(57)【要約】【課題】芯電極と外側電極間に高電圧を印加して分極を行うと微少な欠陥があった場合、可撓性感圧体の全てが分極できない。また分極電極の通路に可撓性感圧体を載置して分極した場合、特性ばらつきが生じるという課題があった。【解決手段】芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２と、可撓性感圧体１２の全周で接触するように複数の玉鎖で構成された導電体１３と、芯電極１１と導電体１３に接続された電圧印加手段１７と、可撓性感圧体１２を加熱する加熱手段１４と、導電体１３を可撓性感圧体１２に接触しながら移動させる移動手段１５とを設けることによって、可撓性感圧体１２に均一に導電体を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。【選択図】図１
2008153264.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の全周で接触するように複数の玉鎖で構成された導電体と、前記芯電極と前記導電体に接続された電圧印加手段と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段と、前記導電体を前記可撓性感圧体に接触しながら移動させる移動手段とを設けた圧力センサの分極装置。
【請求項２】
可撓性感圧体を移動させる第二の移動手段を設け、第二の移動手段は電圧印加手段が停止している時に動作することを特徴とした請求２項に記載の圧力センサの分極装置。
【請求項３】
複数の玉鎖で構成された導電体は、導電性材料で構成した支持部材に固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサの分極装置。
【請求項４】
導電体の玉鎖の直径は、少なくとも可撓性感圧体の直径より小さい径で構成した請求項１〜３のいずれか１項に記載の圧力センサの分極装置。
【請求項５】
導電体の玉鎖の直径は少なくとも２種類以上で構成することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧力センサの分極装置。
【請求項６】
導電体が、加熱手段を兼ねる構成とした請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧力センサの分極装置。
【請求項７】
支持部材に固定された導電体を空隙を介して複数設け、可撓性感圧体が連続して導電体と接触するように設けたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧力センサの分極装置。
【請求項８】
電圧印加手段は芯電極と支持部材に接続する構成とした請求項３〜７のいずれか１項に記載のケーブル状圧力センサの分極装置。
【請求項９】
芯電極に可撓性感圧体を周設するステップと、前記可撓性感圧体を分極する複数の玉鎖で構成された導電体と前記芯電極に接続された電圧印加手段により電圧を印加するステップと、分極中に前記可撓性感圧体を加熱するステップとからなる圧力センサの分極方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧力センサの分極装置および分極方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の圧力センサは図１０示すようなものがある（例えば特許文献１参照）。図１０示すように、芯電極１の周囲に可撓性感圧体２を配置し、その周囲に外側電極３と外皮４を順次被覆して構成されている。可撓性感圧体２としては合成ゴムや合成樹脂の中にチタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛のセラミック圧電体粉末を添加した複合体が用いられ、外側電極３は可撓性感圧体２の表面に銀系ゴム塗料などの導電塗料を塗着したものが用いられている。上記ケーブル状圧力センサの一部あるいは全面に圧力が印加されたとき、その部分の圧力センサが歪む結果、芯電極１と外側電極３の間に電圧が誘起され、この誘起電圧を利用して圧力を検出している。
【０００３】
分極方法は、芯電極１と外側電極３の間に高電圧を印加して、可撓性感圧体２を分極している（例えば非特許文献１参照）。また図１１示すように、可撓性感圧体２をブロック状導電体５の通路に配設させ、ブロック状導電体５と芯電極１間に電圧を印加させることにより、ブロック状導電体５に配設された部分の可撓性感圧体２を分極している（例えば特許文献２参照）。この分極により、セラミック粒子の自発分極の方向が電界方向に揃うので、可撓性感圧体２に圧電性が付与される。
【特許文献１】特開昭６２−２３００７１号公報
【特許文献２】特開２００２−２８０６３３号公報
【非特許文献１】「圧電セラミック粉末と合成ゴムとから成る圧電複合材料」紛体と工業、２２巻、１号、１９９０年ｐ５０・５６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の圧力センサの分極方法では、芯電極１と外側電極３の間に高電圧を印加したときに、可撓性感圧体２中に微小なクラックや空孔などの欠陥が存在すると、その欠陥部で微小放電が生じる。この微小放電により、可撓性感圧体２の構成材料が熱的に蒸発、飛散して芯電極１と外側電極３間が短絡し、芯電極１と外側電極３間に高電圧を印加できなくなるので可撓性感圧体２を分極できないという課題を有していた。また、ブロック状導電体５に可撓性感圧体２を配設し、可撓性感圧体２を移動手段７によって移動させながら分極する場合においては、可撓性感圧体２はケーブル状をなしているので、ブロック状導電体５に接する部分と接さない部分が生じてしまい、分極の度合に差が生じ、特性ばらつきが発生するという課題があった。さらに、ブロック状導電体５を加熱手段６によって加熱することによって、可撓性感圧体２を加熱する場合においても、可撓性感圧体２には加熱される部分とされない部分が存在し、温度分布が生じることによる、特性ばらつきが発生するという課題があった。さらに、分極の際に芯電極と導電体との間に引力が発生するため、分極しながら可撓性感圧体を移動させると可撓性感圧体に過剰な張力が加わってしまうので、例えばプーリーやロール等を介して可撓性感圧体を移動させると
可撓性感圧体がプーリー等に接した際に張力等によって可撓性感圧体が変形するという課題があった。
【０００５】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐ。さらに、複数の玉鎖で構成された導電体を可撓性感圧体の全周で接触させ、導電体を移動させることで可撓性感圧体を分極する構成にすることで、可撓性感圧体に余剰な張力を印加させることなく均一に満遍なく分極させることで、特
性ばらつきのない安定した特性を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記従来の課題を解決するために、本発明のケーブル状圧力センサの分極装置は、芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の全周で接触するように複数の玉鎖で構成された導電体と、前記芯電極と前記導電体に接続された電圧印加手段と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段と、前記導電体を前記可撓性感圧体に接触しながら移動させる移動手段とを設けることによって、可撓性感圧体に均一に導電体を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。さらに、導電体を移動させて可撓性感圧体を分極するため、分極時に可撓性感圧体を移動させる必要が無く、過剰な張力などが可撓性感圧体に印加されるのを抑制することが出来るので、例えば可撓性感圧体がプーリーやロール等に接した際などによって生じる変形などを抑制することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のケーブル状圧力センサは、欠陥部が存在しても長尺状のケーブル全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐことができる。さらに、複数の玉鎖で構成された導電体を可撓性感圧体の全周で接触するように構成にすることで、均一に満遍なく分極し、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。さらに、導電体を移動させて可撓性感圧体を分極するため、分極時に可撓性感圧体を移動させる必要が無く、過剰な張力などが可撓性感圧体に印加されるのを抑制することが出来るので、例えば可撓性感圧体がプーリーやロール等に接した際などによって生じる変形などを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
第１の発明は、芯電極に周設された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の全周で接触するように複数の玉鎖で構成された導電体と、前記芯電極と前記導電体に接続された電圧印加手段と、前記可撓性感圧体を加熱する加熱手段と、前記可撓性感圧体を前記導電体に接触しながら移動させる移動手段とを設け、可撓性感圧体に均一に導電体を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。さらに、導電体を移動させて可撓性感圧体を分極するため、分極時に可撓性感圧体を移動させる必要が無く、過剰な張力などが可撓性感圧体に印加されるのを抑制することが出来るので、例えば可撓性感圧体がプーリーやロール等に接した際などによって生じる変形などを抑制することができる。
【０００９】
第２の発明は、特に第１の発明において、可撓性感圧体を移動させる第二の移動手段を設け、第二の移動手段は電圧印加手段が停止している時に動作する構成にすることによって、分極時に生じる導電体と芯電極間の引力の影響も受けないので過剰な張力などが可撓性感圧体に印加されるのを抑制しながら、長尺の可撓性感圧体を分極することが可能になる。つまり、分極装置内に配設されている可撓性感圧体は導電体を移動させることで分極し、分極終了時点で第二の移動手段によって分極された可撓性感圧体を移動させるとともに、分極されていない可撓性感圧体を分極装置内に配設させることができるため、長尺の可撓性感圧体を分極することが可能となる。さらに、第二の移動手段は電圧印加手段の出力が停止している時に行うので、分極時に生じる導電体と芯電極間の引力の影響も受けないので、過剰な張力などが可撓性感圧体に印加されるのを抑制することも可能となる。
【００１０】
第３の発明は、特に第１または第２の発明において、導電体を導電性材料で構成した支持部材に固定させることによって、電圧印加手段をひとつの導電体に接続するだけで各々の導電体に電圧を印加することができるため、電圧印加手段からの接続を簡素化できる。
【００１１】
第４の発明は、特に、第１〜３の発明において、玉鎖で構成された導電体の直径は、少なくとも可撓性感圧体の直径より小さい径で構成することによって、可撓性感圧体と導電体との接触面積を多くすることができるため、全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【００１２】
第５の発明は、特に第１〜３の発明において、導電体の直径は少なくとも２種類以上で構成することによって、導電体の直径を１種類で構成するよりも可撓性感圧体と導電体との接触面積を多くすることができるため、全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。例えば、１つの直径の導電体が接触することによって生じる隙間を、他の直径の導電体で埋めることができるので、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。
【００１３】
第６の発明は、特に第１〜５の発明において、導電体が、加熱手段を兼ねる構成にすることによって、可撓性感圧体の周囲から均一に電圧印加と加熱を同時に行うので、分極装置を簡素化できるとともに、均熱性が向上することによって、分極効率を向上させることができる。
【００１４】
第７の発明は、特に第１〜６の発明において、支持部材に固定された複数の導電体を空隙を介して複数設けることによって、可撓性感圧体に欠陥部が存在すると、欠陥部を一部に含む一連の可撓性感圧体の分極はできなくなっていたものが、複数の分極電極を断続して設けることで、一定の長さで分極がし得なかった部分があったとしても、分極出来なかった部分を最小単位にとどめて、再度分極することが可能となる。よって、一連の可撓性感圧体の外側電極を形成する前に、微小な欠陥が一定長さ範囲内に存在することを検知することができ、これを加工して圧電ケーブルとして製造する際の歩留まりを向上することができる。
【００１５】
第８の発明は、特に第３〜７の発明において、複数の導電体を導電性材料で構成した支持部材に固定させることによって、電圧印加手段を支持部材に接続するだけで各々の導電体に電圧を印加することができるため、電圧印加手段からの接続を簡素化できる。
【００１６】
第９の発明は、芯電極に可撓性感圧体を周設するステップと、前記可撓性感圧体を分極する複数の玉鎖で構成された導電体と前記芯電極に接続された電圧印加手段により電圧を印加するステップと、分極中に前記可撓性感圧体を加熱するステップとからなるケーブル状圧力センサの分極方法である。そしてこの分極方法により、電圧印加がケーブルの全周囲に印加されるので、均質な分極特性を有するケーブル状圧力センサを製造することができる。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１におけるケーブル状圧力センサの分極装置の構成を示す外観斜視図である。
【００１９】
図１においてケーブル状圧力センサは芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２が形成される。芯電極１１として、コイル状金属線や金属細線を束ねた線などが用いられる。可撓性感圧体１２として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、クロロプレン樹脂、塩素化ポリエチレン、シリコン樹脂等の高分子母材に、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電材料を複合化
した高分子材料が用いられる。この可撓性感圧体１２は、複数の玉鎖で構成された導電体１３に全周で接触するように配設される。導電体１３として、鉄、ステンレス、銅、黄銅、アルミニウム等を用いる。本実施の形態において、導電体１３はφ１．５のアルミニウムの球を縦方向に１０個配設した物を縦に３０個、横に１０個配設する構成とした。なお、このときの可撓性感圧体１２の径は１．６ｍｍであった。さらに、導電体１３を加熱するために分導電体１３の上部に加熱手段１４を設けた。可撓性感圧体１２を加熱しながら導電体１３によって分極することで、効率良く分極を行うことができる。
【００２０】
さらに、導電体１３を移動させる移動手段１５を設けている。本実施例において移動手段１５は、導電体１３上にレールと一体になったモータを設けることで、導電体１３が可動する構成としており、この移動手段１５によって導電体１３を可撓性感圧体１２に接しながら移動させることが可能になる。移動手段１５であるモータのスピードを変化させることによって、導電体１３が可撓性感圧体１２に接触する時間、言い換えれば分極時間を容易に調整することが可能となる。また、移動手段１５を設けることによって、自動化することができるため、歩留まりを向上することができる。
【００２１】
また、導電体１３はリード線１６ｂによって電気的に接続される。リード線１６ａは電気的に電圧印加手段１７の正極または負極に接続され、芯電極１１はリード線１６ａを介して電気的に電圧印加手段１７の他の極に接続される。このように接続して、電圧印加手段１７により、芯電極１１と導電体１３間に高電圧が印加されるので、可撓性感圧体１２が分極される。本実施の形態において印加電圧は５ｋＶ／ｍｍで分極を行った。可撓性感圧体１２の中に微少な欠陥が含まれ、その部分が導電体１３に配設されているとき、欠陥部で生じる微少な放電により導電体１３と芯電極１１間に高電流が流れ、短絡するために分極できなくなるが、欠陥部が導電体１３から脱離し、導電体１３に配設されている可撓性感圧体１２中に欠陥がなければ、導電体１３と芯電極１１間の絶縁性は再び回復するので、分極が可能となる。このように本発明の分極装置によれば、欠陥を含む部分が導電体１３に配設されているときのみ、分極はできないがそれ以外の場合は分極可能となる。従って、欠陥の存在により可撓性感圧体１２が全体にわたって分極できなくなることはない。また、本実施の形態１において、可撓性感圧体１２の芯電極１１をアース電位にして、芯電極１１と導電体１３の間に直流電圧を印加した。このように接続することで、人体に危険な直流高電圧部分を導電体１３に限定でき、人体への安全を確保できる。
【００２２】
本構成にすることによって、可撓性感圧体１２の全周囲を導電体１３で接触しながら分極することができるので、可撓性感圧体１２の全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となるため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。また、可撓性感圧体１２の全周囲を導電体１３で密着するよりも、可撓性感圧体１２との接触抵抗を低減した状態で導電体１３と接触しながら移動をさせることができるので、生産性が向上するとともに、接触抵抗によって生じる可撓性感圧体１２の傷を防ぐこともできる。
【００２３】
さらに、分極しながら導電体１３を移動させることによって、可撓性感圧体１３に過剰な張力などが可撓性感圧体１２に印加されるのを抑制することが出来るので、例えば可撓性感圧体１２がプーリーやローラー等に接した際などによって生じる変形などを抑制することができる。つまり、電圧印加手段１７を動作中に可撓性感圧体１２を移動させる場合、芯電極１１と導電体１３間の引力と可撓性感圧体１２と導電体１３の摩擦の両方の力が必要になるため、大きな力が必要になる。例えば長尺の可撓性感圧体１３を分極する場合には、可撓性感圧体１２を蛇行させて配設することが分極装置のスペースとして有効であるが、その際には可撓性感圧体１２の進行方向を変更させるプーリーやローラー等が必要となる。図２にプーリー１８を介した本発明の分極装置を示す。本実施例において２０ｍの可撓性感圧体１２を分極するため、５ｍの可撓性感圧体１２を１列に配設し、プーリー
１８を３個用いることで４列配設する構成とした。通常、プーリー１８を介して可撓性感圧体１２を移動させる場合、大きな張力で可撓性感圧体１２を引っ張るためにプーリーによって可撓性感圧体１２が押しつけられてしまい、変形するなどの課題があったが、本実施例のように導電体１３が移動することで可撓性感圧体１２を連続的に分極することができるため、直接可撓性感圧体１３がプーリー等によって変形することがないため、信頼性を向上することができる。
【００２４】
また、図１１示す従来の分極装置では、ブロック状導電体５に接さない部分と接する部分の各々に振動を印加し、その時に発生する電圧を測定した結果、ブロック状導電体５に接さない部分と接する部分とでは出力電圧に約１．６倍もの差を生じた。しかし、本発明の分極装置を使用し、可撓性感圧体１２の同軸方向に対して９０°角度を変えた４方向で加振した結果、最も出力電圧が高かったものと小さかったものの比は１．１２倍以下に抑えられた。よって、電圧印加手段１７による電圧印加中に可撓性感圧体１２が複数の玉鎖で構成された導電体１３によって、可撓性感圧体１２の全周から満遍なく周囲から電圧を印加でき、均一な分極を実現することができる。
【００２５】
また、本実施例において導電体１３である玉鎖のアルミニウム球の直径をφ１．５で構成したが、この径は小さいほど可撓性感圧体１２と点あるいは面接触接触するため、より効率よく高電圧を印加することができるため分極の効率が向上する。特に導電体の玉鎖の直径は可撓性感圧体１２の直径よりも小さいほうが可撓性感圧体に接触する箇所が多くなるので望ましい。
【００２６】
さらに、導電体１３の直径は少なくとも２種類以上で構成することによって、導電体１３の直径を１種類で構成するよりも可撓性感圧体と導電体との接触面積を多くすることができるため、全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。例えば、図３に示すように、φ１．５とφ１．０の大きさの異なる２類の玉鎖で構成された導電体１３で構成した分極装置を使用した場合、１つの直径の導電体が接触することによって生じる隙間を、他の直径の導電体で埋めることができるので、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。本実施例において可撓性感圧体１２の同軸方向に対して９０°角度を変えた４方向で加振した結果、最も出力電圧が高かったものと小さかったものの比は１．０４倍以下に抑えられた。よって、電圧印加手段１７による電圧印加中に可撓性感圧体１２が複数の玉鎖で構成された導電体１３によって、可撓性感圧体１２の全周から満遍なく周囲から電圧を印加でき、均一な分極を実現することができる。
【００２７】
また、電圧印加手段１７による電圧印加中に可撓性感圧体１２が導電体１３に接触しながら少なくとも１回転するように回転させることによって、可撓性感圧体１２と導電体１３とが接触しない箇所を低減でき、満遍なく導電体と接触させることでより均一な分極を行うことが可能となる。可撓性感圧体１２の同軸方向に対して９０°角度を変えた４方向で加振した結果、最も出力電圧が高かったものと小さかったもの比は１．０２倍以下に抑えることができた。
【００２８】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２におけるケーブル状圧力センサの外観斜視図である。図４において実施の形態１と異なるところは、長尺の可撓性感圧体１２を連続的に分極するため、可撓性感圧体１３を移動させる第二の移動手段１９を設けている点である。
【００２９】
本実施の形態において、第二の移動手段１９は電圧印加手段１７が停止している時に動作する構成となっている。本構成にすることによって、分極時に生じる導電体１３と芯電極１１間の引力の影響も受けないので過剰な張力などが可撓性感圧体１２に印加されるこ
となく、長尺の可撓性感圧体１２を連続して分極することが可能になる。つまり、分極装置内に配設されている可撓性感圧体１２は導電体１３を移動させることで分極し、分極終了時点で第二の移動手段１９によって分極された可撓性感圧体１２を移動させるとともに、分極されていない可撓性感圧体１２を分極装置内に配設させることができるため、長尺の可撓性感圧体１２を分極することが可能となる。さらに、第二の移動手段１９は電圧印加手段１７の出力が停止している時に行うので、分極時に生じる導電体１３と芯電極１１間の引力の影響も受けないので、過剰な張力などが可撓性感圧体に印加されるのを抑制することも可能となる。
【００３０】
（実施の形態３）
図５は、本発明の実施の形態３におけるケーブル状圧力センサの外観斜視図である。図５において実施の形態１と異なるところは、複数の導電体１３を導電性材料で構成した支持部材２０で固定している点である。本実施の形態において、支持部材２０は縦が５０ｍｍ、横２０ｍｍのアルミニウムのブロックで構成し、このアルミニウムのブロックにφ１．５のアルミニウムの球を縦方向に１０個配設した物を縦に３０個、横に１０個配設し、垂下状態で固定する構成とした。本構成にすることによって、電圧印加手段１７の出力を支持部材２０に配設された複数の導電体１３のうち、１つに接続するだけで、支持部材２０に固定された複数の導電体１３のすべてに電圧印加手段１７の出力を接続した状態と同様となる。そのため、複数の導電体１３に電圧印加手段１７の出力を接続する必要がなく、構成を簡素化することが可能となる。
【００３１】
また、同様に１つの導電体１３に電圧印加手段１７の出力を接続するのではなく、図６に示すように支持部材２０に接続しても同様の効果を得ることができる。
【００３２】
また、図７に示すように、導電体１３が加熱手段１４を兼ねる加熱手段兼用分極電極１３ａという構成にした場合においては可撓性感圧体１２を同軸方向から素早く加熱しながら分極するので、均一に可撓性感圧体１２を加熱することが可能となる。この結果、可撓性感圧体１２の温度分布を抑制でき、効率良く分極することができ、特性ばらつきも抑制することができる。本構成の玉鎖状の導電体１３は図８に示すように、発熱体２１の外周に設けられた絶縁体２２と絶縁体２２の外周に設けられた導電体２３とで構成することによって、発熱体２１の外周を同軸状に絶縁体２２及び導電体２３が覆っている構成とした。
【００３３】
本実施の形態の分極装置は、図１１示す従来の分極装置のように一方向のみの加熱ではないので、可撓性感圧体１２の一部が加熱しすぎる、あるいは加熱が不十分ということがない。さらに、加熱手段１４が玉鎖形状をなすことによって可撓性感圧体１２の外周方向から均一に加熱することができるため、温度制御も容易になる。
【００３４】
本実施の形態において、発熱体２１としてステンレス箔、絶縁体２２として酸化マグネシウム、導電体２３としてステンレスを使用したが、それに限るものではない。
【００３５】
（実施の形態４）
図９は、本発明の実施の形態３におけるケーブル状圧力センサの外観斜視図である。図９において実施の形態１および２と異なるところは、支持部材２０に固定された玉鎖の複数の導電体１３を空隙を介して複数設け、可撓性感圧体１２が連続して導電体１３と接触するように構成している点である。なお、実施の形態１および２と同一部材は同じ符号を付けている。
【００３６】
本実施の形態において電圧印加手段１７の出力は、芯電極１１と複数個設けた支持部材２０の各々に電圧印加手段１７の出力を接続し、この支持部材２０は並列接続している。
こうすることで、各々の支持部材２０に固定された複数の玉鎖の導電体１３に効率良く電圧印加手段１７の出力が印加されることとなる。
【００３７】
例えば、導電体１３が固定された支持部材２０の長さを２ｍで構成した場合、可撓性感圧体１２の欠陥箇所の前後２ｍ（計４ｍ）は分極時間が所定時間より短い、もしくは分極できていない不良箇所となる。しかし、０．５ｍの支持部材２０に固定された導電体１３を４個設けた場合では、欠陥箇所の前後０．５ｍ（計１ｍ）が不良箇所となり、不良箇所を１／４に低減できるため歩留まりを向上することができる。
【００３８】
また、支持部材２０を複数設け、各々の分支持部材２０と芯電極１１間に印加される電圧あるいは電流値を測定することによって、どの支持部材２０内に欠陥箇所があるかを検知することができ、可撓性感圧体１２の欠陥箇所の判定にも寄与できる。
【００３９】
また、支持部材２０の長さ、連続個数を、移動手段１５による移動速度とともに調整して、分極時間の調節を行うことが可能であり、可撓性圧電体１２の使用目的に合致する条件での分極条件を選択できるように構成することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上のように、本発明にかかる圧力センサの分極装置およびその分極方法は、欠陥部が存在しても全体の可撓性感圧体が分極できなくなることを防ぐとともに、可撓性感圧体が複数の玉鎖で構成された導電体を可撓性感圧体の全周で接触するように構成するとともに、導電体を移動させて可撓性感圧体を分極することで、過剰な張力を可撓性感圧体に印可させることなく均一に満遍なく分極することができる。そのため、可撓性感圧体の変形などが無く、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができるので、圧電体等の分極装置に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態１における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図２】本発明の実施の形態１における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図３】本発明の実施の形態１における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図４】本発明の実施の形態２における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図５】本発明の実施の形態３における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図６】本発明の実施の形態３における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図７】本発明の実施の形態３における他の分極装置の構成を示す外観斜視図
【図８】本発明の実施の形態３における他の分極電極の導電体の断面図
【図９】本発明の実施の形態４における分極装置の構成を示す外観斜視図
【図１０】従来の圧電ケーブルセンサの構成を示す外観見取り図
【図１１】従来の圧電ケーブルセンサの構成を示す外観見取り図
【符号の説明】
【００４２】
１１  芯電極
１２  可撓性感圧体
１３  導電体
１４  加熱手段
１５  移動手段
１６  リード線
１７  直流電圧発生手段
１８  プーリー
１９  第二の移動手段
２０  支持部材
２１  発熱体
２２  絶縁体
２３  導電体
【図１０】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１１】
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