(57)【要約】【課題】磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、研磨装置の上定盤の落下を適切に防止する。また、これにより、研磨装置の安全性を適切に高める。【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、ガラス基板５０を準備する基板準備工程と、ガラス基板５０の両主表面に対する両面研磨を行う研磨装置１０を用いて、ガラス基板５０の研磨を行う研磨工程とを備え、研磨装置１０は、下面に研磨パッド２０２が貼られる上定盤１６と、上定盤１６と対向する上面に研磨パッド２０２が貼られる下定盤１８と、上定盤１６を上方から保持する本体部１２と、一端及び他端が上定盤１６に対して固定されることにより、本体部１２から上定盤１６が外れた場合に、上定盤１６を吊り下げるロープ状部材２２とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
ガラス基板を準備する基板準備工程と、
前記ガラス基板の両主表面に対する両面研磨を行う研磨装置を用いて、前記ガラス基板の研磨を行う研磨工程と
を備え、
前記研磨装置は、
下面に研磨パッドが貼られる上定盤と、
前記上定盤と対向する上面に研磨パッドが貼られる下定盤と、
前記上定盤を上方から保持する本体部と、
一端及び他端が前記上定盤に対して固定されることにより、前記本体部から前記上定盤が外れた場合に、前記上定盤を吊り下げるロープ状部材と
を備えることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記本体部は、前記上定盤を吊り下げる軸部を有し、
前記上定盤は、前記軸部に取り付けられることにより、前記本体部に保持されることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記研磨装置は、前記本体部の下部において前記上定盤を上側から保持する板状の吊り板を更に備え、
前記本体部は、前記軸部で前記吊り板を吊り下げることにより、前記吊り板を介して前記上定盤を吊り下げ、
前記ロープ状部材の一端及び他端は、前記吊り板に取り付けられることにより、前記上定盤に対して固定されることを特徴とする請求項２に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法で製造される磁気ディスク用ガラス基板上に少なくとも磁気記録層を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
【請求項５】
基板の両主表面に対する両面研磨を行う研磨装置であって、
下面に研磨パッドが貼られる上定盤と、
前記上定盤と対向する上面に研磨パッドが貼られる下定盤と、
前記上定盤を上方から保持する本体部と、
一端及び他端が前記上定盤に対して固定されることにより、前記本体部から前記上定盤が外れた場合に、前記上定盤を吊り下げるロープ状部材と
を備えることを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法、及び研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク用の基板としてガラス基板が用いられている。このガラス基板の主表面等は、研磨装置により研磨される。また、研磨装置は、例えば両面研磨機であり、上定盤と下定盤との間にガラス基板を挟んで、ガラス基板に対する両面研磨を行う（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
このような両面研磨を行う研磨装置は、例えば、本体部、上定盤、及び下定盤を備える。上定盤は、例えば、本体部の下部に設けられた軸部に取り付けられた状態で、ボルトにより固定される。また、下定盤は、例えば、機械ベースの上に載せられる。そして、下定盤は、例えば、下定盤及び機械ベースの一方及び他方に形成されるピンと溝とを係合させることにより、機械ベース上に固定される。また、上定盤の下面及び下定盤の上面には、例えば研磨パッドが貼られる。そして、これらの研磨パッドは、定期的に貼り替えられる。
【０００４】
従来、研磨パッドの貼り替えは、例えば、本体部から上定盤を取り外した状態で行っていた。この場合、例えば、最初に、本体部と共に上定盤を下ろして、下定盤と合わせる。そして、ボルトを外すことにより上定盤を本体部から外して、本体部のみを上昇させる。この状態で、上定盤及び下定盤を吊り上げて研磨装置から外し、研磨パッドの交換作業を行う。上定盤及び下定盤の取り外しは、上定盤及び下定盤のそれぞれを１枚ずつ吊り上げて行ってもよく、２枚の定盤を合わせた状態で吊り上げて行ってもよい。また、研磨パッドの交換が終わった後には、上記と逆の手順により、上定盤及び下定盤を再度本体部へ取り付け、ボルトを締めることにより、本体部の軸部に上定盤を固定する。
【特許文献１】特開２００６−００７３８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この方法で研磨パッドの貼り替えを行う場合、上定盤及び下定盤の平坦度や合致度が、研磨パッドの貼り替えの度に変化してしまうおそれがある。これに対し、この問題を解決するためには、例えば、上定盤及び下定盤を本体部に取り付けたまま、研磨パッドを交換することを考えられる。この場合、研磨パッドを貼るために、作業者は、本体部に取り付けられた上定盤の下にもぐった状態で作業を行う必要がある。また、この作業は、上定盤及び下定盤のそれぞれと研磨パッドとの間に異物、空気等が入らないよう注意しつつ行う必要がある。
【０００６】
ここで、本体部及び上定盤を上にあげた場合、本体部には、通常、落下防止用のセーフティロックがかかる。そのため、本体部は、下降しないように確実に固定される。しかし、上定盤は、ボルトによる固定で本体部の軸部に吊り下げられただけの状態になる。そのため、例えばボルトの締め付けが十分でなかった場合等には、上定盤が軸部とのつなぎ目から外れ、落下するおそれがある。そこで、本発明は、上記の課題を解決できる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法、磁気ディスクの製造方法、及び研磨装置を提供することを目的とする。
【０００７】
尚、上定盤が軸部とのつなぎ目は、一般に、不用意に外れないように十分考慮されている。しかし、例えば作業者が作業により集中できる状況をつくるためにも、より安全性を高め、上定盤の落下の防止をより確実に行うことが求められている。
【０００８】
例えば、上定盤は、研磨が終了したガラス基板を取り上げ、新たなガラス基板を下定盤上に設置する毎に持ち上げられる。そして、この作業の回数は、例えば１日あたり数十回程度行われる場合がある。その結果、本体部において、上定盤を支える部分には、負担がかかり、金属疲労が生じるおそれもある。そのため、このような金属疲労が生じた場合にも、上定盤の落下の防止を確実に行うことが求められている。
【０００９】
また、上定盤の落下防止のためには、例えば上定盤の下に枕木等を置くことも考えられる。しかし、枕木等を置いたままでは、研磨パッドを貼り付けることは困難である。そのため、研磨パッドを貼り付ける時には、枕木を一時的に外さなくてはならず、落下防止の機能を十分に果たせなくなるおそれがある。そのため、上定盤の落下の防止を、より適切な方法で行うことが求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明は以下の構成を有する。
（構成１）磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、ガラス基板を準備する基板準備工程と、ガラス基板の両主表面に対する両面研磨を行う研磨装置を用いて、ガラス基板の研磨を行う研磨工程とを備え、研磨装置は、下面に研磨パッドが貼られる上定盤と、上定盤と対向する上面に研磨パッドが貼られる下定盤と、上定盤を上方から保持する本体部と、一端及び他端が上定盤に対して固定されることにより、本体部から上定盤が外れた場合に、上定盤を吊り下げるロープ状部材とを備える。ロープ状部材の中間部は、例えば本体部に掛けられる。ロープ状部材の一部は、例えば天井等に固定されてもよい。
【００１１】
このようにすれば、例えば本体部から上定盤が外れたとしても、上定盤の落下を適切に防ぐことができる。そのため、研磨装置の安全性を適切に高めることができる。また、これにより、例えば上定盤を上にあげた状態で研磨パッドの貼り替えを行う場合等に、作業者が作業により集中できる状況を実現できる。
【００１２】
尚、本体部は、例えば、モータ等を収容する筐体部である。このモータは、例えば、上定盤を下定盤に対して相対的に回転させる。また、このモータは、上定盤及び下定盤の少なくとも一方に対して、ガラス基板を相対的に移動させてもよい。この場合、モータは、例えば、上定盤と下定盤との間において、ガラス基板を保持するキャリアを移動させる。
【００１３】
ロープ状部材としては、例えば、ナイロンソフトストリング、又はワイヤーロープ等を用いることができる。ロープ状部材の一端及び他端は、例えば、アイボルト及びシャックルの組み合わせにより、上定盤に対して固定される。
【００１４】
（構成２）本体部は、上定盤を吊り下げる軸部を有し、上定盤は、軸部に取り付けられることにより、本体部に保持される。このようにすれば、上定盤を適切に保持できる。本体部の軸部は、例えば、上定盤に回転の動力を与える。
【００１５】
（構成３）研磨装置は、本体部の下部において上定盤を上側から保持する板状の吊り板を更に備え、本体部は、軸部で吊り板を吊り下げることにより、吊り板を介して上定盤を吊り下げ、ロープ状部材の一端及び他端は、吊り板に取り付けられることにより、上定盤に対して固定される。
【００１６】
このようにすれば、例えば、本体部の軸部により、上定盤を適切に吊り下げることができる。また、ロープ状部材により、上定盤の落下を適切に防ぐことができる。尚、吊り板は、軸部に対し、例えばボルトで固定される。
【００１７】
（構成４）磁気ディスクの製造方法であって、構成１から３のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法で製造される磁気ディスク用ガラス基板上に少なくとも磁気記録層を形成する。このようにすれば、例えば、構成１から３と同様の効果を得ることができる。
【００１８】
（構成５）基板の両主表面に対する両面研磨を行う研磨装置であって、下面に研磨パッドが貼られる上定盤と、上定盤と対向する上面に研磨パッドが貼られる下定盤と、上定盤を上方から保持する本体部と、一端及び他端が上定盤に対して固定されることにより、本体部から上定盤が外れた場合に、上定盤を吊り下げるロープ状部材とを備える。このように構成すれば、例えば、構成１と同様の効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、例えば、磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において、研磨装置の上定盤の落下を適切に防止できる。また、これにより、研磨装置の安全性を適切に高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態を、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る磁気ディスク用ガラス基板の製造方法で用いられる研磨装置１０の構成の一例を示す。図１（ａ）は、研磨装置１０の全体図である。図１（ｂ）は、上定盤１６と下定盤１８との間を開けた状態を示す断面図である。
【００２１】
本例において、磁気ディスク用ガラス基板は、少なくとも基板準備工程及び研磨工程を経て製造される。基板準備工程は、ガラス基板５０を準備する工程であり、例えば所定形状に研削加工されたガラス基板５０を準備する。研磨工程は、研磨装置１０を用いてガラス基板５０の主表面を鏡面研磨する工程である。研磨装置１０は、例えばガラス基板５０の両主表面に対する両面研磨を行う研磨装置であり、本体部１２、吊り板１４、上定盤１６、複数の保持部材２４、下定盤１８、台部２０、及びロープ状部材２２を備える。尚、研磨工程は、例えば他の構成の研磨装置を更に用いて、ガラス基板５０の内周端面及外周端面を更に鏡面研磨することが好ましい。
【００２２】
本体部１２は、例えば、モータ等を収容する筐体部であり、複数の金具１０４及び軸部１０２を有する。複数の金具１０４は、本体部１２の上部に設けられ、本体部１２に掛けられたロープ状部材２２を保持する。軸部１０２は、吊り板１４及び上定盤１６を吊り下げる棒状体であり、本体部１２の下部に設けられる。本例において、軸部１０２は、吊り板１４の中央部を保持することにより、吊り板１４及び上定盤１６を吊り下げる。また、軸部１０２は、例えば、本体部１２に収容されたモータの動力を上定盤１６に伝える。これにより、軸部１０２は、上定盤１６に回転の動力を与え、上定盤１６を下定盤１８に対して回転させる。
【００２３】
吊り板１４は、本体部１２の下部において上定盤１６を上側から保持する板状部材であり、軸部１０２に対し、例えばボルトで固定される。また、本例において、吊り板１４には、２個のアイボルト１０６が取り付けられている。２個のアイボルト１０６は、例えば、本体部１２を挟んで反対側にそれぞれ取り付けられる。
【００２４】
上定盤１６は、下面に研磨パッド２０２が貼られた定盤であり、ガラス基板５０に上側から接することにより、ガラス基板５０の上面を研磨する。また、上定盤１６は、複数の保持部材２４により、吊り板１４に取り付けられている。これにより、上定盤１６は、吊り板１４を介して本体部１２に保持される。複数の保持部材２４は、吊り板１４と上定盤１６とを繋ぐ金属部材である。
【００２５】
下定盤１８は、上面に研磨パッド２０２が貼られた定盤であり、研磨パッド２０２を上定盤１６と対向させて、台部２０上に保持される。また、下定盤１８は、ガラス基板５０を上面に載せて保持することにより、ガラス基板５０の下面を研磨する。台部２０は、他の構成を上部に保持する研磨装置１０の台（機械ベース）である。
【００２６】
ロープ状部材２２は、例えば、ナイロンソフトストリング、又はワイヤーロープ等である。また、ロープ状部材２２の一端及び他端には、シャックル１０８が取り付けられている。そして、これらのシャックル１０８は、吊り板１４のアイボルト１０６と接続される。これにより、ロープ状部材２２の一端及び他端は、吊り板１４介して、上定盤１６に対して固定される。また、ロープ状部材２２の中間部は、金具１０４により保持された状態で、本体部１２の上部に掛けられる。
【００２７】
これにより、ロープ状部材２２は、例えば本体部１２から上定盤１６が外れた場合に、上定盤１６を吊り下げる。そのため、本例によれば、上定盤１６の落下を適切に防ぐことができる。また、これにより、研磨装置１０の安全性を適切に高めることができる。
【００２８】
尚、本例において、ロープ状部材２２は、一端及び他端の２点において吊り板１４及び上定盤１６を支える。そのため、本体部１２から上定盤１６が外れた場合にも、吊り板１４及び上定盤１６を安定して吊り下げることができる。ロープ状部材２２は、３点以上の箇所において、吊り板１４及び上定盤１６を支えてもよい。
【００２９】
また、本例において、ロープ状部材２２の一端及び他端は、アイボルト１０６及びシャックル１０８により、取り外し可能に固定されている。この場合、研磨装置１０は、ロープ状部材２２の状態について作業者に警告を行う警告部を更に備えることが好ましい。この警告部は、例えば、ロープ状部材２２の一端及び他端を固定しない状態で上定盤１６を上昇させようとした場合に、警告を行う。また、例えば、研磨時にロープ状部材２２を吊り板１４から外すことが好ましい構成の研磨装置１０において、ロープ状部材２２の一端及び他端を固定したまま研磨を開始させようとした場合に、警告を行う。
【００３０】
以下、上定盤１６及び下定盤１８について更に詳しく説明する。研磨時において、上定盤１６は、下定盤１８に向かって下ろされ、下定盤１８との間にガラス基板５０を挟む。そして、上定盤１６及び下定盤１８は、それぞれの研磨パッド２０２により、ガラス基板５０の両主表面を同時に研磨する。また、ガラス基板５０の交換時や、研磨パッド２０２の張り替えを行う場合、上定盤１６は、持ち上げられ、下定盤１８から離される。
【００３１】
研磨パッド２０２は、例えば傷が生じた場合や、一定の期間が経過して寿命に達した場合等に、貼り替えられる。貼り替えの頻度は、例えば研磨装置１０を２４時間稼働させた場合で、週２回程度である。
【００３２】
貼り替えの作業においては、例えば、研磨装置１０の外観の清掃、研磨パッド２０２の剥離、上定盤１６及び下定盤１８の定盤面の清掃、研磨パッド２０２の貼り付け、上定盤１６及び下定盤１８の研磨パッド２０２同士を合わせて均等に押さえる作業等を行う必要があり、例えば１時間程度の時間を要する。また、この貼り替え作業は、例えば、上定盤１６を最大限の高さまで持ち上げた状態で、作業者の手作業によって行う。
【００３３】
このような状況において、仮に、上定盤１６が落下する可能性があるとすれば、作業者は、集中して作業を行うことが困難になる。しかし、本例においては、ロープ状部材２２を用いることにより、上定盤１６の落下を適切に防ぐことができる。そのため、本例によれば、例えば研磨パッド２０２の貼り替えを行う場合等に、作業者が作業により集中できる状況を実現できる。
【００３４】
続いて、本発明の変形例について説明する。吊り板１４及び上定盤１６に対するロープ状部材２２の固定は、アイボルト１０６及びシャックル１０８に代えて、例えば上定盤１６又は吊り板１４の外縁部等を挟む機構（以下、取り付け用部材という）を用いて行うことも考えられる。この取り付け用部材は、例えばロープ状部材２２の一端及び他端に取り付けられており、上定盤１６又は吊り板１４の外縁部等を挟むことにより、ロープ状部材２２の一端及び他端を、上定盤１６に対して固定する。
【００３５】
この場合、上定盤１６の持ち上げは、例えば２段階のシリンダ等を用いて２段階に分けて行うか、例えばサーボモータを使用して行うことが好ましい。２段階に分けて行う場合、例えば、１段階目に少量だけ（例えば１ｃｍ程度）上定盤１６を浮き上がらせ、この時点で、取り付け用部材により、上定盤１６又は吊り板１４の外縁部等を挟む。これにより、ロープ状部材２２の一端及び他端を、上定盤１６に対して固定する。この取り付けは、例えば１段階目の高さまで上定盤１６が上昇したことをセンサ等により検知して、自動的に行ってもよい。また、ロープ状部材２２の固定後に、２段階目の上昇により、上定盤１６を最上部まで持ち上げる。このようにすれば、ロープ状部材２２を適切に取り付けることができる。
【００３６】
サーボモータを使用する場合には、例えば、上定盤１６を少量だけ上昇させた位置を読み取り、この地点において、例えば自動的に、取り付け用部材により、上定盤１６又は吊り板１４の外縁部等を挟む。このようにした場合も、ロープ状部材２２を適切に取り付けることができる。
【００３７】
以上、本発明を実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、例えば磁気ディスク用ガラス基板の製造方法に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気ディスク用ガラス基板の製造方法で用いられる研磨装置１０の構成の一例を示す図である。図１（ａ）は、研磨装置１０の全体図である。図１（ｂ）は、上定盤１６と下定盤１８との間を開けた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０・・・研磨装置、１２・・・本体部、１４・・・吊り板、１６・・・上定盤、１８・・・下定盤、２０・・・台部、２２・・・ロープ状部材、２４・・・保持部材、５０・・・ガラス基板、１０２・・・軸部、１０４・・・金具、１０６・・・アイボルト、１０８・・・シャックル、２０２・・・研磨パッド
【図１】
2008246625.tif 000003