(57)【要約】【課題】ノズルプレートと流路形成基板とを良好に接着することができ且つ長期間に亘ってノズルプレートの剥がれを防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０と、ノズルプレート２０と接着剤２５によって接合されノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を含む複数の個別流路を有する流路形成基板１０と、圧力発生室１２内に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段３００とを具備し、ノズルプレート２０の流路形成基板１０との接合面に、少なくとも個別流路を区画する隔壁１１に近接し且つ隔壁１１に沿って突設される凸部２２を有し、凸部２２と隔壁１１との間に接着剤２５が充填された状態でノズルプレート２０と流路形成基板１０とが接合されているようにする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、該ノズルプレートと接着剤によって接合され前記ノズル開口に連通する圧力発生室を含む複数の個別流路を有する流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段とを具備し、
前記ノズルプレートの前記流路形成基板との接合面に、少なくとも前記個別流路を区画する隔壁に近接し且つ当該隔壁に沿って突設される凸部を有し、該凸部と前記隔壁との間に前記接着剤が充填された状態で前記ノズルプレートと前記流路形成基板とが接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記凸部が、前記圧力発生室内に突設されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記凸部が、前記圧力発生室に対向する領域に全面に亘って設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記流路形成基板には、前記個別流路のそれぞれに連通する連通部が設けられていると共に、前記個別流路が、前記圧力発生室に連通され当該圧力発生室の断面積よりも狭い断面積を有する液体供給路と、該液体供給路よりも断面積が広く当該液体供給路と前記連通部とを繋ぐ連通路とを含み、
前記凸部が、前記連通路内に突設されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記流路形成基板には前記個別流路のそれぞれに連通する連通部が設けられ、前記凸部が前記連通部内に突設されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記ノズルプレートがシリコン基板からなることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドとしては、例えば、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を、例えば圧電素子等の圧力発生手段により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドがある。また、このようなインクジェット式記録ヘッドは、一般的に、圧力発生室を形成した流路形成基板に、インク滴を吐出するための複数のノズル開口を穿設したノズルプレートが接着剤によって接合された構造となっている。このため、流路形成基板に圧力発生室を高密度に配設すると、ノズルプレートと流路形成基板との接着面積が小さくなり、余分な接着剤が圧力発生室内に過度に流れ込んでしまい、圧力発生室に流れ込んだ接着剤によって振動板の変位量が低下する、あるいはノズル開口が塞がれてしまう等の問題が生じる虞がある。さらに、ノズルプレートと流路形成基板との接着面積が小さくなり、両者の接合強度が低下してしまう虞もある。
【０００３】
上述した圧力発生室への接着剤の流れ込むという問題を防止するために、例えば、列設された圧力室の両端にダミーの圧力室を設けると共に、このダミーの圧力室の外側に複数の独立した凹部からなる接着逃げ溝を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１５７０６３号公報（特許請求の範囲、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようにダミーの圧力室やその外側に接着逃げ溝を設けることで、圧力発生室への接着剤の流れ込みはある程度防止することができるが、ノズルプレートと流路形成基板との接合強度が低下してしまうという問題を解消することはできない。さらに、ノズルプレートを接着剤によって流路形成基板に接合した構成では、接着剤がインクに長期間接触することで劣化し、ノズルプレートが流路形成基板から剥がれてしまうという問題が生じる虞もある。
【０００６】
ところで、ノズル開口からインク滴を良好に吐出するためにはノズル開口の長さは比較的短いことが好ましい。つまり、ノズルプレートの厚さは比較的薄く形成されていることが好ましい。しかしながらノズルプレートの厚さを薄くしてしまうと、インク滴を吐出する際に、リザーバ内の圧力振動に起因してノズルプレートが共振してしまい、それにより印字ムラ等の問題が生じる虞がある。
【０００７】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外の液体を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ノズルプレートと流路形成基板とを良好に接着することができ且つ長期間に亘ってノズルプレートの剥がれを防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。また本発明は、ノズルプレートと流路形成基板とを良好に接着することができると共に、ノズルプレートの共振を抑えて液滴の吐出ムラを防止した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、該ノズルプレートと接着剤によって接合され前記ノズル開口に連通する圧力発生室を含む複数の個別流路を有する流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段とを具備し、前記ノズルプレートの前記流路形成基板との接合面に、少なくとも前記個別流路を区画する隔壁に近接し且つ当該隔壁に沿って突設される凸部を有し、該凸部と前記隔壁との間に前記接着剤が充填された状態で前記ノズルプレートと前記流路形成基板とが接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、流路形成基板とノズルプレートとの接着実効面積が増加する。したがって、流路形成基板及びノズルプレートを大型化することなく、これら流路形成基板とノズルプレートとの接着強度を向上することができる。
【００１０】
ここで、前記凸部が、前記圧力発生室内に突設されていることが好ましい。特に、前記圧力発生室に対向する領域に全面に亘って設けられていることが好ましい。個別流路のうちの比較的広い範囲を占める圧力発生室内に突出する凸部を設けることで、ノズルプレートと流路形成基板との接着強度をより確実に高めることができる。
【００１１】
また、前記流路形成基板には、前記個別流路のそれぞれに連通する連通部が設けられていると共に、前記個別流路が、前記圧力発生室に連通され当該圧力発生室の断面積よりも狭い断面積を有する液体供給路と、該液体供給路よりも断面積が広く当該液体供給路と前記連通部とを繋ぐ連通路とを含み、前記凸部が、前記連通路内に突設されていることが好ましい。連通路内に突出する凸部をノズルプレートに設けた場合でも、勿論、ノズルプレートと流路形成基板との接着強度をより確実に高めることができる。特に、圧力発生室内に突出する凸部と、連通路内に突出する凸部とをそれぞれ設けることで、ノズルプレートと流路形成基板との接着強度をさらに確実に高めることができる。
【００１２】
また前記流路形成基板には前記個別流路のそれぞれに連通する連通部が設けられ、前記凸部が前記連通部内に突設されていることが好ましい。これにより、連通部内の圧力振動に起因するノズルプレートの共振を減少させ、液滴の吐出ムラを防止することができる。
【００１３】
また、前記ノズルプレートがシリコン基板からなることが好ましい。これにより、凸部をノズルプレートに比較的容易に高精度に形成することができる。
【００１４】
さらに、本発明は、上記のような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。また、図３は、図２のＢ−Ｂ′断面図であり、図４は、図２のＣ−Ｃ′断面図である。
【００１６】
図示するように、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位が（１１０）であるシリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した酸化シリコン（ＳｉＯ2）からなる、厚さ０．５〜２．０［μｍ］の弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２を含む個別流路がその幅方向に複数並設されている。具体的には、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側に、隔壁１１によって区画され各圧力発生室１２に連通するインク供給路１３と連通路１４とが設けられ、これら圧力発生室１２、インク供給路１３及び連通路１４によって個別流路が構成されている。
【００１７】
さらに、連通路１４の外側には、各連通路１４と連通する連通部１５が設けられている。この連通部１５は、後述する保護基板３０のリザーバ部３２と連通して、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるリザーバ１００の一部を構成する。
【００１８】
ここで、インク供給路１３は、圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されており、連通部１５から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。例えば、本実施形態では、インク供給路１３は、個別流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。なお、本実施形態では、個別流路の幅を片側から絞ることでインク供給路を形成したが、個別流路の幅を両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、個別流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路を形成してもよい。各連通路１４は、圧力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１を連通部１５側に延設してインク供給路１３と連通部１５との間の空間を区画することで形成されている。
【００１９】
流路形成基板１０の材料として、本実施形態ではシリコン単結晶基板を用いているが、勿論これに限定されず、例えば、ガラスセラミックス、ステンレス鋼等を用いてもよい。
【００２０】
流路形成基板１０の開口面側には、複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、例えば、接着剤２５によって接合されており、各ノズル開口２１は、各圧力発生室１２のインク供給路１３とは反対側の端部近傍にそれぞれ連通している。また、このノズルプレート２０の流路形成基板１０との接合面には、各個別流路内に突出する凸部２２が設けられている。本実施形態に係るノズルプレート２０には、圧力発生室１２内に突出する凸部２２Ａと、連通路１４内に突出する凸部２２Ｂとが設けられている。
【００２１】
これらの凸部２２（２２Ａ，２２Ｂ）は、隔壁１１に近接し且つ隔壁１１に沿って突設される。本実施形態では、ノズルプレート２０の圧力発生室１２に対向する部分の略全面に亘って、すなわち、ノズル開口２１の周縁部を除く部分に凸部２２Ａが設けられている。また、ノズルプレート２０の連通路１４に対向する部分の略全面に亘って凸部２２Ｂを設けるようにしている。各凸部２２と隔壁１１との間には、ノズルプレート２０を流路形成基板１０に接合するための接着剤２５が充填される空間が画成されている。そして、ノズルプレート２０は、この空間に接着剤２５が充填された状態で流路形成基板１０に接合されている。言い換えれば、流路形成基板１０は、ノズルプレート２０の凸部２２で画成される凹部内に接着剤２５によって接合されている。また本実施形態では、凸部２２が、ノズルプレート２０のノズル開口２１の周囲に亘って連続的に形成されており、圧力発生室１２の幅方向両側の流路形成基板１０（隔壁１１）と同様に、圧力発生室１２の長手方向外側においても流路形成基板１０と接合されている。
【００２２】
このようにノズルプレート２０に凸部２２を設けることで、ノズルプレート２０及び流路形成基板１０と接着剤２５との接触面積が拡大する。すなわち、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着実効面積が拡大する。したがって、ノズルプレート２０及び流路形成基板１０を大型化することなくこれらノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着強度を向上することができ、ノズルプレート２０が流路形成基板１０から剥離してしまうのを防止することができる。
【００２３】
また、ノズルプレート２０と接着剤２５との接触面積が拡大するのに対し、接着剤２５が圧力発生室１２内に露出される面積は凸部２２が設けられていない場合とほとんど変わらない。このため、インクによって接着剤２５が劣化によって生じるノズルプレート２０の剥がれを比較的長期間に亘って防止することができる。したがって、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着強度を長期間に亘って良好に維持することができる。
【００２４】
さらに、本実施形態では、凸部２２がノズルプレート２０の圧力発生室１２及び連通路１４に対向する部分の略全面に設けられているため、すなわち、凸部２２がノズルプレート２０の比較的広い範囲に設けられているため、ノズルプレート２０の剛性が向上している。したがって、上述したように接合強度が向上すると共に、ノズルプレート２０の変形や割れ等の発生を防止することもできる。
【００２５】
ここで、凸部２２の高さは、接合強度の観点からはできるだけ高くすることが好ましいが、圧力発生室１２、連通路１４の容積等の各種条件を考慮して適宜決定されればよい。例えば、凸部２２Ａの高さ（突出量）を高くし過ぎると、圧力発生室１２の容積が小さくなり過ぎて所望の吐出特性が得られなくなってしまうため、凸部２２Ａの高さは、圧力発生室１２の容積が小さくなり過ぎない程度にできるだけ高くすることが好ましい。
【００２６】
またノズルプレート２０の材料は、特に限定されず、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス鋼などが挙げられるが、特に、シリコン単結晶基板が好適に用いられる。ノズルプレート２０をシリコン単結晶基板で形成することで、所望の形状の凸部２２を比較的容易に高精度に形成することができる。
【００２７】
なお、本実施形態では、凸部２２が、ノズルプレート２０の圧力発生室１２及び連通路１４に対向する部分の略全面に設けられた例を説明したが、これに限定されるものではない。例えば、各凸部２２（２２Ａ，２２Ｂ）は、圧力発生室１２及び連通路１４の全ての領域において、ノズル開口２１の周縁部のように隔壁１１に近接して隔壁１１に沿った部分のみに設けられていてもよい（図３参照）。このような構成としても、上述したようにノズルプレート２０と流路形成基板１０との接合強度を向上することができる。また、各凸部２２の形状は、特に限定されず、例えば、図５に示すように、各凸部２２の先端部に、隔壁１１側に向かって張り出した庇部２２ａを設けるようにしてもよい。これにより、接着実効面積がさらに増加し、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との接合強度をさらに向上することができる。また、接着剤２５が圧力発生室１２内に露出する面積がさらに小さくなるため、インクによる接着剤２５の劣化もさらに抑えることができる。
【００２８】
一方、流路形成基板１０のノズルプレート２０とは反対側の面には、上述したように厚さが例えば約１．０［μｍ］の弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、酸化ジルコニウム等からなり厚さが例えば、約０．４［μｍ］の絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、厚さが例えば、約０．１〜０．２［μｍ］の下電極膜６０と、厚さが例えば、約０．５〜５［μｍ］の圧電体層７０と、厚さが例えば、約５０［ｎｍ］の上電極膜８０とからなる圧力発生手段である圧電素子３００が形成されている。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極を圧電体層７０と共に圧力発生室１２毎にパターニングして個別電極とする。なお、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び下電極膜６０が実質的に振動板として作用するが、弾性膜５０、絶縁体膜５５を設けずに、下電極膜６０のみを残して下電極膜６０を振動板としてもよい。また、圧電素子３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。さらに、このような各圧電素子３００の上電極膜８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続されており、このリード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に電圧が印加されるようになっている。
【００２９】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、圧電素子３００を保護するための圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が、例えば、接着層３５によって接合されている。なお、圧電素子保持部３１によって画成される空間は、密封されていても、密封されていなくてもよい。また、保護基板３０には、複数の圧力発生室１２に供給するインクが貯留されるリザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられている。このリザーバ部３２は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１５と連通されてリザーバ１００を構成している。なお、流路形成基板１０の連通部１５を圧力発生室１２毎に複数に分割して、リザーバ部３２のみをリザーバとしてもよい。さらに、例えば、流路形成基板１０に圧力発生室１２のみを設け、流路形成基板１０と保護基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）にリザーバと各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１３を設けるようにしてもよい。
【００３０】
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス材料、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料であるシリコン単結晶基板を用いている。
【００３１】
また、保護基板３０には、保護基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられており、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、この貫通孔３３内に露出されている。そして、図示しないがこの貫通孔３３内に延設されるボンディングワイヤ等からなる接続配線によって、圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣと各リード電極９０とが接続されている。
【００３２】
また、このような保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６［μｍ］のポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０［μｍ］のステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバ１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっており、リザーバ１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３３】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し圧電素子３００を撓み変形させることによって、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出される。
【００３４】
（実施形態２）
図６は、実施形態２に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【００３５】
本実施形態では、図６に示すように、ノズルプレート２０の流路形成基板１０との接合面に、連通部１５内に突出する凸部２２Ｃをさらに設けるようにした以外、実施形態１と同様である。この凸部２２Ｃは、連通部１５に対向する領域の一部に設けられていてもよいが、略全面に亘って設けられていることが好ましい。また凸部２２Ａ，２２Ｂの場合と同様に、凸部２２Ｃと連通部１５を画成する壁面との間には空間が確保されており、この空間にはノズルプレート２０を流路形成基板１０に接合するための接着剤２５が充填されている。
【００３６】
このようにノズルプレート２０に、凸部２２Ａ，２２Ｂと共に凸部２２Ｃを設けることで、ノズルプレート２０及び流路形成基板１０と接着剤２５との接触面積がさらに拡大する。したがって、ノズルプレート２０及び流路形成基板１０を大型化することなくこれらノズルプレート２０と流路形成基板１０との接着強度をより確実に向上することができ、ノズルプレート２０が流路形成基板１０から剥離してしまうのを防止することができる。
【００３７】
さらに、本実施形態では、凸部２２Ｃを設けることにより、リザーバ１００を構成する連通部１５に対向する領域のノズルプレート２０の剛性が向上する。これにより、圧電素子３００を駆動してインク滴を吐出する際に、リザーバ１００内の圧力振動に起因するノズルプレート２０の共振を減少させることができる。したがって、インク滴の吐出ムラ、つまり印字ムラが防止され、印刷品質を大幅に向上することができる。
【００３８】
なお、本実施形態では、凸部２２Ｃと連通部１５を画成する壁面との間の空間に接着剤２５が充填されているが、必ずしも充填されている必要はない。少なくとも凸部２２Ａ，２２Ｂと隔壁１１との間の空間に接着剤２５が充填されていれば、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接合強度は十分に確保することができる。このように凸部２２Ｃと連通部１５を画成する壁面との間の空間に接着剤２５が充填されていない場合でも、インク滴吐出時のノズルプレート２０の共振を減少させることはできる。
【００３９】
また、本実施形態では、連通路１４に対向する領域の凸部２２Ｂと、連通部１５に対向する領域の凸部２２Ｃとを独立して形成するようにしている。凸部２２Ｂと凸部２２Ｃとは、製造上、独立して形成されていることが好ましいが、勿論、これら凸部２２Ｂと凸部２２Ｃとは連続して形成されていてもよい。
【００４０】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態１では、ノズルプレート２０の圧力発生室１２及び連通路１４に対向する領域に凸部２２Ａ，２２Ｂをそれぞれ設けるようにしたが、勿論、圧力発生室１２又は連通路１４の何れか一方に対向する領域のみに凸部２２を設けるようにしてもよい。また、上述の実施形態では、ノズルプレート２０のインク供給路１３に対向する領域には凸部２２を設けていないが、勿論、インク供給路１３に対向する領域にも凸部２２を設けるようにしてもよい。ただしインク供給路１３は、流路の他の部分よりも狭い空間であるため、凸部２２を設けることで流路が狭くなり過ぎてインクの通過を妨げないように考慮する必要がある。
【００４１】
また、上記実施の形態では、圧力発生手段として圧電素子３００を用いた例を説明したが、圧力発生手段は、特に限定するものではない。例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子等も同様に適用できる。さらに、圧力発生手段は、圧力発生室内に配置される発熱素子であってもよいし、静電気力によって振動板を変形させるタイプのものであってもよい。
【００４２】
なお、上述したインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４３】
図７に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４４】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す拡大断面図である。
【図６】実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  インク供給路、  １４  連通路、  １５  連通部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ２２  凸部、  ２５  接着剤、  ３０  保護基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  リザーバ部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １００  リザーバ、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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