(57)【要約】【課題】振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を抑制することができる角速度センサを提供すること。【解決手段】本発明は、ベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する音叉型振動子（１０）と、音叉型振動子（１０）のベース部を表面で支持する支持部（２０）と、支持部（２０）の表面と反対側の面である裏面に設けられた防振部（４０）と、支持部（２０）を防振部（４０）を介し実装する実装部（３０）と、を具備することを特徴とする角速度センサである。【選択図】図１
2008008634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と該ベース部から延びる複数のアーム部とを有する音叉型振動子と、
該音叉型振動子の前記ベース部を表面で支持する支持部と、
前記支持部の前記表面の反対側の面である裏面に設けられた防振部と、
前記支持部を前記防振部を介し実装する実装部と、を具備することを特徴とする角速度センサ。
【請求項２】
前記防振部は、前記ベース部が支持された前記表面の領域を前記裏面に投影した第１領域の少なくとも一部を含む第２領域に設けられていることを特徴とする請求項１記載の角速度センサ。
【請求項３】
前記支持部の少なくとも一部の厚さは前記音叉型振動子の厚さより厚いことを特徴とする請求項１または２記載の角速度センサ。
【請求項４】
前記支持部の前記ベース部が支持される領域および前記支持部の端部の少なくとも一方の厚さは前記音叉型振動子の厚さより厚いことを特徴とする請求項３記載の角速度センサ。
【請求項５】
前記支持部は、前記ベース部が支持された面に対し側面に突出した突出部を有し、前記突出部で前記実装部に前記防振部を介し実装されていることを特徴とする請求項１または２記載の角速度センサ。
【請求項６】
前記支持部は、前記突出部の裏面および側面で前記防振部を介し前記実装部に実装されていることを特徴とする請求項５記載の角速度センサ。
【請求項７】
前記支持部の熱膨張係数は前記音叉型振動子の熱膨張係数以上であることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の角速度センサ。
【請求項８】
前記実装部が固定された固定部と、
前記固定部に固定され、前記実装部から離間し設けられた重錘部と、を具備することを特徴とする請求項１から７に記載の角速度センサ。
【請求項９】
前記重錘部は前記実装部を囲うようにコ字型に設けられていることを特徴とする請求項８記載の角速度センサ。
【請求項１０】
前記重錘部の質量は前記音叉型振動子および前記支持部が実装された前記実装部の質量より大きいことを特徴とする請求項８または９記載の角速度センサ。
【請求項１１】
振動子が実装された実装部と、
前記実装部が固定された固定部と、
前記固定部に固定され、前記実装部から離間して設けられた重錘部と、を具備することを特徴とする角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は角速度センサに関し、特に振動子を用いた角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサは回転時の角速度を検知するセンサであり、カメラの手ぶれ防止やカーナビゲーションなどのシステム、自動車、ロボットの姿勢制御システムなどに利用されている。角速度センサの振動子としては、例えば、ベース部に複数のアーム部が設けられた音叉型振動子が用いられる。振動子を有する角速度センサにおいては、振動子の振動がその他の部品を通じ外部に漏れてしまう。このため、角速度センサをシステム等に実装した場合、振動状態が変化してしまう。この結果、振動子の特性が変化してしまう。また、反対に、外部の振動が振動子の振動に影響を及ぼす。このため、例えば、自動車の走行中の振動により、角速度センサの出力が変動し、システムが誤動作してしまう可能性がある。
【０００３】
このような振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を低減させるため、以下のような技術が開示されている。特許文献１には、圧電素子とセラミック部からなる音叉型振動子のセラミック部に設けたＵ字の溝部と支持金具とを防振材料で固定する技術が開示されている。特許文献２には、音叉型振動子を支持板に取り付け、支持板の両端を防振材料で固定する技術が開示されている。特許文献３には、音叉型振動子を包囲する枠状のベースを形成し、ベース部の両端を防振材料で固定する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２９２１７３号公報
【特許文献２】特開平９−２０３６３８号公報
【特許文献３】特開平８−１７８６６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
音叉型振動子が面垂直方向に振動する場合、特許文献１から３では振動子を支持する部材（特許文献１ではセラミック部、特許文献２では支持板、特許文献３ではベース部）がカウンタバランスをとるように振動してしまう。特許文献１から３では振動子を支持する部材を振幅の大きな部分で保持している。このため、振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を抑制することが難しい。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、ベース部と該ベース部から延びる複数のアーム部とを有する音叉型振動子と、該音叉型振動子の前記ベース部を表面で支持する支持部と、前記支持部の前記表面の反対側の面である裏面に設けられた防振部と、前記支持部を前記防振部を介し実装する実装部と、を具備することを特徴とする角速度センサである。本発明によれば、音叉型振動子の特に面垂直振動モードの振動が実装部に漏れることを抑制することができる。また、実装部の振動が音叉型振動子の振動モードに影響することを抑制することができる。
【０００７】
上記構成において、前記防振部は、前記ベース部が支持された前記表面の領域を前記裏面に投影した第１領域の少なくとも一部を含む第２領域に設けられている構成とすることができる。この構成によれば、ノードに近い位置に防振部が設けられているため、音叉型振動子の振動モードの振動が実装部に漏れることを一層抑制することができる。また、実装部の振動が音叉型振動子の振動モードに影響することを一層抑制することができる。
【０００８】
上記構成において、前記支持部の少なくとも一部の厚さは前記音叉型振動子の厚さより厚い構成とすることができる。この構成によれば、支持部の慣性モーメントを大きくし、支持部の振動を抑制することができる。よって、音叉型振動子の振動が実装部に漏れることを抑制することができる。
【０００９】
上記構成において、前記支持部の前記ベース部が支持される領域および前記支持部の端部の少なくとも一方の厚さは前記音叉型振動子の厚さより厚い構成とすることができる。この構成によれば、ベース部が支持される支持部の領域が厚い場合、ベース部を支持する支持部の面が熱履歴により歪むことを抑制することができる。また、支持部の端部が厚い場合、支持部の慣性モーメントを大きくすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記支持部は、前記ベース部が支持された面に対し側面に突出した突出部を有し、前記突出部で前記実装部に前記防振部を介し実装されている構成とすることができる。この構成によれば、支持部と実装部の底面との間に空間を設けることができる。
【００１１】
上記構成において、前記支持部は、前記突出部の裏面および側面で前記防振部を介し前記実装部に実装されている構成とすることができる。この構成によれば、支持部の重心近くで支持部を実装できるため、横方向の外部振動に対し支持部の振動が影響されることを抑制することができる。
【００１２】
上記構成において、前記支持部の熱膨張係数は前記音叉型振動子の熱膨張係数以上である構成とすることができる。この構成によれば、熱履歴により音叉型振動子へのクラックの発生や共振周波数の変動を抑制することができる。
【００１３】
上記構成において、前記実装部が固定された固定部と、前記固定部に固定され、前記実装部から離間し設けられた重錘部と、を具備する構成とすることができる。この構成によれば、重錘部の慣性モーメントにより、実装部が振動しても固定部が振動することを抑制することができる。
【００１４】
上記構成において、前記重錘部は前記実装部を囲うようにコ字型に設けられている構成とすることができる。この構成によれば、重錘部の慣性モーメントをより大きくすることができ、固定部の振動をより抑制することができる。
【００１５】
上記構成において、前記重錘部の質量は前記音叉型振動子および前記支持部が実装された前記実装部の質量より大きい構成とすることができる。この構成によれば、重錘部の慣性モーメントをより大きくすることができ、固定部の振動をより抑制することができる。
【００１６】
本発明は、振動子が実装された実装部と、前記実装部が固定された固定部と、前記固定部に固定され、前記実装部から離間して設けられた重錘部と、を具備することを特徴とする角速度センサである。本発明によれば、重錘部の慣性モーメントにより、実装部が振動しても固定部が振動することを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照に本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１９】
実施例１は、音叉型振動子を実装部であるパッケージ上に実装した角速度センサの例である。図１（ａ）は実施例１に係る角速度センサの上視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図１（ｄ）は図１（ａ）のＣを上方からみた音叉型振動子１０、支持部２０および防振部４０の位置関係を表す図である。図１を参照に、音叉型振動子１０のベース部が支持部２０の表面に固着され支持されている。支持部２０は例えばステンレスからなる。音叉型振動子１０のベース部が支持された支持部２０の表面と反対の裏面にはシリコンゴム等の防振部４０が設けられている。支持部２０は防振部４０を介し例えばセラミックからなるパッケージ３０（実装部）に固着し実装されている。音叉型振動子１０の電極（不図示）とパッケージ３０のパッド（不図示）とはボンディングワイヤ３８により接続されている。支持部２０の下には音叉型振動子１０を制御する回路部４５が設けられている。図１（ｄ）を参照に、音叉型振動子１０のベース部１３が支持部２０の表面に固着されている領域を支持部２０の裏面に投影した領域をＲ１、防振部４０が支持部２０に固着されている領域をＲ２としている。
【００２０】
図２を参照に、音叉型振動子１０はベース部１３とベース部１３から延びる２本（複数）のアーム部１１および１２を有する。音叉型振動子１０は例えばＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム）またはＬｉＴａＯ３（タンタル酸リチウム）等の圧電性材料より形成されている。例えばＬｉＮｂＯ３（ニオブ酸リチウム）またはＬｉＴａＯ３（タンタル酸リチウム）を用いる場合は、１３０°から１４０°Ｙ板を用いることにより、高ｋ２３電気機械結合係数を得ることができる。音叉型振動子１０の表面にはＡｕ(金）、Ａｌ（アルミニウム）またはＣｕ（銅）等の金属膜を用いた電極（不図示）が形成されている。
【００２１】
図３（ａ）および図３（ｂ）は音叉型振動子１０の駆動モードと検出モードを説明するための図である。図３（ａ）を参照に、音叉型振動子１０の駆動電極（不図示）に駆動信号を印加することによりアーム部１１および１２が互いに開閉するような振動モードを発生させる。この振動はアーム部１１および１２方向の面に平行な振動であり、これを面内振動モードという。ここで検知軸に対し角速度が加わると、コリオリ力により図３（ｂ）のようなアーム部１１および１２が前後に振動する振動モードが現れる。この振動はアーム部１１および１２方向の面に垂直なツイスト振動であり、これを面垂直振動モードという。検出電極（不図示）がこの振動モードを検出することにより検知軸を中心とした角速度を検知することができる。駆動に用いる振動モードを駆動モード、検知に用いる振動モードを検出モードという。各振動モードにおいて、振動しない領域をノードという。図３（ａ）においては、音叉型振動子１０の対称面がノードＡとなる。図３（ｂ）においては、音叉型振動子１０の中心軸がノードＢとなる。
【００２２】
図３（ｂ）を参照に、音叉型振動子１０が面垂直振動モードで振動した場合、支持部２０もカウンタバランスをとるように振動する。よって、支持部２０の裏面（ベース部１３を支持する表面の反対側の面）に防振部４０を設ける。これにより、面垂直振動の振動を防振部４０が吸収することができる。
【００２３】
図３（ａ）および図３（ｂ）を参照に、音叉型振動子１０が面内振動モードまたは面垂直振動モードで振動した場合、ベース部１３の振幅は小さい。よって、ベース部１３を支持する支持部２０の振動は小さくなる。この際、図３（ａ）、図３（ｂ）のノードＡ、Ｂ付近は振幅がより小さくなる。特に図４のベース部１３の領域Ｒ３はノードＡとノードＢの共通のノード（すなわちノードＢ）を面Ｓ１に投影した領域であり最も振動の振幅が小さい。このため、支持部２０の振動もベース部１３が支持された真反対の面の振幅が小さい。よって、図１（ｄ）のように、防振部４０は、ベース部１３が支持された表面の領域を前記裏面に投影した第１領域Ｒ１の少なくとも一部を含む第２領域Ｒ２に設けられることが好ましい。これにより、ノードに近い位置に防振部４０が設けられているため、音叉型振動子１０の振動がパッケージ３０に漏れることを抑制することができる。反対にパッケージ３０の振動が音叉型振動子１０の振動モードに影響することも抑制することができる。特に、図１（ｄ）のように、第１領域Ｒ１が第２領域Ｒ２を含むことが支持部２０の振幅のより小さい領域に防振部４０を設けることとなり、より好ましい。
【００２４】
図１（ａ）を参照に、支持部２０は、音叉型振動子１０のアーム部１１および１２の幅方向に延在していることが好ましい。これにより、図３（ｂ）の面垂直振動モードにおいて、支持部２０がカウンタバランスをとるための慣性モーメントを大きくすることができる。よって、支持部２０を音叉型振動子１０のアーム部１１および１２の幅方向に延在させ、慣性モーメントを大きくすることにより、支持部２０の振動を抑制することができる。
【００２５】
図５（ａ）および図５（ｂ）並びに図６（ａ）および図６（ｂ）は、支持部２０の例である。図５（ａ）および図５（ｂ）を参照に、支持部２０ａはステンレスからなり、上面を高圧プレスで凹ませ凹部２９を形成する。凹部２９により音叉型振動子１０のアーム部１１、１２と支持部２０ａの間にアーム部１１、１２が振動するための空間２７を確保することができる。図６（ａ）および図６（ｂ）を参照に、支持部２０ｂのベース部１３を支持する領域を残した面を高圧プレスで凹ませ凹部２８ａを形成する。凹部２８ａの反対の面に凸部２８ｂが形成される。音叉型振動子１０のベース部１３を凸部２８ｂの上面に固着する。これにより、音叉型振動子１０のアーム部１１、１２と支持部２０ａの間に空間２７を確保することができる。
【００２６】
さらに、支持部２０ａ、２０ｂの厚さが音叉型振動子の厚さより厚いことが好ましい。これにより、支持部２０ａ、２０ｂの慣性モーメントを大きくし、支持部２０の振動を抑制することができる。よって、音叉型振動子１０の振動がパッケージ３０に漏れることを抑制することができる。
【実施例２】
【００２７】
実施例２は支持部の端部の厚さを厚くした例である。図７（ａ）および図７（ｂ）は実施例２の支持部をベース部側からみた側面図である。図７（ａ）を参照に、支持部２０ｃの端部２１（アーム部１１、１２の幅方向の端部）の厚さｔ２１は音叉型振動子１０の厚さｔ１０より厚い。また、図７（ｂ）を参照に、支持部２０ｄの端部の厚さｔ２１および支持部２０ｄのベース部１３が支持される領域２２の厚さｔ２２は音叉型振動子１０の厚さｔ１０より厚い。このように、端部２１の厚さｔ２１を厚くすることが好ましい。これにより、面垂直振動モードにおいて、支持部２０がカウンタバランスをとるため、振動の最も大きくなる、端部２１の厚さを音叉型振動子１０の厚さより厚くし、支持部２０ｃ、２０ｄの慣性モーメントを大きくすることにより、支持部２０ｃ、ｄの振動を抑制することができる。
【実施例３】
【００２８】
実施例３はベース部１３が支持される支持部２０の領域の厚さを厚くした例である。図８（ａ）は比較例、実施例３の音叉型振動子１０および支持部２０ｅまたは２０fの上視図である。図８（ｂ）は比較例の支持部２０ｅをベース部１３側（図８（ａ）のｙ方向から見た側面図である。比較例では、支持部２０ｅは０．１ｍｍのステンレス（ＳＵＳ３０４）を折り曲げ形成されている。したがって、支持部２０ｅの厚さｔ２０ｅは０．１ｍｍである。図８（ｃ）は実施例３の支持部２０ｆをベース部側から見た側面図である。支持部２０ｆはステンレス（ＳＵＳ３０４）からなる厚さｔ２０ｆが０．４ｍｍのブロック状である。音叉型振動子１０の厚さｔ１０は０．３ｍｍである。
【００２９】
図９は、実施例３と比較例を２６０℃（鉛フリー半田のリフロー温度）としたときの支持部２０ｆ、２０ｅのベース部を支持する搭載面の変位を示す図であり、図８（ａ）のＸ座標に対するＺ方向の変位を計算した結果である。計算は、音叉型振動子１０のＸ方向、Ｙ方向の線熱膨張係数がそれぞれ１７ｐｐｍ／℃、６ｐｐｍ／℃、支持部２０ｅ、２０ｆの線熱膨張係数を１７．１ｐｐｍ／℃とした。図９によれば、支持部の厚さを実施例３のように厚くすることにより、Ｚ方向の変位を小さくすることができる。これにより、線熱膨張係数の差に起因した音叉型振動子１０のクラック等を抑制することができる。
【００３０】
図１０は、実施例３および比較例を２６０℃でリフローしたときの音叉型振動子１０の共振周波数の周波数変動を示した図である。Ａはリフロー前、Ｂはリフローを１回後、Ｃはリフローを３回後の結果である。比較例では共振周波数が変動するのに対し、実施例３では共振周波数はほとんど変動していない。このように、支持部２０ｆの厚さｔ２０ｆを厚くすることにより、耐リフロー性を改善することができる。これは、図１０に示したように、支持部２０のベース部を支持する搭載面が熱履歴により歪むことに起因している。
【００３１】
実施例３によれば、ベース部１３が支持される支持部２０の領域の厚さは音叉型振動子１０の厚さｔ１０より厚いことが好ましい。実施例１から実施例３によれば、支持部２０の少なくとも一部の厚さは音叉型振動子１０の厚さより厚いことが好ましく、支持部２０のベース部１３が支持される領域および支持部２０の端部２１の少なくとも一方の厚さが音叉型振動子１０の厚さより厚いことがより好ましい。
【００３２】
また、図９および図１０のように熱履歴による音叉型振動子１０のクラックや特性変動を抑制するためには、支持部２０ｅ、２０ｆの熱膨張係数は音叉型振動子１０の熱膨張係数と同程度であることが好ましい。音叉型振動子１０を構成するＬｉＴａＯ３またはＬｉＮｂＯ３等の圧電材料は引っ張り応力に対し脆い。このため、音叉型振動子１０を支持部２０に接着する際、高温にて接着剤を硬化させた後、常温に冷却するときに、音叉型振動子１０に引っ張り応力によるクラックが発生しないように、支持部２０ｅ、２０ｆの熱膨張係数は音叉型振動子１０の熱膨張係数以上であることが好ましい。
【実施例４】
【００３３】
図１１（ａ）から図１１（ｃ）は実施例４の支持部２０、防振部４０およびパッケージ３０を示す図（音叉型振動子は不図示）である。支持部２０は、ベース部が支持された面に対し側面に突出した突出部２３と本体部２４とを有している。突出部２３はパッケージ３０の底面から突出した段部３２に防振部４０を介し実装されている。これにより、支持部２０とパッケージ３０の底面との間に空間を設けることができる。よって、空間に、例えば回路部４５等を設置することができる。パッケージ３０は段部３２を有さなくとも、防振部４０が厚ければ、支持部２０とパッケージ３０との間に空間を設けることができる。
【００３４】
２つの突出部２３が音叉型振動子１０のノードの下に設けられているため、支持部２０の振動の振幅の小さい箇所で支持部２０をパッケージ３０で保持することができる。よって、支持部２０の振動がパッケージ３０に漏れることを抑制することができる。
【実施例５】
【００３５】
図１２（ａ）から図１２（ｃ）は実施例５の支持部２０、防振部４０およびパッケージ３０を示す図（音叉型振動子は不図示）である。パッケージ３０の段部３４に凹部３６が設けられており、支持部２０の突出部２３は凹部３６に勘合されている。これにより、支持部２０とパッケージ３０とを組み立てる際に容易に位置合わせを行うことができる。さらに、支持部２０は、突出部２３の裏面および側面で防振部４０を介しパッケージ３０に実装されている。これにより、支持部２０の重心近くで支持部２０を実装できる。このため、横方向の外部振動に対し支持部２０の振動が影響されることを抑制することができる。
【実施例６】
【００３６】
図１３（ａ）から図１３（ｃ）は実施例６の支持部２０、防振部４０およびパッケージ３０を示す図（音叉型振動子は不図示）である。支持部２０に突出部２３が３箇所設けられている。実施例５のように、突出部２３は３以上の複数設けられていてもよい。
【実施例７】
【００３７】
図１４（ａ）は実施例７に係る角速度センサの上視図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図１４（ａ）および図１４（ｂ）を参照に、パッケージ３０が、例えばモールド樹脂からなる台座である固定部５０に固定されている。固定部５０にはパッケージ３０から離間した重錘部６０が固定されている。パッケージ３０内は実施例１の図１（ａ）から図１（ｃ）と同様に音叉型振動子１０および支持部２０が防振部４０を介しパッケージ３０に実装されている。パッケージ３０には、角速度センサの電気信号を入出力する電極３５が設けられている。
【００３８】
実施例７によれば、重錘部６０がパッケージ３０から離間し固定部５０に固定されている。これにより、重錘部６０の慣性モーメントにより、パッケージ３０が振動しても固定部５０が振動することを抑制することができる。重錘部６０はパッケージ３０を囲うようにコ字型に設けられることが好ましい。これにより、重錘部６０の慣性モーメントをより大きくすることができ、固定部５０の振動をより抑制することができる。さらに、重錘部６０の質量は音叉型振動子１０および支持部２０が実装されたパッケージ３０の質量より大きいことが好ましい。これにより、重錘部６０の慣性モーメントをより大きくすることができ、固定部５０の振動をより抑制することができる。実施例７では、音叉型振動子１０を用いた例を説明したが、音片型振動子等の振動子であっても同様の効果を奏することができる。
【００３９】
実施例において、実装部としてパッケージ３０の例を説明したが、支持部２０が実装される部材であれば例えば基板等であってもよい。支持部２０はステンレス製の例を説明したが、これに限られない。銅等の線熱膨張係数が大きい材料からなることが好ましい。また、慣性モーメントを大きくするため密度の大きい材料が好ましい。防振部４０は、シリコンゴム以外にもブチルゴム、ウレタンゴム等のゴムまたはその他の弾性材料を用いることができる。また、防振部４０は、支持部２０と実装部とを接着する機能を有することもできる。防振部４０は、防振の目的から音叉型振動子１０と支持部２０とを接着する部材に比べ弾性率が大きいことが好ましい。固定部５０はモールドからなる台座の例であったが、実装部２０を固定する部材であればシステムの実装基板等であってもよい。重錘部６０は密度の高い金属が好ましく、例えば鉄、ステンレス等が好ましい。
【００４０】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】図１（ａ）は実施例１係る角速度センサの上視図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ断面図、図１（ｄ）は音叉型振動子、防振部および支持部の位置関係を示す図である。
【図２】図２は音叉型振動子の斜視図である。
【図３】図３（ａ）および図３（ｂ）は音叉型振動子の振動モードを示す図である。
【図４】図４は音叉型振動子のノード付近を示す図である。
【図５】図５（ａ）は支持部の変形例１の斜視図であり、図５（ｂ）は側面図である。
【図６】図６（ａ）は支持部の変形例２の斜視図であり、図６（ｂ）は側面図である。
【図７】図７（ａ）および図７（ｂ）は実施例２に係る支持部の側面図である。
【図８】図８（ａ）は実施例３または比較例に係る支持部の上視図、図８（ｂ）は比較例の側面図、図８（ｃ）は実施例３の側面図である。
【図９】図９は実施例３および比較例を２６０℃でリフローした場合の支持部の歪みの計算結果を示す図である。
【図１０】図１０は実施例３および比較例をリフローしたときの共振周波数の変動を示す図である。
【図１１】図１１（ａ）は実施例４に係る角速度センサの上視図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１１（ｃ）は図１１（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図１２】図１２（ａ）は実施例５に係る角速度センサの上視図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１２（ｃ）は図１２（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図１３】図１３（ａ）は実施例６に係る角速度センサの上視図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＡ−Ａ断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図１４】図１４（ａ）は実施例７に係る角速度センサの上視図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０                  音叉型振動子
１１、１２            アーム部
１３                  ベース部
２０                  支持部
２１                  端部
２２                  領域
２３                  突出部
２４                  本体部
３０                  パッケージ
３２、３４            段部
４０                  防振部
４５                  回路部
５０                  固定部
６０                  重錘部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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