(57)【要約】【課題】ベローズポンプにおける放電による制御部への影響をなくすことができる、基板処理装置を提供する。【解決手段】ベローズポンプ４は、互いに間隔を空けて対向配置されたシリンダヘッド４１と、これらのシリンダヘッド４１の間の中央に配置されたポンプヘッド４２と、各シリンダヘッド４１とポンプヘッド４２との間に介在されたシリンダ４３とを備えている。各シリンダ４３内には、移動部材４６およびこの移動部材４６の移動に伴って伸縮するベローズ４７とが配置されている。また、各シリンダヘッド４１には、漏液センサ２４の２つの端子５８が配置されている。端子５８は、シリンダヘッド４１を貫通する電極棒５９を備えており、その電極棒５９のシリンダ４３内に配置される先端部には、電極棒５９の長手方向に突出する突起６６が形成されている。【選択図】図２
2008130928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して薬液による処理を施すための基板処理装置であって、
制御部と、
基板に向けて薬液を供給するためのベローズポンプと、
前記ベローズポンプから前記制御部に向けて延びるケーブルとを含み、
前記ベローズポンプは、
筐体と、
前記筐体内に往復移動可能に設けられた移動部材と、
耐薬液性を有する樹脂を用いて伸縮自在に形成され、一端が前記筐体に対して固定され、他端が前記移動部材に固定されており、前記筐体内を、前記移動部材を往復移動させるためのエアが供給されるエア室と、前記移動部材の往復移動に伴って薬液が流出入する薬液室とに隔離するためのベローズとを備え、
前記エア室には、前記ベローズからの放電を誘導するための放電誘導部材が配置されていることを特徴とする、基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対して薬液による処理を施すための基板処理装置に関する。処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、ＦＥＤ（Field Emission Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程には、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板に薬液を供給して、その基板（基板上の薄膜）に対して薬液による処理を施す工程が含まれる。
このような薬液処理のための装置では、薬液タンクが備えられている。そして、その薬液タンクに貯留されている薬液が、ポンプの作用により、薬液タンクから吸い出されて、基板に向けて送られる。
【０００３】
薬液を送液するためのポンプとしては、たとえば、ベローズポンプが広く用いられている。ベローズポンプは、シリンダと、シリンダ内に往復移動可能に設けられた移動部材と、一端がシリンダに対して固定され、他端が移動部材に固定されたベローズとを備えている。シリンダ内は、ベローズによって、移動部材を往復移動させるためのエアが供給されるエア室と、移動部材の往復移動に伴って薬液が流出入する薬液室とが形成されている。移動部材が一方向に移動し、薬液室の容積が拡大すると、薬液タンクからの薬液が薬液室内に吸い込まれる。この状態から、エア室に供給されるエアの圧力により、移動部材が他方向に移動し、薬液室の容積が縮小すると、薬液室内から薬液が送り出される。
【特許文献１】特開平１１−１７３２７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ベローズは、耐薬液性を有する樹脂、たとえば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を用いて形成されている。そのため、移動部材の往復移動に伴って、ベローズの伸縮が繰り返されると、ベローズが帯電（摩擦帯電、剥離帯電）する。ベローズに多量の電荷が蓄積されると、ベローズからの放電が生じ、この放電によるノイズが、ベローズポンプから制御部に向けて延びるケーブルを介して、制御部に動作不具合や故障などの悪影響を及ぼすことがあった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、ベローズポンプにおける放電による制御部への影響をなくすことができる、基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板に対して薬液による処理を施すための基板処理装置（１）であって、制御部（６）と、基板に向けて薬液を供給するためのベローズポンプ（４）と、前記ベローズポンプから前記制御部に向けて延びるケーブル（２５，２６，２７，３０）とを含み、前記ベローズポンプは、筐体（４１，４２，４３）と、前記筐体内に往復移動可能に設けられた移動部材（４６）と、耐薬液性を有する樹脂を用いて伸縮自在に形成され、一端が前記筐体に対して固定され、他端が前記移動部材に固定されており、前記筐体内を、前記移動部材を往復移動させるためのエアが供給されるエア室（４８，５０）と、前記移動部材の往復移動に伴って薬液が流出入する薬液室（４９，５１）とに隔離するためのベローズ（４７）とを備え、前記エア室には、前記ベローズからの放電を誘導するための放電誘導部材（６６）が配置されていることを特徴とする、基板処理装置である。
【０００７】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
この構成によれば、ベローズポンプにおいて、エア室に、ベローズからの放電を誘導するための放電誘導部材が配置されている。そのため、移動部材の往復移動に伴って、ベローズの伸縮が繰り返されることによりベローズが帯電しても、その電荷は、ベローズに多量に蓄積される前に、ベローズから放電誘導部材へ放電される。したがって、ベローズからの高圧の放電を防止することができ、そのような放電による大きなノイズがベローズポンプから制御部に向けて延びるケーブルに入力されることを防止することができる。その結果、ベローズポンプにおける放電による制御部への影響をなくすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の電気的構成を図解的に示す図である。
この基板処理装置１は、半導体ウエハに代表される基板に対して薬液による処理を施すための装置である。基板処理装置１は、薬液キャビネット２および電装キャビネット３を備えている。
【０００９】
薬液キャビネット２には、たとえば、薬液タンク（図示せず）に貯留されている薬液を基板に向けて送液するためのベローズポンプ４と、薬液タンク内の圧力を検出するための圧力センサ５とが配置されている。
電装キャビネット３には、たとえば、制御部としてのコントロールボックス６と、薬液タンク内への窒素ガスの供給量を調節するための電空レギュレータ７とが配置されている。
【００１０】
コントロールボックス６は、ＣＰＵ（図示せず）にそれぞれ接続されたＡＤユニット８、ＤＡユニット９およびＩ／Ｏユニット１０を備えている。また、コントロールボックス６は、圧力センサ用コネクタ１１、電空レギュレータ用コネクタ１２および漏液センサ用コネクタ１３を備えている。
ＡＤユニット８と圧力センサ用コネクタ１１とは、配線１４により接続されている。圧力センサ用コネクタ１１には、コントローラ側圧力センサケーブル１５の一端が接続される。コントローラ側圧力センサケーブル１５の他端は、中間コネクタ１６を介して、圧力センサ５から延びるセンサ側圧力センサケーブル１７と接続される。これにより、圧力センサ５から出力されるセンサ信号は、センサ側圧力センサケーブル１７、中間コネクタ１６、コントローラ側圧力センサケーブル１５、圧力センサ用コネクタ１１および配線１４を介して、ＡＤユニット８に入力される。そして、ＡＤユニット８に入力されたセンサ信号は、アナログ／ディジタル変換されて、ＣＰＵに与えられる。
【００１１】
ＤＡユニット９と電空レギュレータ用コネクタ１２とは、配線１８により接続されている。電空レギュレータ用コネクタ１２には、コントローラ側電空レギュレータケーブル１９の一端が接続される。コントローラ側電空レギュレータケーブル１９の他端は、中間コネクタ２０を介して、電空レギュレータ７から延びるレギュレータ側電空レギュレータケーブル２１と接続される。ＣＰＵが電空レギュレータ７の制御のための信号を出力すると、その信号がＤＡユニット９でアナログ制御信号に変換され、このアナログ制御信号が配線１８、電空レギュレータ用コネクタ１２、コントローラ側電空レギュレータケーブル１９、中間コネクタ２０およびレギュレータ側電空レギュレータケーブル２１を介して、電空レギュレータ７に与えられる。
【００１２】
Ｉ／Ｏユニット１０には、ＡＭＰ２２が接続されている。このＡＭＰ２２は、配線２３により漏液センサ用コネクタ１３と接続されている。
また、ベローズポンプ４には、ベローズポンプ４内における薬液の漏れ（漏液）を検出するための２個の漏液センサ２４が設けられている。各漏液センサ２４からは、センサケーブル２５とアースケーブル２６とを纏めて（束ねて）構成されるセンサ側ケーブル２７が延びている。各センサ側ケーブル２７は、センサケーブル２５とアースケーブル２６とを分離するための分離コネクタ２８に接続されている。各分離コネクタ２８で分離されたセンサケーブル２５は、漏液センサ用コネクタ１３に接続されている。一方、各分離コネクタ２８で分離されたアースケーブル２６は、集合コネクタ２９に接続され、この集合コネクタ２９から延びるアース接続ケーブル３０を介して、コントロールボックス６内のアース端子に接続されている。
【００１３】
漏液センサ２４は、センサケーブル２５が接続された端子５８（図２参照）と、アースケーブル２６が接続された端子５８とを備えている。後述する一方側薬液室４９および他方側薬液室５１（図２参照）から漏れ出た薬液によって、それらの端子５８間が短絡されると、センサケーブル２５を通して信号（電圧）が出力される。漏液センサ用コネクタ１３に接続されている２本のセンサケーブル２５のうちの少なくとも１本のセンサケーブル２５から、漏液センサ用コネクタ１３および配線２３を介してＡＭＰ２２にセンサ信号が入力されると、そのセンサ信号がＡＭＰ２２によって増幅される。そして、その増幅されたセンサ信号は、Ｉ／Ｏユニット１０を介して、ＣＰＵに与えられる。
【００１４】
また、これらのセンサケーブル２５、アースケーブル２６、センサ側ケーブル２７およびアース接続ケーブル３０を含む漏液センサケーブルは、コントローラ側圧力センサケーブル１５およびセンサ側圧力センサケーブル１７を含む圧力センサケーブル、コントローラ側電空レギュレータケーブル１９およびレギュレータ側電空レギュレータケーブル２１を含む電空レギュレータケーブルから、なるべく距離を置いて配設されている。これにより、万一、漏液センサケーブルに大きなノイズ信号が流れても、圧力センサケーブルおよび電空レギュレータケーブルにノイズの影響を与えることを防止することができる。
【００１５】
図２は、ベローズポンプ４の構成を示す断面図である。
ベローズポンプ４は、互いに間隔を空けて対向配置されたシリンダヘッド４１と、これらのシリンダヘッド４１の間の中央に配置されたポンプヘッド４２と、各シリンダヘッド４１とポンプヘッド４２との間に介在されたシリンダ４３とを備えている。
なお、薬液からの保護のために、シリンダヘッド４１およびシリンダ４３の表面には、たとえば、ＰＴＦＥコーティングが施されている。また、ポンプヘッド４２は、たとえば、ＰＴＦＥにより形成されている。
【００１６】
一方のシリンダヘッド４１、ポンプヘッド４２およびそれらの間に介在されるシリンダ４３によって、一方側ポンプ室４４が区画形成されている。また、他方のシリンダヘッド４１、ポンプヘッド４２およびそれらの間に介在されるシリンダ４３によって、他方側ポンプ室４５が区画形成されている。
一方側ポンプ室４４および他方側ポンプ室４５内には、シリンダ４３よりも少し小さな径を有する略円板状の移動部材４６が配置されている。各移動部材４６には、耐薬液性を有する樹脂を用いて伸縮自在に形成されたベローズ４７の一端が接続されている。各ベローズ４７の他端は、ポンプヘッド４２に固定されている。これにより、一方側ポンプ室４４内には、その一方側ポンプ室４４内に設けられたベローズ４７によって、ベローズ４７の外側の一方側エア室４８と、ベローズ４７の内側の一方側薬液室４９とが、互いに隔離して区画形成されている。また、他方側ポンプ室４５内には、その他方側ポンプ室４５内に設けられたベローズ４７によって、ベローズ４７の外側の他方側エア室５０と、ベローズ４７の内側の他方側薬液室５１とが、互いに隔離して区画形成されている。
【００１７】
なお、耐薬液性を有する樹脂としては、たとえば、ＰＴＦＥを例示することができる。
各移動部材４６には、ベローズシャフト５２の一端が結合されている。各ベローズシャフト５２は、シリンダヘッド４１を摺動自在に貫通し、その他端が各シリンダヘッド４１と対向配置された連結板５３に結合されている。そして、両連結板５３は、両ベローズシャフト５２を摺動自在に貫通する複数本の連結シャフト５４によって連結されている。これにより、両移動部材４６、両ベローズシャフト５２、両連結板５３および複数本の連結シャフト５４は、一体となって、ベローズシャフト５２の長手方向（ポンプヘッド４２と移動部材４６との対向方向）に摺動可能となっている。
【００１８】
ポンプヘッド４２には、一方側薬液室４９内に薬液を導入するための一方側薬液導入ポート５５と、他方側薬液室５１内に薬液を導入するための他方側薬液導入ポート５６と、一方側薬液室４９および他方側薬液室５１内から薬液を導出させるための薬液導出ポート５７とが配置されている。
そして、一方側エア室４８が開放された状態で、他方側エア室５０にエアが供給され、他方側エア室５０内のエア圧が高まると、そのエア圧により、他方側ポンプ室４５内の移動部材４６がポンプヘッド４２側へ移動する。これにより、他方側薬液室５１の容積が縮小し、他方側薬液室５１内の薬液が薬液導出ポート５７から送出される。その一方で、これと連動して、一方側ポンプ室４４内の移動部材４６がシリンダヘッド４１側へ移動する。これにより、一方側薬液室４９の容積が拡大し、一方側薬液導入ポート５５から一方側薬液室４９に薬液が吸い込まれる。
【００１９】
これとは逆に、他方側エア室５０が開放された状態で、一方側エア室４８にエアが供給され、一方側エア室４８内のエア圧が高まると、そのエア圧により、一方側ポンプ室４４内の移動部材４６がポンプヘッド４２側へ移動する。これにより、一方側薬液室４９の容積が縮小し、一方側薬液室４９内の薬液が薬液導出ポート５７から送出される。その一方で、これと連動して、他方側ポンプ室４５内の移動部材４６がシリンダヘッド４１側へ移動する。これにより、他方側薬液室５１の容積が拡大し、他方側薬液導入ポート５６から他方側薬液室５１に薬液が吸い込まれる。
【００２０】
このように、移動部材４６がシリンダヘッド４１側およびポンプヘッド４２側のどちら側に移動するときにも、薬液導出ポート５７から薬液が送出され、薬液タンクから基板に向けて薬液を供給することができる。
また、各シリンダヘッド４１には、漏液センサ２４の２つの端子５８が、たとえば、図２の紙面に垂直な方向に間隔を空けて配置されている。前述したように、一方の端子５８には、センサケーブル２５（図１参照）が接続され、他方の端子には、アースケーブル２６（図１参照）が接続されている。
【００２１】
アースケーブル２６が接続されている端子５８は、図３に示すように、シリンダヘッド４１を貫通する電極棒５９を備えている。電極棒５９の一方側ポンプ室４４または他方側ポンプ室４５外に突出した部分は、シリンダヘッド４１側から順に、プレートワッシャ６０、スプリングワッシャ６１、六角ナット６２、アース接続ワッシャ６３、スプリングワッシャ６４および六角ナット６５を挿通している。また、電極棒５９の一方側ポンプ室４４または他方側ポンプ室４５内に配置された先端部には、電極棒５９の長手方向に突出する突起６６が形成されている。
【００２２】
さらに、各シリンダヘッド４１には、連結板５３の近接／離間を検出するための近接スイッチ６７が配置されている。
以上のように、一方側ポンプ室４４（一方側エア室４８）および他方側ポンプ室４５（他方側エア室５０）内には、電極棒５９の先端部から突出する突起６６が配置されている。そのため、移動部材４６の往復移動に伴って、ベローズ４７の伸縮が繰り返されることによりベローズ４７が帯電しても、その電荷は、ベローズ４７に多量に蓄積される前に、ベローズ４７から突起６６へ放電される。したがって、ベローズ４７からの高圧の放電を防止することができ、そのような放電による大きなノイズが漏液センサ２４から延びるセンサ側ケーブル２７（センサケーブル２５）や近接スイッチ６７から延びるケーブル（図示せず）に入力されることを防止することができる。その結果、ベローズポンプ４における放電によるコントロールボックス６への影響をなくすことができる。
【００２３】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。たとえば、前述の実施形態では、漏液センサ２４の電極棒５９の先端部に突起６６が形成されている構成を取り上げたが、ベローズ４７からの放電を誘導するための突起６６は、電極棒５９から独立して設けられていてもよい。この場合、突起６６をアース接続しておく必要があり、こうすることにより、ベローズ４７からの突起６６に放電された電荷をアースに逃がすことができる。
【００２４】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の電気的構成を図解的に示す図である。
【図２】ベローズポンプの構成を示す断面図である。
【図３】漏液センサの端子の近傍の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１    基板処理装置
４    ベローズポンプ
６    コントロールボックス
２５  センサ線
２６  アース線
２７  センサ側ケーブル
３０  アース接続ケーブル
４１  シリンダヘッド
４２  ポンプヘッド
４３  シリンダ
４６  移動部材
４７  ベローズ
４８  一方側エア室
４９  一方側薬液室
５０  他方側エア室
５１  他方側薬液室
６６  突起
【図１】
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【図２】
2008130928.tif 000004
【図３】
2008130928.tif 000005