(57)【要約】      （修正有）【課題】被冷却部材特に平板状の被冷却部材を斑なく冷却できる冷却装置及び冷却方法を提供する。【解決手段】送風機３と、前記送風機３の送風口と被冷却物１と間に配置され、前記送風機３が送風する冷却用空気を攪拌する攪拌部材７とを有する冷却装置である。更に、前記攪拌部材７が、弾性体によって構成され一端が固定された弾性板７からなり、前記冷却用空気の流れによって前記弾性板７が振動し、前記冷却用空気を攪拌する冷却装置であることが好ましい。【選択図】図４
2008171572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送風機と、
前記送風機の送風口と被冷却物と間に配置され、前記送風機が送風する冷却用空気を攪拌する攪拌部材とを有する冷却装置。
【請求項２】
前記送風機の送風口に対向するように、平板状の前記被冷却物を支持する支持体を有することを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記攪拌部材が、弾性体によって構成され一端が固定された弾性板からなり、
前記冷却用空気の流れによって前記弾性板が振動し、前記冷却用空気を攪拌することを特徴とする請求項１または２に記載の冷却装置。
【請求項４】
前記送風機が、回転軸方向に前記冷却用空気を送風する羽根車を有し、
前記弾性板の一端が前記送風口の外周部の上で固定され、前記弾性板の他端は前記送風口の上に延びていることを特徴とする請求項３に記載の冷却装置。
【請求項５】
前記弾性板の形状が矩形または三角形であり、前記弾性体の一辺が前記外周部に固定されていることを特徴とする請求項４に記載の冷却装置。
【請求項６】
前記外周部の上に、前記弾性体が複数固定されていることを特徴とする請求項４または５に記載の冷却装置。
【請求項７】
前記羽根車と前記弾性板の間に、格子状の隔壁を設けたことを特徴する請求項４乃至６に記載の冷却装置。
【請求項８】
回転軸方向に空気を送風する羽根車と、
弾性体により構成され、一端が送風口の外周部で固定され、他端が前記送風口の上に延びている弾性板とを有し、
前記空気の流れによって前記弾性板が振動し、前記空気を攪拌することを特徴とする送風機。
【請求項９】
前記弾性板の形状が矩形または三角形であり、前記弾性体の一辺が前記外周部に固定されていることを特徴とする請求項８に記載の送風機。
【請求項１０】
前記外周部に、前記弾性体が複数固定されていることを特徴とする請求項８または９に記載の送風機。
【請求項１１】
プラズマディスプレイパネルが装着可能な請求項１乃至７何れか１項に記載の冷却装置と、
前記プラズマディスプレイパネルの走査電極と維持電極の間に交互に電圧を印加して放電を起させるエージング電源とからなるプラズマディスプレイパネルのエージング装置。
【請求項１２】
プラズマディスプレイパネルの走査電極と維持電極の間に交互に電圧を印加して放電を起させ、放電特性を均一化かつ安定化させるプラズマディスプレイパネルのエージング方法において、
前記走査電極と前記維持電極の間に交互に電圧を印加し、同時に前記プラズマディスプレイパネルに向かって冷却用空気を送風する第１の工程と、
前記プラズマディスプレイパネルに向かって送風された前記冷却用空気を攪拌する第２の工程からなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルのエージング方法。
【請求項１３】
プラズマディスプレイパネルの走査電極と維持電極の間に交互に電圧を印加して放電を起させ、放電特性を均一化かつ安定化させるプラズマディスプレイパネルのエージング方法において、
請求項１１に記載のエージング装置に、プラズマディスプレイパネルを装着する第１の工程と、
前記エージング電源を駆動して、装着された前記プラズマディスプレイパネルに前記電圧を交互に印加する第２の工程と、
前記冷却装置を駆動して、前記電圧が交互に印加されている前記プラズマディスプレイパネルに、攪拌された冷却用空気を送風する第３の工程とからなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルのエージング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却装置、送風機、これらを利用したエージング装置、及びエージング方法に関し、特に、プラズマディスプレイパネルのエージング処理に用いる冷却装置、それを利用したエージング装置、およびエージング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
（１）冷却処理
工業製品の製造過程には、加熱した部材を冷却する工程がしばしば存在する。
【０００３】
例えば、組み立て直後のプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する）は、放電セルの点灯状態が不安定でしかも点灯させるためには高い電圧が必要である。そこで、プラズマディスプレイパネルの製造工程では、走査電極と維持電極との間にパルス電圧を交互に印加して、すべての放電セルに対して所定の時間にわたって強制的に放電を起させる所謂エージング処理が行われる。このエージング処理によって、動作電圧を低下させるとともに放電特性を均一化かつ安定化さる（特許文献１）。
【０００４】
このエージング処理の間、ＰＤＰは、走査電極と維持電極との間に印加される交流電力によって加熱され、温度が上昇する。この温度上昇を放置するとＰＤＰが劣化してしまうので、ＰＤＰの上方には送風機が設置され、冷却用の空気がＰＤＰに送風される（特許文献２）。
【０００５】
また、ＰＤＰの製造工程には、ＰＤＰを構成する後面側のガラス基板上に隔壁（リブ）を形成した後、３００〜５００℃の高温でこの後面側のガラス基板を熱処理するリブ焼成工程が存在する。リブ焼成工程では、後面側のガラス基板は厚さ約５ｍｍのガラス板からなる定板に載せられ、熱処理炉に搬送されて熱処理される。熱処理が終わると、隔壁が焼成されたガラス基板は、定板ごと焼成炉から取り出される。最後に、後面側のガラス基板が定板から取り外されリブ焼成工程が完了する。一つのガラス基板に対するリブ焼成工程が終了すると、次の焼成工程を行うため、前述の定板に次のガラス基板が載せられる。
【０００６】
しかし、この際、定板が十分に冷却されていないと、定板の熱によって次のガラス基板が損傷を受ける虞がある。そこで、次のガラス基板が載せられる前に、送風機から冷却用の空気が定板に送風され、加熱された定板は室温近くまで冷却される。
【０００７】
このように、工業の製造過程では、送風機を用いて加熱した部材を冷却する処理がよく行われる。
【０００８】
（２）ＰＤＰの構造とエージング処理
上述したように、工業製品の製造過程では送風機による冷却処理がしばしば行われる。その中でもＰＤＰのエージング工程における冷却処理は、ＰＤＰの表示の性能を決定するものであり、特に重要である。
【０００９】
以下、ＰＤＰの構造とエージング処理について、少し詳しく説明する。
【００１０】
ＰＤＰの構造には多くのものあるが、現在は、図９に斜視図を示したＡＣ面放電型のＰＤＰが主流となっている。尚、以下同一の機能を有する部材には、同一の符号を付することとする。
【００１１】
ＡＣ面放電型のＰＤＰでは、図９に示すように、ガラス基板などの透明な前面側の基板５１上に、走査電極５２と維持電極５３とで対をなすストライプ状の表示電極５４が複数形成されている。走査電極５２及び維持電極５３は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）からなる透明電極６１と金属膜からなるバス電極６２によって構成されている。
【００１２】
そして、表示電極５４を覆うように誘電体層５５が形成され、その誘電体層５５上には保護層５６が形成される。一方、背面側の基板５７上には、表示電極５４と立体交差するように、絶縁体層５８で覆われた複数のストライプ状のアドレス電極５９が形成されている。このアドレス電極５９間の絶縁体層５８上には、アドレス電極５９と平行に複数の隔壁６０が配置され、この隔壁６０間の絶縁体層５８上には蛍光体層７１が設けられる。
【００１３】
これらの基板５１と基板５７とは、表示電極５４とアドレス電極５９とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置される。更に、基板５１と基板５７は周囲が封止され、そして放電空間には、例えばネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）の混合ガスが放電ガスとして封入される。また、放電空間は、隔壁６０によって複数の区画に仕切られ、各区画には赤色、緑色および青色の蛍光体層７１が一色ずつ順次配置されている。そして、表示電極５４とアドレス電極５９とが交差する各部分が、一つの放電セルとして機能し、ＰＤＰの一画素を形成する。
【００１４】
このような構成のＰＤＰでは、発光させるべき放電セルにおいて、走査電極５２に走査パルスが印加されると同時にアドレス電極５９には、逆極性の書き込みパルスが印加される。これらのパルスによって走査電極５２とアドレス電極５９との間に生じた電位差によって、アドレス放電が起きる。その後、走査電極５２と維持電極５３との間に、交互に反転する周期的な維持パルスが印加され、アドレス放電を行った放電セルにおいて走査電極５２と維持電極５３との間で維持放電が起きる。このような放電がＰＤＰ全面で行われることによって、所望の画像が表示される。
【００１５】
このようにＰＤＰは、前面パネルと背面パネルの２つの部分から構成され、図１０に示す工程によって製造される。
【００１６】
まず、前面パネル用の基板５１上に、ＩＴＯからなる透明電極６１が形成さる。次に、透明電極６１の上に金属膜からなるバス電極６２が形成され、走査電極５２および維持電極５３が設けられる。更に、基板５１上に誘電体ガラス材料が塗布され焼成されることによって、誘電体層５５が形成される。その後酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が蒸着され、保護層５６が形成される。この保護膜の形成により、全面パネルの製造工程が終了する（工程１）。
【００１７】
一方、背面パネル用の基板５７には、金属膜からなるアドレス電極５９が形成され、その後ガラス材料を塗布して焼成することにより絶縁体層５８が形成される。次に、アドレス電極５９の間に位置するように絶縁体層５８上に隔壁６０が形成される。その後隔壁６０は焼成され、更に、その隔壁６０間に蛍光体材料が塗布・焼成にされ、蛍光体層７１が形成される（工程２）。
【００１８】
このようにそれぞれ所定の工程を経た後、背面パネルの周囲に封着ガラスフリットを塗布し、前面パネルと重ね合わせる（工程３）。次に、封着ガラスフリットを加熱溶融させ、前面パネルと背面パネルの外周部を封着ガラスで封着する（工程４）。次に、前面パネルと背面パネルとの間に形成される放電空間の内部を排気する排気工程（工程５）を行い、その後、放電空間に放電ガスを所定の圧力で封入することによりＰＤＰが組み立てられる（工程６）。
【００１９】
このように組み立てられた直後のＰＤＰで放電セルを点灯させようとすると、上記走査電極等には通常の動作状態に比べ高いパルス電圧を印加しなければならない。しかも、その放電は不安定である。
【００２０】
そこで、ＰＤＰの製造工程では走査電極５２と維持電極５３との間に電圧を交互に印加して、すべての放電セルに対して所定の時間にわたって強制的に放電（エージング放電）を起させるエージング処理が行われる。このエージング放電によって、動作電圧を低下させるとともに放電特性を均一化かつ安定化させられる（工程７）。
【００２１】
しかし、エージング放電中、ＰＤＰは印加された電圧によって加熱される。こ加熱による温度上昇によって、ＰＤＰが劣化する虞がある。そこで、ＰＤＰの上方に送風機が設置され、冷却用の空気がＰＤＰに送風される（特許文献２）。
【００２２】
最後に、品質検査を行いＰＤＰが完成する（工程８）。
【特許文献１】特開２００２−２３１１３９号公報
【特許文献２】特開２００６−４０６５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
しかしながら、加熱した部材特に平板状の部材を冷却する従来の冷却方法には、被冷却部材の表面が均一に冷却されないという問題（冷却処理の不均一性）があった。また、上記定板のような高温に加熱された部材を冷却する場合、冷却に長時間を要するという問題もあった。
【００２４】
特に、従来の冷却装置を用いてＰＤＰのエージング処理を行った場合、エージング処理後のＰＤＰに黒一色の画像を表示すると、僅かに白色を帯びた図形が浮き上がって見えるという黒浮きの問題があった。
【００２５】
黒浮きの正体は、背景光の斑な強度分布である。この黒浮きの原因が何であるかは当初不明であったが、鋭意検討した結果、以下に説明する通り冷却処理の不均一性が原因であることが明らかになった。尚、背景光とは、アドレス放電を発生させる前に行うリセット放電によって生じるＰＤＰの画像表示には不要な僅かな発光のことである。
【００２６】
図１１は、本発明者がＰＤＰのエージング処理に用いていた冷却装置の平面図である。図１２は、この冷却装置のＡ−Ａ´線で断面を見た図を模式的に示した図である。
【００２７】
冷却装置１０は、ファンモーター４と羽根車５からなる回転体６を有する送風機３と、この送風機が整列して複数取り付けられたプレート２と、ＰＤＰを支持する支持体１１によって構成されている。尚、特許文献２に記載された冷却装置では、送風機はＰＤＰの上に配置されるが、図１１の装置では送風機３はＰＤＰ１の下に配置されている。しかし、この相違は、冷却装置の冷却特性には影響を与えるものではない。
【００２８】
ＰＤＰは、支持体１１の上に載せられ、送風機３と対向させられる。また、ＰＤＰには、エージング用のパルス電源１６が接続される。
【００２９】
図１３は、ＰＤＰ１にエージング用のパルス電源１６（以下、エージング電源１６と呼ぶ）が接続された状態を模式的に示した図である。ＰＤＰ１の走査電極５２（Ｘ１，Ｘ２，・・・，Ｘｎ）は電極１３により共通に接続され、維持電極５３（Ｙ１，Ｙ２，・・・，Ｙｎ）は電極１４により共通に接続される。一方、アドレス電極６４（Ａ１，Ａ２，・・・，Ａｍ）には、電極は接続されない。そして、走査電極５２、維持電極５３はそれぞれ電極１３、電極１４を介してエージング電源１６に接続され、アドレス電極６４は浮遊状態にされる。
【００３０】
このような状態で、ＰＤＰ１に、図１４に示すような矩形のパルス電圧（周波数：２０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ、電圧のピーク値Ｖｓ：２００〜４００Ｖ）がエージング電源１６から供給される。このパルス電圧によって走査電極５２と維持電極５３との間に放電（エージング放電）が発生し、ＰＤＰ１の放電電圧が低下し且つ安定化される。
【００３１】
しかし、このエージング放電によって熱が発生し、ＰＤＰ１の温度が上昇する。この温度上昇を放置しておくと、ＰＤＰ１の温度は８０℃前後に上昇し、却ってＰＤＰ１を劣化させてしまう。そこで、図１１に示した冷却装置１０を稼動させ、ＰＤＰ１に冷却用の空気に吹き付ける。
【００３２】
図１５は、ＰＤＰ１の冷却中の状態を模式的に示した図であり、図１１のＡ−Ａ´線の断面で見た図である。送風機３からＰＤＰ１に向かって送風された空気１７は、ＰＤＰ１の表面に当たり方向を変えてＰＤＰ１の表面に沿って定常的な流れを形成する。この空気の流れによって、ＰＤＰ１は冷却される。この結果、ＰＤＰ１の過熱は抑制され、ＰＤＰ１の表面温度は６０℃前後に保たれる。
【００３３】
しかし、このようなエージング処理を経て製造されたＰＤＰ１の表示画面には、上述したような黒浮きが現れてしまう。
【００３４】
その原因の究明は容易ではなかったが、エージング直後のＰＤＰ１の温度分布と黒浮きのパターンを比較した結果、以下のような原因が判明した。
【００３５】
上述したように、冷却用の空気１７は、羽根車５によって形成されＰＤＰ１に向かって略直進し、ＰＤＰ１の表面に当たり羽根車６の外周方向に向きを変える。従って、冷却用の空気１７の流れは、羽根車５の直下１８で最も強くなる。一方、モーター４が配置された送風機３の中心からは空気が送風されないので、その直下１９では空気の流れが淀む。
【００３６】
このため、ＰＤＰ１の表面温度は、羽根車５の直下１８で最も低くなり、一方送風機３の中心の直下１９で最も高くなる。本発明者が行うエージングでは、羽根車５の直下１８の温度は約５５℃になり、風機３の中心の直下１９では約６５℃になる。この温度の相違がエージングの結果に反映され、両領域の背景光の強度に差異が生じる。しかも、羽根車５の直下１８と送風機３の中心の直下１９は隣接しており、両領域の発光強度の相違は視認され易い。
【００３７】
そこで、本発明の目的は、被冷却部材特に平板状の被冷却部材を斑なく冷却できる冷却装置及び冷却方法を提供することである。また、本発明の目的は、冷却効果が高く、高温に加熱された被冷却部材特に平板状の被冷却部材を速やかに冷却することができる冷却装置および冷却方法を提供することである。
【００３８】
更に、本発明の目的は、黒浮きの発生を抑制した表示品質の高いＰＤＰを得ることができるエージング装置およびエージング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３９】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の側面は、冷却装置において、送風機と、前記送風機の送風口と被冷却物と間に配置され、前記送風機が送風する冷却用空気を攪拌する攪拌部材とを有することである。本発明の第１の側面によれば、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４０】
本発明の第２の側面は、第１の側面の冷却装置において、前記送風機の送風口に対向するように、平板状の前記被冷却物を支持する支持体を有することを特徴とする。本発明の第２の側面によれば、平板状の被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４１】
本発明の第３の側面は、第１または２の側面の冷却装置において、前記攪拌部材が、弾性体によって構成され一端が固定された弾性板からなり、前記冷却用空気の流れによって前記弾性板が振動し、前記冷却用空気を攪拌することを特徴とする。本発明の第３の側面によれば、簡単な構成で、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４２】
本発明の第４の側面は、第３の側面の冷却装置において、前記送風機が、回転軸方向に前記冷却用空気を送風する羽根車を有し、前記弾性板の一端が前記送風口の外周部の上で固定され、前記弾性板の他端は前記送風口の上に延びていることを特徴とする。本発明の第４の側面によれば、更に簡単な構成で、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４３】
本発明の第５の側面は、第４の側面の冷却装置において、前記弾性板の形状が矩形または三角形であり、前記弾性体の一辺が前記外周部に固定されていることを特徴とする。本発明の第５の側面によれば、更に簡単な構成で、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４４】
本発明の第６の側面は、第４または第５の側面の冷却装置において、前記外周部の上に、前記弾性体が複数固定されていることを特徴とする。本発明の第６の側面によれば、より効率的に、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４５】
本発明の第７の側面は、第４乃至第６の側面の冷却装置において、前記羽根車と前記弾性板の間に、格子状の隔壁を設けたことを特徴する。本発明の第７の側面によれば、羽根車と弾性板が接触することを防止することができる。
【００４６】
本発明の第８の側面は、回転軸方向に空気を送風する羽根車と、  弾性体により構成され、一端が送風口の外周部で固定され、他端が前記送風口の上に延びている弾性板とを有し、前記空気の流れによって前記弾性板が振動し、前記空気を攪拌することを特徴とする送風機。
【００４７】
本発明の第８の側面によれば、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４８】
本発明の第９の側面は、第８の側面の送風機において、前記弾性板の形状が矩形または三角形であり、前記弾性体の一辺が前記外周部に固定されていることを特徴とする。本発明の第１１の側面によれば、更に簡単な構成で、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００４９】
本発明の第１０の側面は、第８または９の側面の送風機において、前記外周部に、前記弾性体が複数固定されていることを特徴とする。本発明の第１２の側面によれば、より効率的に、被冷却部材を均一且つ速やかに冷却することができる。
【００５０】
本発明の第１１の側面は、プラズマディスプレイパネルのエージング装置において、プラズマディスプレイパネルが装着可能な第１乃至７の側面の何れかの冷却装置と、前記プラズマディスプレイパネルの走査電極と維持電極の間に交互に電圧を印加して放電を起させるエージング電源とからなることである。本発明の第１６の側面によれば、黒浮きの発生を抑制した表示品質の高いＰＤＰを得ることができる。  
【００５１】
本発明の第１２の側面は、プラズマディスプレイパネルの走査電極と維持電極の間に交互に電圧を印加して放電を起させ、放電特性を均一化かつ安定化させるプラズマディスプレイパネルのエージング方法において、前記走査電極と前記維持電極の間に交互に電圧を印加し、同時に前記プラズマディスプレイパネルに向かって冷却用空気を送風する第１の工程と、前記プラズマディスプレイパネルに向かって送風された前記冷却用空気を攪拌する第２の工程からなることを特徴とする。本発明の第１７の側面によれば、黒浮きの発生を抑制した表示品質の高いＰＤＰを得ることができる。
【００５２】
本発明の第１３の側面は、プラズマディスプレイパネルの走査電極と維持電極の間に交互に電圧を印加して放電を起させ、放電特性を均一化かつ安定化させるプラズマディスプレイパネルのエージング方法において、第１１の側面のエージング装置に、プラズマディスプレイパネルを装着する第１の工程と、前記エージング電源を駆動して、装着された前記プラズマディスプレイパネルに前記電圧を交互に印加する第２の工程と、
前記冷却装置を駆動して、前記電圧が交互に印加されている前記プラズマディスプレイパネルに、攪拌された冷却用空気を送風する第３の工程とからなることを特徴とする。本発明の第１８の側面によれば、黒浮きの発生を抑制した表示品質の高いＰＤＰを得ることができる。
【発明の効果】
【００５３】
本発明の冷却装置、送風機または冷却方法によれば、被冷却部材特に平板状の被冷却部材を斑なく冷却できる。また、本発明の冷却装置、送風機または冷却方法によれば、高温に加熱された被冷却部材特に平板状の被冷却部材を速やかに冷却することができる。
【００５４】
更に、本発明のエージング装置またはエージング方法によれば、黒浮きの発生を抑制した表示品質の高いＰＤＰを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５５】
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。
【００５６】
本発明は、被冷却部材を効率良く冷却できる冷却装置、送風機、及び冷却方法に係るものであり、特に、平板状の被冷却部材を斑なく且つ効率良く冷却できる冷却装置、送風機及び冷却方法に係るものである。更に、本発明は、ＰＤＰの黒浮きの問題を解消したエージング装置およびエージング方法に係るものである。
【００５７】
本発明に係る冷却装置は、送風機を有し、更に、送風機によって作り出された空気の流れを攪拌する攪拌部材を具備している。攪拌部材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（PolyEthilene Terephthalate：ＰＥＴ）のよう弾力のある材料で出来た矩形または三角形の平板を用いることができる。この弾性板は、送風機の送風口の外周部に取付けられ、送風機が送り出す空気の流れを攪拌する。送風機から送り出された空気がこの弾性板に当たると、弾性板の下流側に乱流渦すなわちカルマン渦が発生し、弾性板からの離脱と再発生を繰り返えす。このカルマン渦の発生と離脱の繰り返しによって、弾性板には、振動が誘起される。
【００５８】
この弾性板の振動とカルマン渦の相乗効果によって、送風機から送り出された空気の流れは激しく乱され、その結果冷却空気の熱伝達率が向上する。更に、冷却空気が被冷却物に吹き付けられる強度も、吹き付けられる場所によらず均一化される。その結果、被冷却部材は均一且つ効率的に冷却される。
【００５９】
（実施の形態１）
（１）装置構成
図１は、本実施の形態における冷却装置の平面図である。図２は、この冷却装置のＡ−Ａ´線で断面を見た断面図である。
【００６０】
冷却装置３０は、ファンモーター４と羽根車５からなる回転体６を有する送風機３と、この送風機が整列して複数台取付けられたプレート２と、送風機３の送風口２２の上に配置された弾性板７と、ＰＤＰ等の被冷却平板を支持する支持体１１によって構成されている。
【００６１】
図３は、弾性板７と送風機３を真上から見た図である。
【００６２】
弾性板７は、厚さ１２５μｍ・縦３０ｃｍ・横５０ｃｍのＰＥＴからなる矩形の平板である。そして、弾性板７の一端（矩形の短辺）は固定板２０と螺子２１によってプレート２に固定され、他端は送風口の上に延びている。尚、図３では、プレート２は送風機３の近傍だけが示されている。
【００６３】
本冷却装置には、図１３に示したＰＤＰのエージング電源１６が併設されている。そして、本冷却装置３０とこのエージング電源１６によって、ＰＤＰのエージング装置が構成されている。
【００６４】
（２）冷却方法および冷却装置の動作
次ぎに、上述したエージング装置を用いたＰＤＰのエージング方法およびそのエージング装置の動作について説明する。すなわち、図１の冷却機を用いた平板状部材の冷却方法およびその冷却装置の動作について説明する。
【００６５】
まず被冷却部材たるＰＤＰ１が、上記エージング装置に装着される。すなわち、ＰＤＰ１が、図１に示した冷却装置の支持体１１の上に搭載され送風機３と対向させられる。更に、ＰＤＰ１に、エージング用のエージング電源１６が接続される。
【００６６】
次ぎに、冷却装置３０の送風機３が駆動され、ＰＤＰ１に向かって冷却空気が送風され、更に弾性板７によって冷却空気が攪拌される。その結果、ＰＤＰ１に、攪拌された冷却用空気が吹き付けられる。
【００６７】
同時にエージング電源１６が駆動され、ＰＤＰ１の走査電極５２と維持電極５３の間に前記パルス電圧が交互に印加される。このパルス電圧によってＰＤＰ１は加熱するが、攪拌された冷却空気によって均一且つ効率的に冷却される。
【００６８】
図１３は、ＰＤＰ１にエージング用のエージング電源１６が接続された状態を、模式的に示した図である。ＰＤＰ１の走査電極５２（Ｘ１，Ｘ２，・・・，Ｘｎ）は電極１３により共通に接続され、維持電極５３（Ｙ１，Ｙ２，・・・，Ｙｎ）は電極１４により共通に接続される。一方、アドレス電極６４（Ａ１，Ａ２，・・・，Ａｍ）には、電極は接続されない。そして、走査電極５２、維持電極５３はそれぞれ電極１３、電極１４を介してエージング電源１６に接続され、アドレス電極６４は浮遊状態にされる。
【００６９】
このような状態で、ＰＤＰ１に、図１４に示すような矩形のパルス電圧（周波数：２０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ、電圧のピーク値Ｖｓ：２００〜４００Ｖ）がエージング電源１６から供給される。このパルス電圧によって走査電極５２と維持電極５３との間に放電（エージング放電）が発生し、ＰＤＰ１の放電電圧が低下し且つ安定化される。
【００７０】
このエージング放電によって熱が発生し、ＰＤＰ１の温度が上昇する。この温度上昇を放置しておくと、ＰＤＰ１の温度は８０℃前後に上昇し、却ってＰＤＰ１を劣化させてしまう。そこで、図１に示した送風機３０を稼動させ、ＰＤＰ１に冷却用の空気に吹き付ける。
【００７１】
図４は、ＰＤＰ１の冷却中の状態を模式的に示した図であり、図１のＡ−Ａ´線の断面で見た図である。
【００７２】
送風機３から送風された空気が弾性板７に当たると、弾性板７の下流側にカルマン渦３１が発生し、カルマン渦が弾性板７からの離脱と再発生を繰り返えす。このカルマン渦７の発生と離脱の繰り返しに伴なって、弾性板には振動が誘起される。
【００７３】
この弾性板７の振動とカルマン渦３１によって、送風機から送り出された空気の流れは激しく乱され、その結果冷却空気の熱伝達率が高くなる。この冷却空気の乱流は非定常的であり、流れの方向も刻々と変化する。このため、ＰＤＰ１には冷却空気が均一に吹き付けられ、送風機３の中心部の直下１９にも冷却空気が吹き付けられる。従って、ＰＤＰ１は均一にしかも効率的に冷却される。
【００７４】
弾性板７の以上のような働きによって、ＰＤＰ１の表面温度の平均値は５５℃まで下がる。更に、表面温度は、５５℃±２．５℃という狭いの範囲に分布する。一方、図１１に示す従来の冷却装置を用いた場合には、平均表面温度は６０℃までしか下がらず、更に、表面温度の分布の幅は±５．０℃と本実施の形態の２倍になる。
【００７５】
以上のように本実施の形態ではＰＤＰ１が均一に冷却されるので、エージング後のＰＤＰ１に黒一色の画面を表示しても、黒浮きは認められない。
【００７６】
（実施の形態２）
図５は、本実施の形態における冷却装置３０の弾性板７及び送風機３を真上から見た図である。本実施の形態における冷却装置３０の構造は、弾性板７の形状が矩形ではなく二等辺三角形である点で実施の形態１の冷却装置３０と相違し、他の点では一致する。
【００７７】
弾性板７（厚さ１２５μｍ）は、底辺３０ｃｍ高さ５０ｃｍの二等辺三角形であり、底辺が送風機３の外周部の上でプレート２に固定用板２０とネジ２１によって固定されている。尚、図５では、プレート２は送風機３の近傍だけが示されている。
【００７８】
弾性板７を三角形にすることによって、弾性板によって狭められた送風口２２の開口率は大きくなる。従って、弾性板の枚数を増やして、冷却空気を攪拌する効率を向上させることができる。
【００７９】
本実施の形態では、弾性板の数は４枚に増えている。しかし、送付口の開口率は、弾性板の数が２枚の実施の形態１における送風機３（図３）と同じである。これは、一枚当たりの弾性板の面積が本実施の形態では、実施の形態１の半分であることから明らかである。
【００８０】
弾性板７の数が増えると単に冷却空気を攪拌する部材が増えるだけでなく、弾性板７をより等方的に配置することができる。従って、冷却空気を攪拌する効果は、単に攪拌部材の数が増えた以上に大きい。
【００８１】
本実施の形態の冷却装置を用いてエージング装置を構成すると、実施の形態１のエージング装置より、より効率的にエージング中のＰＤＰを冷却することができる。
【００８２】
（実施の形態３）
図６は、本実施の形態における冷却装置３０の弾性板７及び送風機３を真上から見た図である。本実施の形態における冷却装置３０の構造は、弾性板７と羽根車４の間に格子状の隔壁２３が設けられていると点で実施の形態１の冷却装置と相違し、他の点では一致する。
【００８３】
図６に示された格子状の隔壁２３は、所謂フィンガーガードであり、同心円状の線材と動径方向に延びる線材によって構成されている。隔壁２３の構造は、この構造に限られるものではなく、冷却空気が抵抗なく通風できるだけの十分な透かしのある構造であれば良い。例えば、線材が縦横又はどちらか一方向に間を空けて組まれた格子状の隔壁であっても良い。
【００８４】
格子状の隔壁２３は、送風機３の外周上でプレート２に取り付けられる。弾性板７は、この取付け部７２を介して一端がプレート２に取付けられる。尚、図６では、プレート２は送風機３の近傍だけが示されている。
【００８５】
本実施の形態では、以上のように、弾性板７と羽根車４の間に格子状の隔壁２３が配置される。従って、弾性板７が回転中の羽根車４に接触することが防止される。
【００８６】
（実施の形態４）
本実施の形態の冷却装置は、実施の形態１の冷却装置と同じものである。但し、被冷却物がエージング中のＰＤＰではなく、隔壁（リブ）６０の焼成工程においてＰＤＰと一緒に熱処理された定板である点で相違する。
【００８７】
定板の冷却は、以下のように行われる。
【００８８】
まず、定板が、冷却装置３０の支持体１１の上に搭載され、送風機１０と対向する。次ぎに、冷却装置３０の送風機３が駆動され、定板に向かって冷却空気が送風され、更に弾性板７によって冷却空気が攪拌される。その結果、定板に、攪拌された冷却用空気が吹き付けられる。
【００８９】
冷却用空気が攪拌されることにより、その熱伝達率が高まる。その結果、定板の冷却に要する時間が従来の冷却機を用いた場合より、例えば約２割り程度短縮される。
【００９０】
尚、形状が平板状ではない被冷却物であっても、本実施の形態の冷却装置によれば効率的に冷却することができる。例えば、被冷却物が重量を軽くするために格子状に加工された定板であっても、本実施の形態の冷却装置によれば効率的に冷却することができる。
【００９１】
（実施の形態５）
以上の実施の形態では、冷却空気の攪拌部材（弾性板）と送風機が分離されている。しかし、本実施の形態では、弾性板７が送風機３に固定されていている。図７は、本実施の形態における弾性体７と送風機が一体化された送風機の平面図である。図８は、この送風機のＡ−Ａ´線で断面図である。弾性体７は、送風機３の送風口２２の外周部に、直接固定用板２０とネジ２１によって固定されている。
【００９２】
本実施の形態による送風機３を用いれば、実施の形態１の冷却装置３０のように送風機３の外に別途弾性板７をプレート２取り付ける必要はなくなる。また、本実施の形態の送風機３を電子機器やコンプレサーの放熱板の送風機として用いれば、弾性板７によって形成された乱流によってこれらの機器を効率的に冷却することができる。また、本実施の形態における送風機を用いれば、暖房動作中の空調機が吸熱しているために冷たくなっている放熱板を効率的に暖めたり、或湿気を帯びた部材に乾燥した空気を送風して均一且つ効率的に乾燥させることもできる。
【００９３】
上記実施の形態１〜５では、送風された空気の流れを乱すために弾性板７を用いたが、ステンレス板等の剛体からなる平板（以下、剛性板と呼ぶ）を用いることもできる。この場合、剛性板は、振動はしないが、カルマン渦は発生させる。剛性板によって発生したカルマン渦は、剛性板の下流側で発生と離脱を繰り返し、送風された空気の下流にカルマン渦の流れを形成する。このカルマン渦によって流れが乱された空気によって、被冷却部材等は均一且つ効率的に冷却等される。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明は、電気装置の製造業、特にＰＤＰの製造業において利用可能である。  
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】実施の形態１における冷却装置の平面図
【図２】実施の形態１における冷却装置をＡ−Ａ´線で断面を見た断面図
【図３】実施の形態１における冷却装置の弾性板と送風機を真上から見た図
【図４】実施の形態１における冷却装置でＰＤＰを冷却している状態を、Ａ−Ａ´線で断面で見て模式的に示した図
【図５】実施の形態２における冷却装置の弾性板と送風機を真上から見た図
【図６】実施の形態３における冷却装置の弾性板と送風機を真上から見た図
【図７】実施の形態５における送風機の平面図
【図８】実施の形態５における送風機の断面図
【図９】ＡＣ面放電形のＰＤＰの斜視図
【図１０】ＰＤＰの製造工程表
【図１１】本発明者が用いていた、従来のエージング用冷却装置の平面図
【図１２】本発明者が用いていた、従来のエージング用冷却装置をＡ−Ａ´線で断面を見た断面図
【図１３】エージングのために、ＰＤＰにエージング電源を接続した状態を模式的に表した図
【図１４】エージングのためにＰＤＰに印加されるパルス電圧を表す図
【図１５】従来の冷却装置でＰＤＰをエージングしている状態を、Ａ−Ａ´線で断面を見て模式的に表した図
【符号の説明】
【００９６】
１            ＰＤＰ
２            プレート
３            送風機
４            ファンモーター
５            羽根車
６            回転体
７            弾性板
１３,１４     電極   
１６         エージング電源
１１          支持体
２２          送風口
３０          本発明の実施の形態１における冷却装置
３１          カルマン渦
５１          前面側の基板
５２          走査電極
５３          維持電極
５４          表示電極
５５          誘電体層
５６          保護層
５７          背面側の基板
５８          絶縁体層
５９          アドレス電極
６０          隔壁
６１          透明電極
６２          バス電極
６４          アドレス電極
７１          蛍光体層
７２          フィンガーガードの取り付け部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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