(57)【要約】【課題】超大型サイズのガラス基板等の薄板状材料をエアテーブルによって搬送する際に、ガラス基板が湾曲しないようにする。【解決手段】薄板状材料搬送装置１０は、パスラインＰの幅方向に配列されたエアテーブルユニット１４Ａ〜１４Ｄ上を供給される空気の浮上力を用いて搬送するが、各エアテーブルユニットにおける正圧発生装置２４Ａ〜２４Ｄの空気供給量を、予め、供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｄによって、ガラス基板１２の、パスラインＰからの高さが均一となるように調整しておく。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のエアテーブルユニットを、薄板状材料のパスライン方向及びパスラインと直交する幅方向に並設してなり、
前記エアテーブルユニットは、前記薄板状材料の下面に対して気体を供給して該薄板状材料を非接触で支持するためのエアテーブルと、該エアテーブルに前記正圧の気体を供給するための正圧発生装置とを有してなり、
前記複数のエアテーブルユニットのうち、少なくともパスライン幅方向中央位置のエアテーブルユニットは、前記正圧発生装置からの気体の供給量を調節する供給量制御装置を備えたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記供給量制御装置を備えたエアテーブルユニットのうちの少なくとも一部の上方位置での、搬送中の前記薄板状材料の、前記パスラインからの高さ方向のずれ量を検出する高さセンサーを設け、
前記供給量制御装置は、前記高さセンサーの検出信号にもとづいて、前記高さ方向のずれ量を低減するように、気体の供給量を調節するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記高さセンサーを、前記エアテーブルユニットにおける、パスライン幅方向の側面に取り付けたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記正圧発生装置は、ファンの回転速度が可変のブロワーからなり、前記供給量制御装置は、前記ブロワー回転速度調節スイッチからなることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項５】
エアテーブルの上面から正圧にて空気を供給し、薄板状材料を前記エアテーブルの上面から浮上させた状態でパスラインに沿って搬送する薄板状材料の搬送方法であって、
前記パスラインの幅方向の少なくとも中央位置で、前記薄板状材料の前記パスラインからの高さのずれ量を検出する工程と、
検出された前記ずれ量にもとづき、前記空気の供給量を増減し、該ずれ量を低減する工程と、
を有してなる薄板状材料の搬送方法。
【請求項６】
請求項５において、
前記パスライン上の薄板状材料の、搬送方向に対して直交する幅方向の両端近傍部分を、負圧により下方から吸引して、送りローラに接触させることを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を非接触で搬送するための薄板状材料搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅かな疵や埃でも品質に大きく影響するため、このようなガラス基板の搬送においては、ガラス基板の表面に疵が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面（パスライン）に沿って滑らかに搬送することが要求される。
【０００３】
一方、液晶ディスプレイ用のガラス基板は、サイズがますます大型化しており、例えば第８世代においてはＷ２２００ｍｍ×Ｌ２５００ｍｍ、第９世代においてはＷ２４００ｍｍ×Ｌ２８００ｍｍという大きさであり、これに比べて厚さが０．５〜０．７ｍｍ程度と非常に薄い。このため、ガラス基板を水平に搬送する際に、その外周端部のみならず、これよりも内側の部分も支持しなければ中央部が大きく垂れ下がってしまう。
【０００４】
そこでガラス基板の搬送装置は、ガラス基板を全面においてできるだけ均等に支持し、平面に近い形状に保持して搬送するように工夫されていて、このような搬送装置の一つとして、上面部に多数の給気孔が形成されたエアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特許文献１、２、３参照）。
【０００５】
又、ガラス基板の幅方向の中央近傍にはエアテーブルを設置してガラス基板の中央部の垂れ下がりを抑制し、ガラス基板における搬送方向に垂直な幅方向の両端近傍を複数のローラで支持しガラス基板を所定の搬送方向に駆動するようにした搬送装置が知られている（例えば特許文献４、５参照）。
【０００６】
なお、エアテーブルには工場のクリーンエアの設備やブロワーを備える給気設備から加圧された空気が配管を介して供給される。
【０００７】
このように、ガラス基板を非接触で支持するエアテーブルを用いることにより、騒音、埃、ガラス基板の表面の欠損等の問題が発生し難く、部品点数が少ない搬送装置を実現できる。
【０００８】
本出願人は、例えば、特願２００６−２７６３９２号により、非公知ではあるが、ガラス基板のパスラインに沿ってその長手方向及び幅方向に複数のエアテーブルを配設し、これらのエアテーブルの上面から供給される空気によって、ガラス基板を浮上させ、且つパスラインの幅方向両側に配置した送りローラに対しては、ガラス基板の幅方向両端を、下方から気流を吸い込む吸引部によって吸引し、これにより、ガラス基板の幅方向両端を送りローラに接触させて搬送するようにさせた薄板状材料搬送装置を提案している。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１３９１６０号公報
【特許文献２】特開平１１−２６８８３０号公報
【特許文献３】特開平１１−２６８８３１号公報
【特許文献４】特開２００３−６３６４３号公報
【特許文献５】特開２００５−２９３５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記のような、本出願人が提案した薄板状材料搬送装置は、ガラス基板サイズが第５〜第７世代の、大型ではない場合には問題がなかったが、第８世代あるいは第９世代の超大型サイズのガラス基板の搬送の際に、ガラス基板のパスライン中央部が大きく上方に浮き上がったり、垂れ下がったりする湾曲が顕著となることがあった。
【００１１】
一方、ＦＰＤの生産性を高めるためには、ガラス基板の搬送速度をますます高速化することが要求され、最近では分速５０ｍとなっている。このような高速搬送下で、ガラス基板が湾曲したまま移動すると、揚力や降下力を受けて、いわゆる凧揚げ現象（Ｋite  Ｆlying  Ｅffect）を生じ、前述のように、ガラス基板が０．５ｍｍと薄い場合には、非常に破損し易い状態となってしまうという問題点が生じた。
【００１２】
この発明は、超大型サイズのガラス基板を高速搬送する場合でもパスライン幅方向中央部が大きく湾曲することを抑制できるようにした薄板状材料搬送装置及び方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者等は、幅方向に複数配置されたエアテーブルユニットにおける少なくとも幅方向中央位置のエアテーブルユニットからのエア供給量を調節することによって、上記のような、ガラス基板の大きな湾曲を抑制できることを見出した。
【００１４】
即ち、以下の各実施例により上記課題を解決することができる。
【００１５】
（１）複数のエアテーブルユニットを、薄板状材料のパスライン方向及びパスラインと直交する幅方向に並設してなり、前記エアテーブルユニットは、前記薄板状材料の下面に対して気体を供給して該薄板状材料を非接触で支持するためのエアテーブルと、該エアテーブルに前記正圧の気体を供給するための正圧発生装置とを有してなり、前記複数のエアテーブルユニットのうち、少なくともパスライン幅方向中央位置のエアテーブルユニットは、前記正圧発生装置からの気体の供給量を調節する供給量制御装置を備えたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００１６】
（２）前記供給量制御装置を備えたエアテーブルユニットのうちの少なくとも一部の上方位置での、搬送中の前記薄板状材料の、前記パスラインからの高さ方向のずれ量を検出する高さセンサーを設け、前記供給量制御装置は、前記高さセンサーの検出信号にもとづいて、前記高さ方向のずれ量を低減するように、気体の供給量を調節するようにされたことを特徴とする（１）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１７】
（３）前記高さセンサーを、前記エアテーブルユニットにおける、パスライン幅方向の側面に取り付けたことを特徴とする（２）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１８】
（４）前記正圧発生装置は、ファンの回転速度が可変のブロワーからなり、前記供給量制御装置は、前記ブロワー回転速度調節スイッチからなることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【００１９】
（５）エアテーブルの上面から正圧にて空気を供給し、薄板状材料を前記エアテーブルの上面から浮上させた状態でパスラインに沿って搬送する薄板状材料の搬送方法であって、前記パスラインの幅方向の少なくとも中央位置で、前記薄板状材料の前記パスラインからの高さのずれ量を検出する工程と、検出された前記ずれ量にもとづき、前記空気の供給量を増減し、該ずれ量を低減する工程と、を有してなる薄板状材料の搬送方法。
【００２０】
（６）前記パスライン上の薄板状材料の、搬送方向に対して直交する幅方向の両端近傍部分を、負圧により下方から吸引して、送りローラに接触させることを特徴とする（５）に記載の薄板状材料の搬送方法。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、超大型サイズのガラス基板であっても、パスライン幅方向中央部の大きな浮上や垂れ下がりを抑制してその湾曲を防止することができる。従って、高速搬送が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
図１、図２に示されるように、本発明の第１実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０は、例えば大型のＬＣＤ用のガラス基板（薄板状材料）１２を非接触で浮上支持するための複数のエアテーブルユニット１４（II−II線に沿って４基：１４Ａ〜１４Ｄ）と、パスライン（搬送面）Ｐの幅方向両端でガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を所定の搬送方向に駆動するための複数の送りローラ（駆動部材）１６を有する駆動ユニット１８と、送りローラ１６の近傍に配置され、ガラス基板１２の下面に負圧を供給してガラス基板１２を送りローラ１６の方向に付勢するための吸引ユニット２０と、前記エアテーブルユニット１４のうち、エアテーブルユニット１４Ａ〜１４Ｃに取り付けられた高さセンサ２１（２１Ａ〜２１Ｃ）、気体の供給量制御装置２３（２３Ａ〜２３Ｃ；図３参照）とを備えて構成されている。
【００２４】
図２に示されるように、エアテーブル２２は、上面部２６が略平坦な略直方体の箱状体でガラス基板１２の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔２６Ａが上面部２６に形成された構造となっている。
【００２５】
又、エアテーブル２２は、パスラインＰ方向に長い略直方体とされている。この実施形態では、８基のエアテーブルユニット１４がパスラインＰの方向に２列、幅方向には４列に配置されている。ここで、幅方向に配置された４基のエアテーブルユニット１４を弁別するために、図２において左から右方向にエアテーブルユニット１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄと符号を付し、又、これに対応する高さセンサは２１Ａ〜２１Ｃ（エアテーブルユニット１４Ｄには高さセンサが設けられていない）、気体の供給量制御装置は２３Ａ〜２３Ｄ、正圧発生装置は２４Ａ〜２４Ｄとして説明する。
【００２６】
エアテーブル２２における上面部２６は、具体的には、厚さが０．５〜３ｍｍの板材である。上面部２６の材料としては、ステンレス、アルミ、各種合金等を用いることができる。
【００２７】
正圧発生装置２４は、ファン２８及びモータ２９を備えているブロワーであって、エアテーブル２２の下側に設置され、エアテーブル２２に直結されている。なお、図４に示されるように、本第１実施形態では、各エアテーブル２２について２台の正圧発生装置２４が搬送方向に離間して設置されている。
【００２８】
エアテーブル２２の上面部２６と正圧発生装置２４との間には、フィルタ３０が設置されている。より詳細にはフィルタ３０は、エアテーブル２２の中における上面部２６の下方近傍に設置されている。フィルタ３０の材料としては例えばクリーンルームの空気濾過用のＨＥＰＡ（Ｈigh  Ｆfficiency  Ｐarticulate  Ａir  Ｆilter）やＵＬＰＡ（Ｕltra  Ｌow  Ｐenetration  Ａir  Ｆilter）と同様の材料を用いることができる。
【００２９】
エアテーブル２２の中における上面部２６とフィルタ３０の間には、メッシュ部材３２が設置されている。メッシュ部材３２は、線径が０．１〜１．５ｍｍの針金状又は糸状の部材が所定のピッチで編まれた構成である。メッシュ部材３２の材料としては、具体的にはステンレス、アルミ、各種合金、樹脂等を用いることができる。
【００３０】
吸引ユニット２０は、パスラインＰの幅方向両端のエアテーブルユニット１４の更に外側に備えられている。
【００３１】
各吸引ユニット２０は、上面部３４が略平坦な箱状体でガラス基板１２の下面に対して負圧を供給するための複数の吸引孔３４Ａが上面部３４に形成され、箱内には例えばファンからなる負圧発生装置２０Ａが設けられた構造であり、上面部３４が幅方向両側のエアテーブルユニット１４の上面部２６と駆動ユニット１８の送りローラ１６との間に配置されるように設置されている。
【００３２】
駆動ユニット１８は、ガラス基板１２に幅方向の両端において接触するように８台のエアテーブルユニット１４の幅方向両側に一対備えられている。
【００３３】
送りローラ１６は、搬送方向に適宜なピッチで複数設置されている。各送りローラ１６は、ガラス基板１２の下面に接触するローラ部１６Ａ及びこれよりも幅方向外側に設置されたフランジ部１６Ｂを備え、図示しない回転駆動源に連結されている。なお、本第１実施形態では駆動ユニット１８は、送りローラ１６のローラ部１６Ａの上端がエアテーブル２２の上面部２６の上面よりもガラス基板１２の浮上量だけ数ｍｍ程度高くなるように設置されている。この高さが、パスラインＰの高さの基準となる。
【００３４】
高さセンサ２１Ａ〜２１Ｃは、対応するエアテーブル２２Ａ〜２２Ｃの、図２において右側の側面上部に取り付けられた光センサであって、その直上位置における搬送中のガラス基板１２の下面の高さ、例えばパスラインＰからの高さのずれ量あるいはエアテーブル２２の上面部２６からの高さを検出できるようにされている。
【００３５】
正圧発生装置２４Ａ〜２４Ｄにおけるファン２８を駆動するためのモータ２９は、回転速度可変とされ、前記供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｄは、高さセンサ２１Ａ〜２１Ｃ上方位置におけるパスラインＰからのガラス基板高さ信号あるいは、外部からの手動操作によって、例えば、ファンの回転数を、段階的に微弱、弱、中、強、最強などと変更できるブロワー回転速度調節スイッチから構成されている。
【００３６】
これら供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｄは、薄板状材料搬送装置１０の外側面、ここでは、駆動ユニット１８の外側面に、パスラインＰの幅方向に配列された４基のエアテーブルユニット毎にまとめて設けられている。
【００３７】
次に、薄板状材料搬送装置１０によってガラス基板１２を搬送する過程について説明する。
【００３８】
まず、供給量制御装置２３を、高さセンサ２１からの出力信号が、ガラス基板１２のパスラインＰよりも高い場合は、対応する正圧発生装置２４におけるファンの回転速度を抑制し、又、その逆に、パスラインＰよりも低い場合は、回転速度を増大するように設定しておく。
【００３９】
薄板状材料搬送装置１０によりガラス基板１２を搬送する際に、各高さセンサ２１Ａ〜２１Ｃは、その直上のガラス基板１２の下面の高さを検出し、その検出信号を供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｃに出力する。
【００４０】
なお、供給量制御装置２３Ｄは、予め、ガラス基板１２が吸引ユニット２０により吸引されたとき、駆動ユニット１８における送りローラ１６に接触できる程度の空気供給量に設定しておく。
【００４１】
上記のように供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｃは、高さセンサ２１Ａ〜２１Ｃがガラス基板１２のパスラインＰからの高さが大き過ぎるという信号を出力したときは、対応する正圧発生装置２４Ａ〜２４Ｃの空気供給量を抑制し、その逆の場合は空気供給量を増大するので、搬送されるガラス基板１２はパスラインＰの幅方向にほぼ均一の高さ、即ち直平面状態が維持されて、搬送されることになる。
【００４２】
特に、この実施形態において、ガラス基板１２のパスラインＰの幅方向両端部が吸引ユニット２０の負圧によって吸引されて送りローラ１６に付勢されているので、幅方向両端部の高さが一定であり、これを基準として、ガラス基板１２のパスラインＰ中央位置近傍の搬送時における高さを均一にすることによって、単に、ガラス基板１２を直平面状で搬送するのみならず、その搬送高さを一定とすることができるという利点がある。
【００４３】
又、薄板状材料搬送装置１０は、エアテーブルユニット１４が正圧発生装置２４を備えているので、クリーンエアの設備やブロワーを備える給気設備等の外部の給気設備との配管が不要であり、正圧発生装置２４がエアテーブル２２に直結されているので、正圧発生装置２４とエアテーブル２２とを連結するための配管も不要であり、且つ、正圧発生装置２４から供給される空気をエアテーブル２２の上方に効率良く送ることができる。
【００４４】
従って、設備のためのスペースが小さい。又、工場のクリーンエアを使用しないのでランニングコストの低減に寄与する。
【００４５】
又、エアテーブル２２の上面部２６と正圧発生装置２４との間にフィルタ３０が設置されているので、ガラス基板１２の下面に異物が除去されたクリーンな空気を供給することができる。特に、フィルタ３０がエアテーブル２２の中における上面部２６の下側近傍に設置されているので、異物が除去された直後のクリーンな空気がガラス基板１２の下面に確実に供給される。
【００４６】
又、薄板状材料搬送装置１０は、ガラス基板１２を送りローラ１６の方向に付勢するための吸引ユニット２０を備えているので、ガラス基板１２と送りローラ１６との当接力を高め、ガラス基板１２と送りローラ１６との摩擦力を増大させることができる。これにより、ガラス基板１２と送りローラ１６とのスリップを抑制できる。
【００４７】
従って、エアテーブル２２の上で浮上するガラス基板１２の下面の高さと送りローラ１６のローラ部１６Ａの上端とが等しい高さになるように駆動ユニット１８を設置し、ガラス基板１２を平面に近い形状に保持してもガラス基板１２と送りローラ１６とのスリップが抑制され、ガラス基板１２と送りローラ１６との摩擦力が大きいので送りローラ１６の回転の加速度及び減速度をそれだけ大きく設定でき、搬送効率の向上に寄与する。
【００４８】
又、薄板状材料搬送装置１０は、駆動ユニット１８がガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動するので、空気の圧力だけで駆動力を付与する搬送装置と比較すると、ガラス基板１２を支持するだけで空気を供給するのみで足りるので、装置の製造コストの低減に寄与すると共に空気の供給量が少なくて足りるのでクリーンルーム内の空気の乱れが抑制される。更に、エアの複雑な制御が不要であるので、構造が簡単である。
【００４９】
上記実施形態において、エアテーブルユニット１４Ａ〜１４Ｃの側面に高さセンサ２１Ａ〜２１Ｃを設けた構成となっているが、本発明はこれに限定されるものでなく、高さセンサを、パスラインＰの幅方向中央部の少なくとも１基（奇数基の場合；偶数基の場合は中央の２基）のエアテーブルユニットのみに設けてもよく、又、高さセンサを設けない場合にも適用されるものである。
【００５０】
即ち、本発明に係る薄板状材料搬送装置の設定時に、目視にて、ガラス基板１２の搬送時の高さが均一となるように、供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｄを調整してセットし、その後に、ガラス基板１２の厚さや大きさの変更が無い限りは、正圧発生装置２４Ａ〜２４Ｄの空気供給量をほぼ設定時と同様に維持することができるからである。
【００５１】
ただし、正圧発生装置２４を駆動する電源の電圧の変動や、ファンを駆動するためのモータ２９の出力変動等が発生し易い場合は、上記のように高さセンサ２１を設けて調整すると良い。
【００５２】
更に、上記の高さセンサ２１は、ガラス基板１２の高さを検出するものであるが、高さセンサ２１をガラス基板１２の有無の検出センサとして、薄板状材料搬送装置１０の省エネ運転に利用することができる。
【００５３】
すなわち、正圧発生装置２４は、ガラス基板１２を搬送しているときには停止しておくのが省エネ上望ましいが、ファンモータを用いているために、ガラス基板１２の搬送を再開したとき停止状態から一定速度に回転が上るまでに遅れ（タイムラグ）を生じてしまう。
【００５４】
この実施形態の正圧発生装置２４は、ガラス基板１２を搬送していないときに最低の回転速度としておいて省エネを図り、高さセンサ２１によりガラス基板１２の先端を検出したときに常用回転速度にあげることとすれば、タイムラグがほとんど生じない。
【００５５】
又、図１の実施形態では、供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｄは、薄板状材料搬送装置１０のパスラインＰ両側位置の駆動ユニット１８の外側面にまとめて設けられた構成となっているが、供給量制御装置２３Ａ〜２３Ｄの操作を頻繁にする必要がないような場合は、対応するエアテーブルユニット１４Ａ〜１４Ｄに設けても良い。
【００５６】
なお、前記実施形態において薄板状材料搬送装置１０はエアテーブルユニット１４を８基備えているが、ガラス基板１２の長さ、幅等に応じて７基以下のエアテーブルユニットを備える構成としてもよく、９基以上のエアテーブルユニットを備える構成としても良い。
【００５７】
又、エアテーブルユニット１４は搬送方向に長い形状であるが、ガラス基板１２の長さ、幅等に応じて例えば、エアテーブルユニット１４は搬送方向の長さと幅方向の長さとが等しい形状としてもよく、幅方向に長い形状としても良い。
【００５８】
更に、エアテーブルユニット１４は、それぞれ２台の正圧発生装置２４を備えているが、例えばエアテーブルユニットの形状等に応じて各エアテーブルユニットに正圧発生装置を１台だけ備えても良く、３台以上の正圧発生装置を備えても良い。
【００５９】
更に又、前記実施形態において、正圧発生装置２４、負圧発生装置２０Ａは、ファンを備える構造であるが、正圧発生装置、負圧発生装置の構造は特に限定されず、例えば遠心型等の他のターボ型の構造や容積型の構造の正圧発生装置、負圧発生装置を採用しても良い。
【００６０】
更に、前記実施形態において、薄板状材料搬送装置１０は、複数の送りローラ（駆動部材）１６を有する駆動ユニット１８を備えているが、例えばベルト（駆動部材）を有する駆動ユニットを備える構成としても良い。又、駆動用のローラとベルトとが並設された駆動ユニットを備える構成としても良い。
【００６１】
更に又、駆動ユニットを省略し、搬送方向に空気を噴射するようにエアテーブルの給気孔を傾斜させて上面板に形成し、エアテーブルが噴射する空気で被搬送物を駆動するようにしても良い。なお、エアテーブルが供給する空気で被搬送物を駆動する場合は、吸引ユニットは省略しても良い。
【００６２】
又、エアテーブルユニット１４からガラス基板１２の下面に供給する気体は空気であるが、例えば、窒素ガス、希ガス等の他の気体をガラス基板１２の下面に供給しても良い。
【００６３】
又、前記実施形態は、ガラス基板１２を搬送するためのものであるが、面積に比較して板厚の薄い、いわゆる薄板状材料であれば、他の材料の搬送にも本発明は適用可能である。例えば、金属薄板状材料、樹脂の薄板状材料等の撓みを生じ易い材料の搬送の場合に適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料の搬送に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板状材料搬送装置の全体構成の概要を示す斜視図
【図２】図１のII−II線に沿う拡大断面図
【図３】同薄板状材料搬送装置の制御系統を示すブロック図
【図４】図１のIV−IV線に沿う断面図
【符号の説明】
【００６６】
１０…薄板状材料搬送装置
１２…ガラス基板（薄板状材料）
１４、１４Ａ〜１４Ｄ…エアテーブルユニット
１６…送りローラ
１８…駆動ユニット
２０…吸引ユニット
２０Ａ…負圧発生装置
２１（２１Ａ〜２１Ｃ）…高さセンサ
２２（２２Ａ〜２２Ｄ）…エアテーブル
２３（２３Ａ〜２３Ｄ）…供給量制御装置
２４（２４Ａ〜２４Ｄ）…正圧発生装置
２９…モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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