(57)【要約】【課題】エントリーシートの潤滑層の構成をガラス成分中に粒径がナノメートル級の超極微粒のダイヤモンドを混合したことにより、穿孔位置の精度化、穿孔面の平滑化による高品質を確保し、且つドリルの切刃の切れ味が低下するのを阻止し、ドリルの切刃が構成刃先となることを防止することを目的としている。【解決手段】快削性を有する材料から成るベース板の少なくとも片面に、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体から成る潤滑体がアルコール、並びにケイ素を含む金属アルコキシド中に拡散された懸濁液を１〜１０μｍの膜厚に塗布して乾燥して成るガラス塗膜を形成したことを特徴とする。  【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
快削性を有する材料から成るベース板の少なくとも片面に、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体から成る潤滑体がアルコール中に拡散された懸濁液をガラス成分が含まれた溶媒又は分散媒に混合して得た溶液を１〜１０μｍの膜厚に塗布して乾燥して成るガラス塗膜を形成したことを特徴とするエントリーシート。
【請求項２】
快削性を有する材料から成るベース板の少なくとも片面に、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体から成る潤滑体がアルコール並びにガラス成分が含まれた溶媒又は分散媒を混合して得た溶液中に拡散された懸濁液を１〜１０μｍの膜厚に塗布して乾燥して成るガラス塗膜を形成したことを特徴とするエントリーシート。
【請求項３】
前記単球固体から成る潤滑体は、人工ダイヤモンドから生成されたダイヤモンド超微粒子である請求項２に記載のエントリーシート。
【請求項４】
前記ガラス成分が含まれた溶媒又は分散媒は、ケイ素を含んだ金属アルコキシドを主成分とする請求項２又は請求項３に記載のエントリーシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層プリント配線板用の積層板、銅張積層板や治工具に用いる積層板やプラスチックス板（以下、これらを多層プリント配線用の積層板と言う）に、穿孔具であるドリル（以下、単にドリルと言う）により主として０．１ｍｍφ以下の極小口径の孔開けをする時に当て板として用いる滑剤シートとしてのエントリーシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
これまで多層プリント配線板用の積層板にドリルにより前記した孔開け加工を行う場合、前記した多層プリント配線板用の積層板の穿孔箇所周辺にバリが発生するのを防止するための当て板としてのエントリーシートを前記多層プリント配線板用の積層板上に密着して重ね合わせ、その上から回転するドリルを突き刺して前記多層プリント配線板用の積層板の孔開け加工が行われていた。
このエントリーシートの使用目的は、多層プリント配線板用の積層板の孔開けに際して多層プリント配線板用の積層板の穿孔箇所にバリが発生するのを防止すると言うだけでなく、エントリーシート表面の滑剤層により、ドリルによる穿孔作業中にドリルの先端の滑りを抑えること、これによってで多層プリント配線板用の積層板に穿孔を行うとき正確なドリル配置位置を確保し、多層プリント配線板用の積層板の穿孔位置の高精度を向上させようとするものである。
更に、穿孔内面の高平滑度を確保し、高品質な穿孔を得ようとするものである。
この目的を達成するため、これまで、業界の会社から、エントリーシートの構成について各種提案がなされている。
【０００３】
これまでに開発されたエントリーシートの多くは、アルミニウムやアルミニウム合金である快削生を有する金属箔をベース板とし、このベース板上に、粘性を有したバインダーとして機能する水溶性樹脂に所望の滑剤を混合した滑剤層を形成する構成としていた。
上記構成のエントリーシートの中には、エントリーシートの構成材である滑剤層に含まれた滑剤がドリル先端に付着して孔開け時の摩擦熱によるドリルの発熱を抑えることで、ドリルの折損を阻止し、或いはドリルによる切削効果の維持を図るとともに、穿孔された孔壁面に付着した滑剤層の切削屑は水溶性であるので水で洗い流すことが可能であり、壁面に滑剤層による切削屑が残存しない高品質な孔構造を得ることができるようにすると言うものがある。
【０００４】
エントリーシートを製造する上で滑剤層を作るために使用される滑剤としては、ＰＴＦＥ（テフロン（登録商標））、ＢＮＣ（六方晶窒化ホウ租）、白色カーボン等が知られている。しかし、これらはいずれも層状固体から成る潤滑体であるため潤滑機能が十分でなく、穿孔作業中にエントリーシートのベース板であるアルミニウム等の金属箔や、多層プリント配線板用の積層板に信号線として配置される銅等が孔開けに際して切削屑となった場合、これらの切削屑がドリルの刃先に付着して凝集する現象が生じ易く、そのため、ドリルの刃部をいわゆる構成刃先としてしまい、ドリル刃先の切れ味を低下させたり、それだけでなく、ドリル刃先を欠損し、或いは極端な磨耗を誘発させることで刃先の寿命に悪影響を与えるようになってしまうという問題点があった。
【０００５】
このエントリーシートについては、快削性を有する金属箔上に形成される滑剤層について、水溶性樹脂（ポリエチレングリコール、ポリビニルピロリドン等の水溶性ポリマー）に水溶性滑剤を含有した厚さ０．１〜３．０ｍｍの層とすることで、ドリルによる孔開けに際して、発熱防止効果に優れ、ベタツキなどが無く、作業性を改善した構造も提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開平５−１６９４００
【０００６】
特許文献１で使用される水溶性樹脂（水溶性ポリマー）に混合される水溶性滑剤としては、分子量６００〜９，０００のポリエチレングリコール；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンドデシルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルなどで例示されるポリオキシエチレンのモノエーテル；ポリオキシエチレンモノラウレート、ポリオキシエチレンモノステアレート、ポリオキシエチレンモノオレート、ポリオキシエチレン牛脂脂肪酸エステルなどで例示されるポリオキシエチレンのエステル；ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレートなどで例示されるポリオキシエチレンソルビタンのモノエステル；ヘキサグリセリンモノステアレート、デカグリセリンモノステアレートなどで例示されるポリグリセリンモノステアレート；ポリオキシエチレンプロピレンブロックポリマーなどが挙げられている。
【０００７】
しかしながら、これらの水溶性滑剤が混合された水溶性樹脂を滑剤層とした場合、水溶性滑剤自体が高硬度の単球固体でないことから穿孔作業中ドリルに対する潤滑機能が劣ることに加えて、滑剤層の膜厚（０．１〜３．０ｍｍ）が厚くなるため、ドリルによる穿孔に際して滑剤層を形成する水溶性樹脂及び水溶性滑剤が大量の切削屑となって排出され、これがドリルの根元方向に向かって絡みつき、ドリルの切味を低下させ、ドリルの芯振れが生じ易くなり、孔位置精度が低下して高品質な穿孔加工ができないという問題やドリルを構成刃先としてしまう不都合を生じた。
【０００８】
また、上記エントリーシートにおけるバインダーとして水溶性樹脂を使用した層から成る滑剤層は、スキージ法、ドクターナイフ法等の塗布方法で製造されるので、ある程度の膜厚を必要とするため、表面の平坦性を確保するのに限界があり、ドリルによる孔開けを行うに際してドリルに対する側圧の偏在によるドリルの芯振れが生じ、高精度の孔位置を確保することができなかった。
【０００９】
近年、多層プリント配線板における回路の高密度化により、穿孔形状並びに孔位置の精度について更なる向上が求められていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記実情を念頭において開発されたもので、エントリーシートの潤滑層の構成をガラス成分中に粒径がナノメートル級の超極微粒のダイヤモンドを混合したことにより、多層プリント配線用の積層板の穿孔作業に当たり、これを当て板としてドリルによる穿孔を行うとき、ドリルの穿孔位置精度を確保させることができ、更に穿孔を行う多層プリント配線板用の積層板等の孔開け加工に際して、穿孔対象物である多層プリント配線板用の積層板の穿孔箇所にバリが生じるのを阻止し、穿孔位置の精度化、穿孔面の平滑化による高品質を確保し、且つドリルの切刃の切れ味が低下するのを阻止し、ドリルの切刃が構成刃先となることを防止することができるエントリーシートを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために開発された本発明のエントリーシートの請求項１の発明は、快削性を有する材料から成るベース板の少なくとも片面に、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体から成る潤滑体がアルコール中に拡散された懸濁液をガラス成分が含まれた溶媒又は分散媒に混合して得た溶液を１〜１０μｍの膜厚に塗布して乾燥して成るガラス塗膜を形成したことを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、快削性を有する材料から成るベース板の少なくとも片面に、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体から成る潤滑体がアルコール並びにガラス成分が含まれた溶媒又は分散媒を混合して得た溶液中に拡散された懸濁液を１〜１０μｍの膜厚に塗布して乾燥して成るガラス塗膜を形成したことを特徴とする。
【００１３】
請求項３の発明は、前記単球固体から成る潤滑体は、人工ダイヤモンドから生成されたダイヤモンド超微粒子であることを特徴としている。
【００１４】
請求項４の発明は、前記ガラス成分が含まれた溶媒又は分散媒は、ケイ素を含んだ金属アルコキシドを主成分とすることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のエントリーシートによれば、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体である潤滑体がガラス塗膜に混入された構成としたので、滑剤層としてのガラス塗膜の膜厚を平坦に、且つ薄くでき、ドリルによる孔開けを行うのに際して、該ガラス薄膜がドリルに対する側圧の偏在によるドリルの芯振れを防止し、高精度に孔位置を制御することが可能となる。
特に、潤滑体として高硬度の単球固体としての粒径がナノメートル級のダイヤモンド超微粒子を使用することで、ダイヤモンド超微粒子がドリルの金属表面に吸着し、高硬度のダイヤモンド超微粒子がドリルの切刃の一部となる自生発刃になることにより良好な切削機能を長期に亘って維持させることができる。
【００１６】
また、多層プリント配線板用の積層板上に密着して重ね合わせ、穿孔具であるドリルを使用して孔開け加工を行う際に、ガラス塗膜である滑剤層に含まれたナノメートル級の高硬度の単球固体である潤滑体がその穿孔作業中にドリル表面に付着して、或いは穿孔対象物とドリルの切刃の間で無数の極小ベアリングとして有効に機能し、これが自生発刃の機能を果たすようになるので、ベース板や信号線等を配した多層プリント配線板用の積層板を穿削したときに発生する金属粉の切削屑によりドリルの切刃の切れ味を低下するような不都合を生じることない。しかもその切削屑がドリルの刃先に付着して固定化し、それがために切刃を損傷する現象である構成刃先となるのを防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施の形態の一例について説明する。
本発明のエントリーシート１は、厚さ０．０５〜０．５ｍｍの薄膜のベース板１０の上面に、ナノダイヤを拡散した滑剤層としてのガラス塗膜２０を形成して構成されている。
【００１８】
ベース板１０は、穿孔作業に使用するドリルの穿孔方向をガイドする機能を果たすため、ある程度の固さを有するとともに、穿孔作業時に排出される切削屑が、粘り質の切削屑として排出されることのないように快適に切削が行われる快削性材質で構成されている。具体的なベース板１０の材料としては、アルミニウム等の金属箔、フェノール樹脂、ガラスエポキシ樹脂、金属粉を含むプラスチック、硬質紙等の快削性材質から成るものが使用される。
【００１９】
前記したベース板１０の面に形成される滑剤層であるガラス塗膜２０には、粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体である潤滑体３０が混入されている。
前記した粒径がナノメートル級の高硬度の単球固体である潤滑体３０としては、高硬度のダイヤモンド超微粒子が使用され、その高硬度のダイヤモンド超微粒子は、爆発法という技術によって作られる人工ダイヤモンドである。本発明で用いる前記人工ダイヤモンドの粒径は、４〜１５ナノメートル程度のものを想定している。
上記方法により作られたダイヤモンド超微粒子の粒径の特徴は、ほぼ球形を有しており、平均粒径は４ナノメートル程度であると言うことである。以下、このダイヤモンドをナノダイヤモンドと略称する。
本発明の特徴は、エントリーシートのベース板１０に形成する滑剤層を形成するガラス塗膜２０に前記したダイヤモンド超微粒子が混入されて形成されていることである。
【００２０】
前記したナノダイヤモンドを、アルコール液中に重量部０．５〜３．０ＷＴ％の割合で混入し、これを例えば３０〜６０ＫＨｚ或いは１００ＫＨｚの超音波震動をかけて、アルコール液中にナノダイヤモンドを分散した懸濁液とする。
【００２１】
前記したベース板１０に形成されるナノダイヤモンドを拡散させた滑剤層を形成するガラス塗膜２０は、水溶性ガラスであるケイ素を含む金属アルコキシド（アルコール分子の水酸基の水素を金属原子で置換した化合物）を溶媒（又は分散媒）とすることである。
【００２２】
これとナノダイヤモンドが拡散された懸濁液を混合した混合溶液とする。その混合溶液を滑剤層であるガラス塗膜を作るための形成剤であるバインダー液として、これをベース板１０上に１〜１０μｍの膜厚にスプレー法又はディッピング法で塗布し乾燥させることで同液に混合されたナノダイヤモンド間の隙間（細孔）を生じた気孔を構成した滑剤層であるガラス塗膜２０が表面の均一性を担保して形成される。
【００２３】
前記した懸濁液、並びに溶媒（又は分散媒）を混合した混合溶液を希釈する必要があるときは、懸濁液、或いは溶媒（又は分散媒）の段階で、又はこれらを混合した混合溶液とした段階で、水、メタノール、ＤＭＦを所望量使用して所望の粘度に希釈する。
【００２４】
前記懸濁液と前記溶媒（又は分散媒）とを混合して混合溶液としての前記バインダー液とするのには、溶媒（又は分散媒）としての水溶性ガラスであるケイ素を含む金属アルコキシドは、混合溶液に内在するナノダイヤモンドの分散性の向上と、ベース板上に塗布した際に表面平坦性が良好となる硬質なガラス塗膜を形成するために用いられる。したがって、溶媒（又は分散媒）は、ケイ素を含む金属アルコキシドを主成分とするものを採用することが望ましく、例えば、ポリジアルコキシシロキサン、ポリジメトキシシロキサン、テトラアルコキシシランなどの有機ケイ素化合物を主剤として採用している。
【００２５】
以上、バインダー液を作る手順としてナノダイヤモンドをアルコール液中に分散した懸濁液を作り、これに金属アルコキシドを溶媒（又は分散媒）として混合し、これを希釈することを説明したが、この手順を採らず、アルコール、金属アルコキシド希釈剤の混合液にナノダイヤモンドを分散させる手段でもよいことは勿論である。
【００２６】
なお、溶媒（又は分散媒）は、主剤となるケイ素を含む金属アルコキシドの他に架橋剤や硬化触媒を配合しても良く、また、必要に応じて顔料等も配合される。
【００２７】
具体的な溶媒としては、コーティング材としての用途に使用される含有ケイ素成分が９０重量％以上のシリカ溶液を用いれば、常温で硬質の非晶質のガラス塗膜が形成可能となる。
【００２８】
また、溶媒（又は分散媒）としては、ガラス成分（ケイ素及び酸素）が含まれた媒体であればよいので、金属アルコキシドを０．００１〜１０重量部の割合で混合した混合液を用いても良い。
【００２９】
ナノダイヤモンドを混合した懸濁液は、ケイ素を含む金属アルコキシドと混合できるものであればよく、前記懸濁液を作る液体としては水を使用しても良い。特に、金属アルコキシドとの濡れ性が良好なことからアルコールが適している。
【００３０】
上記エントリーシートによれば、滑剤層を１０μｍ以下の膜厚のガラス塗膜として形成したことで、従来の水溶性バインダーを使用した滑剤層（１１〜１５μｍ）に比較して薄膜化できるとともに膜厚の均一化が図れる。従って、表面の平坦性を確保することができる。その結果、多層プリント配線板用の積層板上にエントリーシートを密着して重ね合わせて孔開け加工を行う場合に、エントリーシートの表面に押し付けられた穿孔に使われる小径ドリルに対してエントリーシートによる側圧の偏在が僅少になることによって、ドリルの芯振れが少なくなり、多層プリント配線板に用いる積層板に対する孔位置の偏心が生じるのを阻止できると言う利点がある。
【００３１】
また、エントリーシートは、製造段階では、長尺のベース板に滑剤層を形成して構成する。この構成とすることによって、保管、或いは輸送し易いように、ロール状に巻き取りできる薄さ（長尺）に形成される。これを、販売、作業に供するためには、所望の大きさに裁断されて需要に供されることは勿論である。
【００３２】
次に、上記構造のエントリーシートを使用して孔開け加工を行う場合について説明する。
多層プリント配線板用の積層板上に、当て板としてのエントリーシートのベース板の下面が密着重合するように載置する。
エントリーシートの滑剤層であるガラス塗膜は、高硬度の単球固体から成る潤滑体であるナノダイヤモンド超微粒子が粒子間に隙間を生じた気孔を形成した状態で混入されている。
【００３３】
前記した状態で多層プリント配線板用の積層板上に載置されたエントリーシート上から、多層プリント配線板の穿孔形成位置に穿孔具であるドリルの先端を押し当て、穿孔方向に向かった力を加え、高速回転されて多層プリント配線板用の積層板に対して孔開け加工を行う。
多層プリント配線板用の積層板に穿孔具であるドリルを以て穿孔を行う時には、多層プリント配線板用の積層板に前記した状態で配置されたエントリーシートの滑剤層面であるガラス塗膜面に穿孔具であるドリル先端を突き刺し、その先端と連続して所定間隔をあけて形成された螺旋切刃から成る穿孔具であるドリルを高速回転することで穿孔を行う。
すなわち、前記した構成のドリルがエントリーシートを通過して穿孔し、次いで多層プリント配線板を通過して穿孔することになる。
【００３４】
前記した構成の穿孔具であるドリルがエントリーシートの滑剤層であるガラス塗膜を穿孔するときは、高速回転するドリル先端でエントリシートの滑剤層であるガラス塗膜を割裂してドリル先端を突き刺し、次いで、穿孔具であるドリルの螺旋切刃でガラス塗膜を切り裂きながらドリルの螺旋刃を以てガラス塗膜を穿孔することになる。その際切削屑をドリルの螺旋切刃の切刃間のピッチを通過させて排出する働きをする。この働きが行われるとき、エントリーシートのガラス塗膜中に混入された高硬度の単球固体から成る潤滑体であるナノダイヤモンドは、前記切削屑中に含まれて排出されることになる。
【００３５】
ドリルの先端面並びにこれに連続して形成された螺旋切刃面は、精巧に研摩されているが、電子顕微鏡で観察すると微細な凹凸面として形成されている。
前記切削屑中に含まれた高硬度の単球固体から成る潤滑体であるダイヤモンド超微粒子は、切削屑として排出される過程でドリルの先端面、螺旋切刃面に形成された微細な凹面に入り込む現象を生じさせることになる。
【００３６】
この状態で、ドリルがエントリーシートのベース板を通過して多層プリント配線板用の積層板に喰い込み、多層プリント配線板用の積層板に穿孔を行うことになる。
この穿孔に際して、前記状態でナノダイヤモンドをピッチ面、切刃面に付着させたドリルは、前記ナノダイヤモンドがドリルと多層プリント配線板用の積層板の間でボールベアリング機能を発揮し、その穿孔を容易にする。
すなわち、前記したナノダイヤモンドが多層プリント配線板用の積層板を穿孔する際、ボールベアリングの機能を果たし、ドリルの回転摩擦を少なくし、ドリルの円滑な回転が行えるようにし、その結果、ドリルの切刃の切れ味が低下するのを阻止する。
【００３７】
また、ドリルの先端がガラス塗膜に突き刺さる場合に、エントリーシートのガラス塗膜表面が平坦性を保持されているので、ドリルに対する側圧の偏在が僅少になることによって、ドリルの芯振れが少なくなり、正確な位置に孔開けを行うことが可能になり、孔位置精度の向上を図ることができる。
【００３８】
また、滑剤層としてのガラス塗膜の膜厚が薄いのと、快削性材でできているのでで、孔の穿孔に際して発生した切削屑が従来の水性樹脂で形成された滑剤層に比較してドリルに対する付着性が少なくなり、ドリルの根元部分に切削屑が付着するのを抑制できる。
【００３９】
エントリーシートを穿孔して貫通したドリル先端がエントリーシートから多層プリント配線板用の積層板に達して、多層プリント配線板用の積層板に対して穿孔するとき、多層プリント配線用の積層居たの上面にエントリーシートが密着されているので、多層プリント配線板用の積層板の穿孔箇所にできるバリの発生を抑制して孔開けが行われる。
その際、多層プリント配線板用の積層板に穿孔された孔の側壁にガラス塗膜の切削屑が付着するが、このガラス塗膜の切削屑は粘性がないので、（ガラス塗膜だけでない）穿孔後の処理で水や空気圧をかけることで容易に除去することができる。
これらから、穿孔された孔の内壁に対して切削屑が残存するのを防止し、高品質な孔形状を得ることができる。
【００４０】
また、エントリーシート及び多層プリント配線板用の積層板を穿孔することで生じたアルミニウム（エントリーシートのベース板）や銅（多層プリント配線板の信号線）の切削屑がタングステン、カーバイト（ＷＣ）等から構成される超硬剤から成るドリルに付着しようとするが、ガラス塗膜が切削されることで発生する単球固体である潤滑体としてのナノダイヤモンドがドリル表面とアルミニウムや銅の切削屑との間に入り込んだ場合に、高硬度のナノダイヤモンドは圧壊できないため確実に極小ベアリングとして機能する潤滑剤として作用するので、アルミニウムや銅の切削屑がドリルの刃先に凝着して切刃を損傷させ変形させる現象（構成刃先）の発生を防止できる。
その結果、ドリル刃先の切削機能の低下、磨耗を誘発させることを防止し、高品質な孔開け加工を長期間に亘り確保するとともに、ドリル折損を防止してドリルの耐久性を確保することができる。
【００４１】
また、ドリルの先端面、螺旋切刃面は前記したように微細な凹凸が連続した形状となっているが、ガラス塗膜が切削されることで発生するナノメートル級のダイヤモンド超微粒子がドリル表面の凹部に入り込み、ファンデルワース力等によって吸着して外れにくくなるため、硬質なダイヤモンド超微粒子がドリルの刃の一部となる自生発刃により、ドリルの良好な切削機能を長期に亘って維持させることが可能となる。
【００４２】
更に、前記した切削は、ナノダイヤモンド並びに快削性材料から成るガラス塗膜の超微粒子を含んでおり、両者は共にさらさらした顆粒状粉末であるので、ドリルによる穿孔操作時に、いわゆる遊離砥粒として穿孔内面をラッピングすると考えられ、穿孔内面は平滑面となった。
【００４３】
上述したエントリーシートにおいては、ベース板１０の片面にガラス塗膜２０を形成するようにしたが、ベース板１０の両面（表面及び裏面）に形成するように構成してもよい。
【実施例】
【００４４】
以下、具体的なエントリーシートの実施例について説明する。
アルコール１０００ｍｌ中に例えば平均粒径４〜１５ナノメートル程度のダイヤモンド超微粒子約５０ｍｇ〜２００ｍｇを混入し、３０〜６０ＫＨｚ或いは１００ＫＨｚで超音波振動を行って拡散させることで、ダイヤモンド超微粒子が分散した懸濁液を得る。
そして、バインダーとしてこの懸濁液とケイ素を含む金属アルコキシドを混合した混合溶液を作る。混合溶液の粘度を調整するため、水、メタノール等を希釈剤として使ってバインダーとした。
【００４５】
この混合溶液を厚さ０．２５ｍｍのアルミニウム箔（ベース板）の片面にスプレー法にて塗布し、乾燥して、粒径５ナノメートル程度のダイヤモンド超微粒子を分散した膜厚１０μｍ以下のガラス塗膜を形成したエントリーシートを得た。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明によるエントリーシートは、多層プリント配線板に微細な孔を穿孔するに際して、孔位置精度を高めるとともに、ドリルの耐久性向上を図る効果があり、微細な孔開け加工が必要な基板加工技術に適用する技術として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示すエントリーシートの断面説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  エントリーシート
１０  ベース板（アルミニウム箔）
２０  ガラス塗膜（滑剤層）
３０  単球固体潤滑体（ダイヤモンド超微粒子）
【図１】
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