(57)【要約】【課題】シェアテストによってリボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することのできるリボンボンディング箇所のシェアテスト方法およびその装置を提供すること。【解決手段】本発明のリボンボンディング箇所のシェアテスト方法は，ウエハ２１上にリボン２３を接合したリボンボンディング箇所のシェアテストを行う方法であって，リボンボンディング箇所の上面に補強治具１３を接触させ，補強治具１３をリボンボンディング箇所に接触させている状態で，リボンボンディング箇所の側方からリボン２３にシェア力を印加し，リボンボンディング箇所に界面破壊が起こったときのシェア力に基づいて，リボンボンディング箇所の界面接合の良否を判定するものである。【選択図】図１
2008078180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物上に帯状部材を接合したリボンボンディング箇所のシェアテストを行う方法において，
前記リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させ，
前記補助部材を前記リボンボンディング箇所に接触させている状態で，前記リボンボンディング箇所の側方から帯状部材にシェア力を印加し，
前記リボンボンディング箇所に界面破壊が起こったときのシェア力に基づいて，前記リボンボンディング箇所の界面接合の良否を判定することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト方法。
【請求項２】
請求項１に記載のシェアテスト方法において，
前記補助部材を前記リボンボンディング箇所の上面に接着させ，その状態でシェア力を印加することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト方法。
【請求項３】
請求項１に記載のシェアテスト方法において，
前記補助部材を前記リボンボンディング箇所の上面に上方から押圧し，その状態でシェア力を印加することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト方法。
【請求項４】
請求項１に記載のシェアテスト方法において，
前記補助部材として，リボンボンディング箇所の上面の凹凸と噛み合う凹凸を先端面に形成したものを用い，
前記補助部材の先端面の凹凸を前記リボンボンディング箇所の上面の凹凸と噛み合わせ，その状態でシェア力を印加することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１つに記載のシェアテスト方法において，
少なくとも前記リボンボンディング箇所の側面に接触するツール部材を用い，
前記ツール部材と前記リボンボンディング箇所の側面とを互いに押し付けることによりシェア力の印加を行うことを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト方法。
【請求項６】
請求項５に記載のシェアテスト方法において，
前記ツール部材を，
その先端が板状物の表面に接触するまで一旦降下させ，
前記リボンボンディング箇所の厚さより小さい高さだけ持ち上げ，
その後にシェア力の印加を行うことを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト方法。
【請求項７】
板状物上に帯状部材を接合したリボンボンディング箇所のシェアテストを行うシェアテスト装置において，
前記板状物を保持するテーブルと，
前記テーブルに保持された板状物のリボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させる補助部材接触制御部と，
前記テーブルに保持された板状物とリボンボンディング箇所との間に，シェア力を発生させるシェア力発生制御部とを有することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト装置。
【請求項８】
請求項７に記載のシェアテスト装置において，
補助部材を熱硬化性接着剤の硬化温度まで昇温させる昇温部を有することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト装置。
【請求項９】
請求項７に記載のシェアテスト装置において，前記補助部材接触制御部は，
補助部材を前記テーブルに保持された板状物のリボンボンディング箇所の上面に押し付けるものであることを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト装置。
【請求項１０】
請求項７に記載のシェアテスト装置において，
前記補助部材の先端面に，リボンボンディング箇所の上面の凹凸と噛み合う凹凸が形成されていることを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト装置。
【請求項１１】
請求項７から請求項１０までのいずれか１つに記載のシェアテスト装置において，
少なくとも前記テーブルに保持された板状物のリボンボンディング箇所の側面に接触するツール部材と，
前記ツール部材が前記リボンボンディング箇所の側面から受けている力を検出するシェア力検出部とを有し，
前記シェア力発生制御部は，前記テーブルと前記ツール部材とを，シェア力が発生する方向に相対的に移動させるものであることを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載のシェアテスト装置において，
前記ツール部材を，
その先端が板状物の表面に接触するまで一旦降下させ，
前記リボンボンディング箇所の厚さより小さい高さだけ持ち上げるツール部材高さ制御部を有することを特徴とするリボンボンディング箇所のシェアテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，母材に帯状導電部材が接合された箇所（以下，リボンボンディング箇所という）の接合強度を試験するためのシェアテスト方法およびその装置に関する。さらに詳細には，リボンボンディング箇所のシェア方向の接合強度を試験するためのリボンボンディング箇所のシェアテスト方法およびその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より，ハンダ付けや接着等によって２以上の部材が接合されたものが使用されている。製品の信頼性の確保のために，この接合箇所の接合状態や接合強度を試験することが行われている。例えば，ワイヤボンディングの接合強度を試験する方法として，接合面に対して略垂直方向への引っ張り力を加える引っ張り強度試験（プルテスト）や，接合面に対して略平行な方向へ力を加える剪断試験（シェアテスト）等が一般に行われている。
【０００３】
例えば，特許文献１には，接合部を剪断しつつシェア強度を検出してデータ処理するワイヤボンド検査装置が開示されている。この文献の技術によれば，コンピュータでデータ処理することにより，ワイヤボンド接合部の接合状態を正確に把握できるとされている。また，特許文献２には，アタッチメントを付け替えることによりプルテストとシェアテストとを行うことができるボンディング強度試験装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−５９９８２号公報
【特許文献２】特開２００１−１１８８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら，前記した従来の技術はいずれも，ワイヤボンディングの接合強度を検査する検査装置であり，このままリボンボンディング箇所に適用することはできなかった。リボンボンディング用のリボンは，厚さが０．１ｍｍ程度であり，三方つかみ治具等で掴むことは困難である。従って，プルテストには適していない。
【０００５】
また，リボンボンディング箇所は，ワイヤボンディングに比べて一般に接合面積が大きく部材厚さが小さい。そのため，シェアツールによる応力が接合界面全体に伝わらない。そして，ツール周囲で塑性変形が大きく生じ，接合部の母材が破壊されてしまう。そのため，シェアテストによっても接合強度を正確に検出することができないという問題点があった。
【０００６】
このようになる理由を調べるため，ワイヤボンディングとリボンボンディングとによる接合箇所に対して，接合面に水平な方向のシェア力を加えた場合に，接合部材の内部に発生する応力分布をシミュレーションすることによって比較した。ワイヤボンディング箇所としては，図１０に示すように，ワイヤが母材に対して，図中破線で示した接合範囲で接合されている箇所を想定する。これに対して図中矢印方向に力を加えた場合に発生する応力分布をシミュレーションにより算出した。同様に，リボンボンディング箇所についても行った。
【０００７】
この結果を簡略化して，図１１と図１２に示す。これらの図では，各部材の接合範囲に相当する部分のみを実線で示した。そして，接合範囲の部材外表面および接合範囲端部の部材断面の応力を３段階に分け，応力の大きい範囲ほど黒っぽいハッチングを施して示した。すなわち，ワイヤボンディング箇所では図１１に示すように，範囲Ｗ１は応力が大きく，範囲Ｗ２は中程度であり，範囲Ｗ３では応力が小さい。リボンボンディング箇所の応力分布は図１２に示すようになり，範囲Ｒ１は応力が大きく，範囲Ｒ２は中程度であり，範囲Ｒ３では応力が小さい。
【０００８】
図１１に示すように，ワイヤボンディングではワイヤの厚さ方向（図中上下方向）に応力の差が見られ，ワイヤの下部に主に応力が集中している。また断面における応力分布の様子から，接合範囲のほぼ全体に応力が伝えられていることが分かる。一方，リボンボンディングでは，図１２に示すように，図中上下方向における応力の差はほとんど見られず，図中左奥方向へ向かって応力が小さくなっている。そのため，接合箇所にもその一部にしか応力は伝えられていないことが分かった。
【０００９】
本発明は，前記した従来の検査方法が有する問題点を解決するためになされたものである。すなわちその課題とするところは，シェアテストによってリボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することのできるリボンボンディング箇所のシェアテスト方法およびその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この課題の解決を目的としてなされた本発明のリボンボンディング箇所のシェアテスト方法は，板状物上に帯状部材を接合したリボンボンディング箇所のシェアテストを行う方法であって，リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させ，補助部材をリボンボンディング箇所に接触させている状態で，リボンボンディング箇所の側方から帯状部材にシェア力を印加し，リボンボンディング箇所に界面破壊が起こったときのシェア力に基づいて，リボンボンディング箇所の界面接合の良否を判定するものである。
【００１１】
本発明のリボンボンディング箇所のシェアテスト方法によれば，補助部材がリボンボンディング箇所の上面に接触されている状態でシェア力が印加される。従って，リボンボンディング箇所と補助部材とにともにシェア力が印加されるので，リボンボンディング箇所のほぼ全面にわたってシェア力が伝えられる。これにより，リボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することのできるリボンボンディング箇所のシェアテスト方法となっている。なお，補助部材としてはリボンの厚さに比較して十分大きい厚さ（例えば，リボンの押圧方向奥行きと同程度）を有し，リボンと同程度以上の硬度を有する素材が望ましい。
【００１２】
さらに本発明では，補助部材をリボンボンディング箇所の上面に接着させ，その状態でシェア力を印加することが望ましい。このようにすれば，補助部材に対してリボンボンディング箇所とともにシェア力を印加することができる。
【００１３】
さらに本発明では，補助部材をリボンボンディング箇所の上面に上方から押圧し，その状態でシェア力を印加することが望ましい。このようにしても，リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させた状態とできる。
【００１４】
さらに本発明では，補助部材として，リボンボンディング箇所の上面の凹凸と噛み合う凹凸を先端面に形成したものを用い，補助部材の先端面の凹凸をリボンボンディング箇所の上面の凹凸と噛み合わせ，その状態でシェア力を印加することが望ましい。このようにすれば，シェア力を印加した場合でも確実に，リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させた状態を保持できる。
【００１５】
さらに本発明では，少なくともリボンボンディング箇所の側面に接触するツール部材を用い，ツール部材とリボンボンディング箇所の側面とを互いに押し付けることによりシェア力の印加を行うことが望ましい。このようにすれば，リボンボンディング箇所にシェア力を印加できる。
【００１６】
さらに本発明では，ツール部材を，その先端が板状物の表面に接触するまで一旦降下させ，リボンボンディング箇所の厚さより小さい高さだけ持ち上げ，その後にシェア力の印加を行うことが望ましい。このようにすれば，ツール部材を板状物に接触させず，リボンボンディング箇所にシェア力を印加させることができる。
【００１７】
また本発明のリボンボンディング箇所のシェアテスト装置は，板状物上に帯状部材を接合したリボンボンディング箇所のシェアテストを行うシェアテスト装置であって，板状物を保持するテーブルと，テーブルに保持された板状物のリボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させる補助部材接触制御部と，テーブルに保持された板状物とリボンボンディング箇所との間に，シェア力を発生させるシェア力発生制御部とを有するものである。
【００１８】
本発明のリボンボンディング箇所のシェアテスト装置によれば，板状物がテーブルに保持され，その板状物のリボンボンディング箇所の上面に補助部材が接触される。従って，例えばテーブルを移動させれば，リボンボンディング箇所と補助部材とがともに移動される。従って，シェア力発生制御部によって発生されたシェア力は，補助部材によって補助された状態でリボンボンディング箇所に印加されるので，リボンボンディング箇所のほぼ全面にわたってシェア力が伝えられる。従って，シェアテストによってリボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することのできるリボンボンディング箇所のシェアテスト装置となっている。
【００１９】
さらに本発明では，補助部材を熱硬化性接着剤の硬化温度まで昇温させる昇温部を有することが望ましい。補助部材とリボンボンディング箇所との間に熱硬化性接着剤を塗布し，補助部材を昇温部によって昇温させれば，接着剤を硬化させて接着することができる。従って，リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させた状態とできる。
【００２０】
さらに本発明では，補助部材接触制御部は，補助部材をテーブルに保持された板状物のリボンボンディング箇所の上面に押し付けるものであることが望ましい。このようにしても，リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させた状態とできる。
【００２１】
さらに本発明では，補助部材の先端面に，リボンボンディング箇所の上面の凹凸と噛み合う凹凸が形成されていることが望ましい。このようにすれば，シェア力を印加した場合でも確実に，リボンボンディング箇所の上面に補助部材を接触させた状態を保持できる。
【００２２】
さらに本発明では，少なくともテーブルに保持された板状物のリボンボンディング箇所の側面に接触するツール部材と，ツール部材がリボンボンディング箇所の側面から受けている力を検出するシェア力検出部とを有し，シェア力発生制御部は，テーブルとツール部材とを，シェア力が発生する方向に相対的に移動させるものであることが望ましい。このようにすれば，リボンボンディング箇所にシェア力を印加できる。
【００２３】
さらに本発明では，ツール部材を，その先端が板状物の表面に接触するまで一旦降下させ，リボンボンディング箇所の厚さより小さい高さだけ持ち上げるツール部材高さ制御部を有することが望ましい。ツール部材高さ制御部によれば，ツール部材を板状物に接触させず，リボンボンディング箇所にシェア力を印加させることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明のリボンボンディング箇所のシェアテスト方法およびその装置によれば，シェアテストによってリボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
「第１の形態」
以下，本発明を具体化した第１の形態について，添付図面を参照しつつ詳細に説明する。本形態は，リボンボンディング箇所をシェアテストする方法およびその装置に本発明を適用したものである。
【００２６】
本形態のシェアテスト装置１は，図１に示すように，本体部１１，ツール１２，補強治具１３，表示装置１４，移動テーブル１５を有している。また，本体部１１中には，ツール１２が受けるシェア力を検出する荷重検出センサ１６，ツール１２の高さ位置を制御するツール高さ制御部１７，補強治具１３の位置を制御する治具位置制御部１８，補強治具１３を加温するヒータ１９，移動テーブル１５の位置を制御するテーブル位置制御部２０が設けられている。
【００２７】
図１では，試験中の様子を示しており，移動テーブル１５上に試験対象であるウエハ２１が固定されている。ウエハ２１には，図２に拡大して示すように，パッド２２が設けられており，そのパッド２２の表面にリボン２３が接合されている。このパッド２２とリボン２３との接合面がリボンボンディング箇所であり，本テスト装置によるテスト対象である。ここでは，ウエハ２１およびパッド２２が板状物に，リボン２３が帯状部材にそれぞれ相当する。なお，このリボンボンディング箇所の母材は，パッド２２である。
【００２８】
なお，リボンボンディング箇所の接合方法によっては，リボン２３の上面に規則的な凹凸状の跡が残る。図２では，このようになったリボン２３を示している。本形態のシェアテスト装置１では，リボン２３の上面の形状に関わらずシェアテストが可能であり，従ってリボンボンディングの接合方法もどのようなものでもよい。
【００２９】
ツール１２は，一般的なシェアテスタで用いられている剪断ツールである。先端（図１中下端部）へ向かって次第に薄くテーパ状に形成されている。このツール１２の平面側の先端部（図中右面）にテスト対象物を押し当て，図中左右方向にシェア力を印加する。なお，このツール１２はツール高さ制御部１７によって図１中上下方向位置が制御される。このツール１２がツール部材に相当する。
【００３０】
補強治具１３は，略角柱形状であり，その下端部がワークのリボンボンディング箇所とほぼ同等の形状に形成され，リボンボンディング箇所に接触されている。補強治具１３の図１中左側面は平面となっており，ツール１２の図中右側面と面接触する。また，補強治具１３は治具位置制御部１８によって図１中上下方向位置が制御されるとともに，ヒータ１９によって加温される。補強治具１３の材質としては，剛性が高く，熱に強くて伝熱性のよい部材，例えば金属等が最適である。ここでは，ステンレスを使用している。
【００３１】
本形態では補強治具１３は，図２に示すように，リボン２３の上面に接着剤２４によって接着される。ここで，接着剤２４としては，リボンボンディング箇所の接合強度より大きい接着力を有するものを用いる。ここでは，熱硬化性の接着剤２４を用いている。補強治具１３は，テストごとに交換されるものである。あるいは溶剤等によって接着剤２４を除去して，再び使用してもよい。ここで，補強治具１３が補助部材に相当する。
【００３２】
表示装置１４は，荷重検出センサ１６によるシェア力の検出結果を表示する。例えばオシロスコープのように，荷重検出センサ１６の検出結果を直接グラフ化して表示するものであってもよい。あるいは，さらに記憶装置を有し，所定の時間間隔での検出結果を記憶するようにしてもよい。
【００３３】
移動テーブル１５は，図１中左右方向および奥行き方向に水平面内を移動可能なものである。この移動テーブル１５は，テーブル位置制御部２０によって位置制御されている。検査対象物の母材であるウエハ２１はこの移動テーブル１５に固定されている。従って，ウエハ２１およびその上に接合されているリボンボンディング箇所は，移動テーブル１５の移動によって，ともに水平面内を移動される。この移動テーブル１５が，テーブルに相当する。
【００３４】
荷重検出センサ１６は，ツール１２に接続されている。そして，ツール１２に加えられている図１中左向きの荷重を常時検出して，表示装置１４に出力している。ツール高さ制御部１７は，ツール１２を図１中上下方向に移動させる。この移動は最小幅数μｍ程度の精度で制御可能なものである。
【００３５】
治具位置制御部１８は，補強治具１３を保持して，図１中上下方向に移動させるものである。これにより，補強治具１３はリボンボンディング箇所の上面に接触される。なお，治具位置制御部１８は，水平面内位置に関しては，補強治具１３の位置を２種類のモードで制御する。第１は本体部１１に対して固定されるモードであり，第２は移動テーブル１５に対して固定されるモードである。ここでは，治具位置制御部１８が補助部材接触制御部に相当する。
【００３６】
ヒータ１９は，補強治具１３を加熱するためのものである。補強治具１３がリボンボンディング箇所の上面に接触されている状態では，ヒータ１９の熱が補強治具１３を介して接着剤２４へと伝達される。本形態では，接着剤２４として熱硬化性の接着剤２４を用いているので，ヒータ１９を接着剤２４の硬化温度まで昇温させることにより，接着剤２４が硬化される。なお，熱硬化性ではない接着剤を用いる場合はヒータ１９は不要である。ここでは，ヒータ１９が昇温部に相当する。
【００３７】
テーブル位置制御部２０は，移動テーブル１５を水平面内で移動させる。本形態では，ツール１２を固定し，リボンボンディング箇所を移動テーブル１５によって図１中左向きに移動させて，シェア力を発生させる。そのため，ここではこのテーブル位置制御部２０がシェア力発生制御部に相当する。
【００３８】
本形態のシェアテスト装置１では，リボンボンディングされているリボン２３に補強治具１３を接着剤２４によって接着してからテストを行う。従って，移動テーブル１５の移動により，リボンボンディング箇所のみでなく，補強治具１３もともに移動される。また，試験時にはツール高さ制御部１７によって，ツール１２の先端部がリボン２３の側面に当接するように高さ調節される。そのため，図２に示すように，ツール１２の図中右側面は，リボン２３の図中左側面のみでなく補強治具１３の図中左側面にも押し付けられる。従って，図中矢印で示すようにシェア力が印加される。従って，リボンボンディング箇所のほぼ全体にシェア力を印加することができる。これにより，母材破壊をほとんど起こすことなく，接合部の界面破壊強度を測定することが可能になった。
【００３９】
次に，本形態のシェアテスト装置１によるリボンボンディング箇所のシェアテスト方法について，図３の工程図に基づいて説明する。このテストを行う前に，ツール高さ制御部１７，治具位置制御部１８によって，ツール１２と補強治具１３とをある程度上方へ移動させておく。ここでは，治具位置制御部１８は，補強治具１３を本体部１１に対して固定される第１のモードで制御する。また，試験の対象物として，パッド２２にリボン２３がリボンボンディングされているウエハ２１を用意し，移動テーブル１５の所定の位置に固定する。
【００４０】
次に，図４に示すように，リボンボンディング箇所のリボンの上面に接着剤２４を塗布する（工程１）。この接着剤２４は，エポキシ系などの熱硬化性接着剤が好ましい。そして，テーブル位置制御部２０によって移動テーブル１５を制御し，その接着剤２４を塗布した箇所が補強治具１３の真下に配置されるようにして保持する（工程２）。続いて，治具位置制御部１８を駆動して補強治具１３をリボンボンディング箇所の上にまっすぐ降下させる（工程３）。
【００４１】
そして，図５に示すように，治具位置制御部１８によって補強治具１３を接着剤２４の表面に密着させる（工程４）。その状態で，ヒータ１９によって補強治具１３を加温する（工程５）。この熱が補強治具１３を介して接着剤２４に伝わり，接着剤２４が硬化する（工程６）。これにより，補強治具１３とリボン２３とが強力に接着される。なお，この接着剤２４としては，その接着力が，リボンボンディング箇所の接合力より大きいものを選択する。この接着処理が終了したら，治具位置制御部１８を，補強治具１３を移動テーブル１５に対して固定する第２のモードに変更する。
【００４２】
次に，補強治具１３とツール１２との相対的な配置を位置決めする（工程７）。すなわち，テーブル位置制御部２０によって移動テーブル１５を制御し，図５に示すように，補強治具１３が，その図中左側面とツール１２の図中右側面とが向かい合う位置となるように配置させる。なおこのとき，ツール１２と補強治具１３とは接触していない位置が好ましい。そうしておいて，図５に示すように，ツール高さ制御部１７によってツール１２を降下させる（工程８）。
【００４３】
次に，ツール１２の先端部がパッド２２に接触したことを感知したら，ツール１２を停止させる（工程９）。さらに，図６に示すように，あらかじめ決められた所定の設定値分だけ，ツール１２を上昇させる（工程１０）。例えば，２０μｍ程度上昇させることにより，以後のテストによってツール１２がパッド１２の表面を擦らないようにするのである。このとき，リボン２３の厚みの半分以上上昇させることのないようにする。つまり，この設定値は，数μｍからリボンボンディング箇所の厚さまでの範囲内の値とする。
【００４４】
次に，この位置でツール高さ制御部１７を停止させ，ツール１２の位置を固定する（工程１１）。一方，補強治具１３は，治具位置制御部１８によって移動テーブル１５に対して固定されている。この状態で，図６に図中下方の矢印で示すように，テーブル位置制御部２０によって移動テーブル１５をツール１２の方へ向けて移動させる。この図では図中左向きに移動させる（工程１２）。
【００４５】
これにより，移動テーブル１５とともに，その上に配置されているウエハ２１，パッド２２，リボン２３，接着剤２４，補強治具１３が一体的に移動される。一方，ツール１２は本体１１によって位置固定されているので移動されない。従って，リボン２３，補強治具１３等は，図２に示すように，ツール１２に当接される。さらに移動テーブル１５を移動させることにより，リボンボンディング箇所にシェア力が印加される（工程１２）。
【００４６】
このときのシェア力の変化が荷重検出センサ１６によって検出される（工程１３）。さらに，検出されたシェア力が表示装置１４に表示される。移動テーブル１５をさらに移動させることにより，リボンボンディング箇所がツール１２の先端部によって剪断される。リボンボンディング箇所の破壊が確認されたら，このワークについてのシェアテストは終了である。そこで，ツール１２を上昇させて移動テーブル１５の位置を戻し，破壊されたリボン２３や補強治具１３，ウエハ２１等を移動テーブル１５から取り外す（工程１４）。これで本形態のシェアテスト装置１によるシェアテスト工程は終了である。
【００４７】
次に，本形態のシェアテスト装置１によるシェアテストの結果について説明する。ツール１２とリボン２３とが接触した位置を原点として，荷重検出センサ１６によって検出された荷重の変化の様子の例を図７に示す。図７において，ラインＬは，荷重が８０Ｎに達した後，急激に減少していることを示すものであり，界面破壊が起こったときのシェア力が８０Ｎであったことが分かる。この値を試験対象のリボンボンディング箇所に要求されている接合強度と比較し，接合状態の良否を判定することができる。なお，このラインＬが十分な接合強度を有する例であるのに対し，図７にラインＭで示すように，十分な荷重量まで達することなく急激に荷重がなくなったものは，接合強度不足の例である。
【００４８】
発明者の実験では，この方法によって接合部が破壊された破壊面の観察からも，母材破壊はほとんどなかった。従って，接合界面が破壊される強度である界面強度が測定できていることが確認された。
【００４９】
また，リボンボンディング箇所に補強治具を接着したものに対し，接合面に水平なシェア力を加えた場合の応力分布を，従来のものに対して行ったのと同様にシミュレーションした。その結果を図８に示す。この図では，応力の大きさを３段階に分け，応力の大きい範囲ほど黒っぽいハッチングを施して示した。すなわち，範囲Ｑ１は応力が大きく，範囲Ｑ２は中程度であり，範囲Ｑ３では応力が小さい。この図に示すように，補強治具を接着することによって，接合範囲のほとんど全体にわたって応力が伝えられるようになったことが分かる。図１２に示した従来の例と比較すると，応力の伝達される範囲が非常に大きくなっている。
【００５０】
以上詳細に説明したように，本形態のシェアテスト装置１によれば，リボンボンディング箇所に補強治具１３を接着して，補強治具１３とリボン２３とをともにツール１２によって加圧している。これにより，リボンボンディング箇所のほぼ全体に応力を伝達させることができ，界面強度が測定できる。従って，シェアテストによってリボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することのできるリボンボンディング強度試験装置となっている。
【００５１】
「第２の形態」
以下，本発明を具体化した第２の形態について，添付図面を参照しつつ詳細に説明する。本形態は，リボンボンディング箇所をシェアテストするための検査装置および検査方法に本発明を適用したものである。
【００５２】
本形態のシェアテスト装置２は，第１の形態に比較して，本体部にヒータ１９に代えて押圧装置を備えている。本形態では，補強治具３３の材質は剛性の大きいものであればよく，伝熱性は必要とされない。それ以外の部分については，第１の形態と同様であるので，共通の符号を付して説明を省略する。
【００５３】
本形態では，補強治具３３をリボン２３に接着しない。補強治具３３とリボンボンディング部との位置合わせ後，補強治具３３をリボン２３に押し付け，図９に示すように，押圧装置によって押圧する。そして，押圧した状態でシェアテストを行う。従って，本形態では，押圧装置が補助部材接触制御部に相当する。
【００５４】
なお一般に，リボン２３の上面には，接合時に使用した接合治具の形状が転写され，一定の凹凸形状が形成されている。その場合には，補強治具３３の下端面にあらかじめ，リボン２３の上面と噛み合うような凹凸面を形成しておくとよい。すなわち，補強治具３３の下端面を接合治具と同様の形状としておく。そして，補強治具３３をリボン２３の上面の凹凸と噛み合う位置に合わせてから，リボン２３に押し付ける。このようにすれば，図９に示すように，リボン２３と補強治具３３の凹凸同士が噛み合っているので，シェア力がより効率よくリボンボンディング箇所の全体に伝わる。
【００５５】
本形態の場合，押圧力の影響によって，界面破壊が発生するときのシェア力の大きさは第１の形態における値とは異なる。接合箇所の種類ごとに，十分な接合強度に対応するこの形態によるシェア力をあらかじめ求めておき，それと比較することによって接合の良否を判定することができる。さらに，本形態によれば，接着剤の塗布および硬化のための時間が不要であり，短時間での検査が可能となる。さらに，接着していないので補強治具３３を取り外すことは容易であり，補強治具３３を容易に使い回すことができるという効果もある。
【００５６】
以上詳細に説明したように本形態のシェアテスト装置２によっても，リボンボンディング箇所のほぼ全体に応力を伝達させることができ，界面強度が測定できる。従って，第１の形態と同様に，シェアテストによってリボンボンディング箇所の接合強度を正確に検出することができる。
【００５７】
なお，本形態は単なる例示にすぎず，本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に，その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良，変形が可能である。
例えば，さらにカメラを備えて剪断面を撮影し，接合状態を検査するようにしてもよい。また例えば，第１の形態におけるヒータ１９や第２の形態における押圧装置等は本体とは別体で設けられていても良い。また，第２の形態のように，接着しない補強治具３３を使用する場合は，補強治具３３とツール１２とを一体に構成してもよい。その場合には，補強治具３３をリボン２３に押し付けることにより，ツール１２のパッド２２からの距離が適切なものとなるように，先端位置にやや差を付ける。また，上記の形態では，ウエハ２１上に接合されたリボンボンディング箇所のシェアテストを対象としているが，ウエハ２１上に限らずプリント基板上のボンディング箇所のシェアテストに適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１の形態に係るリボンボンディング箇所のシェアテスト装置を示す概略構成図である。
【図２】リボンボンディング箇所を示す説明図である。
【図３】リボンボンディング箇所のシェアテスト工程を示す工程図である。
【図４】リボンボンディング箇所に接着剤を塗布する様子を示す説明図である。
【図５】ツール先端がパッドを検出した状態を示す説明図である。
【図６】ツール先端をわずかに上昇させた状態を示す説明図である。
【図７】測定結果の例を示すグラフ図である。
【図８】リボンボンディング箇所における応力分布のシミュレーション結果例を示す説明図である。
【図９】第２の形態に係るリボンボンディング箇所を示す説明図である。
【図１０】ワイヤボンディング箇所のシェアテストの例を示す説明図である。
【図１１】ワイヤボンディング箇所における応力分布のシミュレーション結果例を示す説明図である。
【図１２】従来のリボンボンディング箇所における応力分布のシミュレーション結果例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  シェアテスト装置
１１  本体部
１２  ツール
１３，３３  補強治具
１５  移動テーブル
１６  荷重検出センサ
１７  ツール高さ制御部
１８  治具位置制御部
１９  ヒータ
２０  テーブル位置制御部
２１  ウエハ
２３  リボン
【図１】
2008078180.tif 000003
【図２】
2008078180.tif 000004
【図３】
2008078180.tif 000005
【図４】
2008078180.tif 000006
【図５】
2008078180.tif 000007
【図６】
2008078180.tif 000008
【図７】
2008078180.tif 000009
【図８】
2008078180.tif 000010
【図９】
2008078180.tif 000011
【図１０】
2008078180.tif 000012
【図１１】
2008078180.tif 000013
【図１２】
2008078180.tif 000014