(57)【要約】【課題】撮影する画像の品質を低下させる焦点調節の問題のない、ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得する方法を提供すること。【解決手段】ウエハ縁端部の上部表面の高分解能欠陥画像を取得する方法を開示する。そのため、最初にウエハ縁端部の上部表面の少なくとも１つの欠陥の位置を決定し、記憶する。そしてウエハを微視的検査装置に移送し、欠陥をより詳細に検査し、撮像する。微視的検査装置で撮像された画像はディレクトリで保存される。【選択図】図２
2008216248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得する方法であって、
該ウエハ縁端部の上部表面の１以上の欠陥の位置を提供するステップと、
該ウエハを微視的検査装置（micro-inspection）に移送するステップと、
該微視的検査装置において、該ウエハ縁端部に関する該欠陥の位置に基づいて適切な焦点調節方法を選択して、各該欠陥に対して焦点調節するステップと、
該微視的検査装置における該１以上の欠陥を、該欠陥を最もよく検出できるように撮像にあたって選択される各種の倍率を有する複数の対物レンズを含む顕微鏡により撮像するステップと、
該１以上の欠陥画像を記憶するステップと、
を含む方法。
【請求項２】
前記ウエハ縁端部に関する前記欠陥の位置は、ユーザがセットする半径により決定されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記１以上の欠陥の位置の提供は、欠陥画像を記憶したレビューファイル（review file）を用いて行われることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記１以上の欠陥の位置の提供は、巨視的検査装置（macro-inspection）を用いて行われることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記ウエハの全表面が前記巨視的検査装置を用いて取得されることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ウエハは、前記ウエハ縁端部の上部表面の前記１以上の欠陥の位置を決定するための端部検査装置内に移送され、前記１以上の欠陥の位置は該端部検査装置内で決定されることを特徴とする、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、前記ウエハの中心により近い位置にある前記欠陥についてレーザ焦点調節が用いられることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の方法。
【請求項８】
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、前記ウエハの中心により近い位置にある前記欠陥についてＴＶ焦点調節（ＴＶ画面としての焦点調節）が用いられることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の方法。
【請求項９】
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、前記ウエハの縁端部により近くであってウエハ中心により近い位置にある前記欠陥について、最初に実際の欠陥の近傍に位置するＸＹ座標位置に到達（設定）し、この位置でレーザ焦点調節を行い、該レーザ焦点調節をオフにし、この焦点調節で前記欠陥に戻ることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の方法。
【請求項１０】
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、前記ウエハの縁端部により近い位置にある前記欠陥について、最初に現実の欠陥の近傍で前記ウエハの中心により近い場所のＸＹ位置に到達（設定）し、この位置でレーザ焦点調節を行い、該レーザ焦点調節をオフにし、該レーザ焦点調節の焦点位置からやや離れた位置にＴＶ焦点調節し、該レーザ焦点調節の焦点位置の周りである間隔をおいて複数の画像を取得することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一に記載の方法。
【請求項１１】
前記微視的検査装置内で前記ウエハの自動アライメントが行われることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記自動アライメントは素（bare）ウエハで行われることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記自動アライメントは構造的加工後のウエハで行われることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
もし欠陥が、巨視的検査装置の不正確な位置決めにより、現在使用している顕微鏡の対物レンズの視界の範囲外にあるときは、微視的検査装置の上流側に自動的に欠陥をセンタリングするスキャンが追加され、その際欠陥の位置は、参照画像を介してではなく、欠陥画像そのものに対し検出される、ことを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一に記載の方法。
【請求項１５】
Ｚ軸駆動装置は一定の速度で移動され、移動中に画像が取得、評価されることを特徴とする、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
鮮鋭度（ないしデフィニション）基準値に達した時か、Ｚ方向の一移動間隔（Z-Intervall）が終了した後に、最初に記憶したＺ位置を取り、該鮮鋭度に関して最適な画像が記憶されることを特徴とする、請求項１３〜１５のいずれか一に記載の方法。
【請求項１７】
スキャン完了後に前記ウエハの光学検査システムに接続されたカートリッジに前記ウエハが戻され、取得した欠陥の画像はユーザが選択するディレクトリに記憶されることを特徴とする、請求項１〜１６のいずれか一に記載の方法。
【請求項１８】
前記画像はＫＬＡレビューファイル（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社のデータフォーマット）内に参照として保存されることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ドイツの出願公開文献ＤＥ１０２００４０５８１２８Ａ１には、ディスク形状の対象（物体）の検査システムが開示されている。そこに示された装置は、ディスク形状の対象の表裏を同時に検査することができる。
【０００３】
ドイツの出願公開文献ＤＥ１０２００４０５８１２６Ａ１にもディスク形状の対象の表裏の検査装置が開示されている。ウエハの全体領域とともに、ウエハ縁端部もまた画像を撮ることができる。
【特許文献１】ＤＥ１０２００４０５８１２８Ａ１
【特許文献２】ＤＥ１０２００４０５８１２６Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に示された装置はウエハの表（おもて）面の画像を撮ることができ、従ってウエハ縁端部を表示することができるが、そのマクロ（巨視的）表示はウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得することはできない。
特許文献２の装置もウエハ縁端部の上部表面の欠陥の詳細な表示又は撮像をすることはできない。
ウエハ縁端部の欠陥画像の自動撮影には、縁端部（Rand）に近すぎる欠陥には焦点を合わせられないという問題がある。
【０００５】
本発明の課題は、撮影する画像の品質を低下させる焦点調節問題のない、ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得する方法ないし手段を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、本発明の第１の視点において、請求項１の特徴を持つ方法により解決される。即ち、ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像を取得する方法は、該ウエハ縁端部の上部表面の１以上の欠陥の位置を提供するステップと、該ウエハを微視的検査装置（micro-inspection）に移送するステップと、該微視的検査装置において、該ウエハ縁端部に関する該欠陥の位置に基づいて適切な焦点調節方法を選択して、各該欠陥に対して焦点調節するステップと、該微視的検査装置における該１以上の欠陥を、該欠陥を最もよく検出できるように撮像にあたって選択される各種の倍率を有する複数の対物レンズを含む顕微鏡により撮像するステップと、該１以上の欠陥画像を（記憶装置のディレクトリに）記憶するステップと、を含む。（形態１＝基本形態１）
【０００７】
この方法は、ウエハ縁端部の上部表面の１以上の欠陥の位置が最初に決定されると特に有利である。この１以上の欠陥の位置は、例えばウエハの上部表面全体のマクロ（巨視的：makroskopische）画像から決定できる。ウエハ縁端部全体の巨視的画像を生成することも可能である。そして、ウエハ縁端部又はウエハ表面全体の巨視的画像により発見された１以上の欠陥位置が記憶される。そしてウエハはマイクロ（微視的）検査装置（Mikroinspektion）に移送される。この微視的検査装置は、欠陥位置に適切に到達（ないしアクセス）できるように１以上の欠陥の位置データも受け取る。微視的検査装置内では、種々の焦点調節方法を用いて各欠陥に焦点を合わせることができる。欠陥は、カメラを接続した顕微鏡により微視的検査装置内で撮像される。顕微鏡は異なる倍率を持ついくつかの対物レンズを有する。撮像のため、欠陥を最もよく検出できる対物レンズが光路内に（旋回）移動される。最後に、１以上の欠陥の得られた画像が（記憶装置のディレクトリ内）に記憶（格納）される。ウエハ縁端部の上部表面の１以上の欠陥位置の決定のため、ウエハは縁端部検査装置に移送される。縁端部検査装置により、１以上の欠陥位置が決定される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、本発明の好適な展開形態を示す。
ウエハ縁端部に関する欠陥の位置は、ユーザがセットする半径により決定されることが好ましい。（形態２）
１以上の欠陥の位置の提供は、欠陥画像を記憶したレビューファイル（review file）を用いて行うことができる。（形態３）
１以上の欠陥の位置の提供は、巨視的検査装置（macro-inspection）を用いて行うことができる。（形態４）
ウエハの全表面が巨視的検査装置を用いて取得されることが好ましい。（形態５）
ウエハは、ウエハ縁端部の上部表面の１以上の欠陥の位置を決定するための端部検査装置内に移送され、１以上の欠陥の位置は端部検査装置内で決定されることが好ましい。（形態６）
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、ウエハの中心により近い位置にある欠陥についてレーザ焦点調節が用いられることが好ましい。（形態７）
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、ウエハの中心により近い位置にある欠陥についてＴＶ焦点調節（ＴＶ画面としての焦点調節）が用いられることが好ましい。（形態８）
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、ウエハの縁端部により近くであってウエハ中心により近い位置にある欠陥について、最初に実際の欠陥の近傍に位置するＸＹ座標位置に到達（設定）し、この位置でレーザ焦点調節を行い、レーザ焦点調節をオフにし、この焦点調節で欠陥に戻ることが好ましい。（形態９）。
あらかじめ決定された半径の数値に比べて、ウエハの縁端部により近い位置にある欠陥について、最初に現実の欠陥の近傍でウエハの中心により近い場所のＸＹ位置に到達（設定）し、この位置でレーザ焦点調節を行い、レーザ焦点調節をオフにし、レーザ焦点調節の焦点位置からやや離れた位置にＴＶ焦点調節し、レーザ焦点調節の焦点位置の周りである間隔をおいて複数の画像を取得することが好ましい。（形態１０）。
微視的検査装置内でウエハの自動アライメントが行われることが好ましい。（形態１１）
自動アライメントは素（bare）ウエハで行われることが好ましい。（形態１２）
自動アライメントは構造的加工後のウエハで行われることが好ましい。（形態１３）
もし欠陥が、巨視的検査装置の不正確な位置決めにより、現在使用している顕微鏡の対物レンズの視界の範囲外にあるときは、微視的検査装置の上流側に自動的に欠陥をセンタリングするスキャンが追加され、その際欠陥の位置は、参照画像を介してではなく、欠陥画像そのものに対し検出される、ことが好ましい。（形態１４）
Ｚ軸駆動装置は一定の速度で移動され、移動中に画像が取得、評価されることが好ましい。（形態１５）
鮮鋭度（ないしデフィニション）基準値に達した時か、Ｚ方向の一移動間隔（Z-Intervall）が終了した後に、最初に記憶したＺ位置を取り、鮮鋭度に関して最適な画像が記憶されることが好ましい。（形態１６）
スキャン完了後にウエハの光学検査システムに接続されたカートリッジにウエハが戻され、取得した欠陥の画像はユーザが選択するディレクトリに記憶されることが好ましい。（形態１７）
画像はＫＬＡレビューファイル（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社のデータフォーマット）内に参照として保存されることが好ましい。（形態１８）。
なお、本発明の第２の視点において、上記方法を制御する（制御部）（中央ユニット）を有する欠陥の高分解画像を取得する装置（光学検査システム）が提供される。即ち、上記基本形態１の方法をコンピュータにより制御して実行する制御部を中央ユニット（ＣＵ）は兼ねる。中央ユニットは巨視的検査及び微視的検査のための各モジュールを備え、さらに縁端部検査及び／又は表面部検査用の各モジュールを備えることができる。これらの各モジュールは中央ユニットを介して統合されて一つの欠陥の光学検査システムを構成する。
微視的検査装置では、ウエハは自動的に配向調整（アライメント）される。自動配向調整は、素（bare）ウエハ及び構造的加工後（strukturiert）のウエハのいずれでも行われる。
【０００９】
欠陥（複数）の撮像は自動的に行われ、１つの欠陥への焦点調節は（スポット状ないし帯状）レーザ焦点調節方法（もしくはその装置）、ＴＶ焦点調節方法（ＴＶ画面ないし画像フレームとしての焦点調節もしくはその装置）又は両者の組み合わせが用いられる。どちらの焦点調節方法を用いるかは、欠陥がウエハ縁端部に対してどのような位置にあるかによる。
【００１０】
どの位置においてどの焦点調節基準（ないし方法）を用いるかの決定基準は、欠陥位置がウエハ縁端部に対してどのような位置にあるかによる。その際、ユーザはどこから適切な焦点調節基準を用いるかについてウエハの半径をセットないし設定する（festlegen）ことができる。
【００１１】
レーザ焦点調節方法（もしくは装置）は、所定の（設定した）半径値からウエハ中心に近い位置の欠陥に対して専ら用いられる。
【００１２】
所定の半径値よりウエハ縁端部側に位置する欠陥については、最初にウエハ中心により近い位置であって実際の欠陥の近傍に位置する、あるＸＹ座標位置に移動・到達（設定）する。次にその位置でレーザ焦点調節を行い、そしてレーザ焦点調節（装置）をオフにする。こうして決定された焦点調節設定で欠陥（の位置）に戻り、欠陥の画像を取得する。
【００１３】
所定の半径値よりウエハ縁端部側に位置する欠陥については、最初に当該欠陥の位置に対してレーザ焦点調節が行われ、そのレーザ焦点調節に対する焦点位置（Fokuslage）が決定される。レーザ焦点調節（装置）をオフにして、ＴＶ焦点調節をレーザ焦点調節の焦点位置からやや離れた位置（Abstand）に移動する。レーザ焦点調節の焦点位置の周り（付近）である間隔をおいて複数の画像を取得する。
【００１４】
もし欠陥が、巨視的検査装置の不正確な位置決めにより、現在使用している顕微鏡の対物レンズの視界の範囲外にあるときは、微視的検査装置の上流（前段）側に自動的に欠陥をセンタリング（視野の中央に置く：Zentrierung）するスキャン（走査）が追加される。その際、欠陥の位置は参照画像の補助の下に検出するのではなく、欠陥画像そのものに対し検出される。
【００１５】
適切な焦点調節方法を選択するため、最初に、焦点調節しようとする欠陥がウエハ縁端部に向かう所定の半径の外にあるかどうかのテストをする。もしも欠陥が所定の半径内にあればＴＶ焦点調節又はレーザ焦点調節が用いられる。
【００１６】
レーザ焦点調節をオフにした後、最適なレーザ焦点調節のためにＺ軸（方向）駆動装置のＺ位置が記憶される。Ｚ軸駆動装置は、ＴＶ焦点調節（装置）を用いて画像を取得するための初期位置設定に用いられる。その際、ＴＶ焦点調節のための初期位置は、（スポット状ないし帯状）レーザ焦点調節の焦点位置から常にΔＺだけ離れている。ＴＶ焦点調節はレーザ焦点調節の焦点位置周りである間隔をもって移動して行われる。もし鮮鋭度（解像力ないしデフィニション）基準値に到達するか、１つのＺ移動間隔が終了したら、最初に記憶されたＺ位置に再度戻され、その鮮鋭度についての最適な画像が記憶される。スキャンが終了すると、ウエハの光学試験システムに接続するカートリッジにウエハが戻される。得られた欠陥の画像はユーザが選ぶ（記憶装置の）ディレクトリに記憶される。画像はＫＬＡＲＦ（ＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社のデータフォーマットたるＫＬＡのレビューファイル）内に参照（レファレンス）として保存される。
【００１７】
以下に本発明を添付した図面を参照しつつ実施例として説明する。本発明のさらなる特徴、目的及び利点は添付する図面により明らかになるであろう。
【実施例】
【００１８】
図中において、同一の参照番号は、同一又は基本的に同じ効果を有する要素又は機能グループを意味する。
【００１９】
図１はウエハの光学検査システム１（装置）を示す。システム１はモジュラー構成として設計されている。ウエハの種々の光学的及び／又は非光学的検査（試験）を行う複数のモジュール４、６、８及び１０が中央ユニット（ＣＵ）２の周囲に配置されている。中央ユニット自身がウエハの検査をすることもありうる。本質的には、中央ユニット２はさまざまなモジュール４、６、８及び１０へ各ウエハを移送する役目を負う。中央ユニット２は２つの供給（搬送）ポート（Load-Ports）１２にも結合されている。検査されるウエハは供給ポート１２を介してシステム１に供給されうる。中央ユニット２に結合されたモジュール４、６、８及び１０は、ウエハのさまざまな光学的及び／又は非光学的検査を行う。例えば、モジュール４はウエハの巨視的検査を行うことができる。モジュール１０は微視的検査(Mikroinspektion)に用いることができる。例えばモジュール４の巨視的検査で発見されたウエハ上の位置（複数）は、より詳細に調査及び検査することができる。中央ユニット２はまた、モジュール４、６、８及び１０の間でウエハを（行ったり来たり）移送する役目を負う。例えば、ウエハの縁端部検査及び／又は裏面の検査は、中央ユニットに結合されたモジュール６及び／又は８で行うことができる。こうして、ウエハの上部表面の欠陥（複数）の高分解能画像を取得する方法の統合は、微視的検査モジュールに統合することにより達成できる。
【００２０】
図２は、ウエハ１６の表面の巨視的画像を取得するための、本発明に係る１実施例の装置の模式図である。ウエハ１６はウエハホルダ１８に載置されている。ウエハ１６をウエハホルダに固定するための物理的接触要素２０を備えることもできる。ウエハホルダ１８の上に光学スキャナ（撮像装置）３０が配置され、これによりウエハホルダ１８の表面及び即ちウエハホルダ１８（ウエハ１６）上に存在する全ての物体の画像が得られる。光学装置３０はウエハホルダ１８の表面２１の上をメアンダ（ジグザグ）状のパターン経路２８に沿って移動する。
【００２１】
当業者にとっては、ウエハホルダ１８の表面２１又はウエハ１６のみの画像取得のためには他の配置構成も可能であることは明らかである。ウエハホルダ１８の表面２１の光学的撮像のための配置には、光線３２を放射する光源３１が含まれる。照明領域３３は、ウエハホルダ１８の表面２１上に形成され、ウエハホルダ１８と撮像装置３０との相対運動に伴いメアンダ状経路２８に沿って、ウエハホルダ１８の表面２１を横断的に移動する。ウエハホルダ１８の表面２１からの（反射）光３４は、各照明スポット３３の画像を取得するカメラ３５に到達する。各照明スポット３３の画像はつなぎ合わされてウエハホルダ１８即ちウエハ１６の全体画像が形成される。ウエハの縁端部（領域）１４もウエハ１６全体の画像中に見ることができる。撮像装置３０は、構造的加工されたウエハ及び（構造化されていない）素（bare）ウエハのいずれの表面も撮像できる。
【００２２】
ウエハの全表面を１回のスキャンで撮像することも考えられる。これは例えば通常の原型（オリジナル）を複製（Kopie）のためにスキャンするようなものである。
【００２３】
図３は、ウエハ１６の縁端部領域１４のみを撮像する装置の模式図である。ウエハは図３中の矢印４１の方向に回転される。ウエハ１６は図示しない回転手段で回転される。ウエハ１６の縁端部領域１４の画像を撮像するためのカメラ４２が、縁端部領域１４に向かい合って配設される。ウエハ１６の縁端部領域１４は、ウエハ１６がカメラ４２の下部を通過する際に撮像される。光源４０は、ウエハ１６の縁端部領域１４を照明するようにカメラ４２及び／又はウエハ１６に関連して配設される。ウエハ１６が３６０°を少し超える程度に回転すると、ウエハ１６の縁端部領域１４の画像が得られる。欠陥は撮像された縁端部領域の中に検出され、その正確な位置が回転角度とカメラ画像中の欠陥の位置との関数として関係付けられる。縁端部領域１４はユーザによって半径を規定してセットされる。従来からの焦点調節方法がこの半径範囲内のすべての欠陥に対して適用できる。もし欠陥が半径の範囲外即ちウエハ１６の端部により近い場合、修正した焦点調節方法が用いられる。
【００２４】
図４は、ウエハ１６上の欠陥の微視的検査装置５９の１実施例における装置模式図である。微視的検査装置５９においては、ウエハ１６はやはりウエハホルダ１８（内）にセット（挿入）される。微視的検査装置５９とウエハホルダとの間のＸＹ方向の相対的移動が行われ、巨視的検査において発見された個々の欠陥に到達（ないし接近）し、より詳細な検査が行われる。微視的検査装置５９はさらに第１の焦点調節手段５５と第２の焦点調節手段５６を含む。第１の焦点調節手段５５はＴＶ焦点調節装置であり、焦点調節に必要な光はビームスプリッタ（分割器）５３により微視的検査装置５９の光路５０内に（差込み）入射される。第２の焦点調節手段５６はレーザ焦点調節装置を含み、必要な光はビームスプリッタ（分割器）５４により同様に微視的検査装置５９の光路５０内に（差込み）入射される。駆動装置５８がＴＶ焦点調節を用いた連続画像撮像のために備えられ、この駆動装置が顕微鏡とウエハ１６の表面とのＺ軸方向の相対運動を発生させ、ウエハ１６の表面上の欠陥の複数画像がさまざまな焦点位置において連続的に撮像される。
【００２５】
ウエハの光学検査システム１の供給ポート１２（複数）から、ウエハ１６がカートリッジからウエハ表面又はウエハ縁端部領域の撮像手段へ移送される。ウエハ１６の縁端部領域内の各欠陥の位置もまた、ウエハ縁端部ステーション（Waferedge-Station）（図示せず）内で決定されうる。ウエハ縁端部上の各欠陥の位置又は場所の決定は自動的に行われる。図５はウエハ１６の表面の巨視的画像を示す。この場合、ダイ６０（複数）が既に表面に見えている構造化加工後のウエハが示されている。ウエハ１６の巨視的画像では、各欠陥が種々の符号でマークされ示されている。ウエハ１６の表面の巨視的画像では、発見された欠陥が本当に欠陥か否かを必ずしも示すわけではない。より詳細な検査のために、ウエハを微視的検査装置で微視的検査する必要がある。このため、ウエハは巨視的検査装置から微視的検査装置へ移送される。図４に示すように、微視的検査装置５９は、必要に応じ光路内に移動できる複数の対物レンズ５１１、５１２、…５１Ｎを持つ顕微鏡を含む。ウエハ１６の表面又はウエハ１６の縁端部の巨視的画像に基づき、各欠陥の位置が決定される。これらの位置に微視的検査装置５９内において到達せしめ、これらの位置にあると予想される欠陥をより詳細に検査する。微視的検査装置の中でウエハ１６は自動的に配向調整されるか、又は自動アライメント（配向調整）装置にかけられる。こうして微視的検査装置の中でさまざまな分解能による欠陥画像が自動的に取得される。微視的検査装置５９は第１の焦点調節手段５５及び第２の焦点調節手段５６を備える。第１の焦点調節手段はＴＶ焦点調節装置を含み、第２の焦点調節５６はレーザ焦点調節装置を含む。ウエハ１６の縁端部領域１４にはレーザ焦点調節ができない位置がありうる。これらの位置には特別なＴＶ焦点調節を用いる必要がある。微視的検査装置５９に２０倍の対物レンズ５１１を用いた場合、撮像の前に欠陥の自動センタリングスキャン（欠陥を画像の中央に位置させること：Defektzentrierung）を行う必要がある。この際、欠陥位置は参照画像を介してではなく、欠陥画像それ自体によって決定される。スキャンが完了すると、ウエハ１６は供給ポート１２のカートリッジ内に戻される。画像はユーザが選択する（記憶装置に設定された）ディレクトリに記憶され、ＫＬＡＲＦ内に参照として保存される。ウエハ縁端部の欠陥画像が自動的に取得される場合、あまりに縁端部に近い欠陥には焦点調節できない問題がある。この場合、レーザ焦点調節をオフにし、（その箇所（状態）での）Ｚ位置を記録する。画像取得のための開始位置のために、Ｚオフセットが移動により設定される。Ｚ方向の移動は駆動装置５８により一定の速度で行われる。移動の間に、画像（複数）が取得され、評価される。所定の鮮鋭度（分解能ないしデフィニション）基準値に注目し、この基準が満足されたとき又は領域全体が完全にカバーされたとき、最初に記憶したＺ位置（レーザ焦点調節がオフされた時点の）にもどる。
【００２６】
ウエハ縁端部の上部表面の欠陥の高分解能画像をユーザが介入することなく自動的に取得するためには、検査対象たる欠陥が所定の半径の外にあるかどうか確認する必要がある。即ち当該欠陥の位置に対応した焦点調節方法を用いる必要がある。欠陥が半径内にある場合、（通常の）欠陥のためのレーザ焦点調節方法が用いられる。しかし欠陥が当該半径の外にある場合、最初に実際の欠陥の近傍のＸＹ位置へ移動・到達する。この位置はウエハ１６の中心により近く、レーザ焦点調節方法により焦点調節される。レーザ焦点調節装置がオンされ、焦点調節が完了するまで少し待つ。次いでレーザ焦点調節装置がオフされ、欠陥のＸＹ座標にアクセス（到達）する。端部の欠陥にはＴＶ焦点調節方法が用いられ、最適な画像が記憶される。
【００２７】
図６は、ウエハ１６の縁端部１４の近傍にある欠陥７０を示す。欠陥７０は完全に包囲されて（umschlossen）いる場合にのみ検出される。「完全に包囲されている」とは、欠陥７０がカメラで撮像された領域７３の中に欠陥全体が位置していることを意味する。さらに、欠陥７０は画像領域７３の２つの画像境界７２と交差してはならない。
【００２８】
図７は、低倍率の対物レンズで撮像された欠陥８０の画像を示す。ここでは欠陥８０に加えてダイ構造が画像領域７３内に現れるという問題がある。それによってダイ構造が欠陥として検出されてしまうのである。ウエハ上の欠陥の位置に応じて、ダイ構造は画像領域７３のあらゆる箇所（部分）に現れうる。欠陥８０の位置に応じて、画像領域７３の（構造が予想される）一部は、欠陥の検出操作から除かれる。これに代替するものとして、画像領域７３から構造が必ず見えなくなる倍率の対物レンズを、欠陥のセンタリング（欠陥を画像領域の中央におくこと：Defektzentrierung）に用いるということも可能である。
【００２９】
図８は、画像領域７３が全体として均一でないために、小さな欠陥９０が正確に検出できないという問題点を示す。これは主に湾曲した傾斜をもつウエハ縁端部自身が原因である。１つの方法としては、所定の最低サイズ以上の大きさの欠陥のみを欠陥として検出することである。図８には、例えば１０倍の対物レンズを用いることによって生じる更なる問題を示す。これは、複数の欠陥９０が視野７３内にある場合にしばしば生じる。即ち、これらのどの欠陥をセンタリングすべきかということが問題となるのである。１つの方法としては、センタリングすべき１つの欠陥を特定するために、いくつかの欠陥基準（例えば縦横比ないしアスペクト比）を選択することである。
【００３０】
図９は、ウエハ縁端部近傍の低コントラスト欠陥１００によって生じる更なる問題を示す。これに対する１つの解決方法としては、欠陥検出のための閾値を導入することである。もし潜在的欠陥（真の欠陥の可能性がある欠陥）のコントラスト値がこの閾値を超えれば、この潜在的欠陥を真の欠陥と特定する。もし潜在的欠陥のコントラスト値がこの閾値を下回れば、この潜在的欠陥は真の欠陥と特定又は分類されない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係るウエハの１光学検査システム例の模式図を示す。
【図２】ウエハの全表面の全体画像を取得するための、本発明に係る１実施例の模式図である。
【図３】ウエハ縁端部の上部表面の全体画像（巨視的画像）を取得するための、本発明に係る１実施例の模式図である。
【図４】選択した欠陥の微視的検査装置の、本発明に係る１実施例の模式図である。
【図５】本発明に係る、ウエハの上部表面の巨視的画像の一例の模式図である。
【図６】ウエハ縁端部近傍にある、実線で囲まれた範囲に検出された欠陥画像の１例である。
【図７】ＤＩＥ構造の一部が見える、ウエハの上部表面の欠陥画像の１例である。
【図８】視野内に複数の欠陥が見えるウエハ縁端部の欠陥画像の１例である。
【図９】ウエハ縁端部の近傍に位置する低コントラスト欠陥が見えるウエハ縁端部の画像の１例である。
【符号の説明】
【００３２】
１  ウエハの光学検査システム
２  中央ユニット（Zentraleinheit）
４、６、８、１０  モジュール
１２  搬送（供給）ポート
１４  縁端部領域（Rand）
１６  ウエハ
１８  ウエハホルダ
２０  物理的接触要素
２１  ウエハホルダ上の表面
２８  ジグザグ(メアンダ)状の行路
３０  光学スキャナ（光学装置、撮像装置）
３１  光源
３２  光線
３３  照明スポット
３４  表面からの光
３５  カメラ
４０  光源
４１  矢印
４２  カメラ
５０  光路
５１  対物レンズ
５２  顕微鏡
５３、５４  ビームスプリッタ
５５  第１の焦点調節手段
５６  第２の焦点調節手段
５８  駆動装置
５９  微視的検査装置（Mikroinspektion）
６０  ダイ
７０、８０、９０、１００  欠陥
７２  画像境界
７３  画像領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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