(57)【要約】【課題】シャフトとフランジをレーザ溶接で締結する時の、フランジの浮きや傾きを小さくしてフランジのＲＲＯの改善に関し、薄型ながら軸受特性に優れ長寿命の軸受装置を提供する事を目的とする。【解決手段】シャフトとフランジのレーザ溶接による締結で、嵌合部の外側に逃げ部を形成しその外側の受面でフランジを受けるとともに、シャフトとフランジの嵌合部の溶接しない領域を全周の１/２以上設けて、溶接後もフランジが受面から浮かない領域を確保する。これにより、全体におけるフランジの浮きや傾きが小さくなりシャフトに対するフランジのＲＲＯを小さく安定させることができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の端面側に外周面と同軸に設けられた略円筒形状の小径凸部と、前記小径凸部の根元から半径方向外側に設けられた凹み形状の逃げ部と、前記逃げ部よりも半径方向外側に設けられた軸方向の受面とを有するシャフトと、
前記小径凸部と嵌合する貫通孔と、前記受面と当接する平面とを有し、前記小径凸部との嵌合部をレーザ溶接することにより固定されている略円盤状のフランジと、
前記シャフトが挿入されて、少なくとも前記シャフトとの隙間に潤滑剤を介して相互に回転可能なスリーブとを有する軸受装置において、
前記シャフトと前記フランジの前記嵌合部はレーザ溶接をしない領域を複数箇所に    等角度ピッチ間隔で設けられ、かつこのレーザ溶接しない領域近傍において前記平面と前記受面とが当接していることを特徴とする軸受装置。
【請求項２】
前記嵌合部のレーザ溶接をしない領域の円周方向の長さの和は前記嵌合部の円周長の１/２以上であることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項３】
前記受面は外周側が軸方向で前記小径凸部側に向うようにすり鉢状に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の軸受装置。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の軸受装置と、前記シャフトあるいは前記スリーブのいずれかに回転物を搭載するためのロータハブを有するスピンドルモータ。
【請求項５】
請求項４に記載のスピンドルモータと、前記ロータハブに搭載する回転物を備えた情報装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受装置においてシャフトの一端にフランジを高精度にレーザ溶接する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＨＤＤを搭載した各種情報装置は携帯に便利なように軽薄短小化が図られている。
その一方で小型ながら高記憶容量を維持向上することも必要とされている。そのために、ディスクを精度よく回転駆動するスピンドルモータの軸受として流体軸受が使用されている。また、モータが薄型になるにつれて、シャフトとフランジの締結部分の長さも短くなったことで、シャフトに対するフランジのＲＲＯ（Ｒｅｐｅｔｉｔｉｖｅ  ｒｕｎ  ｏｕｔ：シャフトとの直角度を含む振れ）を抑制することが難しくなってきている。
【０００３】
このようなシャフトとフランジの締結方法としては、例えば、特許文献１には、レーザ溶接をシャフトとフランジの嵌合部に行なう技術が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、溶接部の円周等分割の複数複数点に同時にレーザ溶接を行うことでシャフトとの平面度や直角度の改善を行なっている。
【特許文献１】特開２００３−９４１９０号公報
【特許文献２】特開２００４−１８３８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、小型薄型化がさらに進むにつれてフランジの厚さも薄くなりより変形を受けやすくなってきており、上記特許文献に開示されたシャフトとフランジの締結方法では、レーザ溶接後に冷却される際に生ずる熱歪によってフランジがシャフト受面から浮いてＲＲＯの値が大きくなってしまうという問題がある。このシャフトとフランジの溶接での変形について図を用いて説明する。図８（ａ）に示すように、シャフト１とフランジ２の嵌合部１ｄにレーザビーム２１を照射すると照射された領域は融点を越えほぼ逆三角形形状の溶融部２０が出来る。照射が終了すると、溶融部２０は急速に溶融部周辺から熱を奪われて周囲から凝固していく。その後溶融部２０およびその周辺は材料の有する線膨張係数に応じて収縮を始める。ここで、溶融部２０の上部と下部は断面積が異なり、溶融部周辺で応力差が生じ、レーザが照射される側に近く断面積が大きい領域はより大きな引っ張り応力を受けることになる。その結果、図８（ｂ）に示すように、フランジ２がシャフト１の受面１ｂから浮いてしまう。また、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように全周で溶接をすると、最初に溶接した部分と途中や最後に溶接した部分では凝固を始める時間や周囲の影響も異なるので、フランジ２がシャフト１の受面１ｂから全周にわたる広い範囲で異なった浮き量となってしまう。そのため、シャフト１に対するフランジ２の傾きにより生じる１次の基本成分Ｗ１や溶接の等ピッチ成分のＷ３が大きくなるので、全周におけるＲＲＯは△Ｌ１のように大きな値となってしまう課題がある。
【０００６】
ここで、フランジ２のＲＲＯの測定は、図１０のようにシャフト１を治具１６でチャックし、フランジ２面の上面の位置に接触式変位測定端子１５をあて、治具１６を回転させることにより１回転の間における変位を測定したものであり、以降に記載するＲＲＯの値とはこの方法で測定した変位データの最大値と最小値の差を示している。
【０００７】
また、シャフト１の受面１ｂは加工ばらつきなどにより外周に対して上下に多少傾くばあいもある。仮に図１１（ａ）のようにシャフト１の受面１ｂが外周側で下側に傾いていた場合、ミクロ的に見ると、シャフト１とフランジ２の嵌合部１ｄには隙間がありフランジ２の当たる受面１ｂの位置が左右で異なってくる可能性がある。そのため、フランジ２をシャフト１に挿入した段階で既にフランジ２が傾いて取付けられてしまう。溶接をしない領域はこの状態を維持するので傾きが大きくなりＲＲＯが大きくなってしまう課題がある。
【０００８】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、シャフト１とフランジ２のレーザ溶接の締結に関して、シャフト１に対するフランジ２の浮きや傾きを小さくして、ＲＲＯの値を小さくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の軸受は、少なくとも一方の端面側に外周面と同軸に設けられた略円筒形状の小径凸部と、小径凸部の根元から半径方向外側に設けられた凹み形状の逃げ部と、逃げ部よりも半径方向外側に設けられた軸方向の受面とを有するシャフトと、小径凸部と嵌合する貫通孔と、受面と当接する平面とを有し、小径凸部との嵌合部をレーザ溶接することにより固定される略円盤状のフランジと、シャフトが挿入されて、少なくともシャフトとの隙間に潤滑剤を介して相互に回転可能なスリーブとを有する軸受装置において、シャフトとフランジの嵌合部はレーザ溶接をしない領域を複数箇所に等角度ピッチ間隔で設けられ、かつこのレーザ溶接しない領域近傍において平面と前記受面とが当接するよう溶接固定していることを特徴とする。
【００１０】
上記構成により、嵌合部は等しいピッチ間隔で複数箇所のレーザ溶接をしない領域を設けているので、その領域では溶接の熱によりフランジが反ることはなく、溶接後もシャフトの受面とフランジの平面は当接して浮きや傾きは発生しない。その結果、全周でのフランジの浮きや傾きも小さくなりＲＲＯの値を小さくできる。また、シャフトの受面は嵌合部の外側に逃げ部を設けているので、シャフトの受面が傾いていてもシャフトの外周側でフランジを確実に受けることができ、ＲＲＯの値はより小さくなり、ばらつきも少なくできる。
【００１１】
また、嵌合部の溶接しない領域の円周方向長さの和は嵌合部の円周長の１/２以上にすることで、フランジ平面の１/２以上の広い領域でシャフトの受面に接してフランジが浮いたり傾いたりすることがなくなる。そのため、フランジの浮きや傾きが小さくなるので、ＲＲＯの値をより小さくできる。
【００１２】
また、受面は外周側が軸方向で小径凸部側に向うようにすり鉢状に傾斜させることにより、更に外周側でフランジを受けることができる。同じ浮き量であってもより外周側で受けることにより傾きは小さくできるのでＲＲＯの値もさらに小さくできる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように本発明によれば、シャフトの逃げ部の外側に受面を形成して、シャフトとフランジの溶接箇所の嵌合部は等しいピッチ間隔で複数箇所のレーザ溶接をしない領域を設けることにより、溶接しない領域の受面ではフランジの平面を当接した状態で維持し浮きは発生しない。その結果、フランジの浮きや傾きが小さくなり、ＲＲＯの値を小さくできる。このようにＲＲＯの小さい軸受を用いたモータは回転精度が安定して、起動や停止のときに傾いたフランジが長時間磨耗して寿命が劣化することが少ないモータとなる。また、ＨＤＤにこのモータを用いると回転精度が安定しているのでリードライトなどでエラーが発生しにくく、フランジが磨耗しにくいので長寿命の製品となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明に係る実施の形態を図面に基づき説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における軸受７を含むスピンドルモータ２０が搭載されたＨＤＤ（記録再生装置）４０を示すものである。
【００１６】
［ＨＤＤ４０全体の構成］
本実施形態に係るＨＤＤ４０は、図１に示すように、複数の記録再生ヘッド１２ａ，１２ｂを含むヘッド部１２と、スピンドルモータ２０とを内部に搭載している。そして、それぞれの記録再生ヘッド１２ａ，１２ｂによってディスク（記録媒体）１３に対する情報の書き込み、あるいは既に書き込まれた情報の再生を行う。
【００１７】
ヘッド部１２は、２つの記録再生ヘッド１２ａ，１２ｂを搭載しており、ディスク１３
の表裏面に近接するように配置される。
【００１８】
ディスク１３は、ＨＤＤ４０に取り付けられる直径が、例えば、０．８５インチ、１．０インチ、１．８インチ、２．５インチ、または３．５インチ等の円板状の記録媒体である。
【００１９】
ベース６は、磁性を有するステンレス鋼材または鋼板によって形成されており、無電解ニッケルメッキを施して形成されて、スピンドルモータ２０の静止側の部分を構成している。（なお、ディスクサイズが大きいものは、非磁性材料であるアルミ系合金によって形成されており、その上にロータマグネットを吸引する磁性板が取り付けられている場合もある。）そして、ベース６は、ＨＤＤ４０の密閉筐体を構成している。また、ベース６は、その中心部分付近に、軸受部３０が固定されている。
【００２０】
ロータハブ５は、磁性材料製のステンレス鋼によって形成されており、シャフト１の上端部に嵌合するように固定されてシャフト１と一体となって回転する。また、ロータハブ５は、シャフト１の上端部が挿入される中央孔５ａと、ロータマグネット７が取り付けられるマグネット保持部５ｂと、ディスク１３が載置されるディスク載置面５ｃと、を有している。
【００２１】
スピンドルモータ２０は、ディスク１３を回転駆動するための回転駆動源となる装置であって、ロータマグネット７、ステータコア８、ステータコイル９、磁気シールド板１４および軸受部（軸受装置）３０等を備えている。軸受部は、シャフトとスリーブの隙間に潤滑剤を介して相互に回転可能な状態である。潤滑剤は、グリスやオイル、イオン性液体などを用いている。
【００２２】
［スピンドルモータ２０を構成する各部材の説明］
ロータマグネット７は、隣接する磁極がＮ極、Ｓ極と交互に配置された、円環状の部材であってＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系樹脂マグネット等によって構成されており、ロータハブ５に対して装着されている。
【００２３】
ステータコア８は、径方向に沿ってほぼ等角度間隔で配置された複数の突極部を有しており、この突極部に対してそれぞれステータコイル９が巻回される。そして、ステータコア８は、径方向における内径側に対向配置されたロータマグネット７に対して、ステータコイル９に電流を流すことで発生する磁束を付与することで、ロータマグネット７に対して回転力を付与する。
【００２４】
磁気シールド板１４は、ステータコア８の上部を覆うように取り付けられており、外部への磁気漏れを防止するための、厚さ約０．１ｍｍの磁性を有するステンレス鋼材である。
【００２５】
軸受部３０は、スピンドルモータ２０に含まれる軸受装置であって、スピンドルモータ２０における中央部付近に配置されている。
【００２６】
［軸受部３０を構成する各部材の説明］
軸受部３０は、シャフト（回転軸）１、フランジ２、スリーブ３、スラストプレート４、ロータハブ５、ベース６を含むように構成されている。
【００２７】
シャフト１は、軸受部３０の回転軸となる部材であって、レーザ溶接によってフランジ２と結合されている。
【００２８】
シャフト１およびフランジ２は、スリーブ３に対して相対回転可能な状態で嵌め込まれている。そして、フランジ２におけるスラストプレート４との軸方向の対向面には、動圧を発生させるスラスト動圧発生溝（図示せず）によりが形成されて、スラスト動圧発生部を構成している。同様に、シャフト１とスリーブ３との半径方向対向面間には、動圧を発生させるラジアル動圧発生溝（図示せず）が形成されて、ラジアル動圧発生部を構成している。そして、スリーブ３は、真鍮等の銅合金によって形成されており、表面には無電解ニッケルメッキが施されている。
【００２９】
ここで、シャフト１とフランジ２のレーザ溶接による結合について詳しく説明する。
【００３０】
シャフト１とフランジ２の材質は、たとえば、ステンレス鋼よりなっている。図２（ａ）に示すように、シャフト１の外径はφ２ｍｍで、先端には外径φ１．３ｍｍの略円筒形状の小径凸部１ｃが設けられている。また、フランジ２は、厚さ０．５ｍｍで外径はφ４ｍｍ内径φ１．３ｍｍの略円盤形状となっている。レーザ溶接時は、図２（ｂ）、（ｃ）のようにフランジ２の内周はシャフト１の小径凸部１ｃの外周に嵌合されて径方向を規制されている。ここで、シャフト１の小径凸部１ｃの根元は逃げ部１ａを設けており、フランジ２は逃げ部１ａの外側の受面１ｂで軸方向に全周で受けている。
【００３１】
このような逃げ部１ａがない場合は、図１１のようにフランジ２をシャフト１に挿入したときにシャフト１が加工のばらつきなどで外周側が下側に傾斜しているとフランジ２が傾く可能性があるが、図３のようにシャフト１に逃げ部を設けておくと受面１ｂに傾斜があってもフランジ２は傾かずに受けることができる。
【００３２】
このように、フランジ２をシャフト１の受面１ｂで受けた状態で、嵌合部１ｄの円周に対して１２０°の等しいピッチ角度の間隔の３箇所から同時にＹＡＧレーザを照射する。照射は０．８Ｋｗの出力で８ショット/秒の間隔で３ショット行なう。また、ショット時はシャフト１とフランジ２をレーザ照射部と相対的に回転速度４秒/revで回転させる。その結果、図４（ａ）のように溶接範囲は全周にわたってつながらず、溶接部と溶接部の間に溶接をしない領域Ｌｗ１、Ｌｗ２、Ｌｗ３ができる。ここで、溶接を行わない部分の長さ合計Ｌｗは、嵌合部１ｄの円周長さＬｃの１/２以上となっている。仮に、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のように全周に溶接すると、熱歪により全周でフランジ２がシャフト１の受面１ｂから浮いてしまい△Ｌ１のようにＲＲＯが大きくなってしまう。しかし、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のように溶接部しない領域を嵌合部１ｄの全周の１/２以上設けているので、その領域ではフランジ２の平面２ａはシャフト１の受面１ｂと当接しており、浮くことはない。そのため、フランジ２の浮きや傾きは小さくなり図４（ｃ）のに示す△Ｌ２のようにＲＲＯも小さくできる。
【００３３】
図５はレーザ溶接後のＲＲＯの分布の比較データを表わしている。条件Ａは本発明の構成でレーザ溶接を行なったサンプル品、条件Ｂは本発明のように逃げ部１ａを設けたが溶接は全周にわたって行なったサンプル品、条件Ｃはシャフト１に逃げ部１ａを設けず全周にわたり溶接を行なったサンプル品である。サンプル品は各１００台のＲＲＯ値を測定している。ここで、フランジ２のシャフト１に対するＲＲＯのスペックは、ロータハブ５の浮上高さとフランジ２の傾きによる磨耗を考慮して２μｍ以下に抑えておけば製品性能やモータ寿命に問題ないことが信頼性試験より得られておりこの値をスペックとしている。
【００３４】
図５の比較データに示されているように、条件Ｃでレーザ溶接を行った場合は、フランジ２を挿入したときの傾きやレーザ溶接でフランジ２が全周浮いてしまうことより大半のモータのＲＲＯ値が２μｍ以上の値となっている。しかし、本発明の条件Ａでレーザ溶接を行うと、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、嵌合部１ｄの１/２以上の領域でフランジ２の平面２ａをシャフト１の受面１ｂで規制でき、フランジ２を挿入したときの傾きもないので、ばらつきを考慮してもスペック値２μｍを満足できた。なお、条件Ｂのように逃げ部１ａを設けただけで全周溶接した場合は、ＲＲＯの平均値や分布はある程度改善するもののスペック値に対しては３割程度の不良が発生するものであった。すなわち、溶接しない部分を嵌合部１ｄの全周の１/２以上にして、しかもシャフト１の小径凸部１ｃの外側に逃げを設けて挿入時も外周側でフランジ２を確実に受けることによりばらつきを含めたＲＲＯの値をスペック値２μｍ以下にすることができた。
【００３５】
以上のように、シャフト１の小径凸部１ｃの外周側に逃げ部１ａを設けてより外周側でフランジ２を受けるとともに、シャフト１とフランジ２のレーザ溶接しない部分を１/２以上設けることにより、溶接後もシャフトの受面にフランジを確実に当接させることができ、シャフト１に対するフランジ２の浮きや傾きを小さくして、ＲＲＯの値を小さくすることができる。また、このようにＲＲＯの小さい軸受をモータの部品として用いることで回転精度や磨耗寿命を改善したモータができる。また、このモータを用いた磁気ディスク装置は、リードライト信号のエラーが削減でき、長寿命の装置として使用することが可能となる。
【００３６】
［他の実施の形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００３７】
（Ａ）
上記実施形態では、シャフト１の小径凸部の直近の外周側に逃げ部を設けて外周側で受面１ｂを設けてフランジ２を受ける構成を開示したが、これに限定されるものではない。
【００３８】
例えば、図６に示すようにシャフト１のフランジ２受面１ｂは半径方向外側に向うにつれて小径凸部１ｃ先端側に向かようにすり鉢状に傾斜していてもよい。そのため、フランジ２を挿入したときに、より確実に外周側でフランジ２を全周で受けてレーザ溶接を行うことができる。レーザ溶接後も嵌合部１ｄの全周の１/２以上は溶接をしないので、その部分はシャフト１の外周側の受面１ｂに接触した状態を維持できる。
【００３９】
これにより、フランジ２のＲＲＯはより小さい値にすることができる。また、フランジ２のＲＲＯの値が小さい軸受を用いたモータは回転精度や軸受寿命に優れたモータとなる。
【００４０】
（Ｂ）
上記実施形態では、シャフト外径φ２ｍｍ、フランジ厚さ０．５ｍｍの構成を開示したが、これに限定されるものではない。
【００４１】
例えば、シャフト外径φ１．２ｍｍ〜φ３．５ｍｍ、フランジ厚さ０．３ｍｍ〜１．２ｍｍの範囲の組合せであれば本願の適応は可能であり、フランジのＲＲＯの値を効果的に小さくできる。
【００４２】
（Ｃ）
上記実施形態では、シャフト１とフランジ２がスリーブ３に対して回転するシャフト回転の軸受のレーザ溶接の結合を開示したが、これに限定されるものではない。
【００４３】
例えば、７図（ａ）に示すようにスリーブ３がシャフト１に対して回転する軸固定の軸受であってもよい。この場合もシャフト１に対して上フランジ２ｕや下フランジ２ｄを溶接する時に、７図（ｂ）の拡大図で示すようにシャフト１の小径凸部１ｃの外側に逃げ部１ｕａを設けてその外側で受面１ｕｂを設けて上フランジ２ｕを受面１ｕｂで受ける。そのあと嵌合部１ｄの全周の１/２以下の範囲にレーザ溶接を行う。その結果、シャフト１に対する上フランジ２ｕのＲＲＯを小さくすることができる。また、下フランジ２ｄについても同様のレーザ溶接を行うことで下フランジ２ｄのＲＲＯの値を小さくすることができる。
【００４４】
（Ｄ）
上記実施形態では、図１等に示すように、情報装置としてＨＤＤ装置に用いられるスピンドルモータの締結について、本発明を適用した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００４５】
例えば搭載する装置としては、ＨＤＤ以外にも、光磁気ディスク装置、光ディスク装置、フロッピー（登録商標）ディスク装置、レーザプリンタ装置、レーザスキャナ装置、ビデオカセットレコーダ装置、データストリーマ装置等に対して搭載することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の軸受装置は、薄型のモータでレーザ溶接による締結を行なっても、シャフトに対してフランジやロータハブのＲＲＯの値をよりよくでき、高い回転精度を得ながら、磨耗が少なく長寿命となる効果を奏することから、軸受装置を搭載した回転装置に対して広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る軸受を含むスピンドルモータを搭載したＨＤＤの全体の構成を示す断面図
【図２】（ａ）は本発明の実施の形態１に係るシャフトとフランジの断面図、（ｂ）は本発明の実施の形態１に係るシャフトにフランジを挿入した状態の断面図、（ｃ）は本発明の実施の形態１に係るシャフトにフランジを挿入した状態の拡大図
【図３】本発明の実施の形態１に係るシャフトの受面に傾斜があるときの概略拡大図
【図４】（ａ）は本発明の実施の形態１に係るシャフトとフランジの溶接状態を表す概略上面図、（ｂ）は本発明の実施の形態１に係るシャフトとフランジの溶接状態を表す概略断面図、（ｃ）は本発明の実施の形態１に係るフランジのＲＲＯのグラフ
【図５】本発明の実施の形態１に係るフランジの最大ＲＲＯの分布の比較グラフ
【図６】本発明の実施の形態２に係るシャフトにフランジを挿入した拡大図
【図７】（ａ）は本発明の他の実施の形態に係る軸固定型のモータの断面図、（ｂ）は本発明の他の実施の形態に係るシャフトとフランジの拡大図
【図８】（ａ）は従来のシャフトとフランジのレーザ溶接状態を示す概略図、（ｂ）は従来のシャフトとフランジのレーザ溶接後のフランジの変形状態を示す概略図
【図９】（ａ）は従来のシャフトとフランジの溶接状態を表す概略上面図、（ｂ）は従来のシャフトとフランジの溶接状態を表す概略断面図、（ｃ）は従来のフランジのＲＲＯのグラフ
【図１０】本発明の実施の形態１に係るフランジのＲＲＯ測定治具の概要図
【図１１】従来のシャフトの受面に傾斜があるときの概略拡大図
【符号の説明】
【００４８】
１  シャフト
１ａ、１ｕａ  逃げ部
１ｂ、１ｕｂ  受面
１ｃ  小径凸部
１ｄ  嵌合部
２  フランジ
２ａ  平面
２ｕ  上フランジ
２ｄ  下フランジ
３  スリーブ
４  スラストプレート
５  ロータハブ
６  ベース
７  マグネット
８  ステータコア
９  ステータコイル
１０  ディスククランプ
１１  ネジ
１２  ヘッド
１３  ディスク
１４  磁気シールド板
１５  接触式変位測定端子
１６  治具
２０  溶融部
２１  レーザビーム
【図１】
2008275020.tif 000003
【図２】
2008275020.tif 000004
【図３】
2008275020.tif 000005
【図４】
2008275020.tif 000006
【図５】
2008275020.tif 000007
【図６】
2008275020.tif 000008
【図７】
2008275020.tif 000009
【図８】
2008275020.tif 000010
【図９】
2008275020.tif 000011
【図１０】
2008275020.tif 000012
【図１１】
2008275020.tif 000013