(57)【要約】【課題】変調信号の振幅を精度よく制御する。【解決手段】入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの出力信号を出力する変調回路であって、入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、変調信号の振幅を調整し、出力信号として出力する出力振幅制御部と、出力信号の振幅のピーク値を検出し、ピーク値に基づいて、出力振幅制御部に変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、参照信号の振幅の実効値を検出し、実効値に基づいて、出力ピーク検波部が検出するピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部とを備える変調回路を提供する。【選択図】図１
2008092529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの出力信号を出力する変調回路であって、
前記入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、
前記変調信号の振幅を調整し、前記出力信号として出力する出力振幅制御部と、
前記出力信号の振幅のピーク値を検出し、前記ピーク値に基づいて、前記出力振幅制御部に前記変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、
前記入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、
前記参照信号の振幅の実効値を検出し、前記実効値に基づいて、前記出力ピーク検波部が検出する前記ピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部と
を備える変調回路。
【請求項２】
前記補償部は、
前記参照信号の振幅の実効値を検出する実効値検波部と、
前記実効値検波部が検出した前記実効値に基づいて、前記参照信号生成部が出力する前記参照信号の振幅を前記所定の振幅レベルに調整する参照振幅制御部と、
前記参照振幅制御部が出力する前記参照信号の振幅のピーク値に基づいて、前記出力ピーク検波部が検出する前記ピーク値を補償する補償回路と
を有する請求項１に記載の変調回路。
【請求項３】
前記補償回路は、前記出力ピーク検波部と略同一の信号パターン依存特性を有し、前記参照振幅制御部が出力する前記参照信号の振幅のピーク値を検出する参照ピーク検波部を有し、
前記変調回路は、前記出力ピーク検波部が検出した前記出力信号の振幅のピーク値と、前記参照ピーク検波部が検出した前記参照信号の振幅のピーク値との差分に基づいて、前記出力振幅制御部を制御するピーク値比較部を更に備える
請求項２に記載の変調回路。
【請求項４】
前記変調回路は、前記所定の振幅レベルに応じたレベルの基準電圧を出力する基準電圧出力部を更に備え、
前記補償部は、前記基準電圧と、前記参照信号の振幅の実効値との差分に基づいて、前記参照振幅制御部が出力する前記参照信号の振幅を制御する実効値比較部を更に有し、
前記変調部は、前記入力信号と、与えられるローカル信号とを乗算することにより前記変調信号を生成し、
前記基準電圧出力部は、前記ローカル信号の周波数に応じて前記基準電圧を調整して出力する
請求項３に記載の変調回路。
【請求項５】
所定の振幅の出力信号を生成する信号発生回路であって、
予め定められた信号パターンを有する入力信号を生成するパターン発生部と、
前記入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの前記出力信号を出力する変調回路と
を備え、
前記変調回路は、
前記入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、
前記変調信号の振幅を調整し、前記出力信号として出力する出力振幅制御部と、
前記出力信号の振幅のピーク値を検出し、前記ピーク値に基づいて、前記出力振幅制御部に前記変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、
前記入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、
前記参照信号の振幅の実効値を検出し、前記実効値に基づいて、前記出力ピーク検波部が検出する前記ピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部と
を有する信号発生回路。
【請求項６】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
予め定められた信号パターンを有する入力信号を生成するパターン発生部と、
前記入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの試験信号を生成し、前記被試験デバイスに入力する変調回路と、
前記被試験デバイスが出力する被試験信号に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記変調回路は、
前記入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、
前記変調信号の振幅を調整し、前記試験信号として出力する出力振幅制御部と、
前記試験信号の振幅のピーク値を検出し、前記ピーク値に基づいて、前記出力振幅制御部に前記変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、
前記入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、
前記参照信号の振幅の実効値を検出し、前記実効値に基づいて、前記出力ピーク検波部が検出する前記ピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部と
を有する試験装置。
【請求項７】
前記入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、
前記変調信号の振幅を調整し、前記出力信号として出力する出力振幅制御部と、
前記出力信号の振幅のピーク値を検出し、前記ピーク値に基づいて、前記出力振幅制御部に前記変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、
前記入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、
前記参照信号の振幅の実効値を検出し、前記実効値に基づいて、前記出力ピーク検波部が検出する前記ピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部と
を備える変調回路が形成された半導体チップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変調回路、信号発生器、及び試験装置に関する。特に本発明は、入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの出力信号を出力する変調回路、所定の振幅の出力信号を生成する信号発生回路、及び被試験デバイスを試験する試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振幅レベルの出力信号を出力する変調回路として、変調器の後段にＡＬＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｌｅｖｅｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）回路を用いた変調回路が考えられる。ＡＬＣ回路は、ピーク検波回路を用いて変調器の出力信号のピーク振幅を検出し、検出したピーク振幅をフィードバックすることにより、当該出力信号の振幅を所定の振幅レベルに制御する。具体的には、ピーク検波回路が検出したピーク値が、所定の参照値と一致するように、出力信号の振幅を制御する方式が考えられる。現在、関連する特許文献等は認識していないので、その記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、ピーク検波回路が検出するピーク振幅は、出力信号の変調パターン、信号パターン等により変動する。このため、出力信号の変調パターン等によって、ピーク検波回路が検出したピーク値と、所定の参照値との比較結果が異なる結果となる。また、ピーク検波回路が検出するピーク振幅は、出力信号の周波数によっても変動する。このため、上述した方式では、変調器の出力信号の振幅を精度よく制御することが困難である。
【０００４】
また、上述した変調回路を用いて所定の振幅レベルの信号を生成する信号発生回路においても、振幅を精度よく制御した信号を生成することが困難である。また、当該信号発生回路により生成した信号を用いて、半導体回路等の被試験デバイスを試験する試験装置においても、被試験デバイスを精度よく試験することが困難である。
【０００５】
このため、本発明の一つの側面においては、上記の課題を解決する変調回路、信号発生器、及び試験装置を提供することを目的とする。この目的は、請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの出力信号を出力する変調回路であって、入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、変調信号の振幅を調整し、出力信号として出力する出力振幅制御部と、出力信号の振幅のピーク値を検出し、ピーク値に基づいて、出力振幅制御部に変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、参照信号の振幅の実効値を検出し、実効値に基づいて、出力ピーク検波部が検出するピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部とを備える変調回路を提供する。
【０００７】
本発明の第２の形態においては、所定の振幅の出力信号を生成する信号発生回路であって、予め定められた信号パターンを有する入力信号を生成するパターン発生部と、入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの出力信号を出力する変調回路とを備え、変調回路は、入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、変調信号の振幅を調整し、出力信号として出力する出力振幅制御部と、出力信号の振幅のピーク値を検出し、ピーク値に基づいて、出力振幅制御部に変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、参照信号の振幅の実効値を検出し、実効値に基づいて、出力ピーク検波部が検出するピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部とを有する信号発生回路を提供する。
【０００８】
本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、予め定められた信号パターンを有する入力信号を生成するパターン発生部と、入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの試験信号を生成し、被試験デバイスに入力する変調回路と、被試験デバイスが出力する被試験信号に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備え、変調回路は、入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、変調信号の振幅を調整し、試験信号として出力する出力振幅制御部と、試験信号の振幅のピーク値を検出し、ピーク値に基づいて、出力振幅制御部に変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、参照信号の振幅の実効値を検出し、実効値に基づいて、出力ピーク検波部が検出するピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部とを有する試験装置を提供する。
【０００９】
本発明の第４の形態においては、入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する変調部と、変調信号の振幅を調整し、出力信号として出力する出力振幅制御部と、出力信号の振幅のピーク値を検出し、ピーク値に基づいて、出力振幅制御部に変調信号の振幅を調整させる出力ピーク検波部と、入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する参照信号生成部と、参照信号の振幅の実効値を検出し、実効値に基づいて、出力ピーク検波部が検出するピーク値における信号パターン依存成分を補償する補償部とを備える変調回路が形成された半導体チップを提供する。
【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
図１は、本発明の一つの実施形態に係る変調回路１００の構成の一例を示す図である。変調回路１００は、与えられる入力信号をディジタル変調して、所定の振幅レベルの出力信号を出力する回路であって、結合部１０、結合部１２、変調部１４、参照信号生成部２４、出力振幅制御部３４、増幅器３６、結合部３８、出力ピーク検波部４０、ピーク値比較部４２、及び補償部４４を備える。
【００１３】
変調部１４は、入力信号を受け取り、入力信号をディジタル変調した変調信号を出力する。例えば変調部１４は、入力信号としてＩ信号及びＱ信号を受け取り、入力信号を直交変調して出力する。本例における変調部１４は、ミキサ１６、ミキサ１８、加算部２０、及び位相シフト部２２を有する。
【００１４】
ミキサ１６は、Ｉ信号と、与えられるローカル信号とを乗算する。ローカル信号は、入力信号を変調すべき周波数に応じた周波数を有する周期信号である。また、ローカル信号は周波数が可変の周期信号である。位相シフト部２２は、ミキサ１６に与えられるローカル信号を分岐して受け取り、ローカル信号の位相を９０度シフトして出力する。ミキサ１８は、Ｑ信号と、位相シフト部２２が出力するローカル信号とを乗算する。加算部２０は、ミキサ１６が出力する信号と、ミキサ１８が出力する信号とを加算した変調信号を出力する。このような構成によって、変調信号を生成する。
【００１５】
出力振幅制御部３４は、変調部１４が出力する変調信号の振幅を調整し、出力信号として出力する。出力振幅制御部３４は、例えば与えられる制御信号に応じて減衰量が変化する回路であって、当該減衰量により変調信号の振幅を減衰して出力する。増幅器３６は、出力振幅制御部３４が出力する出力信号の振幅を、予め定められた増幅率で増幅して出力する。このような構成により、任意の振幅の出力信号を生成する。
【００１６】
出力ピーク検波部４０は、出力信号の振幅のピーク値を検出し、検出したピーク値に基づいて、出力振幅制御部に変調信号の振幅を調整させる。出力ピーク検波部４０は、出力信号の振幅のピーク値に応じた検波電圧を出力する。結合部３８は、外部に出力される出力信号を分岐して出力ピーク検波部４０に入力する。例えば結合部３８は、出力信号を外部に伝送する伝送線と、出力ピーク検波部４０に信号を入力する伝送線とを容量性結合させる回路であってよい。
【００１７】
ピーク値比較部４２は、出力ピーク検波部４０が出力する検波電圧と、与えられる参照電圧とを比較し、比較結果に応じて出力振幅制御部３４を制御する。例えばピーク値比較部４２は、出力ピーク検波部４０が出力する検波電圧が、参照電圧に一致するように、出力振幅制御部３４を制御する。このような構成により、出力信号の振幅のピーク値を所定の値に制御する。
【００１８】
しかし、出力ピーク検波部４０が出力する検波電圧は、変調パターン等により定まる出力信号の信号パターンに依存して変化する場合がある。例えば、出力ピーク検波部４０の構成として、入力信号に応じた電流を生成するトランジスタと、当該電流により充電されるコンデンサとを有し、当該コンデンサによりピーク電圧を保持して出力する構成が考えられる。しかし、当該コンデンサは、所定の時定数に応じて放電するので、出力信号のパルス間隔等のパターンに応じて、出力ピーク検波部４０の出力電圧が変化する。すなわち、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値は、出力信号の信号パターンに依存する。本例における補償部４４は、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値における、信号パターン依存成分を補償する。
【００１９】
参照信号生成部２４は、変調部１４に入力される入力信号を分岐して受け取り、当該入力信号を、予め定められた固定周波数で変調した参照信号を出力する。結合部１０及び結合部１２は、結合部３８と同様に、I信号及びＱ信号を分岐して、参照信号生成部２４に入力する。また、参照信号生成部２４は、変調部１４と略同一の構成を有する。本例において参照信号生成部２４は、ミキサ２６、ミキサ２８、加算部３０、及び位相シフト部３２を有する。ミキサ２６及びミキサ２８は、ミキサ１６及びミキサ１８と略同一の機能を有し、加算部３０は、加算部２０と略同一の機能を有し、位相シフト部３２は、位相シフト部２２と略同一の機能を有する。また、参照信号生成部２４が出力する参照信号の信号パターンと、変調部１４が出力する変調信号の信号パターンとは略同一である。
【００２０】
補償部４４は、参照信号の振幅の実効値を検出し、当該実効値に基づいて、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値における信号パターン依存成分を補償する。補償部４４は、参照振幅制御部４６、分配部４８、参照ピーク検波部５０、実効値検波部５６、ローパスフィルタ５４、実効値比較部５８、スイッチ５２、及び基準電圧出力部６０を有する。
【００２１】
参照振幅制御部４６は、出力振幅制御部３４と略同一の機能を有する。但し、参照振幅制御部４６は、参照信号の振幅を制御する。また、補償部４４は、参照振幅制御部４６が出力する参照信号の振幅を所定の増幅率で増幅する増幅器を更に有してもよい。このような構成により、参照信号の振幅を任意の振幅に制御する。
【００２２】
実効値検波部５６は、参照振幅制御部４６が出力する参照信号を、分配部４８を介して受け取る。実効値検波部５６は、受け取った参照信号の振幅の実効値を検出する。例えば実効値検波部５６は、参照信号を二乗した信号を生成し、当該信号のレベルの平均値に応じたレベルの信号を出力する。係る構成のように、実効値検波部５６は、参照信号の二乗平均を出力するので、参照信号の信号パターンに依存せずに実効値を検出することができる。
【００２３】
実効値比較部５８は、実効値検波部５６が検出した実効値と、所定の基準電圧とを比較し、当該比較結果に基づいて参照振幅制御部４６を制御する。即ち、実効値比較部５８は、実効値検波部５６が検出する実効値が、当該基準電圧と略一致するように、参照振幅制御部４６を制御する。ここで、基準電圧出力部６０は、変調回路１００が出力する出力信号が有するべき振幅レベルに応じたレベルの基準電圧を生成する。このような構成により、信号パターン依存成分を含まずに、所望の振幅レベルに制御した参照信号を生成することができる。尚、ローパスフィルタ５４は、実効値比較部５８が出力する制御信号のうち、所定の低周波成分を通過させる。ローパスフィルタ５４のカットオフ周波数は、参照振幅制御部４６、実効値検波部５６、及び実効値比較部５８のループが発振しないことを条件として定めてよい。
【００２４】
参照ピーク検波部５０は、分配部４８から参照信号を受け取り、ピーク値を検出する。参照ピーク検波部５０は、出力ピーク検波部４０と略同一の構成を有し、略同一の信号パターン依存特性を有することが好ましい。
【００２５】
上述したように、当該参照信号の振幅は、変調回路１００が出力する出力信号が有するべき所望の振幅レベルに制御されている。また、出力信号と参照信号の信号パターンは略同一であり、出力ピーク検波部４０と参照ピーク検波部５０の信号パターン依存特性も略同一である。このため、参照ピーク検波部５０は、出力信号が所望の振幅に制御された場合において、出力ピーク検波部４０が検出すべきピーク値と略同一の値を検出する。
【００２６】
ピーク値比較部４２は、出力ピーク検波部４０が検出したピーク値と、参照ピーク検波部５０が検出したピーク値との差分に基づいて、出力振幅制御部３４を制御する。例えば、出力ピーク検波部４０が検出したピーク値が、参照ピーク検波部５０が検出したピーク値と略一致するように、出力振幅制御部３４を制御する。このような構成により、参照ピーク検波部５０及びピーク値比較部４２を、参照信号の振幅のピーク値に基づいて、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値の信号パターン依存成分を補償する補償回路として機能させることができる。
【００２７】
このような構成により、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値における、信号パターン依存成分を補償することができる。このため、信号パターンによらず、出力信号の振幅を所望のレベルに制御して出力することができる。
【００２８】
また、出力ピーク検波部４０が検出する出力信号のピーク値は、出力信号の周波数によっても変動する場合がある。基準電圧出力部６０は、出力信号の周波数に応じて基準電圧を調整して出力してよい。例えば基準電圧出力部６０は、変調部１４に与えられるローカル信号の周波数に応じて基準電圧を調整してよい。この場合、基準電圧出力部６０は、ローカル信号の周波数と、それぞれの周波数に対して出力すべき基準電圧とを予め対応付けたテーブルを格納してよい。
【００２９】
また、実効値検波部５６は、動作帯域が狭い場合がある。しかし、本例における変調回路１００においては、参照信号を固定周波数信号で変調するので、実効値検波部５６の動作帯域が狭い場合であっても、参照信号の実効値を精度よく検出することができる。例えば固定周波数信号の周波数は数百ＭＨｚ程度であり、ローカル信号の周波数は数十ＭＨｚ〜数ＧＨｚ程度であってよい。
【００３０】
また、スイッチ５２は、ピーク値比較部４２に、参照ピーク検波部５０が出力する信号、又は基準電圧出力部６０が出力する信号のいずれを入力するかを選択する。例えばスイッチ５２は、一定の信号パターンを有する出力信号を生成する場合に、基準電圧出力部６０が出力する信号を選択してよい。この場合、基準電圧出力部６０は、当該信号パターンを有する信号の振幅のピーク値を、出力ピーク検波部４０が検波した場合に出力されるべきピーク値を出力する。
【００３１】
図２は、出力ピーク検波部４０及び実効値検波部５６における信号パターン依存を補償する方法の一例を示す図である。図２（ａ）は、出力ピーク検波部４０における信号パターン依存の一例を示し、図２（ｂ）は、実効値検波部５６における信号パターン依存の一例を示す。尚、図２において、横軸は、変調部１４又は参照信号生成部２４における変調パターンを示し、縦軸は、それぞれの検波部が検出する値を示す。
【００３２】
図２（ａ）に示すように、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値は、同一の振幅ピーク値を有する出力信号であっても、出力信号の信号パターン（変調パターン）によって異なる値を示す。これに対し、図２（ｂ）に示すように、実効値検波部５６が検出する実効値は、同一の振幅実効値を有する出力信号であれば、出力信号の信号パターンによらず一定の値を示す。
【００３３】
図１において説明したように、補償部４４は、実効値検波部５６が検出する実効値に基づいて振幅を所望の値に制御した参照信号を生成する。そして、当該参照信号を、出力ピーク検波部４０と略同一の特性を有する参照ピーク検波部５０を用いて検波することにより、図２（ａ）に示したような、出力ピーク検波部４０における信号パターン依存性を補償する参照値を生成することができる。
【００３４】
また、実効値検波部５６の動作帯域は、出力ピーク検波部４０の動作帯域より狭い場合がある。しかし、参照信号生成部２４は、固定周波数の参照信号を出力するので、補償部４４は、参照信号の振幅を精度よく制御することができる。
【００３５】
図３は、出力ピーク検波部４０における、出力信号の周波数依存を補償する方法の一例を説明する図である。図３（ａ）は、出力ピーク検波部４０における、出力信号の周波数依存の一例を示し、図３（ｂ）は、出力信号の周波数と、基準電圧出力部６０が出力する基準電圧との関係の一例を示す図である。
【００３６】
図３（ａ）に示すように、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値は、同一の振幅ピーク値を有する出力信号であっても、出力信号の周波数によって異なる値を示す。尚、図３における丸印等の記号は、図２におけるそれぞれの変調パターンに対応する。これに対し、図３（ｂ）に示すように、基準電圧出力部６０が、出力信号の周波数に応じて基準電圧を調整することにより、図３（ａ）に示したような周波数依存性を補償することができる。
【００３７】
基準電圧出力部６０は、例えば変調部１４に与えられるローカル信号の周波数についての情報が与えられ、当該情報に基づいて、基準電圧を調整してよい。例えば、基準電圧出力部６０は、ローカル信号の周波数と、出力すべき基準電圧とを対応付けたテーブルを参照して、基準電圧を生成してよい。また、出力信号の信号パターンにより、周波数依存特性が異なる場合には、基準電圧出力部６０は、図３（ｂ）に示すように出力信号の信号パターン毎に、上述したテーブルを有してよい。
【００３８】
また、変調部１４が固定周波数のローカル信号によりディジタル変調を行う場合、出力ピーク検波部４０に代えて実効値ピーク検波部５６を備え、ピーク値比較部４２に、基準電圧出力部６０が出力する基準電圧を入力する構成としてもよい。この場合、参照信号生成部２４、及び補償部４４を備えなくともよい。
【００３９】
図４は、本発明の他の実施形態に係る試験装置３００の構成の一例を示す図である。試験装置３００は、半導体回路等の被試験デバイス４００を試験する装置であって、信号発生回路２００及び判定部２４０を備える。
【００４０】
信号発生回路２００は、所定の振幅の試験信号を生成し、被試験デバイス４００に供給する。本例における信号発生回路２００は、パターン発生部２１０、タイミング発生部２２０、波形成形部２３０、及び変調回路１００を有する。
【００４１】
パターン発生部２１０は、所定の信号パターンを生成する。例えばパターン発生部２１０は、試験信号が有するべき論理値パターンを示す信号パターンを生成する。波形成形部２３０は、パターン発生部２１０から与えられる信号パターンを有する入力信号を生成する。例えば波形成形部２３０は、タイミング発生部２２０から与えられるタイミング信号の周期に応じて論理値が遷移する入力信号を生成する。変調回路１００は、波形成形部２３０が出力する入力信号をディジタル変調して生成した試験信号を、被試験デバイス４００に入力する。変調回路１００は、図１から図３において説明した変調回路１００と同一の機能及び構成を有する。
【００４２】
判定部２４０は、被試験デバイス４００が試験信号に応じて出力する出力信号に基づいて、被試験デバイス４００の良否を判定する。例えば判定部２４０は、出力信号の信号パターンと、与えられる期待値パターンとが一致するか否かにより、被試験デバイス４００の良否を判定してよい。本例における試験装置３００によれば、試験信号の振幅を精度よく制御することができるので、被試験デバイス４００を精度よく試験することができる。また、試験装置３００は、試験信号の振幅を順次変化して被試験デバイス４００に入力し、被試験デバイス４００が正常に動作できる試験信号の振幅範囲を検出してもよい。この場合も、試験信号の振幅を精度よく制御できるので、当該振幅範囲を精度よく検出することができる。
【００４３】
図５は、本発明の他の実施形態に係る受信装置５００の構成の一例を示す図である。本例における受信装置５００は、出力振幅制御部３４、結合部３８、ミキサ５０２、結合部５０４、信号処理部５０６、ピーク値比較部４２、出力ピーク検波部４０、及び補償部４４を備える。図５において、図１と同様の機能及び構成を有する構成要素は、図１と同一の符号を付する。信号処理部５０６は、例えば変調信号を復調する復調回路、変調信号のスペクトラムを測定するスペクトラムアナライザ等であってよい。
【００４４】
出力振幅制御部３４は、変調信号を受け取り、当該変調信号の振幅レベルを制御する。結合部３８は、出力振幅制御部３４が出力する出力信号を、出力ピーク検波部４０に分岐して入力する。出力ピーク検波部４０は、当該出力信号の振幅のピーク値を検出する。ピーク値比較部４２は、出力ピーク検波部４０が検出したピーク値と、補償部４４から与えられる参照値とを比較し、比較結果に基づいて出力振幅制御部３４を制御する。このような構成により、変調信号の振幅を所望の振幅に制御する。
【００４５】
結合部５０４は、出力振幅制御部３４が出力する出力信号を分岐して、ミキサ５０２に入力する。ミキサ５０２は、出力信号と、固定周波数のローカル信号とを乗算する。ミキサ５０２は、図１に関連して説明した参照信号生成部２４と同様の機能及び構成を有してよい。
【００４６】
補償部４４は、図１に関連して説明した参照信号生成部２４と同様の機能及び構成を有する。つまり、補償部４４は、出力ピーク検波部４０が検出するピーク値における、信号パターン依存成分及び周波数依存成分を補償した参照値を、ピーク値比較部４２に入力する。このような構成により、信号処理部５０６に、所定の振幅の変調信号を入力することができる。
【００４７】
また、図１に関連して説明した変調回路１００の各構成要素は、同一の半導体チップに形成されてよい。図５に関連して説明した受信装置５００の各構成要素は、同一の半導体チップに形成されてよい。
【００４８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一つの実施形態に係る変調回路１００の構成の一例を示す図である。
【図２】出力ピーク検波部４０及び実効値検波部５６における信号パターン依存を補償する方法の一例を示す図である。図２（ａ）は、出力ピーク検波部４０における信号パターン依存の一例を示し、図２（ｂ）は、実効値検波部５６における信号パターン依存の一例を示す。
【図３】出力ピーク検波部４０における、出力信号の周波数依存を補償する方法の一例を説明する図である。図３（ａ）は、出力ピーク検波部４０における、出力信号の周波数依存の一例を示し、図３（ｂ）は、出力信号の周波数と、基準電圧出力部６０が出力する基準電圧との関係の一例を示す。
【図４】本発明の他の実施形態に係る試験装置３００の構成の一例を示す図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る受信装置５００の構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０、１２、３８、５０４・・・結合部、１４・・・変調部、１６、１８、２６、２８、５０２・・・ミキサ、２０、３０・・・加算部、２２、３２・・・位相シフト部、２４・・・参照信号生成部、３４・・・出力振幅制御部、３６・・・増幅器、４０・・・出力ピーク検波部、４２・・・ピーク値比較部、４４・・・補償部、４６・・・参照振幅制御部、４８・・・分配部、５０・・・参照ピーク検波部、５２・・・スイッチ、５４・・・ローパスフィルタ、５６・・・実効値検波部、５８・・・実効値比較部、６０・・・基準電圧出力部、１００・・・変調回路、２００・・・信号発生回路、２１０・・・パターン発生部、２２０・・・タイミング発生部、２３０・・・波形成形部、２４０・・・判定部、３００・・・試験装置、４００・・・被試験デバイス、５００・・・受信装置、５０６・・・信号処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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