(57)【要約】【課題】簡単な構成で、且つ排気機構が不要な除塵装置を提供する。【解決手段】クリーンルームに設置される除塵装置１であって、除塵対象物Ｔをセットするセットケース４と、セットケース４に設けられ、除塵対象物Ｔに向かってエアーを吹き付けるブローノズル３２と、ブローノズル３２にエアーを供給するブロワー６と、ブロワー６の吐出側４６とブローノズル３２とを連通する給気流路７と、セットケース４とブロワー６の吸込側４５とを連通する還気流路８と、給気流路７および還気流路８の少なくとも一方に介設した除塵フィルタ５と、を気密に構成したキャビネット３に収容する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームに設置される除塵装置であって、
除塵対象物をセットするセットケースと、
前記セットケースに設けられ、除塵対象物に向かってエアーを吹き付けるブローノズルと、
前記ブローノズルにエアーを供給するブロワーと、
前記ブロワーの吐出側と前記ブローノズルとを連通する給気流路と、
前記セットケースと前記ブロワーの吸込側とを連通する還気流路と、
前記給気流路および前記還気流路の少なくとも一方に介設した除塵フィルタと、を気密に構成したキャビネットに収容したことを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
前記ブローノズルは、相互に離間して配設した複数のもので構成されていることを特徴とする請求項１に記載の除塵装置。
【請求項３】
前記セットケースは、除塵対象物をセットする網状の載置ステージを有していることを特徴とする請求項１または２に記載の除塵装置。
【請求項４】
前記セットケースに設けられ、前記セットケース内のエアーをイオン化する除電手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の除塵装置。
【請求項５】
前記給気流路および前記環気流路は、前記キャビネット内を隔壁で仕切って形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の除塵装置。
【請求項６】
前記ブロワーの駆動を制御するフットスイッチおよびタイマーを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の除塵装置。
【請求項７】
前記キャビネットの下端に取り付けられた複数のキャスタを、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の除塵装置。
【請求項８】
前記クリーンルームと同一のクリーン度仕様であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに設置され、除塵対象物に付着した塵埃を除去する除塵装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体等の製造ラインにおいては、清浄度が高く保たれたクリーンルームが用いられる。このクリーンルームは、天井室に循環空気を供給し、天井室から高性能フィルタを通して除塵対象物に対して清浄空気をダウンフローで供給して除塵対象物の塵埃を除去する。そして、除塵後の空気を床下室に排出し、床下室から機械室を介して天井室に空気を循環させる。これにより、常に清浄な空気を循環させ、処理室内を清浄に保持する。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開平１１−１４１９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のクリーンルームに処理や組立て対象となる部品以外の部品や工具を搬入する場合、搬入前に各部品に付着している塵埃を除去する必要がある。この場合、圧空を用いたエアーガンにより塵埃を吹き飛ばして除去することが考えられる。しかしながら、塵埃の飛散・拡散を防止するためにクリーンルームに併設した排気・圧空設備が必要となるため、付帯設備にコストが掛かると共に、その設置場所も限定されるという問題がある。また、ドラフトチャンバー等により塵埃を除去することも考えられるが、排気ダクト等を取り付ける必要があるため、同様に設置場所が限定されてしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、簡単な構成で、且つ排気機構が不要な除塵装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の除塵装置は、クリーンルームに設置される除塵装置であって、除塵対象物をセットするセットケースと、セットケースに設けられ、除塵対象物に向かってエアーを吹き付けるブローノズルと、ブローノズルにエアーを供給するブロワーと、ブロワーの吐出側とブローノズルとを連通する給気流路と、セットケースとブロワーの吸込側とを連通する還気流路と、給気流路および還気流路の少なくとも一方に介設した除塵フィルタと、を気密に構成したキャビネットに収容したことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、キャビネット内に給気流路および還気流路を構成すると共に、両流路の少なくとも一方に除塵フィルタを配設することで、キャビネット内に清浄なエアーを循環させて対象物の除塵をすることができる。また、エアーを循環させて除塵を行うため、除塵装置外部に除塵後のエアーを排出することがない。このため、排気機構等の大掛かりな付帯設備が不要となり、設置場所の制限を緩和できる。さらに、キャビネットを気密に構成することで、除塵作業時に除塵装置外に塵埃を飛散・拡散することを防止する。これにより、クリーンルーム等の特殊な場所でも除塵作業を行うことができ、例えば、クリーンルーム内の製造ライン等に直結することで製造ラインの稼動効率を向上させることができる。なお、ここで言う除塵とは、対象物に付着した塵埃を取り除くこととする。
【０００７】
この場合、ブローノズルは、相互に離間して配設した複数のもので構成されていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、除塵対象物に対して、複数の方向から効果的にエアーを吹付けることができる。これにより、除塵の精度を向上させると共に、除塵に掛かる時間を短縮することができる。
【０００９】
これらの場合、セットケースは、除塵対象物をセットする網状の載置ステージを有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、載置ステージを網状にすることで、ブロワーからのエアーが載置ステージから吹き抜け、除塵後のエアーが載置ステージ上に停留することがない。これにより、効率よくエアーを循環することができ、対象物の除塵の効率を高めることができる。また、載置ステージ上に塵埃が残留しないため、常にクリーンな状態で除塵作業ができる。
【００１１】
これらの場合、セットケースに設けられ、セットケース内のエアーをイオン化する除電手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、対象物の除塵作業と並行して除電作業を行うことができる。これにより、対象物の除塵を効率良く行うことができ、作業効率を向上することができる。また、別途、除電装置を設置する必要がないため、装置の設置に係るコストを削減できる。
【００１３】
これらの場合、給気流路および環気流路は、キャビネット内を隔壁で仕切って形成されていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、キャビネット内の隔壁を利用して給気流路および還気流路を形成することで、部品点数を削減すると共に、コストを削減することができる。
【００１５】
これらの場合、ブロワーの駆動を制御するフットスイッチおよびタイマーを、更に備えたことが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、フットスイッチでブロワーの駆動制御を行うことで、作業者が除塵対象物の給材および除材する手の動作と合わせて、足でスイッチのＯＮ／ＯＦＦ動作が行えるため、作業者が作業し易く、作業効率を向上させることができる。また、タイマーにより除塵時間を管理することで、対象物の除塵漏れを防ぎ、清浄度を一定に保つことができる。
【００１７】
これらの場合、キャビネットの下端に取り付けられた複数のキャスタを、更に備えたことが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、キャスタを取り付けることで、除塵装置の運搬を簡単に行うことができる。また、除塵装置を簡単に移動させることができるため、作業状況に応じて、除塵装置の設置場所を容易に変更することができる。
【００１９】
これらの場合、クリーンルームと同一のクリーン度仕様であることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、クリーン度をクリーンルームと同じに設定することで、除塵対象物の出し入れの際に、除塵装置内のエアー等が、クリーンルームの環境に影響を及ぼすことなく、除塵作業を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。本実施形態に係る除塵装置は、クリーンルーム等の温度、湿度、クリーン度等が管理された場所に設置され、当該管理下で使用する部材の塵埃および静電気等を除去するものであり、例えば、クリーンルームに設けられた半導体等の製造ラインにおいて、組立て作業に必要な補助部品や工具等をクリーンルーム内で使用する際、その補助部材や工具等に付着している塵埃や静電気等を除去するために使用されるものである。
【００２２】
図１および図２を参照し、本実施形態に係る除塵装置１について説明する。図１は、本実施形態に係る除塵装置１の表側から見た外観斜視図である。図２は、図１に示す除塵装置１をＡ−Ａで切断した断面図（側面図）である。図１に示すように、除塵装置１は、装置本体２の外殻を構成するキャビネット３と、キャビネット３内に収容され、除塵対象物Ｔを設置するセットケース４と、塵埃を捕集する除塵フィルタ５と、除塵するためのエアーを発生するブロワー６と、ブロワー６からセットケース４にエアーを供給する給気流路７と、セットケース４からブロワー６にエアーを循環させる還気流路８と、で構成されている。
【００２３】
キャビネット３には、前面に除塵フィルタ５の交換等の管理を行うフィルタ用点検蓋１１が取付けられており、背面上部には除塵対象物Ｔを搬入／搬出するための開閉扉１２が配設されている。また、背面下部左側には、ブロワー６の点検等を行うブロワー用点検蓋１３が取付けられており、背面下部右側には、除塵装置１の運転を制御するための制御パネル１４が取付けられている。そして、キャビネット３の下面には、除塵装置１を移動するための４つのキャスタ１５が取付けられている。また、キャビネット３本体は、開閉扉１２を閉めた状態において、内部のエアーを外部に漏らさないようにエアータイト材等を用いて気密に構成されており、これにより、塵埃除去作業に伴う塵埃（塵埃を含むエアー）の外部への飛散・拡散を防止する。
【００２４】
制御パネル１４は、除塵装置１の電源ＯＮ／ＯＦＦを表示する電源表示ランプ２１と、除塵装置１に異常が発生したことを表示する異常表示ランプ２２と、除塵装置１（ブロワー６）のタイマー（図示省略）の設定状態を表示するタイマー表示ランプ２３と、ブロワー６の駆動のＯＮ／ＯＦＦを切替るフットスイッチ２４と、これらを制御する制御部（図示省略）と、を有している。電源表示ランプ２１は、ランプの点灯／消灯により、除塵装置１本体の電源状態を表示する。異常表示ランプ２２は、装置等に異常が発生した場合、ランプを点灯することで、作業者に異常を報知する。また、タイマー表示ランプ２３は、ブロワー６のタイマーが動作しているか否かを、ランプを点灯／消灯することで表示し、作業者に報知する。タイマーは、制御部により制御されており、ブロワー６の稼動時間（除塵時間）が所定時間（塵埃が完全に取り除かれる時間）となるようにタイマー設定して管理することで、除塵対象物Ｔの防塵を確実に行うことができる。
【００２５】
フットスイッチ２４は、ブロワー６の駆動制御を行うものであり、フットスイッチ２４を踏む度に、ブロワー６の駆動のＯＮ／ＯＦＦを切替える。これにより、除塵対象物Ｔの給材および除材の手の動きに合わせて、足でブロワー６の駆動制御を行うことができるため、作業者が作業し易く、作業効率を向上させることができる。また、フットスイッチ２４を踏むと、ブロワー６がＯＮ（駆動開始）され、タイマー制御後ＯＦＦ（駆動停止）とすることもできる。
【００２６】
開閉扉１２は、上部に設けられた一対のヒンジ２５、２５によりキャビネット３に取り付けられており、開閉扉１２の背面には開閉用の取手２６が止着されている。そして、ヒンジ２５、２５を介して除塵装置１の後方に開き、除塵対象物Ｔをキャビネット３内に搬入、あるいは、キャビネット３内から搬出できるようになっている。
【００２７】
キャスタ１５は、キャビネット３底面の四隅に回転自在に取り付けられ、各キャスタ１５には、それぞれストッパ（図示省略）が取り付けられている。これにより、作業状況に応じて、除塵装置１を移動することで設置場所を簡単に変更することができると共に、ストッパにより所定の場所に確実に固定することができる。
【００２８】
次に、図２および図３を参照して、キャビネット３内部の構成について説明する。なお、図３は、図１に示すキャビネット３をＢ−Ｂで切断した断面図（背面図）である。上述のように、キャビネット３内は、セットケース４、除塵フィルタ５、ブロワー６が設置されており、これらに連通して給気流路７および還気流路８が介設されている。
【００２９】
セットケース４は、セットケース４内底面に設置され、除塵対象物Ｔを載置する載置テーブル３１と、セットケース４の外周面上部に配設され、ブロワー６からのエアーをセットケース４内に吹出す複数（３個）のブローノズル３２と、セットケース４内上面に設置され、除塵対象物Ｔに付帯した静電気を除去するイオナイザ３３(除電手段)と、セットケース４後部下方に開口され、ブローノズル３２からのエアーをセットケース４外に排出する排気開口３４と、セットケース４の後部上方、且つキャビネット３の開閉扉１２と対応する位置に形成されたケース開閉扉３５と、を有している。
【００３０】
載置テーブル３１は、除塵対象物Ｔを載置するための載置ステージ４１と、載置ステージ４１支持する４本の支柱４２と、から成り、載置ステージ４１は、網目状（ネットまたはパンチング）に形成され、ブローノズル３２からのエアー、および除塵対象物Ｔからの塵埃が載置テーブル３１下方に吹き抜けるようになっている（図４参照）。これにより、除塵が効率よく行われると共に、除塵後のエアーが載置ステージ４１上に停留することがない。また、舞上がった塵埃を還気流路８に効率よく送り込むことができる。
【００３１】
ブローノズル３２は、セットケース４の上部前方の中央および左右の斜面に、それぞれ１つずつ、合計３個取り付けられており、それぞれのブローノズル３２は、そのノズル面を載置ステージ４１方向に向けて設置されている。そして、載置ステージ４１上に載置された除塵対象物Ｔの上方３方向（除塵対象物Ｔの前方、左斜め方向、右斜め方向）から圧縮したエアーを勢いよく吹付けることにより、除塵対象物Ｔに付着した塵埃を除去すると共に、塵埃を含んだエアーを排気開口３４方向に送り出す。このように、同時に複数方向から圧縮されたエアーを吹付けることで、除塵の精度向上および除塵に掛かる時間短縮等の効果を得ることができる。なお、本実施形態では、ブローノズル３２の配置場所および数量等について上記の通り構成したが、本発明はこれに限定されるものではない。また、各ブローノズル３２は、吸付け角度が可変可能なものが好ましい。
【００３２】
イオナイザ３３は、載置ステージ４１を上方から臨む位置に設置されており、除塵対象物Ｔの静電気除去を行う。この場合、コロナ放電により、セットケース４内のエアーをイオン化し、除塵対象物Ｔの表面に帯電している静電気を中和することで、除塵対象物Ｔの静電気除去を行う。除塵対象物Ｔが帯電している場合、除塵対象物Ｔに付着した塵埃の除去がし難くなるため、イオナイザ３３により除電することで、除塵対象物Ｔの塵埃を効率良く取り除くことができ、作業効率を向上することができる。また、除電装置等を別個に設ける必要がないため、これに係るコストを削減することができる。
【００３３】
排気開口３４は、セットケース４後方下側をパンチング加工することで形成され、除塵後の塵埃を含むエアーをセットケース４外に排出する。排出されたエアーは、後述する還気流路８を介してキャビネット３下方に流れる。
【００３４】
ケース開閉扉３５は、セットケース４の一部を切欠くように形成され、一対のケース用ヒンジ４３により開閉自在に取り付けられている。上述のキャビネット３に形成された開閉扉１２と同一方向（キャビネット３後方）にケース用ヒンジ４３を介して開閉し、開閉扉１２およびケース開閉扉３５を開くことで、載置ステージ４１上に除塵対象物Ｔを載置する。
【００３５】
ブロワー６は、セットケース４下方に配置されており、ブロワーケース４４と、ブロワーケース４４側面に、且つキャビネット３後方に向けて開口され、エアーを吸込む吸込み口４５と、ブロワーケース４４上面に、且つキャビネット３を横方向に仕切る隔壁５３に貫設され、吸込み口４５より吸込まれたエアーを上方向に吐出す吐出し口４６と、ブロワーケース４４内に設置され、回転することで、吸込み口４５からエアーを吸込み、当該エアーを吐出し口４６から吐出する羽根車４７と、吸込み口４５と対峙するようにブロワーケース４４側面に取り付けられ、羽根車４７を駆動するためのモータ４８（ギヤドモータ等）と、を有している。
【００３６】
なお、本実施形態のブロワー６は、多翼送風機（シロッコファン）を想定しているが、これに限らず、翼形送風機や軸流送風機等の送風機を用いても良い。
【００３７】
除塵フィルタ５は、高性能フィルタ（例えば、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等）で形成され、セットケース４の下方、且つブロワー６の上方に位置するように、キャビネット３内の略中央に配置される。この除塵フィルタ５に、ブロワー６の吐出し口４６から送られてくる不純物（塵埃等）を含んだエアーを通過させることで、エアー中の不純物は、除塵フィルタ５に捕集される。これにより、ブロワー６からのエアーは清浄なエアーと成り、後述する給気流路７を介してブローノズル３２からセットケース４内に吹付けられる。
【００３８】
なお、本実施形態では、給気流路７に除塵フィルタ５を取り付けているが、後述する還気流路８、または両流路に除塵フィルタ５を取り付けるようにしても良い。また、給気流路７を流れるエアーが、クリーンルームのクリーン度と同一となるように、除塵フィルタ５が選択されることが好ましい。
【００３９】
給気流路７および還気流路８は、キャビネット３内を複数の隔壁５１、５２、５３によって仕切り、２つの隔離された領域とすることで形成される。これにより、除塵装置１の部品点数を削減することができる。
【００４０】
給気流路７は、ブロワー６の吐出し口４６から吐出されたエアーを、除塵フィルタ５を介してブローノズル３２に供給する流路であり、除塵フィルタ５により塵埃が取り除かれた清浄なエアーをセットケース４内に供給する。一方、還気流路８は、セットケース４の排気開口３４から隔壁５３の開口部５４を介してブロワー６の吸込み口４５へと連通する流路であり、排気開口３４からの塵埃を含んだエアーは、還気流路８を介してブロワー６の吸込み口４５から吸込まれ、吐出し口４６から給気流路７へと吐出される。これら給気流路７および還気流路８を介して、キャビネット３内のエアーを循環させることで、キャビネット３内のエアーを排気することなく浄化し、常に清浄なエアーを除塵対象物Ｔに吹付けて除塵作業を行う。
【００４１】
なお、給気流路７および還気流路８は、隔壁５１、５２、５３で仕切って形成しているが、排気開口３４からブロワー６の吸込み口４５までの流路、およびブロワー６の吐出し口４６から除塵フィルタ５を介してブローノズル３２までの流路を、それぞれダクト等を介設することで形成しても良い。
【００４２】
ここで、図５を参照し、キャビネット３内のエアーの流れ、および除塵の手順について説明する。なお、図中の矢印は、エアーの流れを示している。まず、上述したキャビネット３の開閉扉１２およびセットケース４のケース開閉扉３５を開き、載置ステージ４１上に除塵対象物Ｔをセットする。
【００４３】
次に、ブロワー６を駆動する。これにより、還気流路８内のエアーは、ブロワー６の吸込み口４５から強く吸込まれ、吐出し口４６から給気流路７ａに吐出される（同図（ａ））。
【００４４】
ブロワー６の吐出し口４６から吹き出されたエアーは、除塵フィルタ５を通過することにより、エアーに含まれる塵埃等の不純物が取り除かれ（集塵され）、クリーンなエアーとして給気流路７ｂへ流れる（同図（ｂ））。除塵フィルタ５によって清浄化されたエアーは、給気流路７ｂを介してセットケース４に設けられたブローノズル３２により圧縮され、勢いを増して載置ステージ４１上の除塵対象物Ｔに対して３方向から吹付けられる。これと同時に、イオナイザ３３により除塵対象物Ｔの静電気除去が行われる（同図（ｃ））。
【００４５】
除塵後の塵埃を含むエアーは、排気開口３４からセットケース４外に排出され、還気流路８を介して、再びブロワー６の吸込み口４５から吸込まれる。このように、キャビネット３内でエアーを循環させて塵埃を含むエアーを除塵フィルタ５を介して清浄なエアーに浄化し、除塵対象物Ｔに清浄なエアーを吹付けることで、除塵作業を行うことができる。
【００４６】
以上のように、本実施形態によれば、キャビネット３内に、お互いに独立する領域として形成された給気流路７および還気流路８を構成し、両流路の少なくとも一方に配設された除塵フィルタ５を介してエアーを循環させることで、エアーに含まれる塵埃等の不純物が取り除かれ、キャビネット３内に清浄なエアーを循環させて除塵対象物Ｔに付着した塵埃を除去することができる。また、キャビネット３内でエアーを循環させて除塵を行うため、除塵装置１外にエアーを排出する必要がなく、排気機構等の大掛かりな付帯設備等の付設に伴う除塵装置１の設置場所の制限を緩和することができる。さらに、キャビネット３を気密構成にすることで、除塵作業時に除塵装置１外に塵埃を飛散・拡散することが防止でき、クリーンルーム等の特殊な場所でも除塵作業を行うことができる。
【００４７】
なお、上述の除塵装置１のクリーン度を、除塵装置１を設置するクリーンルームのクリーン度と同一にすることで、除塵対象物Ｔの搬入／搬出作業に際し、装置内部のエアー等が、クリーンルームの環境に影響を及ぼすことなく除塵作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態に係る除塵装置の外観斜視図である。
【図２】除塵装置をＡ−Ａで切断した断面図（側面図）である。
【図３】除塵装置をＢ−Ｂで切断した断面図（背面図）である。
【図４】セットケースおよび載置テーブルの斜視図である。
【図５】キャビネット内のエアーの流れ、および除塵の手順について説明する図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…除塵装置  ３…キャビネット  ４…セットケース  ５…除塵フィルタ  ６…ブロワー  ７…給気流路  ８…還気流路  １５…キャスタ  ２４…フットスイッチ  ３２…ブローノズル  ３３…イオナイザ  ４１…載置ステージ  ４５…吸込み口  ４６…吐出し口  ５１、５２、５３…隔壁  Ｔ…除塵対象物
【図１】
2008221035.tif 000003
【図２】
2008221035.tif 000004
【図３】
2008221035.tif 000005
【図４】
2008221035.tif 000006
【図５】
2008221035.tif 000007