(57)【要約】【課題】テストプログラムの違反の未検出を防止し、ＤＵＴのトラブルの発生を防止することが可能な半導体試験装置を提供する。【解決手段】半導体試験装置１００では、テストプログラム実行部１２０によるテストプログラムの実行中に電源チェッカ機能を実現し、電源チェッカ制御部１１０は、違反条件データを違反条件チェック部１２４に出力し設定する。テストプログラムについて生成した設定データを違反条件チェック部１２４に設定し、違反条件データに基づいて設定データをチェックし、テストプログラムの違反を検出する。違反を検出した場合にはテストプログラムの実行を停止させ画面表示する処理を行う。【選択図】図２
2008216221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象に対して試験を行うためのテストプログラムを実行するテストプログラム実行手段と、
前記被試験対象に出力する電圧値に関する違反条件を含む違反条件情報を記憶する違反情報記憶部と、
前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行中に、前記違反情報記憶部に記憶された違反条件情報に基づいて、テストプログラムの違反を検出する違反チェック部と、
前記違反チェック部により違反が検出されたことに応じて、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行を停止させるテストプログラム停止手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
被試験対象に対して試験を行う機能を有した試験実行部と、
前記試験実行部を動作させて試験を進行するためのテストプログラムを実行するテストプログラム実行手段と、
前記テストプログラムに従って前記試験実行部の設定に関する設定情報を生成する設定情報生成部と、
前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行中に、前記設定情報を用いて前記試験実行部の設定をチェックする設定チェック部と、
前記被試験対象に出力する電圧値に関する違反条件を含む違反条件情報を記憶する違反情報記憶部と、
前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行中に、前記違反情報記憶部に記憶された違反条件情報に基づいて、前記設定情報をチェックしてテストプログラムの違反を検出する違反チェック部と、
前記違反チェック部により違反が検出されたことに応じて、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行を停止させるテストプログラム停止手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体試験装置において、
前記違反条件情報には、前記被試験対象に対して試験信号として印加可能な電圧値の範囲に関する情報が含まれていることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の半導体試験装置において、
前記違反チェック部により違反が検出されたことに応じて、違反が検出されたことを画面表示する画面表示部を更に備えていることを特徴とする半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス等の被試験対象に対して動作確認等の試験を行う半導体試験装置に係り、特に、テストプログラムの違反をチェックする構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体デバイス等の被試験対象（以下、ＤＵＴと称する。）に対して、試験信号を出力して動作確認の試験を行う半導体試験装置では、各種の試験毎に予め用意されたテストプログラムを実行することによって、テストプログラムに従った内容の試験をＤＵＴに対して行っている。
【０００３】
またテストプログラムの実行においては、半導体試験装置の機能や機種に対応してテストプログラムの設定や違反をチェックすることにより、ＤＵＴの誤作動や故障等の発生を防止している。具体的には、試験時にＤＵＴに印加される電圧値がＤＵＴの規格（定格値）に合致しているか否かをチェックする電源チェッカの機能が半導体試験装置に設けられている。
【０００４】
以下の特許文献１に記載されたテストプログラム生成装置では、プログラム生成機能が、テストスペックに記述されているテンプレート名に基づいて、対応する能動的テンプレートを雛形ライブラリデータベースから起動させる。テストスペック編集機能は、能動的テンプレートと中間パラメータとの関連付けを行い、起動させた能動的テンプレートに対して中間パラメータ群の中から必要な中間パラメータを取り込むことによってテストプログラムを生成している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００６−３１３５４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
また、従来の半導体試験装置では、以下のようにして試験を行う際に実行するテストプログラムの設定や違反のチェックを行っている。図３は、テストプログラムを実行することによりＤＵＴに対してテストプログラムに従った内容の試験を行う半導体試験装置２００の構成を示す説明図である。
【０００６】
半導体試験装置２００は、その内部の各構成要素を制御し、またテストプログラムから試験時の動作の設定に関する情報を抽出する処理を行う電源チェッカ制御部２１０と、予め記憶されたテストプログラムを実行することにより試験を行うテストプログラム実行部２２０とから構成されている。また、半導体試験装置２００には、外部記憶装置である設定データ記憶部２３０や違反データ記憶部２４０が接続されている。これら設定データ記憶部２３０や違反データ記憶部２４０には、テストプログラムの違反条件に関する違反条件データや半導体試験装置２００の動作の設定に関する設定データが記憶されており、半導体試験装置２００は設定データ記憶部２３０および違反データ記憶部２４０に対してデータの記憶（書き込み）や読み出しが可能である。
【０００７】
続いて、半導体試験装置２００の動作について図４に示すフローチャートを用いて説明する。半導体試験装置２００の電源チェッカ制御部２１０は、例えば“ｐｗｒｃｈｋ−ｃ  ｄｐｓｔｅｓｔ．ｔｘｔ”というコマンドを実行することにより、ＤＵＴに対する実際の試験とは別にテストプログラム実行部２２０を用いてチェックを行うためのテストプログラムを実行する。電源チェッカ制御部２１０の設定データ収集部２１１は、テストプログラム実行部２２０を用いて予めテストプログラム記憶部２２２に記憶されたテストプログラムを１行毎や命令単位の各ステップ毎に分けて読み出す。
【０００８】
テストプログラム実行部２２０では、ハードウェア設定部２２１により、半導体試験装置２００の機能の限界状況を確認しながら、この読み出したテストプログラム各ステップ毎の内容に従って、半導体試験装置２００の図示しないテストヘッド部分等でＤＵＴに対して試験信号として印加する電圧値に関する設定が行われる。また、この設定した内容を含む設定データをハードウェア設定記憶部２２３に記憶させる処理を行う（ステップＳ４０１）。
【０００９】
設定データ収集部２１１は、ステップＳ４０１において記憶させた設定データをハードウェア設定記憶部２２３から読み出し、ハードウェア設定記憶部２２３とは異なる記憶領域として設けられた設定データ記憶部２３０に記憶させ（ステップＳ４０２）、テストプログラム実行部２２０によりテストプログラムを実行する（ステップＳ４０３）。
【００１０】
設定データ収集部２１１は、テストプログラムの各ステップ毎にステップＳ４０１〜Ｓ４０３の処理を繰り返して行い、全てのステップにおいてＳ４０１〜Ｓ４０３の処理を行うと（ステップＳ４０４のＹＥＳ）、違反条件チェック部２１２が違反データ記憶部２４０に予め記憶された違反条件データを読み出す（ステップＳ４０５）。
【００１１】
違反条件チェック部２１２は、ステップＳ４０２において記憶させた設定データを設定データ記憶部２３０からテストプログラムの各ステップ毎に応じて分けて読み出す（ステップＳ４０６）。そして違反条件チェック部２１２は、読み出した違反条件データに基づいて、実際にＤＵＴに印加する試験信号の電圧値が違反条件に該当するか否かをチェックする（ステップＳ４０７）。
【００１２】
違反条件チェック部２１２は、チェックした結果違反が検出された場合には（ステップＳ４０７のＹＥＳ）、この検出された違反の内容を含む違反結果データを生成して、外部記憶装置として接続された結果データ記憶部２５０に記憶させる。
【００１３】
違反結果データには、違反内容に対応する違反条件データの条件式番号やテストプログラムの行位置、テストプログラムに対応する試験内容のテスト番号等が含まれており、例えば“ｃａｓｅｎｏ＝１，ｆｉｌｅ＝ＤｐｓＴｅｓｔ１．ｔｄｌ，ｌｉｎｅ＝１００，ｔｅｓｔｎｏ＝２００”の文字列を含むテキストファイルとなっている。
【００１４】
違反条件チェック部２１２は、テストプログラムの各ステップ毎に応じて分けた設定データに対してステップＳ４０６〜Ｓ４０９の処理を繰り返して行い、全ての設定値データをチェックする。
【００１５】
しかしながら、このような従来技術における半導体試験装置では、以下のような問題があった。即ち、半導体試験装置２００は、ＤＵＴに対する実際の試験とは別に、テスト結果を無視する等によってテストプログラム実行部２２０を用いてテストプログラムを実行し、実際の試験の準備段階でチェックを行っていた。ところが、ＤＵＴに対する実際の試験では、テストプログラム内に判定や評価処理に従って複数の分岐が生じており、試験の回数毎に分岐により実行される処理が変化し、同じ処理フローに限られず異なった処理フローが実行される場合があった。
【００１６】
このため、試験の準備段階でチェックを行った処理フローと異なる処理フローが実行されると、設定データのチェックが行われておらず違反が生じていても検出することができないという問題が発生していた。仮に違反が生じたまま試験を実行してしまうと、ＤＵＴに過大な電圧が印加される結果、ＤＵＴの故障や破壊等のトラブルが発生するという問題があった。
【００１７】
そこで本発明は、テストプログラムの違反の未検出を防止し、ＤＵＴのトラブルの発生を防止することが可能な半導体試験装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
以上のような課題を達成するために、本発明に係る半導体試験装置は、被試験対象に対して試験を行うためのテストプログラムを実行するテストプログラム実行手段と、前記被試験対象に出力する電圧値に関する違反条件を含む違反条件情報を記憶する違反情報記憶部と、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行中に、前記違反情報記憶部に記憶された違反条件情報に基づいて、テストプログラムの違反を検出する違反チェック部と、前記違反チェック部により違反が検出されたことに応じて、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行を停止させるテストプログラム停止手段とを備えたことを特徴とする。
【００１９】
このような構成により、違反チェック部がテストプログラム実行手段によってテストプログラムが実行された実際の試験時に違反をチェックするので、テストプログラム内に複数の分岐が生じ試験の回数毎に分岐により実行される処理が変化しても、それらの回数毎に違反をチェックすることが可能となりテストプログラムの違反の未検出を防止できる。また、違反が生じていた場合、即座にこれを検出してテストプログラムの実行を停止させることができるため、ＤＵＴのトラブルの発生を確実に防止することができる。
【００２０】
また、本発明に係る他の半導体試験装置は、被試験対象に対して試験を行う機能を有した試験実行部と、前記試験実行部を動作させて試験を進行するためのテストプログラムを実行するテストプログラム実行手段と、前記テストプログラムに従って前記試験実行部の設定に関する設定情報を生成する設定情報生成部と、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行中に、前記設定情報を用いて前記試験実行部の設定をチェックする設定チェック部と、前記被試験対象に出力する電圧値に関する違反条件を含む違反条件情報を記憶する違反情報記憶部と、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行中に、前記違反情報記憶部に記憶された違反条件情報に基づいて、前記設定情報をチェックしてテストプログラムの違反を検出する違反チェック部と、前記違反チェック部により違反が検出されたことに応じて、前記テストプログラム実行手段によるテストプログラムの実行を停止させるテストプログラム停止手段とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
本発明の半導体試験装置では、その試験実行部が実際に被試験対象に対して試験信号を印加するハードウェアであり、このようなハードウェアは、テストプログラムの実行に伴って動作する。そして違反チェック部は、テストプログラムの実行によって実際に進行する試験中に、試験実行部の設定のチェックと同時に違反をチェックする。このため、テストプログラム内に複数の分岐が生じ、試験の回数毎に分岐により実行される処理が変化しても、それらの回数毎に違反をチェックすることが可能であることから、テストプログラムの違反の検出漏れを確実に防止することができる。また、違反が生じていた場合は即座にこれを検出してテストプログラムの実行を停止させることができるため、ＤＵＴのトラブルの発生を未然に防止することができる。
【００２２】
上述の半導体試験装置において、前記違反条件情報には、前記被試験対象に対して試験信号として印加可能な電圧値の範囲に関する情報が含まれていても良い。
【００２３】
このような構成により、試験時にテストプログラムに従って被試験対象に対して試験信号として印加する電圧値を違反条件情報に基づいてチェックし、違反が生じていた場合に即座に検出してテストプログラムの実行を停止させて、ＤＵＴに過剰な電圧値が印加されて発生する故障や破壊等のトラブルを効果的に防止することができる。
【００２４】
上述の半導体試験装置において、前記違反チェック部によりテストプログラムが検出されたことに応じて、違反が検出されたことを画面表示する画面表示部を更に備えていても良い。このような構成により、違反が生じていた場合に即座に検出して画面表示するので、ユーザは画面表示部を見て確認することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る半導体試験装置によれば、テストプログラムの違反の未検出を防止し、ＤＵＴのトラブルの発生を防止することが可能となるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る半導体試験装置の一実施形態である半導体試験装置１００の構成例を示した説明図である。半導体試験装置１００は、各種の試験毎に予め用意されたテストプログラムを実行することによって、ＤＵＴに対して試験信号を出力し動作確認の試験を行い、試験時にテストプログラムに従ってＤＵＴや半導体試験装置のテストヘッド部分等を設定する設定データ等をチェックする電源チェッカ機能を備えた装置である。
【００２７】
半導体試験装置１００は、半導体試験装置１００内の各構成要素を制御しテストプログラムから試験時の動作の設定をチェックする電源チェッカ機能を実現する電源チェッカ制御部１１０と、予め記憶されたテストプログラムを実行することにより試験を行うテストプログラム実行部１２０とから構成されている。また、半導体試験装置１００には違反データ記憶部１４０が接続されている。この違反データ記憶部１４０は、例えば記憶領域を有した外部記憶装置から構成されており、その記憶領域には、テストプログラムの違反条件に関するデータ（違反条件データ）が記憶されている。
【００２８】
電源チェッカ制御部１１０は、テストプログラム実行部１２０を用いてテストプログラムを実行すると共に、テストプログラム実行部１２０が電源チェッカ機能としてチェックした結果検出された違反結果データをテストプログラム実行部１２０から取得する機能を有する。また、テストプログラム実行部１２０から違反結果データを取得したことに応じて、テストプログラム実行部１２０のテストプログラムの実行を停止させ、違反が検出されたことをディスプレイ画面等に画面表示する。
【００２９】
また、電源チェッカ制御部１１０は、テストプログラム実行部１２０に設けられた違反条件チェック部１２４を制御してテストプログラムの違反を検出する違反条件設定部１１１を備えている。違反条件設定部１１１は、違反データ記憶部１４０に記憶された違反条件データを読み出し、違反条件チェック部１２４に出力してテストプログラムの違反を検出する処理を行わせる。
【００３０】
テストプログラム実行部１２０は、テストプログラムを１行毎や命令単位の各ステップ毎に分けて実行することにより、図示しないテストヘッド部分（試験実行部）に接続されたＤＵＴに対して試験を行う機能を有する。また、テストプログラム実行部１２０は、テストプログラムに従ってテストヘッド部分等の設定を行うハードウェア設定部１２１を備えている。
【００３１】
ハードウェア設定部１２１は、テストプログラム実行部１２０がテストプログラムを実行して試験を行う際に、テストプログラムに従ってテストヘッド部分等で行う設定の内容を含む設定データをテストプログラムの全てのステップについて生成してハードウェア設定記憶部１２３に記憶させる機能を有する。更に、半導体試験装置１００の機能の限界状況を確認しながら設定データの内容をチェックし、この設定データに従ってテストヘッド部分等の設定を行う。
【００３２】
ここで設定データは、テストヘッド部分にてＤＵＴと接触する各種ピンの接続関係や、各種ピンから試験信号として印加される電圧値に関する情報である。例えば設定データには、ＤＵＴの各種ピンに対して印加される電圧値として、“ＤＰＳ１＝３Ｖ，ＤＰＳ２＝１．５Ｖ”等の情報がテキストファイル形式で含まれている。
【００３３】
テストプログラム実行部１２０は、各種の試験毎に予め用意されたテストプログラムを記憶するテストプログラム記憶部１２２と、ハードウェア設定部１２１が設定を行った内容を含む設定データを記憶するハードウェア設定記憶部１２３を備えている。
【００３４】
テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定記憶部１２３に記憶された設定データを用いてテストプログラムの違反をチェックする違反条件チェック部１２４を備えている。
【００３５】
違反条件チェック部１２４は、ハードウェア設定記憶部１２３に記憶された設定データを読み出して、違反条件設定部１１１から出力された違反条件データに基づいてこの設定データをチェックし、テストプログラムの違反を検出する機能を有する。また、違反条件チェック部１２４は、テストプログラムの違反を検出したことに応じて、違反の内容を含む違反結果データを生成しハードウェア設定部１２１を介して電源チェッカ制御部１１０に出力する。
【００３６】
ここで、違反結果データは、違反内容に対応する違反条件データの条件式番号やテストプログラムの行位置、テストプログラムに対応する試験内容のテスト番号等を含むデータであり、例えば“ｃａｓｅｎｏ＝１，ｆｉｌｅ＝ＤｐｓＴｅｓｔ１．ｔｄｌ，ｌｉｎｅ＝１００，ｔｅｓｔｎｏ＝２００”の文字列を含むテキストファイルとなっている。
【００３７】
違反データ記憶部１４０は、各種の試験やＤＵＴの種類、機能毎に予め用意された違反条件データを記憶する。ここで、違反条件データは、ＤＵＴの種類、機能毎に応じて、ＤＵＴに対して試験信号として印加可能な電圧値の範囲の最大値や最小値等の情報を含むデータであり、違反条件チェック部１２４は、この違反条件データに基づいて設定データに含まれているＤＵＴに対して試験信号として印加する電圧値がＤＵＴに印加可能な電圧値の範囲に違反しているか否かをチェックし、テストプログラムの違反を検出する。
【００３８】
続いて、本実施の形態における半導体試験装置１００の動作について図２に示すフローチャートを用いて説明する。半導体試験装置１００の電源チェッカ機能は、ＤＵＴに対する実際の試験においてテストプログラム実行部１２０によるテストプログラムの実行中に、例えば“ｐｗｒｃｈｋ２−ｃ  ｄｐｓｔｅｓｔ．ｔｘｔ”というコマンドを実行することによりリアルタイムで実現される。
【００３９】
ステップＳ２０１：半導体試験装置１００の電源チェッカ制御部１１０は、違反条件設定部１１１により違反データ記憶部１４０から違反条件データを読み出し、違反条件チェック部１２４に出力する処理を行う。電源チェッカ制御部１１０は、違反条件設定部１１１により実行中のテストプログラムの試験やＤＵＴの種類、機能毎に応じた違反条件データを特定し、違反データ記憶部１４０から読み出す。そして、この読み出した違反条件データを違反条件チェック部１２４に出力し電源チェッカ機能に使用するデータとして設定する。
【００４０】
違反条件データには、例えば、ＤＵＴの種類、機能毎に応じて、ＤＵＴに対して試験信号として印加可能な電圧値の範囲の最大値や最小値等の情報が含まれている。合わせて違反条件データには、ＤＵＴの各種のピンや変数、半導体試験装置１００の電源モジュール等を指定した印加可能な電圧値の範囲の情報が含まれている。
【００４１】
ステップＳ２０２：テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１により、テストプログラム記憶部に記憶されたテストプログラムに含まれているステップ毎のテスト情報から設定データを読み出して取得する処理を行う。また、テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１により、取得した設定データをハードウェア設定記憶部１２３に記憶させる。
【００４２】
ハードウェア設定部１２１は、この読み出した設定データを電源チェッカ機能でチェックし、違反を検出するためのデータとして設定する。設定データには、例えば、ＤＵＴの各種のピンに試験信号として印加する電圧値を設定する“ＤＰＳ１＝３Ｖ，ＤＰＳ２＝１．５Ｖ”等の情報が含まれている。
【００４３】
ステップＳ２０３：テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１によりハードウェア設定記憶部１２３に記憶された設定データを半導体試験装置１００の機能の限界状況を確認しながらチェックし、ハードウェア設定違反が存在するか否かを検出する処理を行う。
【００４４】
テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１を制御してハードウェア設定記憶部１２３に記憶された設定データを参照し、テストヘッド部分でＤＵＴと接触する各種のピンから出力可能な電源や試験信号の電圧値等の半導体試験装置１００の機能の限界状況を確認しながら設定データの内容をチェックし、ハードウェア上での設定違反が存在するか否かを検出する。
【００４５】
ハードウェア設定部１２１がチェックした結果、ハードウェア設定違反を検出した場合には（ステップＳ２０３のＹＥＳ）、これに応じてハードウェア設定違反の内容を含む違反結果データを生成し電源チェッカ制御部１１０に出力する。そして、ステップＳ２０７の処理を実行する。
【００４６】
ステップＳ２０４：テストプログラム実行部１２０は、違反条件チェック部１２４により違反条件データに基づいて設定データをチェックし、テストプログラムの違反を検出する処理を行う。
【００４７】
テストプログラム実行部１２０は、違反条件チェック部１２４を制御してステップＳ２０１において設定された違反条件データに基づいて、ステップＳ２０２において設定された設定データをチェックし、ＤＵＴに印加する電圧値がＤＵＴに印加可能な電圧値の範囲に違反しているか否かを比較してテストプログラムの違反が存在するか否かを検出する。例えば、設定データに含まれている“ＤＰＳ１＝３Ｖ，ＤＰＳ２＝１．５Ｖ”の情報で示す電圧値が違反条件データに含まれている印加可能な電圧値の範囲内であるか否かをチェックする。
【００４８】
違反条件チェック部１２４がチェックした結果、テストプログラムの違反を検出した場合には（ステップＳ２０４のＹＥＳ）、これに応じてテストプログラムの違反の内容を含む違反結果データを生成しハードウェア設定部１２１を介して電源チェッカ制御部１１０に出力する。そして、ステップＳ２０７の処理を実行する。
【００４９】
ステップＳ２０５：テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１により設定データに従ってテストヘッド部分等を設定する処理を行う。テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１によりハードウェア設定記憶部１２３に記憶された設定データを参照し、この設定データに従ってテストヘッド部分等でＤＵＴの各種のピンに試験信号として印加する電圧値や試験時の動作等のハードウェア上の設定を行う。
【００５０】
ステップＳ２０６：テストプログラム実行部１２０は、テストプログラムの全てのステップについて設定データのチェック、設定が行われて実行されたか否かを判定する処理を行う。テストプログラム実行部１２０は、ハードウェア設定部１２１、違反条件チェック部１２４によりテストプログラムの全てのステップについて設定データを生成してチェックが行われ、実行されたか否かを判定する。
【００５１】
テストプログラム実行部１２０は、判定した結果、設定データのチェック、設定が行われず実行されていないステップが存在する場合には（ステップＳ２０６のＮＯ）、ハードウェア設定部１２１を制御してテストプログラムからデータを抽出すること等によりこのステップについて設定データを生成し、ステップＳ２０２以降の処理を再度実行する。
【００５２】
また、テストプログラム実行部１２０は、判定した結果、設定データのチェック、設定が行われず実行されていないステップが存在しない場合には（ステップＳ２０６のＹＥＳ）、テストプログラムの全てのステップについて実行されたと判定して試験を終了する。
【００５３】
ステップＳ２０７：電源チェッカ制御部１１０は、テストプログラム実行部１２０から違反結果データを取得したことに応じて、テストプログラム実行部１２０のテストプログラムの実行を停止させ、違反が検出されたことを画面表示し、テストプログラムの修正、変更等を促すメッセージを表示する処理を行う。
【００５４】
以上のように、本実施の形態における半導体試験装置１００では、ＤＵＴに対する実際の試験においてテストプログラム実行部１２０によるテストプログラムの実行中に電源チェッカ機能を実現し、電源チェッカ制御部１１０は、違反データ記憶部１４０から違反条件データを読み出し違反条件チェック部１２４に出力し設定する。また、違反条件チェック部１２４は、テストプログラムの全てのステップについて生成した設定データをハードウェア設定記憶部１２３から読み出して違反条件データに基づいて設定データをチェックし、テストプログラムの違反を検出する。違反を検出した場合には違反結果データを生成し、テストプログラムの実行を停止させ、違反が検出されたことを画面表示する処理を行う。
【００５５】
このため、違反条件チェック部１２４がテストプログラム実行部１２０によってテストプログラムが実行された実際の試験時に設定データをチェックして違反を検出するので、テストプログラム内に複数の分岐が生じ、試験の回数毎にステップの分岐により実行される処理が変化しても、それらの回数毎に違反を検出することが可能となりテストプログラムの違反の未検出を防止できる。
【００５６】
また、違反が生じていた場合には即座に検出してテストプログラム実行部１２０によるテストプログラムの実行を停止させて、ＤＵＴに過剰な電圧値が印加されて発生する故障や破壊等のトラブルを効果的に防止することができる。更に、違反が検出されたことをディスプレイ等に画面表示するので、ユーザは画面表示された内容を見て確認しテストプログラムの違反を修正、変更等することができる。
【００５７】
〔他の実施の形態〕
上述の実施の形態において、半導体試験装置１００でＤＵＴに対する実際の試験においてテストプログラムの実行中にリアルタイムで実現される電源チェッカ機能と、従来技術における半導体試験装置２００でＤＵＴに対する実際の試験とは別にチェックを行うためのテストプログラムの実行により実現される電源チェッカ機能とをモード選択して、いずれかのモードの電源チェッカ機能を実現することが可能であっても良い。
【００５８】
また、上述の実施の形態において、ハードウェア設定部１２１、違反条件チェック部１２４による設定データの生成やチェックの処理を行う範囲を、テストプログラムの全てのステップについて行うか、または一部のステップについて行うかを選択することが可能であっても良い。
【００５９】
上述の実施の形態において、ステップＳ２０７で電源チェッカ制御部１１０は、テストプログラム実行部１２０から違反結果データを取得したことに応じて即座にテストプログラムの実行を停止させず、停止させるか否かを選択するメッセージを表示する処理を行っても良い。この場合には、電源チェッカ制御部１１０はユーザがこのメッセージに従って選択したことに応じてテストプログラムの実行を停止または継続させる。
【００６０】
ここで、継続させる際には、ユーザが選択したことに応じて違反が検出された設定データに従ってテストヘッド部分等を設定する処理を行わずにスキップさせても良い。スキップさせることによりＤＵＴのトラブルの発生を防止しながらテストプログラムの他のステップのチェックやその実行が可能となる。
【００６１】
上述の実施の形態において、コマンドラインインターフェースやグラフィカルユーザインターフェースを備えており、ステップＳ２０７で電源チェッカ制御部１１０が違反が検出されたことを画面表示し、テストプログラムの修正、変更等を促すメッセージを表示した際に、テストプログラムのデバッグツールと連携して、違反が検出されたステップや行にジャンプして画面表示したり、電源モジュールや各種のピンの電圧値や電圧値の遷移データのグラフ等を表示することが可能であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本実施形態の半導体試験装置の構成を示す説明図である。
【図２】本実施形態の半導体試験装置の電源チェッカ機能の動作を示すフローチャートである。
【図３】従来技術の半導体試験装置の構成を示す説明図である。
【図４】従来技術の半導体試験装置の電源チェッカ機能の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６３】
１００，２００    半導体試験装置
１１０，２１０    電源チェッカ制御部
１２０，２２０    テストプログラム実行部
１２１，２２１    ハードウェア設定部
１２２，２２２    テストプログラム記憶部
１２３，２２３    ハードウェア設定記憶部
２３０    設定データ記憶部
１４０，２４０    違反データ記憶部
２５０    結果データ記憶部
【図１】
2008216221.tif 000003
【図２】
2008216221.tif 000004
【図３】
2008216221.tif 000005
【図４】
2008216221.tif 000006