(57)【要約】      （修正有）【課題】保守員が基板処理装置の稼動計画に影響を受けることなく、基板処理装置が備えるコントローラのプログラムアップデートの予約作業を行うだけで、アップデート作業を自動で実施することを可能とする基板処理システムを提供する。【解決手段】基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置１０と、基板処理装置に接続される郡管理装置２０と、を備える基板処理システムにおいて、郡管理装置が、基板処理装置の稼動状態を監視することにより基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、タイミングに達したらプログラムをアップデートする。【選択図】図１
2008078630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システム。
【請求項２】
基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置が生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す予約情報の入力を受け付け、
前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、
前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システム。
【請求項３】
基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置が所定回数の生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す情報と、プログラムのアップデート又は次の生産処理のいずれを優先するかを示す優先度情報と、を含む予約情報の入力を受け付け、
前記基板処理装置の稼動状態を監視して所定回数の生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無及び前記優先度情報を確認し、
前記基板処理装置が次の生産予約を有していないか、あるいは、前記基板処理装置が次の生産予約を有していても前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記プログラムをアップデートする基板処理システム。
【請求項４】
基板を処理する基板処理装置と、少なくとも１台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置のプログラムをアップデートすべき予定日を示す予約情報の入力を受け付け、
前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とを比較し、
前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とが一致していれば前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、
前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システム。
【請求項５】
基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置は、
前記基板処理装置のプログラムのアップデート又は前記基板処理装置の停止操作のいずれを優先するかを示す優先度情報を含む予約情報の入力を受け付け、
前記郡管理装置は、前記基板処理装置に対して停止操作がなされようとしていることを検出したら前記優先度情報を確認し、前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記基板処理装置に対する停止操作を実行する前に前記プログラ
ムをアップデートする基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置のプログラムをアップデートすることが可能な基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハ等の基板を処理する基板処理装置は、ＣＰＵ、メモリ、及びＨＤＤ等の記憶装置を備えたコントローラを有している。記憶装置は、基板処理装置に種々の機能を実現させるプログラムを格納している。プログラムは、記憶装置からメモリに読み出され、ＣＰＵにより実行される。
【０００３】
プログラムは、基板処理装置の機能拡張やバグ対処などの理由により、定期的または不定期にアップデートされる。従来、プログラムのアップデート作業は、基板処理装置１台ごとに保守員の手作業によってそれぞれ実施されていた。
【０００４】
具体的には、保守員が、基板処理装置を停止させ、ＣＤ−ＲＯＭやＦＤ等の記録媒体に格納されているプログラムを基板処理装置に読み込ませ、記憶装置内に格納させることにより、プログラムをアップデートしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、基板処理装置のプログラムをアップデートする場合には、基板処理装置が非生産状態となっている必要がある。すなわち、基板処理装置のプログラムをアップデートする場合には、保守員は、基板処理装置の稼動計画を事前に確認して、基板処理装置が非生産状態になるまで待つ必要がある。
【０００６】
なお、半導体装置の製造工場においては、例えば数十台以上の基板処理装置が稼動している場合がある。このような場合、保守員が、これら複数の基板処理装置についてそれぞれの稼動計画を確認し、アップデートの計画を立案し、各基板処理装置が非生産状態になるまで待つ必要があるとすれば、保守員の負担は更に大きくなる。
【０００７】
そこで本発明は、保守員が基板処理装置の稼動計画を確認することなく、プログラムのアップデートの予約作業を行うだけで基板処理装置のプログラムをアップデートすることが可能な基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様によれば、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
【０００９】
本発明の第２の態様によれば、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次
の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
【００１０】
本発明の第３の態様によれば、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が所定回数の生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す情報と、プログラムのアップデート又は次の生産処理のいずれを優先するかを示す優先度情報と、を含む予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して所定回数の生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無及び前記優先度情報を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していないか、あるいは、前記基板処理装置が次の生産予約を有していても前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
。
【００１１】
本発明の第４の態様によれば、基板を処理する基板処理装置と、少なくとも１台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムをアップデートすべき予定日を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とを比較し、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とが一致していれば前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
【００１２】
本発明の第５の態様によれば、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムのアップデート又は前記基板処理装置の停止操作のいずれを優先するかを示す優先度情報を含む予約情報の入力を受け付け、前記郡管理装置は、前記基板処理装置に対して停止操作がなされようとしていることを検出したら前記優先度情報を確認し、前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記基板処理装置に対する停止操作を実行する前に前記プログラムをアップデートする基板処理システムが提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、保守員が基板処理装置の稼動計画を確認することなく、プログラムのアップデートの予約作業を行うだけで基板処理装置のプログラムをアップデートすることが可能な基板処理システムを提供することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの構成、及び動作について、図を用いて説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの概要構成図であり、図２は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置のブロック構成図であり、図３は、本発明の一実施形態にかかる郡管理装置のブロック構成図である。また、図４は、本発明の実施例１にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、（ａ）はプログラムのアップデートの予約画面の概要図であり、（ｂ）はアップデート実行条件入力画面の概要図であり、（ｃ）はアップデート用プログラム入力画面の概要図である。また、図５は、本発明の実施例２にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、（ａ）は同時に複数の基板処理装置に対してプログラ
ムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、（ｂ）は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。また、図６は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の斜透視図であり、図７は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の側面透視図であり、図８は、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の処理炉の縦断面図である。そして、図９は、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
【００１６】
（１）基板処理システムの構成
まず、図１を用いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの構成について説明する。
【００１７】
図１に示すとおり、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムは、基板に処理を行う少なくとも一台以上の基板処理装置１０と、基板処理装置１０に接続される郡管理装置２０とを備えている。なお、基板処理装置１０と郡管理装置２０との間は、通信ケーブル等により直接接続されても良いし、構内回線により接続されても良いし、インターネットや専用線網などの広域回線により接続されても良い。
【００１８】
（２）基板処理装置の構成
本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１０は、図２に示すとおり、基板を処理する基板処理系１００と、基板処理系１００に接続された基板処理装置用コントローラ２４０と、基板処理装置用コントローラ２４０に接続された操作端末２４０ａと、を備えている。
【００１９】
以下に、上述の基板処理系１００の構成、及び動作について、図６から図８を用いて説明する。その後、基板処理装置用コントローラ２４０及び操作端末２４０ａの構成について、図２を用いて説明する。
【００２０】
（２−１）基板処理系の構成
本実施形態にかかる基板処理系１００は、例えば、半導体装置（ＬＳＩやＩＣ等）の製造工程の一工程として、ウエハ等の基板に対して酸化処理、拡散処理、ＣＶＤ処理などの基板処理工程を実施する縦型の装置として構成されている。
【００２１】
図６および図７に示すように、本実施形態にかかる基板処理系１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部（図７の左側）には、開口部としての正面メンテナンス口１０３が設けられている。また、正面メンテナンス口１０３には、正面メンテナンス口１０３を開閉する２枚の正面メンテナンス扉１０４が設けられている。
【００２２】
基板としてのウエハ２００を筐体１１１内外へ搬送するには、基板収容容器（ウエハキャリアともいう）としてのポッド１１０が使用される。ポッド１１０内には、複数のウエハ２００が格納されるように構成されている。筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド１１０を筐体１１１内外へ搬送する基板収容器搬入搬出口としてのポッド搬入搬出口１１２が、筐体１１１の内外を連通するように設けられている。ポッド搬入搬出口１１２は、開閉機構としてのフロントシャッタ１１３によって開閉されるようになっている。
【００２３】
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、基板収容器受渡し台としてのロードポート１１４が設けられている。ロードポート１１４上にはポッド１１０が載置され、ロードポート１１４上にてポッド１１０の位置合わせをすることが可能なように構成されている。ポッド１１０は、図示しない工程内搬送装置によってロードポート１１４上に載置され、
また、ロードポート１１４上から搬出されるように構成されている。
【００２４】
筐体１１１内の前後方向の略中央部（図７に示す筐体１１１内の略中央部）における上部空間には、基板収容器載置棚としての回転式ポッド棚１０５が設けられている。回転式ポッド棚１０５は、垂直方向に設けられて水平面内で回転する支柱１１６と、基板収容器載置台としての複数枚の棚板１１７と、を備えている。複数枚の棚板１１７は、支柱１１６における上中下段の各位置において、水平姿勢で放射状に固定されるようにそれぞれ構成されている。なお、各棚板１１７には、複数個のポッド１１０がそれぞれ載置されるように構成されている。
【００２５】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、基板収容器搬送装置としてのポッド搬送装置１１８が設けられている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降移動する基板収容器昇降機構としてのポッドエレベータ１１８ａと、ポッド１１０を保持したまま水平移動する基板収容器搬送機構としてのポッド搬送機構１１８ｂと、を備えている。ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの協調動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、及び後述する載置台１２２との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００２６】
筐体１１１内の下部空間には、筐体１１１内の略中央部から後端部にわたって、サブ筐体１１９が設けられている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａ（筐体１１１内の中央部側）には、ウエハ２００をサブ筐体１１９内外に搬送する基板搬入搬出口としての一対のウエハ搬入搬出口１２０が、上下段に設けられている。上下段のウエハ搬入搬出口１２０には、ポッドオープナ１２１がそれぞれ設けられている。ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２と、ポッド１１０の蓋体であるキャップを着脱する蓋体着脱機構としてのキャップ着脱機構１２３と、をそれぞれ備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２上に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することによって、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２７】
サブ筐体１１９内には、移載室１２４が形成されている。移載室１２４は、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５等が設けられた筐体１１１内の他の空間から気密に隔離されるように構成されている。移載室１２４内の前側領域（筐体１１１内の中央部側）には、基板移載機構としてのウエハ移載機構１２５が設けられている。ウエハ移載機構１２５は、基板保持体としてのツイーザ１２５ｃ上にウエハ２００を載置して水平方向に移動させる基板移載装置としてのウエハ移載装置１２５ａと、ウエハ移載装置１２５ａを昇降移動させる基板移載装置昇降機構としてのウエハ移載装置エレベータ１２５ｂと、を備えている。これら、ウエハ移載装置１２５ａとウエハ移載装置エレベータ１２５ｂとの協調動作により、後述する基板保持具としてのボート２１７にウエハ２００を装填（チャージング）し、また、ボート２１７からウエハ２００を取り出す（ディスチャージング）ことが可能なように構成されている。
【００２８】
移載室１２４内の後側領域（筐体１１１内の後端部側）には、基板保持具としてのボート２１７を収容し、待機させる待機部１２６が構成されている。ボート２１７の構成については後述する。待機部１２６の上方には、基板を処理する処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部には、処理炉２０２内と移載室１２４内とが連通するように開口が設けられている。処理炉２０２に設けられた開口は、炉口開閉機構としての炉口シャッタ１４７により開閉されるように構成されている。
【００２９】
図６に示すように、筐体１１１内には、ボート２１７を昇降移動させる基板保持具昇降
機構としてのボートエレベータ１１５が設けられている。ボートエレベータ１１５の下端部には連結具としてのアーム１２８が設けられており、アーム１２８上には蓋体としてのシールキャップ１２９が水平姿勢で設けられている。シールキャップ１２９は、ボート２１７を下方から垂直に支持するとともに、ボートエレベータ１１５が上昇した時に処理炉２０２に設けられた開口を閉塞するように構成されている。
【００３０】
図６に示すように、移載室１２４内の左側端部には、クリーンユニット１３４が設けられている。クリーンユニット１３４は、供給フアンおよび防塵フィルタを備えており、清浄化したガスもしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を移載室１２４内に供給するように構成されている。また、図示はしないが、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハ２００の周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設けられている。クリーンユニット１３４から移載室１２４内に供給されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５、ウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７の周囲を通過した後に、図示しないダクトにより吸引される。そして、ダクトにより吸引されたガスは、筐体１１１の外部へと排気されるか、もしくは、クリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側にまで循環されて清浄化された後、再び移載室１２４内に供給されるように構成されている。
【００３１】
（２−２）基板処理系の動作
次に、本発明の一実施形態にかかる基板処理系１００の動作について説明する。
【００３２】
図６および図７に示すように、ポッド１１０がロードポート１１４上に載置されると、フロントシャッタ１１３が移動してポッド搬入搬出口１１２が開放される。そして、ポッド搬送装置１１８により、ロードポート１１４上のポッド１１０が、ポッド搬入搬出口１１２を介して筐体１１１内へと搬入される。筐体１１１内へ搬入されたポッド１１０は、直接に、もしくは、回転式ポッド棚１０５の棚板１１７上に載置されて一時的に保管された後に、上下段のうちいずれか一方の載置台１２２上へと移載される。
【００３３】
この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０は、キャップ着脱機構１２３によって閉じられている。また、ボートエレベータ１１５は降下した状態となっており、処理炉２０２の下端部の開口は炉口シャッタ１４７により閉塞された状態となっている。また、移載室１２４内には、クリーンユニット１３４によりクリーンエア１３３が供給されている。例えば、クリーンエア１３３として窒素ガスを移載室１２４内に供給して充満させることにより、移載室１２４内の酸素濃度は、例えば２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１内の他の領域よりも遥かに低くなっている。
【００３４】
載置台１２２上に載置されたポッド１１０は、そのキャップがウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられる。そして、キャップ着脱機構１２３によってキャップが取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。そして、ポッド１１０内のウエハ２００は、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってピックアップされ、ウエハ出し入れ口を介して移載室１２４内に搬入され、ノッチ合わせ装置１３５によって周方向の向きが整合され、移載室１２４内の後方にある待機部１２６へ搬送され、ボート２１７に装填（チャージング）される。その後、同様の動作が繰り返され、ポッド１１０内に残っているウエハ２００がボート２１７に装填される。
【００３５】
なお、上述の作業中には、他方の載置台１２２上には、回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０が移載される。そして、キャップ着脱機構１２３によってキャップが取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。
【００３６】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填（チャージング）されると、
炉口シャッタ１４７が水平移動して処理炉２０２の下端部の開口が開放される。続いて、ボートエレベータ１１５が上昇して、複数のウエハ２００を保持したボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）され、処理炉２０２の下端部の開口がシールキャップ２１９によって気密に閉塞される。
【００３７】
ボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）された後は、処理炉２０２内にてウエハ２００に任意の処理が実施される。かかる処理については後述する。その後、ノッチ合わせ装置１３５によるウエハ２００の周方向の向きの整合工程を除き、上述の手順とはほぼ逆の手順により、処理後のウエハ２００を格納したポッド１１０が筐体１１１の外部へと搬出される。
【００３８】
（２−３）処理炉の構成
続いて、上述の処理炉２０２の構成について、図８を用いて説明する。
【００３９】
図８に示すように、処理炉２０２は、加熱機構としてのヒータ２０６を有する。ヒータ２０６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
【００４０】
ヒータ２０６の内側には、ヒータ２０６と同心円状に、反応管としてのプロセスチューブ２０３が配設されている。プロセスチューブ２０３は、内部反応管としてのインナーチューブ２０４と、その外側に設けられた外部反応管としてのアウターチューブ２０５とを備えている。インナーチューブ２０４は、例えば石英（ＳｉＯ２）や炭化珪素（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。インナーチューブ２０４の内部には処理室２０１が形成されている。処理室２０１内には、複数枚のウエハ２００を保持するボート２１７を収容されるように構成されている。アウターチューブ２０５は、例えば石英または炭化シリコン等の耐熱性材料からなり、内径がインナーチューブ２０４の外径よりも大きく、上端が閉塞し、下端が開口した円筒形状に形成されており、インナーチューブ２０４に対して同心円状に設けられている。
【００４１】
アウターチューブ２０５の下方には、アウターチューブ２０５と同心円状にマニホールド２０９が設けられている。マニホールド２０９は、例えばステンレス等からなり、上端および下端が開口した円筒形状に形成されている。マニホールド２０９は、インナーチューブ２０４の下端部とアウターチューブ２０５の下端部とにそれぞれ接合されており、これらを支持するように構成されている。なお、マニホールド２０９とアウターチューブ２０５との間には、シール部材としてのＯリング２２０ａが設けられている。マニホールド２０９がヒータベース２５１により支持されることで、プロセスチューブ２０３は垂直に据え付けられた状態となっている。プロセスチューブ２０３とマニホールド２０９とにより反応容器が形成される。
【００４２】
基板保持具としてのボート２１７は、例えば５０枚〜１２５枚程度の複数枚のウエハ２００を、それぞれ水平姿勢で、かつ、互いに中心を揃えた状態で垂直方向に整列させて保持するように構成されている。ボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料から構成されている。なお、ボート２１７の下部には、ヒータ２０６からマニホールド２０９側への熱伝導を抑制するように、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円板形状をした断熱部材としての複数枚の断熱板２１６が、水平姿勢で多段に配置されている。
【００４３】
上述したように、マニホールド２０９の下方（処理炉２０２の下方）には、蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は、ボート２１７を下方から垂直に支持するとともに、ボートエレベータ１１５が上昇した時にマニホールド２０９の下端開口部を気密に閉塞するように構成されている。シールキャップ２１９は、例
えばステンレス等の金属からなり、円板状に形成されている。シールキャップ２１９の上面とマニホールド２０９の下端との間には、シール部材としてのＯリング２２０ｂが設けられる。シールキャップ２１９の下面側（処理室２０１とは反対側）には、ボート２１７を回転させる回転機構２５４が設けられている。回転機構２５４の回転軸２５５は、シールキャップ２１９を貫通してボート２１７の下端部を支持しており、ボート２１７を回転させることにより、ウエハ２００を回転させることが可能なように構成されている。また、上述したように、シールキャップ２１９は、プロセスチューブ２０３の下方に設けられた基板保持具昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって、垂直方向に昇降されるように構成されている。これにより、ボート２１７を処理室２０１内外に搬送することが可能となっている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、駆動制御部２３７が電気的に接続されている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５は、所望のタイミングにて所望の動作をするように駆動制御部２３７によって制御される。
【００４４】
シールキャップ２１９には、ガス導入部としてのノズル２３０が処理室２０１内に連通するように接続されている。ノズル２３０の上流側端部には、ガス供給管２３２が接続されている。ガス供給管２３２の上流側（ノズル２３０との接続側と反対側）には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１を介して、図示しない処理ガス供給源や不活性ガス供給源が接続されている。ＭＦＣ２４１には、ガス流量制御部２３５が電気的に接続されている。ＭＦＣ２４１は、処理室２０１内に供給するガスの流量が所望のタイミングにて所望の量となるようにガス流量制御部２３５によって制御される。
【００４５】
マニホールド２０９には、処理室２０１内の雰囲気を排気する排気管２３１が設けられている。排気管２３１は、インナーチューブ２０４とアウターチューブ２０５との隙間によって形成される筒状空間２５０の下端部に配置されており、筒状空間２５０内に連通している。排気管２３１の下流側（マニホールド２０９との接続側と反対側）には、圧力検出器としての圧力センサ２４５および圧力調整装置２４２を介して、真空ポンプ等の真空排気装置２４６が接続されている。また、圧力調整装置２４２および圧力センサ２４５には、圧力制御部２３６が電気的に接続されている。そして、真空排気装置２４６を作動させつつ、圧力センサ２４５により検出された圧力に基づいて圧力制御部２３６が圧力調整装置２４２の動作をフィードバック制御することにより、処理室２０１内の圧力が所望のタイミングにて所望の圧力となるように構成されている。
【００４６】
プロセスチューブ２０３内には、温度検出器としての温度センサ２６３が設けられている。ヒータ２０６と温度センサ２６３とには、温度制御部２３８が電気的に接続されている。温度センサ２６３により検出された温度情報に基づいて、温度制御部２３８がヒータ２０６への通電量をフィードバック制御することにより、処理室２０１内の温度が所望のタイミングにて所望の温度分布となるように構成されている。
【００４７】
ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８は、基板処理装置１０全体を制御する主制御部２３９に電気的に接続されている。これら、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８、及び主制御部２３９は、基板処理装置用コントローラ２４０として構成されている。基板処理装置用コントローラ２４０の構成や動作については、後述する。
【００４８】
（２−４）基板処理工程
続いて、半導体装置の製造工程の一工程として、例えばＣＶＤ法によりウエハ２００上に薄膜を形成する基板処理工程について説明する。なお、本実施形態にかかる基板処理工程は、上述した基板処理系１００を備える基板処理装置１０により実施される。また、以下の説明において、基板処理装置１０を構成する各部の動作は基板処理装置用コントローラ２４０により制御される。
【００４９】
まず、ボートエレベータ１１５を上昇させ、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７を処理室２０１内に搬入（ボートローディング）する。その結果、マニホールド２０９の下端は、シールキャップ２１９により気密に閉塞された状態となる。
【００５０】
続いて、処理室２０１内が所望の圧力となるように、真空排気装置２４６によって処理室２０１内を真空排気する。この際、真空排気装置２４６を作動させつつ、圧力センサ２４５により検出された圧力に基づいて圧力制御部２３６が圧力調整装置２４２の動作をフィードバック制御する。また、処理室２０１内が所望の温度分布となるように、ヒータ２０６によって処理室２０１内を加熱する。この際、温度センサ２６３により検出された温度情報に基づいて、温度制御部２３８がヒータ２０６への通電量をフィードバック制御する。続いて、回転機構２５４を作動（回転）させて、ボート２１７及びウエハ２００を回転させる。
【００５１】
次いで、ＭＦＣ２４１にて流量を制御しながら、処理ガス供給源からの処理ガスを、ガス供給管２３２及びノズル２３０を介して処理室２０１内へと供給（導入）する。処理室２０１内に供給された処理ガスは、処理室２０１内を上昇し、インナーチューブ２０４の上端開口から筒状空間２５０に流出して、排気管２３１から排気される。その結果、処理ガスが処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、熱ＣＶＤ反応が発生し、ウエハ２００の表面上に薄膜が堆積（デポジション）される。
【００５２】
予め設定された処理時間が経過したら、処理室２０１内への処理ガスの供給を停止する。そして、ＭＦＣ２４１にて流量を制御しながら、不活性ガス供給源からの不活性ガスを、ガス供給管２３２及びノズル２３０を介して処理室２０１内へと供給（導入）する。その結果、処理室２０１内の残留ガスが不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。
【００５３】
その後、ボートエレベータ１１５を下降させて、マニホールド２０９の下端部を開口させるとともに、処理済のウエハ２００を保持したボート２１７を処理室２０１外に搬出（ボートアンローディング）して、上述の基板処理工程を終了する。その後、処理済のウエハ２００をボート２１７から取り出し（ウエハディスチャージ）、ポッド１１０へと格納して、筐体１１１の外部へと搬出する。
【００５４】
（２−５）基板処理装置用コントローラの構成
続いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理装置１０が備える基板処理装置用コントローラ２４０のブロック構成について、図２を用いて説明する。
【００５５】
前述の通り、基板処理装置用コントローラ２４０は、基板処理装置１０全体を制御する主制御部２３９と、基板処理系１００を制御する各制御部（ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８）と、を備えている。主制御部２３９と各制御部２３５〜２３８とは電気的に接続されており、相互にデータ交換が可能なように構成されている。
【００５６】
主制御部２３９は、中央演算ユニットとしてのＣＰＵ２３９ａと、メモリ２３９ｂと、ＣＤ−ＲＯＭやＦＤ等の記録媒体の読み出し機能を有する外部記憶装置２３９ｃと、通信用ポート２３９ｄと、ＨＤＤ等の記憶装置２３９ｅと、を備えている。これらの各構成部品は、内部バスを通じて相互にデータ交換可能なように構成されている。
【００５７】
通信用ポート２３９ｄは、ネットワーク等を介して郡管理装置２０に接続されている。これにより、基板処理装置１０と郡管理装置２０との間におけるデータ交換が可能なよう
に構成されている。
【００５８】
記憶装置２３９ｅには、各種アプリケーションプログラムを格納する実行アプリケーション領域２３９ｆが設けられている。実行アプリケーション領域２３９ｆに格納される各種アプリケーションプログラムは、記憶装置２３９ｅからメモリ２３９ｂに読み出され、ＣＰＵ２３９ａにより実行されて、基板処理装置用コントローラ２４０に種々の機能を実現するように構成されている。
【００５９】
また、記憶装置２３９ｅには、アップデートの対象となる新たなプログラム（アップデート用プログラム）を格納するアップデート準備領域２３９ｇが設けられている。アップデート用プログラムは、後述するように、郡管理装置２０が備える郡管理装置コントローラ２１から基板処理装置用コントローラ２４０へと送信される。基板処理装置用コントローラ２４０は、通信用ポート２３９ｄを介してアップデート用プログラムを受信して、アップデート準備領域２３９ｇ内に格納するように構成されている。また、基板処理装置用コントローラ２４０は、後述するアップデート実行プログラム２３９ｉが実行された際に、アップデート準備領域２３９ｇ内に格納されたアップデート用プログラム群を実行アプリケーション領域２３９ｆ内に上書きコピーするように構成されている。
【００６０】
また、アップデート準備領域２３９ｇ内には、プログラムのアップデートの予約情報を格納することが可能なように構成されている。後述するように、アップデートの予約情報は、郡管理装置２０が備える郡管理装置コントローラ２１から基板処理装置用コントローラ２４０へと送信することが可能なように構成されている。基板処理装置用コントローラ２４０は、通信用ポート２３９ｄを介してアップデートの予約情報を受信して、アップデート準備領域２３９ｇ内に格納することが可能なように構成されている。アップデート準備領域２３９ｇ内に格納されたアップデートの予約情報は、後述するアップデート実行プログラム２３９ｉにより読み出し可能なように構成されている。
【００６１】
また、記憶装置２３９ｅには、旧バージョン退避領域２３９ｈが設けられている。旧バージョン退避領域２３９ｈは、アップデートの直前まで使用されていた旧バージョンの各種アプリケーションプログラムを退避（格納）させるための退避領域として用いられる。すなわち、基板処理装置用コントローラ２４０は、後述するアップデート実行プログラム２３９ｉが実行された際に、実行アプリケーション領域２３９ｆ内に格納されていた旧バージョンのアップデート用プログラム群を、旧バージョン退避領域２３９ｈ内にコピーして退避させるように構成されている。
【００６２】
また、記憶装置２３９ｅには、実行アプリケーション領域２３９ｆに格納されている各種アプリケーションプログラムをアップデートするアップデート実行プログラム２３９ｉが格納されている。アップデート実行プログラム２３９ｉは、郡管理装置２０からのアップデート実行の指示に応じて起動されるように構成されている。アップデートの実行指示は、後述するとおり郡管理装置２０から基板処理装置用コントローラ２４０へと送信される。基板処理装置用コントローラ２４０は、通信用ポート２３９ｄを介してアップデート実行の指示を受信し、アップデート実行プログラム２３９ｉを記憶装置２３９ｅからメモリ２３９ｂに読み出して、ＣＰＵ２３９ａにより実行させるように構成されている。そして、アップデート実行プログラム２３９ｉは、基板処理装置用コントローラ２４０に、各種アプリケーションプログラムをアップデートさせるように構成されている。かかる動作については後述する。
【００６３】
（２−６）操作端末の構成
操作端末２４０ａは、主制御部２３９に接続されており、保守員が基板処理装置１０を操作する際に用いる入出力装置として構成されている。操作端末２４０ａは、タッチパネ
ル２４０ｂを備えており、タッチパネル２４０ｂには基板処理装置１０の状態が表示されると共に、保守員が基板処理装置１０に対して各種操作を行うためのタッチキーが表示されるように構成されている。なお、本発明にかかる操作端末２４０ａは、入出力装置としてタッチパネル２４０ｂを備えている構成に限らず、入力装置としてのキーボード装置、出力装置としてのディスプレイ装置をそれぞれ別々に備えていてもよい。
【００６４】
（３）郡管理装置の構成
続いて、本発明の一実施形態にかかる基板処理システムが備える郡管理装置２０の構成について、図３を用いて説明する。郡管理装置２０は、郡管理装置コントローラ２１と、操作端末２２と、を備えている。
【００６５】
（３−１）郡管理装置コントローラの構成
郡管理装置コントローラ２１は、中央演算ユニットとしてのＣＰＵ２１ａと、メモリ２１ｂと、ＣＤ−ＲＯＭやＦＤ等の記録媒体の読み出し機能を有する外部記憶装置２１ｃと、通信用ポート２１ｄと、ＨＤＤ等の記憶装置２１ｅと、を備えている。これらの各構成部品は、内部バスを通じて相互にデータ交換可能なように構成されている。
【００６６】
通信用ポート２１ｄは、ネットワーク等を介して基板処理装置１０が備える基板処理装置用コントローラ２４０に接続されている。これにより、基板処理装置１０と群管理装置２０との間におけるデータ交換が可能なように構成されている。
【００６７】
記憶装置２１ｅには、各種アプリケーションプログラムを格納する実行アプリケーション領域２１ｆが設けられている。実行アプリケーション領域２１ｆに格納される各種プログラムは、記憶装置２１ｅからメモリ２１ｂに読み出され、ＣＰＵ２１ａにより実行されて、郡管理装置コントローラ２１に種々の機能を実現するように構成されている。
【００６８】
また、記憶装置２１ｅには、プログラムのアップデートの予約情報を格納するアップデート予約情報領域２１ｇが設けられている。プログラムのアップデートの予約情報は、保守員による操作端末２２の操作に応じてその内容が適宜決定され、メモリ２１ｂに一時的に保持された後、記憶装置２１ｅのアップデート予約情報領域２１ｇ内に格納されると共に、通信用ポート２１ｄを介して基板処理装置１０に送信可能なように構成されている。
【００６９】
また、記憶装置２１ｅには、アップデート対象となる基板処理装置１０用の新たなアプリケーションプログラム（アップデート用プログラム）を格納するアップデート用プログラム格納領域２１ｈが設けられる。アップデート用プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ、ＦＤ、メモリースティック等の記録媒体に予め格納されており、保守員の操作によって外部記憶装置２１ｃから読み出され、記憶装置２１ｅのアップデート用プログラム格納領域２１ｈ内に格納（コピー）されるように構成されている。また、アップデート用プログラム格納領域２１ｈ内に格納（コピー）されたアップデート用プログラムは、通信用ポート２１ｄを介して基板処理装置１０に送信されるように構成されている。
【００７０】
（３−２）操作端末の構成
操作端末２２は、郡管理装置コントローラ２１に接続されており、保守員が郡管理装置２０を操作する際に用いる入出力装置として構成されている。操作端末２２は、タッチパネル２２ａを備えており、タッチパネル２２ａには種々のデータ入力待機画面などが表示されると共に、保守員が郡管理装置２０に対して各種操作を行うためのタッチキーが表示されるように構成されている。なお、本発明にかかる操作端末２２は、入出力装置としてタッチパネル２２ａを備えている構成に限らず、入力装置としてキーボード装置、出力装置としてのディスプレイ装置をそれぞれ別々に備えていてもよい。
【００７１】
（４）基板処理システムの動作
続いて、上述の基板処理システムの一連の動作について、図９を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、郡管理装置コントローラ２１の有する機能は、記憶装置２１ｅに格納された各種アプリケーションプログラムによって実現されている。すなわち、記憶装置２１ｅに格納された各種アプリケーションプログラムがメモリ２１ｂに読み出され、ＣＰＵ２１ａによって実行されることによって、後述する種々の機能が郡管理装置コントローラ２１に実現されるように構成されている。また同様に、基板処理装置用コントローラ２４０の有する機能は、記憶装置２３９ｅに格納されたアップデート実行プログラム２３９ｉ及び各種アプリケーションプログラムによって実現されている。すなわち、記憶装置２３９ｅに格納されたアップデート実行プログラム２３９ｉ及び各種アプリケーションプログラムがメモリ２３９ｂに読み出され、ＣＰＵ２３９ａによって実行されることによって、後述する種々の機能が基板処理装置用コントローラ２４０に実現されるように構成されている。
【００７２】
（４−１）アップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）
まず、アップデート実行条件を示すプログラムのアップデートの予約情報を、郡管理装置コントローラ２１に対して入力する。具体的には、郡管理装置コントローラ２１が、操作端末２２のタッチパネル２２ａに、プログラムアップデートの実行条件に関する入力待機画面を表示させる。これに対して保守員は、タッチパネル２２ａを操作して、例えば、「ｎ回生産処理が終了したときにプログラムアップデートする」旨や、「即時アップデートする」旨を、プログラムのアップデートの予約情報として入力する。保守員により入力されたアップデートの予約情報は、記憶装置２１ｅのアップデート予約情報領域２１ｇ内に格納される。
【００７３】
（４−２）アップデートプログラムの事前コピー工程（Ｓ２）
次いで、郡管理装置コントローラ２１は、操作端末２２のタッチパネル２２ａに、アップデートの対象となる新たなプログラムの選択画面（アップデート用プログラムの選択画面）を表示させる。これに対して保守員は、タッチパネル２２ａを操作して、アップデート対象となるプログラムの種別やそのバージョンなどを選択する。アップデート対象となるプログラムが選択されたら（すなわち、アップデート用プログラムを特定する情報が入力されたら）、郡管理装置コントローラ２１は、外部記憶装置２１ｃを用いてＣＤ−ＲＯＭやＦＤ等の記録媒体から選択されたプログラム（特定されたアップデート用プログラム）を読み出し、記憶装置２１ｅのアップデート用プログラム格納領域２１ｈ内に格納（コピー）して、通信用ポート２１ｄを介して基板処理装置１０に送信する。送信されたアップデート用プログラムは、基板処理装置用コントローラ２４０によって受信され、記憶装置２３９ｅのアップデート準備領域２３９ｇ内に格納される。
【００７４】
（４−３）アップデート条件の判定工程（Ｓ３）
その後、郡管理装置コントローラ２１は、アップデート予約情報領域２１ｇに格納されたアップデートの予約情報に基づいて、判定処理を実施する。具体的には、入力された予約情報が、例えば「ｎ回生産処理が終了したときにプログラムをアップデートする」であれば、郡管理装置コントローラ２１は、郡管理装置コントローラ２１が備える生産処理回数カウンタを初期化して（カウンタ値をゼロにして）、後述する稼動状態の監視工程（Ｓ４）を実施する。また、入力されたアップデートの予約情報が、例えば「即時アップデートする」であれば、稼動状態の監視工程（Ｓ４）を実行せずに、後述のアップデート実行プログラムの起動工程（Ｓ５）を即座に実施する。
【００７５】
（４−４）稼動状態の監視工程（Ｓ４）
生産処理回数カウンタを初期化した郡管理装置コントローラ２１は、通信用ポート２１ｄを介して基板処理装置１０の稼動状態（生産処理の開始、生産処理の終了など）を監視
する。かかる監視は、郡管理装置２０から基板処理装置１０に対して定期的に問い合わせメッセージを送信し、郡管理装置２０が基板処理装置１０からの応答メッセージを受信することにより行っても良いし、基板処理装置１０から自発的に送信される処理終了メッセージ（トラップ）を郡管理装置２０が受信することにより行っても良い。そして、基板処理装置１０の生産処理の終了を検出したら、生産処理回数カウンタの値を更新するとともに、現在の生産処理回数カウンタの値と、予約情報にて指定された生産処理回数（すなわち上述の“ｎ”）とを比較する。そして、生産処理回数カウンタが、予約情報にて指定された生産処理回数（ｎ）以上であった場合には、後述するアップデート実行プログラムの起動工程（Ｓ５）を実施する。一方、生産処理回数カウンタが予約情報にて指定された生産処理回数（ｎ）未満であった場合には、稼動状態の監視工程（Ｓ４）を継続する。
【００７６】
（４−５）アップデート実行プログラムの起動工程（Ｓ５）
入力されたアップデートの予約情報が「即時アップデートする」であった場合、または生産処理回数カウンタの値が予約情報にて指定された生産処理回数（ｎ）以上となった場合には、郡管理装置コントローラ２１は、通信用ポート２１ｄを介して、基板処理装置１０に対してアップデート実行の指示を送信する。そして、基板処理装置用コントローラ２４０は、通信用ポート２３９ｄを介してアップデート実行の指示を受信し、アップデート実行プログラム２３９ｉを記憶装置２３９ｅからメモリ２３９ｂに読み出して、ＣＰＵ２３９ａに実行させる。
【００７７】
（４−６）全アプリケーションプログラムの停止工程（Ｓ６）
その後、基板処理装置用コントローラ２４０は、アップデートの対象である実行中のアプリケーションプログラム（旧アプリケーションプログラム）を停止させる。但し、このとき、アップデート実行プログラム２３９ｉは停止させない。
【００７８】
（４−７）旧アプリケーションプログラムの退避工程（Ｓ７）
その後、基板処理装置用コントローラ２４０は、記憶装置２３９ｅの実行アプリケーション領域２３９ｆ内に格納されている全てのアプリケーションプログラムを、旧バージョン退避領域２３９ｈ内にコピー（退避）させる。
【００７９】
（４−８）新プログラムの上書き工程（Ｓ８）
その後、基板処理装置用コントローラ２４０は、記憶装置２３９ｅのアップデート準備領域２３９ｇ内に格納されているアップデート用プログラムを実行アプリケーション領域２３９ｆ内に上書きコピーする。
【００８０】
（４−９）全アプリケーションプログラムの再起動工程（Ｓ９）
その後、基板処理装置用コントローラ２４０は、記憶装置２３９ｅの実行アプリケーション領域２３９ｆ内に格納されているアップデート用プログラムを起動させる。
【００８１】
（４−１０）アップデート実行プログラムの終了工程（Ｓ１０）
アップデート用プログラムの起動が成功したら、基板処理装置用コントローラ２４０は、アップデート実行プログラム２３９ｉを終了させる。なお、アプリケーションプログラム（すなわちアップデート用プログラム）の再起動が失敗した場合には、基板処理装置用コントローラ２４０は、旧バージョン退避領域２３９ｈ内に退避してある全てのアプリケーションプログラム（旧アプリケーションプログラムを含む）を実行アプリケーション領域２３９ｆ内に上書きコピーし、これらのアプリケーションプログラムを起動させ、基板処理装置１０を復旧させてもよい。
【００８２】
（５）本発明の一実施形態による効果
本発明の一実施形態によれば、保守員が基板処理装置１０の稼動計画を確認することな
く、郡管理装置２０から基板処理装置１０に対するプログラムのアップデートの予約作業を行うだけで、基板処理装置１０のプログラムのアップデートを自動で実施することが可能となる。
【実施例１】
【００８３】
以下に、本発明の実施例１について説明する。本実施例にかかる郡管理装置コントローラ２１は、操作端末２２のタッチパネル２２ａに、図４（ａ）に示すプログラムアップデートの予約画面２３を表示するように構成されている。
【００８４】
そして、保守員が「アップデート実行条件」入力欄２３ａにタッチすることにより、図４（ｂ）に示すアップデート実行条件入力画面２４が、タッチパネル２２ａに表示されるように構成されている。そして、保守員が「ｎ回生産処理終了時」ボタン２４ａにタッチすることにより、数値入力用キーボード２４ｂがタッチパネル２２ａに表示されるように構成されている。そして、保守員が、入力用キーボード２４ｂの任意の数値キーにタッチすることにより、上記の“ｎ”の値を指定（入力）することが可能なように構成されている。また、保守員が「即時実行」ボタン２４ｃにタッチすることにより、基板処理装置１０の状態によらず、実行プログラムのアップデート作業を即時実施するような実行条件が指定（入力）されるように構成されている。
【００８５】
また、保守員が「アップデート用プログラム」入力欄２３ｂにタッチすることにより、図４（ｃ）に示すアップデート用プログラム入力画面２５が、タッチパネル２２ａに表示されるように構成されている。そして、保守員が、アップデート用プログラム入力画面２５に表示された複数のバージョン群からいずれか１つのバージョンを選択して、さらに、「設定」ボタン２５ｂにタッチすることにより、アップデート用プログラムのバージョンが指定（入力）されるように構成されている。
【００８６】
実施例１によれば、保守員が基板処理装置１０の稼動計画を確認することなく、タッチパネル２２ａから基板処理装置１０に対するプログラムアップデートの予約作業を行うだけで、自動でアップデートすることが可能となる。
【実施例２】
【００８７】
続いて、本発明の実施例２について説明する。本実施例にかかる郡管理装置コントローラ２１は、操作端末２２のタッチパネル２２ａに、図５（ａ）に示すプログラムアップデートの予約画面２６を表示させるように構成されている。
【００８８】
アップデート用プログラムの種類は、例えば基板処理装置１０の種類に応じて異なる場合がある。そのため、本実施例では、保守員が「Ｎｏ」選択欄２６ａにタッチすることにより、アップデート用プログラムの種類を指定（入力）することが可能なように構成されている。アップデート用プログラムの種類の指定（入力）は、プログラムの種類ごとに割り当てられた番号（例えば１〜１０）を用いて簡易に行うことが可能なように構成されている。
【００８９】
そして、保守員が「アップデート用プログラム」選択欄２６ｂにタッチすることにより、各アップデート用プログラムのバージョンを指定（入力）することが可能なように構成されている。
【００９０】
そして、保守員が「アップデート用実行条件」選択欄２６ｃにタッチすることにより、各アップデート用プログラムの実行条件（例えば「ｎ回生産処理終了時」や「即時実行」などの条件）を指定（入力）することが可能なように構成されている。
【００９１】
そして、保守員が「アップデート対象装置」選択欄２６ｄにタッチすることにより、アップデートする基板処理装置１０を指定（入力）することが可能なように構成されている。なお、基板処理装置１０の指定（入力）は、図５（ｂ）に示すアップデート対象装置選択画面２６ｈを用いて簡易に行うことが可能なように構成されている。また、図５（ｂ）に示すように、同時に複数の基板処理装置１０を指定（入力）することが可能なように構成されている。
【００９２】
半導体製造工場によっては、数十台から数百台の半導体製造装置が設置されている場合がある。仮に基板処理装置１０が１００台あるとして、各基板処理装置１０に対して１台づつプログラムのアップデートの予約を行うこととすると、１台あたりの予約作業時間が１０分として、合計１７時間も必要となってしまう。これに対して本実施例によれば、同時に複数の基板処理装置１０に対してプログラムアップデートの予約を行うことが可能となるため、保守員の負担が大幅に軽減される。
【実施例３】
【００９３】
続いて、本発明の実施例３について図１０を参照しながら説明する。図１０は、本発明の実施例３にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。本実施例にかかる基板処理システムは、現在実施している生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに、即時にプログラムをアップデートすることが可能なように構成されている点が、上述の実施例と異なる。
【００９４】
具体的には、アップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）において、保守員は、タッチパネル２２ａを操作して、「現在の生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに即時にプログラムをアップデートする」旨を、プログラムのアップデートの予約情報として入力する。保守員により入力されたアップデートの予約情報は、上述の実施例と同様に、記憶装置２１ｅのアップデート予約情報領域２１ｇ内に格納される。
【００９５】
そして、郡管理装置コントローラ２１は、アップデートプログラムの事前コピー工程（Ｓ２）を実施した後、アップデート条件の判定工程（Ｓ３）を実施して、アップデート予約情報領域２１ｇに格納されたアップデートの予約情報が、「現在の生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに即時にアップデートする」旨を示していれば、郡管理装置コントローラ２１は、以下に示す稼動状態の監視工程（Ｓ４’）を実施する。
【００９６】
稼動状態の監視工程（Ｓ４’）において、郡管理装置コントローラ２１は、通信用ポート２１ｄを介して基板処理装置１０の稼動状態（生産処理が終了したか否か）を監視する。なお、現在行われている生産処理が終了したら、郡管理装置コントローラ２１は生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）を即座に実施する。なお、本実施例では、郡管理装置コントローラ２１は生産処理回数カウンタの値を更新しないない。
【００９７】
生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）において、郡管理装置コントローラ２１は、次の生産予約の有無に関する情報を基板処理装置１０から収集し、次の生産予約がない場合にはプログラムをアップデートし、次の生産予約がある場合には次の生産予約が無くなるまで待つ。
【００９８】
具体的には、郡管理装置コントローラ２１は、基板処理装置用コントローラ２４０に、通信用ポート２１ｄを介して応答要求メッセージを送信する。基板処理装置用コントローラ２４０は、通信用ポート２３９ｄを介して応答要求メッセージを受信し、記憶装置２３９ｅに予め記録されている生産計画を読み出す。そして、基板処理装置用コントローラ２４０は、「次の生産計画の予約がある」旨あるいは「次の生産計画の予約がない」旨を示す応答メッセージを作成し、かかる応答メッセージを通信用ポート２３９ｄを介して郡管
理装置コントローラ２１に送信する。郡管理装置コントローラ２１は、通信用ポート３９ｄを介して応答メッセージを受信し、応答メッセージの内容が「次の生産予約の予約がない」旨を示していれば、上述のＳ５〜Ｓ１０の工程を実施してプログラムをアップデートし、応答メッセージの内容が「次の生産予約の予約がある」旨を示していれば、稼動状態の監視工程（Ｓ４）を繰り返し実施することにより次の生産予約が無くなるまで待つ。
【００９９】
一般に、基板処理装置１０のプログラムの再起動は短時間で終わる場合も多く、次の生産処理が開始されるまでの空時間に実行できる場合が多い。そのような場合、ｎ回の生産処理の終了を待たずに、プログラムをアップデートする方が有効な場合がある。本実施例によれば、現在の生産処理の終了時であって次の生産予約のないときには、ｎ回の生産処理の終了を待たずして即時にプログラムをアップデートすることが可能となる。
【実施例４】
【０１００】
続いて、本発明の実施例４について図１１を参照しながら説明する。図１１は、本発明の実施例２にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。本実施例にかかる基板処理システムは、ｎ回の生産処理の終了時であって次の生産予約がないときにプログラムをアップデートするように構成されている点が、上述の実施例と異なる。また、本実施例にかかる基板処理システムは、たとえ次の生産予約がある場合であっても、プログラムのアップデートを次の生産処理よりも優先することが可能なように構成されている点が、上述の実施例と異なる。
【０１０１】
具体的には、アップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）において、保守員は、タッチパネル２２ａを操作して、「ｎ回の生産処理の終了時にプログラムをアップデートする」旨を示す情報、および「プログラムのアップデートを次の生産処理よりも優先するか否か」を示す優先度情報を、プログラムのアップデートの予約情報としてそれぞれ入力する。保守員により入力されたこれらの予約情報は、上述の実施例と同様に記憶装置２１ｅのアップデート予約情報領域２１ｇ内に格納される。
【０１０２】
そして、郡管理装置コントローラ２１は、アップデートプログラムの事前コピー工程（Ｓ２）を実施した後、アップデート条件の判定工程（Ｓ３）を実施する。すなわち、アップデート予約情報領域２１ｇに格納されたアップデートの予約情報が「現在の生産処理の終了時であって、次の生産予約のないときに即時にアップデートする」旨を示していれば、郡管理装置コントローラ２１は、郡管理装置コントローラ２１が備える生産処理回数カウンタを初期化する（カウンタ値をゼロにする）とともに、アップデート実行状態フラグを初期化して（アップデート実行状態フラグの値を“未実行状態”にして）、後述する稼動状態の監視工程（Ｓ４）を実施する。
【０１０３】
本実施例にかかる稼動状態の監視工程（Ｓ４）では、板処理装置１０の稼動状態（生産処理の開始、生産処理の終了など）を監視するとともに、生産処理回数カウンタ値及びアップデート実行状態フラグの値を操作する。すなわち、生産処理回数カウンタ及びアップデート実行状態フラグを初期化した郡管理装置コントローラ２１は、通信用ポート２１ｄを介して基板処理装置１０の稼動状態を監視する。そして、生産処理終了を検出したら、アップデート実行状態フラグの判定を行う。そして、アップデート実行状態フラグの値が“未実行状態”であれば、生産処理回数カウンタの値を更新するとともに、現在の生産処理回数カウンタの値と、予約情報にて指定された生産処理回数（すなわち上述の“ｎ”）とを比較する。そして、生産処理回数カウンタの値が、予約情報にて指定された生産処理回数（ｎ）以上であった場合には、後述する生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）を実施する。また、アップデート実行状態フラグの値が“中断状態”であれば、アップデート実行状態フラグの値を“未実行”に書き換えた後に、後述する生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）を実施する。
【０１０４】
生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）において、郡管理装置コントローラ２１は、上述の実施例と同様に次の生産予約の有無に関する情報を基板処理装置１０から収集し、次の生産予約がない場合には上述のＳ５〜Ｓ１０の工程を実施してプログラムをアップデートする。ただし、次の生産予約がある場合には、上述の実施例とは異なり、以下に示す優先度判定工程（Ｓ４ｄ）を実施する。
【０１０５】
優先度判定工程（Ｓ４ｄ）において、郡管理装置コントローラ２１は、処理の優先度を判断する。すなわち、郡管理装置コントローラ２１は、プログラムのアップデートと次の生産処理とのいずれを優先すべきであるかを判断する。具体的には、記憶装置２１ｅのアップデート予約情報領域２１ｇ内に格納されている優先度情報を読み出して、かかる優先度情報が「プログラムのアップデートを優先すべき」旨を示している場合には、上述のＳ５〜Ｓ１０の工程を実施してプログラムをアップデートし、かかる優先度情報が「生産処理を優先すべき」旨を示している場合には、アップデート実行状態フラグの値を“中断”に書き換えて、稼動状態の監視工程（Ｓ４）を繰り返し実施することにより次の生産予約が無くなるまで待つ。
【０１０６】
ブログラムのアップデートは、その目的により、稼動計画（次の生産処理の予約の有無）よりも優先的に実施されるべき場合がある。例えば、基板処理装置の損傷防止や発火防止を図るためのアップデート作業は、一般に、稼動計画よりも優先されるべきである。一方で、基板処理装置１０への新規機能追加や軽微なバグ対処を目的とするアップデート作業は、稼動計画（生産処理）よりも後回しにされるべき場合もある。本実施例によれば、プログラムのアップデート作業の優先度をプログラムごとに設定し、設定した優先度に応じて、プログラムのアップデートを次の生産処理よりも優先することが可能となる。
【実施例５】
【０１０７】
続いて、本発明の実施例５について図１２及び図１３を参照しながら説明する。図１２は、本発明の実施例５にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、（ａ）は同時に複数の基板処理装置に対してプログラムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、（ｂ）は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。また、図１３は、本発明の実施例５にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。本実施例にかかる基板処理システムは、「アップデートの予定日」及び「アップデートの予定日における生産予約の有無」をプログラムのアップデートの予約情報として入力することが可能なように構成されている点が、上述の実施例とは異なる。
【０１０８】
具体的には、本実施例にかかる郡管理装置コントローラ２１は、操作端末２２のタッチパネル２２ａに、図１２（ａ）に示すプログラムアップデートの予約画面２７を表示するように構成されている。そして、保守員が、「アップデート用実行条件」選択欄２６ｃにタッチすることにより、予約情報として「アップデートの予定日（年月日）」を入力することが出来るように構成されている。また、保守員が、「基板処理の予約」選択欄２７ｊにタッチすることにより、予約情報として「アップデートの予定日における生産予約の有無」を入力することが出来るように構成されている。
【０１０９】
本実施例のフローを図１３に示す。まず、アップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）において、保守員は、タッチパネル２２ａを操作して、「アップデートの予定日」、および「アップデートの予定日における生産予約の有無」をプログラムのアップデートの予約情報としてそれぞれ入力する。なお、生産処理の予定の有無について入力がない場合には、デフォルト値として、生産処理の予定“無”とすることも可能である。保守員により入力されたこれらの情報は、上述の実施例と同様に、記憶装置２１ｅのアップデート予約情報
領域２１ｇ内に格納される。
【０１１０】
そして、郡管理装置コントローラ２１は、アップデートプログラムの事前コピー工程（Ｓ２）を実施した後、アップデート条件の判定工程（Ｓ３）を実施し、アップデート予約情報領域２１ｇに格納されたアップデートの予約情報がアップデートの予定日を示していれば、実施例３に示した稼動状態の監視工程（Ｓ４’）を実施する。
【０１１１】
生産処理が終了したら、郡管理装置コントローラ２１は、日付判定工程（Ｓ４ｄ）を実施する。すなわち、日付判定工程（Ｓ４ｄ）を実施する日とアップデートの予定日とが一致するか否かを比較する。そして、これらが一致する場合には、生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）を実施する。また、日付判定工程（Ｓ４ｄ）を実施する日がアップデートの予定日よりも前であった場合には、稼動状態の監視工程（Ｓ４’）を繰り返し実施することにより、アップデートの予定日が到来するまで待つ。
【０１１２】
生産予約の有無の判定工程（Ｓ４ａ）において、郡管理装置コントローラ２１は、次の生産予約の有無に関する情報を基板処理装置１０から収集し、次の生産予約がない場合にのみ、上述のＳ５〜Ｓ１０の工程を実施してプログラムをアップデートする。また、アップデートの予定日に生産予約がある場合には、アップデートを中止する。
【０１１３】
本実施例によれば、「アップデートの予定日」を予約情報として用いることから、例えばアップデートを稼動計画のない休日等に実行するような場合に予約作業が容易になる。また、「アップデートの予定日における生産予約の有無」を併せて予約情報として用いることから、例外的に休日に稼動を行う場合にかんする予約作業も容易になる。なお、上記においては、予約情報として、アップデートの予定日を年月日形式で入力することとしたが、かかる場合に限らず、年月日にさらに時間を加えた情報を入力してもよい。
【実施例６】
【０１１４】
続いて、本発明の実施例６について説明する。本実施例にかかる基板処理システムは、基板処理装置１０に対する停止操作を実行する前に、停止操作よりもプログラムのアップデートを優先することが可能なように構成されている点が、上述の実施例と異なる。
【０１１５】
まず、上述の実施例と同様に、アップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）が実施される。具体的には、保守員は、タッチパネル２２ａを操作して、プログラムのアップデートの予約情報として、プログラムのアップデートを基板処理装置１０に対する停止操作よりも優先的に実施するか否かを示す優先度情報を入力する。保守員により入力されたこれらの情報は、上述の実施例と同様に、記憶装置２１ｅのアップデート予約情報領域２１ｇ内に格納される。そして、上述の実施例と同様に、郡管理装置コントローラ２１により、アップデートプログラムの事前コピー工程（Ｓ２）が実施される。
【０１１６】
そして、基板処理装置１０に対する停止操作の有無を監視する停止操作の監視工程（Ｓ１１０）が実施される。具体的には、保守員がタッチパネル２４０ｂを操作して基板処理装置１０を停止させるコマンドを入力した際に、基板処理装置用コントローラ２４０が、「停止操作が実施されようとしている」旨を示す通知メッセージを作成し、通信用ポート２３９ｄを介して群管理装置２０へと送信する。群管理コントローラ２１は、通信用ポート３９ｄを介して通知メッセージを受信して、後述する優先度判定処理工程（Ｓ１２０）を実施する。
【０１１７】
優先度判定処理工程（Ｓ１２０）において、群管理コントローラ２１は、「プログラムのアップデート」と「基板処理装置１０に対する停止操作」とのいずれを優先すべきであるかを判断する。具体的には、群管理コントローラ２１は、記憶装置２１ｅのアップデー
ト予約情報領域２１ｇ内に格納されている優先度情報を読み出し、かかる優先度情報が「プログラムのアップデートを優先すべき」旨を示している場合には、上述のＳ５〜Ｓ１０の工程を実施してプログラムをアップデートし、基板処理装置１０の停止工程（Ｓ１４０）を実施する。また、かかる優先度情報が「基板処理装置１０に対する停止操作を優先すべき」旨を示している場合には、群管理コントローラ２１は、アップデートすることなく、基板処理装置１０の停止工程を実行（１４０）する。
【０１１８】
本実施例によれば、基板処理装置１０を停止する前に、基板処理装置１０の停止操作よりもプログラムのアップデートを優先することが可能となる。なお、本実施例においては、プログラムのアップデートを停止操作よりも優先するか否かを示す優先度情報を、アップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）にて保守員が予め入力する場合を例にとって説明したが、本発明は上述の形態に限定されない。すなわち、通知メッセージを受信した群管理コントローラ２１が、タッチパネル２２ａにその旨を表示して、保守員に優先度情報の入力を促す（すなわちアップデートと停止操作とのいずれを優先すべきかを問い合わせる）ように構成されていてもよい。
【実施例７】
【０１１９】
続いて、本発明の実施例８について説明する。本実施例にかかる基板処理システムは、上述のアップデート実行条件の登録工程（Ｓ１）及びアップデートプログラムの事前コピー工程（Ｓ２）を実施した後、アップデート実行プログラムの起動工程（Ｓ５）から新プログラムの上書き工程（Ｓ８）を即座に実施し、アプリケーションプログラムの再起動工程（Ｓ９）の実施を一時的に保留することが可能なように構成されている点が、上述の実施例とは異なる。具体的には、郡管理装置コントローラ２１は、新プログラムの上書き工程（Ｓ８）の実施を完了させた後、アプリケーションプログラムの再起動工程（Ｓ９）の実施に関する許可の入力を求める画面（例えば「再起動しますか？」という問い合わせ画面）をタッチパネル２２ａに表示させるように構成されている。そして、郡管理装置コントローラ２１は、アプリケーションプログラムの再起動工程（Ｓ９）を実施する旨の入力があるまでは、アプリケーションプログラムの再起動工程（Ｓ９）の実施を一時的に保留するように構成されている。
【０１２０】
本実施例によれば、基板処理工程の実施中に新プログラムの上書き工程（Ｓ８）までを予め済ませておくことで、次の生産処理の予約を優先させる運用が可能となる。従って、当初の生産計画では予定していなかった新たな生産処理を急きょ実施する必要が生じた場合にも対応が可能となる。又、保守員が誤ってアップロードを実行した場合にも、アップロードのキャンセルすることも可能である。
【０１２１】
＜本発明の好ましい態様＞
以下に本発明の望ましい態様について付記する。
【０１２２】
第１の態様は、基板を処理する基板処理装置と、少なくとも１台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
【０１２３】
第２の態様は、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予
約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
【０１２４】
第３の態様は、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置が所定回数の生産処理を終了させた時に前記基板処理装置のプログラムをアップデートする旨を示す情報と、プログラムのアップデート又は次の生産処理のいずれを優先するかを示す優先度情報と、を含む予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して所定回数の生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無及び前記優先度情報を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していないか、あるいは、前記基板処理装置が次の生産予約を有していても前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
【０１２５】
第４の態様は、基板を処理する基板処理装置と、少なくとも１台以上の前記基板処理装置に接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムをアップデートすべき予定日を示す予約情報の入力を受け付け、前記基板処理装置の稼動状態を監視して生産処理の終了を検出するとともに、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とを比較し、前記基板処理装置の生産処理の終了を検出した日と前記予定日とが一致していれば前記基板処理装置における次の生産処理の予約の有無を確認し、前記基板処理装置が次の生産予約を有していなければ前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
【０１２６】
第５の態様は、基板を処理する少なくとも１台以上の基板処理装置と、前記基板処理装置にそれぞれ接続される郡管理装置と、を備える基板処理システムであって、前記郡管理装置は、前記基板処理装置のプログラムのアップデート又は前記基板処理装置の停止操作のいずれを優先するかを示す優先度情報を含む予約情報の入力を受け付け、前記郡管理装置は、前記基板処理装置に対して停止操作がなされようとしていることを検出したら前記優先度情報を確認し、前記優先度情報がプログラムのアップデートを優先すべき旨を示していれば前記基板処理装置に対する停止操作を実行する前に前記プログラムをアップデートする基板処理システムである。
【０１２７】
第６の態様は、基板を処理する基板処理装置であって、前記基板処理装置と接続される郡管理装置により、前記基板処理装置の稼動状態が監視され、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングが把握され、前記タイミングに達したら前記プログラムがアップデートされる基板処理装置である。
【０１２８】
第７の態様は、少なくとも１台以上の基板処理装置に接続される郡管理装置であって、
前記郡管理装置が、前記基板処理装置の稼動状態を監視し、前記基板処理装置のプログラムをアップデートするタイミングを把握し、前記タイミングに達したら前記プログラムをアップデートする群管理装置である。
【０１２９】
＜他の実施の形態＞
なお、上記では基板処理装置の一例として半導体製造装置を示しているが、半導体製造装置に限らず、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置であってもよい。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理であってもよい。また、成膜処理は、例えばＣＤＶ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】本発明の一実施形態にかかる基板処理システムの概要構成図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる基板処理装置のブロック構成図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる郡管理装置のブロック構成図である。
【図４】本発明の実施例１にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、（ａ）はプログラムのアップデートの予約画面の概要図であり、（ｂ）はアップデート実行条件入力画面の概要図であり、（ｃ）はアップデート用プログラム入力画面の概要図である。
【図５】本発明の実施例２にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、（ａ）は同時に複数の基板処理装置に対してプログラムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、（ｂ）は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。
【図６】本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の斜透視図である。
【図７】本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の側面透視図である。
【図８】本発明の一実施形態にかかる基板処理装置の一例を示す半導体処理装置の処理炉の縦断面図である。
【図９】本発明の一実施形態にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
【図１０】本発明の実施例３にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
【図１１】本発明の実施例４にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
【図１２】本発明の実施例５にかかる郡管理装置に表示されるプログラムアップデートの予約画面の概要図であり、（ａ）は同時に複数の基板処理装置に対してプログラムアップデートの予約を行うための予約画面の概要図であり、（ｂ）は更新対象となる基板処理装置を選択するアップデート対象装置選択画面の概要図である。
【図１３】本発明の実施例５にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
【図１４】本発明の実施例６にかかる基板処理システムにより実行されるプログラムのアップデート方法の動作フロー図である。
【符号の説明】
【０１３１】
１０      基板処理装置
２０      郡管理装置
２１      郡管理装置コントローラ
２２      操作端末
１００    基板処理系
２４０    基板処理装置用コントローラ
２４０ａ  操作端末
【図１】
2008078630.tif 000003
【図２】
2008078630.tif 000004
【図３】
2008078630.tif 000005
【図４】
2008078630.tif 000006
【図５】
2008078630.tif 000007
【図６】
2008078630.tif 000008
【図７】
2008078630.tif 000009
【図８】
2008078630.tif 000010
【図９】
2008078630.tif 000011
【図１０】
2008078630.tif 000012
【図１１】
2008078630.tif 000013
【図１２】
2008078630.tif 000014
【図１３】
2008078630.tif 000015
【図１４】
2008078630.tif 000016