(57)【要約】【課題】波長分散型Ｘ線分析装置において状態分析のために高波長分解能でのＸ線プロファイルを取得する際の時間を短縮する。また、定量／定性分析のための広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルの取得に並行的に状態分析用Ｘ線プロファイルの取得を可能とする。【解決手段】分光結晶４とＸ線検出器６とを倍角の関係（θ，２θ）を保って移動させる従来の波長走査駆動部２１とは別に、分光結晶４のみを軸４ａを中心に微小角度範囲だけ高速で回動させる微小駆動部２２を設ける。例えば波長走査駆動部２１により比較的大きな波長ステップ幅で波長走査する際に目的元素のピーク位置に達すると、Ｘ線検出器６の位置を停止して分光結晶４のみを繰り返し往復回動させ、その動作に同期してデータ処理部２４はＸ線検出データを取得してＸ線プロファイルを作成する。【選択図】図１
2008008864.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料から発生するＸ線を、所定の角度関係を保って走査される分光結晶と検出器とで波長分散・検出する波長分散型Ｘ線分析装置において、
a)前記分光結晶をＸ線の入射角度が変化するように回動させる微小駆動手段と、
b)目的元素のピークが現れる波長の近傍で、前記検出器の位置を固定して前記微小駆動手段により前記分光結晶を所定の角度範囲で繰り返し回動させる制御手段と、
c)前記制御手段による繰り返し回動動作に同期して前記検出器により得られる検出信号に基づいて前記角度範囲に対応した波長範囲のＸ線プロファイルを作成する処理手段と、
を備えることを特徴とするＸ線分析装置。
【請求項２】
前記分光結晶と検出器とを所定の角度関係を保って走査することで広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルを取得する動作の途中で、前記制御手段は、前記検出器の位置を一時的に固定して前記微小駆動手段により前記分光結晶を所定の角度範囲で繰り返し回動させ、前記処理手段はこの動作に対応した相対的に狭い波長範囲のＸ線プロファイルを作成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線分析装置。
【請求項３】
前記分光結晶と検出器とを所定の角度関係を保って走査することで広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルを取得するためのパラメータと、前記分光結晶を回動させることで狭い波長範囲のＸ線プロファイルを取得するためのパラメータとをそれぞれ分析者が設定するための入力手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線分析装置。
【請求項４】
前記分光結晶は平板型分光結晶であり、試料から発生するＸ線をマルチキャピラリＸ線レンズにより集光し略平行光化して前記平板型分光結晶に導入することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のＸ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光Ｘ線分析装置や電子線プローブ微小分析装置（ＥＰＭＡ）、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）等のＸ線分析装置に関し、さらに詳しくは、波長分散型（ＷＤＳ）のＸ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
試料に１次Ｘ線、電子線等の励起線を照射し、これにより試料から放出されるＸ線を検出するＸ線分析装置としては、大別して、波長分散型（ＷＤＳ）とエネルギー分散型（ＥＤＳ）とがある。波長分散型Ｘ線分析装置は、分光結晶とスリットとを組み合わせたＸ線分光器により特定波長のＸ線を選別した上で検出器で検出する構成を有する。一方、エネルギー分散型Ｘ線分析装置は、こうした波長選別を行わずにＸ線を直接半導体検出器などで検出し、その後に検出信号をエネルギー（つまり波長）毎に分離する処理を行う構成を有する。エネルギー分散型では波長走査を行うことなく多数の波長の情報が同時に得られるため短時間で波長（又はエネルギー）に対するＸ線強度分布（Ｘ線プロファイル）を取得できるという利点があるが、波長分解能やＳ／Ｎ比は比較的低い。それに対し波長分散型では、分光結晶で波長を逐次選別してから検出するので、高い波長分解能とＳ／Ｎ比でＸ線プロファイルを得ることができる。
【０００３】
図７は従来一般的に知られているＸ線分析装置の概略構成図である（例えば特許文献１など参照）。このＸ線分析装置では、試料１上で電子線が照射される微小領域（電子線照射位置２）と湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６とを同一基準面（図の紙面）上のローランド円３上に配置してある。そして、電子線照射位置２を固定点として、湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６とをリンク機構等によってローランド円３上を移動させる、具体的には、湾曲型分光結晶４への入射光軸の角度と出射角度とが等しい関係を保ちながら該角度が変化するように走査を行うことにより、Ｘ線の波長走査を行う。こうした走査を行うために、Ｘ線検出器６を固定した図示しないアームは、湾曲型分光結晶４の回転軸４ａと同軸でその湾曲型分光結晶４の２倍の角度で回転される。こうした波長走査により、所定の広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルを得ることができる。
【０００４】
また、図８に示すように、試料１から放出されたＸ線をマルチキャピラリＸ線レンズ（ポリキャピラリと呼ばれることもある）７で集束して平行化して平板型分光結晶８に導入し、平板型分光結晶８で分光されたＸ線をＸ線検出器６に送って検出する構成も従来知られている（特許文献２など参照）。この場合にも、図７の例と同様に、平板型分光結晶８とＸ線検出器６とが倍角の関係（θ，２θ）を保つようにしながらθを変化させることで、波長走査を行うことができる。
【０００５】
ところで、波長分散型Ｘ線分析装置ではエネルギー分散型装置に比べて高い波長分解能のＸ線プロファイルが得られるため、このＸ線プロファイルに現れているピークの位置に基づいた定性分析やピークの高さに基づいた定量分析のほかに、ピークの波形形状に基づいた状態分析が可能である。即ち、目的元素のピークの波形形状はその元素がどのような形態（例えば単体又は化合物）で試料中に存在しているのかによって微妙に異なるため、ピークの波形形状のピーク位置での非対称性やショルダーの出方などを判断することにより元素の化学的状態などを識別することができる。もちろん、このような状態分析を行うためには目的元素のピークの波形形状が或る程度高い波長分解能で描かれている必要がある。
【０００６】
従来の波長分散型Ｘ線分析装置ではその構成の如何に関わらず、所定の波長範囲を走査するために、分光結晶４、８を回転させるのと同期してアームの駆動等によりＸ線検出器６も移動させる、という移動動作を微小ステップずつ繰り返し、その移動の度にＸ線強度を取得する必要がある。近年、駆動機構の改良などにより、波長走査の高速化は図られているものの、モータを駆動源とする機械的な駆動を行うためにその高速化には限界があり、測定波長点数が多いと測定に時間が掛かることが避けられない。状態分析のためのＸ線プロファイルでは波長範囲は狭くてよいものの、波長分解能を高くしようとすると測定波長点数が多くなるため、測定時間が掛かるという問題がある。また、測定時間が延びることは単に分析効率を上げることが困難となるのみならず、例えばＥＰＭＡのように電子線を試料に照射し続ける場合には、それによって試料が変質したり状態が変化したりする場合もある。そのため、例えばＸ線プロファイルを長波長側から短波長側へと計測するとすると、長波長側と短波長側とでは電子線の照射時間が異なり正確な分析に支障をきたすおそれもある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３３４０８号公報
【特許文献２】特開２００５−２３３６７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その主な目的とするところは、目的元素についての状態分析を行うためのＸ線プロファイルを短時間で効率良く得ることができる波長分散型のＸ線分析装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために成された本発明は、試料から発生するＸ線を、所定の角度関係を保って走査される分光結晶と検出器とで波長分散・検出する波長分散型Ｘ線分析装置において、
a)前記分光結晶をＸ線の入射角度が変化するように回動させる微小駆動手段と、
b)目的元素のピークが現れる波長の近傍で、前記検出器の位置を固定して前記微小駆動手段により前記分光結晶を所定の角度範囲で繰り返し回動させる制御手段と、
c)前記制御手段による繰り返し回動動作に同期して前記検出器により得られる検出信号に基づいて前記角度範囲に対応した波長範囲のＸ線プロファイルを作成する処理手段と、
を備えることを特徴としている。
【００１０】
本発明に係るＸ線分析装置において微小駆動手段による駆動方法は特に限定されないが、その目的からして、回動可能角度は小さくてもよいが、その回動が高速で行えるものであることが望ましい。こうしたことから、例えば磁気型アクチュエータや圧電型アクチュエータなどを用いることができる。こうしたアクチュエータを用いれば微小駆動手段を小型化できるので、分光結晶を保持するホルダ等に組み込むことも容易である。
【００１１】
本発明に係るＸ線分析装置では、広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルを取得したい場合には、従前通り、所定の角度関係を保って分光結晶と検出器とを走査しながら検出器に導入されたＸ線の強度を検出して、その検出信号を走査に伴って処理することでＸ線プロファイルを作成する。こうしたＸ線プロファイルに基づいて定性分析や定量分析が可能である。一方、任意の目的元素についての状態分析を行いたい場合には、例えばその目的元素のピーク波長、或いは分析したい波長範囲等の情報が設定されると、制御手段はその目的元素のピーク位置近傍となるように分光結晶と検出器との位置を決め、検出器の位置を固定した状態で微小駆動手段により分光結晶のみを所定の微小の角度範囲で繰り返し往復回動させる。
【００１２】
検出器の位置を固定したまま分光結晶を回動させると、入射角と出射角との関係が理想的な状態（つまりブラッグの条件を満たす状態）から外れるため、検出器に導入されるＸ線の強度は入射角と出射角との関係が理想的な状態である場合に比較すれば低下し、その下がり方は回動角度が大きいほど大きくなる。即ち、分光結晶のみを回動させることで得られるＸ線プロファイルは厳密に言えば近似的なものである。しかしながら、特定の元素のピークをカバーできる程度の狭い波長範囲に対応する回動角度範囲であれば、上述したようなＸ線強度の低下は殆ど無視できる。また、状態分析では、同一条件の下で分析した標準試料についてのＸ線プロファイルとの形状の比較により解析が可能であるため、上述したようにＸ線プロファイルの形状が近似的であることは実質的に問題とならない。
【００１３】
また、分光結晶を所定の角度範囲だけ１往復（又は片道１回）回動させることで所定の波長範囲のＸ線プロファイルを作成することが可能ではあるが、Ｘ線強度の積算時間が短いと波形形状を判別できるだけの明確なＸ線プロファイルを作成することが難しい。そこで、制御手段は、所定の微小角度範囲で分光結晶の往復回動を繰り返し、その繰り返しの際に得られるＸ線強度を積算して、その積算の過程で作成されるＸ線プロファイルを表示するようにするとよい。
【００１４】
これにより、分光結晶の往復回動の繰り返し回数を増加させるほど、つまり測定時間を長くするほどＸ線プロファイルのピーク波形形状が明確になってその精度が高まるため、例えば分析者が目視による判断で状態分析に必要な情報が得られた段階でそのプロファイルの作成を打ち切ることにより、状態分析のスループットを向上させることができる。
【００１５】
また本発明に係るＸ線分析装置の一実施形態として、前記分光結晶と検出器とを所定の角度関係を保って走査することで広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルを取得する動作の途中で、前記制御手段は、前記検出器の位置を一時的に固定して前記微小駆動手段により前記分光結晶を所定の角度範囲で繰り返し回動させ、前記処理手段はこの動作に対応した相対的に狭い波長範囲のＸ線プロファイルを作成する構成とするとよい。
【００１６】
また、こうした構成では、前記分光結晶と検出器とを所定の角度関係を保って走査することで広い波長範囲に亘るＸ線プロファイルを取得するためのパラメータと、前記分光結晶を回動させることで狭い波長範囲のＸ線プロファイルを取得するためのパラメータとをそれぞれ分析者が設定するための入力手段を備える構成とするのが好ましい。
【００１７】
上記実施形態によれば、定量／定性分析用の広い波長範囲に亘る比較的低い波長分解能のＸ線プロファイルと、状態分析用の狭い波長範囲ではあるが比較的高い波長分解能のＸ線プロファイルとを同時並行的に、短時間で取得することができる。
【００１８】
なお、分光結晶は湾曲型分光結晶、平板型分光結晶のいずれでもよいが、例えば分光結晶を平板型分光結晶とし、試料から発生するＸ線をマルチキャピラリＸ線レンズにより集光し略平行光化してその平板型分光結晶に導入する構成とすることができる。この構成では、励起線の照射に応じて試料から放出されるＸ線を大きな立体角で以て効率良く収集して、分光・検出に供することができる。したがって、Ｘ線強度のＳ／Ｎ比が改善され、同じレベルのＸ線強度を得るために積分時間を短くしてもよいので測定時間の短縮化にも有効である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係るＸ線分析装置によれば、状態分析を行うために目的元素のピーク波形形状を含むＸ線プロファイルを従来よりも短時間で取得することができる。それにより、状態分析の分析効率を向上させることができるとともに、試料からＸ線を放出させるために試料に励起線を照射する時間が短くて済むため、励起線の照射による試料の変質や状態の変化を回避又は軽減でき、それによって分析の正確性も向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係るＸ線分析装置の一実施例である電子線プローブ微小分析装置（ＥＰＭＡ）について図面を参照して説明する。図１は本実施例のＥＰＭＡの要部の概略構成図である。既に説明した図７、図８中の構成要素と同一の構成要素には同一符号を付して詳しい説明を略す。
【００２１】
この実施例によるＥＰＭＡは、図７で説明した従来の構成のＥＰＭＡと同様に、試料１上の電子線照射位置２（湾曲型分光結晶４の入射側焦点）、湾曲型分光結晶４の結晶面、Ｘ線検出器６の入射面（湾曲型分光結晶４の出射側焦点）がローランド円３上に乗っており、制御部２３により制御される波長走査駆動部２１により、Ｘ線検出器６を固定した図示しないアームと湾曲型分光結晶４とはそれぞれ同軸上の回転軸の周りに１：２の回転角度比で以て回転駆動可能となっている。これにより、湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６とは所定の関係、つまりは倍角の関係（θ，２θ）を保って走査され、Ｘ線検出器６に入射するＸ線の波長（エネルギー）が走査されるようになっている。
【００２２】
さらに本実施例に特徴的な構成として、湾曲型分光結晶４の結晶面上の軸４ａを中心に該湾曲型分光結晶４を所定の微小角度範囲で回動させる、例えば磁気型アクチュエータから成る微小駆動部２２が設けられ、その駆動も制御部２３により制御される。制御部２３には入力部２５が付設され、分析者（オペレータ）が入力部２５により後述するような各種パラメータを入力設定すると、制御部２３はこのパラメータに従って分析を遂行するための制御を実行する。Ｘ線検出器６による検出信号はデータ処理部２４に入力され、所定のデータ処理を実行してＸ線プロファイルを作成して、該プロファイルに基づいた定性分析、定量分析或いは状態分析を実行する。作成されたＸ線プロファイルや分析結果は表示部２６に表示される。
【００２３】
なお、この図１では、微小駆動部２２による湾曲型分光結晶４の回動動作に同期させてデータ処理部２４でＸ線検出データを取得するために、制御部２３から微小駆動部２２及びデータ処理部２４に制御信号を送るようにしているが、湾曲型分光結晶４の変位量をモニタするモニタ手段を設け、このモニタ手段によるモニタ信号をデータ処理部２４に入力して湾曲型分光結晶４の回動動作に同期したデータ処理を行うようにしてもよい。
【００２４】
次に、この実施例のＥＰＭＡによる分析の一例として、定量／定性分析用の広い波長範囲のＸ線プロファイル（定量／定性分析Ｘ線プロファイルという）と状態分析用の特定の目的元素に対応する狭い波長範囲のＸ線プロファイル（状態分析Ｘ線プロファイルという）と同時に取得する場合の動作について図２、図３を参照して説明する。図２は取得されるＸ線プロファイル、図３はこの動作の際の処理フローチャートである。
【００２５】
まず、分析者は入力部２５により定量／定性分析Ｘ線プロファイル及び状態分析Ｘ線プロファイルそれぞれの波長範囲（エネルギー範囲）と波長ステップ幅とをパラメータとして入力設定する（ステップＳ１）。いま、ここでは定量／定性分析Ｘ線プロファイルの波長範囲はλ１〜λ２で波長ステップ幅がΔλ１、状態分析Ｘ線プロファイルの波長範囲はλ３〜λ４で波長ステップ幅がΔλ２であるとする。状態分析の際にはＸ線プロファイルの波形形状が重要であることから、一般的にΔλ２はΔλ１よりもかなり小さい値に設定される。
【００２６】
測定が開始されると、電子銃１０から出射して収束レンズ１１で集束された電子線１２が試料１に照射され、試料１の電子線照射位置２からＸ線が放出される。また、制御部２３の制御の下に波長走査駆動部２１により、定量／定性分析Ｘ線プロファイルの一方の波長端である波長λ１のＸ線の検出が可能である位置に湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６とが初期設定され、波長ステップ幅Δλ１の波長走査が開始される（ステップＳ２）。即ち、波長λ１から波長ステップ幅Δλ１ずつＸ線検出器６で検出されるＸ線の波長が変化するように走査され、その走査毎にデータ処理部２４ではＸ線検出データが取得される（ステップＳ３）。
【００２７】
次に定量／定性分析Ｘ線プロファイルの他方の波長端である波長λ２に達することで波長走査が終了したか否かを判定し（ステップＳ４）、未だ終了していない場合には今度は、状態分析Ｘ線プロファイルの波長走査の中心波長λ５に到達したか否かを判定する（ステップＳ５）。そして、未だ中心波長λ５に到達していなければステップＳ３に戻り、定量／定性分析用のデータの取得を継続する。波長走査の中心波長λ５に到達したならば、定量／定性分析Ｘ線プロファイル用のＸ線検出データの取得を一時中断する。そして、そこでＸ線検出器６の位置（角度）を固定し、制御部２３の制御の下で微小駆動部２２は湾曲型分光結晶４を軸４ａを中心に波長範囲λ３〜λ４に応じた微小角度範囲で繰り返し高速で往復回動させる（ステップＳ６）。
【００２８】
上述のように湾曲型分光結晶４を微小角度だけ回動させると、Ｘ線検出器６に入射するＸ線の波長が波長λ５を中心に上下に変化する。そして、湾曲型分光結晶４の角度位置の変化量が波長λ５からの波長の変化量に対応するから、データ処理部２４は湾曲型分光結晶４の高速回動時の角度位置に同期して、波長ステップ幅Δλ２に相当する角度ステップ毎にＸ線検出器６による検出信号を読み込んでＸ線検出データとして取得する（ステップＳ７）。そして、取得したＸ線検出データに基づいて、中心波長がλ５であり波長範囲がλ３〜λ４であるＸ線プロファイルを作成し（ステップＳ８）、これを表示部２６の画面上に表示する。
【００２９】
湾曲型分光結晶４を繰り返し回動させ、その回動毎に得られるＸ線検出データを波長位置毎に積算することで、時間経過に伴って信号強度レベルを高くすることができる。即ち、状態分析Ｘ線プロファイルを表示部２６の画面上に表示して湾曲型分光結晶４を繰り返し往復回動させて取得したＸ線検出データをＸ線プロファイルに反映させることにより、図２（ｂ）に示すようにＸ線プロファイルの信号レベルは徐々に上昇し、波形形状はより明瞭になってその精度は向上する。分析者はこうして表示されたＸ線プロファイルの波形形状に基づいて、目的元素の化学的状態を判断する。
【００３０】
上述のように湾曲型分光結晶４を微小回動させると該結晶４へのＸ線の入射角度θは変化するがＸ線検出器６の位置は固定されているため、中心波長λ５では湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６とは倍角の関係（θ，２θ）となるものの、該中心波長λ５から遠ざかる（図２（ｂ）で言えばλ３、λ４に近づく）ほど湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６とは倍角の関係（θ，２θ）から外れ、それ故に、Ｘ線検出器６で得られる検出信号の強度は下がる。しかしながら、もともと状態分析では或る１つのピークの波形形状を観察できる程度の狭い波長範囲が設定される（換言すれば、その程度の波長範囲しか設定できないように最大設定可能波長範囲を限定する）ため、湾曲型分光結晶４とＸ線検出器６との関係が理想的でないことによる信号強度の低下は殆ど無視できる程度である。
【００３１】
また、状態分析では主に重要なのはＸ線プロファイルの波形形状（例えばピーク波長位置に対する波形形状の対称性／非対称性、ピークのショルダーの盛り上がりなど）であって、波形形状は標準的な試料の分析結果に基づく基準のＸ線プロファイルとの比較により判断することができる。したがって、標準的な試料を同様の条件（装置）で分析すれば、信号強度の低下の程度も同様になるため、上述のような波形形状の比較には何ら支障がなくなり、正確な状態分析を行うことができる。
【００３２】
なお、上述のように湾曲型分光結晶４の繰り返し回動回数を増加するほどＸ線プロファイルの信号レベルは上昇するが、状態分析が可能である程度にその波形形状が明瞭になれば、それ以上状態分析Ｘ線プロファイルの取得を続行する必要はなくなる。そこで、例えば、分析者が入力部２５より状態分析Ｘ線プロファイルの取得の打ち切りを指示するようにすると、制御部２３はその時点で湾曲型分光結晶４の回動を停止して状態分析Ｘ線プロファイルの取得を終了し、ステップＳ３に戻り、定量／定性分析Ｘ線プロファイルの取得に戻るようにするとよい。また、こうした指示に依らずに、所定の時間或いは所定の繰り返し回数だけ湾曲型分光結晶４の高速回動を実行した後にステップＳ３に戻るようにしてもよい。
【００３３】
ステップＳ３に戻った後は、先に中断した波長λ５から波長ステップ幅Δλ１での波長走査を再開し、波長ステップ毎にＸ線検出データを取得する。そして、定量／定性分析Ｘ線プロファイルの他方の波長端である波長λ２に達したならば、ステップＳ９に進み、それまでに取得したＸ線検出データに基づいて定量／定性分析Ｘ線プロファイルを作成し、これを表示部２６の画面上に表示する。これにより、図２（ａ）に示すようにλ１〜λ２の波長範囲に亘るＸ線プロファイルが表示される。そして、このＸ線プロファイルに対し所定のデータ処理、具体的にはピーク検出が実行され、ピークの波長から成分が定性され、ピークの高さつまり信号強度から成分の量（濃度）が算出される。
【００３４】
なお、全波長範囲に亘るＸ線検出データを取得した後ではなく、波長走査に従って新たなＸ線検出データが得られるに伴ってＸ線プロファイルを描出するようにしてもよい。この場合には、図２（ａ）に示したＸ線プロファイルが時間経過に伴って波長λ１から波長λ２に向かって順に（又は波長λ２から波長λ１に向かって順に）描かれることになる。
【００３５】
上述のようにしてλ１〜λ２の波長範囲に亘る定量／定性分析Ｘ線プロファイルとλ３〜λ４の狭い波長範囲内の状態分析Ｘ線プロファイルとを同時並行的に取得することができる。定量／定性分析のためには各ピークの波形形状は重要ではなくピークトップの波長位置と信号強度とが重要であるから、波長ステップ幅Δλ１はピークトップを捉えられる程度に大きくすることができる。それによって、広い波長範囲であっても波長走査に要する時間を短くすることができる。一方、状態分析のためにはピークの波形形状が重要であるため波長ステップ幅Δλ２を小さくする必要があるが、その際の波長走査は分光結晶４のみを高速で繰り返し回動させればよく、従来のようにＸ線検出器６を移動させる必要はないので、波長走査に要する時間を短縮化することができる。
【００３６】
なお、上記実施例では、定量／定性分析Ｘ線プロファイルと状態分析Ｘ線プロファイルとを並行して取得する場合について説明したが、まず定量／定性分析Ｘ線プロファイルのみを取得し、そのプロファイルに現れているピークを指定して、そのピークを含む所定波長範囲の状態分析Ｘ線プロファイルを取得するようにしてもよい。また、状態分析Ｘ線プロファイルを取得する目的元素（ピーク）は１個のみならず、複数設定できるようにしてもよい。
【００３７】
次に本発明の他の実施例によるＥＰＭＡについて図４〜図６により説明する。図４はこの実施例によるＥＰＭＡの要部の概略構成図、図５は図４中のマルチキャピラリＸ線レンズ７の詳細図、図６はマルチキャピラリＸ線レンズにおけるＸ線の伝達の原理図である。図４において図１と同じ構成要素には同じ符号を付して説明を略す。
【００３８】
この実施例では、励起線として試料１に照射された電子線１２に応じて、試料１上の電子線照射位置２から放出されたＸ線の一部はマルチキャピラリＸ線レンズ７に入射し、マルチキャピラリＸ線レンズ７を通過することで略平行化されて平板型分光結晶８に導入される。平板型分光結晶８により分光された回折Ｘ線のうちの特定の波長成分を持つＸ線がソーラースリット９で選択されてＸ線検出器６に入射する。この構成では、ゴニオメータの中心に平板型分光結晶８が据えられるとともにゴニオメータの円周上にＸ線検出器６が配置され、波長走査駆動部２１により平板型分光結晶８とＸ線検出器６とは所定の角度関係、つまり倍角の関係（θ，２θ）を保って軸８ａを中心にそれぞれ回転駆動されることで波長走査が達成される。
【００３９】
マルチキャピラリＸ線レンズ７は例えば内径が２〜十数μｍ程度の微小径の硼珪酸ガラスから成る細管（キャピラリ）を多数（数百〜１００万本程度）束ねた基本構造を有しており、図６に示すように、１本のキャピラリ７ａの内側に入射されたＸ線がそのガラス壁の内周面を臨界角以下の角度で以て全反射しながら進行してゆく原理を利用して、Ｘ線を効率良く案内するものである。ここで使用されるマルチキャピラリＸ線レンズ７は、入射端側ではＦに焦点を有するよう各キャピラリが中心軸Ｃに向かって絞られ、出射端側ではキャピラリが略平行に束ねられた、点／平行型の構成である。
【００４０】
但し、上記のようなキャピラリ７ａ内でのＸ線の伝達原理により、図５に示すように、出射端から出射するＸ線は完全な平行光にはならず全反射角度αだけ広がる。このように本来の入射角度とは異なる角度を以て平板型分光結晶８に当たったＸ線の回折によるＸ線は通常であればソーラースリット９で除去されるが、軸８ａを中心に平板型分光結晶８が微小角度だけ回動されると、上記のように全反射角度αだけ広がって平板型分光結晶８に当たったＸ線の回折によるＸ線がソーラースリット９を通過してＸ線検出器６に入射する。即ち、上記実施例のようにＸ線検出器６の位置（角度）を固定した状態で、平板型分光結晶８を微小角度だけ往復回動させることにより、中心波長の前後に所定波長範囲のＸ線プロファイルを取得することができる。
【００４１】
なお、上記実施例は本発明の一例にすぎず、本発明の趣旨の範囲で適宜変形、追加、修正を加えても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係るＸ線分析装置の一実施例であるＥＰＭＡの要部の概略構成図。
【図２】本実施例のＥＰＭＡで取得されるＸ線プロファイルの一例を示す図。
【図３】本実施例のＥＰＭＡにおける特徴的な動作の処理フローチャート。
【図４】本発明に係るＸ線分析装置の他の実施例であるＥＰＭＡの要部の概略構成図。
【図５】図４中のマルチキャピラリＸ線レンズの詳細図。
【図６】マルチキャピラリＸ線レンズにおけるＸ線の伝達の原理図。
【図７】従来一般的に知られているＸ線分析装置の概略構成図。
【図８】従来知られている他のＸ線分析装置の概略構成図。
【符号の説明】
【００４３】
１…試料
２…電子線照射位置
３…ローランド円
４…湾曲型分光結晶
４ａ…回転軸
６…Ｘ線検出器
７…マルチキャピラリＸ線レンズ
７ａ…キャピラリ
８…平板型分光結晶
９…ソーラースリット
１０…電子銃
１１…収束レンズ
１２…電子線
２１…波長走査駆動部
２２…微小駆動部
２３…制御部
２４…データ処理部
２５…入力部
２６…表示部
【図１】
2008008864.tif 000003
【図２】
2008008864.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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