(57)【要約】【課題】板状部材の位置決めを行った効果を継続的に維持することのできるアライメント装置と、板状部材の位置を保ったまま搬送することのできる搬送装置と、これら各装置を用いたシート貼付装置を提供すること。【解決手段】ベース部材２０と、当該ベース部材２０に着脱自在に支持される支持体２１と、当該支持体２１をベース部材２０に位置決めする第１の位置決め手段２２と、支持体２１の載置面２１Ａに半導体ウエハＷを位置決めする第２の位置決め手段２４とを備えてアライメント装置１１が構成されている。半導体ウエハＷは、前記支持体２１と共に搬送手段１３により搬送可能とされ、当該支持体２１は、テーブル部材１２に第３の位置決め手段４５を介して支持されるようになっている。テーブル部材１２に支持された半導体ウエハＷには貼付手段１５を介して接着シートＳが貼付される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材と、当該ベース部材に着脱自在に支持されるとともに上面側に板状部材の載置面を有する支持体と、この支持体を位置決めする第１の位置決め手段と、前記支持体に対して前記板状部材を位置決めする第２の位置決め手段とを備えたことを特徴とするアライメント装置。
【請求項２】
ベース部材と、当該ベース部材に着脱自在に支持されるとともに上面側に板状部材の載置面を有する支持体と、この支持体を位置決めする第１の位置決め手段と、前記支持体に対して前記板状部材を位置決めする第２の位置決め手段とを含むアライメント装置と、前記支持体を前記板状部材と共に支持するテーブル部材と、前記アライメント装置とテーブル部材との間を移動可能に設けられた搬送手段とを備え、
前記搬送手段は、前記アライメント装置及びテーブル部材間で前記板状部材を支持体と一体に搬送することを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
前記搬送手段は、前記支持体の外周側を保持する保持ユニットを含み、当該保持ユニットは複数設けられていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記搬送手段は、前記板状部材を支持体と一体に搬送するときに、前記支持体を通じて板状部材を吸着保持することを特徴とする請求項２又は３記載の搬送装置。
【請求項５】
ベース部材と、当該ベース部材に着脱自在に支持されるとともに上面側に板状部材の載置面を有する支持体と、この支持体を位置決めする第１の位置決め手段と、前記支持体に対して前記板状部材を位置決めする第２の位置決め手段とを含むアライメント装置と、前記支持体を前記板状部材と共に支持するテーブル部材と、前記アライメント装置とテーブル部材との間を移動可能に設けられた搬送手段と、前記テーブル部材上に搬送された板状部材の上面に接着シートを貼付する貼付手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項６】
前記テーブル部材は、前記板状部材と共に搬送された支持体を支持したときに、前記アライメント装置での位置決め状態を維持する第３の位置決め手段を備えていることを特徴とする請求項５記載のシート貼付装置。
【請求項７】
前記搬送手段は、前記支持体の外周側を保持する保持ユニットを含み、当該保持ユニットは、複数設けられていることを特徴とする請求項５又は６記載のシート貼付装置。
【請求項８】
前記板状部材にエネルギー線硬化型保護シートが貼付され、前記搬送手段の搬送経路にエネルギー照射装置が配置されていることを特徴とする請求項５、６又は７記載のシート貼付装置。
【請求項９】
前記支持体はエネルギー線を透過可能な材料により構成されていることを特徴とする請求項８記載のシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアライメント装置、搬送装置及びシート貼付装置に係り、更に詳しくは、板状部材を位置決めする装置と、位置決めされた板状部材の位置を維持しながら搬送する搬送装置と、これらアライメント装置及び搬送装置を備えたシート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）の回路面をなす表面には、保護用の接着シートが貼付されている。この接着シートを貼付するためのシート貼付装置は、ウエハを位置決めするアライメント装置と、接着シート貼付用のテーブル部材と、これらアライメント装置とテーブル部材との間でウエハを搬送する搬送手段と、前記テーブル部材に支持されたウエハの表面に接着シートを貼付する貼付手段とを備えて構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたシート貼付装置にあっては、アライメント装置でウエハの位置決めを行っても、シート貼付用のテーブル部材に移載したときに位置ずれを起こし易い、という不都合がある。特に、最近のように、ウエハの板厚が数十μｍオーダーまで裏面研削される極薄のウエハである場合には、当該ウエハをテーブル部材上面に載せる瞬間、すなわち搬送手段がウエハを保持する力を解除した瞬間に、両者間に存在する空気の外側に逃げる流れによってウエハが横方向に位置ずれしてしまう傾向がある。従って、ウエハの位置決めを行った効果をシート貼付用のテーブル部材上で維持することが困難となり、その後のシート貼付精度、延いては半導体装置の歩留まりを低下させてしまう、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その第１の目的は、板状部材の位置決めを行った効果を継続的に維持することのできるアライメント装置を提供することにある。
本発明の第２の目的は、板状部材を搬送する際に、当該板状部材を支持する支持体と一体に搬送して板状部材の位置ずれを生じる要因を排除可能な搬送装置を提供することにある。
本発明の第３の目的は、板状部材の位置を精度良く維持して接着シートを貼付することのできるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明に係るアライメント装置は、ベース部材と、当該ベース部材に着脱自在に支持されるとともに上面側に板状部材の載置面を有する支持体と、この支持体を位置決めする第１の位置決め手段と、前記支持体に対して前記板状部材を位置決めする第２の位置決め手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
また、本発明に係る搬送装置は、ベース部材と、当該ベース部材に着脱自在に支持されるとともに上面側に板状部材の載置面を有する支持体と、この支持体を位置決めする第１の位置決め手段と、前記支持体に対して前記板状部材を位置決めする第２の位置決め手段とを含むアライメント装置と、前記支持体を前記板状部材と共に支持するテーブル部材と、前記アライメント装置とテーブル部材との間を移動可能に設けられた搬送手段とを備え、
前記搬送手段は、前記アライメント装置及びテーブル部材間で前記板状部材を支持体と一体に搬送する、という構成を採っている。
【０００８】
前記前記搬送手段は、前記支持体の外周側を保持する保持ユニットを含み、当該保持ユニットは複数設けられる、という構成を採ることができる。
【０００９】
また、前記搬送手段は、前記板状部材を支持体と一体に搬送するときに、前記板状部材を通じて支持体を吸着保持するように設けられている。
【００１０】
更に、本発明に係るシート貼付装置は、ベース部材と、当該ベース部材に着脱自在に支持されるとともに上面側に板状部材の載置面を有する支持体と、この支持体を位置決めする第１の位置決め手段と、前記支持体に対して前記板状部材を位置決めする第２の位置決め手段とを含むアライメント装置と、前記支持体を前記板状部材と共に支持するテーブル部材と、前記アライメント装置とテーブル部材との間を移動可能に設けられた搬送手段と、前記テーブル部材上に搬送された板状部材の上面に接着シートを貼付する貼付手段とを備える、という構成を採っている。
【００１１】
前記シート貼付装置において、前記テーブル部材は、前記板状部材と共に搬送された支持体を支持したときに、前記アライメント装置での位置決め状態を維持する第３の位置決め手段を備える、という構成を採っている。
【００１２】
また、前記シート貼付装置における搬送手段は、前記支持体の外周側を保持する保持ユニットを含み、当該保持ユニットは、複数設けられる、という構成を採ることができる。
【００１３】
更に、前記シート貼付装置において、前記板状部材にエネルギー線硬化型保護シートが貼付され、前記搬送手段の搬送経路にエネルギー照射装置が配置される、という構成を採ってもよい。
【００１４】
また、前記支持体はエネルギー線を透過可能な材料により構成することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ベース部材と支持体及び、支持体と板状部材とを位置決めする第１及び第２の位置決め手段を設けたことにより、板状部材と支持体との相互位置ずれを防止して一体的に搬送することが可能となる。
また、テーブル部材に第３の位置決め手段を設けた構成により、アライメント装置からシート貼付用のテーブル部材に板状部材を搬送して移載した後に、再度の位置決めを必要とすることなく接着シートを貼付することができる。
また、搬送手段は、板状部材を保持することなく、支持体を保持する構成となるため、板状部材が極薄に研削されたウエハのような脆質部材であっても、当該板状部材を損傷させるリスクを排除することができる。
更に、支持体を保持する保持ユニットを複数設けた構成では、支持体を複数使用することができ、貼付手段によって接着シートを貼付している時間を利用して、次の支持体をテーブル部材の上方にまで搬送しておくことができ、一連の動作の一部をオーバラップすることができるため、単位時間当たりの処理能力を向上させることができる。
また、板状部材の搬送経路に、エネルギー照射装置を配置した構成では、前記板状部材にエネルギー線硬化型の保護シートが貼付されている場合に、その搬送過程でエネルギー線を照射することができる。
更に、前記支持体がエネルギー線透過型であれば、支持体を通じてのエネルギー線照射が可能となり、装置レイアウトの自由度を拡大することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１には、本発明の実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示されている。この図において、シート貼付装置１０は、図示しないウエハストッカから移載されるウエハＷを、回路面（表面）を下側にして支持するアライメント装置１１と、当該アライメント装置１１に併設され、リングフレームＲＦを載置可能なテーブル部材１２と、これらアライメント装置１１及びテーブル部材１２間でウエハＷを搬送して移載する搬送手段１３と、前記テーブル部材１２上に支持されたウエハＷの上面（裏面）に接着シートＳを貼付して当該ウエハＷをリングフレームＲＦにマウントする貼付手段１５と、前記搬送手段１３の搬送経路に沿って配置されたエネルギー照射装置としての紫外線照射装置１６とを備えて構成されている。なお、本実施形態におけるウエハＷは、その回路面（表面）に紫外線硬化型保護シートＰＳが予め貼付されたものが対象とされている。
【００１８】
前記アライメント装置１１は、図２に示されるように、ベース部材２０と、当該ベース部材２０の上面に着脱自在に支持されるとともに、上面がウエハＷの載置面２１Ａとされた支持体２１と、当該支持体２１をベース部材２０上で位置決めする第１の位置決め手段２２と、前記ウエハＷを支持体２１上で位置決めする第２の位置決め手段２４とを備えて構成されている。ベース部材２０は、図３に示されるように、平面形状が略方形の板状に設けられている。また、前記支持体２１は、紫外線が透過可能な材料により構成され、その上面側には、ウエハＷを吸着保持するバキューム穴２５が形成されている。このバキューム穴２５は、支持体２１の内部に形成されたチャンバ２６に連通し、当該チャンバ２６は通路２８、２９を通じて減圧装置３０に接続され、当該減圧装置３０によりウエハＷを載置面２１Ａに吸着保持できるようになっている。本実施形態では、前記支持体２１の外形はウエハＷの外形と略対応した外形となっているが、これに限定されるものではない。ここで、支持体２１における通路２８は、支持体２１がベース部材２０上に設置されたときに通路２９との連通を許容する一方、支持体２１がベース部材２０から離れたときに大気への開放を遮断する図示しない適宜な開閉弁が設けられている。また、支持体２１は、前記チャンバ２６に連通する別ルートの通路３１を備え、当該通路３１は前記搬送装置１３の後述する保持ユニット５４に連通可能とされ、搬送装置１３で支持体２１をウエハＷと共に搬送するときに、前記チャンバ２６内を減圧してウエハＷを吸着保持するように構成されている。ここで、通路３１も通路２８と同様に、図示しない開閉弁が設けられており、当該開閉弁は、通常は閉じていて前記保持ユニット５４が支持体２１を保持することを条件に通路３１と保持ユニット５４とが連通可能となっている。
【００１９】
前記第１の位置決め手段２２は、ベース部材２０の上面から起立する突部３３と、前記支持体２１の下面側に形成された凹部３４とからなり、当該凹部３４に前記突部３３を嵌合させることにより、支持体２１の位置決めが可能となっている。本実施形態では、前記突部３３及び凹部３４が、支持体２１の周方向に沿って略１２０度の間隔をおいた位置に配置されているが、これに限定されるものではない。
【００２０】
前記第２の位置決め手段２４は、前記ベース部材２０の上面側において、前記支持体２１の周方向略１２０度の間隔を隔てた位置に設けられたピン３５と、これらピン３５を移動可能とする直動モータ３６とを含む。ピン３５の上端位置は、ウエハＷの外周縁に接触する高さに設けられている。直動モータ３６の移動方向は、それぞれ支持体２１の中心に向けられており、支持体２１上に載置されるウエハＷの中心を支持体２１の中心に一致させることができるようになっている。
【００２１】
前記テーブル部材１２は、上部テーブル４０と、下部テーブル４１とからなり、上部テーブル４０は、下部テーブル４１に対して図示しない昇降手段を介して上下に昇降可能に設けられている。上部テーブル４０の上面には突部４３が設けられており、当該突部４３は、前記ウエハＷが支持体２１と共に移載されたときに当該支持体２１の凹部３４に嵌合して支持体２１を位置決めし、前記アライメント装置１１による支持体２１とウエハＷとの相対位置決め状態を維持するようになっている。ここにおいて、前記突部４３と、凹部３４とにより前記第１の位置決め手段２２と実質的に同様の構成となる第３の位置決め手段４５が構成される。また、前記上部テーブル４０には、前記ベース部材２０に設けられた通路２９と同様に、前記減圧装置３０に接続される通路４６が形成されており、これにより、支持体２１が上部テーブル４０上に支持された状態においても、支持体２１上のウエハＷが吸着保持される。更に、上部テーブル４０は、載置されるウエハＷの外周にリングフレームＲＦが位置決固定できるようになっている。なお、前記下部テーブル４１には、スライダ４７が設けられ、当該スライダ４７は図１中左右方向に敷設されたガイドレール４９上を移動することで、テーブル部材１２が左右に往復移動可能となっている。
【００２２】
前記搬送手段１３は、前記アライメント装置１１及びテーブル部材１２の上方位置で、これらの間に延びる単軸ロボット５０と、この単軸ロボット５０に支持されて左右方向に移動可能に設けられたスライダ５２と、当該スライダ５２の前面側（図１中手前側）に支持されたＺ軸シリンダ５３と、このＺ軸シリンダ５３におけるピストンロッド５３Ａの下端に固定された保持ユニット５４とにより構成されている。保持ユニット５４は、図４に示されるように、平面視略円形のフレーム板５６と、このフレーム板５６の周方向略１２０度間隔を隔てた位置に配置されたチャック５７とからなる。チャック５７は、シリンダ５８と、このシリンダ５８のピストンロッド５９の先端に取り付けられて前記フレーム板５６の径方向に沿って進退可能に設けられた保持部材６０とからなる。なお、図１に示されるように、左側に位置する保持部材６０には、前記支持体２１の通路３１に連通可能な通路６０Ａが形成されている。この通路６０Ａは、図示しないホースを介して前記減圧装置３０に接続され、前記保持部材６０によって支持体２１が支持されたときに、前記通路３１を通じて前記チャンバ２６内が減圧されてウエハＷが載置面２１Ａに吸着保持される。また、搬送手段１３の搬送経路上であって、アライメント装置１１とテーブル部材１２との間には、紫外線照射装置１６が配置され、当該紫外線照射装置１６の上部をウエハＷが搬送されるときに、その回路面に貼付された保護シートＰＳに紫外線が照射されるようになっている。
【００２３】
前記貼付手段１５は、剥離シートＲＬに接着シートＳが仮着された原反Ｒをロール状にして繰出可能に支持する支持軸７０と、前記剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離するピールプレート７１と、接着シートＳをウエハＷの上面に押圧するプレスローラ７２と、前記原反Ｒに繰出力を付与する駆動ローラ７３及びピンチローラ７４と、剥離シートＲＬを巻き取る巻取軸７６と、これら各部材を一体に支持するフレームＦとを含む。なお、接着シートＳは、前記リングフレームＲＦに貼付されるマウント用シートにウエハＷの形状に略対応した図示しないダイボンディングシートが積層されており、上部テーブル４０に内蔵された図示しない加熱手段によって、前記ダイボンディングシートを介してウエハＷがリングフレームＲＦにマウントされるようになっている。
【００２４】
次に、前記ウエハＷの位置決めと、シート貼付動作について説明する。なお、ここでは、貼付手段１５において、原反Ｒの掛け回し作業が完了しているものとし、接着シートＳをウエハＷに貼付する態勢が整っているものとする。
【００２５】
アライメント装置１１の上面に支持体２１を支持する際に、当該支持体２１の凹部３４内にベース部材２０の突部３３が嵌合することで支持体２１が自動的に位置決めされ、この状態で、支持体２１の載置面２１ＡにウエハＷが載置される。次いで、第２の位置決め手段２４を構成するピン３５が、直動モータ３６を介して支持体２１側に向かって移動する。これにより、ウエハＷの中心が支持体２１の中心に一致し、ウエハＷの位置決めが完了する。
【００２６】
このようにしてウエハＷの位置決めが完了した状態で、減圧装置３０によってベース部材２０側からチャンバ２６内を減圧してウエハＷを支持体２１に吸着保持させる。そして、搬送装置１３のＺ軸シリンダ５３を介して保持ユニット５４を下降させ、前記保持部材６０が支持体２１の外周面に相対する位置まで下降させる。
【００２７】
次いで、前記保持部材６０が支持体２１の外周面に接する位置までピストンロッド５９を移動させる。このとき、支持体２１の通路３１に、保持部材６０の通路６０Ａが接触するように予め設定されており、当該通路３１に設けられた図示しない開閉弁が開き、通路３１を通じてチャンバ２６内の減圧も開始される。この状態で、Ｚ軸シリンダ５３の作動により保持ユニット５４を上昇させてベース部材２０から支持体２１を分離する。この分離の際、支持体２１の通路２８は、図示しない開閉弁により閉塞されるので、通路３１によるチャンバ２６内の減圧が妨げられるようなことはない。
【００２８】
ウエハＷを支持した支持体２１は搬送手段１３を介して搬送され、前記テーブル部材１２の上部テーブル４０に移載される。この搬送経路において、支持体２１が紫外線照射装置１６の上部を通過する際に、紫外線が支持体２１を透過して保護シートＰＳに照射され、当該保護シートＰＳの紫外線硬化型接着剤を硬化させる。そして、テーブル部材１２の上方に保持ユニット５４が位置したときに、Ｚ軸シリンダ５３を作動させて支持体２１を下降させ、テーブル４０の突部４３を支持体２１の凹部３４内に嵌合させることで、支持体２１の位置決めが行われ、これと同時に、支持体２１における通路２８内の開閉弁が開き、上部テーブル４０内の通路４０と連通してチャンバ２６内の減圧を行う。そして、保持部材６０による支持体２１の保持を解除するとともに、通路３１内の開閉弁が閉塞し、保持ユニット５４が上昇する。
【００２９】
ウエハＷは、アライメント装置１１にて位置決めされた状態を維持したままテーブル部材１２に支持されることとなる。テーブル部材１２上には、予め図示しない搬送装置によってリングフレームＲＦが位置決め固定されており、この状態でテーブル部材１２が図１中右側に移動する。そして、テーブル部材１２は、その図１中左端がピールプレート７１の先端よりも右側に位置する地点まで移動し、上部テーブル４０を上昇させた後、左側に戻るように移動する際に、接着シートＳが剥離シートＲＬから剥離されながら、プレスローラ７２による押圧力を受けて接着シートＳがウエハＷの上面に貼付されることとなる。つまり、上部テーブル４０に内蔵された図示しない加熱手段によって、接着シートＳに積層された図示しないダイボンディングシートを加熱しながらウエハＷをリングフレームＲＦにマウントする。
【００３０】
このようにして接着シートＳによってリングフレームＲＦにマウントされたウエハＷは、減圧装置３０による支持体２１との保持が解除され、図示しないロボット等の吸着アーム等を介してウエハストッカ等に収容され、支持体２１は、搬送手段１３を介してアライメント装置１１に戻され、次の対象物となる新たなウエハＷの移載を待ち受けることとなる。
【００３１】
従って、このような実施形態によれば、ウエハＷは、支持体２１と共に位置決めされ、且つ、搬送されてシート貼付用のテーブル部材１２に移載されるので、アライメント装置１１にて位置決めした状態を継続的に維持することが可能となり、シート貼付の際に、ウエハＷが位置ずれしてしまうような不都合を解消することができる。しかも、搬送手段１３がウエハＷを直接保持する構成ではないので、当該ウエハＷを損傷させる要因も回避可能となる。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態では、搬送装置１３のＺ軸シリンダ５３に１個のフレーム板５６を取り付けて当該フレーム板に保持ユニット５４を設けた場合を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、図５に示されるように、Ｚ軸シリンダ５３に長片板状をなす保持プレート７５を連結し、当該保持プレート７５の両側に保持ユニット５４をそれぞれ設けることもできる。この際、保持プレート７５を、水平面内で回転可能に設けて保持ユニット５４がアライメント装置１１及びテーブル部材１２の上方に選択的にアクセスできるように構成すればよい。
このような構成とすれば、支持体２１が２個設けられた場合に対応することができる。これにより、貼付手段１５によって接着シートＳを貼付している時間を利用して、次の支持体２１をテーブル部材１２の上方にまで搬送しておくことができ、上記一連の動作の一部をオーバラップすることができるため、単位時間当たりの処理能力を向上させることができる。
【００３４】
また、エネルギー照射装置として紫外線照射装置１６を用いたが、超音波等、その他のエネルギー照射装置を採用することもできる。
【００３５】
更に、前記第１ないし第３の位置決め手段は、図示構成例に限定されるものではない。本発明は、アライメント装置１１にて支持体２１に支持されたウエハＷが、テーブル部材１２に移載されたときに、初期の位置決め状態を維持することができる限りにおいて、種々の位置決め手段を採用することができる。
【００３６】
本発明における板状部材は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３７】
また、ベース部材、テーブル部材、搬送手段、保持ユニット、貼付手段、エネルギー線を透過可能な材料は、上記実施形態で例示したものに限定されることなく、同様の機能、動作、性質を有するものであれば、なんら限定されることなく代替して使用することができる。
【００３８】
更に、テーブル部材１２のリングフレームＲＦを載置する面が回転制御可能とし、ウエハＷがテーブル部材１２に載置する前段で、図示しないセンサによってウエハＷの周方向の位置を検出させ、その位置に合わせてリングフレームＲＦを回転させるようにすれば、リングフレームＲＦとウエハＷとの周方向における相対位置関係が常に一定となってマウントすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の全体構成を示す概略正面図。
【図２】アライメント装置の詳細構造を示す拡大断面図。
【図３】前記アライメント装置の概略平面図。
【図４】搬送装置の要部概略平面図。
【図５】搬送装置の変形例を示す要部概略平面図。
【符号の説明】
【００４０】
１０  シート貼付装置
１１  アライメント装置
１２  テーブル部材
１３  搬送装置
１５  貼付手段
１３  紫外線照射装置
２０  ベース部材
２１  支持体
２２  第１の位置決め手段
２４  第２の位置決め手段
４５  第３の位置決め手段
Ｗ  半導体ウエハ（板状部材）
【図１】
2008227223.tif 000003
【図２】
2008227223.tif 000004
【図３】
2008227223.tif 000005
【図４】
2008227223.tif 000006
【図５】
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