(57)【要約】【課題】搬送対象物を浮上させる流体膜を吹き上げる多孔質体を用いることなく、流体膜の目詰まり等による搬送物浮上高の変動が生ずることをなくし、所定の浮上高を保つことが出来るようにする。被搬送物の周囲をクリーンな環境に保つことを課題の一つとして、被搬送物を浮上させるための流体をヘパフィルターを介して吹出させることにより、被搬送物の浮上と同時に被搬送物周囲へのクリーンエアの供給を可能としている。被搬送物端面への気流の吹き付けにより、被搬送物の所定方向へのガイドを可能とする。【解決手段】半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置で、その搬送路下部に搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことによって、清浄空気の流れの雰囲気中で所定高さの浮上搬送を行う。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、その搬送路下部に、搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことを特徴とするエアー浮上搬送装置。
【請求項２】
フィルターユニットの上部に、グリル或いは傾斜スリット板を、被搬送物端部に斜め気流が当たるよう置いたことを特徴とする請求項１記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
シート状濾材を連続したＶ字状に屈折し、Ｖ字を構成する一辺を他辺より長くして、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部を通るＶ字空間の中心線を傾斜させることにより清浄気流の吹出方向を斜めとしたフィルターを設け、被搬送物端部に斜め気流が当たるようフィルターを配したことを特徴とする請求項１記載のエアー浮上搬送装置。
【請求項４】
ファンフィルターユニットの清浄空気吹出部周囲及び被搬送物搬送空間をカバーで囲うことにより、被搬送物搬送空間の空気を清浄化することを特徴とする請求項１記載のエアー浮上搬送物装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体及び液晶パネルの製造工程間にて、ウエハーやガラス基板をエアー浮上により非接触搬送させる技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ガラス基板をはじめ半導体ウエハー等の電子部品は大型化し、製造過程で微小な塵埃等の付着による不良品の発生を見ることになる為、従来より清浄空気を供給し、被搬送物を浮上させる方式が採用されている。即ち、図１に示す如く、コンプレッサ５１からの圧力エアを送り込まれた圧力ケース５２の上にセラミックス，金属等の多孔質体５３或いはハニカム体等を配し、圧力ケース５２の多孔質体５３から噴出する流体膜５４によって被搬送物５５を浮上させる方式が知られている（特許文献１参照）。然し、多孔質体５３は圧損が高く、且つ目詰まりし易いことが欠点で、コンプレッサー等の加圧装置が必要となりクリーンエアの供給のためエアー配管も複雑となってしまう。
【０００３】
また、図２に示す如く、ファンフィルターユニット５６の上位を被搬送物５５を通過させるような場合に、被搬送物５５の両側にローラ５７を置いてガイドする手段も採用されている（特許文献２参照）が、搬送搬送距離が長くなると被搬送物がガラスなどの場合、ガラス端面を傷めるような事態を生ずることがある。
【特許文献１】特開２００５−８３６８号
【特許文献２】特開２００２−１５１５７０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記の点に鑑みて、搬送対象物を浮上させる流体膜を吹き上げる多孔質体を用いることをなくし、流体膜の目詰まり等による搬送物浮上高の変動が生ずることをなくし、所定の浮上高を保つことが出来るようにすることを課題の一つとしている。
また、被搬送物の周囲をクリーンな環境に保つことを課題の一つとして、被搬送物を浮上させるための流体をヘパフィルターを介して吹出させることにより、被搬送物の浮上と同時に被搬送物周囲へのクリーンエアの供給を可能としている。
更に、被搬送物端面への気流の吹き付けにより、被搬送物の所定方向へのガイドを可能とすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明にあっては、半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、その搬送路下部に、搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲うことによって、清浄空気の流れの雰囲気中で所定高さの浮上搬送を行うことを可能としている。
請求項２記載の発明にあっては、被搬送物に清浄空気を吹き当てることによって、被搬送物を押しやるための手段として、請求項１記載の浮上搬送装置においてフィルターユニットの上部に、グリル或いは傾斜スリット板を、被搬送物端部に斜め気流が当たるよう置いている。
請求項３記載の発明にあっては、請求項１記載の発明において、噴気流噴出手段を、シート状濾材を連続したＶ字状に屈折し、Ｖ字を構成する一辺を他辺より長くして、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部を通るＶ字空間の中心線を傾斜させることにより清浄気流の吹出方向を斜めとしたフィルターを設け、被搬送物端部に斜め気流が当たるようフィルターをフィルターユニットに配している。
請求項４記載の発明にあっては、請求項１記載の発明において、ファンフィルターユニットの清浄空気吹出部周囲及び被搬送物搬送空間をカバーで囲うことにより、被搬送物搬送空間の空気を清浄化している。
【発明の効果】
【０００６】
本発明装置は、半導体ウエハー及び液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、その搬送路下部に、搬送路に向け被搬送物押出方向噴気流を噴出する噴気噴出手段を有するファンフィルターユニットを配し、前記被搬送物を浮上搬送すると共に、被搬送物周囲を清浄噴気流で囲ったために、被搬送物の浮上と同時に被搬送物の周囲をクリーンエアで満たすことが可能となり、搬送途中における被搬送物の悪染防止に有効である。
【０００７】
本発明装置は、フィルターユニットの上部に、グリル或いは傾斜スリット板を、被搬送物端部に斜め気流が当たるよう置いたために、被搬送物の浮上と共に搬送方向への移動のための押圧力を被搬送物に与えることが出来る。
【０００８】
本発明装置は、噴気流噴出手段を、シート状濾材を連続したＶ字状に屈折し、Ｖ字を構成する一辺を他辺より長くして、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部を通るＶ字空間の中心線を傾斜させることにより清浄気流の吹出方向を斜めとしたフィルターを設け、被搬送物端部に斜め気流が当たるようフィルターを配したために、フィルターから吹出した清浄空気は特にその流れを変えさせるための例えばグリル或いは傾斜スリット等を設けることなく被搬送物に斜め気流を当てることが出来る。
【０００９】
本発明装置は、ファンフィルターユニットの清浄空気吹出部周囲及び被搬送物搬送空間をカバーで囲うことにより、被搬送物搬送空間の空気を清浄化することを可能としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図３に本発明浮上搬送装置１の全体斜視図を示す。
ガラス基板，ウエハー等の被搬送物２を上面に載置し所定方向に搬送するためのファンフィルターユニット３の複数を、所定長になるまで連続しフレーム４上に支持している。ファンフィルターユニット３内にはファンフィルターユニット３外から空気を取り入れるファン５と該空気を瀘過し清浄空気としてフィルターユニット３外に噴出するヘパフィルター６が設けられている。
【００１１】
ファンフィルターユニット３の上面は図示しないがパンチング板が張られ、内部のヘパフィルターを通過した清浄空気はパンチング板から上面に吹き出す。ファンフィルターユニット３の被搬送物搬送方向の両側面には、ローラベアリング８が設けられ被搬送物２がファンフィルターユニット３から脱落しないようにガイドしている。
【００１２】
ファンフィルターユニット３の上面を被って、傾斜スリット板９が設けられている。傾斜スリット板９は所定間隔のスリット１０を、被搬送物２の搬送方向と交差する方向に向けて設け、かつ、被搬送物搬送方向と交差する方向のスリット１０の端縁を傾斜させ、該スリット１０を通過した清浄空気は、被搬送物２を押しやる方向に斜に流れるようにする。
【００１３】
また、上記の如き傾斜スリット板９を使用せず、ファンフィルターユニット３内のヘパフィルター６の屈折角を変えることによって当該ヘパフィルター６を通過した清浄空気がヘパフィルター６から流出する際その流出角度を斜とすることも出来る。図５にヘパフィルター６の断面を示す。ヘパフィルター６は、シート状の濾材７をジグザグに連続してＶ字の連続した形状に屈折し、その屈折面に空気を通すことで清浄化しているが、上記屈折は通常２等辺のＶ字状に屈折するのが一般であるが、図５に示す如くＶ字の２辺の一方を短くした場合、フィルターを通過した清浄空気が流出する方向に向けて開く開口部６ｂを通るＶ字状空間６ａの中心線Ｌを傾斜させ得ることになり、連続したＶ字は長い辺の側に傾斜した状態となり、ここに清浄空気を流すとフィルター６を通過した清浄空気は図５に矢印Ａで示す如くＶ字の長い辺側に傾斜した流れとなり被搬送物２に斜に当接することになり被搬送物２を図５にあっては右方向に押しやることになる。
【００１４】
ファンフィルターユニット３は前述の如く所定搬送長に応じて複数を連結して使用するが、その途中において被搬送物の進行を停止させなければならない事態が生じることもあり、また終端部ではそれを停止させなければならない。そのためのファンフィルターユニット３の列の両端及び中間の適宜位置に、エンドストッパー１６，１６、中間ストッパー１７を設けている。ストッパーはソレノイド等で電気的にシャフトを被搬送物通路に出し、被搬送物２がそれに当接して停止するようにしている。
【００１５】
またファンフィルターユニット３の周囲を清浄化空間とするために、図６に示す如く、ファンフィルターユニット３の上部側面を遮蔽板１８で被い、かつ、全体をカバー１９で囲うようにしても良い。この構成により、ファンフィルターユニット３から噴出されて被搬送物２を押しやった清浄空気２０は遮蔽板１８とカバー１９との間を通り装置外に流出することになり、外部からの汚染を受けることはない。
【００１６】
上記本発明装置にあっては、ヘパフィルター６を内装したファンフィルターユニット３を使用し、被搬送物とヘパフィルター表面の差圧Ｐを測定し、浮上高さを制御することが出来る。
図７に示す如く、ファンフィルターユニット３の清浄空気噴出部位と、被搬送物２の下位に両部位の差圧を検知する差圧計２１を設ける。
【００１７】
【数１】
2008140987.tif 000003
【００１８】
【数２】
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式１より、同一重さ（Ｍｇ一定）であるならば、差圧Ｐと浮上高さｈは反比例する。式２より、同一面積（Ａ一定）であるならば、風速と持ち上げられる重さは比例する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】従来のエアーによる搬送方式を示す概略構成図。
【図２】従来のローラーによるガイド方式を示す概略構成図。
【図３】Ａは本発明装置の概略斜視図。Ｂはファンフィルターユニットの断面図。
【図４】傾斜スリット板による搬送方式を示す説明図。
【図５】傾斜ヘパ濾材による搬送方式を示す説明図。
【図６】搬送空間の空気浄化の概略図。
【図７】差圧計を設けたファンフィルターユニットの概略図。
【符号の説明】
【００２０】
１  浮上搬送装置
２  被搬送物
３  ファンフィルターユニット
４  フレーム
５  ファン
６  ヘパフィルター
６ａ  Ｖ字状空間
６ｂ  開口部
７  濾材
８  ローラーベアリング
９  傾斜スリット板
１０  スリット
１６  エンドストッパー
１７  中間ストッパー
１８  遮蔽板
１９  カバー
２０  清浄空気
２１  差圧計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008140987.tif 000010
【図７】
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