(57)【要約】      （修正有）【課題】長尺帯状体の搬送位置の位置ずれの補正を容易化し、搬送機構の調整作業を容易にする。【解決手段】長尺帯状体１０の搬送装置であって、それを挟むように配置された第１のローラ２０ａと第２のローラ２０ｂが、支持軸３２を支点として回動可能に支持され、前記帯状体１０の前記ローラの進入側において前記帯状体の両側縁に当接して転動するガイドローラ４０ａ、４０ｂと、該ガイドローラ４０ａ、４０ｂと前記第１のローラ２０ａおよび第２のローラ２０ｂとを連係し、前記帯状体１０が搬送される際に前記ガイドローラ４０ａ、４０ｂの動きに追随して前記第１のローラ２０ａおよび第２のローラ２０ｂを前記支持軸３２を支点として回動させる揺動部材３０と、前記第１のローラ２０ａと第２のローラ２０が基準位置から偏位した際に、第１のローラ２０ａと第２のローラ２０ｂを基準位置に復帰させる復帰手段５０ａ、５０ｂとを備えていることを特徴とする。【選択図】図１
2008156021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ローラにより長尺帯状体からなるワークを挟圧して搬送する搬送機構を備えた長尺帯状体の搬送装置であって、
前記ローラは、前記長尺帯状体を挟む配置に対向して配置された第１のローラと第２のローラとからなり、
前記第１のローラおよび第２のローラは、支持軸を支点として回動可能に支持され、
前記ワークの前記ローラの進入側においてワークの両側縁に当接して転動するガイドローラと、
該ガイドローラと前記第１のローラおよび第２のローラとを連係し、前記ワークが搬送される際に前記ガイドローラの動きに追随して前記第１のローラおよび第２のローラを前記支持軸を支点として回動させる揺動部材と、
前記第１のローラと第２のローラが基準位置から偏位した際に、第１のローラと第２のローラを基準位置に復帰させる復帰手段と
を備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記第１のローラと第２のローラは、水平面内で前記支持軸を支点として回動すべく設けられ、
前記揺動部材は、水平面内で前記支持軸を支点として揺動すべく設けられていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記揺動部材は、前記支持軸を支点として揺動すべく設けられ、
前記第１のローラと第２のローラは、前記揺動部材上に取り付けられ、
前記ガイドローラは、前記揺動部材上に取り付けられていることを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記復帰手段は、前記揺動部材を基準位置に復帰させる手段として設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリードフレーム等の長尺帯状体の搬送装置に関し、とくにローラにより長尺帯状体を挟圧して搬送する際に長尺帯状体の蛇行を防止して確実に搬送可能とする長尺帯状体の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレーム等の長尺帯状体を加工する工程には、長尺帯状体（ワーク）をめっきしたり、パターン形成するために露光したり、エッチングしたりする工程がある。これらの工程では、ワークを処理装置を通過させるように搬送して加工が施される。
図３は、長尺帯状体を搬送しながら加工する装置例として、ワーク１０をめっきする装置の構成例を概略図として示したものである。同図で、ワーク１０はロール状に巻回されたロール体５から巻き出され、処理槽６を通過してめっきされた後、ロール体７として巻き取られる。
【０００３】
処理槽６のワーク１０の出口側、すなわちワーク１０の巻き取り側には、ワーク１０を前方に搬送する駆動ローラ１１ａ、１１ｂが配置され、処理槽６の入口側にはブレーキローラ１２ａ、１２ｂが配置されている。ブレーキローラ１２ａ、１２ｂによりワーク１０にブレーキを作用させながら駆動ローラ１１ａ、１１ｂによりワーク１０を搬送することにより、テンションが加えられた状態でワーク１０が搬送される。
処理槽６の出口側と入口側には給電用のローラ２０が配される。この給電用のローラ２０は、ワーク１０を厚さ方向にクランプしながらワーク１０を所定の電位に設定する作用をなす。たとえば、処理槽６をマイナス電位とした場合、給電用のローラ２０はプラス電位に設定される。
【０００４】
図４に、従来の給電用のローラ２０の構成を示す。図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は側面図、図４（ｃ）は正面図である。図４（ｂ）、（ｃ）に示すように、給電用のローラ２０は、ベース２２に立設した支柱２４に、円柱体に形成された給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂとが互いに平行に、かつワーク１０を厚さ方向に挟圧して回転自在に取り付けられている。この例では、給電ローラ２０ａは芯材の外周面がステンレスあるいは銅等の導電材によって被覆され、押さえローラ２０ｂは樹脂材からなる。
図４（ａ）に示すように、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂはワーク１０の全幅を押さえることができる長さに形成され、ワーク１０が搬送されることにより、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂが従動的に回転する。
【０００５】
ところで、長尺帯状体を搬送する際には、長尺帯状体を進行方向に向けて直線的に搬送する必要がある。このため、従来は、搬送装置の駆動ローラ１１ａ、１１ｂ、ブレーキローラ１２ａ、１２ｂ、給電用のローラ２０およびガイドローラ１３、１４の向き（水平面内、鉛直面内での向き）をあらかじめ調節して長尺帯状体が直進するようにしている。
なお、長尺帯状体を搬送して加工する装置には種々の装置があり、長尺帯状体を所定送り範囲内で直線的に搬送する方法が種々提案されている（たとえば、特許文献１〜４参照）。
【特許文献１】特開２００６−２６４８７９号公報
【特許文献２】特開昭６３−１６６５号公報
【特許文献３】特開２００１−７１０２７号公報
【特許文献４】特開平９−３１６６８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、長尺帯状体の搬送装置では、長尺帯状体が直線的に搬送されるようにローラの向きや傾斜を調節するのであるが、めっき装置などの長尺帯状体を加工する装置では、多種類の製品が加工されるから、実際に搬送装置を調節する際には、幅寸法や厚さが異なる種々のワークを試験的に搬送して、ローラの位置調整をしている。このような調整作業は微妙な調整作業を繰り返すことになるため、非常に工数がかかるという問題があった。
【０００７】
また、搬送機構の調整ができた場合でも、ワークそのものが変形（キャンバー）している場合や、ワークに歪み応力があったような場合には、搬送時にワークが変形して蛇行するといったことが生じることが避けられない。たとえば、長尺帯状体にプレス加工を施して形成したリードフレームなどでは、ワークに歪みが残っているから、ローラによってワークをクランプして搬送すると、ワークの歪みによって変形したり蛇行したりしやすくなる。また、ワークはテンションを作用させて搬送するが、ワークに作用するテンションもワークの状態等によって常に均等条件とすることは不可能である。
このため、あかじめローラ等の搬送機構を調整していても、実際にはワークが直進位置から位置ずれ（蛇行）して搬送されることが避けられない。
【０００８】
なお、長尺帯状体を搬送する際に長尺帯状体が所定の搬送位置から外れたりすることを防止する方法として、長尺帯状体の側縁部の送り位置をセンサ等によって検知し、長尺帯状体の搬送位置を補正するといった機構を設けるという方法もある。しかしながら、このような補正用の機構を設けると装置構成が複雑になる。
本発明はこれらの課題を解消すべくなされたものであり、長尺帯状体の搬送位置の補正を容易な機構によって達成し、搬送機構の調整作業を容易化し、長尺帯状体を的確に搬送することを可能にする長尺帯状体の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、ローラにより長尺帯状体からなるワークを挟圧して搬送する搬送機構を備えた長尺帯状体の搬送装置であって、前記ローラは、前記長尺帯状体を挟む配置に対向して配置された第１のローラと第２のローラとからなり、前記第１のローラおよび第２のローラは、支持軸を支点として回動可能に支持され、前記ワークの前記ローラの進入側においてワークの両側縁に当接して転動するガイドローラと、該ガイドローラと前記第１のローラおよび第２のローラとを連係し、前記ワークが搬送される際に前記ガイドローラの動きに追随して前記第１のローラおよび第２のローラを前記支持軸を支点として回動させる揺動部材と、前記第１のローラと第２のローラが基準位置から偏位した際に、第１のローラと第２のローラを基準位置に復帰させる復帰手段とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
また、前記第１のローラと第２のローラは、水平面内で前記支持軸を支点として回動すべく設けられ、前記揺動部材は、水平面内で前記支持軸を支点として揺動すべく設けられていることにより、水平面内でのワークの位置ずれを抑制してワークを搬送することができる。
また、前記揺動部材は、前記支持軸を支点として揺動すべく設けられ、前記第１のローラと第２のローラは、前記揺動部材上に取り付けられ、前記ガイドローラは、前記揺動部材上に取り付けられていることにより、ガイドローラの移動動作に対応して第１のローラと第２のローラを回動させ、ワークを的確に搬送することができる。
また、前記復帰手段は、前記揺動部材を基準位置に復帰させる手段として設けられていることにより、第１のローラと第２のローラを容易に基準位置に復帰させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る長尺帯状体の搬送装置によれば、ワークを搬送する際にワークの位置ずれに追随して第１のローラと第２のローラが支持軸を支点として回動することによって、ワークの位置ずれを抑制しながらワークを搬送することができ、製品により搬送時に位置ずれ量が変動するような場合であっても的確にワークを搬送することが可能となる。また、ワークの位置ずれに応じて的確な搬送操作がなされることから、ローラ等の搬送機構の調整が容易になり、調整作業の効率化を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本願発明は、長尺帯状体の搬送機構において、長尺帯状体のワークをクランプして設置される従動ローラの構成を特徴とする。図１は、長尺帯状体の搬送装置に用いられるローラの配置例としてめっき装置に用いられる給電用のローラ２０を示す。
図１（ａ）は、給電用のローラ２０の構成を示す平面図、図１（ｂ）は側面図、図１（ｃ）は給電用のローラ２０への進入方向から見た正面図である。
【００１３】
図１（ｂ）に示すように、本実施形態の給電用のローラ２０は長尺帯状体であるワーク１０を挟圧するように設けられた給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂとを備える。給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂは、本願発明における第１のローラおよび第２のローラを構成するものであり、給電ローラ２０ａおよび押さえローラ２０ｂは同形の円柱体に形成され、給電ローラ２０ａおよび押さえローラ２０ｂは長手方向の両端で支柱２４に軸支されている。
給電ローラ２０ａは、外面がステンレスあるいは銅等の導電材によって被覆して形成され、電源に接続されてワーク１０を所定の電位に設定する作用をなす。押さえローラ２０ｂは、電気的絶縁体である樹脂材、たとえば塩化ビニルによって形成され、給電ローラ２０ａとの間でワーク１０を厚さ方向にクランプする作用をなす。ワーク１０に作用させる挟圧力は、支柱２４における押さえローラ２０ｂの取り付け高さ位置および取り付け角度を調整することによってなされる。
【００１４】
本実施形態の給電用のローラ２０において特徴的な構成は、従来の給電用のローラにおいては、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂの位置を調整した後は、ベース２２に固定してワーク１０を搬送していたのに対して、本実施形態では、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂを、これらの中心（幅方向および軸線方向の中心）と同一平面位置に支点を設定し、この支点を中心として給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂを平面内で旋回可能とし、かつワーク１０が位置ずれ（蛇行）した際にワーク１０の位置ずれ量に応じて給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂが基準位置から偏位してワーク１０が搬送されるように構成したことにある。
【００１５】
すなわち、図１に示すように、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂの中心と同一平面位置に配される支持軸３２を介して、揺動部材としての支持板３０を水平面内で回動可能に取り付け、この支持板３０上に支柱２４を立設して支柱２４に給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂとを支持し、ワーク１０の給電用のローラ２０への入り口側に、ワーク１０の両側縁にそれぞれ外周側面が当接する配置にガイドローラ４０ａ、４０ｂを配置し、支持板３０の両側縁とベース２２との間に、支持板３０を基準位置に復帰させる復帰手段としてスプリング５０ａ、５０ｂを配置する構成とする。
【００１６】
支持板３０は、本実施形態では、図１（ａ）に示すように、平面形状が長方形に形成され、図１（ｂ）、（ｃ）に示すようにベース２２の平面と平行に回動するように支持軸３２によって支持されている。支持板３０は支持軸３２を支点としてガイドローラ４０ａ、４０ｂが揺動するように支持するものであり、支持板３０の形態は長方形に限られるものではなく、たとえば、支持板３０をＴ字状の平面形状に形成することもできる。
ガイドローラ４０ａ、４０ｂは支持板３０に立設された支持ロッド４２の頂部に、水平面内で転動自在に支持される。支持ロッド４２の高さ寸法は、ガイドローラ４０ａ、４０ｂの外周側面にワーク１０の側縁が当接するように、いいかえれば、ガイドローラ４０ａ、４０ｂの外周側面がワーク１０が搬送される高さ位置内にあるように設定される。
【００１７】
スプリング５０ａ、５０ｂは、図１（ｃ）に示すように、ベース２２に立設したストッパ５２と支持板３０の側面との間を弾発するように取り付けられる。本実施形態では、スプリング５０ａ、５０ｂの取り付け位置を、支持軸３２に対して支持板３０上でガイドローラ４０ａ、４０ｂが取り付けられている側と同じ側、すなわちワーク１０の給電用のローラ２０への入り口側に配置している。
スプリング５０ａ、５０ｂの作用は、支持板３０を水平面内で支持軸３２を支点として回動可能にするとともに、支持板３０が基準位置から旋回して偏位した位置から基準位置に支持板３０を復帰させる作用をなす。スプリング５０ａ、５０ｂの配置位置は、本実施例の配置に限定されるものではなく、支持板３０を基準位置に復帰させることが可能な適宜配置とすることができる。
【００１８】
また、支持板３０を基準位置に復帰させる手段として、弾発スプリングのかわりに引っ張りスプリングを使用することも可能であり、スプリング以外の付勢部材を利用することもできる。また、支持軸３２に弾性的な復元性を付与する方法によることもできる。
なお、スプリング５０ａ、５０ｂを設置する場合には、これらの付勢力を調節して基準位置に正確に復帰できるように取り付ける。通常は、ワーク１０の進入角（ワークの長手方向と搬送装置の搬送方向の基準位置とのなす角度）が０度となるようにスプリング５０ａ、５０ｂを調節する。
【００１９】
図２に、本実施形態の給電用のローラ２０の作用を示す。図２は、給電用のローラ２０に対してワーク１０が蛇行して進入する状態を示す。ガイドローラ４０ａ、４０ｂは給電用のローラ２０に対してワーク１０の進入側に配置されているから、ワーク１０が幅方向に位置ずれすると、ワーク１０の側縁に常時当接しているガイドローラ４０ａ、４０ｂは、ワーク１０にしたがって幅方向に位置ずれし、これとともに支持板３０が支持軸３２を支点として揺動する。
【００２０】
支持板３０が揺動すると、支持板３０に支持されている給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂが支持板３０とともに旋回する。給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂの回転（旋回移動）は、支持軸３２を支点とする回転であり、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂは基準位置に対して、図のように水平面内で回転する（角度θ）。この給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂが回転する作用は、ワーク１０が蛇行して幅方向に位置ずれした際に、ワーク１０の位置ずれに合わせて回動する作用であり、ワーク１０が蛇行した方向に、ワーク１０の蛇行を打ち消すように、すなわちワーク１０が給電用のローラ２０に進入する際に、進入角が０度からずれた場合、ワーク１０のずれ量を打ち消すように作用する。
【００２１】
このように、ワーク１０の進入方向が偏位した際に、給電用のローラ２０の向きをワーク１０の偏位に追随させて可変となるようにすると、給電用のローラ２０に対してワーク１０が位置ずれして進入してもワーク１０の位置ずれが解消されてワーク１０が搬送されるようになる。
ガイドローラ４０ａ、４０ｂはワーク１０の側縁位置に常時当接して転動するから、ワーク１０の蛇行量が大きくなれば支持板３０の回動角度は大きくなり、蛇行量が小さくなれば支持板３０の回動角度が小さくなる。したがって、ワーク１０の位置ずれ量（蛇行量）に応じて給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂの向きが自動的に調節され、ワーク１０の位置ずれ量に応じた動作がなされる。
【００２２】
従来の搬送装置では、給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂをベース２２に固定しているから、ワーク１０が位置ずれ（蛇行）した際に、ワーク１０の位置ずれが吸収されずに搬送され、位置ずれがそのまま搬送位置の位置ずれとして表れるのに対して、本実施形態の場合には、ワーク１０の位置ずれが給電用のローラ２０が旋回移動することによって解消され、ワーク１０に無理な力を作用させずに搬送することができる。
【００２３】
また、ワーク１０が位置ずれした場合に、給電用のローラ２０はワーク１０に追随して回動すると同時に、スプリング５０ａ、５０ｂの付勢力によって支持板３０は基準位置に復帰しようとするから、給電用のローラ２０を介してワーク１０を基準位置に復帰させようとする力が作用し、これによってワーク１０の位置ずれを抑制する作用もある。ワーク１０の位置ずれ量が大きくなると、それとともに給電用のローラ２０の変動角が大きくなるから、ワーク１０に作用する戻し力も大きくなり、ワーク１０に作用する位置ずれ抑制の作用が効果的に作用する。
【００２４】
このように、本実施形態の搬送機構によれば、ワーク１０の位置ずれ量（蛇行量）と位置ずれの向きに追随して給電用のローラ２０の向きが変わるから、位置ずれ量や位置ずれの向きがまちまちであっても容易に対応できるという利点があり、多品種の製品を加工する加工装置についてとくに効果的に利用できる。
また、このような自動的な補正作用があることから、事前に搬送機構を調整する作業が緩和され、調整作業が効率化される。また、品種交換の際に、そのつど搬送機構のセッティングを調整しなおしする作業も簡素化されるという利点がある。
【００２５】
なお、実際の装置では、ガイドローラ４０ａ、４０ｂの基準位置からの位置ずれ量に対して給電ローラ２０ａと押さえローラ２０ｂの向きが変化する量（傾斜角度θ）は、ガイドローラ４０ａ、４０ｂと支持軸３２との離間距離、支持板３０上におけるガイドローラ４０ａ、４０ｂの配置位置等によって異なるから、ガイドローラ４０ａ、４０ｂの適切な配置位置を選択して、ワーク１０が的確に搬送される設定にすればよい。
【００２６】
また、上述した実施の形態では、めっき装置の給電用のローラ２０に本願発明を適用する例について説明したが、本願発明は給電用のローラ２０に適用する場合に限らず、長尺帯状体を円柱状のローラにより挟んで搬送する搬送機構、たとえば露光装置内を通過させて露光処理する場合、エッチング槽を通過させてエッチングするといった場合についても、まったく同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の給電用のローラの第１の実施の形態の構成を示す平面図（ａ）、側面図（ｂ）、正面図（ｃ）である。
【図２】給電用のローラの作用を示す説明図である。
【図３】めっき装置の全体構成を示す概略図である。
【図４】従来の給電用のローラ構成を示す平面図（ａ）、側面図（ｂ）、正面図（ｃ）である。
【符号の説明】
【００２８】
１０  ワーク
１１ａ、１１ｂ  駆動ローラ
２０  給電用のローラ
２０ａ  給電ローラ
２０ｂ  押さえローラ
２２  ベース
２４  支柱
３０  支持板
３２  支持軸
４０ａ、４０ｂ  ガイドローラ
４２  支持ロッド
５０ａ、５０ｂ  スプリング
５２  ストッパ
【図１】
2008156021.tif 000003
【図２】
2008156021.tif 000004
【図３】
2008156021.tif 000005
【図４】
2008156021.tif 000006