(57)【要約】【課題】機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、吐出ヘッドと流路を介して接続され、吐出ヘッドに供給するための機能液を収容する第１空間を形成する第１容器と、第１容器を収容し、第１容器との間で第２空間を形成する第２容器と、第２空間の圧力を調整する圧力調整装置と、第１容器の機能液の温度を調整する温度調整装置とを備える。第１容器の少なくとも一部は、圧力調整装置の動作に応じて変形する膜で形成されている。【選択図】図１
2008161750.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドと流路を介して接続され、前記吐出ヘッドに供給するための前記機能液を収容する第１空間を形成する第１容器と、
前記第１容器を収容し、前記第１容器との間で第２空間を形成する第２容器と、
前記第２空間の圧力を調整する圧力調整装置と、
前記第１容器の機能液の温度を調整する温度調整装置とを備え、
前記第１容器の少なくとも一部は、前記圧力調整装置の動作に応じて変形する膜で形成されている液滴吐出装置。
【請求項２】
前記圧力調整装置は、前記第１容器の機能液の表面と前記吐出ヘッドの吐出口との位置関係に応じて、前記第２空間の圧力を調整する請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第１容器の機能液の表面は、前記吐出ヘッドの吐出口よりも上方に配置され、
前記圧力調整装置は、前記第２空間を減圧する請求項２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記流路に対して前記吐出ヘッドを着脱可能に連結する連結装置を備え、
前記吐出ヘッドが前記流路から外されるときに、前記圧力調整装置は、前記第２空間を減圧する請求項１〜３のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記温度調整装置は、前記第１容器の機能液を冷却する請求項１〜４のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記温度調整装置は、前記第１容器の機能液の温度を、少なくとも前記吐出ヘッドの吐出口の近傍の温度よりも低下させる請求項５記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記第２容器に形成され、前記第２容器の内側の空間と外側の空間とを連通する開口と、前記開口を開閉する開閉機構とを備えた請求項１〜６のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記開口は、前記第１容器を前記第２容器の内側の空間と外側の空間との間で通過させるための第１開口、及び前記第２容器の内側の空間を大気開放するための第２開口の少なくとも一方を含む請求項７記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項記載の液滴吐出装置を用いて基板に液滴を吐出して前記基板にパターンを形成する動作と、
前記基板の液滴を乾燥する動作と、を含むデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、及びデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスパターンを形成するための手法の一つとして、機能液の液滴で基板にパターンを形成する液滴吐出法（インクジェット法）が知られている。下記特許文献には、液滴吐出法に基づいて基板にパターンを形成する液滴吐出装置（インクジェット装置）に関する技術の一例が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−２４８９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
液滴吐出装置は、液滴を吐出する吐出ヘッドと、吐出ヘッドと流路を介して接続され、機能液を収容する空間を形成する容器とを有している。従来より、吐出ヘッドの吐出口からの機能液の漏出等を抑制するために、例えば吐出ヘッドに接続される流路に自己封止バルブ等のバルブ機構を設け、そのバルブ機構を用いて、吐出ヘッドの内部空間の圧力を調整することが行われている。バブル機構を用いる場合、例えばバルブ機構の流路に機能液の一部（例えば機能液の固体成分、溶質）が詰まる等の不具合が生じる可能性がある。そのような不具合が生じた場合、液滴吐出装置は、液滴を良好に吐出できなくなる可能性がある。また、バルブ機構の流路に詰まった機能液の一部が異物となって、製造されるデバイスの性能を劣化させてしまう可能性がある。また、バルブ機構の構造が複雑になると、装置のコストが上昇したり、メンテナンス作業が繁雑となる可能性がある。また、機能液を収容する空間の容器の構造によっては、機能液の物性が変化してしまう可能性がある。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる液滴吐出装置を提供することを目的とする。また、その液滴吐出装置を用いるデバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明は以下の構成を採用する。
【０００６】
本発明の第１の観点によると、機能液の液滴を吐出する吐出口が形成された吐出面を有する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドと流路を介して接続され、前記吐出ヘッドに供給するための前記機能液を収容する第１空間を形成する第１容器と、前記第１容器を収容し、前記第１容器との間で第２空間を形成する第２容器と、前記第２空間の圧力を調整する圧力調整装置と、前記第１容器の機能液の温度を調整する温度調整装置とを備え、前記第１容器の少なくとも一部は、前記圧力調整装置の動作に応じて変形する膜で形成されている液滴吐出装置が提供される。
【０００７】
本発明の第１の観点によれば、少なくとも一部が膜で形成された第１容器に機能液を収容し、その第１容器を第２容器で収容し、第１容器と第２容器との間の第２空間の圧力を圧力調整装置で調整するようにしたので、機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる。第１容器によって形成される第１空間の圧力を、例えば真空システムを含む圧力調整装置によって直接的に調整すると、その第１空間に収容されている機能液の液体成分（例えば分散媒、溶媒）が気化し、機能液の濃度及び／又は粘度が変化する可能性がある。第１空間の圧力を圧力調整装置によって直接的に調整せずに、少なくとも一部が膜で形成された第１容器と第２容器との間の空間の圧力を圧力調整装置によって調整することで、機能液の気化を抑制し、機能液の濃度及び／又は粘度等の物性の変化を抑制しつつ、第１空間を所望の圧力に調整できる。また、機能液の種類によっては、温度の変化によって物性が変化する可能性があるが、温度調整装置を設けたことにより、温度変化に起因する機能液の物性の変化を抑制できる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置において、前記圧力調整装置は、前記第１容器の機能液の表面と前記吐出ヘッドの吐出口との位置関係に応じて、前記第２空間の圧力を調整する構成を採用できる。これによれば、吐出ヘッドの吐出口からの機能液の漏出を抑制しつつ、液滴を所望状態で吐出できる。例えば、流路に機能液が満たされた状態における第１容器の機能液の表面と吐出ヘッドの吐出口との高さ方向（鉛直方向）の位置関係、いわゆる水頭差に応じて、第２空間の圧力を調整することによって、吐出ヘッドの吐出口からの機能液の漏出を抑制しつつ、液滴を所望状態で吐出できる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置において、前記第１容器の機能液の表面は、前記吐出ヘッドの吐出口よりも上方に配置され、前記圧力調整装置は、前記第２空間を減圧する構成を採用できる。これによれば、吐出ヘッドの吐出口からの機能液の漏出を抑制しつつ、液滴を所望状態で吐出できる。例えば、吐出口の近傍の圧力が大気圧である場合、第２空間の圧力を、少なくとも大気圧よりも低下させることによって、吐出ヘッドの吐出口からの機能液の漏出を抑制しつつ、液滴を所望状態で吐出できる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置において、前記流路に対して前記吐出ヘッドを着脱可能に連結する連結装置を備え、前記吐出ヘッドが前記流路から外されるときに、前記圧力調整装置は、前記第２空間を減圧する構成を採用できる。これによれば、機能液の漏出を抑制しつつ、吐出ヘッドを流路から取り外したり、新たな吐出ヘッドと交換したりすることができ、メンテナンス作業等を円滑に実行できる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置において、前記温度調整装置は、前記第１容器の機能液を冷却する構成を採用できる。これによれば、温度変化に起因する機能液の物性の変化を抑制できる。また、液滴吐出装置の稼動が長期間停止する場合（吐出ヘッドの吐出口からの液滴吐出動作が長期間停止する場合）においても、第１容器の機能液を冷却し続けることで、機能液の物性の変化を抑制できる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置において、前記温度調整装置は、前記第１容器の機能液の温度を、少なくとも前記吐出ヘッドの吐出口の近傍の温度よりも低下させる構成を採用できる。これによれば、温度変化に起因する機能液の物性の変化を抑制しつつ、吐出ヘッドの吐出口より所望状態の液滴を吐出できる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置において、前記第２容器に形成され、前記第２容器の内側の空間と外側の空間とを連通する開口と、前記開口を開閉する開閉機構とを備えた構成を採用できる。これによれば、開口を介して、種々の物体（媒体）を第２容器の内側の空間と外側の空間との間で出し入れできる。また、第２容器の内側の空間の圧力を調整するときには、開閉機構によって開口を閉じることによって、第２容器の内側の空間の圧力を良好に調整できる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置において、前記開口は、前記第１容器を前記第２容器の内側の空間と外側の空間との間で通過させるための第１開口、及び前記第２容器の内側の空間を大気開放するための第２開口の少なくとも一方を含む構成を採用できる。これによれば、第１開口を介して、第１容器を交換できる。また、第１容器が通過可能な第１開口とは別の第２開口を設けることによって、例えば第２空間が減圧されている状態でも、開閉機構を操作して、第２開口を介して第２容器の内側の空間と外側の空間とを連通することによって、第２空間を大気開放できる。これにより、第１容器の交換動作を円滑に実行できる。
【００１５】
本発明の第２の観点によると、上述の液滴吐出装置を用いて基板に液滴を吐出して前記基板にパターンを形成する動作と、前記基板の液滴を乾燥する動作と、を含むデバイスの製造方法が提供される。
【００１６】
本発明の第２の観点によれば、機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる液滴吐出装置を用いて、所望の性能を有するデバイスを製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１８】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪを示す概略構成図、図２は、第１実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪの一部を示す斜視図である。
【００１９】
液滴吐出装置ＩＪは、機能液の液滴Ｄを基板Ｐに吐出することによって、基板Ｐにデバイスパターンを形成する。液滴吐出装置ＩＪは、機能液の液滴Ｄを吐出する吐出口１が形成された吐出面２を有する吐出ヘッド３と、吐出面２と対向する第１位置Ａ１を含む所定領域で吐出ヘッド３に対して移動可能であり、Ｙ軸に沿って配置された複数の移動体４、５、６、７と、複数の移動体４、５、６、７をＹ軸に沿って移動させる駆動装置８と、吐出ヘッド３に流路を介して接続され、吐出ヘッド３に供給するための機能液を収容する機能液収容装置９と、液滴吐出装置ＩＪ全体の動作を制御する制御装置１０とを備えている。
【００２０】
本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、複数の吐出ヘッド３を備えたマルチヘッドタイプの液滴吐出装置であり、複数の吐出ヘッド３を支持するキャリッジ部材１１を有する。また、液滴吐出装置ＩＪは、吐出ヘッド３の駆動を制御する駆動回路を含む制御器１２を有する。制御器１２は、制御装置１０の指令に基づいて、吐出ヘッド３を駆動する。
【００２１】
本実施形態において、基板Ｐは、例えば特開２００６−１１４５９３号公報、特開２００６−２６１１４６号公報等に開示されているような、低温同時焼成セラミックス（ＬＴＣＣ：Low Temperature Co-fired Ceramics）多層回路基板を形成するための基板であって、焼成前のＬＴＣＣ基板（グリーンシート）を含む。また、機能液は、例えば特開２００５−３４８３７号公報に開示されているような、導電性微粒子を所定の分散媒に分散したものを含む。本実施形態においては、機能液の導電性微粒子は、銀の微粒子（有機銀化合物、酸化銀ナノ粒子を含む）を主成分とし、分散媒は、水を主成分とする。本実施形態においては、液滴吐出装置ＩＪが、焼成前のＬＴＣＣ基板（グリーンシート）に、銀の微粒子を含む機能液の液滴Ｄを吐出して、その液滴Ｄで基板（グリーンシート）に配線パターンを形成する場合を例にして説明する。
【００２２】
液滴吐出装置ＩＪは、少なくとも３つの移動体を有する。本実施形態においては、液滴吐出装置ＩＪは、４つの移動体４、５、６、７を有する。第１移動体４は、Ｙ軸に沿って配置された４つの移動体のうち、最も−Ｙ側に配置されており、第４移動体７は、最も＋Ｙ側に配置されている。すなわち、第１移動体４と第２移動体７とは、Ｙ軸に沿って配置された４つの移動体４、５、６、７のうち、Ｙ軸方向に関して両端に配置されている。第２移動体５及び第３移動体６は、第１移動体４と第４移動体７との間に配置されている。第２移動体５は、第３移動体６の−Ｙ側に配置されている。
【００２３】
第１移動体４は、液滴Ｄでパターンが形成される基板Ｐを保持しながら移動可能である。第２、第３、第４移動体５、６、７は、吐出ヘッド３をメンテナンスするメンテナンス装置を含む。本実施形態においては、第２移動体５は、吐出ヘッド３の吐出面２を覆うキャッピング装置１３を含む。第３移動体６は、吐出ヘッド３の吐出面２の異物を払うワイピング装置１４を含む。第４移動体７は、吐出ヘッド３の少なくとも一部を機能液以外の液体に浸ける浸漬装置１５を含む。
【００２４】
液滴吐出装置ＩＪは、各移動体４、５、６、７を移動可能に支持する支持面１６を有するベース部材１７を備えている。各移動体４、５、６、７のそれぞれは、支持面１６に沿って移動可能である。本実施形態においては、支持面１６は、ＸＹ平面とほぼ平行である。また、本実施形態においては、ベース部材１７の支持面１６と、その支持面１６と対向する各移動体４、５、６、７の対向面との間にエアベアリングが形成されている。各移動体４、５、６、７は、エアベアリングにより、支持面１６に対して非接触で支持される。
【００２５】
また、液滴吐出装置ＩＪは、複数の移動体４、５、６、７のＹ軸方向への移動を案内するガイド部材１８を備えている。ガイド部材１８は、Ｙ軸方向に長い棒状の部材であり、支持面１６の上に配置されている。本実施形態においては、ガイド部材１８の両端は、ガイド部材１８の外側に配置された支持部材１９で支持されている。支持部材１９は、床面２０に支持されている。また、ベース部材１７は、床面２０に支持されている支持部材２１で支持されている。
【００２６】
本実施形態においては、駆動装置８は、リニアモータを含み、複数の移動体４、５、６、７のそれぞれを独立して移動可能である。駆動装置８は、ガイド部材１８に配置されたリニアモータの固定子２２と、ガイド部材１８と対向する各移動体４、５、６、７の対向面のそれぞれに配置されたリニアモータの可動子２３、２４、２５、２６とを有する。制御装置１０は、リニアモータを含む駆動装置８を用いて、各移動体４、５、６、７のそれぞれをベース部材１７上で独立して移動可能である。
【００２７】
また、液滴吐出装置ＩＪは、吐出ヘッド３と別の位置に配置され、第１移動体４に基板Ｐを搬入する動作、及び第１移動体４から基板Ｐを搬出する動作の少なくとも一方を実行する基板搬送装置２７を備えている。基板搬送装置２７の近傍には、基板Ｐを収容可能な基板収容装置２８が配置されている。
【００２８】
基板搬送装置２７は、Ｙ軸方向に関して第１位置Ａ１と異なる第２位置Ａ２に配置された第１移動体４に基板Ｐを搬入する動作、及び第１移動体４から基板Ｐを搬出する動作の少なくとも一方を実行する。第１位置Ａ１と第２位置Ａ２とは、Ｙ軸方向に関して離れている。本実施形態においては、第１位置Ａ１は、第２位置Ａ２の＋Ｙ側の位置である。第１移動体４は、吐出ヘッド３の吐出面２と対向する第１位置Ａ１と、基板搬送装置２７の近傍の第２位置Ａ２との間を、ベース部材１７の支持面１６に沿って移動可能である。
【００２９】
基板搬送装置２７は、例えば基板収容装置２８に収容されている基板Ｐを、第２位置Ａ２に配置された第１移動体４に搬入可能である。また、基板搬送装置２７は、第２位置Ａ２に配置された第１移動体４より基板Ｐを搬出し、基板収容装置２８に収容可能である。
【００３０】
また、本実施形態においては、液滴吐出装置ＩＪは、第１移動体４の移動経路の少なくとも一部に配置され、第１移動体４の熱の周囲への放散を遮る断熱部材２９を備えている。断熱部材２９は、第１移動体４を含む各移動体５、６、７の移動を妨げないように、ベース部材１７の所定位置に取り付けられている。
【００３１】
また、液滴吐出装置ＩＪは、上述の吐出ヘッド３、キャリッジ部材１１、移動体４、５、６、７、ベース部材１７、ガイド部材１８、基板搬送装置２７、基板収容装置２８、断熱部材２９、機能液収容装置９、制御器１２、及び制御装置１０等の各機器、部材等を収容するチャンバ本体３０と、チャンバ本体３０の内側の空間の環境（圧力、温度、湿度、クリーン度等）を調整可能な空調装置３１とを有するチャンバ装置３２を備えている。
【００３２】
本実施形態においては、チャンバ装置３２は、少なくとも吐出口１の近傍の圧力がほぼ大気圧となるように、チャンバ本体３０の内側の空間の圧力を調整する。また、本実施形態においては、チャンバ装置３２は、少なくとも吐出口１の近傍の温度がほぼ常温（例えば２２℃）となるように、チャンバ本体３０の内側の空間の温度を調整する。
【００３３】
図３及び図４を参照しながら、吐出ヘッド３について説明する。図３は、キャリッジ部材１１に支持された複数の吐出ヘッド３を下側から見た図、図４は、吐出ヘッド３の構造の一例を説明するための断面図である。
【００３４】
本実施形態の吐出ヘッド３は、ピエゾ素子（圧電素子）３３に所定の駆動信号を供給して、そのピエゾ素子３３を変形させることによって、機能液を収容した空間３４の圧力を可撓性の振動板（膜）３５を介して変動させ、その圧力の変動を利用して、吐出口１より機能液の液滴Ｄを吐出する、いわゆる電気機械変換方式の吐出ヘッドである。制御器１２は、制御装置１０の指令に基づいて、吐出ヘッド３を駆動する。制御器１２は、吐出ヘッド３のピエゾ素子３３に所定の駆動信号を供給して、その駆動信号に応じた大きさの液滴Ｄを吐出口１のそれぞれより吐出可能である。
【００３５】
図３に示すように、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、複数の吐出ヘッド３を有する。複数の吐出ヘッド３は、キャリッジ部材１１に支持されている。吐出ヘッド３は、機能液の液滴Ｄを吐出する吐出口（吐出ノズル）１が形成された吐出面（ノズル形成面）２を有する。吐出面２は、所定方向に長い形状（本実施形態においてはほぼ長方形状）を有する。吐出口１は、吐出面２において、所定方向（吐出面２の長手方向）に沿って複数形成されている。本実施形態においては、複数の吐出口１が並ぶ所定方向は、ＸＹ平面内においてＸ軸方向に対して傾斜する方向である。
【００３６】
図４に示すように、吐出ヘッド３は、ヘッド本体３６と、ヘッド本体３６の下端に配置されたプレート部材（ノズルプレート）３７とを有する。吐出口１は、プレート部材３７に形成されている。プレート部材３７は、上下方向に貫通する孔を複数有する。吐出口１は、その孔の下端に配置されている。吐出面２は、プレート部材３７に配置されている。
【００３７】
本実施形態においては、吐出ヘッド３（プレート部材３７）の吐出面２は、下側（−Ｚ側）に向いている。吐出ヘッド３からの液滴Ｄが吐出（供給）される基板Ｐの表面は、吐出ヘッド３の吐出面２と対向するように、上側（＋Ｚ側）に向いている。第１移動体４は、基板Ｐの表面が上側（＋Ｚ側）を向くように、基板Ｐを保持する。また、吐出ヘッド３の吐出面２は、ＸＹ平面とほぼ平行である。第１移動体４は、基板Ｐの表面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、基板Ｐを保持する。制御装置１０は、吐出ヘッド３の吐出面２と第１移動体４に保持された基板Ｐの表面との間の距離（プラテンギャップ）を所定の値（例えば６００μｍ）に維持した状態で、吐出口１より基板Ｐに液滴Ｄを吐出する。
【００３８】
また、吐出ヘッド３は、プレート部材３７（吐出口１）の上方に形成されたキャビティ（空間）３４と、キャビティ３４の上方に配置された可撓性の板（振動板）３５と、振動板３５の上方に配置されたピエゾ素子３３とを有する。キャビティ３４は、複数の吐出口１のそれぞれに対応するように複数形成されている。キャビティ３４は、流路を介して機能液収容装置９と接続される。キャビティ３４は、機能液収容装置９からの機能液を収容し、吐出口１に供給する。
【００３９】
振動板３５は、上下方向に振動することによって、キャビティ３４の圧力（容積）を変動可能である。ピエゾ素子３３は、振動板３５を上下方向に振動可能である。ピエゾ素子３３は、複数の吐出口１のそれぞれに対応するように複数配置されている。ピエゾ素子３３は、制御器１２からの駆動信号に基づいて振動板３５を振動させ、キャビティ３４の圧力を変動させることによって、吐出口１より機能液の液滴Ｄを吐出させる。
【００４０】
また、制御器１２は、例えば特開２００１−５８４３３号公報に開示されているように、ピエゾ素子３３に供給する駆動信号（駆動波形）を調整して、吐出口１のそれぞれから吐出される液滴Ｄの量（大きさ、体積）を調整可能である。
【００４１】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、複数の吐出ヘッド３を、それら複数の吐出ヘッド３の位置がほぼ動かないように保持する保持装置３８を備えている。保持装置３８は、キャリッジ部材１１と、そのキャリッジ部材１１を支持する支持機構３９とを含む。本実施形態においては、支持機構３９は、チャンバ本体３０の天井面（内面）に固定されている。すなわち、本実施形態においては、複数の吐出ヘッド３は、キャリッジ部材１１及び支持機構３９を含む保持装置３８を介して、チャンバ本体３０の天井面（内面）に対してほぼ動かないように保持されている。
【００４２】
本実施形態においては、支持機構３９は、キャリッジ部材１１を微動可能なアクチュエータを含む。支持機構３９は、キャリッジ部材１１を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に微動可能である。
【００４３】
次に、図５を参照しながら、第１移動体４について説明する。図５（Ａ）は、第１移動体４を示す斜視図、図５（Ｂ）は、第１移動体４を−Ｙ側から見た図である。
【００４４】
第１移動体４は、液滴Ｄでパターンが形成される基板Ｐを保持しながら移動可能である。第１移動体４は、リニアモータの可動子２３を有する第１可動部材４０と、第１可動部材４０に搭載され、基板Ｐを保持する保持機構４１を有するホルダ部材４２とを備える。ベース部材１７の支持面１６と対向する第１可動部材４０の下面には、エアベアリング４３が形成されている。第１可動部材４０は、エアベアリング４３により、支持面１６に対して非接触で支持される。第１移動体４のホルダ部材４２は、基板Ｐの表面と吐出ヘッド３の吐出面２とが対向するように、且つ、基板Ｐの表面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、基板Ｐを保持する。
【００４５】
上述のように、本実施形態の基板Ｐはグリーンシートを含み、そのグリーンシートには厚み方向に貫通する孔（ビア）が形成されている。基板Ｐ（グリーンシート）の裏面には、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で形成されたフィルムＦが貼り付けられており、第１移動体４のホルダ部材４２は、フィルムＦに支持された状態の基板Ｐを保持する。すなわち、本実施形態においては、第１移動体４のホルダ部材４２は、フィルムＦを介して基板Ｐ（グリーンシート）を保持する。
【００４６】
第１可動部材４０の下面には、ガイド部材１８を配置可能な凹部４４が形成されている。第１可動部材４０の凹部４４の内面は、ガイド部材１８と対向する。上述のように、ガイド部材１８には、リニアモータの固定子２２が配置されている。ガイド部材１８と対向する第１可動部材４０の凹部４４の内面には、リニアモータの可動子２３が配置される。固定子２２及び可動子２３を含む駆動装置８は、第１可動部材４０をＹ軸方向に移動可能である。また、第１可動部材４０のＹ軸方向への移動に伴って、その第１可動部材４０に搭載されているホルダ部材４２（基板Ｐ）も、第１可動部材４０と一緒にＹ軸方向に移動する。
【００４７】
本実施形態においては、第１可動部材４０とホルダ部材４２との間には、複数のアクチュエータ４５が配置されている。アクチュエータ４５は、例えばピエゾ素子を含む。制御装置１０は、これらアクチュエータ４５を制御することによって、第１可動部材４０上で、基板Ｐを保持したホルダ部材４２を移動（微動）可能である。本実施形態においては、基板Ｐを保持したホルダ部材４２は、アクチュエータ４５によって、第１可動部材４０上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動（微動）可能である。
【００４８】
吐出ヘッド３から吐出された液滴Ｄを基板Ｐに供給するために、制御装置１０は、駆動装置８を用いて第１移動体４を移動して、吐出ヘッド３の吐出面２と対向する第１位置Ａ１に、第１移動体４（ホルダ部材４２）に保持されている基板Ｐを配置する。また、制御装置１０は、第１可動部材４０とホルダ部材４２との間に配置されているアクチュエータ４５を用いて、吐出面２の吐出口１から吐出された液滴Ｄが基板Ｐの所定位置に供給されるように、吐出ヘッド３の吐出面２と第１移動体４に保持されている基板Ｐの表面との間の距離（プラテンギャップ）、吐出ヘッド３の吐出面２と第１移動体４に保持されている基板Ｐの表面との傾斜方向（θＸ、θＹ方向）の位置関係、及び回転方向（θＺ方向）の位置関係を調整する。制御装置１０は、アクチュエータ４５を用いて、吐出ヘッド３の吐出面２と基板Ｐの表面とがほぼ平行となるように、且つ、プラテンギャップが所定の値になるように、吐出ヘッド３の吐出面２と第１移動体４に保持されている基板Ｐの表面との位置関係を調整する。
【００４９】
また、本実施形態においては、吐出ヘッド３の吐出面２と対向可能なホルダ部材４２の上面のうち、基板Ｐを保持する保持機構４１のＹ軸方向両側には、フラッシング領域４６が設けられている。フラッシング領域４６は、吐出ヘッド３の吐出口２から吐出された液滴Ｄを吸収可能な多孔部材の上面で形成されている。多孔部材は、例えばスポンジ状の部材を含む。制御装置１０は、吐出ヘッド３より基板Ｐに液滴Ｄを供給する前に、吐出ヘッド３の吐出口１とホルダ部材４２のフラッシング領域４６とを対向させた状態で、吐出口１より液滴Ｄを予め吐出する動作、いわゆるフラッシング動作を実行する。
【００５０】
また、第１移動体４は、基板Ｐを加熱する加熱装置４７を有する。加熱装置４７は、ホルダ部材４２に設けられている。制御装置１０は、ホルダ部材４２の加熱装置４７を用いて、そのホルダ部材４２に保持されている基板Ｐを加熱可能である。
【００５１】
加熱装置４７は、吐出ヘッド３の吐出口１より吐出され、基板Ｐに供給された（接触した）液滴Ｄに含まれる液体成分を瞬時に気化可能である。液滴吐出装置ＩＪは、加熱装置４７を用いて基板Ｐを加熱しつつ、その加熱された基板Ｐに吐出ヘッド３の吐出口１より液滴Ｄを供給することによって、基板Ｐに接触した液滴Ｄを瞬時に乾燥可能である。
【００５２】
また、基板Ｐを加熱しつつ、その基板Ｐに液滴Ｄを供給することにより、ピニング現象を生じさせることができる。基板Ｐに供給された後の液滴Ｄの乾燥過程においては、液滴Ｄの周縁部における固形分濃度が飽和濃度に達すると、その周縁部において固形分が局所的に析出する。すると、その析出した固形分によって液滴Ｄの周縁部がピン止めされたような状態となり、それ以降の乾燥に伴う液滴Ｄの収縮（外径の収縮）が抑制される。このような、周縁部に析出した固形分によって乾燥に伴う液滴Ｄの収縮が抑制される現象（ピニング現象）を生じさせることによって、基板Ｐに形成されるパターン（本実施形態においては配線パターン）のエッジ（外形）を良好に規定することができる。
【００５３】
なお、例えば特開２００５−２８２７６号公報、特開２００５−１４４３２４号公報等に開示されているように、基板Ｐの表面に配置された液滴Ｄの乾燥条件、対流条件等を調整して、基板Ｐに吐出（供給）された液滴Ｄに、ピニング現象を生じさせるようにしてもよい。
【００５４】
以下の説明において、第１移動体４の基板Ｐを第１位置Ａ１に配置して、その基板Ｐにパターンを形成するための液滴Ｄを吐出口１より吐出する処理を適宜、パターン形成処理、と称する。
【００５５】
次に、図６及び図７を参照しながら、第２移動体５について説明する。図６は、第２移動体５を−Ｘ側から見た図、図７は、第２移動体５の動作の一例を説明するための図である。第２移動体５は、吐出ヘッド３の吐出面２を覆うキャッピング装置１３を含む。
【００５６】
キャッピング装置１３は、吐出ヘッド３の吐出面２を覆うキャップ部材４８を備える。キャップ部材４８は、吐出ヘッド３と対向可能な上面と、その上面に形成され、吐出ヘッド３の吐出面２との間で密閉された空間４９を形成可能なキャップ部５０とを有する。キャップ部５０は、キャップ部材４８の上面に形成された凹部（溝）を含み、その凹部によって、吐出ヘッド３の吐出面２との間で空間４９を形成可能である。キャップ部５０は、複数の吐出ヘッド３に対応するように、複数設けられている。
【００５７】
図７に示すように、キャッピング装置１３は、吐出ヘッド３の吐出面２の全てをキャップ部（凹部）５０の内側に配置可能である。キャッピング装置１３は、例えばキャップ部（凹部）５０の内側面の上端と、吐出面２の外側の吐出ヘッド３（プレート部材３７）の側面とを接触させることによって、空間４９を形成する。
【００５８】
また、キャッピング装置１３は、キャップ部（凹部）５０の底面に形成され、空間４９の流体を吸引可能な吸引口５３と、吸引口５３と流路５４を介して接続された真空システム５５とを有する。
【００５９】
第２移動体５は、リニアモータの可動子２４を有する第２可動部材５１を有し、キャッピング装置１３のキャップ部材４８は、第２可動部材５１上に搭載されている。上述の第１可動部材４０と同様、ベース部材１７の支持面１６と対向する第２可動部材５１の下面にはエアベアリングが形成されており、第２可動部材５１は、支持面１６に対して非接触で支持される。また、上述の第１可動部材４０と同様、第２可動部材５１の下面には、ガイド部材１８を配置可能な凹部が形成されており、可動子２４は、ガイド部材１８と対向する第２可動部材５１の凹部の内面に配置されている。固定子２２及び可動子２４を含む駆動装置８は、第２可動部材５１をＹ軸方向に移動可能である。また、第２可動部材５１のＹ軸方向への移動に伴って、その第２可動部材５１に搭載されているキャッピング装置１３のキャップ部材４８も、第２可動部材５１と一緒にＹ軸方向に移動する。
【００６０】
また、上述の第１移動体４と同様、第２可動部材５１とキャップ部材４８との間には複数のアクチュエータ５２が配置されている。制御装置１０は、これらアクチュエータ５２を制御することによって、第２可動部材５１上で、キャップ部材４８を移動（微動）可能である。本実施形態においては、キャップ部材４８は、アクチュエータ５２によって、第２可動部材５１上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動（微動）可能である。
【００６１】
キャップ部材４８で吐出ヘッド３の吐出面２を覆うために、制御装置１０は、駆動装置８を用いて第２移動体５を移動して、吐出ヘッド３の吐出面２と対向する第１位置Ａ１に、第２移動体５のキャッピング装置１３を配置する。そして、制御装置１０は、第２可動部材５１とキャップ部材４８との間に配置されているアクチュエータ５２を用いて、吐出ヘッド３の吐出面２とキャップ部材４８のキャップ部５０との間に空間４９が形成されるように、吐出ヘッド３の吐出面２とキャップ部材４８のキャップ部５０との位置関係を調整する。例えば、制御装置１０は、アクチュエータ５２を用いて、キャップ部材５１を＋Ｚ方向に移動する。これにより、吐出面２がキャップ部５０の内側に配置され、キャップ部５０の内側面の上端と、吐出面２の外側の吐出ヘッド３（プレート部材３７）の側面とが接触し、空間４９が形成される。
【００６２】
キャッピング装置１３は、吐出ヘッド３の吐出面２とキャップ部５０との間で空間４９を形成した状態で、真空システム５５を駆動することによって、空間４９の流体を吸引口５３を介して吸引可能である。キャッピング装置１３は、吸引口５３より空間４９の流体（主に気体）を吸引して、空間４９を負圧にすることができる。キャッピング装置１３は、空間４９を負圧にすることによって、キャビティ３４等、吐出ヘッド３の内部の機能液を、吐出口１を介して吸引可能である。キャッピング装置１３は、空間４９の流体を吸引することによって、吐出ヘッド３の内部において、吐出口１に向かう機能液の流れを生成できる。
【００６３】
なお、図６及び図７を参照して説明したキャッピング装置１３は、主に吐出ヘッド３の機能液を吸引する吸引機能を有するが、吐出面２（吐出口１）の乾燥を抑制する機能（保湿機能）を有していてもよい。例えば、キャップ部５０の内側に湿った多孔部材（メッシュ部材）を配置し、その湿った多孔部材を含むキャップ部５０と吐出ヘッド３の吐出面２とを対向させることによって、吐出面２の乾燥を抑制できる。すなわち、吐出面２とキャップ部５０とで形成される空間４９の内側に、湿った多孔部材を配置することによって、吐出面２の乾燥を抑制できる。
【００６４】
以下の説明において、第２移動体５を第１位置Ａ１に配置して、吐出面２とキャップ部５０とを対向させて、吐出面２をキャップ部材４８で覆う処理を適宜、キャッピング処理、と称する。
【００６５】
次に、図８及び図９を参照しながら、第３移動体６について説明する。図８は、第３移動体６を−Ｘ側から見た図、図９は、第３移動体６の動作の一例を説明するための図である。第３移動体６は、吐出ヘッド３の吐出面２の異物を払うワイピング装置１４を含む。吐出ヘッド３の吐出面２の異物は、液滴を含む。液滴は、機能液の液滴Ｄ、及び浸漬装置１５の液体の液滴の少なくとも一方を含む。
【００６６】
ワイピング装置１４は、吐出ヘッド３の吐出面２と対向した状態で、吐出面２に対して相対的に移動可能なワイピング面５６を有するワイピング部材５７と、ワイピング部材５７のワイピング面５６を移動するための駆動機構５８と、ワイピング部材５７及び駆動機構５８を収容するハウジング部材５９とを有する。
【００６７】
ワイピング部材５７の少なくとも一部は、吐出ヘッド３と対向可能なハウジング部材５９の上面に形成された開口６０より露出（突出）しており、吐出ヘッド３の吐出面２と対向可能である。ワイピング装置１４は、吐出ヘッド３の吐出面２とワイピング部材５７のワイピング面５６とを対向させた状態で、吐出面２に対してワイピング部材５７のワイピング面５６を移動することによって、そのワイピング面５６で吐出ヘッド３の吐出面２に付着している異物を払う（除去する）ことができる。
【００６８】
本実施形態においては、ワイピング部材５７はシート状の部材である。ワイピング部材５７は、液体を吸収可能な材料で形成されている。ワイピング部材５７は、例えば不織布を含む。なお、ワイピング部材５７は、例えばポリエステル等の織布であってもよい。液体を吸収可能な材料でワイピング部材５７を形成することによって、吐出ヘッド３の吐出面２に付着している異物が液滴である場合、その液滴（異物）を良好に除去できる。
【００６９】
ワイピング部材５７のワイピング面５６を移動するための駆動機構５８は、ワイピング部材５７を支持しながら回転する複数のローラを有する。駆動機構５８は、ハウジング部材５９の内側に配置され、シート状のワイピング部材５７を繰り出す繰り出しローラ６１と、ワイピング部材５７を巻き取る巻き取りローラ６２と、吐出ヘッド３の吐出面２に最も近い位置に配置され、吐出ヘッド３の吐出面２と対向するワイピング部材５７のワイピング面５６と反対側の面を支持する支持ローラ６３とを有する。繰り出しローラ６１、及び巻き取りローラ６２のそれぞれは、回転モータ等のアクチュエータ６４、６５によって回転する。ワイピング装置１４は、アクチュエータ６４、６５を制御して、ワイピング部材５７のワイピング面５６を所定速度で移動（走行）させる。また、駆動機構５８は、ワイピング部材５７の移動（走行）を案内するガイドローラ、及びワイピング部材５７の張力を調整可能なテンションローラを備える。
【００７０】
第３移動体６は、リニアモータの可動子２５を有する第３可動部材６６を有し、ワイピング装置１４のハウジング部材５９は、第３可動部材６６上に搭載されている。上述の第１可動部材４０と同様、ベース部材１７の支持面１６と対向する第３可動部材６６の下面にはエアベアリングが形成されており、第３可動部材６６は、支持面１６に対して非接触で支持される。また、上述の第１可動部材４０と同様、第３可動部材６６の下面には、ガイド部材１８を配置可能な凹部が形成されており、可動子２５は、ガイド部材１８と対向する第３可動部材６６の凹部の内面に配置されている。固定子２２及び可動子２５を含む駆動装置８は、第３可動部材６６をＹ軸方向に移動可能である。また、第３可動部材６６のＹ軸方向への移動に伴って、その第３可動部材６６に搭載されているワイピング装置１４のハウジング部材５９も、第３可動部材６６と一緒にＹ軸方向に移動する。
【００７１】
また、上述の第１移動体４と同様、第３可動部材６６とハウジング部材５９との間には複数のアクチュエータ６７が配置されている。制御装置１０は、これらアクチュエータ６７を制御することによって、第３可動部材６６上で、ハウジング部材５９を移動（微動）可能である。本実施形態においては、ハウジング部材５９は、アクチュエータ６７によって、第３可動部材６６上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動（微動）可能である。また、ワイピング装置１４のワイピング部材５７及びローラを含む駆動機構５８は、ハウジング部材５９の移動に伴って、第３可動部材６６上で、ハウジング部材５９と一緒に移動する。
【００７２】
ワイピング部材５７で吐出ヘッド３の吐出面２の異物を払うために、制御装置１０は、駆動装置８を用いて第３移動体６を移動して、吐出ヘッド３の吐出面２と対向する第１位置Ａ１に、第３移動体６のワイピング装置１４を配置する。そして、制御装置１０は、第３可動部材６６とハウジング部材５９との間に配置されているアクチュエータ６７を用いて、ワイピング面５６で吐出面２の異物を払うことができるように、吐出ヘッド３の吐出面２と支持ローラ６３に支持されている部分のワイピング部材５７のワイピング面５６との位置関係を調整する。例えば、制御装置１０は、アクチュエータ６７を用いて、ハウジング部材５９をＺ軸方向に移動する。ハウジング部材５９のＺ軸方向の移動に伴って、ワイピング部材５７を支持する支持ローラ６３もＺ軸方向に移動する。制御装置１０は、アクチュエータ６７を用いて、吐出ヘッド３の吐出面２と支持ローラ６３に支持されている部分のワイピング部材５７のワイピング面５６との間のＺ軸方向の距離（ギャップ）を調整する。そして、制御装置１０は、繰り出しローラ６１、及び巻き取りローラ６２を駆動して、吐出ヘッド３の吐出面２に対してワイピング部材５７のワイピング面５６を移動（走行）させる。これにより、ワイピング装置１４は、吐出ヘッド３の吐出面２に付着している異物を払う（除去する）ことができる。
【００７３】
以下の説明において、第３移動体６を第１位置Ａ１に配置して、吐出面２とワイピング面５６とを対向させて、吐出面２の異物を払う処理を適宜、ワイピング処理、と称する。
【００７４】
次に、図１０及び図１１を参照しながら、第４移動体７について説明する。図１０は、第４移動体７を−Ｘ側から見た図、図１１は、第４移動体７の動作の一例を説明するための図である。第４移動体７は、吐出ヘッド３の少なくとも一部を機能液以外の液体に浸ける浸漬装置１５を含む。
【００７５】
浸漬装置１５は、液体を収容する容器６８を備える。浸漬装置１５の液体は、吐出ヘッド３の少なくとも一部をクリーニングするためのクリーニング用液体、及び吐出ヘッド３の少なくとも一部を冷却するための冷却用液体の少なくとも一方を含む。浸漬装置１５の容器６８の上部には開口６９が形成されており、吐出ヘッド３は、その開口６９を介して、容器６８の内側の空間に移動可能（進入可能）である。制御装置１０は、吐出ヘッド３を浸漬装置１５の容器６８の内側の空間に配置して液体に浸けることによって、吐出面２、吐出口１等、吐出ヘッド３の少なくとも一部をクリーニングしたり、冷却したりすることができる。
【００７６】
浸漬装置１５の液体として、例えば機能液の分際媒を用いることができる。本実施形態の分散媒は、水を主成分とした液体であるため、浸漬装置１５の液体として、水、もしくは水を主成分とした液体を用いることができる。これにより、吐出面２、吐出口１等、吐出ヘッド３の少なくとも一部をクリーニングしたり、冷却したりすることができる。
【００７７】
第４移動体７は、リニアモータの可動子２６を有する第４可動部材７０を有し、浸漬装置１５の容器６８は、第４可動部材７０上に搭載されている。上述の第１可動部材４０と同様、ベース部材１７の支持面１６と対向する第４可動部材７０の下面にはエアベアリングが形成されており、第４可動部材７０は、支持面１６に対して非接触で支持される。また、上述の第１可動部材４０と同様、第４可動部材７０の下面には、ガイド部材１８を配置可能な凹部が形成されており、可動子２６は、ガイド部材１８と対向する第４可動部材７０の凹部の内面に配置されている。固定子２２及び可動子２６を含む駆動装置８は、第４可動部材７０をＹ軸方向に移動可能である。また、第４可動部材７０のＹ軸方向への移動に伴って、その第４可動部材７０に搭載されている浸漬装置１５の容器６８も、第４可動部材７０と一緒にＹ軸方向に移動する。
【００７８】
また、上述の第１移動体４と同様、第４可動部材７０と容器６８との間には複数のアクチュエータ７１が配置されている。制御装置１０は、これらアクチュエータ７１を制御することによって、第４可動部材７０上で、容器６８を移動（微動）可能である。本実施形態においては、容器６８は、アクチュエータ７１によって、第４可動部材７０上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動（微動）可能である。また、浸漬装置１５の容器６８に収容されている液体の表面は、容器６８の移動に伴って、第４可動部材７０上で、容器６８と一緒に移動する。
【００７９】
浸漬装置１５の液体に吐出ヘッド３の少なくとも一部を浸けるために、制御装置１０は、駆動装置８を用いて第４移動体７を移動して、吐出ヘッド３の吐出面２と対向する第１位置Ａ１に、第４移動体７の浸漬装置１５を配置する。そして、制御装置１０は、第４可動部材７０と容器６８との間に配置されているアクチュエータ７１を用いて、少なくとも吐出ヘッド３の吐出面２が容器６８の液体に浸かるように、吐出ヘッド３の吐出面２と容器６８（液体の表面）との位置関係を調整する。例えば、制御装置１０は、アクチュエータ７１を用いて、容器６８を＋Ｚ方向に移動する。容器６８の＋Ｚ方向への移動に伴って、容器６８に収容されている液体の表面は、吐出ヘッド３に近づくように移動する。これにより、浸漬装置１５は、吐出ヘッド３の少なくとも一部を液体に浸けることができる。また、制御装置１０は、アクチュエータ７１を用いて容器６８を−Ｚ方向に移動することによって、容器６８に収容されている液体と吐出ヘッド３とを離すことができる。
【００８０】
以下の説明において、第４移動体７を第１位置Ａ１に配置して、吐出面２と容器６８の液体の表面とを対向させて、吐出ヘッド３の少なくとも一部を容器６８の液体に浸ける処理を適宜、浸漬処理、と称する。
【００８１】
また、以下の説明において、吐出ヘッド３をメンテナンスする処理を適宜、メンテナンス処理、と称する。メンテナンス処理は、上述のキャッピング処理、ワイピング処理、及び浸漬処理の少なくとも一つを含む。
【００８２】
次に、図１２及び図１３を参照しながら、断熱部材２９について説明する。図１２は、断熱部材２９を示す斜視図、図１３は、断熱部材２９を−Ｙ側から見た図である。
【００８３】
断熱部材２９は、第１移動体４を含む各移動体５、６、７の移動経路の少なくとも一部に配置されている。断熱部材２９は、第１移動体４の熱の周囲への放散を遮る。上述のように、第１移動体４（ホルダ部材４２）は、基板Ｐを加熱する加熱装置４７を含む。断熱部材２９は、加熱装置４７を含む第１移動体４から発する熱の周囲への放散を遮る。
【００８４】
断熱部材２９は、第１位置Ａ１以外の移動体４、５、６、７の移動経路に配置される。すなわち、断熱部材２９は、吐出ヘッド３を用いた処理が実行される第１位置Ａ１には配置されない。これにより、吐出ヘッド３と各移動体４、５、６、７との協働による各種処理（パターン形成処理、メンテナンス処理等）の実行は妨げられない。
【００８５】
また、断熱部材２９は、基板搬送装置２７による処理が実行される第２位置Ａ２にも配置されない。すなわち、本実施形態においては、断熱部材２９は、第１位置Ａ１及び第２位置Ａ２以外の移動体４、５、６、７の移動経路に配置される。これにより、第２位置Ａ２に配置された第１移動体４に対する基板搬送装置２７による基板Ｐの搬入動作、及び第１移動体４からの基板Ｐの搬出動作は妨げられない。
【００８６】
本実施形態においては、断熱部材２９は、ベース部材１７上の各移動体４、５、６、７と離れた位置で、移動体４、５、６、７を囲むように配置される。断熱部材２９は、各移動体４、５、６、７が移動可能な内部空間７２を形成する。具体的には、断熱部材２９は、ベース部材１７の支持面１６との間で、各移動体４、５、６、７が移動可能（配置可能）な内部空間７２を形成する。断熱部材２９は、内部空間７２に配置されている第１移動体４の熱の外部空間７３への放散を遮る。外部空間７３は、内部空間７２に対して断熱部材２９の外側の空間である。本実施形態においては、外部空間７３は、チャンバ本体３０（チャンバ本体３０の内面）と断熱部材２９（断熱部材２９の外面）との間の空間を含む。
【００８７】
チャンバ装置３２の空調装置３１は、少なくとも外部空間７３の温度を調整する。これにより、チャンバ本体３０内の各機器、部材は、所望の環境（温度）に配置される。
【００８８】
断熱部材２９は、断熱性を有し、内部空間７２に配置されている第１移動体４の熱の外部空間７３への放散を遮ることができる材料で形成されている。本実施形態においては、断熱部材２９は、例えば発泡スチロール、発泡ウレタン等、断熱性を有する合成樹脂製である。
【００８９】
本実施形態の断熱部材２９は、トンネル状であり、断熱部材２９のＹ軸方向の両側には、各移動体４、５、６、７が通過可能な開口（出入口）７４が形成されている。開口７４は、断熱部材２９によって形成される内部空間７２と外部空間７３とを連通するように形成されている。
【００９０】
次に、図１４及び図１５を参照しながら、機能液収容装置９について説明する。図１４は、機能液収容装置９を示す斜視図、図１５は、機能液収容装置９を示す側断面図である。
【００９１】
図１４及び図１５において、機能液収容装置９は、吐出ヘッド３と流路を介して接続され、吐出ヘッド３に供給するための機能液を収容する第１空間９１Ｓを形成する第１容器９１と、第１容器９１を収容し、第１容器９１との間で第２空間９２Ｓを形成する第２容器９２と、第２空間９２Ｓの圧力を調整する圧力調整装置９３と、第１容器９１の機能液の温度を調整する温度調整装置９４とを備えている。第１容器９１は、可撓性を有する膜（薄膜）によって形成されている。本実施形態においては、第１容器９１は、プラスチックの薄いシートで形成されたパック状の容器である。第１容器９１は、圧力調整装置９３の動作に応じて変形する。第１容器９１の第１空間９１Ｓは、ほぼ密閉された空間である。
【００９２】
第２容器９２は、硬い板状の部材を複数組み合わせて形成されている。第２容器９２は、例えば金属板、プラスチック板等、硬い板状の部材を複数組み合わせて形成されたボックス状の部材である。
【００９３】
本実施形態においては、第１容器９１は、第２容器９２の内側に複数配置されている。第１容器９１は、例えば吐出ヘッド３に応じて複数配置されている。
【００９４】
第１容器９１の第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３とを接続する流路は、チューブ部材９０を含む配管システムによって形成されている。チューブ部材９０は、機能液が流れる流路を形成する。チューブ部材９０の流路の一端は、第２容器９２に設けられた接続機構９５に接続されており、チューブ部材９０の流路の他端は、保持装置３８に接続されている。チューブ部材９０及び接続機構９５は、第１容器９１に応じて複数設けられる。接続機構９５は、内部に流路を有し、チューブ部材９０の流路の一端と、第２容器９２の内側の空間に配置された第１容器９１の第１空間９１Ｓとを接続可能である。保持装置３８は、内部に流路を有し、チューブ部材９０の流路の他端と、キャビティ３４等、吐出ヘッド３の内部の流路とを接続可能である。すなわち、第１容器９１の第１空間９１Ｓは、接続機構９５の流路、チューブ部材９０の流路、及び保持装置３８の流路を介して、吐出ヘッド３の内部の流路に接続されている。第１容器９１の第１空間９１Ｓに収容されている機能液は、接続機構９５の流路、チューブ部材９０の流路、保持装置３８の流路、及び吐出ヘッド３の内部の流路を介して、吐出ヘッド３の吐出口１に供給可能である。
【００９５】
また、液滴吐出装置ＩＪは、第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３との間の流路に対して吐出ヘッド３を着脱可能に連結する連結装置９９を備えている。本実施形態においては、連結装置９９は、保持装置３８に設けられており、チューブ部材９０の流路の他端と、支持機構３９の上端とを着脱可能に連結する。連結装置９９により、第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３との間の流路のうち、チューブ部材９０によって形成される流路に対して、吐出ヘッド３を含む保持装置３８（支持機構３９、キャリッジ部材１１）が着脱される。
【００９６】
圧力調整装置９３は、第１容器９１の機能液の表面（界面）と吐出ヘッド３の吐出口１との位置関係に応じて、第２空間９２Ｓの圧力を調整する。圧力調整装置９３は、チューブ部材９６によって形成される流路を介して第２空間９２Ｓと接続されている。圧力調整装置９３は、真空システムを含み、第２空間９２Ｓの気体（空気）を吸引することによって、第２空間９２Ｓを減圧可能である。また、圧力調整装置９３は、気体供給システムを含み、第２空間９２Ｓに気体（空気）を供給することによって、第２空間９２Ｓを加圧可能である。
【００９７】
上述のように、本実施形態においては、吐出口１の近傍の圧力は、チャンバ装置３２によってほぼ大気圧に設定されている。圧力調整装置９３は、真空システムを用いて、第２空間９２Ｓの圧力を、少なくとも大気圧よりも低下させることができる。また、圧力調整装置９３は、気体供給システムを用いて、第２空間９２Ｓの圧力を、少なくとも大気圧よりも高めることができる。
【００９８】
本実施形態においては、第１容器９１の機能液の表面は、吐出ヘッド３の吐出口１よりも上方（＋Ｚ側）に配置されている。圧力調整装置９３は、第２空間９２Ｓを減圧する。すなわち、圧力調整装置９３は、第２空間９２Ｓの圧力を、少なくとも吐出ヘッド３の吐出口１の近傍の圧力（大気圧）よりも低下させる。
【００９９】
温度調整装置９４の少なくとも一部は、第１容器９１と対向する第２容器９２の内面に配置されており、第２容器９２の内側の空間に配置された第１容器９１（第１容器９１の機能液）の温度を調整可能である。温度調整装置９４は、第２容器９２の内側の空間に配置された第１容器９１（第１容器９１の機能液）を加熱可能な加熱機構と、冷却する冷却機構との両方を有する。
【０１００】
上述のように、本実施形態においては、吐出口１の近傍の温度は、チャンバ装置３２によってほぼ常温（例えば２２℃）に設定されている。温度調整装置９４は、加熱機構を用いて、第１容器９１の機能液の温度を、少なくとも２２℃よりも高くすることができる。また、温度調整装置９４は、冷却機構を用いて、第１容器９１の機能液の温度を、少なくとも２２℃よりも低くすることができる。
【０１０１】
本実施形態においては、第１容器９１の機能液の物性に応じて、温度調整装置９４は、第２容器９２の内側の空間に配置された第１容器９１の機能液を冷却して、その第１容器９１の機能液の温度を、少なくとも吐出ヘッド３の吐出口１の近傍の温度（２２℃）よりも低下させる。本実施形態においては、温度調整装置９４は、第１容器９１の機能液の温度を、例えば１０℃に調整する。すなわち、本実施形態においては、温度調整装置９４の少なくとも一部が取り付けられた第２容器９２は、冷蔵庫としての機能を有する。なお、第２容器９２を、例えば発泡スチロール、発泡ウレタン等、断熱性を有する材料等で形成することができる。
【０１０２】
第２容器９２の第１の位置には、第２容器９２の内側の空間（第２空間９２Ｓ）と外側の空間（大気空間）とを連通する第１開口９７が形成されており、第１開口９７には、その第１開口９７を開閉する開閉扉９７Ｔが配置されている。第１開口９７は、第１容器９１を第２容器９２の内側の空間と外側の空間との間で通過させるためのものであって、第１容器９１が通過可能な大きさを有する。したがって、開閉扉９７Ｔを動かして、第１開口９７を開けることにより、第１開口９７を介して、第２容器９２の内側の空間に対して第１容器９１を出し入れ可能であり、第１容器９１を交換可能である。また、開閉扉９７Ｔを動かして、第１開口９７を閉じることにより、圧力調整装置９３が圧力を調整できるように、第２容器９２の内側の空間（第２空間９２Ｓ）を密閉できる。
【０１０３】
また、第２容器９２の第２の位置には、第２容器９２の内側の空間（第２空間９２Ｓ）と外側の空間（大気空間）とを連通する第２開口９８が形成されており、第２開口９８には、その第２開口９８を開閉する開閉蓋９８Ｔが配置されている。第２開口９８は、第２容器９２の内側の空間を大気開放するためのものであって、開閉蓋９８Ｔを外して、第２開口９８を開けることにより、例えば第２空間９２Ｓが減圧されている状態でも、第２開口９８を介して第２空間９２Ｓと大気空間とを連通して、第２空間９２Ｓを大気開放できる。これにより、例えば、第１開口９７を閉じている状態の開閉扉９７Ｔを動かし易くなり、第１容器９１の交換動作を円滑に実行できる。また、開閉蓋９８Ｔを第２開口９８に取り付けて、第２開口９８を閉じることにより、圧力調整装置９３が圧力を調整できるように、第２容器９２の内側の空間（第２空間９２Ｓ）を密閉できる。
【０１０４】
すなわち、開閉扉９７Ｔ及び開閉蓋９８Ｔを用いて、第１開口９７及び第２開口９８を閉じることによって、第２容器９２の内側の空間（第２空間９２Ｓ）は、ほぼ密閉された空間となる。
【０１０５】
次に、図１６〜図１９の模式図を参照しながら、上述の構成を有する液滴吐出装置ＩＪを用いてデバイスを製造する手順の一例について説明する。以下の説明においては、液滴吐出装置ＩＪが、初期状態の吐出ヘッド３に機能液を充填する動作（初期充填動作）と、初期充填動作後、デバイスを製造するために吐出口１より機能液の液滴Ｄを吐出する動作（液滴吐出動作）と、吐出ヘッド３をメンテナンスする動作（メンテナンス動作）と、吐出ヘッド３を交換する動作（吐出ヘッド交換動作）とを実行する場合を例にして説明する。図１６は、初期充填動作の一例を示す模式図、図１７は、液滴吐出動作の一例を示す模式図、図１８は、メンテナンス動作の一例を示す模式図、図１９は、吐出ヘッド交換動作の一例を示す模式図である。
【０１０６】
（初期充填動作）
まず、初期充填動作が実行される。初期充填動作は、初期状態の吐出ヘッド３に機能液を充填する動作を含む。吐出ヘッド３の初期状態は、キャビティ３４等、吐出ヘッド３の内部の流路に機能液が充填されていない状態（吐出ヘッド３の内部の流路が空の状態）を含む。
【０１０７】
機能液収容装置９において、第１開口９７を介して、機能液が充填された第１容器９１が第２容器９２の内側の空間に収容される。第２容器９２の内側の空間には接続機構９５の一部が配置されており、第１容器９１は、その接続機構９５に接続される。そして、開閉扉９７Ｔによって、第１開口９７が閉じられるとともに、開閉蓋９８Ｔによって、第２開口９８が閉じられる。これにより、第２空間９２Ｓは、密閉状態となる。また、温度調整装置９４によって、第２容器９２に収容された第１容器９１の機能液は冷却される。
【０１０８】
密閉状態の第２空間９２Ｓに第１容器９１が収容された後、制御装置１０は、圧力調整装置９３を駆動する。また、制御装置１０は、第１位置Ａ１に第２移動体５を配置して、吐出ヘッド３の吐出面２とキャップ部５０とを対向させて、吐出面２をキャップ部材４８で覆う。
【０１０９】
図１６（Ａ）に示すように、制御装置１０は、圧力調整装置９３を用いて、第２空間９２Ｓを加圧するとともに、図７等を参照して説明したように、キャッピング装置１３を用いて、吐出ヘッド３の吐出口１を吸引する。上述のように、第１容器９１は、圧力調整装置９３の動作に応じて変形する可撓性を有する膜で形成されている。圧力調整装置９３の動作によって第２空間９２Ｓの圧力が変化すると、第１容器９１は、その第２空間９２Ｓの圧力に応じて変形する。第１容器９１の第１空間９１Ｓの圧力は、第１容器９１の変形に応じて変化する。すなわち、本実施形態においては、圧力調整装置９３の動作に応じて変化する第２空間９２Ｓの圧力に伴って、第１空間９１Ｓの圧力が変化する。具体的には、第２空間９２Ｓの圧力が上昇すると、その第２空間９２Ｓの圧力の上昇に伴って第１容器９１が変形し、機能液を収容した第１空間９１の圧力が上昇する。
【０１１０】
第２空間９２Ｓを加圧して、第１空間９１Ｓを加圧することにより、制御装置１０は、第１空間９１Ｓに収容されている機能液を、チューブ部材９０の流路等を介して、吐出ヘッド３に向かって円滑に供給できる。また、第１空間９１Ｓの加圧動作と並行して、キャッピング装置１３による吐出口１に対する吸引動作を実行することにより、制御装置１０は、空の状態であった吐出ヘッド３の内部の流路を機能液で素早く円滑に満たすことができる。
【０１１１】
また、第１空間９１Ｓにおいて温度調整装置９４によって冷却されている機能液は、吐出ヘッド３に向かってチューブ部材９０等の流路を流れている間に加温され、吐出ヘッド３（吐出口１）に到達する頃には、機能液の温度はほぼ常温（２２℃）に調整される。
【０１１２】
キャビティ３４等、吐出ヘッド３の内部の流路を機能液で満たした後、図１６（Ｂ）の模式図に示すように、制御装置１０は、圧力調整装置９３を用いて、第２空間９２Ｓを減圧する。第２空間９２Ｓの圧力が低下すると、その第２空間９２Ｓの圧力の低下に伴って第１容器９１が変形し、機能液を収容した第１空間９１の圧力が低下する。
【０１１３】
第２空間９２Ｓを減圧して、第１空間９１Ｓを減圧することにより、吐出口１における機能液のメニスカスが維持され、吐出ヘッド３の吐出口１は、機能液の漏出を抑制しつつ、液滴Ｄを良好に吐出できる状態に設定される。このように、制御装置１０は、吐出口１における機能液のメニスカスが所望状態に維持されるように、第２空間９２Ｓ（第１空間９１Ｓ）の圧力を調整（減圧）する。
【０１１４】
また、制御装置１０は、必要に応じて、第２空間９２Ｓ（第１空間９１Ｓ）を減圧しつつ、キャッピング装置１３によるキャッピング処理、ワイピング装置１４によるワイピング処理、及び浸漬装置１５による浸漬処理を適宜実行する。そして、キャッピング処理、ワイピング処理、及び浸漬処理を含むメンテナンス処理が終了した後、図１６（Ｃ）に示すように、制御装置１０は、第１位置Ａ１に基板Ｐを保持した第１移動体４を配置して、デバイスを製造するための機能液の液滴Ｄの吐出動作を開始する。
【０１１５】
（液滴吐出動作）
図１７は、基板Ｐを保持した第１移動体４が第１位置Ａ１に配置されている状態を示す模式図である。制御装置１０は、吐出ヘッド３の吐出面２と対向する第１位置Ａ１に、基板Ｐを保持した第１移動体４を配置する。そして、制御装置１０は、制御器１２及び駆動装置８を制御して、第１移動体４の基板Ｐを吐出ヘッド３の吐出口１に対してＹ軸方向に移動しつつ、吐出ヘッド３の吐出口１より、基板Ｐに液滴Ｄを吐出（供給）する。これにより、基板Ｐには、液滴Ｄによりパターンが形成される。制御装置１０は、加熱装置４７で基板Ｐを加熱しつつ、その基板Ｐに液滴Ｄを吐出する。
【０１１６】
本実施形態においては、複数の吐出ヘッド３の吐出口１のうち、最も＋Ｘ側の吐出口１と最も−Ｘ側の吐出口１との距離と、基板ＰのＸ軸方向の大きさとはほぼ等しい。したがって、液滴吐出装置ＩＪは、第１移動体４の基板Ｐを吐出ヘッド３の吐出口１に対してＹ軸方向に移動しつつ吐出ヘッド３の吐出口１より基板Ｐに液滴Ｄを吐出（供給）する際、基板ＰのＹ軸方向への１回のみの移動によって、基板Ｐの表面のほぼ全域に液滴Ｄを供給できる。
【０１１７】
なお、液滴吐出装置ＩＪは、第１移動体４の基板Ｐを吐出ヘッド３の吐出口１に対してＹ軸方向に移動しつつ吐出ヘッド３の吐出口１より基板Ｐに液滴Ｄを吐出（供給）する動作を複数回繰り返してもよい。例えば、基板Ｐを＋Ｙ方向に移動しつつ液滴Ｄを吐出する動作と、基板Ｐを−Ｙ方向に移動しつつ液滴Ｄを吐出する動作とを複数回繰り返してもよい。また、例えば特開２００４−１４６７９６号公報等に開示されているように、基板ＰのＹ軸方向への移動毎に、基板ＰのＸ軸方向に関する位置を僅かな距離（例えば１つのピクセル分）だけ変化させてもよい。
【０１１８】
なお、上述のように、本実施形態の基板Ｐは、焼結前のＬＴＣＣ基板（グリーンシート）であって、フィルムＦに支持されている。液滴吐出装置ＩＪは、フィルムＦに支持された状態の基板Ｐ（グリーンシート）に液滴Ｄを吐出する。
【０１１９】
基板Ｐに対する液滴Ｄの吐出動作が終了した後、制御装置１０は、第１移動体４から基板Ｐを搬出するために、駆動装置８を制御して、第１移動体４を第２位置Ａ２に移動する。本実施形態においては、駆動装置８は、複数の移動体４、５、６、７を−Ｙ方向（第１位置Ａ１から第２位置Ａ２へ向かう方向）に一緒に移動する。
【０１２０】
第１位置Ａ１と第２位置Ａ２との間の第１移動体４の移動経路には断熱部材２９が配置されているので、第１位置Ａ１と第２位置Ａ２との間を移動する第１移動体４の熱が外部空間７３へ放散されることを抑制できる。
【０１２１】
（メンテナンス動作）
図１８は、基板Ｐを保持した第１移動体４が第２位置Ａ２に配置されている状態を示す模式図である。本実施形態においては、基板Ｐを保持可能な第１移動体４は、複数（４つ）の移動体４、５、６、７のうち、最も−Ｙ側（第２位置Ａ２側）に配置されている移動体である。図１８に示すように、第１移動体４が第２位置Ａ２に配置されているときに、複数（４つ）の移動体４、５、６、７のうち、最も＋Ｙ側（第１位置Ａ１側）に配置されている第４移動体７が第１位置Ａ１に配置されるように、各移動体４、５、６、７の大きさ、数、及び第１位置Ａ１と第２位置Ａ２との距離等が設定されている。したがって、図１８に示すように、第１移動体４が第２位置Ａ２に配置されているとき、第１位置Ａ１には第４移動体７が配置される。
【０１２２】
制御装置１０は、基板搬送装置２７を用いて、第２位置Ａ２に配置された第１移動体４から基板Ｐを搬出するとともに、その第１移動体４に新たな基板Ｐを搬入する。
【０１２３】
一方、制御装置１０は、第１位置Ａ１に配置された第４移動体７を用いて、吐出ヘッド３のメンテナンス処理を実行する。第４移動体７の浸漬装置１５は、吐出ヘッド３と協働して、メンテナンス処理（浸漬処理）を実行する。制御装置１０は、図１１等を参照して説明したように、浸漬装置１５の液体に吐出ヘッド３を浸けて、吐出ヘッド３をクリーニングする。また、上述のように、第１移動体４の基板Ｐと対向した状態で液滴Ｄを吐出することによって、吐出ヘッド３（プレート部材３７）は、加熱装置４７を含む第１移動体４の熱によって加熱される可能性がある。吐出ヘッド３のプレート部材３７が加熱され、その状態を放置しておくと、例えばプレート部材３７が熱変形し、プレート部材３７に形成されている吐出口１同士の距離（ノズルピッチ）が変動する可能性がある。ノズルピッチが変動すると、基板Ｐの所望の位置に液滴Ｄを供給できず、製造されるデバイスの性能が劣化する。本実施形態においては、浸漬装置１５の液体に吐出ヘッド３を浸けることによって、加熱された吐出ヘッド３（プレート部材３７）を冷却し、吐出ヘッド３（プレート部材３７）を最適な温度に戻す（調整する）ことができる。したがって、ノズルピッチが変動する等の不具合の発生を抑制できる。
【０１２４】
また、本実施形態においては、制御装置１０は、第１位置Ａ１に配置された第４移動体７による吐出ヘッド３に対するメンテナンス処理と、第２位置Ａ２に配置された第１移動体４を用いた処理（基板Ｐの搬出、搬入処理）の少なくとも一部とを並行して実行可能である。これにより、液滴吐出装置ＩＪの処理効率を向上できる。
【０１２５】
第４移動体７を用いた処理（浸漬処理）が終了した後、制御装置１０は、駆動装置８を制御して、複数の移動体４、５、６、７を＋Ｙ方向（第２位置Ａ２から第１位置Ａ１へ向かう方向）に一緒に移動し、第１位置Ａ１に第３移動体６を配置する。制御装置１０は、第１位置Ａ１に配置された第３移動体６を用いて、吐出ヘッド３のメンテナンス処理を実行する。第３移動体６のワイピング装置１４は、吐出ヘッド３と協働して、メンテナンス処理（ワイピング処理）を実行する。制御装置１０は、図９等を参照して説明したように、ワイピング装置１４のワイピング部材５７を用いて、吐出ヘッド３の吐出面２に付着している異物を払う。本実施形態においては、ワイピング装置１４によるワイピング処理の前に、浸漬装置１５による浸漬処理が実行されている。吐出ヘッド３の吐出面２には、浸漬装置１５の液体の液滴が残留している可能性がある。制御装置１０は、ワイピング装置１４を用いて、吐出ヘッド３の吐出面２に残留した浸漬装置１５の液体の液滴を払う（除去する）。
【０１２６】
第３移動体６による吐出ヘッド３に対するワイピング処理が終了した後、制御装置１０は、駆動装置８を制御して、複数の移動体４、５、６、７を＋Ｙ方向（第２位置Ａ２から第１位置Ａ１へ向かう方向）に一緒に移動し、第１位置Ａ１に第２移動体５を配置する。制御装置１０は、第１位置Ａ１に配置された第２移動体５を用いて、吐出ヘッド３のメンテナンス処理を実行する。第２移動体５のキャッピング装置１３は、吐出ヘッド３と協働して、メンテナンス処理（キャッピング処理）を実行する。制御装置１０は、図７等を参照して説明したように、キャッピング装置１３を用いて、吐出ヘッド３の吐出口１を吸引する。
【０１２７】
なお、キャッピング処理の終了後、第１位置Ａ１に第２移動体６を配置して、ワイピング処理を実行することができる。キャッピング処理の終了後において、吐出面２に異物（液滴を含む）が付着している場合でも、ワイピング処理によって、その異物を除去できる。
【０１２８】
第２移動体５による吐出ヘッド３に対するキャッピング処理が終了した後、制御装置１０は、駆動装置８を制御して、複数の移動体４、５、６、７を＋Ｙ方向（第２位置Ａ２から第１位置Ａ１へ向かう方向）に一緒に移動し、第１位置Ａ１に第１移動体４を配置する。制御装置１０は、第１位置Ａ１に配置された第１移動体４に保持されている基板Ｐに対して、吐出ヘッド３より液滴Ｄを吐出する処理（パターン形成処理）を開始する。第１移動体４は、吐出ヘッド３と協働して、液滴Ｄで基板Ｐにパターンを形成する処理（パターン形成処理）を実行する。
【０１２９】
本実施形態においては、複数（例えば１０〜２０枚程度）の基板Ｐ（グリーンシート）に対して液滴Ｄが吐出され、各基板Ｐに液滴Ｄでパターンが形成される。液滴Ｄでパターンが形成された後の基板Ｐからは、フィルムＦが取り除かれる。そして、液滴Ｄで形成されたパターンを有する複数の基板Ｐが積層され、その基板Ｐの積層体が形成される。その後、基板Ｐの積層体が加熱処理される。これにより、基板Ｐ上の液滴Ｄが乾燥、焼成されるとともに、基板Ｐ（グリーンシート）も焼成される。これにより、所定の配線パターンを有するＬＴＣＣ基板（ＬＴＣＣ多層回路基板）が形成される。
【０１３０】
（吐出ヘッド交換動作）
吐出ヘッド３は、例えば経時的に劣化する可能性があるため、必要に応じて、新たな吐出ヘッド３と交換される。吐出ヘッド３を交換するために、図１９（Ａ）に示すように、制御装置１０は、圧力調整装置９３を用いて、第２空間９２Ｓを減圧する。第２空間９２Ｓの減圧に伴って、第１空間９１Ｓも減圧される。制御装置１０は、圧力調整装置９３を用いて、第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３との間の流路における機能液の下面（界面）が、連結装置９９よりも上方（第１空間９１Ｓ側）に配置されるように、第２空間９２Ｓ（第１空間９１Ｓ）を減圧する。
【０１３１】
そして、第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３との間の流路における機能液の下面（界面）が、連結装置９９よりも上方（第１空間９１Ｓ側）に配置された状態で、吐出ヘッド３が流路より外される。本実施形態においては、連結装置９９により、チューブ部材９０の流路の他端と、支持機構３９の上端とが外される。これにより、チューブ部材９０によって形成される流路に対して、吐出ヘッド３を含む保持装置３８（支持機構３９、キャリッジ部材１１）が外される。
【０１３２】
そして、図１９（Ｃ）に示すように、新たな吐出ヘッド３を含む保持装置３８が、連結装置９９を介して、チューブ部材９０の流路の他端に接続される。このように、吐出ヘッド３を交換するときなど、吐出ヘッド３（本実施形態では吐出ヘッド３を含む保持装置３８）をチューブ部材９０等の流路に対して外すときに、第２空間９２Ｓ（第１空間９１Ｓ）を減圧して、第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３との間の流路における機能液の下面（界面）を連結装置９９よりも上方（第１空間９１Ｓ側）に配置することによって、機能液の漏出を抑制することができる。そして、新たな吐出ヘッド３が流路に接続された後、制御装置１０は、例えば図１６（Ａ）を参照して説明したように、第２空間９２Ｓ（第１空間９１Ｓ）を加圧するとともに、キャッピング装置１３によるキャッピング処理を実行して、吐出ヘッド３の内部の流路に機能液を充填する。
【０１３３】
また、第２容器９２に収容されている第１容器９１を交換する場合には、開閉蓋９８Ｔを外して、第２開口９８を開ける。これにより、例えば第２空間９２Ｓが減圧されている状態でも、第２開口９８を開けることによって、第２空間９２Ｓが大気開放される。これにより、第１開口９７を閉じている状態の開閉扉９７Ｔを動かし易く（開け易く）なり、第１容器９１の交換動作を円滑に実行できる。
【０１３４】
以上説明したように、本実施形態によれば、圧力調整装置９３の動作によって変化する第２空間９２Ｓの圧力に応じて変形する膜で第１容器９１を形成し、第２空間９２Ｓの圧力を調整することによって、第１空間９１Ｓの圧力を調整するようにしたので、機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる。第１容器９１によって形成される第１空間９１Ｓは、ほぼ密閉された空間であり、その第１空間９１Ｓの圧力を、真空システム又は気体供給システムを含む圧力調整装置９３によって直接的に調整すると、その第１空間９１Ｓに収容されている機能液の液体成分（例えば分散媒、溶媒）が気化する等して、機能液の濃度及び／又は粘度が変化する可能性がある。例えば、真空システムを含む圧力調整装置９３によって第１空間９１Ｓの圧力を直接的に調整すると、その第１空間９１Ｓに収容されている機能液の液体成分（例えば分散媒、溶媒）が気化し、機能液の濃度及び／又は粘度が上昇する可能性がある。本実施形態によれば、第１空間９１Ｓの圧力を圧力調整装置９３によって直接的に調整せずに、少なくとも一部が膜で形成された第１容器９１と第２容器９２との間の第２空間９２Ｓの圧力を圧力調整装置９３によって調整することで、密閉された第１空間９１Ｓにおいて、機能液の気化等に起因する機能液の濃度及び／又は粘度等の物性の変化を抑制しつつ、第１空間９１Ｓを所望の圧力に調整できる。したがって、機能液の物性の変化に起因する異物の発生等を抑制し、所望状態の液滴を吐出して、所望の性能を有するデバイスを製造できる。また、本実施形態によれば、簡易な構造で機能液の圧力を調整でき、機能液の一部が流路に詰まる等の不具合の発生を抑制できる。また、メンテナンス作業等を円滑に実行できる。
【０１３５】
また、第２空間９２Ｓ（第１空間９１Ｓ）の圧力を、第１容器９１の機能液の表面と吐出ヘッド３の吐出口１との位置関係に応じて調整（最適化）することによって、吐出ヘッド３の吐出口１からの機能液の漏出を抑制しつつ、液滴Ｄを所望状態で吐出できる。
【０１３６】
また、機能液の種類によっては、温度の変化によって物性が変化する可能性があるが、温度調整装置９４を設けたことにより、温度変化に起因する機能液の物性の変化を抑制できる。また、液滴吐出装置ＩＪの稼動が長期間停止する場合（吐出ヘッド３の吐出口１からの液滴吐出動作が長期間停止する場合）においても、第１容器９１の機能液を冷却し続けることで、機能液の物性の変化を抑制できる。そして、第２容器９２に冷蔵庫としての機能を持たせることにより、液滴吐出装置ＩＪの稼動が長期間停止する場合においても、第１容器９１を第２容器９２に収容しておけばよい。したがって、機能液の物性の変化を抑制するためにその機能液を収容した第１容器９１を液滴吐出装置ＩＪとは別の場所に設けられた冷蔵庫に搬送する必要も無くなる。
【０１３７】
また、本実施形態においては、吐出ヘッド３を交換する場合等、吐出ヘッド３を流路から外すときに、圧力調整装置９３を用いて、第１空間９１Ｓと吐出ヘッド３との間の流路における機能液の下面（界面）が少なくとも連結装置９９よりも上方に配置されるように、第２空間９２Ｓを減圧している。これにより、機能液の漏出を抑制しつつ、吐出ヘッド３を流路から取り外したり、新たな吐出ヘッド３と交換したりすることができ、メンテナンス作業等を円滑に実行できる。したがって、無駄になる機能液の量を最小限に抑制しつつ、メンテナンス作業等を実行できる。
【０１３８】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１３９】
図２０は、第２実施形態に係る機能液収容装置９Ｂを示す模式図である。上述の第１実施形態においては、第１容器９１のほぼ全部が、可撓性を有する膜で形成されているが、第２実施形態の特徴的な部分は、第１容器９１の一部が、可撓性を有する膜９１Ｄで形成されている点にある。
【０１４０】
図２０において、機能液収容装置９Ｂは、吐出ヘッド３と流路を介して接続され、吐出ヘッド３に供給するための機能液を収容する第１空間９１Ｓを形成する第１容器９１と、第１容器９１を収容し、第１容器９１との間で第２空間９２Ｓを形成する第２容器９２と、第２空間９２Ｓの圧力を調整する圧力調整装置９３と、第１容器９１の機能液の温度を調整する温度調整装置９４とを備えている。第１容器９１によって形成される第１空間９１Ｓは、ほぼ密閉された空間である。第１容器９１は、例えば金属板、プラスチック板等、硬い板状の部材と、プラスチックの薄いシート状の部材等、可撓性を有する膜（薄膜）９１Ｄとを組み合わせて形成されている。第１容器９１の膜９１Ｄは、圧力調整装置９３の動作に応じて変形する。
【０１４１】
第２容器９２は、上述の第１実施形態と同様、例えば金属板、プラスチック板等、硬い板状の部材を複数組み合わせて形成されたボックス状の部材である。
【０１４２】
また、本実施形態においては、第１容器９１の第１空間９１Ｓと接続機構９５とは、第２チューブ部材１００の流路を介して接続されている。
【０１４３】
圧力調整装置９３の動作によって第２空間９２Ｓの圧力が変化すると、第１容器９１の膜９１Ｄは、その第２空間９２Ｓの圧力に応じて変形する。上述の第１実施形態と同様、本実施形態においても、圧力調整装置９３の動作に応じて変化する第２空間９２Ｓの圧力に伴って、第１空間９１Ｓの圧力が変化する。
【０１４４】
以上説明したように、本実施形態においても、機能液の物性の変化を抑制しつつ、簡易な構造で機能液の圧力を調整できる。
【０１４５】
なお、上述の第１、第２実施形態においては、第１容器９１の機能液の表面が、吐出ヘッド３の吐出口１よりも上方に配置されている場合を例にして説明したが、第１容器９１の機能液の表面が、吐出ヘッド３の吐出口１よりも下方に配置されていてもよい。この場合、第２空間９２Ｓの圧力は、圧力調整装置９３によって、少なくとも大気圧よりも高くなるように加圧される。すなわち、第１空間９１Ｓと吐出口１とを接続する流路に機能液が満たされた状態における第１容器９１の機能液の表面と吐出ヘッド３の吐出口１とのＺ軸方向の位置関係、いわゆる水頭差に応じて、第２空間９２Ｓの圧力を調整することによって、吐出ヘッド３の吐出口１からの機能液の漏出を抑制しつつ、液滴Ｄを所望状態で吐出できる。
【０１４６】
なお、上述の各実施形態においては、温度調整装置９４が、第１容器９１の機能液を冷却する場合について説明したが、機能液の種類（物性）によっては、加熱することが好ましい場合も考えられる。その場合には、制御装置１０は、温度調整装置９４を用いて、第１容器９１の機能液を加熱する。
【０１４７】
なお、上述の各移動体４、５、６、７を用いた処理の順序は一例である。例えば、キャッピング処理をした後、浸漬処理を実行し、その後、ワイピング処理を実行してもよい。あるいは、浸漬処理を実行した後、キャッピング処理を実行し、その後、ワイピング処理を実行してもよい。また、浸漬処理を実行後、ワイピング処理を実行し、その後キャッピング処理を実行した後、再びワイピング処理を実行するといったように、同一の処理（ここではワイピング処理）を複数回実行してもよい。各移動体４、５、６、７の配置は、処理する順序に応じて設定される。
【０１４８】
また、第２移動体５、第３移動体６、及び第４移動体７を用いたメンテナンス処理において、メンテナンス処理毎に、必ずしも第２移動体５、第３移動体６、及び第４移動体７の全てを使用しなくてもよい。例えば、キャッピング処理を行わずに、浸漬処理及びワイピング処理のみを実行してもよいし、浸漬処理を行わずに、キャッピング処理及びワイピング処理のみを実行してもよいし、浸漬処理及びキャッピング処理を行わずに、ワイピング処理のみを実行するようにしてもよいし、浸漬処理及びワイピング処理を行わずに、キャッピング処理のみを実行するようにしてもよい。
【０１４９】
なお、第２移動体５、第３移動体６、及び第４移動体７を用いたメンテナンス処理は、所定のタイミングで実行可能である。本実施形態においては、メンテナンス処理は、第１移動体４から基板Ｐを搬出する動作、及び第１移動体４に基板Ｐを搬入する動作毎に実行されるが、例えば、ロット毎、所定時間間隔毎にメンテナンス処理を実行するようにしてもよい。
【０１５０】
なお、上述の各実施形態においては、基板ＰがＬＴＣＣ基板（グリーンシート）であり、基板Ｐに配線パターン（回路パターン）を形成する場合を例にして説明したが、基板Ｐとしては、グリーンシートのみならず、ガラス基板、半導体ウエハ等、製造するデバイスに応じて、適宜選択可能である。また、使用される機能液の導電性微粒子としても、銀のみならず、例えば特開２００５−３４８３７号公報等に開示されているような、金、銅、パラジウム、及びニッケル等の金属微粒子であってもよいし、導電性ポリマーであってもよい。また、使用される分散媒も、導電性微粒子に応じて適宜選択可能である。また、配線パターンのみならず、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Thin Film Transistor）の少なくとも一部を形成することもできる。
【０１５１】
また、液滴吐出装置ＩＪを用いて製造可能なデバイスとしては、回路基板に限られず、例えばカラーフィルタ、配向膜等、液晶装置の少なくとも一部を形成することができるし、有機ＥＬ装置の少なくとも一部を形成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１５２】
【図１】第１実施形態に係る液滴吐出装置を示す概略構成図である。
【図２】第１実施形態に係る液滴吐出装置の一部を示す斜視図である。
【図３】キャリッジ部材に支持された複数の吐出ヘッドを下側から見た図である。
【図４】吐出ヘッドの構造の一例を説明するための断面図である。
【図５】第１移動体の一例を示す図である。
【図６】第２移動体の一例を示す図である。
【図７】第２移動体の動作の一例を説明するための図である。
【図８】第３移動体の一例を示す図である。
【図９】第３移動体の動作の一例を説明するための図である。
【図１０】第４移動体の一例を示す図である。
【図１１】第４移動体の動作の一例を説明するための図である。
【図１２】断熱部材を示す斜視図である。
【図１３】断熱部材を示す側面図である。
【図１４】第１実施形態に係る機能液収容装置の一例を示す斜視図である。
【図１５】第１実施形態に係る機能液収容装置の一例を示す側断面図である。
【図１６】第１実施形態に係る液滴吐出装置の動作の一例を説明するための図である。
【図１７】第１実施形態に係る液滴吐出装置の動作の一例を説明するための図である。
【図１８】第１実施形態に係る液滴吐出装置の動作の一例を説明するための図である。
【図１９】第１実施形態に係る液滴吐出装置の動作の一例を説明するための図である。
【図２０】第２実施形態に係る機能液収容装置の一例を示す側断面図である。
【符号の説明】
【０１５３】
１…吐出口、２…吐出面、３…吐出ヘッド、９…機能液収容装置、１１…キャリッジ部材、１３…キャッピング装置、１４…ワイピング装置、１５…浸漬装置、３８…保持装置、３９…支持機構、９０…チューブ部材、９１…第１容器、９１Ｄ…膜、９１Ｓ…第１空間、９２…第２容器、９２Ｓ…第２空間、９３…圧力調整装置、９４…温度調整装置、９７…第１開口、９７Ｔ…開閉扉、９８…第２開口、９８Ｔ…開閉蓋、９９…連結装置、Ａ１…第１位置、Ａ２…第２位置、Ｄ…液滴、Ｐ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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