(57)【要約】【課題】大量の水を排気する場合にクライオポンプ稼動時の排気能力や冷却能力が低下するのを防止し、クライオポンプ再生時間を短縮し、長時間の使用を可能にするクライオポンプを提供する。【解決手段】このクライオポンプは、クライオポンプ容器１４と、冷凍機１５と、クライオポンプ容器の内部に設けられかつ冷凍機の冷却ステージに接続される輻射シールド１８と、輻射シールド１８の開口部に設けられるルーバー２０とを備え、輻射シールド１８の外側に、水をクライオポンプ容器１４の外側に排出する貯水部３２を設けるように構成される。【選択図】図２
2008223538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クライオポンプ容器と、冷凍機と、前記クライオポンプ容器の内部に設けられかつ前記冷凍機の冷却ステージに接続される輻射シールドと、前記輻射シールドの開口部に設けられるルーバーとを備えるクライオポンプにおいて、
前記輻射シールドの外側に、水を前記クライオポンプ容器の外側に排出する貯水部を備えることを特徴とするクライオポンプ。
【請求項２】
前記ルーバーに凝集した水を前記貯水部へ導く水案内部を備えることを特徴とする請求項１記載のクライオポンプ。
【請求項３】
前記水案内部は、前記ルーバーの下面が前記貯水部の上方位置に向かって下向きに傾斜することで形成されることを特徴とする請求項２記載のクライオポンプ。
【請求項４】
前記水案内部は、前記ルーバーの下方に設けられた水受け水路部材であることを特徴とする請求項２記載のクライオポンプ。
【請求項５】
前記水先案内部は、前記ルーバーが、水を案内する折り返し形状を有する凝集板を有し、かつ前記凝集板の表面に溝または襞を形成したことを特徴とする請求項２記載のクライオポンプ。
【請求項６】
前記貯水部に、前記水を前記クライオポンプ容器の外側に導く水排出部を設けることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のクライオポンプ。
【請求項７】
前記貯水部は、前記輻射シールドの外部にその周りを囲むようにリング状に設けられることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のクライオポンプ。
【請求項８】
前記貯水部に加熱機構を設けたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のクライオポンプ。
【請求項９】
前記ルーバーを第２の冷凍機によって冷却することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のクライオポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はクライオポンプに関し、特に、真空処理装置の真空排気に使用されかつ大量な水を排気した後の再生作業を短時間で行うのに好適なクライオポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
クライオポンプは、排気対象である気体分子を極低温で凝縮・吸着することにより溜め込む方式の真空排気ポンプである。従って或る程度の期間使用すると、排気性能が低下する。そのため、クライオポンプでは、定期的に再生作業を行う。この再生作業では、冷凍機に接続した冷却ステージや冷却パネルなどの低温の部位を常温または気体の気化温度まで昇温し、溜め込まれている気体を気化させて排出する。
【０００３】
クライオポンプによって大量の水を排気した場合、特にルーバーに多量の氷が凝縮・生成される。再生作業でルーバーに凝縮した氷を溶かし水として排出するとき、従来のクライオポンプではクライオポンプ容器内部の輻射シールド内に水が落下し溜まり込む。水は、さらに、輻射シールド内の、水素ガスやヘリウムガス等を排気するための活性炭パネルの活性炭を濡らしたり、輻射シールドと１段ステージとの継目等から冷却機下部の隙間等に入り込んだりする。このため、その後に行う粗引きでこの水を排出するのに多くの時間を要していた。
【０００４】
上記の問題を解決する従来技術としては特許文献１〜３に開示されるものがある。
【０００５】
特許文献１によるクライオポンプでは、再生の際に溶けた水は輻射シールドの内部に溜まるが、輻射シールドの底部に水が溜まる一定の箇所を形成し、かつ当該箇所に水抜き孔および排水バルブ構造を設けるようにしている。この構成により、再生の際にルーバーの氷が溶けて輻射シールド内に溜まったとしても、水抜き孔部分に溜まるようにして他の部分への影響を低減させ、かつ排水バルブを適宜に開いて当該水抜き孔より外部に排出される。
【０００６】
特許文献２によるクライオポンプでは、輻射シールドに相当する部分の底部に排水孔を形成し、この排水孔を通して輻射シールド相当部分内に溜まった水を下方に排出する共に、輻射シールド相当部分の下側に、クライオポンプ容器の外側に水を排出するための水受部材、配管、バルブ等を設けるようにしている。
【０００７】
特許文献３によるクライオポンプでは、ルーバー（コールドバッフル）に、ルーバーに凝集した氷が融けた際に水をガイドする構造を設けかつ排水孔を形成し、さらに輻射シールド（レフレクタ）の内部であってルーバー下方のルーバーに近い場所にクライオポンプ容器の下部に落とさずに受けるための水受けが設けられている。ルーバーからの水は水受けに集められる。水受けは、輻射シールドの内側を通過するように形成された排水樋を備え、水受けに集められた水は排水樋を通して輻射シールドの外側に導かれ、さらにクライオポン容器の外側に排出される。さらにルーバーに凝縮・吸着された氷の融解を早く行えるように、輻射シールドを加熱するヒータが設けられている。またルーバーは、樋として機能するようにその下端部分がＶ字状に形成されており、Ｖ字状部分の下端に上記排水孔が穿設されている。
【特許文献１】実公平３−４３４３０号公報
【特許文献２】実開昭５９−８１７８４号公報
【特許文献３】特開昭６２−３１７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の従来の技術は次のような問題を有していた。特許文献１または特許文献２によるクライオポンプは、輻射シールドの底部で水を受けて溜める構造であるので、輻射シールドの内側を広範囲に濡らすことになり、活性炭パネルの活性炭や凝縮パネルを濡らし、継目や細かい隙間に水が残るという問題を十分に解決することができなかった。さらにその結果、この水を粗引きで除去するためには、依然、長い時間を要した。
【０００９】
また特許文献３によるクライオポンプによれば、ルーバー下側の水受けで受けた水は輻射シールドの内側に形成された水排出管路を通って排出されるため、ポンプの排気機能を低下させる。さらに当該水排出管路は積極的に冷却される構造を有している訳ではないので、クライオポンプ稼動時に、そこから発する輻射熱によってクライオポンプ中央部の低温冷却パネルが暖められ、冷却効率を低下させるという問題も生じる。
【００１０】
本発明の課題は、特に特許文献３に開示されるクライオポンプの上記問題を考慮し、クライオポンプで大量の水を排気する場合に、ルーバーに凝縮された氷が再生作業の際水になって排出されるとき、輻射シールド内に入り込むのを少なくする構造とすることで、クライオポンプ稼動時の排気能力や冷却能力を低下させることなく、クライオポンプの再生時間の短縮を図ろうとするものである。
【００１１】
本発明の目的は、上記の課題に鑑み、大量の水を排気する場合において、クライオポンプ稼動時の排気能力や冷却能力が低下するのを防止することができ、クライオポンプ再生時間を短縮でき、長時間の使用を可能にするクライオポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るクライオポンプは上記目的を達成するために次のように構成される。
【００１３】
第１のクライオポンプ（請求項１に対応）は、クライオポンプ容器と、冷凍機と、クライオポンプ容器の内部に設けられかつ冷凍機の冷却ステージに接続される輻射シールドと、輻射シールドの開口部に設けられるルーバーとを備えるクライオポンプにおいて、輻射シールドの外側に、水をクライオポンプ容器の外側に排出する貯水部を備えるように構成される。
【００１４】
上記のクライオポンプでは、大量の水を排気するとき、再生作業の際にルーバーに凝縮・吸着した氷が溶けて水として排出される時には、水案内部でルーバーから出る水をクライオポンプ容器の外側に設けられた貯水部に導き、貯水させる。これによって、大量の水を排気したクライオポンプの再生時でも効率的に水を排出することができ、再生を短時間でかつ良好に行うことができる。
【００１５】
第２のクライオポンプ（請求項２に対応）は、上記の構成において、好ましくは、ルーバーに凝集した水を貯水部へ導く水案内部を備えることで特徴づけられる。
【００１６】
第３のクライオポンプ（請求項３に対応）は、上記の構成において、好ましくは、水案内部は、ルーバーの下面が貯水部の上方位置に向かって下向きに傾斜することで形成されることで特徴づけられる。
【００１７】
上記クライオポンプでは、大量の水を排気するとき、水案内部でルーバーから出る水を水案内部で案内して、輻射シールドの内部を通ることなく、クライオポンプ容器の開口部の周辺部に設けられた貯水部に導く。これによって、輻射シールドの内部あるいはクライオポンプ容器の内部に水が入り込むのを防止できる。
【００１８】
第４のクライオポンプ（請求項４に対応）は、上記の構成において、好ましくは、水案内部は、ルーバーの下方に設けられた水受け水路部材であることを特徴とする。
【００１９】
第５のクライオポンプ（請求項５に対応）は、上記の構成において、好ましくは、水先案内部は、ルーバーが、水を案内する折り返し形状を有する凝集板を有し、かつ凝集板の表面に溝または襞を形成したことことで特徴づけられる。
【００２０】
第６のクライオポンプ（請求項６に対応）は、上記の構成において、好ましくは、貯水部に、水をクライオポンプ容器の外側に導く水排出部を設けることで特徴づけられる。
【００２１】
第７のクライオポンプ（請求項７に対応）は、上記の各構成において、好ましくは、貯水部は、輻射シールドの外部にその周りを囲むようにリング状に設けられることで特徴づけられる。この構成により、直接にクライオポンプ容器の外部に排出される水を直接に取り出すので、輻射シールド等の内部に水が入り込むことを防止できる。
【００２２】
第８のクライオポンプ（請求項８に対応）は、上記の各構成において、好ましくは、貯水部に加熱機構を設けたことを特徴とする。
【００２３】
第９のクライオポンプ（請求項９に対応）は、上記の各構成において、好ましくは、ルーバーを第２の冷凍機によって冷却することを特徴とする。ルーバーのみを別の例えば一段式の第２の冷凍機ユニットで冷却することで、大量の水の排気においても長時間の使用を行うことができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、大量の水を排気するクライオポンプを再生するとき、ルーバーの凝縮板に凝縮した氷を融解して水として外部に排出するに当り、輻射シールド内やクライオポンプ容器内に落とさず、または輻射シールド内の空間を利用して排出管を設けず、直接的に輻射シールドの外部またはクライオポンプ容器の外部に排出することができるため、冷却効率を落とすことなく、再生作業を短時間でかつ良好に行うことができる。また水が活性炭にしみ込んだり、クライオポンプの内部部品の隙間に入り込んだりしないので、再生不良や活性炭の割れ・剥がれが起こりにくいという効果が生じる。さらに輻射シールドの内外を構造物で連結せず、熱伝導で熱が伝わらないので、冷却効率を落とすことがないという効果を有する。
【００２５】
また本発明によれば、ルーバーから排出される水を受ける貯水部を輻射シールドの外側に設けたので、貯水部から熱輻射の影響は生ぜず、クライオポンプ動作時の排気効率や冷却効率を低下させることないという効果を有する。
【００２６】
また本発明によれば、貯水部に加熱機構（ヒータ等）を設けたため、暖めを容易に行うことができ、再生時間を短縮することができる。
【００２７】
また本発明によれば、貯水部がクライオポンプ容器の開口部の外側周縁部に形成されるので、ルーバーの径を大きくとることができ、排気効率を高めることができる。
【００２８】
また本発明によれば、ルーバーを第２の冷凍機で支持し、これにより冷却することによって、ルーバーからの水が輻射シールド内に入り込むのを低減でき、冷凍能力を高めるこができ、大量の水を排気しても長時間使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、本発明の好適な実施形態（実施例）を添付図面に基づいて説明する。
【００３０】
図１と図２は本発明に係るクライオポンプの第１の実施形態を示す。図１に従って、最初に、クライオポンプの一般的な構成を説明する。このクライオポンプ１１は縦型のクライオポンプである。クライオポンプ１１は吸気口弁１２を介して真空処理装置１３に取り付けられている。クライオポンプ１１は真空処理装置１３の内部に存する各種の気体を外部へ搬出し、真空処理装置１３の真空排気を行う。
【００３１】
クライオポンプ１１はクライオポンプ容器１４を備え、このクライオポンプ容器１４の下部には冷凍機１５が取り付けられている。冷凍機１５は、クライオポンプ容器１３の内部に延設される１段ステージ１６と２段ステージ１７を備えている。冷凍機１５では、１段ステージ１６が例えば５０〜１５０Ｋに冷却され、２段ステージ１７が例えば２０Ｋ以下に冷却される。１段ステージ１６には、熱接触が良好となる状態で輻射シールド１８が取り付けられている。
【００３２】
輻射シールド１８はお碗形状を有し、上部を開口部１８ａとしてクライオポンプ容器１４の内部に配置されている。輻射シールド１８の開口部１８ａと、クライオポンプ容器１４の開口部１４ａとは、ほぼ同一位置に位置している。
【００３３】
クライオポンプ１１の容器内部に配置された輻射シールド１８には吸気口１９の側の開口部１８ａに同じく熱接触良好状態にてルーバー２０が取り付けられている。２段ステージ１７には熱接触良好状態にてクライオパネル（冷却パネルまたは凝縮パネル）２１が取り付けられており、このクライオパネル２１上には活性炭２２が接着されている。
【００３４】
吸気口１９は真空処理装置１３と吸気口弁１２を介して接続されている。真空処理装置１３からは、水や二酸化炭素、アルゴンや窒素等、水素、ネオン、ヘリウムが、吸気口弁１２を通ってクライオポンプ容器１４の中に入ってくる。クライオンポンプ１１において水や二酸化炭素はルーバー２０や輻射シールド１８の上で凝縮・吸着される。アルゴンや窒素等はルーバー２０や輻射シールド１８に衝突し予め冷却された後、クライオパネル２１に到達し、そこで凝縮される。水素、ネオン、ヘリウムはルーバー２０や輻射シールド１８に衝突し予め冷却した後、クライオパネル２１に衝突しさらに冷却され、その後クライオパネル２１上の活性炭２２に到達し、吸着され、排気される。
【００３５】
クライオポンプ１１は溜め込み式のポンプであるため、定期的に、冷凍機１５の極低温状態にある１段ステージ１６と２段ステージ１７を常温、または溜め込まれた気体の種類に応じた気化温度まで昇温し、溜め込まれている気体を気化させて排出する。この作業は通常「再生」と呼ばれている。
【００３６】
再生の作業を行うときには、通常は、窒素などの不活性ガスをパージガスとしてパージバルブ２３よりクライオポンプ容器１４の内部に導入する。これは、パージガスを熱負荷として与えてより早く再生を行うためである。また溜め込んだ気体を希釈してリリースバルブ２４より排出するためにパージを行う場合もある。さらに、窒素などによるパージと共に、各ステージをヒータで加熱することにより各ステージを昇温して再生したりする場合もある。
【００３７】
上記クライオポンプ１１によって大量の水を排気する場合には、再生作業時にルーバー２０の凝縮板に凝縮された氷が融解し、当該ルーバー２０から大量の水が排出される。この大量の水が排出される場合の水排出に関する構造部分を図２を参照して説明する。図２は、クライオポンプ容器１４と輻射シールド１８とルーバー２０の部分を拡大してより正確かつ詳細に示した縦断面図である。
【００３８】
図２において、クライオポンプ１１におけるクライオポンプ容器１４の吸気口フランジ３１は、その口径を好ましくは従来寸法よりも大きくし、かつ開口部１４ａの外側周囲にリング形状の貯水部３２を設けている。貯水部３２の上側は開放されている。貯水部３２の底面は、図２に示されるごとく、一例として左側より右側に向かって傾斜されており、一番低い箇所に排水口３３と排水バルブ３４が設けられている。排水バルブ３４は適宜なタイミングで開閉制御され、貯水部３２に溜まった水３５を外部に排出する。輻射シールド１８の開口部１８ａに設けられたルーバー２０は、その径が大きくなるように作られ、その周縁部がリング状の貯水部３２の上側に臨んでいる。すなわち、ルーバー２０では、好ましくは、複数の凝縮板のそれぞれが、下部または下縁をその長手方向にて傾斜させるように作られている。ルーバー２０は、このような傾斜形状で形成されているので、再生作業の際に水が発生すると、この水が上記傾斜形状によって複数の凝縮板に沿って案内されて移動し、貯水部３２に流れ込みやすい構造となっている。
【００３９】
上記ルーバー２０は、傾斜形状で形成するのではなく、従来の通常のルーバーを同様な傾斜状態が作られるように傾斜させて配置するようにしてもよい。
【００４０】
ルーバー２０は、通常、平行な位置関係で配置された複数の凝縮板を有しているが、すべての凝縮板は前述のごとき傾斜の形状または姿勢にて配置される。
【００４１】
またルーバー２０は、輻射シールド１８の開口部１８ａにおいて、輻射シールド２０により熱伝導性の良い銅材３６等によって支持されている。クライオポンプ１１のその他の構成は、図１で説明した構成と同じであるので、同一要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４２】
また図２に示されるごとく、傾斜した底面を有する貯水部３２において、例えば底面の近傍の箇所にはヒータ（加熱機構）３７が設けられる。
【００４３】
上記の構成を有するクライオポンプ１１によれば、再生作業の際に氷が溶けて水が発生するとき、当該水は傾斜形状（水案内部）に案内されて貯水部３２の中に導かれ、当該貯水部３２に溜まる。水は輻射シールド１８の内部に入り込んだり、落下することはほとんどない。また、クライオポンプ１１の内部に水がある状態で粗引きを行うと、水が気化熱を奪われることで氷となり、排出できなくなるおそれがあるが、上記のごとく貯水部３２の周辺にヒータ３７を設けて貯水部３２を加熱することにより、これを防止することができる。
【００４４】
次に、図３〜図５を参照して、本発明に係るクライオポンプの第２の実施形態を説明する。図３は図２と同様な図であり、図４はルーバー２０の平面図であり、図５は図４におけるＡ−Ａ線断面図である。図３〜図５において、第１実施形態で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４５】
この第２実施形態では、ルーバー２０の下側に、傾斜形状に沿って傾斜させた複数の水受け水路部材４１を設けている。複数の水受け水路部材４１は、好ましくは、図５に示されるごとく、複数の凝縮板２０ａの下縁に沿ってその下側に配置されている。水受け水路部材４１の貯水部３２の位置に対応する位置には排水孔４１ａが形成されている。ルーバー２０において、複数の凝縮板２０ａは本来的にその幅方向に傾斜されているので、各凝縮板２０ａに吸着された氷は融解したとき、その幅方向で下方に向かってかつその長手方向の傾斜方向に移動する。最終的には下縁に到った水は水受け水路部材４１に流れ込み、さらに上記貯水部３２に導かれる。上記の水受け水路部材４１は、クライオポンプ容器１３側の貯水部３２の内壁面に設けられた支持部４２によって支持されている。その他の構成は第１実施形態に説明した構成と実質的に同じである。
【００４６】
上記の第２実施形態の構成によれば、再生時にルーバー２０から出る水が確実に貯水部３２に導かれ、クライオポンプ容器１４の内部あるいは輻射シールド１８の内部に入り込むのを確実に防止することができる。また、水受け水路部材４１は、クライオポンプ排気時に水を凝縮してはならないので、クライオポンプ容器１４の側によって支持され、常温状態によって使用される。
【００４７】
次に図６を参照して本発明に係るクライオポンプの第３の実施形態を説明する。図６は図２と同様な図である。図６において、第１実施形態または第２実施形態で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４８】
この第３実施形態では、ルーバー２０に対して、ルーバー２０を極低温に保ちクライオポンプの性能を維持するための個別の他の冷凍機５１を付設している。この冷凍機５１は好ましくは一段式の冷凍機ユニットである。冷凍機５１はクライオポンプ容器１４の側に支持固定されている。この実施形態では、ルーバー２０は冷凍機５１に連結された状態で支持されている。その他の構成は基本的に第２実施形態の構成と同じである。
【００４９】
上記の第３実施形態の構成によれば、クライオポンプ１１によって大量の水を排気する場合に、他の冷凍機５１によりルーバー２０を極低温に保持することができ、これによりクライオポンプ１１の排気性能を高めることができる。
【００５０】
次に、前述したルーバー２０について各種の実施例について説明する。図７〜図１２で示した第１および第２の実施例に係るルーバーは、第２実施形態で説明された水受け水路部材（４１）と同一または類似の部材を下側に備えるルーバーの例を示している。図１３〜図２０は水受け水路部材を有しないルーバーの例を示す。
【００５１】
図７〜図９は第１実施例に係るルーバー２０Ａを示す。図７はルーバー２０Ａの平面図、図８は図７におけるＢ−Ｂ線断面図、図９は図８におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【００５２】
このルーバー２０Ａでは、その下側に、１つの水受け水路部材６１を、各凝縮板６２の傾斜方向の最下点となる直径位置に対応する位置に備えている。ルーバー２０Ａに設けられた複数の凝縮板６２のそれぞれは、図７に示すごとく水受け水路部材６１に対して直交する位置関係で配置されている。さらに図７と図８に示されるごとく、複数の凝縮板６３は、水受け水路部材６１を中心線位置として、左右のグループに分かれている。左右のグループのそれぞれで、複数の凝縮板６２は水受け水路部材６１の長手方向にて並べられ、複数の凝縮板６２の各々は水受け水路部材６１に向かって傾斜するように配置されている。さらに複数の凝縮板６２のそれぞれは、特に図９に示すごとく上側の間隔が狭くなるようにその幅方向に傾斜され、かつその長手方向に水受け水路部材６１に向かって傾斜されている。以上のルーバー２０Ａによれば、１つの水受け水路部材６１を用いて効率よく大量の水を集め、その一端側の下側に配置された貯水部６３に案内することができる。
【００５３】
次に、図１０〜図１２は第２実施例に係るルーバー２０Ｂを示す。図１０はルーバー２０Ｂの平面図、図１１は図１０におけるＤ−Ｄ線断面図、図１２は図１１におけるＥ−Ｅ線断面図である。
【００５４】
このルーバー２０Ｂでは、その下側に、１つの水受け水路部材７１を、各凝縮板７２の傾斜方向に最下点となる直径位置に対応する箇所に備えている。ルーバー２０Ｂに設けられた複数の凝縮板７２のそれぞれは、図１０に示すごとく同心円的な位置関係であって、水受け水路部材７１を中心線位置として左右のグループに分かれ、かつ半円形状にて並べられている。さらに複数の凝縮板７２のそれぞれは、幅方向に傾斜部を有し、水受け水路部材７１に向かって傾斜されている。以上のルーバー２０Ｂによれば、１つの水受け水路部材７１を用いて効率よく大量の水を集め、さらにその一端の下側に設けた貯水部７３に案内することができる。
【００５５】
次に、図１３〜図１５は第３実施例に係るルーバー２０Ｃを示す。図１３はルーバー２０Ｃの平面図、図１４は図１３におけるＦ−Ｆ線断面図、図１５は図１３におけるＧ−Ｇ線断面図である。
【００５６】
このルーバー２０Ｃでは、クライオポンプ容器１４の開口部の外側周囲に設けられたリング形状の貯水部３２に対して水を案内するように、複数の平板状の凝縮板８１のそれぞれは、内側の中心部側を高くしかつ外側を低くするようにして配置されている。複数の凝縮板８１のそれぞれは、上側の間隔が狭くなるように幅方向に傾斜され、かつ長手方向に外側の貯水部３２に向かって傾斜されている。なお図１６に示すごとく、凝縮板８１の好ましくは上側の面にその長手方向に複数の直線筋状の溝８２をつけることにより、水を案内するように構成することが望ましい。以上のルーバー２０Ｃによれば、水受け水路部材を用いることなく、効率よく大量の水を集め、貯水部３２に案内することができる。なお上記の溝８２は、前述の各実施例のルーバーの凝縮板に設けることが可能である。
【００５７】
次に、図１７〜図１９は第４実施例に係るルーバー２０Ｄを示す。図１７はルーバー２０Ｄの平面図、図１８は斜視図、図１９は図１７におけるＨ−Ｈ線断面図である。なお、図１８の斜視図では複数の凝縮板の一部を省略して示している。
【００５８】
ルーバー２０Ｄは、同心円的位置にある中心内筒９１と外筒９２を備え、これらの筒部材の間に等間隔で放射状に設けられる複数の凝縮板９３が配置されている。各凝縮板９３は、中心側の端部９３ａの幅が狭くかつ外側周縁の端部９３ｂの幅が広くなっており、さらにその幅方向に傾斜をつける共に下側辺部９３ｃが中心から外側周縁に向かうにつれて低くなるように傾斜している。また図１７に示されるごとく、各凝縮板９３の上側の表面には複数の上記溝８２が設けられている。なお図１８等では溝８２の図示は省略している。以上のルーバー２０Ｄによれば、水受け水路部材を用いることなく、効率よく大量の水を集め、前述したリング形状の貯水部３２に案内することができる。
【００５９】
図２０は、上記のルーバー２０Ｄにおける凝縮板９３の変形例を示す。この凝縮板９３−１は、その下辺部に折返し部９４を有している。この折返し部９４によって水が下方に落下するの防ぐことができる共に、水を外側周縁側に案内する。なお凝縮板９３−１の外側端部９３ｂは上記の外筒９２に接触しているので、当該外側端部で水を上記貯水部３２の中に落下させるように孔９５が形成されている。なお孔９５の代わりに、水を下方に落下させる切り欠きを形成してもよい。
【００６０】
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎず、また数値および各構成の組成（材質）については例示にすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明のクライオポンプは、真空処理装置の真空排気を行うものであって特に大量の水を排気する場合に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係るクライオポンプの第１実施形態を示す縦断面図である。
【図２】第１実施形態に係るクライオポンプの拡大縦断面図である。
【図３】本発明に係るクライオポンプの第２実施形態を示す縦断面図である。
【図４】第２実施形態に係るクライオポンプにおけるルーバーの平面図である。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図６】本発明に係るクライオポンプの第３実施形態を示す縦断面図である。
【図７】ルーバーの第１実施例を示す平面図である。
【図８】図７におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】図８におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】ルーバーの第２実施例を示す平面図である。
【図１１】図１０におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図１２】図１１におけるＥ−Ｅ線断面図である。
【図１３】ルーバーの第３実施例を示す平面図である。
【図１４】図１３におけるＦ−Ｆ線断面図である。
【図１５】図１３におけるＧ−Ｇ線断面図である。
【図１６】第３実施例に係るルーバーの凝縮板の表面を示す部分図である。
【図１７】ルーバーの第４実施例を示す平面図である。
【図１８】第４実施例に係るルーバーの斜視図である。
【図１９】図１７におけるＨ−Ｈ線断面図である。
【図２０】第４実施例に係るルーバーで使用される凝縮板の変形例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６３】
１１      クライオポンプ
１４      クライオポンプ容器
１５      冷凍機
１８      輻射シールド
２０      ルーバー
３２      貯水部
３３      排水口
３４      排水バルブ
３７      ヒータ
４１      水受け水路部材
５１      冷凍機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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