(57)【要約】  【課題】生産ラインの生産管理において、個別の生産装置を監視するだけでは発見できない生産性低下の根本原因を特定するために、生産ライン全体での製品物流を分析する生産管理方法を提供する。   【解決手段】生産管理システムであって、日時及び生産工程で分類された生産指標を取得する生産指標取得手段と、前記生産指標取得手段で取得した生産指標を用いて、所定期間及び生産工程ごとの生産指標を算出する指標算出手段と、前記生産指標算出手段で算出した所定期間及び生産工程ごとの生産指標について、予め定められたしきい値を用いて、表示の際の態様を決定する表示態様決定手段と、時間と工程とを軸とした座標を設定し、前記所定期間及び生産工程ごとの生産指標を、当該座標の該当する位置に、前記表示態様決定手段で決定された態様により表示する表示手段とを備える。  【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産管理システムであって、
日時及び生産工程で分類された生産指標を取得する生産指標取得手段と、
前記生産指標取得手段で取得した生産指標を用いて、所定期間及び生産工程ごとの生産指標を算出する指標算出手段と
前記生産指標算出手段で算出した所定期間及び生産工程ごとの生産指標について、予め定められたしきい値を用いて、表示の際の態様を決定する表示態様決定手段と、
時間と工程とを軸とした座標を設定し、前記所定期間及び生産工程ごとの生産指標を、当該座標の該当する位置に、前記表示態様決定手段で決定された態様により表示する表示手段と
を備えることを特徴とする生産管理システム。
【請求項２】
請求項１記載の生産管理システムであって、
前記生産指標算出手段は、
前記生産指標取得手段で取得した生産指標について、分散の移動統計量と、移動平均値とを求め、当該移動統計量や当該移動平均値から変動係数を求め、当該変動係数を前記所定期間及び生産工程ごとの生産指標とする
ことを特徴とする生産管理システム。
【請求項３】
請求項１記載の生産管理システムであって、
前記生産指標取得手段で取得する生産指標は、
生産量、仕掛り量、及び作業時間のいずれかである
ことを特徴とする生産管理システム。
【請求項４】
請求項１記載の生産管理システムであって、
前記表示態様決定手段は、
前記生産指標算出手段で算出した生産指標について、予め定められたしきい値を用いて、前記所定期間及び生産工程ごとに、表示の際の配色を決定する
ことを特徴とする生産管理システム。
【請求項５】
請求項４記載の生産管理システムであって、
前記表示手段は、
一方の軸を日又は時刻として他方の軸を生産工程とした２軸の座標を設定し、前記所定期間及び生産工程ごとの生産指標を、当該座標の該当する位置に、前記表示態様決定手段で決定された配色のマスにより表示すると
を備えることを特徴とする生産管理システム。
【請求項６】
生産管理システムの生産指標表示方法であって、
生産管理システムは、
日時及び生産工程で分類された生産指標を取得する生産指標取得ステップと、
前記生産指標取得ステップで取得した生産指標を用いて、所定期間及び生産工程ごとの生産指標を算出する指標算出ステップと
前記生産指標算出ステップで算出した所定期間及び生産工程ごとの生産指標について、予め定められたしきい値を用いて、表示の際の態様を決定する表示態様決定ステップと、
時間と工程とを軸とした座標を設定し、前記所定期間及び生産工程ごとの生産指標を、当該座標の該当する位置に、前記表示態様決定ステップで決定された態様により表示する表示ステップと
を行うことを特徴とする生産管理システムの生産指標表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産管理システムに関し、特に、生産装置の不具合により生産量が大きく変動する製品の生産ラインでの生産実績や物流状況などの生産指標の可視化技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、生産ラインの設計は、各装置の標準作業時間を元に最大投入量を上回る生産能力を生産ラインが持てるように、各工程の装置の性能や台数を決める。これにより、各装置に無駄な仕掛りが発生しないような生産ラインを構築する。
【０００３】
しかし、各工程で仕掛り量や作業時間などが変動した場合、その影響が当該工程での製品の物流の乱れとして現れる。さらに後続の工程にも製品物流の乱れが波及して、生産ライン全体の仕掛りの増大や作業時間の変動が発生する問題がある。従来、このような問題を発見するために有効な生産管理方法として、一定期間（例えば、日次や週次）の生産量や仕掛り量の平均値を監視し、平均値が任意の基準を超えた時点で必要な対策を行う、といった管理が一般的であった。しかし、この手法では、生産量や仕掛り量が増加する変動と減少する変動の積分値に顕著な差が無い場合、その変動状況が平均値の変動には現れないため、物流の乱れを捉えることが困難であった。
【０００４】
このような問題の解決を狙った生産管理方法及び生産管理システムについて、特許文献１では、各工程の仕掛りとライン全体のスループットの相関関係に着目して、仕掛りを評価する手法が記載されている。この手法は、任意の時点を基点に、そこから過去一定期間の範囲の生産実績を対象に、各工程の仕掛り量と生産ライン全体の生産量の相関解析を行い、問題となる工程を把握するものである。しかし本手法で、時間の経過と共に後続工程に伝播する物流変動を捉えるためには、対象期間を少しずつずらしながら大量の相関図を作成する必要があり、実際の生産管理業務で実施するのは困難である。また、特許文献２では、装置の負荷率と当該装置への製品到着間隔のばらつきの関係から、生産ライン全体の生産量や仕掛り量を評価する手法が記載されている。この手法は、従来の生産管理で用いる平均値による生産ラインの監視ではなく、変動係数（統計的な分散と平均の比）で各工程の物流の変動を捉えようとする点に特徴がある。しかし、本手法では、監視対象を装置稼働率の高いものに絞り込んでいるため、稼働率の低い装置で発生した物流の乱れを捉えることが困難である。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１３８２５号公報
【特許文献２】特表２００４−５０３８３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１は、任意の時点における生産指標を用いる管理方法である。特許文献２は、任意の工程や装置に絞り込んで算出した生産指標を用いる管理方法である。従って、先に述べたような時間の経過と共に変化していき、全ての生産装置を含む生産ライン全体に渡って変動する物流状況を評価するには、いずれの方法でも困難である。
【０００７】
そこで、本発明は、生産指標の経時変化と、生産プロセスの前後関係に依存して発生する生産指標の変化を容易に観察できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上述べた課題を解決するために本発明は、取得した生産指標を用いて、時間及び工程ごとの生産指標を算出し、生産プロセス全体における生産指標の変化を俯瞰可能に表示する。
【０００９】
本発明は、例えば、生産管理システムであって、
日時及び生産工程で分類された生産指標を取得する生産指標取得手段と、
前記生産指標取得手段で取得した生産指標を用いて、所定期間及び生産工程ごとの生産指標を算出する指標算出手段と
前記生産指標算出手段で算出した所定期間及び生産工程ごとの生産指標について、予め定められたしきい値を用いて、表示の際の態様を決定する表示態様決定手段と、
時間と工程とを軸とした座標を設定し、前記所定期間及び生産工程ごとの生産指標を、当該座標の該当する位置に、前記表示態様決定手段で決定された態様により表示する表示手段とを備える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態が適用された生産管理システム１の概略構成図である。
【００１２】
生産管理システム１は、生産管理サーバ１００と、実績情報サーバ２００と、表示・入力端末３００とが、ネットワーク１０で接続されて構成される。
【００１３】
生産管理サーバ１００は、実績情報サーバ２００で収集された生産実績に関する情報に基づいて、生産実績を評価するための指標を算出し、さらに表示入力端末３００に、算出した指標の生産プロセス全体における変化の様子が分かるように図式化して表示する処理を行う。
【００１４】
生産管理サーバ１００は、その機能部として、様々な処理を行う中心的なユニットである実績収集部１０１と、生産指標の平均値を算出する平均値算出部１０３と、生産指標の分散地を算出する分散値算出部１０４と、生産指標の変動係数を算出する変動係数算出部１０５と、表示画面の描画用のデータを作成し、表示・入力端末３００に描画を指示する時系列推移表示部１０６と、を備えている。また、生産管理サーバ１００は、自身の記憶装置に、本生産管理システム１の動作のための初期設定値が登録された初期設定テーブル１２０と、評価指標（平均値、標準偏差、変動係数など）の表示態様を決定するカラーコードが登録されたカラーコードテーブル１３０と、算出した評価指標を登録するための計算結果テーブル１４０と、を格納する。
【００１５】
実績情報サーバ２００は、日時（例えば、着工日、生産日等）、及び工程ごとの、収集実績（例えば、生産量、仕掛量、作業時間等）を収集し、収集実績テーブル２１０に登録するための装置である。以下では、実績情報サーバ２００が、1台で全ての生産ラインの情報を管理する場合を例に説明する。ただし、実績情報サーバ２００は、生産ラインの数だけ複数設置されていてもよい。
【００１６】
表示・入力端末３００は、生産管理システムの起動や必要な入力情報の入力を受け付けるための装置である。表示・入力端末３００は、表示処理部３０１を備える。表示処理部３０１は、生産管理サーバ１００の時系列推移表示部１０６の指示に従って、表示装置に、評価指標を所定の態様で表示する処理を行う。
【００１７】
これらの、生産管理サーバ１００、実績情報サーバ２００、表示・入力端末３００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Member）、外部記憶装置、通信インタフェース等を備える汎用的なコンピュータシステムにより構成される。表示・入力端末２１２は、キーボード、マウス等の入力装置、液晶ディスプレイなどの表示装置を備えている。各装置１００、２００、３００の構成要素及び機能は、ＣＰＵがメモリにロードした所定のプログラムを実行することにより達成される。
【００１８】
次に、上記のように構成される生産管理システム１の動作について説明する。
【００１９】
なお、理解の容易のため、生産管理システム１を、半導体やハードディスクドライブ用薄膜磁気ヘッドの製造工程であるウエハ製造プロセスに適用した場合について説明する。
【００２０】
ここで、図２を用いて、ウエハ製造プロセスの概要について説明する。ウエハ製造プロセスは、シリコンやガラス等でできている円盤状の基板を投入し、その基板上に電子回路のパターンや素子を形成する工程である。
【００２１】
基板投入工程では、対象となる基板を投入する（Ｓ１１）。次に、「成膜」工程で、基板表面に酸化膜を形成する（Ｓ１２）。さらに「フォトレジスト塗布」工程で、回路や素子構造のパターンを転写するために光を当てた部分だけが化学変化を起こす材料（フォトレジスト）を塗布する（Ｓ１３）。次に、「露光」工程で、回路や素子構造が描かれたフォトマスクと称するガラス基板を通して基板に光を照射して回路や素子構造を転写した後に（Ｓ１４）、「現像」工程で、その基板を現像液に浸して化学変化を起こしていないフォトレジストを除去する（Ｓ１５）。これにより、フォトマスクに描いた回路や素子構造と同じパターンで基板上にフォトレジストが残る。次に、「エッチング」工程で、薬液やガスを用いてフォトレジストが被さっておらず基板上に露出している酸化膜を除去した後（Ｓ１６）、「フォトレジスト除去」工程で、フォトレジスト除去することで、生成したい回路や素子構造のパターンを形成する（Ｓ１７）。一般的に、ウエハ製造プロセスは、これを数回から数十回繰り返して、複雑な回路や素子構造を形成している。基板に回路や素子構造を形成した後は、「検査」工程で回路や素子構造の良否判定を行い（Ｓ１８）、払い出される（Ｓ１９）。
【００２２】
図３は、評価指標の表示処理の流れを示すフロー図である。
【００２３】
概略すると、実績収集部１０１は、実績情報サーバ２００の収集実績テーブル２１０にアクセスし、処理の対象となるデータを取得する。そして、取得したデータを用いて、評価指標を算出して、算出した評価指標を用いて、表示・入力端末３００に評価指標を図式化表示する。
【００２４】
ここで、実績情報サーバ２００は、予め、生産実績情報を収集し、収集実績テーブル２１０に格納しているとする。
【００２５】
図４は、収集実績テーブル２１０の構成を示す図である。収集実績テーブル２１０には、収集実績ごとのレコードが格納されている。各レコードには、各レコードを識別するためのＩＤ２１１と、ウエハ製造プロセスの工程名称２１２と、着工日２１３と、収集実績値２１４とが登録される。収集実績値１１４は、生産指標の一種であり、ここでは、生産量である。ただし、仕掛量、作業時間等の他の生産指標であってもよい。
【００２６】
図４の例では、「第１層成膜工程」の８月１日の生産実績（生産量）が「５」であることを示している。
【００２７】
まず、実績収集部１０２は、評価指標を求める対象データを抽出するために、生産プロセス（ここでは、ウエハ製造プロセス）を構成する工程の中から、１つの工程を選択する（Ｓ１０１）。次に、収集実績データ２１０の中から、工程名称２１２が、Ｓ１０１で選択した工程の名称と一致するレコードを抽出する（Ｓ１０２）。次に、抽出したレコードうち、着工日２１３が最も早いレコードを特定し、そのレコードの着工日２１３に、予め定められた算出区間Ｎを足して、最初の「起算日」とする（Ｓ１０３）。
【００２８】
なお、算出区間Ｎは、図５に示すように、初期設定情報テーブル１２０に予め登録されている。初期設定情報テーブル１２０には、レコードごとに、各レコードを識別するためのＩＤ１２１と、設定項目１２２と、初期設定の内容（設定情報）１２３とが登録されている。実績情報収集部１０２は、かかる初期設定情報テーブル１２０を参照して、算出区間Ｎ（図５の例では、３日）を取得する。
【００２９】
次に、実績収集部１０２は、Ｓ１０２で抽出したレコードの中から、Ｓ１０３で設定した「起算日」から算出区間Ｎの間に着工日２１３が存在するレコードを抽出する（Ｓ１０４）。そして、抽出したレコードについて、平均値算出部１０３、分散値算出部１０４、変動係数算出部１０５を介して、下記数式１、数式２、数式３を用いて、収集実績値１１４の平均値、標準偏差、変動係数を求める。
【００３０】
【数１】
2008152312.tif 000003
【００３１】
なお、数式２及び数式３には、分散の平方根である標準偏差を用いて記述している。
【００３２】
数式１は、生産指標の移動平均を求めるものである。「ｋ」は、移動平均の算出区間を示している。例えば８月１日から８月５日の生産指標を対象にして「ｋ＝３」とした場合、求める移動平均は、８月３日時点の移動平均である８月１日から８月３日の生産指標の平均と、８月４日時点の移動平均である８月２日から８月４日の生産指標の平均と、８月５日時点の移動平均である８月３日から８月５日の生産指標の平均を求めることを示す。
【００３３】
数式２は、生産指標の分散に関する移動統計量（以下、移動分散と称す）を求めるものである。算出方法は先述した数式１と同様、対象期間における任意の区間の分散を複数求めるものである。
【００３４】
数式３は、移動平均と移動分散の比である変動係数を複数求めるものである。この変動係数も、移動平均や移動分散と同様に、変動係数の移動統計量を表している。
【００３５】
これらの評価指標を求めると、実績収集部１０１は、図６で示すカラーコードテーブル１３０を参照して、求めた変動係数に対応するカラーコードを求める。
【００３６】
カラーコードテーブル１３０は、レコードごとに、各レコードを識別するためのＩＤ１３１と、変動係数の表示に用いるカラーコード１３２と、適用する変動係数のしきい値（上限値７０３及び下限値７０４）とが登録されている。図６の例では、変動係数が「１．４０」であれば「Ｒｅｄ」、変動係数が「１．００」であれば「Ｙｅｌｌｏｗ」、変動係数が「０．５０」であれば「Ｂｌｕｅ」を用いて表示することを示している。
【００３７】
実績収集部１０２は、こうして算出した値（平均値、標準偏差、変動係数、カラーコード）を、計算結果テーブル１４０に格納する。
【００３８】
図７は、計算結果テーブル１４０の構成を示す図である。各レコードには、各レコードを識別するためのＩＤ１４１と、工程名称１４２と、起算日１４３と、平均値１４４と、標準偏差１４５と、変動係数１４５と、カラーコード１４７とが格納されている。
【００３９】
図３に戻って説明する。次に、実績収集部１０２は、現在の「起算日」に１日足して、新たな「起算日」を設定する（Ｓ１０６）。そして、実績収集部１０２は、Ｓ１０２で抽出したレコードの中に、Ｓ１０６で設定した「起算日」に算出区間Ｎを足した日を着工日１１３とするレコードが存在するか否か調べる（Ｓ１０７）。存在する場合（Ｓ１０７でＹ）、Ｓ１０４に戻って処理を続ける。
【００４０】
一方、存在しない場合（Ｓ１０７でＮ）、実績収集部１０２は、未選択の「工程名称」が存在するか否か調べ、存在する場合（Ｓ１０８でＮ）、Ｓ１０１に戻って、未選択の「工程名称」を選択し、以降の処理を繰り返す。
【００４１】
一方、全ての「工程名称」を選択済みの場合（Ｓ１０８でＹ）、実績収集部１０２は、時系列推移表示部１０６に、計算結果テーブル１４０を用いて、評価指標の図式化表示を行うように指示する。
【００４２】
これを受けて、時系列推移表示部１０６は、評価指標を図式化して表示するための描画データを生成し、表示・入力端末３００に送信する。表示・入力端末３００の描画処理部３０１は、時系列推移表示部１０６から受信した描画データを用いて、表示装置に、評価指標の図式化表示を行う（Ｓ１０９）。
【００４３】
図８は、表示・入力端末３００の表示画面に、変動係数を図式化して表示した一例を示す。時系列推移表示部１０６は、縦軸に日時３１１（起算日１４３に対応）を配し、横軸に工程３１２（工程名称１４２に対応）を配した座標を設定する。そして、縦軸と横軸の交差領域に該当する変動係数を、計算結果テーブル１４０から抽出し、図式化して表示する。すなわち、変動係数を数値のまま表示するのではなく、カラーコード１４６により指定された色で、該当する交差領域のマス目を配色して表示する。
【００４４】
図８では、３段階に色分けした例を示しており、赤色（図面中では、黒色）マス３３５が最も高い変動係数のグループを示しており、青色（図面中では、白色）マス３３３は最も低い変動係数のグループを示している。さらに、黄色（図面中では、斜線ハッチング）マス３３４はどちらにも属さない中間の大きさを持つ変動係数のグループを示している。
【００４５】
ここで、評価指標をこのような表示態様で表示することの効果について説明する。
【００４６】
図８では、ある工程で発生した仕掛りもしくは単位時間当たりの生産数量などの生産指標が変動し、その変動が後工程に伝播する現象を示している。変動の伝播は黒マスおよび灰色マスの右肩下がりの塊で示されている。この塊の右肩下がりの角度は、製造リードタイムに関係した角度となる。この例では、８月４日の「第１層：露光」工程と「第１層：現像」工程で発生した変動が、後続の「第１層：エッチング」工程や「第１層：フォトレジスト除去」工程にも伝播している。すなわち、生産ラインの生産指標となる仕掛り量や単位時間当たりの生産数量は、これら生産指標の変動が発生した工程だけでなく後工程にも伝播して変動が発生することを意味する。そして、これが結果的に生産ライン全体の生産指標を低下させる。かかる状況を踏まえて、生産ラインの生産指標を改善する活動を行う場合、従来は工程別に仕掛り量の推移の平均値や単位時間当たりの生産数量の平均値を調査していたため、このような変動の伝播が容易には判らず、対策すべき工程の特定が困難であった。しかし、本実施形態の表示態様により、変動の発生工程が容易に判別できるため、変動を迅速に解消することができる。ここで実施する対策とは、例えば当該工程後に仕掛りを貯めるバッファを設けて製品の物流を整流化することや、装置の処理パラメータを調整して装置動作を安定化させること等が挙げられる。
【００４７】
図９では、ある工程で生産指標の変動が定期的に発生している現象を示す。定期的変動は黒マスが縦方向に定期的に出現することで示している。この例では「第１層：成膜」工程において、２日おきに生産指標の変動が起きている。そして、もし「第１層：成膜」工程の装置メンテナンスが２日おきであるか、不具合による装置停止が２日起きである場合、この２日おきの生産指標の変動は、これら装置メンテナンスや装置停止が原因であることが推察できる。この推察を踏まえ、生産ラインの生産指標を改善する活動を行う場合、従来は工程別に仕掛り量の推移の平均値や単位時間当たりの生産数量の平均値を調査していたため、装置メンテナンスや装置停止が生産指標に与える影響は容易には判らず、装置メンテナンスや装置停止運用を見直すべき装置の特定が困難であった。しかし本実施形態の表示態様により、生産ラインの生産指標に悪影響を与える装置メンテナンスや装置停止を容易に特定できるため、変動を迅速に解消することができる。ここで実施する対策とは、装置のメンテナンスサイクルや生産ラインの操業カレンダーの見直し、装置の立上げや立下げにおける安全在庫の配置等が挙げられる。
【００４８】
このような表示方法を用いることで、各生産工程の生産変動を、着工時期と生産工程の両面から評価することができる。特に、図９で示した例のように、生産変動の原因が変動を起こしている工程全てにあるのではなく、ある限定された工程に根本原因があり、それが生産ライン全体の変動を引き起こしていることを捉えられる点が特徴である。これにより、当該時点において変動する生産工程や装置だけでなく、将来において変動の増大が予想される生産工程や装置を把握することができるため、生産変動を根本的に引き起こしている生産工程や装置を容易に絞り込むことできる。
【００４９】
なお、ここで述べた変動係数は、生産装置の処理時間や生産量、仕掛り量等、生産ラインの物流を変動させる全ての要素に適用することができる。
【００５０】
このように、本実施形態によれば、評価指標の変動が図式化されるので、評価者は、容易に全体像を把握することができる。
【００５１】
特に、図１０に示すように、多工程の長期に渡る生産実績に関する評価指標を図式化表示すると、本実施形態による評価指標の表示態様の有用性が理解できる。
【００５２】
例えば、ある工程のプロセス上の問題によって、モノの流れが乱れ、それが後続の工程に伝播する場合がある。具体的には、通常は決まった間隔で払い出されたモノが、払い出されない時間が長くなったり、逆に短い間隔で払い出された場合、決まった間隔で受け入れるように設計された後続工程においても、無駄な待ちが発生したり、想定しない仕掛りが発生する。逆に、工程に依らず、時間軸に依って問題が起こる場合もある。例えば，ラインでの一斉装置メンテナンスや、装置停止などである。
【００５３】
かかる実情において、従来は、工程毎のトレンドを見たり、ある時点における各工程の状態を観察したりするのが一般的である。従来の方法では、プロセス依存の問題と、時間軸依存の問題とを、それぞれ別個に評価している。しかし先に述べた後続工程への伝播から分かるように，実際はプロセス依存と時間軸依存の組合せで問題が起こっているため、それぞれだけを観察しても問題を把握することは難しい場合が多い。
【００５４】
本実施形態の表示態様によれば、図１０に示すように、縦軸４０１に時間、横軸４０２に工程が配され、長期間に渡る時間と多工程における評価指標の変動の様子４０３が一画面にマップ表示される。
【００５５】
縦方向の分布がプロセス依存を示し、横方向の分布が、時間軸依存を示すことになる。
【００５６】
例えば、図１０から、ある時間軸依存の問題４１１を発端となり、流れの乱れ４１２、４１３が発生していることが分かる。これによって、装置メンテナンスの時間を見直す等の対策を打つことができる。
【００５７】
また、本実施形態の表示態様は、ウエハ製造プロセスなどの同じ設備を何度も使う生産ラインの評価に好適である。同じ設備を何度も使う生産ラインの場合の特徴的な問題は、電子デバイス（半導体や液晶，PDP等）の生産プロセスに共通する。
【００５８】
例えば、ウエハ製造プロセスでは、一つの基板（シリコン，ガラス等）にいくつもの薄膜を積層していく。すなわち、単一層を形成するプロセスを積層する数だけ繰り返す。よって一つの設備が複数の工程を担当する。したがって、ある時間間隔を持って、同じモノ（基板）が同じ設備を何回も通過する。一方で、同じ処理工程を繰り返すといっても、生産プロセス（製造条件やタクトタイム等）が層間で全く同じわけではないので、ある設備だけに着目しても、モノの流れの乱れが発生する場合としない場合がある。言い換えると、ある原因を発生させている設備による流れの乱れが、生産ライン全体の中で、一つであったり、複数であったりし、さらにそれが時間的な差異を伴う場合がある。
【００５９】
かかる場合でも、本実施形態による評価指標の表示態様であれば、全体を俯瞰できるので、どこの工程に原因があるのか、その原因がどのような影響を与えているかを容易に把握することができる。
【００６０】
以上、本発明の一実施形態について説明した。
【００６１】
上記実施形態によれば、時間の経過と共に変動する生産指標を元に物流状況を可視化するため、物流が乱れ始めた工程の把握や、事前に生産指標の変動の発生が予測できる装置を容易に特定できる。これにより、原因工程の対策が迅速に行え、生産ラインの生産指標改善が迅速に行える。
【００６２】
また、生産ラインの生産管理において、個別の生産装置を監視するだけでは発見できない生産性低下の根本原因を特定するのが容易となる。 
また、上記実施形態では、生産ラインにおいて、製品の生産量や仕掛り量の変動が時間の経過と共に変動の発生工程から後続の工程に伝播していく点に配慮している。そして、生産工程の生産量や仕掛り量の移動平均と分散の移動統計量の比を求め、その比をしきい値により分類し、分類結果を生産工程と生産日（起算日）に対応付けて図示する。したがって、変動の発生工程の特定を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１は、生産管理システムの概略構成図である。
【図２】図２は、ウエハ製造プロセスの概要を示す図である。
【図３】図３は、評価指標の表示処理のフロー図である。
【図４】図４は、収集実績テーブルの構成を示す図である。
【図５】図５は、初期設定情報テーブルの構成を示す図である。
【図６】図６は、カラーコードテーブルの構成を示す図である。
【図７】図７は、計算結果テーブルの構成を示す図である。
【図８】図８は、画面表示例を示す図である。
【図９】図９は、画面表示例を示す図である。
【図１０】図１０は、画面表示例を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１…生産管理システム
１００…生産管理サーバ
１０１…実績収集部、１０３…平均値算出部、１０４…分散値算出部、１０５…変動係数算出部、１０６…時系列推移表示部、
１２０…初期設定テーブル、
１３０…カラーコードテーブル
１４０…計算結果テーブル
２００…実績情報サーバ
２１０…収集実績テーブル
３００…表示・入力端末
３０１…描画処理部
【図１】
2008152312.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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