(57)【要約】【課題】製造後に廃棄されるドレス工具の数をできるかぎり減らす。【解決手段】ドレッシング装置は、ドレス工具３５を研磨パッド１５のパッド面に当接した状態で両者を相対回転移動させてドレッシングを行う。このドレッシング装置は、ドレス工具による研磨パッドのドレス条件を調整するドレス制御部７２と、ドレス工具を用いて研磨パッドのプロファイルを所望のプロファイルに仕上げるアジャスト工程を行ったときの研磨パッドのドレスレートを測定する測定制御部７３とを備え、測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるようにドレス条件を自動調整する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドレス工具を研磨パッドの研磨面に当接した状態で両者を相対移動させてドレッシングを行うドレッシング装置であって、
前記ドレス工具による前記研磨パッドのドレス条件を調整するドレス条件調整装置と、
前記ドレス工具を用いて前記研磨パッドのプロファイルを所望のプロファイルに仕上げるアジャスト工程を行ったときの前記研磨パッドのドレスレートを測定するドレスレート測定装置とを備え、
前記ドレスレート測定装置により測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整するように構成されたことを特徴とするドレッシング装置。
【請求項２】
前記アジャスト工程が終了したときに前記ドレスレート測定装置により測定した前記研磨パッドのドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整することを特徴とする請求項１に記載のドレッシング装置。
【請求項３】
前記アジャスト工程の途中において前記ドレスレート測定装置により測定した前記研磨パッドのドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整し、このように自動調整されたドレス条件の下で残りの前記アジャスト工程を行うことを特徴とする請求項１に記載のドレッシング装置。
【請求項４】
前記残りのアジャスト工程を行った後に、前記ドレスレート測定装置により前記残りのアジャスト工程における前記研磨パッドのドレスレートを測定し、このように測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整することを特徴とする請求項３に記載のドレッシング装置。
【請求項５】
前記ドレス条件調整装置は、前記ドレスレート測定装置により測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように、前記ドレス条件としてドレス荷重を調整することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のドレッシング装置。
【請求項６】
前記ドレス条件調整装置は、前記ドレスレート測定装置により測定したドレスレートとそのドレス時間との積が前記基準ドレスレートと基準ドレス時間との積と等しくなるように、前記ドレス条件としてドレス時間を調整することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のドレッシング装置。
【請求項７】
前記ドレス条件調整装置により前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、再度のドレス条件設定作業を指示することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のドレッシング装置。
【請求項８】
前記ドレス条件調整装置により前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、前記ドレス工具が使用不可である旨指示することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のドレッシング装置。
【請求項９】
研磨パッドのドレッシングを行うドレス工具のドレス条件を設定する方法であって、
前記ドレス工具を用いて前記研磨パッドのプロファイルを所望のプロファイルに仕上げるアジャスト工程を行い、
前記アジャスト工程により前記研磨パッドのドレスレートを測定し、
前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定することを特徴とするドレス条件設定方法。
【請求項１０】
前記アジャスト工程が終了したときに前記研磨パッドのドレスレートを計算して求めることを特徴とする請求項９に記載のドレス条件設定方法。
【請求項１１】
前記アジャスト工程の途中において前記研磨パッドのドレスレートを測定し、この測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるようにドレス条件を変更して残りの前記アジャスト工程を行うことを特徴とする請求項９に記載のドレス条件設定方法。
【請求項１２】
前記残りのアジャスト工程を行った後に、この工程における前記研磨パッドのドレスレートを測定し、このように測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定することを特徴とする請求項１１に記載のドレス条件設定方法。
【請求項１３】
前記測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように、前記ドレス条件としてドレス荷重を設定することを特徴とする請求項９〜１２のいずれかに記載のドレス条件設定方法。
【請求項１４】
前記測定したドレスレートとそのドレス時間との積が前記基準ドレスレート基準とドレス時間との積と等しくなるように、前記ドレス条件としてドレス時間を設定することを特徴とする請求項９〜１２のいずれかに記載のドレス条件設定方法。
【請求項１５】
前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、再度のドレス条件設定作業を指示することを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のドレス条件設定方法。
【請求項１６】
前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、前記ドレス工具が使用不可である旨指示することを特徴とする請求項９〜１４のいずれかに記載のドレス条件設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＭＰ装置のような研磨加工等を行う加工工具（研磨パッド）の加工面（パッド面）をドレッシングするドレッシング装置と、ドレッシングを行うときのドレス条件を設定する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの製造工程において、ウエハ表面に形成された回路構成膜などの研磨加工を行うＣＭＰ装置（化学機械研磨装置）に用いられる研磨加工工具すなわち研磨パッドは、加工時間が増すに応じて加工面の目詰まりが進行して劣化するため、定期的なドレッシングを行って常に良好な加工が行われるようにメンテナンスされる。このようなドレッシング装置および方法については、従来から種々の提案がなされている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３等を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−８０４５６号公報
【特許文献２】特開２００４−２５４１３号公報
【特許文献２】米国特許公報第５，６０９，７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ドレッシング装置において研磨パッドのドレッシングを行うドレス工具は、研磨パッドのドレッシングを行ったときのドレスレートが基準の値となることが要求される。このため、ドレスレートが基準の範囲内に入るようにドレス工具を製造するのであるが、製造されたドレス工具毎にドレスレートのバラツキが生じることが避けられず、ドレスレートが基準の範囲内に入るようにドレス工具を製造するのは非常に難しい。このため従来においては、製造した全てのドレス工具についてドレッシング装置により研磨パッドのドレッシングを行ってドレスレートを測定し、これが基準の範囲内に入るドレス工具のみを採用し、基準の範囲から外れるドレス工具については廃棄されていた。しかしながら、これでは歩留まりが低くなり資源の無駄遣いとなるという問題がある。
【０００５】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、製造後に廃棄されるドレス工具の数をできるかぎり減らせるようなドレッシング装置およびドレス条件設定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、本発明に係るドレッシング装置は、ドレス工具を研磨パッドの研磨面に当接した状態で両者を相対移動させてドレッシングを行うドレッシング装置であって、前記ドレス工具による前記研磨パッドのドレス条件を調整するドレス条件調整装置と、前記ドレス工具を用いて前記研磨パッドのプロファイルを所望のプロファイルに仕上げるアジャスト工程を行ったときの前記研磨パッドのドレスレートを測定するドレスレート測定装置とを備え、前記ドレスレート測定装置により測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整するように構成される。
【０００７】
このドレッシング装置において、前記アジャスト工程が終了したときに前記ドレスレート測定装置により測定した前記研磨パッドのドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整するのが好ましい。
【０００８】
上記ドレッシング装置において、前記アジャスト工程の途中において前記ドレスレート測定装置により測定した前記研磨パッドのドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整し、このように自動調整されたドレス条件の下で残りの前記アジャスト工程を行うようにしても良い。
【０００９】
この場合には、前記残りのアジャスト工程を行った後に、前記ドレスレート測定装置により前記残りのアジャスト工程における前記研磨パッドのドレスレートを測定し、このように測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整するのが好ましい。
【００１０】
また、上記ドレッシング装置において、前記ドレス条件調整装置は、前記ドレスレート測定装置により測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように、前記ドレス条件としてドレス荷重を調整するのが好ましい。
【００１１】
上記ドレッシング装置において、前記ドレス条件調整装置は、前記ドレスレート測定装置により測定したドレスレートとそのドレス時間との積が前記基準ドレスレートと基準ドレス時間との積と等しくなるように、前記ドレス条件としてドレス時間を調整するようにしても良い。
【００１２】
上記ドレッシング装置において、前記ドレス条件調整装置により前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、再度のドレス条件設定作業を指示するのが好ましい。
【００１３】
上記ドレッシング装置において、前記ドレス条件調整装置により前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、前記ドレス工具が使用不可である旨指示するようにしても良い。
【００１４】
本発明に係るドレス条件設定方法は、研磨パッドのドレッシングを行うドレス工具のドレス条件を設定する方法であって、前記ドレス工具を用いて前記研磨パッドのプロファイルを所望のプロファイルに仕上げるアジャスト工程を行い、前記アジャスト工程により前記研磨パッドのドレスレートを測定し、前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定する。
【００１５】
このドレス条件設定方法において、前記アジャスト工程が終了したときに前記研磨パッドのドレスレートを計算して求めるのが好ましい。
【００１６】
上記ドレス条件設定方法において、前記アジャスト工程の途中において前記研磨パッドのドレスレートを測定し、この測定したドレスレートとそのドレス時間との積が前記基準ドレスレートと基準ドレス時間との積と等しくなるようにドレス条件を変更して残りの前記アジャスト工程を行うようにしても良い。
【００１７】
この場合、前記残りのアジャスト工程を行った後に、この工程における前記研磨パッドのドレスレートを測定し、このように測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定するのが好ましい。
【００１８】
上記ドレス条件設定方法において、前記測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように、前記ドレス条件としてドレス荷重を設定するのが好ましい。
【００１９】
上記ドレス条件設定方法において、前記測定したドレスレートが前記基準ドレスレートとなるように、前記ドレス条件としてドレス時間を設定しても良い。
【００２０】
上記ドレス条件設定方法において、前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、再度のドレス条件設定作業を指示するのが好ましい。
【００２１】
上記ドレス条件設定方法において、前記測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるように前記ドレス工具のドレス条件を設定したときに、この設定ドレス条件が調整可能範囲外であるときには、前記ドレス工具が使用不可である旨指示するようにしても良い。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るドレッシング装置によれば、研磨パッドのプロファイルを所望のプロファイルに仕上げるアジャスト工程を行ったときに研磨パッドのドレスレートを測定するとともにこの測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるようにドレス条件調整装置によりドレス条件を自動調整するので、この自動調整可能な範囲内であれば、このドレス工具を自動調整したドレス条件の下で使用することが可能となる。このため、従来のように、測定ドレスレートが基準の範囲内に入るドレス工具のみを採用し、基準の範囲から外れるドレス工具を廃棄するということがなくなり、使用可能なドレス工具の数が多くなって歩留まりが高くなり、資源の有効活用を図ることができる。
【００２３】
また、本発明に係るドレス条件設定方法によれば、アジャスト工程による研磨パッドのドレスレートを測定し、この測定したドレスレートが基準ドレスレートとなるようにドレス工具のドレス条件を設定するので、このように設定されたドレス条件でこのドレス工具を使用することが可能となる。このため、この方法によれば、従来のようにドレスレートが基準の範囲から外れるものを廃棄するということが無くなり、ドレス工具の製造歩留まりが高くなって資源の有効活用を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。図１は本発明の一実施形態に係るドレッシング装置を有して構成されるＣＭＰ研磨装置１を示している。このＣＭＰ研磨装置１は、半導体ウエハの製造工程においてウエハ表面の化学機械的研磨を行うＣＭＰ装置であり、ウエハ表面の化学機械的研磨（ＣＭＰ）を行う研磨ステーションＳＴ１と、研磨パッドのドレッシングを行うドレスステーションＳＴ２と、研磨パッドの表面プロファイル測定を行う測定ステーションＳＴ３とを備えて構成される。
【００２５】
研磨ステーションＳＴ１は、ウエハ研磨装置１０を用いて半導体ウエハＷの表面研磨を行う作業ステーションであり、ウエハＷを載置する回転台２２および回転台２２を回転させる回転駆動装置２１からなるウエハ回転装置２０を備え、ウエハ回転装置２０はこの研磨ステーションＳＴ３に移動したウエハ研磨装置１０の下方に位置するように構成されている。回転駆動装置２１は研磨制御部７１からの制御信号を受けて回転台２２を回転駆動させる。回転台２２の上面には図示しない真空吸着チャック機構が設けられており、この真空チャック機構により半導体ウエハＷを回転台２２上に吸着保持させるようになっている。
【００２６】
ウエハ研磨装置１０は、ＣＭＰ研磨を行うときには、研磨ステーションＳＴ１に移動して図示のようにウエハ回転装置２０の上方に位置して回転台２２と上下に対向する。ウエハ研磨装置１０は上下方向に延びた回転軸１１と、この回転軸１１の下端部に取り付けられた工具本体１２とから構成されている。この工具本体１２の下面に、両面テープ等で研磨パッド１５が下面に取り付けられた円盤状の支持プレート１３が真空吸着されて取り付けられている。このため、真空吸着を解除して、研磨パッド１５を支持プレート１３とともに工具本体１２から取り外して交換可能になっている。
【００２７】
研磨パッド１５は発泡性のポリウレタン等から作られており、その形状は単純な円盤状のほか、中央に穴の開いた薄厚のドーナツ型等に形成されている。本実施形態では研磨パッド１５は薄厚のドーナツ型である。ウエハ研磨装置１０の回転軸１１は図示しないモータによって駆動され、そのモータの駆動は研磨制御部７１によって制御される。そして、半導体ウエハＷの表面に研磨パッド１５を上方から接触させた状態で、研磨制御部７１による制御の下で、回転台２２とウエハ研磨装置１０との双方を回転させ、かつウエハ研磨装置１０を回転台２２に対して水平方向に揺動移動させることにより、半導体ウエハＷの表面全体について研磨パッド１５により研磨を行う。
【００２８】
ウエハ研磨装置１０はドレスステーションＳＴ２に移動可能に構成されており、ドレスステーションＳＴ２においては、ここに設けられたドレッシング装置３０によりウエハ研磨装置１０の下面に取り付けられた研磨パッド１５のドレッシングを行う。ドレッシング装置３０は、ドレス駆動装置３１と、ドレス駆動装置３１から上方に延びた駆動軸３２と、駆動軸３２の上部にジンバル機構３３を介して支持された円盤状のドレス工具３５とを備える。ドレス駆動装置３１は、駆動軸３２を回転駆動するモータと、駆動軸３２に上下方向に押圧力を付与するアクチュエータとを内蔵しており、これらモータおよびアクチュエータの作動を制御するドレス制御部７２も備えている。
【００２９】
ドレス工具３５の上面がドレス面であり、ドレスステーションＳＴ２に移動してきたウエハ研磨装置１０の研磨パッド１５の下面（パッド面）とドレス工具３５のドレス面とが、図示のように上下に対向する。このように上下に対向した状態で、ドレス駆動装置３１により駆動軸３２が上動されてドレス工具３５のドレス面が研磨パッド１５のパッド面と当接し、ドレス制御部７２による制御の下でアクチュエータによりこのときの当接力が所定の力となるように設定され、モータが駆動されてドレス工具３５が回転駆動される。このとき同時にウエハ研磨装置１０も回転駆動され、ドレス工具３５により研磨パッド１５の研磨面のドレッシングが行われる。
【００３０】
ウエハ研磨装置１０はドレスステーションＳＴ２から測定ステーションＳＴ３に移動可能であり、ドレスステーションＳＴ２において研磨パッド１５のパッド面のドレッシングが行われると、ウエハ研磨装置１０が測定ステーションＳＴ３に移動されてパッド面のプロファイルを測定して、ドレスレート等の測定が行われる。このため、測定ステーションＳＴ３にはパッド形状測定器５０が備えられており、このパッド形状測定器５０により研磨パッドのプロファイル測定が行われる。
【００３１】
パッド形状測定器５０はセンサ保持部５１とこのセンサ保持部５１に保持された測定センサ５２とからなり、内部の移動機構により測定センサ５２はセンサ保持部５１に対して水平面内で移動される。測定センサ５２は発光素子と受光素子からなる光学式の（すなわち非接触型の）変位センサからなり、この変位センサによりパッド形状測定器５０と研磨パッド１５上のパッド面の測定位置との間の距離を測定する。従ってこのパッド形状測定器５０によれば、研磨パッド１５のパッド面上の領域内での相対高さを算出して、プロファイル等の測定を行う。なお、この実施形態では、センサ２２は光学式の変位センサとしているが、これは一例に過ぎず、非接触型であれば超音波式の変位センサ等であってもよいし、接触型であればプローブを用いたもの等であっても構わない。
【００３２】
このようにして行われる研磨パッド１５のプロファイル測定を行うために測定制御部７３を有しており、測定制御部７３により測定センサ５２を移動させるとともに上記距離測定が行われる。このようにしてパッド形状測定器５０により測定された結果は測定制御部７３に送られ、プロファイル測定が行われるとともにドレスレート（ドレッサーが研磨パッドを削る割合であり、例えば、μｍ／ｍｉｎという単位で表される）が測定される。なお、この測定結果はドレス制御部７２に送られ、ドレス条件の設定および調整が行われるようになっている。
【００３３】
次に、以上のように構成されたＣＭＰ研磨装置１において、ドレス工具３５を交換する等、新たにドレス工具を用いるときのドレス条件の設定について、図２のフローチャートを参照しながら説明する。
【００３４】
このドレス条件設定は、まずステップＳ１に示すように、ウエハ研磨装置１０を測定ステーションＳＴ３に移動させ、ここでパッド形状測定器５０によりドレッシングを行う前の研磨パッド１５の表面プロファイル測定を行い、その測定結果を測定制御部７３に記憶しておく。そして、ウエハ研磨装置１０をドレスステーションＳＴ２に移動させる。このとき、ドレスステーションＳＴ２においては、ドレッシング装置３０の駆動軸３２の上に交換された新しいドレス工具３５を取り付けておき、この新しいドレス工具３５を用いてアジャスト作業を行う。なお、アジャストとは、アジャストシーケンスの略語であり、研磨パッド１５のプロファイルを、予め決められたプロファイル状に仕上げる一連のドレッシング工程作業を言う。具体的には、例えば、研磨パッド面を０．１ｍｍ以上削り、平面度が所定値以上となることを完了条件とする。なお、完了条件となったかの判断はプロファイル測定を行って決める。
【００３５】
このアジャスト作業が完了条件を満たして完了（ステップＳ３）すると、ステップＳ４において、測定制御部７３に記憶されているアジャスト工程の前のプロファイルとアジャスト工程中に最後に測定したプロファイルを比較してドレスレートを算出する。このことから分かるように、測定制御部７３およびパッド形状測定器５０が特許請求の範囲に規定するドレスレート測定装置の一例に該当する。この後、ステップＳ５に進んでドレス制御部７２において、このドレスレートを基準ドレスレートとするために必要なドレス条件を算出する。なお、当然ながら、算出したドレスレートが基準ドレスレート範囲内であれば、今回のドレス条件をそのまま使用する。
【００３６】
このように算出するドレス条件は、ドレス駆動装置３１により駆動軸３２の先端に取り付けたドレス工具３５を研磨パッド１５に押しつける荷重（ドレス荷重という）や、ドレス時間等であり、これらのいずれかもしくはこれら両方を、ドレスレートを基準ドレスレート範囲内の値に設定できる値に設定する。なお、この設定は、例えば、予めドレス荷重およびドレス時間とドレスレートとの関係を試験して互いの相関関係を求めておき、この相関関係に基づいて行われる。また、算出したドレスレートとそのドレス時間との積が、基準ドレスレートと基準ドレス時間との積と等しくなるようにドレス時間を設定しても良い。
【００３７】
このようにしてドレス条件が算出されると、この算出されたドレス条件値が調整可能範囲もしくは許容範囲内の値であるか否かが判断され（ステップＳ６）、この範囲内であれば、算出されたドレス条件をこのドレス工具３５のドレス条件として設定し（ステップＳ７）、これがドレス制御部７２において更新記憶される。そして、以下におけるこのドレス工具３５を用いたドレッシング作業が、ドレス制御部７２により更新記憶された設定条件の下でドレッシング装置３０により行われる。このことから分かるように、ドレス制御部７２およびドレッシング装置３０が特許請求の範囲に規定するドレス条件調整装置の一例に該当する。
【００３８】
一方、算出されたドレス条件値が調整可能範囲外の値であるときには、ステップＳ８に進み、再度のドレス条件設定作業を行う指示もしくはこのドレス工具が使用不可である旨の指示を行う。この指示は、例えば、ドレス制御部７２により、図示しない表示器に表示して行われる。再度のドレス条件設定作業を行う指示をしたときには、このドレス工具３５について、上述のステップＳ１〜Ｓ５の作業を行い、ステップＳ７で調整可能範囲内に入ったときにはステップＳ７に進んで、再度算出されたドレス条件を設定する。一方、再度の作業でも調整可能範囲内に入らないときには、再々度のドレス条件設定作業をしても良いが、このドレス工具が使用不可である旨の表示をしても良い。このように使用不可である旨の指示があった場合には、このドレス工具は廃却処分される。
【００３９】
ステップＳ８において指示される再度のドレス条件設定作業は、繰り返し回数を例えば３回と予め設定しておき、３回のドレス条件設定作業でも調整可能範囲に入らないときにこのドレス工具が使用不可である旨の表示を行うようにするのが好ましい。また、再度のドレス条件設定作業を指示することなく、いきなりこのドレス工具が使用不可である旨の表示を行うようにしても良い。
【００４０】
なお、図２のフローにおいては、アジャスト作業（ステップＳ２）が完了した後にステップＳ４以下に進んでドレスレートの算出およびドレス条件の算出が行われているが、アジャスト作業工程の途中においてステップＳ４以下に進んでドレスレートを算出してドレス条件を算出するようにしても良い。この場合には、算出したドレス条件を用いて残りのアジャスト作業が行われ、アジャスト作業が完了すると再度ステップＳ４以下のステップが行われて、ドレス条件が更新設定される。このようにすれば、より精度の高いドレス条件設定が可能である。
【００４１】
以上の説明においては、ＣＭＰ研磨装置１においてドレス工具３５を交換する時などにおいてこの交換するドレス工具に合ったドレス条件を設定しているが、ドレス工具毎に予めドレス条件を設定しておき、このドレス工具をＣＭＰ研磨装置１に用いるときにこのように設定されたドレス条件でのドレッシングを行うようにドレス条件を変更設定するようにしても良い。このようにすれば、例えば、ドレス工具を製造したときに、このドレス工具に適したドレス条件を測定しておけば、この条件を付けた上でドレス工具を出荷することにより、このドレス工具の出荷先ではドレス工具の交換とともに予め設定されているドレス条件を更新設定し直すことにより、出荷先での新たな設定を行うことなくこれをそのまま使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係るドレッシング装置を有して構成される研磨装置を示す概略説明図である。
【図２】上記研磨装置におけるドレス条件設定作業内容を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４３】
１  ＣＭＰ研磨装置
１０  ウエハ研磨装置
１５  研磨パッド
２０  ウエハ回転装置
３０  ドレッシング装置
３５  ドレス工具
５０  パッド形状測定器
【図１】
2008200826.tif 000003
【図２】
2008200826.tif 000004