(57)【要約】【課題】検査対象のフィルム表面にあるキズ、特にキズが浅いものや極めて微細なものを検出し易くして、キズの発生を見過ごすことがないような改良されたフィルムキズ検出方法及びその検出装置を提供する。【解決手段】フィルム１の表面に照明光源１１にて照明光Ｌ1 を照射し、該フィルム１の表面に照射され前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 をＣＣＤカメラ１２により検出して、該フィルム１表面のキズを検出するフィルムキズ検出方法及びその装置であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定して照射し、前記ＣＣＤカメラ１２により、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを検出することにより、前記フィルム１の表面１ａのキズを検出する。【選択図】図２
2008008819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム１の表面に照明光源１１にて照明光Ｌ1 を照射し、該フィルム１の表面に照射され前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 をＣＣＤカメラ１２により検出して、該フィルム１表面のキズを検出するフィルムキズ検出方法であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定して照射し、前記ＣＣＤカメラ１２により、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを検出することにより、前記フィルム１表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出方法。
【請求項２】
フィルム１の表面に照明光Ｌ1 を照射する照明光源１１と、前記フィルム１の表面に照射された照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 を検出するＣＣＤカメラ１２とを備えたフィルムキズ検出装置であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 は該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定され、前記ＣＣＤカメラ１２は前記反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 を検出することにより、前記フィルム１表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムの表面に発生している微細なキズを検出するフィルムキズ検出方法及びその検出装置に関し、特に、有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造やその他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなどの光学表示体の製造において、その表示体を封止するためのフィルムや、その他の精密部品の製造において使用するフィルムを加工する際には、加工時にフィルム表面にキズが発生する場合がある。
【０００３】
これらの光学部品やその他の精密部品に使用するフィルムは、そのキズが微細で浅くても重欠点となるものである。そのために、フィルムに発生するキズの検出は精度良く実施する必要がある。
【０００４】
従来のフィルムキズを検出する方法としては、例えば、図４に示すような検出装置があり、検査台３の平坦な上面にフィルム１を載置して、照明光源１１による照明光Ｌ1 を該フィルム１の表面１ａに対して垂直（入射角度０°）に設定して照射する。そして、その照明光Ｌ1 が、該フィルム１の表面１ａにて反射する反射光Ｌ2 のうち、垂直な成分の反射光Ｌ3 を、ＣＣＤカメラ１２などの光検出センサー手段１２にて検出することにより、前記フィルム１の表面１ａに発生している、Ｖ字状、凹陥状、或いは突起状など擦過傷状に発生しているキズ２を検出するようにしていた。
【０００５】
しかしながら、上記のような通常のフィルムキズ検出方法では、照明光Ｌ1 をフィルム１の表面１ａに対して垂直方向に照射するため、該照明光Ｌ1 は、フィルム１の表面１ａに発生している擦過等によりＶ字状、凹陥状など擦過傷状に刻切されたキズ２の内部まで照明される。そのため、照明光Ｌ1 によるキズ２により生ずる反射光Ｌ2 としての光の陰影や、キズ２を画像として捉えたとき、その画像の輪郭やコントラストが明確に発生し難い場合がある。特に、検査対象のフィルム１の表面にあるキズのうち、キズが浅いものや極めて微細なものは検出が難しく、キズの発生を見過ごしてしまう場合が多々あった。
【０００６】
以下に、本願に関連する先行技術文献を記載する。
【特許文献１】特開平７−１２７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、フィルムの表面に発生している微細なキズ、特に有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造や、その他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置であって、検査対象のフィルム表面にあるキズ、特にキズが浅いものや極めて微細なものを検出し易くして、キズの発生を見過ごすことがないような改良されたフィルムキズ検出方法及びその検出装置を提供することにある
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１に係る発明は、フィルム１の表面に照明光源１１にて照明光Ｌ1 を照射し、該フィルム１の表面に照射され前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 をＣＣＤカメラ１
２により検出して、該フィルム１表面のキズを検出するフィルムキズ検出方法であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定して照射し、前記ＣＣＤカメラ１２により、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを検出することにより、前記フィルム１表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出方法である。
【０００９】
本発明の請求項２に係る発明は、フィルム１の表面に照明光Ｌ1 を照射する照明光源１１と、前記フィルム１の表面に照射された照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 を検出するＣＣＤカメラ１２とを備えたフィルムキズ検出装置であって、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 は該フィルム１の表面に対して入射角度１５°〜４５°に設定され、前記ＣＣＤカメラ１２は前記反射光Ｌ2 のうち該フィルム１に対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 を検出することにより、前記フィルム１表面のキズを検出することを特徴とするフィルムキズ検出装置である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置によれば、照明光源１１の照明光Ｌ1 を、フィルム１の表面１ａに対して、入射角度１５°〜４５°に設定して照射するようにしたので、照明光Ｌ1 は、フィルム１の表面１ａに対して斜めに照射される。そのため、フィルム１の表面１ａに発生している擦過等により刻切されたキズ、特に浅く極めて微細なキズ２の大部分は、そのキズ２の内部までは照明されない。
【００１１】
そのため、照明光Ｌ1 による前記キズ２により生ずる反射光Ｌ2 としての光の陰影が発生して、そのキズ２を画像として捉えたとき、その画像の輪郭やコントラストが明確に発生して、検査対象のフィルム１の表面１ａにあるキズのうち、特に浅く極めて微細なキズも検出し易くなって、キズの発生を見過ごすことがないようようにすることができる。
【００１２】
このように本発明によれば、フィルムの表面に発生している微細なキズ、特に有機ＥＬ表示体や電子ペーパーなど光学表示体の製造や、その他の精密部品の製造において使用するフィルムの表面に発生するキズを検出するためのフィルムキズ検出方法及びその検出装置として絶大な効果を発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のフィルムキズ検出方法を、図１に示す本発明のフィルムキズ検出装置に基づいて以下に詳細に説明する。
【００１４】
図１に示すように、検査対象のフィルム１の表面１ａに、照明光源１１にて照明光Ｌ1 を照射し、該フィルム１の表面１ａに照射された前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 による画像（光像）をＣＣＤカメラ１２により検出することにより、フィルム１の表面１ａに発生しているキズを検出するようにしたものである。
【００１５】
本発明のフィルムキズ検出方法では、図１に示すように前記照明光源１１の照明光Ｌ1 （Ｏ1 は照明光軸）を、該フィルム１の表面１ａに対して、入射角度θ＝１５°〜４５°に設定して照射する。そして、前記ＣＣＤカメラ１２により、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち、該フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを画像（光像）として検出するものである。
【００１６】
本発明のフィルムキズ検出方法における検出動作を、図１及び図２の側面図に基づいて説明すれば、図１に示すように、まず、検査対象のフィルム１の表面１ａに対して、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を入射角度θ＝１５°〜４５°に設定して照射しながら、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とを一体的に、フィルム１の表面１ａに対して矢印方向
に相対的に移動させる。
【００１７】
そして、検査対象のフィルム１を矢印方向に移動させる間に、図２に示すようにフィルム１の表面１ａのキズ２の発生している位置に照明光Ｌ1 が到達すると、該照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち、該フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみが、ＣＣＤカメラ１２のレンズ光学系の光軸Ｏ2 内に入るため、垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを画像（光像）として検出して、前記フィルム１の表面１ａに発生している、Ｖ字状、凹陥状、擦過傷状に刻切された、或いは突起状浮き出たキズ２を検出するものである。
【００１８】
本発明のフィルムキズ検出装置を、図１に基づいて以下に詳細に説明すれば、照明光源１１が、その照明光Ｌ1 （照明光軸Ｏ1 ）をフィルム１の表面１ａに対して入射角度θが１５°〜４５°になるように設置されている。またＣＣＤカメラ１２が、そのカメラレンズ光学系（レンズ光軸Ｏ2 ）が、前記反射光Ｌ2 のうち、フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを検出するように設置されている。
【００１９】
また、検査対象のフィルム１は、検査台３の平坦な検査面３ａ上に載置されている。前記照明光源１１及びＣＣＤカメラ１２と検査対象のフィルム１とは、互いに定位置に固定した状態でキズの検出を実施するようにしてもよいし、互いに離間距離を一定に保持した状態で、相対的に矢印方向に移動できるようにしてもよい。なお、本発明においては、照明光源１１の照明光軸Ｏ1 とＣＣＤカメラ１２のレンズ光学系の光軸Ｏ2 との交点は、検査対象のフィルム１の表面１ａに略整合されていることが望ましい。
【００２０】
例えば、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とは、一体的に所定の支持フレーム（図示せず）に取り付けられていて、定位置固定式若しくは可動式である。定位置の前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２に対して、検査対象のフィルム１は検査台３の検査面３ａ上に静止した状態で検査するようにしてもよい。或いは所定の支持フレームに一体的に取付けられた前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とを移動させながら、検査対象のフィルム１を検査台３の検査面３ａ上に静止した状態で検査するようにしてもよい。
【００２１】
或いは、検査対象のフィルム１は、適宜なるフィルム搬送手段、例えば、コンベアロール、コンベアベルト等にて、或いはフィルム巻き出しロール、巻き取りロール等にて、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とに対して、相対的に矢印方向に検査台３の検査面３ａ上を搬送移動するように構成されていてもよい。
【００２２】
本発明のフィルムキズ検出装置による検出動作を、図１及び図２の側面図に基づいて説明すれば、図１に示すように、まず、検査対象のフィルム１の表面１ａに対して、前記照明光源１１の照明光Ｌ1 を入射角度θ＝１５°〜４５°に設定して照射しながら、前記照明光源１１とＣＣＤカメラ１２とを一体的に、フィルム１の表面１ａに対して矢印方向に相対的に移動させる。
【００２３】
入射角度θ＝１５°〜４５°にて照射された照明光Ｌ1 は、フィルム１の表面１ａにて反射して反射光Ｌ2 が発生するが、図１に示すようにフィルム１の表面１ａが平坦で平滑であれば、反射光Ｌ2 に含まれるフィルム１の表面１ａに垂直方向の反射光Ｌ3 は僅かである。
【００２４】
そして、図２に示すように、検査対象のフィルム１を矢印方向に移動させる間に、フィルム１の表面１ａに、Ｖ字状、凹陥状、擦過傷状に刻切されたキズ２、或いは突起状に浮き出たキズ２の発生している位置に照明光Ｌ1 が到達すると、特に照明光Ｌ1 を入射角度θ＝１５°〜４５°にて照射することにより、フィルム１の表面１ａのキズ２の内部には
斜めの照明光Ｌ1 による光の陰影が発生する。またフィルム表面１ａのキズ２の内面や、フィルム表面１ａとキズ２との境界部分（キズの輪郭部分）などには、照明光Ｌ1 による乱反射が発生する。
【００２５】
そのため、そのキズ２を画像として捉えたとき、Ｖ字状、凹陥状、擦過状、或いは突起状に浮き出たキズ２、特にＶ字状、凹陥状、擦過状のキズ２の内部には、斜めの照明光Ｌ1 による光の陰影による一部の反射光や、キズ２の内面やフィルム表面１ａとキズ２との境界部分（キズの輪郭部分）などにて乱反射した一部の反射光などが、フィルム１の表面に対して垂直方向の反射光Ｌ3 （又は増幅された反射光Ｌ3 ）となる。
【００２６】
そのために、キズ２の画像の輪郭やコントラストが明確に発生して、検査対象のフィルム１の表面１ａにあるキズのうち、特に浅く極めて微細なキズも画像として検出される。図３は、フィルム１の表面１ａのキズ２に対して照射した入射角度θ＝１５°〜４５°の照明光Ｌ1 と、それによる反射光Ｌ2 と、その反射光Ｌ2 のうち垂直方向の反射光Ｌ3 の光路の拡大模式図である。
【００２７】
そして、前記照明光Ｌ1 による反射光Ｌ2 のうち、該フィルム１の表面１ａに対して垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみが、ＣＣＤカメラ１２のレンズ光学系の光軸Ｏ2 内に入るため、垂直方向に反射する反射光Ｌ3 のみを画像（光像）として検出して、前記フィルム１の表面１ａのキズ２を検出するものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置を説明する側面図。
【図２】本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置を説明する側面図。
【図３】本発明のフィルムキズ検出方法及びその検出装置においてフィルム１の表面１ａのキズ２に対して照射した照明光Ｌ1 、反射光Ｌ2 反射光Ｌ2 のうち垂直方向の反射光Ｌ3 の光路の拡大模式図。
【図４】従来のフィルムキズ検出方法及びその検出装置を説明する側面図。
【符号の説明】
【００２９】
１…フィルム
２…キズ
３…検査台
１１…照明光源
１２…ＣＣＤカメラ
Ｏ1 …照明光軸
Ｏ2 …レンズ光軸
Ｌ1 …照明光
Ｌ2 …反射光
Ｌ3 …垂直反射光
【図１】
2008008819.tif 000003
【図２】
2008008819.tif 000004
【図３】
2008008819.tif 000005
【図４】
2008008819.tif 000006