(57)【要約】【課題】現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープのテープ幅が細い場合であっても、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合する。【解決手段】本発明のＡＣＦテープ接合装置１０は、粘着膜２ａ，２ｂと剥離紙３ａ，３ｂとからなる現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを接合する。ＡＣＦテープ接合装置１０は、重なった現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを支持するＡＣＦテープ支持部１５と、ＡＣＦテープ支持部１５に対向して配置され、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの重なった部分を、押圧部１４によって押圧し、かつ超音波振動させることによって接合する溶着装置５とを備えている。溶着装置５の押圧部１４の先端面１４ａには、ローレット加工が施されて、複数の突部１９が形成されている。各突部１９は、平坦面１９ｆと、当該平坦面１９ｆを囲む端縁１９ｒとを有している。【選択図】図２
2008156424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着膜と剥離紙とからなる現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを接合するＡＣＦテープ接合装置において、
重なった現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを支持するＡＣＦテープ支持部と、
ＡＣＦテープ支持部に対向して配置され、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープの重なった部分を、押圧部によって押圧し、かつ超音波振動させることによって接合する溶着装置とを備え、
前記押圧部の先端面には、ローレット加工が施されて、複数の突部が形成され、
各突部は、平坦面と、当該平坦面を囲む端縁とを有することを特徴とするＡＣＦテープ接合装置。
【請求項２】
突部は、押圧部の先端面にあやめ状に配置されていることを特徴とする請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置。
【請求項３】
突部の配置ピッチは０．５〜１．０ｍｍであることを特徴とする請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置。
【請求項４】
溶着装置は、押圧部をＡＣＦテープ支持部に向かって駆動するシリンダを有し、
シリンダには、シリンダの内圧を高くすることによって、押圧部をＡＣＦテープ支持部に向かって駆動させる空圧回路が接続され、
空圧回路には、空圧回路の内圧を減圧する減圧弁が設けられていることを特徴とする請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置。
【請求項５】
ＡＣＦテープ支持部は、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを吸着して保持することを特徴とする請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置。
【請求項６】
ＡＣＦテープ支持部の上流側に、現在ＡＣＦテープを所望位置で切断する切断部が設けられたことを特徴とする請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置。
【請求項７】
基板を支持する基板ステージと、
基板ステージの上流側に配置され、粘着膜と剥離紙とからなる現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープを順次供給するＡＣＦテープ供給部と、
基板ステージとＡＣＦテープ供給部との間に配置された請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置と、
基板ステージに対向して配置され、基板上に供給された現在ＡＣＦテープの剥離紙を押圧し、基板に粘着膜を圧着させる加圧部と、
基板ステージの下流側に配置され、現在ＡＣＦテープの剥離紙を巻き取るＡＣＦテープ巻取部と、
を備えたことを特徴とするＡＣＦテープ貼着装置。
【請求項８】
ＡＣＦテープ供給部により、現在ＡＣＦテープを供給する現在ＡＣＦテープ供給工程と、
ＡＣＦテープ支持部の上流側に設けられた切断部により、現在ＡＣＦテープを所望位置で切断する切断工程と、
ＡＣＦテープ供給部により、次回ＡＣＦテープを供給する次回ＡＣＦテープ供給工程と、
基板ステージとＡＣＦテープ供給部との間に配置された請求項１記載のＡＣＦテープ接合装置により、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを接合する接合工程と、
を備えたことを特徴とするＡＣＦテープ接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合することができるＡＣＦテープ接合装置、ＡＣＦテープ貼着装置、およびＡＣＦテープ接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図７に示すように、従来、粘着膜２ａと剥離紙３ａとからなる現在ＡＣＦテープ１ａと粘着膜２ｂと剥離紙３ｂとからなる次回ＡＣＦテープ１ｂとを接合するＡＣＦテープ接合装置１０は、重なった現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを支持するアンビル（ＡＣＦテープ支持部）１５と、アンビル１５に対向して配置され、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの重なった部分を、ホーン（押圧部）１４によって押圧し、かつ超音波振動させることによって接合する溶着装置５とを備えている。ここで、ホーン１４の先端面１４ａは平坦面からなっている。
【０００３】
このようなＡＣＦテープ接合装置１０を用いて、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを接合する際には、次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂを現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａに押しつけた後、次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂと現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを超音波振動させる（図８参照）。このことによって、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂとの間に摩擦熱を発生させ、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを溶かして次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂに接着させる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような従来のＡＣＦテープ接合装置１０においては、ホーン１４の先端部の端縁１４ｒで超音波振動の振動エネルギーが最も効率よく加わるため、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂは、実質上、当該端縁１４ｒに対応する箇所でのみ接合されている。このため、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの接合は十分なものではなく、とりわけ、テープ幅の細い現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂを接合する場合には、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂを確実に接合できないことがある。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープのテープ幅が細い場合であっても、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合できるＡＣＦテープ接合装置、ＡＣＦテープ貼着装置、およびＡＣＦテープ接合方法を提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、粘着膜と剥離紙とからなる現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを接合するＡＣＦテープ接合装置において、
重なった現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを支持するＡＣＦテープ支持部と、
ＡＣＦテープ支持部に対向して配置され、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープの重なった部分を、押圧部によって押圧し、かつ超音波振動させることによって接合する溶着装置とを備え、
前記押圧部の先端面には、ローレット加工が施されて、複数の突部が形成され、
各突部が、平坦面と、当該平坦面を囲む端縁とを有することを特徴とするＡＣＦテープ接合装置である。
【０００７】
このような構成により、現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープのテープ幅が細い場合であっても、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合することができる。
【０００８】
本発明は、突部が、押圧部の先端面にあやめ状に配置されていることを特徴とするＡＣＦテープ接合装置である。
【０００９】
このような構成により、次回ＡＣＦテープを現在ＡＣＦテープに対してより均一に接合することができる。
【００１０】
本発明は、突部の配置ピッチが０．５〜１．０ｍｍであることを特徴とするＡＣＦテープ接合装置である。
【００１１】
このような構成により、超音波振動によって発生する、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとの間の摩擦熱を大きくすることができ、かつ溶着時に発生する溶けカスが突部の間に詰まることを防止することができる。
【００１２】
本発明は、溶着装置が、押圧部をＡＣＦテープ支持部に向かって駆動するシリンダを有し、
シリンダには、シリンダの内圧を高くすることによって、押圧部をＡＣＦテープ支持部に向かって駆動させる空圧回路が接続され、
空圧回路には、空圧回路の内圧を減圧する減圧弁が設けられていることを特徴とするＡＣＦテープ接合装置である。
【００１３】
このような構成により、テープ幅が１．２ｍｍ以下の現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープを用いる場合に、空圧回路に設けられた減圧弁によって、空圧回路の内圧を減圧して適宜調整することができる。このため、現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープに加わる圧力を小さくし、現在ＡＣＦテープの粘着膜が溶けすぎてしまうことを防止することができる。
【００１４】
本発明は、ＡＣＦテープ支持部が、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを吸着して保持することを特徴とするＡＣＦテープ接合装置である。
【００１５】
本発明は、ＡＣＦテープ支持部の上流側に、現在ＡＣＦテープを所望位置で切断する切断部が設けられたことを特徴とするＡＣＦテープ接合装置である。
【００１６】
本発明は、基板を支持する基板ステージと、
基板ステージの上流側に配置され、粘着膜と剥離紙とからなる現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープを順次供給するＡＣＦテープ供給部と、
基板ステージとＡＣＦテープ供給部との間に配置された上記のＡＣＦテープ接合装置と、
基板ステージに対向して配置され、基板上に供給された現在ＡＣＦテープの剥離紙を押圧し、基板に粘着膜を圧着させる加圧部と、
基板ステージの下流側に配置され、現在ＡＣＦテープの剥離紙を巻き取るＡＣＦテープ巻取部と、
を備えたことを特徴とするＡＣＦテープ貼着装置である。
【００１７】
このような構成により、現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープのテープ幅が細い場合であっても、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合することができる。
【００１８】
本発明は、ＡＣＦテープ供給部により、現在ＡＣＦテープを供給する現在ＡＣＦテープ供給工程と、
ＡＣＦテープ支持部の上流側に設けられた切断部により、現在ＡＣＦテープを所望位置で切断する切断工程と、
ＡＣＦテープ供給部により、次回ＡＣＦテープを供給する次回ＡＣＦテープ供給工程と、
基板ステージとＡＣＦテープ供給部との間に配置された上記のＡＣＦテープ接合装置により、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとを接合する接合工程と、
を備えたことを特徴とするＡＣＦテープ接合方法である。
【００１９】
このような構成により、現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープのテープ幅が細い場合であっても、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、溶着装置の押圧部の先端面に、ローレット加工が施されて複数の突部が形成され、かつ各突部が平坦面と当該平坦面を囲む端縁とを有しているため、現在ＡＣＦテープおよび次回ＡＣＦテープのテープ幅が細い場合であっても、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープを確実に接合することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
第１の実施の形態
以下、本発明の第１の実施の形態に係るＡＣＦテープ接合装置、ＡＣＦテープ貼着装置、ＡＣＦテープ接合方法およびＡＣＦテープ貼着方法について、図面を参照して説明する。ここで、図１乃至図５は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００２２】
図１に示すように、ＡＣＦテープ貼着装置５０は、基板６０を支持する基板ステージ５１と、基板ステージ５１の上流側に配置され、粘着膜２ａと剥離紙３ａとからなる現在ＡＣＦテープ１ａ、および粘着膜２ｂと剥離紙３ｂとからなる次回ＡＣＦテープ１ｂを順次供給するＡＣＦテープ供給部２０と、基板ステージ５１とＡＣＦテープ供給部２０との間に配置されたＡＣＦテープ接合装置１０とを備えている。なお、本願において「上流」とは、現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ａの搬送される流れに対して、上流であることを意味する。
【００２３】
また、図１に示すように、基板ステージ５１に対向して、基板６０上に供給された現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａを押圧し、基板６０に粘着膜２ａを圧着させる加圧部５３が配置されている。また、基板ステージ５１の下流側に、現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａを巻き取るＡＣＦテープ巻取部３０が配置されている。
【００２４】
ところで、現在ＡＣＦテープ１ａとは、その粘着膜２ａが加圧部５３によって基板６０に圧着されている（または、既に圧着された）ＡＣＦテープのことを意味し、次回ＡＣＦテープ１ｂとは、現在ＡＣＦテープ１ａに次いでその粘着膜２ｂが加圧部５３によって基板６０に圧着されるＡＣＦテープのことを意味する。
【００２５】
このうち、ＡＣＦテープ接合装置１０は、図１および図２に示すように、重なった現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを支持するアンビル（ＡＣＦテープ支持部）１５と、アンビル１５に対向して配置され、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの重なった部分（現在ＡＣＦテープ１ａの終端部と次回ＡＣＦテープ１ｂの始端部）を、ホーン（押圧部）１４によってアンビル１５に対して押圧して接合する溶着装置５と、溶着装置５の上流側に配置された現在ＡＣＦテープ１ａを所望位置で切断する切断カッター（切断部）１２とを有している。
【００２６】
図２に示すように、溶着装置５は、ホーン１４に連結され、ホーン１４をアンビル１５に向かう方向（図４（ｄ）の矢印方向）に超音波振動させる超音波溶着器１３と、超音波溶着器１３に連結され、ホーン１４および超音波溶着器１３をアンビル１５に向かって（図４（ｃ）の矢印方向に）駆動するシリンダ１６とを有している。
【００２７】
また、図１および図２に示すように、このアンビル１５には開口溝１１が設けられ、当該開口溝１１内に切断カッター１２が挿入可能になっている（図４（ｂ）参照）。
【００２８】
また、図２および図３（ａ）（ｂ）に示すように、溶着装置５のホーン１４の先端面１４ａには、ローレット加工が施されて、複数の突部１９が形成されている。そして、図３（ａ）（ｂ）に示すように、この突部１９の各々は、平坦面１９ｆと、当該平坦面１９ｆを囲む端縁１９ｒとを有している。また、図３（ａ）に示すように、突部１９の平坦面１９ｆは、その横断面が正方形からなっている。なお、図３（ｂ）に示すように、本実施の形態において、当該正方形の一辺は０．２５ｍｍとなっている。
【００２９】
また、図３（ａ）（ｂ）に示すように、突部１９は、ホーン１４の先端面１４ａにあやめ状に配置されている。また、図３（ｂ）に示すように、本実施の形態において、突部１９の配置ピッチは０．７５ｍｍとなっている。なお、参考のため、図３（ａ）には、テープ幅が２．０ｍｍ、１．５ｍｍおよび１．２ｍｍからなるＡＣＦテープ１を示している。
【００３０】
また、アンビル１５は、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを吸引して保持する吸着穴（図示せず）を有しており、この吸着穴によって、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとを吸着して保持している（図２参照）。
【００３１】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１の上流側（図１（ａ）（ｂ）の左側）には、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを切断するハーフカッタ４１と、当該ハーフカッタ４１によって切断された粘着膜２ａを剥離する剥離ヘッド４２とを有する粘着膜部分剥離部４０が配置されている。そして、この粘着膜部分剥離部４０によって、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが部分的に切断し剥離される。
【００３２】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、ハーフカッタ４１および剥離ヘッド４２の上方には、ハーフカッタ４１によって現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを切断する際、および剥離ヘッド４２によってハーフカッタ４１によって切断された粘着膜２ａを剥離する際に、現在ＡＣＦテープ１ａを上方から吸着して保持する吸着ブロック４５が設けられている。
【００３３】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、基板ステージ５１の下流側（図１（ａ）（ｂ）の右側）には、使用済み現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）をクランパ４６ａによって把持しつつ、下流側（図１（ａ）（ｂ）の右側）に移動することによって、所定の長さの現在ＡＣＦテープ１ａを基板６０上に引き出す引出ユニット４６が設けられている。
【００３４】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、ＡＣＦテープ接合装置１０とハーフカッタ４１との間には、ガイド２３に沿って上下方向に移動自在な供給側可動ローラ２５と、ＡＣＦテープ供給部２０からの現在ＡＣＦテープ１ａを折り返し供給側可動ローラ２５に供給する供給側固定ローラ２９と、供給側可動ローラ２５からの現在ＡＣＦテープ１ａを受ける供給側固定ローラ２６とが配置されている。また、同様に、引出ユニット４６とＡＣＦテープ巻取部３０との間には、巻取側固定ローラ３６と、当該巻取側固定ローラ３６からの剥離紙３ａを受けるとともに、ガイド３３に沿って上下方向に移動自在な巻取側可動ローラ３５とが配置されている。
【００３５】
なお、供給側可動ローラ２５には、支持ローラ（図示せず）を介して錘（図示せず）が連結されている。このため、供給側可動ローラ２５には、当該錘によって上方への引っ張り力が加えられる。また、同様に、巻取側可動ローラ３５には、支持ローラ（図示せず）を介して錘（図示せず）が連結されている。このため、巻取側可動ローラ３５にも、当該錘によって上方への引っ張り力が加えられる。
【００３６】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、巻取側固定ローラ３６と巻取側可動ローラ３５との間には、使用済み現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）を把持するクランプ機構３９が設けられている。
【００３７】
また、図１（ａ）（ｂ）に示すように、ＡＣＦテープ供給部２０は、現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂを巻きつけて保持する供給リール２２と、当該供給リール２２を回転駆動する供給モータ２１とを有している。また、ＡＣＦテープ巻取部３０は、使用済み現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）を巻き取って保持する巻取リール３２と、当該巻取リール３２を回転駆動する巻取モータ３１とを有している。
【００３８】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用について述べる。
【００３９】
最初に、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを基板６０に圧着するＡＣＦテープ貼着装置５０の作用について説明する。
【００４０】
まず、基板ステージ５１によって、基板６０が支持される（基板支持工程８１）（図１（ａ）（ｂ）および図５参照）。
【００４１】
次に、クランプ機構３９により、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）がクランプされる（図１（ａ）参照）。
【００４２】
次に、基板ステージ５１の上流側に配置されたＡＣＦテープ供給部２０によって、剥離紙３ａと粘着膜２ａとからなる現在ＡＣＦテープ１ａが供給される（ＡＣＦテープ供給工程８３）（図１（ａ）および図５参照）。具体的には、ＡＣＦテープ供給部２０の供給モータ２１が、供給リール２２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、現在ＡＣＦテープ１ａが供給リール２２から巻き出される。
【００４３】
このため、現在ＡＣＦテープ１ａに弛みが生じ、供給側可動ローラ２５に連結された錘の作用により供給側可動ローラ２５が上昇する（図１（ａ）参照）。なお、供給側可動ローラ２５が上昇して上限位置に到達すると、供給モータ２１の回転駆動は停止する。
【００４４】
このとき、基板ステージ５１の下流側に配置されたＡＣＦテープ巻取部３０によって、加圧部５３により基板６０に現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが既に圧着された、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が巻き取られる（ＡＣＦテープ巻取工程９３ｂ）（図１（ａ）および図５参照）。
【００４５】
すなわち、ＡＣＦテープ巻取部３０の巻取モータ３１が、巻取リール３２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、巻取リール３２に使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が巻き取られる。このため、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）とクランプ機構３９との距離が短くなり、巻取側可動ローラ３５が、巻取側可動ローラ３５に連結された錘（図示せず）の作用により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ａ）参照）。なお、巻取側可動ローラ３５が下降して下限位置に到達すると、巻取モータ３１の回転駆動は停止する。
【００４６】
次に、クランプ機構３９が使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）のクランプを解除する（図１（ｂ）参照）。
【００４７】
次に、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が、ＡＣＦテープ供給部２０とＡＣＦテープ巻取部３０との間に配置された引出ユニット４６のクランパ４６ａによって把持されて、上流側から下流側（図１（ｂ）の右側）へと移動させられる（ＡＣＦテープ引出工程８５）（図１（ａ）（ｂ）および図５参照）。
【００４８】
このように、引出ユニット４６によって現在ＡＣＦテープ１ａを基板６０上に引き出す際、現在ＡＣＦテープ１ａの所定位置がハーフカッタ４１の上方に到達したとき、ハーフカッタ４１によって現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが切断される（ハーフカット工程８７）（図１（ｂ）および図５参照）。その後、現在ＡＣＦテープ１ａのハーフカッタ４１によって粘着膜２ａが切断された箇所が、剥離ヘッド４２の上方に到達したときに、剥離ヘッド４２によって、当該箇所の粘着膜２ａが剥離される（粘着膜剥離工程８８）（図１（ｂ）および図５参照）。このように、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａがハーフカッタ４１によって切断されたり、剥離ヘッド４２によって剥離されたりするときには、吸着ブロック４５がその都度作動し、現在ＡＣＦテープ１ａは吸着ブロック４５に吸着保持される。
【００４９】
なお、上述のように、現在ＡＣＦテープ１ａが上流側から下流側へと移動するので、ＡＣＦテープ供給部２０の供給側可動ローラ２５は、供給側可動ローラ２５に連結された錘により上方向に付与されている引っ張り力に抗して下降する（図１（ｂ）参照）。
【００５０】
このとき、使用済みの現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）には、弛みが生じるので、巻取側可動ローラ３５に連結された錘によって、巻取側可動ローラ３５が上昇する（図１（ｂ）参照）。
【００５１】
次に、加圧部５３が降下し、現在ＡＣＦテープ１ａの剥離紙３ａを押圧して、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを、基板ステージ５１に支持された基板６０に圧着する（圧着工程９１）（図１（ａ）（ｂ）および図５参照）。
【００５２】
次に、基板ステージ５１の下流側に配置されたＡＣＦテープ巻取部３０によって、使用済み現在ＡＣＦテープ（剥離紙３ａ）が巻き取られる（ＡＣＦテープ巻取工程９３）（図１（ａ）および図５参照）。
【００５３】
このとき、ＡＣＦテープ供給部２０の供給モータ２１が、供給リール２２を図１（ａ）の矢印の方向に回転駆動し、次に基板６０に圧着される現在ＡＣＦテープ１ａが、供給リール２２から巻き出される（ＡＣＦテープ供給工程８３ａ）（図１（ａ）および図５参照）。このため、当該現在ＡＣＦテープ１ａに弛みが生じて、供給側可動ローラ２５に連結された錘（図示せず）の作用により供給側可動ローラ２５が上昇する（図１（ａ）参照）。
【００５４】
以降は、上述した工程が繰り返し行われる。
【００５５】
上記のように、現在ＡＣＦテープ１ａを基板６０に圧着する工程を繰り返していくと、基板６０に圧着するための現在ＡＣＦテープ１ａが無くなってしまう。このように、現在ＡＣＦテープ１ａが無くなると、新しいＡＣＦテープ（次回ＡＣＦテープ１ｂ）を現在ＡＣＦテープ１ａに接合する必要がある。このように、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに接合する際に、以下に示すように、ＡＣＦテープ貼着装置５０のＡＣＦテープ接合装置１０が用いられる。
【００５６】
以下、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに接合する方法について述べる。
【００５７】
まず、アンビル１５の上流側に設けられた切断カッター１２により、現在ＡＣＦテープ１ａが所望位置で切断される（切断工程）（図４（ａ）（ｂ）参照）。
【００５８】
次に、ＡＣＦテープ供給部２０により、次回ＡＣＦテープ１ｂが供給される（次回ＡＣＦテープ供給工程）（図１（ａ）（ｂ）および図４（ｃ）参照）。
【００５９】
次に、基板ステージ５１とＡＣＦテープ供給部２０との間に配置されたＡＣＦテープ接合装置１０により、現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂとが接合される（接合工程）（図１（ａ）（ｂ）および図４（ｄ）参照）。
【００６０】
具体的には、まず、シリンダ１６によって、超音波溶着器１３および超音波溶着器１３に連結されたホーン１４がアンビル１５に向かって移動して、ホーン１４の先端面１４ａが次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂを押圧する。このことによって、次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂが現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａに押しつけられる（図２および図４（ｄ）参照）。
【００６１】
次に、超音波溶着器１３によって、ホーン１４が超音波振動する。このことによって、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂとが超音波振動し、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂとの間に摩擦熱が発生し、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが溶融して次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂに接着される。
【００６２】
このとき、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ホーン１４の先端面１４ａは、ローレット加工が施されて、複数の突部１９が形成されている。そして、この突部１９の各々は、平坦面１９ｆと、当該平坦面１９ｆを囲む端縁１９ｒとを有している。
【００６３】
このように、ホーン１４の先端面１４ａに複数の突部１９を設けることによって、ホーン１４の先端面１４ａの表面積に対して、超音波振動によって大きな摩擦熱が発生する端縁１９ｒの占める表面積の割合を増やすことができる。このため、次回ＡＣＦテープ１ｂと現在ＡＣＦテープ１ａを確実に接合することができる。
【００６４】
また、図３（ａ）（ｂ）に示すように、突部１９がホーン１４の先端面１４ａに複数個設けられている。このため、接合する現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂのテープ幅が細くても、複数の突部１９の端縁１９ｒによって、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａを溶融して、次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂに接着することができる。この結果、幅の細い現在ＡＣＦテープ１ａと次回ＡＣＦテープ１ｂであっても、確実に接合することできる。
【００６５】
ここで、超音波振動によって発生する、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂとの間の摩擦熱を大きくするためには、突部１９の配置ピッチは１．０ｍｍより小さくなっていることが好ましい。他方、突部１９の配置ピッチが小さくなりすぎて、０．５ｍｍより小さくなると、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂに対して溶着する時に発生する溶けカスが、突部１９の間に詰まり易くなり、清掃が困難になる。このため、突部１９の配置ピッチは０．５〜１．０ｍｍであることが好ましい。
【００６６】
本実施の形態においては、図３（ｂ）に示すように、突部１９の配置ピッチが０．７５ｍｍとなっている。このため、超音波振動によって発生する、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａと次回ＡＣＦテープ１ｂの剥離紙３ｂとの間の摩擦熱を大きくすることができ、かつ溶着時に発生する溶けカスが突部１９の間に詰まることを防止することができる。
【００６７】
また、図３（ａ）（ｂ）に示すように、突部１９は、ホーン１４の先端面１４ａにあやめ状に配置されているので、次回ＡＣＦテープ１ｂを現在ＡＣＦテープ１ａに対してより均一に溶着することができる。
【００６８】
また、横断面が正方形からなる平坦面１９ｆを有する突部１９は、平坦なホーン１４の先端面１４ａに、直線状の溝を碁盤の目のように入れるだけで、生成することができる。このため、横断面が正方形からなる平坦面１９ｆを有する突部１９は、容易に生成することができる。
【００６９】
また、図示していないが、横断面がひし形からなる平坦面を有する突部も、平坦なホーン１４の先端面１４ａに、溝を直線状に入れるだけで生成することができる。このため、横断面がひし形からなる平坦面を有する突部も、容易に生成することができる。
【００７０】
第２の実施の形態
次に図６により本発明の第２の実施の形態について説明する。図６に示す第２の実施の形態は、シリンダ１６に、シリンダ１６の内圧を高くすることによって、ホーン１４をアンビル１５に向かって駆動させる空圧回路６が接続されている。また、空圧回路６に、空圧回路６の内圧を減圧する減圧弁１７が設けられている。また、当該空圧回路６は、電磁弁９を介してコンプレッサ８およびサイレンサー７に連結されている。その他の構成は、図１乃至図５に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００７１】
図６に示す第２の実施の形態において、図１乃至図５に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７２】
接合される現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂのテープ幅が１．２ｍｍ以下となる場合には、ホーン１４から現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂに加わる圧力が大きくなり過ぎて、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが溶けすぎてしまうことがある（図２参照）。
【００７３】
本実施の形態においては、テープ幅が１．２ｍｍ以下の現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂを接合する場合に、空圧回路６に設けられた減圧弁１７によって、空圧回路６の内圧を減圧して適宜調整することができる。このため、現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂに加わる圧力を小さくし、現在ＡＣＦテープ１ａの粘着膜２ａが溶けすぎてしまうことを防止することができる。
【００７４】
なお、減圧弁１７は、減圧弁１７を制御する制御部（図示せず）と接続され、当該制御部からの信号に基づいて空圧回路６の内圧を減圧してもよい。このように、減圧弁１７が制御部によって制御されることによって、減圧弁１７はＡＣＦテープ（現在ＡＣＦテープ１ａおよび次回ＡＣＦテープ１ｂ）のテープ幅や種類に応じて、迅速かつ確実に空圧回路６の内圧を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるＡＣＦテープ貼着装置を示す側方図。
【図２】本発明の第１の実施の形態によるＡＣＦテープ接合装置を示す側方図。
【図３】本発明の第１の実施の形態によるＡＣＦテープ接合装置の先端を示す拡大図。
【図４】本発明の第１の実施の形態によるＡＣＦテープ接合方法を説明する側方図。
【図５】本発明の第１の実施の形態によるＡＣＦテープ貼着方法を示すフロー図。
【図６】本発明の第１の実施の形態によるＡＣＦテープ接合装置を示す概略図。
【図７】従来のＡＣＦテープ接合装置を示す側方図。
【図８】従来のＡＣＦテープ接合装置によって、現在ＡＣＦテープと次回ＡＣＦテープとが接合されている様子を示す側方断面図。
【符号の説明】
【００７６】
１ａ    現在ＡＣＦテープ
１ｂ    次回ＡＣＦテープ
２ａ，２ｂ  粘着膜
３ａ，３ｂ  剥離紙
５      溶着装置
６      空圧回路
１０    ＡＣＦテープ接合装置
１１    開口溝
１２    切断カッター（切断部）
１３    超音波溶着器
１４    ホーン（押圧部）
１４ａ  ホーンの先端面
１５    アンビル（ＡＣＦテープ支持部）
１６    シリンダ
１７    減圧弁
１９  突部
１９ｆ  平坦面
１９ｒ  端縁
２０    ＡＣＦテープ供給部
３０    ＡＣＦテープ巻取部
３９    クランプ機構
４０    粘着膜部分剥離部
４１    ハーフカッタ
４２    剥離ヘッド
４６    引出ユニット
４６ａ  クランパ
５０    ＡＣＦテープ貼着装置
５１    基板ステージ
５３    加圧部
６０    基板
８１    基板支持工程
８３，８３ａ  ＡＣＦテープ供給工程
８５  ＡＣＦテープ引出工程
８７  ハーフカット工程
８８    粘着膜剥離工程
９１    圧着工程
９３，９３ｂ  ＡＣＦテープ巻取工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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