(57)【要約】【課題】            表面処理装置の被処理物搬送装置において、選択された表面処理槽における被処理物の搬出及び搬入行程を迅速に行なえるキャリア搬送装置を提供する。【解決手段】        キャリア搬送装置２を第１乗せ換え搬送装置１側に配設した搬入用キャリア２１と第２乗せ換え搬送装置３側に配設した搬出用キャリア２２とで構成し、この搬入用キャリアと搬出用キャリアによって、選択された表面処理槽５における被処理物保持部材８に保持された被処理物９の搬出及び搬入行程を１サイクル内で同時に完了できるようにした。【選択図】          図１
2008156736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に搬送用キャリアに支持されるキャリア係止部を設け、このキャリア係止部よりも下方に装架係止部を設け、下方に表面処理されるプリント基板などの被処理物を着脱自在に保持する保持部を設けた被処理物保持部材と、前記被処理物保持部材に保持された被処理物を投入可能な複数の前処理槽、複数の表面処理槽、複数の次処理槽を順に配置して構成した処理槽と、前処理槽に対応する上方位置に昇降自在な第１レールを配設すると共に、この第１レールに横移動自在に支持された被処理物保持部材を該第１レールの上昇位置において次位の前処理槽側に順次移送し、搬入乗せ換え位置に配置した前処理槽すなわち搬入乗せ換え前処理槽に対応する上方位置まで移送し得る第１移送手段をもつ第１乗せ換え搬送装置と、次処理槽に対応する上方位置に昇降自在な第２レールを配設すると共に、この第２レールに横移動自在に支持された被処理物保持部材を該第２レールの上昇位置において搬出乗せ換え位置に配置した次処理槽すなわち搬出乗せ換え次処理槽に対応する上方位置から次位の処理槽側に順次移送し得る第２移送手段をもつ第２乗せ換え搬送装置と、前記搬入乗せ換え前処理槽、複数の表面処理槽、及び前記搬出乗せ換え次処理槽にそれぞれ設けられ、被処理物保持部材の装架係止部を介して被処理物保持部材を該処理槽に装架可能とし、装架された被処理物保持部材に保持された被処理物を該処理槽内に投入可能に構成した装架台と、前記搬出乗せ換え次処理槽から表面処理槽を経て前記搬出乗せ換え次処理槽に至る横長さ範囲に対応する処理槽の上方位置に前記第１レール及び第２レールの昇降動と共に昇降動される昇降自在なキャリア用レールを配設すると共に、このキャリア用レールに横移動自在に装架された搬送用キャリアを設け、この搬送用キャリアは、キャリア用レールの下降位置において前記装架台に装架された被処理物保持部材に対して横移動がフリーな構造を有し、前記被処理物保持部材のキャリア係止部を下方から支持可能な支持部を有し、この搬送用キャリアを第１乗せ換え搬送装置側に配設した搬入用キャリアと第２乗せ換え搬送装置側に配設した搬出用キャリアとで構成したキャリア搬送装置を設け、前記搬入用キャリアは、前記キャリア用レールの下降位置において選択された表面処理槽への搬入位置から前記第１乗せ換え搬送装置の横方向の送り終点位置までの戻り移動、この戻り位置で前記キャリア用レールの上昇移動に伴う上昇位置への上昇移動、前記キャリア用レールの上昇位置において選択された搬入位置の上方までの送り移動、この送り位置で前記キャリア用レールの下降移動に伴う下降位置への下降移動の各移動行程を１サイクルとして作動されるように構成され、前記搬出用キャリアは、前記キャリア用レールの下降位置において前記第２乗せ換え搬送装置の横方向の送り始点位置から選択された表面処理槽への搬出位置までの送り移動、この送り位置で前記キャリア用レールの上昇移動に伴う上昇位置への上昇移動、前記キャリア用レールの上昇位置において前記第２乗せ換え搬送装置の横方向の送り始点位置までの戻り移動、この戻り位置で前記キャリア用レールの下降移動に伴う下降位置への下降移動の各移動行程を１サイクルとして作動されるように構成され、前記搬入用キャリアの戻り移動と前記搬出用キャリアの送り移動を１サイクル作動における時間的に同じ移動行程とし、前記搬入用キャリアの送り移動と前記搬出用キャリアの戻り移動を１サイクル作動における時間的に同じ移動行程としたことを特徴とする表面処理装置の被処理物搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置の被処理物搬送装置に関し、特に選択された表面処理槽における被処理物の搬出及び搬入行程を１サイクル内で迅速に行なえるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、電解又は無電解のメッキ処理装置においては、ハンガー治具などの被処理物保持部材に保持されたプリント基板などの被処理物を、複数の前処理槽を並べた前処理部で前処理した後、複数の表面処理槽が並べられたメッキ処理部で目的のメッキ時間処理がなされ、その後、メッキ処理された被処理物が後処理される。
【０００３】
複数の表面処理槽は、メッキされる被処理物に応じて異なるメッキ厚さ等の異なるメッキ条件を有しており、被処理物はそのメッキ条件に応じた選択された表面処理槽にて目的のメッキ時間処理がなされた後、次工程へと搬送される。
【０００４】
係るメッキ処理装置の被処理物搬送装置として、被処理物を保持した被処理物保持部材を搬送用キャリアに保持し、この搬送用キャリアを介して被処理物保持部材（被処理物）を搬送するようにした単独キャリア型搬送装置が用いられている。この単独キャリア型搬送装置は、所定の表面処理槽内でメッキ処理された被処理物保持部材（被処理物）を単独の搬送用キャリアで搬出した後、同じ単独の搬送用キャリアを次に搬入される被処理物保持部材（被処理物）の搬入開始位置へ戻し、戻された単独の搬送用キャリアで被処理物保持部材（被処理物）を所定の表面処理槽（例えば直前に被処理物が搬出された表面処理槽）に搬入（投入）している。
【０００５】
しかし、この単独キャリア型搬送装置では、選択された表面処理槽における被処理物保持部材（被処理物）の搬出及び搬入行程に時間的なロスを生じる弊害があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
係る実情に鑑み、本発明は、表面処理装置の被処理物搬送装置において、特に選択された表面処理槽における被処理物の搬出及び搬入行程を１サイクル内で迅速に行なえるキャリア搬送装置を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明は、上部に搬送用キャリアに支持されるキャリア係止部を設け、このキャリア係止部よりも下方に装架係止部を設け、下方に表面処理されるプリント基板などの被処理物を着脱自在に保持する保持部を設けた被処理物保持部材と、前記被処理物保持部材に保持された被処理物を投入可能な複数の前処理槽、複数の表面処理槽、複数の次処理槽を順に配置して構成した処理槽と、前処理槽に対応する上方位置に昇降自在な第１レールを配設すると共に、この第１レールに横移動自在に支持された被処理物保持部材を該第１レールの上昇位置において次位の前処理槽側に順次移送し、搬入乗せ換え位置に配置した前処理槽すなわち搬入乗せ換え前処理槽に対応する上方位置まで移送し得る第１移送手段（押送手段）をもつ第１乗せ換え搬送装置と、次処理槽に対応する上方位置に昇降自在な第２レールを配設すると共に、この第２レールに横移動自在に支持された被処理物保持部材を該第２レールの上昇位置において搬出乗せ換え位置に配置した次処理槽すなわち搬出乗せ換え次処理槽に対応する上方位置から次位の処理槽側に順次移送し得る第２移送手段（押送手段）をもつ第２乗せ換え搬送装置と、前記搬入乗せ換え前処理槽、複数の表面処理槽、及び前記搬出乗せ換え次処理槽にそれぞれ設けられ、被処理物保持部材の装架係止部を介して被処理物保持部材を該処理槽に装架可能とし、装架された被処理物保持部材に保持された被処理物を該処理槽内に投入可能に構成した装架台と、前記搬出乗せ換え次処理槽から表面処理槽を経て前記搬出乗せ換え次処理槽に至る横長さ範囲に対応する処理槽の上方位置に前記第１レール及び第２レールの昇降動と共に昇降動される昇降自在なキャリア用レールを配設すると共に、このキャリア用レールに横移動自在に装架された搬送用キャリアを設け、この搬送用キャリアは、キャリア用レールの下降位置において前記装架台に装架された被処理物保持部材に対して横移動がフリーな構造を有し、前記被処理物保持部材のキャリア係止部を下方から支持可能な支持部を有し、この搬送用キャリアを第１乗せ換え搬送装置側に配設した搬入用キャリアと第２乗せ換え搬送装置側に配設した搬出用キャリアとで構成したキャリア搬送装置を設け、前記搬入用キャリアは、前記キャリア用レールの下降位置において選択された表面処理槽への搬入位置（投入完了位置）から前記第１乗せ換え搬送装置の横方向の送り終点位置（搬入開始位置）までの戻り移動、この戻り位置で前記キャリア用レールの上昇移動に伴う上昇位置への上昇移動、前記キャリア用レールの上昇位置において選択された搬入位置の上方までの送り移動、この送り位置で前記キャリア用レールの下降移動に伴う下降位置への下降移動の各移動行程を１サイクルとして作動されるように構成され、前記搬出用キャリアは、前記キャリア用レールの下降位置において前記第２乗せ換え搬送装置の横方向の送り始点位置（搬出完了位置）から選択された表面処理槽への搬出位置（搬出開始位置）までの送り移動、この送り位置で前記キャリア用レールの上昇移動に伴う上昇位置への上昇移動、前記キャリア用レールの上昇位置において前記第２乗せ換え搬送装置の横方向の送り始点位置（搬出完了位置の上方位置）までの戻り移動、この戻り位置で前記キャリア用レールの下降移動に伴う下降位置への下降移動の各移動行程を１サイクルとして作動されるように構成され、前記搬入用キャリアの戻り移動と前記搬出用キャリアの送り移動を１サイクル作動における時間的に同じ移動行程とし、前記搬入用キャリアの送り移動と前記搬出用キャリアの戻り移動を１サイクル作動における時間的に同じ移動行程としたことを特徴とする表面処理装置の被処理物搬送装置を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、キャリア搬送装置の搬送用キャリアを第１乗せ換え搬送装置側に配設した搬入用キャリアと第２乗せ換え搬送装置側に配設した搬出用キャリアとで構成し、この搬入用キャリアと搬出用キャリアによって、選択された表面処理槽における被処理物の搬出及び搬入行程を１サイクル内で同時に完了できる。したがって、本発明によれば、選択された表面処理槽における被処理物の搬出及び搬入作業の大幅なスピードアップを達成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の好ましい実施形態を示した図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１は本発明の表面処理装置の被処理物搬送装置の全体概略正面図を、図２は全体概略拡大側面図を示している。この被処理物搬送装置は、図１において右側から第１乗せ換え搬送装置１、キャリア搬送装置２、第２乗せ換え搬送装置３の順に構成してある。
【００１１】
また、これらの搬送装置１，２，３の下方には、複数の前処理槽４、複数の表面処理槽５、複数の次処理槽６を一方向に順に並べて配置してある。図１の左側に配置した最後部の前処理槽（搬入乗せ換え前処理槽）４（４ｂ）、複数の表面処理槽５、及び図１の右側に配置した最前部の次処理槽（搬出乗せ換え次処理槽）６（６ａ）には、Ｖ字状の装架台７をそれぞれ設けている。この装架台７に被処理物保持部材の装架係止部を介して被処理物保持部材を該処理槽に装架し、装架された被処理物保持部材に保持された被処理物を該処理槽内に投入可能に構成している。
【００１２】
符号８は表面処理（メッキ処理）されるプリント基板などの被処理物９を着脱自在に保持する被処理物保持部材を示している。この被処理物保持部材８は、上部に搬送用キャリアに支持されるキャリア係止部１０を設け、このキャリア係止部１０よりも下方に装架係止部１１を設け、下方に表面処理（メッキ処理）されるプリント基板などの被処理物９を着脱自在に保持する製品保持部１２を設けてある。前記装架係止部１１はＶ字状の装架台７に上方から安定して装架されるように逆台形に形成され、この装架係止部１１と装架台７によって被処理物保持部材８を処理槽上に跨った状態に装架できるようにしている。また、被処理物保持部材８には、前記装架係止部１１よりも上方に形成されたレール摺動部１３と、前記キャリア係止部１０の上部に突設された押送体用係止片１４とを有している。
【００１３】
前記キャリア係止部１０はキャリア搬送装置２の搬送用キャリアの支持部によって支持されるよう構成されている。また前記レール摺動部１３は第１及び第２乗せ換え搬送装置１，３のレール上（第１レール又は第２レール）に装架されこのレールに沿って摺動するように構成されている。また前記押送体用係止片１４は第１及び第２乗せ換え搬送装置１，３の押送体の押送具と係合されるように構成されている。
【００１４】
前記第１乗せ換え搬送装置１は、被処理物保持部材８（被処理物９）をキャリア搬送装置の始端部（すなわち、搬入開始位置で搬入用キャリアの戻り限界位置）まで移送する機能と、この移送過程で被処理物９を前処理槽４内に浸漬する機能を備えている。この第１搬送装置１は、前処理槽４に対応する上方位置に横方向に配設された昇降動する第１レール１５と、この第１レール１５に沿ってレール摺動部１３を介して移動する被処理物保持部材８を搬入乗せ換え位置に配置した前処理槽（図１の左側に配置した前処理槽）すなわち搬入乗せ換え前処理槽４（４ｂ）に対応する上方位置まで左方向に押送する押送手段１６とから構成されている。この押送手段１６は、水平方向に移動可能にされた押送杆１７と、この押送杆１７に垂設された押送具１８とを有していて、前記押送杆１７が図１において左方向に水平移動した場合、押送具１８と第１レール１５に装架された被処理物保持部材８の押送体用係止片１４とが係合し、前記被処理物保持部材８を左方向に移動するように構成されている。
【００１５】
また、前記第１乗せ換え搬送装置１を構成する第１レール１５と押送手段１６とは共に昇降動するように構成されていて、図１の下方に示す下降位置においては、被処理物９を前処理槽４内に浸漬し、図１の上方に示す上昇位置においては、被処理物保持部材８（被処理物９）を第１レール１５に沿って移送しえるように構成されている。なお、第１レール１５と押送手段１６とは共に昇降動するように構成しても良く、また被処理物保持部材８（被処理物９）を支持した第１レール１５のみ昇降動するように構成しても良い。
【００１６】
前記キャリア搬送装置２は、前記搬入乗せ換え前処理槽４（４ｂ）から複数の表面処理槽５を経て前記搬出乗せ換え次処理槽６（６ａ）に至る横長さ範囲に対応する処理槽の上方位置に配設されたキャリア用レール２０と、このキャリア用レール２０に横移動自在に装架された搬送用キャリア（搬入用キャリアと搬出用キャリア）を有している。前記キャリア用レール２０は、前記第１レール１５及び第２レール（後述する）の昇降動と共に一体に昇降動されるように構成されている。前記搬送用キャリアは、第１乗せ換え搬送装置１側に配設した搬入用キャリア２１と第２乗せ換え搬送装置３側に配設した搬出用キャリア２２の合計２台で構成されている。搬送用キャリア（搬入用キャリア２１と搬出用キャリア２２）は、キャリア用レール２０の下降位置において前記装架台７に装架された被処理物保持部材８に対して横移動がフリーな構造を有している（図２のレール下降位置を参照）。また搬送用キャリア（搬入用キャリア２１と搬出用キャリア２２）は、前記被処理物保持部材８のキャリア係止部１０を下方から支持可能な支持部２３を有している。
【００１７】
前記搬入用キャリア２１は、前記キャリア用レール２０の下降位置において選択された表面処理槽５への搬入位置（投入完了位置）から前記第１乗せ換え搬送装置１の横方向の送り終点位置（搬入開始位置）までの戻り移動、この戻り位置で前記キャリア用レール２０の上昇移動に伴う上昇位置への上昇移動、前記キャリア用レール２０の上昇位置において選択された搬入位置の上方までの送り移動、この送り位置で前記キャリア用レール２０の下降移動に伴う下降位置への下降移動の各移動行程を１サイクル（戻り移動、上昇移動、送り移動及び下降移動）として作動されるように構成されている。
【００１８】
また前記搬出用キャリア２２は、前記キャリア用レール２０の下降位置において前記第２乗せ換え搬送装置３の横方向の送り始点位置（搬出完了位置）から選択された表面処理槽５への搬出位置（搬出開始位置）までの送り移動、この送り位置で前記キャリア用レール２０の上昇移動に伴う上昇位置への上昇移動、前記キャリア用レール２０の上昇位置において前記第２乗せ換え搬送装置３の横方向の送り始点位置（搬出完了位置の上方位置）までの戻り移動、この戻り位置で前記キャリア用レール２０の下降移動に伴う下降位置への下降移動の各移動行程を１サイクル（送り移動、上昇移動、戻り移動及び下降移動）として作動されるように構成されている。
【００１９】
前記搬入用キャリア２１の戻り移動と前記搬出用キャリア２２の送り移動を１サイクル作動における時間的に同じ移動行程とし、前記搬入用キャリア２１の送り移動と前記搬出用キャリア２２の戻り移動を１サイクル作動における時間的に同じ移動行程としている。
【００２０】
前記搬入用キャリア２１と前記搬出用キャリア２２は、図２に示すように、前記キャリア用レール２０に回転コロ２４などを介して横移動自在に装架される。前記前記搬入用キャリア２１と前記搬出用キャリア２２の前記キャリア用レール２０に沿う送り移動及び戻り移動の作動は、この実施形態においては、これらのキャリア２１，２２に個別に設置したサーボモータ２５の正逆回転力を、キャリア用レールを架設した昇降架設台２６に固定したラックギア２７で送り又は戻し方向の直線運動に変換して行なっている。
【００２１】
前記第２乗せ換え搬送装置３は、被処理物保持部材８（被処理物９）をキャリア搬送装置２の後端部（すなわち、搬出完了位置で搬出用キャリア２２の戻り限界位置）から次処理工程へと移送する機能と、この移送過程で被処理物９を次処理工程にある次処理槽６内に浸漬する機能を備えている。この第２乗せ換え搬送装置３は、次処理槽６に対応する上方位置に横方向に配設された昇降動する第２レール３０と、搬出用キャリア２２に保持されて移送された被処理物保持部材８を搬出乗せ換え位置に配置した次処理槽（図１の右側に配置した次処理槽）すなわち搬出乗せ換え次処理槽６（６ａ）に対応する上方位置（すなわち搬出用キャリア２２の戻り限界位置）から次工程まで押送する押送手段１６とから構成されている。この押送手段１６は、前記第１乗せ換え搬送装置１の押送手段１６と同様に、水平方向に移動可能にされた押送杆１７と、この押送杆１７に垂設された押送具１８とを有していて、前記押送杆１７が図１において左方向に水平移動した場合、押送具１８と第２レール３０に装架された被処理物保持部材８の押送体用係止片１４とが係合し、前記被処理物保持部材８を左方向に移動するように構成されている。
【００２２】
また、前記第２乗せ換え搬送装置３を構成する第２レール３０と押送手段１６とは共に昇降動するように構成されていて、図１の下方に示す下降位置においては、被処理物９を次処理槽６内に浸漬し、図１の上方に示す上昇位置においては、被処理物保持部材８（被処理物９）を第２レール３０に沿って移送しえるように構成されている。なお、第２レール３０と押送手段１６とは共に昇降動するように構成しても良く、また被処理物保持部材８（被処理物９）を支持した第２レール３０のみ昇降動するように構成しても良いことは第１移送装置１の場合と同様である。
【００２３】
前記第１乗せ換え搬送装置１の第１レール１５から搬入用キャリア２１への被処理物保持部材８の乗せ換えは、下降される第１レール１５に支持されていた被処理物保持部材８はレール下降位置で装架台７に装架され、第１レール１５からの支持を外される。レール下降位置で戻り限界位置に戻された搬入用キャリア２１は、図２のレール下降位置に示すように、装架された被処理物保持部材８のキャリア係止部１０に対する搬入用キャリア２１の支持部２３の上下間隔を、装架された被処理物保持部材８のレール摺動部１３に対する第１レール１５の支持部（レール上端部）の上下間隔よりも短く構成することによって、レール上昇過程で搬入用キャリア２１の支持部２３が被処理物保持部材８のキャリア係止部１０を先に支持することになり、装架された被処理物保持部材８を搬入用キャリア２１に乗せ換えできるようにしている。
【００２４】
また、搬出用キャリア２２から第２レール３０への被処理物保持部材８の乗せ換えは、戻り限界位置にある搬出用キャリア２２に支持されていた被処理物保持部材８はレール下降位置で装架台７に装架され、搬出用キャリア２２からの支持を外され、搬出完了位置に置かれる。レール下降位置で搬出用キャリア２２は戻り限界位置から送り位置へ送り移動され、次のレール上昇過程では送り位置にあるため、搬出完了位置に装架された被処理物保持部材８は上昇される第２レール３０でそのレール摺動部１３を支持され、第２レール３０に乗せ換えられる。
【００２５】
本発明に係る被処理物搬送装置は以上のように構成されており、以下その動作状態の一例について説明する。前記搬入乗せ換え前処理槽４（４ｂ）及び複数の表面処理槽５の装架台７に装架係止部１１を介して被処理物保持材８（被処理物９）がそれぞれ装架されている。図１の各レール（１５，２０，３０）の下降位置において、左側に示した搬出用キャリア２２は搬出完了位置（搬出用キャリア２２の戻り限界位置）から選択された次に表面処理槽５から搬出される被処理物保持材８（被処理物９）を支持可能な下方位置へキャリア用レール２０に沿って右方向に移動され、これと同時に右側に示した搬入用キャリア２１は搬入完了位置（投入完了位置）から搬入開始位置（この搬入開始位置には前記搬入乗せ換え前処理槽４ｂの装架台７に被処理物保持材８が装架されている。）で待機している次に搬入される被処理物保持材８を支持可能な下方位置までキャリア用レール２０に沿って右方向に戻される。
【００２６】
この状態で各レール（１５，２０，３０）は下降位置から上昇位置へ上昇される。このレール上昇過程において、搬出される被処理物保持材８は搬出用キャリア２２の支持部２３に支持され、表面処理槽５の装架台７から搬出用キャリア２２に乗せ換えられ、これと同時に搬入される被処理物保持材８は搬入用キャリア２１の支持部２３に支持され、前記搬入乗せ換え前処理槽４ｂの装架台７から搬入用キャリア２１に乗せ換えられる。
【００２７】
この上昇位置において、搬出用キャリア２２は搬出完了位置の上方位置までキャリア用レール２０に沿って左方向に戻され（この上昇位置において直前に搬出完了位置にあった被処理物保持部材８は第２レール３０に乗せ換えており、押送手段１６によって左方向に送られている。）、これと同時に搬入用キャリア２１は搬出用キャリア２２で直前に搬出された表面処理槽５の上方位置までキャリア用レール２０に沿って左方向に送られる。
【００２８】
この状態で各レール（１５，２０，３０）が下降され下降位置へおかれると、搬出用キャリア２２に装架されていた被処理物保持材８は該保持材の装架係止部１１を介して前記搬出乗せ換え次処理槽６ａに装架され、被処理物保持材８は搬出用キャリア２２の支持部２３から外され（図２の下降位置を参照）、表面処理槽５からの搬出を完了される。これと同時に、搬入用キャリア２１に装架されていた被処理物保持材８は該保持材の装架係止部１１が空いている選択された目的の表面処理槽５に装架され、被処理物保持材８は搬入用キャリア２１の支持部２３から外され（図２の下降位置を参照）、選択された表面処理槽５への搬入（投入）を完了される。搬出完了位置で搬出用キャリア２２から外され被処理物保持材８は、各レール（１５，２０，３０）の次の上昇時に第２乗せ換え搬送装置３の第２レール３０に乗り換えられ、上昇位置で第２乗せ換え搬送装置３の押送手段１６によって左方向の次工程側へ順次移送される。
【００２９】
このようにして、搬出用キャリア２２で被処理物保持材８（被処理物９）を搬出された表面処理槽５に搬入用キャリア２１で次に処理される被処理物保持材８（被処理物９）を搬入（投入）し、これらの動作が繰り返される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の全体概略正面図である。
【図２】本発明の全体概略拡大側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  第１乗せ換え搬送装置
２  キャリア搬送装置
３  第２乗せ換え搬送装置
４  前処理槽
４ｂ  搬入乗せ換え前処理槽
５  表面処理槽
６  次処理槽
６ａ  搬出乗せ換え次処理槽
７  装架台
８  被処理物保持部材
９  被処理物
１０  キャリア係止部
１１  装架係止部
１３  レール摺動部
１４  押送体用係止片
１５  第１レール
１６  押送手段
２０  キャリア用レール
２１  搬入用キャリア
２２  搬出用キャリア
２３  支持部
２５  サーボモータ
３０  第２レール
【図１】
2008156736.tif 000003
【図２】
2008156736.tif 000004