(57)【要約】【課題】複雑な金型や追加の旋盤加工に頼らずとも、寸法精度が高い潤滑流体溜まり部を容易に形成可能な流体軸受装置の製造方法を提供する【解決手段】溝転造ツール１０をスリーブ１に対して回転しつつ軸方向に送り、第1のラジアル動圧発生溝２ａの軸方向溝幅より小さい加工ピッチを有する潤滑流体溜まり部３を形成することにより、潤滑流体溜まり部を精度良く加工することが、旋盤加工や複雑な金型を用いたプレス加工を用いずとも可能になる。【選択図】図１
2008275019.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周に複数個のボールを突出させた溝転造加工ツールをスリーブの内周円筒面に同軸上に挿入し、前記溝転造加工ツールが前記スリーブに対して、相対回転および軸方向相対的送りをすることで、スリーブの内周面に軸方向断面形状が略円弧状をなす溝を塑性加工によって複数本設ける流体軸受の製造方法であって、
前記スリーブの一端側から他端側に向かう方向に前記溝転造加工ツールを前記内周円筒面に挿入する第１の工程と、
前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第1のラジアル動圧発生溝を形成する第２の工程と、
前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、前記第1のラジアル動圧発生溝の軸方向溝幅より小さい加工ピッチを有する潤滑流体溜まり部を形成する第３の工程と、
前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第２のラジアル動圧発生溝を形成する第４の工程と、
前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記他端側から前記一端側に向かう方向に抜き出す第５の工程と、
を有することを特徴とする流体軸受の製造方法。
【請求項２】
外周に複数個のボールを突出させた溝転造加工ツールをスリーブの内周円筒面に同軸上に挿入し、前記溝転造加工ツールが前記スリーブに対して、相対回転および軸方向相対的送りをすることで、スリーブの内周面に軸方向断面形状が略円弧状をなす溝を塑性加工によって複数本設ける流体軸受の製造方法であって、
前記スリーブの一端側から他端側に向かう方向に前記溝転造加工ツールを前記内周円筒面に挿入する第１の工程と、
前記ボールを第１の値だけ突出させた状態で、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第1のラジアル動圧発生溝を形成する第２の工程と、
前記ボールを前記第１の値よりも大きな第２の値だけ突出させた状態で、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、前記第1のラジアル動圧発生溝の軸方向溝幅より小さい加工ピッチを有する潤滑流体溜まり部を形成する第３の工程と、
前記ボールを前記第２の値よりも小さな第３の値だけ突出させた状態で、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第２のラジアル動圧発生溝を形成する第４の工程と、
前記溝転造加工ツールを前記スリーブから前記他端側から前記一端側に向かう方向に抜き出す第５の工程と、
を有することを特徴とする流体軸受の製造方法。
【請求項３】
前記第２の加工ピッチＰｒは前記第１または第２のラジアル動圧発生溝の溝深さδと、前記第１または第２のラジアル動圧発生溝の軸方向溝幅Ｗに対して、式（１）を満足することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体軸受の製造方法。
【数１】
2008275019.tif 000008
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧流体軸受装置のスリーブ加工に関し、特に上下に配置されたラジアル軸受部間に、高精度な潤滑流体溜まり部を形成する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置（以下、ＨＤＤとする）市場は拡大の一途をたどり、これに伴いオイルや低粘度グリースやイオン性液体などの液体を潤滑流体に用いる流体軸受スピンドルモータの生産台数も年々増加させることが必要とされている。このような要求に応えるために、加工工数が少なく、生産性に富んだ軸受部品の供給が必須となっている。軸受部品のなかでも、動圧発生溝を有するスリーブ部材は、特に高い加工精度が要求され、また多くの加工工程を必要とする。従来から、生産性に富んだスリーブとして光ディスクドライブなどに広く用いられてきた焼結材料を用いることが求められ、これに動圧発生溝を形成する手法が提案されている。
【０００３】
その一例として、数μｍの高さのラジアル動圧発生溝形成部を外周に配置したコアロッドをスリーブブランクに挿入して、ダイとパンチを用いて上下面と外周から圧力を加えることで動圧発生溝を形成する方法がある（たとえば特許文献１）。
【０００４】
また、ラジアル動圧発生溝部を形成する他の手法として、スリーブブランクの内周面に、この内径より僅かに大きい最大外径を有する複数の転造ボールを持つ溝転造工具を回転させながら軸方向へ挿入する事で、動圧発生溝が塑性加工される方法がある（たとえば特許文献２）。
【特許文献１】特開平１１−３７１５６号公報
【特許文献２】特開平１０−２８１１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載された溝加工方法では、上下のラジアル軸受間に潤滑流体溜まり部を形成するのに、ダイとパンチで上下／周囲から圧縮することでコアロッドとスリーブブランクとの間に空洞部を形成する方法であり、その形状はコアロッドなどで直接的一意的に形成されるものではなく、ダイとパンチ、コアロッドとの相対的な形状、スリーブブランク自体の密度バラツキなど多くの因子の影響を複雑に受けるために、形状バラツキが大きくなる。また潤滑剤溜まりの半径方向幅を大きく取れない。この潤滑流体溜まり部は、軸受内に生じた気泡などをラジアル動圧発生溝部から遊離させて溜めることによってラジアル動圧部における軸受剛性を確保するために設けられる。この潤滑流体溜まり部の容積が十分でないと、気泡がラジアル動圧発生溝部に逆流してＮＲＲＯ（Ｎｏｎ  Ｒｅｐｅｔｉｔｉｖｅ  Ｒｕｎ  Ｏｕｔ；非繰り返し性振れ）が増大して回転精度を劣化させたり、潤滑流体溜まり部で摩擦トルクが増大したりする。しかるに特許文献１に記載された溝加工方法では潤滑流体溜まり部として必要な寸法／精度を確保することが不可能となる。
【０００６】
一方、特許文献２では、ラジアル動圧発生溝は加工できるが、潤滑流体溜まり部の溝はスリーブ内周に構成できないため、シャフト側もしくはスリーブ側に旋盤などによる切削等を用いて形成する必要がある。そのため、加工工程が増えてしまい、生産性向上を著しく阻害する。
【０００７】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、複雑な金型や追加の旋盤加工に頼らずとも、寸法精度が高い潤滑流体溜まり部を容易に形成可能な流体軸受装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記従来の課題を解決するために、本発明の流体軸受装置の製造方法は、外周に複数個のボールを突出させた溝転造加工ツールをスリーブの内周円筒面に同軸上に挿入し、前記溝転造加工ツールが前記スリーブに対して、相対回転および軸方向相対的送りをすることで、スリーブの内周面に軸方向断面形状が略円弧状をなす溝を塑性加工によって複数本設ける流体軸受の製造方法であって、前記スリーブの一端側から他端側に向かう方向に前記溝転造加工ツールを前記内周円筒面に挿入する第１の工程と、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第1のラジアル動圧発生溝を形成する第２の工程と、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、前記第1のラジアル動圧発生溝の軸方向溝幅より小さい加工ピッチを有する潤滑流体溜まり部を形成する第３の工程と、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第２のラジアル動圧発生溝を形成する第４の工程と、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記他端側から前記一端側に向かう方向に抜き出す第５の工程とを有することを
特徴としたものである。
【０００９】
これによって、潤滑流体溜まり部を精度良く加工することが、旋盤加工や複雑な金型を用いたプレス加工を用いずとも可能になり、生産性を大幅に高くすることが可能になる。
【００１０】
また、本発明の流体軸受装置の製造方法は、外周に複数個のボールを突出させた溝転造加工ツールをスリーブの内周円筒面に同軸上に挿入し、前記溝転造加工ツールが前記スリーブに対して、相対回転および軸方向相対的送りをすることで、スリーブの内周面に軸方向断面形状が略円弧状をなす溝を塑性加工によって複数本設ける流体軸受の製造方法であって、前記スリーブの一端側から他端側に向かう方向に前記溝転造加工ツールを前記内周円筒面に挿入する第１の工程と、前記ボールを第１の値だけ突出させた状態で、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第1のラジアル動圧発生溝を形成する第２の工程と、前記ボールを前記第１の値よりも大きな第２の値だけ突出させた状態で、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、前記第1のラジアル動圧発生溝の軸方向溝幅より小さい加工ピッチを有する潤滑流体溜まり部を形成する第３の工程と、前記ボールを前記第２の値よりも小さな第３の値だけ突出させた状態で、前記溝転造加工ツールを前記スリーブに対して相対回転しつつ、前記一端側から前記他端側に向かう方向に相対的に送り、第２のラジアル動圧発生溝を形成する第４の工程と、前記溝転造加工ツールを前記スリーブから前記他端側から前記一端側に向かう方向に抜き出す第５の工程とを有することを特徴としたものである。
【００１１】
これによって、深い溝深さを有する潤滑流体溜まり部を精度良く加工することが、旋盤加工や複雑な金型を用いたプレス加工を用いずとも可能になる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の流体軸受装置の製造方法によれば、ラジアル動圧発生溝部の間に配設された潤滑流体溜まり部の形状精度を大幅に向上でき、かつラジアル動圧発生溝を加工すると同時に潤滑流体溜まり部も形成できるので、極めて高い生産性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明の流体軸受装置の製造方法の実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
【００１４】
（実施の形態１）
図１は実施の形態１における流体軸受のスリーブ１を溝転造加工法によってラジアル動圧発生溝部２ａ，２ｂと潤滑流体溜まり部３とを形成する各ステップにおけるスリーブの横断面図である。図１（ａ）において、溝転造直前の段階では、鉄系もしくは銅系の焼結体からなるスリーブ１は内径寸法Ｄｉの内周円筒面１ａを有している。ここで溝転造加工ツール１０は、外周にセラミックなどの硬質の転造ボール１２を複数個配設されている。この転造ボール１２の外側寸法Ｄｏは、スリーブ１の内周円筒面１ａは内径寸法Ｄｉよりも約１０μｍ大きめに設定してある。ここで、この溝転造加工ツール１０をスリーブ１に対して軸方向の相対送りと相対回転とを与えると、図１（ｂ）に示すように、軸方向に対して傾斜した転造溝４が形成され、第１のラジアル動圧発生溝２ａが形成される。
【００１５】
さらに図１（ｃ）に示すように溝転造加工ツール１０がスリーブ１の奥（図の下側）に進んだ時は、第１のラジアル動圧発生溝２ａを加工するときよりも、軸方向相対送りを少なくして、相対回転を増やす。これによって、加工ピッチが小さくなり、潤滑流体溜まり部３が形成される。
【００１６】
そしてさらに加工プロセスが進み、図１（ｄ）に示すように溝転造加工ツール１０がスリーブ１の下端側まで進むと、再び第１のラジアル動圧発生溝２ａを加工する時と同程度の軸方向相対送りと相対回転を与える。これによって第２のラジアル動圧発生溝２ｂが形成される。最後に溝転造加工ツール１０をスリーブ１から上記プロセスと反対にしてむき出す。
【００１７】
以上のプロセスを整理すると、図２に示すようになる。すなわち下記の通りである。
【００１８】
（１）スリーブ１の一端側から他端側に向かう方向に溝転造加工ツール１０を内周円筒面１ａに挿入し、
（２）溝転造加工ツール１０をスリーブ１に対して相対回転しつつ、一端側から他端側に向かう方向に相対的に送り、第1の加工ピッチを有する第１のラジアル動圧発生溝２ａを形成し、
（３）溝転造加工ツール１０をスリーブ１に対して相対回転しつつ、一端側から他端側に向かう方向に相対的に送り、第1のラジアル動圧発生溝２ａの軸方向溝幅より小さい第２の加工ピッチを有する潤滑流体溜まり部を形成し、
（４）溝転造加工ツール１０をスリーブ１に対して相対回転しつつ、一端側から他端側に向かう方向に相対的に送り、第３の加工ピッチを有する第２のラジアル動圧発生溝２ｂを形成し、
（５）溝転造加工ツール１０をスリーブ１に対して相対回転しつつ、他端側から一端側に向かう方向に抜き出す
ここで図３はスリーブ１の各加工プロセスにおける、スリーブ１と溝転造加工ツール１０との間の軸方向の相対送りＺと相対回転量θの関係図を示す。
【００１９】
図１（ａ）に示すように、溝転造加工ツール１０の先端がスリーブ１の内周円筒部１ａに挿入されて、まだ転造ボール１２の外周がスリーブ１の内周円筒面１ａに接していない段階をＺ＝０とする。この段階から溝転造加工ツール１０はスリーブ１に対して相対回転と軸方向相対送りとを開始する。この時、第1のラジアル動圧発生溝部２ａの上半分のリード角（溝角度）がθ１１になるように相対送りと相対回転を設定する。なお図中、Ｚ１ｓは転造ボール１２がスリーブ１の上端に位置する時を示す。
【００２０】
更に加工が進みＺ＝Ｚ１ｃに至ると、ラジアル動圧発生溝がヘリングボーン形状になるように、溝転造加工ツール１０の回転方向をここまでの反対にする。そして第1のラジアル動圧発生溝部２ａの下半分の溝角度がθ１２になるように相対送りと相対回転を設定する。なお一般に流体軸受装置ではθ１１，θ１２は５〜２０゜に設定される。
【００２１】
ここで第1のラジアル動圧発生溝部２ａの加工が終了し、転造ボールがＺ＝Ｚ１ｅに到達すると、ここで軸方向相対送りを一旦停止して、相対回転だけを行う。これによって、ラジアル動圧発生溝部２ａと潤滑流体溜まり部３との境界（潤滑流体溜まり部境界２０ａ）を明瞭にする。そしてラジアル動圧発生溝部２ａを加工したときよりも小さな相対送りと大きな相対回転とを与えて、ラジアル動圧発生溝部２ａの加工ピッチＰｇ１よりも小さな加工ピッチＰｒになるようにする。さらに潤滑流体溜まり部３の加工が終了して、転造ボールがＺ＝Ｚ２ｓに到達すると、ここで軸方向相対送りを一旦停止して、逆方向の相対回転だけを行う。これによって、ラジアル動圧発生溝部２ｂと潤滑流体溜まり部３との境界（潤滑流体溜まり部境界２０ｂ）を明瞭にする。これによって十分な容積を有する潤滑流体溜まり部３が形成される。
【００２２】
次に、第２のラジアル動圧発生溝部２ｂの上半分の溝角度がθ２１になるように相対送りと相対回転を設定する。更に加工が進みＺ＝Ｚ２ｃに至ると、ラジアル動圧発生溝がヘリングボーン形状になるように、溝転造加工ツール１０の回転方向をここまでの反対にする。そして第２のラジアル動圧発生溝部２ｂの下半分の溝角度がθ２２になるように相対送りと相対回転を設定する。なお一般に流体軸受装置ではθ２１，θ２２は５〜２０゜に設定される。
【００２３】
そして、最後に溝転造加工ツール１０をスリーブ１から抜き出すために、ここまでと逆の回転と送りを与える。このようにしてラジアル動圧発生溝部２ａと潤滑流体溜まり部３とを形成することが可能になる。
【００２４】
ここで溝転造における転造ボール１２と転造溝４の関係を、図４を用いて説明する。図４は、溝転造加工ツール１０の外周に配置された転造ボール１２を２個だけ取り出して拡大したものである。溝転造加工ツール１０の外周に配設された転造ボール１２はその外径Ｄｏが、スリーブ１の内周円筒面１ａの内径Ｄｉよりも半径でδだけ大きくなるように設定してある。また転造溝４を形成するときに、溝角度がθになるように溝転造加工ツール１０の軸方向送りと、相対回転が設定されている。
【００２５】
ここで転造ボール１２は、半径Ｒｂでかつスリーブ１の内周円筒面１ａに対してδだけ大きいから、溝転造加工ツール１０がスリーブ１に対して停止していると仮定したときの打痕形状は図において半径Ｙの円に近似される（より正確には円周方向が長くなる長円になるが、Ｄｉに対してＲｂが小さければ円と見なしても大きな影響はない）。ここで、Ｙは式（２）にて近似される。
【００２６】
【数２】
2008275019.tif 000003
さらに形成された転造溝４の軸方向幅Ｗと半径Ｙの関係は式（３）にて示される。
【００２７】
【数３】
2008275019.tif 000004
すなわち、軸方向幅Ｗは溝角度θが大きいほど大きくなる。ところでθは５〜２０°であるので、軸方向幅Ｗは溝角度θ＝０°の場合に比較して０．４〜６％大きいに過ぎない。したがって、実用上、θが多少変化してもＷに大きな影響はないと考えて良い。こうしてラジアル動圧発生溝部２ａ，２ｂは深さδ、軸方向溝幅Ｗで、断面形状がほぼ円弧状になる。
【００２８】
次に潤滑流体溜まり部３の加工状態を説明する。潤滑流体溜まり部３の加工においては上述したように、ラジアル動圧発生溝部２ａ，２ｂよりも軸方向送りを小さくし、かつ相対回転量を大きくしている。したがって潤滑流体溜まり部３の形成時における溝角度θはより小さくなる。この時の溝角度θは５°前後であり、実質的に半径Ｙの２倍とほぼ等しい。ここで図５に示すように、潤滑流体溜まり部３の加工ピッチＰｒは第1のラジアル動圧発生溝２ａの軸方向幅Ｗよりも小さくしている。ここで潤滑流体溜まり部３の横断面における形状は図５に示すように、溝部半径が式（４）で表される値Ｒｇの円弧にほぼ一致する。
【００２９】
【数４】
2008275019.tif 000005
ここで図５におけるＺｒは式（５）にて示される。
【００３０】
【数５】
2008275019.tif 000006
このＺｒを小さくすることで、潤滑流体溜まり部３の内周面はより平滑化される。ここで、Ｚｒをδ／２よりも小さくすることで、潤滑流体溜まり部３の平均深さδａｖｅはδに対して８４％となり、潤滑流体溜まり部３は十分な容積を確保することができる。
【００３１】
ところでＺｒをδ／２よりも小さくするための条件は式（１）で示される
【００３２】
【数１】
2008275019.tif 000007
このようにＰｒを定めることによって、軸受内部で気泡が発生しても、確実に潤滑流体溜まり部３に気泡をとどめることが出来るようになり、回転精度を維持することが可能になる。
【００３３】
（実施の形態２）
図６は実施の形態２における流体軸受の製造方法によって形成されたスリーブ１の横断面図である。本実施の形態において第１、第２のラジアル動圧発生溝２ａ，２ｂにおける溝底直径Ｄｏ１，Ｄｏ３に対して、潤滑流体溜まり部３の溝底直径Ｄｏ２が大きくなるように設定してある。このように潤滑流体溜まり部３の溝底直径Ｄｏ２を大きくするために、実施の形態２における溝転造加工ツール３０は、図７〜図１１に示すように構成されている。図７（ａ）は溝転造加工ツール３０の正面図である。そして図７（ｂ）は溝転造加工ツール３０の下側平面図である。
【００３４】
図７（ａ）に示すように、転造シャンク３１の上方には上側規制リング３５が、中央付近には下側規制リング３３が、そして下方部には転造ボールホルダー３６に固定された複数個（本図では４個）の転造ボール３２が配置されている。
【００３５】
ここで図７（ｂ）における断面ＸＯＹを図８に示す。転造シャンク３１は下側先端が四つ股に分かれたテーパ部３４を有している。この転造シャンク３１と同軸上に、転造ボールホルダー３６が配置される。転造ボールホルダー３６も下側先端が四つ股に分かれている。ここで転造ボール３２は転造ボールホルダー３６に固定されている。なお転造ボールホルダー３６は回り止めピン４１によって、転造シャンク３１に対して位置規制されている。ここで転造シャンク３１と転造ボールホルダー３６の下側の股部分には、スライダリング３８が配置されている。
【００３６】
スライダリング３８は、図９に示すように４箇所のシャンク逃げ部が開口しており、このスライダリング３８の下方には、円筒状のスライダシャンク３９が固定されている。さらにこのスライダシャンク３９の下方には、球状のスライダボール部３７が形成されている。
【００３７】
このスライダリング３８は２個のスラストローラベアリング４０を介して、上側規制リング３５と、下側規制リング３３とによって転造シャンク３１に取り付けられる。この上側規制リング３５と下側規制リング３３とは、互いにゆるまないように図示しない回り止めピンなどによって係止されている。なお、上側規制リング３５の上方内周部には、内周リードスクリュー３５ａが形成されている。この内側リードスクリュー３５ａは、転造シャンク３１の上方外周に設けた上側リードスクリュー３１ａに係合している。そしてスライダボール部３７が転造シャンク３１の下方に配設されたテーパ部３４に当接するように固定されている。また上側規制リング３５の上方外周には、ギヤ部３５ｂが形成されている。
【００３８】
ここで第１、第２のラジアル動圧発生溝２ａ，２ｂを形成する時は、図１１（ａ）に示すように、スライダボール部３７が転造シャンク３１のテーパ部３４の中央近辺で当たるように、構成されている。
【００３９】
一方、潤滑流体溜まり部３を形成するときは、次のように行う。まず、上側規制リング３５の上方外周に配設されたギヤ部３５ｂに回転トルクを与えて、転造シャンク３１に対して、上側規制リング３５と下側規制リング３３とを一体的に回転させる。そして図１１（ｂ）に示すように、スライダボール部３７がテーパ部３４の上方で当接するように、スライダリング３８を上方に引き上げる。その結果、テーパ部３４はスライダボール部３７との相互作用で外側に開き、転造ボール３２の外径はＤｏ２となる。
【００４０】
このように構成された溝転造加工ツール３０を用いてスリーブ１を加工する方法を説明する。図１０は溝転造加工装置６０の全体外観図である。この溝転造加工装置６０において、ベースプレート５７上には、スリーブ１を搭載保持するためのベースリング５８が固定されている。またベースプレート５７上にはほかに、軸方向送りスクリュー５５が図示しない軸受手段によって回転支持され、さらにガイドポール５６が固定されている。ここでこのガイドポール５６には、軸方向送りモータ５２が取り付けられて、軸方向送りスクリュー５５を回転させる。さらにガイドポール５６には、リニアガイドベアリング５９を介してモータホルダー５４が取り付けられている。そして軸方向送りモータ５２が回転すると、モータホルダー５４はガイドポール５６に平行に上下に移動する。またモータホルダー５４には位相送りモータ５１と、スライダ用モータ５０とが固定されている。
【００４１】
ここで位相送りモータ５１は、溝転造加工ツール３０の転造シャンク３１に連結しており、溝転造加工ツール３０に対して回転送りを与える。またスライダ用モータ５０にはスライダ用ギヤ５３が連結されており、さらにスライダ用ギヤ５３は、溝転造加工ツール３０の上側規制リング上部に形成されたギヤ部３５ｂに噛み合っている。ここで位相送りモータ５１を回転させて、溝転造加工ツール３０本体に対して、ギヤ部３５ｂを回転させると、図１１（ａ）（ｂ）に示すように、スライダリング３８とスライダボール部３７が上下に移動する。そして、転造シャンク３１下端側のテーパ部３４が開閉して転造ボール３２の外径はＤｏ１，Ｄｏ３とＤｏ２との間で変化することができる。
【００４２】
なお、スリーブ１の加工中で、転造ボール３２の外径を変化させないで位相送りモータ５１を回転させるには、転造シャンク３１に対して上側規制リング３５，下側規制リング３３が相対回転しないように、スライダ用モータ５０も同時に回転させる。
【００４３】
このように構成された上記溝転造加工装置６０を用いて潤滑流体溜まり部３を形成すれば、第１、第２のラジアル動圧発生溝２ａ，２ｂにおける溝底直径Ｄｏ１，Ｄｏ３に対し、潤滑流体溜まり部３の溝底直径Ｄｏ２を大きくする事ができる。これによって高精度に、かつ高い生産性を保って、かつ大容量の潤滑流体溜まり部３を容易に形成することが可能になる。
【００４４】
なお、本実施の形態においては、転造ボール３２の突出量を変化させることが出来るので、溝転造加工ツール３０をスリーブ１から抜き出す際には、図１１（ａ）に示した状態よりもスライダボール部３７をさらに下方に移動させることで、転造ボール３２の突出量を小さくして、その状態で転造シャンク３１を回転させずにそのまま引き抜いても良い。
【００４５】
なおこの動作を確実にするため、テーパ部３４がスライダボール部３７に常に接触した状態を保つことが出来るように（すなわち、転造シャンク３１及び転造ボールホルダーの股部分はスライダボール部３７との間で接触力が常に働くように）、初期状態で股部分先端を若干絞って変形させておくのが好ましい。
【００４６】
（Ａ）  以上の説明において、スリーブ１は単純な円筒状の焼結体を用いたものを取り扱ってきたが、本発明はこれに限定されるものではないことは明らかである。例えば、スリーブ１にスラスト軸受用の動圧発生溝や、スラスト板を取り付けるための段部や、それ以外の構成などを設けても良いことは明らかである。
【００４７】
（Ｂ）以上の説明では溝転造は往方向のみに行われるものとして説明したが、溝転造加工ツールを抜き出すときに位相をシフトして、復方向に戻すときも転造加工を行い、ラジアル動圧発生溝を溝転造加工ツールの外周に配設した転造ボールの個数の２倍の数のラジアル動圧発生溝を形成しても良い。また潤滑流体溜まり部も往方向と位相をシフトすることで、より加工ピッチを小さくして、より広い潤滑流体溜まり部を得るようにしても良い。
【００４８】
（Ｃ）上記実施の形態２において転造シャンクを開くためのスライダボール部は球状であるとしたが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば単一もしくは複数個のテーパ面で形成しても良いことは言うまでもない。
【００４９】
（Ｄ）上記説明において、スリーブ材料は焼結材料の場合を説明したが、本発明はこれに限定されず、真鍮やステンレス等など塑性加工が可能な材料ならば適用が可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明にかかる流体軸受の製造方法は、複雑な金型や追加の旋盤加工に頼らずとも、寸法精度が高い潤滑流体溜まり部を容易に形成可能であり、高い精度と高い生産性を両立することができる。このようにして加工された流体軸受を用いたスピンドルモータは、ＨＤＤ、光ディスク装置、レーザスキャナ、ビデオテープレコーダ、データストリーマなどのスピンドルモータ等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】（ａ）本発明の実施の形態１における流体軸受の転造開始時のスリーブと転造用溝転造加工ツールとの関係を示す横断面図、（ｂ）本発明の実施の形態１における第1のラジアル動圧発生溝形成中のスリーブの横断面図、（ｃ）本発明の実施の形態１における潤滑流体溜まり部形成中のスリーブの横断面図、（ｄ）本発明の実施の形態１における第２のラジアル動圧発生溝形成中のスリーブの横断面図
【図２】本発明の実施の形態１における流体軸受の製造方法のフローチャート
【図３】本発明の実施の形態１における流体軸受のスリーブと溝転造加工ツールの相対送りと相対回転の関係図
【図４】本発明の実施の形態１におけるラジアル動圧発生溝と転造ボールとの関係を示す関係説明図
【図５】本発明の実施の形態１における潤滑流体溜まり部形成時の加工ピッチと溝幅の関係を示す関係説明図
【図６】本発明の実施の形態２における流体軸受のスリーブの横断面図
【図７】（ａ）本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールの正面図、（ｂ）本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールの下側平面図
【図８】本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールの横断面図
【図９】（ａ）本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールのスライダ平面図、（ｂ）本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールのスライダ横断面図
【図１０】本発明の実施の形態２における溝転造加工装置の全体外観図
【図１１】（ａ）本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールのラジアル動圧発生溝形成時の横断面図、（ｂ）本発明の実施の形態２における溝転造加工ツールの潤滑流体溜まり部形成時の横断面図
【符号の説明】
【００５２】
１            スリーブ
１ａ          内周円筒面
２ａ          第1のラジアル動圧発生溝部
２ｂ          第２のラジアル動圧発生溝部
３            潤滑流体溜まり部
４            転造溝
１０、３０    溝転造加工ツール
１２、３２    転造ボール
２０ａ、２０ｂ潤滑流体溜まり部境界
３１          転造シャンク
３１ａ        上側リードスクリュー
３３          下側規制リング
３４          テーパ部
３５          上側規制リング
３５ａ        内周リードスクリュー
３５ｂ        ギヤ部
３６          転造ボールホルダー
３７          スライダボール部
３８          スライダリング
３８ａ        シャンク逃げ部
３９          スライダシャンク
４０          スラストローラベアリング
４１          回り止めピン
５０          スライダ用モータ
５１          位相送りモータ
５２          軸方向送りモータ
５３          スライダ用ギヤ
５４          モータホルダー
５５          軸方向送りスクリュー
５６          ガイドポール
５７          ベースプレート
５８          ベースリング
５９          リニアガイドベアリング
６０          溝転造加工装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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