(57)【要約】【課題】ケーブルの束の外周縁と開口部の内周縁との間の隙間を小さくする。【解決手段】ラック本体１０内からラック本体１０外へケーブルの束５０を引き出すためのスリット１２１を、ゴムやシリコン等の弾性材料からなる板状の蓋１２０に形成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、
前記ラック本体に形成された開口部と、
前記開口部を覆うように前記ラック本体に装着される蓋とを備え、
前記開口部を介して前記ラック本体内から前記ラック本体外へ引き出される前記ケーブルの束の断面積にほぼ等しい孔が前記蓋に形成されていることを特徴とする電子機器収容ラック。
【請求項２】
外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、
前記ラック本体に設けられ、前記ラック本体内から前記ラック本体外へ引き出される前記ケーブルの束の断面積にほぼ等しい孔と
を備えていることを特徴とする電子機器収容ラック。
【請求項３】
外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、
前記ラック本体に形成された開口部と、
弾性材料で形成され、前記開口部を覆うように前記ラック本体に装着される蓋とを備え、
前記開口部を介して前記ラック本体内から前記ラック本体外へ前記ケーブルの束を引き出すためのスリットが前記蓋に形成されていることを特徴とする電子機器収容ラック。
【請求項４】
外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、
前記ラック本体に形成された開口部と、
前記開口部を覆うように前記ラック本体に装着され、前記開口部を介して前記ラック本体内から前記ラック本体外へ引き出される前記ケーブルの束の断面積に応じて絞り孔の面積を変更する絞り手段と
を備えていることを特徴とする電子機器収容ラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電子機器収容ラックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージには複数のモータが使用され、各モータには駆動回路を有するアンプユニットやアンプ駆動用電源ユニットがそれぞれ必要である。
【０００３】
モータを駆動するためのアンプユニットやアンプ駆動用電源ユニットを半導体露光装置の近傍に配置する場合、アンプユニットやアンプ駆動用電源ユニットの形状に合致する複数の収納室を有する電子機器収容ラック（ラック本体）が用いられる。
【０００４】
電子機器収容ラックは半導体露光装置の下に置かれるため、通常ラック本体の天井面には、電源ケーブルや信号伝送用ケーブル（以下ケーブルという）を引き出すための四角形の開口が形成されている。ケーブルは束ねられて開口から外部へ引き出される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、開口の面積は開口から引き出される複数のケーブルの束の総断面積よりも十分に大きいので、ケーブルの束の外周縁と開口の内周縁との間に大きな隙間を生じる。その結果、上方から落下した異物が隙間から電子機器収容ラック内に侵入し、アンプユニットやアンプ駆動用電源ユニットの故障を引き起こすおそれがあった。
【０００６】
また、隙間を介して電子機器収容ラック内の温かい空気が排出されるため、電子機器収容ラックの周囲の温度を上昇させたり、塵埃を舞い上げたりするおそれがあった。
【０００７】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題はケーブルの束の外周縁と開口部の内周縁との間の隙間を小さくすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の課題を解決するため請求項１記載の発明は、外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、前記ラック本体に形成された開口部と、前記開口部を覆うように前記ラック本体に装着される蓋とを備え、前記開口部を介して前記ラック本体内から前記ラック本体外へ引き出される前記ケーブルの束の断面積にほぼ等しい孔が前記蓋に形成されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の発明は、外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、前記ラック本体に設けられ、前記ラック本体内から前記ラック本体外へ引き出される前記ケーブルの束の断面積にほぼ等しい孔とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の発明は、外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、前記ラック本体に形成された開口部と、弾性材料で形成され、前記開口部を覆うように前記ラック本体に装着される蓋とを備え、前記開口部を介して前記ラック本体内から前記ラック本体外へ前記ケーブルの束を引き出すためのスリットが前記蓋に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４記載の発明は、外部装置にケーブルを介して接続される電子機器を収容する箱型のラック本体と、前記ラック本体に形成された開口部と、前記開口部を覆うように前記ラック本体に装着され、前記開口部を介して前記ラック本体内から前記ラック本体外へ引き出される前記ケーブルの束の断面積に応じて絞り孔の面積を変更する絞り手段とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、ケーブルの束の外周縁と開口部の内周縁との間の隙間を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１（ａ）はこの発明の第１実施形態に係る電子機器収容ラックの平面図、図１（ｂ）はその正面図である。
【００１５】
電子機器収容ラック１はラック本体１０と扉３０ａ，３０ｂとを備えている。
【００１６】
ラック本体１０は箱型であり、ラック本体１０内にはアンプユニットやアンプ駆動用電源ユニット等の電子機器（図示せず）が収容されている。ラック本体１０の天井面１０Ａには、ラック本体１０内の電子機器とラック本体１０の外部に配置される半導体露光装置等の外部装置とを接続するケーブル（図示せず）を引き出すための四角形の開口部１０ａ（図２（ａ）参照）が形成されている。開口は蓋２０によって塞がれている。なお、蓋２０の丸孔２１（図２（ａ）参照）の図示は省略されている。
【００１７】
ラック本体１０の正面及び背面にはそれぞれ扉３０ａ及び扉３０ｂが６つずつ設けられている。
【００１８】
各扉３０ａ，３０ｂには扉３０ａ，３０ｂを開閉するためのハンドル３１と外気をラック本体１０内へ導くための吸気口３２とが設けられている。
【００１９】
図２（ａ）はこの発明の第１実施形態に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図である。
【００２０】
蓋２０は開口部１０ａを覆うようにラック本体１０の天井面１０Ａにビス２２で装着されている。
【００２１】
蓋２０にはラック本体１０内からラック本体１０外へケーブルの束５０を引き出すための複数の丸孔（孔）２１が形成されている。丸孔２１の断面積は引き出されるケーブルの束５０の断面積にほぼ等しい（丸孔２１の大きさはケーブルの束５０の断面積に応じて決定される）。
【００２２】
ケーブルの束５０を丸孔２１を介してラック本体１０内からラック本体１０外へ引き出すとき、ケーブルの束５０の外周縁と丸孔２１の内周縁との間が小さい。
【００２３】
この実施形態によれば、ケーブルの束５０を丸孔２１を介してラック本体１０内からラック本体１０外へ引き出したとき、ケーブルの束５０の外周縁と丸孔２１の内周縁との間の隙間を小さくできる。その結果、ラック本体１０の上方から落下した異物が隙間から電子機器収容ラック１内に侵入して引き起こされるアンプユニットやアンプ駆動用電源ユニットの故障を防ぐことができる。また、隙間を介して外部へ排出される温かい空気に起因する電子機器収容ラック１０の周囲の温度上昇や、塵埃の舞い上げを減らすことができる。
【００２４】
図２（ｂ）はこの発明の第１実施形態の変形例に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図であり、第１実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００２５】
この変形例はラック本体１１０の天井面１１０Ａにラック本体１１０内からラック本体１１０外へケーブルの束５０を引き出すための複数の丸孔（孔）４２１を直接形成した点で第１実施形態と相違する。
【００２６】
丸孔４２１の断面積は引き出されるケーブルの束５０の断面積にほぼ等しい。
ケーブルの束５０を丸孔４２１を介してラック本体１１０内からラック本体１１０外へ引き出すとき、ケーブルの束５０の外周縁と丸孔４２１の内周縁との間が小さい。
【００２７】
この変形例によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００２８】
図３（ａ），（ｂ）はこの発明の第２実施形態に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図であり、第１実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。  図３（ａ）はケーブルの束を引き出す前の状態を示し、図３（ｂ）はケーブルの束を引き出した後の状態を示す。
【００２９】
蓋１２０にはラック本体１０内からラック本体１０外へケーブルの束５０を引き出すためのスリット１２１が形成されている（図３（ａ）参照）。スリット１２１はＹ軸方向へ延びるスリット部１２１ａとＸ軸方向へ延びるスリット部１２１ｂとで構成されている。スリット部１２１ａ，１２１ｂの長さはケーブルの束５０の断面積に応じて設定される。
【００３０】
蓋１２０はゴムやシリコン等の弾性材料で形成された板であり、ビス２２によって天井面１０Ａに取り付けられている。
【００３１】
ケーブルの束５０をスリット部１２１ａとスリット部１２１ｂとが交差する部分から引き出したとき、スリット１２１はケーブルの束５０によってケーブルの束５０の断面積に応じた大きさ（ほぼ円形）に押し広げられ（図３（ｂ）参照）、ケーブルの束５０が蓋１２０と接触する。このとき、ケーブルの束５０の外周縁と蓋１２０のスリット１２１の内周縁との間にはわずかな隙間Ｓだけがある。
【００３２】
この実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００３３】
図４（ａ），（ｂ）はこの発明の第３実施形態に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図であり、第１実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。図４（ａ）はケーブルの束を引き出す前の状態を示し、図４（ｂ）はケーブルの束を引き出した後の状態を示す。
【００３４】
天井面１０Ａには開口部１０ａを覆うように絞り機構（絞り手段）４０が設けられている。絞り機構４０の絞り孔２２１の面積はケーブルの束５０の断面積に応じて変更可能である。絞り機構４０はビス２２によって天井面１０Ａに取り付けられている。
【００３５】
絞り機構４０は例えば顕微鏡の絞り装置と同様に、複数の絞り羽根４１で構成されている。複数の絞り羽根４１によってラック本体１０内からラック本体１０外へケーブルの束５０を引き出すためのほぼ円形の絞り孔２２１が形成される（図４（ａ），（ｂ）参照）。
【００３６】
絞り機構４０は例えばラック本体１０の外へ突出した操作ノブ（図示せず）によって開閉される。
【００３７】
なお、絞り機構４０は顕微鏡の絞り機構のように複数の平板状の羽根で構成される平面的なものに限られるものではなく、羽根を湾曲した板で形成して椀を伏せた形状の立体的な絞り機構としてもよい。
【００３８】
ケーブルの束５０を開口部２２１を介してラック本体１０内からラック本体１０の外へ引き出すとき、まず、操作ノブを操作して絞り孔２２１を広げる。ケーブルの束５０を引き出した後、絞り孔２２１を縮める。その結果、ケーブルの束５０の外周縁が絞り孔２２１の内周縁とが接触し、両者の間の隙間が小さくなる（図４（ｂ）参照）。
【００３９】
この実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００４０】
図５（ａ），（ｂ）はこの発明の第３実施形態の変形例に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図であり、第１、３実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。図５（ａ）はケーブルの束を引き出す前の状態を示し、図５（ｂ）はケーブルの束を引き出した後の状態を示す。
【００４１】
この実施形態は、絞り機構（絞り手段）１４０を、Ｙ軸上で互いに近づく又は離れる方向へ移動可能な複数の矩形状の絞り板１４１ａ、１４１ｂと、Ｘ軸上で互いに近づく又は離れる方向へ移動可能な複数の矩形状の絞り板１４５ａ、１４５ｂとで構成した点で、第３実施形態と相違する。
【００４２】
絞り板１４１ａ、１４１ｂと絞り板１４５ａ、１４５ｂとによってラック本体１０内からラック本体１０外へケーブルの束を引き出すための矩形状の絞り孔３２１が形成される（図５（ａ），（ｂ）参照）。
【００４３】
ケーブルの束（図示せず）を開口部３２１を介してラック本体１０内からラック本体１０の外へ引き出すとき、まず、絞り孔３２１を矢印に示すように大きく開く（図５（ｂ）参照）。ケーブルの束を引き出した後、絞り孔３２１を縮める。その結果、ケーブルの束の外周縁と絞り孔３２１の内周縁とが接触し、両者間の隙間が小さくなる。
【００４４】
この実施形態によれば、第３実施形態と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】図１（ａ）はこの発明の第１実施形態に係る電子機器収容ラックの平面図、図１（ｂ）はその正面図である。
【図２】図２（ａ）はこの発明の第１実施形態に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図、図２（ｂ）はこの発明の第１実施形態の変形例に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図である。
【図３】図３（ａ），（ｂ）はこの発明の第２実施形態に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図である。
【図４】図４（ａ），（ｂ）はこの発明の第３実施形態に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図である。
【図５】図５（ａ），（ｂ）はこの発明の第３実施形態の変形例に係る電子機器ラックの天井面の一部を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０ａ：開口部、１０，１１０：ラック本体、２０，１２０：蓋、２１，４２１：丸孔（孔）、４０，１４０：絞り機構（絞り手段）、５０：ケーブルの束、１２１：スリット、２２１，３２１：絞り孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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