(57)【要約】【課題】本発明は、遮光部材に設けられた開口部の側面に対応する部分の遮光部材の傾斜面の傾斜角度が所定の角度となるように遮光部材を精度良く形成することのできると共に、製造コストを低減することのできる光学装置を提供することを課題とする。【解決手段】透光性部材１２を透過した光を反射するミラー２４を有したミラー素子１８と、透光性部材１２を透過した光をミラー２４に直接照射するための開口部２６を有した遮光部材１３と、を備え、開口部２６の側面に対応する部分の遮光部材１３の形状が傾斜面２７とされた光学装置１０の製造方法であって、遮光部材１３の形成領域に対応する部分の透光性部材１２に、遮光部材１３の形状に対応する貫通部３３を有したマスク３２を配置して、印刷法によりＣｒ含有樹脂３５をマスク３２の貫通部３３に充填し、その後、貫通部３３に充填されたＣｒ含有樹脂５を硬化させて遮光部材１３を形成した。【選択図】図１３
2008275772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から放出された光を透過させる透光性部材と、前記透光性部材を透過した光を反射する複数のミラーを有し、前記透光性部材と対向するように配置されたミラー素子と、前記複数のミラーにより反射された光の反射領域の規制を行うと共に、前記透光性部材を透過した光を前記複数のミラーに直接照射するための開口部を有した遮光部材と、を備え、
前記開口部の側面に対応する部分の前記遮光部材の形状が傾斜面とされた光学装置の製造方法であって、
前記遮光部材の形成領域に対応する部分の前記透光性部材に、前記遮光部材の形状に対応する貫通部を有したマスクを配置するマスク配置工程と、
印刷法により、樹脂にＣｒを含んだ粒子を含有させたＣｒ含有樹脂を前記貫通部に充填するＣｒ含有樹脂充填工程と、
前記貫通部に充填された前記Ｃｒ含有樹脂を硬化させて、硬化された前記Ｃｒ含有樹脂からなる前記遮光部材を形成するＣｒ含有樹脂硬化工程と、
前記Ｃｒ含有樹脂硬化工程後に、前記マスクを除去するマスク除去工程と、を含むことを特徴とする光学装置の製造方法。
【請求項２】
前記光源から放出された光が入射する前記透光性部材の面と、前記ミラー素子と対向する前記透光性部材の面とを覆うように反射防止膜を形成する反射防止膜形成工程をさらに設けたことを特徴とする請求項１記載の光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学装置に係り、特にプロジェクタ、光スイッチ、バーコード、コピー機等に適用される光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プロジェクタ、光スイッチ、バーコード、コピー機等の装置には、図１に示すような光学装置１００が内蔵されている。
【０００３】
図１は、従来の光学装置の断面図である。図１において、Ｊは光源１１１から放出された光の進行方向、Ｋはミラー１１４により反射された光の進行方向をそれぞれ示している。
【０００４】
図１を参照するに、従来の光学装置１００は、透光性部材支持フレーム１０１と、透光性部材１０２と、遮光部材１０３と、反射防止膜１０４，１０５と、ミラー素子１０８と、気密材１０９とを有する。
【０００５】
透光性部材支持フレーム１０１は、透光性部材１０２が装着される装着部１１２を有する。装着部１１２は、透光性部材支持フレーム１０１を貫通するように形成されている。透光性部材支持フレーム１０１は、透光性部材１０２を支持するためのものである。
【０００６】
透光性部材１０２は、透光性部材支持フレーム１０１の装着部１１２に装着されている。透光性部材１０２は、ミラー素子１０８に設けられた複数のミラー１１４と対向するように配置されている。透光性部材１０２は、光源１１１から放出された光を透過させると共に、複数のミラー１１４により反射された光を光学装置１００の外部に放出するための部材である。
【０００７】
遮光部材１０３は、透光性部材１０２の下面１０２Ｂから透光性部材支持フレーム１０１の下面１０１Ｂに亘るように形成されている。遮光部材１０３は、額縁形状とされており、開口部１１６を有する。開口部１１６は、透光性部材１０２を透過した光を複数のミラー１１４へ通過させるためのものである。開口部１１６は、透光性部材１０２の下面１０２Ｂから離間するにつれて幅広となるような形状とされている。開口部１１６の側面に対応する部分の遮光部材１０３の形状は、傾斜面１１７とされている。傾斜面１１７に対応する部分の遮光部材１０３は、光源１１１から放出された光が遮光部材１０３を介して、ミラー１１４に到達することを防止するためのものである。遮光部材１０３の面１０３Ａ（透光性部材１０２の下面１０２Ｂと接触する遮光部材１０３の面）に対する遮光部材１０３の傾斜面１１７の傾斜角度θＸは、所定の角度（例えば、３０度）となるように設定されている。この傾斜角度θＸが所定の角度と異なる場合、複数のミラー１１４により反射された光（投影光）で形成される映像の投影枠がぼやけてしまうという問題が発生する。そのため、傾斜角度θＸが所定の角度となるように、開口部１１６を形成することは非常に重要である。
【０００８】
遮光部材１０３は、複数のミラー１１４により反射された光の反射領域の規制を行うと共に、光源１１１から放出された光を複数のミラー１１４に直接照射するためのものである。言い換えれば、遮光部材１０３は、複数のミラー１１４により反射された光（投影光）により形成される映像の投影枠として機能すると共に、複数のミラー１１４に反射された光（投影光）にノイズ（例えば、光の散乱）が発生することを防止するための部材である。
【０００９】
遮光部材１０３としては、例えば、Ｃｒ層と、ＣｒｘＯｙ層と、Ｃｒ層とが順次積層されたＣｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜を用いることができる。Ｃｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜の厚さは、例えば、１７０μｍとすることができる。
【００１０】
反射防止膜１０４は、透光性部材１０２の上面１０２Ａを覆うように設けられている。反射防止膜１０４は、光源１１１から放出された光が透光性部材１０２の上面１０２Ａで反射されることを防止するための膜である。
【００１１】
反射防止膜１０５は、開口部１１６に露出された部分の透光性部材１０２の下面１０２Ｂと、遮光部材１０３とを覆うように設けられている。反射防止膜１０５は、複数のミラー１１４により反射された光が透光性部材１０２の下面１０２Ｂで反射されることを防止するための膜である。
【００１２】
ミラー素子１０８は、反射防止膜１０５を介して、透光性部材支持フレーム１０１に固定されている。ミラー素子１０８は、複数のミラー１１４を有する。ミラー１１４は、透光性部材１０２及び反射防止膜１０４，１０５を介して、光源１１１から放出された光を光学装置１００の外部に反射するためのものである。ミラー素子１０８と開口部１１６の形成領域に対応する部分に設けられた反射防止膜１０５との間には、空間Ｌが形成されている。空間Ｌは、反射防止膜１０５と接触することなく、複数のミラー１０８を可動させるための空間である。空間Ｌは、反射防止膜１０５とミラー素子１０８との間に設けられた気密材１０９により気密されている。
【００１３】
図２〜図８は、従来の光学装置の製造工程を示す図である。図２〜図８において、図１に示す従来の光学装置１００と同一構成部分には同一符号を付す。
【００１４】
図２〜図８を参照して、従来の光学装置１００の製造方法について説明する。  始めに、図２に示す工程では、透光性部材支持フレーム１０１の装着部１１２に透光性部材１０２を挿入して、透光性部材支持フレーム１０１と透光性部材１０２とを溶着する。
【００１５】
次いで、図３に示す工程では、透光性部材支持フレーム１０１の下面１０１Ｂ及び透光性部材１０２の下面１０２Ｂを覆うようにＣｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜１１９を成膜する。Ｃｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜１１９は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法等の方法により形成することができる。
【００１６】
次いで、図４に示す工程では、Ｃｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜１１９の面１１９Ａに開口部１２１Ａを有したレジスト膜１２１を形成する。開口部１２１Ａは、先に説明した遮光部材１０３の開口部１１６（図１参照）の形成領域に対応する部分のＣｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜１１９の面１１９Ａを露出するように形成する。
【００１７】
次いで、図５に示す工程では、レジスト膜１２１をマスクとして、図４に示す構造体に設けられたＣｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜１１９をエッチングして、開口部１１６を有した遮光部材１０３を形成する。
【００１８】
次いで、図６に示す工程では、図５に示すレジスト膜１２１を除去する。次いで、図７に示す工程では、透光性部材１０２の上面１０２Ａを覆う反射防止膜１０４と、開口部１１６に露出された部分の透光性部材１０２の下面１０２Ｂ及び遮光部材１０３を覆う反射防止膜１０５とを形成する。
【００１９】
次いで、図８に示す工程では、密着材１０９及び反射防止膜１０５にミラー素子１０８を固定する。これにより、従来の光学装置１００が製造される（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００６−１４５６１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、従来の光学装置１００では、透光性部材支持フレーム１０１の下面１０１Ｂ及び透光性部材１０２の下面１０２Ｂを覆うように成膜したＣｒ／ＣｒｘＯｙ／Ｃｒ積層膜１１９をエッチングすることで、開口部１１６を有した遮光部材１０３を形成していた。
【００２１】
そのため、遮光部材１０３の傾斜面１１７と遮光部材１０３の面１０３Ａ（透光性部材１０２の下面１０２Ｂと接触する遮光部材１０３の面）とが成す角度θＸを所定の角度（例えば、３０度）に制御することが技術的に困難であるという問題があった。また、上記説明した方法を用いて遮光部材１０３を形成する場合、光学装置１００の製造コストが増加してしまうという問題があった。
【００２２】
そこで本発明は、遮光部材に形成された開口部の側面に対応する部分の遮光部材の傾斜面の傾斜角度が所定の角度となるように遮光部材を精度良く形成することができると共に、製造コストを低減することのできる光学装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の一観点によれば、光源から放出された光を透過させる透光性部材と、前記透光性部材を透過した光を反射する複数のミラーを有し、前記透光性部材と対向するように配置されたミラー素子と、前記複数のミラーにより反射された光の反射領域の規制を行うと共に、前記透光性部材を透過した光を前記複数のミラーに直接照射するための開口部を有した遮光部材と、を備え、前記開口部の側面に対応する部分の前記遮光部材の形状が傾斜面とされた光学装置の製造方法であって、前記遮光部材の形成領域に対応する部分の前記透光性部材に、前記遮光部材の形状に対応する貫通部を有したマスクを配置するマスク配置工程と、印刷法により、樹脂にＣｒを含んだ粒子を含有させたＣｒ含有樹脂を前記貫通部に充填するＣｒ含有樹脂充填工程と、前記貫通部に充填された前記Ｃｒ含有樹脂を硬化させて、硬化された前記Ｃｒ含有樹脂からなる前記遮光部材を形成するＣｒ含有樹脂硬化工程と、前記Ｃｒ含有樹脂硬化工程後に、前記マスクを除去するマスク除去工程と、を含むことを特徴とする光学装置の製造方法が提供される。
【００２４】
本発明によれば、遮光部材の形成領域に対応する部分の透光性部材に、遮光部材の形状に対応する貫通部を有したマスクを配置し、次いで、印刷法により、樹脂にＣｒを含んだ粒子を含有させたＣｒ含有樹脂を貫通部に充填し、その後、貫通部に充填されたＣｒ含有樹脂を硬化させて遮光部材を形成することにより、遮光部材に形成された開口部の側面に対応する部分の遮光部材の傾斜面の傾斜角度が所定の角度となるように遮光部材を精度良く形成することができる。
【００２５】
また、マスクを用いた印刷法により遮光部材を形成することにより、マスクを繰り返し使用することが可能となるので、レジスト膜を用いたエッチング法により遮光部材を形成する従来の製造方法と比較して、光学装置の製造コストを低減することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、遮光部材に形成された開口部の側面に対応する部分の遮光部材の傾斜面の傾斜角度が所定の角度となるように遮光部材を精度良く形成することができると共に、光学装置の製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
次に、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。
【００２８】
（実施の形態）
図９は、本発明の実施の形態に係る光学装置の断面図である。図９において、Ａは光源２１から放出された光の進行方向、Ｂは複数のミラー２４により反射された光の進行方向をそれぞれ示している。
【００２９】
図９を参照するに、本実施の形態の光学装置１０は、透光性部材支持フレーム１１と、透光性部材１２と、遮光部材１３と、反射防止膜１４，１５と、Ｎｉ／Ａｕ積層膜１７と、ミラー素子１８と、気密材１９とを有する。
【００３０】
透光性部材支持フレーム１１は、透光性部材１２が装着される装着部２２を有する。装着部２２は、透光性部材支持フレーム１１を貫通するように形成されている。透光性部材支持フレーム１１は、透光性部材１２を支持するためのものである。透光性部材支持フレーム１１の材料としては、例えば、コバール（Ｃｕ−Ｎｉ−Ｃｏ合金）を用いることができる。
【００３１】
透光性部材１２は、透光性部材支持フレーム１１の装着部２２に溶着されている。透光性部材１２は、ミラー素子１８に設けられた複数のミラー２４と対向するように配置されている。透光性部材１２は、光源２１から放出された光を透過させると共に、複数のミラー２４により反射された光を光学装置１０の外部に照射するための部材である。
【００３２】
遮光部材１３は、透光性部材１２の下面１２Ｂから透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂに形成された部分のＮｉ／Ａｕ積層膜１７の下面に亘るように配設されている。遮光部材１３は、額縁形状とされており、開口部２６を有する。開口部２６は、透光性部材１２を透過した光を複数のミラー２４へ通過させるためのものである。
【００３３】
開口部２６は、透光性部材１２の下面１２Ｂから離間するにつれて幅広となるような形状とされている。開口部２６の側面に対応する部分の遮光部材１３の形状は、傾斜面２７とされている。傾斜面２７に対応する部分の遮光部材１３は、光源２１から放出された光が遮光部材１３を介して、ミラー２４に到達することを防止するためのものである。遮光部材１３の面１３Ａ（透光性部材１２の下面１２Ｂと接触する遮光部材１３の面）に対する遮光部材１３の傾斜面２７の傾斜角度θ１は、所定の角度θとなるように設定されている。所定の角度θは、例えば、３０度とすることができる。
【００３４】
遮光部材１３は、複数のミラー２４により反射された光の反射領域の規制を行うと共に、光源２１から放出された光を複数のミラー２４に直接照射するためのものである。言い換えれば、遮光部材１３は、複数のミラー２４により反射された光（投影光）により形成される映像の投影枠として機能すると共に、複数のミラー２４に反射された光（投影光）にノイズ（例えば、光の散乱）が発生することを防止するための部材である。
【００３５】
遮光部材１３の材料としては、例えば、樹脂にＣｒを含んだ粒子を含有させたＣｒ含有樹脂を用いることができる。この場合、遮光部材１３の厚さＭ１は、例えば、５０μｍとすることができる。上記樹脂としては、例えば、ポリイミドシリコーン樹脂を用いることができる。また、Ｃｒを含んだ粒子としては、例えば、三価クロムの粒子を用いることができる。Ｃｒを含んだ粒子として三価クロムを用いた場合、三価クロムの粒子径は、例えば、１μｍとすることができる。また、上記樹脂としてポリイミドシリコーン樹脂を用いた場合、三価クロムの粒子は、例えば、Ｃｒ含有樹脂に対して１０％〜３０％の割合となるように配合するとよい。
【００３６】
反射防止膜１４は、透光性部材１２の上面１２Ａを覆うと共に、透光性部材１２の上面１２Ａから透光性部材支持フレーム１１の上面１１Ａに形成された部分のＮｉ／Ａｕ積層膜１７上に亘るように配設されている。反射防止膜１４は、光源２１から放出された光が透光性部材１２の上面１２Ａで反射されることを防止するための膜である。
【００３７】
反射防止膜１５は、遮光部材１３を覆うように、透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂに形成された部分のＮｉ／Ａｕ積層膜１７の下面と、開口部２６に露出された部分の透光性部材１２の下面１２Ｂとに設けられている。反射防止膜１５は、複数のミラー２４により反射された光が透光性部材１２の下面１２Ｂで反射されることを防止するための膜である。
【００３８】
Ｎｉ／Ａｕ層１７は、透光性部材支持フレーム１１の上面１１Ａと、透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂと、透光性部材支持フレーム１１の側面１１Ｃとを覆うように設けられている。Ｎｉ／Ａｕ層１７は、透光性部材支持フレーム１１に設けられたＮｉ層と、Ｎｉ層上に設けられたＡｕ層とから構成されている。Ｎｉ層の厚さは、例えば、７μｍとすることができる。また、Ａｕ層の厚さは、例えば、５μｍとすることができる。Ｎｉ／Ａｕ層１７は、透光性部材支持フレーム１１と反射防止膜１４，１５との間の密着性を向上させるためのものである。
【００３９】
ミラー素子１８は、反射防止膜１５を介して、透光性部材支持フレーム１１に固定されている。ミラー素子１８は、複数のミラー２４を有する。複数のミラー２４は、透光性部材１２及び反射防止膜１４，１５を介して、光源２１から放出された光を光学装置１０の外部に反射するためのものである。開口部２６により露出された部分の透光性部材１２の下面１２Ｂに設けられた反射防止膜１５とミラー素子１８との間には、空間Ｃが形成されている。空間Ｃは、反射防止膜１５と接触することなく、複数のミラー２４を可動させるための空間である。空間Ｃは、反射防止膜１５とミラー素子１８との間に設けられた気密材１９により気密されている。気密材１９の材料としては、例えば、セラミックの粉末を樹脂で固めたものを用いることができる。ミラー素子１８としては、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（米国テキサス・インスツルメンツ社の登録商標）を用いることができる。
【００４０】
図１０〜図１７は、本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図である。図１０〜図１７において、本実施の形態の光学装置１０と同一構成部分には同一符号を付す。
【００４１】
図１０〜図１７を参照して、本実施の形態の光学装置１０の製造方法について説明する。始めに、図１０に示す工程では、透光性部材支持フレーム１１の装着部２２に透光性部材１２を溶着する。次いで、図１１に示す工程では、透光性部材支持フレーム１１の上面１１Ａ、透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂ、及び透光性部材支持フレーム１１の側面１１Ｃを覆うようにＮｉ／Ａｕ層１７を形成する。具体的には、例えば、透光性部材支持フレーム１１を給電層とする電解めっき法により、Ｎｉ／Ａｕ層１７を形成する。
【００４２】
次いで、図１２に示す工程では、遮光部材１３の形状に対応する貫通部３３を有したマスク３２を透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂ側に設けられたＮｉ／Ａｕ層１７の下面及び透光性部材１２の下面１２Ｂに配置する（マスク配置工程）。貫通部３３は、額縁形状とされている。貫通部３３の内側面に対応する部分のマスク３２の形状は、傾斜面３２Ａとされている。この傾斜面３２Ａは、遮光部材１３の傾斜面２７を形成するための面である。マスク３２の傾斜面３２Ａと透光性部材１２の下面１２Ｂとが成す角度θ２は、遮光部材１３の傾斜面２７の傾斜角度θ１の値と略等しくなるように設定されている。具体的には、角度θ２は、例えば、３０度とすることができる。
【００４３】
次いで、図１３に示す工程では、印刷法により、樹脂にＣｒを含んだ粒子を含有させたＣｒ含有樹脂３５をマスク３２の貫通部３３に充填する（Ｃｒ含有樹脂充填工程）。印刷法としては、例えば、スキージ３６を用いたスキージ印刷法を用いることができる。Ｃｒ含有樹脂３５を構成する樹脂としては、例えば、ポリイミドシリコーン樹脂を用いることができる。また、Ｃｒを含んだ粒子としては、例えば、三価クロムの粒子を用いることができる。Ｃｒを含んだ粒子として三価クロムを用いた場合、三価クロムの粒子径は、例えば、１μｍとすることができる。また、上記樹脂としてポリイミドシリコーン樹脂を用いた場合、三価クロムの粒子は、例えば、Ｃｒ含有樹脂３５に対して１０％〜３０％の割合となるように配合するとよい。Ｃｒ含有樹脂３５の厚さＭ２は、例えば、５０μｍとすることができる。
【００４４】
次いで、図１４に示す工程では、貫通部３３に充填されたＣｒ含有樹脂３５を硬化させて、貫通部３３に遮光部材１３を形成する（Ｃｒ含有樹脂硬化工程）。具体的には、例えば、Ｃｒ含有樹脂３５が熱硬化性樹脂の場合、図１３に示す構造体（スキージ３６及び貫通部３３以外に存在する余分なＣｒ含有樹脂３５を除く）を加熱して、貫通部３３に充填されたＣｒ含有樹脂３５を硬化させる。遮光部材１３の厚さＭ１は、例えば、５０μｍとすることができる。また、遮光部材１３の面１３Ａ（透光性部材１２の下面１２Ｂと接触する遮光部材１３の面）に対する遮光部材１３の傾斜面２７の傾斜角度θ１は、例えば、３０度（所定の角度θ）とすることができる。
【００４５】
このように、透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂ側に設けられたＮｉ／Ａｕ層１７の下面及び透光性部材１２の下面１２Ｂに、遮光部材１３の形状に対応する貫通部３３を有したマスク３２を配置し、次いで、印刷法により、貫通部３３にＣｒ含有樹脂３５を充填し、その後、貫通部３３に充填されたＣｒ含有樹脂３５を硬化させて遮光部材１３を形成することにより、遮光部材１３の傾斜面２７の傾斜角度θ１が所定の角度θとなるように遮光部材１３を精度良く形成することができる。
【００４６】
また、マスク３２を用いた印刷法により遮光部材１３を形成することにより、マスク３２を繰り返し使用することが可能となるので、レジスト膜１２１を用いたエッチング法により遮光部材１０３を形成する従来の製造方法（図２〜図６参照）と比較して、光学装置１０の製造コストを低減することができる。
【００４７】
次いで、図１５に示す工程では、図１４に示すマスク３２を透光性部材支持フレーム１１及び透光性部材１２から取り外す（マスク除去工程）。
【００４８】
次いで、図１６に示す工程では、周知の手法により、反射防止膜１４，１５を形成する（反射防止膜形成工程）。反射防止膜１４は、透光性部材１２の上面１２Ａを覆うと共に、透光性部材１２の上面１２Ａから透光性部材支持フレーム１１の上面１１Ａに形成された部分のＮｉ／Ａｕ積層膜１７上に亘るように形成する。このような反射防止膜１４を形成することにより、光源２１から放出された光が透光性部材１２の上面１２Ａで反射されることを防止することができる。
【００４９】
反射防止膜１４としては、例えば、透光性部材１２の上面１２ＡにＳｉＯ２膜（厚さ９０ｎｍ）、Ａｌ２Ｏ３膜（厚さ８０ｎｍ）、ＬａＴｉＯ２膜（厚さ１１０ｎｍ）、及びＭｇＦ２膜（厚さ８０ｎｍ）を順次積層したＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＬａＴｉＯ２／ＭｇＦ２積層膜を用いることができる
反射防止膜１５は、遮光部材１３を覆うように、透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂに形成された部分のＮｉ／Ａｕ積層膜１７の下面と、開口部２６に露出された部分の透光性部材１２の下面１２Ｂとに形成する。このような反射防止膜１５を形成することにより、複数のミラー２４により反射された光が透光性部材１２の下面１２Ｂで反射されることを防止できる。
【００５０】
反射防止膜１５としては、例えば、透光性部材１２の下面１２ＢにＳｉＯ２膜（厚さ９０ｎｍ）、Ａｌ２Ｏ３膜（厚さ８０ｎｍ）、ＬａＴｉＯ２膜（厚さ１１０ｎｍ）、及びＭｇＦ２膜（厚さ８０ｎｍ）を順次積層したＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３／ＬａＴｉＯ２／ＭｇＦ２積層膜を用いることができる。反射防止膜１４，１５は、例えば、スパッタ法や真空蒸着法等の方法により形成することができる。
【００５１】
次いで、図１７に示す工程では、反射防止膜１５及び気密材１９を介して、ミラー素子１８を透光性部材支持フレーム１１に固定する。これにより、本実施の形態の光学装置１０が製造される。
【００５２】
本実施の形態の光学装置の製造方法によれば、透光性部材支持フレーム１１の下面１１Ｂ側に設けられたＮｉ／Ａｕ層１７の下面及び透光性部材１２の下面１２Ｂに、遮光部材１３の形状に対応する貫通部３３を有したマスク３２を配置し、次いで、印刷法により、貫通部３３にＣｒ含有樹脂３５を充填し、その後、貫通部３３に充填されたＣｒ含有樹脂３５を硬化させて遮光部材１３を形成することにより、遮光部材１３の傾斜面２７の傾斜角度θ１が所定の角度θとなるように遮光部材１３を精度良く形成することができる。
【００５３】
また、マスク３２を用いた印刷法により遮光部材１３を形成することにより、マスク３２を繰り返し使用することが可能となるので、レジスト膜１２１を用いたエッチング法により遮光部材１０３を形成する従来の製造方法（図２〜図６参照）と比較して、光学装置１０の製造コストを低減することができる。
【００５４】
なお、本実施の形態の光学装置１０では、透過性部材１２の下面１２Ｂ側に遮光部材１３を設けた場合を例に挙げて説明したが、上記製造方法と同様な手法を用いて、透過性部材１２の上面１２Ｂ側に遮光部材１３を形成してもよい。また、反射防止膜１４，１５を形成後に、上記製造方法と同様な手法を用いて、反射防止膜１４，１５に遮光部材１３を形成してもよい。
【００５５】
以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、プロジェクタ、光スイッチ、バーコード、コピー機等に内蔵される光学装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】従来の光学装置の断面図である。
【図２】従来の光学装置の製造工程を示す図（その１）である。
【図３】従来の光学装置の製造工程を示す図（その２）である。
【図４】従来の光学装置の製造工程を示す図（その３）である。
【図５】従来の光学装置の製造工程を示す図（その４）である。
【図６】従来の光学装置の製造工程を示す図（その５）である。
【図７】従来の光学装置の製造工程を示す図（その６）である。
【図８】従来の光学装置の製造工程を示す図（その７）である。
【図９】本発明の実施の形態に係る光学装置の断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その１）である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その２）である。
【図１２】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その３）である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その４）である。
【図１４】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その５）である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その６）である。
【図１６】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その７）である。
【図１７】本発明の実施の形態に係る光学装置の製造工程を示す図（その８）である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  光学装置
１１  透光性部材支持フレーム
１１Ａ，１２Ａ  上面
１１Ｂ，１２Ｂ  下面
１１Ｃ  側面
１２  透光性部材
１３  遮光部材
１３Ａ  面
１４，１５  反射防止膜
１７  Ｎｉ／Ａｕ積層膜
１８  ミラー素子
１９  気密材
２１  光源
２２  装着部
２４  ミラー
２６  開口部
２７，３２Ａ  傾斜面
３２  マスク
３３  貫通部
３５  Ｃｒ含有樹脂
３６  スキージ
Ｃ  空間
Ｍ１，Ｍ２  厚さ
θ  所定の角度
θ１  傾斜角度
θ２  角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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