(57)【要約】      （修正有）【課題】垂直に案内される基板を被覆するためのものであって、自動で連続してるつぼに材料を供給するコンパクトなベーパライザ装置を提供する。【解決手段】本装置は、キャリアプレート３の一の側部に着脱自在に広げられるワイヤ供給ハウジング２と、るつぼ４０の上方に配置され、前記キャリヤプレート３の他の側部に着脱自在に広げられるリニアベーパライザ１とを有する。このベーパライザ装置の全部品は、キャリア・プレートだけに取り付けられているので、クリーンルーム内で迅速な取り付け又は取り外しが、粒子を生成することなく可能である。それに加えて、螺旋状加熱素子は、保護管に囲まれているので、蒸発される材料と接触することはない。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ（２１）をるつぼ（４０）に自動供給し、キャリア・プレート（３）を備えたベーパライザ装置であって、
a)キャリア・プレート（３）の一の側部に着脱自在に広げられるワイヤ供給ハウジング（２）と、
b)るつぼ（４０）の上方に配置され、前記キャリア・プレート（３）の他の側部に着脱自在に広げられるリニアベーパライザ（１）と、を特徴とする、ベーパライザ装置。
【請求項２】
前記ワイヤ供給ハウジング（２）は、ワイヤ（２１）用巻取りリール（２０）を含むことを特徴とする、請求項１に記載のベーパライザ装置。
【請求項３】
前記キャリア・プレート（３）において、ワイヤ（２１）が前記るつぼ（４０）に案内されるアパーチャが備えられていることを特徴とする、請求項１に記載のベーパライザ装置。
【請求項４】
前記リニアベーパライザ（１）は、螺旋状加熱素子（３９）を備えたディストリビュータ管（６）が内部に備えられた支持管（３５）を含むことを特徴とする、請求項１に記載のベーパライザ装置。
【請求項５】
螺旋状加熱素子（３９）が、キャリア（３８）の周りに湾曲されていることを特徴とする、請求項４に記載のベーパライザ装置。
【請求項６】
前記螺旋状加熱素子（３９）とキャリア（３８）が、保護管（５２）内に配置されていることを特徴とする、請求項４または５に記載のベーパライザ装置。
【請求項７】
前記保護管（５２）に、支持リング（３７）を備えた少なくとも一つの端部が備えられていることを特徴とする、請求項６に記載のベーパライザ装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の内容】
【０００１】
本発明は、特許請求の範囲の前文に従うベーパライザ（vaporizer）装置に関する。
【０００２】
最近のフラット画像スクリーンは、画像または文字を再生する為に液晶素子またはプラズマ素子を備える。さらに最近では、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）をカラーピクセルとして含むフラット画像スクリーンも同様に生産されている。
【０００３】
ＯＬＥＤフラットスクリーンの生産において、最初に、ガラスプレート上にＩＴＯ（インジウム−スズ−酸化物）層が付けられるが、この層は、導電性であるが光を透過する。
この層上に、ＯＬＥＤ材料が続いて気相堆積され、その上に、次の層として、金属が気相堆積可能である。
【０００４】
蒸気を生成するために、蒸発される材料を加熱するベーパライザが備えられている。
【０００５】
金属を蒸発させる為のヒータは、概して、ベーパライザ管の周りに取り付けられている（ＤＥ３８１７５１３Ｃ２、ＤＥ１０１２８０９１Ｃ１）。ベーパライザ管の外側にヒータが配置される場合の不利な点は、ヒータが多量の熱損失を有する点である。蒸発に１２００℃を越える温度が生じなければならない金属を備えたＯＬＥＤの被覆において、そのようなヒータは、その熱放射の為、ＯＬＥＤにマイナスの影響を与える。
【０００６】
ベーパライザの内壁にグラファイト層（ＵＳＡ５１５７２４０）形式の抵抗性ヒータを含むベーパライザ装置も知られているが、蒸発される材料は、ベーパライザ装置内で利用されるるつぼに連続的に供給することはできない。
【０００７】
自動的かつワイヤ形式で、蒸発される材料が供給されるベーパライザも知られている（ＵＳ３４６７０５８，ＧＢ１２０３０６９）。これらのベーパライザの場合、被覆される材料は、蒸発される材料の表面に対し平行に配置されなければならない。
【０００８】
るつぼにワイヤを供給するベーパライザ装置が、更に知られている（ＤＤ７６８２０Ａ）。しかし、この装置は、それ自身、ワイヤ供給ハウジングを含んでいない。さらに、キャリア・プレートには駆動装置が配置されていない。
【０００９】
るつぼにワイヤが導入されるワイヤ供給を備えたベーパライザ装置が更に知られている（ＦＲ１３６９３６０Ａ）。しかし、この装置は、キャリア・プレートの一側部に着脱自在に広げられる（flanged）ワイヤ供給ハウジングを含んでいない。
【００１０】
最後に、ワイヤが自動供給され、るつぼを備えたベーパライザ装置も知られている（ＵＳ５３２１７９２Ａ）。ワイヤ供給の為に別個に広げられたハウジング（すなわち、ワイヤ供給ハウジング）は、ここでは備えられていない。
【００１１】
本発明は、同様に垂直に案内される基板の被覆用の、連続して材料を供給する、好ましくは金属の為の、コンパクトなベーパライザを備える問題に取り組む。
【００１２】
この問題は、請求項１の特徴で解決される。
【００１３】
したがって、本発明は、るつぼにワイヤを自動供給するベーパライザ装置に関連する。このベーパライザ装置の全部品は、たった一つのキャリア・プレートに取り付けられているので、粒子を発生させることなく、例えばクリーンルーム内で、迅速な取り付け又は取り外しが可能である。それに加えて、加熱コイルは、保護管により囲まれているので、蒸発される材料と接触することはない。
【００１４】
本発明で達せられる利点には、特に、加熱素子の表面が、潜在的に攻撃的な金属蒸気と接触することがない点がある。完全なベーパライザ・ユニットは、フランジ上に配置され、簡単に被覆ユニット上に取り付けられ、又は、そこから取り外される。ベーパライザ・ユニットは、熱的にカプセル化されているので、周辺に放射する熱は僅かである。
【００１５】
本発明の実施形態の実施例は、図面に示されており、以下、詳細に説明される。
【００１６】
図１は、ワイヤ供給ハウジング２を備えたベーパライザ１を示す。
ベーパライザ１とワイヤ供給ハウジング２は、キャリア・プレート３を介して互いに連結されている。ベーパライザ１は、溶融チャンバ４を備え、その上部にはディストリビュータ・ハウジング５が位置し、ディストリビュータ・ハウジング５はまた、冷却目的の為に役立つ。ディストリビュータ・ハウジング５は、裏側でＵ字状に湾曲しており、その正面開口で、ディストリビュータ管６を示し、リニア・ディストリビュータ・スロット７を含む。ワイヤ供給ハウジング２の最上部側には、ボックス８が配置され、ボックス８は、迅速分離継手９，１０とプラグ１１，１２を含む。ワイヤ供給ハウジング２の下側には、同様に、迅速分離継手１４，１５を備えたボックス１３が配置されている。ベーパライザ１の上方には、更にボックス１６が備えられ、そこには、電気及び電子部品が位置している。フランジ１７は、ワイヤ供給ハウジング２に連結され、図１に示されていないアレンジメントに連結する為に役立つ。
【００１７】
図２は、ワイヤ供給ハウジング２を備えたベーパライザ１の一側面からの平面図Ａ（図１参照）を示す。ワイヤ供給ハウジング２の開口を通して、ワイヤが巻かれたサプライ・リール２０が明らかである。このワイヤ２１は、ワイヤ・ガイド２２を介してサプライ・リール２０からワイヤ供給モジュール２４に、そこから、溶融チャンバ４に到達するが、ワイヤ供給モジュール２４は、更にワイヤ・ガイド２３を含む。従って、溶融チャンバ４の真空は、破られない。ワイヤ２１を移動させる為の駆動手段は、それ以上に示されていない。
【００１８】
図３は、分解図でベーパライザ１を示すが、そこには、ベーパライザ１の構造上の個々の要素が見える。ワイヤ供給ハウジング２の側壁３０は、僅かに側方に移動されており、サプライ・リール２０が再び明らかになっており、そこから、ワイヤ２１がほどかれる。ワイヤ２１は、ワイヤ供給モジュール２４を介して、細管３１を通りワイヤ供給ハウジング２からベーパライザ１へと案内されていることが分かる。ディストリビュータ５から分解されて冷却されるのは：断熱の為の支持管３５、蒸気案内プレート３３，３４を備えたベーパライザ管６、保護管５２の為の支持及び保持リング３７、螺旋状加熱素子及び螺旋状加熱素子３９自体のキャリア３８である。るつぼ４０は、絶縁され冷却されている。
【００１９】
ワイヤ供給ハウジング２上の突出部４１，４２は、留め具として、電源として役立つ。支持管３５に、ベーパライザ管６を加熱するのに役立ち、螺旋状加熱素子３９に接続されている２本の電線路５０，５１を導く。
【００２０】
組み立てられた状態でワイヤ供給ハウジング２を備えたベーパライザ１を示す図２では、ワイヤ２１が、真空を破ることなくベーパライザ１に連続的に供給されていることが明らかである。クランプ・リング２５，２６は、冷却手段をフィードスルーするが、構造上の部品２７は、導体バーに関係する。
【００２１】
図１に従う全体の装置は、一つのキャリア・プレートだけに取り付けられるので、許されない粒子の発生と伴うことなく、クリーンルームへの迅速な組込み、取り外しが可能である。ベーパライザ１の独立した取り付け、キャリア・プレート３へのワイヤ供給ハウジング２の独立した取付けを通じて、部品から独立した将来の基板の大きさに対するスケーリングも可能である。
【００２２】
図３が示すように、電気的に加熱可能な（キャリア３８により支持された）螺旋状加熱素子３９は、ベーパライザ管内に位置されている。
【００２３】
組み立てられた状態で、螺旋状加熱素子３９は、キャリア３８を囲んでいる。キャリア３８と螺旋状加熱素子３９は、螺旋状加熱素子３９の為に保護管５２に置かれ、支持及び保持リング３７により、保護管５２の為に交互に囲まれている。これらの構造上の部品の全ては、ベーパライザ管６に組み込まれ、ベーパライザ管６は、蒸気案内プレート３３，３４を備えた開口７を含む。その内容を含むベーパライザ管６は、断熱の為に支持管３５内に続いて置かれ、冷却ハウジング５により囲まれている。ターミナル・アレイ２９は、電気モータによるワイヤ供給を駆動する。
【００２４】
組立てられた状況で、絶縁と冷却機能を備えたるつぼ４０は、電源と共に留め具４１，４２上に（したがって、冷却手段５により囲まれたベーパライザ管６の下に）直接配置されている。この位置で、蒸発材から構成されたワイヤ２１は、同様に、サプライ・リール２０からベーパライザ４０のるつぼ４０に、直接、供給される。ワイヤ供給モジュール２４とサプライ・リール２０は、真空密ハウジング内に配置され、真空密ハウジングは、真空技術を使用して、ベーパライザ管６と処理チャンバに連結されている。
【００２５】
螺旋状加熱素子３９の為の保護管５２は、この加熱素子３９が攻撃的な材料（例えば、蒸発されたアルミニウム）を介して脆化することを防止するのに役立つ。
【００２６】
装置１，２の個々の構成要素は、他の構成要素を取り外す必要がなく、それらが独立して交換可能となるように、構造的に配置されレイアウトされている。このように、たとえば、ベーパライザのるつぼ４０は、それを囲む冷却手段を備えており、ベーパライザのるつぼ４０が簡単に交換可能な溶融チャンバ内に配置されている。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、リニアベーパライザの斜視図である。
【図２】図２は、図１に従うベーパライザの側面図であり、側面の一部が開けられている。
【図３】図３は、図１に従うベーパライザを示す分解図である。
【符号の説明】
【００２８】
１…ベーパライザ、２…ワイヤ供給ハウジング、３…キャリア・プレート、４…溶融チャンバ、５…ディストリビュータ・ハウジング、６…ディストリビュータ管、７…リニア・ディストリビュータ・スロット、８…ボックス、９…迅速分離継手、１０…迅速分離継手、１１…プラグ、１２…プラグ、１３…ボックス、１４…迅速分離継手、１５…迅速分離継手、１６…ボックス、１７…フランジ、２０…サプライ・リール、２１…ワイヤ、２２…ワイヤ・ガイド、２３…ワイヤ・ガイド、２４…ワイヤ供給モジュール、２５…クランプ・リング、２６…クランプ・リング、２７…構造上の部品、２９…ターミナル・アレイ、３０…側壁、３１…細管、３３…蒸気案内プレート、３４…蒸気案内プレート、３５…支持管、３７…支持及び保持リング、３８…キャリア、４０…るつぼ、４１…突出部、４２…突出部、５０…電線路、５１…電線路
【図１】
2008045210.tif 000003
【図２】
2008045210.tif 000004
【図３】
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【外国語明細書】
2008045210000001.pdf