(57)【要約】【課題】マザーガラス基板から共通のフォトマスクを用いて複数のアレイ基板を作成する場合に、自由に、隣接する露光領域を繋ぐ配線を形成したり、切断したりすることを可能とし、同じマザーガラス基板から異なる大きさのアレイ基板を製造する場合でも、同じ検査用プローブブロックによって検査することを可能とするフォトマスクとマザーガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】マザーガラス基板から複数のアレイ基板を作成するために用いるフォトマスクを、アレイ基板の上端部に上下方向の配線と、下端部に上下方向の配線と、をアレイ基板上の左右方向の同じ位置に形成するように構成し、さらに、下部の上下方向の配線の左側、または右側に、該下部の上下方向配線のアレイ基板の中央部に向かう配線が一旦、該アレイ基板の下端側の境界に向かってＵターンする部分と、もう一度アレイ基板の中央部に向かってＵターンする部分と、を形成するように構成する。【選択図】図４
2008152144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板（以下単に「アレイ基板」ともいう）が多面取りされるマザーガラス基板を製造するために用いるフォトマスクであって、
前記フォトマスクは、前記フォトマスクを用いて複数回の露光をすることにより、複数枚のアレイ基板を１枚のマザーガラス基板上に作成するものであり、
前記フォトマスクは、アレイ基板の上端部に上下方向の配線（以下「上部上下方向配線」ともいう）と、下端部に上下方向の配線（以下「下部上下方向配線」ともいう）と、を前記アレイ基板上の左右方向の同じ位置に形成するように構成され、
さらに、前記フォトマスクは、前記下部上下方向配線の左側、または右側に、前記下部上下方向配線の前記アレイ基板の中央部に向かう配線が一旦、前記アレイ基板の下端側のアレイ基板の境界に向かってＵターンする部分（以下「境界向きＵターン部」ともいう）と、さらに、もう一度前記アレイ基板の中央部に向かってＵターンする部分（以下「中央向きＵターン部」ともいう）と、を形成するように構成されていることを特徴とするフォトマスク。
【請求項２】
複数枚の液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板が形成されたマザーガラス基板であって、
前記複数枚のアレイ基板は請求項１に記載のフォトマスクを使用して作成されたものであることを特徴とするマザーガラス基板。
【請求項３】
複数枚の液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板が多面取りされるマザーガラス基板の製造方法であって、
請求項１に記載のフォトマスクを用いて露光処理をすることを特徴とするマザーガラス基板の製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載のフォトマスクを用いて作成されたことを特徴とする液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板。
【請求項５】
アレイ基板の製造方法であって、
請求項１に記載のフォトマスクを用いて露光処理をすることを特徴とする液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用のアレイ基板作成用のフォトマスク、アレイ基板およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に使用される表示装置用アレイ基板は、通常、複数枚のアレイ基板が大きなマザーガラス基板を用いて作成され、複数のアレイ基板が１枚のマザーガラス基板から取り出される。マザーガラス基板に作成された状態で個々のアレイ基板を検査する際は、マザーガラス基板上の周辺に設置された検査用のパッドに検査用プローブによって電気的に接触して、検査を行う。この場合、アレイ基板のサイズや１枚のマザーガラス基板から取り出されるアレイ基板の枚数が異なってもマザーガラス基板上の周辺に設置された検査用のパッドの位置が同じであると、同じ検査用プローブブロックを用いて検査ができ、経費を節約できるとともに、生産性も向上する。そのために、アレイ基板のサイズや１枚のマザーガラス基板から取り出されるアレイ基板の枚数が異なる場合においても、検査用のパッドの位置をできるかぎり、共通化し、検査用プローブブロック（検査パッドの位置に合わせて検査用プローブを埋め込んだブロック）の共通化を図っている。
【０００３】
しかし、１枚のマザーガラス基板を用いて、１７インチのアレイ基板を作成する場合と、１９インチのアレイ基板を作成する場合では、マザーガラス基板上の周辺に設置された検査用のパッドの位置が異なり、同じ検査用プローブブロックを用いて検査することができなかった。その理由は、１９インチのアレイ基板を１７インチを配置したマザーガラス基板と同じ基板に配置する場合には、１７インチをマザーガラス基板に配置したときとアレイ基板の検査ポイントの位置が変わり、１９インチのアレイ基板の検査ポイントからマザーガラス基板上の周辺に設置された検査用のパッドとの間を繋ぐ配線を１７インチの場合と同じようには形成できなかったからである。図に基づいて説明する。
【０００４】
図１はマザーガラス基板上の検査用のパッドが設置されている概略を示すマザーガラス基板の平面図である。
図１において、１０１はマザーガラス基板であり、１０２は検査用のパッドであり、１２１乃至１２３はそれぞれ、１枚のアレイ基板に対応する複数の検査パッドからなる検査パッドのセット（以下「検査パッドセット」ともいう）である。１３１乃至１３３もそれぞれ、１枚のアレイ基板を検査するための検査パッドセットである。
【０００５】
図７は１７インチのアレイ基板を図１と同じマザーガラス基板上に１２枚配置した場合のマザーガラス基板の概略平面図である。
図７において、７１１乃至７１３はマザーガラス基板上の最上段に配置された１７インチのアレイ基板であり、21乃至７２３はマザーガラス基板上の最上段から２番目の段に配置されたアレイ基板であり、７３１乃至７３３はマザーガラス基板上の最上段から３番目の段に配置されたアレイ基板であり、７４１乃至７４３はマザーガラス基板上の最上段から４番目の段に配置されたアレイ基板であり、７５１と７５２はそれぞれ１枚のフォトマスクによって露光される露光領域であり、１２１乃至１２３、７９１、７９２、および１３１乃至１３３は検査パッドセットであり、７６１は検査パッドセット１２１に含まれる検査パッドであり、７６２は検査パッドセット７９１に含まれる検査パッドであり、７６３は検査パッドセット７９２に含まれる検査パッドであり、７６４は検査パッドセット１３１に含まれる検査パッドであり、７７１はアレイ基板７１１の検査ポイントであり、７７２はアレイ基板７３１の検査ポイントであり、７８１は検査パッド７６１と、アレイ基板７１１の検査ポイント７７１と、検査パッド７６２と、を繋ぐ配線であり、７８２は検査パッド７６３と、アレイ基板７３１の検査ポイント７７２と、検査パッド７６４と、を繋ぐ配線である。
【０００６】
図７に示されたマザーガラス基板の場合には、マザーガラス基板の上段に配置されているアレイ基板７１１に対して、検査ポイント７７１を通じて検査をするためには検査パッド７６１に接触すればよい。このとき、検査パッド７６１は配線７８１を通じて、中断の検査パッド７６２にも接続しているが、マザーガラス基板の中段に配置されている検査パッドセットである検査パッドセット７９１は使用しないので、検査パッド７６２には何も接続されず、電気的に開放状態となるので、検査パッド７６１を通じての検査に悪影響を与えることはない。次に、マザーガラス基板の下段に配置されているアレイ基板７３１に対してアレイ基板７３１の検査ポイント７７２を通じて検査をするためには下の検査パッド７６４に接触すればよい。この場合には、検査パッド７６４は配線７８２を通じて、中断の検査パッド７６３にも接続しているが、マザーガラス基板の中段に配置されている検査パッドセットである検査パッドセット７９２は使用しないので、検査パッド７６３には何も接続されず、電気的に開放状態となるので、検査パッド７６４を通じての検査に悪影響を与えることはない。
【０００７】
即ち、配線７８１のようにアレイ基板７１１または７２１の各検査ポイントを一つの露光領域内の上側の検査パッドセット１２１と、下側の検査パッドセット７９１との両方の検査パッドに繋ぐ配線を設けておけば、同じフォトマスクを使用して露光領域７５１と７５２を露光して、上側に配置されたアレイ基板７１１、７２１、と下側に配置された７３１、７４１を作成し、マザーガラス基板１０１の上側に配置されたアレイ基板７１１または７２１を検査する場合にはマザーガラス基板１０１の上部の検査パッドセット１２１内のいずれかの検査パッドを使用し、マザーガラス基板１０１の下側に配置されたアレイ基板７３１または７４１を検査する場合にはマザーガラス基板１０１の下部の検査パッドセット１３１内のいずれかの検査パッドを使用して検査することができる。
【０００８】
つまり、マザーガラス基板１０１の上段に配置されたアレイ基板７１１、７２１も、下段に配置されたアレイ基板７３１、７４１も、マザーガラス基板１０１の上段または下段に配置された検査パッドセットのみを使用し、マザーガラス基板１０１の中段に配置された検査パッドセットを使用することなく検査することが可能となる。
【０００９】
しかしながら、１７インチのアレイ基板を１２枚配置した図７に示されるマザーガラス基板と同じマザーガラス基板１０１を用いて、複数の１９インチのアレイ基板をマザーガラス基板１０１に形成した場合には１７インチの場合と同じように、１９インチの各アレイ基板の各検査ポイントを上と下の両方の検査パッドセットに繋ぐ配線を設けるという方法を用いるだけでは、１７インチの場合と同じように検査することができない。図に基づいて説明する。
【００１０】
図２は図7に示されたマザーガラス基板に９枚の１９インチのアレイ基板を配置した様子を示す平面図である。
図２において、２０２乃至２０４は共通のフォトマスクによってそれぞれ露光される各露光領域であり、１０１はマザーガラス基板である。
【００１１】
なお、露光領域２０２への露光によって露光領域２０２内に配置されている検査パッドセット１２１と、アレイ基板２２１と、検査パッドセット２４１と、が形成される。他の露光領域についても同様である。
【００１２】
２２１乃至２２３はマザーガラス基板上の上段に配置されたアレイ基板であり、２８１乃至２８３はマザーガラス基板上の中段に配置されたアレイ基板であり、２９１乃至２９３はマザーガラス基板上の下段に配置されたアレイ基板である。
【００１３】
また、１２１は露光領域２０２を露光することによって形成されるアレイ基板２２１の上部に位置する検査パッドセットであり、１２２と１２３も同様に、それぞれ各アレイ基板２２２と２２３の上部に位置する検査パッドセットである。
【００１４】
同様に、２４１は露光領域２０２を露光することによって形成されるアレイ基板２２１の下部に位置する検査パッドセットであり、２４２と２４３も同様に、それぞれ各アレイ基板２２２と２２３の下部に位置する検査パッドセットである。
【００１５】
２５１は露光領域２０３を露光することによって形成されるのアレイ基板２８１の上部に位置する検査パッドセットであり、２５２と２５３も同様に、それぞれ各アレイ基板２８２と２８３の上部に位置する検査パッドセットである。
【００１６】
２６１は露光領域２０３を露光することによって形成されるアレイ基板２８１の下部に位置する検査パッドセットであり、２６２と２６３も同様に、それぞれ各アレイ基板２８２、２８３の下部に位置する検査パッドセットである。
【００１７】
２７１は露光領域２０４を露光することによって形成されるアレイ基板２９１の上部に位置する検査パッドセットであり、２７２と２７３も同様に、それぞれ各アレイ基板２９２、２９３の上部に位置する検査パッドセットである。
【００１８】
１３１は露光領域２０４を露光することによって形成されるアレイ基板２９１の下部に位置する検査パッドセットであり、１３２と１３３も同様に、それぞれ各アレイ基板２９２、２９３の下部に位置する検査パッドセットである。
【００１９】
また、２１はアレイ基板２２１の検査ポイント（図では「Ｘ」と表示している。以下同じ）であり、２２はアレイ基板２８１の検査ポイントであり、２３はアレイ基板２９１の検査ポイントであり、７６１は検査パッドであり、７６２も検査パッドであり、７６５も検査パッドであり、７６６も検査パッドであり、７６３も検査パッドであり、７６４も検査パッドである。３１は検査パッド７６１と、検査ポイント２１と、検査パッド７６２と、を繋ぐ配線であり、３２は検査パッド７６５と、検査ポイント２２と、検査パッド７６６と、を繋ぐ配線であり、３３は検査パッド７６３と、検査ポイント２３と、検査パッド７６４と、を繋ぐ配線である。
【００２０】
図２に示されるマザーガラス基板上の各アレイ基板を検査する場合において、マザーガラス基板の最上部に存在する検査パッドセット１２１乃至１２３又は、最下部に存在する検査パッドセット１３１乃至１３３だけを使用して、マザーガラス基板の中間部に存在する検査パッドセット２４１乃至２４３又は、検査パッドセット２５１乃至２５３又は、検査パッドセット２６１乃至２６３又は、検査パッドセット２７１乃至２７３については、いずれの検査パッドセットも使用することなく検査することができれば、１９インチのアレイ基板も１７インチのアレイ基板と同じように検査することができる。
【００２１】
マザーガラス基板上の最上段に配置されたアレイ基板２２１の検査ポイント２１を検査するためには、図７に示された１７インチのアレイ基板７１１を検査するときの検査ポイント７７１を使用する場合と同様に、図２の検査パッド７６１に接触すれば配線３１を介して検査ポイント２１に繋がるので、検査できる。アレイ基板２２２と２２３についても、検査パッドセット１２２または検査パッドセット１２３の中の検査パッドに接触することによって同様に検査できる。
【００２２】
また、マザーガラス基板上の最下段に配置されたアレイ基板２９１の検査ポイント２３を検査する場合も、図７に示された検査ポイント７７２を検査する場合と同様に、図２の検査パッド７６４に接触すれば配線３３を介して検査ポイント２３に繋がるので、検査できる。アレイ基板２９２と２９３についても、検査パッドセット１３２または検査パッドセット１３３の中の検査パッドに接触することによって同様に検査できる。
【００２３】
すなわち、マザーガラス基板上の最上段、又は、最下段に配置されているアレイ基板については１７インチの場合と同じように検査パッドセット１２１乃至１２３内の検査パッドまたは、検査パッドセット１３１乃至１３３内のいずれかの検査パッドから検査することができる。
【００２４】
しかしながら、マザーガラス基板上の中段に配置されたアレイ基板については、１７インチの場合と同じようにマザーガラス基板の最上段の検査パッドセット１２１乃至１２３内の検査パッドまたは、最下段の検査パッドセット１３１乃至１３３内のいずれの検査パッドからも検査することができない。
【００２５】
図２のマザーガラス基板上の中段に配置されたアレイ基板２８１を例として、具体的に説明する。
【００２６】
図２のマザーガラス基板上の中段に配置されたアレイ基板２８１を検査パッドセット１２１乃至１２３内の検査パッドまたは、検査パッドセット１３１乃至１３３内のいずれかの検査パッドから検査をするためにはアレイ基板２８１の検査ポイント２２を検査パッドセット１２１乃至１２３内の検査パッドまたは、検査パッドセット１３１乃至１３３内のいずれかの検査パッドに接続することが必要である。しかし、配線３２は、露光領域２０３への露光によって形成されるので、通常は、露光領域２０３の外側の領域とは接続できない。そのため、配線３２は、検査パッドセット１２１乃至１２３内の検査パッドまたは、検査パッドセット１３１乃至１３３内のいずれの検査パッドとも繋がっていない。
【００２７】
したがって、アレイ基板２８１をマザーガラス基板の最上段の検査パッドセット１２１乃至１２３内の検査パッドまたは、最下段の検査パッドセット１３１乃至１３３内のいずれの検査パッドからも検査することはできない。アレイ基板２８２と２８３についても、同様である。
【００２８】
次に、このような場合においても、検査できるようにする方法について、アレイ基板２８１の検査ポイント２２を例として説明する。
【００２９】
検査パッドセット１２１内のいずれかの検査パッドに接触することによって、検査ポイント２２を検査するためには、図２のアレイ基板２８１の検査用ポイント２２と検査パッドセット１２１内の特定の検査パッドとの間に配線を敷設して検査用ポイント２２と検査パッドセット１２１内の特定の検査パッドとを接続することが必要である。
【００３０】
アレイ基板２８１の検査用ポイントと検査パッドセット１２１内の特定の検査パッドとの間は露光領域２０２へ露光によって配線の敷設が形成される領域と、露光領域２０３への露光によって配線の敷設が形成される領域とにまたがっている。そのために、アレイ基板２８１の検査用ポイントと検査パッドセット１２１内の特定の検査パッドとの間の配線は、露光領域２０２または露光領域２０３への単独の露光だけでは、形成できない。
【００３１】
しかし、露光領域２０２への露光によって作成した検査パッドセット１２１内の特定の検査パッドに繋がる配線を、露光領域２０３への露光によって作成したアレイ基板２８１の検査用ポイントに繋がる配線に接続させることができれば、結果として、アレイ基板２８１の検査用ポイントと検査パッドセット１２１内の特定の検査パッドとの間を電気的に接続させることができる。この接続は露光領域２０２による露光と露光領域２０３による露光の一部が重なるように部分的に特定の領域を二重露光して、露光が重なった部分において、配線を接続させることにより実現できる。図を参照しつつ説明する。
【００３２】
図３は図７に示された検査用のパッドを有するマザーガラス基板に３枚の１９インチのアレイ基板を配置した様子を示すマザーガラス基板の平面図である。
図３において、３６１は図１の検査パッドセット１２１に含まれる１個の検査パッドであり、３８１は露光領域２０２への露光によって作成される配線であり、３９１も露光領域２０２への露光によって作成される配線であり、３８２は露光領域２０３への露光によって作成される配線であり、３９２も露光領域２０３への露光によって作成される配線であり、３８３は露光領域２０４への露光によって作成される配線であり、３９３も露光領域２０４への露光によって作成される配線である。また、３３３は露光領域２０２と露光領域２０３への露光が部分的に重なる二重露光領域であり、３３４は露光領域２０３と露光領域２０４への露光が部分的に重なる二重露光領域である。
二重露光領域の範囲は、露光する際に露光位置を変化させることによって簡単に調整できるので、二重露光領域３３３の範囲を調整することにより、配線３９１と配線３８２が重なるように二重露光することでき、二重露光領域の上側に位置する領域と下側に位置する領域の間を電気的に接続することが可能となる。
【００３３】
具体的に説明する。露光領域２０２に露光することにより配線３８１と配線３９１とが作成される。また露光領域２０３に露光することによって配線３８２と配線３９２とが作成される。したがって、二重露光によって、二重露光領域３３３において、配線３９１と配線３８２とが重なるように露光位置を調整すれば、配線３９１と配線３８２を電気的に接続することができる。
【００３４】
このような二重露光の手法により、露光領域をまたがって存在する検査パッド３６１とアレイ基板２８１の中の検査したいポイントを接続することができる。
【００３５】
【特許文献１】特開平８−５０２９５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３６】
しかしながら、場合によっては、二重露光領域３３３においては接続したいが、二重露光領域３３４においては接続させたくない場合がある。例えば、検査パッド３６１によって、アレイ基板２８１に含まれる検査ポイントを検査するとする。この場合には二重露光領域３３４において配線が重なってしまうと、検査パッドに接続したくないアレイ基板２９１に含まれる検査ポイントにも接続してしまい、検査パッド３６１によって、アレイ基板２８１を正しく検査することができない。
【００３７】
そこで、本発明は、１枚のマザーガラス基板から共通のフォトマスクを用いて複数のアレイ基板を作成する場合において、隣接する露光領域間を繋ぐ配線の接続と切断を自由に調整し、同じマザーガラス基板に異なる大きさのアレイ基板を配置する場合においても、共通の検査用プローブブロックによって検査することを可能とするフォトマスク及びマザーガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３８】
請求項１に記載の発明は、複数枚の液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板（以下単に「アレイ基板」ともいう）が多面取りされるマザーガラス基板を製造するために用いるフォトマスクであって、
前記フォトマスクは、前記フォトマスクを用いて複数回の露光をすることにより、複数枚のアレイ基板を１枚のマザーガラス基板上に作成するものであり、
前記フォトマスクは、アレイ基板の上端部に上下方向の配線（以下「上部上下方向配線」ともいう）と、下端部に上下方向の配線（以下「下部上下方向配線」ともいう）と、を前記アレイ基板上の左右方向の同じ位置に形成するように構成され、
さらに、前記フォトマスクは、前記下部上下方向配線の左側、または右側に、前記下部上下方向配線の前記アレイ基板の中央部に向かう配線が一旦、前記アレイ基板の下端側のアレイ基板の境界に向かってＵターンする部分（以下「境界向きＵターン部」ともいう）と、さらに、もう一度前記アレイ基板の中央部に向かってＵターンする部分（以下「中央向きＵターン部」ともいう）と、を形成するように構成されていることを特徴とする。
【００３９】
請求項２に記載の発明は、複数枚の液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板が形成されたマザーガラス基板であって、
前記複数枚のアレイ基板は請求項１に記載のフォトマスクを使用して作成されたものであることを特徴とする。
【００４０】
請求項３に記載の発明は、複数枚の液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板が多面取りされるマザーガラス基板の製造方法であって、
請求項１に記載のフォトマスクを用いて露光処理をすることを特徴とする。
【００４１】
請求項４に記載の発明は、液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板であって、
請求項１に記載のフォトマスクを用いて作成されたことを特徴とする。
【００４２】
請求項５に記載の発明は、液晶表示装置用のＴＦＴアレイ基板の製造方法であって、
請求項１に記載のフォトマスクを用いて露光処理をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、１枚のマザーガラス基板から共通のフォトマスクを用いて複数のアレイ基板を作成する場合において、隣接する露光領域間を繋ぐ配線の接続と切断を自由に調整することが可能となり、同じマザーガラス基板上に異なる大きさのアレイ基板を作成したマザーガラス基板を検査する場合においても、同じ検査用プローブブロックによって検査をすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、図を参照しつつ、発明を実施するための形態につき説明する。
【００４５】
図４は本発明の実施の形態に係るフォトマスク（以下「本フォトマスク」ともいう）について説明するための、本フォトマスクによって作成されるアレイ基板が配置されたマザーガラス基板の簡略平面図である。
図４において、１０１は３８１は本フォトマスクによって作成される上部上下方向配線であり、３９１は本フォトマスクによって作成される下部上下方向配線である。
【００４６】
図５は図４の４２１の部分の拡大図である。
図５において、３９１は露光領域２０２への露光によって形成される下部上下方向配線であり、５０１は境界向きUターン部であり、５１１は中央向きUターン部であり、３８２は露光領域２０３への露光によって形成される上部上下方向配線であり、３３３は露光領域２０２と露光領域２０３による露光が重なる二重露光領域である。
【００４７】
二重露光される領域が、図５に示される二重露光領域３３３のような場合には、二重露光により、下部上下方向配線３９１と上部上下方向配線３８２とが重なり、その結果、下部上下方向配線３９１と上部上下方向配線３８２とが接続され、また、配線が中央向きUターン部５１１において切断されることもない。
【００４８】
次に、配線が中央向きUターン部５１１において切断される場合について説明する。
【００４９】
図６は図４の４２２の部分の拡大図である。
図６において、３９２は露光領域２０３への露光によって形成される下部上下方向配線であり、３８３は露光領域２０４への露光によって形成される上部上下方向配線であり、５１１は露光領域２０３への露光によって形成される中央向きUターン部である。
図６の場合においても、二重露光領域３３４への二重露光によって下部上下方向配線３９２と上部上下方向配線３８３とが重なり、配線は形成される。その結果、図５の場合と同様に、上部上下方向配線３９２と下部上下方向配線３８３とが接続される。
【００５０】
しかし、二重露光領域３３４内における中央向きUターン部５１１は、二重露光のうちの一方の露光領域２０３への露光によっては、配線が形成されるが、露光領域２０４への露光によっては配線が形成されない。このように、二重露光される領域内であって、一方の露光によっては配線が形成され、他方の露光では配線が形成されない領域は、露光に使用するレジストのタイプによっては配線が形成されない。
【００５１】
よって、レジストのタイプを選択することにより、中央向きUターン部５１１は、二重露光の結果、形成されないように制御することができ、下部上下方向配線３９２は検査パッド３６１に繋がる通路の途中に存在する中央向きUターン部５１１が欠落することとなり、配線は切断される。
【００５２】
したがって、下部上下方向配線３９２を検査パッド３６１に接続させたい場合には図５のように、二重露光領域が中央向きUターン部を含まないように二重露光領域を調整し、下部上下方向配線３９２を検査パッド３６１に接続させたくない場合には図６のように、二重露光領域が中央向きUターン部を含むようにすればよい。
【００５３】
このように、本フォトマスクによれば、１枚のマザーガラス基板から複数のアレイ基板を作成する場合に、本フォトマスクによる露光工程において、二重露光される領域を調整することにより、マザーガラス基板の中央部に作成されるアレイ基板の検査ポイントを他のアレイ基板に接続させたり、切り離したりすることができる。
【００５４】
よって、本発明によれば、異なる露光領域の境界において、自由に、配線を接続したり、切り離すことができ、マザーガラス基板の上部または下部に配置された検査パッドセット内の検査ポイントと各アレイ基板の検査ポイントとの間を自由に接続したり、切り離したりすることができる。
【００５５】
その結果、図７に示される１枚のマザーガラス基板を用いて１７インチのアレイ基板を１２枚作成する場合に用いた基板と同じマザーガラス基板を用いて１９インチのアレイ基板を９枚作成する場合においても、１７インチの場合と同じ検査用のパッドと検査用プローブブロックを用いて検査することが可能となる。
【００５６】
なお、露光工程は公知の工程であり、特に特徴はないので説明は省略する。また、検査用のプローブ、検査用プローブブロックについても、公知であり、特に特徴はないので説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】マザーガラス基板上の検査用のパッドが設置されている概略を示すマザーガラス基板の平面図である。
【図２】図１に示された検査用のパッドを有するマザーガラス基板に複数の１９インチのアレイ基板を配置した様子を示すマザーガラス基板の平面図である。
【図３】図１に示された検査用のパッドを有するマザーガラス基板に３枚の１９インチのアレイ基板を配置した様子を示すマザーガラス基板の平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るフォトマスクについて説明するための、該フォトマスクによって作成されるアレイ基板が配置されたマザーガラス基板の簡略平面図である。
【図５】図４の４２１の部分の拡大図である。
【図６】図４の４２２の部分の拡大図である。
【図７】１７インチのアレイ基板を１２枚配置したマザーガラス基板の概略平面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０１      マザーガラス基板
２０２      露光領域
２０３      露光領域
２０４      露光領域
２２１      アレイ基板
２８１      アレイ基板
２９１      アレイ基板
３６１      検査パッド
３８１      上部上下方向配線
３８２      上部上下方向配線
３８３      上部上下方向配線
３９１      下部上下方向配線
３９２      下部上下方向配線
３９３      下部上下方向配線
５０１      境界向きUターン部
５１１      中央向きUターン部
【図１】
2008152144.tif 000003
【図２】
2008152144.tif 000004
【図３】
2008152144.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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