(57)【要約】      （修正有）【課題】部品点数が少なく、簡易な構成で安価に製造することができる放熱器及びその製造方法を提供する。【解決手段】放熱器１Ａは、支持基板１０と支持基板１０に立設される放熱フィン２０と、を主に有して構成される。また、支持基板１０は、上面部１１側に、放熱フィン２０を固定するための、所定幅及び深さを有する固定溝１３Ａを複数本有している。また、放熱フィン２０は、第１の放熱部２１と、第１の放熱部２１から連続するフィン固定部２３と、フィン固定部２３から連続する第２の放熱部２２と、を有して構成される。また、本発明の放熱器の製造方法は、基板製造段階Ｓ１と、フィン成形段階Ｓ２と、固定段階Ｓ３と、を有して構成される。【選択図】  図２
2008130669.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板と、放熱フィンとを備えた半導体素子の放熱器であって、
前記支持基板は、
前記支持基板に対して垂直方向に立ち下がる一対の側壁部と、前記一対の側壁部から連続して形成され、前記支持基板に対して平行方向に延びる底部と、を有して所定間隔で凹設される複数の固定溝を有し、
前記放熱フィンは、
前記固定溝の一方の側壁部に当接して配置され、前記固定溝から離間する方向に立ち上がる第１の放熱部と、
前記固定溝の他方の側壁部に当接して配置され、前記固定溝から離間する方向に立ち上がる第２の放熱部と、
前記第１の放熱部及び前記第２の放熱部と連続して形成され、前記固定溝に嵌合されて前記底部に当接して固定されるフィン固定部と、を有し、
前記フィン固定部は、
前記第１の放熱部の側壁を前記固定溝の一方の側壁部に向けて押圧して、固定する第１押圧部と、前記第２の放熱部の側壁を前記固定溝の他方の側壁部に向けて押圧して、固定する第２押圧部と、
を備えることを特徴とする放熱器。
【請求項２】
請求項１に記載の放熱器を製造するための放熱器の製造方法であって、
前記支持基板に所定間隔で前記固定溝を複数凹設する基板製造段階と、
金属薄板に、前記固定溝に配置された場合に、当該固定溝の底部から離間する方向に曲折する曲折部と、当該曲折部と連続する一対の基端部とを設け、さらに、当該基端部を支点として、前記金属薄板の両端部を前記曲折部に近接する方向に曲折させてフィン固定部と前記第１放熱部と前記第２放熱部とを形成することにより前記放熱フィンを成形するフィン成形段階と、
前記放熱フィンのフィン固定部を前記固定溝に嵌合し、前記フィン固定部を前記固定溝の底部に近接する方向に押圧して前記第１押圧部と前記第２押圧部とを形成し、これらによって、前記放熱フィンを前記支持基板に固定する固定段階と、
を備えることを特徴とする放熱器の製造方法。
【請求項３】
熱を放熱するための第１の放熱部と、
前記第１の放熱部の一端部を曲折させて形成した他の放熱フィンを固定するための第１フィン固定部と、
前記第１の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部に対して直角方向に曲折させて形成した熱を放熱するための第２の放熱部と、
前記第２の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部と対面して設けられる熱を放熱するための第３の放熱部と、
前記第３の放熱部から連続して形成され、その一端部を曲折させて形成し、他の放熱フィンの第１フィン固定部によって固定される第２フィン固定部と、
を備えることを特徴とする放熱フィン。
【請求項４】
熱を放熱するための第１の放熱部と、前記第１の放熱部の一端部を曲折させて形成した他の放熱フィンを固定するための第１フィン固定部と、前記第１の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部に対して直角方向に曲折させて形成した熱を放熱するための第２の放熱部と、前記第２の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部と対面して設けられる熱を放熱するための第３の放熱部と、前記第３の放熱部から連続して形成され、その一端部を曲折させて形成し、他の放熱フィンの第１フィン固定部によって固定される第２フィン固定部と、を備える放熱フィンを複数備え、
一の前記固定溝に一の前記放熱フィンの第１フィン固定部が配置され、前記第１フィン固定部に他の前記放熱フィンの前記第２フィン固定部が配置された状態で、前記一の放熱フィンの第１フィン固定部を押圧することにより、前記他の放熱フィンの第２フィン固定部を前記固定溝に係止して当該他の放熱フィンを前記固定溝に固定したことを特徴とする放熱器。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体素子の放熱器を製造するための放熱器の製造方法であって、
前記支持基板に所定間隔で前記固定溝が複数凹設される基板製造段階と、
金属薄板の両端を、それぞれ前記金属薄板の一側面側に曲折させて第１フィン固定部、第２フィン固定部を形成し、この金属薄板を、前記固定溝間の寸法と略同じ寸法をもって当該固定溝の稜線と並行に設定された二つの曲折部で当該金属薄板の他側面側に曲折させて第１の放熱部、第２の放熱部、第３の放熱部を形成することにより前記放熱フィンを成形するフィン成形段階と、
前記放熱フィンを前記固定溝に嵌合し、前記固定溝に嵌合された状態で前記固定溝の前記底部に近接する方向に押圧することによって、前記放熱フィンを前記固定溝に固定する固定段階と、
を備えることを特徴とする放熱器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、トランジスタやＬＳＩ、マイクロプロセッサなどの、使用により発熱する半導体素子の冷却に用いる放熱器であって、特に、放熱フィンを備えた半導体素子の放熱器及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子を冷却する放熱器には種々の形態があるが、従来、半導体素子を取り付ける基板の裏面に放熱フィンを列設し、放熱フィンによって放熱面積を拡大して放熱効果を高めた放熱器が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、中間部がＵ字状に折曲げられ、両端部が所定間隔で対向して形成された放熱フィンと、この放熱フィンのＵ字状折曲部が嵌合される溝を所定間隔で平行に多数形成した放熱フィン支持基板と、この放熱フィン支持基板の溝に嵌合した放熱フィンのＵ字状折曲部内に嵌合し、放熱フィンのＵ字状折曲部を前記溝の内壁に圧接して嵌合固定する楔材とより構成されたことを特徴とする電子部品の放熱器が記載されている。特許文献１に記載の電子部品の放熱器によれば、放熱フィンを支持基板の溝に嵌合し、放熱フィンのＵ字状の開口部分に楔材を挿入し、楔材をプレス工具で押圧して溝内に拡げ、楔材と溝の内壁で放熱フィンを支持基板に固定することにより、一個の溝に対向した２枚の放熱フィンが一度に嵌合され、固定されるので、放熱フィンを放熱フィン支持基板へ効率よく固定することができる。
【０００４】
また、例えば、特許文献２には、放熱フィンを複数枚のフィンを一体化したコルゲート型フィンとした冷却フィンが記載されている。
この冷却フィンによれば、放熱フィンをコルゲート型フィンとしたことにより、柱状または凸状に形成するよりも放熱面積を増加させることができる。また、放熱フィン本体の厚さを薄くしたので、半導体装置の小型化及び薄型化が可能となる。
【特許文献１】特開２００１−３０８２３１号公報
【特許文献２】特許第３６０２８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記したような放熱器や冷却フィンには、さらに改良の余地が残されていた。
ここで、放熱フィンや放熱器は、出来る限り製造費用を抑えることが求められている。このため、製造工程数の削減、部品点数の削減、設備費用の節約などが重要な課題となっている。
【０００６】
この点を踏まえて検討すると、特許文献１に示す放熱器は、支持基板へ放熱フィンを固定するのに楔材を使用するため、構成が複雑となることに加え、部品点数が増加し、製造コストが余分にかかっていた。
【０００７】
また、特許文献２に示す冷却フィンは、放熱フィンとしてコルゲート型フィンを使用するため、コルゲート型フィン専用の製造設備が必要となる。コルゲート型フィンは、成形工程が複雑であるため、コルゲート型フィンの製造設備は、複雑で大型となり、導入費用が高額となっていた。
【０００８】
そこで、本発明は、部品点数が少なく、簡易な構成で安価に製造することができる放熱器及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決した本発明の放熱器は、支持基板と、放熱フィンとを備えた半導体素子用の放熱器であって、前記支持基板は、前記支持基板に対して垂直方向に立ち下がる一対の側壁部と、前記一対の側壁部から連続して形成され、前記支持基板に対して平行方向に延びる底部と、を有して所定間隔で凹設される複数の固定溝を有し、前記放熱フィンは、前記固定溝の一方の側壁部に当接して配置され、前記固定溝から離間する方向に立ち上がる第１の放熱部と、前記固定溝の他方の側壁部に当接して配置され、前記固定溝から離間する方向に立ち上がる第２の放熱部と、前記第１の放熱部及び前記第２の放熱部と連続して形成され、前記固定溝に嵌合されて前記底部に当接して固定されるフィン固定部と、を有し、前記フィン固定部は、前記第１の放熱部の側壁を前記固定溝の一方の側壁部に向けて押圧して、固定する第１押圧部と、前記第２の放熱部の側壁を前記固定溝の他方の側壁部に向けて押圧して、固定する第２押圧部と、を備える。
【００１０】
このような構成としたことにより、第１の押圧部により、第１の放熱部を一方の側壁部に向かって押圧して固定し、また、第２の押圧部により、第２の放熱部を他方の側壁部に向かって押圧して固定するため、放熱フィンを固定溝に固定することができる。
すなわち、第１の押圧部と第２の押圧部とによる押圧力により、放熱フィンを固定することができる。従って、従来のように、放熱フィンを固定するための楔材などの部品を必要としない。このため、部品点数が削減され、安価となる。
【００１１】
また、本発明の放熱器の製造方法は、請求項１に記載の放熱器の製造方法であって、基板製造段階と、フィン成形段階と、固定段階と、を含んでなる。
【００１２】
本発明の放熱器の製造方法によれば、基板製造段階により、前記支持基板に所定間隔で前記固定溝を複数凹設し、フィン成形段階により、金属薄板に前記曲折部を突設し、前記金属薄板の両端部を、前記曲折部が形成された側に曲折させて立設して前記第１の放熱部及び前記第２の放熱部を形成することにより、前記放熱フィンを成形し、固定段階により、前記放熱フィンを前記固定溝に嵌合し、前記固定溝に嵌合された状態で前記固定溝の前記底部に近接する方向に押圧することによって、前記放熱フィンを前記固定溝に固定する。
従って、放熱フィンを固定溝に固定する際に、楔材などの部品を必要とせず、製造工程数を削減することができる。また、放熱器を安価に製造することができる。
【００１３】
また、本発明の放熱フィンは、熱を放熱するための第１の放熱部と、前記第１の放熱部の一端部を曲折させて形成した他の放熱フィンを固定するための第１フィン固定部と、前記第１の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部に対して直角方向に曲折させて形成した熱を放熱するための第２の放熱部と、前記第２の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部と対面して設けられる熱を放熱するための第３の放熱部と、前記第３の放熱部から連続して形成され、その一端部を曲折させて形成し、他の放熱フィンの第１フィン固定部によって固定される第２フィン固定部と、を備える。
【００１４】
本発明の放熱フィンによれば、支持基板の固定溝内に放熱フィンを固定するときに、一の固定溝内に一の放熱フィンの第２フィン固定部を嵌合し、さらに、他の放熱フィンの第１フィン固定部を重ねて嵌合し、他の放熱フィンの第１フィン固定部を固定溝の底部側へ押圧することで、他の放熱フィンの第1フィン固定部が一の放熱フィンの第２フィン固定部を係止し、一の放熱フィンと他の放熱フィンとを一の固定溝内に固定することができる。
【００１５】
また、本発明は、熱を放熱するための第１の放熱部と、前記第１の放熱部の一端部を曲折させて形成した他の放熱フィンを固定するための第１フィン固定部と、前記第１の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部に対して直角方向に曲折させて形成した熱を放熱するための第２の放熱部と、前記第２の放熱部から連続して形成され、前記第１の放熱部と対面して設けられる熱を放熱するための第３の放熱部と、前記第３の放熱部から連続して形成され、その一端部を曲折させて形成し、他の放熱フィンの第１フィン固定部によって固定される第２フィン固定部と、を備える放熱フィンを複数備え、一の前記固定溝に一の前記放熱フィンの第１フィン固定部が配置され、前記第１フィン固定部に他の前記放熱フィンの前記第２フィン固定部が配置された状態で、前記一の放熱フィンの第１フィン固定部を押圧することにより、前記他の放熱フィンの第２フィン固定部を前記固定溝に係止して当該他の放熱フィンを前記固定溝に固定する。
【００１６】
本発明の放熱器によれば、一の固定溝内に一の放熱フィンの第２フィン固定部を嵌合し、さらに、他の放熱フィンの第１フィン固定部を重ねて嵌合し、他の放熱フィンの第１フィン固定部を固定溝の底部側へ押圧することで、他の放熱フィンの第1フィン固定部が一の放熱フィンの第２フィン固定部を係止し、一の放熱フィンと他の放熱フィンとを一の固定溝内に固定することができる。
【００１７】
また、本発明の放熱器の製造方法は、請求項４に記載の放熱器の製造方法であって、基板製造段階と、フィン成形段階と、固定段階と、を含んでなる。
【００１８】
本発明の放熱器の製造方法によれば、基板製造段階により、前記支持基板に所定間隔で前記固定溝を複数凹設し、フィン成形段階により、金属薄板の両端を一側面側に曲折させて第１フィン固定部、第２フィン固定部を形成し、この金属薄板を、前記固定溝間の寸法と略同じ寸法をもって当該固定溝の稜線と並行に設定された二つの曲折部で当該金属薄板の他側面側に曲折させて第１の放熱部、第２の放熱部、第３の放熱部を形成することにより放熱フィンを成形し、固定段階により、前記放熱フィンを前記固定溝に嵌合し、前記固定溝に嵌合された状態で前記固定溝の前記底部に近接する方向に押圧することによって、前記放熱フィンを前記固定溝に固定する。
従って、放熱フィンを固定溝に固定する際に、楔材などを使用することなく、固定溝に放熱フィンを嵌合し、固定することができるため、放熱器の部品点数を削減することができ、製造工程数を低減することができる。これにより、放熱器を安価に製造することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の放熱器によれば、放熱フィンを固定溝に固定する際に、楔材などの部品を必要とせず、部品点数が削減される。また、本発明の放熱フィンは、フィン固定部と放熱部とを押出加工などにより一体成形することができ、成形が容易である。さらに、特別な製造設備などを必要としないため、放熱器を安価に製造することができる。
さらに加えて、本発明の放熱器によれば、放熱フィンの支持基板への固定強度が高く安定性を高くすることができる。
本発明の放熱器の製造方法によれば、製造工程数を削減することができ、放熱器を安価に製造することができる。また、放熱フィンの支持基板への固定強度が高く安定性の高い放熱器を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態を適宜図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る放熱器の全体を示す分解斜視図であり、図２は、本発明の第１実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンを、図１におけるＡ方向から見た部分拡大図である。図３（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る放熱器の製造方法を説明するためのフローチャート、（ｂ）は、フィン成形段階における放熱フィンの成形の様子を示す概念図であり、図４は、本発明の第１実施形態に係る放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
なお、以下の説明において、上下方向は、図面中の方向と同じであるものとする。
【００２１】
図１に示すように、放熱器１Ａは、支持基板１０と支持基板１０に立設される放熱フィン２０と、を主に有して構成される。
ここで、支持基板１０及び放熱フィン２０には、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性に優れた素材により形成される。
【００２２】
支持基板１０は、上面部１１に、放熱フィン２０を固定するための、所定幅及び深さを有する固定溝１３Ａを複数本有している。
また、支持基板１０は、下面部１２に、半導体素子などの発熱源（図示せず）が当接される。
【００２３】
固定溝１３Ａは、支持基板１０の上面部１１から下面部１２側へ向かって複数本凹設され、上面部１１に対して略垂直に立ち下がる側壁部１３ａ、１３ｂと、側壁部１３ａ、１３ｂから連続して、上面部１１に対して水平に形成される底部１３ｃと、を有して構成される。
ここで、側壁部１３ａ、１３ｂは、特許請求の範囲における「一方の側壁部」、他方の側壁部」に相当する。
固定溝１３Ａは、支持基板１０を製造する際の押出加工や固定溝１３Ａを設けるための切削加工などにより、形成することができる。
【００２４】
図２に示すように、放熱フィン２０は、金属薄板であって、第１の放熱部２１と、第１の放熱部２１から連続するフィン固定部２３と、フィン固定部２３から連続する第２の放熱部２２と、を有して構成され、フィン固定部２３には、曲折部２４が形成されている。
【００２５】
第１の放熱部２１は、固定溝１３Ａの側壁部１３ａに当接し、支持基板１０に対して垂直方向に立設されている。
【００２６】
第２の放熱部２２は、フィン固定部２３を介して第１の放熱部２１と対向し、側壁部１３ｂに当接して、支持基板１０に対して垂直方向に立設されている。
【００２７】
フィン固定部２３は、固定溝１３Ａに嵌合、固定されて、放熱フィン２０を固定溝１３Ａに固定するためのものであって、第１の放熱部２１及び第２の放熱部２２に連続して形成され、固定溝１３Ａから離間する方向に曲折する曲折部２４が、例えば、Ｕ字状に形成されている。フィン固定部２３の幅、つまり、第１の放熱部２１の外壁部と第２の放熱部２２の外壁部間の寸法は、固定溝１３Ａの幅、つまり、側壁部１３ａと側壁部１３ｂ間の寸法と略同幅を有するように形成される。
【００２８】
なお、曲折部２４は、フィン固定部２３が固定溝１３Ａに嵌合されて固定溝１３Ａに近接する方向に押圧されることによって、第１の放熱部２１を、固定溝１３Ａの側壁部１３ａに押圧して、固定する第１押圧部２４ａと、第２の放熱部２２を固定溝１３Ａの側壁部１３ｂに押圧して、固定する第２押圧部２４ｂとなる（図４（ｃ）参照）。詳しくは、後記する。
【００２９】
このように構成された放熱フィン２０は、第１の放熱部２１と、第２の放熱部２２と、フィン固定部２３とが、例えば、プレス加工やロールフォーミングなどにより形成される。
なお、第１の放熱部２１及び第２の放熱部２２の支持基板１０からの高さは、放熱効果を得るために十分な高さであれば、特に限定はされない。
放熱フィン２０の幅Ｌ１は、支持基板１０の幅以下でもそれ以上でも良く、特に限定されない。
また、放熱フィン２０の厚みは、強度などを考慮して、適宜設定することができる。
【００３０】
このように構成した放熱器１Ａの製造方法について以下に説明する。
図３（ａ）に示すように、放熱器１Ａの製造方法は、基板製造段階Ｓ１と、フィン成形段階Ｓ２と、固定段階Ｓ３と、を有して構成される。
［基板製造段階］
基板製造段階Ｓ１は、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性の高い素材からなる金属を、例えば、押出加工して、金属板の一方の板面部（例えば、上面部１１）に、固定溝１３Ａを複数本凹設して支持基板１０を製造する。
また、例えば、固定溝１３Ａは、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性の高い素材からなる金属を、切削加工により形成してもよい。
［フィン成形段階］
図３（ｂ）に示すように、フィン成形段階Ｓ２は、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性の高い素材からなる金属薄板Ｓを、例えば、金型（図示せず）などでプレス加工やロールフォーミングして、第１の放熱部２１と、第２の放熱部２２と、フィン固定部２３とを一体成形する。
［固定段階］
図４（ａ）に示すように、固定段階Ｓ３は、支持基板１０の固定溝１３Ａに、放熱フィン２０を嵌合する。このとき、第１の放熱部２１の外壁部が、固定溝１３Ａの側壁部１３ａに当接し、第２の放熱部２２の外壁部が、固定溝１３Ａの側壁部１３ｂに当接し、フィン固定部２３の曲折部２４が、固定溝１３Ａの中央付近に位置している。
【００３１】
この状態で、図４（ｂ）に示すように、第１の放熱部２１と第２の放熱部２２の間から、例えば、先端部に平坦面を有するプレス工具３０を挿入する。そして、当該プレス工具３０の先端部で、フィン固定部２３の曲折部２４を、固定溝１３Ａの底部１３ｃに近接する方向に押圧して、曲折部２４が押しつぶされることによって、第１押圧部２４ａと、第２押圧部２４ｂと、が形成される。
【００３２】
このようにして形成された第１押圧部２４ａにより、第１の放熱部２１を固定溝１３Ａの側壁部１３ａに向けて押圧して、第１の放熱部２１を固定溝１３Ａに固定し、また、第１押圧部２４ａと同様にして形成された第２押圧部２４ｂにより、第２の放熱部２２を固定溝１３Ａの側壁部１３ｂに向けて押圧して、第２の放熱部２２を固定溝１３Ａに固定する。
このようにして、放熱フィン２０が、固定溝１３Ａを介して支持基板１０に強固に固定される。
【００３３】
第１実施形態に係る放熱器１Ａによれば、楔材などを使用することなく、放熱フィン２０を固定溝１３Ａを介して支持基板１０に固定することができるため、部品点数及び製造工程数が削減され、放熱器１Ａを安価に製造することができる。
【００３４】
また、第１実施形態に係る放熱器１Ａによれば、第１の放熱部２１が固定溝１３Ａの側壁部１３ａに押圧されて固定され、第２の放熱部２２が側壁部１３ｂに押圧されて固定される。これにより、放熱フィン２０と固定溝１３Ａの接触面積を多くすることができ、また、密接度を高くすることができるため、放熱フィン２０と固定溝１３Ａとの間の熱の伝導性を向上させることができる。また、第１押圧部２４ａと第２押圧部２４ｂとにより、放熱フィン２０が固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、側壁部１３ｂ方向に押圧された状態で固定されるため、隣接する放熱フィン２０同士の間隔が一定に保たれ、安定性が高くなる。
【００３５】
また、放熱器１Ａに使用される放熱フィン２０は、第１の放熱部２１と、第２の放熱部２２と、フィン固定部２３と、を押出加工などにより一体成形することができるため、成形が容易である。また、特別な製造設備などを必要としないため、安価に製造することができる。
【００３６】
第１実施形態では、固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、１３ｂを、直線部で構成した凹溝としたが、これに限られず、固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、１３ｂを凹凸状としてもよい。これにより、放熱フィン２０を固定溝１３Ａへの固定強度を高めることができる。また、固定溝１３Ａは、底部１３ｃを開口部分に対して幅広に形成してもよい。これにより、放熱フィン２０を固定溝１３Ａにより強く固定することができる。
また、放熱フィン２０と固定溝１３Ａの接触面積を多くすることができ、かつ、密接度を高くすることができるため、放熱フィン２０と固定溝１３Ａとの間の熱の伝導性を向上させることができる。
【００３７】
また、第１実施形態では、基板製造段階Ｓ１、フィン成形段階Ｓ２、固定段階Ｓ３の順で放熱器１Ａを製造したが、これに限られず、フィン成形段階、基板製造段階、固定段階の順で放熱器１Ａを製造してもよい。
＜第２実施形態＞
【００３８】
次に、本発明の第２実施形態に係る放熱器１Ｂについて図５を参照して説明する。
図５は、第２実施形態に係る放熱器の構成を説明し及び放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
なお、放熱器１Ｂは、放熱器１Ａの固定溝１３Ａを変更したものであるので、その他の、放熱器１Ａと重複する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００３９】
図５に示すように、放熱器１Ｂは、固定溝１３Ｂを有する支持基板１０と、放熱フィン２０と、を有して構成される。
【００４０】
固定溝１３Ｂは、上面部１１（図１参照）から連続して凹設される第１の溝部１３ｄと、第１の溝部１３ｄから連続して下面部１２側へ向かって形成される、第１の溝部１３ｄより形成寸法を大きくした第２の溝部１３ｅと、を有して構成される。
【００４１】
このように構成された放熱器１Ｂは、図５に示すように、第１の放熱部２１及び第２の放熱部２２を第１の溝部１３ｄに当接させ、フィン固定部２３の曲折部２４を、固定溝１３Ｂの底部１３ｃと離間する方向に突出させて配置される。
【００４２】
そして、フィン固定部２３の曲折部２４の先端部をプレス工具３０（図４参照）により押圧することにより、第１の放熱部２１、第２の放熱部２２及びフィン固定部２３が、第２の溝部１３ｅに沿って嵌合し、固定される。
【００４３】
このように、第２の溝部１３ｅを設けたことにより、支持基板１０の内部で第２の溝部１３ｅに沿って拡径するので、放熱フィン２０を固定溝１３Ａにより強く固定することができる。
また、放熱フィン２０と固定溝１３Ａの接触面積をさらに増大させることができる。このため、放熱フィン２０と固定溝１３Ａとの間の熱伝導性を向上させることができる。
＜第３実施形態＞
【００４４】
次に、本発明の第３実施形態に係る放熱器２Ａについて説明する。
本発明の第３実施形態に係る放熱器は、第１実施形態及び第２実施形態に係る放熱器の放熱フィンを変更したものであるので、同一の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００４５】
以下、本発明の第３実施形態を適宜図面を参照して説明する。
図６は、本発明の第３実施形態に係る放熱器の全体を示す分解斜視図であり、図７は、本発明の第３実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンを、図６におけるＡ方向から見た拡大図である。図８（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る放熱器の製造方法を説明するためのフローチャート、（ｂ）は、フィン成形段階における放熱フィンの成形の様子を示す概念図であり、図９は、本発明の第３実施形態に係る放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【００４６】
図６に示すように、放熱器２Ａは、支持基板１０と支持基板１０に立設される放熱フィン４０Ａと、を主に有して構成される。
ここで、支持基板１０及び放熱フィン４０Ａは、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性に優れた素材により形成される。
放熱フィン４０Ａの幅Ｌ２は、支持基板１０の幅以下でもそれ以上でも良く、特に限定されない。
【００４７】
図７に示すように、放熱フィン２０は、第１の放熱部４１と、第１の放熱部４１から連続する第２の放熱部４２と、第２の放熱部４２から連続する第３の放熱部４３と、を主に有して構成されるコ字状の金属薄板である。
【００４８】
第１の放熱部４１は、放熱フィン４０Ａの側壁部分を構成するものであって、その外壁側で固定溝１３Ａの側壁部１３ａに当接し、支持基板１０に対して垂直方向に立設されている。
【００４９】
第１の放熱部４１は、固定溝１３Ａに嵌合される側の一端部を固定溝１３Ａに対して離間する方向に曲折させて形成した、第１フィン固定部４１ａを有している。
第１フィン固定部４１ａは、後記するように他の放熱フィン４０Ａ´の第２フィン固定部４３ａと係合して、固定溝１３Ａに放熱フィン４０Ａを嵌合、固定するものであって、プレス工具３０（図９（ｂ）参照）で押圧したときに、固定溝１３Ａの幅、つまり、側壁部１３ａと側壁部１３ｂ間の距離と略同じ長さを有するように形成されている。
【００５０】
第２の放熱部４２は、放熱フィン４０Ａの上端部分を構成するものであって、固定溝１３Ａの幅と略同じ長さを有し、第１の放熱部４１から連続して、第１の放熱部４１に対し略直角に曲折して形成されている。
第２の放熱部４２は、両側を固定溝１３Ａ、１３Ａに挟まれた上面部１１と、略同じ幅を有している。
【００５１】
第３の放熱部４３は、放熱フィン４０Ａの側壁部分を構成するものであって、第２の放熱部４２から連続して形成され、その内壁側で固定溝１３Ａの側壁部１３ｂに当接し、支持基板１０に対して垂直方向に立設されている。
【００５２】
第３の放熱部４３は、固定溝１３Ａに嵌合される側の一端部を固定溝１３Ａの側壁部１３ａ及び底部１３ｃに沿って曲折させて形成した第２フィン固定部４３ａを有している。
従って、第２フィン固定部４３ａは、第３の放熱部４３に対し、略直角に曲折して形成されている。
つまり、第２フィン固定部４３ａは、放熱フィン４０Ａが固定溝１３Ａに嵌合されたときに、第１フィン固定部４１ａの下方に位置することとなる。
【００５３】
このような構成の放熱フィン４０Ａは、第１の放熱部４１、第１フィン固定部４１ａ、第２の放熱部４２、第３の放熱部４３及び第２フィン固定部４３ａとを、例えば、押出加工やロールフォーミングなどにより成形して得ることができる。
なお、第１の放熱部４１及び第３の放熱部４３の支持基板１０からの高さは、放熱効果を得るために十分な高さであれば、特に限定はされない。
放熱フィン４０Ａの幅は、支持基板１０の幅以下でもそれ以上でも良く、特に限定されない。
また、放熱フィン４０Ａの厚みは、強度などを考慮して、適宜設定することができる。
【００５４】
このように構成した放熱器２Ａの製造方法について以下に説明する。
図８（ａ）に示すように、放熱器２Ａの製造方法は、基板製造段階Ｓ１０と、フィン成形段階Ｓ２０と、固定段階Ｓ３０と、を有して構成される。
［基板製造段階］
基板製造段階Ｓ１０は、前記した基板製造段階Ｓ１と同様であるので、説明を省略する。
［フィン成形段階］
図８（ｂ）に示すように、フィン成形段階Ｓ２０は、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金などの熱伝導性の高い素材からなる金属薄板Ｓの、一端部と他端部を金属薄板Ｓの一側面側（図８（ｂ）において上面側）へ曲折させて第１フィン固定部４１ａと第２フィン固定部４３ａとを形成する。
そして、第１フィン固定部４１ａの基端部と第２フィン固定部４３ａの基端部から金属薄板Ｓの中央側へ向かってそれぞれ略同じ距離離間した位置であって、かつ、固定溝１３Ａ、１３Ａ間の上面部１１と略同じ寸法だけ間隔を空けた位置（特許請求の範囲における「曲折部」に相当する）において、金属薄板Ｓの他側面側（図８（ｂ）において下面側）に向かって直角方向に曲折させて、第１の放熱部４１、第２の放熱部４２及び第３の放熱部４３を形成する。このようにして、放熱フィン４０Ａを成形する。
なお、特許請求の範囲における「稜線」とは、固定溝の側壁部１３ａ、１３ｂと上面部１１とで形成される角部分のことをいう。
また、金属薄板Ｓは、第１フィン固定部４１ａ及び第２フィン固定部４３ａを形成した後の長さが、第１の放熱部４１、第２の放熱部４２及び第３の放熱部４３を合わせた長さと略同一となる。
［固定段階］
図９（ａ）に示すように、固定段階Ｓ３０は、支持基板１０の固定溝１３Ａに、放熱フィン４０Ａを嵌合する。このとき、一の放熱フィン４０Ａの第３の放熱部４３と第２フィン固定部４３ａが一の固定溝１３Ａの側壁部１３ａ及び底部１３ｃに当接して配置される。
そして、このように一の放熱フィン４０Ａの第２フィン固定部４３ａが配置された状態で、さらに、一の放熱フィン４０Ａと同様にして、他の放熱フィン４０Ａ´が配置され、他の放熱フィン４０Ａ´の第１フィン固定部４１ａ´が配置される。
すなわち、他の放熱フィン４０Ａ´は、第１の放熱部４１´が、固定溝１３Ａの側壁部１３ｂに当接するとともに、第１の放熱部４１´の第１フィン固定部４１ａ´が形成される側の端部が底部１３ｃに当接する。そして、第１の放熱部４１´と連続する第１フィン固定部４１ａ´が、固定溝１３Ａ内を横断して、第２フィン固定部４３ａの上方に位置することとなる。
【００５５】
このように嵌合された状態で、図９（ｂ）に示すように、第１の放熱部４１と第３の放熱部４３の間から先端部に平坦面を有するプレス工具３０を挿入する。そして、プレス工具３０の先端部で、他の放熱フィン４０Ａ´の第１フィン固定部４１ａ´を、固定溝１３Ａの底部１３ｃに近接する方向に押圧すると、第１フィン固定部４１ａ´は、第１の放熱部４１´の基端部を支点として、第２フィン固定部４３ａに近接する方向に押動する。
【００５６】
そして、図９（ｃ）に示すように、第１フィン固定部４１ａ´はその先端側で、第２フィン固定部４３ａを押圧する（第１押圧部５１）とともに、その先端の端面で、第３の放熱部４３の内壁側を側壁部１３ｂ側に押圧して（第２押圧部５２）、当接する。
このようにして、第１フィン固定部４１ａ´が第２フィン固定部４３ａを係止するとともに、第１押圧部５１ａと第２押圧部５２ａとが、固定溝１３Ａの底部１３ｃの両端部を押圧することで、第１フィン固定部４１ａ´が若干変形して固定溝１３Ａ内に拡がる。このようにして、放熱フィン４０Ａと放熱フィン４０Ａ´が固定溝１３Ａに固定される。
【００５７】
以上のようにして、一の放熱フィン４０Ａと一の放熱フィン４０Ａと隣り合う他の放熱フィン４０Ａ´とが、同じ固定溝１３Ａにそれぞれ嵌合され、押圧されて固定される。このように放熱フィン４０Ａ及び放熱フィン４０Ａ´を固定することにより、放熱フィン４０Ａが複数枚連設される。
【００５８】
なお、放熱フィン４０Ａを嵌合した後に、放熱フィン４０Ａ´を嵌合し、これを交互に繰り返して複数枚連設することとしたが、これに限られず、予め放熱フィン４０Ａと放熱フィン４０Ａ´とを複数枚組み合わせておき、それぞれの第１フィン固定部４１ａ´と第２フィン固定部４３ａとに対応する固定溝１３Ａ，１３Ａに嵌合させてもよい。
【００５９】
本実施形態に係る放熱フィン４０Ａは、第１の放熱部４１、第１フィン固定部４１ａ、第２の放熱部４２、第３の放熱部４３及び第２フィン固定部４３ａとを、例えば、押出加工やロールフォーミングなどにより一体成形することができ、成形が容易である。また、特別な製造設備などを必要としないため、安価に製造することができる。
また、放熱フィン４０Ａは、固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、側壁部１３ｂ方向に押圧された状態で固定されるため、放熱フィン４０Ａ及び隣接する放熱フィン４０Ａ´が支持基板１０に安定して固定される。
【００６０】
また、第３実施形態に係る放熱器２Ａは、放熱フィン４０Ａを固定するための楔材などを使用することなく、放熱フィン４０Ａを固定溝１３Ａに固定することができるため、部品点数を削減することができる。
【００６１】
また、第３実施形態に係る放熱器の製造方法によれば、製造工程数を削減することができるため、放熱器２Ａを安価に製造することができる。
【００６２】
第３実施形態では、固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、側壁部１３ｂを、直線部で構成した凹溝としたが、これに限られず、固定溝１３Ａの側壁部１３ａ及び側壁部１３ｂを凹凸状としてもよい。
これにより、放熱フィン４０Ａの支持基板１０への固定強度を高めることができる。
【００６３】
また、固定溝１３Ａは、底部１３ｃを開口部分に対して幅広に形成してもよい。
これにより、放熱フィン４０Ａの支持基板１０への固定強度をさらに高めることができる。
また、放熱フィン４０Ａと固定溝１３Ａの接触面積を多くすることができ、また、密接度を高くすることができるため、放熱フィン４０Ａと固定溝１３Ａとの間の熱の伝導性を向上させることができる。
【００６４】
また、第３実施形態では、基板製造段階Ｓ１、フィン成形段階Ｓ２０、固定段階Ｓ３０の順で放熱器２Ａを製造したが、これに限られず、フィン成形段階、基板製造段階、固定段階の順で放熱器２Ａを製造してもよいことはもちろんである。
＜第４実施形態＞
【００６５】
次に、本発明の第４実施形態に係る放熱器２Ｂについて図１０を参照して説明する。
図１０は、本発明の第４実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンの構成を説明し及び放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
なお、放熱フィン４０Ｂは、放熱フィン４０Ｂの第１フィン固定部４１ａを変更したものであるので、その他の、第３実施形態に係る放熱フィン４０Ａと重複する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。また、放熱フィン４０Ｂの製造方法の説明において、放熱フィン４０Ａの製造方法の説明と重複する部分は適宜省略する。
【００６６】
図１０（ａ）に示すように、放熱フィン４０Ｂは、第１フィン固定部４１ｂが、第１の放熱部４１から連続して、固定溝１３Ａから離間する方向に曲折し、さらに、固定溝１３Ａに近接する方向に曲折して形成された曲折部５０を有して構成される。
【００６７】
このように構成された放熱フィン４０Ｂを有する放熱器２Ｂの製造方法について、以下に説明する。
図１０（ａ）に示すように、固定溝１３Ａに、放熱フィン４０Ｂの第２フィン固定部４３ａが嵌合され、次いで、放熱フィン４０Ｂ´の第１フィン固定部４１ｂ´が嵌合される。
このように嵌合された状態で、図１０（ｂ）に示すように、プレス工具３０により第１フィン固定部４１ｂ´を押圧すると、図１０（ｃ）に示すように、第１フィン固定部４１ｂ´の曲折部５０が固定溝１３Ａの底部１３ｃ側へ押圧され、第１フィン固定部４１ｂ´が、その先端で第２フィン固定部４３ａ側を押圧するとともに（第１押圧部５１ｂ）、その先端の端面で放熱フィン４０Ｂの第１の放熱部４１を押圧し（第２押圧部５２ｂ）、第１押圧部５１ｂと第２押圧部５２ｂとにより、放熱フィン４０Ｂ及び放熱フィン４０Ｂ´を固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、側壁部１３ｂに押圧し、固定溝１３Ａに固定することができる。
【００６８】
このように、他の放熱フィン４０Ｂ´の第１フィン固定部４１ｂ´が一の放熱フィン４０Ｂの第２フィン固定部４３ａを押圧することにより、第１押圧部５１ｂで固定溝１３Ａの底部１３ｃを押圧する力が働く。
これにより、放熱フィン４０Ｂ及び放熱フィン４０Ｂ´の固定溝１３Ａへの固定強度をより高くすることができる。
＜第５実施形態＞
【００６９】
次に、本発明の第５実施形態に係る放熱器２Ｃについて図６を参照して説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンの構成を説明し及び放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
なお、放熱フィン４０Ｃは、放熱フィン４０Ｂの第１フィン固定部４１ｂを変更したものであるので、その他の、第４実施形態に係る放熱フィン４０Ｂと重複する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。また、放熱フィン４０Ｃの製造方法の説明において、放熱フィン４０Ｂの製造方法の説明と重複する部分は適宜省略する。
【００７０】
図１１（ａ）に示す放熱フィン４０Ｃは、第４実施形態に係る放熱フィン４０Ｂの第１フィン固定部４１ｂの曲折部５０を高さ方向にさらに高くした曲折部６０を有して構成される。
【００７１】
このように構成された放熱フィン４０Ｃを有する放熱器２Ｃの製造方法について、以下に説明する。
図１１（ａ）に示すように、固定溝１３Ａに、放熱フィン４０Ｃの第２フィン固定部４３ａが嵌合され、さらに、放熱フィン４０Ｃ´の第１フィン固定部４１ｃ´が嵌合される。
このように嵌合された状態で、図１１（ｂ）に示すように、プレス工具３１の先端部に形成された、固定溝１３Ａ側に向かって突出する突出部３２により、第１フィン固定部４１ｃ´の曲折部６０´を押圧する。
【００７２】
次に、図１１（ｃ）に示すように、第１フィン固定部４１ｃ´の曲折部６０´が固定溝１３Ａの底部１３ｃ側へ押圧されて、突出部３２の形状に沿った凹部６１が形成されるとともに、凹部６１の両端に第３押圧部６２と第４押圧部６３とが形成される。
そして、第３押圧部６２及び第４押圧部６３と、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´の固定溝１３Ａ側に形成された第１押圧部５１ｃ及び第２押圧部５２ｃとにより、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´を固定溝１３Ａの側壁部１３ａ、側壁部１３ｂに押圧し、固定溝１３Ａに固定することができる。
【００７３】
凹部６１が形成されることにより、第３押圧部６２及び第４押圧部６３が、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´を側壁部１３ａ及び側壁部１３ｂ側に向かって押圧する力が働く。これにより、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´を固定溝１３Ａにさらに強固に固定することができる。
＜第６実施形態＞
【００７４】
次に、本発明の第６実施形態に係る放熱器２Ｄ、２Ｅ及び２Ｆについて図１２を参照して説明する。
図１２は、本発明の第６実施形態に係る放熱器の構成を説明し及び放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
なお、放熱器２Ｄは、第３実施形態に係る放熱器２Ａの固定溝１３Ａを変更したものであり、放熱器２Ｅは、第４実施形態に係る放熱器２Ｂの固定溝１３Ａを変更したものであり、放熱器２Ｆは、第５実施形態に係る放熱器２Ｃの固定溝１３Ａを変更したものであるので、その他の、放熱器２Ａから放熱器２Ｃと重複する構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７５】
図１２（ａ）に示すように、放熱器２Ｄは、前記した固定溝１３Ｂを有する支持基板１０と、放熱フィン４０Ａと、を有して構成される。
図１２（ａ）に示すように、放熱フィン４０Ａ、放熱フィン４０Ａ´がプレス工具３０（図９（ｂ）参照）によって固定溝１３Ｂに嵌合されると、第１の放熱部４１´と第３の放熱部４３がそれぞれ、第１の溝部１３ｄと第２の溝部１３ｅとで形成される隅部分から第２の溝部１３ｅの内壁側へ拡がって曲折する。これにより放熱フィン４０Ａ及び放熱フィン４０Ａ´を、図１２（ａ）の右図に示す矢印方向へ押圧する力が働く。このようにして、放熱フィン４０Ａ及び放熱フィン４０Ａ´を固定溝１３Ｂにさらに強固に固定することができる。また、第２の溝部１３ｅの形成寸法が第１の溝部１３ｄよりも大きくなっていることにより、放熱フィン４０Ａ及び放熱フィン４０Ａ´の固定溝１３Ｂへの固定強度をさらに高くすることができる。
【００７６】
図１２（ｂ）は、前記した固定溝１３Ｂに本発明の第４実施形態に係る放熱フィン４０Ｂを固定して放熱器２Ｅを形成する様子を示す図である。
図１２（ｂ）に示すように、放熱フィン４０Ｂ、放熱フィン４０Ｂ´がプレス工具３０（図１０（ｂ）参照）によって固定溝１３Ｂに嵌合されると、第１の放熱部４１´と第３の放熱部４３がそれぞれ、第１の溝部１３ｄと第２の溝部１３ｅとで形成される隅部分から第２の溝部１３ｅの内壁側へ拡がって曲折する。これにより放熱フィン４０Ｂ及び放熱フィン４０Ｂ´を、図１２（ｂ）の右図に示す矢印方向へ押圧する力が働く。このようにして、放熱フィン４０Ａ及び放熱フィン４０Ａ´を固定溝１３Ｂにさらに強固に固定することができる。また、第２の溝部１３ｅの形成寸法が第１の溝部１３ｄよりも大きくなっていること及び第１の放熱部４１´と第３の放熱部４３とがそれぞれ第２の溝部１３ｅの内壁側へ拡がって曲折していることにより、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´の固定溝１３Ｂへの固定強度をさらに高くすることができる。
【００７７】
図１２（ｃ）は、前記した固定溝１３Ｂに本発明の第４実施形態に係る放熱フィン４０Ｃを固定して放熱器２Ｆを形成する様子を示す図である。
図１２（ｃ）に示すように、放熱フィン４０Ｃ、放熱フィン４０Ｃ´が前記したプレス工具３１の突出部３２（図１１（ｂ）参照）によって固定溝１３Ｂに嵌合されると、第１の放熱部４１´と第３の放熱部４３がそれぞれ、第１の溝部１３ｄと第２の溝部１３ｅとで形成される隅部分から第２の溝部１３ｅの内壁側へ拡がって曲折する。これにより放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´を、図１２（ｃ）の右図に示す矢印方向へ押圧する力が働く。このようにして、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´を固定溝１３Ｂにさらに強固に固定することができる。また、第２の溝部１３ｅの形成寸法が第１の溝部１３ｄよりも大きくなっていること及び第１の放熱部４１´と第３の放熱部４３とがそれぞれ第２の溝部１３ｅの内壁側へ拡がって曲折していることにより、放熱フィン４０Ｃ及び放熱フィン４０Ｃ´の固定溝１３Ｂへの固定強度をさらに高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る放熱器の全体を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンを、図１におけるＡ方向から見た部分拡大図である。
【図３】（ａ）は、本発明の第１実施形態に係る放熱器の製造方法を説明するためのフローチャート、（ｂ）は、フィン成形段階における放熱フィンの成形の様子を示す概念図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る放熱器の構成を説明し及び放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る放熱器の全体を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンを、図６におけるＡ方向から見た拡大図である。
【図８】（ａ）は、本発明の第３実施形態に係る放熱器の製造方法を説明するためのフローチャート、（ｂ）は、フィン成形段階における放熱フィンの成形の様子を示す概念図である。
【図９】本発明の第３実施形態に係る放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンの構成を説明し及びこの放熱フィンを備えた放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る放熱器に使用される放熱フィンの構成を説明し及びこの放熱フィンを備えた放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【図１２】本発明の第６実施形態に係る放熱器の構成を説明し及び放熱器を製造する様子を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００７９】
１        放熱器
１０      支持基板
１１      上面部
１２      下面部
１３Ａ    固定溝
１３ａ、１３ｂ  側壁部
１３ｃ    底部
２０      放熱フィン
２１      第１の放熱部
２２      第２の放熱部
２３      フィン固定部
２４      曲折部
２４ａ    第１押圧部
２４ｂ    第２押圧部
Ｓ１      基板製造段階
Ｓ２      フィン成形段階
Ｓ３      固定段階
２Ａ      放熱器
４０Ａ    放熱フィン
４１      第１の放熱部
４１ａ    第１フィン固定部
４２      第２の放熱部
４３      第３の放熱部
４３ａ    第２フィン固定部
Ｓ１０    基板製造段階
Ｓ２０    フィン成形段階
Ｓ３０    固定段階
【図１】
2008130669.tif 000003
【図２】
2008130669.tif 000004
【図３】
2008130669.tif 000005
【図４】
2008130669.tif 000006
【図５】
2008130669.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008130669.tif 000009
【図８】
2008130669.tif 000010
【図９】
2008130669.tif 000011
【図１０】
2008130669.tif 000012
【図１１】
2008130669.tif 000013
【図１２】
2008130669.tif 000014