(57)【要約】      （修正有）【課題】受け渡し装置と受け渡し相手間の受け渡し経路に渦が形成されないようにして、速やかに受け渡し経路にクリーンな雰囲気を形成する。【解決手段】無人搬送車１２の開口１９をシャッタ２０で覆い、受け渡し時にシャッタ２０を巻き上げ、開口１９のフレーム２１の下縁を傾斜面２２として、無人搬送車１２内のクリーンな空気が下向きに吹き出すようにする。受け渡し装置のシャッタを開き始める際に、シャッタとその周囲のフレームとの間から、前記開口から離れるように気流を吹き出させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャッタで覆った開口の内部に物品を収納し、シャッタを上下もしくは左右に、受け渡し相手のシャッタと逆方向に開いて、物品を受け渡すクリーンルーム用の受け渡し装置であって、
受け渡し装置のシャッタを開き始める際に、シャッタとその周囲のフレームとの間から、前記開口から離れるように気流を吹き出させるようにしたことを特徴とする、受け渡し装置。
【請求項２】
シャッタを下向きに開く受け渡し相手との間で物品を受け渡すために、受け渡し装置のシャッタを上向きに移動させるように構成すると共に、シャッタの周囲のフレームの下縁を下向きの傾斜面として、受け渡し装置内から前記傾斜面に沿って下向きに気流を吹き出させるようにしたことを特徴とする、請求項１の受け渡し装置。
【請求項３】
シャッタで覆った開口の内部に物品を収納する受け渡し装置と、開口をシャッタで覆った受け渡し相手とを備え、前記各シャッタを上下もしくは左右互い違いに同期して開いて、受け渡し装置と受け渡し相手との間で物品を受け渡すクリーンルーム用の受け渡しシステムであって、
受け渡し装置のシャッタを開き始める際に、受け渡し装置のシャッタと周囲のフレームとの間から前記各開口から離れる向きに気流を吹き出させるように、受け渡し装置を構成したことを特徴とする、受け渡しシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、搬送台車等とロードポート等の間での物品の受け渡しに関し、特に受け渡し装置のシャッタを開き始めた際に渦が形成されないようにして、搬送台車等とロードポート等の間にクリーンな雰囲気が形成されるようにすることに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内で、搬送台車とロードポート間やロードポート間などで物品を受け渡す場合、物品の受け渡し前にこれらのスペースにクリーンな雰囲気を形成する必要がある。この点に付き、特許文献１は搬送台車側の開口にシャッタを設けて、受け渡し前にシャッタを開くようにすることを提案している。  
【０００３】
特許文献１では、搬送台車のシャッタは下から上へ巻き上げる。ロードポート側のシャッタは上から下へ下降するものが多いので、シャッタを開き始めた際の気流は図４のようになる。ここで２は通路で、床面４にはグレーティングなどが施されており、上から下向きにクリーンエアの気流が存在する。６は半導体や液晶などの処理装置で、８はそのロードポートであり、９は開口、１０はシャッタである。無人搬送車１２は液晶基板のカセットや半導体カセット、レチクルのカセットなどの物品１４を、スカラアームなどの移載装置で、ロードポート８との間で移載し、ファンフィルタユニット１８からクリーンエアを供給する。１９は開口、２０はそのシャッタである。
【０００４】
ここで無人搬送車１２が停止し、シャッタ１０，２０を同期して開くと、図４の横向きの実線の気流が生じ、破線で示す渦が形成される。処理装置６と無人搬送車１２間の気流を平面視で図５に示すと、開口９，１９の左右（無人搬送車１２の走行方向）の気流は、開口９，１９の左右に逃げることができるが、他の部分の気流は左右に逃げることができず、渦を解消できない。
【０００５】
シャッタ１０，２０を開き始めた際には、無人搬送車１２の走行風などにより、床面付近の空気が巻き上げられて、開口９，１９間に汚染空気が存在する可能性がある。また通路２のクリーン度を低くし、ロードポート８や無人搬送車１２内で局所的にクリーンな雰囲気を形成している場合、受け渡し前に受け渡し経路の空気をクリーンな空気で置換しておく必要がある。渦が形成されると、クリーンな空気による置換が遅れ、その分物品の受け渡しを遅らせる必要がある。
【特許文献１】特開２００１−２３３２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明の課題は、受け渡し装置と受け渡し相手間の受け渡し経路に渦が形成されないようにして、速やかに受け渡し経路にクリーンな雰囲気を形成することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、上記のための具体的な構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、シャッタで覆った開口の内部に物品を収納し、シャッタを上下もしくは左右に、受け渡し相手のシャッタと逆方向に開いて、物品を受け渡すクリーンルーム用の受け渡し装置であって、
受け渡し装置のシャッタを開き始める際に、シャッタとその周囲のフレームとの間から、前記開口から離れるように気流を吹き出させるようにしたことを特徴とする。
【０００８】
好ましくは、シャッタを下向きに開く受け渡し相手との間で物品を受け渡すために、受け渡し装置のシャッタを上向きに移動させるように構成すると共に、シャッタの周囲のフレームの下縁を下向きの傾斜面として、受け渡し装置内から前記傾斜面に沿って下向きに気流を吹き出させる。
【０００９】
またこの発明は、シャッタで覆った開口の内部に物品を収納する受け渡し装置と、開口をシャッタで覆った受け渡し相手とを備え、前記各シャッタを上下もしくは左右互い違いに同期して開いて、受け渡し装置と受け渡し相手との間で物品を受け渡すクリーンルーム用の受け渡しシステムであって、
受け渡し装置のシャッタを開き始める際に、受け渡し装置のシャッタと周囲のフレームとの間から前記各開口から離れる向きに気流を吹き出させるように、受け渡し装置を構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
この発明では、受け渡し装置と受け渡し相手とからの気流は上下もしくは左右互い違いに吹き出す。ここで受け渡し装置からの気流は開口から遠ざかるように吹き出すので、受け渡し装置と受け渡し相手との間の、受け渡し経路に沿った空気は、受け渡し装置からの気流に随伴して移動し、速やかに受け渡し経路をクリーンな雰囲気に置き換えることができる。このため受け渡し時の物品の汚染を防止すると共に、受け渡し作業を短時間で開始できる（請求項１，３）。  
【００１１】
請求項２の発明では、受け渡し装置から開口の下側へ向けて気流を吹き出させる。このためシャッタを下向きに開くことが多い処理装置との間の受け渡しに適している。さらにシャッタの周囲の開口の下縁を下向きに傾斜させて、気流を下向きに形成するので、シャッタの形状を利用して下向きの渦流を形成する場合や、下向きの渦流形成用の特別の流路を設ける場合に比べ、簡単に下向きの気流を形成できる。また下向きの傾斜面は長さを長くできるので、確実に気流を下向きに傾斜させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１３】
図１〜図３に、実施例を示し、図４，図５と同じ記号は同じものを表す。実施例では無人搬送車１２を例とするが、有軌道台車や天井走行車などでもよく、あるいはロードポート間での物品の受け渡しに用いる受け渡し装置でも良い。ここでは移載装置１６を備えているものが受け渡し装置で、移載装置を備えていないものが受け渡し相手である。
【００１４】
図１，図２において、無人搬送車１２のシャッタ２０の周囲のフレーム２１の開口１９は、下向きの傾斜面２２を下縁部に備えている。下縁部を図１の左側に拡大して示すと、傾斜面２２はシャッタ２０の内から外側の下向きに傾斜する面で、シャッタ２０を巻き上げると、気流は下縁部２２に沿って斜め下向きに吹き出す。シャッタ１０は下向きに開き、無人搬送車１２はロードポート８に面して停止し、シャッタ２０，１０を同期して開き始めると、気流は図１の実線のようになる。無人搬送車１２からの傾斜面２２に沿った気流は斜め下向きに吹き出すので、受け渡し経路の空気はこれに随伴して下向きに移動し、受け渡し経路には渦が実質的に形成されない。
【００１５】
図２はシャッタ１０，２０をさらに開いた状態を示し、傾斜面２２の影響は小さくなり、無人搬送車１２からの気流は水平ないしやや下向きに吹き出し、シャッタ１０，２０を大きく開いたことに伴い、受け渡し経路の空気の置換がさらに進む。シャッタ１０，２０を全開した時点では、受け渡し経路はクリーンな空気やクリーンなガスにより置換されており、速やかに物品１４を移載できる。
【００１６】
図３はシャッタ２９を上向きに開く場合の変形例を示し、シャッタ３０は下向きに巻き取られ、シャッタ３０の周囲のフレーム３１では、上向きの傾斜面３２をシャッタ３０の上側に設け、３４は下側に突き出した底部で、シャッタ３０よりも無人搬送車１２の内側にある。ここでシャッタ２９，３０を同期して開くと、無人搬送車１２側からの気流は斜め上向きに上昇し、これに伴って受け渡し経路の空気は破線のように上昇する。そしてシャッタ２９の下側からの気流は、無人搬送車１２に衝突して例えば上下に分かれて移動し、受け渡し経路に渦は形成されない。実施例ではシャッタを上下に開く例を示したが、左右に開く場合も同様で、この場合は無人搬送車１２側のシャッタを、ロードポート８側のシャッタとは左右逆向きに開いて、無人搬送車１２からの気流を開口の外側に、言い換えると受け渡し経路の外側に吹き出させると良い。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例での物品の受け渡し時の気流を模式的に示す部分正面図
【図２】図１の状態からさらにシャッターを開いた状態での気流を模式的に示す図
【図３】変形例での物品の受け渡し時の気流を模式的に示す部分正面図
【図４】従来例での物品の受け渡し時の気流を模式的に示す部分正面図
【図５】従来例での物品の受け渡し時の気流を模式的に示す平面図
【符号の説明】
【００１８】
２            通路
４            床面
６            処理装置
８            ロードポート
９，１９      開口
１０，２０    シャッタ
１２          無人搬送車
１３，３３    受け渡し装置
１４          物品
１６          移載装置
１８          ファンフィルタユニット
２１，３１    フレーム
２２，３２    傾斜面
２９，３０    シャッタ
３４          底部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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