(57)【要約】      （修正有）【課題】被検出面の位置ずれを防止して、被検出面を確実に検知することが可能な基板収納容器及び識別部材を提供する。【解決手段】センサによって検出される被検出面１３ａを有する被検出部を設けると共に、被検出部から外方に向かって異なる方向に延びる複数のアーム部１５，１６を形成させる。アーム部１５，１６には、被検出部から離間した位置で容器本体に固定される固定部１９，２０を設け、被検出部には、被検出面１３ａと反対方向に突出して容器本体に当接する受け部１７bを設ける。これらにより、安定した状態で被検出部を保持することができる。従って、被検出面１３ａの位置ずれを防止することが可能となるため、センサにより被検出面１３ａが確実に検知される。アーム部１５，１６の長さ、向きを変えることで、被検出面１３ａを任意の位置に配置させることができる。【選択図】図６
2008041773.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体を備えた基板収納容器において、
前記容器本体の外面に取り付けられ、当該基板収納容器に関する情報を識別可能とする識別部材を具備し、
前記識別部材は、
センサによって検出可能な被検出面を有する被検出部と、
前記被検出部から離間した位置で前記容器本体に固定される固定部を有し前記被検出部から外方に向かい異なる方向に延びる複数のアーム部と、を備え、
前記被検出部には、前記被検出面と反対方向に突出して前記容器本体に当接する受け部が設けられていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記容器本体の底部外面側に設置されたボトムプレートを更に備え、
前記容器本体の底部外面には、前記ボトムプレートに向かって突出し前記ボトムプレートを固定するボトムプレート固定部が設置され、
前記識別部材は、前記容器本体と前記ボトムプレートとの間に配置され、
前記固定部は、前記ボトムプレート固定部に装着され、
前記被検出部は、前記ボトムプレートに形成された貫通孔内に配置されていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記固定部は、前記ボトムプレート固定部に装着される筒体を有し、
前記筒体の内周面には、内方に突出する第１の位置調整用突起が形成され、
前記筒体の前記容器本体側の端面には、外方に突出する第２の位置調整用突起が形成されていることを特徴とする請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記識別部材の前記被検出面の周縁には、前記識別部材の内外を貫通する開口部が形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の基板収納容器。
【請求項５】
基板を収納する基板収納容器の外部に取付けられ、前記基板収納容器に関する情報を識別可能とする識別部材において、
センサによって検出可能な被検出面を有する被検出部と、
前記被検出部から離間した位置で前記基板収納容器に固定される固定部を有し前記被検出部から外方に向かい異なる方向に延びる複数のアーム部と、を備え、
前記被検出部には、前記被検出面と反対方向に突出して前記基板収納容器に当接する受け部が設けられていることを特徴とする識別部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器、及び基板収納容器に関する情報を識別可能な識別部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいる。このため、半導体ウェハ（精密基板）を収納する基板収納容器には、精密基板の汚染を防止するために高い密閉性と取扱いの自動化とが求められている。この種の基板収納容器は、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の底部外面に設けられたボトムプレートとを備えている。このボトムプレートには、基板収納容器に関する情報を識別するための識別体（識別部材）が挿入される貫通孔が設けられている。このような基板収納容器では、貫通孔における識別体の有無を検知することで、基板収納容器のタイプ、基板収納容器が使用される工程、基板収納容器内部に収納された基板の枚数等を識別していた（例えば、特許文献１参照）。そして、識別体の有無を検知する際には、識別体を押圧するプッシュセンサを用いて、識別体の有無を検知していた。
【特許文献１】特開２０００−３１５７２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来技術では、プッシュセンサを用い識別体を押圧することで、識別体の有無を検知するため、この検知の際に識別体に作用する応力によってボトムプレートが変形してしまい、貫通孔及び識別体の位置がずれることがあった。これにより、識別体の有無を確実に検知することができなくなる虞があった。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、被検出面の位置ずれを防止して、被検出面を確実に検知することが可能な基板収納容器及び識別部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明による基板収納容器は、基板を収納する容器本体を備えた基板収納容器において、容器本体の外面に取り付けられ、当該基板収納容器に関する情報を識別可能とする識別部材を具備し、識別部材は、センサによって検出可能な被検出面を有する被検出部と、被検出部から離間した位置で容器本体に固定される固定部を有し被検出部から外方に向かい異なる方向に延びる複数のアーム部と、を備え、被検出部には、被検出面と反対方向に突出して容器本体に当接する受け部が設けられていることを特徴としている。
【０００６】
このような基板収納容器によれば、当該基板収納容器に関する情報を識別可能とする識別部材を備え、この識別部材が容器本体の外面に取り付けられている。識別部材には、センサによって検出される被検出面を有する被検出部が設けられている。識別部材は、被検出部から外方に向かって異なる方向に延びる複数のアーム部を備えている。このアーム部は、被検出部から離間した位置で容器本体に固定される固定部を有している。これにより、異なる方向に延びる複数のアームに設けられた固定部によって、安定した状態で被検出部を固定することができる。また、被検出部には、被検出面と反対方向に突出して容器本体に当接する受け部が設けられている。これにより、受け部によって、被検出部の容器本体側への移動が拘束されるため、識別部材の撓みを防止することが可能となる。従って、被検出面の位置ずれを防止することができるので、センサによって被検出面を確実に検知することができる。また、アーム部の長さ、向きを変えることで、被検出面を任意の位置に配置させることができる。これにより、従前と異なる位置に被検出面を配置させることができるため、工程の多様化に容易に対応することができる。
【０００７】
ここで、容器本体の底部外面側に設置されたボトムプレートを更に備え、容器本体の底部外面には、ボトムプレートに向かって突出しボトムプレートを固定するボトムプレート固定部が設置され、識別部材は、容器本体とボトムプレートとの間に配置され、固定部は、ボトムプレート固定部に装着され、被検出部は、ボトムプレートに形成された貫通孔内に配置されていることが好ましい。これにより、突出するボトムプレート固定部に識別部材の固定部を装着すると共に、容器本体とボトムプレートとによって挟むことで、識別部材を確実に固定することができるため、被検出面の位置ずれをより一層防止することができる。その結果、ボトムプレートの貫通孔における被検出面の有無を確実に検知することができる。また、既存のボトムプレート固定部を利用して識別部材を固定しているため、識別部材を固定するための新たな部品を用いる必要がない。
【０００８】
また、固定部は、ボトムプレート固定部に装着される筒体を有し、この筒体の内周面には、内方に突出する第１の位置調整用突起が形成され、筒体の容器本体側の端面には、外方に突出する第２の位置調整用突起が形成されていることが好ましい。これにより、第１の位置調整用突起の突出量を変化させることで、ボトムプレート固定部と筒体との嵌めあいを容易に調整することができるので、被検出面の位置ずれを防止することができる。また、第２の位置調整用突起の突出量を変化させることで、容器本体と識別部材との位置関係を容易に調整することができるので、識別部材の撓みを防止して被検出面の位置ずれを防止することができる。その結果、被検出面の位置ずれが防止されるため、被検出面の有無を確実に検知することができる。
【０００９】
また、識別部材の被検出面の周縁には、識別部材の内外を貫通する開口部が形成されていることが好ましい。これにより、基板収納容器の洗浄を行った場合に、洗浄液が開口部を通じて識別部材の内外を移動し易くなるため、洗浄効率を向上させることができると共に、水切り効果を向上させることができる。
【００１０】
また、本発明による識別部材は、基板を収納する基板収納容器の外部に取付けられ、基板収納容器に関する情報を識別可能とする識別部材において、センサによって検出可能な被検出面を有する被検出部と、被検出部から離間した位置で基板収納容器に固定される固定部を有し被検出部から外方に向かい異なる方向に延びる複数のアーム部と、を備え、被検出部には、被検出面と反対方向に突出して基板収納容器に当接する受け部が設けられていることを特徴としている。
【００１１】
このような識別部材によれば、センサによって検出される被検出面を有する被検出部が設けられている。被検出部から外方に向かって異なる方向に延びる複数のアーム部が形成され、アーム部は、被検出部から離間した位置で基板収納容器に固定される固定部を有している。また、被検出部には、被検出面と反対方向に突出して基板収納容器に当接する受け部が設けられている。これらにより、被検出部の動きを拘束して、安定した状態で被検出部を固定することが可能となる。従って、被検出面の位置ずれを防止することができるので、センサによって被検出面を確実に検知することができる。また、アーム部の長さ、向きを変えることで、被検出面を任意の位置に配置させることができる。これにより、従前と異なる位置に被検出面を配置させることができるため、工程の多様化に容易に対応することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、被検出面の位置ずれを防止して、被検出面を確実に検知することが可能な基板収納容器及び識別部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明による基板収納容器及び識別部材の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図、図２は、図１に示す基板収納容器の底面図、図３は、図２におけるIII−III線に沿う容器本体、インフォパッド部材及びボトムプレートの断面図、図４は、図３中のインフォパッド部材の正面図、図５は、図４に示すインフォパッド部材の側面図、図６は、図４に示すインフォパッド部材を背面側から示す斜視図である。
【００１４】
図１に示す基板収納容器１は、例えば口径が３００ｍｍ（約１２インチ）の半導体ウェハ（基板；不図示）を複数枚（例えば２５、２６枚）収容し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器である。この基板収納容器１は、基板を収納する容器本体２と、この容器本体２に設けられた開口部３を覆う蓋体４とを備えている。なお、図１において、後述するボトムプレート７の記載を省略している。
【００１５】
容器本体２は箱型を成し、図示左側の側面には基板を出し入れする開口部３が形成されている。容器本体２の対向する一対の側壁２ａの内面には、複数の基板を上下方向に水平に並べて支持する支持部２ｂが各々設けられている。
【００１６】
蓋体４は、容器本体２と蓋体４との間を封止するシール用ガスケット５を介して、開口部３を閉鎖する。また、蓋体４の内面には、複数の基板を上下方向に水平に並べて支持するリテーナ６が設けられている。
【００１７】
図２及び図３に示すように容器本体２の底壁２ｃ（底部）の外面側（図３における下側）には、ボトムプレート７が取り付けられている。容器本体２の底壁２ｃには、外方に向かって突出する複数（本実施形態では４つ）のボトムプレート固定用ボス（ボトムプレート固定部）２ｄが設けられている。このボトムプレート固定用ボス２ｄには、図３に示すように、底壁２ｃの板厚方向に延びる開口が形成され、この開口の内周面には、雌螺子部２ｅが形成されている。なお、ここでいう「ボトムプレート固定用ボス」とは、ボトムプレートを固定可能であれば良く、ボトムプレート固定用ボス２ｄにボトムプレート７を装着しない場合であっても、ボトムプレートを固定可能であるものは、ボトムプレート固定用ボスに含むものとする。
【００１８】
ボトムプレート７は、容器本体２の底壁２ｃを外面側から覆うものである。このボトムプレート７は、容器本体２の底壁２ｃに設けられたボトムプレート固定用ボス２ｄと対応する位置に、容器本体２側に向かって突出する突出部７ａが設けられている。この突出部７ａには、ボトムプレート７の内外を貫通する開口７ｂが形成されている。この開口７ｂには、雄螺子８が挿通され、雄螺子８の先端部は、容器本体２の雌螺子部２ｅに螺合する。この雄螺子８によって、ボトムプレート７を容器本体２に固定している。
【００１９】
また、ボトムプレート７には、図２に示すように、インフォパッドプラグ９が挿入されるインフォパッドプラグ用貫通孔１０が形成されている。このインフォパッドプラグ用貫通孔１０は複数形成されている。そして、センサによって、インフォパッドプラグ用貫通孔１０におけるインフォパッドプラグ９の有無を検知することで、当該基板収納容器１に関する情報を識別することができる。なお、ここでいう「基板収納容器に関する情報」としては、例えば、基板収納容器のタイプ、基板収納容器が適用される工程、基板収納容器に収容された基板の枚数等である。
【００２０】
また、ここでいう「センサ」とは、インフォパッドプラグ（インフォパッド部品）９の有無を検知可能なものであり、例えば、光センサ、プッシュセンサ等である。そして、プッシュセンサの例えば棒状の押圧部材を、インフォパッドプラグ用貫通孔１０に向けて突出させて、押圧部材の突出量を検知することで、インフォパッド部品の有無を検知することができる。インフォパッド部品が有る場合には、押圧部材とインフォパッド部品とが接触するため、押圧部材の突出量が小さく、インフォパッド部品が無い場合には、押圧部材とインフォパッド部品とが接触しないため、押圧部材の突出量が大きくなる。
【００２１】
また、ボトムプレート７には、インフォパッドプラグ用貫通孔１０の他に、複数の貫通孔１１が形成されている。
【００２２】
ここで、本実施形態の基板収納容器１には、センサによって検出可能なインフォパッド部品として、上記インフォパッドプラグ９の他に、さらに複数のインフォパッド部材（識別部材）１２を備えている。このインフォパッド部材１２は、図２及び図３に示すように、容器本体２の底壁２ｃとボトムプレート７とに挟まれて配置されている。
【００２３】
このインフォパッド部材１２は、図２〜図５に示すように、センサによって検出可能な被検出板１３を有する被検出部１４と、この被検出部１４から外方に向かって延びる第１アーム部１５と、被検出部１４から外方に向かって第１アーム部１５と異なる方向に延びる第２アーム部１６とを備えている。このインフォパッド部材１２は、黒色ＰＣ材等によって構成されている。黒色ＰＣ材は、フィラーを用いていないため、光の乱反射を抑えることができ、光電センサによる検出精度を向上させることが可能となる。
【００２４】
被検出板１３は、その正面側の主面が本発明の被検出面１３ａを構成している。この被検出面１３ａは、平坦面とされている。被検出板１３は、ボトムプレート７の貫通孔１１に嵌合可能な形状とされている。被検出板１３は、貫通孔１１内に配置され、被検出面１３ａをボトムプレート７の外面に露出させている。
【００２５】
被検出部１４は、被検出板１３の背面側から外方に向かって突出して容器本体２の底壁２ｃの外面に当接する受け部１７を備えている。この受け部１７は板状を成し、被検出板１３を囲鐃している。受け部１７の被検出板１３側の端部１７aは、貫通孔１１の周縁に当接する段差面を形成している。受け部１７の被検出板１３と反対側（容器本体２の底壁側）の端部１７ｂは、容器本体２に当接する当接部を形成している。この受け部１７の端部１７ｂには、外方に突出する位置調整用微小突起１７ｃが複数形成されている。この位置調整用微小突起１７ｃの突出量を変化させることで、インフォパッド部材１２の位置を微調整することができる。
【００２６】
また、被検出板１３の周縁には、図４に示すように、インフォパッド部材１２の内外を貫通する水切り用孔（開口部）１８が形成されている。具体的には、被検出板１３を貫通孔１１の形状と異なる形状とすることで、貫通孔１１と被検出板１３との間に隙間を形成して水切り用孔１８としている。このように、水切り用孔１８を形成することで、容器本体２とボトムプレート７との間の水はけ効果を向上させることができる。このため、基板収納容器１の洗浄後の乾燥を容易とすることが可能となる。また、水切り用孔１８を通じて、洗浄液（例えば水）が移動しやすくなるため、洗浄効率を向上させることができる。
【００２７】
第１アーム部１５及び第２アーム部１６は、容器本体２の底壁２ｃ及びボトムプレート７に平行（図３参照）に延在するとともに、同一面内において互いに異なる任意の方向（図４参照）に延びている。また、第１アーム部１５及び第２アーム部１６の先端部には、容器本体２に固定される固定部１９，２０が設置されている。
【００２８】
固定部１９，２０は、容器本体２のボトムプレート固定用ボス２ｄに装着される筒体１９ａ，２０ａを有している。この筒体１９ａ，２０ａはボトムプレート固定用ボス２ｄに嵌合するものであり、ボトムプレート固定用ボス２ｄの外径と筒体１９ａ，２０ａの内径とが対応する大きさとされている。筒体１９a，２０aの内周面１９ｂ，２０ｂには、内方に突出する複数（本実施形態では３本）の第１の位置調整用微小突起１９ｃ，２０ｃが設けられている。この第１の位置調整用微小突起１９ｃ，２０ｃは、筒体１９a，２０aの軸線方向に線状に形成されている。第１の位置調整用微小突起１９ｃ，２０ｃの突出量を変化させることで、ボトムプレート固定用ボス２ｄと筒体１９ａ，２０ａとの嵌めあいを容易に調整することができる。そのため、被検出板１３の位置ずれを防止することが可能とされている。
【００２９】
また、図５及び図６に示すように、筒体１９ａ，２０ａの容器本体２側の端面１９ｄ，２０ｄには、外方に向かって突出する第２の位置調整用微小突起１９ｅ，２０ｅが形成されている。第２の位置調整用微小突起１９ｅ，２０ｅの突出量を変化させることで、容器本体２とインフォパッド部材１２との位置関係を容易に調整することができる。これにより、インフォパッド部材１２の上下方向の移動を拘束し、インフォパッド部材１２の撓み（変形）を防止して被検出板１３の位置ずれを防止することができる。
【００３０】
また、固定部１９，２０は、図３〜図６に示すように、ボトムプレート７の突出部７ａに装着される複数の円弧状リブ１９ｆ，２０ｆを備えている。この複数の円弧状リブ１９ｆ，２０ｆは、同心円周上に配置され外方（ボトムプレート７側）に向かって突出している。複数の円弧状リブ１９ｆ，２０ｆの内面に、ボトムプレート７の突出部７ａが収納される。また、複数の円弧状リブ１９ｆ，２０ｆは離間して配置されている。これにより、洗浄後の乾燥時間の短縮が図られている。
【００３１】
そして、基板収納容器１は、図３に示すように、雄螺子８によって、容器本体２の底壁２ｃとボトムプレート７とが互いに連結されて固定されている。インフォパッド部材１２は、容器本体２の底壁２ｃとボトムプレート７とによって挟まれた状態とされている。容器本体２のボトムプレート固定用ボス２ｄが、インフォパッド部材１２の筒体１９ａ，２０ａ内に挿入されて嵌合している。ボトムプレート７の突起部７ａが、インフォパッド部材１２の円弧状リブ１９ｆ，２０ｆ内に収容されて、互いに当接している。インフォパッド部材１２の被検出板１３が、ボトムプレート７の貫通孔１１内に配置されて嵌合している。また、インフォパッド部材１２の受け部１７における端部１７ｂが容器本体２の底壁２ｃの外面に当接し、受け部１７における端部１７ａがボトムプレート７の貫通孔１１の周縁に当接している。
【００３２】
このような基板収納容器１及びインフォパッド部材１２では、センサによって検出される被検出面１３を有する被検出部１４と、被検出部１４から外方に向かって互いに異なる方向に延びる第１アーム部１５及び第２アーム部１６とを備え、この第１アーム部１５及び第２アーム部１６の先端部には、容器本体２のボトムプレート固定用ボス２ｄに固定される固定部１９，２０が設けられている。これにより、互いに異なる方向に延びる第１アーム部１５及び第２アーム部１６の先端に設けられた固定部１９，２０によって、被検出部１４を安定した状態で固定することができる。その結果、被検出面１３ａの位置ずれを防止することができる。また、被検出面１３ａと反対方向に突出して容器本体２の底壁２ｃに当接する受け部１７を備えているため、インフォパッド部材１２の移動が拘束され、ボトムプレート７の撓みを防止することができる。その結果、被検出面１３ａの位置ずれを防止することができ、センサによって、確実に被検出面１３ａの有無を検知することができる。
【００３３】
また、インフォパッド部材１２では、また、アーム部１５，１６の長さ、向きを変えることで、被検出面を任意の位置に配置させることができる。これにより、従前と異なる位置に被検出面１３ａを配置させることができるため、工程の多様化に容易に対応することができる。
【００３４】
また、インフォパッド部材１２は、容器本体２とボトムプレート７との間に配置され、固定部１９，２０は、ボトムプレート固定用ボス２ｄに装着され、被検出部１４は、ボトムプレート７に形成された貫通孔１１内に配置されて嵌合している。これにより、ボトムプレート固定用ボス２ｄにインフォパッド部材１２の固定部１９，２０を装着すると共に、容器本体２とボトムプレート７とによって挟むことで、インフォパッド部材１２を確実に固定することができるため、被検出面の位置ずれをより一層防止することができる。その結果、ボトムプレート７の貫通孔１１における被検出面１３ａの有無を確実に検知することができる。また、既存のボトムプレート固定用ボス２ｄ部を利用してインフォパッド部材１２を固定しているため、インフォパッド部材１２を固定するための新たな部品を用いる必要がない。
【００３５】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、本発明の基板収納容器による収納物を基板としているが、収納される基板は、半導体ウェハに限定されず、マスクガラスを始めとしたその他の基板でもよい。
【００３６】
また、上記実施形態では、ボトムプレート７を備え、インフォパッド部材１２が容器本体２とボトムプレート７との間に配置される構成としているが、ボトムプレート７を備えない構成でもよい。図７は、本発明の他の実施形態に係る基板収納容器を示す底面図である。この他の実施形態の基板収納容器３１が第１実施形態の基板収納容器１と違う点は、ボトムプレート７に代えて、ボトムプレート７よりも小型化された識別プレート３２を備える点、インフォパッド部材３３の形状が異なる点、インフォパッド部材３３をクランプして固定することが可能な容器本体固定用板部材３４を備える点である。
【００３７】
容器本体固定用板部材３４は、基板収納容器３１が適用される加工装置に容器本体を固定する際に利用される板部材であり、容器本体２の底壁２ｃの外面側に固定されている。この容器本体固定用板部材３４は、底壁２ｃから外方に突出する固定用ボスにボルト固定されている。
【００３８】
識別プレート３２は、容器本体２の底壁２ｃの外面側に固定されている。この識別プレート３２には、複数のインフォパッドプラグ用貫通孔１０が形成されている。識別プレート３２の底壁２ｃへの固定は、底壁２ｃに形成されたボトムプレート固定用ボス２ｄを利用しても良く、その他の固定用ボス、固定用ボルト等を用いて固定する。
【００３９】
インフォパッド部材３３は、センサによって検出可能な被検出面３５ａを有する被検出部３６と、この被検出部３６から外方に向かって延びる第１アーム部３７と、被検出部３６から外方に向かって第１アーム部３７と異なる方向に延びる第２アーム部３８とを備えている。また、被検出部３６には、被検出面３５ａと反対方向に突出して容器本体に当接する受け部が形成されている。この受け部の被検出面３５ａと反対側（容器本体２の底壁側）の端面には、外方に突出する位置調整用微小が形成されている。また、インフォパッド部材３３は、被検出面３５ａの周囲に、インフォパッド部材の内外を貫通する水切り用孔（開口部）を有している。
【００４０】
また、第１アーム部３７及び第２アーム部３８の先端部には、容器本体２に固定される固定部３９，４０が設置されている。この固定部３９，４０は、底壁２ｃに形成された固定用ボスに嵌合する筒体を有している。この筒体の内周面には、内方に突出する複数の第１の位置調整用微小突起が設けられている。また、筒体の容器本体２側の端面には、外方に向かって突出する第２の位置調整用微小突起が形成されている。
【００４１】
このインフォパッド部材３３の固定部３９，４９は、底壁２ｃの固定用ボスに固定されている。このとき、インフォパッド部材３３は、固定部３９が底壁２ｃと識別プレート３２とによって挟まれた状態で、固定部４０が底壁２ｃと容器本体固定用板部材３４とによって挟まれた状態で、容器本体に固定されている。また、インフォパッド部材３３の被検出面３５ａは、識別プレート３２や容器本体固定用板部材３４に覆われていない状態となっている。
【００４２】
このような基板収納容器３１及びインフォパッド部材３３にあっても、第１実施形態の基板収納容器１及びインフォパッド部材１２と同様の効果を得ることができる。
【００４３】
なお、ボトムプレート７を備えていない基板収納容器にインフォパッド部材を固定する場合、容器本体固定用板部材３４の固定部を利用してインフォパッド部材を固定してもよく、その他の固定方法でもよい。その他の固定方法としては、例えば、容器本体に固定用ボスを設置し、この固定用ボスに対してインフォパッド部材を直接ボルト固定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す基板収納容器の底面図である。
【図３】図２におけるIII−III線に沿う容器本体、インフォパッド部材及びボトムプレートの断面図である。
【図４】図３中のインフォパッド部材の正面図である。
【図５】図４に示すインフォパッド部材の側面図である。
【図６】図４に示すインフォパッド部材を背面側から示す斜視図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る基板収納容器を示す底面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１，３１…基板収納容器、２…容器本体、２ｃ…底壁（底部）、２ｄ…ボトムプレート固定用ボス（ボトムプレート固定部）、７…ボトムプレート、１１…貫通孔、１２，３３…インフォパッド部材（識別部材）、１３ａ，３５ａ…被検出面、１４，３６…被検出部、１５，３７…第１アーム部、１６，３８…第２アーム部、１７…受け部、１８…水切り用孔（開口部）、１９，２０，３９，４０…固定部、１９ａ，２０ａ…筒体、１９ｂ，２０ｂ…筒体の内周面、１９ｃ，２０ｃ…第１の位置調整用微小突起、１９ｅ，２０ｅ…第２の位置調整用微小突起。
【図１】
2008041773.tif 000003
【図２】
2008041773.tif 000004
【図３】
2008041773.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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