(57)【要約】【課題】  搬送ロボットハンドにより、ガラス板をパレットへ積みつける際に、ガラス板のズレ現象を防止するため、合紙をガラス板間に挟むようにするが、その合紙もガラス板と同時にパレットへ搬送できるロボットハンドにする。しかし、その搬送の際に風圧による合紙のめくれと、パレット積載時の合紙の垂れ下がりとによるトラブルを防止し、効率的なガラス搬送ロボットハンドを提供する。  【解決手段】  二つの課題を解決するため、ガラス搬送ロボットハンド１０に吸着されたガラス板１面前に対向して合紙２を配置させると共にそれら面間にブローによるブローダウンする風を送り吸着させ、その風向をガラス面と合紙の４角の対向面方向に特に向け、搬送中のめくれ、と、積付け時の垂れ下がりを発生させないことを特徴とするガラス搬送ロボットハンド。【選択図】    図１
2008162760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パレット上に積重ねるためにガラス板を把持して搬送する際、それら板間に挟む合紙も同時に搬送するロボットハンドであって、
該ロボットハンドのアーム先端に固定され、搬送させるガラス板の周縁部近くまで対向する面領域を持つ第１のフレームと、
その第１のフレームの面領域に配設された複数のガラス吸着機構と、
前記第１のフレームの上側に固定されて設けられ、その高さ位置を合紙長さに合せて調整可能とする高さスライド機構を持つ第２のフレームと、
その第２のフレームの両側に設けられてそれぞれ合紙幅両側を挟む合紙把持機構と、
それら合紙把持機構を合紙面に垂直方向に移動させて、前記パレットに積重ねる際、直前にその対向パレット面と合紙把持機構との衝突を防止する合紙把持逃がし機構と、
前記複数の吸着機構により吸着されたガラス板と前記合紙把持機構により把持され垂れ下がった合紙との隙間にエアをブローダウンするために、前記合紙把持機構位置のそれら間の内側端に接続して配置され、それらのエアの方向はその内側端から合紙下側の角部及び上側の各角部の各方向へブローノズルを設けてなる一対のブロー二組とを備え、
積み重ね姿勢に必要な傾斜角度の状態のパレット上に合紙を対向させながらガラス板を搬送するに際して、前記一対のブローにより、合紙とガラス板間隙にエアをブローダウンして互いに吸着させて、風圧方向による合紙のめくれ及び傾斜角度による垂れ下がりを防止することを特徴とするガラス搬送ロボットハンド。
【請求項２】
前記一対のブローの各先端は、第２のフレームの中心寄りに位置して、それらの各先端は合紙又はガラス板下側の角部方向に向かうダウンブローと、他方の各先端は合紙又はガラス板上側の角部方向へ向かうサイドブローとからなり、
左右一対のブローの４個のブローの方向はそれぞれ合紙又はガラス板の四角の隙間をブローして互いに吸着させることを特徴とする請求項１記載のガラス搬送ロボットハンド。
【請求項３】
前記複数のガラス吸着機構は、第１のフレーム周縁部及び内部に配設され、前記ガラス板面を吸着するため、少なくともバッファスプリングが巻かれた中空スライドシャフトと、その先端に設けたパットと、そのパットから中空スライドシャフトを介してバキュームのＯＮ、ＯＦＦを制御する吸着確認用と押付け異常探知用との２組の近接センサーからなることを特徴とする請求項１記載のガラス搬送ロボットハンド。
【請求項４】
前記合紙把持機構は、合紙を挟む一対の把持部と、その把持部の可動側をエアによりチャックさせる第１のエアシリンダ及びそれを制御するエア切替スイッチからなることを特徴とする請求項１記載のガラス搬送ロボットハンド。
【請求項５】
前記合紙把持逃がし機構は、第２のフレームの両側に設けられた前記合紙把持機構とその第２のフレームの間に接続配置され、
合紙面に対して垂直方向にエアにより移動させる第２のエアシリンダ及びそれを制御するエア切替スイッチからなることを特徴とする請求項１記載のガラス搬送ロボットハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板をロボットハンドによりパレット上に積重ねるに際して、ガラス板間に合紙を挟みガラス板ずれをなくし、ガラス板面を保護するようにするため、ガラス板と合紙を同時に搬送してパレット上に積むガラス搬送ロボットハンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス板を平積み状態に積載し、搬送・輸送・保管などの際にはガラス板のズレ現象を少なくとも防止し、各工程での作業効率を向上させ、自動化を容易にするためガラス板間に合紙を挟む方法或いは装置が開発されていた。
【０００３】
しかしながら、合紙を挟んでガラス板をパレット上に積み重ねる場合、合紙とガラス板にズレが生じる現象が少なからず発生していた。このため、合紙とガラス板を同時にパレット上に搬送する際は以下の問題を解決する必要があった。
【０００４】
（１）搬送時の風圧により合紙がめくれる。
（２）パレットに積み重ねる際に合紙が垂れ下がる。
【０００５】
以上の問題点に関連する発明として特許文献１が開示されている。特許文献１には、ガラス板の積層方法及び装置として、給紙コンベアが可動している合紙をガラス板上に移載し、また吸着担持手段の吸着パッドを合紙に当接させ、吸引装置により合紙及びガラス板を吸着することが記載されている。
【０００６】
この発明は、合紙を介してガラス板を吸着させる構成にしているため、エア排気による吸引機構は、その分高い吸引力を必要とし、また、合紙の材質や形状も吸引力に関連するため、吸引力不足を考慮する必要が生じる問題があった。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１６９５４４号公報（第２、３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、ガラス板を直接複数の吸着機構で確実に吸着させ、合紙はその吸着させたガラス板面と反対側のガラス板面に対向させて、「コアンダー効果」を利用してそのガラス板面と合紙との隙間にエアをブローダウンすることで、合紙をガラス板に吸着させると共に合紙とガラス板とを同時に搬送させる状態でパレット上に積み重ねる装置を提供することを課題とする。
【０００９】
すなわち、前述した（１）搬送時の風圧による合紙のめくれ、（２）パレット積み付けの際に合紙が垂れ下がる問題を解決するガラス搬送ロボットハンドを提供するもである。
【００１０】
また、パレット積み付け直前はともに合紙把持をＯＦＦと同時に送風もＯＦＦとなるので、直前における処理タイミングに対応できるロボットハンドを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決するため、本発明のガラス搬送ロボットハンドは、パレット上に積重ねるためにガラス板を把持して搬送する際、それら板間に挟む合紙も同時に搬送するロボットハンドであって、
該ロボットハンドのアーム先端に固定され、搬送させるガラス板の周縁部近くまで対向する面領域を持つ第１のフレームと、
その第１のフレームの面領域に配設された複数のガラス吸着機構と、
前記第１のフレームの上側に固定されて設けられ、その高さ位置を合紙長さに合せて調整可能とする高さスライド機構を持つ第２のフレームと、
その第２のフレームの両側に設けられてそれぞれ合紙幅両側を挟む合紙把持機構と、
それら合紙把持機構を合紙面に垂直方向に移動させて、前記パレットに積重ねる際、直前にその対向パレット面と合紙把持機構との衝突を防止する合紙把持逃がし機構と、
前記複数の吸着機構により吸着されたガラス板と前記合紙把持機構により把持され垂れ下がった合紙との隙間にエアをブローダウンするために、前記合紙把持機構位置のそれら間の内側端に接続して配置され、それらのエアの方向はその内側端から合紙下側の角部及び上側の各角部の各方向へブローノズルを設けてなる一対のブロー二組とを備え、
積み重ね姿勢に必要な傾斜角度の状態のパレット上に合紙を対向させながらガラス板を搬送するに際して、前記一対のブローにより、合紙とガラス板間隙にエアをブローダウンして互いに吸着させて、風圧方向による合紙のめくれ及び傾斜角度による垂れ下がりを防止することを特徴とする。
【００１２】
また、前記一対のブローの各先端は、第２のフレームの中心寄りに位置して、それらの各先端は合紙又はガラス板下側の角部方向に向かうダウンブローと、他方の各先端は合紙又はガラス板上側の角部方向へ向かうサイドブローとからなり、
左右一対のブローの４個のブローの方向はそれぞれ合紙又はガラス板の四角の隙間をブローして互いに吸着させることを特徴とする。
【００１３】
また、前記複数のガラス吸着機構は、第１のフレーム周縁部及び内部に配設され、前記ガラス板面を吸着するため、少なくともバッファスプリングが巻かれた中空スライドシャフトと、その先端に設けたパットと、そのパットから中空スライドシャフトを介してバキュームのＯＮ、ＯＦＦを制御する吸着確認用と押付け異常探知用との２組の近接センサーからなることを特徴とする。
【００１４】
また、前記合紙把持機構は、合紙を挟む一対の把持部と、その把持部の可動側をエアによりチャックさせる第１のエアシリンダ及びそれを制御するエア切替スイッチからなることを特徴とする。
【００１５】
また、前記合紙把持逃がし機構は、第２のフレームの両側に設けられた前記合紙把持機構とその第２のフレームの間に接続配置され、
合紙面に対して垂直方向にエアにより移動させる第２のエアシリンダ及びそれを制御するエア切替スイッチからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のガラス搬送ロボットハンドは以下に示す効果を呈する。
【００１７】
ロボットハンドの制御部が複数のガラス吸着機構でガラス板を吸着させ、次にそのガラス板前面にあり、その上側に設けた合紙把持機構のエアシリンダＹにより合紙上部を把持させると共に、ダウンブロー及びサイドブローからエアを送ることにより、合紙４角が「めくれ」なく、ガラス板前面に吸着させ、次にロボットハンドは以上の状態（Ａ）で、合紙吸着のガラス板をパレット上に搬送させ、この際にパレットは予めパレット背面に合紙付ガラス板を積重ね姿勢に必要な傾斜角度（約２０度程度）で対向させても合紙下部は「垂れ下がる」ことを無くして、前回のガラス板の次に積み重ねることができる。
【００１８】
従って、本発明のガラス搬送ロボットハンドによる稼動システムは信頼度を向上させ、高速処理を可能とする効果がある。
【００１９】
また、各機構には積み重ねるガラス板の外形寸法に対する調整機構を備え、搬送姿勢の自由度が確保されたシステムにすることができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明のガラス搬送ロボットハンドの実施例を以下図面に基づいて説明する。  
【００２１】
図１はガラス搬送ロボットハンド１０の構造を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【００２２】
尚、ガラス板１と合紙２は図１（ａ）正面図の裏面側にあり、図１（ｂ）側面図にそのガラス板１と合紙２の位置が示されている。
【００２３】
ガラス板１は、この実施例ではガラス側フレーム２０ｂの周縁部及び中心付近に２１ａ〜２１ｊの１０個のガラス吸着機構２１により、１個あたりの吸着力の負担を少なくしてバキューム吸着されている。
【００２４】
２０は、第１のフレームであり、ハンド側に接続するハンド側フレーム２０ａ、ガラス側を吸着するための吸着機構２１を設けたガラス側フレーム２０ｂからなる。また、その下側にはパレット５０（図４参照）へ積み重ねるときバキュームによる吸着力ＯＦＦの際のガラス下端押し用突起部２５がある。
【００２５】
ハンド側フレーム２０ａにはガラス搬送ロボットハンド１０とのアーム接続部１０ａが設けられている。
【００２６】
３０は第２のフレームであり、第１のフレーム２０の上側にあって、ほぼ第１のフレーム２０の巾と同程度の長さを有し、第１のフレーム２０から高さ位置を調整できる高さスライド機構４０を介して取り付けられている。
【００２７】
その第２のフレーム３０のフレーム両端には、それぞれ合紙把持逃がし機構３２（後述する）を介して合紙把持機構３１が設けられている。
【００２８】
合紙把持機構３１は合紙２の上部左右を挟んでガラス板１の前面に並行して垂れ下げる。
【００２９】
その状態を図２（ｂ）の側面図に示している。図２（ａ）は正面側から見た図、（ｂ）は裏面側から見た図である。
【００３０】
図２において、第１のフレーム２０のガラス側フレーム２０ｂには、ガラス板１を吸着するガラス吸着機構２１のひとつの２１ｅが所定位置に配設されているのが図示される。
【００３１】
また、４０は高さスライド機構であり、これもガラス側フレーム２０ｂに配設されている。
【００３２】
３０は第２のフレームであり、その第２のフレーム３０に合紙把持逃がし機構３２が配設され、さらにその合紙把持逃がし機構３２を介して合紙把持機構３１が配設されている。
【００３３】
図２（ｂ）では、合紙２はガラス板１に並行して垂れ下がった状態を示し、これをＡ状態と呼ぶ。
【００３４】
Ａ状態は合紙把持機構３１で、エアシリンダＹにより合紙２をチャックで把持して、そのままでパレット５０背面に対向する直前まで続く。
【００３５】
ここで、前記合紙把持機構３１がパレット５０背面の上部で衝突するのを防止するため、前記直前にきたタイミングで合紙２の合紙把持逃がし機構３２でエアシリンダＸにより合紙上部はガラス板１側に引き寄せされる。この状態をＢ状態と呼ぶ。
【００３６】
図１（ｂ）にはＡ状態からＢ状態へ移行する様子が図示されている。Ｂ状態では合紙２の上部はガラス板１の上端で折り曲る形状となる。
【００３７】
また、Ａ状態の期間では、そのガラス板１と合紙２の隙間にはエアが流れるように２組１対のエアブローがある。
【００３８】
エアブローの１対は、それぞれダウンブロー３５とサイドブロー３６からなる。
【００３９】
ダウンブロー３５は、それぞれ図１（ａ）に示すようにガラス板面或いは合紙面の下側にある角部の方向に向けて左右対称にエアを吹き付ける。
【００４０】
一方、サイドブロー３６はガラス板面或いは合紙面の上側にある角部の方向に向けて左右対称にエアを吹き付ける。
【００４１】
図１（ａ）にはその風の方向を一点鎖線で示してある。ここで、Ｐはダウンブローの方向、Ｑはサイドブローの方向である。
【００４２】
また、ダウンブロー３５の断面は風口が並列に複数個あり、隙間内に効率よく吹き込む配置とし、一方サイドブロー３６の風量はダウンブロー３５に比べて少なくてよいのでパイプ形状とする。（図６参照）
【００４３】
尚、図１、図２において合紙把持機構３１のエアシリンダＹと合紙把持逃がし機構３２のエアシリンダＸとの関係を示す詳細については図５に示す。
【００４４】
図５の合紙把持機構３１はエアシリンダＹにより合紙２の上部をチャックする。また、その合紙把持機構３１をエアシリンダＸにより移動させることができる。また、合紙把持機構３１は第２のフレーム３０に固定されて接続されている。
【００４５】
エアシリンダＸにより左方向に移動させれば、合紙把持機構３１は合紙２を把持したまま、左方向に移動し、パレットに積み重ねた際、そのパレット面に衝突することはない。
【００４６】
図１、図２における高さスライド機構４０の詳細図を図３に示す。尚、図３は高さスライド機構４０を裏面側から見た図である。
【００４７】
図３において、４０ａは第１のフレーム２０に固定された高さスライド機構４０の基板を示し、４０ｂは電動シリンダである。尚、電動シリンダ４０ｂはモーターによりネジを回転させガイドされたスライダーを前後させる機構であるが、長さ調整機能を有するものであれば電動に限らない。
【００４８】
４０ｃは、スライダーであり、第２のフレーム３０を安定してスライドさせる。
【００４９】
図４は、本発明のガラス搬送ロボットハンド１０を搬送ロボット１００によりパレット５０に積み重ねる状態を示した図である。
【００５０】
ガラス搬送ロボットハンド１０の接続部１０ａに搬送ロボット１００のアームが接続されている。
【００５１】
一方、パレット５０はパレット台９０に約２０度傾斜して搭載させる。合紙付のガラス板１をパレット５０に何枚も安定して積み重ねるには傾斜角度約２０度程度が必要である。
【００５２】
尚、パレット台９０は、パレット傾斜機構９０ａの上に搭載され、約２０度に調整されている。９０ｂは傾斜ストッパーを示し、９０ｃはそれら機構の基板である。
【００５３】
５０ａはパレットの底面のガラス板設置台を示し、パレット背面に積み重ねられたガラス板の合紙対向面５０ｂを示す。
【００５４】
図４では、ガラス板１と合紙２の関係はＡ状態の終了時点を示し、この時点から合紙把持逃がし機構３２のエアシリンダＸにより合紙把持機構３１を右側に移動させて、パレット背面の合紙対向面５０ｂと合紙把持機構３１との衝突を防止している。
【００５５】
以上の動作は、制御部８０が以下に示すタイミングによってエア制御を行うことで実現する。以下、時系列順の動作の流れを説明する。
【００５６】
（１）搬送ロボット１００は、供給するガラス板１を搭載し、移動するガラス板コンベア上の所定の位置で、その上のガラス板１にガラス搬送ロボットハンド１０のガラス吸着機構２１を対向するように近づける。
【００５７】
（２）次に、搬送ロボット１００は、コンベア上のガラス板１を吸着するため、そのガラス搬送ロボットハンド１０を下げてガラス板上に接触させ、ガラス吸着機構２１のバキュームＯＮによりガラス板１を吸着する。
【００５８】
（３）次に、ガラス搬送ロボットハンド１０は、旋回・反転し、パレット５０を設置してある方向に対向させる。
【００５９】
（４）一方、（１）〜（３）が実行されている間に以下の作業が行われる。すなわち、合紙供給装置に設けたパットにより、その合紙供給装置の合紙収納箱の中へパットを下げてバキュームＯＮとして一番上の合紙を吸着させる。
【００６０】
（５）次に、その合紙を、さらにその合紙把持機構３１のエアシリンダＹをＯＮとして掴むと同時に、前記パットのバキュームＯＦＦとして吸着したパットから離す。
【００６１】
（６）ここで、（１）〜（３）の工程でガラス吸着機構２１にバキュームにより吸着されたガラス板１の前面に（４）〜（５）の工程で合紙把持機構３１が掴み把持した合紙２を対向させる。
【００６２】
（７）ここでその対向させたガラス板１と合紙２の隙間に向けてダウンブロー３５及びサイドブロー３６のスイッチをＯＮとしてエアを送ると共に、合紙把持機構３１の把持をＯＦＦとして、離す。
【００６３】
（８）ガラス搬送ロボットハンド１０は、以上の「Ａ状態」のまま、徐々にパレット５０の合紙対向面５０ｂにガラス板１に吸着した合紙２面を近づける。
【００６４】
（９）ガラス搬送ロボットハンド１０は合紙把持機構３１が合紙対向面５０ｂに近づき衝突する直前のタイミングで合紙把持逃がし機構３２のエアシリンダＸをＯＮとして合紙把持機構３１を逃がして衝突を避ける。「Ｂ状態」となる。
【００６５】
（１０）ガラス搬送ロボットハンド１０はパレット５０へ衝突することなく合紙付ガラス板を積み重ねると共に、ガラス吸着機構２１の吸着をバキュームＯＦＦとする。
【００６６】
（１１）（１）及び（４）に戻り以上の工程を繰返す。
【００６７】
以上の（１）〜（１１）の手順をプログラムした手段を前記制御部８０に少なくとも備えれば、その制御部８０はガラス搬送ロボットハンド１０の情報データをＣＰＵに入力し、一方、搬送ロボット１００及びそのガラス搬送ロボットハンド１０への制御信号を出力し、（１）〜（１１）の制御を実行して稼動する。
【００６８】
図７はガラス吸着機構の詳細を示す構造図である。図７に基づいてガラス搬送ロボットハンド１０に使用される複数のガラス吸着機構２１ａ〜２１ｊの構造について説明する。
【００６９】
図７において、２２ａはパット状の吸着部、２２ｂは貫通孔のあるケーシングであり、滑りブッシュ２２ｃが打ち込まれた状態を示す。
【００７０】
その中心軸に沿ってスライドする中空シャフト２２ｄがあり、その中空シャフト２２ｄに円周溝が掘られてスナップリング２２ｅが嵌っている。
【００７１】
２２ｆはスプリングであり、可動部が下方に押し下げられるが（すなわち、ガラス板面方向）、スナップリング２２ｅによりそれ以上の下がりを制約する。
【００７２】
スナップリング２２ｅ、中空シャフト２２ｄ、吸着部２２ａ、スプリング２２ｆなどにより一体となってクッション作用をする。
【００７３】
２３は、スライドする中空シャフト２２ｄを介して、その先端の吸着部２２ａとバキューム源を接続する接続口である。そのバキューム源である真空排気装置は搬送ロボットのアーム部に設けられ制御部８０からの制御信号によりＯＮ・ＯＦＦされる。
【００７４】
２４ａ、２４ｂは近接センサーであり、それぞれ所定の高さ位置に固定されている。なお、２４ｃは中空シャフト２２ｄに固定された近接センサー探知用のリング状のドグである。
【００７５】
図７において、下側の近接センサー２４ａは、図示した状態で常時ＯＮしておりガラス板１などに接触して移動すると、ＯＦＦとなる。すなわち、近接センサー２４ａは吸着部２２ａのパットが押し付けられた状態の確認用として制御部８０へそのデータが送られる。
【００７６】
一方、上側の近接センサー２４ｂは押し付けが必要以上の状態の異常探知信号を制御部８０へ送り、制御部８０に搬送ロボット１００の制御処理をさせる。
【００７７】
以上のように、近接センサー２４ａ、２４ｂはいずれもガラス板１に対する到達・完了信号として制御部８０へそれらの情報データが入力されれば、搬送ロボット１００の動作は最適の状態でガラス板１を吸着する。
【００７８】
以上のガラス吸着機構２１の動作の流れを以下に示す。すなわち、前述した（１）、（２）の動作をさらに詳細に述べる。
【００７９】
（イ）バキューム源ＯＮにより吸着部２２ａのパットはバキューム状態となる。
【００８０】
（ロ）搬送ロボット１００により、そのガラス搬送ロボットハンド１０に設けた複数のガラス吸着機構２１の吸着部２２ａ、バキュームパッドをガラス板１の面上に対向させて接近させる。
【００８１】
（ハ）次に、それらガラス吸着機構２１の吸着部２２ａバキュームパッドをガラスに押し付け、吸着される。
【００８２】
（ニ）次に、それらバキュームパッドはそれぞれクッションし、すなわち中空シャフト２２ｄがスライドし、近接センサー２４ａがドグ２４ｃを探知してから未探知に変化する情報データを時系列データとして制御部８０へ送る。
【００８３】
（ホ）以上の情報データは制御部８０に受けとられ、搬送ロボット１００に対して、ガラス吸着機構２１による押し付けを停止させる制御信号を送る。
【００８４】
（ヘ ）ガラス板１を複数のガラス吸着機構２１により吸着した状態で前述した状態（３）へ移る。すなわちガラス搬送ロボットハンド１０は旋回・反転してパレット５０の方向へ対向させるよう移動する。
【００８５】
また、前述した状態（１０）で、バキュームはＯＦＦとする。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明のガラス搬送ロボットハンドの実施例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】図１に示したガラス搬送ロボットハンドの要部詳細を示し、（ａ）は正面側、（ｂ）裏面側を示す図である。
【図３】高さスライド機構の詳細図である。
【図４】パレット上に合紙とガラス板を積み上げるガラス搬送ロボットハンドの状態を示す図である。
【図５】合紙把持機構と合紙把持逃がし機構との関係を示す図である。
【図６】合紙把持機構とダウンブロー、サイドブローとの関係図である。
【図７】ガラス搬送ロボットハンドに使用されるガラス吸着機構の構造図である。
【符号の説明】
【００８７】
１    ガラス板
２    合紙
１０    ガラス搬送ロボットハンド
１０ａ  アーム接続部
２０    第１のフレーム
２０ａ  ハンド側フレーム
２０ｂ  ガラス側フレーム
２１ａ〜２１ｊ  ガラス吸着機構
２２ａ  吸着部
２２ｂ  ケーシング
２２ｃ  滑りブッシュ
２２ｄ  中空シャフト
２２ｅ  スナップリング
２２ｆ  スプリング
２３    接続口
２４ａ、２４ｂ  近接センサー
２４ｃ  ドグ
２５ａ  ゴム
２５    ガラス下端部押し用突起部
２５ａ  ゴム
３０    第２のフレーム
３１    合紙把持機構
３２    合紙把持逃がし機構
３５    ダウンブロー
３６    サイドブロー
４０    高さスライド機構
４０ａ  基板
４０ｂ  電動シリンダ
４０ｃ  スライダー
５０    パレット
５０ａ  ガラス板設置台
５０ｂ  合紙対向面
８０    制御部
９０    パレット台
９０ａ  パレット傾斜機構
９０ｂ  傾斜ストッパー
９０ｃ  基板
９０ｄ  傾斜ストッパー
１００    搬送ロボット
【図１】
2008162760.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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