(57)【要約】【課題】サーバ装置から被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置への適切なバージョンアップ情報の送信を行う。【解決手段】サーバ装置２０は、製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付部２１と、製造装置の状態に関する情報である状態情報が記憶される状態情報記憶部２３と、バージョンアップ情報を製造装置に送信するかどうかを、状態情報を用いて判断する送信判断部２６と、バージョンアップ情報を送信すると送信判断部２６が判断した製造装置に、バージョンアップ情報を送信する送信部２９と、を備える。【選択図】図４
2008140369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付部と、
前記製造装置の状態に関する情報であり、前記製造装置がプロセス中であるかどうかに関する情報を含む情報である状態情報が記憶される状態情報記憶部と、
前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中であることが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中でないことが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信すると判断する送信判断部と、
前記バージョンアップ情報を送信すると前記送信判断部が判断した製造装置に、前記バージョンアップ情報を送信する送信部と、を備えたサーバ装置。
【請求項２】
前記実行ソフトウェアプログラムは、前記製造装置のシステムプログラムである、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記送信判断部は、一定割合以上の前記製造装置、あるいは、一定数以上の前記製造装置がプロセス中である場合に、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、そうでない場合に、前記バージョンアップ情報を送信すると判断する、請求項１または請求項２記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記状態情報は、前記製造装置が前記サーバ装置と通信可能な状態であるかどうかに関する情報を含んでおり、
前記送信判断部は、前記サーバ装置と通信可能でない状態であることが前記状態情報によって示される製造装置について、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断する、請求項１から請求項３のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記状態情報は、前記製造装置で用いられるソフトウェアプログラムのバージョンに関する情報を含んでおり、
前記送信判断部は、前記バージョンアップ情報受付部が受け付けたバージョンアップ情報によってバージョンアップされた後のソフトウェアプログラムのバージョンと同じバージョンか、それ以降のバージョンのソフトウェアプログラムを用いていることが前記状態情報によって示される製造装置について、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断する、請求項１から請求項４のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記送信判断部は、一の製造装置について、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断した場合に、その判断の後に再度、当該一の製造装置について、前記バージョンアップ情報を前記製造装置に送信するかどうかを、前記状態情報を用いて判断する、請求項１から請求項４のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項７】
所定のフォルダを作成する指示を示す情報である指示情報が記憶される指示情報記憶部をさらに備え、
前記送信部は、前記指示情報も送信する、請求項１から請求項６のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記バージョンアップ情報を送信する製造装置に、前記所定のフォルダが存在するかどうか判断するフォルダ判断部をさらに備え、
前記送信部は、前記フォルダ判断部が製造装置に前記所定のフォルダが存在しないと判断した場合に、前記指示情報を送信する、請求項７記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記製造装置の状態情報を受け付ける状態情報受付部と、
前記状態情報受付部が受け付けた状態情報に応じて、前記状態情報記憶部で記憶されている状態情報を更新する状態情報更新部と、をさらに備えた、請求項１から請求項８のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記送信判断部は、前記送信部が前記バージョンアップ情報を送信している際に、前記状態情報によって当該バージョンアップ情報の送信先の製造装置がプロセス中となったことを検知した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると判断し、
前記送信部は、前記バージョンアップ情報の送信中に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると前記送信判断部が判断した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止する、請求項９記載のサーバ装置。
【請求項１１】
前記送信判断部は、前記送信部が前記バージョンアップ情報を送信している際に、前記状態情報によって、一定割合以上の前記製造装置、あるいは、一定数以上の前記製造装置がプロセス中となったことを検知した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると判断し、
前記送信部は、前記バージョンアップ情報の送信中に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると前記送信判断部が判断した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止する、請求項９記載のサーバ装置。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか記載のサーバ装置と、
前記サーバ装置から送信されたバージョンアップ情報を受信し、当該バージョンアップ情報を用いて製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする１以上の製造装置と、を備えた群管理システム。
【請求項１３】
バージョンアップ情報を前記サーバ装置に送信するクライアント装置をさらに備え、
前記バージョンアップ情報受付部は、前記クライアント装置から送信されたバージョンアップ情報を受信する、請求項１２記載の群管理システム。
【請求項１４】
請求項１から請求項１１のいずれか記載のサーバ装置から送信されたバージョンアップ情報を受信し、当該バージョンアップ情報を用いて製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする製造装置。
【請求項１５】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置で用いられる情報処理方法あって、
前記製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付ステップと、
状態情報記憶部で記憶される、前記製造装置の状態に関する情報であり、前記製造装置がプロセス中であるかどうかに関する情報を含む情報である状態情報によって、前記製造装置がプロセス中であることが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中でないことが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信すると判断する送信判断ステップと、
前記バージョンアップ情報を送信すると前記送信判断ステップで判断した製造装置に、前記バージョンアップ情報を送信する送信ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項１６】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置での処理を実行させるためのプログラムあって、
前記製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付ステップと、
状態情報記憶部で記憶される、前記製造装置の状態に関する情報であり、前記製造装置がプロセス中であるかどうかに関する情報を含む情報である状態情報によって、前記製造装置がプロセス中であることが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中でないことが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信すると判断する送信判断ステップと、
前記バージョンアップ情報を送信すると前記送信判断ステップで判断した製造装置に、前記バージョンアップ情報を送信する送信ステップと、を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置にバージョンアップ情報を送信するサーバ装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、その１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムが知られていた。
【０００３】
その製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムのバージョンアップは、次のようにして行われていた。まず、ＭＯドライブやＣＤドライブ等を製造装置に接続し、そのソフトウェアプログラムのバージョンアップで用いられる情報を製造装置にコピーする。そして、そのバージョンアップで用いられる情報を製造装置においてインストールすることにより、ソフトウェアプログラムのバージョンアップが完了する。
【０００４】
なお、関連する技術として、サーバ装置と１以上の半導体製造装置との間で、双方で保持されているレシピの整合をとるためのレシピの管理方法があった（例えば、特許文献１参照）。また、関連する技術として、半導体製造装置で用いられるプログラムを外部の装置から送信する方法もあった（例えば、特許文献２、特許文献３参照）。
また、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた（特許文献４、特許文献５参照）。
【特許文献１】特開２００６−７３８４５号公報
【特許文献２】特開２００４−４７８３７号公報
【特許文献３】特開２００２−２１７１８２号公報
【特許文献４】特許３５４３９９６号公報
【特許文献５】特開２００２−２５９９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、製造装置ごとにバージョンアップで用いられる情報をコピーし、インストールすることは、その作業を実行する者に非常に煩雑な作業を課すこととなっており、また、その作業のために多くの時間が費やされることになるという問題があった。
【０００６】
なお、前述のように、サーバ装置と製造装置との間でレシピの整合をとる方法は知られていたが、ネットワークを介して製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムを適切にバージョンアップする方法は知られていなかった。
【０００７】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、群管理システムにおける１以上の製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムを煩雑な作業を行うことなく、適切にバージョンアップすることができるサーバ装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明によるサーバ装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付部と、前記製造装置の状態に関する情報であり、前記製造装置がプロセス中であるかどうかに関する情報を含む情報である状態情報が記憶される状態情報記憶部と、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中であることが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中でないことが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信すると判断する送信判断部と、前記バージョンアップ情報を送信すると前記送信判断部が判断した製造装置に、前記バージョンアップ情報を送信する送信部と、を備えたものである。
【０００９】
このような構成により、サーバ装置から製造装置にバージョンアップ情報を送信することによって、製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップすることができる。したがって、従来例のように、各製造装置のソフトウェアプログラムをバージョンアップするための煩雑で時間のかかる処理を作業者が行う必要がなくなるというメリットがある。例えば、製造装置に外部ドライブを接続し、その外部ドライブからバージョンアップ情報を製造装置に取り込む処理を、製造装置ごとに行わなくてもよくなる。
【００１０】
また、サーバ装置は、バージョンアップ情報を送信するかどうかを判断し、送信すると判断した場合にバージョンアップ情報を送信するため、不適切な場合にバージョンアップ情報を送信することを回避することができ、ソフトウェアプログラムの適切なバージョンアップを実現することができうる。
【００１１】
また、製造装置がプロセス中である場合には、バージョンアップ情報を送信しないようにすることができる。例えば、プロセス中の製造装置にバージョンアップ情報を送信した場合には、そのバージョンアップ情報の受信や蓄積の処理のための負荷によって、実行中のプロセスに不適切な制御等が発生し、適切な製造を行うことができなくなる可能性もありうるが、そのような事態を回避することができうる。
【００１２】
また、本発明によるサーバ装置では、前記実行ソフトウェアプログラムは、前記製造装置のシステムプログラムであってもよい。
このような構成により、実行ソフトウェアプログラムがシステムプログラムである場合には、一般にバージョンアップ情報の容量も大きくなると考えられ、バージョンアップ情報を送信することによる製造装置への影響は大きいと考えられるため、バージョンアップ情報を送信するかどうかを判断することは効果的である。
【００１３】
また、本発明によるサーバ装置では、前記送信判断部は、一定割合以上の前記製造装置、あるいは、一定数以上の前記製造装置がプロセス中である場合に、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、そうでない場合に、前記バージョンアップ情報を送信すると判断してもよい。
【００１４】
このような構成により、例えば、バージョンアップ情報の送信によって、通信回線の多くの容量が占有され、プロセス中の製造装置に必要な通信容量が確保できなくなることによって、そのプロセスに支障が出るような事態を回避することができうる。
【００１５】
また、本発明によるサーバ装置では、前記状態情報は、前記製造装置が前記サーバ装置と通信可能な状態であるかどうかに関する情報を含んでおり、前記送信判断部は、前記サーバ装置と通信可能でない状態であることが前記状態情報によって示される製造装置について、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断してもよい。
【００１６】
このような構成により、製造装置がサーバ装置と通信可能でない場合には、バージョンアップ情報を送信しないようにすることができる。例えば、通信可能でない製造装置にバージョンアップ情報を送信した場合には、無駄な情報が送信されることになるが、そのような事態を回避することができうる。
【００１７】
また、本発明によるサーバ装置では、前記状態情報は、前記製造装置で用いられるソフトウェアプログラムのバージョンに関する情報を含んでおり、前記送信判断部は、前記バージョンアップ情報受付部が受け付けたバージョンアップ情報によってバージョンアップされた後のソフトウェアプログラムのバージョンと同じバージョンか、それ以降のバージョンのソフトウェアプログラムを用いていることが前記状態情報によって示される製造装置について、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断してもよい。
このような構成により、不必要なバージョンアップ情報を製造装置に送信しないようにすることができる。
【００１８】
また、本発明によるサーバ装置では、前記送信判断部は、一の製造装置について、前記バージョンアップ情報を送信しないと判断した場合に、その判断の後に再度、当該一の製造装置について、前記バージョンアップ情報を前記製造装置に送信するかどうかを、前記状態情報を用いて判断してもよい。
【００１９】
このような構成により、ある製造装置にバージョンアップ情報を送信しないと判断された場合であっても、その後に、その製造装置にバージョンアップ情報を送信することができうる。
【００２０】
また、本発明によるサーバ装置では、所定のフォルダを作成する指示を示す情報である指示情報が記憶される指示情報記憶部をさらに備え、前記送信部は、前記指示情報も送信してもよい。
【００２１】
このような構成により、バージョンアップ情報を所定のフォルダに格納しなければならない場合に、その所定のフォルダを製造装置において作成させることができる。
【００２２】
また、本発明によるサーバ装置では、前記バージョンアップ情報を送信する製造装置に、前記所定のフォルダが存在するかどうか判断するフォルダ判断部をさらに備え、前記送信部は、前記フォルダ判断部が製造装置に前記所定のフォルダが存在しないと判断した場合に、前記指示情報を送信してもよい。
このような構成により、製造装置において所定のフォルダが存在しない場合に、その所定のフォルダを製造装置において作成させることができる。
【００２３】
また、本発明によるサーバ装置では、前記製造装置の状態情報を受け付ける状態情報受付部と、前記状態情報受付部が受け付けた状態情報に応じて、前記状態情報記憶部で記憶されている状態情報を更新する状態情報更新部と、をさらに備えてもよい。
このような構成により、サーバ装置の状態情報記憶部で記憶されている状態情報を、実際の製造装置の状態に応じて適宜、更新することができる。
【００２４】
また、本発明によるサーバ装置では、前記送信判断部は、前記送信部が前記バージョンアップ情報を送信している際に、前記状態情報によって当該バージョンアップ情報の送信先の製造装置がプロセス中となったことを検知した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると判断し、前記送信部は、前記バージョンアップ情報の送信中に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると前記送信判断部が判断した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止してもよい。
【００２５】
このような構成により、バージョンアップ情報の送信先の製造装置に対して、プロセス中にバージョンアップ情報の送信に関する負荷をかけないようにすることができ、プロセスに支障が出ないようにすることができうる。
【００２６】
また、本発明によるサーバ装置では、前記送信判断部は、前記送信部が前記バージョンアップ情報を送信している際に、前記状態情報によって、一定割合以上の前記製造装置、あるいは、一定数以上の前記製造装置がプロセス中となったことを検知した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると判断し、前記送信部は、前記バージョンアップ情報の送信中に、当該バージョンアップ情報の送信を中止すると前記送信判断部が判断した場合に、当該バージョンアップ情報の送信を中止してもよい。
【００２７】
このような構成により、一定割合以上、あるいは、一定数以上の製造装置がプロセス中となった場合に、群管理システムにおける通信回線において、バージョンアップ情報の送信による回線帯域の占有を行わないようにすることができる。その結果、通信回線において輻輳や通信の遅延が発生することを回避でき、プロセス中の製造装置が群管理システムの通信回線を快適に利用することができ、その製造装置におけるプロセスに支障が出ないようにすることができうる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によるサーバ装置等によれば、群管理システムにおける１以上の製造装置での制御のための実行ソフトウェアプログラムを煩雑な作業を行うことなく、バージョンアップすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明による群管理システム等について、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００３０】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態による群管理システムは、クライアント装置１０と、サーバ装置２０と、Ｎ個の製造装置３０とを備える。ここで、Ｎは、１以上の整数である。群管理システムにおいて、クライアント装置１０、サーバ装置２０、１以上の製造装置３０は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。
【００３１】
クライアント装置１０は、サーバ装置２０に対して各種の要求を出し、サーバ装置２０における処理結果を受け付ける。
サーバ装置２０は、バージョンアップ情報を受け付け、そのバージョンアップ情報を製造装置３０に送信する。この処理の詳細については後述する。また、サーバ装置２０は、１以上の製造装置３０における各種の測定情報を格納可能なものである。また、サーバ装置２０は、クライアント装置１０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置１０に送信する。
【００３２】
製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置３０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置等である。被処理基板は、例えば、半導体ウエハやガラス基板、プラスチック基板等である。なお、製造装置３０が実行する被処理基板に対する所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでもよく、あるいは、含まなくてもよい。製造装置３０が被処理基板に対して行う処理は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等である。
【００３３】
製造装置３０は、例えば、上述の特許文献４、または特許文献５等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。製造装置３０の例を図２に示す。製造装置３０は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置３０は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボートｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置３０の例における、その他の部位、および動作については、公知技術（特許文献４参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置３０を構成するチャンバーとして、特許文献５の図１におけるチャンバーが好適である。また、製造装置３０は、例えば、ウエハに対する所定のプロセスに関する情報であるレシピを格納しており、当該レシピを用いて制御してもよい。
【００３４】
次に、本実施の形態によるクライアント装置１０、サーバ装置２０、製造装置３０の構成について、図３〜図５のブロック図を用いて説明する。なお、図３〜図５のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、クライアント装置１０、サーバ装置２０、製造装置３０は、半導体を有するデバイスの製造に関する処理を実行する構成、例えば、製造装置３０における被処理基板を搬送する構成や、製造装置３０における製造工程での温度や圧力等をサーバ装置２０に送信する構成等を有していてもよい。
【００３５】
図３は、クライアント装置１０の構成を示すブロック図である。図３において、本実施の形態によるクライアント装置１０は、バージョンアップ情報受付部１１と、送信部１２とを備える。
【００３６】
バージョンアップ情報受付部１１は、バージョンアップ情報を受け付ける。バージョンアップ情報とは、製造装置３０の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報である。製造装置３０では、この実行ソフトウェアプログラムが実行されることにより、被処理基板に対する所定の半導体プロセス等が実行されることになる。その実行時には、製造装置３０で保持されているパラメータやレシピ等が用いられてもよい。実行ソフトウェアプログラムは、例えば、製造装置３０のアプリケーションソフトウェアや、デバイスドライバ等であってもよく、製造装置３０のシステムプログラムであってもよい。システムプログラムとは、製造装置３０の制御プログラムを制御するプログラムであり、例えば、ＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）や、ミドルウェアと呼ばれるものである。
【００３７】
バージョンアップ情報は、例えば、実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップするためのデータであってもよく、あるいは、実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップするための実行プログラムであってもよい。また、バージョンアップ情報は、実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップすることのできる情報であれば、例えば、実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップするための差分に関する情報であってもよく、あるいは、バージョンアップされた後の実行ソフトウェアプログラムそのものであってもよい。また、バージョンアップ情報は、実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップするための一のファイルであってもよく、複数のファイルから構成される、いわゆるバージョンアップキットであってもよい。バージョンアップ情報受付部１１によるバージョンアップ情報の受け付けは、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報の受け付けでもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報の受け付けでもよい。本実施の形態では、バージョンアップ情報受付部１１は、記録媒体から読み出されたバージョンアップ情報を受け付けるものとする。なお、バージョンアップ情報受付部１１は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、バージョンアップ情報受付部１１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００３８】
また、バージョンアップ情報受付部１１は、バージョンアップ情報によってソフトウェアプログラムをバージョンアップする製造装置３０を識別する装置識別情報を受け付けてもよい。その装置識別情報は、例えば、各装置を識別する情報であってもよく、あるいは、２以上の装置のグループを識別する情報であってもよい。後者の場合には、例えば、「すべての装置」等の情報であってもよい。
【００３９】
送信部１２は、バージョンアップ情報受付部１１が受け付けたバージョンアップ情報を、通信回線を介してサーバ装置２０に送信する。送信部１２は、例えば、ＦＴＰ（Ｆｉｌｅ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）等によってバージョンアップ情報をサーバ装置２０に送信してもよく、あるいは、その他の手法によって、バージョンアップ情報をサーバ装置２０に送信してもよい。バージョンアップ情報受付部１１が、バージョンアップ情報によってソフトウェアプログラムをバージョンアップする製造装置３０を識別する装置識別情報を受け付けた場合には、送信部１２は、その装置識別情報もサーバ装置２０に送信してもよい。
【００４０】
なお、送信部１２は、通信を行うための通信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、送信部１２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは通信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４１】
図４は、サーバ装置２０の構成を示すブロック図である。図４において、本実施の形態によるサーバ装置２０は、バージョンアップ情報受付部２１と、バージョンアップ情報蓄積部２２と、状態情報記憶部２３と、状態情報受付部２４と、状態情報更新部２５と、送信判断部２６と、フォルダ判断部２７と、指示情報記憶部２８と、送信部２９とを備える。
【００４２】
バージョンアップ情報受付部２１は、バージョンアップ情報を受け付ける。ここで、バージョンアップ情報受付部２１によるバージョンアップ情報の受け付けは、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報の受け付けでもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報の受け付けでもよい。本実施の形態では、バージョンアップ情報受付部２１は、クライアント装置１０から通信回線を介して送信されたバージョンアップ情報を受信するものとする。バージョンアップ情報受付部２１は、バージョンアップ情報によってソフトウェアプログラムをバージョンアップする製造装置３０を識別する装置識別情報を受け付けてもよい。
【００４３】
なお、バージョンアップ情報受付部２１は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、バージョンアップ情報受付部２１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４４】
バージョンアップ情報蓄積部２２は、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けたバージョンアップ情報を所定の記録媒体に蓄積する。なお、バージョンアップ情報受付部２１がバージョンアップ情報によってソフトウェアプログラムをバージョンアップする製造装置３０を識別する装置識別情報も受け付けた場合には、その装置識別情報もバージョンアップ情報に対応付けて所定の記録媒体に蓄積してもよい。この記録媒体は、例えば、半導体メモリや、光ディスク、磁気ディスク等であり、バージョンアップ情報蓄積部２２が有していてもよく、あるいはバージョンアップ情報蓄積部２２の外部に存在してもよい。本実施の形態では、後者の場合であるとする。また、この記録媒体は、バージョンアップ情報等を一時的に記憶するものであってもよく、そうでなくてもよい。
【００４５】
状態情報記憶部２３では、製造装置３０の状態に関する情報である状態情報が記憶される。状態情報は、例えば、製造装置３０がプロセス中であるかどうかに関する情報を含んでいてもよく、製造装置３０がサーバ装置２０と通信可能な状態であるかどうかに関する情報を含んでいてもよく、製造装置３０で用いられるソフトウェアプログラムのバージョンに関する情報を含んでいてもよく、その他の製造装置３０の状態に関する情報を含んでいてもよい。状態情報は、製造装置３０の状態を示す情報であってもよく、あるいは、製造装置３０の状態を間接的に知ることができる情報であってもよい。前者の場合には、例えば、状態情報によって製造装置３０がプロセス中であるのかどうかなどが示されることになる。後者の場合には、例えば、状態情報によって製造装置３０の温度が３００度であることが示され、そのことによって、製造装置３０がプロセス中であるかどうかを間接的に知ることができる。例えば、製造装置３０がプロセス中であれば２００度から４００度の温度になることがわかっている場合には、製造装置３０の温度が３００度であるという状態情報から、製造装置３０がプロセス中であることがわかる。状態情報記憶部２３は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００４６】
状態情報受付部２４は、製造装置３０の状態情報を受け付ける。ここで、状態情報受付部２４による状態情報の受け付けは、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報の受け付けでもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報の受け付けでもよい。本実施の形態では、状態情報受付部２４は、製造装置３０から通信回線を介して送信された状態情報を受信するものとする。状態情報受付部２４が受け付ける状態情報は、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報と同じものであってもよく、あるいは、異なっていてもよい。後者の場合には、例えば、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報の差分を示す情報が、状態情報受付部２４が受け付ける状態情報であってもよい。
【００４７】
なお、状態情報受付部２４は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、状態情報受付部２４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４８】
状態情報更新部２５は、状態情報受付部２４が受け付けた状態情報に応じて、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を更新する。この状態情報の更新が行われることにより、状態情報記憶部２３で記憶される状態情報が、より新しい製造装置３０の状態情報に更新されることになる。例えば、状態情報受付部２４が受け付ける状態情報が、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報と同じものである場合には、状態情報更新部２５は、その状態情報を上書きで状態情報記憶部２３に蓄積してもよい。例えば、状態情報受付部２４が受け付ける状態情報が、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報の差分である場合には、状態情報更新部２５は、その差分だけ状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を変更してもよい。状態情報更新部２５による状態情報の更新には、状態情報の記憶されていない状態情報記憶部２３に、新たに状態情報を蓄積することを含むものとする。
【００４９】
なお、状態情報受付部２４が状態情報を受け付け、状態情報更新部２５が状態情報を更新する処理のタイミングは問わない。例えば、定期的に状態情報の更新が行われてもよく、後述する送信判断部２６による判断時に、状態情報の更新が行われてもよい。後者の場合には、状態情報を送信する旨の指示がサーバ装置２０等から製造装置３０に送信され、その指示に応じて送信された状態情報を用いて状態情報の更新が行われてもよい。
【００５０】
送信判断部２６は、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けたバージョンアップ情報を製造装置３０に送信するかどうかを、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を用いて判断する。送信判断部２６は、その判断を製造装置３０ごとに行う。バージョンアップ情報受付部２１がバージョンアップ情報と共に装置識別情報を受け付けた場合には、送信判断部２６は、その装置識別情報で識別される製造装置３０についてのみ、その判断を行ってもよい。その装置識別情報が「すべての装置」を示す場合には、送信判断部２６は、サーバ装置２０において認識されているすべての製造装置３０について、その判断を行ってもよい。
【００５１】
送信判断部２６は、例えば、状態情報によって製造装置３０がプロセス中であることが示される場合に、その製造装置３０にバージョンアップ情報を送信しないと判断し、状態情報によって製造装置３０がプロセス中でないことが示される場合に、その製造装置３０にバージョンアップ情報を送信すると判断してもよい。プロセス中の製造装置３０にバージョンアップ情報を送信することによって、そのプロセスに不適切な影響を与えることを回避するためである。
【００５２】
状態情報に含まれる、製造装置３０がプロセス中であるかどうかに関する情報によって、製造装置３０がプロセス中かどうかについて示される場合には、送信判断部２６は、その情報を用いて製造装置３０がプロセス中かどうかを容易に判断することができる。一方、状態情報に含まれる、製造装置３０がプロセス中であるかどうかに関する情報が、例えば、製造装置３０での温度や圧力、ガス流量等の測定情報や、製造装置３０のステータスを示す情報等である場合には、送信判断部２６は、その測定情報等によって、製造装置３０がプロセス中である条件が満たされるかどうか判断し、その判断結果に応じて、製造装置３０がプロセス中であるかどうかを判断してもよい。その条件を示す情報は、例えば、「ステータスがＳｔａｎｄｂｙ、Ｒｅａｄｙ、Ｉｄｌｅであればプロセス中でない」と言うものであってもよい。その条件を示す情報は、例えば、送信判断部２６の有する図示しない記録媒体において保持されていてもよい。
【００５３】
送信判断部２６は、例えば、サーバ装置２０と通信可能でない状態であることが状態情報によって示される製造装置３０について、バージョンアップ情報を送信しないと判断してもよい。通信可能でない製造装置３０へのバージョンアップ情報の不要な送信を行わないためである。
【００５４】
状態情報に含まれる、製造装置３０がサーバ装置２０と通信可能であるかどうかに関する情報によって、通信可能かどうかが示される場合には、送信判断部２６は、その情報を用いて通信可能かどうかを容易に判断することができる。一方、状態情報に含まれる、製造装置３０がサーバ装置２０と通信可能であるかどうかに関する情報が、例えば、製造装置３０から送信されてきた状態情報の受信時刻等である場合には、送信判断部２６は、その受信時刻等によって、製造装置３０がサーバ装置２０と通信可能である条件が満たされるかどうか判断し、その判断結果に応じて、通信可能であるかどうかを判断してもよい。その条件を示す情報は、例えば、送信判断部２６の有する図示しない記録媒体において保持されていてもよい。
【００５５】
なお、通信可能かどうかについては、例えば、サーバ装置２０から製造装置３０に、所定のパケット等を送信することにより、確認してもよい。例えば、Ｐｉｎｇを用いて、その確認を行ってもよい。その場合には、Ｐｉｎｇの結果が、状態情報における通信可能かどうかに関する情報となる。したがって、Ｐｉｎｇの結果が、状態情報受付部２４で受信され、状態情報更新部２５によって状態情報記憶部２３に蓄積される。そして、状態情報記憶部２３で記憶されているＰｉｎｇの結果を用いて、送信判断部２６は、通信可能かどうかを判断することができる。
【００５６】
送信判断部２６は、例えば、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けたバージョンアップ情報によってバージョンアップされた後のソフトウェアプログラムのバージョンと同じバージョンか、それ以降のバージョンのソフトウェアプログラムを用いていることが状態情報によって示される製造装置３０について、バージョンアップ情報を送信しないと判断してもよい。この場合には、例えば、状態情報に製造装置３０で用いられているソフトウェアプログラムのバージョンを示す情報が含まれており、その情報を用いて送信判断部２６は、その判断を行ってもよい。この判断を行うことにより、ソフトウェアプログラムをバージョンアップする必要のない製造装置３０へのバージョンアップ情報の不要な送信を行わないようにすることができる。
【００５７】
なお、送信判断部２６は、バージョンアップ情報の送信の適否に応じてバージョンアップ情報を製造装置３０に送信するかどうかを判断するのであれば、ここで説明した以外の判断を行ってもよい。
【００５８】
また、送信判断部２６は、一の製造装置３０について、バージョンアップ情報を送信しないと判断した場合に、その判断の後に再度、その一の製造装置３０について、バージョンアップ情報を製造装置３０に送信するかどうかを、状態情報を用いて判断してもよい。このようにすることで、バージョンアップ情報を送信しないと判断された製造装置３０であっても、バージョンアップ情報を送信することができるようになったタイミングでバージョンアップ情報を受信することができうる。なお、送信判断部２６は、その判断を、バージョンアップ情報を送信しないと判断したすべての製造装置３０に対して行ってもよく、一部の製造装置３０に対して行ってもよい。
【００５９】
フォルダ判断部２７は、バージョンアップ情報を送信する製造装置３０に、所定のフォルダが存在するかどうか判断する。所定のフォルダとは、バージョンアップ情報が格納されるフォルダであり、そのフォルダの位置や名称等があらかじめ決められているものである。例えば、フォルダ判断部２７は、製造装置３０の記憶部の「Ｐｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ」フォルダに、バージョンアップ情報が格納される「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダが存在するかどうかを判断してもよい。フォルダ判断部２７は、例えば、所定のフォルダが存在するかどうかの確認要求を製造装置３０に送信し、その確認要求に対応して製造装置３０からサーバ装置２０に送信された回答を用いてその判断をしてもよく、あるいは、製造装置３０にＴｅｌｎｅｔ等によりアクセスして製造装置３０のフォルダ構造を取得することによって判断してもよい。
【００６０】
なお、フォルダ判断部２７が通信回線を介して製造装置３０と通信を行う場合には、フォルダ判断部２７は、通信を行うための通信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、フォルダ判断部２７は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは通信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６１】
指示情報記憶部２８では、所定のフォルダを作成する指示を示す情報である指示情報が記憶される。この所定のフォルダは、フォルダ判断部２７が存在の有無を判断する所定のフォルダと同じであり、バージョンアップ情報が格納されるフォルダである。この指示情報が、製造装置３０の記憶部（ここでは、ディスク「Ｃ」であるとする）の「Ｐｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ」フォルダに、バージョンアップ情報が格納される「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダを作成する指示である場合には、例えば、次のようなものである。
ｓｙｓｔｅｍ（"ｍｋｄｉｒ  ￥Ｃ￥Ｐｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ￥Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ"）
【００６２】
指示情報記憶部２８は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。指示情報記憶部２８に指示情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して指示情報が指示情報記憶部２８で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された指示情報が指示情報記憶部２８で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された指示情報が指示情報記憶部２８で記憶されるようになってもよい。
【００６３】
送信部２９は、バージョンアップ情報を送信すると送信判断部２６が判断した製造装置３０に、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けたバージョンアップ情報を、通信回線を介して送信する。送信部２９は、例えば、ＦＴＰ等によってバージョンアップ情報を製造装置３０に送信してもよく、あるいは、その他の手法によって、バージョンアップ情報を製造装置３０に送信してもよい。送信部２９は、送信するバージョンアップ情報が格納されるフォルダを指示してバージョンアップ情報を送信してもよく、あるいは、そのような指示をしなくてもよい。前者の場合には、例えば、ＦＴＰ等によって所定のフォルダにバージョンアップ情報を送信してもよい。後者の場合には、製造装置３０が、どのフォルダにバージョンアップ情報を格納するのかをあらかじめ知っているものとする。送信部２９は、フォルダ判断部２７が製造装置３０に所定のフォルダが存在しないと判断した場合に、指示情報記憶部２８で記憶されている指示情報を製造装置３０に通信回線を介して送信してもよい。この指示情報の送信は、バージョンアップ情報の送信と同時であってもよく、別々であってもよい。
【００６４】
なお、送信部２９は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、送信部２９は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６５】
図５は、製造装置３０の構成を示すブロック図である。図５において、本実施の形態による製造装置３０は、状態情報構成部３１と、通信部３２と、蓄積部３３と、記憶部３４と、受付部３５と、インストール部３６と、プログラム実行部３７とを備える。
【００６６】
状態情報構成部３１は、サーバ装置２０に送信する状態情報を構成する。状態情報は、例えば、製造装置３０がプロセス中であるかどうかを示す情報等であってもよく、あるいは、製造装置３０の温度や圧力等を示す情報であってもよい。
【００６７】
通信部３２は、状態情報構成部３１が構成した状態情報をサーバ装置２０に通信回線を介して送信する。また、通信部３２は、サーバ装置２０から通信回線を介して送信されたバージョンアップ情報を受信する。なお、通信部３２は、通信を行うための通信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、通信部３２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは通信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６８】
蓄積部３３は、通信部３２が受信したバージョンアップ情報を、記憶部３４の所定のフォルダに蓄積する。この所定のフォルダは、サーバ装置２０から指示されたフォルダであってもよく、あるいは、あらかじめ製造装置３０においてバージョンアップ情報を蓄積する対象として設定されていたフォルダであってもよい。
【００６９】
記憶部３４の所定のフォルダには、前述のように、バージョンアップ情報が蓄積部３３によって蓄積される。また、記憶部３４には、後述するプログラム実行部３７が実行するソフトウェアプログラムも記憶されているものとする。このソフトウェアプログラムが実行されることにより、製造装置３０における半導体プロセスが実行されることになり、例えば、温度制御や圧力制御、ガス流量制御等が行われ、被処理基板に対する所定のプロセスが行われることになる。記憶部３４は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
受付部３５は、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力されたインストールの指示を受け付ける。
【００７０】
インストール部３６は、記憶部３４の所定のフォルダで記憶されているバージョンアップ情報をインストールすることにより、ソフトウェアプログラムをバージョンアップする。なお、このインストールを行うタイミングは問わない。例えば、バージョンアップ情報が記憶部３４に蓄積されたタイミングで、インストール部３６がインストールを行ってもよく、製造装置３０の再起動時にインストール部３６がインストールを行ってもよい。このインストールは、再起動時に行われることが好適である。再起動時にインストールを行うことによって、製造装置３０に不具合を発生させずに安全にインストールを行うことができるからである。再起動時にインストールが行われる場合には、再起動処理のどの段階でインストールが行われるのかは任意である。また、インストール部３６がバージョンアップ情報のインストールを行う場合に、製造装置３０のユーザ等にインストールを実行してよいかどうかの判断を求め、実行する旨の指示が受け付けられてからインストールを行ってもよく、そのようなユーザ等の判断を求めないで自動的にインストールを行ってもよい。
【００７１】
プログラム実行部３７は、記憶部３４で記憶されているソフトウェアプログラムを実行することにより、製造装置３０における半導体プロセス等を実行する。インストール部３６によってソフトウェアプログラムがバージョンアップされた場合には、そのバージョンアップ後のソフトウェアプログラムをプログラム実行部３７が実行することになる。
【００７２】
なお、図５では明記していないが、製造装置３０は、サーバ装置２０から送信された、所定のフォルダが存在するかどうかの確認要求に応じて、回答を構成する機能や、サーバ装置２０から送信された指示情報に応じて所定のフォルダを作成する機能等を実行する構成要素を備えてもよい。
【００７３】
次に、本実施の形態によるクライアント装置１０の動作について、図６のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ１０１）バージョンアップ情報受付部１１は、サーバ装置２０にバージョンアップ情報を送信するタイミングであるかどうか判断する。例えば、バージョンアップ情報受付部１１は、バージョンアップ情報を送信する旨の指示を入力デバイス等から受け付けた場合に、バージョンアップ情報を送信するタイミングであると判断してもよい。そして、バージョンアップ情報を送信するタイミングである場合には、ステップＳ１０２に進み、そうでない場合には、バージョンアップ情報を送信するタイミングとなるまで、ステップＳ１０１の処理を繰り返す。
【００７４】
（ステップＳ１０２）バージョンアップ情報受付部２１は、サーバ装置２０に送信するバージョンアップ情報を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ１０３に進み、受け付けていない場合には、バージョンアップ情報を受け付けるまでステップＳ１０２の処理を繰り返す。
【００７５】
（ステップＳ１０３）バージョンアップ情報受付部１１は、サーバ装置２０に送信するバージョンアップ情報によってソフトウェアプログラムをバージョンアップする製造装置３０の装置識別情報を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ１０４に進み、そうでない場合には、受け付けるまでステップＳ１０３の処理を繰り返す。
【００７６】
（ステップＳ１０４）送信部１２は、バージョンアップ情報受付部１１が受け付けたバージョンアップ情報と、装置識別情報とをサーバ装置２０に送信する。送信部１２は、例えば、サーバ装置２０のアドレスをあらかじめ知っており、そのアドレスを用いてバージョンアップ情報等を送信してもよい。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００７７】
なお、図６のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。また、このフローチャートにおいて、バージョンアップ情報と装置識別情報とが受け付けられて送信されるのであれば、バージョンアップ情報等を受け付ける順序は問わない。また、バージョンアップ情報等は、あらかじめクライアント装置１０で保持されているものをユーザが選択することによって受け付けられてもよい。
【００７８】
次に、本実施の形態によるサーバ装置２０の動作について、図７のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ２０１）状態情報受付部２４は、状態情報を受け付けたかどうか判断する。そして、状態情報を受け付けた場合には、ステップＳ２０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０３に進む。
【００７９】
（ステップＳ２０２）状態情報更新部２５は、状態情報受付部２４が受け付けた状態情報に応じて、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を更新する。なお、状態情報記憶部２３で記憶されていない製造装置３０の状態情報が受け付けられた場合には、状態情報更新部２５は、その状態情報を新規に状態情報記憶部２３に蓄積するものとする。そして、ステップＳ２０１に戻る。
【００８０】
（ステップＳ２０３）バージョンアップ情報受付部２１は、バージョンアップ情報と装置識別情報とを受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ２０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０６に進む。
【００８１】
（ステップＳ２０４）バージョンアップ情報蓄積部２２は、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けたバージョンアップ情報と、装置識別情報とを対応付けて図示しない記録媒体に蓄積する。
【００８２】
（ステップＳ２０５）送信判断部２６、送信部２９等は、バージョンアップ情報の送信処理を行う。この処理の詳細については、図８のフローチャートを用いて後述する。そして、ステップＳ２０１に戻る。
【００８３】
（ステップＳ２０６）送信判断部２６は、以前の送信処理によって送信することができなかったバージョンアップ情報について、送信処理を再度行うかどうか判断する。送信判断部２６は、例えば、所定の期間ごと（例えば、１時間ごとなど）に送信処理を再度行うタイミングであると判断してもよく、所定のイベントをトリガーして送信処理を再度行うタイミングであると判断してもよく、その他のタイミングで送信処理を再度行うと判断してもよい。そして、送信処理を再度行うと判断した場合には、ステップＳ２０７に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０１に戻る。
【００８４】
（ステップＳ２０７）送信判断部２６は、未送信のバージョンアップ情報が存在するかどうか判断する。この判断は、例えば、バージョンアップ情報の送信の有無に関する情報が管理されている場合には、その情報を用いてなされてもよい。その情報は、例えば、バージョンアップ情報蓄積部２２の有する図示しない記録媒体においてバージョンアップ情報や装置識別情報と一緒に保持されていてもよい。そして、未送信のバージョンアップ情報が存在する場合には、ステップＳ２０８に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０１に戻る。
【００８５】
（ステップＳ２０８）送信判断部２６、送信部２９等は、バージョンアップ情報の送信処理を行う。この処理の詳細については後述する。そして、ステップＳ２０１に戻る。
なお、図７のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００８６】
図８は、図７のフローチャートにおけるステップＳ２０５の送信処理の詳細を示すフローチャートである。
（ステップＳ３０１）送信判断部２６は、カウンタｉを１に設定する。
【００８７】
（ステップＳ３０２）送信判断部２６は、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けて、バージョンアップ情報蓄積部２２が蓄積した装置識別情報のうち、ｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に、バージョンアップ情報を送信するかどうか判断する。この判断処理の詳細については、図９のフローチャートを用いて後述する。
【００８８】
（ステップＳ３０３）フォルダ判断部２７は、ｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に、所定のフォルダが存在するかどうか判断する。そして、所定のフォルダが存在する場合には、ステップＳ３０５に進み、所定のフォルダが存在しない場合には、ステップＳ３０４に進む。
【００８９】
（ステップＳ３０４）送信部２９は、指示情報記憶部２８から指示情報を読み出し、その指示情報をｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に送信する。
【００９０】
（ステップＳ３０５）送信部２９は、バージョンアップ情報蓄積部２２からバージョンアップ情報を読み出し、そのバージョンアップ情報をｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に送信する。
（ステップＳ３０６）送信判断部２６は、カウンタｉを１だけインクリメントする。
【００９１】
（ステップＳ３０７）送信判断部２６は、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けて、バージョンアップ情報蓄積部２２が蓄積した装置識別情報に、ｉ番目の装置識別情報が存在するかどうか判断する。そして、存在する場合には、ステップＳ３０２に戻り、そうでない場合には、バージョンアップ情報を送信する一連の送信処理は終了となり、ステップＳ２０１に戻る。
【００９２】
なお、図８のフローチャートにおいて、指示情報を送信する場合に、指示情報とバージョンアップ情報とを別々に送信する場合について説明したが、指示情報とバージョンアップ情報とを同時に送信するようにしてもよい。
【００９３】
図９は、図８のフローチャートにおけるステップＳ３０２の送信判断処理の詳細を示すフローチャートである。
（ステップＳ４０１）送信判断部２６は、ｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に対応する、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を参照し、その製造装置３０がプロセス中であるかどうか判断する。そして、プロセス中である場合には、ステップＳ４０５に進み、プロセス中でない場合には、ステップＳ４０２に進む。
【００９４】
（ステップＳ４０２）送信判断部２６は、ｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に対応する、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を参照し、その製造装置３０と通信することができるかどうか判断する。そして、通信することができる場合には、ステップＳ４０３に進み、通信することができる場合には、ステップＳ４０５に進む。
【００９５】
（ステップＳ４０３）送信判断部２６は、ｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に対応する、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を参照し、その製造装置３０で使用されているソフトウェアプログラムのバージョンと、バージョンアップ情報受付部２１が受け付けて、バージョンアップ情報蓄積部２２が蓄積した最新のバージョンアップ情報によってバージョンアップされた後のソフトウェアプログラムのバージョンとを比較し、製造装置３０で使用されているソフトウェアプログラムのバージョンの方が古いかどうかを判断する。そして、製造装置３０で使用されているソフトウェアプログラムのバージョンの方が古い場合には、ステップＳ４０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ４０５に進む。
【００９６】
（ステップＳ４０４）送信判断部２６は、バージョンアップ情報をｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に送信すると判断する。そして、ステップＳ３０３に進む。
【００９７】
（ステップＳ４０５）送信判断部２６は、バージョンアップ情報をｉ番目の装置識別情報で識別される製造装置３０に送信しないと判断する。そして、ステップＳ３０６に進む。
【００９８】
図７のフローチャートにおけるステップＳ２０８の送信処理の詳細は、図８のフローチャートとほぼ同様であり、その詳細な説明を省略する。なお、図８のフローチャートのステップＳ３０２においてバージョンアップ情報を送信するかどうか判断する対象となる製造装置３０は、それまでの判断処理において、バージョンアップ情報を送信しないと判断された製造装置３０の全部または一部である。
【００９９】
次に、本実施の形態による製造装置３０の動作について、図１０のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ５０１）通信部３２は、バージョンアップ情報を受信したかどうか判断する。そして、バージョンアップ情報を受信した場合には、ステップＳ５０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ５０３に進む。
【０１００】
（ステップＳ５０２）蓄積部３３は、通信部３２が受信したバージョンアップ情報を記憶部３４に蓄積する。なお、そのバージョンアップ情報を蓄積する所定のフォルダがサーバ装置２０から指定された場合や、製造装置３０においてあらかじめ設定されている場合には、蓄積部３３は、そのフォルダにバージョンアップ情報を蓄積する。そして、ステップＳ５０１に戻る。
【０１０１】
（ステップＳ５０３）インストール部３６は、バージョンアップを行うタイミングであるかどうか判断する。このタイミングは、例えば、所定の期間ごと（例えば、毎日午前２時など）であってもよく、所定のイベント（例えば、製造装置３０が再起動されること）をトリガーとするものであってもよく、その他のタイミングであってもよい。そして、バージョンアップを行うタイミングである場合には、ステップＳ５０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ５０７に進む。
【０１０２】
（ステップＳ５０４）インストール部３６は、まだインストールされていないバージョンアップ情報が記憶部３４で記憶されているかどうか判断する。そして、記憶されている場合には、ステップＳ５０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ５０１に戻る。
【０１０３】
（ステップＳ５０５）インストール部３６は、バージョンアップ情報をインストールする旨の指示を受付部３５が受け付けたかどうか判断する。そして、バージョンアップ情報をインストールする旨の指示を受付部３５が受け付けた場合には、ステップＳ５０６に進み、バージョンアップ情報をインストールしない旨の指示を受付部３５が受け付けた場合には、ステップＳ５０１に戻る。
【０１０４】
（ステップＳ５０６）インストール部３６は、記憶部３４で記憶されているバージョンアップ情報をインストールすることにより、製造装置３０のソフトウェアプログラムをバージョンアップする。そして、ステップＳ５０１に戻る。なお、このインストールの後に、このインストールで用いたバージョンアップ情報は、記憶部３４から削除されてもよく、あるいは、すでにインストールした旨のフラグ等が設定されてもよい。このインストールの後には、プログラム実行部３７によって、バージョンアップ後のソフトウェアプログラムが実行されることになる。
【０１０５】
（ステップＳ５０７）状態情報構成部３１は、状態情報を送信するタイミングであるかどうか判断する。状態情報を送信するタイミングは、例えば、所定の期間ごと（例えば、１０分ごとなど）であってもよく、所定のイベント（例えば、製造装置３０の状態が変更されたことや、状態情報を送信する旨の指示を製造装置３０が受信したことなど）をトリガーとするものであってもよく、その他のタイミングであってもよい。そして、状態情報を送信するタイミングである場合には、ステップＳ５０８に進み、そうでない場合には、ステップＳ５０１に戻る。
【０１０６】
（ステップＳ５０８）状態情報構成部３１は、サーバ装置２０に送信する状態情報を構成する。この状態情報として、どのような情報を送信するのかは、あらかじめ決められているものとする。例えば、状態情報構成部３１は、以前に送信した状態情報から変化した項目のみを状態情報として構成してもよく、あるいは、サーバ装置２０で管理されている状態情報に含まれるすべての項目を状態情報として構成してもよい。
（ステップＳ５０９）通信部３２は、状態情報構成部３１が構成した状態情報をサーバ装置２０に送信する。そして、ステップＳ５０１に戻る。
【０１０７】
なお、図１０のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。また、図１０のフローチャートにおいて、バージョンアップ情報をインストールする旨の指示が受け付けられた場合（ステップＳ５０５）にインストールを行うと説明したが、インストールされていないバージョンアップ情報が存在する場合には自動的にインストールを行うようにしてもよい。
【０１０８】
また、図１０のフローチャートでは明記していないが、サーバ装置２０から、製造装置３０に所定のフォルダが存在するかどうかの問い合わせがあった場合には、その問い合わせに応じた回答を製造装置３０が行うものとする。また、所定のフォルダを生成する指示を示す指示情報がサーバ装置２０から送信され、製造装置３０が受信した場合には、その指示情報に応じて所定のフォルダが生成されるものとする。
【０１０９】
次に、本実施の形態による群管理システムの動作について、具体例を用いて説明する。
まず、サーバ装置２０において状態情報が更新される動作について説明する。ここで、サーバ装置２０の状態情報記憶部２３では、図１１で示される状態情報が記憶されているものとする。図１１で示される状態情報において、製造装置３０を識別する装置識別情報と、プロセス中であるかどうかを示すプロセス中フラグと、サーバ装置２０と通信可能であるかどうかを示す通信可能フラグと、製造装置３０で用いているソフトウェアプログラムのバージョンとが対応付けられている。プロセス中フラグが１であれば、プロセス中であることを示し、プロセス中フラグが０であれば、プロセス中でないことを示すものとする。また、通信可能フラグが１であれば、通信可能であることを示し、通信可能フラグが０であれば、通信できないことを示すものとする。
【０１１０】
この具体例において、製造装置３０からサーバ装置２０に１０分ごとに製造装置３０の状態情報が送信されるものとする。そして、サーバ装置２０では、受信した状態情報によって、記憶されている状態情報が更新されることになる。その更新において、１０分以上状態情報が受信されなかった場合には、何らかの理由で製造装置３０とサーバ装置２０との間の通信ができない状態になっていると判断し、状態情報更新部２５は、その製造装置３０を識別する装置識別情報に対応する通信可能フラグを「０」に設定するものとする。
【０１１１】
装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０は、状態情報を送信してからの時間をタイマで測定しており、そのタイマの値が「１０分」となった時点で、状態情報を送信するタイミングであると判断する（ステップＳ５０７）。その時点での製造装置３０の状態が、プロセスが終了した段階であり、ソフトウェアプログラムのバージョンが「０２０」である場合には、状態情報構成部３１は、装置識別情報「Ｄ００１」と、それらの状態とを含む状態情報を構成し、通信部３２に渡す（ステップＳ５０８）。なお、製造装置３０の装置識別情報は、製造装置３０において、あらかじめ図示しない記録媒体において保持されているものとする。
【０１１２】
通信部３２は、状態情報構成部３１から受け取った状態情報を含むパケットを図１２で示されるように構成し、そのパケットを、あらかじめ決められているサーバ装置２０のアドレスに送信する（ステップＳ５０９）。
【０１１３】
そのパケットは、通信回線を介して送信され、サーバ装置２０の状態情報受付部２４で受信される（ステップＳ２０１）。状態情報更新部２５は、状態情報受付部２４が受信した状態情報に応じて、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を更新する（ステップＳ２０２）。具体的には、状態情報において装置識別情報「Ｄ００１」に対応付けられているプロセス中フラグを「０」に更新する。バージョンについては変わっていないため、更新されない。その更新の結果、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報は、図１３で示されるようになる。
【０１１４】
このように、製造装置３０からサーバ装置への状態情報の送信が定期的に行われることになる。装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０以外の製造装置３０においても、同様にしてサーバ装置２０への状態情報の送信が行われるものとする。
【０１１５】
次に、クライアント装置１０からバージョンアップ情報がサーバ装置２０に送信され、そのバージョンアップ情報が製造装置３０に送信される動作について説明する。
【０１１６】
まず、クライアント装置１０を操作するユーザが、バージョンアップ情報をサーバ装置２０に送信するアプリケーションを起動したとする。すると、バージョンアップ情報受付部１１は、バージョンアップ情報を送信するタイミングであると判断する（ステップＳ１０１）。そして、バージョンアップ情報を有する記録媒体をクライアント装置１０に装着する旨のユーザに対する指示がディスプレイに表示される。
【０１１７】
その指示に応じてバージョンアップ情報を有する記録媒体がクライアント装置１０に装着されると、バージョンアップ情報受付部１１は、その記録媒体からバージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」を読み出す（ステップＳ１０２）。なお、このバージョンアップ情報のファイル名における「ｖ０２１」は、ソフトウェアプログラムのバージョンを示すものであるとする。
【０１１８】
また、製造装置３０において、バージョンアップ情報を送信する製造装置３０の装置識別情報を入力する旨のユーザに対する指示がディスプレイに表示される。その指示に応じてユーザが入力デバイスを用いて製造装置３０の装置識別情報「Ｄ００１」、「Ｄ００２」、「Ｄ００３」、「Ｄ００４」を入力すると、それらの装置識別情報は、バージョンアップ情報受付部１１で受け付けられる（ステップＳ１０３）。そして、送信部１２は、あらかじめ決められているサーバ装置２０のアドレスに、バージョンアップ情報と装置識別情報とを送信する（ステップＳ１０４）。
【０１１９】
クライアント装置１０から送信されたバージョンアップ情報と装置識別情報とは、サーバ装置２０のバージョンアップ情報受付部２１で受信される（ステップＳ２０３）。すると、バージョンアップ情報蓄積部２２は、そのバージョンアップ情報と、装置識別情報とを対応付けて図示しない記録媒体に蓄積する（ステップＳ２０４）。図１４は、そのようにして蓄積された装置識別情報と、バージョンアップ情報とを示す図である。なお、図１４で示されるように、バージョンアップ情報蓄積部２２が有する図示しない記録媒体では、送信済フラグと、装置識別情報と、バージョンアップ情報とが対応付けられて記憶されている。送信済フラグは、バージョンアップ情報が装置識別情報で識別される製造装置３０に送信されたかどうかを示す情報である。送信済フラグが０であれば、送信されていないことを示し、送信済フラグが１であれば、送信されたことを示すものとする。バージョンアップ情報蓄積部２２がバージョンアップ情報等を蓄積する際には、まだバージョンアップ情報が送信されていないため、送信済フラグはすべて０に設定されている。
【０１２０】
送信判断部２６等は、バージョンアップ情報蓄積部２２がバージョンアップ情報等を蓄積すると、送信処理を開始する（ステップＳ２０５）。具体的には、送信判断部２６は、新たに蓄積されたバージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」に対応する１番目の装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０にバージョンアップ情報を送信するかどうか判断する（ステップＳ３０１，Ｓ３０２）。
【０１２１】
まず、送信判断部２６は、状態情報記憶部２３で記憶されている図１３で示される状態情報を参照する。そして、プロセス中フラグが０であるため、送信判断部２６は、製造装置３０がプロセス中でないと判断する（ステップＳ４０１）。また、通信可能フラグが１であるため、送信判断部２６は、製造装置３０と通信可能であると判断する（ステップＳ４０２）。また、バージョンアップ情報によってバージョンアップされた後のソフトウェアのバージョンが「０２１」であり、製造装置３０の現在のソフトウェアプログラムのバージョンが「０２０」であるため、現在のソフトウェアプログラムのバージョンの方が古いと判断する（ステップＳ４０３）。その結果、送信判断部２６は、バージョンアップ情報を送信すると判断する（ステップＳ４０４）。
【０１２２】
ここで、バージョンアップ情報は、製造装置３０の記憶部３４の「Ｐｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ」フォルダに存在する「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダに記憶されるものとする。したがって、フォルダ判断部２７は、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０にアクセスし、その記憶部３４のＰｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ」フォルダに、「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダが存在するかどうか判断する。この場合には、存在しなかったとする（ステップＳ３０３）。すると、送信部２９は、指示情報記憶部２８から、あらかじめ記憶されている指示情報を読み出し、その指示情報を装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０に送信する。サーバ装置２０では、例えば、図１５で示される装置識別情報と、ＩＰアドレスとが対応付けられて保持されており、送信部２９は、その情報を用いて、装置識別情報「Ｄ００１」に対応するＩＰアドレス「１９２．１６８．０．１」を読み出し、そのＩＰアドレスを送信先のアドレスとして、指示情報を送信する（ステップＳ３０４）。その指示情報を受信した製造装置３０では、記憶部３４のＰｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ」フォルダに、「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダが作成されるものとする。
【０１２３】
その後、送信部２９は、バージョンアップ情報蓄積部２２の有する図示しない記録媒体から、バージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」を読み出し、装置識別情報「Ｄ００１」に対応するＩＰアドレスを送信先のアドレスとして送信する（ステップＳ３０５）。なお、そのバージョンアップ情報の送信時には、そのバージョンアップ情報を蓄積するフォルダを指定する情報も送信されるものとする。また、そのバージョンアップ情報の送信後に、送信済フラグが更新され、図１６で示されるようになるものとする。
【０１２４】
その後、サーバ装置２０の送信判断部２６は、２番目の装置識別情報「Ｄ００２」で識別される製造装置３０について、バージョンアップ情報を送信するかどうか判断する（ステップＳ３０６，Ｓ３０７，Ｓ３０２）。この場合には、製造装置３０の現在のソフトウェアプログラムのバージョンが「０２１」であり（図１３参照）、古いものではないため（ステップＳ４０３）、バージョンアップ情報を送信しないと判断される（ステップＳ４０５）。
【０１２５】
また、３番目の装置識別情報「Ｄ００３」で識別される製造装置３０については、プロセス中フラグが１であるため（図１３参照）、プロセス中であると判断され（ステップＳ４０１）、バージョンアップ情報を送信しないと判断される（ステップＳ４０５）。
【０１２６】
また、４番目の装置識別情報「Ｄ００４」で識別される製造装置３０については、通信可能フラグが０であるため（図１３参照）、通信することができないと判断され（ステップＳ４０２）、バージョンアップ情報を送信しないと判断される（ステップＳ４０５）。このようにして、一連の送信処理は終了する（ステップＳ３０６，Ｓ３０７）。
【０１２７】
次に、バージョンアップ情報を受信した製造装置３０について説明する。サーバ装置２０から装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０に送信されたバージョンアップ情報等は、通信部３２で受信され（ステップＳ５０１）、蓄積部３３は、そのバージョンアップ情報を指定されたフォルダに蓄積する（ステップＳ５０２）。
【０１２８】
その後、その製造装置３０が再起動されるタイミングで、インストール部３６は、バージョンアップを行うと判断する（ステップＳ５０３）。また、インストール部３６は、記憶部３４の「Ｐｒｏｇｒａｍ＿Ｆｉｌｅ」フォルダの「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダに、バージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」が存在するため、新たなバージョンアップ情報が存在すると判断する（ステップＳ５０４）。そして、製造装置３０のディスプレイに、図１７で示される表示を出すことにより、製造装置３０のユーザからの指示を待つ。図１７の表示に対して、製造装置３０のユーザがマウスを操作して「ＯＫ」ボタンをクリックしたとすると、インストール部３６は、バージョンアップをする旨の指示が受付部３５で受け付けられたと判断し（ステップＳ５０５）、バージョンアップ情報のインストールが行われ、製造装置３０のソフトウェアプログラムのバージョンが「０２１」にバージョンアップされる（ステップＳ５０６）。そして、再起動後の製造装置３０では、バージョンアップ後のソフトウェアプログラムによって、プロセス等の処理が実行されることになる。なお、記憶部３４で記憶されているバージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」は、インストール後に「Ｕｐｇｒａｄｅ＿Ｐｒｏｇｒａｍ」フォルダと共に削除されるものとする。
【０１２９】
次に、バージョンアップ情報を送信しないと判断された製造装置３０についての再度の送信判断について説明する。
送信判断部２６は、バージョンアップ情報を装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０に送信した時点からタイマでの計時を開始し、そのタイマの値が１時間を示した時点で、以前の送信処理によって送信することができなかったバージョンアップ情報について、送信処理を再度行うと判断する（ステップＳ２０６）。そして、送信判断部２６は、図１６で示されるテーブルを参照し、送信済フラグ「０」が存在するため、未送信のバージョンアップ情報が存在すると判断する（ステップＳ２０７）。
【０１３０】
その後、送信判断部２６は、バージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」を装置識別情報「Ｄ００２」、「Ｄ００３」、「Ｄ００４」に送信することに関する送信処理を行う（ステップＳ２０８）。なお、この送信処理は、前述の送信処理と同様であるため、その説明を省略する。
【０１３１】
なお、この具体例では、１個のバージョンアップ情報がクライアント装置１０からサーバ装置２０に送信され、その１個のバージョンアップ情報が送信判断の結果に応じてサーバ装置２０から製造装置３０に送信される場合について説明したが、例えば、複数のファイルを含むいわゆるバージョンアップキットとしてのバージョンアップ情報がクライアント装置１０からサーバ装置２０に送信され、その複数のファイルを含むバージョンアップ情報が送信判断の結果に応じてサーバ装置２０から製造装置３０に送信されてもよい。その場合には、サーバ装置２０において、例えば、バージョンアップ情報に含まれる各ファイルについて、送信判断を行ってもよく、複数のファイルを含むバージョンアップ情報について一括して送信判断を行ってもよい。
【０１３２】
また、この具体例では、送信判断によってバージョンアップ情報を送信しないと判断された製造装置３０のすべての製造装置３０について、再度の判断を行う場合について説明したが、送信判断によってバージョンアップ情報を送信しないと判断された製造装置３０の一部の製造装置３０について、再度の判断を行うようにしてもよい。例えば、送信対象となるバージョンアップ情報によってバージョンアップした後のソフトウェアプログラムと同じか、あるいはそれよりも新しいバージョンのソフトウェアプログラムが製造装置３０においてすでに使用されていることによってバージョンアップ情報を送信しないと判断された場合には、その後に再度の判断を行ったとしても、判断結果が変わることはないため、そのような理由で送信しないと判断されたのであれば、再度の判断を行わないようにしてもよい。
【０１３３】
また、この具体例において、サーバ装置２０から製造装置３０にバージョンアップ情報が送信されたことに応じて、どの製造装置３０にバージョンアップ情報が送信されたのかを示す情報が、サーバ装置２０からクライアント装置１０に送信されるようにしてもよい。このようにすることで、クライアント装置１０のユーザは、バージョンアップ情報がどの製造装置３０に送信されたのかについて知ることができる。
【０１３４】
また、この具体例において、バージョンアップ情報がサーバ装置２０から製造装置３０に送信される際に、サーバ装置２０から製造装置３０に送信されたバージョンアップ情報が蓄積される所定のフォルダに不要なファイルが存在する場合には、その不要なファイルを削除するようにしてもよい。その不要なファイルを削除する処理は、サーバ装置２０が製造装置３０にアクセスすることにより、もしくは、サーバ装置２０が製造装置３０に不要なファイルを削除する旨の指示を送信することによって行ってもよく、または、製造装置３０がバージョンアップ情報を受信する際に行ってもよい。
【０１３５】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、サーバ装置２０から製造装置３０にバージョンアップ情報を送信することによって、製造装置３０の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップすることができる。したがって、従来例のように、各製造装置３０のソフトウェアプログラムをバージョンアップするための煩雑で時間のかかる処理を作業者が行う必要がなくなるというメリットがある。
【０１３６】
また、サーバ装置２０は、バージョンアップ情報を送信するかどうかを判断し、送信すると判断した場合にバージョンアップ情報を送信するため、不適切な場合にバージョンアップ情報を送信することを回避することができ、ソフトウェアプログラムの適切なバージョンアップを実現することができうる。例えば、製造装置３０がプロセス中である場合には、バージョンアップ情報を送信しないようにすることができる。
【０１３７】
また、実行ソフトウェアプログラムがシステムプログラムである場合には、一般にバージョンアップ情報の容量も大きくなると考えられるため、バージョンアップ情報を送信することによる製造装置３０への影響は大きいと考えられる。そのような場合に、バージョンアップ情報を送信するかどうかを判断し、その判断結果に応じてバージョンアップ情報を送信することは効果的である。
【０１３８】
なお、送信判断部２６は、上記説明以外の判断を行ってもよい。例えば、送信判断部２６は、すべての製造装置３０のうち、一定割合以上の製造装置３０、あるいは、一定数以上の製造装置３０がプロセス中である場合に、バージョンアップ情報を送信しないと判断し、そうでない場合に、バージョンアップ情報を送信すると判断してもよい。例えば、バージョンアップ情報の容量は非常に大きくなることがある。そのようなバージョンアップ情報をプロセス中でない製造装置３０に送信したとすると、そのバージョンアップ情報の送信で、通信回線の容量を非常に多く取ることになり、他のプロセス中の製造装置３０に必要な通信回線の容量を確保することができず、そのプロセスで必要な通信が妨害されることもありうる。したがって、上記のように、一定割合以上の製造装置３０や、一定数以上の製造装置３０がプロセス中である場合には、バージョンアップ情報を送信しないと判断することによって、そのような事態を回避することができうる。なお、一定数や一定割合は、通信回線の容量や、プロセス中の製造装置３０で必要な通信の容量等を考慮して適切な値を設定することが好ましい。
【０１３９】
また、本実施の形態による群管理システムにおけるサーバ装置２０は、バージョンアップ情報を受け付け、送信するかどうかの判断結果に応じてそのバージョンアップ情報を製造装置３０に送信するだけのものであってもよい。したがって、群管理システムにおけるその他の処理、例えば、クライアント装置１０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果をクライアント装置１０に送信する処理や、製造装置３０から送信された各種の測定情報を蓄積する処理等を行うサーバ装置が、サーバ装置２０以外に設けられていてもよい。
【０１４０】
また、本実施の形態では、フォルダ判断部２７が所定のフォルダの存在について判断し、所定のフォルダが存在しない場合に、指示情報が送信されると説明したが、所定のフォルダの存在についての判断を行わずに指示情報を送信してもよい。この場合には、サーバ装置２０はフォルダ判断部２７を備えなくてもよい。その指示情報を受信した製造装置３０では、すでに所定のフォルダが存在する場合には、指示情報についてエラーとなり、所定のフォルダが存在しない場合には、その所定のフォルダが作成されることになる。
【０１４１】
また、本実施の形態では、指示情報を送信する場合について説明したが、バージョンアップ情報が格納されるフォルダを指定しなくてよい場合や、製造装置３０においてあらかじめ所定のフォルダの存在することが確実にわかっている場合などには、サーバ装置２０から指示情報が送信されなくてもよい。その場合には、サーバ装置２０は、フォルダ判断部２７や指示情報記憶部２８を備えなくてもよい。
【０１４２】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムでは、バージョンアップ情報の送信中に状態情報が更新され、バージョンアップ情報の送信を中止すると判断された場合には、そのバージョンアップ情報の送信を中止するものである。
【０１４３】
なお、本実施の形態による群管理システムの構成、群管理システムを構成するクライアント装置１０、サーバ装置２０、Ｎ個の製造装置３０の各構成は、実施の形態１の図１〜図５と同様であり、その説明を省略する。また、各装置の動作についても、バージョンアップ情報の送信に関する動作以外、実施の形態１の図６〜図１０のフローチャートと同様であり、その説明を省略する。
【０１４４】
図１８は、本実施の形態におけるバージョンアップ情報の送信処理の詳細を示すフローチャートである。すなわち、図１８は、図８のフローチャートにおけるステップＳ３０５の処理の詳細を示す図である。
【０１４５】
（ステップＳ６０１）サーバ装置２０の送信部２９は、送信先の製造装置３０にバージョンアップ情報を送信する。例えば、このステップにおける処理は、バージョンアップ情報に関する１または数個のパケットの送信であってもよい。
【０１４６】
（ステップＳ６０２）送信部２９は、バージョンアップ情報をすべて送信してしまったかどうか判断する。そして、すべて送信してしまった場合には、それ以上送信するものがないため、図８のフローチャートに戻り、まだ送信するバージョンアップ情報が残っている場合には、ステップＳ６０３に進む。
【０１４７】
（ステップＳ６０３）状態情報受付部２４は、状態情報を受け付けたかどうか判断する。そして、状態情報を受け付けた場合には、ステップＳ６０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ６０１に戻る。
【０１４８】
（ステップＳ６０４）状態情報更新部２５は、状態情報受付部２４が受け付けた状態情報に応じて、状態情報記憶部２３で記憶されている状態情報を更新する。なお、状態情報記憶部２３で記憶されていない製造装置３０の状態情報が受け付けられた場合には、状態情報更新部２５は、その状態情報を新規に状態情報記憶部２３に蓄積するものとする。
【０１４９】
（ステップＳ６０５）送信判断部２６は、バージョンアップ情報の送信を継続することできるか、あるいは、中止しなくてはならないかについて判断する。そして、バージョンアップ情報の送信を継続することができる場合には、ステップＳ６０１に戻り、バージョンアップ情報の送信を中止しなくてはならない場合には、送信部２９はバージョンアップ情報の送信を中止して、図８のフローチャートに戻る。
【０１５０】
ここで、ステップＳ６０５の判断について説明する。送信判断部２６は、送信部２９がバージョンアップ情報を送信している際に、状態情報によってそのバージョンアップ情報の送信先の製造装置３０がプロセス中となったことを検知した場合に、そのバージョンアップ情報の送信を中止すると判断してもよい。そして、送信部２９は、バージョンアップ情報の送信中に、そのバージョンアップ情報の送信を中止すると送信判断部２６が判断した場合に、そのバージョンアップ情報の送信を中止してもよい。そのバージョンアップ情報の送信を中止するかどうかの条件を示す情報は、例えば、送信判断部２６の有する図示しない記録媒体において保持されていてもよい。
【０１５１】
また、送信判断部２６は、送信部２９がバージョンアップ情報を送信している際に、状態情報によって、一定割合以上の製造装置３０、あるいは、一定数以上の製造装置３０がプロセス中となったことを検知した場合に、そのバージョンアップ情報の送信を中止すると判断してもよい。また、送信部２９は、バージョンアップ情報の送信中に、そのバージョンアップ情報の送信を中止すると送信判断部２６が判断した場合に、そのバージョンアップ情報の送信を中止してもよい。そのバージョンアップ情報の送信を中止するかどうかの条件を示す情報は、例えば、送信判断部２６の有する図示しない記録媒体において保持されていてもよい。なお、一定数や一定割合は、通信回線の容量や、プロセス中の製造装置３０で必要な通信の容量等を考慮して適切な値を設定することが好ましい。一定数は、１以上の数字であってもよい。
【０１５２】
図１８で示される動作の具体例について、簡単に説明する。まず、バージョンアップ情報の送信中に、送信先の製造装置３０がプロセス中となった場合に、そのバージョンアップ情報の送信を中止する動作について説明する。
【０１５３】
状態情報が図１３で示されるものであり、サーバ装置２０から装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０にバージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」の送信が開始されたとする（ステップＳ６０１）。そして、そのバージョンアップ情報のうち、ある程度のデータが送信された時点で、その製造装置３０から状態情報が送信され、状態情報受付部２４で受信され（ステップＳ６０２，Ｓ６０３）、状態情報更新部２５によって、状態情報が更新されたとする（ステップＳ６０４）。その更新後の状態情報は、図１１で示されるものであるとする。すると、送信判断部２６は、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０がプロセス中となったため、バージョンアップ情報の送信を中止すると判断し、送信部２９によるバージョンアップ情報の送信は中止される（ステップＳ６０５）。
【０１５４】
なお、この後、送信処理を再度行うと判断された場合に（ステップＳ２０６）、送信することができる条件を満たしているのであれば、再度の送信が行われるのは、実施の形態１と同様である。その再度のバージョンアップ情報の送信の場合に、例えば、バージョンアップ情報のすべてを送信してもよく、あるいは、すでに送信した部分については送信せずに、送信していない部分についてのみ送信するようにしてもよい。
【０１５５】
次に、バージョンアップ情報の送信中に、群管理システムの通信回線に接続されている一定割合以上の製造装置３０、あるいは、一定数以上の製造装置３０がプロセス中となった場合に、そのバージョンアップ情報の送信を中止する動作について説明する。ここでは、３割以上の製造装置３０がプロセス中となった場合に、バージョンアップ情報の送信を中止すると判断するものとする。
【０１５６】
前述の説明と同様に、状態情報が図１３で示されるものであり、サーバ装置２０から装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置３０にバージョンアップ情報「ｕｐｇｒａｄｅ＿ｖ０２１．ｅｘｅ」の送信が開始されたとする（ステップＳ６０１）。そして、そのバージョンアップ情報のうち、ある程度のデータが送信された時点で、複数の製造装置３０から状態情報が送信され、状態情報受付部２４で受信され（ステップＳ６０２，Ｓ６０３）、状態情報更新部２５によって、状態情報が更新されたとする（ステップＳ６０４）。その状態情報の更新によって、３割以上の製造装置３０がプロセス中となったことが検知されると、送信判断部２６は、バージョンアップ情報の送信を中止すると判断し、送信部２９によるバージョンアップ情報の送信は中止される（ステップＳ６０５）。
【０１５７】
なお、この後、送信処理を再度行うと判断された場合に（ステップＳ２０６）、送信することができる条件を満たしているのであれば、再度の送信が行われるのは、実施の形態１と同様である。その再度のバージョンアップ情報の送信の場合に、例えば、バージョンアップ情報のすべてを送信してもよく、あるいは、すでに送信した部分については送信せずに、送信していない部分についてのみ送信するようにしてもよい。
【０１５８】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、バージョンアップ情報を送信中に、送信先の製造装置３０がプロセス中となった場合や、一定割合以上の製造装置３０または一定数以上の製造装置３０がプロセス中となった場合に、バージョンアップ情報の送信を中止することによって、製造装置３０のプロセスに関する処理を、バージョンアップ情報の送信に優先して行うことができ、例えば、バージョンアップ情報の送信によって製造装置３０でのプロセスに支障を来す事態を回避することができうる。
【０１５９】
なお、上記各実施の形態において、サーバ装置２０から製造装置３０にバージョンアップ情報を送信する際に、１台ごとに送信する場合について説明したが、そうでなくてもよい。例えば、複数の製造装置３０に対して、まとめてバージョンアップ情報の送信を行ってもよい。例えば、群管理システムの通信回線において、ＩＰ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ  Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）を用いた通信を行っている場合には、ブロードキャスト通信や、マルチキャスト通信によって、バージョンアップ情報の送信を行ってもよい。
【０１６０】
また、上記各実施の形態において、送信判断部２６が、バージョンアップ情報を送信するかどうかの判断を製造装置３０ごとに行う場合について説明したが、送信判断部２６は、複数の製造装置３０について、まとめて判断を行ってもよい。例えば、状態情報によって示される状態が同じである複数の製造装置３０について、送信判断部２６は、まとめて判断を行ってもよい。
【０１６１】
また、上記各実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１６２】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記各実施の形態におけるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置での処理を実行させるためのプログラムあって、前記製造装置の制御のための実行ソフトウェアプログラムをバージョンアップする情報であるバージョンアップ情報を受け付けるバージョンアップ情報受付ステップと、状態情報記憶部で記憶される、前記製造装置の状態に関する情報であり、前記製造装置がプロセス中であるかどうかに関する情報を含む情報である状態情報によって、前記製造装置がプロセス中であることが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信しないと判断し、前記状態情報によって前記製造装置がプロセス中でないことが示される場合に、当該製造装置に前記バージョンアップ情報を送信すると判断する送信判断ステップと、前記バージョンアップ情報を送信すると前記送信判断ステップで判断した製造装置に、前記バージョンアップ情報を送信する送信ステップと、を実行させるためのものである。
【０１６３】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受け付ける受付ステップなどでは、ハードウェアでしか行われない処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理は少なくとも含まれない。
【０１６４】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。
【０１６５】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１６６】
以上より、本発明によるサーバ装置等によれば、サーバ装置から１以上の製造装置への適切なバージョンアップ情報の送信を行うことができ、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、サーバ装置とを少なくとも有する群管理システム等において有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１６７】
【図１】本発明の実施の形態１による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２】同実施の形態による製造装置の一例を示す図
【図３】同実施の形態によるクライアント装置の構成を示すブロック図
【図４】同実施の形態によるサーバ装置の構成を示すブロック図
【図５】同実施の形態による製造装置の構成を示すブロック図
【図６】同実施の形態によるクライアント装置の動作を示すフローチャート
【図７】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図８】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図９】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図１０】同実施の形態による製造装置の動作を示すフローチャート
【図１１】同実施の形態におけるサーバ装置で記憶されている状態情報の一例を示す図
【図１２】同実施の形態における製造装置から送信される状態情報の一例を示す図
【図１３】同実施の形態におけるサーバ装置で記憶されている状態情報の一例を示す図
【図１４】同実施の形態におけるサーバ装置で記憶されているバージョンアップ情報と装置識別情報との対応の一例を示す図
【図１５】同実施の形態におけるサーバ装置で記憶されている装置識別情報とＩＰアドレスとの対応の一例を示す図
【図１６】同実施の形態におけるサーバ装置で記憶されているバージョンアップ情報と装置識別情報との対応の一例を示す図
【図１７】同実施の形態における製造装置での表示の一例を示す図
【図１８】本発明の実施の形態２におけるサーバの動作を示すフローチャート
【符号の説明】
【０１６８】
１０  クライアント装置
１１、２１  バージョンアップ情報受付部
１２、２９  送信部
２０  サーバ装置
２２  バージョンアップ情報蓄積部
２３  状態情報記憶部
２４  状態情報受付部
２５  状態情報更新部
２６  送信判断部
２７  フォルダ判断部
２８  指示情報記憶部
３０  製造装置
３１  状態情報構成部
３２  通信部
３３  蓄積部
３４  記憶部
３５  受付部
３６  インストール部
３７  プログラム実行部
【図１】
2008140369.tif 000003
【図２】
2008140369.tif 000004
【図３】
2008140369.tif 000005
【図４】
2008140369.tif 000006
【図５】
2008140369.tif 000007
【図６】
2008140369.tif 000008
【図７】
2008140369.tif 000009
【図８】
2008140369.tif 000010
【図９】
2008140369.tif 000011
【図１０】
2008140369.tif 000012
【図１１】
2008140369.tif 000013
【図１２】
2008140369.tif 000014
【図１３】
2008140369.tif 000015
【図１４】
2008140369.tif 000016
【図１５】
2008140369.tif 000017
【図１６】
2008140369.tif 000018
【図１７】
2008140369.tif 000019
【図１８】
2008140369.tif 000020