(57)【要約】【課題】  ヘッドの浮上量測定において、損傷を受けにくく、しかも低浮上量まで高精度に測定することができる透過性ディスク、その製造方法及びそれを用いる浮上測定装置を提供する。【解決手段】  本発明におけるヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクは、透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施してなる。【選択図】  図１
2008140426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクであって、
透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施してなる透過性ディスク。
【請求項２】
請求項１に記載の透過性ディスクにおいて、
前記片面のＡＲコーティングが施された上面に、さらに前記潤滑剤コーティングを施してなる透過性ディスク。
【請求項３】
ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクの製造方法であって、
透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施すことを特徴とする透過性ディスクの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の透過性ディスクの製造方法において、
透過性基板の片面にＡＲコーティングを施した後、前記透過性基板全体を潤滑剤に浸漬してなる透過性ディスクの製造方法。
【請求項５】
ヘッドの浮上測定を行う浮上測定装置であって、
透過性ディスクと、
該透過性ディスクの片面に対向するように設けられ、該透過性ディスクを介して前記透過性ディスクの反対面から浮上するヘッドに対して投光を行う投光器と、
前記投光器から投光され、前記透過性ディスクの他の片面から反射された光と前記ヘッドにより反射された光との干渉を用いて前記ヘッドと前記透過性ディスクとの距離をヘッドの浮上量として測定する測定部とを備え、
前記透過性ディスクは、透過性基板の片面にＡＲコーティングが施されると共に、その反対面に潤滑剤コーティングが施されている浮上測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスク、その製造方法及びそれを用いる浮上測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
透過性ディスクとして例えばガラスディスクを用いる磁気ディスク装置のＨｅａｄの浮上測定装置は、低浮上化及び測定精度の向上に伴い干渉光量を用いる方法からＰｈａｓｅシフト用いる測定方法に移行している。
【０００３】
干渉光量による浮上測定では、校正としてガラスディスクに対するヘッドの浮上量が極めて小さい状態（数ｎｍ）から引きはがし動作が必要である。この時、ヘッドの浮上が不安定となり、ガラスディスクに接触することでガラスディスク表面に傷ができやすい。そこで潤滑剤をガラスディスクの片面にコーティングするようにした技術が知られている。（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
その後、技術の進歩により、磁気ディスク装置のＨｅａｄの浮上量は低くなる傾向にあり、Ｈｅａｄの低浮上化及び測定精度の向上に伴い干渉光量を用いたＰｈａｓｅシスト測定では、レーザーを使用する必要があるが、この時、ガラスディスク上面での反射によりＰｈａｓｅシストに影響を及ぼしてしまう。これを避ける目的で、ＡＲコートを設ける一方、干渉光量による測定で用いられた潤滑剤は、むしろ測定精度の向上を妨げるとしてその使用がされていなかった。なお、参考技術として、ガラスディスクやガラス面にＡＲコートを設ける技術としては、下記文献が知られている（例えば特許文献２，３参照）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来のＰｈａｓｅシフトによる測定では、ガラスディスクの一方の面がＡＲコートされるため、Ｈｅａｄの浮上量における測定面はＡＲコートがなされない他方の片面のみとなり、わずかの損傷で使えなくなっていた。また、低い浮上量まで測定しようとすると、ガラスディスクのうねりによりヘッドとガラスディスクが接触し、正確な浮上量を得ることができなかった。
【０００６】
一方で、従来のように、この損傷防止のために潤滑剤をコーティングすることは、高精度化を妨げるという認識によりその使用がなされていなかった。
【０００７】
ところが、本発明者によれば、Ｐｈａｓｅシフトによる測定において、ＡＲコートがなされたディスクの反対面に潤滑剤をコーティングし、その測定を行ったところ、ディスクの損傷が防止できるばかりか、より低い浮上量における領域まで、精度よく浮上量を測定できることが見出された。
【特許文献１】特開昭６３−２８１２８４号公報
【特許文献２】特開平１１−５４０５３号公報
【特許文献３】特開２００３−１５１１１１号公報
【０００８】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、ヘッドの浮上量測定において、損傷を受けにくく、しかも低浮上量まで高精度に測定することができる透過性ディスク、その製造方法及びそれを用いる浮上測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するため、本発明は、ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクであって、透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施してなるものである。
【００１０】
また、本発明は、ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクの製造方法であって、透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施すことを特徴とするものである。
【００１１】
さらに、本発明は、ヘッドの浮上測定を行う浮上測定装置であって、透過性ディスクと、該透過性ディスクの片面に対向するように設けられ、該透過性ディスクを介して前記透過性ディスクの反対面から浮上するヘッドに対して投光を行う投光器と、前記投光器から投光され、前記透過性ディスクの他の片面から反射された光と前記ヘッドにより反射された光との干渉を用いて前記ヘッドと前記透過性ディスクとの距離をヘッドの浮上量として測定する測定部とを備え、前記透過性ディスクは、透過性基板の片面にＡＲコーティングが施されると共に、その反対面に潤滑剤コーティングが施されているものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ヘッドの浮上量測定において、損傷を受けにくく、しかも低浮上量まで高精度に測定することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図を用いて説明する。
【００１４】
実施の形態１．
図１は本発明の実施の形態１における透過性ディスクとしてのガラスディスクを示す側面図である。
【００１５】
このガラスディスク１は、ディスク（透過性基板であるガラス基板ＧＰ）の片面１ａにＡＲコーティング１ｂを施すと共に、その反対面１ｃに潤滑剤コーティングであるＬｕｂ（ｌｕｂｅ）コーティング１ｄを施したものである。
【００１６】
ＡＲコーティング１ｂは、従来より、レンズやディスプレイ（ＣＲＴ）などのガラスの表面処理の一つとして知られており、ＣＲＴの表示面に照明や窓から外光の映り込みを抑えるために、特殊な表面処理が施されたものである。実施の形態１では、ガラスディスク１の片面１ａ表面に、屈折率の異なる二種類の薄膜をコーティングすることにより、表示面での外光の反射を防ぐようにしている。ＡＲコーティング１ｂは、材質の屈折率と透過させる光の波長で決まる膜厚を持ち、その波長だけを透過させる。
【００１７】
Ｌｕｂコーティング１ｄはフッ素系潤滑剤として知られており、本実施の形態では、例えば１ｎｍの厚さのものを使用している。
【００１８】
実施の形態２．
図２は、本発明の実施の形態２における透過性ディスクとしてのガラスディスクを示す側面図である。
実施の形態２に示されるガラスディスク１Ａでは、実施の形態１に示したガラスディスク１の片面１ａのＡＲコーティング１ｂが施された上面に、さらに実施の形態１で示したものと同じＬｕｂコーティング１ｄを施すようにしたものである。
【００１９】
この実施の形態２におけるガラスディスク１Ａは、実施の形態１と同様に、ディスク（ガラス基板ＧＰ）の片面１ａにＡＲコーティング１ｂを施した後、ディスク全体をＬｕｂ剤である潤滑剤に浸漬して製造するようにしており、このような製造方法によれば、Ｌｕｂ剤のコーティングが極めて容易に行われると共に、ガラスディスク１の両面における損傷を防止できる。
【００２０】
実施の形態３．
実施の形態３は、実施の形態１，２で説明したガラスディスクを用いるヘッド（例えば磁気ヘッド）の浮上測定装置について説明する。
図３は、磁気ヘッドの浮上量測定装置の全体構成を示したブロック図であり、図４は測定原理を示した一部拡大図である。
【００２１】
この浮上測定装置は、実施の形態１（又は２）で説明した透過性ディスクであるガラスディスク１(１Ａ)と、該ガラスディスク１の片面１ａに対向するように設けられ、該ガラスディスク１を介してガラスディスク１の他の片面１ｃ表面から浮上する磁気ヘッド２（スライダー）に対して投光を行うレーザ光源３ａ及び光学系３ｂを含む投光器３と、投光器３から投光され、ガラスディスク１の他の片面１ｃから反射された光と磁気ヘッド２により反射された光との干渉を検出する検出部４を有し、干渉を撮像するＣＣＤカメラ５と、該ＣＣＤカメラ５の出力に基づいてＰｈａｓｅシフト法による浮上量演算を行う演算部（ＰＣ）６とを備える。
【００２２】
ここで、検出部４を有するＣＣＤカメラ５と演算部６は本発明の測定部を構成している。
【００２３】
なお、ＣＣＤカメラ５は光学ユニットを駆動するための光学ユニットＸＹステージ７に載置され、ガラスディスク１はスピンドルＸＹステージ８に取り付けられたスピンドルモータ９により回転駆動される。また磁気ヘッド（スライダー）２は、図示しない回転ステージにより回転されるヘッド支持部１０に支持される。
【００２４】
図５はガラスディスクの周速とヘッドの浮上量との測定結果を、従来のＬｕｂコーティングを行わなかったガラスディスク（通常ディスク）と本実施の形態１のガラスディスクとの比較において示している。横軸は、周速を示す。左側の縦軸は、浮上量を示し、測定結果のうち「通常ディスク」及び「ＬＵＢ−ディスク」に対応する。右側の縦軸は、浮上量の標準偏差を示し、測定結果のうち「通常ＳＴＤ」及び「ＬＵＢ−ＳＴＤ」に対応する。浮上量は、収束に対して単調増加であることが望ましい。浮上量の標準偏差は、収束に対して一定であることが望ましい。この測定結果に示されるように本実施の形態によれば、ガラスディスク１と磁気ヘッド２との距離が通常ディスクを使用した場合よりも、より短い距離（低浮上量領域）まで、その他の領域（高浮上領域）における通常ディスクにおける精度を維持したまま測定できることが明らかである。
【００２５】
図６は、図５に示された測定における本実施の形態のガラスディスク１のＮ値（反射率）及びＫ値（減衰率）を通常ディスクと比較して示したテーブルである。
【００２６】
このテーブルによれば、本実施の形態におけるガラスディスク１はＬｕｂコーティングしたにも拘わらず、そのコーティングをしない通常ディスクとＮ，Ｋ値が変わらず、光学的な検出精度が低下しないことも理解できる。
【００２７】
なお、図５、図６は実施の形態１のガラスディスクについて示したが、実施の形態２のガラスディスクについてもほぼ同じ測定結果が得られている。これは、図６の測定値からも容易に想定できるものである。
【００２８】
（付記１）  ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクであって、
透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施してなる透過性ディスク。
（付記２）  付記１に記載の透過性ディスクにおいて、
前記片面のＡＲコーティングが施された上面に、さらに前記潤滑剤コーティングを施してなる透過性ディスク。
（付記３）  付記１又は付記２に記載の透過性ディスクにおいて、
前記潤滑剤は、フッ素系潤滑剤である透過性ディスク。
（付記４）  付記１乃至付記３のいずれかに記載の透過性ディスクにおいて、
前記透過性基板はガラス基板により構成されている透過性ディスク。
（付記５）  ヘッドの浮上測定に用いる透過性ディスクの製造方法であって、
透過性基板の片面にＡＲコーティングを施すと共に、その反対面に潤滑剤コーティングを施すことを特徴とする透過性ディスクの製造方法。
（付記６）  付記５に記載の透過性ディスクの製造方法において、
透過性基板の片面にＡＲコーティングを施した後、前記透過性基板全体を潤滑剤に浸漬してなる透過性ディスクの製造方法。
（付記７）  ヘッドの浮上測定を行う浮上測定装置であって、
透過性ディスクと、
該透過性ディスクの片面に対向するように設けられ、該透過性ディスクを介して前記透過性ディスクの反対面から浮上するヘッドに対して投光を行う投光器と、
前記投光器から投光され、前記透過性ディスクの他の片面から反射された光と前記ヘッドにより反射された光との干渉を用いて前記ヘッドと前記透過性ディスクとの距離をヘッドの浮上量として測定する測定部とを備え、
前記透過性ディスクは、透過性基板の片面にＡＲコーティングが施されると共に、その反対面に潤滑剤コーティングが施されている浮上測定装置。
（付記８）  付記７に記載の浮上測定装置において、
前記透過性基板の前記片面のＡＲコーティングが施された上面に、さらに前記潤滑剤コーティングを施してなる浮上測定装置。
（付記９）  付記７又は付記８に記載の浮上測定装置において、
前記潤滑剤は、フッ素系潤滑剤である浮上測定装置。
（付記１０）  付記７乃至付記９のいずれかに記載の浮上測定装置において、
前記透過性基板はガラス基板により構成されている浮上測定装置。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態１における透過性ディスクとしてのガラスディスクを示す側面図である。
【図２】本発明の実施の形態２における透過性ディスクとしてのガラスディスクを示す側面図である。
【図３】磁気ヘッドの浮上量測定装置の全体構成を示したブロック図である。
【図４】本実施の形態の測定原理を示した一部拡大図である。
【図５】ガラスディスクの周速とヘッドの浮上量との測定結果を、従来のＬｕｂコーティングを行わなかったガラスディスク（通常ディスク）と本実施の形態１のガラスディスクとの比較において示したグラフである。
【図６】本実施の形態のガラスディスク１のＮ値（反射率）及びＫ値（消衰係数）を通常ディスクと比較して示したテーブルである。
【符号の説明】
【００３０】
１、１Ａ  ガラスディスク（透過性ディスク）、１ａ  ディスク（ガラス基板）片面、１ｂ  ＡＲコーティング、１ｃ  ディスク（ガラス基板）の他の面（反対面）、１ｄ  Ｌｕｂ（フッ素系潤滑剤）コーティング、２  磁気ヘッド（ヘッド）、３  投光器、４  検出部、５  ＣＣＤカメラ、６  演算部、ＧＰ  ガラス基板。
【図１】
2008140426.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2008140426.tif 000006
【図５】
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【図６】
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