(57)【要約】【課題】簡易且つ低コストな構成で、電子部品の持ち帰り等を発生させることなく、基板上の適切な位置に吸着した電子部品を確実に搭載する。【解決手段】吸着ノズル１１８の交換に当たって、当該交換しようとする吸着ノズル１１８に対して吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な第１エア回路（正圧発生手段）Ａ１０１と、電子部品の装着の際に、吸着ノズル１１８に吸着した電子部品に対して、吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な第３エア回路（微弱正圧発生手段）と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、
前記吸着ノズルの交換に当たって、当該交換しようとする吸着ノズルに対して吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段と、
少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して、前記吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、
前記電子部品の吸着・搬送に当たって、前記吸着ノズルに対して電子部品吸着用の負圧を発生可能な負圧発生手段と、
少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して前記電子部品吸着用の負圧よりもその絶対値が弱い微弱正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されている
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記微弱正圧発生手段によって発生される前記微弱正圧が、前記吸着ノズルの種類及び電子部品の種類の少なくとも一方に依存して可変とされた
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、更に、
前記吸着ノズルに現に印加されているエアの圧力値を検出する圧力センサを備え、
該圧力センサの検出値に基づいて電子部品の持ち帰りを検出し、このときの圧力センサの検出値に基づいて同種の前記電子部品に対して印加される前記微弱正圧を学習補正する
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかにおいて、更に、
前記吸着ノズルに現に印加されているエアの圧力値を検出する圧力センサを備え、
該圧力センサの検出値に基づいて前記電子部品に現に印加される前記微弱正圧をリアルタイムで可変制御する
ことを特徴とする電子部品の実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置が広く知られている。この種の実装装置は、例えば図４に示されるように、吸着ノズル１８を備えた移載ヘッド１１が、ＸＹテーブル１２、１３上に移動自在に組み込まれている。符号１９はコンベアであり、基板１４を位置決め部１５へ搬送する。位置決め部１５は、基板１４をクランプして位置決めする。位置決め部１５の奥にはパーツフィーダ（部品供給装置）Ｆが設けられている。
【０００３】
パーツフィーダＦ上にＸ−Ｙ移動した移載ヘッド１１は、吸着ノズル１８を下降させ、吸着ノズル１８の先端部が電子部品Ｐの上面に到達した時点で下降を止め、負圧を発生させることによって電子部品Ｐを吸着する。その後、吸着ノズル１８を上昇させて電子部品Ｐを持ち上げ、再びＸ−Ｙ移動して基板１４上の所定の位置決め部１５の搭載位置に移動し、吸着ノズル１８を降下させる。電子部品Ｐの底面が基板１４の上面に到達した時点で負圧を遮断し、吸着ノズル１８を上昇させて電子部品Ｐの基板１４上への搭載動作を終了する。
【０００４】
移載ヘッド１１の先端部に取り付けられる吸着ノズル１８は、電子部品Ｐのサイズに合わせて数種類の形があり、用途に応じて交換するようになっている。図５に一般的な吸着ノズル１８の保持構造を示す。吸着ノズル１８は上下方向Ｚ及びθ方向に動作可能とされ、且つその内部にエアの通路２３が確保されている。ノズルホルダ４０の下面に当て板（図示略）を当てた状態で吸着ノズル１８を降下させるとボール２５と吸着ノズル１８の溝部１８Ａの係合が解かれ、吸着ノズル１８を保持する力が減少する。しかし、このとき、吸着ノズル１８は摩擦等により、必ずしも円滑に離脱できないことが多い。そのため、エアの通路２３を介して吸着ノズル離脱用の正圧を発生させて吸着ノズル１８を下方に押し出すことで吸着ノズル１８を外す際の補助を行うようにしている。
【０００５】
図６は、（１）通常時（電子部品非吸着時）、（２）電子部品吸着時、（３）吸着ノズル交換時のそれぞれのエアの制御態様を示したものである。図中太い矢印で書かれた部分にエアの流れが生じている。
【０００６】
図６の（１）に示す通常時においては、エア供給源２０から供給されたエアは、正圧発生用（オン−オフ）バルブ２１、負圧発生用の（オン−オフ）バルブ（エジェクタ）２２がともにオフとされているため、エアはそこで止められ、吸着ノズル１８には供給されない。なお、図６の符号２３は、（絞りの程度が小さめの）絞り弁である。
【０００７】
図６の（２）で示す部品吸着時においては、正圧発生用バルブ２１がオフの状態を維持すると共に、負圧発生用バルブ２２がオンとされるため、当該バルブ２２から吸着ノズル１８までのエア回路Ａ２に負圧が発生し、吸着ノズル１８にて電子部品Ｐの吸着が可能となる。
【０００８】
図６の（３）で示す吸着ノズル１８の交換時においては、正圧発生用バルブ２１のみがオンとされ、エア供給源２０から供給されたエアが絞り弁２３を介して吸着ノズル１８に到達し、吸着ノズル１８の離脱を補助する。
【０００９】
ところで、ベアチップ等の電子部品Ｐの搭載を行うような場合には、基板１４と電子部品（ベアチップ）Ｐの接着にはフラックスを使用する場合が多い。一般にフラックスは、半田ペーストや接着剤よりも接着力が弱く、吸着ノズル１８と電子部品Ｐとの間で微弱な静電気や負圧の残り、摩擦の発生などにより電子部品Ｐを基板１４上に載置できずにそのまま持ち帰ってしまうという問題が発生してしまうことがある。
【００１０】
特許文献１においては、この問題に対し、正圧を制御する電磁弁の動作時間（動作タイミング）を制御することで吸着ノズルから吐き出される空気の圧力を調整するという技術を開示している。
【００１１】
【特許文献１】特開２０００−１５１１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１において開示されている技術は、電磁弁が動作する非常に短い時間（タイミング）を制御しようとする試みであり、安定性に欠けるという問題があった。すなわち、ここで発生させようとする正圧は、基本的には、電子部品を基板上に載置するときにこれまで発生していた負圧を速やかに解消させようとするものであり、非常に微妙なものである。例えば、正圧を掛ける時間が適正時間よりわずかでも足りなかったり、時間は適正でもその付与タイミングが早過ぎたりすると負圧が残存し電子部品Ｐをそのまま持ち帰ってしまうという問題を解消することができない。逆に、正圧を掛ける時間が長過ぎたり、遅過ぎたりすると、強過ぎる正圧が発生して電子部品Ｐの搭載位置や搭載角度がずれたり、甚だしい場合には、既に搭載済みの電子部品Ｐが吹き飛ばされてしまうこともある。
【００１３】
本発明は、このような従来の問題を解消するためになされたものであって、装置の構成が簡易で低コストであり、且つ不具合を発生することなく電子部品を適正な位置に確実に搭載可能とする電子部品の実装装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、前記吸着ノズルの交換に当たって、当該交換しようとする吸着ノズルに対して吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段と、少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して、前記吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、を備えたことにより、上記課題を解決したものである。
【００１５】
また、本発明は、電子部品を吸着ノズルにて吸着・搬送し、基板上の所定の位置に装着可能に構成した電子部品の実装装置において、前記電子部品の吸着・搬送に当たって、前記吸着ノズルに対して電子部品吸着用の負圧を発生可能な負圧発生手段と、少なくとも前記電子部品の装着の際に、前記吸着ノズルに吸着した電子部品に対して前記電子部品吸着用の負圧よりもその絶対値が弱い微弱正圧を発生可能な微弱正圧発生手段と、を備えたことにより、同じく上記課題を解決したものである。
【００１６】
本発明においては、電子部品の装着の際に、電子部品の持ち帰りを防止するために最適な値に設定された「微弱正圧」を掛けるようにしている。この「微弱正圧」は、定性的には、「そのまま印加しても不具合が発生しないほどに弱い正圧」を意味している。より具体的には、この「微弱正圧」は、吸着ノズルの交換に当たって当該交換しようとする吸着ノズルに対して発生される吸着ノズル離脱用の正圧（ＭＰａのオーダ）よりもはるかに低い正圧である。例えば、後述する実施形態では吸着ノズルに吸着した電子部品に対して発生される電子部品吸着用の圧力が７０ｋＰａの負圧に対して３ｋＰａの正圧としている。前記微弱正圧は強すぎれば部品搭載精度を落とし、弱すぎれば部品を持ち帰ってしまうこととなるから、好ましくは１〜５ｋＰａの正圧である。
【００１７】
そのため、制御自体を極めて簡素化することができ、また、たとえ簡素な制御系であっても、電子部品の持ち帰りの防止しながら強い正圧の掛け過ぎによる部品の吹き飛ばし等が発生するのを防止することができる。
【００１８】
本発明において好ましい実施形態は、前記微弱正圧発生手段によって発生される微弱正圧が、前記吸着ノズルに対して常時印加されている構成とすることである。これは、制御系としては最も簡易な追加構成であるが、本発明に係る「微弱正圧」は、微弱であるが故に、「常時付与」の構成を採用することができ、後述するように、ノズル離脱用の正圧、あるいは電子部品吸着用の負圧と極めて合理的な共同作業を行わせることができる。
【００１９】
また、本発明の他の好ましい実施形態は、前記微弱正圧発生手段によって発生される圧力が電子部品の種類毎に可変とされることである。これにより、電子部品の種類の如何に関わらず常に適正な（短時間で持ち帰り等のない）電子部品の装着が可能となる。
【００２０】
また、本発明の他の好ましい実施形態は、更に、前記吸着ノズルに現に発生しているエアの圧力値を検出する圧力センサを備え、該圧力センサの検出値に基づいて電子部品の持ち帰りを検出し、このときの圧力センサの検出値に基づいて同種の電子部品に付与される前記微弱正圧を学習補正するように構成することである。これにより、各電子部品に対して最適な「微弱な正圧」を付与できるようになる。
【００２１】
なお、圧力センサを設置する場合には、このように適正な微弱正圧を学習補正する構成の他に、当該圧力センサの検出値に基づいて微弱正圧をリアルタイムで可変制御するように構成することもできる。これにより、個々の電子部品のばらつきの如何に関わらず、確実に最短且つ最適な載置制御を行うことができるようになる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、簡易且つ低コストな構成で、電子部品の持ち帰り等を発生させることなく、基板上の適切な位置に吸着した電子部品を確実に搭載することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００２４】
なお、本実施形態に係る実装装置における電子部品の実装に関する基本的な構成は、既に説明した従来構成と同様である。異なる部分は、図６を用いて説明したエアの供給制御に関する構成である。そのため、ここでは、図６に相当する図面を用いてこの異なる部分の構成を中心に説明することとし、重複説明は適宜省略する。なお、図６に記載した部分と同一又は類似する部分には、下２桁が同一の符号を付すようにしている。
【００２５】
図１に本発明の第１実施形態の構成例を示す。
【００２６】
この第１実施形態では、ノズル交換の際に機能する正圧発生用のバルブ１２１、第１絞り弁を備えた第１エア回路（吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段）Ａ１０１、部品吸着の際に機能する負圧発生用のバルブ１２２を備えた第２エア回路（負圧発生手段）Ａ１０２のほかに、微弱正圧発生用の第２絞り弁１３０を備えた第３エア回路（微弱正圧発生手段）Ａ１０３を備える。
【００２７】
前記正圧発生用のバルブ１２１は、エア供給源１２０から供給されるエアの第１エア回路Ａ１０１への流入のオン−オフを司る２値バルブである。前記第１絞り弁１２３は、具体的には、大流量を許容する（絞りの程度が小さめな）を固定オリフィスである。前記負圧発生用のバルブ１２２は、エア供給源１２０から供給される圧縮空気を図示せぬノズルを介して排出路１２２Ａから放出させることによって第２エア回路Ａ１０２に負圧をオン−オフ的に発生させるいわゆるエジェクタである。前記微弱正圧発生用の第２絞り弁１３０は、エア供給源１２０から供給されるエアの圧力（或いは流量）を、電子部品装着の際に付与する正圧として最適な微小正圧にまで減少させるためのもので、具体的には小流量のみを許容する（絞りの程度が大きめな）固定オリフィスである。これにより、第１エア回路Ａ１０１に発生する吸着ノズル離脱用の正圧より弱い「微弱正圧」が発生される。なお、この「微弱正圧」は、この実施形態では例えば３ｋＰａに設定されており、第２エア回路Ａ１０２に発生される電子部品吸着用の負圧（例えば７０ｋＰａ）よりもその絶対値がはるかに小さい。
【００２８】
第１〜第３エア回路Ａ１０１、Ａ１０２、Ａ１０３は、それぞれ分岐部１２５から分岐し、合流部１２６において合流した状態で吸着ノズル１１８に接続されている。このうち、第３エア回路Ａ１０３は、オン−オフを司るバルブを有しておらず、第１、第２エア回路Ａ１０１、１０２と並列に両エア回路Ａ１０１、Ａ１０２をバイパスするようにして、常時微弱正圧を発生する態様で付設されている。
【００２９】
次に、この第１実施形態の作用を説明する。
【００３０】
図１の（１）を参照して、通常時、すなわち電子部品Ｐの吸着を開始する前の段階においては、エア供給源１２０から送り出されたエアは、正圧発生用のバルブ１２１と負圧発生用のバルブ１２２によってオフ（遮断）状態に維持されるため、第１エア回路Ａ１０１及び第２エア回路Ａ１０２にはエアは流れてこない（正圧も負圧も発生しない）。
【００３１】
一方、エア供給源１２０から分岐部１２５を介して微弱正圧発生用の第２絞り弁１３０に到達したエアは、ここで大きく減圧され（あるいは流量を絞られ）、第３エア回路Ａ１０３側に常時流入してくる。従って、通常時においては、吸着ノズル１１８に対してこの微弱正圧が常に印加される状態が形成されることになる。この微弱正圧は、一定圧で常時発生している構成であることから、回路が簡易で低コストであり、後述するように電子部品搭載時の負圧との切り換えを安定的に行うことができる。更にはノズルの先端に細かなちり等が付着するのを未然に防止する機能を果たすことも期待できる。
【００３２】
図１の（２）を参照して、電子部品の吸着時には、正圧発生用のバルブ１２１がオフ、負圧発生用のバルブ１２２がオンの状態とされる。この結果、エア供給源１２０から供給されたエアは排出路１２２Ａから排出されると共に、第２エア回路Ａ１０２に負圧が発生し、吸着ノズル１１８での電子部品の吸着が可能となる。なお、第３エア回路１０３には、先の（１）の例と同様に微弱正圧が発生されるが、この正圧の絶対値（例えば３ｋＰａ）が第２エア回路Ａ１０２に発生する負圧（例えば７０ｋＰａの負圧）の絶対値よりもはるかに小さく設定されている。そのため、結果として第３エア回路Ａ１０３側に流出したエアは、第２エア回路Ａ１０２を介して負圧発生用のバルブ１２２側に引き込まれる。従って、吸着ノズル１１８には、電子部品を吸着するのに十分な負圧が発生する。
【００３３】
図１の（３）を参照して、この状態から、電子部品Ｐを基板上の所定の位置に載置するときは、正圧発生用のバルブ１２１、負圧発生用のバルブ１２２を共にオフとする。これにより、自動的に第３エア回路Ａ１０２の微弱正圧のみが残存する状態に切換られ、吸着ノズル１１８から電子部品Ｐを円滑に離脱させることができる。この切換によって発生・残存する正圧は「微弱」なものであるため、ばらつきがあっても確実に負圧が零になる時間が経過した後に吸着ノズル１１８を上昇させるように設定しておけば、「正圧の供給開始及び停止」のタイミングが不適で電子部品をそのまま持ち帰ってしまったりする問題が生じることはなく、また、正圧が強過ぎてこれまで吸着していた電子部品や既に搭載済みの電子部品が吹き飛ばされてしまうような不具合が発生することもない。
【００３４】
図１の（４）を参照して、吸着ノズルの交換時には、正圧発生用のバルブ１２１がオン、負圧発生用のバルブ１２２がオフとされる状態が形成される。これにより、第１エア回路Ａ１０１に発生したノズル離脱用の強めの正圧と、第３エア回路Ａ１０３に発生した微弱正圧とが合流した形で吸着ノズル１１８に印加され、吸着ノズルの離脱作業が円滑に行われる。
【００３５】
図２に、本発明の第２実施形態の例を示す。
【００３６】
この第２実施形態では、図１の実施形態の第３エア回路Ａ２０３に「微弱正圧」の付与をオン−オフすることのできる微弱正圧発生用のバルブ２３８を付設したものである。これにより、第３エア回路Ａ２０３に常時微弱正圧が流れ続けるのを防止することができる。制御としては、負圧発生用のバルブ２２２をオフからオンに切り換える前から微弱正圧発生用のバルブ２３８をオンとし、電子部品が確実に載置されたと推定される時期にオフとするようにすれば、図２の（２）、（３）において図１（２）、（３）で得られる作用と実質的に同一の作用を得ることができる。
【００３７】
なお、微弱正圧発生用のバルブ２３８は、この実施形態では図２の（４）のノズル交換時にはオフとされるようにしているが、オンとするように構成しても良い。その他の構成・作用については先の実施形態と基本的に同様であるため、同一又は類似する部分に、図２中で下２桁が図１と同一の符号を付すにとどめ、重複説明を省略する。
【００３８】
この実施形態では、通常時において吸着ノズルから常時微弱なエアが流れ出ることがないため、エネルギーロスの低減という観点で優れる。
【００３９】
図３に、本発明の第３実施形態の例を示す。
【００４０】
この第３実施形態は、第１、第２の２つのエア回路Ａ３０２、Ａ３０５のみを有する。但し、このうちの第１エア回路Ａ３０５は、固定絞り弁の代わりに絞りの程度を調整可能な電気制御減圧弁３５０を備え、吸着ノズル離脱用の正圧を発生可能な正圧発生手段と、吸着ノズル離脱用の正圧よりも弱い正圧を発生可能な微弱正圧発生手段を兼ねている。すなわち、先の実施形態における第１エア回路Ａ１０１、Ａ２０１の機能と、第３エア回路Ａ１０３、Ａ２０３の機能とを兼ねたものとなっている。また、この第３実施形態では、更に、第１エア回路Ａ３０５に圧力センサ３５１が設けられ、該第１エア回路Ａ３０５中のエアの実際の圧力を検出可能である。
【００４１】
この実施形態では、通常時は、図３の（１）で示される制御態様とされ、電子部品Ｐの吸着時は図３の（２）で示される制御態様とされ、また、搭載時は図３の（３）で示される制御態様とされる。本実施形態では、圧力センサ３５１が組み込まれているため、搭載時のより具体的な制御の態様としては、例えば次の２つが考えられる。
【００４２】
第１の制御態様は、圧力センサ３５１の検出値に基づいて電子部品Ｐの持ち帰り（吸着ノズル３１８が上昇工程に入っているにも拘わらず負圧が解消しない状態）を検出し、このときの圧力センサ３５１の検出値に基づいて以降の同種の電子部品Ｐに付与される微弱正圧の値を学習補正するというものである。この学習補正は、吸着ノズルの種類、及び（又は）電子部品の種類毎に行われる。なお、圧力センサ３５１の検出値が正になる時期が早過ぎるときは、付与した微弱正圧が強過ぎたということであるから、より弱くするように学習補正する。因みに、持ち帰りが検出された場合は、吸着ノズル３１８は、もう一度載置すべき箇所に戻され、再度「微弱正圧」が付与されることにより、再載置が行われる。
【００４３】
第２の制御態様は、圧力センサ３５１の検出値に基づいて電子部品Ｐに現に付与される微弱正圧をリアルタイムで可変制御するというものである。圧力センサ３５１の検出値が負の値を示しているというのは、換言すると、吸着ノズル３１８の先端に未だ電子部品Ｐが吸着されている（離反していない）状態であるということである。そこで、この場合には「微弱正圧」の付与を続けるが、その際、圧力センサ３５１の検出値が「零」に近づくにしたがってより弱い「微弱正圧」を付与するようにする。
【００４４】
本発明では、もともと電子部品に「微弱正圧」を付与するようにしているため、多少時間的に長めに「微弱正圧」が付与されても特に問題がない（正圧付与の停止タイミングの厳密な設定が要求されない）。しかし、このように圧力センサ３５１の検出値が零に近づくにつれて若干強めの値からより弱い値に変化する「微弱正圧」を付与する構成とすることにより、不具合を発生させることなく、電子部品Ｐの種類や各種ばらつきの如何に関わらず、最短の時間で、残存負圧を零にすることが可能となる。
【００４５】
なお、第１、第２のいずれの制御態様の場合も、吸着ノズルの交換時には、大きな正圧が付与されるようになっており、ノズル交換の補助が行われる（図３（４）参照）。
【００４６】
その他の構成・作用については先の実施形態と基本的に同様であるため、同一又は類似する部分に、図３中で下２桁が図１又は図２と同一の符号を付すにとどめ、重複説明を省略する。
【００４７】
なお、圧力センサの検出値を利用した微弱正圧の学習補正や、リアルタイム補正は、必ずしも行う必要はなく、単に該検出値を吸着ノズル上昇の指標として用いるだけでも良い。更には、圧力センサ自体も、必ずしも必須な要素ではなく、電気制御減圧弁によるフィードフォワードの減圧制御のみを実施するものであっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
電子部品の実装装置に広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の第１実施形態の構成例の要部を示す模式的エア制御回路図
【図２】本発明の第２実施形態の構成例の要部を示す模式的エア制御回路図
【図３】本発明の第３実施形態の構成例の要部を示す模式的エア制御回路図
【図４】従来（及び本発明の実施形態）の電子部品の実装装置の要部概略構成図
【図５】同吸着ノズル付近の構成例を示す断面図
【図６】従来のエア制御の構成例を示す図１相当の模式的エア制御回路図
【符号の説明】
【００５０】
Ａ１０１、Ａ２０１…第１エア回路（ノズル交換用の正圧発生手段）
Ａ１０２、Ａ２０２、Ａ３０２…第２エア回路（負圧発生手段）
Ａ１０３、Ａ２０３…第３エア回路（微弱正圧発生手段）
Ａ３０５…第１エア回路（ノズル交換用の正圧及び微弱正圧発生手段）
１１８…吸着ノズル
１２０…エア供給源
１２１…正圧発生用のバルブ
１２２…負圧発生用のバルブ
１２３…第１絞り弁
１３０…第２絞り弁
１３８…微弱正圧発生用のバルブ
３５０…電気制御減圧弁
３５１…圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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