(57)【要約】  【課題】メンテナンス性を向上させることができる基板処理装置の接続状況管理システムを提供する。  【解決手段】接続状況管理システム３００は、ウエハ２００を処理する複数の基板処理装置１００のそれぞれに設けられ、それぞれの基板処理装置１００を制御する装置コントローラ２７０と、各基板処理装置１００の各装置コントローラ２７０に、ＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３を介して電気的に接続されたモニタサーバ２８０とを有する。モニタサーバ２８０は、少なくとも各基板処理装置１００とモニタサーバ２８０との間のＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３を介した接続状況を表示する表示画面３１４と、少なくともモニタサーバ２８０、各基板処理装置１００、ＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３のうちの何れかの要素を指定することで、指定した要素の詳細な接続状況を表示する表示画面３１４とを有する。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する複数の基板処理装置のそれぞれに設けられ、それぞれの基板処理装置を制御する装置コントローラと、
前記各基板処理装置の前記各装置コントローラに、通信回線、集線装置を介して電気的に接続されたモニタサーバと、
を有し、
前記モニタサーバは、少なくとも前記各基板処理装置と前記モニタサーバとの間の通信回線、集線装置を介した接続状況を表示する接続状況表示手段と、少なくとも前記モニタサーバ、前記各基板処理装置、通信回線、集線装置のうちの何れかの要素を指定することで、指定した要素の詳細な接続状況を表示する詳細接続状況表示手段と、を有することを特徴とする基板処理装置の接続状況管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハやガラス基板等の基板を処理するための基板処理装置の接続状況管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の基板処理装置が接続される基板処理システムにおいては、該基板処理システムにおける複数の装置の接続状況を把握するために、基板処理装置の配置図と、ハブ（ＨＵＢ）及びＬＡＮ（Local Area Network）ケーブル等の配置図とを個別に作成しており、これら各配置図が記載された紙を顧客（ユーザ）が保存していた。また、顧客（ユーザ）が、ＬＡＮケーブルにタグを取り付け、このＬＡＮケーブルの接続ポートを示す目印としてハブにシールを貼り付ける場合もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、これら複数の基板処理装置、ＬＡＮケーブル及びハブ等の接続状況を表示する情報は、個々に散乱しており、メンテナンス性が悪いとの問題があった。
【０００４】
本発明は、上記問題を解消し、メンテナンス性を向上させることができる基板処理装置の接続状況管理システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の特徴とするところは、基板を処理する複数の基板処理装置のそれぞれに設けられ、それぞれの基板処理装置を制御する装置コントローラと、前記各基板処理装置の前記各装置コントローラに、通信回線、集線装置を介して電気的に接続されたモニタサーバとを有し、前記モニタサーバは、少なくとも前記各基板処理装置と前記モニタサーバとの間の通信回線、集線装置を介した接続状況を表示する接続状況表示手段と、少なくとも前記モニタサーバ、前記各基板処理装置、通信回線、集線装置のうちの何れかの要素を指定することで、指定した要素の詳細な接続状況を表示する詳細接続状況表示手段と、を有することを特徴とする基板処理装置の接続状況管理システムにある。
【０００６】
好適には、前記各基板処理装置には、電源が電気的に接続されており、前記モニタサーバの接続状況表示手段は前記電源と前記各基板処理装置との接続状況もしくは前記電源の位置を表示するように構成されるとともに、前記詳細接続状況表示手段は前記電源を指定することで前記電源の詳細な接続状況を表示するように構成される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、接続状況表示手段により各基板処理装置とモニタサーバとの間の通信回線、集線装置を介した接続状況を表示し、詳細接続状況表示手段により指定した要素の詳細な接続状況を表示するので、メンテナンス性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に本発明の実施の形態を図面に基いて説明する。
図１は本発明の実施の形態で好適に用いられる基板処理装置１００（図２を用いて後述）の処理炉２０２の概略構成図であり、縦断面図として示されている。
【０００９】
図１に示されているように、処理炉２０２は加熱機構としてのヒータ２０６を有する。ヒータ２０６は円筒形状であり、保持板としてのヒータベース２５１に支持されることにより垂直に据え付けられている。
【００１０】
ヒータ２０６の内側には、例えば、炭化珪素（ＳｉＣ）等の耐熱性材料からなり、上端が閉塞し、下端が開口した円筒形状である均熱管（外管）２０５が、ヒータ２０６と同心円状に配設されている。また、均熱管２０５の内側には、例えば石英（ＳｉＯ２）等の耐熱性材料からなり、上端が閉塞し、下端が開口した円筒形状である反応管（内管）２０４が、均熱管２０５と同心円状に配設されている。反応管２０４の筒中空部には処理室２０１が形成されており、基板としてのウエハ２００を後述するボート２１７によって水平姿勢で垂直方向に多段に整列した状態で収容可能に構成されている。
【００１１】
反応管２０４の下端部にはガス導入部２３０が設けられており、ガス導入部２３０から反応管２０４の天井部２３３に至るまで反応管２０４の外壁に添ってガス導入管としての細管２３４が配設されている。ガス導入部２３０から導入されたガスは、細管２３４内を流通して天井部２３３に至り、天井部２３３に設けられた複数のガス導入口２３３ａから処理室２０１内に導入される。また、反応管２０４の下端部のガス導入部２３０と異なる位置には、反応管２０４内の雰囲気を排気口２３１ａから排気するガス排気部２３１が設けられている。
【００１２】
ガス導入部２３０には、ガス供給管２３２が接続されている。ガス供給管２３２のガス導入部２３０との接続側と反対側である上流側には、ガス流量制御器としてのＭＦＣ（マスフローコントローラ）２４１を介して図示しない処理ガス供給源、キャリアガス供給源、不活性ガス供給源が接続されている。なお、処理室２０１内に水蒸気を供給する必要がある場合は、ガス供給管２３２のＭＦＣ２４１よりも下流側に、図示しない水蒸気発生装置が設けられる。ＭＦＣ２４１には、ガス流量制御部２３５が電気的に接続されており、供給するガスの流量が所望の量となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
【００１３】
ガス排気部２３１には、ガス排気管２２９が接続されている。ガス排気管２２９のガス排気部２３１との接続側とは反対側である下流側には圧力検出器としての圧力センサ２４５および圧力調整装置２４２を介して排気装置２４６が接続されており、処理室２０１内の圧力が所定の圧力となるよう排気し得るように構成されている。圧力調整装置２４２および圧力センサ２４５には、圧力制御部２３６が電気的に接続されており、圧力制御部２３６は圧力センサ２４５により検出された圧力に基づいて圧力調整装置２４２により処理室２０１内の圧力が所望の圧力となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
【００１４】
反応管２０４の下端部には、反応管２０４の下端開口を気密に閉塞可能な保持体としてのベース２５７と、炉口蓋体としてのシールキャップ２１９が設けられている。シールキャップ２１９は例えばステンレス等の金属からなり、円盤状に形成されている。ベース２５７は例えば石英からなり、円盤状に形成され、シールキャップ２１９の上に取付けられている。ベース２５７の上面には反応管２０４の下端と当接するシール部材としてのＯリング２２０が設けられる。シールキャップ２１９の処理室２０１と反対側には、ボートを回転させる回転機構２５４が設置されている。回転機構２５４の回転軸２５５はシールキャップ２１９とベース２５７を貫通して、後述する断熱筒２１８とボート２１７に接続されており、断熱筒２１８およびボート２１７を回転させることでウエハ２００を回転させるように構成されている。シールキャップ２１９は反応管２０４の外部に垂直に設備された昇降機構としてのボートエレベータ１１５によって垂直方向に昇降されるように構成されており、これによりボート２１７を処理室２０１に対し搬入搬出することが可能となっている。回転機構２５４及びボートエレベータ１１５には、駆動制御部２３７が電気的に接続されており、所望の動作をするよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
【００１５】
基板保持具としてのボート２１７は、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなり、複数枚のウエハ２００を水平姿勢でかつ互いに中心を揃えた状態で整列させて保持するように構成されている。ボート２１７の下方には、例えば石英や炭化珪素等の耐熱性材料からなる円筒形状をした断熱部材としての断熱筒２１８がボート２１７を支持するように設けられており、ヒータ２０６からの熱が反応管２０４の下端側に伝わりにくくなるように構成されている。
【００１６】
均熱管２０５と反応管２０４との間には、温度検出器としての温度センサ２６３が設置されている。ヒータ２０６と温度センサ２６３には、電気的に温度制御部２３８が接続されており、温度センサ２６３により検出された温度情報に基づきヒータ２０６への通電具合を調整することにより処理室２０１内の温度が所望の温度分布となるよう所望のタイミングにて制御するように構成されている。
【００１７】
ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７及び温度制御部２３８は、操作部、入出力部をも構成し、基板処理装置全体を制御する主制御部２３９に電気的に接続されている。これら、ガス流量制御部２３５、圧力制御部２３６、駆動制御部２３７、温度制御部２３８及び主制御部２３９はコントローラ２４０として構成されている。
【００１８】
次に、上記構成に係る処理炉２０２を用いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、ウエハ２００に酸化、拡散等の処理を施す方法について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ２４０により制御される。
【００１９】
複数枚のウエハ２００がボート２１７に装填（ウエハチャージ）されると、図１に示されているように、複数枚のウエハ２００を保持したボート２１７は、ボートエレベータ１１５によって持ち上げられて処理室２０１に搬入（ボートローディング）される。この状態で、シールキャップ２１９はベース２５７、Ｏリング２２０を介して反応管２０４下端をシールした状態となる。
【００２０】
処理室２０１内が所望の圧力となるように排気装置２４６によって排気される。この際、処理室２０１内の圧力は、圧力センサ２４５で測定され、この測定された圧力に基づき圧力調整装置２４２が、フィードバック制御される。また、処理室２０１内が所望の温度となるようにヒータ２０６によって加熱される。この際、処理室２０１内が所望の温度分布となるように温度センサ２６３が検出した温度情報に基づきヒータ２０６への通電具合がフィードバック制御される。続いて、回転機構２５４により、断熱筒２１８、ボート２１７が回転されることで、ウエハ２００が回転される。
【００２１】
次いで、処理ガス供給源およびキャリアガス供給源から供給され、ＭＦＣ２４１にて所望の流量となるように制御されたガスは、ガス供給管２３２からガス導入部２３０および細管２３４を流通し天井部２３３に至り、複数のガス導入口２３３ａから処理室２０１内にシャワー状に導入される。なお、ウエハ２００に対して水蒸気を用いた処理を行う場合は、ＭＦＣ２４１にて所望の流量となるように制御されたガスは水蒸気発生装置に供給され、水蒸気発生装置にて生成された水蒸気（Ｈ２Ｏ）を含むガスが処理室２０１に導入される。導入されたガスは処理室２０１内を流下し、排気口２３１ａを流通してガス排気部２３１から排気される。ガスは処理室２０１内を通過する際にウエハ２００の表面と接触し、ウエハ２００に対して酸化、拡散等の処理がなされる。
【００２２】
予め設定された処理時間が経過すると、不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室２０１内が不活性ガスに置換されるとともに、処理室２０１内の圧力が常圧に復帰される。
【００２３】
その後、ボートエレベータ１１５によりシールキャップ２１９が下降されて、反応管２０４の下端が開口されるとともに、処理済ウエハ２００がボート２１７に保持された状態で反応管２０４の下端から反応管２０４の外部に搬出（ボートアンローディング）される。その後、処理済ウエハ２００はボート２１７より取出される（ウエハディスチャージ）。
【００２４】
なお、一例まで、本実施の形態の処理炉にてウエハを処理する際の処理条件としては、例えば、酸化処理においては、処理温度６００〜９００℃、処理圧力０．１３〜２６．６６ｋＰａ、ガス種Ｏ２，Ｈ２、ガス供給流量０．１〜５．０ｓｌｍが例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハに処理がなされる。
【００２５】
次に、本実施形態の処理炉２０２を用いた接続状況管理システム３００の一例を図２に基づいて説明する。
【００２６】
図２に示すように、接続状況管理システム３００は、基板処理装置１００、モニタサーバ２８０、ホストコンピュータ２９０及び通信回線としてのＬＡＮ（Local Area Network）ケーブル２９２を有する。ＬＡＮケーブル２９２は、複数の基板処理装置１００、モニタサーバ２８０及びホストコンピュータ２９０を接続している。
【００２７】
基板処理装置１００は、上述した処理炉２０２と装置コントローラ２７０とを有する。装置コントローラ２７０は、上述したコントローラ２４０、ユーザインタフェース（ＵＩ）２７２及び記憶手段としての記憶部２７４を有する。コントローラ２４０は、ＵＩ装置２７２及び記憶部２７４と接続され、ＵＩ装置２７２、記憶部２７４及びＬＡＮケーブル２９２に接続される他の装置間の情報の入出力（通信）を行なうようになっている。ＵＩ装置２７２は、所定の情報を入力する入力手段としての入力部２７６と、その入力情報を表示する表示手段としての表示部２７８とを有する。記憶部２７４は、コントローラ２４０から出力された情報を記憶（格納）し、コントローラ２４０からの要求に応じて該記憶部２７４に格納された情報をコントローラ２４０へ出力するようになっている。
【００２８】
モニタサーバ２８０は、例えばＰＣ（Personal Computer）からなり、制御部２８２、入力手段としての入力部２８３、表示手段としての表示部２８４及び記憶手段としての記憶部２８６を有する。このモニタサーバ２８０は、ＬＡＮケーブル２９２及びハブ２９３（図３を用いて後述）を介して各基板処理装置１００の各装置コントローラ２７０に電気的に接続されている。制御部２８２は、入力部２８３、表示部２８４及び記憶部２８６と接続され、入力部２８３、表示部２８４、記憶部２８６及びＬＡＮケーブル２９２に接続される複数の基板処理装置１００（装置コントローラ２７０）間の情報の入出力（通信）を行なうようになっている。入力部２８３は、キーボードやマウス等のインタフェイスを有し、顧客（ユーザ）が所定の情報を入力することができる構成となっている。また、この入力部２８３は、入力された情報を制御部２８２へ出力するようになっている。表示部２８４は、表示画面３１４（図４乃至１０に示す）を有し、制御部２８２から出力された情報を表示するようになっている。記憶部２８６は、制御部２８２から出力された情報を記憶（格納）し、制御部２８２からの要求に応じて該記憶部２８６に格納された情報を制御部２８２へ出力するようになっている。
【００２９】
ホストコンピュータ２９０は、例えば制御装置データ（制御要求）やモニタデータ等の複数の情報を送受信し、複数の基板処理装置１００の処理を監視又は制御するようになっている。
【００３０】
次に、上述した基板処理装置１００を複数有する接続状況管理システム３００の詳細を図３に基づいて説明する。
【００３１】
ＬＡＮケーブル２９２には、集線装置としての複数のハブ（ＨＵＢ）２９３（例えば第１のハブ２９４、第２のハブ２９６及び第３のハブ２９８）が接続されている。第１のハブ２９４にはモニタサーバ２８０、第２のハブ２９６には複数の基板処理装置１００（例えば酸化・拡散装置１００ａ〜１００ｈ）、第３のハブ２９８には複数の基板処理装置１００（例えばＣＶＤ(Chemical Vapor Deposition)装置１００ｉ〜１００ｐ）が接続されている。これら複数の基板処理装置１００とモニタサーバ２８０とは、第１のハブ２９４、第２のハブ２９６及び第３のハブ２９８を介して相互に通信することができるようになっている。
【００３２】
また、接続状況管理システム３００には電源としての複数の無停電電源装置（ＵＰＳ：Un-interruptible Power Supply）２９３（例えば第１のＵＰＳ３０２、第２のＵＰＳ３０４及び第３のＵＰＳ３０６）が設けられている。第１のＵＰＳ３０２は、例えばモニタサーバ２８０に接続されており、後述する管理装置エリア３０８内に配置される装置に電力を供給するようになっている。第２のＵＰＳ３０４は、例えば第２のハブ２９６に接続されており、後述する拡散エリア３１０内に配置される装置に電力を供給するようになっている。第３のＵＰＳ３０６は、例えば第３のハブ２９８に接続されており、後述するＣＶＤエリア３１２内に配置される装置に電力を供給するようになっている。
【００３３】
モニタサーバ２８０、第１のハブ２９４及び第１のＵＰＳ３０２は、接続状況管理システム３００における所定の範囲（装置管理エリア３０８）に配設されている。また、第２のハブ２９６、第２のＵＰＳ３０４及び酸化・拡散装置１００ａ〜１００ｈは、接続状況管理システム３００における所定の範囲（拡散エリア３１０）に配設され、第３のハブ２９８、第３のＵＰＳ３０６及びＣＶＤ装置１００ｉ〜１００ｐは、接続状況管理システム３００における所定の範囲（ＣＶＤエリア３１２）に配設されている。
【００３４】
次に、上述した接続状況管理システム３００を構成する各要素の接続状況管理方法を図４乃至１０に基づいて説明する。
【００３５】
まず、図４に示すように、モニタサーバ２８０の表示部２８４の表示画面３１４にはパーツ選択ＢＯＸ３１６が表示されるようになっている。このパーツ選択ＢＯＸ３１６には、後述するネットワークレイアウト３２２を作成するための複数の要素パーツ３１８とテキストＢＯＸリンク部３２０とが設けられている。要素パーツ３１８として、例えばタイトルパーツ３１８ａ、レイアウト領域パーツ３１８ｂ、ハブパーツ３１８ｃ、ゲートウエイパーツ３１８ｄ、無線ＬＡＮ親機パーツ３１８ｅ、電源タップパーツ３１８ｆ、ＵＰＳタップパーツ３１８ｇ、ＬＡＮケーブルパーツ３１８ｈ、装置パーツ３１８ｉ、ＰＣパーツ３１８ｊ及びＩＰアドレス管理パーツ３１８ｋ等が登録されている。また、テキストＢＯＸリンク部３２０には、複数（本例においては５０個）のリンクボタン３２０ａが設けられている。
【００３６】
図５に示すように、モニタサーバ２８０の表示部２８４の表示画面３１４には上述した各要素パーツ３１８を用いたネットワークレイアウト３２２が表示されるようになっている。このネットワークレイアウト３２２は、接続状況管理システム３００における各基板処理装置１００とモニタサーバとの間のＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３を介した接続状況やＵＰＳ３０１の位置を表すものであり、パーツ選択ＢＯＸ３１６（図４に示す）から選択した各要素パーツ３１８を無地の表示画面３１４上に配置することにより作成することができる構成となっている。さらに、所定の位置にＬＡＮケーブルパーツ３１８ｍを配置することができる。このＬＡＮケーブルパーツ３１８ｍは、始点及び終点（場合によっては中間点）を指定することで配置される。本例においては、ネットワークレイアウト３２２として図２に示した接続状況管理システム３００が作成されている。
【００３７】
さらに、図６に示すように、モニタサーバ２８０の表示部２８４の表示画面３１４にはネットワークレイアウト３２２上に属性定義ＢＯＸ３２４が表示されるようになっている。この属性定義ＢＯＸ３２４は、タイトル定義部３２４ａ、色定義部３２４ｂ及びテキストＢＯＸリンク定義部３２４ｃを有する。タイトル定義部３２４ａは、各要素パーツ３１８のタイトルを変更（定義）ができるように構成されている。また、色定義部３２４ｂは、各要素パーツ３１８に対して複数（本例においては７色）の色見本から選択した色を設定（定義）できるように構成されている。また、テキストＢＯＸリンク定義部３２４は、各要素パーツ３１８に対して複数（本例においては５０種類）のテキストＢＯＸのリンクを設定（定義）できるように構成されている。なお、本図においては、ネットワークレイアウト３２２における所定のＬＡＮケーブルパーツ３１８ｍの属性を属性定義ＢＯＸ３２４により設定（定義）した状態を示している。より具体的には、属性定義ＢＯＸ３２４のタイトル定義部３２４ａにおいて「タイトルなし」、色定義部３２４ｂにおいて「所定色」、テキストＢＯＸリンク定義部３２４ｃにおいて、「リンク先にテキストＢＯＸＮｏ１５」を設定（定義）している。
【００３８】
また、図７（ａ）に示すように、ネットワークレイアウト３２２における所定のタイトルパーツ３１８ａの属性を属性定義ＢＯＸ３２４により設定（定義）する。より具体的には、属性定義ＢＯＸ３２４のタイトル定義部３２４ａにおいて「拡散エリア」、色定義部３２４ｂにおいて「所定色」、テキストＢＯＸリンク定義部３２４ｃにおいて、「選択なし」を設定（定義）している。さらに、図７（ｂ）に示すように、ネットワークレイアウト３２２における所定の装置パーツ３１８ｉの属性を属性定義ＢＯＸ３２４により設定（定義）する。より具体的には、属性定義ＢＯＸ３２４のタイトル定義部３２４ａにおいて「拡散装置１」、色定義部３２４ｂにおいて「所定色」、テキストＢＯＸリンク定義部３２４ｃにおいて、「リンク先にテキストＢＯＸＮｏ５０」を設定（定義）している。
【００３９】
図８に示すように、モニタサーバ２８０の表示部２８４の表示画面３１４には、テキストＢＯＸ属性入力表示部３２６が表示されるようなっている。このテキストＢＯＸ属性入力表示部３２６は、パーツ選択ＢＯＸ３１６のテキストＢＯＸリンク部３２０のリンクボタン３２６ａ（図４に示す）を選択すると表示される。このテキストＢＯＸ属性入力表示部３２６は、テキスト入力エリア３２６ａを有し、該テキスト入力エリア２３６ａに所定のリンクボタン３２０ａに関する情報（属性）を入力することができる。本例においては、テキストＢＯＸＮｏ１５、すなわち上述した所定のＬＡＮケーブルパーツ３１８ｍに関する情報（属性）がテキストＢＯＸ属性入力表示部３２６のテキスト入力エリア３２６ａに対してテキスト形式で入力されている。具体的には、要素の名称及び接続先等が入力されており、より具体的には「ＬＡＮケーブル、接続先：拡散装置８、接続先：ＨＵＢ２ポートＮＯ８」と入力されている。また、このテキストＢＯＸ属性入力表示部３２６に各ＵＰＳタップ３１８ｇに関する情報（属性）、すなわちＵＰＳ３０１の詳細な接続状況を入力するようにしてもよい。このように、テキストＢＯＸ属性入力表示部３２６は、所定の要素（例えばモニタサーバ２８０、各基板処理装置１００、ＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３及びＵＰＳ３０１など）の詳細な接続状況を入力し且つ表示する構成となっている。
なお、テキストＢＯＸ属性入力表示部３２６のテキスト入力エリア３２６ａには、要素の名称及び接続先だけでなく、該要素のリプレース（交換）日、購入先等の付帯情報を記入してもよい。
【００４０】
図９及び１０に各要素パーツ３１８に対して属性定義ＢＯＸ３２４により所定の属性を設定（定義）したネットワークレイアウト３２２が示されている。ネットワークレイアウト３２２の装置管理エリアＰＣパーツ３１８ｊは、接続状況管理システム３００のモニタサーバ２８０に対応し、同様に、各装置パーツ３１８ｉは各装置１００ａ〜１００ｐに対応し、各ＨＵＢパーツ３１８ｃはハブ２９３に対応し、各ＵＰＳタップパーツ３１８ｇはＵＰＳ３０１に対応している。このように、モニタサーバ２８０の表示部２８４の表示画面３１４は、接続状況管理システム３００における各基板処理装置１００とモニタ２８０との間のＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３を介した接続状況やＵＰＳ２９３の位置を表示する接続表示手段として用いられる。
【００４１】
図１０に示すように、例えば所定のＬＡＮケーブルパーツ３１８ｍを指定（例えばマウスでクリック）すると上述したテキストＢＯＸ属性入力表示部３２６が表示される。同様に、所望の要素パーツ３１８を指定すると該要素パーツ３１８に対応するテキストＢＯＸ属性入力表示部３２６が表示される。このように、モニタサーバ２８０の表示部２８４の表示画面３１４は、接続状況管理システム３００におけるモニタサーバ２８０、各基板処理装置１００、ＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９３及びＵＰＳ３９１等の要素を指定することで、指定した要素の詳細な接続状況を表示する詳細接続表示手段として用いられる。
【００４２】
本発明によれば、ネットワークレイアウト３２２により各基板処理装置１００とモニタサーバ２８０との間のＬＡＮケーブル２９２、ハブ２９１を介した接続状況を表示し、テキストＢＯＸ属性表示部３２８により指定した要素の詳細な接続状況を表示するので、メンテナンス性を向上させることができる。また、接続状況管理システム３００の各装置の接続状況を一元管理することができるので、ネットワークトラブルに対して迅速に対応することができ、コストの低減を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、半導体ウエハやガラス基板等の基板を処理するための基板処理装置の接続状況を管理する接続状況管理システムにおいて、メンテナンス性を向上させる必要があるものに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る基板処理装置の処理炉を示す縦断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る接続状況監視システムの構成の一例を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施形態に係る接続状況監視システムの構成の詳細を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示されたパーツ選択ＢＯＸを説明する図である。
【図５】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示されたネットワークレイアウトを説明する図である。
【図６】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示された属性定義ＢＯＸを説明する図である。
【図７】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示された属性定義ＢＯＸを示し、（ａ）は拡散エリアの属性の定義、（ｂ）は拡散装置の属性の定義を説明する図である。
【図８】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示されたテキストＢＯＸ属性入力表示部の入力例を説明する図である。
【図９】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示され、属性を定義したネットワークレイアウトを説明する図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るモニタサーバの表示画面に表示されたテキストＢＯＸ属性入力表示部の表示例を説明する図である。
【符号の説明】
【００４５】
１００  基板処理装置
２００  ウエハ
２７０  装置コントローラ
２８０  モニタサーバ
２８４  表示部
２９２  ＬＡＮケーブル
２９３  ハブ
３００  接続状況管理システム
３１４  表示画面
３２２  ネットワークレイアウト
３２６  テキストＢＯＸ属性入力表示部
【図１】
2008078458.tif 000003
【図２】
2008078458.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2008078458.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008078458.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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