(57)【要約】【目的】真空処理装置の高速タクトの実現を可能とする処理対象物搬送方法を提供する。【解決手段】処理対象物が搬入された真空チャンバーは圧力が高真空側へ移行するように排気し、処理対象物が搬出された真空チャンバーは圧力が大気圧側へ移行するようにベントしつつ処理対象物を移送する。【選択図】図２
2008124481.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の真空チャンバーが隣接するチャンバーとの間に仕切弁を介して当該仕切弁を開にしたときに隣接する一方のチャンバーから他方のチャンバーへ処理対象物を搬送できるようにして連設されてなるロードロック装置が真空処理装置の処理対象物搬入部に連設され、当該ロードロック装置を介して前記真空処理装置に処理対象物を搬送する方法であって、
前記複数の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを荒引排気し、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーの大気圧側の仕切りを開いて処理対象物を搬入した後、当該仕切りを閉じて、当該真空チャンバーを気密状態とし、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとを連通管を介して連通することにより、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを排気すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーをベントし、
前記両真空チャンバーの圧力が同一になった後に、前記連通管を介した両真空チャンバー間の連通を遮断すると共に、前記両真空チャンバー間の仕切りを開いて、前記処理対象物を、前記隣接する真空処理装置側の真空チャンバー内に搬送して、当該仕切りを閉じ、
続いて、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーと同じ圧力になるように荒引排気し、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとが同じ圧力になった後に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーからの荒引きを中止すると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを開いて、前記処理対象物を、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー内に搬送して、当該仕切りを閉じる
ことを特徴とする処理対象物の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空処理装置へ処理対象物を搬入または搬出する為のロードロック装置及び処理対象物の搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スパッタリング装置、ドライエッチング装置、ＣＶＤ装置、蒸着装置等の真空処理装置へ半導体ウエハーその他の処理対象物を搬入または搬出する為に、処理対象物を収容可能とした真空チャンバーを前記真空処理装置へ連設して構成されるロードロック装置が知られている（例えば、特開昭５７−６３６７７号、特開昭６０−２２１５７２号、特開昭６３−１５７８７０号等）。
【０００３】
前記真空チャンバーにはロータリーポンプその他の荒引排気系が接続され、大気圧にされた真空チャンバー内に処理対象物を収容した後、荒引排気し、然る後、該真空チャンバーと真空処理装置を連通状態として、真空チャンバー内の処理対象物を真空処理装置側へ搬送したり、真空チャンバーを荒引排気した後、真空処理装置と連通状態として、処理対象物を真空チャンバー側へ搬送することにより、処理対象物を真空処理装置へ搬入または搬出する都度、該真空処理装置を大気圧にする必要を無くし、生産性の向上等を図ったものである。
【０００４】
前記ロードロック装置を構成した真空チャンバーと真空処理装置の間に、更に別の真空チャンバーを介設し、該真空チャンバーには、油拡散ポンプ、クライオポンプ、分子ポンプ等とロータリーポンプその他のバックアップポンプで構成された高真空排気系を接続して、バッファ室を構成する場合もあった（特開昭６３−１５７８７０号）。
【０００５】
【特許文献１】特開昭５７−６３６７７号
【特許文献２】特開昭６０−２２１５７２号
【特許文献３】特開昭６３−１５７８７０号
【特許文献４】特開昭６３−１５７８７０号
【特許文献５】特開平３−１８３７６７号
【特許文献６】実公昭４３−２３３６８５号
【特許文献７】特開平１−１０８３７３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記の如くの従来のロードロック装置は１つの真空チャンバーと荒引排気系で構成されていたので、生産性の向上に限界があった。即ち、真空処理装置による処理のタクト時間は、ロードロック装置における真空チャンバーを真空処理装置と連通可能の圧力まで荒引排気系で排気する時間に制限される為である。
【０００７】
荒引排気系による排気時間は、排気系の排気速度と、真空チャンバーの容積で決まるので、荒引排気系のポンプを大きな排気速度のものとする手段があったが、真空チャンバー内の流体移動が急速になり、処理対象物に有害なパーティクルの原因となるダストの舞い上げが生じ、有効ではなかった。
【０００８】
この発明は前記の如くの問題点に鑑みてなされたもので、スパッタリング装置、ドライエッチング装置、ＣＶＤ装置、蒸着装置等の真空処理装置の高速タクトの実現を可能とするロードロック装置及び処理対象物の搬送方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
斯る目的を達成するこの発明のロードロック装置は、真空処理装置の処理対象物搬入部または搬出部に連設されるロードロック装置において、少なくとも３個の真空チャンバーが隣接するチャンバーとの間に仕切弁を介して、当該仕切弁を開にしたときに隣接する一方のチャンバーから他方のチャンバーへ処理対象物を搬送可能であるようにして連設されており、当該少なくとも３個の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーには、ベントガスを導入可能に、ベントバルブを介設したベント配管が接続されていると共に、当該少なくとも３個の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーと、当該少なくとも３個の真空チャンバー中の中間に配置される真空チャンバーとは、圧力交換バルブと、流量調整用のバルブとが介設されている連通管によって連通可能とされ、当該少なくとも３個の真空チャンバー中の中間に配置される真空チャンバーと、真空処理装置側に最も近い真空チャンバーとには、他端側が共通する荒引ポンプに接続されている荒引配管の一端側がそれぞれ接続されており、当該２本の荒引配管の中間に荒引きバルブが介設されていることを特徴とするものである。
【００１０】
なお、前記において、真空処理装置の処理対象物搬入部とは、図１図示の実施形態でいえば、真空処理装置たるスパッタリングチャンバー１２の図１中、左側のことをいい、真空処理装置の処理対象物搬出部とは、図１図示の実施形態でいえば、真空処理装置たるスパッタリングチャンバー１２の図１中、右側のことをいう。
【００１１】
斯かる目的を達成するこの発明の処理対象物の搬送方法は、複数個の真空チャンバーが隣接するチャンバーとの間に仕切弁を介して当該仕切弁を開にしたときに隣接する一方のチャンバーから他方のチャンバーへ処理対象物を搬送できるようにして連設されてなるロードロック装置が真空処理装置の処理対象物搬入部に連設され、当該ロードロック装置を介して前記真空処理装置に処理対象物を搬送する方法であって、以下のステップからなることを特徴とするものである。
【００１２】
前記複数の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを荒引排気するステップ。
【００１３】
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーの大気圧側の仕切りを開いて処理対象物を搬入した後、当該仕切りを閉じて、当該真空チャンバーを気密状態とするステップ。
【００１４】
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとを連通管を介して連通することにより、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを排気すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーをベントするステップ。
【００１５】
前記両真空チャンバー（大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー）の圧力が同一になった後に、前記連通管を介した両真空チャンバー間の連通を遮断すると共に、前記両真空チャンバー間の仕切りを開いて、前記処理対象物を、前記隣接する真空処理装置側の真空チャンバー内に搬送して、当該仕切りを閉じるステップ。
【００１６】
続いて、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーと同じ圧力になるように荒引排気するステップ。
【００１７】
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとが同じ圧力になった後に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーからの荒引きを中止すると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを開いて、前記処理対象物を、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー内に搬送して、当該仕切りを閉じるステップ。
【発明の効果】
【００１８】
この発明のロードロック装置と、搬送方法によれば、処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮することができる。
【００１９】
そして、各真空チャンバーにおける排気又はベントに要する時間を短縮し、処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮することができる。
【００２０】
更に、各真空チャンバーにおける圧力変動が小さくなるので、前記のように、各真空チャンバーにおける排気又はベントに要する時間を短縮し、処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮できるだけでなく、ダストの舞い上がりを防止し、処理品質を高く維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明のロードロック装置と、搬送方法によれば、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）を荒引き排気している一方で、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）を大気圧にベントすることができる。
【００２２】
この結果、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）と、これに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号４で示されている真空チャンバー）とを同じ圧力になるまで荒引き排気している間に、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）を大気圧にベントできるので、処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮することができる。
【００２３】
また、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）を大気圧にベントされた状態にしておくと共に、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）を荒引ポンプによる荒引排気が完了した状態にしておいて、ここで、両者の間に介設されている圧力交換バルブを開にして両者を連通することにより、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）と大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）の圧力が平衡するまで、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）を排気し、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）をベントすることができる。すなわち、これによって、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）と大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）とを連通している連通管と、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）とが、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）に対する荒引排気系を構成するようになる。
【００２４】
そして、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）と大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）の圧力が平衡した後、両者の間の連通状態を停止し、前述したように、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）と、これに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号４で示されている真空チャンバー）とを同じ圧力になるまで荒引排気する一方で、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）を大気圧にベントすることができる。
【００２５】
ここで、前記のように、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）と大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）とを連通している連通管と、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）とが、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）に対する荒引排気系を構成し、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）と大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）の圧力が平衡した後に、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）とこれに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号４で示されている真空チャンバー）との荒引排気、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）の大気圧へのベントが行われるので、大気圧側に最も近い真空チャンバー（図１中、符号２で示されている真空チャンバー）を再度、大気圧にベントするのに要する時間を長引かせないようにする一方で、大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号３で示されている真空チャンバー）と、これに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー（図１中、符号４で示されている真空チャンバー）とを同じ圧力になるまで荒引き排気する時間が長くかからないようにすることができる。
【００２６】
この結果、各真空チャンバーにおける排気又はベントに要する時間を短縮し、処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮することができる。
【００２７】
更に、以上より、各真空チャンバーにおける圧力変動が小さくなるので、前記のように、各真空チャンバーにおける排気又はベントに要する時間を短縮し、処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮できるだけでなく、ダストの舞い上がりを防止し、処理品質を高く維持することができる。
【実施例】
【００２８】
以下この発明を実施例に基づいて説明する。
【００２９】
図１はインラインスパッタリング装置に実施したロードロック装置１で、真空チャンバー２、３、４を連設して構成してある。各真空チャンバー間および大気雰囲気に設置されたプラットフォーム５の間並びにバッファ室となるローディングチャンバー６の間に、夫々、処理対象物（例えば半導体ウエハー）の搬送路が形成可能の仕切弁（ゲートバルブ）７、８、９、１０が介設してある。前記ローディングチャンバー６には同様の仕切弁１１を介してスパッタリングチャンバー１２が連設され、更に、このスパッタリングチャンバー１２には、同様のロードロック装置（図示していない）が連設されて、インラインスパッタリング装置が構成される。
【００３０】
前記真空チャンバー２、３は、連通管１３で連通可能としてあり、該連通管１３には圧力交換バルブ１４および流量調整部材としてのオリフィス可変バルブ１５が介設してある。真空チャンバー２には、更に、ベントバルブ１６を介設したベント配管１７が接続してあり、ベントガス（例えば窒素ガス）を導入して大気圧に置換できるようにしてある。
【００３１】
また真空チャンバー３、４には、荒引バルブ１８、１９を介設した荒引配管２０、２１の一端が接続してあり、荒引配管２０、２１の他端は、共通の荒引ポンプ（ロータリーポンプ）２２に接続してある。
【００３２】
前記ローディングチャンバー６は、メインバルブ２３を介して、クライオポンプで構成した高真空排気ポンプ２４が接続してあり、ローディングチャンバー６内を高真空領域まで排気可能としてある。
【００３３】
前記において、各真空チャンバー２、３、４の容積は、仕切弁の動作領域を含めて、夫々８０ｌ、１２０ｌ、１００ｌとした。
【００３４】
上記実施例のロードロック装置１では、半導体ウエハーその他の処理対象物は、支持治具２５により搬送され、ローディング時は、大気圧雰囲気のプラットフォーム５から真空チャンバー２、３、４を経て、ローディングチャンバー６へ搬送され、次いでスパッタリングチャンバー１２へと搬入される。アンローディングは上記と反対で、ローディングチャンバー６と同様に高真空排気可能に構成されたアンローディングチャンバーおよびロードロック装置を経て、大気圧雰囲気のプラットフォームへと搬出される。
【００３５】
以下、図２を参照してローディング時の動作を詳細に説明する。
【００３６】
運転に際し、最初の条件として、真空チャンバー２は大気圧にベントされ、真空チャンバー３、４は荒引配管２０、２１および荒引ポンプ２２による荒引排気が完了していると共に、荒引ポンプ２２は連続運転されているものとする。またローディングチャンバー６は高真空の圧力領域に維持されているものとする。
【００３７】
先ず、仕切弁７を開として支持治具２５ａをプラットフォーム５から真空チャンバー２へ搬送し、次いで仕切弁７を閉として真空チャンバー２を気密状態とする（図２（ａ））。以下の説明においても、各仕切弁は支持治具の通過の直前に開となり、通過の直後には閉となるものとし、この動作は単に「開閉」として説明するものとする。
【００３８】
次に、真空チャンバー２、３を結んだ連通管１３の圧力交換バルブ１４を開とする。圧力交換バルブ１４を開とすると、真空チャンバー２、３は圧力が平衡するまで、真空チャンバー２は排気され、真空チャンバー３はベントされることになる。即ち真空チャンバー３と連通管１３が真空チャンバー２に対する荒引排気系を構成している。平衡する圧力は、真空チャンバー２の圧力が７６０Torr、容積が８０ｌ、真空チャンバー３の圧力が１０Torr、容積が１２０ｌとするとＰ＝（７６０×８０＋１０×１２０）／（８０＋１２０）で求まり、３１０Torrとなる。
【００３９】
この場合、オリフィス可変バルブ１５のオリフィスを設定することによって、各真空チャンバー２、３の圧力変動の速度を調整することができる。
【００４０】
真空チャンバー２、３が同じ圧力になった後、支持治具２５ａを、仕切弁８を開閉して真空チャンバー３に搬送する（図２（ｂ））。搬送完了後、真空チャンバー２は、ベントバルブ１６を開として大気圧とし、次の支持治具２５ｂを受け入れる搬送が可能とする。一方、真空チャンバー３は、荒引バルブ１８を開として、荒引ポンプ２２により所定の圧力まで排気する。所定の圧力とは要求されるタクト時間等により決まる圧力である。
【００４１】
真空チャンバー３が所定の圧力までの荒引を完了したならば、仕切弁９を開閉して、支持治具２５ａを真空チャンバー４へ搬送する（図２（ｃ））。仕切弁９の開閉の際に、真空チャンバー３、４は同じ圧力の平衡状態となる。
【００４２】
搬送完了後、真空チャンバー３は、荒引バルブ１８を閉として、次の支持治具２５ｂを受け入れ可能の状態とする。一方、真空チャンバー４は、荒引バルブ１９を開として荒引ポンプ２２による排気を更に行い、真空チャンバー４の容積とローディングチャンバー５側の高真空排気ポンプ２４の排気能力によって決まる圧力（実施例の場合数１００m Torr）まで荒引きを行う。
【００４３】
前記の荒引バルブ１９を閉とした後、プラットフォーム５と真空チャンバー２の間では、次の支持治具２５ｂを前記と同様の動作で搬送し、かつ真空チャンバー２の荒引きを行う。
【００４４】
一方、真空チャンバー４の荒引きが所定の圧力まで行なわれた後には、荒引バルブ１９を閉とし、仕切弁１０を開閉して、支持治具２５ａをローディングチャンバー６へ搬送する（図２（ａ））。また、これと同時に、真空チャンバー２内の支持治具２５ｂは、仕切弁８を開閉して真空チャンバー３へ搬送すると共に、荒引バルブ１８を開として、前記と同様に、真空チャンバー３内を荒引きする。真空チャンバー２はベント作業を行い、次の支持治具２５ｃの受け入れ動作に移行する。
【００４５】
以上のように、支持治具を搬入された真空チャンバーは圧力が高真空側へ移行するように排気し、支持治具が搬出された真空チャンバーは圧力が大気圧側に移行するようにベントし、支持治具を順次搬送することができる。各真空チャンバーの圧力の変動する幅は、一つの真空チャンバーによるロードロック装置に比べて、小さくできるので、それだけ排気又はベントに要する時間を短縮し、支持治具を介する処理対象物の搬送におけるタクト時間を短縮することができる。
【００４６】
図３は実施例のロードロック装置１の排気特性を示したものである。図において四角は真空チャンバー２の圧力、丸は真空チャンバー３の圧力、三角は真空チャンバー４の圧力を夫々示している。
【００４７】
真空チャンバー２は大気圧から数百Torrの領域、真空チャンバー３は数百Torrから約１０Torrの領域、真空チャンバー４は約１０Torrから数百m Torrの領域で、排気およびベントで圧力変動している。真空チャンバー２の容積が８０ｌもあるにも拘わらず、３７秒タクトを実現することができ、従来の一つの真空チャンバーによるロードロック装置に比べて約１／３の時間とすることができた。
【００４８】
図４乃至図６はこの発明の他の実施例のロードロック装置であり、図４は前記真空チャンバー２、３で構成した実施例、図５は前記真空チャンバー３、４で構成した実施例、図６は前記真空チャンバー４を更に１室増設した実施例である。更に真空チャンバーを増設することもタクト時間の短縮に有効であるが、現実に要求されるタクト時間に対しては２〜４室の真空チャンバーで対応することが可能と考えられる。
【００４９】
各実施例において、荒引ポンプ２２は１台として、ロードロック装置の簡素化を図っているが、各真空チャンバーに対して独立した荒引ポンプを接続しても良い。
【００５０】
各真空チャンバーにおける圧力変動幅が小さいので、有害パーティクルの原因となるダストの舞い上りを防止することができ、処理対象物をダストから保護することができる。
【００５１】
尚、真空チャンバー２を大気圧までベントする場合、ベントガスラインの途中に設けたオリフィス可変バルブ（図示していない）によってベントガスの流量を調整し、圧力変化の時間、速度を制御することは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の方法が使用されるロードロック装置の一例の構成図である。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は本発明の方法の各工程を説明する図である。
【図３】この発明の実施例の排気特性のグラフである。
【図４】ロードロック装置の構成図である。
【図５】他のロードロック装置の構成図である。
【図６】更に他のロードロック装置の構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  ロードロック装置
２、３、４  真空チャンバー
５  プラットフォーム
６  ローディングチャンバー
７、８、９、１０、１１  仕切弁
１２  スパッタリングチャンバー
１３  連通管
１４  圧力交換バルブ
１５  オリフィス可変バルブ
１６  ベントバルブ
１７  ベント配管
１８、１９  荒引バルブ
２０、２１  荒引配管
２２  荒引ポンプ
２３  メインバルブ
２４  高真空排気ポンプ
２５、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ  支持治具
【図１】
2008124481.tif 000003
【図２】
2008124481.tif 000004
【図３】
2008124481.tif 000005
【図４】
2008124481.tif 000006
【図５】
2008124481.tif 000007
【図６】
2008124481.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成20年4月9日(2008.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の真空チャンバーが隣接するチャンバーとの間に仕切弁を介して当該仕切弁を開にしたときに隣接する一方のチャンバーから他方のチャンバーへ処理対象物を搬送できるようにして連設されてなるロードロック装置が真空処理装置の処理対象物搬入部に連設され、当該ロードロック装置を介して前記真空処理装置に処理対象物を搬送する方法であって、
前記複数の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー及び当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーを荒引排気し、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーの大気圧側の仕切りを開いて処理対象物を搬入した後、当該仕切りを閉じて、当該真空チャンバーを気密状態とし、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとを連通管を介して連通することにより、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを排気すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーをベントし、
前記両真空チャンバーの圧力が同一になった後に前記両真空チャンバー間の仕切りを開いて、前記処理対象物を、前記隣接する真空処理装置側の真空チャンバー内に搬送して、当該仕切りを閉じ、前記連通管を介した両真空チャンバー間の連通を遮断すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントし、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを所定の圧力まで荒引排気し、
その後、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを開いて両チャンバーを同じ圧力とし、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー内へ前記処理対象物を搬送した後、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを閉じ、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーからの荒引きを中止する
ことを特徴とする処理対象物の搬送方法。
【請求項２】
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを開いて両チャンバーを同じ圧力とし、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー内へ前記処理対象物を搬送した後、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを閉じ、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーからの荒引き排気を中止すると共に、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーを荒引き排気する
ことを特徴とする請求項１記載の処理対象物の搬送方法。
【請求項３】
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとを連通する連通管に圧力交換バルブと、オリフィス可変バルブを介設しておき、当該圧力交換バルブを開にして前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとを前記連通管を介して連通することにより、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを排気すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーをベントする際に、前記オリフィス可変バルブのオリフィスを設定して前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーの圧力変動の速度を調整することを特徴とする請求項１又は２記載の処理対象物の搬送方法。
【請求項４】
少なくとも３個の真空チャンバーが隣接するチャンバーとの間に仕切弁を介して当該仕切弁を開にしたときに隣接する一方のチャンバーから他方のチャンバーへ処理対象物を搬送できるようにして連設されてなるロードロック装置が真空処理装置の処理対象物搬入部に連設され、当該ロードロック装置を介して前記真空処理装置に処理対象物を搬送する方法であって、
当該少なくとも３個の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーには、ベントガスを導入可能に、ベントバルブを介設したベント配管が接続されていると共に、
当該少なくとも３個の真空チャンバー中、大気圧側に最も近い真空チャンバーと、当該少なくとも３個の真空チャンバー中の前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとは、圧力交換バルブと、流量調整用のバルブとが介設されている連通管によって連通可能とされ、
当該少なくとも３個の真空チャンバー中の前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとには、他端側が共通する荒引ポンプに接続されている荒引配管の一端側がそれぞれ接続されており、当該少なくとも２本の荒引配管の前記一端側と他端側との間に荒引きバルブが介設されている ロードロック装置を用い、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを前記ベント配管を介して大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバー及び当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーに隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーを前記一端側がそれぞれ共通する荒引ポンプに接続されている荒引配管を介して荒引排気し、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーの大気圧側の仕切りを開いて処理対象物を搬入した後、当該仕切りを閉じて、当該真空チャンバーを気密状態とし、
前記大気圧側に最も近い真空チャンバーと、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーとを前記連通管を介して連通することにより、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを排気すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーをベントし、
前記両真空チャンバーの圧力が同一になった後に、前記両真空チャンバー間の仕切りを開いて、前記処理対象物を、前記隣接する真空処理装置側の真空チャンバー内に搬送して、当該仕切りを閉じ、前記連通管を介した両真空チャンバー間の連通を遮断すると共に、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを前記ベント配管を介して大気圧にベントし、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを前記一端側が荒引ポンプに接続されている荒引配管を介して所定の圧力まで荒引排気し、
その後、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを開いて両チャンバーを同じ圧力とし、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー内へ前記処理対象物を搬送した後、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを閉じ、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーからの荒引きを中止する
ことを特徴とする処理対象物の搬送方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
続いて、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーを大気圧にベントすると共に、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーを所定の圧力まで荒引排気するステップ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
その後、当該大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを開いて両チャンバーを同じ圧力とし、前記隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバー内へ前記処理対象物を搬送した後、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーと、隣接する次位の真空処理装置側の真空チャンバーとの間の仕切りを閉じ、前記大気圧側に最も近い真空チャンバーに隣接する真空処理装置側の真空チャンバーからの荒引きを中止するステップ。