(57)【要約】【課題】  補強プレートとヘッドユニットとを接着する接着層の厚さを精度良く制御することができる液滴噴射装置を実現する。【解決手段】  キャビティプレート３１の長手方向の側縁から突片３１ｊ，３１ｊがそれぞれ側方に突出形成されている。各突片３１ｊは、基部３１ｋを境界にしてヘッドユニット３０の背面５０ａの側に折り曲げられ、背面５０ａの上に突出部を形成する。ヘッドユニット３０に補強プレート６０を接着するとき、接着領域に突出部が介在されているため、接着層の厚さを突出部の厚さに制御することができる。【選択図】  図７
2008183804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータの駆動により液滴を噴射するノズルが配置されたノズル面を前面に有するヘッドユニットと、
接着層によって前記ヘッドユニットの背面に接着された補強プレートと、
前記ヘッドユニットへ液体を供給する液体供給手段を有するヘッドホルダと、を備えており、
前記ヘッドユニットが、前記補強プレートを介して前記ヘッドホルダに取付けられてなる液滴噴射装置において、
前記ヘッドユニットは、複数のプレート部材を積層して構成され、そのプレート部材のうち、背面側のプレート部材の一部を、前記補強プレート側に突出させた突出部を備えており、
前記ヘッドユニットおよび補強プレートは、前記突出部を介在した状態で前記接着層によって接着されてなることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記突出部は、前記背面側のプレート部材の端部から側方へ突出した突片を前記ヘッドユニットの背面側に折り曲げたものであることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記突出部は、前記背面側のプレート部材の端部に開口部を有する溝と溝との間に形成された突片を前記ヘッドユニットの背面側に折り曲げたものであることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記突出部は、前記背面側のプレート部材の端部よりも内側に位置する部位に形成された溝によって囲まれた突片を前記ヘッドユニットの背面側に折り曲げたものであることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記背面側のプレート部材は、エッチング可能な材料によって形成されており、
前記背面側のプレート部材のうち、前記突片の基部が、エッチングによって薄肉に形成されており、
前記突片は、前記基部を境界として前記ヘッドユニットの背面側に折曲げられていることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１つに記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
前記ヘッドユニットは、
前記ノズルへ供給する液体を収容する圧力室が形成されたキャビティプレートと、
前記キャビティプレートの背面に配置されており、前記圧力室内の液体に噴射圧力を付与するアクチュエータとを備えており、
前記補強プレートは、
前記アクチュエータを収容する開口部と、その周縁に形成されたフレーム部とを備えており、
前記突出部は、前記キャビティプレートの背面のうち、前記補強プレートのフレーム部と接着される周縁に突出されてなることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の液滴噴射装置。
【請求項７】
前記突出部は、前記キャビティプレートの一部を突出させたものであることを特徴とする請求項６に記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、アクチュエータの駆動により液滴を噴射するヘッドユニットを備えた液滴噴射装置に関する。特に、ヘッドユニットが、それよりも剛性を有する補強プレートを介してヘッドホルダに取付けられてなる液滴噴射装置として好適な発明である。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴噴射装置として、インク液滴を噴射するヘッドユニットを被記録媒体と対向させて走査することにより、被記録媒体にインクで記録を行うインクジェット記録装置が知られている。そのヘッドユニットは、特許文献１のように補強プレートに取付けられ、そのヘッドユニットと補強プレートとの組としてヘッドホルダに取付けられている。
図１１は、上記従来のインクジェット記録装置に備えられたヘッドユニットおよび補強プレートの説明図である。
【０００３】
ヘッドユニット３０は、インクの流路が形成されたキャビティユニット５０と、このキャビティユニット５０の上面に接合された圧電アクチュエータ４０とを備える。ヘッドユニット３０には、インクの流路にインクを供給するインク供給孔３１ａ〜３１ｄが形成されている。ヘッドユニット３０の下面には、インク液滴を噴射する複数のノズルを配列したノズル列が複数列配置されている。キャビティユニット５０は、８枚のプレート部材を積層して構成されており、各プレート部材間は接着剤（図示せず）により接着されている。
【０００４】
ヘッドユニット３０は、補強プレート６０を介してヘッドホルダ（図３にて符号９で示す）に固定される。補強プレート６０は、ヘッドユニット３０よりも幅広に形成されている。また、補強プレート６０には、ヘッドユニット３０に接着した際に圧電アクチュエータ４０を露出させるための開口部６０ｅが形成されている。６０ａ〜６０ｄは、ヘッドユニット３０のインク供給孔３１ａ〜３１ｄへインクを供給するためのインク供給孔である。補強プレート６０は、熱可塑性のシート状接着剤２によってヘッドユニット３０に接着される。シート状接着剤２は、キャビティユニット５０の平面形状に対応したシート状に形成されている。
【０００５】
補強プレート６０をシート状接着剤２によってヘッドユニット３０に接着するときは、高い接着強度を得る必要がある。このため、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間には、大きな荷重と十分な熱とが与えられる。これにより、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に介在されたシート状接着剤２は潰されて薄くなり、高い接着強度が得られるとともにヘッドユニット３０の剛性が高くなる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１６１７６１号公報（公報第４２〜４７段落、図３，７，８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記の構造のインクジェット記録装置では、噴射時の振動がノズル列相互間で伝達して噴射性能に悪影響を及ぼし合う、いわゆるクロストークが発生することが知られている。
そこで、本願発明者が行った検証によれば、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に介在されている接着層の厚さが所定の厚さである場合に、クロストークを低減できることが分かった。
しかし、シート状接着剤は、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に与えられる荷重および熱によって変形するため、接着層の厚さを精度良く制御することが困難である。
【０００８】
そこで、この発明は、補強プレートとヘッドユニットとを接着する接着層の厚さを精度良く制御することができる液滴噴射装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、アクチュエータ（４０）の駆動により液滴を噴射するノズル（３８ｆ，３８ｈ，３８ｉ，３８ｎ）が配置されたノズル面（３８ｐ）を前面に有するヘッドユニット（３０）と、接着層（２）によって前記ヘッドユニットの背面（５０ａ）に接着された補強プレート（６０）と、前記ヘッドユニットへ液体を供給する液体供給手段（９０）を有するヘッドホルダ（９）と、を備えており、前記ヘッドユニットが、前記補強プレートを介して前記ヘッドホルダに取付けられてなる液滴噴射装置（１）において、前記ヘッドユニットは、複数のプレート部材（３１〜３８）を積層して構成され、そのプレート部材のうち、背面側のプレート部材（３１）の一部を、前記補強プレート側に突出させた突出部（３１ｍ）を備えており、前記ヘッドユニットおよび補強プレートは、前記突出部を介在した状態で前記接着層によって接着されてなるという技術的手段を用いる。
【００１０】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の液滴噴射装置（１）において、前記突出部（３１ｍ）は、前記背面側のプレート部材（３１）の端部から側方へ突出した突片（３１ｊ）を前記ヘッドユニット（３０）の背面（５０ａ）側に折り曲げたものであるという技術的手段を用いる。
【００１１】
請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の液滴噴射装置（１）において、前記突出部（３１ｍ）は、前記背面側のプレート部材（３１）の端部に開口部を有する溝（３１ｎ）と溝（３１ｎ）との間に形成された突片（３１ｒ）を前記ヘッドユニット（３０）の背面（５０ａ）側に折り曲げたものであるという技術的手段を用いる。
【００１２】
請求項４に記載の発明では、請求項１に記載の液滴噴射装置（１）において、前記突出部（３１ｍ）は、前記背面側のプレート部材（３１）の端部よりも内側に位置する部位に形成された溝（３１ｐ）によって囲まれた突片（３１ｓ）を前記ヘッドユニット（３０）の背面（５０ａ）側に折り曲げたものであるという技術的手段を用いる。
【００１３】
請求項５に記載の発明では、請求項２ないし請求項４のいずれか１つに記載の液滴噴射装置（１）において、前記背面側のプレート部材（３１）は、エッチング可能な材料によって形成されており、前記背面側のプレート部材のうち、前記突片（３１ｊ，３１ｒ，３１ｓ）の基部（３１ｋ）が、エッチングによって薄肉に形成されており、前記突片は、前記基部を境界として前記ヘッドユニット（３０）の背面（５０ａ）側に折曲げられているという技術的手段を用いる。
【００１４】
請求項６に記載の発明では、請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の液滴噴射装置において、前記ヘッドユニット（３０）は、前記ノズルへ供給する液体を収容する圧力室（３１ｅ，３１ｆ，３１ｇ，３１ｈ）が形成されたキャビティプレート（３１）と、前記キャビティプレートの背面に配置されており、前記圧力室内の液体に噴射圧力を付与するアクチュエータ（４０）とを備えており、前記補強プレート（６０）は、前記アクチュエータを収容する開口部（６０ｅ）と、その周縁に形成されたフレーム部（６０ｍ）とを備えており、前記突出部（３１ｍ）は、前記キャビティプレートの背面のうち、前記補強プレートのフレーム部と接着される周縁に突出されてなるという技術的手段を用いる。
【００１５】
請求項７に記載の発明では、請求項６に記載の液滴噴射装置（１）において、前記突出部（３１ｍ）は、前記キャビティプレート（３１）の一部を突出させたものであるという技術的手段を用いる。
【００１６】
なお、上記括弧内の符号は、後述する各実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【００１７】
［発明の効果］  
請求項１ないし請求項７に記載の液滴噴射装置に備えられたヘッドユニットは、背面側のプレート部材の一部を、補強プレート側に突出させた突出部を備えており、ヘッドユニットおよび補強プレートは、上記突出部を介在した状態で接着層によって接着されてなる。
つまり、補強プレートとヘッドユニットとの間に荷重および熱を与えたときに、ヘッドユニットと背面側のプレート部材との隙間は、上記突出部の厚さに制御されるため、接着層の厚さを上記突出部の厚さと同一にすることができる。
従って、請求項１ないし請求項７に係る発明によれば、補強プレートとヘッドユニットとを接着する接着層の厚さを精度良く制御することができる。これにより、クロストークを低減できる接着層の厚さを予め実験などにより求めておき、その厚さに上記突出部を形成しておくことにより、接着層の厚さを、クロストークを低減できる厚さに形成することができる。
【００１８】
特に、請求項２に記載の液滴噴射装置に備えられたヘッドユニットの上記突出部は、背面側のプレート部材の端部から側方へ突出した突片をヘッドユニットの背面側に折り曲げたものである。
従って、請求項２に係る発明によれば、上記突片をヘッドユニットの背面側に折り曲げるだけの作業により上記突出部を形成することができるため、突出部を容易に形成することができる。
【００１９】
また、背面側のプレート部材と同時に上記突出部を形成することができるため、別個に製造した突出部形成用の部材をヘッドユニットと背面側のプレート部材との間に介在させる方法よりも、突出部の形成位置の精度を高めることができる。
さらに、背面側のプレート部材を利用して突出部を形成することができ、突出部形成用の部材を別個に製造する必要がないため、液滴噴射装置の製造コストを低減することができる。
【００２０】
また、請求項３に記載の液滴噴射装置に備えられたヘッドユニットの上記突出部は、背面側のプレート部材の端部に開口部を有する溝と溝との間に形成された突片をヘッドユニットの背面側に折り曲げたものである。
従って、請求項３に係る発明によれば、背面側のプレート部材の端部に開口部を有する溝と溝を背面側のプレート部材に形成するだけで、上記突片を容易に形成することができる。
【００２１】
さらに、請求項４に記載の液滴噴射装置に備えられたヘッドユニットの上記突出部は、背面側のプレート部材の端部よりも内側に位置する部位に形成された溝によって囲まれた突片をヘッドユニットの背面側に折り曲げたものである。
従って、請求項４に係る発明によれば、背面側のプレート部材の端部よりも内側に位置する部位に溝を形成するだけで、上記突片を容易に形成することができる。
【００２２】
請求項５に記載の液滴噴射装置に備えられたヘッドユニットの背面側のプレート部材は、エッチング可能な材料によって形成されており、背面側のプレート部材のうち、突片の基部が、エッチングによって薄肉に形成されている。
従って、請求項５に係る発明によれば、上記背面側のプレートをエッチングによって形成するときに上記突片を同時に形成することができるため、上記突片を上記背面側のプレートとは別個の製造工程にて形成する方法よりも製造効率を高めることができる。
また、背面側のプレート部材のうち、上記突片の基部が、エッチングによって薄肉に形成されているため、突片を基部を境界として容易に上記背面側に折り曲げることができる。
【００２３】
請求項１ないし請求項５に記載の発明は、請求項６に記載の液滴噴射装置に適用すると特に効果が大きい。
つまり、アクチュエータが配置されたキャビティプレートの背面に補強プレートを接着する構造のヘッドユニットでは、アクチュエータと補強プレートとが接近しているため、アクチュエータの振動が接着層を介して補強プレートに伝達し、クロストークに影響が出易い。
しかし、請求項１ないし請求項５に記載の発明のように、ヘッドユニットおよび補強プレートが上記突出部を介在した状態で接着層によって接着されてなる構造を採用すれば、接着層の厚さを、クロストークを低減できる厚さに制御することができるため、クロストークに影響が出難い。
【００２４】
特に、請求項７に記載の液滴噴射装置に備えられたヘッドユニットの上記突出部は、キャビティプレートの一部を突出させたものである。
従って、請求項７に係る発明によれば、キャビティプレートと同時に上記突出部を形成することができるため、別個に製造した突出部形成用の部材をヘッドユニットとキャビティプレートとの間に介在させる方法よりも、突出部の形成位置の精度を高めることができる。
また、上記突出部形成用の部材を別個に製造する必要がないため、液滴噴射装置の製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
この発明に係る液滴噴射装置の実施形態について、インクジェット記録装置を例にして説明する。
［主要構成］
最初に、インクジェット記録装置の主要構成について図１を参照して説明する。図１はインクジェット記録装置の主要構成を示す平面説明図である。
インクジェット記録装置１の内部には、２本のガイド軸６，７が設けられている。ガイド軸６，７には、キャリッジを兼用するヘッドホルダ９が取付けられている。ヘッドホルダ９には、記録用紙Ｐへインクを噴射して記録を行うヘッドユニット３０が保持されている。ヘッドホルダ９は、キャリッジモータ１０により回転する無端ベルト１１に取付けられている。ヘッドホルダ９は、無端ベルト１１の回転により、ガイド軸６，７に沿って移動する。
【００２６】
また、インクジェット記録装置１には、イエローインクが収容されたインクタンク５ａと、マゼンタインクが収容されたインクタンク５ｂと、シアンインクが収容されたインクタンク５ｃと、ブラックインクが収容されたインクタンク５ｄとが備えられている。各インクタンク５ａ〜５ｄは、それぞれ可撓性のインク供給チューブ１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄに接続されている。各インク供給チューブから供給される各インクは、ヘッドホルダ９から前方へ延出されたチューブジョイント９３を介してヘッドユニット３０へ導入される。各インクとしては、顔料系インクまたは染料系インクを使用することができる。
【００２７】
［ヘッドユニットの構造］
次に、ヘッドユニット３０の構造について図２ないし図５を参照して説明する。
図２はヘッドホルダ９をノズル面から見た平面図である。図３は図２に示すヘッドホルダ９およびそれに保持されている部品を分解して示す斜視説明図である。図４は図３に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットを構成する各部材の斜視図である。図５は、図２に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットのＡ−Ａ矢視断面の部分説明図である。図６は、図２のＡ−Ａ矢視の部分断面図である。
なお、以下の説明では、インクを噴射する方向を下方とする。また、図１２に示した従来のインクジェット記録装置と同じ構成については同じ符号を使用し、説明を省略する。
【００２８】
図２に示すように、ヘッドユニット３０の下面に形成されたノズル面３８ｐには、ブラックインクを噴射するノズル３８ｆと、イエローインクを噴射するノズル３８ｈと、シアンインクを噴射するノズル３８ｉと、マゼンタインクを噴射するノズル３８ｎとが配置されている。各ノズルは、それぞれヘッドホルダ９の移動方向（主走査方向）と直交する方向に延びるように列状に配置されている。各ノズルは、被記録媒体たる記録用紙Ｐ（図１）の上面に対向するように下向きに開口している。
【００２９】
図３に示すように、ヘッドユニット３０の上面には、枠状の補強プレート６０がシート状接着剤（図６にて符号２で示す）によって貼着されている。また、ヘッドユニット３０の周囲には、枠状のフレーム７０が囲むように配置されている。フレーム７０は、シート状接着剤（図示せず）によって補強プレート６０の下面に貼着されている。補強プレート６０は、ヘッドユニット３０を支持した状態で、ヘッドホルダ９の底壁９ａの下面に固定される。その固定は、図６に示すように、底壁９ａの複数箇所に穿設された開口９１から接着剤９２を流入させて行う。
【００３０】
また、ヘッドユニット３０の上方には、そのヘッドユニット３０へ供給するインクを貯留するバッファタンク９０が配置されている。バッファタンク９０の内部には、所定量の空気が溜められている。その空気が、ヘッドユニット３０の移動・停止に伴う衝撃力を緩和する。これにより、ヘッドユニット内の各圧力室内の圧力変動が防止され、各ノズルの均一な噴射性能が維持される。インク中から分離された所定量以上の空気は、バッファタンク９０に設けられた排気装置９１によって外部へ排気される。
【００３１】
バッファタンク９０の端部には、内部にインク流路を有する腕部９２が形成されている。腕部９２には、インクタンク５ａ〜５ｄ（図１）からチューブ１４ａ〜１４ｄを介して供給されるインクを取り入れるインク取入口９３ａ〜９３ｄが設けられている。バッファタンク９０の下面には、バッファタンク内のインクをヘッドユニット３０へ供給するための各色毎のインク供給孔（図示せず）が設けられている。その各インク供給孔と、補強プレート６０のインク供給孔６０ａ〜６０ｄとの間には、ゴム製のゴムブッシュ８０が介在されている。これにより、バッファタンク９０および補強プレート６０間の液密性が確保されている。
【００３２】
バッファタンク９０は、両側に挿通孔９４（実際には、図示されている挿通孔９４の反対側にもう一つの挿通孔９４が存在する）を備える。各挿通孔９４にそれぞれ挿通した取付ネジ９５がそれぞれ補強プレート６０に形成されたネジ孔６０ｆにねじ込まれる。これにより、バッファタンク９０は補強プレート６０に固定されている。
【００３３】
図５に示すように、ヘッドユニット３０は、キャビティユニット５０の上面に圧電アクチュエータ４０を接合して扁平なプレート状に構成される。図４に示すように、キャビティユニット５０は、下から順にノズルプレート３８、スペーサプレート３７、ダンパープレート３６、マニホールドプレート３５，３４、サプライプレート３３、ベースプレート３２、キャビティプレート３１の合計８枚をそれぞれ重ね接合した構造である。各プレートは、薄いプレート部材であり、各プレート部材間は接着剤（図示せず）によって接着されている。
【００３４】
この実施形態では、各接着剤は、例えば熱硬化性エポキシ樹脂製である。各プレートのうち、ノズルプレート３８は、ポリイミドなどの合成樹脂製である。他のプレートは、４２合金鋼（４２％ニッケル合金鋼）またはステンレス鋼などのエッチング可能な金属製である。
【００３５】
図５に示すように、圧電アクチュエータ４０は、ブラックインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部４１，４１と、イエローインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部４２とを備える。図５では省略されているが、実際には、活性部４２の右方には、シアンインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部が配置されている。さらにその右方には、マゼンタインクを噴射するためのエネルギを発生する活性部が配置されている。ここで、活性部とは、圧電アクチュエータのうち、圧力室内のインクに噴射のための圧力を与えるために作用する部分のことである。
【００３６】
圧電アクチュエータ４０は、圧電材料により形成された圧電シートと、膜状の電極とを交互に積層して構成されている。活性部４１は、電極４１ｂ，４１ｃ間に上下を挟まれた圧電シートの部分４１ａで構成されている。他の活性部も同様に構成されている。
各活性部の下方であって、キャビティプレート３１の内部には、圧力室が形成されている。つまり、複数の活性部４１の下方であって、キャビティプレート３１の内部には、ブラックインクに噴射圧力を与えるための圧力室３１ｅがそれぞれ形成され配列されている。同様に複数の活性部４２の下方には、イエローインクのための圧力室３１ｆがそれぞれ形成され配列されている。他の活性部の下方には、シアンインクのための圧力室３１ｇ（図４）、マゼンタインクのための圧力室３１ｈがそれぞれ形成され配列されている。
【００３７】
各圧力室の列の下方には、各圧力室へインクを供給する共通インク室が形成されている。共通インク室は、マニホールドプレート３５，３４の内部に形成されている。共通インク室は、各圧力室の列の全長にわたる長さに形成されている。圧力室３１ｅの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、ブラックインクを収容する共通インク室３５ａ，３４ａが形成されている。圧力室３１ｆの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、イエローインクを収容する共通インク室３５ｂ，３４ｂが形成されている。圧力室３１ｇの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、シアンインクを収容するための共通インク室３５ｃ，３４ｃ（図４）が形成されている。圧力室３１ｈの列の下方であって、マニホールドプレート３５，３４の内部には、マゼンタインクを収容するための共通インク室３５ｄ，３４ｄが形成されている。
【００３８】
各共通インク室３４ａ〜３４ｄの上方にはサプライプレート３３が配置されている。サプライプレート３３の内部には、各圧力室に対応して絞り部３３ｅ，３３ｇ，３３ｊ，３３ｍが形成されている。各絞り部は、それぞれサプライプレート３３の上部の平板面に沿って溝状に形成されている。各絞り部のインク流入側の端部は、上下方向に貫通形成された連通孔を介して各共通インク室とそれぞれ連通している。
また、サプライプレート３３の上には、ベースプレート３２が積層されている。ベースプレート３２は、各絞り部の長手方向開放面を覆っている。ベースプレート３２には、その上下方向に連通孔３２ｅ，３２ｇ，３２ｊ，３２ｍが貫通形成されている。各連通孔により、各圧力室と各絞り部のインク流出側の端部とがそれぞれ連通している。
【００３９】
各絞り部の縦断面積は、それぞれ連通する圧力室の断面積よりも小さく形成されている。これにより、共通インク室および圧力室よりも流路抵抗が大きく設定されている。つまり、各絞り部は、連通する圧力室内で発生した圧力変動のうち、共通インク室へ向かう成分を緩和する役割をする。
各共通インク室と対応する位置においてダンパープレート３６の下面にはダンパー室３６ａ〜３６ｄが形成されている。各ダンパー室は、ダンパープレート３６の下面にてそれぞれ下向きに開口形成されている。各ダンパー室の横断面形状は、ダンパープレート３６に隣接する各共通インク室の下面の横断面形状と同一形状に形成されている。
【００４０】
ダンパープレート３６は、弾性変形可能な金属などの素材により形成されている。各ダンパー室上部の薄い板状の底板部３６ｅは、共通インク室側にも、ダンパー室側にも自由に振動することができる。インク液滴の噴射時に、圧力室で発生した圧力変動が共通インク室に伝播しても、上記底板部３６ｅが弾性変形して振動する。これにより、上記圧力変動を吸収減衰させるというダンパー効果を有する。これにより、圧力変動が他の圧力室へ伝播するというクロストークを防止する効果を奏する。
【００４１】
キャビティプレート３１とノズルプレート３８との間の各プレート３２〜３７には、圧力室内のインクをノズルに導くための貫通孔が上下方向に相互に連通して形成されている。つまり、圧力室３１ｅ内のブラックインクをノズル３８ｆに導くための貫通孔３２ｆ〜３６ｆと、圧力室３１ｆ内のイエローインクをノズル３８ｈに導くための貫通孔３２ｈ〜３６ｈと、圧力室３１ｇ内のシアンインクをノズル３８ｉに導くための貫通孔３２ｉ〜３６ｉと、圧力室３１ｈ内のマゼンタインクをノズル３８ｎに導くための貫通孔３２ｎ〜３６ｎとがそれぞれ上下方向に相互に連通して形成されている。
【００４２】
図４に示すように、キャビティプレート３１には、バッファタンク９０（図３）から供給される各インクを対応する共通インク室へ供給するためのインク供給孔３１ａ〜３１ｄが形成されている。ベースプレート３２、サプライプレート３３には、インク供給孔３１ａ〜３１ｄと対応する共通インク室３５ａ〜３５ｄとを連通させる連通孔３２ａ〜３２ｄ、３３ａ〜３３ｄが形成されている。また、キャビティプレート３１のインク供給孔３１ａ〜３１ｄには、各インクに含まれる不純物を濾過するためのフィルタ６１〜６４を有するフィルタ部材６０が被せられている。
【００４３】
［ヘッドユニット３０および補強プレート６０の接着構造］
次に、ヘッドユニット３０および補強プレート６０の接着構造について図を参照して説明する。
図７は、補強プレート６０、シート状接着剤２およびヘッドユニット３０の平面図である。図８は、キャビティプレート３１の端部の断面図である。図９は、ヘッドユニット３０および補強プレート６０の接着構造の説明図である。図９（ａ）は、接着固定された補強プレート６０およびヘッドユニット３０を補強プレート６０の上方から見た説明図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ矢視断面を一部省略して拡大して示す断面図である。
【００４４】
図７に示すように、補強プレート６０は開口部６０ｅを囲むように形成された枠状のフレーム部６０ｍを備える。補強プレート６０は、ヘッドユニット３０よりも剛性の高い材料、例えば金属により形成されている。
キャビティプレート３１の長手方向の側縁から突片３１ｊ，３１ｊがそれぞれ側方に突出形成されている。各突片３１ｊは、キャビティプレート３１の一部により形成されている。各突片３１ｊは、エッチングによりキャビティプレート３１に圧力室３１ｅ〜３１ｈを形成するときに同時に形成される。
【００４５】
図８に示すように、突片３１ｊの基部３１ｋは、ハーフエッチングなどの手法により薄肉に形成されている。図５に示すように、各突片３１ｊは、基部３１ｋを境界にしてキャビティプレート３１の背面、つまりキャビティユニット５０の背面５０ａの側に折り曲げられ、突出部３１ｍを形成する。各突片３１ｊは、キャビティプレート３１の背面５０ａ側に折り曲げたときに、突片３１ｊが圧電アクチュエータ４０に接触しない大きさに形成されている。
【００４６】
各突出部３１ｍの厚さ、つまり、キャビティプレート３１の背面５０ａから突出部３１ｍの上面までの距離は、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に形成される接着層の厚さを規定する役割をする。
補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に介在される接着層の厚さが、クロストークの大きさに影響を与えるため、各突出部３１ｍの厚さは、クロストークが最小となる接着層の厚さとなるように設定する。
この実施形態では、突片３１ｊは、キャビティプレート３１の長手方向の両側縁にそれぞれ２個ずつ形成されている。また、各突片３１ｊは、圧電アクチュエータ４０の長手方向の角部に対応する位置からそれぞれ側方に突出形成されている。
【００４７】
キャビティユニット５０の背面５０ａ、つまりキャビティプレート３１における圧電アクチュエータ４０の周囲には、補強プレート６０を接着するための扁平な接着領域（ハッチング部分）が設定されている。接着領域からは、キャビティプレート３１の背面５０ａに存在する各突出部３１ｍが占有する部分が除外されている。
シート状接着剤２は、キャビティプレート３１の接着領域と合致するシート状に形成されており、各突出部３１ｍに対応する部分が切欠部２ｊに形成されている。
【００４８】
シート状接着剤２には、貫通孔２ａ〜２ｄが形成されている。貫通孔２ａ〜２ｄは、ヘッドユニット３０のインク供給孔３１ａ〜３１ｄおよび補強プレート６０のインク供給孔６０ａ〜６０ｄと同一形状かそれよりも僅か大きく形成されている。また、シート状接着剤２には、圧電アクチュエータ４０を露出させるための開口部２ｅが形成されている。
つまり、シート状接着剤２は、各インク供給孔および圧電アクチュエータ４０の周囲を取り囲む形成に形成されており、各インク供給孔の周縁におけるシール効果を発揮する。
【００４９】
製造工程では、キャビティプレート３１からノズルプレート３８の計８枚のプレート部材は、接着剤によって接着積層される。次に、キャビティプレート３１の各突片３１ｊは、それぞれ背面５０ａに折り曲げられ、それぞれ突出部３１ｍを形成する。一方、補強プレート６０の下面側にシート状接着剤２が位置合わせされて押圧かつ加熱され、補強プレート６０にシート状接着剤２が仮転写される。次に、キャビティプレート３１の背面５０ａに突出部３１ｍを有するヘッドユニット３０のインク供給口３１ａ〜３１ｄと補強プレート６０のインク供給孔６０ａ〜６０ｄとが位置合わせされる。次に、補強プレート６０にシート状接着剤２を介してヘッドユニット３０を押圧かつ加熱すると、シート状接着剤２が溶融する。
【００５０】
このとき、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間には、突出部３１ｍが介在されているため、補強プレート６０とヘッドユニット３０との隙間は、突出部３１ｍの厚さに均一に制御される。このため、シート状接着剤２は、突出部３１ｍの厚さ以下に押し潰されることはなく、突出部３１ｍの厚さと同一の厚さに制御される。そして、冷却により硬化したシート状接着剤２により、補強プレート６０とヘッドユニット３０とが接着固定される。
【００５１】
図９（ａ）に示すように、キャビティプレート３１の背面５０ａに形成された各突出部３１ｍの各先端は、圧電アクチュエータ４０の長手方向側縁の近傍まで達している。図９（ｂ）に示すように、補強プレート６０とヘッドユニット３０との隙間は、突出部３１ｍの厚さと同一になっており、シート状接着剤２の厚さも突出部３１ｍの厚さと同一になっている。つまり、シート状接着剤２により形成された接着層の厚さは、突出部３１ｍと同一の厚さに制御されている。
【００５２】
この実施形態では、シート状接着剤２は熱可塑性のタイプで耐インク性に優れた材料で形成されている。例えば、硬化前のシート状接着剤２は、主成分となるポリプロプレン樹脂またははポリエチレン樹脂中に数種類の接着成分が添加されたものである。シート状接着剤２は、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に挟まれる前の自然状態で、突出部３１の厚さよりも厚く形成されている。薄いものを重ねて突出部３１よりも厚くしてもよい。また、図９（ｂ）に示すように、ヘッドユニット３０および補強プレート６０を接着した後のシート状接着剤２による接着層の厚さは、クロストークを抑制できる厚さであり、本願発明者が行った実験によれば、２０〜５０μｍである。この接着剤２の厚さで、噴射周期で圧電アクチュエータ４０を駆動したとき、ヘッドユニット３０の共振を生じることはなかった。
【００５３】
［実施形態の効果］
（１）以上のように、上記実施形態のインクジェット記録装置１に備えられたヘッドユニット３０は、キャビティプレート３１の一部を、補強プレート６０側に突出させた突出部３１ｍを備えており、ヘッドユニット３０および補強プレート６０は、突出部３１ｍを介在した状態でシート状接着剤２によって接着されてなる。
従って、補強プレート６０とヘッドユニット３０との間に荷重および熱を与えたときに、ヘッドユニット３０とキャビティプレート３１との隙間は、突出部３１ｍの厚さに制御されるため、シート状接着剤２の厚さを突出部３１ｍの厚さと同一にすることができる。
このため、クロストークを低減できる接着層の厚さを予め実験などにより求めておき、その厚さに突片３１ｊを形成しておくことにより、接着層の厚さを、クロストークを低減できる厚さに形成することができる。
つまり、上記実施形態のインクジェット記録装置１によれば、クロストークを効果的に低減することができる。
【００５４】
（２）特に、キャビティプレート３１の端部から側方へ突出した突片３１ｊをキャビティプレート３１の背面５０ａの側に折り曲げるだけで、キャビティプレート３１の背面から突出した突出部３１ｍを容易に形成することができる。
（３）また、エッチングによりキャビティプレート３１に圧力室３１ｅ〜３１ｈを形成するときに各突片３１ｊを同時に形成することができるため、別個に製造した突出部形成用の部材をヘッドユニット３０とキャビティプレート３１との間に介在させる方法よりも、突出部の形成位置の精度を高めることができる。
【００５５】
（４）さらに、キャビティプレート３１を利用して突出部３１ｍを形成することができ、突出部形成用の部材を別個に製造する必要がないため、インクジェット記録装置１の製造コストを低減することができる。圧力室３１ｅ〜３１ｈの深さ、つまり、キャビティプレート３１は、この種のヘッドにおいて５０μｍ前後であるため、キャビティプレート３１を利用して突出部３１ｍの厚さを、上記のようにクロストークの低減に好適な大きさに設定することができる。突出部３１ｍの厚さを５０μｍよりも小さくするには、突出部３１ｍを構成する突片３１ｊをエッチングによって薄くすればよい。
（５）さらに、キャビティプレート３１のうち、突片３１ｊの基部３１ｋが、エッチングによって薄肉に形成されているため、突片３１ｊを基部３１ｋを境界として容易にキャビティプレート３１の背面側に折り曲げ、突出部３１ｍを形成することができる。
【００５６】
＜第１変更例＞
図１０は、この発明の第１変更例を示す説明図である。図１０（ａ）は、キャビティプレート３１の平面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示すキャビティプレート３１に形成された突片の拡大図であり、図１０（ｃ）は、キャビティプレート３１の背面５０ａに形成された突出部の拡大図である。
【００５７】
キャビティプレート３１の長手方向の端部には、その端部に開口部を有する溝３１ｎ，３１ｎが間隔を置いて相互に平行に形成されている。溝３１ｎ，３１ｎの間には、突片３１ｒが形成されている。突片３１ｒの基部３１ｋは、図８に示した突片３１ｊの基部３１ｋと同じように、ハーフエッチングなどの方法によって薄肉に形成されている。各溝３１ｎは、エッチングによりキャビティプレート３１に圧力室を形成するときに同時に形成する。
そして、突片３１ｒを基部３１ｋを境界にしてキャビティプレート３１の背面５０ａの側に折り曲げると、図１０（ｃ）に示すように、キャビティプレート３１の背面５０ａの上に突出部３１ｍが形成される。
【００５８】
以上のように、第１変更例によれば、キャビティプレート３１の長手方向に端部に、その端部に開口部を有する溝３１ｎを形成するだけで、突片３１ｒを容易に形成することができる。
なお、溝３１ｎの底部同士が近接するように溝３１ｎを斜めに形成し、基部３１ｋの幅を短くすることにより、突片３１ｒの折曲げ加工時の力が小さくて済むようにすることもできる。
【００５９】
＜第２変更例＞
図１１は、この発明の第２変更例を示す説明図である。図１１（ａ）は、キャビティプレート３１の平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示すキャビティプレート３１に形成された突片の拡大図であり、図１１（ｃ）は、キャビティプレート３１の背面５０ａに形成された突出部の拡大図である。
【００６０】
キャビティプレート３１の背面５０ａであって、その長手方向の端部よりも内側に位置する部位には、平面視コ字状の溝３１ｐが形成されている。溝３１ｐによって囲まれた部分には突片３１ｓが形成されている。突片３１ｓの基部３１ｋは、図８に示した突片３１ｊの基部３１ｋと同じように、ハーフエッチングなどの方法によって薄肉に形成されている。溝３１ｐは、エッチングによりキャビティプレート３１に圧力室を形成するときに同時に形成する。
そして、突片３１ｓを基部３１ｋを境界にしてキャビティプレート３１の背面５０ａの側に折り曲げると、図１１（ｃ）に示すように、キャビティプレート３１の背面５０ａの上に突出部３１ｍが形成される。
【００６１】
以上のように、第２変更例によれば、キャビティプレート３１の背面５０ａであって、その長手方向の端部よりも内側に位置する部位に溝３１ｐを形成するだけで、突片３１ｓを容易に形成することができる。
なお、溝３１ｐを円形に形成し、基部３１ｋの幅を小さくすることにより、突片３１ｓの折曲げ加工時の力が小さくて済むようにすることもできる。また、溝３１ｐの形成方向を変更し、突片３１ｓを折り曲げる方向を変えることもできる。
【００６２】
＜他の実施形態＞
（１）突出部３１ｍの数および突出部を形成する位置は、上記実施形態および各変更例に記載のものに限定されない。例えば、突出部をキャビティプレート３１の短手方向の側縁に形成することもできる。また、突出部３１ｍを少なくとも相互に離れた３箇所に形成すれば、補強プレート６０とヘッドユニット３０との隙間を全体にわたって均一にでき、クロストークを均一に低減することができる。突出部を計５個以上形成することもできる。
（２）また、突出部３１ｍは、キャビティプレート３１の一部にプレス加工の打ち出しにより形成することもできる。
（３）上記各実施形態では、この発明に係る液滴噴射装置としてインクジェット記録装置を例にして説明したが、着色液を塗布、導電性液で配線パターンを形成するなどの液滴噴射装置に対して、この発明を適用できることは勿論である。
【００６３】
（４）また、この発明は、特定のインクを一色のみ噴射して記録を行うインクジェット記録装置にも適用することができる。
（５）さらに、この発明は、インクなどの液体内に熱エネルギを付与することにより、液体内に発生した気泡による圧力変化を用いたり、静電気による振動板の変位を用いて液滴を噴射するヘッドユニットにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】インクジェット記録装置の主要構成を示す平面説明図である。
【図２】ヘッドホルダ９をノズル面から見た平面図である。
【図３】図２に示すヘッドホルダ９およびそれに保持されている部品を分解して示す斜視説明図である。
【図４】図３に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットを構成する各プレート部材の斜視図である。
【図５】図２に示すヘッドホルダ９に保持されたヘッドユニットのＡ−Ａ矢視断面の部分説明図である。
【図６】図２のＡ−Ａ矢視の部分断面図である。
【図７】補強プレート６０、シート状接着剤２およびヘッドユニット３０の平面図である。
【図８】キャビティプレート３１の端部の断面図である。
【図９】図９は、ヘッドユニット３０および補強プレート６０の接着構造の説明図である。図９（ａ）は、接着固定された補強プレート６０およびヘッドユニット３０を補強プレート６０の上方から見た説明図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ矢視断面を一部省略して拡大して示す断面図である。
【図１０】図１０は、この発明の第１変更例を示す説明図である。図１０（ａ）は、キャビティプレート３１の平面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示すキャビティプレート３１に形成された突片の拡大図であり、図１０（ｃ）は、キャビティプレート３１の背面５０ａに形成された突出部の拡大図である。
【図１１】図１１は、この発明の第２変更例を示す説明図である。図１１（ａ）は、キャビティプレート３１の平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示すキャビティプレート３１に形成された突片の拡大図であり、図１１（ｃ）は、キャビティプレート３１の背面５０ａに形成された突出部の拡大図である。
【図１２】従来のインクジェット記録装置に備えられたヘッドユニットおよび補強プレートの説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
１・・インクジェット記録装置（液滴噴射装置）、
２・・シート状接着剤（接着層）、
９・・ヘッドホルダ、
３０・・ヘッドユニット、
３１・・キャビティプレート（背面側のプレート部材）、
３１ｅ，３１ｆ，３１ｇ，３１ｈ・・圧力室、３１ｋ・・基部、
３１ｊ，３１ｒ，３１ｓ・・突片、３１ｍ・・突出部、
３１ｎ，３１ｐ・・溝、３８ｆ，３８ｈ，３８ｉ，３８ｎ・・ノズル、
３８ｐ・・ノズル面、４０・・圧電アクチュエータ（アクチュエータ）、
５０・・キャビティユニット、５０ａ・・背面、６０・・補強プレート、
６０ｅ・・開口部、６０ｍ・・フレーム部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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