(57)【要約】【課題】磁気検出センサの感度がピークとなる位置を正確に検知することができる磁気検出装置及び磁気検出方法を提供する。【解決手段】磁気検出装置１０は、磁気を検出するテスラメータセンサ１４Ａと、テスラメータセンサ１４Ａに対して磁気を発し、その先端がテスラメータセンサ１４Ａの感度方向からみたテスラメータセンサ１４Ａの外形形状よりも細い磁石部を有するセンサ位置検出用マグネット３０と、テスラメータセンサ１４Ａとセンサ位置検出用マグネット３０とを相対移動させる水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂと、水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂによってテスラメータセンサ１４Ａとセンサ位置検出用マグネット３０とを近接させた状態で相対移動させた際の、テスラメータセンサ１４Ａから出力される出力値に基づいて、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を算出するコンピュータ１８等とを備える。【選択図】図１
2008261800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気を検出する磁気検出センサを有するプローブと、
前記磁気検出センサに対して磁気を発し、前記プローブ側の先端が前記磁気検出センサの磁気検出感度が最も高い方向からみた前記プローブの外形形状よりも細い磁石又は電磁石と、
前記磁気検出センサと前記磁石又は電磁石とを相対移動させる移動手段と、
前記移動手段によって前記磁気検出センサと前記磁石又は電磁石とを近接させた状態で相対移動させた際の、前記磁気検出センサから出力される出力値に基づいて、前記磁気検出センサの感度がピークとなる位置を算出する感度ピーク位置算出手段と、
を備える磁気検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気検出装置において、
前記磁石又は電磁石は、前記プローブ側の先端が、先端以外の部分よりも細くなっていること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の磁気検出装置において、
前記磁石又は電磁石は、極が並ぶ方向と略直交する方向の断面積が略１ｍｍ2以下であ
ること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の磁気検出装置において、
前記感度ピーク位置算出手段は、前記磁気検出センサの磁気の感度分布に基づいて、前記磁気検出センサの感度がピークとなる位置を算出すること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の磁気検出装置において、
前記移動手段は、同一平面内の第１の方向及び第２の方向に、前記磁気検出センサと前記磁石又は電磁石とを相対移動させること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の磁気検出装置において、
前記移動手段は、前記感度ピーク位置算出手段が算出した前記磁気検出センサの感度がピークとなる位置に基づいて、前記磁気検出センサを所望の位置に移動させること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の磁気検出装置において、
前記磁石又は電磁石は、前記磁気検出センサが移動する領域を挟み込むように対向配置されていること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の磁気検出装置において、
前記磁気検出センサは、ホール素子であること、
を特徴とする磁気検出装置。
【請求項９】
磁気を検出する磁気検出センサを有するプローブと、前記磁気検出センサに対して磁気を発し、前記プローブ側の先端が前記磁気検出センサの磁気検出感度が最も高い方向からみた前記プローブの外形形状よりも細い磁石又は電磁石とを相対移動させる移動工程と、
前記磁気検出センサと前記磁石又は電磁石とを近接させた状態で相対移動させた際の、
前記磁気検出センサから出力される出力値に基づいて、前記磁気検出センサの感度がピークとなる位置を算出する感度ピーク位置算出工程と、
を備える磁気検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気を検出する磁気検出装置及び磁気検出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、プローブに取り付けられたホール素子の中心を検知する装置を開示している。
しかし、特許文献１の装置は、ホール素子に対して磁気を発する電磁コイルがホール素子よりも太いので、ホール素子の磁気を正確に検知することができない可能性があった。
【特許文献１】特開平０９−２４３７２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、磁気検出センサの感度がピークとなる位置を正確に検知することができる磁気検出装置及び磁気検出方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１の発明は、磁気を検出する磁気検出センサ（１４Ａ）を有するプローブと、前記磁気検出センサ（１４Ａ）に対して磁気を発し、前記プローブ側の先端が前記磁気検出センサの磁気検出感度が最も高い方向からみた前記プローブの外形形状よりも細い磁石又は電磁石（３０）と、前記磁気検出センサ（１４Ａ）と前記磁石又は電磁石（３０）とを相対移動させる移動手段（２２Ａ，２２Ｂ）と、前記移動手段（２２Ａ，２２Ｂ）によって前記磁気検出センサ（１４Ａ）と前記磁石又は電磁石（３０）とを近接させた状態で相対移動させた際の、前記磁気検出センサ（１４Ａ）から出力される出力値に基づいて、前記磁気検出センサ（１４Ａ）の感度がピークとなる位置を算出する感度ピーク位置算出手段（１８）と、を備える磁気検出装置（１０）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載の磁気検出装置（１０）において、前記磁石又は電磁石（３０）は、前記プローブ側の先端が、先端以外の部分よりも細くなっていること、を特徴とする磁気検出装置（１０）である。
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の磁気検出装置において、前記磁石又は電磁石（３０）は、極が並ぶ方向と略直交する方向の断面積が略１ｍｍ2以下であるこ
と、を特徴とする磁気検出装置である。
請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の磁気検出装置（１０）において、前記感度ピーク位置算出手段（１８）は、前記磁気検出センサ（１４Ａ）の磁気の感度分布に基づいて、前記磁気検出センサ（１４Ａ）の感度がピークとなる位置を算出すること、を特徴とする磁気検出装置（１０）である。
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の磁気検出装置（１０）において、前記移動手段（２２Ａ）は、同一平面内の第１の方向（Ｘ）及び第２の方向（Ｙ）に、前記磁気検出センサ（１４Ａ）と前記磁石又は電磁石（３０）とを相対移動させること、を特徴とする磁気検出装置（１０）である。
請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の磁気検出装置（１０）において、前記移動手段（２２Ａ，２２Ｂ）は、前記感度ピーク位置算出手段（１８）が算出した前記磁気検出センサ（１４Ａ）の感度がピークとなる位置に基づいて、前記磁気検出センサ（１４Ａ）を所望の位置に移動させること、を特徴とする磁気検出装置（１０）である。
請求項７の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の磁気検出装置（１０）において、前記磁石又は電磁石（３０）は、前記磁気検出センサ（１４Ａ）が移動する領域（Ｂ）を挟み込むように対向配置されていること、を特徴とする磁気検出装置（１０）である。
請求項８の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の磁気検出装置（１０）において、前記磁気検出センサ（１４Ａ）は、ホール素子であること、を特徴とする磁気検出装置（１０）である。
請求項９の発明は、磁気を検出する磁気検出センサ（１４Ａ）を有するプローブと、前記磁気検出センサ（１４Ａ）に対して磁気を発し、前記プローブ側の先端が前記磁気検出センサの磁気検出感度が最も高い方向からみた前記プローブの外形形状よりも細い磁石又は電磁石（３０）とを相対移動させる移動工程（Ｓ１０１，Ｓ１０２）と、前記磁気検出センサ（１４Ａ）と前記磁石又は電磁石（３０）とを近接させた状態で相対移動させた際の、前記磁気検出センサ（１４Ａ）から出力される出力値に基づいて、前記磁気検出センサ（１４Ａ）の感度がピークとなる位置を算出する感度ピーク位置算出工程（Ｓ１０３）と、を備える磁気検出方法である。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、以下のような効果がある。
（１）プローブの外形形状よりも細い磁石又は電磁石を用いて磁気検出センサの磁気を検出しているので、磁気が集中し、より正確な出力値が得られ、磁気検出センサの感度がピークとなる位置を正確に検知することができる。
（２）磁石又は電磁石は、プローブ側の先端が、先端以外の部分よりも細くなっているので、磁気をより集中させることができる。
【０００６】
（３）磁石又は電磁石は、断面積が略１ｍｍ2以下であるので、磁気検出センサの感度が
ピークとなる位置を０．０１ｍｍ〜１ｍｍ単位の精度で検知することができる。
（４）感度ピーク位置算出手段は、磁気検出センサの磁気の感度分布に基づいて、磁気検出センサの感度がピークとなる位置を算出するので、磁気検出センサの感度がピークとなる位置をより正確に検知することができる。
【０００７】
（５）移動手段は、同一平面内の第１の方向及び第２の方向に、磁気検出センサと磁石又は電磁石とを相対移動させるので、２つの方向から磁気検出センサの感度がピークとなる点を算出することができる。
（６）移動手段は、感度ピーク位置算出手段が算出した磁気検出センサの感度がピークとなる位置に基づいて、磁気検出センサを所望の位置に移動させるので、磁気検出センサの位置合わせを正確に行うことができる。これにより、磁気検出装置の磁気測定の精度も高めることができる。
【０００８】
（７）磁石又は電磁石は、磁気検出センサが移動する領域を挟み込むように対向配置されているので、磁気をより集中させることができ、磁気検出センサの磁気の検出の精度を高めることができる。したがって、磁気検出センサの感度がピークとなる位置をより正確に算出することができる。
（８）磁気検出センサは、ホール素子であるので、ホール素子を有する装置に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について、さらに詳しく説明する。
図１は、本発明による磁気検出装置の実施形態を示すブロック図である。
磁気検出装置１０は、チャック１１と、モータ１２と、ロータリエンコーダ１３と、磁
気検出センサ１４と、コンピュータ１８と、水平スライダ２２Ａと、垂直スライダ２２Ｂと、センサ位置検出用マグネット３０等とを備える。
【００１０】
チャック１１は、着磁された円筒型のマグネットＭを固定する３爪のスクロール型のチャックである。
モータ１２は、このチャック１１を回転させるギヤモータであり、Ｄ／Ａ変換器１５Ａ、モータドライバ１５Ｂを介して、コンピュータ１８によって駆動制御される。
【００１１】
ロータリエンコーダ１３は、モータ１２の出力軸の回転角度を検出するためのものであり、その出力は、カウンタ１６を介して、コンピュータ１８のＩ／Ｏポートに送信される。
【００１２】
磁気検出センサ１４は、マグネットＭの磁束密度を検出するためのセンサであり、本実施形態では、テスラメータセンサ（ガウスメータセンサ）１４Ａとテスラメータ（ガウスメータ）１４Ｂとが用いられている。テスラメータセンサ１４Ａは、例えば、ホール素子や、ホール素子を有するプローブ等である。磁気検出センサ１４の出力は、Ａ／Ｄ変換器１７によってデジタル信号に変換された後に、コンピュータ１８のＩ／Ｏポートに送信される。
【００１３】
コンピュータ１８は、後述する水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂによってテスラメータセンサ１４Ａとセンサ位置検出用マグネット３０とを近接させた状態で相対移動させた際の、テスラメータセンサ１４Ａから出力される出力値に基づいて、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を算出する（詳細は、図４及び図５で後述する）。
【００１４】
また、コンピュータ１８は、磁気検出センサ１４からＡ／Ｄ変換器１７を介して入力された磁束密度と、ロータリエンコーダ１３からカウンタ１６を介して入力された回転角度に基づいて、マグネットＭの着磁状態を求める。このコンピュータ１８には、ＬＣＤ又はＣＲＴ等の表示装置１９、キーボード等の入力装置２０、及び、プリンタ又はプロッタ等の出力装置２１が接続されている。
【００１５】
水平スライダ２２Ａは、テスラメータセンサ１４Ａを左右方向（図中矢印Ｘ方向）及び奥行方向（図中矢印Ｙ方向；Ｘ方向と同一平面内であり、かつ、Ｘ方向と略直交する方向）に移動させる装置である。
また、水平スライダ２２Ａは、コンピュータ１８からの制御信号に基づいて水平スライダ２２Ａを駆動させる水平スライダドライバ２３Ａによって駆動される。
【００１６】
垂直スライダ２２Ｂは、テスラメータセンサ１４Ａを垂直方向（上下方向；図中矢印Ｚ方向）に移動させる装置である。
また、垂直スライダ２２Ｂは、コンピュータ１８からの制御信号に基づいて垂直スライダ２２Ｂを駆動する垂直スライダドライバ２３Ｂによって駆動される。
なお、コンピュータ１８による、水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂの位置の制御は、不図示のエンコーダによりフィードバック制御してもよいし、ステッピングモータ等で制御してもよい。
【００１７】
水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂは、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を算出した後には、コンピュータ１８が算出したテスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置に基づいて、テスラメータセンサ１４ＡをマグネットＭの近傍の所望の測定位置に移動させる。
センサ位置検出用マグネット３０は、水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂがテ
スラメータセンサ１４Ａを移動させることができる範囲内に、かつ、磁気検出装置１０内に固定して配置された磁石である。
【００１８】
図２及び図３は、センサ位置検出用マグネット３０の詳細を示す図である。
図２（Ａ）に示すように、センサ位置検出用マグネット３０は、磁気検出装置１０内に固定される本体部３１と、テスラメータセンサ１４Ａに対して磁気を発し、テスラメータセンサ１４Ａよりも細い磁石部３２とを備える。
ここで、「細い」とは、棒状のものの直径が短いこと又は帯状のものの幅が狭いことをいい、本実施形態では、テスラメータセンサ１４Ａの幅方向（Ｘ方向）の厚みＷ１よりも、磁石部３２の幅方向の厚みＷ２のほうが小さい。これは、テスラメータセンサ１４Ａの中心軸Ｏの延長方向からみて、テスラメータセンサ１４Ａの外形形状よりも、磁石部３２の外形形状のほうが小さいことを意味している。
中心軸Ｏは、テスラメータセンサ１４Ａの磁気検出感度が最も高い方向（感度方向）と一致しており、磁石部３２は、テスラメータセンサ１４Ａ側の先端がテスラメータセンサ１４Ａの感度方向からみたテスラメータセンサ１４Ａの外形形状よりも細い。
また、磁石部３２は、テスラメータセンサ１４Ａ側の先端付近における、テスラメータセンサ１４Ａの感度方向（Ｎ極とＳ極とが並ぶ方向）と略直交する方向の断面積が略１ｍｍ2以下である。これにより、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を０
．０１ｍｍ〜１ｍｍ単位の精度で検知することができる。
【００１９】
また、図２（Ｂ）に示すように、センサ位置検出用マグネット３０は、テスラメータセンサ１４Ａが移動する領域Ｂを挟み込むように対向配置してもよい。なお、対向配置は、磁石部３２のＮ極とＳ極とが対向するようにする。このようにすれば、磁気をより集中させることができ、テスラメータセンサ１４Ａの磁気の検出の精度を高めることができる。
【００２０】
さらに、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、センサ位置検出用マグネット３０は、テスラメータセンサ１４Ａ側の先端を尖らした磁石部３２を有するものとしてもよい。磁石部３２は、テスラメータセンサ１４Ａ側の先端が、先端以外の部分よりも細くなっている鉄心３２ａに、コイル３２ｂが巻かれたものである。このようにすれば、磁石部３２自体を製造しやすく、しかも、磁気をさらに集中させることができる。
【００２１】
図４は、磁気検出装置１０の動作を説明するフローチャートであり、図５は、テスラメータセンサ１４ＡのＸ方向の感度分布を示す図である。なお、図５において、横軸は、テスラメータセンサ１４ＡのＸ方向の位置を示しており、縦軸は、磁束を示している。
まず、コンピュータ１８は、垂直スライダ２２Ｂを駆動させ、テスラメータセンサ１４Ａと、センサ位置検出用マグネット３０とが近接するようにテスラメータセンサ１４Ａの高さを調整する（Ｓ１０１；移動工程）。
ついで、コンピュータ１８は、水平スライダ２２ＡをＸ方向に駆動させ、テスラメータセンサ１４Ａを、センサ位置検出用マグネット３０と近接させた状態で、Ｘ方向の端から端まで移動させる（Ｓ１０２；図２矢印Ｃ参照；移動工程）。
そうすると、テスラメータセンサ１４ＡのＸ方向の磁束密度が検出され、コンピュータ１８は、図５に示すような、テスラメータセンサ１４ＡのＸ方向の感度分布を作成する。
これと同様に、テスラメータセンサ１４ＡをＹ方向にも移動させ、テスラメータセンサ１４ＡのＹ方向の磁束密度を検出し、Ｙ方向の感度分布を作成する。
【００２２】
そして、テスラメータセンサ１４ＡのＸ方向の感度分布とＹ方向の感度分布とを合成し、Ｘ方向の感度のピークとＹ方向の感度のピークとに基づいてテスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を算出し（Ｓ１０３；感度ピーク位置算出工程）、この位置をテスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置（真の中心位置）とする。
なお、この感度中心位置は、テスラメータセンサ１４Ａの物理的な中心位置とは異なる
場合がある。これは、テスラメータセンサ１４Ａの製造時には、テスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置とテスラメータセンサ１４Ａの物理的な中心位置とが一致していたとしても、実際に実機に実装したり、経時的に磁力が変化したり、そもそも製造誤差があったりして、両者の位置がずれている場合があるからである。本実施形態では、磁気の測定を開始する前に、テスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置を算出しているので、より精度よく磁気の測定を行うことができる。
【００２３】
そして、コンピュータ１８は、算出したテスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置に基づいて、テスラメータセンサ１４Ａを所望の位置に移動させる（Ｓ１０４）。所望の位置は、入力装置２０から入力される。コンピュータ１８は、不図示のエンコーダ等によってチャック１１上の所定のポイントである基準位置（モータの回転中心等）から、水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂ上の所定のポイントまでの距離が分かるようになっている。チャック１１上にマグネットＭを配置する際には、マグネットＭの中心や端をその基準位置に合わせて配置する。
【００２４】
ここでは、例えば、基準位置にマグネットＭの中心を合わせて配置したものとし、マグネットＭの端から０．５ｍｍのポイントにテスラメータセンサ１４Ａを移動させたい場合を考える。
このとき、従来の方法であれば、テスラメータセンサ１４Ａの幅方向の長さが例えば２ｍｍである場合、その半分の長さの１ｍｍのポイントを中心とみなしてテスラメータセンサ１４Ａを移動させていたが、本実施形態の方法であれば、テスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置がテスラメータセンサ１４Ａの物理的な中心位置からずれている場合には、そのずれの値をも考慮して、テスラメータセンサ１４Ａを移動させることができる。
【００２５】
そして、所望の位置に移動させた後は、コンピュータ１８は、Ｄ／Ａ変換器１５Ａに電圧設定を行うことにより、モータドライバ１５Ｂを介して、スピード設定をして、モータ１２を駆動させる（Ｓ１０５）。
コンピュータ１８には、ロータリエンコーダ１３からの回転角度が入力され（Ｓ１０６）、測定角度に対応するテスラメータセンサ１４Ａからの磁束密度が入力され（Ｓ１０７）、ロータリエンコーダ１３の回転角度が３６０°になるまで、繰り返して測定が行われる（Ｓ１０８）。
【００２６】
最後に、コンピュータ１８は、得られたマグネットＭの磁束分布を表示装置１９に表示すると共に、入力装置２０からの指示にしたがって、出力装置２１から出力する（Ｓ１０９）。
【００２７】
このように、本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）テスラメータセンサ１４Ａよりも細い磁石部３２を有するセンサ位置検出用マグネット３０を用いてテスラメータセンサ１４Ａの磁気を検出しているので、磁気が集中し、より正確な出力値が得られ、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を正確に検知することができる。これにより、テスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置を正確に把握することができる。
また、センサ位置検出用マグネット３０の磁石部３２の細さにもよるが、磁石部３２を細くすることにより、０．５ｍｍ以下の精度でテスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置を検知することができ、さらに極細にすれば、０．０１〜０．２ｍｍの精度でテスラメータセンサ１４Ａの感度中心位置を検知することができる。
（２）コンピュータ１８は、テスラメータセンサ１４Ａの磁気の感度分布（図５参照）に基づいて、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置を算出するので、テスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる位置をより正確に検知することができる。
【００２８】
（３）水平スライダ２２Ａは、感度中心位置測定時には、Ｘ方向及びＹ方向にテスラメータセンサ１４Ａとセンサ位置検出用マグネット３０とを相対移動させるので、Ｘ方向のどの位置，Ｙ方向のどの位置といったように、２つの方向からテスラメータセンサ１４Ａの感度がピークとなる点を算出することができる。
（４）水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂは、コンピュータ１８が算出した感度中心位置に基づいて、テスラメータセンサ１４Ａを所望の位置に移動させるので、テスラメータセンサ１４Ａの位置合わせを正確に行うことができる。また、この位置合わせも、上述した精度（０．５ｍｍ以下、好ましくは、０．０１〜０．２ｍｍ）で行うことができる。これにより、磁気検出装置１０の磁気測定の精度も高めることができる。
（５）テスラメータセンサ１４Ａがホール素子であれば、ホール素子を有するマグネットアナライザ等の装置に好適に利用することができる。
【００２９】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の範囲内である。
（１）テスラメータセンサ１４Ａを移動させて感度中心位置を算出する例で説明したが、センサ位置検出用マグネット３０を移動させて感度中心位置を算出してもよい。
（２）水平スライダ２２Ａは、感度中心位置測定時には、Ｘ方向とＹ方向の２方向にテスラメータセンサ１４Ａを移動させる例で説明したが、Ｒ方向（半径方向）とθ方向（角度方向）の２方向にテスラメータセンサ１４Ａを移動させてもよい。
【００３０】
（３）マグネットＭは、円筒型の例で説明したが、棒状のものであってもよい。この場合には、モータ１２の代わりに、スライダ等の移動装置を用い、ロータリエンコーダ１３も、リニア型のものを用いればよい。また、水平スライダ２２Ａ及び垂直スライダ２２Ｂにエンコーダが付属されていれば、これを利用することもできる。
（４）図５において、感度分布は、１つの凸がある曲線の例で説明したが、２つの凸がある曲線の場合には、その２つの凸の中心を感度のピークとみなしてもよい。
（５）磁気検出センサは、ホール素子等の例で説明したが、例えば、ＭＩ（Ｍａｇｎｅｔｏ  Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）素子、磁気抵抗素子等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による磁気検出装置の実施形態を示すブロック図である。
【図２】センサ位置検出用マグネット３０の詳細を示す図である。
【図３】センサ位置検出用マグネット３０の詳細を示す図である。
【図４】磁気検出装置１０の動作を説明するフローチャートである。
【図５】テスラメータセンサ１４ＡのＸ方向の感度分布を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  磁気検出装置
１１  チャック
１２  モータ
１３  ロータリエンコーダ
１４  磁気検出センサ
１４Ａ  テスラメータセンサ
１４Ｂ  テスラメータ
１５Ａ  Ｄ／Ａ変換器
１５Ｂ  ドライバ
１６  カウンタ
１７  Ａ／Ｄ変換器
１８  コンピュータ
１９  表示装置
２０  入力装置
２１  出力装置
２２Ａ  水平スライダ
２２Ｂ  垂直スライダ
２３Ａ  水平スライダドライバ
２３Ｂ  垂直スライダドライバ
３０  センサ位置検出用マグネット
３１  本体部
３２  磁石部
【図１】
2008261800.tif 000003
【図２】
2008261800.tif 000004
【図３】
2008261800.tif 000005
【図４】
2008261800.tif 000006
【図５】
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