(57)【要約】【課題】形状の異なる複数の基板の検査に対して、即座にその基板の形状に対応することができる基板保持装置を提供する。【解決手段】この基板保持装置１は、基台部材２と、Ｘ方向に沿って互いに近接離反変位可能に備えられた第１及び第２の可動保持部材３，４と、Ｙ方向に沿って互いに近接離反変位可能に備えられた第３及び第４の可動保持部材５，６と、第１及び第３の可動保持部材３，５の位置を調節する第１及び第２の位置調節機構７，８と、第２及び第４の可動保持部材４，６を対向する第１及び第３の可動保持部材３，５側に付勢する第１及び第２の付勢機構９，１０と、第２及び第４の可動保持部材４，６を、第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力に抗して第１及び第３の可動保持部材３，５から離反する方向に駆動する第１及び第２の駆動機構１１，１２とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持装置であって、
基台部材と、
第１方向に沿って互いに近接離反変位可能に前記基台部材に備えられ、基板を挟み込む第１及び第２の可動保持部材と、
前記第１方向と交差する第２方向に沿って互いに近接離反変位可能に前記基台部材に備えられ、基板を挟み込む第３及び第４の可動保持部材と、
前記第１の可動保持部材の前記第１方向に沿った位置を調節する第１の位置調節機構と、
前記第３の可動保持部材の前記第２方向に沿った位置を調節する第２の位置調節機構と、
前記第２の可動保持部材を前記第１の可動保持部材側に付勢する第１の付勢手段と、
前記第４の可動保持部材を前記第３の可動保持部材側に付勢する第２の付勢手段と、
前記第２の可動保持部材を前記第１の付勢手段の付勢力に抗して前記第１の可動保持部材から離反する方向に駆動する第１の駆動機構と、
前記第４の可動保持部材を前記第２の付勢手段の付勢力に抗して前記第２の可動保持部材から離反する方向に駆動する第２の駆動機構と、を備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板保持装置において、
前記第１の駆動機構は、前記第２の可動保持部材を、与えられる第１の駆動力に基づき、前記第１の付勢手段の付勢力に抗して前記第１の可動保持部材から離反する方向に駆動し、
前記第２の駆動機構は、前記第４の可動保持部材を、与えられる第２の駆動力に基づき、前記第２の付勢手段の付勢力に抗して前記第２の可動保持部材から離反する方向に駆動し、
第１の位置調節機構は、前記第１の可動保持部材の前記第１方向に沿った位置を、与えられる第３の駆動力により前記第１の可動保持部材を駆動することによって調節し、
第２の位置調節機構は、前記第３の可動保持部材の前記第２方向に沿った位置を、与えられる第４の駆動力により前記第３の可動保持部材を駆動することによって調節することを特徴とする基板保持装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板保持装置において、
前記第１の位置調節機構は、
前記第１の可動保持部材に摺接し、前記第３の駆動力によって回転駆動されることにより前記第１の可動保持部材を前記第１方向に沿って駆動する第１のカム部材を備え、
前記第２の位置調節機構は、
前記第３の可動保持部材に摺接し、前記第４の駆動力によって回転駆動されることにより前記第３の可動保持部材を前記第２方向に沿って駆動する第２のカム部材を備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項４】
請求項１に記載の基板保持装置において、
前記第１の駆動機構は、前記第２の可動保持部材を、与えられる第１の駆動力に基づき、前記第１の付勢手段の付勢力に抗して前記第１の可動保持部材から離反する方向に駆動し、
前記第２の駆動機構は、前記第４の可動保持部材を、与えられる第２の駆動力に基づき、前記第２の付勢手段の付勢力に抗して前記第２の可動保持部材から離反する方向に駆動し、
第１の位置調節機構は、前記第１の可動保持部材の前記第１方向に沿った位置を、与えられる第１の操作力により前記第１の可動保持部材を駆動することによって調節し、
第２の位置調節機構は、前記第３の可動保持部材の前記第２方向に沿った位置を、与えられる第２の操作力により前記第３の可動保持部材を駆動することによって調節することを特徴とする基板保持装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板保持装置において、
前記第１の位置調節機構は、
前記第１の可動保持部材に摺接し、前記第１の操作力によって回転駆動されることにより前記第１の可動保持部材を前記第１方向に沿って駆動する第１のカム部材を備え、
前記第２の位置調節機構は、
前記第３の可動保持部材に摺接し、前記第２の操作力によって回転駆動されることにより前記第３の可動保持部材を前記第２方向に沿って駆動する第２のカム部材を備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板保持装置において、
前記第１のカム部材及び前記第２のカム部材に、そのカム部材の回転位置判別のための一又は複数の印が設けられていることを特徴とする基板保持装置。
【請求項７】
請求項３又は請求項５に記載の基板保持装置において、
前記第１のカム部材及び前記第２のカム部材は、ハートカムであることを特徴とする基板保持装置。
【請求項８】
請求項２ないし請求項７のいずれかに記載の基板保持装置において、
前記第１の駆動力及び前記第２の駆動力は、前記可動保持部材によって保持された基板と略直角な方向に沿って与えられ、
前記第１の駆動機構及び前記第２の駆動機構は、
前記第１の駆動力及び前記第２の駆動力の方向を、前記可動保持部材によって保持された基板と略直角な方向から、前記第１方向及び前記第２方向にそれぞれ変換するレバー機構をそれぞれ備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項９】
請求項２又は請求項３に記載の基板保持装置において、
前記第１及び第２の駆動機構に与えられる前記第１及び第２の駆動力と、前記第１及び第２の位置調整機構に与えられる前記第３及び第４の駆動力とが、前記基台部材の表面側又は裏面側のいずれか一方のみから与えられることを特徴とする基板保持装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９いずれかに記載の基板保持装置を複数備えた基板検査装置であって、該複数の基板保持装置が検査処理工程に沿って設定された無端状軌道に沿って略連続的に配置され、かつその無端状軌道に沿って搬送可能とされていることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査時等において基板を保持する基板保持装置及び基板検査装置に関する。
【０００２】
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板を保持する際に適用でき、この明細書では、それら種々の基板を総称して「基板」と称する。
【背景技術】
【０００３】
この種の従来の基板保持装置では、例えば特許文献１に記載のものがある。この基板保持装置では、基板の隣接する２辺に当接する固定式の３つの位置決めピンと、基板の隣接する他の２辺に押圧される可動式の２つの押圧部材とによって基板を保持している。
【特許文献１】特開２０００−３３８１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記特許文献１に記載の基板保持装置では、可動式の２つの押圧部材を独立して位置調節できないため、形状（縦横比等）の異なる基板に対応できないという問題がある。
【０００５】
また、検査対象となる基板は、上記の如き多種多様な種類を有しており、種類や大きさが相違する基板を連続的に検査する場合には、その都度基板の大きさや形状に沿って、位置決めピンを設定したり、新たな基板を保持する保持装置を準備したりする必要があり、煩雑な作業が増加するという問題点を有していた。
【０００６】
そこで、本発明の解決すべき課題は、形状の異なる複数の基板の検査に対して、即座にその基板の形状に対応することができる基板保持装置及び基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明では、基板を保持する基板保持装置であって、基台部材と、第１方向に沿って互いに近接離反変位可能に前記基台部材に備えられ、基板を挟み込む第１及び第２の可動保持部材と、前記第１方向と交差する第２方向に沿って互いに近接離反変位可能に前記基台部材に備えられ、基板を挟み込む第３及び第４の可動保持部材と、前記第１の可動保持部材の前記第１方向に沿った位置を調節する第１の位置調節機構と、前記第３の可動保持部材の前記第２方向に沿った位置を調節する第２の位置調節機構と、前記第２の可動保持部材を前記第１の可動保持部材側に付勢する第１の付勢手段と、前記第４の可動保持部材を前記第３の可動保持部材側に付勢する第２の付勢手段と、前記第２の可動保持部材を前記第１の付勢手段の付勢力に抗して前記第１の可動保持部材から離反する方向に駆動する第１の駆動機構と、前記第４の可動保持部材を前記第２の付勢手段の付勢力に抗して前記第２の可動保持部材から離反する方向に駆動する第２の駆動機構とを備える。
【０００８】
また、請求項２の発明では、請求項１の発明に係る基板保持装置において、前記第１の駆動機構は、前記第２の可動保持部材を、与えられる第１の駆動力に基づき、前記第１の付勢手段の付勢力に抗して前記第１の可動保持部材から離反する方向に駆動し、前記第２の駆動機構は、前記第４の可動保持部材を、与えられる第２の駆動力に基づき、前記第２の付勢手段の付勢力に抗して前記第２の可動保持部材から離反する方向に駆動し、第１の位置調節機構は、前記第１の可動保持部材の前記第１方向に沿った位置を、与えられる第３の駆動力により前記第１の可動保持部材を駆動することによって調節し、第２の位置調節機構は、前記第３の可動保持部材の前記第２方向に沿った位置を、与えられる第４の駆動力により前記第３の可動保持部材を駆動することによって調節する。
【０００９】
また、請求項３の発明では、請求項２の発明に係る基板保持装置において、前記第１の位置調節機構は、前記第１の可動保持部材に摺接し、前記第３の駆動力によって回転駆動されることにより前記第１の可動保持部材を前記第１方向に沿って駆動する第１のカム部材を備え、前記第２の位置調節機構は、前記第３の可動保持部材に摺接し、前記第４の駆動力によって回転駆動されることにより前記第３の可動保持部材を前記第２方向に沿って駆動する第２のカム部材を備える。
【００１０】
また、請求項４の発明では、請求項１の発明に係る基板保持装置において、前記第１の駆動機構は、前記第２の可動保持部材を、与えられる第１の駆動力に基づき、前記第１の付勢手段の付勢力に抗して前記第１の可動保持部材から離反する方向に駆動し、前記第２の駆動機構は、前記第４の可動保持部材を、与えられる第２の駆動力に基づき、前記第２の付勢手段の付勢力に抗して前記第２の可動保持部材から離反する方向に駆動し、第１の位置調節機構は、前記第１の可動保持部材の前記第１方向に沿った位置を、与えられる第１の操作力により前記第１の可動保持部材を駆動することによって調節し、第２の位置調節機構は、前記第３の可動保持部材の前記第２方向に沿った位置を、与えられる第２の操作力により前記第３の可動保持部材を駆動することによって調節する。
【００１１】
また、請求項５の発明では、請求項４の発明に係る基板保持装置において、前記第１の位置調節機構は、前記第１の可動保持部材に摺接し、前記第１の操作力によって回転駆動されることにより前記第１の可動保持部材を前記第１方向に沿って駆動する第１のカム部材を備え、前記第２の位置調節機構は、前記第３の可動保持部材に摺接し、前記第２の操作力によって回転駆動されることにより前記第３の可動保持部材を前記第２方向に沿って駆動する第２のカム部材を備える。
【００１２】
また、請求項６の発明では、請求項５の発明に係る基板保持装置において、前記第１のカム部材及び前記第２のカム部材に、そのカム部材の回転位置判別のための一又は複数の印が設けられている。
【００１３】
また、請求項７の発明では、請求項３又は請求項５の発明に係る基板保持装置において、前記第１のカム部材及び前記第２のカム部材は、ハートカムである。
【００１４】
また、請求項８の発明では、請求項２ないし請求項７のいずれかの発明に係る基板保持装置において、前記第１の駆動力及び前記第２の駆動力は、前記可動保持部材によって保持された基板と略直角な方向に沿って与えられ、前記第１の駆動機構及び前記第２の駆動機構は、前記第１の駆動力及び前記第２の駆動力の方向を、前記可動保持部材によって保持された基板と略直角な方向から、前記第１方向及び前記第２方向にそれぞれ変換するレバー機構をそれぞれ備える。
【００１５】
また、請求項９の発明では、請求項２又は請求項３の発明に係る基板保持装置において、前記第１及び第２の駆動機構に与えられる前記第１及び第２の駆動力と、前記第１及び第２の位置調整機構に与えられる前記第３及び第４の駆動力とが、前記基台部材の表面側又は裏面側のいずれか一方のみから与えられる。
【００１６】
また、請求項１０の発明では、請求項１ないし請求項９いずれかの発明に係る基板保持装置を複数備えた基板検査装置であって、該複数の基板保持装置が検査処理工程に沿って設定された無端状軌道に沿って略連続的に配置され、かつその無端状軌道に沿って搬送可能とされている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１ないし請求項１０に記載の発明によれば、出退可能に備えられた第１ないし第４の可動保持部材により基板を略四方から挟み込んで保持する構成であるため、第１ないし第４の可動保持部材の基板保持位置を調節することにより、サイズだけでなく、形状（円形、矩形等の違いや、矩形基板の場合は縦横比など）の異なる複数の基板の検査に対して、その基板のサイズ及び形状に即座に対応することができる。
【００１８】
また、第１ないし第４の可動保持部材の基板保持位置を調節することにより、基板のサイズや形状が変化しても、保持された基板の基準位置（中心等）を基台部材内の所望の位置にセットすることができる。
【００１９】
また、第１ないし第４の可動保持部材のうち、第１及び第３の可動保持部材の出退位置を、基板のサイズ又は形状に応じて第１及び第２の位置調節機構によって予め調節しておくことにより、基板を保持する際には、第１及び第２の駆動機構及び第１及び第２の付勢手段によって第２及び第４の可動保持部材を駆動するだけで基板の保持及び保持解除ができるため、基板の保持及び保持解除の動作（動き）が簡単であり、被検査基板を保持する位置精度の信頼性が高い。
【００２０】
請求項２及び請求項４に記載の発明によれば、基板を保持する際は、第１及び第２の駆動機構が第２及び第４の可動保持部材に与えていた駆動力を解除することにより、第１及び第２の付勢手段の付勢力により第２及び第４の可動保持部材が基板側に押圧移動され、基板に当接されるようになっている。すなわち、基板を保持する際の力が第１及び第２の付勢手段の付勢力により規定されるため、基板の保持に必要な力を安定的にかつ容易に得ることができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、第１及び第２の位置調節機構にカム部材を採用することにより、第３及び第４の駆動力の動力源に回転駆動系のモータ等の簡易な動力源を採用することができるとともに、第１及び第３の可動保持部材の出退位置を容易に且つ正確に調節できる。
【００２２】
また、特別なロック手段等を設けなくとも、カム部材及びその関連する機構部分の摩擦力等だけでも、基板保持時に第１及び第２の付勢手段の付勢力に抗して、第１及び第３の可動保持部材が所定の設定位置からずれるのを防止することができ、この点からも構成の簡略化が図れる。
【００２３】
請求項５に記載の発明によれば、第１及び第２の位置調節機構にカム部材を採用しているため、カム部材を回転操作することにより、第１及び第３の可動保持部材の出退位置を容易に且つ正確に調節できる。
【００２４】
また、特別なロック手段等を設けなくとも、カム部材及びその関連する機構部分の摩擦力等だけでも、基板保持時に第１及び第２の付勢手段の付勢力に抗して、第１及び第３の可動保持部材が所定の設定位置からずれるのを防止することができ、この点からも構成の簡略化が図れる。
【００２５】
請求項６に記載の発明によれば、第１及び第２のカム部材にその回転位置判別のための一又は複数の印が設けられているため、その印を参照しつつカム部材を回転操作することにより、カム部材の回転位置及び第１及び第３の可動保持部材の出退位置の調節を容易に行うことができる。
【００２６】
請求項７に記載の発明によれば、第１及び第２の位置調節機構にハートカムを採用するため、動力源に用いられるモータ等の駆動源の回転変位量と第１及び第３の可動保持部材の直線変位量とがリニアな関係になり、第１及び第３の可動保持部材の位置調節（位置制御）を容易に行うことができる。
【００２７】
請求項８に記載の発明によれば、第１及び第２の駆動機構に対して与える第１及び第２の駆動力を基板と略直角な方向から与える構成であるため、第１及び第２の駆動力を発生させる駆動源の設置面積を小さくすることができる。これは、例えば複数の基板保持装置を隣接させて配置する場合に省スペース化等の点で有利である。
【００２８】
また、第１及び第２の駆動機構にレバー機構を用いているため、レバー機構の駆動側のストロークを小さくして、第１及び第２の駆動力の駆動源の小型化が図れる。
【００２９】
請求項９に記載の発明によれば、基台部材の表面側又は裏面側のいずれか一方に第１ないし第４の駆動力の駆動源を配置することができるため、基台部材の表面側又は裏面側のいずれか他方において基板の検査や取り扱いのためのスペースを有効に確保できる。
【００３０】
請求項１０に記載の発明によれば、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の発明に係る複数の基板保持装置を検査処理工程に沿った無端状軌道に沿って搬送可能なように略連続的に配置する構成であるため、形状等の異なる複数の基板に対して即座に対応でき、かつ小型化に適した基板検査装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１は本発明の一実施形態に係る基板保持装置の平面図であり、図２はその側面図である。なお、両図には後述する各図との方向関係を明確にするため、ＸＹＺ直交座標軸を付与している。
【００３２】
尚、本発明の一実施形態に係る基板保持装置は、被検査基板１３が矩形（特に、長方形や正方形）に対応した場合を説明する。
【００３３】
この基板保持装置１は、図１及び図２に示すように、基台部材２と、第１ないし第４の可動保持部材３〜６と、第１及び第２の位置調節機構７,８と、第１及び第２の付勢手段
としての第１及び第２の付勢機構９,１０と、第１及び第２の駆動機構１１,１２とを備えている。このような基板保持装置１は、例えば、基板検査装置等に備えられ、基板１３に対する検査（例えば、回路の導通検査等）が行われる際に基板１３を保持するために用いられる。
【００３４】
基台部材２には、保持した基板１３への上下からのアクセスが容易なように窓部１４が設けられており、この窓部１４の空間内で基板１３が保持されるようになっている。基台部材２上における窓部１４の四方には、４組のレールＲ１〜Ｒ８と、そのレールＲ１〜Ｒ８にスライド可能に嵌合されたスライダＳ１〜Ｓ８とが設けられている。レールＲ１〜Ｒ
４はＸ方向と平行に配置され、レールＲ５〜Ｒ８はＹ方向と平行に配置されている。
【００３５】
第１及び第２の可動保持部材３,４は、スライダＳ１〜Ｓ４に固定され、第１方向とし
てのＸ方向に互いに近接離反変位可能になっており、Ｘ方向の両側から基板１３に当接して基板１３を挟み込む。第３及び第４の可動保持部材５,６は、スライダＳ５〜Ｓ８に固
定され、第２方向としてのＹ方向に互いに近接離反変位可能になっており、Ｙ方向の両側から基板１３に当接して基板１３を挟み込む。
【００３６】
各可動保持部材３〜６は、スライダＳ１〜Ｓ８に固定された台座２１〜２４と、その台座２１〜２４に取り付けられた当接部材２５〜２８とを備えている。当接部材２５〜２８は、その先端部が窓部１４の内方に突き出すようにして台座２１〜２４に取り付けられており、当接部材２５〜２８の先端部が基板１３の４辺に四方から当接して、基板１３を保持するようになっている。
【００３７】
各可動保持部材３〜６は、図１に示される如く、窓部１４を構成する各辺の略中央部に配置されていることが好ましい。このように各可動保持部材３〜６が各辺の略中央部に配置されることによって、被検査基板１３の大きさや形状に応じて可動保持部材３、５が調整されても、被検査基板１３の各対応する辺の略中央部を保持することができる。
【００３８】
このため、可動保持部材３〜６は、被検査基板の各辺の略中央部を保持することができ、被検査基板１３を窓部１４による空間の略中央位置で保持可能となり、安定性が高く且つ位置精度の高い保持が可能となる。
【００３９】
第１及び第２の位置調節機構７,８は、第１及び第３の可動保持部材３,５のＸ,Ｙ方向
に沿った位置を調節するためのものであり、カム部材２９,３０をそれぞれ備えている。
このカム部材２９,３０には、第１及び第３の可動保持部材３,５の台座２１,２３に設け
られたローラ２１ａ,２３ａがＸ方向マイナス側又はＹ方向プラス側からそれぞれ摺接さ
れている。そして、このカム部材２９,３０が図示しないモータ等の動力源から与えられ
る第３及び第４の駆動力としてのＺ軸回りの回転駆動力Ｆ１，Ｆ２によりＺ軸回りに回転駆動されると、その回転によるカム部材２９,３０のカム半径の増大に伴って、第１及び
第３の可動保持部材３,５がＸ方向マイナス側又はＹ方向プラス側に駆動されるようにな
っている。このため、第１及び第２の位置調整機構７，８は、第１及び第３の可動保持部材３，５の移動量を微細に制御することが可能となる。
【００４０】
また、第１及び第２の位置調節機構７，８には、第１及び第３の可動保持部材３，５をＸ方向プラス側又はＹ方向マイナス側に付勢する付勢バネ３１，３２が備えられている。このため、回転に伴ってカム部材２９,３０のカム半径が減少したときには、その減少に
伴って付勢バネ３１，３２の付勢力により、第１及び第３の可動保持部材３,５がＸ方向
プラス側又はＹ方向マイナス側に駆動されるようになっている。なお、本実施形態では、付勢バネ３１，３２として、台座２１,３０に設けられた係合部２１ｂ,２３ｂと基台部材２に設けられた係合部３３，３３との間に伸張された状態で張り渡されたコイルバネからなる引っ張りバネが用いられている。
【００４１】
第１の位置調節機構７のさらに詳細な構成例について、図３を参照して説明する。第１の位置調節機構７は、例えば図３に示すように、基台部材２に軸受部材３６を介して回転可能に取り付けられた回転軸３７と、回転軸３７の上端部に固定されたカム部材２９と、回転軸３７の下端部に固定され、動力源からの回転駆動力Ｆ１を受け取る回転板３８と、回転軸３７に外挿された外挿リング３９と、回転軸３７に外挿され、外挿リング３９と回転板３８との間に介挿されたベアリング４０と、回転軸３７に外挿され、基台部材３７と外挿リング３９との間に圧縮された状態で挿入された圧縮コイルバネ４１とを備えている
。軸受部材３６は、上方から留め具４２によって押さえ込まれて固定されており、留め具４２はネジ４３によって基台部材２に固定されている。この構成では、軸部材３７が基台部材２をＺ方向に貫通するように配置され、基台部材２の下面側に配置された回転板３８で受けた回転駆動力Ｆ１が、基台部材２の上面側に配置されたカム部材２９に伝えられるようになっている。なお、第２の位置調節機構８についても図３とほぼ同様な構成が採用されている。
【００４２】
このような第１及び第２の位置調節機構７，８の構成により、第１及び第３の可動保持部材３，５を駆動するための回転駆動力Ｆ１，Ｆ２を基台部材２の下面側から与えることができるようになっている。これによって、基板１３を保持する基台部材２の上面側に配置される構成要素を無くすことができ、基板１３の検査や取り扱いが容易に行えるようになっている。
【００４３】
第１及び第２の付勢機構９,１０は、第２及び第４の可動保持部材４,６をＸ方向プラス側又はＹ方向マイナス側に付勢する圧縮コイルバネ４６,４７と、その圧縮コイルバネ４
６,４７が外挿されたガイド棒４８,４９とをそれぞれ備えている。圧縮コイルバネ４６,
４７は、第２及び第４の可動保持部材４,６の台座２２,２４と、基台部材２に固定された受け部材５０,５１との間に圧縮された状態で備えられている。受け部材５０,５１には、圧縮コイルバネ４６,４７及びガイド棒４８,４９を収容する収容穴５０ａ,５１ａが設け
られている。
【００４４】
第１及び第２の駆動機構１１,１２は、図示しない動力源から与えられる第１及び第２の駆動力としての駆動力Ｆ３（図４参照）に基づき、第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力に抗して第２及び第４の可動保持部材４，６をＸ方向マイナス側又はＹ方向プラス側に駆動する。駆動力Ｆ３は、可動保持部材３〜６によって保持された基板１３と直角な方向であるＺ方向に沿って与えられるようになっている。なお、この駆動力Ｆ３は、第１及び第２の駆動機構１１，１２に同時に与えられるようにしてもよく、あるいは駆動機構１１,１２ごとに独立して設けられる駆動源により独立して与えられるようにしてもよい。
【００４５】
第１及び第２の駆動機構１１，１２には、駆動力Ｆ３の方向を、Ｚ方向からＸ方向又はＹ方向に変換する第１及び第２のレバー機構６１，６２がそれぞれ備えられている。レバー機構６１，６２の第２及び第４の可動保持部材４，６を駆動するレバー６３，６４は、基台部材２に設けられた貫通孔６５，６６を介して下面側から上面側に挿通され、その上端部が第２及び第４の可動保持部材４，６の当接部２２ａ，２４ａに当接可能に配置されている。これによって、レバー機構６１，６２を駆動するための駆動力Ｆ３が、基台部材２の下面側から与えられるようになっている。その結果、基板１３を保持する基台部材２の上面側に配置される構成要素を減らすことができ、基板１３の検査や取り扱いが容易に行えるようになっている。
【００４６】
第１のレバー機構６１のより具体的な構成例について、図４を参照して説明する。なお、ここでは第１のレバー機構６１についてのみ具体的な説明を行うこととするが、第２のレバー機構６２の構成及び動作は第１のレバー機構６１とほぼ同様である。
【００４７】
第１のレバー機構６１は、図４に示すように、取付具７１等を介して基台部材２に揺動可能に軸支され、第２の可動保持部材４を駆動するレバー６３と、取付具７１等を介してＺ方向にスライド可能に基台部材２に取り付けられ、駆動力Ｆ３によりスライド駆動されるのに伴ってレバー６３を揺動変位させるスライド部材７２とを備えている。
【００４８】
レバー６３は、側面から見て全体的に略Ｌ字方の形状を有し、その屈曲部６３ａから略直角に交差する方向に延びる２つの延設部６３ｂ，６３ｃを有している。下方に位置する
延設部６３ｂに軸支部６３ｄが設けられ、この軸支部６３ｄによってレバー６３が揺動可能に軸支されている。レバー６３が軸支部６３ｄの回りに揺動するのに伴って、上方に位置する延設部６３ｃが略Ｘ方向（第２のレバー機構６２の場合は略Ｙ方向）に沿って移動するようになっている。この延設部６３ｃにおける第２の可動保持部材４の当接部２２ａと対応する部分には、ローラ６３ｅが設けられている。
【００４９】
スライド部材７２には、レバー６３の屈曲部６３ａに設けられた受け部６３ｆと当接又は係合するローラ７２ａが設けられている。そして、駆動力Ｆ３によって、このスライド部材７２がＺ方向へ駆動されるのに伴って、レバー６３が揺動されるようになっている。
【００５０】
次に、第１及び第２の駆動機構１１，１２の動作を説明する。駆動力Ｆ３により、スライド部材７２が図４の実線で示される位置から仮想線で示される位置まで押し上げられると、それに伴ってレバー６３，６４が実線で示される位置から仮想線で示される位置まで揺動し、第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力に抗して第２及び第４の可動保持部材４，６をＸ方向マイナス側又はＹ方向プラス側に駆動するようになっている。そして、駆動力Ｆ３が解除されると、第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力により、第２及び第４の可動保持部材４，６がＸ方向プラス側又はＹ方向マイナス側に駆動され、これに伴ってレバー６３，６４及びスライド部材７２が駆動力Ｆ３による駆動方向と逆方向に駆動されるようになっている。
【００５１】
次に、この基板保持装置１の動作について説明する。まず、保持すべき基板１３のサイズ及び形状（縦横比等）に応じて、駆動源からの回転駆動力Ｆ１，Ｆ２によって第１及び第２の位置調節機構７，８のカム部材２９，３０が回転駆動され、カム部材２９，３０のカム半径が変動され、これに伴って第１及び第３の可動保持部材３，５のＸ方向又はＹ方向に沿った出退位置が調節される。この出退位置の調節は、例えば保持した基板１３が窓部１４の中央部に位置するようにして行われる。なお、この調節は、基板１３を保持する度ごとに毎回行うようにしてもよいし、装置の起動時や、基板１３の種類変更が行われた際等にのみ行うようにしてもよい。
【００５２】
続いて、駆動源から与えられる駆動力Ｆ３により第１及び第２の駆動機構１１，１２のレバー６３，６４が駆動され、これによって第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力に抗して第２及び第４の可動保持部材３，６がＸ方向マイナス側又はＹ方向プラス側に駆動され、第１及び第２の可動保持部材３，４間の間隔、及び第３及び第４の可動保持部材５，６間の間隔が拡大される。
【００５３】
続いて、図５に示すように、図示しない搬送手段等により基板１３が第１ないし第４の可動保持部材４〜６の間にセットされる。
【００５４】
続いて、駆動力Ｆ３が解除され、これに伴って第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力により、第２及び第４の可動保持部材４，６がＸ方向プラス側又はＹ方向マイナス側に駆動され、第１及び第２の可動保持部材３，４間の間隔、及び第３及び第４の可動保持部材５，６間の間隔が縮小され、図１に示すように第１ないし第４の可動保持部材３〜６によって基板１３が四方から挟み込まれて保持される。そして、その状態で基板１３に対する検査等が行われる。
【００５５】
検査後等に基板１３を開放する際には、第１及び第２の駆動機構１１，１２に駆動力Ｆ３が与えられ、第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力に抗して第２及び第４の可動保持部材３，６がＸ方向マイナス側又はＹ方向プラス側に駆動され、第１及び第２の可動保持部材３，４間の間隔、及び第３及び第４の可動保持部材５，６間の間隔が拡大される。
【００５６】
以上のように、本実施形態によれば、出退可能に備えられた第１ないし第４の可動保持部材３〜６により基板１３を四方から挟み込んで保持する構成であるため、第１ないし第４の可動保持部材３〜６の基板保持位置を調節することにより、サイズだけでなく、形状（円形、矩形等の違いや、矩形基板の場合は縦横比など）の異なる基板１３にも容易に対応することができる。例えば、図１に示す正方形の基板１３だけでなく、図６に示す長方形の基板１３であっても容易に対応することができる。
【００５７】
また、第１ないし第４の可動保持部材３〜６の基板保持位置を調節することにより、基板１３のサイズや形状が変化しても、保持された基板１３の基準位置（中心等）を基台部材２の窓部１４内の所望の位置（例えば、中央）にセットすることができる。
【００５８】
また、第１ないし第４の可動保持部材３〜６のうち、第１及び第３の可動保持部材３，５の出退位置を、基板１３のサイズ又は形状に応じて第１及び第２の位置調節機構７，８によって予め調節しておくことにより、基板１３を保持する際には、第１及び第２の駆動機構１１，１２及び第１及び第２の付勢機構９，１０によって第２及び第４の可動保持部材４，６を駆動するだけで基板１３の保持及び保持解除ができるため、基板１３の保持及び保持解除の動作（動き）が簡単であり、基板が保持された際の位置精度の信頼性が高い。
【００５９】
また、基板１３を保持する際は、第１及び第２の駆動機構１１，１２が第２及び第４の可動保持部材４，６に与えていた駆動力を解除することにより、第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力により第２及び第４の可動保持部材４，６が基板１３側に押圧移動され、基板１３に当接されるようになっている。すなわち、基板１３を保持する際の力が第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力により規定されるため、基板１３の保持に必要な力を安定的にかつ容易に得ることができる。
【００６０】
また、第１及び第２の位置調節機構７，８にカム部材２９，３０を採用することにより、駆動力Ｆ１，Ｆ２の動力源に回転駆動系のモータ等の簡易な動力源を採用することができるとともに、第１及び第３の可動保持部材３，５の出退位置を容易に且つ正確に調節できる。
【００６１】
また、特別なロック手段等を設けなくとも、カム部材２９，３０及びその関連する機構部分の摩擦力等だけでも、基板保持時に第１及び第２の付勢機構９，１０の付勢力に抗して、第１及び第３の可動保持部材３，５が所定の設定位置からずれるのを防止することができ、この点からも構成の簡略化が図れる。
【００６２】
また、第１及び第２の駆動機構１１，１２に対して与える駆動力Ｆ３を基板１３と直角な方向から与える構成であるため、駆動力Ｆ３を発生させる図示しない駆動源の設置面積を小さくすることができる。これは、例えば後述する図８に示すように、複数の基板保持装置１を隣接させて配置する場合に省スペース化等の点で有利である。
【００６３】
また、第１及び第２の駆動機構１１，１２にレバー機構６１，６２を用いているため、レバー機構６１，６２の駆動側のストロークを小さくして、駆動力Ｆ３の駆動源の小型化が図れる。  また、基台部材２の裏面側に集中して駆動力Ｆ１〜Ｆ３の駆動源を配置する構成であるため、基台部材２の表面側において基板１３の検査や取り扱いのためのスペースを有効に確保できる。これによって、例えば後述する図８に示すように円形配置した複数の基板保持装置１を円形軌道に沿って移動させる際、基台部材２の表面側に配置された基板検査のための処理設備に基板保持装置１が干渉する
のを防止でき、空間利用効率が向上し、基板検査装置等の小型化が図れる。なお、変形例として、駆動力Ｆ１〜Ｆ３を基台部材２の表面側から与えるようにしてもよい。
【００６４】
なお、本実施形態に係る構成の変形例として、図７に示すように、第１及び第２の位置調節機構７，８のカム部材２９，３０にハートカムを用いるようにしてもよい。これによって、駆動力Ｆ１，Ｆ２の動力源に用いられるモータ等の駆動源の回転変位量と第１及び第３の可動保持部材３，５の直線変位量とがリニアな関係になり、第１及び第３の可動保持部材３，５の位置調節（位置制御）を容易に行うことができる。なお、本明細書において「ハートカム」とは、カム面の全体がハート型になっていなくても、等速回転運動を等速直線運動に変換するためのカム曲線をカム面の少なくとも一部に有しているカムをすべて含むものである。
【００６５】
また、本実施形態では第１及び第２の可動保持部材３，４の出退方向と、第３及び第４の出退方向とが直交するようにしたが、これらの出退方向が斜めに公差するようにしてもよい。
【００６６】
本実施形態に係る構成の他の変形例として、図８に示すように、第１及び第２の位置調節機構７，８に備えられるカム部材２９，３０を、手動による操作力で回転駆動するようにしてもよい。本構成においても、カム部材２９,３０はハートカムとなっており、カム部材２９,３０に固定されたつまみ部９１を持ってカム部材２９,３０を回転させることにより、第１及び第３の可動保持部材３，５の出退位置が調節されるようになっている。
【００６７】
また、カム部材２９,３０には、そのカム部材２９,３０の回転位置判別のための一又は複数の印９２,９３が設けられている。印９２はカム部材２９,３０の周方向に等間隔に付与されたメモリであり、印９３はそのメモリに関連して付与された数値表示である。このため、こららの印９２,９３を参照しつつカム部材２９,３０を回転操作することにより、カム部材２９,３０の回転位置及び第１及び第３の可動保持部材３,５の出退位置の調節を容易に行うことができる。
【００６８】
図９は、本発明の基板保持装置を利用した基板検査装置の一実施形態を示す平面図である。この基板検査装置８１では、複数の基板保持装置１が基板処理工程に沿って設定された円形軌道（無端状軌道）に沿って周方向に略一定の間隔をあけて略連続的に配置されており、段階的に行われる検査処理工程の進行に伴って円形軌道に沿って図示しない搬送機構により矢印Ｃで示すように搬送されるようになっている。この図９で示される基板検査装置８１では、８つの基板保持装置１が配置されている。基板保持装置１は、上記の説明
の如く、各可動保持部材３〜６を駆動するための駆動力Ｆ１〜Ｆ３を与える駆動源が基台部材２の下面側（図示せず）に配置されることになるので、基台部材２の上面側の空間には、検査治具や検査ユニット等の他の処理機構を備えた装置を配置することができるとともに、それらの検査治具や処理機構等が基板保持装置１の搬送の障害にならないようになっている。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板保持装置の平面図である。
【図２】図１の基板保持装置の側面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図５】基板を保持する際の動作説明図である。
【図６】基板を保持する際の動作説明図である。
【図７】図１の基板保持装置の変形例を示す図である。
【図８】図１の基板保持装置の他の変形例を示す図である。
【図９】本発明の基板保持装置を利用した基板検査装置の一実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  基板保持装置、２  基台部材、３〜６  第１ないし第４の可動保持部材、７，８  第１及び第２の位置調節機構、９，１０  第１及び第２の付勢機構、１１，１２  第１及び第２の駆動機構、１３  基板、２９，３０  カム部材、６１，６２  レバー機構、８１
基板検査装置、９２,９３  印、Ｆ１〜Ｆ３  駆動力。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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