(57)【要約】【課題】２つの測定グループの測定データの比較を正確に行う。【解決手段】１ロット分のイメージセンサ１１に対して信頼性試験を行う。試験を行わないＲｅｆロットと、試験済みのＴｒｙロットとの電気特性を測定する。ＲｅｆロットのＲｅｆ測定データＸｒの上位５％を示す値をＵｐＩＲとし、下位５％を示す値をＬｏＩＲとする。ＴｒｙロットのＴｒｙ測定データＸｔの上位５％を示す値をＵｐＩＴとし、下位５％を示す値をＬｏＩＴとする。ＵｐＩＲ＜Ｘｔ≦ＵｐＩＴを満たすＸｔの数（Ｚｕｐ）と、ＬｏＩＴ≦Ｘｔ＜ＬｏＩＲを満たすＸｔの数（Ｚｌｏ）を求める。全Ｔｒｙ測定データＸｔの数に対するＺｕｐ、Ｚｌｏの割合を求める。平均値から大きく外れた異常データを除いた上で、Ｘｒの分布に対してＸｔの分布がどの方向にどの位ずれているかを数値で確認することができる。これにより、両測定データの比較を正確に行うことができる。【選択図】図１０
2008008713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の測定項目について同一の測定環境で測定された２つの測定グループの一方に含まれる第１測定データと、前記測定グループの他方に含まれる第２測定データとを比較する測定データ比較方法において、
前記第１測定データのＮ（１００＞Ｎ＞５０）パーセンタイル値を第１上限基準値として求めるとともに、前記第１測定データの（１００−Ｎ）パーセンタイル値を第１下限基準値として求める第１のステップと、
前記第２測定データのＮパーセンタイル値を第２上限基準値として求めるとともに、前記第２測定データの（１００−Ｎ）パーセンタイル値を第２下限基準値として求める第２のステップと、
前記第２上限基準値以下で前記第１上限基準値よりも大きい前記第２測定データの数を上限外れ数としてカウントする第３のステップと、
前記第２下限基準値以上で前記第１下限基準値よりも小さい前記第２測定データの数を下限外れ数としてカウントする第４のステップと、
前記第２測定データの全データ数に対する前記上限外れ数の割合と、前記全データ数に対する前記下限外れ数の割合とを求めた割合算出結果を表示する第５のステップとを備えることを特徴とする測定データの比較方法。
【請求項２】
前記測定項目は複数あり、
前記割合算出結果が所定の値を超えている前記測定項目の前記割合算出結果をグラフで表示する第６のステップを備えることを特徴とする請求項１記載の測定データの比較方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の測定データ比較方法をコンピュータに実行させることを特徴とする測定データの比較プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの測定グループの測定データを比較する測定データの比較方法及びプログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯型の電子機器、特にデジタルカメラなどは屋内だけでなく屋外でも使用されることが多い。このため、デジタルカメラに内蔵されているイメージセンサ等の半導体素子は、温度や湿度の変化といった環境の変化を受け易い。従って、このような環境変化に対して半導体素子が高い信頼性を有することが要求されており、半導体素子に対して信頼性試験が行われている。
【０００３】
上述の信頼性試験としては半導体素子を特定の環境条件におく環境試験や、特定の環境条件下で電気的負荷をかける通電試験などがある。そして、信頼試験が行われた半導体素子に対して、電圧測定やリーク電流測定等の各種測定項目についての測定が行われる。また、信頼性試験が行われない半導体素子に対しても同様の測定が行われる。次いで、測定項目別に得られた２つの測定グループの測定データが、平均値及び分散の差、或いは所定の規格値内に収まっているか否かなどに基づいて比較される。これにより、半導体素子の信頼性特性値が規定の要求に合致しているか否かが判定される。
【０００４】
また、平均値や分散の差の有無などを調べる以外に、両測定データをそれぞれビットマップ化して、両ビットマップデータが一致しているか否かで両測定データの比較を行う方法も良く知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平０８−２４７７８２号公報（第２図参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、平均値や分散の差などに基づいて２つの測定グループの測定データの比較を行う場合に、測定データの中に平均値よりも大きくずれた異常データが多数あると、このような異常データが平均値や分散の値に強く影響を及ぼしてしまう。その結果、両測定データの比較を正確に行うことができない。また、前記特許文献１記載のように測定データをそれぞれビットマップ化して比較を行う場合にも、測定データの中に異常データが多数あると、ビットマップデータが異常データの影響を強く受けてしまう。その結果、同様に両測定データの比較を正確に行うことができない。
【０００６】
本発明は上記問題を解決するためのものであり、２つの測定グループの測定データの比較を異常データの有無に関わらず正確に行えるようにした測定データの比較方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、同一の測定項目について同一の測定環境で測定された２つの測定グループの一方に含まれる第１測定データと、前記測定グループの他方に含まれる第２測定データとを比較する測定データの比較方法において、前記第１測定データのＮ（１００＞Ｎ＞５０）パーセンタイル値を第１上限基準値として求めるとともに、前記第１測定データの（１００−Ｎ）パーセンタイル値を第１下限基準値として求める第１のステップと、前記第２測定データのＮパーセンタイル値を第２上限基準値として求めるとともに、前記第２測定データの（１００−Ｎ）パーセンタイル値を第２下限基準値として求める第２のステップと、前記第２上限基準値以下で前記第１上限基準値よりも大きい前記第２測定データの数を上限外れ数としてカウントする第３のステップと、前記第２下限基準値以上で前記第１下限基準値よりも小さい前記第２測定データの数を下限外れ数としてカウントする第４のステップと、前記第２測定データの全データ数に対する前記上限外れ数の割合と、前記全データ数に対する前記下限外れ数の割合とを求めた割合算出結果を表示する第５のステップとを備えることを特徴とする。
【０００８】
前記測定項目は複数あり、前記割合算出結果が所定の値を超えている前記測定項目の前記割合算出結果をグラフで表示する第６のステップを備えることが好ましい。
【０００９】
本発明の測定データの比較プログラムは、請求項１または２記載の測定データ比較方法をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の測定データの比較方法は、２つの測定グループの一方に含まれる第１測定データの第１上限基準値及び第１下限基準値を求める第１のステップと、前記測定グループの他方に含まれる第２測定データの第２上限基準値及び第２下限基準値を求める第２のステップと、前記第２上限基準値以下で前記第１上限基準値よりも大きい前記第２測定データの数を上限外れ数としてカウントする第３のステップと、前記第２下限基準値以上で前記第１下限基準値よりも小さい前記第２測定データの数を下限外れ数としてカウントする第４のステップと、前記第２測定データの全データ数に対する前記上限外れ数及び前記下限外れ数の割合を求めた割合算出結果を表示する第５のステップとを備えるようにしたので、平均値から大きくずれている異常データを除いた上で、前記第１測定データの分布に対して前記第２測定データの分布がどの方向にどの位ずれているかを数値で表すことができる。これにより、測定データの中に異常データが多数あったとしても、従来のように平均値や分散を比較に用いる場合よりも両測定データの比較を正確に行うことができる。
【００１１】
また、本発明の測定データの比較プログラムは、請求項１または２記載の測定データ比較方法をコンピュータに実行させるようにしたので、同様に両測定データの比較を正確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図１に示すようなシリコンウェハ（以下、ウェハという）１０に略碁盤目状に多数配列されているイメージセンサ１１に対して信頼性試験を行い、信頼性試験が行われたイメージセンサ１１の電気的特性と、信頼性試験が行われないイメージセンサ１１の電気的特性とを比較する方法について説明を行う。ウェハ１０に設けられている各イメージセンサ１１は、図示は省略するが、被写体光を受ける受光面を有しており、この受光面には被写体光を電気的な撮像信号に変換する多数の光電変換素子（図示せず）が規則正しく配列されている。なお、図１においては、ウェハ１０に１０個のイメージセンサ１１が設けられているが、１枚のウェハ１０に設けられるイメージセンサ１１の数はこれに限定されるものではない。
【００１３】
イメージセンサ１１に対して行われる信頼性試験としては、上述したように、イメージセンサ１１（ウェハ１０）を特定の環境条件におく環境試験や、イメージセンサ１１に対して特定の環境条件下で電気的負荷をかける通電試験などの各種試験がある。そして、本実施形態では、信頼性試験を行わない１ロット分のイメージセンサ１１と、信頼性試験が行われた１ロット分のイメージセンサ１１との電気的特性を測定して、得られた測定データを比較する。なお、本実施形態では、例えば１日製造分のイメージセンサ１１を１ロットと定義している。
【００１４】
具体的な電気的特性の測定項目としては、イメージセンサ１１から出力される撮像信号の最小値（撮像信号最小値）、撮像信号の最大値（撮像信号最大値）、リーク電流、スタンバイ電流などが例に挙げられる。これらの測定は、テスタ装置１３及びプローバ装置１４（図２参照）により行われる。テスタ装置１３は、後述するプローバ装置１４を介して、イメージセンサ１１等の半導体素子の電気的特性を測定する測定装置である。
【００１５】
図２に示すように、プローバ装置１４は、プローブカード２０と、プローブカード２０が装着されるテストヘッド２１と、ウェハ１０を保持するウェハチャック２４と、ウェハチャック２４を移動させる移動機構２５とを備えている。このプローバ装置１４は、テスタ装置１３に電気的に接続されており、テスタ装置１３からの電気信号をプローブカード２０を介してイメージセンサ１１に入力したり、イメージセンサ１１からの入力信号をプローブカード２０を介してテスタ装置１３に戻したりする。
【００１６】
ウェハチャック２４は、その上面にウェハ１０（イメージセンサ１１）がセットされる。移動機構２５は、ウェハチャック２４をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させる。プローブカード２０には、イメージセンサ１１（図１参照）の図示しない入出力パッドの位置に合わせて配置された多数の検査用プローブ針３１がその下面側に取り付けられている。テストヘッド２１は、支持部材３３に支持されて固定されている。このプローブカード２０とテストヘッド２１とは、電気的に接続されており、プローブカード２０のプローブ針３１がイメージセンサ１１の入出力パッド（図示せず）に接触して電気的に導通するので、このプローブカード２０を介してテスタ装置１３とイメージセンサ１１とが電気的に接続される。
【００１７】
ウェハチャック２４の所定位置にウェハ１０（イメージセンサ１１）が保持されると、移動機構２５は、検査対象のイメージセンサ１１がプローブカード２０の下方に位置する測定待機位置にウェハチャック２４を移動させる。次いで、移動機構２５は、イメージセンサ１１上の入出力パッド（図示せず）に、プローブカード２０の検査用プローブ針３１が接触する検査位置にウェハチャック２４を移動させる。そして、テスタ装置１３は、プローブカード２０のプローブ針３１から電気信号を授受して、電気的特性の各測定項目の中から選択された測定項目に関する測定を行う。
【００１８】
テスタ装置１３で測定された測定データは、パソコン（ＰＣ）３５に送られる。このＰＣ３５には、測定データ比較プログラム３５ａがインストールされている。ＰＣは測定データ比較プログラム３５ａが起動されるとデータ解析（比較）装置として機能する。なお、測定データ比較プログラム３５ａとしては、例えば市販の表計算ソフトを用いることができる。ＰＣ３５は、テスタ装置１３より測定データが入力されたら、測定データをロット別にまとめた表を作成する。下記表１は、撮像信号最小値の測定データをまとめた表の一例を示したものである。
【００１９】
【表１】
2008008713.tif 000003
【００２０】
表１に示すように、本実施形態では、信頼性試験が行われないロットをリファレンスロット（以下、Ｒｅｆロットという）とし、信頼性試験が行われたロットをトライロット（以下、Ｔｒｙロットという）としている。これらＲｅｆロット及びＴｒｙロットは、本発明の２つの測定グループに相当するものである。そして、両ロットの測定データは、同一の測定環境で得られている。ここで、同一の測定環境とは、同じ試験装置（テスタ装置１３及びプローバ装置１４）を用い、さらに試験装置が設置されている部屋の温度や湿度に大きな差がないことである。このように、同一の測定環境で測定を行うことで、両ロットの測定データの比較を行う際に測定環境の影響を考慮する必要が無くなる。
【００２１】
表１中の「測定番号」欄には、測定を行った順番が記入される。また、「Ｒｅｆ測定データ」欄には、Ｒｅｆロットの測定データＸｒが入力され、「Ｔｒｙ測定データ」欄には、ＴｒｙロットのＴｒｙ測定データＸｔが入力される。これら両測定データＸｒ，Ｘｔは、本発明の第１及び第２測定データに相当するものである。
【００２２】
下記表２は、Ｒｅｆロット及びＴｒｙロットの測定データＸｒ，Ｘｔを解析したデータ解析表の一例を示したものである。最初に、ロット別に平均値、最大値、最小値、Ｎ数、分散などの基本統計量が求められる。
【００２３】
【表２】
2008008713.tif 000004
【００２４】
上記表２に示すように、Ｒｅｆロットの「平均値」欄には全Ｒｅｆ測定データの平均値（３．３８（Ｖ））が入力され、「最小値」欄には全Ｒｅｆ測定データの最小値（０．３０（Ｖ））が入力され、「最大値」欄には全Ｒｅｆ測定データＸｒの最大値（３．７５（Ｖ））が入力され、「Ｎｒ  数」欄には全Ｒｅｆ測定データのデータ数（５３４９７）が入力され、「分散」欄には全Ｒｅｆ測定データの分散（σ２  ＝０．０１９）が入力されている。
【００２５】
また、同様にＴｒｙロットの「平均値」欄には全Ｔｒｙ測定データの平均値（３．４７（Ｖ））が入力され、「最小値」欄には全Ｔｒｙ測定データの最小値（０．３１（Ｖ））が入力され、「最大値」欄には全Ｔｒｙ測定データの最大値（４．８９（Ｖ））が入力され、「Ｎｔ  数」欄には全Ｔｒｙ測定データのデータ数（５９８５９）が入力され、「分散」欄には全Ｔｒｙ測定データの分散（０．０２６）が入力されている。
【００２６】
従来では、両ロット（両測定データ）の平均値や分散等に差があるかないか、或いはどの位の差があるかに基づいて両測定データの比較を行っていたが、上述したように、測定データの中には、平均値よりも大きくずれたデータ（以下、異常データという）が多数ある場合がある。例えば、Ｒｅｆ測定データの最小値は０．３０（Ｖ）であり、これは平均値（３．３８（Ｖ））よりも大きくずれている。また、Ｔｒｙ測定データの最小値は０．３１（Ｖ）であり、その最大値は４．８９（Ｖ）であり、これらも平均値（３．４７（Ｖ））よりも大きくずれている。従って、このような異常データが測定データ中に多数あると、異常データが平均値や分散の値に強く影響を及ぼしてしまう。その結果、両測定データの比較を正確に行うことができないおそれがある。そこで、本発明では両測定データの比較を行う際に、異常データを考慮した比較を行う。以下、具体的に本発明の測定データ比較方法について説明を行う。
【００２７】
本実施形態では上述の基本統計量以外に、Ｒｅｆ測定データの例えば上位０．５％を示す値（９９．５パーセンタイル値）をＲｅｆ上限基準値（ＵｐＩＲ）として求めるとともに、Ｒｅｆ測定データの例えば下位０．５％を示す値（０．５パーセンタイル値）をＲｅｆ下限基準値（ＬｏＩＲ）として求める。ここで、パーセンタイル値とは、その値以下のＲｅｆ測定データＸｒの数が全Ｒｅｆ測定データ数（Ｎｒ  数）の何％を占めるかを表したものである。例えば、本実施形態のＵｐＩＲ（９９．５パーセンタイル値）は３．６４（Ｖ）であり、３．６４（Ｖ）以下となるＲｅｆ測定データＸｒの数は、Ｎｒ  数（５３９４７）の９９．５％を占める。また、ＬｏＩＲ（０．５パーセンタイル値）は３．０７（Ｖ）であり、３．０７（Ｖ）以下となるＲｅｆ測定データＸｒの数は、Ｎｒ  数（５３９４７）の０．５％を占める。
【００２８】
また、同様にしてＴｒｙ測定データの上位０．５％を示す値（９９．５パーセンタイル値）をＴｒｙ上限基準値（ＵｐＩＴ）として求めるとともに、Ｔｒｙ測定データの下位０．５％を示す値（０．５パーセンタイル値）をＴｒｙ下限基準値（ＬｏＩＴ）として求める。なお、本実施形態では、ＵｐＩＴは３．７７（Ｖ）であり、ＬｏＩＴは３．０９（Ｖ）である。
【００２９】
図３に示すように、Ｒｅｆ測定データＸｒ及びＴｒｙ測定データＸｔの分布図は、正規分布図に近い形状となる。両分布図の横軸は測定データ（撮像信号最小値）であり、縦軸はデータ数である。本発明の測定データの比較法では、異常データを除いたＲｅｆ測定データＸｒの分布に対して、同じく異常データを除いたＴｒｙ測定データＸｔの分布がどの方向にどの位ずれているかを数値で表す。つまり、ＬｏＩＲ≦Ｘｒ≦ＵｐＩＲを満たすＲｅｆ測定データＸｒの分布に対して、ＬｏＩＴ≦Ｘｔ≦ＵｐＩＴを満たすＴｒｙ測定データＸｔの分布がどの方向にどの位ずれているかを数値で表す。
【００３０】
具体的には、ＵｐＩＲ＜Ｘｔ≦ＵｐＩＴを満たすＴｒｙ測定データＸｔの数を上限外れ数（Ｚｕｐ）としてカウントする。また、ＬｏＩＴ≦Ｘｔ＜ＬｏＩＲを満たすＴｒｙ測定データＸｔの数を下限外れ数（Ｚｌｏ）としてカウントする。
【００３１】
図４に示すように、本実施形態ではＵｐＩＲ＜ＵｐＩＴである。このため、Ｚｕｐは図中の斜線で示したエリアＡ１内のＴｒｙ測定データＸｔの数をカウントして求められ、Ｚｕｐ＝６４９８（図２参照）となる。また、図５に示すように、本実施形態ではＬｏＩＲ＞ＬｏＩＴであるのでＺｌｏ＝０となる（表２参照）。
【００３２】
なお、本実施形態ではＵｐＩＲ＜ＵｐＩＴとなるが、例えば図６に示すようにＵｐＩＲ＞ＵｐＩＴとなる場合には、Ｚｕｐ＝０になる。また、本実施形態ではＬｏＩＲ＜ＬｏＩＴとなるが、例えば図７に示すようにＬｏＩＲ＞ＬｏＩＴとなる場合には、Ｚｌｏは図中の斜線で示したエリアＡ２内のＴｒｙ測定データＸｔの数をカウントして求められる。また、図示は省略するが、ＵｐＩＲ＜ＵｐＩＴ及びＬｏＩＲ＞ＬｏＩＴとなる場合には、エリアＡ１内のＴｒｙ測定データＸｔの数をカウントしてＺｕｐを求めるとともに、エリアＡ２内のＴｒｙ測定データＸｔの数をカウントしてＺｌｏを求めればよい。
【００３３】
上記表２に示すように、Ｚｕｐ及びＺｌｏが求められたら、全Ｔｒｙ測定データ数（Ｎｔ  数）に対するＺｕｐ及びＺｌｏの割合（割合算出結果）をそれぞれ求める。上限外れ数の割合算出結果（Ｐｕｐ）と下限外れ数の割合算出結果（Ｐｌｏ）とは、下記式（１）、（２）でそれぞれ求められる。本実施形態では、Ｐｕｐ＝１０．９％となり、Ｐｌｏ＝０．０％となる。
・  Ｐｕｐ＝Ｚｕｐ÷Ｎｔ  数×１００
・  Ｐｌｏ＝Ｚｌｏ÷Ｎｔ  数×１００
【００３４】
以上のようにＰｕｐ及びＰｌｏを求めることで、異常データを除いたＲｅｆ測定データの分布に対して、同じく異常データを除いたＴｒｙ測定データＸｔの分布は撮像信号最小値が大きくなる方向にずれていることが判る。さらに、この方向にずれている測定データＸｔは、全Ｔｒｙ測定データＸｔ中の１０．９％であることが判る。これにより、信頼性試験を行うことで、撮像信号最小値の測定データの分布がどの方向にどれ位ずれたかを数値で確認することができる。
【００３５】
撮像信号最小値のＰｕｐ及びＰｌｏが求められたら、他の測定項目（撮像信号最大値、リーク電流、スタンバイ電流等）についても上述のテスタ装置１３及びプローバ装置１４を用いて測定を行い、同様にＰｕｐ及びＰｌｏを求めればよい。なお、ＰＣ３５としてＰＣを用いている場合には、測定データ比較プログラム３５ａとして市販の表計算ソフトを用いることで、上述のＵｐＩＲ、ＬｏＩＲ、ＵｐＩＴ、ＬｏＩＴ、Ｚｕｐ、Ｚｌｏ、Ｐｕｐ、Ｐｌｏの演算を容易に行うことができる。
【００３６】
全ての測定項目についてＰｕｐ及びＰｌｏが求められたら、図７に示すようにＰｕｐが例えば５％を超える測定項目について、Ｐｕｐの値を棒グラフで表示する。また、図８に示すように、Ｐｌｏが例えば５％を超える測定項目についても同様にＰｌｏの値を棒グラフで表示する。図７及び図８の棒グラフを参照することにより、測定データの分布のずれが大きくなる測定項目を容易に確認することができる。なお、このようなグラフも測定データ比較プログラム３５ａとして市販の表計算ソフトを用いることで容易に作成することができる。
【００３７】
次に、図１０のフローチャート図を用いて、Ｒｅｆロットの測定データと、Ｔｒｙロットの測定データとの比較を行う際のフローについて説明を行う。比較を行う測定項目を例えば「撮像信号最小値」に決定したら、上述のテスタ装置１３及びプローバ装置１４（図２参照）を用いて、Ｒｅｆロット及びＴｒｙロットの撮像信号最小値の測定を行う。この測定により得られたＲｅｆ測定データＸｒ、及びＴｒｙ測定データＸｔは、測定データ比較プログラム３５ａ起動済みのＰＣ３５に入力される。そして、ＰＣ３５に入力された両測定データＸｒ，Ｘｔは、上記の表１のような表にまとめられる。
【００３８】
次いで、上述の基本統計量（表２参照）を求めた後、Ｒｅｆ上限基準値（ＵｐＩＲ）と、Ｒｅｆ下限基準値（ＬｏＩＲ）と、Ｔｒｙ上限基準値（ＵｐＩＴ）と、Ｔｒｙ下限基準値（ＬｏＩＴ）とを求める。上述したように、ＵｐＩＲ及びＬｏＩＲは、それぞれＲｅｆ測定データの９９．５パーセンタイル値、０．５パーセンタイル値である。また、ＵｐＩＴ及びＬｏＩＴは、それぞれＴｒｙ測定データの９９．５パーセンタイル値、０．５パーセンタイル値である。
【００３９】
ＵｐＩＲ、ＬｏＩＲ、ＵｐＩＴ、ＬｏＩＴが求められたら、ＵｐＩＲ＜Ｘｔ≦ＵｐＩＴを満たすＴｒｙ測定データＸｔの数をカウントしてＺｕｐを求める。また、ＬｏＩＴ≦Ｘｔ＜ＬｏＩＲを満たすＴｒｙ測定データＸｔの数をカウントしてＺｌｏを求める。次いで、全Ｔｒｙ測定データ数（Ｎｔ  数）に対するＺｕｐの割合Ｐｕｐと、Ｎｔ  数に対するＺｌｏの割合Ｐｌｏとを求める。以下同様にして、他の測定項目についてもＰｕｐ、Ｐｌｏを求める。
【００４０】
全ての測定項目についてＰｕｐ、Ｐｌｏが求められたら、Ｐｕｐが５％以上になる測定項目について、Ｐｕｐの値を棒グラフで表示するとともに、Ｐｌｏが５％以上になる測定項目についても同様にＰｌｏの値を棒グラフで表示する。なお、環境試験以外の信頼性試験、例えば特定の環境条件下で電気的負荷をかける通電試験等を行う場合には、上述の作業を繰り返せばよい。
【００４１】
以上のように、本発明では、異常データを除いたＲｅｆ測定データＸｒの分布に対して、異常データを除いたＴｒｙ測定データＸｔの分布がどの方向にどの位ずれているかを表した数値を用いて、両測定データＸｒ，Ｘｔの比較を行っている。これにより、測定データＸｒ，Ｘｔの中に異常データが多数あったときに、従来のように平均値や分散を比較に用いる場合よりも両測定データＸｒ，Ｘｔの比較を正確に行うことができる。
【００４２】
なお、上記実施形態では、ＵｐＩＲ及びＵｐＩＴをそれぞれ測定データＸｒ，Ｘｔの上位５％を示す値（９５パーセンタイル値）とし、ＬｏＩＲ及びＬｏＩＴをそれぞれ測定データＸｒ，Ｘｔの下位５％を示す値（５パーセンタイル値）としているが、本発明はこれに限定されるものではない。測定データＸｒ，ＸｔのＮ（１００＞Ｎ＞５０）パーセンタイル値をＵｐＩＲ及びＵｐＩＴとし、測定データＸｒ，Ｘｔの（１００−Ｎ）パーセンタイル値をＬｏＩＲ及びＬｏＩＴをとしてもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、Ｐｕｐ、Ｐｌｏが５％を超える測定項目について、値を棒グラフで表示するようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、全ての測定項目についてＰｕｐ、Ｐｌｏの値を棒グラフで表示するようにしてもよい。また、棒グラフ以外のグラフを用いて、Ｐｕｐ、Ｐｌｏの値を表示するようにしてもよい。
【００４４】
なお、上記実施形態では、信頼性試験が行われないイメージセンサ１１の測定データと、信頼性試験が行われたイメージセンサ１１の測定データとを比較する場合を例に説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではなく、同一測定項目について同一測定環境で測定された２つの測定グループの測定データを比較する際に本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】シリコンウェハの斜視図である。
【図２】プローブ装置の側面図である。
【図３】Ｒｅｆロット及びＴｒｙロットの撮像信号最小値を測定した測定データの分布図である。
【図４】図３中の両分布のＵｐＩＲ及びＵｐＩＴ側の裾を拡大して表示した拡大図である。
【図５】図３中の両分布のＬｏＩＲ及びＬｏＩＴ側の裾を拡大して表示した拡大図である。
【図６】ＵｐＩＲ＞ＵｐＩＴとなったときの両分布のＵｐＩＲ及びＵｐＩＴ側の裾を拡大して表示した拡大図である。
【図７】ＬｏＩＲ＞ＬｏＩＴとなったときの両分布のＬｏＩＲ及びＬｏＩＴ側の裾を拡大して表示した拡大図である。
【図８】測定項目別のＰｕｐの値を表示した棒グラフである。
【図９】測定項目別のＰｌｏの値を表示した棒グラフである。
【図１０】Ｒｅｆロットの測定データと、Ｔｒｙロットの測定データとの比較を行う際のフローを示したフローチャート図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  シリコンウェハ
１１  イメージセンサ
１３  テスタ装置
１４  プローバ装置
３５  ＰＣ
３５ａ  測定データ比較プログラム
【図１】
2008008713.tif 000005
【図２】
2008008713.tif 000006
【図３】
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【図４】
2008008713.tif 000008
【図５】
2008008713.tif 000009
【図６】
2008008713.tif 000010
【図７】
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【図８】
2008008713.tif 000012
【図９】
2008008713.tif 000013
【図１０】
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