(57)【要約】      （修正有）【課題】平行性に優れたＸ線を発生させることが可能なＸ線生成生方法及びその分光器を提供する。【解決手段】第1の結晶板３１と第２の結晶板３２を所定の角度で配置する分光器３０とする。Ｘ線発生装置本体１０から発生した白色かつ非平行Ｘ線２１を、第1の結晶板３１でブラッグ回折させ、平行Ｘ線４０，４１にする。第２の結晶板３２で、平行Ｘ線４１は角度αで特徴付けられる出射平行Ｘ線となる。第２の結晶板３２での入射角がγとなる平行Ｘ線４０は第２の結晶板３２では反射しない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの結晶板を具え、ブラッグ回折を利用して平行Ｘ線を得ることを特徴とする、平行Ｘ線の生成方法。
【請求項２】
前記結晶板の少なくとも一つはＸ線表面反射型結晶板とすることを特徴とする、請求項１に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項３】
Ｘ線表面反射型結晶板を少なくとも二つ準備し、これらＸ線表面反射型結晶板の反射面同士を所定の角度となるように配置し、白色Ｘ線が入射する第１のＸ線表面反射型結晶板で平行Ｘ線を生成した後、この平行Ｘ線が入射する第２のＸ線表面反射型結晶板で単色の平行Ｘ線を得るようにしたことを特徴とする、請求項２に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項４】
互いに異なる波長の、複数の平行Ｘ線間で前記第１のＸ線表面反射型結晶板及び前記第２のＸ線表面反射型結晶板それぞれの反射面への入射角が異なることを利用し、前記第１のＸ線表面反射型結晶板及び前記第２のＸ線表面反射型結晶板それぞれの前記反射面への入射角度が相等しいものを前記単色平行Ｘ線として抽出することを特徴とする、請求項３に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項５】
前記結晶板の少なくとも一つはＸ線透過型（ラウエ型）結晶板とすることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項６】
少なくとも二つのＸ線透過型結晶板と、少なくとも一つのＸ線表面反射型結晶板を準備し、前記Ｘ線表面反射型結晶板は、前記少なくとも二つのＸ線透過型結晶板の間において、互いの主面が略直交するようにして配置し、前記Ｘ線表面反射型結晶板の、Ｘ線進行方向において後方に配置された前記Ｘ線透過型結晶板を透過した後に、単色の平行Ｘ線を得るようにしたことを特徴とする、請求項５に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項７】
波長の異なる複数の平行Ｘ線を得ることを特徴とする、請求項６に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項８】
前記結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド(LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる材料からなる結晶板であることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項９】
前記結晶板は、シリコン、ゲルマニウム及びリチウムフルオライド(LiF)であり、Ｘ線表面反射型結晶板及びＸ線透過型結晶板の双方の機能を付加させたことを特徴とする、請求項８に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項１０】
前記結晶板は、非対称カット結晶板であることを特徴とする、請求項８に記載の平行Ｘ線の生成方法。
【請求項１１】
ブラッグ回折を利用して平行Ｘ線を得るために、少なくとも一つの結晶板を具えることを特徴とする、平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１２】
前記結晶板の少なくとも一つはＸ線表面反射型結晶板であることを特徴とする、請求項１１に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１３】
少なくとも二つのＸ線表面反射型結晶板を有し、これらＸ線表面反射型結晶板の反射面同士を所定の角度となるように配置し、白色Ｘ線が入射する第１のＸ線表面反射型結晶板で平行Ｘ線を生成した後、この平行Ｘ線が入射する第２のＸ線表面反射型結晶板で単色の平行Ｘ線を得るように構成したことを特徴とする、請求項１２に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１４】
互いに異なる波長の、複数の平行Ｘ線間で前記第１のＸ線表面反射型結晶板及び前記第２のＸ線表面反射型結晶板それぞれの反射面への入射角が異なることを利用し、前記第１のＸ線表面反射型結晶板及び前記第２のＸ線表面反射型結晶板それぞれの前記反射面への入射角度が相等しいものを前記単色平行Ｘ線として抽出するように構成したことを特徴とする、請求項１３に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１５】
前記結晶板の少なくとも一つはＸ線透過型結晶板であることを特徴とする、請求項１１〜１４のいずれか一に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１６】
少なくとも二つのＸ線透過型結晶板と、少なくとも一つのＸ線表面反射型結晶板を有し、前記Ｘ線表面反射型結晶板は、前記少なくとも二つのＸ線透過型結晶板の間において、互いの主面が略直交するようにして配置し、前記Ｘ線表面反射型結晶板の、Ｘ線進行方向において後方に配置された前記Ｘ線透過型結晶板を透過した後に、単色の平行Ｘ線を得るように構成したことを特徴とする、請求項１５に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１７】
波長の異なる複数の平行Ｘ線を得ることを特徴とする、請求項１６に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１８】
前記結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド（LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる材料からなる結晶板であることを特徴とする、請求項１１〜１７のいずれか一に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項１９】
前記結晶板は、シリコン、ゲルマニウム及びリチウムフルオライド(LiF)であり、Ｘ線表面反射型結晶板及びＸ線透過型結晶板の双方の機能を付加させたことを特徴とする、請求項１８に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【請求項２０】
前記結晶板は、非対称カット結晶板であることを特徴とする、請求項１８に記載の平行Ｘ線生成用分光器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平行Ｘ線の生成方法及び平行Ｘ線生成用分光器に関し、特に大面積の白色Ｘ線から平行Ｘ線を生成する方法及びその分光器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば医療用のＸ線撮影においては、所定のＸ線管球が用いられ、このＸ線管球から発せられるＸ線を被写体に照射するとともに、前記被写体を透過したＸ線をフィルムなどの所定の検出部において撮像あるいは検出し、その撮像あるいは検出した映像を解析することにより医療用に供していた。
【０００３】
例えば、従来のＸ線管においては、実効焦点１ｍｍ×１ｍｍから出たＸ線が広がって１０ｃｍ×１０ｃｍまで拡大して被写体に照射されるとすると、そのＸ線の輝度は（１ｍｍ×１ｍｍ）／（１００ｍｍ×１００ｍｍ）の割合だけ弱くなる。すなわち、被写体に照射されるＸ線の輝度は、照射直後の輝度に比較して１０−４まで減衰してしまう。
【０００４】
また、従来のＸ線管を医療用などに用いる場合においては、不要な成分をフィルターによりカットして使用する場合が大部分であった。しかし、この方法では目的とする波長成分を有効に取り出すには不十分であった。
【０００５】
一方、医療用、たとえば冠状動脈のように動いている被写体を高分解能で撮像するためには、平行性の良い高出力かつ高輝度Ｘ線を短時間露光する必要がある。しかしながら、従来のＸ線管球においては、被写体に照射される段階でのＸ線輝度は格段に減少してしまうとともに、前記Ｘ線の平行性も十分なものを得ることができないでいた。かかる観点より、従来のＸ線管球を特に医療用として使用するには、その使用態様が限定されてしまい、十分広範囲な医療に対して適用することができないでいた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述の背景のもとでなされたものであり、特に平行性に優れたＸ線を発生させることが可能なＸ線生成生方法及びその分光器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく、本発明は、
少なくとも一つの結晶板を具え、ブラッグ回折を利用して平行Ｘ線を得ることを特徴とする、平行Ｘ線の生成方法に関する。
【０００８】
また、本発明は、
ブラッグ回折を利用して平行Ｘ線を得るために、少なくとも一つの結晶板を具えることを特徴とする、平行Ｘ線生成用分光器に関する。
【０００９】
本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討を実施した。その結果、所定の結晶板を準備し、そのブラッグ回折を利用することによって白色Ｘ線から平行Ｘ線を得られることを見出した。
【００１０】
すなわち、上記Ｘ線を分光器に入射することにより平行成分のＸ線が得られる理由は、結晶やＸ線用多層膜などの分光器にＸ線を照射すると2dsinθ= nλ（braggの式）に従ってＸ線が回折される。ここでｄは結晶或いはＸ線用多層膜の面間隔、θは面に対するＸ線の入射角、λはＸ線の波長、ｎは整数である。ｄは結晶及びその面指数に固有の数値であり入射角；θが決まると波長λが決まる、但し、ｎ倍の倍音を含む。波長λが単色Ｘ線であればθも一定となるので、その方向のＸ線は平行になる、然しその方向以外は平行ではない、従ってもう一枚の結晶を反射面が最初の結晶と直角になるように置き、その面で前記と同様に反射させることにより全方位で平行なＸ線を得ることができる。
【００１１】
なお、本発明の一態様においては、前記結晶板の少なくとも一つはＸ線表面反射型結晶板とする。具体的には、例えば、Ｘ線表面反射型結晶板を少なくとも二つ準備し、これらＸ線表面反射型結晶板の反射面同士を所定の角度となるように配置する。この場合、基準となるＸ線が白色Ｘ線である場合においても、前記白色Ｘ線が第１のＸ線表面反射型結晶板に入射し、反射することにより、前記白色Ｘ線は上述したブラッグ回折によって平行Ｘ線となる。次いで、前記平行Ｘ線が第２のＸ線表面反射型結晶板に入射し、反射することにより単色の平行Ｘ線を得るようにすることができる。
【００１２】
このような単色の平行Ｘ線は、互いに異なる波長の、複数の平行Ｘ線間で前記第１のＸ線表面反射型結晶板及び前記第２のＸ線表面反射型結晶板それぞれの反射面への入射角が異なることを利用し、前記第１のＸ線表面反射型結晶板及び前記第２のＸ線表面反射型結晶板それぞれの前記反射面への入射角度が相等しいものを抽出するようにすることによって得ることができる。
【００１３】
また、本発明の他の態様においては、前記結晶板の少なくとも一つはＸ線透型結晶板とする。具体的には、例えば、少なくとも二つのＸ線透型結晶板と、少なくとも一つのＸ線表面反射型結晶板を準備し、前記Ｘ線表面反射型結晶板は、前記少なくとも二つのＸ線透型結晶板の間において、互いの主面が略直交するようにして配置し、前記Ｘ線表面反射型結晶板の、Ｘ線進行方向において後方に配置された前記Ｘ線透型結晶板を透過するようにする。この場合、基準となるＸ線が白色Ｘ線である場合においても、前記白色Ｘ線が上記Ｘ線透過型結晶板を透過し、上記Ｘ線表面反射型結晶板で反射されることによって、最終的に得られるＸ線は単色の平行Ｘ線となる。
【００１４】
また、本発明における上記結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド（LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる材料からなる結晶板とすることができる。
【００１５】
さらに、前記結晶板をSi、Ge、LiFなどの等軸晶系の結晶板から構成する場合は、その結晶構造に依存して、前記結晶板は結晶の対象性に依存して、その内部に互いに直交した２つの反射面を有するようになる。したがって、LiFなどの等軸晶系の結晶板を用いる場合は、その結晶板単独でＸ線表面反射型結晶板及びＸ線透過型結晶板の機能を持たせることができる。          
【００１６】
また、上記結晶板は非対称カット結晶板とすることができる。この場合、前記結晶板に入射させ反射させた後のＸ線の断面積を変更でき、前記Ｘ線の断面積を拡大したり、縮小したりすることができる。したがって、前者の場合は、Ｘ線のターゲット面積を比較的小さくした場合においても、比較的大面積のＸ線を得ることができるようになり、後者の場合は、比較的大きなＸ線ターゲットを用いた場合でも、使用する結晶板を小型化することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明によれば、平行性に優れたＸ線を発生させることが可能なＸ線生成生方法及びその分光器を提供することができる。したがって、これらの方法及び分光器を用いれば平行Ｘ線を簡易に生成することができ、医療用途や、ナノマシーンの製作や集積回路の製作などの工業的用途、更にはトポグラフィーやイメージングなど一般研究室用途などのあらゆる分野で使用することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明のその他の特徴及び利点について、発明を実施するための最良の形態に基づいて説明する。
【００１９】
図１は本発明の分光器を含む、平行Ｘ線生成装置の一例を示す構成図である。図１から明らかなように、本例においては、前記平行Ｘ線生成装置は、Ｘ線発生装置本体１０と、分光器３０とから構成されている。なお、Ｘ線発生装置本体１０は、大面積の白色Ｘ線が生成されるように構成された、平板状の固定式ターゲットを用いた場合のＸ線発生装置である。
【００２０】
図１に示すＸ線発生装置本体１０においては、真空容器１１内に、対陰極１２が配置されているとともに、これと対向するようにして陰極１３が設けられている。陰極１３はウエーネルト１４の内側にセラミックなどの絶縁体で固定され、通常陰極とウエーネルトには電位差が与えられ、ウエーネルトが電子線用のレンズとして機能している。
【００２１】
対陰極１２と陰極１３との間にはアパチャーグリッド１５及び陽極１６が設けられている。アパチャーグリッド１５は陰極に対し条件により異なるが概ね±7kV変化でき、負電位の時は電子を遮断し、正電位の時は陰極の空間電荷を中和し、多量の電子を効果的に引き出すのに用いられる。陽極１６は陰極１３から発せられた電子線２０を加速するため及びその後の電位差をなくし高温になったターゲットの影響を減らすために設けられているものであって、本例においては必要に応じて省略することができる。また、真空容器１１にはＸ線取り出し窓１７が設けられており、対陰極１２から発生したＸ線２０を外部に取り出させるように構成されている。
【００２２】
なお、通常グリッドは効率を良くするため網目状のものが多いが、それでは電子線束に編み目状の濃淡が出来るため、敢えて円筒形のグリッドを用いる、即ち電子線は円筒の中を通るため陰が出来ない。このようなグリッドをアパチュアーグリッドという。
【００２３】
なお、本例においては、対陰極１２及び真空容器１１即ちＸ線取り出し窓１７以外を全て絶縁性オイルで冷却するようにしている。しかしながら、対陰極が図１のように直接外部に出ていると大気圧のため、ターゲットに歪みが生じる場合があるその様な場合、ターゲット１２を真空内に固定して大気圧が掛からないようにして対陰極１２にパイプを取り付け、所定の冷媒を循環させて冷却するようにすることもできる。
【００２４】
また、真空容器１１の外方の、Ｘ線取り出し窓１７の近傍には、分光器３０が設けられている。分光器３０は、第1の結晶板３１及び第２の結晶板３２が所定の角度をなすようにして配置されている。
【００２５】
図１に示す装置においては、陰極１４から発生した電子線２０をグリッド１５で電流を制御し、陽極１６で加速して対陰極１２の表面に照射し、所定の面積（大面積）を有する（白色かつ非平行）Ｘ線２１を生成させる。次いで、Ｘ線２１をＸ線取り出し窓１７から外部に取り出し、第1の結晶板３１で反射させることによって紙面に平行な面方向に平行なＸ線４１とする。
【００２６】
具体的には、Ｘ線２１が第１の結晶板３１に入射することによって、Ｘ線２１は上述したブラッグ回折を受け、平行Ｘ線４０及び４１となって反射される。第１結晶板と第２結晶板が同じ素材で且つ同じ反射面を使用している場合、第一結晶で反射された平行Ｘ線４１は、第１の結晶板３１の入射角度及び反射角度αと等しい角度で第２の結晶板３２に入射するので、第２の結晶板３２でも同様に反射し、その後は直進して被写体に届くようになる。一方、平行Ｘ線４０は、第１の結晶板３１において入射角度及び反射角度がβとなるのに対し、第２の結晶板３２における入射角度は異なる角度γとなる。したがって、第２の結晶板３２で平行Ｘ線４０は反射しなくなる。
【００２７】
結果として、図１に示す分光器３０では平行Ｘ線４１のみが生成されるようになる。このことは、その他の平行Ｘ線は生成されないことを意味し、したがって、図１に示す分光器３０では単色の平行Ｘ線４１のみが生成されることになる。
【００２８】
なお、本例では、第１の結晶板３１及び第２の結晶板３２からなる分光器３０を用いており、上述したように目的とする単色の平行Ｘ線４１を得ることができるので、平行Ｘ線を得るためのスリットを用いる必要がない。
【００２９】
なお、図１に関する例では、第１の結晶板３１及び第２の結晶板３２の２つの結晶板を用い、いずれの結晶板においてもＸ線の反射を行わせ、Ｘ線表面反射型結晶板として機能させている。
【００３０】
なお、これらの結晶板は、シリコン、リチウムフルオライド（LiF）、グラファイト、ゲルマニウム及び水晶からなる群より選ばれる材料から構成することができる。
【００３１】
図２は本発明の分光器を含む、平行Ｘ線生成装置の他の例を示す構成図である。図２に示す平行Ｘ線生成装置においては、図１と同様のＸ線生成装置本体１０を用い、分光器の構成のみを代えている。
【００３２】
図１に示すＸ線発生装置では、分光器３０は２枚の反射型結晶板３１及び３２によって構成されていたが、本例のＸ線発生装置では、分光器５０は２枚のＸ線透過型（ラウエ型）結晶板５１及び５３と、１枚のＸ線表面反射型結晶板５２とから構成されている。図２に示すように、これらの結晶板は、Ｘ線発生装置本体１０から第１の結晶板５１、第２の結晶板５２及び第３の結晶板５３の順に配列されている。
【００３３】
なお、第２の結晶板５２は、反射面（主面）が紙面と略平行となっており、Ｘ線の反射は紙面の手前側に向かって行われることになる。また、第１の結晶板５１及び第３の結晶板５３の回折面（主面）は、紙面と略垂直となっている。したがって、第２の結晶板５２の反射面（主面）と、第１の結晶板５１及び第３の結晶板５３の回折面（主面）とは互いに略垂直の関係となる。
【００３４】
図２に示す例では、図１に示す例と同様にして、対陰極１２から発生した所定の面積（大面積）を有する（白色かつ非平行）Ｘ線２１を、Ｘ線取り出し窓１７を介して外部に取り出した後、第１の結晶板５１に対して角度δで入射させる。この際、Ｘ線２１はブラックの回折式2dsinδ= nλに従って回折し、第１の結晶板５１内を透過する。この際、特に明示していないが、異なる波長λ’のＸ線が角度δ’で入射した際に上記ブラックの回折式を満足すれば、同じく第１の結晶板５１を透過することができる。したがって、第１の結晶板５１を透過したのみでは、Ｘ線２１は未だ白色かつ非平行なＸ線のままである。
【００３５】
なお、Ｘ線２１が大面積Ｘ線として生成されているので、波長λのＸ線は紙面に略平行な面に沿った平行成分を有するようになるが、その他の非平行成分も残存する。また、波長λ’のＸ線は波長λのＸ線とは異なる方向に回折するので、これらは互いに平行とはならない。
【００３６】
次いで、第１の結晶板５１を透過したＸ線２１は第２の結晶板５２に入射し、紙面手前側に反射されるようになる。この段階で波長毎に平行なＸ線となる。そして、このようにして得た反射光を第３の結晶板５３に対して角度δで入射するようにすることによって、前記反射光の内、第３の結晶板５３に対してブラッグの回折式を満足した波長のみ、平行Ｘ線４１として取り出される。
【００３７】
なお、平行Ｘ線は、上述した要件を満足しさえすれば、第２結晶板５２で反射された段階で波長λ及びλ’のＸ線、すなわち波長の異なるＸ線毎に平行Ｘ線として生成することができる。即ち、第３結晶板を変化するだけで任意の波長の平行Ｘ線を選び出すことが出来る。ただし、大きな波長変化に対しては、出射Ｘ線の断面積が狭くなることがある。その場合には第１結晶、第２結晶共に入射角を調整することにより上記断面積を元に戻すことが出来る。
【００３８】
また、本例においては、第１の結晶板５１及び第３の結晶板５３は、シリコン、ゲルマニウム及びリチウムフルオライド(LiF)などの等軸晶系の結晶板から構成することができるが、これ以外の結晶板を用いることもできる。
【００３９】
図３は、本発明の分光器を含む、平行Ｘ線生成装置のその他の例を示す構成図である。図３に示す平行Ｘ線生成装置においては、図１と同様のＸ線生成装置本体１０を用い、分光器の構成のみを代えている。なお、本例では、特徴を明確化するために、分光器の構成のみを示すようにしている。
【００４０】
図１に示すＸ線発生装置では、分光器３０は２枚の反射型結晶板３１及び３２によって構成されていたが、本例のＸ線発生装置では、分光器７０は３枚のＸ線表面反射型結晶板７１、７２及び７３から構成されている。第１の結晶板７１は平面型の結晶板であるが、第２及び第３の結晶板は非対称カット結晶板である。非対称カット結晶板とは、図から明らかなように、結晶の外形面としての反射表面とＸ線を反射する反射面が平行ではなく、傾斜した結晶表面を有するものである。これによって、生成するＸ線の断面積を変更でき、前記Ｘ線の断面積を拡大したり、縮小したりすることができる。
【００４１】
なお、本例では、第２の結晶板７２及び第３の結晶板７３は、結晶の外形面としての反射表面とＸ線を反射する反射面を約４度の角度で傾斜させている。また、第１の結晶板７１の反射面と第２の結晶板７２の反射面とは互いに直交するようにして配置されており、第２の結晶板７２の反射面と第３の結晶板７３の反射面とは互いに直交するようにして配置されている。
【００４２】
本例に示す分光器７０では、Ｘ線生成装置本体１０から生成したＸ線２１は第１の結晶板７１で反射された後、第２の結晶板７２に入射し、横方向が拡大された状態で反射される。その後、反射Ｘ線は第３の結晶板７３に入射し、縦方向が拡大された状態で反射される。
【００４３】
このとき、第２の結晶板７２の反射面と第３の結晶板７３の反射面とは互いに直交するようにして配置されているので、上記図１に関する例と同様に、所定の角度で入射したＸ線のみがブラッグ回折条件を満足し、単色の平行Ｘ線４１が得られるようになる。
【００４４】
したがって、本例においては、Ｘ線生成装置本体１０から生成したＸ線に比し、断面積が拡大された単色の平行Ｘ線を得ることができる。
【００４５】
以上、本発明について具体例を挙げながら詳細に説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない限りにおいてあらゆる変形や変更が可能である。
【００４６】
例えば、上記具体例では、Ｘ線発生装置本体１０を平板状の固定式ターゲットを用いた場合のＸ線発生装置としたが、それ以外のＸ線発生装置、例えば回転式対陰極を用いたＸ線発生装置とすることができる。
【００４７】
このような回転式対陰極を用いたＸ線発生装置においては、電子線などのエネルギー線は前記回転式対陰極の回転による遠心力に抗して存在する部分に照射するようにする。これによって、前記ターゲットの、前記エネルギー線が照射された部分が溶解した場合においても、この溶解部分が外方へ飛散するのを効果的に抑制することができるようになる。また、前記ターゲット上の前記エネルギー線の照射位置を回転軸方向に沿って簡易にシフトさせることができるので、高輝度のＸ線をより長時間安定的に発生させることができる。
【００４８】
前記回転式対陰極は、前記回転式対陰極の外縁に沿って設けた筒状部分を有し、前記エネルギー線は前記筒状部分の内壁表面に照射するようにすることもできる。この場合、前記筒状部分において溶解が生じることになるので、このような溶解部分が外方へ飛散するのをより効果的に抑制することができる。
【００４９】
但し、上述した回転式対陰極は構造が複雑となり、装置自体が高価となるので、本発明においては、安価な固定式のターゲットを用いることもできる。
【００５０】
また、図１〜３に関する具体例において、対陰極の電子線照射部からの蒸発速度を低減させるべく、その表面に被膜を形成することができる。この被膜は、ＢＮ、グラファイト、ダイヤモンド、Ｂｅからなる群から選ばれる材料から構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の分光器を含む、平行Ｘ線生成装置の一例を示す構成図である。
【図２】本発明の分光器を含む、平行Ｘ線生成装置の他の例を示す構成図である。
【図３】本発明の分光器を含む、平行Ｘ線生成装置のその他の例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  Ｘ線発生装置本体
１１  真空容器
１２  対陰極
１３  陰極
１４  ウエーネルト
１５  グリッド
１６  陽極
１７  Ｘ線取り出し窓
２０  電子線
２１  （白色かつ非平行）Ｘ線
３０  分光器
３１  第１の（Ｘ線表面反射型）結晶板
３２  第２の（Ｘ線表面反射型）結晶板
４０，４１  平行Ｘ線
５０  分光器
５１  第１の（Ｘ線透過型）結晶板
５２  第２の（Ｘ線表面反射型）結晶板
５３  第３の（Ｘ線透過型）結晶板
７０  分光器
７１  第１の（Ｘ線表面反射型）結晶板
７２  第２の（Ｘ線表面反射型）非対称カット結晶板
７３  第３の（Ｘ線表面反射型）非対称カット結晶板
【図１】
2008008633.tif 000003
【図２】
2008008633.tif 000004
【図３】
2008008633.tif 000005