(57)【要約】【課題】  軟性金属材料などの表面処理が困難な部材であっても高度に鏡面仕上げを行うことができ、緻密な削り作用による表面処理の作業を高効率に行うことができるペースト材料を提供すること【解決手段】  磁気研磨液４は、磁性を有する金属粒子と、溶媒と、低融点樹脂とを含み、溶媒は植物油脂とし、低融点樹脂は溶媒に不溶解性で低融点の樹脂材料から形成する組成にする。磁性金属粒子は非球形で鋭い角部を有する形状とし、粒子径を１０μｍから３００μｍとし、体積磁化４πＭでの飽和磁化が１５ｋＧ以上のものとする。永久磁石２０の磁界が作用すると磁性金属粒子が互いに吸着し合い、磁気クラスタが生成する。磁性金属粒子は砥粒としても機能し、磁気クラスタが、緻密な削りを行う磁気ブラシとなる。砥粒である磁性金属粒子は、磁界の作用により磁気ブラシ内に留まり染み出すことがない。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウムやその合金など比較的に軟らかい軟性金属材料の対象物に対して緻密な削り作用による表面処理を行うために、前記対象物と非接触に対面する磁界発生源の周辺に存在させ、磁界の作用により連動させるペースト材料であって、
磁性を有する金属粒子および溶媒を含み、前記金属粒子は、体積磁化４πＭでの飽和磁化が１５ｋＧ以上であることを特徴とするペースト材料。
【請求項２】
前記溶媒は植物油脂であることを特徴とする請求項１に記載のペースト材料。
【請求項３】
前記溶媒中に、当該溶媒に溶解しない不溶解性の低融点樹脂を混合させて含むことを特徴とする請求項１または２に記載のペースト材料。
【請求項４】
前記低融点樹脂は、融点が４０℃以上から８０℃以下であることを特徴とする請求項３に記載のペースト材料。
【請求項５】
前記金属粒子は、角部を有する形状であることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載のペースト材料。
【請求項６】
前記金属粒子は、粒子径が１０μｍから３００μｍであることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載のペースト材料。
【請求項７】
前記金属粒子が、鉄粉末であることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のペースト材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルミニウムやその合金など、比較的に軟らかい軟性金属材料の対象物に対して緻密な削り作用による表面処理を行うためのペースト材料に関するもので、より具体的には、磁界の作用により連動して流動する磁気研磨液（ペースト材料）において、緻密な削り作用を発揮する組成についての改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属材料にあっては、各種工業製品への適用において、装飾性や機能性の面から表面性状の改質を行う表面処理が必要であり、その表面について研磨および洗浄等の表面処理が行われている。金属材料として、特に使用量が多く需要が大きいものは鉄系材料であるが、近年は軽量化の要求から、アルミニウムやその合金などアルミニウム系材料に注目があり需要が高まっている。
【０００３】
表面処理の一つには鏡面仕上げがあり、上述したアルミニウム系材料でも重要な表面処理となる。つまり、部材表面の鏡面仕上げは外観の美しさを得ることはもちろん、アルミニウム系材料ではメッキ処理前の下地作りや、多層構造での重ね合わせ面の接着性向上といった目的から特に重要となっている。
【０００４】
鏡面仕上げが行い得る精密研磨の技術として、いわゆる磁気研磨法と呼ばれる技術がよく知られている。これは、磁性流体（ＭＦ：Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｆｌｕｉｄ）や磁気粘性流体（ＭＲＦ：Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｒｈｅｏｌｏｇｉｃａｌ  Ｆｌｕｉｄ）を研磨粒子と混合させ、磁界により混合液を運動させることで研磨を行っている。
【０００５】
研磨バイトには永久磁石を備えて磁界発生源とし、その研磨バイトの周りに磁気研磨液（ペースト材料）を付着させると、磁気吸引力によりＭＦやＭＲＦ中の強磁性粒子（例えば、鉄粒子），マグネタイト粒子が、多数凝集して磁気クラスタを形成する。この磁気クラスタは、磁束に沿うので研磨対象に対立して針状に多数が立ち並ぶ態様を採る。よって、磁気研磨液が研磨バイトに付着して磁気ブラシとなる。
【０００６】
磁気ブラシあるいは研磨対象が回転動作することにより、両者間の相対運動により磁気ブラシが研磨対象の表面を接触した状態で移動する。その結果、研磨対象の表面の凹凸は研磨粒子を伴う磁気ブラシが研磨し、より平滑な表面を得ることができ、非接触の流体研磨が行える。
【０００７】
このような磁界の作用により非接触の流体研磨を行うための磁気研磨液に関しては、例えば特許文献１などに見られるような技術の開示がある。特許文献１には、強磁性粒子である鉄と研磨粒子である非磁性のアルミナとを混合した組成が示されている。
【特許文献１】特開平６−１１６５４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、アルミニウム系材料は比較的軟らかく、いわゆる軟性金属材料であることから、研磨処理に伴い微細な傷や白濁等が残ってしまい、鏡面仕上げなどの表面処理は容易ではない。つまり、磁気研磨法を適用した場合、磁気研磨液に含有させた砥粒により傷が入りやすいという問題がある。これは、磁気研磨液の砥粒にはアルミナや炭化ケイ素などを用いるが、これらの砥粒は軟性金属材料に比べて硬度が格段に高く、このため磁気研磨の際に対象物（軟性金属材料）の表面に傷をつけてしまい、その傷によって表面が白濁化するため高度な鏡面を得ることは容易ではない。
【０００９】
なお、別の方法として、有機溶媒や酸，アルカリ等により化学的に表面処理する化学研磨や、酸，アルカリ等のイオン化により表面処理する電解研磨の方法などもあるが、軟性金属材料へ使用することでは反応性の問題があって一般的ではない。
【００１０】
現状は、アルミニウム系材料では、鏡面仕上げにはバフ研磨が行われている。これは、いわゆるバフによる手磨きであって効率が非常に悪く、このためアルミニウム系材料の表面処理について自動化が求められている。
【００１１】
磁気研磨法における問題点としては、ＭＦによる磁気研磨では、磁界を作用させた際に磁性粒子の固定が弱く、研磨効率が低いため長時間の磁気研磨が必要になる。また、ＭＦは粒子径１０ｎｍ程度の磁性粒子を均一に分散させたものであるため、研磨加工後の洗浄が困難であり、微小な隙間に磁性粒子がつまってしまい、除去できなくなる問題が起きる。ＭＲＦによる磁気研磨では、磁気クラスタの制御が難しく、研磨対象の表面に深いスクラッチ痕ができ易く、精細な仕上げ加工への適用に改善の余地がある。
【００１２】
前述した特許文献１などがそうであるように、磁気研磨液を構成する研磨粒子には一般にアルミナ等の非磁性粒子を使用している。しかし、磁気研磨の際は、磁気研磨液には研磨バイトの回転運動による大きな遠心力が作用し、そして研磨バイトの磁石による磁界の分布の影響から、非磁性粒子の一部は磁気クラスタにトラップされなく、磁気ブラシから染み出してしまう問題がある。そのため、染み出した非磁性粒子が加工面を汚染し、磁気研磨液中から研磨粒子の分量が減ることでの研磨効率の低下が起きる。
【００１３】
また、特許文献１などのように、強磁性粒子は鉄（金属材料）とし、これと非磁性の研磨粒子（アルミナ）とを混合させる組成は、両者の結合性が悪く、壊れやすいため寿命が短くなり、品質の安定性の面で不安がある。
【００１４】
この発明は上述した課題を解決するもので、その目的は、軟性金属材料などの表面処理が困難な部材であっても高度に鏡面仕上げを行うことができ、緻密な削り作用による表面処理の作業を高効率に行うことができるペースト材料を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述した目的を達成するために、本発明に係るペースト材料は、アルミニウムやその合金など比較的に軟らかい軟性金属材料の対象物に対して緻密な削り作用による表面処理を行うために、前記対象物と非接触に対面する磁界発生源の周辺に存在させ、磁界の作用により連動させるペースト材料であって、磁性を有する金属粒子および溶媒を含み、金属粒子は、体積磁化４πＭでの飽和磁化が１５ｋＧ以上であるものとする（請求項１）。
【００１６】
溶媒は植物油脂とし（請求項２）、溶媒中には当該溶媒に溶解しない不溶解性で低融点樹脂を混合させて含ませる（請求項３）。この低融点樹脂は、融点を４０℃以上から８０℃以下であるものとする（請求項４）。
【００１７】
また、金属粒子は、角部（好ましくは鋭い角部）を有する形状であるものとする（請求項５）。さらに金属粒子は、粒子径を１０μｍから３００μとし、好ましくは３０μｍから１００μｍ程度とすることがよい（請求項６）。この金属粒子には、鉄粉末を用いることができる（請求項７）。
【００１８】
本発明では、ペースト材料は組成を磁性金属粒子および溶媒を含むものとし、磁性金属粒子は、いわゆる磁気研磨において磁気クラスタを形成する機能と、研磨のための研磨材（砥粒）の機能を発揮することになる。つまり、磁性を有する金属粒子は、磁界をかけることで当該粒子は磁気クラスタを形成する。そして、この磁性金属粒子は、対象物とした軟性金属材料等に比べて一般に硬い部材となる。よって、金属粒子は研磨のための砥粒として機能させることができ、磁気クラスタそのものが、緻密な削りを行う磁気ブラシとなる。したがって、緻密な削り作用による表面処理の作業、例えば鏡面仕上げなどを良好に行うことができる。
【００１９】
この場合、磁気クラスタそのものが、緻密な削りを行う磁気ブラシとなり、砥粒である磁性金属粒子は磁界発生源の磁界により磁気ブラシ内に留まり染み出すことがない。したがって、加工面の汚染がなく、砥粒の減少がないため、緻密な削り作用による表面処理を高効率に行うことができる。
【００２０】
そして、金属粒子が磁化を持ち、これによる磁気クラスタそのものが研磨のための磁気ブラシとなるので、磁気バイトにつく磁気ブラシの付着度が高くなり、研磨バイトに連動する磁気ブラシのレスポンスが向上し、これによっても研磨効率が高くなる。
【００２１】
また、対象物の表面に有機物などの汚れが付着している場合、有機物は対象物よりも硬度が小さいため削り取ることが容易であり、磁性金属粒子による磁気ブラシの緻密な削り作用によって簡単に除去することができ、対象物の表面を傷つけることなく表面処理としていわゆる洗浄が行える。
【００２２】
研磨力を得るには、金属粒子は角部を持たせた（好ましくは鋭い角部を持たせた）形状がよい。金属粒子は、還元法やアトマイズ法による製造では形状が球形となってしまい、角部ができないため研磨力が弱くなる。粒子形状に角部，鋭い角部を持たせるには、機械力により粉砕する製造による粒子を使用するとよい。
【００２３】
ペースト材料（磁気研磨液）において、研磨の可否は磁気ブラシの強さに依存し、磁気ブラシが十分に強くないと研磨はできなくなる。この磁気ブラシの強さは、これを形成する粒子一つ当たりの磁化の強さに依存し、つまり、磁性金属粒子の飽和磁化が大きいほど強く、また粒子径が大きいほど強くなる。十分な研磨力を得るには、金属粒子の磁化は体積磁化４πＭでの飽和磁化が１５ｋＧ以上であることがよく、強ければ強いほどよい。
【００２４】
金属粒子の粒子径は、小さすぎると研磨できなくなるので１０μｍ以上にすることが好ましい。しかし、粒子径が大きくなると、研磨対象の表面に対する傷が大きくなるため、上限は３００μｍ以下とすることがよい。より好ましくは粒子径は３０μｍから１００μｍにしたい。そして、金属粒子としては、安価であり入手が容易な鉄が最適と言える。
【００２５】
溶媒として植物油脂を使用することは、安全性および価格等から好ましいと言える。
【００２６】
また、ペースト材料はその溶媒中に、当該溶媒に不溶解性で低融点樹脂を混合することにより、低融点樹脂と溶媒とが、相溶性により形状を維持しつつ応力による流動性のあるものとすることができる。外力が作用しない無応力となる際は、低融点樹脂が、溶媒中の金属粒子を保持するので沈降を抑えることができる。そして、外力の作用時には溶媒の流動性により流動することができる。
【００２７】
低融点樹脂を少量だけ混合した場合、金属粒子と溶媒の分離を引き起こすが、金属粒子の間に低融点樹脂が存在するため分散性はよくなり、混合が容易になるので少量の混合であっても有効である。この低融点樹脂の混合量は、当該低融点樹脂の融点，粒子径および磁気研磨液の形状維持度，粘度に応じて決定することになる。
【００２８】
低融点の樹脂の融点は、例えば１００℃以下程度のものとする。これは、融点が１００℃程度の樹脂の分子量は、１０００程度であるが、融点が１２０℃程度の樹脂の分子量は１００００程度となり、硬くなる。そして、１００℃を越えた温度付近で、分子量が急激に増加する分岐点となる。そのため、係る増加する前の１００℃以下の樹脂が低融点の樹脂といえる。
【００２９】
さらに低融点樹脂は、融点が低すぎると環境温度の変化により液体化してフェライト粒子の沈降を引き起こすため融点は４０℃以上が好ましい。しかし、高温すぎると硬くなり、溶媒との相溶性が低下するため上限は８０℃以下がよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係るペースト材料では、磁性を有する金属粒子が、磁気クラスタを形成する機能と、緻密な削り作用の機能とを発現するので、磁気クラスタそのものが研磨のための磁気ブラシとなる。よって、砥粒である磁性金属粒子は、磁界の作用により磁気ブラシ内に留まり染み出すことがなく、加工面を汚染しなく砥粒の減少がないため、緻密な削り作用による表面処理を高効率に行うことができる。その結果、軟性金属材料などの表面処理が困難な部材であっても高度に鏡面仕上げを行うことができる。
【００３１】
この場合、金属粒子が磁化を持ち、これによる磁気クラスタそのものが研磨のための磁気ブラシとなるので、磁気バイトにつく磁気ブラシの付着度が高くなり、研磨バイトに連動する磁気ブラシのレスポンスが向上し、これによっても研磨効率が高くなる。
【００３２】
また、対象物の表面に付着した有機物などの汚れは、対象物よりも硬度が小さいため削り取ることが容易であり、磁性金属粒子による磁気ブラシの緻密な削り作用によって簡単に除去することができ、対象物の表面を傷つけることなく表面処理としていわゆる洗浄が行える。
【００３３】
すなわち本発明にあっては、アルミニウムやその合金および真鍮，銀，ニッケルなど、比較的に軟らかく傷つきやすい軟性金属材料に対して鏡面仕上げや洗浄等の表面処理を良好に行うことができ、機械力により自動化して高効率に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１は本発明の好適な一実施の形態を示している。本発明に係るペースト材料は、いわゆる磁気研磨に使用し、磁気研磨において緻密な削り作用を発揮させることで、軟性金属材料等の表面について鏡面仕上げや汚れ（付着物）の除去が行えるようになっている。
【００３５】
磁気研磨を行う構成には磁界発生源（永久磁石２０）を有する研磨バイト２を備え、研磨対象１はｙ軸ステージ３に固定し、その研磨対象１に対して研磨バイト２が非接触に対面する配置とし、研磨対象１との間にペースト材料（磁気研磨液４）を存在させ、研磨バイト２にはこれと連係させた駆動手段５を起動することにより所定の運動動作を行わせ、そしてｙ軸ステージ３を起動することにより研磨対象１にはｙ軸について所定の運動動作を行わせ、磁気研磨液４に生成した磁気クラスタにより流体研磨を行うようになっている。
【００３６】
研磨バイト２は、先端に永久磁石２０を設けて磁界の発生源としている。磁界発生源としては永久磁石２０に限らず、例えば電磁石なども好ましく適用でき、磁気研磨液４に対して磁界を作用し得るものであればよい。磁界の発生は時間的に定常的である必要はなく、時間的に変動的な磁界を発生させることもよい。
【００３７】
駆動手段５は、少なくともｘ軸，ｚ軸について多軸制御の機能を有するものとし、当該駆動手段５を起動することにより研磨バイト２には回転動作およびｘ軸，ｚ軸について所定に移動する運動動作を行わせる。もちろん、一軸方向に往復運動させるようにしてもよい。駆動手段５としては例えばＮＣ工作機を用いればよく、ボール盤，旋盤，ＮＣ旋盤，フライス盤などの回転軸（チャック部）に研磨バイト２の軸部を取り付けし、着脱を行うようにする。
【００３８】
磁気研磨液４は、磁性を有する金属粒子および溶媒との２成分を含む。溶媒には植物油脂を用いている。この磁気研磨液４は研磨対象１と研磨バイト２との狭間へ供給手段により供給するようになっている。
【００３９】
磁性を有する金属粒子は、磁界をかけることで磁気クラスタを形成する。この金属粒子としては、適切に磁化し得る金属材料であればよく、研磨対象１とした軟性金属材料等に比べて一般に硬い部材となる。よって、金属粒子は研磨のための砥粒として機能させることができ、磁気クラスタそのものが、緻密な削り作用による表面処理を行うための磁気ブラシとなる。
【００４０】
本実施形態では、金属粒子は、体積磁化４πＭでの飽和磁化が１５ｋＧ以上のものとする。また、金属粒子の粒子径は１０μｍから３００μｍとし、好ましくは３０μｍから１００μｍ程度とすることがよい。そして、金属粒子は非球形粒子とし、好ましくは鋭い角部を有する形状とすることがよい。鋭い角部は機械的に粉砕する製法等により形成でき、これは砥粒としての機能が向上することになる。そこで金属粒子は、例えば鉄粉末から形成することがよい。
【００４１】
磁気研磨液４には、低融点樹脂をさらに混在させることもよい。この場合、低融点樹脂は溶媒に溶解しない不溶解性で低融点の樹脂材料から形成し、平均粒子径を数μｍから数百μｍとすることがよい。低融点樹脂の融点は４０℃以上から８０℃以下とするとよい。植物油脂に溶解しない樹脂材料としては、例えばポリエチレン、ポリスチレンなどがある。
【００４２】
研磨バイト２の運動動作は、例えば研磨対象１の表面に関してくまなく走査する動作としたり、あるいはｙ軸ステージ３および駆動手段５の動作設定により、研磨対象１にはｘ−ｙ平面について所定の運動動作を行わせることもよい。このとき、研磨バイト２の周辺には磁気研磨液４を供給し、研磨バイト２には当該軸方向において正逆反転する回転動作を行わせる。あるいは所定に振動させる振動動作を行わせることもよい。
【００４３】
研磨バイト２と研磨対象１との間には磁気研磨液４が存在し、当該磁気研磨液４は磁性を有する金属粒子を含み、永久磁石２０により磁気研磨液４に時間的に定常的あるいは変動的な磁界が加わると磁気クラスタが生成する。つまり、磁気研磨液中の磁性金属粒子が、磁気吸引力により多数凝集して磁気クラス夕となる。そして前述したように、金属粒子は研磨のための砥粒として機能し、磁気クラスタそのものが、緻密な削りを行う磁気ブラシとなる。磁気ブラシは、磁束に沿って研磨対象１に対立して針状に多数が立ち並び、砥粒作用を行う金属粒子が研磨対象１の表面に抑えつけられる。このとき、研磨バイト２と研磨対象１とは相対運動することから、金属粒子は研磨対象１の表面上を接触しつつ運動して緻密な削りを行う。よって、緻密な削り作用による表面処理を行うことができる。
【００４４】
このように、ペースト材料（磁気研磨液４）の組成は、磁性を有する金属粒子および溶媒を含むものとし、磁性金属粒子は、いわゆる磁気研磨において磁気クラスタを形成する機能と、研磨のための研磨材（砥粒）の機能を発揮することになる。
【００４５】
この場合、磁気クラスタそのものが、緻密な削りを行う磁気ブラシとなり、砥粒である金属粒子は永久磁石２０の磁界により磁気ブラシ内に留まり染み出すことがない。したがって、加工面の汚染がなく、砥粒の減少がないため、緻密な削り作用による表面処理を高効率に行うことができる。ここで金属粒子は、アルミナなどの一般的な砥粒と比べて研磨力がさほど強力ではなく、適度な研磨力を発現する。その結果、アルミニウムやその合金など、比較的に軟らかく表面処理が困難な軟性金属材料であっても高度に鏡面仕上げを行うことができる。
【００４６】
そして、金属粒子が磁化を持ち、これによる磁気クラスタそのものが研磨のための磁気ブラシとなるので、磁気バイトにつく磁気ブラシの付着度が高くなり、研磨バイトに連動する磁気ブラシのレスポンスが向上し、これによっても研磨効率が高くなる。
【００４７】
また、研磨対象１の表面に有機物などの汚れが付着している場合、有機物は当該研磨対象１と硬度が同程度であるため削り取ることが容易であり、金属粒子による磁気ブラシの緻密な削り作用によって簡単に除去することができ、研磨対象１の表面を傷つけることなく表面処理としていわゆる洗浄が行える。
【００４８】
本発明のように、金属粒子を研磨材として機能させることでは、一般に研磨材として知られるアルミナ，ダイヤ，炭化ケイ素等と比較して硬度が劣るため、研磨対象１が、例えばガラスや金型材などの硬い材料に対しては研磨力で不安があるが、アルミニウムおよびその合金などの比較的に軟らかい軟性金属材料に対しては十分に研磨力が高く、高効率に研磨が行える。
【００４９】
研磨力を得るには、金属粒子は非球形粒子とし、好ましくは鋭い角部を持たせた形状がよい。金属粒子は、還元法やアトマイズ法による製造では形状が球形となってしまい、鋭い角部ができないため研磨力が弱くなる。粒子形状に鋭い角部を持たせるには、機械力により粉砕する製造による粒子を使用するとよい。
【００５０】
ペースト材料（磁気研磨液４）において、研磨の可否は磁気ブラシの強さに依存し、磁気ブラシが十分に強くないと研磨はできなくなる。この磁気ブラシの強さは、これを形成する粒子一つ当たりの磁化の強さに依存し、つまり、金属粒子の飽和磁化が大きいほど強く、また粒子径が大きいほど強くなる。十分な研磨力を得るには、金属粒子の磁化は体積磁化４πＭでの飽和磁化が１５ｋＧ以上であることがよく、強ければ強いほどよい。
【００５１】
金属粒子の粒子径は、小さすぎると研磨できなくなるので１０μｍ以上にすることが好ましい。しかし、粒子径が大きくなると、研磨対象の表面に対する傷が大きくなるため、上限は３００μｍ以下とすることがよい。より好ましくは粒子径は３０μｍから１００μｍにしたい。そして、金属粒子としては、安価であり入手が容易な鉄が最適と言える。
【００５２】
溶媒として植物油脂を使用することは、安全性および価格等から好ましいと言える。
【００５３】
また、ペースト材料はその溶媒中に、当該溶媒に不溶解性で低融点の低融点樹脂を混合することにより、低融点樹脂と溶媒とが、相溶性により形状を維持しつつ応力による流動性のあるものとすることができる。外力が作用しない無応力となる際は、低融点樹脂が、溶媒中の金属粒子を保持するので沈降を抑えることができる。そして、外力の作用時には溶媒の流動性により流動することができる。
【００５４】
低融点樹脂は溶媒に溶解しない樹脂材料から形成するので、その溶媒との干渉がなく、研磨能力を良好に得ることができ、高度に精密な表面研磨が行える。
【００５５】
低融点樹脂を少量だけ混合した場合、金属粒子と溶媒の分離を引き起こすが、金属粒子の間に低融点樹脂が存在するため分散性はよくなり、混合が容易になるので少量の混合であっても有効である。この低融点樹脂の混合量は、当該低融点樹脂の融点，粒子径および磁気研磨液の形状維持度，粘度に応じて決定することになる。
【００５６】
低融点樹脂は、融点が低すぎると環境温度の変化により液体化してフェライト粒子の沈降を引き起こすため融点は４０℃以上が好ましい。しかし、高温すぎると硬くなり、溶媒との相溶性が低下するため上限は８０℃以下がよい。
【００５７】
（実験による検証）
図１に示す磁気研磨のための構成により試料の研磨を行った。つまり、研磨能力に関する本発明の効果を実証するため、ペースト材料（磁気研磨液４）は組成を変更した複数を用意し、それぞれの磁気研磨液４により研磨対象の研磨を行い、研磨後の表面粗さＲａ（算術平均粗さ），Ｒｙ（最大粗さ）を評価した。
【００５８】
磁気研磨液４は組成として、磁性を有する金属粒子（粉砕鉄粉）と、溶媒（植物油）とを表１に示すｗｔ％とし、これらを均一に混合することにより実施例１を調製した。比較例１から比較例１１では、砥粒としてアルミナあるいはフェライトをそれぞれ表１に示すｗｔ％とし、溶媒を水に変更した組み合わせ（比較例４，５）、あるいは金属粒子を球形鉄粉末，球形コバルト，非球形センダスト（登録商標）にそれぞれ変更した組み合わせにした。
【表１】
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【００５９】
研磨対象は、アルミニウムからなる板片（Ｒｙ＝５．７μｍ）とし、その表面の研磨を行った。この研磨対象１にはｘ軸方向に、２ｍｍ／ｓｅｃで１５ｍｍの往復運動を行わせた。磁界発生源の永久磁石２０にはネオジウム磁石を用い、研磨時間は２分とした。表面粗さは表面粗さ段差計により測定し、これにはテンコール社製Ｐ−１０を使用した。研磨対象の研磨を行ったところ、表２に示す結果を得た。
【表２】
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【００６０】
表２から明らかなように、鉄粉末の粒子径を９μｍ以上にすることにより研磨が可能となるが、砥粒を加えた比較例３，８，９，１０，１１では白い傷が入って白濁化してしまい、鏡面は得られない結果となることを確認した。
【００６１】
比較例８から比較例１１では、砥粒として加えるフェライト粒子の粒子径が、それぞれ順に小さくなる設定として研磨を行った。その結果、砥粒（フェライト粒子）の粒子径が小さければ、傷が浅くなるものの白濁化は避けられなく、鏡面が得られた組成は、砥粒を混合しない実施例１だけであった。
【００６２】
なお、各金属粒子は体積磁化４πＭでの飽和磁化が、鉄粉末は２０ｋＧ、球形コバルトは１７ｋＧ、非球形センダストは１０ｋＧのものを使用した。
【００６３】
図２は、研磨対象について表面粗さの測定結果を示すグラフであり、研磨前の表面粗さと、実施例１および比較例２での研磨後の表面粗さを表示している。同図から明らかなように、実施例１は研磨後の表面粗さが略零値であり、良好な鏡面が得られた。
【００６４】
さらに、磁気研磨液４としては、球形鉄粉末および粉砕鉄粉末それぞれの粒子径を変更した組成を用意し、溶媒をテルピネオール，シリコーンオイルへ変更した組成も設定し、研磨対象の研磨および評価を行った。つまり、磁気研磨液４は各成分を表３，表４に示すｗｔ％とし、粉砕鉄粉末を加えた組成により実施例２から実施例５の４種類を調製した。また、比較例１２から比較例２１では、球形鉄粉末，球形コバルト，非球形センダストにそれぞれ変更した組み合わせにした。
【表３】
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【表４】
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【００６５】
研磨対象の研磨を行ったところ、表５に示す結果を得た。そして、各金属粒子について粒子径と表面粗さとの関係が判明し、図３に示すグラフを得た。
【表５】
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【００６６】
表５および図３から明らかなように、磁性金属粒子として、球形鉄粉末では研磨力が弱いが、粉砕鉄粉末では研磨が良好に行えており、これは粉砕鉄粉末は鋭い角部を有する形状であることが大きいと言える。さらに、非球形センダストでは研磨ができなく、したがって、形状が非球形、好ましくは鋭い角部を有する形状である条件とともに、所定以上の磁化が必要であることを確認した。
【００６７】
また、磁気研磨液４に対して低融点樹脂を加えることでの分散性を評価した。これには表６に示すように、実施例１について低融点（６７℃）の低融点樹脂を、溶媒の２０ｗｔ％を加えて調製し、調製から１週間後の分散性を検査した。その結果、低融点樹脂を加えたものでは、クリームのように形状を維持し、研磨力が調製直後と同程度に保たれていることを確認した。
【表６】
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【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の好適な一実施の形態を示す側面図である。
【図２】研磨対象について表面粗さの測定結果を示すグラフであり、研磨前の表面粗さと、実施例１および試料１での研磨後の表面粗さを表示している。
【図３】各金属粒子について粒子径と表面粗さとの関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６９】
１  研磨対象
２  研磨バイト
２０  永久磁石
３  ｙ軸ステージ
４  磁気研磨液（ペースト材料）
５  駆動手段
【図１】
2008254106.tif 000009
【図２】
2008254106.tif 000010
【図３】
2008254106.tif 000011