(57)【要約】【課題】本発明の目的は、均質かつ均等に液状材料を吐出することができるスリットコーター用ノズルを提供することにある。【解決手段】本発明に係るスリットコーター用ノズルは、ノズル本体と、前記ノズル本体を貫通するスリット状の流路と、前記ノズル本体の先端面に開口され、前記流路と連通する吐出口と、を備え、前記吐出口は、複数の凸形状部を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル本体と、
前記ノズル本体を貫通するスリット状の流路と、
前記ノズル本体の先端面に開口され、前記流路と連通する吐出口と、
を備え、前記吐出口は、複数の凸形状部を含む、スリットコーター用ノズル。
【請求項２】
請求項１において、
前記先端面は、前記吐出口から吐出される液状材料に対して撥液性に処理された表面処理部を有する、スリットコーター用ノズル。
【請求項３】
基台と、
前記基台の上方に形成されたノズル本体と、
前記ノズル本体に嵌合するように形成された支持部と、
を含み、
前記ノズル本体は、スリット状の流路と、前記流路と連通し複数の凸形状部を有する吐出口と、を備え、
さらに、前記スリット状の流路に供給される液状材料に振動エネルギーを与えることができる振動部を備えた、スリットコーター用ノズル。
【請求項４】
液状材料供給部と、
前記液状材料供給部の上方に形成されたノズル本体と、
前記ノズル本体に嵌合するように形成された支持部と、
前記液状材料供給部、前記ノズル本体および前記支持部を支持するためのばね材と、
前記ばね材の側面に設置された振動エネルギーを与えることができる振動部と、
を含み、
前記ノズル本体は、スリット状の流路と、前記流路と連通し複数の凸形状部を有する吐出口と、を備えた、スリットコーター用ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリットコーター用ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット印刷法によって、基板上に直接回路パターンを形成する方法が実用化されている。しかしながら、大面積を塗布する必要がある場合、インクジェット印刷法ではインクジェット用記録式ヘッドを繰り返し駆動させなければならないため効率が悪い。
【０００３】
それに対し、スリット状の塗布面を有するスリットコーターは、一度に大容量の液状材料を吐出することができるので、大面積を塗布するのに適している。しかしながら、従来のノズルの形状では、吐出口の全域において均質かつ均等に液状材料を吐出させることは難しかった。そのため、液体材料を塗布した領域において、液状材料のムラが発生しやすいという欠点があった（例えば、特許文献１および２参照）。
【特許文献１】特開２００３−２６６００１号公報
【特許文献２】特開２００５−３１９３５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、均質かつ均等に液状材料を吐出することができるスリットコーター用ノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るスリットコーター用ノズルは、ノズル本体と、前記ノズル本体を貫通するスリット状の流路と、前記ノズル本体の先端面に開口され、前記流路と連通する吐出口と、を備え、前記吐出口は、複数の凸形状部を含む。
【０００６】
本発明に係るスリットコーター用ノズルにおいて、前記先端面は、前記吐出口から吐出される液状材料に対して撥液性に処理された表面処理部を有することができる。
【０００７】
本発明に係るスリットコーター用ノズルは、基台と、前記基台の上方に形成されたノズル本体と、前記ノズル本体に嵌合するように形成された支持部と、を含み、前記ノズル本体は、スリット状の流路と、前記流路と連通し複数の凸形状部を有する吐出口と、を備え、さらに、前記スリット状の流路に供給される液状材料に振動エネルギーを与えることができる振動部を備えている。
【０００８】
本発明に係るスリットコーター用ノズルは、液状材料供給部と、前記液状材料供給部の上方に形成されたノズル本体と、前記ノズル本体に嵌合するように形成された支持部と、前記液状材料供給部、前記ノズル本体および前記支持部を支持するためのばね材と、前記ばね材の側面に設置された振動エネルギーを与えることができる振動部と、を含み、前記ノズル本体は、スリット状の流路と、前記流路と連通し複数の凸形状部を有する吐出口と、を備えている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係るスリットコーター用ノズルは、ノズル本体と、前記ノズル本体を貫通するスリット状の流路と、前記ノズル本体の先端面に開口され、前記流路と連通する吐出口と、を備え、前記吐出口は、複数の凸形状部を含む。
【００１０】
以下、本発明に好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１１】
１．スリットコーター用ノズル
１．１  第１の実施形態
図１は、第１の実施形態に係るスリットコーター用ノズル１００の斜視図である。図２は、第１の実施形態に係るスリットコーター用ノズル１００の平面図である。
【００１２】
スリットコーター用ノズル１００に係るノズル本体５０は、図１に示すように、スリット状の流路１０、その開口部である吐出口２０、先端面３０、テーパー状の側面部４０から形成されている。
【００１３】
スリット状の流路１０は、ノズル本体５０の長手方向に沿って、ノズル本体５０を貫通するように形成されている。ノズル本体５０の側面部４０をテーパー状とすることにより、これに嵌合する支持部と組み合わせることができる。支持部を設けることにより、液状材料をスリット状の流路１０に供給する際の圧力に対して、ノズル本体５０を安定化させることができる。
【００１４】
吐出口２０は、レジスト等の液状材料を吐出するための開口部である。図２に示すように、吐出口２０のノズルの長手方向に沿った一方の辺は、ほぼ直角の連続する凸形状部２０ａを有しており、もう一方の辺は直線状となっている。このような形状を有する吐出口２０から液状材料を吐出させながら、スリットコーター用ノズル１００を凸形状部２０ａの凸方向へ移動させると、凸形状部２０ａの先端部が周囲よりも突出しているため、該先端部から液状材料と基板が接触する。そのため、凸形状部２０ａの先端部から吐出された液状材料は、基板上に凸形状の先端部から周囲に向かって容易に濡れ拡がっていく。さらに、図２に示すように、凸形状の先端部を複数設けることにより、先端部から周囲に濡れ拡がる液状材料は、各先端部が連なることにより形成される線として展開するため、基板上に液状材料の均質な膜を形成することができる。
【００１５】
また、図３に示すような、従来の直線状のスリットでは、吐出口前面部の場所により濡れ拡がりに差が発生するが、図２のように凸形状部を設けることにより、濡れ拡がりに発生する差を凸形状部の先端部を中心とする狭い範囲に形成することができるため、基板上に塗布される液状材料を面内で均質に保つことができる。
【００１６】
先端面３０は、その表面の少なくとも一部を液状材料に対して撥液性に処理した表面処理部とすることができる。撥液性は、例えば、接触角（静的接触角または動的接触角）を用いて確認することができる。本実施の形態では、例えば、静的接触角は８０℃以上とし、均一な濡れ性になるように撥液処理することができる。
【００１７】
撥液化処理方法としては、例えば、プラズマ処理法（プラズマ重合法）や共析めっき法等を適用することができる。また、金チオールで撥液化する方法、若しくはＦＡＳ（フッ化アルキルシラン）で撥液化処理する方法等、公知の方法を適用することができる。このうち、プラズマ処理法は、原料の選択等によって、処理対象の表面に様々な特性を与えることができるとともに、その制御を行いやすいという利点を有する。
【００１８】
上記プラズマ処理法では、例えば、フッ素系の原料をプラズマ化し、それを先端面３０の表面に照射する。これにより、先端面３０の表面に、フッ素基が導入されて撥液性が付与される。
【００１９】
フッ素系の原料としては、例えば、Ｃ４Ｆ１０やＣ８Ｆ１８等の直鎖状のフルオロカーボンを用いることができる。この場合、上記フルオロカーボンの蒸気をプラズマ化することにより、直鎖状のフルオロカーボンの結合が一部切断されて活性化する。そして、活性化されたフルオロカーボンは、先端面３０の表面で互いに重合する。これにより、先端面３０の表面に、撥液性に処理された表面処理部を形成することができる。
【００２０】
１．２  第２の実施形態
図４は、第２の実施形態に係るスリットコーター用ノズル２００の斜視図である。図５は、第２の実施形態に係るスリットコーター用ノズル２００の平面図である。
【００２１】
スリットコーター用ノズル２００に係るノズル本体５２は、図４に示すように、スリット状の流路１２、その開口部である吐出口２２、先端面３２、テーパー状の側面部４２から形成されている。
【００２２】
スリット状の流路１２は、ノズル本体５２の長手方向に沿って、ノズル本体５２を貫通するように形成されている。ノズル本体５２の側面部４２をテーパー状とすることにより、これに嵌合する支持部と組み合わせることができる。支持部を設けることにより、液状材料をスリット状の流路１２に供給する際の圧力に対して、ノズル本体５２を安定化させることができる。
【００２３】
吐出口２２は、レジスト等の液状材料を吐出するための開口部である。図５に示すように、吐出口２２のノズルの長手方向に沿った一方の辺は、ほぼ直角の連続する凸形状部２２ａを有しており、もう一方の辺も、それに対応するようにほぼ直角の連続する凸形状部２２ｂを有している。この吐出口２２のピッチの幅は、０．５〜２０ｍｍの範囲で任意に調整することができる。このような形状を有する吐出口２２から液状材料を吐出させながら、スリットコーター用ノズル２００を凸形状部２２ａの凸方向へ移動させると、凸形状部２２ａおよび２２ｂの先端部から吐出された液状材料は基板上に足掛かりを築き、そこから周囲に濡れ拡がるように展開する。これにより、基板上に液状材料の均質な膜を形成することができる。
【００２４】
スリットコーター用ノズル２００は、スリットコーター用ノズル１００と、ピッチの幅を均等にしている点が異なっている。ピッチの幅を均等にすると、液状材料を吐出口２２から吐出させる際の圧力をより均一にすることができる。これにより、基板上に液状材料の均質な膜を形成することができる。
【００２５】
第２の実施形態についても、第１の実施形態と同様に、先端面３２において、表面の少なくとも一部を液状材料に対して撥液性に処理した表面処理部とすることができる。
【００２６】
１．３  第３の実施形態
図６は、第３の実施形態に係るスリットコーター用ノズル３００の斜視図である。図７は、第３の実施形態に係るスリットコーター用ノズル３００の平面図である。
【００２７】
スリットコーター用ノズル３００に係るノズル本体５４は、図６に示すように、スリット状の流路１４、その開口部である吐出口２４、先端面３４、テーパー状の側面部４４から形成されている。
【００２８】
スリット状の流路１４は、ノズル本体５４の長手方向に沿って、ノズル本体５４を貫通するように形成されている。ノズル本体５４の側面部４４をテーパー状とすることにより、これに嵌合する支持部と組み合わせることができる。支持部を設けることにより、液状材料をスリット状の流路１２に供給する際の圧力に対して、ノズル本体５４を安定化させることができる。
【００２９】
吐出口２４は、レジスト等の液状材料を吐出するための開口部である。図７に示すように、吐出口２４のノズルの長手方向に沿った一方の辺は、１の焦点に向かって形成された連続する凸形状部２４ａを有しており、もう一方の辺は、直線状となっている。すなわち、吐出口２４の連続する凸形状部２４ａから吐出された液状材料は、図８に示すようなレンズ状となる。図８のように、ノズルの進行方向に向かって極端に長いノズルにおいては、液状材料がノズル形状の外縁に沿って濡れ拡がるため液状材料を均質に塗布することが容易である。図７に示す吐出口２４も凸形状部２４ａがレンズ状をなすため、吐出口２４から液状材料を吐出させながら、スリットコーター用ノズル３００を凸形状部２４ａの凸方向へ移動させると、図８の先端部から液状材料がノズル形状の外縁に沿って濡れ拡がるのと同様に、液状材料は凸形状部２４ａから周囲に濡れ拡がるように展開する。これにより、基板上に液状材料の均質な膜を形成することができる。
【００３０】
スリットコーター用ノズル３００は、スリットコーター用ノズル１００と、凸形状部２４ａの形状が１の焦点に向かって形成されたレンズ状となっている点で異なっている。凸形状部２４ａの形状がレンズ状になると、凸形状部２４ａの先端から吐出された液状材料は、基板上の１の焦点に向かって足掛かりを築き、そこから周囲に濡れ拡がるように展開する。これにより、基板上に液状材料の均質な膜を形成することができる。
【００３１】
第３の実施形態についても、第１の実施形態と同様に、先端面３４において、表面の少なくとも一部を液状材料に対して撥液性に処理した表面処理部とすることができる。
【００３２】
１．４  第４の実施形態
第４の実施形態に係るスリットコーター用ノズル４００は、基台８０と、基台８０の上方に形成されたノズル本体５６と、ノズル本体５６に嵌合するように形成された支持部６０と、を含み、ノズル本体５６は、スリット状の流路１６と、前記流路と連通し複数の凸形状部を有する吐出口２６と、先端面３６と、を備え、基台８０は、スリット状の流路１６に供給される液状材料に振動エネルギーを与えることができる振動部７０を備えている。
【００３３】
図９は、第４の実施形態に係るスリットコーター用ノズル４００を模式的に示した断面図である。
【００３４】
第４の実施形態に係るスリットコーター用ノズル４００は、ノズル本体５６の側面部４６をテーパー状とした後、そのノズル本体５６に嵌合する支持部６０を設けている。支持部６０を設けることにより、液状材料をスリット状の流路１６に供給する際の圧力に対して、ノズル本体５６を安定化させることができる。
【００３５】
さらに、ノズル本体５６および支持部６０の下方に、スリット状の流路１６を通過する液状材料に対して振動エネルギーを与えることができる振動部７０を設け、振動部７０を保護するための基台８０を設けている。振動部７０を設けると、スリット状の流路１６を通過する液状材料に直接振動エネルギーを与えることができる。これにより、液状材料を基板に押圧し塗りつけることにより、吐出口２６から吐出される液状材料を効果的に基板に塗布することができる。
【００３６】
吐出口２６の断面形状は、例えば、第１ないし第３の実施形態で示したような、複数の凸形状部を含む断面形状であればよい。
【００３７】
振動部７０は、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛やチタン酸バリウム等の圧電体膜、上部電極および下部電極から構成される圧電素子等を挙げることができる。
【００３８】
第４の実施形態についても、第１の実施形態と同様に、先端面３６において、表面の少なくとも一部を液状材料に対して撥液性に処理した表面処理部とすることができる。
【００３９】
１．５  第５の実施形態
第５の実施形態に係るスリットコーター用ノズル５００は、
液状材料供給部８２と、液状材料供給部８２の上方に形成されたノズル本体５８と、ノズル本体５８に嵌合するように形成された支持部６２と、液状材料供給部８２、ノズル本体５８および支持部６２を支持するためのばね材９０と、ばね材９０の側面に設置された振動エネルギーを与えることができる振動部７２と、を含み、ノズル本体５８は、スリット状の流路１８と、前記流路と連通し複数の凸形状部を有する吐出口２８と、先端面３８と、を備えている。
【００４０】
図１０は、第５の実施形態に係るスリットコーター用ノズル５００を模式的に示した断面図である。
【００４１】
第５の実施形態に係るスリットコーター用ノズル５００は、ノズル本体５８の側面部４８をテーパー状とした後、そのノズル本体５８に嵌合する支持部６２を設けている。支持部６２を設けることにより、液状材料８４をスリット状の流路１８に供給する際の圧力に対して、ノズル本体５８を安定化させることができる。
【００４２】
そして、ノズル本体５８の下方に、液状材料供給部８２を設け、その全体をばね材９０により固定している。さらに、ばね材９０の側面に、全体に振動エネルギーを与えることができる振動部７２を設置している。
【００４３】
振動部７２は、例えば、ソレノイド等の電磁的なアクチュエータ、小型モーター、およびジルコン酸チタン酸鉛やチタン酸バリウム等の圧電体膜、上部電極および下部電極から構成される圧電素子等を挙げることができる。
【００４４】
第５の実施形態に係るスリットコーター用ノズル５００は、上記のスリットコーター用ノズル４００と異なり、スリット状の流路１８を通過する液状材料だけではなく、振動部７２によって、全体に振動エネルギーを与えることができるところに特徴がある。これにより、吐出口２８から吐出される液状材料を効果的に基板に塗布することができる。
【００４５】
第５の実施形態に係るスリットコーター用ノズル５００は、スリットコーター用ノズル４００よりも簡便に全体に対して振動エネルギーを与えることができるが、やや大型化してしまうという欠点もある。
【００４６】
第５の実施形態についても、第１の実施形態と同様に、先端面３８において、表面の少なくとも一部を液状材料に対して撥液性に処理した表面処理部とすることができる。
【００４７】
本発明に係るスリットコーター用ノズルを用いることにより、膜厚精度の向上を図ることができる。これにより、半導体素子の製造に際し、高精度あるいは高品質なデバイスを製造することが可能となる。また、半導体素子の製造に限らず、他の製造プロセスに本発明を適用することにより、例えば、液晶表示素子、有機ＥＬ素子、撮像素子（ＣＣＤ）、磁気ヘッド等のデバイス、およびカラーフィルタやタッチパネル等の装置の高品質化を図ることができる。そして、本発明のスリットコーター用ノズルを用いて形成された膜を構成要素の一部として備える電子機器は、該膜の平坦性が高いことから良好な性能が得られる。なお、本発明で用いられる液状材料には、金属等の微粒子を含む液状体も含まれる。
【００４８】
２．スリットコーター用ノズルの製造方法
まず、組み合わされてノズル本体を形成することができる一対の半体を用意する。本発明に係るスリットコーター用ノズルの製造方法は、該一対の半体のうち少なくとも一方の半体の合わせ面にスリット状の凹部を形成する工程と、前記一対の半体を接合して連通するスリット状の溝を形成する工程と、前記ノズル本体の側面部をテーパー状に形成する工程と、前記ノズル本体に嵌合するように形成された支持部を設ける工程と、全体の厚みを調整する工程と、を含む。
【００４９】
以下に、一例として、スリットコーター用ノズル４００を製造する方法について、図面を参照しながら説明する。
【００５０】
（１）まず、図１１に示すように、一対の半体５６ａおよび５６ｂのうち少なくとも一方の半体の合わせ面に凹部９２を形成する。凹部９２を形成する方法として、フォトリソグラフィおよびエッチングから選択される少なくとも一方の微細加工技術を適用することができる。一対の半体に形成された凹部９２のうち少なくとも一方は、複数の凸形状部を設けるように加工する。
【００５１】
ここで、一対の半体５６ａおよび５６ｂを構成する部材としては、金属、セラミックス、シリコン、ガラス、プラスチック等の各種材質を適用することができる。具体的には、例えば、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、スズ等の単一金属や、ニッケル−リン合金、スズ−銅−リン合金（リン青銅）、銅−亜鉛合金、アルミニウム合金、ステンレス鋼等の各種合金を適用することができる。または、ポリカーボネート、プリサルフォン、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合）、ポリエチレンテレフタレート、ポリアセタール等の樹脂を適用してもよい。ノズル本体５６は、１つの材質で構成してもよく、複数の材質の部材を組み合わせて構成してもよい。
【００５２】
（２）図１２に示すように、一対の半体５６ａおよび５６ｂを接合してスリット状の流路１６を形成し、ノズル本体５６とする。接合方法として、拡散接合、シリコンフュージョンボンディング等の接合方法、または接着剤を用いる接合方法等を挙げることができる。拡散接合、シリコンフュージョンボンディング等の接合方法は、スリット状の流路内に接着剤を進入させることがなく、強固に接着することができる。
【００５３】
拡散接合とは、材料同士を融点以下の温度に加熱した状態で加圧密着させ、互いの原子の相互拡散により固相のまま接合する方法である。そのため、溶融接合に比べて、高い精度で位置合わせを行うことができる。主に、金属同士の接合やセラミックと金属との接合に適用することができる。
【００５４】
シリコンフュージョンボンディングとは、親水化されたシリコンや酸化シリコン等の基板を、まず水素結合で貼り合わせた後、加熱処理をしてＳｉ−Ｏ−Ｓｉ結合により接合する技術で、少なくともいずれかが酸化されているシリコンウエハ同士を貼り合わせる場合に主に用いられる。その際、プラズマ酸化処理等を施した後に、接合することによりプロセス温度を低下させる等の方法を採ることもできる。
【００５５】
（３）図１３に示すように、ノズル本体５６の側面部４６をテーパー状に加工する。テーパー状に加工することにより、工程（４）において、ノズル本体５６を支持するための支持部６０としっかり嵌合することができる。
【００５６】
（４）図１４に示すように、ノズル本体５６の側面部４６と嵌合するように形成された支持部６０をしっかりとはめ込む。支持部６０をはめ込むことにより、液状材料をスリット状の流路１６に供給する際に生ずる圧力に対して、ノズル本体５６を安定化させることができる。
【００５７】
（５）最後に、全体の厚みを調整することにより、スリットコーター用ノズル４００を得ることができる。
【００５８】
（６）さらに、図１５に示すように、ノズル本体５６および支持部６０の下方に、スリット状の流路１６に供給される液体材料に直接振動エネルギーを与えることができる振動部７０を設けることができる。そして、振動部７０を保護するための基台８０を設け、基台８０を貫通するように溝を形成し、スリット状の流路１６を延長することにより、振動部７０を備えたスリットコーター用ノズル４００を得ることができる。
【００５９】
上述したように、振動部７０は、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛やチタン酸バリウム等の圧電体膜、上部電極および下部電極から構成される圧電素子等を挙げることができる。
【００６０】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】第１の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す斜視図。
【図２】第１の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す平面図。
【図３】従来のスリットコーター用ノズルを示す平面図。
【図４】第２の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す斜視図。
【図５】第２の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す平面図。
【図６】第３の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す斜視図。
【図７】第３の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す平面図。
【図８】第３の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを示す平面図。
【図９】第４の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを模式的に示した断面図。
【図１０】第５の実施形態に係るスリットコーター用ノズルを模式的に示した断面図。
【図１１】本発明に係るスリットコーター用ノズルの製造方法を示す斜視図。
【図１２】本発明に係るスリットコーター用ノズルの製造方法を示す斜視図。
【図１３】本発明に係るスリットコーター用ノズルの製造方法を示す斜視図。
【図１４】本発明に係るスリットコーター用ノズルの製造方法を示す斜視図。
【図１５】本発明に係るスリットコーター用ノズルの製造方法を模式的に示した断面図。
【符号の説明】
【００６２】
１０・１２・１４・１６・１８…スリット状流路、２０・２１・２２・２４・２６・２８…吐出口、２０ａ・２２ａ・２２ｂ・２４ａ…凸形状部、３０・３１・３２・３４・３６・３８…先端面、４０・４２・４４・４６・４８…側面部、５０・５２・５４・５６・５８…ノズル本体、５６ａ・５６ｂ…半体、６０・６２…支持部、７０・７２…振動部、８０…基台、８２…液状材料供給部、８４…液状材料、９０…ばね材、９２…凹部、１００・２００・３００・４００・５００…スリットコーター用ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2008253919.tif 000012
【図１１】
2008253919.tif 000013
【図１２】
2008253919.tif 000014
【図１３】
2008253919.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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