(57)【要約】【課題】被処理液から回収成分のみを分離する。【解決手段】被被処理液を減圧下で蒸留するための減圧蒸留槽と、前記減圧蒸留槽に設けられ、前記被処理液をこれに含まれる回収成分の沸点に加熱する加熱手段と、前記回収成分を回収する回収液を貯溜する溢流槽と、前記溢流槽の回収液を吸い込んで当該溢流槽に還流する循環路と、前記溢流槽内の回収液を冷却する冷却手段と、前記循環路に介設され、前記貯溜槽の回収液が作動流体として通流されたとき、前記減圧蒸留室の凝縮部から前記減圧蒸留室内の回収成分の雰囲気及び凝縮液を吸引してこれを前記作動流体に合流させて作動流体中に回収するエゼクタと、前記加熱手段の加熱により前記被処理液を前記沸点に加熱する際及び加熱後に、前記被処理液の温度と前記溢流槽の回収液の温度とを比較して、得られる差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように前記冷却手段により前記回収液を冷却させる温度制御手段とを、備える。  【選択図】  図１
2008183512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理液を減圧下で蒸留するための減圧蒸留槽と、
前記減圧蒸留槽に設けられ、前記被処理液をこれに含まれる回収成分の沸点に加熱する加熱手段と、
前記回収成分を回収する回収液を貯溜する溢流槽と、
前記溢流槽の回収液を吸い込んで当該溢流槽に還流する循環路と、
前記溢流槽内の回収液を冷却する冷却手段と、
前記循環路に介設され、前記貯溜槽の回収液が作動流体として通流されたとき、前記減圧蒸留室の凝縮部から前記減圧蒸留室内の回収成分の雰囲気及び凝縮液を吸引してこれを前記作動流体に合流させて作動流体中に回収するエゼクタと、
前記加熱手段の加熱により前記被処理液を前記沸点に加熱する際及び加熱後に、
前記被処理液の温度と前記溢流槽の回収液の温度とを比較して、得られる差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように前記冷却手段により前記回収液を冷却させる温度制御手段とを、
備えたことを特徴とする減圧蒸留再生装置。
【請求項２】
被処理液を減圧下で蒸留するための減圧蒸留槽と、
前記減圧蒸留槽に設けられ、前記被処理液をこれに含まれる回収成分の沸点に加熱する加熱手段と、
前記回収成分を回収する回収液を貯溜する溢流槽と、
前記溢流槽の回収液を吸い込んで当該溢流槽に還流する循環路と、
前記溢流槽内の回収液を冷却する冷却手段と、
前記循環路に介設され、前記貯溜槽の回収液が作動流体として通流されたとき、前記減圧蒸留室の凝縮部から前記減圧蒸留室内の回収成分の雰囲気及び凝縮液を吸引してこれを前記作動流体に合流させて作動流体中に回収するエゼクタと、
前記加熱手段の加熱により前記被処理液を前記沸点に加熱する際及び加熱後に、
前記被処理液の温度と前記加熱手段の加熱温度とを比較して、得られた差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように、前記加熱手段の加熱温度を調節する温度制御手段とを、
備えたことを特徴とする減圧蒸留再生装置。
【請求項３】
前記所定値が、前記作動流体中に前記回収成分を回収して得られる蒸留再生液の再生量及び前記作動流体中に回収される回収成分と他の成分との比率に基づいて定められる請求項１又は２記載の減圧蒸留再生装置。
【請求項４】
前記加熱手段が熱交換媒体の通流により昇温される加熱コイルから構成され、圧縮機、凝縮機、膨張弁、蒸発器を、順次、熱交換媒体の管路で環状に接続した冷凍サイクルの凝縮器後段の凝縮器として冷凍サイクルに組み込まれ、前記凝縮器のファンの運転／停止の切り替えにより前記加熱コイルへの熱交換媒体の温度を制御するように構成された請求項１〜３いずれかに記載の減圧蒸留再生装置。
【請求項５】
前記冷却手段が熱交換媒体の通流により冷却される冷却コイルから構成され、
圧縮機、凝縮機、膨張弁、蒸発器を、順次、熱交換媒体の管路で環状に接続した冷凍サイクルの高圧側から熱交換媒体を導入してこれを冷凍サイクルの低圧側に排出させる蒸発器として冷凍サイクルに接続され、
前記温度制御手段が、前記冷却コイルの熱交換媒体の導入口よりも上流側に設けられた開閉弁の開閉の切り替えにより、前記冷却コイルの温度を調節し前記作動流体の温度を調節するように構成され、
前記冷却コイルの導入口と前記開閉弁との間には、断熱膨張のための膨張弁が設けられ
た請求項１〜４いずれかに記載の減圧蒸留再生装置。
【請求項６】
前記被処理液が汚れる前の液と同じ液であり、減圧蒸留前に、前記溢流槽及び前記循環路に前記回収液が満たされている請求項１〜５いずれかに記載の減圧蒸留再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被処理液から所定の成分を蒸留する蒸留再生装置に関するものであり、特に、減圧により沸点を調節する減圧蒸留再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、機器を洗浄する洗浄液としては、アルカリ水を用いた洗浄液や溶媒を所定量含んだ水系洗浄液又は、炭化水素系洗浄液が用いられる。
この種、洗浄液は、機器の洗浄に使用すると油等により汚染されているが、再生せずに廃棄処分とすると資源が無駄になる。
そこで、洗浄液等、使用後の廃液（以下、被処理液という）を濃縮し、再生液として再生するために、ヒータの熱、加熱されたオイルの熱又はボイラの熱を加熱源として再生する蒸留再生器を用いた再生方法が検討されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、ヒータやボイラの加熱によって被処理液を蒸留すると温度の精度のよい制御が難く、蒸留の際の蒸発潜熱や被処理液補充の際の外乱に起因した被処理液の沸点の変動により、被処理液中の回収成分の沸点に近い他の沸点の成分が蒸発し、被処理液から分離される回収成分ともに回収されてしまうことがある。
【０００４】
そこで、蒸留再生装置において、回収成分のみを分離するために解決すべき技術的課題が生じるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の手段は、被処理液を減圧下で蒸留するための減圧蒸留槽と、前記減圧蒸留槽に設けられ、前記被処理液をこれに含まれる回収成分の沸点に加熱する加熱手段と、前記回収成分を回収する回収液を貯溜する溢流槽と、前記溢流槽の回収液を吸い込んで当該溢流槽に還流する循環路と、前記溢流槽内の回収液を冷却する冷却手段と、前記循環路に介設され、前記貯溜槽の回収液が作動流体として通流されたとき、前記減圧蒸留室の凝縮部から前記減圧蒸留室内の回収成分の雰囲気及び凝縮液を吸引してこれを前記作動流体に合流させて作動流体中に回収するエゼクタと、前記加熱手段の加熱により前記被処理液を前記沸点に加熱する際及び加熱後に、前記被処理液の温度と前記溢流槽の回収液の温度とを比較して、得られる差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように前記冷却手段により前記回収液を冷却させる温度制御手段とを、備えた減圧蒸留再生装置を提供する。
【０００６】
第２の手段は、被処理液を減圧下で蒸留するための減圧蒸留槽と、前記減圧蒸留槽に設けられ、前記被処理液をこれに含まれる回収成分の沸点に加熱する加熱手段と、前記回収成分を回収する回収液を貯溜する溢流槽と、前記溢流槽の回収液を吸い込んで当該溢流槽に還流する循環路と、前記溢流槽内の回収液を冷却する冷却手段と、前記循環路に介設され、前記貯溜槽の回収液が作動流体として通流されたとき、前記減圧蒸留室の凝縮部から前記減圧蒸留室内の回収成分の雰囲気及び凝縮液を吸引してこれを前記作動流体に合流させて作動流体中に回収するエゼクタと、前記加熱手段の加熱により前記被処理液を前記沸点に加熱する際及び加熱後に、前記被処理液の温度と前記加熱手段の加熱温度とを比較して、得られた差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように、前記加熱手段の加熱温度を調節する温度制御手段とを、備えた減圧蒸留再生装置を提供する。
【０００７】
第３の手段は、第１の手段又は第２の手段において、前記所定値が、前記作動流体中に前記回収成分を回収して得られる蒸留再生液の再生量及び前記作動流体中に回収される回収成分と他の成分との比率に基づいて定められる減圧蒸留再生装置を提供する。
【０００８】
第４の手段は、第１〜第３手段のいずれかにおいて、前記加熱手段が熱交換媒体の通流により昇温される加熱コイルから構成され、圧縮機、凝縮機、膨張弁、蒸発器を、順次、熱交換媒体の管路で環状に接続した冷凍サイクルの凝縮器後段の凝縮器として冷凍サイクルに組み込まれ、前記凝縮器のファンの運転／停止の切り替えにより前記加熱コイルへの熱交換媒体の温度を制御するように構成された減圧蒸留再生装置を提供する。
【０００９】
第５の手段は、第１〜第４手段のいずれかにおいて、前記冷却手段が熱交換媒体の通流により冷却される冷却コイルから構成され、圧縮機、凝縮機、膨張弁、蒸発器を、順次、熱交換媒体の管路で環状に接続した冷凍サイクルの高圧側から熱交換媒体を導入してこれを冷凍サイクルの低圧側に排出させる蒸発器として冷凍サイクルに接続され、前記温度制御手段が、前記冷却コイルの熱交換媒体の導入口よりも上流側に設けられた開閉弁の開閉の切り替えにより、前記冷却コイルの温度を調節し前記作動流体の温度を調節するように構成され、前記冷却コイルの導入口と前記開閉弁との間には断熱膨張のための膨張弁が設けられた減圧蒸留再生装置を提供する。
【００１０】
第６の手段は、第１〜第５手段のいずれかにおいて、前記被処理液が汚れる前の液と同じ液であり、減圧蒸留前に、前記溢流槽及び前記循環路に前記回収液が満たされている減圧蒸留再生装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、減圧蒸留槽の蒸気圧が変動しても被処理液の沸点と温度との温度差が一定に保持される。このため、温度差を所定値とすることによって、品質の高い蒸留再生液が得られ、また、温度差を所定値とすることによって蒸留再生液の処理量を増加させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の最良の形態に係る減圧蒸留再生装置について説明する。なお、本実施形態では、被処理液、すなわち、被処理液の一例として機器を洗浄した後のアルカリ電解水などの水系洗浄液の蒸留再生に適用されるが、廃液等油系洗浄液や他の被処理液の再生装置として適用することが可能である。
【００１３】
参照する図面において、図１は蒸留再生器を示す解説図である。
まず、図１を参照して本発明に係る減圧蒸留再生装置の構成の一例について説明し、次に、再生処理工程の一例について説明する。
＜減圧再生処理装置の構成＞
図１に示すように、蒸留再生装置は、減圧蒸留層としての蒸留再生ユニット１、減圧ユニット２、回収ユニット３、冷凍機４及び温度制御ユニット５とで構成される。
＜蒸留再生ユニット１の構成＞
蒸留再生ユニット１は、被処理液を導入し、被処理液を所定の減圧下で回収成分の沸点に加熱することにより、被処理液から回収成分を蒸発させるための蒸留槽７と、蒸留槽７で蒸発した回収成分を導入して冷却するための冷却槽８とを備える。
蒸留槽７及び冷却槽８は、それぞれ耐圧性を保持できる厚肉の鋼板、例えば、ステンレス鋼板により有底筒体状に形成され、蒸留槽７は上部が冷却槽８の底部軸心部を貫通して冷却槽８の内に挿入されることによって冷却槽８と連通している。
【００１４】
蒸留槽７の上端面は、冷却槽８上部の開口部９を開閉する蓋１０の下面から所定距離下方に離れて冷却槽８内に存在しており、冷却槽８の開口部９を開閉する蓋１０の下面と蒸留槽７の上端面との間に冷却槽８内と蒸留槽７内とを連通する連通口１１を形成している。
なお、蓋１０は、冷却槽８及び蒸留槽７内のメンテナンスや点検のために設けられる。
前記蒸留槽７の被処理液を回収成分の沸点に加熱するための加熱手段は、熱交換媒体の通流により加熱する加熱コイル１２によって構成される。
蒸留槽７から連通口１１を通じて冷却槽８に導入された気体の水分と回収成分とを凝縮させるための冷却手段は、熱交換媒体を通流することにより冷却される冷却コイル１３によって構成される。
【００１５】
加熱コイル１２は、蒸留槽７内に設置され、冷却コイル１３は冷却槽８に設置される。前記加熱コイル１２及び冷却コイル１３の入口部及び出口部は、それぞれ蒸留槽７、冷却槽８を貫通して外部に延びており、加熱コイル１２の入口部及び出口部は、冷凍サイクル中の凝縮器として冷凍機４の配管に接続され、冷却コイル１３の入口部及び出口部は、冷凍サイクル中の後段の蒸発器として冷凍機４の配管に接続される。
【００１６】
また、蒸留槽７内で沸騰した被処理液の飛散を防止するため、前記蒸留槽７に複数の邪魔板１４〜１６と錐状の邪魔部材１７，１８とが設けられる。
複数の邪魔板１４〜１６は、図示例では蒸留槽７の上部側に上下方向に間隔を隔てて固定され、錐状の邪魔部材１７，１８は、頂点部が蓋１０側を向き、開放部が蒸留槽７の液面を向くようにして前記蓋１０の下面又は蒸留槽７の上部内面に固定される。
【００１７】
なお、前記蒸留再生ユニット１は、蒸留槽７又は冷却槽８を介して固定系に据え付けられ、前記邪魔板１４〜１６及び邪魔部材１７，１８は必要に応じてブラケット（図示せず）等の支持部材によって取り付けられる。また、濃縮液排出管１９は濃縮液回収タンク２０の配管２１に開閉弁２２を介して接続され、また、被処理液導入管２３が被処理液の供給源である機器の被処理液の排出部又は被処理液供給タンク２４の被処理液輸送管２５に接続される。
【００１８】
＜減圧ユニット２＞
減圧ユニット２は、排気により蒸留再生ユニット１の蒸留槽７と冷却槽８を減圧し、減圧により被処理液の沸点を調節すると共に、冷却槽８の液及び気体となった回収成分を回収液に回収させる。
本実施の形態では、前記減圧ユニット２は、後述する溢流槽２６に貯溜されている回収液が負圧を発生させる作動流体として通流されることにより、気体及び液体を吸引するエゼクタ２７と、エゼクタ２７の吸引口（以下、負圧発生口という）２８と前記冷却槽８内とを連通する回収液回収路（負圧路）２９と、エゼクタ２７に、前記作動流体としての回収液を通流する流体ポンプ（送水ポンプ）３０とで構成される。
なお、溢流槽２６と循環路３１（後述）には、予め、回収液と同じ液、すなわち、汚れる前の被処理液（例えば、アルカリ電解水）を満たしておく。
【００１９】
エゼクタ２７はノズル部、ディフューザ部、負圧発生口２８を有する周知の流体エゼクタ（水エゼクタ）で構成されており、ノズル部の下流端に吸引口としての負圧発生口２８が連通する。
【００２０】
前記減圧ユニット２を、前記蒸留再生ユニット１に取り付け、流体ポンプ３０によって前記回収液をエゼクタ２７のノズル部からディフィーザ部に向けて通流すると、ノズル部を通過する際の回収液の流速の急激な増加と圧力の低下によって負圧発生口２８に発生する負圧が冷却槽８及び蒸留槽７に作用し、冷却槽８の凝縮液及び気体の回収成分が回収液
中に回収される。また、蒸留槽７内及び冷却槽８内の圧力、すなわち、蒸気圧が回収成分のみを蒸発させるための沸点に保持される。
【００２１】
＜回収ユニット３＞
回収ユニット３は、前記流体ポンプ３０に回収液を供給する溢流槽（循環タンクともいう）２６と、溢流槽２６に接続された循環路３１と、溢流槽２６内の回収液中に設置された溢流槽側冷却コイル３２とで構成される。
エゼクタ２７及び前記流体ポンプ３０は、循環路３１に介設され、流体ポンプ３０は、エゼクタ２７より下流側に配置される。
溢流槽側冷却コイル３２の入口部及び出口部は溢流槽２６を貫通して外部に延びており、後述する冷凍サイクルの後段の蒸発器として冷凍機４の配管に接続される。
冷却コイル１３の入口部側には温度調節手段のひとつとして開閉弁５ａが設けられ、その下流側に膨張弁３３が設けられる。
【００２２】
回収液に回収成分が混合して溢流槽２６が増水すると、再生液排出管３４から溢流する。
溢流した液は蒸留再生液として溢流液回収タンク３５に貯溜される。
なお、蒸留再生液を溢流液回収タンク３５に回収せずに、蒸留再生液を使用する装置の再生液導入部（図示せず）に直接戻す構成としてもよい。
【００２３】
＜冷凍機４＞
冷凍機４は、圧縮機３６、凝縮器（前段の凝縮器）３７、蒸留槽７の加熱コイル１２（後段の凝縮器）、膨張弁３８及び冷却槽８の冷却コイル１３（前段の蒸発器）を配管によって順次且つ環状に接続して構成される。
この冷凍機４は、蒸留槽７の加熱コイル１２を高温・高圧の熱交換媒体によって加熱し、冷却槽８の冷却コイル１３を冷却するための冷凍サイクルを構成する。
そして冷凍サイクルには、前記溢流槽２６の貯溜液を冷却するための溢流槽側冷却コイル３２が後段の蒸発器として組み込まれ、冷凍機４の配管に接続される。
冷凍機４の冷凍能力は、予め設定された処理量、すなわち、所定量の被処理液から蒸留した被処理液中の水分と回収成分を冷却するための冷却量と溢流槽２６内の回収液を冷却するために必要な冷却量とに対応して決定されている。
【００２４】
＜温度制御ユニット５＞
図２に前記温度制御ユニット５の好ましい形態を示す。
温度制御ユニット５は、蒸留槽７の被処理液の温度Ｔ１を検知する温度検知部（温度検知手段）５ｃと、溢流槽２６側の回収液の温度Ｔ２を検知する温度検知部（温度検知手段）５ｄと、前記加熱コイル１２の温度Ｔ３を検知する温度検知部（温度検知手段）５ｅと、被処理液、回収液及び加熱コイルの各検出温度とこれら検出温度に対応する設定値とをそれぞれ比較してその差を求める比較演算部５ｆと、比較演算部５ｆの演算によって得られた差を対応する設定値に近づくように、被処理液の温度と回収液の温度とを制御する温度制御部（温度制御手段）５ｇと、を備えて構成される。
【００２５】
前記比較演算部５ｆは、被処理液の温度Ｔ１と溢流槽２６側の回収液（作動流体）の温度Ｔ２との差｜Δｔ１｜及び被処理液の温度Ｔ１と前記加熱コイル１２の温度Ｔ３との差｜Δｔ２｜をそれぞれ演算し、温度制御部５ｇは、比較演算部が演算した各温度差｜Δｔ１｜，｜Δｔ２｜がそれぞれ対応する設定値（目標値）｜Δｔ１ｓｅｔ｜，｜Δｔ２ｓｅｔ｜に近づくように、言い換えると収束するように制御する。
温度制御ユニット５がコンピュータで構成されている場合は、前記設定値（目標値）｜Δｔ１ｓｅｔ｜及び｜Δｔ２ｓｅｔ｜は、予め、メモリ（図示せず）に保持されており、温度制御ユニット５がシーケンス回路で構成されている場合は、設定値設定部（図示せず
）によって設定されている。
ここで、｜Δｔ１ｓｅｔ｜は、下式に示すように、減圧蒸留の際に、処理量（再生量）が最大でかつ、回収成分の以外の他の沸点の成分が回収液に混入することがない状態、すなわち、外乱のない状態で被処理液を回収成分の沸点に加熱したときの被処理液の温度Ｔ１と回収液Ｔ２との温度差を基準に、前記作動流体中に前記回収成分を回収して得られる蒸留再生液の再生量及び前記作動流体中に回収される回収成分と他の成分との比率（回収液の品質）に基づいて定められ、｜Δｔ２ｓｅｔ｜は、減圧蒸留の際に、処理量（再生量）が最大でかつ、回収成分以外の他の沸点の成分が回収液に混入することがない状態、すなわち、外乱のない状態で被処理液を回収成分の沸点に加熱したときの被処理液の温度Ｔ１と加熱コイルの加熱温度Ｔ３との温度差を基準に、前記作動流体中に前記回収成分を回収して得られる蒸留再生液の再生量及び前記作動流体中に回収される回収成分と他の成分との比率（回収液の品質）に基づいて定められる。
｜Δｔ１ｓｅｔ｜＝Ｔ１−Ｔ２…（１）
｜Δｔ２ｓｅｔ｜＝Ｔ３−Ｔ１…（２）
本実施の形態では、加熱コイル１２の温度は、加熱コイル温度センサ５ｈにより、回収液の温度は回収液温度センサ５ｉにより検出され、被処理液の温度は、被処理液温度センサ５ｊにより検出される。そして、前記温度制御部５ｇの出力部は溢流槽側冷却コイル３２の入口部の開閉弁５ａの駆動制御部及び冷凍サイクル前段のファン（冷却ファン）５ｂの駆動制御部に接続されていて、温度調節手段としての開閉弁５ａの開閉及びファン５ｂの運転／停止を切り替えることによって、溢流槽側冷却コイル３２、加熱コイル１２の温度を制御する。
【００２６】
このようにすると、減圧蒸留の際の被処理液の液面での蒸発潜熱や被処理液の補充による等に対する外乱があってもエゼクタ２７の圧縮に起因する回収液の温度上昇及び冷却槽８より回収される回収成分の温度に起因する回収水の温度が適正な温度に修正される。
なお、本実施の形態では、温度制御ユニット５をコンピュータで構成し、前記した各手段としてコンピュータを機能させるプログラムによって動作されるように構成したが、コンピュータに代えて専用のシーケンサ又はシーケンス回路によって制御することも可能である。
【００２７】
以下に、前記した｜Δｔ１｜及び｜Δｔ２｜の具体的な設定の一例を示す。
＜｜Δｔ１｜の設定＞
【００２８】
（ａ）｜Δｔ１｜≦｜Δｔ１ｓｅｔ｜のとき
被処理液の温度Ｔ１と回収液の温度Ｔ２との差｜Δｔ１｜が、予め設定された被処理液の温度と回収液の温度との差である設定値（目標値）｜Δｔ１ｓｅｔ｜よりも小さいとき、すなわち、｜Δｔ１｜＜｜Δｔ１ｓｅｔ｜のときは、エゼクタ２７の仕事や回収成分の回収によって回収液の温度が上昇している。
従って、このような場合は、｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合と比べて蒸留槽７内の蒸気圧が｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合よりも上昇している。
【００２９】
このため、温度制御部５ｇは、溢流槽側冷却コイル３２の入口部側に設けられている開閉弁５ａに開信号を送信し、冷却用の熱交換媒体を溢流槽側冷却コイル３２に供給し、｜Δｔ１｜を｜Δｔ１ｓｅｔ｜側に近づける。
【００３０】
回収液の温度が下がり、｜Δｔ１｜が｜Δｔ１ｓｅｔ｜側に収束するに連れて蒸留槽７内の蒸気圧が｜Δｔ１｜＝｜｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合の蒸気圧に回復する。
この結果、被処理液の液面から回収成分のみが蒸発し、｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合と同量又は近似の回収成分が回収液に回収される。
【００３１】
（ｂ）｜Δｔ１｜＞｜Δｔ１ｓｅｔ｜のとき
被処理液の温度Ｔ１と回収液の温度Ｔ２との差｜Δｔ１｜が、予め設定された被処理液の温度と回収液の温度との差｜Δｔ１ｓｅｔ｜よりも大きいとき、すなわち、｜Δｔ１｜＞｜Δｔ１ｓｅｔ｜のときは、｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合よりも被処理液の温度が高く、蒸留槽７内の蒸気圧が低下している。この結果、回収成分よりも沸点の低い成分も蒸発し、回収液に回収されてしまう。
【００３２】
このとき、温度制御部５ｇが｜Δｔ１｜＞｜Δｔ１ｓｅｔ｜のときに、溢流槽側冷却コイル３２の入口部側に設けられている開閉弁５ａに閉信号を送信することによって溢流槽側冷却コイル３２への冷却用の熱交換媒体を供給を停止し、｜Δｔ１｜を｜Δｔ１ｓｅｔ｜側に近づける。
【００３３】
｜Δｔ１｜が｜Δｔ１ｓｅｔ｜側に収束するに連れて蒸留槽７内の蒸気圧が｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜のときの蒸気圧に回復するので、被処理液の液面から回収成分のみが蒸発し、｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合と同様の回収成分が回収液に回収される。
【００３４】
このように、エゼクタ２７により減圧する方式では、循環水の水温に相当する蒸気圧に近い到達圧力が得られること、溢流槽２６の回収水の温度はそのまま蒸留再生ユニット１の液の沸点に近いこと、溢流槽２６の回収液を冷却しないと被処理液の温度が上昇するという特性を利用し、少なくとも、溢流槽２６の回収液の温度又は被処理液の温度の何れか一方を変えることによって、結果的に蒸留槽７の被処理液の沸点をある範囲内で変え、被処理液の温度変化に合わせて減圧における沸点を回収成分の沸点に追従させることができる。
【００３５】
例えば、設定温度｜Δｔ１ｓｅｔ｜，｜Δｔ２ｓｅｔ｜をそれぞれ０℃に設定すると、被処理液の温度が変化しても常に回収成分の沸点の温度で蒸発が行われることになる。このことにより、蒸留槽７の被処理液の温度Ｔ１が変化してしまうような運転状態、すなわち、外乱が強い運転状態でも常に同じ条件で被処理液を沸騰させることが可能となり、結果として、｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜の場合と同様又は同じ品質、再生量の再生処理が行われる。
【００３６】
＜｜Δｔ２｜の設定＞
【００３７】
（ｃ）｜Δｔ２｜≦｜Δｔ２ｓｅｔ｜のとき
被処理液の温度Ｔ１と加熱コイル１２の温度Ｔ３との差｜Δｔ２｜が、予め設定された被処理液の温度と回収液の温度との差｜Δｔ２ｓｅｔ｜よりも小さいとき、すなわち、｜Δｔ２｜＜｜Δｔ２ｓｅｔ｜のときは、被処理液の温度に対して加熱コイル１２の温度が下がり過ぎている状態にある。
この場合、温度制御部５ｇは、ファン５ｂの駆動回路に対して停止信号を出力し、温度の高い熱交換媒体をそのままの温度で加熱コイル１２に供給し、これにより被処理液の温度を、｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜の場合の温度に収束させる。
この結果、加熱コイル１２の温度が上がり、被処理液中の回収成分の沸点が、｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜の場合の沸点と同じ又は近づく。この結果、被処理液の液面から回収成分のみが蒸発し、｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜の場合と同様の品質、処理量が確保される。
【００３８】
（ｄ）｜Δｔ２｜＞｜Δｔ２ｓｅｔ｜のとき
被処理液の温度Ｔ１と加熱コイルの温度Ｔ３との温度差｜Δｔ２｜が予め設定された被処理液の温度Ｔ１と加熱コイル１２の温度Ｔ３との差｜Δｔ２ｓｅｔ｜よりも大きいときは、｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜の場合よりも、加熱コイル１２の温度が高く、回収成
分の沸点よりも高い沸点の他の成分も蒸発して回収液に混入することがある。
【００３９】
温度制御部５ｇは、このような場合、冷凍サイクル前段の凝縮器３７のファン５ｂの駆動回路（図示せず）に駆動信号を出力し、冷凍サイクル前段の凝縮器３７のファン５ｂを回転させ、凝縮器３７から加熱コイル１２に供給する熱交換媒体の温度を下げる。
この結果、加熱コイル１２に供給される熱交換媒体の温度が下降して被処理液の温度が低下し、蒸留槽７の蒸気圧が｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜の場合の蒸気圧になるように修正され、被処理液の液面から回収成分のみが蒸発し、｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜の場合と同様の回収成分が回収液に回収される。
【００４０】
なお、本実施の形態では、｜Δｔ１｜及び｜Δｔ２｜に基づいて被処理液に対する加熱手段の温度又は被処理液に対する回収液の温度の少なくとも何れか一方を制御し、被処理液の液温と回収すべき回収成分の沸点とを一定値以内の温度差に保持することによって、蒸留再生液となる回収液の品質や処理量が一定に制御するが、回収液の品質と処理量とに基づいて｜Δｔ１ｓｅｔ｜，｜Δｔ２ｓｅｔ｜の設定値を、適宜、修正し、処理量よりも品質を、又、回収液の品質よりも処理量を優先させるようにしてもよい。
【００４１】
また、前記した｜Δｔ１｜と｜Δｔ２｜の設定値を組み合わせて減圧蒸留の際の回収液と被処理液の温度を制御すると、ニーズに合わせた精度の高い回収品質、回収量の制御が可能になる。
【００４２】
（実施の形態の効果）
以上、説明したように、本実施の形態によれば、被処理液の再生において、溢流槽２６の回収液の温度変動が修正され、液温と沸点とが同じ状態で回収成分を蒸発できる。また、蒸留再生液としての品質、処理量を、所望の品質、処理量に調節することができる。
【００４３】
次に、図１を参照して水系洗浄液としてアルカリ電解水の再生処理について説明する。
【００４４】
被処理液の再生処理では、被処理液導入工程、被処理液の蒸留工程、濃縮液排出工程を実行する。
被処理液導入工程では減圧蒸留再生装置に被処理液として使用により汚れてしまったアルカリ電解水を導入する。
被処理液導入工程では、コントローラ（図示せず）が減圧ユニット２を作動する。
コントローラは、減圧ユニット２によって蒸留槽７と冷却槽８とを減圧した後、蒸留槽に側壁に取り付けられた濃縮液排出管１９の開閉弁２２を閉、蒸留槽７の被処理液導入管２３の開閉弁４０を開とすると、負圧のため、被処理液導入管２３に接続されている被処理液輸送管２５を通じて蒸留槽７に被処理液としての汚れたアルカリ電解水が導入される。
このとき、被処理液の導入量は、流量計により検知される。
【００４５】
蒸留槽７に定量の被処理液が導入されると、コントローラ（図示せず）は、被処理液導入管２３の開閉弁２２を閉として被処理液の供給を停止し、被処理液の導入工程を終了する。
【００４６】
被処理液の減圧蒸留工程では、コントローラが冷凍機４を稼動させ、被処理液の減圧下での蒸留再生を実施する。
冷凍機４が稼動すると、冷凍機４の圧縮機３６が駆動され、圧縮機３６により圧縮された高温・高圧の熱交換媒体が加熱コイル１２、冷却コイル１３、膨張弁３８を順次通過する。
【００４７】
蒸留槽７の被処理液の温度は、加熱コイル１２の熱交換媒体との熱交換（放熱反応）によって上昇し、冷却槽８内の雰囲気は冷却コイルとの熱交換によって冷却される。
加熱コイル１２との熱交換により、被処理液の温度が回収成分の沸点に到達すると、被処理液の表面から回収成分が蒸発する。
【００４８】
蒸発した回収成分は、蒸留槽７内を上昇して、蒸留槽７の邪魔板１４〜１６間、邪魔部材１７，１８間を通過し、前記連通口１１から前記冷却槽８へと導入される。
冷却槽８内が冷却コイル１３によって冷却されているので、被処理液から蒸発した回収成分は、冷却槽８の雰囲気と冷却コイル１３の表面で凝縮する。そして、回収液回収路２９を介してエゼクタ２７の負圧発生口２８に吸引され、回収液と合流する。
【００４９】
なお、蒸留前の減圧において、エゼクタ２７の吸引により、蒸留槽７及び冷却槽８の雰囲気は、回収液と混合した状態で溢流槽２６内に導入され、回収液中を上昇して外気に放出される。
減圧蒸留により、被処理液に含まれている回収成分が回収液中に取り込まれると、溢流槽２６の液位が次第に上昇する。そして、回収液が溢流槽２６から溢流すると蒸留再生液として溢流液回収タンク３５に回収される。
【００５０】
加熱コイル１２の加熱により、被処理液の液面からの回収成分の蒸発が進み、蒸留槽７における被処理液の液面が所定位置に下がると、前記コントローラが開閉弁４０の開閉を制御して被処理液を定量ずつ補充させる。
そして、被処理液の蒸留工程が終了すると、濃縮液排出工程が実施される。
濃縮液排出工程では、コントローラ又は手動により、濃縮液排出管１９の開閉弁２２が開とされ、濃縮液回収タンク２０に排出される。油で汚れた機器を洗浄したアルカリ電解水を被処理液として再生する場合は、油を主成分とした濃縮液が濃縮液回収タンク２０に回収される。
【００５１】
そして、減圧蒸留の際は、前記したように温度制御部５ｇが｜Δｔ１｜＝｜Δｔ１ｓｅｔ｜となるように開閉弁５ａの開閉と、溢流槽側冷却コイル３２の温度を調節し、｜Δｔ２｜＝｜Δｔ２ｓｅｔ｜となるように、凝縮器３７のファン５ｂの回転／停止を切り替えるので、一定品質、一定処理量の蒸留再生液が得られる。
【００５２】
なお、本発明の実施の形態では、被処理液してアルカリ電解水について説明をしたが、他の水系洗浄液、油系洗浄液や他の被処理液についても適用が可能である。この場合、溢流槽に予め貯溜しておく回収液は、汚れる前、又は使用前の溶質と同じ液が用いられる。
【００５３】
また、エゼクタ２７は流体ポンプ３０の圧力に対応してエゼクタ２７内部の循環水の圧力が所定圧力となるように設計されていて蒸留槽７内を減圧し、回収成分を溢流槽２６に回収するが、システム全体としての熱効率を向上すると共に、蒸留再生液の品質、処理量をさらに増加させる必要がある場合は、エゼクタ２７ｂ，２７ｃの到達圧力は、水の蒸気圧に到達圧力に近似するので、処理量を上げる場合は、図３に示すように、エゼクタ２７，２７ｂ，２７ｃを多段に設け、流体ポンプ３０，３０ｂ，３０ｃを各段に設けてエゼクタ２７ｂ，２７ｃの差圧分Δｐの増加分を修正するとよい。
【００５４】
さらに、蒸留槽７の上部を前記冷却槽８の底部に溶接によって固着するという説明をしたが、一対のフランジによって接続する構成としてもよい。
【００５５】
また、本実施の形態において、膨張弁３８は熱交換媒体を急速に断熱膨張させる絞り弁として設けられ、圧力と温度を低下させることで、冷却コイル１３での熱交換媒体の蒸発を促すが、膨張弁３６，膨張弁３３をエゼクタに代えることによって圧縮機３６の負荷を
軽減させるようにしてもよい。
【００５６】
また、冷却槽８を蒸留槽７の上方に配置し、これらを管によって接続する構造としてもよい。また、蒸留槽７と冷却槽８同士の接合には、溶接を用いてもよいし、フランジ接続としてもよい。
【００５７】
＜付記１＞
被処理液を減圧下で蒸留するための減圧蒸留槽と、前記減圧蒸留槽に設けられ、前記被処理液をこれに含まれる回収成分の沸点に加熱する加熱手段と、前記回収成分を回収する回収液を貯溜する溢流槽と、前記溢流槽の回収液を吸い込んで当該溢流槽に還流する循環路と、前記溢流槽内の回収液を冷却する冷却手段と、前記循環路に介設され、前記貯溜槽の回収液が作動流体として通流されたとき、前記減圧蒸留室の凝縮部から前記減圧蒸留室内の回収成分の雰囲気及び凝縮液を吸引してこれを前記作動流体に合流させて作動流体中に回収するエゼクタと、前記加熱手段の加熱により前記被処理液を前記沸点に加熱する際及び加熱後に、前記被処理液の温度と前記溢流槽の回収液の温度とを比較して、得られる差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように前記冷却手段により前記回収液を冷却させる共に、前記被処理液の温度と前記加熱手段の加熱温度とを比較して、得られた差が予め前記回収成分の沸点に基づいて定められる所定値に合致するように、前記加熱手段の加熱温度を調節する温度制御手段とを、備えた減圧蒸留再生装置。
【００５８】
＜付記２＞
付記２において、前記所定値が、前記作動流体中に前記回収成分を回収して得られる蒸留再生液の再生量及び前記作動流体中に回収される回収成分と他の成分との比率に基づいて定められる減圧蒸留再生装置。
【００５９】
＜付記３＞
付記１又は２において、前記加熱手段が熱交換媒体の通流により昇温される加熱コイルから構成され、圧縮機、凝縮機、膨張弁、蒸発器を、順次、熱交換媒体の管路で環状に接続した冷凍サイクルの凝縮器後段の凝縮器として冷凍サイクルに組み込まれ、前記凝縮器のファンの運転／停止の切り替えにより前記加熱コイルへの熱交換媒体の温度を制御するように構成された減圧蒸留再生装置。
【００６０】
＜付記４＞
付記請求項１〜３いずれかにおいて、前記冷却手段が熱交換媒体の通流により冷却される冷却コイルから構成され、圧縮機、凝縮機、膨張弁、蒸発器を、順次、熱交換媒体の管路で環状に接続した冷凍サイクルの高圧側から熱交換媒体を導入してこれを冷凍サイクルの低圧側に排出させる蒸発器として冷凍サイクルに接続され、前記温度制御手段が、前記冷却コイルの熱交換媒体の導入口よりも上流側に設けられた開閉弁の開閉の切り替えにより、前記冷却コイルの温度を調節し前記作動流体の温度を調節するように構成され、前記冷却コイルの導入口と前記開閉弁との間には、断熱膨張のための膨張弁が設けられ減圧蒸留再生装置。
【００６１】
＜付記５＞付記１〜４いずれかにおいて、前記被処理液が汚れる前の液と同じ液であり、減圧蒸留前に、前記溢流槽及び前記循環路に前記回収液が満たされている減圧蒸留再生装置。
【００６２】
このように、本発明は、本発明の技術思想を逸脱しない範囲において種々の改変が可能であり、このような発明に本発明が及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の１実施の形態に係る減圧蒸留再生装置の解説図である。
【図２】温度制御ユニットの構成を示す解説図である。
【図３】エゼクタ及びポンプを多段にした場合の一例を示す解説図である。
【符号の説明】
【００６４】
１      蒸留再生ユニット
２      減圧ユニット
３      回収ユニット
４      冷凍機
５      温度制御ユニット
５ａ    開閉弁
５ｂ    ファン
５ｆ    比較演算部
５ｇ    温度制御部
５ｈ    加熱コイル温度検知センサ
７      蒸留槽
８      冷却槽
１２    加熱コイル（加熱手段）
１３    冷却コイル（冷却手段）
２２    開閉弁
２６    溢流槽
２７    エゼクタ
２８    負圧発生口
２９    回収液回収路
３０    流体ポンプ
３１    循環路
３２    溢流槽側冷却コイル
【図１】
2008183512.tif 000003
【図２】
2008183512.tif 000004
【図３】
2008183512.tif 000005