(57)【要約】【課題】ＤＭＤ等の反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージに使用されたときに、映像投影用の光源からの照射光に対して不所望の光反射（ノイズ光）が発生するのを防止すること。【解決手段】パッケージ用キャップ３０は、光不透過性の材料からなり、中央に所要の大きさで面方向と垂直な方向に貫通する開口部を有した板状のフレーム部３１と、光透過性の材料からなり、両面が平坦に成形され、かつ、フレーム部３１の開口部のエッジ部分との間に段差３４を有して該開口部の側面周囲に気密に接合された板状のウィンドウ部３３とを備える。さらに、段差３４が形成されている部分を覆って光吸収部３５が形成されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光不透過性の材料からなり、中央に所要の大きさで面方向と垂直な方向に貫通する開口部を有した板状のフレーム部と、
光透過性の材料からなり、両面が平坦に成形され、かつ、前記フレーム部の開口部のエッジ部分との間に段差を有して該開口部の側面周囲に気密に接合された板状のウィンドウ部とを備え、
前記段差が形成されている部分を覆うように光吸収部が形成されていることを特徴とするパッケージ用キャップ。
【請求項２】
前記パッケージ用キャップが、映像投影用の光源から照射された光を反射させて所定の範囲内の方向に指向させるよう制御する機能を有した反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに用いられたときに、
前記光吸収部は、前記光源からの照射光の一部が前記光吸収部の表面で反射された場合に当該反射光が前記所定の範囲内から外れる方向に指向されるように当該表面の形状が成形されていることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ用キャップ。
【請求項３】
前記光吸収部は、前記段差が形成されている部分を覆って被着されたポリカーボネート樹脂又はアクリル樹脂の中に黒色顔料もしくは黒色染料インクが分散されてなることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ用キャップ。
【請求項４】
前記光吸収部は、前記段差が形成されている部分を覆って被着されたポリカーボネート樹脂又はアクリル樹脂の表面に黒色顔料もしくは黒色染料インクがコーティングされてなることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ用キャップ。
【請求項５】
前記フレーム部及び前記ウィンドウ部は、互いに熱膨張係数の近似した材料を用いて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のパッケージ用キャップ。
【請求項６】
前記フレーム部は、コバールの表面にニッケルめっき及び金めっきが施された金属からなり、前記ウィンドウ部は、硼珪酸ガラスで形成されていることを特徴とする請求項５に記載のパッケージ用キャップ。
【請求項７】
前記ウィンドウ部は、前記硼珪酸ガラスの代わりに、透明樹脂を用いて形成されていることを特徴とする請求項６に記載のパッケージ用キャップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパッケージ用キャップに関し、特に、ＤＭＤ(Digital Micro-mirror Device）等に代表される反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに用いられ、その光デバイスからの反射光を透過させるためのウィンドウ部を備えたパッケージ用キャップに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＭＤ等の反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに用いられるパッケージ用キャップは、パッケージの外部から照射される特定波長の光を透過させるとともにその照射光に対し当該光デバイスで反射された光を透過させるために透明なウィンドウ部を備えている。かかるウィンドウ部を備えた従来のパッケージ用キャップは、図１に例示するような工程を経て製造されている。
【０００３】
先ず、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、中央に所要の大きさで面方向と垂直な方向に貫通する開口部ＯＰが形成された板状の金属製のフレーム部１１を用意する一方で、この開口部ＯＰに嵌合する大きさに成形された板状のガラス１３を用意する。フレーム部１１は、後でガラス１３と溶着される際の便宜を考慮して、ガラスと熱膨張係数が近似している材料、典型的には、コバールから作られている。また、フレーム部１１は、その下部面の周縁部分が外方に突出してフランジ１２を規定するように成形されている。このフランジ１２の下面はシール面となっており、キャップで封止されるべきパッケージの開口部周縁に沿って設けられた、シーム溶接の際に用いる金属製のシールリングに接触する部分である。
【０００４】
次に、ガラス１３をフレーム部１１の開口部ＯＰに嵌合して両者を溶着法により気密に接合した後、図１（ｃ）に示すように、ガラス１３の両面を研磨して平坦に成形する。このガラス研磨（平坦化）は、映像系で使えるようにするためである。この場合、好ましくはガラス１３の表面がフレーム部１１の表面と一致するように平坦化できればよいが、ガラス１３の表面がフレーム部１１の表面と同一面に達した時点で研磨を正確に止めることは技術的に困難であり、その場合にガラス１３と異なる材質（金属）からなるフレーム部１１も同時に研磨してしまうことになり、そのことがガラス１３の表面に悪影響を及ぼしてしまう（例えば、ガラス表面にキズが発生する）。
【０００５】
このため、ガラス１３の研磨（平坦化）をフレーム部１１の表面が研磨される直前の時点で止めるようにしている。その結果、図１（ｄ）に示すように最終的な製品として出来上がったパッケージ用キャップ１０は、平坦化されたガラス（ウィンドウ部１３ａ）とフレーム部１１の接合部分において少なからず不均一な段差（段差部分１４）が発生してしまう。
【０００６】
かかるパッケージ用キャップ１０は、例えば、図２（ａ）に模式的に示すように、ＤＭＤ（チップ）２２を内部に搭載したパッケージ２０の開口部２１を気密封止するのに使用される。ＤＭＤは、米国テキサス・インスツルメンツ社が開発したマイクロミラー（約１６μｍ×１６μｍ）による光・電子集積デバイスの商標であり、５０万個以上のマイクロミラーをＣＭＯＳのＳＲＡＭ上に集積し、光源からの光を反射させその反射光の向きを制御する反射型光変調装置である。かかるＤＭＤはＤＬＰ(Digital Light Processing ）と呼ばれる映像技術を利用したシステムに多く使用されている。ＤＭＤはＭＥＭＳ素子（＝Micro Electro-Mechanical Systems、マイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、制御回路を集積化した微細システムの総称）であり、ＳＲＡＭからのデジタル信号によって個々のマイクロミラーが電気機械的に制御され、所定の角度（＋１０度、−１０度）で互いにぶつからないように傾く。ＳＲＡＭからのデジタル信号により、映像を映し出すために必要な部分のマイクロミラーは＋１０度（オン）に、必要でない部分のマイクロミラーは−１０度（オフ）に傾く。ミラー面に光を当てると、オン状態のマイクロミラーに当たった光だけが投射レンズ（図示せず）を通してスクリーンに映像を映し出す（映像投影）。
【０００７】
つまり、ＤＭＤ２２を利用したシステムでは、映像投影用の光源２５からキャップ１０のウィンドウ部を通して照射された光を、ＤＭＤ上で個々に制御されたマイクロミラーで反射させ、その反射光によって画像（投影映像）を作り出し、その投影映像をウィンドウ部を通して所定の範囲内の方向（スクリーン上）に指向させている。
【０００８】
上記の従来技術に関連する技術としては、例えば、特許文献１に記載されるように、ハウジング内にＤＭＤが配置され、そのハウジングの開口部を蓋により密封した装置において、該蓋を、金属フレームと、該フレームの開口部に支持された放射透過性ウィンドウ素子と、該ウィンドウ素子の一側面に設けられたクロム層とにより構成し、該クロム層を貫通して設けた穴に隣接する該クロム層のエッジ部分を、ウィンドウ素子に対して、既存の装置よりも大きい鋭角をなすように成形することで、不所望の光効果を防止するようにしたものがある。
【特許文献１】特表２００５−５１６２５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように従来のウィンドウ部を備えたパッケージ用キャップ（図１）では、その製造にあたり、ガラス部分（ウィンドウ部）と金属部分（フレーム部）を同時に研磨することによって生じる不都合（ガラス表面にキズが発生するなど）を回避するためにガラス研磨を所定の時点で止めるようにしており、その結果、図１（ｄ）に示すように最終的に平坦化されたガラス（ウィンドウ部１３ａ）とフレーム部１１の接合部分には必然的に段差部分１４が発生してしまう。そして、かかるパッケージ用キャップは、図２（ａ）に例示したようなパッケージ２０（その内部にＤＭＤ２２が搭載されている）を封止するのに使用され、その場合、映像投影用の光源２５から照射された光を個々のミラー面で反射させ、その反射光（投影映像）をスクリーン上に投影して映像を作り出している。
【００１０】
このようにガラス部分と金属部分の境界に段差部分を有したパッケージ用キャップを、内部にＤＭＤを搭載したパッケージを封止するのに使用したときに、スクリーンに投影される映像が比較的暗い場合にはさほど問題とはならないが、光源の輝度を上げて照射光の強度を増大させた場合に問題が生じる。すなわち、照射光の強度の増大により、不要な部分への照射量（本来照射すべきウィンドウ部の表面以外の部分への照射量）も同時に増えてしまい、それに伴い、図２（ｂ）に例示するようにガラス端面（段差部分１４）で反射される光が増えるため、散乱した光によって投影される映像にノイズ光となって映ってしまう（例えば、黒く見えるべき部分が明るく映ってしまう）といった課題があった。
【００１１】
かかる課題は、ＤＭＤを搭載したパッケージに限らず、ＤＭＤ以外の反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージをキャップで封止する場合にも同様に起こり得る。
【００１２】
本発明は、かかる従来技術における課題に鑑み創作されたもので、ＤＭＤ等の反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージに使用されたときに、映像投影用の光源からの照射光に対して不所望の光反射（ノイズ光）が発生するのを防止することができるパッケージ用キャップを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の従来技術の課題を解決するため、本発明の基本形態によれば、光不透過性の材料からなり、中央に所要の大きさで面方向と垂直な方向に貫通する開口部を有した板状のフレーム部と、光透過性の材料からなり、両面が平坦に成形され、かつ、前記フレーム部の開口部のエッジ部分との間に段差を有して該開口部の側面周囲に気密に接合された板状のウィンドウ部とを備え、前記段差が形成されている部分を覆うように光吸収部が形成されていることを特徴とするパッケージ用キャップが提供される。
【００１４】
本発明に係るパッケージ用キャップによれば、フレーム部とウィンドウ部の接合部分において段差が形成されている部分を覆うように光吸収部を形成しているので、ＤＭＤ等の反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに使用されたときに（図２（ａ）参照）、映像投影用の光源から照射された光のうち光吸収部の表面に入射する光については光吸収部内に吸収することができる。これによって、従来技術に見られたような不所望の光反射（無制御に散乱された光）が発生するのを効果的に抑えることができ、反射光（散乱光）がノイズ光となって投影画面（スクリーン上）に映し出されるのを防止することができる。
【００１５】
また、映像投影用の光源の輝度を上げて照射光の強度を増大させた場合でも、フレーム部とウィンドウ部の境界部分では、光吸収部の作用により、不所望の光反射が発生しないので、投影画面に映し出される映像の品質を低下させることもない。
【００１６】
また、本発明の他の形態によれば、上記の形態に係るパッケージ用キャップが、映像投影用の光源から照射された光を反射させて所定の範囲内の方向に指向させるよう制御する機能を有した反射型光デバイスを内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに用いられたときに、前記光吸収部は、前記光源からの照射光の一部が前記光吸収部の表面で反射された場合に当該反射光が前記所定の範囲内から外れる方向に指向されるように当該表面の形状が成形されていることを特徴とするパッケージ用キャップが提供される。
【００１７】
この形態に係るパッケージ用キャップによれば、映像投影用の光源から照射されて光吸収部の表面に入射した光が光吸収部で完全に吸収されずに反射された場合でも、当該反射光を所定の範囲内（映像投影範囲内）から外れる方向に指向させるように光吸収部の表面の形状を適宜変更（成形）している。従って、上記の形態に係るパッケージ用キャップの場合と同じ方向から入射した光が光吸収部の表面で反射されてノイズ光となっても、そのノイズ光が投影画面（スクリーン上）に映し出されるのを防止することができる。
【００１８】
本発明に係るパッケージ用キャップの他の構成上の特徴及びそれに基づく有利な利点等については、後述する発明の実施の形態を参照しながら詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図３は本発明の一実施形態に係るウィンドウ部を備えたパッケージ用キャップの構成を模式的に示したものである。図中、（ａ）は本実施形態に係るパッケージ用キャップ３０を上面側（パッケージ内部に対向する側と反対側の面）から見た構造、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ’線に沿って見たキャップ３０の断面構造を示している。
【００２１】
本実施形態に係るパッケージ用キャップ３０は、ＤＭＤ等に代表される反射型光デバイス（チップ）を内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに好適に使用され得る。特に図示はしないが、本キャップ３０で当該パッケージの開口部を封止したときの状態は、図２（ａ）に例示したような状態（ＤＭＤ２２を内部に搭載したパッケージ２０の開口部２１をキャップ１０で封止したときの状態）と同様である。
【００２２】
本実施形態のパッケージ用キャップ３０は、基本的には、図３に示すように中央に所要の大きさで開口部が形成された板状の金属製のフレーム部３１と、このフレーム部３１の開口部の側面周囲に気密に接合された板状のガラス製のウィンドウ部３３とによって構成されており、さらに、後述するようにキャップ３０の上面側でフレーム部３１とウィンドウ部３３の接合部分に沿って環状に光を吸収する材料からなる部材（光吸収部３５）を設けたことを特徴とする。また、フレーム部３１は、その下部面の周縁部分が外方に突出してフランジ３２を規定し、このフランジ３２の下面（パッケージ内部に対向する側の面）は、平坦に成形された「シール面」を規定する。このシール面は、本パッケージ用キャップ３０で封止されるべきパッケージの開口部周縁に沿って設けられた、シーム溶接の際に用いる金属製のシールリングに接触する部分である。
【００２３】
本実施形態に係るウィンドウ部３３を備えたパッケージ用キャップ３０は、基本的には図１に例示したような従来の製造方法と同様にして製造することができる。すなわち、中央に所要の大きさで面方向と垂直な方向に貫通する開口部が形成された板状の金属製のフレーム部３１を用意する一方で、この開口部と同じ形状及び大きさに成形された板状のガラスを用意し、このガラスをフレーム部３１の開口部に嵌合して両者を溶着法により気密に接合した後、ガラスの両面を研磨（平坦化）し、この研磨（平坦化）をフレーム部３１の表面が研磨される直前の時点まで行うことで、ウィンドウ部３３を備えたパッケージ用キャップ３０を作製することができる。
【００２４】
このようにして研磨（平坦化）を終了した後に出来上がったパッケージ用キャップ３０は、図３（ｂ）に示すように金属部分（フレーム部３１）とガラス部分（ウィンドウ部３３）の接合部分において、従来技術において見られた段差部分（図１（ｄ）において１４で示す部分）と同様の段差部分３４が生じている。この段差部分３４をそのままにしておくと図２（ｂ）に例示したような問題が生じるので、これを解消するため、本実施形態では、図示のように段差部分３４を覆うようにして環状に光吸収部３５を形成している。
【００２５】
ガラス研磨（平坦化）に先立ってガラスとフレーム部３１を溶着法により気密接合するにあたり、本実施形態では、いわゆる「マッチド・タイプ」と呼ばれる溶着法を用いている。この方法では、接合対象の材料として互いに熱膨張係数の近似したものを使用するため、溶着時と溶着後の温度の変化に左右されずに両者間の気密性をより高く維持できるからである。
【００２６】
これに鑑み、フレーム部３１の材料としては、ガラスと熱膨張係数が近似しているコバール（鉄（Ｆｅ）：５３％、ニッケル（Ｎｉ）：２８％、コバルト（Ｃｏ）：１８％の合金）を使用している。さらに、フレーム部３１のフランジ３２（シール面）とパッケージの開口部周縁に沿って設けられたシールリングとを抵抗溶接（シーム溶接）したときに両者間の気密性を高めるために、コバールの表面にニッケル（Ｎｉ）めっき及び金（Ａｕ）めっきを施している。一方、ウィンドウ部３３の材料としては、フレーム部３１を構成するコバールとの熱膨張係数の差が小さいガラス、例えば、アルカリ含有の硼珪酸ガラスを使用している。また、フレーム部３１の厚さは２．８ｍｍ程度に、ウィンドウ部３３の厚さは３ｍｍ程度にそれぞれ形成されている。従って、研磨（平坦化）を終了した後にフレーム部３１とウィンドウ部３３の接合部分には、１００μｍ〜２００μｍ程度の段差部分３４が生じることになる。
【００２７】
また、ガラス部分（ウィンドウ部３３）の表面には、特に図示はしていないが、通常のガラス表面にコーティングされている反射防止膜と同様の透明な単層膜もしくは多層膜が形成されている。例えば、弗化マグネシウムや二酸化珪素などの材料からなる光透過性の単層膜、あるいはこれを複数層重ね合わせた多層膜を、３００ｎｍ程度の厚さに形成して反射防止膜とすることができる。
【００２８】
本発明を特徴付ける光吸収部３５の材料としては、基本的には黒色顔料もしくは黒色染料インクが用いられ、このインクを分散もしくはコーティングするベースとなる材料として、例えば、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂等の透明樹脂が用いられる。例えば、黒色顔料は、酸化鉄、酸化クロム、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化マンガン、酸化銅などの調合から得ることができる。従って、段差部分３４を覆うようにポリカーボネート樹脂等を印刷等により被着させて樹脂層を形成し、この樹脂層の表面に、例えば、酸化鉄と酸化クロムからなる黒色顔料を水又は溶媒に混合したもの（インク）を塗布することによって、光吸収部３５を形成することができる。なお、光吸収部３５は、必ずしも図示のようにフレーム部３１の表面からウィンドウ部３３（及び反射防止膜）の表面にかけて形成する必要はないが、少なくとも段差部分３４のエッジ部分が露出しないように段差部分３４の側面全体を覆って形成する必要がある。
【００２９】
本実施形態に係るパッケージ用キャップ３０は、上述したようにＤＭＤ等の反射型光デバイス（チップ）を内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに好適に使用することができる。本キャップ３０で当該パッケージの開口部を封止したときの構成については、本発明の要旨と直接関係しないので特に図示はしないが、簡単に説明すると以下の通りである。すなわち、本キャップ３０で封止されるべきパッケージ側では、該パッケージの開口部周縁の上面にメタライズ膜（例えば、タングステン（Ｗ）にＮｉめっきを施したもの）が環状に形成され、このメタライズ膜上に、金属製（例えば、コバール）のシールリングが、金属ろう（例えば、銀（Ａｇ）−銅（Ｃｕ）ろう）を介して接合され、さらにＮｉ／Ａｕめっきが施されている。本実施形態に係るパッケージ用キャップ３０は、シーム溶接により、フランジ３２の下面（シール面）を介してパッケージ側のシールリングに抵抗溶接されて、当該開口部を気密封止する。パッケージの内部には、所定の箇所にＤＭＤチップが搭載されており、かかる配置により、キャップ３０のウィンドウ部３３を通して、映像投影用の光源から照射された光を反射させて所定の範囲内（映像系におけるスクリーン）の方向に指向させることができる（図２（ａ）参照）。
【００３０】
以上説明したように、本実施形態に係るパッケージ用キャップ３０（図３）の構成によれば、フレーム部３１とウィンドウ部３３の接合部分に生じている段差部分３４を覆うように光吸収部３５を形成しているので、ＤＭＤ（反射型光デバイス）を内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに用いられたときに（図２（ａ）参照）、映像投影用の光源から照射された光のうち光吸収部３５の表面に入射する光については光吸収部３５内に吸収することができる。これにより、従来技術（図２（ｂ））に見られたような不所望の光反射（無制御に散乱された光）が発生するのを抑制し、反射光（散乱光）がノイズ光となってスクリーン上の投影画像に映りこむのを防止することができる。
【００３１】
また、映像投影用の光源の輝度を上げても、ガラス部分（ウィンドウ部３３）と金属部分（フレーム部３１）の境界部分、すなわち、光吸収部３５が形成されている部分では不所望の光反射が発生しないので、スクリーンに映し出される映像の品質を低下させることもない。
【００３２】
上述した実施形態では、映像投影用の光源からの光の一部が光吸収部３５の表面に入射してもその表面で反射されることなく完全に吸収されることを前提として説明したが、光吸収部３５の表面の形状と光の入射方向によっては、その入射光を必ずしも完全に吸収できるとは限らない。その場合には、入射光を吸収しきれずに一部の光が反射され、その反射光（散乱光）がノイズ光となって投影画像に映りこむことも想定される。図４は、そのような場合に対処できるよう改善された実施形態を示したものである。
【００３３】
図４において、（ａ）は映像投影用の光源２５からの光の一部が光吸収部３５の表面で反射されて映像投影範囲内の方向に進行している状態（つまり、ノイズ光が投影画像に映りこむ状態）を模式的に示しており、（ｂ）はかかる不都合な状況を解消した後の状態を示している。すなわち、（ｂ）に模式的に示すように光吸収部３５ａの表面の形状を適宜変更することにより、（ａ）の場合と同じ方向から入射した光が光吸収部３５ａの表面で反射されてノイズ光となっても、そのノイズ光を映像投影範囲内（映像系におけるスクリーン）から外れる方向に指向させる（ノイズ光の向きを制御する）ことができる。
【００３４】
本実施形態に係るキャップ３０ａは、上述した実施形態に係るキャップ３０と同様に、ＤＭＤチップ（反射型光デバイス）を内部に搭載したパッケージの開口部を気密封止するのに用いられる。かかるパッケージにおいては、チップ側のミラーの可動角度は決まっているので、チップに対する光の入射方向及びミラー面での光の反射方向を特定することができる。従って、チップに対する光源２５の位置と映像投影範囲（ミラーで反射された光によって作り出される映像が映し出されるスクリーン）との相対的な配置関係を考慮し、光吸収部３５ａの表面の形状を適宜変更することで、光吸収部３５ａで完全に吸収しきれずに散乱された光（反射光）がノイズ光となって投影映像に映りこむのを防ぐことができる。
【００３５】
なお、上述した実施形態では、パッケージ用キャップ３０，３０ａを製造するに際し、金属部分（フレーム部３１）とガラス部分（ウィンドウ部３３）を「マッチド・タイプ」の溶着法により接合する場合を例にとって説明したが、本発明の要旨（フレーム部とウィンドウ部の接合部分に生じている段差部分を光吸収性の部材で覆うこと）からも明らかなように、金属部分とガラス部分を接合する方法はこれに限定されないことはもちろんである。要は、両者間に十分な気密性が確保されていればよく、上記の方法以外にも、「コンプレッション・タイプ」と呼ばれる溶着法を用いることも可能である。これは、接合対象の材料として互いに熱膨張係数の差が大きいもの（この場合、金属部分の熱膨張係数よりもガラス部分の熱膨張係数の方が大きくなっている材料）を使用し、溶着時に両者間に作用する熱膨張係数の差に起因する収縮力によって両者を気密に接合する方法である。
【００３６】
また、上述した実施形態では、ウィンドウ部３３をガラスで形成した場合を例にとって説明したが、ウィンドウ部３３の機能を考慮すると、少なくとも光透過性の材料で形成されていれば十分であり、ガラス以外にも、例えば、アクリル樹脂等の透明樹脂を用いてウィンドウ部３３を形成することも可能である。ただし、この場合には、使用する透明樹脂の熱膨張係数の大きさを考慮して、金属部分（フレーム部３１）との接合の際に適宜溶着法を選択し、あるいは他の接合方法を選択する必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】ウィンドウ部を備えたパッケージ用キャップの製造方法を説明するための図である。
【図２】従来技術に係るウィンドウ部を備えたパッケージ用キャップの実装例及びその問題点を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るウィンドウ部を備えたパッケージ用キャップの構成を模式的に示す図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るキャップの要部（光吸収部）の形状を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０，３０，３０ａ…パッケージ用キャップ、
１１，３１…フレーム部、
１２，３２…フランジ、
１３ａ，３３…ウィンドウ部、
１４，３４…段差部分、
２０…パッケージ、
２１…パッケージの開口部、
２２…ＤＭＤ（反射型光デバイス）、
２５…映像投影用の光源、
３５，３５ａ…光吸収部、
ＯＰ…フレーム部の開口部。
【図１】
2008124255.tif 000003
【図２】
2008124255.tif 000004
【図３】
2008124255.tif 000005
【図４】
2008124255.tif 000006