(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、既存のハードウェア資源を有効利用しつつ中央制御部の負荷を軽減し、デバイス試験の効率を向上し、試験コストの低減を図ることである。【解決手段】  本発明のデバイス試験装置１００は、被試験デバイス１４０の試験開始信号を出力する中央制御部１１４と、被試験デバイスのデバイス端子に接続され、試験開始信号に応じてデバイス端子における電気信号をデータ化し、データ化された試験データを送信する複数のデータ変換部２１２と、試験データを複数のデータ変換部から随時受信し、収集されるべき試験データを全て受信すると、収集された試験データを中央制御部に送信するデータ収集送信部２１４と、を備えることを特徴としている。【選択図】    図３
2008102010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスの試験開始信号を出力する中央制御部と、
前記被試験デバイスのデバイス端子に接続され、前記試験開始信号に応じて該デバイス端子における電気信号をデータ化し、該データ化された試験データを送信する複数のデータ変換部と、
前記試験データを前記複数のデータ変換部から随時受信し、収集されるべき試験データを全て受信すると、該収集された試験データを前記中央制御部に送信するデータ収集送信部と、
を備えることを特徴とする、デバイス試験装置。
【請求項２】
前記試験開始信号に電気的試験の繰り返し命令が含まれている場合、
前記データ収集送信部は、前記試験データを前記中央制御部に送信した後、前記複数のデータ変換部に送信完了信号を出力し、
前記複数のデータ変換部は、前記送信完了信号に応じて、再度該デバイス端子における電気信号をデータ化し、該データ化された試験データを送信し、
前記データ収集送信部は、さらに、再度収集された試験データを前記中央制御部に送信することを特徴とする、請求項１に記載のデバイス試験装置。
【請求項３】
前記試験開始信号に電気的試験の繰り返し回数が含まれている場合、
前記繰り返し回数分、前記収集された試験データが前記中央制御部に送信されることを特徴とする、請求項２に記載のデバイス試験装置。
【請求項４】
前記データ収集送信部は、前記試験データを前記中央制御部に送信した後、当該データ収集送信部に保持されている試験データを消去することを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のデバイス試験装置。
【請求項５】
中央制御部と、被試験デバイスのデバイス端子に接続され該デバイス端子における電気信号をデータ化する複数のデータ変換部と、前記試験データを収集して該中央制御部に送信するデータ収集送信部と、を備えるデジタル試験装置を用いて、該試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験方法であって、
前記中央制御部が試験開始信号を出力し、
前記複数のデータ変換部が、前記試験開始信号に応じて該デバイス端子における電気信号をデータ化し、データ化が完了したことを前記中央制御部に通知することなく、該データ化された試験データを前記データ収集送信部に送信し、
前記データ収集送信部が、前記試験開始信号に応じて前記試験データを随時受信し、収集されるべき試験データを全て受信すると、該収集された試験データを前記中央制御部に送信することを特徴とする、デバイス試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置およびデバイス試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）の大容量化、高速化、小型化（高密度化）が進んでいる。かかる集積回路を有するデバイスでは、集積回路の高密度化に伴って、電気的機能試験も高速かつ複雑な工程が要求されている。
【０００３】
このような電気的機能試験を遂行するデバイス試験装置では、被試験デバイス（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ：以下「ＤＵＴ」という。）としての、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）のドライバに対して、任意の階調に対応する電圧を出力させ、動作マージン（電圧マージン、アクセスタイムマージン等）試験が行われている。このデバイス試験において、フェイルが検出されると、かかるドライバは不良品と判断され、再試験が行われるかまたは試験が終了する。
【０００４】
上述したようなデバイス試験装置において、複数のＤＵＴを試験しようと試みた場合、従来では、その複数のＤＵＴに対してシリアルに試験が行われていた。即ち、１つのＤＵＴが試験完了した後でないと次のＤＵＴの試験が開始されなかった。このようなＤＵＴの試験効率を向上するため、デバイス試験装置と独立して動作するテストセルコントローラを新たに設け、デバイス試験装置が一つのＤＵＴを試験している間に他のＤＵＴのセットアップを実行し、オーバーヘッド分時間を短縮する技術が開示されている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平７−１３４１６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ＤＵＴ一つに対する一連の機能試験に焦点をあてると、ＤＵＴへの試験信号やその試験順は、デバイス試験装置本体に備わる中央制御部のみが把握しており、全ての試験処理は中央制御部を介して実施され、試験完了までの時間は中央制御部の性能に依存するところが大きかった。
【０００６】
例えば、ＤＵＴの試験結果である試験データを収集する場合においても、ＤＵＴの端子信号のデータ化と、データ化された試験データの収集とは、中央制御部の指示に従って独立して実行されていた。即ち、中央制御部が、先ず、複数のデータ変換部に対してデバイス端子のデータ化を指示し、データ変換部からのデータ化の完了信号を受けてからデータ化された試験データの収集を指示していた。
【０００７】
このような試験データの収集処理においては、試験の各プロセスの実行に中央制御部が介在しているので、中央制御部が試験の進行状況を把握することができるといった利点がある反面、各処理の完了待ちや処理間の切り替え等に多大な負荷を費やしていた。特に、高速かつ複雑な工程が要求される近年の電気的機能試験においては、その中央制御部の負荷が試験時間短縮の障害になっている。
【０００８】
本発明は、従来のデバイス試験装置が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、既存のハードウェア資源を有効利用しつつ中央制御部の負荷を軽減し、デバイス試験の効率の向上および試験コストの低減が可能な、新規かつ改良されたデバイス試験装置およびデバイス試験方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、被試験デバイスの試験開始信号を出力する中央制御部と、被試験デバイスのデバイス端子に接続され、試験開始信号に応じてデバイス端子における電気信号をデータ化し、データ化された試験データを送信する複数のデータ変換部と、試験データを複数のデータ変換部から随時受信し、収集されるべき試験データを全て受信すると、収集された試験データを中央制御部に送信するデータ収集送信部と、を備えることを特徴とする、デバイス試験装置が提供される。
【００１０】
従来のデバイス試験装置では、データ変換部によるデータ化とデータ収集送信部による試験データの収集が中央制御部の指示に基づいてそれぞれ独立して実行されていた。本発明では、データ化された試験データは、中央制御部を介すことなくデータ収集送信部によって直接収集される。従って、中央制御部は、最初の試験開始信号を出力しさえすれば、その後の試験データ収集処理を自己の処理から切り離すことができるので、試験データの収集処理に対する負荷および消費電力を軽減でき、また中央制御部はデータが収集されている間その他の処理を遂行することも可能となるので、デバイス試験の総合的な効率を向上させることができる。
【００１１】
また、データ収集送信部は、中央制御部からの指示を待つことなく、試験開始信号に応じて、データ変換部から試験データを直接収集できるので、データ化が完了したデータ変換部から、随時、試験データを受信することが可能となり、収集時間の分散化を図ることができる。
【００１２】
試験開始信号に電気的試験の繰り返し命令が含まれている場合、データ収集送信部は、試験データを中央制御部に送信した後、複数のデータ変換部に送信完了信号を出力し、複数のデータ変換部は、送信完了信号に応じて、再度デバイス端子における電気信号をデータ化し、データ化された試験データを送信し、データ収集送信部は、さらに、再度収集された試験データを中央制御部に送信するとしてもよい。
【００１３】
かかる構成により、上記試験データ収集処理を、中央制御部を介さず自動的に繰り返すことが可能となり、より一層、デバイス試験の効率の向上および試験コストの低減を図ることが可能となる。
【００１４】
試験開始信号に電気的試験の繰り返し回数が含まれている場合、繰り返し回数分、収集された試験データが中央制御部に送信されるとしてもよい。
【００１５】
かかる構成により、ＤＵＴの電気的試験の繰り返し回数を中央制御部が計数しなくて済むので、より一層、デバイス試験の効率の向上および試験コストの低減を図ることが可能となる。
【００１６】
データ収集送信部は、試験データを中央制御部に送信した後、当該データ収集送信部に保持されている試験データを消去するとしてもよい。
【００１７】
データ収集送信部は、データ変換部からのデータを随時受け付ける。従って、収集されてデータ収集送信部に保持されているデータが前回の試験データか今回の試験データか認識できなくてはならない。上記のように試験毎にデータを消去（リセット）することで、保持されているデータは常に最新（今回）の試験データということになり、試験データの管理が容易になる。
【００１８】
上記課題を解決するために、本発明の他の観点によれば、中央制御部と、被試験デバイスのデバイス端子に接続されデバイス端子における電気信号をデータ化する複数のデータ変換部と、試験データを収集して中央制御部に送信するデータ収集送信部と、を備えるデジタル試験装置を用いて、試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験方法であって、中央制御部が試験開始信号を出力し、複数のデータ変換部が、試験開始信号に応じてデバイス端子における電気信号をデータ化し、データ化が完了したことを中央制御部に通知することなく、データ化された試験データをデータ収集送信部に送信し、データ収集送信部が、試験開始信号に応じて試験データを随時受信し、収集されるべき試験データを全て受信すると、収集された試験データを中央制御部に送信することを特徴とする、デバイス試験方法が提供される。
【００１９】
上述したデバイス試験装置における技術的思想に対応する構成要素やその説明は、当該デバイス試験方法にも適用可能である。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように本発明のデバイス試験装置では、ＤＵＴを試験するための既存のハードウェア資源を有効利用しつつ、中央制御部の負荷を軽減することができる。従って、デバイス試験の効率の向上および試験コストの低減を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２２】
（デバイス試験装置１００）
図１は、第１の実施形態におけるデバイス試験装置１００全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。デバイス試験装置１００は、本体１１０と、テストヘッド１２０とを含んで構成される。当該テストヘッド１２０には、パフォーマンスボード１３０が載設され、パフォーマンスボード１３０上に試験対象となるＤＵＴ１４０が載設される。
【００２３】
上記本体１１０は、ユーザインターフェース１１２を介して設定された試験工程を遂行する中央制御部１１４が設けられている。上記テストヘッド１２０には、ＤＵＴ１４０の各デバイス端子に接続されるテスト端子と、テスト端子に接続され試験機能を遂行するピンモジュールを例えば３２個単位で備える中継カード（ＰＥ（Ｐｉｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）カードともいう。）１２２とが設けられる。かかる中継カード１２２は、本体１１０からの機能試験に関する指令をテスト端子に反映する。
【００２４】
上記パフォーマンスボード１３０は、テストヘッド１２０に嵌合可能、かつ、ＤＵＴ１４０を載設可能な構造となっており、複数のテスト端子をＤＵＴ１４０のデバイス端子に電気的に接続する。
【００２５】
このようなデバイス試験装置１００において、例えば、ＤＵＴ１４０としてのＦＰＤのドライバの出力電圧試験が行われる場合、以下の手順がとられる。先ず、本体１１０側に設けられた中央制御部１１４は、テストヘッド１２０の中継カード１２２に対して、ＤＵＴ１４０の所定のデバイス端子に任意の階調に対応する信号を送信するよう指示する。また、中央制御部１１４は、中継カード１２２に対して、ＤＵＴ１４０の複数のデバイス端子の出力電圧（試験データ）を測定させ、それぞれの試験データが規定された正しい範囲に含まれているかどうかを判断する。
【００２６】
図２は、かかるＦＰＤのドライバの試験基準を示した説明図である。例えば、試験対象のドライバでは、図２に示すように、５１２階調の色信号に対して５Ｖのアナログ電圧が出力されるとする。この場合、その分解能は約１０ｍＶ／階調となる。ここでの試験の許容公差を電圧出力±２ｍＶとすると、例えば、２５６階調の信号をドライバに入力した場合、図２の拡大領域１８０に示すように、実測した電圧出力（実測値）が期待値２．５Ｖの±２ｍＶの範囲に入っていれば良いことになる。また、階調指令に対する電圧出力の線形性や、その値が漸増しているかどうかも評価される。
【００２７】
中央制御部１１４は、複数の試験データを収集する際、従来、ＤＵＴ１４０の端子信号のデータ化と、データ化された試験データの収集とを独立して実行していた。本実施形態においては、中央制御部１１４が、ＤＵＴ１４０の端子信号のデータ化を指示する試験開始信号を出力した後はデータ化や試験データの収集に介在しないので、デバイス試験装置１００の総合的な時間効率を向上させることができる。以下、本実施形態によるデバイス試験装置１００の、特に試験データ収集処理に関する構成を詳細に説明する。
【００２８】
図３は、本実施形態によるデバイス試験装置１００の概略的な機能を示すための機能ブロック図である。かかるデバイス試験装置１００は、中央制御部１１４と、データ変換部２１２と、データ収集送信部２１４とを含んで構成される。
【００２９】
上記中央制御部１１４は、本体１１０に設けられ、中央処理装置（ＣＰＵ）を含む半導体集積回路によりデバイス試験装置１００全体を管理および制御する。本実施形態においては、特に、ＤＵＴ１４０の試験データの収集処理にあたり、ＤＵＴ１４０の試験開始信号を出力する。
【００３０】
上記データ変換部２１２は、ＤＵＴ１４０の電気信号をデジタルデータにデータ化するＡ／Ｄ変換器を含んで構成される。また、そのデータ化した試験データを一旦内部に記憶して次の電気信号をデータ化する等、複数の試験データを保持することも可能である。従って、本実施形態におけるデータ化された試験データは所定のアナログ信号に対応する１つのデジタルデータであってもよいし、そのようなデジタルデータを複数回サンプリングした場合における複数のデジタルデータの集合体であってもよい。
【００３１】
かかるデータ変換部２１２は、中継カード１２２内に設けられ、テスト端子を介してＤＵＴ１４０のデバイス端子に接続される。データ変換部２１２は、中央制御部１１４からの試験開始信号を受けると、ＤＵＴ１４０のデバイス端子における電気信号をデータ化し試験データを生成して、データ化が完了したことを中央制御部１１４に通知することなく、この試験データをデータ収集送信部２１４に直接送信する。
【００３２】
このようなデータ変換部２１２からデータ収集送信部２１４への試験データの伝達方法は、データ変換部２１２が主体となって遂行しても良いし、後述するデータ収集送信部２１４が主体となって遂行するとしてもよい。データ変換部２１２が主体となる例としては、データ変換部２１２においてデータ化が完了すると、即座にデータ収集送信部２１４に割り込みをかけ、データ収集送信部２１４に主体的に試験データを送信することが挙げられる。一方、データ収集送信部２１４が主体となる例としては、データ変換部２１２においてデータ化が完了するとデータ変換部２１２内にて完了フラグを立てさせ、データ収集送信部２１４が各データ変換部２１２をポーリングして完了フラグが立っているデータ変換部２１２から試験データを取得し、その後完了フラグを下げさせるといったことが挙げられる。
【００３３】
かかるデータ変換部２１２からデータ収集送信部２１４への試験データの伝達方法は、上述した手順に限られず、例えば、データ変換部２１２をワイヤードオアによってハードウェア的に連結し、そのワイヤードオアの変化によって全てのデータ変換部２１２のデータ化完了をデータ収集送信部２１４が把握する等様々な伝達方法を適用することができる。
【００３４】
上記データ収集送信部２１４は、テストヘッド１２０内に備わり、データ変換部２１２および中央制御部１１４とバス接続され、データの受信ドライバとメモリと送信ドライバを含んで構成されている。また、データ収集送信部２１４は、中央制御部１１４からの試験開始信号をトリガにして、複数のデータ変換部２１２から試験データを受信する。かかる試験データにはヘッダとフッタが付加され、データ収集送信部２１４は、かかるフッタによって試験データ単位を把握する。また、予め設定されたデータ長によって試験データ単位を把握してもよい。
【００３５】
本実施形態においては、中央制御部１１４から別途、試験データ収集の指示が行われないので、上述したようにデータ変換部２１２への試験開始信号をトリガとして試験データの収集を開始する。この試験開始信号によりデータ収集送信部２１４内に保持しているデータをリセットするとしてもよい。
【００３６】
また、データ変換部２１２によるデータ化完了時間は、デバイス端子の電気信号の出力変動やデータ変換部２１２の性能によってそれぞれ異なるため、データ収集送信部２１４は、データ化が完了したデータ変換部２１２から随時試験データを受信する。
【００３７】
データ収集送信部２１４は、収集されるべき試験データを全て受信すると、中央制御部１１４に対して割り込みをかけ、収集された試験データを送信する。ここで、収集されるべき試験データは、中央制御部１１４からの試験開始信号に収集対象となるＤＵＴ１４０のデバイス端子が指定されている場合は、その端子に関する試験データであり、指定されていない場合は想定される全ての試験データを指す。
【００３８】
以上説明した構成により、試験データが収集され中央制御部１１４にその試験データが伝送される。本実施形態において、データ化された試験データは、中央制御部１１４を介すことなくデータ収集送信部２１４によって直接収集されている。従って、中央制御部１１４は、最初の試験開始信号を出力しさえすれば、その後の試験データ収集処理を自己の処理から切り離すことができるので、中央制御部１１４の試験データの収集処理に対する負荷および消費電力を軽減でき、またデータが収集されている間、中央制御部１１４がその他の処理を遂行することも可能となるので、デバイス試験の総合的な効率を向上させることができる。
【００３９】
また、データ収集送信部２１４は、中央制御部１１４からの指示を待つことなく、試験開始信号に応じて、データ変換部２１２から試験データを直接収集できるので、データ化が完了したデータ変換部２１２から随時試験データを受信することが可能となり、収集時間の分散化を図ることができる。さらに、中央制御部１１４からの試験データ収集指示が不要なので、その分の試験時間の短縮化を図ることができ、試験効率の向上および試験コストの低減が可能となる。
【００４０】
（電気的試験の繰り返し）
デバイス試験装置１００では、同じテストプログラムを、同一のＤＵＴ１４０に対して、または、交換したＤＵＴ１４０に対して、繰り返し実行することがある。従来では、かかる繰り返し処理も中央制御部１１４が逐一、データ化および試験データ収集の指示を行うことにより成されていたが、本実施形態においては中央制御部１１４が試験の開始を指示するのみで、その後はデータ変換部２１２やデータ収集送信部２１４が自動的に試験データ収集処理を繰り返す。
【００４１】
中央制御部１１４は、ＤＵＴ１４０の電気的試験を繰り返す場合に、データ変換部２１２およびデータ収集送信部２１４に送信する試験開始信号に電気的試験の繰り返し命令を含むことができる。そして、データ収集送信部２１４は、試験開始信号にかかる繰り返し命令が含まれていることによって、電気的試験を繰り返すことを把握する。
【００４２】
データ収集送信部２１４は、１回目の試験データを中央制御部１１４に送信した後、複数のデータ変換部２１２に電気的試験の繰り返しを示す送信完了信号を出力し、複数のデータ変換部２１２は、送信完了信号に応じて、再度ＤＵＴ１４０のデバイス端子における電気信号をデータ化し、データ化された試験データを送信する。データ収集送信部２１４は、さらに、再度収集された試験データを中央制御部１１４に送信する。
【００４３】
ＤＵＴ１４０の試験の繰り返しは、通常、一つのパターンの試験終了後、ＤＵＴ１４０の条件を変えて次の試験を連続的に行うときに利用されるので、データ変換部２１２は、ＤＵＴ１４０に対する試験の開始時点を合わせなくてはならない。データ変換部２１２は、データ収集送信部２１４からの送信完了信号に合わせて次のデータ化を開始する。
【００４４】
また、試験開始信号に電気的試験の繰り返し回数が含まれている場合、データ収集送信部２１４がその繰り返し回数を計数し、繰り返し回数分だけ収集された試験データが中央制御部１１４に送信される。中央制御部１１４から指示される繰り返し回数は、１回の試験に追加される回数であってもよいし、全試験回数であってもよい。
【００４５】
また、データ収集送信部２１４が中央制御部１１４の試験データ読み取りに利用されるメモリバッファを備えている場合、データ収集送信部２１４は、収集した試験データをかかるメモリバッファにシフトすることにより、即座に次の試験の試験データを収集することが可能となる。こうして、データ収集送信部２１４による試験データ収集と、中央制御部１１４によるデータ読み取りを並行して実行でき、デバイス試験の効率向上を図ることができる。
【００４６】
このような電気的試験の繰り返し処理により、試験データ収集処理を、中央制御部１１４を介さず自動的に繰り返すことが可能となる。また、繰り返し回数をデータ収集送信部２１４が計数する構成により、中央制御部の負担を軽減し、より一層、デバイス試験の効率の向上および試験コストの低減を図ることが可能となる。
【００４７】
このような試験の繰り返し時等、試験が連続的に行われる場合には、データ収集送信部２１４に収集された試験データが中央制御部１１４に送信された後に、新たな試験データが収集されることになる。このとき、データ収集送信部２１４は、データ変換部２１２からのデータを時を異にして随時受け付ける。従って、収集されてデータ収集送信部２１４に保持されているデータが前回の試験データか今回の試験データか把握できなけばならない。
【００４８】
そこで本実施形態によるデータ収集送信部２１４は、試験データを中央制御部１１４に送信した後、当該データ収集送信部２１４に保持されている試験データを消去する。こうして、保持されているデータは常に新しい（今回の）試験のデータということになり、試験データの管理が容易になる。
【００４９】
（試験データ収集処理）
上述したようなデジタル試験装置１００は、データ化した試験データを収集するのに中央制御部１１４を介在せず、データ化が完了したデータ変換部２１２から随時データを収集することで試験効率を向上させている。以下では、タイミングチャートを用いて、各要素の具体的な処理を説明する。
【００５０】
図４は、試験データ収集処理を説明するためタイミングチャートである。かかる図４では、その処理の短縮化を説明するため、図４（ａ）に従来の試験データ収集処理が、図４（ｂ）に本実施形態の試験データ収集処理が示される。ここでは、ＤＵＴに３つのデータ変換部（１）、（２）、（３）が接続され、それぞれのデータ変換部（１）、（２）、（３）から試験データが収集される。
【００５１】
図４（ａ）では、中央制御部が試験開始信号を出力して、データ変換部（１）、（２）、（３）のデータ化が開始される。そして、時間ｔ１後に全てのデータ変換部部（１）、（２）、（３）のデータ化が完了すると、データ変換部（１）、（２）、（３）は、データ化完了信号を中央制御部に送信し、中央制御部は、時間ｔ２間に、データ化完了信号を把握し、データ収集処理への切り換えを行う。
【００５２】
そして、中央制御部が試験データの収集信号をデータ収集送信部に指示すると、データ収集送信部は、時間ｔ３間に、データ変換（１）、（２）、（３）の順に試験データを収集する。そして、試験データの収集が完了するとデータ収集送信部はその収集した試験データを中央制御部に送信して、データ収集処理を完了する。
【００５３】
このデータ収集処理の間、中央制御部は、データ変換部によるデータ化を待たなくてはならず、データ化が完了した後には試験データの収集への切り換え処理によって処理時間が占有されてしまう。従って、中央制御部は、データ収集送信部から試験データを受信した後（時間ｔ３後）に初めて他の処理に移行することができる。
【００５４】
また、データ収集送信部は、中央制御部からの指示があるまで、データ変換部でデータ化された試験データを収集できないので、データ収集に費やされる時間ｔ３は、データ変換部の数と試験データの読み出し時間の積になり、データ変換部の数に応じて消費時間の増大を招くこととなる。
【００５５】
一方、図４（ｂ）に示した本実施形態の試験データの収集処理においては、中央制御部は、試験開始信号を出力した後、かかる試験データの収集処理を切り離し、直ぐに他の処理を実行することができる。データ変換部は、中央制御部からの試験開始信号を受けて、ＤＵＴの電気信号をデータ化する。
【００５６】
データ化が完了したデータ変換部は、それぞれ完了した順でデータ収集送信部に試験データを送信する。例えば、図４（ｂ）の例では、データ変換部（２）がデータ化し終わるまでの時間ｔ４がデータ収集送信部の待ち時間となり、データ変換部（２）のデータ化が完了すると、データ収集送信部の試験データの収集が開始される。
【００５７】
従って、データ収集送信部の試験データの収集処理が分散され、時間効率が向上する。時間ｔ５に試験データの収集が完了したデータ収集送信部は、かかる完了を例えば割り込み処理によって中央制御部に伝達するため、中央制御部は、試験データの収集を監視する必要がない。このように、データ化から試験データ収集への切り換えに中央制御部を介さないので、図４（ａ）における時間ｔ２も必要なくなり、総合的な試験データ収集処理に費やされる時間（ｔ４＋ｔ５）は、従来の時間（ｔ１＋ｔ２＋ｔ３）に対して十分に短縮化されることが理解できる。また、図４においては、理解を容易にするため３つのデータ変換部を用いて説明しているが、当然その数に制限はない。
【００５８】
（デバイス試験方法）
また、上述したデバイス試験装置１００を利用してＤＵＴ１４０を試験するデバイス試験方法も提供される。
【００５９】
図５は、ＤＵＴ１４０を試験するデバイス試験方法の流れを示したシーケンス図である。かかるデバイス試験方法では、まず、中央制御部１１４が複数のデータ変換部２１２およびデータ収集送信部２１４に試験開始信号を出力し（Ｓ３００）、データ変換部２１２は、その試験開始信号に応じてＤＵＴ１４０のデバイス端子における電気信号をデータ化し（Ｓ３０２）、データ化が完了したことを中央制御部１１４に通知することなく、このデータ化された試験データをデータ収集送信部２１４に送信する（Ｓ３０４）。
【００６０】
データ収集送信部２１４は、試験開始信号をトリガにデータ収集の準備を行い（Ｓ３０６）、試験データを随時受信し（Ｓ３０８）、収集されるべき試験データを全て受信すると、収集された試験データを中央制御部１１４に送信する（Ｓ３１０）。
【００６１】
かかる構成により、上記デバイス試験装置１００同様、中央制御部１１４の負荷を軽減し、かつ、デバイス試験の効率の向上および試験コストの低減を図ることが可能となる。
【００６２】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験方法およびデバイス試験装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】第１の実施形態におけるデバイス試験装置全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。
【図２】ＦＰＤのドライバの試験基準を示した説明図である。
【図３】本実施形態によるデバイス試験装置の概略的な機能を示すための機能ブロック図である。
【図４】試験データ収集処理を説明するためタイミングチャートである。
【図５】ＤＵＴを試験するデバイス試験方法の流れを示したシーケンス図である。
【符号の説明】
【００６５】
１００  デバイス試験装置
１１０  本体
１１４  中央制御部
１２０  テストヘッド
１２２  中継カード
１４０  ＤＵＴ
２１２  データ変換部
２１４  データ収集送信部
【図１】
2008102010.tif 000003
【図２】
2008102010.tif 000004
【図３】
2008102010.tif 000005
【図４】
2008102010.tif 000006
【図５】
2008102010.tif 000007