(57)【要約】【課題】基板の落下を防ぐ基板保持装置を提供する。【解決手段】Ｘ方向移動用ステージ、Ｙ方向移動用ステージ、傾斜用ステージから成るステージ体４の上にウエハを保持するための基板保持体２が載置されている。傾斜ステージによって傾斜した基板保持体２の傾斜方向下側部分に穴２０を開けられており、穴２０の中に傾斜により滑り落ちてくるウエハ１′の滑落を停止させる第１ストッパー２２が設けられている。穴２０より更に傾斜方向下側のステージ体４上に、ウエハ１の滑落を停止させる第２ストッパー５が設けられている。【選択図】図３
2008103518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも傾斜用ステージから成るステージ体の上に載置された基板保持体を有し、前記傾斜ステージによって傾斜した前記基板保持体の傾斜方向下側部分に穴を開け、該穴の中に前記傾斜により滑り落ちてくる基板の滑落を停止させる第１ストッパーを設け、且つ、前記穴より更に傾斜方向下側の前記ステージ体上に、基板の滑落を停止させる第２ストッパーを設けた基板保持装置。
【請求項２】
前記第１及び第２ストッパーは、基板に対向する面が凹面状に形成された板状を成している請求項１記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記第１ストッパーの先端部はゴムから成る請求項１記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記第１ストッパーは、前記傾斜ステージにより前記基板保持体が傾斜した時に、自重で回転してその先端部が前記穴から飛び出す形状を成している請求項１記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記第１ストッパーは、滑落して来る基板に接するストッパー体と、該ストッパー体の少なくとも先端部を前記穴から飛び出させる弾性体から成る請求項１記載の基板保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板落下防止手段を備えた基板保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、電子ビーム描画装置においては、ウエハやマスク等の基板上の所定の位置に電子ビームを照射することにより基板上の所定の位置に所定のパターンを描いている。又、ＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）機構を応用した電子ビーム検査装置ではパターンが描かれた基板上を電子ビームで走査し、該走査に基づいて得られた二次電子像を観察することによりパターンの検査を行っている。
【０００３】
この様な装置における基板は一般に基板保持装置に保持されており、該基板保持装置の保持方式として、例えば、静電チャック方式や真空チャック方式等がある。
【０００４】
図１は、静電チャック方式を使った基板保持装置の一概略図である。
【０００５】
図中１はウエハ、２は該ウエハを載置して保持する誘電体部材等から成る基板保持体で内部に電極３a、３bが埋め込まれており、Ｘ方向移動用ステージ（図示せず），Ｙ方向移動用ステージ（図示せず），傾斜ステージ（図示せず）から成るステージ体４上に取り付けられている。
【０００６】
５は前記ステージ体４が傾斜した時、前記基板保持体２の下側に位置する様に前記ステージ体４上に取り付けられたストッパーで、前記基板保持体２にチャックされたウエハ１の面より高く成る長さを有し、前記基板保持体２に向いている面が凹面に形成された板状のものである。尚、６は前記電極３ａ，３ｂに電圧を供給する電源である。
【０００７】
この様な構成の基板保持装置において、前記電源６より前記電極３aと電極３bに電圧が供給されると、該電極３aと３b周囲の誘電体部材内に誘電分極現象が発生し、該誘電分極現象に基づく静電気力によって、前記ウエハ１が前記基板保持体２上に吸着保持される。
【０００８】
さて、前記電子ビーム検査装置等においては、パターンが描画されたウエハを傾斜させて観察する場合がある。その様な場合、前記ステージ体４の傾斜ステージ（図示せず）を傾斜させることにより、前記ステージ体４上に取り付けられた基板保持体２上に保持されたウエハ１を傾斜させる。
【０００９】
この様な傾斜の状態において、何らかの原因で前記電源６から前記電極３aと３bへの電圧供給が遮断された場合、前記静電気力が弱くなり、前記ウエハ１は前記基板保持体２のウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方向に滑り落ちる。この際、前記ウエハ１のエッジ部が前記ストッパー５の凹面に当接して前記ステージ体４上への滑落が止められることになる。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−１６７８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
所で、ウエハとして、現在、４インチ（１００ｍｍ），５インチ（１２５ｍｍ），６インチ（１５０ｍｍ），８インチ（２００ｍｍ），１２インチ（３００ｍｍ）等種々のサイズのウエハがあり、スループットを考慮して１台の装置で種々のサイズのウエハを観察したり、描画したりする場合がある。従って、基板保持装置としては、通常、大きいサイズのウエハを保持する構成に成っている。
【００１２】
しかし、前記基板保持装置において、例えば、前記基板保持体２のウエハ載置面のサイズより著しく小さいサイズのウエハ１′を保持して（図２）傾斜観察を行う際、前述の如き電極３ａ，３ｂへの電圧が遮断されて、ウエハ１′がウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方へ滑り落ち出した場合、ウエハ１′のサイズが小さいので、前記ストッパー５に当たらなかったり、或いは当たっても、ウエハ１′の半分以上がウエハ載置面からはみ出してしまい、該ウエハが前記ストッパー５と前記基板保持体２との間のステージ上面に落下し、該ウエハが損傷する。
【００１３】
本発明は、この様な問題点を解決するために成されたもので、新規な基板保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の基板保持装置は、少なくとも傾斜用ステージから成るステージ体の上に載置された基板保持体を有し、前記傾斜ステージによって傾斜した前記基板保持体の傾斜方向下側部分に穴を開け、該穴の中に前記傾斜により滑り落ちてくる基板の滑落を停止させる第１ストッパーを設け、且つ、前記穴より更に傾斜方向下側の前記ステージ体上に、基板の滑落を停止させる第２ストッパーを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基板のサイズに拘わらず、基板保持体から基板がステージ体上に落下するのを防止することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１７】
図３は本発明の基板保持装置の一概略図である。尚、図中前記図１にて使用した記号と同一記号を付したものは同一構成要素を示す。
【００１８】
図３に示す装置では、基板保持体２のストッパー５に近い部分に、穴２０が開けられており、該穴の中に、該穴の底面部に軸２１が軸支されており、該軸に、基板保持体２に向いている面が凹面状に形成された板状のストッパー２２が前記軸の周りに回転可能に取り付けられている。このストッパー２２はステージ体４が傾斜していない時は穴２０内で倒れて該穴から先端が出ず、一方ステージ体４がある程度以上傾斜すると前記１ストッパー５側に回転して前記穴２０の内壁に接触した時、該ストッパーの先端部分が基板保持体２のウエハ載置面より突出する長さに形成されている。
【００１９】
又、該ストッパーの先端部分はウエハに当たっても、該ウエハに損傷を与えないように、例えば、導電性ゴム等の導電性の弾性体から形成されている。
又、前記穴の底面部の軸２１が前記穴の中央からストッパー５方向の内壁近傍の間に軸支されることが好ましい。
尚、このストッパー２２を第１ストッパーと称し、前記ストッパー５を第２ストッパーと称することにする。又、前記第１ストッパー２２は、軸２１に固定されている側が軽い部材からなり、他方の先端が重い部材からなっていることが好ましい。
【００２０】
この様な構成の基板保持装置において、サイズの小さいウエハ１′を基板保持体２上に載せ、電源６より電極３aと電極３bに電圧が供給されると、該電極３aと３b周囲の誘電体部材内に誘電分極現象が発生し、該誘電分極現象に基づく静電気力によって、前記小サイズのウエハ１′が前記基板保持体２上に吸着保持される。
【００２１】
さて、この状態でステージ体４の傾斜ステージ（図示せず）を傾斜させることにより、前記基板保持体２上に保持された小サイズのウエハ１′を傾斜させた時に、何らかの原因で前記電源６から前記電極３aと３bへの電圧供給が遮断された場合、前記静電気力が弱くなり、前記小サイズのウエハ１′は前記基板保持体２のウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方向に滑り落ちる。この時、前記基板保持体２の傾斜に伴って、第１ストッパー２２が自重により、軸２１を中心に第２ストッパー５側に回動し、該第１ストッパー２２の先端部分が前記基板保持体２のウエハ載置面から突出する（破線で描いた第１ストッパー２２Ｐ参照）。
【００２２】
その為、前記滑り落ちて行く前記ウエハ１′のエッジ部が前記第１ストッパー２１の凹面に当接して滑落が止められ、ステージ４の上に落下しない。
【００２３】
図４は、サイズの大きいウエハ１を基板保持体２上に載せ、電源６より電極３aと電極３bに電圧が供給して、該大サイズのウエハ１を前記基板保持体２上に吸着保持される様子を示したものである。
【００２４】
この状態でステージ体４の傾斜ステージ（図示せず）を傾斜させることにより、前記基板保持体２上に保持された大サイズのウエハ１を傾斜させた時に、何らかの原因で前記電源６から前記電極３aと３bへの電圧供給が遮断された場合、前記静電気力が弱くなり、前記大サイズのウエハ１は前記基板保持体２のウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方向に滑り落ちる。
【００２５】
この時、第１ストッパー２２は、前記基板保持体２の傾斜に伴って、自重により、軸２１を中心に第１ストッパー５側に回動して大サイズのウエハ１の裏面に当たるので、その先端部分が前記穴２０から上に飛び出すことはない（破線で描いた第１ストッパー２２Ｑ参照）。
尚、前記第１ストッパー２２の先端はゴムから成るので、前記第１ストッパー２２の先端が当たっても前記大サイズのウエハ１の裏面に傷がつかない。
【００２６】
そして、前記基板保持体２のウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方向に滑り落ちて行く大サイズのウエハ１は第２ストッパー５の凹面に当接して前記ステージ体４上への滑落が止められる。
【００２７】
図５は本発明の基板保持装置の他の概略例を示すもので、図中前記図３と同一記号の付されたものは同一構成要素を示す。
【００２８】
図５に示す装置では、穴２０の底面部に、基板保持体２に向いている面が凹面に形成された板状ストッパー２３を先端に取り付けたバネ２４の他端が取り付けられている。この板状ストッパー２３を前記図４及び図５の第１ストッパー２２に代わり第１ストッパーと称することにする。尚、バネ２４は板バネでもコイルバネでも良いし、或いは、他の弾性体であっても良い。
【００２９】
この様な構成の基板保持装置において、サイズの小さいウエハ１′を基板保持体２上に載せ、電源６より電極３aと電極３bに電圧が供給されると、該電極３aと３b周囲の誘電体部材内に誘電分極現象が発生し、該誘電分極現象に基づく静電気力によって、前記小サイズのウエハ１′が前記基板保持体２上に吸着保持される。この時、前記バネ２４の弾性力により前記第１ストッパー２３は、前記基板保持体２のウエハ載置面より上の方に飛び出している。
【００３０】
この状態でステージ体４の傾斜ステージ（図示せず）を傾斜させることにより、前記基板保持体２上に保持された小サイズのウエハ１′を傾斜させた時に、何らかの原因で前記電源６から前記電極３aと３bへの電圧供給が遮断された場合、前記静電気力が弱くなり、前記小サイズのウエハ１′は前記基板保持体２のウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方向に滑り落ちる。しかし、前記第１ストッパー２３の凹面に当接して滑落が止められ、ステージ４の上に落下しない。
【００３１】
図６は、サイズの大きいウエハ１を基板保持体２上に載せ、電源６より電極３aと電極３bに電圧が供給して、該大サイズのウエハ１を前記基板保持体２上に吸着保持される様子を示したものである。この時、大きいウエハ１の裏面に押されてバネは縮み、第１ストッパー２３の先端が前記大きいウエハ１の裏面に接触した状態になっている。
【００３２】
この状態でステージ体４の傾斜ステージ（図示せず）を傾斜させることにより、前記基板保持体２上に保持された大サイズのウエハ１を傾斜させた時に、何らかの原因で前記電源６から前記電極３aと３bへの電圧供給が遮断された場合、前記静電気力が弱くなり、前記大サイズのウエハ１は前記基板保持体２のウエハ載置面（傾斜面）に沿って下方向に滑り落ちるが、第２ストッパー５の凹面に当接して前記ステージ体４上への滑落が止められる。
【００３３】
尚、前記例では、静電チャック方式の基板保持装置を例に挙げて説明したが、チャック方式はこれに限定されるものではなく、本発明は真空吸着方式の基板保持装置にも有効である。
【００３４】
又、前記例では、ストッパーとしてウエハと接する面が凹面に形成された板状のものを例に挙げて説明したが、板状のストッパーの代わりに、複数の棒を適宜な間隔を置いて曲線状に沿って配列したものを用いても良い。
【００３５】
又、前記ストッパーのウエハと接触する先端部は導電性のゴムで覆われていることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】従来の基板保持装置の一概略を示している。
【図２】従来の基板保持装置の一概略を示している。
【図３】本発明の基板保持装置の一概略を示している。
【図４】本発明の基板保持装置の一概略を示している。
【図５】本発明の基板保持装置の他の一概略を示している。
【図６】本発明の基板保持装置の他の一概略を示している。
【符号の説明】
【００３７】
１、１‘…ウエハ
２…基板保持体
３a、３b…電極
４…ステージ体
５…第２ストッパー
２０…穴
２１…軸
２２…第１ストッパー
２３…板状ストッパー
２４…バネ
【図１】
2008103518.tif 000003
【図２】
2008103518.tif 000004
【図３】
2008103518.tif 000005
【図４】
2008103518.tif 000006
【図５】
2008103518.tif 000007
【図６】
2008103518.tif 000008