(57)【要約】【課題】プリント配線基板に対してなじみが得られ、しかも研磨ムラのない円筒状樹脂砥石およびその製造方法を提供する。【解決手段】本実施例の円筒状樹脂砥石１０の製造方法は、円筒状の芯材１２の外周面に厚板状のスポンジシート( 弾性材料) １８m を巻き付けた状態で接着することにより軟質弾性体層１８を形成するスポンジシート巻付工程( 軟質弾性体層形成工程) Ｐ３と、そのスポンジシート巻付工程Ｐ３により形成された軟質弾性体層１８の外周面に多数の砥石片１６を相対変位可能に固着する砥石シート接着工程( 砥石片固着工程) Ｐ８とを、含むことから、軟質弾性体層１８の密度に不均一に起因して弾性力のばらつきが局部的に発生し難いので、多数の砥石片１６のプリント配線基板Ｓに対する当たりにムラが発生することが好適に解消され、プリント配線基板Ｓに対して十分ななじみが得られ、しかも研磨ムラのない円筒状樹脂砥石１０が得られる。【選択図】図３
2008221430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥粒が樹脂結合剤で結合された多数の砥石片が弾性変形の容易な軟質弾性体層を介して円筒状芯材の外周面に固着された円筒状樹脂砥石であって、
前記軟質弾性体層は、前記円筒状芯材の外周面に厚板状の弾性材料が巻き付けた状態で接着されることにより構成されたことを特徴とする円筒状樹脂砥石。
【請求項２】
砥粒が樹脂結合剤で結合された多数の砥石片が弾性変形の容易な軟質弾性体層を介して円筒状芯材の外周面に固着された円筒状樹脂砥石の製造方法であって、
前記円筒状芯材の外周面に厚板状の軟質弾性材料を巻き付けた状態で接着することにより前記軟質弾性体層を形成する軟質弾性体層形成工程と、
該軟質弾性体層形成工程により形成された前記軟質弾性体層の外周面に前記多数の砥石片を相対変位可能に固着する砥石片固着工程と
を、含むことを特徴とする円筒状樹脂砥石の製造方法。
【請求項３】
前記軟質弾性体層形成工程は、前記円筒状芯材の周方向における前記厚板状の軟質弾性材料の両端部を相互に接着することを特徴とする請求項２の円筒状樹脂砥石の製造方法。
【請求項４】
前記円筒状芯材の周方向において前記厚板状の軟質弾性材料の両端部は、端縁に向かうほど厚みが減少する傾斜状端面を備えていることを特徴とする請求項２または３の円筒状樹脂砥石の製造方法。
【請求項５】
前記厚板状の軟質弾性材料の前記円筒状芯材の軸方向における端面は、台形または平行四辺形であることを特徴とする請求項４の円筒状樹脂砥石の製造方法。
【請求項６】
前記軟質弾性材料は、多数の気孔を含む高分子樹脂発泡体であることを特徴とする請求項２乃至５のいずれかの円筒状樹脂砥石の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒状部材の外周面に多数の砥石片が固着された円筒状樹脂砥石、特に、プリント配線基板の表面研磨に好適な円筒状樹脂砥石およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板の表面を平坦に研削或いは研磨することが行われている。例えば、プリント配線基板を所謂ビルドアップ法等を用いて製造するに際して、その中間工程において、基板の半製品の表面を研磨して平坦化することが行われている。その一例として、スルーホール内に樹脂を埋め込んだ際には、半製品の両面に盛り上がりが生じ、また、層間絶縁層を形成した際には、その表面になだらかな凹凸が生じるため、これらが生じたまま更に絶縁層や導体層を積層すると、導体配線の短絡や断線が生じ得ることから、これらの凸部分を研削或いは研磨によって除去する平坦化処理が行われる。
【０００３】
従来、そのような基板半製品の平坦化処理は、例えば、研磨ベルト、不織布ロール、不織布バフ、円筒状砥石( 砥石ロール、筒状砥石とも言う) 等が用いられていたが、近年のプリント配線基板の一層の多層化に伴い、基板自体やスルーホールの穴埋め用樹脂等の基板構成材料が硬質化する傾向にある。そのため、比較的高い研削力が要求される基板の所期レベリングや表面の穴埋め用樹脂等の除去には、円筒状砥石が好ましいものと考えられている。
【０００４】
上記の円筒状砥石は、例えば特許文献１参照に示されるように、円筒状芯材の外周面にスポンジのような軟質な弾性層を介して多数の砥石片を固着して構成されたものである。このような円筒状砥石によれば、研磨ベルトに比較して砥粒の早期の磨耗や脱落に起因する研削力の低下が生じ難いので、均一な研削延いては平坦化が容易である。また、不織布ロール、不織布バフ等を用いた場合に比較して、研削圧を高くした場合にも研磨面( すなわち不織布繊維の先端の包絡面) が基板表面形状に倣って変形させられ難いので、高い研削力が得られると共に基板表面の一層の平坦化が可能になる。しかも、軟質弾性体に固着された砥石片は基板表面に倣って僅かに変形させられるため、高弾性率の支持体で砥石片が支持されている場合等に比較して基板に十分になじみ、基板表面のスクラッチが生じ難く、平滑な表面が得られる利点がある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３１５０６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記のような円筒状砥石において、プリント配線基板の均一な研磨面を得るために重要なのは、円筒状芯材と多数の砥石片との間に設けられた軟質弾性層による追従性であり、通常、多数の気孔を含むスポンジ状高分子樹脂等の弾性変形の容易な軟質弾性体が用いられる。しかしながら、上記円筒状砥石を製造する従来の製造方法では、シート材から打ち抜いた複数個の円環状の軟質弾性体が円筒状芯材の一端から順次嵌め入れられて円筒状芯材の外周面にそれぞれ相互に接着されるとともに相互に接着され、次いでその円筒状芯材およびその外周に嵌め着けられた軟質弾性体が、その軟質弾性体の外径と同様の内径を有する比較的肉厚の小さいゴム製の管内にその一端開口から押し入れられてその内周面に接着される。このため、軟質弾性体の相互の継ぎ目、個々の円環形状のばらつき、ゴム製の管内に押し入れられたときの変形に起因して、軟質弾性体の密度に不均一が発生して弾性力のばらつきが局部的に発生するので、多数の砥石のプリント配線基板に対する当たりにムラが発生し、研磨のムラが発生する場合があった。
【０００７】
本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、プリント配線基板に対してなじみが得られ、しかも研磨ムラのない円筒状樹脂砥石およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための発明の要旨とするところは、砥粒が樹脂結合剤で結合された多数の砥石片が弾性変形の容易な軟質弾性体層を介して円筒状芯材の外周面に固着された円筒状樹脂砥石であって、前記軟質弾性体層は、前記円筒状芯材の外周面に厚板状の弾性材料が巻き付けた状態で接着されることにより構成されたことを特徴とする。
【０００９】
また、上記円筒状樹脂砥石を製造するための方法発明の要旨とするところは、砥粒が樹脂結合剤で結合された多数の砥石片が弾性変形の容易な軟質弾性体層を介して円筒状芯材の外周面に固着された円筒状樹脂砥石の製造方法であって、(a) 前記円筒状芯材の外周面に厚板状の軟質弾性材料を巻き付けた状態で接着することにより前記軟質弾性体層を形成する軟質弾性体層形成工程と、(b) その軟質弾性体層形成工程により形成された前記軟質弾性体層の外周面に前記多数の砥石片を相対変位可能に固着する砥石片固着工程とを、含むことにある。
【発明の効果】
【００１０】
上記発明の円筒状樹脂砥石によれば、その軟質弾性体層は、円筒状芯材の外周面に厚板状の弾性材料が巻き付けた状態で接着されることにより構成されたものであることから、シート材から打ち抜かれた複数個の円環状の軟質弾性体が円筒状芯材の一端から順次嵌め入れられて円筒状芯材の外周面にそれぞれ相互に接着される場合に比較して、複数個の円環状の軟質弾性体の相互の継ぎ目、個々の円環形状のばらつき、ゴム製の管内に押し入れられたときの変形が少なく、軟質弾性体の密度に不均一に起因して弾性力のばらつきが局部的に発生し難いので、多数の砥石のプリント配線基板に対する当たりにムラが発生することが好適に解消され、プリント配線基板に対して十分ななじみが得られ、しかも研磨ムラのない円筒状樹脂砥石が得られる。
【００１１】
上記円筒状樹脂砥石を製造するための方法発明によれば、軟質弾性体層形成工程において、円筒状芯材の外周面に厚板状の軟質弾性材料を巻き付けた状態で接着することにより軟質弾性体層が形成されることから、シート材から打ち抜かれた複数個の円環状の軟質弾性体が円筒状芯材の一端から順次嵌め入れられて円筒状芯材の外周面にそれぞれ相互に接着される場合に比較して、複数個の円環状の軟質弾性体の相互の継ぎ目、個々の円環形状のばらつき、ゴム製の管内に押し入れられたときの変形が少なく、軟質弾性体の密度に不均一に起因して弾性力のばらつきが局部的に発生し難いので、多数の砥石のプリント配線基板に対する当たりにムラが発生することが好適に解消され、プリント配線基板に対して十分ななじみが得られ、しかも研磨ムラのない円筒状樹脂砥石が得られる。
【００１２】
ここで、好適には、前記軟質弾性体層形成工程は、前記円筒状芯材の周方向における前記厚板状の軟質弾性材料の両端部を相互に接着することにより、円筒状の軟質弾性体層を形成する。このため、複数個の円環状の軟質弾性体の相互の継ぎ目、個々の円環形状のばらつきが好適に解消されるとともに、複数個の円環状の軟質弾性体を個々に打ち抜いて円筒状芯材の一端から順次嵌め入れるという煩雑な作業が不要となり、製造が容易となる。
【００１３】
また、前記円筒状芯材の周方向において前記厚板状の軟質弾性材料の両端部は、端縁に向かうほど厚みが減少する傾斜状端面を備えている。このようにすれば、円筒状芯材の周方向において前記厚板状の軟質弾性材料の両端部相互を接着する面積が大きくなって高い接着強度が得られるとともに、径方向における接着層の厚みが少なくなるので、継ぎ目に起因する軟質弾性体層の弾性力のばらつきが局部的に発生し難くなる。
【００１４】
また、上記厚板状の軟質弾性材料の前記円筒状芯材の軸方向における端面は、台形または平行四辺形である。このようにすれば、円筒状芯材への巻き着け前の弾性体の加工が容易となる。
【００１５】
また、前記軟質弾性材料は、多数の気孔を含む高分子樹脂発泡体である。このようにすれば、軟質弾性体層の弾性力が均一となり、プリント配線基板に対して十分ななじみが得られる。
【００１６】
さらに、好適には、前記砥石片は、30乃至75( 体積％) の範囲内の気孔率を備え、且つ50( μm)以上の気孔径を有する大径気孔と、0.3 乃至30( μm)の気孔径を有する小径気孔とを備えたものである。このようにすれば、十分な容積の気孔と、チップポケットして機能するような比較的大径の大径気孔と、熱硬化性樹脂を好適に脱落させる比較的小径の気孔径を有する小径連通気孔とが備えられる。一層好適には、大径気孔は0.1 〜2.0(mm) の範囲内の気孔径を有し、小径気孔は1(μm)程度の気孔径を有するものである。
【００１７】
また、好適には、前記砥石片は、1 乃至8(GPa)の範囲のヤング率を有するものである。このようにすれば、弾性率が十分に小さい値に留められるため、例えばプリント配線基板のような軟らかい被研削材の研削加工に一層好適である。
【００１８】
また、好適には、前記砥石片は、前記円筒状部材の外周面を覆う高分子樹脂発泡体層とその高分子樹脂発泡体層を覆う弾性体層とを介してその円筒状部材に固着されたものである。高分子樹脂発泡体層としては、比較的低弾性率且つ軽量のものが好ましく、例えば、ゴム系スポンジ、発泡ポリエチレン、発泡ポリウレタン、酢酸ビニル系フォーム( すなわちスポンジ状の酢酸ビニル) 等が好適に用いられる。
【００１９】
また、好適には、前記高分子樹脂発泡体層と前記弾性体層との間に、繊維強化ゴム層が介在させられる。すなわち、円筒状部材の外周面と弾性体層との間には、高分子樹脂発泡体層と繊維強化ゴム層とが積層された複合弾性体が備えられる。
【００２０】
また、好適には、円筒状樹脂砥石は、プリント配線基板の表面研磨に用いられるものである。上述したように、本発明の円筒状樹脂砥石は耐水性が高く且つ軟らかい被研削材の研削加工に好適に用い得ることから、プリント配線基板の製造過程において層間絶縁体層の平坦化等に用いた場合には、スクラッチの発生を抑制しつつ、長期間に亘って使用することが可能である。
【００２１】
また、前記砥粒は、円筒状樹脂砥石の用途に応じて適宜選択されるものであるが、例えば、炭化珪素や酸化アルミニウム等の一般砥粒、或いは、ＣＢＮ( 立方晶窒化硼素) やダイヤモンド等の超砥粒で構成される。また、その粒度も用途に応じて適宜選択されるものであり、例えば、＃120 程度の粗研削用のものから＃4000程度の仕上げ研磨用のものの範囲内の砥粒で構成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【実施例】
【００２３】
図１は、本発明の一実施例の円筒状樹脂砥石１０の全体を示す斜視図である。図において、円筒状樹脂砥石１０は、円筒状芯材１２の外周面に複合弾性体層１４を介して多数の砥石片１６が固着されることにより構成されている。
【００２４】
上記の円筒状芯材１２は、例えば、外径100(mm) 程度、内径76.2(mm)程度、長さ寸法610(mm) 程度の円筒状を成す比較的硬質のものであり、例えば、熱硬化性樹脂を基材である紙に含浸させ且つ加熱および加圧して成型された紙−樹脂積層管、例えば紙−フェノール樹脂積層管である。
【００２５】
また、上記の複合弾性体層１４は、円筒状芯材１２の外周面に接着された多孔質の軟質弾性体層１８と、その外周面を覆って設けられた例えば外径136(mm) 程度の緻密質弾性体層２０とから構成されている。この複合弾性体層１４は、例えば円筒状樹脂砥石１０の半径方向に砥石片１６が押圧された際に弾性的に凹まされることにより、プリント配線基板等の被研削材表面の凹凸に倣ってその砥石１６を相対変位可能に支持して僅かに弾性的に変形させるために設けられている。上記多孔質の軟質弾性体層１８は例えば20(mm)程度の厚みを備えたポリエチレン・フォーム等のスポンジ状の弾性体から成るものであって円筒状芯材１２や緻密質弾性体層２０よりも十分に軟質である。また、緻密質弾性体層２０は単層或いは複層であって、例えば繊維強化ゴム管から成るものである。
【００２６】
また、上記の多数の砥石片１６は、略一様な寸法および形状を備えたものであって、各々が矩形、例えば一辺が10(mm)程度の略正方形の平面形状と10(mm)程度の厚さ寸法とを有するものである。これら多数の砥石片１６は、例えば20°程度の角度で傾斜する弦巻線に沿って配列させられており、円筒状樹脂砥石１０の外周面全面に一辺10(mm)の升目で区切られた格子模様が形成されている。なお、砥石片１６相互間には、例えば1.0 〜2.0(mm) 程度の僅かな隙間が設けられており、砥石片１６は相互に接していない。この隙間は、研削加工中に切り粉の排出を容易にするためのものである。
【００２７】
図２は、上記の砥石片１６の表面を拡大して示す図である。砥石片１６は、多数の砥粒２２が網目構造のフェノール樹脂結合剤２４により相互に結合させられたものであり、その砥石組織内には、微小連通気孔２６と独立気孔２８とが形成されている。なお、この網目構造は砥石片１６の厚み方向においても同様に連続させられた三次元網目構造である。そのフェノール樹脂結合剤２４の網と網との間に形成される空間が微小連通気孔２６であり、フェノール樹脂結合剤２４の網目構造が三次元的に広がっていることから、この微小連通気孔２６も三次元的に相互に連通させられている。また、独立気孔２８は、上記微小連通気孔２６よりも十分に大きく、且つ相互に互いに独立して組織中に略均一に分散して存在している。そのため、砥石片１６は、例えば70(%) 程度のフェノール樹脂砥石としては著しく高い気孔率を備えており、その弾性率は、ヤング率で3.3(GPa)( ＝340(kgf/mm２)) 程度の低い値である。
【００２８】
以上のように構成された円筒状樹脂砥石１０は、例えば、図３に示される工程を経て製造される。以下、工程の各段階における実施状態を表した図４および図５を参照して製造方法を説明する。先ず、芯材加工工程Ｐ１では、数ｍ程度の円筒状芯材１２の素材が所定の寸法に切断されることにより円筒状芯材１２が用意される。また、スポンジシート加工工程Ｐ２では、軟質弾性体層１８の素材である20mm程度の厚みの厚板状のスポンジシート１８m から図４の(a) に示す所定の形状に加工される。このスポンジシート１８m には、たとえばイノアック社製のゴムスポンジＣ４３０５( ゴム硬度２５) が好適に用いられる。図４の(a) に示すように、この加工された巻き付け前の軟質弾性体層１８の材料であるスポンジシート１８m は、円筒状芯材１２の周方向の両端部は、端縁に向かうほど厚みが減少する傾斜状端面１８a および１８b を備えており、円筒状芯材１２の軸方向における端面は、台形を成している。しかし、平行四辺形であってもよい。
【００２９】
次いで、スポンジシート巻付接着工程Ｐ３では、上記巻き付け前の軟質弾性体層１８の材料１８m の内側となる一面全体に接着材が塗布され且つ必要に応じて円筒状芯材１２の外周面に接着材が塗布された後、円筒状芯材１２の外周面に巻き付けられて接着される。図４の(b) はこの状態を示している。この状態では、軸芯方向の端面において、巻き付け前の軟質弾性体層１８の材料であるスポンジシート１８m の傾斜状端面１８a および１８b が相互に合わせられた接着層１８c が、外周に向かうに従って一周方向に向かう線として現れている。径方向における接着層１８c の厚みが少なくされている。外径が128mm 程度となるように、必要に応じて加工修正される。
【００３０】
次に、必要に応じてガラス繊維、炭素繊維、化学繊維を用いて繊維強化された単層或いは複層であって、上記軟質弾性体層１８の外径と同様の128mm 程度の内径と１乃至４ｍｍ程度の厚みとを備えて、緻密質弾性体層２０を構成をする繊維強化ゴム管の内周面と、軟質弾性体層１８の外周面との少なくとも一方に接着材が塗布された状態で、その繊維強化ゴム管の一端の開口から軟質弾性体層１８が巻き着けられた円筒状芯材１２が挿入され、この状態で接着される。図６の(a) はこの状態を示している。
【００３１】
一方、砥石シート製造工程Ｐ５乃至Ｐ７において砥石シート３６が製造される。すなわち、混合・成形・硬化工程Ｐ５では、砥粒、フェノール樹脂水溶液、およびその硬化剤が攪拌混合機中に投入され、必要な場合には界面活性剤および相分離調整剤も投入されて所定時間攪拌・混合される。次いで、このようにして得られた流動性混合物が鋳込み型内に流し込まれた後、所定時間放置することにより、或いは、型内に流し込んだ流動性混合物を所定の温度に加熱することにより、流動性混合物中のフェノール樹脂が硬化される。このとき、フェノール樹脂は三次元網目形状に硬化し、この硬化したフェノール樹脂が結合剤として働き、砥粒が相互に結合される。また、攪拌時の気泡に由来する互いに独立した多数の独立気孔が形成されて多孔質の硬化成形体が得られる。そして、その硬化成形体が乾燥されてその硬化成形体中の水分が除去されると、三次元網目構造間を満たしていた水が空気に置換されて無数の微小連通気孔が形成され、この微小連通気孔によっても多孔質化される。
【００３２】
続く切断工程Ｐ６では、砥石片１６よりも十分に大きい寸法の型が用いられている場合に、上記多孔質砥石に切断加工が施されることにより、砥石片１６と同じ厚みの複数枚の板状砥石に分割される。次いで、切込み・ゴムシート接着・分割工程Ｐ７では、上記板状砥石の表面側から格子状に切込みが入れられるとともに、そのシート状砥石の裏面に１ｍｍ程度の厚みのゴムシート３８が接着され、更に、上記の切込みで形成された溝に沿って分割されることにより多数の砥石片１６がゴムシート３８に貼り付けられた、図５に示す砥石シート３６が得られる。この砥石シート３６は、例えば全体が幅寸法50(mm)程度、長さ寸法150(mm) 程度、厚さ寸法10(mm)程度の薄板形状を成すものであって、その裏面すなわち複合弾性体３４側の一面は、例えば厚さ寸法が1(mm) 程度の共通のゴムシート３８が接着されることにより、複数個の砥石片１６が微小な相対変位可能に独立に支持されている。
【００３３】
砥石シート接着工程Ｐ８では、複合弾性体３４の外周面に砥石シート３６が接着材により接着される。砥石シート３６の長手方向が複合弾性体３４の外周面上の１本螺線( つる捲線) に沿った方向となるように順次貼り着けられる。図６(a) 〜(c) はこの状態を示している。そして、外径仕上工程Ｐ９では、全体の直径寸法が例えば150(mm) 程度に研削加工によって仕上げられるとともに、端面切断工程Ｐ１０において、仕上げのために、例えば軸心方向の両端部を20(mm)程度の長さ寸法で切断することにより、前記の円筒状樹脂砥石１０が得られる。
【００３４】
以下、上記のように製造された円筒状樹脂砥石１０の性能試験の実験結果を説明する。
【００３５】
[ 研磨試験方法]
以下に示す表１の研磨試験条件に従い、且つ以下に示す表２のように軟質弾性体層の構成が異なる複数種類の研磨工具( 円筒状樹脂砥石１０と同様に構成された円筒状樹脂砥石) Ｋを順次取り替えて、市販されている銅張り積層板であるプリント基板Ｓをそれぞれ研磨し、図７に示すように、内の横幅方向５点、縦( 送り) 方向５点の合計２５点の測定点における銅箔の削除厚みを微小抵抗式膜厚計を用いて測定し、各点における平均削除量および合計２５点の削除量の標準偏差を面内ムラの大きさの評価指標として算出した結果を表３に示す。この研磨試験で用いた円筒状樹脂砥石においては、軟質弾性体層が同様の材質且つ同様の硬度を有するスポンジから構成されてはいるが、実施例１では軟質弾性体層が円筒状に一体に成形されたスポンジから構成され、実施例２では軟質弾性体層が芯材に巻き着けられたスポンジシートから構成され、比較例１、２、３では軟質弾性体層が芯材の外周において軸心方向に積層された状態で接着された２０ｍｍ厚みの円環状スポンジから構成されている。
【００３６】
表１[ 研磨試験条件]
プリント基板研磨加工装置：石井表記製２軸研磨装置( １軸のみ使用）
工具回転数              ：１８００ｒｐｍ
加振周波数              ：４６０ｃｐｍ
ワーク送り              ：２．０ｍ／ｍｉｎ
工具負荷                ：２．０Ａ
パス回数                ：１パス
研磨方式                ：湿式、水圧設定０．１ＭＰａ
【００３７】
表２[ 研磨試験に用いた工具の仕様]
砥石の結合材      軟質弾性体層の構成      スポンジ硬度
実施例１    フェノール樹脂    スポンジシートの巻付接着      ２５
実施例２    フェノール樹脂      円筒状の一体                ２５
比較例１    フェノール樹脂    ２０ｍｍ厚み円環体を積層      ２５
比較例２      ＰＶＡ          ２０ｍｍ厚み円環体を積層      ２５
比較例３    フェノール樹脂    ２０ｍｍ厚み円環体を積層      ２０
【００３８】
表３[ 研磨試験結果]
削除厚み    標準偏差σ    備考              砥粒    
実施例１    １．３３    ０．１６      渦巻き          GC400B
実施例２    １．３５    ０．１７      一体            GC400B
比較例１    １．４６    ０．２１      円環体を積層    GC400B
比較例２    ０．８８    ０．１９      他社製品Ａ      GC320B
比較例３    １．１３    ０．３２      他社製品Ｂ      GC400B
【００３９】
上記の研磨試験結果によれば、実施例１と実施例２との間における研磨性能に実質的な差異は見られなかった。また、実施例１乃至２と比較例１乃至３とを比較すると、削除厚みについては実施例１乃至２の場合ではばらつきが少なく、比較例１乃至３の場合ではばらつきが大きい。また、そのばらつきを示す標準偏差σについては、実施例１乃至２の場合では相互に差は少なくしかも比較的ばらつき自身も小さいが、比較例１乃至３の場合では、０．３２というばらつきの大きいものが含まれる。比較例２の標準偏差σは０．１９と比較的小さいものの、削除厚みも０．８８と少なく、実験例１乃至２に対して劣る。
【００４０】
上述のように、本実施例の円筒状樹脂砥石１０の製造方法は、(a) 円筒状芯材１２の外周面に厚板状のスポンジシート( 弾性材料) １８m を巻き付けた状態で接着することにより軟質弾性体層１８を形成するスポンジシート巻付工程( 軟質弾性体層形成工程) Ｐ３と、(b) そのスポンジシート巻付工程Ｐ３により形成された軟質弾性体層１８の外周面に多数の砥石片１６を相対変位可能に固着する砥石シート接着工程( 砥石片固着工程) Ｐ８とを、含む。このため、このような工程を経て製造された円筒状樹脂砥石１０は、２０ｍｍ程度の厚板状のスポンジシートから打ち抜かれた複数個の円環状スポンジが円筒状芯材１２の一端から順次嵌め入れられて円筒状芯材１２の外周面にそれぞれ相互に接着される場合( 比較例１乃至３) に比較して、それら複数個の円環状スポンジの相互の継ぎ目、個々の円環状スポンジのばらつき、緻密質弾性体層( 繊維強化ゴム管) ２０内に押し入れられたときの変形が少なく、軟質弾性体層１８の密度に不均一に起因して弾性力のばらつきが局部的に発生し難いので、多数の砥石片１６のプリント配線基板Ｓに対する当たりにムラが発生することが好適に解消され、プリント配線基板Ｓに対して十分ななじみが得られ、しかも研磨ムラのない円筒状樹脂砥石１０が得られる。
【００４１】
また、本実施例の円筒状樹脂砥石１０の製造方法によれば、スポンジシート巻付工程( 軟質弾性体層形成工程) Ｐ３は、円筒状芯材１２の周方向における厚板状のスポンジシート( 弾性材料) １８m の両端部を相互に接着することにより、円筒状の軟質弾性体層１８を形成するため、複数個の円環状の軟質弾性体の相互の継ぎ目、個々の円環形状のばらつきが好適に解消されるとともに、複数個の円環状の軟質弾性体を個々に打ち抜いて円筒状芯材の一端から順次嵌め入れるという煩雑な作業が不要となり、製造が容易となる。
【００４２】
また、本実施例の円筒状樹脂砥石１０の製造方法では、円筒状芯材１２の周方向において厚板状のスポンジシート( 弾性材料) １８m の両端部は、端縁に向かうほど厚みが減少する傾斜状端面１８a 、１８b を備えていることから、円筒状芯材１２の周方向において厚板状のスポンジシート１８m の両端部相互を接着する面積が大きくなって高い接着強度が得られるとともに、径方向における接着層の厚みが少なくなるので、継ぎ目に起因する軟質弾性体層１８の弾性力のばらつきが局部的に発生し難くなる。
【００４３】
また、本実施例の円筒状樹脂砥石１０の製造方法では、厚板状のスポンジシート( 弾性材料) １８m の円筒状芯材１２の軸方向における端面は、台形または平行四辺形であるので、円筒状芯材１２への巻き着け前のスポンジシート１８m の加工が容易となる。
【００４４】
また、本実施例の円筒状樹脂砥石１０の製造方法では、軟質弾性体層１８の材料であるスポンジシート( 弾性材料) １８m は、多数の気孔を含む高分子樹脂発泡体であるので、軟質弾性体層１８の弾性力が均一となり、プリント配線基板Ｓに対して十分ななじみが得られる。
【００４５】
以上、本発明の一実施例を図面に基づいて説明したが、本発明は上記実施例とは別の態様においても実施できる。
【００４６】
たとえば、前述の実施例では、軟質弾性体層１８の材料であるスポンジシート( 弾性材料) １８m の周方向の端面が傾斜状端面１８a 、１８b であったが、必ずしも傾斜していなくてもよく、径方向に平行な端面であってもよい。
【００４７】
また、前述の実施例では、軟質弾性体層１８の材料として、スポンジシート１８m が用いられていたが、硬度が２５程度或いはそれに近い比較的軟質であれば、必ずしも多孔質でなくてもよい。
【００４８】
また、前述の実施例では、軟質弾性体層１８は、１枚のスポンジシート１８m が円筒状芯材１２への巻き着けられることによって構成されていたが、２枚以上のスポンジシート１８m が厚み方向に積層された状態で円筒状芯材１２への巻き着けられていてもよい。また、そのスポンジシート１８m の両端面は、円筒状芯材１２の軸心に平行な方向であったが、傾斜させられていてもよい。
【００４９】
また、前述の実施例では、砥石片１６のフェノール樹脂結合剤２４は、熱硬化性樹脂としてアルカリ性フェノール樹脂が用いられていたが、その他のフェノール樹脂も同様に用いられ得る。実施例においては、砥粒２２として＃４００程度の炭化珪素が用いられていたが、砥粒の種類や粒度は用途に応じて適宜選択されるものである。さらに、上記砥石片１６において、熱硬化性樹脂の三次元網目構造に基づく微小連通気孔２６に加えて混合・攪拌時に巻き込まれた空気に起因する独立気孔２８が形成されていたが、少なくとも微小連通気孔２６が備えられることによって高気孔率の多孔質に構成されていれば、本発明の効果を享受し得る。したがって、混合・攪拌工程１において、気孔が生成するような攪拌形態は必須では無く、また、界面活性剤も必須ではない。
【００５０】
また、実施例においては、砥石シート３６をその裏面にゴムシート３８を貼り付けた後に割ることによって多数の砥石片１６が一体的に備えられた砥石シート３６を製造し、これを複合弾性体層１４の外周面に貼り付けることで円筒状部材の表面に多数の砥石片１６を容易に固着していたが、個々に分割された砥石片１６を複合弾性体層１４の外周面に貼り付けても差し支えない。その場合は、ゴムシート３８は用いられなくとも良い。
【００５１】
以上に説明したものはあくまでも本発明の一実施例であり、本発明はその主旨を逸脱しない範囲において種々変更が加えられ得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明が適用された一例の方法により製造された円筒状樹脂砥石の全体を示す斜視図である。
【図２】図１の円筒状樹脂砥石を構成する砥石片の表面を拡大して示す図である。
【図３】図１の円筒状樹脂砥石の製造工程を示す工程図である。
【図４】図３の製造工程のうち、スポンジシート巻付工程を説明するために、巻き付け前の芯材および平坦なスポンジシートと、巻付後の状態とを示す図である。
【図５】図３の製造工程のうち、砥石シート製造工程により製造された砥石シートを示す斜視図である。
【図６】図３の製造工程のうち、砥石シート接着工程を説明するための図である。
【図７】図３に示す製造工程により製造された円筒状樹脂砥石と軟質弾性体層の構成が異なる他の円筒状樹脂砥石と研磨性能を比較するために用いられたプリント基板研磨加工装置と、プリント基板上の複数の研磨量の測定点の位置とを説明する図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０：円筒状樹脂砥石
１２：円筒状芯材
１６：砥石片
１８：軟質弾性体層
１８m ：スポンジシート( 弾性材料)
１８a 、１８b ：傾斜状端面
２２：砥粒
２４：フェノール樹脂結合剤( 樹脂結合剤)
２６：微小連通気孔( 気孔)
２８：独立気孔( 気孔)
Ｐ３：スポンジシート巻付工程( 軟質弾性体層形成工程)
Ｐ８：砥石シート接着工程( 砥石片固着工程) 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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