(57)【要約】【課題】燃料電池に好適な液体燃料を精製することが可能な液体燃料精製方法及び液体燃料精製システムを提供する。【解決手段】金属除去部１０８−１乃至１０８−４は、液体燃料原液としてのメタノールから金属成分を除去し、超純水供給部１１３は、メタノールの濃度を調整し、精製タンク１１０−１及び１１０−２には、中間燃料液としてのメタノールが貯蔵される。金属除去部１１８−１及び１１８−２は、精製タンク１１０−１及び１１０−２に貯蔵された中間燃料液としてのメタノールから金属成分を除去し、燃料電池に好適な液体燃料としてのメタノールを得る。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体燃料原液から、金属成分が除去されて燃料濃度の調整された中間燃料液を生成し、該中間燃料液をタンクに貯蔵する第１の工程と、
前記タンクから送出される前記中間燃料液から金属成分を更に除去して液体燃料を精製する第２の工程とを有することを特徴とする液体燃料精製方法。
【請求項２】
前記第１の工程は、
前記液体燃料原液から金属成分を除去する金属成分除去工程と、
前記金属成分が除去された液体燃料原液を希釈して前記中間燃料液を生成する中間燃料液生成工程とを有することを特徴とする請求項１に記載の液体燃料精製方法。
【請求項３】
前記金属除去工程は、前記液体燃料原液に粒子の状態で存在する金属成分と、イオンの状態で存在する金属成分とを除去することを特徴とする請求項２に記載の液体燃料精製方法。
【請求項４】
前記第１の工程は、金属成分除去後の前記液体燃料原液の金属成分濃度が所定値以上である場合に、更に、前記液体燃料原液から金属成分を除去することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の液体燃料精製方法。
【請求項５】
液体燃料原液から、金属成分が除去されて燃料濃度の調整された中間燃料液を生成し、該中間燃料液をタンクに貯蔵させる第１の設備と、
前記タンクから送出される前記中間燃料液から金属成分を更に除去して液体燃料を精製する第２の設備とを有することを特徴とする液体燃料精製システム。
【請求項６】
前記第１の設備は、金属成分除去後の前記液体燃料原液に含まれる金属成分濃度が所定値以上である場合に、更に、前記液体燃料原液から金属成分を除去することを特徴とする請求項５に記載の液体燃料精製システム。
【請求項７】
前記第１の設備は、
並列に接続され、前記液体燃料原液から金属成分を除去する複数の第１の金属除去部と、
前記複数の第１の金属除去部のうち、前記金属成分の除去に使用するものを切り替える第１の切り替え手段と、
並列に接続され、前記中間燃料液を貯蔵する複数の前記タンクと、
前記複数のタンクのうち、前記中間燃料液の貯蔵に使用するものを切り替える第２の切り替え手段とを有することを特徴とする請求項５又は６に記載の液体燃料精製システム。
【請求項８】
前記第２の設備は、
並列に接続され、前記タンクから送出される前記中間燃料液から金属成分を更に除去して液体燃料を精製する複数の第２の金属除去部と、
前記複数の第２の金属除去部のうち、前記金属成分の除去に使用するものを切り替える第３の切り替え手段とを有することを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の液体燃料精製システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池に用いられるメタノール等の液体燃料を精製する液体燃料精製方法及び液体燃料精製システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機や自動車の電源として燃料電池が実用化されつつある。このような燃料電池には液体燃料としてのメタノールが用いられる。ところで、メタノールに不純物、特に金属が含まれていると、燃料電池内の触媒に影響を及ぼし、起電力が低下する等の問題が発生する。このため、例えば、特許文献１では、メタノールを精製することが記載されている。
【特許文献１】特開２００６−１２７８５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上述した特許文献１では、燃料電池に好適な液体燃料としてのメタノールをどのような手法で精製するのかについて、具体的な手法が明らかでない。
【０００４】
本発明は従来の問題を解決するためになされたもので、燃料電池に好適な液体燃料を精製することが可能な液体燃料精製方法及び液体燃料精製システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液体燃料精製方法は、液体燃料原液から、金属成分が除去されて燃料濃度の調整された中間燃料液を生成し、該中間燃料液をタンクに貯蔵する第１の工程と、前記タンクから送出される前記中間燃料液から金属成分を更に除去して液体燃料を精製する第２の工程とを有することを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、第１の工程において、液体燃料原液について、金属成分の除去と濃度調整がなされた中間燃料液が得られて貯蔵され、更に、第２の工程において、中間燃料液から金属成分が除去されて燃料電池に好適な液体燃料が得られる。また、中間燃料液を得る第１の工程と、最終的な液体燃料を得るための第２の工程とが分けられているため、例えば、予め第１の工程において中間燃料液を生成、貯蔵しておけば、液体燃料を燃料電池に供給するための燃料カートリッジを製造する時には、第２の工程のみを行うことで、当該燃料カートリッジに対して燃料電池に好適な液体燃料を充填することができる。
【０００７】
また、本発明の液体燃料精製方法は、前記第１の工程が、前記液体燃料原液から金属成分を除去する金属成分除去工程と、前記金属成分が除去された液体燃料原液を希釈して前記中間燃料液を生成する中間燃料液生成工程とを有するようにしてもよい。
【０００８】
また、本発明の液体燃料精製方法は、前記金属除去工程が、前記液体燃料原液に粒子の状態で存在する金属成分と、イオンの状態で存在する金属成分とを除去するようにしてもよい。
【０００９】
また、本発明の液体燃料精製方法は、前記第１の工程が、金属成分除去後の前記液体燃料原液の金属成分濃度が所定値以上である場合に、更に、前記液体燃料原液に含まれる金属成分を除去するようにしてもよい。
【００１０】
この構成によれば、液体燃料原液から金属成分を除去した後も、なお当該金属濃度が高い場合には、再度、第１の工程において金属成分の除去を行い、濃度を所定値にさせることが可能となる。
【００１１】
本発明の液体燃料精製システムは、液体燃料原液から、金属成分が除去されて燃料濃度の調整された中間燃料液を生成し、該中間燃料液をタンクに貯蔵させる第１の設備と、前記タンクから送出される前記中間燃料液から金属成分を更に除去して液体燃料を精製する第２の設備とを有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の液体燃料精製システムは、前記第１の設備が、金属成分除去後の前記液体燃料原液の金属成分濃度が所定値以上である場合に、更に、前記液体燃料原液から金属成分を除去するようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明の液体燃料精製システムは、前記第１の設備が、並列に接続され、前記液体燃料原液から金属成分を除去する複数の第１の金属除去部と、前記複数の第１の金属除去部のうち、前記金属成分の除去に使用するものを切り替える第１の切り替え手段と、並列に接続され、前記中間燃料液を貯蔵する複数の前記タンクと、前記複数のタンクのうち、前記中間燃料液の貯蔵に使用するものを切り替える第２の切り替え手段とを有するようにしてもよい。
【００１４】
この構成によれば、複数の第１の金属除去部やタンクの一方が交換等によって使用不可となる場合にも、他方の第１の金属除去部や貯蔵部により精製処理を継続することが可能となる。
【００１５】
また、本発明の液体燃料精製システムは、前記第２の設備が、並列に接続され、前記タンクから送出される前記中間燃料液から金属成分を更に除去して液体燃料を精製する複数の第２の金属除去部と、前記複数の第２の金属除去部のうち、前記金属成分の除去に使用するものを切り替える第３の切り替え手段とを有するようにしてもよい。
【００１６】
この構成によれば、複数の第２の金属除去部の一方が交換等によって使用不可となる場合にも、他方の第２の金属除去部により精製処理を継続することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、第１の工程において、金属成分の除去と濃度調整がなされた中間燃料液が得られて貯蔵され、更に、第２の工程において、金属成分が除去されて燃料電池に好適な液体燃料を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態の液体燃料精製方法について、図面を用いて説明する。図１は、燃料電池に対する液体燃料としてのメタノールの供給に用いられる、燃料カートリッジの製造工程を示す図である。図１に示すように、燃料カートリッジの製造工程は、容器内異物除去工程１０、容器組立工程２０、メタノール精製工程３０、充填密封工程４０、充填量検査工程５０、密封検査工程６０、巻き締め工程７０及び包装工程８０からなる。
【００１９】
容器内異物除去工程１０では、ボトル内の異物を吸引すること等により、当該異物をボトル内から除去する。容器組立工程２０では、容器内異物除去工程１０を経たボトルをハードケースに収容した容器が組み立てられる。
【００２０】
メタノール精製工程３０では、液体燃料原液としてのメタノールを受け入れ、金属を除去するとともに、水により濃度が調整され、液体燃料としてのメタノールが精製される。本発明の実施の形態の液体燃料精製方法は、このメタノール精製工程３０に対応する。
【００２１】
図２は、液体燃料精製システムの構成を示す図である。図２に示す液体燃料精製システムは、第１の工程を担当する第１の設備に対応する受け入れボックス１０２、フィルタ１０４、地下貯蔵タンク１０６、金属除去部１０８−１乃至１０８−４、精製タンク１１０−１及び１１０−２、超純水供給部１１２、金属濃度検出部１１３、還流経路１１４、バルブ１５１乃至１７３、ポンプ１８１、１８２、１８３−１及び１８３−２と、第２の工程を担当する第２の設備に対応する金属除去部１１８−１及び１１８−２、ヘッドタンク１２０、バルブ１７４乃至１７７により構成される。これらのうち、金属除去部１０８−１乃至１０８−４が第１の金属除去部に対応し、バルブ１５５乃至１６２が第１の切り替え手段に対応し、精製タンク１１０−１及び１１０−２が貯蔵部に対応し、バルブ１６３、１６６、１６９及び１７１が第２の切り替え手段に対応する。また、金属除去部１１８−１及び１１８−２が第２の金属除去部に対応し、バルブ１７４乃至１７７が第３の切り替え手段に対応する。
【００２２】
受け入れボックス１０２には、バルブ１５１を介して、液体燃料原液としてのメタノールが投入される。ここで、液体燃料原液としてのメタノールに含まれる金属の濃度は８０乃至１５０［ｐｐｂ］程度と高く、燃料電池の液体燃料として用いることはできない。
【００２３】
フィルタ１０４は、ポンプ１８１及びバルブ１５２を介して、受け入れボックス１０２の後段に接続される。ポンプ１８１が受け入れボックス１０２内のメタノールを送り出すと、フィルタ１０４は、供給されるメタノールを濾過することによって、当該メタノールに含まれる異物を除去する。異物が除去されたメタノールは、バルブ１５３を介してフィルタ１０４の後段に接続された地下貯蔵タンク１０６に貯蔵される。この地下貯蔵タンク１０６は、内壁面に電解研磨が施されており、当該内壁面の部材がメタノールに溶出することが防止される。例えば、地下貯蔵タンク１０６の容量は、２０［ｔ］である。
【００２４】
地下貯蔵タンク１０６の後段には、バルブ１５４及びポンプ１８２を介して、バルブ１５５、金属除去部１０８−１及びバルブ１５７と、バルブ１５６、金属除去部１０８−２及びバルブ１５８とが並列に接続され、更に、バルブ１５９、金属除去部１０８−３及びバルブ１６１と、バルブ１６０、金属除去部１０８−４及びバルブ１５２とが並列に接続されている。
【００２５】
金属除去部１０８−１乃至１０８−４は、図示しないタンク、濾過器、及び、タンクの内壁面に形成されるイオン交換樹脂層により構成される。ポンプ１８２が地下貯蔵タンク１０６内のメタノールを送り出すと、金属除去部１０８−１及び１０８−２は、供給されるメタノールを濾過することによって、当該メタノール内に粒子の状態で存在する金属成分を除去する。また、金属除去部１０８−３及び１０８−４は、メタノール内にイオンの状態で存在する金属成分をイオン交換樹脂に吸着させることによって当該イオンの状態で存在する金属成分を除去する。
【００２６】
これら金属除去部１０８−１及び１０８−２は、並列に接続されているため、一方が交換作業等によって使用不可となっても、他方によって金属成分の除去を継続することができる。例えば、金属除去部１０８−１を交換する場合には、バルブ１５５及び１５７を閉鎖し、バルブ１５６及び１５８を開放することによって、金属除去部１０８−２による金属成分の除去が行われる。
【００２７】
同様に、金属除去部１０８−３及び１０８−４は、金属除去部１０８−１及び１０８−２の少なくとも一方から供給されるメタノールを濾過することによって、当該メタノール内に粒子の状態で存在する金属成分を除去する。また、金属除去部１０８−３及び１０８−４は、メタノール内にイオンの状態で存在する金属成分をイオン交換樹脂に吸着させることによって当該イオンの状態で存在する金属成分を除去する。これら金属除去部１０８−３及び１０８−４は、並列に接続されているため、一方が交換作業等によって使用不可となっても、他方によって金属除去を継続することができる。例えば、金属除去部１０８−３を交換する場合には、バルブ１５９及び１６１を閉鎖し、バルブ１６０及び１６２を開放することによって、金属除去部１０８−４による金属成分の除去が行われる。
【００２８】
金属除去部１０８−１乃至１０８−４による金属成分の除去が行われることによって、例えば、メタノールに含まれる金属の濃度は２０［ｐｐｂ］程度まで低減される。
【００２９】
バルブ１６１及び１６２の後段には、バルブ１６３、精製タンク１１０−１及びバルブ１６９と、バルブ１６６、精製タンク１１０−２及びバルブ１７１とが並列に接続されている。また、これら精製タンク１１０−１及び１１０−２には、超純水供給部１１２がそれぞれバルブ１６４及び１６５を介して接続されるとともに、濃度検出部１１３が接続されている。更に、精製タンク１１０−１及び１１０−２には、内部の液体を抜くためのバルブ１６８及び１７０が接続されている。
【００３０】
精製タンク１１０−１及び１１０−２は、金属除去部１０８−１乃至１０８−４によって金属成分が除去されたメタノールを貯蔵する。これら精製タンク１１０−１及び１１０−２の内壁面には電解研磨が施されており、当該内壁面の部材がメタノールに溶出することが防止される。例えば、精製タンク１１０−１及び１１０−２の容量は、３［ｔ］である。
【００３１】
濃度検出部１１３は、精製タンク１１０−１及び１１０−２内のメタノールに含まれる金属成分の濃度（金属成分濃度）を検出する。検出された金属成分濃度は、例えば、濃度検出部１１３が接続されたパーソナルコンピュータのモニタ等に表示され、作業者が認識することができる。検出された金属成分濃度が所望する値よりも大きい場合には、前段の金属除去部１０８−１乃至１０８−４による金属成分の除去が十分に行われなかったということである。この場合には、バルブ１６８及びバルブ１７０が閉鎖され、バルブ１６９及び１７１が開放された状態で、バルブ１６９及び１７１の後段に接続されたポンプ１８３−１による精製タンク１１０−１及び１１０−２内のメタノールの送り出しが行われ、更に、ポンプ１８３−１の後段に接続されたバルブ１７２が開放されることによって、還流経路１１４を介して、精製タンク１１０−１及び１１０−２内のメタノールが金属除去部１０８−１及び１０８−２に還流され、再度、金属除去部１０８−１乃至１０８−４による金属成分の除去が行われる。
【００３２】
一方、検出された金属成分濃度が所望する値以下である場合には、超純水供給部１１２は、精製タンク１１０−１及び１１０−２に、バルブ１６４及び１６５を介して超純水を供給する。ここで、超純水は、金属濃度が所定値まで低減されたものが用いられる。超純水の供給により、これら精製タンク１１０−１及び１１０−２内のメタノールが希釈され、所定の濃度、例えば、法律で劇物であるとみなされない濃度に調整された中間燃料液としてのメタノールが得られ、貯蔵される。
【００３３】
その後は、バルブ１６９及び１７１が閉鎖され、バルブ１６８及びバルブ１７０が開放された状態で、バルブ１６８及びバルブ１７０の後段に接続されたポンプ１８３−２による精製タンク１１０−１及び１１０−２内の中間燃料液としてのメタノールの送り出しが行われ、更に、ポンプ１８３−２の後段に接続されたバルブ１７３が開放されることによって、中間燃料液としてのメタノールがバルブ１７３の後段に送り出される。バルブ１７３の後段には、バルブ１７４、金属除去部１１８−１及びバルブ１７６と、バルブ１７５、金属除去部１１８−２及びバルブ１７７とが接続されている。金属除去部１１８−１乃至１１８−２は、図示しないタンク及び濾過器により構成され、精製タンク１１０−１及び１１０−２の少なくとも一方からから供給される中間燃料液としてのメタノールを濾過することによって、当該メタノール内に粒子の状態で存在する金属成分を除去する。これら金属除去部１１８−１及び１１８−２は、並列に接続されているため、一方が交換作業等によって使用不可となっても、他方によって金属除去を継続することができる。例えば、例えば、金属除去部１１８−１を交換する場合には、バルブ１７４及び１７６を閉鎖し、バルブ１７５及び１７７を開放することによって、金属除去部１１８−２による金属成分の除去が行われる。金属除去部１１８−１乃至１１８−２による金属除去が行われることによって、例えば、メタノールに含まれる金属の濃度は１［ｐｐｂ］以下程度まで低減される。
【００３４】
このようにしてメタノールの精製が行われ、液体燃料として好適なメタノールが得られた後、図１に示す充填密封工程４０に移行する。図２において、バルブ１７６及び１７７の後段には、ヘッドタンク１２０が接続されている。ヘッドタンク１２０は、金属除去部１１８−１乃至１１８−２から供給されるメタノールを貯蔵する。このヘッドタンク１２０の内壁面は、不動態化処理が施されており、当該内壁面の部材がメタノールに溶出することが防止される。更に、ヘッドタンク１２０の後段には、定量シリンダ１２２が接続されている。定量シリンダ１２２は、容器２００の１本分のメタノールをヘッドタンク１２０から受け入れ、テフロン（登録商標）チューブ１２４を介して、ボトルに充填する。この定量シリンダ１２２の内壁面は、ＰＥＥＫ（ポリ・エーテル・エーテル・ケトン）樹脂により形成されており、当該内壁面の部材がメタノールに溶出することが防止される。
【００３５】
更に、充填密封工程４０では、容器２００の口部にカップラーが配置され、当該口部に挿入される。その後、カップラーの有無が検査される。カップラーが容器２００に取り付けられている場合には、当該カップラーにコンテナノズルが被せられる。その後、コンテナノズルと容器２００のハードケースとが仮締めされ、更に本締めされる。これにより、容器２００、カップラー及びコンテナノズルからなる燃料カートリッジ本体が完成する。
【００３６】
図３は、燃料カートリッジ本体の拡大断面図である。ボトル２１０がハードケース２１５に収容されることで容器２００が構成され、当該ボトル２１０の口部先端には、バルブ２２０が配置される。バルブホルダ２３０は、環状の部材であり、バルブ２２０の下部を挿入するバネ２５０の下端を支持する。カートリッジベース２４０は、環状の部材であり、バルブホルダ２３０を嵌合して支持するとともに、バルブ２２０を、当該バルブ２２０の上部との間にわずかな隙間が生じるように収容する。バネ２５０は、バルブ２２０の下部を挿入し、下端がバルブホルダ２３０により支持されることによって、バルブ２２０を上方に付勢する。
【００３７】
Ｏリング２６０は、ゴムによって形成された環状部材であり、バルブホルダ２３０の側面に形成された凸部２３４とボトル２１０の上端との間に挿入され、バルブホルダ２３０を固定する。Ｏリング２７０は、同様にゴムによって形成された環状部材であり、下部がバネ２５０によって上方に付勢されたバルブ２２０の側面に形成された凸部２２２に当接し、上部がカートリッジベース２４０に当接することによってバルブ２２０を固定する。
【００３８】
カップラーは、上述したバルブ２２０、バルブホルダ２３０、カートリッジベース２４０、バネ２５０、Ｏリング２６０及びＯリング２７０によって構成される。コンテナノズル２０２は、ハードケース２１５に巻き締められることによって、カップラーを固定する。
【００３９】
燃料カートリッジ本体は、通常は、バルブ２２０がバネ２５０によって口部の先端の側に付勢されているため、Ｏリング２７０とバルブ２２０の凸部２２２との間に隙間が生じず、ボトル２１０の内部は、密封された状態となる。一方、燃料電池にメタノールが供給される場合には、燃料電池側に設けられた凸部によって、バルブ２２０は先端とは反対の側（図３の下方）に押圧され、バルブホルダ２３０の底部２３２に当接するまで移動する。この際、Ｏリング２７０とバルブ２２０の凸部２２２との間に隙間が生じる。これによって、ボトル２１０の内部と外部とが通気した状態となり、ボトル２１０の内部に充填されたメタノールが燃料電池に流れ込むことになる。
【００４０】
再び、図１に戻って説明する。充填量検査工程５０では、メタノールが充填された燃料カートリッジ本体の重量が測定され。重量が予め定められた範囲内にない燃料カートリッジ本体は、充填されたメタノールに過不足があるものとみなされ、不良品として排出される。
【００４１】
燃料カートリッジ本体の重量が予め定められた範囲内である場合には、密封検査工程６０に移行する。この密封検査工程６０では、燃料カートリッジ本体をチャンバ内の密閉された空間（密閉空間）に収容し、当該密閉空間の空気の吸引が行われ、更に、所定の装置によって密閉空間の気圧が検出される。この際、燃料カートリッジ本体を構成するボトル２１０の内部が密封された状態であれば、密閉空間の気圧は所定値に維持される。一方、ボトル２１０とカップラーとの間に隙間が生じていたり、ボトル２１０に穴が開いていること等によって、ボトル２１０に漏れが生じている場合には、ボトル２１０の内部と密閉空間とが通気した状態となり、ボトル２１０の内部の気体の漏れによって密閉空間の気圧が増加する。従って、密閉空間の気圧が維持されていれば、燃料カートリッジ本体は良品であると判定され、気圧が増加すれば、燃料カートリッジ本体は不良品であると判定される。
【００４２】
なお、密封検査工程６０では、所定の装置によって密閉空間に漏洩したメタノールを検出してもよい。この場合には、メタノールが検出された場合には、当該メタノールはボトル２１０の内部から漏洩したものであるから、不良品であると判定される。
【００４３】
ボトル２１０の内部が密封された状態でない、すなわち、燃料カートリッジ本体が不良品である場合には、当該燃料カートリッジは排出される。一方、ボトル２１０の内部が密封された状態である、すなわち、燃料カートリッジ本体が良品である場合には、キャップ巻き締め工程７０に移行する。キャップ巻き締め工程７０では、容器２００の口部にキャップが被せられる。その後、キャップの有無が検査される。キャップが口部に被せられている場合には、当該キャップとコンテナノズル２９０とが仮締めされ、更に本締めされる。その後、包装工程８０では、燃料カートリッジ本体３００の底部への印字、側面へのステッカの貼付等が行われて、燃料カートリッジが完成し、更に、当該燃料カートリッジの箱詰めが行われる。
【００４４】
このように、本実施形態では、第１の工程を担当する第１の設備が、液体燃料原液としてのメタノールに対して、金属成分の除去と濃度調整とを行って得た中間燃料液としてのメタノールを貯蔵し、更に、第２の工程を担当する第２の設備が、中間燃料液としてのメタノールから金属成分を除去し、液体燃料として好適なメタノールを得る。また、中間燃料液としてのメタノールを得る第１の工程と、最終的な液体燃料としてのメタノールを得るための第２の工程とが分けられているため、例えば、予め第１の工程において中間燃料液としてのメタノールを貯蔵しておけば、液体燃料を充填した燃料カートリッジを製造する時には、第２の工程のみを行うことで、好適な液体燃料としてのメタノールを充填することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
以上のように、本発明に係る液体燃料精製方法及び液体燃料精製システムによれば、燃料電池に好適な液体燃料の精製が可能であり、液体燃料精製方法等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】メタノールを充填したボトルの製造工程を示す図である。
【図２】液体燃料精製システムに構成を示す図である。
【図３】燃料カートリッジ本体の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０２  受け入れボックス
１０４  フィルタ
１０６  地下貯蔵タンク
１０８−１乃至１０８−４、１１８−１及び１１８−２  金属除去部
１１０−１、１１０−２  精製タンク
１１２  超純水供給部
１１３  金属濃度検出部
１１４  還流経路
１２０  ヘッドタンク
１５１乃至１７７  バルブ
１８１、１８２、１８３−１、１８３−２  ポンプ
【図１】
2008045021.tif 000003
【図２】
2008045021.tif 000004
【図３】
2008045021.tif 000005