(57)【要約】      （修正有）【課題】金属蒸着パターンのかすれを抑制する。【解決手段】誘電体フィルムに蒸着金属を形成する金属蒸着工程と、この金属蒸着工程よりも前に設けられたオイルマスク工程とを有する金属化フィルムの製造装置において、オイルマスク工程は両端が閉じた円筒の内部にオイルを蓄えるオイルタンク１４と、このオイルタンク１４を加熱するヒータと、マスク部分が凸状に形成されたパターンを表面に有するパターンロールとからなり、オイルタンク１４はその円筒軸が水平になるように配置した曲面上に開口部１４ａを有し、この開口部１４ａは幅の異なるスリットであって、パターンロールのマスク部分に応じたスリット幅とした金属化フィルムの製造装置とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体フィルムに蒸着金属を形成する金属蒸着工程と、この金属蒸着工程よりも前に設けられたオイルマスク工程とを有する金属化フィルムの製造装置において、前記オイルマスク工程は内部にオイルを蓄えるオイルタンクと、このオイルタンクを加熱するヒータと、マスク部分が凸状に形成されたパターンを表面に有するパターンロールとからなり、前記オイルタンクは上面部に開口部を有し、この開口部は幅の異なるスリットであって、前記パターンロールのマスク部分に応じたスリット幅とした金属化フィルムの製造装置。
【請求項２】
前記パターンロールに設けられたパターンはこのパターンロールの円筒軸と垂直方向である垂直パターンと垂直方向以外のパターンとの組み合わせからなり、この垂直パターンに対応する部分の開口部はそれ以外に対応する部分よりスリットの幅が広い請求項１に記載の金属化フィルムの製造装置。
【請求項３】
内部にオイルを蓄えるオイルタンクと、このオイルタンクを加熱するヒータと、マスク部分が凸状に形成されたパターンを有するパターンロールとを有し、まず、前記オイルタンクで加熱されたオイルが前記オイルタンクの上面部に設けられた開口部から蒸発して、前記パターンロールに形成された凸状のパターンに付着し、次に、前記パターンロールに付着したオイルが誘電体フィルムに転写されるオイルマスク工程と、その後に前記誘電体フィルムに蒸着金属を形成する金属蒸着工程とからなる金属化フィルムの製造方法において、前記オイルマスク工程のオイルタンクの開口部は幅の異なるスリットであって、前記パターンロールのマスク部分に応じたスリット幅である金属化フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記パターンロールに設けられたパターンはこのパターンロールの円筒軸と垂直方向である垂直パターンと垂直方向以外のパターンとの組み合わせからなり、この垂直パターンに対応する部分の開口部はそれ以外に対応する部分よりスリットの幅が広い請求項３に記載の金属化フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電気機器、電子機器、産業機器に使用されるフィルムコンデンサを構成する金属化フィルムの製造装置と製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
誘電体フィルム上に金属を蒸着させて蒸着金属による電極を形成した金属化フィルムを巻回または積層することによってフィルムコンデンサを構成している。
【０００３】
この金属化フィルムを製造するに当たっては、真空中にて誘電体フィルム上にオイルを転写などした後に金属を蒸着する工程を備えた製造装置などがある。
【０００４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１、特許文献２が知られている。
【特許文献１】特開２００３−２９７７０７号公報
【特許文献２】特開２００５−１１６７８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の製造装置においては、オイルタンクから加熱蒸発したオイルがパターンロールに付着し、この付着したオイルがパターンロールを介して誘電体フィルム上に転写されるものであり、その結果、転写されたオイルがマスク部分となってオイル以外の部分に金属が蒸着され、金属蒸着パターンを形成するものであった。
【０００６】
このとき、転写されたオイルの量が極端に少なくなり、かすれたりなどすると金属蒸着パターンもかすれたりして金属蒸着パターンが正しく形成されなくなってしまうものであった。
【０００７】
そこで本発明は金属蒸着パターンのかすれを抑制することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そして、この目的を達成するために、誘電体フィルムに蒸着金属を形成する金属蒸着工程と、この金属蒸着工程よりも前に設けられたオイルマスク工程とを有する金属化フィルムの製造装置において、オイルマスク工程におけるオイルタンクの開口部をマスク部分となるパターンロールの凸状に形成されたパターンに応じて異なる幅のスリットとするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の製造装置はオイルタンクの開口部をパターンロールのマスク部分に応じて異なるスリット幅としているので、パターンに応じたオイル量も適正なものとすることができるのでオイルのかすれも少なくなり、結果として金属蒸着パターンのかすれを抑制することも可能となるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（実施の形態）
図１は本発明の一実施の形態における蒸着装置の概要図である。
【００１１】
図１において、まず、図示しない真空ポンプからの排気１ａ、１ｂによって内部を真空に保つ真空チャンバー１内に未蒸着の誘電体フィルム２が巻かれたフィルム巻出し部３が配置されている。
【００１２】
次に、フィルム巻出し部３から巻出された誘電体フィルム２はオイルタンクとローラーなどからなるオイルマスク工程４ａによって絶縁マージンやヒューズを構成するための非蒸着部分となるマスク部分を形成される。
【００１３】
そして、内部が冷却されているキャンと呼ばれるローラー状の冷却キャン５ａを通過する際に、アルミニウム蒸発源６ａおよび亜鉛蒸発源７ａからなる金属蒸着工程８ａによって誘電体フィルム２に蒸着金属９を形成する。このときマスク部分にはオイルがあるため、金属は蒸着されず、非蒸着部分を形成することができる。
【００１４】
次に、誘電体フィルム２を滑らかに走行させるための中間ローラー１０を経由して必要に応じ、反転させた後、反対面を同様構成であるオイルマスク工程４ｂと金属蒸着工程８ｂによって蒸着金属９を形成することによって誘電体フィルム２の両面に蒸着金属９を形成することができる。なお、片面のみの蒸着金属９の形成であってもよいものである。さらに、金属蒸着工程８ａ、８ｂはアルミニウム蒸発源６ａもしくは亜鉛蒸発源７ａのどちらか一方、あるいはアルミニウムと亜鉛の合金の蒸発源であってもよいものとする。
【００１５】
そして、必要に応じて蒸着金属９の安定化を目的としたアフターオイルや酸素などの吹きつけを行う後処理工程１１を経ることによって金属化フィルム１２が作製され、巻取り部１３によって巻取られる。
【００１６】
ここで、オイルマスク工程４について詳細に説明する。
【００１７】
図２はオイルマスク工程４の一例としてフレキソ印刷によるオイルマスク工程４の概念図である。
【００１８】
図２において、オイルマスク工程４は両端が閉じた円筒形状の内部にオイルを蓄えるオイルタンク１４と、このオイルタンク１４を加熱するヒータ（図示せず）と、オイルタンク１４から加熱蒸発したオイルを転写するための転写ローラー１５、１６と、非蒸着部分を形成するためのマスク部分を凸状に設けたパターンを表面に有したパターンロール１７と、誘電体フィルム２にオイルを転写するために誘電体フィルム２を支える圧胴ローラー１８とから構成されている。
【００１９】
まず、オイルタンク１４で加熱蒸発したオイルが転写ローラー１５、１６を介してパターンロール１７表面のマスク部分に付着し、そして、圧胴ローラー１８に支えられた誘電体フィルム２に所定のパターンを形成するように転写される。
【００２０】
このとき、転写ローラー１５は付着したオイルの膜厚を一定にするために、揺動するような機構を有するものを用いる場合や、表面処理を施されたものを用いる場合もあり、オイル量やオイル厚みの設定といった必要に応じて転写ローラー１５、１６を用いる。
【００２１】
次に冷却キャン５を通過する際に、アルミニウム蒸発源６によって金属蒸着される。
【００２２】
このとき、オイルタンク１４は図３に示すように、その上面部に開口部１４ａが設けられている。この開口部１４ａは一定のスリット幅を有する狭幅スリット１４ｂと広幅スリット１４ｃの組み合わせによって構成されている。
【００２３】
開口部１４ａと非蒸着部分のパターンとの関係を示したものが図４（ａ）、（ｂ）である。
【００２４】
図４（ａ）は非蒸着部分のパターンを形成した金属化フィルム１２であり、この金属化フィルム１２には金属が蒸着された蒸着金属９と、パターンロール１７の円筒軸と水平方向に設けられた凸状のマスク部分によってオイルが転写された結果、非蒸着部分となった水平パターン１２ｂと、パターンロール１７の円筒軸と垂直方向に設けられた凸状のマスク部分によってオイルが転写された結果、非蒸着部分となった垂直パターン１２ｃとからなるものである。
【００２５】
このとき、図４（ｂ）に示すオイルタンク１４の開口部１４ａを金属化フィルム１２と対応させた際には、垂直パターン１２ｃに対応する部分に広幅スリット１４ｃが対応するように開口部１４ａが設けられている。
【００２６】
ここで、従来のオイルタンクである図６に示すような開口部２０を設けたものにおいては、オイルタンクの開口部２０が一定幅のスリットで形成されており、パターンロール１７の円筒軸と垂直方向である垂直パターン１２ｃに対応する部分ではオイルタンクの開口部２０を通るオイル量と水平パターン１２ｂに対応する部分へのオイル量とが同一量となってしまうために、結果として非蒸着部分を形成するためのオイル量を多く必要とする垂直パターン１２ｃにおいてかすれたりするという状態になってしまうものであった。
【００２７】
しかし、本発明の実施の形態によれば、非蒸着部分を形成するためのオイル量を多く必要とする垂直パターン１２ｃに対応する部分のオイルタンク１４の開口部１４ａには広幅スリット１４ｃを設けているので、パターンに応じたオイル量を適正とすることができ、結果として非蒸着部分を形成してヒューズとする場合にも動作性がより確実なものにすることが可能であり、より信頼性の高い金属化フィルムを作るための装置とすることができ、この金属化フィルムによって信頼性の高いコンデンサとすることも可能である。
【００２８】
なお、本実施の形態においてはパターンロール１７に設けられたパターンは水平パターン１２ｂと垂直パターン１２ｃとの組み合わせとしたが、垂直パターン１２ｃと垂直方向以外のパターンとの組み合わせでもよく、このときには垂直パターン１２ｃに応じた部分に広幅スリット１４ｃが設けられるようにすればよいものである。
【００２９】
なお、金属化フィルム１２の蒸着金属９に対応する部分、すなわち、パターンロール１７においてマスク部分のないような部分にはオイルタンク１４の開口部１４ａを設けなくてもよいものとする。
【００３０】
また、オイルタンク１４の開口部１４ａの広幅スリット１４ｃの形状は図４（ｂ）の様な幅の広い方形状でなくとも、図５（ｂ）に示すような、多角形状の広幅スリット１４ｄや菱形形状の１４ｅであってもよい。このようにすることによって、オイルの蒸発量を適正なものにすると同時に開口部１４ａの加工を容易にすることが可能である。
【００３１】
なお、本実施の形態において，オイルタンク１４を両端が閉じた円筒形状としたが、これに限られることなく、内部にオイルを蓄えられるものであればよく、そのオイルタンク１４の上面部に開口部１４ａが設けられていればよいものとする。
【００３２】
また、開口部１４ａは開口部１４ａ全体が平面状に加工されて設けられているとよく、このようにすることによって、オイルの蒸発方向を制御することが可能となるとともに、開口部１４ａの加工も容易となる効果を奏するものである。
【００３３】
さらに、オイルタンク１４の形状としては、オイルを蓄える部分とオイルが蒸発するノズル部分とに別れたものであってもよく、このときはノズル部分に開口部１４ａを設けるものとする。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明による金属化フィルムの製造装置によれば、非蒸着部分を形成するためのオイル量を適正なものにするとともに、非蒸着部分によって形成されるヒューズも適正な形状とすることができるので、コンデンサとした際に信頼性の高くすることのできる金属化フィルムを製造できる装置となって、特に高い信頼性が要求される自動車用途として有用なコンデンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施の形態による金属化フィルムの製造装置の概念図
【図２】本発明の一実施の形態による金属化フィルムの製造工程部分概念図
【図３】本発明の一実施の形態によるオイルタンクの斜視図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態による金属化フィルムの平面図、（ｂ）本発明の一実施の形態によるオイルタンクの上面図
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態による金属化フィルムの平面図、（ｂ）本発明の一実施の形態によるオイルタンクの上面図、（ｃ）本発明の一実施の形態によるオイルタンクの上面図
【図６】従来のオイルタンクの斜視図
【符号の説明】
【００３６】
１  真空チャンバー
２  誘電体フィルム
３  フィルム巻出し部
４、４ａ、４ｂ  オイルマスク工程
５、５ａ、５ｂ  冷却キャン
６、６ａ、６ｂ  アルミニウム蒸発源
７ａ、７ｂ  亜鉛蒸発源
８、８ａ、８ｂ  金属蒸着工程
９  蒸着金属
１０  中間ローラー
１１  後処理工程
１２  金属化フィルム
１２ｂ  水平パターン
１２ｃ  垂直パターン
１３  巻取り部
１４  オイルタンク
１４ａ  開口部
１４ｂ  狭幅スリット
１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ  広幅スリット
１５、１６  転写ローラー
１７  パターンロール
１８  圧胴ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008124245.tif 000006
【図５】
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【図６】
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