(57)【要約】【課題】搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法及び装置において、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる搬送物の除塵方法及び装置を提供する。【解決手段】搬送物通過用開口部４０が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム１、２内を連続搬送される平面状の搬送物１５の除塵方法において、搬送物通過用開口部４０の位置に、搬送物１５の表裏面のうち一方面をローラ５０で支持しながら、該ローラ５０に対向配置された加圧風噴出装置４８により搬送物１５の他方面に気体を吹き付けて搬送物１５に付着した異物を風圧により除去する除塵工程を設ける。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法において、
前記搬送物通過用開口部の位置に、前記搬送物の表裏面のうち一方面をローラで支持しながら、該ローラに対向配置された加圧風噴出装置により前記搬送物の他方面に気体を吹き付けて前記搬送物に付着した異物を風圧により除去する除塵工程を設けたことを特徴とする搬送物の除塵方法。
【請求項２】
前記加圧風噴出装置には、吸引装置が付加されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項３】
前記ローラは、粘着層を表面に有するローラであることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項４】
前記隣接配置された複数のクリーンルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が同等以上であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項５】
前記加圧風噴出装置には、超音波発生装置が付加されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項６】
前記加圧風噴出装置の加圧風は、異物除去フィルタを通過した空気を使用することを特徴とする請求項１〜５の何れか１に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項７】
前記搬送物は、長尺状搬送物であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項８】
前記搬送物は、枚葉式搬送物であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１に記載の搬送物の除塵方法。
【請求項９】
搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵装置において、
前記搬送物通過用開口部の位置に設けられ、前記搬送物の表裏面のうち一方面を支持するローラと、
前記ローラに前記搬送物を介して対向配置され、前記搬送面の上面に気体を噴出する加圧風噴出装置と、を備えたことを特徴とする搬送物の除塵装置。
【請求項１０】
前記搬送物の幅をＬ１、前記加圧風噴出装置の吹出口の前記搬送物幅方向の長さをＬ２、前記ローラの長さをＬ３としたときに、Ｌ１＜Ｌ２≦Ｌ３の関係にあることを特徴とする請求項９の搬送物の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は搬送物の除塵方法及び装置に係り、特に、隣接する２つ以上のクリーンルーム間において搬送物通過用開口部を介して平面状の搬送物を連続的に搬送する際における搬送物の除塵方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子産業分野における半導体や液晶ディスプレイ、医薬品分野における医薬用包装容器、食品分野における充填容器などの製品を製造するにあたり、フィルムや薄板状の基板などの平面状の搬送物を搬送しながら形成・加工する工程を有することが多い。この形成・加工工程においては、製品の品質確保、異物混入を防止するため、クリーンルーム内に設けられている。また、各工程において、それぞれクリーンルームが仕切られており、その仕切られた境界部に搬送物を搬送するための開口部が設けられている。
【０００３】
特許文献１には、積層体フィルム転写設備及び転写方法において、２つのクリーンルーム境界部にフィルムを挟み込むように２つの除塵装置を配置することが提案されている。特許文献２には、ラビング処理によって生じた異物を集塵ボックスの外に飛散させることなく系外に排出し、連続基板への付着や周辺装置への堆積を防止する方法および装置が提案されている。特許文献３には、連続ラビング処理装置において、ラビング処理が原因で発生する輝点故障を抑制する為、ラビングローラ（ラビングシートを巻いたローラ）の除塵およびラビング処理後のフィルム除塵が提案されている。
【特許文献１】特開２００３−７１９３２号公報
【特許文献２】特開２００５−２６６０１９号公報
【特許文献３】特開平９−１６６７８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、搬送テンション変動等により搬送物であるフィルムに振動が生じて、フィルムを擦ることによりキズを付けたり塵埃が発生してしまうという問題がある。また、異なる幅の製品を製造する時、製品幅を超える部分にも除塵装置のエアーを当てることとなり、フィルム端部の振動が発生し、付着していた塵埃を室内に吹き飛ばし、室内を汚染する原因となる。そして、特許文献２では、フィルム近傍の同伴エアーにより、フィルムと共に搬送される微小異物を除去できず、集塵ボックスの外に飛散させてしまうという問題がある。また、特許文献３では、フィルムの除塵を低清浄度室で行った場合、除塵後異物が再付着し、高清浄度室で行った場合、除塵前に剥がれた異物が除塵器下流側で再付着するという問題がある。
【０００５】
また、クリーンルーム内を搬送されて除塵される搬送物の幅は一定ではなく、搬送物の種類やロットの変更により搬送物の幅が異なることが通常である。この場合、搬送物の幅の違いに起因して、除塵のために吹き出される気体の気流に乱れが生じ、例えば光学補償フィルムのように極微量な塵埃の付着が光学特性に悪影響を及ぼすような精密除塵を必要とする場合には、搬送物の幅が変わっても気流に乱れが発生しないようにすることが必要である。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、例えば、基板等の枚葉式製造工程や光学補償フィルム製造工程において、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる搬送物の除塵方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、前記目的を達成するために、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法において、前記搬送物通過用開口部の位置に、前記搬送物の表裏面のうち一方面をローラで支持しながら、該ローラに対向配置された加圧風噴出装置により前記搬送物の他方面に気体を吹き付けて前記搬送物に付着した異物を風圧により除去する除塵工程を設けたことを特徴とする搬送物の除塵方法を提供する。
【０００８】
搬送物の幅が変わることによる気流の乱れは、加圧風噴出装置から吹き出される気体の幅（搬送物幅方向に対応する幅）に対して搬送物の幅が小さくなると、搬送物のない部分に気体が吹き出される割合が大きくなることに起因して発生し易い。
【０００９】
そこで、本発明では、加圧風噴出装置に対向させてローラを設けたので、該ローラを搬送される搬送物の幅が変わっても、加圧風噴出装置から吹き出された気体はローラにより受け止れるので、気流の乱れが発生しにくい。
【００１０】
本発明の請求項１によれば、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法において、搬送物通過用開口部で、搬送物を加圧風噴出装置とローラとで挟む構造とし、加圧風噴出装置の風圧によって上流側のクリーンルームでの工程で発生し付着した搬送物上面の異物を除去することで、搬送物のもう一方の面に設けられたローラが搬送物の裏面を支持することができるので、搬送物端部の振動の発生を抑えることができる。また、搬送物裏面に設けられたローラによって、加圧風噴出装置の風圧による除塵後の異物が搬送物裏面に回りこみ再付着することも防ぐことができる。
【００１１】
従って、基板等の枚葉式製造工程や光学補償フィルム製造工程において、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる搬送方法を提供することができる。
【００１２】
請求項２は請求項１において、前記加圧風噴出装置には、吸引装置が付加されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項２によれば、加圧風噴出装置には、吸引装置が付加されていることで、加圧風噴出装置の風圧で搬送物から除去した異物が吸引装置によって吸引されるので、クリーンルーム内を汚染するのを防止できる。
【００１４】
請求項３は請求項１又は２において、前記ローラは、粘着層を表面に有するローラであることを特徴とする。
【００１５】
請求項３によれば、搬送物裏面に付着していた異物もローラで除去することができるので更に好ましい。
【００１６】
請求項４は、請求項１〜３の何れか１において、前記隣接配置された複数のクリーンルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が同等以上であることを特徴とする。
【００１７】
請求項４によれば、隣接配置された複数のクリーンルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度を同等以上にすることが、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制するのに好ましい。
【００１８】
請求項５は、請求項１〜４の何れか１において、前記加圧風噴出装置には、超音波発生装置が付加されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項５によれば、加圧風噴出装置に超音波発生装置が付加されていることで、超音波振動する圧縮空気を搬送物に吹付けることができるので、微小異物を効果的に除去することができる。
【００２０】
請求項６は、請求項１〜５の何れか１において、前記加圧風噴出装置の加圧風は、異物除去フィルタを通過した空気を使用することを特徴とする。
【００２１】
請求項６によれば、加圧風噴出装置の加圧風に異物除去フィルタを通過した空気を使用するので、更に微小異物を効果的に除去することができる。
【００２２】
請求項７は、請求項１〜６の何れか１において、前記搬送物は、長尺状搬送物であることを特徴とする。また、請求項８は、請求項１〜６の何れか１において、前記搬送物は、枚葉式搬送物であることを特徴とする。
【００２３】
請求項９の発明は、前記目的を達成するために、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵装置において、前記搬送物通過用開口部の位置に設けられ、前記搬送物の表裏面のうち一方面を支持するローラと、前記ローラに前記搬送物を介して対向配置され、前記搬送面の上面に気体を噴出する加圧風噴出装置と、を備えたことを特徴とする搬送物の除塵装置を提供する。
【００２４】
請求項９の発明は、請求項１の方法発明を装置発明で構成したものである。
【００２５】
請求項１０は、請求項９において、前記搬送物の幅をＬ１、前記加圧風噴出装置の吹出口の前記搬送物幅方向の長さをＬ２、前記ローラの長さをＬ３としたときに、Ｌ１＜Ｌ２≦Ｌ３の関係にあることを特徴とする。
【００２６】
請求項１０の発明によれば、搬送物の幅をＬ１、加圧風噴出装置の吹出口の前記搬送物幅方向の長さをＬ２、ローラの長さをＬ３としたときに、Ｌ１＜Ｌ２≦Ｌ３の関係である場合に特に有効である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法及び装置において、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる搬送物の除塵方法及び装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付図面により本発明の搬送物の除塵方法及び装置の好ましい実施の形態について詳説する。尚、ここでは、光学補償フィルム製造工程の場合について説明するが、光学補償フィルム製造工程に限らず、搬送物が平面状であれば何れの製造工程にも適用できる。
【００２９】
図１は、配向膜形成用樹脂層を有するフィルムを用いて光学補償フィルムを製造する製造装置の一例である。図１に示すように光学補償シートを作成して巻き取るまでの工程を連続的に、一貫生産で行なっても良い。配向膜形成用樹脂層を有するフィルムロール１２から、配向膜形成用樹脂層を有する透明樹脂フィルム１４が送出機１６により送り出され、ラビングローラ１８、ローラステージに固定されたガイドローラ２０及びラビングローラに備え付けられた除塵機２２からなるラビング装置により、ラビング処理が施され、形成された配向膜の表面は、ラビング装置に隣接して設けられた表面除塵機２２により除塵される。配向膜が形成された透明樹脂フィルム１４は、駆動ローラにより搬送され、配向膜上に、液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液が塗布機２４により塗布され、次いで、溶剤を蒸発させた後、加熱ゾーン２６において、塗布層をディスコネマティック相形成温度に加熱して（ここで塗布層の残留溶剤も蒸発する）、ディスコネマティック相の液晶層を形成する。
【００３０】
上記液晶層は、次いで、紫外線（ＵＶ）ランプ２８により紫外線が照射され、液晶層は架橋する。架橋させるためには、液晶性ディスコティック化合物として架橋性官能基を有する液晶性ディスコティック化合物を使用する必要がある。架橋性官能基を持たない液晶性ディスコティック化合物を用いた場合は、この紫外線照射工程は省略され、直ちに冷却される。この場合、ディスコネマティック相が冷却中に変化しないように、冷却は急速に行なう必要がある。配向膜及び液晶層が形成された透明樹脂フィルムは、検査装置３０により透明樹脂フィルム表面の光学特性が測定され、異常がないかどうか検査が行なわれる。次いで、液晶層表面に保護フィルム３２がラミネート機３４によりラミネートされ、巻き取り装置３６に巻き取られる。
【００３１】
ここで、光学補償フィルム製造工程は、主に、１）透明樹脂フィルム１４送出工程Ａ、２）表面に配向膜形成用樹脂層が形成された透明樹脂フィルム上に、樹脂層の表面にラビング処理を施し、透明樹脂フィルム上に配向膜を形成するラビング工程Ｂ、３）液晶性ディスコティック化合物を含む塗布液を、配向膜上に塗布する液晶性ディスコティック化合物の塗布工程Ｃ、４）該塗布層を乾燥して該塗布層中の溶媒を蒸発させる乾燥工程Ｄ、５）該液晶層を固化する（即ち、架橋性官能基を有する液晶性ディスコティック化合物を使用した場合、液晶層を光照射により架橋させる工程Ｅ、６）該配向膜および液晶層が形成された透明樹脂フィルムを巻き取る巻取工程Ｆ、とで構成されているが、各工程Ａ〜Ｆの装置は、図１に示すように、それぞれ仕切られたクリーンルーム内に設けられている。それぞれのクリーンルームは、接する２つのクリーンルーム間において搬送物通過用開口部４０が設けられている。
【００３２】
本発明は、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法において、前記搬送物通過用開口部の位置に、前記搬送物の表裏面のうち一方面をローラで支持しながら、該ローラに対向配置された加圧風噴出装置により前記搬送物の他方面に気体を吹き付けて前記搬送物に付着した異物を風圧により除去する除塵工程を設けたことを特徴とする。
【００３３】
以下、ラビング工程Ｂのクリーンルームｂと塗布工程Ｃのクリーンルームｃとについて説明する。
【００３４】
通常、異物を除去するための加圧風噴出装置は、クリーンルームｃ内の塗布機２４の上流側に設けられている。
【００３５】
透明樹脂フィルム１４は、ガイドローラ４２、４４でガイドされて走行するようになっている。本発明では、図２に示すように、搬送物通過用開口部４０に、透明樹脂フィルム１４に付着した異物４６を風圧で除去する加圧風噴出装置４８が設けられている。そして、透明樹脂フィルム１４を介して加圧風噴出装置４８に対向してローラ５０が設けられている。加圧風噴出装置４８には、吸引装置が付加されていること好ましい。加圧風噴出装置４８は、図３に示すように、噴出口４８ａと吸引口４８ｂとが１つずつのもの（Ａ）、噴出口４８ａが１つで吸引口４８ｂが２つのもの（Ｂ）、噴出口４８ａが２つで吸引口４８ｂが１つもの（Ｃ）、などが考えられる。
【００３６】
搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法において、搬送物通過用開口部４０で、透明樹脂フィルム１４を加圧風噴出装置４８とローラ５０とで挟む構造とし、加圧風噴出装置４８の風圧によって上流側のクリーンルームｂでの工程で発生し付着した透明樹脂フィルム１４片面の異物４６を除去することで、透明樹脂フィルム１４のもう一方の面に設けられたローラ５０が透明樹脂フィルム１４を支持することができるので、透明樹脂フィルム１４端部の振動の発生を抑えることができる。また、透明樹脂フィルム１４のもう一方の面に設けられたローラによって、加圧風噴出装置４８の風圧による除塵後の異物が透明樹脂フィルム１４のもう一方の面に回りこみ再付着することも防ぐことができる。そして、加圧風噴出装置４８に吸引装置が付加されていることで、加圧風噴出装置４８の風圧で透明樹脂フィルム１４から除去した異物によってクリーンルームｂ、ｃ内を汚染するのを防止できる。尚、搬送物の表裏面のうち一方面を支持するローラ５０は、図２のように、透明樹脂フィルム１４の上面に設けることが好ましい。
【００３７】
従って、光学補償フィルム製造工程において、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる。
【００３８】
尚、加圧風噴出装置４８の風圧は、圧力が高い方が異物除去能力が増すが、１０ＫＰａを超えて使用する場合は、搬送物が振動し加圧風噴出装置４８と接触する可能性が高くなり、吸引装置を付与することが必要となる。加圧風噴出装置４８の風圧は、８ＫＰａ〜４０ＫＰａの範囲で使用することが望ましい。
【００３９】
尚、加圧風噴出装置４８と対向するローラ５０と透明樹脂フィルム１４とのラップ角は、通常の場合、３８度以上であり、好ましくは４３度〜１８０度である。
【００４０】
使用する透明樹脂フィルム１４としては、一般に、その幅が３００〜２０００ｍｍ、長さが４５〜１００００ｍ、厚さが２〜２００μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン−2,6 −ナフタレート、セルロースダイアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートプロピオネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド等のプラスチックフィルム、紙、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンブテン共重合体等の炭素数が２〜１０のα−ポリオレフィン類を塗布又はラミネートした紙等からなる可撓性帯状物あるいは該帯状物を基材としてその表面に加工層を形成した帯状物が含まれる。
【００４１】
透明樹脂フィルム１４への塗布液の塗布量としては、２〜１５ｍＬ／ｍ2 の範囲が好ましく採用できる。また、透明樹脂フィルム１４への塗布液の塗布幅としては、５００〜２０００ｍｍの範囲が好ましく採用できる。
【００４２】
また、塗布液の粘度としては、０．８〜１０ｃｐ（０．８〜１０×１０-3Ｐａ・ｓ）の範囲が好ましく採用できる。
【００４３】
以上、本発明の搬送方法を長尺状搬送物である光学補償フィルムの製造工程の場合について説明したが、長尺状搬送物である光学補償フィルム製造工程に限らず、搬送物が基板などの枚葉式搬送物の製造工程にも適用できる。
【００４４】
図４は、薄板状の基板などの平面状の搬送物を搬送しながら形成・加工する工程において、接する２つのクリーンルーム間において搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して枚葉式搬送物１５が連続的に搬送される様子を示した図である。
【００４５】
平面状の搬送物１５は、ガイドローラ４２、４３，４４でガイドされて走行するようになっている。図４（Ａ）に示すように、搬送物通過用開口部４０に、枚葉式搬送物１５に付着した異物４６を風圧で除去する加圧風噴出装置４８が設けられている。そして、枚葉式搬送物１５を介して加圧風噴出装置４８に対向してローラ５０が設けられている。
【００４６】
このように、搬送物通過用開口部が形成された境界部を介して直列に隣接配置された複数のクリーンルーム内を連続搬送される平面状の搬送物の除塵方法において、搬送物通過用開口部４０で、枚葉式搬送物１５を加圧風噴出装置４８とローラ５０とで挟む構造とし、加圧風噴出装置４８の風圧によって上流側のクリーンルーム１での工程で発生し付着した枚葉式搬送物１５片面の異物４６を除去することで、枚葉式搬送物１５もう一方の面に設けられたローラ５０が枚葉式搬送物１５を支持することができるので、枚葉式搬送物１５端部の振動の発生を抑えることができる。また、透枚葉式搬送物１５のもう一方の面に設けられたローラによって、加圧風噴出装置４８の風圧による除塵後の異物が枚葉式搬送物１５のもう一方の面に回りこみ再付着することも防ぐことができる。
【００４７】
従って、光学補償フィルムなどの長尺状搬送物の製造工程だけでなく搬送物が基板などの枚葉式搬送物の製造工程においても、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制して高得率で製造することができる。
【００４８】
尚、加圧風噴出装置４８と搬送物１５の距離Ｈは小さくすると異物除去能力が増すが、搬送物１５のテンションが低い場合には、テンション変動により加圧風噴出装置４８と接触する可能性が高くなる。一方、加圧風噴出装置４８と搬送物１５の距離Ｈは大きくすると異物除去能力が低下し、搬送物の付着異物を全て除去できない。従って、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の点線部分４０ａの拡大図であるが、加圧風噴出装置４８と搬送物１５との距離Ｈには適切な範囲がある。本願出願人の実験によると、通常１ｍｍ〜３ｍｍ、好ましくは１ｍｍ〜２ｍｍをもって加圧風噴出装置４８を搬送物１５に対して設置するのが良い。また、搬送物の幅の変更が生じても加圧風噴出し及び吸引幅の変更を行うことなく製造を行うためには、加圧風噴出装置４８とローラ５０の距離Ｈ’が距離Ｈと同じ範囲内で設置する。ここで、ローラ５０の直径が小さくなると搬送物１５とのクリアランス調整が困難である。通常の場合、直径１００ｍｍ以上であるが、本願出願人の実験によると、好ましくは直径１５０ｍｍ〜３００ｍｍの範囲が良い。
【００４９】
そして、ローラ５０は、異物除去を目的とした粘着層を表面に有するローラであることが好ましい。搬送物１５の加圧風噴出装置４８裏面に付着していた異物もローラで除去することができるからである。異物除去を目的とした粘着層を有するローラを使用する場合、粘着力が小さいと異物除去能力が低下する。一方、粘着力が大きいと搬送速度変動が大きくなり、また搬送物が帯電しその後の工程で他の故障を誘発したり、ゴミ付着の可能性が高くなる。従って、粘着力には適切な範囲があり、本願出願人の実験によると、通常４０〜１３５ｈＰａであり、好ましくは４５〜１００ｈＰａである。
【００５０】
また、隣接配置された複数のクリーンルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度が同等以上であることが好ましい。隣接配置された複数のクリーンルームは、搬送方向の下流側が上流側と比べて清浄度を高く、又は、清浄度を同じにすることが、平面状の搬送物への異物付着による欠陥を抑制するのに好ましいからである。尚、図３のような加圧風噴出装置に吸引装置が付加されていない場合には、図５に示すように搬送方向の上流側に加圧風噴出装置４８のエアーが行くように加圧風噴出装置４８を下流側に傾ける。
【００５１】
更に、加圧風噴出装置４８には、超音波発生装置が付加されていることが好ましい。加圧風噴出装置に超音波発生装置が付加されていることで、超音波振動する圧縮空気を搬送物に吹付けることができるので、微小異物を効果的に除去することができる。そして、加圧風噴出装置４８の加圧風は、異物除去フィルタを通過した空気を使用することが好ましい。加圧風噴出装置の加圧風に異物除去フィルタを通過した空気を使用するので、更に微小異物を効果的に除去することができる。
【００５２】
更に、図６に示すように、搬送物の幅をＬ１、加圧風噴出装置の吹出口の搬送物幅方向の長さをＬ２、ローラの長さをＬ３としたときに、Ｌ１＜Ｌ２≦Ｌ３の関係にあることが好ましい。Ｌ１＜Ｌ２≦Ｌ３の関係であることで、効果的に搬送物端部の振動の発生を抑えることができ、加圧風噴出装置の風圧による除塵後の異物が搬送物裏面に回りこみ再付着することも防ぐことができる。
【実施例】
【００５３】
次に、図１に示した光学補償フィルム製造装置１０を用いて実施例を説明する。
（光学補償フィルム用塗布液の調製）
下記に示すディスコティック化合物ＴＥ−８のＲ（１）とＲ（２）の重量比で４：１の混合物に対し、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート（Ｖ♯３６０、大阪有機科学（株）製）を１０重量％、セルロースアセテートプチレート（ＣＡＢ５３１−１、イーストマンケミカル社製）を０．６重量％、光重合開始剤（イルガキュア９０７、日本チバガイギー（株）製）を３重量％、増感剤（カヤキュアーＤＥＴ−Ｘ、日本化薬（株）製）を１重量％添加し、最終的にその混合物の３２重量％メチルエチルケトン溶液とした。その液晶性化合物を含む液に、さらにフッ素系界面括性剤（フルオロ脂肪族基含有共重合体、メガファックＦ７８０、大日本インキ（株）製）を０．３重量％添加し、塗布液とした。
【００５４】
【化１】
2008253864.tif 000003
【００５５】
（塗布条件）
・掻取り用バー装置…直径８ｍｍの円柱状の芯材に０．０７ｍｍのワイヤーを密に巻回したワイヤーバー
・塗布速度…２０ｍ／分
・塗布テンション…２００Ｎ／ｍ
〔比較例１〕
特許文献１（特開２００３−７１９３２）に示されているように、図１の搬送物通過用開口部４０に加圧風噴出装置４８を設けた。また、加圧風噴出装置４８には、吸引装置を付加した。尚、加圧風噴出装置４８は搬送物に対して距離Ｈが２ｍｍのところに設けた。
【００５６】
〔比較例２〕
特許文献２（特開２００５−２６６０１９）に示されているように、図１の搬送物通過用開口部４０に吸引装置を設けた。尚、吸引装置は搬送物に対して距離Ｈが２ｍｍのところに設けた。
【００５７】
〔比較例３〕
図１の搬送物通過用開口部４０には何も設けなかった。
【００５８】
〔実施例１〕
図１の搬送物通過用開口部４０に加圧風噴出装置４８を設けた。尚、加圧風噴出装置４８は搬送物に対して距離Ｈが２ｍｍのところに設けた。そして、加圧風噴出装置４８に対向して搬送物を介してローラ５０を設けた。尚、ローラの径は１５０ｍｍであった。
【００５９】
〔実施例２〕
図１の搬送物通過用開口部４０に加圧風噴出装置４８を設けた。また、加圧風噴出装置４８には、吸引装置を付加した。尚、加圧風噴出装置４８は搬送物に対して距離Ｈが２ｍｍのところに設けた。そして、加圧風噴出装置４８に対向して搬送物を介してローラ５０を設けた。尚、ローラの径は１５０ｍｍであった。
【００６０】
〔実施例３〕
図１の搬送物通過用開口部４０に加圧風噴出装置４８を設けた。尚、加圧風噴出装置４８は搬送物に対して距離Ｈが２ｍｍのところに設けた。そして、加圧風噴出装置４８に対向して搬送物を介して粘着層を表面に有するローラ５０を設けた。尚、ローラの径は１５０ｍｍであった。
【００６１】
〔実施例４〕
図１の搬送物通過用開口部４０に加圧風噴出装置４８を設けた。また、加圧風噴出装置４８には、吸引装置を付加した。尚、加圧風噴出装置４８は搬送物に対して距離Ｈが２ｍｍのところに設けた。そして、加圧風噴出装置４８に対向して搬送物を介して粘着層を表面に有するローラ５０を設けた。尚、ローラの径は１５０ｍｍであった。
【００６２】
（評価）
長尺上搬送物２０００ｍ塗布・検査後の異物除去数の比較結果を表１に示す。振動に関しては目視により、通常の搬送物通過用開口部４０を通過する振動の５０％以下を○、５０〜１００％を△、１００％以上を×と評価した。また、異物付着評価に関しては塗布後の異物付着による故障を検査機にて、通常の異物故障数の３０％以下を○○○、３０〜５０％を○○、５０〜７０％を○、７０〜１００％を△、１００％以上を×と評価した。
【００６３】
【表１】
2008253864.tif 000004
【００６４】
（試験結果）
表１の結果から分かるように、接する２つのクリーンルーム間において搬送物通過用開口部を介して連続的に搬送される工程において、搬送物通過用開口部で、搬送物上面を加圧風噴出装置の風圧によって搬送物上面に付着した異物を除去するとともに、加圧風噴出装置に対向して前記搬送物を介してローラを設けた実施例１〜４は、そうではない比較例１〜３に比べ、振動及び異物付着評価において良い結果となっている。実施例１と実施例２との比較から、加圧風噴出装置に吸引装置が付加されていることで異物付着評価において良い結果となっている。また、実施例２と実施例４との比較から、ローラには異物除去を目的とした粘着層を表面に有するほうが異物付着評価において良い結果となっている。
【００６５】
〔実施例５〜９〕
更に、実施例１の条件で距離Ｈとローラの径を変えて試験を行った。変えた条件、及び異物付着評価結果を表２に示す。
【００６６】
【表２】
2008253864.tif 000005
【００６７】
（試験結果）
表２の結果から分かるように、実施例１、５及び６から、加圧風噴出装置４８と搬送物との距離Ｈには適切な範囲があり、好ましくは１ｍｍ〜２ｍｍをもって加圧風噴出装置４８を搬送物に対して設置するのが良い。また実施例１及び７〜９から、ローラ５０の径は１５０ｍｍ〜３００ｍｍの範囲が好ましいことが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】光学補償シートの製造工程の一例を示す概略図
【図２】本発明に係る搬送物通過用開口部を説明する説明図
【図３】本発明に係る加圧風噴出装置とローラを説明する説明図
【図４】搬送物が枚葉式搬送物である場合の搬送物通過用開口部を説明する説明図
【図５】本発明に係る搬送物通過用開口部の加圧風噴出装置を説明する説明図
【図６】本発明に係る搬送物通過用開口部を説明する正面図
【符号の説明】
【００６９】
１０…光学補償フィルム製造装置、１２…フィルムロール、１４…透明樹脂フィルム、１５…搬送物、１６…送出機、１８…ラビングローラ、２０…ガイドローラ、２２…除塵機、２４…塗布機、２６…加熱ゾーン、２８…紫外線（ＵＶ）ランプ、３０…検査装置、３２…保護フィルム、３４…ラミネート機、３６…巻き取り装置、４０…搬送物通過用開口部、４２、４３、４４…ガイドローラ、４６…異物、４８…加圧風噴出装置、５０…ローラ
【図１】
2008253864.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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