(57)【要約】【課題】  転写用マスタ媒体、磁気転写方法、垂直磁気記録媒体、及び、磁気ディスク装置に関し、再生ヘッド素子に対する垂直磁気記録媒体からの外乱磁界の影響を効果的に抑制する。【解決手段】  転写用マスタ媒体１のユーザデータ領域９に相当する部分に、表面粗さＲa が０．５〜５．０μｍの微小凹凸３を設ける。【選択図】          図１
2008152838.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザデータ領域に相当する部分に、表面粗さＲa が０．５〜５．０μｍの微小凹凸を設けたことを特徴とする転写用マスタ媒体。
【請求項２】
請求項１記載の転写用マスタ媒体を軟磁性膜からなる裏打層を有する垂直磁気記録媒体に密着させた状態で、前記転写用マスタ媒体の主面に対して垂直に磁界を印加することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項３】
請求項２記載の磁気転写方法によりサーボ情報を記録するとともに、ユーザデータ領域を一方向に着磁しないことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項４】
軟磁性膜を有する垂直磁気記録媒体を構成する記録磁性層のユーザデータ領域における磁界ドメインの大きさはサーボ信号の最小パターン以下で、且つ、平均的な磁化が飽和磁化の３０％以下であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項５】
請求項３または４に記載の垂直磁気記録媒体を搭載するととに、再生ヘッドがトンネル磁気抵抗効果型ヘッドであることを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は転写用マスタ媒体、磁気転写方法、垂直磁気記録媒体、及び、磁気ディスク装置に関するものであり、特に、ユーザデータ領域の磁化方向をランダムにするためのサーボ情報転写用マスタ媒体の構成に特徴のある転写用マスタ媒体、磁気転写方法、垂直磁気記録媒体、及び、磁気ディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気ディスクのサーボ情報はＳＴＷ（サーボトラックライター）で書かれているが、マスタディスク、即ち、転用マスタ媒体にサーボ情報をパターン記録して、磁気転写により記録する方法が提案されている。
【０００３】
このような磁気転写を行うために、転写用マスタ媒体の表面に細かい凹凸パターンを作り、その上に磁性膜を製膜して、磁気転写でサーボ情報を含むパターンを作る方法がある。
【０００４】
また面内磁気記録方式での記録密度の限界を超えるための技術として、垂直磁気記録方式が注目されており、垂直磁気記録媒体に磁気転写をする方法として、水平に磁界を印加する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、この方法で垂直磁気記録媒体に着磁を行うと面内磁気記録媒体の再生波形となり、ヘッド記録した場合の矩形波形と異なり、面内磁気記録方式と垂直磁気記録方式では読み出したデータの処理方法が異なるため、磁気ディスク装置で容易にデータ処理を行うことができないという問題がある。
【０００６】
そこで、垂直磁気記録媒体に着磁を行う際に垂直に磁界を印加することで、サーボ情報を記録する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
この垂直磁気記録方式の中で、記録媒体として２層構造のディスク記録媒体を使用するディスクドライブの実用化が推進されているが、この２層構造のディスク記録媒体は、垂直方向の磁気異方性を示す記録磁性層と、この記録磁性層と基板との間に軟磁性層を有する構造になっている。
【０００８】
この場合の軟磁性層は、データ記録動作時に、ヘッドの一方の磁極から発生する磁束の一部を他方の磁極まで通過させて、いわばヘッドの記録動作を支援するような機能を有するものであり、裏打層とも呼ばれる。
【０００９】
ディスク記録媒体の製造工程では、トラックフォーマット工程の前に、全面をＤＣ（直流）磁界による初期磁化工程（ＤＣ消磁工程）が実行されるが、単層の垂直記録媒体では反磁界のため、初期化が不完全になるという報告もあるが、裏打層となる軟磁性層があることにより垂直磁化膜の下に磁極が生じないため、ＤＣ着磁が可能になる。
【００１０】
しかし、この着磁を行う際に垂直に磁界を印加する方法においても、サーボ情報の部分は十分な特性の磁化パターンを得ることが出来るが、ユーザデータ部分については一方向に着磁される問題を有していた。
【００１１】
即ち、上述のＤＣ着磁後、サーボ情報に対応する転写用マスタ媒体を密着させて磁気転写を行うことにより、サーボ情報はディスク記録媒体に転写されサーボ情報以外の部分は初期化されたままの状態が残ることになるが、このＤＣ磁化領域からのＤＣ磁界によりディスク記録媒体の表面上に強い漏洩磁界が発生し、その影響でデータを正確に再生できないという問題が発見された。
【００１２】
例えば、磁気ヘッドがディスク記録媒体のＤＣ磁化されたユーザデータ領域に位置している場合に、ＤＣ磁化領域からの漏洩磁界が外乱として影響を及ぼすため、特にリードヘッド素子であるＴＭＲ素子は、データ再生動作時に、当該外乱により動作点がシフトし、波形のオフセットや飽和などの現象を引き起こしやすくなる。
これにより、リードヘッド素子は、信号品質が劣化した再生信号を出力するという事態となる。
【００１３】
したがって、２層構造のディスクを使用する垂直磁気記録方式のディスクドライブの実用化を図るためには、上述のＤＣ磁化領域からの外乱磁界に関する問題点を解消する必要がある。
【００１４】
そこで、このような問題を解決するために、本発明者等は、転写用マスタ媒体のユーザデータ領域に対応する位置にダミー磁性体パターンを形成して、ユーザデータ領域の磁化方向をランダムにすることを提案している（例えば、特許文献３参照）。
【００１５】
なお、ＳＴＷを用いてサーボ情報を書き込む場合には、トラックとトラックの間を交流磁化することによりＤＣ磁化の影響をなくすことが提案されている（例えば、特許文献４参照）。
しかし、この場合には、ＳＴＷ自体の精度やコストの問題があり、磁気転写法による解決策が望まれる。
【特許文献１】特開２００１−２９７４３３号公報
【特許文献２】特開２００３−１７３５１３号公報
【特許文献３】特開２００５−３１７１５２号公報
【特許文献４】特開２００２−２３０７３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかし、ユーザデータ領域の磁化方向をランダムにするためのダミー磁性体パターンをリフトオフ法を用いて通常のリソグラフィー法により形成することは、記録ビットの微小化に伴って困難になるという問題がある。
【００１７】
一方、本発明者等の検討に依ると、５μｍ以上のＤＣ磁化部分が続かなければ再生信号が飽和せずに問題なく読み出せることが分かった。  
【００１８】
したがって、本発明は、再生ヘッド素子に対する垂直磁気記録媒体のユーザデータ領域からの外乱磁界の影響を効果的に抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
図１は本発明の原理的構成図であり、ここで図１を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図における符号２，４，８は、夫々磁性体層、サーボ情報用凹凸、及び、サーボパターン書込領域である。
図１参照
上記の課題を解決するために、本発明は、転写用マスタ媒体１において、ユーザデータ領域９に相当する部分に、表面粗さＲa が０．５〜５．０μｍの微小凹凸３を設けたことを特徴とする。
【００２０】
このように、従来は平坦であった転写用マスタ媒体１のユーザデータ領域９に相当する部分に微小凹凸３を設けることによって、サーボ情報を垂直磁気記録媒体５に磁気転写した場合に、ユーザデータ領域９をランダムに着磁することができる。
また、ダミー磁性体パターンを設ける場合に比べて、微小凹凸３の形成工程が簡素化されるため、低コスト化が可能になる。
【００２１】
また、磁気転写する場合には、上述の転写用マスタ媒体１を軟磁性膜６からなる裏打層を有する垂直磁気記録媒体５に密着させた状態で、転写用マスタ媒体１の主面に対して垂直に磁界を印加すれば良く、転写用マスタ媒体１に形成した微小凹凸３の凸部に接する記録磁性層７の近傍に磁化が反転した微小な磁界ドメインが形成され、その結果、ユーザデータ領域９の磁化方向をランダムにすることができる。
【００２２】
この場合、印加する磁界としては、垂直磁気記録媒体５を構成する記録磁性層７の保磁力の０．３〜０．７倍であることが望ましく、このように、適切な着磁磁界を選択することによって、磁界ドメインにおける平均的な磁化を小さくすることができる。
【００２３】
また、上述の磁気転写方法によりサーボ情報を記録した垂直磁気記録媒体５は、ユーザデータ領域９が一方向に着磁されていない構成となる。
【００２４】
或いは、垂直磁気記録媒体５としては、軟磁性膜６を有するとともに記録磁性層７のユーザデータ領域９における磁界ドメインの大きさがサーボ信号の最小パターン以下で、且つ、平均的な磁化が飽和磁化の３０％以下であることが望ましく、それによって、ＤＣ磁化領域からの外乱磁界に関する問題点を解消することができる。
なお、平均的な磁化が飽和磁化の３０％を超えると外乱磁界の影響が強くなり、感度の高いＴＭＲヘッドを用いた場合には、信号品質が劣化した再生信号が出力される。
【００２５】
なお、磁界ドメインの平均直径としては、０．０３〜０．３μｍであることが望ましく、０．３μｍ以上の場合には、サーボ信号の最小パターンより大きくなり、一方、０．０３μｍ以下の場合には、その基となる微小凹凸３のサイズ、したがって高低差な小さくなるので局所的な磁化反転が困難になる。
【００２６】
上述の構成の垂直磁気記録媒体５を搭載することによって、再生信号の信号品質の劣化を抑制することができる。
特に、ＧＭＲヘッドより感度の高いトンネル磁気抵抗効果型（ＴＭＲ）ヘッドを再生ヘッドとして搭載した場合に有効となる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、垂直に磁界印加してサーボパターンを記録した垂直磁気記録媒体をハードディスクドライブに搭載して、再生ヘッド、特に、感度の高いＴＭＲヘッドで再生した場合において、ユーザデータ領域でＴＭＲヘッドが垂直磁気記録媒体からのＤＣオフセットによる外乱を受けることが無いため、ユーザデータを正しい再生信号として再生することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明は、転写用マスタ媒体としては、ユーザデータ領域に相当する部分に、研磨法或いはフッ化水素酸等を用いた化学エッチングによって、表面粗さＲa が０．５〜５．０μｍの微小凹凸を設け、サーボパターン書込領域に相当する部分には通常のサーボパターン用凹凸を形成するものである。
【００２９】
また、磁気転写方法としては、上述の転写用マスタ媒体を軟磁性膜からなる裏打層を有する垂直磁気記録媒体に密着させた状態で、転写用マスタ媒体の主面に対して垂直に磁界を、例えば、垂直磁気記録媒体を構成する記録磁性層の保磁力の０．３〜０．７倍の磁界を印加し、転写用マスタ媒体に形成した微小凹凸の凸部接する記録磁性層の近傍に磁化が反転した微小な磁界ドメインが形成するものである。
【００３０】
また、垂直磁気記録媒体としては、軟磁性膜を有するとともに記録磁性層のユーザデータ領域における磁界ドメインの大きさがサーボ信号の最小パターン以下、例えば、磁界ドメインの平均直径としては、０．０３〜０．３μｍとし、且つ、平均的な磁化が飽和磁化の３０％以下とするものである。
【実施例１】
【００３１】
ここで、図２乃至図６を参照して、本発明の実施例１のサーボ情報転写方法を説明する。
図２参照  
図２は、本発明の実施例１のサーボ情報転写方法に用いる転写用マスタ媒体の構成説明図であり、上図は平面図であり、下図は上図におけるＡ−Ａ′を結ぶ一点鎖線に沿った一部分の概略的断面図である。
【００３２】
まず、シリコンからなる非磁性基板１１の表面を研磨することによって微小凹凸１２を形成する。
この場合の微小凹凸１２の表面粗さＲa （ＪＩＳ規格）は、０．０１〜５．０μｍ、例えば、０．５μｍである。
【００３３】
次いで、全面にレジストをコートして、描画・現像することによってサーボパターン領域１３にサーボ情報に対応する凹凸を描画・現像することによって形成したのち、反応性エッチングを施すことによって非磁性基板１１に凹凸１４を形成する。
なお、この場合の凹凸１４における凸部の深さは、例えば、１００ｎｍで、凸部の幅は例えば、ディスクの最内周側で７０ｎｍで最外周側で１４０ｎｍ程度になる。
【００３４】
次いで、レジストをアッシングにより除去したのち、全面に厚さが、５０〜２００ｎｍ、例えば、１００ｎｍの例えば、ＣｏＦｅからなる磁性体膜１６及び厚さが、例えば、２ｎｍのカーボン膜からなる保護膜１７を順次堆積することによって転写用マスタ媒体の基本構成が完成する。
【００３５】
この場合のユーザデータ領域に対応する部分は、従来の面内記録媒体用の転写用マスタ媒体の場合にはディスク記録媒体上には何も記録されないためフラットであったが、本発明では上述の微小凹凸１２が残った状態となる。
【００３６】
図３参照  
図３は、本発明の実施例１のサーボ情報転写工程の説明図であり、まず、スピンドルモータ２１に固定した垂直磁気記録媒体３０に対して、垂直磁気記録媒体３０の面に垂直方向の磁界を印加するための電磁石２２，２３を設けて、垂直磁気記録媒体３０の記録磁性層３４の保磁力Ｈc の２倍以上の磁界、例えば、３倍の１５〔ｋＯｅ〕を印加して記録磁性層３４を垂直方向（図においては上向）に初期化する。
なお、この垂直磁気記録媒体３０は、ガラス基板３１の両面に軟磁性体層３２、非磁性中間層３３、記録磁性層３４、及び、保護膜３５を順次堆積させたものである。
【００３７】
次いで、記録磁性層３４の初期化面に上述の転写用マスタ媒体１０の磁性体膜１６を設けた側が接するように密着させたのち、電磁石２２，２３に流す電流を反転させて初期化方向とは反対方向の磁界を印加して記録磁性層３４にサーボパターンを転写してサーボパターン書込領域３６を形成し、サーボパターンが転写されない領域がユーザデータ領域３７となる。
なお、この場合の印加する磁界強度は、例えば、記録磁性層３４の保磁力Ｈc と同じにする。
【００３８】
この時、ユーザデータ領域３７に対しては、転写用マスタ媒体１０のユーザデータ領域３７に対応する部分に設けた微小凹凸１２の凸部１５に磁束が集中し、凸部１５に密着する部分の記録磁性層３４の磁化方向が反転する。
なお、ここでは保護膜１７の図示は省略する。
【００３９】
なお、サーボパターン領域１３に形成された凹凸１４の凸部の表面にも微小凹凸１２が形成されているが、サーボパターン書込領域３６においてはサーボパターン領域１３に形成された凹凸１４の凹部の磁束を凸部に集中させるため、凸部の表面に微小凹凸１２があっても凸部全体が磁化反転し、凹部においては磁化反転が起こらない。
【００４０】
図４参照  
図４は、垂直磁気記録媒体のユーザデータ領域の磁化状態の説明図であり、ここでは垂直磁気記録媒体をＭＦＭ（磁気力顕微鏡）で観測した時の概念的平面図として示しており、転写用マスタ媒体１０に形成した凹凸１４に対応し、かつ印加磁界の強さによりドメインが形成され、転写時の磁界の強度により平均的な磁化の大きさが決まる。
なお、平均的な磁化とは飽和磁化Ｉs で規格化した磁化を意味する。
【００４１】
この場合の磁界ドメイン３８の大きさは、上図と下図の対比から分かるように印加磁界強度に依存するが、媒体のＨc 相当の磁界、例えば、５〔ｋＯｅ〕の磁界を印加した場合に、平均直径が０．１μｍ、密度が１００個／μｍ2 となり、また、磁界ドメイン３８の平均的な磁化は飽和磁化Ｉs の３０％以下、例えば、４５％となる。
【００４２】
図５参照  
図５は、本発明の実施例１による垂直磁気記録媒体のエラーレートのシミュレーション結果であり、上述のようにサーボ情報を磁気転写した垂直磁気記録媒体をＴＭＲヘッドがが搭載されたドライブに組み込み、データを記録し・再生した場合の記録したデータのエラーレートを示している。
【００４３】
上述のように、磁気転写の時の印加磁界のより平均的な磁化の大きさが変わるが、図５は平均的な磁化の大きさとデータのエラーレートのシミュレーション結果を示したものである。
【００４４】
図から明らかなように、ユーザデータ領域３８の磁化をランダムにしているので、平均的な磁化が−６０％から６０％のときに装置として成立し、好ましくは−３０％から３０％である。
【００４５】
図６参照  
図６は、再生ヘッドがＧＭＲヘッドの場合の垂直磁気記録媒体のエラーレートのシミュレーション結果であり、平均的な磁化の大きさとデータのエラーレートのシミュレーション結果をここでは、ＴＭＲヘッドの代わりにＧＭＲヘッドを搭載するハードディスクドライブに垂直磁気記録媒体を組み込み、データを記録し・再生した場合を示しており、この場合には、平均的な磁化は−８５％から８５％まで動作する。
これは、ＧＭＲヘッドよりもＴＭＲヘッドの方が感度が高いことと、アンプゲインが高いため、ＴＭＲヘッドを搭載する装置では必然的にダイナミックレンジが狭くなるためである。
【実施例２】
【００４６】
ここで、図７を参照して、本発明の実施例２の転写用マスク媒体の製造工程を説明する。
図７参照  
まず、シリコンからなる非磁性基板１１の表面にサーボパターン領域１３を覆うようにレジストパターン１８を形成したのち、フッ化水素を用いて粗面化エッチングすることによって微小凹凸１２を形成する。
この場合の微小凹凸１２の表面粗さＲa （ＪＩＳ規格）は、０．０１〜５．０μｍ、例えば、０．５μｍである。
【００４７】
次いで、レジストパターン１８を除去したのち、新たに全面にレジストをコートして、描画・現像することによってサーボパターン領域１３にサーボ情報に対応する凹凸を描画・現像することによってレジストパターン１９を形成し、このレジストパターン１９をマスクとして反応性エッチングを施すことによって非磁性基板１１に凹凸２０を形成する。  なお、この場合の凹凸２０における凸部の深さは、例えば、１００ｎｍで、凸部の幅は例えば、ディスクの最内周側で７０ｎｍで最外周側で１４０ｎｍ程度になる。
【００４８】
以降は、上記の実施例１と同様に、レジストパターン１９をアッシングにより除去したのち、全面に厚さが、５０〜２００ｎｍ、例えば、１００ｎｍの例えば、ＣｏＦｅからなる磁性体膜１６及び厚さが、例えば、２ｎｍのカーボン膜からなる保護膜１７を順次堆積することによって転写用マスタ媒体の基本構成が完成する。
【００４９】
この場合のユーザデータ領域に対応する部分は、従来の面内記録媒体用の転写用マスタ媒体の場合にはディスク記録媒体上には何も記録されないためフラットであったが、本発明では上述の微小凹凸１２が残った状態となる。
【００５０】
また、サーボパターン領域１３に形成された凹凸２０の頂面には微小凹凸１２が形成されていないので、磁気記録媒体のサーボパターン領域１３の凸部に対応した領域の磁化反転を確実に起こすことができる。
【実施例３】
【００５１】
次に、図８を参照して、本発明の実施例３の磁気ディスク装置を説明する。
図８参照  
図８は、本発明の実施例３の磁気ディスク装置の概念的平面図であり、上記の実施例１の転写用マスタ媒体１０を用いたサーボパターン転写方法でサーボパターンが転写された垂直磁気記録媒体３０は、スピンドルモータ４１の回転軸に取り付けられるとともに、ディスククランプリング４２によって固定される。
【００５２】
また、ヘッドアーム４３の先端部にはサスペンション４４を介して磁気センサを備えたスライダー４５が取付けられており、垂直磁気記録媒体３０の放射方向にシーキング動作を行い、サーボパターン書込領域３６に書き込まれたサーボ情報を読み取りながらユーザデータ領域３７へのデータの記録・再生を行う。
【００５３】
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載された構成・条件等に限られるものではなく各種の変更が可能であり、例えば、各実施例においては転写用マスタ媒体の基板としてシリコン基板を用いているが、シリコン基板に限られるものではなく、熱酸化シリコンや石英基板或いはガラス基板等の他の非磁性基板を用いて、フッ酸での表面処理でその表面に微小な凹凸を形成しても良いものである。
【００５４】
さらには、この微小凹凸及びサーボパターンを形成したシリコン基板の表面にＮｉ電解メッキを施したのち、Ｎｉ電解メッキ層をシリコン基板毎、常温の水中に浸漬することによって、ＮｉとＳｉの熱膨張係数の差を利用してＮｉ電解メッキ層をシリコン基板から剥離して、剥離したＮｉ電解メッキ層をマスタ基板（スタンパ）とし、その上に磁性体膜及び保護膜を形成しても良い。
【００５５】
また、上記の各実施例においては、転写用マスタ媒体の磁性体膜の表面に保護膜を形成しているが、保護膜は必須のものではない。
【００５６】
また、上記の各実施例においては、非磁性基板の表面に微小凹凸を形成するために研磨法を用いているが、研磨法に限られるものではなく、フッ化水素酸等の薬剤による化学処理等によって形成しても良く、さらには、サンドブラスト法を用いて粗面化処理しても良いものである。
【００５７】
また、上記の各実施例においては、サーボパターンを反応性エッチングにより形成しているが、反応性エッチングに限られるものではなく、アルゴンプラズマ等による物理的エッチングや、エッチング液による化学的エッチングを用いても良いものである。
【００５８】
また、上記の各実施例においてはサーボパターンを形成する際に、レジストを塗布したのち描画・現像しているが、描画・現像に限られるものではなく、レジストに対してナノインプリント技術を用いてサーボパターンに応じたレジストパターン１２を形成しても良いものである。
【００５９】
ここで、再び、図１を参照して本発明の詳細な特徴を改めて説明する。
再び、図１参照  
（付記１）  ユーザデータ領域９に相当する部分に、表面粗さＲa が０．５〜５．０μｍの微小凹凸３を設けたことを特徴とする転写用マスタ媒体。
（付記２）  付記１記載の転写用マスタ媒体１を軟磁性膜６からなる裏打層を有する垂直磁気記録媒体５に密着させた状態で、前記転写用マスタ媒体１の主面に対して垂直に磁界を印加することを特徴とする磁気転写方法。
（付記３）  上記印加する磁界が、上記垂直磁気記録媒体５を構成する記録磁性層７の保磁力の０．３〜０．７倍であることを特徴とする付記２記載の磁気転写方法。
（付記４）  付記２または３に記載の磁気転写方法によりサーボ情報を記録するとともに、ユーザデータ領域９を一方向に着磁しないことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
（付記５）  軟磁性膜６を有する垂直磁気記録媒体５を構成する記録磁性層７のユーザデータ領域９における磁界ドメインの大きさはサーボ信号の最小パターン以下で、且つ、平均的な磁化が飽和磁化の３０％以下であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
（付記６）  上記磁界ドメインの平均直径が、０．０３〜０．３μｍであることを特徴とする付記５記載の垂直磁気記録媒体。
（付記７）  付記４乃至６のいずれか１に記載の垂直磁気記録媒体５を搭載したことを特徴とする磁気ディスク装置。
（付記８）  搭載された再生ヘッドが、トンネル磁気抵抗効果型ヘッドであることを特徴とする付記７記載の磁気ディスク装置。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明の活用例としては、再生ヘッドとしてＴＭＲヘッドを用いた垂直磁気記録方式が典型的なものであるが、再生ヘッドとしてＧＭＲヘッド等の他のタイプの磁気抵抗素子からなる磁気ヘッドを用いた垂直磁気記録方式にも適用されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の実施例１のサーボ情報転写方法に用いる転写用マスタ媒体の構成説明図である。
【図３】本発明の実施例１のサーボ情報転写工程の説明図である。
【図４】垂直磁気記録媒体のユーザデータ領域の磁化状態の説明図である。
【図５】本発明の実施例１による垂直磁気記録媒体のエラーレートのシミュレーション結果の説明図である。
【図６】再生ヘッドがＧＭＲヘッドの場合の垂直磁気記録媒体のエラーレートのシミュレーション結果の説明図である。
【図７】本発明の実施例２の転写用マスク媒体の製造工程の説明図である。
【図８】本発明の実施例３の磁気ディスク装置の概念的平面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  転写用マスタ媒体
２  磁性体層
３  微小凹凸
４  サーボ情報用凹凸
５  垂直磁気記録媒体
６  軟磁性膜
７  記録磁性層
８  サーボパターン書込領域
９  ユーザデータ領域
１０  転写用マスタ媒体
１１  非磁性基板
１２  微小凹凸
１３  サーボパターン領域
１４  凹凸
１５  凸部
１６  磁性体膜
１７  保護膜
１８  レジストパターン
１９  レジストパターン
２０  凹凸
２１  スピンドルモータ
２２  電磁石
２３  電磁石
３０  垂直磁気記録媒体
３１  ガラス基板
３２  軟磁性体層
３３  非磁性中間層
３４  記録磁性層
３５  保護膜
３６  サーボパターン書込領域
３７  ユーザデータ領域
３８  磁界ドメイン
４１  スピンドルモータ
４２  ディスククランプリング
４３  ヘッドアーム
４４  サスペンション
４５  スライダー
【図１】
2008152838.tif 000003
【図２】
2008152838.tif 000004
【図３】
2008152838.tif 000005
【図４】
2008152838.tif 000006
【図５】
2008152838.tif 000007
【図６】
2008152838.tif 000008
【図７】
2008152838.tif 000009
【図８】
2008152838.tif 000010