(57)【要約】【課題】搬送対象物を移動させる場合に適した経路を決定するとともに、搬送経路の効率的な利用を図るための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムを提供する。【解決手段】ルート管理システム２０の制御部２１は、搬送システム接続情報記憶部２２を用いて経路候補を特定する。そして、各経路候補について、制御部２１は、呼出時間情報記憶部２３から搬送元ポート毎に平均呼出時間を取得する。更に、制御部２１は、待機個数情報記憶部２４から搬送元ポート毎に現在待機個数を取得する。そして、制御部２１は、総呼出時間を算出する。また、制御部２１は、移動時間情報記憶部２５を用いて総移動時間を算出する。そして、制御部２１は、搬送時間を算出し、この搬送時間に基づいて決定した搬送経路を搬送管理システム１０に出力する。【選択図】図１
2008303024.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、
搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、
各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、
搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムであって、
前記制御手段が、
ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、
前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、
前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段と
を備えたことを特徴とする搬送管理システム。
【請求項２】
前記統計値として平均値を用いることを特徴とする請求項１に記載の搬送管理システム。
【請求項３】
前記統計値として平均値に標準偏差を加算した値を用いることを特徴とする請求項１に記載の搬送管理システム。
【請求項４】
複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、
搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、
各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、
搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理する方法であって、
前記制御手段が、
ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、
各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、
出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう段階と、
前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、
前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用い
て、搬送経路を特定する段階と
を備えたことを特徴とする搬送管理方法。
【請求項５】
複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、
搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、
各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、
搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理するプログラムであって、
前記制御手段を、
ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、
出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、
前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、
前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段
として機能させることを特徴とする搬送管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の搬送システムを利用して、搬送対象物を移動させる場合の搬送を支援するための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムに関する。例えば、半導体素子の製造プロセス装置間において、キャリアを積載させた搬送ユニットの搬送を支援する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造プロセスにおいては、各半導体基板（ウェハ）に対して、複数の工程が順番に行なわれて素子や配線層が形成される。例えば、酸化・拡散工程、ＣＶＤ工程、リソグラフィ工程、エッチング工程、イオン注入工程、検査工程や測定工程等が予め定められた順番に従って行なわれる。この場合、処理すべきウェハは、複数枚毎にキャリアに収容されて処理装置に搬送される。
【０００３】
また、後工程の処理装置へ搬送すべきキャリアや、前工程から搬送されてきたキャリアを一時的に保管するための搬送棚（ストッカ）が保管場所として併設されている。更に、各装置やストッカは軌道によって結ばれており、この軌道上で搬送台車（搬送ユニット）を移動させる。そして、搬送ユニットは各キャリアを積載して軌道上を走行することによって、搬送元ストッカの出庫ポートから搬送先のストッカの入庫ポートまでキャリアを搬送する。通常、空荷の搬送ユニットは空荷のまま軌道上を巡回または待機しながら、搬送指令を待っている。
【０００４】
ここで、搬送時間短縮のニーズに対応して、搬送台車の渋滞を軽減し、搬送能力の向上を図るための搬送装置が検討されている（例えば、特許文献１参照。）。この文献記載の技術では、搬送軌道の外周に、この搬送軌道から独立したループ状の外周搬送軌道を形成する。そして、この外周搬送軌道と搬送軌道との間にストッカを設けて、このストッカに外周搬送軌道と搬送軌道の搬送台車の間でキャリアの移載を行なう受渡し機構を設けている。
【０００５】
また、搬送先ストッカでの作業者の待ち時間を低減するための搬送システムの搬送制御についても検討されている（例えば、特許文献２参照。）。この文献記載の技術では、ロットを搬送するための複数の搬送ラインと、これら搬送ライン間を接続するスルーポートと、搬送ラインに隣接し搬送したロットを搬送ラインから移載し保管するためのストッカとから構成される搬送システムを用いる。そして、予め決められたロットの搬送優先順から、ストッカへの到着時刻の早い順にロットがスルーポートを使用するタイミングを時系列に並べる。次に、予め把握しておいた各スルーポートの搬送所要時間、及びストッカからスルーポートあるいはスルーポートからストッカまで搬送するために必要な搬送所要時間を取得する。そして、スルーポートの搬送開始時間から各ライン内の搬送所要時間分を前倒しした時刻にストッカから搬送を開始する。
【特許文献１】特開２００２−８７５１４号公報（第１頁）
【特許文献２】特開平１０−２０３６１４号公報（第１頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような搬送システムにおいては、出発する装置から目的の装置まで搬送するための複数の経路が設定できる場合がある。特に半導体工場の拡大に伴い、複数の搬送システムを設けた場合、複数の経路を設定することができることがある。更に、生産ラインが複雑化することにより、この経路も複雑化している。このため、単純に経路を設定した場合、
利用される経路に偏りが発生し、平均の搬送時間が増大することがある。この場合、効率的な搬送には、搬送時間の短い搬送経路を選択することが大切である。
【０００７】
更に、キャリアを移動させるために、搬送ユニットを呼び出しても、搬送経路の混雑や搬送ユニットの利用状況によっては、すぐに搬送ユニットを利用できるとは限らない。また、このような混雑状況等は、キャリア数や製造対象の品種によって変化するものである。また、搬送の順番はプロセス状況によって変わる場合があり、予め搬送手順を定めておくことは困難である。
【０００８】
この結果、搬送の所要時間が長くなる一方で、一部の搬送システムの稼働率が落ちることがある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、搬送対象物を移動させる場合に適した経路を決定するとともに、搬送経路の効率的な利用を図るための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムであって、前記制御手段が、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段とを備えたことを要旨とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の搬送管理システムにおいて、前記統計値として平均値を用いることを要旨とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の搬送管理システムにおいて、前記統計値として平均値に標準偏差を加算した値を用いることを要旨とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理する方法であって、前記制御手段が、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する段階と、出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう段階と、前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、
各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する段階とを備えたことを要旨とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、複数のノードの接続関係を記録したノード接続情報記憶手段と、搬送元ノード及び搬送先ノードに対して移動時間情報を記録する移動時間情報記憶手段と、各ノードにおける待機時間情報を記録する待機時間情報記憶手段と、搬送経路を決定する制御手段とを備えた搬送管理システムを用いて、搬送対象物の搬送を管理するプログラムであって、前記制御手段を、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して前記移動時間情報記憶手段に記録する手段と、出発ノードと目的ノードとを取得した場合、前記ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう手段と、前記経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、前記待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出し、各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて前記移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出し、前記待機予測時間と前記移動予測時間を用いて所要時間を算出し、前記所要時間を用いて、搬送経路を特定する手段として機能させることを要旨とする。
【００１３】
（作用）
請求項１、４又は５に記載の発明によれば、制御手段が、ノード間の移動時間を取得し、この移動時間の統計値を算出して移動時間情報記憶手段に記録する。これにより、実績の統計値を用いて移動予測時間を算出することができる。また、各ノードにおいて、先に待機している搬送対象物の搬送開始から、次の搬送対象物の搬送開始までの待機時間を算出し、この待機時間の統計値を算出して移動時間情報記憶手段に記録する。これにより、実績の統計値を用いて待機予測時間を算出することができる。従って、統計的に時間のかからない経路を選択することができる。そして、利用する経路の偏りを解消して、利用経路の分散化を図ることができる。
【００１４】
そして、制御手段が出発ノードと目的ノードとを取得した場合、ノード接続情報記憶手段に記録された搬送元ノードと搬送先ノードを組み合わせた経路候補の検索を行なう。そして、経路候補毎に、各経路候補に含まれる搬送元ノードにおける搬送対象物の待機数を取得し、待機時間情報記憶手段に記録された各搬送元ノードの移動時間の統計値を乗算して待機予測時間を算出する。更に、各経路候補に含まれる搬送元ノードと搬送先ノードについて移動時間情報記憶手段に記録された移動時間の統計値を総計して移動予測時間を算出する。そして、待機予測時間と移動予測時間を用いて所要時間を算出し、所要時間を用いて、搬送経路を特定する。これにより、状況によって変化する待機時間、移動時間や搬送の順番待ちの待機数を考慮して、的確な搬送経路を特定することができる。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、統計値として平均値を用いる。これにより、平均的な状況を考慮して搬送経路を特定することができる。
請求項３に記載の発明によれば、統計値として平均値に標準偏差を加算した値を用いる。これにより、時間のバラツキが大きい搬送経路を避けることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、搬送対象物を移動させる場合に適した経路を決定するとともに、搬送経路の効率的な利用を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した一実施形態を、図１〜図１０を用いて説明する。本実施形態では、図１に示すように、半導体素子の製造ラインにおけるプロセス装置やストッカ間において、搬送対象物であるキャリアの搬送を管理する搬送管理システム１０を用いて、搬送経路を決定するための搬送管理システム、搬送管理方法及び搬送管理プログラムとして説明する。ここでは、搬送経路を決定するための搬送管理システムとしてルート管理システム２０を用いる。このルート管理システム２０は、搬送管理システム１０との間でデータの送受信を行なう。この搬送管理システム１０は、プロセス装置（加熱装置、成膜装置、リソグラフィ装置、エッチング装置等）や保管装置（ストッカ）間におけるキャリアの搬送を管理する。
【００１８】
例えば、図９に示すように、装置（ＥＱ１〜ＥＱ４）やストッカ（ＳＴ１，ＳＴ２）を用いる場合を想定する。そして、装置ＥＱ１にはポートＡ、装置ＥＱ２にはポートＢが設けられており、それぞれ搬送システムＣ１に接続されている。また、装置ＥＱ３にはポートＣ、装置ＥＱ４にはポートＤが設けられており、それぞれ搬送システムＣ２に接続されている。本実施形態では、各ポートがノードとして機能する。
【００１９】
この搬送システム（Ｃ１，Ｃ２）は搬送管理システム１０によって制御される。各搬送システム（Ｃ１，Ｃ２）には、キャリアを積載して移動させる搬送ユニットが設けられている。そして、キャリアを移動させる場合、各ポートに搬送ユニットを呼び出し、搬送ユニットに搭載する。そして、搬送ユニットは目的のポートまで移動して、このポートにおいてキャリアを装置側に引き渡す。
【００２０】
また、ストッカＳＴ１にはポート（Ｓ１，Ｓ３）、ストッカＳＴ２にはポート（Ｓ２，Ｓ４）が設けられている。そして、各ポート（Ｓ１，Ｓ２）は搬送システムＣ１に接続され、各ポート（Ｓ３，Ｓ４）は搬送システムＣ２に接続される。これにより、各ストッカ（ＳＴ１，ＳＴ２）を経由して、各搬送システム（Ｃ１，Ｃ２）を利用することができる。
【００２１】
ここで、搬送対象キャリアについて装置ＥＱ１から装置ＥＱ４への移動を想定した場合、ストッカＳＴ１を経由する搬送経路と、ストッカＳＴ２を経由する搬送経路とがある。ストッカＳＴ１を経由する場合、搬送管理システム１０は、搬送対象キャリアを「ポートＡ→ポートＳ１→ポートＳ３→ポートＤ」の順番に移動させる。一方、ストッカＳＴ２を経由する場合、搬送管理システム１０は、搬送対象キャリアを「ポートＡ→ポートＳ２→ポートＳ４→ポートＤ」の順番に移動させる。この場合、搬送管理システム１０は、装置（ＥＱ１，ＥＱ４）やストッカ（ＳＴ１，ＳＴ２）間の移動には搬送システム（Ｃ１，Ｃ２）を用いる。
【００２２】
この場合、図１０に示すように、各ポート（Ａ，Ｓ３，Ｓ４）において搬送ユニットに移載させるまでの待機時間が必要である。また、ポート間の移動においては移動時間がかかる。本実施形態では、待機時間や移動時間を考慮して、装置ＥＱ１から装置ＥＱ４までの搬送の所要時間を算出し、この所要時間を用いて的確な搬送経路を決定する。
【００２３】
本実施形態では、この搬送経路の決定のためにルート管理システム２０を用いる。このルート管理システム２０は、搬送管理システム１０からデータを収集し、搬送経路を決定するコンピュータシステムである。このルート管理システム２０は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等から構成された制御手段としての制御部２１を備える。更に、ルート管理システム２０は、搬送システム接続情報記憶部２２、呼出時間情報記憶部２３、待機個数情報記憶部２４及び移動時間情報記憶部２５を備える。
【００２４】
この制御部２１は、後述する処理（移動時間情報記録段階、待機時間情報記録段階、経路候補の検索段階、待機予測時間の算出段階、移動予測時間の算出段階、搬送経路の特定段階等の各処理）を実行する。そして、制御部２１は、搬送経路指示手段２１１、待機個数監視手段２１２、ポート監視手段２１３及び移動時間監視手段２１４として機能する。
【００２５】
搬送経路指示手段２１１は、後述するように、搬送経路を決定し、決定した搬送経路を搬送管理システム１０に対して指示する。
待機個数監視手段２１２は、各ポートでの搬送ユニットへの積載を待っているキャリアの個数（待機個数）を管理する。具体的には、待機個数監視手段２１２は、移動のために待機しているキャリアに関する情報（キャリア情報）を搬送管理システム１０から取得する。このキャリア情報には、各キャリアの識別情報（キャリア識別子）と、このキャリアの現在の所在（装置／ストッカ識別子）に関する情報が含まれている。更に、待機個数監視手段２１２は、搬送システム接続情報記憶部２２から搬送経路情報を取得する。そして、待機個数監視手段２１２は、取得したキャリアの現在の所在情報と搬送経路情報を用いて、次の搬送ユニットへ積載するポートを特定し、ポート毎に積載待機中のキャリア数（待機個数）を算出する。そして、待機個数監視手段２１２は、この待機個数を待機個数情報記憶部２４に記録する。
【００２６】
ポート監視手段２１３は、後述するように、搬送管理システム１０から取得したキャリア管理情報に基づいて、各ポートでの待機状況情報を取得する。この待機状況情報には、装置／ストッカ識別子に対して、次に搬送するキャリアのキャリア識別子に関する情報が含まれている。本実施形態では、ポート監視手段２１３は、先に待機していたキャリアの搬送が開始されて、次に搬送される順番が到来してから搬送が開始されるまでの所要時間（呼出時間）を算出する。そして、ポート監視手段２１３は、取得した呼出時間を呼出時間情報記憶部２３に記録する。
【００２７】
移動時間監視手段２１４は、後述するように、搬送管理システム１０から取得したキャリア管理情報に基づいて、各キャリアの移動状況情報を取得する。この移動状況情報には、搬送が開始されたキャリアのキャリア識別子について搬送元や搬送先の装置／ストッカ識別子に関する情報が含まれている。本実施形態では、移動時間監視手段２１４は、各ポート間の移動に要する所要時間（移動時間）を管理する。そして、移動時間監視手段２１４は、算出した移動時間を移動時間情報記憶部２５に記録する。
【００２８】
搬送システム接続情報記憶部２２はノード接続情報記憶手段として機能し、図２に示すように、キャリアの搬送に用いる搬送システム（搬送機）を特定するための搬送システム接続レコード２２０と搬送経路レコード２２１が記録されている。この搬送システム接続レコード２２０は、搬送システムの接続関係を登録した場合に記録される。そして、搬送経路レコード２２１は、搬送システム接続レコード２２０を用いて経路を算出した場合に登録される。
【００２９】
この搬送システム接続レコード２２０は、ポート識別子に対して、装置／ストッカ識別子、接続搬送機識別子に関するデータを含んで構成されている。
ポート識別子データ領域には、装置／ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。このポートを介して、キャリアは、装置やストッカと搬送ユニットとの間で受け渡しが行なわれる。
【００３０】
装置／ストッカ識別子データ領域には、このポートが設けられた装置やストッカを特定するための識別子に関するデータが記録されている。
接続搬送機識別子データ領域には、このポートにおいて接続される搬送システムを特定
するためのデータが記録されている。
【００３１】
搬送経路レコード２２１は、搬送元ポート識別子、搬送先ポート識別子に対して、経路候補に関するデータを含んで構成されている。
搬送元ポート識別子データ領域には、搬送の出発地となるポート（搬送元ノード）を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
【００３２】
搬送先ポート識別子データ領域には、搬送の目的地となるポート（搬送先ノード）を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
経路候補データ領域には、搬送元ポートから搬送先ポートまでの経路の候補に関するデータが記録されている。なお、搬送元ポートから搬送先ポートについて複数の経路を設定できる場合には、複数の経路候補が記録される。
【００３３】
ここで、この経路候補の作成方法を説明する。この経路候補は、制御部２１によって搬送システム接続レコード２２０を用いて予め作成される。具体的には、制御部２１が、搬送システム接続情報記憶部２２から、作成対象の搬送元ポートや搬送先ポートを順次特定して、これらのポート識別子が記録された搬送システム接続レコード２２０を取得する。
【００３４】
ここで、搬送元ポート及び搬送先ポートに同じ接続搬送機識別子が関連付けられている場合には、この接続搬送機識別子に関連付けられた搬送元ポート及び搬送先ポートの組み合わせを搬送経路として特定する。例えば、図９において、装置ＥＱ１から装置ＥＱ２に搬送する場合には、搬送元ポート（ここでは「Ａ」）と搬送先ポート（ここでは「Ｂ」）とを組み合わせた「（Ａ，Ｂ）」が経路候補として特定される。
【００３５】
一方、搬送元ポート及び搬送先ポートに同じ接続搬送機識別子が関連付けられていない場合には、搬送経路指示手段２１１は、これらの搬送システムに接続されているストッカを、順次特定して、このストッカを介して他の搬送システムへの接続を検討する。そして、搬送システムやストッカを介して出発ポートから目的ポートまでの全部のルートを抽出する。そして、各ルートにおいて接続搬送機識別子に関連付けられた搬送元ポート及び搬送先ポートの組み合わせを経路候補として特定する。例えば、図９において、装置ＥＱ１から装置ＥＱ４に搬送する場合には、「（Ａ，Ｓ１）（Ｓ３，Ｄ）」、「（Ａ，Ｓ２）（Ｓ４，Ｄ）」の２つが経路候補として特定される。
【００３６】
呼出時間情報記憶部２３は待機時間情報記憶手段として機能し、図３に示すように、キャリアを搬送する搬送ユニットを呼び出してから、搬送ユニットが到着するまでの所要時間を算出するためのデータが記録される。本実施形態では、呼出時間情報記憶部２３には、呼出時間実績レコード２３０と平均呼出時間レコード２３２とが記録される。
【００３７】
呼出時間実績レコード２３０は、ポート識別子に対して、呼出時間に関するデータを含んで構成される。この呼出時間実績レコード２３０は、ポート監視手段２１３が待機時間を算出した場合に逐次、登録される。
【００３８】
ポート識別子データ領域には、装置／ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。
呼出時間データ領域には、このポートにおいて搬送ユニットの呼び出しに要した実際の所要時間に関するデータが記録される。
【００３９】
一方、平均呼出時間レコード２３２は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成される。この平均呼出時間レコード２３２は、ポート監視手段２１３が待機時間を算出した場合に更新登録される。
【００４０】
ポート識別子データ領域には、装置／ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。
平均時間データ領域には、このポートにおいて搬送ユニットの呼び出しに要した所要時間の平均値（統計値）に関するデータが記録される。
【００４１】
待機個数情報記憶部２４には、図４に示すように、搬送の順番待ちをしているキャリアの個数を特定するための待機個数レコード２４０が記録される。この待機個数レコード２４０は、待機個数監視手段２１２が待機個数を取得した場合に、更新記録される。この待機個数レコード２４０は、ポート識別子に対して、待機個数に関するデータを含んで構成される。
【００４２】
ポート識別子データ領域には、装置／ストッカと搬送システムとが接続されるポートを特定するための識別子に関するデータが記録される。
待機個数データ領域には、このポートから搬送される順番を待っているキャリアの個数に関するデータが記録される。
【００４３】
移動時間情報記憶部２５は移動時間情報記憶手段として機能し、図５に示すように、ポート間の移動に要する所要時間を算出するためのデータが記録される。本実施形態では、移動時間情報記憶部２５には、移動時間実績レコード２５０と平均移動時間レコード２５２とが記録される。
【００４４】
この移動時間実績レコード２５０は、搬送元ポート識別子、搬送先ポート識別子に対して、移動時間に関するデータを含んで構成される。この移動時間実績レコード２５０は、移動時間監視手段２１４が移動時間を算出した場合に逐次、登録される。
【００４５】
搬送元ポート識別子データ領域には、搬送の出発地となるポート（搬送元ノード）を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
搬送先ポート識別子データ領域には、搬送の目的地となるポート（搬送先ノード）を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
移動時間データ領域には、搬送元ポートから搬送先ポートまでのキャリアの移動に要した実際の所要時間に関するデータが記録される。
【００４６】
一方、平均移動時間レコード２５２は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成されている。この平均移動時間レコード２５２は、移動時間監視手段２１４が待機時間を算出した場合に更新登録される。
【００４７】
搬送元ポート識別子データ領域には、搬送の出発地となるポート（搬送元ノード）を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
搬送先ポート識別子データ領域には、搬送の目的地となるポート（搬送先ノード）を特定するための識別子に関するデータが記録されている。
平均時間データ領域には、搬送元ポートから搬送先ポートまでのキャリアの移動に要した所要時間の平均値（統計値）に関するデータが記録される。
【００４８】
このように構成されたシステムを用いて行なう処理を、図６〜図８に従って説明する。本実施形態では、ルート設定処理（図６）、待機時間登録処理（図７）、移動時間登録処理（図８）の順番に説明する。
【００４９】
（ルート設定処理）
まず、ルート設定処理について、図６を用いて説明する。この処理は、搬送管理システ
ム１０からルート設定依頼を受けた場合に実行される。
【００５０】
まず、搬送管理システム１０は、搬送経路決定依頼処理を実行する（ステップＳ１−１）。具体的には、キャリアの搬送を行なう必要が生じた場合に、搬送管理システム１０は、ルート管理システム２０に対して搬送経路決定依頼を送信する。この搬送経路決定依頼には、搬送元や搬送先の装置やストッカの識別子に関するデータを含む。
【００５１】
搬送経路決定依頼を受けたルート管理システム２０の制御部２１は、経路候補の特定処理を実行する（ステップＳ２−１）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、搬送システム接続情報記憶部２２に記録された搬送経路レコード２２１を用いて経路候補を特定する。
【００５２】
次に、経路候補毎に搬送時間の算出処理を実行する。まず、経路候補の中で、搬送時間算出処理の対象となる計算対象候補を特定する。
そして、ルート管理システム２０の制御部２１は、搬送元ポート毎に平均呼出時間の取得処理を実行する（ステップＳ２−２）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、計算対象候補に含まれるすべての搬送元ポートを特定する。例えば、経路候補「（Ａ，Ｓ１）（Ｓ３，Ｄ）」が計算対象候補の場合には、「Ａ」、「Ｓ３」が搬送元ポートとなる。一方、経路候補「（Ａ，Ｓ２）（Ｓ４，Ｄ）」が計算対象候補の場合には、「Ａ」、「Ｓ４」が搬送元ポートとなる。そして、搬送経路指示手段２１１は、搬送元ポート毎に、呼出時間情報記憶部２３から平均呼出時間レコード２３２を抽出し、各搬送元ポートにおける平均時間を取得する。
【００５３】
次に、ルート管理システム２０の制御部２１は、搬送元ポート毎に現在待機個数の取得処理を実行する（ステップＳ２−３）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、計算対象候補に含まれるすべての搬送元ポート毎に、待機個数情報記憶部２４から待機個数レコード２４０を抽出し、各搬送元ポートにおける待機個数を取得する。
【００５４】
次に、ルート管理システム２０の制御部２１は、総呼出時間の算出処理を実行する（ステップＳ２−４）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、計算対象候補に含まれる搬送元ポート毎に平均呼出時間と現在待機個数とを乗算し、計算対象候補に含まれるすべての搬送元ポートについて乗算結果を総和する。
【００５５】
次に、ルート管理システム２０の制御部２１は、総移動時間の算出処理を実行する（ステップＳ２−５）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、移動時間情報記憶部２５から、計算対象候補に含まれる搬送元ポートと搬送先ポートについての平均移動時間レコード２５２を抽出する。例えば、経路候補「（Ａ，Ｓ１）（Ｓ３，Ｄ）」が計算対象候補の場合には、（Ａ，Ｓ１）及び（Ｓ３，Ｄ）の平均移動時間を抽出する。一方、経路候補「（Ａ，Ｓ２）（Ｓ４，Ｄ）」が計算対象候補の場合には、（Ａ，Ｓ２）（Ｓ４，Ｄ）の平均移動時間を抽出する。そして、搬送経路指示手段２１１は、抽出した平均移動時間レコード２５２の平均移動時間を総和する。
【００５６】
そして、ルート管理システム２０の制御部２１は、搬送時間の算出処理を実行する（ステップＳ２−６）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、総呼出時間と総移動時間とを加算して搬送時間を算出する。以上の処理を、経路候補について繰り返す。
【００５７】
そして、ルート管理システム２０の制御部２１は、各経路候補の搬送時間を比較して搬送経路の決定処理を実行する（ステップＳ２−７）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、算出した搬送時間を比較して、所要時間の最も短い経路候補を搬送経
路として特定する。
【００５８】
次に、ルート管理システム２０の制御部２１は、搬送経路の出力処理を実行する（ステップＳ２−８）。具体的には、制御部２１の搬送経路指示手段２１１は、搬送管理システム１０に対して、特定した搬送経路を含む経路情報を提供する。
そして、搬送管理システム１０は、搬送処理を実行する（ステップＳ１−２）。具体的には、搬送管理システム１０は、搬送経路情報を用いて各搬送システムを制御する。
【００５９】
（待機時間登録処理）
次に、各ポートでの待機時間登録処理について、図７を用いて説明する。
【００６０】
まず、ルート管理システム２０の制御部２１は、次の搬送順番になったかどうかを判断する（ステップＳ３−１）。具体的には、制御部２１のポート監視手段２１３は、各ポートにおいて搬送の順番待ちのキャリアを検出する。そして、先のキャリアが搬送システムの搬送ユニットに積載されることにより、次の搬送順番になった場合（ステップＳ３−１において「ＹＥＳ」の場合）、ルート管理システム２０の制御部２１は、呼出時間の測定を開始する（ステップＳ３−２）。具体的には、制御部２１のポート監視手段２１３は、計時手段を用いて呼出時間の測定を開始する。この測定は、ポート監視手段２１３が、このキャリアが搬送ユニットへの積載を検知するまで継続される（ステップＳ３−３）。
【００６１】
このキャリアについて搬送ユニットへの積載を検知した場合（ステップＳ３−３において「ＹＥＳ」の場合）、制御部２１のポート監視手段２１３は、呼出時間の測定を終了する（ステップＳ３−４）。
【００６２】
そして、ルート管理システム２０の制御部２１は、呼出時間の記録処理を実行する（ステップＳ３−５）。具体的には、制御部２１のポート監視手段２１３は、このキャリアが待機していたポートのポート識別子に対して呼出時間を関連付けた呼出時間実績レコード２３０を生成し、呼出時間情報記憶部２３に記録する。
【００６３】
次に、ルート管理システム２０の制御部２１は、平均呼出時間の算出処理を実行する（ステップＳ３−６）。具体的には、制御部２１のポート監視手段２１３は、呼出時間情報記憶部２３から、このキャリアが待機していたポートのポート識別子に関連付けられて記憶された呼出時間実績レコード２３０を抽出する。そして、ポート監視手段２１３は、呼出時間実績レコード２３０に記録された呼出時間を用いて平均値を算出する。次に、ポート監視手段２１３は、平均呼出時間レコード２３２の平均時間を更新記録する。
【００６４】
（移動時間登録処理）
次に、搬送システムにおける移動時間登録処理について、図８を用いて説明する。
ルート管理システム２０の制御部２１は、キャリアが搬送ユニットに積載されたかどうかを判断する（ステップＳ４−１）。具体的には、制御部２１の移動時間監視手段２１４は、各キャリアの移動を検出する。キャリアが搬送ユニットに積載されて、移動が開始された場合（ステップＳ４−１において「ＹＥＳ」の場合）、ルート管理システム２０の制御部２１は、移動時間の測定を開始する（ステップＳ４−２）。具体的には、制御部２１の移動時間監視手段２１４は、計時手段を用いて移動時間の測定を開始する。この測定は、制御部２１の移動時間監視手段２１４が、このキャリアが搬送先ポートへの到着を検知するまで継続される（ステップＳ４−３）。
【００６５】
このキャリアについて搬送先ポートへの到着を検知した場合（ステップＳ４−３において「ＹＥＳ」の場合）、ルート管理システム２０の制御部２１の移動時間監視手段２１４は、移動時間の測定を終了する（ステップＳ４−４）。
【００６６】
そして、ルート管理システム２０の制御部２１は、移動時間の記録処理を実行する（ステップＳ４−５）。具体的には、制御部２１の移動時間監視手段２１４は、この移動についての搬送元ポート、搬送先ポートのポート識別子に対して移動時間を関連付けた移動時間実績レコード２５０を生成し、移動時間情報記憶部２５に記録する。
【００６７】
次に、ルート管理システム２０の制御部２１は、平均移動時間の算出処理を実行する（ステップＳ４−６）。具体的には、制御部２１の移動時間監視手段２１４は、移動時間情報記憶部２５から、この移動についての搬送元ポート、搬送先ポートのポート識別子に関連付けられて記憶された移動時間実績レコード２５０を抽出する。そして、移動時間監視手段２１４は、移動時間実績レコード２５０に記録された移動時間を用いて平均値を算出する。次に、移動時間監視手段２１４は、平均移動時間レコード２５２の平均時間を更新記録する。
【００６８】
以上、本実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
・  上記実施形態では、搬送システム接続情報記憶部２２は、キャリアの搬送に用いる搬送システム（搬送機）を特定するための搬送システム接続レコード２２０が記録される。この搬送システム接続レコード２２０は、ポート識別子に対して、装置／ストッカ識別子、接続搬送機識別子に関するデータを含んで構成されている。これにより、搬送のための経路候補を特定することができる。
【００６９】
・  上記実施形態では、ルート管理システム２０は、搬送システム接続情報記憶部２２、呼出時間情報記憶部２３及び待機個数情報記憶部２４、移動時間情報記憶部２５を備える。呼出時間情報記憶部２３には、平均呼出時間レコード２３２が記録されている。平均呼出時間レコード２３２は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成されている。また、待機個数情報記憶部２４には、搬送システムによる搬送の順番待ちをしているキャリアの個数を特定するための待機個数レコード２４０が記録される。この待機個数レコード２４０は、ポート識別子に対して、待機個数に関するデータを含んで構成される。移動時間情報記憶部２５には、平均移動時間レコード２５２が記録されている。平均移動時間レコード２５２は、ポート識別子に対して、平均時間に関するデータを含んで構成されている。この平均呼出時間レコード２３２、待機個数レコード２４０、平均移動時間レコード２５２を用いることにより、各経路候補の所要時間を算出することができる。そして、この所要時間を用いて、効率的な搬送を行なうための搬送経路を特定することができる。
【００７０】
なお、上記実施形態は、以下の態様に変更してもよい。
○  上記実施形態では、呼出時間情報記憶部２３には、平均呼出時間レコード２３２が記録されている。搬送時間の算出に用いる時間は平均値に限定されるものではなく、呼出に要する所要時間を代表する統計値を用いることができる。例えば、平均値に対して標準偏差を加算した値（偏差値）を用いることも可能である。これにより、所要時間のバラツキが大きい経路候補の選択を回避することができる。
【００７１】
また、呼出時間実績レコード２３０に実績日を記録しておき、最近の所定期間の呼出時間実績レコード２３０を抽出して、平均呼出時間を計算するように構成することも可能である。これにより、直近の状況に応じて、より確からしい呼出時間を予測することができる。
【００７２】
○  上記実施形態では、移動時間情報記憶部２５には、平均移動時間レコード２５２が記録されている。搬送時間の算出に用いる時間は平均値に限定されるものではなく、移動に要する所要時間を代表する統計値を用いることができる。例えば、平均値に対して標準
偏差を加算した値（偏差値）を用いることも可能である。これにより、所要時間のバラツキが大きい経路候補の選択を回避することができる。
【００７３】
また移動時間実績レコード２５０に実績日を記録しておき、最近の所定期間の移動時間実績レコード２５０を抽出して、平均移動時間を計算するように構成することも可能である。これにより、直近の状況に応じて、より確からしい移動時間を予測することができる。
【００７４】
○  上記実施形態では、待機個数情報記憶部２４には、搬送システムによる搬送の順番待ちをしているキャリアの個数を特定するための待機個数レコード２４０が記録される。これに代えて、待機個数として所定期間の平均値を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施形態のシステムの概略図。
【図２】搬送システム接続情報記憶部に記録されたデータの説明図。
【図３】呼出時間情報記憶部に記録されたデータの説明図。
【図４】待機個数情報記憶部に記録されたデータの説明図。
【図５】移動時間情報記憶部に記録されたデータの説明図。
【図６】本実施形態の処理手順の説明図。
【図７】本実施形態の処理手順の説明図。
【図８】本実施形態の処理手順の説明図。
【図９】搬送システムの接続関係の説明図。
【図１０】搬送時間を構成する要素の説明図。
【符号の説明】
【００７６】
１０…搬送管理システム、２０…ルート管理システム、２１…制御部、２１１…搬送経路指示手段、２１２…待機個数監視手段、２１３…ポート監視手段、２１４…移動時間監視手段、２２…搬送システム接続情報記憶部、２３…呼出時間情報記憶部、２４…待機個数情報記憶部、２５…移動時間情報記憶部、１０…搬送管理システム、ＥＱ１〜ＥＱ４…装置、ＳＴ１，ＳＴ２…ストッカ、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｓ１〜Ｓ４…ポート、Ｃ１，Ｃ２…搬送システム。
【図１】
2008303024.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008303024.tif 000009
【図８】
2008303024.tif 000010
【図９】
2008303024.tif 000011
【図１０】
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