(57)【要約】【課題】  製造時間を通常通りの時間にすることができ、製品コストを抑えることができる光学部品を提供する。【解決手段】  光学部品の一方の面は、化学強化処理をした後に反射防止膜が蒸着されている。光学部品の他方の面には、フィルター膜が蒸着されている反射防止膜は３層程度の多層構造を有する。フィルター膜は３０層程度の多層構造を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面には、化学強化処理をした後に反射防止膜が蒸着されており、他方の面には、フィルター膜が蒸着されていることを特徴とする光学部品。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品において、
前記反射防止膜は多層構造を有し、前記フィルター膜は多層構造を有することを特徴とする光学部品。
【請求項３】
請求項１に記載の光学部品において、
前記反射防止膜は３層程度の構造を有し、前記フィルター膜は３０層程度の構造を有することを特徴とする光学部品。
【請求項４】
一方の面には、化学強化処理をした後に反射防止膜を蒸着し、他方の面には、フィルター膜を蒸着することを特徴とする光学部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＤ・ＤＶＤ・Ｂｌｕｅ−Ｒａｙ等のレコーダー用光ピックアップ、プロジェクタ、露光装置、半導体検査装置などに用いられる波長板、偏光板、ビームスプリッタ、ミラー等の光学部品及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば特許文献１の段落００２６と図２に示すように、ガラス基板の裏面に成膜する光学薄膜としてＡＲコートの熱膨張係数とほぼ等しいアルミナ膜を用いて、表面側に圧縮応力により反りが発生していたガラス基板の裏面側に引張り応力Ｆｂを働かせ、前記ＡＲコートと前記アルミナ膜とにより生じる夫々の応力（Ｆａ、Ｆｂ）を相殺させることにより、ガラス基板の反りを解消することが知られている。
【０００３】
また、特許文献１の段落００３０と図４には、薄肉の樹脂製波長板に一方の面にＡＲコートを成膜した薄肉の樹脂製偏光板を積層し、ＡＲコートとアルミナ膜とを夫々の主表面に形成したガラス基板を、前記薄肉の樹脂製偏向板が積層された主表面とは反対側の樹脂製波長板の主表面に貼り合わせた積層光学部品が記載されている。
【０００４】
また、例えば特許文献２の特許請求の範囲に示されているように、化学強化によってガラス基板の表面及び裏面に各々形成された圧縮歪み層の各々の深さの差を、再化学強化することにより減少させる記録媒体用ガラス基板の製造方法が記載されている。
【特許文献１】特開２００４−２５８３７７号公報
【特許文献２】特許第２９９８９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した従来の光学部品などをＤＶＤ、ＣＤ用の光ピックアップ関連の立ち上げミラー、ビームスプリッタなどに適用する場合、その要求面精度が厳しく、また光学特性の耐環境性も厳しい。特許文献１のアルミナ膜を用いて、温度試験や振動試験などの環境試験を行ったところ、ガラス基板との間に剥離が生じてしまった。
【０００６】
そのため、通常の光学部品へ蒸着方法を適用する場合、波長シフトの問題があり、製造困難である。そのため、イオンプロセスを用いた蒸着（ＩＡＤ、ＲＦ−イオンスパッタリング）やスパッタリングなどの成膜方法が用いられている。しかし、上記の成膜方法を用いると、膜自体の内部応力（圧縮）が強くなり、多層膜を数十層重ねた場合、０．２〜０．３ＧＰａの圧縮応力になってしまう。
【０００７】
図２（Ａ）に示すように、例えば波長板１の一方の面にフィルター膜２を３０層程度成膜すると、膜自体の内部応力で撓みが発生してしまう。
【０００８】
これを緩和するには、図２（Ｂ）に示すように、波長板１の反対面（裏面）にストレス緩和層３（応力緩和層）をフィルター２と同厚程度の厚さを成膜しなければならず、製造時間は通常の反射防止膜の２〜３倍程度掛かってしまう。
【０００９】
その結果、フィルター２と同程度の膜厚をつけるために、製品コストが倍になってしまう。
【００１０】
そこで、本発明は、製造時間を通常通りの時間とすることが可能で、製品コストを抑えることができる光学部品及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の解決手段を例示すると、次のとおりである。
【００１２】
（１）一方の面には、化学強化処理をした後に反射防止膜が蒸着されており、他方の面には、フィルター膜が蒸着されていることを特徴とする光学部品。
【００１３】
（２）前述の光学部品において、前記反射防止膜は多層構造を有し、前記フィルター膜は多層構造を有することを特徴とする光学部品。
【００１４】
（３）前述の光学部品において、前記反射防止膜は３層程度の構造を有し、前記フィルター膜は３０層程度の構造を有することを特徴とする光学部品。
【００１５】
（４）一方の面には、化学強化処理をした後に反射防止膜を蒸着し、他方の面には、フィルター膜を蒸着することを特徴とする光学部品の製造方法。
【００１６】
なお、本発明において、「３層程度の構造」と「３０層程度の構造」とは、それぞれ厳密に３層と３０層に画成される多層構造の態様に限定されず、３層と３０層に近い多層構造を含む。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、化学強化処理をした後に反射防止膜を蒸着するので、イオンプロセスを用いた蒸着（ＩＡＤ、ＲＦ−イオンスパッタリング）やスパッタリングなどの成膜方法を用いて成膜しても、光学部品のゆがみをなくすことができる。しかも、ストレス緩和層（応力緩和層）をフィルターと同じ厚さ程度成膜する必要がなく、製造時間も通常通りの時間とすることが可能であり、製品コストを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明では、光学部品の一方の面に化学強化処理をした後に反射防止膜を蒸着し、他方の面にフィルター膜を蒸着する。そのため、イオンプロセスを用いた蒸着（ＩＡＤ、ＲＦ−イオンスパッタリング）やスパッタリングなどの成膜方法を用いて成膜しても、光学部品のゆがみをなくすことができる。さらに、ストレス緩和層（応力緩和層）をフィルターと同じ厚さ程度成膜する必要がない。しかも、製造時間を通常通りの時間とすることができる。
【００１９】
本発明は、光学部品の片面のみを化学強化処理する実施形態のみに限定されない。例えば、光学部品の両面を化学強化処理したあと、一方の片面を研磨して他方の片面のみにストレス（応力）を残すようにしてもよい。
【００２０】
図１（Ａ）（Ｂ）を参照しつつ、本発明に係る光学部品を説明する。
【００２１】
図１（Ａ）に示すように、例えばミラー１０の一方の面１０ａに化学強化処理を行う。その後、他方の面１０ｂにフィルター層１１を３０層程度コートし、３０層程度の多層構造とする。化学強化処理した一方の面１０ａにも反射防止膜１２をコートする。このようにすると、その化学強化処理した一方の面１０ａに設ける反射防止膜１２は、３層程度の多層構造とするだけでも、十分にゆがみがなくなる。従来のようにストレス緩和層（応力緩和層）を特別に設けてフィルターと同じ程度の厚さに成膜する必要がない。その結果、製造時間が通常通りの時間でよく、製品コストを抑えることができる。
【００２２】
本実施例では、光学部品としてミラーを例にとって説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば波長板、偏光板、ビームスプリッタなどの光学部品であってもよい。
【００２３】
ガラスの化学強化方法には、風冷強化と化学強化があるが、ガラスの強化はガラス表面に圧縮応力を発生させることによって、引張に弱いガラスの性質を改善するのが好ましい。例えば特許文献２の段落００２８〜００４に記載の方法を参照。
【００２４】
化学強化について述べると、ガラスを硝酸カリウム(ＫＮＯ３)中に浸漬して、ガラス表面層のイオン半径の小さいＮａ＋を、よりイオン半径の大きいＫ＋に置換して、ガラス２０の表面に圧縮応力を発生させる。
【００２５】
化学強化ガラスの特徴としては、ガラスの厚みが薄くても強化可能であること、強化による変形が殆ど無いこと、異形や曲げガラスでも強化できることが挙げられる。
【００２６】
化学強化ガラスは、耐熱性、ガラス表面応力、静圧加重強度、落球試験強度の諸特性が優れている。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の１つの実施例による光学部品の製造方法を示す説明図。
【図２】従来の波長板への成膜法を示す。
【符号の説明】
【００２８】
１      波長板
２      フィルター
３      ストレス緩和層（応力緩和層）
１０    ミラー
１０ａ  ミラーの一方の面
１０ｂ  ミラーの他方の面
１１    フィルター層
１２    反射防止膜
【図１】
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【図２】
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