(57)【要約】【課題】ＶＯＣの除去状態を正確に把握すると共に、消費電力を低減する。【解決手段】工場稼働時間帯には、ＶＯＣ処理部８にＶＯＣを含んだ排ガスが導入され、吸着除去部２４でＶＯＣが吸着除去される。工場終業時間帯には、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全閉、再生用ダンパ１６が全開とされ、再生用ブロワ１３が運転され、かつ、加熱部２５の金属ヒータに電力が供給され、流入口管９→ＶＯＣ処理部８→流出口管１１→分岐管１２→流入口管９の向きに、循環経路に沿って、加熱された空気が循環されて、吸着材及び触媒が加熱され、ＶＯＣが吸着材から脱離されて吸着材が再生されると共に、触媒が活性化されてＶＯＣの分解が促進される。【選択図】図１
2008302347.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
使用時に、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着する吸着部を備えると共に、再生時に、前記吸着部から前記揮発性化合物を脱離させて前記吸着部を再生させる機能を備えた排ガス処理装置であって、
第１の通路と、
第２の通路と、
前記第１の通路に設けられて、前記揮発性化合物を吸着する一方、所定の温度以上では吸着した前記揮発性化合物を脱離させる機能を有する前記吸着部と、
前記第１の通路又は前記第２の通路に設けられ、所定の温度以上で前記揮発性化合物を分解又は分解を促進させる機能を有する触媒部と、
前記第１の通路又は前記第２の通路に設けられ、再生時に、前記吸着部及び前記触媒部がそれぞれの所定の温度で前記機能を発揮できる程度にまで、前記吸着部及び前記触媒部をを加熱すると共に前記揮発性化合物を含むガスも加熱するための加熱部と、
使用時には、前記第２の通路を遮断し、前記第１の通路に前記排ガスを通流させて前記排ガスを排気する一方、再生時には、前記第１の通路と前記第２の通路とによって循環路を形成させ、前記加熱部によって加熱された前記揮発性化合物を含むガスを前記循環路に沿って循環させるように、前記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換えるための通路切換手段と、
再生時に、前記循環路に沿って前記排ガスを通流させるための送風手段とを備えてなることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項２】
前記吸着部の上流側の前記揮発性化合物の第１の濃度を検出するための第１の濃度検出手段と、前記吸着部の下流側の前記揮発性化合物の第２の濃度を検出するための第２の濃度検出手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の排ガス処理装置。
【請求項３】
前記第１の濃度又は／及び前記第２の濃度に基づいて、前記通路切換手段が操作されることを特徴とする請求項２記載の排ガス処理装置。
【請求項４】
前記通路切換手段及び前記加熱部を制御する制御手段を備えてなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の排ガス処理装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記第１の濃度及び前記第２の濃度に基づいて、前記吸着部による前記揮発性化合物の除去度を算出する除去度算出手段を有することを特徴とする請求項４記載の排ガス処理装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記除去度又は前記第２の濃度に基づいて、前記吸着部の再生処理の要否を判定する再生要否定手段を備えたことを特徴とする請求項５記載の排ガス処理装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記除去度又は前記第２の濃度に基づいて、前記吸着部の交換の要否を判定する交換要否判定手段を備えたことを特徴とする請求項５又は６記載の排ガス処理装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記除去度又は前記第２の濃度に基づいて、前記吸着部の再生時の再生処理終了の適否を判定する再生終了適否判定手段を備えたことを特徴とする請求項５、６又は７記載の排ガス処理装置。
【請求項９】
前記制御手段は、少なくとも再生処理の要否判定、及び交換の要否判定の判定結果を報知するための報知手段と、前記通路切換手段を操作するための操作手段とを有することを特徴とする請求項６、７又は８記載の排ガス処理装置。
【請求項１０】
前記排ガスの流量を検出するための流量検出手段を備え、前記制御手段は、前記流量と、前記第１の濃度と前記第２の濃度との差と、前記吸着部による吸着処理時間とに基づいて、前記吸着部による吸着量を算出する吸着量算出手段を有し、前記再生要否定手段は、前記吸着量に基づいて、前記吸着部の再生処理の要否を判定することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１に記載の排ガス処理装置。
【請求項１１】
少なくとも前記吸着部が配置された複数の前記第１の通路と、前記各第１の通路に対応した前記第２の通路とを備えてなることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１に記載の排ガス処理装置。
【請求項１２】
前記複数の第１の通路のうち、所定の前記第１の通路を、流入口から流入した前記排ガスを流出口へ向けて通流させる通路として選択し、別の前記第１の通路を前記循環路の一部として選択するための通路選択手段を備えたことを特徴とする請求項１１記載の排ガス処理装置。
【請求項１３】
前記第１の通路と前記第２の通路との分岐部位のうち、使用時に出口側となる部位から、前記排ガスの流出口へ至る通路の所定の部位には、前記揮発性化合物を除去するためのフィルタ部が着脱自在に配置されていることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１に記載の排ガス処理装置。
【請求項１４】
使用時に、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着部によって吸着すると共に、再生時に、前記吸着部から前記揮発性化合物を脱離させて前記吸着部を再生させる排ガス処理方法であって、
第１の通路と、第２の通路とを設け、
前記揮発性化合物を吸着する一方、所定の温度以上では吸着した前記揮発性化合物を脱離させる機能を有する前記吸着部を、前記第１の通路に設け、
所定の温度以上で前記揮発性化合物を分解又は分解を促進させる機能を有する触媒部を、前記第１の通路又は前記第２の通路に設け、
再生時に、前記吸着部及び前記触媒部がそれぞれの所定の温度で前記機能を発揮できる程度にまで、前記吸着部及び前記触媒部を加熱すると共に前記揮発性化合物を含むガスも加熱するための加熱部を、前記第１の通路又は前記第２の通路に設け、
通路切換手段によって、前記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換え、使用時には、前記第２の通路を遮断し、前記第１の通路に前記排ガスを通流させて前記排ガスを排気する一方、再生時には、前記第１の通路と前記第２の通路とによって循環路を形成させ、前記加熱部によって加熱された前記揮発性化合物を含むガスを、送風手段によって、前記循環路に沿って循環させる
ことを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項１５】
前記吸着部の上流側の前記揮発性化合物の第１の濃度を検出するための第１の濃度検出工程と、前記吸着部の下流側の前記揮発性化合物の第２の濃度を検出するための第２の濃度検出工程とを含み、前記第１の濃度又は／及び前記第２の濃度に基づいて、前記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換えることを特徴とする請求項１４記載の排ガス処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、排ガス処理装置及び排ガス処理方法に係り、例えば、塗装工場や印刷工場等で発生する揮発性有機化合物（ＶＯＣ：Volatile Organic Compounds）等の揮発性化合物を処理するための排ガス処理装置及び排ガス処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、塗装工場や印刷工場、化学工場から排出される排ガスには、トルエン、キシレン、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、クロロホルム、パラジクロロベンゼン、スチレン等の有機排ガスとしてのＶＯＣが含まれ、工場の作業員や、近隣の住民への健康障害、住環境における悪臭問題等を引き起こしている。
さらに、ＶＯＣが大気中に放出されることによって、オゾンや有機過酸化硝酸塩等の光化学オキシダントが合成され、酸性雨や地球温暖化の一つの原因となっている。
【０００３】
工場排ガス規制や、工場内の環境改善の要求に対応するために、ＶＯＣを除去する方法として、吸着法や、燃焼法、薬剤洗浄法等が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
吸着法では、吸着剤に吸着された揮発性化合物を、加熱によって脱離させて再生する再生処理が不可欠である。
【特許文献１】特開２００５−２６２１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする第１の問題点は、上記従来技術の吸着法を用いた排ガス処理装置では、吸着剤の再生処理において、吸着剤の加熱のために、多大な電力を要し、コストが嵩むという点である。
【０００５】
また、第２の問題点は、上記従来技術の吸着法を用いた排ガス処理装置では、例えば、吸着剤の飽和状態の確認が困難で、再生処理を行うべき時期を把握することが困難であるという点である。
【０００６】
このため、吸着剤が十分な吸着機能を有している状態で、交換や再生をせざるを得なかったり、吸着剤が略飽和状態で吸着機能が低下している状態で使用して、ＶＯＣを含む排ガスを未浄化のまま排出してしまう場合があった。
したがって、 吸着剤によって効率的にＶＯＣを吸着除去し、かつ、ＶＯＣを含む排ガスを確実に清浄化することができなかった。
【０００７】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、消費電力を低減し、コストを低減することができる排ガス処理装置及び排ガス処理方法を提供することを第１の目的としている。
また、ＶＯＣ等の揮発性化合物の除去状態を正確に把握することができる排ガス処理装置及び排ガス処理方法を提供することを第２の目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、使用時に、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着する吸着部を備えると共に、再生時に、上記吸着部から上記揮発性化合物を脱離させて上記吸着部を再生させる機能を備えた排ガス処理装置に係り、第１の通路と、第２の通路と、上記第１の通路に設けられて、上記揮発性化合物を吸着する一方、所定の温度以上では吸着した上記揮発性化合物を脱離させる機能を有する上記吸着部と、上記第１の通路又は上記第２の通路に設けられ、所定の温度以上で上記揮発性化合物を分解又は分解を促進させる機能を有する触媒部と、上記第１の通路又は上記第２の通路に設けられ、再生時に、上記吸着部及び上記触媒部がそれぞれの所定の温度で上記機能を発揮できる程度にまで、上記吸着部及び上記触媒部をを加熱すると共に上記揮発性化合物を含むガスも加熱するための加熱部と、使用時には、上記第２の通路を遮断し、上記第１の通路に上記排ガスを通流させて上記排ガスを排気する一方、再生時には、上記第１の通路と上記第２の通路とによって循環路を形成させ、上記加熱部によって加熱された上記揮発性化合物を含むガスを上記循環路に沿って循環させるように、上記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換えるための通路切換手段と、再生時に、上記循環路に沿って上記排ガスを通流させるための送風手段とを備えてなることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の排ガス処理装置に係り、上記吸着部の上流側の上記揮発性化合物の第１の濃度を検出するための第１の濃度検出手段と、上記吸着部の下流側の上記揮発性化合物の第２の濃度を検出するための第２の濃度検出手段とを備えたことを特徴としている。
【００１０】
また、請求項３記載の発明は、請求項２記載の排ガス処理装置に係り、上記第１の濃度又は／及び上記第２の濃度に基づいて、上記通路切換手段が操作されることを特徴としている。
【００１１】
また、請求項４記載の発明は、請求項１、２又は３記載の排ガス処理装置に係り、上記通路切換手段及び上記加熱部を制御する制御手段を備えてなることを特徴としている。
【００１２】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の排ガス処理装置に係り、上記制御手段は、上記第１の濃度及び上記第２の濃度に基づいて、上記吸着部による上記揮発性化合物の除去度を算出する除去度算出手段を有することを特徴としている。
【００１３】
また、請求項６記載の発明は、請求項５記載の排ガス処理装置に係り、上記制御手段は、上記除去度又は上記第２の濃度に基づいて、上記吸着部の再生処理の要否を判定する再生要否定手段を備えたことを特徴としている。
【００１４】
また、請求項７記載の発明は、請求項５又は６記載の排ガス処理装置に係り、上記制御手段は、上記除去度又は上記第２の濃度に基づいて、上記吸着部の交換の要否を判定する交換要否判定手段を備えたことを特徴としている。
【００１５】
また、請求項８記載の発明は、請求項５、６又は７記載の排ガス処理装置に係り、上記制御手段は、上記除去度又は上記第２の濃度に基づいて、上記吸着部の再生時の再生処理終了の適否を判定する再生終了適否判定手段を備えたことを特徴としている。
【００１６】
また、請求項９記載の発明は、請求項６、７又は８記載の排ガス処理装置に係り、上記制御手段は、少なくとも再生処理の要否判定、及び交換の要否判定の判定結果を報知するための報知手段と、上記通路切換手段を操作するための操作手段とを有することを特徴としている。
【００１７】
また、請求項１０記載の発明は、請求項６乃至９のいずれか１に記載の排ガス処理装置に係り、上記排ガスの流量を検出するための流量検出手段を備え、上記制御手段は、上記流量と、上記第１の濃度と上記第２の濃度との差と、上記吸着部による吸着処理時間とに基づいて、上記吸着部による吸着量を算出する吸着量算出手段を有し、上記再生要否定手段は、上記吸着量に基づいて、上記吸着部の再生処理の要否を判定することを特徴としている。
【００１８】
また、請求項１１記載の発明は、請求項１乃至１０のいずれか１に記載の排ガス処理装置に係り、少なくとも上記吸着部が配置された複数の上記第１の通路と、上記各第１の通路に対応した上記第２の通路とを備えてなることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項１２記載の発明は、請求項１１記載の排ガス処理装置に係り、上記複数の第１の通路のうち、所定の上記第１の通路を、流入口から流入した上記排ガスを流出口へ向けて通流させる通路として選択し、別の上記第１の通路を上記循環路の一部として選択するための通路選択手段を備えたことを特徴としている。
【００２０】
また、請求項１３記載の発明は、請求項１乃至１２のいずれか１に記載の排ガス処理装置に係り、上記第１の通路と上記第２の通路との分岐部位のうち、使用時に出口側となる部位から、上記排ガスの流出口へ至る通路の所定の部位には、上記揮発性化合物を除去するためのフィルタ部が着脱自在に配置されていることを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１４記載の発明は、使用時に、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着部によって吸着すると共に、再生時に、上記吸着部から上記揮発性化合物を脱離させて上記吸着部を再生させる排ガス処理方法に係り、第１の通路と、第２の通路とを設け、上記揮発性化合物を吸着する一方、所定の温度以上では吸着した上記揮発性化合物を脱離させる機能を有する上記吸着部を、上記第１の通路に設け、所定の温度以上で上記揮発性化合物を分解又は分解を促進させる機能を有する触媒部を、上記第１の通路又は上記第２の通路に設け、再生時に、上記吸着部及び上記触媒部がそれぞれの所定の温度で上記機能を発揮できる程度にまで、上記吸着部及び上記触媒部を加熱すると共に上記揮発性化合物を含むガスも加熱するための加熱部を、上記第１の通路又は上記第２の通路に設け、通路切換手段によって、上記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換え、使用時には、上記第２の通路を遮断し、上記第１の通路に上記排ガスを通流させて上記排ガスを排気する一方、再生時には、上記第１の通路と上記第２の通路とによって循環路を形成させ、上記加熱部によって加熱された上記揮発性化合物を含むガスを、送風手段によって、上記循環路に沿って循環させることを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１５記載の発明は、請求項１４記載の排ガス処理方法に係り、上記吸着部の上流側の上記揮発性化合物の第１の濃度を検出するための第１の濃度検出工程と、上記吸着部の下流側の上記揮発性化合物の第２の濃度を検出するための第２の濃度検出工程とを含み、上記第１の濃度又は／及び上記第２の濃度に基づいて、上記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換えることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
この発明の構成によれば、通路切換手段によって、第１の通路が選択されると、流入口から排ガスが流入し、吸着部によって排ガスに含まれる揮発性化合物が吸着除去されて、流出口から排出され、第１の通路及び第２の通路からなる循環路が選択されると、流入口及び流出口が遮断され、循環路に沿って、加熱部によって加熱された揮発性化合物を含むガスが循環して、吸着部が加熱されて吸着部によって吸着された揮発性化合物が脱離して吸着部が再生され、かつ、触媒が活性化されて、脱離した揮発性化合物の分解又は分解が促進されるので、消費電力を低減し、コストを低減することができる。
【００２４】
また、第１の濃度検出手段及び第２の濃度検出手段によって、吸着部の上流側の揮発性化合物の第１の濃度及び吸着処理部の下流側の揮発性化合物の第２の濃度を検出することによって、揮発性化合物の除去状態を正確に把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
通路切換手段によって、第１の通路が選択されると、流入口から排ガスが流入し、吸着部によって排ガスに含まれる揮発性化合物が吸着除去されて、流出口から排出され、第１の通路及び第２の通路からなる循環路が選択されると、流入口及び流出口が遮断され、循環路に沿って、加熱部によって加熱された揮発性化合物を含むガスが循環して、吸着部が加熱されて吸着部によって吸着された揮発性化合物が脱離して吸着部が再生され、かつ、触媒が活性化されて、脱離した揮発性化合物の分解又は分解が促進されることによって、消費電力を低減し、コストを低減するという第１の目的を実現した。
【００２６】
また、第１の濃度検出手段及び第２の濃度検出手段によって、吸着部の上流側の揮発性化合物の第１の濃度及び吸着部の下流側の揮発性化合物の第２の濃度を検出することによって、ＶＯＣ等の揮発性化合物の除去状態を正確に把握するという第２の目的を実現した。
【実施例１】
【００２７】
図１は、この発明の第１の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図、図２は、同ＶＯＣ除去装置の構成を示す側面図、図３は、同ＶＯＣ除去装置の構成を示すブロック図、図４は、同ＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部の金属ヒータの構成を示す断面図、図５は、図４のＡ部を拡大して示す拡大断面図、図６は、同金属ヒータの構成を示す斜視図、図７は、同ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置の構成を示す正面図、また、図８及び図９は、同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【００２８】
この例のＶＯＣ除去装置１は、図１に示すように、例えば、印刷工場や塗装工場等の建物内の印刷機等のＶＯＣ発生源Ｓから、ＶＯＣを含む空気を吸気口２を介して吸気して、排出口３から建物外へ排出するまでの排気経路の途中に組み込まれ、発生したＶＯＣを除去して清浄な空気を排出するために用いられる。
すなわち、吸気口２から吸気ブロワ４によって吸気されて排気ダクト５を通流してＶＯＣ除去装置１においてＶＯＣが除去され浄化された空気は、排気ダクト６を通流して排出口３から建物外へ排出される。
【００２９】
このＶＯＣ除去装置１は、図１及び図２に示すように、ＶＯＣを含む空気が通流されてＶＯＣを除去して排出するＶＯＣ処理部８と、ＶＯＣ処理部８の上流側端部及び下流側端部に取り付けられた流入口管９及び流出口管１１と、吸着材の再生時に循環経路を構成し、両端がそれぞれ流入口管９と流出口管１１に接続された分岐管１２と、分岐管１２の所定の部位に配置され、吸着材の再生時に循環経路に沿って空気を通流させるための再生用ブロワ１３と、流入口管９の上流側端部に設けられた入口側ダンパ１４と、流出口管１１の下流側端部に設けられた出口側ダンパ１５と、分岐管１２の流入口管９側の端部に設けられた再生用ダンパ１６と、ＶＯＣ処理部８の下流側端部（触媒担持部２６の下流側）に配置され、熱電対からなる温度検出部１７と、ＶＯＣ処理部８の上流側（吸着除去部２４の上流側）及び下流側（触媒担持部２６の下流側）に配置されＶＯＣの濃度を検出するための入口側ＶＯＣ検出部１８、出口側ＶＯＣ検出部１９と、ＶＯＣ濃度を監視すると共に、ＶＯＣ処理部８を構成する金属ヒータ２８、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を制御するための監視・制御装置２１とがユニット化されて概略構成されている。
【００３０】
ＶＯＣ除去装置１は、上流側及び下流側でそれぞれ排気ダクト５，６に接続される。なお、ＶＯＣ除去装置１は、例えば、図２に示すように、架台２２に取り付けられて配置されている。
この例では、工場稼働時間帯には、吸気ブロワ４が運転され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開、再生用ダンパ１６が全閉とされ、再生用ブロワ１３が停止された状態で、ＶＯＣ処理部８にＶＯＣを含んだ排ガスが導入され、ＶＯＣ吸着除去工程が実施されて、浄化された空気が排出口３から排出される（図８参照）。
【００３１】
また、工場終業（休業）時間帯には、吸気ブロワ４が停止され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全閉、再生用ダンパ１６が全開とされ、再生用ブロワ１３が運転され、かつ、ＶＯＣ処理部８を構成する加熱部２５がオンとされて、流入口管９→ＶＯＣ処理部８→流出口管１１→分岐管１２→流入口管９の向きに、循環経路に沿って、加熱された空気が循環されて、ＶＯＣ処理部８を構成する吸着除去部２４の吸着材及び触媒担持部２６の触媒が加熱され、ＶＯＣが吸着材から脱離（脱着）して吸着材が再生されると共に、触媒が活性化されてＶＯＣの分解が促進される再生工程と、再生用ダンパ１６が全閉とされ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開とされ、再生用ブロワ１３が停止され、かつ、加熱部２５がオフとされて、浄化された空気が排出口３から排出される排出工程と、特に吸着除去部２４の吸着材が冷却される冷却工程とが実施される（図９参照）。
【００３２】
ＶＯＣ処理部８は、ＶＯＣを吸着して除去するための吸着材からなる吸着除去部（吸着器）２４と、金属ヒータ２８からなる加熱部２５と、ＶＯＣの分解を促進するための触媒担持部２６とが容器２７内に格納されて概略構成されている。
吸着除去部２４は、例えば、疎水性ゼオライトがハニカム構造状に成形されてなる吸着材を有している。
触媒担持部２６は、例えば、金属製のハニカム構造体に白金等の酸化触媒が担持されてなっている。
なお、この例では、ＳＶ（Space Velocity）値（単位時間に単位体積の吸着材（触媒）を通過するガス量）は、所定値（例えば、略４７０００［１／ｈｒ]）以下に設定される。
【００３３】
加熱部２５は、再生工程で、通流する空気を加熱し、吸着除去部２４及び触媒担持部２６を加熱させることによって、吸着材からＶＯＣを脱離させると共に、触媒を活性化させる。
加熱部２５を構成する金属ヒータ２８（例えば、５ｋＷ）は、図４乃至図６に示すように、金属多孔体としての所定の幅（例えば、略５０ｍｍ）の長手方向波型の波型金属板２９を、葛折りに折り重ねて構成され、金属多孔体の層間隙間に、排ガスを通し、該排気ガスを加熱するために用いられる。金属板の材料としては、ステンレス鋼等が用いられる。
【００３４】
金属ヒータ２８は、帯状金属平板（例えば、厚さ略４０μｍのＳＵＳ３０４（C：0.08%以下,Si:1.00%以下,Mn:2.00%以下,P:0.045%以下,S:0.030%以下,Ni:8.00%〜10.50%,Cr:18.00%〜20.00%）等のステンレス鋼板が好ましい。）に、例えばプレス加工、ローラプレス加工等を施すことで、縁部に有面突起ｐa，ｐbを持つ多数の四角形状の貫通孔Ｈa、Ｈb、…が穿設されている長手方向波型の波型金属板２９を形成し、このようにして得られた波型金属板２９を長手方向に向けて、折り重ねて作成される。
【００３５】
貫通孔Ｈa、Ｈbは、列状の起伏を構成する谷部及び山部に設けられ、かつ、上記有面突起ｐa，ｐbの略全部又は過半数が、山部では下方に谷部では上方に相当する列状凹部３１側に設けられている。
すなわち、波型金属板２９に穿設されている貫通孔Ｈaは、縁部に裏面から表面側へ向けて折曲されて突起する互いに対向する４つの有面突起ｐaを持っている。また、貫通孔Ｈbは、表面から裏面側へ向けて折曲されて突起する互いに対向する４つの有面突起ｐbを持っている。
この例では、貫通孔Ｈa（Ｈb）の縁部を構成する４辺のうち、空気（排出ガス）の流れの上流側と下流側の２辺には、三角形状の有面突起ｐa（ｐb）が立設され、他の２辺には、台形状の有面突起ｐa（ｐb）が立設されている。
【００３６】
入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９は、試料ガスが導かれる測定室内に、例えば、電気抵抗式の半導体センサが、ＶＯＣセンサとして配置されて概略構成されている。
ここで、試料ガスは、エアポンプによって吸引されて排気経路（容器２７）から分岐されて吸気管を経由して測定室へ導入され、排気管を経由して排気経路へ戻される。
【００３７】
また、吸気管には、電磁弁が設けられ、この電磁弁の開閉によって一定量の試料ガスが測定室内に導入される。なお、この例では、測定前に、測定室内に清浄な空気（ＶＯＣを含まない空気）が導入されてゼロ点調整が行われる。また、測定室内に校正用ガスが導入されて定期的に校正がなされる。
【００３８】
監視・制御装置２１は、図３に示すように、ＣＰＵ等からなり、監視・制御装置本体の構成各部を制御する主制御部３３と、主制御部３３が実行する処理プログラムや各種データ等を記憶するための記憶部３４と、運転／停止操作や、ＶＯＣ濃度表示等を行うための操作・表示部３５と、計時部３６と、金属ヒータ２８の温度を制御するヒータ制御部３７と、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を駆動するモータ駆動部３８とを有してなっている。
なお、主制御部３３は、入口側ＶＯＣ検出部１８及び入口側ＶＯＣ検出部１９や、ヒータ制御部３７のデジタル調温器、操作・表示部３５のデジタル表示器等と、ＲＳ−２３２Ｃ回路部やＲＳ−４８５回路部を含む入出力制御部を介して、信号の授受を行う。
【００３９】
主制御部３３は、記憶部３４に記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部３４に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。
【００４０】
主制御部３３は、ＶＯＣ濃度情報取得処理で、入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９から、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
主制御部３３は、ＶＯＣ除去率算出処理で、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度に基づいて、濃度差（出口側のＶＯＣ濃度Ｎbと入口側のＶＯＣ濃度Ｎaとの差（Ｎa−Ｎb））の入口側のＶＯＣ濃度に対する割合（（（Ｎa−Ｎb）／Ｎa）×１００（％））を、ＶＯＣ除去率として算出する。
【００４１】
判定処理は、再生要否判定処理と、再生終了判定処理と、劣化状態判定処理とを含んでいる。
主制御部３３は、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行う。すなわち、主制御部３３は、算出したＶＯＣ除去率が、基準除去率以下の場合に、再生処理要と判定する。
なお、予め設定した基準濃度（出口側のＶＯＣ濃度）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行っても良い。
【００４２】
主制御部３３は、再生終了判定処理で、予め設定された再生時間（例えば、略２０min）に基づいて、再生終了の適否の判定を行う。すなわち、主制御部３３は、再生処理開始から、設定された再生時間経過したと判断すると、再生終了すべきとの判定を行う。
主制御部３３は、劣化状態判定処理で、予め設定した再生直後の基準除去率（例えば、７０％）に基づいて、劣化状態の判定（交換の要否判定）を行う。すなわち、主制御部３３は、算出したＶＯＣ除去率が、基準除去率以下の場合に、交換要と判定する。
なお、予め設定した再生直後の濃度（出口側のＶＯＣ濃度）に基づいて、劣化状態の判定を行っても良い。
【００４３】
主制御部３３は、表示制御処理で、デジタル表示器４１に、例えば、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度、並びにＶＯＣ除去率を表示させる。
主制御部３３は、警報出力処理で、再生要否判定処理で再生処理開始要の判定がなされると、再生警告表示／再生実行ボタン４４の表示灯を点灯させ、再生終了判定処理で再生終了の判定がなされると、再生終了表示／再生停止ボタン４５の表示灯を点灯させ、劣化状態判定処理で、吸着材交換要の判定がなされると、例えば、警告表示灯４３を点灯させる。
【００４４】
主制御部３３は、再生警告表示／再生実行ボタン４４が押下されると、流路切換制御処理で、モータ駆動部３８を介して、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全閉、再生用ダンパ１６を全開とさせ、再生用ブロワ１３を駆動させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を開始させ、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタン４５が押下されると、モータ駆動部３８を介して、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせ、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を停止させる。
なお、主制御部３３は、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５、及び再生用ダンパ１６の切換時間を監視して、故障の診断を行う。
【００４５】
流路切換制御処理は、ヒータ制御処理を含み、主制御部３３は、ヒータ制御処理で、温度検出部１７によって検知された温度と、設定された再生温度（例えば、略３００℃）とに基づいて、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。
また、主制御部３３は、ＶＯＣ濃度が爆発限界の例えば、１／５を越えないように、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。また、主制御部３３は、金属ヒータ２８を保護するために、金属ヒータ２８に供給される最大電力を管理する。
【００４６】
記憶部３４は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリ等からなり、主制御部３３が実行するＶＯＣ濃度取得処理プログラムや、ＶＯＣ除去率算出処理プログラム、判定処理プログラム、表示制御処理プログラム、警報出力処理プログラム、流路切換制御処理プログラム等の各種処理プログラム等が記憶されたプログラム記憶領域と、測定情報や設定情報等の各種情報が記憶された情報記憶領域とを有している。
【００４７】
測定情報は、測定されたＶＯＣ濃度情報及びガス温度情報や、時刻、再生処理における再生開始からの経過時間、再生回数等を含んでいる。なお、ＶＯＣ濃度情報として、ｐｐｍＣ換算値（濃度［ｐｐｍ］に分子式中の炭素原子数を乗じた値）を含む。
設定情報は、再生時間、再生温度（再生時のガスの温度）、再生要否判定時の基準除去率、再生要否判定時の基準濃度、劣化判定時の基準除去率（警報出力時の除去率）、劣化判定時の基準濃度、基準時間（例えば、警報出力を行うべき再生開始からの経過時間）、基準再生回数（警報出力を行うべき再生回数）のほか、装置ＩＤ番号を含んでいる。
【００４８】
操作・表示部３５は、図７に示すように、液晶パネル等からなり、入口側ＶＯＣ濃度、出口側ＶＯＣ濃度及びＶＯＣ除去率等の測定値や、各種メッセージ等を表示するデジタル表示器４１と、電源表示灯４２と、警告表示灯４３と、再生警告表示／再生実行ボタン４４と、再生終了表示／再生停止ボタン４５と、警告ブザー４６と、電源スイッチ４７と、非常停止ボタン４８とを有している。
ヒータ制御部３７は、デジタル調温器を含んでいる。また、モータ駆動部３８は、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６のモータを制御する。
【００４９】
次に、図８及び図９を参照して、この例のＶＯＣ除去装置１の動作について説明する。
まず、入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９において、測定室内に清浄な空気が導入されてゼロ点補正が行われる。
工場稼働時間帯には、図８に示すように、吸気ブロワ４が運転され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開、再生用ダンパ１６が全閉とされ、再生用ブロワ１３が停止され、かつ、加熱部２５がオフとされた状態で、ＶＯＣ処理部８にＶＯＣを含んだ排ガスが導入され、ＶＯＣ吸着除去工程が実施されて、吸着材によってＶＯＣが吸着され、浄化された空気が排出口３から排出される。
【００５０】
主制御部３３は、ＶＯＣ濃度取得処理で、入口側ＶＯＣ検出部１８及び出口側ＶＯＣ検出部１９から、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
主制御部３３は、ＶＯＣ除去率算出処理で、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度に基づいて、濃度差（出口側のＶＯＣ濃度Ｎbと入口側のＶＯＣ濃度Ｎaとの差（Ｎa−Ｎb））の入口側のＶＯＣ濃度に対する割合（（（Ｎa−Ｎb）／Ｎa）×１００（％））を、ＶＯＣ除去率として算出する。
【００５１】
主制御部３３は、表示制御処理で、デジタル表示器４１に、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度、並びにＶＯＣ除去率を表示させる。
主制御部３３は、再生要否判定処理で、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行う。
主制御部３３は、再生要否判定処理で再生処理開始要の判定がなされると、警報出力処理で、再生警告表示／再生実行ボタン４４の表示灯を点灯させる。
【００５２】
また、工場終業（休業）時間帯には、図９に示すように、吸気ブロワ４が停止され、主制御部３３は、再生警告表示／再生実行ボタン４４が押下されると、流路切換制御処理で、モータ駆動部３８を介して、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全閉、再生用ダンパ１６を全開とさせ、再生用ブロワ１３を駆動させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を開始させる。
ここで、主制御部３３は、ヒータ制御処理で、温度検出部１７によって検知された温度と、設定された再生温度（例えば、略３００℃）とに基づいて、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。
【００５３】
このように、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全閉、再生用ダンパ１６が全開とされ、再生用ブロワ１３が運転され、かつ、ＶＯＣ処理部８を構成する加熱部２５がオンとされて、流入口管９→ＶＯＣ処理部８→流出口管１１→分岐管１２→流入口管９の向き（図９において反時計周り）に、循環経路に沿って、加熱された空気が循環されて、ＶＯＣ処理部８を構成する吸着除去部２４の吸着材及び触媒担持部２６の触媒が加熱され、ＶＯＣが吸着材から脱離されて吸着材が再生されると共に、触媒が活性化されて、ＶＯＣがＨ２ＯとＣＯ２とに分解される。
なお、殆どのＶＯＣは、略２５０℃以下の温度で分解されることが確認されており、例えば、略３００℃の再生温度に設定することによって、清浄化された空気が排出されることとなる。
【００５４】
主制御部３３は、再生終了判定処理で再生終了の判定をがなされると、再生終了表示／再生停止ボタン４５の表示灯を点灯させる。
主制御部３３は、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタン４５が押下されると、モータ駆動３８を介して、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせ、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を停止させる。この後、必要に応じて、吸気ブロワ４が運転される。
こうして、浄化された空気が排出口３から排出される。次に、吸着除去部２４の吸着材が冷却される（例えば、３０℃以下とされる。）。
【００５５】
なお、主制御部３３は、劣化状態判定処理で、予め設定した再生直後の基準除去率（例えば、７０％）に基づいて、劣化状態の判定（交換の要否判定）を行い、吸着材交換要の判定がなされると、例えば、警告表示灯４３を点灯させる。
上述したように、加熱された空気を、閉じた循環路に沿って循環させて、吸着材を再生する方法を採用すると、空気を循環させない従来の方法を用いた場合に対して、消費電力は、略１／３以下であった。
【００５６】
このように、この例の構成によれば、加熱された空気を、閉じた循環路に沿って循環させて、吸着除去部２４及び触媒担持部２６を加熱するので、熱の放散を抑制し、金属ヒータ２８の加熱に要する電力を低減しつつ、確実に、吸着材からＶＯＣを脱離させ、かつ、触媒を活性化させて、ＶＯＣを分解することができる。すなわち、コストを低減することができる。
また、閉じた循環路に沿って、空気を循環させるので、加熱中のＶＯＣの漏洩を抑制することができる。
【００５７】
また、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を測定することによって、例えば、ＶＯＣ除去率を算出して、吸着除去部２４によるＶＯＣの除去状態（吸着状態）を正確に把握することができるので、吸着材（吸着剤）の詳細な特性が不明であっても、吸着材の再生処理の要否を正確にかつ確実に判定することができる。
【００５８】
したがって、吸着材が略飽和状態で吸着機能が低下している状態で使用して、ＶＯＣを含む空気を未浄化のまま排出してしまうことを防止し、かつ、吸着材が十分な吸着機能を有している状態で、交換や再生をしてしまうことを回避することができる。
すなわち、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化し、かつ、吸着材によって効率的にＶＯＣを吸着除去することができる。また、吸着材の長寿命化を図ることができる。
【００５９】
また、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を測定することによって、例えば、ＶＯＣ除去率を算出して、劣化状態（交換の要否）の判定を正確にかつ確実に判定することができる。
また、監視装置と制御装置を一体化したので、操作性を向上させることができる。
また、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を測定し、これらのＶＯＣ濃度と、ＶＯＣ除去率とが表示されるので、表示を確認することによって、操作者は、安心感を得ることができる。
【００６０】
また、操作者は、表示を確認し、必要に応じて、再生警告表示／再生実行ボタン４４や、再生終了表示／再生停止ボタン４５を押すのみで、自動的に流路が切り換り、自動的に運転されるので、例えば、熟練した操作者が操作しなくても、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化することができる。
【００６１】
また、触媒を用いて、ＶＯＣを分解するので、比較的低い処理温度で、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化することができる。
また、再生工程（加熱工程）では、閉じた密閉構造の循環路に沿って、空気を循環させるので、安全性を向上させることができる。
また、再生工程で、脱離させる場合も、ＶＯＣ濃度を管理することによって、爆発等を防止することができる。
また、ヒータ制御によって、金属ヒータの過熱を防止することができる。
このように、安全性を向上させることができる。
【実施例２】
【００６２】
図１０は、この発明の第２の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を示すブロック図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、排ガスの流量を計測し、流量と、入口側のＶＯＣ濃度と出口側のＶＯＣ濃度との濃度差と、吸着時間とに基づいて、吸着材による吸着量を算出し、ＶＯＣ除去率に代えて、吸着量に基づいて、吸着材の再生要否判定を行うように構成した点である。
【００６３】
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、第１の実施例と同一の構成要素については、図１０において、図３で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【００６４】
このＶＯＣ除去装置は、図１０に示すように、ＶＯＣ処理部８と、流入口管９及び流出口管１１と、分岐管１２と、再生用ブロワ１３と、入口側ダンパ１４と、出口側ダンパ１５と、再生用ダンパ１６と、温度検出部１７と、入口側ＶＯＣ検出部１８と、出口側ＶＯＣ検出部１９と、例えばＶＯＣ処理部８の上流側（吸着除去部２４の上流側）に配置され、排ガスの流量を測定するための流量検出部５１と、ＶＯＣ濃度を監視すると共に、ＶＯＣ処理部８を構成する金属ヒータ２８、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を制御するための監視・制御装置２１Ａとがユニット化されて概略構成されている。
【００６５】
監視・制御装置２１Ａの主制御部３３Ａは、記憶部３４Ａに記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部３４に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、排ガス流量情報取得処理、吸着量算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。
【００６６】
主制御部３３Ａは、排ガス流量情報取得処理で、流量検出部５１から排ガスの流量情報を取得する。
主制御部３３Ａは、吸着量算出処理で、排ガスの流量と、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度の差と、吸着材による使用開始後又は再生処理後からの吸着処理時間とに基づいて、吸着材による吸着量を算出する。
主制御部３３Ａは、判定処理のうち、再生要否判定処理で、吸着材による吸着量に基づいて、再生処理開始の要否判定を行う。
【００６７】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、主制御部３３Ａは、吸着材による吸着量を算出し、算出した吸着量に基づいて、吸着材の再生要否判定を行うので、一段と正確に、吸着材の飽和状態を確認し、再生処理を行うべき時期を把握することができる。
【実施例３】
【００６８】
図１１は、この発明の第３の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図、また、図１２及び図１３は、同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、第１の実施例では、単一のＶＯＣ処理部を配置したのに対して、２基のＶＯＣ処理部を設けて、例えば交互に、吸着除去工程と、再生及び冷却工程とを実施するように構成した点である。
【００６９】
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、第１の実施例と同一の構成要素については、図１１乃至図１３において、図１、図８及び図９で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【００７０】
このＶＯＣ除去装置１Ｂは、図１１に示すように、第１ＶＯＣ処理部５３及び第２ＶＯＣ処理部５４と、流入口管５５，５６及び流出口管５７，５８と、分岐管５９と、再生用ブロワ６１と、流入側切換部６２と、流出側切換部６３と、第１温度検出部６４及び第２温度検出部６５と、第１入口側ＶＯＣ検出部６６及び第２入口側ＶＯＣ検出部６７と、第１出口側ＶＯＣ検出部６８及び第２出口側ＶＯＣ検出部６９と、監視・制御装置２１Ｂとがユニット化されて概略構成されている。
【００７１】
第１ＶＯＣ処理部５３（第２ＶＯＣ処理部５４）は、吸着除去部７１（７２）と、加熱部７３（７４）と、触媒担持部７５（７６）とが容器７７（７８）内に格納されて概略構成されている。
【００７２】
流入側切換部６２は、流入した排ガスを、第１ＶＯＣ処理部５３又は第２ＶＯＣ処理部５４へ切り換えて導くための切換ダンパ７９と、分岐管５９と第１ＶＯＣ処理部５３又は第２ＶＯＣ処理部５４とを切り換えて接続するための切換ダンパ８１とを有している。
流出側切換部６３は、分岐管５９と第１ＶＯＣ処理部５３又は第２ＶＯＣ処理部５４とを切り換えて接続するための切換ダンパ８２と、第１ＶＯＣ処理部５３又は第２ＶＯＣ処理部５４から排出された清浄化されたガスを排出口３へ導くための切換ダンパ８３とを有している。
【００７３】
監視・制御装置２１Ｂの主制御部は、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。ここで、判定処理は、再生要否判定処理と、再生終了判定処理と、劣化状態判定処理とを含んでいる。
【００７４】
この例の主制御部は、図１２に示すように、第１ＶＯＣ処理部５３で、吸着除去を実施していた場合に、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行い、算出した除去率が基準除去率以下となり、第１ＶＯＣ処理部５３の吸着除去部７１の吸着材の再生要と判定すると、流路切換制御処理で、図１３に示すように、切換ダンパ７９，８３を第１ＶＯＣ処理部５３側を閉とするように制御し、切換ダンパ８１，８２を、第１ＶＯＣ処理部５４と分岐管５９とが連通されるように制御し、第２ＶＯＣ処理部５４で、吸着除去を実施する。
同時に、第１ＶＯＣ処理部５３の加熱部７３に、所定の再生時間、電力を供給し、かつ、再生用ブロワ６１を運転して、再生工程を実施する。再生用ブロワ６１は、再生時間終了後、所定時間運転を継続して、冷却工程を実施する。
【００７５】
また、この主制御部は、図１３に示すように、第２ＶＯＣ処理部５４で、吸着除去を実施していた場合に、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行い、第２ＶＯＣ処理部５４の吸着除去部７２の吸着材の再生要と判定すると、流路切換制御処理で、図１２に示すように、切換ダンパ７９，８３を、第２ＶＯＣ処理部５４側を閉とするように制御し、切換ダンパ８１，８２を、第２ＶＯＣ処理部５４と分岐管５９とが連通されるように制御し、第１ＶＯＣ処理部５３で、吸着除去を実施する。
同時に、第２ＶＯＣ処理部５４の加熱部７４に、所定の再生時間、電力を供給し、かつ、再生用ブロワ６１を運転して、再生工程を実施する。再生用ブロワ６１は、再生時間終了後、所定時間運転を継続して、冷却工程を実施する。
【００７６】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、例えば、工場操業時、工場休業時にかかわらず、吸着除去処理と、再生処理とを、同時に実施することができる。したがって、ＶＯＣ除去装置として、連続的に吸着除去処理を実施して、常時排ガスを清浄化することができる。また、操作ボタンの操作によることなく、自動運転を行うことができる。
【実施例４】
【００７７】
図１４は、この発明の第４の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、出口側ダンパと排出口との間に、脱臭フィルタを配置した点である。
【００７８】
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、第１の実施例と同一の構成要素については、図１４において、図１で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【００７９】
このＶＯＣ除去装置１Ｃは、図１４に示すように、ＶＯＣ処理部８と、流入口管９及び流出口管１１と、分岐管１２と、再生用ブロワ１３と、入口側ダンパ１４と、出口側ダンパ１５と、再生用ダンパ１６と、温度検出部１７と、入口側ＶＯＣ検出部１８、出口側ＶＯＣ検出部１９と、出口側ダンパ１５と排出口３との間に配置され、フィルタ部としての活性炭素繊維からなるカートリッジ式の脱臭フィルタ８５と、監視・制御装置２１Ｃとがユニット化されて概略構成されている。
【００８０】
この例では、使用時には、吸着除去部２４で吸着されなかった排ガス中のＶＯＣは、脱臭フィルタ８５で、吸着・除去される。
再生処理において、監視・制御装置２１Ｃの主制御部は、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタンが押下されると、モータ駆動を介して、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部を介して、加熱部２５の金属ヒータへの電力供給を停止させる。
【００８１】
この主制御部は、温度検出部１７によって検出された温度が所定値以下となったときに、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、かつ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせて、空気を排出させる。この後、必要に応じて、吸気ブロワ４を運転する。
再生処理後、触媒担持部２６で分解されなかったＶＯＣは、排出口３へ向けて通流される途中で、脱臭フィルタ８５において、吸着・除去される。
【００８２】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、一段と確実にＶＯＣを除去することができる。
【００８３】
以上、この発明の実施例を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。
例えば、上述した実施例では、例えば、監視・制御装置の操作・表示部を操作することによって、自動的にダンパーの切換え等を行う場合について述べたが、表示機能を備えたＶＯＣ検出部を、ＶＯＣ処理部の上流側及び下流側に配置し、操作者が、両ＶＯＣ検出部の表示を確認して、手動でダンパーを切り換え、再生ブロワの操作を行っても良い。
また、ＶＯＣ検出部を廃して、単に、ダンパーを切り換え、再生ブロワを操作して、排ガスを循環させて、吸着材の再生処理を所定時間施すようにしても良い。
【００８４】
また、触媒担持部と、加熱部とは、必ずしも、吸着除去部の近傍に配置されていなくても良く、例えば、触媒担持部及び加熱部を、分岐管内に配置するようにしても良いし、両方に配置しても良い。
また、温度検出部は、ＶＯＣ処理部の下流側端部（触媒担持部の下流側）に限らず、ＶＯＣ処理部の上流側端部（吸着除去部の上流側）に配置しても良いし、吸着除去部と加熱部との間や、触媒担持部と加熱部との間に配置しても良いし、複数箇所に配置しても良い。
また、吸着材の再生処理後は、再生用ブロワを停止させ、入口側ダンパ及び再生用ダンパを全閉とさせ、出口側ダンパを全開とさせても良い。また、各ダンパの開度を制御するようにしても良い。
【００８５】
また、ＶＯＣ処理部の前段にフィルタ（例えば、金網フィルタ等）を配置しても良い。また、触媒担持部で、白金等の酸化触媒を担持させるハニカム構造体は、金属製に限らず、例えば、セラミック製であっても良いし、ハニカム構造体に限らず、担体としては、球状体でも多角形状体でも棒状体等でも良い。また、触媒としては、白金のほか、パラジウム、バナジウム等の他の貴金属系触媒を用いても良い。
【００８６】
また、吸着除去部及び触媒担持部で、金属ヒータに、吸着剤や触媒を担持させても良い。この場合、加熱部を独立させて設けなくても良い。
また、除去可能な物質としては、ＶＯＣに限らず、アンモニアや硫化水素等の物質であっても良いし、例えば、水蒸気等であっても良い。
また、水蒸気の濃度が低いときは、吸着剤として、疎水性ゼオライトに限らず、通常の親水性ゼオライトを用いても良い。また、吸着剤として、活性炭や、シリカゲル等を用いても良い。
【００８７】
また、金属ヒ−タは、吸着除去部の前段側（上流側）に配置しても良いし、触媒担持部の後段側（下流側）に配置しても良いし、複数箇所に配置しても良い。
また、金属ヒータは、複数の波型金属板を重ねた状態で折り重ねるようにしても良い。また、波型に限らず、金属多孔体としての平板状の平型金属板を折り重ねるようにしても良い。また、共に金属多孔体としての長手方向波型の波型金属板と平板状の平型金属板を、重ね合わせた状態で、折り重ねるようにしても良い。
【００８８】
また、金属ヒータは、金属多孔体としての長手方向波型の波型金属板を渦巻き状に巻き上げて構成しても良い。この場合も、波型金属板に代えて平型金属板を用いても良いし、波型金属板と平型金属板とを重ね合わせた状態で、又は、複数の波型金属板又は複数の平型金属板を重ねた状態で、渦巻き状に巻き上げて構成しても良い。
また、有面突起が、山部では上方に谷部では下方に相当する列状凹部側に設けられるように貫通孔を形成するようにしても良い。
【００８９】
また、監視・制御装置で、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を、主制御部が、対応する制御プログラムを実行することによって行う場合について述べたが、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等の一部又は全部を専用のハードウェアを用いて行い、一部を対応するプログラムを実行して処理するようにしても良い。
【００９０】
また、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を、それぞれ別々のＣＰＵが実行しても良いし、例えば、単一のＣＰＵが実行しても良い。
また、再生要否判定処理で、再生処理開始の判定を、予め設定した基準除去率に基づいて行うほかに、出口側のＶＯＣ濃度、出口側のＶＯＣ濃度の時間的変化率、ＶＯＣ除去率の時間的変化率や、これらの組合せ等によって行っても良い。また、この基準除去率についても、例えば、吸着材の使用履歴（再生回数等）に応じて、変化させるようにしても良い。
【００９１】
また、再生終了判定処理で、再生処理終了の判定を、予め設定した再生時間に基づいて行うほかに、出口側のＶＯＣ濃度又はその再生前のＶＯＣ濃度に対する変化率、ＶＯＣの吸着量等に基づいて行っても良い。
また、再生時間は、もちろん、一例として挙げた略２０minに限らず、吸着材の使用履歴や、吸気ブロアの運転スケジュール、ＶＯＣ発生源の状況等に応じて、これよりも短くしても長くしても良いし、また、予め設定しておいても、その都度設定しても良い。
【００９２】
また、劣化状態判定処理で、劣化状態の判定（交換の要否判定）を、予め設定した再生直後の基準除去率に基づいて行うほかに、再生直後の入口側のＶＯＣ濃度と出口側のＶＯＣ濃度との濃度差、総吸着量（延べ吸着量）、総再生時間、再生回数、供給熱量等や、これらの組合せによって行っても良い。また、この基準除去率についても、例えば、吸着材の使用履歴（再生回数等）や、種類等に応じて、変化させるようにしても良い。
【００９３】
また、再生時間及び再生温度を予め固定した値に設定する場合について述べたが、例えば、吸着材の種類や、除去対象のＶＯＣの種類等に応じて、設定値を変化させても良いし、同一の吸着材についても、吸着材の使用履歴（再生回数等）等に応じて、変化させるようにしても良い。また、再生温度を出口側のＶＯＣ濃度や、ＶＯＣ除去率に基づいて変化させるようにしても良い。
【００９４】
また、例えば、再生時間を吸着量に基づいて、設定しても良い。また、吸着材について、再生や交換が必要な時期を予め推定して予告するようにしても良い。また、吸着材以外の部材や部品（ＶＯＣセンサや、金属ヒータ等）についても、交換が必要な時に警告しても良いし、交換が必要な時期を予め推定して予告しても良い。
【００９５】
また、ＶＯＣ濃度検出部で用いる半導体センサとしては、電気抵抗式であっても、ダイオード式であっても、トランジスタ式であっても良い。電気抵抗式の場合は、表面制御型であっても、バルク制御型であっても良い。
また、ＶＯＣ濃度検出部のセンサとしては、半導体センサに限らず、例えば、ＶＯＣを含むガスに紫外線を照射してＶＯＣをイオン化させ、電極で捕捉して検出電流をＶＯＣ濃度として検出する光イオン化検出器を用いても良いし、ＶＯＣ成分を濃度に比例して吸収・放出する高分子薄膜素子の膨潤による光学膜圧の変化に応じた干渉光強度の変化をＶＯＣ濃度として検出する干渉増幅反射法によるセンサを用いても良い。
【００９６】
また、ＶＯＣ検出部のゼロ点補正用の空気としては、工場内の空気をろ化して用いても良いし、清浄化後の空気を用いても良いし、清浄な空気をガスボンベから供給しても良い。
また、監視装置と、制御装置とを別々に配置しても良い。また、監視・制御装置は、ＶＯＣ処理部等と別の場所に設置しても良いし、一体化しても良い。別置の場合、架台に装着しても、壁掛けとしても良い。
【００９７】
また、ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置に、例えば、ＳＤ（Secure Digital）カード（登録商標）や、miniＳＤカード（登録商標）等の小型のメモリカードから所定の情報を読み取ったり、記憶部に蓄積された測定データを、メモリカードに書き込むためのカード読取・書込部を設けても良い。また、電子記録媒体として、メモリーカード等のカード形の電子記録媒体のほか、スティック状の電子記録媒体等を用いても良い。
【００９８】
また、第１の実施例で、工場終業（休業）時間帯に、再生工程と、排出工程とを繰り返し実施するようにしても良い。また、排出口側に、排風機を配置して再生終了後に排気させるようにしても良い。
また、吸着材の再生処理時の排ガスの通流方向は、反時計周りと限らず、時計周りとしても良いし、交互に向きを変更しても良い。
【００９９】
また、第１の実施例で、操作ボタンの操作によって、吸着除去処理と、再生処理とを切り換えて実施する場合について述べたが、吸気ブロワの運転／停止に合わせて、操作ボタンの操作なしに、自動的に、吸着除去処理と、再生処理とを切り換えて実施しても良い。例えば、工場が操業予定の昼間であっても、吸気ブロワが停止中で、主制御部が、再生処理要と判定したときは、自動的に再生処理を行うようにしても良い。
【０１００】
また、第２の実施例で、流量検出部は、ＶＯＣ処理部の上流側（吸着除去部の上流側）に限らず、下流側（触媒担持部の下流側）に配置しても良いし、吸着除去部と触媒担持部との間に配置しても良いし、複数箇所に配置しても良い。
【０１０１】
また、第３の実施例で、分岐管及び再生用ブロワを共通とせずに、各ＶＯＣ処理部に対応させて専用に配置しても良い。また、ＶＯＣ処理部は、２基に限らず、３基以上設けても良い。この場合に、同時に複数基で、吸着除去処理を行っても良いし、同時に複数基で、再生処理を行っても良い。
また、第３の実施例で、出口側の切換ダンパと、排出口との間に、例えば、脱臭フィルタを配置しても良い。
また、第４の実施例で、フィルタ部として、活性炭素繊維からなる脱臭フィルタのほか、例えば、ハニカム構造状に成形された疎水性ゼオライトを配置しても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
塗装工場や、印刷工場、化学工場等のほか、事務所や店舗、住宅等で、悪臭が発生する場所に設置して用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】この発明の第１の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【図２】同ＶＯＣ除去装置の構成を示す側面図である。
【図３】同ＶＯＣ除去装置の構成を示すブロック図である。
【図４】同ＶＯＣ除去装置のＶＯＣ処理部の金属ヒータの構成を示す断面図である。
【図５】図４のＡ部を拡大して示す拡大断面図である。
【図６】同金属ヒータの構成を示す斜視図である。
【図７】同ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置の構成を示す正面図である。
【図８】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図９】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１０】この発明の第２の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を示すブロック図である。
【図１１】この発明の第３の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【図１２】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１３】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１４】この発明の第４の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１，１Ｂ，１Ｃ      ＶＯＣ除去装置（排ガス処理装置）
８      ＶＯＣ処理部
９，５５，５６      流入口管（第１の通路）
１１，５７，５８      流出口管（第１の通路）
１２，５９      分岐管（第２の通路）
１３，６１      再生用ブロワ（送風手段）
１４      入口側ダンパ（通路切換手段の一部）
１５      出口側ダンパ（通路切換手段の一部）
１６      再生用ダンパ（通路切換手段の一部）
１８      入口側ＶＯＣ検出部（第１の濃度検出手段）
１９      出口側ＶＯＣ検出部（第２の濃度検出手段）
２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ      監視・制御装置
２４，７１，７２      吸着除去部（吸着部）
２５，７３，７４      加熱部
２６，７５，７６      触媒担持部（触媒部）
２７，７７，７８      容器（第１の通路）
２８      金属ヒータ
３３      主制御部（制御手段、除去度算出手段、再生要否定手段、交換要否判定手段、再生終了適否判定手段）
３３Ａ      主制御部（制御手段、除去度算出手段、再生要否定手段、交換要否判定手段、再生終了適否判定手段、吸着量算出手段）
３４，３４Ａ      記憶部
３５      操作・表示部（報知手段、操作手段、表示手段）
５１      流量検出部（流量検出手段）
５３      第１ＶＯＣ処理部
５４      第２ＶＯＣ処理部
６６      第１入口側ＶＯＣ検出部（第１の濃度検出手段）
６７      第２入口側ＶＯＣ検出部（第１の濃度検出手段）
６８      第１出口側ＶＯＣ検出部（第２の濃度検出手段
６９      第２出口側ＶＯＣ検出部（第２の濃度検出手段）
７９      切換ダンパ（通路選択手段の一部）
８１      切換ダンパ（通路切換手段の一部）
８２      切換ダンパ（通路切換手段の一部）
８３      切換ダンパ（通路選択手段の一部）
８５      脱臭フィルタ（フィルタ部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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