(57)【要約】【課題】原料の吸湿性が高いことから、工業的に取り扱いが困難なことで知られているカリウムを構成元素として含まないニオブ酸系圧電磁器を提供する。【解決手段】Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成、で囲まれる範囲とする圧電磁器、その製造方法、及び圧電製品。【効果】カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を示すニオブ酸系圧電磁器を提供することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＮａＮｂＯ３を主成分とするペロブスカイト化合物を主体としたニオブ酸系圧電磁器であって、該圧電磁器の組成の一部がＢａＴｉＯ３及びＳｒＴｉＯ３で置換されており、該圧電磁器がカリウム成分を実質的に含まないこと、を特徴とする圧電磁器。
【請求項２】
Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、及びＴｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、該圧電磁器の組成が、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成で囲まれる範囲にある、請求項１記載の圧電磁器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の圧電磁器を主原料として含むことを特徴とする圧電素子。
【請求項４】
請求項４に記載の圧電素子を構成要素として含むことを特徴とする圧電フィルタ又は圧電共振子。
【請求項５】
Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、及びＴｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器を製造する方法であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、該圧電磁器の組成が、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成で囲まれる範囲となるように原料粉末を配合し、これを仮焼、成形、焼成することを特徴とする上記圧電磁器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ニオブ酸系の圧電磁器、その製造方法、及び圧電素子に関するものであり、更に詳しくは、ＮａＮｂＯ３−ＢａＴｉＯ３−ＳｒＴｉＯ３を組成成分とするペロブスカイト化合物を主体とした新規な圧電磁器、その製造方法及び圧電素子に関し、特に、圧電アクチュエータ及び圧電共振子に好適な圧電磁器に関するものである。
【０００２】
本発明は、カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を実現したニオブ酸系圧電磁器を提供するものである。本発明の圧電磁器は、製造に際して、吸湿性を有するカリウム原料を使用する必要がないことから、本発明は、従来材のＫＮｂＯ３−ＮａＮｂＯ３を主成分とするニオブ酸アルカリ系の圧電磁器に見られるような、カリウムの原料として一般に使用される炭酸カリウムに起因する吸湿性の問題を確実に回避することができる。更に、本発明は、低温で揮発性の極めて高い酸化鉛（ＰｂＯ）を含有していない組成物からなる、生態学的な見地及び公害防止の面からも好ましい無鉛圧電磁器を提供するものである。
【背景技術】
【０００３】
圧電セラミックスは、各種センサや超音波振動子といった従来の応用に加えて、最近では、例えば、パーソナルコンピュータの液晶バックライト用トランスやインクジェットプリンタ用ヘッド部品材料として使用されるなど、電子機器の小型化や高性能化に多大な貢献をしている。現在、圧電セラミック材料としては、ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）とチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）の固溶体に添加物を少量加えた、いわゆるＰＺＴ系や、ＰＺＴにＰｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３といった複合ペロブスカイト化合物を固溶させた、いわゆる三成分系の固溶体が主に使用されている。
【０００４】
しかし、これらの圧電セラミック材料は、環境に対して有害な酸化鉛を重量にして７０％程度含むことから、圧電素子を用いた電子機器が不法廃棄された場合、酸性雨による自然環境への鉛化合物の拡散が懸念されている。そこで、従来の鉛系材料に代替できる実用化可能な無鉛圧電セラミック材料の開発が強く求められている。
【０００５】
現在、主な無鉛圧電セラミック用化合物としては、ペロブスカイト型、タングステン・ブロンズ型、及びビスマス層状構造型強誘電体が知られており、例えば、複合ペロブスカイト化合物の（Ｂｉ０．５Ｎａ０．５）ＴｉＯ３と単純ペロブスカイト化合物であるＢａＴｉＯ３系との固溶体である（Ｂｉ０．５Ｎａ０．５）ＴｉＯ３−ＢａＴｉＯ３固溶体（ＢＮＴ−ＢＴ系固溶体）が、キュリー温度が高く、１２００℃程度で焼結可能であることから、有力な無鉛圧電セラミック候補材料として考えられている。
【０００６】
近年、自然環境に対して、有害な酸化鉛を含有せず、比較的良好な圧電性を示すセラミック材料として、ニオブ酸アルカリ系の圧電磁器が注目されている。このニオブ酸アルカリ系の圧電磁器に関する先行技術としては、例えば、ニオブ酸リチウムナトリウムを基本組成とする固溶体に、副成分として、酸化アルミニウム、酸化鉄を添加した、高密度で機械的強度が大きい圧電磁器が提案されている（特許文献１参照）。また、例えば、ニオブ酸アルカリを主成分とした圧電磁器として、一般式：{Ｌｉｘ(Ｋ１−ｙＮａｙ)１−ｘ}{Ｎｂ１−ｚ−ｗＴａｚＳｂｗ}Ｏ３からなる等方性ペロブスカイト型ニオブ酸カリウムナトリウムを基本組成とし、優れた圧電特性を示す結晶配向セラミックスが提案されている（特許文献２参照）。
【０００７】
また、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）とニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂＯ３）を主成分としたニオブ酸アルカリ系の圧電磁器として、これに銅を添加して焼結性を改善した組成物や、リチウム及びタンタルを添加することによって、温度特性を高くした組成物が提案されている（特許文献３参照）。
【０００８】
また、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）とニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂＯ３）を主成分とした圧電磁器、例えば、（Ｌｉ、Ｋ、Ｎａ）（Ｎｂ、Ｔａ、Ｓｂ）Ｏ３系のセラミックスは、キュリー温度が高く、比較的高い電気機械結合係数を有することから、圧電素子としての利用が考えられている（特許文献４参照）。更に、他の事例として、ニオブ酸カリウムナトリウムリチウムを主成分とし、Ｂｉ等の２価の金属、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｈｆ等の４価の金属を含む組成からなる、高周波領域での使用に適した圧電磁器組成物が提案されている（特許文献５参照）
【０００９】
従来のＫＮｂＯ３−ＮａＮｂＯ３を主成分とするニオブ酸アルカリ系の圧電磁器は、比較的高い電気機械結合係数、及び高い圧電歪定数を示すものの、組成に応じて、室温〜１００℃付近に斜方晶から正方晶に相転位する温度、いわゆる相転移点が存在し、その温度範囲内において、圧電特性の著しい変化を生じさせることから、このことが、ＫＮｂＯ３−ＮａＮｂＯ３を主成分とするニオブ酸アルカリ系の圧電磁器の製品化における問題点となっていた。
【００１０】
また、このＫＮｂＯ３−ＮａＮｂＯ３を主成分とするニオブ酸アルカリ系の圧電磁器は、その製造過程において、カリウムの原料として一般に使用される炭酸カリウムは、吸湿性が高く、工業規模でのセラミックスの生産において、取り扱いが困難であるという製造技術上の問題があり、セラミックスの構成元素としてカリウムを含むことが、ＫＮｂＯ３−ＮａＮｂＯ３を主成分とするニオブ酸アルカリ系の圧電磁器を実用化する上での問題の一つとなっていた。
【００１１】
【特許文献１】特公昭６０−５２０９８号公報
【特許文献２】特開２００４−３０００１９号公報
【特許文献３】特開２０００−３１３６６４号公報
【特許文献４】特開２００４−２４４３００号公報
【特許文献５】特開平１１−２２８２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
このような状況の中で、本発明者は、上記従来技術に鑑みて、簡便に製造することが可能であり、カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を実現することが可能なニオブ酸系圧電磁器を開発することを目標として鋭意研究を積み重ねた結果、Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした新しいニオブ酸系圧電磁器を開発することに成功し、本発明を完成するに至った。
【００１３】
本発明は、カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を実現したニオブ酸系の新規圧電磁器を提供することを目的とするものである。また、本発明は、吸湿性が高いために工業的に取り扱いが困難なカリウム原料を使用しないで、すなわち、カリウムを含まない組成を用いて、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を有するニオブ酸系圧電磁器を製造する方法を提供することを目的とするものである。
【００１４】
また、本発明は、高いキュリー温度、高い電気機械結合係数、及び高い圧電歪定数を有する圧電磁器を提供することを目的とするものである。更に、本発明は、上記圧電磁器を使用した、自然環境に優しい、鉛を含まない実用的なニオブ酸系圧電素子、及びその応用製品を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
（１）ＮａＮｂＯ３を主成分とするペロブスカイト化合物を主体としたニオブ酸系圧電磁器であって、該圧電磁器の組成の一部がＢａＴｉＯ３及びＳｒＴｉＯ３で置換されており、該圧電磁器がカリウム成分を実質的に含まないこと、を特徴とする圧電磁器。
（２）Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、及びＴｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、該圧電磁器の組成が、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成で囲まれる範囲にある、前記（１）記載の圧電磁器。
（３）前記（１）又は（２）に記載の圧電磁器を主原料として含むことを特徴とする圧電素子。
（４）前記（４）に記載の圧電素子を構成要素として含むことを特徴とする圧電フィルタ又は圧電共振子。
（５）Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、及びＴｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器を製造する方法であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、該圧電磁器の組成が、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成で囲まれる範囲となるように原料粉末を配合し、これを仮焼、成形、焼成することを特徴とする上記圧電磁器の製造方法。
【００１６】
次に、本発明について更に詳細に説明する。
本発明は、ＮａＮｂＯ３を主成分とするペロブスカイト化合物を主体としたニオブ酸系圧電磁器であって、該圧電磁器の組成の一部がＢａＴｉＯ３及びＳｒＴｉＯ３で置換されており、該圧電磁器がカリウム成分を実質的に含まないことを特徴とするものである。
【００１７】
本発明では、Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、該圧電磁器の組成が、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成で囲まれる範囲を満足すること、を好ましい実施の態様としている。
【００１８】
本発明の圧電磁器の上記組成範囲には、上記組成により囲まれた範囲内の組成、及びそれらの組成に相当する組成が含まれる。具体的には、本発明の圧電磁器は、Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｔｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器であって、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３とした時（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）、（ｘ＝０．９０，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．１２，ｚ＝０．０１）組成、及び（ｘ＝０．８７，ｙ＝０．０９，ｚ＝０．０４）組成で囲まれる範囲を満足する組成（ただし、ｘ、ｙ、ｚの各点、及びそれらを結ぶ線上の組成に該当する組成を含む。）を有することが重要である。
【００１９】
本発明の圧電磁器の構成において、ＢａＴｉＯ３の含有割合を０．０９〜０．１２の範囲としたのは、実験の結果、本範囲がキュリー温度が比較的高く、良好な圧電特性を示した組成であることによる。ＢａＴｉＯ３の含有割合が０．０９よりも少ない組成では、室温付近に結晶相転移点が存在し、結晶相転移点の存在は、磁器の圧電特性の急激な変化の原因になることから、実用化における問題となる。一方、ＢａＴｉＯ３の割合が０．１２よりも多い組成では、キュリー温度が２００℃以下となることから、これも、本磁器を実用化する際の問題となる。本発明の圧電磁器の構成において、ＳｒＴｉＯ３の含有割合を０．０４よりも少ない範囲としたのは、磁器のキュリー温度が、２００℃以下となって、実用化における問題となるためである。
【００２０】
本発明の圧電磁器は、例えば、次のようにして製造することができる。まず、Ｎａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＳｒＣＯ３，Ｎｂ２Ｏ５，ＴｉＯ２原料を用いて、予め所望の組成になるよう秤量し、これをＺｒＯ２ボールを用いた湿式方式で混合する。この混合粉体を、９００℃で仮焼成し、所望の組成の合成粉体を得る。
【００２１】
上記合成粉体については、ＺｒＯ２ボールを用いて湿式粉砕し、乾燥させ、この混合粉末に、有機バインダーを加え、金型プレス、静水圧プレス等により、所望の形状に成形した後、大気中、１１００〜１２２０℃で約３時間程度焼成して磁器を得ることができる。
【００２２】
使用する各原料粉末は、酸化物だけでなく、炭酸塩、酢酸塩又は有機金属などの化合物のいずれであっても、焼成などの熱処理プロセスによって酸化物になるものであれば何ら差し支えない。上記圧電磁器の製造工程においては、原料粉末を上記組成範囲内になるように任意の方法及び手段で秤量し、これらを混合して混合粉末とし、これを仮焼し、粉砕し、成形し、焼成することによって圧電磁器を製造する。
【００２３】
原材料の混合方式としては、例えば、乾式混合、湿式混合が例示される。また、粉砕方法としては、例えば、乾式粉砕方法、湿式粉砕方法が例示される。また、成形方法としては、例えば、乾式プレス法、冷間等方プレス法（ＣＩＰ）が例示され、また、加熱処理としては、大気中や、アルゴン、窒素、酸素フロー中の雰囲気中での加熱処理が例示される。しかし、上記圧電磁器の製造工程における混合方式、成形方式や、加熱処理の方式、仮焼、成形の順序等は、上記のものに限定されるものではない。
【００２４】
本発明のニオブ酸系の圧電磁器は、原料の吸湿性が高いことから、工業的に取り扱いが困難なカリウムをその構成成分として含まない組成を用いているため、工業的な取り扱いが困難となるカリウム原料を用いることなく、実用的なニオブ酸系圧電磁器の生産を可能とすることができる。この圧電磁器は、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を有し、しかも低温で揮発性の高い酸化鉛を含有していない組成を用いていることから、本発明により、自然環境に優しい、鉛を含まない、良好な圧電特性を有する、実用的なニオブ酸系の圧電磁器を製造し、提供することが可能となる。
【００２５】
従来、ＫＮｂＯ３−ＮａＮｂＯ３を主成分とするニオブ酸アルカリ系の圧電磁器の製造において、カリウムの原料として、一般に使用される炭酸カリウムは、吸湿性が高く、工業規模での圧電セラミックスの生産において取り扱いが困難という問題があり、そのことが、ニオブ酸系の圧電磁器の実用化を阻む問題の一つとなっていた。これに対し、本発明は、カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を実現した新しいニオブ酸系圧電磁器を製造し、提供することを可能とするものである。
【００２６】
本発明のニオブ酸系圧電磁器は、高いキュリー温度、高い電気機械結合係数、及び高い圧電歪定数を有しており、本発明は、上述の、特定のｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３の組成からなる新規ニオブ酸系圧電磁器を主要な材料として含む圧電素子、当該圧電素子を構成要素として含む圧電フィルタ又は圧電共振子等の圧電部材を構築し、提供することを可能とする。また、本発明の圧電磁器を使用することによって、鉛を含まず、実用化しやすいニオブ系圧電素子の製造が可能となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明により、次のような効果が奏される。
（１）ＮａＮｂＯ３、ＢａＴｉＯ３、及びＳｒＴｉＯ３を主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした新しいニオブ酸系の圧電磁器を提供することができる。
（２）カリウムの原料として一般に使用される炭酸カリウムは、吸湿性が高く、工業規模でのセラミックスの生産において取り扱いが困難という問題があるが、本発明では、カリウム原料を使用することなく、簡便に、ニオブ酸系の圧電磁器を生産することが可能である。
（３）カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度、及び良好な圧電特性を有するニオブ酸系の圧電磁器を実現することができる。
（４）自然環境に優しい、鉛を含まない実用的なニオブ酸系の圧電磁器の生産が可能である。
（５）実用化が可能な、新規ニオブ酸系の圧電磁器組成物からなる圧電材料を製造し、提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
【実施例】
【００２９】
出発原料としてＮａ２ＣＯ３，ＢａＣＯ３，ＳｒＣＯ３，Ｎｂ２Ｏ５，ＴｉＯ２原料粉末を使用した。これらの原料粉末に、エタノールを加え、直径１０ｍｍのＺｒＯ２ボールを用いて２４時間湿式混合した後、乾燥機で十分に乾燥させた。この混合粉体を９００℃で３時間仮焼して仮焼粉体を作製した。
【００３０】
これらの仮焼粉体に、エタノールを加え、直径１０ｍｍのＺｒＯ２ボールを用いて２時間ボールミル粉砕を行った。ボールミル粉砕した仮焼粉体については、乾燥機で十分に乾燥させた後、有機バインダーを混合して造粒し、得られた粉末を２００ＭＰａの圧力で直径１７ｍｍ、厚さ１．５ｍｍの円板に成形した後、この成形体を大気中において、１１００〜１２２０℃で３時間焼成して磁器を得た。その後、磁器をラップ盤を用いて厚さ１ｍｍに研磨した。
【００３１】
研磨した試料については、上下面に銀ペーストを塗布し、７００℃で３０分間熱処理して銀電極を形成した。その後、試料を１００℃のシリコンオイル中で４ｋＶ／ｍｍの直流電界を１０分間印加して分極処理を行った。
【００３２】
分極処理した試料については、室温で一晩放置することによって圧電特性を安定化させた後、静電容量、共振・反共振周波数をインピーダンスアナライザを用いて測定し、比誘電率、電気機械結合係数（ｋｐ）、機械的品質係数（Ｑｍ）を求めた。また、分極後の位相を測定した。また、ｄ３３メータを用いて、試料の圧電歪ｄ３３定数（ｐｍ／Ｖ）を測定した。
【００３３】
更に、静電容量の温度変化を測定することによって、キュリー温度を求めた。これらの測定値を表１に示す。表１中では、ＮａＮｂＯ３をＮＮ、ＢａＴｉＯ３をＢＴ、ＳｒＴｉＯ３をＳＴと略記した。表１において、第１段目（最上段）の組成（０．９０ＮＮ−０．０９ＢＴ−０．０１ＳＴ）に対応する記載は、比較例の組成及び測定値であり、第２〜１５段目（最下段まで）に対応する記載は、本発明の実施例（実施例１〜１４）の組成及び測定値である。
【００３４】
【表１】
2008156172.tif 000003
【００３５】
その結果、ＮａＮｂＯ３を主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器において、該圧電磁器の組成の一部をＢａＴｉＯ３、及びＳｒＴｉＯ３で置換し、カリウム成分を実質的に含まない組成とした本発明の圧電磁器は、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を達成できることが分かった。
【００３６】
そして、これらの実験結果から、Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、及びＴｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした圧電磁器において、モル比による組成式をｘＮａＮｂＯ３＋ｙＢａＴｉＯ３＋ｚＳｒＴｉＯ３（ただし、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）とした時、該圧電磁器の組成が、（ｘ＝０．９０、ｙ＝０．０９、ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７、ｙ＝０．１２、ｚ＝０．０１）組成、（ｘ＝０．８７、ｙ＝０．０９、ｚ＝０．０４）組成、及び（ｘ＝０．８８、ｙ＝０．０５、ｚ＝０．０７）組成で囲まれる組成範囲内にある圧電磁器が、優れた圧電性能を有することが実証された。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上詳述したように、本発明は、Ｎａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、及びＴｉを主成分とするペロブスカイト化合物を主体とした新しいニオブ酸系の圧電磁器、その製造方法、及び圧電素子に係るものであり、本発明により、カリウムを含まない組成において、高いキュリー温度及び良好な圧電特性を有している圧電磁器を提供することができる。本発明は、自然環境に優しい、鉛を含まない圧電磁器を提供するものであり、それにより、鉛を含まない環境低負荷の実用可能なニオブ酸系の圧電素子、及びそれを利用した圧電部材を製造し、提供することを可能とするものである。本発明は、ニオブ酸系の圧電磁器の実用可能な新規組成物及びその製品に関する新技術・新製品を提供するものとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の圧電磁器組成物の３成分組成図を示す。
【図１】
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