(57)【要約】【課題】磁気転写装置又は光学式検査装置の可動部に使用されるグリースの選定方法を確立すること。【解決手段】本発明は、磁気記録媒体上の傷又は不純物を光学的に検査するための光学式検査装置において、光学式検査装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であるグリースを使用することを特徴とする。【選択図】図２
2008027574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体上の傷又は不純物を光学的に検査するための光学式検査装置において、該光学式検査装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とする光学式検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サーボ信号を磁気記録媒体に磁気的な転写技術により書き込むための磁気転写装置、及び、磁気記録媒体表面の状態を検査する光学式検査装置に使用されるグリース剤に関する。特に本発明は、現在コンピュータの外部記憶装置として主流になっている磁性膜を記録材料として用いるハードディスクドライブにおいて、磁気記録媒体表面に書き込まれているデータ書込み／読出しヘッドの位置決め用サーボ信号を磁気記録媒体に磁気的な転写技術により書き込むための磁気転写装置、及び、磁気転写前後の磁気記録媒体表面の傷や、コンタミネーションの状態を検査する光学式検査装置に使用されるグリース剤に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータの外部記憶装置として使用されているハードディスクドライブでは、回転している磁気記録媒体表面上を、磁気ヘッドがスライダーと呼ばれる浮上機構によって磁気記録媒体の表面から数十ｎｍの距離を保って浮上しながらデータの記録及び再生が行われている。例えば、磁気記録媒体上には、同心円状に配置されたデータトラックがあり、データの記録／再生用磁気ヘッドが、このデータトラックの目的の場所に高速に移動、位置決めされ、このデータトラックにビット情報を書き込むか、データトラックにすでに書き込まれているビット情報を読み取ることによりデータの記録及び再生が行われる。
【０００３】
また、磁気記録媒体上には、磁気ヘッドとデータトラックとの相対位置を検出するための位置決め信号（サーボ信号）が同心円状に書き込まれており、データの記録再生を行っている磁気ヘッドが一定時間間隔で自分の位置を検知している。このサーボ信号の中心が、磁気記録媒体の中心（又は磁気ヘッド軌道の中心）から偏芯しないように、ハードディスク装置に媒体を組み込んだ後にサーボライターと呼ばれる専用の装置を用いてサーボ信号が媒体に書き込まれている。このサーボライターでの書き込みは、例えばサーボ信号書き込み用ヘッドを用いて、磁気記録媒体にサーボ信号を書き込むことによって実施される。
【０００４】
一方、ハードディスク装置は、現在、開発段階のもので記録密度が２０Ｇｂｉｔｓ／ｉｎ2に達するとともに年率６０％以上の速さで記録密度が増加している。これに伴い、磁気ヘッドが自分の位置を検知するサーボ信号の密度も上昇しており、上記サーボライターでの書き込み時間も年々増加する傾向にある。このサーボ信号の書き込みの時間の増加は、ハードディスク装置の生産性を低下させ、コストの増加をもたらす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したサーボ信号の書き込み時間の増加を回避するために、最近では、磁気転写装置によりサーボ信号を一括して媒体に記録する転写方式が提案されており、この技術開発が行われている。磁気転写によるサーボ信号の書き込みでは、磁気記録媒体表面上に傷やコンタミネーションがあると転写に不都合が生じるため、磁気記録媒体を予め、光学式検査装置により検査する。
【０００６】
磁気転写装置及び光学式検査装置には、磁気記録媒体を搬送したり、磁気記録媒体に対して磁気転写や検査を行うために、種々の可動部が存在する。この可動部にはグリースのような潤滑剤が塗布されている。このグリースは、可動部が動作する際の摩擦や、装置全体の温度の上昇によりガスなどを発生することがある。このようなガスは、磁気転写又は検査される磁気記録媒体表面に付着し、磁気転写又は検査の際に悪影響を及ぼす。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、磁気転写装置又は光学式検査装置の可動部に使用されるグリースの選定方法を確立することにある。
【０００８】
本発明は、磁気記録媒体上の傷又は不純物を光学的に検査するための光学式検査装置において、該光学式検査装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とする光学式検査装置に関する。
【０００９】
本発明に従った光学式検査装置は、例えば図２に示される装置を挙げることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、参考例としての磁気転写装置又は本発明の光学式検査装置に使用するグリースから発生されるイオウ系ガスの濃度を一定以下に制限するようにしたことにより、高温高湿環境下に放置した場合でも、これら装置にかけられた磁気記録媒体は、損傷、腐食等を受けることなく磁気記録媒体の製造をより効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に本発明を詳細に説明する。
まず、参考例としての磁気転写装置（第一の発明）について説明する。
この磁気転写装置は、磁気記録媒体にサーボ信号を磁気的に転写することによりサーボ信号を記録する磁気転写装置において、該磁気転写装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明で使用されるグリースとして好ましいものは、後述する実施例で説明するグリースの分析で、イオウ系ガスの発生が０．５ｐｐｂ以下の濃度に抑えられるグリースである。本発明では、これ以上の濃度のイオウ系ガスが発生するグリースを使用した磁気転写装置で磁気記録媒体に磁気転写した場合、得られた磁気記録媒体が、高温高湿条件下で腐食を受けるという不都合を生じる。
【００１３】
本発明で使用可能なグリースは、例えば、ＴＨＫ（株）製ＡＦＥグリースのようなグリースを挙げることができる。
【００１４】
次に、図１を参照して第一の発明について説明する。図１は、本発明に従ったグリースを使用することができる磁気転写装置の概略図であり、本発明の一例を表す。以下では、図１を用いて本発明を説明するが、本発明はこの磁気転写装置に限定されない。本発明に従ったグリースは、このような装置の可動部分に使用される。
【００１５】
例えば、図１に示される磁気転写装置１００は、カセット１０４を有するカセットステージ１０２、該カセット１０４に収納される磁気記録媒体、ディスクリフター部１０６、磁気記録媒体を搬送するスレーブハンドラ１０８、転写作業に使用されるインデックス部１１０、マスターディスクを操作するマスタハンドラ１１８、及び転写を行う転写ステージ１２０を有している。これら各部は、回転機構、昇降機構などの種々の可動部を有しており、これらの可動部に本発明に従ったグリースを使用する。具体的には、カセット移動機構、ディスクリフター部１０６のアクチュエータ、マスターハンドラ１１８のアクチュエータのような部位に本発明に従ったグリースを使用することができる。
【００１６】
本発明では、本発明に従ったグリースを使用する磁気転写装置を開示する。この磁気転写装置及び磁気転写の工程を図１に従って説明する。
【００１７】
磁気転写装置１００は、上述のように、磁気記録媒体をカセット１０４に収納したカセットステージ１０２、カセット１０４から磁気記録媒体を上昇させ、該カセットに降下させるディスクリフター部１０６、該ディスクリフター部からインデックス部１１０まで磁気記録媒体を搬送するスレーブハンドラ１０８、４段階で磁気転写作業を実施するインデックス部１１０、マスターハンドラ１１８及び転写を行う転写ステージ１２０から構成される。
【００１８】
磁気記録媒体は、後述するような磁気記録媒体である。例えば、外部記録装置であるハードディスク装置などを挙げることができるが、本発明ではこれに限定されない。
【００１９】
カセット１０４は、磁気記録媒体を収納するための容器である。このカセット１０４は、例えばハードディスク用の磁気記録媒体を、例えば２５枚程度収納できる。このカセット１０４を１乃至複数カセットステージ上に配置し、磁気転写装置にセットし、磁気転写を行う。
【００２０】
ディスクリフター部１０６は、磁気記録媒体を保持し、昇降させることができるものである。例えば、半円形の凹部を有する保持機構で、該凹部に沿ってＶ字状の溝を形成したものであればよい。また、ディスクリフター部は、カセット１０４の下部の空隙部に配置され、カセット１０４に収納された磁気記録媒体を昇降させる。
【００２１】
スレーブハンドラ１０８は、ディスクリフター部１０６とインデックス部１１０の間を移動自在に構成され、移動方向と平行に回動自在に構成される。スレーブハンドラ１０８は、磁気記録媒体を保持しつつ、これをディスクリフター部１０６からインデックス部１１０に搬送する。従って、スレーブハンドラ１０８は、磁気記録媒体を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであればよい。
【００２２】
また、スレーブハンドラ１０８は、転写前の磁気記録媒体と、磁気記録が転写された磁気記録媒体の両方を保持できるように、直線上の１８０度相反する側に一対の保持機構を有することが好ましい。
【００２３】
インデックス部１１０は、４本のアームが直角に組み合わされた構造を有し、各アームの先端部には、磁気記録媒体を保持するための機構、例えば吸着ヘッドを有する。このインデックス機構が間欠的に１回転する間に４段階の転写作業が行われる。転写作業は、待機ステージ１１２、スレーブ位置測定ステージ１１４、初期化ステージ１１６、転写ステージ１２０の４段階で構成される。また、本発明に従った磁気転写装置１００は、マスターハンドラ１１８を有しており、磁気転写に使用するマスターディスクの装着及び脱着などが行われる。
【００２４】
次に、上記構成の磁気転写装置による磁気転写工程について説明する。
まず、磁気記録媒体は、カセットステージ１０２の下部の空隙部に配置されたディスクリフター部１０６によって、カセット１０４の下部側から上部に突出される。この記録媒体は、スレーブハンドラ１０８により保持され、インデックス部１１０の待機ステージに待機しているインデックス部のアームに渡される。
【００２５】
ここで、磁気記録媒体は、スレーブハンドラ１０８によりインデックス部１１０付近まで運ばれるが、この磁気記録媒体は、インデックス部１１０のアーム側にはなく、ディスクリフター部１０６の側にある。従って、磁気記録媒体を、インデックス部のアームに引き渡す際に、スレーブハンドラ１０８が磁気記録媒体の搬送方向と平行に回転し、磁気記録媒体をディスクリフター部側に向け、インデックス部のアームに引き渡す。引き渡しは、例えばスレーブハンドラ１０８が上記のような空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであり、インデックス部のアームが吸着ヘッドよりなる場合、以下のように行われる。まず、吸着ヘッドのエアー引き込み動作を開始して磁気記録媒体を吸着し、引き続いて、空気圧の調節により中心孔にある爪を閉じ磁気記録媒体をインデックス部のアームに引き渡す。
【００２６】
インデックス部１１０に保持された磁気記録媒体は、４段階のステージの間を９０度ずつ間欠的に回転することにより移動する。まず、スレーブ位置測定ステージ１１４では、吸着保持された磁気記録媒体の中心位置を測定する。その測定結果に従って、転写ステージ１２０でマスターディスクと中心位置を合わせた状態で密着できるように位置調整を行う。次の初期化ステージ１１６は、磁気消去を行う。転写ステージ１２０では磁気転写用のマスターディスクが磁気記録媒体に密着され、磁気パターンの転写が行われる。
【００２７】
転写が終了するとインデックス部のアームにより、磁気パターンが転写された磁気記録媒体（以下、転写済み磁気記録媒体とも称する。）が前記待機ステージ１１２に運ばれる。待機ステージ１１２では、先に説明した、スレーブハンドラ１０８からインデックス部のアームへの磁気記録媒体の受け渡しとは逆の操作により転写済み磁気記録媒体をスレーブハンドラ１０８に受け渡す。
【００２８】
磁気転写操作を連続して行う場合には、スレーブハンドラ１０８は、上述のように相反する側に一対の保持機構を有するので、カセットステージ１０２に向いた側に磁気転写をしていない磁気記録媒体を保持している。スレーブハンドラ１０８が転写済みの磁気記録媒体を受け取った後、スレーブハンドラ１０８は磁気記録媒体の搬送方向と平行に回転し、転写済みの磁気記録媒体をカセットステージ１０２側に向け、同時に、インデックス部のアーム側に向けられた磁気転写前の磁気記録媒体を上述のようにインデックス部のアーム側に引き渡す。転写済みの磁気記録媒体は、スレーブハンドラ１０８によりディスクリフター部１０６まで運ばれ、ディスクリフター部１０６に引き渡された後、ディスクリフター部１０６が下降してカセット１０４に収納される。
【００２９】
以上の操作を繰り返し、図１に示す磁気転写装置により、磁気記録媒体への磁気パターンの転写が連続的に行われる。
【００３０】
なお、磁気記録媒体は、磁気転写が施される側がマスターディスクに密着されるように予め向きをそろえておく。
【００３１】
次に、図３を参照して磁気記録媒体への磁気転写の工程を具体的に説明する。
磁気転写は、磁気消去の工程（上記初期化ステージ１１６）と、マスターディスクと磁気記録媒体を密着させ、磁気パターンを転写する工程（上記転写ステージ１２０）の２段階で行われる。図３（ａ）は、磁気消去の工程を示し、図３（ｂ）は磁気転写の工程を示す。
【００３２】
磁気消去は、外部磁石３０４を磁気記録媒体３００の表面上を表面に沿って１回転させることにより行う。これにより、外部磁石３０４の磁界３０６により磁気記録媒体の磁気を消去する。
【００３３】
磁気パターンの転写は、マスターディスク３０２を磁気記録媒体３００に密着させた状態で、上記の磁気消去とは逆方向の磁界３０８の外部磁石を、マスターディスク側からマスターディスクの表面に沿って１回転させることにより行う。
【００３４】
本発明で使用しうるマスターディスクの１例を図４に示した。マスターディスクの基板は、例えばケイ素であるが、これに限定されない。この基板に、所定の磁気転写パターン（例えば図４の４０８）を形成する。転写パターンは、例えばフォトリソグラフィのような方法で表面をマスクし、エッチングにより図４に示したような転写パターン４０８を形成し、次いで、磁気転写パターンの部分４０８にコバルト（Ｃｏ）のような磁性材料（これに限定されない。）の膜を蒸着のような方法で形成し、最後にマスクを除去することにより形成される。
【００３５】
このようなマスターディスクを用いて磁気転写された磁気記録媒体は、例えば、図５に示すような磁気転写パターン（サーボ信号）を有する磁気記録媒体３００となる。図５に示されるように、転写済み磁気記録媒体３００は、転写された磁気パターン領域５０２を有し、有効である最内周径（転写磁気パターン有効最内周径５０４）と、最外周径（磁気転写パターン有効最外周径５０６）を有する。これ以外の部分には有効なパターンは形成されない。また、磁気記録媒体３００は、中心孔５０８を有しており、これに例えば、上記スレーブハンドラ１０８の保持機構の爪なとが固定される。
【００３６】
次に、光学式検査装置（第二の発明）について説明する。
この光学式検査装置は、磁気記録媒体上の傷又は不純物を光学的に検査するための光学式検査装置において、該光学式検査装置に使用されるグリースのイオウ系ガスの発生量が０．５ｐｐｂ以下であることを特徴とするものである。
【００３７】
本発明で使用されるグリースとして好ましいものは、後述する実施例で説明するグリースの分析で、イオウ系ガスの発生が０．５ｐｐｂ以下の濃度に抑えられるグリースである。具体的なグリースは、上記第一の発明で例示したとおりである。本発明では、これ以上の濃度のイオウ系ガスが発生するグリースを使用した光学式検査装置で磁気記録媒体を検査した場合、検査後の磁気記録媒体が、高温高湿条件下で腐食を受けるという不都合を生じる。
【００３８】
次に、図２を参照して第二の発明について説明する。図２は、本発明に従ったグリースを使用することができる光学式検査装置の概略図であり、本発明の一例を表す。以下では、図２を用いて本発明を説明するが、本発明はこの光学式検査装置に限定されない。本発明に従ったグリースは、このような装置の可動部分に使用される。
【００３９】
例えば、図２に示される光学式検査装置２００は、投入・取り出しコンベア２０２、カセット２０４をカセットテーブル２０８に移載するカセット移載機２０６、該カセット２０４に収納された磁気記録媒体２１２を昇降させるためのリフター２１０、磁気記録媒体２１２をハンドラ２１６に受け渡すための受け渡しインデックス２１４、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８に搬送するハンドラ２１６、磁気記録媒体２１２を乗せる検査用スピンドル２１８、及び光学系を有する。光学系は、検査対象である磁気記録媒体２１２に光を照射する検査光学系２２０及び照明光学系２２２、磁気記録媒体２１２から反射された光を観察する観察光学系２２４、並びに光学系の焦点を合わせるためのオートフォーカス軸（ＡＦ軸）を有する。これら各部は、回転機構、昇降機構などの種々の可動部を有しており、これらの可動部に本発明に従ったグリースを使用する。具体的には、カセットテーブル２０８のアクチュエータ、ディスクリフター部２１０のアクチュエータ、検査ステージ２２８の移動機構のような部位に本発明に従ったグリースを使用することができる。
【００４０】
本発明では、本発明に従ったグリースを使用する光学式検査装置を開示する。この光学式検査装置及びこの光学式検査装置を用いての磁気記録媒体の検査の工程を図２に従って説明する。
【００４１】
光学式検査装置２００は、検査対象である磁気記録媒体２１２以外では、上述のようなに、投入・取り出しコンベア２０２、カセット２０４、カセット移載機２０６、カセットテーブル２０８、ディスクリフター部２１０、受け渡しインデックス２１４、ハンドラ２１６、検査用スピンドル２１８、検査対象である磁気記録媒体に光を照射する検査光学系２２０及び照明光学系２２２、磁気記録媒体から反射された光を観察する観察光学系２２４、並びに光学系の焦点を合わせるためのオートフォーカス軸（ＡＦ軸）から構成される。
【００４２】
投入・取り出しコンベア２０２は、未検査の磁気記録媒体２１２を収納したカセット２０４を製造ラインから搬入し、検査された磁気記録媒体２１２を収納したカセット２０４を搬出するためのものである。
【００４３】
カセット２０４は、磁気記録媒体２１２を収納するための容器である。磁気記録媒体２１２を、例えば２５枚収納することができる。
【００４４】
カセット移載機２０６は、カセット２０４をカセットテーブル２０８に搬送するための機構である。カセット移載機２０６は、カセット２０４を保持するための保持具を有し、昇降及び回動自在に構成され、カセット２０４をカセットテーブル２０８に移載する。カセット移載機２０６は、複数のカセット２０４を一度に移載することができるように構成してもよい。
【００４５】
カセットテーブル２０８は、磁気記録媒体２１２を収納できるカセット２０４を検査装置にセットするためのものである。カセット２０４を１乃至複数カセットテーブル２０８上に配置し、光学検査装置２００にセットし、検査を行う。
【００４６】
リフター２１０は、磁気記録媒体２１２を保持し、これを光学式検査装置２００の上下方向に昇降させることができるものである。例えば、リフター２１０は磁気記録媒体２１２を保持する機構を有しており、これは例えば、半円形の凹部を有する保持機構で、該凹部に沿ってＶ字状の溝を形成したものであればよい。また、リフター２１０は、カセット２０４の下部の空隙部に配置され、カセット２０４に収納された磁気記録媒体２１２を上下方向に昇降させる。
【００４７】
磁気記録媒体２１２は、後述するような磁気記録媒体である。例えば、磁気記録媒体として、外部記録装置であるハードディスク装置などに使用するものを挙げることができるが、本発明ではこれに限定されない。
【００４８】
受け渡しインデックス２１４は、リフター２１０により保持された磁気記録媒体２１２をハンドラ２１６に受け渡すための機構である。該受け渡しインデックス２１４は、リフター２１０に保持された磁気記録媒体２１２を、図２に示されるように該磁気記録媒体の表面が天井側に向くように回転できるように、又はその逆に回転できるように構成されている。また、受け渡しインデックス２１４は、Ｘ−Ｙステージのような機構により、光学式検査装置２００の装置面に平行な面で移動が可能になっている（図２参照）。さらに、受け渡しインデックス２１４は、磁気記録媒体２１２を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであればよい。
【００４９】
ハンドラ２１６は、受け渡しインデックス２１４から磁気記録媒体２１２を保持しつつ、検査用スピンドル２１８へ該磁気記録媒体２１２を搬送することができるものである。従って、このハンドラ２１６は、磁気記録媒体２１２を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば磁気記録媒体の外周部を爪により保持するものであればよい。この爪は、例えば空気圧で開閉されるものとすることができる。
【００５０】
また、ハンドラ２１６は、図２に示すように、検査前の磁気記録媒体と、検査後の磁気記録媒体の両方を保持できるように、２つのアーム２１５により構成されていてもよい。このアーム２１５は、該アームを支持する支持体２１９により上下に自在に昇降することが可能であり、さらに、後述する検査用スピンドル２１８の、磁気記録媒体２１２を乗せる面と平行な面内を３６０度回動することも可能である。また、このアーム２１５は、図２に示されるように、複数の接続部２１７により前記回動面と平行な面内で、接続部２１７を中心にして自在に回動する複数の部分から構成される。このような機構を有することにより、このハンドラ２１６は、受け渡しインデックス２１４から検査用スピンドル２１８へ正確に磁気記録媒体を搬送することができる。
【００５１】
検査用スピンドル２１８は、検査される磁気記録媒体２１２を乗せ、保持するための機構である。この検査用スピンドル２１８は、磁気記録媒体２１２を乗せる面に、例えば吸着ヘッドを有し、磁気記録媒体２１２の検査面とは反対側の面の内周側を吸着することにより、磁気記録媒体２１２を保持し、固定する。この検査用スピンドル２１８は、回転機構を有しており、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８で回転することができる。
【００５２】
検査光学系２２０及び照明光学系２２２は、検査スピンドル２１８上の磁気記録媒体２１２に検査用の光、例えばレーザー光を照射するための機構である。
【００５３】
観察光学系２２４は、検査光学系２２０から照射された光のうち、磁気記録媒体表面２１２から散乱された光を観測し、磁気記録媒体２１２上に腐食や傷に基づく欠陥が存在するか否かを観測するための光学系である。
【００５４】
ＡＦ軸２２６は、上記光学系のフォーカスを自動調節する機構である。
【００５５】
検査ステージ２２８は、磁気記録媒体２１２の位置を調節するための機構であり、例えばＸ−Ｙステージなどである。この検査ステージ２２８上に検査スピンドル２１８が配置されている。
【００５６】
次に、上記構成の光学式検査装置２００による磁気記録媒体２１２の検査の工程について図２を参照しながら説明する。
【００５７】
まず、磁気記録媒体２１２を収納したカセット２０４が、製造ラインから投入・取り出しコンベア２０２に搬送される。この、カセット２０４は、カセット移載機２０６により、カセットテーブル２０８に移載される。このカセットテーブル２０８で、カセットテーブル２０８の下部の空隙部に配置されたリフター２１０によって、磁気記録媒体２１２がカセット２０４の下部側から上部に突出される。この磁気記録媒体２１２は、受け渡しインデックス２１４により保持される。受け渡しインデックス２１４は、磁気記録媒体２１２を保持する機構を有する。この機構は、特に限定されず、例えば空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであればよい。
【００５８】
受け渡しインデックス２１４は、リフター２１０により保持された磁気記録媒体２１２を、図２に示されるように該磁気記録媒体２１２の表面が天井側に向くように回転できるように、又はその逆に回転できるように構成されている。また、受け渡しインデックス２１４は、Ｘ−Ｙステージのような機構により、光学式検査装置２００の装置面に平行な面で移動が可能になっている（図２参照）。このような構成により、リフター２１０からハンドラ２１６の位置に磁気記録媒体２１２を搬送することができる。例えば、リフター２１０に保持された磁気記録媒体２１２の内周径に、上記のような空気圧で開閉する爪を挿入し、空気圧によりこの爪を開き、受け渡しインデックス２１４に磁気記録媒体２１２を固定する。次に、受け渡しインデックス２１４を、天井側に向けて９０度回転させ、磁気記録媒体２１２の表面をハンドラ２１６のアーム２１５の回動面内に向ける。そして、磁気記録媒体２１２は、受け渡しインデックス２１４からハンドラ２１６に受け渡される。受け渡しインデックス２１４から磁気記録媒体をハンドラ２１６へ引き渡すには、例えば受け渡しインデックス２１４が上記のような空気圧で開閉される爪により磁気記録媒体の中心孔を保持するものであり、ハンドラ２１６が空気圧によって開閉される爪により磁気記録媒体の外周を保持するものである場合、以下のように行われる。まず、ハンドラ２１６の空気圧を調節してハンドラの爪を閉じ、磁気記録媒体２１２をハンドラのアーム２１５に固定する。次に、受け渡しインデックス２１４の空気圧を調節し、中心孔にある爪を閉じ、磁気記録媒体２１２を受け渡す。
【００５９】
ハンドラ２１６に保持された磁気記録媒体２１２は、先に説明した支持体２１９の昇降及びアーム２１５の回動（接続部２１７を中心とした回動を含む。）動作により、検査用スピンドル２１８に搬送される。搬送は、前記回動面内において、左右のいずれかの方向にアーム２１５を回転させることにより行うことができる。磁気記録媒体２１２は、ハンドラ２１６により検査用スピンドル２１８上に受け渡される。この受け渡しには、例えばハンドラ２１６が空気圧によって開閉される爪により磁気記録媒体２１２の外周を保持するものであり、検査用スピンドル２１８が、例えば吸着ヘッドを有し、磁気記録媒体２１２の検査面とは反対側の内周面を吸着することにより磁気記録媒体２１２を保持する場合、以下のように行われる。まず、ハンドラ２１６を調節し、磁気記録媒体２１２の中心が検査用スピンドル２１８の中心に一致するように配置する。次いで、ハンドラ２１６の空気圧を調節してハンドラの爪を開き、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８に乗せるとともに、吸着ヘッドのエアー引き込み動作を開始して磁気記録媒体２１２を吸着し、固定する。光学式検査装置では、磁気記録媒体２１２を回転させながら検査を行うため、磁気記録媒体２１２の中心と検査用スピンドル２１８の中心は一致している。
【００６０】
磁気記録媒体２１２の検査は、回転された磁気記録媒体２１２上に検査光学系２２０及び照明光学系２２２からレーザー光のような光を照射し、磁気記録媒体２１２の全面をスキャンすることにより行う。磁気記録媒体２１２上に、異物又は傷があれば、レーザー光が散乱される。この散乱光を観察光学系２２４で受光することにより異物の存在、その大きさ、種類などを認識することができる。
【００６１】
検査が終了すると検査用スピンドル２１８から、上記とは逆の操作によりハンドラ２１６のアーム２１５により、検査済み磁気記録媒体２１２が受け渡しインデックス２１４に搬送される。このとき、アーム２１５は、磁気記録媒体２１２を検査用スピンドル２１８に搬送するときと同じ向きに回転させればよい（連続的に検査を行わない場合、逆向きに回転させてもよい。）。さらに、受け渡しインデックス２１４は、上記とは逆の操作により、検査済み磁気記録媒体２１２をリフター２１０に渡し、リフター２１０は、磁気記録媒体２１２を降下させ、カセット２０４に磁気記録媒体２１２を収納する。
【００６２】
検査の操作を連続して行う場合には、ハンドラ２１６は、上述のように、例えば２本のアーム２１５を有しうるので、検査用スピンドル２１８へ磁気記録媒体２１２を搬送する操作と、検査用スピンドル２１８から磁気記録媒体２１２をカセット２０４に回収する操作を同時に行えばよい。この場合、２本のアームは、同じ側に回転する。
【００６３】
なお、磁気記録媒体２１２は、検査される表面の側が検査用スピンドル２１８で光照射されるように予め向きをそろえておく。
【００６４】
次に、参考例としての磁気記録媒体（第三の発明）について説明する。
この磁気記録媒体は、上記第一の発明の磁気転写装置によりサーボ信号が転写されたものである。
【００６５】
まず、磁気記録媒体について説明する。
本発明の磁気記録媒体としては、従来の磁気ヘッドによりサーボ信号を書き込む装置で使用されていた磁気記録媒体をそのまま使用することができる。これに上記第一の発明で説明した磁気転写装置によりサーボ信号を書き込む。
【００６６】
以下に、サーボ信号を書き込んでいない磁気記録媒体（以下、単に磁気記録媒体と称する。）について説明する。磁気記録媒体は、例えば図６に概略断面図を示した磁気記録媒体である。具体的に以下に説明する。
【００６７】
磁気記録媒体は、図６に示されるように、基板６０１、メッキ層６０２、非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び液体潤滑層６０６を順次形成したものである。
【００６８】
基板６０１は、例えば、アルミ合金のブランク材を使用する。この基板にメッキ層６０２であるＮｉ−Ｐメッキを施す。この他、本発明では、基板としてガラス基板、プラスチック製（例えば、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ノルボルネン樹脂等）基板等を使用することが可能である。ガラス基板としては、化学強化しうるガラス基板のようなものを使用することができる。このようなガラス基板の例としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス等の基板を挙げることができる。
【００６９】
以下では、最も一般的なアルミ合金を使用した基板を例に取り、磁気記録媒体について説明する。
【００７０】
上述のようなアルミ合金製基板上にＮｉ−Ｐメッキ（メッキ層６０２）を施し、非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び液体潤滑層６０６を順次形成し、磁気記録媒体とする。非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び液体潤滑層６０６は、従来から使用されている材料を使用することができる。具体的には、非磁性下地層６０３は、例えばＣｒよりなる下地層であり、磁性層６０４はＣｏ合金、例えば強磁性合金であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａなどであり、保護層６０５は、例えばカーボン保護層などであり、更に液体潤滑層６０６はパーフルオロポリエーテル系潤滑剤のようなフッ素系潤滑剤等である。
【００７１】
本発明の磁気記録媒体を図６により説明したが、この構造は一例であり、磁気記録媒体の目的に応じて種々の変更が可能である。また、形状は本発明の磁気記録媒体を使用する機器に合わせることができ、特に限定されない。例えば、ハードディスク装置（ＨＤＤ）に使用されるような磁気記録媒体であれば図６に示したように円盤状の磁気記録媒体であればよい。
【００７２】
本発明の磁気記録媒体は、上述のような磁気転写の行われていない磁気記録媒体に、上記第一の発明の装置により磁気転写をされた磁気記録媒体である。例えば、図５に示される磁気記録媒体を例として挙げることができる。
【００７３】
次に、この磁気記録媒体の製造方法について説明する。
【００７４】
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、アルミ合金材上にメッキ層としてＮｉ−Ｐメッキを施した磁気記録媒体用の基板上に少なくとも磁性層、保護層及び液体潤滑層を形成する工程を具備する。
【００７５】
より具体的には、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録媒体用基板を得る工程、該基板上に少なくとも磁性層、保護層及び液体潤滑層を形成する工程を有する。
【００７６】
磁気記録媒体の基板は、以下のようにして調製することができる。
【００７７】
基板６０１は、例えば、アルミ合金のブランク材を使用する。この他、本発明では、基板としてガラス基板、プラスチック製（例えば、ポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリアクリレート、ノルボルネン樹脂等）基板等を使用することが可能である。ガラス基板としては、化学強化しうるガラス基板のようなものを使用することができる。このようなガラス基板の例としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス等の基板を挙げることができる。
【００７８】
以下では、最も一般的なアルミ合金を使用した基板を例に取り、磁気記録媒体の製造方法について説明する。
【００７９】
アルミ合金のブランク材は、ハードディスク等に通常使用されるものである。例えば、加熱溶融したアルミ合金材料を圧延、加熱焼鈍した後、規定の寸法に加工が行われたアルミ合金のブランク材を使用することができる。次に、表面精度向上のために、このアルミ合金のブランク材をポリッシュ加工して表面を研磨し、Ｎｉ−Ｐメッキ（メッキ層）を施す。メッキは無電解メッキにより行われる。Ｎｉ−Ｐメッキの厚さは、通常の磁気記録媒体に適用される厚さであれば特に限定されないが、例えば１３μｍの厚さとすることができる。
【００８０】
この磁気記録媒体用基板（以下、メッキ層６０２を含めて単に基板とも称する。）に、ポリッシュ及びテクスチャーを施し、表面を研磨加工する。
【００８１】
ポリッシュ−テクスチャーは、例えば、ポリッシュにより表面粗さがＲａ＝１ｎｍ（１０Å）になるように研磨することにより行われる。次いで、ダイヤモンドスラリーを使用したテクスチャーにより、ほぼ同心円状の溝を、表面粗さが例えばＲａ＝３０Åになるように作製する。
【００８２】
次に、得られた基板を洗浄する。洗浄方法は磁気記録媒体用基板の洗浄で通常用いられているものであれば、特に限定されないが、例えば、浸漬法、浸漬振動法、スプレー法など、当分野で用いられる何れの手段で行ってもよい。また、洗浄時間は、洗浄の手段によって異なるが、１から３分が好ましい。
【００８３】
次に、基板上にＬＺＴ加工を行う。ＬＺＴ加工は、当分野で周知の方法により行うことができる。例えば、基板のＣＳＳゾーンに、所定のバンプ高さ及びバンプ径（例えばＢＨ＝２３ｎｍ及びＢＤ＝７μｍ）が施されるように、レーザーによりレーザーゾーンテクスチャーを施すことができる。
【００８４】
この基板の上面に磁気記録を可能とする層構造を積層する。この積層工程では、磁気記録媒体用基板上に非磁性下地層６０３をコートし、その上に磁性層６０４及び保護層６０５を順次形成する。この後、溶媒で希釈した潤滑剤を前記保護層６０５の表面に塗布する。
【００８５】
本発明では、前記非磁性下地層６０３及び前記磁性層６０４は、当分野で一般に使用される材料を用いることができる。例えば、非磁性層としてＣｒ層を用いることができ、前記磁性層６０４としてＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金層を用いることができる。
【００８６】
非磁性下地層６０３、磁性層６０４及び保護膜６０５は、これらが例えばＣｒ非磁性下地層、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ強磁性合金層及びカーボン保護膜である場合、スパッタ法によって形成することができる。また、保護層６０５がカーボン保護層である場合、通常のグラファイトを主体としたカーボン保護層であってもＤＬＣ保護層であってもよい。また、潤滑層６０６は、ディップコート法、スピンコート法等により塗布することができる。
【００８７】
これらの非磁性下地層６０３、磁性層６０４、保護層６０５及び潤滑層６０５の厚さは通常の磁気記録媒体で用いられる厚さである。なお、上記の構成は本発明を限定するものではない。
【００８８】
このようにして得られた磁気記録媒体に対し、上記第一の発明で説明した磁気転写装置により、サーボ信号を書き込む。サーボ信号の書き込みは、上記第一の発明で説明したとおりである。
【００８９】
また、本発明の磁気記録媒体の表面の状態を、例えば上記第二の発明で説明した光学式検査装置を用いて検査することができる。
【実施例】
【００９０】
以下に本発明を実施例により更に詳細に説明する。
【００９１】
＜グリース剤の分析＞
参考例としての磁気転写装置、並びに本発明の光学式検査装置に使用されるグリース剤について、以下のような分析試験を行った。
【００９２】
本実施例では、複数のクリーン環境用グリースを取り上げた。具体的には以下のグリースを用いた。
【００９３】
１）ＴＨＫ製ＡＦＢグリース
２）ＴＨＫ製ＡＦＥグリース
分析は、ＧＣ−ＭＡＳＳ装置により行った。分析手順は以下の通りである。
１）グリースのサンプルを５×６５ｍｍのアルミ板に塗布した。
２）このアルミ板を試料管に入れ、１２ｓｃｃｍのヘリウムを流しながら、１００℃で１０分間加熱した。加熱によりグリースから発生したガスをトラップし、濃縮した後、ＧＣ−ＭＡＳＳ装置（島津製作所ＱＰ５０００）により分析した。
３）分析条件は以下の通りであった。
分析用カラム：シーエル・サイエンス（株）製、ＮＢ５カラム（長さ３０ｍ、外形０．２５ｍｍ、内径０．４μｍ）
カラム槽初期温度：４０℃
気化室温度：２８０℃
インターフェース温度：２８０℃
分析時のカラム槽温度条件：４０℃から２８０℃まで、１０℃／分で昇温
分析結果を上記ＡＦＢグリース（以下グリースＡと称する。）のグリースを用いた場合について示す。図７は、ＧＣの分析結果である。図中７０１から７０５は、上記試験で発生したイオウ系ガスのピークを示す。具体的には、図中７０１はビス（２−メチル−２−プロぺニル）スルフィド（Ｃ8Ｈ14Ｓ、分子量：１４２）、７０２はメチルチイラン（Ｃ3Ｈ6Ｓ、分子量７４）、７０３及び７０４は３，５−ビス（１−メチルエチル）−１，２，４−トリチオラン（Ｃ8Ｈ16Ｓ3、分子量：２０８）、７０５はオクタンチオン酸Ｓ−プロピルエステル（Ｃ11Ｈ22ＯＳ、分子量：２０２）である。これらの化合物の化学式を以下に示す。
【００９４】
【化１】
2008027574.tif 000003
【００９５】
これら５種類の化合物の濃度を、検量線標準物質として２−プロペニルオキシベンゼン（Ｃ6Ｈ5ＯＣＨ2ＣＨ＝ＣＨ2）を使用して計算した。
【００９６】
本実施例で使用したグリースの場合、上記５種類の化合物の合計の濃度は、５．８５ｐｐｂであった。
【００９７】
また、別のグリースである上記ＡＦＥグリース（以下グリースＢと称する。）を分析試料として使用した場合の分析結果を図８に示した。
【００９８】
図中８０１は、オクタンチオン酸Ｓ−プロピルエステルであった。この化合物の濃度は０．３５ｐｐｂであった。
【００９９】
＜磁気記録媒体試験＞
上記２種類のグリースを使用した磁気転写装置を用いて磁気転写を行った。得られた磁気記録媒体を６０℃、相対湿度８０％の高温高湿環境下に１０時間放置し、磁気記録媒体表面の腐食を測定した。本測定では、グリースを新たに使用し始めてから３０００枚目以降の１００枚の磁気記録媒体について上記測定を行った。
【０１００】
その結果、上記グリースＢ（イオウ系ガスの合計濃度が０．３５ｐｐｂのもの）では、腐食が全く見られなかったが、グリースＡ（イオウ系ガスの合計濃度が５．８５ｐｐｂのもの）は、磁気記録媒体１００枚のうち２枚に腐食が見られた。
【０１０１】
また、同様の試験を光学式検査装置についても行い、同様の結果を得た。
【０１０２】
上記結果から、参考例としての磁気転写装置又は本発明の光学式検査装置で使用するグリースは、上記分析方法により分析したイオウ系ガスの総濃度が０．５ｐｐｂ以下であることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】磁気転写装置の概略を示す斜視図である。
【図２】光学式検査装置の概略を示す斜視図である。
【図３】磁気記録媒体へ磁気転写を行う場合の工程を示す概略図であり、（ａ）は磁気消去の場合の工程を表し、（ｂ）は磁気転写の場合の工程を表す図である。
【図４】磁気転写装置に使用されるマスターディスクの概略図である。
【図５】磁気転写された後の磁気記録媒体を表す概略図である。
【図６】磁気記録媒体の概略断面図である。
【図７】本発明に従ってグリースを分析した場合のグリースのガスクロマトグラムである。
【図８】本発明に従って、他のグリースを分析した場合のグリースのガスクロマトグラムである。
【符号の説明】
【０１０４】
１００    磁気転写装置
１０２    カセットステージ
１０４    カセット
１０６    ディスクリフター部
１０８    スレーブハンドラ
１１０    インデックス部
１１２    待機ステージ
１１４    スレーブ位置測定ステージ
１１６    初期化ステージ
１１８    マスターハンドラ
１２０    転写ステージ
２００    光学式検査装置
２０２    投入・取り出しコンベア
２０４    カセット
２０６    カセットステージ
２０８    カセットテーブル
２１０    リフター
２１２    ディスク
２１４    受け渡しインデックス
２１５    アーム
２１６    ハンドラ
２１７    接続部
２１８    検査用スピンドル
２１９    支持体
２２０    検査光学系
２２２    照明光学系
２２４    観察光学系
２２６    ＡＦ軸
２２８    検査ステージ
３００    転写済み磁気記録媒体
３０２    マスターディスク
３０４    外部磁石
３０６    外部磁石の磁極
４０４、５０４    転写磁気パターン有効最内周径
４０６、５０６    磁気転写パターン有効最外周径
４０８    磁気転写パターン領域
５０２    磁気転写パターン領域
５０８    中心孔
６０１    基板
６０２    メッキ層
６０３    非磁性下地層
６０４    磁性層
６０５    保護層
６０６    潤滑剤層
【図１】
2008027574.tif 000004
【図２】
2008027574.tif 000005
【図３】
2008027574.tif 000006
【図４】
2008027574.tif 000007
【図５】
2008027574.tif 000008
【図６】
2008027574.tif 000009
【図７】
2008027574.tif 000010
【図８】
2008027574.tif 000011