(57)【要約】【課題】熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、近接場光発生素子に光を供給する光源の発熱による温度上昇を抑え、スライダの重量増加を抑え、かつ、光の伝送損失を少なくする。【解決手段】熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構は、再生素子３１と記録素子３２と近接場光発生素子３４とを有する磁気ヘッド３が形成されたスライダ４を、サスペンション５の一端で保持し、サスペンション５の他端をキャリッジ６で支持して構成される。放熱面積が広いキャリッジ６のアーム６２もしくは支持部６１に、１個の光源１０とこの光源からの照射光の導入先を切替える光切替え機構とを備えた光学ブロック１５を取り付け、光学ブロック１５からの光を光導波路１４を介して近接場光発生素子３４に導く。【選択図】図１
2008130106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部と、該支持部から延伸するアームとを有するキャリッジと、
前記アームの上下に取り付けられたサスペンションと、
再生素子と、記録素子と、近接場光発生素子とを有する磁気ヘッドを搭載し、前記サスペンションに保持されたスライダと、
１個の光源と、該光源からの照射光の導入先を切替える光切替え機構とを備え、前記キャリッジに取り付けられた光学ブロックと、
前記光学ブロックからの光を導入し、前記近接場光発生素子に導く複数本の第１光導波路と、を有することを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項２】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を反射する１個の可動ミラーと、該可動ミラーからの反射光を反射する複数個の固定ミラーと、該固定ミラーからの反射光を集光する複数個のコリメートレンズとを有し、前記可動ミラーを揺動させることにより、前記光源の照射光の導入先を前記複数個のコリメートレンズのいずれかに切替え、該コリメートレンズから前記第１光導波路に導出することを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項３】
前記可動ミラーは、ミラーと、該ミラーを支持するトーションバーと、該ミラーを磁気吸引力で揺動させる電磁石と、該ミラーの揺動角を決めるストッパとで構成されていることを特徴とする請求項２記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項４】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を導入する第２光導波路と、該第２光導波路の前記光源側を固定する第１固定ブロックと、該第２光導波路の他端側を固定する可動ブロックと、該可動ブロックを移動させるアクチュエータと、前記複数本の第１光導波路の端部を固定する第２固定ブロックとを有し、前記アクチュエータで前記可動ブロックを移動させることにより、前記光源の照射光の導入先を前記複数本の第１光導波路のいずれかに切替えることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項５】
前記第１光導波路と前記第２光導波路の間のギャップに、マッチングオイルが充填されていることを特徴とする請求項４記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項６】
前記光学ブロックは、熱伝導率の高い金属で覆われていることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項７】
前記キャリッジには、複数のフィンが形成されていることを特徴とする請求項１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項８】
支持部と、該支持部から延伸するアームとを有するキャリッジと、
前記アームに取り付けられた２本のサスペンションと、
再生素子と、記録素子と、近接場光発生素子とを有する磁気ヘッドを搭載し、前記サスペンションに保持された２個のスライダと、
１個の光源と、該光源からの照射光の導入先を切替える光切替え機構とを備え、前記キャリッジのアームに取り付けられた光学ブロックと、
前記光学ブロックからの光を導入し、前記スライダの近接場光発生素子に導く２本の第１光導波路と、を有することを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項９】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を反射する１個の可動ミラーと、該可動ミラーからの反射光を反射する２個の固定ミラーと、該固定ミラーからの反射光を集光する２個のコリメートレンズとを有し、前記可動ミラーを揺動させることにより、前記光源の照射光の導入先を前記２個のコリメートレンズのいずれかに切替え、該コリメートレンズから前記第１光導波路に導出することを特徴とする請求項８記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１０】
前記可動ミラーは、ミラーと、該ミラーを支持するトーションバーと、該ミラーを磁気吸引力で揺動させる電磁石と、該ミラーの揺動角を決めるストッパとで構成されていることを特徴とする請求項９記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１１】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を導入する第２光導波路と、該第２光導波路の前記光源側を固定する第１固定ブロックと、該第２光導波路の他端側を固定する可動ブロックと、該可動ブロックを移動させるアクチュエータと、前記２本の第１光導波路の端部を固定する第２固定ブロックとを有し、前記アクチュエータで前記可動ブロックを移動させることにより、前記光源の照射光の導入先を前記２本の第１光導波路のいずれかに切替えることを特徴とする請求項８記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１２】
前記第１光導波路と前記第２光導波路の間のギャップに、マッチングオイルが充填されていることを特徴とする請求項１１記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１３】
支持部と、該支持部から延伸する複数のアームとを有するキャリッジと、
前記複数のアームの上下に取り付けられたサスペンションと、
再生素子と、記録素子と、近接場光発生素子とを有する磁気ヘッドを搭載し、前記サスペンションに保持されたスライダと、
１個の光源と、該光源からの照射光の導入先を切替える光切替え機構とを備え、前記キャリッジの支持部に取り付けられた光学ブロックと、
前記光学ブロックからの光を導入し、前記スライダの近接場光発生素子に導く複数本の第１光導波路と、を有することを特徴とする熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１４】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を反射する第１可動ミラーと、該第１可動ミラーからの反射光を反射する複数個の第２可動ミラーと、該第２可動ミラーからの反射光を反射する複数個の固定ミラーと、該固定ミラーからの反射光を集光する複数個のコリメートレンズとを有し、前記第１可動ミラーと第２可動ミラーを揺動させることにより、前記光源からの照射光の導入先を前記複数個のコリメートレンズのいずれかに切替え、該コリメートレンズから前記第１光導波路に導出することを特徴とする請求項１３記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１５】
前記第１可動ミラー及び第２可動ミラーはそれぞれ、ミラーと、該ミラーを支持するトーションバーと、該ミラーを磁気吸引力で揺動させる電磁石と、該ミラーの揺動角を決めるストッパとで構成されていることを特徴とする請求項１４記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１６】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を反射する１個の可動ミラーと、該可動ミラーからの反射光を反射する複数個の固定ミラーと、該固定ミラーからの反射光を集光する複数個のコリメートレンズとを有し、前記可動ミラーを揺動させることにより、前記光源からの照射光の導入先を前記複数個のコリメートレンズのいずれかに切替え、該コリメートレンズから前記第１光導波路に導出することを特徴とする請求項１３記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１７】
さらに前記複数個のコリメートレンズの前段に光センサが配置され、該光センサの出力に基づいて前記可動ミラーの揺動角を制御することを特徴とする請求項１６記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１８】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を導入する第２光導波路と、該第２光導波路の前記光源側を固定する第１固定ブロックと、該第２光導波路の他端側を固定する第１可動ブロックと、該第１可動ブロックを移動させる第１アクチュエータと、前記第２光導波路からの光を導入する複数本の第３光導波路と、該第３光導波路の端部を固定する第２固定ブロックと、該第３光導波路の他端を固定する複数個の第２可動ブロックと、該第２可動ブロックを移動させる第２アクチュエータと、前記複数本の第１光導波路の端部を固定する複数個の第３固定ブロックとを有し、前記第１アクチュエータで前記第１可動ブロックを移動させ、前記第２アクチュエータで前記第２可動ブロックを移動させることにより、前記光源の照射光の導入先を前記複数本の第１光導波路のいずれかに切替えることを特徴とする請求項１３記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項１９】
前記光切替え機構は、前記光源の照射光を導入する第２光導波路と、該第２光導波路の前記光源側を固定する第１固定ブロックと、該第２光導波路の他端側を固定する可動ブロックと、該可動ブロックを移動させるアクチュエータと、前記複数本の第１光導波路の端部を固定する第２固定ブロックとを有し、前記アクチュエータで前記可動ブロックを移動させることにより、前記光源の照射光の導入先を前記複数本の第１光導波路のいずれかに切替えることを特徴とする請求項１３記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【請求項２０】
さらに前記第２固定ブロックの前段に光センサが配置され、該光センサの出力に基づいて前記アクチュエータの移動を制御することを特徴とする請求項１９記載の熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱アシスト磁気記録ディスク装置に搭載される熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
熱アシスト記録は、磁気ディスク上の直径数十ｎｍ程度の記録ビット領域に、２００゜Ｃ以上の熱と磁界を加えることで、磁気ディスク上にデータを記録する方式であり、高密度磁気記録が可能な記録方式として期待されている。現在、磁気ディスクの微小な記録ビット領域を瞬間的に高温にする為の手段として、近接場光を利用することが検討されている。近接場光を発生させる為には、磁気ヘッドの記録磁極近傍に配置された変換素子に、光を導入する必要がある。その光源としてレーザーダイオード（以下、ＬＤと略す）が検討されているが、ＬＤは光源であると同時に熱源でもあり、それ自体の発熱により発振出力が低下するという問題を抱えている。通常、光ディスク記録装置に用いられているＬＤは、７０゜Ｃ以上で発振しなくなる。
【０００３】
特許文献１には、熱アシスト磁気記録ヘッドにおいて、記録素子近辺に配置した光源（熱源）の近傍に、昇温防止手段を配置することにより、光源（熱源）自体の発熱による出力低下を避けるようにすることが記載されている。具体的には、次の４通りの昇温防止手段が提案されている。（１）光源と接触するヒートシンク部材を具備する。（２）圧電バイモルフファンで強制空冷する。（３）スライダ形状を工夫してスライダを通過する空気流の一部を光源に導き空冷する。（４）スライダをディスクに接触させ、熱をディスク側に逃がす。
【０００４】
また、非特許文献１には、スライダの外側に光源、入射光検出器、反射光検出器、ビームスプリッタ、レンズ、１／２波長板から成る光学系を配置し、この光学系からスライダのヘッド部に形成されたグレーティングに光を照射することで、スライダに付随した磁気記録素子部に光を導入し、そこで変換素子により近接場光を発生させ、極微小間隔でスライダと対向しているディスク上の微小領域を加熱することが記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２８３４０３号公報
【非特許文献１】Ed Gage, ”Integration Challenge for Heat Assisted Magnetic Recording”, IDEMA JAPAN International Disk Forum 2006, June 9, 2006
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のとおり、熱アシスト磁気記録に必要な光源は、それ自体熱源でもあり、自ら発する熱による温度上昇で発振出力が低下し、最悪発光しなくなってしまうという問題を抱えている。特許文献１には、その解決手段が開示されているが、特許文献１で提案されている（１）〜（３）の手段は、スライダの重量化、プロセスの複雑化に繋がり、前記（４）の手段は、ディスクの変形や接触による発熱や磨耗を考慮しなければならない。
【０００７】
さらに、特許文献１に記載された熱アシスト磁気記録ヘッドは、光源を含む光学系をスライダに置いている為、サスペンション先端の重量が増え、磁気ヘッドを位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭ）への負担が大きくなり、高速位置決めの妨げになると共に、ヘッド位置決めの際の外乱の増加に繋がる。
【０００８】
また、非特許文献１で発表された熱アシスト磁気記録装置では、スライダの外側に光学系を配置しているので、ヘッド位置決めに置ける悪影響は無く、光源の温度上昇も抑えることは容易であるが、実際の磁気ディスク装置では、データ書き込み中、スライダは常に動いている為、光を正確にグレーティングに照射し、損失を抑えることは難しい。変換素子の効率が低い場合には、大パワーの光を導入する必要があるが、大パワーの光を発生するＬＤはそれだけ発熱も大きくなる。したがって、伝達される光の損失は可能な限り抑えなければならない。
【０００９】
本発明の目的は、熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、近接場光発生素子に光を供給する光源の発熱による温度上昇を抑え、スライダの重量増加を抑え、かつ、光の伝送損失を少なくすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、記録再生素子と近接場光発生素子とを有する磁気ヘッドが形成されたスライダをサスペンションで保持し、サスペンションをキャリッジで支持する熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構において、１個の光源とこの光源からの照射光の導入先を切替える光切替え機構とを備えた光学ブロックを、放熱面積が広いキャリッジのアームもしくは支持部に取り付け、光学ブロックからの光を光導波路を介して前記近接場光発生素子に導くものである。
【００１１】
前記光学ブロックの光切替え機構は、光源の照射光を反射する１個の可動ミラーと、可動ミラーからの反射光を反射する複数個の固定ミラーと、固定ミラーからの反射光を集光する複数個のコリメートレンズとを有し、可動ミラーを揺動させることにより、光源の照射光の導入先を複数個のコリメートレンズのいずれかに切替え、コリメートレンズから第１光導波路に導出するものである。
【００１２】
前記可動ミラーは、ミラーと、ミラーを支持するトーションバーと、ミラーを磁気吸引力で揺動させる電磁石と、ミラーの揺動角を決めるストッパとで構成される。
【００１３】
また、前記光学ブロックの光切替え機構は、光源の照射光を導入する第２光導波路と、第２光導波路の光源側を固定する第１固定ブロックと、第２光導波路の他端側を固定する可動ブロックと、可動ブロックを移動させるアクチュエータと、複数本の第１光導波路の端部を固定する第２固定ブロックとを有し、アクチュエータで可動ブロックを移動させることにより、光源の照射光の導入先を複数本の第１光導波路のいずれかに切替えるものである。
【００１４】
前記第１光導波路と第２光導波路の間のギャップに、マッチングオイルを充填することが望ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、光源の発熱による温度上昇を抑え、スライダの重量増加を抑え、かつ、光の伝送損失が少ない熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図２に、本発明の実施例による熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構を搭載した磁気ディスク装置の概略構成を示す。磁気ディスク１はスピンドルモータ２に取り付けられ、スピンドルモータ２によって回転される。近接場光発生素子を備えた磁気ヘッド３はスライダ４に搭載され、スライダ４はサスペンション５に保持され、サスペンション５はキャリッジ６に支持されている。キャリッジ６はピボット７を回転軸として揺動可能に支持されている。スライダ４は、回転する磁気ディスク１の記録面と所定の間隔で対向するように、サスペンション５により荷重が与えられている。ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）８を駆動することによりキャリッジ６を揺動させ、スライダ４を回転する磁気ディスク１の所望のトラックに移動させ、近接場光発生素子を備えた磁気ヘッド３により情報の記録、再生を行う。上記構成において、キャリッジ６と、キャリッジ６に支持されたサスペンション５と、サスペンション５に保持されたスライダ４とで構成される構造体を熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構という。
【００１７】
磁気ディスク１の記録層は、室温での保磁力が２０００ｋＡ／ｍ以上であり、室温では磁気ヘッド３が発生する記録磁界により記録されることはない。磁気ディスク１の記録層上の直径数十ｎｍ程度の記録ビット領域に、磁気ヘッド３により２００゜Ｃ以上の熱と磁界を加えることで、記録層にデータを記録することができる。
【００１８】
＜実施例１＞
図１に実施例１による熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成を示し、図３にサスペンションに保持されたスライダの周辺部を示し、図４に図３のＡ−Ａ線断面を示す。図１において、キャリッジ６はピボット７に揺動可能に支持される支持部６１と、支持部６１から延伸する複数のアーム６２とで構成されている。図１では、複数のアーム６２のうち上から２本目のアーム６２が見えている。アーム６２の先端の上下には、２本のサスペンション５がかしめ固定６３により取り付けられている。サスペンション５には、磁気ヘッド３の記録素子及び再生素子のリード線に接続された配線３０が積層され、配線３０の他端は図示しないプリアンプに接続された端子部に接続されている。アーム６２のかしめ固定部６３の近傍に、後述する光源を備えた光学ベンチ１５が実装されている。光学ベンチ１５のアーム６２への実装は、キャリッジ６の作製時に、アーム６２に溝を形成しておき、この溝に光ベンチ１５を嵌め込むことにより実装することができる。光学ベンチ１５の光源からの照射光は、サスペンション５に沿ってスライダ４まで配置された光導波路１４を通ってスライダ４に導かれる。
【００１９】
図３及び図４において、スライダ４に搭載された磁気ヘッド３は、２枚の磁気シールドに挟まれた磁気抵抗効果素子を備えた再生素子３１と、記録磁極と記録コイルを備えた磁気誘導型記録素子３２と、磁気誘導型記録素子３２の記録磁極に隣接する導波路３３と近接場光発生素子３４で構成されている。光導波路１４に導かれた光は、サスペンション５の先端部に設けられたミラー３５に達し、ミラー３５で反射されて導波路３３を通り、近接場光発生素子３４に達する。近接場光発生素子３４は、光の波長以下の幅のギャップを有し、このギャップで近接場光に変換し、対向する磁気ディスクの記録層に照射して、直径数十ｎｍ程度の記録ビット領域を２００゜Ｃ以上に加熱する。
【００２０】
次に、図５（ａ），（ｂ）及び図６を参照して光学ベンチ１５の構成を説明する。図５（ａ）及び図５（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ線断面図である。光学ベンチ１５は、光源としてのレーザーダイオード（ＬＤ）１０、光切替え機構としての揺動型可動ミラー１１及び固定ミラー１２、光を平行化する為のコリメートレンズ１３、コリメートレンズ１３からの光を導入する光導波路１４の一端部を実装した光学ブロックである。ＬＤ１０から照射された光は、揺動型可動ミラー１１、固定ミラー１２の順で反射され、コリメートレンズ１３を介してサスペンション４に配置された光導波路１４に導入される。揺動型可動ミラー１１を回転させることにより、ＬＤ１０から照射される光の導入先を切替えることができる。図５（ａ）が上側のスライダ４に光が導かれる状態を示しており、図５（ｂ）が下側のスライダ４に光が導かれる状態を示している。
【００２１】
揺動型可動ミラー１１は、トーションバーで支えられたミラーを電磁石による磁気吸引力を用いて揺動させ、２つの反射方向を切替えるものである。各反射方向におけるミラーの揺動角は、ストッパにより決定される。これによりドリフトの発生を防ぐことが可能となり、フィードバック制御を用いることなく、ミラーの揺動角を正しく決定できる。また、永久磁石を組み合わせることにより、切替え時以外はエネルギーを必要としない自己保持が可能となり、低消費電力を抑えることが可能となる。自己保持の手段としては、永久磁石の他、機械的なラッチ機構を用いることも可能である。
【００２２】
図６に、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)微細加工技術により、揺動型可動ミラー１１、固定ミラー１２が一体形成された光学ベンチ１５に、ＬＤ１０、コリメートレンズ１３、光導波路１４を実装する様子を示す。光学ベンチ１５には、ＬＤ１０を位置決めする為の凸部１８、コリメートレンズ１３を位置決めする為の溝１６、光導波路１４を位置決めする為の溝１７が形成されており、この凸部や溝により、ＬＤ１０、コリメートレンズ１３、光導波路１４を所定の位置に実装することが可能となる。光学ベンチ１５を用いることにより、組立が簡略化されると共に、調芯等の光学系の調整も容易になる。
【００２３】
上記のとおり、実施例１によれば、発熱体である光源（ＬＤ）１０を収容する光学ベンチ１５を、キャリッジ６のアーム６２に実装することにより、ＬＤ１０の数を削減することができる。また、キャリッジ６は放熱面積が広いので、ＬＤ１０の発熱によるＬＤ自身の温度上昇を抑えることができ、ＬＤの温度上昇による発振出力の低下、あるいは発振停止の問題を解決することができる。また、ＬＤ１０をスライダ４に実装する必要がないので、スライダ４の重量増加を抑えることができる。したがって、スライダ４を位置決めするＶＣＭ８の負担が軽くなり、スライダ４の振動による悪影響を低減できるので、高速位置決めが可能となる。さらに、光学ベンチ１５からの光を光導波路１４でスライダ４に導くので、光の伝送損失を少なくすることができる。
【００２４】
なお、実施例１では、図５に示すように固定ミラー１２、コリメートレンズ１３をアーム６２の厚み方向（紙面上下方向）に配置しているが、幅方向（紙面奥行き方向）に配置することも可能である。
また、光学ベンチ１５を銅のような熱伝導率の高い金属で覆うことにより、放熱面積の広いキャリッジ６にＬＤ１０から発せられた熱を積極的に逃がすことが可能となる。
また、キャリッジ６にフィン構造を形成することにより、冷却効率をさらに高めることが可能となる。
また、実施例１では、揺動型可動ミラー１１の駆動に磁気吸引型のアクチュエータを用いたが、ローレンツ力を用いたＶＣＭ型アクチュエータ、静電アクチュエータ、圧電アクチュエータ、熱アクチュエータ等も使用することができる。
【００２５】
次に、上記実施例１の変形例について図７（ａ），（ｂ）を参照して説明する。熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成は、図１に示した実施例１の構成と同じである。実施例１と異なる部分は、光学ベンチ１５の光切替え機構である。実施例１と同じ構成部品については同じ参照符号を付すこととし、実施例１と異なる構成部分について説明することとする。光学ベンチ１５は、近接場光発生素子に光エネルギーを供給する為の光源としてＬＤ１０、ＬＤ１０から照射された光を導く光導波路１４１、光導波路１４１のＬＤ１０側の端部を固定する固定ブロック２１１、もう一方の端部を固定する可動ブロック２０、可動ブロック２０を動かすアクチュエータとストッパ２２、サスペンション５に続く光導波路１４を固定する固定ブロック２１３から構成されている。なお、光導波路１４１と光導波路１４の間のギャップには、カップリング箇所での光の伝送損失を低減するために、屈折率調整用のマッチングオイルを充填することが望ましい。
【００２６】
この光学ベンチ１５も前記実施例１と同様に、ＭＥＭＳ微細加工技術により形成することができる。ベース部材に固定ブロック２１１、可動ブロック２０、可動ブロック２０を動かすアクチュエータとスットッパ２２、固定ブロック２１３を形成し、さらにＬＤ１０を位置決めする為の凸部と、固定ブロック２１１に光導波路１４１を位置決めする為の溝と、固定ブロック２１３に光導波路１４を位置決めする為の溝を設け、これらの凸部や溝により、ＬＤ１０、光導波路１４１及び１４を位置決めして実装する。光導波路１４１及び１４にはポリマー型光導波路を用いることができるが、光学ベンチ内に導波路を一体で形成することもできる。
【００２７】
ＬＤ１０から照射された光は、リニア型のアクチュエータで可動ブロック２０を動かすことにより、上側か下側のどちらかのスライダ４に導かれる。図７（ａ）が、上側のスライダ４に光が導かれる状態を示しており、図７（ｂ）が下側のスライダ４に光が導かれる状態を示している。可動ブロック２０の各々の位置は、ストッパ２２により決定される。これによりドリフトや外乱の影響を防ぐことが可能となり、光の伝送損失を抑えることができる。また、永久磁石を組み合わせることにより、切り替え時以外はエネルギーを必要としない自己保持が可能となり、低消費電力を抑えることが可能となる。自己保持の手段としては、永久磁石の他、機械的なラッチ機構を用いることも可能である。
【００２８】
このように上記変形例によれば、光学ベンチ１５をキャリッジ６のアーム６２に実装し、ＬＤ１０から照射される光の導入先を可動ブロック２０により切替えることで、上記実施例１と同様に、搭載するＬＤ１０の数を削減することが可能となり、ＬＤ１０の発熱による昇温の防止や、スライダ４の重量増加による振動を低減することができる。また、光導波路１４１と光導波路１４の間のギャップに、屈折率調整用のマッチングオイルを充填することで、実施例１に比べて空気による光の伝送損失を少なくすることができる。
【００２９】
なお、上記変形例においては、可動ブロック２０をアーム６２の厚み方向（紙面上下方向）に動くように構成しているが、幅方向（紙面奥行き方向）に動くように構成することも可能である。
【００３０】
＜実施例２＞
図８に実施例２による熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成を示す。熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成は、図１に示した実施例１の構成と同じである。実施例１と異なる部分は、光学ベンチ１５０の実装位置と光切替え機構である。実施例１と同じ構成部品については同じ参照符号を付すこととし、実施例１と異なる構成部分について説明することとする。図８において、光学ベンチ１５０はキャリッジ６の支持部６１に実装されている。光学ベンチ１５０の支持部６１への実装は、キャリッジ６の作製時に、支持部６１に溝を形成しておき、この溝に光学ベンチ１５を嵌め込むことにより実装することができる。また、支持部６１の表面に取り付けることも可能である。光学ベンチ１５０の光源からの照射光は、４本の光導波路１４に導入される。下側の２本の光導波路１４は、下側のアーム６２の側面に沿って、下側のアーム６２の先端の上下に取り付けられた２本のサスペンション５に至り、それぞれのサスペンション５に沿ってスライダ４まで配置されており、光導波路１４に導入された光は、光導波路１４によってスライダ４まで導かれる。また、上側の２本の光導波路１４は上側のアーム６２の側面に沿って、図示は省略されているが上側のアーム６２に支持されているスライダ４まで配置されている。
【００３１】
図９に、図８に示した熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構部分の側面図を示す。光学ベンチ１５０は内部構造がわかるように、透視で表してある。キャリッジ６の上下のアーム６２には、それぞれ上側と下側にサスペンション５が支持されており、計４本のサスペンション５には各々光導波路１４が配置されている。また、キャリッジ６の回転部６１に実装された光学ベンチ１５０は、ベース部材に、近接場光発生素子に光エネルギーを供給する為の光源としてＬＤ１０、一つの第１揺動型可動ミラー１１１、二つの第２揺動型可動ミラー１１２、四つの固定ミラー１２１、光を平行化する為の四つのコリメートレンズ１３、光導波路１４の一端部を実装したブロックである。実施例２においても前記実施例１と同様に、ＭＥＭＳ微細加工技術により、第１揺動型可動ミラー１１１と第２揺動型可動ミラー１１２、固定ミラー１２１、及びＬＤ１０、コリメートレンズ１３、光導波路１４を位置決めする為の凸部や溝を一体で形成することができる。
【００３２】
ＬＤ１０から照射された光は、第１揺動型可動ミラー１１１、第２揺動型可動ミラー１１２、固定ミラー１２１の順で反射され、コリメートレンズ１３を介して光導波路１４を通り、近接場光発生素子を具備したスライダ４に達して近接場光に変換される。ＬＤ１０から照射された光は、第１揺動型可動ミラー１１１及び第２揺動型可動ミラー１１２を揺動させることで、四つのスライダ４のうち、所望のスライダ４に導かれる。なお、ここでは複数の揺動型可動ミラーを用いているが、実施例１と同様に、２つの反射方向におけるミラーの揺動角をストッパにより決定する揺動型可動ミラーを用いて、光の導入先を切り替えている。これによりドリフトの発生を防ぐことが可能となり、フィードバック制御を用いることなく、ミラーの揺動角を正しく決定することができる。
【００３３】
上記のとおり実施例２によれば、光学ベンチ１５０をキャリッジ６の支持部６１に実装し、ＬＤ１０から照射される光の導入先を、第１揺動型可動ミラー１１１と第２揺動型可動ミラー１１２により切り替えることで、１個のＬＤ１０で４個のスライダに光を供給することが可能となり、ＬＤの発熱による昇温の防止や、スライダの重量増加による振動を低減することができる。また、光学ベンチ１５０をピボット７近傍に配置することにより、付加質量による慣性モーメントの影響を抑え、ＶＣＭ８での消費電力を低減できると共に、外乱の抑制にも有効となる。
【００３４】
なお、実施例２では、第１揺動型可動ミラー１１１と第２揺動型可動ミラー１１２、固定ミラー１２１、コリメートレンズ１３をキャリッジ６の回転部６１の軸方向（紙面上下方向）に配置したが、軸に垂直な方向（紙面奥行き方向）に配置することも可能である。
また、スライダは４個であるが、揺動型可動ミラーの数を増やすことで、スライダが４個以上の場合にも適用可能となる。
【００３５】
次に、上記実施例２の変形例１について図１０を参照して説明する。熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成は、図８に示した実施例２の構成と同じである。実施例２と異なる部分は、光学ベンチ１５０の光切替え機構である。実施例２と同じ構成部品については同じ参照符号を付すこととし、実施例２と異なる構成部分について説明することとする。キャリッジ６の支持部６１に光学ベンチ１５０が実装されており、光学ベンチ１５０は、近接場光発生素子に光エネルギーを供給する為の光源としてＬＤ１０、１個の揺動型可動ミラー１１、４個の固定ミラー１２、光センサ（ＰＤ）１９、４個のコリメートレンズ１３を実装したブロックである。光学ベンチ１５０は、ＭＥＭＳ微細加工技術により、揺動型可動ミラー１１、固定ミラー１２、及び、ＬＤ１０、コリメートレンズ１３、光導波路１４を位置決めする為の凸部や溝を一体で形成することができる。
【００３６】
ＬＤ１０から照射された光は、揺動型可動ミラー１１、固定ミラー１２の順で反射され、コリメートレンズ１３を介してサスペンション５に配置された光導波路１４を通り、近接場光発生素子を備えたスライダ４に達して近接場光に変換される。ＬＤ１０から照射された光は、揺動型可動ミラー１１を四段階で揺動させることで、４個のスライダ４のうち、所望のスライダに導かれる。揺動型可動ミラー１１を揺動させる手段は、トーションバーで支えられたミラーをローレンツ力により揺動させるＶＣＭ型である。ＶＣＭ型では発生トルクは入力電流に比例し、揺動角は発生トルクとトーションバーのねじり剛性から容易に求めることができる為、入力電流を制御することでミラーを所望の角度だけ揺動させ、所望の方向に光を反射させることが可能となる。
また、コリメートレンズ１３の前に配置した光センサ（ＰＤ）１９からの信号を基にフィードバック制御を行うことで、組立誤差やドリフトや外乱の影響を防ぐことが可能となり、光の伝送損失を抑えることができる。
【００３７】
このように光学ベンチ１５０をキャリッジ６の支持部６１に実装し、ＬＤ１０から照射される光の導入先を、揺動型可動ミラー１１を四段階で揺動させて切替えることで、１個のＬＤ１０と１個の揺動型可動ミラー１１で、４個のスライダ４に光を供給することが可能となる。したがって、実施例２と同様に、ＬＤの発熱による昇温の防止や、スライダの重量増加による振動を低減することができると同時に、可動部である揺動型可動ミラーの数を最小限に抑えることができる。また、光学ベンチ１５０をピボット７近傍に配置することにより、付加質量による慣性モーメントの影響を抑え、ＶＣＭ８での消費電力を低減できると共に、外乱の抑制にも有効となる。
なお、変形例１では、スライダは４個であるが、揺動型可動ミラー１１を四段階以上で揺動させることにより、スライダが４個以上の場合にも適用可能である。
【００３８】
次に、実施例２の変形例２について図１１を参照して説明する。熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成は、図８に示した実施例２と同じである。実施例２と異なる部分は、光学ベンチ１５０の光切替え機構である。実施例２と同じ構成部品については同じ参照符号を付すこととし、実施例２と異なる構成部分について説明することとする。キャリッジ６の支持部６１に光学ベンチ１５０が実装されており、光学ベンチ１５０は、近接場光発生素子に光エネルギーを供給する為の光源としてＬＤ１０、ＬＤ１０から照射された光を導く光導波路１４１、光導波路１４１のＬＤ１０側の端部を固定する固定ブロック２１１、もう一方の端部を固定する一つの第１可動ブロック２０１、二本の第２光導波路１４２、第２光導波路１４２の端部を固定する固定ブロック２１２、もう一方の端部を固定する二つの第２可動ブロック２０２、各々の可動ブロック２０２を動かすアクチュエータとストッパ２２、サスペンション５側に続く光導波路１４の端部を固定する固定ブロック２１３を実装したブロックである。
【００３９】
光学ベンチ１５０は、ＭＥＭＳ微細加工技術により、第１可動ブロック２０１と第２可動ブロック２０２、固定ブロック２１１、及び、各可動ブロックを動かすアクチュエータとスットッパ２２を一体で形成することができる。
【００４０】
ＬＤ１０から照射された光は、光導波路１４１と第２光導波路１４２とサスペンション５側に続く光導波路１４を通り、近接場光発生素子を備えたスライダ４に達して近接場光に変換される。ＬＤ１０から照射された光は、リニア型のアクチュエータで第１可動ブロック２０１と二つの第２可動ブロック２０２を動かすことにより、四つのスライダ４のうち、所望のスライダに導かれる。第１可動ブロック２０１と第２可動ブロック２０２の各々の位置は、ストッパ２２により決定される。これによりドリフトや外乱の影響を防ぐことが可能となり、光の伝送損失を抑えることができる。また、永久磁石を組み合わせることにより、切替え時以外はエネルギーを必要としない自己保持が可能となり、低消費電力を抑えることが可能となる。自己保持の方法としては、永久磁石の他、機械的なラッチ機構を用いることも可能である。
【００４１】
このように光学ベンチ１５０をキャリッジ６の支持部６１に実装し、１個のＬＤ１０で４個のスライダ４に光を供給することが可能となり、実施例２と同様に、ＬＤの発熱による昇温の防止や、スライダの重量増加による振動を低減することができる。また、光学ベンチ１５０をピボット７近傍に配置することにより、付加質量による慣性モーメントの影響を抑え、ＶＣＭ８での消費電力を低減できると共に、外乱の抑制にも有効となる。さらに、この例では、ＬＤ１０から照射された光は、各光導波路間でのカップリング箇所を除き全て導波路内を通るので、光強度の減衰を抑えることが可能となる。
【００４２】
次に、実施例２の変形例３について図１２を参照して説明する。熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成は、図８に示した実施例２と同じである。実施例２と異なる部分は、光学ベンチ１５０の光切替え機構である。実施例２と同じ構成部品については同じ参照符号を付すこととし、実施例２と異なる構成部分について説明することとする。キャリッジ６の支持部６１に光学ベンチ１５０が実装されており、光学ベンチ１５０は、近接場光発生素子に光エネルギーを供給する為の光源としてＬＤ１０、ＬＤ１０から照射された光を導く光導波路１４１、光導波路１４１のＬＤ１０側の端部を固定する固定ブロック２１１、もう一方の端部を固定する可動ブロック２００、可動ブロック２００を動かすアクチュエータとストッパ２２０、光センサ（ＰＤ）１９、キャリッジ６内からサスペンション５に続く光導波路１４を固定する固定ブロック２１３を実装したブロックである。
【００４３】
光学ベンチ１５０は、ＭＥＭＳ微細加工技術により、可動ブロック２００、固定ブロック２１１と２１３、及び、可動ブロック２００を動かすアクチュエータとスットッパ２２を一体で形成することができる。
【００４４】
ＬＤ１０から照射された光は、ＬＤ１０から照射された光を導く光導波路１４１とキャリッジ６内からサスペンション５に続く光導波路１４を通り、近接場光発生素子を具備したスライダ４に達して近接場光に変換される。ＬＤ１０から照射された光は、リニア型アクチュエータで可動ブロック２００を四段階で動かすことで、四つのスライダ４のうち、所望のスライダに導かれる。キャリッジ６側からサスペンション５側に続く光導波路１４のキャリッジ６側を固定する固定ブロック２１３の可動ブロック２０と対向する面に配置したＰＤ１９からの信号を基にフィードバック制御を行うことで、組立誤差やドリフトや外乱の影響を防ぐことが可能となり、結合箇所での光の伝送損失を抑えることができる。
【００４５】
このように光学ベンチ１５０をキャリッジ６の支持部６１に実装し、１個のＬＤ１０で４個のスライダ４に光を供給することが可能となり、実施例２と同様に、ＬＤの発熱による昇温の防止や、スライダの重量増加による振動を低減することができる。また、光学ベンチ１５０をピボット７近傍に配置することにより、付加質量による慣性モーメントの影響を抑え、ＶＣＭ８での消費電力を低減できると共に、外乱の抑制にも有効となる。さらに、この例の場合は、ＬＤ１０から照射された光は、光導波路１４１と光導波路１４の間のカップリング箇所を除き全て導波路内を通るので、光強度の減衰を抑えることが可能となる外に、可動ブロック２００を多段階で動かすことが容易にできるので、スライダの数を増加するのが容易であるという利点もある。
【００４６】
図１３に図１２に示した光学ベンチ１５０のアクチュエータ部分の斜視図を示す。電磁石２６で可動ブロック２００を吸引して移動し、所望の位置で電磁石２６を切り、可動ブロック２００を開放する。可動ブロック２００に施した位置決め用凸部２３がアクチュエータベース２４に施された溝２５に係合することにより、ＬＤ１０側からの光導波路１４１を、位置決め溝１７に固定された所望の光導波路１４に正しくカップリングさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】実施例１による熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成図である。
【図２】本発明に関わる磁気ディスク装置の構成図である。
【図３】図１に示す熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構のスライダの周辺を示す図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】実施例１における光学ベンチの内部構成を示す図で、図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】実施例１における光学ベンチの斜視図である。
【図７】実施例１の変形例における光学ベンチの内部構成を示す図である。
【図８】実施例２による熱アシスト磁気記録ヘッド支持機構の全体構成図である。
【図９】実施例２における光学ベンチの内部構成を示す図である。
【図１０】実施例２の変形例１における光学ベンチの内部構成を示す図である。
【図１１】実施例２の変形例２における光学ベンチの内部構成を示す図である。
【図１２】実施例２の変形例３における光学ベンチの内部構成を示す図である。
【図１３】実施例２の変形例３におけるアクチュエータ部分の斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…磁気ディスク、２…スピンドルモータ、３…磁気ヘッド、４…スライダ、５…サスペンション、６…キャリッジ、７…ピボット、８…ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）、
１０…レーザーダイオード（ＬＤ）、１１…揺動型可動ミラー、１２…固定ミラー、１３…コリメートレンズ、１４…第１光導波路、１５…光学ベンチ（光学ブロック）、１６…コリメートレンズの位置決め溝、１７…光導波路の位置決め溝、１８…ＬＤの位置決め用凸部、１９…光センサ（ＰＤ）、２０…可動ブロック、２２…ストッパ、３０…配線、３１…再生素子、３２…記録素子、３３…導波路、３４…近接場光発生素子、３５…ミラー、６１…支持部、６２…アーム、１１１…第１揺動型可動ミラー、１１２…第２揺動型可動ミラー、１２１…固定ミラー、１５０…光学ベンチ（光学ブロック）、１４１…第２光導波路、１４２…第３光導波路、２０１…第１可動ブロック、２０２…第２可動ブロック、２１１…第１固定ブロック、２１２…第３固定ブロック、２１３…第２固定ブロック。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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