(57)【要約】【課題】異品種の仕分けや解析を容易に行い得るデバイス基板、及びそれを用いた液晶パネルを提供する。【解決手段】複数の記号の配列からなる識別マーク５を備える。識別マーク５は、１又は複数の第１の記号５ａと、１又は複数の第２の記号５ｂとの少なくとも２種類からなっている。斜光２１のもとでは、第１の記号５ａが呈する可視性は、第２の記号５ｂが呈する可視性とは異なっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の記号の配列からなる識別マークを備えたデバイス基板において、
上記識別マークは、１又は複数の第１の記号と、１又は複数の第２の記号との少なくとも２種類からなっていると共に、
第１の照明光のもとでは、上記第１の記号が呈する可視性は、第２の記号が呈する可視性とは異なっていることを特徴とするデバイス基板。
【請求項２】
前記第１の照明光のもとでは、前記第１の記号が前記第２の記号よりも可視性が良いと共に、
上記第１の照明光とは異なる第２の照明光のもとでは、識別マークの全て記号が可視されることを特徴とする請求項１記載のデバイス基板。
【請求項３】
前記第１の照明光は、識別マークの表面側からの光である一方、
前記第２の照明光は、識別マークの裏面側からの透過光であることを特徴とする請求項１又は２記載のデバイス基板。
【請求項４】
前記識別マークは、透明基板上に金属薄膜を白抜きしてネガ状態に形成されていると共に、前記第２の記号が形成された領域の下層には、半透過金属膜が設けられていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のデバイス基板。
【請求項５】
前記第１の記号は、前記第１の照明光のもとでは発色するように形成されていると共に、
前記第２の記号は、金属薄膜又は透明電極をパターニングして形成されていることを特徴とする請求項１記載のデバイス基板。
【請求項６】
前記第１の記号は、前記第１の照明光のもとでは発色するように形成されていると共に、
前記第２の記号は、下地をパターニングして形成されていることを特徴とする請求項１記載のデバイス基板。
【請求項７】
前記第１の記号はネガ状態で形成されている一方、
前記第２の記号はポジ状態で形成されていることを特徴とする請求項１記載のデバイス基板。
【請求項８】
請求項１記載のデバイス基板を用いたことを特徴とする液晶パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、識別マークが刻字されたデバイス基板、及びそれを用いた液晶パネルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に代表される平面型デバイスが実用化され、この平面型デバイスは様々な電子機器に搭載されている。また、応用商品が多岐にわたることから、デバイス基板の生産者は品種を区別するために識別マークを刻印している。
【０００３】
図１４（ａ）は、そのような識別マークが刻印された液晶パネル１００を説明するための斜視図である。液晶パネル１００は、回路パターンが形成されている素子側基板１０１とカラーフィルターが形成されている対向側基板１１１とが貼り合わされた構造を有し、いわゆる端子領域１０１ａにドライバＩＣ１０２やフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ:Flexible Printed Circuits）１０３が取り付けられている。
【０００４】
また、基板表面の端子領域１０１ａにおけるフレキシブルプリント基板１０３やドライバＩＣ１０２が積載されない領域には、回路を構成する金属薄膜や透明電極を利用して、例えば、図１４（ｂ）に示すように、複数個に配列された英数字の集合体からなる「ＢＭ１Ａ」等の識別マーク１０５が刻印されている。
【０００５】
なお、昨今では機械的に読み取ることができるように、例えば２次元バーコード等のバーコード１０４がパターニングされていることが多い。しかしながら、製品の試作の段階や工程外での品種の仕分けを行なうことを考慮して、バーコード１０４のような光学読み取り式のマークとは別個に人間が判読できる識別マーク１０５を、目視できる程度の大きさでパターニングすることが多い。このような識別マーク１０５は、屋内照明やスタンドライト等の一般的な照明光のもとで主に肉眼で判読される。
【０００６】
なお、このような識別マーク１０５を配置する手法は、デバイス基板に限らず他の分野の製品を含め一般的に利用されている。
【０００７】
例えば、特許文献１には、図１５（ａ）（ｂ）に示すように、下層金属膜２０１によって認識マークを形成し、その表面に透明の下層絶縁膜２０２及び上層絶縁膜２０３を形成する構成の液晶表示素子２００が示されている。これによって、液晶表示素子２００の表面側から認識マークが視認できるものとなっている。
【０００８】
また、特許文献２には、図１６に示すように、カラーフィルター基板３０１に、品名３０２以外に、例えば４ビットのコードマーク３０３を形成した識別マーク付カラーフィルター３００が開示されている。これによって、コードマーク３０３を使用するので、文字又は数字表示による識別ミスを防止できるものとなっている。
【０００９】
さらに、特許文献３には、図１７に示すように、黒背景に白抜きをしたネガタイプの識別マーク３０１を配置する構成の液晶パネルが開示されている。特許文献４では、図１８に示すように、識別記号４０１が複数の記号からなり１つの記号が他の記号よりも大きい構成の識別マーク入りコンタクトレンズ４００が開示されている。特許文献５には、図１９（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、製品番号毎に異なる位置に形成され、かつ色や形状が異なる製品識別のためのマーク５０１を配置する構成の製品識別マークつき包装容器５００が開示されている。
【００１０】
これらのように、識別マークは例えばいわゆるロゴのような図案化されたマークとは異なり、識別マークを構成する各文字の書式は機械的に同一とされ、また品種によらず共通の書式で運用されている。
【００１１】
ところで、例えば携帯電話に搭載される液晶表示装置においては、その画面サイズは２型程度の大きさに集中している。したがって、似たような仕様を有する複数の品種の液晶パネルが生産ラインを同時に流れる場合がある。
【００１２】
特に、昨今の小型液晶の製造においては少品種大量生産でも多品種少量生産でもなく、いわば多品種大量生産というべき様相を呈し、そのため簡易でありながら使い勝手の良い識別手段の必要性が指摘されるようになってきた。
【００１３】
例えば、前記図１４（ａ）（ｂ）に示すように、ドライバＩＣ１０２が２個積載された品種の液晶パネル１００、図２０（ａ）（ｂ）に示すように、ドライバＩＣ１０２が１個積載された品種の液晶パネル１００ａ、又は図２０（ｃ）（ｄ）に示すように、ドライバＩＣ１０２が１個積載された品種の液晶パネル１００ａとは基板の厚みのみが異なった品種の液晶パネル１００ｂが生産ラインを流れる場合を例として説明する。また、各々には識別マークとして「ＢＭ１Ａ」、「ＡＫ１Ａ」及び「ＡＫ１Ｂ」が、例えば金属薄膜によってポジの文字列で刻印されているものとする。
【００１４】
この場合、液晶パネル１００と液晶パネル１００ａとは外観が明らかに異なるので、区別は容易である。また、異なる品種では、その識別マークの文字列は明らかに異なる場合が多いので、外観及び識別マークのどちらによっても仕分けは容易である。
【００１５】
一方、外観が非常に似ている液晶パネル１００ａと液晶パネル１００ｂとの区別は非常に困難である。例えば、液晶パネル１００ａの基板厚が０．３ｍｍ＋０．３ｍｍである一方、液晶パネル１００ｂの基板厚が０．１ｍｍ＋０．５ｍｍのような場合では、総厚はどちらも０．６ｍｍであるので、製品を手に持っても区別は非常に難しい。あるいは、例えば視角特性、応答速度及び表示色範囲等の表示特性が異なっている場合も区別は難しい。
【００１６】
このように、外形や積載部品が殆ど同じ品種においては、特定の項目以外は全く同じ仕様である。したがって、識別マークも非常に似た記号の集合体になる。例えば、マイナーチェンジ品を意味するために識別記号の末尾の１桁のみが異なる識別マークとなる。
【特許文献１】特開平４−７７７１５号公報（１９９２年３月１１日公開）
【特許文献２】特開平２−２１０４０２号公報（１９９０年８月２１日公開）
【特許文献３】特開平９−２５８１９６号公報（１９９７年１０月３日公開）
【特許文献４】実開昭６１−１９６２１３号公報（１９８６年１２月６日公開）
【特許文献５】特開２００５−４１５５０号公報（２００５年２月１７日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、上記従来のデバイス基板の識別マークでは、目視による読み取り時の判読が困難であり、異品種の仕分けが困難であるという問題点を有している。
【００１８】
例えば、識別マーク１０５を読み取る場合に、識別マーク１０５のまずどこに着目すれば製品の識別が容易であるかの情報は作業者に与えられない。このため、液晶パネル１００ａと液晶パネル１００ｂとを見分けるために識別マーク１０５を構成している文字列の一文字一文字を判読する必要が生じる。その結果、仕分けの作業に時間を要してしまう。
【００１９】
なお、識別マーク１０５の桁数が少ない場合は、このような作業は可能であるかもしれないが、扱う品種が多い場合は必然的に識別マーク１０５の桁数を増やして管理しようとするので、識別マーク１０５の読み取り作業は煩雑となる。
【００２０】
特に、小型の液晶パネルの場合では識別マークを配置できるスペースは不足しているので、液晶パネルに刻印する識別マーク１０５の位置はほとんど同じになる。したがって、製品の外形、識別マーク１０５の位置、及び見え方も非常に似ているので、常に注意を払って識別マーク１０５の全記号を読む必要があり、甚だ作業性が悪い問題があった。
【００２１】
さらに、いわゆるマス・カスタマイズの思想による設計開発が進展すると、似た外観の製品が同時に生産ラインを流れる傾向を生じるようになるので、異品種の混入を避ける必要性が高まっている。
【００２２】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、目視による読み取り時の判読を容易にして、異品種の仕分けを容易に行い得るデバイス基板、及びそれを用いた液晶パネルを提供することにある。また、他の目的は、配置の自由度が増した識別記号を有するデバイス基板、及びそれを用いた液晶パネルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明のデバイス基板は、上記課題を解決するために、複数の記号の配列からなる識別マークを備えたデバイス基板において、上記識別マークは、１又は複数の第１の記号と、１又は複数の第２の記号との少なくとも２種類からなっていると共に、第１の照明光のもとでは、上記第１の記号が呈する可視性は、第２の記号が呈する可視性とは異なっていることを特徴としている。なお、記号とは、文字、英数字、狭義の記号、及び特殊記号を含む概念である。また、第１の記号及び第２の記号は、識別マーク中のいずれかを第１の記号及び第２の記号とすれば足りる。さらに、可視性については、肉眼だけでなく、ルーペを介した目視でもよい。
【００２４】
上記の発明によれば、識別マークは、第１の照明光のもとでは、上記第１の記号が呈する可視性は、第２の記号が呈する可視性とは異なっている。この結果、照明光を利用して識別マークの見え方に多様性を持たせることができるので、似た外観を有する異なる製品間に刻字された類似の識別マークであっても、識別マークによる製品の区別を容易に行うことができる。したがって、読み取り時の判読を容易にして、異品種の仕分けを容易に行い得るデバイス基板を提供することができる。
【００２５】
本発明のデバイス基板では、前記第１の照明光のもとでは、前記第１の記号が前記第２の記号よりも可視性が良いと共に、上記第１の照明光とは異なる第２の照明光のもとでは、識別マークの全て記号が可視されることが好ましい。なお、可視性が良いとは、記号の大きさの変更以外の他の方法により、第１の記号が強調されて見えることをいう。
【００２６】
上記の発明によれば、第１の照明光のもとでは、第１の記号のみが強調されて第２の記号よりも可視性が良い。この結果、類似の識別マーク同士の区別を容易に行うことができる。したがって、例えば識別マークの特定の記号を過度に大きくしなくても区別することの利便性を確保できると共に、文字を大きくすることの引き換えに識別マークの桁数を減らすことがなくて済む。
【００２７】
また、本発明では、他の異なる照明光である第２の照明光のもとでは、識別マークの全て記号が可視されるので、識別マークの全ての記号を読み取ることができる。
【００２８】
また、本発明のデバイス基板では、前記第１の照明光は、識別マークの表面側からの光である一方、前記第２の照明光は、識別マークの裏面側からの透過光であることが好ましい。
【００２９】
これにより、第１の照明光及び第２の照明光として、特殊なものではなく、単に、識別マークの表面側からの光と、識別マークの裏面側からの光との２種類とすることができる。したがって、異なる２種類の照明光である第１の照明光と第２の照明光とを容易に提供することができる。
【００３０】
また、本発明のデバイス基板では、前記識別マークは、透明基板上に金属薄膜を白抜きしてネガ状態に形成されていると共に、前記第２の記号が形成された領域の下層には、半透過金属膜が設けられていることが好ましい。
【００３１】
これにより、確実に、識別マークの表面側からの第１の照明光と、識別マークの裏面側からの第２の照明光とによって、読み取り時の判読を容易にして、異品種の仕分けを容易に行い得るデバイス基板を提供することができる。
【００３２】
また、本発明のデバイス基板では、前記第１の記号は、前記第１の照明光のもとでは発色するように形成されていると共に、前記第２の記号は、金属薄膜又は透明電極をパターニングして形成されていることが好ましい。
【００３３】
また、本発明のデバイス基板では、前記第１の記号は、前記第１の照明光のもとでは発色するように形成されていると共に、前記第２の記号は、下地をエッチングして形成されていることが好ましい。
【００３４】
これにより、第１の照明光のもとでは、第１の記号は発色するので、例えば、識別マークの表面側からの光にて、常に、第１の記号のみが強調されるので、似たような識別マーク同士の区別を容易に行うことができる。また、金属薄膜の種類が少なくても実施することができる。
【００３５】
また、本発明のデバイス基板では、前記第１の記号はネガ状態で形成されている一方、
前記第２の記号はポジ状態で形成されていることが好ましい。
【００３６】
すなわち、通常の照明下では、ポジ状態の識別マークよりもネガ状態の識別マークの方が、可視性が高い。したがって、本発明のように、第１の記号をネガ状態で形成する一方、第２の記号をポジ状態で形成することによって、常に注視すべき特定の第１の記号が見易くなる。この結果、似たような識別マーク同士を容易に区別することができる。また、少なくとも１種類の膜材料で識別マークを形成できるので、適用できるデバイス基板の分野が広い。
【００３７】
本発明の液晶パネルは、上記課題を解決するために、上記記載のデバイス基板を用いたことを特徴としている。
【００３８】
上記の発明によれば、目視による読み取り時の判読を容易にして、異品種の仕分けを容易に行い得るデバイス基板を用いた液晶パネルを提供することができる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明のデバイス基板は、以上のように、識別マークは、１又は複数の第１の記号と、１又は複数の第２の記号との少なくとも２種類からなっていると共に、第１の照明光のもとでは、上記第１の記号が呈する可視性は、第２の記号が呈する可視性とは異なっていることものである。
【００４０】
また、本発明の液晶パネルは、上記デバイス基板を用いているものである。
【００４１】
それゆえ、目視による読み取り時の判読を容易にして、異品種の仕分けを容易に行い得るデバイス基板、及びそれを用いた液晶パネルを提供するという効果を奏する。
【００４２】
また、本発明の識別マークは、例えばデバイス基板上の配線や端子のナンバリングの構成の自由度を向上させる手法として適用することも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
本発明の一実施形態について図１ないし図１３に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態では、デバイス基板として、液晶パネルの素子側基板について説明するが、必ずしもこれに限らず、デバイス基板は、例えば液晶パネルの対向側基板であってもよい。さらに、液晶パネルのデバイス基板に限らず、一般的な表示装置に用いられるデバイス基板でもよい。
【００４４】
本実施の形態のデバイス基板としての素子側基板１を備えた液晶パネル１０に表示される識別マークを、図１〜図４に基づいて説明する。図１は、識別マークの基本構成を示す図である。図２（ａ）（ｃ）は、この識別マークを備えたデバイス基板の斜視図である。また、図３（ａ）〜（ｆ）は、このデバイス基板を落射光又は斜光で観察した場合の識別マークの見え方を説明した図である。図４（ａ）〜（ｆ）は、同じデバイス基板を透過光で観察した場合の識別マークの見え方を説明した図である。
【００４５】
本実施の形態の液晶パネル１０は、図２（ａ）に示すように、回路パターンが形成されている素子側基板１とカラーフィルターが形成されている対向側基板１１とが貼り合わされた構造を有している。そして、素子側基板１の端子領域１ａには、ドライバＩＣ２やフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ:Flexible Printed Circuits）３が取り付けられている。
【００４６】
また、素子側基板１の表面の端子領域１ａにおけるドライバＩＣ２及びフレキシブルプリント基板３が積載されない領域には、機械的に読み取ることができるように、２次元バーコード等のバーコード４がパターニングされている。このバーコード４は、例えば、光学マーク読み取り装置にて読み取ることができるようになっている。
【００４７】
また、本実施の形態では、上記素子側基板１の表面の端子領域１ａには、さらに、回路を構成する金属薄膜や透明電極を利用して、例えば複数個に配列された英数字の集合体からなる識別マーク５が刻印されている。この識別マーク５は、製品の試作の段階や工程外での品種の仕分けを行なうことを考慮して、光学読み取り式のマークとは別個に人間が判読できるように、目視できる程度の大きさでパターニングされている。この識別マーク５は、屋内照明やスタンドライト等の一般的な照明のもとで主に肉眼で判読される。
【００４８】
ここで、上記識別マーク５は、図１に示すように、似た品種同士の仕分けに必須である記号からなる第１の記号５ａと、仕分けのためには必ずしも必須ではなく例えば識別マーク５の全桁の読み取り等の品種の確定に必要な他の記号からなる第２の記号５ｂとからなっている。なお、記号とは、文字、英数字、狭義の記号、及び特殊記号を含む概念である。
【００４９】
本実施の形態では、識別マーク５は、この識別マーク５を構成する記号の全てを同じ構成によって形成するのではなく、記号の大きさの変更以外の他の方法により、特定の記号が強調されて見えることが特徴となっている。
【００５０】
この特徴は、言い換えると、第１の記号５ａの領域の断面構造と、第２の記号５ｂの領域の断面構造とが異なることである。あるいは、第１の記号５ａの領域と第２の記号５ｂの領域とでは、識別マーク５の可視性（明るさ、コントラスト、色調）が異なることが特徴となっている。あるいは、その可視性が照明光の種類によって変化することが特徴となっている。
【００５１】
上記識別マーク５は、例えばフォトリソグラフィーによるパターニングやプロッタ状の描画装置によって金属薄膜をパターニングして形成する。なお、より小さく、かつ可視性が多様化された識別マーク５を形成するためには、フォトリソグラフィーによるパターニングが好ましい。また、識別マーク５の一部をプロッタによる描画とし、他の大部分であるマイナーチェンジによって変わらない記号列をフォトリソグラフィーによるパターニングとしてもよい。この場合、識別マーク５の全ての記号をプロッタで描画しなくてもよいので、描画に要する時間を短縮できる。また、識別マーク５の変更をプロッタ描画機によるパターニングの変更で済ませることができるので、フォトマスクを変更する必要がない利点も奏する。したがって、本実施の形態の識別マーク５のパターニングによる描画方法は、その工程に要する時間や費用を鑑みて当業者の裁量で決定してよい。
【００５２】
上記識別マーク５は、主に肉眼で観察するので、少なくとも０．数ｍｍ、好ましくは０．６ｍｍ程度の大きさが良い。なお、識別マーク５を読めるか否かは個人差があり主観的な要素も含む。したがって、これらの寸法は参考である。なお、読み取りは肉眼ではなく例えば単眼式のルーペ等を併用することもできる。
【００５３】
本実施の形態においては、図１に示すように、まず、識別マーク５の記号列を例えば「ＡＫ１Ｂ」とした場合、似た仕様の品種の識別マーク５は「ＡＫ１？（？は任意の記号）」のように、似た記号列となり、区別に必要な記号は末尾の１桁であることに着目する。なお、識別マーク５の書式の体系は自由に定めることができるので、マイナーチェンジを意味する記号の位置は必ずしも末尾の１桁とは限らない。
【００５４】
上記第１の記号５ａは、例えば素子側基板１の回路パターンを構成する素子や配線に利用している数１０００Å前後の金属薄膜（例えばＷ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｉ，Ａｌ、Ｃｕ、Ａｇ）をパターニングして形成する。
【００５５】
第２の記号５ｂも上記金属薄膜にて形成するが、第２の記号５ｂの領域にはさらにある程度の透光性を有する半透過金属薄膜６をベタ状に積層させる。この半透過金属薄膜６は、例えば薄膜トランジスタを構成する５００Å程度の半導体層（Ｓｉ）とすることが可能である。あるいは、島状に金属薄膜を点在させたり、開口部を多数設けた金属薄膜によって実現することも可能である。
【００５６】
このような第１の記号５ａ及び第２の記号５ｂは、ガラス基板や樹脂等の透光性を有する透明基板１ｂ上に形成される。なお、透明基板１ｂ上には他の透明な無機膜や有機膜が積層されてもよい。
【００５７】
上記構成の識別マーク５の見え方を、図２（ａ）〜（ｄ）にて説明する。図２（ａ）（ｂ）は、斜光２１にて素子側基板１を観察した場合を示しており、図２（ｃ）（ｄ）は、透過光２２で観察した場合を示している。なお、斜光２１ではなく、観察面に垂直に照明を当てるいわゆる落射光で識別マーク５を観察してもよい。
【００５８】
図２（ａ）（ｂ）に示すように、斜光２１で観察した場合は、第１の記号５ａは金属薄膜部分の反射と下地であるガラス基板等の透明基板１ｂの反射特性が明らかに異なるので、コントラストが高く良い可視性で第１の記号５ａを判読できる。一方、第２の記号５ｂにおいては、文字部分は半透過金属薄膜６であり、文字の周囲も金属薄膜である。したがって、文字と背景とが似たような金属反射を示すので、記号が不明瞭となり第２の記号５ｂの判読が難しい状態となる。時間を十分かけるかあるいはルーペ等で観察すれば、第２の記号５ｂを判読することは可能であるが、一般的な肉眼による観察では、少なくとも第２の記号５ｂの可視性は第１の記号５ａの可視性よりも劣ったものとなる。
【００５９】
また、図２（ｃ）（ｄ）に示すように、透過光２２で観察した場合は、金属薄膜部分では略完全に遮光される一方、そうではない白抜き部分では下地であるガラス基板等の透明基板１ｂを出射してきた透過光２２により第１の記号５ａを明瞭に判読できる。さらに、第２の記号５ｂの記号は、金属薄膜部分では略完全に遮光される一方、半透過金属薄膜６を通して透過してきた背景からの透過光２２により判読に支障が無い程度のコントラストで可視できる。
【００６０】
このような識別マーク５を有する３種類の品種の液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃを識別する例を、図３（ａ）〜（ｆ）、及び図４（ａ）〜（ｆ）に説明する。
【００６１】
ここで、液晶パネル１０ａは、図３（ａ）及び図４（ａ）に示すように、例えば、ドライバＩＣ２が２個積載されたものであり、液晶パネル１０ｂは、図３（ｂ）及び図４（ｂ）に示すように、ドライバＩＣ２が１個積載されたものであり、液晶パネル１０ｃは、図３（ｃ）及び図４（ｃ）に示すように、上記液晶パネル１０ｂとは基板の厚みのみが異なったものである。
【００６２】
また、各々には識別マーク５として、
液晶パネル１０ａ：識別マーク「ＢＭ１Ａ」
液晶パネル１０ｂ：識別マーク「ＡＫ１Ａ」
液晶パネル１０ｃ：識別マーク「ＡＫ１Ｂ」
がパターニングされている。
【００６３】
まず、斜光２１で液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃを観察した場合、図３（ａ）〜（ｆ）に示すように、液晶パネル１０ａに刻印されている第１の記号５ａ「Ａ」、液晶パネル１０ｂにパターニングされている第１の記号５ａ「Ａ」、及び液晶パネル１０ｃに刻印されている第１の記号５ａ「Ｂ」を読むことができる。
【００６４】
３種類の液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃの識別は以下のように実行できる。
【００６５】
まず、素子側基板１の外観に基づいて、液晶パネル１０ａと液晶パネル１０ｂ、及び液晶パネル１０ａと液晶パネル１０ｃとを容易に区別できる。
【００６６】
また、外観が似ている液晶パネル１０ｂと液晶パネル１０ｃとは、斜光２１にて読み取れる第１の記号５ａの違いにより区別できる。すなわち、液晶パネル１０ｂと液晶パネル１０ｃとの区別は、１桁の記号の判読により可能となる。つまり、識別マーク５の桁数が多数であっても斜光２１のもとで判読できる第１の記号５ａのみを判読比較すれば仕分けが可能となる。
【００６７】
また、液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃの種類の詳細、すなわち識別マーク５の全体を確認したい場合は、透過光２２にて素子側基板１を観察すればよい。具体的には、図４（ａ）〜（ｆ）に示すように、周囲光やライトボックス等を光源にした透過光２２で観察し、液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃのそれぞれにパターニングされている第２の記号５ｂを読み取ればよい。こうすることにより、識別マーク５を構成する記号列の全てを読み取ることができる。
【００６８】
また、識別マーク５を透過光２２にて読み取っても、第１の記号５ａが呈するコントラストは第２の記号５ｂが呈する記号のコントラストよりも高いので、識別に必須とされる記号の強調効果は損なわれない。
【００６９】
従来は、照明に関わらず識別マークの全記号が否応となく同じ可視性で視認されてしまうため、注意を払って識別マークの全桁を一文字一文字読み取っていた。
【００７０】
これに対して、本実施の形態では、所定の照明のもとで強調された特定の記号である第１の記号５ａを読み取るだけで済む。その結果、似た仕様の異なる素子側基板１の仕分け作業の負担を軽減することができる。
【００７１】
従来では、特定の記号を強調させるために例えば特定の記号を大きく形成する構成が提案されているが、識別マークの配置領域が限られている製品には不向きである。少なくとも識別マークの配置の自由度は損なわれる。
【００７２】
また、識別マークの特定の文字を大きくした結果、識別マークの桁数を減らすことが必要となることも有り得る。このような場合では識別マークから直接に品番を読み取ることができない不都合が新たに生じてしまう問題があった。
【００７３】
また、記号列の近くに他のマーク（例えば△の幾何学的マーク）を付随させて特定の文字に注視させるような従来手法の識別マークにおいては、人間の目の特性に留意する必要があった。これは注視している点から僅かに数度外れた位置の視野領域において人間の視力が１．０から０．３程度に急激に落ちる特性があると指摘されており、不適切に付随マークを添えた場合では、マーク本体に注視した結果、付随マークが見落とされる恐れがあるからである。また、工程作業に用いられる基板上のアライメントマークと付随マークとが紛らわしくなる不都合もある。
【００７４】
本実施の形態における識別マーク５の注視すべき特定の第１の記号５ａは、記号そのものの可視性を変えることによって強調しているのでこのような不具合が無い。
【００７５】
また、人間の目の特性（白背景の小さい黒パターンよりも、黒背景の小さい白パターンの方が見易い）を考えれば、強調させたい記号はネガとし他の文字はポジとすると良い。つまり、第１の記号５ａはネガとして注視を促し、第２の記号５ｂはポジとして相対的に可視性を変えて視認性を落とすと良い。
【００７６】
なお、ここで、第２の記号５ｂは、他の手法により可視性を落とすことができればネガの記号のままであっても構わない。
【００７７】
ここで、識別マーク５を構成する第１の記号５ａ及び第２の記号５ｂの可視性を異ならせる手段は上記に説明した限りではなく、例えば、図５〜図９に示すように、各種の他の構成例がある。なお、ここでは、「ＡＫ１」を第１の文字列とし、「Ｂ」を第２の文字列とする。また、ここでは、強調したい記号はいずれに限定しているものではなく、可視性を変えたい一方の記号を第１の文字列として扱い、他方を第２の文字列として扱っている。
【００７８】
図５に示すように、構成１ａ・１ｂ・１ｃ・１ｄ・１ｅは、斜光２１にて第２の文字列の可視性がよく、透過光２２にて識別マーク５の全体を判読できる構成である。構成１ａ・１ｂ・１ｃでは、第２の文字列は１種類の膜から形成され、第１の文字列は他の別個の膜によって故意に不明瞭になるように視認性が落とされるか又は完全に文字列が覆われることによって、斜光２１による可視性が落とされたことを特徴としている。
【００７９】
また、構成１ｄでは、文字を構成する薄膜の厚みを変えることにより、斜光２１では見え難く、反対に透過光２２では薄い薄膜部分を透過してきた光によって可視性が確保される第１の文字列を形成している。
【００８０】
次に、図６に示すように、構成２ａ・２ｂは、斜光２１にて識別マーク５の全体が判読でき、透過光２２では第２の文字列のみの判読ができる構成である。ここでは、第１の文字列がその文字又は背景が反射率が高い膜で構成されることによって、斜光２１ではコントラストの高い可視性が確保される一方、透過光２２では文字とその背景が遮光されることによって第１の文字列が見えないものとなっている。
【００８１】
次に、図７に示すように、構成３ａ・３ｂは、斜光２１にて識別マーク５の全体が判読でき、透過光２２では第２の文字列の判読ができる構成である。具体的には、第１の文字列は透明電極又は例えばガラス基板等の下地を深さ方向にエッチングすることにより形成し、第２の文字列を遮光性薄膜で形成する。ここで、下地は例えばベースコートや層間絶縁膜として用いられる酸化ケイ素や窒化ケイ素あるいは金属酸化物の単膜や積層が挙げられる。また、層間絶縁膜としてはアクリル樹脂等も適用することができる。さらには、デバイス基板の最上面に保護膜として用いられる絶縁膜であっても上記第１の文字列のパターニングは可能である。
【００８２】
この構成では第１の文字列の可視性が劣るものの、素子側基板１の膜の種類が少ないときに適用できる構成である。第１の文字列の判読は例えば斜光２１の照明を工夫することにより改善できる場合がある。
【００８３】
次に、図８に示すように、構成４ａ・４ｂ・４ｃは、照明に関係なく第２の文字列の可視性が強調された構成である。ここでは強調させたい文字列が着色されたり、あるいは強調させたい文字列が他方の文字列よりも遮光性が高い膜材料が使用されたりしていることを特徴としている。
【００８４】
着色はカラーフィルターを用いたり、又は酸化膜等の絶縁膜がその膜厚に応じて異なる色を呈することを利用したりすることができる。
【００８５】
このような酸化膜は、例えば薄膜トランジスタにおけるゲート電極上の絶縁膜や薄膜ダイオードにおける絶縁膜として利用されている。したがって、第２の文字列となる薄膜材料を熱酸化させたり、あるいは配線し陽極酸化を行なったりすることにより容易に着色できる。
【００８６】
また、カラーフィルターにより着色する場合は、第１の文字列を素子側基板１に形成し、第２の文字列を対向側基板１１上に形成し、第１の文字列と第２の文字列とが素子側基板１を平面視して１つの識別マーク５の記号の集合体となるように配置してもよい。
【００８７】
この場合は、第２の文字列を着色するための追加のカラーフィルターを素子側基板１に形成しなくてもよいので、製造に係るコストが増すことが無い。
【００８８】
あるいは、第１の文字列をクロム（Ｃｒ）や黒色樹脂（いわゆるＢＭ）で形成し、また第２の文字列をカラーフィルターを用いてともに対向側基板にパターニングすることも可能である。
【００８９】
また、遮光性の違う文字列は、金属薄膜の膜厚の厚さの違いを利用して形成できる。
【００９０】
なお、構成４ｂにおいては、前述したように人間の目の特性（白背景の小さい黒パターンよりも、黒背景の小さい白パターンの方が見易い）を考慮して、強調させたい記号をネガとし他の文字はポジとしているので、着色した記号（構成４ｂの場合では「Ｂ」）をより注視し易い効果を奏している。
【００９１】
次に、図９に示すように、構成５は、照明の切り替えにより、第１の記号５ａと第２の記号５ｂとのいずれかが強調される構成である。ここでは、第１の文字列を透過光で見える構成とし、第２の文字列を落射光（斜光）で見える構成としている。
【００９２】
具体的には、第１の文字列は低遮光性の金属薄膜による文字と遮光性の高い金属薄膜の背景とし、第２の文字列は反射性薄膜の文字と遮光性金属薄膜の背景としている。
【００９３】
したがって、斜光２１で観察した場合は、第１の文字列は文字と背景が暗めの金属光沢によって不明瞭になり見え難くなるが、透過光２２で観察した場合は文字が若干の透光性を有するので、判読に支障が無い程度の可視性を呈する。第２の文字列は、比較的暗い金属薄膜を背景として高い反射率を有する金属薄膜で文字を形成するので、可視性が良い。透過光２２で観察した場合は、文字と背景がいずれも遮光性を有するので第２の文字を判読できなくなる。
【００９４】
これらのように、本実施の形態における識別マーク５は、この識別マーク５を構成する記号の全てが同一の構成とはされない。すなわち、膜材料や積層構造を組み合わせたり、あるいは反射率や透過率の違う膜材料を組み合わせたり、さらには、例えばカラーフィルターや薄膜の干渉光による着色を利用している。
【００９５】
また、シリコン（Ｓｉ）ウエハを基材にした半導体デバイスのように透光性の無い製品においては識別マーク５を判読するための照明は屋内照明等の周囲光のみであり、照明を積極的に切り替えて判読することの発想そのものが従来存在しなかった。本実施の形態においては、液晶パネルのような表示装置では、ガラス等の透光性基板が基材であることに着目しており、照明によって識別記号の可視性を変えることができることを利用している。
【００９６】
したがって、例えば液晶表示装置、ＥＬ表示装置、又はプラズマ表示装置等の表示装置に一般的に利用されている薄膜材料や工程を利用して形成可能であるので、本実施の形態の識別マークを形成するために必要な新たな材料や工程の追加は不要である。
【００９７】
図１０（ａ）〜（ｆ）は、他の変形例における液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃを斜光２１で観察した場合の識別マーク５の見え方を説明した図である。図１１（ａ）〜（ｆ）は、同じ液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃを透過光２２で観察した場合の識別マーク５の見え方を説明した図である。
【００９８】
本実施の形態では、識別マーク５を構成する特定の記号の可視性を変えるために主に膜材料とその積層の工夫により実現している。しかしながら、本実施の形態は、他の構成を排除をしているわけではなく、従来の構成と組み合わせることが可能である。図１０（ａ）〜（ｆ）及び図１１（ａ）〜（ｆ）においては、例えば、識別マーク５の特定の文字を大きくしている。
【００９９】
このような識別マーク５を有する３種類の液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃの識別の例を図１０（ａ）〜（ｆ）及び図１１（ａ）〜（ｆ）を用いて説明する。ここで、
液晶パネル１０ａ：識別マーク「ＡＫ１Ａ」
液晶パネル１０ｂ：識別マーク「ＡＫ２Ａ」
液晶パネル１０ｃ：識別マーク「ＡＫ２Ｂ」
とする。また、３種類の液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃの外観は略同一とする。したがって識別マーク５の文字も似たものとなっているとする。
【０１００】
まず、斜光２１で素子側基板１を観察した場合、図１０（ａ）〜（ｆ）に示すように、液晶パネル１０ａにパターニングされている第１の記号５ａ「Ａ」、液晶パネル１０ｂにエッチングされている第１の記号５ａ「Ａ」、液晶パネル１０ｃにパターニングされている第１の記号５ａ「Ｂ」を読むことができる。
【０１０１】
また、液晶パネル１０ｂ・１０ｃにおいては、第１の記号５ａとは別個に、識別に重要な第３の記号５ｃが可視できるようにパターニングされている。強調は、例えば図示しているように、寸法の大きな記号としたり、あるいは照明に関わらず常に可視できる記号としたりする。
【０１０２】
これら３つの種類の液晶パネル１０ａ・１０ｂ・１０ｃの識別は図から明らかなように上記第３の記号５ｃにより、液晶パネル１０ａと液晶パネル１０ｂ、あるいは液晶パネル１０ａと液晶パネル１０ｃとを容易に区別できる。
【０１０３】
また、識別マーク５の外観が似ている液晶パネル１０ｂと液晶パネル１０ｃとは、斜光２１で読み取れる第１の記号５ａの違いにより区別できる。
【０１０４】
また、識別マーク５の全ての記号は、図１１（ａ）〜（ｆ）に示すように、透過光２２で素子側基板１を観察することにより容易に可能である。
【０１０５】
このように、本実施の形態では、識別マーク５を形成する記号列の一部と他方の可視性を異ならせているので、似たような書式の識別マーク５同士の区別を行ない易い。また、特定の記号が所定の照明で強調され、さらに、他の照明では識別マークの記号列の全てを判読できるので、品種の仕分けの負担軽減と識別マークが有する情報量の維持を両立させることができる。
【０１０６】
以上、本実施の形態を説明したがその実施の構成は本発明の主旨を逸脱しない範囲で自由に変更できる。
【０１０７】
例えば、図１２に示すように、本発明の識別マークを例えばデバイス基板上の配線や端子のナンバリングとして適用することも可能である。ナンバリングは例えば製品の解析やリペアの際に不良画素あるいは不良配線の位置の特定に利用されている。図１２は、薄膜トランジスタを用いたアクティブマトリクス型液晶パネルにおける応用例を示している。
【０１０８】
例えば、ゲートバスラインやソースバスライン等の駆動用配線のナンバリングとしてダミー画素内に例えば３桁の連番を付与させる場合、連番における特定の桁の可視性を他の桁の可視性よりも相対的に良くして読み取りの便宜を図っても良い。すなわち、同図１２においては、ダミー画素内にソースバスラインの１１２番目、１１３番目及び１１４番目の領域を示す３桁の連番を付与しており、一の位が第１の記号５ａとして例えばネガの記号とされ、十の位及び百の位が第２の記号５ｂとして例えばポジの記号とされている。これらの記号は、薄膜トランジスタを構成している金属薄膜や絶縁膜、あるいは下地や画素電極、さらにはカラーフィルターを利用してパターニングできる。その手法は上述した図５〜図９に示す構成を採ることが可能である。
【０１０９】
このようにすると、例えば顕微鏡による観察の作業性を向上できる利点が得られる。すなわち、可視性が良い第１の記号５ａが視野の移動によって次々と変化する（図１２の場合では、第１の記号５ａが「１、２、３、・・・９」の周期で繰り返される）ことを視認し易くなるので、顕微鏡での視野の移動を直感的に掴み易くなる効果を得られるのである。この点、従来の配線のナンバリングは、連番を構成する全ての桁がポジとされていたために、視野が移動しても連番の外観の変化をつかみ難く、それゆえ顕微鏡のステージを移動させて速やかに所望の位置を観察できない不都合があった。
【０１１０】
なお、上記の説明において、ダミー画素はセルギャップの均一化、寄生容量の均一化あるいは静電気による素子破壊を防ぐために正規の画素の集合体（表示領域）の周囲の少なくとも１辺に沿って設けられる。しかしながら、ダミー画素は表示に寄与しないので必ずしも正規の画素と同一構造である必要はなく、ダミー画素の領域をそのまま、あるいは必要であれば不必要な構造物を省略して空いた領域を記号の形成領域として利用すると液晶パネルの外形を増大させることがなく好都合である。
【０１１１】
また、例えばパッシブ駆動又はアクティブ駆動等の駆動方法や、３端子素子又は２端子素子等のスイッチング素子の種類を問わないので、非常に適用し易い利点がある。なお、外形が大きくなることを不問とすれば、ナンバリングの形成位置はダミー画素内に限らないことは言うまでも無い。
【０１１２】
一方、ナンバリングの識別記号は、一定の周期でその可視性を変更することも可能である。例えば、図１３（ａ）に示すように、１０毎に識別記号の可視性を変えても良い。同図においては、一の位の記号が常時高い可視性を有し、また、１００、１１０、・・・のように１０毎に識別記号全体が容易に可視される構成とされている。具体的には、第１の記号５ａ、及び１０毎の識別記号は金属薄膜で形成され、第２の記号５ｂは下地や層間絶縁膜等の透光性薄膜を深さ方向にエッチングしたり、あるいは透明電極をパターニングしたりして形成される。
【０１１３】
この場合、透過光を用いた顕微鏡観察では、図１３（ｂ）に示すように、金属薄膜で形成した記号のみが明瞭に見えるので、大まかにナンバリングを確認し視野を移動させることが容易となる。また、最終的なナンバリングの確認は、落斜光で観察して、第１の記号５ａと第２の記号５ｂの双方を読み取ることにより可能となる。特に、第２の記号５ｂの存在は顕微鏡の視野が狭い場合であっても任意の箇所のナンバリングの全桁を特定させることに非常に有効となる。
【０１１４】
なお、薄膜トランジスタ、薄膜ダイオード、配線、及び端子等が形成されているデバイス基板上において、ナンバリングの記号の少なくとも一部を絶縁膜を用いて形成した場合は、ナンバリングが導電体で構成されていないのでデバイス基板を構成する回路の近傍にナンバリングを形成しても電気的な不良を避けることができる。
【０１１５】
絶縁膜に対するナンバリングのパターニングは、例えばウェットエッチング若しくはドライエッチング、又はスパッタリング現象を利用して絶縁膜の表面に凹凸を施すことにより、実現できる。
【０１１６】
上記のスイッチング素子の構成膜及びその下地膜や保護膜としては、無機の絶縁膜が使用されているので、この無機絶縁膜をナンバリングの形成膜として好適に利用することができる。なお、有機樹脂も使用可能である。ただし、樹脂が厚い場合は露光精度が悪化するので、小さい記号のパターニングには適していない。したがって、無機絶縁膜を選択できない場合に、有機樹脂をナンバリングの形成膜として選択することが好ましい。
【０１１７】
上記のようなナンバリングを例えば配線と配線の間、あるいは端子と端子の間に設けると、ナンバリングのパターンによる短絡や放電を防ぐことができる。
【０１１８】
また、配線や端子の間隔が狭くても、ナンバリングを単独の配線（端子）又は複数の配線（端子）にまたがるように配置できる。このため、判読に必要な一定の大きさの寸法でナンバリングを設けることが可能となるという他の利点も有する。
【０１１９】
最良の場合では、正規の画素内、配線や端子の直上にナンバリングの少なくとも一部が含まれるように設けることも可能となり、表示装置が大きくなることを避けることができる。なお、照明の切り替えによる可視性の変化は得られないかもしれないが、ナンバリングの全てを絶縁膜で形成し、ナンバリングの配置の自由度を飛躍的に高めることも可能である。
【０１２０】
これに対して、従来の液晶パネルにおける回路基板上の識別記号やナンバリングは、導電性薄膜でパターニングされていた。しかしながら、高精細化が進み配線レイアウトの高密度化が進んでいる昨今の液晶パネルにおいては、電気的不良を引き起こす恐れが増していた。場合によっては、歩留まりを考慮した結果、又は液晶パネルの額縁の寸法の増加を避けた結果、識別マークを配置できず解析作業に支障が生じる場合もあった。
【０１２１】
一方、本発明の識別マーク５の観察は、所謂膜面側からではなくガラス基板越しに観察しても良い。
【０１２２】
さらに、本発明においては、例えば、識別マーク５の桁数がさらに多くても良い。また、直線状に配列するのではなく例えば４桁×２行にわたって計８桁の記号列としても良い。例えば、可視光ではなく、特定の波長領域を用いた照明によって識別マークの特定の記号の可視性が変わっても良い。例えば、透明電極材料であるＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムすず酸化物）膜は、赤外線を吸収し黒く見えることを利用できる。
【０１２３】
また、ナトリウムランプを用いると凹凸を視認し易いことを利用してもよい。例えば特定の記号が深く立体的に触刻され他の記号は略平面状で形成されていてもよい。
【０１２４】
あるいは、照明の波長と識別マーク５の膜材料が有する波長分散性とに着目しても良い。例えば、赤の波長の透過光２２で、青のカラーフィルターで形成した記号を観察すると、赤の背景に文字が黒く見えることを利用してもよい。なお、白色光の透過光２２で観察すれば、白の背景に青の文字が見えることは言うまでも無い。
【０１２５】
また、反射特性に着目しても良い。例えば、記号の一方を鏡面反射膜とし、他方を散乱反射膜としてもよい。
【０１２６】
また、本実施の形態の識別マーク５は、小型の表示装置ではなくＴＶやモニタ用の大型の表示装置にも適用できる。
【０１２７】
また、表示装置ではなく、外形が規格化されているために識別が難しいデバイス基板やデバイス、例えば演算装置（ＣＰＵ）やマザーボード、記憶媒体、タッチパネル等に適用できる。
【産業上の利用可能性】
【０１２８】
本発明は、識別マークが刻字されたデバイス基板に関するものである。したがって、例えば、液晶表示装置、ＥＬ表示装置、又はプラズマ表示装置等の表示装置に一般的に利用されている薄膜材料や工程を利用して形成可能である。また、小型の表示装置ではなくＴＶやモニタ用の大型の表示装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明におけるデバイス基板に刻印された識別マークの実施の一形態を示す斜視図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は斜光での識別マークの見え方を示す図であり、（ｃ）（ｄ）は透過光での識別マークの見え方を示す図である。
【図３】（ａ）（ｂ）はドライバＩＣが２個積載された液晶パネルにおける斜光での識別マークの見え方を示す図であり、（ｃ）（ｄ）はドライバＩＣが１個積載された液晶パネルにおける斜光での識別マークの見え方を示す図であり、（ｅ）（ｆ）はドライバＩＣが１個積載されかつ厚さの薄い液晶パネルにおける斜光での識別マークの見え方を示す図である。
【図４】（ａ）（ｂ）はドライバＩＣが２個積載された液晶パネルにおける透過光での識別マークの見え方を示す図であり、（ｃ）（ｄ）はドライバＩＣが１個積載された液晶パネルにおける透過光での識別マークの見え方を示す図であり、（ｅ）（ｆ）はドライバＩＣが１個積載されかつ厚さの薄い液晶パネルにおける透過光での識別マークの見え方を示す図である。
【図５】斜光にて第２の文字列の可視性がよく、かつ透過光にて識別マークの全体を判読できる構成例を示す図である。
【図６】斜光にて識別マークの全体が判読でき、透過光では第２の文字列のみの判読ができる構成例を示す図である。
【図７】斜光にて識別マークの全体が判読でき、透過光では第２の文字列の判読ができる構成例を示す図である。
【図８】照明に関係なく、文字列の着色等により第２の文字列の可視性が強調された構成例を示す図である。
【図９】照明の切り替えにより、第１の記号と第２の記号とのいずれかが強調される構成例を示す図である。
【図１０】（ａ）〜（ｆ）は、他の変形例における３種類の液晶パネルを斜光で観察した場合の識別マーク５の見え方を説明した図である。
【図１１】（ａ）〜（ｆ）は、上記３種類の同じ液晶パネルを透過光で観察した場合の識別マークの見え方を説明した図である。
【図１２】上記デバイス基板に刻印された識別マークの変形例を示すものであり、配線のナンバリングの例を示す平面図である。
【図１３】（ａ）（ｂ）は、上記デバイス基板に刻印された識別マークの他の変形例を示すものであり、配線のナンバリングの例を示す平面図である。
【図１４】（ａ）（ｂ）は従来の液晶パネルにおける識別マークの見え方を示す図である。
【図１５】（ａ）（ｂ）は従来の液晶表示素子における識別マークの見え方を示す図である。
【図１６】従来の識別マーク付カラーフィルターにおける識別マークの見え方を示す図である。
【図１７】従来の液晶パネルにおける識別マークの見え方を示す図である。
【図１８】従来の識別マーク入りコンタクトレンズにおける識別マークの見え方を示す図である。
【図１９】従来の製品識別マークつき包装容器における識別マークの見え方を示す図である。
【図２０】（ａ）（ｂ）はドライバＩＣが１個積載された液晶パネルにおける斜光での識別マークの見え方を示す図であり、（ｃ）（ｄ）はドライバＩＣが１個積載されかつ厚さの薄い液晶パネルにおける斜光での識別マークの見え方を示す図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１      素子側基板（デバイス基板）
１ａ    端子領域
１ｂ    透明基板
４      バーコード
５      識別マーク
５ａ    第１の記号
５ｂ    第２の記号
６      半透過金属薄膜
１０      液晶パネル
１１      対向側基板
【図１】
2008052145.tif 000003
【図２】
2008052145.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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