(57)【要約】  【課題】  光伝送方向の変換と三次元的な光結合を行うとともに、光を絞り込んで出射させ、ずれによるトレランスを大きくすることができる光路変換体を提供する。  【解決手段】  本発明は、外部から光を内部へ入射させる第一端面を有し、内部にて光を伝送させる第一光経路部と、前記第一端面よりも面積が小さく、内部から外部へ光を出射させる第二端面を有し、内部にて光を前記第一光経路部とは異なる方向に伝送させる第二光経路部と、前記第一光経路部および前記第二光経路部と連続して設けられ、前記第一光経路部内を伝送した光が前記第二端面の近傍で集光するように前記第二光経路部に向けて方向を変換させる光路変換面を有する屈曲部と、を具備する光路変換体に関する。【選択図】  図２
2008275770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から光を内部へ入射させる第一端面を有し、内部にて光を伝送させる第一光経路部と、
前記第一端面よりも面積が小さく、内部から外部へ光を出射させる第二端面を有し、内部にて光を前記第一光経路部とは異なる方向に伝送させる第二光経路部と、
前記第一光経路部および前記第二光経路部と連続して設けられ、前記第一光経路部内を伝送した光が前記第二端面の近傍で集光するように前記第二光経路部に向けて方向を変換させる光路変換面を有する屈曲部と、
を具備する光路変換体。
【請求項２】
前記光路変換面の外側であって、前記光路変換面に対応する箇所に接するように光反射面が設けられた光反射部材をさらに具備する請求項１記載の光路変換体。
【請求項３】
請求項１または２記載の光路変換体と、
前記第一端面および前記第二端面を除く前記光路変換体の周囲を覆い、前記光路変換体が有する屈折率よりも低い屈折率を有する周囲部と、
を具備する光路変換構造。
【請求項４】
請求項１または２記載の光路変換体と、
２つの主面間に信号光の光路として貫通孔を設け、前記貫通孔と前記光路変換体とが光学的に結合した第一光伝送基板と、
前記光路変換体を介して一方の主面が前記第一光伝送基板と向かい合うように設けられた第二光伝送基板であって、前記一方の主面上に配設され、前記光路変換体と光学的に結合した光導波路を具える第二光伝送基板と、
を具備する複合光伝送基板。
【請求項５】
請求項３記載の光路変換構造と、
２つの主面間に信号光の光路として貫通孔を設け、前記貫通孔と前記光路変換構造とが光学的に結合した第一光伝送基板と、
前記光路変換構造を介して一方の主面が前記第一光伝送基板と向かい合うように設けられた第二光伝送基板であって、前記一方の主面上に配設され、前記光路変換構造と光学的に結合した光導波路を具える第二光伝送基板と、
を具備する複合光伝送基板。
【請求項６】
請求項４または５記載の複合光伝送基板と、
前記第一光伝送基板の一方の主面上に実装され、前記貫通孔と光学的に結合した光半導体素子と、
を具備する光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光インターコネクション等に使用される光路変換体およびその製造方法に関するものであり、部品間を光学的に結合させる構造である。また、本発明は、光配線及び、光伝送基板を用いた光電子混載基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
情報処理における処理量を増加させ処理スピードを向上させるため、半導体デバイスに入出力される電気信号を光信号に変換し、その光信号に対応する光を、実装基板の表面及び裏面に形成した光導波路等の光配線によって伝送させる光伝送技術が現在検討されている。
【０００３】
光配線を用いた光伝送技術においては、回路基板の表面などに形成される光導波路のように、光を基板に対して略平行に伝送させるだけでなく、例えば、光を基板に対して略垂直に伝送させることで、光信号についても電気信号と同様に三次元的な伝送をおこなう光伝送技術が検討されており、三次元的伝送を可能とするためには、光導波路と貫通孔との間で光路を約９０°変化させる必要があるため、特に光路を変換させる光路変換体についての技術が検討されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、発光素子から基板に対して垂直に伝送させた光を、基板に対して平行に伝送させる光路変換体が開示されている。
【特許文献１】特開２００６―７８６０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された光路変換体は、基板に対して４５°傾斜し、感光性樹脂に囲まれた光反射平面に向かって光を照射することにより、感光性樹脂を硬化させて作製されているが、得られた光路変換体において、基板と垂直な方向からおける光入射面の面積および光出射面の面積が略同一となっている。
【０００６】
光路変換体は、基板に対して略垂直に伝送する光および基板に対して略平行に伝送する光の両方と、光軸方向を合わせる必要がある。光路変換体から出射した光は広がりをもっており、わずかな設置位置のずれが生じても、出射した光を受光する光受光体（光導波路など）とのずれに対する光結合のトレランスが小さいため、光の伝送損失が大きくなるという問題点があった。
【０００７】
本発明は以上のような従来の技術における課題を解決すべく案出されたものであり、その目的は、光伝送方向の変換と三次元的な光結合を行うとともに、光を絞り込んで出射させ、ずれによるトレランスを大きくすることができる光路変換体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、外部から光を内部へ入射させる第一端面を有し、内部にて光を伝送させる第一光経路部と、前記第一端面よりも面積が小さく、内部から外部へ光を出射させる第二端面を有し、内部にて光を前記第一光経路部とは異なる方向に伝送させる第二光経路部と、前記第一光経路部および前記第二光経路部と連続して設けられ、前記第一光経路部内を伝送した光が前記第二端面の近傍で集光するように前記第二光経路部に向けて方向を変換させる光路変換面を有する屈曲部と、を具備する光路変換体に関する。
【０００９】
前記光路変換面の外側であって、前記光路変換面に対応する箇所に接するように光反射面が設けられた光反射部材をさらに具備することが好ましい。
【００１０】
本発明は、前記光路変換体と、前記第一端面および前記第二端面を除く前記光路変換体の周囲を覆い、前記光路変換体が有する屈折率よりも低い屈折率を有する周囲部と、を具備する光路変換構造に関する。
【００１１】
また、本発明は、前記光路変換体と、２つの主面間に信号光の光路として貫通孔を設け、前記貫通孔と前記光路変換体とが光学的に結合した第一光伝送基板と、前記光路変換体を介して一方の主面が前記第一光伝送基板と向かい合うように設けられた第二光伝送基板であって、前記一方の主面上に配設され、前記光路変換体と光学的に結合した光導波路を具える第二光伝送基板と、を具備する複合光伝送基板に関する。
【００１２】
また、本発明は、前記光路変換構造と、２つの主面間に信号光の光路として貫通孔を設け、前記貫通孔と前記光路変換構造とが光学的に結合した第一光伝送基板と、前記光路変換構造を介して一方の主面が前記第一光伝送基板と向かい合うように設けられた第二光伝送基板であって、前記一方の主面上に配設され、前記光路変換構造と光学的に結合した光導波路を具える第二光伝送基板と、を具備する複合光伝送基板に関する。
【００１３】
さらに本発明は、前記複合光伝送基板と、前記第一光伝送基板の一方の主面上に実装され、前記貫通孔と光学的に結合した光半導体素子と、を具備する光モジュールに関する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の光路変換体によれば、外部から光を内部へ入射させる第一端面と、それよりも面積が小さく、内部から外部へ光を出射させる第二端面を有し、さらに、前記第一光経路部および前記第二光経路部と連続して設けられ、前記第一光経路部内を伝送した光が前記第二端面の近傍で集光するように前記第二光経路部に向けて方向を変換させる光路変換面を有する屈曲部と、を具備することにより、前記第一端面から入射した光を光路変換面にて前記第二端面に集光させながら光路変換させることができる。さらに、前記第一端面よりも前記第二端面の面積が小さくなっていることにより、光は絞られて出射する。この光路変換体が、光半導体素子、光導波路などの光受光体と光結合する場合に、光結合部と多少ずれた場合でも光結合部が重なる確率が高くなり、ずれによるトレランスを大きくすることが可能となる。
【００１５】
本発明の光路変換体において好ましくは、前記光路変換面の外側であって、前記光路変換面に対応する箇所に接するように光反射面が設けられた光反射部材をさらに具備することにより、屈曲部における光路変換面において、光の伝送損失をより十分に低減しながら光路変換することができる。さらに、前記光反射部材は上述の効果以外にも、光照射による本発明の光路変換体の作製において、前記光反射部材を用いることにより、一度の光照射により前記第一光経路部と前記第二光経路部と前記屈曲部とをまとめて作製できるという効果を奏することができる。
【００１６】
また、本発明の光路変換構造によれば、前記光路変換体と、前記第一端面および前記第二端面を除く前記光路変換体の周囲を覆い、前記光路変換体が有する屈折率よりも低い屈折率を有する周囲部と、を具備することにより、光路変換体における光の伝送損失をより十分に低減することができる。
【００１７】
また、本発明の複合光伝送基板によれば、前記光路変換体または前記光路変換構造と、２つの主面間に信号光の光路として貫通孔を設け、前記貫通孔と前記光路変換構造とが光学的に結合した第一光伝送基板と、前記光路変換構造を介して一方の主面が前記第一光伝送基板と向かい合うように設けられた第二光伝送基板であって、前記一方の主面上に配設され、前記光路変換構造と光学的に結合した光導波路を具える第二光伝送基板と、を具備することにより、前記光導波路の受光面の面積が小さいものでも接続損失を低減することが可能となる。そのため、前記第一光伝送基板と前記第二光伝送基板に占める前記光導波路の面積を小さくすることができることで、前記第一光伝送基板と前記第二光伝送基板との間隔の狭小化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（光路変換体および光路変換構造）
以下、本発明の光路変換体および光路変換構造の実施形態を、図面を参照しつつ説明するが、それらの図面は実施形態の一例に過ぎず、本発明はそれらに限定されるものではない。
【００１９】
図１は、本発明の光路変換構造の実施形態の概略構成を示す断面図である。
【００２０】
図１において、１は第一光経路部、１Ａは第一端面、２は第二光経路部、２Ａは第二端面、３は屈曲部、３Ａは光路変換面、４は周囲部をそれぞれ示す。
【００２１】
また、図２は、本発明の光路変換構造の実施形態の概略構成を示す断面図であり、図１の構成に対して、さらに、光反射部材５を設けた光路変換構造を示す。
【００２２】
図１において光路変換体は、第一光経路部１と第二光経路部２と屈曲部３とから構成され、周囲部４を除くものをいう。なお、図１における点線はそれぞれ、第一光経路部１と屈曲部３との境界線、また、屈曲部３と第二光経路部２との境界線を示している。また、図１における矢印は光の進行方向を示している。
【００２３】
第一光経路部１および第二光経路部２は、それらの内部にて光を伝送させる部位をいう。また、屈曲部３は、第一光経路部１および第二光経路部２の間に介在し、第一光経路部１から第二光経路部２へ光の伝送方向を変換させるとともに光を集光させる部位をいう。
【００２４】
第一光経路部１、第二光経路部２および屈曲部３は、それぞれ連続して設けられており、光路変換体中において伝送損失を小さくすることができる。
【００２５】
以下にそれぞれについて説明する。
【００２６】
＜第一光経路部１＞
第一光経路部１は、外部から光を入射させ、その内部にて光を伝送させる光伝送体をいう。第一光経路部１の形状としては、例えば、略円柱状、略テーパー状などが挙げられる。
【００２７】
第一光経路部１は、外部から光をその内部へ入射させる第一端面１Ａを有する。光が入射する外部には、第一端面と向かい合うように、例えば、面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）などの発光素子や光導波路など、第一端面に対して光を出射する構成（光出射体）が設けられる。
【００２８】
第一光経路部１と前記光出射体が効率よく光結合することから、第一端面１Ａの面積は、光出射体における光出射面の面積よりも大きいことが好ましい。ここで、光出射面の面積とは、例えば、光出射体が面発光レーザーの場合、レーザー孔の面積を、また、光出射体がコア部とクラッド部とからなる光導波路の場合、コア部の面積をいう。
【００２９】
第一端面１Ａの形状は、たとえば略円状であり、その直径は５０〜２５０μｍである。
【００３０】
第一光経路部１および第二光経路部２は具体的には、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリシランなどから構成される。
【００３１】
＜第二光経路部２＞
第二光経路部２も第一光経路部１と同様に光路変換体の一部であり、その内部にて光を伝送させるが、第一光経路部１とは異なり、その内部にて伝送した光を外部へ出射させる光伝送体をいう。第二光経路部２の光伝送方向は、第一光経路部１の光伝送方向とは異なる方向である。
【００３２】
第二光経路部２の形状は、例えば、第一光経路部１の形状が略円柱状である場合は略テーパー状、また、第一光経路部１の形状が略テーパー状である場合は略円柱状または略テーパー状とすることができる。
【００３３】
第二光経路部２は、内部から外部へ光を出射させる第二端面２Ａを有する。光を出射させた外部には、フォトダイオード（ＰＤ）や光導波路などの第二端面２Ａからの光を受光する構成（光受光体）が設けられる。
【００３４】
第二光経路部２と前記光受光体が効率よく光結合することから、第二端面２Ａの面積は、光受光体における光受光面の面積よりも小さいことが好ましい。ここで、光受光面の面積とは、例えば、光受光体がコア部とクラッド部とからなる光導波路の場合、コア部の面積をいう。
【００３５】
第一端面２Ａの形状は、たとえば、略円状であり、その直径は１０〜２５０μｍである。
【００３６】
第二光経路部２は具体的には、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリシランなどから構成され、第一光経路部１とともに同じ工程により一度に作製できるという製造上の容易性の観点から、第一光経路部１と同種の樹脂から構成されることが好ましい。
【００３７】
＜屈曲部３＞
屈曲部は光路変換体の一部であり、光路変換面３Ａを有する。光路変換面３Ａは、第一光経路部１内を伝送した光の伝送方向を第二光経路部に向けて変換させ、さらに、第二端面２Ａの近傍で集光させる。ここで、「第二端面２Ａの近傍」とは、光路変換面３Ａによって変換された光の伝送方向が、その集光点が第二端面２Ａの外側になるような位置をいう。
【００３８】
上記のような集光作用を奏するためには、屈曲部３の外面である光路変換面３Ａが凸形状の曲面であることが好ましい。光路変換面３Ａが凸形状の曲面であり、さらに、屈曲部の外側に空気や屈曲部よりも屈折率の低い樹脂などが設けられている場合、凸形状の曲面は、第一光経路部１から伝送した光にとっては凹形状の曲面を有する反射鏡と同様の作用（第一光経路部１から伝送した光を第二光経路部２に向けて、反射させかつ集光させる作用）を可能とする。
【００３９】
屈曲部は具体的には、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリシランなどから構成され、第一光経路部１および第二光経路部２とともに製造することが容易であり、また、光伝送性能に優れることから、第一光経路部および第二光経路部と同種の樹脂から構成されることが好ましい。
【００４０】
光路変換面３Ａは、その外側を空気により囲まれていても、第一光経路部１から伝送した光を第二光経路部２に向けて反射させ、かつ集光させるという作用は得られるが、とくに、光路変換面３Ａに接するようにその外側に光反射部材５が設けられていることが好ましい。例えば、図２のように、光路変換面３Ａが凸形状の曲面である場合、光反射部材５における光反射面５Ａは凹形状の曲面である。
【００４１】
光反射面５Ａは、樹脂材料の型押しやエッチング、実装等によって作製される。凹面鏡の表面は、金（Ａｕ），銀（Ａｇ），白金（Ｐｔ），アルミニウム（Ａｌ），銅（Ｃｕ）等の様に反射率の高い材料で覆われていることが望ましい。
【００４２】
本発明の光路変換体は、以上の第一光経路部１と第二光経路部２と屈曲部３とから構成される。
【００４３】
＜周囲部４＞
本発明の光路変換構造は、本発明の光路変換体に対して、さらに、光路変換体の周囲を覆う周囲部４を具備したものである。
【００４４】
本発明の光路変換体は、その周囲を空気により囲まれていても、第一光経路部１から伝送した光を第二光経路部２に向けて反射させ、かつ集光させる作用は得られるが、とくに、光路変換体の周囲を、光路変換体の有する屈折率よりも屈折率の低い樹脂または反射率の高い材料から構成される周囲部により被覆されていることが好ましい。そうすることで、光路変換体内を伝送する光を光学的に閉じ込め、伝送損失を大きく低減することができる。
【００４５】
（光路変換構造の作製方法）
本発明の光路変換構造は、図２に示す光反射部材５を用いて作製することが好ましい。
【００４６】
まず、光反射部材５の周囲に、アクリル系樹脂やエポキシ系樹脂などネガ材料の紫外線硬化性樹脂１３を設け、それらをプリベークさせた後、照射しない箇所をフォトマスク１２で覆う（図３（ａ）参照）。
【００４７】
次に、紫外光を照射して第一光経路部１と第二光経路部２と屈曲部３を作製する（図３（ｂ）参照）。なお、紫外光の伝搬した部分の屈折率の変化、もしくは硬化によって光路変換体の形状が決定するので、凹面鏡の曲率や入射光の広がりによって、光入射面、光出射面の面積を制御することが可能である。具体的には、紫外線硬化樹脂１３に入射した紫外線が光接続部分において受光素子又は、光導波路コアの受光面積以下でかつ、最大入射角度以下となるような位置に凹面鏡が焦点を結ぶように設計することによって接続損失が最小となる構造が形成される。
【００４８】
そして、現像を行うことにより未露光領域の紫外線硬化性樹脂１３を除去した後に、残った露光領域をポストベークによって硬化させる。これにより図１に示す光路変換体が形成される。その後、さらに現像により除去された部分に最初に充填した材料より屈折率の低い材料もしくは反射率の高い材料を充填し、フォトマスクを使用しないで紫外光を照射して硬化後、再度ポストベークを行うようにしてもよい。これにより、図２に示す光路変換構造が形成される（図３（ｃ）参照）。
【００４９】
（複合光伝送基板および光モジュール）
図４は、図２に示した光路変換構造を適用した光モジュールの一実施例の概略構成を示す部分断面図である。本発明の複合光伝送基板は、光路変換構造を挟み込むようにして、第一光伝送基板８および第二光伝送基板９が設けられている。図４において光半導体素子１０は、第一光伝送基板８上の電気配線層１１上に設けられている。
【００５０】
なお、複合光伝送基板は、図４において光半導体素子１０を除くものをいう。
【００５１】
第一基板１としては第一基板１としては、例えば、一般的に使用されているエポキシ樹脂やセラミックなどからなるプリント配線基板が用いられる。なかでも、機械的強度が大きく、熱による基板の反りに対して効果的に防止することが可能となるため、両面に同じ厚さの樹脂絶縁層を形成した対称層構造を有するプリント配線基板が好ましく、両面の樹脂絶縁層の厚さがほぼ同じであることがより好ましい。基板の厚みとしては、０．２〜２．０ｍｍとすることができる。例えば、一般的に使用されているエポキシ樹脂やセラミックなどからなるプリント配線基板が用いられる。
【００５２】
なかでも、機械的強度が大きく、熱による基板の反りに対して効果的に防止することが可能となるため、両面に同じ厚さの樹脂絶縁層を形成した対称層構造を有するプリント配線基板が好ましく、両面の樹脂絶縁層の厚さがほぼ同じであることがより好ましい。基板の厚みとしては、０．２〜２．０ｍｍとすることができる。
【００５３】
第一光伝送基板８には、その２つの主面間に、これらの主面に対し垂直に貫通孔６が設けられる。貫通孔６の加工には、ドリル又はレーザーが用いられ、また、貫通孔６の直径は、通常、直径５０〜２００μｍである。貫通孔６の軸方向は、第一光伝送基板８の光軸の方向となる。貫通孔６には、図４に示すように、コア部６Ａおよびクラッド部６Ｂにより充填されていることが好ましい。コア部６Ａの屈折率はクラッド部６Ｂの屈折率よりも大きくなっており、第一光伝送基板８の一方の主面から他方の主面まで、伝送損失の小さい状態で光を伝送することができる。
【００５４】
貫通孔６内にコア部６Ａおよびクラッド部６Ｂを設ける場合、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂などが使用される。
【００５５】
コア部６Ａの屈折率は、クラッド部６Ｂの屈折率よりも高いことが好ましい。それにより、貫通孔６中に光信号を十分に閉じ込めることできる。
【００５６】
なお、クラッド部６Ｂは、例えば、光感光性樹脂に光を照射すると屈折率が低下することを利用して形成されてもよい。
【００５７】
＜第二光伝送基板９＞
第二光伝送基板９は、光路変換構造１２を介してその一方の主面が第一光伝送基板８と向かい合うように設けられている。
【００５８】
第二光伝送基板９の主面のうち、第一光伝送基板８に対向する側の主面上には光導波路７が設けられている。光導波路７は、第一光伝送基板８から順に、上部クラッド部７Ａ、コア部７Ｂ、下部クラッド７Ｃから構成されていることが好ましい。そして、コア部７Ｂの屈折率は、上部クラッド部７Ａおよび下部クラッド７Ｃよりも大きくなっており、第二光伝送基板９の主面に平行な方向に対して、伝送損失の小さい状態で光を伝送することができる。
【００５９】
光導波路７は、以下の方法により作製される。
【００６０】
まず、クラッド材料をスピンコーティングなどで塗布して加熱硬化させ下部クラッド７Ｃを形成する。
【００６１】
次に、コア材を同様に塗布した後で、フォトマスクを介してコア部７Ｂとなるパターンのみを紫外線露光によって硬化させ、有機溶剤による現像を行って非露光部分を除去してコア部７Ｂを形成する。
【００６２】
そして、再度クラッド材料を同様に塗布して加熱硬化させて上部クラッド層７Ａを形成する。
【００６３】
本発明の光路変換構造を伝送されて第二光経路部２を出射した光は、光路変換構造への入射時よりも絞られているため、それにともなってコア層７Ｂにおける光の受光面積は小さい光導波路でも使用することが可能となる。
【００６４】
（光モジュールの作製方法）
以下に、光変換構造と第一光伝送基板８および第二光伝送基板９とをどのように位置あわせすることで光モジュールが作製されるかについて具体的に説明する。
【００６５】
実装手段として、第二光伝送基板９に対して格子状に配置した球状の導電性部材（以下、ボールグリッドアレイ（登録商標）またはＢＧＡとする、図示せず）を用いることにより、リフロー時のセルフアライメントによって、第一光伝送基板８と第二光伝送基板９とが自ずと位置合わせすることが可能である。
【００６６】
実装手段としては、他にピングリッドアレイなどがあげられるが、とくに、機械的に位置合わせをおこなう必要がないことから、ＢＧＡが好ましい。また、位置決めピンと勘合穴を第一光伝送基板８及び第二光伝送基板９に作製することも有効である。
【００６７】
以上のようにして、光モジュールを作製する。
【００６８】
本発明の光モジュールの構成では、光路変換構造において光が入射される第一端面が大きく、また、光が出射される前記第二端面の面積が小さくなっていることにより、光路変換構造と第一光伝送基板８の貫通孔６および第二光伝送基板９の光導波路７とのずれによるトレランスを大きくすることが可能となる。
【００６９】
そのため、光モジュールの作製時においてリフロー時のセルフアライメントを用いた場合、光の伝送損失を十分に低減させた光モジュールを作製することができる。また、光路変換構造と貫通孔６との間に、また、光路変換構造と光導波路７との間に多少の位置ずれがあった場合でも、光の伝送損失を十分に低減させた光モジュールを作製することができる。とくに、抑制が困難であった縦方向に対して位置ずれ（光路変換構造と光導波路７との間の位置ずれ）に対しても十分な効果を発揮する。
【００７０】
また、長期の使用により、外部から光モジュールに熱が加わることによって光モジュールに体積変化があることで、光路変換構造と第一光伝送基板８との間に、また、光路変換構造と第二光伝送基板９との間に多少の位置ずれがあった場合でも、光の伝送損失の増大を抑制することができる。
【００７１】
（光モジュールにおける光の伝送）
図４において、光モジュールにおける光の伝送は、以下のようにおこなわれる。
【００７２】
面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）１０である光半導体素子１０の場合、その発光点から出射した光信号はまず、貫通孔６内のコア部６Ａに入射して伝送される。
【００７３】
次に、第一光経路部１を伝送したのち、光信号は屈曲部３における光路変換面３にて集光、光路変換され、第二光経路部２を伝送して光出射面より光導波路に到達する。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の光路変換構造の実施の形態の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】本発明の光路変換構造の実施の形態の一例を模式的に示す断面図である。断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図２の光路変換構造の作製工程を示す図である。
【図４】図２の光路変換構造を具備する本発明の複合光伝送基板の実施の形態の一例を模式的に示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１          第一光経路部
１Ａ        第一端面
２          第二光経路部
２Ａ        第二端面
３          屈曲部
３Ａ        光路変換面
４          周囲部
５          光反射部材
５Ａ        光反射面
６          貫通孔
６Ａ        貫通孔内のコア部
６Ｂ        貫通孔内のクラッド部
７          光導波路
７Ａ        光導波路の上部クラッド部
７Ｂ        光導波路のコア部
７Ｃ        光導波路の下部クラッド部
８          第一光伝送基板
９          第二光伝送基板
１０        光半導体素子
１１        電気配線層
１２        フォトマスク
１３        紫外線硬化性樹脂
１４        図２の光路変換構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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