(57)【要約】【課題】エンコーダからの信号に基づいて迅速に制御対象の駆動速度を得る信号処理装置を提供すること。【解決手段】モータの駆動位置に応じてセンサから出力される位置情報信号を信号処理してモータの駆動速度を検出する。位置情報信号を信号処理してモータの駆動速度情報を算出する位置情報信号処理部４１０と、位置情報信号処理部４１０にて算出される最新の駆動速度情報ωｎを反映してモータの最新の推定位置を内部位置情報として生成する内部位置情報生成部４６０と、を備える。振幅補正部４６５によりセンサからの位置情報信号の振幅を検出するとともに検出した振幅に基づいて内部位置情報信号の振幅を補正する。【選択図】図３
2008008739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動体の駆動位置に応じてセンサから出力される位置情報信号を信号処理して前記駆動体の駆動速度を検出する信号処理装置であって、
前記位置情報信号を信号処理して前記駆動体の駆動速度情報を算出する位置情報信号処理部と、
前記位置情報信号処理部にて算出される最新の前記駆動速度情報を反映して前記駆動体の最新の推定位置を内部位置情報として生成する内部位置情報生成部と、を備え、
前記位置情報信号処理部は、前記センサからの前記位置情報信号と前記内部位置情報生成部にて生成される前記内部位置情報との差分に基づいて前記駆動体の駆動速度情報を算出し、
前記センサから出力される位置情報信号は前記駆動体の駆動に応じて周期的に変化する周期関数信号であり、前記位置情報信号処理部は前記駆動体の駆動速度情報として前記周期関数信号の位相変化量を出力し、
前記内部位置情報生成部は、前記位置情報信号処理部からの前記位相変化量を積算して前記駆動体の位置情報に相当する位相を算出する積算手段と、前記積算手段で算出される前記位相に基づく関数値を算出して前記位相を前記内部位置情報に変換する内部位置情報変換部と、を備え、
前記内部位置情報変換部は、
前記センサから出力される位置情報信号の振幅を検出する振幅検出部と、
前記積算手段で算出される位相をパラメータとした周期関数の関数値を算出する関数値算出部と、
前記関数値算出部にて算出された前記関数値に前記振幅検出部にて検出された振幅を乗算して前記内部位置情報を算出する振幅乗算部と、を備えている
ことを特徴とする信号処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の信号処理装置において、
前記周期関数信号は、９０度位相差を有する三角関数信号であって第１信号が正弦波信号であって第２信号が余弦波信号であり、
前記振幅検出部は、
前記第２信号の値が０である際の前記第１信号の大きさを第１信号の振幅として検出し、
前記第１信号の値が０である際の前記第２信号の大きさを前記第２信号の振幅として検出する
ことを特徴とする信号処理装置。
【請求項３】
駆動体の駆動位置に応じた位置情報信号を出力するセンサと、
請求項１または請求項２に記載の信号処理装置と、を備える
ことを特徴とする速度検出装置。
【請求項４】
駆動体と、
前記駆動体の駆動位置に応じた位置情報信号を出力するセンサと、
請求項１または請求項２に記載の信号処理装置と、
前記信号処理装置にて検出される前記駆動体の駆動速度を外部から予め設定された所定目標速度と比較するとともに前記駆動体の駆動速度を前記所定目標速度に制御する中央制御部と、を備える
ことを特徴とするサーボ機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号処理装置に関し、例えば、モータの回転角度を検出するエンコーダからの二相信号を処理してモータの駆動速度（回転角速度）を検出する信号処理装置、速度検出装置およびモータ駆動速度を制御するサーボ機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータの駆動速度（例えば回転速度）を制御するサーボ機構が知られている（例えば、特許文献１）。
従来のサーボ機構１は、図９に示されるように、制御対象となるモータ１１と、モータ１１の回転位置（回転角度）を検出して位置データを出力するエンコーダ１２と、エンコーダ１２からの位置データに基づいてモータ回転速度を算出するとともに目標速度になるようにモータ１１への印加電流を制御する制御部１３と、を備えている。
エンコーダ１２は、モータ１１の回転位置（回転角度）を検出するとともにラッチして、モータ１１の回転位置の情報をアブソリュートコードで出力する。そして、エンコーダ１２と制御部１３とは、シリアル通信回線１４によって接続されている。
【０００３】
このような構成を備えるサーボ機構におけるモータ１１の回転速度制御のタイミングチャートを図１０に示す。
まず、制御部１３からエンコーダ１２に向けてシリアル通信回線１４を介して位置検出の指令Ｓ１が送信される。検出指令Ｓ１を受けるとエンコーダ１２は、モータ１１の回転位置（図１０中では、Ｐ０、Ｐ１、Ｐ２として示す）を検出するとともにこの検出値をラッチして制御部１３にモータ１１の位置データを出力する。
制御部１３は、モータ１１の回転位置データをエンコーダ１２から受信すると、モータ回転位置に基づいてモータ１１の速度制御を行う。すなわち、制御部１３は、受信したモータ回転位置を一周期前に受信したモータ回転位置と比較してモータ１１の回転速度を算出し、算出したモータ回転速度を目標速度に比較する。そして、モータ速度と目標速度との差に応じてモータ１１に印加する電流値を算出するとともに、電流制御アンプにより電流値を流すことにより、モータ１１の速度制御を行う。
このような制御周期が繰り返されることにより、モータ１１の回転速度が目標速度になるように制御される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−５２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述のように、一定のサンプリング周期で検出されたモータ回転位置データを得てこれらの差分から算出されるモータ速度に基づく速度制御にあっては、算出して得られる速度データは、現在の制御周期における速度と一周期前の速度との平均速度データとなる。すると、速度制御には、サンプリング周期Ｔの１／２のムダ時間（時間遅れ）が生じていることになる。このようなムダ時間が存在するため、制御系の位相遅れが大きくなり、その結果、制御の安定性を損なうという問題が生じる。
【０００６】
本発明の目的は、エンコーダからの信号に基づいて迅速に制御対象の駆動速度を得る信号処理装置、速度検出装置およびモータ駆動速度を安定に制御するサーボ機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の信号処理装置は、駆動体の駆動位置に応じてセンサから出力される位置情報信号を信号処理して前記駆動体の駆動速度を検出する信号処理装置であって、前記位置情報信号を信号処理して前記駆動体の駆動速度情報を算出する位置情報信号処理部と、前記位置情報信号処理部にて算出される最新の前記駆動速度情報を反映して前記駆動体の最新の推定位置を内部位置情報として生成する内部位置情報生成部と、を備え、前記位置情報信号処理部は、前記センサからの前記位置情報信号と前記内部位置情報生成部にて生成される前記内部位置情報との差分に基づいて前記駆動体の駆動速度情報を算出し、前記センサから出力される位置情報信号は、前記駆動体の駆動に応じて周期的に変化する周期関数信号であり、前記位置情報信号処理部は、前記駆動体の駆動速度情報として前記周期関数信号の位相変化量を出力し、前記内部位置情報生成部は、前記位置情報信号処理部からの前記位相変化量を積算して前記駆動体の位置情報に相当する位相を算出する積算手段と、前記積算手段で算出される前記位相に基づく関数値を算出して前記位相を前記内部位置情報に変換する内部位置情報変換部と、を備え、前記内部位置情報変換部は、前記センサから出力される位置情報信号の振幅を検出する振幅検出部と、前記積算手段で算出される位相をパラメータとした周期関数の関数値を算出する関数値算出部と、前記関数値算出部にて算出された前記関数値に前記振幅検出部にて検出された振幅を乗算して前記内部位置情報を算出する振幅乗算部と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
このような構成において、内部位置情報生成部により駆動体の最新の駆動速度情報を反映した駆動体の位置情報が内部位置情報として生成されている。そして、センサから駆動体の位置情報信号が入力されると即座に位置情報信号処理部においてセンサの位置情報信号と前記内部位置情報との差分が算出される。この差分に基づいて駆動体の駆動速度が算出されて出力される。この駆動速度は、例えば、外部に設けられる制御手段に向けて駆動体の駆動速度情報として出力されると同時に、内部位置情報生成部に入力されて駆動体の最新位置の推定に用いられる。
【０００９】
センサから入力される周期関数の位置情報信号に対し、駆動速度情報としては位置情報信号処理部により位相変化量が算出される。そして、この位相変化量である駆動速度情報が積算手段にて積算されて駆動体の位置情報に相当する位相が算出され、さらに、この位相に対応する周期関数値が内部位置情報として内部位置情報変換部により算出される。これにより、入力された位置情報信号と内部位置情報との差分が位置情報信号処理によって即座に算出されて、入力の位置情報に対して遅れのない速度情報が得られる。
【００１０】
ここで、センサから出力される位置情報信号は周期関数であるが、周波数などの諸条件によって振幅が変化する場合がありうる。
このような場合に内部で生成する内部位置情報とセンサからの位置情報とで信号の振幅が異なっていると、位置情報信号処理部にてセンサからの位置情報信号と内部位置情報生成部にて生成される内部位置情報との差分を算出した際に、駆動速度情報である位相の差に加えて振幅の違いを含んでしまうことになる。
すると、正確に駆動速度情報を算出できないという問題が生じる。
【００１１】
この点、本発明においては、振幅検出部を備えており、センサから出力される位置情報信号の振幅を検出する。
そして、検出した振幅を関数値算出部にて算出された関数値に乗算して内部位置情報の振幅をセンサからの信号を同じ大きさに調整する。
したがって、センサからの位置情報信号と内部で生成される内部位置情報とで振幅を一致させることができる。
すると、位置情報信号処理部にてセンサからの位置情報信号と内部位置情報生成部にて生成される内部位置情報との差分を算出した際に、位置情報の差のみを求めることができ、その結果、正確に駆動体の駆動速度情報を得ることができる。
【００１２】
本発明では、前記周期関数信号は、９０度位相差を有する三角関数信号であって第１信号が正弦波信号であって第２信号が余弦波信号であり、前記振幅検出部は、前記第２信号の値が０である際の前記第１信号の大きさを第１信号の振幅として検出し、前記第１信号の値が０である際の前記第２信号の大きさを前記第２信号の振幅として検出することが好ましい。
【００１３】
このような構成において、センサからの位置情報信号としての周期関数信号が二相信号である場合には、第１信号の振幅は第２信号の値が０になった際の第１信号の値として検出される。同様に、第２信号の振幅は第１信号の値が０になった際の第２信号の値として検出される。例えば、第１信号がＡｉｓｉｎθである場合、第２信号であるＢｉｃｏｓθの値が０であるときの｜Ａｉｓｉｎθ｜を検出することにより第１信号（Ａｉｓｉｎθ）の振幅を得ることができる。
このように二相信号である場合には、一方の値が０になった際に他方の信号が最大値（あるいは最小値）を示していることを利用して簡便に信号の振幅を検出することができる。
例えば、第１信号の変化を順番に記録しておいて、値が増加から減少に変化したことを検出して最大値である振幅を求めるなど一つの信号だけから振幅を検出する場合に比べて格段に簡便な構成によって振幅の検出を行うことができる。
【００１４】
なお、正弦波信号と余弦波信号とのいずれか一方のみに基づいて駆動速度検出を行う場合には、いずれか一方のみの振幅を検出すればよいことはもちろんである。この場合、第１信号の振幅を検出するにあたっては、第２信号の値をモニタリングしつつ、第２信号の値が０になった際の第１信号の振幅を検出する。
【００１５】
振幅検出部によって振幅を検出するタイミングについては、可能な限り短いサンプリングピッチであることがもちろん好ましいが、センサがロータリーエンコーダである場合には位置情報信号の振幅変化は比較的緩慢であるため、数ミリ秒〜数十ミリ秒単位であっても本発明の効果を奏することができる。
【００１６】
なお、コンピュータに所定の信号処理プログラムをインストールして上記信号処理装置の各機能部として機能させてもよい。このように信号処理プログラムをコンピュータにインストールしてこのコンピュータを各機能部として機能させれば、各種のパラメータの変更などを容易に行うことができる。この信号処理プログラムをインストールするには、信号処理装置にメモリカードやＣＤ−ＲＯＭ等を直接差し込んで行ってもよいし、これらの記憶媒体を読み取る機器を外付けで信号処理装置に接続してもよい。さらには、ＬＡＮケーブル、電話線等を信号処理装置に接続して通信によって信号処理プログラムを供給しインストールしてもよいし、無線によって信号処理プログラムを供給してインストールしてもよい。
【００１７】
本発明の速度検出装置は、駆動体の駆動位置に応じた位置情報信号を出力するセンサと、前記信号処理装置と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、センサからの位置情報信号を信号処理装置によって処理して駆動体の駆動速度を迅速に得る速度検出装置とすることができる。
【００１９】
本発明のサーボ機構は、駆動体と、前記駆動体の駆動位置に応じた位置情報信号を出力するセンサと、前記信号処理装置と、前記信号処理装置にて検出される前記駆動体の駆動速度を外部から予め設定された所定目標速度と比較するとともに前記駆動体の駆動速度を前記所定目標速度に制御する中央制御部と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、信号処理装置にて得られた駆動速度情報をフィードバック信号として中央制御部により駆動体の駆動制御が行われる。すると、位相遅れがないため制御系を極めて安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明のサーボ機構に係る第１実施形態について説明する。
図１に、サーボ機構のブロック図を示す。
このサーボ機構１００は、制御対象であるモータ（駆動体）１１０と、モータ１１０の回転駆動に応じて正弦波（Ａｓｉｎθ）および余弦波（Ａｃｏｓθ）の位置情報信号（周期関数信号）を出力するセンサとしてのエンコーダ１２０と、エンコーダ１２０からの位置情報信号に基づいてモータ回転速度（駆動速度情報）を算出するとともにモータ回転速度を外部から入力される目標速度に応じて制御する制御部３００と、を備えている。
【００２２】
エンコーダ１２０は、従来知られたロータリーエンコーダ１２０であり、詳細は割愛するが、モータ１１０の回転子と一体回転するロータを有し、このロータの回転に伴って周期的に変化する周期関数である位置情報信号（Ａｓｉｎθ、Ａｃｏｓθ）を出力する。この位置情報信号は、図２に示されるように、互いに９０度位相差を有する正弦波（Ａｓｉｎθ）および余弦波（Ａｃｏｓθ）の二相信号である。このようなロータリーエンコーダ１２０としては、光電式エンコーダ、静電容量式エンコーダ、磁気式エンコーダなどが利用できる。
【００２３】
制御部３００は、エンコーダ１２０からの位置情報信号を信号処理してモータ回転速度を算出する信号処理装置としての速度算出部４００と、速度算出部４００にて算出されたモータ回転速度を外部から入力される目標速度に比較してモータ回転速度を目標速度に制御する中央制御部としてのＣＰＵ３１０と、を備えている。
【００２４】
速度算出部４００の構成について説明する。
図３は、速度算出部４００の構成を示すブロック図である。
速度算出部４００は、エンコーダ１２０から出力される二相信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）を信号処理してモータ回転速度（ωｎ）を算出する位置情報信号処理部４１０と、所定条件に対比して二相信号のいずれか一方の信号に基づくモータ回転速度情報を切替選択する信号切替部４５０と、位置情報信号処理部４１０からのモータ回転速度（ωｎ）に基づいて最新のモータ回転速度を反映したモータ駆動位置情報（θｎ）を内部位置情報として生成する内部位置情報生成部４６０と、モータ１１０の回転速度情報（ωｎ）およびモータ駆動位置情報（θｎ）を出力する出力部４８０と、を備える。
【００２５】
位置情報信号処理部４１０は、エンコーダ１２０から出力される二相信号のうちの正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）について信号処理しモータ１１０の回転変化量（Δθ１）を算出する正弦信号処理部（第１信号処理部）４２０と、エンコーダ１２０から出力される二相信号のうちの余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）について信号処理しモータ１１０の回転変化量（Δθ２）を算出する余弦信号処理部（第２信号処理部）４３０と、正弦信号処理部４２０および余弦信号処理部４３０からの回転変化量（Δθ１、Δθ２）を正転方向に合わせてモータ１１０の回転角速度（ω１、ω２（rad/s））にする符号変換部４４０と、を備える。
【００２６】
正弦信号処理部４２０は、内部位置情報生成部４６０で生成される内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ）をエンコーダ１２０より入力される正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）から減算して差分信号を出力する第１減算手段（差分算出手段）４２１と、第１減算手段４２１から出力される差分信号に所定ゲイン（Ｋ）を乗算してモータ回転変化量（Δθ１）を算出する第１ゲイン乗算部（駆動速度算出手段）４２２と、を備える。
【００２７】
第１減算手段４２１は、エンコーダ１２０より入力される正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）から内部位置情報生成部４６０で生成されるモータ駆動位置情報（内部位置情報Ａｉｓｉｎθｎ）を減算する。
そして、第１減算手段４２１で算出される差分は関数値の差（Ａｉｓｉｎθ−Ａｉｓｉｎθｎ）になっているところ、第１ゲイン乗算部４２２において第１減算手段４２１から出力される差分信号に所定ゲイン（Ｋ）が乗算されてモータ１１０の回転変化量（Δθ１）が出力される。
【００２８】
余弦信号処理部４３０は、エンコーダ１２０より入力される余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）を内部位置情報生成部４６０で生成される内部位置情報（Ｂｉｃｏｓθｎ）から減算して差分信号を出力する第２減算手段（差分算出手段）４３１と、
第２減算手段４３１から出力される差分信号に所定ゲイン（Ｋ）を乗算してモータ回転変化量（Δθ２）を算出する第２ゲイン乗算部（駆動速度算出手段）４３２と、を備える。
【００２９】
符号変換部４４０は、正弦信号処理部４２０から出力されるモータ回転変化量（Δθ１）を余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）の符号に基づいて変換する第１符号変換部４４１と、余弦信号処理部４３０から出力されるモータ回転変化量（Δθ２）を正弦波信号（Ａｓｉｎθ）の符号に基づいて変換する第２符号変換部４４２と、を備える。
【００３０】
第１符号変換部４４１は、余弦波信号（Ａｃｏｓθ）がマイナス（負の値）である場合には第１ゲイン乗算部４２２からのモータ回転変化量（Δθ１）に−１（マイナス１）を乗算し、余弦波信号（Ａｃｏｓθ）がプラス（正の値）である場合には第１ゲイン乗算部４２２からのモータ回転変化量（Δθ１）に＋１（プラス１）を乗算する。
同様に、第２符号変換部４４２は、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）がマイナス（負の値）である場合には、第２ゲイン乗算部からのモータ回転変化量（Δθ２）に−１（マイナス１）を乗算し、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）がプラス（正の値）である場合には第２ゲイン乗算部からのモータ回転変化量（Δθ２）に＋１（プラス１）を乗算する。
【００３１】
エンコーダ１２０から入力される正弦波信号（Ａｓｉｎθ）は、図２に示されるように、モータ１１０の回転に応じて周期的に増減を繰り返すところ、モータ１１０が回転して回転位相角が増加する場合でも正弦波信号（Ａｓｉｎθ）が減少する領域が存在することになるので、入力される正弦波信号（Ａｓｉｎθ）から内部位置情報生成部４６０にて生成される内部位置情報（Ａｓｉｎθｎ）を単純に減算すると、モータ１１０が正転して位相が増加しているにも関わらず、モータ１１０の回転変化量がマイナスになってしまう場合がある。そこで、第１符号変換部４４１において、エンコーダ１２０から入力される他方の位相信号である余弦波信号（Ａｃｏｓθ）の符号に基づいてモータ１１０の回転変化量（Δθ１）が増加する方向に第１ゲイン乗算部４２２からの出力信号の符号を変換する。これにより、第１ゲイン乗算部４２２から出力されるモータ回転変化量（Δθ１）が常に増加方向へ変換されモータ１１０の回転角速度（ω１）が得られる。
【００３２】
同様に、第２符号変換部４４２において、エンコーダ１２０から入力される他方の位相信号である正弦波信号（Ａｓｉｎθ）の符号に基づいてモータ１１０の回転変化量（Δθ２）が増加する方向に第２ゲイン乗算部４３２からの出力信号の符号を変換する。これにより、第２ゲイン乗算部４３２から出力されるモータ回転変化量（Δθ２）が常に増加方向へ変換されモータ１１０の回転角速度（ω２）が得られる。
【００３３】
信号切替部４５０は、エンコーダ１２０から入力される正弦波信号（Ａｓｉｎθ）を所定閾値と比較して正弦波信号と閾値との大小判断を行う判断部４５１と、判断部４５１による大小判断に基づいて出力部４８０および内部位置情報生成部４６０への入力を正弦信号処理部４２０からの出力信号と余弦信号処理部４３０からの出力信号とで切り替える切替手段４５２と、を備えている。
【００３４】
エンコーダ１２０から入力される位置情報信号（Ａｓｉｎθ、Ａｃｏｓθ）はモータ１１０の回転に伴って周期的に増減するところ、例えば図２に示されるように、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）では位相が９０°（π／２）や２７０°（３π／２）の付近では位相（θ）の変化量に対する信号値の変化量が小さくなるなど、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）でも余弦波信号（Ａｃｏｓθ）でも位相変化量に対する信号値変化が小さい領域が存在する。
そこで、信号切替部４５０は、位相変化量に対して信号値の変化が大きい領域を利用するべく正弦波信号（Ａｓｉｎθ）と余弦波信号（Ａｃｏｓθ）とを切り替える。
【００３５】
判断部４５１は、正弦波信号の絶対値｜Ａｓｉｎθ｜を所定閾値である０．７Ａと比較して、両者の大小を判断する。ここで、±０．７は、およそ±√２／２に相当し、正弦波信号を例にすると４５°（π／４）、１３５°（３π／４）、２２５°（５π／４）、３１５°（９π／４）の位相に相当する。
【００３６】
切替手段４５２は、正弦信号処理部４２０からの信号が入力される正弦側端子４５３と、余弦信号処理部４３０からの信号が入力される余弦側端子４５４と、を有し、内部位置情報生成部４６０および出力部４８０への入力を正弦側端子４５３と余弦側端子４５４とで切り替えるスイッチング手段で構成されている。
そして、信号切替部４５０は、判断部４５１での大小判断に基づいて｜Ａｓｉｎθ｜が０．７Ａよりも小さいときは（｜Ａｓｉｎθ｜＜０．７Ａ）、正弦側端子４５３を選択し、｜Ａｓｉｎθ｜が０．７Ａ以上であるときは（｜Ａｓｉｎθ｜≧０．７Ａ）、余弦側端子４５４を選択する。
これにより、図２に示されるように、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）および余弦波信号（Ａｃｏｓθ）において信号値変化の大きい領域が順次切り替えて利用される。
【００３７】
内部位置情報生成部４６０は、位置情報信号処理部４１０からのモータ回転角速度（ω１、ω２）を積算してモータ１１０の回転位相（θｎ）を算出する積算手段４６１と、積算手段４６１で算出されるモータ１１０の回転位相（θｎ）をパラメータとする三角関数値に変換して内部位置情報（Ａｓｉｎθｎ、Ａｃｏｓθｎ）を算出する内部位置情報変換部４６２と、を備える。
【００３８】
積算手段４６１は、切替手段４５２により選択された出力信号であるモータ回転角速度（ω１かω２か）を積算してモータ１１０の回転位相（θｎ）を算出する。すなわち、最新のモータ回転角速度（ω１、ω２）を反映したモータ回転位相（θｎ）を算出する。そして、算出したモータ回転位相（θｎ）を内部位置情報変換部４６２に出力する。
【００３９】
内部位置情報変換部４６２は、正弦信号処理部４２０の第１減算手段４２１に向けて内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ）を出力する第１内部位置情報変換部４６３と、余弦信号処理部４３０の第２減算手段４３１に向けて内部位置情報（Ｂｉｃｏｓθｎ）を出力する第２内部位置情報変換部４６４と、エンコーダ１２０から出力される正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）と余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）とからそれぞれの振幅（Ａｉ、Ｂｉ）を検出するとともに第１および第２内部位置情報変換部４６３、４６４の振幅（Ａｉ、Ｂｉ）を補正する振幅補正部４６５と、を備える。
【００４０】
第１内部位置情報変換部４６３は、エンコーダ１２０から入力される位置情報信号である正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）に対応して、積算手段４６１で算出される位相（θｎ）をパラメータとする正弦関数値（Ａｉｓｉｎθｎ）を算出して内部位置情報とする。
また、第２内部位置情報変換部４６４は、エンコーダ１２０から入力される位置情報信号である余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθｎ）に対応して、積算手段４６１で算出される位相（θｎ）をパラメータとする余弦関数値（Ｂｉｃｏｓθｎ）を算出して内部位置情報とする。
【００４１】
第１および第２内部位置情報変換部４６３、４６４は、積算手段４６１で算出される位相（θｎ）をパラメータとする関数値（ｓｉｎθｎ、ｃｏｓθｎ）を算出する関数値算出部４６６、４６８と、振幅補正部４６５から出力される振幅を乗算した三角関数値（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）を算出する振幅乗算部４６７、４６９と、を備えている。
【００４２】
ここで、第１内部位置情報変換部４６３は、第１関数値算出部４６６と、第１振幅乗算部４６７と、を備え、第２内部位置情報変換部４６４は、第２関数値算出部４６８と、第２振幅乗算部４６９と、を備えているとする。
【００４３】
積算手段４６１にて算出されたモータ回転位相（θｎ）はまず関数値算出部４６６、４６８に入力される。すると、関数値算出部４６６、４６８において、この回転位相（θｎ）をパラメータとする三角関数の関数値（ｓｉｎθｎ、ｃｏｓθｎ）が算出される。このとき、三角関数値の振幅としては“１”である。そして、関数値算出部４６６、４６８にて算出された関数値（ｓｉｎθｎ、ｃｏｓθｎ）は振幅乗算部４６７、４６９に入力される。
また、振幅乗算部４６７、４６９には振幅補正部４６５から三角関数値の振幅（Ａｉ、Ｂｉ）が出力されている。振幅乗算部４６７、４６９は、振幅補正部４６５から入力される振幅（Ａｉ、Ｂｉ）を関数値（ｓｉｎθｎ、ｃｏｓθｎ）に乗算して内部位置情報としての三角関数値（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）を算出する。
【００４４】
ここで、積算手段４６１は、位置情報信号処理部４１０から出力されるモータ回転角速度（ω１、ω２）を積算してモータ１１０の回転位相（θｎ）を算出するところ、位置情報信号処理部４１０から出力される最新のモータ回転角速度（ω１、ω２）までを順次積算することにより、推定可能な限り最新のモータ回転位相（θｎ）を算出する。そして、第１および第２内部位置情報変換部４６３、４６４は、積算手段４６１で算出される最新のモータ回転位相（θｎ）の三角関数値（Ａｉｓｉｎθｎ、Ｂｉｃｏｓθｎ）を算出するので、図４に示されるように、推定可能な限り最新のモータ回転位相（θｎ）についての三角関数値（Ａｉｓｉｎθｎ、Ｂｉｃｏｓθｎ）を保有することになる。
図４は、エンコーダから入力される正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）と内部位置情報生成部で生成される内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ）との関係を示す図である。
【００４５】
振幅補正部４６５は、正弦波信号および余弦波信号のそれぞれの振幅の大きさを検出する振幅検出部４７０と、検出された各振幅の大きさを記憶する振幅データ記憶部４７１と、を備える。
振幅検出部４７０は、エンコーダ１２０から出力される二相信号の正弦波信号と余弦波信号とのそれぞれの振幅を検出する。
ここで、振幅検出にあたって、正弦波信号の振幅と余弦波信号の振幅を検出するところ、正弦波信号の振幅Ａｉは余弦波信号の値が“０”であるときに正弦波信号の大きさ｜Ａｉｓｉｎθ｜として検出する。
同様に、余弦波信号の振幅Ｂｉは正弦波信号の値が“０”であるときに余弦波信号の大きさ｜Ｂｉｃｏｓθ｜として検出する（図５参照）。
【００４６】
振幅データ記憶部４７１は、振幅検出部４７０にて検出された正弦波信号の振幅Ａｉを記憶するＡｉ記憶部４７２と、余弦波信号の振幅Ｂｉを記憶するＢｉ記憶部４７３と、を備える。
振幅データ記憶部４７１は、振幅検出部４７０にて検出される最新の振幅データに記憶データを更新して記憶する。そして、Ａｉ記憶部４７２は、記憶した正弦波の振幅Ａｉを第１振幅乗算部４６７に出力する。
Ｂｉ記憶部４７３は、記憶した余弦波の振幅Ｂｉを第２振幅乗算部４６９に出力する。
【００４７】
出力部４８０は、切替手段４５２により選択された出力信号であるモータ回転角速度を中央制御部としてのＣＰＵ３１０に向けてフィルタ４８１を介して出力する。
なお、このようなフィルタ４８１としてはローパスフィルタなどが例として挙げられる。
さらに、出力部４８０は、積算手段４６１によって算出されるモータ回転位相（θｎ）をモータ駆動位置情報として出力する。
【００４８】
中央制御部としてのＣＰＵ３１０は、速度算出部４００からのモータ回転角速度を外部から入力される目標速度と比較してモータ回転角速度（ω）を目標速度にするためにモータ１１０に印加する電流（ｉ）のデューティー比を算出するとともにモータ１１０をＰＷＭ制御する。
【００４９】
このような構成を備えるサーボ機構の動作について説明する。
モータ１１０が回転駆動すると、このモータ１１０の回転がエンコーダ１２０によって検出され、エンコーダ１２０からモータ１１０の回転に伴って周期的に変化する二相信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）が出力される。
【００５０】
エンコーダ１２０からの二相信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）は、それぞれ正弦信号処理部４２０と余弦信号処理部４３０とに入力される。
以後、正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）の処理と余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）の処理とは略共通であるので、正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）の処理を例に以後の動作を説明する。
正弦信号処理部４２０に入力された正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）は、第１減算手段４２１において第１内部位置情報変換部４６３で生成された内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ）と比較されて、第１減算手段４２１から両者の差分が第１ゲイン乗算部４２２に向けて出力される。
【００５１】
第１ゲイン乗算部４２２において第１減算手段４２１からの差分信号に所定ゲイン（Ｋ）が乗算されてモータ回転量（Δθ１）が出力される。
そして、二相信号の他方である余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）の符号に基づいて第１符号変換部４４１によって第１ゲイン乗算部４２２からのモータ回転変化量（Δθ１）に＋１あるいは−１が乗算されてモータ回転変化量（Δθ１）が増加する方向に変換され、モータ回転角速度（ω１）が生成される。
同様に、余弦信号処理部４３０に入力される余弦波信号（Ｂｉｃｏｓθ）に基づくモータ回転角速度（ω２）が生成される。
【００５２】
そして、正弦信号処理部４２０からのモータ回転角速度（ω１）と余弦信号処理部４３０からのモータ回転角速度（ω２）とが生成されるところ、判断部４５１における正弦波（Ａｉｓｉｎθ）と所定閾値０．７Ａとの大小判断により、切替手段４５２で切り替えられて正弦波信号および余弦波信号において信号値変化の大きい領域に基づくモータ回転角速度（ω１かω２か）が選択される。
【００５３】
そして、切替手段４５２からのモータ回転角速度（ωｎ）は二つに分岐されて、一方は、積算手段４６１に入力されて、積算手段４６１による積算によりモータ回転位相（θｎ）が算出され、最新のモータ回転角速度（ωｎ）を反映してモータ１１０の回転位相（θｎ）が更新される。
また、分岐された他方のモータ回転角速度（ωｎ）は、出力部４８０からフィルタ４８１を通してＣＰＵ３１０に出力される。
【００５４】
積算手段４６１で算出されたモータ回転位相（θｎ）は、第１および第２内部位置情報変換部４６３、４６４に出力される。
そして、第１関数値算出部４６６おいては、モータ回転位相（θｎ）をパラメータとする関数値ｓｉｎθｎが算出される。
また、第２関数値算出部４６８においては、モータ回転位相（θｎ）をパラメータとする関数値ｃｏｓθｎが算出される。
【００５５】
ここで、エンコーダ１２０からの二相信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）は、正弦信号処理部４２０と余弦信号処理部４３０とに入力されると同時に振幅検出部４７０に入力される。
振幅検出部４７０において、所定のタイミング周期にて正弦波信号および余弦波信号の振幅が検出される。
すなわち、余弦波信号の値が０であるときの正弦波信号の大きさ（｜Ａｉｓｉｎθ｜）が正弦波信号の振幅Ａｉとして検出され、検出された振幅Ａｉは振幅データ記憶部４７１のＡｉ記憶部４７２に記憶される。
また、正弦波信号の値が０であるときの余弦波信号の大きさ（｜Ｂｉｃｏｓθ｜）が余弦波信号の振幅Ｂｉとして検出され、検出された振幅Ｂｉは振幅データ記憶部４７１のＢｉ記憶部４７３に記憶される（図５参照）。
【００５６】
Ａｉ記憶部４７２に記憶された振幅Ａｉは第１振幅乗算部４６７に入力される。
また、第１振幅乗算部４６７には、第１関数値算出部４６６にて算出された正弦関数値（ｓｉｎθｎ）が入力されている。そして、第１振幅乗算部４６７において、関数値（ｓｉｎθｎ）と振幅データＡｉとが乗算されて、内部位置情報としての正弦関数値（Ａｉｓｉｎθｎ）が算出される。
この内部位置情報は、第１減算手段４２１に出力されて、エンコーダ１２０から入力される正弦信号Ａｉｓｉｎθから減算され差分信号が生成される。
【００５７】
速度算出部４００からのモータ回転角速度（ωｎ）はＣＰＵ３１０において目標速度と比較され、モータ回転角速度（ω）を目標値にするためにモータ１１０に印加する電流（ｉ）のデューティー比が算出される。そして、このデューティー比によりモータ１１０がＰＷＭ制御されて、モータ１１０が所定目標速度で回転駆動制御される。
【００５８】
このような構成を備える第１実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）内部位置情報生成部４６０は、常に最新のモータ速度情報（ωｎ）を反映したモータ１１０の位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ、Ｂｉｃｏｓθｎ）を生成しているので推定可能な限り最新のモータ１１０の位置情報を保有している。
したがって、エンコーダ１２０からの位置情報信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）と内部位置情報生成部４６０にて生成される内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ、Ｂｉｃｏｓθｎ）との差分は、すなわちエンコーダ１２０からの位置情報信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）の微分値となり、そのままモータ１１０の駆動速度（ω）となる。よって、エンコーダ１２０から位置情報信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）が入力されると即座に両者の差分が算出されてモータの駆動速度（ω）が得られ、従来の時間遅れを画期的に改善できるという格別の効果を奏することができる。
【００５９】
（２）速度算出部４００により時間遅れがないモータ駆動速度（ωｎ）が得られるので、このモータ駆動速度情報（ωｎ）をフィードバック信号として中央制御部（ＣＰＵ）３１０によりモータ１１０の駆動制御が行われることで、位相遅れがない極めて安定した制御系とすることができる。
【００６０】
（３）位相をパラメータとする関数値を算出する内部位置情報変換部４６３、４６４を有することにより、エンコーダ１２０から入力される位置情報信号は位相情報そのものでなくても正弦波状信号等でもよく、そのため、一般的にセンサとして利用されているエンコーダ（光電式、磁気式、静電容量式等）１２０をそのままセンサとして利用することができ、本実施形態のサーボ機構１００にのみ適応する特殊な設計変更は必要ないので簡便であるとともにコストアップを回避することができる。
【００６１】
（４）エンコーダ１２０からの二相信号（Ａｉｓｉｎθ、Ｂｉｃｏｓθ）のうち位相変化量に対して信号値変化が大きい方に基づいて算出された位相変化量（駆動速度情報）が信号切替部４５０によって選択されるので、総ての範囲にわたって精度よくモータ速度情報としての位相変化量（ω）を得ることができる。
そして、位相変化に対する信号変化量の大きい方を判断するにあたって複雑な演算処理は必要なく、一方の信号値（正弦波信号）を閾値（０．７Ａ）と比較して大小判断するだけでよいので簡便である。
【００６２】
（５）符号変換部４４０を備えているので、仮にモータ１１０が正方向に変位している場合に位相変化量がマイナスに算出されたとしてもモータの回転方向に応じた増減方向に位相変化量（Δθ）の符号を変換して増減方向の正しい駆動速度（位相変化量ω）を得ることができる。
【００６３】
（６）振幅補正部４６５を備え、所定タイミングでエンコーダ１２０から入力される信号（正弦波信号、余弦波信号）の振幅を検出している。そして、検出した振幅を内部位置情報の正弦波信号および余弦波信号の振幅とするので、エンコーダ１２０からの信号と内部で生成した位置情報の振幅を一致させることができる。すると、エンコーダ１２０からの二相信号（正弦波信号、余弦波信号）の振幅が変動しても、速度算出部４００における速度算出において振幅変動による誤差が発生しない。
その結果、速度検出精度を安定させて、モータ１１０の回転速度制御を安定化させることができる。
なお、本実施形態では、内部正弦波、余弦波の振幅を補正しているが、入力正弦波、余弦波の振幅を補正することも可能である。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図６を参照して説明する。
第２実施形態の基本的構成は第１実施形態に同様であるが、第３実施形態では、内部位置情報生成部の構成に特徴を有する。
図６は、第２実施形態において、速度算出部の構成を示すブロック図である。
図６において、内部位置情報生成部４６０が、正弦信号処理部４２０に対応して第１内部位置情報変換部４６３を有し、余弦信号処理部４３０に対応して第２内部位置情報変換部４６４を有する点は第１実施形態に同様である。
【００６５】
ここで、第１実施形態（図３）においては積算手段４６１が一つであった。そして、正弦信号処理部４２０と余弦信号処理部４３０とからモータ回転角速度（ω１、ω２）がそれぞれ出力されるところ、信号切替部４５０により選択されたモータ回転角速度（ω１かω２）が積算手段４６１に入力されて、積算手段４６１はこのモータ回転角速度（ω１かω２か）を積算してモータ回転位相を算出していた。この積算手段４６１にて算出されたモータ回転位相（θｎ）は第１内部位置情報変換部４６３と第２内部位置情報変換部４６４とに出力され、それぞれの内部位置情報変換部にて内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ、Ｂｉｃｏｓθｎ）が算出されていた。
【００６６】
この点、第２実施形態においては、積算手段として第１積算手段４６１Ａと第２積算手段４６１Ｂとが設けられている。すなわち、図６において、正弦波信号に基づいて正弦信号処理部４２０から出力されるモータ回転変化量（Δθ１）を積算して正弦波信号に基づくモータ回転位相（θ１）を算出する第１積算手段４６１Ａと、余弦波信号に基づいて余弦信号処理部４３０から出力されるモータ回転変化量（Δθ２）を積算して余弦波信号に基づくモータ回転位相（θ２）を算出する第２積算手段４６１Ｂと、が設けられている。
【００６７】
第１積算手段４６１Ａは、第１ゲイン乗算部４２２から出力されるモータ１１の回転変化量（Δθ１）を積算してモータ回転位相（θ１）を算出する。そして、第１積算手段４６１Ａは、算出したモータ回転位相（θ１）を第１内部位置情報変換部４６３に出力する。
第２積算手段４６１Ｂは、第２ゲイン乗算部４３２から出力されるモータ１１の回転変化量（Δθ２）を積算してモータ回転位相（θ２）を算出する。そして、第２積算手段４６１Ｂは、算出したモータ回転位相（θ２）を第２内部位置情報変換部４６４に出力する。
【００６８】
信号切替部４５０は、判断部４５１と、切替手段４５２と、を備え、切替手段４５２が正弦側端子４５３と余弦側端子４５４とをスイッチング手段で切り替える点は第１実施形態に同様であるが、ここで、切替手段としては、速度情報出力用の第１切替手段４５２Ａと、位置情報出力用の第２切替手段４５２Ｂと、を備えている。
第１切替手段４５２Ａの構成は第１実施形態で説明した切替手段の構成に同様であり、判断部４５１における判断に基づいて正弦側端子４５３と余弦側端子４５４とを切り替えてモータ回転角速度ωｎを出力する。このモータ回転角速度ωｎ（ω１かω２）は、フィルタ４８１を介して中央制御部としてのＣＰＵ３１０に出力される。
【００６９】
なお、第１実施形態では、切替手段４５２からの出力信号ωｎ（モータ回転角速度ω１、ω２）が積算手段４６１に入力されていたが、第３実施形態においては、第１切替手段４５２Ａからの出力信号ωｎが積算手段（４６１Ａ、４６１Ｂ）に入力されない。
【００７０】
第２切替手段４５２Ｂは、判断部４５１における判断に基づいて正弦側端子４５３と余弦側端子４５４とをスイッチング手段にて切り替える。
ここで、第１積算手段４６１Ａにて算出されたモータ回転位相（θ１）を第１符号変換部４４１にて符号変換した信号が正弦側端子４５３に入力されている。また、第２積算手段４６１Ｂにて算出されたモータ回転位相（θ２）を第２符号変換部４４２にて符号変換した信号が余弦側端子４５４に入力されている。そして、第２切替手段４５２Ｂからの出力はフィルタ４８１を介して位置情報θｎ（θ１かθ２）として出力される。
【００７１】
このような構成を備える第２実施形態によれば第１実施形態の効果に加えて次の効果を奏することができる。
エンコーダ１２から正弦波信号と余弦波信号との二相信号が出力されるところ、第３実施形態の速度算出部４００では、正弦波信号を処理する正弦信号処理部４２０に対応して第１積算手段４６１Ａと第１内部位置情報変換部４６３とを備え、余弦波信号を処理する余弦信号処理部４３０に対応して第２積算手段４６１Ｂと第２内部位置情報変換部４６４とを備えている。
よって、正弦波信号に基づくモータ回転角速度ω１を算出するにあたっては、正弦波信号に基づくモータ回転変化量Δθ１をフィードバック情報とする第１積算手段４６１Ａおよび第１内部位置情報変換部４６３によるループにおいて正弦波信号にのみ基づく演算処理によりモータ回転角速度ω１を算出することができる。
また、同様に、余弦波信号に基づくモータ回転角速度ω２を算出するにあたっては、余弦波信号に基づくモータ回転変化量Δθ２をフィードバック情報とする第２積算手段４６１Ｂおよび第２内部位置情報変換部４６４によるループにおいて余弦波信号にのみ基づく演算処理によってモータ回転角速度ω２を算出することができる。
このように正弦波信号と余弦波信号とを独立に処理して内部位置情報としての位相を第１積算手段４６１Ａと第２積算手段４６１Ｂとでそれぞれ別個に算出するので、それぞれ正弦波と余弦波とで位相の情報が混じることなく、それぞれを適切に処理して正確に内部位置情報を算出することができる。
その結果、駆動速度情報を正確に求めることができる。
【００７２】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図７を参照して説明する。
第３実施形態の基本的構成は第１実施形態と同様であるが、第３実施形態では、エンコーダ１２０からの信号をＡ／Ｄコンバーターによって変換したディジタル信号に基づいてモータ回転速度を得る点に特徴を有する。
すなわち、図７において、エンコーダ１２０からの正弦波信号をＡ／Ｄ変換する第１Ａ／Ｄコンバーター７１０と、エンコーダ１２０からの余弦波信号をＡ／Ｄ変換する第２Ａ／Ｄコンバーター７２０と、が設けられている。
そして、速度算出部（信号処理部）４００は、位置情報信号処理部、信号切替部、内部位置情報生成部等の機能を備えるが、これらの機能は所定の信号処理プログラムにより実現されている。
【００７３】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
例えば、第１実施形態では、エンコーダ１２０から出力される二相信号（Ａｓｉｎθ、Ａｃｏｓθ）をそれぞれ処理する正弦信号処理部４２０と余弦信号処理部４３０とを備え、正弦信号処理部４２０からの出力信号と余弦信号処理部４３０からの出力信号とを切り替えて利用する場合を例にして説明したが、図８に示すように、位置情報信号処理部４１０としては正弦波信号（Ａｓｉｎθ）を信号処理する正弦信号処理部４２０のみを備え、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）にのみ基づくモータ回転速度（ω１）を出力してもよい。なお、正弦波信号（Ａｓｉｎθ）の振幅を補正する必要があるところ、振幅補正部によってＢｉｃｏｓθの振幅をモニタリングしながら、Ｂｉｃｏｓθの値が“０”になったときの｜Ａｉｓｉｎθ｜を検出して正弦波の振幅を得る必要がある。
【００７４】
駆動制御対象は回転子を有するモータ１１０であって、エンコーダ１２０からの二相信号に基づいて速度算出部（信号処理部）４００がモータ１１０の回転速度（回転位相）を算出する場合を例にして説明したが、駆動体としては、回転子を有するモータに限らず、例えば、リニアモータなどであってもよい。特に、リニアモータの制御では、時間遅れが制御性能を大きく左右するところ、本発明の信号処理装置（速度算出部）により迅速に駆動速度を算出して、この算出された駆動速度に基づいて速度制御が行われれば、位相遅れがなく制御を安定させることができる。
【００７５】
上記実施形態では、関数値算出部において位相θｎをパラメータとする関数値（ｓｉｎθｎ、ｃｏｓθｎ）を算出するところ、この関数値の振幅を“１”とし、振幅検出部にて検出した振幅値（Ａｉ、Ｂｉ）を振幅乗算部４６７、４６９において乗算することにより、内部位置情報の振幅とセンサからの位置情報の振幅とを一致させるとして説明したが、この例に限らず、例えば、関数値算出部４６６、４６８においては内部に記憶されている振幅Ａi-1を用いた関数値Ａi-1ｓｉｎθｎを算出しておき、振幅乗算部においては、検出した振幅に調整するようにＡi/Ａi-1を乗算するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、モータの駆動速度を算出する速度検出装置、および、モータの駆動制御を行うサーボ機構に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明のサーボ機構に係る第１実施形態のブロック図を示す図。
【図２】前記第１実施形態において、エンコーダから出力される二相信号の例を示す図。
【図３】前記第１実施形態において、速度算出部の構成を示すブロック図。
【図４】前記第１実施形態において、エンコーダから入力される正弦波信号（Ａｉｓｉｎθ）と内部位置情報生成部で生成される内部位置情報（Ａｉｓｉｎθｎ）との関係を示す図。
【図５】正弦波の振幅と余弦波の振幅との関係を示す図。
【図６】本発明の第２実施形態に係る信号処理装置としての速度算出部の構成を示す図。
【図７】第３実施形態の構成を示す図。
【図８】本発明の変形例を示す図。
【図９】従来のサーボ機構の構成を示す図。
【図１０】従来のサーボ機構におけるモータの回転速度制御のタイミングチャート。
【符号の説明】
【００７８】
１…サーボ機構、１１…モータ、１２…エンコーダ、１３…制御部、１４…シリアル通信回線、１００…サーボ機構、１１０…モータ（駆動体）、１２０…エンコーダ（センサ）、３００…制御部、３１０…ＣＰＵ（中央制御部）、４００…速度算出部（信号処理装置）、４１０…位置情報信号処理部、４２０…正弦信号処理部、４２１…第１減算手段（差分算出手段）、４２２…第１ゲイン乗算部、４３０…余弦信号処理部、４３１…第２減算手段（差分算出手段）、４３２…第２ゲイン乗算部、４４０…符号変換部、４４１…第１符号変換部、４４２…第２符号変換部、４５０…信号切替部、４５１…判断部、４５２…切替手段、４５２Ａ…第１切替手段、４５２Ｂ…第２切替手段、４５３…正弦側端子、４５４…余弦側端子、４６０…内部位置情報生成部、４６１…積算手段、４６１Ａ…第１積算手段、４６１Ｂ…第２積算手段、４６２…内部位置情報変換部、４６３…第１内部位置情報変換部、４６４…第２内部位置情報変換部、４６５…振幅補正部、４６６…第１関数値算出部、４６７…第１振幅乗算部、４６８…第２関数値算出部、４６９…第２振幅乗算部、４７０…振幅検出部、４７１…振幅データ記憶部、４７２…Ａｉ記憶部、４７３…Ｂｉ記憶部、４８０…出力部、４８１…フィルタ、７１０…第１Ａ／Ｄコンバーター、７２０…第２Ａ／Ｄコンバーター。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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