(57)【要約】      （修正有）【課題】熱処理炉内においてワークが収納されたＭｏボート等の収納容器を、その収納容器に対して略無負荷で搬送することを可能にした熱処理装置を用いたメタライズセタミック部品の製造方法を提供する。【解決手段】複数のワーク３が収納されたワーク収納容器２を炉本体６内において加熱して前記複数のワーク３に対してメタライズ加工を行う際に熱処理を施す熱処理炉装置を用いたメタライズセラミックス部品の製造方法において、上記炉本体６内に設置された前記ワーク収納容器を搬送するレール部と、このレール部に載置された前記ワーク収納容器２を前記レール部に対して垂直方向に移動させながら前記レール部に沿って所定の搬送方向へ搬送する搬送手段８とを備えた熱処理炉装置を用いたメタライズセラミックス部品の製造方法。【選択図】図２
2008008614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のワークが収納されたワーク収納容器を炉本体内において加熱して前記複数のワークに対してメタライズ加工を行う際に熱処理を施す熱処理炉装置を用いたメタライズセラミックス部品の製造方法において、
前記炉本体内に設置された前記ワーク収納容器を搬送するレール部と、このレール部に載置された前記ワーク収納容器を前記レール部に対して垂直方向に移動させながら前記レール部に沿って所定の搬送方向へ搬送する搬送手段とを備えた熱処理炉装置を用いたことを特徴とするメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項２】
前記搬送手段として、前記ワーク収納容器を前記搬送方向に沿って移動させる第１の移動手段と、前記ワーク収納容器および前記第１の移動手段を一体にして垂直方向に移動させる第２の移動手段とを備えた熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項１記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項３】
前記第１の移動手段は、前記ワーク収納容器を支持するための容器支持プレートと、この容器支持プレートを支持する支持部材と、この支持部材を前記搬送方向に沿って移動させる第１の移動機構とを備える一方、
前記第２の移動手段として、前記支持部材を前記搬送方向に沿って移動自在に支持する支持プレートと、この支持プレートを昇降させる第２の移動機構とを備えた熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項２記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項４】
前記レール部は、前記垂直方向に沿った縦断面が略凹字形を成すように形成されたベース部および一対の側壁部を有し、上記ベース部の中央部分を垂直方向に対して貫通するギャップ部が搬送方向に沿って形成されたレール煉瓦部を備え、このレール煉瓦部の凹状スペースが前記ワーク収納容器の搬送スペースとして構成され、かつ上記ベース部上面が前記ワーク収納容器の載置面として構成される一方、
前記容器支持プレートは前記レール部のギャップ部内に対して、その容器支持プレート上面が前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面に平行になるように挿入された状態で前記支持部材により支持された熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項３記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項５】
前記レール部は、無端環状の第１のチェーンベルト部およびこの第１のチェーンベルト部を循環させる第１の駆動部を有し、上記第１のチェーンベルト部の搬送面の搬送方向下流側端部が前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面の上流側端部に連接され、かつ前記第１のチェーンベルト部搬送面が前記ワーク収納容器載置面に沿うように配設された入口側チェーンベルト機構と、無端環状の第２のチェーンベルト部およびこの第２のチェーンベルト部を循環させる第２の駆動部とを有し、前記第２のチェーンベルト部の搬送面の上流側端部が前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面の下流側端部に連接され、かつ前記第２のチェーンベルト部搬送面が前記ワーク収納容器載置面に沿うように配設された出口側チェーンベルト機構とを備えており、前記容器支持プレートは、そのプレート上面の高さが前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面の高さに一致したとき、前記プレート上面の上流側端部が前記入口側チェーンベルト機構のチェーンベルト搬送面の下流側端部にオーバーラップし、かつプレート上面の下流側端部が前記出口側チェーンベルト機構のチェーンベルト搬送面の上流側端部にオーバーラップするように構成された熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項４記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項６】
前記搬送手段は、前記ワーク収納容器を前記レール部に所要間隔を空けて載置しながら方形パルス状の軌跡を描くように移動させる手段である熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項１記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項７】
前記炉本体内は還元性のガス雰囲気を有し、前記還元性のガスを外部から前記炉本体内に流入させ、かつ前記炉本体外に対して流出させるように構成した熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項１記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項８】
前記第２の移動機構は、前記支持プレートを、その支持面がワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で昇降させるためのリンク機構を有し、前記支持プレートを前記搬送方向に平行に往復動させることにより、前記支持プレートを、前記リンク機構を介して昇降させるように構成した熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項３記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項９】
前記第２の移動機構は、炉本体に対して前記搬送方向に沿って移動自在に設けられた移動プレートと、この移動プレートの上面に前記搬送方向に沿って所定の間隔毎に設けられ、前記搬送方向下流側の一端部が上方に突出し、前記移動プレート上面の前記搬送方向上流側の他端部から突出した一端部に向けて上方に向かって傾斜する傾斜面をそれぞれ有する複数の凸部と、前記支持プレートに回転自在に連結され、前記移動プレートの上面の凸部の傾斜面上を回転しながら往復動する複数のローラとを備え、前記移動プレートを前記搬送方向に平行に往復動させることにより、前記支持プレートを前記ローラの傾斜面に沿った往復動により、当該ローラと一体に、その支持面が前記搬送方向に平行な状態を保持した状態で昇降させるように構成した熱処理炉装置を用いたことを特徴とする請求項３記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項１０】
前記ワーク収納容器がＭｏボートであることを特徴とする請求項１記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【請求項１１】
熱処理温度が１０００〜１７００℃であることを特徴とする請求項１記載のメタライズセラミックス部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炉内において搬送されるワークに対して焼成処理、燒結処理等の熱処理を施す熱処理炉装置を用いたメタライズセラミックス部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、セラミック成形体等のワークをメタライズ加工して電子部品を製造する際には、上記ワークに対して、例えばモリブデン、タングステン、銀、銅、アルミニウム等の金属を含むペーストを塗布してワークに金属材料から成るメタライズ層を形成した後、そのワークを熱処理炉に搬送する。そして、燒結（焼成）炉内を搬送されるワークに対して熱処理を施して金属材料とワークとの間に所定の接合強度を有するメタライズセラミックス部品を作製している（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００３】
図１５は、従来のメタライズ加工におけるワーク熱処理用の熱処理炉を示す図である。
【０００４】
図１５によれば、金属材料が被覆（メタライズ）されたワークは、収納容器である例えばモリブデン製のボート（Ｍｏボート）９０に積載（収納）されており、このワークが収納されたＭｏボート９０は、熱処理炉内に敷設されたレール煉瓦９１上に載置されている。
【０００５】
そして、レール煉瓦９１上に載置された複数のＭｏボート９０は、プッシャー９２に押されることにより、レール煉瓦９１上を摺動しながら熱処理炉内を搬送される。
【０００６】
この搬送状態において、Ｍｏボート９０上のワークは熱処理炉内のヒータにより加熱され、焼成や燒結されるようになっている。
【特許文献１】特開平８−３３７３２０号公報
【特許文献２】特開平１０−２１８３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の熱処理炉においては、ワークが積載されたＭｏボートをプッシャーで押すことにより、そのワークをレール煉瓦上で摺動させながら搬送しているため、Ｍｏボート（その下面）とレール煉瓦上面（Ｍｏボート搬送面）との間で摩擦が発生する。
【０００８】
この結果、Ｍｏボート、およびレール煉瓦のＭｏボート搬送面がそれぞれ磨耗して変形するため、磨耗したＭｏボートおよびレール煉瓦を新しいＭｏボートおよびレール煉瓦にそれぞれ交換しなければならず、熱処理炉の設備コストを増大させている。
【０００９】
また、Ｍｏボートとレール煉瓦との磨耗により生じる磨耗粉がワークに付着してワークの歩留まりを低下させている。
【００１０】
さらに、Ｍｏボートがレール煉瓦上の摺動により磨耗することから、ある程度の磨耗が生じてもワークの搬送に影響がでないように、Ｍｏボートの厚みを大きくしておく必要があり、そのＭｏボートの厚みの分だけＭｏボート上のワーク積載量が低減し、ワークの生産効率を悪化させている。
【００１１】
本発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、熱処理炉内においてワークが収納されたＭｏボート等の収納容器を、その収納容器に対して略無負荷で搬送することを可能にした熱処理炉装置を用いたメタライズセラミックス部品の製造方法を提供することにより、熱処理炉装置の設備コストの低減、ワーク歩留まりの向上およびワーク生産効率の向上をそれぞれ実現することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決するための本発明によれば、複数のワークが収納されたワーク収納容器を炉本体内において加熱して前記複数のワークに対して熱処理を施す熱処理炉装置において、前記炉本体内に設置された前記ワーク収納容器搬送用のレール部と、このレール部に載置された前記ワーク収納容器を前記レール部に対して垂直方向に移動させながら前記レール部に沿って所定の搬送方向へ搬送する搬送手段とを備えた熱処理炉装置を用いている。
【００１３】
上記発明において、前記搬送手段は、前記ワーク収納容器を前記搬送方向に沿って移動させる第１の移動手段と、前記ワーク収納容器および前記第１の移動手段を一体に垂直方向に移動させる第２の移動手段とを備えた熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００１４】
また、上記発明において、前記第１の移動手段は、前記ワーク収納容器を支持するための容器支持プレートと、この容器支持プレートを支持する支持部材と、この支持部材を前記搬送方向に沿って移動させる第１の移動機構とを備えており、前記第２の移動手段は、前記支持部材を前記搬送方向に沿って移動自在に支持する支持プレートと、この支持プレートを昇降させる第２の移動機構とを備えている熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００１５】
さらに、上記発明において、前記レール部は、前記垂直方向に沿った縦断面が略凹字形を成すように形成されたベース部および一対の側壁部を有し、前記ベース部の中央部分を垂直方向に対して貫通するギャップ部が搬送方向に沿って形成されたレール煉瓦部を備え、このレール煉瓦部の凹状スペースが前記ワーク収納容器の搬送スペースとして構成され、かつ前記ベース部上面が前記ワーク収納容器載置面として構成される一方、前記容器支持プレートは前記レール部のギャップ部内に対して、そのプレート上面が前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面に平行になるように挿入された状態で前記支持部材により支持されている熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００１６】
また、上記発明において、前記レール部は、無端環状の第１のチェーンベルト部およびこの第１のチェーンベルト部を循環させる第１の駆動部を有し、前記第１のチェーンベルト部の搬送面の搬送方向下流側端部が前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面の上流側端部に連接され、かつ前記第１のチェーンベルト部搬送面が前記ワーク収納容器載置面に沿うように配設された入口側チェーンベルト機構と、無端環状の第２のチェーンベルト部およびこの第２のチェーンベルト部を循環させる第２の駆動部を有し、前記第２のチェーンベルト部の搬送面の上流側端部が前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面の下流側端部に連接され、かつ前記第２のチェーンベルト部搬送面が前記ワーク収納容器載置面に沿うように配設された出口側チェーンベルト機構とを備えており、前記容器支持プレートは、そのプレート上面の高さが前記レール煉瓦部のワーク収納容器載置面の高さに一致したとき、前記プレート上面の上流側端部が前記入口側チェーンベルト機構のチェーンベルト搬送面の下流側端部にオーバーラップし、かつプレート上面の下流側端部が前記出口側チェーンベルト機構のチェーンベルト搬送面の上流側端部にオーバーラップするように構成されている熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００１７】
さらに、上記発明において、前記搬送手段は、前記ワーク収納容器を前記レール部に所要間隔を空けて載置しながら方形パルス状の軌跡を描くように移動させる手段である熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００１８】
また、上記発明において、前記炉本体内は還元性のガス雰囲気を有し、前記還元性のガスを外部から前記炉本体内に流入させ、かつ前記炉本体外に対して流出させるように構成した熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００１９】
さらに、上記発明において、前記第２の移動機構は、前記支持プレートを、その支持面がワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で昇降させるためのリンク機構を有し、前記支持プレートを前記搬送方向に平行に往復動させることにより、前記支持プレートを、前記リンク機構を介して昇降させるように構成した熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【００２０】
また、上記発明において、前記第２の移動機構は、炉本体に対して前記搬送方向に沿って移動自在に設けられた移動プレートと、この移動プレートの上面に前記搬送方向に沿って所定の間隔毎に設けられ、前記搬送方向下流側の一端部が上方に突出し、前記移動プレート上面の前記搬送方向上流側の他端部から、突出した一端部に向けて上方に向かって傾斜する傾斜面をそれぞれ有する複数の凸部と、前記支持プレートに回転自在に連結され、前記移動プレートの上面の凸部の傾斜面上を回転しながら往復動する複数のローラとを備え、前記移動プレートを前記搬送方向に平行に往復動させることにより、前記支持プレートを、前記ローラの傾斜面に沿った往復動により、当該ローラと一体に、その支持面が前記搬送方向に平行な状態を保持した状態で昇降させるように構成した熱処理炉装置を用いることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
以上述べたように、本発明に係るメタライズセラミックス部品の製造方法によれば、炉本体内において、複数のワークが収納されたワーク収納容器を、レール部上で摺動させることなく、ワーク収納容器に対して略無負荷の状態で搬送することができ、その無負荷搬送状態のワーク収納容器に対して熱処理を施すことができる。したがって、ワーク収納容器とレール部の容器載置面との間で摩擦・磨耗を回避することができる。この結果、従来の熱処理炉において生じていた磨耗したワーク収納容器およびレール部の交換が不要になり、熱処理炉装置の設備コストを飛躍的に低減させることができる。
【００２２】
また、本発明に係るメタライズセラミックス部品の製造方法によれば、ワーク収納容器とレール部の容器載置面との間の摩擦・磨耗が全く生じないため、ワーク収納容器とレール部との磨耗により生じた磨耗粉のワークに対する付着を回避することができ、ワーク歩留まりを高く維持することができる。
【００２３】
さらに、本発明に係るメタライズセラミックス部品の製造方法によれば、ワーク収納容器を略無負荷状態で搬送することができるため、ワーク収納容器のレール部に対する載置部の厚さを従来のプッシャー方式の熱処理炉におけるワーク収納容器の載置部の厚さよりも低減することができる。この結果、ワーク収納容器に対するワークの積載量を従来のプッシャー方式の熱処理炉と比べて大きくすることができ、ワーク生産効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、上記の熱処理炉装置を使用した本発明のメタライズセラミックス部品の製造方法に係る実施の形態について添付図面を参照して説明する。
【００２５】
なお、本実施形態においては、熱処理炉装置として、メタライズ加工におけるワーク燒結処理を行う炉装置（メタライズ炉装置、燒結炉装置）を使用した場合を例にとって説明する。
【００２６】
図１は、本発明の実施の形態に係るメタライズセラミックス部品の製造方法で使用する熱処理炉装置の平面図であり、図２は、図１に示す熱処理炉装置の図３におけるＩＩ−ＩＩ矢視断面図である。また、図３は、図１に示す熱処理炉装置の図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。
【００２７】
図１乃至図３に示す熱処理炉装置１は、図示しないメタライズ処理部から搬送されてきたＭｏボート等のワーク収納容器２に収納（載置）された複数のワーク（例えば、金属がメタライズされたセラミック成形体）３に対して熱処理（例えば燒結処理）を行う装置である。
【００２８】
すなわち、上記熱処理炉装置１は、ワーク加熱用のヒータ５を含む断熱壁から構成されており、還元性のガス雰囲気を有する炉本体６と、この炉本体６内に水平面に沿って架設されたワーク搬送用の炉内搬送レール部７と、炉本体内６に設けられ、ワーク３が収納されたワーク収納容器２を、炉内搬送レール部７の長手方向（ワーク搬送方向）に沿って、かつ炉内搬送レール部７上に所要間隔毎に載置しながら炉本体６内で搬送するための炉内容器搬送ユニット８とを備えている。上記還元性のガスは、炉本体６内における所定のガス入口から入って所定のガス出口から排出されるように構成されている。なお、本発明で使用する熱処理炉装置の熱処理雰囲気はメタライズ処理を行なう際に支障がなければ還元性雰囲気に限定されるものではなく、窒素、アルゴン等の非酸化性雰囲気あるいは大気中、真空中であっても問題ない。
【００２９】
炉本体６は、ワーク収納容器２の炉本体内に搬入される際の入口となる炉入口部１０と、ワーク収納容器２の炉本体外へ搬出される際の出口となる炉出口部１１と、炉入口部１０に連接されたワーク加熱用の加熱部（加熱ゾーン）１２とを備えている。
【００３０】
すなわち、この炉本体６の加熱部１２の内壁面には、図３に示すように、ヒータ５が取付けられており、このヒータ５により炉入口部１０を介して加熱ゾーン１２内に搬送されてきたワーク収納容器２内のワーク３を加熱することにより、ワーク３を構成するセラミック本体とメタライズされた金属とを強固に結合させるようになっている。なお、加熱部１２においては、その炉入口部側の所定領域がワーク３を予熱するための予熱部（予熱ゾーン）として構成され、残りの領域がワーク３を燒結させるための燒結ゾーンとして構成されており、本実施形態で行うメタライズ加工における燒結処理においては、予熱ゾーンの温度が約８００〜１５００℃、燒結ゾーンの温度が約１０００℃〜１７００℃となるようにヒータ５で加熱される。このとき、熱処理温度はメタライズ層を形成する金属材料によって適宜選択されるが、予熱ゾーンと燒結ゾーンの温度差が１００℃以上、好ましくは１００〜２００℃の範囲内であるとよい。
【００３１】
さらに、炉本体６は、そのワーク搬送方向における上流側（以下、単に上流側と記載する）端部が加熱部１２に、かつワーク搬送方向における下流側（以下、単に下流側と記載する）端部が炉出口部１１にそれぞれ連接されており、加熱部１２内において加熱燒結されたワーク収納容器２内のワーク３を冷却するための冷却部（冷却ゾーン）１３を備えている。
【００３２】
一方、熱処理炉装置１は、図１に示すように、メタライズ工程後において図示しない搬送コンベヤの搬送レールＲ１を介して搬送されてきた複数のワーク３を有するワーク収納容器２を炉入口部１０内に搬入して搬送レール部７における後述する入口側チェーンベルト機構の上流側端部に載置するための入口側搬入機構１５と、搬送レール部７の下流側端部に位置するワーク収納容器２を炉出口部１１から搬出し、次工程に対する図示しない搬送コンベヤの搬送レールＲ２上に位置させるための出口側搬出機構１６とを備えている。
【００３３】
炉内搬送レール部７は、図２に示すように、無端環状のチェーンベルト部２０およびこのチェーンベルト部２０を回転（循環）駆動させる駆動部２１（ローラ２１ａ、モータ２１ｂ）を有し、チェーンベルト部２０の上面（搬送面２０ａ）が水平面に沿うように配設された入口側チェーンベルト機構２３を備えている。
【００３４】
この入口側チェーンベルト機構２３のチェーンベルト部搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１は、加熱ゾーン上流側端部近傍かつその上流側端部に対して上流側の所定位置に配置されている。そして、炉本体６には、入口側チェーンベルト機構２３のチェーンベルト部搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１にワーク収納容器２が存在するか否かを検出するための第１の光電センサ２５が設置されている。
【００３５】
また、炉内搬送レール部７は、図２および図３に示すように、入口側チェーンベルト機構２３のチェーンベルト部搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１に連接された上流側端部を有し、その容器載置面２６ａがチェーンベルト部搬送面２０ａに沿うように炉本体６に対して設けられた耐熱性レール煉瓦部２６を備えており、この耐熱性レール煉瓦部２６は、その下流側先端が炉本体６における冷却ゾーン１３の下流側端部に対応する位置に達するように配設される。
【００３６】
さらに、炉内搬送レール部７は、図２に示すように、無端環状のチェーンベルト部２８およびこのチェーンベルト部２８を回転（循環）駆動させる駆動部２９（ローラ２９ａ、モータ２９ｂ）を有し、そのチェーンベルト部上面（搬送面）２８ａの上流側端部２８ａ１がレール煉瓦部２６の下流側端部に連接し、かつチェーンベルト部搬送面２８ａが容器載置面２６ａに沿うように配設された出口側チェーンベルト機構３０を備えている。そして、炉本体６には、出口側チェーンベルト機構３０のチェーンベルト部搬送面２８ａの上流側端部２８ａ１にワーク収納容器２が存在するか否かを検出するための第２の光電センサ３１が設置されている。
【００３７】
ワーク収納容器２は、炉内搬送レール部７等に載置される底面部（ベース部）２ａと、このベース部２ａの各コーナー部にそれぞれ立設された支持用ポール２ｂと、各支持用ポール２ｂに対して所定間隔を空けて多段状に着脱自在に取付け可能なワーク載置部２ｃとを備えており、ベース部２ａを含む複数段のワーク載置部２ｃ上に複数のワーク３をそれぞれ載置することにより、多数のワーク３を多段状に収納することが可能になっている。
【００３８】
このとき、ワーク収納容器２のベース部２ａの厚さは、例えば、従来の技術で説明したプッシャー型熱処理炉のＭｏボートのベース部分の厚さと比べて、大幅に薄くなっている。
【００３９】
レール煉瓦部２６は、図３に示すように、その縦断面が全体で略凹字形を成しており、かつその凹字形のベース部３５の中央部分を垂直方向に対して貫通する隙間（ギャップ）３６が搬送方向に沿って形成されている。
【００４０】
ベース部３５から上方に延びる一対の側壁部３７ａ、３７ａ、およびベース部３５における隙間３６を境に２分された上面部３５ａ、３５ａにより構成される凹状スペース３８は、ワーク収納容器２の搬送スペースとして構成されており、ベース部３５の上面部３５ａは、容器載置面２６ａとして、入口側チェーンベルト機構２３および出口側チェーンベルト機構３０のチェーンベルト搬送面２０ａおよび２８ａにそれぞれ平行かつ連接するように配置されている。
【００４１】
一方、炉内容器搬送ユニット８は、図２および図３に示すように、ワーク収納容器２を炉本体６ベース部内面６ａに対して垂直方向（上下方向）に移動させるための第１の移動機構４０と、この第１の移動機構４０の垂直移動に応じて垂直方向に移動し、かつワーク収納容器２をワーク搬送方向に沿って往復動させるための第２の移動機構４１と、この第２の移動機構４１に垂直方向に沿って支持されたワーク収納容器支持用の耐熱プレート（以下、容器支持プレートと呼ぶ）４２とを備えている。
【００４２】
この容器支持プレート４２は、図３に示すように、レール煉瓦部２６の搬送方向に沿った隙間（ギャップ）３６内に対して、そのプレート上面（以下、容器支持面と呼ぶ）４０ａがレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａ（３５ａ）、２６ａに平行になるように挿入され、第２の移動機構４１により支持されている。
【００４３】
第１の移動機構４０は、図２に示すように、ワーク搬送方向に平行な第２の移動機構支持用の面（以下、移動機構支持面と呼ぶ）４５ａを有する移動機構支持プレート４５と、炉本体６ベース部内面６ａに取付けられており、移動機構支持プレート４５を、その移動機構支持面４５ａがワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で昇降させるためのリンク機構４６と、ピストン４７ａの往復動により移動機構支持プレート４５をワーク搬送方向に平行に往復動させるための第１の油圧シリンダ４７とを備えている。
【００４４】
また、第２の移動機構４１は、図２に示すように、第１の移動機構４０における移動機構支持プレート４５の移動機構支持面４５ａ上に複数のローラ４９を介してワーク搬送方向に沿って往復動自在に取り付けられた容器支持プレート支持用の支持部材５０と、ピストン５１ａの往復動により支持部材５０をワーク搬送方向に平行に往復動させるための第２の油圧シリンダ５１とを備えている。
【００４５】
さらに、第１の油圧シリンダ５０および第２の油圧シリンダ５１には、その第１の油圧シリンダ５０および第２の油圧シリンダ５１のピストンストロークを検出することにより、第１および第２の移動機構４０および４１の駆動に基づく容器支持プレート４２の垂直方向移動位置およびワーク搬送方向における移動位置をそれぞれ検出可能なリミットスイッチ（ＬＳ）５３がそれぞれ設置されている。
【００４６】
そして、容器支持プレート４２は、その容器支持面４２ａの高さがレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａ、２６ａの高さに一致したときに、容器支持面４２ａの上流側端部が入口側チェーンベルト機構２３のチェーンベルト搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１にオーバーラップし、かつ容器支持面４２ａの下流側端部が出口側チェーンベルト機構３０のチェーンベルト搬送面２８ａの上流側端部２８ａ１にオーバーラップするようになっている。
【００４７】
一方、入口側搬入機構１５は、図１に示したように、搬送レールＲ１を介して搬送されてきたワーク収納容器２を熱処理炉内に搬送するように形成され、チェーンベルト機構２３に連通するように構成されている。このとき、熱処理炉内の雰囲気が外部に漏れないように、例えばシャッターのような開閉機構５６、５７が設けられているとよい。この開閉機構５６、５７は駆動シリンダ５８、５９により開閉される。また、出口側機構１６についても入口側機構と同様に搬送レールＲ２、開閉機構６７、６８、駆動シリンダ６８、６９等が備わっていると好ましい。
【００４８】
さらに、熱処理炉装置１は、熱処理炉装置１全体を統括して制御するためのコントローラ７５を備えている。このコントローラ７５は、例えばＣＰＵ、メモリ等を有するコンピュータ回路により構成されており、図４に示すように、第１・第２の光電センサ２５・２６、モータ２１ｂ・２９ｂ、第１・第２の油圧シリンダ４７・５１、リミットスイッチ５３および駆動シリンダ５７、５８、６６、６７は、それぞれコントローラ７５に接続されている。
【００４９】
次に、本実施形態で使用する熱処理炉装置１の全体動作について、特に、制御装置７５による制御に基づくワーク収納容器２の搬送動作を中心に説明する。
【００５０】
最初に、ワーク収納容器２の熱処理炉装置１内への搬入動作について説明する。
【００５１】
メタライズ処理工程によりメタライズされた複数のワーク３を多段収納する複数のワーク収納容器２は、搬送コンベヤの動作により搬送レールＲ１を介して熱処理炉装置１の入口側搬入機構１５に向けて搬送される。
【００５２】
そして、先頭のワーク収納容器２は、コントローラ７５の制御に基づく駆動シリンダ５８、５９を介した開閉機構５６、５７の開閉制御により、熱処理炉装置１内の雰囲気が外部に漏れないようにしながら、チェーンベルト部搬送面２０ａの上流側端部２０ａ２に載置される。
【００５３】
そして、コントローラ７５は、モータ２１ｂを駆動させてローラ２１ａを介してチェーンベルト部２０を回転駆動（循環）させることにより、チェーンベルト部搬送面２０ａの上流側端部２０ａ２に載置されたワーク収納容器２をチェーンベルト部搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１上、すなわち、オーバーラップされたレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａの上流側端部上まで移動させる。
【００５４】
以下、後述する炉内容器搬送ユニット８の動作によりワーク収納容器２が搬送されて第１の光電センサ２５の検出位置であるチェーンベルト部搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１から移動すると、第１の光電センサ２５は容器搬入指令信号をコントローラ７５に送信する。この結果、コントローラ７５の上述した制御動作が実行されて、ワーク収納容器２が熱処理炉装置１内に搬入される。以下、第１の光電センサ２５から容器搬入指令信号が送信される毎に、ワーク収納容器２が熱処理炉装置１内に搬入される。
【００５５】
次いで、熱処理炉装置１内でのワーク収納容器２の搬送動作について説明する。
【００５６】
今、上述したコントローラ７５の制御に基づく容器搬入動作処理により、ワーク収納容器２ａがレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａ上に移動した状態における図２及び図３に対応する熱処理炉装置１の断面図を図５および図６に示す。
【００５７】
すなわち、図５および図６によれば、ワーク収納容器２ａがレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａ上に移動した際において、第１の移動機構４０の移動機構支持プレート４５は所定位置まで下降しており、その結果、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａは、レール煉瓦部２６の容器載置面２６ａよりも低い位置に配置されている。なお、このときの容器支持プレート４２の容器支持面４２ａの高さをＨ１とする。
【００５８】
したがって、ワーク収納容器２ａを含む全てのワーク収納容器２は、レール煉瓦部２６の容器載置面２６ａに載置されている。なお、このときの最もワーク搬送方向下流側に位置するワーク収納容器を２ｂとする。
【００５９】
この状態（炉内ワーク収納容器搬送前状態）において、コントローラ７５は、第１の油圧シリンダ４７を駆動させてピストン４７ａをワーク搬送方向と反対側（上流側）へ移動させる。この結果、移動機構支持プレート４５は、リンク機構４６の動作により、その移動機構支持面４５ａがワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で上昇する。
【００６０】
移動機構支持プレート４５の上昇に応じて、第２の移動機構４１は、当該移動機構支持プレート４５と一体に上方に移動し、この結果、第２の移動機構４１の支持部材５０に支持された容器支持プレート４２も一体に上方に移動する。
【００６１】
この容器支持プレート４２の上方移動により、その容器支持面４２ａの高さがレール煉瓦部２６ａの容器載置面２６ａの高さと一致すると（このときの高さをＨ２とする）、容器載置面２６ａに載置されたワーク収納容器２は、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａに支持されることになる。
【００６２】
ワーク収納容器２ａがレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａおよび容器支持プレート４２の容器支持面４２ａに支持された状態における図２及び図３に対応する熱処理炉装置１の断面図を図７および図８に示す。
【００６３】
図７および図８に示す状態、すなわち、ワーク収納容器２がレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａおよび容器支持プレート４２の容器支持面４２ａに支持された状態において、コントローラ７５は、さらに第１の油圧シリンダ４７を駆動させてピストン４７ａをワーク搬送方向の反対側へ移動させて移動機構支持プレート４５をさらに上昇させる。
【００６４】
移動機構支持プレート４５の上昇により、容器支持プレート４２も一体に上方に移動し、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａの高さは、レール煉瓦部２６ａの容器載置面２６ａの高さを超えて上昇する。この結果、容器載置面２６ａに載置されていた全てのワーク収納容器２は、その容器載置面２６ａから離れて、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａにのみ支持される。
【００６５】
コントローラ７５は、リミットスイッチ５３により検出された第１の油圧シリンダ４７のピストンストローク量により、ワーク収納容器２が容器載置面２６ａから離れてその容器載置面２６ａに対して所定位置（高さＨ３）まで上昇したことを検知すると、コントローラ７５は、第１の油圧シリンダ４７の駆動を停止させ、容器支持プレート４２およびワーク収納容器２の上昇を停止させる。
【００６６】
ワーク収納容器２ａが容器支持プレート４２の上昇によりレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａから離れて、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａにのみに支持された状態における図２及び図３に対応する熱処理炉装置１の断面図を図９および図１０に示す。
【００６７】
すなわち、図９および図１０によれば、第１の移動機構４０の駆動に応じて、容器支持プレート４２は、高さＨ１からＨ３まで所定距離（Ｓ１＋Ｓ２）上昇したことにより、レール煉瓦部２６の容器載置面２６ａ（高さＨ２）に載置されていたワーク収納容器２を所定距離（Ｓ２）上方に搬送する。なお、このときのワーク収納容器２ａの軌跡を２点鎖線の矢印ｒ１で表す。
【００６８】
図９および図１０に示す状態、すなわち、容器支持プレート４２により、ワーク収納容器２ａが容器支持面４２ａのみに支持された状態で上方に搬送された状態において、コントローラ７５は、第２の油圧シリンダ５１を駆動させてピストン５１ａをワーク搬送方向に沿って所定のストロークだけ移動させ、支持部材５０を、ローラ４９を介して移動機構支持プレート上面４５ａにおいてワーク搬送方向に沿って移動させる（このときの移動量をＳ３とする）。
【００６９】
この支持部材５０のワーク搬送方向に沿った移動に応じて、容器支持プレート４２は、支持部材５０と一体にワーク搬送方向に沿って移動し（図１１参照）、この結果、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａのみに支持されたワーク収納容器２は、容器支持プレート４２と一体にワーク搬送方向に沿って移動する。
【００７０】
すなわち、図１１において、第２の移動機構４１の駆動に応じて、容器支持プレート４２は所定距離Ｓ３だけワーク搬送方向に沿って移動することにより、その容器支持プレート４２の容器支持面４２ａに支持されていた全てのワーク収納容器２を、所定距離Ｓ３だけワーク搬送方向に沿って搬送する。なお、このときのワーク収納容器２ａの軌跡を２点鎖線の矢印ｒ２で表す。
【００７１】
図１１に示す状態、すなわち、容器支持プレート４２により、ワーク収納容器２がワーク搬送方向下流側へ搬送された状態において、コントローラ７５は、第１の油圧シリンダ４７を駆動させてピストン４７ａをワーク搬送方向へ移動させる。この結果、移動機構支持プレート４５は、リンク機構４６の動作により、その移動機構支持面４５ａがワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で下降する。
【００７２】
移動機構支持プレート４５の下降に応じて、第２の移動機構４１は、当該移動機構支持プレート４５と一体に下方に移動し、この結果、第２の移動機構４１の支持部材５０に支持された容器支持プレート４２も一体に下方に移動する。
【００７３】
この容器支持プレート４２の下方移動により、その容器支持面４２ａの高さがレール煉瓦部２６ａの容器載置面２６ａの高さＨ２と一致すると、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａのみに支持されていたワーク収納容器２は、レール煉瓦部２６の容器載置面２６ａに載置されることになる（図１２および前掲図７参照）。なお、このときのワーク収納容器２ａの軌跡を２点鎖線の矢印ｒ３で表す。
【００７４】
すなわち、炉内ワーク収納容器搬送動作前の状態を表す図６と炉内ワーク搬送動作後の状態を表す図１２を比べると分かるように、最初にレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａに載置されていたワーク収納容器２は、第１の移動機構４０および第２の移動機構４１の駆動に基づく容器支持プレート４２の動作により、方形パルス状の軌跡（ワーク収納容器２ａの軌跡ｒ１→ｒ２→ｒ３参照）を描いて距離Ｓ３だけワーク搬送方向に沿って進んで（搬送されて）、再度レール煉瓦部２６の容器載置面２６ａに載置される。
【００７５】
このように、熱処理炉装置１内におけるレール煉瓦２６の容器載置面２６ａ上に載置された複数のワーク収納容器２は、方形パルス状の軌跡を描きながら所定距離Ｓ３毎に、炉内本体６における炉入口部１０および加熱部１２内をワーク搬送方向に沿って順次進みながら加熱燒結される。
【００７６】
そして、加熱燒結された複数のワーク収納容器２は、方形パルス状の軌跡を描きながら所定距離Ｓ３毎にワーク搬送方向に沿って冷却部１３に進み、冷却部１３内をワーク搬送方向に沿って移動しながら冷却される。
【００７７】
一方、図１２に示す状態においては、炉内ワーク収納容器搬送動作前（図６参照）において最もワーク搬送方向下流側に位置していたワーク収納容器２ｂ、すなわち、冷却部１３を移動して冷却されたワーク収納容器２ｂは、レール煉瓦部２６の容器載置面２６ａの下流側端部上、すなわち、出口側チェーンベルト機構３０のオーバーラップされたチェーンベルト部搬送面２８ａにおける上流側端部２８ａ１、すなわち、第２の光電センサ２５の検出位置に載置される。
【００７８】
また、図１２に示す状態、すなわち、ワーク収納容器２ａがレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａおよび容器支持プレート４２の容器支持面４２ａに支持された状態において、コントローラ７５は、さらに第１の油圧シリンダ４７を駆動させてピストン４７ａをワーク搬送方向に沿って移動させて移動機構支持プレート４５を下降させる。
【００７９】
移動機構支持プレート４５の下降により、容器支持プレート４２も一体に下方に移動し、容器支持プレート４２の容器支持面４２ａの高さは、レール煉瓦部２６ａの容器載置面２６ａの高さよりも低下して高さＨ１に位置する。この結果、容器支持プレート４２は、前掲図６に示す炉内ワーク収納容器搬送前状態に戻る（図１３参照）。
【００８０】
すなわち、図１３に示すように、図６においてレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａの上流側端部上（チェーンベルト部搬送面２０ａの下流側端部２０ａ１）に位置していたワーク収納容器２ａが所定距離Ｓ３だけワーク搬送方向に沿って搬送されたため、第１の光電センサ２５はコントローラ７５に容器搬入指令信号を送信し、以下、上述した熱処理炉装置１内へのワーク収納容器搬入動作処理、および熱処理炉装置１内でのワーク収納容器搬送動作処理が順次行われる。
【００８１】
そして、第１の移動機構４０の第１の油圧シリンダ４７のピストンストロークに基づくワーク収納容器２の垂直方向への移動距離、および第２の移動機構４１の第２の油圧シリンダ５１のピストンストロークに基づくワーク収納容器２のワーク搬送方向に対する移動距離Ｓ３は、それぞれの油圧シリンダ４７および５１に設置されたリミットスイッチＬＳ５３の検出設定を変化させることにより、各搬送ステップ（パルス状のステップ）毎に変えることも可能である。
【００８２】
続いて、熱処理炉装置１からのワーク収納容器搬出動作について説明する。
【００８３】
今、図１２に示したように、ワーク収納容器２ｂが第２の光電センサ２５の検出位置に載置されると、第２の光電センサ３１は、容器搬出指令信号をコントローラ７５に送信する。
【００８４】
コントローラ７５は、第２の光電センサ３１の容器搬出信号に応じてモータ２９ｂを駆動させてローラ２９ａを介してチェーンベルト部２８を回転駆動（循環）させることにより、チェーンベルト部搬送面２８ａの上流側端部２８ａ１に載置されたワーク収納容器２ｂをチェーンベルト部搬送面２８ａの下流側端部２８ａ２上に移動させる（図１３参照）。
【００８５】
このとき、コントローラ７５は、搬送コンベヤおよび搬送レールＲ２の動作を停止させる。そして、駆動シリンダ６８、６９を介した開閉機構６６、６７の開閉制御により、熱処理炉装置１内の雰囲気が外部に漏れないようにしながら、チェーンベルト部搬送面２８ａの下流側端部２８ａ２上のワーク収納容器２ｂを出口側搬出機構１６内に収容する。
【００８６】
出口側搬出機構１６内に収容されたワーク収納容器２ｂは、搬送コンベヤの動作により搬送レールＲ２を介して次工程へ搬送される。
【００８７】
以下、炉内容器搬送ユニット８の動作によりワーク収納容器２が順次（所定距離Ｓ２ずつ）搬送されて第２の光電センサ３１の検出位置であるチェーンベルト部搬送面２８ａの上流側端部２８ａ１に到達すると、第２の光電センサ３１は容器搬出指令信号をコントローラ７５に送信する。この結果、コントローラ７５の上述した制御動作が実行されて、ワーク収納容器２が熱処理炉装置１外へ搬出される。以下、第２の光電センサ３１から容器搬出指令信号が送信される毎に、ワーク収納容器２が熱処理炉装置１から搬出されて次工程へ搬送される。
【００８８】
以上述べたように、本実施形態によれば、炉本体６の加熱部１２および冷却部１３内において、複数のワーク３が収納されたワーク収納容器２を、レール煉瓦部２６上で摺動させることなく、パルス状の軌跡を描きながらそのワーク収納容器２に対して略無負荷の状態で搬送することができ、その無負荷搬送状態のワーク収納容器２に対して加熱燒結処理を施すことができる。したがって、ワーク収納容器２とレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａとの間で摩擦を生じることがなくなり、ワーク収納容器２およびレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａの磨耗変形の発生を解消することができる。したがって、従来の熱処理炉において生じていた磨耗したワーク収納容器およびレール煉瓦部の交換が不要になり、熱処理炉装置の設備コストを飛躍的に低減させることができる。
【００８９】
また、本実施形態によれば、上述したように、ワーク収納容器２とレール煉瓦部２６の容器載置面２６ａとの間の摩擦・磨耗が全く生じないため、ワーク収納容器２とレール煉瓦部２６との磨耗により生じる磨耗粉がワークに付着する危険性を解消することができ、上記磨耗粉に起因したワーク３の歩留まりの低下を回避してワーク歩留まりを高く維持することができる。
【００９０】
さらに、ワーク収納容器２を略無負荷状態で搬送することができるため、ワーク収納容器２のレール煉瓦部に対する載置部（ベース部２ａ）の厚さを低減させることができる。例えば、従来のプッシャー方式の熱処理炉では、ワーク３収納用のＭｏボートのレール煉瓦部に載置される載置部（ベース部）の厚みは、約５ｍｍ必要であったが、本実施形態のワーク収納容器２のベース部２ａは、レール煉瓦部分との摩擦がないため、約１mm程度あれば十分であり、約１／４で済む。したがって、ワーク収納容器２に対するワーク３の積載量を従来のプッシャー方式の熱処理炉と比べて大きくすることができ、ワーク生産効率を向上させることができる。
【００９１】
具体的に考察すれば、メタライズされたワークを燒結処理する際において、同一容積（縦１００ｍｍ×横３００ｍｍ×高さ１００ｍｍ）のワーク収納容器（Ｍｏボート）を用いると仮定すると、従来のプッシャー方式の燒結炉（メタライズ炉）においては、ワーク収納容器に対して２００〜２８０ｋｇの押圧負荷がかかり、上記容器ベース部の厚みから容器を多段にすることができず、搭載可能なワーク数は約１００（大きいワーク）〜３５０（小さいワーク）となる。
【００９２】
これに対して、本実施形態で使用する無負荷搬送方式の燒結炉装置（熱処理炉装置）１においては、ワーク収納容器に対しての押圧負荷は略０であり、上記容器ベース部の厚みを非常に狭くできるため、上述したように多段方式でワークを収納することができ、搭載可能なワーク数は約３００（大きいワーク）〜７５０（小さいワーク）となる。
【００９３】
したがって、押圧負荷に起因した摩擦・磨耗による設備コストの面およびワーク生産効率の面の何れにおいても、従来の燒結炉よりも非常に優れた熱処理炉装置１を提供することができる。
【００９４】
さらに、本実施形態で使用する熱処理炉装置１においては、第１の移動機構４０に基づく容器支持プレート４２の上方移動（ワーク収納容器２の上方移動）→第２の移動機構４１に基づく容器支持プレート４２のワーク搬送方向に沿った移動（ワーク収納容器２のワーク搬送方向に沿った移動）→第１の移動機構４０に基づく容器支持プレート４２の下方移動（ワーク収納容器２の下方移動）→第１の移動機構４０に基づく容器支持プレート４２のワーク搬送方向の反対側への移動、の一連の動作を繰り返し行うことにより、プッシャー等を用いることなくワーク収納容器２をワーク搬送方向に沿って略無負荷状態で搬送しているため、万が一、レール煉瓦部２６上のワーク収納容器２やワーク３にトラブルが発生して回収する必要が生じた場合においても、第１の移動機構４０に基づく容器支持プレート４２の上方移動（ワーク収納容器２の上方移動）→第２の移動機構４１に基づく容器支持プレート４２のワーク搬送方向の反対側への移動｛ワーク収納容器２のワーク搬送方向の反対側（上流側への）移動、すなわち、ワーク収納容器２のバック移動｝→第１の移動機構４０に基づく容器支持プレート４２の下方移動（ワーク収納容器２の下方移動）→第１の移動機構４０に基づく容器支持プレート４２のワーク搬送方向への移動、の一連の動作を繰り返し行うことにより、ワーク収納容器２をワーク搬送方向上流側へ向けてバックさせて回収することができる。
【００９５】
すなわち、従来のプッシャー方式の熱処理炉においては、ワーク収納容器をワーク搬送方向に沿って移動させることしかできなかったため、ワーク収納容器やワークに何らかのトラブルが発生した場合でも、常にワーク収納容器をプッシャーで移動させており、途中で回収することはできず、トラブルが発生したワーク収納容器やワークに起因して熱処理炉全体の動作に支障をきたす恐れが生じていた。
【００９６】
これに対して、本願発明では、上述したように、何らかのトラブルが発生したワーク収納容器２をワーク搬送方向上流側へ向けてバックさせて回収することができるため、熱処理炉装置１の信頼性をさらに向上させることができる。
【００９７】
なお、本実施形態において、炉内容器搬送ユニットにおける容器支持プレート４２を昇降させ、かつワーク搬送方向に沿った往復動させる機構として、図２および図３等に示す炉内容器搬送ユニットを用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００９８】
図１４は、本発明で使用する炉内容器搬送ユニットの変形例を示す図である。
【００９９】
図１４によれば、炉内容器搬送ユニット８０において、ワーク収納容器２を支持するための容器支持プレート４２およびこの容器支持プレート４２を垂直方向に沿った状態で隙間３６内において支持する第２の移動機構４１は図２および図３等に示した構成と同一である。
【０１００】
炉内搬送ユニット８０における第１の移動機構８１は、図１４に示すように、ワーク搬送方向に平行な移動機構支持面８２ａを有する移動機構支持プレート８２と、炉本体６ベース部内面６ａに沿って移動自在に設けられた移動プレート８３と、この移動プレート８３の上面（支持面）８３ａにワーク搬送方向に沿って所定の間隔毎に上方に突出するように設けられた複数の凸部８４とを備えており、支持部材５０は、この移動機構支持プレート８２の移動機構支持面８２ａ上に複数のローラ４９を介してワーク搬送方向に沿って往復動自在に取り付けられている。
【０１０１】
各凸部８４は、図１４に示すように、ワーク搬送方向下流側の一端部が上方に突出しており、支持面８３ａ上のワーク搬送方向上流側の他端部から、突出した一端部に向けて上方に向かって傾斜する傾斜面８４ａを有している。
【０１０２】
また、第１の移動機構８１は、移動機構支持プレート８２に回転自在に連結され、移動プレート８３の支持面８３ａに形成された凸部８４の傾斜面８４ａ上を回転しながら往復動する複数のローラ８５を備え、移動機構支持プレート８２は、ローラ８５の傾斜面８４ａに沿った往復動に応じて、ローラ８５と一体になって、その移動機構支持面８２ａがワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で昇降するようになっている。
【０１０３】
そして、第１の移動機構４０は、ピストン８７ａの往復動により移動プレート８３をワーク搬送方向に平行に往復動させるための第１の油圧シリンダ８７と、ピストン８７ａのストロークを検出するためのリミットスイッチ（ＬＳ）５３とを備えている。
【０１０４】
本変形例においても、第１の油圧シリンダ８７を駆動させてピストン８７ａをワーク搬送方向と反対側（上流側）へ移動させることにより、移動機構支持プレート８２のローラ８５が移動プレート支持面８３ａの凸部８４の傾斜面８４ａ上をワーク搬送方向に向かって回転移動し、移動機構支持プレート８２は、ローラ８５と一体に、その移動機構支持面８２ａがワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で上昇する。
【０１０５】
この移動機構支持プレート８２の上昇に応じて、第２の移動機構４１は、当該移動機構支持プレート４５と一体になって上昇し、この結果、第２の移動機構４１の支持部材５０に支持された容器支持プレート４２も一体になって上方に移動する。
【０１０６】
そして、容器支持プレート４２および移動機構支持プレート８２が上方（例えば、高さＨ３）に移動した状態で、第１の油圧シリンダ８７を駆動させてピストン８７ａをワーク搬送方向へ移動させることにより、移動機構支持プレート８２のローラ８５が移動プレート支持面８３ａの凸部８４の傾斜面８４ａ上をワーク搬送方向と反対側へ向けて回転移動し、移動機構支持プレート８２は、ローラ８５と一体になって、その移動機構支持面８２ａがワーク搬送方向に平行な状態を保持した状態で下降する。
【０１０７】
この移動機構支持プレート８２の下降に応じて、第２の移動機構４１は、当該移動機構支持プレート４５と一体になって下方に移動し、この結果、第２の移動機構４１の支持部材５０に支持された容器支持プレート４２も一体になって下方に移動する。
【０１０８】
このように、本変形例の炉内搬送ユニット８０を用いた場合でも、第１の移動機構８１の動作により、容器支持プレート４２を昇降させることができ、上述した第１の移動機構４０を有する炉内搬送ユニット８と略同様の動作処理を行うことができる。
【０１０９】
また、本実施形態においては、熱処理炉装置として、メタライズ加工におけるワーク燒結処理を行う炉装置（メタライズ炉装置、焼成炉装置）を使用した場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の熱処理を行う熱処理炉装置を使用した場合に対しても適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の実施の形態で使用する熱処理炉装置の平面図。
【図２】図１に示す熱処理炉装置の図３におけるＩＩ−ＩＩ矢視断面図。
【図３】図１に示す熱処理炉装置の図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図。
【図４】本実施形態で使用する熱処理炉装置の電気的回路構成を示すブロック図。
【図５】ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面上に移動した状態における図２に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図６】ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面上に移動した状態における図３に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図７】ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面および容器支持プレートの容器支持面に支持された状態における図２に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図８】ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面および容器支持プレートの容器支持面に支持された状態における図３に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図９】ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面から離れて、容器支持プレートの容器支持面にのみに支持された状態における図２に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図１０】ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面から離れて、容器支持プレートの容器支持面にのみに支持された状態における図３に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図１１】図１０に示す状態からワーク収納容器が容器支持プレートと一体にワーク搬送方向に沿って移動した状態における図２に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図１２】図１１に示す状態からワーク収納容器が容器支持プレートと一体に下方に移動して、ワーク収納容器がレール煉瓦部の容器載置面および容器支持プレートの容器支持面に支持された状態における図２に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図１３】図１２に示す状態からワーク収納容器が容器支持プレートと一体に下方に移動して、容器支持プレートの容器支持面の高さがレール煉瓦部の容器載置面の高さよりも低下した状態における図２に対応する熱処理炉装置の断面図。
【図１４】炉内容器搬送ユニットのその他の構成例を示す図。
【図１５】従来のプッシャー方式の熱処理炉を示す図。
【符号の説明】
【０１１１】
１  熱処理炉装置
２  ワーク収納容器
３  ワーク
５  ヒータ
６  炉本体
７  炉内搬送レール部
８、８０  炉内容器搬送ユニット
１０  炉入口部
１１  炉出口部
１２  加熱部
１３  冷却部
１５  入口側搬入機構
１６  出口側搬出機構
２０、２８  チェーンベルト部
２０ａ  チェーンベルト部搬送面
２１、２９  駆動部
２１ａ、２９ａ  ローラ
２１ｂ、２９ｂ  モータ
２３  入口側チェーンベルト機構
２５  第１の光電センサ
２６  レール煉瓦部
２６ａ、３５ａ  容器載置面
３０  出口側チェーンベルト機構
３１  第２の光電センサ
３５  ベース部
３６  隙間
３７ａ  側壁部
３８  凹状スペース
４０、８１  第１の移動機構
４１  第２の移動機構
４２  容器支持プレート
４２ａ  容器支持面
４５、８２  移動機構支持プレート
４５ａ、８２ａ  移動機構支持面
４６  リンク機構
４７、８７  第１の油圧シリンダ
４９  ローラ
５０  支持部材
５１  第２の油圧シリンダ
５３  リミットスイッチ
５６、５７、６６、６７  開閉機構
５８、５９、６８、６９  駆動シリンダ
７５  コントローラ
８３  移動プレート
８４  凸部
【図１】
2008008614.tif 000003
【図２】
2008008614.tif 000004
【図３】
2008008614.tif 000005
【図４】
2008008614.tif 000006
【図５】
2008008614.tif 000007
【図６】
2008008614.tif 000008
【図７】
2008008614.tif 000009
【図８】
2008008614.tif 000010
【図９】
2008008614.tif 000011
【図１０】
2008008614.tif 000012
【図１１】
2008008614.tif 000013
【図１２】
2008008614.tif 000014
【図１３】
2008008614.tif 000015
【図１４】
2008008614.tif 000016
【図１５】
2008008614.tif 000017