(57)【要約】【課題】試験プログラムの切り替え時間の短縮化を達成しつつ、実行中の測定精度に影響を及ぼさない半導体試験システムを提供する。【解決手段】半導体デバイスに対する複数の試験プログラムを格納し、テスタからの転送要求に応じて試験プログラムをテスタに向けて転送するサーバ(20)と、テスタ(30)に備えられており、一の試験プログラムに沿ってデバイスを測定するテスト実行手段(34)と、デバイスに対する測定停止時間を認識する空き時間認識手段(36)と、測定停止時間中にサーバに対して他の試験プログラムの転送を要求する転送要求手段(40)とを具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスに対する複数の試験プログラムを格納し、テスタからの転送要求に応じて前記試験プログラムを前記テスタに向けて転送するサーバと、
前記テスタに備えられており、一の試験プログラムに沿って前記デバイスを測定するテスト実行手段と、該デバイスに対する測定停止時間を認識する空き時間認識手段と、該測定停止時間中に前記サーバに対して他の試験プログラムの転送を要求する転送要求手段と
を具備することを特徴とする半導体試験システム。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体試験システムにおいて、
前記サーバは、前記転送要求手段による転送要求に基づいて前記テスタに対して前記他の試験プログラムを転送する転送実行手段を有し、
該転送実行手段は、前記測定停止時間中には、該他の試験プログラムを分割して転送していることを特徴とする半導体試験システム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の半導体試験システムにおいて、
前記サーバは、前記転送要求手段による転送要求があった場合には、前記他の試験プログラムの更新を禁止するロック手段を有していることを特徴とする半導体試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスやメモリデバイス等の半導体デバイスを試験する半導体試験システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のシステムは半導体デバイスの製造ラインに配置され、デバイスの機能動作等を試験し、このデバイスからの出力信号に応じてその良否を判定している（特許文献１参照）。
また、従来のシステムは図８に示されている。詳しくは、システム１００はファイルサーバ１２０とテスタ１３０とを備えており、これらサーバ１２０とテスタ１３０とはネットワークを介してデータが交換可能に構成されている。
【０００３】
サーバ１２０は複数の格納部１２１，１２２を有し、各格納部１２１，１２２には、最初に試験を行う品種用の試験プログラムや、次に試験を行う品種用の試験プログラムがそれぞれ予め用意されている。まず、最初の品種用の試験プログラムがＨＤＤ１３１に転送され、このプログラムがメモリ１３３にロードされる。そして、テスタ１３０では当該プログラムに沿ってデバイスの測定を開始する。続いて、この試験の終了後には、オペレータからの指示に基づいてプログラムを次のプログラムに切り替える。これにより、次の品種用の試験プログラムがＨＤＤ１４１に転送され、メモリ１４３にロードされたこのプログラムに沿ってデバイスの測定を開始する。
【０００４】
【特許文献１】特開平０６−０８２５２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、近年のデバイスには種々の機能が求められ、デバイスの試験内容は複雑になっている。換言すれば、試験プログラムのサイズが大きくなり、このプログラムの切り替え時間も長くなっている。そして、この切り替え時間中には測定を開始できないので、システムの生産能力やテスタの稼働率が低下するとの問題がある。
【０００６】
一方、テスタがデバイスを測定しながら、次の品種用の試験プログラムがＨＤＤに転送されると、実行中の測定精度に影響を与えるとの問題が別途生ずるのである。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解消し、試験プログラムの切り替え時間の短縮化を達成しつつ、実行中の測定精度に影響を及ぼさない半導体試験システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための第１の発明は、半導体デバイスに対する複数の試験プログラムを格納し、テスタからの転送要求に応じて試験プログラムをテスタに向けて転送するサーバと、テスタに備えられており、一の試験プログラムに沿ってデバイスを測定するテスト実行手段と、デバイスに対する測定停止時間を認識する空き時間認識手段と、測定停止時間中にサーバに対して他の試験プログラムの転送を要求する転送要求手段とを具備する。
【０００８】
第１の発明によれば、サーバは、半導体デバイスに対する複数の試験プログラムを格納し、テスタからの転送要求に応じて各試験プログラムをテスタに向けて転送する。
ここで、テスタには、一の試験プログラムによる測定停止時間中にサーバに対して他の試験プログラムの転送を要求する転送要求手段が備えられており、空き時間認識手段で認識された空き時間中には他の試験プログラムがサーバからテスタに向けて転送される。よって、当該他の試験プログラムに要する転送時間が従来に比して短縮され、試験プログラムの切り替え時間が短くて済む。この結果、次の試験プログラムに基づく測定が速やかに開始可能となる。
しかも、空き時間中に他のプログラムがテスタに向けて転送されることから、実行中の測定精度に影響を及ぼさず、試験システムの信頼性の向上に寄与する。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明の構成において、サーバは、転送要求手段による転送要求に基づいてテスタに対して他の試験プログラムを転送する転送実行手段を有し、転送実行手段は、測定停止時間中には、他の試験プログラムを分割して転送していることを特徴とする。
第２の発明によれば、第１の発明の作用に加えてさらに、サーバには他の試験プログラムを転送する転送実行手段が備えられ、認識された空き時間中には他の試験プログラムを分割して転送しているので、空き時間の長さに応じた試験プログラムの転送が可能になる。
【００１０】
第３の発明は、第１や第２の発明の構成において、サーバは、転送要求手段による転送要求があった場合には、他の試験プログラムの更新を禁止するロック手段を有していることを特徴とする。
第３の発明によれば、第１や第２の発明の作用に加えてさらに、他の試験プログラムの転送要求があった場合には、ロック手段によって当該他の試験プログラムの更新が禁止される。よって、当該他の試験プログラムは追加・変更・削除されることなくテスタに転送されることから、試験システムのさらなる信頼性向上に寄与する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、試験プログラムの切り替え時間が短縮され、次の試験を速やかに開始可能な半導体試験システムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は本実施例の半導体試験システム１０のブロック図であり、このシステム１０は図示しない被試験対象（ＤＵＴ）であるＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）デバイスの製造ラインに配置されている。
システム１０はファイルサーバ（サーバ）２０とＩＣテスタ３０とを備えており、これらサーバ２０とテスタ３０とは各種のデータがネットワークを介して相互に交換可能に構成されている。
【００１３】
サーバ２０は複数の格納部２１，２２を有している。格納部２１には最初に試験を行う品種用の試験プログラムが、格納部２２には次に試験を行う品種用の試験プログラムがそれぞれ用意され、サーバ２０にて一元管理されている。そして、各プログラムはテスタ３０からの転送要求に応じて格納部２１，２２から読み出される。
【００１４】
また、本実施例のサーバ２０はファイルロック部（ロック手段）２４を有し、このロック部２４では、テスタ３０から転送要求があった場合には格納部２１，２２から読み出された各プログラムの更新は禁止され、当該プログラムが転送実行部（転送実行手段）２６に出力される。
本実施例の実行部２６では、テスタ３０からの転送要求に応じてプログラムが一括或いは分割してテスタ３０に転送される。そして、実行部２６では、プログラムがテスタ３０に転送された場合にはロック部２４に転送の完了が通知され、ロック部２４ではこのプログラムの更新の禁止が解除される。
【００１５】
なお、上記ロック部２４では、テスタ３０から転送要求があったとしても、万一、このプログラムが既に更新中である場合には、実行部２６からテスタ３０への当該プログラムの転送が禁止される。
一方、テスタ３０はＨＤＤ３１を有しており、プログラムはＨＤＤ３１に転送されている。このプログラムの転送が完了したか否かは転送判定部３２にて判別されており、転送が完了した場合には、このプログラムはメモリ３３にロードされる。
【００１６】
テスト実行部（テスト実行手段）３４では、ＤＵＴがメモリ３３にロードされたプログラムに沿って試験される。詳しくは、この実行部３４では、例えば読み出し（Ｒｅａｄ）、書き込み（Ｗｒｉｔｅ）及び消去（Ｅｒａｓｅ）等の各機能を動作させるパターンがプローバ(或いはハンドラ)を介してＤＵＴに出力されており、このＤＵＴからの出力信号を測定してその良否が判定される。
【００１７】
本実施例の空き時間認識部（空き時間認識手段）３６はテスタ３０に備えられている。この認識部３６では、実行部３４による今回の測定停止時刻及び次回の測定開始時刻がそれぞれ検出されており、試験の空き時間を認識し、この空き時間が転送要求部４０に出力されている。そして、この要求部４０では次の品種用のプログラムの転送がサーバ２０に要求される。
【００１８】
このように本実施例では、テスタ３０は、最初の品種用のプログラムによる試験中に現れる空き時間を見つけ、サーバ２０に次の品種用のプログラムの転送を要求する。そして、サーバ２０は次の品種用のプログラムをテスタ３０に向けて転送する動作に入る。
より具体的には、仮に、１枚のウェハにはＸ個のＤＵＴが形成され、１つのロットはＹ枚のウェハで構成されており、Ｚ個のロットで１つの品種が構成されているとする。
【００１９】
この場合の認識部３６は、実行部３４の実行中のうち測定停止時間中、例えば、最初の品種において、ロット番号１におけるウェハ番号１のＤＵＴ番号１の測定終了から同じウェハ番号１のＤＵＴ番号２の測定開始までの期間（ＤＵＴ切り替え時間）、このウェハ番号１のＤＵＴ番号Ｘの測定終了からウェハ番号２のＤＵＴ番号１の測定開始までの期間（ウェハ切り替え時間）、このロット番号１のウェハ番号Ｙの測定終了からロット番号２のウェハ番号１の測定開始までの期間（ロット切り替え時間）がそれぞれ空き時間として認識される。つまり、仮に、ＤＵＴが１個ずつ測定される場合には、ＤＵＴ切り替え時間はＸ−１個、ウェハ切り替え時間はＹ−１個、及びロット切り替え時間はＺ−１個存在する。なお、複数個のＤＵＴを同時に測定しても良く、この場合には、ＤＵＴ切り替え時間はその同測数に応じて少なくなる。
【００２０】
そして、要求部４０では、長さの異なる各空き時間中に、次の品種用のプログラムの転送がロック部２４に要求されており、転送実行部２６では、要求されたプログラムが各空き時間中にＨＤＤ３１に少しずつ転送されている。
また、切り替え実行部３８では、最初の品種用のプログラムが終了した場合にはオペレータからの指示に基づき、要求部４０を介してこのプログラムを次の品種用のプログラムに切り替える信号がサーバ２０に出力されている。そして、次の品種用のプログラムの総てがＨＤＤ３１に転送された場合には、このプログラムはメモリ３３にロードされ、テスト実行部３４にて該当品種のＤＵＴが試験される。
【００２１】
次に、図２から図６を参照すると、システム１０におけるＤＵＴの試験フローチャート等が示されており、以下、上記のように構成されたシステム１０の作用について説明する。
【００２２】
まず、図２はサーバ２０による動作フローチャートであり、ステップＳ２０１では、要求部４０からプログラムに関する転送要求があるか否かを判別する。そして、転送要求があることを条件としてステップＳ２０２に進み、ロック部２４にて当該プログラムの更新を禁止する。
ステップＳ２０３では実行部２６にて当該プログラムの転送を実行してステップＳ２０４に進み、転送が完了した後にロック部２４にて当該プログラムの更新の禁止を解除して一連のルーチンを抜ける。
【００２３】
この実行部２６の動作は図３に示されている。
同図のステップＳ３０１では、テスト実行部３４による測定停止時間中であるか否かを判別し、上述した認識部３６による空き時間の認識中である場合、すなわちＹＥＳと判定した場合にはステップＳ３０２に進む。
ステップＳ３０２では、次の品種用のプログラムを空き時間の長さに合わせて分割してＨＤＤ３１に転送し、所定の空き時間が経過するまでこのプログラムを転送する（ステップＳ３０３）。
【００２４】
詳しくは、図４に示される如く、プローバにてＤＵＴとの接触が解かれている間（図中、実線で示す）は、上述したＤＵＴ切り替え時間、ウェハ切り替え時間、或いはロット切り替え時間のいずれかに該当することから、テスト実行部３４では測定停止時間中（図中、一点鎖線で示す）になる。より具体的には、プローバとＤＵＴとが接触すると、プローバから実行部３４に測定開始が指示される。この実行部３４では、測定データ収集機能を有効にすることにより、測定開始時刻Ｔｍｓが記録される。続いて、測定終了時刻Ｔｍｅが記録されると、実行部３４はプローバに測定終了を通知する。これにより、プローバとＤＵＴとの接触が解かれ、次の測定開始時刻Ｔｍｓが記録されるまでは、実行部３４の試験中であっても空き時間となる。
【００２５】
同時に、転送判定部３２では、転送開始時刻Ｔｔｓがネットワークアナライザで記録され、転送終了時刻Ｔｔｅが記録されるまでの間（図中、実線で示す）は常に上記測定停止時間内に該当することから、次の品種用のプログラムが転送可能となる。
このように、本実施例のシステム１０によれば、実行部３４による測定終了時刻Ｔｍｅと測定開始時刻Ｔｍｓとをそれぞれ記録するとともに、判定部３２による転送開始時刻Ｔｔｓと転送終了時刻Ｔｔｅとをそれぞれ記録することにより、測定停止時間の毎にプログラムの転送期間が発生し、プログラムは頻繁に転送可能であることが分かる。
【００２６】
なお、上記ステップＳ３０１にて、例えばシステム１０の起動直後等の如く、空き時間が未だ認識されていない場合には、ステップＳ３０４に進んで最初の品種用のプログラムを一括してＨＤＤ３１に転送する。また、最初の品種に対する試験終了後において次の品種用のプログラムの総てが転送されていない場合にも、ステップＳ３０４に進む。
【００２７】
次に、図５はテスタ３０による動作フローチャートである。
ステップＳ５０１では、生産計画に基づいて作成された試験順の品種名リストが予め準備されており、要求部４０にてサーバ２０にプログラムの転送を要求する。ステップＳ５０２では、判定部３２にて当該プログラムの転送がＨＤＤ３１に完了しているか否かを判別する。そして、転送が総て完了している場合、すなわちＹＥＳと判定した場合にはステップＳ５０３に進み、メモリ３３に当該プログラムをロードしてステップＳ５０４に進む。
【００２８】
ステップＳ５０４では、実行部３４にて最初の品種用のプログラムによるＤＵＴを試験する。
実行部３４の動作は図６に示されるように、ステップＳ６０１では、プローバからの測定開始の指示に基づいてロット番号１におけるウェハ番号１のＤＵＴ番号１の測定を開始し、ステップＳ６０２ではこの測定が終了しているか否かを判別する。そして、測定終了を判定した場合にはウェハ番号１のＤＵＴ番号１の測定が終了する。同時に、プローバに測定終了を通知してステップＳ６０３に進み、認識部３６にて空き時間を認識する。次いで、このウェハ番号１のＤＵＴ番号２の測定を開始するまでの間が空き時間となり、図５のステップＳ５０１にて要求部４０がサーバ２０に次の品種用のプログラムの転送を要求する。
【００２９】
また、このウェハ番号１のＤＵＴ番号２以降の測定を開始するにあたり、仮に、次の品種用のプログラムが分割転送中であり、プログラムの総ての転送が未だ完了していないときにはステップＳ５０２からステップＳ５０５、そして、ステップＳ５０４の順に進む。以降、Ｘ個のＤＵＴ、Ｙ枚のウェハ、及びＺ個のロットの測定が終了するまで、最初の品種用のプログラムによるＤＵＴを試験する。
【００３０】
一方、このステップＳ５０５にて、Ｚ個のロットの測定が終了している場合にはステップＳ５０６に進む。
この切り替え実行部３８の動作は図７に示される如く、ステップＳ７０１では、実行部２６にて次の品種用のプログラムが総て転送されているか否かを判別し、総ての分割転送が完了している場合、すなわちＹＥＳと判定した場合には、オペレータの指示に応じて最初の品種用のプログラムを次の品種用のプログラムに切り替える。これにより、当該次の品種用のプログラムによるＤＵＴを試験する。これに対し、この分割転送が完了していない場合にはステップＳ７０２に進み、要求部４０がサーバ２０に信号を出力する。これにより、次の品種用のプログラムの残り分が一括してＨＤＤ３１に転送される。
【００３１】
以上のように、本実施例によれば、ファイルサーバ２０は、ＤＵＴに対する複数の機能試験プログラムを格納し、テスタ３０からの転送要求に応じて各プログラムをテスタ３０に向けて転送している。
ここで、テスタ３０には、最初の品種用のプログラムによる測定停止時間中にサーバ２０に対して次の品種用のプログラムの転送を要求する転送要求部４０が備えられており、空き時間認識部３６で認識された空き時間中には次のプログラムがサーバ２０からテスタ３０に向けて転送される。よって、当該次のプログラムに要する転送時間が従来に比して短縮され、プログラムの切り替え時間が短くて済む。この結果、次のプログラムに基づく測定が速やかに開始可能となる。
【００３２】
この点につき、より詳しく述べる。仮に、上述したプログラムの転送には約１０分間必要であって、１個のＤＵＴの測定には約０．５秒間必要であるとすると、従来の如くオペレータからの切り替え指示に伴って始めて実行されるプログラムの転送時間の総てが削減された場合には、本実施例のテスタでは、従来に比して約１２００個のＤＵＴをさらに測定できるのである。
また、テスタでは当該転送時間にも電力が消費されている点を鑑みれば、この転送時間の削減は、生産活動に直接的に関わらない電力量の削減になるので、生産コストの削減になるし、電力量の削減はＣＯ２排出量の削減になることから、地球環境も保護される。
【００３３】
しかも、ＤＵＴの測定時間中ではなく、測定停止時間中に次のプログラムがテスタ３０に向けて転送されることから、実行中の測定精度に影響を及ぼさず、システムの信頼性の向上に寄与する。
【００３４】
また、サーバには次のプログラムを転送する転送実行部２６が備えられ、認識された空き時間中には、次のプログラムを分割して転送していることから、空き時間の長さに応じたプログラムの転送が可能になる。
さらに、次のプログラムの転送要求があった場合には、ファイルロック部２４により、当該次のプログラムの更新が禁止されている。よって、次のプログラムは追加・変更・削除されることなくＨＤＤ３１に転送されるので、システムのさらなる信頼性向上に寄与する。
【００３５】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施例ではＩＣデバイスをＤＵＴの例として挙げ、このデバイスを試験するＩＣテスタについて説明されているが、メモリデバイスを試験するメモリテスタであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本実施例における半導体試験システムのブロック図である。
【図２】図１のサーバによる動作フローチャートである。
【図３】図２の転送実行部による動作フローチャートである。
【図４】図１のシステムによるタイミングチャートである。
【図５】図１のテスタによる動作フローチャートである。
【図６】図５のテスト実行部による動作フローチャートである。
【図７】図５の切り替え実行部による動作フローチャートである。
【図８】従来の半導体試験システムの概略構成図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  半導体試験システム
２０  ファイルサーバ（サーバ）
２４  ファイルロック部（ロック手段）
２６  転送実行部（転送実行手段）
３０  ＩＣテスタ（テスタ）
３４  テスト実行部（テスト実行手段）
３６  空き時間認識部（空き時間認識手段）
４０  転送要求部（転送要求手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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