(57)【要約】【課題】回転軸の軸受寿命の増大を図ることができる軸受装置を提供する。【解決手段】軸受装置１１０は、回転軸８２の軸方向において駆動モータ２０を挟むように設けられる前側フォイル軸受３０と後側フォイル軸受４０とを有するラジアル方向軸受７０と、アキシャル方向の支持をなす磁気軸受５０を有するアキシャル方向軸受５１とを備える。圧縮部１の空気流入路１２から流入した空気の一部は、圧縮部１で圧縮され、圧縮部１に接続された空気排出路１３の経路途中に設けられたバイパス経路１４から圧縮機９１本体の内部に供給される。従って、圧縮機９１本体の内部が１気圧よりも高い気圧まで上昇することにより、回転軸８２とラジアル方向軸受７０との間にさらに強い動圧力が発生し、回転軸８２とラジアル方向軸受７０との接触頻度が抑制される。従って、ラジアル方向軸受７０の軸受寿命の増大を図ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に一体に設けられるロータとケーシングに固定されるステータとを備える駆動モータと、
前記回転軸の軸方向において前記駆動モータを挟むように配設された一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受と、
前記回転軸の外周面に設けられたターゲット部に対向し、アキシャル方向の支持をなす磁気軸受を有するアキシャル方向軸受と、
前記ケーシングに接続され、前記回転軸の端部に固定された羽根車が前記駆動モータにより回転されて、圧縮空気を排出するための空気排出路とを備える軸受装置において、
前記空気排出路の経路途中に接続され、前記圧縮空気の一部を、前記軸受装置の内部に供給するためのバイパス経路が形成されている
ことを特徴とする軸受装置。
【請求項２】
回転軸に一体に設けられるロータとケーシングに固定されるステータとを備える駆動モータと、
前記回転軸の軸方向において前記駆動モータを挟むように配設された一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受と、
前記回転軸の外周面に設けられたターゲット部に対向し、アキシャル方向の支持をなす磁気軸受を有するアキシャル方向軸受と、
前記ケーシングに接続され、前記回転軸の端部に固定された羽根車が前記駆動モータにより回転されて、圧縮空気を排出するための空気排出路とからなる軸受装置を備える回転駆動装置において、
前記空気排出路の経路途中に接続され、前記圧縮空気の一部を、前記軸受装置の内部に供給するためのバイパス経路が形成されている
ことを特徴とする回転駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の回転駆動装置において、
前記バイパス経路の経路途中には、前記軸受装置の内部に供給される前記圧縮空気の量を調節するための調節弁が形成されている
ことを特徴とする回転駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受装置に関し、さらに回転駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンプレッサ、ブロワ、タービン等の回転機器を駆動する回転駆動装置には、回転軸を支承する軸受装置が備えられている。特に、小型の回転機器やオイルの使用を避けたい回転機器においては、フォイル軸受等の動圧気体軸受や磁気軸受が使用される。このような軸受装置では、フォイル軸受がラジアル方向軸受として、磁気軸受がアキシャル方向軸受として回転軸を支承する。
【０００３】
フォイル軸受は、回転軸と軸受との相対滑りによって発生するくさび作用あるいはポンプ作用によって周囲の気体を引き込み，回転軸と軸受との間の圧力を上昇させ負荷能力と軸受剛性を得る軸受である。フォイル軸受は、低コスト、オイルフリー等の利点がある。しかしながら、回転軸の低速回転時及び外乱振動発生時において十分な動圧力を発生させることができず、摩擦や焼き付け等を生じるという問題点がある。
【０００４】
フォイル軸受において、回転軸の低速回転時及び外乱振動発生時に摩擦や焼き付け等を生じるという問題点を解消するために、フォイル軸受と併用して、回転軸の一部をスラスト方向に支持する位置に、磁気軸受を備えた軸受装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。図５に、動圧気体軸受と併用して、回転軸の一部をスラスト方向に支持する磁気軸受を有するアキシャル方向軸受を備えた軸受装置８０の正面断面図を示す。
【０００５】
図５において、軸受装置８０には、ケーシング８１内に回転軸８２が備えられ、ケーシング８１と回転軸８２との間に、回転軸８２の一方を回転軸８２をアキシャル方向に浮上させることが可能な動圧気体軸受８３が設けられている。動圧気体軸受８３は、回転軸８２の下方の位置に一体形成されたスラスト円板８５の両面にフォイル８６を有するフォイル軸受である。
【０００６】
軸受装置８０において、ケーシング８１の内周には、ケーシング８１の上方から回転軸８２が挿通されている。ケーシング８１の内径は、回転軸８２の外径に比べて若干大きく設定されている。動圧気体軸受８３が機能する場合、ケーシング８１と回転軸８２との間に、微小間隙が形成される。
【０００７】
すなわち、軸受装置８０が定常運転をしている場合、回転軸８２の回転に伴って、スラスト円板８５の上面８５ａと、この上面８５ａに対向する位置にケーシング８１から突設された固定円板８７との間、及びスラスト円板８５の下面８５ｂと、下面８５ｂに対向するケーシング８１の内壁８１ａとの間に、それぞれ空気が高速状態で引き込まれることによって、動圧力が発生する。そして、発生した動圧力により、回転軸８２がアキシャル方向（図中の矢印Ｐ方向）に浮上支承される。
【０００８】
さらに、軸受装置８０において、ケーシング８１の上方内周には、磁気軸受８４が設けられている。磁気軸受８４と対向する位置には、回転軸８２と一体形成された磁性材質のターゲット部８８が設けられている。そして、磁気軸受８４の電磁石（不図示）の発生する磁力によりターゲット部８８が吸引され、回転軸８２がアキシャル方向に浮上支承される。
【０００９】
このような構成によれば、回転軸８２の低速回転時及び外乱振動発生時等において動圧気体軸受８３に十分な動圧力が発生しない場合、回転軸８２は、磁気軸受８４とターゲット部８８との間に作用する磁気吸引力によって浮上支承される。その結果、動圧気体軸受８３に設けられたスラスト円板８５とケーシング８１の内壁８１ａとの間、及びスラスト円板８５と固定円板８７との間に間隙が形成され、回転軸８２がケーシング８１の内壁８１ａと接触することを防ぐことができる。また、軸受装置８０においては、回転軸８２が高速回転となった後は、ケーシング８１内の空気により動圧力が発生し、静圧気体軸受のように一定の空気を供給し続ける必要がないので、低コスト化を図ることができると記載されている。
【００１０】
また、回転駆動装置の一例としての圧縮機９０を図６に示す。図６は、従来のアキシャル方向軸受とラジアル方向軸受とを備えた回転駆動装置としての圧縮機９０の概略模式図である。
【００１１】
この圧縮機９０は、回転軸８２が水平方向となる横置きで用いられる。圧縮機９０には、圧縮部１及び駆動部２が設けられている。圧縮部１及び駆動部２は、ケーシング１０の圧縮部ケーシング１０ａと駆動部ケーシング１０ｂとによって連結されている。
【００１２】
圧縮部１は、駆動部２の前方（図６において左側を前方とする）に位置している。圧縮部１には、空気が流入する空気流入路１２と、空気流入路１２を通じて流入した空気を圧縮するとともに空気排出路１３を通じて、圧縮空気を排出する羽根車１１とが設けられている。
【００１３】
駆動部２には、駆動モータ２０と、この駆動モータ２０によって回転駆動される回転軸８２と、回転軸８２を支承する軸受装置１００とが設けられている。駆動モータ２０は、駆動部ケーシング１０ｂに固定されるステータ２２と、回転軸８２の外周に設けられたロータ２３とを備えている。回転軸８２の軸方向におけるロータ２３の後側、すなわち回転軸８２の軸方向において圧縮部１と反対側には、ターゲット部２４が設けられている。回転軸８２の先端側、すなわち回転軸８２の圧縮部１に収容されている側には、羽根車１１が接続されている。
【００１４】
軸受装置１００には、回転軸８２の軸方向において駆動モータ２０を挟むように配設された一対のフォイル軸受（即ち、前側フォイル軸受３０と後側フォイル軸受４０）を有するラジアル方向軸受７０と、回転軸８２の外周面８２ａに設けられたターゲット部２４に対向してアキシャル方向の支持をなす磁気軸受５０を有するアキシャル方向軸受５１とが設けられている。アキシャル方向軸受５１は一対となってラジアル方向にターゲット部２４を挟むように配設されている。回転軸８２の羽根車１１が設けられる端部と反対側の端部に対向する位置には、回転軸８２のアキシャル方向の位置を検出する位置センサ２６が設けられている。
【００１５】
前側フォイル軸受３０は、回転軸８２において駆動モータ２０より前方、すなわち、ロータ２３と羽根車１１との間に配設され、駆動部ケーシング１０ｂに固定される円筒状の前側軸受ハウジング３１を備える。前側軸受ハウジング３１の回転軸８２との接触面には、波形状のバンプフォイル３２及びスリーブ状のトップフォイル３３が配設されている。
【００１６】
後側フォイル軸受４０は、回転軸８２において駆動モータ２０より後方、すなわち、ロータ２３とアキシャル方向軸受５１との間に配設され、前側フォイル軸受３０と同様に構成されている。すなわち、後側フォイル軸受４０は、駆動部ケーシング１０ｂに固定される円筒状の後側軸受ハウジング４１を備える。後側軸受ハウジング４１の回転軸８２との接触面には、波形状のバンプフォイル４２及びスリーブ状のトップフォイル４３が配設されている。
【００１７】
次に、前述のように構成された圧縮機９０の動作態様について説明する。
圧縮機９０においては、駆動部２に設けられた駆動モータ２０により回転軸８２が回転し、回転軸８２に接続された圧縮部１の羽根車１１が回転する。これにより、圧縮部１において空気流入路１２を通じて流入した空気が圧縮され、圧縮部ケーシング１０ａに設けられた空気排出路１３から排出される。
【００１８】
また、圧縮機９０が定常運転をしている場合、回転軸８２の回転に伴って、回転軸８２の外周面８２ａとトップフォイル３３，４３の内周面３３ａ，４３ａとの間に動圧力が発生する。そして、動圧力による空気潤滑作用によって、回転軸８２が前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０と非接触状態で支承される。また、羽根車１１の回転により回転軸８２には、白抜き矢印に示すように、回転軸８２の軸方向に作用する力（スラスト力）が発生する。
【００１９】
しかし、回転軸８２の低速回転時及び外乱振動発生等の場合には、十分な動圧力が発生しない状態で、回転軸８２が前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０に支承される。
【特許文献１】特開平１０−２９２８１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
ここで、上記軸受装置１００では、前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０において、回転軸８２の低速回転時及び外乱振動発生等によって軸受剛性を超える回転軸８２の振動が発生した場合、軸受装置１００内部の動圧力不足により、回転軸８２が前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０と接触状態で支持される。これによって、少なからず軸受寿命が低下するという問題点がある。
【００２１】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、回転軸の低速回転時及び外乱振動発生等によって軸受剛性を超える回転軸の振動が発生した場合でも、回転軸と軸受装置との接触頻度を抑制することにより、軸受寿命の増大を図ることができる軸受装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について説明する。
請求項１に記載の発明は、回転軸に一体に設けられるロータとケーシングに固定されるステータとを備える駆動モータと、回転軸の軸方向において駆動モータを挟むように配設された一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受と、回転軸の外周面に設けられたターゲット部に対向し、アキシャル方向の支持をなす磁気軸受を有するアキシャル方向軸受と、ケーシングに接続され、回転軸の端部に固定された羽根車が駆動モータにより回転されて、圧縮空気を排出するための空気排出路とを備える軸受装置において、空気排出路の経路途中に接続され、圧縮空気の一部を、軸受装置の内部に供給するためのバイパス経路が形成されていることを特徴とする。
【００２３】
同構成によれば、空気排出路と回転駆動装置との間にバイパス経路を設け、空気排出路から排出された圧縮空気の一部を、バイパス経路を通して軸受装置の内部に供給するため、軸受装置の内部に１気圧より高い圧力を発生させることができるので、回転軸の回転数を上げることなくより高い動圧力を発生させることができ、回転軸と一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受との接触頻度を抑制することができる。その結果、回転軸及び軸受装置の負担を軽減させ、耐久寿命を向上させることができる。
【００２４】
請求項２に記載の発明は、回転軸に一体に設けられるロータとケーシングに固定されるステータとを備える駆動モータと、回転軸の軸方向において駆動モータを挟むように配設された一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受と、回転軸の外周面に設けられたターゲット部に対向し、アキシャル方向の支持をなす磁気軸受を有するアキシャル方向軸受と、ケーシングに接続され、回転軸の端部に固定された羽根車が駆動モータにより回転されて、圧縮空気を排出するための空気排出路とからなる軸受装置を備える回転駆動装置において、空気排出路の経路途中に接続され、圧縮空気の一部を、軸受装置の内部に供給するためのバイパス経路が形成されていることを特徴とする。
【００２５】
同構成によれば、空気排出路と回転駆動装置との間にバイパス経路を設け、空気排出路から排出された圧縮空気の一部を、バイパス経路を通して軸受装置の内部に供給するため、軸受装置の内部に１気圧より高い圧力を発生させることができるので、回転軸の回転数を上げることなくより高い動圧力を発生させることができ、回転軸と一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受との接触頻度を抑制することができる。その結果、回転軸及び軸受装置の負担を軽減させ、耐久寿命を向上させることができる。
【００２６】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の回転駆動装置において、バイパス経路の経路途中には、軸受装置の内部に供給される圧縮空気の量を調節するための調節弁が形成されていることを特徴とする。
【００２７】
同構成によれば、バイパス経路から圧縮機本体の内部に供給される空気量を、任意の量に調節することが可能となり、一対のフォイル軸受を有するラジアル方向軸受が十分作用している場合には、バイパス経路から圧縮機本体の内部に空気を供給する必要ないので、圧縮空気を効率的に使用できる。その結果、低コスト化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、ラジアル方向軸受の回転軸との接触頻度を抑制することにより、耐久寿命の増大が図られる軸受装置及び軸受装置を備えた回転駆動装置とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明にかかる軸受装置を回転駆動装置としての圧縮機９１に具体化した一実施形態について図を参照して説明する。図１は、圧縮機９１の構成を示す概略構成図である。なお、圧縮機９１の構成において、従来の圧縮機９０と同様の構成については、同一の参照符号を付して説明する。
【００３０】
この圧縮機９１は、回転軸８２が水平方向となる横置きで用いられる。圧縮機９１には、圧縮部１及び駆動部２が設けられている。圧縮部１及び駆動部２は、ケーシング１０の圧縮部ケーシング１０ａと駆動部ケーシング１０ｂとによって連結されている。
【００３１】
圧縮部１は、駆動部２の前方、即ち、図１において左側に位置している。圧縮部１には、空気が流入する空気流入路１２と、空気流入路１２を通じて流入した空気を圧縮するとともに、空気排出路１３を通じて排出する羽根車１１とが設けられている。そして、圧縮部ケーシング１０ａの一方の外壁に接続され、回転軸８２の回転によって圧縮された空気を排出するための空気排出路１３の経路途中には、圧縮機９１本体の内部に排出空気の一部を供給するためのバイパス経路１４が設けられており、このバイパス経路１４の一端部１４ａは圧縮機９１の外壁９１ａと接続され、バイパス経路１４を通して、圧縮された空気の一部が、圧縮機９１本体の内部に供給される構成となっている。図１に、空気排出路１３から排出された空気が、バイパス経路１４を介して圧縮機９１本体の内部に供給される様子を矢印で示す。
【００３２】
駆動部２には、駆動モータ２０と、この駆動モータ２０によって回転駆動される回転軸８２と、回転軸８２を支承する軸受装置１１０とが設けられている。駆動モータ２０は、駆動部ケーシング１０ｂに固定されるステータ２２と、回転軸８２に一体に設けられるロータ２３とを備えている。回転軸８２の軸方向におけるロータ２３の後側、即ち、回転軸８２の外周面８２ａには、ターゲット部２４が設けられている。また、回転軸８２の先端側は、圧縮部１に収容されている。
【００３３】
軸受装置１１０には、回転軸８２の軸方向において駆動モータ２０を挟むように配設された一対のフォイル軸受（即ち、前側フォイル軸受３０と後側フォイル軸受４０）を有するラジアル方向軸受７０と、回転軸８２の外周面８２ａに設けられたターゲット部２４に対向してアキシャル方向の支持をなす磁気軸受を有するアキシャル方向軸受５１とが設けられている。アキシャル方向軸受５１は一対となってラジアル方向にターゲット部２４を挟むように配設されている。回転軸８２の羽根車１１が設けられる端部と反対側の端部に対向する位置には、回転軸８２のアキシャル方向の位置を検出する位置センサ２６が設けられている。
【００３４】
前側フォイル軸受３０は、回転軸８２において駆動モータ２０より前方、すなわち、ロータ２３と羽根車１１との間に配設され、駆動部ケーシング１０ｂに固定される円筒状の前側軸受ハウジング３１を備える。前側軸受ハウジング３１の回転軸８２との接触面には、波形状のバンプフォイル３２及びスリーブ状のトップフォイル３３が配設されている。
【００３５】
後側フォイル軸受４０は、回転軸８２において駆動モータ２０より後方、すなわち、ロータ２３とアキシャル方向軸受５１との間に配設され、前側フォイル軸受３０と同様に構成されている。すなわち、後側フォイル軸受４０は、駆動部ケーシング１０ｂに固定される円筒状の後側軸受ハウジング４１を備え、後側軸受ハウジング４１の回転軸８２との接触面には、波形状のバンプフォイル４２及びスリーブ状のトップフォイル４３が配設されている。
【００３６】
次に、前述のように構成された圧縮機９１の動作態様について説明する。
圧縮機９１においては、駆動部２に設けられた駆動モータ２０により回転軸８２が回転し、回転軸８２に接続された圧縮部１の羽根車１１が回転する。これにより、圧縮部１において空気流入路１２を通じて、流入した空気が圧縮され、圧縮部ケーシング１０ａに設けられた空気排出路１３から排出される。
【００３７】
また、圧縮機９１が定常運転をしている場合、回転軸８２の回転に伴って、回転軸８２の外周面８２ａとトップフォイル３３，４３の内周面３３ａ，４３ａとの間に動圧力が発生する。そして、動圧力による空気潤滑作用によって、回転軸８２が前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０と非接触状態で支承される。また、羽根車１１の回転により回転軸８２には、白抜き矢印に示すように、回転軸８２の軸方向に作用する力（スラスト力）が発生する。しかし、アキシャル方向軸受５１とターゲット部２４との間に作用する磁気吸引力により、回転軸８２を、ターゲット部２４と対向するアキシャル方向軸受５１との隙間内において非接触支承させる。
【００３８】
そして、本実施形態においては、回転軸８２の低速運転時及び外乱振動発生等により、軸受剛性を超える回転軸８２の振動が発生した場合でも、位置センサ２６によって検出された回転軸８２の位置に基づいて、空気排出路１３の経路途中に接続されたバイパス経路１４から圧縮機９１本体の内部に、空気排出路１３から排出された空気の一部が供給される構成となっている。この構成によって、圧縮機９１本体の内部の空気圧が１気圧よりも高くなり、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との間にさらに強い動圧力が発生するために、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０とが非接触状態となる。
【００３９】
図２は、回転軸８２の回転数（ｒｐｍ）と、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との距離（μｍ）を示す図である。破線は１気圧下での回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との距離を示し、実線は１気圧より高い気圧下での回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との距離（スキマ）を示す。１気圧下では回転軸８２の回転数が約１５０００ｒｐｍよりも大きくなると、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０とが非接触状態になるのに対して、１気圧より高い気圧下では、回転軸８２の回転数が約８０００ｒｐｍで、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０とが非接触状態となる。すなわち、バイパス経路１４から１気圧より高い空気が流入することによって、より低い回転数で回転軸８２が浮上支持される。従って、内部圧力が１気圧より高くなる圧縮機９１では、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０とが、より低い回転数で非接触状態を維持することが可能となる。その結果、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との接触頻度を抑制することができる。
【００４０】
上記実施形態に係る圧縮機９１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）圧縮部ケーシング１０ａ内で圧縮された空気の一部を圧縮機９１本体の内部に供給するためのバイパス経路１４を、圧縮部ケーシング１０ａに接続された空気排出路１３の経路途中に設け、バイパス経路１４から圧縮機９１本体の内部に空気の一部を供給する。このような構成によって、圧縮機９１本体内部の空気圧を１気圧より高い圧力まで上昇させ、前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０が回転軸８２と非接触状態を維持して作用するための十分な動圧力を得ることができる。この結果、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との接触頻度を抑制することにより、軸受寿命を向上させることができる。また、圧縮機９１が定常運転をしている場合、圧縮機９１本体内部の空気圧を１気圧以上に保つことができるため、エアシールの役目を果たし、圧縮機９１本体内部への水の浸入を避けることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、圧縮部ケーシング１０ａ内で圧縮された空気の一部を圧縮機９１本体内部に供給するためのバイパス経路１４を、圧縮部ケーシング１０ａに接続された空気排出路１３の経路途中に１箇所設けたが、図３に示すように、空気排出路１３を圧縮部ケーシング１０ａに複数箇所設けるようにしてもよい。図３は、圧縮機９２の他の構成を示す概略模式図である。このような構成によって、複数のバイパス経路１４から圧縮機９２本体の内部に空気の一部を供給するため、圧縮機９２本体内部の空気圧をさらに１気圧よりも高くし、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との接触頻度をより一層抑制することができる。
【００４２】
・さらに、空気排出路１３の経路途中にバイパス経路１４を２箇所以上に設けるようにしてもよい。このような構成によって、圧縮機９１本体内部の空気圧をさらに１気圧より高くし、回転軸８２と前側フォイル軸受３０及び後側フォイル軸受４０との接触頻度をより一層抑制することができる。
【００４３】
・また、バイパス経路１４から圧縮機９１本体の内部に送出される空気量を調節するための構成を設けるようにしてもよい。図４は、圧縮機９３の他の構成を示す概略構成図である。すなわち、バイパス経路１４から圧縮機９３本体内部に供給される空気量を調節するための調節弁１５を、バイパス経路１４に設ける。このような構成によれば、バイパス経路１４から圧縮機９３本体の内部に供給される空気量を、任意の量に調節することが可能となり、前側フォイル軸受３０と後側フォイル軸受４０が十分作用している場合には、バイパス経路１４から圧縮機９３本体の内部に空気を供給する必要ないので、圧縮空気を効率的に使用できる。その結果、低コスト化を図ることが可能となる。
【００４４】
・上記実施形態では、回転駆動装置の構成として、図１に示すような構成としたが、回転駆動装置の構成はこれに限られず、他の構成を備えた回転駆動装置を使用しても良い。
・上記実施形態では、回転駆動装置として圧縮機に具体化したが、ブロワ、タービン等の回転機器を駆動する回転駆動装置に適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】圧縮機の構成を示す概略構成図である。
【図２】回転軸の回転数と、回転軸とフォイル軸受との距離（スキマ）の関係を示す図である。
【図３】圧縮機の他の構成を示す概略模式図である。
【図４】圧縮機の他の構成を示す概略構成図である。
【図５】動圧気体軸受と併用して回転軸の一部をスラスト方向に支持するアキシャル方向軸受としての磁気軸受を備えた従来の軸受装置の正面断面図である。
【図６】従来の回転駆動装置としての圧縮機の概略模式図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０…ケーシング、１１…羽根車、１３…空気排出路、１４…バイパス経路、１５…調節弁、２０…駆動モータ、２２…ステータ、２３…ロータ、２４…ターゲット部、３０…前側フォイル軸受、４０…後側フォイル軸受、５０…磁気軸受、５１…アキシャル方向軸受、７０…ラジアル方向軸受、８０，１１０…軸受装置、８２…回転軸、８２ａ…外周面、９１…回転駆動装置としての圧縮機。
【図１】
2008223802.tif 000003
【図２】
2008223802.tif 000004
【図３】
2008223802.tif 000005
【図４】
2008223802.tif 000006
【図５】
2008223802.tif 000007
【図６】
2008223802.tif 000008