(57)【要約】【課題】隔壁に由来する異常放電が発生しにくいＰＤＰを提供する。【解決手段】前面基板と背面基板とが対向して設けられ、前面基板及び背面基板の表面にそれぞれ電極とその電極を覆うように誘電体層が設けられ、前面基板と背面基板の間に隔壁が設けられ、隔壁と前面基板及び背面基板によって形成された空間内に蛍光体が充填され、両基板の周縁部が封着されている構造を有するＰＤＰにおいて、隔壁をガラスとセラミックスフィラーとの混合物により形成し、フィラーの電気抵抗率をガラスの電気抵抗率よりも大きくする。【選択図】図２
2008251316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向して設けられ、周縁部が封着された前面基板及び背面基板と、前記前面基板上に設けられた電極とその電極上に設けられた誘電体層及び前記誘電体層上に設けられた保護層と、前記背面基板上に設けられた電極及びその電極上に設けられた誘電体層と、前記前面基板と前記背面基板の間隙を保持する隔壁と、前記隔壁で形成される空間内に充填された蛍光体とを具備するプラズマディスプレイパネルであって、
前記隔壁がガラスとセラミックスよりなるフィラーとの混合物よりなり、前記フィラーの電気抵抗率が前記ガラスの電気抵抗率よりも大きいことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記ガラスの電気抵抗率が１０７〜１０１１Ωｃｍであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記ガラスが、各成分の酸化物に換算して、Ｖ２Ｏ５：４５〜６５ｗｔ％、Ｐ２Ｏ５：１５〜３０ｗｔ％、ＢａＯ：２〜２５ｗｔ％、Ｓｂ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％の組成比を有し、Ｖ２Ｏ５／Ｐ２Ｏ５の重量比が１．８〜３．０の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記ガラスがナトリウムまたはカリウムを含有し、これらアルカリ金属元素の含有量が、アルカリ金属元素をＲで表したときにＲ２Ｏの酸化物換算で１０ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１又は３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記ガラスがＴｅＯ２を含有し、前記ＴｅＯ２の含有量が５ｗｔ％以下であることを特徴とする請求項１又は３に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記ガラスの量が１０〜７０ｖｏｌ％、前記フィラーの量が３０〜９０ｖｏｌ％であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記フィラーの平均粒子径が１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記フィラーが、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３から選ばれた少なくとも１つよりなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記隔壁の高さが１００μｍ以上５００μｍ以下であり、前記隔壁に形成される表示放電電極対が対向配置になっており、上下の電極により対向放電させるものであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記背面基板上にガラス層を有し、前記ガラス層が前記隔壁と同一材料よりなり、前記ガラス層と前記隔壁が一体となっていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイ装置。
【請求項１１】
格子状の前記隔壁を設けた前記背面基板と前記前面基板を貼り合わせることにより放電空間が確保されており、前記前面基板及び前記背面基板に相対的位置決め用のマーク、凹凸または孔を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
有機フィルム上に形成されたストライプ状あるいは格子状の隔壁を、電極と誘電体層が形成された背面基板に張り合わせ、焼成する工程と、前記隔壁の側面に蛍光体を塗布し焼成する工程と、前記背面基板を電極と誘電体層及び保護層が形成された前面基板に貼り付ける工程と、前記前面基板と前記背面基板を封止する工程を有し、前記隔壁をガラスとセラミックスよりなるフィラーとの混合物により形成し、前記フィラーの電気抵抗率を前記ガラスの電気抵抗率よりも大きくしたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイの動作原理は微細な蛍光灯の集合体のようなものであり、対向する２枚のガラス基板に規則的に配列した一対の電極を設け、その間にＮｅ，Ｘｅ等を主体とするガスを封入した構造になっている。対向する２枚のガラス基板の間には複数の隔壁が配置され、これにより基板間の間隙が保持される。隔壁によって仕切られた空間をセルと称し、各セルにＲ（Ｒｅｄ：赤色），Ｇ（Ｇｒｅｅｎ：緑色），Ｂ（Ｂｌｕｅ：青色）（以後ＲＧＢと記す）のいずれかの蛍光体が充填される。電極間に百数十ボルトの電圧を印加し放電させると紫外線が発生し、各セルの蛍光体が発光する。規則的に並んだセルを選択的に放電発光させることで、画像情報が表示される。
【０００３】
特許文献１には、貫通孔を有する金属薄板の上下表面及び孔内面を酸化アルミニウム等の酸化物セラミックスで被覆したメタル隔壁が記載されている。特許文献２には、貫通孔を有する金属薄板を複数枚積層し、積層された金属薄板の表面に絶縁層を形成した金属隔壁が記載されている。
【０００４】
また、電極を覆うように形成される誘電体層は、電極保護と壁電荷蓄積との両方の必要性から、酸化鉛（ＰｂＯ）または酸化ビスマス（Ｂｉ２Ｏ３）または酸化燐（Ｐ２Ｏ５）を主成分とする低融点ガラスを主な材料としている（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２６６７５１号公報（要約）
【特許文献２】特開２０００−１６４１４４号公報（要約）
【特許文献３】特開２０００−３４８６３０号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
プラズマディスプレイ装置は、複数の放電セルを構成要素とするプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略す）を有しており、放電セル内で放電によりプラズマを生成し、可視光を生成することにより画像を表示する。この際、放電するセルはあらかじめ種電荷によってマーキングされ、そこが放電するしくみになっている。種電荷を逃がさないために、隔壁には絶縁体のガラスが用いられている。
【０００７】
ところが偶発的に、誘電体層あるいは隔壁の壁面に電荷が残留する場合がある。この残留電荷が局部的に集中することにより、異常放電が生じる。通常用いられている隔壁材料は、絶縁性のガラスである場合が多いためである。
【０００８】
また、隔壁の断面形状は通常、長方形または台形であり、これが絶縁性ガラスで形成されている場合、エッジ部に電界が集中する可能性もある。
【０００９】
プラズマディスプレイの今後の動向は、高アスペクト隔壁の採用、および印加電圧を高める方向であり、隔壁の壁面に残留した電荷を除去することもまた重要な課題となる。
【００１０】
本発明の目的は、隔壁に由来する異常放電が発生しにくいＰＤＰ及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前面基板と背面基板とが対向して設けられ、前面基板及び背面基板の表面にそれぞれ電極とその電極を覆うように誘電体層が設けられ、前面基板と背面基板の間に隔壁が設けられ、隔壁と前面基板及び背面基板によって形成された空間内に蛍光体が充填され、両基板の周縁部が封着されている構造を有するＰＤＰにおいて、前記隔壁をガラスとセラミックスフィラーとの混合物により形成し、フィラーの電気抵抗率をガラスの電気抵抗率よりも大きくしたことにある。
【００１２】
本発明は、前記の構成を有するＰＤＰの製造方法であって、有機フィルム上に形成されたストライプ状あるいは格子状の隔壁を背面基板に張り合わせ、焼成する工程と、前記隔壁の側面に蛍光体を塗布し焼成する工程と、前記背面基板を前面基板に貼り付ける工程と、前記前面基板と前記背面基板を封止する工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、異常放電が発生しにくいＰＤＰを提供できる。また、ＰＤＰの隔壁を低温で作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
異常放電を回避する方法としては、隔壁に電気伝導性を付与し、残留電荷を除去することが考えられる。しかし、絶縁性ガラスに導電粒子、例えば金属粒子を混合する手法では、混合された金属粒子の光吸収作用により隔壁壁面の反射率が低下する。これはプラズマディスプレイの発光効率の低下を招く。
【００１５】
本発明の隔壁は、絶縁性のガラスに導電性粒子を混合した隔壁とは区別され、セラミックス粒子を取り巻くガラス相が連続的な高抵抗の導電パスを形成することを特徴としている。
【００１６】
セラミックス粒子間の粒界ガラス相の電気抵抗率は１０７〜１０１１Ωｃｍの範囲内に調整することが好ましい。このような特性を有するガラスを得るために鋭意検討した結果、バナジンリン酸ガラスの組成範囲および添加元素を指定することにより実現できることがわかった。
【００１７】
バナジンリン酸ガラスはガラス形成酸化物Ｖ２Ｏ５＋Ｐ２Ｏ５で構成され、Ｖ２Ｏ５／Ｐ２Ｏ５の重量比がおおむね０．５〜３．２の範囲でガラスとなる。またＶ２Ｏ５／Ｐ２Ｏ５の重量比が大きいほど、すなわちＰ２Ｏ５に対するＶ２Ｏ５の比率が大きい程、ガラス軟化点は低くなる。本発明ではＶ２Ｏ５／Ｐ２Ｏ５の重量比を１．８〜３．０の範囲内とし、更にＶ２Ｏ５，Ｐ２Ｏ５に加え、ガラスを安定化する成分等を添加することを提案する。このため、Ｖ２Ｏ５＋Ｐ２Ｏ５の合計量は全ガラスの９３％以下とし、ガラスの組成範囲をＶ２Ｏ５：４５〜６５ｗｔ％、Ｐ２Ｏ５：１５〜３０ｗｔ％、ＢａＯ：２〜２５ｗｔ％、Ｓｂ２Ｏ３：５〜３０ｗｔ％とする。
【００１８】
ＢａＯは網目修飾酸化物であり、バナジンリン酸ガラスを安定にする効果があるため必須成分とし、２〜２５ｗｔ％を含有させる。Ｓｂ２Ｏ３はガラスの耐水性を高める効果があるため必須成分とし、５〜３０ｗｔ％を含有させる。
【００１９】
バナジンリン酸ガラスには、必須成分ではないがＮａ，Ｋなどのアルカリ金属元素を含有することにより電気抵抗を高めることができるため、適宜使用する。アルカリ金属元素の含有量は、アルカリ金属元素をＲで表したときに、Ｒ２Ｏの酸化物換算で０〜１０ｗｔ％とすることが望ましい。
【００２０】
また、バナジンリン酸ガラスには、必須成分ではないが、中間酸化物であるＴｅＯ２を含有することによりガラスの軟化点を下げることができるため適宜使用する。ＴｅＯ２の含有量は０〜５ｗｔ％とすることが望ましい。
【００２１】
このような組成のバナジンリン酸ガラスとすることにより、隔壁を構成するセラミックス焼結体の粒界ガラス相に１０７〜１０１１Ωｃｍ程度の導電性を与え、残留電荷を除去することができる。
【００２２】
ＰＤＰの製造では、隔壁を背面基板に焼き付ける工程が必要になる。ガラスを用いて隔壁を作製するためには、背面基板に隔壁を焼き付ける温度において、隔壁の形状が保たれなければならない。ガラス１０〜７０ｖｏｌ％に対して、セラミックスフィラーを３０〜９０ｖｏｌ％混合することにより、高温での形状維持性を高めることができる。これはガラスに対するセラミックスフィラーの混合量を多くした場合に流動性が損なわれる性質を利用したものである。
【００２３】
セラミックスフィラーの粒子径が大きすぎれば混合物の流動性は高くなり、つまり形状維持性が低下する。セラミックスフィラーの粒子径が小さすぎれば、ガラスが結晶化する可能性が高くなる上、ペースト中に均一に分散しにくくなる。よって、セラミックスフィラーの最小粒子径は１μｍとする。また隔壁の厚みはおおむね５０μｍであることから、セラミックスフィラーの粒子径は最大でも１０μｍとする。このようにセラミックスフィラーの粒子径および配合比を調整し、パネル封着温度における隔壁材料の粘度が７．０〜９．０ｐｏｉｓｅとする。
【００２４】
プラズマディスプレイの隔壁は、蛍光体から発生した光を前面方向に多く反射するものが好ましく、従って、隔壁用材料の可視光反射率は高い方が望ましい。ところが本発明で用いるバナジンリン酸ガラスは褐色ないしは黒色を呈するため、これに反射率の高いフィラーを混合することで隔壁の反射率を高める。
【００２５】
反射率の高いフィラー材料としては、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３から選ばれたセラミックスがある。従って、フィラー材には、これらの少なくとも１つを用いることが望ましい。
【００２６】
あるいはこれらの反射率の高いフィラーを隔壁の表面にコートすることでも同等の効果が得られる。
【００２７】
フィラーを混合し隔壁壁面の可視光反射率を高めることにより、蛍光体から発生した光を効率よくパネル正面に放出させることができる。例えば、Ａｌ２Ｏ３を４５ｖｏｌ％混合することにより、隔壁壁面の可視光反射率を２５％程度にすることができる。このような隔壁の構造を模式的に図２に示した。図２において、隔壁８は、バナジンリン酸ガラス１７とセラミックスフィラー１６との混合物により形成されている。なお、図２では、隔壁８の壁面がサンドブラスト加工されている。
【００２８】
本発明では、ＰＤＰの構成において、隔壁が電気絶縁体ではなく、隔壁の電気抵抗率＞誘電体層の電気抵抗率＞配線の電気抵抗率となる。
【００２９】
隔壁の断面形状は図３（ａ）（ｂ）に示すように長方形または台形でよい。特に隔壁断面形状を台形状にすることにより、パネル正面からの光取り出し効率が高まる効果がある。
【００３０】
隔壁の高さを１００μｍ以上５００μｍ以下にすることにより隔壁側面の面積を大きくし、１セルあたりの蛍光体量を多くでき、上下の電極により対向放電させることにより発光量を増加させることができる。隔壁高さを上記のように限定する理由は、隔壁高さを高くすれば蛍光体を多く塗布でき発光効率を高められる反面、発光した光を取り出す効率が低下するためである。また、加工コストが高くなり、歩留まりが悪くなるためである。
【００３１】
本発明による平面表示装置パネルは、格子状の隔壁を有する背面基板と前面基板を貼り合わせることにより放電空間が確保される。この際に、前面基板及び背面基板に相対的位置決め用のマークまたは凹凸または孔を設けることにより、電極とセルの位置ずれを防止することができる。
【００３２】
一般にプラズマディスプレイの隔壁は、サンドブラスト法、印刷法、ホトリソ加工法によって形成される。しかしながら、ガラスとセラミックス粒子の混合ペーストの粘性を調整することにより、以下の方法でも隔壁を作製できる可能性を見いだした。すなわち、有機フィルム上に形成されたストライプ状あるいは格子状の隔壁を背面基板に張り合わせ、焼成する工程と、隔壁側面に蛍光体を塗布し焼成する工程と、背面基板を前面基板に貼り付ける工程と、前面基板と背面基板を封止する工程を含むＰＤＰの製造方法である。
【００３３】
有機フィルム上に形成されたストライプ状あるいは格子状の隔壁を背面基板に張り合わせ、焼成する工程を図４に模式的に示した。図４（ａ）に示す有機フィルム１８に、（ｂ）に示したように隔壁となるガラス層１５を形成する。これを裏返して、（ｃ）に示すように背面基板２に貼り付け、焼成し、有機フィルムを除去する。（ｄ）に示すように背面基板２上にガラス層１５を有するものが得られる。
【００３４】
このような手法で隔壁を作製すれば、図４（ｄ）に示すように、背面基板上にガラス層が形成され、ガラス層が隔壁と同一材料よりなり、ガラス層と隔壁が一体となった構造にすることができる。すなわち、隔壁と誘電体層を同一材料で同時に形成することができ、従来の独立した誘電体層形成の工程を削減できる。なお、このような構造にする場合は、種電荷は逃がさないが、残留電荷は逃がすように、隔壁の電気抵抗率を調整するとよい。
【００３５】
ＰＤＰの一般的な構成を図１に示す。
【００３６】
プラズマディスプレイ装置では、ネオン、キセノン等の希ガスを充填した微小空間内に放電を生じさせて、充填された蛍光体を発光させる。
【００３７】
図１に示す構造のＰＤＰにおいて、前面基板１と背面基板２は約１００〜２００μｍの間隙をもって対向配置され、各基板の間隙は隔壁８により維持される。基板の周縁部はガラスを主成分とする接着材で封止され、内部に希ガスが充填される。各基板と隔壁で区切られた微小空間をセルと称し、このセルには、Ｒ（Ｒｅｄ：赤色），Ｇ（Ｇｒｅｅｎ：緑色），Ｂ（Ｂｌｕｅ：青色）（以後ＲＧＢと記す）の３色の蛍光体５，６，７のいずれかが充填され、３色のセルで一画素を構成して各色の光を発光する。
【００３８】
各基板には、規則的に配列した電極が設けられ、対となる前面基板１上の電極３と背面基板２上の電極４の間に表示信号に応じて選択的に１００〜２００ボルトの電圧を印加し、電極間の放電により紫外線１４を発生させて蛍光体５，６，７を発光させ、画像情報を表示する。
【００３９】
ＰＤＰの背面基板２側には、基板上に電極４としてデータ電極（アドレス電極とも言われる）が形成されている。データ電極はＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ配線、銀配線等よりなる。同電極は、印刷法、スパッタ法により形成される。
【００４０】
点灯させたいセルのアドレス電極と前面基板上に形成された電極３すなわち表示電極の間でアドレス放電を行い、セル内壁電荷を蓄積する。次に表示電極対に一定の電圧を印加することで、アドレス放電で壁電荷が蓄積されたセルのみ表示放電が起こり、紫外線１４を発生するしくみでプラズマディスプレイの表示が行われる。
【００４１】
データ電極の上には、誘電体層９が形成される。この誘電体層９はアドレス電極の電流を制御することと、絶縁破壊から保護するために設けられる。誘電体層９の上にはストライプ形状、格子形状等の開口部を有する隔壁８が形成される。隔壁８は直線状（ストライプ状、リブ状）や、格子状などの形状で構成される。隔壁８はガラスペーストを印刷法で塗布する方法や、厚膜をサンドブラスト法で削る方法等により形成される。隔壁８で区切られたセル内には、各色の蛍光体が充填され、壁面に塗布される。
【００４２】
一方、前面基板１上には電極３として表示電極が形成される。表示電極は、透明電極、バス電極よりなる。透明電極はインジウム−スズの酸化物膜（ＩＴＯ膜）等、バス電極はＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ配線、銀配線等よりなる。表示電極は、背面基板２上に形成されるデータ電極と直交するように配置される。これらの電極上には、電極の保護と放電時に壁電荷を形成するメモリ機能を有する誘電体層１０が形成される。誘電体層１０の上には、プラズマより電極等を保護する保護層１１が形成される。保護層１１としては、ＭｇＯ膜を形成することが一般的である。さらに、前面基板１側には、多くの場合に各画素に対応した開口部を有する黒色層（ブラックマトリックス）１２が形成される。黒色が前面基板側より見えることで、画像のコントラストを向上させる効果がある。黒色層は表示電極の上下のいずれに形成してもよい。
【００４３】
背面基板及び前面基板は正確に位置を合わせて対向させ、周縁部を接着して封着部１３を形成する。接着材としてはガラス接着材を使用する。加熱しながら内部のガスを排気し、希ガスを封入する。データ電極と表示電極の交差する部位で電圧を印加して希ガスを放電させ、プラズマ状態とする。希ガスがプラズマ状態から元の状態に戻る際に生じる紫外線１４を利用して蛍光体が発光する。
【００４４】
次に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【実施例１】
【００４５】
本実施例では、まずバナジンリン酸ガラスの組成範囲を検討し、次いでバナジンリン酸ガラスとセラミックスフィラーの混合物よりなる隔壁を有するＰＤＰの紫外線発生効率の評価を行った。
【００４６】
まず、ガラスの作製方法を示す。
【００４７】
出発原料は、Ｖ２Ｏ５（高純度化学研究所製、純度９９．９％）、ＢａＣＯ３（高純度化学研究所製、純度９９．９％）、Ｐ２Ｏ５（高純度化学研究所製、純度９９．９％）、Ｓｂ２Ｏ３（和光試薬製、純度９９．９％）、ＴｅＯ２（高純度化学研究所製、純度９９．９％）、Ｎａ２ＣＯ３（高純度化学研究所製、純度９９．９％）、Ｋ２ＣＯ３（高純度化学研究所製、純度９９．９％）である。
【００４８】
各原料を図５に示す重量比で混合した。ＢａＣＯ３に関しては、ＢａＯ＋ＣＯ２となって分解されることを加味し、ＢａＯ相当量に換算し、混合した。Ｐ２Ｏ５を除く全ての原料はあらかじめ混合しておいた。Ｐ２Ｏ５は吸湿性が高いため、長時間大気中に放置しないためである。Ｐ２Ｏ５以外の混合粉末を白金るつぼに入れ、白金るつぼごと秤に乗せ、Ｐ２Ｏ５を所定量秤量し、同時に金属製のスプーンで混合した。Ｐ２Ｏ５混合の際は、大気からの吸湿を避けるため、乳鉢やボールミルを用いた混合は行わなかった。
【００４９】
上記の原料混合粉末が入った白金るつぼを、ガラス溶解炉に設置し、加熱を開始した。昇温速度を５℃／ｍｉｎとし、目標温度に到達した時点から１時間保持した。本実施例では、目標温度を１０００℃に固定している。溶解しているガラスを撹拌しながら１時間保持し、保持後は白金るつぼを溶解炉から取り出し、あらかじめ３００℃に加熱していた黒鉛鋳型に鋳込んだ。黒鉛鋳型に鋳込んだガラスは、あらかじめ歪取り温度に加熱している歪取り炉に移動し、１時間保持により歪を除去した後、１℃／ｍｉｎの速度で室温まで冷却した。
【００５０】
得られたガラスは３０ｍｍ×４０ｍｍ×８０ｍｍの大きさである。得られたガラスブロックを粉砕し、ＤＴＡ評価を行いガラス転移点（Ｔｇ）、ガラス軟化点を評価した。
【００５１】
図５のＳＰ−１、ＳＰ−６、ＳＰ−１０、ＳＰ−１１、ＳＰ−１４のガラスには、結晶化しやすい場合や、ガラス化しない場合が見られた。本発明では、これらのガラス組成を含まないように、バナジンリン酸ガラスの組成範囲を規定している。
【００５２】
ＳＰ−１、ＳＰ−６、ＳＰ−１０、ＳＰ−１１、ＳＰ−１４を除くガラス粉末に対して、平均粒子径１μｍのＡｌ２Ｏ３粉末を６０ｖｏｌ％混合した混合粉末を用いて、以下の試験を行った。
【００５３】
まず、混合粉末を直径１０ｍｍ、高さ５ｍｍの円柱状の粉末成形体にし、各ガラスの軟化点＋１００℃の温度で、大気中で１時間焼成した。焼成後のサンプルの上下面を研磨し、Ａｇペーストを塗布することにより電極を形成した。両面に電極を形成したサンプルの電気抵抗率を定電流印加法によって測定した。
【００５４】
電気抵抗率評価の結果、いずれのサンプルの電気抵抗率も１０９Ωｃｍを超える高抵抗のものであったので、５インチのガラス基板上に隔壁として形成し、放電試験に供した。
【００５５】
試験サンプルは以下のようにして作製した。
【００５６】
５インチのガラス基板にスキャン電極を形成後、誘電体ペーストを塗布、焼成し、その上に更にＭｇＯ層を形成して前面ガラス基板を作製した。
【００５７】
次に５インチのガラス基板にデータ電極を形成し、誘電体ペーストを塗布、焼成し、更に保護膜を形成し、背面ガラス基板とした。
【００５８】
ガラス＋セラミックス混合粉末に、溶剤及び分散剤を混合してペースト状にしたものを隔壁層として背面ガラス基板上に印刷し、各ガラスの軟化点＋１００℃の温度で、すなわち４９０℃〜５９０℃の範囲で、大気中で１時間焼成した。
【００５９】
焼成後の隔壁層を、サンドブラスト法によりストライプ状に加工することで隔壁を形成した。サンドブラスト加工された壁面は灰色を呈しており、隔壁の上底面は黒色を呈していた。
【００６０】
次に、隔壁の壁面に蛍光体を塗布した。蛍光体の焼き付け温度は４５０℃とした。
【００６１】
試験パネルの組立は、まず前面ガラス基板、背面ガラス基板の周辺部に封着用ガラスペーストを塗布し、対向するスキャン電極とデータ電極が直交するように張り合わせ気密封着した。パネルの封着温度は４５０℃とした。隔壁には６０ｖｏｌ％のセラミックスフィラーが混合されているため、４５０℃においてもその形状を損なうことなく維持できる。
【００６２】
次に、パネルの周辺部に設けているＰ管を通して真空排気し、その後、放電ガス用の希ガスを導入し、Ｐ管を封止した。ここで放電ガスはＸｅ（キセノン）を含み、Ｘｅ組成比を１０％とし、放電ガス圧力ｐ（Ｔｏｒｒ）と放電電極間の距離ｄ（ｍｍ）の積であるｐｄ積は２００とした。
【００６３】
作製したパネルを点灯し、紫外線発生効率（相対値）を評価した結果を図５にまとめている。
【００６４】
いずれのガラスを使用した場合にも、紫外線発生効率は１前後の値を取ることがわかった。また、１時間の連続点灯をした結果、ＳＰ−１８のガラスを用いたパネルで異常放電が確認されたが、それ以外のパネルでは異常放電は観察されなかった。ＳＰ−１８の電気抵抗率が１０１３Ωｃｍオーダと高いのに対し、それ以外のガラスの電気抵抗率は１０９〜１０１１Ωｃｍと、高抵抗であるが導電性を有するため、誘電体層および隔壁上に残留する電荷は適宜除外されているためと推測された。
【実施例２】
【００６５】
本実施例では、ガラスに混合するセラミックスフィラーの配合比と反射率、およびパネル点灯試験による評価を行った。
【００６６】
ここではバナジンリン酸ガラス組成を５８ｗｔ％Ｖ２Ｏ５−２０ｗｔ％Ｐ２Ｏ５−５ｗｔ％ＢａＯ−１７ｗｔ％Ｓｂ２Ｏ３（ＳＰ−５）とし、混合するセラミックスフィラーを、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３−ＳｉＯ２系ガラス、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３とした。
【００６７】
実施例１と同様の手法でＳＰ−５を溶解、粉砕後、ガラス１０〜７０ｖｏｌ％、セラミックスフィラー３０〜９０ｖｏｌ％の間で、図６に示す配合比の混合粉末を作製した。セラミックスフィラーには平均粒子径が２μｍのものを用いた。
【００６８】
混合粉末を直径１０ｍｍ、高さ５ｍｍの円柱状の粉末成形体にし、大気中で５８０℃、１時間の条件で焼成した。
【００６９】
まず、焼成後のサンプルを研磨せず、波長４００〜８００ｎｍの可視光域における反射率を測定した。測定は（株）日立ハイテクノロジーズ製分光光度計（Ｕ−４１００）を用いて行った。図６には平均値を記載した。
【００７０】
次に、各試料の上底面を＃４００〜＃６０００のサンドペーパーにより研磨し、同様に反射率を測定した。同じく図６に平均値を記載した。
【００７１】
研磨によりセラミックスフィラーが表面に現れることにより、反射率が増加することが確認された。また、研磨前の状態は、黒色を呈するガラスが最表面を覆った構造になっていることが示された。これは隔壁を形成する際に、サンドブラストで加工した壁面の反射率が高く、隔壁の上底面の反射率を低くでき、ブラックマトリックスと等価の機能を有することを示す。
【００７２】
一例として、試料ＳＰ−５Ａ−１およびＳＰ−５Ａ−４について、その分光反射率曲線を図７に示す。
【００７３】
反射率測定後のサンプルを用い、更に下面を同様に研磨し、Ａｇペーストを塗布することにより電極を形成した。定電流印加法によって、両面に電極を形成したサンプルの電気抵抗率を測定した。この測定結果を図６に示した。
【００７４】
図６に示す各種隔壁材量の中から、焼成中に変形するものあるいは焼結しないもの、すなわちＳＰ−５Ａ−５、ＳＰ−５Ｂ−１、ＳＰ−５Ｙ−１、ＳＰ−５Ｙ−５、ＳＰ−５Ｚ−５を除く隔壁材量を用い、実施例１と同様にして５インチサイズの試験パネルを作製した。
【００７５】
作製したパネルを点灯し、紫外線発生効率（相対値）を評価した結果を図６にまとめる。フィラー量が９５％のＳＰ−５Ｓ−５およびＳＰ−５Ｂ−５を用いたパネルでは、異常放電が認められた。これらの隔壁材量の電気抵抗率は高いため、放電により発生した電荷が残留し、その滞在時間が長いためと思われる。また、フィラー量が２５％のＳＰ−５Ａ−１、ＳＰ−５Ｓ−１、ＳＰ−５Ｚ−１を用いたパネルは点灯（放電）しなかった。これらはいずれも隔壁の電気抵抗率が１０９Ωｃｍ以下のものであった。これは種電荷が隔壁を伝って消失していることを意味する。
【００７６】
その他のパネルに関しては異常放電が認められなかった。これは隔壁上の残留電荷の滞在時間が短くなるような電気抵抗率の範囲に調整されており、なおかつ放電時に必要な種電荷は消失しないことを意味する。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】ＰＤＰの一般的な構成を示す模式図。
【図２】セラミックスフィラーを含有したガラス隔壁の構造模式図。
【図３】隔壁の形状模式図。
【図４】隔壁とガラス層（誘電体層）を一体化した隔壁の製造工程図。
【図５】隔壁用ガラスの組成範囲検討結果を示す図。
【図６】隔壁用ガラスに混合するセラミックスフィラーの混合範囲検討結果を示す図。
【図７】研磨前後の隔壁材量の反射率測定例を示す図。
【符号の説明】
【００７８】
１…前面基板、２…背面基板、３…電極、４…電極、５…蛍光体、６…蛍光体、７…蛍光体、８…隔壁、９…誘電体層、１０…誘電体層、１１…保護層、１２…黒色層（ブラックマトリックス）、１３…封着部、１４…紫外線、１５…ガラス層、１６…セラミックスフィラー、１７…バナジンリン酸ガラス。
【図１】
2008251316.tif 000003
【図２】
2008251316.tif 000004
【図３】
2008251316.tif 000005
【図４】
2008251316.tif 000006
【図５】
2008251316.tif 000007
【図６】
2008251316.tif 000008
【図７】
2008251316.tif 000009