(57)【要約】【課題】吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することが可能であって、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することが可能な板状材の塗工方法の提供を目的とする。【解決手段】板状材１Ｓに形成した塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するための測距手段６ａ〜６ｃを予め備えておき、まず、テーブル２に試験用の板状材を設置して、テーブルとノズルホルダー５とを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材に試験塗工を行い、次いで、テーブルとノズルホルダーとを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、測距手段により測定を行い、次いで、所望の塗工面ＬＳを得るために、測距手段による測定結果に応じて、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃにより吐出ノズルの位置調整を行い、その後、板状材１Ｐに塗工処理を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状材が設置されるテーブルと、ノズル位置調整手段を介して吐出ノズルを支持するノズルホルダーとを相対的に前後移動させることにより、該吐出ノズルから吐出される塗工液を板状材に塗工する板状材の塗工方法であって、
板状材に形成した塗工面と上記吐出ノズルとの間の距離を測定するための測距手段を予め備えておき、
まず、上記テーブルに試験用の板状材を設置して、該テーブルと上記ノズルホルダーとを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材に試験塗工を行い、
次いで、上記テーブルと上記ノズルホルダーとを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、上記測距手段により測定を行い、
次いで、所望の塗工面を得るために、上記測距手段による測定結果に応じて、上記ノズル位置調整手段により上記吐出ノズルの位置調整を行い、
その後、板状材に塗工処理を行うことを特徴とする板状材の塗工方法。
【請求項２】
前記ノズル位置調整手段は、前記ノズルホルダーに反力をとって、前記吐出ノズルに押し上げ力あるいは押し下げ力を入力する加力手段であり、該加力手段の加力値で上記吐出ノズルの位置調整を行うことを特徴とする請求項１に記載の板状材の塗工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することが可能であって、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することが可能な板状材の塗工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルなどの高品質が求められる板状材に対する塗工関連技術では、当該板状材に形成される塗工面の管理が重要である。関連する技術を開示したものとして、例えば特許文献１〜３が知られている。特許文献１の「塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法」は、ガラス基板を大型化しても、基板と塗布ヘッドとのクリアランスを幅方向に均一にして、均一で高速塗布可能とするもので、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔を幅方向に調整する間隔調整手段を設け、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔が幅方向に一定になるように、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面位置を幅方向に変化させて塗布するようにしている。
【０００３】
特許文献２の「基板処理装置」は、作成したレジスト膜の検査のために、ギャップセンサがレジスト塗布領域を走査し、基板上に形成されたレジスト膜とのギャップを測定して制御系に伝達し、制御系は、レジスト塗布前に測定したギャップの値（基板の表面との距離）と、レジスト塗布後に測定したギャップの値（レジスト膜の表面との距離）とを比較することにより、基板上のレジスト膜の厚さを算出するようになっている。
【０００４】
特許文献３の「スリットダイ、ならびに、塗膜を有する基材の製造方法および製造装置」は、サブミクロンオーダのリップ間隙精度が容易に得られるスリットダイを提供し、またダイを組み立てた後においては、特別な調整を行わなくても、３％以下の極めて高い塗布厚み精度で均一に塗膜を形成することを可能にするもので、リップ間隙の長手方向における間隙幅分布が調整できるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−３００２５８号公報
【特許文献２】特開２００４−１４６０７号公報
【特許文献３】特開２００４−２８３８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、間隔調整手段により、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面位置を幅方向に変化させて、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔が幅方向に一定になるようにしているけれども、装置側で塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔を一定にするだけでは、塗工面を適正かつ確実に管理できているとは言えなかった。
【０００６】
特許文献２では、ギャップセンサを備えて、レジスト塗布前に測定したギャップの値（基板の表面との距離）と、レジスト塗布後に測定したギャップの値（レジスト膜の表面との距離）とを検出できるようにしているが、これらギャップの値は、レジスト膜の検査に用いられるものであり、すなわち、製品の良否のチェックを行うにすぎないものであって、塗工する際に塗工面の形成を適切に管理できているとは言えなかった。
【０００７】
特許文献３では、リップ間隙の幅方向分布を調整するようにしているけれども、装置側でリップ間隙を調整しても、塗工面を適正かつ確実に管理できているとは言えなかった。
【０００８】
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することが可能であって、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することが可能な板状材の塗工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる板状材の塗工方法は、板状材が設置されるテーブルと、ノズル位置調整手段を介して吐出ノズルを支持するノズルホルダーとを相対的に前後移動させることにより、該吐出ノズルから吐出される塗工液を板状材に塗工する板状材の塗工方法であって、板状材に形成した塗工面と上記吐出ノズルとの間の距離を測定するための測距手段を予め備えておき、まず、上記テーブルに試験用の板状材を設置して、該テーブルと上記ノズルホルダーとを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材に試験塗工を行い、次いで、上記テーブルと上記ノズルホルダーとを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、上記測距手段により測定を行い、次いで、所望の塗工面を得るために、上記測距手段による測定結果に応じて、上記ノズル位置調整手段により上記吐出ノズルの位置調整を行い、その後、板状材に塗工処理を行うことを特徴とする。
【００１０】
前記ノズル位置調整手段は、前記ノズルホルダーに反力をとって、前記吐出ノズルに押し上げ力あるいは押し下げ力を入力する加力手段であり、該加力手段の加力値で上記吐出ノズルの位置調整を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる板状材の塗工方法にあっては、吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することができ、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明にかかる板状材の塗工方法の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態にかかる板状材の塗工方法は基本的には図１に示すように、板状材１Ｓ，１Ｐが設置されるテーブル２と、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを介して吐出ノズル４を支持するノズルホルダー５とを相対的に前後移動させることにより、吐出ノズル４から吐出される塗工液Ｌを板状材１Ｓ，１Ｐに塗工する板状材の塗工方法であって、板状材１Ｓに形成した塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するための測距手段６ａ〜６ｃを予め備えておき、まず、テーブル２に試験用の板状材１Ｓを設置して、テーブル２とノズルホルダー５とを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材１Ｓに試験塗工を行い、次いで、テーブル２とノズルホルダー５とを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、測距手段６ａ〜６ｃにより測定を行い、次いで、所望の塗工面ＬＳを得るために、測距手段６ａ〜６ｃによる測定結果に応じて、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃにより吐出ノズル４の位置調整を行い、その後、製品用の板状材１Ｐに塗工処理を行うようになっている。なお、図１（ａ）は、塗工工程を正面から見た図、図１（ｂ）は、塗工工程を側方から見た図である。
【００１３】
まず、本実施形態にかかる板状材の塗工方法に用いられる装置について説明する。図１〜図４に示すように、当該装置は主に、板状材１Ｓ，１Ｐが設置されるテーブル２と、テーブル２上で板状材１Ｓ，１Ｐ上方を走行移動するノズルホルダー５と、ノズルホルダー５に設けられるノズル位置調整手段３ａ〜３ｃと、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを介してノズルホルダー５に支持され、塗工液Ｌを吐出して板状材１Ｓ，１Ｐに塗工処理を施す吐出ノズル４とから構成される。図３（ａ）は、当該装置を正面から見た図、図３（ｂ）は、吐出ノズル４部分を側面から見た断面図、図３（ｃ）は、当該装置を後方から見た図である。
【００１４】
テーブル２上面は、高い平面度の平坦面で形成される。このテーブル２上面には、試験用の板状材１Ｓや製品用の板状材１Ｐが載置される。ノズルホルダー５は、左右一対の脚部５ａと、これら脚部５ａ間に掛け渡される横架部５ｂとを備えて、全体として門形状に形成される。横架部５ｂが板状材１Ｓ，１Ｐ上方を横行する。ノズルホルダー５にはさらに、左右一対の脚部５ａおよび横架部５ｂと接合して、縦壁部５ｃが設けられる。ノズルホルダー５の各脚部５ａとテーブル２上面との間には、ノズルホルダー５をテーブル２上で前後方向に往復移動させるためのリニアモーター７が左右一対設けられる。これにより、ノズルホルダー５は、待機位置Ｘからスタートして、板状材１Ｓ，１Ｐ上方を前進し、折り返し位置Ｙまで達して一旦停止し、その後、折り返し位置Ｙからリスタートして、待機位置Ｘまで戻って停止する往復移動を行うようになっている。ノズルホルダー５に対して、テーブル２を移動させるようにしても良い。また、図示しないけれども、各脚部５ａにはそれぞれ、それらの高さを個別に調整して横架部５ｂの横架状態を調節することができるように、ボールネジ形式などのジャッキが組み込まれる。
【００１５】
吐出ノズル４は、ノズルホルダー５の横架部５ｂ下に、その長さ方向に沿って設けられる。吐出ノズル４の下端縁には、その長さ方向に沿って一連に吐出口４ａが設けられる。吐出ノズル４は、横架部５ｂ上にその長さ方向に沿って適宜間隔を隔てて配置される複数台のノズル位置調整手段３ａ〜３ｃの各ロッド８と接合される。ノズルホルダー５の縦壁部５ｃには、これらノズル位置調整手段３ａ〜３ｃの間に位置させて、吐出ノズル４に向かって横向きに突出する支軸９が設けられる。吐出ノズル４は、支点となるこれら支軸９と嵌合される。図示例にあっては、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃは、等間隔で三台設けられている。吐出ノズル４は、これら第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを介して、ノズルホルダー５に支持される。また、支軸９は、三台のノズル位置調整手段３ａ〜３ｃの間の中央に位置させて、二箇所に設けられている。ノズル位置調整手段は、横架部５ｂの中央に一台設けるようにしてもよい。この場合、支軸９は、ノズル位置調整手段の両側に、当該ノズル位置調整手段から等距離を隔てて二箇所に設けられる。
【００１６】
各ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃは、横架部５ｂ上に固定されたケーシング１０と、ケーシング１０に対し上下方向にスライド自在に設けられ、横架部５ｂを上下方向に貫通して吐出ノズル４に接合されたロッド８と、ケーシング１０内に設けられ、ロッド８をスライド移動させる図示しない駆動部とから構成される。駆動部の駆動方式としては、空圧式、油圧式、電動式など、周知の方式が採用される。ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃは、ケーシング１０を介して横架部５ｂに反力をとって、吐出ノズル４に押し上げ力もしくは押し下げ力を入力する加力手段であって、支軸９に嵌合された吐出ノズル４は、ロッド８の上昇移動による押し上げもしくは下降移動による押し下げで曲げ変形され、これにより位置調整されるようになっている。具体的には図４に示すように、図示した等間隔で配置した三台のノズル位置調整手段３ａ〜３ｃのうち、中央の第１ノズル位置調整手段３ａを押し下げ、左右の第２および第３ノズル位置調整手段３ｂ，３ｃを押し上げることで、吐出ノズル４は、横架部５ｂの長さ方向に弓なりに下向き凸の形態に曲げ変形されて、吐出口４ａの位置が調整され、これにより吐出ノズル４の長さ方向における塗工液Ｌの吐出量が調整されるようになっている。
【００１７】
この状態で板状材１Ｓ，１Ｐに塗工を行った場合、吐出口４ａと板状材１Ｓ，１Ｐの表面との距離が近づくと、吐出ノズル４内の塗工液Ｌの圧力が解放されにくくなり、吐出口４ａから塗工液Ｌが吐出されにくくなるため、塗膜厚は薄くなる。また、吐出口４ａと板状材１Ｓ，１Ｐの表面との距離が離れると、吐出ノズル４内の塗工液Ｌの圧力が解放されやすくなり、吐出口４ａから塗工液Ｌが吐出されやすくなるため、塗膜厚は厚くなる。よって、吐出ノズル４の中央部よりも端部の方が塗工液Ｌが吐出されやすいため、当該端部の塗膜厚は厚くなる。この吐出口４ａと板状材１Ｓ，１Ｐの表面との距離を変化させる量と、塗膜厚が変化する量の関係は、予め実測によるデータをコントローラ１２に入力しておけば、調整操作時に用いることができる。
【００１８】
テーブル２上面には、ノズルホルダー５の待機位置Ｘに、吐出ノズル４の長さ方向に適宜間隔を隔てて、吐出ノズル４との間、具体的には吐出口４ａが設けられた下端縁との間の隙間寸法を検出する隙間センサー１１ａ〜１１ｃが設けられる。図示例にあっては、第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃの取付位置に合致させて三箇所に、第１〜第３隙間センサー１１ａ〜１１ｃが設けられる。隙間センサー１１ａ〜１１ｃとしては、例えばマグネスケール（登録商標）が用いられる。各隙間センサー１１ａ〜１１ｃは、後述するコントローラ１２に接続されて、検出した隙間量をコントローラ１２に出力する。コントローラ１２は、第１〜第３隙間センサー１１ａ〜１１ｃから入力される隙間量に応じてジャッキを適宜に昇降制御し、また必要に応じて、第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを作動させる。
【００１９】
測距手段６ａ〜６ｃは、ノズルホルダー５の縦壁部５ｃに、吐出ノズル４とは反対側に位置させて設けられる。測距手段６ａ〜６ｃは、縦壁部５ｃの長さ方向に適宜間隔を隔てて設けられる。図示例にあっては、第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃの取付位置に合致させて三箇所に、第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃが設けられる。これら測距手段６ａ〜６ｃとしては例えば、出射したレーザー光が反射して戻ってくるまでの時間を計測して距離を測定するレーザーセンサーが採用される。これら測距手段６ａ〜６ｃにはコントローラ１２が接続され、測定値が当該コントローラ１２へと出力される。これら測距手段６ａ〜６ｃは、試験用の板状材１Ｓに吐出ノズル４で塗工を施した後の当該吐出ノズル４の後進時に、それら直下の塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定し、当該距離を測定値として出力する。第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃはそれぞれ第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃに対応していて、各ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃの取付位置それぞれにおける上記距離を測定する。測距手段６ａ〜６ｃによる測定操作は、吐出ノズル４の後進速度を考慮し測距手段６ａ〜６ｃもしくはコントローラ１２にて測定データに補正をかけることで、後進中連続して行うようにしてもよいし、あるいは適宜位置で吐出ノズル４を停止させ、その停止時に行うようにしてもよい。前者は、測定対象距離を連続的に測定する方法であり、後者は、測定対象距離を複数箇所でサンプリングする方法であって、いずれの方法を採用しても良い。また、基本的に、第１測距手段６ａで得られた測定値は、第１ノズル位置調整手段３ａによる吐出ノズル４の位置調整に用いられ、第２および第３測距手段６ｂ，６ｃで得られた測定値もそれぞれ、第２および第３ノズル位置調整手段３ｂ，３ｃによる吐出ノズル４の位置調整に用いられる。また必要であれば、コントローラ１２にて、これら第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃの測定値に対し補間処理を行い、第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃによって吐出ノズル４に加える変形を最適化するようにしてもよい。いずれにしても、得られた各測距手段６ａ〜６ｃからの測定値はコントローラ１２に入力される。コントローラ１２には、第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃが接続され、コントローラ１２は、第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃから入力された測定値を演算処理して、各測距手段６ａ〜６ｃに対応する第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃのノズル位置調整量を制御量として各ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃへ出力する。このノズル位置調整量の制御量は、駆動部でロッド８を押し上げあるいは押し下げする加力値として出力される。第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃは、コントローラ１２から入力されるノズル位置調整量に従い、それらの駆動部がロッド８に加力してスライド移動させ、これにより各測距手段６ａ〜６ｃで測定された測定結果に応じて、具体的には測定値に対するコントローラ１２での演算処理結果に応じて、吐出ノズル４の位置調整が行われる。
【００２０】
次に、本実施形態にかかる板状材の塗工方法について説明する。塗工操作開始前に予め、測距手段６ａ〜６ｃをノズルホルダー５の縦壁部５ｃに装着しておく。まず、テーブル２上面に第１の試験用の板状材１Ｓを、吸引手段等でテーブル面に吸着固定して設置し、テーブル２に対してノズルホルダー５を前進させ、吐出ノズル４により第１の試験塗工を行う。次いで、テーブル２に対してノズルホルダー５を後進させ、その過程で第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃにより測定を行う。例えば、図２の「データ１」で示すように、第１の試験用の板状材１Ｓの左右端部間で、ΔｔＢの偏差があった場合には、第１〜第３隙間センサー１１ａ〜１１ｃで検出される隙間量を用い、コントローラ１２でジャッキを作動させて左右一対の脚部５ａの高さを調整し、横架部５ｂの横架状態を調節して、レベル補正を行う。これにより、ΔｔＢをほぼゼロに設定する。必要に応じて、第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを作動させて微調整を行ってもよい。次いで、テーブル２上面に第２の試験用の板状材１Ｓを設置し、テーブル２に対してノズルホルダー５を前進させ、吐出ノズル４により第２の試験塗工を行う。次いで、テーブル２に対してノズルホルダー５を後進させ、その過程で第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃにより測定を行う。仮に、図２の「データ２」に示すように、第２の試験用の板状材１Ｓの塗工面ＬＳの中央部が左右よりもΔｔＣ高い状態が測定された場合には、第１〜第３測距手段６ａ〜６ｃで計測された測定値を用い、コントローラ１２で第１〜第３ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを作動させて吐出ノズル４を曲げ変形させる補正を行う。すなわち、塗膜厚の薄い部分では吐出ノズル４を引き上げ、塗膜厚の厚い部分では吐出ノズル４を押し下げるように変形させる。これにより、ΔｔＣをほぼゼロに設定する。このようにしてΔｔＣをほぼゼロに設定できれば、その後塗工が施される製品用の板状材１Ｐに平坦な塗工面ＬＳを形成することができる。図２に示したように、レベル補正や曲げ補正のために、複数回の試験塗工を繰り返すようにしてもよい。また、本実施形態にあっては、平坦な塗工面ＬＳを得る場合について説明したが、曲げ補正のみ、あるいはこれにレベル補正を組み合わせることで、吐出ノズル４の長さ方向に適宜に傾斜させた塗工面ＬＳや任意形態の塗工面ＬＳを形成することもできる。
【００２１】
さらに、上記手順では、第１の試験塗工、第２の試験塗工というように、２回に分けて行うようにしたが、コントローラ１２での演算により、１回の試験塗工で済ませることも可能である。
【００２２】
以上説明した本実施形態にかかる板状材の塗工方法にあっては、板状材１Ｓに形成した塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するための測距手段６ａ〜６ｃを予め備えておき、まず、テーブル２に試験用の板状材１Ｓを設置して、テーブル２に対してノズルホルダー５を相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材１Ｓに試験塗工を行い、次いで、テーブル２に対してノズルホルダー５を相対的に後方へ向かって移動させる過程で、測距手段６ａ〜６ｃにより測定を行い、次いで、所望の塗工面ＬＳを得るために、測距手段６ａ〜６ｃによる測定結果に応じて、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃにより吐出ノズル４の位置調整を行い、その後、製品の板状材１Ｐに塗工処理を行うようにしたので、試験用の板状材１Ｓへの試験塗工の状況を塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定する測距手段６ａ〜６ｃで測定し、その結果に応じて、所望の塗工面ＬＳが得られるようにノズル位置調整手段３ａ〜３ｃによって吐出ノズル４の位置調整を行うことができて、吐出ノズル４から吐出される塗工液Ｌで形成される塗工面ＬＳを適正かつ確実に管理することができ、板状材１Ｓ，１Ｐが高い平面度であれば塗膜厚も適切に管理できて、塗工面ＬＳの品質管理、製品の歩留まり向上を、高い作業効率で確保することができる。
【００２３】
このように適切な塗工面管理を行うことができれば、塗工液Ｌを板状材１Ｐに塗工した後でも、塗工面ＬＳを自由に調整することができ、製品品質を向上することができる。また、吐出ノズル４等の部品の機械的精度や組み立て精度が十分に得られなくても、本実施形態にかかる方法により塗工面ＬＳの精度を保証できることから、装置の分解修理等のメンテナンスを削減して、塗工操作を行うことができ、メンテナンスコストの削減や作業能率の向上を確保できる。さらに、塗工液Ｌの交換や塗工液Ｌの品質のばらつきに対しても、本実施形態にかかる方法による吐出ノズル４の位置調整で簡便に塗工処理を実行することができ、作業効率を向上することができる。
【００２４】
また、測距手段６ａ〜６ｃで塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するようにしているので、この測定結果を、コントローラ１２によるノズル位置調整手段３ａ〜３ｃのノズル位置調整量の設定に用いることができ、塗工面ＬＳの補正や管理を自動化することができる。また、前進して塗工処理するノズルホルダー５の後進過程を利用して測距手段６ａ〜６ｃで測定を行うようにしているので、処理時間を短縮化することができる。また、左右一対の脚部５ａの高さ調整を行うジャッキを用いたレベル補正と組み合わせた塗工制御としているので、吐出ノズル４を曲げ変形させる曲げ補正を必要最小限に抑えることができ、合理的かつ適切に塗工面管理を行うことができる。
【００２５】
さらに、ノズル位置調整手段３ａ〜３ｃを、ノズルホルダー５に反力をとって、吐出ノズル４に押し上げ力あるいは押し下げ力を入力する加力手段とし、加力手段の加力値で吐出ノズル４の位置調整を行うようにしたので、ミクロンオーダーとなる吐出ノズル４の位置を変位量で調整する場合に比べて、簡易かつ容易に位置調整することができる。
【００２６】
本実施形態にあっては、ガラス基板などの板状材を例にとって説明したが、フィルムなどの表面にペースト、レジスト液、カラーフィルタなどの塗工液を塗工する処理にも好ましく適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明にかかる板状材の塗工方法の好適な一実施形態を説明する概略説明図である。
【図２】図１に示した方法における塗工処理手順の概略を説明する説明図である。
【図３】図１に示した方法に用いられる塗工装置の概略説明図である。
【図４】図１に示した方法に用いられる塗工装置における吐出ノズルの位置調整状態を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
１Ｓ，１Ｐ  板状材
２  テーブル
３ａ〜３ｃ  ノズル位置調整手段
４  吐出ノズル
５  ノズルホルダー
６ａ〜６ｃ  測距手段
Ｌ  塗工液
ＬＳ  塗工面
【図１】
2008183490.tif 000003
【図２】
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【図３】
2008183490.tif 000005
【図４】
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