(57)【要約】【課題】１８０度の方向転換が可能な整列搬送装置を提供する。【解決手段】回転軸１３を中心に実質的に水平に回転する機能を有する搬送ドラム１１と、搬送ドラム１１と対面して上部にあり、搬送ドラム１１上の被搬送物を一定方向へ導く機能を有する選別ガイド２５と、搬送ドラム１１と対面して上部にあり、搬送ドラム１１上の被搬送物を一定方向へ導き、被搬送物の一部に接触して、搬送ドラム１１の回転に従って、被搬送物の一部を搬送ドラム１１の表面から次第に離す方向に起こし、更に、起こされた被搬送物を、接触直前の被搬送物の姿勢から１８０度反転させる手段を有する反転選別ガイド２６と、搬送ドラム１１の周辺部において搬送ドラム１１と対面して上部にあり、被搬送物が所望の表裏方向と異なるかどうかを判定し、異なる場合は被搬送物を回転軸１３に近付く方向に移動させる手段を有する表裏選別機構を有する周辺ガイド２３とを備えている。【選択図】図１
2008254884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実質的に水平な上面を有し、ほぼ鉛直な回転軸を中心に回転する搬送ドラムと、
前記搬送ドラムの上面と向き合って、回転する前記搬送ドラムの半径と最初に重なる第１の始端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記搬送ドラムの前記半径と最後に重なる第１の終端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記第１の始端部と前記第１の終端部との間は、滑らかに変化する曲率を有する鉛直または鉛直に近い第１の側面を有する板状の第１のガイドと、
前記搬送ドラムの上面と向き合って、回転する前記搬送ドラムの半径と最初に重なる第２の始端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記搬送ドラムの前記半径と最後に重なる第２の終端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記第２の始端部と第２の終端部との間は、滑らかに変化する曲率を有する鉛直または鉛直に近い第２の側面を有し、且つ、前記搬送ドラム側の底面に近接した前記第２の側面に、前記第２の始端部または前記第２の始端部に近い側と前記第２の終端部または前記第２の終端部に近い側との間は、前記搬送ドラムの上面との距離が一定の傾斜で変化する突出部及び前記突出部に近接して前記底面に第１の気体吹出口を有する板状の第２のガイドと、
前記搬送ドラムの周辺部において前記搬送ドラムの上面と向き合って、鉛直または鉛直に近い第３の側面を有し、前記第３の側面に近接した前記搬送ドラムの上部の一定位置に合焦する光センサ系、及び、前記搬送ドラム側の底面に近接し、前記光センサ系の指示により気体を吹出す前記第３の側面に設けられた第２の気体吹出口を有する第３のガイドと、
を備えていることを特徴とする整列搬送装置。
【請求項２】
前記第１のガイドは、前記第１の始端部が前記回転軸に近く、第１の終端部が前記回転軸から遠く、前記第１の側面を前記回転軸から遠い側に有することを特徴とする請求項１に記載の整列搬送装置。
【請求項３】
前記第２のガイドは、前記第２の始端部が前記回転軸に近く、第２の終端部が前記回転軸から遠く、前記第２の側面を前記回転軸から遠い側に有することを特徴とする請求項１または２に記載の整列搬送装置。
【請求項４】
回転軸を中心に実質的に水平に回転する機能を有する搬送ドラムと、
前記搬送ドラムと対面して上部にあり、前記搬送ドラム上の被搬送物を一定方向へ導く機能を有する第１のガイドと、
前記搬送ドラムと対面して上部にあり、前記搬送ドラム上の前記被搬送物を一定方向へ導き、前記被搬送物の一部に接触して、前記搬送ドラムの回転に従って、前記被搬送物の一部を前記搬送ドラムの表面から次第に離す方向に起こし、更に、起こされた前記被搬送物を、接触直前の前記被搬送物の姿勢から１８０度反転させる手段を有する第２のガイドと、
前記搬送ドラムの周辺部において前記搬送ドラムと対面して上部にあり、前記被搬送物が所望の表裏方向と異なるかどうかを判定し、異なる場合は前記被搬送物を前記回転軸に近付く方向に移動させる手段を有する表裏選別機構を有する第３のガイドと、
を備えていることを特徴とする整列搬送装置。
【請求項５】
前記第１乃至第３のガイドの内、少なくとも、前記第１及び第２のガイドは、同一の基板に設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の整列搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製品等の被搬送物を整列させて、搬送する整列搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体及び電子等に関する部品の供給装置あるいは整列搬送装置において、振動を利用する方法が多用されてきた。例えば、半導体装置を振動により自走させ、方向を定めるガイドを用いて、方向整列及び搬送を行っている。振動による自走は、半導体装置同士の衝突、半導体装置と搬送面及びガイド等との接触及び衝突を引き起こし、半導体装置の外部電極であるアウタリードの傷、汚れ、及び、曲げ等の損傷を与えることが少なくない。
【０００３】
そこで、振動を使わない部品供給装置が考えられている。例えば、基台上に設けた垂直方向の回転軸に取り付けて一方向に回転させる中高皿状の部品容器をそなえ、この部品容器の外周壁上部に設けたフランジ面に移送路を形成し、この部品容器の外周壁内面に沿って基台の支持部に取り付け、部品容器の外周部底面から前記移送路上面に傾斜させた誘導トラフを設け、部品容器の回転により、この誘導トラフに乗り上げた部品を、部品容器の回転による部品相互の押圧力で、誘導トラフから移送路に順次に押し上げ、移送路上に押し上げられた部品を、移送路の回転と部品相互の押圧力で、この移送路に沿って配置した部品の整列手段と、移送路から部品を搬出させる搬出トラフに移動させるようにした無振動の部品供給装置が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
しかしながら、この提案された部品供給装置では、振動を使用しないので、被搬送物の損傷を軽減することが可能となるものの、特定の形状を有する被搬送物においては、押し上げて、落とすことにより、ほぼ９０度の方向転換を有効に行うことができるが、１８０度の方向転換が必要な半導体装置等においては、所望の姿勢に転換することが難しいという問題を有している。
【特許文献１】特開２０００−２３８９１２号公報（第２、３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、被搬送物の１８０度の方向転換が可能な整列搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の整列搬送装置は、実質的に水平な上面を有し、ほぼ鉛直な回転軸を中心に回転する搬送ドラムと、前記搬送ドラムの上面と向き合って、回転する前記搬送ドラムの半径と最初に重なる第１の始端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記搬送ドラムの前記半径と最後に重なる第１の終端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記第１の始端部と前記第１の終端部との間は、滑らかに変化する曲率を有する鉛直または鉛直に近い第１の側面を有する板状の第１のガイドと、前記搬送ドラムの上面と向き合って、回転する前記搬送ドラムの半径と最初に重なる第２の始端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記搬送ドラムの前記半径と最後に重なる第２の終端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記第２の始端部と第２の終端部との間は、滑らかに変化する曲率を有する鉛直または鉛直に近い第２の側面を有し、且つ、前記搬送ドラム側の底面に近接した前記第２の側面に、前記第２の始端部または前記第２の始端部に近い側と前記第２の終端部または前記第２の終端部に近い側との間は、前記搬送ドラムの上面との距離が一定の傾斜で変化する突出部及び前記突出部に近接して前記底面に第１の気体吹出口を有する板状の第２のガイドと、前記搬送ドラムの周辺部において前記搬送ドラムの上面と向き合って、鉛直または鉛直に近い第３の側面を有し、前記第３の側面に近接した前記搬送ドラムの上部の一定位置に合焦する光センサ系、及び、前記搬送ドラム側の底面に近接し、前記光センサ系の指示により気体を吹出す前記第３の側面に設けられた第２の気体吹出口を有する第３のガイドとを備えていることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の別態様の整列搬送装置は、回転軸を中心に実質的に水平に回転する機能を有する搬送ドラムと、前記搬送ドラムと対面して上部にあり、前記搬送ドラム上の被搬送物を一定方向へ導く機能を有する第１のガイドと、前記搬送ドラムと対面して上部にあり、前記搬送ドラム上の前記被搬送物を一定方向へ導き、前記被搬送物の一部に接触して、前記搬送ドラムの回転に従って、前記被搬送物の一部を前記搬送ドラムの表面から次第に離す方向に起こし、更に、起こされた前記被搬送物を、接触直前の前記被搬送物の姿勢から１８０度反転させる手段を有する第２のガイドと、前記搬送ドラムの周辺部において前記搬送ドラムと対面して上部にあり、前記被搬送物が所望の表裏方向と異なるかどうかを判定し、異なる場合は前記被搬送物を前記回転軸に近付く方向に移動させる手段を有する表裏選別機構を有する第３のガイドとを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、被搬送物の１８０度の方向転換が可能な整列搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。以下に示す図では、同一の構成要素には同一の符号を付している。
【実施例】
【００１０】
本発明の実施例に係る整列搬送装置について、図１乃至図７を参照しながら説明する。
【００１１】
図１は整列搬送装置の構成を模式的に示す図で、図１（ａ）は一部を切り欠いて示す平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図２は整列搬送装置の構成要素を模式的に示す図で、図２（ａ）及び図２（ｂ）は右斜め前方（図１（ａ）のＢ方向）から見た図、図２（ｃ）及び図２（ｄ）は図２（ａ）及び図２（ｂ）の断面図である。図３は整列搬送装置の構成要素を模式的に示す図１（ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。図４は整列搬送装置において、被搬送物の搬送軌跡を模式的に示す図である。図５は被搬送物の方向転換を行わせる構成要素及び方向転換を模式的に示す図である。図６は被搬送物の方向転換を行わせる構成要素及び方向転換を模式的に示す図である。図７は被搬送物の表裏方向を検知する構成要素及び被搬送物を移動させる手段を模式的に示す図である。
【００１２】
図１に示すように、整列搬送装置１は、実質的に水平な上面を有し、ほぼ鉛直な回転軸１３を中心にほぼ水平に回転する搬送ドラム１１と、搬送ドラム１１の上面と向き合ったほぼ平面からなる底面を有し、第１の側面である曲面を回転軸１３から遠い側に有する板状をなす第１のガイドである選別ガイド２５と、第２の側面である曲面を回転軸１３から遠い側に有する板状をなす第２のガイドである反転選別ガイド２６と、第３の側面である曲面及び平面を回転軸１３に近い側に有する搬送ドラム１１の外周部に配設された第３のガイドである外周ガイド２３とを備えている。選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３は、搬送ドラム１１と反対側の上部の天板２１を介して、一定の位置関係を保持している。
【００１３】
図１（ｂ）に示すように、整列搬送装置１は、搬送ドラム１１の下方にケーシング１５及び駆動機構１７を備えている。ケーシング１５は、搬送ドラム１１が収納可能な円筒形の隙間を有する有底角形をなし、天板２１の下方にあり、外周ガイド２３の底面と固定されている。搬送ドラム１１は、ケーシング１５の上面または外周ガイド２３の底面から少し下がった位置に、つまり、整列搬送される被搬送物を挟み込まない程度の隙間を開けて、回転可能に収納されている。
【００１４】
駆動機構１７は、ケーシング１５の底部外側の中心部に配置され、駆動機構１７と搬送ドラム１１の回転軸１３が一致するように結合されている。なお、駆動機構１７は、回転駆動が搬送ドラム１１に伝達できれば、搬送ドラム１１の回転軸１３の下方に配設されることは必ずしも必要ない。
【００１５】
搬送ドラム１１は、円板状をなしている。搬送ドラム１１の外周部は、平面図的には、被搬送物を搬出する搬出口４５の近傍を除いて、外周ガイド２３の内側の側面より外側にある。搬送ドラム１１は、例えば、ステンレススチール、樹脂等で形成されている。
【００１６】
選別ガイド２５は、上面が天板２１に固定されて、底面が搬送ドラム１１の上面と向き合っている。なお、選別ガイド２５は、天板２１に一体的に形成されてもよい。選別ガイド２５の側面は、ほぼ鉛直な曲面または平面で構成されている。底面と側面が交わる部分は、面取りがなされている。
【００１７】
稼働時、搬送ドラム１１が回転方向１４に沿って回転して、搬送ドラム１１のある半径が最初に出合う（平面図的に重なる）選別ガイド２５の位置を始端部、最後に出合う選別ガイド２５の位置を終端部という。選別ガイド２５の側面の内、曲面は、回転軸１３から少しずれた位置を中心にした曲率を有する面であり、始端部側の曲面は、回転軸１３に近く、終端部側の曲面は、回転軸１３から遠い位置にある。選別ガイド２５の始端部から終端部までの長さは、回転軸１３を中心とした角度で表わすと、例えば、約９０度以内である。なお、選別ガイド２５の始端部から終端部までの長さは、回転軸１３からの距離、搬送ドラム１１の回転速度、被搬送物の大きさと形状等により適宜変更が可能である。
【００１８】
選別ガイド２５の曲面をなす側面は、回転軸１３に近い側（以下、内側という）と遠い側（以下、外側という）に２枚がほぼ並行に配置され、幅がほぼ一定の板状をなしている。選別ガイド２５の内側の側面の始端部は、平面をなしており、この平面は内側の曲面に１８０度に近い大きな角度で接続され、外側の曲面とは、くさび状をなして、つまり、例えば、１５〜４０度程度の角度をなして接続されている。選別ガイド２５の終端部は、内側及び外側の曲面に９０度に近い角度で接続されている。
【００１９】
また、選別ガイド２５の一部をなす選別ガイド２５ａは、内側の側面の始端部も曲面をなしており、外側の曲面とは、始端部がくさび状またはくちばし状をなして接続されている。内側の側面は、回転軸１３に近接して、回転軸１３を中心とする弧に沿った曲面をなし、外側の側面は、回転軸１３から急速に遠ざかる曲面をなしている。選別ガイド２５ａは、例えば、投入された被搬送物を搬送ドラム１１の上面に、列状に配列するために配置される。
【００２０】
また、選別ガイド２５の一部をなす選別ガイド２５ｂは、始端部が回転軸１３から遠く、終端部が回転軸１３に近い位置にある形状及び配置をなしている。選別ガイド２５ｂは、内側の側面の始端部も曲面をなしており、外側の曲面とは、始端部がくさび状またはくちばし状をなして接続されている場合、及び、半球状をなして接続されている場合がある。選別ガイド２５ｂは、例えば、被搬送物を内側に寄せるために配置される。
【００２１】
上述したように、特別な役割が加えられた選別ガイド２５ａ、２５ｂ、及び、選別ガイド２５は、６個配置されている。整列搬送される被搬送物の大きさと形状及び回転速度等により、個数や位置が変更されることは可能であるし、選別ガイド２５ａ、２５ｂ以外の派生的な形状を有する選別ガイドが用いられることは可能である。
【００２２】
反転選別ガイド２６は、平面図的には、選別ガイド２５と類似の形状を有している。つまり、反転選別ガイド２６の始端部は、回転軸１３に近く、反転選別ガイド２６の終端部は、回転軸１３から遠い位置にある。また、反転選別ガイド２６の始端部から終端部までの長さは、回転軸１３の回りに、約９０度以内の角度を有している。選別ガイド２５と同様に、反転選別ガイド２６の長さは、回転軸１３からの距離、搬送ドラム１１の回転速度、被搬送物の大きさと形状等により適宜変更が可能である。
【００２３】
反転選別ガイド２６の始端部はくさび状をなしている。反転選別ガイド２６の上面が天板２１に固定されて、底面が搬送ドラム１１の上面と向き合っている。反転選別ガイド２６は、例えば、１個配置されているが、適宜増やすことは可能である。
【００２４】
反転選別ガイド２６の側面は、選別ガイド２５と同様に、ほぼ鉛直な曲面または平面で構成されて、２枚の曲面がほぼ並行に配置、幅がほぼ一定の板状をなしているが、図２に示すように、外側の曲面には、底面に近接して、突出部となるリードガイド２７が形成されている。反転選別ガイド２６の底面は、図２（ｂ）に示すように、始端部で搬送ドラム１１の上面との距離が近く、図２（ａ）に示すように、終端部で搬送ドラム１１の上面との距離が遠く設定されている。リードガイド２７が水平面となす角度は、例えば、１〜３度を選択することが可能である。しかしながら、被搬送物の形状、大きさ、回転速度等に基づき、より適するように選択することが好ましい。反転選別ガイド２６の始端部と終端部との間では、底面と搬送ドラム１１の上面との距離は一定の傾斜を有している。底面と側面またはリードガイド２７とが交わる部分は、面取りがなされている。
【００２５】
図２（ａ）に示すように、反転選別ガイド２６の終端部近くには、ほぼ鉛直方向にエア供給孔４３が開孔され、エア供給孔４３の底面側にエア供給孔４３ａが接続されている。図２（ｃ）に示すように、図２（ａ）のエア供給孔４３の中心線と回転軸１３で規定される面に沿った断面では、エア供給孔４３ａは、エア供給孔４３の底部からリードガイド２７の下方側に、斜めに伸びて形成されて、底面に第１の気体吹出口となる開口が設けられている。なお、エア供給孔４３は、図示を省略するが、天板２１を貫通して、外部のエア供給系と接続されている。なお、吹出す気体として、窒素、その他の不活性気体等を使用することが可能である。
【００２６】
図１（ａ）に示すように、搬出ガイド２８は、外側に、ほぼ平面となる側面を有し、内側に、弧に沿った曲面をなす側面を、鉛直または鉛直に近い状態で有している。搬出ガイド２８は、外側の平面で、被搬送物を搬送ドラム１１の外に搬送するための搬出口４５の一部を構成し、内側の曲面で円形に回転させるためのガイドを構成している。搬出ガイド２８は、搬送ドラム１１の外周を跨いで形成されている。搬出ガイド２８は、底面と内側の側面または外側の側面とが交わる部分で、面取りがなされている。
【００２７】
外周ガイド２３は、周辺部の底面がケーシング１５に固定され、上面が天板２１に固定されている。内側の底面は、搬送ドラム１１の上面と向き合っている。外周ガイド２３の内側の側面は、鉛直または鉛直に近く、概略的には、回転軸１３または回転軸１３の近傍を向いているが、選別ガイド２５及び反転選別ガイド２６と連携して、被搬送物の整列、反転等を推進するために、回転軸１３方向に突出した部分が設けられている。外周ガイド２３の内側の側面は、被搬送物を外に搬送するための搬出口４５を構成する側面を除いて、搬送ドラム１１の外周より内側に位置している。外周ガイド２３の搬出口４５を構成する平面からなる側面は、搬出ガイド２８の外側の平面と向き合って、被搬送物が搬出されるための通路を形成している。外周ガイド２３の底面と内側の側面が交わる部分は、面取りがなされている。
【００２８】
外周ガイド２３は、内側の側面より内側に、天板２１を貫通して、ほぼ回転軸１３に沿う方向に設けられた光センサ系３１、及び、内側の側面の外側に、被搬送物の移動手段となる第２の気体吹出口である開口を有するエア供給孔４３が、対をなして設けられている。光センサ系３１は、必ずしも、外周ガイド２３に接しているとは限らない。
【００２９】
図３に示すように、エア供給孔４３は、外周ガイド２３の上面に対して垂直に形成され、エア供給系４４に接続されている。エア供給孔４３は、外周ガイド２３の底面側に、ほぼ水平に回転軸１３方向を向いたエア供給孔４３ａを有し、内側の側面に吹出口が開口されている。図示を省略するが、光センサ系３１は、内側の側面に接触または近接している被搬送物の表裏方向の姿勢を検出し、検出データを処理して、所望の姿勢に合致してない場合、エア供給系４４に動作信号を送って、エア供給系４４からエアが供給されて、エア供給孔４３ａの吹出口からエアが吹出される。なお、吹出す気体として、窒素、その他の不活性気体等を使用することが可能である。
【００３０】
外周ガイド２３は、対をなす光センサ系３１とエア供給孔４３、４３ａが、３箇所に設置されている。この内２箇所は、搬送ドラム１１上の入口となる搬出口４５の回転方向手前に、相前後して設置されている。他の１箇所は、搬出口４５に対して、ほぼ１８０度離れた位置にある。光センサ系３１とエア供給孔４３、４３ａは、３箇所に限定されるものではなく、被搬送物の整列の信頼性の程度により、増減が可能である。また、対をなす光センサ系３１とエア供給孔４３、４３ａの位置は、選別ガイド２５及び反転選別ガイド２６との位置関係で、適宜、決めることが可能である。また、光センサ系３１とエア供給孔４３、４３ａとの位置関係は、整列搬送される被搬送物の大きさと形状、及び、回転速度等により、適宜変更可能である。
【００３１】
光センサ系３１は、搬送ドラム１１上の被搬送物の残量検出に使用することが可能である。残量検出時は、上記の被搬送物の形態検出時とは異なった設定、例えば、光センサ系３１の検出範囲を広げ、焦点位置を被搬送物の中心部付近に置き、エア供給部４４との連携を外した処理等を行い、残量検出結果は、被搬送物を供給するホッパの制御系（図示略）等に送出されることになる。
【００３２】
図１（ａ）に示すように、外周ガイド２３は、搬出口４５の出口と接続された矩形の１つの角が切り欠かれて、搬送経路となっている。
【００３３】
図１（ｂ）に示すように、天板２１は、回転軸１３に近接して、被搬送物を供給する投入口４１（破線で位置を示す）を有している。投入口４１は、外部の、例えば、ホッパ（図示略）を介して投入される被搬送物を、搬送ドラム１１上に導入する。
【００３４】
次に、整列搬送装置１の動作、すなわち、被搬送物が整列される動作について説明する。
【００３５】
図４に示すように、半導体装置等の被搬送物が、投入口４１に投入された後、概略的には、搬送ドラム１１上を、例えば、時計方向の回転に乗って、回転軸１３を中心にした同心円の弧をなす進行方向Ｃ１〜Ｃ９に沿って、また、選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び外周ガイド２３の主に外側の側面に沿って進み、所望の整列がなされて、搬出口４５から搬出される。搬送ドラム１１は、最初に設定されたように、一定方向、例えば、時計方向に、一定の速度で回転する。
【００３６】
投入口４１に投入された幾つかの被搬送物の内の1つは、進行方向Ｃ１上を進む。被搬送物は、選別ガイド２５ａに接触して、外側の側面に沿って、回転軸１３から遠ざかるように進み、終端部から、進行方向Ｃ２上を進む。被搬送物は、選別ガイド２５ａの終端部に近い位置の内側の側面に接触して、回転軸１３に近付けられ、終端部から、進行方向Ｃ３上を進む。被搬送物は、選別ガイド２５の始端部に当たり、例えば、外側の側面に接触して方向を変えられて、回転軸１３から遠ざけられ、終端部から、進行方向Ｃ４上を進む。
【００３７】
また、被搬送物は、選別ガイド２５ｂに接近した位置を通り、選別ガイド２５の始端部に当たり、外側の側面に接触して、回転軸１３から遠ざけられ、終端部から、進行方向Ｃ５上を進む。被搬送物は、外周ガイド２３の端部に当たり、内側の側面に接触して、回転軸１３との距離をほとんど変えずに、端部から、進行方向Ｃ６上を進む。被搬送物は、反転選別ガイド２６の始端部に当たり、外側の側面に接触して、回転軸１３から遠ざけられながら、例えば、被搬送物の上面が上になるように表裏反転させられて、終端部から、進行方向Ｃ７上を進む。
【００３８】
また、被搬送物は、外周ガイド２３の端部に当たり、内側の側面に接触して、回転軸１３との距離をほとんど変えずに進み、光センサ系３１の表裏判定を通過し、終端部から、進行方向Ｃ８上を進む。その後は、被搬送物は、選別ガイド２５の始端部に当たり、外側の側面に接触して、回転軸１３から遠ざけられ、終端部から、進行方向Ｃ９上を進み、外周ガイド２３の端部に当たり、内側の側面に接触して、回転軸１３との距離をほとんど変えずに進み、光センサ系３１の表裏判定を２回通過し、搬出口４５から搬出される。
【００３９】
なお、被搬送物は、例えば、重心位置が内側にある場合、あるいは、２個が並列して内側に位置する場合等には、選別ガイド２５の始端部で内側に寄せられて、進行方向Ｃ１０に沿って、もう一周して、再度、選別ガイド２５の始端部で、重心位置等による選別を受けることになる。被搬送物は、他の位置にある選別ガイド２５及び反転選別ガイド２６等でも、同様な選別を受けることになる。
【００４０】
次に、外側の側面に接触して前後に進む方向を変える動作を説明する。
【００４１】
図５に示すように、平面図的に示された被搬送物は、例えば、ガルウィング型のアウタリード５５をモールド樹脂から外側に３本出した半導体装置５１である。選別ガイド２５は、半導体装置５１の方向を揃えることが可能である。点線で示した回転軸１３を中心とした弧に対して、選別ガイド２５は、回転が進むに従って、徐々に、回転軸１３から遠ざかる。選別ガイド２５の外側の側面に沿う半導体装置５１は、回転半径を増しながら周速度を増して行き、半導体装置５１は、より安定した位置を確保するように向きを変える。半導体装置５１の安定した位置は、加速度、重心位置５３、搬送ドラム１１と半導体装置５１の接触抵抗、及び、選別ガイド２５と半導体装置５１の接触抵抗等により決定される。その結果、半導体装置５１は、例えば、長辺方向が外側の側面に沿う方向に整列される。
【００４２】
図６に示すように、反転選別ガイド２６は、表裏（上下）が逆転している半導体装置５１を反転させることが可能である。搬送ドラム１１の回転に従って、時間は、図６（ｃ）→（ｂ）→（ａ）の順で推移する。上述した断面図的な反転選別ガイド２６に、側面図的な半導体装置５１が示されている。図６（ｃ）に示すように、反転選別ガイド２６の始端部では、表裏逆転している半導体装置５１のアウタリード５５の裏面に近い側の曲折部５６は、リードガイド２７より上にある。半導体装置５１が搬送ドラム１１上を搬送されて行くに従って、曲折部５６は、リードガイド２７に接近し、やがて、図６（ｂ）に示すように、曲折部５６は、リードガイド２７によって一部が持ち上げられる。そして、半導体装置５１は、次第に姿勢を立て始め、図６（ａ）に示すように、反転選別ガイド２６の終端部で、ほぼ直立に近い姿勢にまで至り、エア供給孔４３、４３ａを介して、常時吹出されているエアにより、姿勢が更に起こされ、表裏が反転される。つまり、例えば、表側を上にした所望の状態の半導体装置５１が得られる。反転選別ガイド２６は、半導体装置５１の大きさ及び形状、搬送ドラム１１の回転速度等に基づいて、リードガイド２７の大きさ、水平面となす角度等が決められている。
【００４３】
図７に示すように、対をなした光センサ系３１、及び、エア供給孔４３、４３ａを有するエア供給系４４で構成された表裏選別機構は、半導体装置５１が所望の形状にあるかどうかを判定し選別する。上述した断面図的な外周ガイド２３等に、側面図的な半導体装置５１が示されている。光センサ系３１の搬送ドラム１１上面に対向した先端は、浅い焦点深度を有するようにレンズ及び絞りが配設され、焦点は合焦部３３に合う。合焦部３３は、裏面を上に置かれた半導体装置５１のアウタリード５５の最も高い表面に合うように、設定されている。半導体装置５１は、表裏選別機構に至る前段階で、長手方向を外周ガイド２３の内側の側面とほぼ並行となるように配置されている。図７（ａ）に示すように、半導体装置５１が、例えば、表面を上にした所望の姿勢を有するとき、光センサ系３１は、焦点が合わず、ぼけて広がったアウタリード５５の像を検出する。一方、図７（ｂ）に示すように、半導体装置５１が所望の配置ではなく、裏面を上にした配置を取るとき、光センサ系３１は、頂点が合ったアウタリード５５の像を検出する。半導体装置５１の姿勢は、検出されたアウタリード５５の像の幅を、判定基準と比較することにより判定される。半導体装置５１が所望の姿勢にない場合、整列をやり直させるために、エア供給部４４に信号が送られ、エア供給孔４３、４３ａからエアを吹き出させて、半導体装置５１は内側、すなわち、搬送ドラム１１の回転軸１３方向に戻される。
【００４４】
上述したように、整列搬送装置１は、実質的に水平な上面を有し、ほぼ鉛直な回転軸１３を中心にほぼ水平に回転する搬送ドラム１１と、曲面からなる側面を回転軸１３から遠い側に有し、被搬送物の方向変換機能を有する選別ガイド２５と、曲面からなる側面を回転軸１３から遠い側に有し、被搬送物の表裏反転機能を有する反転選別ガイド２６と、曲面及び平面からなる側面を回転軸１３に近い側に有し、被搬送物の表裏選別機構を有する搬送ドラム１１の外周部に配設された外周ガイド２３とを備えている。整列搬送装置１は、更に、搬送ドラム１１の上面と向き合ったほぼ平面からなる底面を有する選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３は、搬送ドラム１１と反対側の上部を天板２１に固定されている。
【００４５】
その結果、整列搬送装置１は、被搬送物である半導体装置５１を、搬送ドラム１１に載せて、外周方向に移動させながら、進行方向を所望の姿勢に変換し、表裏を所望の姿勢に変換し、更に、進行方向及び表裏の姿勢を確認した後に、搬出することが可能となる。特に、表裏方向の１８０度の反転が、より確実に実現され得る。
【００４６】
また、整列搬送装置１は、搬送ドラム１１の回転による搬送であるため、また、選別ガイド２５及び反転選別ガイド２６等は、回転に対して無理のない形状及び配置、すなわち、搬送ドラム１１の回転に対して抵抗の比較的少ない形状、及び、平面図的には、回転円周と１８０度に近い比較的大きな角度で交わる関係にあるため、稼動時のノイズ発生等が少なく、静かである。つまり、整列搬送装置１では、搬送ドラム１１の回転音の他、被搬送物同士の接触音、被搬送物の搬送ドラム１１との接触音、被搬送物の選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３等への比較的大きな角度をなしての衝突及び接触音、エアの吹出し音等が主なものなので、静かである。
【００４７】
また、整列搬送装置１は、半導体装置５１のアウタリード５５を傷つけたり、汚したりすることが少なく、整列された半導体装置５１の信頼性を低下させることが少ない。例えば、振動を利用して被搬送物を搬送する装置では、個々にエネルギーが与えられた被搬送物同士の衝突、被搬送物のガイドの側面への衝突等が起こるので、半導体装置では、アウタリードが傷ついたり、汚れたりすることがあり、後工程の実装等において歩留が低下したり、更に、信頼性が低下する場合がある。
【００４８】
また、整列搬送装置１は、選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３が天板２１に固定されている。被搬送物の大きさ及び形状等に合致した選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３等を予め固定した天板２１を作製しておくことによって、整列搬送装置１は、迅速に、種々の被搬送物に適するように変更され得る。しかも、搬送ドラム１１は搬送を担当し、天板２１に固定された選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３は整列を担当するというように機能が分かれているので、両者を組み合わせたときに、間隔の調整だけで機能を発揮できるので、調整が簡単である。従って、整列搬送装置１は、被搬送物の切り替えにおける、選別ガイド２５、反転選別ガイド２６、及び、外周ガイド２３等の切り替え時間、及び、調整時間等の低減を可能とし、コストの抑制が可能である。
【００４９】
また、整列搬送装置１は、選別ガイド２５及び反転選別ガイド２６が天板２１に固定されている構造でもある。つまり、外周ガイド２３を交換する必要がない場合には、被搬送物の大きさ及び形状等に合致した選別ガイド２５及び反転選別ガイド２６等を予め固定した天板２１を作製しておくことによって、迅速に被搬送物に適した整列搬送装置１とすることが可能となる。その他に、上述の効果を同様に有している。
【００５０】
以上、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができる。
【００５１】
例えば、本実施例では、反転選別ガイドの始端部は、回転軸に近く、反転選別ガイドの終端部は、回転軸から遠い位置にある例を示したが、反転選別ガイドの始端部は、回転軸から遠く、反転選別ガイドの終端部は、回転軸に近い位置にあってもよい。この場合、反転選別ガイドの内側の側面がガイドとなるので、突出部であるリードガイドは内側の側面に配設する必要がある。
【００５２】
本発明は、以下の付記に記載されるような構成が考えられる。  
（付記１）  実質的に水平な上面を有し、ほぼ鉛直な回転軸を中心に回転する搬送ドラムと、前記搬送ドラムの上面と向き合って、回転する前記搬送ドラムの半径と最初に重なる第１の始端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記搬送ドラムの前記半径と最後に重なる第１の終端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記第１の始端部と前記第１の終端部との間は、滑らかに変化する曲率を有する鉛直または鉛直に近い第１の側面を有する板状の第１のガイドと、前記搬送ドラムの上面と向き合って、回転する前記搬送ドラムの半径と最初に重なる第２の始端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記搬送ドラムの前記半径と最後に重なる第２の終端部は前記回転軸から一定距離にあり、前記第２の始端部と第２の終端部との間は、滑らかに変化する曲率を有する鉛直または鉛直に近い第２の側面を有し、且つ、前記搬送ドラム側の底面に近接した前記第２の側面に、前記第２の始端部または前記第２の始端部に近い側と前記第２の終端部または前記第２の終端部に近い側との間は、前記搬送ドラムの上面との距離が一定の傾斜で変化する突出部及び前記突出部に近接して前記底面に第１の気体吹出口を有する板状の第２のガイドと、前記搬送ドラムの周辺部において前記搬送ドラムの上面と向き合って、鉛直または鉛直に近い第３の側面を有し、前記第３の側面に近接した前記搬送ドラムの上部の一定位置に合焦する光センサ系、及び、前記搬送ドラム側の底面に近接し、前記光センサ系の指示により気体を吹出す前記第３の側面に設けられた第２の気体吹出口を有する第３のガイドとを備えている整列搬送装置。
【００５３】
（付記２）  前記第１のガイドの前記第１の始端部はくさび形に形成されている付記１に記載の整列搬送装置。
【００５４】
（付記３）  前記第２のガイドの前記第２の始端部はくさび形に形成されている付記１に記載の整列搬送装置。
【００５５】
（付記４）  前記第３のガイドは、前記第３の側面を前記回転軸に近い側に有する付記１に記載の整列搬送装置。
【００５６】
（付記５）  前記第１乃至第３のガイドの内、少なくとも、前記第１及び第２のガイドは、同一の基板に設けられている付記１に記載の整列搬送装置。
【００５７】
（付記６）  前記基板は、前記搬送ドラムに対向する位置に開口を有することを特徴とする付記５に記載の整列搬送装置。
【００５８】
（付記７）  前記基板は、前記搬送ドラムの外周を横切る側面を有する第４のガイド２８を有する付記５に記載の整列搬送装置。
【００５９】
（付記８）  前記光センサ系は、画像の取込み手段、前記取込み画像と基準の画像との照合手段、及び前記照合結果に基づく信号の送出手段を有する付記１に記載の整列搬送装置。
【００６０】
（付記９）  前記第１の気体吹出口は、一定期間、一定の気体を吹いている付記１に記載の整列搬送装置。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施例に係る整列搬送装置の構成を模式的に示す図で、図１（ａ）は一部を切り欠いて示す平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面図。
【図２】本発明の実施例に係る整列搬送装置の構成要素を模式的に示す図で、図２（ａ）及び図２（ｂ）は右斜め前方（図１（ａ）のＢ方向）から見た図、図２（ｃ）及び図２（ｄ）は図２（ａ）及び図２（ｂ）の断面図。
【図３】本発明の実施例に係る整列搬送装置の構成要素を模式的に示す図１（ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図。
【図４】本発明の実施例に係る整列搬送装置において、被搬送物の搬送軌跡を模式的に示す図。
【図５】本発明の実施例に係る整列搬送装置において、被搬送物の方向転換を行わせる構成要素及び方向転換を模式的に示す図。
【図６】本発明の実施例に係る整列搬送装置において、被搬送物の方向転換を行わせる構成要素及び方向転換を模式的に示す図。
【図７】本発明の実施例に係る整列搬送装置において、被搬送物の表裏方向を検知する構成要素及び被搬送物を移動させる手段を模式的に示す図。
【符号の説明】
【００６２】
１  整列搬送装置
１１  搬送ドラム
１３  回転軸
１４  回転方向
１５  ケーシング
１７  駆動機構
２１  天板
２３  外周ガイド
２５、２５ａ、２５ｂ  選別ガイド
２６  反転選別ガイド
２７  リードガイド
２８  搬出ガイド
３１  光センサ系
３３  合焦部
４１  投入口
４３、４３ａ  エア供給孔
４４  エア供給系
４５  搬出口
５１  半導体装置
５３  重心位置
５５  アウタリード
５６  曲折部
Ｃ１〜Ｃ１０  進行方向
【図１】
2008254884.tif 000003
【図２】
2008254884.tif 000004
【図３】
2008254884.tif 000005
【図４】
2008254884.tif 000006
【図５】
2008254884.tif 000007
【図６】
2008254884.tif 000008
【図７】
2008254884.tif 000009