(57)【要約】【課題】Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる垂直磁気記録ヘッド装置を提供すること。【解決手段】本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体Ｍとの対向面で露出する主磁極を有する磁性層２４と、前記磁性層２４上に非磁性層を介して設けられたリターンヨーク層２７と、前記磁性層２４及び前記リターンヨーク層２７に記録磁界を与えるためのコイル層１８，２３と、を具備し、リターンヨーク層２７は、トラック幅方向における端部に、略直方体形状の絶縁層２７ｅと、前記絶縁層２７ｅの少なくとも媒体対向面側の第１面、前記第１面に対して前記絶縁層を挟んで反対側の第２面、及び上面を覆うように設けられた磁性膜２７ｆとで構成された略箱型部２７ｄを有し、前記第１面が媒体対向面で露出する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、前記コイル層上に絶縁層を介して設けられた第２磁性層と、を具備し、前記第２磁性層は、トラック幅方向における端部に、略直方体形状の絶縁層と、前記絶縁層の少なくとも媒体対向面側の第１面、前記第１面に対して前記絶縁層を挟んで反対側の第２面、及び上面を覆うように設けられた磁性膜とで構成された略箱型部を有し、前記第１面が媒体対向面で露出することを特徴とする垂直磁気記録ヘッド装置。
【請求項２】
前記磁性膜は、前記絶縁層のハイト方向に沿う一対の面も覆うように形成されていることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体の媒体面に対して垂直方向に磁界を与えて記録を行う垂直磁気記録ヘッド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体に対向する面（媒体対向面）に、主磁極層上に非磁性絶縁層を介してリターンヨーク層を設けてなる積層構造を有する。主磁極層とリターンヨーク層とは、媒体対向面よりもハイト方向における奥部で磁気的に接続されている。また、非磁性絶縁層内には、主磁極層及びリターンヨーク層に記録磁界を与えるためのコイル層が埋設されている。このような構成を有する磁気ヘッド装置において、コイル層に通電することにより、主磁極層とリターンヨーク層との間に記録磁界が誘導され、この記録磁界が主磁極層の媒体対向面から記録媒体のハード膜に垂直に入射し、記録媒体のソフト膜を通ってリターンヨーク層に帰還する。これにより、記録媒体における主磁極層と対向する領域に情報記録される（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００５−１２２８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
垂直磁気記録ヘッド装置におけるリターンヨーク層やシールド層は、一般的に略長方形の薄膜磁性体で構成されており、ハイト方向の外部磁界を印加した場合に磁性体内部の磁束が薄膜のエッジに集中する。このとき、磁化方向成分の中でハイト方向成分が最も大きくなり、これが既存情報の上書き（Edge Write）の原因となる。すなわち、Edge Write磁界を低減するためには、リターンヨーク層やシールド層のエッジから発生するハイト方向成分の磁界を小さくする必要がある。
【０００４】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる垂直磁気記録ヘッド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、前記コイル層上に絶縁層を介して設けられた第２磁性層と、を具備し、前記第２磁性層は、トラック幅方向における端部に、略直方体形状の絶縁層と、前記絶縁層の少なくとも媒体対向面側の第１面、前記第１面に対して前記絶縁層を挟んで反対側の第２面、及び上面を覆うように設けられた磁性膜とで構成された略箱型部を有し、前記第１面が媒体対向面で露出することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、第２磁性層がトラック幅方向における端部に箱型部を有する。箱型部においては、磁化困難軸方向に外部磁界が印加された状態となり、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなる。このため、相対的に薄い第２磁性層であってもEdge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【０００７】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置においては、前記磁性膜は、前記絶縁層のハイト方向に沿う一対の面も覆うように形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の垂直磁気記録ヘッド装置は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、前記コイル層上に絶縁層を介して設けられた第２磁性層と、を具備し、前記第２磁性層は、トラック幅方向における端部に、略直方体形状の絶縁層と、前記絶縁層の少なくとも媒体対向面側の第１面、前記第１面に対して前記絶縁層を挟んで反対側の第２面、及び上面を覆うように設けられた磁性膜とで構成された略箱型部を有し、前記第１面が媒体対向面で露出するので、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
垂直磁気記録ヘッド装置において、情報記録時に内部の温度が高くなると、リターンヨーク層を構成する材料と、リターンヨーク層の周囲の絶縁材料などとの間での熱膨張係数の違いにより、リターンヨーク層が媒体対向面から突出し易くなるという、いわゆるＰＴＰ（Pole Tip Protrusion）現象が起こる。
【００１０】
本発明者らは、リターンヨーク層の膜厚を薄くすることにより、ＰＴＰ現象を抑制することができることを見出した。しかしながら、ＰＴＰ抑制のためにリターンヨーク層の膜厚を一様に薄くして、媒体対向面に露出するリターンヨーク層の面積が小さくなると、リターンヨーク層がハイト方向に磁化し易くなり、発生するハイト方向成分磁界強度が大きくなるためEdge Writeが発生するという恐れがある。したがって、本発明者らは、ＰＴＰ現象を抑制しつつ、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることを目的としている。
【００１１】
すなわち、本発明の骨子は、記録媒体との対向面で露出する主磁極を有する第１磁性層と、前記第１磁性層に記録磁界を与えるためのコイル層と、前記コイル層上に絶縁層を介して設けられた第２磁性層と、を具備し、前記第２磁性層は、トラック幅方向における端部に、略直方体形状の絶縁層と、前記絶縁層の少なくとも媒体対向面側の第１面、前記第１面に対して前記絶縁層を挟んで反対側の第２面、及び上面を覆うように設けられた磁性膜とで構成された略箱型部を有し、前記第１面が媒体対向面で露出する垂直磁気記録ヘッド装置により、ＰＴＰ現象を抑制しつつ、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることである。
【００１２】
図１は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。ここでは、第２磁性層がリターンヨーク層である場合について説明する。図２は、図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。図１において、Ｘはトラック幅方向を示し、Ｙはハイト方向を示し、Ｚは膜厚方向を示す。各方向は残り２つの方向に対して直交する関係となっている。
【００１３】
図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨＷは、記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させる。記録媒体Ｍは、例えばディスク状であり、その表面に残留磁化の高いハード膜Ｍａを有し、その内側に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転中心となって回転するように構成されている。
【００１４】
スライダ１０は、Ａｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどの非磁性材料で構成されている。スライダ１０の対向面１０ａは記録媒体Ｍに対向しており、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１０が記録媒体Ｍの表面から浮上し、又はスライダ１０が記録媒体Ｍに摺動する。スライダ１０のトレーリング側端面（上面）１０ｂには、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性絶縁層１２が形成されており、この非磁性絶縁層１２上に読取り部ＨＲが形成されている。
【００１５】
読取り部ＨＲは、非磁性絶縁層１２上に形成された下部シールド層１３と、下部シールド層１３上に無機絶縁層（ギャップ絶縁層）１５を介して形成された上部シールド層１６とを有する。無機絶縁層１５内には、読み取り素子１４が設けられている。読み取り素子１４としては、ＡＭＲ（Anisotropic  MagnetoResistance）素子 、ＧＭＲ（Giant  MagnetoResistance）素子、ＴＭＲ（Tunnel  MagnetoResistance）素子などの磁気抵抗効果素子が用いられる。
【００１６】
上部シールド層１６上には、コイル絶縁下地層１７を介して、導電性材料で構成された複数本の下層コイル片１８が形成されている。下層コイル片１８は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、下層コイル片１８は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
【００１７】
下層コイル片１８の周囲には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で形成されたコイル絶縁層１９が形成されている。コイル絶縁層１９の上面は平坦に形成され、この上面に、メッキ下地層（図示せず）が形成され、このメッキ下地層上に、主磁極層２４が設けられている。主磁極層２４の周囲は、Ａｌ２Ｏ３やＳｉＯ２などで構成された絶縁層３２によって埋められ、主磁極層２４の上面と絶縁層３２の上面とが略同一平面になるように平坦化処理されている。主磁極層２４は、例えばＮｉＦｅ，ＣｏＦｅ，ＮｉＦｅＣｏなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で構成されており、例えばメッキにより形成される。
【００１８】
図２に示すように、主磁極層２４は、記録媒体との対向面Ｈ１ａ（対向面Ｈ１ａはスライダ１０の対向面１０ａと略同一平面で形成されている）からハイト方向（図示Ｙ方向）にトラック幅Ｔｗで形成された細長い形状の前方部２４ａと、前方部２４ａのハイト方向後方において前方部２４ａよりもトラック幅方向（図示Ｘ方向）の幅寸法が広い後方部２４ｂ（最大幅寸法Ｔ２）とを有する。
【００１９】
図１に示すように、主磁極層２４上には、Ａｌ２Ｏ３又はＳｉＯ２などの無機材料で構成された非磁性層であるギャップ層２１が形成されている。ギャップ層２１上には、コイル絶縁下地層２２を介して上層コイル片２３が形成されている。ギャップ層２１は、上層コイル片２３の絶縁下地としても機能しているので、コイル絶縁下地層２２は形成されていなくても良い。上層コイル片２３は、下層コイル片１８と同様に、導電性材料によって複数本形成されている。上層コイル片２３は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈ，Ｎｉから選ばれた少なくとも１種の金属材料で構成される。また、上層コイル片２３は、これらの非磁性金属材料で構成された層を積層して構成しても良い。
【００２０】
下層コイル片１８と上層コイル片２３とは、図２に示すように、ソレノイド状に配置され、各コイル片のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における端部同士が電気的に接続されている。下層コイル片１８及び上層コイル片２３には、それぞれ引き出し部１８ａ，２３ａが形成されており、この引き出し部１８ａ，２３ａから電流がソレノイド状コイルに供給されるようになっている。
【００２１】
上層コイル片２３上には、Ａｌ２Ｏ３などの無機絶縁材料や、レジストなどの有機絶縁材料で構成されたコイル絶縁層２６が形成されている。また、本実施の形態においては、ギャップ層２１上に、無機材料又は有機材料で構成された間隔調整絶縁層２８が形成されている。コイル絶縁層２６の前縁は、間隔調整絶縁層２８上に重なっている。図２に示すように、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、トラック幅方向（図示Ｘ方向）と略平行な方向に向けて直線状に延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａは、対向面Ｈ１ａからハイト方向に所定距離（ギャップデプス）Ｌ１だけ離れて形成されている。間隔調整絶縁層２８は、図２に示すように、トラック幅方向（図示Ｘ方向）に長く延在している。間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａの幅寸法Ｔ３は、少なくとも主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも大きく形成される。
【００２２】
ソレノイド状のコイル層を用いる場合、上層コイル片２３のトラック幅方向の幅寸法は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２よりも必ず大きくなるので、上層コイル片２３上を覆うコイル絶縁層２６の最大幅寸法Ｔ４は、主磁極層２４の最大幅寸法Ｔ２より必ず大きくなる。間隔調整絶縁層２８は、例えば有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成される。熱処理により間隔調整絶縁層２８の縦断面形状は、矩形状から略半楕円形状（あるいは少なくとも上面２８ｂは曲面状）となる。間隔調整絶縁層２８上に一部重なってハイト方向に向けて形成されるコイル絶縁層２６も有機絶縁材料で構成され、熱硬化により形成されたものであり、コイル絶縁層２６の対向面側上面２６ｂは、間隔調整絶縁層２８の上面２８ｂから曲面形状に盛り上がって形成される。間隔調整絶縁層２８及びコイル絶縁層２６（以下、この２層を「絶縁層３０」と称する場合がある）は、ギャップ層２１の上面を基準平面としたとき、基準平面よりも上方（図示Ｚ方向）に盛り上がって形成されている。絶縁層３０の周囲には、ギャップ層２０の上面が露出している。以下では、間隔調整絶縁層２８の前縁２８ａと対向面Ｈ１ａとの間の領域を前方領域Ａ（図３に示す斜線領域）と称し、絶縁層３０のトラック幅方向（図示Ｘ方向）における両側の領域を両側領域Ｂと称する。
【００２３】
図１及び図２に示すように、前方領域Ａ上、絶縁層３０上、及び両側領域Ｂ上には、パーマロイなどの磁性材料で構成された第２磁性層であるリターンヨーク層２７が形成されている。図１に示すように、リターンヨーク層２７のハイト方向の後端部は、主磁極層２４と磁気的に接続する接続部２７ｃとなっている。リターンヨーク層２７上は、無機絶縁材料などで構成された保護層３１により覆われている。なお、第２磁性層としては、接続部２７ｈを有しない、すなわち主磁極を有する磁性層と磁気的結合のない、単なるシールド作用を有する層であっても良い。
【００２４】
リターンヨーク層２７は、中央部２７ａと、中央部２７ａのトラック幅方向（図示Ｘ方向）の両側に位置する両側端部２７ｂとで形成される。中央部２７ａは、主磁極層２４と膜厚方向（図示Ｚ方向）で対向する位置に形成されている。図１及び図２に示すように、中央部２７ａには、絶縁層３０上から前方領域Ａ上にかけて上方に向けて突出する突出部２７ａ１が形成されている。絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７は、そもそも絶縁層３０が両側領域Ｂよりも盛り上がって形成されているから両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７に比べて突出して形成される。このとき、絶縁層３０上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚と、両側領域Ｂ上に形成されるリターンヨーク層２７の膜厚はあまり変わらない。なお、リターンヨーク層２７の厚さは、ＰＴＰ現象を抑制することを考慮すると、０．１μｍ〜１．０μｍであることが好ましい。
【００２５】
図３（ａ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層を示す平面図であり、図３（ｂ）は、（ａ）におけるIIIB−IIIB線に沿う断面図である。図３（ａ）に示すように、リターンヨーク層２７は、トラック幅方向における端部に略箱型部２７ｄを有する。この箱型部２７ｄは、図３（ｂ）に示すように、略直方体形状の絶縁層２７ｅと、この絶縁層２７ｅの少なくとも媒体対向面側の第１面、この第１面に対して絶縁層２７ｅを挟んで反対側の第２面、及び上面を覆うように設けられた磁性膜２７ｆとで構成されている。この第１面側の磁性膜２７ｆは媒体対向面で露出する。
【００２６】
すなわち、箱型部２７ｄにおいては、図３（ｂ）に示すように、リターンヨーク層２７の下地層２７ｇ上に絶縁層２７ｅが設けられており、その絶縁層２７ｅ上に磁性膜２７ｆが形成されることにより構成されている。なお、図３（ｂ）においては、リターンヨーク層２７の厚さｔ１よりも下地層２７ｇの厚さｔ２を薄くした場合について示しているが、本発明においてはリターンヨーク層２７の厚さｔ１と下地層２７ｇの厚さｔ２が同じであっても良く、リターンヨーク層２７の厚さｔ１が下地層２７ｇの厚さｔ２よりも薄くても良い。
【００２７】
箱型部２７ｄにおける磁性膜２７ｆの被着領域は、少なくとも媒体対向面側の第１面ａ、この第１面ａに対して絶縁層２７ｅを挟んで反対側の第２面ｂ、及び上面ｃである。また、磁性膜２７ｆは、絶縁層２７ｅのハイト方向に沿う一対の面も覆うように形成されていることが好ましい。すなわち、図４（ａ）に示すように、絶縁層２７ｅを露出させないように磁性膜２７ｆを設けても良く、図４（ｂ）に示すように、絶縁層２７ｅのハイト方向に沿う一対の面が露出させて、媒体対向面側の第１面ａ、この第１面ａに対して絶縁層２７ｅを挟んで反対側の第２面ｂ、及び上面ｃに磁性膜２７ｆを設けても良い。特に、第１面ａについては、以下の理由により磁性膜２７ｆを形成することが望ましい。
【００２８】
本発明者らは、薄い磁性体膜であるリターンヨーク層の反磁界に着目し、略箱型形状を設けて反磁界を利用することにより、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができることを見出し本発明をするに至った。
【００２９】
反磁界（Ｈｄ）は、磁性体の磁化と同時に、磁極が磁性体内部に作り出す磁化方向と逆向きの磁界である。そして、一般的に直交座標系における反磁界係数は、Ｎｘ＋Ｎｙ＋Ｎｚ＝１という関係がある。
【００３０】
磁性体を膜厚≒０の薄膜とすると、磁性体の反磁界係数Ｎｘ，Ｎｙが０であり、Ｎｚが１であると考えることができる。この場合において、磁性体に外部磁界が印加されることを考える。磁化容易軸方向に外部磁界が印加されると、図５（ａ）に示すように、磁性体が磁化し易く、発生する磁界が大きくなり、一方、磁化困難軸方向に外部磁界が印加されると、図５（ｂ）に示すように、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなると考えられる。
【００３１】
このような考え方を垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層２７に適用すると、薄膜のリターンヨーク層２７においては、外部磁界に対して磁性体の磁化が薄膜の端部に集中することになる。したがって、リターンヨーク層において、薄膜磁性体の磁化し難い方向を生じさせるために略箱型形状の部分を設けている。このため、前記作用を発揮させるために、箱型部２７ｄの第１面ａには磁性膜２７ｆを設けることが好ましい。これにより、ハイト方向成分の磁界を低減して、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させている。
【００３２】
図３（ａ）に示す箱型部２７ｄのトラック幅方向の幅Ｗは、外部磁界耐性やエッジのＴ−ＰＴＰなどを考慮して１μｍ〜１０μｍであることが好ましい。より好ましくは、箱型部２７ｄのトラック幅方向の幅Ｗは、４μｍ〜１０μｍである。また、箱型部２７ｄのハイト方向の奥行きＬは、Ｔ−ＰＴＰなどを考慮すると、奥行きＬはできるだけ小さくことが好ましく、０．０５μｍ〜１０μｍであることが好ましい。また、図３（ｂ）に示す箱型部２７ｄの高さｔ３は、外部磁界耐性などを考慮してできるだけ厚いことが好ましく、０．５μｍ〜５μｍであることが好ましい。また、下地層２７ｇの厚さｔ２は、リターンヨーク層２７の飽和などを考慮して０．０５μｍ〜２μｍであることが好ましい。また、リターンヨーク層２７の厚さｔ１は、Ｔ−ＰＴＰ、リターンヨーク層２７の飽和などを考慮して０．１μｍ〜２．０μｍであることが好ましい。
【００３３】
上述したような箱型部２７ｄを形成する場合、絶縁層３０上にリターンヨーク層２７を形成し、そのトラック幅方向における端部にレジスト材料やアルミナなどの絶縁材料により略直方体形状の絶縁層２７ｅを形成し、その後、磁性膜２７ｆを被着する絶縁層２７ｅの面上にスパッタリングで磁性材料により下地層を形成して、その後に磁性材料をメッキする。
【００３４】
このようにして、箱型部２７ｄを含むリターンヨーク層２７を有する垂直磁気記録ヘッドを作製することができる。この垂直磁気記録ヘッドは、図３、図４から分かるように、媒体対向面において箱型部２７ｄが露出した状態となる。箱型部２７ｄにおいては、磁化困難軸方向に外部磁界が印加された状態となり、磁性体が磁化し難く、発生する磁界が小さくなる。このため、相対的に薄いリターンヨーク層２７であってもEdge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。
【００３５】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。
ここでは、静磁界シミュレーションにより効果を確認した。このシミュレーションでは、垂直磁気記録ヘッドにおいて、外部磁界耐性にかかわる部位をモデル化し、外部磁界印加時の磁化状態を計算した。そして、リターンヨーク層の厚さが０．５μｍであり、箱型部２７ｄの高さｔ３を変えたときの磁界強度最大量を求めた。その結果を図６（ａ），（ｂ）に示すに示す。図６（ａ）は、外部磁界１００Ｏｅ（×１０３／４π  Ａ／ｍ）をハイト方向に印加したときの磁界強度最大値を示し、図６（ｂ）は、外部磁界１００Ｏｅ（×１０３／４π  Ａ／ｍ）をトラック幅方向に印加したときの磁界強度最大値を示す。また、参考のために、箱型部２７ｄにおいて、下地層２７ｇを有しない、すなわち絶縁層３０上に直接絶縁層２７ｅが形成された構成の磁界強度最大値についても調べた。その結果を図６（ａ），（ｂ）に併記する。
【００３６】
図６（ａ），（ｂ）から分かるように、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドについては、箱型部２７ｄの高さｔ３が高くなるほど、外部磁界耐性が向上する。また、下地層２７ｇがない箱型部２７ｄに比べて外部磁界耐性が向上している。
【００３７】
また、図４（ａ）に示す箱型部２７ｄを持つリターンヨーク層２７を備えた垂直磁気記録ヘッドと、図７（ａ）に示す端部に箱型部２７ｄを有しないリターンヨーク層を備えた垂直磁気記録ヘッドと、図７（ｂ）に示す端部にアーチ部２７ｈを有するリターンヨーク層を備えた垂直磁気記録ヘッドとについて、上記と同様にして磁界強度最大値を調べた。その結果を図８（ａ），（ｂ）に示す。図８（ａ）は、外部磁界１００Ｏｅ（×１０３／４π  Ａ／ｍ）をハイト方向に印加したときの磁界強度最大値を示し、図８（ｂ）は、外部磁界１００Ｏｅ（×１０３／４π  Ａ／ｍ）をトラック幅方向に印加したときの磁界強度最大値を示す。
【００３８】
図８（ａ），（ｂ）から分かるように、本発明に係る垂直磁気記録ヘッドについては、箱型部２７ｄのないリターンヨーク層を持つ垂直磁気記録ヘッドに比べてほぼ半分の磁界強度最大値となっており、かなりのレベルで外部磁界耐性が向上している。また、アーチ部２７ｈを有するリターンヨーク層を持つ垂直磁気記録ヘッドに比べても外部磁界耐性が向上していた。
【００３９】
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。例えば、垂直磁気記録ヘッドの各層の構成や形状については、リターンヨークを含むシールド層に、本発明に係る箱型部を含むものであれば、特に制限はない。また、上記実施の形態においては、リターンヨーク層に箱型部が含まれている場合について説明しているが、本発明はこれに限定されず、リターンヨーク層以外のシールド層、例えば上部シールド層や下部シールド層にも同様に適用することができる。すなわち、上部シールド層や下部シールド層に、トラック幅方向における端部に箱型を含む形状を導入することにより、Edge Write磁界を低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。もちろん、リターンヨーク層と、上部シールド層及び／又は下部シールド層とに箱型部を設けて、Edge  Write磁界をより低く抑えて外部磁界耐性を向上させることができる。また、上記実施の形態で説明した数値や材質については特に制限はない。また、上記実施の形態で説明したプロセスについてはこれに限定されず、工程間の適宜順序を変えて実施しても良い。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドを備えた磁気ヘッドを示す縦断面図である。
【図２】図１に示す垂直磁気記録ヘッドの部分平面図及びリターンヨーク層の部分正面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層を示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）におけるIIIB−IIIB線に沿う断面図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層の形状を説明するための図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、本発明の原理について説明するための図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は、リターンヨーク層の形状を説明するための図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドのリターンヨーク層と比較するリターンヨーク層の他の例を示す図である。
【図８】（ａ），（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る垂直磁気記録ヘッドの特性を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  スライダ
１２  非磁性絶縁層
１３  下部シールド層
１５  無機絶縁層
１６  上部シールド層
１８  下層コイル片
２１  ギャップ層
２３  上層コイル片
２４  主磁極層
２６  コイル絶縁層
２７  リターンヨーク層
２７ｄ  箱型部
２７ｅ  絶縁層
２７ｆ  磁性膜
２７ｇ  下地層
２７ｈ  アーチ部
２８  間隔調整絶縁層
【図１】
2008226319.tif 000003
【図２】
2008226319.tif 000004
【図３】
2008226319.tif 000005
【図４】
2008226319.tif 000006
【図５】
2008226319.tif 000007
【図６】
2008226319.tif 000008
【図７】
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【図８】
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