(57)【要約】【課題】溶液製膜方法における厚みムラ故障を抑える。【解決手段】減圧チャンバ１５０は、各シール板１５２〜１５８により箱型状に形成される。中空部１５０ａ内には、仕切り板１６０〜１６３が略左右対称に配置されている。遮風板１７０は、背面１７０ｃと各シール板１５２、１６０の前端とが固定するように設けられる。溝１７５は、流延ビード２００の幅方向に伸びるように底面１７０ｂに形成される。この溝１７５により、底面１７０ｂに突起部１７７ａ〜１７７ｃが形成される。遮風板１７０に設けられる、溝１７５の形状、大きさ、形成ピッチや、突起部１７７ａ〜１７７ｃの形状等の調節により、Ｑ１／Ｑ２の値が１／１００以上１／４以下で略一定になるように保持する。Ｑ１は、底面１７０ｂと周面７２ａとの間を通って、減圧ゾーンへ流入する空気Ａ１の流量であり、Ｑ２は、開口部１５０ｃの近傍の空気Ａ２が中空部１５０ａへ流入する量である。【選択図】図３
2008246721.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして流延して、前記支持体上に流延膜を形成し、前記流延膜を前記支持体から湿潤フィルムとして剥ぎ取り、この剥ぎ取り後の湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る溶液製膜方法において、
側部遮風板と後部遮風板とからなる減圧チャンバ本体により、前記流延ビードに対して前記支持体の走行方向上流側をコ字形に覆って前記流延ビードの上流側を減圧し、
前記流延ビードの側方と前記減圧チャンバとの間から流入する風量をＱ１とし、それ以外の減圧チャンバと前記支持体との間から流入する風量をＱ２としたときに、Ｑ１／Ｑ２の値を１／１００以上１／４以下とするように、流延ビード側方遮風部材により前記風量Ｑ１を制限することを特徴とする溶液製膜方法。
【請求項２】
前記流延ビード側方遮風部材は、流延ビードの側方近くで流延ビードに対し前記上流側に設けられる遮風板と、前記遮風板の下端で前記支持体との間に設けられるラビリンスシールとからなり、前記流延ビードの幅方向に伸びるように、前記ラビリンスシールに形成される溝の形状、大きさ、または形成ピッチを調節して前記風量Ｑ１を制限することを特徴とする請求項１記載の溶液製膜方法。
【請求項３】
前記溝が、前記風量Ｑ１の流入風の流入方向に向かうに従い次第に拡開するように構成されていることを特徴とする請求項２記載の溶液製膜方法。
【請求項４】
エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして流延して、前記支持体上に流延膜を形成し、前記流延膜を前記支持体から湿潤フィルムとして剥ぎ取り、この剥ぎ取り後の湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る溶液製膜設備に用いられ、前記流延ビードに対して前記支持体走行方向上流側を減圧する減圧チャンバにおいて、
前記流延ビードに対して前記上流側に設けられ、側部遮風板と後部遮風板とにより前記流延ビードをコ字形に覆って前記流延ビードの上流側を減圧する減圧チャンバ本体と、
前記流延ビードの側方と前記即部遮風板との間から流入する風量をＱ１とし、それ以外の減圧チャンバと前記支持体との間から流入する風量をＱ２としたときに、Ｑ１／Ｑ２の値を１／１００以上１／４以下とするように、前記風量Ｑ１を制限する流延ビード側方遮風部材とを備えることを特徴とする減圧チャンバ。
【請求項５】
前記流延ビード側方遮風部材は、
流延ビードの側方近くで流延ビードに対し前記上流側に設けられる遮風板と、
前記遮風板の下端で前記支持体との間に設けられるラビリンスシールとからなり、
前記支持体の幅方向に伸びるように、前記ラビリンスシールに形成される溝の形状、大きさ、または形成ピッチを調節して前記風量Ｑ１を制限することを特徴とする請求項４記載の減圧チャンバ。
【請求項６】
前記溝が、前記風量Ｑ１の流入風の流入方向に向かうに従い次第に拡開するように構成されていることを特徴とする請求項５記載の減圧チャンバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶液製膜方法及び減圧チャンバに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
セルロースエステル、特に、５８．０％〜６２．５％の平均酢化度を有するセルローストリアセテート（以下、ＴＡＣと称する）から形成されるＴＡＣフィルムは、その強靭性と難燃性とから、写真感光材料のフィルム用支持体として利用されている。また、ＴＡＣフィルムは光学等方性に優れていることから、近年市場の拡大している液晶表示装置の偏光板の保護フィルムなどに用いられている。
【０００３】
ＴＡＣフィルムは、通常溶液製膜方法により製造されている。溶液製膜方法は、ポリマをジクロロメタンや酢酸メチルを主溶媒とする混合溶媒に溶解した高分子溶液であるドープを調製してから、このドープを流延ダイから吐出させ流延ビードを形成させて支持体上に流延することにより、流延膜を形成する。そして、この流延膜が支持体上で自己支持性を有するものとなった後に、支持体から湿潤フィルムとして剥ぎ取る。湿潤フィルムは溶媒を多量に含んでいるため、テンタ装置などにより更に乾燥させ、フィルムが得られる。
【０００４】
この溶液製膜方法においては、ドープを流延ダイから流延する際に、流延ビードの形成を安定化させる目的で、流延ビードの背面側を減圧させる方法が知られている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【特許文献１】特開２０００−２１０９６１号公報
【特許文献２】特開２０００−２１０９５９号公報
【特許文献３】特開２００２−１６０２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の方法では、流延する面（キャスト面）に対するノズルや流延ダイ（口金）のスリット間隙部の機械的精度を向上させているため、コスト高の原因となっている。特許文献２記載の方法では、吸引ノズルの上流側にチャンバ（バッファ）を設けることで、流延ビード背面の圧力を所定の範囲に制御している。しかし、この方法でも製膜速度を高速にすると減圧度を大きくする必要があり、流延ビード横からの流入風ないし支持体同伴風による流延幅方向における気流のムラや流延ビード端部が不安定になるという問題が生じている。さらに、特許文献３記載の方法では、キャスト面と減圧装置（吸引装置）との空隙を極力狭くしている。この方法でも、吸引装置の機械的精度を向上させる必要がありコスト高の原因となる。また、支持体のキャスト面が略同一位置を移動させるため支持体の駆動装置に、より精密な駆動を行うものを用いる必要が生じ、やはりコスト高の原因となる。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するものであり、簡単な構成で厚みムラの発生が抑制されたフィルムを得ることができる溶液製膜方法及び減圧チャンバを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして流延して、前記支持体上に流延膜を形成し、前記流延膜を前記支持体から湿潤フィルムとして剥ぎ取り、この剥ぎ取り後の湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る溶液製膜方法において、側部遮風板と後部遮風板とからなる減圧チャンバ本体により、前記流延ビードに対して前記支持体の走行方向上流側をコ字形に覆って前記流延ビードの上流側を減圧し、前記流延ビードの側方と前記減圧チャンバとの間から流入する風量をＱ１とし、それ以外の減圧チャンバと前記支持体との間から流入する風量をＱ２としたときに、Ｑ１／Ｑ２の値を１／１００以上１／４以下とするように、流延ビード側方遮風部材により前記風量Ｑ１を制限することを特徴とする。
【０００８】
前記流延ビード側方遮風部材は、流延ビードの側方近くで流延ビードに対し前記上流側に設けられる遮風板と、前記遮風板の下端で前記支持体との間に設けられるラビリンスシールとからなり、前記流延ビードの幅方向に伸びるように、前記ラビリンスシールに形成される溝の形状、大きさ、または形成ピッチを調節して前記風量Ｑ１を制限することが好ましい。
【０００９】
前記溝が、前記風量Ｑ１の流入風の流入方向に向かうに従い次第に拡開するように構成されていることが好ましい。
【００１０】
本発明は、エンドレスに走行する支持体の上に、ポリマと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして流延して、前記支持体上に流延膜を形成し、前記流延膜を前記支持体から湿潤フィルムとして剥ぎ取り、この剥ぎ取り後の湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る溶液製膜設備に用いられ、前記流延ビードに対して前記支持体走行方向上流側を減圧する減圧チャンバにおいて、前記流延ビードに対して前記上流側に設けられ、側部遮風板と後部遮風板とにより前記流延ビードをコ字形に覆って前記流延ビードの上流側を減圧する減圧チャンバ本体と、前記流延ビードの側方と前記即部遮風板との間から流入する風量をＱ１とし、それ以外の減圧チャンバと前記支持体との間から流入する風量をＱ２としたときに、Ｑ１／Ｑ２の値を１／１００以上１／４以下とするように、前記風量Ｑ１を制限する流延ビード側方遮風部材とを備えることを特徴とする。
【００１１】
前記流延ビード側方遮風部材は、流延ビードの側方近くで流延ビードに対し前記上流側に設けられる遮風板と、前記遮風板の下端で前記支持体との間に設けられるラビリンスシールとからなり、前記支持体の幅方向に伸びるように、前記ラビリンスシールに形成される溝の形状、大きさ、または形成ピッチを調節して前記風量Ｑ１を制限することが好ましい。
【００１２】
前記溝が、前記風量Ｑ１の流入風の流入方向に向かうに従い次第に拡開するように構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、前記流延ビードの側方と前記減圧チャンバとの間から流入する風量をＱ１とし、それ以外の減圧チャンバと前記支持体との間から流入する風量をＱ２としたときに、Ｑ１／Ｑ２の値を１／１００以上１／４以下とするように、流延ビード側方遮風部材により前記風量Ｑ１を制限するため、厚みムラ故障を誘発する流延ビードの圧力変動を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施態様について詳細に説明する。ただし、本発明はここに挙げる実施形態に限定されるものではない。
【００１５】
［原料］
セルロースアシレートは、セルロースの水酸基への置換度が下記式（Ｉ）〜（III)の全てを満足するセルロースアシレートを用いることが好ましい。以下、下記式を満たすセルロースアシレートをＴＡＣと称する。
（Ｉ）  ２．５≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ）  ０≦Ａ≦３．０
（ＩＩＩ）  ０≦Ｂ≦２．９
但し、式中Ａ及びＢは、セルロースの水酸基の水素原子に対するアシル基の置換度を表わし、Ａはセルロースの水酸基の水素原子に対するアセチル基の置換度、またＢはセルロースの水酸基の水素原子に対する炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子を用いることが好ましい。なお、本発明に用いられるポリマはＴＡＣに限定されるものではない。
【００１６】
セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位及び６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位及び６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化は置換度１）を意味する。
【００１７】
全アシル置換度、即ち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６は２．００上〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）は０．２８以上が好ましく、より好ましくは０．３０以上、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２はグルコース単位の２位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「２位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ３は３位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「３位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ６は６位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「６位のアシル置換度」とも言う）である。
【００１８】
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位及び６位の水酸基のアセチル基による置換度の総和をＤＳＡとし、２位，３位及び６位の水酸基のアセチル基以外のアシル基による置換度の総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、より好ましくは２．２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳＢは０．３０以上であることが好ましく、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢはその２０％以上が６位水酸基の置換基であるが、より好ましくは２５％以上が６位水酸基の置換基であり、特には３３％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましい。また更に、セルロースアシレートの６位の置換度が０．７５以上であることが好ましく、さらに好ましくは０．８０以上であり特に好ましくは０．８５以上であるセルロースアシレートを用いることである。これらのセルロースアシレートにより溶解性の好ましい溶液（ドープ）が作製できる。特に非塩素系有機溶媒において、良好な溶液の作製が可能となる。更に粘度が低く濾過性の良い溶液の作製が可能となる。
【００１９】
セルロースアシレートは、リンター，パルプのどちらから得られたものでも良い。
【００２０】
本発明のセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル基、ブタノイル基、ケプタノイル基、ヘキサノイル基、オクタノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、トリデカノイル基、テトラデカノイル基、ヘキサデカノイル基、オクタデカノイル基、ｉｓｏ−ブタノイル基、ｔ−ブタノイル基、シクロヘキサンカルボニル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル基、ブタノイル基、ドデカノイル基、オクタデカノイル基、ｔ−ブタノイル基、オレオイル基、ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基、シンナモイル基などがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル基、ブタノイル基である。
【００２１】
ドープを調製する溶媒としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマを溶媒に溶解または分散して得られるポリマ溶液または分散液を意味している。
【００２２】
炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フイルムの機械的強度など及びフイルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを一種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶媒全体に対し２重量％〜２５重量％が好ましく、５重量％〜２０重量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。
【００２３】
最近、環境に対する影響を最小限に抑えるため、ジクロロメタンを用いない溶媒組成も提案されている。この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステルが好ましく、特に酢酸メチルが好ましく用いられる。また、これらを適宜混合して用いる。これらのエーテル、ケトン及びエステルは、環状構造を有していてもよい。エーテル、ケトン及びエステルの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−及び−ＣＯＯ−）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶媒として用いることができる。溶媒は、アルコール性水酸基のような他の官能基を有していてもよい。２種類以上の官能基を有する溶媒の場合、その炭素原子数は、いずれかの官能基を有する化合物の規定範囲内であれば良い。
【００２４】
セルロースアシレートの詳細については、特開２００５−１０４１４８号の［０１４１］段落から［０１９５］段落に記載されている。これらの記載は本発明にも適用できる。また、溶媒及び可塑剤，劣化防止剤，紫外線吸収剤，光学異方性コントロール剤，レターデーション制御剤，染料，マット剤，剥離剤などの添加剤、同じく特開２００５−１０４１４８号の［０１９６］段落から［０５１６］段落に詳細に記載されている。
【００２５】
［ドープ製造方法］
図１にドープ製造ライン１０を示す。ドープ製造ライン１０には、溶媒を貯留するための溶媒タンク１１と、溶媒とＴＡＣなどとを混合するための溶解タンク１３と、ＴＡＣを供給するためのホッパ１４、添加剤液を貯留するための添加剤タンク１５とが備えられている。さらに、後述する膨潤液を加熱するための加熱装置２６と、調製されたドープの温度を調整する温調機２７と、濾過装置２８とを備えている。さらに、調製されたドープを濃縮するフラッシュ装置３１，濾過装置３５なども備えられている。また、溶媒を回収するための回収装置３２と、回収された溶媒を再生するための再生装置３３とが備えられている。そして、ドープ製造ライン１０には、ストックタンク３０を介してフイルム製造ライン４０が接続されている。
【００２６】
初めに、溶媒タンク１１と溶解タンク１３とを接続する配管に設けられたバルブ１２を開き、溶媒を溶媒タンク１１から溶解タンク１３に送る。次に、ホッパ１４に入れられているＴＡＣを計量しながら溶解タンク１３に送り込む。添加剤タンク１５と溶解タンク１３とを接続する配管に設けられたバルブ１６の開閉操作を行って、必要量の添加剤溶液を添加剤タンク１５から溶解タンク１３に送り込む。なお、添加剤は溶液として送り込む方法以外にも、例えば添加剤が常温で液体の場合には、その液体の状態で溶解タンク１３に送り込むことも可能である。また、添加剤が固体の場合には、ホッパを用いて溶解タンク１３に送り込むことも可能である。添加剤を複数種類添加する場合には、添加剤タンク１５中に複数種類の添加剤を溶解させた溶液を入れておくこともできる。または、多数の添加剤タンクを用いてそれぞれに添加剤が溶解している溶液を入れて、それぞれ独立した配管により溶解タンク１３に送り込むこともできる。
【００２７】
前述した説明においては、溶解タンク１３に入れる順番が、溶媒（混合溶媒の場合も含めた意味で用いる）、ＴＡＣ、添加剤であったが、この順番に限定されるものではない。ＴＡＣを計量しながら溶解タンク１３に送り込んだ後に、好ましい量の溶媒を送液することもできる。また、添加剤は必ずしも溶解タンク１３に予め入れる必要はなく、後の工程でＴＡＣと溶媒との混合物（以下、これらの混合物もドープと称する場合がある）に混合させることもできる。
【００２８】
溶解タンク１３には、その外面を包み込むジャケット１７と、モータ１８により回転する第１攪拌機１９とが備えられている。さらに、溶解タンク１３には、モータ２０により回転する第２攪拌機２１が取り付けられていることが好ましい。なお、第１攪拌翼１９は、アンカー翼であることが好ましく、第２攪拌翼２１は、ディゾルバータイプのものを用いることが好ましい。ジャケット１７に伝熱媒体を流して溶解タンク１３内を−１０℃〜５５℃の範囲に温度調整することが好ましい。第１攪拌翼１９，第２攪拌翼２１を適宜選択して回転させることでＴＡＣが溶媒中で膨潤した膨潤液２２を得ることができる。
【００２９】
膨潤液２２をポンプ２５により加熱装置２６に送液する。加熱装置２６は、ジャケット付き配管を用いることが好ましく、更に膨潤液２２を加圧できる構成であることが好ましい。膨潤液２２を加熱または加圧加熱条件下でＴＡＣなどを溶媒に溶解させてドープを得る。なお、この場合に膨潤液２２の温度は、０℃〜９７℃であることが好ましい。加熱溶解法及び冷却溶解法を適宜選択して行うことでＴＡＣを溶媒に十分溶解させることが可能となる。温調機２７によりドープの温度を略室温とした後に、濾過装置２８により濾過を行いドープ中の不純物を取り除く。濾過装置２８の濾過フィルタの平均孔径が１００μｍ以下であることが好ましい。また、濾過流量は、５０Ｌ／時以上であることが好ましい。濾過後のドープは、バルブ２９を介してストックタンク３０に入れられる。
【００３０】
前記ドープは、後述する原料ドープとして用いることが可能である。しかしながら、膨潤液２２を調製した後にＴＡＣを溶解させる方法は、ＴＡＣの濃度を上昇させるほど時間がかかりコストの点で問題が生じる場合がある。その場合には、目的とするＴＡＣ濃度より低濃度のドープを調製した後に目的とする濃度のドープを調製する濃縮工程を行うことが好ましい。濾過装置２８で濾過されたドープを、バルブ２９を介してフラッシュ装置３１に送液する。フラッシュ装置３１内でドープ中の溶媒の一部を蒸発させる。蒸発した溶媒は、凝縮器（図示しない）により液体とした後に回収装置３２で回収する。その溶媒は再生装置３３によりドープ調製用の溶媒として再生を行い再利用することがコストの点から有利である。
【００３１】
濃縮されたドープをフラッシュ装置３１からポンプ３４を用いて抜き出す。さらに、ドープ中の泡抜きを行うことが好ましい。泡抜きは、公知のいずれの方法により行っても良く、例えば超音波照射法が挙げられる。その後に濾過装置３５に送液して異物の除去を行う。なお、この際にドープの温度が０℃〜２００℃であることが好ましい。そして、ストックタンク３０にドープを入れる。
【００３２】
これらの方法により、ＴＡＣ濃度が５重量％〜４０重量％のドープを製造することができる。なお、製造されたドープ（以下、原料ドープと称する）３６は、ストックタンク３０に貯蔵される。
【００３３】
上述したドープ製造ライン１０での、素材、原料、添加剤の溶解方法、濾過方法、脱泡、添加方法については、特開２００５−１０４１４８号の［０５１７］段落から［０６１６］段落が詳しい。これらの記載も本発明に適用できる。
【００３４】
［溶液製膜方法］
図２にフイルム製造ライン４０を示す。ストックタンク３０には、モータ４１で回転する攪拌翼４２が取り付けられている。攪拌翼４２を回転させることで原料ドープ３６を攪拌して常に濃度等を均一にしている。ストックタンク３０と後述するフィードブロックとの間には、中間層用ドープ流路４３と裏面用ドープ流路４４と表面層用ドープ流路４５とが接続されている。原料ドープ３６は、それぞれの流路４３，４４，４５に設けられているポンプ４６，４７，４８により送液される。ポンプ４６，４７，４８は、図示しない制御部に接続する。この制御部により、ポンプ４６，４７，４８は、所定の流量で各ドープを送り出す。
【００３５】
（ポンプ）
ポンプ４６〜４８は、中間層用ドープ５４，裏面層用ドープ５９，表面層用ドープ６４を所定の流量でフィードブロック６９に送液する。このポンプ４６〜４８としては、ギアポンプを用いることが好ましい。このギアポンプとしては、公知のギアポンプであればいずれでもよい。
【００３６】
中間層用ドープ流路４３には、配管を介してストックタンク５０が接続する。ストックタンク５０には、中間層用添加液５１が貯留する。流路４３とストックタンク５０とを接続する配管には、ポンプ５２が設けられる。ストックタンク５０中の中間層用添加液５１は、ポンプ５２により中間層用ドープ流路４３に送液され、中間層用ドープ流路４３中の原料ドープ３６に添加される。その後、原料ドープ３６と中間層用添加液５１とは、中間層用ドープ流路４３に設けられる静止型混合器（スタティックミキサ）５３により攪拌混合されて均一となる。以下、このドープを中間層用ドープ５４と称する。中間層用添加液５１には、例えば紫外線吸収剤，レターデーション制御剤や可塑剤などの添加剤が予め含まれた溶液（または分散液）が入れられている。
【００３７】
裏面用ドープ流路４４には、配管を介してストックタンク５５が接続する。ストックタンク５５には、裏面用添加液５６が貯留する。流路４４とストックタンク５５とを接続する配管には、ポンプ５７が設けられる。ストックタンク５５中の裏面用添加液５６は、ポンプ５７により裏面用ドープ流路４４に送液され、裏面用ドープ流路４４中の原料ドープ３６に添加される。その後、原料ドープ３６と裏面用添加液５６とは、裏面用ドープ流路４４に設けられる静止型混合器５８により攪拌混合されて均一となる。以下、このドープを裏面層用ドープ５９と称する。裏面用添加液５６には、支持体である流延ドラムからの剥離を容易とする剥離促進剤（例えば、クエン酸エステルなど）、フイルムをロール状に巻き取った際にフイルム面間での密着を抑制するマット剤（例えば、二酸化ケイ素など）や劣化防止剤などの添加剤が予め含有されている。なお、裏面用添加液５６には、可塑剤，紫外線吸収剤やレターデーション制御剤などの光学特性制御剤などの添加剤が含まれていても良い。
【００３８】
表面層用ドープ流路４５には、配管を介してストックタンク６０が接続される。ストックタンク６０には、表面層用添加液６１が貯留する。流路４５とストックタンク６０とを接続する配管には、ポンプ６２が設けられる。ストックタンク６０中の表面層用添加液６１は、ポンプ６２により表面層用ドープ流路４５に送液され、表面層用ドープ流路４５中の原料ドープ３６に添加される。その後、原料ドープ３６と表面層用添加液６１とは、表面層用ドープ流路４５に設けられる静止型混合器６３により攪拌混合されて均一となる。以下、このドープを表面層用ドープ６４と称する。表面層用添加液６１には、フイルムをロール状に巻き取った際にフイルム面間での密着を抑制するマット剤（例えば、二酸化ケイ素など）や劣化防止剤などの添加剤が予め含有されている。なお、表面層用添加液６１には、剥離促進剤，可塑剤，紫外線吸収剤やレターデーション制御剤などの光学特性制御剤などの添加剤が含まれていても良い。
【００３９】
（ドープの粘性）
本実施形態では、基層を形成するドープ（以下、基層形成用ドープと称する）として中間層用ドープ５４を用い、表層を形成するドープ（以下、表層形成用ドープと称する）として、裏面層用ドープ５９，表面層用ドープ６４を用いる。基層形成用ドープとしては、製造する光学機能性フイルムの強度や光学的機能に適するドープを用い、表層形成用ドープとしては、光学機能性フイルムの平面性や滑り性を良くするためのドープを用いる。また、上記に加え、表層形成用ドープとして、基層形成用ドープよりも粘性が低いものを用いることが好ましい。これにより、後述する乾燥工程などにおいて、後述する流延膜や湿潤フイルムの表面におけるスジやムラの生成や、厚さムラなどを防ぐことができる。
【００４０】
流延室６８には、各ドープ５４、５９、６４とから積層ドープをつくるフィードブロック６９と、積層ドープを流延する流延ダイ７０と、積層ドープから流延膜７１をつくる支持体であるキャスティングドラム（以下、流延ドラムと称する）７２と、流延ドラム７２から流延膜７１を剥ぎ取って、湿潤フイルム７３とする剥取ローラ７４と、流延室６８内の温度を所定の範囲で略一定に保つ温調設備７７と、流延室６８内に蒸発している有機溶媒を凝縮回収するための凝縮器（コンデンサ）７８とが備えられている。流延室６８の温度が−１０℃以上５７℃以下の範囲で略一定に保たれていることが好ましい。凝縮器７８によって凝縮液化した有機溶媒は、回収装置７９により回収され再生させた後に、ドープ調製用溶媒として再利用される。
【００４１】
流延ダイ７０は、フィードブロック６９の下流側に配される。流延ダイ７０の下流には流延ドラム７２が設けられている。中間層用ドープ５４，裏面層用ドープ５９，表面層用ドープ６４は、ポンプ４６〜４８により、フィードブロック６９にそれぞれ所望の流量で送液される。各ドープ５４、５９、６４は、フィードブロック６９内で合流し、積層ドープとなって流延ダイ７０へ送られる。
【００４２】
（フィードブロック）
フィードブロック６９は、１つのドープ出口（図示しない）を有する。フィードブロック６９の内部には、第１〜第３流路（図示しない）が設けられている。第１流路は、フィードブロック６９を貫通するように鉛直下向きに延びるように、配管４３とドープ出口とを連通する。第２流路は、配管４４と第１流路の途中に設けられる合流部と連通する。第３流路は、配管４５と第１流路の途中に設けられる合流部と連通する。また、合流部近傍の第２流路及び第３流路には、適宜、ディストリビューションピンが設けられる。このディストリビューションピン及びポンプ４６〜４８などにより、第１〜第３流路を通過する各ドープ５４、４９、６４の流量を独立に調節することができる。
【００４３】
（流延ダイ）
流延ダイ７０は、フィードブロック６９のドープ出口と連通するドープ入口を有する。また、流延ダイ７０の先端には、積層ドープを流出する流出口７０ａ（図３参照）を備える。また、流延ダイ７０の内部に形成されるダイ流路は、ドープ入口と流出口７０ａとを連通する。
【００４４】
流延ダイ７０及びフィードブロック６９の材質としては、析出硬化型のステンレス鋼が好ましく、その熱膨張率が２×１０−５（℃−１）以下であることが好ましい。そして、電解質水溶液での強制腐食試験でＳＵＳ３１６製と略同等の耐腐食性を有するものも、この流延ダイ７０の材質として用いることができ、さらに、ジクロロメタン、メタノール、水の混合液に３ヵ月浸漬しても気液界面にピッティング（孔開き）が生じない耐腐食性を有するものを用いられる。さらに、鋳造後１ヶ月以上経過したものを研削加工して流延ダイ７０を作製することが好ましい。これにより流延ダイ７０及びフィードブロック６９内を積層ドープが一様に流れ、後述する流延膜７１にスジなどが生じることが防止される。流延ダイ７０及びフィードブロック６９の接液面の仕上げ精度は、表面粗さで１μｍ以下、真直度はいずれの方向にも１μｍ／ｍ以下であることが好ましい。
【００４５】
流出口７０ａ（図３参照）のスリットのクリアランスは、自動調整により０．５ｍｍ〜３．５ｍｍの範囲で調整可能とされている。流延ダイ７０のリップ先端の接液部の角部分について、そのＲは全巾にわたり５０μｍ以下とされている。また、流延ダイ７０内部における剪断速度が１（１／秒）〜５０００（１／秒）となるように調整されていることが好ましい。このような流延ダイ７０を用いることにより、表面にスジが形成されず、厚さムラのない流延膜７１を流延ドラム７２の周面７２ａ上に形成することができる
【００４６】
流延ダイ７０の幅は、特に限定されるものではないが、最終製品となるフイルムの幅の１．１倍〜２．０倍であることが好ましい。また、製膜中の温度が所定温度に保持されるように、この流延ダイ７０に温調機（図示しない）を取り付けることが好ましい。また、流延ダイ７０にはコートハンガー型のものを用いることが好ましい。さらに、厚み調整ボルト（ヒートボルト）を流延ダイ７０の幅方向において所定の間隔で設け、ヒートボルトによる自動厚み調整機構が流延ダイ７０に備えられていることがより好ましい。ヒートボルトは予め設定されるプログラムによりポンプ（高精度ギアポンプが好ましい）４６〜４８の送液量に応じてプロファイルを設定し製膜を行うことが好ましい。また、フイルム製造ライン４０中に図示しない厚み計（例えば、赤外線厚み計）のプロファイルに基づく調整プログラムによってフィードバック制御を行っても良い。流延エッジ部を除いて製品フイルムの幅方向の任意の２点の厚み差は１μｍ以内に調整し、幅方向厚みの最小値と最大値との差が３μｍ以下となるように調整することが好ましく、２μｍ以下に調整することがより好ましい。また、厚み精度は±１．５μｍ以下に調整されているものを用いることが好ましい。
【００４７】
流延ダイ７０のリップ先端には、硬化膜が形成されていることがより好ましい。硬化膜の形成方法は、特に限定されるものではないが、セラミックスコーティング、ハードクロムメッキ、窒化処理方法などが挙げられる。硬化膜としてセラミックスを用いる場合には、研削でき気孔率が低く脆くなく耐腐食性が良く、かつ流延ダイ７０と密着性が良いものが好ましい。具体的には、タングステン・カーバイド（ＷＣ），Ａｌ2Ｏ3，ＴｉＮ，Ｃｒ2Ｏ3などが挙げられるが、なかでも特に好ましくはＷＣである。ＷＣコーティングは、溶射法で行うことができる。
【００４８】
（流延ドラム）
略円筒状または円柱形状に形成される流延ドラム７２は、駆動装置によりその軸３２ｂを中心に回転する。この駆動装置によって、流延ドラム７２は、その周面７２ａは所定の走行方向Ｚ１に所定速度（１０ｍ／分以上３００ｍ／分以下）で回転する。流延ドラム７２の周面７２ａは、クロムメッキ処理が施され、十分な耐腐食性と強度を有する。また、流延ドラム７２の周面７２ａの温度を所望の温度に保つために、流延ドラム７２に伝熱媒体循環装置７５が取り付けられている。この伝熱媒体循環装置７５にて所望の温度に保持されている伝熱媒体が、流延ドラム７２内の伝熱媒体流路を通過することにより、流延ドラム７２の周面７２ａの温度を所望の温度に保持できる。
【００４９】
流延室６８の下流には、湿潤フイルム７３を乾燥させてフイルム８５とするピンテンタ８６と、このフイルム８５を乾燥させながら延伸するクリップテンタ８７とが設けられている。フイルム８５は、クリップテンタ８７の所定条件下の延伸処理によって、所望の光学特性が付与される。なお、ピンテンタ８６は、固定手段として複数のピンを有する乾燥装置であり、クリップテンタ８７は、把持手段としてクリップを有する乾燥装置である。なお、クリップテンタ８７は省略しても良い。
【００５０】
クリップテンタ８７の下流には耳切装置８８が設けられている。この耳切装置８８には、クラッシャ８９が備えられており、ここで、フイルム８５の両側端部は切断された後、クラッシャ８９に送り込まれて粉砕される。粉砕されたフイルム細片は、原料ドープとして再利用される。
【００５１】
耳切装置８８の下流には乾燥室１０５が設けられている。乾燥室１０５には、多数のローラ１０４と吸着回収装置１０６とが備えられている。さらに、乾燥室１０５に併設された冷却室１０７の下流には、強制除電装置（除電バー）１０８が設けられている。また、本実施形態では、強制除電装置１０８の下流側に、ナーリング付与ローラ１０９を設けている。
【００５２】
ナーリング付与ローラ１０９の下流には巻取り室１１０が設けられている。巻取室１１０の内部には、巻取ローラ１１１とプレスローラ１１２とが備えられている。十分に乾燥したフイルム８５は、プレスローラ１１２により所望のテンションを付与されながら、巻取ローラ１１１に巻き取られる。なお、テンションは巻取開始時から終了時まで徐々に変化させることがより好ましい。巻き取られるフイルム８５は、長手方向（流延方向）に少なくとも１００ｍ以上とすることが好ましい。
【００５３】
また、フイルム８５の幅は、６００ｍｍ以上であることが好ましく、１４００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることがより好ましい。また、フイルム８５の幅が２５００ｍｍより大きい場合にも効果がある。フイルム８５の厚みは、１５μｍ以上１００μｍ以下の薄いフイルムを製造する際にも適用できる。
【００５４】
（減圧チャンバ）
次に、図３及び図４を用いて、減圧チャンバ１５０及び減圧チャンバ１５０の近傍の詳細について説明する。流延工程において、流延ダイ７０は流出口７０ａから流延ドラム７２の周面７２ａへ積層ドープを流延する。このとき、積層ドープは、流出口７０ａから流延ドラム７２の周面７２ａにかけて、流延ビード２００を形成する。
【００５５】
減圧チャンバ１５０は、流延ダイ７０と剥取ローラ７４との間の、周面７２ａの近傍に配される（図２参照）。減圧チャンバ１５０は、−１０Ｐａ〜−２０００Ｐａの範囲で背面２００ａ側を減圧することができる。背面２００ａ側を−３５０Ｐａ以上−２０００Ｐａ以下に減圧することが好ましい。この減圧チャンバ１５０による減圧度は、周面７２ａの走行速度など、製造条件に応じて適宜決定されることが好ましい。
【００５６】
なお、本明細書において、「流延ビード２００の背面２００ａ側を−Ｘ（Ｐａ）以下に減圧する」とは、前面側よりもＸ（Ｐａ）以上低くなるように、背面２００ａ側を減圧することをいう。背面２００ａとは、周面７２ａの走行方向Ｚ１からみて上流側の流延ビード２００の面をいい、前面とは、走行方向Ｚ１からみて下流側の流延ビード２００の面をいう。
【００５７】
減圧チャンバ１５０は、図示しない吸引装置と接続する。減圧チャンバ１５０は、上部シール板１５２、フロントシール板１５３、左右で一対のサイドシール板１５７、エンドシール板１５８により、中空部１５０ａを有する箱型状に形成され、１つの側面の下部に開口部１５０ｂ、底面に開口部１５０ｃを有する。こうして、減圧チャンバ１５０は、流延ビード２００の背面２００ａ側をコ字形に覆うように配される。
【００５８】
中空部１５０ａ内には、サイドシール板１５７と平行になるように、サイドシール板１５７側から中央側に向かって、複数の仕切り板１６０、１６１、１６２、１６３が略左右対称に配置されている。これら仕切り板１６０〜１６３は、上部シール板１５２に固定されて取り付けられている。また、一対の仕切り板１６０は、流延ダイ７０の側面７０ｂと接する或いはその近傍に配され、一対の仕切り板１６１〜１６３は、前端が流延ダイ７０の斜面７０ｃと当接するように配される。仕切り板１６２、１６３の後端には、これら仕切り板１６２、１６３の間隔を保持する保持板１６５を固定してもよい。保持板１６５は、周面７２ａに対して起立するように設けられることが好ましい。保持板１６５の両側端部は、一対の仕切り板１６１にそれぞれ固定する。これら仕切り板１６０〜１６３によって、中空部１５０ａ内の幅方向両端部における気流は、周面７２ａの走行方向Ｚ１と略逆向きになる。なお、仕切り板１６２、１６３の数や配置ピッチは、流延ビード２００の幅に応じて、適宜増減することが好ましい。
【００５９】
遮風板１７０は、板状に形成され、周面７２ａに対して起立するように設けられる前面１７０ａと、周面７２ａと対向する底面１７０ｂと、周面７２ａに対して起立するように設けられる背面１７０ｃとを有する。前面１７０ａ及び背面１７０ｃと周面７２ａとの角度は、特に限定されないが、例えば、略９０°であることが好ましい。一対の遮風板１７０は、上部シール板１５２、サイドシール１５７及び仕切り板１６０の前端と背面１７０ｃとが固定するように設けられる。遮風板１７０により、サイドシール１５７及び仕切り板１６０との間の開口部１５０ｂは塞がれ、残りの開口部１５０ｂは、背面２００ａ近傍と連通する。また、流延ダイ７０と当接する遮風板１７０には、パッキン（図示しない）が設けられることが好ましい。
【００６０】
底面１７０ｂには、溝１７５が形成される。溝１７５は、流延ビード２００の幅方向に伸びるように形成される。この溝１７５により、底面１７０ｂに突起部１７７ａ〜１７７ｃが形成される。突起部１７７ａは、周面７２ａとの間隔が走行方向Ｚ１に向かうにつれて小さくなるように形成される。同様にして、突起部１７７ｂ、及び突起部１７７ｃも、周面７２ａとの間隔が走行方向Ｚ１に向かうにつれて小さくなるように形成される。こうして、底面１７０ｂに、いわゆるラビリンスシールが形成される。
【００６１】
さらに、減圧チャンバ１５０の温度を所定の温度に保つため、ジャケット（図示しない）を取り付けることが好ましい。減圧チャンバ１５０の温度は特に限定されるものではないが、１０℃以上５０℃以下の範囲であることが好ましい。また、流延ビード２００の形状を所望のものにたもつため流延ダイ７０のエッジ部に吸引装置（図示しない）を取り付けることが好ましい。エッジ吸引風量は、１Ｌ／分〜１００Ｌ／分の範囲であることが好ましい。
【００６２】
流延ダイ７０の流出口７０ａから流出するドープが、局所的に乾燥固化することを防止するために溶媒供給装置（図示しない）を流出口の端部近傍に取り付けることが好ましい。ドープを可溶化する溶媒（例えば、ジクロロメタン８６．５重量部，メタノール１３重量部，ｎ−ブタノール０．５重量部の混合溶媒）を流延ビード２００の端部とスリットとの気液界面に供給することが好ましい。なお、この液を供給するポンプの脈動率は５％以下のものを用いることが好ましい。
【００６３】
次に、図２を用いて、フイルム製造ライン４０によりフイルム８５を製造する方法の一例を説明する。ストックタンク３０では、ジャケット３０ｃの内部に伝熱媒体を流すことにより原料ドープ３６の温度を２５以上３５℃以下の範囲で略一定に調整するとともに、攪拌翼３０ｂの回転により常に均一化している。
【００６４】
原料ドープ３６は、ポンプ４６〜４８により、各配管４４〜４６に送られる。配管４４〜４６では、適宜添加剤などが添加され、原料ドープ３６が、それぞれ、中間層用ドープ５４、裏面層用ドープ５９、表面層用ドープ６４となる。そして、各ドープ５４、５９、６４は、フィードブロック６９へ送られる。フィードブロック６９は、各ドープ５４、５９、６４から積層ドープをつくり、流延ダイ７０におくる。
【００６５】
流延ドラム７２の周面７２ａは、駆動装置により走行方向Ｚ１へ所定の走行速度（５０ｍ／分以上３００ｍ／分以下）で走行する。また、伝熱媒体循環装置７５により、流延ドラム７２の周面７２ａの温度は−２０℃以上１０℃以下の範囲内で略一定となるように調整されている。また、３０℃以上３５℃以下の範囲で保持されている積層ドープを、流延ダイ７０から流延ドラム７２の周面７２ａ上に流延する。原料ドープ３６は、流延ドラム７２の周面７２ａ上で流延膜７１を形成する。こうして、流延ドラム７２の周面７２ａ上では、流延膜７１が冷却固化（ゲル化）され、流延膜７１に自己支持性を持たせることができる。流延膜７１の冷却が進行すると、結晶の基となる架橋点が形成されて流延膜７１のゲル化が促進される。剥取ローラ７４を用いて、ゲル化、及びゲル化の進行により自己支持性を有するものとなった流延膜７１を、流延ドラム７２から剥ぎ取って湿潤フイルム７３とする。そして、剥取ローラ７４はこの湿潤フイルム７３をピンテンタ８６に案内する。
【００６６】
ピンテンタ８６では、多数のピンを湿潤フイルム７３の両側端部に差し込み固定した後、この湿潤フイルム７３を搬送する間に乾燥を促進させてフイルム８５とする。そして、まだ溶媒を含んでいる状態のフイルム８５をクリップテンタ８７に送り込む。
【００６７】
クリップテンタ８７では、チェーンの動きにより無端で走行する多数のクリップによりフイルム８５の両側端部を挟持した後、このフイルム８５を搬送する間に、乾燥を促進させる。このとき、対面するクリップの幅を拡げてフイルム８５の幅方向に張力を付与することでフイルム８５を延伸する。このように、フイルム８５の幅方向への延伸処理により、フイルム８５中の分子が配向し、フイルム８５に所望のレターデーションを付与、或いは、フイルム８５のレターデーションを調節することができる。
【００６８】
クリップテンタ８７から送り出されたフイルム８５は、耳切装置８８によりの両側端部が切断される。両側端部が切断されたフイルム８５は、乾燥室１０５と冷却室１０７とを経由し、巻取室１１０内の巻取ローラ１１１で巻き取られる。なお、耳切装置８８によって切断された両側端部は、クラッシャ８９により粉砕されて、ドープ調製用チップとなり再利用される。
【００６９】
図３及び図４のように、流延工程において、流延ダイ７０は流出口７０ａから流延ドラム７２の周面７２ａへ積層ドープを流延する。このとき、積層ドープは、流出口７０ａから流延ドラム７２の周面７２ａにかけて、流延ビード２００を形成する。そして、周面７２ａ上に流延された積層ドープは流延膜７１となる。この流延膜７１は、周面７２ａの走行によって走行方向Ｚ１に所定の走行速度で搬送される。
【００７０】
周面７２ａの走行により、周面７２ａの近傍には、同伴風が発生する。この同伴風は、周面７２ａ近傍において、走行方向Ｚ１の上流側から下流側へ流れる。同伴風は、エンドシール板１５８と周面７２ａとの隙間から、開口部１５０ｃと周面７２ａとの間の範囲（以下、減圧ゾーンと称する）に流入する。減圧ゾーンに流入した同伴風は、走行方向Ｚ１、すなわち、流延ビード２００の背面２００ａへ向かって流れる。保持板１６５や遮風板１７０は、同伴風の背面２００ａ近傍への流入を遮る。減圧チャンバ１５０は、中空部１５０ａ又は開口部１５０ｃ、或いは、これらの近傍にある空気を吸引する。
【００７１】
この空気の吸引により減圧ゾーンにおける圧力が低下するため、流延ビード２００の背面２００ａと開口部１５０ｂとの間の空気が、開口部１５０ｂを介して、減圧ゾーンへ流入する。流延ビード２００の両側端部近傍の空気Ａ１は、遮風板１７０の底面１７０ｂと周面７２ａとの間を通って、減圧ゾーンへ流入する。こうして、流延ビード２００の背面２００ａ側が、所定の圧力まで減圧される。
【００７２】
背面２００ａと前面２００ｂとの間の圧力差が変動すると、その圧力差に応じて流延ビード２００は振動する。この圧力差の変動は、背面２００ａ側の減圧の際にも生ずる。流延ビード２００の振動、特に後に製品のフイルムとなる流延ビード２００の幅方向中央部の振動を抑えるためには、背面２００ａ側近傍の空気の圧力振動の周波数成分のうちｆ０−２０（Ｈｚ）以上ｆ０＋２０（Ｈｚ）以下の周波数の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが１Ｐａ以下となるようにすることが必要である。この空気の圧力振動には、減圧によるホワイトノイズを含む。また、ｆ０とは、流延ビード２００の固有振動数（Ｈｚ）であり、フイルムの厚みムラ周波数から、或いはＦＵＪＩ  ＦＩＬＭ  ＲＥＳＥＡＲＣＨ＆ＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴ（Ｎｏ．４６−２００１）に記載される液膜の周波数応答実験から求めることができる。
【００７３】
遮風板１７０を設けることにより、遮風板１７０の底面１７０ｂと周面７２ａとの間を通って、減圧ゾーンへ流入する空気Ａ１の流量をＱ１と、開口部１５０ｃの近傍の空気Ａ２が中空部１５０ａへ流入する量をＱ２との比である、Ｑ１／Ｑ２の値を所定の範囲に調節することができる。Ｑ１が多くなると圧力変動が抑制されず、Ｑ２が多くなると、フィルムの表面に凹凸が生じる面状ムラ故障となるため好ましくない。このＱ１／Ｑ２の値を１／１００以上１／４以下で略一定になるように保持することにより、背面２００ａ側の空気の流出入が抑制されることで、流延ビード２００の幅方向中央部近傍の空気の圧力振動を抑え、結果として、流延ビード２００の幅方向中央部における振動を抑えることができる。
【００７４】
また、この遮風板１７０に設けられる、溝１７５の形状、大きさ、形成ピッチや、突起部１７７ａ〜１７７ｃの形状、底面１７０ｂと周面７２ａとの距離の調節により、Ｑ１／Ｑ２の値が所望の範囲となるように調節することができる。また、遮風板１７０のみならず、間隔ＣＬ１の調節により、流量Ｑ２を調節することも可能である。
【００７５】
流量Ｑ１及びＱ２は、公知の流量センサなどを用いて計測する他、製造実験などの結果に基づいて、減圧チャンバ１５０の減圧度Ｐ１や周面７２ａの走行速度Ｖ１などの製造条件から求めることも可能である。
【００７６】
また、同伴風の背面２００ａ近傍への遮風効果を発揮させるため、底面１７０ｂと周面７２ａとの間隔ＣＬ１は０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下であることが好ましく、略０．５ｍｍであることが好ましい。間隔ＣＬ１が３ｍｍを超えると、遮風効果が発揮されなくなり、厚さムラ故障が発生するため好ましくない。間隔ＣＬ１が０．１ｍｍ未満であると、遮風板１７０と周面７２ａとの接触が生じるおそれがあるため好ましくない。接触によって生じた損傷を有する周面７２ａを用いて、流延工程を行うと、損傷跡が流延膜に転写される結果、フイルムの面状故障となるからである。
【００７７】
したがって、遮風板１７０を減圧チャンバ１５０に設けることにより、Ｑ１／Ｑ２の値を所望の範囲で略一定になるように保持し、背面２００ａ近傍の空気の整流作用を発揮することができるため、厚みムラ故障を誘発する、幅方向中央部の流延ビード２００の振動を抑えることができる。
【００７８】
上記実施形態では、板状に形成された遮風板１７０を流延ビード側方遮風部材として用いたが、本発明はこれに限られず、ブロック状などその他の形状であってもよい。また、上記実施形態では、いわゆるラビリンスシールと一体となっている遮風板１７０を用いたが、本発明はこれに限らず、遮風板とラビリンスシールとを用いてもよい。
【００７９】
上記実施形態では、遮風板１７０を減圧チャンバ１５０に設けたが、本発明はこれに限らず、流延ダイ７０に設けてもよい。
【００８０】
上記実施形態では、遮風板１７０を、サイドシール板１５７と仕切板１６０との間の開口部１５０ｂを塞ぐように設けたが、本発明はこれに限らず、仕切り板１６０〜１６２との間における開口部１５０ｂや、一方のサイドシール板１５７から他方のサイドシール板１５７までの開口部１５０ｂを塞ぐように遮風板１７０を設けてもよい。
【００８１】
上記実施形態では、上部シール板１５２の前端と背面１７０ｃとが固定するように、遮風板１７０を設けたが、本発明はこれに限られず、上部シール板１５２の後端近傍に設けてもよいし、前端と後端との間の上部シール板１５２に設けてもよい。
【００８２】
上記実施形態では、遮風板１７０を減圧チャンバ１５０に取り付けたが、本発明はこれに限らず、遮風板１７０を流延ダイ７０に取り付けても良い。この場合には、例えば、前面１７０ａ上に空気が通過する溝を設ける、或いは、前面１７０近傍に空気が通過する流路を設けてもよい。
【００８３】
上記実施形態では、いわゆる共流延により積層構造を有するフイルム８５を製造したが、本発明はこれに限らず、単一のドープからなる単層のフイルムを製造する場合にも、当然にして、適用可能である。
【００８４】
上記実施形態では、支持体として流延ドラムを用いたが、本発明はこれに限らず、流延バンドを用いても良い。
【００８５】
流延ダイ、減圧チャンバ、支持体などの構造、共流延、剥離法、延伸、各工程の乾燥条件、ハンドリング方法、カール、平面性矯正後の巻取方法から、溶媒回収方法、フイルム回収方法まで、特開２００５−１０４１４８号の［０６１７］段落から［０８８９］段落に詳しく記述されている。これらの記載も本発明に適用できる。
【００８６】
［性能・測定法］
（カール度・厚み）
巻き取られたセルロースアシレートフイルムの性能及びそれらの測定法は、特開２００５−１０４１４８号の［０１１２］段落から［０１３９］段落に記載されている。これらも本発明にも適用できる。
【００８７】
［表面処理］
前記セルロースアシレートフイルムの少なくとも一方の面が表面処理されていることが好ましい。前記表面処理が真空グロー放電処理、大気圧プラズマ放電処理、紫外線照射処理、コロナ放電処理、火炎処理、酸処理またはアルカリ処理の少なくとも一種であることが好ましい。
【００８８】
［機能層］
（帯電防止・硬化層・反射防止・易接着・防眩）
前記セルロースアシレートフイルムの少なくとも一方の面が下塗りされていても良い。
【００８９】
さらに前記セルロースアシレートフイルムをベースフイルムとして、他の機能性層を付与した機能性材料として用いることが好ましい。前記機能性層が帯電防止層、硬化樹脂層、反射防止層、易接着層、防眩層及び光学補償層から選択される少なくとも１層を設けることが好ましい。
【００９０】
前記機能性層が、少なくとも一種の界面活性剤を０．１ｍｇ／ｍ２〜１０００ｍｇ／ｍ２含有することが好ましい。また、前記機能性層が、少なくとも一種の滑り剤を０．１ｍｇ／ｍ２〜１０００ｍｇ／ｍ２含有することが好ましい。さらに、前記機能性層が、少なくとも一種のマット剤を０．１ｍｇ／ｍ２〜１０００ｍｇ／ｍ２含有することが好ましい。さらには、前記機能性層が、少なくとも一種の帯電防止剤を１ｍｇ／ｍ２〜１０００ｍｇ／ｍ２含有することが好ましい。セルロースアシレートフイルムに、種々様々な機能、特性を実現するための表面処理機能性層の付与方法は、上記以外にも、特開２００５−１０４１４８号の［０８９０］段落から［１０８７］段落に詳細な条件、方法も含めて記載されている。これらも本発明に適用できる。
【００９１】
（用途）
前記セルロースアシレートフイルムは、特に偏光板保護フイルムとして有用である。セルロースアシレートフイルムを偏光子に貼り合わせた偏光板を、液晶層に通常は２枚貼って液晶表示装置を作製する。ただし、液晶層と偏光板との配置は限定されるものではなく、公知の各種配置とすることができる。特開２００５−１０４１４８号には、液晶表示装置として、ＴＮ型，ＳＴＮ型，ＶＡ型，ＯＣＢ型，反射型、その他の例が詳しく記載されている。この方法は、本発明にも適用できる。また、同出願には光学的異方性層を付与した、セルロースアシレートフイルムや、反射防止、防眩機能を付与したセルロースアシレートフイルムについての記載もある。更には適度な光学性能を付与し二軸性セルロースアシレートフイルムとして光学補償フイルムとしての用途も記載されている。これは、偏光板保護フイルムと兼用して使用することもできる。これらの記載は、本発明にも適用できる。特開２００５−１０４１４８号の［１０８８］段落から［１２６５］段落に詳細が記載されている。
【００９２】
また、本発明の製造方法により光学特性に優れるセルローストリアセテートフイルム（ＴＡＣフイルム）を得ることができる。前記ＴＡＣフイルムは、偏光板保護フイルムや写真感光材料のベースフイルムとして用いることができる。さらにテレビ用途などの液晶表示装置の視野角依存性を改良するための光学補償フイルムとしても使用可能である。特に偏光板の保護膜を兼ねる用途に効果的である。そのため、従来のＴＮモードだけでなくＩＰＳモード、ＯＣＢモード、ＶＡモードなどにも用いられる。また、前記偏光板保護膜用フイルムを用いて偏光板を構成しても良い。
【００９３】
次に、本発明の実施例を説明する。以下の各実施例では、詳細を実施例１で説明し、実施例２、３、比較例１〜３については、実施例１と異なる条件のみを説明する。
【実施例１】
【００９４】
［ドープ組成］
セルローストリアセテートを混合溶媒に溶解し、適量の可塑剤を添加したものをドープＡとした。混合溶媒としては、ジクロロメタン、メタノール及び１−ブタノールとからなる混合溶媒を用いた。可塑剤としては、トリフェニルフォスフェート、及びビフェニルジフェニルフォスフェートを用いた。このドープＡに適量の紫外線吸収剤を添加したものを中間層用ドープ５４とした。中間層用ドープ５４の粘度は、７００ポイズであった。
【００９５】
また、このドープＡと同一の組成であり、セルローストリアセテートの含有濃度が低いドープに、紫外線吸収剤、コロイダルシリカ及び劣化防止剤を適度に添加したものを、裏面層用ドープ５９及び表面層用ドープ６４とした。裏面層用ドープ５９及び表面層用ドープ６４の粘度は、それぞれ２００ポイズであった。
【００９６】
流延ダイ７０、フィードブロック６９及び配管にジャケット（図示しない）を設けてジャケット内に供給する伝熱媒体の入口温度を３６℃とし、流延ダイ７０、フィードブロック６９、配管は製膜時にはすべて略３６℃に保温した。流延ダイ７０はコートハンガータイプのものを用い、厚み調整ボルト（ヒートボルト）が２０ｍｍピッチに設けられており、ヒートボルトによる自動厚み調整機構を具備しているものを使用した。ヒートボルトは予め設定したプログラムにより高精度ギアポンプの送液量に応じたプロファイルを設定することもでき、フイルム製造ライン４０内に設置した赤外線厚み計（図示しない）のプロファイルに基づいた調整プログラムによってフィードバック制御も可能な性能を有するものである。流延エッジ部２０ｍｍを除いたフイルムで５０ｍｍ離れた任意の２点の厚み差は１μｍ以内であり、幅方向厚みの最小値で最も大きな差が３μｍ／ｍ以下となるように調整した。また、各層の平均厚み精度は両外層が±２％以下、主流が±１％以下に制御され、全体厚みは±１．５％以下となるように調整した。
【００９７】
流延ダイ７０の材質は析出硬化型のステンレス鋼であり、熱膨張率が２×１０-5（℃−１）以下の素材であり、電解質水溶液での強制腐食試験でＳＵＳ３１６製と略同等の耐腐食性を有する素材を使用した。また、ジクロロメタン，メタノール，水の混合液に３ヶ月浸漬しても気液界面にピッティング（孔開き）が生じない耐腐食性を有する素材を使用した。流延ダイ７０及びフィードブロック６９の接液面の仕上げ精度は表面粗さで１μｍ以下、真直度はいずれの方向にも１μｍ／ｍ以下であり、スリットのクリアランスは１．５ｍｍに調整した。ダイリップ先端の接液部の角部分について、Ｒはスリット全巾に亘り５０μｍ以下になるように加工した。ダイ内部での剪断速度は１（１／秒）〜５０００（１／秒）の範囲であった。また、流延ダイ７０のリップ先端には、溶射法によりＷＣコーティングをおこない硬化膜を設けた。
【００９８】
さらに流延ダイ７０のスリット端には流出するドープが、局所的に乾燥固化することを防止するために、ドープを可溶化する前記混合溶媒を流延ビード端部とスリット気液界面に片側で０．５ｍｌ／分で供給した。この液を供給するポンプの脈動率は５％以下のものを用いた。
【００９９】
支持体として円筒状の流延ドラム７２として利用した。流延ドラム７２の周面７２ａにはクロムメッキ及び鏡面加工処理が施され、周面７２ａの表面粗さは０．０５μｍ以下であった。その材質はＳＵＳ３１６製であり、十分な耐腐食性と強度を有するものを用いた。流延ドラム７２は、図示しない制御部の制御の下、軸７２ｂの駆動により回転した。流延速度、すなわち、周面７２ａの走行方向における速度Ｖ１は、略５０ｍ／分とした。このときに、流延ドラム７２の速度変動を０．５％以下とした。また１回転の幅方向の蛇行が、１．５ｍｍ以下に制限されるように流延ドラム７２の両端位置を検出して制御した。流延ダイ７０の直下におけるダイリップ先端と流延ドラム７２との上下方向の位置変動は２００μｍ以下にした。流延ドラム７２は、風圧変動抑制手段（図示しない）を有した流延室６８内に設置した。
【０１００】
流延ドラム７２は、周面７２ａの温度の調整を行うことができるように、内部に伝熱媒体を送液できるものを用いた。伝熱媒体循環装置７５は、流延ドラム７２に伝熱媒体を流した。流延直前の周面７２ａ中央部の温度は略０℃であった。なお、流延ドラム７２には、表面欠陥がないものが好ましく、３０μｍ以上のピンホールは皆無であり、１０μｍ〜３０μｍのピンホールは１個／ｍ2以下、１０μｍ未満のピンホールは２個／ｍ2以下であるものを用いた。
【０１０１】
流延室６８の温度は、温調設備７７を用いて３５℃に保った。流延バンド７２上の乾燥雰囲気における酸素濃度は５ｖｏｌ％に保持した。なお、酸素濃度を５ｖｏｌ％に保持するため空気を窒素ガスで置換した。また、流延室６８内の溶媒を凝縮回収するために、凝縮器（コンデンサ）７８を設け、その出口温度は、−１０℃に設定した。
【０１０２】
そして、各ドープ５４、５９、６４を、フィードブロック６９へ所定の流量で送った。フィードブロック６９及び流延ダイ７０は、目的とするＴＡＣフイルムの膜厚（表面層，中間層，裏面層）がそれぞれ４μｍ，７３μｍ，３μｍであり、製品厚みが８０μｍ、流延幅を１７００ｍｍとなるように、各ドープ５４、５９、６４の流量を調整して、積層ドープの流延を行った。
【０１０３】
積層ドープは、流出口７０ａから周面７２ａにかけて、流延ビード２００を形成した。また、周面７２ａ上の積層ドープは、流延膜７１となった。流延膜７１は、流延ドラム７２により冷却ゲル化し、その結果、流延膜７１に自己支持性が発現した。
【０１０４】
流延ダイ７０の１次側には、流延ドラム７２の周面７２ａとの距離ＣＬ１を１．２ｍｍとして設置した遮風板１７０を有する減圧チャンバ１５０を設置した。流延ビード２００の長さが、ビードの長さが４ｍｍ±２０ｍｍとなるように減圧度を設定した。そのときの減圧チャンバ１５０の減圧度Ｐ１は−１００Ｐａであり、Ｑ１／Ｑ２の値は略１／５であった。このときの流延ビード２００の固有振動数ｆ０は８０Ｈｚであった。流延ビード２００近傍の圧力変動をなす周波数成分のうち、６０Ｈｚ以上１００Ｈｚ以下の周波数の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが０．７Ｐａであった。流延ビード２００近傍の圧力変動の周波数解析は、圧力変動のＦＦＴ解析を用いた。
【０１０５】
剥取ローラ７４により、流延ドラム７２から流延膜７１を湿潤フイルム７３として剥ぎ取った。このときの剥取テンションは１０ｋｇｆ／ｍであり、剥取不良を抑制するために流延バンド７２の速度に対して剥取速度（剥取ローラドロー）は、１００．１％〜１１０％の範囲で適切に調整した。
【０１０６】
湿潤フイルム７３をピンテンタ８６に送り、湿潤フイルム７３に乾燥風をあてて、湿潤フイルム７３を乾燥した。この乾燥処理が施された湿潤フイルム７３をフイルム８５として、耳切装置８８で行った。ＮＴ型カッターにより両側５０ｍｍの耳をカットし、カットした耳はカッターブロワ（図示しない）によりクラッシャ８９に風送して平均８０ｍｍ２程度のチップに粉砕した。このチップは、再度ドープ調製用原料としてＴＡＣフレークと共にドープ製造の際に原料として利用した。クリップテンタ８７の乾燥雰囲気における酸素濃度は５ｖｏｌ％に保持した。なお、酸素濃度を５ｖｏｌ％に保持するため空気を窒素ガスで置換した。後述する乾燥室１０５で高温乾燥させる前に、１００℃の乾燥風が供給されている予備乾燥室（図示しない）でフイルム８５を予備加熱した。
【０１０７】
フイルム８５を乾燥室１０５で高温乾燥した。乾燥室１０５を４区画に分割して、上流側から１２０℃，１３０℃，１３０℃，１３０℃の乾燥風を送風機（図示しない）から給気した。フイルム８５のローラ１０４による搬送テンションは１００Ｎ／巾として、最終的に残留溶媒量が、０．３重量％になるまでの約１０分間乾燥した。前記ローラ１０４のラップ角度は、９０度および１８０度とした。前記ローラ１０４の材質はアルミ製もしくは炭素鋼製であり、表面にはハードクロム鍍金を施した。ローラ１０４の表面形状はフラットなものとブラストによりマット化加工したものとを用いた。ローラ１０４の回転による振れは全て５０μｍ以下であった。また、テンション１００Ｎ／巾でのローラ撓みは０．５ｍｍ以下となるように選定した。
【０１０８】
乾燥風に含まれる溶媒ガスは、吸着回収装置１０６を用いて吸着回収除去した。吸着剤は活性炭であり、脱着は乾燥窒素を用いて行った。回収した溶媒は、水分量０．３重量％以下に調整してドープ調製用溶媒として再利用した。乾燥風には溶媒ガスの他、可塑剤，ＵＶ吸収剤，その他の高沸点物が含まれるので冷却除去する冷却器およびプレアドソーバーでこれらを除去して再生循環使用した。そして、最終的に屋外排出ガス中のＶＯＣ（揮発性有機化合物）は１０ｐｐｍ以下となるよう、吸脱着条件を設定した。また、全蒸発溶媒のうち凝縮法で回収する溶媒量は９０重量％であり、残りの大部分は吸着回収により回収した。
【０１０９】
乾燥されたフイルム８５を第１調湿室（図示しない）に搬送した。乾燥室１０５と第１調湿室との間の渡り部には、１１０℃の乾燥風を給気した。第１調湿室には、温度５０℃、露点が２０℃の空気を給気した。さらに、フイルム８５のカールの発生を抑制する第２調湿室（図示しない）にフイルム８５を搬送した。第２調湿室では、フイルム８５に直接９０℃，湿度７０％の空気をあてた。
【０１１０】
調湿後のフイルム８５は、冷却室１０７で３０℃以下に冷却して両端耳切りを行った。搬送中のフイルム帯電圧は、常時−３ｋＶ〜＋３ｋＶの範囲となるように強制除電装置（除電バー）１０８を設置した。さらにフイルム８５の両端にナーリング付与ローラ１０９でナーリングを行った。ナーリングは片側からエンボス加工を行うことで付与し、ナーリングする幅は１０ｍｍであり、最大高さは平均厚みよりも平均１２μｍ高くなるように押し圧を設定した。
【０１１１】
そして、フイルム８５を巻取室１１０に搬送した。巻取室１１０は、室内温度２８℃，湿度７０％に保持した。さらに、フイルム帯電圧が−１．５ｋＶ〜＋１．５ｋＶになるようにイオン風除電装置（図示しない）も設置した。全工程を通しても平均乾燥速度は２０重量％（乾量基準溶媒）／分であった。また巻き緩み、シワもなく、１０Ｇでの衝撃テストにおいても巻きずれが生じなかった。また、ロール外観も良好であった。
【０１１２】
フイルム８５のフイルムロールを２５℃、５５％ＲＨの貯蔵ラックに１ヶ月保管して、さらに上記と同様に検査した結果、いずれも有意な変化は認められなかった。さらにロール内においても接着も認められなかった。また、フイルム８５を製膜した後に、流延バンド７２上にはドープから形成された流延膜７１の剥げ残りは全く見られなかった。
【実施例２】
【０１１３】
本実施例では、周面７２ａの走行方向における速度Ｖ１を略８０ｍ／分としたこと、及び減圧チャンバ１５０の減圧度Ｐ１を−５００Ｐａとしたこと以外は実施例１と同様にしてフイルム８５をつくった。このとき、Ｑ１／Ｑ２の値は略１／１０であり、流延ビード２００の固有振動数ｆ０は１５０Ｈｚであった。また、流延ビード２００近傍の圧力変動をなす周波数成分のうち、１３０Ｈｚ以上１７０Ｈｚ以下の周波数成分の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが０．８Ｐａであった。
【実施例３】
【０１１４】
本実施例では、遮風板１７０を流延ドラム７２の周面７２ａとの距離ＣＬ１を０．５ｍｍとして設置した以外は実施例１と同様にしてフイルム８５をつくった。このとき、Ｑ１／Ｑ２の値は略１/１００であり、流延ビード２００の固有振動数ｆ０は８０Ｈｚであった。また、流延ビード２００近傍の圧力変動をなす周波数成分のうち、６０Ｈｚ以上１００Ｈｚ以下の周波数成分の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが０．９Ｐａであった。
【０１１５】
［比較例１］
本実施例では、遮風板１７０の溝１７５の形状、大きさ、形成ピッチ或いは、突起部１７７ａ〜１７７ｃの形状を調節して、Ｑ１／Ｑ２の値を略１／１２５としたこと以外は実施例１と同様にしてフイルムをつくった。流延ビード２００の固有振動数ｆ０は８０Ｈｚであった。また、流延ビード２００近傍の圧力変動をなす周波数成分のうち、６０Ｈｚ以上１００Ｈｚ以下の周波数成分の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが０．６Ｐａであった。しかし、Ｑ２の比率が増えたことで、面状ムラ故障が発生した。
【０１１６】
［比較例２］
本実施例では、遮風板１７０を取り外したこと以外は実施例１と同様にしてフイルムをつくった。Ｑ１／Ｑ２の値は略１／３であった。流延ビード２００の固有振動数ｆ０は８０Ｈｚであった。また、流延ビード２００近傍の圧力変動をなす周波数成分のうち、６０Ｈｚ以上１００Ｈｚ以下の周波数成分の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが１．５Ｐａであった。
【０１１７】
［比較例３］
本実施例では、遮風板１７０を取り外したこと、周面７２ａの走行方向における速度Ｖ１を略８０ｍ／分としたこと、及び減圧チャンバ１５０の減圧度Ｐ１を−５００Ｐａとしたこと以外は実施例１と同様にしてフイルムをつくった。Ｑ１／Ｑ２の値は略１／３であった。流延ビード２００の固有振動数ｆ０は１５０Ｈｚであった。また、流延ビード２００近傍の圧力変動をなす周波数成分のうち、１３０Ｈｚ以上１７０Ｈｚ以下の周波数成分の圧力変動の最大値Ｐｍａｘが１．８Ｐａであった。
【０１１８】
実施例１〜３、比較例１〜３で得られたフイルムについて、次の方法で測定して、厚みムラ評価を行った。測定方法は、フイルムを２５℃，６０ＲＨ％下でアンリツ電気社製、電子マイクロメーターを用いて、５箇所を測定した。測定値の平均値と偏差とから相対標準偏差ＲＳＤ（＝偏差／平均値×１００％）を算出した。そして相対標準偏差からフイルムの厚みムラを以下基準で行った。
◎：  ０．２５％未満
○：  ０．２５％以上０．５０  ％未満
△：  ０．５０％以上１．２５％未満
×：  １．２５％以上
【０１１９】
表１に、実施例１〜３、比較例１〜３おける、距離ＣＬ１、周面７２ａの速度Ｖ１、減圧度Ｐ１、遮風板１７０の有無、流量比Ｑ１／Ｑ２、流延ビード２００の固有振動数ｆ０、所定の周波数の圧力変動の最大値Ｐｍａｘ、及び厚みムラ評価結果を示す。
【０１２０】
【表１】
2008246721.tif 000003
【０１２１】
実施例１〜３、比較例１〜３より、遮風板１７０を減圧チャンバ１５０に設け、Ｑ１／Ｑ２の値を所定の範囲保持することにより、流延ビード２００近傍の空気の圧力振動をなす周波数成分のうち、流延ビード２００の固有振動数近傍の圧力変動を抑えることができるため、流延ビード２００、特に流延ビードの中央部の振動を抑え、結果として、厚みムラ故障や面状故障を抑えることができることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】ドープ製造ラインの概要を示す説明図である。
【図２】フイルム製造ラインの概要を示す説明図である。
【図３】流延工程における流延ダイの流出口及び減圧チャンバの近傍についての側面図及び断面図である。
【図４】減圧チャンバ及びその近傍を流延ドラムの周面側からみたときの平面図である。
【符号の説明】
【０１２３】
４０    フイルム製造ライン
７０    流延ダイ
７０ａ  流出口
７１    流延膜
７２    流延ドラム
７２ａ  周面
７３    湿潤フイルム
７４    剥取ローラ
８６    ピンテンタ
１５０  減圧チャンバ
１５０ａ  中空部
１５０ｂ、１５０ｃ  開口部
１７０  遮風板
１７０ａ  前面
１７０ｂ  底面
１７０ｃ  背面
１７５    溝
１７７ａ〜１７７ｃ    突起部
２００    流延ビード
２００ａ  背面
２００ｂ  前面
【図１】
2008246721.tif 000004
【図２】
2008246721.tif 000005
【図３】
2008246721.tif 000006
【図４】
2008246721.tif 000007