(57)【要約】【課題】気化した添加剤を含む溶剤ガスから添加剤を効果的かつ効率的に除去する。【解決手段】溶剤１２と添加剤１３とを含むドープ１４を支持体２２上に流延して流延膜２３を形成する。流延膜２３を支持体２２から剥ぎ取り溶剤を含んだ湿潤フィルム２７とした後、これを乾燥室３６で高温に晒し溶剤を蒸発させる。発生した溶剤ガスを含む空気を熱交換器７３を介して冷却器７６に送る。冷却器７６により処理前ガス５２の温度を２０℃以上３０℃以下まで下げる。冷却により処理前ガス５２中の添加剤は固化されて添加剤粒子が形成される。冷却器７６の下流に配した捕捉装置７７に処理前ガス５２を送る。捕捉装置７７は金属フィルタを備える慣性集塵器である。これにより、溶剤ガスとともに存在する添加剤粒子を捕捉除去することができる。【選択図】図１
2008162278.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマーと添加剤と溶剤とが含まれるドープを流延して乾燥することによりフィルムとする溶液製膜部のガスを、蒸発した前記溶剤が含まれる状態でガスクーラにより冷却した後に、吸着装置により前記溶剤を回収する際、前記ガス中に含まれる揮発した添加剤を除去する溶剤ガス回収設備の添加剤除去方法において、
前記ガスクーラの下流側に配置した金属フィルタを備える慣性集塵器を用いて、前記ガスクーラで冷却することにより前記ガス中に生成した添加剤粒子を除去することを特徴とする溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項２】
前記ガスクーラによる前記ガスの冷却により、前記ガスクーラの出口付近で前記添加剤を過飽和状態にすることを特徴とする請求項１に記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項３】
前記金属フィルタに温水を流し、集塵された前記添加剤粒子を洗浄する温水洗浄処理を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項４】
前記ガスクーラ及び慣性集塵器を複数有し、一方で冷却及び集塵を行っているときに、他方で前記金属フィルタの温水洗浄処理を行うことを特徴とする請求項３に記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項５】
前記添加剤は、トリフェニルホスフェートであり、
前記ガスクーラは、前記ガスの温度を出口側で２０℃以上３０℃以下まで下げて、気体の前記添加剤を０．７５μｍ以上１．５０μｍ以下の粒径をもつ前記添加剤粒子とし、
前記慣性集塵器は前記添加剤微粒子を捕捉することを特徴とする請求項１ないし４いずれか１つに記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項６】
前記ガスクーラに案内される前記ガスの温度Ｔ１（℃）から、前記金属フィルタに接触するときの前記ガスの温度Ｔ２を減じた差ｄＴ（℃）が２５℃以上３０℃以下であることを特徴とする請求項５記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項７】
前記ガスは、０．５ｍ／秒以上２．０ｍ／秒以下とした風速で前記金属フィルタに通過させることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１つに記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項８】
前記金属フィルタとこの金属フィルタに案内された前記ガスの流れの向きとのなす角θが３０°以上９０°以下の範囲であることを特徴とする請求項１ないし７いずれか１つに記載の溶剤回収設備の添加剤除去方法。
【請求項９】
ポリマーと添加剤と溶剤とが含まれるドープを流延して乾燥することによりフィルムとする溶液製膜部のガスを、蒸発した前記溶剤が含まれる状態でガスクーラにより冷却した後に、吸着装置により前記溶剤を回収する際、前記ガスに含まれる揮発した添加剤を除去する溶剤回収設備の添加剤除去装置において、
前記ガスクーラの下流側に配置され、前記ガスクーラで冷却することにより前記ガス中に生成する添加剤粒子を除去する金属フィルタを有する慣性集塵器を備えることを特徴とする溶剤回収設備の添加剤除去装置。
【請求項１０】
前記ガスクーラは、前記ガスを冷却することにより前記ガスクーラの出口付近で前記添加剤を過飽和状態にすることを特徴とする請求項９に記載の溶剤回収設備の添加剤除去装置。
【請求項１１】
前記慣性集塵器は、前記金属フィルタに温水を流し、集塵された前記添加剤粒子を洗浄する温水洗浄装置を有することを特徴とする請求項９又は１０に記載の溶剤回収設備の添加剤除去装置。
【請求項１２】
前記ガスクーラ及び慣性集塵器を直列に接続した添加剤集塵ラインを複数有し、一方の添加剤集塵ラインで冷却及び集塵を行なっているときに、他方の添加剤集塵ラインで前記金属フィルタの温水洗浄処理を行うライン切り替え部を備えることを特徴とする請求項１１に記載の溶剤回収設備の添加剤除去装置。
【請求項１３】
前記ガスクーラの出口付近にプレフィルタを有し、前記プレフィルタと前記金属フィルタとの間に粒子成長用通路を備えることを特徴とする請求項９ないし１２いずれか１つに記載の溶剤回収設備の添加剤除去装置。
【請求項１４】
前記金属フィルタは、同一方向に傾斜した透孔が多数形成されている金属製の網目フィルタ板を前記透孔の傾斜方向を順次変えて複数枚重ねるように近接させて配置した構造を有し、前記金属フィルタの下側から前記ガスクーラを経て冷却された前記ガスが送られるものであり、
前記金属フィルタの上方に前記温水洗浄装置が設置されていることを特徴とする請求項９ないし１３いずれか１つに記載の溶剤回収設備の添加剤除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発した添加剤を含む溶剤ガスから添加剤を除去するための溶剤回収設備の添加剤除去方法及び、添加剤除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ポリマーフィルムは、軽量かつ小型・薄型化が可能であり、透明度が高く光学特性に優れる等の利点から光学フィルムとして盛んに利用されている。中でも、セルロースエステル、特にセルローストリアセテート（ＴＡＣ）を使用したセルロースエステルフィルムは、透明度や機械強度が高く、かつ光学的等方性に優れる等の特徴から、写真感光フィルムや、液晶表示装置の主要構成部材である偏光板の保護フィルム、視野角拡大フィルム等を代表とする光学フィルムの基材としての需要の増加が著しい。
【０００３】
セルロースエステルフィルムは、主に溶液製膜方法で製造される。溶液製膜方法は、セルロースエステルとこれを溶解するための溶剤と可塑剤等の添加剤とを含むドープを走行する支持体上に流延して流延膜を形成する工程と、この流延膜を支持体から剥ぎ取り溶剤を含んだ湿潤フィルムとしてから乾燥させてフィルムとする乾燥工程とを有する。一般的に、この乾燥工程は、約１００℃以上の空気を乾燥風として湿潤フィルムの近傍に供給することで行われる。これにより、湿潤フィルムに含まれる溶剤を、より多く、より短時間で蒸発させることができる。乾燥が進むにつれて、湿潤フィルムからは溶剤が蒸発する。
【０００４】
溶液製膜方法では、環境や人体に対する負荷の軽減、或いは、資源の有効利用、製造コストの削減等を図ることを目的とし、気化した溶剤、即ち溶剤ガスを凝縮液化させて、ドープにおける溶剤として再利用する。再利用を行なうには、先ず、溶剤ガスを含む空気を回収して冷却装置で冷却する。次に、冷却された溶剤ガスを含む空気を吸着装置に送り、その内部に備えられた吸着剤により空気中の溶剤ガスを吸着する。吸着が進行して、吸着能力が低下すると、新たな吸着剤を有する他の吸着装置に切り替えられる。また、吸着能力が低下した吸着剤に対しては脱着が行なわれる。
【０００５】
乾燥工程では、溶剤の蒸発に伴い添加剤の一部も蒸発するので、溶剤ガスには気化した添加剤が含まれている。添加剤として使用される物質は融点の低いものが多い。このため、上記の様に溶剤ガスを冷却すると添加剤は固化して、溶剤ガスを再利用するために使用される各装置、またこれらを接続する配管の内部に付着し、閉塞させる。これは、溶剤ガスの回収効率を低下させるので問題である。そして、発生した溶剤ガスは非常に高い温度であり、吸着装置の吸着剤は温度が高くなるほど劣化がはやくなったり吸着能力が小さくなったりする傾向があるために、吸着剤の劣化防止や吸着能力の向上を図るには、溶剤ガスを予めある程度冷却することが必要であり、この点で冷却装置での冷却工程は行わざるを得ない。
【０００６】
そこで、溶剤ガスに含まれる気化した添加剤を除去する方法として種々の方法が提案されている。例えば、所定の温度条件とされたガスクーラで溶剤ガスの温度を段階的に下げることにより、溶剤ガスに含まれる添加剤を冷却凝縮させる方法が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特開２００３−１６５８６６号公報
【特許文献２】特開２００６−１１６７８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、引用文献１，２に提案される方法では、気化した添加剤が冷却により液体ないし固体の粒子（以降、添加剤粒子と称する）となり、この添加剤粒子がガスクーラの出口側で飛散する。そして、ガスクーラの下流には、吸着装置内の吸着剤保護を目的として粒状の活性炭が備えられているが、飛散した添加剤粒子により、活性炭の粒と粒との間の隙間や活性炭の表面細孔が閉塞してしまい、この閉塞により、活性炭を通過する溶剤ガスの量が減少する。閉塞した活性炭は、フィルムの製造設備を一旦停止させて新たな活性炭と交換する必要があるので、フィルムの生産性が低下する。また、この活性炭で捕捉しきれなかった微細な添加剤粒子は、前記吸着装置の内部に収容された吸着剤に付着して吸着材の表面細孔を閉塞させてしまう。この閉塞で吸着材は吸着性能が低下し、溶剤ガスの回収効率は著しく低下するので問題である。
【０００８】
そこで、本発明は、気化した添加剤を含む溶剤ガスから添加剤を効率良くかつ効果的に除去することにより、溶剤ガスの回収に係る関連装置が添加剤により閉塞して、その能力が低下するのを防止することができる溶剤回収設備の添加剤除去方法、及び溶剤回収設備の添加剤除去装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の溶剤回収設備の添加剤除去方法は、ポリマーと添加剤と溶剤とが含まれるドープを流延して乾燥することによりフィルムとする溶液製膜部のガスを、蒸発した前記溶剤が含まれる状態でガスクーラにより冷却した後に、吸着装置により前記溶剤を回収する際、前記ガス中に含まれる揮発した添加剤を除去する溶剤回収設備の添加剤除去方法において、ガスクーラの下流側に配置した金属フィルタを備える慣性集塵器を用いて、ガスクーラで冷却することによりガス中に生成した添加剤粒子を除去することを特徴とする。
【００１０】
ガスクーラによる溶剤ガスの冷却により、ガスクーラの出口付近で添加剤を過飽和状態にすることが好ましい。
【００１１】
金属フィルタに温水を流し、集塵された添加剤粒子を洗浄する温水洗浄処理を行うことが好ましい。また、ガスクーラ及び慣性集塵器を複数有し、一方で冷却及び集塵を行っているときに、他方で金属フィルタの温水洗浄処理を行うことが好ましい。
【００１２】
添加剤は、トリフェニルホスフェートであり、ガスクーラは、前記ガスの温度を出口側で２０℃以上３０℃以下まで下げて、気体の前記添加剤を０．７５μｍ以上１．５０μｍ以下の粒径をもつ前記添加剤粒子とし、慣性集塵器は前記添加剤微粒子を捕捉することが好ましく、前記ガスクーラに案内される前記ガスの温度Ｔ１（℃）から、金属フィルタに接触するときの前記ガスの温度Ｔ２を減じた差ｄＴ（℃）が２５℃以上３０℃以下であることがより好ましい。
【００１３】
前記ガスは、０．５ｍ／秒以上２．０ｍ／秒以下とした風速で金属フィルタに通過させることが好ましい。金属フィルタとこの金属フィルタに案内された前記ガスの流れの向きとのなす角θが３０°以上９０°以下の範囲であることが好ましい。
【００１４】
本発明の溶剤回収設備の添加剤除去装置は、ポリマーと添加剤と溶剤とが含まれるドープを流延して乾燥することによりフィルムとする溶液製膜部のガスを、蒸発した前記溶剤が含まれる状態でガスクーラにより冷却した後に、吸着装置により溶剤を回収する際、前記ガスに含まれる揮発した添加剤を除去する溶剤回収設備の添加剤除去装置において、ガスクーラの下流側に配置され、ガスクーラで冷却することにより前記ガス中に生成する添加剤粒子を除去する金属フィルタを有する慣性集塵器を備えることを特徴とする。
【００１５】
ガスクーラは、前記ガスを冷却することによりガスクーラの出口付近で添加剤を過飽和状態にすることが好ましい。
【００１６】
慣性集塵器は、金属フィルタに温水を流し、集塵された添加剤粒子を洗浄する温水洗浄装置を有することが好ましい。
【００１７】
ガスクーラ及び慣性集塵器を直列に接続した添加剤集塵ラインを複数有し、一方の添加剤集塵ラインで冷却及び集塵を行なっているときに、他方の添加剤集塵ラインで金属フィルタの温水洗浄処理を行うライン切り替え部を備えることが好ましい。
【００１８】
ガスクーラの出口付近にプレフィルタを有し、プレフィルタと金属フィルタとの間に粒子成長用通路を備えることが好ましい。
【００１９】
金属フィルタは、同一方向に傾斜した透孔が多数形成されている金属製の網目フィルタ板を透孔の傾斜方向を順次変えて複数枚重ねるように近接させて配置した構造を有し、金属フィルタの下側からガスクーラを経て冷却された前記ガスが送られるものであり、金属フィルタの上方に温水洗浄装置が設置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明により、気化した添加剤を含む溶剤ガスから添加剤を効率良くかつ効果的に除去することができるので、溶剤ガスの回収に係る関連装置が添加剤によって閉塞し、その能力が低下するのを防止することができる。この溶剤回収設備の添加剤除去方法をポリマーフィルムの製造方法に適用させると、フィルムを乾燥させる際に発生する溶剤ガスを回収するための各装置が添加剤によって閉塞させずに、優れた生産性を保持しながら、高品質のポリマーフィルムを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明について、実施形態を示しながら説明する。ただし、ここに示す形態は本発明に係る一例であり、本発明を限定するものではない。
【００２２】
図１は本発明に係るフィルム製造設備の一例の概略図である。フィルム製造設備１０は、ポリマー１１とこのポリマー１１を溶解する溶剤１２と添加剤１３とを含むドープ１４を流延してフィルム１６とするための製膜部１７と、この製膜部１７の内部で気体となった溶剤、すなわち溶剤ガスを回収し、再びドープ１４の原料として再生するための第１及び第２溶剤回収再生部１８、１９とを備える。
【００２３】
製膜部１７は、１対のローラ２０、２１に巻き掛けられ、このうち一つのローラを駆動ローラとすることで、無端で連続走行する支持体２２と、支持体２２の上にドープ１４を流延して流延膜２３を形成するための流延ダイ２４と、支持体２２から剥取ローラ２５で支持され剥ぎ取られた溶剤を含んだフィルム、すなわち湿潤フィルム２７を複数のローラで支持しながら搬送する間に、送風器２８から乾燥風を吹き付けて乾燥する渡り部３０と、湿潤フィルム２７を幅方向に延伸しながら乾燥するテンタ３１と、テンタ３１の下流に備えられ、湿潤フィルム２７を複数のローラ３５で巻き掛けながら搬送する間に乾燥を進めてフィルム１６とする乾燥室３６と、乾燥したフィルム１６を巻き取る巻取軸３８を有する巻取室４０とを備える。
【００２４】
本発明で用いることができるポリマー１１は特に限定されず、溶液製膜方法によりフィルムとすることができる公知のもので良い。本実施形態では、偏光板用の保護フィルムや光学補償フィルム等の光学用途に広く用いられるセルロースアシレートを用いる場合を例にして説明する。セルロースアシレートの中では、セルロースアセテート、特にアセチル化度の平均値が５７．５％〜６２．５％のセルローストリアセテートが光学特性に優れたフィルムをつくる上で好ましい。なお、アセチル化度とは、セルロース単位重量当りの結合酢酸量を意味し、ＡＳＴＭ：Ｄ−８１７−９１（セルロースアセテート等の試験方法）におけるアセチル化度の測定および計算に従って求めることができる。本実施形態では、粒子状のセルローストリアセテートを使用し、その９０重量％以上が０．１〜４ｍｍの粒子径、好ましくは１〜４ｍｍの粒子径を有する。
【００２５】
溶剤１２としては、ハロゲン化炭化水素、エステル類、ケトン類、エーテル類、アルコール類等があるが、特に限定されない。溶剤としては、１種類の化合物であっても良いし、複数の化合物の混合物でも良い。溶剤の具体例には、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン等）、エステル類（例えば、酢酸メチル、メチルホルメート、エチルアセテート、アミルアセテート、ブチルアセテート等）、ケトン類（例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等）、エーテル類（例えば、ジオキサン、ジオキソラン、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、メチル−ｔ−ブチルエーテル等）、アルコール類（例えば、メタノール、エタノール等）等が挙げられる。
【００２６】
ドープ１４に含ませる添加剤としては、可塑剤が挙げられる。可塑剤としては、リン酸エステル系（例えば、トリフェニルホスフェート（以下、ＴＰＰと称する）、トリクレジルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、オクチルジフェニルホスフェート、ジフェニルビフェニルホスフェート（以下、ＢＤＰと称する）、トリオクチルホスフェート、トリブチルホスフェート等）、フタル酸エステル系（例えば、ジエチルフタレート、ジメトキシエチルフタレート、ジメチルフタレート、ジオクチルフタレート等）、グリコール酸エステル系（例えば、トリアセチン、トリブチリン、ブチルフタリルブチルグリコレート、エチルフタリルエチルグリコレート、メチルフタリルエチルグリコレート、ブチルフタリルブチルグリコレート等）及びその他の可塑剤を用いることができる。この中で、セルロースアシレートをフィルムとするために特に好ましいものとしてはＴＰＰが挙げられる。
【００２７】
ドープには、可塑剤以外の添加剤を各種含ませても良い。他の添加剤としては、紫外線吸収剤、離型剤、剥離促進剤、フッ素系界面活性剤等がある。紫外線吸収剤としては、例えば、オキシベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、サリチル酸エステル系化合物、ベンゾフェノン系化合物、シアノアクリレート系化合物、ニッケル錯塩系化合物が好ましく、中でも、ベンゾトリアゾール系化合物やベンゾフェノン系化合物が特に好ましい。
【００２８】
次に、フィルム製造設備１０について説明する。支持体２２と流延ダイ２４と渡り部３０とテンタ３１とを含む流延エリア４５では、ドープ１４、流延膜２３、湿潤フィルム２７の乾燥が進むにつれて、各々の内部から大量の溶剤１２が蒸発する。発生した溶剤ガスは、流延エリア４５に存在する空気と共に、流延エリア４５に接続される第１溶剤回収再生部１８へ送られる。
【００２９】
第１溶剤回収再生部１８は、溶剤ガスを含み流延エリア４５から送られてきた空気を冷却させて、空気中に含まれる溶剤ガスを凝縮させて液体とする凝縮器（コンデンサ）４７と、凝縮器４７で溶剤ガスを除かれた空気を温める加熱機４８とを備える。溶剤ガスは、凝縮器４７で凝縮液化されると、製膜部１７に送られてドープ１４の原料である溶剤として再利用される。一方、加熱器４８で温められた空気は溶剤成分が少ないものであるため、流延エリア４５に戻され、例えば、流延膜２３やテンタ３１の内部の湿潤フィルム２７を乾燥させるための乾燥風として利用される。この乾燥風は、湿潤フィルム２７の効率を高めるために、所定の温度となるように通常加熱されて流延エリア４５に送られる。なお、流延エリア４５から凝縮器４７へ送るべき空気と、凝縮器４７から加熱器４８へ送るべき空気との間で熱交換を行ってもよい。この場合には、例えば、流延エリア４５と凝縮器４７との間、かつ凝縮器４７と加熱器４８との間に熱交換器４９を配し、凝縮器４７からの冷却された空気と、流延エリア４５からの高温の空気とで熱交換をさせることが好ましい。これにより、凝縮器４７におけるエネルギー消費量と加熱器４８におけるエネルギー消費量とを低減させることができる。
【００３０】
乾燥室３６では、湿潤フィルム２７の搬送路の近傍は１００℃以上の高温とされる。これにより、湿潤フィルム２７から溶剤１２を十分に蒸発させてフィルム１６とする。このとき、溶剤１２の蒸発に伴って添加剤の一部も蒸発する。したがって、乾燥室３６の内部では、気化した添加剤１３を含む溶剤ガスが発生し、乾燥室３６の内部空気には溶剤ガスと気体となった添加剤１３とが含まれる。乾燥室３６には、送風器２８やテンタ３１により乾燥が進められた湿潤フィルム２７が送り込まれるので、この溶剤ガスの発生量は、流延エリア４５での発生量に比べて少ない。しかし、湿潤フィルム２７の溶剤量ができるだけゼロとなるように湿潤フィルム２７を乾燥させるために、乾燥室３６での湿潤フィルム２７の温度は流延エリア４５での温度よりも高く設定されるので、溶剤ガスにおける添加剤１３の濃度は、流延エリア４５で発生する溶剤ガスにおける添加剤１３の濃度よりも極めて高い。そこで、乾燥室３６における溶剤ガスを含む空気は、乾燥室３６に接続される第２溶剤回収再生部１９へ送られて添加剤除去に係る処理が行われる。すなわち、乾燥室３６から第２溶剤回収再生部１９へ送られる空気には、溶剤ガスと気体となった添加剤１３との両方が含まれる。以降の説明においては、乾燥室３６から第２溶剤回収再生部１９へ送られる空気を処理前ガス５２と称する。
【００３１】
第２溶剤回収再生部１９は、添加剤除去ユニット５５ａと、吸着剤が収容された複数の吸着槽（図示しない）を有する吸着装置６２とを備える。添加剤除去ユニット５５ａは、処理前ガス５２から気体の添加剤１３を選択的に除去して処理済ガス５７とするものである。吸着装置６２は、処理済ガス５７を上記の吸着剤に接触させて溶剤ガスを除去することにより再生ガス６０とするものである。この吸着装置６２には、吸着を終了させた後に脱着ガス６４を送り込み、吸着剤に吸着されている溶剤ガスを脱着させる。脱着ガス６４としては水蒸気を用いることが好ましい。
【００３２】
また、脱着に使用された後の脱着ガス６４には溶剤ガスが含まれており、第２溶剤回収再生部１９は、この使用後の脱着ガスの中にある溶剤ガスを液体にする凝縮機６６を備える。凝縮機６６は、脱着に使用された脱着ガス６４が滞留するための凝縮器本体（図示せず）と、この凝縮器本体の内部に連続して送り込まれ、使用後の脱着ガス６４を冷却するための流体（図示せず）とを備え、更に、凝縮器本体の外部には、凝縮器本体で温度が上がった流体を凝縮器本体の外部で冷却し、再び凝縮器本体へと送り込む循環ユニット（図示せず）と流体が流れる管とを備える。この流体としては、溶剤の沸点よりも低い温度で安定な液体が好ましく、ハンドリング、入手のし易さ及びコストの点を考慮すると水が好ましい。使用後の脱着ガス６４は、凝縮器本体へ送り込まれると溶剤ガスの沸点以下に温度が下げられることにより溶剤ガスが凝縮液化する。この液化した溶剤、すなわち回収溶剤６８は、溶剤処理装置７０へ送られる。
【００３３】
溶剤処理装置７０は、回収溶剤６８を蒸留して精製するためのものである。回収溶剤６８を精製して得られる再生溶剤７１は、ドープ１４の溶剤１２として再利用される。なお、ドープ１４の溶剤１２として混合物を用いる場合には、溶剤処理装置７０で分留することによりそれぞれの成分毎に回収される。この精製時に生じる廃液７２は廃棄される。凝縮器６６と溶剤処理装置７０とで、それぞれ得られた溶剤１２は、混合あるいは単独で再利用される。また、乾燥室３６のように流延エリア４５でも添加剤１３が気化する場合には、第１溶剤回収再生部１８に代えて、第２溶剤回収再生部１９を用いることができる。
【００３４】
乾燥室３６と添加剤除去ユニット５５ａ、５５ｂとの間には、乾燥室３６からの処理前ガス５２と、吸着装置６２から送られてきた再生ガス６０との間で熱交換をするための熱交換器７３が備えられる。なお、添加剤除去ユニット５５ａ、５５ｂと吸着装置６２との間に除湿機（図示しない）を設けて、処理済ガス５７の水分を除去することが好ましい。
【００３５】
本発明の特徴である添加剤除去ユニット５５ａ、５５ｂは、それぞれ冷却器７６と、慣性集塵器を用いた捕捉装置７７とを備える。なお、添加剤除去ユニット５５ａ，５５ｂは互いに同じ構成を有し、図の煩雑さを避けるために、添加剤除去ユニット５５ｂの図示は簡略化している。添加剤除去ユニット５５ａを用いる場合について以下に説明し、添加剤除去ユニット５５ｂを用いる場合の詳細は省略する。本実施形態では、冷却器７６としてガスクーラを使用する。冷却器７６は、熱交換器７３から送り込まれる約５０℃〜２００℃の高温とされた処理前ガス５２を所望の温度範囲に下げるためのものである。捕捉装置７７は、処理前ガス５２を冷却させることで形成される添加剤１３の粒子を除去するためのものである。
【００３６】
また、冷却器７６と捕捉装置７７とが直列に接続された添加剤除去ユニット５５ａは、複数設けられる。本実施形態では、添加剤除去ユニット５５ｂが該当する。添加剤除去ユニット５５ａ，５５ｂは、並列に接続しており、これにより、いずれか一方で冷却及び集塵して添加剤１３を回収しているときに、他方では既に回収した添加剤が付着する捕捉装置７７を洗浄することができる。捕捉装置７７を洗浄して回収された添加剤１３は精製工程を経てドープ１４の原料としてふたたび用いられる。なお、洗浄方法を含めた添加剤除去ユニット５５ａ、５５ｂの詳細は、後で別の図を示して説明する。
【００３７】
捕捉装置７７により添加剤１３が除去された処理済ガス５７は、更に、吸着装置６２で溶剤ガスが除去され再生ガス６０とされる。この再生ガス６０は熱交換器７３を介して加熱器８０に送られ、ここで高温にされた後、乾燥ガス８１として乾燥室３６に戻される。これにより、乾燥室３６の空気は常に溶剤ガスと水分と気体の添加剤１３との各濃度が所定値以下に保持されるので、フィルム１６は効率良くかつ効果的に乾燥が進められる。また、乾燥を行なう間は、気化した添加剤１３を含む処理前ガスを回収し、添加剤１３を除去した後に乾燥ガス８１として再利用する一連の工程を繰り返し行なうので、添加剤１３が乾燥室３６の内部の機器類やフィルム１６に付着して、これらを汚染するということがない。
【００３８】
図２は、添加剤除去ユニット５５ａの概略図である。添加剤除去ユニット５５ａを構成する冷却器７６には、冷却コイル９０が備えられる。冷却コイル９０は、送られてくる処理前ガスの温度を下げるために、これに接続される冷媒供給部９１から冷媒が送り込まれて低温に保持されている。冷媒としては冷水が好適に用いられるが、特に限定されない。なお、冷却コイル９０のみだけで処理前ガスを十分に冷却することができる場合には、熱交換器７３を用いずともよいが、再生ガス６０の加熱にあたってのエネルギー消費量を考慮すると、熱交換器７３を用いることが好ましい。
【００３９】
捕捉装置７７の処理前ガスの通過路には、金属フィルタ９５、９６が備えられている。この金属フィルタ９５、９６の下側から、冷却器７６を経て冷却された処理前ガスが送り込まれる。なお、金属フィルタ９５、９６の詳細は、後で別の図を示して説明する。
【００４０】
熱交換器７３から送られた処理前ガスは、冷却コイル９０に通されて、冷却器７６の出口から出るときの温度が１２℃以上４０℃以下となるように下げられる。これは、冷却器７６の出口における気体の添加剤を過飽和状態とするためである。過飽和状態とすることにより、処理前ガスに含まれる気体の添加剤のうち、融点が約５０℃であるＴＰＰのようなものは液化して平均粒径が０．７５μｍ〜１．５μｍ程度の液体の粒子（以降、添加剤粒子と称する）となる。処理前ガスの温度が４０℃を超えると、添加剤１３は液化されず、その一方で、１２℃未満の場合には、冷却に要するエネルギーが増大して製造コストが増加するので好ましくない。効果的に添加剤を液化させるためには、処理前ガスの温度は１２℃以上３０℃以下とすることがより好ましく、２０℃以上３０℃以下とすることがさらに好ましく、２０℃以上２５℃以下とすることが特に好ましい。この温度範囲は、気体となった添加剤がＴＰＰ（露点は略２０℃）であるときのものである。このように気体となった添加剤の露点に応じて処理前ガスの温度を決定するとよい。すなわち、冷却器７６の出口から出るときの処理前ガスの温度は、（気体の添加剤の露点）以上｛（気体の添加剤の露点）＋１０℃｝以下であることがさらに好ましく、（気体の添加剤の露点）以上｛（気体の添加剤の露点）＋５℃｝以下であることが特に好ましい。なお、本実施形態では、冷却コイル９０の下流に温度計１００を設けて冷却コイル９０を通過させた後の処理前ガスの温度を測定している。
【００４１】
また、添加剤粒子を除去するために、冷却コイル９０に通過させる処理前ガスの風速は、０．５ｍ／秒以上２．５ｍ／秒以下とすることが好ましく、特に好ましくは１．０ｍ／秒以上２．０ｍ／秒以下である。処理前ガスの風速が２．５ｍ／秒を超えると、生成した添加剤粒子が冷却コイル９０の表面に付着するための滞留時間が不十分となり、添加剤粒子を捕捉する効率が低下するので、好ましくない。一方で、風速が０．５ｍ／秒未満の場合は冷却コイル９０のサイズが大きくなり設備コストが増加するので望ましくない。なお、冷却器７６における処理前ガスの通り道（通過路）の入口付近に、風速計（図示しない）を設けることにより、処理前ガスの風速は容易に測定可能である。
【００４２】
冷却コイル９０の下流であって冷却器７６の出口付近には、不織布濾材からなるフィルタ９２が設置されていてもよい。フィルタ９２の材質や種類等は特に限定されるものではないが、温水洗浄が可能なポリエステル素材からなり、質量法による捕集効率が４０％以上８０％以下の性能を有する中性能フィルタとすることが好ましい。上記の質量法は、フィルタの捕集効率を測定するための試験方法である。一般には、米国冷暖房空調技術会の試験方法であるＡＳＲＡＥ規格や、ＪＩＳ規格が採用されており、本発明ではＪＩＳ規格による値を採用する。なお、フィルタ９２は必ずしも設置する必要はないが、冷却直後の処理前ガス中に生成した添加剤粒子を生成初期の段階で捕捉することができる。
【００４３】
冷却器７６と捕捉装置７７とは配管９３により接続される。冷却させた処理前ガスは配管９３を介して捕捉装置７７へ送られる。ここで、処理前ガスが配管９３内を通過する時間は０．１秒以上２秒以下とすることが好ましい。特に好ましくは、０．５秒以上１秒以下である。通過時間が２秒を超えると配管９３の距離が長くなり設置コストが増加するので望ましくない。その一方で通過時間が０．１秒未満の場合には添加剤粒子の生成及び成長が不十分な状態で処理前ガスが金属フィルタ９５，９６を通過するために、金属フィルタ６５，９６における添加剤粒子の捕集効率が著しく低下する。このように、一定時間をかけて処理前ガスを捕捉装置７７へ送り込むと、添加剤粒子の生成及び成長を促進させることができる。
【００４４】
冷却器７６で冷却された処理前ガスは、金属フィルタ９５，９６に送られる。処理前ガスの中の添加剤粒子は、金属フィルタ９５，９６に接触するまでは液体の粒、すなわち液滴であるが、金属フィルタ９５，９６に接触することにより結晶となって接触前よりも粒径が大きな固体の粒となり、金属フィルタ９５，９６で捕捉される。すなわち、金属フィルタ９５，９６は、液滴を結晶化する作用と、結晶化した添加剤粒子を保持する作用とをもつ。
【００４５】
添加剤粒子の金属フィルタ９５，９６による除去率を向上させる効果的な方法としては、（１）金属フィルタ９５，９６を通過するときの処理前ガスの風速を所定範囲とすること、（２）冷却される前の処理前ガスの温度Ｔ１と、冷却された後の処理済ガスの温度Ｔ２と、Ｔ１とＴ２との関係を所定の関係とすること、との２つがある。
【００４６】
上記（１）について説明する。添加剤粒子の除去率を向上させるためには、処理前ガスの風速を０．５ｍ／秒以上２．０ｍ／秒以下として金属フィルタ９５，９６に通過させる。より好ましくは０．５ｍ／秒以上１．５ｍ／秒以下であり、特に好ましくは１．０ｍ／秒以上１．５ｍ／秒以下である。ただし、処理前ガスの風速が２．０ｍ／秒を超えると、金属フィルタ９５を通過するスピードが速すぎて透孔で添加剤１３を捕捉することが難しい。一方で、風速が０．５ｍ／秒未満では、捕捉装置７７の装置サイズが大きく設置コストが増加するので好ましくない。なお、上記の風速は、金属フィルタ９５の近傍に設置した風速計により測定した任意の数箇所の風速（ｍ／秒）の平均風速とする。
【００４７】
上記（２）について説明する。冷却器７６に案内される処理前ガスの温度を第１温度Ｔ１、金属フィルタ９５，９６に案内される処理前ガスの温度すなわち金属フィルタ９５，９６に接触するときの処理前ガスの温度を第２温度Ｔ２とし、第１温度Ｔ１から第２温度Ｔ２を減じた値、すなわちＴ１−Ｔ２で求める差をｄＴとおく。本実施形態では冷却器７６の入口に設置された温度計（図示せず）により測定される値を第１温度Ｔ１とするが、これに限定されず、熱交換器７３と冷却器７６との間における値であればよい。また、本実施形態では捕捉装置７７の入口に設置された温度計（図示せず）により測定される値を第２温度Ｔ２とするが、金属フィルタ９５，９６に接触するときの処理前ガスの温度と略同等の値とみなすことができる測定値であればよい。
【００４８】
そして、前述の通り、第２温度Ｔ２が（気体となった添加剤の露点）以上｛（気体となった添加剤の露点）＋５℃｝℃以下の範囲になるように、冷却器７６の冷却コイル９０で処理前ガスを冷却することが特に好ましい。第２温度Ｔ２をこの範囲とすることにより、金属フィルタ９５，９６でより、添加剤粒子の針状結晶が形成されやすくなり、除去率がより高くなる。この冷却器７６での冷却効果が足りない場合には、本実施形態のように、熱交換器７３を用いたり、他の熱交換器を冷却器７６の上流側にさらに増設して冷却するとよい。第２温度Ｔ２が（気体となった添加剤の露点）よりも低いと金属フィルタ９５，９６に添加剤粒子の針状結晶が形成されずに除去率が悪くなる場合がある。これは、本実施形態では、金属フィルタ９５，９６に接触するときの気体の添加剤の露点が略２０℃であるために、添加剤粒子同士の相互作用が水分子により影響を受けて結晶化が阻害されることによる。したがって上記範囲の最低値は、金属フィルタ９５，９６に接触するときの気体の添加剤の露点を意味する。また、第２温度Ｔ２が｛（気体となった添加剤の露点）＋５℃｝よりも高いと、金属フィルタ９５，９６での除去率を大きくできない場合があるからである。なお、添加剤粒子同士の相互作用が水分子により影響を受けることを抑制するために、金属フィルタ９５，９６の周りは、湿度が１００％未満となるようにしておくことが好ましい。湿度が１００％未満の範囲であれば、湿度の高低に関わらず除去率とはほぼ一定となる。
【００４９】
第２温度Ｔ２は、上記範囲で一定に保持されることが好ましい。これにより、金属フィルタ９５，９６での結晶化が継続して一定に起こるようになるので、金属フィルタ９５，９６が部分的に閉塞することが抑制されるとともに、金属フィルタ９５，９６の閉塞時期の予測をすることができ、金属フィルタ９５，９６の交換を定期化することができるようになる。
【００５０】
第２温度Ｔ２を上記範囲とする場合には、第１温度Ｔ１が４５℃以上５０℃以下の範囲となるように処理前ガスを熱交換器７３で冷却するがより好ましい。これにより、金属フィルタ９５で結晶化しやすい液滴としての添加剤粒子が、冷却器７６で発生されやすくなる。第１温度Ｔ１が４５℃よりも低い場合には、冷却器７６で液滴としての添加剤粒子を好ましくは形成できずに、金属フィルタ９５，９６における添加剤粒子の結晶化が不完全となってしまうことがある。また、第１温度Ｔ１が５０℃よりも高いと、添加剤粒子が冷却器７６で液滴の添加剤粒子が形成されにくくなる場合がある。また、第２温度Ｔ２を上記範囲内で一定に保持するためには、第１温度Ｔ１を上記範囲内で一定に保持することが好ましい。粒径が略一定な液滴を発生させるためである。
【００５１】
そして、金属フィルタ９５，９６での除去率をさらに高めるために、２５℃≦ｄＴ≦３０℃となるように、熱交換器７３と冷却器７６とによる各温度制御を実施することが好ましい。
【００５２】
以上により、捕捉装置７７の出口付近では、添加剤１３が効率良くかつ効果的に捕捉回収されて添加剤１３が十分に除去された処理済ガスが得られる。この処理済ガスは吸着装置６２へ送られて、溶剤等が除去される。なお、捕捉装置７７の出口付近に活性炭フィルタを設置させて処理済ガスを通過させると、処理済ガスに残存する添加剤粒子をさらに吸着回収することができる。また、本発明のように、冷却させた処理済ガスを活性炭に通過させると、冷却させないで通過させる場合と比べて、添加剤粒子の吸着回収に係る効率は向上する。活性炭フィルタは、化学的・物理的な活性化処理が施された多孔質の炭素であり、市販品として容易に入手可能なものを使用すれば良い。なお、活性炭フィルタは省略しても良い。
【００５３】
金属フィルタ９５，９６は、処理前ガスの流れ方向と交差するようにそれぞれ複数設置されている。金属フィルタ９５と金属フィルタ９６とは、処理前ガスの流れ方向に、前者が上流側、後者が下流側となるように配されている。複数の金属フィルタ９５は、処理前ガスの流れ方向に重ならないように並べて配されており、これと同様に複数の金属フィルタ９６も配されてある。本実施形態では、処理前ガスは、水平方向と９０°に、かつ上向きに金属フィルタ９５，９６に向かう。図２の破線で囲まれるエリア（Ａ）に示すように、処理前ガスの流れ方向と、各金属フィルタ９５とのなす角をθとすると、θは０°よりも大きく９０°以下の範囲とすることが好ましく、３０°以上９０°以下とすることがより好ましい。処理前ガスの流れ方向と金属フィルタ９６とのなす角についても同じである。なす角θが９０°であるとは金属フィルタ９５，９６と処理前ガスの流れ方向とが直交することを意味し、このなす角θを小さくするほど、捕捉装置７７の単位断面積当たりの金属フィルタの枚数をより多くすることができる。つまり、捕捉できる添加剤粒子量をより多くすることができるようになる。θが３０°以上９０°以下の場合と、θが０°よりも大きく３０°未満との場合を比べると、添加剤粒子の除去率は前者が高いが、θ＝３０°の場合とθ＝９０°以下の場合とを比べると除去率は互いに略同等である。したがって、θ＝３０°のときが、添加剤粒子の除去率と捕捉装置７７のコンパクト化との両立の観点から最も好ましいといえる。
【００５４】
なお、このように複数の金属フィルタ９５，９６を処理前ガスの流れ方向に配すると、多段で添加剤粒子を捕捉するので、処理前ガスに含まれる添加剤粒子の除去効率を向上させることができるので好ましい。この場合、上流側の金属フィルタ９５と下流側の金属フィルタ９６との間隔Ｌ１（ｍｍ）は、１ｍｍ以上２０００ｍｍ以下とすることが好ましい。より好ましくは、１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下であり、特に好ましくは、４００ｍｍ以上６００ｍｍ以下である。ここで、間隔Ｌ１が２０００ｍｍを超えると、捕捉装置７７の装置サイズが大きく設置コストが増加するので好ましくない。一方で、Ｌ１が１ｍｍ未満では、金属フィルタ９５，９６同士が接触して磨耗する等のおそれがあるので不適である。なお、金属フィルタ９５，９６の設置数は特に限定されるものではなく、自在に選択すれば良い。
【００５５】
冷却器７６及び捕捉装置７７に設置されている各種フィルタ９２，９５，９６の近傍には、温水供給部９８から温水を供給するための温水ノズル９９ａ，９９ｂ，９９ｃが設置されている。温水ノズル９９ａ，９９ｂ，９９ｃは、温水供給部９８から供給される温水を各フィルタ９２，９５，９６に吹き付けて、各フィルタ９２，９５，９６に付着している添加剤１３の固形分たる結晶を溶解させる。各ノズルに供給される温水の量は、バルブＶ１〜Ｖ３の開閉により調整される。これにより、各フィルタは洗浄される。ここで発生する洗浄後の温水は、冷却器７６及び捕捉装置７７に設置された排水弁（図示しない）から排出される。排出された温水から添加剤１３を回収して精製すると、ドープ１４に再び用いることができる。また、本発明のように金属フィルタを使用すると、温水による洗浄処理を施してもその性能や材質が劣化するおそれがない。このため、添加剤の除去用として一般に使用されているシリカやアルミナ製の砂からなる無機物層を使用した粒状フィルタと比べて、再利用が可能になり製造コストの低減等を実現することができる。
【００５６】
図３は、金属フィルタ９５の一例の概略図である。本実施形態では、２枚の金属フィルタ９５，９６を使用するが、互いに同じであるため金属フィルタ９５について説明し金属フィルタ９６についての説明は略す。金属フィルタ９５は、同一方向に傾斜した透孔９５ａが多数形成されている金属製の網目フィルタ板である。透孔９５ａは金属板を貫通しているものである。また、透孔９５ａの傾斜方向を順次変えて複数枚重ねるように近接させて配置した構造を有する。材質は、金属であれば問題はないが、耐熱性や耐久性に優れる点からステンレス製であることが好ましい。金属フィルタ９５に通された溶剤ガスは透孔９５aにより乱気流となり、添加剤粒子が金属フィルタ９５表面に衝突することで捕捉される。ただし、本発明に係る金属フィルタは、添加剤粒子を捕捉させるための複数の透孔が形成された多孔質部材を用いれば良く、その形状や構造は特に限定されない。
【００５７】
本発明では、溶剤ガスを含む空気を所定の温度に冷却させて、その中に０．７５μｍ以上１．５０μｍ以下の添加剤粒子を形成させる。このため、このような大きさの添加剤粒子を効率良くかつ効果的に捕捉するために、透孔９５ａの最も大きい径Ｄ１は、０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下とすることが好ましい。より好ましくはＤ１が１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、特に好ましくは１ｍｍ以上５ｍｍ以下である。ここで、Ｄ１が２０ｍｍを超えると、透孔９５ａにより溶剤ガスが乱気流となる効果が減少するので、金属フィルタ９５による添加剤粒子の除去率が著しく低下する。一方で、Ｄ１が０．５ｍｍ未満だと、透孔９５ａに添加剤粒子が付着して閉塞が起こり易くなり、温水洗浄を行う頻度が増加するため不適である。
【００５８】
以下、本発明に係る実施例及び比較例を挙げて、本発明の効果を具体的に説明する。ただし、ここに示す形態はあくまで本発明に係る一例であり、本発明を限定するものではない。なお、以下の説明では、実施例１で製造方法等の詳細を示し、その他の実施例及び比較例で共通する場合は、説明を省略する。
【実施例１】
【００５９】
実施例１では、ポリマー１１としてトリアセチルセルロース（ＴＡＣ）を使用し、ジクロロメタン及びメタノールを溶剤１２とし、添加剤１３としてＴＰＰを使用して、ドープ１４を調製した。そして、このドープ１４を用いて製膜部１７でフィルム１６を製造した。乾燥室３６では、フィルム１６の温度を１３０℃として乾燥を促進させた。
【００６０】
乾燥室３６の内部の溶剤ガスを含む空気を、第２溶剤回収再生部１９に送った。そして、気化した溶剤及び添加剤を除去して乾燥ガス８１とした。そして、この乾燥ガス８１を乾燥室３６に送り、循環使用した。なお、添加剤除去ユニット５５ａでは、冷却器７６で２０℃に温度を下げた溶剤ガス５２を、Ｄ１が５ｍｍの透孔を複数有するステンレス製の金属フィルタを備える捕捉装置７７に送って処理済ガス５７とした（図２参照）。
【００６１】
実施例１では、下記の方法により添加剤の除去率を求め、この値から本発明の効果を評価した。その結果、添加剤の除去率は９５％であり、溶剤ガスから添加剤を十分に除去することができた。
【００６２】
〔添加剤の除去率〕
添加剤の除去率の求め方を説明する。先ず、熱交換器７３中の溶剤ガスを含む空気をサンプルとして吸着剤に吸着させてから、この吸着剤に含まれるＴＰＰの量（Ｍ１）を、ＨＰＬＣ（（株）島津製作所製、１０ＡＴｖｐ型、カラム（東ソーＴＳＫ−ｇｅｌ  ＯＤＳ−８０Ｔｓ））により求める。次に、先のサンプルの採取量と同量の処理済ガス５７を採取し、この中に含まれるＴＰＰの量（Ｍ２）を求める。そして、上記で得られるＭ１、Ｍ２を下記式（１）に代入して得られる値を添加剤の除去率（％）とする。
添加剤の除去率（％）＝｛（Ｍ２−Ｍ１）／Ｍ１｝×１００・・・・（１）
【００６３】
〔比較例１〕
比較例１では、冷却器７６を出た後の溶剤ガス５２の温度を７０℃とした以外は、全て実施例１と同様にした。その結果、添加剤の除去率は２５％となった。
【００６４】
〔比較例２〕
比較例２では、２０℃まで冷却した溶剤ガス５２を金属フィルタに通過させることなしに作業を行った。その結果、添加剤の除去率は７８％となった。
【実施例２】
【００６５】
実施例１と同じドープ１４を用いてフィルム１６を製造した。乾燥室３６での乾燥におけるフィルム１６の温度は実施例１と同じである。
【００６６】
乾燥室３６の内部の溶剤ガスを含む空気を、第２溶剤回収再生部１９に送った。そして、気化した溶剤及び添加剤を除去して乾燥ガス８１とした。そして、この乾燥ガス８１を乾燥室３６に送り、循環使用した。なお、添加剤除去ユニット５５ａでは、Ｔ１が５０℃となるように熱交換器７３で処理前ガスを冷却し、Ｔ２が表１の実験１〜４の各温度となるように冷却器７６で処理前ガスを冷却した。処理前ガス５２を、Ｄ１が５ｍｍの透孔を複数有するステンレス製の金属フィルタ９５，９６を備える捕捉装置７７に送って処理済ガス５７とした。
【００６７】
実験１〜４につき、金属フィルタ９５，９６における水滴の発生の有無と、添加剤の除去率とにつき、それぞれ評価した。水滴の発生の有無については、表１における「結露の有無」欄に結果を記載する。水滴の発生の有無に関しては、目視で観察したところ、金属フィルタ９５，９６に水滴が確認されなかった場合を「◎」、目視で観察したところ、金属フィルタ９５，９６に部分的なくもりはみられたが実用的には問題ない程度であった場合を「○」とした。また、添加剤の除去率が９０％以上１００％以下である場合を「◎」、８０％以上９０％未満である場合を「○」とした。
【００６８】
【表１】
2008162278.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係るフィルム製造設備の一例の概略図である。
【図２】本発明の添加剤除去ユニットの一例を示す概略図である。
【図３】本発明の金属フィルタの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０    フィルム製造設備
１４    ドープ
１９    第２溶剤回収再生部
３６    乾燥室
５５ａ、５５ｂ    添加剤除去ユニット
７６    冷却器
７７    捕捉装置
９５、９６    金属フィルタ
９５ａ  透孔
【図１】
2008162278.tif 000004
【図２】
2008162278.tif 000005
【図３】
2008162278.tif 000006