(57)【要約】      （修正有）【課題】部品の除電を行いつつ、塵埃も除去できる実装機およびその部品清掃方法を提供する。【解決手段】部品供給部に供給される部品Ｃをピックアップして基板に実装するノズル４２と、部品Ｃを清掃する清掃ユニット２と、を備えた実装機であって、清掃ユニット２は、ノズル４２によりピックアップされた部品Ｃに、イオンを含むエアーを吹き付けるエアーブロー手段２２と、部品周辺のエアーを吸引するエアー吸引手段２３と、を備える。【選択図】図２
2008103405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部に供給される部品をピックアップして基板に実装するノズルと、部品を清掃する清掃ユニットと、を備えた実装機であって、
前記清掃ユニットは、
前記ノズルによりピックアップされた部品に、イオンを含むエアーを吹き付けるエアーブロー手段と、
部品周辺のエアーを吸引するエアー吸引手段と、を備えたことを特徴とする実装機。
【請求項２】
前記ノズルによりピックアップされた部品の状態を撮像する部品撮影カメラを備え、
前記部品供給部と前記部品撮影カメラの間に、前記清掃ユニットが配置される請求項１に記載の実装機。
【請求項３】
前記部品供給部には、複数の部品が配列されたトレイを有するトレイフィーダが設けられる請求項１または２に記載の実装機。
【請求項４】
前記清掃ユニットは、実装機本体に対して着脱自在に取り付けられる請求項１〜３のいずれか１項に記載の実装機。
【請求項５】
部品供給部に供給される部品をノズルによりピックアップして基板に実装する実装機の部品清掃方法であって、
前記ノズルによりピックアップされた部品に、イオンを含むエアーを吹き付けつつ、部品周辺のエアーを吸引することを特徴とする実装機の部品清掃方法。
【請求項６】
イオンを含むエアーを、部品と共に前記ノズルにも同時に吹き付ける請求項５に記載の実装機の部品清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板に電子部品を実装する実装機およびその部品清掃方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上に電子部品を実装する実装機として、部品供給部に供給される電子部品を、ヘッドの吸着ノズルにより吸着して、基板位置に移送して実装するものが周知である。
【０００３】
このような実装機は、部品に帯電した静電気の影響によって、吸着ノズルによる部品の吸着操作や基板への搭載操作を正確に行うことができないことがある。
【０００４】
そこで特許文献１には、電子部品を吸着した吸着ノズルの移動経路に、イオンを含むエアー（イオンエアー）を吹き付けるイオンエアー噴出器を設けて、その噴出器から吸着ノズル先端部の部品にイオンエアーを吹き付けて除電するようにしている。
【特許文献１】特開２００１−３５２１９６号（請求項１，２、図３，４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に示す従来の実装機では、部品の除電ができ部品持ち帰りや装着位置ずれを低減できるようにはなるものの、部品に塵埃等が付着している場合には、この塵埃等がクリームはんだの塗布された基板上に飛散し、基板不良を発生させてしまう場合がある。
【０００６】
この発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、部品の除電を行いつつ、部品に付着した塵埃も飛散させることなく確実に除去できる実装機およびその部品清掃方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は下記の手段を提供する。
【０００８】
［１］  部品供給部に供給される部品をピックアップして基板に実装するノズルと、部品を清掃する清掃ユニットと、を備えた実装機であって、
前記清掃ユニットは、
前記ノズルによりピックアップされた部品に、イオンを含むエアーを吹き付けるエアーブロー手段と、
部品周辺のエアーを吸引するエアー吸引手段と、を備えたことを特徴とする実装機。
【０００９】
［２］  前記ノズルによりピックアップされた部品の状態を撮像する部品撮影カメラを備え、
前記部品供給部と前記部品撮影カメラの間に、前記清掃ユニットが配置される前項１に記載の実装機。
【００１０】
［３］  前記部品供給部には、複数の部品が配列されたトレイを有するトレイフィーダが設けられる前項１または２に記載の実装機。
【００１１】
［４］  前記清掃ユニットは、実装機本体に対して着脱自在に取り付けられる前項１〜３のいずれか１項に記載の実装機。
【００１２】
［５］  部品供給部に供給される部品をノズルによりピックアップして基板に実装する実装機の部品清掃方法であって、
前記ノズルによりピックアップされた部品に、イオンを含むエアーを吹き付けつつ、部品周辺のエアーを吸引することを特徴とする実装機の部品清掃方法。
【００１３】
［６］  イオンを含むエアーを、部品と共に前記ノズルにも同時に吹き付ける前項５に記載の実装機の部品清掃方法。
【発明の効果】
【００１４】
上記発明［１］にかかる実装機によると、部品の除電を行えるとともに、部品に付着した塵埃も確実に回収除去することができる。
【００１５】
上記発明［２］にかかる実装機によると、部品供給部から清掃ユニットを通ってカメラ位置まで移動するヘッドの移動距離を短くすることができる。
【００１６】
上記発明［３］にかかる実装機によると、トレイフィーダから供給される部品に対して、確実に塵埃を回収除去することができる。
【００１７】
上記発明［４］にかかる実装機によると、清掃ユニットが不要の場合には取り外すことができる。
【００１８】
上記発明［５］によると、上記と同様の作用効果を有する実装機の部品清掃方法を提供することができる。
【００１９】
上記発明［６］の実装機の部品清掃方法によると、部品と同時に、ノズルに対しても静電気の除去および塵埃の回収除去を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明の実装機の一例を示す平面図である。同図に示すように、実装機１は、基台１１上に配置されて基板Ｗを搬送するコンベア１２と、このコンベア１２の両側に設けられた部品供給部１３と、基台１１の上方に設けられた電子部品実装用のヘッドユニット１４とを備えている。
【００２１】
部品供給部１３は、コンベア１２に対してフロント側とリア側のそれぞれ上流部と下流部に設けられている。この実施形態では、フロント側上流部には、部品供給装置としてのテープフィーダ１５が複数並べた状態でフィーダプレート１１１を介して取り付けられ、フロント側下流部にはパレット等の部品供給容器を積層して取付可能なトレイタイプの部品供給装置（トレイフィーダ１６）が配置されている。さらにリア側上流部および下流部にはテープフィーダ１５が複数並べた状態でフィーダプレート１１１を介して取り付けられている。これらの部品供給部１３から供給される部品は、ヘッドユニット１４によってピックアップできるようになっている。
【００２２】
テープフィーダ１５は、ＩＣやトランジスタ等の小片状の部品を所定間隔毎に格納したテープが装着され、テープが間欠的に繰り出されていくことで、テープに格納された部品が順次供給されるようになっている。
【００２３】
トレイフィーダ１６は、パレット１６２が多数段積層された状態に収納されたマガジン１６３を備え、各パレット１６２に、電子部品が収納（格納）した部品トレイが載置されている。そして各パレット１６２がマガジン１６３から引き出されて、部品供給部１３に配置されたとき、パレット１６２上におけるトレイ内の部品が、ヘッドユニット１４の各ヘッド４１により適宜ピックアップされるようになっている。
【００２４】
なお本実施形態においては、比較的小サイズのトレイ（ワッフルトレイ）が、パレット（トレイストック部）１６２にアダプタプレート（図示省略）を介してセットされるワッフルトレイタイプのトレイフィーダが採用されている。
【００２５】
またフロント側およびリア側において、上流側と下流側に分かれた部品供給部１３の間には、部品撮影カメラ１７，１７が設けられている。部品撮影カメラ１７，１７は、ヘッドユニット１４によって吸着された部品の状態を撮像して、部品の位置ずれなどを検出する。
【００２６】
さらにフロント側におけるトレイフィーダ１６と部品撮影カメラ１７との間には、後に詳述する清掃ユニット２が設けられている。
【００２７】
ヘッドユニット１４は、部品供給部１３から部品をピックアップして基板Ｗ上に装着し得るように、部品供給部１３と基板Ｗ上の実装位置とにわたる領域を移動可能となっている。具体的には、ヘッドユニット１４は、Ｘ軸方向（コンベア１２の基板搬送方向）に延びるヘッドユニット支持部材１４２にＸ軸方向に移動可能に支持されている。ヘッドユニット支持部材１４２はその両端部においてＹ軸方向（水平面内でＸ軸方向と直交する方向）に延びるガイドレール１４３，１４３にＹ軸方向に移動可能に支持されている。そしてヘッドユニット１４は、Ｘ軸モータ１４４によりボールねじ軸１４５を介してＸ軸方向の駆動が行われ、ヘッドユニット支持部材１４２は、Ｙ軸モータ１４６によりボールねじ軸１４７を介してＹ軸方向の移動が行われるようになっている。
【００２８】
また、ヘッドユニット１４には、複数のヘッド４１がＸ軸方向に並んで搭載されている。各ヘッド４１は、Ｚ軸モータを駆動源とする昇降機構により上下方向（Ｚ軸方向）に駆動されるとともに、Ｒ軸モータを駆動源とする回転駆動機構によりＺ軸回りの回転方向（Ｒ軸方向）に駆動されるようになっている。
【００２９】
各ヘッド４１には、電子部品を吸着して基板に搭載するための吸着ノズル４２（図２，３参照）がそれぞれ装着されている。各吸着ノズル４２は、部品供給時に図外の負圧手段から負圧が供給されて、その負圧による吸引力で電子部品Ｃを吸着できるようになっている。
【００３０】
また図１に示すようにヘッドユニット１４には、例えば照明を備えたＣＣＤカメラ等からなる基板撮影カメラ１８が設けられている。この基板撮影カメラ１８は、この実装機１に搬入された基板Ｗに設けられた位置基準マークや基板ＩＤマークを撮影できるようになっている。
【００３１】
図２〜４に示すように清掃ユニット２は、ケーシング２１と、部品Ｃにイオンを含むエアー（イオンエアー、イオン化気体）を吹き付けるエアーブロー手段２２と、部品周辺のエアーおよび塵埃を吸引するエアー吸引手段２３と、を備えている。
【００３２】
ケーシング２１は、垂直部と水平部とが設けられた側面視略Ｌ字状に形成されている。このケーシング２１の垂直部における上端には、上方が開放された部品清掃部２１３が設けられており、この部品清掃部２１３に部品Ｃを上方から挿入配置できるようになっている。
【００３３】
エアーブロー手段２２は、ケーシング２１の外部に設けられたエアーブロータイプのイオナイザー（静電気除去器）２２１と、吐出口を上向きにした状態でケーシング２１内における部品清掃部２１３の下方に配置される複数のエアーブローノズル２２２と、イオナイザー２２１および各エアーブローノズル２２２間を連通接続するエアーブローチューブ２２３とを備えている。そしてイオナイザー２２１から放出されたイオンエアーが、エアーブローチューブ２２３を介して各エアーブローノズル２２２から上向きにそれぞれ吐出されるようになっている。
【００３４】
なお複数のエアーブローノズル２２２は、ヘッドユニット１４に設けられる複数の吸着ノズル４２の並列方向（Ｘ軸方向）に対応して、Ｘ軸方向に並んで設けられている。従ってヘッドユニット１４の複数の吸着ノズル４２に吸着された全ての部品Ｃに対して同時に、ブローノズル２２２からイオンエアーを吹き付けることができるようになっている。
【００３５】
エアー吸引手段２３は、ケーシング２１における水平部の端部に連結されるエアー吸引チューブ２３１と、エアー吸引チューブ２３１の途中に介装された集塵器２３２と、エアー吸引チューブ２３１内に負圧を供給する吸引ポンプ（図示省略）と、を備えている。そして吸引ポンプの駆動によってエアー吸引チューブ２３１内に負圧が供給されると、ケーシング２１内における部品清掃部２１３周辺からケーシング２１内全域のエアーがエアー吸引チューブ２３１に吸引されて、集塵器２３２を通って排出されるようになっている。
【００３６】
以上の構成の清掃ユニット２は図４に示すように、着脱機構２４によって、実装機１の基台１１に設けられたフィーダ取付用のフィーダプレート１１１に着脱自在に取り付けられている。すなわちケーシング２１の下面には、支持プレート２４１を介してクランププレート２４２が設けられている。クランププレート２４２には、可動クランプ爪２４３およびクランプレバー２４４が揺動自在に取り付けられている。可動クランプ爪２４３は、付勢手段によって閉じる方向に付勢されており、クランプレバー２４４を操作することによって、可動クランプ爪２４３は、付勢手段の付勢力に抗して開き方向に可動するようになっている。そしてレバー操作によってクランプ爪２４３を開いた状態で、クランププレート２４２を実装機側のフィーダプレート１１１に設置して、レバー操作を解除すると、クランプ爪２４３が閉じて、クランププレート２４２およびクランプ爪２４３によってフィーダプレート１１１が挟持されて、清掃ユニット２がフィーダプレート１１１に固定される。またこの固定状態において、レバー操作によってクランプ爪２４３を開くと、フィーダプレート１１１に対する固定が解除されて、清掃ユニット２全体を実装機１の部品供給部１３（実装機本体）から取り外すことができるようになっている。
【００３７】
なお本実施形態では図１に示すように、清掃ユニット２はそのケーシング２１の部品清掃部２１３が部品供給部１３と部品撮影カメラ１７との間に配置されるように部品供給部１３に固定されている。
【００３８】
図５は実装機１の制御系を示すブロック図である。同図に示すように、この実装機１は、パーソナルコンピュータなどからなる制御装置６を備え、この制御装置６によって、実装機１の各種動作が制御されて、後に詳述する動作が自動的に実行されるものである。
【００３９】
制御装置６は、演算処理部６０、実装プログラム記憶手段６３、搬送系データ記憶手段６４、モータ制御部６５、外部入出力部６６および画像処理部６７を備えている。
【００４０】
演算処理部６０は、実装機１の各種動作を統括的に管理する。
【００４１】
実装プログラム記憶手段６３は、基板Ｗに各電子部品を実装するための生産プログラム（実装プログラム）を記憶する。この生産プログラムには、基板Ｗの回路パターンに基づく各電子部品の実装位置（座標）や向きを示すマークや、各電子部品を認識するための形状データ、各電子部品が供給されるフィーダ等の位置（座標）が含まれている。また実装プログラム記憶手段６３には、後述する部品清掃処理を実行するためのプログラム例えば、エアーブロー手段およびエアー吸引手段の動作実行用プログラム等も含まれる。
【００４２】
搬送系データ記憶手段６４は、生産ライン上での基板Ｗの搬送に関する各種データが記憶されている。
【００４３】
またモータ制御部６５は、ヘッドユニット１４、ヘッド４１および吸着ノズル４２のＸＹＺＲ各軸の駆動モータ等の動作を制御する。さらにモータ制御部６５は、トレイフィーダ１６におけるトレイ（パレット）の引出動作（交換動作）を制御する。
【００４４】
外部入出力部６６は、実装機１が備える各種センサ類、ストッパ等の駆動部に対して各種情報の入出力を行う。さらに外部入出力部６６は、清掃ユニット２におけるイオナイザーや吸引ポンプの駆動部に対して各種情報の入出力を行う。
【００４５】
画像処理部６７は、部品撮影カメラ１７および基板撮影カメラ１８によって撮像された画像データを処理する。
【００４６】
また制御装置６には、各種情報を表示するためのＣＲＴディスプレイ、液晶ディスプレイ等の表示ユニット６２が接続されている。さらに制御装置６には、各種の情報を入力するためのキーボードやマウス等の入力ユニット（図示省略）が接続されている。
【００４７】
以上の構成の実装機１は、制御装置６に入力された動作開始指令に応答して制御装置６が作動し、制御装置６が各駆動部の駆動を制御して、以下の動作が自動的に行われる。
【００４８】
まず図６に示すように、実装機１に未実装の基板Ｐが搬入されて、コンベア１２によって所定の実装位置まで搬送されて固定される（ステップＳ１）。
【００４９】
その後、基板Ｗに電子部品が実装される。すなわちヘッドユニット１４が、部品供給部１３の位置例えば、トレイフィーダ１６のパレット引出位置まで移動して、所定の電子部品が、所定の吸着ノズル４２によって吸着される（ステップＳ２）。
【００５０】
次にヘッドユニット１４が、清掃ユニット２の部品清掃部２１３に対応する位置まで移動し（ステップＳ３）、続けてヘッド４１が降下する（ステップＳ４）。これにより図２，３に示すように、各ヘッド４１の吸着ノズル４２にそれぞれ吸着された部品Ｃが、清掃ユニット２の部品清掃部２１３におけるエアーブローノズル２２２の上方近傍に配置される。
【００５１】
その後、部品清掃処理が行われる（ステップＳ５）。すなわち清掃ユニット２におけるエアーブロー手段２２のイオナイザー２２１および吸引手段２３の吸引ポンプが一定時間駆動される。これにより、イオナイザー２２１から放出されたイオンエアーが、エアーブローチューブ２２３を介してエアーブローノズル２２２から上向きに吐出され、そのイオンエアーが部品Ｃに吹き付けられて、部品Ｃに帯電した静電気が除去される。さらにイオンエアーの吹付によって部品Ｃに付着した塵埃Ｄが部品Ｃから分離される。このとき部品Ｃは除電されているため、静電気の作用によって強く付着する塵埃Ｄも確実に部品Ｃから分離することができる。
【００５２】
なお本実施形態では、イオンエアーは吸着ノズル４２にも吹き付けられるため、吸着ノズル４２に対しての除電や、塵埃Ｄの分離も同時に行われる。
【００５３】
イオンエアーを吹き付ける一方で、エアー吸引手段２３において、エアー吸引チューブ２３１を介してケーシング２１内が吸引されて、部品Ｃの周辺からケーシング２１内全域のエアーが塵埃Ｄと共にエアー吸引チューブ２３１に吸引される。さらにそのエアーから塵埃Ｄのみが集塵器２３２によって分離除去されて、エアーが集塵器２３２から放出される。こうして塵埃Ｄが部品Ｃおよび吸着ノズル４２から除去されて集塵器２３２に回収される。
【００５４】
部品Ｃの清掃が完了すると、ヘッド４１が上昇して（ステップＳ６）、吸着ノズル４２に吸着された部品Ｃが所定の高さ位置に配置される。
【００５５】
その後、ヘッドユニット１４が部品撮影カメラ１７の上空を通過し、その間に部品撮影カメラ１７によって、ヘッドユニット１４に吸着された各部品Ｃの状態が撮像されて認識され（ステップＳ７）、部品の位置ずれ具合等が検出される。
【００５６】
次にヘッドユニット１４が基板Ｗの位置まで移動して、吸着した部品を基板Ｗ上の所定位置に搭載する（ステップＳ８）。
【００５７】
その後、基板Ｗ上に全ての部品が実装されるまで（ステップＳ９でＮＯ）、上記の部品吸着処理（ステップＳ２）、部品清掃処理（ステップＳ３〜Ｓ６）、部品認識処理（ステップＳ７）および部品搭載処理（ステップＳ８）が繰り返される。
【００５８】
そして基板Ｗ上に全ての部品が実装されると（ステップＳ９でＹＥＳ）、基板Ｗが搬出されて、一つの基板Ｗに対する実装処理が完了する。
【００５９】
以上のように、本実施形態の実装機１によれば、部品供給部１３で吸着ノズル４２により吸着した部品を基板Ｗに搭載する前に、清掃ユニット２においてイオンエアーを吹き付けているため、部品に帯電した静電気を除去することができる。このため部品を基板Ｗに実装する際に、部品が基板Ｗに対し位置ずれするのを確実に防止することができる。
【００６０】
すなわち部品供給部１３において部品を吸着ノズル４２で吸着する際に、ノズル４２と部品とが相互に擦れ合って部品やノズル４２に静電気が帯電することがあるが、この帯電状態のまま、吸着ノズル４２を基板Ｗまで移動させて、吸着ノズル４２による吸引を解除して部品を基板Ｗ上に搭載しようとすると、静電吸着作用によって部品がノズル４２からスムーズに離脱せず、部品を所望の位置に搭載できず、位置ずれが生じるおそれがある。
【００６１】
これに対し、本実施形態においては、部品の静電気を確実に除去した後、吸着ノズル４２の吸着を解除して部品を基板Ｗに搭載しているため、その搭載時に、静電吸着による悪影響を防止できて、部品を所望の位置に精度良く搭載することができ、部品の位置ずれを確実に防止することができる。
【００６２】
さらに本実施形態においては、清掃ユニット２によって、吸着ノズル４２にもイオンエアーを吹き付けるようにしているため、吸着ノズル４２に帯電する静電気も確実に除去でき、この点においても、上記静電吸着による悪影響を防止できて、部品を位置精度良く基板Ｗに搭載することができる。
【００６３】
また本実施形態においては、エアーブローされる部品周辺のエアーをエアー吸引手段２３によって吸引しているため、エアーブローによって部品から分離された塵埃を、集塵器２３２に吸引回収することができる。従って塵埃が浮遊する等の不具合を確実に防止でき、周辺環境の清浄化を高度に保つことができる。このため例えば、浮遊塵埃が基板Ｗに付着したり、塵埃が付着したままの部品を基板Ｗに搭載して、生産基板Ｗの品質を低下させる等の不具合を確実に防止でき、生産基板Ｗの品質を向上させることができる。
【００６４】
さらに本実施形態においては、トレイフィーダ１６が配置される部品供給部１３と、部品撮影カメラ１７との間に、清掃ユニット２の部品清掃部２１３を配置しているため、部品供給部１３から清掃ユニット２を通ってカメラ位置まで移動するヘッドユニット１４の移動距離を短くでき、各間の移動時間を短縮できる。従って各部品の実装時間を短くできて、生産効率を向上させることができる。
【００６５】
なお本実施形態においては、トレイフィーダ１６と、部品撮影カメラ１７との間に清掃ユニット２を配置するようにしているが、それだけに限られず、テープフィーダ等の部品供給装置と、部品撮影カメラとの間に清掃ユニットを配置しても良い。この場合においても、テープフィーダ等の部品供給装置から、清掃ユニット２を通ってカメラ位置まで移動するヘッドユニット１４の移動距離を短くできるため、上記と同様に、同様の作用効果を得ることができる。
【００６６】
また本実施形態においては、部品供給部１３にトレイフィーダ１６を装備しているため、塵埃の除去等をより効果的に行うことができる。すなわちトレイフィーダ１６は、トレイ上に部品を配列するものであるため、テープフィーダ１５のように部品がカバーテープによって被覆されているものとは異なり、部品が外気に暴露される時間が長くなる。このためトレイフィーダ１６から供給される部品は、テープフィーダ１５から供給される部品に比べて、塵埃が付着している可能性が高くなり、トレイフィーダ１６が装備された実装機では、塵埃による悪影響が発生し易くなる。
【００６７】
このように塵埃による悪影響が大きいトレイフィーダ１６を装備した実装機１であっても、本実施形態では、上記の清掃処理によって塵埃を部品から確実に除去することができる。つまり本実施形態のようにトレイフィーダ付きの実装機１に、上記の清掃ユニット２を装備させることによって、より効果的に塵埃を除去でき、例えば生産基板の品質をより一層向上させることができる。
【００６８】
なお本発明の実装機においては、必ずしもトレイフィーダを装備させる必要はなく、テープフィーダだけを装備させるようにしても良い。
【００６９】
また本実施形態においては、清掃ユニット２を部品供給部１３（実装機本体）に対し着脱自在に取り付けているため、清掃ユニット２が不要の場合には、清掃ユニット２を取り外して、その取り外した位置に、トレイフィーダ等の他の機器を配置することができ、汎用性を向上させることができる。
【００７０】
図７，８はこの発明に適用可能な変形例の清掃ユニット３を示す図である。両図に示すように、この清掃ユニット３は、ケーシング３１と、エアーブロー手段３２と、エアー吸引手段３３と、を備えている。
【００７１】
ケーシング３１は、その上端部に部品清掃部３１３が設けられている。この部品清掃部３１３は、上方が開放されるとともに、Ｘ軸方向の両側がそれぞれ開放されて側方開口部３１４，３１４がそれぞれ設けられている。そして吸着ノズル４２に吸着された部品Ｃが、一方の側方開口部３１４を通って部品清掃部３１３内に進入できるとともに、部品清掃部３１３内の部品Ｃが、他方の側方開口部３１４を通って外部に退出できるようになっている。
【００７２】
エアーブロー手段３２は、ケーシング３１の外部に設けられたエアーブロータイプのイオナイザー３２１と、ケーシング３１の上端前壁部に設けられ、かつ吐出口を部品清掃部３１３に向けて後方（水平方向）に配置した複数のエアーブローノズル３２２と、イオナイザー３２１および各エアーブローノズル３２２間を連通接続するエアーブローチューブ３２３と、を備えている。そしてイオナイザー３２１から放出されたイオンエアーがエアーブローチューブ３２３を介して各エアーブローノズル３２２から前方にそれぞれ吐出されるようになっている。
【００７３】
なお複数のブローノズル３２２は、上記と同様、Ｘ軸方向に並んで配置されている。
【００７４】
エアー吸引手段３３は、ケーシング３１の下端部に連結されるエアー吸引チューブ３３１と、エアー吸引チューブ３３１の途中に介装された集塵器３３２と、エアー吸引チューブ３３１内に負圧を供給する吸引ポンプ（図示省略）と、を備えている。そして吸引ポンプの駆動によってエアー誘因チューブ３３１内に負圧が供給されると、ケーシング３１内における部品清掃部３１３周辺からケーシング３１内全域のエアーがエアー吸引チューブ３３１に吸引されて、集塵器３３２を通って排出されるようになっている。
【００７５】
この清掃ユニット３はその部品清掃部３１３が、上記実施形態と同様に、実装機における部品供給部１３と部品撮影カメラ１７との間に配置されている。
【００７６】
この清掃ユニット３が装備された実装機においては、ヘッドユニット１４が部品供給部１３において部品Ｃを吸着した後、ヘッドユニット１４が清掃ユニット３における部品清掃部３１３の側方（Ｘ軸方向の一方側）に移動する。
【００７７】
続いてヘッドユニット１４が部品清掃部３１３に向けてＸ軸方向に沿って移動して、吸着ノズル４２に吸着された部品Ｃが一方の側方開口部３１４を通って部品清掃部３１３に進入した後、部品清掃部３１３をＸ軸方向に沿って通過して、他方の側方開口部３１４を通ってケーシング外部に退出する。そして部品Ｃが部品清掃部３１３内をＸ軸方向に移動している間に、部品清掃処理が行われる。すなわち部品Ｃの移動中に、清掃ユニット３におけるエアーブロー手段３２およびエアー吸引手段３３が一定時間駆動される。これにより、イオンエアーがエアーブローノズル３２２から吐出されて各部品Ｃおよび各吸着ノズル４２に吹き付けられて、部品Ｃおよび吸着ノズル４２に帯電した静電気が除去されるとともに、部品Ｃおよび吸着ノズル４２に付着した塵埃Ｄが分離される。その一方、部品Ｃの周辺からエアーと共に塵埃Ｄがエアー吸引チューブ３３１に吸引されて、塵埃Ｄが集塵器３３２によって分離除去される。
【００７８】
こうして部品Ｃが清掃された後、上記実施形態と同様に、ヘッドユニット１４が基板位置まで移動して、部品Ｃが基板に搭載される。
【００７９】
この変形例の実装機においても、上記と同様に、同様の作用効果を得ることができる。その上さらに、この変形例においては、部品Ｃが部品清掃部３１３を通過していく間に、部品Ｃおよび吸着ノズル４２にイオンエアーを吹き付けて清掃しているため、ヘッドユニット１４を停止させずに移動させながら清掃処理を行うことができる。従って清掃処理時におけるヘッドユニット１４の移動を滑らかに安定させて行うことができ、生産効率をより一層向上させることができる。
【００８０】
もっとも、この変形例のように水平方向にイオンエアーを吐出するタイプの清掃ユニット３においても、上記実施形態と同様に、部品清掃部３１３にその上方から部品（ヘッド）を挿入して停止した状態で清掃を行うようにしても良い。
【００８１】
なお上記実施形態においては、清掃ユニットを１つ設ける場合を例に挙げて説明したが、それだけに限られず、本発明においては、清掃ユニットを複数設けるようにしても良い。この場合、エアーブロー手段や、エアー吸引手段は共通にして、ケーシングの部品清掃部を複数設けるようにしても良い。
【００８２】
また言うまでもなく、本発明においてヘッドユニットに設けられるヘッドおよびノズルの数は限定されることはなく、１つであっても複数であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】この発明の一実施形態にかかる実装機を示す平面図である。
【図２】実施形態の実装機に装備された清掃ユニットを示す概略側面断面図である。
【図３】実施形態の実装機に装備された清掃ユニットを示す概略正面断面図である。
【図４】実施形態の実装機に装備された清掃ユニットを示す側面図である。
【図５】実施形態の実装機の制御系を示すブロック図である。
【図６】実施形態の実装機における動作を説明するためのフローチャートである。
【図７】この発明の実装機に適用可能な変形例の清掃ユニットを示す概略側面断面図である。
【図８】変形例の清掃ユニットを示す概略正面断面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  実装機
２，３  清掃ユニット
１３  部品供給部
１６  トレイフィーダ
１７  部品撮影カメラ
２２，３２  エアーブロー手段
２３，３３  エアー吸引手段
４２  吸着ノズル
Ｃ  部品
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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