(57)【要約】  【課題】本発明の研磨方法は、特に平均粒径が１ｍｍ未満の酸化ジルコニウム質粉砕用媒体において、従来の問題点を解決し、生産性が良く、表面平滑性に優れる研磨方法を提供することにある。  【解決手段】研磨槽内に、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨槽内に、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法。
【請求項２】
研磨対象物の平均粒径が０．０３ｍｍ以上０．１ｍｍ未満であり、かつ研磨対象物と研磨補助材との平均粒径の比が１：３０〜１：７０であることを特徴とする請求項１に記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項３】
研磨対象物の平均粒径が０．１ｍｍ以上０．３５ｍｍ未満であり、かつ研磨対象物と研磨補助材との平均粒径の比が１：７〜１：４０であることを特徴とする請求項１に記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項４】
研磨対象物の平均粒径が０．３５ｍｍ以上１ｍｍ未満であり、かつ研磨対象物と研磨補助材との平均粒径の比が１：３〜１：１０であることを特徴とする請求項１に記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項５】
研磨槽内に添加した研磨対象物の重量と研磨補助材の重量の比が、１：３〜１：５であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項６】
研磨槽内に添加した研磨対象物の重量と研磨補助材の重量の比が、１：０．５〜１：２であることを特徴とする請求項１または４に記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項７】
研磨対象物と研磨補助材が同一組成のセラミックス焼結体からなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項８】
研磨対象物と研磨補助材が酸化ジルコニウム質焼結体であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項９】
研磨材が酸化アルミニウム質研磨材または炭化珪素質研磨材であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項１０】
溶媒として水、アルコールのいずれかを用いることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の球体のバレル研磨方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の研磨方法を用いることを特徴とする研磨対象物の表層が少なくともセラミックス焼結体からなる球体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨対象物の大きさが平均粒径０．０３ｍｍ以上１ｍｍ未満であり、表面平滑性に優れた球体の研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
原料等を粉砕、分散処理する装置として、例えば回転式ボールミルや媒体撹拌型ミルがよく知られている。該装置の処理室に、処理物と例えば主成分がセラミックスでその形状が球体からなる媒体（以下、粉砕用媒体という）を添加した状態で、該装置駆動部（例えば回転ディスク等）が粉砕用媒体に運動エネルギを与え、その結果処理物に剪断、衝撃、摩擦、圧縮などが作用することにより処理物を粉砕、分散する。かかる粉砕用媒体は様々な原料の微細化やインクあるいは塗料製造における分散工程等に広く使用されており、一般に、玉石またはセラミックスボールまたはセラミックスビーズ、あるいは粉砕ボールまたは粉砕ビーズとも呼ばれ、電子材料を始めとする先端材料の粉砕や分散の工程では、優れた耐摩耗性、高分散性、機械的特性ならびに耐薬品性や絶縁特性から主成分が酸化ジルコニウムからなる粉砕用媒体が好んで使用されている。特に近年においては、処理物の高付加価値化の要求から、超微細分散処理がますます要求される傾向にあり、これらの要望に対応すべく、粉砕用媒体の平均粒径も従来の１ｍｍ以上から１ｍｍ未満の小径サイズが好んで使用される。特に、処理物の凝集を極力抑えてサブミクロンやナノオーダーサイズに分散させる場合では、平均粒径が０．０５ｍｍ以下の粉砕用媒体も用いられるようになりつつある。一方、粉砕用媒体の平均粒径が小さくなるほど、相対的に媒体同士や処理物等との衝突回数が増加するため、粉砕用媒体の磨耗量も増大する傾向がある。摩耗した粉砕用媒体の微粒子は処理物へ混入し、処理物の品質を低下させる要因となりうるため、できるだけ摩耗量は少ない方が望ましい。特に使用直後の粉砕用媒体の磨耗を抑えるため、該媒体は通常、その表面が研磨されているが、平均粒径が１ｍｍ未満の粉砕用媒体は、平均粒径１ｍｍ以上の粉砕用媒体と比べてその表面は粗く摩耗しやすい。
【０００３】
このような粉砕用媒体を研磨する方法として、従来よりバレル研磨法が知られている。従来のバレル研磨法は、研磨加工する研磨対象物、研磨材あるいは研磨石と水を研磨槽に添加し、研磨槽を回転することにより前記研磨対象物の研磨加工を行う。しかし、平均粒径が１mm未満の研磨対象物である粉砕用媒体を従来のバレル研磨法を用いて研磨すると研磨効率が悪いため、平均粒径が１mm以上の粉砕用媒体と同様に良好な表面性状を得ることは困難である。前記の表面平滑性の悪い粉砕用媒体を粉砕機や分散機に供すると、運転開始直後から粉砕用媒体の初期摩耗が発生し、コンタミネーションの増加をもたらすので好ましくない。また、早期の磨耗により粉砕用媒体自体のライフタイムも短くなるので、結果的に粉砕、分散処理物のコストアップとなりやはり好ましくない。
【０００４】
形状が球状であるセラミックス製焼結体を研磨するバレル研磨方法として、例えば特許文献１に記載の方法が知られている。特許文献１は、エッジを有しない球状合成樹脂体と、遊離砥粒との混合物及び水の存在下で無機硬質体をバレル研磨処理することを特徴とする無機硬質体のバレル研磨方法である。この研磨方法では、比較的平坦な表面や凹部は研磨できるものの、酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物を研磨しようとすると、球状合成樹脂体の比重が酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物よりも軽く水中で浮き上がってしまうため、研磨速度が著しく遅くなり易いという問題がある。
また、球状合成樹脂体の硬度がセラミックス製研磨対象物よりも低いため、球状合成樹脂体の摩耗が早く平均粒径が小さくなるため、生産上安定した研磨処理が困難である。また、特許文献２には、溶液媒質に少なくとも球状ガラスビーズ及びこの球状ガラスビーズの平均粒径よりも小さい平均粒径の粒状研摩材を混在させてなる流動体を研摩対象物に接触させつつこれらを相対的に移動させることにより研摩対象物を研摩することを特徴とする研摩方法が開示されている。この研磨方法を用いて酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物を研磨しようとすると、球状ガラスビーズの比重が酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物よりも軽く水中で浮き上がってしまうため、やはり研磨速度が著しく遅くなり易いという問題がある。さらに球状ガラスビーズの強度は、酸化ジルコニウムからなるセラミックス製研磨対象物の強度よりも低いため、使用中に球状ガラスビーズの割れが発生すると言う問題もある。
【特許文献１】特開平１−１７７９６５号公報
【特許文献２】特開平７−５２０２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、特に平均粒径が１ｍｍ未満の例えば球体の酸化ジルコニウム質粉砕用媒体において、上述した従来の問題点を解決し、生産効率が良く、優れた表面平滑性が得られるバレル研磨方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、従来技術の問題点に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、例えば酸化ジルコニウム等のセラミックス焼結体から構成される球状粉砕用媒体として優れた表面平滑を得ることのできる研磨方法を見いだし、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、研磨槽内に研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のバレル研磨方法を用いると、従来のバレル研磨法よりも非常に生産効率の良い研磨加工が可能となる。さらに本発明で得られた研磨対象物には未研磨部分がほとんどなく、表面平滑性に優れる。そのため、特に初期摩耗が低減されるので、耐摩耗性を必要とする粉砕機用媒体の研磨加工および粉砕機用媒体として好適に使用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は、研磨対象物、研磨材、研磨補助材、および溶媒を添加し、該研磨対象物、該研磨材、および該研磨補助材を相対的に移動させることにより研磨対象物を研磨する研磨方法であって、該研磨対象物が球体であり、かつ該研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいことを特徴とする球体のバレル研磨方法である。
【０００９】
ここで、研磨槽とはバレル研磨装置において研磨加工処理を行う密閉された容器のことであり、研磨対象物とは、焼結後、その表面が研磨されていないセラミックスからなる焼結体であり、研磨補助材とは本バレル研磨方法において、研磨対象物の研磨を促進させる効果があるセラミックスからなる焼結体ダミーボールのことである。なお、本研磨方法における研磨補助材としてのダミーボールの表面は、焼結面であっても研磨された面のいずれでもよい。また、研磨対象物および研磨補助材が球体であるとは、それぞれ任意に抜き取って測定した１００個のフェレ径比（垂直フェレ径／水平フェレ径）が０．８５〜１．１５の範囲であることをいう。かかるフェレ径比は実体顕微鏡で研磨対象物および研磨補助材をそれぞれ撮影し、画像処理法により求めた。本発明の球体のバレル研磨方法は、例えば粉砕または分散用途に供されるいわゆる粉砕用媒体の研磨加工に好適に利用できる。なお、本発明における研磨対象物の研磨加工は、遠心式バレル機を使用したが、回転式バレル機、振動式バレル機等、公知の研磨加工装置を用いることができ何ら限定されない。
【００１０】
本発明において、前記研磨補助材の重量は、前記研磨対象物の重量よりも大きくなければならない。前記研磨補助材の重量が前記研磨対象物の重量よりも小さいかまたは同じである場合、本発明における研磨補助材の研磨促進の効果が小さくなり、研磨対象物の表面は良好な滑面状態とならない。
【００１１】
また、前記研磨補助材の重量が前記研磨対象物の重量よりも大きすぎると、研磨中に研磨対象物が破砕する可能性が高くなり好ましくない。本発明の球体のバレル研磨方法は、研磨対象物の平均粒径が０．０３ｍｍ以上１ｍｍ未満の球体である酸化ジルコニウム質焼結体の研磨加工に著しく効果がある。平均粒径が０．０３ｍｍ以上０．１ｍｍ未満の研磨対象物の研磨においては、添加する研磨補助材の平均粒径は１．５〜２ｍｍであることが好ましい。さらに、平均粒径が０．１ｍｍ以上０．３５ｍｍ未満、および平均粒径が０．３５ｍｍ以上１ｍｍ未満の研磨対象物の研磨においては、添加する研磨補助材の平均粒径は２〜４ｍｍであることが好ましい。本発明の特徴である研磨補助材を研磨対象物と一緒に研磨槽に添加することにより、平均粒径０．０３ｍｍ以上１ｍｍ未満の研磨対象物においても、良好な表面状態の得られる研磨加工が可能となった。その理由は、研磨補助材が加工時間の経過とともに添加した研磨材を微細化し、研磨材と研磨補助材との接触回数を増大させることによる研磨効果と、研磨補助材の重量が研磨対象物の重量よりも大きいので、研磨対象物と研磨補助材との衝突力や剪断力を結果的に増大させるため、研磨力が向上すると考えられる。
【００１２】
本発明の球体のバレル研磨方法において、研磨槽内に添加した研磨対象物と研磨補助材の重量の比は、研磨対象物の平均粒径が０．０３ｍｍ以上０．１ｍｍ未満、および研磨対象物の平均粒径が０．１ｍｍ以上０．３５ｍｍ未満の場合では１：３〜１：５であることが好ましく、研磨対象物の平均粒径が０．３５ｍｍ以上１ｍｍ未満の場合では、１：０．５〜１：２であることが好ましい。かかる研磨対象物の平均粒径が０．０３ｍｍ以上０．１ｍｍ未満、および研磨対象物の平均粒径が０．１ｍｍ以上０．３５ｍｍ未満の場合、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が１：３未満では研磨補助材による研磨材の微細化が促進されないため研磨対象物が十分研磨されず、平滑な表面が得られない。一方、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が１：５を超えると、研磨対象物は平滑な表面となるが、破砕が生じてしまうので好ましくない。かかる研磨対象物の平均粒径が０．３５ｍｍ以上１ｍｍ未満の場合、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が１：０．５未満では研磨補助材による研磨材の微細化が促進されないため研磨対象物が十分研磨されず、平滑な表面が得られない。一方、研磨対象物と研磨補助材の添加重量比が１：２を超えると、研磨対象物は平滑な表面となるが、破砕が生じてしまうので好ましくない。
【００１３】
本発明の球体のバレル研磨方法において、研磨対象物が酸化ジルコニウム質焼結体を研磨する場合、異物混入の防止の観点から、研磨補助材の材質を前記研磨対象物と同じ材質とすることが好ましい。本発明の球体のバレル研磨方法における研磨材としては遊離砥粒であって、高硬度で研磨能力の優れる酸化アルミニウム質研磨材や炭化珪素質研磨材が好ましい。本発明の球体のバレル研磨方法は湿式研磨であり、添加する溶媒としては、水またはアルコールが好ましい。
【００１４】
本発明の球体のバレル研磨方法における研磨対象物および研磨補助材は、通常原料となる酸化ジルコニウム粉末を所望の大きさの球体に成形した後、所定の温度と時間で焼成して焼結体を得ることができるが、特に限定されるものではない。かかる原料粉末の酸化ジルコニウム粉末は、公知の方法により製造できる。例えば、加水分解法、中和共沈法、熱分解法、水熱合成法、アルコキシド法などの化学合成法や酸化物混合法などで得た原料混合物を熱処理、粉砕、乾燥、造粒処理して得られる。本発明の球体のバレル研磨方法における研磨対象物または研磨補助材の製造方法としては、転動造粒成形法、噴霧造粒成形法、圧縮成形法、鋳込み成形法、射出成形法、押し出し成形法等の公知の成形法により球状成形物とし、必要により熱処理で成形物中のバインダや水分を除去した後、所定の温度と時間で焼成することにより得ることができる。
【実施例】
【００１５】
以下、本発明による実施例を比較例とともに挙げ、本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００１６】
使用した研磨装置は遠心バレル式であって、前記研磨装置に付帯する研磨槽は、容量が５，０００ｃｍ３でその断面は八角形であり、内面にゴムが施されており、運転中の回転数を１９０回転／分とした。溶媒は水１，０００ｃｍ３とし、洗浄作用のある液体コンパウンド（ナガセ研磨機材株式会社製、製品名ナストンＫ−３０）を５０ｃｍ３混ぜた湿式状態で研磨を行った。さらに前記溶液に研磨材１００ｃｍ３を添加した。前記研磨材としては、酸化アルミニウム質研磨材（株式会社フジミインコーポレーテッド製、製品名ＷＡ）または炭化珪素質研磨材（株式会社フジミインコーポレーテッド製、製品名Ｃ）とし、粒度は＃１８０〜＃１０００の範囲から適宜選択した。研磨加工時間は６〜１２時間となるように設定し、前記研磨材の材質と粒度を適宜変えながら粗研磨、光沢研磨を行い、最後に仕上げ研磨を行った。仕上げ研磨が終了した後、研磨槽の内容物を取り出し、流水で洗浄後、約８０℃の大気中にて脱水および乾燥を行った。乾燥後、所定の目開きの篩いを使い、研磨対象物と研磨補助材を分離した。研磨加工後の研磨対象物は、その表面をＡｕで真空蒸着した後、走査型電子顕微鏡（エリオニクス製、型式ＥＳＡ−２０００）で中心線平均粗さＲａ（μｍ）を測定し、表面の平滑性を評価した。前記中心線平均粗さは、観察倍率１０，０００倍でカットオフ値を０とし、任意に抜き取った研磨対象物１０個の試料を測定した。さらに前記研磨対象物１０個の平均値を求め、研磨対象物の表面平滑性を比較した。
【００１７】
かかる研磨対象物および研磨補助材の製造には、安定化剤として酸化イットリウムと添加剤として酸化アルミニウムが配合された比表面積８．５ｍ２／ｇ、平均粒子径０．４μｍである酸化ジルコニウム質粉末を用いた。かかる酸化ジルコニウム質粉末の比表面積は、ファインセラミックス粉体の気体吸着ＢＥＴ法による比表面積の測定方法（ＪＩＳ  Ｒ  １６２６（１９９６））に準拠し、ＢＥＴ１点法で測定した値をいう。
【００１８】
さらに、前記酸化ジルコニウム質粉末の平均二次粒子径は、次のようにして求める。すなわち、３００ｍｌのビーカに電気伝導度が５μＳ／ｃｍの純水２１０ｇと酸化ジルコニウム質粉末９０ｇとを入れ、良く撹拌した後、超音波発生器に１０分間かけて３０重量％のスラリーを調製する。その後、レーザー回折散乱式の粒度分布測定器で平均二次粒子径を測定する。なお、平均二次粒子径とは、累積分布が５０％に相当するメジアン径である。酸化ジルコニウム質粉末の球体化は、研磨対象物は噴霧造粒法または転動造粒法で、また研磨補助材の球状化は転動造粒法で成形した。さらに前記成形体を１４００℃、２時間で焼成した。焼成後のかさ密度は６．０３〜６．０５ｇ／ｃｍ３であった。かかるかさ密度は固体比重測定方法（ＪＩＳ  Ｚ  ８８０７（１９７６））に準拠した装置で測定した。かかる球体の平均粒径は、任意に抜き取った研磨対象物１００個について実体顕微鏡で撮影し、画像処理法により円相当径を求めて平均値を算出し、それを平均粒径とした。
【００１９】
また、焼結体の酸化イットリウムおよび酸化アルミニウムの含有量は、それぞれ５．０重量％および０．３５重量％であった。かかる焼結体の酸化イットリウムおよび酸化アルミニウムの含有量は次のようにして求めた。すなわち、前記球状焼結体をＨＩＰ（熱間等方圧焼結）処理したイットリア部分安定化ジルコニア質焼結体からなる円柱型治具で挟み、万能試験機で一定速度の荷重をかけて破壊し、その破壊片０．３ｇを白金るつぼに入れ、硫酸水素カリウムで融解する。これを希硝酸で溶解して定容し、ＩＣＰ発光分光分析法を用いてイットリウム、アルミニウムを定量し、さらにそれぞれを酸化イットリウム、酸化アルミニウムに換算してその含有量を求めた。
【００２０】
実施例１〜４
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材（ＷＡ＃８００、ＷＡ＃１０００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０８０（μｍ）で平均粒径が０．０３３ｍｍの研磨対象物を合計１２時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０１６〜０．０２４（μｍ）で極めて良好な表面であった。
【００２１】
比較例１〜５
実施例１〜４の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例１〜４の結果と比較した。比較例３および５の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０５８〜０．０７１（μｍ）であった。
【００２２】
【表１】
2008161948.tif 000002
【００２３】
実施例５〜８
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、炭化珪素質研磨材（Ｃ＃４００、Ｃ＃６００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０８５（μｍ）で平均粒径が０．０４９ｍｍの研磨対象物を合計１２時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０１８〜０．０２２（μｍ）で極めて良好な表面性状であった。
【００２４】
比較例６〜１０
実施例５〜８の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例５〜８の結果と比較した。比較例８および１０の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０６３〜０．０６６（μｍ）であった。
【００２５】
【表２】
2008161948.tif 000003
【００２６】
実施例９〜１２
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、炭化珪素質研磨材（Ｃ＃１８０、Ｃ＃４００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０８４（μｍ）で平均粒径が０．１０ｍｍの研磨対象物を合計１０時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０１８〜０．０２２（μｍ）で極めて良好な表面性状であった。
【００２７】
比較例１１〜１５
実施例９〜１２の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例９〜１２の結果と比較した。比較例１４および１５の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０５５〜０．０６９（μｍ）であった。
【００２８】
【表３】
2008161948.tif 000004
【００２９】
実施例１３〜１６
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材（ＷＡ＃２２０、ＷＡ＃４００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０９１（μｍ）で平均粒径が０．２０ｍｍの研磨対象物を合計６時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０１９〜０．０２３（μｍ）で極めて良好な表面性状であった。
【００３０】
比較例１６〜２０
実施例９〜１２の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例９〜１２の結果と比較した。比較例１８および２０の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０６１〜０．０７５（μｍ）であった。
【００３１】
【表４】
2008161948.tif 000005
【００３２】
実施例１７〜２０
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材（ＷＡ＃２２０、ＷＡ＃４００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０８３（μｍ）で平均粒径が０．３０ｍｍの研磨対象物を合計６時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０１９〜０．０２６（μｍ）で極めて良好な表面性状であった。
【００３３】
比較例２１〜２５
実施例１７〜２０の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例１７〜２０の結果と比較した。比較例２３および２５の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０５６〜０．０６３（μｍ）であった。
【００３４】
【表５】
2008161948.tif 000006
【００３５】
実施例２１〜２４
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材（ＷＡ＃２２０、ＷＡ＃４００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０８８（μｍ）で平均粒径が０．４１ｍｍの研磨対象物を合計６時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０１９〜０．０２６（μｍ）で極めて良好な表面性状であった。
【００３６】
比較例２６〜３０
実施例２１〜２４の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例２１〜２４の結果と比較した。比較例２３および２５の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０５８〜０．０６６（μｍ）であった。
【００３７】
【表６】
2008161948.tif 000007
【００３８】
実施例２５〜２８
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材（ＷＡ＃２２０、ＷＡ＃４００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０９３（μｍ）で平均粒径が０．６５ｍｍの研磨対象物を合計６時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０２２〜０．０２６（μｍ）で極めて良好な表面性状であった。
【００３９】
比較例３１〜３５
実施例２５〜２８の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例２５〜２８の結果と比較した。比較例３２および３５の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０６５〜０．０７１（μｍ）であった。
【００４０】
【表７】
2008161948.tif 000008
【００４１】
実施例２９〜３２
研磨槽に所定量の研磨対象物、研磨補助材、酸化アルミニウム質研磨材（ＷＡ＃２２０、ＷＡ＃４００）、コンパウンドおよび水を添加し、表面粗さＲａが０．０９０（μｍ）で平均粒径が０．８２ｍｍの研磨対象物を合計６時間研磨した。研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０２０〜０．０２６（μｍ）で極めて良好な表面性状をであった。
【００４２】
比較例３６〜４０
実施例２９〜３２の研磨加工条件のうち、研磨補助材の平均粒径、または研磨対象物と研磨補助材の重量比を変えて研磨し、実施例２９〜３２の結果と比較した。比較例３７および４０の研磨後の研磨対象物の表面粗さＲａは実施例と同等であったが、研磨対象物に割れが生じた。その他の比較例での研磨対象物の表面粗さＲａは、０．０６２〜０．０７３（μｍ）であった。
【００４３】
【表８】
2008161948.tif 000009