(57)【要約】【課題】  簡便な構成とされるとともに、高い精度にて開閉することが可能なミニフロー弁を提供する。【解決手段】  遠心ポンプにより圧送される液体が流通する主配管の吐出側と吸込側との間に接続されたミニフロー配管に設けられ、遠心ポンプの揚程が所定値以上となった際に開弁することによってミニフロー配管を介して流体を吐出側から吸込側へと返送するミニフロー弁１において、液体の吐出側圧力と吸込側圧力との差圧に基づいて開閉するパイロット弁４０ｃ，４１と、パイロット弁４０ｃ，４１の開閉動作に応じて開閉する主弁２８，３４とを備えていることを特徴とする。【選択図】      図３
2008261320.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプにより圧送される液体が流通する主配管の吐出側と吸込側との間に接続されたバイパス配管に設けられ、該ポンプの揚程が所定値以上となった際に開弁することによって前記バイパス配管を介して液体を吐出側から吸込側へと返送するミニフロー弁において、
前記液体の吐出側圧力と吸込側圧力との差圧に基づいて開閉するパイロット弁と、該パイロット弁の開閉動作に応じて開閉する主弁とを備えていることを特徴とするミニフロー弁。
【請求項２】
前記パイロット弁は、前記差圧が所定値以上となった際に変形して前記主弁側に前記液体を流すダイヤフラムを備え、
前記主弁は、前記ダイヤフラムにより導かれた前記液体の圧力によって開弁されることを特徴とする請求項１記載のミニフロー弁。
【請求項３】
前記パイロット弁と前記主弁とは、共通の筐体内に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のミニフロー弁。
【請求項４】
前記ダイヤフラムの一側に当接するダイヤフラム受け部材を備え、
該ダイヤフラム受け部材は、弾性部材によって前記ダイヤフラム側に付勢されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のミニフロー弁。
【請求項５】
前記弾性部材の設置長さを変更することにより、該弾性部材による付勢力が調整可能とされていることを特徴とする請求項４に記載のミニフロー弁。
【請求項６】
前記弾性部材は、交換可能とされていることを特徴とする請求項４又は５に記載のミニフロー弁。
【請求項７】
前記バイパス配管に設けられたフランジによって両側から狭持されて接続されるウエハ接続構造とされていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のミニフロー弁。
【請求項８】
接液部がステンレスとされていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のミニフロー弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を圧送するポンプを保護するための最小流量を確保するためのミニフローラインに設けられるミニフロー弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水等の液体を圧送するために遠心ポンプ等のポンプが多用されている。このポンプは、吐出側が締め切られた場合など所定の吐出流量が確保できない場合、そのまま運転を継続すると、ポンプ中を液体が循環して温度が異常に上昇してしまうという不具合が生じる。これを回避するために、ポンプの吐出側と吸込側との間にバイパス配管を設け、このバイパス配管にミニフロー弁を設置したミニフローラインが設けられている。このミニフローラインにより、吐出側の流量が所定流量以下になった場合に、ミニフロー弁を開としてポンプの吐出側から吸込側に液体をバイパスさせてポンプ保護のための最小流量（ミニフロー）を確保する。
【０００３】
このようなミニフローラインを適用したものとして、特許文献１に示された最小流量バイパス弁の制御装置がある。同文献に開示された最小流量バイパス弁は、ポンプの吐出側に設けた流量計の出力信号と、ポンプを駆動するモータの駆動電流の出力信号とを得て演算する制御回路によって制御される。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２０８３４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載された最小流量バイパス弁の制御装置は、流量計の出力信号等を得て演算する制御回路を備える必要があるため、信号配線等によって装置構成が複雑となりコストダウンの妨げとなる。また、比較的大規模なプラントに用いる場合には、このような制御回路を導入しても十分に採算がとれるものの、例えば１００ｍ３／ｈを下回るような小型ポンプを採用する設備では、電気的な制御装置を備えたシステムは過剰性能となるため導入が困難なのが現実である。
【０００６】
そこで、電気的な制御装置を備えないミニフローラインとして、固定絞りであるオリフィスをミニフローラインに設置し、ポンプの吐出流量の如何に関わらず常に一部流量をバイパスさせる構成が採用されている。しかし、これでは、定格時であっても常にバイパスラインに無駄な流量を流すことになってしまうので、ランニングコストが増大してしまう。さらに、バイパス流量を上乗せした定格流量を有するポンプを選定せざるを得ないので、小さなポンプを選定することができず設備コストが増大してしまう。
【０００７】
これに対して、ミニフローラインに設けたオリフィスに代えて、所定の吐出圧力以上で動作する安全弁や自動調圧弁を採用することが考えられる。しかし、安全弁や自動調圧弁は、液体の吐出圧力によって直接開弁する構成となっているため、高い精度にて開弁時期を設定することができない。例えば、安全弁に関するＪＩＳの規格によれば、±５％以内の精度が要求されているが、これではミニフロー弁として要求される精度としては十分ではない。この理由について、図６を用いて説明する。
【０００８】
同図は、典型的な遠心ポンプの特性を示すグラフであり、横軸は流量Ｑ（ｍ３／ｈ）、縦軸は揚程Ｈ（ｍ）を示す。遠心ポンプの特性は、同図に示すように、横に寝た形状の曲線となり、特に小流量時では流量変化に対して揚程の変化が小さい特性となっている。したがって、ポンプ保護のための最小流量Ｑ１時の揚程Ｈ１のときに確実にミニフロー弁を開弁させるためには、ミニフロー弁の上側最大誤差のときにミニフロー弁の設定開度を設定する必要がある。そうすると、ミニフロー弁の下側最大誤差のときでは最小流量Ｑ１を大きく越えた流量Ｑ２となってしまい、この大きな流量Ｑ２のときにミニフロー弁が開いてしまう。したがって、遠心ポンプの定格運転点は、流量Ｑ２よりも大きい流量Ｑ３すなわち揚程Ｈ２よりも小さな揚程Ｈ３で運転せざるを得なくなってしまう。つまり、精度が低いミニフロー弁では、低い揚程に定格運転点を設定せざるを得ないという問題がある。
【０００９】
さらに、安全弁や自動調圧弁は、ポンプの吐出側圧力のみによって開弁するため、吐出側の圧力が何らかの理由によって大きく変動した場合には、意図せずにミニフロー弁が開いてしまうという不具合が予想される。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡便な構成とされるとともに、高い精度にて開閉することが可能なミニフロー弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明のミニフロー弁は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかるミニフロー弁は、ポンプにより圧送される液体が流通する主配管の吐出側と吸込側との間に接続されたバイパス配管に設けられ、該ポンプの揚程が所定値以上となった際に開弁することによって前記バイパス配管を介して液体を吐出側から吸込側へと返送するミニフロー弁において、前記液体の吐出側圧力と吸込側圧力との差圧に基づいて開閉するパイロット弁と、該パイロット弁の開閉動作に応じて開閉する主弁とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
液体の吐出側圧力と吸込側圧力との差圧によって開閉するパイロット弁によって主弁の開閉を決定することとしたので、ミニフロー弁が作動する差圧を高精度に調整することができる。したがって、ポンプから吐出された液体の圧力によって直接駆動する安全弁や自動調圧弁に比べて精度を格段に高くすることができる。
【００１３】
さらに、本発明のミニフロー弁では、前記パイロット弁は、前記差圧が所定値以上となった際に変形して前記主弁側に前記液体を流すダイヤフラムを備え、前記主弁は、前記ダイヤフラムにより導かれた前記液体の圧力によって開弁されることを特徴とする。
【００１４】
差圧によって変形して液体を主弁側に導くダイヤフラムを備えたパイロット弁とするとともに、ダイヤフラムにより導かれた液体の圧力によって開弁する主弁とすることにより、機械式で自力的に動作するミニフロー弁とした。したがって、流量センサや圧力センサからの出力信号を用いて電気制御を行う必要がないので、簡便な構成で安価に提供することができる。
【００１５】
さらに、本発明のミニフロー弁では、前記パイロット弁と前記主弁とは、共通の筐体内に配置されている。
【００１６】
パイロット弁と主弁とを共通の筐体内に配置することとしたので、ミニフロー弁をコンパクトに構成することができる。
【００１７】
さらに、本発明のミニフロー弁では、前記ダイヤフラムの一側に当接するダイヤフラム受け部材を備え、該ダイヤフラム受け部材は、弾性部材によって前記ダイヤフラム側に付勢されていることを特徴とする。
【００１８】
ダイヤフラム受け部材を弾性部材によってダイヤフラム側に付勢することにより、ダイヤフラムが動作する差圧を設定することができる。なお、弾性部材としては、例えばコイルバネを用いることができる。
【００１９】
さらに、本発明のミニフロー弁では、前記弾性部材の設置長さを変更することにより、該弾性部材による付勢力が調整可能とされていることを特徴とする。
【００２０】
例えば、弾性部材であるコイルバネの一端を受けるバネ受けの設置位置を調整ネジ等によって変更することにより、コイルバネの設置長さを変更することができる。このようにして弾性部材の設置長さを変更することにより、弾性部材による付勢力を調整可能としたので、パイロット弁の作動差圧を詳細に調整することができる。
【００２１】
さらに、本発明のミニフロー弁では、前記弾性部材は、交換可能とされていることを特徴とする。
【００２２】
弾性部材を交換可能とすることにより、異なる弾性力を有する弾性部材に変更することができる。これにより、ダイヤフラムを付勢する力を変更することができるので、パイロット弁が作動する差圧を広範に設定することができる。
【００２３】
さらに、本発明のミニフロー弁では、前記バイパス配管に設けられたフランジによって両側から狭持されて接続されるウエハ接続構造とされていることを特徴とする。
【００２４】
バイパス配管のフランジによって両側から狭持される状態で接続されるウエハ接続としたので、バイパス配管のフランジの規格に依存することなくミニフロー弁を接続することができる。
また、ミニフロー弁にフランジを形成する必要がないので、本体重量を減じることができ、廉価に提供することができる。
【００２５】
さらに、本発明のミニフロー弁では、接液部がステンレスとされていることを特徴とする。
【００２６】
接液部をステンレスによって構成することとしたので、液体の種類に依存せずに用いることができる。
【発明の効果】
【００２７】
液体の吐出側圧力と吸込側圧力との差圧によって開閉するパイロット弁によって主弁の開閉を決定することとしたので、高精度にて開閉を制御できるミニフロー弁を提供することができる。
また、差圧によって変形して液体を主弁側に導くダイヤフラムを備えたパイロット弁とするとともに、ダイヤフラムにより導かれた液体の圧力によって開弁する主弁とすることにより、機械式で自力的に動作するミニフロー弁としたので、簡便な構成で安価にミニフロー弁を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
図１には、本発明の一実施形態にかかるミニフロー弁１が設置された給水設備３の概略構成が示されている。
【００２９】
給水設備３は、水（液体）を貯蔵する給水タンク５と、給水タンク５から給水先（図示せず）との間に設けられた給水配管（主配管）７と、給水配管７に設けられ、給水タンク５内の水を汲み上げて給水先へと圧送する遠心ポンプ９とを備えている。
遠心ポンプ９は、図示しない駆動モータによって回転駆動されるようになっている。
【００３０】
遠心ポンプ９の吐出側の給水配管７と給水タンク５との間には、ミニフロー配管（バイパス配管）１０が設けられている。このミニフロー配管１０に、ミニフロー弁１が設けられている。
【００３１】
ミニフロー弁１は、パイロット弁部１２と、主弁部１４とを備えている。パイロット弁部１２には、遠心ポンプ９の吐出側の液体を導く吐出流体導入管１６と、遠心ポンプ９の吸込側の流体を導く吸込流体導入管１８とが接続されている。これら導入管１６，１８から導かれた流体の差圧に基づいて、パイロット弁部１２の弁が開閉し、これに応じて主弁部１４の弁が開閉するようになっている。なお、図１において、ミニフロー弁１のパイロット弁部１２と主弁部１４とが分離して示されているが、これは、それぞれの機能を模式的に示したものであって、後述するように、パイロット弁部１２と主弁部１４とは一体とされた筐体で構成されている。
【００３２】
図２には、ミニフロー弁１の正面図が示されており、図３及び図４には、ミニフロー弁１の縦断面図が示されている。また、図３はミニフロー弁１の閉弁時を示し、図４はミニフロー弁１の開弁時を示している。
【００３３】
図２乃至図４に示されているように、ミニフロー弁１は、ミニフロー配管１０に接続される主弁部１４と、主弁部１４の上方に接続されたパイロット弁部１２とを備えている。
図３に示すように、主弁部１４の外形を形成する主弁部ボディ（筐体）１９には、ミニフロー配管１０から水が流入する入口部２０と、ミニフロー配管１０へと水が流出する出口部２２とが設けられている。入口部２０及び出口部２２は、図３において水平方向に並んだ状態で設けられている。入口部２０には入口室２０ａが形成されており、出口部２２には出口室２２ａが形成されている。なお、図３及び図４では、入口部２０が左側に、出口部２２が右側に示されており、図１と逆になっていることに留意すべきである。
【００３４】
主弁部ボディ１９内には、入口部２０及び出口部２２が並んで設置される水平方向に直交する中心軸線上に、弁棒２４が配置されている。弁棒２４の上端（一端）には、ピストン２６が固定されており、弁棒２４の下端（他端）には、主弁体２８が固定されている。
ピストン２６は、主弁体ボディ１９の上方に形成されたピストン室２７内に、中心軸線方向に摺動可能に配置されている。
【００３５】
主弁体２８は、有底円筒形とされ、その底部２８ａを上方（弁棒２４側）に向けた状態で配置されている。主弁体２８の凹部２８ｂ側の一部は、主弁部ボディ１９の底部１９ａに螺合された蓋体３０の凹部３０ａ内に収容されている。主弁体２８は、蓋体３０の凹部３０ａ内で摺動しつつ往復動する。主弁体２８の凹部２８ｂ及び蓋体３０の凹部３０ａで形成される空間には、主弁体バネ３２が配置されている。主弁体バネ３２は、弁棒２４と同一軸線を有した状態で配置されており、主弁体２８を上方（弁棒２４側）へと付勢するようになっている。
【００３６】
主弁体２８の上方（弁棒２４側）には、弁座３４が設けられている。弁座３４は、有底円筒形とされ、その底部３４ａが上方を向いた状態で配置されている。弁座３４の底部３４ａの中央には孔３４ｂが形成されており、この孔３４ｂに弁棒２４が挿通されるようになっている。弁座３４の開口端３４ｃは、入口室２０ａと出口室２２ａとを仕切る隔壁３６に対して嵌合されている。弁座３４の底部３４ａ側の側壁には、周方向に流通孔３４ｄが複数形成されており、この流通孔３４ｄを介して水が流れるようになっている。弁座３４の開口端３４ｃ側の端面に対して、主弁体２８の底部２８ａ側の端面が当接および離間するようになっている。主弁体２８が弁座３４に対して当接した状態（図３の状態）が閉弁状態とされ、主弁体２８が弁座３４に対して離間した状態（図４の状態）が開弁状態とされる。
【００３７】
パイロット弁部１２は、主弁部１４側に位置する第１パイロット弁部ボディ（筐体）４０と、この第１パイロット弁部ボディ４０に接続される第２パイロット弁部ボディ（筐体）４２によって、その外形が構成されている。第１パイロット弁部ボディ４０は、主弁部ボディ１９と第２パイロット弁部ボディ４２との間に配置されている。主弁部ボディ１９、第１パイロット弁部ボディ４０及び第２パイロット弁部ボディ４２は、複数のボルト４４によって一体的に固定されている。これにより、パイロット弁部１２及び主弁部１４は、一体で構成されることになる。
【００３８】
第１パイロット弁部ボディ４０の中央には、弁棒２４と略同一軸線を有する中心孔４０ａが形成されている。中心孔４０ａの周囲には、突出部４０ｃによって仕切られた吐出流体導入室４０ｂが形成されている。突出部４０ｃの上端は、後述するダイヤフラム４１に対して当接可能となっている。吐出流体導入室４０ｂには、吐出流体導入ポート４０ｄを介して、吐出流体導入管１６（図２参照）から導かれる吐出流体が導入される。
【００３９】
第２パイロット弁部ボディ４２は、下方のフランジ部４２ａと、上方の筒状部４２ｂとを有している。
フランジ部４２ａの下端（第１パイロット弁部４０側）には、凸部４２ｃが設けられており、第１パイロット弁部ボディ４０に形成された凹所に嵌合されている。このようにフランジ部４２ａの凸部４２ｃと第１パイロット弁部４０とを嵌合する際に、ダイヤフラム４１の周囲が押さえ込まれて固定されるようになっている。
フランジ部４２ａの下端の中央には、ダイヤフラム受け部材４９が収納されている。ダイヤフラム受け部材４９は、フランジ部４２ａに対して摺動しつつ往復動する。ダイヤフラム受け部材４９の下面はダイヤフラム４１に当接するようになっている。
【００４０】
ダイヤフラム受け部材４９の上面側に位置する第２パイロット弁部ボディ４２には、吸込流体導入室４２ｄが形成されている。吸込流体導入室４２ｄには、吸込流体導入ポート４２ｅを介して、吸込流体導入管１８（図２参照）から導かれる吸込流体が導入される。
【００４１】
ダイヤフラム受け部材４９の中央には、上方に突出する凸部４９ａが形成されている。この凸部４９ａは、フランジ部４２ａの中央に形成された中央孔部４２ｆ内に下方から収納されている。この中央孔部４２ｆ内には、下方バネ受け部材５１の下方に形成された凸部５１ａが上方から収納されており、この凸部５１ａの下端面がダイヤフラム受け部材４９の凸部４９ａの上端面に当接している。
【００４２】
第２パイロット弁部ボディ４２の筒状部４２ｂ内には、ダイヤフラム受け部材４９と同一軸線を有する調整コイルバネ５３が収納されている。調整コイルバネ５３の下方は下方バネ受け部材５１により支持されており、調整コイルバネ５３の上方は上方バネ受け部材５５により支持されている。
上方バネ受け部材５５の上部には上方に突出する凸部５５ａが形成されており、上方に位置する調節ネジ５７の下端に当接するようになっている。調節ネジ５７は、筒状部４２ｂの上端に螺結された上部蓋体５９の中央に螺合されている。調節ネジ５７を回転させることにより上部蓋体５９に対して上下方向に進退させて、調整コイルバネ５３の設置長さを変更できるようになっている。このように調整コイルバネ５３の設置長さを変更することにより、調整コイルバネ５３の付勢力を変更することができる。つまり、下方バネ受け部材５１及びダイヤフラム受け部材４９を介してダイヤフラム４１に伝達される付勢力が調整できるようになっている。したがって、ダイヤフラム４１の動作圧すなわちパイロット弁の作動差圧を詳細に調整することができる。
【００４３】
調整コイルバネ５３は、上部蓋体５９を取り外すことによって交換することができるようになっている。これにより、異なるバネ力を有する調整コイルバネに変更することによってダイヤフラムを付勢する力を大きく変更することができるので、パイロット弁が作動する差圧を広範に設定することができる。
【００４４】
上述したミニフロー弁１の主弁部ボディ１９、第２パイロット弁部ボディ４２、ダイヤフラム４１、ダイヤフラム受け部材４９、ピストン２６、主弁体２８、弁座３４といった接液部は、ステンレスによって構成されている。これにより、液体の種類に依存せずにミニフロー弁を用いることができる。
【００４５】
図５には、ミニフロー弁１がウエハ接続された状態が示されている。同図に示されているように、ミニフロー配管１０には、対向する２つのフランジ１０ａが設けられ、これらフランジ１０ａ間にミニフロー弁１が配置される。具体的には、ミニフロー配管１０内の流路とミニフロー弁１の入口部２０及び出口部２２の流路とが一致するように配置された状態で、対向する両フランジ１０ａ間に複数の長ボルト６０を挿通させ、他端のナット６１で固定する。
このように、ミニフロー弁１を、両側から狭持される状態で接続されるウエハ接続としたので、ミニフロー配管のフランジの規格に依存することなくミニフロー弁１を接続することができる。
また、ミニフロー弁１にフランジを形成する必要がないので、本体重量を減じることができ、廉価に提供することができる。
【００４６】
次に、上記構成のミニフロー弁１を用いた給水設備の動作について説明する。
図１に示すように、給水タンク５内に貯留された水は、遠心ポンプ９によって、給水配管７を通って給水先へと供給される。
【００４７】
遠心ポンプ９の揚程がミニフロー弁１の設定値以下の場合、すなわち遠心ポンプ９の吐出流体の圧力と吸込流体の圧力との差圧が設定差圧以下の場合には、ミニフロー弁１は閉じられており、ミニフロー配管１０には水が流れない。遠心ポンプ９の吐出流体の圧力と吸込圧力の差圧は、吐出流体導入管１６および吸込流体導入管１８から導かれる流体から、ミニフロー弁１のパイロット弁部１２にて得る。
具体的には、図３に示すように、吐出流体導入管１６からの流体は、吐出流体導入ポート４０ｄを介して吐出流体導入室４０ｂへと導かれる。吸込流体導入管１８からの流体は、吸込流体導入ポート４２ｅを介して吸込流体導入室４２ｄへと導かれる。このとき、ダイヤフラム４１には、吐出流体導入室４０ｂ内の圧力による上向きの力が加わっている。一方で、ダイヤフラム４１には、吸込流体導入室４２ｄ内の圧力による下向きの力と、調整コイルバネ５３からの下向きの力の合力が加わっている。遠心ポンプ９の揚程が所定値以下の場合には、ダイヤフラム４１に加わる下向きの力が上向きの力よりも勝っているので、ダイヤフラム４１はダイヤフラム受け部材４９によって下方へと押し下げられて突出部４０ｃの上端に当接される。すなわち、ダイヤフラム４１及び突出部４０ｃによって構成されるパイロット弁が閉とされる。この場合には、吐出流体導入室４０ｂ内の流体が中心孔４０ａを通ってピストン室２７へと流れ込まないので、ピストン２６に対して下方へ押し下げる力が加わることがない。一方、ピストン２６が固定された弁棒２４の他端（下端）には主弁体２８が固定されており、この主弁体２８は主弁体バネ３２によって上方へと付勢されている。したがって、主弁体２８は弁座３４に対して当接して流路を締め切ることになり、入口室２０ａ内の流体が出口室２２ａへと流れることはない。
【００４８】
次に、遠心ポンプ９の揚程が増大した場合について説明する。
給水先が締め切られた場合、遠心ポンプ９の運転がそのまま継続されると、流量が減少するとともに遠心ポンプ９の揚程が増大する。そして、遠心ポンプ９の揚程がミニフロー弁１の設定値を超えた場合、すなわち遠心ポンプ９の吐出流体と吸込流体との差圧が設定差圧を超えた場合には、ミニフロー弁１が開けられ、ミニフロー配管１０に水が流されて給水タンク５へと返送される。これにより、遠心ポンプ９を保護するための最小流量が確保される。
このとき、ミニフロー弁１は以下のように動作する。図４に示すように、揚程が大きくなると吐出流体の圧力が大きくなり吐出流体導入室４０ｂ内の圧力が上昇する。これにより、ダイヤフラム４１を上方へと押し上げる力が増大し、最終的には吸込流体導入室４２ｄ内の圧力による下向きの力と、調整コイルバネ５３からの下向きの力の合力に打ち勝って、ダイヤフラム４１が突出部４０ｃの上端から離間する。すなわち、ダイヤフラム４１及び突出部４０ｃによって構成されるパイロット弁が開とされる。すると、吐出流体導入室４０ｂ内の流体が中心孔４０ａを通ってピストン室２７へと流れ込み、ピストン２６に対して下方へ押し下げる力を加える。この吐出流体による圧力によってピストン２６を下方へ押し下げる力が、主弁体バネ３２が主弁体２８及び弁棒２４を介してピストンを上方へ押し上げる力に打ち勝って、ピストン２６が下方へと押し下げられる。これにより、主弁体２８が弁座３４から離間して流路を形成することになり、入口室２０ａ内の流体が出口室２２ａへと流れこむ。
【００４９】
また、遠心ポンプ９の揚程が減少してミニフロー弁１の開弁設定値を下回った場合には、ダイヤフラム４１に加わる上向きの力が下向きの力を下回り、ダイヤフラム４１が突出部４０ｃに当接する。これにより、吐出流体導入室４０ｂ内の流体が中心孔４０ａを通ってピストン室２７へと流れ込まなくなるので、ピストン２６に対して下方へ押し下げる力が弱くなり、ピストン２６は主弁体バネ３２の力によって上方へと押し上げられ、主弁体２８が弁座３４に当接することによって閉弁する。
【００５０】
以上説明したように、本実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
遠心ポンプ９の吐出側圧力と吸込側圧力との差圧によって変形するダイヤフラム４１によってパイロット弁を構成し、このパイロット弁の開閉によって主弁体２８の開閉を決定することとしたので、ミニフロー弁１が作動する差圧を高精度に調整することができる。したがって、遠心ポンプ１から吐出された流体の圧力によって直接駆動する安全弁や自動調圧弁に比べて精度を格段に高くすることができる。
また、差圧によって変形して流体をピストン室２７に導くダイヤフラム４１を備えたパイロット弁とするとともに、ダイヤフラム４１から導かれた流体の圧力によってピストン２６を押し下げて開弁する主弁体２８とすることにより、機械式で自力的に動作するミニフロー弁１とした。したがって、流量センサや圧力センサからの出力信号を用いて電気制御を行う必要がないので、簡便な構成で安価に提供することができる。
また、パイロット弁部１２と主弁部１４とを接続することにより、パイロット弁および主弁を共通の筐体内に配置することとしたので、ミニフロー弁１をコンパクトに構成することができる。
【００５１】
なお、本実施形態では、流体の一例として水を用いて説明したが、他の液体であっても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施形態にかかるミニフロー弁が設置された給水設備を示した概略図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかるミニフロー弁を示した正面図である。
【図３】図２のミニフロー弁であり、閉弁時を示した縦断面図である。
【図４】図２のミニフロー弁であり、開弁時を示した縦断面図である。
【図５】図２のミニフロー弁のウエハ接続を示す縦断面図である。
【図６】遠心ポンプの特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５３】
１  ミニフロー弁
７  給水配管（主配管）
９  遠心ポンプ
１０  ミニフロー配管（バイパス配管）
１２  パイロット弁部
１４  主弁部
２８  主弁体（主弁）
３４  弁座（主弁）
４０ｃ  突出部（パイロット弁）
４１  ダイヤフラム（パイロット弁）
【図１】
2008261320.tif 000003
【図２】
2008261320.tif 000004
【図３】
2008261320.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008261320.tif 000007
【図６】
2008261320.tif 000008