(57)【要約】【課題】非製品ウェハが処理されるルートを適切に設定して測定データの信頼性を向上し、ウェハ割れ等を防止すると共に非製品ウェハの在庫量を調整する事ができる非製品ウェハのサイクル運用システム、サイクル運用方法及びコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】プロセス装置と再生処理装置と記憶手段と制御手段とを含み、制御手段は、プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する非製品ウェハを選択し、選択された非製品ウェハをプロセス装置にプロセス処理させ、記憶手段に記憶されている非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定し、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新し、再生処理を行なう場合には非製品ウェハを再生処理装置に再生処理させるとともに再生処理の種類に応じて非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新する。【選択図】図１
2008198842.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムであって、
前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、
前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、
前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、
前記制御手段は、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択し、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させ、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ前記記憶手段に記憶された再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定し、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新し、再生処理を行なうことを決定した場合には当該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるとともに当該再生処理の種類に応じて前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新することを特徴とする非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項２】
プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムであって、
前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、
前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、
前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、
前記制御手段は、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択し、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させ、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの前記再生回数と前記再生限度回数とを比較すると共に当該非製品ウェハの前記熱履歴回数と前記熱履歴限度回数とを比較し、該再生回数が該再生限度回数未満でありかつ該熱履歴回数が該熱履歴限度回数未満である場合に該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させ、該再生処理が熱処理を伴う場合には該再生回数及び該熱履歴回数の両方に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶し、該再生処理が熱処理を伴わない場合には該再生回数に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶し、該再生回数が該再生限度回数以上である場合または前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数以上である場合の何れかの場合に前記限度回数を超えた場合の処理を行うことを特徴とする非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項３】
前記記憶手段は、前記プロセス処理毎に該プロセス処理後の膜種情報を更に記憶し、
前記限度回数を超えた場合の処理は、前記非製品ウェハの膜種情報を前記プロセス処理後の膜種情報に変更して前記記憶手段に記憶する処理、または、該非製品ウェハを社外再生する処理、または、該非製品ウェハを廃棄する処理の何れかである事を特徴とする請求項２に記載の非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項４】
前記記憶手段は、前記非製品ウェハ毎に社外再生回数を更に記憶すると共に、前記プロセス処理毎に社外再生限度回数と該社外再生限度回数を超えた場合の処理を更に記憶し、
前記制御手段は、前記非製品ウェハが社外再生された後に前記社外再生回数を１回加算し、該社外再生回数が前記社外再生限度回数以上である場合、該社外再生限度回数を超えた場合の処理を行う事を特徴とする請求項３に記載の非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項５】
前記社外再生限度回数を超えた場合の処理は、前記非製品ウェハの膜種情報を前記プロセス処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶する処理、または、該非製品ウェハを廃棄する処理の何れかである事を特徴とする請求項４に記載の非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項６】
前記非製品ウェハは、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する非製品ウェハから優先順位に基づいて選択される事を特徴とする請求項１から請求項５までの何れか１項に記載の非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項７】
前記優先順位は、前記非製品ウェハのコストと在庫数とに応じたものである事を特徴とする請求項６に記載の非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項８】
前記記憶手段は、前記膜種情報毎に前記非製品ウェハの在庫数を更に記憶し、
前記制御手段は、所定の膜種情報を有する非製品ウェハの在庫数が基準以下となった場合に、他の膜種情報を有する非製品ウェハを前記再生処理装置で再生処理して該所定の膜種情報を有する非製品ウェハを得る事を特徴とする請求項１から請求項７までの何れか１項に記載の非製品ウェハのサイクル運用システム。
【請求項９】
非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、
前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、
前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、
前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、
を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを用いた非製品ウェハのサイクル運用方法であって、
前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、
前記制御手段が、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、
前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ前記記憶手段に記憶された再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定するステップと、
前記制御手段が、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新するステップと、
前記制御手段が、再生処理を行なうことを決定した場合には当該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるとともに当該再生処理の種類に応じて前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新するステップと、
を含むことを特徴とする非製品ウェハのサイクル運用方法。
【請求項１０】
非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、
前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、
前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、
前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、
を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを用いた非製品ウェハのサイクル運用方法であって、
前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、
前記制御手段が、前記選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、
前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの前記再生回数と前記再生限度回数とを比較すると共に当該非製品ウェハの前記熱履歴回数と前記熱履歴限度回数とを比較するステップと、
前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数未満でありかつ前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数未満である場合に前記非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるステップと、
前記制御手段が、前記再生処理が熱処理を伴う場合には前記再生回数及び前記熱履歴回数の両方に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して前記記憶手段に記憶し、該再生処理が熱処理を伴わない場合には該再生回数に１回加算すると共に該膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶するステップと、
前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数以上である場合または前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数以上である場合の何れかの場合に前記限度回数を超えた場合の処理を行うステップと、
を含むことを特徴とする非製品ウェハのサイクル運用方法。
【請求項１１】
非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、
前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、
前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、
前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、
を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを制御するコンピュータプログラムであって、
前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、
前記制御手段が、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、
前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ前記記憶手段に記憶された再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定するステップと、
前記制御手段が、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新するステップと、
前記制御手段が、再生処理を行なうことを決定した場合には当該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるとともに当該再生処理の種類に応じて前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新するステップと、
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラム。
【請求項１２】
非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、
前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、
前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、
前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、
を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを制御するコンピュータプログラムであって、
前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、
前記制御手段が、前記選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、
前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの前記再生回数と前記再生限度回数とを比較すると共に当該非製品ウェハの前記熱履歴回数と前記熱履歴限度回数とを比較するステップと、
前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数未満でありかつ前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数未満である場合に前記非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるステップと、
前記制御手段が、前記再生処理が熱処理を伴う場合には前記再生回数及び前記熱履歴回数の両方に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して前記記憶手段に記憶し、該再生処理が熱処理を伴わない場合には該再生回数に１回加算すると共に該膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶するステップと、
前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数以上である場合または前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数以上である場合の何れかの場合に前記限度回数を超えた場合の処理を行うステップと、
をコンピュータに実行させるコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程におけるプロセス装置の状態を把握するための非製品ウェハを管理する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場においては、各種プロセス装置が複数使用されて製品ウェハに対し多様なプロセス処理が行われ、製品が製造されている。
また、製品とはならない非製品ウェハ（以下、ＮＰＷ；Ｎｏｎ  Ｐｒｏｄｕｃｔ  Ｗａｆｅｒと称す）が、製品ウェハのプロセス処理の合間の必要な時期に各プロセス装置に投入され、実際にＮＰＷに対してプロセス処理を行い、処理されたＮＰＷの各種測定データを得る事でプロセス装置の状態やプロセス処理条件の確認を行っている（装置パイロット）。さらに、ＮＰＷはプロセス処理を安定化させるためにダミーウェハとしてもプロセス装置に投入される（装置ダミー）。
【０００３】
ここで、安定して装置パイロットなどを行なうためには、新品のウェハを用いてＮＰＷとする事が最も適している。しかし、このＮＰＷは、半導体製造工場のラインの維持には必要不可欠であるが製品の生産高には寄与しないため、出来る限りコストの低いウェハを用いると共に、ＮＰＷをリサイクルして効率的に再利用する事が求められる。そこで、ＮＰＷは、プロセス処理によって表面に付着した生成物やゴミ等を除去する再生処理が行われた上で再利用される。
【０００４】
この再生処理は自社内の再生処理装置を用いて行う事ができるが、限られた設備で行える処理は簡単に行える処理に限定される。一方、社外の再生処理施設を利用すると、自社内設備では再生できないものも再生可能である。ただし、新品ウェハは最もコストが高く、社外で再生処理されたウェハは次にコストが高く、社内で再生処理されたウェハは最もコストが低い。
【０００５】
また、装置パイロットにはゴミや傷が少なく、蓄積された熱ダメージも少ないＮＰＷが必要とされる一方、装置ダミーにはそれほど状態の良いものは必要とされない。従って、例えば装置パイロットには使用不可能となったＮＰＷを装置ダミーに使用するという様に、リサイクルして利用すると効率が良い。
この様なＮＰＷをリサイクルして効率よく再利用する方法は、ＮＰＷサイクル運用と称される。ＮＰＷは、目的に合致した適切な膜種（ウェハに形成された膜の種類）を有し、必要な時にすぐに使用できる事が要求される。また、経済効率を考慮するとＮＰＷ在庫量を少なくする事が望まれる。
【０００６】
従来、このＮＰＷサイクル運用は、コンピュータのディスプレイに表示された指示に従って人が処理する事によって行われている。その様な従来技術として、例えば特許文献１に記載された技術がある。
【特許文献１】特開平５−７４６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、半導体製造プロセスの微細化、複雑化に伴い、要求される膜種の数や装置状態を確認するためのＮＰＷ品名の数などが膨大となっているので、従来技術に係る管理方法によれば、ＮＰＷを処理するルートの間違い（例えば、再生処理されたＮＰＷの膜種の人による設定誤りなど）によるＮＰＷの膜種の不安定性を招き、ＮＰＷ測定データの信頼性が低下するという問題がある。
【０００８】
また、ＮＰＷの再生処理は、洗浄装置やＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）装置を用いて表面に付着した生成物等を除去して行われるため、何度も再生処理が施された場合にはＮＰＷにダメージが蓄積され、ウェハ割れが発生する。また、拡散炉などの高温で処理される工程を経たＮＰＷは熱ダメージを受け、この熱ダメージはＮＰＷに蓄積されるので、しきい値を超えるとウェハ割れが発生してプロセス装置の稼動に影響する。更に、再生処理を繰り返すと、通常の再生処理によっては除去する事が不可能な生成物等がＮＰＷに次第に付着していき、ウェハ汚染が発生する。従来技術による管理方法では、再生回数や熱ダメージ等の履歴情報を把握する事はできないという問題がある。
【０００９】
更に、特定のＮＰＷが頻繁に使用される一方、再生処理を行っても全く使用されないＮＰＷが発生するので無駄が生じるという問題がある。これは、即ち、過剰な在庫を有する事になる。また、膜種毎のＮＰＷの在庫数や、再生フローと膜種の関係が人の管理可能な程度にまとめられた情報として扱われているため、ＮＰＷの無駄が多くなり、在庫量が適切に調整されず増加するという問題もある。
【００１０】
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、その目的は、ＮＰＷが処理されるルートを適切に設定してＮＰＷ測定データの信頼性を向上し、ウェハ割れ、ウェハ汚染を有効に防止すると共に、ＮＰＷの在庫量を適切に調整する事ができる非製品ウェハのサイクル運用システム、サイクル運用方法及びコンピュータプログラムを提供する事である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムであって、前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、前記制御手段は、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択し、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させ、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ前記記憶手段に記憶された再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定し、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新し、再生処理を行なうことを決定した場合には当該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるとともに当該再生処理の種類に応じて前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新することを特徴とすることを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、制御手段（ホストコンピュータ）が、非製品ウェハ毎に対応付けられて記憶されている膜種、再生回数、熱履歴回数等の固有情報に基づいて、所望のプロセス処理毎に予め設定されている条件に該当する適切なＮＰＷを選択するので、信頼性が高いＮＰＷ測定データを得る事ができる。また、ホストコンピュータはＮＰＷに再生処理が行われる度に再生処理の内容に応じて再生回数や熱履歴回数を加算するので、再生回数や熱履歴回数を各々再生限度回数、熱履歴限度回数と比較する事によって、ＮＰＷが処理されるルートを適切に設定できる。従って、ＮＰＷ測定データの信頼性を向上し、ウェハ割れ、ウェハ汚染を有効に防止すると共に、ＮＰＷの在庫量を適切に調整する事ができる。
【００１３】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムであって、前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、前記制御手段は、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択し、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させ、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの前記再生回数と前記再生限度回数とを比較すると共に当該非製品ウェハの前記熱履歴回数と前記熱履歴限度回数とを比較し、該再生回数が該再生限度回数未満でありかつ該熱履歴回数が該熱履歴限度回数未満である場合に該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させ、該再生処理が熱処理を伴う場合には該再生回数及び該熱履歴回数の両方に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶し、該再生処理が熱処理を伴わない場合には該再生回数に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶し、該再生回数が該再生限度回数以上である場合または前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数以上である場合の何れかの場合に前記限度回数を超えた場合の処理を行うことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、前記記憶手段が、前記プロセス処理毎に該プロセス処理後の膜種情報を更に記憶し、前記限度回数を超えた場合の処理は、前記非製品ウェハの膜種情報を前記プロセス処理後の膜種情報に変更して前記記憶手段に記憶する処理、または、該非製品ウェハを社外再生する処理、または、該非製品ウェハを廃棄する処理の何れかである事を特徴とする。
本発明によれば、再生限度回数や熱履歴回数を超えたＮＰＷが処理されるルートを適切に設定できるので、ウェハ割れ、ウェハ汚染を有効に防止する事ができる。
【００１５】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、前記記憶手段が、前記非製品ウェハ毎に社外再生回数を更に記憶すると共に、前記プロセス処理毎に社外再生限度回数と該社外再生限度回数を超えた場合の処理を更に記憶し、前記制御手段は、前記非製品ウェハが社外再生された後に前記社外再生回数を１回加算し、該社外再生回数が前記社外再生限度回数以上である場合、該社外再生限度回数を超えた場合の処理を行う事を特徴とする。
本発明によれば、社外再生処理されたＮＰＷが処理されるルートを適切に設定できるので、ウェハ割れ、ウェハ汚染を有効に防止する事ができる。
【００１６】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、前記社外再生限度回数を超えた場合の処理が、前記非製品ウェハの膜種情報を前記プロセス処理後の膜種に変更して該記憶手段に記憶する処理、または、該非製品ウェハを廃棄する処理の何れかである事を特徴とする。
本発明によれば、社外再生処理されたＮＰＷが処理されるルートを適切に設定できるので、ウェハ割れ、ウェハ汚染を有効に防止する事ができる。
【００１７】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、前記非製品ウェハが、前記プロセス処理に利用可能な膜種から優先順位に基づいて選択される事を特徴とする。
本発明によれば、優先順位に基づいてＮＰＷを使用できるので、ＮＰＷの在庫量を適切に調整する事ができる。
【００１８】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、前記優先順位が、前記非製品ウェハのコストと在庫数とに応じたものである事を特徴とする。
本発明によれば、コストが高いＮＰＷや、在庫数が多いＮＰＷから使用されるので、ＮＰＷの在庫量を適切に調整する事ができる。
【００１９】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用システムは、前記記憶手段が、前記膜種毎に前記非製品ウェハの在庫数を更に記憶し、前記制御手段は、所定の膜種の在庫数が基準以下となった場合に他の膜種の非製品ウェハを前記再生処理装置で再生処理して該所定の膜種を得る事を特徴とする。
本発明によれば、頻繁に使用されて不足している膜種のＮＰＷを補充できるので、ＮＰＷの在庫量を適切に調整する事ができる。
【００２０】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用方法は、非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを用いた非製品ウェハのサイクル運用方法であって、前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、前記制御手段が、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ前記記憶手段に記憶された再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定するステップと、前記制御手段が、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新するステップと、前記制御手段が、再生処理を行なうことを決定した場合には当該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるとともに当該再生処理の種類に応じて前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新するステップと、を含むことを特徴とする。
【００２１】
また、本発明に係る非製品ウェハのサイクル運用方法は、非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを用いた非製品ウェハのサイクル運用方法であって、前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、前記制御手段が、前記選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの前記再生回数と前記再生限度回数とを比較すると共に当該非製品ウェハの前記熱履歴回数と前記熱履歴限度回数とを比較するステップと、前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数未満でありかつ前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数未満である場合に前記非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるステップと、前記制御手段が、前記再生処理が熱処理を伴う場合には前記再生回数及び前記熱履歴回数の両方に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して前記記憶手段に記憶し、該再生処理が熱処理を伴わない場合には該再生回数に１回加算すると共に該膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶するステップと、前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数以上である場合または前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数以上である場合の何れかの場合に前記限度回数を超えた場合の処理を行うステップと、を含むことを特徴とする。
【００２２】
また、本発明に係るコンピュータプログラムは、非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを制御するコンピュータプログラムであって、前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、前記制御手段が、該選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数とをそれぞれ前記記憶手段に記憶された再生限度回数と熱処理限度回数と比較することによって再生処理を行なうか否かを決定するステップと、前記制御手段が、再生処理を行なわない場合には適宜膜種情報を更新するステップと、前記制御手段が、再生処理を行なうことを決定した場合には当該非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるとともに当該再生処理の種類に応じて前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの再生回数と熱処理回数と膜種情報とを適宜更新するステップと、をコンピュータに実行させるものである。
【００２３】
また、本発明に係るコンピュータプログラムは、非製品ウェハをプロセス処理するプロセス装置と、前記プロセス処理が終了した前記非製品ウェハを再生処理する再生処理装置と、前記非製品ウェハ毎に膜種情報と再生回数と熱履歴回数とを記憶し、前記プロセス処理毎に該プロセス処理に利用可能な膜種情報と再生限度回数と熱履歴限度回数と該限度回数を超えた場合の処理とを記憶し、前記再生処理毎に該再生処理後の膜種情報を記憶する記憶手段と、前記プロセス装置と前記再生処理装置と前記記憶手段とを制御する制御手段と、を含んで構成され、前記プロセス装置の情報を得るために製品ウェハと共に当該プロセス装置によりプロセス処理される前記非製品ウェハを管理する非製品ウェハのサイクル運用システムを制御するコンピュータプログラムであって、前記制御手段が、前記プロセス処理に利用可能な膜種情報を有する前記非製品ウェハを選択するステップと、前記制御手段が、前記選択された非製品ウェハを前記プロセス装置にプロセス処理させるステップと、前記制御手段が、前記記憶手段に記憶されている当該非製品ウェハの前記再生回数と前記再生限度回数とを比較すると共に当該非製品ウェハの前記熱履歴回数と前記熱履歴限度回数とを比較するステップと、前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数未満でありかつ前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数未満である場合に前記非製品ウェハを前記再生処理装置に再生処理させるステップと、前記制御手段が、前記再生処理が熱処理を伴う場合には前記再生回数及び前記熱履歴回数の両方に１回加算すると共に前記膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して前記記憶手段に記憶し、該再生処理が熱処理を伴わない場合には該再生回数に１回加算すると共に該膜種情報を前記再生処理後の膜種情報に変更して該記憶手段に記憶するステップと、前記制御手段が、前記再生回数が前記再生限度回数以上である場合または前記熱履歴回数が前記熱履歴限度回数以上である場合の何れかの場合に前記限度回数を超えた場合の処理を行うステップと、をコンピュータに実行させるものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ホストコンピュータが、非製品ウェハ毎に対応付けられて記憶されている膜種、再生回数、熱履歴回数等の固有情報に基づいて、所望のプロセス処理毎に予め設定されている条件に該当する適切なＮＰＷを選択するので、信頼性が高いＮＰＷ測定データを得る事ができる。また、ホストコンピュータはＮＰＷに再生処理が行われる度に再生処理の内容に応じて再生回数や熱履歴回数を加算するので、再生回数や熱履歴回数を各々再生限度回数、熱履歴限度回数と比較する事によって、ＮＰＷが処理されるルートを適切に設定できる。従って、ＮＰＷ測定データの信頼性を向上し、ウェハ割れ、ウェハ汚染を有効に防止すると共に、ＮＰＷの在庫量を適切に調整する事ができる非製品ウェハのサイクル運用システム、サイクル運用方法及びコンピュータプログラムを提供出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るＮＰＷのサイクル運用システムの構成図である。
このサイクル運用システムは、ホストコンピュータ１、記憶手段２、搬送手段３、保管手段４、ＩＤ検出手段５、ＮＰＷ立替手段６、制御端末７、マスタ情報登録端末８、プロセス装置１０，１１、再生処理装置１２，１３を含んで構成される。
同図において、破線はデータの経路を表し、実線はＮＰＷの経路を表す。
【００２６】
ホストコンピュータ１は制御手段として機能し、記憶手段２に記憶されている各種情報に基づいて、記憶手段２、搬送手段３、ＩＤ検出手段５、ＮＰＷ立替手段６を制御するものである。
【００２７】
また、記憶手段２は、各ＮＰＷ固有のウェハＩＤ毎のＮＰＷ区分、ＮＰＷ品名、膜種、再生回数（リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数）、熱履歴回数、膜種毎の在庫数、ロットＩＤ毎の当該ロットに属するウェハＩＤと優先順位、ＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」であるＮＰＷのＮＰＷ品名毎の工程手順、再生限度回数（リサイクル限度回数、社内再生限度回数、社外再生限度回数）と熱履歴限度回数、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷの利用可能な膜種と優先順位、再生限度回数や熱履歴限度回数を超えた場合の処理、プロセス処理後の膜種、ＮＰＷ区分が「社外再生・下地作成品」であるＮＰＷのＮＰＷ品名毎の工程手順、再生処理後の膜種などを記憶するものである。なお、ＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」のＮＰＷは、後述する様に各プロセス処理に用いられるものである。つまり、記憶手段２はプロセス処理毎の再生限度回数と熱履歴限度回数等を記憶している。
【００２８】
次に、上記の各情報について、ウェハＩＤ毎の情報から順に説明する。ウェハＩＤ毎のＮＰＷ区分は、ＮＰＷを管理するための区分であり、各ＮＰＷは何れかのＮＰＷ区分に属する。ＮＰＷ品名は、ＮＰＷが処理される工程手順を表す情報である。膜種は、ＮＰＷに形成されている膜の種類を表す情報である。これらについては、より詳しく後述する。
リサイクル回数は、ＮＰＷが同一の再生処理装置によって再生処理された回数を表す情報である。社内再生回数は、ＮＰＷが社内設備の再生処理装置（即ち再生処理装置１２，１３）によって再生処理された回数を表す情報である。社外再生回数は、ＮＰＷが社外設備の再生処理装置によって再生処理された回数を表す情報である。熱履歴回数は、ＮＰＷが再生処理装置（社内設備、社外設備）によって熱処理された回数を表す情報である。社内再生回数、社外再生回数、熱履歴回数は、各処理が行われた通算の回数を表し、リセットされる事はない。これらについても、より詳しく後述する。
【００２９】
次に、膜種毎の情報について説明する。膜種毎の在庫数は、本サイクル運用システム内のＮＰＷの枚数を膜種毎に表す情報である。
次に、ロットＩＤ毎の情報について説明する。ロットＩＤ毎の当該ロットに属するウェハＩＤは、同一のロットに属するＮＰＷのウェハＩＤを表す情報である。優先順位は、同一のロットに属するＮＰＷの再生回数等に基づいて付されている情報であり、後述する様にホストコンピュータ１は優先順位に従ってロットからＮＰＷを選択する。
【００３０】
続いて、ＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」であるＮＰＷのＮＰＷ品名毎の情報について説明する。工程手順は、ＮＰＷ品名に対応して決められているプロセス処理の工程とその順序を表す情報である。再生限度回数（リサイクル限度回数、社内再生限度回数、社外再生限度回数）は許容される各々の再生回数（リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数）の上限を表す情報であり、熱履歴限度回数は許容される熱履歴回数の上限を表す情報である。ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷの利用可能な膜種と優先順位は、あるＮＰＷ品名に利用可能な膜種を優先順位と共に表す情報である。再生限度回数や熱履歴限度回数を超えた場合の処理は、ＮＰＷの膜種情報をプロセス処理後の膜種情報に変更する処理、または、ＮＰＷを社外再生する処理、または、ＮＰＷを廃棄する処理の何れかであり、ＮＰＷ品名に対応して記憶されている。プロセス処理後の膜種は、ＮＰＷが工程手順に従ってプロセス処理された結果として得られる膜種の情報である。
【００３１】
続いて、ＮＰＷ区分が「社外再生・下地作成品」であるＮＰＷのＮＰＷ品名毎の情報について説明する。工程手順は、ＮＰＷ品名に対応して決められている再生処理の工程とその順序を表す情報である。再生処理後の膜種は、ＮＰＷが工程手順に従って再生処理された結果として得られる膜種の情報である。
【００３２】
ここで、記憶手段２が記憶するデータ構造の概念図を図２，３に示す。
図２に示す様に、ウェハＩＤに対応付けてＮＰＷ区分、ＮＰＷ品名、膜種、リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数、熱履歴回数を表すデータが記憶手段２に記憶される。
また、図３（ａ）に示す様に、ＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」であるＮＰＷのＮＰＷ品名に対応付けて工程手順、再生限度回数、熱履歴限度回数、利用可能な膜種と優先順位、再生限度回数を超えた場合の処理、プロセス処理後の膜種を表すデータが記憶手段２に記憶される。
さらに、図３（ｂ）に示す様に、ＮＰＷ区分が「社外再生・下地作成品」であるＮＰＷのＮＰＷ品名に対応付けて工程手順、再生処理後の膜種を表すデータが記憶手段２に記憶される。
【００３３】
再び図１の説明に戻り、制御端末７は、作業者の操作によりラインに投入するＮＰＷを選択するためのものである。さらに、マスタ情報登録端末８は、管理者の操作によりＮＰＷ毎にウェハＩＤ等の固有の情報などを記憶手段２に記憶させるためのものである。
【００３４】
また、保管手段４は各ＮＰＷをロット毎に収納容器に収めて保管するものであり、例えば自動倉庫である。また、ＮＰＷ立替手段６は、ホストコンピュータ１の制御に基づいて保管手段４に保管されている収納容器からＮＰＷを取り出し、異なる収納容器へ移動させるものであり、例えば立替機である。
【００３５】
さらに、搬送手段３は、ホストコンピュータ１の制御に基づいて収納容器に収められたＮＰＷを保管手段４とプロセス装置１０，１１と再生処理装置１２，１３との間で搬送するものであり、例えば搬送ロボットである。また、ＩＤ検出手段５はホストコンピュータ１の制御に基づいて保管手段４に保管されているＮＰＷのウェハＩＤを読み取り認識するものであり、例えばカメラと画像認識装置である。
【００３６】
また、プロセス装置１０，１１は製品ウェハ及びＮＰＷをプロセス処理するものであり、例えば拡散炉、エッチング装置などを含む。ここで、プロセス処理とは半導体製造プロセスにおける各種の処理を表すものであり、例えば酸化膜形成処理やエッチング処理や金属配線層形成処理などを含む。さらに、再生処理装置１２，１３はＮＰＷを再生処理するものであり、社内設備を表す。
本システムは、半導体製造工場の有する複数台のプロセス装置、再生処理装置を含むものである。ここでは理解を容易にするためにプロセス装置１０，１１と再生処理装置１２，１３のみを図示している。
【００３７】
次に、各ＮＰＷの固有情報について説明する。
各々のＮＰＷにはＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によって定められた固有のウェハＩＤが、ウェハ裏面を削って形成された２次元バーコードによって付されている。そして、このウェハＩＤ単位で記憶手段２に記憶されたＮＰＷ区分、ＮＰＷ品名、膜種、再生回数、熱履歴回数等の固有情報をホストコンピュータ１が更新する。
【００３８】
つまり、ホストコンピュータ１はＩＤ検出手段５を制御し、ＩＤ検出手段５が読み取ったＮＰＷのウェハＩＤを得る事により、そのウェハＩＤに対応付けられて記憶手段２に記憶されているＮＰＷ区分等の全ての固有情報を把握できる。また、再生回数等の履歴情報は、ＮＰＷがプロセス装置１０，１１や再生処理装置１２，１３によって処理される毎にホストコンピュータ１によって随時更新され、記憶手段２に記憶される。
【００３９】
ここで、ＮＰＷ区分とは、本ＮＰＷサイクル運用システムにおいてＮＰＷを管理するための区分である。このＮＰＷ区分は、「使用待ち保管品」、「リファレンス・ダミー品」、「社内再生・下地作成品」、「社外再生・廃棄回収品」の４種類であり、このＮＰＷサイクル運用システムに登録されたＮＰＷは４つのＮＰＷ区分の何れか１つに属する。
【００４０】
次に、上記４種類のＮＰＷ区分について説明する。ＮＰＷ区分「使用待ち保管品」は、「リファレンス・ダミー品」としてプロセスに投入されるのを待っているＮＰＷ区分である。また、ＮＰＷ区分「リファレンス・ダミー品」は、装置保証や製品保証の為にパイロットを行うか、あるいは装置ダミー品として使用されるＮＰＷ区分である。また、ＮＰＷ区分「社内再生・下地作成品」は、使用済みＮＰＷ（プロセス装置により処理されたＮＰＷ）を再度社内再生して利用するか、あるいは他の膜種へ転用するためのＮＰＷ区分である。さらに、ＮＰＷ区分「社外再生・廃棄回収品」は、使用済みＮＰＷを社外再生に出すか、あるいは廃棄するＮＰＷ区分である。
【００４１】
また、ＮＰＷ品名は工程手順を表すものであり、例えばＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」に属するＮＰＷは、「ＮＰＷ−ＷＡＩＴ０００」というＮＰＷ品名を必ず有し、記憶手段２に記憶されている。この「ＮＰＷ−ＷＡＩＴ０００」というＮＰＷ品名は、ＮＰＷ投入、保管工程、ＮＰＷ入庫という一連の工程手順を表すものであり、この工程手順も記憶手段２に記憶されている。
【００４２】
また、ＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」に属するＮＰＷは、例えばＮＰＷ品名としてゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」を有するものがある。このＮＰＷ品名は、ＮＰＷ投入、前ゴミチェック、プロセス処理、後ゴミチェック、ＮＰＷ入庫という工程手順を表す。ここで、ＮＰＷ投入とはＮＰＷ立替手段６によって保管手段４からＮＰＷを取り出し、新たなロットとしてラインに投入してプロセス処理が行われるプロセス装置に搬送する工程である。また、前ゴミチェックとは、プロセス処理前のＮＰＷの表面に付着したゴミの量を測定する工程である。また、プロセス処理とは、前述の様に酸化膜形成処理などを行う工程である。さらに、後ゴミチェックとは、プロセス処理後のＮＰＷの表面に付着したゴミの量を測定する工程である。また、ＮＰＷ入庫とは、処理が終了したＮＰＷをウェハ収納容器に入庫する工程である。
【００４３】
ＮＰＷ区分「リファレンス・ダミー品」、「社内再生・下地作成品」、「社外再生・廃棄回収品」は、用途に対応して様々なＮＰＷ品名（即ち工程手順）を有するＮＰＷを含んでいる。ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名から定義される工程手順に従ってＮＰＷを処理する様に各部を制御する。なお、工程手順は、ＮＰＷが処理されるプロセス装置や再生処理装置を特定する情報も含んでいる。
また、膜種はウェハに形成された膜の種類を表すものであり、例えば、新品を表す「ＮＥＷ１」，「ＮＥＷ２」、社外再生品を表す「ＯＬＤ１」、社内転用品を表す「ＴＥＮ１」，「ＴＥＮ２」等がある。
【００４４】
新たなＮＰＷを本ＮＰＷサイクル運用システムに投入する際に、管理者は、マスタ情報登録端末８を用いてホストコンピュータ１を介して記憶手段２にウェハＩＤ毎のＮＰＷ区分、ＮＰＷ品名、膜種、再生回数、熱履歴回数等を記憶させる。さらに、管理者は、図２，３を用いて説明した様なＮＰＷ品名毎の再生限度回数と熱履歴限度回数などのデータを予め記憶手段２に記憶させ、ＮＰＷの処理経路を設定しておく。
【００４５】
次に、上述したＮＰＷサイクル運用システムを用いてＮＰＷをサイクル運用する方法について、図１から図４を参照して説明する。
図４は、ＮＰＷの処理経路を示す概念図である。
ＮＰＷは、各種プロセス装置に対して装置ダミーや装置パイロットのために用いられる。同図は、一例としてゴミチェック処理、ダミー１処理、ダミー２処理についてのみ示している。
【００４６】
（１）ゴミチェック処理
ゴミチェック処理とは装置パイロットの一種であり、プロセス装置がＮＰＷに対してプロセス処理を行うことによってウェハ表面に付着するゴミの量を調べるものである。
まず、ホストコンピュータ１はライン内で不足しているＮＰＷ品名を検出する。次に、ホストコンピュータ１にてリストアップされたＮＰＷ品名を投入すべきか否かを作業者が判断する。ここでは、作業者は制御端末７を操作してゴミチェック処理に用いるゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（２４）を投入するものとする。
【００４７】
次に、ゴミチェック処理に利用可能な膜種と優先順位が、ホストコンピュータ１によって示される。作業者は制御端末７を使用して、保管手段４に保管されておりＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」、膜種が「ＮＥＷ１」（２０）、「ＯＬＤ１」（２１）、「ＴＥＮ１」（２２）であるＮＰＷロットの中から優先順位に基づいてゴミチェック処理に用いる膜種を選択する。ここで、前述した様に、ゴミチェック処理のために選択され得る膜種と優先順位は予め記憶手段２に記憶されており、ホストコンピュータ１はゴミチェック用のＮＰＷ品名に利用できない膜種（例えば膜種「ＮＥＷ２」（２３））からは選択できない様に制御する。
【００４８】
また、この膜種と優先順位はＮＰＷ品名毎に個別設定されて記憶手段２に記憶されている。例えば、あるゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（２４）では膜種「ＮＥＷ１」（２０）、「ＯＬＤ１」（２１）、「ＴＥＮ１」（２２）から選択し、別のゴミチェック用品名「ＲＡＰＴ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（図示なし）では膜種「ＮＥＷ３」（図示なし）、「ＯＬＤ１」（２１）、「ＯＬＤ２」（図示なし）から選択する等の設定が出来る。
【００４９】
ここでは、膜種「ＮＥＷ１」（２０）が選択されたものとして以下の説明を行う。
制御端末７が出力した情報を受けたホストコンピュータ１は、膜種「ＮＥＷ１」（２０）から優先順位に従って不足枚数分のウェハＩＤを選択し、選択されたウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」に変更し、ＮＰＷ品名を「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（２４）に変更して記憶手段２に記憶する。次に、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、選択されたウェハＩＤを有するＮＰＷを取り出す様にＮＰＷ立替手段６に指示を出す。この指示に従ってＮＰＷ立替手段６は、保管手段４に保管されており、膜種が「ＮＥＷ１」（２０）であり、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷのロットから必要枚数分ウェハを抜き取り、それらのウェハをゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（２４）の新たなロットとして投入する。
【００５０】
ここで、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷから選択された各々のウェハには固有のウェハＩＤが対応付けられているので、ＮＰＷ区分が変更になっても記憶手段２はウェハＩＤ毎に情報を記憶している。なお、上記ウェハＩＤはＩＤ検出手段５が立替時に読み取り、ウェハＩＤと実際のウェハの対応付けはホストコンピュータ１が誤っていないか確認する。
【００５１】
上述の処理について、図５を参照して更に説明する。図５は、ロットＩＤとＮＰＷ品名、膜種、ウェハＩＤの関係の一例を示す概念図である。同図に示す様に、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷは、同一の膜種を有する複数枚のＮＰＷのウェハＩＤが関連付けられてロット１００，１０１毎にロットＩＤによって管理されている。これらのＮＰＷは、ロット１００，１０１毎に別々のウェハ収納容器に収納されている。上述の処理では、ＮＰＷ立替手段６はホストコンピュータ１に指示された優先順位に従って、例えばロット１００の5枚のＮＰＷが収納されたウェハ収納容器の中から２枚のＮＰＷを抜き取り、この２枚のＮＰＷをロットＩＤが異なる新たなロット１０２（ＮＰＷ区分「リファレンス・ダミー品」、ゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」）として別のウェハ収納容器に収めてラインに投入する。
【００５２】
続いて、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順（ＮＰＷ投入、前ゴミチェック、プロセス処理、後ゴミチェック、ＮＰＷ入庫）に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、その指示に従いゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（２４）として投入されたＮＰＷを保管手段４からゴミチェック処理の対象となる所定のプロセス装置１０に搬送する。ＮＰＷの搬送先となるプロセス装置１０は、前述の工程手順に定義付けられている。そして、ホストコンピュータ１はプロセス装置１０に指示を出し、プロセス装置１０はその指示に従いゴミチェック処理を行う。
【００５３】
具体的には、まずプロセス処理前のＮＰＷのゴミの量が測定され（前ゴミチェック）、続いてＮＰＷはプロセス装置１０によってプロセス処理される。
次に、プロセス処理が行われたＮＰＷのゴミの量が再度測定され（後ゴミチェック）、測定されたゴミの量はプロセス処理前のゴミの量と比較されてプロセス装置１０の状態把握等に利用される。
【００５４】
ゴミチェックの結果ゴミの量が規定値以下であった場合、ホストコンピュータ１は、このＮＰＷのウェハＩＤに対応付けられて記憶手段２に記憶されている再生回数（リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数）を再生限度回数（リサイクル限度回数、社内再生限度回数、社外再生限度回数）と比較し、熱履歴回数を熱履歴限度回数と比較する。ホストコンピュータ１は、社内再生回数が予めＮＰＷ品名に対して設定されている社内再生限度回数（図示した例では２０回とする）未満であり、その他の再生回数も各再生限度回数未満であり、熱履歴回数も熱履歴限度回数未満である場合、このＮＰＷを通常処置として社内再生するために、ＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」に変更し、ＮＰＷ品名を社内再生品名「ＲＣＩＭ−ＺＵＭＩ０００」（２５）に変更して記憶手段２に記憶する。ここで、ゴミチェック用品名「ＲＣＩＭ−ＧＯＭＩＣＨＥＣＫ０００」（２４）から変更され得る社内再生品名「ＲＣＩＭ−ＺＵＭＩ０００」（２５）は、予め記憶手段２に記憶されている。
【００５５】
続いて、ホストコンピュータ１は、上記ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを再生処理装置１２に搬送する。ＮＰＷの搬送先となる再生処理装置１２は、工程手順に定義付けられている。次に、ホストコンピュータ１は再生処理装置１２に指示を出し、再生処理装置１２はこの指示に基づいてＮＰＷの再生処理を行う。ここでは、この再生処理は熱処理を含まないものとする。
【００５６】
再生処理が終了すると、再生処理装置１２から終了報告を受けたホストコンピュータ１は、このウェハＩＤに対応するリサイクル回数と社内再生回数に１回加算すると共に、ＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、ＮＰＷ品名を「ＮＰＷ−ＷＡＩＴ０００」に変更し、膜種を「ＴＥＮ１」（２２）に変更して記憶手段２に記憶する。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを保管手段４に搬送し、保管手段４はＮＰＷを保管する。
次のゴミチェックを行う際には、再度優先順位に基づいてＮＰＷが選択され、上述の一連の処理が所定のプロセス装置によって行われる。
【００５７】
一方、前述した再生回数の比較において、社内再生回数が社内再生限度回数（２０回）以上である場合、ホストコンピュータ１はＮＰＷ区分を「社外再生・廃棄回収品」、ＮＰＷ品名を社外再生品「ＲＣＩＭ−ＳＹＡＧＡＩ０００」（２６）に変更すると共に、社外再生回数に１回加算して記憶手段２に記憶する。続いて、このＮＰＷは、社外の施設において再生処理が施され、その後再び本ＮＰＷサイクル運用システムに組み込まれる。その際、ホストコンピュータ１はＩＤ検出手段５を制御してこのＮＰＷのウェハＩＤを読み取らせ、このウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、膜種を「ＯＬＤ１」（２１）に変更して記憶手段２に記憶する。このＮＰＷが社外再生に出される前にウェハＩＤに対応付けて記録されていたすべての情報は記憶手段２によって記憶されている。
【００５８】
また、前述のゴミチェックを行った結果、ゴミが規定値以上であった場合、このＮＰＷは社内再生、社外再生の何れによっても再度ゴミチェック処理に用いる事ができる状態に再生する事は不可能であるため、別の処理に用いられる。そこで、ホストコンピュータ１は、このＮＰＷのウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、ＮＰＷ品名を「ＮＰＷ−ＷＡＩＴ０００」に変更し、膜種を「ＤＵＭ１」（２７）に変更して記憶手段２に記憶する。この変更されるＮＰＷ区分、ＮＰＷ品名、膜種は、予め記憶手段２に記憶されている。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを保管手段４に搬送し、保管手段４はＮＰＷを保管する。
【００５９】
（２）ダミー１処理
次に、ダミー１処理について説明する。ダミー１処理とは装置ダミーの一種であり、プロセス処理を安定化させるためにＮＰＷをダミーウェハとしてプロセス装置に投入する処理である。ここでは、熱履歴がないプロセス処理にＮＰＷを用いるものとして説明する。
まず、ホストコンピュータ１はライン内で不足しているＮＰＷ品名を検出する。次に、ホストコンピュータ１にてリストアップされたＮＰＷ品名を投入すべきか否かを作業者が判断する。ここでは、作業者は制御端末７を操作してダミー１処理に用いるダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（２８）を投入するものとする。
【００６０】
次に、ダミー１処理に利用可能な膜種と優先順位が、ホストコンピュータ１によって選択されて示される。作業者は制御端末７を使用して、保管手段４に保管されておりＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」、膜種が「ＤＵＭ１」（２７）であるＮＰＷロットの中から優先順位に基づいてダミー１処理に用いる膜種を選択する。ここで、前述した様に、ダミー１処理のために選択され得る膜種と優先順位は予め記憶手段２に記憶されており、ホストコンピュータ１はダミー1処理に利用できない膜種からは選択できない様に制御する。
【００６１】
ここでは、膜種「ＤＵＭ１」（２７）が選択されたものとして以下の説明を行う。
次に、制御端末７が出力した情報を受けたホストコンピュータ１は、膜種「ＤＵＭ１」（２７）から優先順位に従って不足枚数分のウェハＩＤを選択し、選択されたウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」に変更し、ＮＰＷ品名をダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（２８）に変更して記憶手段２に記憶する。
【００６２】
続いて、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、選択されたウェハＩＤを有するＮＰＷを取り出す様にＮＰＷ立替手段６に指示を出す。この指示に従ってＮＰＷ立替手段６は、保管手段４に保管されており、膜種が「ＤＵＭ１」（２７）であり、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷのロットから必要枚数分ウェハを抜き取り、それらのウェハをダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（２８）の新たなロットとして投入する。
【００６３】
次に、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、その指示に従いダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（２８）として投入されたＮＰＷを保管手段４からダミー１処理の対象となる所定のプロセス装置１１に搬送する。ＮＰＷの搬送先となるプロセス装置１１は、前述の工程手順に定義付けられている。そして、ホストコンピュータ１はプロセス装置１１に指示を出し、プロセス装置１１はその指示に従いダミー１処理を行う。
【００６４】
ダミー１処理が終了すると、プロセス装置１１から終了報告を受けたホストコンピュータ１は、このＮＰＷのウェハＩＤに対応付けられて記憶手段２に記憶されている再生回数（リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数）を再生限度回数（リサイクル限度回数、社内再生限度回数、社外再生限度回数）と比較し、熱履歴回数を熱履歴限度回数と比較する。社内再生回数が社内再生限度回数（この例では１５回とする）未満であり、その他の再生回数も各再生限度回数未満であり、熱履歴回数も熱履歴限度回数未満である場合、このＮＰＷを通常処置として社内再生するために、ホストコンピュータ１はウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」に変更し、ＮＰＷ品名を社内再生品名「ＲＣＩＭ−ＺＵＭＩ００１」（２９）に変更して記憶手段２に記憶する。
【００６５】
続いて、ホストコンピュータ１は、上記ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを再生処理装置１３に搬送する。ＮＰＷの搬送先となる再生処理装置１３は、工程手順に定義付けられている。次に、ホストコンピュータ１は再生処理装置１３に指示を出し、再生処理装置１３はこの指示に基づいてＮＰＷの再生処理を行う。ここでは、この再生処理は熱処理を含まないものとする。
【００６６】
再生処理が終了すると、再生処理装置１３から終了報告を受けたホストコンピュータ１は、このウェハＩＤに対応する社内再生回数とリサイクル回数に１回加算すると共に、ＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、膜種を「ＤＵＭ１」（２７）に変更して記憶手段２に記憶する。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを保管手段４に搬送し、保管手段４はＮＰＷを保管する。
次のダミー１処理を行う際には、再度優先順位に基づいてＮＰＷが選択され、上述の一連の処理が所定のプロセス装置によって行われる。
【００６７】
一方、前述した再生回数の比較において、社内再生回数が社内再生限度回数（１５回）以上である場合、このＮＰＷは再度ダミー１処理に用いる事が可能な状態に再生する事は不可能であるため、別の処理に用いられる。そこで、ホストコンピュータ１は、このＮＰＷのウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、膜種を「ＤＵＭ２」（３０）に変更して記憶手段２に記憶する。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを保管手段４に搬送し、保管手段４はＮＰＷを保管する。
【００６８】
（３）ダミー２処理
次に、ダミー２処理について説明する。ダミー２処理とは装置ダミーの一種であり、プロセス処理を安定化させるためにＮＰＷをダミーウェハとしてプロセス装置に投入する処理である。ここでは、熱履歴を伴うプロセス処理にＮＰＷを用いるものとして説明する。
まず、ホストコンピュータ１がライン内で不足しているＮＰＷ品名を検出する。次に、ホストコンピュータ１にてリストアップされたＮＰＷ品名を投入すべきか否かを作業者が判断する。ここでは、作業者は制御端末７を操作してダミー２処理に用いるダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（３１）を投入するものとする。
【００６９】
次に、ダミー２処理に利用可能な膜種と優先順位が、ホストコンピュータ１によって選択されて示される。作業者は制御端末７を使用して、保管手段４に保管されておりＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」、膜種が「ＤＵＭ２」（３０）であるＮＰＷロットの中から優先順位に基づいてダミー２処理に用いる膜種を選択する。ここで、前述した様に、ダミー２処理のために選択され得る膜種と優先順位は予め記憶手段２に記憶されており、ホストコンピュータ１はダミー２処理に利用できない膜種からは選択できない様に制御する。
なお、この例ではダミー２処理はメタライズ（金属配線層形成処理）を行うものであり、ダミー１処理よりも後の工程であるとする。
【００７０】
ここでは、膜種「ＤＵＭ２」（３０）が選択されたものとして以下の説明を行う。
次に、制御端末７が出力した情報を受けたホストコンピュータ１は、膜種「ＤＵＭ２」（３０）から優先順位に従って不足枚数分のウェハＩＤを選択し、選択されたウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」に変更し、ＮＰＷ品名をダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（３１）に変更して記憶手段２に記憶する。
【００７１】
続いて、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、選択されたウェハＩＤを有するＮＰＷを取り出す様にＮＰＷ立替手段６に指示を出す。この指示に従ってＮＰＷ立替手段６は、保管手段４に保管されており、膜種が「ＤＵＭ２」（３０）であり、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷのロットから必要枚数分ウェハを抜き取り、それらのウェハをダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（３１）の新たなロットとして投入する。
【００７２】
次に、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、その指示に従いダミー用品名「ＲＣＩＭ−ＤＵＭＭＹ０００」（３１）として投入されたＮＰＷを保管手段４からダミー２処理の対象となる所定のプロセス装置（図示なし）に搬送する。ＮＰＷの搬送先となるプロセス装置は、前述の工程手順に定義付けられている。そして、ホストコンピュータ１はプロセス装置に指示を出し、プロセス装置はその指示に従いダミー２処理を行う。
【００７３】
ダミー２処理が終了すると、プロセス装置から終了報告を受けたホストコンピュータ１は、このＮＰＷのウェハＩＤに対応付けられて記憶手段２に記憶されている再生回数（リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数）を再生限度回数（リサイクル限度回数、社内再生限度回数、社外再生限度回数）と比較し、熱履歴回数を熱履歴限度回数と比較する。各再生回数が各再生限度回数未満であり、熱履歴回数が熱履歴限度回数（この例では５回とする）未満である場合、このＮＰＷを通常処置として社内再生するために、ホストコンピュータ１はウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」に変更し、ＮＰＷ品名を社内再生品名「ＲＣＩＭ−ＺＵＭＩ００２」（３２）に変更して記憶手段２に記憶する。
【００７４】
続いて、ホストコンピュータ１は、上記ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを再生処理装置（図示なし）に搬送する。ＮＰＷの搬送先となる再生処理装置は、工程手順に定義付けられている。次に、ホストコンピュータ１は再生処理装置に指示を出し、再生処理装置はこの指示に基づいてＮＰＷの再生処理を行う。ここでは、この再生処理は熱処理を含むものとする。
【００７５】
再生処理が終了すると、再生処理装置から終了報告を受けたホストコンピュータ１は、このウェハＩＤに対応する社内再生回数とリサイクル回数に１回加算し、熱履歴回数に１回加算すると共に、ＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、膜種を「ＤＵＭ２」（３０）に変更して記憶手段２に記憶する。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを保管手段４に搬送し、保管手段４はＮＰＷを保管する。
次のダミー２処理を行う際には、再度優先順位に基づいてＮＰＷが選択され、上述の一連の処理が所定のプロセス装置によって行われる。
【００７６】
一方、前述した熱履歴回数の比較において、熱履歴回数が熱履歴限度回数（５回）以上である場合、このＮＰＷは熱履歴によってダメージが蓄積されているため割れる可能性があり、再度ダミー２処理に用いる事が可能な状態に再生する事や、別の処理に用いることも不可能である。そこで、ホストコンピュータ１は、このＮＰＷのウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「社外再生・廃棄回収品」に変更し、ＮＰＷ品名を「ＲＣＩＭ−ＨＡＩＫＩ０００」（３３）に変更して記憶手段２に記憶する。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを廃棄回収品の置き場所に搬送する。このＮＰＷは、その後廃棄処理される。
【００７７】
続いて、膜種転用について説明する。膜種転用とは、ＮＰＷにプロセス処理を行うことにより膜種を変更する処理である。
膜種毎に必要な在庫枚数は記憶手段２に記憶されており、ホストコンピュータ１は、他の膜種を加工して在庫枚数が基準値を下回った膜種を補充する様に制御する。例えば、膜種「ＴＥＮ１」（２２）が不足している場合の膜種転用処理について以下に説明する。
【００７８】
まず、ホストコンピュータ１がライン内で不足している膜種を検出する。次に、ホストコンピュータ１にてリストアップされた膜種を補充すべきか否かを作業者が判断する。ここでは、作業者は制御端末７を操作して膜種「ＴＥＮ１」（２２）を補充するものとする。
次に、作業者は制御端末７を使用して、保管手段４に保管されておりＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であり、膜種が「ＴＥＮ２」（３４）であるＮＰＷロットの中からホストコンピュータ１に示された優先順位に基づいて膜種転用に用いる膜種を選択する。ここで、膜種「ＴＥＮ１」（２２）に転用するために選択され得る膜種と優先順位は予め記憶手段２に記憶されており、ホストコンピュータ１は膜種「ＴＥＮ１」（２２）に転用できない膜種からは選択できない様に制御する。
【００７９】
ここでは、膜種「ＴＥＮ２」（３４）が選択されたものとして以下の説明を行う。
次に、制御端末７が出力した情報を受けたホストコンピュータ１は、膜種「ＴＥＮ２」（３４）から優先順位に従って不足枚数分のウェハＩＤを選択し、選択されたウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」に変更し、ＮＰＷ品名を下地作成用品名「ＲＣＩＭ−ＳＩＴＡＪＩ０００」（３５）に変更して記憶手段２に記憶する。
【００８０】
続いて、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、選択されたウェハＩＤを有するＮＰＷを取り出す様にＮＰＷ立替手段６に指示を出す。この指示に従ってＮＰＷ立替手段６は、保管手段４に保管されており、膜種が「ＴＥＮ２」（３４）であり、ＮＰＷ区分が「社内再生・下地作成品」であるＮＰＷのロットから必要枚数分ウェハを抜き取り、それらのウェハを下地作成用品名「ＲＣＩＭ−ＳＩＴＡＪＩ０００」（３５）の新たなロットとして投入する。
【００８１】
次に、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、その指示に従い下地作成用品名「ＲＣＩＭ−ＳＩＴＡＪＩ０００」（３５）として投入されたＮＰＷを保管手段４から膜種転用処理の対象となる所定の再生処理装置（図示なし）に搬送する。ＮＰＷの搬送先となる再生処理装置は、前述の工程手順に定義付けられている。そして、ホストコンピュータ１は再生処理装置に指示を出し、再生処理装置はその指示に従い膜種転用処理を行う。
【００８２】
膜種転用処理が終了すると、再生処理装置から終了報告を受けたホストコンピュータ１は、このウェハＩＤに対応する社内再生回数とリサイクル回数に１回加算すると共に、ＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」に変更し、膜種を「ＴＥＮ１」（２２）に変更して記憶手段２に記憶する。そして、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ品名に対応付けられている工程手順に従い、搬送手段３に指示を出す。搬送手段３は、この指示に基づいてＮＰＷを保管手段４に搬送し、保管手段４はＮＰＷを保管する。
なお、膜種転用処理はプロセス装置によって行われても良い。
【００８３】
上述してきた説明においては、図２に例示された代表的な処理についてのみ説明してきたので、以下にホストコンピュータ１が行うその他の一般的な処理について更に詳細に説明する。
【００８４】
（社内再生・下地作成品と使用待ち保管品との関係の説明）
ここでは、再生処理後のＮＰＷの膜種の決定方法について説明する。
図６は、社内再生・下地作成品と使用待ち保管品との関係についての説明図である。
同図に示す様に、ＮＰＷ区分が「社内再生・下地作成品」であるＮＰＷ品名とＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」であるＮＰＷの膜種とは、１対１に対応して記憶手段２に記憶されている。即ち、ＮＰＷ区分が「社内再生・下地作成品」のフローを経由すると、ホストコンピュータ１はＮＰＷ区分を予め設定された膜種の「使用待ち保管品」に自動的に変更する。
【００８５】
同図に示す様に、ホストコンピュータ１がＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」（４０）から「社内再生・下地作成品」（４１）に変更し、その後「使用待ち保管品」（４２）に変更するルートと、「使用待ち保管品」（４３）から「社内再生・下地作成品」（４４）に変更し、その後「使用待ち保管品」（４５）に変更するルートとは異なる。つまり、ＮＰＷ区分が「使用待ち保管品」（４２）であるＮＰＷと「使用待ち保管品」（４５）であるＮＰＷとは異なった膜種となる。
【００８６】
具体例を挙げると、前述した様に、図４に示した社内再生品名が「ＲＣＩＭ−ＺＵＭＩ００１」（２９）であり、ＮＰＷ区分が「社内再生・下地作成品」であるＮＰＷは、必ず膜種「ＤＵＭ１」（２７）のＮＰＷ区分「使用待ち保管品」に変更される様にルートが設定されて記憶手段２に記憶されている。また、前述の様に、ＮＰＷ区分が「社内再生・下地作成品」から「使用待ち保管品」に変更されるときに、ホストコンピュータ１は再生回数を１回加算して記憶手段２に記憶する。
【００８７】
（再生回数カウント方法の説明）
次に、リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数、熱履歴回数をカウントする方法について説明する。
図７は、再生回数カウント方法についての説明図である。
同図は、本システムに用いられる一部のフローのみについて例示している。まず、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷのＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」（５０）に変更して、プロセス装置に指示を出す。プロセス装置は、この指示に基づいてＮＰＷをプロセス処理する。このプロセス処理により、ＮＰＷは熱ダメージを受けたとする。続いて、ホストコンピュータはＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」（５１）に変更して、再生処理装置に指示を出す。ここで、再生処理装置は、この指示に基づいて熱ダメージを受けたＮＰＷを再生するために熱処理を加える。ホストコンピュータ１は、熱処理が加えられて再生処理されたＮＰＷのＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」（５２）に変更し、再生回数を加算して記憶手段２に記憶する。図示した例では、リサイクル回数は１回加算されて１０回になり、社内再生回数は１回加算されて１０回になり、熱履歴回数は１回加算されて１回になり、社外再生回数は加算されないので１回のまま記憶手段２に記憶される。
【００８８】
続いて、このＮＰＷはホストコンピュータ１の判断の結果、再生回数等が所定の基準を超えた場合、他のフローへ移行される。フローが変わる（即ち再生品名が変わる）と、記憶手段２に記憶されていたリサイクル回数はホストコンピュータ２によってリセットされて０になるが、他の社内再生回数、熱履歴回数、社外再生回数は維持される。ここでは、ホストコンピュータ１は、このＮＰＷに対応するＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」（５３）に変更して、プロセス装置に指示を出す。プロセス装置は、この指示に基づいてＮＰＷをプロセス処理する。続いてホストコンピュータ１は、ＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」（５４）に変更して再生処理装置に指示を出し、再生処理装置はこのＮＰＷを再生処理する。
【００８９】
ホストコンピュータ１は、再生処理されたＮＰＷのＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」（５５）に変更し、再生回数を加算して記憶手段２に記憶する。図示した例では、リサイクル回数はリセットされた後に１回加算されて１回になり、社内再生回数は１回加算されて１１回になり、熱履歴回数は加算されないので１回のままであり、社外再生回数は加算されないので１回のまま記憶手段２に記憶される。
【００９０】
続いて、このＮＰＷはホストコンピュータ１の判断の結果、再生回数等が所定の基準を超えていない場合には再度ＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」（５３）に変更されるが、所定の基準を超えた場合、他のフローへ移行される。
前述の様に、フローが変わる（即ち再生品名が変わる）と記憶手段２に記憶されていたリサイクル回数はホストコンピュータ１によってリセットされて０になるが、他の社内再生回数、熱履歴回数、社外再生回数は維持されたまま記憶手段２に記憶されている。ここでは、ホストコンピュータ１は、このＮＰＷのＮＰＷ区分を「リファレンス・ダミー品」（５６）に変更して、プロセス装置に指示を出す。プロセス装置は、この指示に従いＮＰＷをプロセス処理する。
【００９１】
続いてホストコンピュータ１は、このＮＰＷのＮＰＷ区分を「社外再生・廃棄回収品」（５７）に変更し、このＮＰＷがラインから出る際に社外再生回数に１回加算して記憶手段２に記憶する。そして、ＮＰＷは社外の再生処理設備に入庫されて再生処理が施され（５８）、再生処理が終了すると再度システムに組み込まれる。このＮＰＷが再度システムに組み込まれると、このＮＰＷが有するウェハＩＤは固有のものであるため、ホストコンピュータ１はこのＮＰＷのウェハＩＤに対応するＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」（５９）に変更する。リサイクル回数等はラインから出る際の回数が記憶手段２に記憶されているので、社外再生に出される前の履歴を維持できる。
【００９２】
（膜種制限の説明）
次に、使用待ち保管品に変更され得る膜種の制限と、限度回数を越えた場合の処理について説明する。
図８は、膜種制限についての説明図である。
同図に示す様に、ホストコンピュータ１がＮＰＷ区分を「使用待ち保管品」（６４）に変更できるルートは３種類ある。まず、ホストコンピュータ１がＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」（６０）から変更する場合がある。次に、ホストコンピュータ１が他の膜種のＮＰＷ区分「使用待ち保管品」（６１）から変更する場合もある。この場合は、求めている膜種のグレードが低い場合であり、例えば傷が多い膜種でも許容される場合には、傷が少ない他のＮＰＷ区分「使用待ち保管品」から変更され得る。この様に、膜種のグレードも膜種を定義するために用いられる。最後に、ホストコンピュータ１が他の膜種のＮＰＷ区分「使用待ち保管品」（６２）を「社内再生・下地作成品」（６３）に変更して、再生処理装置に社内再生処理あるいは下地作成処理を行わせて所望の膜種を有する「使用待ち保管品」（６４）に変更する場合もある。
【００９３】
また、前述の通り、ホストコンピュータ１は、ＮＰＷ区分を「社内再生・下地作成品」（６０，６３）から「使用待ち保管品」（６４）に変更する際に再生回数を加算する。ここで、ホストコンピュータ１は、リサイクル回数、社内再生回数、社外再生回数、熱履歴回数の何れかが各々に設定されたリサイクル限度回数、社内再生限度回数、社外再生限度回数、熱履歴限度回数を超えた場合、ＮＰＷ区分を他のＮＰＷ区分「社内再生・下地作成品」（６５）、「使用待ち保管品」（６６）、「社外再生・廃棄回収品」（６７）の何れかに変更する。その判断基準となる各々の限度回数と変更されるＮＰＷ区分は、記憶手段２に記憶されている。
【００９４】
（リファレンス・ダミー品の引当制限の説明）
次に、リファレンス・ダミー品に使用可能な膜種の設定方法について説明する。
図９は、リファレンス・ダミー品の引当制限についての説明図である。
同図に示す様に、ホストコンピュータ１は、記憶手段２に記憶されている対象膜種（７１）の中で優先順位の高い膜種から順にＮＰＷ区分「リファレンス・ダミー品」（７０）として引き当てる。同じ目的が達成できる膜種の中でも膜種によってコスト、在庫等の違いがあるが、この方法により、コストの低い膜種、在庫の多い膜種から優先的に引き当てる事ができる。
【００９５】
また、この際にホストコンピュータ１は各ＮＰＷの再生回数を確認しており、再生回数が限度回数を超えているＮＰＷ区分「使用待ち保管品」のＮＰＷを引き当てない。さらに、管理者は、所望の目的が達成できない膜種を有するＮＰＷ区分「使用待ち保管品」（７２）は対象膜種として設定しない。
【００９６】
（リファレンス・ダミー品の行き先制限の説明）
次に、ＮＰＷがリファレンス・ダミー品としてプロセス処理された際、再生回数が限度回数を超えた場合の処理について説明する。
図１０は、リファレンス・ダミー品の行き先制限についての説明図である。
ホストコンピュータ１は、再生限度回数などに基づいてＮＰＷ区分が「リファレンス・ダミー品」（８０）であるＮＰＷの行き先を制限する。同図に示す様に、ホストコンピュータ１は、何れの再生回数も限度回数を超えていない場合、ＮＰＷを通常の再生フローへ移行する（８１）。しかし、ホストコンピュータ１は、リサイクル回数がリサイクル限度回数を超えている場合、ＮＰＷを他の再生フローや、社外再生処理、他の膜種への転用などに移行する（８２）。また、ホストコンピュータ１は、社内再生回数が社内再生限度回数を超えている場合、ＮＰＷを他の再生フローや、社外再生処理、他の膜種への転用、廃棄処理などへ移行する（８３）。さらに、ホストコンピュータ１は、社外再生回数が社外再生限度回数を超えている場合、他の再生フローや、他の膜種への転用、廃棄処理などへ移行する（８４）。これらの移行先も、「リファレンス・ダミー品」のＮＰＷ品名に対応して予め記憶手段２に記憶されている。
【００９７】
（社外再生・廃棄回収品の説明）
次に、社外再生・廃棄回収品に変更され得るＮＰＷ区分について説明する。
図１１は、社外再生・廃棄回収品についての説明図である。
同図に示す様に、ＮＰＷ区分「社外再生・廃棄回収品」（９０）は、「使用待ち保管品」（９１）、「社内再生・下地作成品」（９２）、「リファレンス・ダミー品」（９３）から変更される様にＮＰＷ品名毎に予め記憶手段２に記憶されている。
【００９８】
なお、以上に述べてきた非製品ウェハのサイクル運用方法を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、各々の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものであってもよい。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。
【００９９】
さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（例えばＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory））のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【０１００】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。
さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【０１０１】
以上、本発明の実施形態を詳述してきたが、具体的な構成は本実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の実施形態に係るＮＰＷのサイクル運用システムの構成図である。
【図２】同上の記憶手段が記憶するデータ構造の概念図である。
【図３】同上の記憶手段が記憶するデータ構造の概念図である。
【図４】同上のＮＰＷの処理経路を示す概念図である。
【図５】同上のロットＩＤとＮＰＷ品名、膜種、ウェハＩＤの関係の一例を示す概念図である。
【図６】同上の社内再生・下地作成品と使用待ち保管品との関係についての説明図である。
【図７】同上の再生回数カウント方法についての説明図である。
【図８】同上の膜種制限についての説明図である。
【図９】同上のリファレンス・ダミー品の引当制限についての説明図である。
【図１０】同上のリファレンス・ダミー品の行き先制限についての説明図である。
【図１１】同上の社内再生・廃棄回収品についての説明図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１；ホストコンピュータ、２；記憶手段、３；搬送手段、４；保管手段、５；ＩＤ検出手段、６；ＮＰＷ立替手段、７；制御端末、８；マスタ情報登録端末、１０，１１；プロセス装置、１２，１３；再生処理装置。
【図１】
2008198842.tif 000003
【図２】
2008198842.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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