(57)【要約】【課題】インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定する。【解決手段】すべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープ１０を所定距離だけ送る送り機構４と、インターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出するセンサ５と、個別のインターポーザー基板１２を受け取って、良品のインターポーザー基板１２のみをキャリアテープ２０上に供給するための回転テーブル３とを含む。【選択図】図２
2008251894.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電子部品が搭載された基材に、前記各電子部品の電極に接続された拡大電極を形成したインターポーザー基板テープ（１０）を切断して個別のインターポーザー基板（１２）を得、良品のインターポーザー基板（１２）のみを選別し、離型層を形成してなるキャリアテープ（２０）上に良品のインターポーザー基板（１２）のみを所定間隔毎に配置する電子回路基板中間部材製造装置であって、
すべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープ（１０）を所定距離だけ送る送り機構（４）と、
インターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出するセンサ（５）と、
個別のインターポーザー基板（１２）を受け取って、良品のインターポーザー基板（１２）のみをキャリアテープ（２０）上に供給するための回転テーブル（３）と、
を含むことを特徴とする電子回路基板中間部材製造装置。
【請求項２】
前記送り機構（４）は、インターポーザー基板テープ（１０）を把持して固定する把持固定装置（４１）と、インターポーザー基板テープ（１０）を把持して所定距離だけ送る把持送り装置（４２）とを含んでいる請求項１に記載の電子回路基板中間部材製造装置。
【請求項３】
前記センサ（５）は、インターポーザー基板の先頭を位置決めするために、インターポーザー基板テープ（１０）の空白部を検出するものである請求項１に記載の電子回路基板中間部材製造装置。
【請求項４】
前記回転テーブル（３）は、個別のインターポーザー基板（１２）を受け取る第１ポジション（３３）と、個別のインターポーザー基板（１２）が不良であることを示す不良マークの有無を検出する第２ポジション（３４）と、個別のインターポーザー基板（１２）の寸法を検出する第３ポジション（３５）と、不良なインターポーザー基板（１２）を排出する第４ポジション（３６）と、良品のインターポーザー基板（１２）をキャリアテープ（２０）上に供給する第５ポジション（３７）とを含んでいる請求項１に記載の電子回路基板中間部材製造装置。
【請求項５】
インターポーザー基板テープ（１０）を切断して個別のインターポーザー基板（１２）を得る前にインターポーザー基板テープ（１０）の先端部を前記回転テーブル（３）に押圧する第１押さえロール（３１）をさらに含む請求項４に記載の電子回路基板中間部材製造装置。
【請求項６】
前記第５ポジション（３７）において前記回転テーブル（３）から突出しているインターポーザー基板（１２）の部分をキャリアテープ（２０）上に押圧する第２押さえロール（３２）をさらに含む請求項４に記載の電子回路基板中間部材製造装置。
【請求項７】
複数の電子部品が搭載された基材に、前記各電子部品の電極に接続された拡大電極を形成したインターポーザー基板テープ（１０）を切断して個別のインターポーザー基板（１２）を得、良品のインターポーザー基板（１２）のみを選別し、離型層を形成してなるキャリアテープ（２０）上に良品のインターポーザー基板（１２）のみを所定間隔毎に配置する電子回路基板中間部材製造方法であって、
送り機構（４）によりすべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープ（１０）を所定距離だけ送り、
センサ（５）によりインターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出し、
回転テーブル（３）により個別のインターポーザー基板（１２）を受け取って、良品のインターポーザー基板（１２）のみをキャリアテープ（２０）上に供給する、
ことを特徴とする電子回路基板中間部材製造方法。
【請求項８】
前記送り機構（４）は、インターポーザー基板テープ（１０）を把持して固定する把持固定装置（４１）と、インターポーザー基板テープ（１０）を把持して所定距離だけ送る把持送り装置（４２）とを含んでいる請求項７に記載の電子回路基板中間部材製造方法。
【請求項９】
前記センサ（５）は、インターポーザー基板の先頭を位置決めするために、インターポーザー基板テープ（１０）の空白部を検出するものである請求項７に記載の電子回路基板中間部材製造方法。
【請求項１０】
前記回転テーブル（３）は、個別のインターポーザー基板（１２）を受け取る第１ポジション（３３）と、個別のインターポーザー基板（１２）が不良であることを示す不良マークの有無を検出する第２ポジション（３４）と、個別のインターポーザー基板（１２）の寸法を検出する第３ポジション（３５）と、不良なインターポーザー基板（１２）を排出する第４ポジション（３６）と、良品のインターポーザー基板（１２）をキャリアテープ（２０）上に供給する第５ポジション（３７）とを含んでいる請求項７に記載の電子回路基板中間部材製造方法。
【請求項１１】
インターポーザー基板テープ（１０）を切断して個別のインターポーザー基板（１２）を得る前に、第１押さえロール（３１）によりインターポーザー基板テープ（１０）の先端部を前記回転テーブル（３）に押圧する請求項１０に記載の電子回路基板中間部材製造方法。
【請求項１２】
前記第５ポジション（３７）において前記回転テーブル（３）から突出しているインターポーザー基板（１２）の部分を第２押さえロール（３２）によりキャリアテープ（２０）上に押圧する請求項１０に記載の電子回路基板中間部材製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触ＩＤ（識別情報）カード類の製造方法に好適に適用される電子回路基板中間部材を製造するための装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、アンテナ回路基板にＩＣチップを実装した所謂、非接触ＩＤカードや非接触タグ等（以下、このようなものを総称して非接触ＩＤカード類という。）として、例えば、特許文献１のものが知られている。
【０００３】
この非接触ＩＤカード類は、基材にアンテナを形成したアンテナ回路基板と、ＩＣチップが埋設された基材に前記ＩＣチップの電極に接続された拡大電極を形成したインターポーザー基板とで構成され、前記アンテナの電極と前記拡大電極とを接合するように両基板を積層してなるものである。ただし、ＩＣチップが基材の表面に搭載されていてもよい。
【０００４】
また、このような非接触ＩＤカード類を得る前の電子回路基板中間部材の製造装置として、特許文献２に示す装置が提案されている。
【０００５】
この装置は、インターポーザー基板テープを搬送する第１搬送機構と、キャリアテープを搬送する第２搬送機構と、搬送中のインターポーザー基板テープに粘着剤を塗布する吐出ノズルと、インターポーザー基板テープの所定位置に形成された識別マークを認識する識別マーク認識部と、個々のインターポーザー基板を得るべくインターポーザー基板テープを切断するカッターと、個々のインターポーザー基板を搬送し、処理する搬送処理部と、インターポーザー基板を受け取るときにキャリアテープを支持する昇降ポジションとを有している。
【０００６】
そして、第１搬送機構は、サーボ駆動されるテープ送りローラであり、テープを吸着して送り力を作用させる。
【特許文献１】国際公開番号ＷＯ０１／０６２５１７号公報
【特許文献２】国際公開番号ＷＯ２００５／０７３９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２に記載された装置を用いて電子回路基板中間部材を製造することによって、キャリアテープ上に良品のインターポーザー基板のみが配列された電子回路基板中間部材を得ることができる。
【０００８】
しかし、サーボ駆動されるテープ送りローラでインターポーザー基板テープを吸着して送り力をさせるようにしているので、すべりの発生を皆無にすることが困難であり、この結果、インターポーザー基板テープの送り長さが不正確になり、ひいては、切断されたインターポーザー基板のサイズにばらつきを生じさせてしまうという問題がある。
【０００９】
また、正規のサイズと異なるインターポーザー基板であっても、不良品とはならず、良品のインターポーザー基板として処理されてしまうという不都合もある。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、正規のサイズと異なるインターポーザー基板を不良品として認識することができる電子回路基板中間部材製造装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の電子回路基板中間部材製造装置は、複数の電子部品が搭載された基材に、前記各電子部品の電極に接続された拡大電極を形成したインターポーザー基板テープを切断して個別のインターポーザー基板を得、良品のインターポーザー基板のみを選別し、離型層を形成してなるキャリアテープ上に良品のインターポーザー基板のみを所定間隔毎に配置するものであって、
すべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープを所定距離だけ送る送り機構と、インターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出するセンサと、個別のインターポーザー基板を受け取って、良品のインターポーザー基板のみをキャリアテープ上に供給するための回転テーブルとを含むものである。
【００１２】
この電子回路基板中間部材製造装置によれば、複数の電子部品が搭載された基材に、前記各電子部品の電極に接続された拡大電極を形成したインターポーザー基板テープを切断して個別のインターポーザー基板を得、良品のインターポーザー基板のみを選別し、離型層を形成してなるキャリアテープ上に良品のインターポーザー基板のみを所定間隔毎に配置するに当って、送り機構によってすべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープを所定距離だけ送り、センサによってインターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出し、回転テーブルによって個別のインターポーザー基板を受け取って、良品のインターポーザー基板のみをキャリアテープ上に供給することができる。
【００１３】
したがって、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、インターポーザー基板のサイズのばらつきを大幅に低減することができ、ひいては、良品のインターポーザー基板のみを含む高品質の電子回路基板中間部材を得ることができる。
【００１４】
ここで、前記送り機構は、インターポーザー基板テープを把持して固定する把持固定装置と、インターポーザー基板テープを把持して所定距離だけ送る把持送り装置とを含んでいることが好ましく、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、送りを行わない場合における位置ずれを防止することができる。
【００１５】
また、前記センサは、インターポーザー基板の先頭を位置決めするために、インターポーザー基板テープの空白部を検出するものであることが好ましく、インターポーザー基板の先頭を確実に、かつ精度よく位置決めすることができる。
【００１６】
また、前記回転テーブルは、個別のインターポーザー基板を受け取る第１ポジションと、個別のインターポーザー基板が不良であることを示す不良マークの有無を検出する第２ポジションと、個別のインターポーザー基板の寸法を検出する第３ポジションと、不良なインターポーザー基板を排出する第４ポジションと、良品のインターポーザー基板をキャリアテープ上に供給する第５ポジションとを含んでいることが好ましく、不良マークを有するインターポーザー基板、正規の寸法と異なる寸法のインターポーザー基板を不良なインターポーザー基板として排出することができ、ひいては、良品のインターポーザー基板のみを含む高品質の電子回路基板中間部材を得ることができる。
【００１７】
さらに、インターポーザー基板テープを切断して個別のインターポーザー基板を得る前にインターポーザー基板テープの先端部を前記回転テーブルに押圧する第１押さえロールをさらに含むことが好ましく、回転テーブルへのインターポーザー基板の供給を確実に、かつスムーズに達成することができる。
【００１８】
さらに、前記第５ポジションにおいて前記回転テーブルから突出しているインターポーザー基板の部分をキャリアテープ上に押圧する第２押さえロールをさらに含むことが好ましく、キャリアテープ上へのインターポーザー基板の供給を確実に、かつスムーズに達成することができる。
【００１９】
本発明の電子回路基板中間部材製造方法は、複数の電子部品が搭載された基材に、前記各電子部品の電極に接続された拡大電極を形成したインターポーザー基板テープを切断して個別のインターポーザー基板（１２）を得、良品のインターポーザー基板のみを選別し、離型層を形成してなるキャリアテープ上に良品のインターポーザー基板のみを所定間隔毎に配置する電子回路基板中間部材製造方法であって、送り機構によりすべりを生じさせることなくインターポーザー基板テープを所定距離だけ送り、センサによりインターポーザー基板の先頭を位置決めのために検出し、回転テーブルにより個別のインターポーザー基板を受け取って、良品のインターポーザー基板のみをキャリアテープ上に供給する方法である。
【００２０】
この電子回路基板中間部材製造方法によれば、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、インターポーザー基板のサイズのばらつきを大幅に低減することができ、ひいては、良品のインターポーザー基板のみを含む高品質の電子回路基板中間部材を得ることができる。
【００２１】
ここで、前記送り機構は、インターポーザー基板テープを把持して固定する把持固定装置と、インターポーザー基板テープを把持して所定距離だけ送る把持送り装置とを含んでいることが好ましく、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、送りを行わない場合における位置ずれを防止することができる。
【００２２】
また、前記センサは、インターポーザー基板の先頭を位置決めするために、インターポーザー基板テープの空白部を検出するものであることが好ましく、インターポーザー基板の先頭を確実に、かつ精度よく位置決めすることができる。
【００２３】
また、前記回転テーブルは、個別のインターポーザー基板を受け取る第１ポジションと、個別のインターポーザー基板が不良であることを示す不良マークの有無を検出する第２ポジションと、個別のインターポーザー基板の寸法を検出する第３ポジションと、不良なインターポーザー基板を排出する第４ポジションと、良品のインターポーザー基板をキャリアテープ上に供給する第５ポジションとを含んでいることが好ましく、不良マークを有するインターポーザー基板、正規の寸法と異なる寸法のインターポーザー基板を不良なインターポーザー基板として排出することができ、ひいては、良品のインターポーザー基板のみを含む高品質の電子回路基板中間部材を得ることができる。
【００２４】
さらに、インターポーザー基板テープを切断して個別のインターポーザー基板を得る前に第１押さえロールによりインターポーザー基板テープの先端部を前記回転テーブルに押圧することが好ましく、回転テーブルへのインターポーザー基板の供給を確実に、かつスムーズに達成することができる。
【００２５】
さらに、前記第５ポジションにおいて前記回転テーブルから突出しているインターポーザー基板の部分を第２押さえロールによりキャリアテープ上に押圧することが好ましく、キャリアテープ上へのインターポーザー基板の供給を確実に、かつスムーズに達成することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の電子回路基板中間部材製造装置は、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、インターポーザー基板のサイズのばらつきを大幅に低減することができ、ひいては、良品のインターポーザー基板のみを含む高品質の電子回路基板中間部材を得ることができるという特有の効果を奏する。
【００２７】
本発明の電子回路基板中間部材製造方法は、インターポーザー基板テープの送り長さを正確に設定することができ、しかも、インターポーザー基板のサイズのばらつきを大幅に低減することができ、ひいては、良品のインターポーザー基板のみを含む高品質の電子回路基板中間部材を得ることができるという特有の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付図面を参照して、本発明の電子回路基板中間部材製造装置の実施の形態を詳細に説明する。
【００２９】
図１は本発明の電子回路基板中間部材製造装置の一実施形態を示す概略図であり、図２は主要部を詳細に示す概略図である。
【００３０】
本発明の電子回路基板中間部材製造装置は、粘着剤層によって基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を送る第１送り機構１と、キャリアテープ２０を送る第２送り機構２と、インターポーザー基板テープ１０からインターポーザー基板１２を受け取り、良品のインターポーザー基板１２のみをキャリアテープ２０上に供給する回転テーブル３と、インターポーザー基板テープ１０を把持して所定長さだけ送るグリップフィード機構４と、インターポーザー基板１２の先頭を位置決めするために、インターポーザー基板テープ１０の空白部を検出する先頭検出センサ５と、インターポーザー基板テープ１０を切断して個々のインターポーザー基板１２を得る切断装置６と、インターポーザー基板１２の先端部を回転テーブル３に押圧する第１押さえロール３１と、インターポーザー基板１２の、回転テーブル３から突出した部分をキャリアテープ２０上に押圧する第２押さえロール３２と、インターポーザー基板１２がキャリアテープ２０上に移載されたことを確認する移載確認センサ２１と、各部の動作を制御するコントローラ（図示せず）とを有している。
【００３１】
前記インターポーザー基板テープ１０としては、複数のＩＣチップが搭載された基材に、前記各ＩＣチップの電極に接続された拡大電極を形成したものが例示できる。
前記第１送り機構１は、基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を、巻き出し軸１３からガイドローラ１４を介して巻き取り軸１５に送るものであり、所定位置にインターポーザー基板テープ１０に張力を付与する（たるみを排除する）ダンサー１６を有している。そして、インターポーザー基板テープ１０の送り経路の所定位置にグリップフィード機構４を配置し、グリップフィード機構４の下流側においてインターポーザー基板テープ１０を基材テープ１１から剥離するようにしている。
【００３２】
前記第２送り機構２は、キャリアテープ２０を、巻き出し軸２２からガイドローラ２３を介して巻き取り軸２４に送るものであり、所定位置にキャリアテープ２０に張力を付与する（たるみを防止する）ダンサー２５を有している。そして、インターポーザー基板１２を受け取る位置より下流側に、インターポーザー基板１２が移載されたことを確認する移載確認センサ２１、およびインターポーザー基板１２をキャリアテープ２０に押し付ける第３押さえロール２６を配置している。また、サーボモータ２７により駆動されてキャリアテープ２０に送り力を付与する駆動ローラ２８を所定のガイドローラ２３と対向させて配置している。さらに、エンコーダ２９を所定位置に配置している。さらに、第２押さえロール３２と対向するガイドローラ２３は、第２押さえロール３２と反対方向に往復移動される。
【００３３】
前記回転テーブル３は、図３に示すように、所定角度毎に中心に向く切欠部を有しており、第１送り機構１からインターポーザー基板１２を受け取る第１移載ポジション３３、不良マークを検出する不良マーク検出ポジション３４、インターポーザー基板１２の寸法を測定する寸法測定ポジション３５、不良のインターポーザー基板１２（不良マークを有するインターポーザー基板１２、および正規の寸法と異なる寸法のインターポーザー基板１２）を排出する不良品排出ポジション３６、インターポーザー基板１２をキャリアテープ２０に供給する第２移載ポジション３７、およびキャリアテープ２０に供給されずに残ったインターポーザー基板１２を排出する移載ミス排出ポジション３８を有している。また、前記回転テーブル３は、前記ポジションの数より少なくない一時停止位置を有し、インターポーザー基板１２毎に所定角度だけ回転し、その後に、必要な処理を行うために、所定時間だけ一時的に停止する。
【００３４】
前記不良マーク検出ポジション３４では、例えば、画像処理装置、または光学センサ３４ａによって不良マークを検出することができる。
【００３５】
前記寸法測定ポジション３５では、例えば、レーザー測長器３５ａによってインターポーザー基板１２の寸法を測定することができる。
【００３６】
前記不良品排出ポジション３６では、例えば、エアーブローで不良のインターポーザー基板１２を吹き飛ばすことができ、または、爪部材を用いて不良のインターポーザー基板１２を掻き落すことができる。
【００３７】
前記移載ミス排出ポジション３８では、例えば、エアーブローで移載ミスにより残ったインターポーザー基板１２を吹き飛ばすことができ、または、爪部材を用いて移載ミスにより残ったインターポーザー基板１２を掻き落すことができる。
【００３８】
前記グリップフィード機構４は、基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を挟圧して固定する固定用グリップ部材４１と、基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を挟圧した状態で所定長さだけ送る移動用グリップ部材４２とを有している。そして、移動用グリップ部材４２が基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を挟圧した状態で所定長さだけ送る場合には、固定用グリップ部材４１による挟圧固定を解除し、基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を挟圧した状態で所定長さだけ送った後には、挟圧状態を解除するよう移動用グリップ部材４２を動作させ、そのまま元の位置まで戻し、これらの動作を行う間は固定用グリップ部材４１を挟圧固定状態に動作させる。
【００３９】
前記先頭検出センサ５は、例えば、光学センサであり、インターポーザー基板テープ１０が図４に示すように与えられた場合に、空白部を検出することによって、一連のインターポーザー基板１２の先頭を検出することができる。また、インターポーザー基板１２毎に空白部を設けておけば、各インターポーザー基板１２の先頭を検出することができる。
【００４０】
前記切断装置６は、切断金型をインターポーザー基板テープ１０に対して接離するよう往復動させることによりインターポーザー基板テープ１０を切断して個々のインターポーザー基板１２を得るものであり、固定用グリップ部材４１による挟圧固定が行われている期間であって、第１押さえロール３１によってインターポーザー基板１２の先端部を回転テーブル３に押圧した後に切断動作を行う。そして、第１押さえロール３１によるインターポーザー基板１２の先端部の回転テーブル３への押圧が解除される前に切断金型が復動する。
【００４１】
前記第２押さえロール３２は、インターポーザー基板１２の、回転テーブル３から突出した部分をキャリアテープ２０上に押圧するものであり、この状態で第２送り機構２によるキャリアテープ２０の送りを行わせることによって、インターポーザー基板１２全体を回転テーブル３からキャリアテープ２０上に移載することができる。
【００４２】
前記移載確認センサ２１は、例えば、光学センサであり、キャリアテープ２０上にインターポーザー基板１２が存在することを検出することによって、移載が行われたことを確認することができる。ここで、移載が行われたことを確認することができなかった場合には、移載ミス排出ポジション３８でインターポーザー基板１２を排出するように排出機構（空気圧を用いる排出機構などであるが、図示していない）を動作させるとともに、空白部分の発生を防止するために、第２送り機構２によりキャリアテープ２０を復動させる。
前記回転テーブル３、グリップフィード機構４、切断装置６、第１押さえロール３１、および第２押さえロール３２に対して、１つのサーボモータ７から動力伝達機構（ベルト駆動機構など）を介して互いに同期させて駆動力を伝達するようにしている。また、共通の駆動軸７１に対してエンコーダ７２を接続している。ただし、前記回転テーブル３、グリップフィード機構４、切断装置６、第１押さえロール３１、および第２押さえロール３２を個別に駆動するよう構成することが可能である。
【００４３】
前記コントローラは、各部の動作を上記のように制御する。
【００４４】
上記の構成の電子回路基板中間部材製造装置の作用は次のとおりである。
【００４５】
第１送り機構１においては、基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を、巻き出し軸１３からガイドローラ１４を介して巻き取り軸１５に送ることができる。そして、この送り経路の所定位置において、グリップフィード機構４によって、すべりを生じさせることなく、間欠的に所定長さだけ、基材テープ１１を貼り合わせてなるインターポーザー基板テープ１０を送り、グリップフィード機構４の下流側においてガイドローラ１４により基材テープ１１のみをそれまでの送り方向に対してほぼ９０度の角度で案内することによって、インターポーザー基板テープ１０を基材テープ１１から剥離することができる。
【００４６】
そして、基材テープ１１から剥離された直後において、先頭検出センサ５によりインターポーザー基板テープ１０の空白部を検出することによって、インターポーザー基板テープ１０の先頭を検出し、これにより、インターポーザー基板テープ１０の先頭を位置決めすることができる。
【００４７】
次いで、切断装置６によってインターポーザー基板テープ１０を切断して、個々のインターポーザー基板１２を得ることができる。具体的には、インターポーザー基板テープ１０は、第１押さえロール３１によって先端部が回転テーブル３に押圧され、この状態で切断装置６により切断されてインターポーザー基板１２になるので、確実に、かつスムーズにインターポーザー基板１２を回転テーブル３に移載することができる。
【００４８】
回転テーブル３は所定角度づつ回転するので、移載されたインターポーザー基板１２は、不良マーク検出ポジション３４において不良マークが検出され、寸法測定ポジション３５においてインターポーザー基板１２の寸法が測定され（寸法測定結果に基づいて、正規の寸法と異なる寸法のインターポーザー基板１２が不良のインターポーザー基板１２として認識され）、不良品排出ポジション３６において、不良のインターポーザー基板１２（不良マークを有するインターポーザー基板１２、および正規の寸法と異なる寸法のインターポーザー基板１２）が排出され、第２移載ポジション３７において、インターポーザー基板１２のうち、回転テーブル３から突出している部分を第２押さえロール３２によりキャリアテープ２０上に押圧し、しかも第２送り機構２によりキャリアテープ２０を送ることによって、インターポーザー基板１２がキャリアテープ２０上に移載され、移載確認センサ２１により、インターポーザー基板１２がキャリアテープ２０上に移載されたことを確認することができる。
【００４９】
ここで、インターポーザー基板１２がキャリアテープ２０上に移載されたことを確認できなかった場合には、インターポーザー基板１２が回転テーブル３に残留しているので、移載ミス排出ポジション３８において、残ったインターポーザー基板１２を排出するとともに、第２送り機構２によりキャリアテープ２０を戻すことによって、インターポーザー基板１２が存在しない部分の発生を防止することができる。
【００５０】
このようにして、キャリアテープ２０上に良品のインターポーザー基板１２のみが所定間隔毎に配列されてなる電子回路基板中間部材を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の電子回路基板中間部材製造装置の一実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の電子回路基板中間部材製造装置の主要部を詳細に示す概略図である。
【図３】回転テーブルの各ポジションを説明する概略平面図である。
【図４】インターポーザー基板テープの一例を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００５２】
３  回転テーブル
４  グリップフィード機構
５  先頭検出センサ
１０  インターポーザー基板テープ
１２  インターポーザー基板
２０  キャリアテープ
３１  第１押さえロール
３２  第２押さえロール
３３  第１移載ポジション
３４  不良マーク検出ポジション
３５  寸法測定ポジション
３６  不良品排出ポジション
３７  第２移載ポジション
４１  固定用グリップ部材
４２  移動用グリップ部材
【図１】
2008251894.tif 000003
【図２】
2008251894.tif 000004
【図３】
2008251894.tif 000005
【図４】
2008251894.tif 000006