(57)【要約】【課題】ガラス基板等の薄板状材料をエアコンベアで搬送し、且つ搬送方向を９０°転換する場合に、ガイドローラを用いることなく高速且つ確実に方向転換させるようにした薄板状材料搬送装置を提供する。【解決手段】薄板状材料搬送装置１０は、第１、第２の直進エアコンベア１４、１８の間に、搬送するガラス基板１２の搬送方向を９０°変換する方向転換エアコンベア１６を有し、方向転換エアコンベア１６は、エアテーブルユニット２０の間に複数の方向転換ローラユニット３０を有し、方向転換ローラユニット３０は、吸引用パイプ３２によって負圧によりガラス基板１２を吸引して送りローラ３４に接触可能とし、送りローラ３４は、その回転軸３４Ａが、水平面内で一定範囲で姿勢変更可能とされ、搬送方向を９０°変換することができる。【選択図】図１
2008254918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプと、
この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラと、
前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源と、を有してなることを特徴とする薄板状材料搬送用ローラユニット。
【請求項２】
請求項１において、
前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送用ローラユニット。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置と、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置と、を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送用ローラユニット。
【請求項４】
請求項１において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用ローラユニット。
【請求項５】
薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、を有してなり、
前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の前記請求項２乃至４のいずれかに記載の薄板状材料搬送用ローラユニットとを含んで構成され、前記薄板状材料搬送用ローラユニットは、前記方向転換エアコンベアの中心点を囲んで配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記方向転換エアコンベアは、前記中心点位置に、鉛直軸廻りに回転自在に設けられ、且つ、上端に、前記薄板状材料を載置可能にされた載置皿を備えた転換中心ピンを含んでなり、
前記載置皿は、前記複数の薄板状材料搬送用ローラユニットにおける前記吸引用パイプへ負圧が印加されて薄板状材料が下方に吸引されたとき、該薄板状材料の下面に接触し、且つ、負圧が解放されたとき非接触となる高さに設定されていることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項７】
請求項５又は６において、
前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項９】
請求項７において、
前記薄板状材料搬送用ユニットを１基配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する際に、搬送路を直角に変更できるようにした薄板状材料搬送装置、及び、この薄板状材料搬送装置に用いて好適な薄板状材料搬送用ローラユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅かな疵や埃でも品質に大きく影響するため、その搬送の際には、表面に疵が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。
【０００３】
このような搬送手段の１つとして、ローラコンベアがあるが、搬送路が直角に曲げる場合、２つの直進ローラコンベアの間に直角方向に進むコンベアを配置し、ガラス基板を直角に方向転換する際には、コンベアを上昇させ、ガラス基板のパスラインを約２０〜５０ｍｍ上げて搬送していた。
【０００４】
又、直交して配置された２つの直進ローラコンベアの交点位置にガラス基板を持ち上げて旋回させる機構を設けたり、直進ローラコンベア全体を旋回させる方法があるが、どちらも、近年のガラス基板の大型化に伴い、構造も大きくなり、運転のための動力や製造コストも大幅に増大し、又タクトタイムの短縮も困難であるという問題点があった。
【０００５】
又、ローラコンベアに替えて、エアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
このようなエアテーブルの場合、ガラス基板を浮上させた状態でその搬送方向を変更したり、ガラス基板自身を旋回させることは、圧力エア上でのガラス基板の挙動を制御することが困難であり、浮上しているガラス基板の端縁をガイドローラによってガイドすることも考えられるが、ガラス基板は、例えば第８世代においては、Ｗ２２００ｍｍ×Ｌ２５００ｍｍという大きさに比べて厚さが０．５〜０．７ｍｍ程度と非常に薄く、慣性でガラス基板端縁がガイドローラに衝突した場合に非常に割れ易いという問題点がある。したがって従来は、ガラス基板の高速搬送あるいは高速方向変換や高速旋回ができなかった。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−１３９１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明は、エアテーブルユニットを用いて薄板状材料を非接触で支持且つ搬送しつつ、ガイドローラ等を用いることなく、薄板状材料の搬送方向の、高速転換あるいは高速旋回を可能とした薄板状材料搬送装置及びこれに用いられる薄板状材料搬送ローラユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下の各実施例により、上記課題を解決することができる。
【００１０】
（１）上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプと、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも僅かに突出可能とされた送りローラと、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源と、を有してなることを特徴とする薄板状材料搬送用ローラユニット。
【００１１】
（２）前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向変換装置を設けたことを特徴とする（１）に記載の薄板状材料搬送用ローラユニット。
【００１２】
（３）前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置と、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置と、を設けたことを特徴とする（１）又は（２）に記載の薄板状材料搬送用ローラユニット。
【００１３】
（４）前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向変換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする（１）に記載の薄板状材料搬送用ローラユニット。
【００１４】
（５）薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、を有してなり、前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の前記（２）乃至（４）のいずれかに記載の薄板状材料搬送用ローラユニットとを含んで構成され、前記薄板状材料搬送用ローラユニットは、前記方向転換エアコンベアの中心点を囲んで配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００１５】
（６）前記方向転換エアコンベアは、前記中心点位置に、鉛直軸廻りに回転自在に設けられ、且つ、上端に、前記薄板状材料を載置可能にされた載置皿を備えた転換中心ピンを含んでなり、前記載置皿は、前記複数の薄板状材料搬送用ローラユニットにおける前記吸引用パイプへ負圧が印加されて薄板状材料が下方に吸引されたとき、該薄板状材料の下面に接触し、且つ、負圧が解放されたとき非接触となる高さに設定されていることを特徴とする（５）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１６】
（７）前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする（５）又は（６）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１７】
（８）前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする（７）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１８】
（９）前記薄板状材料搬送用ユニットを１基配置したことを特徴とする（７）に記載の薄板状材料搬送装置。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、薄板状材料搬送用ローラユニットは、エアテーブルユニット等によって浮上し搬送される薄板状材料を、吸引用パイプに印加される負圧により吸引して、送りローラに接触させて薄板状材料の高速搬送をすることができる。又、その際、送りローラの回転軸を水平面内で角度変位させることによって、ガイドローラを設けたりすることなく、送りローラに接触している薄板状材料を搬送方向を、高速で転換したり旋回させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１に示されるように、この実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０は、図１において左から右方向に、例えば大型のＬＣＤ用のガラス基板（薄板状材料）１２を非接触で直線状の水平のパスライン（幅方向中心線Ｐ１で示す）に沿って搬送する第１の直進エアコンベア１４と、この第１の直進エアコンベア１４の、図１において右端に接続された方向転換エアコンベア１６と、この方向転換エアコンベア１６の、図１において上側の端部に接続され、且つ第１の直進エアコンベア１４のパスラインＰ１と直交するパスラインＰ２に沿ってガラス基板１２を直線的に搬送可能な第２の直進エアコンベア１８と、から構成されている。
【００２２】
図１において、符号２９は、ガラス基板１２の搬送中に、その幅方向外側への移動を抑制するためのパスラインＰ１、Ｐ２の幅方向両側に沿って配置されたアライメントローラ、及び、方向転換エアコンベア１６の外側に配置されたアライメントローラを示す。
【００２３】
第１の直進エアコンベア１４及び第２の直進エアコンベア１８は、それぞれ、複数のエアテーブルユニット２０及び直進ローラユニット２２とを組合せて構成されている。又、方向転換エアコンベア１６は、前記と同様の複数のエアテーブルユニット２０と、方向転換ローラユニット３０とを組み合わせて構成されている。
【００２４】
エアテーブルユニット２０は、図２、図３に示されるように、ガラス基板１２の下面に対して空気（気体）を供給してガラス基板１２を非接触で支持するためのエアテーブル２６と、エアテーブル２６に正圧の空気を供給するための、例えばブロワーからなる正圧発生装置２８と、を備えて構成されている。
【００２５】
エアテーブル２６は、上面部２７が略平坦なほぼ直方体の箱状体であって、ガラス基板１２の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔２７Ａが上面部２７に形成されている。
【００２６】
第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８は、２〜４基のエアテーブル２６をその長手方向に並べて１列とし、且つ、５列（ＣＶ−１Ａ〜ＣＶ１Ｅ、ＣＶ−２Ａ〜ＣＶ−２Ｅ）横並びとして構成されている。又、５列のうち幅方向両外側の列ＣＶ−１Ａ、ＣＶ−１Ｅ、ＣＶ−２Ａ、ＣＶ−２Ｅにおける各エアテーブルユニット２０間には、直進ローラユニット２２が配置されている。
【００２７】
方向転換エアコンベア１６は、第１の直進エアコンベア１４の搬送方向における幅方向両側のエアテーブルユニット２０の列ＣＶ−１Ａ、ＣＶ−１Ｅに接続して、２列（ＣＶ−３Ａ、ＣＶ−３Ｅ）のエアテーブルユニット２０が設けられ、その列ＣＶ−３Ａ、ＣＶ−３Ｅは、それぞれ２基のエアテーブルユニット２０と、これらエアテーブルユニット２０の間にそれぞれ設けられた方向転換ローラユニット３０とを有している。
【００２８】
又、これら２列ＣＶ−３Ａ、ＣＶ−３Ｅの間には、第２の直進エアコンベア１８におけるエアテーブルユニット２０の列と平行に６列のエアテーブルユニット２０Ａ〜２０Ｆが配置され、図１において左側（第１の直進エアコンベア１４側）の第１列と第２列のエアテーブルユニット２０Ａと２０Ｂとの間及び第５列と第６列のエアテーブルユニット２０Ｅと２０Ｆとの間には方向転換ローラユニット３０が配置されている。なお、エアテーブルユニット２０の列ＣＶ−３Ｅの外側（図１において下側）にもエアテーブルユニット２０が配置され、ガラス基板１２の旋回時に、これを浮上できるようにしている。
【００２９】
この方向転換エアコンベア１６における４基の方向転換ローラユニット３０は、第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８のパスラインＰ１、Ｐ２の延長線の交点を中心点ＣＲとして、この中心点ＣＲから等距離、即ち、同一円周上にあるように配置されている。
【００３０】
次に、方向転換ユニット３０の詳細な構成について説明する。
【００３１】
図４、図５に示されるように、方向転換ローラユニット３０は、上端に開口３３Ａを備えた鉛直方向の吸引用パイプ３２と、この吸引用パイプ３２の内側に、水平面内の回転軸３４Ａにより回転自在に支持され、且つ、上端が吸引用パイプ３２の上端の開口３３Ａよりも僅かに突出可能とされた送りローラ３４と、吸引用パイプ３２に負圧を印加する負圧源であるブロワー３６とを備えて構成されている。
【００３２】
吸引用パイプ３２は、送りローラ３４近傍を囲む小径部３２Ａと、この小径部３２Ａの下端に接続され、ここからブロワー３６の上端面まで到達する大径部３２Ｂとから構成されている。更に、吸引用パイプ３２の大径部３２Ｂの上部には、４本のブラケット３２Ｃが一体的に形成されていて、このブラケット３２Ｃの先端において、ガラス基板１２のパスラインＰ１、Ｐ２を含む搬送面よりも下方位置で固定されるようになっている（図示省略）。
【００３３】
方向転換ローラユニット３０は、送りローラ上下動装置３８を備えている。この送りローラ上下動装置３８は、送りローラ３４を、その上端が前記パスラインＰ１、Ｐ２に到達する搬送位置（図５、図６参照）及びこれよりも下がって、パスラインＰ１、Ｐ２上のガラス基板１２と非接触の待機位置（図４、図７参照）との間で変位可能に支持している。
【００３４】
送りローラ上下動装置３８は、吸引用パイプ３２の大径部３２Ｂ内に配置され、ブロワー３６の上面に固定された基板４０上に設けられたソレノイド装置から構成されている。
【００３５】
この、ソレノイド装置である送りローラ上下動装置３８の可動部３８Ａは基板４０に対して一定範囲で上下動可能とされていて、この可動部３８Ａの上端には、支持板３９が支持され、この支持板３９の下側にはローラ上下動装置３８に隣接して送りローラ姿勢制御装置４２が支持されている。
【００３６】
送りローラ姿勢制御装置４２は、送りローラ３４の頂点を通る鉛直方向の中心軸線３２ＣＬ上の姿勢制御軸４３を有し、例えばカム機構（図示省略）からなる装置を内蔵して、図４、図５において鉛直方向の姿勢制御軸４３を、鉛直状態のまま、少なくとも９０°の範囲で、中心軸線３２ＣＬ廻りに揺動できるようにされている。
【００３７】
姿勢制御軸４３は、前記支持板３９の中心を貫通して上方に突出し、その上端にローラ支持体４４及び駆動モータ４６を支持している。
【００３８】
ローラ支持体４４は、駆動モータ４６よりも高い位置に設けられた円盤状の支持台４５を備え、この支持台４５上には、送りローラ３４の回転軸３４Ａが水平に支持されている。
【００３９】
送りローラ３４は、マグネットローラであって、この送りローラ３４の前面位置において支持台４５に回転自在に支持された駆動マグネットローラ３５によって、非接触状態で駆動されるようになっている。
【００４０】
マグネットローラ３５の回転軸３５Ａは、駆動モータ４６の駆動軸４６Ａと直結されて、該駆動モータ４６により回転駆動されるようになっている。
【００４１】
この方向転換ローラユニット３０は、送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４が、吸引用パイプ３２の上端面３３Ｂから僅かに突出した搬送位置（図５、図６参照）と、図４、図７に示されるように、上端が上端面３３Ｂよりも下方に引き込んだ待機位置との間で上下動され得るようになっている。
【００４２】
又、送りローラ姿勢制御装置４２によって、ガラス基板１２を図７に示されるような、パスラインＰ１と平行な面内で回転する姿勢、及び、図８に示されるような、パスラインＰ２と平行な面内で回転する姿勢となるように、中心軸線３２ＣＬ周りに少なくとも９０°の角度範囲で位置調整可能とされている。
【００４３】
第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８に用いられている直進ローラユニット２２は、図９に示されるように、それぞれのパスラインＰ１、Ｐ２と平行な鉛直面内で回転可能な直進送りローラ２２Ａと、上端面が直進送りローラ２２Ａの上端よりも僅かに低く配置された鉛直方向の吸引用パイプ２２Ｂと、この吸引用パイプ２２Ｂの下端に給気孔が連結して配置されたブロワー２２Ｃと、マグネットローラである直進送りローラ２２Ａを非接触で駆動するためのマグネット駆動ローラ２２Ｄと、マグネット駆動ローラ２２Ｄを駆動するためのモータ２２Ｅとを備えて構成されている。
【００４４】
次に、上記薄板状材料搬送装置１０によってガラス基板１２を、第１の直進エアコンベア１４から方向転換エアコンベア１６を経て、ここで旋回させることなく、第２の直進エアコンベア１８に搬送する過程について説明する。
【００４５】
まず、方向転換エアコンベア１６における方向転換ローラユニット３０を、予め、図１、図１０に示されるように送りローラ３４の回転面が第１の直進エアコンベア１４のパスラインＰ１と平行となるようにしておく。第１の直進エアコンベア１４上のガラス基板１２を、エアテーブル２６から噴出される正圧の空気によって浮上させ、且つ、このとき直進ローラユニット２２におけるブロワー２２Ｃを駆動させると、吸引用パイプ２２Ｂからガラス基板１２の下面に負圧が作用して、ガラス基板１２を搬送位置にある直進送りローラ２２Ａの上端に接触するように吸引する。
【００４６】
従って、直進送りローラ２２Ａをマグネット駆動ローラ２２Ｄによって駆動すれば、ガラス基板１２はエアテーブル２６上に浮上した状態で図１において左側から右方向に、確実に、かつ、高速で搬送できる。
【００４７】
方向転換エアコンベア１６におけるエアテーブル２６から予め正圧の空気を供給しておけば、ガラス基板１２は方向転換エアコンベア１６上に円滑に移動していく。このとき、方向転換ローラユニット３０における吸引用パイプ３２にブロワー３６から負圧を印加すると、駆動マグネットローラ３５によって回転される送りローラ３４に向けてガラス基板１２が吸引されて、その接触圧によって確実に搬送される。
【００４８】
なお、方向転換ローラユニット３０では、予め送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４を、その上端が吸引用パイプ３２の上端面３３Ｂから僅かに突出した搬送位置となるようにセットしておく。
【００４９】
ガラス基板１２が方向転換エアコンベア１６上に移動したとき、送りローラ３４による搬送を停止し、次に、負圧印加を停止するとともに、送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４を待機位置まで下降させる。
【００５０】
この待機位置の状態で、方向転換ローラユニット３０において、送りローラ姿勢制御装置４２を作動させて、姿勢制御軸４３を介して、送りローラ３４の回転軸３４Ａを中心軸線３２ＣＬ周りに９０°回転させて、図１１に示されるように、送りローラ３４の回転面が第２の直進エアコンベア１８における直進送りローラ２２Ａの回転面及びパスラインＰ２と平行となるようにする。
【００５１】
なお、このとき又は前後に、アライメントローラ１９によって、ガラス基板１２の中心と第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８の幅方向中心（パスラインＰ１、Ｐ２）及び方向転換エアコンベア１６の中心点ＣＲとを整合させる。
【００５２】
次に、送りローラ上下動装置３８によって送りローラ３４を搬送位置にまで上昇させ、同時に、ブロワー３６を起動して、ガラス基板１２に負圧を印加して、該ガラス基板１２を送りローラ３４の上端に接触させる。この状態で、送りローラ３４を、ガラス基板１２が第２の直進エアコンベア１８方向に移動するように駆動する。
【００５３】
第２の直進エアコンベア１８は、予め、直進送りローラ２２Ａを搬送位置として、且つ、送り方向に駆動すると共に、ブロワー２２Ｃによって吸引用パイプ２２Ｂに負圧を印加しておく。
【００５４】
送りローラ３４の駆動によって、ガラス基板１２は、方向転換エアコンベア１６上から第２の直進エアコンベア１８上に移動し、更に、この第２の直進エアコンベア１８によって、図１、図１１において上方に、パスラインＰ２に沿って移動され、図１２に示されるように搬送を終了する。
【００５５】
上記ガラス基板１２の搬送過程は、ガラス基板１２を旋回させることなく搬送方向を９０°変換するものであるが、次に、ガラス基板１２を方向転換エアコンベア１６上において９０°旋回させて搬送する過程について説明する。
【００５６】
このガラス基板搬送過程は、図１に示される状態から図１０に示される状態までは前記と同一であるので、説明を省略する。
【００５７】
ガラス基板１２を方向転換エアコンベア１６上で旋回させる場合は、図１０に示される状態で、ガラス基板１２が方向転換エアコンベア１６における送りローラ３４上に移載された状態から、図１３に示されるように、方向転換エアコンベア１６上の、パスラインＰ１上の送りローラ３４のみを送りローラ姿勢制御装置４２によってその回転面を９０°旋回させる（図１４参照）。前記９０°旋回される送りローラ３４を待機位置とし、且つ、負圧の印加を停止することは前記と同様である。
【００５８】
９０°旋回後に、負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ３４を搬送位置として、この状態で、方向転換エアコンベア１６における４基の送りローラ３４を、図１４に示されるようにガラス基板１２が反時計方向に回転されるように方向を揃えて駆動させる。すると、ガラス基板１２は、方向転換エアコンベア１６の中心点ＣＲを中心として回転され、９０°反時計方向に回転されたときガラス基板１２の旋回を停止させる。
【００５９】
次に、方向転換エアコンベア１６における、パスラインＰ２上の一対の送りローラ３４を、各々の送りローラ姿勢制御装置４２によって、回転面がパスラインＰ２と平行な鉛直面となるように回転させる（図１５参照）。この際、送りローラ３４を待機位置とし、且つ、負圧の印加を停止することは前記と同様である。
【００６０】
９０°旋回後に、負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ３４を搬送位置として、この状態で送りローラ３４を回転させると、ガラス基板１２は方向転換エアコンベア１６上から第２の直進エアコンベア１８上に移載され、そのまま搬送される。
【００６１】
なお、図１６に示されるように、方向転換エアコンベア１６において、その中心点ＣＲの位置に、転換中心ピン４８を鉛直軸周りに回転自在に設け、且つ、この転換中心ピン４８の上端に、ガラス基板１２を載置可能な載置皿４８Ａを設けても良い。
【００６２】
この場合、載置皿４８Ａは、複数の方向転換ローラユニット３０における吸引用パイプ３２に負圧が印加されて、ガラス基板１２が吸引され、送りローラ３４にその下面が接触した状態のとき、載置皿４８Ａがガラス基板１２の下面に接触し、且つ、負圧が解放されたとき、ガラス基板１２の下面と非接触となる高さに設定されている。
【００６３】
このようにすれば、ガラス基板１２は、方向転換エアコンベア１６によって、その中心点ＣＲを中心として旋回することになり、旋回後のアライメントが不要となる。
【００６４】
又、上記のような転換中心ピン４８を用いる場合は、方向転換エアコンベア１６における方向転換ローラユニット３０は、４基でなくとも、３基又は２基、更には１基であっても良い。
【００６５】
上記実施形態において、方向転換ローラユニット３０は、その送りローラ３４が、吸引用パイプ３２の上端面３２Ｂに対して上下動するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、送りローラ３４を、吸引用パイプ３２と共に上下動させるようにしても良い。
【００６６】
同様に、送りローラ３４の回転面を送りローラ姿勢制御装置４２によって、中心軸線３２ＣＬ周りに回転させるようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、要すれば、送りローラ３４を、その送り方向が９０°転換されるように回転軸３４Ａを水平面内で回転できるものであれば良く、従って、送りローラ３４及びその回転軸３４Ａを、吸引用パイプ３２と共に回転するようにしても良い。
【００６７】
また、送りローラ姿勢制御装置４２における送りローラ上下動装置、送りローラ姿勢制御装置の構成は、実施形態の例に限定されず、他の構成であってもよい。例えばカム機構、ロータリーソレノイド、空気圧アクチェータ等を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板状材料搬送装置を示す略示平面図
【図２】同薄板状材料搬送装置における直進エアコンベアにおけるエアテーブルユニットを示す略示断面図
【図３】同エアテーブルユニットを拡大して示す断面図
【図４】同薄板状材料搬送装置の方向転換エアコンベアに用いる方向転換ローラユニットを示す一部断面とした斜視図
【図５】同方向転換ローラユニットを、吸引用パイプを取り除いた状態で示す斜視図
【図６】同方向転換ローラユニットにおいて送りローラがガラス基板と接触する搬送位置の状態を模式的に示す断面図
【図７】同送りローラの待機位置の状態を示す図６と同様の断面図
【図８】同方向転換ローラユニットの送りローラを９０°姿勢を変えた状態を模式的に示す図６と同様の断面図
【図９】同実施形態における直進エアコンベアに用いられる直進ローラユニットを模式的に示す断面図
【図１０】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板の搬送方向を９０°転換する第１過程を模式的に示す平面図
【図１１】同第２過程を模式的に示す平面図
【図１２】同第３過程を模式的に示す平面図
【図１３】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板を途中で９０°旋回して搬送する第１過程を模式的に示す平面図
【図１４】同第２過程を模式的に示す平面図
【図１５】同第３過程を模式的に示す平面図
【図１６】同薄板状材料搬送装置における方向転換コンベアの他の実施形態を示す斜視図
【符号の説明】
【００６９】
１０…薄板状材料搬送装置
１２…ガラス基板（薄板状材料）
１４…第１の直進エアコンベア
１６…方向転換エアコンベア
１８…第２の直進エアコンベア
２０…エアテーブルユニット
２２…直進ローラユニット
２２Ａ…直進送りローラ
２６…エアテーブル
２７…上面部
２７Ａ…給気孔
２８…正圧発生装置
３０…方向転換ローラユニット
３２…吸引用パイプ
３２ＣＬ…中心軸線
３３Ａ…開口
３３Ｂ…上端面
３４…送りローラ
３４Ａ…回転軸
３５…駆動マグネットローラ
３６…ブロワー
３８…送りローラ上下動装置
４２…送りローラ姿勢制御装置
４６…駆動モータ
４８…転換中心ピン
４８Ａ…載置皿
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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