(57)【要約】【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供すること。【解決手段】ロボット１は、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する第２アーム６を有する多関節アーム部４とを備えている。ハンド３は、ウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材とを備え、第２アーム６は、ハンド３の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ２の搬出開始前に把持部２８に当接して把持部２８をウエハ２から退避させる偏心部材３１を備えている。偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、把持部２８がウエハ２を把持する方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する。【選択図】図２
2008302437.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が収納される収納部からの前記搬送対象物の搬出および前記収納部への前記搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を搭載するハンドと、前記ハンドを先端側で回動可能に保持するハンド保持アームを含む２本以上のアームを有し前記収納部に対する前記搬送対象物の出し入れの際に伸縮する多関節アーム部と、前記多関節アーム部を回動可能に保持する本体部とを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物に当接して前記搬送対象物を把持するための把持部と、前記搬送対象物を把持する方向へ前記把持部を付勢する付勢部材とを備え、
前記ハンド保持アームは、前記ハンド保持アームに対する前記ハンドの回動中心から偏心した位置で前記ハンド保持アームに固定され、前記収納部からの前記搬送対象物の搬出開始前に前記把持部に当接して前記把持部を前記搬送対象物から退避させる偏心部材を備え、
前記偏心部材は、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作に伴って、前記把持部が前記搬送対象物を把持する方向へ移動するように、前記把持部に対して相対移動し、
前記把持部は、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、前記付勢部材の付勢力で前記搬送対象物の把持を開始することを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記把持部は、前記収納部への前記搬送対象物の搬入開始前に、前記付勢部材の付勢力で前記搬送対象物を把持するとともに、
前記偏心部材は、前記収納部へ前記搬送対象物を搬入する際の前記多関節アーム部の伸縮動作に伴って、前記把持部が前記搬送対象物から退避する方向へ移動するように、前記把持部に対して相対移動し、
前記把持部は、さらに、前記収納部へ前記搬送対象物を搬入する際の前記多関節アーム部の伸縮動作の加速時あるいは定速時に、前記搬送対象物からの退避を開始することを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記把持部は、前記ハンド保持アーム側となる前記ハンドの基端側に配置され、
前記ハンドは、前記搬送対象物の端部が当接する当接部を先端側に備えることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
前記把持部は、前記搬送対象物に当接するとともに回動可能なローラを備えることを特徴とする請求項１から３いずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記把持部は、前記搬送対象物の把持方向および前記搬送対象物からの退避方向へ直線状に移動することを特徴とする請求項１から４いずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記把持部は、前記把持方向および前記退避方向へ直線状に案内される少なくとも２本の軸部材を備えることを特徴とする請求項５記載の産業用ロボット。
【請求項７】
前記把持部は、前記偏心部材が当接するカム面が内周側に形成される筒状のカム部材を備えることを特徴とする請求項５または６記載の産業用ロボット。
【請求項８】
搬送対象物が収納される収納部からの前記搬送対象物の搬出および前記収納部への前記搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物を搭載するハンドと、前記ハンドを先端側で回動可能に保持するハンド保持アームを含む２本以上のアームを有し前記収納部に対する前記搬送対象物の出し入れの際に伸縮する多関節アーム部と、前記多関節アーム部を回動可能に保持する本体部とを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物に当接して前記搬送対象物を把持するための把持部と、前記搬送対象物から退避させる方向へ前記把持部を付勢する付勢部材とを備え、
前記ハンド保持アームは、前記ハンド保持アームに対する前記ハンドの回動中心から偏心した位置で前記ハンド保持アームに固定され、前記把持部に当接可能な偏心部材を備え、
前記偏心部材は、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作に伴って、前記把持部が前記搬送対象物を把持する方向へ移動するように前記把持部に対して相対移動し、
前記把持部は、前記収納部からの前記搬送対象物の搬出開始前に前記搬送対象物から退避しているとともに、前記収納部から前記搬送対象物を搬出する際の前記多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、前記把持部に当接する前記偏心部材によって前記搬送対象物の把持を開始することを特徴とする産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、搬送対象物が収納される収納部から搬送対象物を搬出し、また、収納部へ搬送対象物を搬入する産業用ロボットが広く利用されている。この種の産業用ロボットとして、収納部となる真空チャンバーから搬送対象物となる半導体ウエハを搬出し、また、真空チャンバーへ半導体ウエハを搬入する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載された産業用ロボットは、半導体デバイスの製造システムの中に組み込まれており、外部から半導体ウエハが持ち込まれるロードロックチャンバー（真空チャンバー）から半導体ウエハを搬出し、半導体ウエハに所定の処理を行うための処理チャンバー（真空チャンバー）へ半導体ウエハを搬入する。また、この産業用ロボットは、ロードロックチャンバーや処理チャンバーが周囲に配置された移送チャンバー（真空チャンバー）の中に配置されている。
【０００４】
近年、生産性の向上を図るため、産業用ロボットには、半導体ウエハの搬送速度の高速化が要求されている。一方で、搬送速度が高速化しても、半導体ウエハが載置されるハンド上で半導体ウエハが位置ずれを起こさないように、ハンド上で半導体ウエハを確実に把持する必要がある。ここで、大気中で使用される産業用ロボットでは、真空吸着で半導体ウエハを把持する方法が広く採用されているが、真空チャンバー内に配置される産業用ロボットでは、真空吸着で半導体ウエハを把持することができない。そこで、特許文献１では、この搬送速度の高速化の要求に応えるための手段として、ハンド上で半導体ウエハを把持する機械式のクランプ機構が提案されている。
【０００５】
特許文献１で提案されているクランプ機構は、ハンド上に取り付けられ半導体ウエハに当接するレバー機構と、ハンドを回動可能に保持するアームに取り付けられレバー機構を作動させる作動部材とから構成されている。また、作動部材は、ハンドの回動中心に対して偏心した位置に配置されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３０８９８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、半導体デバイスは、小型化、薄型化している。この半導体デバイスの小型化、薄型化に伴い、半導体ウエハも薄型化している。しかしながら、特許文献１で提案されている半導体ウエハのクランプ機構では、この薄型化する半導体ウエハを把持するための十分な考慮がなされていない。そのため、特許文献１に記載の半導体ウエハのクランプ機構は、半導体ウエハを把持する際に、半導体ウエハに衝撃を与え、半導体ウエハに損傷を生じさせるおそれがある。
【０００８】
そこで、本発明の課題は、機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明は、搬送対象物が収納される収納部からの搬送対象物の搬出および収納部への搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、搬送対象物を搭載するハンドと、ハンドを先端側で回動可能に保持するハンド保持アームを含む２本以上のアームを有し収納部に対する搬送対象物の出し入れの際に伸縮する多関節アーム部と、多関節アーム部を回動可能に保持する本体部とを備え、ハンドは、搬送対象物に当接して搬送対象物を把持するための把持部と、搬送対象物を把持する方向へ把持部を付勢する付勢部材とを備え、ハンド保持アームは、ハンド保持アームに対するハンドの回動中心から偏心した位置でハンド保持アームに固定され、収納部からの搬送対象物の搬出開始前に把持部に当接して把持部を搬送対象物から退避させる偏心部材を備え、偏心部材は、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作に伴って、把持部が搬送対象物を把持する方向へ移動するように、把持部に対して相対移動し、把持部は、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、付勢部材の付勢力で搬送対象物の把持を開始することを特徴とする。
【００１０】
本発明の産業用ロボットでは、偏心部材が、収納部からの搬送対象物の搬出開始前に、把持部に当接して把持部を搬送対象物から退避させるとともに、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作に伴って、把持部が搬送対象物を把持する方向へ移動するように、把持部に対して相対移動している。また、把持部が、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、付勢部材の付勢力で搬送対象物の把持を開始している。
【００１１】
そのため、収納部から搬送対象物を搬出する際に、多関節アーム部の伸縮動作開始後、多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時となるまでの比較的長い間、偏心部材によって、把持部の移動速度を制御することが可能になる。したがって、特許文献１に記載のクランプ機構と比較して、把持部をゆっくりと搬送対象物へ当接させて、搬送対象物を把持することが可能になる。その結果、本発明の産業用ロボットでは、把持部と偏心部材と付勢部材とを用いた機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能になる。
【００１２】
本発明において、把持部は、収納部への搬送対象物の搬入開始前に、付勢部材の付勢力で搬送対象物を把持するとともに、偏心部材は、収納部へ搬送対象物を搬入する際の多関節アーム部の伸縮動作に伴って、把持部が搬送対象物から退避する方向へ移動するように、把持部に対して相対移動し、把持部は、さらに、収納部へ搬送対象物を搬入する際の多関節アーム部の伸縮動作の加速時あるいは定速時に、搬送対象物からの退避を開始することが好ましい。このように構成すると、収納部へ搬送対象物を搬入する際の多関節アーム部の伸縮動作の加速時あるいは定速時から多関節アーム部の伸縮動作中の比較的長い間で、把持部を退避させることが可能になる。すなわち、把持部を比較的ゆっくりと退避させることが可能になる。その結果、把持部を構成する部品等の損傷を抑制することが可能になる。
【００１３】
本発明において、把持部は、ハンド保持アーム側となるハンドの基端側に配置され、ハンドは、搬送対象物の端部が当接する当接部を先端側に備えることが好ましい。このように構成すると、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、付勢部材の付勢力で搬送対象物の把持を開始する場合であっても、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作の加速時等には、搬送対象物の端部が当接部に当接するため、搬送対象物の位置ずれを抑制することができる。また、収納部へ搬送対象物を搬入する際の多関節アーム部の伸縮動作の加速時あるいは定速時に、搬送対象物からの把持部の退避を開始する場合であっても、収納部へ搬送対象物を搬入する際の多関節アーム部の伸縮動作の減速時等には、搬送対象物の端部が当接部に当接するため、搬送対象物の位置ずれを抑制することができる。
【００１４】
本発明において、把持部は、搬送対象物に当接するとともに回動可能なローラを備えることが好ましい。このように構成すると、把持部が搬送対象物に当接する際に、搬送対象物がハンド上で位置ずれを起こしている場合であっても、搬送対象物に損傷を与えることなく、搬送対象物を所定の位置へ適切に案内することが可能になる。
【００１５】
本発明において、把持部は、搬送対象物の把持方向および搬送対象物からの退避方向へ直線状に移動することが好ましい。このように構成すると、把持部の配置スペースを狭くすることが可能になり、ハンドの小型化、薄型化を図ることが可能になる。
【００１６】
本発明において、把持部は、把持方向および退避方向へ直線状に案内される少なくとも２本の軸部材を備えることが好ましい。このように構成すると、２本の軸部材によって、把持部の移動方向を軸中心とする把持部の回転を防止することができる。
【００１７】
本発明において、把持部は、偏心部材が当接するカム面が内周側に形成される筒状のカム部材を備えることが好ましい。このように構成すると、偏心部材とカム部材とを用いた簡易な構成で、把持部を、搬送対象物の把持方向および搬送対象物からの退避方向へ直線状に移動させることができる。
【００１８】
また、上記の課題を解決するため、本発明は、搬送対象物が収納される収納部からの搬送対象物の搬出および収納部への搬送対象物の搬入を行う産業用ロボットにおいて、搬送対象物を搭載するハンドと、ハンドを先端側で回動可能に保持するハンド保持アームを含む２本以上のアームを有し収納部に対する搬送対象物の出し入れの際に伸縮する多関節アーム部と、多関節アーム部を回動可能に保持する本体部とを備え、ハンドは、搬送対象物に当接して搬送対象物を把持するための把持部と、搬送対象物から退避させる方向へ把持部を付勢する付勢部材とを備え、ハンド保持アームは、ハンド保持アームに対するハンドの回動中心から偏心した位置でハンド保持アームに固定され、把持部に当接可能な偏心部材を備え、偏心部材は、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作に伴って、把持部が搬送対象物を把持する方向へ移動するように把持部に対して相対移動し、把持部は、収納部からの搬送対象物の搬出開始前に搬送対象物から退避しているとともに、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、把持部に当接する偏心部材によって搬送対象物の把持を開始することを特徴とする。
【００１９】
本発明の産業用ロボットでは、偏心部材が、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作に伴って、把持部が搬送対象物を把持する方向へ移動するように把持部に対して相対移動する。また、把持部が、収納部からの搬送対象物の搬出開始前に搬送対象物から退避しているとともに、収納部から搬送対象物を搬出する際の多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時に、把持部に当接する偏心部材によって搬送対象物の把持を開始する。
【００２０】
そのため、収納部から搬送対象物を搬出する際に、多関節アーム部の伸縮動作開始後、多関節アーム部の伸縮動作の定速時あるいは減速時となるまでの比較的長い間、偏心部材によって、把持部の移動速度を制御することが可能になる。したがって、特許文献１に記載のクランプ機構と比較して、把持部をゆっくりと搬送対象物へ当接させて、搬送対象物を把持することが可能になる。その結果、本発明の産業用ロボットでは、把持部と偏心部材と付勢部材とを用いた機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能になる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明にかかる産業用ロボットでは、機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１を示す側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１を示す平面図であり、（Ａ）は多関節アーム部４が伸びている状態を示し、（Ｂ）は多関節アーム部４が縮んでいる状態を示す。図３は、図１に示す産業用ロボット１が組み込まれた半導体製造システム９の概略構成を示す平面図である。図４は、図１に示す多関節アーム部４およびハンド３内の動力の伝達機構を説明するための概略断面図である。図５は、図１に示す多関節アーム部４の伸縮状態とハンド３の向きとの関係を説明するための図である。なお、図４では、図２（Ａ）のＥ−Ｅ方向から見たときの多関節アーム部４等の概略断面を示している。
【００２４】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である薄い円盤状の半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、図１、図２に示すように、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を回動可能に保持しウエハ２の搬送時に伸縮する多関節アーム部４と、多関節アーム部４を回動可能に保持する本体部５とを備えている。本形態の多関節アーム部４は、第２アーム６と第１アーム７との２本のアームによって構成されている。
【００２５】
また、本形態のロボット１は、たとえば、図３に示すような半導体製造システム９に組み込まれて使用される。具体的には、ロボット１は、半導体製造システム９と外部装置（図示省略）との間でウエハ２の受渡しを行う受渡しチャンバー１０と、ウエハ２に所定の処理を行う処理チャンバー１１と、ロボット１が配置される移送チャンバー１２とを備える半導体製造システム９に組み込まれて使用される。
【００２６】
図３に示すように、半導体製造システム９では、複数（図３に示す例では２個）の受渡しチャンバー１０と複数（図３に示す例では４個）の処理チャンバー１１とが移送チャンバー１２の周囲に配置されている。また、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１と移送チャンバー１２との間には、ウエハ２の出し入れを行うためのゲート（図示省略）が配置されている。
【００２７】
移送チャンバー１２に配置されたロボット１は、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１からウエハ２を搬出するとともに、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１へウエハ２を搬入する。すなわち、多関節アーム部４が伸縮して、受渡しチャンバー１０および処理チャンバー１１に対するウエハ２の出し入れを行う。具体的には、ウエハ２を搬入する際には、縮んでいた多関節アーム部４が伸び、ハンド３がゲートを通過して、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１の内部に入り込む。また、ウエハ２を搬出する際には、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１の内部に入り込んで伸びていた多関節アーム部４が縮み、ハンド３がゲートを通過して、移送チャンバー１２の中に戻る。
【００２８】
また、ウエハ２を取り扱う際には、受渡しチャンバー１０、処理チャンバー１１および移送チャンバー１２はともに真空状態とされる。すなわち、本形態のロボット１は、真空状態の中で使用される。なお、本形態では、受渡しチャンバー１０および処理チャンバー１１は、搬送対象物であるウエハ２が収納される収納部である。
【００２９】
図１、図２に示すように、ハンド３の基端側は、第２アーム６の先端側に回動可能に連結されている。第２アーム６の基端側は、第１アーム７の先端側に回動可能に連結されている。第１アーム７の基端側は、本体部５に回動可能に連結されている。また、上下方向では、ハンド３、第２アーム６、第１アーム７および本体部５は、上側からこの順番で配置されている。本形態では、第２アーム６は、ハンド３を先端側で回動可能に保持するハンド保持アームである。
【００３０】
本体部５は、外形が略円柱状となるように形成されている。この本体部５は、径方向の中心部に配置される中実回転軸１５と、中実回転軸１５の外周面を覆うように中実回転軸１５と同心状に配置される中空回転軸１６と、中実回転軸１５の上端側に固定されたプーリ１７と、中実回転軸１５を回動させるための駆動モータ（図示省略）と、中空回転軸１６を回動させるための駆動モータ（図示省略）とを備えている。中空回転軸１６の上端は、第１アーム７の基端側の底面に固定されている。
【００３１】
中空回転軸１６は、中実回転軸１５に対して相対回転可能となっている。また、本体部５は、中実回転軸１５と中空回転軸１６とを連結する連結機構（図示省略）を備えており、中実回転軸１５と中空回転軸１６とが一体で回動することも可能となっている。
【００３２】
第１アーム７は、図４に示すように、中空部を有する略中空状に形成されている。第１アーム７の基端側の内部には、プーリ１７が配置されている。また、第１アーム７の先端側の内部には、固定軸１８が固定されている。
【００３３】
第２アーム６も第１アーム７と同様に、図４に示すように、中空部を有する略中空状に形成されている。第２アーム６の基端側の底面には、プーリ１９が固定されている。また、第２アーム６の先端側の内部には、固定軸２０が固定されている。プーリ１９は、第２アーム６の内部に配置される第１プーリ部１９ａと、第１アーム７の先端側の内部に配置される第２プーリ部１９ｂと備えている。プーリ１９には、固定軸１８が挿通され、プーリ１９は、固定軸１８に対して回動可能となっている。プーリ１７と第２プーリ部１９ｂとの間には、ベルト２１が掛け渡されている。
【００３４】
ハンド３の基端側の底面には、プーリ２２が固定されている。プーリ２２は、第２アーム６の先端側の内部に配置されている。また、プーリ２２には、固定軸２０が挿通され、プーリ２２は、固定軸２０に対して回動可能となっている。プーリ２２と第１プーリ部１９ａとの間には、ベルト２３が掛け渡されている。
【００３５】
なお、ハンド３の詳細な構成および第２アーム６とハンド３との連結部分の詳細な構成については後述する。
【００３６】
本形態では、中実回転軸１５が固定された状態で、中空回転軸１６が回動すると、多関節アーム部４が伸縮するように構成されている。すなわち、所定の状態で、中空回転軸１６の駆動モータが駆動すると、多関節アーム部４が伸縮動作を行う。一方、中実回転軸１５と中空回転軸１６とが一体で回動すると、多関節アーム部４は伸縮せずに、本体部５に対して多関節アーム部４が旋回するように構成されている。すなわち、所定の状態で、中実回転軸１５の駆動モータが駆動すると、多関節アーム部４が旋回動作を行う。
【００３７】
また、本形態では、プーリ１７、１９のプーリ間ピッチと、プーリ１９、２２のプーリ間ピッチとが等しくなっている。また、プーリ１７の径と第２プーリ部１９ｂの径と比が２：１となり、第１プーリ部１９ａの径とプーリ２２の径との比が１：２となっている。そのため、本形態では、中実回転軸１５が固定された状態で、中空回転軸１６が回動すると、図５に示すように、ハンド３と第２アーム６との角度、および、第２アーム６と第１アーム７との角度は変化するが、ハンド３は、プーリ１７の中心（すなわち、本体部５の中心）とプーリ２２の中心（すなわち、ハンド３の回動中心）とを結んだ仮想直線Ｘ上を向きを一定にした状態で移動する。すなわち、本形態のロボット１は、多関節アーム部４が伸縮する際に、ハンド３が一定方向を向いた状態で放射状に移動するいわゆる円筒型ロボットである。
【００３８】
なお、図５（Ａ）は、多関節アーム部４が最も伸びた状態を示し、この状態で、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１からのウエハ２の搬出が開始される。また、図５（Ｄ）は、多関節アーム部４が最も縮んだ状態を示し、この状態で、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１へのウエハ２の搬入が開始される。さらに、図５（Ｂ）は、多関節アーム部４の伸縮動作のちょうど中間状態を示している。すなわち、多関節アーム部４が、図５（Ａ）の状態から図５（Ｄ）の状態までの間で伸縮動作を行うときの第１アーム７の回動角度をθとすると、図５（Ａ）の状態の第１アーム７と図５（Ｂ）の状態の第１アーム７とによって形成される角度（あるいは、図５（Ｄ）の状態の第１アーム７と図５（Ｂ）の状態の第１アーム７とによって形成される角度）がθ／２となるときの状態を、図５（Ｂ）は示している。また、図５（Ｃ）は、ハンド３の回動中心と本体部５の中心とが一致した状態を示している。
【００３９】
（ハンドおよびハンドと第２アームとの連結部分の構成）
図６は、図１に示すハンド３の要部および偏心部材３１を示す平面図である。図７は、図２（Ａ）のＦ部の構成を側面から説明するための断面図である。図８は、図２（Ａ）のＧ部の構成を側面から説明するための断面図である。図９は、図６のＨ−Ｈ断面を示す断面図である。図１０は、図６に示す把持部２８の動作を説明するための図である。図１１は、図１に示すロボット１でウエハ２の搬出、搬入を行う際の中空回転軸１６の駆動モータの速度と第１アーム７の回動角度との関係を示す図である。
【００４０】
なお、図１０（Ａ）は、図５（Ａ）の状態（すなわち、多関節アーム部４が最も伸びた状態）に対応する把持部２８および偏心部材３１の状態を示す。また、図１０（Ｂ）は、図５（Ｂ）に示す状態（すなわち、多関節アーム部４の伸縮動作のちょうど中間状態）に対応する把持部２８および偏心部材３１の状態を示す。さらに、図１０（Ｃ）は、図５（Ｄ）の状態（すなわち、多関節アーム部４が最も縮んだ状態）に対応する把持部２８および偏心部材３１の状態を示す。また、以下の説明では、便宜上、図６の上下方向を左右方向とし、図６の左右方向を前後方向とする。
【００４１】
ハンド３は、図６等に示すように、ウエハ２を載置するための２個の載置部材２６と、２個の載置部材２６の基端側が固定されるベース部材２７と、ウエハ２の端部に当接してウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材としての圧縮コイルバネ２９と、ウエハ２の端部が当接する当接部としての当接部材３０とを備えている。また、図９に示すように、第２アーム６は、第２アーム６に対するハンド３の回動中心ＣＬから偏心した位置で第２アーム６に固定された偏心部材３１を備えている。
【００４２】
載置部材２６は、薄板状の部材であり、たとえば、セラミックで形成されている。上述のように、２個の載置部材２６の基端側はベース部材２７に固定されている。具体的には、図２等に示すように、２個の載置部材２６が左右方向に所定の間隔をあけた状態で互いに略平行になるように、その基端側がベース部材２７に固定されている。載置部材２６の基端側には、ウエハ２の端部の下端が当接する傾斜面２６ａが形成されている。具体的には、図８に示すように、傾斜面２６ａは、先端側に向かうにしたがって緩やかに下がるように形成されている。また、傾斜面２６ａは、図２（Ａ）に示すように、上下方向で見たとき、傾斜面２６ａに当接するウエハ２の当接部分の接線方向と略平行になるように形成されている。
【００４３】
当接部材３０は、２個の載置部材２６の先端側にそれぞれ固定されている。この当接部材３０には、図７に示すように、ウエハ２の端部が当接する鉛直面３０ａと、ウエハ２の端部の下端が当接する傾斜面３０ｂとが形成されている。傾斜面３０ｂは、鉛直面３０ａの下端からハンド３の基端側に向かって形成されるとともに、ハンド３の基端側に向かうにしたがって緩やかに下がるように形成されている。また、鉛直面３０ａおよび傾斜面３０ｂは、図２（Ａ）に示すように、上下方向で見たとき、傾斜面３０ｂに当接するウエハ２の当接部分の接線方向と略平行になるように形成されている。
【００４４】
鉛直面３０ａは、後述のように、把持部２８とともにウエハ２を把持する機能を果たしている。また、鉛直面３０ａは、後述のように、ウエハ２の搬出、搬入時に、ウエハ２の位置ずれを防止する機能を果たしている。
【００４５】
ベース部材２７は、ハンド３の基端側部分を構成している。図９に示すように、プーリ２２は、このベース部材２７の底面に固定されている。また、ベース部材２７には、偏心部材３１等が配置される円形の貫通孔２７ａが形成されている。
【００４６】
把持部２８は、ハンド３の基端側に配置されている。具体的には、把持部２８は、ベース部材２７の上面側に取り付けられている。また、把持部２８は、２個の載置部材２６の間に配置されている。この把持部２８は、図６等に示すように、ウエハ２に当接するとともに回動可能な２個のローラ３４と、２個のローラ３４を回動可能に保持する略ブロック状の保持部材３５と、ローラ３４および保持部材３５を図６の左右方向へ案内する２本の軸部材３６と、偏心部材３１が当接するカム面３７ａが内周側に形成される筒状のカム部材３７とを備えている。
【００４７】
２個のローラ３４は、左右方向に所定の間隔をあけた状態で、保持部材３５の先端側に回動可能に取り付けられている。また、ローラ３４は、ウエハ２に当接可能となるように、保持部材３５の先端よりも先端側へわずかに突出するように保持部材３５に取り付けられている。
【００４８】
軸部材３６は、細長い円柱状に形成されている。この軸部材３６には、圧縮コイルバネ２９の端部が当接するバネ当接部３６ａが形成されている。具体的には、軸部材３６の長手方向の中間位置に径が大きくなったバネ当接部３６ａが形成されている。また、軸部材３６の先端は、保持部材３５の基端側に固定され、軸部材３６の後端は、カム部材３７の先端側に固定されている。
【００４９】
２本の軸部材３６は、左右方向に所定の間隔をあけた状態で、ベース部材２７の上面に固定された摺動軸受３８に保持されている。具体的には、前後方向に所定の間隔をあけた状態で配置される２個の摺動軸受３８にそれぞれの軸部材３６が保持されている。本形態では、２本の軸部材３６は、摺動軸受３８によって前後方向に直線状に案内される。すなわち、２本の軸部材３６は、摺動軸受３８によって、ウエハ２を把持する把持方向（図６では右方向）およびウエハ２から退避する退避方向（図６では左方向）へ直線状に案内される。そのため、本形態の把持部２８は、把持方向および退避方向へ直線状に移動する。
【００５０】
軸部材３６は、圧縮コイルバネ２９の内周側に挿通されている。また、バネ当接部３６ａは、前後方向に所定の間隔をあけた状態で配置される２個の摺動軸受３８の間に配置され、圧縮コイルバネ２９は、基端側に配置される摺動軸受３８と、バネ当接部３６ａとの間に配置されている。そのため、軸部材３６は、圧縮コイルバネ２９によって、ウエハ２の把持方向へ付勢されている。すなわち、把持部２８は、圧縮コイルバネ２９によって、ウエハ２の把持方向へ付勢されている。
【００５１】
カム部材３７は、上述のように、筒状に形成されている。具体的には、略四角形状の孔が上下方向に貫通する略四角筒状に形成されており、４つの内周面は、前後方向あるいは左右方向に平行に配置されている。本形態では、図６におけるカム部材３７の左側の内周面に偏心部材３１が当接する。すなわち、図６におけるカム部材３７の左側の内周面がカム面３７ａである。
【００５２】
偏心部材３１は、図９等に示すように、肉厚の円筒状に形成され、固定ネジ３９によって、第２アーム６の先端側に固定された固定軸２０の上端に取り付けられている。上述のように、偏心部材３１は、ハンド３の回動中心ＣＬから偏心している。そのため、多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、偏心部材３１は、仮想円Ｙに沿ってハンド３に対して相対移動する。
【００５３】
また、偏心部材３１は、カム部材３７の内周面側に配置されており、カム面３７ａに当接可能となっている。本形態の偏心部材３１は、ハンド３の回動中心ＣＬに比較的近い位置に取り付けられている。具体的には、上下方向で見たときに、ハンド３の回動中心ＣＬもカム部材３７の内周面側に配置されている。
【００５４】
なお、偏心部材３１は、固定軸２０の上端に固定されても良いし、固定軸２０の上端に回動可能に取り付けられても良い。また、偏心部材３１は、回転軸２０と一体で形成されても良い。また、図９に示すように、固定軸２０とプーリ２２との間には、軸受４０が配置されており、上述のように、プーリ２２は、固定軸２０に対して回動可能となっている。
【００５５】
本形態では、図２（Ａ）に示すように、多関節アーム部４が伸びた状態では（すなわち、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１からのウエハ２の搬出開始前には）、把持部２８は、ウエハ２から退避している。すなわち、この状態では、図１０（Ａ）に示すように、ローラ３４がウエハ２から離れている。具体的には、この状態では、偏心部材３１がカム面３７ａに当接しており、偏心部材３１によって、圧縮コイルバネ２９の付勢力に抗して把持部２８が退避方向へ移動している。また、この状態では、図１０（Ａ）に示すように、ハンド３の回動中心ＣＬを通り前後方向へ伸びる仮想中心線と仮想円Ｙとの基端側の交点に近い位置に偏心部材３１が配置されている。なお、多関節アーム部４が伸びた状態で、回動中心ＣＬを通り前後方向へ伸びる仮想中心線と仮想円Ｙとの基端側の交点上に偏心部材３１が配置されても良い。
【００５６】
一方、図２（Ｂ）に示すように、多関節アーム部４が縮んだ状態では（すなわち、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１へのウエハ２の搬入開始前には）、把持部２８は、ウエハ２に当接してウエハ２を把持している。すなわち、この状態では、図１０（Ｃ）に示すように、ローラ３４がウエハ２に当接してウエハ２を把持している。具体的には、この状態では、偏心部材３１がカム面３７ａから離れており、圧縮コイルバネ２９の付勢力で、把持部２８が把持方向へ移動している。また、この状態では、図１０（Ｃ）に示すように、ハンド３の回動中心ＣＬを通り左右方向へ伸びる仮想中心線と仮想円Ｙとの図１０（Ｃ）における下側の交点に近い位置に偏心部材３１が配置されている。
【００５７】
なお、把持部２８がウエハ２を把持しているときには、当接部材３０の鉛直面３０ａもウエハ２に当接している。すなわち、把持部２８と鉛直面３０ａとがウエハ２を把持している。本形態では、図２に示すように、略１２０°ピッチで、把持部２８および鉛直面３０ａがウエハ２に当接して、把持部２８および鉛直面３０ａがウエハ２を把持している。
【００５８】
また、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１からウエハ２を搬出するため、多関節アーム部４が伸びた状態から縮んでいくと、偏心部材３１は、多関節アーム部４の動作に伴って、把持部２８が把持方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動する。具体的には、偏心部材３１は、仮想円Ｙに沿って図１０の反時計方向へ把持部２８に対して相対移動する。
【００５９】
ここで、上述のように、多関節アーム部４が伸びた状態では、ハンド３の回動中心ＣＬを通り前後方向へ伸びる仮想中心線と仮想円Ｙとの基端側の交点に近い位置に偏心部材３１が配置されている。そのため、本形態では、図５（Ａ）に示す状態から多関節アーム部４が縮み始めると、初めは、偏心部材３１の回動角度に対する偏心部材３１の前後方向の移動量が小さく、次第に、偏心部材３１の回動角度に対する偏心部材３１の前後方向の移動量が大きくなっていく。すなわち、把持部２８は、多関節アーム部４が縮み始めると、ゆっくりと把持方向に向かって移動を始める。
【００６０】
また、本形態では、上述のように、偏心部材３１がハンド３の回動中心ＣＬに比較的近い位置に取り付けられているため、多関節アーム部４が伸びた状態から縮む間近まで、偏心部材３１は、カム面３７ａに当接している。したがって、偏心部材３１によって、把持部２８（具体的には、カム部材３７）は、サインカーブに乗ったスムーズな動作をする。また、多関節アーム部４が伸びた状態から縮む間近まで、偏心部材３１は、カム面３７ａに当接しているため、偏心部材３１がカム面３７ａから離れる位置は、把持部２８がウエハ２に近づいた位置である。なお、本形態では、圧縮コイルバネ２９の復元力が比較的小さくなっている。そのため、偏心部材３１がカム面３７ａから離れても把持部２８がウエハ２に衝撃を与えるように当接することはない。
【００６１】
一方、受渡しチャンバー１０あるいは処理チャンバー１１へウエハ２を搬入するため、多関節アーム部４が縮んだ状態から伸びていくと、偏心部材３１は、多関節アーム部４の動作に伴って、把持部２８が退避方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動する。具体的には、偏心部材３１は、仮想円Ｙに沿って図１０の時計方向へ把持部２８に対して相対移動する。
【００６２】
また、本形態では、図５（Ｂ）に示す多関節アーム部４の伸縮動作のちょうど中間状態では、図１０（Ｂ）に示すように、偏心部材３１がカム面３７ａに当接し、把持部２８は、ウエハ２に当接していない。すなわち、図５（Ｂ）に示す状態から多関節アーム部４がさらに縮まないと、把持部２８はウエハ２に当接しない。
【００６３】
ここで、本形態では、ウエハ２の搬出、搬入を行う際の中空回転軸１６の駆動モータの回転速度は、図１１に示すように変化する。すなわち、中空回転軸１６の駆動モータは、加速後、定速で回転することなく、減速する。すなわち、中空回転軸１６の回動に伴う多関節アーム部４の伸縮動作は、定速動作のない加減速動作のみである。
【００６４】
また、本形態では、中空回転軸１６の駆動モータの加速レートと減速レートとが等しくなっており、図５（Ｂ）に示す状態で、中空回転軸１６の駆動モータの加減速が切り替わる。すなわち、ウエハ２の搬出あるいは搬入開始後、第１アーム７がθ／２回転すると、多関節アーム部４の伸縮動作の加減速が切り替わる。
【００６５】
上述のように、本形態では、図５（Ｂ）に示す状態では、把持部２８は、ウエハ２に当接しておらず、ウエハ２を把持していない。そのため、本形態では、多関節アーム部４が縮む際（すなわち、ウエハ２の搬出を行う際）の多関節アーム部４の動作の減速時に、把持部２８は、圧縮コイルバネ２９の付勢力によって、ウエハ２に当接してウエハ２の把持を開始する。すなわち、少なくとも、多関節アーム部４が縮む際の多関節アーム部４の動作の加速時には、把持部２８はウエハ２を把持していない。
【００６６】
また、本形態では、多関節アーム部４が伸びる際（すなわち、ウエハ２の搬入を行う際）の多関節アーム部４の動作の加速時に、把持部２８は、偏心部材３１の作用によって、ウエハ２から離れ始め（すなわち、ウエハ２からの退避を開始し）、ウエハ２を解放する。すなわち、少なくとも、多関節アーム部４が伸びる際の多関節アーム部４の動作の減速時には、把持部２８はウエハ２を把持していない。
【００６７】
なお、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の動作の加速時には、ハンド３の先端側へ向かう相対的な慣性力がウエハ２に生じる。また、ウエハ２を搬入する際の多関節アーム部４の動作の減速時にも、ハンド３の先端側へ向かう相対的な慣性力がウエハ２に生じる。そのため、これらのときには、当接部材３０の鉛直面３０ａにウエハ２が当接して、ウエハ２の位置ずれが防止される。
【００６８】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ウエハ２の搬出開始前には、偏心部材３１がカム面３７ａに当接して把持部２８をウエハ２から退避させている。また、偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際に多関節アーム部４が縮むと、把持部２８が把持方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動する。さらに、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、把持部２８は、圧縮コイルバネ２９の付勢力によって、ウエハ２の把持を開始する。
【００６９】
そのため、ウエハ２を搬出する際に、多関節アーム部４の伸縮動作開始後、多関節アーム部４の伸縮動作の減速時となるまでの比較的長い間、偏心部材３１をカム面３７ａに当接させることができ、偏心部材３１によって、把持部２８の移動速度を制御することができる。したがって、把持部２８を比較的ゆっくりとウエハ２に当接させて、ウエハ２を持することができる。その結果、本形態では、把持部２８と付勢部材２９と偏心部材３１とを用いた機械的な構成でウエハ２を把持しても、ウエハ２に与える衝撃を抑制することが可能になる。
【００７０】
本形態では、ウエハ２の搬入開始前には、圧縮コイルバネ２９の付勢力でウエハ２を把持している。また、偏心部材３１は、ウエハ２を搬入する際に多関節アーム部４が伸びると、把持部２８が退避方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬入する際の多関節アーム部４の伸縮動作の加速時に、ウエハ２からの退避を開始する。そのため、ウエハ２を搬入する際の多関節アーム部４の伸縮動作の加速時から多関節アーム部４の伸縮動作中の比較的長い間で、把持部２８をウエハ２から退避させることができる。その結果、本形態では、把持部２８を構成する各種の部品の損傷を抑制することができる。
【００７１】
本形態では、把持部２８がハンド３の基端側に配置され、当接部材３０がハンド３の先端側となる載置部材２６の先端側に固定されている。そのため、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する場合であっても、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の加速時には、当接部材３０（具体的には、鉛直面３０ａ）によって、ウエハ２の位置ずれを防止することができる。また、ウエハ２を搬入する際の多関節アーム部４の伸縮動作の加速時に、ウエハ２からの把持部２８の退避を開始する場合であっても、ウエハ２を搬入する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時には、当接部材３０によって、ウエハ２の位置ずれを防止することができる。
【００７２】
本形態では、把持部２８は、ウエハ２に当接するとともに回動可能なローラ３４を備えている。そのため、把持部２８がウエハ２に当接する際に、ウエハ２がハンド３上で位置ずれを起こしている場合であっても、ローラ３４の作用によって、ウエハ２に損傷を与えることなく、ウエハ２を所定の位置へ位置決めすることが可能になる。
【００７３】
本形態では、把持部２８は、ウエハ２の把持方向およびウエハ２からの退避方向へ直線状に移動する。そのため、上述した特許文献１に記載のレバー機構を用いる場合と比較して、把持部２８の配置スペースを狭くすることができ、ハンド３の小型化、薄型化を図ることができる。また、本形態では、把持部２８は、摺動軸受３８によって直線状に案内される２本の軸部材３６を備えている。そのため、２本の軸部材３６によって、把持部２８の移動方向を軸中心とする把持部２８の回転を防止することができる。
【００７４】
本形態では、把持部２８は、偏心部材３１が当接するカム面３７ａが内周側に形成されるカム部材３７を備えている。そのため、偏心部材３１とカム部材３７とを用いた簡易な構成で、把持部２８を、ウエハ２の把持方向およびウエハ２からの退避方向へ直線状に移動させることができる。
【００７５】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００７６】
上述した形態では、多関節アーム部４が縮む際の多関節アーム部４の動作の減速時に、把持部２８がウエハ２に当接してウエハ２の把持を開始している。この他にもたとえば、図１２に示すように、ウエハ２の搬出、搬入を行う際の中空回転軸１６の駆動モータが、加速後、定速回転し、減速する場合には、多関節アーム部４が縮む際の多関節アーム部４の動作の定速時に、把持部２８がウエハ２に当接してウエハ２の把持を開始しても良い。この場合であっても、把持部２８を比較的ゆっくりとウエハ２に当接させて、ウエハ２を把持することができ、ウエハ２に与える衝撃を抑制することが可能になる。なお、中空回転軸１６の駆動モータが定速回転する場合であっても、多関節アーム部４が縮む際の多関節アーム部４の動作の減速時に、把持部２８がウエハ２に当接してウエハ２の把持を開始しても良い。
【００７７】
また、上述した形態では、多関節アーム部４が伸びる際の多関節アーム部４の動作の加速時に、把持部２８がウエハ２からの退避を開始している。この他にもたとえば、ウエハ２の搬出、搬入を行う際の中空回転軸１６の駆動モータが加速後、定速回転し、減速する場合には、多関節アーム部４が伸びる際の多関節アーム部４の動作の定速時に、把持部２８がウエハ２からの退避を開始しても良い。この場合であっても、把持部２８を比較的ゆっくりとウエハ２から退避させることができ、把持部２８を構成する各種の部品の損傷を抑制することが可能になる。なお、中空回転軸１６の駆動モータが定速回転する場合であっても、多関節アーム部４が伸びる際の多関節アーム部４の動作の加速時に、把持部２８がウエハ２からの退避を開始しても良い。
【００７８】
さらに、上述した形態では、中空回転軸１６の駆動モータの加速レートと減速レートが等しくなっているが、中空回転軸１６の駆動モータの加速レートと減速レートとが異なっていても良い。
【００７９】
上述した形態では、把持部２８は、２本の軸部材３６を備えている。この他にもたとえば、把持部２８は、３本以上の軸部材３６を備えていても良い。また、把持部は、図１３に示すように、１本のみの軸部材４６を備えていても良い。この軸部材４６には、バネ当接部３６ａに相当するバネ当接部４６ａが形成されている。また、この場合には、保持部材３５に代えて、Ｖ形状に形成された保持部材４５が軸部材４６の先端側に固定されれば良い。なお、１本のみの軸部材４６を用いる場合には、軸部材４６の回転を防止するため、軸部材４６は円柱状でなくて多角柱状に形成されていることが好ましい。また、図１３では、上述した形態と同一の構成については、同一の符号を付している。
【００８０】
上述した形態では、ハンド３は、２本の軸部材３６を有し把持方向および退避方向へ直線状に移動する把持部２８を備えている。この他にもたとえば、ハンド３は、把持部２８に代えて、図１４に示すように、ローラ３４が取り付けられた一対のレバー５９を有しレバー５９が所定の軸６０を中心に回動してウエハ２を把持するように構成された把持部５８を備えていても良い。
【００８１】
この把持部５８では、レバー５９はＬ形状に形成され、引張りコイルバネ６１によって、ウエハ２の把持方向に付勢されている。また、レバー５９の一端側にはローラ３４が回動可能に取り付けられている。さらに、レバー５９の他端側に偏心部材３１が当接可能となっている。そのため、固定軸２０の上端の所定の位置に偏心部材３１を取り付けることで、多関節アーム部４が伸びた状態では、たとえば、図１４（Ａ）に示すように、偏心部材３１がレバー部材５９に当接し、引張りコイルバネ６１の付勢力に抗してレバー部材５９が回動して、ウエハ２からローラ３４が退避する。また、多関節アーム部４が縮んだ状態では、たとえば、図１４（Ｂ）に示すように、偏心部材３１がレバー部材５９から離れ、引張りコイルバネ６１の付勢力でレバー部材５９が回動して、ローラ３４がウエハ２を把持する。なお、図１４では、上述した形態と同一の構成については、同一の符号を付している。
【００８２】
また、ハンド３は、把持部２８に代えて、図１５に示すように、ローラ３４が取り付けられた一対のレバー６９と一対のレバー６９間を接続する線状のワイヤー７２とを有しレバー６９が所定の軸７０を中心に回動してウエハ２を把持するように構成された把持部６８を備えていても良い。
【００８３】
この把持部６８では、レバー６９は直線状に形成され、引張りコイルバネ６１によって、ウエハ２の把持方向に付勢されている。また、レバー６９の一端側にはローラ３４が回動可能に取り付けられ、レバー６９の他端側にワイヤー７２の端部が固定されている。さらに、偏心部材３１がワイヤー７２に当接してワイヤー７２が撓むようになっている。そのため、固定軸２０の上端の所定の位置に偏心部材３１を取り付けることで、多関節アーム部４が伸びた状態では、たとえば、図１５（Ａ）に示すように、偏心部材３１がワイヤー７２に当接してワイヤー７２が撓み、引張りコイルバネ６１の付勢力に抗してレバー部材６９が回動して、ウエハ２からローラ３４が退避する。また、多関節アーム部４が縮んだ状態では、たとえば、図１５（Ｂ）に示すように、偏心部材３１がワイヤー７２から離れ、引張りコイルバネ６１の付勢力でレバー部材６９が回動して、ローラ３４がウエハ２を把持する。なお、ワイヤー７２に代えて、薄板状のベルトを用いても良い。また、図１５では、上述した形態と同一の構成については、同一の符号を付している。
【００８４】
上述した形態では、図２（Ｂ）に示すように多関節アーム部４が縮んだときには、図１０（Ｃ）に示すように偏心部材３１がカム面３７ａから離れた状態で、把持部２８がウエハ２に当接している。この他にもたとえば、図２（Ｂ）に示すように多関節アーム部４が縮んだときに、偏心部材３１がカム面３７ａに当接した状態で、把持部２８がウエハ２に当接するように、偏心部材３１やカム面３７ａ等が構成されても良い。
【００８５】
上述した形態では、把持部２８は、圧縮コイルバネ２９によって、ウエハ２の把持方向へ付勢されている。この他にもたとえば、図１６に示すように、把持部７８は、付勢部材としての引張りコイルバネ７９によってウエハ２から退避する方向へ付勢されても良い。この場合には、引張りコイルバネ７９の一端を固定するバネ固定部８６ａが軸部材８６に形成されるとともに、引張りコイルバネ７９の一端がバネ固定部８６ａに固定され、引張りコイルバネ７９の他端が基端側に配置される摺動軸受３８に固定されている。また、この場合には、軸部材８６の先端に圧縮コイルバネ８７を介してローラ３４が取り付けられている。なお、図１６では、上述した形態と同一の構成については、同一の符号を付している。
【００８６】
また、この場合には、多関節アーム部４が伸びた状態では、図１６（Ａ）に示すように、偏心部材３１がカム部材３７の内周面から離れ、かつ、多関節アーム部４が縮んだ状態では、図１６（Ｂ）に示すように、図１６におけるカム部材３７の右側の側面となるカム面３７ｂに偏心部材３１が当接するように、固定軸２０の上端の所定の位置に偏心部材３１が取り付けられている。
【００８７】
そのため、多関節アーム部４が伸びた状態では、引張りコイルバネ７９の付勢力で、ローラ３４がウエハ２から退避している。また、多関節アーム部４が縮んだ状態では、偏心部材３１がカム面３７ｂに当接し、把持部７８がウエハ２を把持する方向へ移動してウエハ２を把持している。また、偏心部材３１は、多関節アーム部４が伸びた状態から縮むと、仮想円Ｙに沿って、図１６の反時計方向へ把持部７８に対して相対移動して、カム面３７ｂに当接し、多関節アーム部４が縮んだ状態から伸びると、仮想円Ｙに沿って、図１６の時計方向へ把持部７８に対して相対移動して、カム面３７ｂから離れる。
【００８８】
また、この場合にも、上述した形態と同様に、多関節アーム部４が縮む際の多関節アーム部４の動作の減速時に、把持部７８は、カム面３７ｂに当接する偏心部材３１の作用でウエハ２に当接してウエハ２の把持を開始し、多関節アーム部４が伸びる際の多関節アーム部４の加速時に、把持部７８は、引張りコイルバネ７９の付勢力でウエハ２から退避する。
【００８９】
図１６のように構成される場合であっても、ウエハ２を搬出する際に、多関節アーム部４の伸縮動作開始後、多関節アーム部４の伸縮動作の減速時となるまでの比較的長い間、偏心部材３１によって、把持部７８の移動速度を制御することが可能になる。したがって、把持部７８をゆっくりとウエハ２に当接させて、ウエハ２を把持することが可能になる。その結果、ウエハ２に与える衝撃を抑制することが可能になる。
【００９０】
上述した形態では、ロボット１は、多関節アーム部４が伸縮する際に、ハンド３が一定方向を向いた状態で放射状に移動するいわゆる円筒型ロボットである。この他にもたとえば、本発明の構成が適用されるロボットは、円筒型ロボットでなくても良い。すなわち、多関節アーム部の伸縮に伴ってハンド３の向きが変わるロボットにも本発明の構成を適用することができる。また、上述した形態では、多関節アーム部４は、第２アーム６と第１アーム７との２本のアームによって構成されているが、多関節アーム部４は、３本以上のアームによって構成されても良い。
【００９１】
上述した形態では、当接部材３０は、載置部材２６と別体で形成され、載置部材２６に固定されているが、当接部材３０と同様の機能を備える当接部が載置部材２６に一体で形成されても良い。また、上述した形態では、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材は、圧縮コイルバネ２９であるが、把持部２８を付勢する付勢部材は、板バネ等の他のバネ部材やゴム等の弾性部材であっても良い。
【００９２】
上述した形態では、ロボット１は、真空状態で使用されるいわゆる真空ロボットであるが、ロボット１は、大気中で使用されても良い。すなわち、本発明の構成が適用されるロボットは真空ロボットには限定されない。また、上述した形態では、ロボット１に搬送される搬送対象物は円盤状のウエハ２であるが、ロボット１に搬送される搬送対象物は、ウエハ２以外の円盤状に形成された基板であっても良いし、矩形状等の多角形状に形成された基板等であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットを示す側面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットを示す平面図であり、（Ａ）は多関節アーム部が伸びている状態を示し、（Ｂ）は多関節アーム部が縮んでいる状態を示す。
【図３】図１に示す産業用ロボットが組み込まれた半導体製造システムの概略構成を示す平面図である。
【図４】図１に示す多関節アーム部およびハンド内の動力の伝達機構を説明するための概略断面図である。
【図５】図１に示す多関節アーム部の伸縮状態とハンドの向きとの関係を説明するための図である。
【図６】図１に示すハンドの要部および偏心部材を示す平面図である。
【図７】図２（Ａ）のＦ部の構成を側面から説明するための断面図である。
【図８】図２（Ａ）のＧ部の構成を側面から説明するための断面図である。
【図９】図６のＨ−Ｈ断面を示す断面図である。
【図１０】図６に示す把持部の動作を説明するための図である。
【図１１】図１に示すロボットでウエハの搬出、搬入を行う際の中空回転軸の駆動モータの速度と第１アームの回動角度との関係を示す図である。
【図１２】本発明の他の実施の形態にかかるウエハの搬出、搬入を行う際の中空回転軸の駆動モータの速度と第１アームの回動角度との関係を示す図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態にかかる把持部を説明するための図である。
【図１４】本発明の他の実施の形態にかかる把持部を説明するための図である。
【図１５】本発明の他の実施の形態にかかる把持部を説明するための図である。
【図１６】本発明の他の実施の形態にかかる把持部を説明するための図である。
【符号の説明】
【００９４】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  ウエハ（搬送対象物）
３  ハンド
４  多関節アーム部
５  本体部
６  第２アーム（ハンド保持アーム）
１０  受渡しチャンバー（収納部）
１１  処理チャンバー（収納部）
２８、５８、６８、７８  把持部
２９  圧縮コイルバネ（付勢部材）
３０  当接部材（当接部）
３１  偏心部材
３４  ローラ
３６  軸部材
３７  カム部材
３７ａ  カム面
６１、７９  引張りコイルバネ（付勢部材）
ＣＬ  回動中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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