれらの精製法の組み合わせによる方法が挙げられる。この中で、水洗処理、アルカリ洗浄、酸洗浄、精密蒸留、酸化物吸着あるいはこれらの精製法の組み合わせにより精製を行なうのが好ましい。
上記アルカリ洗浄は液浸露光用液体に溶出した露光により発生した酸の除去、酸洗浄は液浸露光用液体に溶出したレジスト中の塩基性成分の除去、水洗処理は液浸露光用液体に溶出したレジスト膜中の光酸発生剤、塩基性添加剤、露光時に発生した酸等の溶出物の除去に対して有効である。
本発明で開示した脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法は上記回収、精製においても有効であり、本方法により、樹脂中の酸解離性保護基の分解または、液体への放射線の照射により生じる光反応生成物である炭素、炭素不飽和結合を有する不純物の除去を有効にできるため、透過率の変動を防ぐことが可能である。
なお、精製時において精密蒸留を行なうことができる。精密蒸留は、上記添加剤のうち低揮発性の化合物の除去に対して有効な他、露光時にレジスト中の保護基の分解により発生する疎水性成分を除去するのに有効である。
【００１７】
フォトレジスト膜、または液浸用上層膜が形成されたフォトレジスト膜に本発明で製造された脂環式飽和炭化水素化合物を媒体として、所定のパターンを有するマスクを通して放射線を照射し、次いで現像することにより、レジストパターンを形成することができる。
液浸露光に用いられる放射線は、使用されるフォトレジスト膜およびフォトレジスト膜と液浸用上層膜との組み合わせに応じて、例えば可視光線；ｇ線、ｉ線等の紫外線；エキシマレーザ等の遠紫外線；シンクロトロン放射線等のＸ線；電子線等の荷電粒子線の如き各種放射線を選択使用することができる。特にＡｒＦエキシマレーザ（波長１９３ｎｍ）あるいはＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）が好ましい。
【実施例】
【００１８】
以下に実施例を示す。なお、吸光度は０．５ｐｐｍ以下に管理した窒素雰囲気のグローブボックス中でポリテトラフルオロエチレン製蓋付の光路長１ｃｍおよび２ｃｍのセルに液体のサンプリングを行ない、日本分光社製ＪＡＳＣＯ−Ｖ７１００を用いて、上記液体の入ったセルをサンプル、空気をリファレンスとして吸光度を測定し、両者の差を１ｃｍあたりの吸光度とした。測定温度は２３℃である。この値を元にランベルトベールの法則により１ｍｍあたりの透過率を算出した。サンプルの透過光強度をｌ0、リファレンスの透過光強度をｌとすると、吸光度はｌｏｇ10（ｌ0／ｌ）で示される。各実施例で示す表中の値はセルの反射を計算により補正した値である。
【００１９】
吸着剤は以下のものを使用した。各吸着剤を５００℃で３時間焼成後に、カラム径３１ｍｍΦ、カラム長さ１５０ｍｍのガラス製カラムに所定量充填して複数本のカラムを準備した。
シリカアルミナ：日揮化学社製、Ｎ６３３Ｌ
ゼオライト−１：東ソー社製、ＨＳＺ−３４１ＮＨＡ
ゼオライト−２：東ソー社製、Ｆ−９
アルミナ：住友化学社製、ＫＨＤ−１２
【００２０】
実施例１
窒素雰囲気下で、ＧＣ純度が９９．９質量％の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌに対してシリカアルミナを４ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９５．５０％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにシリカアルミナを１ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のシリカアルミナカラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．５４％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌを製造するのに、シリカアルミナは合計５ｇ使用した。
【００２１】
実施例２
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌに対してゼオライト−１を５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．６９％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにゼオライト−１を５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のゼオライト−１カラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．３８％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌを製造するのに、ゼオライト−１は合計１０ｇ使用した。
【００２２】
実施例３
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌに対してゼオライト−２を５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９５．７５％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにゼオライト−２を２ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のゼオライト−２カラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．５４％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌを製造するのに、ゼオライト−２は合計７ｇ使用した。
【００２３】
実施例４
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％のｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン１００ｍｌに対してシリカアルミナを５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９５．７３％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにシリカアルミナを５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のシリカアルミナカラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．１４％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上のｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン１００ｍｌを製造するのに、シリカアルミナは合計１０ｇ使用した。
【００２４】
実施例５
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％のｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン１００ｍｌに対してゼオライト−１を４ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９７．６１％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにゼオライト−１を４ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のゼオライト−１カラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．７５％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上のｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン１００ｍｌを製造するのに、ゼオライト−１は合計８ｇ使用した。
【００２５】
実施例６
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％のｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン１００ｍｌに対してゼオライト−１を５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９１．２０％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにゼオライト−１を５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のカラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．７０％／ｍｍであった。
更にこの液体を新たにゼオライト−１を５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。３本目のカラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．１１％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上のｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン１００ｍｌを製造するのに、ゼオライト−１は合計１５ｇ使用した。
【００２６】
実施例７
窒素雰囲気で、純度９９．９質量％のｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン１００ｍｌに対してアルミナを５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９１．４０％／ｍｍであった。
この吸着ろ過後の液体を新たにアルミナを５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。２本目のカラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．５０％／ｍｍであった。
更にこの液体を新たにアルミナを５ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。３本目のカラム通過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９９．０７％／ｍｍであった。
またこの操作で透過率９９％／ｍｍ以上のｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレン１００ｍｌを製造するのに、アルミナは合計１５ｇ使用した。
【００２７】
比較例１
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌに対してシリカアルミナを２０ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９７．７４％／ｍｍであった。
【００２８】
比較例２
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％の１，１'−ビシクロヘキシル１００ｍｌに対してシリカアルミナを４０ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．７７％／ｍｍであった。
【００２９】
比較例３
比較例２で得た吸着ろ過後の液体を、同じカラムを用いて吸着ろ過した。この２回目の吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．６１％／ｍｍであった。
さらに、この液体を同じカラムを用いて吸着ろ過した。３回目の吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．４５％／ｍｍであった。
【００３０】
比較例４
窒素雰囲気下で、純度９９．９質量％のｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン１００ｍｌに対してシリカアルミナを４０ｇ充填したカラムを用いて吸着ろ過した。この吸着ろ過後に、１９３ｎｍにおける透過率を測定したところ、９８．１７％／ｍｍであった。
【００３１】
実施例１〜７より、１，１’−ビシクロヘキシル、ｅｘｏ−テトラヒドロジシクロペンタジエン、ｔｒａｎｓ−デカヒドロナフタレンを、吸着剤としてシリカアルミナ、ゼオライトあるいはアルミナを充填した２本以上のカラムを通過させることにより、１９３ｎｍにおける透過率が９９％／ｍｍ以上となることが分かった。
比較例１〜４の結果と併せると、１本のみのカラム通過では透過率が９９％／ｍｍ以上の液浸露光液体が得られない。また、同じ１本のカラムを複数回通過させても透過率が９９％／ｍｍ以上の液浸露光液体が得られず、これらの方法は吸着剤の使用量が増大するのみで好ましくなく、２本以上のカラムを通過させることで効率よく透過率を向上することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明の脂環式飽和炭化水素化合物の製造方法は、原料となる脂環式飽和炭化水素化合物を吸着剤が充填された２本以上のカラムを順に通過させることにより、１９３ｎｍにおける透過率が９９％／ｍｍ以上の液浸露光用脂環式飽和炭化水素化合物となる。そのため、今後更に微細化が進行すると予想される半導体デバイスの製造に必須の技術である液浸露光に用いられる液体として極めて好適に使用することができる。