(57)【要約】【課題】装置の小型化、簡素化を図り、さらには、レンズの芯出しを容易にし、再現性のよい調整を可能とするレンズ芯出し装置を提供する。【解決手段】Ｖ溝２ａによって第１の方向に案内駆動される第１の移動体４を有する第１の慣性駆動装置１４と、第１の移動体４の上部に形成され、第１の方向と直交する第２の方向にＶ溝３ａによって案内駆動される第２の移動体５を有する第２の慣性移動装置１５と、第２の移動体５に配置したレンズ把持手段８とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｖ溝によって第１の方向に案内駆動される第１の移動体を有する第１の慣性駆動装置と、
前記第１の移動体の上部に形成され、第１の方向と直交する第２の方向にＶ溝によって案内駆動される第２の移動体を有する第２の慣性移動装置と、
前記第２の移動体に配置したレンズ把持手段とを備える
ことを特徴とするレンズ芯出し装置。
【請求項２】
前記第２の移動体が案内駆動される前記Ｖ溝は、前記第１の移動体に形成される
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズ芯出し装置。
【請求項３】
前記第１及び第２の移動体は、それぞれ圧電素子により結合された慣性体を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズ芯出し装置。
【請求項４】
前記把持手段は、前記第２の移動体上に形成された平板を介して設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズ芯出し装置。
【請求項５】
前記第１及び第２の移動体がそれぞれ前記Ｖ溝に対して装脱可能に配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載のレンズ芯出し装置。
【請求項６】
前記レンズ把持手段は、レンズを３点で支持する固定部と可動部で構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズ芯出し装置。
【請求項７】
複数のレンズ芯出し装置が等角間隔に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のレンズ芯出し装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小なレンズの芯出しを行うためのレンズ芯出し装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラ等に用いられるレンズは、通常複数枚のレンズやミラーが接合されて構成されている。このような、複数枚のレンズ群を貼り合わせる場合、それぞれのレンズやミラーの光軸を一致させる為に、芯出しが必要となる。
ところで、従来の芯出し装置としては、両側よりレンズを挟むように配置された２台の把持機構と、この２台の把持機構とレンズに関し９０度回転させた位置に配置された更なる２台のレンズ把持機構、すなわち４台のレンズ把持機構により、レンズを把持し、ｘｙ平面上でレンズを押引して移動させることによりレンズの芯出しを行うことのできるレンズ芯出し装置が知られている。さらに、特許文献１には、レンズの周囲に１２０°の等角で放射状に配された３台の把持機構からなるレンズ芯出し装置が記載されている。この３台の把持機構を有する芯出し装置においても、３台の把持機構によりレンズをｘｙ平面上で微小移動させることにより芯出しを行う。
【０００３】
しかしながら、上述のような３台或いは４台の独立した把持機構を制御しながら、ｘｙ軸の全ての方向に移動し、レンズの位置決めすることは容易なことではない。例えば、把持機構が複数台であると、それぞれのレンズを把持する部分の高さ方向の位置調整や性能のばらつきが問題となる。また、一方の把持機構を移動する場合はそれに伴って他方の把持機構も移動が必要となるので、把持機構全てを連動して操作する必要があり、芯出しの調整が困難である。そして、レンズ芯出し装置では、堅固にレンズを把持する必要があり、よって把持機構は堅牢な構造であることが要求されたため、体積的にも大きな把持機構が一般的に用いられていた。従って、比較的小型のレンズ芯出しを行う際は、体積の大きな把持機構が中心に位置する小型レンズに四方或いは三方より迫り、互いにぶつかり合う為、本来の、レンズを堅固に把持し強力な押し出し力を確保するという機能を果たすことが困難になるといった欠点があった。また、レンズが小型化すると、把持機構が大きい場合、設置位置で互いに干渉し合ってしまい、複数の把持機構を設置することができないという問題がある。
【０００４】
そして近年、携帯電話組み込みレンズやDVD等のピックアップレンズに代表されるような小型レンズの需要が旺盛となり、芯出し装置においても、益々微細な調整が必要となっている。また、芯出しに必要な偏芯検出装置であるレーザ干渉計やオートコリメータ等も小型化が進んでおり、その直下にレンズを位置させるためにも、小型の把持機構が要求されている。
【０００５】
また、微小移動装置として、圧電素子の急速変化に伴う慣性力と摩擦力を利用した慣性駆動装置が知られている（特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平０６−９９３３１号公報
【特許文献２】特公平０６−９１７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述の点に鑑み、装置の小型化、簡素化を図り、さらには、レンズの芯出しを容易にし、再現性のよい調整を可能とするレンズ芯出し装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明のレンズ芯出し装置は、Ｖ溝によって第１の方向に第１の移動体を案内駆動する第１の慣性駆動装置と、第１の移動体上に形成され、第１の方向と直交する第２の方向に第２の移動体をＶ溝によって案内駆動する第２の慣性駆動装置と、第２の移動体に配置したレンズ把持手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明のレンズ芯出し装置では、第１の慣性駆動装置においては、第１の移動体が第１の方向にＶ溝に沿って案内駆動され、第１の移動体の上部に形成された第２の慣性駆動装置においては、第２の移動体が第１の方向と直交する第２の方向にＶ溝に沿って案内駆動されるので、把持手段に把持されたレンズは２軸方向に移動がなされる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のレンズ芯出し装置によれば、第１の方向に案内駆動される第１の移動体上を、第１の方向と直交する第２の方向に第２の移動体が案内駆動されるため、１台のレンズ芯出し装置に把持されたレンズを２軸方向に移動できるので、レンズ芯出し装置の小型化及び簡素化が図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【００１２】
図１は本発明の第１の実施形態に係るレンズ芯出し装置の斜視図である。本実施形態のレンズ芯出し装置１は、圧電素子の急速変形に伴う慣性力と摩擦力を利用した慣性駆動装置を用いたものである。
【００１３】
本実施形態のレンズ芯出し装置１は、第１の慣性駆動装置１４と第２の慣性駆動装置１５と、把持手段８とから構成される。第１の慣性駆動装置１４は、Ｖ溝２ａを有する第１のＶブロック２と、そのＶ溝に２ａ沿って案内駆動される第１の移動体４からなる。第１の移動体４は、Ｖ溝３ａを有する第２のＶブロック３で構成される。また、第２の慣性駆動装置１５は、第１の移動体４であるＶ溝３ａを有する第２のＶブロック３と、そのＶ溝に３ａ沿って案内駆動される第２の移動体５からなる。従って、第１及び第２の移動体４，５のＶ溝２ａ，３ａに接触する面は、それぞれ第１及び第２のＶブロック２，３のＶ溝形状に合うように形成されている。また、第１の慣性駆動装置１４における第１の移動体４は、前述したように第２の慣性駆動装置１５における第２のＶブロック３を兼ねており、第１及び第２のＶブロック２，３が直接的に２段重ねられて構成されている。また、Ｖ溝２ａ，３ａの溝先端は、第１及び第２の移動体４，５の先端と接触する際の遊びの為に垂直方向に延びる逃げ溝１９，２０が設けられている。そして、第１及び第２の慣性駆動装置１４，１５のＶ溝２ａ，３ａの長手方向は、互いに直交するように配置されている。第１の慣性駆動装置１４におけるＶ溝２ａの延びる方向をｘ方向、第２の慣性駆動装置１５におけるＶ溝３ａの延びる方向をｙ方向とし、第１の慣性駆動装置１４と第２の慣性駆動装置１５の重なる垂直方向をｚ方向とする。
【００１４】
第１の移動体４は、第１のＶブロック２のＶ溝２ａに対して上方から装脱可能に配置される。第２の移動体５は、第１の移動体４、すなわち第２のＶブロック３のＶ溝３ａに対して上方から装脱可能に配置される。
【００１５】
第２の慣性駆動装置１５の第２の移動体５の上端部には、平板１８を介して、レンズを把持するための把持手段８が形成されている。本例では、後述するように、この把持手段８に把持された、例えば直径１ｃｍ程度またはそれよりも小さなレンズをｘｙ方向に微小移動させることによりレンズの芯出しの調整が行われるように構成される。また、第１の慣性駆動装置１４における第１の移動体４は、レンズ調整位置の反対側に位置する端面に圧電素子１３で結合された慣性体１２を有し、第２の慣性駆動装置１５における第２の移動体５は、ｙ方向の端面に圧電素子１１で結合された慣性体１０を有する。
【００１６】
また、本例のレンズ芯出し装置１における把持手段８は、レンズを把持する部分がＬ字型である固定部（以下、固定アームという）７と、回動軸１７を有する可動部（以下、固定アームという）６により構成される。可動アーム６は、平板１８上において、回動軸１７の底部に設けられたベアリング（図示せず）により固定アーム７と同一平面上で回動可能に配置される。また可動アーム６は、可動アーム６と固定アーム７の間に設けられた例えば板バネ等による付勢手段９によりレンズを把持する方向に付勢される。すなわち、付勢手段９が可動アーム６の後端側に当接され、可動アーム６が回動軸１７を中心に、図１において半時計方向（可動アーム６の先端が固定アーム７側に近づく方向）に回動偏倚される。固定部７であるＬ字型のレンズ把持側には、その直交する辺に２箇所にピン７ａ，７ｂが一体に形成されており、回動軸１７を有する可動アーム６にも、レンズ把持側に１箇所、ピン６ｃが形成されている。
【００１７】
図２に本実施形態のレンズ芯出し装置１における把持手段８の概略構成を拡大して示す。図２は、レンズ１６を把持した場合の例である。本例のレンズ芯出し装置１においては、固定アーム７に設けられた２箇所のピン７ａ，７ｂと、可動アーム６に設けられた１箇所のピン６ｃの計３箇所でレンズ１６は把持され、可動アーム６、固定アーム７間の付勢手段９により安定に固定される。可動アーム６は、矢印ｒ１に示す方向に回動可能である。
把持手段８は、３箇所のピン７ａ，７ｂ，６ｃのうち、２箇所を固定とすることができるので、レンズ１６をより容易に、そして安定に把持することができる。さらに、把持手段８において、固定アーム７の高さ位置合わせは不要であるため、レンズ１６の高さ位置の決定が再現性よく、このため、芯出し作業が容易になる。
また、本実施形態では移動体３上部に配置された平板１８の厚みを換えることで、把持手段８に把持されるレンズ１６の高さ位置、すなわち、ｚ方向におけるレンズ１６の位置を随時調整することができる。
【００１８】
また、本例において、第１及び第２の移動体４，５に取り付けられた圧電素子１３，１１は、積層型の圧電素子である。図３Ａ，Ｂに本実施形態に用いられる積層型の圧電素子の例を示す。
図３Ａに示すように、積層型の圧電素子３０は、複数の圧電層３１と、印加電圧を供給する為の複数の内部電極３２とが交互に積層されている。圧電素子３１の一方の側面では、内部電極３２の端部が一つ置きに絶縁膜３３により被覆されており、その対向する圧電素子３１の他方の側面では、一方の側面において被覆されていない一つ置きの内部電極３２の端部が絶縁膜３３により被覆されている。そして、それらの側面はそれぞれ導電膜３４で被覆されて外部配線３５が設けられることにより、絶縁膜３３により絶縁されていない側の内部電極３２が電気的に並列に接続される。このような積層型の圧電素子３０において、外部配線３５に電圧を印加することにより、圧電素子３０は積層方向に伸縮する。
【００１９】
また、図３Ｂに示すように、複数の圧電層３１と内部電極３２が交互に形成された圧電素子３６において、一方の側面に端部を有する内部電極３２は、対向する他方の側面に達する前に終端しており、その内部電極３２に隣接する内部電極３２は、他方の側面に端部を有し、対向する一方の側面に達する前に終端するような構成であってもよい。この場合も一方の側面及び他方の側面にそれぞれ、一つおきに隣り合う内部電極３２を電気的に並列に接続するための導電層３４が形成され、導電層３４には、外部配線３５が設けられる。このような構成を有する圧電素子３６においても同様に電圧を印加することにより、圧電素子３６が伸縮する。
本実施形態では、このような圧電素子による衝撃力に起因して、移動体が移動される。
【００２０】
次に、本実施形態のレンズ芯出し装置を用いた小型レンズの調芯方法を説明する。
図４Ａに、ｙ方向から見たときのレンズ芯出し装置の概略側面を示し、図４Ｂに、ｘ方向から見たときのレンズ芯出し装置１の概略側面を示す。図４Ａ，４Ｂにおいて、移動前の第１の移動体４及び第２の移動体５を実線で示し、移動後の第１の移動体４及び第２の移動体５を二点鎖線で示す。
また、実際には、光源及び顕微鏡等を有するレーザ干渉計やオートコリメータ等の偏芯検出装置を用いて、透過波面計測するなどして偏芯量を観測しながら芯出しが行われる。図５に芯出しの際に偏芯検出装置としてレーザ干渉計を用いたときの概略構成図を示す。
【００２１】
先ず、図４Ａを用いて、第１の慣性駆動装置１４における第１の移動体４の動作について説明する。
第１の移動体４の位置を粗調整する。この粗調整では、第１の移動体３を手動で第１のＶブロック２から持ち上げた後、第１のＶブロック２上の所要の粗調整位置に置く。
次に、第１の移動体４の位置を微調整する。すなわち、第１の移動体４に取り付けられた圧電素子１３は、ｘ方向に圧電層と内部電極を積層した積層構造を有する。従って、圧電素子１３に、図示を省略する外部配線により電圧を印加することにより、前述したように圧電素子１３をｘ方向に急速に変形させることができる。そうすると、圧電素子１３の急速変形により、圧電素子１３に取り付けられた慣性体１２が加速する。この慣性体１２が加速されたときに、Ｖ溝２ａと第１の移動体４との摩擦面の摩擦抵抗を適切なものにすることにより摩擦力が働いて、第１の移動体４は、慣性体１２の加速方向と逆向きの力を受けて滑らかに微小移動する。次に、圧電素子１３をゆっくり変形させ、圧電素子１３がもとの形状に戻ったときに急に止めると、慣性体１２が、圧電素子１３と共にゆっくりと移動していた方向と同じ方向に、慣性の法則により慣性力が働き、第１の移動体４が微小移動する。このように、第１の移動体４は、圧電素子１３を急速変化させたり、ゆっくりと変化させて急停止させたりすることによる慣性駆動により矢印ｘ１で示すｘ方向に移動する。第１の移動体４上には、第２の移動体５が設けられているので、第２の移動体５も第１の移動体４と共にｘ方向に移動し、これにより第２の移動体５上に構成された把持手段８に把持されるレンズのｘ方向の位置が調整される。
【００２２】
続いて、図４Ｂを用いて、第２の慣性駆動装置１５における第２の移動体５の動作について説明する。
第２の移動体５の位置を粗調整する。この粗調整は、前述と同様に、第２の移動体５を第２のＶブロック３から持ち上げた後、第２のＶブロック３上の所要の粗調整位置に置く。
次に、第２の移動体５の位置を微調整する。すなわち、第２の移動体５に取り付けられた圧電素子１１は、ｙ方向に圧電層と内部電極を積層した積層構造を有する。従って、圧電素子１１に、図示を省略する外部配線により、電圧を印加することにより、前述したように圧電素子１１をｙ方向に急速に変形させることができる。よって、第２の慣性駆動装置１５における第２の移動体５も前述と同様に、圧電素子１１に電圧を印加することによって発生する慣性体の衝撃力を利用した慣性駆動により、移動体５が矢印ｙ１で示すｙ方向に移動され、把持手段８に把持されるレンズのｙ方向の位置調整が行われる。
また、第１及び第２の慣性駆動装置が２段重ね構造になっているため、第２の移動体５のｙ方向の移動は、第１の慣性駆動装置１４のＶブロック２のＶ溝２ａに直交する方向の幅内で行われる。
【００２３】
そして、実際に小型レンズの調芯を行う際には、先ず、図２に示すように把持手段８に小型レンズ１６を保持する。この保持は、手動で行われ、可動アーム６を付勢手段９のバネ力に対して開き、小型レンズ１６を固定アーム７の２点のピン７ａ，７ｂに当接した後、可動アーム６を付勢手段９により閉じて、ピン７ａ，７ｂ及びピン６ｃの３点で小型レンズを保持する。
【００２４】
次いで、上述したように、手動で第１の移動体４と第２の移動体５の位置を粗調整した後、第１の慣性駆動装置１４及び第２の慣性駆動装置１５において、それぞれ、圧電素子１３，１１に電圧を印加して第１の移動体４及び第２の移動体５を慣性駆動することによりＶ溝上で摺動させ微調整を行い、ｘ方向、ｙ方向の２軸のレンズ位置を調整する。
【００２５】
このように、本例のレンズ芯出し装置１では、１つの把持手段８を有する１台のレンズ芯出し装置１により、２軸分のレンズ位置の調整がなされる。また、圧電素子１３，１１を用いた慣性駆動によるＶブロック２，３の位置移動は、１００ｎｍオーダーで調整できるので、より小型レンズのための微小な調整が可能である。
【００２６】
このようなレンズの芯出しのための位置調整は、図５に示すように偏芯検出装置２２により偏芯量を観測されながら行われる。偏芯検出装置２２には、例えば、レーザ光が出射される光源と、顕微鏡から成るレーザ干渉計２０が用いられる。レーザ光Ｌｏの光路上には、参照球面である反射ミラー２１が設けられ、レンズ芯出し装置１に把持されたレンズ１６が、光源と反射ミラー２１の間に配される。この偏芯検出装置２２においては、光源から出射されるレーザ光Ｌｏをレンズ芯出し装置１に把持されたレンズ１６に入射させ、そのレンズ１６を透過した光束を反射ミラー２１で折り返すことにより、透過波面収差を顕微鏡より測定でき、透過波面収差から偏芯量が解析される。顕微鏡からの測定は、目視で行ってもよく、ＣＣＤカメラ等により取り込み、画像処理を行っても良い。この偏芯量が規定値内に入るまで、レンズ芯出し装置１において、慣性駆動によりｘｙ平面でレンズ１６が微小移動され位置調整が行われる。
【００２７】
本実施形態のレンズ芯出し装置１によれば、慣性駆動装置を２段重ね構造にすることにより、従来３台或いは４台の把持機構によって構成されていたレンズ芯出し装置１が、１台分のスペースで構成される。このため、レーザ干渉計等の偏芯検出装置２２が小型化した場合であっても、偏芯検出装置２２とレンズ芯出し装置１とが干渉するのを防止することができる。
【００２８】
また、本実施形態のレンズ芯出し装置１によれば、１台の装置で把持されたレンズをｘｙ平面で操作できるので、従来のレンズ芯出し装置のように、複数の把持機構により把持するため、それらの把持機構を連動して操作しなければならないという煩わしさが解消される。
【００２９】
本実施形態では、レンズは一つの装置で把持され、ｘｙ方向のレンズの移動は、Ｖ溝２ａ，３ａに沿って第１の移動体４、第２の移動体５を動かすという簡単な移動機構により行われるので、レンズ位置の調整において、粗い移動を手動で行い、細かい移動を慣性駆動により行うことができる。これにより、作業を円滑に行うことができ、作業効率の向上が図られる。
また、第１の移動体４が第２の慣性駆動装置１５の第２のＶブロック３を兼ねる構成とすることにより、レンズ芯出し装置全体が小型化する。
【００３０】
次に、図６に本発明のレンズ芯出し装置の第２の実施形態に係る概略構成を示す。本実施形態は、複数台のレンズ芯出し装置を用いたレンズ芯出し装置群として構成する。図６は、３つのレンズ芯出し装置を用いて、３つのレンズ芯出しを行う例である。
本実施形態に用いられるレンズ芯出し装置、すなわちレンズ芯出し装置群４０は、前述の図１におけるレンズ芯出し装置１を用いたものである。従って、図６において、図１に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。
【００３１】
本実施形態のレンズ芯出し装置群４０は、平板１８の厚さを異ならせて、レンズ１６の高さ位置を異ならせた３つのレンズ芯出し装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃを１２０度の等角間隔で放射状に配置して構成される。この３つのレンズ芯出し装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃは、それぞれの把持手段８に把持されたレンズがｚ方向に重なるように配置され、かつ、第２の慣性駆動装置１５における第２の移動体４に取り付けられた圧電素子１１及び慣性体１０が、それぞれ、隣り合うレンズ芯出し装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃの圧電素子１１及び慣性体１０と隣接しないように風車状に配置される。そして、この場合も前述と同様に、図示しない偏芯検出装置により、偏芯量が検出され、偏芯量が規定内に達するまで、それぞれのレンズ芯出し装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃにおいて、ｘ方向、ｙ方向の微小移動によるレンズの位置調整が行われる。
【００３２】
複数のレンズ芯出し装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃを用いた本実施形態のレンズ芯出し装置群４０では、１台のレンズ芯出し装置の外形寸法が小さいため、隣接する装置と干渉してしまうのを防ぐことができ、レンズが小型化しても、複数のレンズの芯出しを容易に行うことができる。
【００３３】
以上のように、本発明のレンズ芯出し装置よれば、第１の慣性駆動装置と第２の慣性駆動装置を２段に重ねた構成にすることにより、装置が体積的に小型化されるので、レーザ干渉計やオートコリメータ等の偏芯検出装置が小型化した場合であっても、その直下に配置することができ、さらに、１台のレンズ芯出し装置によって、レンズのｘｙ方向の微小移動がなされるので、より小さなスペース内でのレンズの芯出しが可能である。また、レンズ芯出し装置が体積的に小型化されるために、複数個のレンズ芯出し装置をレンズの直近まで接近させることが可能である。従って、複数枚のレンズを組み合わせる際の芯出しにおいても、レンズ芯出し装置の体積的な制約が軽減され、芯出し作業が容易になる。
【００３４】
上例では、第１の移動体４にＶ溝３ａを形成し、このＶ溝３ａに嵌合し、且つ摺動可能となるように、第２の移動体５を重ねて配設する構成としたが、その他、次の例に示すような構成も可能である。
この例では、Ｖ溝を有する第１のＶブロックとこのＶ溝に摺動可能に嵌合する第１の移動体とからなる第１の慣性駆動装置と、Ｖ溝を有する第２のＶブロックと、このＶ溝に摺動可能に嵌合する第２の移動体から成る第２の慣性駆動装置を備える。第２のＶブロックは、第１の移動体に固定される。第２の移動体上には把持手段が配置される。このような構成のレンズ芯出し装置においても、上例と同様に１台の装置で２軸方向の位置調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレンズ芯出し装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るレンズ芯出し装置のレンズ把持手段の拡大図である。
【図３】Ａ，Ｂ本発明の第１の実施形態に係るレンズ芯出し装置における圧電素子の概略構成図である。
【図４】Ａ，Ｂ本発明の第１の実施形態に係るレンズ芯出し装置の第１及び第２の移動体の移動の様子を示した概略断面図である。
【図５】レンズ芯出しにおいて、偏芯検出装置を用いたときの概略構成図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るレンズ芯出し装置の概略平面構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１・・レンズ芯出し装置、２，３・・Ｖブロック、２ａ，３ａ・・Ｖ溝、４・・第１の移動体、５・・第２の移動体、１８・・平板、６・・可動アーム、７・・固定アーム、８・・把持手段、９・・付勢手段、１０，１２・・慣性体、１１，１３・・圧電素子、１４・・第１の慣性駆動装置、１５・・第２の慣性駆動装置、１６・・レンズ、１７・・回動軸、３０，３６・・圧電素子、３１・・圧電層、３２・・内部電極、３３・・絶縁膜、３４・・導電層、３５・・外部配線
【図１】
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【図２】
2008221412.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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