(57)【要約】  【課題】洗浄工数を増加させることなく、弾性シートのポア内に付着している異物を確実に洗浄除去する。【解決手段】研磨ヘッド６の下面部に設けたリテーナリング５及び弾性シート４を洗浄する洗浄装置であって、弾性シート４をエアーブロー等で湾曲させて保持し、該弾性シート４の保護シート部４Ｂ等に洗浄液又はエアを供給する洗浄ノズル１７と、ヘッド洗浄部６内の密閉空間部の圧力を低下させる吸水ポンプ２２等の減圧機構とを備える。前記弾性シート４を湾曲させた状態でヘッド洗浄部６内を減圧させて洗浄する。この場合、保護シート部４Ｂのポア２７の開口部を拡大させることにより、ポア２７内の異物２９を排除しやすい状態で洗浄するので、該異物２９を確実に洗浄除去できる。【選択図】図１
2008302478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リテーナリングの内側に弾性シートを湾曲可能に張設して成る研磨ヘッドの洗浄装置において、
該洗浄装置の上面部に開口して形成され、且つ、前記研磨ヘッドの下面部が洗浄可能に嵌合装着される縦断面凹状のヘッド洗浄部と、
前記研磨ヘッドの少なくとも弾性シート下面に水、エア等の洗浄媒体を吹き付ける洗浄ノズルと、
前記ヘッド洗浄部内を減圧させる減圧機構とを備え、
前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で洗浄媒体が吹き付けられ、且つ、該ヘッド洗浄部内を減圧して洗浄するように構成したことを特徴とする研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項２】
上記ヘッド洗浄部は底部に超音波振動子を有することを特徴とする請求項１記載の研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項３】
上記減圧機構が減圧用の弁及び／又はポンプであることを特徴とする請求項１記載の研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項４】
上記ヘッド洗浄部は、上記研磨ヘッドの嵌合装着時に該研磨ヘッドとの間に生ずる隙間を封止するためのシール機構を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項５】
請求項１，２，３又は４記載の研磨ヘッドの洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
ヘッド洗浄部に研磨ヘッドの下面部を嵌合装着させる工程と、
該研磨ヘッドの少なくとも弾性シート下面に水、エア等の洗浄媒体を洗浄ノズルにより吹き付ける工程と、
前記ヘッド洗浄部内を減圧機構により減圧させる工程とを含み、
前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で洗浄媒体が吹き付けられ、且つ、該ヘッド洗浄部内を減圧させて洗浄することを特徴とする研磨ヘッドの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は研磨ヘッドの洗浄装置及び洗浄方法に関するものであり、特に、弾性シート表面のポア内に付着した異物を除去洗浄するようにした研磨ヘッドの洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウェーハ表面を化学・機械的に研磨するＣＭＰ装置は、回転する研磨パッドにウェーハを押し付けるための研磨ヘッドを備えている。該研磨ヘッドとしては、該研磨ヘッドの下部外周部に設けられたリテーナリングと、ウェーハの上側に設けられたキャリアと、該キャリアとウェーハの間に設けられた湾曲可能な弾性シートを有したものが知られている。又、前記ウェーハは研磨時にエア圧により弾性シートによって下方に押圧されることにより、研磨パッド上面に均一な圧力で押し付けられる。
【０００３】
このように、ウェーハは、研磨ヘッド内に設けたリテーナリングで保持され、且つ、リテーナリング内側の弾性シートでウェーハを保持して研磨されるが、リテーナリングや弾性シートの表面に異物が付着していると、該異物によりウェーハ表面に損傷（スクラッチ）等の欠陥が発生する。又、前記異物により研磨時におけるウェーハの圧力分布が不均等になり、ウェーハの表面に研磨不良等の欠陥が生じる。
【０００４】
そこで、上記異物によりウェーハ表面に損傷等が生じないようにするために、研磨ヘッドの下面部をブラシ等で定期的に洗浄している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２８９０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、弾性シートとして、メンブレンシート部の下面に保護シート部を貼り合わせたものを使用した場合は、保護シート部の表面には製造過程において多数のポア（空洞）が形成される。そのため、該ポア内に微細（４０〜８０μｍ程度）な塵埃等の異物が付着して残留し易い。即ち、図６に示すように、合成樹脂から成る保護シート部Ｓは、成形工程時に内部にポアＡが形成される。
【０００６】
そして、次工程において、保護シート部Ｓを削りラインＣＬに沿ってサンドペーパで削り取った後は、図７に示すように、ポアＡが削り面に露出して該ポアＡ内に異物Ｐが付着する。特に、保護シート部Ａをメンブレンシート部に貼り合わせた後にプレス加工を行った場合、ポアＡ内に異物Ｐが圧縮状態で付着して残存する。又、同一の弾性シートを用いて長時間研磨を行った場合にも、ポアＡ内に異物Ｐが圧縮状態で付着して埋没する。
【０００７】
従来のブラシによる洗浄方式では、保護シート部の表面に付着した異物は除去できるが、ポア内に圧縮状態で付着した異物は、ポアの開口部が狭いので、洗浄時にブラシで保護シート部の表面を擦ったり、或いは、ポア内に洗浄水を強く吹き付けても除去し難い。ポア内に異物が残留した弾性シートを使用してウェーハを研磨した場合は、前述したように、ウェーハ面内における圧力分布が不均等になるため、ウェーハ表面（裏面を含む）に損傷等の欠陥が発生し、ウェーハのデバイス性能を低下させる。
【０００８】
特に、近年は半導体の微細化に伴い、ウェーハ表面に発生する損傷等の欠陥が厳しくチェックされている。従って、洗浄工数を増加させることなく、弾性シート表面、特に保護シート部表面のポア内に付着した異物を確実に洗浄除去することが大きな課題になってい
る。
【０００９】
そこで、洗浄工数を増加させることなく、弾性シート表面のポア内に付着した異物を効果的に洗浄除去させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、リテーナリングの内側に弾性シートを湾曲可能に張設して成る研磨ヘッドの洗浄装置において、該洗浄装置の上面部に開口して形成され、且つ、前記研磨ヘッドの下面部が洗浄可能に嵌合装着される縦断面凹状のヘッド洗浄部と、前記研磨ヘッドの少なくとも弾性シート下面に水、エア等の洗浄媒体を吹き付ける洗浄ノズルと、前記ヘッド洗浄部内を減圧させる減圧機構とを備え、前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で洗浄媒体が吹き付けられ、且つ、前記ヘッド洗浄部内を減圧して洗浄するように構成して成る研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１１】
この構成によれば、研磨ヘッドを洗浄する際は、先ず、研磨ヘッドの下面部をヘッド洗浄部に洗浄可能に嵌合装着させて、研磨ヘッドとヘッド洗浄部との間に洗浄用の密閉空間を形成する。次に、研磨ヘッドの弾性シートをエア圧等により下方に湾曲させる。このとき、弾性シート下面側のポアの形状が変形してポアの開口部が拡大するため、ポア内に圧縮状態で付着していた異物が弛緩（圧縮解除）して、該異物の一部は放散移動してポアの開口部から外に排出される。
【００１２】
この後、洗浄ノズルにより研磨ヘッド下面部の少なくとも弾性シート下面に水、エア等の洗浄媒体を所定圧力で吹き付ける。この場合、ポアの開口面積が増大しているため、洗浄媒体がポアの内奥部まで直接到達する。
【００１３】
その結果、洗浄媒体による異物に対する衝撃力が増大するので、該異物の排出作用が促進される。更に、減圧機構により洗浄用密閉空間部内の圧力を低下させることで、吸引減圧作用が一層増大して、ポア内に残存していた異物が完全に除去洗浄される。
【００１４】
請求項２記載の発明は、上記ヘッド洗浄部は底部に超音波振動子を有する請求項１記載の研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１５】
この構成によれば、研磨ヘッドの下面部を水没させた後に、超音波振動子を駆動して洗浄する。これにより、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面にキャビテーションが作用する。従って、水中で小さな気泡の爆発が惹起され、その衝撃力によってポア内の異物が確実に排除される。
【００１６】
請求項３記載の発明は、上記減圧機構が減圧用の弁及び／又はポンプである請求項１記載の研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１７】
この構成によれば、ヘッド洗浄部の減圧機構として弁及び／又はポンプを使用することにより、高い吸引減圧作用が得られるだけでなく、ヘッド洗浄部内の水やエア等の流体物は、弁及び／又はポンプによる吸引作用によって外部に排出される。すなわち、リテーナリング及び弾性シートの表面から除去された異物は、水やエア等と一緒に外部に排出される。
【００１８】
請求項４記載の発明は、上記ヘッド洗浄部は、上記研磨ヘッドの嵌合装着時に該研磨ヘッドとの間に生ずる隙間を封止するためのシール機構を備えて成る請求項１又は２記載の
研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１９】
この構成によれば、ヘッド洗浄部と研磨ヘッドの間の隙間は、シール機構により確実に封止されるので、ヘッド洗浄部内の密閉空間の気密性が高められる。従って、ヘッド洗浄時に、減圧機構による吸引減圧作用が更に増大する。
【００２０】
請求項５記載の発明は、請求項１，２，３又は４記載の研磨ヘッドの洗浄装置を用いた洗浄方法であって、ヘッド洗浄部に研磨ヘッドの下面部を嵌合装着させる工程と、該研磨ヘッドの少なくとも弾性シート下面に水、エア等の洗浄媒体を洗浄ノズルにより吹き付ける工程と、前記ヘッド洗浄部内を減圧機構により減圧させる工程とを含み、前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で洗浄媒体が吹き付けられ、且つ、該ヘッド洗浄部内を減圧させて洗浄する研磨ヘッドの洗浄方法を提供する。
【００２１】
この洗浄方法によれば、先ず、研磨ヘッドの下面部をヘッド洗浄部に洗浄可能に嵌合装着させて、研磨ヘッドとヘッド洗浄部との間に洗浄用密閉空間が形成される。次に、研磨ヘッドの弾性シートをエア圧等により下方に湾曲させる。このとき、弾性シート下面側のポアの形状が変形してポアの開口部が拡大するため、ポア内に圧縮状態で付着していた異物が弛緩し、該異物の一部は放散移動してポアの開口部から外に排出される。
【００２２】
この後、洗浄ノズルにより研磨ヘッド下面部の少なくとも弾性シートに水、エア等の洗浄媒体を所定圧力で吹き付ける。この場合、ポアの開口面積が増大しているため、洗浄媒体がポアの内奥部まで直接到達する。その結果、洗浄媒体による異物に対する衝撃力が増大するので、該異物の排出作用が促進される。更に、減圧機構により洗浄用密閉空間内の圧力を低下させることで、吸引減圧作用が増大して、ポア内に残存していた異物が完全に除去洗浄される。
【発明の効果】
【００２３】
請求項１記載の発明は、弾性シート下面に形成されたポアを拡大させて減圧状態で洗浄するので、洗浄工数を増加させなくとも、ポア内の異物を確実に洗浄除去することができ、ウェーハ表面に基づく種々の欠陥を防止してデバイス性能が向上する。
【００２４】
請求項２記載の発明は、ヘッド洗浄時に、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面にキャビテーションを作用させるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面に対する洗浄効果が一層向上し、特に、ポア内の異物を効率良く排除させることができる。
【００２５】
請求項３記載の発明は、減圧用の弁及び／又は減圧用ポンプにより高い吸引減圧作用が得られるだけでなく、洗浄除去された異物を水やエア等と共に外部に排除できるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、異物に対する吸引効果及び排除効果を更に高めることができる。
【００２６】
請求項４記載の発明は、シール機構によりヘッド洗浄部内の密閉空間を効果的に吸引減圧できるので、請求項１又は２記載の発明の効果に加えて、吸引減圧作用によるポア内の残存異物に対する吸引除去効果が更に高められる。
【００２７】
請求項５記載の発明は、弾性シート下面側のポアを広げて減圧状態で洗浄するので、洗浄工数を増加させることなく、ポア内の異物を効果的に除去洗浄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明は洗浄工数を増加させることなく、弾性シートのポア内の異物を完全に除去する
という目的を達成するため、リテーナリングの内側に弾性シートを湾曲可能に張設して成る研磨ヘッドの洗浄装置において、該洗浄装置の上面部に開口して形成され、且つ、前記研磨ヘッドの下面部が洗浄可能に嵌合装着される縦断面凹状のヘッド洗浄部と、前記研磨ヘッドの少なくとも弾性シート下面に水、エア等の洗浄媒体を吹き付ける洗浄ノズルと、前記ヘッド洗浄部内を減圧させる減圧機構とを備え、前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で洗浄媒体が吹き付けられ、且つ、前記ヘッド洗浄部内を減圧させて洗浄することによって実現した。
【実施例】
【００２９】
以下、本発明の好適な一実施例を図１乃至図５に従って説明する。本実施例は、ＣＭＰ装置の研磨ヘッド下面部を洗浄する場合に適用したものであって、洗浄時、ヘッド洗浄部内を吸引減圧させると共に、研磨ヘッド下面部に設けた弾性シートを湾曲させることにより、弾性シート下面のポアの開口部を拡大させて、ポア内に付着しているパーティクル（塵埃等の異物）を減圧状態で吸引除去するようにしたものである。
【００３０】
洗浄装置の全体構成を図１の解説図によって説明する。同図において、１は洗浄装置であり、ＣＭＰ装置２の研磨ヘッド３下面部を洗浄する時、例えば、ウェーハの研磨前又は研磨後、或いは、湾曲可能な弾性シート４やリテーナリング５を交換した時に使用される。該洗浄装置１の上面部には、洗浄用空間部を有する縦断面凹状のヘッド洗浄部６が上方に開口して形成され、該ヘッド洗浄部６に研磨ヘッド３が脱着自在に嵌合装着されるように構成されている。
【００３１】
上記研磨ヘッド３は、該研磨ヘッド３の下部外周部に設けられ、且つ、ウェーハＷの径方向への移動を規制するリング状のリテーナリング５と、ウェーハＷの上側に設けられたキャリア７と、該キャリア７とウェーハＷの間に設けられた湾曲可能な円形の弾性シート４とを備えている。
【００３２】
前記研磨ヘッド３の具体的構造を図２に示すが、この構成例に限定されない。同図に示すように、リテーナリング５は、キャリア７の外周側に配置されたリテーナリングホルダ８の下面にボルト９で取り付けられ、リテーナリング５の内周部には弾性シート４が張設されている。
【００３３】
キャリア７の下面には、図１に示すように、エア用の吸引・吹き出し溝１０が形成されていると共に、該吸引・吹き出し溝１０は、エア管１１を介して吸気ポンプ１２と給気ポンプ１３に切替え可能に接続されている。
【００３４】
図３に示すように、弾性シート４は所要の可撓性を有し上下二層から成り、上層部（以下「メンブレンシート部４Ａ」という）の下面に下層部（以下「保護シート部４Ｂ」という）を貼り合わせた後にプレス加工して作製されている。又、図２に示すように、弾性シート４には複数の小孔１５，１５・・・が形成されている。該小孔１５，１５・・・は、ウェーハ搬送時にはウェーハ吸着用の孔として機能し、又、研磨時にはエア圧供給用の孔として機能する。
【００３５】
上記研磨ヘッド３の下面部は、図４に示すように、洗浄装置１のヘッド洗浄部６に嵌合装着し、洗浄時、研磨ヘッド３のリテーナリング５及び弾性シート４はヘッド洗浄部６内に臨んだ状態で洗浄される。又、弾性シート４は、洗浄時には下方側、即ち、ヘッド洗浄部６側に略円弧状に突出するように湾曲して保持される。この場合、吸引・吹き出し溝１０からエアを吹き出させることにより、弾性シート４をエアーブロー方式にて下方に膨らませて湾曲させることができる。
【００３６】
尚、前記吸引・吹き出し溝１０はシート湾曲手段として機能するが、シート湾曲手段はこれに限定されるべきではなく、ヘッド洗浄部６内にシート湾曲手段を設けることも可能である。例えば、ヘッド洗浄部６における弾性シート４の下方側にエア吸引機構１６を設置し、該エア吸引機構１６によって弾性シート４の下面中央部を下方に吸引して湾曲させることもできる。
【００３７】
次に、上記洗浄装置１の構成について更に詳しく説明する。洗浄装置１のヘッド洗浄部６の適所には洗浄液、エア等の洗浄媒体を噴出するための洗浄ノズル１７が複数又は単数設けられ、該洗浄ノズル１７の先端部は研磨ヘッド３の下面部全域を指向するように配置されている。又、洗浄ノズル１７には洗浄液用ポンプとエア用ポンプ（図示せず）が切替え可能に接続され、必要に応じて、洗浄ノズル１７から洗浄液（純水）又はエアを噴射させることができるように構成されている。
【００３８】
洗浄ノズル１７は研磨ヘッド３下面部に対して、洗浄液を噴射させる洗浄液吹き付け機構と、エアを噴射させるエア吹き付け機構との双方を兼用させることができるが、該洗浄液吹き付け機構とエア吹き付け機構は互いに分離独立に設けることも可能である。
【００３９】
更に、図示例では、ヘッド洗浄部６の適所には給水口１８が設けられている。よって、該給水口１８からヘッド洗浄部６内に水を供給することにより、ヘッド洗浄部６に装着された研磨ヘッド３の下面部、即ち、リテーナリング５及び弾性シート４を完全に水没させることができる。
【００４０】
前記ヘッド洗浄部６の底面には超音波振動子１９を設けられている。よって、研磨ヘッド３下面部を水没させた後に超音波振動子１９を駆動することにより、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面にキャビテーションを発生させることができる。又、ヘッド洗浄部６には、該ヘッド洗浄部６内の密閉空間を吸引減圧させるための減圧機構、例えば、吸水ポンプ又は吸気ポンプ等が設置されている。
【００４１】
図１は減圧機構として吸水ポンプを使用した構成例である。同図に示すように、ヘッド洗浄部６の下面には通路２０が開口されていると共に、該通路２０の下流側途中には開閉可能な排水弁２１が設置されている。更に、排水弁２１の下流側には吸引減圧用の吸水ポンプ２２が設けられている。よって、吸水ポンプ２２により、ヘッド洗浄部６内の密閉空間を吸引減圧（真空を含む）した状態で、リテーナリング５及び弾性シート４を洗浄できる。この場合、通路２０の途中には、吸引減圧用の排気ポンプ（図示せず）を独立に設置してもよい。
【００４２】
又、減圧機構として吸気ポンプを使用する場合は、上記排水弁２１に代えて排気弁２４を設置すると共に、上記吸水ポンプ２２に代えて吸引減圧用の吸気ポンプ２５を設置すればよい。この場合、通路２０の途中には吸引減圧用の排水ポンプ（図示せず）を独立に設置してもよい。
【００４３】
ヘッド洗浄部６の開口周縁部にはＯリング、パッキン等から成るシール機構２８が設けられている。このため、研磨ヘッド２２をヘッド洗浄部６に装着すると、研磨ヘッド２２とヘッド洗浄部６間の隙間は、シール機構２８により完全に封止される。従って、ヘッド洗浄部６の内部空間は気密に保持されるため、ヘッド洗浄時に、減圧機構によりヘッド洗浄部６内に存在するエア及び／又は洗浄液を吸引することによって、ヘッド洗浄部６内の圧力が一層確実かつ迅速に低下する。
【００４４】
尚、本実施例に係る洗浄装置１の各駆動部、即ち、エア吸引機構（シート湾曲手段）１６、洗浄ノズル１７、超音波振動子１９、吸水ポンプ２２及び吸気ポンプ（減圧機構）２
５等は、図示しない制御手段に電気的に接続されている。従って、洗浄装置１の各駆動部は制御手段により統括的に運転制御されている。
【００４５】
次に、上記研磨ヘッド３の洗浄処理工程の一例について説明する。先ず、ウェーハＷの研磨後に、研磨ヘッド３を洗浄装置１のヘッド洗浄部６の位置まで移動させる。そして、該研磨ヘッド３を下降させることにより、研磨ヘッド３をヘッド洗浄部６に嵌合装着し、研磨ヘッド３の下面部の弾性シート４とリテーナリング５をヘッド洗浄部６内に洗浄可能に臨ませる。このとき、ヘッド洗浄部６と研磨ヘッド３の間はシール機構２８により気密に封止される。
【００４６】
次に、洗浄工程において、キャリア７下部の吸引・吹き出し溝１０からエアを常時噴出させることにより、弾性シート４はエアーブロー方式にて下方に膨らませて湾曲形成される。このように、弾性シート４を湾曲させると、図５に示すように、保護シート部４Ｂ表面のポア２７の開口部が拡大するように変形する。
【００４７】
ポア２７の内面形状の変形に伴い、ポア２７内に圧縮状態で付着していた多数のパーティクル２９が互いに離散するように弛緩し、その一部はポア２７の開口部側に拡散移動する。この結果、ポア２７内が減圧状態になることと相まって、ポア２７内のパーティクル２９が外部に排出し易くなり、該パーティクル２９の一部が開口部から排出される。
【００４８】
然る後、弾性シート４を湾曲状態に保持したまま、洗浄ノズル１７から所定圧の洗浄液又はエアを噴出して、リテーナリング５及び弾性シート４の保護シート部４Ｂ表面に洗浄液又はエアを吹き付けて、ポア２７内に残存しているパーティクル２９を外に排出させる。
【００４９】
このあと、主に洗浄液を吹き付ける洗浄する方式の洗浄装置１では、給水口１８から純水を供給して、ヘッド洗浄部６に装着された研磨ヘッド３の下面部を水没させる（図４中の斜線部は純水を示す）。而して、ヘッド洗浄部６底面に設けた超音波振動子１９を駆動することにより、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面にキャビテーションが発生する。
【００５０】
その結果、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面に付着したパーティクル２９が効率良く除去洗浄される。加えて、キャビテーションによる衝撃力がポア２７内部に直接作用するため、ポア２７の内奥部に残存しているパーティクル２９も効率良く除去洗浄される。
【００５１】
そして、ヘッド洗浄部６底面の通路２０に設置した排水弁２１を開くと共に、減圧用の吸水ポンプ２２を駆動して、ヘッド洗浄部６内の水（エアを含む）を外部に排出させる。これにより、ヘッド洗浄部６内の圧力が急激に低下して洗浄される。この場合、ポア２７内の水も円滑に減圧吸引されるので、該ポア２７内のパーティクル２９が水と共に移動して、ポア２７の外側に完全に排出される。
【００５２】
又、主にエアを吹き付けて洗浄する方式の洗浄装置１では、上記通路２０に設けた排気弁２４を開くと共に、減圧用の吸気ポンプ２５を駆動して、ヘッド洗浄部６内のエアを外部に排出させる。これにより、ヘッド洗浄部６内の圧力が急激に低下して洗浄される。この場合、ポア２７内のエアも円滑に減圧吸引されるので、ポア２７内のパーティクル２９がエアと共に移動して、ポア２７の外側に完全に排出される。
【００５３】
以上の如く本実施例によれば、洗浄時、弾性シート４を湾曲させて、弾性シート４の下層部を形成する保護シート部４Ｂのポア２７の開口部を拡張させ、その状態のままポア２
７内に洗浄液又はエアを噴射して洗浄する。斯くして、ポア２７内のパーティクル２９が効率良くかつ確実に洗浄除去される。本実施例による洗浄処理を適時行うことにより、ポア２７内に微細な汚染物質等のパーティクル２９が付着蓄積することを解消でき、研磨ヘッド３の継続使用が可能になる。尚、ポア２７内のパーティクル２９は圧縮状態で存在していたため、従来技術では除去することが困難であった。
【００５４】
又、上記超音波振動子１９により、研磨ヘッド３の下面部にキャビテーションを発生させることにより、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面に付着したパーティクルに対する洗浄効果が一層向上する。特に、保護シート部４Ｂのポア２７内に付着したパーティクル２９が確実に除去洗浄される。
【００５５】
更に、減圧用の吸水ポンプ２２又は吸気ポンプ２５により、ヘッド洗浄部６内を吸引減圧させた状態で洗浄できるので、吸引減圧作用によりポア２７内のパーティクル２９がより効果的に吸引除去される。
【００５６】
更に又、ヘッド洗浄部６と研磨ヘッド３の間にシール機構２８を設けたことにより、洗浄時にヘッド洗浄部６内の密閉空間が気密に維持される。従って、ヘッド洗浄部６内の密閉空間が一層効果的に吸引減圧される。
【００５７】
本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施例を示し、研磨ヘッドが装着された状態の洗浄装置を説明する一部断面正面図（解説図）。
【図２】一実施例に係る研磨ヘッドの構成例を部分的に示す詳細断面図。
【図３】一実施例に係る二層構造の弾性シートを示す正面図。
【図４】一実施例に係る洗浄装置に研磨ヘッドを装着させたときの状態を例示する説明図。
【図５】一実施例に係る弾性シートを湾曲させた状態を説明する断面図。
【図６】弾性シートの保護シート部のポアを説明する図であり、弾性シートをサンドペーパで削る前の状態を示す断面図。
【図７】弾性シートの保護シート部のポアを説明する図であり、弾性シートをサンドペーパで削った後状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００５９】
１    洗浄装置
２    ＣＭＰ装置（ウェーハ研磨装置）
３    研磨ヘッド（ウェーハ保持ヘッド）
４    弾性シート
４Ａ  メンブレンシート部
４Ｂ  保護シート部
５    リテーナリング
６    ヘッド洗浄部
１０  吸引・吹き出し溝
１５  小孔
１６  エア吸引機構（シート湾曲手段）
１７  洗浄ノズル
１９  超音波振動子
２２  吸水ポンプ（減圧機構）
２５  吸気ポンプ（減圧機構）
２７  ポア
２８  シール機構
２９  パーティクル（異物）
【図１】
2008302478.tif 000003
【図２】
2008302478.tif 000004
【図３】
2008302478.tif 000005
【図４】
2008302478.tif 000006
【図５】
2008302478.tif 000007
【図６】
2008302478.tif 000008
【図７】
2008302478.tif 000009