(57)【要約】【課題】磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の潤滑層の品質を容易で正確に評価可能な磁気記録媒体の製造方法および評価方法をを提供する。【解決手段】、磁気記録媒体の検査工程（Ｓ１０４）は、形成された磁気記録媒体を磁気ヘッドによって走査等する磁気記録媒体走査処理（Ｓ１０４−１）、その磁気記録媒体走査処理によって磁気ヘッドに付着した潤滑剤を測定用基板に移着させる移着処理（Ｓ１０４−２）、測定用基板に移着した潤滑剤量およびその分布の測定（Ｓ１０４−３）、および得られた潤滑剤量およびその分布が適正か否かの判定（Ｓ１０４−４）からなる。【選択図】図１
2008140478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に潤滑層を有する磁気記録媒体の製造方法であって、
潤滑剤を塗布して潤滑層を形成する工程と、
前記潤滑層が形成された磁気記録媒体を検査する検査工程とを備え、
前記検査工程は、
前記磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上させ、あるいは磁気記録媒体の表面に磁気ヘッドを摺動させる第１のステップと、
次いで、前記磁気ヘッドの媒体対向面を測定用基板の表面に密着すると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から測定用基板に移着させる第２のステップと、
次いで、前記測定用基板の表面の潤滑剤量を測定する第３のステップと、
前記潤滑剤量が適正か否かを判定する第４のステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記第２のステップの測定用基板は、その表面にカーボンからなる保護膜を有し、該保護膜が露出してなることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記保護膜の表面が窒化処理されてなることを特徴とする請求項２記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記第３のステップは、Ｘ線光電子分光法、フーリエ変換赤外分光法、および偏光解析法のいずれかによって潤滑剤量を測定することを特徴とする請求項１〜３のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
表面に潤滑層が形成された磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上あるいは摺動させる第１のステップと、
次いで、前記磁気ヘッドの媒体対向面を測定用基板の表面に接しせしめると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から測定用基板に移着させる第２のステップと、
次いで、前記測定用基板の表面の潤滑剤量を測定する第３のステップと、
前記潤滑剤量が適正か否かを判定する第４のステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法および評価方法に係り、特に潤滑層を備える磁気記録媒体の製造方法および評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記憶装置、例えば磁気ディスク装置は、デジタル化した動画や音楽の記憶装置として広汎な用途に用いられている。特に、家庭用の動画記録用として用いられ、従来のビデオテープを用いた家庭用ビデオ装置にかわって、高速アクセス・小型・大容量等の特長を生かし、著しく市場規模が増大している。動画は特に情報量が多く、磁気ディスク装置の大容量化が求められている。そのため、これまで年率１００％で増加してきた記録密度をさらに向上するため、磁気ディスクおよび磁気ヘッドのいっそうの高記録密度化のための技術開発が不可欠である。
【０００３】
高記録密度化の一手法として、磁気ヘッドの低浮上量化が進められている。浮上量は、磁気ヘッドのヘッドスライダの媒体対向面と磁気ディスク表面との最小距離であるが、浮上量を低減することで、磁気ヘッドの記録および再生素子と磁気ディスクの記録層との距離を狭めて、より大きな強度の記録磁界を記録層に印加でき、また、記録層からの信号磁界をより強い状態で検知できる。
【０００４】
磁気ディスクの表面には記録層を覆い、磁気ヘッドからの不所望な衝撃から記録層の損傷を回避するための保護膜や潤滑層が形成されている。保護膜の機械的強度や、潤滑層の膜厚均一性や、潤滑層の保護膜への固着安定性等を検査するために、コンタクト・スタート&ストップ（ＣＳＳ）試験や、磁気ディスクを回転させて磁気ヘッドのロード・アンロードを繰り返すロード・アンロード試験や、磁気ディスクの内周−外周間の磁気ヘッドのシークを繰り返すシーク試験、さらに高温高湿環境でこれらの試験を行う等の加速試験が行われている。これらの試験では、ディスク表面の損傷の有無や、磁気ヘッドの媒体対向面の汚れを観察して磁気ディスクの品質を判断している。磁気ヘッドの媒体対向面の汚れの観察には、従来、主に光学顕微鏡が使用されてきた（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開昭６２−１６７６１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、光学顕微鏡では、磁気ヘッドの媒体対向面に付着した保護膜の摩耗粉は黒い塊状に見えるので観察し易い。しかしながら、光学顕微鏡では、無色透明の液状の潤滑剤は観察が困難である。潤滑剤が多量に付着していても適正な判断が困難であった。潤滑剤の媒体対向面の付着は磁気ヘッドの浮上安定性に影響を及ぼし、特に浮上量が低減されるほどその影響の度合いは大きい。潤滑剤量を評価する手法としてはＸ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）やフーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）があるが、これらは主に磁気ディスク用の評価方法である。ＥＳＣＡやＦＴＩＲにより媒体対向面の潤滑剤の付着量を直接観察可能ではあるが、媒体対向面はパッドや溝等の凹凸が形成され平坦ではないため、焦点合わせを頻繁に行わなければならず潤滑剤量の測定が煩雑かつ困難であり、さらに、媒体対向面に付着した潤滑剤量の分布の測定はさらに困難を極める。
【０００６】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の潤滑層の品質を容易で正確に評価可能な磁気記録媒体の製造方法および評価方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、表面に潤滑層を有する磁気記録媒体の製造方法であって、潤滑剤を塗布して潤滑層を形成する工程と、前記潤滑層が形成された磁気記録媒体を検査する検査工程とを備え、前記検査工程は、前記磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上させ、あるいは磁気記録媒体の表面に磁気ヘッドを摺動させる第１のステップと、次いで、前記磁気ヘッドの媒体対向面を平坦な測定用基板の表面に密着すると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から測定用基板に移着させる第２のステップと、次いで、前記測定用基板の表面の潤滑剤量を測定する第３のステップと、前記潤滑剤量が適正か否かを判定する第４のステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法が提供される。
【０００８】
本発明によれば、磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上させ、あるいは磁気記録媒体の表面に磁気ヘッドを摺動させる第１のステップの後に、磁気ヘッドの媒体対向面を測定用基板の表面に密着すると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から平坦な測定用基板に移着させて、測定用基板上に移着された潤滑剤量あるいはその分布を測定しているので、容易で正確に磁気ヘッドに付着した潤滑剤を検出できる。そのため、磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体の潤滑層の膜厚均一性や、潤滑層の保護膜との固着安定性等を容易で正確に評価可能になる。よって、容易で正確に磁気記録媒体の検査が可能になり、品質の良好な磁気記録媒体を製造できる。
【０００９】
本発明の他の観点によれば、表面に潤滑層が形成された磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上あるいは摺動させる第１のステップと、次いで、前記磁気ヘッドの媒体対向面を測定用基板の表面に接しせしめると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から測定用基板に移着させる第２のステップと、次いで、前記測定用基板の表面の潤滑剤量測定する第３のステップと、前記潤滑剤量が適正か否かを判定する第４のステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の評価方法が提供される。
【００１０】
本発明によれば、上記の製造方法の検査工程と同様にして、測定用基板上に移着された潤滑剤量あるいはその分布を測定しているので、容易で正確に磁気ヘッドに付着した潤滑剤を検出できる。そのため、磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体の潤滑層の膜厚均一性や、潤滑層の保護膜との固着安定性等を容易で正確に磁気記録媒体の評価が可能になる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の潤滑層の品質を容易で正確に評価可能な磁気記録媒体の製造方法および評価方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下図面を参照しつつ実施の形態を説明する。
【００１３】
図１は、本発明の実施の形態に係る磁気記録媒体の製造方法のフロー図である。
また、図２は、磁気記録媒体の概略断面図である。
【００１４】
本発明の実施の形態に係る磁気記録媒体の製造方法を、図１および図２を参照しつつ説明する。
【００１５】
本実施の形態に係る磁気記録媒体の製造方法は、基板１１上にシード層１２、下地層１３、記録層１４、保護膜１５を順次形成する薄膜形成工程（Ｓ１００）、保護膜１５の表面に潤滑剤を塗布して潤滑層１６を形成する潤滑剤塗布工程（Ｓ１０２）、潤滑層１６の特性を検査する検査工程（Ｓ１０４）から構成される。
【００１６】
薄膜形成工程（Ｓ１００）は、基板１１を洗浄し真空容器内で所定の温度に加熱して乾燥する。さらにスパッタ法（例えばＤＣ（直流）マグネトロンスパッタ法）等の薄膜形成方法により、基板１１上に、シード層１２、下地層１３、記録層１４、および保護膜１５の各材料のスパッタターゲットを用いて順次これらの層を成膜する。本実施の形態において磁気記録媒体１０の構成は、磁気記録媒体１０の表面に潤滑層１６が形成されている以外は特に限定されない。すなわち、磁気記録媒体１０は、記録層１４の磁化容易軸が、膜面に平行な面内磁気記録媒体や、膜面に垂直な垂直磁気記録媒体や、斜め方向の斜め配向磁気記録媒体のいずれでもよい。以下に一例として面内磁気記録媒体の製造方法を説明する。
【００１７】
まず、基板１１上にシード層１２を形成する。シード層１２は、例えば結晶質材料の金属または合金、金属間化合物から構成される。シード層１２は、この上に形成される下地層１３の結晶性および結晶配向性を高める点で、Ｂ２結晶構造を有する合金、例えば、ＡｌＲｕおよびＮｉＡｌから選択されることが好ましい。
【００１８】
なお、基板１１は、円盤状で、その材料には特に制限はなく、ガラス基板、ＮｉＰめっきアルミ合金基板、シリコン基板、プラスチック基板、セラミックス基板、カーボン基板等を用いることができる。
【００１９】
また、シード層１２を形成する前に基板１１の表面に、周方向に沿って多数の溝からなるテクスチャ（例えば機械的テクスチャ、不図示）を形成してもよい。テクスチャにより、記録層１４の磁化容易軸を周方向の配向性を高めることができる。
【００２０】
次いで、シード層１２上に下地層１３を形成する。下地層１３は、ｂｃｃ結晶構造を有する、Ｃｒ、Ｃｒ−Ｘ1合金（Ｘ1＝Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ｍｏ、およびこれらの合金から選択される一種）から選択される。下地層１３は、Ｃｒ−Ｘ1合金を用いることにより、記録層１４の格子整合性を高めて、結晶性および結晶配向性を高めることができる。
【００２１】
次いで、下地層１３上に記録層１４を形成する。記録層１４はＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ系合金、Ｎｉ系合金、Ｆｅ系合金等の強磁性材料から選択され、厚さが０．５ｎｍ〜２０ｎｍの範囲に設定される。記録層１４は、Ｃｏ系合金のうち、特にＣｏＣｒ、ＣｏＣｒ系合金、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＣｒＴａ系合金、及びＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＰｔ系合金が好ましい。
【００２２】
また、図示を省略するが記録層１４として、上記強磁性材料からなる２つの磁性層と、それらの磁性層に挟まれた例えば膜厚が０．７ｎｍのＲｕ膜からなる積層体を形成してもよい。この積層体は、２つの磁性層が反強磁性的に交換結合するので、情報１ビット当たりの記録単位の体積を正味の磁化の増加を伴わずに記録層の残留磁化が経時的に減少する、いわゆる熱揺らぎの現象を抑制できる。
【００２３】
次いで、記録層１４上に保護膜１５を形成する。保護膜１５は、スパッタ法以外に、化学気相成長（ＣＶＤ）法やＦｉｌｔｅｒｅｄ  Ｃａｔｈｏｄ  Ａｒｃ（ＦＣＡ）法を用いて形成してもよい。保護膜１５は、例えば厚さが０．５ｎｍ〜１０ｎｍ（好ましくは０．５ｎｍから５ｎｍ）の範囲に設定され、例えばダイヤモンドライクカーボン、窒化カーボン、アモルファスカーボンなどにより構成される。
【００２４】
次いで、保護膜１５の表面に潤滑剤を塗布して潤滑層１６を形成する潤滑剤塗布工程を行う（Ｓ１０２）。潤滑層１６は、潤滑剤、例えばパーフルオロポリエーテルを主鎖として末端基が−ＯＨやフェニル基等からなる有機系液体潤滑剤を用いる。潤滑剤塗布工程は、有機系液体潤滑剤を溶媒で希釈した潤滑剤希釈溶液に、保護膜１５を形成した基板１１を浸漬し、基板１１を所定に速度で引き上げる浸漬法を用いる。なお、浸漬法の代わりに、基板１１の位置を変えずに潤滑剤希釈溶液の液面を低下させる液面低下法を用いてもよく、スプレー法やスピンコーティング法を用いてもよい。以上により磁気記録媒体１０が形成される。
【００２５】
なお、潤滑剤を塗布した後に潤滑剤分子の保護膜１５表面への固着率を向上させるために磁気記録媒体１０を加熱処理（加熱温度、例えば２０５℃）してもよい。この加熱処理により後述する磁気ヘッドによる磁気記録媒体走査処理（Ｓ１０４−１）における磁気記録媒体１０からの磁気ヘッドへの移着量を低減できる。
【００２６】
次いで、磁気記録媒体の検査工程（Ｓ１０４）を行う。検査工程は、形成された磁気記録媒体１０を磁気ヘッドによって走査等する磁気記録媒体走査処理（Ｓ１０４−１）、その磁気記録媒体走査処理によって磁気ヘッドに付着した潤滑剤を測定用基板に移着させる移着処理（Ｓ１０４−２）、測定用基板に移着した潤滑剤量およびその分布の測定（Ｓ１０４−３）、および得られた潤滑剤量およびその分布が適正か否かの判定（Ｓ１０４−４）からなる。
【００２７】
図３Ａ〜図３Ｃは検査工程を説明するための図である。以下、図３Ａ〜図３Ｃを図１および図２と共に参照しつつ検査工程を詳細に説明する。
【００２８】
最初に、磁気記録媒体を磁気ヘッドによって走査等する磁気記録媒体走査処理（Ｓ１０４−１）を行う。磁気記録媒体走査処理は磁気記録媒体１０上に磁気ヘッド２１を浮上させ、あるいは磁気記録媒体１０の表面に磁気ヘッド２１を摺動させて行う。
【００２９】
図３Ａに示すように、磁気ヘッド２１のサスペンション２３を位置決め・走査機構２４に取付け、ヘッドスライダ２２を、回転駆動部２５により回転される検査対象の磁気記録媒体１０上を浮上あるいは摺動させる。磁気記録媒体走査処理は、具体的には、潤滑層１６の評価の目的に応じて、コンタクト・スタート&ストップ（ＣＳＳ）試験や、磁気記録媒体１０を回転させて磁気ヘッド２１のロード・アンロードを繰り返すロード・アンロード（Ｈ／ＵＬ）試験や、磁気記録媒体１０の内周−外周間の磁気ヘッド２１のシークを繰り返すシーク試験、さらに高温高湿環境でこれらの試験を行う等の加速試験を行う。これらの試験には公知の試験装置や市販のハードディスク装置を改造して行うことができる。
【００３０】
図４Ａは磁気ヘッドの媒体対向面の平面図である。ここでは、後述する実施例で用いた磁気ヘッドの媒体対向面を示すが、本発明において用いることができる磁気ヘッドがこの構成に限られるものではない。
【００３１】
図４Ａを参照するに、媒体対向面２２ａには凸部として、空気流入端２２ＬＥ側にフロントレール３１、空気流出端２２ＴＥ側にリアセンターレール３２およびリアサイドレール３３が形成されている。なお、リアセンターレール３２にはその空気流出端２２ＴＥ側に記録素子および再生素子からなる素子部３９が設けられている。さらに、凸部として媒体対向面２２ａが磁気記録媒体表面に接触した際に衝撃を弱める共に、媒体対向面２２ａが磁気記録媒体表面に静止した状態で接触した場合に吸着を防止するパッド３４が形成されている。これらの凸部には磁気記録媒体走査処理によって、磁気記録媒体の潤滑層１６の流動し易い部分や、膜厚が部分的に厚い、いわゆるタブ状になっている部分の潤滑剤が付着し易く、凸部の空気流出端２２ＴＥ側の側面にも付着し易い。なお、媒体対向面２２ａには、フロントレール３１から一段下がった位置にフロントレール段差部３５、サイドレール３６、およびセンターレール３７、さらに下がった位置に溝部３８が形成されている。
【００３２】
なお、磁気ヘッド２１が浮上している場合、磁気記録媒体１０との表面との間で空気流入により上記凸部では媒体対向面２２ａは浮上する方向に圧力を受ける。一方、溝部３８では負圧が形成され、媒体対向面が磁気記録媒体側に引き寄せられる。この正圧と負圧のバランスによりヘッドスライダ２２は所定の浮上量で浮上する。
【００３３】
図４Ｂは、磁気ディスク走査処理後の磁気ヘッドの媒体対向面の光学顕微鏡写真である。図４Ｂを参照するに、光学顕微鏡写真では媒体対向面２２ａに潤滑剤の付着は認められない。光学顕微鏡の観察では、保護膜の摩耗粉が混じっているような場合は潤滑剤の付着を観察可能な場合もあるが、付着した潤滑剤を適正且つ正確に観察することができない。
【００３４】
次いで、図３（Ｂ）に示すように、磁気記録媒体走査処理によって媒体対向面２２ａに付着した潤滑剤２８を測定用基板４０に移着させる移着処理を行う（Ｓ１０４−２）。移着処理は、磁気記録媒体走査処理に用いた磁気ヘッド２１を測定用基板４０の表面に密着して静置する。この際、媒体対向面２２ａを平坦な測定用基板４０の表面に均一に接触させることが好ましい。均一に接触させることで潤滑剤が測定用基板４０にむらなく移着し、潤滑剤量の測定がより正確にできる。移着処理は、具体的には、磁気ヘッド２１を位置決め機構２９に取付け、媒体対向面２２ａを測定用基板４０の表面に平行に下ろして密着させ静置する。測定用基板４０は基板４１の表面に図２に示す磁気記録媒体１０の保護膜１５と同様の材料からなる保護膜４２が形成されていることが好ましい。これにより、潤滑剤を円滑に移着できる。測定用基板４０は、図２に示す磁気記録媒体１０でかつ潤滑層１６を形成しないものが好ましい。さらに測定用基板４０の保護膜４２がカーボン膜からなる場合は、その表面が窒化処理され炭窒化表面４２ａが形成されていることが好ましい。これにより、潤滑剤の保護膜４２への付着性が向上するので移着し易くなり、特に保護膜４２表面の窒素量が全体に対して１０ａｔ％〜１５ａｔ％の範囲で設定されることが付着性が特に向上するのでとりわけ好ましい。
【００３５】
磁気ヘッド２１を測定用基板４０の表面に密着して静置する時間は、後ほど実施例において説明するが、６０分間以上であることが好ましい。６０分よりも短くても潤滑剤量の試験を行えるが、６０分間以上静置することで媒体対向面２２ａに付着した略全量の潤滑剤２８を移着できるため、媒体対向面２２ａに移着した潤滑剤量をより正確に測定できる。
【００３６】
また、移着処理の温度は、２０℃〜３０℃の範囲であることが好ましい。２０℃未満では移着し難くなる傾向にあり、３０℃を超えると潤滑剤の流動性が高まり移着後の潤滑剤が測定用基板上で拡散し易くなるため、移着した潤滑剤の分布を正確に測定できなくなる。
【００３７】
次いで、測定用基板に移着した潤滑剤量およびその分布の測定を行う（Ｓ１０４−３）。潤滑剤量の測定は、Ｘ線光電子分光法（ＥＳＣＡ）、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）、および偏光解析法のいずれかの測定方法を用いることができる。これらのうちいずれの測定方法を用いても測定用基板４０の表面が平坦であるので測定が容易になる。例えば、ＥＳＣＡを用いた場合、Ｘ線を照射する位置の焦点合わせが容易になる。また、ＦＴＩＲでは、顕微鏡とＦＴＩＲ装置を組み合わせた顕微ＦＴＩＲを用いるが、潤滑剤量の測定には測定用基板４０の表面に焦点合わせする必要があるが、測定用基板４０が平坦なため焦点合わせが容易になり、さらに潤滑剤量の分布を測定する際にさらに容易性が増す。
【００３８】
また、図３Ｃに示すように、偏光解析法ではレーザ光源４６により測定用基板４０の表面に移着した潤滑剤２８に直線偏光したレーザ光を照射し、反射光を光検出器４８によって検出する。反射光のＰ波とＳ波との反射強度比および位相差、あるいは反射光のＰ波およびＳ波の反射強度および散乱光のＰ波およびＳ波の反射強度により潤滑剤の膜厚を測定する。さらにレーザ光を走査することで潤滑剤の膜厚分布、すなわち、潤滑剤量の分布を測定できる。偏光解析法の測定装置としては、例えばＣａｎｄｅｌａ社（米国）の製品名ＯＳＡ６１００を用いることができる。
【００３９】
図４Ｃは、移着処理後の測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。図４Ｃは上記ＯＳＡ６１００を用いて得られた分布図であり、潤滑剤量（厚さ）の多い部分ほど濃度が濃く表示されている。また、図４Ｃには、測定用基板に接触させた媒体対向面２２ａの外形を破線で示している。なお、潤滑剤量の分布は、図４Ａおよび図４Ｂに示す媒体対向面に対して紙面の上下が逆になる。
【００４０】
図４Ｃを参照するに、３２ＬＵや３３ＬＵで示す部分に潤滑剤量が多くなっている。
これらに部分はそれぞれ図４Ａに示すリアセンターレール３２、リアサイドレール３３が接触した部分である。また、３４ＬＵで示す部分、すなわちパッド３４に接触した部分でも潤滑剤量が多くなっている。これらのことから、磁気記録媒体走査処理によって磁気ヘッドのリアセンターレール３２、リアサイドレール３３、およびパッド３４に潤滑剤が多く付着していたことが分かる。他方、図４Ｂに示す光学顕微鏡写真ではリアセンターレール３２およびリアサイドレール３３に潤滑剤の付着は全く認められず、本検査工程の移着処理および潤滑剤量測定に利点がある。図４Ｃに示す分布図から磁気ヘッドに付着した潤滑量を求めることができる。
【００４１】
次いで、得られた潤滑剤量あるいは潤滑剤分布が適正か否かの判定をする（Ｓ１０４−４）。潤滑剤量あるいは潤滑剤分布が適正か否かの閾値は適宜決定すればよく、例えば、磁気記録媒体走査処理で行ったＣＳＳ試験、Ｈ／ＵＬ試験、シーク試験等に応じて閾値を決定する。なお、通常は潤滑剤量は少ない方が好ましく、適正否かの判定の例としては、"最大潤滑剤の膜厚が所定の閾値と同等かそれよりも小さい"が挙げられる。潤滑剤量あるいは潤滑剤分布が適正である（Ｓ１０４−４のＹｅｓ）場合は検査対象の磁気記録媒体は良品とし、図示されない他の検査工程に進んだり、磁気記憶装置に組み込まれる等する。また、潤滑剤量あるいは潤滑剤分布が適正でない（Ｓ１０４−４のＮｏ）場合は検査対象の磁気記録媒体は不良品として廃棄あるいは熱処理や潤滑層の除去等の再生処理を行う。以上により良品の磁気記録媒体が形成される。
【００４２】
本実施の形態に係る磁気記録媒体の製造方法によれば、磁気ヘッドによる磁気記録媒体走査処理の後に、磁気ヘッドに付着した潤滑剤を測定用基板に移着して、測定用基板上に移着された潤滑剤量あるいはその分布を測定しているので、容易で正確に磁気ヘッドに付着した潤滑剤を検出できる。そのため、容易で正確に磁気記録媒体の検査が可能になり、品質の良好な磁気記録媒体を製造できる。
【００４３】
なお、本実施の形態の検査工程は磁気記録媒体の評価方法としても適用できる。すなわち、図１に示す検査工程（Ｓ１０４）を潤滑剤材料や保護膜材料の評価、あるいは磁気記録媒体の製造条件の評価に適用できる。この評価方法の具体的な内容は上述した通りであるのでその説明を省略する。本評価方法によって、容易で正確に磁気ヘッドに付着した潤滑剤を検出できる。そのため、容易で正確に磁気記録媒体の評価が可能になる。
【００４４】
次に、本実施の形態の実施例を説明する。
【００４５】
実施例１では、図１に示す移着処理（Ｓ１０４−２）における磁気ヘッドの媒体対向面の測定用基板への密着・静置時間を検討した。
【００４６】
図５Ａは、実施例１の移着処理（静置３０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図、図５Ｂは図５Ａの後に別な測定用基板に移着処理（静置３０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。なお、図５Ａおよび図５Ｂにおいて、磁気ヘッドを測定用基板に密着した際の配置は、図４Ｃと略同様である。
【００４７】
図５Ａに示す最初の静置３０分の移着処理、および図５Ｂに示すさらなる静置３０分の移着処理のいずれの場合でも、測定用基板上に潤滑剤の移着、とくにリアセンターレール３２ＬＵの部分に認められる。このことから、静置時間３０分では磁気ヘッドの媒体対向面に付着した潤滑剤の全量を測定用基板に移着されていないことが分かる。
【００４８】
図６Ａは。実施例１の移着処理（静置６０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図、図６Ｂは、図６Ａの後に別な測定用基板に移着処理（静置３０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。なお、図６Ａおよび図６Ｂにおいて、磁気ヘッドを測定用基板に密着した際の方向は、図４Ｃと略同様である。
【００４９】
図６Ａに示す最初の静置６０分の移着処理では測定用基板上に潤滑剤の移着が認められるが、図６Ｂに示すさらなる静置３０分の移着処理では、測定用基板上に潤滑剤の移着はリアセンターレール３２ＬＵの部分であっても微量である。このことから、静置時間を６０分間に設定することで磁気ヘッドの媒体対向面に付着した潤滑剤の略全量を測定用基板に移着できることが分かる。したがって、図１に示す移着処理（Ｓ１０４−２）では、静置時間を６０分間以上にすることで、略全量の潤滑剤を測定用基板に移着でき、このように静置時間を設定することで磁気ヘッドに移着した潤滑剤量がより正確に得られる。
【００５０】
なお、図５Ａ〜図６Ｂの測定は、Ｃａｎｄｅｌａ社（米国）の製品名ＯＳＡ６１００を用いて測定した。また、磁気記録媒体の潤滑層の膜厚を１ｎｍに設定した。なお、これらの条件は次に説明する実施例２でも同様である。
【００５１】
図７Ａは、実施例２の移着処理した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図、図７Ｂは図７ＡのＡ−Ａ線の潤滑剤量の分布を示す図である。なお、図７Ａにおいて磁気ヘッドを測定用基板に密着した際の方向は、図４Ｃと略同様である。
【００５２】
図７Ａおよび図７Ｂを参照するに、リアセンターレール３２ＬＵおよびリアサイドレール３３ＬＵに対応する部分に潤滑剤の移着が認められ、最大潤滑剤の厚さは３ｎｍであることが分かる。このように、潤滑剤量（厚さ）およびその分布を正確に測定可能である。
【００５３】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００５４】
なお、以上の説明に関してさらに以下の付記を開示する。
（付記１）
表面に潤滑層を有する磁気記録媒体の製造方法であって、
潤滑剤を塗布して潤滑層を形成する工程と、
前記潤滑層が形成された磁気記録媒体を検査する検査工程とを備え、
前記検査工程は、
前記磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上させ、あるいは磁気記録媒体の表面に磁気ヘッドを摺動させる第１のステップと、
次いで、前記磁気ヘッドの媒体対向面を平坦な測定用基板の表面に密着すると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から測定用基板に移着させる第２のステップと、
次いで、前記測定用基板の表面の潤滑剤量を測定する第３のステップと、
前記潤滑剤量が適正か否かを判定する第４のステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
（付記２）
前記第２のステップの測定用基板は、その表面にカーボンからなる保護膜を有し、該保護膜が露出してなることを特徴とする付記１記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記３）
前記保護膜の表面が窒化処理されてなることを特徴とする付記２記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記４）
前記保護膜の表面の窒素量が１０ａｔ％〜１５ａｔ％の範囲であることを特徴とする付記３記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記５）
前記第２のステップは、温度が２０℃〜３０℃の範囲で移着させることを特徴とする付記１〜４のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記６）
前記第２のステップは、６０分間以上静置することを特徴とする付記１〜５のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記７）
前記第３のステップは、Ｘ線光電子分光法、フーリエ変換赤外分光法、および偏光解析法のいずれかによって潤滑剤量を測定することを特徴とする付記１〜６のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記８）
前記第３のステップは、媒体対向面の位置と関係づけて潤滑剤量の分布を測定することを特徴とする付記１〜７のうち、いずれか一項記載の磁気記録媒体の製造方法。
（付記９）
表面に潤滑層が形成された磁気記録媒体上に磁気ヘッドを浮上あるいは摺動させる第１のステップと、
次いで、前記磁気ヘッドの媒体対向面を測定用基板の表面に接しせしめると共に静置して、潤滑剤を媒体対向面から測定用基板に移着させる第２のステップと、
次いで、前記測定用基板の表面の潤滑剤量を測定する第３のステップと、
前記潤滑剤量が適正か否かを判定する第４のステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の評価方法。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態に係る磁気記録媒体の製造方法のフロー図である。
【図２】磁気記録媒体の概略断面図である。
【図３Ａ】検査工程の磁気記録媒体走査処理を説明するための図である。
【図３Ｂ】検査工程の潤滑剤の移着処理を説明するための図である。
【図３Ｃ】検査工程の潤滑剤・分布測定を説明するための図である。
【図４Ａ】磁気ヘッドの媒体対向面の平面図である。
【図４Ｂ】磁気ディスク走査処理後の磁気ヘッドの媒体対向面の光学顕微鏡写真である。
【図４Ｃ】移着処理後の測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。
【図５Ａ】実施例１の移着処理（静置３０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。
【図５Ｂ】図５Ａの後に別な測定用基板に移着処理（静置３０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。
【図６Ａ】実施例１の移着処理（静置６０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ａの後に別な測定用基板に移着処理（静置３０分）した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。
【図７Ａ】実施例２の移着処理した測定用基板上の潤滑剤量の分布を示す図である。
【図７Ｂ】図７ＡのＡ−Ａ線の潤滑剤量の分布を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０    磁気記録媒体
１１，４１    基板
１２    シード層
１３    下地層
１４    記録層
１５    保護膜
１６    潤滑層
２１    磁気ヘッド
２２    ヘッドスライダ
２２ａ  媒体対向面
２２ＬＥ    空気流入端
２２ＴＥ    空気流出端
２３    サスペンション
２４    位置決め機構
２５    回転駆動部
３１    フロントレール
３２    リアセンターレール
３３    リアサイドレール
３４    パッド
３５    フロントレール段差部
３６    サイドレール
３７    センターレール
３８    溝部
３９    素子部
４０    測定用基板
４２    保護膜（カーボン膜）
４２ａ  炭窒化表面
４６    レーザ光源
４８    光検出器
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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