(57)【要約】  【課題】洗浄工数を増加させることなく、弾性シートのポア内に付着している異物を確実に洗浄除去する。【解決手段】研磨ヘッド６の下面部に設けたリテーナリング５及び弾性シート４を洗浄する洗浄装置１は、洗浄時に弾性シート４はエアーブロー等で下方に湾曲させて保持し、ヘッド洗浄部６内の空気を排出しながら減圧させる排水ポンプ２２等の減圧機構を備える。弾性シート４は湾曲状態、即ち、保護シート部４Ｂのポア２７の開口部を拡大させた状態でヘッド洗浄部６内を減圧させて洗浄する。更に、研磨ヘッド３下面部をヘッド洗浄部６内の洗浄液に水没させて、超音波振動子１９の駆動によりポア２７内に固着残存しているパーティクル２９を超音波洗浄する。【選択図】図１
2008302479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リテーナリングの内側に弾性シートを湾曲可能に張設して成る研磨ヘッドの洗浄装置において、
該洗浄装置の上面部に開口して形成され、且つ、前記研磨ヘッドの下面部が洗浄可能に嵌合装着される縦断面凹状のヘッド洗浄部と、
前記ヘッド洗浄部内の空気を排出して減圧させる減圧機構とを備え、
前記ヘッド洗浄部は、該ヘッド洗浄部内に洗浄液を供給するための洗浄液供給口を有し、且つ、該ヘッド洗浄部の底部には超音波振動子が設けられ、
前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で減圧洗浄した後に超音波洗浄を行うように構成したことを特徴とする研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項２】
上記ヘッド洗浄部は底部に排水機構を備えることを特徴とする請求項１記載の研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項３】
上記ヘッド洗浄部は、上記研磨ヘッドの嵌合装着時に該研磨ヘッドとの間に生ずる隙間を封止するためのシール機構を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の研磨ヘッドの洗浄装置。
【請求項４】
請求項１，２又は３記載の研磨ヘッドの洗浄装置を用いた洗浄方法であって、
ヘッド洗浄部に研磨ヘッドの下面部を嵌合装着させる工程と、
前記ヘッド洗浄部内の空気を排出しながら減圧洗浄する工程と、
減圧洗浄後に該ヘッド洗浄部内に洗浄液を供給して超音波洗浄を行う工程とを含み、
前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で減圧洗浄した後に超音波洗浄を行うことを特徴とする研磨ヘッドの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は研磨ヘッドの洗浄装置及び洗浄方法に関するものであり、特に、弾性シート表面のポア内に付着した異物を除去洗浄するようにした研磨ヘッドの洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウェーハ表面を化学・機械的に研磨するＣＭＰ装置は、回転する研磨パッドにウェーハを押し付けるための研磨ヘッドを備えている。該研磨ヘッドとしては、該研磨ヘッドの下部外周部に設けられたリテーナリングと、ウェーハの上側に設けられたキャリアと、該キャリアとウェーハの間に設けられた湾曲可能な弾性シートを有したものが知られている。又、前記ウェーハは研磨時にエア圧により弾性シートによって下方に押圧されることにより、研磨パッド上面に均一な圧力で押し付けられる。
【０００３】
このように、ウェーハは、研磨ヘッド内に設けたリテーナリングで保持され、且つ、リテーナリング内側の弾性シートでウェーハを保持して研磨されるが、リテーナリングや弾性シートの表面に異物が付着していると、該異物によりウェーハ表面に損傷（スクラッチ）等の欠陥が発生する。又、前記異物により研磨時におけるウェーハの圧力分布が不均等になり、ウェーハの表面に研磨不良等の欠陥が生じる。
【０００４】
そこで、上記異物によりウェーハ表面に損傷等が生じないようにするために、研磨ヘッドの下面部をブラシ等で定期的に洗浄している（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２８９０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、弾性シートとして、メンブレンシート部の下面に保護シート部を貼り合わせたものを使用した場合は、保護シート部の表面には製造過程において多数のポア（空洞）が形成される。そのため、該ポア内に微細（４０〜８０μｍ程度）な塵埃等の異物が付着して残留し易い。即ち、図６に示すように、合成樹脂から成る保護シート部Ｓは、成形工程時に内部にポアＡが形成される。
【０００６】
そして、次工程において、保護シート部Ｓを削りラインＣＬに沿ってサンドペーパで削り取った後は、図７に示すように、ポアＡが削り面に露出して該ポアＡ内に異物Ｐが付着する。特に、保護シート部Ａをメンブレンシート部に貼り合わせた後にプレス加工を行った場合、ポアＡ内に異物Ｐが圧縮状態で付着して残存する。又、同一の弾性シートを用いて長時間研磨を行った場合にも、ポアＡ内に異物Ｐが圧縮状態で付着して埋没する。
【０００７】
従来のブラシによる洗浄方式では、保護シート部の表面に付着した異物は除去できるが、ポア内に圧縮状態で付着した異物は、ポアの開口部が狭いので、洗浄時にブラシで保護シート部の表面を擦ったり、或いは、ポア内に洗浄水を強く吹き付けても除去し難い。ポア内に異物が残留した弾性シートを使用してウェーハを研磨した場合は、前述したように、ウェーハ面内における圧力分布が不均等になるため、ウェーハ表面（裏面を含む）に損傷等の欠陥が発生し、ウェーハのデバイス性能を低下させる。
【０００８】
特に、近年は半導体の微細化に伴い、ウェーハ表面に発生する損傷等の欠陥が厳しくチェックされている。従って、洗浄工数を増加させることなく、弾性シート表面、特に保護シート部表面のポア内に付着した異物を確実に洗浄除去することが大きな課題になってい
る。
【０００９】
そこで、洗浄工数を増加させることなく、弾性シート表面のポア内に付着した異物を効果的に洗浄除去させるために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１記載の発明は、リテーナリングの内側に弾性シートを湾曲可能に張設して成る研磨ヘッドの洗浄装置において、該洗浄装置の上面部に開口して形成され、且つ、前記研磨ヘッドの下面部が洗浄可能に嵌合装着される縦断面凹状のヘッド洗浄部と、前記ヘッド洗浄部内の空気を排出して減圧させる減圧機構とを備え、前記ヘッド洗浄部は、該ヘッド洗浄部内に洗浄液を供給するための洗浄液供給口を有し、且つ、該ヘッド洗浄部の底部には超音波振動子が設けられ、前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で減圧洗浄した後に超音波洗浄を行うように構成して成る研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１１】
この構成によれば、研磨ヘッドを洗浄する際は、先ず、研磨ヘッドの下面部をヘッド洗浄部に洗浄可能に嵌合装着させて、研磨ヘッドとヘッド洗浄部の間に洗浄用の密閉空間を形成する。次に、研磨ヘッドの弾性シートにエア圧等により下方に湾曲させる。
【００１２】
このとき、該弾性シート下面側に形成されたポアの形状が変形して、該ポアの開口部が拡張する。その結果、ポア内に圧縮状態で付着していた異物の圧縮状態が解除されて、該異物はポアの開口部側に拡散移動する。
【００１３】
而して、前記弾性シートを湾曲させた状態で、減圧機構により前記ヘッド洗浄部の密閉空間内の空気を排出しながら減圧させると、前記異物に対する吸引除去作用が増大して、ポア内に残存していた異物が空気の流れと共に排出除去される。
【００１４】
上記減圧洗浄後、前記弾性シートをヘッド洗浄部側に下方湾曲させた状態で、洗浄液供給口よりヘッド洗浄部（洗浄槽）内に純水等の洗浄液が所定深さまで溜められる。これにより、研磨ヘッド下面部のリテーナリング及び弾性シートを水没させる。
【００１５】
この後、超音波振動子を駆動して水中に多数の小さな気泡を発生、消滅させてキャビテーション作用を惹起させる。このキャビテーション作用により、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面が洗浄され、特に、気泡の爆発に伴う衝撃力によってポア内の異物が確実に排除される。
【００１６】
請求項２記載の発明は、上記ヘッド洗浄部は底部に排水機構を備える請求項１記載の研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１７】
この構成によれば、上記超音波洗浄後に、ヘッド洗浄部内の洗浄液は排水機構より排出される。この時、ポアの内奥部に残留している異物は、洗浄液の流動作用、或いは、該洗浄液の排出に伴って生ずる吸引除去作用により、洗浄液や空気と一緒に外部に排出される。
【００１８】
請求項３記載の発明は、上記ヘッド洗浄部は、上記研磨ヘッドの嵌合装着時に該研磨ヘッドとの間に生ずる隙間を封止するためのシール機構を備えて成る請求項１又は２記載の研磨ヘッドの洗浄装置を提供する。
【００１９】
この構成によれば、ヘッド洗浄部と研磨ヘッドの間の隙間はシール機構により封止され
るので、ヘッド洗浄部内の密閉空間の気密性が高められる。従って、ヘッド洗浄時に、該密閉空間に対する減圧機構による吸引減圧作用が更に増大する。
【００２０】
請求項４記載の発明は、請求項１，２又は３記載の研磨ヘッドの洗浄装置を用いた洗浄方法であって、ヘッド洗浄部に研磨ヘッドの下面部を嵌合装着させる工程と、前記ヘッド洗浄部内の空気を排出しながら減圧洗浄する工程と、減圧洗浄後に該ヘッド洗浄部内に洗浄液を供給して超音波洗浄を行う工程とを含み、前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で減圧洗浄した後に超音波洗浄を行う研磨ヘッドの洗浄方法を提供する。
【００２１】
この方法によれば、先ず、研磨ヘッドの下面部をヘッド洗浄部に洗浄可能に嵌合装着させて、研磨ヘッドとヘッド洗浄部との間に洗浄用の密閉空間を形成する。次に、研磨ヘッドの弾性シートにエア圧等により下方に湾曲させる。
【００２２】
このとき、弾性シート下面側に形成されたポアの形状が変形して、該ポアの開口部が拡張する。その結果、ポア内に圧縮状態で付着していた異物の圧縮状態が解除されて、該異物はポアの開口部側に拡散移動する。
【００２３】
而して、前記弾性シートを湾曲させた状態で、減圧機構により前記ヘッド洗浄部の密閉空間部内の空気を排出しながら減圧させると、前記異物に対する吸引除去作用が増大して、ポア内に残存していた異物が空気の流れと共に排出除去される。
【００２４】
更に、上記減圧洗浄の後、前記弾性シートをヘッド洗浄部側に下方湾曲させた状態で、洗浄液供給口よりヘッド洗浄部内に洗浄液が所定深さまで溜められる。これにより、研磨ヘッド下面部のリテーナリング及び弾性シートを水没させる。この後、超音波振動子を駆動することにより、水中に多数の小さな気泡を発生、消滅させてキャビテーション作用を惹起させる。このキャビテーション作用により、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面が洗浄され、特に、気泡の爆発に伴う衝撃力によってポア内の異物が確実に排除される。
【発明の効果】
【００２５】
請求項１記載の発明は、弾性シート下面のポア内に圧縮状態で付着・残留していた異物の圧縮状態を解除緩和させ、且つ、ポアの開口部を拡大させて該異物を空気と共に排出できる。従って、洗浄工数を増加させなくとも、従来除去が困難であったポア内の異物を確実に除去することができ、該異物に基づくウェーハ表面のスクラッチ等の欠陥の発生を防止して、ウェーハのデバイス性能を従来に比べて向上させることができる。
【００２６】
更に、減圧洗浄後、超音波振動子によってリテーナリング及び弾性シートにキャビテーションを作用させるので、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面に対する洗浄効果が一層向上する。特に、ポアの内奥部に固着・残存した異物を効率良く排除させることができる。又、従来のブラシによる洗浄と異なり弾性シート等の表面を傷付けることもない。
【００２７】
請求項２記載の発明は、排水時に、ポアの内奥部に残留している異物は、洗浄液の排出に伴う流動作用又は吸引作用によって洗浄液等と共に外部に排除できるので、請求項１記載の発明の効果に加えて、従来ようにポア内に洗浄ノズルにより高圧の洗浄液を噴射しなくとも、ポア内の異物に対する吸引洗浄効果を更に高めることができる。
【００２８】
請求項３記載の発明は、ヘッド洗浄時に、シール機構によりヘッド洗浄部内の密閉空間を効果的に吸引減圧できるので、請求項１又は２記載の発明の効果に加えて、ポア内の残留異物に対する除去効果が一層向上するメリットを有する。
【００２９】
請求項４記載の発明は、弾性シートのポアの開口部を拡大させて、減圧状態で空気と共に異物を吸引して排出させるので、洗浄工数を増加させることなく、ポア内の異物を確実に除去することができ、該異物に基づくウェーハ表面のスクラッチ等の欠陥の発生を防止することができる。
【００３０】
更に、減圧洗浄後に、超音波振動子によってリテーナリング及び弾性シートにキャビテーションを作用させるので、リテーナリング及び弾性シートの表裏両面に対する洗浄効果が一層向上する。特に、弾性シート等の表面を傷付けることなく、ポアの内奥部に固着・残存した異物を効率良く排除させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明は洗浄工数を増加させることなく、弾性シートのポア内の異物を完全に除去するという目的を達成するため、リテーナリングの内側に弾性シートを湾曲可能に張設して成る研磨ヘッドの洗浄装置において、該洗浄装置の上面部に開口して形成され、且つ、前記研磨ヘッドの下面部が洗浄可能に嵌合装着される縦断面凹状のヘッド洗浄部と、前記ヘッド洗浄部内の空気を排出して減圧させる減圧機構とを備え、前記ヘッド洗浄部は、該ヘッド洗浄部内に洗浄液を供給するための洗浄液供給口を有し、且つ、該ヘッド洗浄部の底部には超音波振動子が設けられ、前記弾性シートは下方に湾曲させた状態で減圧洗浄した後に超音波洗浄を行うことによって実現した。
【実施例】
【００３２】
以下、本発明の好適な一実施例を図１乃至図５に従って説明する。本実施例は、ＣＭＰ装置の研磨ヘッド下面部を洗浄する場合に適用したものであって、ヘッド洗浄時、研磨ヘッド下面部に設けた弾性シートを湾曲させると共に、ヘッド洗浄部内の空気を排出しながら減圧洗浄することにより、弾性シート下面のポアの開口部を拡大させた状態で、該ポア内に付着しているパーティクル（塵埃等の異物）を吸引除去し、更に、研磨ヘッド下面部を水没させて、弾性シート及びリテーナリングを超音波洗浄を行うようにしたものである。
【００３３】
洗浄装置の全体構成を図１の解説図によって説明する。同図において、１は洗浄装置であり、ＣＭＰ装置２を構成する移動可能な研磨ヘッド３下面部を洗浄する時、例えば、ウェーハの研磨前又は研磨後、或いは、湾曲可能な弾性シート４やリテーナリング５を新品と交換して洗浄する時に使用される。該洗浄装置１の上部には、洗浄空間部を有する縦断面凹状のヘッド洗浄部６が上面に開口して形成され、該ヘッド洗浄部６に研磨ヘッド３が脱着自在に嵌合装着されるように構成されている。
【００３４】
上記研磨ヘッド３は、その下部外周部に設けられてウェーハＷの径方向への移動を規制するリング状のリテーナリング５と、ウェーハＷの上側に設けられたキャリア７と、該キャリア７とウェーハＷの間に設けられた湾曲可能な円形の弾性シート４とを備えている。また、前記研磨ヘッド３下面部の詳細構造の一例を図２に示すが、本発明は図示例に限定されない。同図に示すように、リテーナリング５は、キャリア７の外周側に配置されたリテーナリングホルダ８の下面にボルト９で取り付けられ、リテーナリング５の内周部には弾性シート４が張設されている。
【００３５】
又、図１に示すように、キャリア７の下面にはエア用の吸引・吹き出し溝１０が形成されていると共に、該吸引・吹き出し溝１０は、エア管１１を介して吸気ポンプ１２と給気ポンプ１３に切替え可能に接続されている。更に、図３に示すように、弾性シート４は所要の可撓性を有する上下二層から成り、上層部（以下「メンブレンシート部４Ａ」という）の下面に下層部（以下「保護シート部４Ｂ」という）を貼り合わせた後にプレス加工して作製されている。
【００３６】
図２に示すように、弾性シート４には複数の小孔１５，１５・・・が形成され、該小孔１５，１５・・・は、ウェーハ搬送時にはウェーハ吸着用の孔として機能し、又、研磨時にはエア圧供給用の孔として機能する。上記研磨ヘッド３の下面部は、図４に示すように、洗浄時に洗浄装置１のヘッド洗浄部６に嵌合して装着され、研磨ヘッド３のリテーナリング５及び弾性シート４はヘッド洗浄部６内に臨んだ状態で洗浄される。又、弾性シート４は、洗浄時には下方側、即ち、ヘッド洗浄部６側に略円弧状に突出するように湾曲して保持される。この場合、吸引・吹き出し溝１０からエアを吹き出させることにより、弾性シート４をエアーブロー方式にて下方に膨らむように湾曲して形成される。
【００３７】
尚、前記吸引・吹き出し溝１０はシート湾曲手段として機能するが、本発明に係るシート湾曲手段はこれに限定されるべきではなく、ヘッド洗浄部６内にシート湾曲手段を設けることも可能である。例えば、ヘッド洗浄部６における弾性シート４の下方側にエア吸引機構（減圧機構）１６を設置し、該エア吸引機構１６によってヘッド洗浄部６内の洗浄空間を真空引きすることにより、弾性シート４の下面中央部を下方に真空吸引して湾曲させることができる。
【００３８】
本実施例では、該エア吸引機構１６はヘッド洗浄部６内の圧力を低下させる減圧機構の役目を有し、ヘッド洗浄部６内の空気を排出しながら減圧させるための排気ポンプ又は真空ポンプ（図示せず）を備えている。
【００３９】
次に、上記洗浄装置１の構成について更に詳しく説明する。洗浄装置１のヘッド洗浄部６は、洗浄液を溜めて研磨ヘッド３下面部を超音波洗浄するための洗浄槽の役目を果たす。このヘッド洗浄部６内面の適所には洗浄液供給口１８が設けられ、該洗浄液供給口１８からヘッド洗浄部６内の洗浄空間に純水（ＤＩＷ）等の洗浄液を供給することにより、ヘッド洗浄部６に装着された研磨ヘッド３の下面部、即ち、リテーナリング５及び弾性シート４全体を完全に水没させることができる。尚、本発明では、研磨ヘッド３下面部に洗浄液を高圧噴射して洗浄するための洗浄ノズル（図１の符号１７参照）は、必須の部材ではないので省略することができる。
【００４０】
前記ヘッド洗浄部６の底面には超音波振動子１９を設けられている。したがって、研磨ヘッド３下面部を水没させた後に、超音波振動子１９を駆動することにより、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面にキャビテーションを発生させることができる。
【００４１】
又、ヘッド洗浄部６の底部には、超音波洗浄後に、該ヘッド洗浄部６内に溜められた洗浄液を排出させるための排水機構、例えば、排水弁、排水ポンプ等を設置することができる。
【００４２】
図１は、排水機構として排水弁及び排水ポンプを使用した構成例である。同図に示すように、ヘッド洗浄部６の下底面中央部には排水路（排気路兼用）２０が開穿されていると共に、該排水路２０の下流側の途中箇所には開閉可能な排水弁２１が設置されている。更に、排水弁（吸気弁兼用可能）２１の下流側には排水ポンプ(吸気ポンプ兼用可能)２２が設けられているが、該排水ポンプ２２に代えて、アスピレータを設置してもよい。又、排水路（排気路兼用）２０の途中にエア吸引機構（減圧機構）１６を設置することもできる。
【００４３】
ヘッド洗浄部６の開口周縁部にはＯリング、パッキン等から成るシール機構２８が設けられている。このため、研磨ヘッド３をヘッド洗浄部６に装着すると、研磨ヘッド３とヘッド洗浄部６間の隙間は、シール機構２８により完全に封止される。従って、ヘッド洗浄部６の内部空間は気密に保持される。
【００４４】
尚、本実施例に係る洗浄装置１の各駆動部、即ち、エア吸引機構１６、超音波振動子１９及び排水ポンプ２２等は、図示しない制御手段に電気的に接続されている。従って、洗浄装置１の各駆動部は制御手段により統括的に運転制御されている。
【００４５】
次に、上記研磨ヘッド３の洗浄処理の手順について説明する。先ず、ウェーハＷの研磨後に、研磨ヘッド３を洗浄装置１のヘッド洗浄部６の位置まで移動させる。そして、該研磨ヘッド３を下降させることにより、研磨ヘッド３をヘッド洗浄部６に嵌合装着し、研磨ヘッド３下面部の弾性シート４とリテーナリング５をヘッド洗浄部６内に洗浄可能にセットする。このとき、ヘッド洗浄部６と研磨ヘッド３の間はシール機構２８により気密に封止される。
【００４６】
次の減圧洗浄工程では、キャリア７下部の吸引・吹き出し溝１０からエアを常時噴出させることにより、弾性シート４はエアーブロー方式にて下方に膨出して湾曲形成される。このように弾性シート４を下方に湾曲させると、図５に示すように、保護シート部４Ｂ表面のポア２７の開口部が変形して拡大する。
【００４７】
ポア２７の内面形状の変形に伴い、ポア２７内に圧縮状態で付着していた多数のパーティクル２９は互いに離散するように弛緩し、その一部はポア２７の開口部側に拡散移動する。この結果、ポア２７内が減圧状態になることと相まって、ポア２７内のパーティクル２９が外部に排出し易くなり、該パーティクル２９の一部が開口部から排出される。
【００４８】
然る後、弾性シート４を湾曲状態に保持したまま、エア吸引機構１６により前記ヘッド洗浄部６内の空気を排出しながら減圧させると、前記パーティクル２９に対する吸引除去作用が増大して、ポア２７内に残存していたパーティクル２９が空気の流れと共に排出除去される。この場合、ヘッド洗浄部６と研磨ヘッド３の間はシール機構２８により気密に封止されるので、ヘッド洗浄部６内の空気が一層効果的に吸引減圧される。
【００４９】
而して、洗浄液供給口１８からヘッド洗浄部６内に所定量の純水を供給して研磨ヘッド３の下面部を水没させる。尚、図４中の斜線部は純水等の洗浄液を示す。次いで、ヘッド洗浄部６底面に設けた超音波振動子１９を所定時間駆動することにより、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面にキャビテーションが発生する。即ち、超音波により洗浄液における液相が気相に変化して、水中で小さな爆発が無数発生する。
【００５０】
その結果、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面に付着したパーティクル２９が効率良く除去洗浄される。加えて、キャビテーションによる衝撃力がポア２７内の奥部まで到達して直接作用する。このため、ポア２７の内奥部に固着・残存していたパーティクル２９も効率良く除去洗浄される。
【００５１】
上記超音波洗浄処理が終了した後に、ヘッド洗浄部６の排水路２０に設置した排水弁２１を開くと共に排水ポンプ２２を駆動する。これにより、ヘッド洗浄部６内の洗浄液（エアを含む）が外部に排出され、この時、ポア２７内のパーティクル２９は洗浄液と共に移動して完全に排出される。
【００５２】
以上の如く本実施例によれば、洗浄時、弾性シート４を湾曲させて保護シート部４Ｂのポア２７の開口部を拡張させ、その状態でエア吸引機構１６によりヘッド洗浄部６内の空気を排出しながら減圧吸引する。斯くして、パーティクル２９に対する吸引除去作用が増大して、ポア２７内に残存していたパーティクル２９が空気と共に容易に排出除去される。
【００５３】
従って、ポア２７内にパーティクル２９が付着蓄積することを確実に解消でき、研磨ヘッド３の継続使用が可能になる。その結果、パーティクル２９に起因するウェーハ表面のスクラッチ等の欠陥の発生が未然に防止される。尚、前記パーティクル２９はポア２７内部に圧縮状態で固着していたため、従来技術では除去することが困難又は不可能であった。
【００５４】
又、研磨ヘッド３の下面部をヘッド洗浄部６内の洗浄液に水没させた状態で、超音波振動子１９の駆動によって、洗浄液中に無数の小さな気泡を繰り返し発生、消滅させて、キャビテーション作用を惹起させる。その結果、リテーナリング５及び弾性シート４の表裏両面は、キャビテーション作用により効果的に洗浄される。
【００５５】
特に、洗浄液中の気泡の爆発に伴う衝撃力によって、ポア２７の内奥部に固着・残存したパーティクル２９を効率良く除去洗浄でき、この場合、従来のブラシ洗浄方式のように、洗浄時に弾性シート４等の表面を傷付ける虞はない。
【００５６】
更に、超音波洗浄後に、ヘッド洗浄部６内の洗浄液を排水弁２１及び排水ポンプ２２より排出する時、ポア２７の内奥部に固着残留しているパーティクル２９は、洗浄液の排出に伴う流動作用もしくは吸引除去作用（真空引き作用）によって、洗浄液やエアと一緒に外部に強制的に排出される。従って、従来のようにポア２７内に高圧の洗浄液を噴射する必要はない。
【００５７】
本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施例を示し、研磨ヘッドが装着された状態の洗浄装置を説明する一部断面正面図（解説図）。
【図２】一実施例に係る研磨ヘッドの構成例を部分的に示す詳細断面図。
【図３】一実施例に係る二層構造の弾性シートを示す正面図。
【図４】一実施例に係る洗浄装置に研磨ヘッドを装着させたときの状態を例示する説明図。
【図５】一実施例に係る弾性シートを湾曲させた状態を説明する断面図。
【図６】弾性シートの保護シート部のポアを説明する図であり、弾性シートをサンドペーパで削る前の状態を示す断面図。
【図７】弾性シートの保護シート部のポアを説明する図であり、弾性シートをサンドペーパで削った後状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００５９】
１    洗浄装置
２    ＣＭＰ装置（ウェーハ研磨装置）
３    研磨ヘッド（ウェーハ保持ヘッド）
４    弾性シート
４Ａ  メンブレンシート部
４Ｂ  保護シート部
５    リテーナリング
６    ヘッド洗浄部
１６  エア吸引機構（シート湾曲手段兼用減圧機構）
１８  洗浄液供給口
１９  超音波振動子
２１  排水弁
２２  排水ポンプ
２７  ポア
２８  シール機構
２９  パーティクル（異物）
【図１】
2008302479.tif 000003
【図２】
2008302479.tif 000004
【図３】
2008302479.tif 000005
【図４】
2008302479.tif 000006
【図５】
2008302479.tif 000007
【図６】
2008302479.tif 000008
【図７】
2008302479.tif 000009