(57)【要約】      （修正有）【課題】両面加工に際して駆動される駆動軸の多重軸受けユニットを使用する必要を無くし、かつ、容易な調整で両面研磨用キャリアやワークの破損を防止する。【解決手段】ワークの下面を研磨する下定盤４１０と、ワークの上面を研磨する上定盤４２０と、外周に歯車が形成されると共にワークを保持して下定盤４１０及び上定盤４２０の間に設定された円周上にその回転中心が配置され回転駆動される複数のキャリア２０１、２０３と、を備える両面研磨装置３００において、キャリア２０１、２０３に対応して、円周の中心側に配置され、キャリア２０１、２０３の歯車に噛合する内側駆動機構３１０、３３０と、円周の外側に配置され、キャリア２０１、２０３の歯車に噛合する外側駆動機構３５０、３７０とを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの下面を加工する加工面を上面に有し且つ回転軸を中心として回転駆動される下定盤と、前記下定盤と対向して同心状に配置され前記ワークの上面を加工する加工面を下面に有した上定盤と、外周に歯車部が形成された円盤状部材であり、ワークを保持する保持孔を有し、且つ前記下定盤と上定盤との間に形成される環状のキャリア領域上にその回転中心を配置して回転駆動される複数のキャリアと、を備える両面加工装置において、
前記各キャリアに夫々一対一で対応して前記キャリア領域の内径側に配置され、前記各キャリアの歯車部に噛合する歯車を有した内側駆動機構と、
前記各キャリアに夫々一対一で対応して前記キャリア領域の外径側に配置され、前記各キャリアの歯車部に噛合する歯車を有した外側駆動機構と、を備えたことを特徴とする両面加工装置。
【請求項２】
前記各内側駆動機構及び各外側駆動機構は、夫々独立して回転制御される駆動モータを備えることを特徴とする請求項１に記載の両面加工装置。
【請求項３】
前記各キャリアを駆動する前記各内側駆動機構は、回転伝達機構を介して連動されていることを特徴とする請求項１に記載の両面加工装置。
【請求項４】
前記各キャリアを駆動する前記各外側駆動機構は、回転伝達機構を介して連動されていることを特徴とする請求項１に記載の両面加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、下定盤と上定盤との間で水晶基板等のワークを挟んだ状態でワークの両面を加工する両面加工装置において、構造の大型化を招く駆動軸の多重軸受けユニットを使用する必要を無くし、かつ、容易な調整で両面研磨用キャリアやワークの破損を防止することができる両面加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動素子を構成する薄板状の水晶基板は、厚さ５０〜１００μｍと極めて薄いばかりでなく、その表面には高度の平行性、平坦性が求められる。
このような水晶基板は両面研磨装置を用いてその両面が研磨され、要求される厚さ、平坦性を有する薄板に仕上げられる。水晶基板の上下両面の研磨を同時に行う両面研磨装置として次のようなものがある。
図５は両面研磨装置の概略構成を示す断面図、図６は両面研磨装置の回転状態を示す平面図である。
両面研磨装置１００は、駆動軸１１１によって回転駆動されるサンギヤ１１０と、このサンギヤ１１０の周囲にサンギヤ１１０と同心状に設けられた環状の下定盤１３０と、下定盤１３０の周囲に配置され、サンギヤ１１０と同心に形成されて回転駆動されるインターナルギヤ１４０と、下定盤１３０の上方に配置される環状の上定盤１５０とを備えている。
【０００３】
下定盤１３０は、その上面に研磨面（加工面）１３１を備えており、下定盤受部１３２により保持されている。下定盤受部１３２は、駆動軸１３３によって回転駆動される。また、インターナルギヤ１４０は、駆動軸１４１によって回転駆動される。また、上定盤１５０は、その下面に研磨面１５１を備えてなり、吊下装置１７０で昇降動可能に吊り下げられており、上定盤１５０が下位置に配置されたとき、中心孔１５０ａが駆動軸１２１で回転される定盤駆動部１２０に係合して回転駆動される。
これらの各駆動軸１１１、１２１、１３３、１４１は、同心状に配置された多重軸に形成され、内側から定盤駆動部１２０の駆動軸１２１、サンギヤ１１０の駆動軸１１１、下定盤１３０の駆動軸１３３、インターナルギヤ１４０の駆動軸１４１が配置されている。また、駆動軸１１１の下端には歯車１１２が、駆動軸１２１の下端には歯車１２２が、駆動軸１３３の下端には歯車１３４が、駆動軸１４１の下端には、夫々歯車１４２が配置されている。これらの歯車１１２、１２２、１３４、１４２は１台の駆動モータ１８１を原動力とする駆動装置１８０の歯車１８２、１８３、１８４、１８５噛合して夫々回転駆動される。
【０００４】
歯車１８２、１８３、１８４、１８５は駆動モータ１８１の回転方向を直角に変更するギアボックス１８６の出力軸１８７に夫々の軸心を固定的に支持されている。
駆動モータ１８１が回転すると、ギヤボックス１８６を介して駆動軸１１１、１２１、１３３、１４１が回転駆動され、サンギヤ１１０、下定盤１３０、インターナルギヤ１４０、上定盤１５０は、所定の回転数及び回転方向によって回転駆動される。
下定盤１３０及び上定盤１５０は例えばステンレススチールの板材で構成されている。なお、ワークをポリッシュ（微細研磨）加工する場合は、各研磨面１３１、１５１にポリウレタン樹脂やスウェード製の研磨パッドを配置して構成しても良い。
円盤状の水晶基板等であるワーク２５０はキャリア２００によって保持されており、キャリア２００は、図６に示すように、その周囲にサンギヤ１１０とインターナルギヤ１４０と同時に噛合する歯車部を備え、サンギヤ１１０とインターナルギヤ１４０との回転に連動してサンギヤ１１０の外径側の軌道上を、サンギヤ１１０及びインターナルギヤ１４０の回転方向と回転速度により定まる方向と速度で自転しつつ公転する。
【０００５】
キャリア２００は、ガラスエポキシ、ポリ塩化ビニル樹脂等で形成された環状の薄板からなるキャリア本体２１０にワーク２５０の保持孔２２０が所定数だけ開設されて形成されている。キャリア本体２１０はワーク２５０である水晶基板よりやや薄い厚さ寸法を備えている。保持孔２２０はワーク２５０よりやや大きい直径に開設された円形孔であり、保持孔２２０とワーク２５０との間からワーク２５０の上側から下側に向けスラリーが供給される。
上定盤１５０には、ワーク２５０に向け研磨用のスラリーを供給するスラリー供給装置１６０が配置されており、上定盤１５０にはスラリー供給装置１６０の供給管１６１に連通するスラリー供給孔（図示していない）が上下方向に貫通して設けられている。スラリーは、研磨剤として酸化セリウム微粒子を含むものが使用される。
供給管１６１から供給されたスラリーは、スラリー供給孔から下方に流入し、ワーク２５０と上定盤１５０の研磨面１５１との間に供給される他、保持孔２２０とワーク２５０との間からワーク２５０と下定盤１３０の研磨面１３１との間に供給される。
このようにスラリーが供給された状態で、駆動装置１８０で各駆動軸１１１、１２１、１３３、１４１を回転駆動することにより、キャリア２００の保持孔２２０に保持されたワーク２５０は、下定盤１３０の研磨面１３１と上定盤１５０の研磨面１５１との間で両面が研磨される。
【０００６】
前記両面研磨装置には種々の従来技術が存在する。特許文献１には、４台の駆動モータと減速用のウォームギヤとを備え、夫々の駆動モータで同心状に組み付けられたサンギヤ駆動軸、インターナルギヤ駆動軸、上定盤駆動軸、下定盤駆動軸を回転駆動する両面研磨装置の駆動装置が記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１６２５２５公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の両面加工装置にあっては、サンギヤ１１０、下定盤１３０、インターナルギヤ１４０、及び上定盤１５０の駆動軸１１１、１２１、１３３、１４１は多重軸受けとして構成されているため、軸受部が大型になり、その精度を保って製造するためには製造コストが嵩むという問題がある。
また、図６の鎖線で示したサンギヤ１１０のピッチ円１１０ｐとインターナルギヤ１４０のピッチ円１４０ｐとの間にぶれがあると、両ピッチ円１１０ｐ、１４０ｐの間隔が変動し、サンギヤ１１０とインターナルギヤ１４０との間に配置されているキャリア２００に対して厚みに垂直な方向（面方向）に負荷がかかり、キャリア２００を歪め、キャリア２００やワーク２５０を破損してしまうこととなる。このようなぶれを解消するためには大型且つ高重量のインターナルギヤ１４０の位置を１／１００ｍｍ単位で調節しなければならず、手間がかかり、コストが嵩むという問題がある。
また、近年、水晶基板、光学部品、その他の被研磨対象物では、その大型化が進み、また、被加工面の高平坦化の要請が高まっている。このため、両面研磨装置の大型化が進み前記問題の解決が望まれている。
そこで、本発明は、両面加工に際して駆動される駆動軸の多重軸受けユニットを使用する必要を無くし、かつ、容易な調整で両面研磨用キャリアやワークの破損を防止することができる両面加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明において、前記の課題を解決するための手段は、ワークの下面を加工する加工面を上面に有し且つ回転軸を中心として回転駆動される下定盤と、前記下定盤と対向して同心状に配置され前記ワークの上面を加工する加工面を下面に有した上定盤と、外周に歯車部が形成された円盤状部材であり、ワークを保持する保持孔を有し、且つ前記下定盤と上定盤との間に形成される環状のキャリア領域上にその回転中心を配置して回転駆動される複数のキャリアと、を備える両面加工装置において、前記各キャリアに夫々一対一で対応して前記キャリア領域の内径側に配置され、前記各キャリアの歯車部に噛合する歯車を有した内側駆動機構と、前記各キャリアに夫々一対一で対応して前記キャリア領域の外径側に配置され、前記各キャリアの歯車部に噛合する歯車を有した外側駆動機構と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、各キャリアには、一対一の関係にて内側駆動機構及び外側駆動機構が配置され各キャリアの歯車部に噛合して夫々駆動力を伝達するように構成しているので、両面加工装置にサンギヤやインターナルギヤを設ける必要がなくなり、両面加工装置において多数の駆動軸が同軸に設けられる軸受けユニットを廃止することができ、装置や部品の大型化を防止して装置の製造コストを低減することができる他、内側駆動機構及び外側駆動機構の位置調整という簡単な調整を行うだけでキャリアへの負荷を減少してワークの破損を防止することができ、製造コストを低減することができる。なお、両面加工に際しては、下定盤と上定盤を同時に回転駆動させてもよいし、上定盤を停止させた状態で下定盤のみを回転駆動させてもよい。
【０００９】
また、本発明の手段は、前記両面加工装置において、各内側駆動機構及び各外側駆動機構は、夫々独立して回転制御される駆動モータを備えることを特徴とする。
本発明によれば、内側駆動機構及び外側駆動機構は独立して回転制御される駆動モータを備えるので、駆動モータを小型化できる他、キャリアごとに独自の回転制御を行うことができる。
【００１０】
また、本発明の手段は、両面加工装置において、複数のキャリアを駆動する複数の内側駆動機構は、回転伝達機構を介して駆動されることを特徴とする。
本発明によれば、１台の動力源で内側駆動機構を駆動することができるので、部品点数を少なくし、装置の構成を簡単なものとすることができる。
【００１１】
そして、本発明の手段は、複数のキャリアを駆動する複数の外側駆動機構は回転伝達機構を介して連動されていることを特徴とする。
本発明によれば、１台の動力源で外側駆動機構を駆動することができるので、部品点数を少なくし、装置の構成を簡単なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本発明を実施するための最良の形態を図１乃至図４に基づいて説明する。まず第１の実施の形態例について説明する。本実施形態では、両面加工装置として両面研磨装置を一例として示す。
図１は実施の形態例に係る両面研磨装置の概略構成を示す縦断面図、図２は両面研磨装置の回転状態を示す平面図、図３は両面研磨装置の概略構成を示す斜視図である。
両面研磨装置３００は例えば厚さ５０〜１００μｍｍの水晶基板（ワーク）の両面を同時に研磨するものである。両面研磨装置３００は、環状の下定盤４１０と、下定盤４１０の上方に対向配置されて昇降する上定盤４２０と、を備えている。
【００１３】
中心部に位置する回転軸を中心として回転する下定盤４１０は、上面に研磨面（加工面）４１１を備えており、支持部４１３を介して下方へ延びる駆動軸（回転軸）４１２によって回転駆動される。上定盤４２０は、その下面に研磨面（加工面）４２１を備えており、吊下装置４４０によって昇降動可能に吊り下げられている。吊下装置４４０によって上定盤４２０が下位置（研削位置）に配置されたとき、駆動軸４３１により回転駆動される定盤駆動部４３０にその中心孔４２０ａを嵌合させて支持することにより回転駆動できるようになる。なお、上定盤４２０には、供給管４５１を備えたスラリー供給装置４５０が配置されている。
なお、研磨のための駆動時に、本実施形態のように下定盤と上定盤を回転駆動するように構成してもよいし、上定盤を停止しつつ下定盤のみを回転駆動させる構成であってもよい。
また、ポリッシュ（微細研磨）作業時には、各研磨面４１１、４２１には、ポリウレタン樹脂やスウェード製の研磨パッドを配置した構成としても良い。
下方へ向けて同心円状に延びる各駆動軸４１２、４３１の下端には、歯車４１４、４３２が上下位置をずらして配置されている。各歯車４１４、４３２は１台の駆動モータ４６１を原動力とする駆動装置４６０によって夫々回転駆動される。
【００１４】
駆動装置４６０は、歯車４１４、４３２に夫々噛合する２段の歯車４６４、４６５を備えており、これらの歯車４６４、４６５は駆動モータ４６１の回転方向を直角に変更するギアボックス４６２の出力軸４６３に取付けられている。
駆動モータ４６１が回転すると、駆動装置４６０を介して駆動軸４１２、４３１が回転駆動され、下定盤４１０及び上定盤４２０は、所定の回転数及び回転方向によって回転駆動される。
下定盤４１０上に想定される円周３９１（図２＝環状のキャリア領域）上には、４つのキャリア２０１、２０２、２０３、２０４が所定の周方向ピッチにて自転自在に配置（載置）される。水晶基板からなるワーク２５０は、キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の保持孔２２０に嵌め込まれて保持される。キャリア２０１、２０２、２０３、２０４は、ワーク２５０より薄い例えばガラスエポキシ、塩化ビニルの薄板材で構成されており、保持孔２２０は、ワーク２５０よりやや大きい形状に所定数開設されている。
【００１５】
また、各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４は、その周囲に所定のピッチ円２０１ｐ、２０２ｐ、２０３ｐ、２０４ｐで、所定のモジュールを備えた歯車部が形成されている。
各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４には、これらに回転駆動力を伝達する内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０及び外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０が夫々一対一の対応関係にて同数ずつ配置されている。内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０は、下定盤４１０（キャリア領域）の内側に９０度間隔で配置され、外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０は、下定盤４１０（キャリア領域）の外側に９０度間隔で両面研磨装置３００に対して相対移動しないよう固定されて配置されている。対応関係にある各キャリアと各内側駆動機構と各外側駆動機構とは、下定盤の中心部から半径方向へ延びる所定の４本の直線上に夫々配置されることとなる。
【００１６】
内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０は、キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の外周に形成した歯車部と同一のモジュールの歯車３１１、３２１、３３１、３４１と、軸３１３、３２３、３３３、３４３を有する駆動モータであるステップモータ３１２、３２２、３３２、３４２と、を備えて構成されている。内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０は、その歯車３１１、３２１、３３１、３４１のピッチ円３１１ｐ、３２１ｐ、３３１ｐ、３４１ｐがキャリア２０１、２０２、２０３、２０４のピッチ円２０１ｐ、２０２ｐ、２０３ｐ、２０４ｐと接するよう円周３９１と同心状の円周３９２上に円周を４等分するよう配置される。
【００１７】
また、外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０は、キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の外周に形成した歯車部と同一のモジュールの歯車３５１、３６１、３７１、３８１と、軸３５３、３６３、３７３、３８３を備えた駆動モータであるステップモータ３５２、３６２、３７２、３８２とを具備して構成されている。
外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０は、その歯車３５１、３６１、３７１、３８１のピッチ円３５１ｐ、３６１ｐ、３７１ｐ、３８１ｐがキャリア２０１、２０２、２０３、２０４のピッチ円２０１ｐ、２０２ｐ、２０３ｐ、２０４ｐと接するよう円周３９１と同心状の円周３９３上に円周を４等分するよう配置される。
歯車３１１、３２１、３３１、３４１と、歯車３５１、３６１、３７１、３８１との歯数は同じであり、従って、歯車３１１、３２１、３３１、３４１のピッチ円３１１ｐ、３２１ｐ、３３１ｐ、３４１ｐと歯車３５１、３６１、３７１、３８１のピッチ円３５１ｐ、３６１ｐ、３７１ｐ、３８１ｐとは同一となる。
【００１８】
このようにして、各内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０は、各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の内側に一対一の対応関係で配置され、各外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０は、各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の外側に一対一の対応関係で配置される。つまり、内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０と、外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０とは、対応する各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の直径を挟む位置に配置されることとなる。
下定盤上の環状のキャリア領域上にキャリア２０１を配置した状態では、キャリア２０１外周の歯車部は、内側駆動機構３１０及び外側駆動機構３５０の歯車３１１、３５１に同時に噛合しており、ステップモータ３１２及びステップモータ３５２を回転駆動すると、その位置で自転する（公転しない）ことになる。同様にキャリア２０２、２０４、２０５も、内側駆動機構３２０、３３０、３４０、及び、外側駆動機構３６０、３７０、３８０を駆動することによりその位置で自転する（公転しない）。
【００１９】
このとき、一つのキャリアについてみると、例えばキャリア２０１の歯車部に噛合する内側駆動機構３１０のステップモータ３１２と外側駆動機構３５０のステップモータ３５２の回転数は、同一で同一方向のものとしている。回転数が一致していないと、キャリア２０１が歯車３１１、歯車３５１の間からはずれる。
各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の回転数は、夫々対応する内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０及び外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０の回転数により定まる。回転数は同一とすることもできるし、夫々独自の回転数とすることもできる。
【００２０】
本実施形態に係る両面研磨装置３００によってワーク２５０を研磨する場合に、下定盤４１０上の環状のキャリア領域上の所定の位置にキャリア２０１、２０２、２０３、２０４を配置するとき、キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の歯車部が夫々歯車３１１、３２１、３３１、３４１と、歯車３５１、３６１、３７１、３８１に対して同時に噛合するように配置する。そして、上定盤４２０を被せ、駆動モータ４６１を駆動して下定盤４１０と上定盤４２０を回転駆動しつつ、内側駆動機構３１０、３２０、３３０、３４０のステップモータ３１２、３２２、３３２、３４２と、外側駆動機構３５０、３６０、３７０、３８０の各ステップモータ３５２、３６２、３７２、３８２を回転駆動する。すると、回転する下定盤４１０及び上定盤４２０との間で、キャリア２０１、２０２、２０３、２０４は、一定の位置を維持しつつ自転する。これにより、ワーク２５０は、下定盤４１０の研磨面４１１と、上定盤４２０の研磨面４２１との間でスラリーの供給下において両面が研磨される。
【００２１】
以上説明したように本発明に係る両面研磨装置によれば、各キャリアに対して一対一の対応関係にて内側駆動機構及び外側駆動機構が夫々配置されて駆動力の伝達がなされるので、サンギヤやインターナルギヤを使用する必要がなくなり、多数の駆動軸が同軸に設けられる軸受けユニットを廃止することができ、装置や部品の大型化を防止して装置の製造コストを低減することができる。
また、キャリアと駆動用の歯車の位置関係の調整に際しては、それほど重量が大きくならない内側駆動機構及び外側駆動機構を位置調整すればよいので、調整作業を簡略化することができ、製造コストを低減することができる。また、本実施形態によれば、内側駆動機構及び外側駆動機構は独立して回転制御されるステップモータを備えるので、キャリアごとに独自の回転制御を行うことができる他、駆動モータを小型化することができる。
【００２２】
次に本発明の他の実施の形態例に係る両面加工装置について説明する。図４は第２の実施の形態例に係る両面研磨装置の概略構成を示す斜視図である。本実施形態において、両面研磨装置５００は、第１の実施形態の場合と同様に、下定盤及び上定盤を備え、下定盤と上定盤間に配置されたキャリアに保持されたワークを研磨する。また、定盤駆動機構についても、第１の実施形態と同様の構造を備える。本実施形態に係る両面研磨装置５００は、外側駆動機構５１０、５２０、５３０、５４０及び内側駆動機構５５０、５６０、５７０、５８０の構成が第１の実施形態と異なっている。
両面研磨装置５００の外側駆動機構５１０、５２０、５３０、５４０は、キャリア領域の外側位置に配置されており、各キャリア２０１、２０２、２０３、２０４の歯車部に噛合する歯車５１１、５２１、５３１、５４１を備える。これらの歯車５１１、５２１、５３１、５４１は、回転伝達機構であるベルト５９２と、４つの同径のプーリ５１２、５３２、５４２（歯車５２１に対応するプーリは図示されていない）とによって回転駆動される。この例では、軸５１３、５３３、５４３（歯車５２１に対応する軸は図示されていない）が両面研磨装置５００の本体に取付けられており、１台の駆動モータ５９１でベルト５９２を駆動するようにしている。このため、歯車５１１、５２１、５３１、５４１は同一方向に同一回転数で回転する。
【００２３】
本実施形態では、内側駆動機構５５０、５６０、５７０、５８０についても同様の機構で回転駆動することができる。
本実施形態に係る両面研磨装置５００によれば、少ない数の駆動モータでキャリアを回転駆動することができ、装置の部品点数を少ないものとしその構成を簡単なものとすることができる。
なお、上記実施の形態例では、両面研磨装置を例として説明したが、本発明は両面加工装置としてワークの研削を行う両面研削装置を対象とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施の形態例に係る両面研磨装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】両面研磨装置の回転状態を示す平面図である。
【図３】両面研磨装置の概略構成を示す斜視図である。
【図４】第２の実施の形態例に係る両面研磨装置の概略構成を示す斜視図である。
【図５】両面研磨装置の概略構成を示す断面図である
【図６】両面研磨装置の回転状態を示す平面図ある。
【符号の説明】
【００２５】
２０１、２０２、２０３、２０４  キャリア、２１０  キャリア本体、２２０  保持孔、２５０  ワーク、３００  両面研磨装置、３１０、３２０、３３０、３４０  内側駆動機構、３１１、３２１、３３１、３３４  歯車、３１２、３２２、３３２、３４２  ステップモータ、３１３、３２３、３３３、３４３  軸、３５０、３６０、３７０、３８０  外側駆動機構、３５１、３６１、３７１、３８１  歯車、３５２、３６２、３７２、３８２  ステップモータ、３５３、３６３、３７３、３８３  軸、４１０  下定盤、４１１  研磨面、４１２  駆動軸、４１４  歯車、４１３  支持部、４２０  上定盤、４２１  研磨面、４３０  定盤駆動部、４３１  駆動軸、４３２  歯車、４４０  吊下装置、４５０  スラリー供給装置、４６０  駆動装置、４６１  駆動モータ、４６２  ギアボックス、４６３  出力軸、４６４、４６５  歯車
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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