(57)【要約】【課題】ＶＯＣの除去状態を正確に把握する。【解決手段】主制御部は、ＶＯＣセンサユニットから、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を取得し、両ＶＯＣ濃度の差の入口側のＶＯＣ濃度に対する割合を、ＶＯＣ除去率として算出し、デジタル表示器に表示させる。主制御部は、予め設定した基準除去率に基づいて、再生処理開始の要否判定を行い、再生処理開始要の判定がなされると、再生警告表示／再生実行ボタンの表示灯を点灯させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガス中に含まれる揮発性化合物を除去するとともに再生可能な排ガス処理部の処理機能を監視する排ガス処理監視装置であって、
前記排ガスの流路に沿って前記排ガス処理部に流入する前記揮発性化合物の流入濃度と前記排ガス処理部から排出される前記揮発性化合物の排出濃度とを検出する濃度検出手段と、前記流入濃度及び前記排出濃度に基づいて、前記排ガス処理部の使用時の処理機能の低下状態又は再生時の処理機能の回復状態を検知する状態検知手段とを備えてなることを特徴とする排ガス処理監視装置。
【請求項２】
前記流入濃度及び前記排出濃度を検出するためのガスセンサと、
前記ガスセンサが配置され、前記揮発性化合物を含む前記排ガスが導入される測定室と、
前記排ガス処理部の入口側から前記排ガスを吸引して前記測定室へ導入するための入口用吸気管と、
前記排ガス処理部の出口側から前記排ガスを吸引して前記測定室へ導入するための出口用吸気管と、
前記測定室と、前記入口用吸気管又は前記出口用吸気管とを、切り換えて接続して前記測定室に前記排ガスを導入させるための吸気管切換手段とを備えてなることを特徴とする請求項１記載の排ガス処理監視装置。
【請求項３】
前記測定室には、ゼロ点補正用の空気を導入するための調整用吸気管が接続されていることを特徴とする請求項２記載の排ガス処理監視装置。
【請求項４】
前記排ガス処理部は、前記揮発性化合物を吸着して除去する吸着部からなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の排ガス処理監視装置。
【請求項５】
前記状態検知手段は、前記流入濃度及び前記排出濃度に基づいて、前記排ガス処理部による前記揮発性化合物の除去度を算出する除去度算出手段を有することを特徴とする請求項４記載の排ガス処理監視装置。
【請求項６】
前記除去度に基づいて、前記吸着部の再生処理の要否を判定する再生要否定手段を備えたことを特徴とする請求項５記載の排ガス処理監視装置。
【請求項７】
前記除去度に基づいて、前記吸着部の交換の要否を判定する交換要否判定手段を備えたことを特徴とする請求項５又６記載の排ガス処理監視装置。
【請求項８】
前記除去度に基づいて、前記吸着部の再生処理中の再生処理終了の適否を判定する再生終了適否判定手段を備えたことを特徴とする請求項５、６又は７記載の排ガス処理監視装置。
【請求項９】
再生処理の要否判定、又は／及び交換の要否判定の判定結果を報知するための報知手段を備えたことを特徴とする請求項７又は８記載の排ガス処理監視装置。
【請求項１０】
前記排ガスの流量を検出するための流量検出手段と、前記流量、前記流入濃度と前記排出濃度との濃度差、及び前記吸着部による吸着時間に基づいて、前記吸着部による吸着量を算出する吸着量算出手段とを有し、前記再生要否定手段は、前記吸着量に基づいて、前記吸着部の再生処理の要否を判定することを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置。
【請求項１１】
前記除去度は、前記第１の濃度と前記第２の濃度との濃度差、該濃度差の前記第１の濃度に対する割合、前記濃度差の時間的変化、又は該時間的変化の割合であること特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置。
【請求項１２】
前記濃度検出手段は、前記流入濃度を検出する流入濃度検出手段と、前記排出濃度を検出する排出濃度検出手段とを有してなることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置。
【請求項１３】
使用時に、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着する吸着部を備えると共に、再生時に、前記吸着部から前記揮発性化合物を脱離させて前記吸着部を再生させる機能を備えた排ガス処理装置であって、
第１の通路と、
第２の通路と、
前記第１の通路に設けられて、前記揮発性化合物を吸着する一方、所定の温度以上では吸着した前記揮発性化合物を脱離させる機能を有する前記吸着部と、
前記第１の通路又は前記第２の通路に設けられ、所定の温度以上で前記揮発性化合物を分解又は分解を促進させる機能を有する触媒部と、
前記第１の通路又は前記第２の通路に設けられ、再生時に、前記吸着部及び前記触媒部がそれぞれの所定の温度で前記機能を発揮できる程度にまで、前記吸着部及び前記触媒部をを加熱すると共に前記揮発性化合物を含むガスも加熱するための加熱部と、
使用時には、前記第２の通路を遮断し、前記第１の通路に前記排ガスを通流させて前記排ガスを排気する一方、再生時には、前記第１の通路と前記第２の通路とによって循環路を形成させ、前記加熱部によって加熱された前記揮発性化合物を含むガスを前記循環路に沿って循環させるように、前記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換えるための通路切換手段と、
再生時に、前記循環路に沿って前記排ガスを通流させるための送風手段と、
前記排ガス処理部としての前記吸着部の処理機能を監視する請求項４乃至１２のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置とを備えてなることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１４】
前記排ガス処理監視装置は、前記流路切換手段及び前記加熱部を制御する監視制御手段を備えてなることを特徴とする請求項１３記載の排ガス処理装置。
【請求項１５】
前記第１の通路と前記第２の通路との分岐部位のうち、使用時に出口側となる部位から、前記排ガスの流出口へ至る通路の所定の部位には、前記揮発性化合物を除去するためのフィルタ部が着脱自在に配置されていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の排ガス処理装置。
【請求項１６】
排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着する吸着部が着脱自在に配置されてなる排ガス処理装置であって、
前記吸着部の少なくとも下流側の前記揮発性化合物の濃度を検出するための濃度検出手段と、前記揮発性化合物の濃度と前記吸着部の使用履歴情報とに基づいて、前記吸着部の吸着機能の低下状態を検知する状態検知手段とを備えてなることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項１７】
排ガス中に含まれる揮発性化合物を除去するとともに再生可能な排ガス処理部の処理機能を監視するための排ガス処理監視方法であって、
前記排ガスの流路に沿って前記排ガス処理部に流入する前記揮発性化合物の流入濃度と前記排ガス処理部から排出される前記揮発性化合物の排出濃度とを検出する濃度検出工程と、前記流入濃度及び前記排出濃度に基づいて、前記排ガス処理部の使用時の処理機能の低下状態又は再生時の処理機能の回復状態を検知する状態検知工程とを含むことを特徴とする排ガス処理監視方法。
【請求項１８】
前記揮発性化合物を含む前記排ガスが導入される測定室に、前記流入濃度及び前記排出濃度を検出するためのガスセンサが配置され、前記測定室には、前記排ガス処理部の入口側から前記排ガスを吸引するための入口用吸気管と、前記排ガス処理部の出口側から前記排ガスを吸引するための出口用吸気管とが接続され、
前記測定室と、前記入口用吸気管又は前記出口用吸気管とを、切り換えて接続して前記測定室に前記排ガスを導入させる吸気管切換工程と、
前記吸気管切換工程で、前記測定室と前記入口用吸気管とを接続した後に、前記測定室に、前記排ガス処理部の入口側から前記排ガスを導入して、前記流入濃度を検出し、
前記測定室と前記出口用吸気管とを接続した後に、前記測定室に、前記排ガス処理部の出口側から前記排ガスを導入して前記排出濃度を検出する
ことを特徴とする請求項１７記載の排ガス処理監視方法。
【請求項１９】
前記測定室には、ゼロ点補正用の空気を導入するための調整用吸気管が接続され、少なくとも前記排出濃度を検知する前に、ゼロ点補正用の空気を前記調整用吸気管を介して前記測定室に導入して、ゼロ点補正を行うゼロ点補正工程を含むことを特徴とする請求項１８記載の排ガス処理監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、排ガス処理監視装置、排ガス処理装置及び排ガス処理監視方法に係り、塗装工場や印刷工場等で発生する揮発性有機化合物（以下、ＶＯＣ（Volatile Organic Compounds）という）等の揮発性化合物を除去する排ガス処理装置を構成し、例えば、ＶＯＣを吸着除去する吸着部の吸着除去機能（排ガス処理機能）を監視するための排ガス処理監視装置、揮発性化合物を処理するための排ガス処理装置、及び排ガス処理監視方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、塗装工場や印刷工場、化学工場から排出される排ガスには、トルエン、キシレン、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、クロロホルム、パラジクロロベンゼン、スチレン等の有機排ガスとしてのＶＯＣが含まれ、工場の作業員や、近隣の住民への健康障害、住環境における悪臭問題等を引き起こしている。
さらに、ＶＯＣが大気中に放出されることによって、オゾンや有機過酸化硝酸塩等の光化学オキシダントが合成され、酸性雨や地球温暖化の一つの原因となっている。
【０００３】
工場排ガス規制や、工場内の環境改善の要求に対応するために、ＶＯＣを除去するための排ガス処理方法として、吸着法や、燃焼法、薬剤洗浄法等が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
例えば、工場内のＶＯＣ発生源から吸気された排ガスは、上記排ガス処理方法を用いて、ＶＯＣが除去され、清浄化されて建物外に排出される。排出ガスは、ＶＯＣセンサを用いて、ＶＯＣ濃度を測定することによって、監視される。
上記排ガス処理方法のうち、吸着法では、吸着剤に吸着された揮発性化合物を、加熱によって脱離させて吸着剤を再生する再生処理が不可欠である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２６２１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、上記従来技術の例えば吸着法を用いた排ガス処理装置の処理機能の監視方法では、吸着剤の飽和状態の確認が困難で、再生処理を行うべき時期を把握することが困難であるという点である。
例えば、吸着剤が十分な吸着機能を有している状態で、交換や再生をせざるを得なかったり、吸着剤が略飽和状態で吸着機能が低下している状態で使用して、ＶＯＣを含む空気を未浄化のまま排出してしまう場合があった。
したがって、 吸着剤によって効率的にＶＯＣを吸着除去し、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化することができなかった。
【０００６】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、ＶＯＣ等の揮発性化合物の除去状態を正確に把握することができる排ガス処理監視装置、排ガス処理装置及び排ガス処理監視方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、排ガス中に含まれる揮発性化合物を除去するとともに再生可能な排ガス処理部の処理機能を監視する排ガス処理監視装置に係り、上記排ガスの流路に沿って上記排ガス処理部に流入する上記揮発性化合物の流入濃度と上記排ガス処理部から排出される上記揮発性化合物の排出濃度とを検出する濃度検出手段と、上記流入濃度及び上記排出濃度に基づいて、上記排ガス処理部の使用時の処理機能の低下状態又は再生時の処理機能の回復状態を検知する状態検知手段とを備えてなることを特徴としている。
【０００８】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の排ガス処理監視装置に係り、上記流入濃度及び上記排出濃度を検出するためのガスセンサと、上記ガスセンサが配置され、上記揮発性化合物を含む上記排ガスが導入される測定室と、上記排ガス処理部の入口側から上記排ガスを吸引して上記測定室へ導入するための入口用吸気管と、上記排ガス処理部の出口側から上記排ガスを吸引して上記測定室へ導入するための出口用吸気管と、上記測定室と、上記入口用吸気管又は上記出口用吸気管とを、切り換えて接続して上記測定室に上記排ガスを導入させるための吸気管切換手段とを備えてなることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項３記載の発明は、請求項２記載の排ガス処理監視装置に係り、上記測定室には、ゼロ点補正用の空気を導入するための調整用吸気管が接続されていることを特徴としている。
【００１０】
また、請求項４記載の発明は、請求項１、２又は３記載の排ガス処理監視装置に係り、上記排ガス処理部は、上記揮発性化合物を吸着して除去する吸着部からなることを特徴としている。
【００１１】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の排ガス処理監視装置に係り、上記状態検知手段は、上記流入濃度及び上記排出濃度に基づいて、上記排ガス処理部による上記揮発性化合物の除去度を算出する除去度算出手段を有することを特徴としている。
【００１２】
また、請求項６記載の発明は、請求項５記載の排ガス処理監視装置に係り、上記除去度に基づいて、上記吸着部の再生処理の要否を判定する再生要否定手段を備えたことを特徴としている。
【００１３】
また、請求項７記載の発明は、請求項５又６記載の排ガス処理監視装置に係り、上記除去度に基づいて、上記吸着部の交換の要否を判定する交換要否判定手段を備えたことを特徴としている。
【００１４】
また、請求項８記載の発明は、請求項５、６又は７記載の排ガス処理監視装置に係り、上記除去度に基づいて、上記吸着部の再生処理中の再生処理終了の適否を判定する再生終了適否判定手段を備えたことを特徴としている。
【００１５】
また、請求項９記載の発明は、請求項７又は８記載の排ガス処理監視装置に係り、再生処理の要否判定、又は／及び交換の要否判定の判定結果を報知するための報知手段を備えたことを特徴としている。
【００１６】
また、請求項１０記載の発明は、請求項６乃至９のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置に係り、上記排ガスの流量を検出するための流量検出手段と、上記流量、上記流入濃度と上記排出濃度との濃度差、及び上記吸着部による吸着時間に基づいて、上記吸着部による吸着量を算出する吸着量算出手段とを有し、上記再生要否定手段は、上記吸着量に基づいて、上記吸着部の再生処理の要否を判定することを特徴としている。
【００１７】
また、請求項１１記載の発明は、請求項１乃至１０のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置に係り、上記除去度は、上記第１の濃度と上記第２の濃度との濃度差、該濃度差の上記第１の濃度に対する割合、上記濃度差の時間的変化、又は該時間的変化の割合であること特徴としている。
【００１８】
また、請求項１２記載の発明は、請求項１乃至１１のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置に係り、上記濃度検出手段は、上記流入濃度を検出する流入濃度検出手段と、上記排出濃度を検出する排出濃度検出手段とを有してなることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項１３記載の発明は、使用時に、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着する吸着部を備えると共に、再生時に、上記吸着部から上記揮発性化合物を脱離させて上記吸着部を再生させる機能を備えた排ガス処理装置に係り、第１の通路と、第２の通路と、上記第１の通路に設けられて、上記揮発性化合物を吸着する一方、所定の温度以上では吸着した上記揮発性化合物を脱離させる機能を有する上記吸着部と、上記第１の通路又は上記第２の通路に設けられ、所定の温度以上で上記揮発性化合物を分解又は分解を促進させる機能を有する触媒部と、上記第１の通路又は上記第２の通路に設けられ、再生時に、上記吸着部及び上記触媒部がそれぞれの所定の温度で上記機能を発揮できる程度にまで、上記吸着部及び上記触媒部をを加熱すると共に上記揮発性化合物を含むガスも加熱するための加熱部と、使用時には、上記第２の通路を遮断し、上記第１の通路に上記排ガスを通流させて上記排ガスを排気する一方、再生時には、上記第１の通路と上記第２の通路とによって循環路を形成させ、上記加熱部によって加熱された上記揮発性化合物を含むガスを上記循環路に沿って循環させるように、上記揮発性化合物を含むガスの通路を切り換えるための通路切換手段と、再生時に、上記循環路に沿って上記排ガスを通流させるための送風手段と、上記排ガス処理部としての上記吸着部の処理機能を監視する請求項４乃至１２のいずれか１に記載の排ガス処理監視装置とを備えてなることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の排ガス処理装置に係り、上記排ガス処理監視装置は、上記流路切換手段及び上記加熱部を制御する監視制御手段を備えてなることを特徴としている。
【００２１】
また、請求項１５記載の発明は、請求項１３又は１４に記載の排ガス処理装置に係り、上記第１の通路と上記第２の通路との分岐部位のうち、使用時に出口側となる部位から、上記排ガスの流出口へ至る通路の所定の部位には、上記揮発性化合物を除去するためのフィルタ部が着脱自在に配置されていることを特徴としている。
【００２２】
また、請求項１６記載の発明は、排ガス中に含まれる揮発性化合物を吸着する吸着部が着脱自在に配置されてなる排ガス処理装置に係り、上記吸着部の少なくとも下流側の上記揮発性化合物の濃度を検出するための濃度検出手段と、上記揮発性化合物の濃度と上記吸着部の使用履歴情報とに基づいて、上記吸着部の吸着機能の低下状態を検知する状態検知手段とを備えてなることを特徴としている。
【００２３】
また、請求項１７記載の発明は、排ガス中に含まれる揮発性化合物を除去するとともに再生可能な排ガス処理部の処理機能を監視するための排ガス処理監視方法に係り、上記排ガスの流路に沿って上記排ガス処理部に流入する上記揮発性化合物の流入濃度と上記排ガス処理部から排出される上記揮発性化合物の排出濃度とを検出する濃度検出工程と、上記流入濃度及び上記排出濃度に基づいて、上記排ガス処理部の使用時の処理機能の低下状態又は再生時の処理機能の回復状態を検知する状態検知工程とを含むことを特徴としている。
【００２４】
また、請求項１８記載の発明は、請求項１７記載の排ガス処理監視方法に係り、上記揮発性化合物を含む上記排ガスが導入される測定室に、上記流入濃度及び上記排出濃度を検出するためのガスセンサが配置され、上記測定室には、上記排ガス処理部の入口側から上記排ガスを吸引するための入口用吸気管と、上記排ガス処理部の出口側から上記排ガスを吸引するための出口用吸気管とが接続され、上記測定室と、上記入口用吸気管又は上記出口用吸気管とを、切り換えて接続して上記測定室に上記排ガスを導入させる吸気管切換工程と、上記吸気管切換工程で、上記測定室と上記入口用吸気管とを接続した後に、上記測定室に、上記排ガス処理部の入口側から上記排ガスを導入して、上記流入濃度を検出し、上記測定室と上記出口用吸気管とを接続した後に、上記測定室に、上記排ガス処理部の出口側から上記排ガスを導入して上記排出濃度を検出することを特徴としている。
【００２５】
また、請求項１９記載の発明は、請求項１８記載の排ガス処理監視方法に係り、上記測定室には、ゼロ点補正用の空気を導入するための調整用吸気管が接続され、少なくとも上記排出濃度を検知する前に、ゼロ点補正用の空気を上記調整用吸気管を介して上記測定室に導入して、ゼロ点補正を行うゼロ点補正工程を含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２６】
この発明の構成によれば、濃度検出手段によって、排ガス処理部に流入する揮発性化合物の流入濃度を検出し、排ガス処理部から流出する揮発性化合物の排出濃度を検出し、状態検知手段によって、流入濃度及び排出濃度に基づいて、排ガス処理部による揮発性化合物の処理機能の低下状態及び回復状態を検知するので、ＶＯＣ等の揮発性化合物の除去状態を正確に把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
濃度検出手段が、排ガス処理部に流入する揮発性化合物の流入濃度を検出し、排ガス処理部から流出する揮発性化合物の排出濃度を検出し、状態検知手段が、流入濃度及び排出濃度に基づいて、排ガス処理部による揮発性化合物の処理機能の低下状態及び回復状態を検知することによって、ＶＯＣ等の揮発性化合物の除去状態を正確に把握するという目的を実現した。
【実施例１】
【００２８】
図１は、この発明の第１の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図、図２は、同ＶＯＣ除去装置の構成を示す側面図、図３は、同ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置の構成を示すブロック図、図４は、同監視・制御装置の構成を示す正面図、図５は、同監視・制御装置のＶＯＣセンサユニットの構成を説明するための説明図、図６乃至図９は、同ＶＯＣセンサユニットを用いたＶＯＣ濃度の測定方法を説明するための説明図、また、図１０及び図１１は、同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【００２９】
この例のＶＯＣ除去装置（排ガス処理装置）１は、図１に示すように、例えば、印刷工場や塗装工場等の建物内の印刷機等のＶＯＣ発生源Ｓから、ＶＯＣを含む排ガスを吸気口２から吸気して、排出口３から建物外へ排出するまでの排気経路の途中に組み込まれ、発生したＶＯＣを除去して清浄な空気を排出するために用いられる。
すなわち、吸気口２から吸気ブロワ４によって吸気されて排気ダクト５を通流してＶＯＣ除去装置１においてＶＯＣが除去され浄化された空気は、排気ダクト６を通流して排出口３から建物外へ排出される。
【００３０】
このＶＯＣ除去装置１は、図１及び図２に示すように、ＶＯＣを含む空気が通流されてＶＯＣを除去して排出するＶＯＣ処理部８と、ＶＯＣ処理部８の上流側端部及び下流側端部に取り付けられた流入口管９及び流出口管１１と、吸着材の再生時に循環経路を構成し、両端がそれぞれ流入口管９と流出口管１１に接続された分岐管１２と、分岐管１２の所定の部位に配置され、吸着材の再生時に循環経路に沿って空気を通流させるための再生用ブロワ１３と、流入口管９の上流側端部に設けられた入口側ダンパ１４と、流出口管１１の下流側端部に設けられた出口側ダンパ１５と、分岐管１２の流入口管９側の端部に設けられた再生用ダンパ１６と、ＶＯＣ処理部８の下流側端部（触媒担持部２６の下流側）に配置され、熱電対からなる温度検出部１７と、ＶＯＣ処理部８の上流側（吸着除去部２４の入口側）及び下流側（触媒担持部２６の出口側）のＶＯＣ濃度を監視すると共に、ＶＯＣ処理部８を構成する金属ヒータ２８、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を制御するための監視・制御装置２１とがユニット化されて概略構成されている。
【００３１】
ＶＯＣ除去装置１は、上流側及び下流側でそれぞれ排気ダクト５，６に接続される。なお、ＶＯＣ除去装置１は、例えば、図２に示すように、荷台２２に取り付けられて配置されている。
ＶＯＣ処理部８は、ＶＯＣを吸着して除去するための吸着材からなる吸着除去部（吸着器）２４と、金属ヒータ２８からなる加熱部２５と、ＶＯＣを分解するための触媒担持部２６とが容器２７内に格納されて概略構成されている。
【００３２】
吸着除去部２４は、例えば、疎水性ゼオライトがハニカム構造状に成形されてなる吸着材を有している。
触媒担持部２６は、例えば、金属製のハニカム構造体に白金等の酸化触媒が担持されてなっている。
なお、この例では、ＳＶ（Space Velocity）値（単位時間に単位体積の吸着材（触媒）を通過するガス量）は、所定値（例えば、略４７０００［１／ｈｒ]）以下に設定される。
【００３３】
加熱部２５は、再生工程で、通流する空気を加熱し、吸着除去部２４及び触媒担持部２６を加熱させることによって、吸着材からＶＯＣを脱着させると共に、触媒を活性化させる。
加熱部２５を構成する金属ヒータ２８（例えば、５ｋＷ）は、金属多孔体としての所定の幅（例えば、略５０ｍｍ）の長手方向波型の波型金属板を、葛折りに折り重ねて構成され、金属多孔体の層間隙間に、排ガスを通し、該排気ガスを加熱するために用いられる。金属板の材料としては、ステンレス鋼等が用いられる。
【００３４】
監視・制御装置２１は、図３及び図５に示すように、ＣＰＵ等からなり、監視・制御装置本体の構成各部を制御する主制御部３１と、主制御部３１が実行する処理プログラムや各種データ等を記憶するための記憶部３２と、ＶＯＣ処理部８の上流側（吸着除去部２４の入口側）及び下流側（触媒担持部２６の出口側）のＶＯＣ濃度を検出するためのＶＯＣセンサユニット３３と、運転／停止操作や、ＶＯＣ濃度表示等を行うための操作・表示部３４と、計時部３５と、ＶＯＣセンサユニット３３を制御するセンサ制御部３６と、金属ヒータ２８の温度を制御するヒータ制御部３７と、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６を駆動するモータ駆動部３８とを有してなっている。
なお、主制御部３１は、ＶＯＣセンサユニット３３のＶＯＣセンサ４１や、ヒータ制御部３７のデジタル調温器、操作・表示部３４のデジタル表示器等と、ＲＳ−２３２Ｃ回路部やＲＳ−４８５回路部を含む入出力制御部を介して、信号の授受を行う。
【００３５】
主制御部３１は、記憶部３２に記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部３２に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。
【００３６】
ＶＯＣ濃度情報取得処理は、起動時及びＶＯＣ濃度測定時に実施される測定時センサ制御処理と、運用開始時及び交換時のほか、保守のために定期的に実施される校正時センサ制御処理とを含んでいる。
主制御部３１は、測定時センサ制御処理で、センサ制御部３６を介して、ＶＯＣセンサユニット３３（電磁弁４７，４８，４９及びエアポンプ５１）を制御して、ゼロ点補正を行わせた後、出口側ＶＯＣ濃度情報及び入口側ＶＯＣ濃度情報を取得する。
【００３７】
測定時センサ制御処理は、ゼロ点補正制御処理と、出口側濃度測定制御処理と、入口側濃度測定制御処理とを含んでいる。
主制御部３１は、ゼロ点補正制御処理で、センサ制御部３６を介して、電磁弁４９を開放させ、電磁弁４７，４８を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させ、空気を調整用吸気管４５から吸入させて、活性炭フィルタ５５を通して、ＶＯＣ測定室４２に所定時間（例えば、５min程度）導入させ、ゼロ点補正を行わせる。なお、ＶＯＣ測定室４２に導入された空気は、排気管４６を介して、ＶＯＣ処理部８の上流側に戻される（図６参照）。
【００３８】
主制御部３１は、出口側濃度測定制御処理で、センサ制御部３６を介して、電磁弁４８を開放させ、電磁弁４７，４９を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させて、排ガスを出口用吸気管４４を介して吸入させて、ＶＯＣ測定室４２に所定時間（例えば、２min程度）導入させ、出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する（図７参照）。
【００３９】
主制御部３１は、入口側濃度測定制御処理で、センサ制御部３６を介して、電磁弁４７を開放させ、電磁弁４８，４９を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させて、排ガスを入口用吸気管４３を介して吸入させて、ＶＯＣ測定室４２に所定時間（例えば、２min程度）導入させ、入口側のＶＯＣ濃度情報を取得する（図８参照）。
【００４０】
主制御部３１は、校正時センサ制御処理で、調整用吸気管４５に校正用ガスを供給するためのガスボンベ５７が取り付けられ、活性炭フィルタ５５が取り外された状態で、操作・表示部３４において、所定の開始操作がなされると、センサ制御部３６を介して、電磁弁４９を開放させ、電磁弁４７，４８を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させ、所定の濃度の校正用ガスを調整用吸気管４５を介して吸入させ、ＶＯＣ測定室４２に所定時間導入させて、校正を行わせる（図９参照）。
【００４１】
主制御部３１は、ＶＯＣ除去率算出処理で、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度に基づいて、濃度差（入口側のＶＯＣ濃度Ｎaと出口側のＶＯＣ濃度Ｎbとの差（Ｎa−Ｎb））の入口側のＶＯＣ濃度Ｎaに対する割合（（（Ｎa−Ｎb）／Ｎa）×１００（％））を、ＶＯＣ除去率として算出する。
【００４２】
判定処理は、再生要否判定処理と、再生終了判定処理と、劣化状態判定処理とを含んでいる。
主制御部３１は、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行う。すなわち、主制御部３３は、算出したＶＯＣ除去率が、基準除去率以下の場合に、再生処理要と判定する。
なお、予め設定した基準濃度（出口側のＶＯＣ濃度）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行っても良い。
【００４３】
主制御部３１は、再生終了判定処理で、予め設定された再生時間（例えば、略２０min）に基づいて、再生終了の適否の判定を行う。すなわち、主制御部３１は、再生処理開始から、設定された再生時間経過したと判断すると、再生終了すべきとの判定を行う。
主制御部３１は、劣化状態判定処理で、予め設定した再生直後の基準除去率（例えば、７０％）に基づいて、劣化状態の判定（交換の要否判定）を行う。すなわち、主制御部３１は、算出したＶＯＣ除去率が、基準除去率以下の場合に、交換要と判定する。
なお、予め設定した再生直後の濃度（出口側のＶＯＣ濃度）に基づいて、劣化状態の判定を行っても良い。
【００４４】
主制御部３１は、表示制御処理で、デジタル表示器５７に、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度、並びにＶＯＣ除去率を表示させる。
主制御部３１は、警報出力処理で、再生要否判定処理で再生処理開始要の判定がなされると、再生警告表示／再生実行ボタン６１の表示灯を点灯させ、再生終了判定処理で再生終了の判定をがなされると、再生終了表示／再生停止ボタン６２の表示灯を点灯させ、劣化状態判定処理で、吸着材交換要の判定がなされると、例えば、警告表示灯５９を点灯させる。
【００４５】
主制御部３１は、再生警告表示／再生実行ボタン６１が押下されると、流路切換制御処理で、モータ駆動部３８を介して、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全閉、再生用ダンパ１６を全開とさせ、再生用ブロワ１３を駆動させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を開始させ、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタン６２が押下されると、モータ駆動部３８を介して、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせ、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を停止させる。
【００４６】
流路切換制御処理は、ヒータ制御処理を含み、主制御部３１は、ヒータ制御処理で、温度検出部１７によって検知された温度と、設定された再生温度（例えば、略３００℃）とに基づいて、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。また、主制御部３１は、ＶＯＣ濃度が爆発限界の例えば、１／５を越えないように、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。
【００４７】
記憶部３２は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリ等からなり、主制御部３１が実行するＶＯＣ濃度取得処理プログラムや、ＶＯＣ除去率算出処理プログラム、判定処理プログラム、表示制御処理プログラム、警報出力処理プログラム、流路切換制御処理プログラム等の各種処理プログラム等が記憶されたプログラム記憶領域と、測定情報や設定情報等の各種情報が記憶された情報記憶領域とを有している。
【００４８】
測定情報は、測定されたＶＯＣ濃度情報及びガス温度情報や、時刻、再生処理における再生開始からの経過時間、再生回数等を含んでいる。なお、ＶＯＣ濃度情報として、ｐｐｍＣ換算値（濃度［ｐｐｍ］に分子式中の炭素原子数を乗じた値）を含む。
設定情報は、再生時間、再生温度（再生時のガスの温度）、再生要否判定時の基準除去率、再生要否判定時の基準濃度、劣化判定時の基準除去率（警報出力時の除去率）、劣化判定時の基準濃度、基準時間（例えば、警報出力を行うべき再生開始からの経過時間）、基準再生回数（警報出力を行うべき再生回数）のほか、装置ＩＤ番号を含んでいる。
【００４９】
ＶＯＣセンサユニット３３は、図５乃至図９に示すように、例えば、電気抵抗式の半導体センサからなるＶＯＣセンサ４１と、ＶＯＣセンサ４１が配置され、ＶＯＣを含む排ガスが試料ガスとして導入されるＶＯＣ測定室４２と、容器２７のＶＯＣ処理部８の上流側とＶＯＣ測定室４２とを接続して、排ガスを吸引するための入口用吸気管４３と、容器２７のＶＯＣ処理部８の下流側とＶＯＣ測定室４２とを接続して、排ガスを吸引するための出口用吸気管４４と、ゼロ点補正用の空気や校正用のガスをＶＯＣ測定室４２に導入するための調整用吸気管４５と、容器２７のＶＯＣ処理部８の上流側とＶＯＣ測定室４２とを接続し、排ガスを排出する（戻す）ための排気管４６と、入口用吸気管４４、出口用吸気管４５及び調整用吸気管４５と、ＶＯＣ測定室４２との間の気体の通流をそれぞれ開閉するための電磁弁４７，４８，４９と、排気管４６のＶＯＣ測定室４２側端部に配置され、試料ガスを吸引するためのエアポンプ５１と、ＶＯＣセンサ４１からの信号を受け、ＶＯＣ濃度情報を主制御部３１へ送信するためのセンサ回路部５２とを有してなっている。
【００５０】
また、入口用吸気管４４及び出口用吸気管４５の電磁弁４７，４８の上流側近傍には、塵埃を除去するためのフィルタ５３，５４が配置される。調整用吸気管４５の電磁弁４９の上流側近傍には、ゼロ点補正時に、活性炭フィルタ５５が配置される。校正時には、この活性炭フィルタ５５は、取り外される。
この例では、単一のＶＯＣセンサ４１を用いて、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度が検出される。
【００５１】
操作・表示部３４は、図４に示すように、液晶パネル等からなり、入口側ＶＯＣ濃度、出口側ＶＯＣ濃度及びＶＯＣ除去率等の測定値や、各種メッセージ等をを表示するデジタル表示器５７と、電源表示灯５８と、警告表示灯５９と、再生警告表示／再生実行ボタン６１と、再生終了表示／再生停止ボタン６２と、警告ブザー６３と、電源スイッチ６４と、非常停止ボタン６５とを有している。
ヒータ制御部３７は、デジタル調温器を含んでいる。また、モータ駆動部３８は、再生用ブロワ１３、入口側ダンパ１４、出口側ダンパ１５及び再生用ダンパ１６のモータを制御する。
【００５２】
次に、図６乃至図１１を参照して、この例のＶＯＣ除去装置１の動作について説明する。
まず、図６乃至図９を参照して、ＶＯＣ濃度の測定方法から説明する。
主制御部３１は、ゼロ点補正制御処理で、図６に示すように、センサ制御部３６を介して、電磁弁４９を開放させ、電磁弁４７，４８を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させ、空気を調整用吸気管４５を通流させ、活性炭フィルタ５５を通して、ＶＯＣ測定室４２に所定時間（例えば、５min程度）導入（吸引）させて、ゼロ点補正を行わせる。ＶＯＣ測定室４２に導入された空気は、排気管４６を介して、ＶＯＣ処理部８の上流側に戻される。
【００５３】
次に、主制御部３１は、出口側濃度測定制御処理で、図７に示すように、センサ制御部３６を介して、電磁弁４８を開放させ、電磁弁４７，４９を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させて、排ガスを出口用吸気管４４を介して、ＶＯＣ測定室４２に所定時間（例えば、２min程度）導入させた後、出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
【００５４】
次に、主制御部３１は、入口側濃度測定制御処理で、図８に示すように、センサ制御部３６を介して、電磁弁４７を開放させ、電磁弁４８，４９を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させて、排ガスを入口用吸気管４３を介して、ＶＯＣ測定室４２に所定時間（例えば、２min程度）導入させた後、入口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
主制御部３１は、入口側濃度測定制御処理を実施すると、ゼロ点補正制御処理を実施する。すなわち、ゼロ点補正制御処理、出口側濃度測定制御処理及び入口側濃度測定制御処理をこの順に繰り返し実施する。
【００５５】
校正時には、調整用吸気管４５に校正用ガスを供給するためのガスボンベ５７を取り付け、活性炭フィルタ５５を取り外す。
操作・表示部３４において、所定の開始操作を行うと、図９に示すように、主制御部３１は、校正時センサ制御処理で、センサ制御部３６を介して、電磁弁４９を開放させ、電磁弁４７，４８を閉鎖させると共に、エアポンプ５１を運転させ、所定の濃度の校正用ガスを調整用吸気管４５を通流させ、ＶＯＣ測定室４２に所定時間導入させて、校正を行わせる。
【００５６】
工場稼働時間帯には、図１０に示すように、吸気ブロワ４が運転され、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全開、再生用ダンパ１６が全閉とされ、再生用ブロワ１３が停止された状態で、ＶＯＣ処理部８にＶＯＣを含んだ空気が導入され、ＶＯＣ吸着除去工程が実施される。すなわち、ＶＯＣは吸着除去部２４の吸着材によって、吸着され除去され、清浄化された空気が排出口３から排出される。
【００５７】
主制御部３１は、ＶＯＣ濃度取得処理で、ＶＯＣセンサユニット３３からＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
次に、主制御部３１は、ＶＯＣ除去率算出処理で、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度に基づいて、濃度差（入口側のＶＯＣ濃度Ｎaと出口側のＶＯＣ濃度Ｎbとの差（Ｎa−Ｎb））の入口側のＶＯＣ濃度Ｎaに対する割合（（（Ｎa−Ｎb）／Ｎa）×１００（％））を、ＶＯＣ除去率として算出する。
【００５８】
次に、主制御部３１は、表示制御処理で、デジタル表示器５７に、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度、並びにＶＯＣ除去率を表示させる。
主制御部３１は、再生要否判定処理で、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行う。
主制御部３１は、再生要否判定処理で再生処理開始要の判定がなされると、警報出力処理で、再生警告表示／再生実行ボタン６１の表示灯を点灯させる。
【００５９】
また、工場終業（休業）時間帯には、図１１に示すように、吸気ブロワ４が停止され、主制御部３１は、再生警告表示／再生実行ボタン６１が押下されると、流路切換制御処理で、モータ駆動部３８を介して、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全閉、再生用ダンパ１６を全開とさせ、再生用ブロワ１３を駆動させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を開始させる。
ここで、主制御部３１は、ヒータ制御処理で、温度検出部１７によって検知された温度と、設定された再生温度（例えば、略３００℃）とに基づいて、金属ヒータ２８に供給される電力を制御する。
【００６０】
このように、ＶＯＣ除去装置１では、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５が全閉、再生用ダンパ１６が全開とされ、再生用ブロワ１３が運転され、かつ、ＶＯＣ処理部８を構成する加熱部２５がオンとされて、流入口管９→ＶＯＣ処理部８→流出口管１１→分岐管１２→流入口管９の向きに、循環経路に沿って、加熱された空気が循環されて、ＶＯＣ処理部８を構成する吸着除去部２４の吸着材及び触媒担持部２６の触媒が加熱され、ＶＯＣが吸着材から脱着されて吸着材が再生されると共に、触媒が活性化されてＶＯＣが分解される。
【００６１】
主制御部３１は、再生終了判定処理で再生終了の判定をがなされると、再生終了表示／再生停止ボタン６２の表示灯を点灯させる。
主制御部３１は、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタン６２が押下されると、モータ駆動３８を介して、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせ、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部３７を介して、金属ヒータ２８への電力供給を停止させる。この後、必要に応じて、吸気ブロワ４を運転する。
こうして、浄化された空気が排出口３から排出される。次に、吸着除去部２４の吸着材が冷却される。
【００６２】
なお、主制御部３１は、劣化状態判定処理で、予め設定した再生直後の基準除去率（例えば、７０％）に基づいて、劣化状態の判定（交換の要否判定）を行い、吸着材交換要の判定がなされると、例えば、警告表示灯５９を点灯させる。
上述したように、加熱された空気を、閉じた循環路に沿って循環させて、吸着材を再生する方法を採用すると、空気を循環させない従来の方法を用いた場合に対して、消費電力は、略１／３以下であった。
【００６３】
このように、この例の構成によれば、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を測定することによって、例えば、ＶＯＣ除去率を算出して、吸着除去部２４によるＶＯＣの除去状態（吸着状態）を正確に把握することができるので、吸着材（吸着剤）の詳細な特性が不明であっても、吸着材の再生処理の要否を正確にかつ確実に判定することができる。
【００６４】
したがって、吸着材が略飽和状態で吸着機能が低下している状態で使用して、ＶＯＣを含む空気を未浄化のまま排出してしまうことを防止し、かつ、吸着材が十分な吸着機能を有している状態で、交換や再生をしてしまうことを回避することができる。
すなわち、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化し、かつ、吸着材によって効率的にＶＯＣを吸着除去することができる。また、吸着材の長寿命化を図ることができる。
【００６５】
また、ＶＯＣセンサユニット３３で、単一のＶＯＣセンサ４１と単一のＶＯＣ測定室４２によって、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を検出することができるので、コストを低減することができると共に、装置の小型化に寄与することができる。
また、単一のＶＯＣセンサ４１を用いることにより、測定誤差を低減し、校正等に要する手間を軽減することができる。
また、出口側濃度測定の前に、ゼロ点補正を行うと共に、このゼロ点補正によって、ＶＯＣセンサのクリーニングもなされるので、測定精度を向上させることができる。
【００６６】
また、加熱された空気を、閉じた循環路に沿って循環させて、吸着除去部２４及び触媒担持部２６を加熱するので、熱の放散を抑制し、金属ヒータ２８の加熱に要する電力を低減しつつ、確実に、吸着材からＶＯＣを脱着させ、かつ、触媒を活性化させて、ＶＯＣを分解することができる。すなわち、コストを低減することができる。
また、閉じた循環路に沿って、空気を循環させるので、加熱中のＶＯＣの漏洩を抑制することができる。
【００６７】
また、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を測定することによって、例えば、ＶＯＣ除去率を算出して、劣化状態（交換の要否）の判定を正確にかつ確実に判定することができる。
また、監視装置と制御装置を一体化したので、操作性を向上させることができる。
また、ＶＯＣ処理部８の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を測定し、これらのＶＯＣ濃度と、ＶＯＣ除去率とが表示されるので、表示を確認することによって、操作者は、安心感を得ることができる。
【００６８】
また、操作者は、表示を確認し、必要に応じて、再生警告表示／再生実行ボタン６１や、再生終了表示／再生停止ボタン６２を押すのみで、自動的に流路が切り換り、自動的に運転されるので、例えば、熟練した操作者が操作しなくても、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化することができる。
【００６９】
また、触媒を用いて、ＶＯＣを分解するので、比較的低い処理温度で、ＶＯＣを含む空気を確実に清浄化することができる。
再生工程（加熱工程）では、閉じた密閉構造の循環路に沿って、空気を循環させるので、安全性を向上させることができる。
再生工程で、脱着させる場合も、ＶＯＣ濃度を管理することによって、爆発等を防止することができる。
また、ヒータ制御によって、金属ヒータの過熱を防止することができる。
このように、安全性を向上させることができる。
【実施例２】
【００７０】
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、主制御部が、入口側濃度測定時に、同時刻の出口側濃度を予測して、ＶＯＣ除去率を算出するように構成した点である。
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、その説明を簡略にする。
【００７１】
この例の監視・制御装置の主制御部は、記憶部に記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ濃度変化率算出処理、ＶＯＣ濃度予測処理、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。
【００７２】
主制御部は、濃度変化率算出処理で、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度の前回測定時のＶＯＣ濃度に対する時間的変化率を算出する。
また、主制御部は、ＶＯＣ濃度予測処理で、入口側のＶＯＣ濃度測定時に、出口側のＶＯＣ濃度及びその時間的変化率に基づいて、同時刻の出口側のＶＯＣ濃度濃度の予測値を算出する。
また、主制御部は、ＶＯＣ除去率算出処理で、入口側のＶＯＣ濃度と、これと同時刻の予測される出口側のＶＯＣ濃度とに基づいて、ＶＯＣ除去率を算出する。
【００７３】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、主制御部は、入口側濃度測定時に、同時刻の出口側濃度を予測して、ＶＯＣ除去率を算出するので、ＶＯＣ濃度の時間的変化が比較的大きい場合でも、一段と正確に、ＶＯＣ除去率を算出することができる。
【実施例３】
【００７４】
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、数回の測定結果の平均値をＶＯＣ濃度として求めて、ＶＯＣ濃度の平均値に基づいて、ＶＯＣ除去率を算出するように構成した点である。
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、その説明を簡略にする。
【００７５】
この例の監視・制御装置の主制御部は、記憶部に記憶された各種処理プログラムを実行し、記憶部に確保された各種レジスタやフラグを用いて、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。
【００７６】
ＶＯＣ濃度情報取得処理は、測定時センサ制御処理と、校正時センサ制御処理とを含み、測定時センサ制御処理は、ゼロ点補正制御処理と、出口側濃度測定制御処理と、入口側濃度測定制御処理とを含んでいる。
この例では、出口側濃度測定制御処理及び入口側濃度測定制御処理は、共に数回の測定結果の平均値をＶＯＣ濃度として求める平均値算出処理を含んでいる。
主制御部は、ＶＯＣ除去率算出処理で、ＶＯＣ濃度の両平均値に基づいて、ＶＯＣ除去率を算出する。
【００７７】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、主制御部は、出口側濃度測定制御処理及び入口側濃度測定制御処理の平均値算出処理で、ＶＯＣ濃度の平均値を求め、両平均値を用いて、一段と正確に、ＶＯＣ除去率を算出することができる。
【実施例４】
【００７８】
図１２は、この発明の第４の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、第１の実施例では、単一のＶＯＣ処理部を配置したのに対して、２基のＶＯＣ処理部を設けて、例えば交互に、吸着除去工程と、再生工程及び冷却工程とを実施するように構成した点である。
【００７９】
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、第１の実施例と同一の構成要素については、図１２において、図１で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【００８０】
このＶＯＣ除去装置１Ａは、図１２に示すように、第１ＶＯＣ処理部７１及び第２ＶＯＣ処理部７２と、流入口管７３，７４及び流出口管７５，７６と、分岐管７７と、再生用ブロワ７８と、流入側切換部７９と、流出側切換部８１と、第１温度検出部８２及び第２温度検出部８３と、監視・制御装置２１Ａがユニット化されて概略構成されている。
【００８１】
第１ＶＯＣ処理部７１（第２ＶＯＣ処理部７２）は、吸着除去部８４（８５）と、加熱部８６（８７）と、触媒担持部８８（８９）とが容器９１（９２）内に格納されて概略構成されている。
【００８２】
流入側切換部７９は、流入した排ガスを、第１ＶＯＣ処理部７１又は第２ＶＯＣ処理部７２へ切り換えて導くための切換ダンパ９３と、分岐管７７と第１ＶＯＣ処理部７１又は第２ＶＯＣ処理部７２とを切り換えて接続するための切換ダンパ９４とを有している。
流出側切換部８１は、分岐管７７と第１ＶＯＣ処理部７１又は第２ＶＯＣ処理部７２とを切り換えて接続するための切換ダンパ９５と、第１ＶＯＣ処理部７１又は第２ＶＯＣ処理部７２から排出された清浄化されたガスを排出口３へ導くための切換ダンパ９６とを有している。
【００８３】
監視・制御装置２１ＡのＶＯＣセンサユニットは、ＶＯＣセンサと、ＶＯＣ測定室と、容器９１（９２）の第１ＶＯＣ処理部７１（第２ＶＯＣ処理部７２）の上流側とＶＯＣ測定室とを接続して、排ガスを吸引するための入口用吸気管９７（９８）と、容器９１（９２）の第１ＶＯＣ処理部７１（第２ＶＯＣ処理部７２）の下流側とＶＯＣ測定室とを接続して、排ガスを吸引するための出口用吸気管９９（１０１）と、ゼロ点調整用の空気や校正用のガスをＶＯＣ測定室に導入するための調整用吸気管と、容器９１（９２）の第１ＶＯＣ処理部７１（第２ＶＯＣ処理部７２）の上流側とＶＯＣ測定室とを接続し、排ガスを排出する（戻す）ための排気管１０２と、入口用吸気管９７（９８）、出口用吸気管９９（１０１）、及び調整用吸気管とＶＯＣ測定室との間の気体の通流をそれぞれ開閉するための電磁弁と、排気管のＶＯＣ測定室側端部に配置され、試料ガスを吸引するためのエアポンプと、ＶＯＣセンサからの信号を受け、ＶＯＣ濃度情報を主制御部へ送信するためのセンサ回路部とを有してなっている。
この例では、入口用吸気管９７と入口用吸気管９８、出口用吸気管９９と出口用吸気管１０１は、それぞれ、三方弁によって切り換えられる。
【００８４】
監視・制御装置２１Ａの主制御部は、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を実行する。ここで、判定処理は、再生要否判定処理と、再生終了判定処理と、劣化状態判定処理とを含んでいる。
この例では、流路切換制御処理は、三方弁制御処理を含んでいる。
【００８５】
この例の主制御部は、図１２に示すように、第１ＶＯＣ処理部７１で、吸着除去を実施していた場合に、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行い、算出した除去率が基準除去率以下となり、第１ＶＯＣ処理部７１の吸着除去部８４の吸着材の再生要と判定すると、流路切換制御処理で、切換ダンパ９３，９６を第１ＶＯＣ処理部７１側を閉とするように制御し、切換ダンパ９４，９５を、第１ＶＯＣ処理部７１と分岐管７７とが連通されるように制御し、かつ、三方弁を制御して、入口用吸気管９７とＶＯＣ測定室、及び出口用吸気管９９とＶＯＣ測定室との連通から、入口用吸気管９８とＶＯＣ測定室、及び出口用吸気管１０１とＶＯＣ測定室との連通へ切り換えて、第２ＶＯＣ処理部７２で、吸着除去を実施する。
同時に、第１ＶＯＣ処理部７１の加熱部８６に、所定の再生時間、電力を供給し、かつ、再生用ブロワ７８を運転して、再生工程を実施する。再生用ブロワ７８は、再生時間終了後、所定時間運転を継続して、冷却工程を実施する。
【００８６】
また、この主制御部は、図１２に示すように、第２ＶＯＣ処理部７２で、吸着除去を実施していた場合に、再生要否判定処理で、例えば、予め設定した基準除去率（例えば、３０％）に基づいて、再生処理開始の要否判定を行い、第２ＶＯＣ処理部７２の吸着除去部８５の吸着材の再生要と判定すると、流路切換制御処理で、切換ダンパ９３，９６を、第２ＶＯＣ処理部７２側を閉とするように制御し、切換ダンパ９４，９５を、第２ＶＯＣ処理部７２と分岐管７７とが連通されるように制御し、かつ、三方弁を制御して、入口用吸気管９８とＶＯＣ測定室、及び出口用吸気管１０１とＶＯＣ測定室との連通から、入口用吸気管９７とＶＯＣ測定室、及び出口用吸気管９９とＶＯＣ測定室との連通へ切り換えて、第１ＶＯＣ処理部７１で、吸着除去を実施する。
同時に、第２ＶＯＣ処理部７２の加熱部８７に、所定の再生時間、電力を供給し、かつ、再生用ブロワ７８を運転して、再生工程を実施する。再生用ブロワ７８は、再生時間終了後、所定時間運転を継続して、冷却工程を実施する。
【００８７】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、例えば、工場操業時、工場休業時にかかわらず、吸着除去処理と、再生処理とを、同時に実施することができる。したがって、ＶＯＣ除去装置として、連続的に吸着除去処理を実施して、常時排ガスを清浄化することができる。また、操作ボタンの操作によることなく、自動運転を行うことができる。
【実施例５】
【００８８】
図１３は、この発明の第５の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
この例の装置構成が、上記した第１の実施例のそれと大きく異なるところは、出口側ダンパと排出口との間に、脱臭フィルタを配置した点である。
【００８９】
これ以外の構成は、上述した第１の実施例の構成と略同一であるので、第１の実施例と同一の構成要素については、図１３において、図１で用いた符号と同一の符号を用いて、その説明を簡略にする。
【００９０】
このＶＯＣ除去装置１Ｂは、図１３に示すように、ＶＯＣ処理部８と、流入口管９及び流出口管１１と、分岐管１２と、再生用ブロワ１３と、入口側ダンパ１４と、出口側ダンパ１５と、再生用ダンパ１６と、温度検出部１７と、入口側ＶＯＣ検出部１８、出口側ＶＯＣ検出部１９と、出口側ダンパ１５と排出口３との間に配置され、フィルタ部としての活性炭素繊維からなるカートリッジ式の脱臭フィルタ１０４と、監視・制御装置２１Ｂとがユニット化されて概略構成されている。
【００９１】
この例では、使用時には、吸着除去部２４で吸着されなかった排ガス中のＶＯＣは、脱臭フィルタ１０４で、吸着・除去される。
再生処理において、監視・制御装置２１Ｂの主制御部は、再生時間が経過すると、又は再生終了表示／再生停止ボタンが押下されると、モータ駆動を介して、再生用ブロワ１３を停止させ、かつ、ヒータ制御部を介して、加熱部２５の金属ヒータへの電力供給を停止させる。
【００９２】
この主制御部は、温度検出部１７によって検出された温度が所定値以下となったときに、再生用ダンパ１６を全閉とさせ、かつ、入口側ダンパ１４及び出口側ダンパ１５を全開とさせて、空気を排出させる。この後、必要に応じて、吸気ブロワ４を運転する。
再生処理後、触媒担持部２６で分解されなかったＶＯＣは、排出口３へ向けて通流される途中で、脱臭フィルタ１０４において吸着・除去される。
【００９３】
この例の構成によれば、上述した第１の実施例と略同様の効果を得ることができる。
加えて、一段と確実にＶＯＣを除去することができる。
【実施例６】
【００９４】
図１４は、この発明の第６の実施例である空気清浄機の概略構成を示す模式断面図、図１５は、同空気清浄機の概略構成を模式的に示す平面図、また、図１６は、同空気清浄機の構成を示すブロック図である。
この例の空気清浄機（排ガス処理装置）１０６は、例えば工場等の建物内に配置される工作機械等の近傍に、天井吊下方式等で配置され、工作機械等で発生した主としてオイルミストを除去するとともに、ＶＯＣを除去して、清浄な空気を排出するために用られる。
【００９５】
ここで、例えば、汚染源近傍に配置されたフードが先端部に取り付けられたダクトが空気清浄機の吸気部に接続されて、オイルミストやＶＯＣ等の除去が行われる。
この空気清浄機１０６は、図１４及び図１５に示すように、吸気部１０７から空気を吸い込むための送風機１０８と、送風機１０８の吸引力によって吸い込まれた空気が流通され、オイルミストを捕捉し除去するとともに、ＶＯＣを吸着・除去して、清浄化された空気を円筒状の排気部から排気するミスト・ＶＯＣ除去部１０９と、例えば送風機１０８やミスト・ＶＯＣ除去部１０９へ電力を供給して運転させるための制御ユニット１１１とが、装置箱体（ケーシング）１１２に格納されて、又は取り付けられて概略構成されている。
なお、装置箱体１１２の下部には、図１４に示すように、ミスト・ＶＯＣ除去部１０９によって捕集されたオイルミストの凝集体を貯留するオイル貯留部１１３と、オイル貯留部１１３の底部に取り付けられ、オイル貯留部１１３に溜まったオイルを排出するためのオイル排出部１１４が設けられている。
【００９６】
送風機１０８は、複数の羽根が放射状に並べられた羽根車と、この羽根車を駆動するモータとを有してなる送風機であって、羽根車及びモータの軸心が吸気部１０７の中心軸線と概略共通する態様で、装置箱体１１２に取り付けられている。
この例のミスト・ＶＯＣ除去部１０９は、図１４に示すように、装置箱体１１２内に、上流側から順に、切粉等の比較的大型の粉塵を除去するための金網プレフィルタ１１５と、オイルミストを衝突させて捕捉するニッケル多孔体フィルタ１１６，１１６と、例えばニードル放電方式の電気集塵ユニット１１７と、例えば、疎水性ゼオライトがハニカム構造状に成形されてなる吸着材を有する吸着ユニット１１８，１１８，１１８と、最後段の吸着ユニット１１８の下流側のＶＯＣ濃度を検出するためのＶＯＣ検出部１１９とが配設されてなっている。
【００９７】
制御ユニット１１１は、図１６に示すように、ＣＰＵ等からなり、制御ユニット本体の構成各部を制御する主制御部１２１と、主制御部１２１が実行する処理プログラムや各種データ等を記憶するための記憶部１２２と、運転／停止操作や、ＶＯＣ濃度表示等を行うための操作・表示部１２３と、送風機１０８を駆動するモータ駆動部１２４と、電気集塵ユニット１１７に、所定の高圧直流電圧（例えば５ｋＶ程度）を供給するための電力供給部１２５とを有してなっている。
【００９８】
主制御部１２１は、記憶部１２２に記憶された各種処理プログラムを実行し、構成各部を制御し、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、判定処理、表示制御処理、警報出力処理等を実行する。
主制御部１２１は、ＶＯＣ濃度情報取得処理で、ＶＯＣ検出部１１９から、現在の出口側のＶＯＣ濃度情報を取得する。
主制御部１２１は、ＶＯＣ濃度情報を所定の周期で取得するほか、吸着ユニット１１８の交換時等に、ＶＯＣ濃度情報を取得して、記憶部１２２に記憶させる。ここで、主制御部１２１は、吸着ユニット１１８の交換直後のほか、吸着ユニット１１８が配置されていない状態のＶＯＣ濃度情報を取得する。
【００９９】
判定処理は、劣化状態仮判定処理と、劣化状態判定処理と、交換要否判定処理と、追加要否判定処理とを含んでいる。
主制御部１２１は、劣化状態仮判定処理で、現在のＶＯＣ濃度と、予め設定した基準濃度（例えば、１０ｐｐｍ）とに基づいて、劣化状態を仮判定する。
すなわち、主制御部１２１は、現在のＶＯＣ濃度が、基準濃度を越えている場合には、吸着ユニット１１８が劣化しているものと仮判定する。
【０１００】
また、主制御部１２１は、劣化状態仮判定処理で吸着ユニット１１８が劣化しているものと仮判定されると、劣化状態判定処理で、吸着ユニット１１８の使用履歴に基づいて、劣化状態を判定する。
すなわち、主制御部１２１は、使用履歴として、例えば、吸着ユニット１１８の通算使用時間や、使用開始時（交換直後）のＶＯＣ濃度、ＶＯＣ濃度の増加分（現在のＶＯＣ濃度と使用開始時のＶＯＣ濃度との差）に基づいて、さらに、必要に応じて、算出されたＶＯＣ濃度の増加率や、時間的増加率にも基づいて、劣化状態を判定する。主制御部１２１は、例えば、吸着ユニット１１８の通算使用時間が比較的短いような場合には、未だ劣化していないものと判定する。
【０１０１】
主制御部１２１は、交換要否判定処理で、劣化状態仮判定処理で吸着ユニット１１８が劣化しているものと仮判定され、かつ、劣化状態判定処理で劣化しているものと判定されている場合に、吸着ユニット１１８を交換すべきものと判定する。
また、主制御部１２１は、追加要否判定処理で、劣化状態仮判定処理で吸着ユニット１１８が劣化しているものと仮判定され、かつ、劣化状態判定処理で未だ劣化していないものと判定され、さらに、ミスト・ＶＯＣ除去部１０９において、吸着ユニット１１８を追加配置する余裕がある場合に、吸着ユニット１１８を追加すべきものと判定する。
【０１０２】
また、主制御部１２１は、表示制御処理で、操作・表示部１２３の表示器に、出口側のＶＯＣ濃度を表示させる。
また、主制御部１２１は、警報出力処理で、交換要否判定処理で吸着ユニット交換要の判定がなされると、操作・表示部１２３の警告表示灯を点灯させるとともに表示器に吸着ユニット交換要の旨のメッセージを表示させ、追加要否判定処理で吸着ユニット追加要の判定がなされると、警告表示灯を点灯させるとともに表示器に吸着ユニット追加要の旨のメッセージを表示させる。
【０１０３】
記憶部１２２は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の半導体メモリ等からなり、主制御部１２１が実行するＶＯＣ濃度情報取得処理プログラムや、判定処理プログラム、表示制御処理プログラム、警報出力処理プログラム等の各種処理プログラム等が記憶されたプログラム記憶領域と、測定情報や設定情報等の各種情報が記憶された情報記憶領域とを有している。
【０１０４】
操作・表示部１２３は、液晶パネル等からなり、出口側のＶＯＣ濃度の測定値や、各種メッセージ等をを表示する表示器と、電源表示灯と、警告表示灯と、警告ブザーと、電源スイッチとを有している。
【０１０５】
この例の構成によれば、主制御部１２１は、劣化状態判定処理で、吸着ユニット１１８の使用履歴に基づいて、劣化状態を判定するので、吸着ユニット１１８の交換の要否を正確に判定することができる。
例えば、吸着ユニット１１８が飽和状態でなくても、汚染源の濃度が一時的に急激に上昇して、出口側のＶＯＣ濃度が上昇しているような場合に、吸着ユニット１１８を追加して、ＶＯＣ濃度を低下させることができるので、吸着ユニット１１８を無用に交換しなくても良い。
【０１０６】
以上、この発明の実施例を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。
例えば、上述した実施例では、吸着除去部によるＶＯＣの除去状態（排ガス処理機能）を監視するために、ＶＯＣ処理部の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を検出する場合について述べたが、吸着除去部の直前及び直後のＶＯＣ濃度を検出するようにしても良い。
【０１０７】
また、吸着除去部の機能を監視するために用いる場合について述べたが、例えば、触媒担持部の直前及び直後のＶＯＣ濃度を検出して、触媒担持部の機能を監視するようにしても良い。この場合、ＶＯＣ濃度に限らず、触媒担持部の直前及び直後の例えばＣＯ２濃度を検出するようにしても良い。また、吸着法に限らず、燃焼法や薬剤洗浄法等で、一般に、排ガス処理装置の排ガス処理機能を監視するために適用することができる。
【０１０８】
また、上述した実施例では、吸着剤の再生時に、排ガスを循環させる場合について述べたが、循環させない場合にも適用することができる。また、吸着時にも、一部を循環させて、再び吸着除去部を通流させるようにしても良い。
また、濃度監視対象の物質としては、ＶＯＣに限らず、アンモニアや硫化水素等の物質であっても良いし、例えば、水蒸気等であっても良い。
【０１０９】
また、ＶＯＣセンサとして用いる半導体センサとしては、電気抵抗式であっても、ダイオード式であっても、トランジスタ式であっても良い。電気抵抗式の場合は、表面制御型であっても、バルク制御型であっても良い。
また、ＶＯＣセンサとしては、半導体センサに限らず、例えば、ＶＯＣを含むガスに紫外線を照射してＶＯＣをイオン化させ、電極で捕捉して検出電流をＶＯＣ濃度として検出する光イオン化検出器を用いても良いし、ＶＯＣ成分を濃度に比例して吸収・放出する高分子薄膜素子の膨潤による光学膜圧の変化に応じた干渉光強度の変化をＶＯＣ濃度として検出する干渉増幅反射法によるセンサを用いても良い。
【０１１０】
また、上述した実施例では、単一のＶＯＣセンサを用いて、ＶＯＣ処理部の入口側及び出口側のＶＯＣ濃度を検出する場合について述べたが、入口側及び出口側のＶＯＣ濃度のために、別々のＶＯＣセンサを用いるようにしても良い。
【０１１１】
また、上述した実施例では、主制御部は、校正時センサ制御処理を、操作・表示部の所定の開始操作があった場合に実施する場合について述べたが、調整用吸気管に校正ガスのガスボンベが取り付けられている場合に、開始操作なしに自動的に実施するようにしても良い。この場合、調整用吸気管及び電磁弁を、ゼロ点調整用と校正用とで別々に設けても良いし、単一の調整用吸気管を切り換えて用いるようにしても良い。
【０１１２】
また、測定時センサ制御処理において、出口側濃度測定と入口側濃度測定との間にもゼロ点補正を行うようにしても良い。この場合は、入口側濃度から測定しても良い。
測定時センサ制御処理は、所定のタイミングで自動的に行っても良いし、所定の開始操作があった場合に実施するようにしても良い。また、ゼロ点補正のみ開始操作によって実施するようにしても良い。
【０１１３】
また、ゼロ点補正用の空気としては、ＶＯＣ発生源がある工場等の建物内の空気を濾過して用いても良いし、ＶＯＣ処理部によって清浄化された後の空気を用いても良いし、清浄な空気をガスボンベから供給しても良い。
また、少なくとも１回分の出口側濃度測定及び入口側濃度測定の後に、ゼロ点補正を行うようにしても良い。また、ゼロ点補正時以外に、測定室に清浄な空気を定期的に導入してクリーニング処理を行うようにしても良い。
【０１１４】
また、監視・制御装置で、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を、主制御部が、対応する制御プログラムを実行することによって行う場合について述べたが、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等の一部又は全部を専用のハードウェアを用いて行い、一部を対応するプログラムを実行して処理するようにしても良い。
【０１１５】
また、ＶＯＣ濃度情報取得処理や、ＶＯＣ除去率算出処理、判定処理、表示制御処理、警報出力処理、流路切換制御処理等を、それぞれ別々のＣＰＵが実行しても良いし、例えば、単一のＣＰＵが実行しても良い。
また、再生要否判定処理で、再生処理開始の判定を、予め設定した基準除去率に基づいて行うほかに、出口側のＶＯＣ濃度、出口側のＶＯＣ濃度の時間的変化率、ＶＯＣ除去率の時間的変化率や、これらの組合せ等によって行っても良い。また、この基準除去率についても、例えば、吸着材の使用履歴（再生回数等）に応じて、変化させるようにしても良い。
【０１１６】
また、再生終了判定処理で、再生処理終了の判定を、予め設定した再生時間によって行うほかに、出口側のＶＯＣ濃度又はその再生前のＶＯＣ濃度に対する変化率、ＶＯＣの吸着量等によって行っても良い。
また、再生時間は、もちろん、一例として挙げた略２０minに限らず、吸着材の使用履歴や、吸気ブロアの運転スケジュール、ＶＯＣ発生源の状況等に応じて、これよりも短くしても長くしても良いし、また、予め設定しておいても、その都度設定しても良い。
【０１１７】
また、劣化状態判定処理で、劣化状態の判定（交換の要否判定）を、予め設定した再生直後の基準除去率に基づいて行うほかに、再生直後の入口側のＶＯＣ濃度と出口側のＶＯＣ濃度との濃度差、総吸着量（延べ吸着量）、総再生時間、再生回数、供給熱量等や、これらの組合せによって行っても良い。また、この基準除去率についても、例えば、吸着材の使用履歴（再生回数等）や、種類等に応じて、変化させるようにしても良い。
【０１１８】
また、再生時間及び再生温度を予め固定した値に設定する場合について述べたが、例えば、吸着材の種類や、除去対象のＶＯＣの種類等に応じて、設定値を変化させても良いし、同一の吸着材についても、吸着材の使用履歴（再生回数等）等に応じて、変化させるようにしても良い。また、再生温度を出口側のＶＯＣ濃度や、ＶＯＣ除去率に基づいて変化させるようにしても良い。
【０１１９】
また、排ガスの流量を計測し、流量と、入口側のＶＯＣ濃度と出口側のＶＯＣ濃度との濃度差と、吸着時間とに基づいて、吸着材による吸着量を算出し、ＶＯＣ除去率に代えて、吸着量に基づいて、再生要否判定を行うようにしても良い。これによって、一段と正確に、吸着材の飽和状態を確認し、再生処理を行うべき時期を把握することができる。
【０１２０】
また、例えば、再生時間を吸着量に基づいて、設定しても良い。また、吸着材について、再生や交換が必要な時期を予め推定して予告するようにしても良い。また、吸着材以外の部材や部品（ＶＯＣセンサや、金属ヒータ等）についても、交換が必要な時に警告しても良いし、交換が必要な時期を予め推定して予告しても良い。
【０１２１】
また、監視装置と、制御装置とを別々に配置しても良い。また、監視・制御装置は、ＶＯＣ処理部等と別の場所に設置しても良いし、一体化しても良い。別置の場合、架台に装着しても、壁掛けとしても良い。
また、ＶＯＣ除去装置の監視・制御装置に、例えば、ＳＤ（Secure Digital）カード（登録商標）や、miniＳＤカード（登録商標）等の小型のメモリカードから所定の情報を読み取ったり、記憶部に蓄積された測定データを、メモリカードに書き込むためのカード読取・書込部を設けても良い。また、電子記録媒体として、メモリーカード等のカード形の電子記録媒体ほか、スティック状の電子記録媒体等を用いても良い。
また、ネットワークを介して、複数のＶＯＣ除去装置の監視が可能なように構成しても良いし、さらに、複数のＶＯＣ除去装置を遠隔操作可能なように構成しても良い。
【０１２２】
また、例えば、監視・制御装置の操作・表示部を操作することによって、自動的にダンパーの切換え等を行う場合について述べたが、表示機能を備えたＶＯＣ検出部を、ＶＯＣ処理部の上流側及び下流側に配置し、操作者が、両ＶＯＣ検出部の表示を確認して、手動でダンパーを切り換え、再生ブロワの操作を行っても良い。
また、ＶＯＣ検出部を廃して、単に、ダンパーを切り換え、再生ブロワを操作して、排ガスを循環させて、再生処理を所定時間施すようにしても良い。
また、触媒担持部と、加熱部とは、必ずしも、吸着除去部の近傍に配置されていなくても良く、例えば、触媒担持部及び加熱部を、分岐管内に配置するようにしても良いし、両方に配置しても良い。
【０１２３】
また、温度検出部は、ＶＯＣ処理部の下流側端部（触媒担持部の下流側）に限らず、ＶＯＣ処理部の上流側端部（吸着除去部の上流側）に配置しても良いし、吸着除去部と加熱部との間や、触媒担持部と加熱部との間に配置しても良いし、複数箇所に配置しても良い。
また、再生処理後は、再生用ブロワを停止させ、入口側ダンパ及び再生用ダンパを全閉とさせ、出口側ダンパを全開とさせても良い。また、ダンパの開度を制御するようにしても良い。
【０１２４】
また、ＶＯＣ処理部の前段にフィルタ（例えば、金網フィルタ等）を配置しても良い。また、触媒担持部で、白金等の酸化触媒を担持させるハニカム構造体は、金属製に限らず、例えば、セラミック製であっても良いし、ハニカム構造体に限らず、担体としては、球状体でも多角形状体でも棒状体等でも良い。また、触媒としては、白金のほか、パラジウム、バナジウム等の他の貴金属系触媒を用いても良い。
また、吸着除去部及び触媒担持部で、金属ヒータに、吸着剤や触媒を担持させても良い。この場合、加熱部を独立させて設けなくても良い。また、加熱部のヒータを、配管の外部に配管を囲むように配置しても良い。
【０１２５】
また、水蒸気の濃度が低いときは、吸着剤として、疎水性ゼオライトに限らず、通常の親水性ゼオライトを用いても良い。また、吸着剤として、活性炭や、シリカゲル等を用いても良い。
また、金属ヒ−タは、吸着除去部の前段側（上流側）に配置しても良いし、触媒担持部の後段側（下流側）に配置しても良いし、複数箇所に配置しても良い。
また、フィルタの加熱方法は、抵抗加熱に限らず、誘導加熱によっても良い。
【０１２６】
また、第１の実施例で、工場終業（休業）時間帯に、再生工程と、排出工程とを繰り返し実施するようにしても良い。また、排出口側に、排風機を配置して再生終了後に排気させるようにしても良い。
また、第１の実施例で、操作ボタンの操作によって、吸着除去処理と、再生処理とを切り換えて実施する場合について述べたが、吸気ブロワの運転／停止に合わせて、操作ボタンの操作なしに、自動的に、吸着除去処理と、再生処理とを切り換えて実施しても良い。例えば、工場が操業予定の昼間であっても、吸気ブロワが停止中で、主制御部が、再生処理要と判定したときは、自動的に再生処理を行うようにしても良い。
【０１２７】
また、第２の実施例で、入口側濃度測定時に、同時刻の出口側濃度を予測して、ＶＯＣ除去率を算出する場合について述べたが、出口側濃度を測定した後に、次回の入口側濃度測定時の出口側濃度を予測しておいても良い。
また、出口側濃度測定時の入口側濃度を前後の入口側濃度の測定値から予測し、この入口側濃度と出口側濃度とから、ＶＯＣ除去率を算出して、出口側濃度測定時の値として表示するようにしても良い。
【０１２８】
また、第３の実施例で、平均値算出処理で、複数回測定する場合に、複数の測定値のうち、最小値と最大値を除いて平均値を求めるようにしても良い。また、平均値としては、相加平均のほか、相乗平均や、調和平均を求めるようにしても良い。
また、入口側濃度測定と出口側濃度測定とで、それぞれ、交互に１回ずつ測定して数回の測定結果の平均値算出処理を行っても良いし、一方で、連続して数回測定を行って平均値算出処理を行っても良い。
【０１２９】
また、第４の実施例で、分岐管及び再生用ブロワを共通とせずに、各ＶＯＣ処理部に対応させて専用に配置しても良い。また、ＶＯＣ処理部は、２基に限らず、３基以上設けても良い。
この場合に、同時に複数基で、吸着除去処理を行っても良いし、同時に複数基で、再生処理を行っても良い。
【０１３０】
また、第４の実施例で、分岐管内に、加熱部と触媒担持部とを配置し、第１ＶＯＣ処理部及び第２ＶＯＣ処理部には、吸着除去部を配置して、加熱部及び触媒担持部を廃しても良い。
また、第４の実施例で、出口側の切換ダンパと、排出口との間に、例えば、脱臭フィルタを配置しても良い。
【０１３１】
また、第５の実施例で、フィルタ部として、活性炭素繊維からなる脱臭フィルタのほか、例えば、ハニカム構造状に成形された疎水性ゼオライトを配置しても良い。
また、第１の実施例乃至第５の実施例で、出口側濃度のみ測定して、出口側濃度に基づいて、再生要否や交換要否の判定を行うようにしても良い。例えば、出口側濃度が、予め設定した所定の濃度を越えた場合や、再生直後又は交換直後の濃度に対する増加分又は増加率、時間的増加率が、それぞれ、所定値を越えた場合に、再生要又は交換要と判定するようにしても良い。
この場合、ＶＯＣ除去装置（排ガス処理装置）において、ＶＯＣ（揮発性化合物）の流入濃度検出機能を廃しても良い。
【０１３２】
また、第６の実施例で、金網プレフィルタを省略しても良い。また、ニッケル多孔体フィルタや電気集塵ユニット、吸着ユニットの数は、適宜変更しても良い。また、空気清浄機を、粉塵やヒュームとＶＯＣとを除去するために用いても良い。この場合、ニッケル多孔体フィルタを廃する。
【０１３３】
また、第６の実施例で、吸着ユニットの使用履歴に基づかずに、現在のＶＯＣ濃度が、所定の濃度を越えたら、吸着ユニットを交換するようにしても良い。
また、第６の実施例で、濃度センサを、吸着ユニットの直前にも配置して、両濃度に基づいて、吸着ユニットの交換の要否を判定するようにしても良い。
【０１３４】
また、第６の実施例で、複数の吸着ユニットを配置可能とする場合に、ＶＯＣ濃度の測定結果に応じて、適正なユニット数を判定するようにしても良い。
ここで、排ガスの流量を測定し、かつ、吸着ユニットの入口のＶＯＣ濃度（又は吸着ユニットを除いた場合のＶＯＣ濃度）を測定し、各吸着ユニットの前回交換時からの吸着量を推定して、この吸着量と、現在の出口のＶＯＣ濃度と、基準濃度とに基づいて、吸着ユニットの交換や追加の判定を行うようにしても良い。また、状況に応じて、吸着ユニットを減らしても良い。
【０１３５】
また、第６の実施例で、ＶＯＣ濃度センサを、空気清浄機の内部に限らず、排出口側の外部に取り付けも良いし、制御部に接続せずに、表示器を備えたＶＯＣ濃度センサを、独立に配置しても良い。また、吸着ユニットの後段（最後段）に、例えば、活性炭素繊維からなるパネル状の脱臭フィルタを配置しても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
塗装工場や、印刷工場、化学工場等のほか、事務所や店舗、住宅等で、悪臭が発生する場所に設置して用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】この発明の第１の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【図２】同ＶＯＣ除去装置の構成を示す側面図である。
【図３】同ＶＯＣ除去装置のの監視・制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】同の監視・制御装置の構成を示す正面図である。
【図５】同監視・制御装置のＶＯＣセンサユニットの構成を説明するための説明図である。
【図６】同ＶＯＣセンサユニットを用いたＶＯＣ濃度の測定方法を説明するための説明図である。
【図７】同ＶＯＣセンサユニットを用いたＶＯＣ濃度の測定方法を説明するための説明図である。
【図８】同ＶＯＣセンサユニットを用いたＶＯＣ濃度の測定方法を説明するための説明図である。
【図９】同ＶＯＣセンサユニットを用いたＶＯＣ濃度の測定方法を説明するための説明図である。
【図１０】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１１】同ＶＯＣ除去装置の動作を説明するための説明図である。
【図１２】この発明の第４の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【図１３】この発明の第５の実施例であるＶＯＣ除去装置の構成を説明するための説明図である。
【図１４】この発明の第６の実施例である空気清浄機の概略構成を示す模式断面図である。
【図１５】同空気清浄機の概略構成を模式的に示す平面図である。
【図１６】同空気清浄機の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１３８】
１，１Ａ，１Ｂ      ＶＯＣ除去装置（排ガス処理装置）
８      ＶＯＣ処理部
９，７３，７４      流入口管（第１の通路）
１１，７５，７６      流出口管（第１の通路）
１２，７７      分岐管（第２の通路）
１３      再生用ブロワ（送風手段）
１４      入口側ダンパ（通路切換手段の一部）
１５      出口側ダンパ（通路切換手段の一部）
１６      再生用ダンパ（通路切換手段の一部）
２１，２１Ａ，２１Ｂ      監視・制御装置（排ガス処理監視装置）
２４，８４，８５      吸着除去部（排ガス処理部、吸着部）
２５，８６，８７      加熱部
２６，８８，８９      触媒担持部（触媒部）
２７，９１，９２      容器（第１の通路）
２８      金属ヒータ
３１      主制御部（状態検知手段、除去度算出手段、再生要否定手段、交換要否判定手段、再生終了適否判定手段、監視制御手段）
３２      記憶部
３３      ＶＯＣセンサユニット（濃度検出手段、流入濃度検出手段、排出濃度検出手段）
３４      操作・表示部（報知手段）
４１      ＶＯＣセンサ（ガスセンサ）
４２      ＶＯＣ測定室（測定室）
４３      入口用吸気管
４４      出口用吸気管
４５      調整用吸気管
４７，４８，４９      電磁弁（吸気管切換手段の一部）
７１      第１ＶＯＣ処理部
７２      第２ＶＯＣ処理部
９４，９５      切換ダンパ（通路切換手段の一部）
１０４      脱臭フィルタ（フィルタ部）
１０６      空気清浄機（排ガス処理装置）
１１１      制御ユニット
１１８      吸着ユニット（吸着部）
１１９      ＶＯＣ検出部（濃度検出手段）
１２１      主制御部（状態検知手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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