(57)【要約】【課題】動圧発生部を容易且つ低コストに形成することができる動圧軸受装置を提供する【解決手段】軸受部材７の成形収縮量の差を積極的に活用することで、軸受部材７の内周面８ａに径差を形成し、この径差で動圧発生部を形成する。これにより、軸受部材７の内周面を８ａ成形する内型に、動圧発生部の形状に対応させた凹凸を加工する必要は無く、真円形状で足りるので、内型の製作コストが安価なものとなる。また、内型は真円形状で足りるため、離型時に内型と軸受部材７とが無理抜きとなることはなく、動圧発生部の損傷を回避できる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂で型成形された軸受部材と、軸受部材の内周に挿入された軸部材と、軸受部材の内周面と軸部材の外周面との間に形成されたラジアル軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧発生部とを備えた動圧軸受装置において、
軸受部材が内周面に成形収縮量差に基づく径差を有し、この径差で前記動圧発生部を形成した動圧軸受装置。
【請求項２】
軸受部材に、内面を成形面とした軸方向の貫通孔を形成した請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項３】
軸受部材の外周面に、外径へ向けて突出した突出部を形成した請求項１記載の動圧軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受隙間に生じる潤滑流体の動圧作用で軸部材を回転自在に支持する動圧軸受装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、情報機器、例えばＨＤＤ等の磁気ディスク駆動装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク駆動装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク駆動装置等のスピンドルモータ用、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイール、あるいは電気機器、例えばファンモータなどの小型モータ用として好適に使用可能である。
【０００３】
例えば、特許文献１に示されている動圧軸受装置は、樹脂製の軸受部材（軸受スリーブ）と軸部材とを備え、軸受部材の内周面には、軸受部材の内周面と軸部材の外周面との間に形成されるラジアル軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧溝が形成される。この動圧溝は、軸受部材の内周面を成形するための内型の外周面に、動圧溝形状と逆の凹凸を形成し、この凹凸形状を転写することにより形成される。軸受部材の内周から内型を離型する際は、樹脂材料のすべり性を利用して、いわゆる無理抜きにより取り出される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３１６７１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、内型の外周面にヘリングボーン形状等の複雑な形状の凹凸を形成するには、内型に高精度の加工が必要とされるため、加工コストの高騰を招く。また、内型と軸受部材との分離が無理抜きとなることにより、動圧溝が損傷するおそれがある。
【０００６】
本発明の課題は、動圧発生部を容易且つ低コストに形成することができる動圧軸受装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明は、樹脂で型成形された軸受部材と、軸受部材の内周に挿入された軸部材と、軸受部材の内周面と軸部材の外周面との間に形成されたラジアル軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧発生部とを備えた動圧軸受装置において、軸受部材が内周面に成形収縮量差に基づく径差を有し、この径差で前記動圧発生部を形成した。
【０００８】
このように本発明では、軸受部材の成形収縮量の差を積極的に活用することで、軸受部材の内周面に径差を形成し、この径差で動圧発生部を形成する。この成形収縮量の差は、例えば軸受部材の円周方向の肉厚を異ならせることで設けることができる。これにより、軸受部材の内周面を成形する内型に、動圧発生部の形状に対応させた凹凸を加工する必要は無く、例えば真円形状にすることができるので、内型の製作コストが安価なものとなる。また、内型の断面形状を軸方向で一定にすることもでき、これによると離型時に内型と軸受部材とが無理抜きとなることはなく、動圧発生部の損傷を回避できる。
【０００９】
この動圧軸受装置には、軸受部材に内面を成形面とした軸方向の貫通孔を形成することができる。この貫通孔は、軸受部材を成形するためのキャビティ内に、貫通孔の内面形状に対応した外周面を有する成形ピンを配置することで形成される。軸受部材のうち、貫通孔がある領域は、貫通孔のない領域と比べ、貫通孔の分だけ肉厚が薄くなる。このように、軸受部材の肉厚が円周方向で異なることで、樹脂の成形収縮量に差が生じ、軸受部材の内周面に動圧発生部となる径差が形成される。
【００１０】
あるいは、この動圧軸受装置には、軸受部材の外周面に外径へ向けて突出した突出部を形成することができる。この突出部により軸受部材の肉厚が円周方向で異なるため、樹脂の成形収縮量に差が生じ、軸受部材の内周面に動圧発生部となる径差が形成される。
【発明の効果】
【００１１】
以上のように、本発明によれば、動圧発生部を容易且つ低コストに形成することができる動圧軸受装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の第１実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。
【００１３】
図１は、本発明の第１実施形態に係る動圧軸受装置１を組込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。このスピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、軸部材２を相対回転自在に非接触支持する動圧軸受装置１と、軸部材２に固定されるディスクハブ３と、例えば半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５と、ブラケット６とを備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周に取付けられ、ロータマグネット５はディスクハブ３の内周に取付けられている。動圧軸受装置１の軸受部材７は、ブラケット６の内周に固定される。また、ディスクハブ３には、情報記録媒体としてのディスクＤが一又は複数枚（図１では２枚）保持される。このように構成されたスピンドルモータにおいて、ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間に発生する励磁力でロータマグネット５が回転し、これに伴って、ディスクハブ３およびディスクハブ３に保持されたディスクＤが軸部材２と一体に回転する。
【００１４】
図２は、動圧軸受装置１を示している。この動圧軸受装置１は、軸受部材７と、軸受部材７の内周に挿入される軸部材２と、軸受部材７の一端を閉口する蓋部材１０と、軸受部材７の他端をシールするシール部１１とを主に備えている。なお、説明の便宜上、軸方向両端に形成される軸受部材７の開口部のうち、蓋部材１０で閉口される側を下側、閉口側と反対の側を上側として以下説明する。
【００１５】
軸部材２は、軸部２ａと軸部２ａの下端に設けたフランジ部２ｂとからなり、ＳＵＳ鋼等の金属材料で一体または別体に形成される。軸部材２の各部は、同種の材料で形成する他、別材料で形成することもできる。例えば軸部２ａを金属材料で形成すると共に、フランジ部２ｂの一部または全部を樹脂材料で形成することもでき、この場合、軸部材２は、軸部２ａをインサート部品とする樹脂の射出成形で製作することが可能である。
【００１６】
軸受部材７は、軸方向両端を開口した形状をなし、略円筒状のスリーブ部８と、スリーブ部８の外径側に位置するハウジング部９とを一体に備えている。この実施形態では、軸受部材７は、例えば液晶ポリマー（ＬＣＰ）やポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の結晶性樹脂、あるいはポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等の非晶性樹脂をベース樹脂とする樹脂組成物を射出成形することで形成される。また、上記の樹脂に充填する充填材の種類も特に限定されないが、例えば、充填材として、ガラス繊維等の繊維状充填材、チタン酸カリウム等のウィスカー状充填材、マイカ等の鱗片状充填材、カーボンファイバー、カーボンブラック、黒鉛、カーボンナノマテリアル、金属粉末等の繊維状又は粉末状の導電性充填材を用いることができる。これらの充填材は、単独で用い、あるいは、二種以上を混合して使用しても良い。
【００１７】
軸受部材７の内周面、すなわちスリーブ部８の内周面８ａは、図３に誇張して示すように、大径部８ａ１と小径部８ａ２とを円周方向で交互に備えた非真円形状を呈する。軸部材２の回転時には、スリーブ部８の内周面８ａと軸部２ａの外周面２ａ１との間に、ラジアル軸受部Ｒのラジアル軸受隙間を形成する。
【００１８】
スリーブ部８の下端面８ｂの全面または一部環状面領域には、複数の動圧溝を配列した領域が形成される。この実施形態では、例えば図４に示すように、複数の動圧溝８ｂ１をスパイラル形状に配列した領域が形成される。軸部材２の回転時には、動圧溝８ｂ１の形成領域とフランジ部２ｂの上端面２ｂ１との間に、第一スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。
【００１９】
スリーブ部８の外径側に位置するハウジング部９は略筒状をなすもので、その軸方向両端をスリーブ部８の両端面８ｂ、８ｃよりも軸方向上下に突出させた形態をなす。ハウジング部９の下端突出部９ａの内周には、軸受部材７の下端側を閉口する蓋部材１０が接着、圧入、接着剤介在下での圧入（以下、圧入接着と称す）、溶着、あるいは溶接等の手段で固定される。この際、ハウジング部９と蓋部材１０との固定面間では、軸受内部に充満した潤滑油が少なくとも外部に漏出しない程度の密封性が確保されている。
【００２０】
ハウジング部９の上端突出部９ｂの内周には環状のシール部１１が、その下端面１１ｂをスリーブ部８の上端面８ｃに当接させた状態で固定される。シール部１１の内周面１１ａと、この面に対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間には、その半径方向寸法を上方に向けて漸次拡大させたテーパ状のシール空間Ｓ１が形成される。軸受内部が潤滑油で満たされた状態では、潤滑油の油面は常にシール空間Ｓ１の範囲内にある。
【００２１】
軸受部材７の径方向中間部には、図２に示すように、軸受部材７を軸方向に貫通する複数の貫通孔１２が形成される。この貫通孔１２は、この実施形態では、円周方向等間隔の複数箇所、例えば４箇所に設けられる。貫通孔１２は、下端でスリーブ部８の下端面８ｂの動圧溝８ｂ１形成領域よりも外径側に開口する（図４参照）と共に、上端でスリーブ部８の上端面８ｃの外径側に開口する。
【００２２】
貫通孔１２の内径の大きさは、軸受内部の潤滑流体の流動性や、貫通孔１２の成形性などを考慮して適宜の値に設定される。しかし、貫通孔１２の内径が大きすぎると、軸受部材の強度低下を招いたり、他の流体保持空間から流体流路へ流体が過剰に流れ込むことで、本来圧力が高まるべき箇所、すなわちラジアル軸受隙間およびスラスト軸受隙間から流体が逃げ、あるいは局所的に負圧状態を生じ、かえって圧力バランスが崩れる恐れがある。このため、貫通孔１２の内径は、内部を潤滑流体が良好に流れることのでき、且つ、軸受部材７の円周方向での成形収縮差により後述する動圧発生部が形成される範囲内で、できるだけ小径に設定することが望ましい。
【００２３】
この実施形態では、貫通孔１２と、蓋部材１０の当接面１０ｂ１に複数設けられた半径方向溝１０ｃと、シール部１１の下端面１１ｂに複数設けられた半径方向溝１１ｂ１とで、内部を流体が流通可能の流体流路が構成される。
【００２４】
このような軸受部材７は、例えば以下のようにして形成される。図５に示すように、真円状の内周面を有する外型１４と、真円状の外周面を有する内型１５とで形成されたキャビティ１６に、貫通孔１２を成形するための成形ピン１３を配置し、スプルー１７およびゲート１８を介してキャビティ１６内に樹脂材料を射出する。射出直後の軸受部材７の内周面８ａ’は真円形状を呈している（図３に点線で示す）が、その後の固化時の成形収縮により、内周面８ａ’は拡径方向に後退する。キャビティ１６に充満された樹脂のうち、成形ピン１３の存在する領域の肉厚は、キャビティ１６の径方向幅（図５にＬで示す）よりも成形ピン１３の直径分（図５にｌで示す）だけ薄くなる。このように、円周方向で樹脂の肉厚が異なることにより、径方向の成形収縮量に差が生じ、内周面８ａ’の拡径量が円周方向で異なる。
【００２５】
本発明では、この成形収縮量の差を積極的に活用して非真円形状の内周面８ａ（図３に実線で示す）を形成し、この非真円形状の内周面８ａの大径部８ａ１と小径部８ａ２との径差を、ラジアル軸受隙間の潤滑油に動圧作用を発生させる動圧発生部として機能させる。これにより、軸受部材７の内周面８ａを成形する内型１５に、動圧発生部の形状に対応させた凹凸を加工する必要は無く、例えば図５のように真円形状とすることができるため、内型１５の製作コストが安価なものとなる。また、内型１５の断面形状を軸方向で一定に形成すると、離型時に内型１５と軸受部材７とが無理抜きとなることはなく、動圧発生部の損傷を回避できる。
【００２６】
なお、成形ピン１３による軸受部材７の成形収縮量を、軸方向で均一にするために、成形ピン１３の径方向の断面形状、すなわち貫通孔１２の径方向の断面形状は、図２で示すように軸方向で一定であることが望ましい。もちろん、成形ピン１３の断面形状が軸方向で一定でなくても特に問題がない場合は、軸方向で異なる断面形状を有する成形ピンを使用してもよい。
【００２７】
蓋部材１０の上端面１０ａの一部環状面領域には、図示は省略するが、複数の動圧溝を、例えば図４に示すスパイラル形状とは円周方向反対向きの形状となるよう配列した領域が形成される。軸部材２の回転時には、この動圧溝形成領域とフランジ部２ｂの下端面２ｂ２との間に、第二スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間を形成する（図２を参照）。
【００２８】
また、蓋部材１０の上端面１０ａの外周には上方に突出する突出部１０ｂが設けられており、突出部１０ｂの上端に位置する当接面１０ｂ１をスリーブ部８の下端面８ｂに当接させた状態で、蓋部材１０が下端突出部９ａの内周に固定される。この場合、突出部１０ｂの軸方向寸法からフランジ部２ｂの軸方向幅を減じた値が、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２の各スラスト軸受隙間の総和に等しくなる。
【００２９】
潤滑油としては、種々のものが使用可能であるが、ＨＤＤ等のディスク駆動装置用の動圧軸受装置に提供される潤滑油には、その使用時あるいは輸送時における温度変化を考慮して、低蒸発率及び低粘度性に優れたエステル系潤滑油、例えばジオクチルセバケート（ＤＯＳ）、ジオクチルアゼレート（ＤＯＺ）等が好適に使用可能である。
【００３０】
上記構成の動圧軸受装置１において、軸部材２の回転時、スリーブ部８の内周面８ａは、対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間にラジアル軸受隙間を形成する。スリーブ部８の内周面８ａは大径部８ａ１及び小径部８ａ２を有する非真円形状を呈するため、ラジアル軸受隙間は円周方向で異なる隙間幅を有する。軸部材２の回転に伴い、ラジアル軸受隙間のうち、大径部８ａ１が面する比較的隙間幅が大きい部分の潤滑油が、小径部８ａ２が面する比較的隙間幅が小さい部分に押し込まれることにより、潤滑油膜の圧力が上昇する。このように、ラジアル軸受隙間に生じる潤滑油の動圧作用によって、軸部材２をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部Ｒが構成される。
【００３１】
これと同時に、スリーブ部８の下端面８ｂの動圧溝８ｂ１形成領域とこれに対向するフランジ部２ｂの上端面２ｂ１との間のスラスト軸受隙間、および蓋部材１０の上端面１０ａの動圧溝形成領域とこれに対向するフランジ部２ｂの下端面２ｂ２との間のスラスト軸受隙間に形成される潤滑油膜の圧力が、動圧溝の動圧作用により高められる。そして、これら油膜の圧力によって、軸部材２をスラスト方向に非接触支持する第一スラスト軸受部Ｔ１と第二スラスト軸受部Ｔ２とがそれぞれ構成される。
【００３２】
このとき、上述のように、軸受部材７に形成された貫通孔１２と、蓋部材１０の突出部１０ｂの端面に形成された半径方向溝１０ｃと、シール部１１の下側端面１１ｂに形成された１１ｂ１とで構成される流体流路により、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受隙間の外径端とラジアル軸受隙間の上端とが連通状態となる。これによれば、何らかの理由でハウジング７の閉塞側の流体（潤滑油）の圧力が過度に高まり、あるいは低下するといった事態を避けて、軸部材２をスラスト方向に安定して非接触支持することが可能となる。
【００３３】
以上、本発明の第１実施形態を説明したが、本発明はこの実施形態に限られない。以下、本発明の他の実施形態を説明する。なお、以下に示す図において、第１実施形態と構成・作用を同一にする部位および部材については、同一の参照番号を付し、重複説明を省略する。
【００３４】
例えば、図６に示すように、軸受部材７の外周面に外径方向の突出部７ａを設けることにより、軸受部材７の肉厚の差を大きくし、成形収縮量の差を積極的に大きくすることで、非真円形状の内周面８ａを形成することもできる。ここでは、突出部７ａを円周方向等間隔に３箇所設けた場合を示している。この場合、突出部７ａの円周方向位置に大径部８ａ１が形成される。
【００３５】
このときの大径部８ａ１と小径部８ａ２との径差は、突出部７ａの突出量によって、調節することができる。あるいは、貫通孔１２を設ける位置によって調節することもできる。例えば、図６に示すように、貫通孔１２を突出部７ａを避けた円周方向位置に形成すると、軸受部材７の肉厚差を大きくすることができるため、大径部８ａ１と小径部８ａ２との径差をさらに大きくすることができる。
【００３６】
以下に、本発明が適用される他の実施形態に係る動圧軸受装置の構成例を示す。図７に示す動圧軸受装置２１は、主に、第一シール部２３、および第二シール部２４をそれぞれ軸部材２２に設け、シール部２３、２４の外周面２３ａ、２４ａとこれに対向するハウジング部９の内周面９ａ１、９ｂ１との間にシール空間Ｓ２、Ｓ３を形成している。また、第一シール部２３（下側）の上端面２３ｂとスリーブ部８の下端面８ｂとの間に第一スラスト軸受部Ｔ１１が形成されると共に、第二シール部２４（上側）の下端面２４ｂとスリーブ部８の上端面８ｃ（この実施形態では、かかる上端面８ｃにも動圧溝形成領域が設けられる。）との間に第二スラスト軸受部Ｔ１２が形成される。なお、この実施形態では、シール部２３、２４を何れも軸部材２２とは別体とし、これらシール部２３、２４を軸部材２２に接着、圧入等の手段で固定した場合を例示しているが、これに限らず、例えばシール部２３、２４のうち何れか一方を軸部材２２と一体に形成することもできる。
【００３７】
この実施形態では、流体流路は、軸受部材２７を軸方向に貫通し、その軸方向両側（スリーブ部８の両端面８ｂ、８ｃの側）に開口する一又は複数（例えば４本）の貫通孔１２で構成される。この流体流路により、動圧軸受装置２１の内部に満たされた潤滑油が、第１及び第２スラスト軸受部Ｔ１１、Ｔ１２のスラスト軸受隙間の外径端との間で流通可能となる。
【００３８】
図８に示す動圧軸受装置３１は、スリーブ部８の下端面８ｂとフランジ部３２ｂの上端面３２ｂ１との間に第一スラスト軸受部Ｔ２１が形成されると共に、ディスクハブ３３を構成する円盤部３３ａの下端面３３ａ１とハウジング部３９の上端面３９ａとの間に第二スラスト軸受部Ｔ２２が形成される。また、ハウジング部３９の外周上端にテーパシール面３９ｂを設け、このテーパシール面３９ｂと、この面に対向するディスクハブ３３の筒部３３ｂの内周面３３ｂ１との間にシール空間Ｓ４を形成する。
【００３９】
この実施形態では、流体流路は、軸受部材３７を軸方向に貫通し、その軸方向両側（スリーブ部８の両端面８ｂ、８ｃの側）に開口する一又は複数（例えば４本）の貫通孔１２で構成される。この流体流路により、動圧軸受装置３１の内部に満たされた潤滑油が、第１スラスト軸受部Ｔ１１のスラスト軸受隙間の外径端と、スリーブ部８の上側端面８ｃと円盤部３３ａの下側端面３３ａ１との間の隙間とで流通可能となる。
【００４０】
以上の実施形態では、軸受部材として、スリーブ部とハウジング部とが一体成形された場合を例示したが、これに限らず、例えば、貫通孔を有するスリーブ状の軸受部材を、別途形成したハウジングの内周に固定してもよい。
【００４１】
また、以上の実施形態では、流体流路を構成する貫通孔１２を、スリーブ部８の両端面８ｂ、８ｃに開口する位置に形成した場合を説明したが、貫通孔１２は、図示の位置に限らず、軸受部材７、２７、３７を軸方向に貫通する限り、任意の位置に形成することができる。また、図２に示すように、流体流路を、貫通孔１２に加え、蓋部材１０やシール部１１に設けられる半径方向溝１０ｃ、１１ｂ１とで構成する場合、これら半径方向溝１０ｃ、１１ｂ１を対向する部材の側（例えばスリーブ部８の両端面８ｂ、８ｃ）に設けることも可能である。
【００４２】
また、上記実施形態では、円筒状の内周面を有する貫通孔１２を例示したが、軸受部材７に形成される貫通孔は、その両端開口間で流体を流通可能とする限り、また、成形ピンで以って軸受部材の射出成形と同時に形成可能である限り、断面矩形等の他形状の貫通孔を採用することもできる。
【００４３】
また、スラスト軸受部の動圧発生部は上記のようなスパイラル形状の動圧発生部に限らず、図示は省略するが、ヘリングボーン形状の動圧溝や、動圧発生部が形成される領域（例えばスリーブ部８の両端面８ｂ、８ｃ、蓋部材１０の上端面１０ａ、ハウジング部３９の上端面３９ａ）に、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向所定間隔に設けた、いわゆるステップ軸受、あるいは波型軸受（ステップ軸受が波型形状になったもの）等で構成することもできる。
【００４４】
また、以上の実施形態では、スリーブ部８や蓋部材１０、ハウジング部３９の側にスラスト動圧発生部（動圧溝８ｂ１等）が形成される場合を説明したが、動圧発生部が形成される領域は、例えばこれらに対向するフランジ部２ｂの両端面２ｂ１、２ｂ２、あるいはディスクハブ３３の下端面３３ａ１の側に設けることもできる。
【００４５】
また、以上の説明では、動圧軸受装置１、２１、３１の内部に充満し、ラジアル軸受隙間や、スラスト軸受隙間に動圧作用を生じる流体として、潤滑油を例示したが、それ以外にも各軸受隙間に動圧作用を発生可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体等の流動性を有する潤滑剤、あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。
【００４６】
また、本発明の動圧軸受装置は、上記のようにＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータに限らず、光ディスクの光磁気ディスク駆動用のスピンドルモータ等、高速回転下で使用される情報機器用の小型モータ、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ等における回転軸支持用、あるいは電気機器の冷却ファン用のファンモータとしても好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係る動圧軸受装置１を組込んだスピンドルモータの断面図である。
【図２】動圧軸受装置１の断面図である。
【図３】軸受部材７の径方向断面図である。
【図４】軸受部材７の下面図である。
【図５】軸受部材７の射出成形工程を示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態の軸受部材７を示す断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る動圧軸受装置２１を示す断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係る動圧軸受装置３１を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１     動圧軸受装置
２     軸部材
７     軸受部材
８     スリーブ部
９     ハウジング部
１０   蓋部材
１１   シール部
１２   貫通孔
１３   成形ピン
１４   外型
１５   内型
１６   キャビティ
Ｒ     ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２    スラスト軸受部
【図１】
2008008367.tif 000003
【図２】
2008008367.tif 000004
【図３】
2008008367.tif 000005
【図４】
2008008367.tif 000006
【図５】
2008008367.tif 000007
【図６】
2008008367.tif 000008
【図７】
2008008367.tif 000009
【図８】
2008008367.tif 000010