(57)【要約】【課題】光学的性能が良く、両面のレンズ面の光軸ずれが小さい有機ＥＬラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイの製造方法。【解決手段】  マイクロレンズアレイのそれぞれのレンズ面に対応する型面９２、９４を持つ金型８２、８４に光硬化性樹脂７６を注入し、その上にそれぞれの透明基板７１、７３を載せ、その金型に設けられた位置決め手段を用いて透明基板を位置決めし、透明基板７１、７３側から光照射して光硬化性樹脂７６、７６’を硬化させることにより２つのレンズアレイ６1 、６2 を成形し、２つのレンズアレイ６1 、６2 をそれぞれの成形の際の位置決めに用いた位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製する。【選択図】図１６
2008152040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金型を用いて光硬化性樹脂のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第１の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第１の透明基板を載せ、その際に第１の金型に設けられた第１の位置決め手段を用いて第１の透明基板を位置決めし、
前記第１の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第１の透明基板の一方の面上に第１のレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第２の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第２の透明基板を載せ、その際に第２の金型に設けられた第２の位置決め手段を用いて第２の透明基板を位置決めし、
前記第２の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第２の透明基板の一方の面上に第２のレンズアレイを成形し、
前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた前記第１の透明基板の位置決め部、前記第２の透明基板の位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項２】
前記位置決め部が前記第１の透明基板、前記第２の透明基板それぞれの直交する２つの側辺であることを特徴とする請求項１記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項３】
前記位置決め部が前記第１の透明基板、前記第２の透明基板それぞれの周囲に設けられた機械的なマークであることを特徴とする請求項１記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項４】
前記位置決め部が前記第１の透明基板、前記第２の透明基板それぞれに設けられた光学的マークであることを特徴とする請求項１記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項５】
前記第１の金型、前記第２の金型に中途まで光硬化性樹脂を注入して前記光硬化性樹脂を半硬化状態にし、次いで、その上にさらに光硬化性樹脂を注入し、その上にそれぞれ前記第１の透明基板、前記第２の透明基板を載せ、前記第１の透明基板、前記第２の透明基板を位置決めし、透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第１の透明基板、前記第２の透明基板の一方の面上にそれぞれ前記第１のレンズアレイ、前記第２のレンズアレイを成形することを特徴とする請求項１から４の何れか１項記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項６】
前記第１の金型、前記第２の金型上での前記光硬化性樹脂の硬化のためのエネルギーが２回目の方がより強いことを特徴とする請求項５記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項７】
前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光膜を配置して一体化することを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項８】
前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光板を配置して一体化することを特徴とする請求項１から６の何れか１項記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項９】
前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイと少なくとも一方の透明基板側が外に向くような配置で両者を一体化することを特徴とする請求項８記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項１０】
前記第１のレンズアレイ又は前記第２のレンズアレイの透明基板側が外に向くように配置され、その外側の透明基板面に有機ＥＬからなる複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を１列以上含む発光体ブロックがマイクロレンズアレイを構成する各レンズに対応して各々配置されていることを特徴とする請求項９記載のマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項１１】
金型を用いて樹脂性のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第１の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第１のマイクロレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第２の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第２のマイクロレンズアレイを成形し、
前記第１のマイクロレンズアレイと前記の第２のマイクロレンズアレイをその平面側で透明基板の両面に貼り付けて一体化し、                                              その貼り付けの際に、前記第１のマイクロレンズアレイと前記第２のマイクロレンズとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
【請求項１２】
第１の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第１の片面平面マイクロレンズアレイと、第２の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第２の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなり、同一のマイクロレンズが所定方向に一定ピッチで一列に配置され、それと直交する方向にはＮ個の同様のマイクロレンズ列が配置され、Ｎ個のマイクロレンズ列は、先頭のマイクロレンズの位置がＮ分の１ピッチずつずらして配列されていることを特徴とするマイクロレンズアレイ。
【請求項１３】
前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板の周囲に機械的なマークが設けられていることを特徴とする請求項１２記載のマイクロレンズアレイ。
【請求項１４】
前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板に光学的マークが設けられていることを特徴とする請求項１２記載のマイクロレンズアレイ。
【請求項１５】
主走査方向に複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を１列以上含む発光体ブロックが少なくとも主走査方向に間隔をおいて複数配置された有機ＥＬ発光体アレイの射出側に、各発光体ブロックに対応して各々１個の正レンズが整列するように配置されたマイクロレンズアレイが前記有機ＥＬ発光体アレイに平行に配置されており、前記マイクロレンズアレイとして、第１の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第１の片面平面マイクロレンズアレイと、第２の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第２の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなるマイクロレンズアレイであって、前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板に位置決めのための機械的又は光学的なマークが設けられているものを用いることを特徴とする有機ＥＬラインヘッド。
【請求項１６】
前記有機ＥＬ発光体アレイが前記第１の透明基板又は前記第２の透明基板のレンズ屈折面部が一体に成形されていない平面上に配置されていることを特徴とする請求項１５記載の有機ＥＬラインヘッド。
【請求項１７】
像担持体の周囲に帯電手段と、請求項１５又は１６記載の有機ＥＬラインヘッドと、現像手段と、転写手段との各画像形成用ユニットを配した画像形成ステーションを少なくとも２つ以上設け、転写媒体が各ステーションを通過することにより、タンデム方式で画像形成を行うことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロレンズアレイの製造方法とその方法で製造されたマイクロレンズアレイ、それを用いた有機ＥＬラインヘッド及び画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のＬＥＤアレイチップをＬＥＤアレイ方向に配置し、各ＬＥＤアレイチップのＬＥＤアレイを対応して配置した正レンズで感光体上に拡大投影し、感光体上で隣接するＬＥＤアレイチップの端部の発光ドットの像同士が同一ＬＥＤアレイチップの発光ドットの像間ピッチと同一ピッチで隣接して結像するようにする光書き込みラインヘッド、及び、その光路を逆にして光読み取りラインヘッドとするものが特許文献１で提案されている。
【０００３】
一方、ＬＥＤアレイチップの各発光ドットからの発散光を集光するマイクロレンズアレイの製造方法として、フォトリソグラフィーと電鋳によりそのマイクロレンズアレイの型を作り、光硬化性樹脂を用いてガラス基板上に複製するか、熱可塑性樹脂に複製することでマイクロレンズアレイを製造する方法が特許文献２に開示されている。
【０００４】
また、特許文献３には、液晶パネル照明用等のマイクロレンズアレイの製造方法として、ガラス基板の両面にフォトレジストを画素に対応してパターニングして、そのフォトレジストを加熱溶融させて表面張力によりレンズ屈折面に加工することでレンズアレイを形成する方法が開示されている。
【特許文献１】特開平２−４５４６号公報
【特許文献２】特開２００５−２７６８４９号公報
【特許文献３】特開平６−２０８００６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来、特許文献２に記載されているように、レンズ全体の線膨張を防止するためにガラス基板上に光硬化性樹脂を用いてレンズを成形して、ハイブリッドマイクロレンズアレイを製造する方法が提案されている。この製造方法では、光学的性能の向上のために基板の両面にレンズ屈折面（レンズ面）を成形する必要がある。
【０００６】
しかしながら、ガラス基板の両面に光硬化性樹脂を用いて成形する場合、型が金属等の不透明な材質で作られると、光硬化のための光が型で遮られて透過しないため、ガラス基板の両面のレンズ面を同時に成形することができない。
【０００７】
このような場合、両面のレンズ面を成形するために、ガラス基板の一方の面にレンズ面を成形した後、ガラス基板を型から一旦取り外さなければならないため、両面のレンズ面の光軸がずれてしまうという問題点がある。
【０００８】
本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、別々に成形した片側平面のマイクロレンズを相互に位置合わせて一体化してなり、光学的性能が良く、両面のレンズ面の光軸ずれが小さい有機ＥＬラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイの製造方法とそのようにして製造したマイクロレンズアレイ、それを用いた有機ＥＬラインヘッド及び画像形成装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成する本発明のマイクロレンズアレイの製造方法は、金型を用いて光硬化性樹脂のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第１の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第１の透明基板を載せ、その際に第１の金型に設けられた第１の位置決め手段を用いて第１の透明基板を位置決めし、
前記第１の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第１の透明基板の一方の面上に第１のレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第２の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第２の透明基板を載せ、その際に第２の金型に設けられた第２の位置決め手段を用いて第２の透明基板を位置決めし、
前記第２の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第２の透明基板の一方の面上に第２のレンズアレイを成形し、
前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた前記第１の透明基板の位置決め部、前記第２の透明基板の位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とする方法である。
【００１０】
このように構成することで、光学的性能が良く、両面のレンズ面が高精度で軸合わせがなされた有機ＥＬラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイを容易に作製することができる。
【００１１】
この場合、前記位置決め部を前記第１の透明基板、前記第２の透明基板それぞれの直交する２つの側辺とすることができる。
【００１２】
このように構成することで、第１、第２の透明基板に格別のマークを設けないでも両レンズアレイのレンズ面を相互に高精度で軸合わせすることができる。
【００１３】
また、前記位置決め部を前記第１の透明基板、前記第２の透明基板それぞれの周囲に設けられた機械的なマークとすることができる。
【００１４】
このように構成することで、両レンズアレイのレンズ面を相互に高精度で軸合わせすることができる。そして、この機械的なマークを有機ＥＬラインヘッド等を組み立てるときの位置決め手段としても用いることができ、有機ＥＬラインヘッド等の光学系を高精度で組み立てることができるようになる。
【００１５】
また、前記位置決め部を前記第１の透明基板、前記第２の透明基板それぞれに設けられた光学的マークとすることができる。
【００１６】
このように構成することで、両レンズアレイのレンズ面を相互に高精度で軸合わせすることができる。そして、この光学的マークを有機ＥＬラインヘッド等を組み立てるときの位置決め手段としても用いることができ、有機ＥＬラインヘッド等の光学系を高精度で組み立てることができるようになる。
【００１７】
また、前記第１の金型、前記第２の金型に中途まで光硬化性樹脂を注入して前記光硬化性樹脂を半硬化状態にし、次いで、その上にさらに光硬化性樹脂を注入し、その上にそれぞれ前記第１の透明基板、前記第２の透明基板を載せ、前記第１の透明基板、前記第２の透明基板を位置決めし、透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第１の透明基板、前記第２の透明基板の一方の面上にそれぞれ前記第１のレンズアレイ、前記第２のレンズアレイを成形するようにすることが望ましい。
【００１８】
このように構成することで、気泡が入り難くなり、また、硬化の際の収縮による面精度の低下を抑えることができる。
【００１９】
また、前記第１の金型、前記第２の金型上での前記光硬化性樹脂の硬化のためのエネルギーが２回目の方がより強い方が望ましい。
【００２０】
このように構成することで、気泡が入り難くなり、また、硬化の際の収縮による面精度の低下を抑えることができる。
【００２１】
また、前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光膜を配置して一体化することができる。
【００２２】
このように構成することで、マイクロレンズ間のクロストークを防いだりその他の迷光を遮断することができる。
【００２３】
また、前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光板を配置して一体化することができる。
【００２４】
このように構成することで、マイクロレンズ間のクロストークを防いだりその他の迷光を遮断することができる。また、その遮光板を第１のレンズアレイと第２のレンズアレイの間のスペーサとすることができ、何れかのレンズ面をマイクロレンズアレイの内部に配置することができるようになる。
【００２５】
その場合に、前記第１のレンズアレイと前記第２のレンズアレイと少なくとも一方の透明基板側が外に向くような配置で両者を一体化することができる。
【００２６】
このように構成することで、マイクロレンズアレイの例えば像側の面を平面とすることができ、例えば画像形成装置のラインヘッドのマイクロレンズアレイとして用いるとき、現像剤のトナーが飛散してマイクロレンズアレイのその平面に付着しても簡単に清掃できクリーニング性が向上することになる。
【００２７】
その場合、前記第１のレンズアレイ又は前記第２のレンズアレイの透明基板側が外に向くように配置され、その外側の透明基板面に有機ＥＬからなる複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を１列以上含む発光体ブロックがマイクロレンズアレイを構成する各レンズに対応して各々配置されているものとすることができる。
【００２８】
このように構成することで、マイクロレンズアレイの一方のガラス基板を有機ＥＬ装置のガラス基板と兼用させることができ、部品点数の削減、温度変化によるレンズと発光体ブロックのずれがなくなる。
【００２９】
本発明のもう１つのマイクロレンズアレイの製造方法は、金型を用いて樹脂性のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第１の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第１のマイクロレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第２の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第２のマイクロレンズアレイを成形し、
前記第１のマイクロレンズアレイと前記の第２のマイクロレンズアレイをその平面側で透明基板の両面に貼り付けて一体化し、                                              その貼り付けの際に、前記第１のマイクロレンズアレイと前記第２のマイクロレンズとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とする方法である。
【００３０】
このように構成することで、光学的性能が良く、両面のレンズ面が高精度で軸合わせがなされた有機ＥＬラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイを容易に作製することができる。
【００３１】
本発明のマイクロレンズアレイは、第１の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第１の片面平面マイクロレンズアレイと、第２の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第２の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなり、同一のマイクロレンズが所定方向に一定ピッチで一列に配置され、それと直交する方向にはＮ個の同様のマイクロレンズ列が配置され、Ｎ個のマイクロレンズ列は、先頭のマイクロレンズの位置がＮ分の１ピッチずつずらして配列されていることを特徴とするものである。
【００３２】
このように構成することで、有機ＥＬラインヘッドに特に適した構成のマイクロレンズアレイとなる。
【００３３】
この場合に、前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板の周囲に機械的なマークが設けられるか、前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板に光学的マークが設けられていることが望ましい。
【００３４】
このように構成することで、機械的なマークあるいは光学的マークを有機ＥＬラインヘッド等を組み立てるときの位置決め手段としても用いることができ、有機ＥＬラインヘッド等の光学系を高精度で組み立てられることができるようになる。
【００３５】
本発明の有機ＥＬラインヘッドは、主走査方向に複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を１列以上含む発光体ブロックが少なくとも主走査方向に間隔をおいて複数配置された有機ＥＬ発光体アレイの射出側に、各発光体ブロックに対応して各々１個の正レンズが整列するように配置されたマイクロレンズアレイが前記有機ＥＬ発光体アレイに平行に配置されており、前記マイクロレンズアレイとして、第１の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第１の片面平面マイクロレンズアレイと、第２の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第２の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなるマイクロレンズアレイであって、前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板に位置決めのための機械的又は光学的なマークが設けられているものを用いることを特徴とするものである。
【００３６】
このように構成することで、光学系が高精度で組み立てられた有機ＥＬラインヘッドが得られる。
【００３７】
また、像担持体の周囲に帯電手段と、以上のような有機ＥＬラインヘッドと、現像手段と、転写手段との各画像形成用ユニットを配した画像形成ステーションを少なくとも２つ以上設け、転写媒体が各ステーションを通過することにより、タンデム方式で画像形成を行う画像形成装置を構成することができる。
【００３８】
このように構成することで、小型で解像力が高く画像の劣化の少ないプリンター等の画像形成装置を構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
本発明のマイクロレンズアレイの製造方法とマイクロレンズアレイ、それを用いた有機ＥＬラインヘッドを詳細に説明する前に、マイクロレンズアレイを用いた有機ＥＬラインヘッドについて簡単に説明しておく。
【００４０】
図４は、本発明の１実施形態に係る発光体アレイ１と光学倍率がマイナスのマイクロレンズ５との対応関係を示す説明図である。この実施形態のラインヘッドにおいては、１つのマイクロレンズ５に２列の発光素子が対応している。ただし、マイクロレンズ５が光学倍率がマイナス（倒立結像）の結像素子であるので、発光素子の位置が主走査方向及び副走査方向で反転している。すなわち、図１の構成では、像担持体の移動方向の上流側（１列目）に偶数番号の発光素子（８、６、４、２）を配列し、同下流側（２列目）には奇数番号の発光素子（７、５、３、１）を配列している。また、主走査方向の先頭側に番号が大きな発光素子を配列している。なお、この実施形態の発光体アレイ１としては、後で説明する有機ＥＬ装置が用いられる。
【００４１】
図１〜図３は、この実施形態のラインヘッドの１つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。図２に示してあるように、像担持体４１の下流側に配列された奇数番号の発光素子２に対応した像担持体４１の結像スポット８ａは、主走査方向で反転した位置に形成される。Ｒは、像担持体４１の移動方向である。また、図３に示されるように、像担持体４１の上流側（１列目）に配列された偶数番号の発光素子２に対応した像担持体４１の結像スポット８ｂは、副走査方向で反転した下流側の位置に形成される。しかしながら、主走査方向では、先頭側からの結像スポットの位置は、発光素子１〜８の番号で順番に対応している。したがって、この例では像担持体の副走査方向における結像スポット形成のタイミングを調整することにより、主走査方向に同列に結像スポットを形成することが可能であることが分かる。
【００４２】
図５は、画像データが格納されているラインバッファのメモリテーブル１０の例を示す説明図である。図５のメモリテーブル１０は、図４の発光素子の番号に対して、主走査方向で反転して格納されている。図５において、ラインバッファのメモリテーブル１０に格納された画像データの中、先に像担持体４１の上流側（１列目）の発光素子に対応する第１の画像データ（１、３、５、７）を読み出し、発光素子を発光させる。次に、Ｔ時間後に、メモリアドレスに格納されている像担持体４１の下流側（２列目）の発光素子に対応する第２の画像データ（２、４、６、８）を読み出し、発光させる。このようにして、図６に８の位置で示されるように、像担持体上の１列目の結像スポットが２列目の結像スポットと主走査方向で同列に形成される。
【００４３】
図１は、図５のタイミングで画像データを読み出して結像スポットを形成する例を、概念的に示す斜視図である。図５を参照にして説明したように、先に像担持体４１の上流側（１列目）の発光素子を発光させ、像担持体４１に結像スポットを形成する。次に、所定のタイミングＴ経過後に像担持体４１の下流側（２列目）の奇数番号の発光素子を発光させ、像担持体に結像スポットを形成する。この際に、奇数番号の発光素子による結像スポットは、図２で説明した８ａの位置ではなく、図６に示されているように、主走査方向に同列に８の位置に形成されることになる。
【００４４】
図７は、ラインヘッドとして使用される発光体アレイの例を示す概略の説明図である。図７において、発光体アレイ１には、発光素子２を主走査方向に複数配列した発光素子列３を副走査方向に複数列設けて発光体ブロック４（図４参照）を形成している。図７の例では、発光体ブロック４は、主走査方向に４個の発光素子２を配列した発光素子列３を、副走査方向に２列形成している（図４参照）。この発光体ブロック４は、発光体アレイ１に多数配置されており、各発光体ブロック４はマイクロレンズ５に対応して配置されている。
【００４５】
マイクロレンズ５は、発光体アレイ１の主走査方向及び副走査方向に複数設けられてマイクロレンズアレイ（ＭＬＡ）６を形成している。このＭＬＡ６は、副走査方向では主走査方向の先頭位置をずらして配列されている。このようなＭＬＡ６の配列は、発光体アレイ１に発光素子を千鳥状に設ける場合に対応している。図７の例では、ＭＬＡ６が副走査方向に３列配置されているが、ＭＬＡ６の副走査方向の３列のそれぞれの位置に対応する各単位ブロック４を、説明の便宜上、グループＡ、グループＢ、グループＣに区分する。
【００４６】
上記のように、光学倍率がマイナスのマイクロレンズ５内に複数個の発光素子２が配置され、かつ、当該レンズが副走査方向に複数列配置されている場合には、像担持体４１の主走査方向に一列に並んだ結像スポットを形成するためには、以下のような画像データ制御が必要となる。（１）副走査方向の反転、（２）主走査方向の反転、（３）レンズ内の複数列発光素子の発光タイミング調整、（４）グループ間の発光素子の発光タイミング調整。
【００４７】
図８は、図７の構成で、各発光素子２の出力光によりマイクロレンズ５を通して像担持体の露光面を照射した場合の結像位置を示す説明図である。図８において、図７で説明したように、発光体アレイ１には、グループＡ、グループＢ、グループＣに区分された単位ブロック４が配置されている。グループＡ、グループＢ、グループＣの各単位ブロック４の発光素子列を、像担持体４１の上流側（１列目）と下流側（２列目）に分け、１列目に偶数番号の発光素子を割り当て、２列目に奇数番号の発光素子を割り当てる。
【００４８】
グループＡについては、図１〜図３で説明したように各発光素子２を動作させることにより、像担持体４１には主走査方向及び副走査方向で反転した位置に結像スポットが形成される。このようにして、像担持体４１上には主走査方向の同じ列に１〜８の順序で結像スポットが形成される。以下、像担持体４１を副走査方向に所定時間移動させてグループＢの処理を同様に実行する。さらに、像担持体４１を副走査方向に所定時間移動させてグループＣの処理を実行させることにより、主走査方向の同じ列に１〜２４・・・の順序で、入力された画像データに基づく結像スポットが形成される。
【００４９】
図９は、図８において、副走査方向の結像スポット形成の状態を示す説明図である。Ｓは、像担持体４１の移動速度、ｄ１は、グループＡの１列目と２列目の発光素子の間隔、ｄ２はグループＡの２列目の発光素子とグループＢの２列目の発光素子の間隔、ｄ３はグループＢの２列目の発光素子とグループＣの２列目の発光素子の間隔、Ｔ１はグループＡの２列目の発光素子の発光後に１列目の発光素子が発光するまでの時間、Ｔ２はグループＡの２列目の発光素子による結像位置がグループＢの２列目の発光素子の結像位置に移動する時間、Ｔ３はグループＡの２列目の発光素子による結像位置がグループＣの２列目の発光素子の結像位置に移動する時間である。
【００５０】
Ｔ１は以下のようにして求めることができる。Ｔ２、Ｔ３についても、ｄ１をｄ２、ｄ３に置き換えることにより同様に求めることができる。
【００５１】
Ｔ１＝｜（ｄ１×β）／Ｓ｜
ここで、各パラメータは、以下の通りである。
ｄ１：発光素子の副走査方向の距離
Ｓ：結像面（像担持体）の移動速度
β：レンズの倍率
図９においては、グループＡの２列目の発光素子が発光した時間のＴ２時間後にグループＢの２列目の発光素子を発光させる。さらに、Ｔ２からＴ３時間後にグループＣの２列目の発光素子を発光させる。各グループの１列目の発光素子は、２列目の発光素子が発光してからＴ１時間後に発光する。このような処理をすることにより、図８に示されているように、発光体アレイ１に２次元的に配置された発光体による結像スポットを、像担持体上で一列に形成することが可能となる。図１０は、マイクロレンズ５を複数配列した場合に、像担持体の主走査方向に結像スポットが反転して形成される例を示す説明図である。
【００５２】
以上のようなラインヘッドを用いて画像形成装置を構成することができる。その１実施形態においては、４つの感光体に４つのラインヘッドで露光し、４色の画像を同時に形成し、１つの無端状中間転写ベルト（中間転写媒体）に転写する、タンデム式カラープリンター（画像形成装置）に以上のようなラインヘッドを用いることができる。図１１は、発光体アレイ１として有機ＥＬ装置を用いたタンデム式画像形成装置の１例を示す縦断側面図である。この画像形成装置は、同様な構成の４個のラインヘッド１０１Ｋ、１０１Ｃ、１０１Ｍ、１０１Ｙを、対応する同様な構成である４個の感光体ドラム（像担持体）４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙの露光位置にそれぞれ配置したものであり、タンデム方式の画像形成装置として構成されている。
【００５３】
図１１に示すように、この画像形成装置は、駆動ローラ５１と従動ローラ５２とテンションローラ５３が設けられており、テンションローラ５３によりテンションを加えて張架されて、図示矢印方向（反時計方向）へ循環駆動される中間転写ベルト（中間転写媒体）５０を備えている。この中間転写ベルト５０に対して所定間隔で配置された４個の像担持体としての外周面に感光層を有する感光体４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙが配置される。
【００５４】
上記符号の後に付加されたＫ、Ｃ、Ｍ、Ｙはそれぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示す。他の部材についても同様である。感光体４１Ｋ、４１Ｃ、４１Ｍ、４１Ｙは、中間転写ベルト５０の駆動と同期して図示矢印方向（時計方向）へ回転駆動される。各感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の周囲には、それぞれ感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の外周面を一様に帯電させる帯電手段（コロナ帯電器）４２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、この帯電手段４２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）により一様に帯電させられた外周面を、感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の回転に同期して順次ライン走査する本発明の上記のようなラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）が設けられている。
【００５５】
また、このラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）で形成された静電潜像に現像剤であるトナーを付与して可視像（トナー像）とする現像装置４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、この現像装置４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）で現像されたトナー像を一次転写対象である中間転写ベルト５０に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ４５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）と、転写された後に感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置４６（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）とを有している。
【００５６】
ここで、各ラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）は、ラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）のアレイ方向が感光体ドラム４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の母線に沿うように設置される。そして、各ラインヘッド１０１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の発光エネルギーピーク波長と、感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の感度ピーク波長とは略一致するように設定されている。
【００５７】
現像装置４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）に接触あるいは押厚させることにより、感光体４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）の電位レベルに応じて現像剤を付着させることによりトナー像として現像するものである。
【００５８】
このような４色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ４５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）に印加される一次転写バイアスにより中間転写ベルト５０上に順次一次転写され、中間転写ベルト５０上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ６６において用紙等の記録媒体Ｐに二次転写され、定着部である定着ローラ対６１を通ることで記録媒体Ｐ上に定着され、排紙ローラ対６２によって、装置上部に形成された排紙トレイ６８上へ排出される。
【００５９】
なお、図１１中、６３は多数枚の記録媒体Ｐが積層保持されている給紙カセット、６４は給紙カセット６３から記録媒体Ｐを一枚ずつ給送するピックアップローラ、６５は二次転写ローラ６６の二次転写部への記録媒体Ｐの供給タイミングを規定するゲートローラ対、６６は中間転写ベルト５０との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ローラ、６７は二次転写後に中間転写ベルト５０の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニングブレードである。
【００６０】
次に、上記のような有機ＥＬラインヘッドに用いる発光装置としての有機ＥＬ装置の１実施例を説明する。
【００６１】
図１２は有機ＥＬ装置１（図１〜図１０の発光体アレイ１に対応する）の平面図である。有機ＥＬ装置１は、透光性を有する矩形のガラス基板２０を基体として構成されており、ガラス基板２０には、複数の円形の発光領域２（図１〜図１０の発光素子２に対応する）が設けられている。発光領域２は、ガラス基板２０の長手方向に沿って列をなすように等間隔に形成されている。そして、この発光領域２の列は、ガラス基板２０上に２列に配列されている。また、各発光領域２は、隣接する他方の列の発光領域２に対してガラス基板２０の長手方向について半ピッチだけずれるようにして配置されている。つまり、発光領域２は、千鳥状に配列されている。有機ＥＬ装置１は、発光領域２において発光を行う。図１２は、有機ＥＬ装置１を、光が射出される側から見た図である。基板としては、ガラス基板２０の他にも、石英基板を始めとする種々の部材を用いることができる。
【００６２】
図１３は、図１２中の発光領域２の周辺部分の拡大図であり、図１４は、図１３中のＥ−Ｅ線における有機ＥＬ装置１の断面図である。以下では、図１４の断面図を用いて、図１３の平面図を参照しながら有機ＥＬ装置１の構造について説明する。
【００６３】
有機ＥＬ装置１は、ガラス基板２０を基体とし、その上に各構成要素が積み上げられた構成となっている。ガラス基板２０上にはシリコン酸化膜（ＳｉＯ2 ）等からなる下地保護膜３１が形成されている。下地保護膜３１上には、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子２７が形成されている。
【００６４】
より詳しくは、下地保護膜３１上に、ポリシリコン膜からなる半導体膜２１が島状に形成されている。半導体膜２１には不純物の導入によってソース領域、ドレイン領域が形成され、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域となっている。下地保護膜３１及び半導体膜２１の上には、シリコン酸化膜等からなるゲート絶縁膜３２が形成され、ゲート絶縁膜３２上には、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔａ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等からなるゲート電極２３が形成されている。ゲート電極２３及びゲート絶縁膜３２の上には、第１層間絶縁膜３３と第２層間絶縁膜３４とがこの順に積層されている。ここで、第１層間絶縁膜３３及び第２層間絶縁膜３４は、シリコン酸化膜（ＳｉＯ2 ）、チタン酸化膜（ＴｉＯ2 ）等のの無機絶縁膜から構成されている。
【００６５】
第１層間絶縁膜３３の上層には、共通給電線２５が形成されている。共通給電線２５は、第１層間絶縁膜３３及びゲート絶縁膜３２を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜２１のソース領域に接続されている。
【００６６】
第２層間絶縁膜３４上には、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる光透過性の画素電極１１が発光領域２毎に形成されている。画素電極１１は、図１２の平面図において、発光領域２として示された円より一回り大きな領域に形成されている。また、発光領域２は、ガラス基板２０の長手方向に沿って列をなすように等間隔に形成されている。この画素電極１１は、第２層間絶縁膜３４、第１層間絶縁膜３３、ゲート絶縁膜３２を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜２１のドレイン領域に電気的に接続されている。こうした構成において、ＴＦＴ素子２７は、ゲート電極２３への電圧の供給によってオン／オフが切り替わり、オン状態となった場合には、共通給電線２５から画素電極１１へ駆動電流を流す働きをする。
【００６７】
また、第２層間絶縁膜３４上には、無機材料からなる第１バンク１２が形成されている。第１バンク１２は、画素電極１１の周りを囲うようにして第２層間絶縁膜３４上に配置されており、ガラス基板２０の法線方向から見て、一部が画素電極１１の外縁部に重なった状態に形成されている。換言すれば、第１バンク１２は、画素電極１１より小さな開口部１２ａを有して、画素電極１１に重ねて配置されている。そして、この開口部１２ａは、発光領域２に対応する領域に設けられている。つまり、図１２に示された発光領域２の形状が、そのまま開口部１２ａの形状となる。言い換えれば、第１バンク１２は、発光領域２を除いた領域に形成されていることとなる。第１バンク１２は、シリコン酸化膜等の無機絶縁膜からなり、その厚さは約５０〜１００ｎｍである。
【００６８】
第１バンク１２の上には、第１バンク１２と同一の形成領域に、第２バンク２２が積層されている。第２バンク２２は、第１撥液領域２２ａ、親液領域２２ｂ、第２撥液領域２２ｃを有している。第１撥液領域２２ａは、図１２及び図１３に示された、発光領域２を囲む環状の領域Ａに形成されている。親液領域２２ｂは、領域Ａを囲む環状の領域Ｂに形成されている。第２撥液領域２２ｃは、領域Ｂの外側に対応する領域Ｃに形成されている。本実施例では、領域Ａ及び領域Ｂは、共に同心の円環状の領域となっている。また、領域Ａの内円が発光領域２に一致し、領域Ａの外円と領域Ｂの内円とが一致している。したがって、発光領域２、第１撥液領域２２ａが形成された領域Ａ、親液領域２２ｂが形成された領域Ｂ、第２撥液領域２２ｃが形成された領域Ｃは、隣り合う領域同士が接した状態で配置されており、ガラス基板２０の法線方向から見ると、有機ＥＬ装置１上の領域は、発光領域２、領域Ａ、領域Ｂ、領域Ｃの何れかに含まれる。本実施例では、発光領域２の円の直径は約５０μｍ、第１撥液領域２２ａが形成された領域Ａの幅は約５μｍ、親液領域２２ｂが形成された領域Ｂの幅は約２０μｍである。
【００６９】
ここで、第２バンク２２における親液領域２２ｂは、第１撥液領域２２ａ及び第２撥液領域２２ｃより相対的に濡れ性が高くなっている。濡れ性が高いとは、液体との接触角が相対的に小さいことを指す。ある領域に吐出された液体は、これと隣接する、相対的に濡れ性が低い（すなわち接触角が大きい）領域には浸入し難いと言える。したがって、本実施例では、発光領域２に吐出された液体は第１撥液領域２２ａには侵入し難く、親液領域２２ｂに吐出された液体は、第２撥液領域２２ｃには浸入し難くなっている。
【００７０】
画素電極１１上の中、第１撥液領域２２ａに囲まれた領域、すなわち発光領域２に対応する領域には、正孔注入層１４が形成されている。より詳しくは、正孔注入層１４は、画素電極１１を底部とし、第１バンク１２及び第２バンク２２を側壁とする凹部に形成されている。正孔注入層１４が形成される発光領域２は、周囲を第２バンク２２の第１撥液領域２２ａに囲まれているため、正孔注入層１４を形成する際に吐出される機能液は発光領域２の外に浸入し難い。このため、正孔注入層１４を容易に発光領域２内に形成することができる。
【００７１】
正孔注入層１４は、導電性高分子材料中にドーパントを含有する導電性高分子層からなる。このような正孔注入層１４は、例えば、ドーパントとしてポリスチレンスルホン酸を含有する３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ−ＰＳＳ）等から構成することができる。
【００７２】
正孔注入層１４上及び第２バンク２２上の中、第２撥液領域２２ｃに囲まれた領域（すなわち、発光領域２、第１撥液領域２２ａ、親液領域２２ｂからなる領域）には、発光層１５が形成されている。第２撥液領域２２ｃの存在により、発光層１５を形成する際に吐出される機能液は、親液領域２２ｂ及びその内側の領域にのみ濡れ広がり、第２撥液領域２２ｃには侵入し難い。このため、発光層１５を容易に第２撥液領域２２ｃに囲まれた領域に形成することができる。こうして形成された発光層１５は、正孔注入層１４の面積（すなわち、発光領域２の面積）より大きな面積を有しているため、発光領域２において、発光層１５の厚さを均一にすることができる。すなわち、発光層１５の中比較的平坦な領域を発光に用いることができる。
【００７３】
本明細書では、正孔注入層１４、発光層１５を含む層を有機ＥＬ素子１３とも呼ぶ。正孔注入層１４の厚さは約５０ｎｍであり、発光層１５の厚さは約１００ｎｍである。
【００７４】
発光層１５上及び第２バンク２２の第２撥液領域２２ｃ上には、厚さ約５ｎｍのカルシウム（Ｃａ）及び厚さ約３００ｎｍのアルミニウム（Ａｌ）の積層体である陰極１６が形成されている。換言すれば、陰極１６は、発光層１５を挟んで画素電極１１の反対側に形成されている。陰極１６の上には、水や酸素の侵入を防ぎ、陰極１６あるいは有機ＥＬ素子１３の酸化を防止するための、樹脂等からなる封止部材１７が積層されている。
【００７５】
上述した発光層１５は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。画素電極１１と陰極１６との間に電圧を印加することによって、発光層１５には、正孔注入層１４から正孔が、また、陰極１６から電子が注入される。発光層１５は、これらが結合したときに光を発する。発光層１５からの発光スペクトルは、材料の発光特性や膜厚に依存する。本実施例では、発光層１５は赤色光を発光し、その主発光波長、すなわち発光スペクトルにおいて発光強度が最大となる波長は約６３０ｎｍである。
【００７６】
有機ＥＬ装置１は、発光領域２においてのみ発光し、第１バンク１２が形成された領域においては発光は行われない。これは、図１４に示すように、当該領域では、画素電極１１（陽極）と陰極１６との間に絶縁物質である第１バンク１２が配置されていることにより、両電極間の電流経路が遮断されるためである。
【００７７】
発光層１５から図１４の下方に射出された光はそのままガラス基板２０を透過し、また図１４の上方に射出された光は陰極１６によって反射された後に下方へ進み、同じくガラス基板２０を透過する。このような構成の有機ＥＬ装置１は、ボトムエミッション型と呼ばれる。
【００７８】
なお、有機ＥＬ装置１が、ガラス基板２０とは反対側に向けて表示光を射出するトップエミッション型である場合、陰極１６は、例えば、薄いカルシウム層と、ＩＴＯ層等から構成して光透過性を持たせ、画素電極１１の下層側には、画素電極１１の略全体と重なるようにアルミニウム膜等からなる光反射層を形成する。
【００７９】
以上のような構成の有機ＥＬ装置１によれば、発光領域２において、発光層１５の厚さを均一にすることができる。このため、発光層１５の中比較的平坦な部分を発光に用いることができ、均一な発光特性を有する有機ＥＬ装置１が得られる。
【００８０】
さて、本発明は上記のような有機ＥＬラインヘッド及びその有機ＥＬラインヘッドを用いた画像形成装置等に用いるマイクロレンズアレイの製造方法に関するものであり、その製造方法の実施例を以下に説明する。
【００８１】
図１５は、本発明の製造方法に従って作製された１実施例のマイクロレンズアレイ６の断面図であり、それを構成する同一のマイクロレンズ５が所定方向、図７の場合は、主走査方向に一定ピッチで列状に配置され、副走査方向に３個の同様のマイクロレンズ５の列が３列配置され、主走査方向の列の先頭位置が３分の１ピッチずつずらして配列されて構成される。なお、先頭位置のずれはマイクロレンズ５の列がＮ個の場合、Ｎ分の１ピッチとなる。
【００８２】
このマイクロレンズアレイ６は、ガラス板等からなり所定厚さで細長い長方形の透明基板７１の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部７２が一体に成形されてなる片面平面マイクロレンズアレイ６1 と、同様に、別の同様の透明基板７３の表面に同様の透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部７４が一体に成形されてなる片面平面マイクロレンズアレイ６2 とを、各レンズ屈折面部７２、７４の光軸が対応する各マイクロレンズ５の光軸Ｏ−Ｏ’に正確に軸合わせされるように、相互に正確に位置合わせして平面側で相互に接着一体化してなるものである。レンズ屈折面部７２とレンズ屈折面部７４の同一形状であっても異なる形状であってもよい。また、透明基板７１と透明基板７３は同一材料で同一厚さであっても異なる材料で異なる厚さであってもよい。
【００８３】
このような片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 の製造方法を図１６の製造工程を説明する図を参照にして説明する。以下、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 は別々に製造するが、同一の方法で製造するので、同時に説明する。
【００８４】
まず、工程（ａ）で、マイクロレンズアレイ６の表側レンズ面に対応する表側レンズ面金型８２と裏側レンズ面に対応する裏側レンズ面金型８４とを別々に用意する。両金型８２、８４における各マイクロレンズ面の凹型に対応する曲面型部９２、９４は機械加工により形成される。曲面型部９２、９４の深さは通常１００〜２００μｍ、直径は０．１〜１ｍｍ程度である。曲面型部９２、９４を機械加工により形成する代わりに、エッチングで形成することもできる。あるいは、各マイクロレンズ５の第１面、第２面に対応する面形状を有するビーズを多数整列配置し、その表面形状を金型基板に転写する方法でも形成することができる。このようにして形成された表側レンズ面金型８２、裏側レンズ面金型８４の各曲面型部９２、９４中に液量を計量して注入できるディスペンサー７５により曲面型部９２、９４中を中途まで満たす量の紫外線（ＵＶ）硬化樹脂７６を順に注入する。その注入の際、ディスペンサー７５を矢印のように上へ上げながら注入すると、ＵＶ硬化樹脂７６に乱れを起こさないようにできる。
【００８５】
次いで、工程（ｂ）において、全ての曲面型部９２、９４にＵＶ硬化樹脂７６が注入された状態で、上方からＵＶランプ７７からの紫外線７８を照射し、ＵＶ硬化樹脂７６を半硬化状態にする。ここで、ＵＶ硬化樹脂７６を完全に硬化させないのは、次の工程（ｃ）で追加注入するＵＶ硬化樹脂７６’との界面が発生するのを防止するためである。
【００８６】
次いで、工程（ｃ）において、工程（ａ）と同様にして半硬化状態のＵＶ硬化樹脂７６で中途まで満たされた曲面型部９２、９４中に追加のＵＶ硬化樹脂７６’を注入して各曲面型部９２をＵＶ硬化樹脂７６＋７６’で多少余分に満たす。
【００８７】
次に、工程（ｄ）において、片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 における透明基板７１、７３となる相互に同じ形状で細長い長方形のガラス基板７１、７３を各曲面型部９２、９４がＵＶ硬化樹脂７６＋７６’で多少余分に満たされたレンズ面金型８２、８４上に一定圧力で押し付ける。この際、曲面型部９２、９４全体の周りに所定の小さな距離を保つギャップ材８０を配置する。このギャップ材８０を配置することで、余分なＵＶ硬化樹脂７６’と気泡が抜けやすくなる。その状態で、ガラス基板７１、７３を通して上方からＵＶランプ７７からの紫外線７８を照射し、ＵＶ硬化樹脂７６＋７６’を完全に硬化させる。
【００８８】
ＵＶ硬化樹脂７６＋７６’が完全に硬化して表側のレンズ屈折面部７２、裏側のレンズ屈折面部７４となった後に、工程（ｅ）において、ガラス基板７１、７３をレンズ屈折面部７２、７４と共に金型８２、８４から取り外すことで、それぞれ表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 、裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 が得られる。
【００８９】
ここで、曲面型部９２、９４に２回に分けてＵＶ硬化樹脂７６、７６’を注入するのは、各回の注入液量が少ないので気泡が出来難く、また、出来たとしても直ぐに抜けやすいためと、硬化の際の収縮による面精度の低下を抑えるためである。なお、１回目の注入で各曲面型部９２、９４をＵＶ硬化樹脂７６で十分に満たし、ガラス基板７１、７３を通して１回の紫外線７８の照射でＵＶ硬化樹脂７６を完全に硬化させて、レンズ屈折面部７２、７４とするようにしてももちろんよい。
【００９０】
ところで、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 とを一体化する際に、対応するレンズ屈折面部７２とレンズ屈折面部７４の間で光軸を正確に軸合わせすることが重要である。以下、そのための位置合わせ方法を説明する。
【００９１】
図１７はそのための位置決め合わせ方法の１つを説明するための図であり、図１７（ａ）は図１６（ｄ）において表側レンズ面金型８２上に載置されたガラス基板７１を上から見た図であり、図１７（ｂ）は図１６（ｄ）において裏側レンズ面金型８４上に載置されたガラス基板７３を上から見た図である。両金型８２、８４には、相互に鏡像関係にある曲面型部９２の全体のパターンと曲面型部９４の全体のパターンに対して、相互に鏡像関係の同じ位置（曲面型部９２の全体のパターンと曲面型部９４の全体のパターンとの対応する同じ位置）に位置決めピン５１３〜５１５、５１３’〜５１５’が配置されている。位置決めピン５１５と５１５’は主走査方向端部に対応するガラス基板７１、７３のそれぞれ１つの短辺７１２、７３２が突き当てるためのものであり、位置決めピン５１３と５１３’は主走査方向に伸びるガラス基板７１の１つの長辺７１１とガラス基板７３の１つの長辺７３１のそれぞれ短辺７１２、７３２側の同じ位置が突き当てるためのものであり、位置決めピン５１４と５１４’は主走査方向に伸びるガラス基板７１の１つの長辺７１１とガラス基板７３の１つの長辺７３１のそれぞれ短辺７１２、７３２と反対側の同じ位置が突き当てるためのものである。なお、ガラス基板７１、７３としては何れも長辺７１１、７３１と短辺７１２、７３２が直交するものを用いる。
【００９２】
このような配置であるので、それぞれ、ガラス基板７１、７３の表面にレンズ屈折面部７２、７４を一体成形する際（図１６（ｄ））には、ガラス基板７１、７３の表面をそれそれ表側レンズ面金型８２、裏側レンズ面金型８４に面するようにガラス基板７１、７３を金型８２、８４上に載せ、図１７（ａ）、（ｂ）のようにガラス基板７１、７３を位置決めピン５１３〜５１５、５１３’〜５１５’に３点支持状態で突き当てた状態で紫外線７８を照射することで、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 が得られる。
【００９３】
そして、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 のガラス基板７１の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 のガラス基板７３の平面側とを向かい合わせ、ガラス基板７１の長辺７１１と短辺７１２をガラス基板７３のそれぞれ長辺７３１と短辺７３２に正確に位置合わせすることで、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 の表側レンズ屈折面部７２と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせがなされることになる。その状態で、ガラス基板７１とガラス基板７３の間を接着剤等で一体化することにより、各マイクロレンズ５の表側レンズ屈折面部７２と裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせされた本発明のマイクロレンズアレイ６（図１５）が得られることになる。
【００９４】
図１７の例は、ガラス基板７１、７３の長辺７１１、７３１と短辺７１２、７３２を位置決め基準に用いるものであったが、ガラス基板７１、７３に位置決め基準となる機械的な手段を設けてもよい。その例を図１８に示す。ガラス基板７１の長辺７１１の短辺７１２側、及び、ガラス基板７３の長辺７３１の短辺７３２側の同一位置にＶ字状の切り込みからなる第１位置決め部７１３、７３３と、それぞれ長辺７１１、７３１の短辺７１２、７３２と反対側に同一位置に台形状の切り込みからなる第２位置決め部７１４、７３４とを設けておく。このような第１位置決め部７１３、７３３と第２位置決め部７１４、７３４を設けたガラス基板７１、７３を用いて表側レンズ屈折面部７２と裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせされたマイクロレンズアレイ６を得るには、図１８のような配置でそれぞれのマイクロレンズアレイ６1 、６2 を成形すればよい。
【００９５】
すなわち、図１８は図１７と同様の図であり、この場合も、両金型８２、８４には、相互に鏡像関係にある曲面型部９２の全体のパターンと曲面型部９４の全体のパターンに対して、相互に鏡像関係の同じ位置（曲面型部９２の全体のパターンと曲面型部９４の全体のパターンとの対応する同じ位置）に位置決めピン５１６〜５１７、５１６’〜５１７’が配置されている。位置決めピン５１６と５１６’は主走査方向に伸びるガラス基板７１、７３の長辺７１１、７３１に設けられたＶ字状の切り込みからなる第１位置決め部７１３、７３３が突き当てるためのものであり、位置決めピン５１７と５１７’はガラス基板７１、７３の長辺７１１、７３１に設けられた台形状の切り込みからなる第２位置決め部７１４、７３４が突き当てるためのものである。
【００９６】
このような配置であるので、それぞれ、ガラス基板７１、７３の表面にレンズ屈折面部７２、７４を一体成形する際（図１６（ｄ））には、ガラス基板７１、７３の表面をそれそれ表側レンズ面金型８２、裏側レンズ面金型８４に面するようにガラス基板７１、７３を金型８２、８４上に載せ、図１８（ａ）、（ｂ）のように、位置決めピン５１６、５１７がガラス基板７１のそれぞれ第１位置決め部７１３、第２位置決め部７１４に、また、位置決めピン５１６’、５１７’がガラス基板７３のそれぞれ第１位置決め部７３３、第２位置決め部７３４に入り込んで、位置決めピン５１６、５１６’と第１位置決め部７１３、７３３の相互作用でガラス基板７１、７３の短辺７１２、７１２’側の点での位置が決まり、位置決めピン５１７、５１７’と第２位置決め部７１４、７３４の相互作用でその点を中心とした旋回位置が決まり、結果的にガラス基板７１、７３の位置決めがなされる。その位置決め状態で紫外線７８を照射することで、所定位置にレンズ屈折面部７２、７４が一体成形された表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 が得られる。
【００９７】
そして、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 のガラス基板７１の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 のガラス基板７３の平面側とを向かい合わせ、ガラス基板７１の第１位置決め部７１３と第２位置決め部７１４をガラス基板７３のそれぞれ第１位置決め部７３３と第２位置決め部７３４に例えば位置決めピン５１６、５１７と同様の位置決めピンを用いて正確に位置合わせすることで、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 の表側レンズ屈折面部７２と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせがなされることになる。その状態で、ガラス基板７１とガラス基板７３の間を接着剤等で一体化することにより、各マイクロレンズ５の表側レンズ屈折面部７２と裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせされたこの実施例のマイクロレンズアレイ６（図１９）が得られることになる。
【００９８】
図１８、図１９の例は、ガラス基板７１、７３の長辺７１１、７３１に第１位置決め部７１３、７３３と第２位置決め部７１４、７３４を設けておき、両金型８２、８４にその位置決め部７１３、７１４、７３３、７３４に対応して位置決めピン５１６〜５１７、５１６’〜５１７’を設けて機械的な手段で位置決めする例であったが、ガラス基板７１、７３と両金型８２、８４に光学的な位置決めマークを設けておいて光学的に位置決めする方法でもよい。その例を図２０を参照にして説明する。図２０は図１７、図１８と同様の図であり、図２０（ａ）に示すように、ガラス基板７１の長手方向両端裏面に○で囲まれたＸ字状の位置決めマーク５１８、５１９が設けられており、一方、表側レンズ面金型８２の位置決めマーク５１８、５１９に正確に対応する位置に＋字状の位置決めマーク８２１、８２２が設けられており、また、図２０（ｂ）に示すように、ガラス基板７３の長手方向両端裏面の位置決めマーク５１８、５１９と鏡像関係で正確に対応する位置に○で囲まれた＋字状の位置決めマーク５１８’、５１９’が設けられており、一方、裏側レンズ面金型８４の位置決めマーク５１８’、５１９’に正確に対応する位置にＸ字状の位置決めマーク８２１’、８２２’が設けられている。
【００９９】
そのため、ガラス基板７１の表面にレンズ屈折面部７２を一体成形する際には、図２０（ａ）に示すように、ガラス基板７１の表面を表側レンズ面金型８２に面するようにガラス基板７１を表側レンズ面金型８２上に載せ、ガラス基板７１の位置決めマーク５１８、５１９と表側レンズ面金型８２の位置決めマーク８２１、８２２がそれぞれ正確に整列するように、例えば顕微鏡を用いてガラス基板７１の位置を決め、その状態で紫外線７８を照射することで、所定位置にレンズ屈折面部７２が一体成形され、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 が得られる。
【０１００】
同様に、ガラス基板７３の表面にレンズ屈折面部７４を一体成形する際には、図２０（ｂ）に示すように、ガラス基板７３の表面を裏側レンズ面金型８４に面するようにガラス基板７３を裏側レンズ面金型８４上に載せ、ガラス基板７３の位置決めマーク５１８’、５１９’と裏側レンズ面金型８４の位置決めマーク８２１’、８２２’がそれぞれ正確に整列するように、例えば顕微鏡を用いてガラス基板７３の位置を決め、その状態で紫外線７８を照射することで、所定位置にレンズ屈折面部７４が一体成形され、裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 が得られる。
【０１０１】
そして、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 のガラス基板７１の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 のガラス基板７３の平面側とを向かい合わせ、ガラス基板７１の位置決めマーク５１８、５１９をガラス基板７３のそれぞれ位置決めマーク５１８’、５１９’に例えば顕微鏡を用いて正確に位置合わせすることで、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 の表側レンズ屈折面部７２と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせがなされることになる。その状態で、ガラス基板７１とガラス基板７３の間を接着剤等で一体化することにより、各マイクロレンズ５の表側レンズ屈折面部７２と裏側レンズ屈折面部７４とが軸ずれなく高精度で軸合わせされたこの実施例のマイクロレンズアレイ６（図２１）が得られることになる。
【０１０２】
なお、図２０の変形例としては、ガラス基板７１、７３に予め位置決めマーク５１８、５１９、５１８’、５１９’は設けておかず、その代わりに、レンズ屈折面部７２、７４をガラス基板７１、７３に一体成形するときに、ガラス基板７１、７３の表面の位置決めマーク５１８、５１９、５１８’、５１９’に対応する位置にＵＶ硬化樹脂で位置決めマーク５１８、５１９、５１８’、５１９’が同時に一体成形されるようにしてもよい。その場合には、金型８２、８４の位置決めマーク８２１、８２２、８２１’、８２２’の位置にそのようなＵＶ硬化樹脂製の位置決めマーク５１８、５１９、５１８’、５１９’を成形させるための型を形成しておくことになる。
【０１０３】
さて、このようにして製造されたマイクロレンズアレイ６を用いた光書き込みラインヘッドの１例を説明する。図２２はこの例の光書き込みラインヘッド１０１の構成を示す一部を破断した斜視図であり、図２３はその光書き込みラインヘッド１０１へのマイクロレンズアレイ６の取り付け機構を示す平面図である。この例の場合、図１９のマイクロレンズアレイ６を用いている。この例では、発光体ブロック４が副走査方向に３分の１ピッチずつずらして主走査方向に伸びるように３列配置されており、それに対応してマイクロレンズアレイ６のマイクロレンズ５も主走査方向に伸びるように一定ピッチで配置されており、かつ、副走査方向では主走査方向の列の先頭位置を３分の１ピッチずつずらして配列されている。
【０１０４】
発光体アレイ１を構成する有機ＥＬ装置１は長尺のハウジング３５の底に設けられた受け穴中に嵌め込み固定される。長尺のハウジング３５の両端に設けた位置決めピン３６を対向する画像形成装置本体の位置決め穴に嵌入させると共に、長尺のケース３５の両端に設けたねじ挿入孔３７を通して固定ねじを画像形成装置本体のねじ穴にねじ込んで固定することにより、光書き込みラインヘッド１０１が所定位置に固定されている。
【０１０５】
そして、長尺のハウジング３５の有機ＥＬ装置１の表面側には、発光体アレイ１の各発光体ブロック４と整列するように透孔２９が穿たれたを所定の厚さの遮光部材２８を介して、マイクロレンズアレイ６が固定されている。その際、マイクロレンズアレイ６の各マイクロレンズ５の光軸が発光体ブロック４の中心に整列するようにマイクロレンズアレイ６が固定されている。
【０１０６】
マイクロレンズアレイ６を長尺のハウジング３５に高精度で固定可能にするため、図２３に示すように、ハウジング３５にマイクロレンズアレイ６の外形より若干大きい取り付け用の長方形開口３８が設けられ、その長辺に沿った一方の壁面に金型８２、８４の位置決めピン５１６（５１６’）、５１７（５１７’）に対応する突起５２６、５２７が設けられ、対向する壁面には一方の壁面側にバイアス力を加える付勢部材５２３が設けられている。
【０１０７】
したがって、付勢部材５２３を開いて図１９のマイクロレンズアレイ６を長方形開口３８に嵌め込み、付勢部材５２３の付勢力を加えるようにしてマイクロレンズアレイ６を長尺のハウジング３５に固定する。その際、長方形開口３８の壁面の突起５２６、５２７がそれぞれマイクロレンズアレイ６を構成するガラス基板７１及び７３の第１位置決め部７１３及び７３３、第２位置決め部７１４及び７３４に入り込んで当接することで、マイクロレンズアレイ６はハウジング３５に正確に位置決めされて固定される。
【０１０８】
このように、この実施例では、マイクロレンズアレイ６製造の際のレンズ面の位置決め基準に用いた位置決め手段（第１位置決め部７１３及び７３３、第２位置決め部７１４及び７３４）を光書き込みラインヘッド１０１の組み立ての際のマイクロレンズアレイ６の位置決め手段としても用いるので、光書き込みラインヘッド１０１の光学系は高精度で組み立てられることになる。
【０１０９】
次に、本発明によるマイクロレンズアレイ６の変形例をいくつか説明する。
【０１１０】
図２４に断面を示したマイクロレンズアレイ６は、図１６のようにして製造された表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 をそれぞれの平面側で向かい合わせて一体化する際に、片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 間にマイクロレンズ５間のクロストークを防いだりその他の迷光を遮断する遮光膜６3 を配置する構成のものである。遮光膜６3 は、各マイクロレンズ５に対応して各光軸Ｏ−Ｏ’と同心の開口が設けられた遮光膜であり、例えば何れかのガラス基板７１、７３のレンズ屈折面部７２、７４と反対側の平面上に印刷したりフォトリソグラフィックな手法で形成することができ、その後に図１７〜図２１で説明したような方法で片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 相互を位置合わせして一体化することで作製することができる。
【０１１１】
図２５に断面を示したマイクロレンズアレイ６は、図１６のようにして製造された表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 をそれぞれの平面側で向かい合わせて一体化する際に、片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 間にマイクロレンズ５間のクロストークを防いだりそのたの迷光を遮断するために、図２４の遮光膜６3 の代わりに、厚さがより厚く、各マイクロレンズ５に対応して各光軸Ｏ−Ｏ’と同心の開口が設けられた遮光板６4 を配置した例である。この場合は、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の間に遮光板６4 を挟み、その後に図１７〜図２１で説明したような方法で片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 相互を位置合わせして一体化することで作製することができる。
【０１１２】
図２６に、この実施例のマイクロレンズアレイ６を用いた光書き込みラインヘッドの図２２と同様の図を示す。その詳細は、図２５の説明と図２２の説明から明らかであるので省く。
【０１１３】
図２７に断面を示したマイクロレンズアレイ６は、図２５のマイクロレンズアレイ６の変形例であり、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の平面側を向かい合わせるのではなく、何れか一方の平面側を物体側あるいは像側に向けて両者を遮光板６4 をスペーサとして一体化するものであり、図２７の場合は、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 の平面側を像側に向け、裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の平面側と表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 のレンズ屈折面部７２側とを向かい合わせている例である。片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 相互の位置合わせは、図１７〜図２１で説明したような方法で行う。この構成は、後記するように、図１１のような画像形成装置のラインヘッド１０１のマイクロレンズアレイ６として用いると、現像剤のトナーが飛散してマイクロレンズアレイ６1 のガラス基板７１の露出した平面に付着することになるが、その面が平面であるため、簡単に清掃できクリーニング性が向上することになる。
【０１１４】
以上の本発明のマイクロレンズアレイ６は、ガラス基板７１、７３の一面にそれぞれ例えばＵＶ硬化樹脂７６＋７６’で成形されたレンズ屈折面部７２、７４を設けて構成される片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 を位置合わせして一体化することで構成していたが、片面平面マイクロレンズアレイとして単一組成の樹脂等で成形したものを用いてもよい。その場合の構成例を図２８の断面図に示す。この場合、片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 は、それぞれ射出成形等の成形方法で透明樹脂等でレンズ屈折面部７２、７４を含めて一体成形してなるものであり、一面にマイクロレンズアレイのレンズ面に成形され、他の面は平面に成形されている。このような片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 をガラス基板７０の両側の平面に対してそれぞれの平面側を向かい合わせ、図１７〜図２１で説明したような方法で片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 相互を位置合わせし、ガラス基板７０の両面に接着剤等で一体化することにより作製される。なお、マイクロレンズアレイ６の厚さが薄い場合には、ガラス基板７０を省いて片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 相互を直接に一体化するようにしてもよい。
【０１１５】
ここで、このような単一組成の片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 の成形方法の１例を図２９の製造工程を説明する図を参照にして説明する。図２９（ａ）に示すように、それぞれ片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 の各マイクロレンズ面の凹型に対応する曲面型部９２、９４を金型８２、８４と同様にして形成されている上金型９５、９７を用意し、他方、片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 のマイクロレンズ面と反対側の平面に対応する平面型部１００を持った下金型９６を用意する。下金型９６は両上金型９５、９７に対応した１個のものを用いてもよく、あるいは、金型９５、９７それぞれに対応して別々に用意してもよい。
【０１１６】
そして、図２９（ｂ）に示すように、上金型９５、９７の位置決めピン９８、９８を下金型９６の位置決めピン９８、９８に対応した位置に設けられた位置決め穴９９、９９に挿入して成形型を組み立てる。下金型９６には樹脂注入用の注入孔１１０、１１０が設けられている。
【０１１７】
次いで、図２９（ｃ）に示すように、上金型９５、９７と下金型９６からなる成形型内に注入孔１１０、１１０から加熱溶融したＰＭＭＡ等の熱可塑性樹脂１１１を注入し、冷却する。
【０１１８】
次に、図２９（ｄ）に示すよう成形型を分解することにより、成形された片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 が取り出される。
【０１１９】
なお、図２９は単一組成の片面平面マイクロレンズアレイ６5 、６6 の成形方法の１つの成形方法を示すもので、他の成形方法で作製することもできる。
【０１２０】
さて、本発明によるマイクロレンズアレイ６の変形例をさらにいくつか説明する。以下の図３０〜図３２は、本発明による片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 の何れか一方のガラス基板、以下では片面平面マイクロレンズアレイ６2 のガラス基板７３を発光体アレイ（有機ＥＬ装置）１を形成するガラス基板２０（図１２、図１４）と兼用させるマイクロレンズアレイ６の実施例を示す断面図である。これらの場合には、片面平面マイクロレンズアレイ６2 のガラス基板７３のレンズ屈折面部７４とは反対側の平面上に、各マイクロレンズ５に対応させて有機ＥＬの発光領域２からなる発光体ブロック４を配置して（図４）、ボトムエミッション型の有機ＥＬ装置１とする。
【０１２１】
図３０の構成では、マイクロレンズアレイ６は、図２７の場合と同様で、裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の平面側を物体側（発光体ブロック４）に向け、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 のレンズ屈折面部７４側とを各マイクロレンズ５に対応して各光軸Ｏ−Ｏ’と同心の開口が設けられた遮光板６4 を介して向かい合わせ、図１７〜図２１で説明したような方法で相互の位置合わせを行って一体化することで作製される。
【０１２２】
図３１の構成では、マイクロレンズアレイ６は、裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 の平面側を物体側（発光体ブロック４）に向け、表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 のレンズ屈折面部７２側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 のレンズ屈折面部７４側とを遮光板６4 を介して向かい合わせ、図１７〜図２１で説明したような方法で相互の位置合わせを行って一体化することで作製される。この構成の場合は、図２７の場合と同様に、図１１のような画像形成装置のラインヘッド１０１のマイクロレンズアレイ６として用いる場合に、飛散したトナーはマイクロレンズアレイ６1 のガラス基板７１の露出した平面に付着するので、簡単に清掃できクリーニング性がよい。
【０１２３】
図３２の構成では、有機ＥＬラインヘッド用のマイクロレンズアレイ６’として、ガラス基板７３を発光体アレイ（有機ＥＬ装置）１を形成するガラス基板２０と兼用させた片面平面マイクロレンズアレイ６2 と、図１５又は図２８のような構成の複合型の両面にレンズ面が形成されてなるマイクロレンズアレイ６とを組み合わせたものを用いた例であり、マイクロレンズアレイ６の一方のレンズ屈折面部側と片面平面マイクロレンズアレイ６2 のレンズ屈折面部７４側とを遮光板６4 を介して向かい合わせ、図１７〜図２１で説明したような方法で相互の位置合わせを行って一体化することで作製される。この構成の場合は、各マイクロレンズ５が３面の曲面からなるレンズ系からなるので、より明るく結像特性の良いものが可能になる。
【０１２４】
次に、図２１のような、２枚の片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 が位置合わせされて各マイクロレンズ５の表側レンズ屈折面部７２と裏側レンズ屈折面部７４とが高精度で軸合わせされたマイクロレンズアレイ６を用いて、光書き込みラインヘッドを構成する場合の例を説明する。図３３はこの例におけるマイクロレンズアレイ６（図２１）を構成する表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 （図３３（ａ））と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 （図３３（ｂ））を分解して示すと共に、それらマイクロレンズアレイ６1 、６2 に対応する発光体アレイ（有機ＥＬ装置）１（図３３（ｃ））を示す平面図であり、このようなマイクロレンズアレイ６と発光体アレイ１を用いて図２２のような光書き込みラインヘッド１０１に組み立てる際には、マイクロレンズアレイ６を構成する各マイクロレンズ５の光軸と発光体アレイ１の各発光体ブロック４の中心を精密に位置決めしなければならない。そこで、発光体アレイ１を構成する有機ＥＬ装置１の発光面のマイクロレンズアレイ６の位置決めマーク５１８＋５１８’、５１９＋５１９’（図２１）に対応した位置に位置決めマーク５２８、５２９を設けておく。
【０１２５】
このようなマイクロレンズアレイ６と発光体アレイ１を用いて図２２のような光書き込みラインヘッド１０１を組み立てるために、図３４に示すように、マイクロレンズアレイ６の位置決めマークを形成している一方のガラス基板７１の位置決めマーク５１８、５１９及び他方のガラス基板７３の位置決めマーク５１８’、５１９’の重畳したマーク（図２１）と、発光体アレイ１の位置決めマーク５２８、５２９がそれぞれ正確に整列するように、例えば顕微鏡を用いてガラス基板７１と発光体アレイ１を位置合わせする。この際、間に介在する遮光部材２８が邪魔になるので、遮光部材２８の位置決めマーク５１８＋５１８’、５１９＋５１９’に対応する位置に若干大きめの開口３０を設けておくことで、マイクロレンズアレイ６と発光体アレイ１の間に遮光部材２８が介在していても問題にならない。なお、図３４の斜視図では、マイクロレンズアレイ６を構成する表側片面平面マイクロレンズアレイ６1 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ６2 を分解して示してあるが、マイクロレンズアレイ６と発光体アレイ１を位置合わせする際はマイクロレンズアレイ６1 とマイクロレンズアレイ６2 は一体になっている（図２１）。
【０１２６】
図３５は、発光体アレイ１の発光面に設ける位置決めマーク５２８（５２９）と、マイクロレンズアレイ６の位置決めマーク５１８＋５１８’（５１９＋５１９’）の例示と位置合わせの際の相互の位置関係を示す図である。マイクロレンズアレイ６を構成する一方のマイクロレンズアレイ６1 のガラス基板７１に設けられている位置決めマーク５１８（５１９）が○で囲まれたＸ字状で、他方のマイクロレンズアレイ６2 のガラス基板７３に設けられている位置決めマーク５１８（５１９）が○で囲まれた＋字状の場合に、発光体アレイ１の発光面に設ける位置決めマーク５２８（５２９）としては、図３５に示すように、＋字の交点を４つの象限方向から当間隔で囲むＬ字状マークとすると、マイクロレンズアレイ６の位置決めマーク５１８＋５１８’（５１９＋５１９’）と発光体アレイ１の位置決めマーク５２８（５２９）を正確に整列させることができるようになる。
【０１２７】
なお、この例の場合も、マイクロレンズアレイ６製造の際のレンズ面の位置決め基準に用いた位置決め手段（位置決めマーク５１８、５１９、５１８’、５１９’）を光書き込みラインヘッド１０１の組み立ての際のマイクロレンズアレイ６の位置決め手段としても用いるので、光書き込みラインヘッド１０１の光学系は高精度で組み立てられることになる。
【０１２８】
以下に、図１６に示した方法でマイクロレンズアレイ６を構成する片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 を製造する際の１つの具体例を示す。
【０１２９】
ＵＶ硬化樹脂７６、７６’としては、エポキシ系紫外線硬化樹脂（株式会社ADEKA 製  アデカオプトマーＫＲ４００）で屈折率１．５２〜１．５４を用いた。この樹脂は一般的には保護コート用として使われるものである。
【０１３０】
ＵＶランプ７７としたは、中心波長３６５ｎｍで、光照射量８０ｍＪ／ｃｍ2 を用い、１回目のＵＶ照射（図１６（ｂ））には１〜２秒の照射、２回目のＵＶ照射（図１６（ｄ））には５〜１０秒の照射を行った。
【０１３１】
また、用いた片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 の透明基板７１、７３としては、無アルカリガラス（日本電気硝子株式会社製ＯＡ−１０）を用いた。他にＢＫ７等を用いることができる。片面平面マイクロレンズアレイ６1 、６2 の透明基板７１、７３と有機ＥＬ装置１のガラス基板２０は同じものを用いるのが望ましい。その理由は、温度変化があっても両者の膨張係数が等しいため、マイクロレンズ５と発光体ブロック４の軸ずれが起き難くなるないためである。
【０１３２】
そして、このガラス基板７１、７３の表面処理については、
（１）洗浄：オゾン洗浄、硫酸洗浄、プラズマ処理等を行った。これは濡れ性の向上が目的である。
（２）次いで、シアンカップリング剤をスピンコートした。これは樹脂との密着性の向上が目的である。シアンカップリング剤（信越化学（株）ＫＢＥ−９０３を水とエタノールの混合液（１：１）に１％添加した液を使用した。シアンカップリング剤入りの樹脂を用いることも可能である。
【０１３３】
以上、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法、マイクロレンズアレイ、それを用いた有機ＥＬラインヘッド及び画像形成装置をその原理と実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】本発明の１実施形態に係るラインヘッドの１つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。
【図２】本発明の１実施形態に係るラインヘッドの１つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。
【図３】本発明の１実施形態に係るラインヘッドの１つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。
【図４】本発明の１実施形態に係る発光体アレイと光学倍率がマイナスのマイクロレンズとの対応関係を示す説明図である。
【図５】画像データが格納されているラインバッファのメモリテーブルの例を示す説明図である。
【図６】主走査方向に奇数番号と偶数番号の発光素子による結像スポットが同列に形成される様子を示す説明図である。
【図７】ラインヘッドとして使用される発光体アレイの例を示す概略の説明図である。
【図８】図７の構成で各発光素子の出力光によりマイクロレンズを通して像担持体の露光面を照射した場合の結像位置を示す説明図である。
【図９】図８において副走査方向の結像スポット形成の状態を示す説明図である。
【図１０】マイクロレンズを複数配列した場合に像担持体の主走査方向に結像スポットが反転して形成される例を示す説明図である。
【図１１】本発明による電子写真プロセスを用いた画像形成装置の１実施例の全体構成を示す模式的断面図である。
【図１２】本発明の有機ＥＬラインヘッドに用いる有機ＥＬ装置の１実施例の平面図である。
【図１３】図１２中の発光領域の周辺部分の拡大図である。
【図１４】図１３中のＥ−Ｅ線における有機ＥＬ装置の断面図である。
【図１５】本発明の製造方法に従って作製されたマイクロレンズアレイの断面図である。
【図１６】本発明のマイクロレンズアレイを構成する片面平面マイクロレンズアレイの製造方法の１例の工程図である。
【図１７】一方の片面平面マイクロレンズアレイと他方の片面平面マイクロレンズアレイとの位置合わせ方法の１つの例を説明するための図である。
【図１８】一方の片面平面マイクロレンズアレイと他方の片面平面マイクロレンズアレイとの位置合わせ方法の他の例を説明するための図である。
【図１９】図１８の方法で位置合わせして得られるマイクロレンズアレイの平面図である。
【図２０】一方の片面平面マイクロレンズアレイと他方の片面平面マイクロレンズアレイとの位置合わせ方法の別の例を説明するための図である。
【図２１】図２０の方法で位置合わせして得られるマイクロレンズアレイの平面図である。
【図２２】光書き込みラインヘッドの１例の構成を示す一部を破断した斜視図である。
【図２３】図２２の光書き込みラインヘッドへのマイクロレンズアレイの取り付け機構を示す平面図である。
【図２４】本発明によるマイクロレンズアレイの１つの変形例の断面図である。
【図２５】本発明によるマイクロレンズアレイの別の変形例の断面図である。
【図２６】図２５の実施例のマイクロレンズアレイを用いた光書き込みラインヘッドの図２２と同様の図である。
【図２７】本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。
【図２８】本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。
【図２９】単一組成の片面平面マイクロレンズアレイの成形方法の１例の工程図である。
【図３０】本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。
【図３１】本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。
【図３２】本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。
【図３３】図２１の方法で位置決めされたマイクロレンズアレイを用いて光書き込みラインヘッドを構成する例における表側片面平面マイクロレンズアレイ（ａ）と裏側片面平面マイクロレンズアレイ（ｂ）を分解して示すと共に、それらに対応する発光体アレイ（ｃ）の平面図である。
【図３４】図２１のマイクロレンズアレイと発光体アレイを用いて光書き込みラインヘッドを組み立てる際の位置決めマーク間の整列のさせ方を説明するための図である。
【図３５】図３４において発光体アレイの発光面に設ける位置決めマークとマイクロレンズアレイの位置決めマークの例示と位置合わせの際の相互の位置関係を示す図である。
【符号の説明】
【０１３５】
１…発光体アレイ（有機ＥＬ装置）、２…発光素子（発光領域）、３…発光素子列、４…発光体ブロック、５…マイクロレンズ、６、６’…マイクロレンズアレイ、６1 、６2 …片面平面マイクロレンズアレイ、６3 …遮光膜、６4 …遮光板、６5 、６6 …片面平面マイクロレンズアレイ、８、８ａ、８ｂ…結像スポット、１０…メモリテーブル、１１…画素電極（陽極）、１２…第１バンク、１２ａ…開口部、１３…有機ＥＬ素子、１４…正孔注入層、１５…発光層、１６…陰極、１７…封止部材、２０…ガラス基板、２１…半導体膜、２２…第２バンク、２２ａ…第１撥液領域、２２ｂ…親液領域、２２ｃ…第２撥液領域、２３…ゲート電極、２５…共通給電線、２７…ＴＦＴ素子、２８…遮光部材、２９…透孔、３０…開口、３１…下地保護膜、３２…ゲート絶縁膜、３３…第１層間絶縁膜、３４…第２層間絶縁膜、３５…長尺のハウジング、３６…位置決めピン、３７…ねじ挿入孔、３８…取り付け用の長方形開口、４１…感光体（像担持体）又は読み取り面、４１（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）…感光体ドラム（像担持体）、４２（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）…帯電手段（コロナ帯電器）、４４（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）…現像装置、４５（Ｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）…一次転写ローラ、５０…中間転写ベルト、６６…二次転写ローラ、７０…ガラス基板、７１、７３…透明基板（ガラス基板）、７２、７４…レンズ屈折面部、７５…ディスペンサー、７６、７６’…紫外線（ＵＶ）硬化樹脂、７７…ＵＶランプ、７８…紫外線、８０…ギャップ材、８２、８４…レンズ面金型、９２、９４…曲面型部、９５、９７…上金型、９６…下金型、９８…位置決めピン、９９…位置決め穴、１００…平面型部、１０１、１０１Ｋ、１０１Ｃ、１０１Ｍ、１０１Ｙ…ラインヘッド（光書き込みラインヘッド）、１１０…注入孔、１１１…熱可塑性樹脂、５２８、５２９…位置決めマーク、５１３、５１４、５１５、５１３’、５１４’、５１５’…位置決めピン、５１６、５１７、５１６’、５１７’…位置決めピン、５１８、５１９、５１８’、５１９’…位置決めマーク、５２３…付勢部材、５２６、５２７…突起、７１１、７３１…１つの長辺、７１２、７３２…１つの短辺、７１３、７３３…第１位置決め部、７１４、７３４…第２位置決め部、８２１、８２２、８２１’、８２２’…位置決めマーク、Ｏ−Ｏ’…光軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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