(57)【要約】【課題】液晶パネルの電極の清掃のために専用の駆動源を必要とすることなく、検査ステージでの検査の直前に電極を清掃し得る検査装置のためのプローブ組立体を提供する。【解決手段】被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられ、該プローブと該プローブに対応する電極との接触のために被検査体に相近づく方向およびこれから相離れる方向へ相対移動が可能のプローブ組立体。電極のための清掃手段と、該清掃手段を支持する揺動アームを備える。該揺動アームは、被検査体およびプローブ組立体の相近づく相対移動によって揺動し、この揺動に伴って清掃手段が電極上を掃く。【選択図】図６
2008045937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられ、該プローブと該プローブに対応する前記電極との接触のために少なくとも前記被検査体に相近づく方向へ相対移動が可能のプローブ組立体であって、
前記電極のための清掃手段と、該清掃手段を保持する揺動アームとを備え、前記被検査体および前記プローブ組立体が相近づくように移動するとき、この相対移動に伴なって前記揺動アームが揺動すべく該揺動アームまたは前記清掃手段のいずれか一方が前記被検査体に接触可能であり、前記揺動アームの揺動に伴って該揺動アームに支持された前記清掃手段が前記電極上を掃くことを特徴とするプローブ組立体。
【請求項２】
前記プローブ組立体は、多数の前記プローブを支持するプローブブロックと、該プローブブロックを着脱可能に支持する支持機構とを備え、前記プローブは、前記支持機構に支持された前記プローブブロックの前縁からそれぞれの前記プローブの針先を前記被検査体へ向けて突出するように整列して支持されており、前記揺動アームが対をなして前記各プローブブロックの両側に配置されており、前記清掃手段は両揺動アーム間でその両端が対応するそれぞれの前記揺動アームに支持されている、請求項１に記載のプローブ組立体。
【請求項３】
前記両揺動アームは前記支持機構に揺動可能に支持されている、請求項２に記載のプローブ組立体。
【請求項４】
前記両揺動アームは前記プローブブロックに揺動可能に支持されている、請求項２に記載のプローブ組立体。
【請求項５】
前記清掃手段は中心軸が前記一対の揺動アーム間で該揺動アームに支持された棒状の清掃バーである、請求項１または２のいずれか一項に記載のプローブ組立体。
【請求項６】
前記清掃手段は中心軸が前記一対の揺動アーム間で該揺動アームに支持された清掃ブラシである、請求項１または２のいずれか一項に記載のプローブ組立体。
【請求項７】
前記揺動アームは、その揺動によって前記清掃手段が前記電極および前記プローブの針先に付着した異物に接触して該異物を排除可能な長さ寸法に設定されている、請求項１または２のいずれか一項に記載のプローブ組立体。
【請求項８】
前記清掃手段は全体に円柱状であり、該清掃手段がその中心軸を前記揺動アームの端部に支持されており、該端部の縁部分は、前記清掃手段を超えて該清掃手段の半径方向外方へ突出し、前記揺動アームが前記縁部分で前記被検査体に当接可能である、請求項１または２のいずれか一項に記載のプローブ組立体。
【請求項９】
前記揺動アームの前記清掃手段を支持する端部には、前記被検査体に当接可能に前記端部から突出するスペーサ部材が固定されている、請求項１または２のいずれか一項に記載のプローブ組立体。
【請求項１０】
少なくとも一方の前記揺動アームは、該揺動アームと前記支持機構または前記プローブブロックとの間に設けられた偏倚手段により、前記清掃手段を前記電極へ向けて付勢する力を受けている、請求項９に記載のプローブ組立体。
【請求項１１】
前記プローブ組立体には、前記プローブの針先または前記電極上の異物を吸引するための吸引口を有する吸引機構が設けられている、請求項１または２のいずれか一項に記載のプローブ組立体。
【請求項１２】
請求項１に記載の複数のプローブ組立体と、前記被検査体を昇降可能に保持する検査台の上方で、前記プローブ組立体の前記プローブが前記被検査体の対応する前記電極に当接可能となるように前記プローブ組立体を保持する支持部材とを備えるプローブユニット。  
【請求項１３】
電極が設けられた被検査体を昇降可能に保持する検査台の上方に配置される複数のプローブ組立体であって前記電極に対応したプローブが設けられた複数のプローブ組立体と、該プローブ組立体の前記各プローブが対応する前記電極に当接可能となるように前記プローブ組立体を整列して保持する支持部材とを備えるプローブユニットであって、
さらに、整列する複数の前記プローブ組立体の前記各プローブに対応する前記電極のための清掃手段と、該清掃手段を保持すべく、複数の整列する前記プローブ組立体からなるプローブ組立体群の両側に配置され、前記支持部材に揺動可能に支持された一対の揺動アームとを備え、前記検査台が前記支持部材に向けて移動するとき前記検査台上の前記被検査体の移動に伴なって前記揺動アームが揺動すべく、前記揺動アームまたは前記清掃手段が前記被検査体に当接可能であり、前記揺動アームの揺動によって前記清掃手段が前記電極上を掃く、プローブユニット。
【請求項１４】
前記清掃手段は中心軸が前記一対の揺動アーム間で該揺動アームに支持された棒状の清掃バーである、請求項１３に記載のプローブユニット。
【請求項１５】
前記清掃手段は中心軸が前記一対の揺動アーム間で該揺動アームに支持された清掃ブラシである、請求項１３に記載のプローブユニット。
【請求項１６】
前記一対の揺動アームは、その揺動によって前記清掃手段が前記電極および前記プローブの針先に付着した異物に接触して該異物を排除可能な長さ寸法に設定されている、請求項１３に記載のプローブユニット。
【請求項１７】
前記清掃手段は全体に円柱状であり、該清掃手段がその中心軸を前記揺動アームの端部に支持されており、該端部の縁部分は、前記清掃手段を超えて該清掃手段の半径方向外方へ突出し、前記揺動アームが前記縁部分で前記被検査体に当接可能である、請求項１３に記載のプローブ組立体。
【請求項１８】
少なくとも一方の前記揺動アームは、該揺動アームと前記支持機構または前記プローブブロックとの間に設けられた偏倚手段により、前記清掃手段を前記電極へ向けて付勢する力を受けている、請求項１７に記載のプローブ組立体。
【請求項１９】
前記各プローブ組立体には、前記プローブの針先または前記電極上の異物を吸引するための吸引口を有する吸引機構が設けられている、請求項１３に記載のプローブユニット。
【請求項２０】
電極が設けられた被検査体を昇降可能に保持する検査台と、該検査台の上方に設けられた請求項１３に記載のプローブユニットとを備える検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの検査装置、プローブユニットおよびプローブ組立体に関し、特に、表示パネルの点灯検査に適した検査装置、該検査装置のためのプローブユニットおよびそのプローブ組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造では、一対のガラス板のそれぞれの一方の面に、例えばラビング処理を受けた配向膜が形成される。アクティブマトリックス方式の液晶パネルでは、一方のガラス板には、該ガラス板と配向膜との間に多数の透明な画素電極および薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が組み込まれている。また、他方のガラス板には、該ガラス板と配向膜との間に透明な共通電極が組み込まれており、さらにカラー液晶パネルでは、当該ガラス板と共通電極との間にカラーフィルタが組み込まれている。この一対のガラス板は、それらの配向膜を互いに間隔をおいて対向させるように、シール部材を介して互いに貼り合わせられる。この貼り合わせたガラス組立体をマザーガラスとして、該マザーガラスのシール部材を分断するように、ガラス組立体が多数の所望の液晶パネル用ガラス組立体に切断される。この切断作業により、一枚のマザーガラスから複数のガラス組立体が形成される。その後、それぞれのガラス組立体の一対のガラス板間に液晶が注入され、この液晶が封止されることにより、複数の液晶パネルが効率的に形成される。
【０００３】
この液晶パネルは、例えば検査装置を用いて欠陥を検出するための点灯検査のような検査を受ける。この点灯検査では、各液晶パネルに駆動信号を供給する必要がある。そのため、前記検査装置の検査ステージには、液晶パネルの電極に接触可能の多数のプローブが設けられたプローブ組立体が設けられている（例えば特許文献１、参照）。
【０００４】
ところで、前記検査装置のプローブ組立体のプローブが接触する液晶パネルの電極に、前記した液晶パネルの製造工程での前記したガラス板の切りくずやシール部材の切りくずのような非導電性の異物が残存すると、各プローブと該プローブに対応する電極との確実な電気的接続が阻害されることから、前記検査装置の検査ステージでの各プローブの接触に先立って、検査を受ける液晶パネルの電極を清掃する必要がある。
【０００５】
そのため、特許文献１に記載の発明では、検査ステージに送られる液晶パネルを予め配置するセットステージに、液晶パネルの電極を清掃するための清掃テープを有する清掃装置が設けられている。これによれば、検査ステージで検査を受ける液晶パネルの各電極を検査に先立ってセットステージで清掃テープにより清掃することができる。
【特許文献１】特開２００５−１４７９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の前記検査装置では、セットステージに専用の駆動源を組み込んだ清掃装置が必要となることから、検査装置の構成が複雑になる。また、セットステージで電極を清掃しても、この清掃を受けた電極上に、検査ステージへの移送中あるいはその後に新たに異物が付着する可能性がある。そのため、できる限り、プローブが電極に接触する直前に電極を清掃することが望まれていた。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、液晶パネルの電極の清掃のために専用の駆動源を必要とすることなく、検査ステージでの検査の直前に電極を清掃し得る検査装置、該検査装置のためのプローブユニットおよびプローブ組立体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るプローブ組立体は、被検査体の電極に接触可能のプローブが設けられ、該プローブと該プローブに対応する前記電極との接触のために前記被検査体に近づく方向へ相対移動が可能である。前記プローブ組立体は、前記電極のための清掃手段と、該清掃手段を保持する揺動アームとを備える。前記被検査体および前記プローブ組立体が相近づくように移動するとき、この相対移動に伴なって前記揺動アームが揺動すべく、該揺動アームまたは前記清掃手段のいずれか一方が前記被検査体に接触可能である。前記揺動アームが揺動するとき、この揺動アームの揺動に伴って該揺動アームに支持された前記清掃手段が前記電極上を掃く。
【０００９】
本発明に係る前記プローブ組立体では、被検査体の電極とこれに対応するプローブ組立体の各プローブとの接触のために前記被検査体と前記プローブ組立体とが相近づくと、その相対移動によって、清掃手段を支持する揺動アームが、揺動のための専用の駆動源を用いることなく揺動する。この揺動アームの揺動に伴って該揺動アームに支持された前記清掃手段が前記電極上を掃くことから、清掃のための専用の駆動源を用いることなく、しかも前記プローブと前記電極との接触の直前に該電極上を清掃することができる。
【００１０】
前記プローブ組立体では、その多数の前記プローブを支持するプローブブロックを着脱可能に支持機構に取り付けることができる。この支持機構への前記プローブブロックの取付けにより、前記各プローブは、前記支持機構に支持された前記プローブブロックの前縁からそれぞれの前記プローブの針先を前記被検査体へ向けて突出するように整列して配置される。この場合、プローブ組立体毎に、一対の揺動アームを前記プローブブロックの両側に配置することができ、前記清掃手段は両揺動アーム間でその両端が対応するそれぞれの前記揺動アームに支持される。
【００１１】
前記両揺動アームを前記支持機構に揺動可能に支持することができる。また、これに代えて、前記両揺動アームを前記プローブブロックに揺動可能に支持することができる。
【００１２】
前記清掃手段には、中心軸が前記揺動アームに支持された棒状の清掃バーを用いることができる。このような清掃バーには、電極上の異物に係合して該異物を電極上から排除するための例えばローラ部材を用いることができる。また必要に応じて、清掃バーの摺動による電極表面の保護のために、清掃バーの表面に弾性層、フェルト層あるいは植毛のような保護手段を設けることができる。
【００１３】
前記清掃手段には、中心軸が前記揺動アームに支持された清掃ブラシを用いることができる。
【００１４】
前記揺動アームの長さを適宜設定することにより、該揺動アームに支持された清掃手段が電極上を清掃するとき、該清掃手段によって、前記電極に加えて前記プローブの針先に付着した異物をも除去することができる。この場合、清掃手段との接触によるプローブの針先の損傷を防止するために、清掃手段がプローブの針先に付着した異物に接触するが針先には接触しないように、各揺動アーム長を設定することが望ましい。また、この場合、接触によるプローブの針先の損傷を確実に防止するために、清掃手段として回転ブラシのような清掃ブラシを用いることが好ましい。
【００１５】
前記清掃手段を前記揺動アームの端部に支持し、該端部の縁部分を前記清掃手段を超えてその径方向外方へ突出させることができる。揺動アームをこの縁部分で前記被検査体に当接させることにより、揺動アームに支持された前記清掃手段が前記揺動アームの揺動時に前記電極上を摺動することを防止することができる。これにより、清掃手段で電極を擦ることなく、該電極上の異物を掃き出すことができるので、清掃手段による前記電極表面への損傷を確実に防止することができる。
【００１６】
前記揺動アームに支持された清掃手段で確実に前記電極上の異物を掃くために、揺動アームに、ばね部材のような偏倚手段の付勢力を付与することができる。
【００１７】
前記プローブ組立体には、前記プローブの針先または前記電極上の異物を吸引するための吸引口を有する吸引機構を設けることができる。この吸引機構により、前記電極またはプローブの針先上から排除された異物を吸引することができるので、電極から掃き出される異物の前記被検査体への再付着を確実に防止することができる。また、吸引力の設定によって、前記電極上の異物を直接吸引することができる。この場合、前記吸引機構は前記清掃手段の補助として機能する。
【００１８】
前記揺動アームおよび該揺動アームに支持された清掃手段をそれぞれ有する複数の前記プローブ組立体は、検査装置のプローブユニットに組み込むことができる。このプローブユニットでは、前記被検査体を昇降可能に保持する検査台の上方で、複数の前記プローブ組立体は、それぞれの各プローブが前記被検査体の対応する前記電極に当接可能となるように、支持部材上に支持される。
【００１９】
また、本発明に係るプローブユニットでは、前記支持部材上に整列して配置される複数の複数のプローブ組立体からなるプローブ組立体群毎に、該プローブ組立体群の両側に一対の揺動アームを配置し、この一対の揺動アームに該揺動アーム間の複数のプローブ組立体の各プローブに対応する被検査体の電極のための清掃手段を支持させることができる。この場合、前記揺動アームは前記支持部材に揺動可能に支持される。
【００２０】
さらに、本発明に係る検査装置では、電極が設けられた被検査体を昇降可能に保持する検査台の上方に前記プローブユニットが設けられる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、被検査体の検査のための該被検査体とプローブ組立体との相対運動に関連して揺動アームを揺動させることができ、この揺動アームの揺動によって、該揺動アームに支持された清掃手段で前記電極上から異物を掃き出すことができる。これにより、清掃のための専用の駆動源を組み込むことなく、したがって、この専用の駆動源の組み込みによる検査装置の構成の複雑化を招くことなく、被検査体の電極をプローブの接触直前に清掃することができるので、比較的安価にしかも確実に検査直前で被検査体の電極を清掃することができ、異物の影響を受けることなく安定した検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１および図２は、本発明に係る検査装置１０の外観を示す。この検査装置１０は、長方形の平面形状を有する液晶パネル１２の例えば点灯検査に用いられる。検査装置１０には、点灯検査のための検査ステージ１４が設けられ、また該検査ステージとの間で被検査体である液晶パネル１２を順次やり取りする従来よく知られたセットステージ１６が検査ステージ１４に並んで設けられている。図示の例では、点灯検査で作業者の目視による液晶パネル１２の表示画面の観察を容易とするために、検査ステージ１４およびセットステージ１６で、液晶パネル１２が前方に向けて傾斜して保持されている。
【００２３】
矩形の液晶パネル１２の表面には、後述するように、その一方の長辺縁部に沿って多数の電極１２ａ（図４参照）が配列されており、また一方の短辺縁部に沿って同様な多数の電極１２ａが配列されている。検査ステージ１４で検査を受ける液晶パネル１２は、筐体１８の正面に設けられた出し入れ口２０からセットステージ１６の支持台２２上に、前記電極を正面に向けて配置される。液晶パネル１２は、セットステージ１６では、支持台２２に設けられたセンタリングピン２４を有する従来よく知られたセンタリング機構によって支持台２２上で姿勢を整えられる。このセットステージ１６の液晶パネル１２は、図示しないが、従来よく知られたパネル取り扱い機構を介して、検査ステージ１４で検査を受けた液晶パネル１２と相互に交換され、検査を終えた液晶パネル１２は、セットステージ１６の出し入れ口２０を経て検査装置１０から取り出される。
【００２４】
検査ステージ１４には、図１および図３に示すように、筐体１８の正面でセットステージ１６の出し入れ口２０に整列して傾斜配置される全体に矩形の観察窓２６が形成されている。また検査ステージ１４には、液晶パネル１２を所定の姿勢で保持するためのチャックトップ２８が設けられている。チャックトップ２８には、ストッパピン３０と、該ストッパピンへ向けてチャックトップ２８上の液晶パネル１２の縁部を押圧するプッシャ３２とが設けられている。チャックトップ２８上の液晶パネル１２は、従来よく知られているように、ストッパピン３０およびプッシャ３２により、液晶パネル１２の長辺および短辺がそれぞれ観察窓２６のＸ軸方向およびＹ軸方向に沿うように姿勢を調整される。姿勢を調整された液晶パネル１２は、チャックトップ２８の大気圧よりも低い吸引圧力によって該チャックトップ上に保持される。チャックトップ２８は、従来よく知られているように、ｘｙｚθ台上に設けられている。これにより、チャックトップ２８上の液晶パネル１２は、チャックトップ２８と一体に、前記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＸ−Ｙ面に直角なＺ軸方向へ移動可能であり、またＺ軸の回りに回転可能である。
【００２５】
チャックトップ２８の斜め上方、すなわちＺ軸方向に沿ったチャックトップ２８の斜め前方には、図３に示すように、Ｚ軸方向へチャックトップ２８に間隔をおいて、本発明に係るプローブユニット３４が配置されている。プローブユニット３４は、チャックトップ２８と平行な平面上でチャックトップ２８から間隔をおいて配置された矩形枠体からなる支持部材３６と、該支持部材に支持された多数のプローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）とを備える。
【００２６】
支持部材３６は、筐体１８内で該筐体に図示しないフレーム部材で固定的に支持されている。また、図３に示す例では、支持部材３６のＸ軸方向に沿った一方の長辺部３６ａ上に４個のプローブ組立体３８ａが長辺部３６ａの長手方向へ相互に間隔をおいて並列的に配列されている。また、支持部材３６のＹ軸方向に沿った一方の短辺部３６ｂ上に３個のプローブ組立体３８ｂが短辺部３６ｂの長手方向へ相互に間隔をおいて並列的に配列されている。
【００２７】
各プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）は、図３および図４に示すように、多数のプローブ４０が設けられたプローブブロック４２を備える。各プローブ４０は、該プローブが設けられるプローブブロック４２の前縁から下方へ向けて針先を突出させて保持されている。各プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）は、それらのプローブ４０の針先が対応する電極１２ａに対応するように、支持機構であるサスペンション機構４４を介して、支持部材３６の長辺部３６ａおよび短辺部３６ｂ上で、相互に間隔をおいて保持されている。これにより、各プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）のプローブ４０は、その針先を下方に配置された液晶パネル１２の対応する電極１２ａから間隔をおく。
【００２８】
前記セットステージ１６から検査ステージ１４のチャックトップ２８上に移送
された液晶パネル１２は、チャックトップ２８上で前記したようにＸ、Ｙ方向の位置調整およびＺ軸の回りの姿勢調整を受ける。この調整によって、各電極１２ａがプローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）の対応するプローブ４０の針先に正確に位置決められると、チャックトップ２８は、該チャックトップ上の液晶パネル１２がその上方で支持部材３６に支持された各プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）に近づくように、図５（ａ）に示される下降位置からＺ軸に沿って支持部材３６へ向けて駆動される。
【００２９】
この液晶パネル１２のプローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）へ向けての移動により、チャックトップ２８が図５（ｃ）に示す接触位置へ移動すると、液晶パネル１２の各電極１２ａは、対応するプローブ４０の針先に接触する。この接触状態では、従来よく知られているように、サスペンション機構４４の弾性あるいはプローブ４０自体の弾性により、該プローブの針先は対応する各電極１２ａに適正な押圧力で押し付けられる。このプローブ４０の接触状態で、液晶パネル１２には、検査のために必要な、例えば、液晶パネル１２を黒表示させるための電気信号あるいは駆動信号等がテスタ本体（図示しせず）からプローブ４０および該プローブに対応する各電極１２ａを経て供給される。
【００３０】
黒表示画面上の欠陥（例えば白欠陥）の有無についての検査が終了すると、チャックトップ２８は、所定の下降位置へ向けて、Ｚ軸に沿って支持部材３６から離れる方向へ駆動される。検査を受けた液晶パネル１２は、チャックトップ２８の所定の下降位置で、前記したように、セットステージ１６に移送される。
【００３１】
本発明に係るプローブユニット３４には、前記したプローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）の各プローブ４０と液晶パネル１２の各電極１２ａとの接触のための両者１２、３８の相対運動に関連して各電極１２ａを清掃するための清掃手段４６が設けられている。
【００３２】
図１に示す例では、支持部材３６の長辺部３６ａに設けられた４つのプローブ組立体３８ａからなる第１のプローブ群および支持部材３６の短辺部３６ｂに設けられた３つのプローブ組立体３８ｂからなる第２のプローブ群の群毎に、清掃手段４６が設けられている。各清掃手段４６は、対応するプローブ群の各プローブ４０の配列方向へ伸長する棒状部材からなる清掃バーで構成されている。この清掃バー４６を構成する棒状部材は、例えば合成樹脂材料からなるローラ部材で形成することができる。
【００３３】
各清掃バー４６を保持するために、図３および図４に示すように、それぞれのプローブ群の両側外方で、固定アーム４８がその一端を支持部材３６に固定されている。各固定アーム４８は、対応する各プローブ組立体３８のプローブブロック４２から間隔をおいてこれに平行に、チャックトップ２８の上方で伸長する。プローブ群毎で対をなす固定アーム４８の先端部の近傍には、それぞれ水平の枢軸５０を介して、一対の揺動アーム５２がその一端で枢着されている。
【００３４】
プローブ群毎に設けられた一対の揺動アーム５２間に、それぞれ前記した清掃バー４６が配置されている。各清掃バー４６は、その中心軸に一致して配置された水平軸５４を介してそれぞれの端部で、対応する各揺動アーム５２の他端近傍に例えば固定的に取り付けられている。
【００３５】
清掃手段４６が取り付けられた各揺動アーム５２の他端すなわち先端部は、図５（ａ）に示すチャックトップ２８の下降位置から図５（ｃ）に示すプローブ４０と電極１２ａとの接触位置へ向けてチャックトップ２８が移動するとき、その過程で図５（ｂ）に示すように、チャックトップ２８上の液晶パネル１２の縁部に接触する。各揺動アーム５２と液晶パネル１２とが接触すると、引き続くチャックトップ２８の上昇に伴って揺動アーム５２の前記先端部が液晶パネル１２を介して押し上げられることにより、該先端部が液晶パネル１２上を摺動するように揺動アーム５２が枢軸５２を中心に揺動する。このとき、図４に拡大して示されているように、揺動アーム５２の前記先端部は電極１２ａ列から清掃手段４６の長手方向へ充分な間隔を保持するように、固定アーム４８に支持されているので、各揺動アーム５２が各電極１２ａ上を摺動することはない。
【００３６】
また、揺動アーム５２の各前記先端部の縁部分は、清掃手段４６を超えて該清掃手段の半径方向外方へ突出することから、前記した一対の揺動アーム５２の揺動で、該揺動アーム間の清掃手段４６が液晶パネル１２の表面および該表面上の各電極１２ａに接触することはない。
【００３７】
このことから、一対の揺動アーム５２が図５（ａ）の下降位置の姿勢から図５（ｃ）の接触位置の姿勢へ向けて枢軸５０の回りに揺動するとき、一対の揺動アーム５２間に支持された清掃手段４６は、枢軸５０を中心として該枢軸および水平軸５４間距離を半径とする弧状軌跡に沿って、各電極１２ａに近接してその上方を移動するが、図４に示されているように、清掃手段４６は各電極１２ａと間隔をおくことにより、該電極上を摺動することはない。
【００３８】
また、図６に拡大して示すように、前記した揺動アーム５２の揺動に伴って各電極１２ａに近接して該電極上を移動する清掃手段４６は、図５（ｂ）および図６に示す清掃工程で、電極１２ａ列上を横切るように通過することから、電極１２ａ上の異物５６に係合して該異物を電極１２ａ上から掃き出す。
【００３９】
この電極１２ａから異物５６を掃き出す清掃工程の直後に、各プローブ４０が図５（ｃ）に示した接触位置で対応する電極１２ａに接触する。このプローブ４０と電極１２ａとの接触は、清掃手段４６が電極１２ａ列上を横切るように通過した後であることから、この清掃手段４６によってプローブ４０と電極１２ａとの接触が妨げられることはない。
【００４０】
また、図６に仮想線で示すように、揺動アーム５２のアーム長すなわち枢軸（５０、５４）間の距離を清掃手段４６の半径に応じて適正に選択することにより、一対の揺動アーム５２の揺動に伴って、プローブ４０の針先に付着した異物５８をも清掃手段４６の掃き出しによって除去することができる。
【００４１】
検査後、チャックトップ２８は、図５（ａ）に示した下降位置に向けて移動する。この移動に伴い、揺動アーム５２は、該揺動アームおよび清掃手段４６の各自重により、揺動アーム５２の前記先端部が液晶パネル１２上を摺動しながら、下方へ向けて揺動する。この揺動アーム５２の下方へ向けての揺動は、図５（ａ）に示すように、プローブブロック４２の側壁部４２ａに設けられたストッパピン６０により、規制することができる。このストッパピン６０の規制作用によって、揺動アーム５２の前記先端部が液晶パネル１２の対応領域を超えて下方側方へはみ出して揺動することはない。
【００４２】
本発明に係る前記検査装置１０では、液晶パネル１２を保持するチャックトップ２８の昇降運動に伴って、各一対の揺動アーム５２が揺動する。この揺動アーム５２に保持された清掃手段４６は、図５（ｃ）の接触位置へ向けて揺動アーム５２が揺動するとき、各電極１２ａおよびプローブ４０の針先を清掃する。したがって、清掃手段４６のための専用の駆動源を用いることなく各電極１２ａを清掃することができる。しかも、清掃直後の図５（ｃ）に示す接触位置で、プローブ４０の針先が対応する電極１２ａに接触するので、各電極１２ａの清掃後から該電極へのプローブ４０の接触までの間に、各電極１２ａ上に新たな異物が付着し難い。そのため、従来のような清掃後の新たな異物の付着による接触不良を確実に防止することができる。
【００４３】
清掃手段４６が各電極１２ａ上を摺動することによる該電極の損傷を確実に防止するために、必要に応じて、各清掃手段４６を構成するローラ部材のような清掃バーの表面に植毛を施すことができる。また前記ローラ部材の表面にゴムのような弾性膜あるいはフェルトのような保護層を形成することができる。また、このような保護手段を清掃手段４６に設けることにより、揺動アーム５２の前記先端部を液晶パネル１２上で摺動させることに代えて、清掃手段４６を各電極１２ａ上を含む液晶パネル１２上を摺動させることができる。
【００４４】
また、複数のプローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）からなるプローブ組立体の群毎に清掃手段４６を設けることに代えて、図７に示されているように、各プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）に個別の清掃手段４６を設けることができる。
【００４５】
図７に示す例では、各プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）のためのプローブブロック４２の側壁部４２ａに各一対の揺動アーム５２の枢軸５０が支持されている。また、図８に示すように、清掃手段４６を支持する各揺動アーム５２の先端部の外側に、スペーサ部材６２を固定的に設けることができる。各スペーサ部材６２は、液晶パネル１２に当接し、該液晶パネル上を摺動する。スペーサ部材６２を用いることなく、前記したように揺動アーム５２の先端部の縁部分を清掃手段４６の半径方向外方に突出させることができるが、揺動アーム５２間に保持された清掃手段４６と、各電極１２ａとの間隔を所望の適正値に保持する点で、スペーサ部材６０を用いることが有利である。
【００４６】
また、図９に示すように、揺動アーム５２の枢軸５０をプローブブロック４２が取り付けられるサスペンション機構４４の支持台４４ａに支持することができる。また、図９に示す例では、揺動アーム５２をストッパピン６０に向けて付勢するコイルスプリングのような弾性部材からなる偏倚手段６４が設けられている。偏倚手段６４の一端は揺動アーム５２に係止され、その他端は支持台４４ａに係止されている。偏倚手段６４は、揺動アーム５２にストッパピン６０へ向けての付勢力を付与することにより、清掃手段４６が各電極１２ａから不要に浮き上がることを防止し、清掃手段４６による清掃作用を高める。
る。
【００４７】
前記したような偏倚手段６４は、図１ないし図６に示した揺動アーム５２あるいは図７に示した揺動アーム５２にも設けることができる。図１ないし図６に示した例では、偏倚手段６４の前記他端は固定アーム４８に係止することができる。また図７に示した例では、偏倚手段６４の前記他端は、プローブブロック４２の側壁部４２ａまたはサスペンション機構４４の支持台４４ａに係止することができる。
【００４８】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示すように、一対の揺動アーム５２をサスペンション機構４４の支持台４４ａで支持することに関連して、サスペンション機構４４の支持台４４ａと、該支持台に取り付けられるプローブブロック４２とを取り外し可能とすることができる。
【００４９】
この場合、プローブブロック４２の上面には、取付け部４２ｂが設けられ、支持台４４ａの下面には、取付け部４２ｂを受け入れる嵌合部４４ｂが形成されており、支持台４４ａと取付け部４２ｂとの間には図示しないが従来よく知られたクランプ機構が設けられる。このように、揺動アーム５２を支持台４４ａに揺動可能に支持し、かつプローブブロック４２を各サスペンション機構４４から取り外し可能とすることにより、プローブブロック４２の一部のプローブ４０に欠損が生じた場合、清掃手段４６および揺動アーム５２を取り替えることなく、プローブブロック４２を取り替えるができる。したがって、資源の浪費を防止し、その有効活用が可能となる。
【００５０】
図１１に示す例では、清掃手段４６により各電極１２ａまたはプローブ４０の針先から掃き出した異物５６または５８を吸引するための吸引機構６６が設けられている。吸引機構６６は、プローブ４０が設けられるプローブブロック４２の前縁下方に向けて開放する吸引口６８ａを有する吸引ノズル６８を有する。吸引ノズル６８には、そのホース６８ｂを経て、例えばチャックトップ２８の負圧源（真空ポンプ）からの吸引圧力が導入される。この吸引圧力により、清掃手段４６によりプローブ４０あるいは各電極１２ａ上から掃き出された異物５６、５８を吸引口６８ａから吸引し、ホース６８ｂに設けられたトラップ（図示せず）に捕獲することができる。
【００５１】
このような吸引機構６８を設けることにより、掃き出された異物５６、５８が電極１２ａあるいはプローブ４０に再付着することを確実に防止することができる。また、吸引力を適正に調整することにより、清掃手段４６により掃き残された異物５６、５８をプローブ４０あるいは電極１２ａから直接的に吸引することができる。この場合、吸引機構６６は、清掃手段４６の補助手段として機能する。さらに、吸引機構６６によって、プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）のプローブ４０の針先の異物を吸引除去することにより、この針先の定期的な保守点検作業の周期を比較的長く設定することができ、またメンテナンス作業も容易になる。
【００５２】
前記したところでは、清掃手段４６をローラ部材のような棒状部材で構成される例を示した。これに代えて、図１２（ａ）ないし図１２（ｃ）に示すように、清掃手段４６を回転ブラシ７０で構成することができる。
【００５３】
回転ブラシ７０の毛は、例えば適度な弾性を有する繊維状の樹脂部材で形成することができる。この回転ブラシ７０は、一対の揺動アーム５２で両端を回転可能に支持されることにより、揺動アーム５２間で該各揺動アームの端部から回転ブラシ７０の毛先が該回転ブラシの径方向外方へ大きく突出する。このような回転ブラシ７０では、その毛先が電極１２ａあるいはプローブ４０の針先に接触しても、これらに損傷を与える虞はない。したがって、この場合、図１２（ａ）に示す下降位置から図１２（ｃ）に示す接触位置の間で、回転ブラシ７０を液晶パネル１２に接触させることができ、揺動アーム５２が液晶パネル１２に接触することを防止することができる。また、回転ブラシ７０に吸引機構６６を組み合わせることにより、プローブ４０の針先に付着した異物５８を針先からより確実に排除することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。例えば、液晶パネル１２を支持するチャックトップ２８をプローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）へ向けておよびこれから離れる方向へ移動可能とすること代えて、チャックトップ２８を固定的に保持し、プローブ組立体３８（３８ａ、３８ｂ）を支持する支持部材３６をチャックトップ２８上の液晶パネル１２へ向けておよびこれから離れる方向へ移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る検査装置の外観を示す正面図である。
【図２】図１に示す検査装置の右側面図である。
【図３】図１に示した検査装置の内部に配置されているプローブ組立体を示す斜視図である。
【図４】図３に示した矢印A方向へ見たプローブ組立体の部分的な図面である。
【図５】本発明に係るプローブ組立体の揺動アームに支持された清掃バーの動作を示す説明図であり、５（ａ）はプローブ組立体と被検査体との相対運動開始前の状態を示し、５（ｂ）は相対運動中での清掃工程を示し、５（ｃ）は相対運動による清掃工程の終了後でのプローブ組立体のプローブと被検査体の電極との接触状態を示す。
【図６】清掃バーによる電極の清掃工程を拡大して示す図５（ｂ）と同様な図面である。
【図７】本発明の他の実施例を示すプローブ組立体の斜視図である。
【図８】本発明のさらに他の実施例を示すプローブ組立体の正面図である。
【図９】本発明のさらに他の実施例を示すプローブ組立体の側面図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施例を示し、図１０（ａ）は支持機構に着脱可能に結合されたプローブブロックを備えるプローブ組立体の斜視図であり、図１０（ｂ）は支持機構からプローブブロックが取り外された状態を示す斜視図である。
【図１１】本発明のさらに他の実施例を示す図７と同様な図面である。
【図１２】本発明のさらに他の実施例を示す図５と同様な図面である。
【符号の説明】
【００５６】
１０  検査装置
１２  液晶パネル（被検査体）
３４  プローブユニット
３６  支持部材
３８（３８ａ、３８ｂ）  プローブ組立体
４０  プローブ
４２  プローブブロック
４６、７０  清掃手段
５２  揺動アーム
５６、５８  異物
６２  スペーサ部材
６４  偏倚手段
６６  吸引機構
６８ａ  吸引口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2008045937.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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