(57)【要約】【課題】研磨後に残存する凸状残部を一層小さくできると共にテープエッジによる損傷が発生しにくいテープ研磨装置を提供する。【解決手段】本発明によるテープ研磨装置の研磨ヘッドは、研磨テープ（２２）をワーク表面に押し当てるガイド工具（２６）と、ガイド工具を保持する工具保持部材（２７）とを有する。ガイド工具（２６）は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面（２６ｂ）を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をＹとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をＸとし、ｎを次数とし、ａを定数とした場合に、以下に示す高次関数      Ｙ＝ａ×Ｘｎで規定される放物面として形成される。【選択図】  図４
2008290166.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨テープを収納した供給リールと、研磨テープを巻き取る巻取りリールと、供給リールと巻取りリールとの間に位置し、研磨テープをワークに対して押し当てる研磨ヘッドと、研磨ヘッドを昇降させる手段とを有し、走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正するテープ研磨装置において、
前記研磨ヘッドは、研磨テープをワーク表面に押し当てるガイド工具と、ガイド工具を保持する工具保持部材とを有し、
前記ガイド工具は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をＹとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をＸとし、ｎを次数とし、ａを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Ｙ＝ａ×Ｘｎ
で規定される放物面として形成されていることを特徴とするテープ研磨装置。
【請求項２】
走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正するテープ研磨装置において、
研磨テープを収納した供給リール、研磨テープを巻き取る巻取りリール、供給リールと巻取りリールとの間に位置し、研磨テープをワークに対して押し当てる研磨ヘッド、並びに、前記供給リール、巻取りリール及び研磨ヘッドを支持するカセット本体を有するテープカセットと、テープカセットを交換可能に保持する研磨装置本体と、研磨装置本体を昇降させる手段とを具え、
前記研磨ヘッドは、研磨テープをワーク表面に押し当てるガイド工具と、ガイド工具を保持する工具保持部材とを有し、
前記ガイド工具は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をＹとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をＸとし、ｎを次数とし、ａを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Ｙ＝ａ×Ｘｎ
で規定される放物面として形成されていることを特徴とするテープ研磨装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のテープ研磨装置において、前記ガイド工具のガイド面の形状を規定する関数の次数ｎを、３以上としたことを特徴とするテープ研磨装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３に記載のテープ研磨装置において、前記ガイド工具は、円柱状の工具本体と、工具本体の先端に形成したガイド面とを有し、ガイド面の外形は、NC工作機械の旋削加工により形成したことを特徴とするテープ研磨装置。
【請求項５】
走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を研磨するテープ研磨装置の研磨ヘッドの先端に配置され、走行する研磨テープをワーク表面に向けて押し当てるガイド工具において、
当該ガイド工具は、円柱状の工具本体と、工具本体の先端に形成され、研磨テープと当接するガイド面とを有し、当該ガイド面は、テープ研磨装置に装着された際、研磨ヘッドの昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をＹとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をＸとし、ｎを次数とし、ａを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Ｙ＝ａ×Ｘｎ
で規定される放物面として形成されていることを特徴とするガイド工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク表面に存在する突起欠陥を走行する研磨テープにより修正するテープ研磨装置及び当該テープ研磨装置に用いられるガイド工具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置は、カラーフィルタ基板とTFT基板の2つのガラス基板を有し、これら基板間に液晶が封入されている。カラーフィルタ基板には、ＲＧＢの3原色のカラーフィルタ素子が形成され、その上に透明電極膜が形成されている。このカラーフィルタ基板を製造する際、基板表面上にパーティクルや金属粉が付着すると、突起物（突起欠陥）が形成されてしまう。しかしながら、カラーフィルタ基板の表面に突起物が形成されると、突起物が対向電極と接触し、当該部分は画像が形成されない不具合が生じてしまう。そこで、カラーフィルタの製造工程においては、欠陥検査装置により突起欠陥及びそのアドレスを検出し、修正工程において突起欠陥を修正ないし除去することが行われている。
【０００３】
突起欠陥を修正する装置として、研磨テープを用い、研磨テープを走行させて突起欠陥を研磨する装置が実用化されている（例えば、特許文献１参照）。この突起欠陥修正装置では、ステージ上に保持されたカラーフィルタ基板の上方に、研磨ヘッドを有する研磨テープ巻取機が配置され、当該研磨テープ巻取機を昇降させカラーフィルタ基板の表面に形成された突起欠陥が修正されている。
【０００４】
研磨ヘッドの先端には球形のボールが配置され、研磨テープは、球形ボールの外周面に沿って当接しながら走行している。突起欠陥を修正する際、研磨テープ巻取機をＺ軸方向に下降させ、球形ボールの外周面に沿って走行する研磨テープにより突起欠陥が研磨されている。
【特許文献１】特開平８−１５０５４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した異物修正装置では、研磨テープは、研磨ヘッドの先端に設けた球形ボールの外周面に沿って走行するため、突起欠陥は平坦面に研磨されるのではなく、球面状に研磨される。このため、研磨処理後のカラーフィルタ基板の表面には、球面状の凹部が形成される。この状態を図１を参照して説明する。図１Ａはワーク１の表面に突起欠陥２が形成されている状態を示し、図１Ｂは突起欠陥２と研磨テープ３との当接状態を線図的に示し、図１Ｃは研磨後のワーク表面の状態を示す。図１Ｂに示すように、研磨テープ３は球形のボールの外周面に対応するように変形しながら走行し（研磨テープは紙面と直交する方向に走行する）、その間に突起欠陥２が研磨される。研磨テープは３球形ボール４の外周面にそって変形するため、突起欠陥は球面状に研磨され、研磨後には、図１Ｃに示すように、突起欠陥の中央部が深く研磨され、突起欠陥の周辺部には凸状の残部が形成される。
【０００６】
凸状残部の高さは、１μｍ以内であれば不具合が生じないものとして許容されている。しかしながら、カラーフィルタの基板間の間隔は一層狭くなる方向にあり、研磨後に形成される凸状残部の高さをできるだけ低くすることが強く要請されている。この課題を解決するためには、研磨ヘッドの先端に配置されるボールの直径を大きくすることが想定される。しかしながら、球形ボールの直径を大きくすれば、凸状残部の高さが低くなるように研磨することが可能である。しかし、走行する研磨テープのエッジがワーク表面に対して接近する。よって、研磨テープのエッジがワーク表面と接触し易くなり、研磨テープのエッジがワーク表面と接触すると、ワーク表面に損傷を与える不都合が生じてしまう。すなわち、研磨中において、走行する研磨テープには摩擦力が作用するため、研磨テープがスムースに走行しない場合もあり、突起欠陥と接触する期間中に撓みや垂れ等が発生し、走行するテープのエッジ部分がワーク表面と当接し、ワーク表面に損傷を与えてしまう。特に、研磨ヘッドが下降して研磨が進行すると、研磨ヘッドがワーク表面の近傍まで進入するため、テープのエッジがワーク表面に対して接近してしまう。この結果、研磨テープの走行に乱れが生じ、走行する研磨テープに僅かな撓みや垂れ等が生ずると、走行する研磨テープのエッジによりワーク表面に損傷を与える不具合が生じてしまう。
【０００７】
すなわち、球形のボールを研磨ヘッドの先端に設けて研磨テープをガイドしたのでは、凸状残部を小さくしようとすると、ワーク表面に損傷を与え易くなり、逆にワーク表面に形成される損傷を防止しようとすると、大きな凸状残部が形成されてしまう。従って、研磨ヘッドの先端に球形のボールを配置して研磨テープをガイドしたのでは、カラーフィルタ基板に損傷を与えることなく欠陥を平坦に修正するには限界がある。
【０００８】
本発明の目的は、研磨後に残存する凸状残部を一層小さくできると共にテープエッジによる損傷が発生しにくいテープ研磨装置を提供することにある。
さらに、本発明の目的は、テープエッジによる損傷が発生しにくいガイド工具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によるテープ研磨装置は、研磨テープを収納した供給リールと、研磨テープを巻き取る巻取りリールと、供給リールと巻取りリールとの間に位置し、研磨テープをワークに対して押し当てる研磨ヘッドと、研磨ヘッドを昇降させる手段とを有し、走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を修正するテープ研磨装置において、
前記研磨ヘッドは、研磨テープをワーク表面に押し当てるガイド工具と、ガイド工具を保持する工具保持部材とを有し、
前記ガイド工具は、研磨テープと当接し、研磨テープを研磨ヘッドの昇降方向にガイドするガイド面を有し、当該ガイド面は、昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をＹとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をＸとし、ｎを次数とし、ａを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Ｙ＝ａ×Ｘｎ
で規定される放物面として形成されていることを特徴とする。
【００１０】
研磨中に、研磨テープはテンションが作用した状態で走行するため、研磨テープはガイド工具のガイド面に沿うように変形する。従って、研磨テープのエッジ部分による損傷を防止するためには、修正処理中における研磨テープのエッジとワーク表面との間の間隔をできるだけ大きくする必要がある。また、研磨後に形成される凸状残部をできるだけ小さくするためには、研磨テープを昇降方向に規制するガイド面における、頂点からの横方向距離に対する昇降方向の変位量をできるだけ小さくする必要がある。しかしながら、研磨テープをガイドするガイド工具として球形ボールを用いた場合、頂点からの横方向距離が小さい範囲（突起欠陥の大きさ程度の距離範囲）において、ガイド面は昇降方向に比較的大きく変位し、頂点から横方向距離が大きい範囲（研磨テープの幅方向端部、すなわち、片側１．９ｍｍ程度の距離）において、ガイド面の昇降方向の変位量は比較的小さい。このため、比較的大きな突起欠陥を修正する場合、修正後に形成される凸状残部の高さが大きくなってしまう。また、研磨テープのエッジとワーク表面との間隔は比較的小さく、研磨テープのエッジ部分とワーク表面とが接触し易い状態にある。
【００１１】
これに対して、研磨テープを昇降方向にガイドするガイド面を高次関数により規定される放物面とすれば、ガイド面の、その頂点からの横方向距離が小さい範囲（突起欠陥の大きさ程度の距離範囲）における昇降方向の変位量は相当小さくなり、頂点から横方向距離が長い範囲（研磨テープの幅方向の端部）における昇降方向の変位量は相当大きくなる。この結果、修正処理後に形成される凸状残部の高さは一層低くなると共に、研磨テープのエッジ部分とワーク表面との間隔が相当大きくなり、テープの走行乱れに起因する損傷の発生が防止される。
【００１２】
本発明によるテープ研磨装置の好適実施例は、ガイド工具のガイド面の形状を規定する式の次数ｎを、３以上の次数としたことを特徴とする。
実施例の説明において詳細に説明するように、ガイド面の形状を３乗以上の高次関数で規定される放物面とすることにより、ガイド面の頂点から突起欠陥の大きさ程度の距離だけ横方向に変位しても昇降方向の変位量はわずかであり、研磨テープの幅程度の距離だけ横方向に変位した位置における昇降方向の変位量は急激に増大する。従って、高次関数の次数は３以上の値とすることにより、球形ボールを用いる場合と比較して、格段の効果が達成される。
【００１３】
本発明によるテープ研磨装置の別の好適実施例は、ガイド工具は、円柱状の工具本体と、工具本体の先端に形成したガイド面とを有し、ガイド面の外形は、NC旋盤等を含むNC工作機械の旋削加工により形成したことを特徴とする。
本発明によるガイド工具は、円柱状の本体と、その先端側に形成した放物面状のガイド面とにより構成されるので、円柱状のワークを用いてNC旋盤により容易に製造することが可能である。特に、NC旋盤の加工処理においては、バイトの軌跡を規定するパラメータを入力するだけで、所望の高次関数にしたがったガイド面を形成することができるので、極めて有益である。
【００１４】
本発明によるガイド工具は、走行する研磨テープにより、ワーク表面に存在する突起欠陥を研磨するテープ研磨装置の研磨ヘッドの先端に配置され、走行する研磨テープをワーク表面に向けて押し当てるガイド工具において、
当該ガイド工具は、研磨テープと当接するガイド面を有し、当該ガイド面は、テープ研磨装置に装着された際、研磨ヘッドの昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、原点からの昇降方向の高さ距離をＹとし、原点を通り前記昇降方向と直交する方向の原点からの距離をＸとし、ｎを次数とし、ａを定数とした場合に、以下に示す高次関数
Ｙ＝ａ×Ｘｎ
で規定される放物面として形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、研磨テープを昇降方向にガイドするガイド工具のガイド面を、高次関数で規定される放物面として形成しているので、ガイド面の昇降方向の変位量は、突起欠陥の大きさ程度の横方向距離に対する変位量は比較的小さく、研磨テープの幅に相当する距離だけ変位した位置においては急激に増大する。この結果、修正後の凸状残部は相当小さくなると共にテープエッジとワーク表面との間の間隔は相当大きく設定される。従って、ワーク表面に損傷を与えることなく、凸状残部を相当小さくすることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図２は本発明によるテープ研磨装置を具える突起欠陥修正装置の全体構成を示す線図的側面図である。突起欠陥修正装置は、ベースとなる基台１１を有し、基台１１上にステージ１２を固定配置する。ステージ１２上に修正すべきカラーフィルタ基板１３を配置する。基台１１に、Ｙステージ（２本のＹレール）１４をＹ軸方向（紙面と直交する方向）に移動可能に配置する。Ｙステージ１４上にガントリー構造のＸステージ（Ｘレール）１５をＸ軸方向に移動可能に配置する。Ｘステージ１５上に、突起欠陥を修正する修正ヘッド１６をＸ軸方向に移動可能に配置する。Ｙステージ及びＸステージは、例えばレール機構とリニアモータやＡＣサーボモータとで構成される。
【００１７】
修正ヘッド１６は、欠陥を観察すると共に欠陥の高さを検出する顕微鏡装置１７と、検出された欠陥を研磨テープにより研磨して除去するテープ研磨装置１８とを有する。テープ研磨装置１８には、昇降機構が連結されており、Ｘ及びＹ方向と直交するＺ軸方向（突起欠陥の高さ方向）に自在に昇降することができる。この昇降機構は、研磨ヘッドをＺ軸方向に昇降させる昇降手段として機能する。テープ研磨装置１８は、研磨テープを収納したテープカセットと、テープカセットに収納されているリールを駆動する駆動装置とを含み、研磨テープを走行させると共にテープ研磨装置が下降して、突起欠陥を研磨する。
【００１８】
欠陥検出装置により検出された欠陥のアドレス情報に基づき、修正ヘッド１６が突起欠陥の上方に移動し、顕微鏡装置１７により欠陥を観察し、修正が必要か否かが判断される。修正が必要と判断した場合、検出した欠陥の高さ情報に基づき必要な距離だけテープ研磨装置を下降させ、研磨テープを走行させながら欠陥を研磨する。研磨が終了した後、再び顕微鏡装置により欠陥を観察し、追加の研磨が必要か否か判断する。欠陥が良好に修正された場合、研磨を終了し、次の欠陥の修正が行われる。
【００１９】
図３は、テープ研磨装置に装着されているテープカセットの一例を示す線図である。テープカセット２０は、研磨装置本体に着脱自在（交換可能）に装着され、テープ研磨装置１８のＺ軸方向の昇降に応じて昇降する。テープカセット２０は、カセット本体２１を有し、研磨テープ２２を収納した供給リール２３及び研磨テープを巻き取る巻取りリール２４をカセット本体２１に対して回転自在に装着する。巻取りリール２４は、テープ研磨装置側に設けた駆動軸（図示せず）と係合し、研磨テープを所定の速度で走行させると共に、研磨が終了した研磨テープを順次巻き取る。カセット本体２１には、２個のガイドローラ２５ａ及び２５ｂが回転自在に設けられ、これら２個のガイドローラ間に研磨ヘッドを設ける。研磨ヘッドは、研磨テープ２２をワークであるカラーフィルタ基板に向けて押し当てるガイド工具２６と、ガイド工具２６を保持する保持部材２７を有し、保持部材２７はカセット本体２１に固着する。従って、テープ研磨装置１８の昇降移動に応じて、研磨ヘッドも昇降し、研磨テープを走行させながら研磨ヘッドを下降させることにより、突起欠陥を研磨して除去することができる。
【００２０】
図４は、研磨ヘッドの一例を示す線図的断面図である。尚、図４は、カラーフィルタ基板１３に存在する突起欠陥を研磨する途中の状態を示し、研磨テープ２２の走行方向（紙面と直交する方向）から見た線図的断面図である。ガイド工具２６は、円柱状の工具本体２６ａと、先端側に位置し研磨テープ２２と当接するガイド面２６ｂとを有する。工具本体２６ａは、保持部材２７に形成した凹部内に嵌合され固定する。これにより、ガイド工具２６は、保持部材により一体的に保持される。ガイド工具２６のガイド面２６ｂは、研磨テープを昇降方向にガイドする機能を果たし、研磨テープ２２は、テンションが作用した状態で走行する。従って、研磨テープは、ガイド工具のガイド面２６ｂに当接し、ガイド面２６ｂ外径にそって変形し、変形した状態で走行する。
【００２１】
研磨テープのエッジがワーク表面と接触して損傷を与える不具合を防止するためには、研磨テープのエッジとワーク表面との間の間隔ができるだけ大きくなるようにガイド面２６ｂの外径形状を形成する必要がある。また、研磨後にカラーフィルタ基板表面に残存する凸状残部の高さを低くするためには、ガイド面の湾曲変位量が、突起欠陥の大きさ程度の横方向距離において、できるだけ小さくなるように形成する必要がある。本発明では、これらの２つの要件を満たすように押し当て面の外形を形成する。
【００２２】
本発明では、上記２つの要件を満たすため、ガイド面の形状を以下の高次関数により規定される放物面とする。
Ｙ＝ａＸｎ
ここで、ガイド面の昇降方向の最下端に位置する頂点を原点とし、Ｙは原点からの昇降方向の高さ距離とし、Ｘは原点を通り前記昇降方向と直交する横方向の原点からの距離とし、ｎを次数とし、ａを定数とする。
【００２３】
図５は、ガイド面が、球面の場合と高次関数で規定される放物面の場合とで頂点から昇降方向と直交する方向の距離の変化に対するガイド面の湾曲変位量（昇降方向の変位量）を示すグラフである。図５Ａは、ガイド面の頂点Ｏから昇降方向と直交する方向（横方向）に０〜０．４ｍｍ変位した距離、すなわち突起欠陥の大きさ程度の距離だけ変位した場合のガイド面の昇降方向の変位量を示し、図５Ｂは、ガイド面の頂点から研磨テープの幅方向のエッジ付近までの距離だけ変位した場合のガイド面の昇降方向の変位量を示す。図５において、横軸はガイド面の頂点Ｏからの横方向の距離（ｍｍ）を示し、縦軸はガイド面の頂点Ｏからの昇降方向の変位量（ｍｍ）を示す。
【００２４】
図５Ａ及びＢにおいて、白ヌケの四角で示す曲線は、ガイド面が式Ｙ＝５−（２５−Ｘ２）１／２  で規定される球面（Ｒ＝５）の場合の変位量を示し、黒丸で示す曲線は、ガイド面が式Ｙ＝１０−（１００−Ｘ２）１／２  で規定される球面（Ｒ＝１０）の場合の変位量を示す。また、点線は、ガイド面が式Ｙ＝０．１×Ｘ２で規定される放物面の場合の変位量を示し、白ヌケの三角で示す曲線は、ガイド面が式Ｙ＝０．１×Ｘ３で規定される放物面の場合の変位量を示し、×印で示す曲線は、ガイド面が式Ｙ＝０．３×Ｘ４で規定される放物面の場合の変位量を示す。
【００２５】
ここで、寸法関係を図示した図４Ｂを参照するに、ガイド面の頂点Ｏを原点とし、原点から昇降方向に距離ｈ1＝1μｍだけ変位した場合の原点からの昇降方向と直交する方向の距離をｄとする。また、原点から規格化されている研磨テープの幅（３．８ｍｍ）のエッジに相当する距離だけ離れた場合の昇降方向の変位量をｈ2とする。
【００２６】
次に、ガイド面の頂点から昇降方向に１μｍだけ変位した場合、昇降方向と直交する方向にどれだけの距離ｄだけ変位するかを図５Ａより求める。Ｒ＝５の球面の場合ｄ＝１００μｍであり、Ｒ＝１０の球面の場合ｄ＝１５０μｍである。これに対して、次数３の高次関数で規定される放物面の場合ｄ＝２１０μｍであり、次数４の高次関数で規定される放物面の場合ｄ＝２４０μｍである。この結果を検討するに、研磨テープをワーク表面に対して押し当てるガイド工具のガイド面が球面の場合、球面の半径を２倍にしても、昇降方向の変位量が１μｍとなる横方向の距離はあまり増大しないことが理解される。これに対して、高次関数で規定される放物面の場合、Ｒ＝５の球面の場合と比較して約２倍以上増大している。この解析結果より、次数が３以上の高次関数により規定される放物面とすることにより、研磨後にワーク表面に残存する凸状残部を相当小さくできることが期待される。
【００２７】
次に、ガイド面の頂点から研磨テープの幅に相当する距離だけ離間した場合、ガイド面が昇降方向にどれだけ変位するかを求める。尚、研磨テープの幅は３．８ｍｍに規格化されているので、頂点から１．９ｍｍ横方向に離間した場合の昇降方向の変位量ｈ2を図５Ｂから求める。Ｒ＝５の球面の場合ｈ2＝４００μｍであり、Ｒ＝１０の球面の場合ｈ2＝２００μｍである。これに対して、次数２の高次関数で規定される放物面の場合、ｈ2＝３８０μｍであり、Ｒ＝５の球面の場合とほぼ同等である。しかし、次数３の高次関数で規定される放物面の場合ｈ2＝７８０μｍであり、Ｒ＝５の球面の場合の変位量に対して約２倍増大している。さらに、次数４の高次関数で規定される放物面の場合ｈ2＝４６００μｍであり、Ｒ＝５の球面の場合よりも約１０倍以上増大している。
【００２８】
上述したシィミュレーション結果から明らかなように、研磨テープのエッジ付近におけるガイド面の昇降方向の湾曲変位量は、次数が２程度の高次関数で規定される放物面と球面との差異は認められない。しかし、高次関数の次数が３以上になると、高次関数により規定される放物面の変位量は、球面の変位量に比べて格段に増大する。
【００２９】
突起欠陥の大きさ程度の距離だけ離間した位置における湾曲変位量及び研磨テープのエッジ位置における湾曲変位量についてのシィミュレーション結果より、ガイド面の形状は、３以上の次数の高次関数により規定される放物面に形成することが好ましい。
【００３０】
尚、NC旋盤は、３軸方向の駆動制御を同期して行うことができ、円柱状のワークの端面を所望の次数及び係数の高次関数で規定される放物面に形成することが可能である。従って、円柱状のワークを用い、NC旋盤において旋削加工することにより、円柱状の工具本体と高次関数で規定されるガイド面を有するするガイド工具を製造することが可能である。
【００３１】
本発明は上述した実施例だけに限定されず種々の変形や変更が可能である。例えば、上述した実施例では、カラーフィルタ基板に形成された突起欠陥を修正する場合について説明したが、カラーフィルタ基板に限られず、他の種々の基板等に存在する欠陥を修正する場合にも適用される。
また、上述した実施例では、供給リールと巻取りリールとがテープカセット内に収納された例について説明したが、本発明は、これらのリールがカセット内に収納されていない場合にも勿論適用されるものである。
さらに、上述した実施例では、研磨ヘッドがテープカセットに一体的に設けられた場合について説明したが、テープカセットを用いず、研磨ヘッドが独立して昇降動作するテープ研磨装置にも適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】テープ研磨装置で突起欠陥を修正する状態を示す線図である。
【図２】突起欠陥修正装置の全体構成を示す線図である。
【図３】テープカセットの一例を示す線図である。
【図４】研磨ヘッドの一例を示す線図的断面図である。
【図５】ガイド工具のガイド面を高次関数で規定される放物面とした場合の、横方向距離の変化に対する昇降方向距離の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３３】
１  ワーク
２  突起欠陥
３  研磨テープ
１１  基台
１２  ステージ
１３  カラーフィルタ基板
１４  Ｙステージ
１５  Ｘステージ
１６  修正ヘッド
１７  顕微鏡装置
１８  テープ研磨装置
２０  テープカセット
２１  
２２  研磨テープ
２３  供給リール
２４  巻取りリール
２５ａ，２５ｂ  ガイドローラ
２６  ガイド工具
２７  保持部材
【図１】
2008290166.tif 000003
【図２】
2008290166.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008290166.tif 000006
【図５】
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