(57)【要約】【課題】グリーンシート積層体の内部電極の位置をより正確に認識でき、材料の無駄やコスト削減を実現できる電子部品の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】複数の内部電極から構成される内部電極層が表面に形成された第１のグリーンシートと、前記内部電極層の段差を埋めるような、前記内部電極層の厚さより厚い余白パターン層が表面に形成された第２のグリーンシートと、を積層する積層工程と、積層された第１及び第２のグリーンシートを圧着し、グリーンシート積層体を形成する圧着工程と、前記余白パターン層に起因して前記グリーンシート積層体に生じる突起部を検出する検出工程と、検出された突起部に基づいて切断位置を決定する工程と、前記切断位置に沿って前記グリーンシート積層体の切断を行う切断工程と、を備える電子部品の製造方法。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の内部電極から構成される内部電極層が表面に形成された第１のグリーンシートと、前記内部電極層の複数の内部電極間に存在する段差を埋めるように配置され、前記内部電極層の厚さより厚い余白パターン層が表面に形成された第２のグリーンシートと、を積層する積層工程と、
積層された第１及び第２のグリーンシートを圧着し、グリーンシート積層体を形成する圧着工程と、
前記余白パターン層に起因して前記グリーンシート積層体に生じる突起部を検出する検出工程と、
検出された突起部の位置に基づいて切断位置を決定する工程と、
前記切断位置に沿って前記グリーンシート積層体の切断を行う切断工程と、を備える電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記積層工程において、前記第１のグリーンシートに形成された前記内部電極層の段差内に、前記第２のグリーンシートの前記余白パターン層が埋まるように積層する請求項１に記載の電子部品の製造方法。
【請求項３】
記積層工程において、前記第２のグリーンシートの、前記余白パターン層が形成された表面に対向する面が、前記第１のグリーンシートの前記内部電極層に当接するように積層する請求項１に記載の電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記検出工程において、前記グリーンシート積層体の積層方向に対向する両面それぞれに生じる第１の突起部及び第２の突起部を検出し、前記切断位置を決定する工程において、前記第１の突起部の位置と第２の突起部の位置とに基づいて前記切断位置を決定する請求項１〜３の何れか一項に記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシートを積層して作成されたグリーンシート積層体を切断して電子部品を製造するための電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
グリーンシート積層体の切断方法として、グリーンシート積層体の厚さ方向に沿った押圧力を板状の切断刃に作用させてグリーンシート積層体を切断する方法が知られている。
【０００３】
従来のセラミック電子部品の製造方法について、図６を参照しつつ説明する。図６は、従来の電子部品の製造方法における切断工程を示す斜視図である。グリーンシート４５３と、内部電極４５１と、を積層し圧着した積層体４１５を、台座４２３上に固定し、積層体４１５を所望の形状に切断し、そして、切断した積層体４１５を焼成してセラミック電子部品の作製する製造方法である。
【０００４】
切断工程では、グリーンシート積層体４１５の端部４１５ａを切断し、内部電極４５１を露出させる。そして、光学レンズ４５５に接続したコンピュータにより、露出した端部４１５ａの画像データを取り込み、端部４１５ａの識別を行う。内部電極４５１の位置を検出した後、内部電極４５１に干渉しない位置を切断位置として、切断刃４０３によりグリーンシート積層体４１５を切断する（特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１８４６４６号公報（図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上述の電子部品の製造方法における切断工程では、グリーンシート積層体４１５の端部４１５ａのみから、内部電極４５１を識別しているため、グリーンシート積層体４１５の中央部４１５ｂにおいて内部電極がどのような状態となっているか識別することができない。また、グリーンシート積層体４１５の圧着時に加えられる負荷によるグリーンシート積層体４１５の伸びは、必ずしも均一な分布になるとは限らないため（例えば、外側に向かい伸び量が増加する）、グリーンシート積層体４１５の端部４１５ｂのみを観察し内部電極４５１の位置を識別するだけではグリーンシート積層体の内部電極の配置を正確に把握することができない。このため、切断位置が内部電極と干渉することによって、グリーンシート積層体をチップ形状に切断した時に意図しない位置に内部電極が露出する問題が発生していた。
【０００７】
さらに、グリーンシート積層体４１５の端部４１５ａを切断して内部電極４５１を露出する製造方法では、グリーンシート積層体４１５の外周端面に露出させるための位置決め用マークを設けるか、あるいは内部電極４５１自体の一部を犠牲にして切断する必要が生じ、製品を取得可能なグリーンシート積層体の領域は限られるとともに、材料の無駄やコスト削減を実現することが難しい。
【０００８】
そこで、本発明は、上記事情を鑑み、グリーンシート積層体の内部電極の位置をより正確に認識でき、グリーンシート積層体の切断に起因して内部電極の位置に不良を生じることのない電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の電子部品の製造方法の第１の態様は、複数の内部電極から構成される内部電極層が表面に形成された第１のグリーンシートと、前記内部電極層の複数の内部電極間に存在する段差を埋めるように配置され、前記内部電極層の厚さより厚い余白パターン層が表面に形成された第２のグリーンシートと、を積層する積層工程と、積層された第１及び第２のグリーンシートを圧着し、グリーンシート積層体を形成する圧着工程と、前記余白パターン層に起因して前記グリーンシート積層体に生じる突起部を検出する検出工程と、検出された突起部の位置に基づいて切断位置を決定する工程と、前記切断位置に沿って前記グリーンシート積層体の切断を行う切断工程と、を備える。
【００１０】
また、本発明の電子部品の製造方法の第２の態様によれば、前記積層工程において、前記第１のグリーンシートに形成された前記内部電極層の段差内に、前記第２のグリーンシートの前記余白パターン層が埋まるように積層する。
【００１１】
さらに、本発明の電子部品の製造方法の第３の態様によれば、記積層工程において、前記第２のグリーンシートの、前記余白パターン層が形成された表面に対向する面が、前記第１のグリーンシートの前記内部電極層に当接するように積層する。
【００１２】
本発明の電子部品の製造方法の第５の態様によれば、前記検出工程において、前記グリーンシート積層体の積層方向に対向する両面それぞれに生じる第１の突起部及び第２の突起部を検出し、前記切断位置を決定する工程において、前記第１の突起部の位置と第２の突起部の位置とに基づいて前記切断位置を決定する。
【００１３】
なお、本明細書におけるグリーンシート積層体とは、各種積層型の電子部品の製造過程においてその中間体として形成されたものを意味する。より具体的には、フェライト、ガラス系セラミック等の粉末、バインダ、可塑剤、溶剤等から構成され、電子部品における絶縁領域を形成するグリーンシートと、電子部品における内部電極に代表される導電性領域を有するグリーンシート等とを積層して得られたシート状の部材、或いは単一のシートからなる部材を言う。また、シート状部材或いはシートは、これらを支持するシート状の支持体（基材）を有するものであっても良い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、グリーンシート積層体の表面に、余白パターン層に起因する突起部を積極的に形成することにより、内部電極の位置を積層体全体に亘り正確に認識することができるので、グリーンシート積層体を切断する位置が内部電極と干渉することを無くすことができるため、チップ形状の意図しない位置に内部電極が露出するなどの内部電極の位置不良を防止することができる。さらに、グリーンシート積層体の外周端面に露出させるための位置決め用マークを設けることや、グリーンシート積層体の端部を予め切断する必要がないので、材料の無駄や製造コスト削減を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明におけるグリーンシート積層体の電子部品の製造方法の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態を通じて同一の構成要素には同一の参照符号を付する。
【００１６】
まず、グリーンシート積層体の電子部品を製造する方法について簡単に説明する。シート成形工程（ステップ１）において、数μｍ〜数１０μｍの厚さにシート成形（キャスティング）されたグリーンシートすなわち、セラミックシートを得る。次に、内部導体印刷乾燥工程（ステップ２）において、スクリーン印刷法で内部電極（Ａｇ系、Ａｇ−Ｐｄ系）を形成する。その後、グリーンシート圧着工程（ステップ３）で内部電極がパターニングされた複数のグリーンシートの層を基材上に重ねてグリーンシート積層体のブロックを作製し、グリーンシート積層体の切断工程（ステップ４）で個片（チップ）に切断する。
【００１７】
さらに、切断された個片の端面に所望の丸み（アール）を付与するため、水バレル研磨工程（ステップ６）でメディアボールと一緒にバレル研磨を行い、分離、洗浄、乾燥後に焼成工程（ステップ７）で低誘電率誘電体層と内部導体とを同時焼成する。分離、洗浄、乾燥後、端子電極塗布工程（ステップ８）にて端子電極を付与する治具（パレット）にセットしてＡｇ−Ｐｄ系の電極を塗布、乾燥後、焼成工程（ステップ９）で焼き付けを行う。さらに、実装時の電気的接合を確実に取るために、メッキ工程（ステップ１０）でＮｉ、Ｓｎ等のメッキを施した後、最後に特性検査工程（ステップ１１）で特性検査をし、製品として出荷している。以上のような工程によりグリーンシート積層体電子部品が製造される。
【００１８】
本発明の実施形態は、上記製造工程の内、圧着工程（ステップ３）及び切断工程（ステップ４）に係るものである。
【００１９】
以下に圧着したグリーンシート積層体を切断する工程で用いられる切断装置の構成について説明する。図１は、切断装置のブロック図である。図１において、符号７７は、切断装置の各要素を制御する制御部（ＣＰＵ）であり、符号７９はデータ格納部である。データ格納部７９は、後述するステージ負圧供給部、アクチュエータ、検出装置等の駆動をするためのプログラム及び、検出装置のデータ等を収める部材である。
【００２０】
また、符号８１はステージ負圧供給部である。ステージ負圧供給部８１は、ステージ２３を貫通する吸引孔（不図示）に負圧を付与し、グリーンシート積層体１５をステージ２３（図４参照）上に固定するための部材である。符号８３は、ステージ駆動アクチュエータであり、ステージ２３をｘ方向、ｙ方向、及びθ方向に駆動するための部材である。グリーンシート積層体１５の表面の突起部を検出するために利用される画像データは、撮像カメラ等の撮像部材を備える検出装置６５により得られる。また、ステージ駆動アクチュエータ８３を駆動することにより、切断刃ホルダ２７に固定された切断刃３の刃先の延在する方向と突起部の延びる方向とが整合するように位置決めする。切断刃３は切断刃の上下移動アクチュエータ２５により下降され、切断刃３をグリーンシート積層体１５内へと進入する。なお、上述の切断刃の上下移動アクチュエータ２５及びステージ負圧供給部８１、ステージ駆動アクチュエータ８３は、従来から知られている電動モータや機構、電磁弁、ポンプ等で駆動する公知の構成である。
【００２１】
次に、第１実施形態における切断する対象であるグリーンシート積層体について説明する。図２（Ａ）は、本発明の電子部品の製造方法にかかる第１実施形態において切断されるグリーンシート積層体の縦方向断面の模式図、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のグリーンシート積層体が圧着される前の状態を示す縦断面図、図２（Ｃ）は、内層を構成するグリーンシートの縦断面図である。
【００２２】
グリーンシート積層体１５は、複数の積層型コンデンサの構造が二次元方向に配列されており、導電性部材からなる内部電極層５１とそれを包み込む誘電体素体５３と、を備える。図示されるように、内部電極層５１を構成し、互いに離間する内部電極５１ａ、５１ｂの間に対応する部位であって、グリーンシート積層体１５の上面５３ａには突起部５７が形成されている。従って、内部電極５１ａ、５１ｂに対応する部位の上面５９ａは、凹部を形成する。他方、グリーンシート積層体１５の下面６１aは、部位によらずほぼ平坦な面である。
【００２３】
図１（Ｂ）に明示されるように、圧着される前のグリーンシート積層体１５は、積層される順序に下部外層６１と、内層６３と、上部外層５９と、から構成される。
【００２４】
図２（Ｃ）に示されるように、内層６３は、所定パターンで複数の内部電極５１ａ、５１ｂが配置される内部電極層と、内部電極層５１を構成する複数の内部電極５１ａ、５１ｂ間の段差を埋めるようなパターンを有する余白パターン層５４とが一方の表面に形成された複数のグリーンシート５６から構成されている。余白パターン層５４は、グリーンシート５６の表面から突出する凸部５４ａから構成されている。
【００２５】
余白パターン層５４の厚さｔ１は、内部電極層の厚さｔ２より厚く寸法付けされている。従って、内部電極層５１の上面と、その内部電極層５１の上方に位置するグリーンシートとの間に隙間５８がある。
【００２６】
下部外層６１、及び最上層に位置する上部外層５９は、内部電極を有さない複数のグリーンシートから構成されている。
【００２７】
上記構成のグリーンシート積層体１５は、圧着工程において、温間等方圧（Ｗａｒｍ  Ｉｓｏｓｔａｔｉｃ Ｐｒｅｓｓ：ＷＩＰ）等により圧着される。この時グリーンシート積層体１５の上部外層５９の表面を弾性体シートで覆い、下部外層６１の表面を剛体の板で覆った状態で押圧する。つまり、グリーンシート積層体１５を弾性体シートと剛体の板で挟んで圧着する。上部外層５９は、弾性体シートを介して内層６３の方向への負荷が掛かる。この場合、内層６３の内部電極層５１とその直上のグリーンシート５６との間には、隙間５８が設けられている。よって、内部電極層５１が存在する領域では、弾性体シートが変形しながらグリーンシート５６が凹状に変形する傾向を有する。結果として、余白パターン層５４に対応する部位のグリーンシート積層体１５の上面５９aには、突起部５７が形成される。
【００２８】
なお、上記実施形態では、グリーンシート積層体１５を上部外層５９及び下部外層６１、内層６３のブロックを単位として説明したが、本発明の製造方法におけるグリーンシート積層体が、それぞれのブロックを単位として作製した後に、積層する構成に限定されるものではない。例えば、最下層の下部外層から最上層の上部外層５９まで、順番に各層を形成していく製法でも良いことは言うまでもない。また、本実施形態では、下部外層６１、内層６３、上部外層５９を構成するグリーンシート層、内部電極層を、複数としているが、これらを積層する数は任意選択可能である。
【００２９】
また、内部電極層を有するグリーンシートと、余白パターン層を有するグリーンシートをそれぞれ少なくとも一つ用意するか、内部電極層及び余白パターン層を有するグリーンシーとを複数用意して内層とし、上記グリーンシート積層体の一方の表面のみに剛性部材を接触させた状態で圧着する構成であれば、グリーンシート積層体の上面若しくは下面の一方のみに、内部電極部間に対応する部位に突起部を形成することができる。なお、後述する変形例及び他の実施形態でも同じである。
【００３０】
（内層の変形例）
第１実施形態において内層を構成するグリーンシートの変形例について説明する。図２（Ｄ）は、内層の変形例を有するグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図であり、図２（Ｅ）は、図２（Ｄ）の内層を構成するグリーンシートの縦断面図である。本変形例は、内層４６３を構成する内部電極層４５１と余白パターン層４５４が同一シートの異なる（対向する）表面に形成される構成である。なお、上層５９及び下層６１の構成は、図２（Ｂ）の構成と同じであるので説明を割愛する。
【００３１】
余白パターン層４５４の厚さｔ５は、内部電極層４５１の厚さｔ６より厚く寸法付けされている。また、この余白パターン層４５４と内部電極層４５１とを有するシート同士を同じ向き、例えば内部電極層４５１を上側、余白パターン層４５４を下側に向けて積層すると、内部電極４５１ａと４５１ｂにより画成される段差に余白パターン層を構成する凸部４５４ａが入りこむように寸法づけされている。但し、内部電極層４５１と余白パターン層４５４との厚さが異なるので、内部電極層の上面は、グリーシートとの間に隙間４５８ができる。
【００３２】
上記構成の内層４６３を、上層５９と下層６１の間に介在させ、実施形態１と同様に弾性体のシートと剛体の板で挟み圧着させる。内層４６３の変形例を用いた場合でも、内部電極層４５１の上面と、その直上のグリーンシート４５６との間の隙間４５８が介在するので、内部電極層４５１の領域では、グリーンシートが凹状に変形する。結果として、図２（Ａ）に示されれるグリーンシート積層体と同様に、余白パターン層４５４に対応する上面には突起部が形成される。
【００３３】
（第１実施形態の変形例）
次に、第１実施形態の変形例によるグリーンシート積層体１１５を用いて、グリーンシート積層体１１５の上面（５３ａに相当）に、突起部を形成する例について図２（Ｆ）を用いて説明する。
【００３４】
図２（Ｆ）は、圧着する前の状態のグリーンシート積層体の縦断面図である。グリーンシート積層体１１５は、下部外層１６１と、内層１６３と、上部外層１５９と、から構成される。
【００３５】
第１実施形態と異なるのは、内層１６３を構成する第１のグリーンシート１５６に設けられた内部電極層１５１の段差には、余白パターン層が設けられていない点である。
【００３６】
また、上部外層１５９を構成する複数のグリーンシート１７３(第２のグリーンシート)の一方の面（上面）には、内部電極層１５１の段差を埋める形状の複数の凸部１７５ａから構成される、余白パターン層１７５が形成されている。さらに、凸部１７５ａの厚さｔ１１は、内部電極１５１ａの厚さｔ２２より大きく寸法付けされている。なお、下部外層１６１は、上部外層１５９と同じ寸法であるが、余白パターン層の無い平坦なグリーンシート１６２のみが積層されている。
【００３７】
上記構成の圧着前のグリーンシート積層体を、前述の実施形態と同様に上部外層１５９の上面に配置した弾性体シートと下部外層１６１の下面に配置した剛体の板で挟んだ状態でＷＩＰ等により圧着する。圧着されたグリーンシート積層体の凸部１７５ａの部位の変形量は、内層１６３を構成する複数の内部電極１５１ａの間に対応する部位に内部電極１５１ａ間の段差１５１ｃが存在するので内層１６３の凹状の変形量より相対的に多くなる。よって、図２（Ａ）に記載されるようにグリーンシート積層体の上面において、隣合う内部電極１５１ａ間には突起部（図２（Ａ）の５７に相当）が形成されることになる。なお、上部外層１５９を構成するグリーンシート１７３（第２のグリーンシート）の積層数及び余白パターン層１７５の凸部１７５ａの厚さｔ１１は、積み重なる凸部１７５ａの厚さｔ１１を積層方向に沿って合計した和が内層１６３の凹状変形量を上回るように適宜定めればよい。
【００３８】
（第２実施形態）
第２実施形態におけるグリーンシート積層体は、グリーンシート積層体の上面と下面の両面に突起部を設ける構成である。以下に図３（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。図３（Ａ）は、本発明の電子部品の製造方法にかかる第２実施形態において切断されるグリーンシート積層体の縦方向断面の模式図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図である。
【００３９】
第２実施形態によるグリーンシート積層体２１５は、導電性部材からなる内部電極層２５１とそれを包み込む誘電体素体２５３と、を備える。図示されるように、内部電極層２５１を構成し、隣り合う内部電極２５１ａ、２５１ｂとの間で、グリーンシート積層体２１５の上面２５９ａには、第１の突起部２５７が形成されている。従って、内部電極２５１ａ、２５１ｂに対応する部位の上面２５３ａは、凹部を形成する。他方、グリーンシート積層体２１５の下面２６１ａも、上面２５９ａと同様に、隣り合う内部電極２５１ａ、２５１ｂ間には、第２の突起部２７５が形成されている。また内部電極２５１ａ、２５１ｂに対応する部位の下面２６１ａには、凹部が形成される。
【００４０】
図３（Ｂ）に示されるように、圧着前のグリーンシート積層体２１５は、前述した第１実施形態と同様の構成の上部外層２５９、下部外層２６１、内層２６３からなる。
【００４１】
積層した上部外層、下部外層、内層等のその他の形状、寸法は、第１実施形態と同じであるので詳細は割愛する。
【００４２】
上記構成のグリーンシート積層体２１５の上部外層２５９の上面及び下部外層２６１の下面を弾性体シートで覆い、グリーンシート積層体２１５が弾性体シートで挟まれた状態で弾性体シートを介して押圧する圧着工程を行うと、上部外層２５９、下部外層２６１の内部電極２５１ａ間に対応する、グリーンシート積層体の上面２５３ａ、下面２５３ｂ部分に第１の突起部２５７及び第２の突起部２７５が形成される。
【００４３】
（第２実施形態の変形例）
第２実施形態の変形例によるグリーンシート積層体３１５を用いて、グリーンシート積層体３１５の上面、下面（図３（Ａ）の２５９ａ、２６１ａに相当）に、突起部（図３（Ａ）の２５７、２７５に相当）を形成する例について図３（Ｃ）を用いて説明する。図３（Ｃ）は、圧着する前の状態のグリーンシート積層体の縦断面図である。
【００４４】
圧着前のグリーンシート積層体３１５の構成は、第１実施形態の変形例と類似する構成である。異なる部分は、下部外層３６１が上部外層３５９と同様に余白パターン層３７５を有している点である。グリーンシート積層体３１５は、上部外層３５９と、下部外層３６１と、上部外層３５９及び下部外層３６１の間に介在する内層３６３と、から構成される。その他の構成及び寸法は、第１実施形態の変形例と同様であるので詳細は割愛する。
【００４５】
上記構成の圧着前のグリーンシート積層体を弾性体シートで挟んだ状態にて、ＷＩＰ等により密着すると、図３（Ｃ）に示されるようにグリーンシート積層体の上面及び下面（図３（Ａ）の２５３ａ、２５３ｂに相当）において、隣合う内部電極３５１ａ間には突起部（図３（Ａ）の２５７、２７５に相当）が形成されることになる。
【００４６】
次に、グリーンシート積層体に形成される突起部を検出する検出手段である検出装置について図４（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。なお、切断する対象物は第１実施形態のグリーンシート積層体１５とする。
【００４７】
図４（Ａ）は、検出装置の平面図であり、図４（Ｂ）は、検出装置の正面図である。検出装置６５は、グリーンシート積層体１５を載置するためのステージ２３と、ステージ２３の上方に配置され、グリーンシート積層体１５の画像情報を入手するための撮像カメラ６９と、ステージ２３の上方であって撮像カメラ６９の周囲に複数配置されグリーンシート積層体１５に所望の照度を付与するための照明部７１と、を備える。検出装置６５は、制御部７７に連結され（図１参照。）、制御部７７からの指令により作動する構成である。
【００４８】
さらに、後述の切断装置により、突起部５７の位置情報に基づいてグリーンシート積層体を切断する。
【００４９】
次に、本発明の第１実施形態に係るグリーンシートを切断するためのグリーンシート積層体切断装置の実施例について、図面を参照して説明する。図５（Ａ）は切断装置の正面断面図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の線ＶＢ−ＶＢに沿った断面図である。
【００５０】
本実施例のグリーンシート積層体切断装置１（以下、切断装置１と称す。）は、メインフレーム部材１７、上下移動アクチュエータ２５、サブフレーム部材１９、切断刃ホルダ２７、切断刃３を備える。さらに、切断装置１は、後述するように冷却ユニットを備える構成であるが、本発明のグリーンシート積層体切断装置の必須の構成ではないことは言うまでもない。
【００５１】
切断装置１の基体であるメインフレーム部材１７は、正面から見て略逆Ｕ字形状を有しており、鉛直方向において逆Ｕ字の両直線部が並立するように配置されている。メインフレーム部材１７におけるＵ字水平部の上部略中央には、切断刃３を上下方向に移動させるための上下移動アクチュエータ２５が装着されている。上下移動アクチュエータ２５は、メインフレーム部材１７を貫通し下方に伸びるアクチュエータロッド２５ａを有しており、ロッド２５ａは上下移動アクチュエータ２５によって延在方向に伸縮する。また、メインフレーム部材１７は下方において、後述する冷却部材の一部を収容する孔部１７ａを有しており、冷却部材の上下方向の移動量を規制するストッパ１７ｂを孔部１７ａの内部底面に有している。また、メインフレーム部材１７は、略逆Ｕ字の両直線部に配置されたガイドレール１７ｃを有している。
【００５２】
サブフレーム部材１９はメインフレーム部材１７と同様に略逆Ｕ字形状を呈しており、メインフレーム部材１７の略逆Ｕ字の内側において同一向きとなるように配置される。サブフレーム部材１９の水平方向に延在するＵ字水平部は、アクチュエータロッド２５ａの端部と結合する。サブフレーム部材１９の鉛直方向に伸びる両直線部における、メインフレーム部材１７の両直線部と向かい合う部分には、スライダ１９ａが固定されている。スライダ１９ａは、メインフレーム部材１７のガイドレール１７ｃと摺動可能に係合している。従って、上下移動アクチュエータ２５が作動することによって、サブフレーム部材１９は、メインフレーム部材１７に対して鉛直方向に移動することが可能となる。
【００５３】
図５（Ｂ）から容易に理解されるように、切断刃３を保持する切断刃ホルダ２７は、サブフレーム部材１９における逆Ｕ字形状の水平部分と略平行に配置される棒状の部材である。切断刃ホルダ２７は、略逆Ｕ字形状のサブフレーム部材１９の下端開放部分を閉鎖するように、サブフレーム部材１９の下端部に連結されている。また、切断刃ホルダ２７には、サブフレーム部材１９の移動方向において、サブフレーム部材１９との結合位置とは鉛直方向に対向する位置に、切断刃支持部材２７ａを介して切断刃３が装着されている。切断刃支持部材２７ａは、切断刃３がステージ２３の載置面２３ａと平行に延在する姿勢で、メインフレーム部材１７の下方（略逆Ｕ字形状における開放部方向）に配置されるステージ２３と向かい合うように配置されている。
【００５４】
また、切断刃ホルダ２７は、サブフレーム部材１９の逆Ｕ字両直線部と同方向に延在する冷却部材ガイドレール２７ｂを有している。さらに、切断刃ホルダ２７は、後述する冷却ユニット３５に埋設された冷却部材ストッパピン３５ｃと協働して冷却ユニット３５の移動を規制するための冷却部材ストッパ２７ｃを備えている。なお、本実施例においては、サブフレーム部材１９と切断刃ホルダ２７とを異なる部材から構成したが、これらを一体の部材としても良い。
【００５５】
図５（Ｂ）に示されるように、冷却ユニット３５は、下部直線部と、直立直線部とを備える。下部直線部がステージ２３の載置面２３ａと平行に延在し且つ直立直線部が上述したサブフレーム１９と平行に延在する略Ｌ字形状を有している。また、直立直線部の一端部に連続する下部直線部を構成する平板部材は切断刃ホルダ２７が配置される側に突出している。冷却ユニット３５は更に、切断刃ホルダ２７における冷却部材ガイドレール２７ｂと摺動可能に係合する冷却部材スライダ３５ｂを有している。
【００５６】
冷却ユニット３５の初期状態では、バネ等の付勢手段（不図示）の作用により、冷却ユニット３５に設けられた冷却部材ストッパピン３５ｃと冷却部材ストッパ２７ｃとが所定の付勢力下において当接する。
【００５７】
冷却ユニット３５は更に、図５（Ａ）の左右方向に突出する突出部３５ｄを有している。突出部３５ｄは、前述したメインフレーム部材１７に設けられた孔部１７ａ内部に収容されている。孔部１７ａ下面に埋設されたストッパ１７ｂの上端部と突出部３５ｄとが当接することで冷却ユニット３５の降下量が規定される。
【００５８】
ステージ２３は、前述したようにグリーンシート積層体１５を載置できる水平な載置面２３ａを有する。載置面２３ａを含むステージ２３は不図示のステージ駆動アクチュエータ８３によって駆動され、ｘ、ｙ方向（図５（Ａ）の紙面に垂直な方向、図面の左右方向）に間歇的に移動可能である。さらに、ステージ２３は、載置面２３ａに垂直な軸を中心に回転も可能となっている。
【００５９】
次に、本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置１を用いて、実際にグリーンシート積層体１５の切断位置を決定する工程及び切断する工程の動作について説明する。
【００６０】
まず、切断位置を決定する工程が行われる。検出装置６５のステージ２３上に、圧着されたグリーンシート積層体１５を配置し、ステージ負圧供給部８１から負圧をグリーンシート積層体１５に付与し、ステージ２３上に固定する。次に、制御部７７から駆動信号を受けた撮像カメラ６９を用いて、グリーンシート積層体１５の上面５３ａ全体の画像情報を取り込む。撮像された画像情報に対して２値化処理等の画像演算処理を行い、上面５３ａの突起部５７の位置を識別する。突起部５７の位置を表す位置データは、データ格納部７９内に格納する。突起部５７の位置データそのものを切断位置データとするか、あるいは突起部５７の位置データをさらに制御部７７にて平均化処理等の演算処理した結果を切断位置データとしてデータ格納部７９内に格納する。ここで、切断位置を決定する工程が終わる。
【００６１】
次に、切断工程が行われる。まず、グリーンシート積層体１５が載置されたステージ２３を、ステージ駆動アクチュエータ８３を移動させることにより、切断装置１の加工領域へと移動させる。また、切断刃３の上下移動アクチュエータ２５を作動させて、切断刃３を上昇させ、ステージ２３の載置面２３ａからグリーンシート積層体１５の厚さよりも大きな間隔を隔てる位置まで移動させる。さらに、データ格納部７９内の切断位置データに基づき、グリーンシート積層体１５の突起部５７が延在する方向と、切断刃３の刃先稜線が延在する方向と、が整合するように、制御部７７からの駆動信号によりステージ駆動アクチュエータ８３を移動して切断刃３とグリーンシート積層体１５の相対的な位置決めを行う。
【００６２】
そして、上下移動アクチュエータ２５を作動して、サブフレーム部材１９を降下させる。これに伴って切断刃ホルダ２７も降下する。その際、冷却ユニット３５に設けられた冷却部材ストッパピン３５ｃと冷却部材ストッパ２７ｃとは係合しており、冷却部材ユニット３５は切断刃ホルダ２７と一体として降下する。冷却ユニット３５は、その突出部３５ｄがストッパ１７ｂと当接することによって、降下が停止される。この停止状態において、所定の当接圧をもって冷却部材３３がグリーンシート積層体１５の上面５３ａと当接するように、ストッパ１７ｂの高さ（突出部３５ｄとストッパ１７ｂとの当接位置）が設定されている。冷却部材３３は、切断刃３の刃先稜線部がグリーンシート積層体１５の内部に進入する前に、上面５３ａと当接するように切断刃との位置関係が設定されている。
【００６３】
この状態から、サブフレーム部材１９を更に降下させると、切断刃ホルダ２７は更に降下を続ける。しかし、冷却ユニット３５は、冷却手段用ガイドレール２７ｃと冷却手段スライダ３５ｂとの作用により、切断刃ホルダ２７の動作に影響されず、グリーンシート積層体１５との当接状態を一定に保持する。これにより、冷却部材３３の当接領域においてグリーンシート積層体１５は所定の温度まで冷却されるので、切断刃３よりグリーンシート積層体が延在する面内に作用する応力を受けた場合であっても、当該領域内での積層体１５が大きく変形することを防止できる。
【００６４】
切断刃ホルダ２７が更に降下を続けることによって、切断刃３がグリーンシート積層体１５内部に進入する。切断刃の上下移動アクチュエータ２５の動作は、切断刃３の刃先稜線部が、グリーンシート積層体１５の基材（不図示）を切断するまで続けられる。以上の動作により、グリーンシート積層体１５における切断予定部位の切断工程が終了する。切断終了後、上下移動アクチュエータ２５によりサブフレーム部材１９が上昇する。これにより、切断時とは逆の順序で各部材が動作し、切断前の状態に各構成が配置される。
【００６５】
以上の切断工程の動作を切断予定部位の数だけ順次繰り返し、グリーンシート積層体１５の全面に対して切断面を形成した後、ステージ２３は載置面２３ａに垂直な軸を中心に９０°回転する。回転後、グリーンシート積層体１５の回転後の方向における切断予定部位を切断刃３の直下に位置させ、再度上述した切断動作を繰り返して行う。これにより、略直方形状のチップ形状とされた部材が複数個同時に得られる。
【００６６】
上記切断工程における切断位置は、切断位置を決定する工程において特定した突起部と整合させているので、内部電極の欠損、破断などを防止しつつ切断工程を行うことができる。
【００６７】
また、第２実施形態及びその変形例において説明した、第１の突起部２５７、第２の突起部２７５を上面２５３ａ及び下面２５３ｂに形成したグリーンシート積層体２１５についての切断位置を決定する工程では、突起部の識別を上面及び下面のそれぞれについて行う。撮像カメラにより上面２５３ａ及び下面２５３ｂ全体の画像情報を撮像し、上面及び下面の第１及び第２の突起部２５７、２７５の識別を行う。
【００６８】
さらに、上面２５３ａ及び下面２５３ｂの第１及び第２の突起部２５７、２７５が、グリーンシート積層体２１５の積層方向から観察した時に一致する場合には、第１及び第２の突起部２５７、２７５の一方の位置を演算処理して切断位置データを算出しデータ格納部７９内に格納する。そして、グリーンシート積層体を第１若しくは第２の突起部に沿って切断する。
【００６９】
他方、上面及び下面の第１及び第２の突起部２５７、２７５が、グリーンシート積層体２１５の積層方向から観察した時にずれている（一致しない）場合には、切断位置を、その第１及び第２の突起部２５７、２７５の間（例えば、グリーンシート積層体が延在する方向に延びる延在面と、第1及び第２の突起部２５７、２７５を結ぶ面との交線）となるように決定し、決定した位置データを演算処理（平均化処理等）して補正した切断位置データをデータ格納部７９に格納する。切断位置データを決定した後は、前述したように、切断工程において、位置データに基づいて（切断位置で）切断を行う。
【００７０】
上面及び下面から内部電極の位置を識別するので、第１実施形態及びその変形例による片面からのみ内部電極の位置を識別する方法に比べ、グリーンシート積層体の積層方向に沿った内部電極の位置ずれをも考慮して切断位置を決定することができるので、高精度に切断工程を行うことができる。
【００７１】
さらに、本実施例によれば、グリーンシート積層体における切断後の領域に冷却手段を当接させることによって、当該領域周辺の変形能を低下させることが可能となる。従って、次の切断予定部位に切断刃が進入してシートの延在面方向に作用する応力が発生した場合であっても、切断済み領域の変形量を抑制し、切断面同士の再付着を防止することが可能となる。その結果、グリーンシート積層体の切断効率を向上させることが可能となる。
【００７２】
なお、実施例では、冷却手段を有する切断装置を用いて、グリーンシート積層体の切断を行ったが、本発明の電子部品製造方法はこの切断装置に限定されるものではない。
【００７３】
本発明の実施例では、第１実施形態のグリーンシート積層体を適用した例を説明したが、第１実施形態の変形例や、第２実施形態及びその変形例のグリーンシートを適用できることは言うまでもない。
【００７４】
また、グリーンシート積層体を圧着するためにＷＩＰを使用したが、圧着方法としてＷＩＰに限定されるものなく、各種のプレス装置を使用できることは言うまでもない。
【００７５】
さらに、本発明は上述した実施形態或いは実施例の具体的構成に限定されない。例えば、各々の構成の配置及び駆動方向は、グリーンシート積層体が水平に支持されることを前提として、全て規定されているが、これらを異なる方向において規定することとしても良い
【００７６】
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】切断装置のブロック図である。
【図２】（Ａ）は本発明の電子部品の製造方法にかかる第１実施形態において切断されるグリーンシート積層体の縦方向断面の模式図であり、（Ｂ）は図２（Ａ）のグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は図２（Ｂ）の内層を構成するグリーンシートの縦断面図であり、（Ｄ）は、内層の変形例を有するグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図であり、（Ｅ）は図２（Ｄ）の内層を構成するグリーンシートの縦断面図であり、（Ｆ）は第１実施形態の変形例であるグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図である。
【図３】（Ａ）本発明の電子部品の製造方法にかかる第２実施形態において切断されるグリーンシート積層体の縦方向断面の模式図であり、（Ｂ）は図３（Ａ）のグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図であり、（Ｃ）は図３（Ａ）のグリーンシート積層体の圧着される前の状態を示す縦断面図である。
【図４】（Ａ）は、検出装置の平面図であり、（Ｂ）は、検出装置の正面図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置正面図であり、（Ｂ）は図５（Ａ）の側面図である。
【図６】従来の電子部品の製造方法における切断工程を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１５、２１５：グリーンシート積層体、５１、２５１：内部電極層、５３：誘電体層、５７、２５７、２７５：突起
【図１】
2008153276.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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