(57)【要約】【課題】  オシレータおよびアンプを備えた多段増幅型レーザ装置でオシレータおよびアンプのチャンバを効率よく利用することによって作業労力や交換部品を低減する。【解決手段】  一定期間が経過するタイミングでオシレータおよびアンプのチャンバを交換する際に、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所からチャンバを取り外し、そのチャンバをオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所に取り付ける。こうしてオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所で使用したチャンバの劣化度の余裕分を、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所で消費する。【選択図】  図２
2008130598.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オシレータのチャンバで生成された光が１以上のアンプレーザーのゲインを生成するチャンバで増幅される多段増幅型レーザ装置であって、オシレータおよびアンプのチャンバの構造が互いに共通であり、チャンバの劣化許容限度がオシレータと１以上のアンプで異なるようなレーザ装置のチャンバ交換方法において、
一定期間が経過するタイミングでオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所からチャンバａを取り外し、
当該チャンバａの代わりに新たなチャンバを取り付け、
オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所からチャンバｂを取り外して当該チャンバｂの代わりに前記チャンバａを取り付けること
を特徴とするチャンバ交換方法。
【請求項２】
前記チャンバｂの劣化許容限度は前記チャンバａの劣化許容限度の２倍以上の整数倍に設定可能である場合に、
前記チャンバａの劣化度が劣化許容限度に達するタイミングで前記チャンバａと前記チャンバｂの交換を行うこと
を特徴とする請求項１記載のチャンバ交換方法。
【請求項３】
チャンバの劣化度はレーザショット数に比例しており、
前記チャンバａの劣化度が劣化許容限度となるレーザショット数に達するタイミングで前記チャンバａと前記チャンバｂの交換を行うこと
を特徴とする請求項２記載のチャンバ交換方法。
【請求項４】
前記多段増幅型レーザ装置は、Master Oscillator Power Amplifier（ＭＯＰＡ）方式、あるいはこのＭＯＰＡ方式にPower Amplifierをさらに１台または複数台追加した方式であること
を特徴とする請求項１記載のチャンバ交換方法。
【請求項５】
前記多段増幅型レーザ装置は、インジェクションロック方式、あるいはリング方式であること
を特徴とする請求項１記載のチャンバ交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多段増幅型レーザにおいてオシレータおよび少なくとも１台あるアンプのチャンバの構造が互いに共通であり、チャンバの劣化許容限度がオシレータと１以上のアンプで異なるようなレーザ装置のチャンバ交換方法に関し、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所に取り付けられていたチャンバを取り外し、オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所に取り付けて使用するチャンバ交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、半導体露光装置（以下、「露光装置」という）においては解像力の向上が要請されている。このため露光用光源から放出される光の短波長化が進められている。露光用光源には従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられている。現在、露光用のガスレーザ装置としては波長２４８nmの紫外線を放出するＫｒＦエキシマレーザならびに、波長１９３nmの紫外線を放出するＡｒＦエキシマレーザが用いられている。
【０００３】
次世代の露光技術としては露光装置側の露光用レンズとウエハ間を液体で満たして屈折率を変えることによって、露光用光源の見かけの波長を短波長化する液浸露光が研究されている。ＡｒＦエキシマレーザを露光用光源として液侵露光が行われた場合は、ウエハには水中における波長１３４nmの紫外光が照射される。この技術をＡｒＦ液浸露光（又はＡｒＦ液浸リソグラフィー）という。
【０００４】
次々世代の露光用光源としてはＥＵＶ光源があり、またＦ2レーザを露光用光源として液浸技術が行われる可能性もある。この場合は、ウエハには波長１１５nmの紫外光が照射されることになる。
【０００５】
液浸露光では高ＮＡ化によりレンズの透過率が低下するため、一定露光量を得るために光源であるレーザの高出力化が必要とされている。また、露光装置の高スループット化のためにもレーザの高出力化が必要とされている。スペクトル線幅を狭帯域化した上で高出力を得るための手段としては例えば図１に示すようなダブルチャンバレーザ装置１がある。なお、図１はオシレータ及びアンプがいずれもレーザ共振器を有するＭＯＰＡ方式レーザを示している。
【０００６】
ダブルチャンバレーザ装置１は、狭帯域化したレーザ光を出力するためのオシレータ１０と、その狭帯域化されたレーザビーム（これをシード光と呼ぶ）を増幅するためのアンプ２０から構成される。ダブルチャンバレーザ装置１はアンプ２０における増幅の手段の違いによりＭＯＰＯ方式とＭＯＰＡ方式の２種類に分けられる。ＭＯＰＯはMaster Oscillator, Power Oscillatorの略でインジェクションロック方式とも呼ばれており、アンプ２０のアンプチャンバ２１の前後に共振器が設けられているレーザである。一方、ＭＯＰＡはMaster Oscillator, Power Ampliferの略であり、アンプ２０のアンプチャンバの前後に共振器が設けられていないレーザである。
【０００７】
以下の説明はＭＯＰＯ方式レーザを例にしている。オシレータ１０とアンプ２０にはそれぞれ内部にレーザガスを封入するオシレータチャンバ１１、アンプチャンバ２１が設けられている。オシレータチャンバ１１には、チャンバ内部から外部にまたはチャンバ外部から内部に光の通過を自在にするウインドウ１１ａ、１１ｂが取り付けられている。アンプチャンバ２１には、チャンバ内部から外部にまたはチャンバ外部から内部に光の通過を自在にするウインドウ２１ａ、２１ｂが取り付けられている。また、各チャンバ１１、２１の内部には一対の主放電電極やガス貫流ファンやガス冷却装置等、種々の機器が設けられている。これらチャンバ１１、２１として、互いに構造が共通するものを用いる場合と互いに構造が異なるものを用いる場合とがある。
【０００８】
先ず、機能面を考えると、各チャンバ１１、２１には互いに最適に設計されたものを用いた方がよい。オシレータ１０の機能はレーザ光の生成および狭帯域化であり、アンプ２０の機能はオシレータ１０から出力されたレーザ光の増幅である、というようにオシレータ１０とアンプ２０の機能は相違し、チャンバはその機能に適した構造にすることが理想的であるためである。この場合はチャンバ１１、２１は互換性がなくなることもあり得る。
【０００９】
一方、コスト・管理面を考えると、各チャンバ１１、２１には互いに構造が共通するものを用いた方がよい。オシレータチャンバ１１とアンプチャンバ２１とで部品を共通化することによって、部品管理が簡略化され、各サービス拠点への配備コストや部品製造コストも低減することを容易にするためである。
【００１０】
オシレータチャンバ１１とアンプチャンバ２１とで部品を共通化しても機能面で大きな問題とならないケースもある。オシレータチャンバ１１とアンプチャンバ２１内部のガス組成や、チャンバ以外の部品であるフロントミラーの反射率、ガス貫流ファン回転数といったパラメータを調整してオシレータチャンバ１１とアンプチャンバ２１に、それぞれの機能に適した特性を持たせることが可能だからである。このため、レーザ利用者側がコスト・管理面を優先させて、オシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の部品を共通化することも可能である。以下ではオシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の構造が互いに共通する場合を前提条件とする。
【００１１】
オシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１（ウインドウやチャンバ内外部品を含む）は、ダブルチャンバレーザ装置１の累積運転時間の増加すなわち累積レーザショット数の増加に伴い劣化する。オシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の劣化はレーザ寿命の低下を招く。チャンバの劣化の程度すなわち劣化度が大きくなると１回のガス充填あたりのレーザの寿命が仕様を満たさなくなるため、ある程度まで劣化度が大きくなるとオシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の交換が必要になる。オシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の劣化度には許容範囲が設定され、その限度すなわち劣化許容限度に達するとチャンバの寿命が到来したものと判断される。
【００１２】
図３はオシレータおよびアンプにけるチャンバの寿命の考え方を示している。図３はダブルチャンバレーザ装置１のレーザショット数とオシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の最大出力エネルギーとの関係を示している。縦軸はチャンバの出力エネルギー、横軸は累積レーザショット数である。最大出力エネルギーはその時点でのチャンバが保持している能力と考えることができ、またチャンバの能力はチャンバの劣化度と比例することが判っている。したがって、図３のグラフはレーザショット数とオシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の劣化度との関係を示しているともいえる。
【００１３】
図３に示すように、オシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の最大出力エネルギーはレーザショット数の増加に略比例して減少する。つまりオシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１の劣化度はレーザショット数の増加に略比例して高くなるといえる。また、レーザショット数の増加に伴う劣化の割合は、オシレータ１０およびアンプ２０でほぼ同程度であるとする。新しいチャンバ（レーザショット数０）の最大出力エネルギーをＡとした場合に、アンプ２０におけるチャンバの寿命よりもオシレータ１０におけるチャンバの寿命が短い場合を例にすれば、オシレータ１０では、最大出力エネルギーがＢに低下した時点すなわちレーザショット数がＬoに達した時点でオシレータチャンバ１１の劣化度は許容範囲の上限すなわち劣化許容限度に達しチャンバの寿命が到来する。アンプ２０では、最大出力エネルギーがＣに低下した時点すなわちレーザショット数がＬaに達した時点でアンプチャンバ２１の劣化度は劣化許容限度に達しチャンバの寿命が到来する。
【００１４】
なお、図３においてＡを劣化度ゼロと考えると、、アンプ２０におけるチャンバの寿命よりもオシレータ１０におけるチャンバの寿命が短い場合を例にすれば、オシレータ１０におけるチャンバの劣化度の許容範囲はＡからＢまでの範囲に相当し、アンプ２０におけるチャンバの劣化度の許容範囲はＡからＣまでの範囲に相当する。すなわちアンプ２０よりもオシレータ１０の方が劣化許容限度が低いといえる。
【００１５】
図３においては２Ｌo＝Ｌaの関係が成立している。このようにオシレータ１０とアンプ２０で劣化許容限度が異なるのは、オシレータ１０とアンプ２０の機能の相違に起因するものである。オシレータ１０の機能はレーザ光の生成および狭帯域化であり、アンプ２０の機能はオシレータ１０から出力されたレーザ光の増幅である。これらの機能を考えると、より質の高いレーザ発振動作が求められるのはオシレータ１０であるといえる。このため、アンプ２０よりもオシレータ１０を厳密に管理する必要があり、結果として劣化度の許容範囲が小さくすなわち劣化許容限度が低く設定されるのである。但し、２Ｌo＝Ｌaというのは一例であり、必ずしもこの関係が成立するとは限らないが、少なくともＬo≦Ｌaの関係は成立するように設計することができる。概ね２Ｌo＝Ｌaまたは３Ｌo＝ＬaというようにＬaがＬoの２倍以上の整数倍に設定することができる。
【００１６】
逆にオシレータ１０よりもアンプ２０の方がチャンバの劣化許容限度が低く設定される場合がある。アンプチャンバ２１からの出力エネルギーを大きくする（増幅率を大きくする）場合はアンプ２０では、最大出力エネルギーがＢに低下した時点でアンプチャンバ２１の劣化許容限度が到来する。オシレータ１０では、最大出力エネルギーがＣに低下した時点でオシレータチャンバ１１の劣化許容限度が到来する。アンプチャンバ２１の必要出力エネルギーが大きいため、結果として劣化度の許容範囲が小さくすなわち劣化許容限度が低く設定されるのである。この場合も概ね２Ｌa＝Ｌoまたは３Ｌa＝ＬoというようにＬoがＬaの２倍以上の整数倍に設定することができる。
【００１７】
ここでアンプ２０よりもオシレータ１０の方がチャンバの劣化許容限度が低く設定される場合を例にして従来行われていたチャンバの交換方法に関して説明をする。  
図４は従来の方法に係るチャンバの交換周期の態様（２Ｌo＝Ｌaのケース）を示している。図４に示された“♯１”等の記号はオシレータ１０およびアンプ２０で使用されるチャンバ１１、２１の通し番号である。レーザショット数がＬoに達すると、オシレータ１０ではオシレータチャンバ１１（♯２）から新たなオシレータチャンバ１１（♯３）に交換される。レーザショット数が２Ｌo（＝Ｌa）に達すると、アンプ２０ではアンプチャンバ２１（♯１）から新たなアンプチャンバ２１（♯４）に交換され、オシレータ１０ではオシレータチャンバ１１（♯３）から新たなオシレータチャンバ１１（♯５）に交換される。以降同様にして、レーザショット数がＬo経過する毎にオシレータ１０ではオシレータチャンバ１１が交換され、レーザショット数が２Ｌo（＝Ｌa）経過する毎にアンプ２０ではアンプチャンバ２１が交換される。なお、新たなチャンバとは新品は勿論のこと、使用済みのチャンバをオーバーホール（部品交換や内部浄化等）した再利用品（性能は新品と同様）も含む。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
図４に示すような交換周期でチャンバの交換を行った場合、オシレータチャンバ１１はレーザショット数Ｌo毎にオシレータ１０の劣化許容限度に達したものと判断されオーバーホール又は廃棄される。しかし、オシレータチャンバ１１はオシレータ１０の劣化許容限度には達しているものの、アンプ２０の劣化許容限度には達していない。つまりダブルチャンバレーザ装置全体で見れば、オシレータチャンバ１１は未だ用途がある。そうであるにも関わらず、オシレータチャンバ１１をオーバーホール又は廃棄するということは、オーバーホールに関わる作業労力を浪費しまた交換部品を浪費しているといえる。
【００１９】
本発明はこうした実状に鑑みてなされたものであり、オシレータおよび少なくとも１台のアンプを備えた多段増幅型レーザ装置でオシレータおよびアンプのチャンバを効率よく利用することによって作業労力や交換部品を低減する（＝コストを低減する）ことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
第１発明は、
オシレータのチャンバで生成された光が１以上のアンプレーザーのゲインを生成するチャンバで増幅される多段増幅型レーザ装置であって、オシレータおよびアンプのチャンバの構造が互いに共通であり、チャンバの劣化許容限度がオシレータと１以上のアンプで異なるようなレーザ装置のチャンバ交換方法において、
一定期間が経過するタイミングでオシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所からチャンバａを取り外し、
当該チャンバａの代わりに新たなチャンバを取り付け、
オシレータおよび１以上のアンプのうちチャンバの劣化許容限度が低い箇所以外の箇所からチャンバｂを取り外して当該チャンバｂの代わりに前記チャンバａを取り付けること
を特徴とする。
【００２１】
第２発明は第１発明において、
前記チャンバｂの劣化許容限度は前記チャンバａの劣化許容限度の２倍以上の整数倍に設定可能である場合に、
前記チャンバａの劣化度が劣化許容限度に達するタイミングで前記チャンバａと前記チャンバｂの交換を行うこと
を特徴とする。
【００２２】
第３発明は第２発明において、
チャンバの劣化度はレーザショット数に比例しており、
前記チャンバａの劣化度が劣化許容限度となるレーザショット数に達するタイミングで前記チャンバａと前記チャンバｂの交換を行うこと
を特徴とする。
【００２３】
オシレータおよび少なくとも１台のアンプを備えた多段増幅型レーザ装置において、設計により各チャンバの劣化度の許容範囲がそれぞれ異なる。例えば、オシレータのチャンバはレーザショット数の増加に伴いオシレータにおけるチャンバの劣化許容限度に達したとしても、アンプにおけるチャンバの劣化許容限度には達していない。他の場合はアンプのチャンバはレーザショット数の増加に伴いアンプにおけるチャンバの劣化許容限度に達したとしても、オシレータにおけるチャンバの劣化許容限度には達していない、ということになる。更に他の場合は２台以上のアンプチャンバのいずれかがレーザショット数の増加に伴いアンプにおけるチャンバの劣化許容限度に達したとしても、他のアンプにおけるチャンバの劣化許容限度には達していない、ということになる。
【００２４】
以下ではＭＯＰＯ型レーザを例にしてアンプにおけるチャンバの劣化度の許容範囲が、オシレータにおけるチャンバの劣化度の許容範囲よりも大きい場合を説明する。例えば、オシレータにおけるチャンバの劣化許容限度がレーザショット数にしてＬoであり、アンプにおけるチャンバの劣化許容限度がレーザショット数にして２Ｌo（＝Ｌa）である場合に、オシレータのチャンバは、オシレータにおけるチャンバの劣化許容限度に達したとしても、アンプにおけるチャンバの劣化許容限度までレーザショット数にしてＬo分の余裕がある。
【００２５】
また、例えば、オシレータにおけるチャンバの劣化許容限度がレーザショット数にしてＬoであり、アンプにおけるチャンバの劣化許容限度がレーザショット数にして３Ｌo（＝Ｌa）である場合に、オシレータのチャンバは、オシレータにおけるチャンバの劣化許容限度に達したとしても、アンプにおけるチャンバの劣化許容限度までレーザショット数にして２Ｌo分の余裕がある。
【００２６】
そこで、一定期間が経過するタイミングでオシレータおよびアンプのチャンバを交換する際に、オシレータには常に新たなチャンバを取り付け、アンプにはオシレータから取り外したチャンバを取り付ける。こうしてオシレータで使用したチャンバの劣化度の余裕分をアンプで消費する。
【００２７】
また、ｎＬo＝Ｌa（ｎは２以上の整数）となる場合には、オシレータにてチャンバの劣化度がオシレータの劣化許容限度となるレーザショット数に達するタイミングでオシレータおよびアンプにおけるチャンバの交換を行うようにする。
【００２８】
以上の説明の例とは逆に、オシレータにおけるチャンバの劣化度の許容範囲が、アンプにおけるチャンバの劣化度の許容範囲よりも大きい場合には、以上の説明と同様に一定期間が経過するタイミングでオシレータおよびアンプのチャンバを交換する際に、アンプには常に新たなチャンバを取り付け、オシレータにはアンプから取り外したチャンバを取り付ける。こうしてアンプで使用したチャンバの劣化度の余裕分をオシレータで消費する。
【００２９】
なお、ここでいう新たなチャンバとは新品は勿論のこと、使用済みのチャンバをオーバーホール（部品交換や内部浄化等）した再利用品も含む。再利用品でも新品チャンバと同様の性能を有する。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、チャンバの劣化度の許容範囲に応じてオシレータで使用したチャンバの劣化度の余裕分をアンプで消費する。あるいはアンプで使用したチャンバの劣化度の余裕分をオシレータで消費する。あるいはアンプで使用したチャンバの劣化度の余裕分を他のアンプで消費する。したがって、従来のように劣化度に余裕があったチャンバをオーバーホールしたり廃棄したりする機会が必要最低限に抑えられるため、作業労力や交換部品を低減することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００３２】
図１はＭＯＰＯ方式のダブルチャンバレーザ装置の構成例を示している。  
ダブルチャンバレーザ装置１は、光を生成し狭帯域化するオシレータ１０と、オシレータ１０から出力された光を増幅するアンプ２０と、オシレータ１０から出力されたレーザ光をアンプ２０まで案内するビームステアリングモジュール３０と、アンプ２０から出力されたレーザ光を検出するモニタモジュール４０と、レーザ装置外部へのレーザ光の出力と遮断を切り換えるシャッタ５０と、を有する。
【００３３】
オシレータ１０はレーザガスを封入するオシレータチャンバ１１を有する。オシレータチャンバ１１にはチャンバ内部から外部にまたはチャンバ外部から内部に光の通過を自在にするウインドウ１１ａ、１１ｂが取り付けられている。オシレータチャンバ１１の内部には互いに対向する一対の主放電電極やガス貫流ファンやガス冷却装置等、種々の機器が設けられている。
【００３４】
オシレータチャンバ１１のリア側のレーザ光路上には狭帯域化モジュール１２が設けられ、オシレータチャンバ１１のフロント側のレーザ光路上にはオシレータフロントミラー１３が設けられる。狭帯域化モジュール１２は、例えばプリズムビームエキスパンダやグレーティングといった狭帯域化素子等の光学素子を備える。狭帯域化モジュール１２とオシレータフロントミラー１３は光共振器を構成する。
【００３５】
オシレータパルスパワーモジュール１４はスイッチ素子や磁気圧縮回路を有し、図示しないコントローラからスイッチ素子に出力されるトリガ信号に応じて、充電エネルギーを磁気圧縮回路を介してオシレータチャンバ１１内の主放電電極に供給する。
【００３６】
アンプ２０はレーザガスを封入するアンプチャンバ２１を有する。アンプチャンバ２１にはチャンバ内部から外部にまたはチャンバ外部から内部に光の通過を自在にするウインドウ２１ａ、２１ｂが取り付けられている。アンプチャンバ２１の内部にはそれぞれ互いに対向する一対の主放電電極やガス貫流ファンやガス冷却装置等、種々の機器が設けられている。
【００３７】
アンプチャンバ２１のリア側のレーザ光路上にはアンプリアミラー２２が設けられ、アンプチャンバ２１のフロント側のレーザ光路上にはアンプフロントミラー２３が設けられる。
【００３８】
アンプパルスパワーモジュール２４はスイッチ素子や磁気圧縮回路を有し、図示しないコントローラからスイッチ素子に出力されるトリガ信号に応じて、充電エネルギーを磁気圧縮回路を介してアンプチャンバ２１内の主放電電極に供給する。
【００３９】
オシレータ１０に設けられるオシレータチャンバ１１の構造とアンプ２０に設けられるアンプチャンバ２１の構造は互いに共通する。
【００４０】
ビームステアリングモジュール３０は筐体の内部に１以上のミラーを有し、このミラーによってオシレータ１０から出力されたレーザ光をアンプ２０まで案内する。
【００４１】
モニタモジュール４０はビームスプリッタと光センサを有する。モニタモジュール４０に入射したレーザ光はビームスプリッタで分割され、一方の光はモニタモジュール４０の外部に出射し、他方の光は光センサに入射する。そして光センサの出力に応じて出力エネルギーやスペクトル幅等が求められる。
【００４２】
シャッタ５０は図示しないコントローラによって開閉を制御される。例えば半導体露光時に開かれ、調整発振時に閉じられる。
【００４３】
ここでアンプ２０よりもオシレータ１０の方がチャンバの劣化許容限度が低く設定される場合を例にして本実施形態のチャンバの交換方法に関して説明をする。  
図２は本実施形態の方法に係るチャンバの交換周期の態様（２Ｌo＝Ｌaのケース）を示している。図４と同様に、図２に示された“♯１”等の記号はオシレータ１０およびアンプ２０で使用されるチャンバ１１、２１の通し番号である。本実施形態の方法が従来の方法と最も異なるのは、オシレータ１０で劣化許容限度に達したオシレータチャンバ１１をアンプチャンバ２１として使用する点である。以下で本実施形態に係るチャンバ交換の手順を説明する。
【００４４】
先ず、全てのレーザ発振を行う前、すなわちレーザショット数が０の時点で、アンプ２０にアンプチャンバ２１（♯１）を取り付け、オシレータ１０にオシレータチャンバ１１（♯２）を取り付ける。
【００４５】
レーザ発振を行いレーザショット数がＬoに達すると、オシレータチャンバ１１（♯２）の劣化度はオシレータチャンバ１１の劣化許容限度に達する。そこでオシレータ１０からオシレータチャンバ１１（♯２）を取り外し、そこに新たなオシレータチャンバ１１（♯３）を取り付ける。オシレータ１０から取り外したオシレータチャンバ１１（♯２）の劣化度は、オシレータチャンバ１１の劣化許容限度に到達しているものの、アンプチャンバ２１の劣化許容限度までレーザショット数にしてＬo分の余裕がある。そこでアンプ２０からアンプチャンバ２１（♯１）を取り外し、そこにオシレータ１０から取り外したオシレータチャンバ１１（♯２）を取り付ける。そして、このオシレータチャンバ１１（♯２）をアンプチャンバ２１（♯２）として使用する。
【００４６】
一方、アンプ２０から取り外したアンプチャンバ２１（♯１）の劣化度もアンプチャンバ２１の劣化許容限度までレーザショット数にしてＬo分の余裕がある。したがって、このアンプチャンバ２１（♯１）は他のレーザ装置１で使用してもよいし、オーバーホールしてもよい。
【００４７】
チャンバの交換作業終了後、さらにレーザ発振を行いレーザショット数が２Ｌo（＝Ｌa）に達すると、オシレータチャンバ１１（♯３）の劣化度はオシレータチャンバ１１の劣化許容限度に達する。そこでオシレータ１０からオシレータチャンバ１１（♯３）を取り外し、そこに新たなオシレータチャンバ１１（♯４）を取り付ける。オシレータチャンバ１１（♯３）の劣化度は、オシレータチャンバ１１の劣化許容限度に到達しているものの、アンプチャンバ２１の劣化許容限度までレーザショット数にしてＬo分の余裕がある。そこでアンプ２０からアンプチャンバ２１（♯２）を取り外し、そこにオシレータ１０から取り外したオシレータチャンバ１１（♯３）を取り付ける。そして、このオシレータチャンバ１１（♯３）をアンプチャンバ２１（♯３）として使用する。
【００４８】
一方、アンプ２０から取り外したアンプチャンバ２１（♯２）はオシレータ１０でＬo、アンプ２０でＬo、の合計２Ｌo（＝Ｌa）のレーザショット数を経ている。つまりこのアンプチャンバ２１（♯２）の劣化度はアンプチャンバ２１の劣化許容限度に達している。したがって、このアンプチャンバ２１（♯２）はオーバーホールするか廃棄する。
【００４９】
以降同様にして、レーザショット数がＬo経過する毎に、オシレータ１０およびアンプ２０からチャンバ１１、２１を取り外し、オシレータ１０に新たなオシレータチャンバ１１（♯ｘ）を取り付け、アンプ２０にオシレータ１０から取り外したオシレータチャンバ１１（♯ｘ−１）を取り付ける。つまりチャンバを“オシレータ１０→アンプ２０→オーバーホール”というサイクルで利用する。
【００５０】
ところで、図２では２Ｌo＝Ｌaのケースを示したが、３Ｌo＝Ｌaというケースも考えられる。  
３Ｌo＝Ｌaのケースの一交換例としては、レーザショット数がＬo経過する毎に、オシレータ１０およびアンプ２０からチャンバ１１、２１を取り外し、オシレータ１０に新たなオシレータチャンバ１１（♯ｘ）を取り付け、アンプ２０にオシレータ１０から取り外したオシレータチャンバ１１（♯ｘ−１）を取り付けるようにすればよい。この場合、アンプ２０から取り外したアンプチャンバ２１の劣化度はアンプチャンバ２１の劣化許容限度までレーザショット数にしてＬo分の余裕がある。したがって、このチャンバ２１は他のレーザ装置１で使用してもよいし、オーバーホールしてもよい。
【００５１】
３Ｌo＝Ｌaのケースの他の交換例としては、レーザショット数がＬo経過する毎に、オシレータ１０からオシレータチャンバ１１を取り外し新たなオシレータチャンバ１１を取り付け、一方レーザショット数が２Ｌo（初回のみ３Ｌo）経過する毎に、アンプ２０からアンプチャンバ２１を取り外しオシレータ１０から取り外したオシレータチャンバ１１を取り付けるようにしてもよい。
【００５２】
ここまでは２Ｌo＝Ｌa、３Ｌo＝Ｌaのケースを説明した。このようにレーザショット数Ｌoとレーザショット数Ｌaとの間には概ねｎＬo＝Ｌa（ｎは２以上の整数）という関係に設定することができる。一方、ｎＬo＝Ｌaの関係が成り立たない場合もあるが、こうした場合であっても少なくともＬo≦Ｌaという関係は成り立つように設計することができる。このＬo≦Ｌaという関係が成り立てば本発明の適用が可能である。
【００５３】
本実施形態ではオシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１が劣化許容限度に到達するタイミングでチャンバ交換作業を行うようにしているが、オシレータチャンバ１１およびアンプチャンバ２１が劣化許容限度に到達する前であればチャンバ交換作業を行うことは可能である。この場合は、作業管理の容易性を考慮すると、一定のレーザショット数を設定しておき、そのレーザショット数経過毎にチャンバ交換作業を行うことが好ましい。
【００５４】
なお、本実施形態ではダブルチャンバレーザ装置におけるオシレータのチャンバとアンプのチャンバを交換する場合を説明したが、本発明はオシレータと複数のアンプを備えた多段チャンバレーザ装置にも適用可能である。この場合、オシレータから取り外したチャンバを複数あるうちの何れかのアンプに取り付けるか、あるいはいずれかのアンプから取り外したチャンバを他のアンプに取り付ければよい。また、本発明はリング方式のアンプを有するレーザ装置にも適用可能である。
【００５５】
本実施形態によれば、オシレータで使用したチャンバの劣化度の余裕分をアンプで消費する。したがって、従来のように劣化度に余裕があったチャンバをオーバーホールしたり廃棄したりする機会が必要最低限に抑えられるため、作業労力や交換部品を低減することが可能になる。
【００５６】
オシレータにおけるチャンバの劣化度の許容範囲が、アンプにおけるチャンバの劣化度の許容範囲よりも大きい場合は図２中のオシレータチャンバとアンプチャンバを入れ替えて以上の説明と全く同様にチャンバの交換を行う。
【００５７】
以上ＭＯＰＯ方式レーザを例に説明してきたが、本発明を利用してＭＯＰＡ方式のレーザにおいてもまったく同様にチャンバの交換を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】ＭＯＰＯ方式のダブルチャンバレーザ装置の構成例を示す図。
【図２】本実施形態の方法に係るチャンバの交換周期の態様を示す図。
【図３】オシレータおよびアンプにけるチャンバの寿命の考え方を示す図。
【図４】従来の方法に係るチャンバの交換周期の態様を示す図。
【符号の説明】
【００５９】
１０  オシレータ
１１  オシレータチャンバ
２０  アンプ
２１  アンプチャンバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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