(57)【要約】      （修正有）【課題】処理装置の所要枚数やカセットなどの収容枚数に応じたサイズの、段積みトレイ及びトレイ受け渡し装置を提供する。【解決手段】無人搬送車２０のトレイ格納部２４に、移載装置２６と進退と昇降とが自在な爪２８とを設けた支持手段により、段積みトレイ２２を爪２８で上下に分割する。【選択図】図３
2008156040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のトレイを段積みした第１の段積みトレイを、外部と受け渡し自在に支持するための支持手段と、
支持手段上の第１の段積みトレイを支持手段の上方で保持することにより、前記支持手段で第２の段積みトレイを支持可能にするための保持手段、とを設けると共に、
前記支持手段もしくは保持手段の少なくとも一方を昇降自在にしたことを特徴とする、トレイ受け渡し装置。
【請求項２】
複数のトレイを段積みした第１の段積みトレイを、外部と受け渡し自在に支持するための支持手段と、
支持手段上の第１の段積みトレイを支持手段の下方で保持することにより、前記支持手段で第２の段積みトレイを支持可能にするための保持手段、とを設けると共に、
前記支持手段もしくは保持手段の少なくとも一方を昇降自在にしたことを特徴とする、トレイ受け渡し装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の段積みトレイの内の、下方の段積みトレイを整列させるための整列手段を設けたことを特徴とする、請求項１または２のトレイ受け渡し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は段積みしたトレイの受け渡しに関し、特に段積みトレイと段積みトレイとをさらに重ねることに関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は液晶基板等をトレイに搭載して搬送するシステムを開発しており、特許文献１で段積みしたトレイから１枚ずつトレイを切り出すシステムを提案した。ところで、処理装置によって一括して処理できる基板の数が異なる、処理装置間で搬送する際のトレイの段積み数と、カセット等に保管する際の段積み数が異なるなどの問題がある。この問題を解決するには、段積みしたトレイを分割し、あるいは段積みしたトレイにさらに段積みトレイを重ねることができれば良い。
【特許文献１】特願２００６−８６４６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、段積みされたトレイの積み増しや分離を自在にして、保管設備や処理装置が必要とする枚数の段積みトレイを受け渡しできるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、段積みトレイを整列させて、段積みトレイを正確に積み増せるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明のトレイ受け渡し装置は、複数のトレイを段積みした第１の段積みトレイを、外部と受け渡し自在に支持するための支持手段と、
支持手段上の第１の段積みトレイを支持手段の上方で保持することにより、前記支持手段で第２の段積みトレイを支持可能にするための保持手段、とを設けると共に、
前記支持手段もしくは保持手段の少なくとも一方を昇降自在にしたことを特徴とする。
【０００５】
またこの発明のトレイ受け渡し装置は、複数のトレイを段積みした第１の段積みトレイを、外部と受け渡し自在に支持するための支持手段と、
支持手段上の第１の段積みトレイを支持手段の下方で保持することにより、前記支持手段で第２の段積みトレイを支持可能にするための保持手段、とを設けると共に、
前記支持手段もしくは保持手段の少なくとも一方を昇降自在にする。
【０００６】
好ましくは、前記第１及び第２の段積みトレイの内の、下方の段積みトレイを整列させるための整列手段を設ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、保持手段により段積みトレイを支持手段の上方もしくは下方で保持し、支持手段もしくは保持手段を昇降させて別の段積みトレイに重ねることにより、複数の段積みトレイを合体させることができる。また段積みトレイの一部を保持手段で保持することにより、段積みトレイを複数に分割することができる。これらによって、保管設備や処理装置が必要とする枚数の段積みトレイを作成して、受け渡しできる。
【０００８】
ここで複数の段積みトレイでの下方の段積みトレイを整列させると、段積みトレイを正確に積みますことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１０】
図１〜図８に、実施例とその変形とを示す。各図において、２はトレイで、４，５はフレームで、フレーム４はフレーム５よりも高い位置にある。トレイ２の底面には桟６を複数渡して、その間を開口９とし、フレーム４，５に突起７とスペーサ８とを設けて、上下のトレイ２，２間で突起７とスペーサ８とを係合自在にする。複数のトレイ２が突起７とスペーサ８で係合して段積みされた状態を、密着状態という。
【００１１】
実施例のトレイ２は液晶基板の搬送や保管に用い、これ以外にも板状の部材の搬送や保管に用いることができる。トレイ２を使用する環境はクリーンルーム内で、トレイ２は段積みされた状態で無人搬送車やスタッカークレーンなどにより搬送され、また段積みされたトレイはそのまま、あるいはカセットなどに収容して、自動倉庫の棚などに保管される。段積みされたトレイからトレイを１枚ずつ切り出し、トレイ２と収容した液晶基板とを開口９を用いて分離し、液晶基板を処理装置に供給する。なお段積みされたトレイを受け入れて、トレイを１枚ずつ分離し、液晶基板を取り出して処理装置に供給する装置を、ローダという。ローダは、処理装置から排出された液晶基板をトレイにセットし、液晶基板をセットしたトレイを段積みする。
【００１２】
図３に、実施例のトレイ受け渡し装置を搭載した無人搬送車２０を示す。２２は段積みトレイで、トレイ格納部２４内に収納され、移載装置２６は支持手段の例で、スライドフォークやスカラアームあるいはコンベヤなどである。爪２８は進退駆動部３０により段積みトレイ２２側へ向けて進退自在で、スペーサ８により設けられるトレイ２，２間の隙間に進入し、ガイドレール３１に沿ってベルト３２などの昇降部材により昇降する。爪２８〜ベルト３２により保持手段を構成する。爪２８は段積みトレイ２２の任意の位置に進入できるので、段積みトレイ２２を任意の枚数ずつ上下２つの段積みトレイに分割できる。また段積みトレイ２２を爪２８で上方へリフトさせ、移載装置２６で別の段積みトレイを搬入した後、爪２８を下降させると、２つの段積みトレイを合体できる。３４はプッシャで、例えば段積みトレイ２２の最下段のトレイを整列させる。
【００１３】
図４に段積みトレイ２２の操作を示す。図３の爪２８を所望の位置に進出させて上昇させることにより、段積みトレイ２２を複数の段積みトレイ３６，３７に分離できる。下方の段積みトレイ３６は図３の移載装置２６により処理装置のローダなどに搬入できる。また逆に、段積みトレイ２２を爪２８で上昇させておき、移載装置２６へ別の段積みトレイ３６を受け入れて、合体させることもできる。
【００１４】
これらによって以下の操作ができる。例えば段積みトレイを保管するカセットや棚などでは、トレイを４０枚単位で保管するものとする。処理装置が必要とする段積みトレイの枚数は、その処理能力などによって様々である。例えば２０枚単位の段積みトレイを要求する処理装置と、１０枚単位で要求する処理装置とがあるものとする。そこで図３のトレイ格納部２４の収容枚数を最大の段積み枚数４０枚に合わせ、爪２８を用いて段積みトレイ２２から必要な枚数のトレイを取り出し、処理装置に供給する。また移載装置２６で支持している段積みトレイを爪２８で上方へ退避させ、処理装置から新たに段積みトレイを受け入れ、爪２８を下降させ、２つの段積みトレイを合体させる。このようにするとカセットや棚での保管能力に無駄が生じず、処理装置が必要とする枚数の段積みトレイを供給できる。
【００１５】
トレイの突起とスペーサとが正確に係合して、段積みトレイが安定になるようにするため、あるいはローダ等にトレイを正確な位置で供給するため、トレイを整列させることが好ましい。そこで図３の無人搬送車２０のプッシャ３４は、移載装置２６上のトレイに対してフレーム４，５等を両側から押して整列させる。またプッシャ３４は進退駆動部３８により進退自在で、爪２８とは干渉しない位置に設けられている。このようにすると段積みトレイ２２に対し、その最下段のトレイを整列させることができる。進退駆動部３８を昇降自在にすると、整列させたいトレイよりも上方のトレイを爪２８で退避させ、残った段積みトレイの最上段のトレイを整列させることにより、段積みトレイ２２の内の任意のトレイを整列させることができる。
【００１６】
突起とスペーサとの係合を用いていないトレイの場合、あるいは空のトレイを整列させる場合、図６のようにプッシャ４０を進退駆動部４２により進退させて、段積みトレイ２２の左右両側あるいは前後双方から押すことにより、段積みトレイ２２を一括して整列させることができる。
【００１７】
図７に実施例のトレイ受け渡し装置を用いたローダ５０を示す。なお図１〜図６の符号に１００や２００，あるいは３００などを加えた符号は同じものを示し、図１〜図６の実施例に関する記載は、特に断らない限り図７のローダ５０にもそのまま当てはまる。５２は移載装置で、図７の左側の位置（実線）と右側の位置（鎖線）との間を左右動自在で、昇降自在なローラ５４を備えて、トレイ２から液晶基板５６を搬出入する。移載装置５２の上部には、移載装置進入スペース５８，５９があり、図３の無人搬送車２０の移載装置２６などが進入するスペースである。１２２，２２２は液晶基板を収納したトレイを段積みした段積みトレイで、３２２は空のトレイを段積みした段積みトレイである。１２８，２２８，３２８，４２８は爪、１３０，２３０は進退ドライブ、１３１，２３１，３３１はガイドレールである。爪１２８，２２８，３２８，４２８は進退ドライブ１３０，２３０などにより進退と昇降とが自在で、爪１２８が支持手段に対応し、外部からの移載装置により爪１２８上の段積みトレイ１２２が移載自在である。また爪２２８が保持手段に対応する。
【００１８】
無人搬送車などの移載装置から段積みトレイを受け入れる前に、爪１２８を下降させて段積みトレイ１２２と段積みトレイ２２２を合体させる。次いで爪１２８を上昇させ、スペース５８にスライドフォークなどの移載装置を受け入れて、受け入れた段積みトレイを爪１２８により保持する。そして無人搬送車などの移載装置が後退すると、段積みトレイの受け入れが完了する。移載装置５２は、液晶基板５６を１枚ずつ図示しない処理装置側へローラ５４で搬入し、空きトレイを図７の右側へ搬送する。移載装置５２が図７の左側へ復帰すると、爪２２８が下降し、段積みトレイ２２２を移載装置５２上へ移し、最下段のトレイを残して、残る段積みトレイ２２２をリフトアップする。これによって処理装置に１枚ずつ液晶基板５６を供給できる。
【００１９】
図７のローダ５０の右側では空きトレイを保管し、空きトレイが移載装置５２により搬入されると、爪３２８を下降させて、段積みトレイ３２２と合体する。爪３２８上の段積みトレイ３２２が所要枚数に達すると、爪３２８を上昇もしくは爪４２８を下降させ、爪４２８に移し替える。そして爪４２８で支持した空の段積みトレイを、スペース５９に進入した無人搬送車などの移載装置に移し替える。なお移載装置５２上でプッシャ３４により最下段のトレイを整列させ、処理装置へ供給する液晶基板５６の位置を整える。また段積みトレイ３２２に対してプッシャ４０により整列を行う。
【００２０】
処理装置から排出された液晶基板に対して、前記の逆の処理を実行し、段積みトレイ３２２から空のトレイを１枚移載装置５２で図７の左側へ移動させ、ローラ５４で液晶基板を受け入れ、爪２２８を用いて段積みトレイ２２２と合体させる。次に爪１２８，２２８を用い、段積みトレイ１２２，２２２を合体し、無人搬送車などに搬出する。
【００２１】
図７のローダ５０では、段積みトレイ２２２の枚数が少なくなると、段積みトレイ１２２を爪１２８で下降させ、段積みトレイ２２２と合体させる。従って段積みトレイ２２２が空になることがなく、処理装置側への液晶基板５６の供給が途切れない。また段積みトレイ２２２から移載装置５２へのトレイの供給と、爪１２８への段積みトレイ１２２の搬入は独立して行うので、適宜のタイミングで段積みトレイ１２２を補給できる。
【００２２】
図８に、爪２８，１２８，２２８，３２８，４２８等に代わる、爪８４の変形例を示す。８１，８３はガイドレール、８２は水平動部で、ガイドレール８１は水平動部８２と共にガイドレール８３に沿って水平動する。ガイドレール８１には複数の爪８４が上下方向に配列されており、リンク８８を介してチェーン８６に取り付ける。そして爪８４，８４間には例えば１個のリンク８９を設ける。なおチェーン８６はエンドレスでもエンドレスでなくても良い。
【００２３】
ここでチェーン８６を上昇させると、爪８４，８４間に隙間が生じ、これに伴って段積みしたトレイ２，２間にも隙間が生じる。一方チェーン８６を下降させると、爪８４，８４が密着し、これに伴いトレイ２，２も密着する。従って段積みトレイ昇降装置８０を用いることにより、段積みトレイを密着状態と隙間のある状態とに変化させることができる。またガイドレール８１を図８の左側に退避した状態で、チェーン８６を所望の位置まで下降させ、次いでガイドレール８１と共に爪８４を前進させることにより、段積みトレイの任意の位置から上側のトレイを分離して上昇させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施例で用いるトレイの平面図
【図２】実施例で用いるトレイの側面図
【図３】実施例のトレイ受け渡し装置を搭載した無人搬送車の側面図
【図４】図３での、段積みトレイの扱いを模式的に示す図
【図５】実施例のトレイ受け渡し装置での、トレイの整列を模式的に示す図
【図６】トレイの整列の変形例を模式的に示す図
【図７】実施例のトレイ受け渡し装置を適用したローダの要部正面図
【図８】変形例での多段の爪を示す図
【符号の説明】
【００２５】
２          トレイ
４，５      フレーム
６          桟
７          突起
８          スペーサ
９          開口
２０        無人搬送車
２２        段積みトレイ
２４        トレイ格納部
２６        移載装置
２８        爪
３０        進退駆動部
３１        ガイドレール
３２        ベルト
３４，４０  プッシャ
３６，３７  段積みトレイ
３８，４２  進退駆動部
５０        ローダ
５２        移載装置
５４        ローラ
５６        液晶基板
５８，５９  移載装置進入スペース
８０        段積みトレイ昇降装置
８１，８３  ガイドレール
８２        水平動部
８４        爪
８６        チェーン
８８，８９  リンク  
１２２，２２２，３２２          段積みトレイ
１２８，２２８，３２８，４２８  爪
１３０，２３０                  進退ドライブ
１３１，２３１，３３１          ガイドレール
【図１】
2008156040.tif 000003
【図２】
2008156040.tif 000004
【図３】
2008156040.tif 000005
【図４】
2008156040.tif 000006
【図５】
2008156040.tif 000007
【図６】
2008156040.tif 000008
【図７】
2008156040.tif 000009
【図８】
2008156040.tif 000010