(57)【要約】【課題】エア浮上装置において、いずれかのエア系統にトラブルがあっても基板を支えるエア圧のバランスが崩れにくくする。【解決手段】エア浮上装置２１は、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面２１１ａを有する本体部２１１と、エアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統Ｓ１〜Ｓ５とを備え、複数のエア噴出孔の各々は、エア系統Ｓ１〜Ｓ５のうちいずれか１つのみに接続され、エア系統Ｓ１〜Ｓ５の各々は複数のエア噴出孔に接続されており、エア噴出孔群を、接続している上記エア系統ごとに複数のエア噴出孔小群に分類したとき、上記エア噴出孔小群の各々の２次元的配置の最も外側にある上記エア噴出孔同士をつないでできる図形は、上記本体部の上記上面のうち上記対象物の上記下面に対向する領域の重心を内側に含んでいる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、
前記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備え、
前記上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有し、
前記エア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔の各々は、前記複数のエア系統のうちいずれか１つのみに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっており、
前記複数のエア系統の各々は複数のエア噴出孔に接続されており、
前記エア噴出孔群を、接続している前記エア系統ごとに複数のエア噴出孔小群に分類したとき、前記エア噴出孔小群の各々の２次元的配置の最も外側にある前記エア噴出孔同士をつないでできる図形は、前記本体部の前記上面のうち前記対象物の前記下面に対向する領域の重心を内側に含んでいる、エア浮上装置。
【請求項２】
前記エア噴出孔小群の２次元的配置は、前記本体部の前記上面のうち前記対象物の前記下面に対向する領域の重心を中心として点対称となっている、請求項１に記載のエア浮上装置。
【請求項３】
平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、
前記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備え、
前記上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有し、
前記本体部は、前記複数のエア系統から前記本体部の内部に導入されたエアを合流させる１以上のエア合流室を有し、
前記複数のエア噴出孔の各々は前記エア合流室のいずれかに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっている、エア浮上装置。
【請求項４】
平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、
前記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備え、
前記上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有し、
前記エア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔の各々は、前記複数のエア系統のうちいずれか１つのみに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっており、
前記複数のエア系統の各々は複数のエア噴出孔に接続されており、
前記複数のエア噴出孔の各々の前記複数のエア系統への接続の組合せは、基本パターンの繰返しとなっており、
前記基本パターン内においては、各エア系統に接続する前記エア噴出孔の配列はそれぞれ点対称となっている、エア浮上装置。
【請求項５】
前記基本パターンは正方形の配列である、請求項４に記載のエア浮上装置。
【請求項６】
前記基本パターンは略菱形の配列である、請求項４に記載のエア浮上装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の対象物などをエアで浮上させた状態で保持または搬送することができるエア浮上装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの製造現場では基板をエアで浮上させて取扱う場合がある。あるいは、表示パネルの基板に限らず、板状の対象物全般において、非接触で取扱いたい場合にはエアで浮上させた状態で取り扱われる場合がある。エアによる浮上のためにはエア浮上装置が用いられる。従来知られているエア浮上装置の一例が、特開２００４−３５２３７５号公報（特許文献１）に記載されている。
【０００３】
液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の一使用例について、図１６〜図２３を参照して説明する。この例では図１６に示すように第１エア浮上装置１１と第２エア浮上装置１２とが組み合わせて用いられている。第１エア浮上装置１１は複数の基板を互いに接触しないようにそれぞれ間隙を介して上下方向に重ねて保持する基板カセット（図示せず）の中で最も下に位置する基板を下側から浮上保持するためのものである。第２エア浮上装置１２は基板カセットの外で基板を浮上保持するためのものであり、複数の棒状部材を所定間隔で平行に並べた構成となっている。図１６では基板１が第１エア浮上装置１１によって浮上保持されている。第１エア浮上装置１１の一部分を拡大したところを図１７に示す。第２エア浮上装置１２の一部分を拡大したところを図１８に示す。図１７、図１８に示すように、第１エア浮上装置１１および第２エア浮上装置１２の上面には複数のエア噴出孔が設けられている。図１６ではエア噴出孔は図示省略している。
【０００４】
図１６に示した第１エア浮上装置１１および第２エア浮上装置１２を上から見たところを図１９に示す。図１９〜図２３においてもエア噴出孔は図示省略している。第１エア浮上装置１１の上面と第２エア浮上装置１２の上面とは同じ高さとなっており、両方の上面のエア噴出孔からはエアが噴出し続けている。この状態で基板１の端部上面に真空吸着器（図示せず）を吸着させ、矢印９１の向きに引っ張ることによって基板１は浮上したまま移動し、図２０に示すように、基板１は第２エア浮上装置１２によって浮上保持された状態となる。この状態で、図２１に示すように、第２エア浮上装置１２の図中右側から新たにロボットハンド１３が矢印９２の向きに進入する。ロボットハンド１３は複数の枝部１３ａを含む櫛型をしている。ロボットハンド１３の各枝部１３ａの上面には複数のエア浮上孔（図示せず）が設けられており、エア噴出孔からはエアが噴出し続けている。
【０００５】
第２エア浮上装置１２の複数の棒状部材同士の間隙にロボットハンド１３の各枝部１３ａが進入する。このとき、各枝部１３ａの上面は第２エア浮上装置１２の上面と同じ高さとなっているか、第２エア浮上装置１２の上面より低い位置となっている。こうして、図２２に示すように第２エア浮上装置１２とロボットハンド１３とがかみ合った状態となる。次に、ロボットハンド１３が上側すなわち図２２における紙面手前側に移動することによって、図２３に示すように、基板１はエア浮上したまま、ロボットハンド１３によって持ち上げられる。すなわち、基板１は第２エア浮上装置１２から離れる。
【特許文献１】特開２００４−３５２３７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
第２エア浮上装置１２によって基板１が浮上させられている様子を図２４に示す。第２エア浮上装置１２に含まれる複数の棒状部材の各々の上面にある複数のエア噴出孔からエアが一斉に噴出することによって基板１が浮上している。複数の棒状部材に対してはそれぞれエア配管が接続しており、エアはこれらのエア配管によって供給されている。各エア配管にはそれぞれ独立したエア供給源が接続されている。
【０００７】
１本のエア配管とそのエア配管に接続されたエア供給源とを合わせて、以下「エア系統」という。第２エア浮上装置１２には複数のエア系統Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４からエアが供給されているといえる。
【０００８】
しかし、いずれかのエア系統にトラブルが発生してエア供給が途絶える場合がある。その場合、基板１を下から支えるエア圧のバランスが崩れる。たとえば図２５に示すようにエア系統Ｓ４からのエア供給が途絶えた場合、基板１を下から支えるエア圧のバランスが崩れ、その結果、基板１が矢印９３の向きに移動したり、傾いたりしてしまう。その結果、基板１が落下したり基板１が第２エア浮上装置１２に衝突したりしてしまう。
【０００９】
そこで、本発明は、いずれかのエア系統にトラブルがあっても基板を支えるエア圧のバランスが崩れにくいエア浮上装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明に基づくエア浮上装置の第１の局面では、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、上記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備え、上記上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有し、上記エア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔の各々は、上記複数のエア系統のうちいずれか１つのみに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっており、上記複数のエア系統の各々は複数のエア噴出孔に接続されており、上記エア噴出孔群を、接続している上記エア系統ごとに複数のエア噴出孔小群に分類したとき、上記エア噴出孔小群の各々の２次元的配置の最も外側にある上記エア噴出孔同士をつないでできる図形は、上記本体部の上記上面のうち上記対象物の上記下面に対向する領域の重心を内側に含んでいる。
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明に基づくエア浮上装置の第２の局面では、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、上記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備え、上記上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有し、上記本体部は、上記複数のエア系統から上記本体部の内部に導入されたエアを合流させる１以上のエア合流室を有し、上記複数のエア噴出孔の各々は上記エア合流室のいずれかに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっている。
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明に基づくエア浮上装置の第３の局面では、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、上記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備え、上記上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有し、上記エア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔の各々は、上記複数のエア系統のうちいずれか１つのみに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっており、上記複数のエア系統の各々は複数のエア噴出孔に接続されており、上記複数のエア噴出孔の各々の上記複数のエア系統への接続の組合せは、基本パターンの繰返しとなっており、上記基本パターン内においては、各エア系統に接続する上記エア噴出孔の配列はそれぞれ点対称となっている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、いずれか１つのエア系統にトラブルが発生してエア供給が途絶えてもエア圧のバランスが崩れにくくなる。したがって、このエア浮上装置では、対象物が不所望に移動したり傾いたりすることをなるべく防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（実施の形態１）
（構成）
図１〜図３を参照して、本発明に基づく実施の形態１におけるエア浮上装置について説明する。図１に示すように、本実施の形態におけるエア浮上装置２１は複数の本体部２１１，２１２，２１３を備える。これらの本体部は、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する。たとえば本体部２１１は上面２１１ａを有する。このエア浮上装置２１は、本体部の内部に外部の複数のエア供給源（図示せず）からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５を備える。上面２１１ａは、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔２１１ｂからなるエア噴出孔群を有する。
【００１５】
エア噴出孔とエア系統との接続関係を示すために一例として本体部２１１内部における接続関係を図２に示す。図２ではエア配管の接続を模式的に線で示している。エア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔２１１ｂの各々は、複数のエア系統Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５のうちいずれか１つのみに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっている。複数のエア系統Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の各々は複数のエア噴出孔２１１ｂに接続されている。
【００１６】
図１では、エア浮上装置２１に含まれる本体部は３つであるように描かれているが、含まれる本体部の数は３以外であってもよい。図１、図２では各本体部に接続されたエア系統の数は５であるが、接続されるエア系統の数は５以外であってもよい。
【００１７】
エア噴出孔群に属するエア噴出孔は必ずいずれかのエア系統に接続しているので、エア噴出孔群に属するエア噴出孔は、接続しているエア系統ごとに複数のエア噴出孔小群に分類することができる。エア噴出孔群を、接続しているエア系統ごとに複数のエア噴出孔小群に分類したとき、各エア噴出孔小群の２次元的配置の最も外側にあるエア噴出孔同士をつないでできる図形は、本体部の上面のうち前記対象物の下面に対向する領域の重心を内側に含んでいる。一例として、ある１つのエア噴出孔小群の２次元的配置の最も外側にあるエア噴出孔同士をつないでできる図形を図３に示す。この図形２２は、本体部２１１の上面２１１ａのうち対象物の下面に対向する領域の重心２３を内側に含んでいる。
【００１８】
（作用・効果）
本実施の形態では、上述のように各エア噴出孔小群は重心を内側に含むように配置されているので、いずれか１つのエア系統にトラブルが発生してエア供給が途絶えて他の残るエア噴出孔小群だけで支えることとなっても重心を内側に含むように安定して対象物を支えることができ、エア圧のバランスが崩れにくくなる。したがって、このエア浮上装置では、対象物が不所望に移動したり傾いたりすることをなるべく防止することができる。
【００１９】
なお、エア噴出孔小群の２次元的配置は、本体部の上面のうち対象物の下面に対向する領域の重心を中心として点対称となっていることが好ましい。このように点対称となっていれば、エア圧が偏らずバランスがとりやすいからである。図３に示した例はこのように点対称となっている。
【００２０】
（実施の形態２）
（構成）
図４〜図６を参照して、本発明に基づく実施の形態２におけるエア浮上装置について説明する。図４に示すように、本実施の形態におけるエア浮上装置３１は複数の本体部３１１，３１２，３１３を備える。これらの本体部は、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する。このエア浮上装置３１は、本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５を備える。上面３１１ａは、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔３１１ｂからなるエア噴出孔群を有する。
【００２１】
本体部は、複数のエア系統から本体部の内部に導入されたエアを合流させる１以上のエア合流室を有する。複数のエア噴出孔の各々はこのエア合流室のいずれかに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっている。
【００２２】
エア噴出孔とエア系統との接続関係を示すために一例として本体部３１１内部における接続関係を図５に示す。１つの本体部３１１に接続している複数のエア系統は一旦合流し、その後、本体部３１１に設けられたすべてのエア噴出孔３１１ｂにわたって分岐してエアを供給している。本体部３１１の断面を図６に示す。本体部３１１の内部にはエア合流室３１１ｃが設けられている。図６における左側から複数のエア系統を通じて本体部３１１内に供給されるエアは一旦エア合流室３１１ｃで合流した後に複数のエア噴出孔３１１ｂから噴出する。図６ではエア合流室が１つのみ描かれているが、１つの本体部の内部にエア合流室が複数あってもよい。
【００２３】
（作用・効果）
本実施の形態では、複数のエア系統から本体部の内部に導入されたエアは１以上のエア合流室において一旦合流し、その後で、複数のエア噴出孔に供給されることとなるので、いずれか１つのエア系統にトラブルが発生してエア供給が途絶えて他の残るエア噴出孔小群だけで支えることとなっても、エア合流室に供給されるエアの総量が減るだけであって、エア合流室から複数のエア噴出孔へは均等にエアを配分して供給することができるので、安定して対象物を支えることができ、エア圧のバランスが崩れにくくなる。したがって、このエア浮上装置では、対象物が不所望に移動したり傾いたりすることをなるべく防止することができる。
【００２４】
（実施の形態３）
（構成）
図７〜図１５を参照して、本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置について説明する。このエア浮上装置は、平坦な下面を有する対象物を下方から噴き出すエアによって浮上させた状態で保持または搬送するための平坦な上面を有する本体部と、前記本体部の内部に外部の複数のエア供給源からのエアをそれぞれ個別に導入するための複数のエア系統とを備える。本体部の上面は、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔からなるエア噴出孔群を有する。このエア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔の各々は、前記複数のエア系統のうちいずれか１つのみに接続されることによってエアの供給を受けることができるようになっている。前記複数のエア系統の各々は複数のエア噴出孔に接続されている。前記複数のエア噴出孔の各々の前記複数のエア系統への接続の組合せは、基本パターンの繰返しとなっている。１つの基本パターン内においては、各エア系統に接続する前記エア噴出孔の配列はそれぞれ点対称となっている。
【００２５】
このエア浮上装置が備える本体部は１つであっても複数であってもよいが、このエア浮上装置が備える本体部の一例を図７に示す。本体部４１１の上面４１１ａには、２次元的に分散配置された複数のエア噴出孔４１１ｂが設けられている。これら複数のエア噴出孔４１１ｂの各々の複数のエア系統への接続の組合せは、基本パターン１５の繰返しとなっている。基本パターン１５は、上面４１１ａの外観だけでは必ずしも認識できるものではなく、本体部４１１内部でのエア系統の接続の組合せに関して概念的に１つの単位として定められるものである。図７では基本パターン１５は５×５の正方形の配列パターンであって、本体部のエア噴出孔群は基本パターン１５を一列に並べた構成となっているが、図８に示す本体部５１１のように、基本パターン１５を複数列並べた構成となっていてもよい。図７、図８で示した基本パターン１５の中身について、図９を参照して説明する。
【００２６】
図９に基本パターン１５の中身を示す。図９は各エア噴出孔が接続されているエア系統の番号を模式的に示している。図７、図８における１つのエア噴出孔４１１ｂが図９における１つのマスメに対応する。各マスメの中に書かれた数字は、その１つのエア噴出孔４１１ｂが接続されているエア系統の番号を意味する。たとえば、「１」と書かれているマスメに対応するエア噴出孔４１１ｂはエア系統Ｓ１に接続されている。「２」と書かれているマスメに対応するエア噴出孔４１１ｂはエア系統Ｓ２に接続されている。図９に示すように、１つの基本パターン１５内においては、各エア系統に接続するエア噴出孔の配列はそれぞれ点対称となっている。たとえば、図９の中でエア系統Ｓ１に接続されているエア噴出孔の配列のみに注目すると、点対称になっている。エア系統Ｓ２に接続されているエア噴出孔だけを抽出してその配列に注目してもやはり点対称になっている。エア系統Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５のそれぞれについても同様である。
【００２７】
図７〜図９では、エア系統がＳ１からＳ５までの５通りである例を示したが、エア系統の数は５に限らず、他の数字であってもよい。図１０にはエア系統の数が４である場合の基本パターンの中身の一例を示す。図１１にはエア系統の数が３である場合の基本パターンの中身の一例を示す。
【００２８】
図７〜図１１で示した例ではいずれも基本パターンは正方形の配列であったが基本パターンは正方形以外の配列であってもよい。たとえば基本パターンは長方形であってもよい。あるいは、図１２、図１３に示すように略菱形の配列であってもよい。基本パターンが略菱形の配列である場合の基本パターンの中身の例を図１４、図１５に示す。図１４、図１５においても、１つの基本パターン内において、ある特定の番号のエア系統に接続されているエア噴出孔の配列のみに注目すると、点対称となっている。
【００２９】
（作用・効果）
本実施の形態では、エア噴出孔群に含まれる複数のエア噴出孔の各々の複数のエア系統への接続の組合せは、基本パターンの繰返しとなっており、なおかつ、各基本パターン内においては各エア系統に接続する前記エア噴出孔の配列はそれぞれ点対称となっているので、いずれか１つのエア系統にトラブルが発生してエア供給が途絶えて他の残るエア系統だけで支えることとなっても、各エア系統は基本パターン内で必ず点対称に支えることとなるので、エア圧のバランスが崩れにくくなる。したがって、このエア浮上装置では、対象物が不所望に移動したり傾いたりすることをなるべく防止することができる。
【００３０】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に基づく実施の形態１におけるエア浮上装置の概念図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１におけるエア浮上装置の本体部の内部での接続関係の説明図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１におけるエア浮上装置に属する、ある１つのエア噴出孔小群の２次元的配置の最も外側にあるエア噴出孔同士をつないでできる図形の一例の平面図である。
【図４】本発明に基づく実施の形態２におけるエア浮上装置の概念図である。
【図５】本発明に基づく実施の形態２におけるエア浮上装置の本体部の内部での接続関係の説明図である。
【図６】本発明に基づく実施の形態２におけるエア浮上装置の本体部の部分断面図である。
【図７】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置の概念図である。
【図８】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置の第１の変形例の概念図である。
【図９】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置が有する基本パターンの第１の例の説明図である。
【図１０】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置が有する基本パターンの第２の例の説明図である。
【図１１】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置が有する基本パターンの第３の例の説明図である。
【図１２】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置の第２の変形例の概念図である。
【図１３】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置の第３の変形例の概念図である。
【図１４】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置の第２，第３の変形例が有する基本パターンの第１の例の説明図である。
【図１５】本発明に基づく実施の形態３におけるエア浮上装置の第２，第３の変形例が有する基本パターンの第２の例の説明図である。
【図１６】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の使用例の説明図である。
【図１７】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置に含まれる第１エア浮上装置の部分拡大図である。
【図１８】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置に含まれる第２エア浮上装置の部分拡大図である。
【図１９】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の使用例の第１の状態の平面図である。
【図２０】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の使用例の第２の状態の平面図である。
【図２１】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の使用例の第３の状態の平面図である。
【図２２】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の使用例の第４の状態の平面図である。
【図２３】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置の使用例の第５の状態の斜視図である。
【図２４】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置に含まれる第２エア浮上装置によって基板が浮上させられている様子の斜視図である。
【図２５】従来の液晶表示パネルの製造現場におけるエア浮上装置に含まれる第２エア浮上装置のエア圧のバランスが崩れた様子の斜視図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  基板、１１  第１エア浮上装置、１２  第２エア浮上装置、１３  ロボットハンド、１３ａ  枝部、１５，１６  基本パターン、２１  エア浮上装置、２２  図形、２３  重心、９１，９２，９３  矢印、２１１，２１２，２１３  本体部、２１１ａ  上面、２１１ｂ  エア噴出孔、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５  エア系統。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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