(57)【要約】【課題】加工治具面にエアー排出孔を設けて、ワークと加工治具面との隙間を高精度に検出することのできる加工治具を得ることを目的とする。【解決手段】ワークを加工治具面に密着させて固定しワークに加工を施す加工治具の加工治具面には、エアーを吹き出すエアーノズルと、エアーノズルの近傍に設けられ加工治具面からエアーを外部に排出するエアー排出孔とを備え、エアーノズルにつながる圧力計によりワークと加工治具面との間の隙間を検出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを加工治具面に密着させて固定し上記ワークに加工を施す加工治具であって、上記加工治具面に設けられエアーを吹き出すエアーノズルと、上記エアーノズルの近傍に設けられ上記加工治具面からエアーを外部に排出するエアー排出孔とを備え、上記エアーノズルにつながる圧力計により上記ワークと上記加工治具面との間の隙間を検出することを特徴とする加工治具。
【請求項２】
上記加工治具面には、上記エアーノズルと該エアーノズルの近傍に配置される上記エアー排出孔とが複数組設けられ、各組の設置箇所ごとに上記ワークと上記加工治具面との間の隙間を検出することを特徴とする請求項１に記載の加工治具。
【請求項３】
上記加工治具面には、上記エアーノズル一個に対して上記エアー排出孔が複数個配置され、上記各エアー排出孔には該エアー排出孔につながる開閉弁を備えることにより、所望のエアー排出孔を選択的に使用できることを特徴とする請求項１または２に記載の加工治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、マシニングセンターなどでの精密加工において、加工するワークを保持する加工治具に係り、特にワークの保持状態の検知に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のクランプ装置は、ワークを下側から支持する台部を設けると共にこの台部上面に測定ノズルを設け、この測定ノズルから選択的に空気を吹き出しまたは吸い込むことにより前記台部上面とワーク下面との間隔を測定する空気マイクロメータを設けている（例えば、特許文献１参照）。
また、従来のポジション装置は、加工品のクランプ状態を検出する第１の空気圧センサと、加工品がポジション装置に搬入された状態で加工品の有無を検出する第２の空気圧センサを設け、圧縮空気の吹き出し口は加工品を載置するポジション装置の載置面に開口している（例えば、特許文献２）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３０９６３３号公報（段落番号[０００９]、図６等）
【特許文献２】特開平７−２３７０８９号公報（段落番号[０００７]、[００１０]、図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の加工治具では、ワークと加工治具面との隙間の有無の測定において、エアー排出又は吸引用のノズルを加工治具面に設置することにより測定している。しかしながら、隙間が狭くエアーの流れが少なくなった状態では、圧力が上昇し、密着していると誤判定されやすくなる。特に、ワークの周辺をワーク上面から押さえて加工治具面に取り付けている場合には、周辺部は密着しているにもかかわらずワークの中央部に隙間が生じるという状態になりやすい。このような状態では、エアーの流れが生じず中央部に隙間があっても密着していると誤判定される。そしてこのような状態でワークの加工が行われると加工の精度不良が発生する。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、加工治具面に容易に加工できるエアー排出孔を設けて、ワークと加工治具面の隙間が狭い場合や、ワークの周辺部が密着し中央部に隙間が生じる場合においても、ワークと加工治具面との隙間を高精度に検出することのできる加工治具を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の加工治具は、ワークを加工治具面に密着させて固定しワークに加工を施す加工治具である。そして、加工治具面に設けられエアーを吹き出すエアーノズルと、エアーノズルの近傍に設けられ加工治具面からエアーを外部に排出するエアー排出孔とを備え、エアーノズルにつながる圧力計によりワークと加工治具面との間の隙間を検出するものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、エアーノズルの近傍に設けられ加工治具面からエアーを外部に排出するエアー排出孔を設けたため、ワークと加工治具面の隙間が狭い場合や、ワーク中央部に狭い隙間が生じた場合に、エアー排出孔からエアーが排出されエアーの流れが確保できるため、上記隙間を精度よく検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１による加工治具の平面図と、この加工治具に備えられた隙間測定系の模式図を示す。また、図２はこの加工治具に被加工物体であるワークを載置した場合の加工治具の短辺方向の断面を示す模式図、図３はこの加工治具に被加工物体であるワークを載置した場合の加工治具の長辺方向の断面を示す模式図である。
本実施の形態１では、ワークの周辺部をクランプにより押さえて、ワークの内側をくりぬく、いわゆるポケット加工を実施するための加工治具を例として採用している。
また、本実施の形態１では説明がし易いようにワークの寸法形状や加工方法を具体的に示しているが、もちろん、本実施の形態１のような寸法形状のワークの加工に限られるものではなく、また加工方法もポケット加工に限られるものではない。
【０００９】
図１〜図３に示すように、加工治具１はワーク２が載置される加工治具面３と、加工治具面３に載置されたワーク２の長辺両端側を囲むように突設される枠部４とを有する。枠部４にはワーク２を加工治具面３に固定するためのワーク押さえクランプ５が設置され、このワーク押さえクランプ５は各枠部４に二箇所ずつ配置されている。ワーク押さえクランプ５はクランプ固定ネジ５ａを有し、この固定ネジ５ａを締めることによりワーク２を加工治具面３に押さえつける。
本実施の形態１で加工されるワーク２の寸法は、例えば長さ１００ｍｍ、幅５０ｍｍ、厚み８ｍｍの直方体としている。加工治具１もこのような寸法のワーク２に対応するように作製されている。また、ポケット加工後、すなわちワーク２の内側をくり抜かれた後の底面の板厚は１ｍｍ程度とし、非常に薄く変形しやすいため高い加工精度が必要である。
【００１０】
加工治具面３には、エアーを吹き出すエアーノズル６と、エアーノズル６の近傍に設けられ加工治具面３からエアーを加工治具１の外部に排出する穴状のエアー排出孔７が設置されている。本実施の形態１ではエアーノズル６およびエアー排出孔７ともに直径２ｍｍとしている。
【００１１】
エアーノズル６は高圧エアーが供給される高圧エアー配管８につなっがっている。高圧エアーとしては、例えば工場内の乾燥空気などが供給される。高圧エアー配管８は、図１中矢印方向から高圧エアー配管８へ流入する高圧エアーの元圧の測定を行うための第一の圧力計９ａと、エアーノズル６から吹き出されるエアーの量を測定する隙間に合わせて調整するための流量制御弁１０と、エアーノズル６から吹き出されたエアーがワーク２と加工治具面３との隙間を通ることにより生じる圧力を測定する第二の圧力計９ｂとを介してエアーを導入している。第二の圧力計９ｂに表示される圧力は、第二の圧力計９ｂより下流側の高圧エアー配管８による圧損を含むため、高圧エアー配管８はできるだけ圧損が少なくなるような設計とすることが望ましい。例えば本実施の形態１では、エアーノズル６の径に対して十分に太い径を使用することとし、直径８ｍｍの高圧エアー配管８を採用した。
【００１２】
加工治具面３の下部には、高圧エアー配管８等を収納する治具配管室１１が備えられ、エアーノズル６に接続される高圧エアー配管８がこの治具配管室１１を経由して治具配管室１１から加工治具１の外部に通じ、上述の通り圧力計９ａ、９ｂおよび流量制御弁１０とつながっている。
【００１３】
次に、エアーノズル６およびエアー排出孔７の配置位置について説明する。
エアーノズル６とエアー排出孔７の配置はワーク２を押さえるワーク押さえクランプ５の間隔を考慮し、最も効率よく隙間が検出できる箇所に設定することが望ましい。本実施の形態１では、ワーク押さえクランプ５が設置された４箇所の内側のエリア（図１中一点鎖線で示す）の中心となる位置にエアーノズル６を配置し、エアーノズル６を中心として加工治具面３の長手方向及び短手方向に各２箇所ずつ、計４箇所エアー排出孔７を配置した。その配置の間隔は、長手方向側については、エアー排出孔７とエアーノズル６との距離が、上記ワーク押さえクランプ５の内側エリアにおける長手方向の幅の約１／３となるように設定している。また、短手方向についても、エアー排出孔７とエアーノズル６との距離が、上記ワーク押さえクランプ５の内側エリアにおける短手方向の幅の約１／３となるように設定している。
【００１４】
各エアー排出孔７は加工治具面３を貫通し、治具配管室１１に設置されたエアー排出配管１２に接続されている。そして、エアー排出配管１２は治具配管室１１を経由して加工治具１の外部へエアーを排出する。本実施の形態１では図１の模式図に示すように、長手方向に配置されたエアー排出孔７につながるエアー排出配管１２を一まとめに配管（１２ａ）し、短手方向に配置されたエアー排出孔７につながるエアー排出配管１２を一まとめに配管（１２ｂ）している。エアー排出配管１２ａ、１２ｂにはそれぞれ開閉弁１３ａ、１３ｂが設置され、開閉弁１３ａ、１３ｂを開け閉めすることにより、長手側又は短手側のどちらの方向に配置されたエアー排出孔７を使用するかを選択することができる。もちろん、場合に応じて両方向のエアー排出孔７を使用してもよい。
【００１５】
エアー排出孔７は加工治具面３に配置されているため、加工中に生じた異物や研削液などがエアー排出孔７に入り込んでしまう可能性がある。従って、本実施の形態１では、エアー排出孔７の長さが５−７ｍｍ程度になるよう治具配管室１１までの長さを設計し、異物や研削液が溜まりにくい構造にしている。
エアー排出孔７につながるエアー排出配管１２はエアー排出孔７から入り込む異物等に対して大きな配管径とすることで、異物による圧損の影響を軽減する。従って、本実施の形態１では予想される異物等の大きさ（エアー排出孔７の直径が２ｍｍであるため異物は２ｍｍ以下）に対して直径８ｍｍのエアー排出配管１２を使用している。また、エアー排出配管１２に、入り込んだ切削液などを取り出すための水抜き穴（図示せず）などを設置すればメンテナンス性を向上させることができる。
【００１６】
なお、エアー排出孔７の清掃は、ブラシなどを使用することにより実施すればよい。また、例えば、ワークに比較的大きい隙間（例えば５０μｍ）を形成しその周囲にエアーの漏れを防ぐゴムパッキン等を取りつけた清掃専用の清掃用ワークを製作し、この清掃用ワークを加工治具１に固定して高圧エアーをエアーノズル６から供給することにより、エアー排出孔７から勢いよくエアーが排出されるようにして清掃してもよい。
【００１７】
次に、この加工治具１にワーク２を固定した際にその取付状態を確認する手順を以下に示す。ワーク２は自動または作業者により加工治具面３に載置され、ワーク２を押さえるワーク押さえクランプ５により固定される。その後、エアー供給を開始し、高圧エアー配管８からエアーノズル６を経由して高圧エアーをワーク２と加工治具面３の隙間に送り込む。
【００１８】
図４は、例えばワーク２と加工治具面３との間に異物１４が挟まることにより、大きな隙間が生じた場合のワーク２の変形とエアーの流れを示す説明図である。
図４に示すように、隙間が大きい場合には、エアーノズル６から吹き出されたエアーは、主に変形したワーク２と加工治具面３との隙間から外部へ排出される（図中の矢印はエアーの流出経路の一例を示す）。該隙間は十分大きくエアーが通る際に抵抗がほとんど生じないため、第二の圧力計９ｂの圧力値は上がらず、ゼロに近い値を示す。すなわち、第一の圧力計９ａと第二の圧力計９ｂを比較するとその差圧は第一の圧力計９ａの元圧の値とほぼ同値となる。
このように、第一の圧力計９ａと第二の圧力計９ｂとの差圧が、第一の圧力計９ａの圧力値とほぼ同値となった場合は、ワーク２と加工治具面３との隙間が大きく、異物１４のかき込みや、ワーク２が傾いて取り付けられたなどが原因による異常状態と判断する。この場合、ワーク２を取り除き、加工治具面３およびワーク２の清掃を行ってから、再度ワーク２を設置する。
【００１９】
図５は、例えばワーク２がワーク押さえクランプ５に押さえられる際に変形することにより、ワークと加工治具面との間に小さな隙間が生じた場合のワーク２の変形とエアーの流れを示す説明図である。
図５に示すように、ワーク押さえクランプ５に押さえられることによりワーク２が変形する場合、ワーク押さえクランプ５に押さえられた部分は加工治具面３に密着し、ワーク押さえクランプ５の内側のエリアに小さい隙間が生じることが多い。このような状態では、ワーク２周辺部が加工治具面３に密着しているため、エアーノズル６から吹き出されるエアーをワーク２の周辺から外部に排出することが困難になる。エアーノズル６から吹き出されたエアーが変形したワーク２と加工治具面３との隙間を通る際には、隙間が小さいことにより抵抗が生じるため第二の圧力計９ｂの値が上昇する。そして、隙間に拡がったエアーは、図５中の矢印に示すように主にエアー排出孔７から排出される。ここで、図５では分かり易いように隙間を誇張して表現しているが、実際には隙間はエアー排出孔７に比べて十分小さいため、エアー排出孔７を通過するエアーにかかる抵抗は隙間を通る際の抵抗に比して十分小さいものである。
エアーノズル６から吹き出されるエアーが隙間を通り拡がる際に、隙間が小さいほど抵抗が大きいためエアーは流れにくく大きな圧力が必要となる。従って第二の圧力計９ｂの値は隙間が小さくなるほど高くなる。すなわち第一の圧力計９ａと第二の圧力計９ｂの差圧は隙間が小さくなるほどゼロに近づく。この差圧が設定した規定値以下になれば、ワーク２と加工治具面３との隙間が十分小さくなったと判断し加工が開始される。差圧による隙間の有無の判断は作業者が行っても良いし、装置により自動的に判定しても良い。
差圧が規定値以上である場合は、ワーク２を取り除き、加工治具面３およびワーク２の清掃やワーク２の変形を確認し、再度ワーク２の設置をする。差圧が規定値以下になるまで上記手順を繰り返すことにより、ワーク２の設置が確実に行えた時のみ加工が開始される。
【００２０】
なお、開閉弁１３ａ、１３ｂ（図１参照）は、開閉を変更することにより、ワーク押さえクランプ５の内側のエリアに小さな隙間が生じている場合に、該エリア内のどの辺りに隙間が生じているかを判定することができる。
例えば、長手方向に設けられたエアー排出孔７側の開閉弁１３ａを開にし、短手方向側の開閉弁１３ｂを閉にした状態では、長手方向に隙間が生じていると差圧がある程度生じるが、短手方向にのみ隙間が生じている場合にはエアーが排出されないため差圧はゼロに近い値になる。また逆に、短手方向側の開閉弁１３ｂを開にし長手方向側の開閉弁１３ａを閉にした状態では、短手方向に隙間が生じていると差圧がある程度生じるが、長手方向にのみ隙間が生じている場合には差圧はゼロに近い値になる。いずれの方向にも隙間が生じている場合には、開閉弁１３ａ、１３ｂの開閉が上記のいずれの状態でも差圧が生じる。
【００２１】
なお、ワーク２全体が加工治具面３に適切に固定され、ワーク２と加工治具面３が密着している場合は、エアーノズル６から吹き出されるエアーは外部に排出されることはなく、第二の圧力計９ｂの値は第一の圧力計９ａの値とほぼ同値になる。すなわち第一の圧力計９ａと第二の圧力計９ｂとの差圧はほぼゼロである。この場合ももちろん差圧が規定値以下であるため、加工が開始される。
【００２２】
上記のように差圧により隙間の有無や大きさ、位置を判断するにあたり、差圧の基準値を設定することが必要であるため、差圧の基準値の設定について説明する。
基準値の設定には、所定の厚みの測定隙間１５ａを形成した隙間マスターゲージ１５を、ワーク２の代わりに加工治具１に固定することにより行う。図６は隙間マスターゲージ１５の構造を示す平面図および断面図である。
図６に示すように隙間マスターゲージ１５はその中央部、すなわち加工治具面２に固定された際にクランプ３の内側となるエリアに、測定隙間１５ａを形成している。
測定隙間１５ａの寸法はワーク２の加工精度に応じ設定すれば良く、本実施の形態１では例えばワーク２に要求される平面度が５０μｍ以下である場合について検討する。ここでは要求される平面度が５０μｍ以下であるため、加工前のワーク２を加工治具面３に固定した状態で、加工治具面３とワーク２との隙間の目標値として３０μｍ以下を設定する。従って、隙間マスターゲージ１５は測定隙間１５ａの寸法が１０、２０、３０、５０μｍの４種類を準備する。
次に、今回隙間の目標値として３０μｍ以下と設定したため、３０μｍ前後で差圧が大きく変化するように、エアーの流量を流量制御弁１０を用いて調整する。今回は一番狭い１０μｍの隙間マスターゲージ１５で第一の圧力計９ａと第二の圧力計９ｂとの差圧が約１００ｋＰａとなるように流量を設定した場合に、１０μｍから５０μｍの隙間に対しての差圧の変化が大きくなった。その結果を図７に示す。横軸は、隙間マスターゲージ１５の測定隙間１５ａに対応し、縦軸は各測定隙間１５ａに対応する差圧（第一の圧力計９ａと第二の圧力計９ｂとの差）である。図７からもわかるように、１０μｍから５０μｍの測定隙間１５ａに対して、全体で約４００ｋＰａ以上の差圧の変化が生じており、隙間の違いを判定することができる。そして、今回隙間の目標値を３０μｍ以下と設定したため、図７より隙間３０μｍに対応する差圧値３５０ｋＰａを差圧の規定値と設定し、図５等で説明したように差圧が規定値以下すなわち３５０ｋＰａ以下となった場合にのみ加工を開始する。もちろん、流量制御弁１０の調整値や加工開始の基準となる規定値の設定はこれに限られず、ワーク２の加工精度に応じて適宜設定するものである。
上記のように設定した差圧の基準値をもとに、実際加工するワーク２と加工治具面３との差圧を測定することにより、隙間の有無及びその大きさを測定することができる。
【００２３】
以上のように、本実施の形態１によれば、エアーノズル６の近傍に設けられ加工治具面３からエアーを外部に排出するエアー排出孔７を設けたため、ワークと加工治具面の隙間が狭い場合や、ワーク中央部に狭い隙間が生じた場合に、エアー排出孔７からエアーが排出されエアーの流れが確保できるため、上記隙間を精度よく検出することができる。
【００２４】
また、エアー排出孔７は穴形状であり、加工治具面３に対する加工量が少なく、加工治具面３への設置が容易であるとともに、異物等がエアー排出孔７に詰まることを低減することができる。また、エアー排出孔７の長さを短く設計し、短い距離で外部にエアーを排出できるため、エアーがエアー排出孔７を通る際の圧損を抑えるとともに、異物や研削液等がエアー排出孔７内に溜まることを防ぐ。
【００２５】
また、エアーノズル６に対しエアー排出孔７を複数箇所に設け、エアー排出孔７につながるエアー排出配管１２に開閉弁９を設けたため、開閉弁９を開閉することにより使用するエアー排出孔７を選択することができる。従って、ワーク押さえクランプ５の内側エリアに小さな隙間が生じている場合に、その隙間の位置を検出することができる。
【００２６】
実施の形態２．
図８は、この発明の実施の形態２における加工治具の平面図と、この加工治具に備えられた隙間測定系の模式図を示す。上述した実施の形態１では図１に示すように加工治具面３に対してエアーノズル６を一箇所設置していたが、この実施の形態２では、図８に示すように比較的縦横のアスペクト比が大きいワーク２を加工する加工治具１の場合に、加工治具面３に、エアーノズル６とその近傍に配置されるエアー排出孔７とを一組としたものを複数組設置し、複数箇所で隙間測定を実施した例を説明する。なお、実施の形態１におけるものと同様の部分については同一符号を付して説明を省略する。
【００２７】
本実施の形態２で加工されるワーク２の寸法は、例えば長さ１５０ｍｍ、幅４０ｍｍ、厚み８ｍｍの直方体とし、実施の形態１で使用したワークより縦横のアスペクト比が大きいワーク２を使用する。加工治具１もこのような寸法のワーク２に対応するように作製されている。長辺側が１５０ｍｍと長いため、ワーク押さえクランプ５は各枠部４に三箇所ずつ、計６箇所配置されている。本実施の形態２では、各ワーク押さえクランプ５の内側エリアが略正方形になるようにワーク押さえクランプ５の間隔を設定した。なお、本実施の形態２でも説明がし易いようにワーク２の寸法を具体的に示しているが、もちろんワークの寸法や形状はこれに限られるものではない。
次に、エアーノズル６およびエアー排出孔７の配置位置について説明する。
エアーノズル６とエアー排出孔７の配置はワーク２を押さえるワーク押さえクランプ５の間隔を考慮し、効率よく隙間が検出できる箇所に設置すればよいが、本実施の形態２では下記の通りとした。すなわち、図８に示す６箇所のワーク押さえクランプ５のうち上側４箇所のワーク押さえクランプ５に囲まれた内側エリアのほぼ中央部に、第一のエアーノズル６ａと第一のエアー排出孔７ａを加工治具面３の短手方向に一定間隔をとって配置し、下側４箇所のワーク押さえクランプ５に囲まれた内側エリアのほぼ中央部に、第二のエアーノズル６ｂと第二のエアー排出孔７ｂを加工治具面３の短手方向に一定間隔をとって配置した。このエアーノズル６ａ、６ｂとエアー排出孔７ａ、７ｂとの配置間隔は各ワーク押さえクランプ５の内側エリアの短手方向の幅の約１／３となるように設定した。
【００２８】
本実施の形態２では一つのエアーノズル６に対して一つのエアー排出孔７を一組としているため、エアー排出孔７に開閉弁を設ける必要はない。エアー排出孔７は加工治具面３を貫通して治具配管室１１まで延び、そのまま大気圧に開放されている。
高圧エアーは、高圧エアー配管８を経由してエアーノズル６から供給され、高圧エアー配管８には第一のエアーノズル６ａ側の高圧エアー配管８ａまたは第二のエアーノズル６ｂ側の高圧エアー配管８ｂへエアーの供給を切り替えるための電磁弁１６が備えられている。各エアーノズル６ａ、６ｂに圧力が均等にかかるように、電磁弁１６からエアーノズル６ａ、６ｂまでの高圧エアー配管８ａ、８ｂの長さを同一の長さとなるよう設計した。電磁弁１６の切り替えは作業者によって手動で実施してもよく、また外部から切り替え信号を入力することにより自動的に実施してもよい。
なお、本実施の形態２では一つのエアーノズル６に対して一つのエアー排出孔７を一組としているが、上述の実施の形態１の例のように一つのエアーノズルに対して複数個のエアー排出孔を一組としてこれを複数箇所に設けてもよく、また必要に応じてその複数個のエアー排出孔に開閉弁を設ける構成としてもよい。
【００２９】
図９は、本実施の形態２における差圧の基準値を設定するための隙間マスターゲージ１５の構造を示す平面図及び断面図である。
図９に示すように、隙間マスターゲージ１５の下面には、第一のエアーノズル６ａと第一のエアー排出孔７ａおよび第二のエアーノズル６ｂと第二のエアー排出孔７ｂの配置に対応する位置に測定隙間１５ａ、１５ｂを形成している。測定隙間１５ａ、１５ｂの厚み寸法や、流量制御弁２の調整については実施の形態１と同様であり、数種類の隙間マスターゲージ１５により各厚みの測定隙間に対する差圧の基準値を設定する。この基準値をもとに、実際加工するワーク２と加工治具面３との差圧を測定し、その測定結果から隙間の有無及びその大きさを測定することができる。
【００３０】
以上のように、本実施の形態２によれば、上記実施の形態１の効果に加え、エアーノズル６とその近傍に配置されるエアー排出孔７を一組として加工治具面３上に複数組設けたことにより、各組の設置場所ごとに隙間の有無、ワーク２の変形等を検出することができる。従って、例えば縦横のアスペクト比が大きく複数箇所で隙間が発生する可能性があるようなワークを使用する場合においても、精度よく隙間を検出することができ、ワークの加工精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の実施の形態１における加工治具の平面図と、この加工治具に備えられた隙間測定系の模式図を示す。
【図２】この発明の実施の形態１における加工治具に被加工物体であるワークを載置した場合の短辺方向の断面を示す模式図を示す。
【図３】この発明の実施の形態１における加工治具に被加工物体であるワークを載置した場合の長辺方向の断面を示す模式図を示す。
【図４】この発明の実施の形態１において、ワークと加工治具面との間に異物が挟まることにより、大きな隙間が生じた場合のワークの変形とエアーの流れを示す説明図である。
【図５】この発明の実施の形態１において、ワークが変形することにより、ワークと加工治具面との間に小さな隙間が生じた場合のワークの変形とエアーの流れを示す説明図である。
【図６】この発明の実施の形態１における、隙間マスターゲージの構造を示す平面図および断面図である。
【図７】この発明の実施の形態１において、隙間マスターゲージを使用した隙間測定結果の一例であり、隙間と差圧の関係を示す。
【図８】この発明の実施の形態２における加工治具の平面図と、この加工治具に備えられた隙間測定系の模式図を示す。
【図９】この発明の実施の形態２における、隙間マスターゲージの構造を示す平面図および断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  加工治具、２  ワーク、３  加工治具面、６，６ａ，６ｂ  エアーノズル、
７，７ａ，７ｂ  エアー排出孔、９ａ  第一の圧力計、９ｂ  第二の圧力計、
１３，１３ａ，１３ｂ  開閉弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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