(57)【要約】【課題】気流の影響を抑制しつつ、液状体のより安定した吐出量を確保することができる液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供する。【解決手段】ヘッド加熱ヒータ２１に装着され該ヘッド加熱ヒータ２１により加熱される液滴吐出ヘッド２０から、液晶Ｆの液滴Ｆｂをマザーガラス基板１００に吐出して液晶Ｆを配置する。ヘッド加熱ヒータ２１のマザーガラス基板１００側に露出するノズル形成面２５ａよりも、ヘッド加熱ヒータ２１をマザーガラス基板１００側に突出させて、ノズル形成面２５ａ及びマザーガラス基板１００間の空間Ｓを加熱する。【選択図】図４
2008200642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱手段に装着され該加熱手段により加熱される吐出手段から、液状体の液滴を基板に吐
出して前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、
前記吐出手段の前記基板側に露出するノズル形成面よりも、前記加熱手段を前記基板側
に突出させて、前記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱することを特徴とする液滴
吐出方法。
【請求項２】
前記加熱手段は、前記ノズル形成面に連続する側面を包囲するように凹設された凹部を有
することを特徴とする請求項１記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
加熱手段に装着され該加熱手段により加熱される吐出手段から、液状体の液滴を基板に吐
出して前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、
前記吐出手段の前記基板側に露出するノズル形成面よりも、前記加熱手段を前記基板側
に突出させて、前記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱することを特徴とする液滴
吐出装置。
【請求項４】
加熱手段に装着され該加熱手段により加熱される吐出手段から、液晶の液滴を吐出して、
基板に前記液晶を配置する液晶パネルの製造方法であって、
前記吐出手段の前記基板側に露出するノズル形成面よりも、前記加熱手段を前記基板側
に突出させて、前記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱することを特徴とする液晶
パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法に関するものである
。
【背景技術】
【０００２】
従来、注入法で液晶パネルを製造する場合、まず２枚の基板を貼り合せた後、その内部
を真空雰囲気にして液晶を充填する。この方法は、例えば２０インチパネルで液晶の注入
時間が２０時間以上必要になるなど、１枚の液晶パネルを製造する時間が長くなるという
問題を有している。
【０００３】
そこで、近年は、液滴吐出装置により、２枚の基板を貼り合せる前に、一方の基板に必
要量の液晶を予め供給し、その後、他方の基板と貼り合わせる方法が提案されている。こ
の場合、液滴吐出装置により液晶の安定した吐出量が得られるため、所定量の液晶を安定
供給して均等なセルギャップを設定することができる。
【０００４】
なお、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドから材料を吐出する場合、一般的に粘度が１０（
ｃｐｓ）程度の材料を用いることになる。一方、液晶パネル用の液晶は、およそ５０〜１
００（ｃｐｓ）の粘度を有しており、そのままの状態では液滴吐出ヘッドから吐出するこ
とができない。そこで、例えば特許文献１、２では、液晶の粘度を下げるために、該液晶
を加熱することが併せて提案されている。
【０００５】
図６（ａ）（ｂ）は、こうした液晶の加熱に係る従来の構成例を示す底面図及び断面図
である。同図に示されるように、液滴吐出装置は、ステージ９１を備えるとともに、該ス
テージ９１の上面には基板９２が載置される。また、液滴吐出装置は、基板９２に対向配
置される液滴吐出ヘッド９３を備えるとともに、該液滴吐出ヘッド９３の基板９２側に露
出する下面は、複数のノズルが並設されてノズル形成面９３ａを形成する。液滴吐出ヘッ
ド９３は、その直下の基板９２に向かって液晶の液滴を吐出して該基板９２に所定量の液
晶を供給する。
【０００６】
また、液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッド９３の側面を包囲するヘッド加熱ヒータ９４を
備える。すなわち、ヘッド加熱ヒータ９４は、ブロック状に形成されるとともに、基板９
２側に開口する収容凹部９４ａを有する。ヘッド加熱ヒータ９４は、収容凹部９４ａに液
滴吐出ヘッド９３が装着されることで、ノズル形成面９３ａを露出する態様で液滴吐出ヘ
ッド９３の側面を包囲する。
【０００７】
そして、ヘッド加熱ヒータ９４により液滴吐出ヘッド９３が加熱されることで、液晶の
粘度が１０（ｃｐｓ）以下に下げられる。なお、液滴吐出ヘッド９３は、そのノズル形成
面９３ａをヘッド加熱ヒータ９４からわずかに突出させる態様で該ヘッド加熱ヒータ９４
に収容されている。
【特許文献１】特開平５−２８１５６２号公報
【特許文献２】特開２００４−３４４７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、液滴吐出ヘッド９３から液晶の液滴を吐出する場合、通常、液滴吐出ヘッド
９３のノズル形成面９３ａから基板９２までに０．１〜３（ｍｍ）程度の間隙が設定され
ており、該間隙の空間の影響で液晶の吐出量が変動することが確認された。具体的には、
ノズル形成面９３ａ−基板９２間が３（ｍｍ）未満の狭いときには、液晶の吐出量が減少
する。これは、液滴吐出ヘッド９３の熱が基板９２に奪われてノズル形成面９３ａの周辺
に温度低下が起き、吐出される液滴の切れが悪くなることによる。
【０００９】
なお、このような液晶の吐出量の減少を回避するため、ノズル形成面９３ａ−基板９２
の間隙を広げる場合には、設備のエアフィルタ（ＨＥＰＡなど）を通した空気の送り込み
、排気等による気流の影響を受けて液滴の着弾位置にずれが生じるという別の問題が生じ
てしまう。
【００１０】
本発明の目的は、気流の影響を抑制しつつ、液状体のより安定した吐出量を確保するこ
とができる液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供することにある
。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液滴吐出方法は、上記課題を解決するため、加熱手段に装着され該加熱手段に
より加熱される吐出手段から、液状体の液滴を基板に吐出して前記液状体を配置する液滴
吐出方法であって、前記吐出手段の前記基板側に露出するノズル形成面よりも、前記加熱
手段を前記基板側に突出させて、前記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱する。
【００１２】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記加熱手段により、前記吐出手段とともに前記ノズ
ル形成面及び前記基板間の空間が加熱される。従って、前記ノズル形成面の周辺の温度低
下を抑制することができ、吐出される液滴の切れを向上することができる。そして、前記
液状体の吐出量の減少を抑制することができる。また、前記加熱手段は、前記ノズル形成
面及び前記基板間の空間を加熱するものの、これらノズル形成面及び基板の間隙を変化さ
せるわけではないため、吐出された液滴に対する気流の影響を抑制することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出方法の一態様では、前記加熱手段は、前記ノズル形成面に連続する側
面を包囲するように凹設された凹部を有する。
この態様によれば、前記凹部内に満たされ前記加熱手段により前記吐出手段とともに加
熱される雰囲気（空気など）により、前記ノズル形成面に連続する側面が包囲されること
で、前記吐出手段からの熱拡散を抑制し、前記ノズル形成面の温度変化を抑制することが
できる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、加熱手段に装着され該加熱手段により加熱される吐出手段か
ら、液状体の液滴を基板に吐出して前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、前記吐
出手段の前記基板側に露出するノズル形成面よりも、前記加熱手段を前記基板側に突出さ
せて、前記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱する。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、前記加熱手段により、前記吐出手段とともに前記ノズル形
成面及び前記基板間の空間が加熱される。従って、前記ノズル形成面の周辺の温度低下を
抑制することができ、吐出される液滴の切れを向上することができる。そして、前記液状
体の吐出量の減少を抑制することができる。また、前記加熱手段は、前記ノズル形成面及
び前記基板間の空間を加熱するものの、これらノズル形成面及び基板の間隙を変化させる
わけではないため、吐出された液滴に対する気流の影響を抑制することができる。
【００１６】
本発明の液晶パネルの製造方法は、加熱手段に装着され該加熱手段により加熱される吐
出手段から、液晶の液滴を吐出して、基板に前記液晶を配置する液晶パネルの製造方法で
あって、前記吐出手段の前記基板側に露出するノズル形成面よりも、前記加熱手段を前記
基板側に突出させて、前記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱する。
【００１７】
本発明の液晶パネルの製造方法によれば、前記加熱手段により、前記吐出手段とともに
前記ノズル形成面及び前記基板間の空間が加熱される。従って、前記ノズル形成面の周辺
の温度低下を抑制することができ、吐出される液晶の液滴の切れを向上することができる
。そして、前記液晶の吐出量の減少を抑制することができる。また、前記加熱手段は、前
記ノズル形成面及び前記基板間の空間を加熱するものの、これらノズル形成面及び基板の
間隙を変化させるわけではないため、吐出された液滴に対する気流の影響を抑制すること
ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、液滴吐出装置１０を説明するための全体斜視図を示す。図１において、液滴吐
出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有している。基台１１の上面には、そ
の長手方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝１２が形成されている。案内溝１
２の上方には、案内溝１２に沿って主走査方向（Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向）に移動す
るステージ１３が備えられている。ステージ１３の上面には、載置部１４が形成されて、
基板としてのマザーガラス基板１００が載置される。マザーガラス基板１００は、載置部
１４において位置決め固定されてＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に搬送される。
【００１９】
マザーガラス基板１００は、図２に示すように、大判のガラス基板であって、２点鎖線
で示すように、薄膜トランジスタ、走査線、データ線等が形成された液晶表示装置の素子
基板を形成するセル１０１が、マトリクス状に多数区画形成されている。マザーガラス基
板１００に区画形成された各セル１０１には、例えば印刷装置又はディスペンサーにて描
画された四角枠状のシール材１０２が所定の位置に形成され、そのシール材１０２で囲ま
れた範囲（以下、配置領域Ｚという）に液滴吐出装置１０によって液晶Ｆ（図４参照）が
配置される。各セル１０１には、必要な所定量の液晶Ｆが配置されるようになっている。
【００２０】
なお、各セル１０１に液晶Ｆが配置されたマザーガラス基板１００は、共通電極が形成
された液晶表示装置の対向基板を形成するセルがマトリクス状に多数区画形成されたマザ
ーガラス基板と、対応するセル同士が相対向するように貼り合わされる。そして、貼り合
わされたマザーガラス基板をセルごとにカットすることによって、素子基板と対向基板の
間にシール材１０２を介して液晶Ｆを封入した液晶表示装置の液晶パネルが多数製造され
る。
【００２１】
以下、説明の便宜上、マザーガラス基板１００の縦方向をＹ矢印方向とし、マザーガラ
ス基板１００の横方向をＸ矢印方向とする。
図１において、基台１１には、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ矢印方向及び反Ｘ
矢印方向）に跨ぐ門型のガイド部材１５が架設されている。ガイド部材１５の上側には、
Ｘ矢印方向に延びるタンク１６が配設され、そのタンク１６には液晶Ｆが収納されている
。
【００２２】
ガイド部材１５には、そのＸ矢印方向略全幅にわたって、Ｘ矢印方向に延びる上下一対
のガイドレール１８が形成されている。上下一対のガイドレール１８には、キャリッジ１
９が取り付けられている。キャリッジ１９は、ガイドレール１８に案内されてＸ矢印方向
及び反Ｘ矢印方向に移動する。
【００２３】
図３（ａ）（ｂ）は、キャリッジ１９及びその周辺構造を模式的に示す底面図及び断面
図である。同図に示されるように、キャリッジ１９には、直方体形状に形成された吐出手
段としての液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）２０が搭載されている。詳
述すると、キャリッジ１９には、例えばラバーヒータや電熱ヒータからなる加熱手段とし
てのヘッド加熱ヒータ２１が取着されている。このヘッド加熱ヒータ２１は、マザーガラ
ス基板１００側に開口する凹部２１ａを有して有蓋四角筒形状に形成されている。そして
、凹部２１ａの中央部には、液滴吐出ヘッド２０の外形に合わせた内壁面を有してマザー
ガラス基板１００側に開口する収容凹部２１ｂが形成されている。前記吐出ヘッド２０は
、その側面の基端部が収容凹部２１ｂに嵌合するようにヘッド加熱ヒータ２１に装着され
る態様でキャリッジ１９に支持されている。
【００２４】
ヘッド加熱ヒータ２１に装着された液滴吐出ヘッド２０は、マザーガラス基板１００に
対向配置されており、そのマザーガラス基板１００側に露出する下面は、複数のノズルＮ
（図４参照）が並設されてノズル形成面２５ａを形成する。ヘッド加熱ヒータ２１は、ノ
ズル形成面２５ａよりもマザーガラス基板１００側に突出するように、その先端面２１ｃ
がノズル形成面２５ａよりもマザーガラス基板１００側に配置されている。これにより、
吐出ヘッド２０のノズル形成面２５ａに連続する側面の先端部（収容凹部２１ｂから露出
する先端部）は、凹部２１ａにより包囲されている。
【００２５】
図４は、図３（ｂ）のＡ−Ａ線に沿った断面図である。同図に示されるように、吐出ヘ
ッド２０の上側には、供給チューブＴが連結されている。供給チューブＴは、前記タンク
１６に連結されており、該タンク１６に収容された液晶Ｆを吐出ヘッド２０に所定の圧力
で供給する。
【００２６】
吐出ヘッド２０は、その下端を閉塞するノズルプレート２５を備えるとともに、該ノズ
ルプレート２５は、前記複数のノズルＮを備えている。つまり、ノズルプレート２５の下
面により、前記ノズル形成面２５ａが形成されている。ノズルプレート２５の各ノズルＮ
の上側には、供給チューブＴに連通するキャビティ２６が形成されている。キャビティ２
６は、供給チューブＴからの液晶Ｆを収容して、対応するノズルＮに液晶Ｆを供給する。
キャビティ２６の上側には、上下方向に振動してキャビティ２６内の容積を拡大及び縮小
する振動板２７が貼り付けられている。振動板２７の上側には、ノズルＮに対応する圧電
素子ＰＺが配設されている。圧電素子ＰＺは、上下方向に収縮及び伸張して振動板２７を
上下方向に振動させる。上下方向に振動する振動板２７は、液晶Ｆを所定サイズの液滴Ｆ
ｂにして対応するノズルＮから吐出させる。吐出された液滴Ｆｂは、対応するノズルＮの
反Ｚ矢印方向に飛行して、直下を通過するマザーガラス基板１００の吐出面１００ａに対
して着弾するようになっている。
【００２７】
つまり、吐出ヘッド２０の直下を主走査方向にマザーガラス基板１００が移動するとき
、マザーガラス基板１００の各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚに対し
て順番に、吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂが吐出される。これにより、マザーガラス基板１
００の各セル１０１に液晶Ｆが所定量だけ配置される。
【００２８】
ここで、前記ヘッド加熱ヒータ２１は、主として、その収容凹部２１ｂにおいて吐出ヘ
ッド２０の側面の基端部を加熱することで、キャビティ２６に収容された液晶Ｆを予め定
めた目標温度に加熱する。この目標温度は、液晶Ｆが、吐出ヘッド２０の吐出可能な粘度
（例えば１０（ｃｐｓ）以下）になる温度（例えば７０℃）である。
【００２９】
また、前記ヘッド加熱ヒータ２１は、その凹部２１ａにおいて該凹部２１ａ内に満たさ
れた雰囲気（空気など）を加熱する。これにより、ノズル形成面２５ａの近傍を中心に前
記ノズル形成面２５ａ及びマザーガラス基板１００間の空間Ｓが加熱される。
【００３０】
なお、吐出ヘッド２０の側面には、温度検出センサ２８（図５参照）が取着され、吐出
ヘッド２０を介してキャビティ２６に収容された液晶Ｆの温度を検出するようになってい
る。
【００３１】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置１０の電気的構成を図５に従って説明する。
図５において、制御装置５０は、ＣＰＵ５０Ａ、ＲＯＭ５０Ｂ、ＲＡＭ５０Ｃ等を有し
ている。制御装置５０は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステ
ージ１３の搬送処理、キャリッジ１９の搬送処理、吐出ヘッド２０の液滴吐出処理を実行
する。また、制御装置５０は、同様に、ヘッド加熱ヒータ２１の駆動制御を実行する。
【００３２】
制御装置５０には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置５１が接続さ
れている。入出力装置５１は、液滴吐出装置１０が実行する各種処理の処理状況を表示す
る。入出力装置５１は、マザーガラス基板１００上に液滴Ｆｂでパターンを形成するため
のビットマップデータＢＤを生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置５０に入力
する。
【００３３】
ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺの
オンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、吐出ヘッド２０
（各ノズルＮ）の通過する各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚの各位置
に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。すなわち、ビットマップデータ
ＢＤは、セル１０１ごとに、シール材１０２で囲まれた配置領域Ｚに予め定めた配置パタ
ーンを形成させるための目標形成位置に液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。
【００３４】
制御装置５０には、Ｘ軸モータ駆動回路５２が接続されている。制御装置５０は、駆動
制御信号をＸ軸モータ駆動回路５２に出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５２は、制御装置５
０からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ１９を移動させるためのＸ軸モータＭＸを
正転又は逆転させる。制御装置５０には、Ｙ軸モータ駆動回路５３が接続されている。制
御装置５０は、駆動制御信号をＹ軸モータ駆動回路５３に出力する。Ｙ軸モータ駆動回路
５３は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、ステージ１３を移動させるための
Ｙ軸モータＭＹを正転又は逆転させる。
【００３５】
制御装置５０には、ヘッド駆動回路５４が接続されている。制御装置５０は、所定の吐
出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴａをヘッド駆動回路５４に出力する。制御
装置５０は、各圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧ＣＯＭａを吐出周波数に同期させ
てヘッド駆動回路５４に出力する。
【００３６】
制御装置５０は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン
形成用制御信号ＳＩａを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩａをヘッド駆動回路５４に
シリアル転送する。ヘッド駆動回路５４は、制御装置５０からのパターン形成用制御信号
ＳＩａを各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路
５４は、制御装置５０からの吐出タイミング信号ＬＴａを受けるたびに、シリアル／パラ
レル変換したパターン形成用制御信号ＳＩａをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩａ
によって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧ＣＯＭａを供給する。
【００３７】
制御装置５０には、ヒータ駆動回路５５が接続されている。制御装置５０は、ヘッド加
熱ヒータ２１を駆動するための駆動制御信号ＴＳｐをヒータ駆動回路５５に出力する。ヒ
ータ駆動回路５５は、制御装置５０からの駆動制御信号ＴＳｐに応答して、ヘッド加熱ヒ
ータ２１を駆動制御する。そして、ヘッド加熱ヒータ２１は、吐出ヘッド２０内の液晶Ｆ
を予め定めた目標温度にまで加熱する。すなわち、ヘッド加熱ヒータ２１によって、吐出
ヘッド２０に供給された液晶Ｆは、予め定めた目標温度に加熱されるようになっている。
【００３８】
制御装置５０には、温度検出センサ２８が接続されている。制御装置５０は、温度検出
センサ２８からの検出信号ＴＳａを入力して、その時々の吐出ヘッド２０内の液晶Ｆの温
度を求めるようになっている。制御装置５０は、求めた液晶Ｆの温度と前記予め設定した
目標温度と比較し、液晶Ｆの温度が目標温度になるように、ヒータ駆動回路５５を介して
ヘッド加熱ヒータ２１を駆動制御するようになっている。
【００３９】
次に、上記液滴吐出装置１０を利用してマザーガラス基板１００の各セル１０１に所定
量の液晶Ｆを配置する方法について説明する。
いま、図１に示すように、吐出ヘッド２０は、ステージ１３から離間した反Ｘ矢印方向
の待機位置で待機している。この待機状態において、制御装置５０は、温度検出センサ２
８からの検出信号ＴＳａを入力し、吐出ヘッド２０内の液晶Ｆが目標温度になるように、
ヒータ駆動回路５５を介してヘッド加熱ヒータ２１を駆動制御している。このとき、ヘッ
ド加熱ヒータ２１により吐出ヘッド２０が加熱されることで、キャビティ２６に収容され
た液晶Ｆが予め定めた目標温度に加熱される。ヘッド加熱ヒータ２１により前記ノズル形
成面２５ａ及びマザーガラス基板１００間の空間Ｓが併せて加熱されることは既述のとお
りである。
【００４０】
また、液晶Ｆの配置パターンを形成するためのビットマップデータＢＤが入出力装置５
１から制御装置５０に入力されている。従って、制御装置５０は、入出力装置５１からの
ビットマップデータＢＤを格納している。
【００４１】
そして、マザーガラス基板１００をステージ１３に載置する。このとき、マザーガラス
基板１００は、ステージ１３の載置部１４上の反Ｙ矢印方向側に配置され、入出力装置５
１から、制御装置５０へ作業開始の指令信号が出力される。
【００４２】
制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して吐出ヘッ
ド２０を待機位置からＸ矢印方向に移動させる。そして、吐出ヘッド２０が、マザーガラ
ス基板１００の最も反Ｘ矢印方向側にある各セル１０１（配置領域Ｚ）がその直下をＹ矢
印方向に通過する位置まで移動すると、制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介し
てＸ軸モータＭＸを停止させるとともに、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭ
Ｙを駆動して、マザーガラス基板１００をＹ矢印方向移動させる。
【００４３】
マザーガラス基板１００をＹ矢印方向に移動させると、制御装置５０は、ビットマップ
データＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩａを生成して、パターン形成用制御信
号ＳＩａと駆動電圧ＣＯＭａをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０
は、ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、各セル１０１の配置領
域Ｚが吐出ヘッド２０の直下を通過するとき、当該セル１０１に対応する液晶の配置パタ
ーンを形成するために選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させる。
【００４４】
マザーガラス基板１００の最も反Ｘ矢印方向側にある各セル１０１（配置領域Ｚ）への
液晶Ｆ（液滴Ｆｂ）の供給が終了すると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介
してＹ軸モータＭＹを停止させるとともに、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータ
ＭＸを駆動して吐出ヘッド２０を、マザーガラス基板１００の次の反Ｘ矢印方向側にある
各セル１０１（配置領域Ｚ）が、その直下を反Ｙ矢印方向に通過する位置まで、移動（フ
ィード）させる。
【００４５】
吐出ヘッド２０がフィードされると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介し
てＹ軸モータＭＹを駆動して、ステージ１３を反Ｙ矢印方向に移動（スキャン）させる。
ステージ１３の反Ｙ矢印方向に移動を開始させると、制御装置５０は、ビットマップデー
タＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩａを生成して、パターン形成用制御信号Ｓ
Ｉａと駆動電圧ＣＯＭａをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０は、
ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、各セル１０１の配置領域Ｚ
が吐出ヘッド２０の直下を通過するとき、当該セル１０１に対応する液晶の配置パターン
を形成するために選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させる。
【００４６】
以後、同様な動作を繰り返して、マザーガラス基板１００の全てのセル１０１に所定量
の液晶Ｆを配置して、一つのマザーガラス基板１００に対する各セル１０１への液晶Ｆの
供給が完了する。
【００４７】
そして、各セル１０１に液晶Ｆが配置されたマザーガラス基板１００は、貼合装置（重
ね合わせ装置）において、対となる他のマザーガラス基板との貼り合わせが行われる。貼
り合わされたこれらのマザーガラス基板は、セルごとにカットされることによって、素子
基板と対向基板の間にシール材１０２を介して液晶Ｆを封入した液晶パネルが多数製造さ
れる。
【００４８】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、ヘッド加熱ヒータ２１により、吐出ヘッド２０とともにノズル
形成面２５ａ及びマザーガラス基板１００間の空間Ｓが加熱される。従って、前記ノズル
形成面２５ａの周辺の温度低下を抑制することができ、吐出される液晶Ｆの液滴Ｆｂの切
れを向上することができる。これにより、前記液晶Ｆ（液滴Ｆｂ）の吐出量の減少を抑制
することができる。そして、製造された各液晶パネルにおいては、その素子基板と対向基
板の間にシール材１０２を介してより正確な量の液晶Ｆが封入されることで、好適なセル
ギャップを有する液晶パネルを製造することができる。
【００４９】
また、ヘッド加熱ヒータ２１は、ノズル形成面２５ａ及びマザーガラス基板１００間の
空間Ｓを加熱するものの、これらノズル形成面２５ａ及びマザーガラス基板１００の間隙
を変化させるわけではないため、吐出された液滴Ｆｂに対する気流の影響を抑制すること
ができる。
【００５０】
（２）本実施形態では、ヘッド加熱ヒータ２１は、吐出ヘッド２０のノズル形成面２５
ａに連続する側面を包囲するように凹設された凹部２１ａを有する。従って、前記凹部２
１ａ内に満たされヘッド加熱ヒータ２１により吐出ヘッド２０とともに加熱される雰囲気
（空気など）により、ノズル形成面２５ａに連続する側面が包囲されることで、吐出ヘッ
ド２０からの熱拡散を抑制し、ノズル形成面２５ａの温度変化を抑制することができる。
【００５１】
（３）本実施形態では、ヘッド加熱ヒータの形状変更のみで、液晶Ｆの吐出量の減少の
抑制等をすることができるため、部品点数の増加を回避した簡易な構造にできる。
（変形例）
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のように種々の変形
が可能である。
【００５２】
・前記実施形態において、ヘッド加熱ヒータ２１の凹部２１ａを割愛し、該ヘッド加熱
ヒータ２１を吐出ヘッド２０の側面（収容凹部２１ｂ）に沿ってそのまま（凹部２１ａを
介して拡開することなく）突出させてもよい。
【００５３】
・前記実施形態において、ヘッド加熱ヒータ２１を構成する発熱体は、適宜の金属発熱
体や非金属発熱体、あるいはペルチェ素子などを採用し得る。
・前記実施形態では、素子基板用のマザーガラス基板１００の各セル１０１にシール材
１０２を形成し、そのシール材１０２で囲まれた範囲（配置領域Ｚ）に液晶Ｆを配置した
が、対向基板用のマザーガラス基板の各セルにシール材を形成し、そのシール材で囲まれ
た範囲（配置領域）に液晶Ｆを配置してもよい。
【００５４】
・前記実施形態において、基板は、１枚の液晶パネルのみを構成する素子基板又は対向
基板であってもよい。
・前記実施形態では、吐出ヘッド２０を停止させた状態で、ステージ１３（マザーガラ
ス基板１００）を移動させて、吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂを吐出させるようにした。こ
れを、ステージ１３（マザーガラス基板１００）を停止させた状態で、吐出ヘッド２０を
移動させて、その吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂを吐出させるようにしてもよい。
【００５５】
・前記実施形態では、液晶Ｆの液滴Ｆｂを吐出ヘッド２０によって吐出させて該液晶Ｆ
を配置するものに具体化したが、これに限定されるものではなく、例えばレジストの形成
、層間膜の形成、又は、配線層の形成するための適宜の液状体の液滴を吐出ヘッド２０に
よって吐出させて該液状体を配置するものであってもよい。このレジストの形成、層間膜
の形成、配線層の形成する場合、液晶表示装置以外の、例えば有機ＥＬ表示装置等その他
の基板に応用してもよいことはいうまでもない。
【００５６】
・前記実施形態では、吐出手段を、圧電素子駆動方式の吐出ヘッド２０に具体化した。
これに限らず、吐出手段を、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよ
い。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図２】マザーガラス基板を説明するための平面図。
【図３】（ａ）（ｂ）は、液滴吐出ヘッドを示す下面図及び断面図。
【図４】図３（ｂ）のＡ−Ａ線に沿った断面図。
【図５】液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図６】（ａ）（ｂ）は、従来の液滴吐出ヘッドを示す下面図及び断面図。
【符号の説明】
【００５８】
Ｆ…液晶、Ｆｂ…液滴、Ｎ…ノズル、ＰＺ…圧電素子、Ｓ…空間、１０…液滴吐出装置
、１３…ステージ、２０…吐出手段としての吐出ヘッド、２１…加熱手段としてのヘッド
加熱ヒータ、２１ａ…凹部、２１ｂ…収容凹部、２５…ノズルプレート、２５ａ…ノズル
形成面、５０…制御装置、１００…基板としてのマザーガラス基板、１０１…セル、１０
２…シール材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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