(57)【要約】【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。【選択図】図１
2008183656.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合されている左右一対の第一アームと、当該左右一対の第一アームと同一の長さを有し、当該左右一対の第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームとからなるアーム部と、前記左右一対の第二アームの先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、前記左右一対の第一アームと、左右一対の第二アームの回転運動によって基板ホルダーが移動する基板搬送ロボットであって、前記基板ホルダーとアーム部との間に基板ホルダーの前記左右一対の第二アームの先端部が取り付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段が備えられていることを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項２】
回動防止手段は、前記左右一対の第二アームの先端側と、当該左右一対の第二アームの先端側にそれぞれ基端側が接合され、先端側で互いに接合している左右一対の小アームとの間で構成されるリンク機構と、当該左右一対の小アームの前記先端側での接合部と前記基板ホルダーとの間に配置され、両者を近づける方向に常に付勢している弾性体とからなることを特徴とする請求項１記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
回動防止手段は、前記左右一対の第一アームの基端側と、当該左右一対の第一アームの基端側にそれぞれ基端側が接合され、先端側で互いに接合している左右一対の小アームとの間で構成されるリンク機構と、当該左右一対の小アームの前記先端側での接合部と前記基板ホルダーとの間に配置され、両者を近づける方向に常に付勢している弾性体とからなることを特徴とする請求項１記載の基板搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板処理装置及び液晶基板処理装置の大気圧環境下や真空環境下で基板を搬送する基板搬送ロボットの改良に関する。特に、く字状に屈伸する一対のアーム部の基端部をベース上の一点に配置し、先端部を基板ホルダ上の一点に配置して左右対称とした基板搬送ロボットの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来使用されている基板搬送ロボットを図２、図３を用いて説明する。
【０００３】
基板搬送ロボット１は、ベース３、シャフト４Ａ、４Ｂ、第一アーム５Ａ、５Ｂ、第二アーム７Ａ、７Ｂ及び基板ホルダー８によって構成されている。図２は基板搬送ロボット１の斜視図である。
【０００４】
ベース３は磁性流体シール装置２によって基板搬送室（不図示）に回動可能に取り付けられている。ベース３にはベース３に対して回動自在で上下動可能なシャフト４Ａ、４Ｂがそれぞれの軸心２２、２３間の距離Ｌを隔てて立設されている。シャフト４Ａ、４Ｂの上端部には、シャフト４Ａ、４Ｂの回動によって水平面内で回動する第一アーム５Ａ、５Ｂの基端側がそれぞれ固定されている。第一アーム５Ａ、５Ｂのそれぞれの先端側には垂直部材６Ａ、６Ｂが立設されている。垂直部材６Ａ、６Ｂの上端には、第二アーム７Ａ、７Ｂが水平面内で回動可能にその基端側が取り付けられている。第二アーム７Ａ、７Ｂの先端側はそれぞれ基板ホルダー８に回動可能に取り付けられている。基板ホルダー８の第二アーム７Ａの取付点８ａと、第２アーム７Ｂの取付点８ｂ間は前記シャフト４Ａ、４Ｂの軸心２２、２３間の距離Ｌと同一の距離Ｌを有している。
【０００５】
なお、第一アーム５Ａ、５Ｂと第二アーム７Ａ、７Ｂの支点間距離は全て等しい。また、第一アーム５Ａ、５Ｂに対する第二アーム７Ａ、７Ｂの回転角度θ２は、常にベース３上のシャフト４Ａ、４Ｂの軸心を結んだラインに対する第一アーム５Ａ、５Ｂの回転角度θ１の２倍となるように構成されている（図２（ｂ））。すなわち、初段歯車と終段歯車の歯数比が２：１となるような歯車を使用したり、同様の直径比を有するプーリーを使用したベルト伝動装置を使用したりして、θ２＝２θ１の関係が成り立っている。
【０００６】
次に、基板搬送ロボット１の動作を、基板搬送ロボット１の平面説明図である図３を用いて説明する。
【０００７】
前記のように第一アーム５Ａ、５Ｂと第二アーム７Ａ、７Ｂの支点間距離は全て等く、θ２＝２θ１の関係が成り立っている。従って、第一アーム５Ａ、５Ｂが矢示２０ａ、２１ａ又は矢示２０ｂ、２１ｂのように回転すると、基板ホルダー８の第二アーム７Ａの取付点８ａの軌跡は、取付点８ａと軸心２２を結んだ直線２４と一致し、第二アーム７Ｂの取付点８ｂの軌跡は、取付点８ｂと軸心２３を結んだ直線２５と一致する。すなわち、取付点８ａ、８ｂは、直線運動をする。これにより、基板ホルダー８はその姿勢を保ちながら直線運動する。
【０００８】
第一アーム５Ａが矢示２０ａ、第１アーム５Ｂが矢示２１ａの向きに回転すれば基板ホルダ８は矢示２６の方向に移動し、第一アーム５Ａが矢示２０ｂ、第一アーム５Ｂが矢示２１ｂの向きに回転すれば基板ホルダ８は矢示２７の方向に移動する（図２（ａ））。
【０００９】
また、従来提案されている他の基板搬送ロボット１′を図４に基づいて説明する。この基板搬送ロボット１′が基板搬送ロボット１と異なる点は、別体のシャフト４Ａ、４Ｂに代えて内軸２６ａと外軸２６ｂの２軸からなる同軸シャフト２６とした点である。これにより、駆動部の小型化が図られている。
【特許文献１】特開２００１−１５６１４９号公報
【特許文献２】特開２００１−１５６１５０号公報
【特許文献３】特開平１０−１７５１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図４図示の従来の基板搬送ロボット１′は、第一アーム５Ａ′の基端側が内軸２６ａに取り付けられ、第一アーム５Ｂ′の基端部が外軸２６ｂに取り付けられている。その一方で、第二アーム７Ａ′、７Ｂ′のそれぞれの先端側は、図２図示の基板搬送ロボット１と同様に距離Ｌを隔てて基板ホルダー８に取り付けられている。このような取付状態で、図２図示の基板搬送ロボット１と同様に、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′に対する第二アーム７Ａ′、７Ｂ′の回転角度θ２を、ベース３に対する第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の回転角度θ１の２倍となるように構成すると（図４）、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の長さと第二アーム７Ａ′、７Ｂ′の長さは異なるものとなる。すなわち、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の長さが第二アーム７Ａ′、７Ｂ′よりも長い。
【００１１】
第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の長さと第二アーム７Ａ′、７Ｂ′の長さが異なると以下の弊害が生じる。すなわち、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′にはそれぞれ回動駆動装置の動力を第二アーム７Ａ′、７Ｂ′に伝達する回転伝達手段、例えば、ベルト伝動装置が組み込まれているが（図５）、第一アームと第二アームの長さが異なると第一アームと第二アームを伸縮させるときにベルト２７に加わる張力が変化し、ベルト２７に過度の張力が加わるとアーム類の動きを妨げることになる。この現象を図６（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図６（ａ）は、θ＝４５°の状態、図（ｂ）は、伸ばした状態（θを大きくした状態）、図（ｃ）は、縮めた状態（θを小さくした状態）の説明図である。
【００１２】
図中、符号２８は、左右対称軸と一致する中心線、符号２９は、第二アーム７Ａ′の基板ホルダー８への取付点８ａが描くべき軌跡である直線を示している。中心線２８と軌跡２９との間隔Ｌ１は常にＬ／２でなければならない（Ｌは取付点８ａと取付点８ｂとの間隔）。一方、第一アーム５Ａ′の長さをｌ、第二アームの長さを０．９ｌと仮定すると、間隔Ｌ１は、ｌｃｏｓθ−０．９ｌｃｏｓθ（＝０．１ｌｃｏｓθ）と表されるから、θの値が大きくなれば間隔Ｌ１は小さくなり、θの値が小さくなれば間隔Ｌ１は大きくなる。
【００１３】
このため、何ら拘束されることなく図２（ｂ）におけるθ２＝２θ１の関係と同様の関係を保ったまま図６（ｂ）図示のようにθの値を大きくすれば、第二アーム７Ａ′は点線で示した位置となる。しかし、取付点８ａは軌跡２９上に位置しなければならないので、第二アーム７Ａ′は、矢示３０の向きに回転して引っ張られるようになる。第二アーム７Ａ′が矢示３０の向きに回転するときはベルト２７の符号２７ａ側（図５）が引っ張られるようになる。
【００１４】
また、何ら拘束されることなく図２（ｂ）におけるθ２＝２θ１の関係と同様の関係を保ったまま図６（ｃ）図示のようにθの値を小さくすれば、第二アーム７Ａ′は点線で示した位置となる。しかし、取付点８ａは軌跡２９上に位置しなければならないので、第二アーム７Ａは、矢示３１の向きに回転して引っ張られるようになる。第二アーム７Ａが矢示３１の向きに回転するときはベルト２７の符号２７ｂ側（図５）が引っ張られるようになる。
【００１５】
すなわち、いずれかの位置でベルトの張り具合を調整しても、アームの伸縮時にベルトの張力が変化し、過度の張力が加わる位置が発生することになる。そのため、ベルトの寿命を短くし、また、ベルトの切断に至ることもあった。
【００１６】
ここで、ベルトの張力の変化は、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の長さと第二アーム７Ａ′、７Ｂ′の長さが異なることに起因するものである。
【００１７】
そこで、駆動部の小型化を図るため、第一アーム５Ａ′の基端部を内軸２６ａに取り付け、第一アーム５Ｂ′の基端部を外軸２６ｂに取り付けるとともに、第二アーム７Ａ′と第二アーム７Ｂ′の基板ホルダ８への取付点８ａ、８ｂを基板ホルダ８上の一点とすることが考えられる。このようにすれば、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の長さと第二アーム７Ａ′、７Ｂ′の長さを等しくすることができる。第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の長さと第二アーム７Ａ′、７Ｂ′の長さが等しければ、θ２＝２θ１の関係を保ったままアームを伸縮させても、ベルトに過度の張力が加わることはない。
【００１８】
しかし、基板ホルダ８へ取付点８ａ、８ｂを基板ホルダ８上の一点とすると、基板ホルダ８は当該取付点を支点として回転するおそれがあり問題である。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、関節部で伸縮可能であるく字状構造を左右一対としたアーム部を形成する左右一対の第一アームと左右一対の第二アームの四本全てを同一の長さとすると共に前記アーム部を構成する左右のく字状構造の基端側をべース上の一点に取り付け、先端側を基板ホルダー上の一点に取り付け、さらに、前記のように左右一対のく字状構造のアーム部の先端側を基板ホルダー上の一点に取り付けることによって生じる基板ホルダーの回転を防止する弾性体及び当該弾性体を支持するためのリンク機構を備えたことによって、前記従来の基板搬送ロボットの問題点を解決したのである。
【００２０】
すなわち、本発明の提案する基板搬送ロボットは、駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合されている左右一対の第一アームと、当該左右一対の第一アームと同一の長さを有し、当該左右一対の第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームとからなるアーム部と、前記左右一対の第二アームの先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、前記左右一対の第一アームと、左右一対の第二アームの回転運動によって基板ホルダーが移動する基板搬送ロボットであって、前記基板ホルダーとアーム部との間に基板ホルダーの前記左右一対の第二アームの先端部が取り付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段が備えられていることを特徴とする基板搬送ロボットである。
【００２１】
前記における二軸の同軸構造型シャフトは、駆動部周辺の小型化を図るために、前記左右一対の第一アームのそれぞれの基端側をベース上の一点へ取り付け可能とするものである。
【００２２】
前記アーム部を構成する左右一対の第一アーム及び左右一対の第二アームの四本のアームは全て同一長さである。これは、前記のように左右一対の第一アームの基端側を、ベース上の一点に取り付け、その基端側が恰も回動自在に結合しているかのような状態とし、さらに、図４等に図示したようにθ２＝２θ１の関係を保持しつつアーム部を伸縮させる場合に、第一アームに装着され、第二アームを回転させるベルトの張力の変化を低減し、当該ベルトへの負担を軽減するものである。
【００２３】
前記回動防止手段は、基板ホルダーへの前記左右一対の第二アームの先端側の取り付け位置が左右の第二アームとも基板ホルダ上共通する一点とする場合に、当該一点を支点として基板ホルダーが回転してしまうことを防止するために装着するものである。
【００２４】
この回動防止手段は、基板ホルダーを弾性体によって駆動部側に引き付ける構成とすることができる。
【００２５】
かかる構成は、前記左右一対の第二アームの先端側と、当該左右一対の第二アームの先端側にそれぞれ基端側が接合され、先端側で互いに接合している左右一対の小アームとの間で構成されるリンク機構と、当該左右一対の小アームの前記先端側での接合部と前記基板ホルダーとの間に配置され、両者を近づける方向に常に付勢している弾性体とによって構成することができる。
【００２６】
また、前記左右一対の第一アームの基端側と、当該左右一対の第一アームの基端側にそれぞれ基端側が接合され、先端側で互いに接合している左右一対の小アームとの間で構成されるリンク機構と、当該左右一対の小アームの前記先端側での接合部と前記基板ホルダーとの間に配置され、両者を近づける方向に常に付勢している弾性体とによって構成することもできる。
【００２７】
すなわち、一端側が基板ホルダーに取り付けられる弾性体と、当該弾性体の他端側を支持するための前記左右一対の第一アームと左右一対の小アームとによって形成されるリンク機構又は前記左右一対の第二アームと左右一対の小アームとによって形成されるリンク機構とによって構成することができる。
【００２８】
なお、前記弾性体は、コイルばね等のスプリングや、ゴム製のものなど、基板ホルダーが回転してしまわないように、基板ホルダーを駆動部側に引き付けることができるだけの引張力を発揮できるものであれば、どのような材質、形状のものであってもよい。
【発明の効果】
【００２９】
以上説明した通り、本発明によれば、伸縮動作によって基板ホルダーを前後に移動させるアーム部を構成する４本のアーム全てを同一長としたので、駆動部周辺の小型化を図るべくアーム部の基端側を同一の一点に取り付けても、アーム類に負荷をかけることなく基板ホルダーが取り付けられるアーム部の先端側を直線運動させることができるので、アーム部に装着されるベルトの張力を一定にすることができ、当該ベルトに過度の負荷をかけることがない。このため、ベルトの長寿命化を図ることができる。
【００３０】
また、基板ホルダーを所定方向に引き付けるリンク機構によって支持されたコイルばね等の弾性体を装着したので、アーム部の先端側が、基板ホルダー上の一点に取り付けられても、基板ホルダーが回転してしまうことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明の基板搬送ロボット３１の概略構成を示す説明図である。以下の説明において、図４を用いて説明した前記従来の基板搬送ロボット１′と同一の構成要素については、同一の符号を付して説明する。
【００３２】
この発明の実施の形態の基板搬送ロボット３１は、駆動部に結合される内軸２６ａ、外軸２６ｂの二軸からなる同軸構造型シャフト２６、左右一対の第一アーム５Ａ′、５Ｂ′及び左右一対の第二アーム３２Ａ、３２Ｂとからなるアーム部３４、基板ホルダー８とによって基本骨格が形成されている。また、第一アーム５Ａ′、５Ｂにはそれぞれ回動駆動装置の動力を第二アーム３２Ａ、３２Ｂに伝達するベルト２７が組み込まれている（図５）。
【００３３】
ここで、左右で一対となる第一アーム５Ａ′と第一アーム５Ｂ′とは同一長さである。この第一アーム５Ａ′の基端側は内軸２６ａに取り付けられ、第一アーム５Ｂ′の基端部は外軸２６ｂに取り付けられて、それぞれのアームは独立して回動することができる。
【００３４】
また、第二アーム３２Ａ、３２Ｂは、それぞれの基端側が第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の先端側に関節部３３Ａ、３３Ｂを介して結合されている。この第二アーム３２Ａ、３２Ｂは、共に同一長さであり、これらのアームの長さは、第一アーム５Ａ′５Ｂ′と同一長さである。すなわち、アーム部３４を構成する４本のアームは全て同一長である。
【００３５】
第二アーム３２Ａ、３２Ｂの先端側には、基板ホルダー８が取り付けられている。ここで、前記のように第一アーム５Ａ′５Ｂ′を、同軸構造型シャフト２６を用いてベース上の一点に取り付け、同一長の４本のアームによってアーム部３４を形成し、さらに、図１（ａ）におけるθ１とθ２との関係をθ２＝２θ１とする場合には、第二アーム３２Ａ、３２Ｂのそれぞれの先端側は、図１（ａ）図示のように、基板ホルダー８上の共通する一点である取付点３５に回動自在に取り付けられることになる。以上の構成により、アーム部３４は伸縮自在な閉じた菱形を形成している。
【００３６】
しかし、第二アーム３２Ａ、３２Ｂが前記のように基板ホルダー上の共通する一点である取付点３５で回動自在に取り付けられていることから、基板ホルダー８は、取付点３５を支点として回転し、基板ホルダー８の向きを特定方向に固定できないおそれがある。
【００３７】
そこで、この基板搬送ロボット３１では、この基板ホルダー８の回転を防止すべく、コイルばね１０と第二アーム３２Ａ、３２Ｂの先端側と共にリンク機構３６を形成する小アーム９Ａ、９Ｂを備えている。
【００３８】
小アーム９Ａ、９Ｂは、同一長であり、それぞれの基端側が第二アーム３２Ａ、３２Ｂ上の取付点３７、３８に回動自在に取り付けられ、それぞれの先端側は接合点３９で回動自在に接合されている。
【００３９】
コイルばね１０は一端を基板ホルダー８の後端部８ｃに取り付け、他端を小アーム９Ａ、９Ｂの接合点３９に取り付けて基板ホルダー８と接合点３９との間に配置され、両者を近づける方向に常に付勢している。このコイルばね１０は、アーム部３４が伸縮し、基板ホルダー８と接合点３９との間が変化しても、基板ホルダー８を常に適度の力で引っ張ることができるように長さ、張力が調節されている。ここで、取付点３５、コイルばね１０を取り付けた基板ホルダー８の後端部８ｃ、小アーム９Ａ、９Ｂの接合点３９、同軸構造型シャフト２６は、全て同一直線状に位置している。
【００４０】
以上のように構成される基板搬送ロボット３１のアーム部３５は、前記のように同一長さの第一アーム５Ａ′、５Ｂ′と第二アーム３２Ａ、３２Ｂとによって伸縮自在な閉じた菱形を形成しているので、第二アーム３２Ａ、３２Ｂの基板ホルダー８への取付点３５、同軸構造型シャフト２６の中心点は、アーム部３４を伸縮させたときに、幾何学的に常に同一直線状に位置する。このため、基板搬送ロボット３１の第一アーム５Ａ′、５Ｂ′が、図６（ｂ）における矢示３０、図６（ｃ）における矢示３１の向きに回転する力を受けることがなく、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′に組み込まれたベルト２７（図５）は一定の張力を保って動作でき、過度の張力を受けることがない。
【００４１】
さらに、コイルばね１０によって常に基板ホルダー８を引っ張っているので、基板ホルダー８が回転してしまうこともない。
【００４２】
なお、図１（ａ）図示の実施の形態では、第二アーム３２Ａ、３２Ｂの基板ホルダー８への取付点３５を、基板ホルダー８の中心線１１上としているので、取付点３５、コイルばね１０を取り付けた基板ホルダー８の後端部８ｃ、小アーム９Ａ、９Ｂの接合点３９、同軸構造型シャフト２６の中心点は、全て基板ホルダー８の中心線１１上に位置している。
【００４３】
次に、この発明の他の実施の形態を図１（ｂ）について説明する。
【００４４】
図１（ａ）図示の基板搬送ロボット３１は、基板ホルダー８の回転を防止するコイルばね１０を、第二アーム３２Ａ、３２Ｂの先端側と小アーム９Ａ、９Ｂとによって形成されたリンク機構３６によって支持していた。
【００４５】
このリンク機構３６は、一端が基板ホルダー８の後端部に取り付けられたコイルばねの他端を支持できるものであればよい。
【００４６】
そこで、図１（ｂ）図示の基板搬送ロボット３１′では、第二アーム３２Ａ、３２Ｂの先端側と小アーム９Ａ、９Ｂとによって形成されたリンク機構３６及びコイルばね１０に代えて、リンク機構３６′とコイルばね１０′が装着されている。
【００４７】
リンク機構３６′は、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′の基端側と小アーム９Ａ′、９Ｂ′とによって形成されている。
【００４８】
小アーム９Ａ′、９Ｂ′は、同一長であり、それぞれの基端側が第一アーム５Ａ′、５Ｂ′上の取付点３７′、３８′に回動自在に取り付けられ、それぞれの先端側は接合点３９′で回動自在に接合されている。
【００４９】
コイルばね１０′は一端を基板ホルダー８の後端部８ｃに取り付け、他端を小アーム９Ａ′、９Ｂ′の接合点３９′に取り付けて基板ホルダー８と接合点３９′との間に配置され、両者を近づける方向に常に付勢している。このコイルばね１０′は、アーム部３４が伸縮し、基板ホルダー８と接合点３９′との間が変化しても、基板ホルダー８を常に適度の力で引っ張ることができるように長さ、張力が調節されている。
【００５０】
以上のように基板搬送ロボットを構成しても、図１（ａ）図示の基板搬送ロボット３１と同様の動作を実現することができる。従って、第一アーム５Ａ′、５Ｂ′に組み込まれたベルト２７（図５）は一定の張力で動作でき、過度の張力を受けることがない。また、基板ホルダー８が回転することもない。
【００５１】
以上、本発明の好ましい実施の形態を添付図面を参照して説明したが、本発明はかかる実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載から把握される技術的範囲において種々な形態に変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】（ａ）は、本発明の実施の形態の基板搬送ロボットの概略構成を示す説明図。（ｂ）は、本発明の他の実施の形態の基板搬送ロボットの概略構成を示す説明図。
【図２】（ａ）は、従来の基板搬送ロボットの斜視図。（ｂ）は、図２（ａ）図示の基板搬送ロボットの概略構成を示す説明図。
【図３】図２図示の基板搬送ロボットにおける基板ホルダーの動作を示す説明図。
【図４】従来の他の基板搬送ロボットの概略構成を示す説明図。
【図５】基板搬送ロボットのアーム部に装着されるベルトの説明図。
【図６】図４図示の基板搬送ロボットのアーム部の動きを説明する説明図であって、（ａ）は、θ＝４５°の状態の説明図。（ｂ）は、図６（ａ）の状態からアーム部を伸ばした状態（θを大きくした状態）の説明図。図（ｃ）は、図６（ａ）の状態からアーム部を縮めた状態（θを小さくした状態）の説明図。
【符号の説明】
【００５３】
１、１′、３１、３１′  基板搬送ロボット
２  磁性流体シール装置
３  ベース
４Ａ、４Ｂ  シャフト
５Ａ、５Ｂ、５Ａ′、５Ｂ′  第一アーム
６Ａ、６Ｂ  垂直部材
７Ａ、７Ｂ、７Ａ′、７Ｂ′、３２Ａ、３２Ｂ  第二アーム
８  基板ホルダー
９Ａ、９Ｂ、９Ａ′、９Ｂ′  小アーム
１０、１０′  コイルばね
１１  基板ホルダー中心線
２６  同軸構造型シャフト
３４  アーム部
３６、３６′  リンク機構
３９、３９′  小アームの接合点
【図１】
2008183656.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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