(57)【要約】【課題】多チャンネルの計測回路に対し、安定した制御を実行できる計測制御装置を提供する。【解決手段】個々の計測回路２２を制御するためのデータ信号を与えるＰＣＩバス４等を用いた低速バスと、伝送経路５２を用いて上記データ信号を計測回路２２に与える高速バスと、を設ける。計測回路２２当たり使用されるバスの本数として、低速バスの本数が高速バスの本数に比べて大きくされている。バス拡張モジュール１は、低速バスを拡張して計測回路２２に割り当てる。【選択図】図１
2008275402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多重チャンネルの計測回路群を用いて被検査体の検査を行わせるために前記計測回路群を制御する計測制御装置において、
前記計測回路群に個々の計測回路を制御するためのデータ信号を与える低速バスと、
前記計測回路群に前記データ信号を与える高速バスと、
を備えることを特徴とする計測制御装置。
【請求項２】
前記計測回路当たり使用されるバスの本数として、前記低速バスの本数が前記高速バスの本数に比べて大きくされていることを特徴とする請求項１に記載の計測制御装置。
【請求項３】
前記低速バスを拡張して前記計測回路に割り当てるバス拡張手段を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の計測制御装置。
【請求項４】
前記計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるための、前記低速バスおよび前記高速バスとは独立したトリガラインを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の計測制御装置。
【請求項５】
前記計測回路からアラームを通知するための、前記低速バスおよび前記高速バスとは独立したアラームラインを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の計測制御装置。
【請求項６】
多重チャンネルの計測回路群を用いて被検査体の検査を行わせるために前記計測回路群を制御する計測制御装置において、
前記計測回路群に個々の計測回路を制御するためのデータ信号を与えるデータバスと、
前記データバスとは独立して設けられ、前記計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるためのトリガラインと、
を備えることを特徴とする計測制御装置。
【請求項７】
前記トリガラインを、前記計測回路からアラームを通知するためのアラームラインとして用いることを特徴とする請求項６に記載の計測制御装置。
【請求項８】
前記計測回路には、前記被検査体に接触するコンタクトピンがそれぞれ接続されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の計測制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多重チャンネルの計測回路群を用いて被検査体の検査を行わせるために計測回路群を制御する計測制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検査体であるＩＣの電極パッドに検査装置のコンタクトピンを接触させて検査を行う検査システムが知られている。コンタクトピンには計測回路が接続されており、コンタクトピンと電極パッドを接触させた状態で、計測回路を用いて被検査体を検査する。計測回路には所定の電圧を出力する電圧出力回路が含まれるものとする。このような検査システムではコンタクトピンの数に対応する多数のチャンネルの計測回路が設けられており、これらの動作を的確なタイミングで制御する必要がある。図４は、計測回路群を制御する計測制御装置の構成例を示している。図４の例では、バスコントローラ１２１，１２１，・・・が高速バス８を介してデイジーチェーンの形態で上位側機器１０３に接続され、計測回路１２２，１２２，・・・が低速バス９を介してバスコントローラ１２１に接続されている。このように、高速バスの下に低速バスがぶら下がる形態をとっている。高速バス８には、計測回路１２２，１２２，・・・の動作内容を指示するデータ信号、および動作のタイミングを指示するための同期信号の両者が流される。
【特許文献１】特開２０００−１６２２８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の計測制御装置では、計測回路に与えられるデータには冗長性がなく、ノイズによる誤動作等に対処することができない。
【０００４】
また、高速かつ多チャンネルの検査システムを構築する場合、高速バスを用いた通信の安定性が確保できないことがあり、例えば、開発されたソフトウェアを評価することができず開発に長時間を要してしまう。ハードウェアが安定するのを待って、はじめて実機評価が可能となるため、システムの開発に困難を生ずる。とくにフラットパネルを検査する装置の場合など、チャンネル数が大きく（例えば、１０００チャンネル以上に）なるとシステムの開発負担が増大する。
【０００５】
また、検査システムのユーザにとっても、新たなアルゴリズムの試験時や、高速通信の通信異常時などには、低速でもよいから、必要な試験や検査工程を安定的に行いたい場合がある。
【０００６】
本発明の目的は、多チャンネルの計測回路に対し、安定した制御を実行できる計測制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の計測制御装置は、多重チャンネルの計測回路群を用いて被検査体の検査を行わせるために前記計測回路群を制御する計測制御装置において、前記計測回路群に個々の計測回路を制御するためのデータ信号を与える低速バスと、前記計測回路群に前記データ信号を与える高速バスと、を備えることを特徴とする。
この計測制御装置によれば、同一のデータ信号を取り扱う低速バスおよび高速バスを設けているので、計測回路へのデータに冗長性を付加できるとともに、低速バスを用いて安定した制御を実行できる。
【０００８】
前記計測回路当たり使用されるバスの本数として、前記低速バスの本数が前記高速バスの本数に比べて大きくされていてもよい。
【０００９】
前記低速バスを拡張して前記計測回路に割り当てるバス拡張手段を備えてもよい。
【００１０】
前記計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるための、前記低速バスおよび前記高速バスとは独立したトリガラインを備えてもよい。
【００１１】
前記計測回路からアラームを通知するための、前記低速バスおよび前記高速バスとは独立したアラームラインを備えてもよい。
【００１２】
本発明の計測制御装置は、多重チャンネルの計測回路群を用いて被検査体の検査を行わせるために前記計測回路群を制御する計測制御装置において、前記計測回路群に個々の計測回路を制御するためのデータ信号を与えるデータバスと、前記データバスとは独立して設けられ、前記計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるためのトリガラインと、を備えることを特徴とする。
この計測制御装置によれば、計測回路にデータ信号を与えるデータバスと、計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるためのトリガラインと、を独立して設けているので、計測回路の動作タイミングの精度を向上させ安定した制御を実行できる。
【００１３】
前記トリガラインを、前記計測回路からアラームを通知するためのアラームラインとして用いてもよい。
【００１４】
前記計測回路には、前記被検査体に接触するコンタクトピンがそれぞれ接続されてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の計測制御装置によれば、同一のデータ信号を取り扱う低速バスおよび高速バスを設けているので、計測回路へのデータに冗長性を付加できるとともに、低速バスを用いて安定した制御を実行できる。
【００１６】
本発明の計測制御装置によれば、計測回路にデータ信号を与えるデータバスと、計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるためのトリガラインと、を独立して設けているので、計測回路の動作タイミングの精度を向上させ安定した制御を実行できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図１〜図３を参照して、本発明による計測制御装置の一実施形態について説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態の計測制御装置の構成を示すブロック図、図２は、各バスの接続状態を示すブロック図である。
【００１９】
図１に示すように、本実施形態の計測制御装置は、上位側機器３のバスコントローラ３１から延びたＰＣＩバスを拡張するバス拡張モジュール１と、多数の計測グループ２群とを備える。
【００２０】
バス拡張モジュール１には、バスコントローラ３１に接続されるスイッチＩＣ１１と、スイッチＩＣ１１から分岐するＰＣＩ（Peripheral Component Interconnect）バスに接続されるスイッチＩＣ１２，１２，・・・とを備える。このように多段にスイッチＩＣを接続して、スター型のトロポジによりＰＣＩバスを大幅に拡張することで、システムの大型化を招くことなく多数のチャンネルの計測回路を動作させることが可能となる。また、実績のある汎用バスであるＰＣＩバスを用いて多チャンネル化を図ることで、安定動作が確保できる。使用するスイッチＩＣとしては、市販品を用いることが可能である。
【００２１】
計測グループ２には、スイッチＩＣ１２から分岐されたＰＣＩバスに接続されるバスコントローラ２１と、バスコントローラ２１に接続された複数チャンネルの計測回路２２，２２，・・・とが設けられている。図１に示すように、個々のスイッチＩＣ１２から分岐されるＰＣＩバスの数に対応する計測グループ２，２，・・・が１まとまりとして、ブロック２０を構成している。このようなブロック２０，２０，・・・がスイッチＩＣ１２，１２，・・・に対応して用意されることにより、本実施形態の計測制御装置には、多数（例えば、１０００以上）の計測回路２２，２２，・・・が設けられることになる。これらの計測回路２２には、それぞれ被検査体に接触するコンタクトピンが電気的に接続される。
【００２２】
計測回路２２，２２，・・・には、バスコントローラ３１、バス拡張モジュール１およびバスコントローラ２１を介して、計測回路２２の動作内容を指示するためのデータ信号が与えられる。図１および図２に示すように、バスコントローラ２１から延びるＰＣＩバス４は、計測グループ２ごとに設けられ、各計測グループ２内の計測回路２２，２２，・・・で共通に使用される。図２に示すように、計測回路２２にはバスコントローラ２２ａが設けられ、ＰＣＩバス４はバスコントローラ２２ａを介して計測回路２２に接続される。また、測定データは計測回路２２，２２，・・・、バスコントローラ２１、バス拡張モジュール１、バスコントローラ３１を通じて取得される。低速バス４１，４２はスイッチＩＣに対応した信号および通信路である。
【００２３】
また、本実施形態の計測制御装置では、ＰＣＩバスに加えて、より高速のバスにより上記データ信号を計測回路２２，２２，・・・に与えている。図１に示すように、上位側機器３の高速通信回路３２からのデータ信号は、光電変換器５１、光ファイバ群５２および光電変換器５３，５３，・・・を介してブロック２０，２０，・・・に与えられる。
【００２４】
図１および図２に示すように、光電変換器５３から出力されるデータ信号（電気信号）は、メタル線５により各計測回路２２に与えられる。図１および図２に示すように、データ信号を供給する高速バスとしての光ファイバ５２ａ、光電変換器５３およびメタル線５は、ブロック２０ごとにすべての計測回路２２，２２，・・・で共通に使用される。図２に示すように、メタル線５はバスコントローラ２２ａを介して計測回路２２にデイジーチェーンの形態で接続される。また、測定データは計測回路２２，２２，・・・、光電変換器５３、光ファイバ群５２、光電変換器５１、高速通信回路３２を通じて取得される。
【００２５】
このように光通信ラインを用いることにより、高速動作と安定動作を両立することができる。また、光を用いることで電気信号を絶縁できるため、ノイズに対する耐性を向上させることができる。一般に高速通信ラインはノイズに対してシビアであるため、光通信はノイズ対策として有効である。また、光通信により配線長を伸ばすことができるため、システム構築上のメリットがある。
【００２６】
上記のように、計測回路２２数あたりの低速バスの本数を、高速バスのそれよりも増やし、少数の高速バスで多数の低速バスを束ねているのは、低速バスによるデータ信号の供給速度を極力、高速バスに近づけるためである。低速バスであっても、その数を増やすことで通信能力を向上させることができ、ＰＣＩバスのように接続端末の数に制約があっても、多チャンネルのシステムを実現可能となる。
【００２７】
次に、本実施形態の計測制御装置では、上述した高速バスおよび低速バスとは別に、計測回路２２，２２，の動作タイミングを指示するトリガを送信するためのトリガラインが設けられている。図１に示すように、上位側機器３のトリガ回路３３から出力されたトリガは、長距離伝送回路６１および伝送経路６２を介してブロック２０，２０，・・・に伝送される。図１および図２に示すように、トリガはバスコントローラ２１を経由した後、トリガ供給線６を介して各ブロック２０の計測回路２２，２２，・・・に共通して与えられる。
【００２８】
このように、本実施形態の計測制御装置では、トリガを伝送するトリガラインを、高速バスおよび低速バスとは独立して設けているので、計測回路２２，２２，・・・における計測開始などのタイミング制御の精度を向上させることができる。また、トリガを高速バスあるいは低速バスで伝送する場合に生ずるバスへの負担を低減できる。
【００２９】
また、本実施形態の計測制御装置では、上記トリガラインを、計測回路２２，２２，・・・からのアラームをトリガと逆方向に転送するアラームラインとしても使用している。図１に示すように、計測回路２２からのアラームは、トリガ供給線６、バスコントローラ２１、伝送経路６２および長距離伝送回路６１を介して、上位側機器３のアラーム受信回路３４に伝送される。これにより、緊急性を要する計測回路２２からのアラームの通知を迅速かつ確実に上位側機器３に伝送できる。アラームラインとして、トリガラインの空いている通信線を使用することができる。例えば、伝送経路６２としてイーサ（登録商標）ケーブルを用い、トリガの伝送およびアラームの伝送に、それぞれ異なる信号線ペアーを割り当ててもよい。また、計測回路２２からのアラームをトリガラインとは別に、低速バスあるいは高速バスを介して伝送することにより、アラームの伝送に冗長性を付与することができ、システムの信頼性、利便性を向上させることができる。
【００３０】
以上のように、本実施形態の計測制御装置によれば、低速バスによる安定動作を確保すると同時に、高速バスによる高速動作を実現している。また、低速バスと高速バスを並行して用いることで冗長性を獲得でき、ノイズなどによる誤動作等に対する信頼性とともに、動作上の利便性を高めた検査システムを構築できる。検査システムの開発時に、例えば、低速バスを用いた動作試験を行うことも可能となり、開発フェーズでの効率を向上させることができる。また、検査システムのユーザは、試験的な検査を行う場合や高速動作に問題がある場合に、低速バスを用いて動作試験等を行うことができる。
【００３１】
図３は、リング型のバス拡張モジュールの構成例を示すブロック図である。図３の例では、バス拡張モジュール１Ａには、バスコントローラ３１に接続されるスイッチＩＣ１３と、スイッチＩＣ１３を含めリング型のトポロジでＰＣＩバスに接続されるスイッチＩＣ１４，１４，・・・とを備える。スイッチＩＣ１４，１４，・・・からの分岐は、それぞれ計測グループ２に接続される。スター型のトロポジを構成するバス拡張モジュール１に代えて、図３の拡張モジュール１Ａを使用してもよい。
【００３２】
以上説明したように、本発明の計測制御装置によれば、同一のデータ信号を取り扱う低速バスおよび高速バスを設けているので、計測回路へのデータに冗長性を付加できるとともに、低速バスを用いて安定した制御を実行できる。また、本発明の計測制御装置によれば、計測回路にデータ信号を与えるデータバスと、計測回路に動作のタイミングを指示するトリガを与えるためのトリガラインと、を独立して設けているので、計測回路の動作タイミングの精度を向上させ安定した制御を実行できる。
【００３３】
本発明の適用範囲は上記実施形態に限定されることはない。本発明は、多重チャンネルの計測回路群を用いて被検査体の検査を行わせるために計測回路群を制御する計測制御装置に対し、広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】一実施形態の計測制御装置の構成を示すブロック図。
【図２】各バスの接続状態を示すブロック図。
【図３】リング型のバス拡張モジュールの構成例を示すブロック図。
【図４】従来の計測制御装置の構成例を示すブロック図。
【符号の説明】
【００３５】
１      バス拡張モジュール（バス拡張手段）
４      ＰＣＩバス（低速バス）
２２    計測回路
５２    光ファイバ群（高速バス）
６２    伝送経路（トリガライン、アラームライン）
【図１】
2008275402.tif 000003
【図２】
2008275402.tif 000004
【図３】
2008275402.tif 000005
【図４】
2008275402.tif 000006