(57)【要約】【課題】構成部品数を減らし、自動ロックが可能であること。【解決手段】取り外し可能な固定部材によってクリーンコンテナのカバー上に組み立てられており、このためクリーンコンテナの基部上でカバーを開閉することができる。固定部材は本体、位置決め部分、弾性固定アームを設けており、これらは全て一体に形成されている。位置決め部分は本体の一側部から延びて、板ばねを形成している。固定部材をカバー上に固定するために、板ばね上にはフランジが形成されている。弾性固定アームには弾性アームが設けられ、また、弾性アームの一端に形成された横フランジが基部内へ延び、そこで係止される。弾性固定アームの弾性強度を高めるために、固定部材は、弾性アームと本体の間に形成された弾性補助アームをさらに設けている。【選択図】図２
2008162698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンコンテナ基部上でカバーを開閉できるように、少なくとも１つの固定部材によって前記クリーンコンテナのカバー上に取り外し可能に組み立てられた前記クリーンコンテナの固定構造であり、前記基部の外部フレームの側面には少なくとも１つの溝が設けられ、前記カバーの側面には前記基部の外部フレームを被覆するために外方へ延びた内部板と外部板が設けられ、前記内部板と前記外部板の間には固定部材と係合するために少なくとも１つの収容溝が形成されており、前記収容溝の内部板には前記溝に対応する穴が形成されており、前記収容溝の前記外部板には位置決め穴と前記穴に対応するソケットとが形成されており、前記固定部材は、
本体を備え、
前記本体の一側部に形成された位置決め部分をさらに備え、前記位置決め部分は外方に傾斜した板ばねを有し、前記板ばねにはフランジが形成されており、前記フランジは前記カバーの外部板の前記位置決め穴に対応し、これに係止され、
前記位置決め部分に本体の他側部に形成された弾性固定アームをさらに備え、前記弾性固定アームは弾性アームと、前記弾性アームの一端に形成されている引き出しブロックとを有し、前記引き出しブロックは横フランジを有し、前記横フランジは、前記横フランジの頂面が前記基部の外部フレームに設けられた前記溝の内部頂面と係合できるよう、前記穴を通って前記溝内へ延びている、
クリーンコンテナの固定構造。
【請求項２】
前記本体はＵ字型のフレーム本体であり、第１フレームと第２フレームを備え、前記弾性固定アームは前記第１フレームから延び、前記位置決め部分は前記第２フレームから延びている、請求項１に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項３】
前記固定部材はさらに、前記弾性アームと前記第２フレームの間に形成された弾性補助アームを備えている、請求項１に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項４】
前記弾性補助アームの少なくとも一端は前記弾性アームまたは前記第２フレームに接続されている、請求項３に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項５】
前記弾性補助アームは前記弾性アームに対して垂直であるか、または傾斜している、請求項３に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項６】
前記弾性補助アームは第１支持アームと第２支持アームを備えている、請求項３に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項７】
前記第１支持アームおよび／または前記第２支持アームは弧状である、請求項６に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項８】
前記弾性補助アームは前記第１フレームおよび第２フレームに対して垂直である、請求項３に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項９】
前記第１支持アームと前記第２支持アームはＬ字型の構造であり、相互に対応している、請求項６に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１０】
前記第１支持アームと前記第２支持アームは半円形状をしており、相互に対応している、請求項６に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１１】
前記弾性補助アームは前記弾性補助アームから前記第２フレームにまで傾斜した形で延びており、前記第２フレームを接近している、請求項３に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１２】
前記弾性固定アーム上の前記横フランジの頂面は少なくとも１つのリブを有する、請求項１に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１３】
小さな開放断面範囲と大きな内部断面範囲を設けた傾斜面を形成するために、前記基部の前記溝の内部頂面は徐々に内方へ上昇しており、また、前記横フランジの頂面は前記内部頂面の傾斜面に対応している、請求項１に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１４】
前記位置決め部分は外方へ傾斜した板ばねを有し、前記フランジは前記板ばね上に配置されている、請求項２に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１５】
前記溝の前記内部頂面と前記フランジに向かう頂面は、少なくとも１つの係合構造を更に有する、請求項１４に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１６】
前記係合構造は前記横フランジの頂面に配置された少なくとも１つのバンプと、前記バンプに対応する、前記溝の内部頂面に形成された少なくとも１つの凹部を含み、あるいは、前記横フランジの頂面に形成された少なくとも１つの凹部と、前記凹部に対応する、前記溝の内部頂面に形成された少なくとも１つのバンプとを含む、請求項１５に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１７】
前記溝の内部頂面と前記フランジに向かう頂面は、少なくとも１つの係合構造をさらに有する、請求項１３に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１８】
前記係合構造は、前記横フランジの頂面に配置された少なくとも１つのバンプと、前記バンプに対応する、前記溝の内部頂面に形成された少なくとも１つの凹部とを含むか、あるいは、前記横フランジの頂面に形成された少なくとも１つの凹部と、前記凹部に対応する、前記溝の内部頂面に形成されたバンプとを含む、請求項１７に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項１９】
前記収容溝は、前記Ｕ字型のフレーム本体を前記収容溝内に係合させて位置決めするために、少なくとも１つの位置決めリブをさらに備えている、請求項１に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項２０】
前記Ｕ字型のフレーム本体は、前記位置決めリブを通過させる少なくとも１つの位置決めリブ管をさらに備えている、請求項１９に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【請求項２１】
前記クリーンコンテはマスク格納箱、レチクル格納箱、ウエハ格納箱、ガラス基板格納箱である、請求項１に記載のクリーンコンテナの固定構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコンテナの固定構造に関し、より具体的には、クリーンルームで使用されるクリーンコンテナの自動ロック式固定構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
マスク格納箱、レチクル格納箱、ウエハ格納箱、ガラス基板格納箱のようなコンテナを洗浄する場合、これら格納箱の中にマスク、レチクル、ウエハ、ガラス基板を配置することで、半導体またはフラットパネルディスプレイ処理に使用するマスク、レチクル、ウエハ、ガラス基板を収納する超クリーン格納環境に対する厳しい要求を満たし、さらに、マスク、レチクル、ウエハ、ガラス基板が粒子で汚染されること、静電負荷と静電場に影響が及ぶことを厳密に防止する。
【０００３】
最近では、半導体処理にはクラス１もしくはこれ以上のクリーンルーム環境が要求される。そのため、一般的な半導体の製造・組み立て工場や、フラットパネルディスプレイ製造工場では、マスク、レチクル、ウエハ、ガラス基板を超クリーン環境内で処理する必要がある。半導体処理の最中に、クリーンコンテナを用いてマスク、レチクル、ウエハ、ガラス基板の搬送、積荷および荷降ろし、格納を行うことで、マスク、レチクル、ウエハ、ガラス基板を超クリーン処理の要求を満たす環境内に置くことができる。
【０００４】
次に、レチクル格納箱を例にとって説明を行う。図１Ａは、米国特許出願公開第２００４／０００４７０４号で説明されているレチクル格納箱の組み立て分解等角図である。レチクル格納箱１０は、基部１１と、基部１１上を被覆する頂部カバー１２を設けている。頂部カバー１２の対向する２つの側面１２１のそれぞれには溝１２２が形成され、各溝１２２には弾性部品１３が収容されている。各弾性部品１３には２本の弾性アーム１３１が設けられ、また、各弾性アーム１３１の前部からフランジ１３３が突出している。このフランジが基部１１に形成された横溝１１１内に係合すると、頂部カバー１２が基部１１に固定される。
【０００５】
しかし、従来の弾性部品１３は溝１２２内に独立して受容されていること、弾性部品１３の落下を防止しなければならないことから、溝１２２内に追加の保持板１４を配置する必要があった。
また、この設計では、弾性アーム１３１の力アームが長いために、繰り返される弾性アーム１３１開閉時に支持点にかかるトルクが大きく、さらに、疲労により破損または屈曲が生じ易いことから弾性アームの機能が損失してしまい、弾性部品１３全体の交換が必要であった。
さらに、落下防止のために各弾性部品１３に保持板１４を設けることも必須であった。その結果、弾性部品１３と保持板１４の間の死角（デッドスペース）に粒子が堆積し易くなるだけでなく、レチクル格納箱１０の洗浄および乾燥オペレーションをスムーズに実施することが不可能となった。
【０００６】
図１Ｂは別の従来技術による別のレチクル格納箱を示す図であり、図１Ｃは図１Ｂ中の部分Ａの部分拡大図である。
この従来技術では、固定部材１５を固定するための摩擦力を金属ばね１６によって提供しており、さらに、金属カバー板１７を設けることで、固定部材１５のスピンドル回転を支持するだけでなく、関係する固定構成部品の落下を防止する。金属ばね１６と金属カバー板１７は、酸性／アルカリ性ガスおよび脱イオン化水と接触した場合、錆びて金属粒子が生じる可能性がある。
図１Ａに示した従来技術と同様に、固定部材と金属カバー板の間の死角に粒子が堆積し易くなるだけでなく、レチクル格納箱の洗浄および乾燥オペレーションをスムーズに実施できなくなる可能性がある。さらに、この従来技術では、部品数を増やしているので（固定機構には全部で１４個の部品を使用している）、従来技術はそれほど完全であるとは言えない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来技術の欠点を鑑み、本発明は固定構造を提供する。本発明では、固定構造部品の数を減らしており、また、固定構造をカバー上に直接位置決めし、基部上に固定した後に自動ロックすることが可能であり、さらに、弾性構成部品のクリーンコンテナの固定構造を補強することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
固定構成部品の個数を減らし、自動ロック後に自動ロック固定構造を形成する目的を達成するために、本発明は、少なくとも１つの固定部材によってクリーンコンテナのカバーに取り外し可能に搭載されるクリーンコンテナの固定構造を提供することで、クリーンコンテナの基部上でカバーを開閉できるようにした。
基部の外部フレームの側面には少なくとも１つの溝が形成されている。カバーの各側面には、基部の外部フレームを被覆するために外方へ延びた内部板と外部板が設けられている。
内部板と外部板の間には少なくとも１つの収容溝が形成されており、この収容溝内に固定部材を係合できるようになっている。収容溝の内部板にはこの溝に対応した穴が形成されており、さらに、収容溝の外部板には、位置決め穴と、上記穴に対応したソケットとが形成されている。
固定部材は本体、位置決め部分、弾性固定アームを具備し、これらは全て一体に形成されている。本体はほぼＵ字型のフレーム本体であってよい。
位置決め部分は本体の一側部に形成されており、さらに、外方へ傾斜した板ばねを設けている。
板ばねには、位置決め穴に対応し、これに係止されるフランジが設けられている。
弾性固定アームは本体の他側部に形成され、弾性アームを設けており、さらに、この弾性アームの一端には引き出しブロックが形成されている。
引き出しブロックには横フランジが設けられ、この横フランジが穴を通過して溝内へ延びることにより、横フランジの頂面が溝の内部頂面に係止される。
【０００９】
前述した弾性構成部品の補強の問題を解決するために、本発明は、弾性アームと本体の間に形成された弾性補助アームをさらに設けている。弾性補助アームの少なくとも一端は、垂直または傾斜した方向で弾性アームまたは本体に接続している。
【００１０】
前述した実施形態では、弾性補助アームはさらに第１支持アームと第２支持アームを設けることができる。第１支持アームまたは第２支持アームが弧状であるか、あるいは第１支持アームと第２支持アームの両方が弧状であってよい。
【００１１】
前述の実施形態では、横フランジの頂面に少なくとも１つのバンプ（凹凸）を追加することにより、横フランジと基部の溝を固定した際の接触範囲を縮小できる。
【００１２】
前述の実施形態では、溝の開放断面が小さく、溝の内部断面範囲が大きくなるように、外側から内側に向かって高くなった傾斜面を基部の溝の内部頂面に採用することで、カバー上の固定部材を基部に対してより堅固かつ自動的に固定することができる。
さらに、横フランジの頂面も上記傾斜面に対応する形に変更することで、横フランジが溝内に係止された後に、２つの傾斜面の間にロック状態を解除する動作方向への大きな摩擦力が形成され、自動ロックが形成される。
【００１３】
横フランジの水平面または傾斜面、および頂面の溝の内部頂面上に、少なくとも１つの係合構造をさらに設けることで、前述した実施形態がさらに向上する。
係合構造は、頂面に配置された少なくとも１つのバンプと、これに対応する内部頂面に形成された凹部、また、頂面に形成された少なくとも１つの凹部と、これに対応する内部頂面に配置された少なくとも１つのバンプを含んでいてよい。
【００１４】
前述した実施形態をさらに向上させるために、収容溝に少なくとも１つの位置決めリブをさらに設け、これをほぼＵ字型のフレーム本体に係合させて位置決めすることで、固定部材がカバーの収容溝により堅固に固定されるようにしている。
ほぼＵ字型のフレーム本体には、内部に位置決めリブが通る少なくとも１つのリブ管が設けられている。
【００１５】
本発明のこの実施形態により以下の効果が得られる。
保持板を使用して固定部材を固定する従来技術とは異なり、本発明によるクリーンコンテナのカバーと基部の固定構造は、固定部材の板ばねの一体形成された歯止めによってカバーに直接係合および固定されるため、部品数を減らすことができ、死角への粒子堆積が減少し、洗浄および乾燥処理を容易に実施することができる。
力ばねまたは金属ばねの長い固定アームが疲労によって作動不能となる従来技術の問題を克服するために、本発明では、弾性固定アームと弾性補助アームを利用して固定弾性強度を拡張している。
疲労が防止されることと、金属要素を使用しないことにより、固定の信頼性と清潔性が大幅に向上する。本発明は、固定部材の横フランジの頂面上にバンプを設けることで、横フランジと基部の溝を固定または解除する際に、相対動作関係にあるこれら要素の接触範囲が縮小し、これにより摩擦力が減少して、粒子の生成が防止される設計を利用したものである。
この係合構造は横フランジと基部の溝の接触面上にも配置されており、また、接触面によって自動ロック式傾斜面が形成される設計を採用しているため、固定によってさらなる安定性と自動固定機能を持ち、固定構造が衝撃を受けた時に生じる緩みが防止され、クリーンコンテナのロックが確保される。
【００１６】
以下の詳細な説明から、本発明のさらなる使用可能範囲が明白になる。
当業者は、この詳細な説明から本発明の精神および範囲内において様々な変更および修正が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、添付の図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態を詳細に示す。
【００１８】
まず図２は、本発明によるクリーンコンテナの固定構造の一実施形態の組み立て分解等角図であり、図３は、図２の固定部材とカバーの収容溝とを示す組み立て分解等角図であり、図４は、本発明の第１実施形態によるクリーンコンテナの固定構造の固定部材と弾性補助アームとを示す組み立て分解等角図である。
【００１９】
本発明のこの実施形態によるクリーンコンテナ２０の固定構造ではひとつまたは複数の固定部材５０を使用し、この固定部材５０をクリーンコンテナのカバー４０に取り外し可能に係合させ、組み合わせることで、カバー４０をクリーンコンテナの基部３０に対して固定・開放できるようになっている。
【００２０】
基部３０の外部フレームの側面３０１には、固定部材５０と同数の溝３１が設けられる。
【００２１】
カバー４０の側面４０１には、基部３０の外部フレームを被覆するために外方へ延びた内部板４１と外部板４２が設けられている。
内部板４１と外部板４２の間には少なくとも１つの収容溝４３が形成され、固定部材５０と係合できるようになっている。
収容溝４３の内面における内部板４１には、溝３１に対応した穴４３１が形成されている。収容溝４３の外部板４２には、位置決め穴４３３、穴４３１に対応したソケット４３２が形成されている。
【００２２】
固定部材５０には本体５１、位置決め部分５２、弾性固定アーム５３、弾性補助アーム５４が含まれ、これらは一体に形成されている。
【００２３】
本体５１はほぼＵ字型のフレーム本体５１１であってよく、第１フレーム５１１１と第２フレーム５１１２を設けている。
【００２４】
位置決め部分５２は第２フレーム５１１２から延びており、外方に傾斜した板ばね５２１を設けている。
【００２５】
板ばね５２１上には、複数の歯止めから成ることが好ましいフランジ５２２が配置されている。
【００２６】
フランジ５２２は位置決め穴４３３に対応し、この穴に係止されることで、固定部材５０をカバー４０に固着させる。本体５１の第１フレーム５１１１には弾性固定アーム５３が形成されている。
【００２７】
弾性固定アーム５３は弾性アーム５３１を設けている。弾性アーム５３１の一端には引き出しブロック５３２が設けられている。この引き出しブロック５３２に、穴４３１を通過して溝３１内へ延びる横フランジ５３３が設けられていることで、横フランジ５３３の頂面５３４と、横フランジ５３３に接触した溝３１の内部頂面３１１とを共に係止することができる。
【００２８】
ほぼＵ字型のフレーム本体５１１の第１フレーム５１１１および第２フレーム５１１２を通過する位置決めリブ４３４を収容溝４３の底部に形成するか、あるいは、位置決めリブ４３４を収容するリブ管５１１３をほぼＵ字型のフレーム本体５１１上に配置することで、ほぼＵ字型のフレーム本体５１１がカバー４０の収容溝４３により近接した位置で連結される。これにより、固定部材５０の堅固性と耐歪み性が向上する。
【００２９】
図５は、組み合わせた状態にある、本発明によるクリーンコンテナの固定構造の実施形態の等角図であり、図６は、図５中の線Ａ−Ａに沿った、取り外した状態にある略断面図である。
【００３０】
前述の実施形態によれば、クリーンコンテナ２０の固定構造では、まず固定部材５０がカバー４０にしっかりと連結される。
次に、本体５１が収容溝４３内に係合する。この係合工程中に、横フランジ５３３が外部板４２から突出し、内部板４１によって遮断される。
この時点で、引き出しブロック５３２が外力によって外方へ引き出され、また、弾性アーム５３１の曲げ特徴のために横フランジ５３３は内部板４１と接触しない。
この時、固定部材５０を直接係合させることができる。
【００３１】
位置決め部分５２の拡張した板ばね５２１が係合後に反力を形成することで、フランジ５２２が位置決め穴４３３によって堅固に固定される。
その後、引き出しブロック５３２に付加されている外力が解放されると、横フランジ５３３が元の状態を回復して穴４３１を通過し、内部板４１の外へ延びる。
【００３２】
さらに、カバー４０が基部３０を被覆する際に、カバー４０の固定部材５０と連結した各引き出しブロック５３２が、外力によって同時に外方へ引き出される。
この時に、引き出しブロック５３２に付加された外力の方向のために、外側へ逸脱する応力が固定部材５０にかかり、この逸脱方向によって位置決め部分５２の板ばね５２１上のフランジ５２２が位置決め穴４３３内部に深く係合する。
これにより、弾性固定アーム５３の開放時における固定部材５０のロック力がさらに増加して、固定部材５０がカバー４０から外れ難くなる。
【００３３】
引き出しブロック５３２が引き出されたことに反応して全ての横フランジ５３３がカバー４０の内部板４１から出ると（引き出しブロック５３２を外部に対して横方向に移動させることで、引き出しブロック５３２のソケット４３２への出入りが可能になる）、基部３０が整列して移動し（またはカバー４０が基部３０へと移動し）、溝３１が穴４３１と整列する。
【００３４】
外力を解放すると、横フランジ５３３が穴４３１を通過して溝３１に入り、基部３０とカバーが共に固定される。
【００３５】
横フランジ５３３と溝３１の係止構造に関しては、さらに向上の余地がある（図６中の線Ｂ−Ｂに沿った、取り外し状態にある略断面図である図７を参照）。
さらに、横フランジ５３３の頂面５３４には少なくとも１つのリブ５３５が配置され、溝３１の内部頂面３１１とリブ５３５のみが接触するようになっている。これにより、相対動作に対する摩擦力と、摩擦による細かい粒子の生成とが低減される。
【００３６】
図８は、本発明の一実施形態によるクリーンコンテナの、横フランジと係合構造の固定を示す略図である。
係合構造を横フランジ５３３の頂面５３４上に配置することにより、横フランジ５３３と溝３１の連結力が増強される。
この係合構造では、頂面５３４に少なくとも１つのバンプ５３６が設けられ、内部頂面３１１に、これに対応する少なくとも１つの凹部３１２が形成され、さらに、内部頂面に少なくとも１つのバンプ（図示せず）が形成されている。
【００３７】
図９は、本発明の一実施形態によるクリーンコンテナの固定構造の斜面を形成するための、横フランジと溝の接触面との固定を示す略線図である。
横フランジ５３３と溝３１の係止構造の設計に関しては、溝３１の内部頂面３１１を斜面３１３として設計することも可能である。斜面３１３を徐々に内方へ上昇させることで、開放された断面範囲が狭く、内部の断面範囲が広い状態が形成される。
【００３８】
さらに、横フランジ５３３の頂面５３４は、内部頂面３１１に対応した斜面５３７であり、これは、２つの斜面３１３、５３７が相互に係合した設計と類似している。横フランジ５３３を溝３１に挿入した後に、これら２つの構成部品を分離すると大きな摩擦力が生成され、これにより自動ロック機能が実現される。
【００３９】
さらに、図１０乃至図１５は、本発明の様々な実施形態によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの略図である。図１０に示す第２実施形態の弾性補助アームでは、この弾性補助アーム５４ａは第１フレーム５１１１（または弾性アーム５３１）および第２フレーム５１１２に対して垂直である。
【００４０】
図１１に示す第３実施形態の弾性補助アームの場合、弾性補助アーム５４ｂは、第１フレーム５１１１（または弾性アーム５３１）と第２フレーム５１１２の間に形成された第１支持アーム５４１ｂと第２支持アーム５４２ｂを設けており、また、第１支持アーム５４１ｂと第２支持アーム５４２ｂはほぼＬ字型の構造であり、相互に対応している。
【００４１】
図１２に示す第４実施形態の弾性補助アームの場合、弾性補助アーム５４ｃは、構造および接続関係において第３実施形態の弾性補助アーム５４ｂと類似しているが、第１支持アーム５４１ｃと第２支持アーム５４２ｃの根元部分のみ、第３実施形態のものよりも短くなっている。
【００４２】
図１３に示す第５実施形態の弾性補助アームの場合、弾性補助アーム５４ｄは、第１フレーム５１１１（または弾性アーム５３１）と第２フレーム５１１２の間に形成された第１支持アーム５４１ｄと第２支持アーム５４２ｄを設けており、第１支持アーム５４１ｄと第２支持アーム５４２ｄは相互に対応している半円構造であり、相互に接続している。
【００４３】
図１４に示す第６実施形態の弾性補助アームの場合、弾性補助アーム５４ｅは、構造および接続関係において第５実施形態の弾性補助アーム５４ｄと類似しているが、第１支持アーム５４１ｅと第２支持アーム５４２ｅの根元部分のみ、第５実施形態のものよりも短くなっている。
【００４４】
図１５に示す第７実施形態の弾性補助アームの場合には、弾性補助アーム５４ｆは弾性アーム５３１から第２フレーム５１１２にまで傾斜した形で延び、第２フレームに接近している。
【００４５】
本発明を説明してきたが、本発明は様々方法で変更できることが明白である。このような応用形は本発明の精神および範囲からの逸脱としてみなされるものではない。当業者には、このような変更の全てが特許請求の範囲に含まれるものであることが明白であろう。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】従来技術によるレチクル格納箱の組み立て分解等角図である。
【図１Ｂ】別の従来技術によるレチクル格納箱の頂部カバーの底面図である。
【図１Ｃ】図１Ｂ中の部分Ａを拡大した部分拡大図である。
【図２】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の実施形態を示す組み立て分解等角図である。
【図３】カバーの収容溝と固定部材の実施形態の組み立て分解等角図である。
【図４】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の固定部材および弾性補助アームの第１実施形態を示す組み立て分解等角図である。
【図５】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の実施形態を示す組み立て分解等角図である。
【図６】図５中の線Ａ−Ａに沿った、取り外し状態にある略断面図である。
【図７】図６中の線Ｂ−Ｂに沿った、取り外し状態にある略断面図である。
【図８】本発明によるクリーンコンテナの固定構造における、横フランジと溝の係合構造を固定する場合の略図である。
【図９】本発明による固定構造のクリーンコンテナに傾斜面を形成するために、横フランジと溝の接触面を固定する場合の略図である。
【図１０】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの第２実施形態の略図である。
【図１１】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの第３実施形態の略図である。
【図１２】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの第４実施形態の略図である。
【図１３】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの第５実施形態の略図である。
【図１４】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの第６実施形態の略図である。
【図１５】本発明によるクリーンコンテナの固定構造の弾性補助アームの第７実施形態の略図である。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2008162698.tif 000016
【図１３】
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【図１４】
2008162698.tif 000018
【図１５】
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【外国語明細書】
2008162698000001.pdf