(57)【要約】【課題】簡易な構造によって、クリーンルーム等の室内に設置された配管や配線等からのアウトガスの拡散を防止することができるアウトガス拡散防止用カバーを提供する。【解決手段】室外２よりも正圧に保持されるとともに、アウトガスを発生する配管・配線４ａが設置された室内１ａに設置されて、配管・配線４ａからのアウトガスの拡散を防止するためのカバー７であって、少なくとも外周部が、アウトガスの発生量が室内１ａに許容される上限値以下である素材からなり、室内１ａにおける全長にわたって配管・配線４ａを排気流路となる間隙９ａを介して気密的に覆うとともに、室内１ａに連通する開口部７ａが形成され、かつ端部が室外２に開口することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
室外よりも正圧に保持されるとともに、アウトガスを発生する配管・配線が設置された室内に設置されて、上記配管・配線からのアウトガスの拡散を防止するためのカバーであって、
少なくとも外周部が、アウトガスの発生量が上記室内に許容される上限値以下である素材からなり、上記室内における全長にわたって上記配管・配線を排気流路となる間隙を介して気密的に覆うとともに、上記室内に連通する開口部が形成され、かつ端部が上記室外に開口することを特徴とするアウトガス拡散防止用カバー。
【請求項２】
内部に、上記配管・配線との間の上記間隙を保持する形状保持部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアウトガス拡散防止用カバー。
【請求項３】
一端部が上記配管・配線が接続されている機器類の当該配管・配線の導入部に接続されることにより、上記機器類の内部を通じて上記室内に連通するとともに、他端部が室外に開口していることを特徴とする請求項１または２に記載のアウトガス拡散防止用カバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等の室内に設置された配管や配線等から発生したアウトガスが、当該室内へ拡散することを防止するためのアウトガス拡散防止用カバーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体や液晶パネルの製造工場あるいは医薬品等の製造工場等においては、空気中の微粒子に起因するコンタミネーションや異物混入を防止するために、室内の空気中に含まれる微粒塵埃の数を一定値以下に抑えたクリーンルームが設けられている。
【０００３】
このクリーンルームは、要求される空気清浄度に応じて、単位時間当たりに所定の回数の換気を行うことが要求されるために、例えば天井の上方空間に形成したプレナムチャンバ内の空気を、多数のファンフィルターユニットによって清浄化して下方の作業空間となるクリーンルームに送気し、所定のクリーン環境を保持するとともに、当該クリーンルーム内の空気を、床下方のリターンエリアに送り、さらにリターンダクトから上記プレナムチャンバに循環供給する構造等が採用されている。
【０００４】
ところで、半導体や液晶パネルの製造工場においては、近年における集積度の向上によって、上記微粒塵埃に加えて、微量のガス成分が半導体基板やシリコンウエハに吸着し、この結果ゲート酸化膜における膜質の劣化や絶縁不良などを生じて、製造歩留まりの低下を招く一因となることが判明している。そして、このような製造環境で問題となるガスとしては、脂肪族炭化水素、有機カルボン酸エステル類、フェノール類、アミン類等の有機物が知られている。
【０００５】
一方、上記クリーンルームには、内部に設置されている半導体や液晶パネルの製造装置に、ユーティリティとしての純水や特殊ガスを供給するための各種配管や、電源供給や制御信号をやり取りするための電線が接続されている。ここで、上記配管は、その素材として塩化ビニルやポリプロピレン等の合成樹脂が使用されており、常温においても上記有機物を含む微量のガス成分（以下、アウトガスと称する。）が発生する。また、電線についても、その被覆材に含有されている可塑剤、酸化防止剤、難燃剤、滑剤から、同様にアウトガスが発生することが知られている。
【０００６】
ところが、上記ファンフィルターユニットに組み込まれているＵＬＰＡフィルターは、上記微粒塵埃を捕集するためのものであって、上記アウトガスを除去することができないために、当該アウトガスがクリーンルーム内に拡散して、上記半導体等の製造に悪影響を及ぼすおそれがある。
【０００７】
このため、上記ＵＬＰＡフィルターとは別に、クリーンルーム内の空気の循環系に、有機ガス成分を除去するための活性炭を用いたケミカルフィルターを設置する方法も提案されているが、当該ケミカルフィルターによっては、上記アウトガスのような低濃度の有機ガス成分を除去することは、極めて非能率であってコスト的にも実現性が乏しいという問題点がある。
【０００８】
そこで、上記配管材料や電線の被覆材として、アウトガスを発生しないか、あるいは発生量が微量のものを用いようとすると、配管内部を流れる流体の種類や電線の耐水性保持等の兼ね合いや、材料からのアウトガス発生量を測定するために多大の手間を要する等の理由から、その選択作業が複雑になるとともに、高価な素材を多量に使用することになるために、全体としての設備コストが高騰化するという問題点もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、簡易な構造によって、クリーンルーム等の室内に設置された配管や配線等からのアウトガスの拡散を防止することができるアウトガス拡散防止用カバーを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、室外よりも正圧（加圧状態）に保持されるとともに、アウトガスを発生する配管・配線が設置された室内に設置されて、上記配管・配線からのアウトガスの拡散を防止するためのカバーであって、少なくとも外周部が、アウトガスの発生量が上記室内に許容される上限値以下である素材からなり、上記室内における全長にわたって上記配管・配線を排気流路となる間隙を介して気密的に覆うとともに、上記室内に連通する開口部が形成され、かつ端部が上記室外に開口することを特徴とするものである。
【００１１】
ここで、上記カバーの少なくとも外周部は、アウトガスを全く発生しない金属等で形成することが好ましく、仮にアウトガスを発生する合成樹脂等を用いた場合においても、可塑剤等の添加剤によって、当該アウトガスの発生量が上記室内に許容される上限値以下にまで低減化された素材を用いる必要がある。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、当該カバーの内部に、上記配管・配線との間の上記間隙を保持する形状保持部材が設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
さらに、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、一端部が上記配管・配線が接続されている機器類の当該配管・配線の導入部に接続されることにより、上記機器類の内部を通じて上記室内に連通するとともに、他端部が室外に開口していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１または２に記載のアウトガス拡散防止用カバーによれば、室外よりも加圧された室内に連通する開口部が形成されるとともに、端部が上記室外に開口しているために、当該カバーと内部に気密的に収納した配管・配線との間の間隙に、常時、室内から室外へと向かう排気流路が形成される。このため、上記配管・配線から発生したアウトガスも、上記流路から排気される室内の空気とともに室外に排出されてゆく。このため、別途排気用のエネルギーや機器類を要することなく、容易かつ確実に上記アウトガスを室外へと排出することができる。
【００１５】
また、当該カバー自体も、少なくともその外周部が、アウトガスの発生量が上記室内に許容される上限値以下である素材によって構成されているために、当該カバーの外周部から室内に有害となるアウトガスが発生することもない。
この結果、極めて簡易な構造によって、クリーンルーム等の室内に設置された配管や配線等からのアウトガスの拡散を防止することができる。したがって、配管材料や配線の被覆材として、高価なアウトガス対策品を用いる必要がないために、経済性に優れるとともに、素材選択に多大の手間を要することが無く、計画の自由度が増すという効果も得られる。
【００１６】
この際に、配管や配線が曲線状に敷設されており、かつ上記カバーとして可撓性のある合成樹脂等を用いた場合には、特に曲線部分において、上記排気流路となる間隙が狭くなって円滑な排気がなされないおそれがある。
【００１７】
この点、請求項２に記載の発明によれば、当該カバーの内部に、上記配管・配線との間の上記間隙を保持する形状保持部材を設けているために、確実にカバー内で発生したアウトガスを室内の空気とともに室外に排出させることができる。
【００１８】
さらに、上記室内に設置されるとともに、上記配管や配線が接続されている補機器類、配電盤、制御盤等の機器類においては、内部に組み込まれた機械部品や電子部品から当該機器類の内部にアウトガスが発生するおそれもある。
【００１９】
このような場合には、請求項３に記載の発明のように、上記配管や配線の外周を室内に露出する全長にわたって気密的に覆うとともに、一端部を当該配管や配線が接続されている機器類の導入部に接続し、他端部を室外に開口させるように設ければ、先ず加圧状態にある室内からの空気が上記機器類の内部に流入し、当該機器類の内部で発生したアウトガスを上記カバー内の間隙から上記配管や配線から発生したアウトガスと共に室外へと排出することができる。この結果、一層確実に、上記室内へのアウトガスの拡散を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１および図２は、本発明に係るアウトガス拡散防止用カバーの一実施形態を示すものであり、図３および図４は、その変形例を示すものである。
図１および図２において、図中符号１は半導体や液晶パネルの製造工場のクリーンルームである。このクリーンルーム１は、外部から区画されるとともに、室外２の清浄度の低い空気の流入を避けるために室内１ａが室外２よりも高い圧力に保持されている。
【００２１】
そして、この室内１ａには、製造機器、補記機、配電盤、制御盤等の機器類３が設置されるとともに、室外２から上記機器類３へと、ユーティリティとしての純水や特殊ガスを供給するための各種配管や、電源供給や制御信号をやり取りするための電線等の配管・配線４ａ、４ｂが接続されている。ここで、配管・配線４ａは、その素材や被覆材についてアウトガス対策が施されていないものであり、配管・配線４ｂは、その対策が施されているものである。
【００２２】
また、この機器類３内には、アウトガス対策が施されていない機械部品５ａ、５ｂや電子部品５ｃ等も組み込まれている。なお、図中符号６は、当該機器類３の壁部に設けられた放熱用あるいは換気用の開口部である。そして、この機器類３から室外へと延出するアウトガス対策が施されていない配管・配線４ａの外周に、アウトガス拡散防止用カバー７が設けられている。
【００２３】
このアウトガス拡散防止用カバー７は、室内１ａに露出する配管・配線４ａをその全長にわたって気密的に覆うとともに、一端部７ａが機器類３における配管・配線４ａの導入口（開口部）に接続され、かつ他端部７ｂがクリーンルーム１の側壁に接続されることにより室外２に開口されている。ここで、アウトガス拡散防止用カバー７は、配管・配線４ａの外径よりも大径の円筒状に形成されており、内部には、その全長にわたって当該内部を２つの空間に区画する隔壁（形状保持部材）８が設けられている。
【００２４】
そして、このアウトガス拡散防止用カバー７内の一方の空間に、配管・配線４ａが挿通されるとともに、配管・配線４ａの外周とアウトガス拡散防止用カバー７の内壁との間に、排気流路となる間隙９ａが形成されている。また、他方の空間は、機器類３内と室外２とに連通する排気流路９ｂとされている。
【００２５】
また、上記アウトガス拡散防止用カバー７に代えて、図３に示すアウトガス拡散防止用カバー１０を用いることもできる。
このアウトガス拡散防止用カバー１０は、配管・配線４ａの外径よりも大径の内管１０ａと、この内管１０ａよりも大径の外管１０ｂとを有する２重管構造であり、これら内管１０ａと外管１０ｂとは、円周方向４箇所において長手方向に介装されたスペーサ１０ｃにより互いの間隔が一定に保持されている。
【００２６】
そして、内管１０ａに、配管・配線４ａが挿通されている。これにより、内管１０ａと配管・配線４ａとの間の空間に、排気流路となる間隙１１ａが形成されるとともに、内管１０ａと外管１０ｂとの間の空間に、機器類３内と室外２とに連通する排気流路１１ｂが形成されている。
【００２７】
さらに、図４に示すアウトガス拡散防止用カバー１２は、同様に配管・配線４ａの外径よりも大径に形成されるとともに、内壁には、配管・配線４ａに向けて突出するスペーサ１３が円周方向に等間隔をおいた４箇所に形成されている。
これにより、アウトガス拡散防止用カバー１２の内壁と配管・配線４ａの外周面との間に、排気流路となる所定間隔を有する間隙１４が形成されている。
【００２８】
これらのアウトガス拡散防止用カバー７、１２およびアウトガス拡散防止用カバー１０の少なくとも外管１０ｂは、アウトガスを全く発生しないステンレスやアルミニウム等の金属管を採用することが最も好ましい。
また、上記アウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２として、ポリカーボネート、硬質ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、高密度ポリエチレン等の伸縮性のない合成樹脂や、シート状加工したポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、低密度ポリエチレン、熱可塑性ポリウレタン等の伸縮性を有する合成樹脂を用いることもできる。
【００２９】
この場合には、いずれも可塑剤、酸化防止剤、帯電防止剤等の添加剤として、アウトガスの発生量低減化効果を有するものが添加されることにより、外周部からのアウトガスの発生量が、クリーンルーム１の室内１ａに許容される上限値以下である素材を用いる必要がある。
このような素材としては、例えば本出願人が先に特許第３２８８５７９号において提案した、分子量４００以上のカルボン酸エステル、ポリエステル、エポキシ系化合物のうちの１種以上からなる可塑剤を含むポリ塩化ビニル樹脂が好適である。
【００３０】
ちなみに、具体的に上記可塑剤としては、フタル酸ジイソノニル、フタル酸オクチルデシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ジラウリル、フタル酸ジミリスチリル、アゼライン酸ジ−２−エチルヘキシル、セバチン酸ジ−２−エチルヘキシル、トリメリット酸トリス−２−エチルヘキシル、トリメリット酸トリオクチル、トリメリット酸トリノニル、トリメリット酸トリデシル、アジピン酸またはアゼライン酸またはセバチン酸またはフタル酸とグリコールまたはグリセリンとの重縮合により得られるポリエステル、エポキシ脂肪酸エステル、およびエポキシ化大豆油のうちの１種以上が適用可能である。
【００３１】
以上の構成からなるアウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２においては、一端部７ａが、機器類３の内部から開口部６を介して室外２よりも加圧された室内１ａに連通するとともに、他端部７ｂが室外２に開口しているために、内部に気密的に収納した配管・配線４ａとの間の間隙９ａ、１０ａ、１４および排気流路９ｂ、１１ｂに、常時、室内１ａから室外２へと向かう空気の流路が形成される。
【００３２】
この結果、機器類３内に設置された機械部品５ａ、５ｂや電子部品５ｃ等から発生したアウトガスや、機器類３内の配管・配線４ａから発生したアウトガスは、上記間隙９ａ、１０ａ、１４および排気流路９ｂ、１１ｂを通じて室内１ａの空気とともに室外２へと排出されて行く。また、アウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２内の配線・電線４ａから発生したアウトガスも、同様に上記間隙９ａ、１０ａ、１４から室外２へと排出されて行く。
【００３３】
したがって、これらアウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２によれば、別途排気用のエネルギーや機器類を要することなく、極めて簡易な構造によって、クリーンルーム１の室内１ａに設置された機器類３の内部や配管・配線４ａから当該室内１ａへアウトガスが拡散することを確実に防止することができる。これにより、配管材料や配線の被覆材として、高価なアウトガス対策品を用いる必要がないために、経済性に優れるとともに、素材選択の自由度が増すという効果が得られる。
【００３４】
また、アウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２は、少なくともその外周部におけるアウトガスの発生量が、全くないか、あるいは室内１ａに許容される上限値以下の微量である素材によって構成されているために、当該アウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２の外周部から室内１ａに有害となるアウトガスが発生するおそれもない。
【００３５】
さらに、アウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２の内部に、配管・配線４ａとの間の上記間隙９ａ、１０ａ、１４および排気流路９ｂ、１１ｂを保持する隔壁８やスペーサ１０ｃ、１３等の形状保持部材を設けているために、可撓性のある合成樹脂等を用いた場合においても、配管・配線４ａが曲線状に敷設された箇所において、流路が狭くなることが無く、よって確実にアウトガス拡散防止用カバー７、１０、１２を通じてアウトガスを室内１ａの空気とともに室外２に排出させることができる。
【００３６】
さらに、配管・配線４ａの外周を室内１ａに露出する全長にわたって気密的に覆うとともに、一端部７ａを配管・配線４ａが接続されている機器類３の導入部に接続し、他端部７ｂを室外２に開口させるように設けているために、機器類３の内部で発生したアウトガスについても、配管・配線４ａから発生したアウトガスと共に室外２へと排出することができ、一層確実に室内１ａへのアウトガスの拡散を防止することができる。
【００３７】
なお、上記実施形態においては、アウトガス拡散防止用カバー７内に、１本の配管や配線４ａを挿通した場合についてのみ説明したが、これに限定されるものではなく、複数本の配管や複数本の配線、さらには複数本の配管および配線を１本のアウトガス拡散防止用カバー７内に挿通することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係るアウトガス拡散防止用カバーの一実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図１のａ−ａ線視断面図である。
【図３】図２の変形例を示す断面図である。
【図４】図２の他の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  クリーンルーム
１ａ  室内
２  室外
３  機器類
４ａ  配管・配線
７、１０、１２  アウトガス拡散防止用カバー
７ａ  一端部（室内１ａへの開口部）
７ｂ  他端部
８  隔壁（形状保持部材）
９ａ、１１ａ、１４  間隙（排気流路）
９ｂ、１１ｂ  排気流路
１０ｃ、１３  スペーサ（形状保持部材）
【図１】
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【図２】
2008008506.tif 000004
【図３】
2008008506.tif 000005
【図４】
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