(57)【要約】【課題】シール印刷時において被印刷物の表面にスクリーン版のメッシュ状シートによるダメージを残さずシール剤の塗布量も安定させることができるスクリーン版を得る。【解決手段】この発明に係る基板処理装置は、メッシュ状シート２と、該メッシュ状シート２の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部３を有する第一の乳剤層４と、該第一の乳剤層４の前記メッシュ状シート２と反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層４よりも硬度の低い第二の乳剤層５とよりなるものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュ状シートと、該メッシュ状シートの片面を覆うように形成され所定のパターン開口部を有する第一の乳剤層と、該第一の乳剤層の前記メッシュ状シートと反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層よりも硬度の低い第二の乳剤層とよりなるシール印刷用スクリーン版。
【請求項２】
第一の乳剤層と第二の乳剤層は異なる露光条件或いは加熱条件により硬化されたことを特徴とする請求項１に記載のシール印刷用スクリーン版。
【請求項３】
第一の乳剤層はメッシュ状スクリーン版と一体となる様に形成されることを特徴とする請求項１或いは請求項２の何れかに記載のシール印刷用スクリーン版。
【請求項４】
パターン開口部の端面は第二の乳剤層により覆われていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れかに記載のシール印刷用スクリーン版。
【請求項５】
第一の乳剤層は第二の乳剤層と比較して遮光性の高い材料よりなることを特徴とする請求項４に記載のシール印刷用スクリーン版。
【請求項６】
メッシュ状シートと、該メッシュ状シートの片面を覆うように形成され所定のパターン開口部を有する第一の乳剤層と、該第一の乳剤層の前記メッシュ状シートと反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層よりも硬度の低い第二の乳剤層とよりなるスクリーン版を、前記第二の乳剤層が前記基板の主面と対向する様に配置し、
前記スクリーン版上のシール剤を移動すると共に、前記第二の乳剤層を前記基板の主面に密着させる様にスキージを走査することにより前記スクリーン版上のシール剤を前記スクリーン版に設けられた前記パターン開口部を介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布することによりシールを印刷することを特徴とするシール印刷方法。
【請求項７】
第一の乳剤層はメッシュ状スクリーン版と一体となる様に形成されることを特徴とする請求項６に記載のシール印刷方法。
【請求項８】
パターン開口部の端面は第二の乳剤層により覆われていることを特徴とする請求項６或いは請求項７の何れかに記載のシール印刷方法。
【請求項９】
請求項１〜請求項５のいずれかに記載のスクリーン版を用いて製造された液晶パネル。
【請求項１０】
請求項６〜請求項８のいずれかに記載のシール印刷方法を用い製造された液晶パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶パネルを製造する際のシールパターンを形成するシール印刷方法及び使用するスクリーン版に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的な液晶パネルの製造プロセスにおけるパネル組み立ての工程は、主にガラス基板を元に作成された液晶を駆動するスイッチング素子を載せたスイッチング素子基板とカラーフィルタの役割であるカラーフィルタ基板について、其々の基板表面に配向膜を塗布し、ラビング処理する工程と、シールパターンを介して間隔をあけて貼り合わせる工程と、所定のパネルサイズに切断する工程と、その間隔内に液晶を注入する工程からなっている。
【０００３】
基板を貼り合せる為には、スイッチング素子基板或いはカラーフィルタ基板上に、パネルの表示部分を囲むような形状にシールパターンを形成する。方法としては、スクリーン版に形成されたシールパターンの開口部からシール剤を押し出すスクリーン印刷方式とノズル走査によってパターンを描くシールディスペンス方式の二つが一般的である。両者のうちスクリーン印刷方式は基板あたりのパネル数が多い場合においても生産性に優れるなどの点から広く採用されている。
【０００４】
この様なスクリーン印刷方式を用いたシールパターン形成工程においては、通常、ＳＵＳ製のメッシュ状シートに感光性乳剤層を塗布し露光によりシールパターンの開口部を形成したスクリーン版が用いられる。この乳剤層の役割はパターンを形成する役割の他に印刷時のメッシュ状シートの凹凸による圧力を分散させる役割や被印刷物に密着しシール剤の塗布を安定させる役割がある。
【０００５】
しかし、近年、液晶パネルへの要求は高精細化、狭額縁化へと高度化している。狭額縁化の為、シール剤の塗布を安定させようと乳剤層を柔軟にすると、スキージの圧力を分散させる事が出来ず基板表面の配向膜はメッシュ状シートの凹凸によるダメージを受け易くなる。特に高精細の液晶パネルにおいては、この配向膜のダメージは表示ムラとして視認され易い。また、逆にスキージの圧力を分散させようと乳剤層を厚くしたり硬くしたりすると、シール剤の塗布量が不安定になる。結果としてシールパターン幅がバラツクことから狭額縁化に対応できなくなる。以上の様に、従来から通常用いられる乳剤層よりなるスクリーン版では、液晶パネル高精細化、狭額縁化などの要求に十分に対応することはできなかった。
【０００６】
この様な従来の乳剤層を用いたスクリーン版で起こる問題を解決すべく、特許文献１においては複数の材料により構成されるスクリーン版として、メッシュ状シートに金属の薄膜をパターンニングし貼り合わせ、更に表面にシリコーン樹脂を積層したスクリーン版が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３１５６４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記説明の様な特許文献１のスクリーン版においては、乳剤層に比べ膜厚のバラツキが大きいためシール剤の塗布量が不安定になる点や収縮可能なメッシュ状シートと伸びの少ない硬い金属の薄膜との密着性が悪く剥がれ易い点などの問題点がある。
【０００９】
本発明は上記の様な課題を解決するためになされたものであり、高精細狭額縁の高品位な液晶パネルの安定した製造を可能にするスクリーン版を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のスクリーン版においては、メッシュ状シートと、該メッシュ状シートの片面を覆うように形成され所定のパターン開口部を有する第一の乳剤層と、該第一の乳剤層の前記メッシュ状シートと反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層よりも硬度の低い第二の乳剤層とよりなるものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明はシール印刷時において被印刷物の表面にスクリーン版のメッシュ状シートによるダメージを残さずシール剤の塗布量も安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
実施の形態１．
本実施の形態１におけるスクリーン版について図１を用いて説明する。ここで、図１（ａ）はスクリーン版全体を示した斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）において示されたＡの部分での断面図である。なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、その他の図においても同様とする。
【００１３】
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す様に、本実施の形態１のスクリーン版１００は、アルミなどの金属からなるフレーム１内に張られた金属により構成されたメッシュ状シート２と、メッシュ状シート２の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部３が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層４と、乳剤層４のメッシュ状シート２と反対側の表面に形成された感光性樹脂よりなる第二の乳剤層である乳剤層５より構成されている。また、乳剤層５は乳剤層４と比較して硬度の低い、即ち柔らかい乳剤層を用いている。ここで言う硬度の低いとは、弾性率が低い、即ち単位面積あたりに加わる力に対し変形し易いことを示している。
【００１４】
更に、図１（ｂ）のパターン開口部３ａ近傍（図１（ａ）中のＡの部分）の断面図から判る様に、乳剤層４に設けられたパターン開口部３の端面は、乳剤層５により覆われ、パターン開口部３ａを形成している。従って、本実施の形態１におけるスクリーン版１００の実際のパターン開口幅はパターン開口部３ａにより決定される。また、乳剤層４はメッシュ状シート２と一体となる様に形成されている。ここで言うメッシュ状シート２と乳剤層４が一体となる様とは、乳剤層４が少なくともメッシュ状シート２の網目内にまで入りこみ一体化された状態を言う。
【００１５】
続いて、本実施の形態１におけるスクリーン版１００の製造方法について図２〜図５を用いて説明する。アルミなどの金属からなるフレーム１（図２（ａ）の全体を示す斜視図参照）に所定の張力が付与されたメッシュ状シート２が、接着剤を用いてフレームの一面に接着される（図２（ｂ）の全体を示す斜視図参照）。続いて、メッシュ状シート２のフレーム１との接着面と反対側の面に、例えばＵＶ硬化型樹脂を塗布し乾燥処理を行う工程を繰り返し行うことにより、所定の厚さの乳剤層４が設けられる（図３（ａ）の全体を示す斜視図参照）。順次塗布を繰り返すことにより、メッシュ状シート２の網目内にまで乳剤層４が入りこみメッシュ状シート２と乳剤層４が一体となる様に形成される（図３（ｂ）の全体を示す斜視図参照）。
【００１６】
上記の塗布工程に続いて、図４（ａ）に示す様に、遮光マスク６を用いた選択的な露光によって乳剤層４を硬化する。その後、現像処理を行い未硬化部分が除去されることにより乳剤層４にパターン開口部３が形成される（図４（ｂ）参照）。更に図５（ａ）に示す様に、乳剤層４上を覆うように乳剤層４と同様のＵＶ硬化型樹脂を繰り返し塗布することにより所定の厚さの乳剤層５が設けられる。続いて、図５（ｂ）に示す様に、乳剤層４を硬化した条件よりも露光量を下げ、遮光マスク６ａを用いた選択的な露光により乳剤層５を硬化する。その後、現像処理により未硬化部分を除去することにより乳剤層５にパターン開口部３ａが形成される（図５（ｃ）参照）。この様にして、乳剤層５が乳剤層４と比較して柔らかいスクリーン版が製造される。
【００１７】
次に、本実施の形態１におけるスクリーン版１００を液晶パネルのシール塗布工程に用いたシール印刷方法について説明する。図６に示す様にスクリーン版１００の下部にはシール印刷装置のステージ７に保持された被印刷物である処理基板８が配置され、この処理基板８の主面に有機樹脂等のペーストからなるシール剤９を印刷塗布する。シール剤９はスキージ１０がスクリーン版１００上を走査することによりパターン開口部３ａを介して処理基板８上に塗布される。印刷は、スクリーン版１００のメッシュ状シート２を上面として行い、乳剤層５が処理基板８の主面である表面に対向して行われる。また、実際のスキージ１０の走査前にはスクリーン版１００或いはステージ７が下降或いは上昇動作し、スクリーン版１００の表面とステージ７が近接した状態でスキージ１０の走査が開始される。
【００１８】
続いて、図７の印刷状態を示すパターン開口部３ａ近傍での断面図を用い、スクリーン版１００上のシール剤９がパターン開口部３ａを介して処理基板８の主面に所定のパターン形状に塗布される様子について説明する。図７（ａ）はスキージ１０が走査中のパターン開口部３ａ近傍での断面図である。この様に、スキージ１０の走査部分においては、スクリーン版１００は、スキージ１０により処理基板８側に近接され、処理基板８表面に乳剤層５が密着させる様にスキージ１０は走査される。その結果、スクリーン版１００に設けられたパターン開口部３ａ内に、シール剤９は充填される。その後、図７（ｂ）のスキージ１０が通り過ぎた後の状態を示す断面図に示す様に、スクリーン版１００は矢印に示す方向へ剥がれシール剤９が処理基板８上に転写される。
【００１９】
続いて、本実施の形態１におけるスクリーン版１００及びシール印刷方法を液晶パネルのシールパターンを形成するシール塗布工程に用いた場合の作用について説明する。図６及び図７において説明した様に印刷が行われた場合において、メッシュ状シート２と処理基板８の間には比較的硬い乳剤層４を介して印刷が行われる。この為、スキージ１０によってスクリーン版が処理基板８の表面に押し付けられた際におけるメッシュ状シート２の凹凸、特に網の交点による圧力が比較的硬い乳剤層４により分散され均一化される。また、圧力を分散させる効果の点から、メッシュ状シート２と乳剤層４とは図１にも示した様に一体となる様に形成されていることが望ましい。また、比較的硬い乳剤層４は柔軟性が少なくメッシュ状シート２から剥離し易いことから、版の耐久性向上の観点においてもメッシュ状シート２と乳剤層４が一体となる様に形成されていることが望ましい。
【００２０】
また、液晶パネルに使われる処理基板８の表面には、配向膜が形成されており（図示せず）、配向膜表面にはラビング処理により細かい筋が入っている。液晶パネルにおいては、この配向膜表面の細かい筋により液晶の配向が制御され、この筋の形状が僅かでも変わると液晶の配向も乱れ表示ムラとして視認される様になる。本実施の形態１では、メッシュ状シート２の網の交点による圧力が分散されることから配向膜表面、特にラビング処理による筋へのダメージを与えずにシールパターンを形成することが可能となる。その結果として、表示ムラの無い表示品位の高い液晶パネルを得ることができる。
【００２１】
また、処理基板８に接するスクリーン版１００の表面には比較的柔らかい材料からなる乳剤層５が塗布されていることから、処理基板８の表面の凹凸にも馴染み、不要な隙間を生ずることなく密着した状態で印刷処理が行われる。この為、シール剤９のニジミ等が発生せず安定した塗布量で印刷を行うことができる。更に、乳剤層４に設けられたパターン開口部３の端面は乳剤層５により覆われることから、パターン開口部３内のシール剤９の抜けが良く、パターン開口部３付近での処理基板８の表面との密着性も向上し、更に塗布量を安定させることができる。
【００２２】
以上説明した実施の形態１においては、メッシュ状シート２と、メッシュ状シート２の片面を覆うように塗布形成された乳剤層４と、乳剤層４のメッシュ状シート２と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層４と比較し柔らかい乳剤層５により構成されたスクリーン版１００を液晶パネルの製造方法として用いることにより、表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することができる有用なスクリーン版を得ることが可能である。
【００２３】
本実施の形態１においては、乳剤層５を乳剤層４よりも柔らかくする方法として、乳剤層４に対する露光量を乳剤層５に対する露光量よりも相対的に強く設定する方法を用いた。しかし、乳剤層５の塗布前に乳剤層４を更に硬化させる加熱ベークなどを適宜追加しても良いし、選定する樹脂材料を乳剤層４と乳剤層５で異なるものを選定しても構わない。また、ここでは、乳剤層としてＵＶ硬化樹脂を選定した為、ポジ型の感光樹脂であったが、ネガ型の感光樹脂を用いても構わない。その場合には、本実施の形態１で説明した遮光マスク６から遮光部と透過部を反転したネガ型に対応したものを用いることになる。
【００２４】
実施の形態２．
実施の形態２では、上記説明した実施の形態１より、特に乳剤層５の膜厚について乳剤層４の膜厚に比べて薄くした変形例について説明する。
【００２５】
先ず、本実施の形態２におけるスクリーン版の構成について図８の断面図を用いて説明する。図８は、実施の形態１における図１（ｂ）のパターン開口部３近傍の断面図に対応する。本実施の形態２では、図８にも示される様に、メッシュ状シート２の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部３が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層４ａと乳剤層４ａのメッシュ状シート２と反対側の表面に形成された感光性樹脂よりなる第二の乳剤層である乳剤層５ａより構成されている。特に、本実施の形態２においては、乳剤層５ａの膜厚について乳剤層４ａの膜厚に比べて薄くなる様に形成されている点、乳剤層４ａは乳剤層５ａと比較して遮光性の高い材料より形成されている点、及び乳剤層５ａがネガ型の感光樹脂を用いた点が実施の形態１と異なっている。この変更以外の構成については、乳剤層５ａは乳剤層４ａと比較して柔らかい乳剤層を用いている点や、乳剤層４ａに設けられたパターン開口部３の端面が乳剤層５ａにより覆われている点、及びメッシュ状シート２の網目内にまで乳剤層４ｂが入りこみメッシュ状シート２と乳剤層４ｂが一体となる様に形成されている点など実施の形態１と同様である為、詳細な説明は省略する。
【００２６】
続いて、本実施の形態２におけるスクリーン版の製造方法について図９を用いて説明する。図９（ａ）は実施の形態１における製造方法の説明図である図５（ａ）に対応する。ここまでの製造工程については、実施の形態１の図３、図４において、乳剤層４を乳剤層５ａと比較して遮光性の高い材料により形成された乳剤層４ａと変更した点以外は同様であるので詳細な説明を省略する。図３、図４と同様に形成された乳剤層４ａ上を覆うようにネガ型の感光性樹脂を繰り返し塗布し、図９（ａ）に示す様に、乳剤層４ａの膜厚に比べて薄くなる様に乳剤層５ａを形成する。また、乳剤層５ａを構成するネガ型の感光性樹脂は硬化した際において乳剤層４ａよりも柔らかくなる材料を選定している。
【００２７】
次に、図９（ｂ）に示す様に、本実施の形態２においては、実施の形態１とは反対にメッシュ状シート２側より露光を行う。その際には、遮光マスクを用いずに光を散乱させる散乱板ＤＩＦを介して散乱光として照射することにより露光を行う。本実施の形態２においては、乳剤層４ａが乳剤層５ａと比較して遮光性の高い材料より形成されていることから、乳剤層４ａの陰になる部分の乳剤層５ａについては遮光され殆ど露光されない。従って、乳剤層４ａに形成されたパターン開口部３の下の領域における乳剤層５ａが重点的に露光される。また、散乱光を用いていることから、パターン開口部３の端面付近に形成された乳剤層５ａにおいても、光の散乱成分については乳剤層４ａの陰になりパターン開口部３の中央部に比べて露光されにくい。
【００２８】
最後に、乳剤層５ａの現像処理を行うが、本実施の形態２の乳剤層５ａはネガ型の感光性樹脂を用いていることから露光部が除去される。従って重点的に露光されたパターン開口部３における乳剤層５ａが主に除去され、図８に示す様に乳剤層５にパターン開口部３ａが形成される。また、パターン開口部３の端面についても、露光されずに残存した乳剤層５ａにより覆われている。
【００２９】
以上説明した実施の形態２においても、実施の形態１と同様にメッシュ状シート２と、メッシュ状シート２の片面を覆うように塗布形成された乳剤層４ａと、乳剤層４ａのメッシュ状シート２と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層４ａと比較し柔らかい乳剤層５ａにより構成されたスクリーン版であることから、図６において説明した液晶パネルの製造方法として用いることにより、表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することが可能である。また、乳剤層４ａに設けられたパターン開口部３の端面は乳剤層５により覆われることから、パターン開口部３ａ内のシール剤９の抜けが良く、パターン開口部３付近での処理基板８の表面との密着性も向上することから塗布量を安定させる効果を向上することができる。更に、メッシュ状シート２と乳剤層４ａが一体となる様に形成されていることから版の耐久性も良好である。
【００３０】
また、本実施の形態２においては、遮光マスクが必要ないこと、パターン開口部３をマスクとして自己整合的にパターン開口部３ａの位置や幅が決まること、及び位置併せも不要なこと等から、使用する露光装置においてステッパーなどのアライメント機能付きの高価な装置を用いる必要がなくＵＶ照射装置などの簡易な装置を用いることができる。また、パターン開口部３ａが自己整合的に決まることから開口幅精度も向上可能である。
【００３１】
続いて、実施の形態２におけるスクリーン版の変形例について図１０の断面図を用いて説明する。図１０（ａ）は実施の形態２におけるスクリーン版の製造方法の説明図である図９（ａ）に対応する。この変形例においては、図１０（ａ）に示す様に、メッシュ状シート２の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部３が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層４ｂに対して、乳剤層４ｂ上を覆うようにネガ型の感光性樹脂をごく薄く塗布し、乳剤層５ｂを形成する。また、乳剤層５ｂを構成するネガ型の感光性樹脂については、実施の形態２と同様に硬化した際において乳剤層４ｂよりも柔らかくなる材料を選定しており、塗布膜厚は、印刷する場合における処理基板の表面の凹凸に馴染む程度の最低限の膜厚を設定した。
【００３２】
続いて、図１０（ｂ）に示す様に、この変形例においては、実施の形態２と同様にメッシュ状シート２側より露光を行う。その際には、実施の形態１で用いた遮光マスクや実施の形態２で用いた散乱板ＤＩＦを用いずに通常の平行光による露光を行う。また露光はパターン開口部３に形成されたごく薄い乳剤層５ｂが露光でき除去できれば良いことから、ごく弱い露光量となる条件で行った。
【００３３】
最後に、乳剤層５ａの現像処理を行うことにより、図１０（ｃ）に示す様に乳剤層５ｂにパターン開口部３ａが形成される。この変形例においては、特に乳剤層４ａに遮光性の高い材料などを用いなかったが、この様にごく弱い露光量となる条件であることから、乳剤層４ａの陰になる部分の乳剤層５ｂまで露光されることはなく、パターン開口部３の端面付近に形成された乳剤層５ｂにおいても、殆ど露光されることは無い。従ってパターン開口部３における乳剤層５ａが主に除去され、図１０（ｃ）に示す様に乳剤層５にパターン開口部３ａが形成される。また、パターン開口部３の端面についても残存した乳剤層５ａにより覆われている。以上説明した変形例についても、実施の形態２と同様の効果を得ることができる。
【００３４】
また、この変形例において、乳剤層５ｂの塗布厚を更に薄くし、メッシュ状シート２の網目内に入り込まない程度と変更することによって、露光現像処理についても省略することが可能である。この様な場合には、乳剤層５ｂについて特に感光性樹脂である必要がなく様々な種類の柔らかく印刷性の良い材料から選定することが可能である。この変形例についても、実施の形態２と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
実施の形態３．
上記説明した実施の形態１、実施の形態２、及びそれら変形例においては、比較的硬い乳剤層に設けられたパターン開口部の端面が比較的柔らかい乳剤層により覆われる形状としたが、比較的硬い乳剤層と比較的柔らかい乳剤層の両者ともパターン開口部の端面において露出する構成とした実施の形態３について説明する。
【００３６】
先ず、本実施の形態３におけるスクリーン版の構成について図１１の断面図を用いて説明する。図１１は、実施の形態１におけるスクリーン版の図１（ｂ）のパターン開口部３近傍の断面図に対応する。本実施の形態２では、図１１にも示される様に、メッシュ状シート２の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部３が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層４ｃと乳剤層４ｃのメッシュ状シート２と反対側の表面に形成された感光性樹脂よりなる第二の乳剤層である乳剤層５ｃより構成されている。特に本実施の形態３においては、乳剤層４ｃに形成されたパターン開口部３の端面が乳剤層５ｃにより覆われていない構成であり、乳剤層５ｃに形成されたパターン開口部３ａと乳剤層４ｃに形成されたパターン開口部３は連続的に形成された構造となっている。
【００３７】
続いて、本実施の形態３におけるスクリーン版の製造方法について図１２を用いて説明する。図１２（ａ）は実施の形態１におけるスクリーン版の製造方法の説明図である図３（ｂ）に対応する。本実施の形態３においては、メッシュ状シート２のフレーム１との接着面と反対側の面に、例えばネガ型の感光性樹脂を塗布し乾燥処理を行う工程を繰り返し行うことにより、所定の厚さの乳剤層４ｃを形成し、更に、連続して乳剤層４ｃとは異なる種類のネガ型の感光性樹脂を塗布し乾燥処理を行う工程を繰り返し行うことにより乳剤層５ｃを形成する。乳剤層５ｃとしたネガ型の感光性樹脂については、硬化した際において乳剤層４ｃよりも柔らかくなる材料を選定している。また順次塗布を繰り返し形成したことにより、メッシュ状シート２の網目内にまで乳剤層４ｃが入りこみメッシュ状シート２と乳剤層４ｃが一体となる様に形成される。
【００３８】
次に、図１２（ｂ）に示す様に、本実施の形態３においては、メッシュ状シート２と反対側の表面より乳剤層５ｃ及び乳剤層４ｃに対し露光を行う。その際には、遮光マスク６ｃを用いた選択的な露光によって乳剤層５ｃ及び乳剤層４ｃを同時に露光する。
【００３９】
最後に、現像処理を行うことにより、本実施の形態３の乳剤層５ｃ及び乳剤層４ｃはネガ型の感光性樹脂を用いていることから、乳剤層５ｃ及び乳剤層４ｃの双方の露光部が同時に除去される。その結果、図１１に示す様に乳剤層５ｃ及び乳剤層４ｃの両者ともパターン開口部の端面において露出する構造、即ち乳剤層５ｃに形成されたパターン開口部３ａと乳剤層４ｃに形成されたパターン開口部３が端面において連続した構造が形成される。
【００４０】
以上説明した実施の形態３においても、実施の形態１と同様にメッシュ状シート２と、メッシュ状シート２の片面を覆うように塗布形成された乳剤層４ｃと、乳剤層４ｃのメッシュ状シート２と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層４ｃと比較し柔らかい乳剤層５ａにより構成されたスクリーン版を図６において説明した液晶パネルの製造方法として用いることにより、表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することができる有用なスクリーン版を得ることが可能である。更に、メッシュ状シート２と乳剤層４ｃが一体となる様に形成されていることから版の耐久性も良好である。
【００４１】
また、本実施の形態３においては、乳剤層５ｃ及び乳剤層４ｃへの開口部形成を一括して行うことが可能な為、露光や現像工程が一回に簡略化できる点、パターン開口部３とパターン開口部３ａ間での位置併せが必要ないことから露光装置についてマスクを用いたＵＶ照射装置などの簡易な装置で良くなる点など、製造装置及び製造工程を簡略化でき結果として低コスト化を実現可能である。
【００４２】
実施の形態４．
続いて、図１３を用いて、本実施の形態４における液晶パネルの構成について説明する。なお、ここでは、一例としてＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）方式の液晶パネルについて説明する。この液晶パネル２００は、図に示される様に、スイッチング素子基板２１０、カラーフィルタ基板２２０、及びスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０との間に充填された液晶２３０から構成されている。
【００４３】
上述のスイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２１２、配向膜２１２の下部に設けられ液晶２３０を駆動する電圧を印加する画素電極２１３、画素電極２１３に電圧を供給するＴＦＴなどのスイッチング素子２１４、スイッチング素子２１４を覆う絶縁膜２１５、スイッチング素子２１４に供給される信号を外部から受け入れる端子２１６、端子２１６から入力された信号を対向電極へ伝達する為のトランスファ電極２１７等を有している。また、ガラス基板２１１の他方の面には偏光板２３１を有している。
【００４４】
一方、上述のカラーフィルタ基板２２０は、ガラス基板２２１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２２２、配向膜２２２の下部に配置され、スイッチング素子基板２１０上の画素電極２１３との間に電界を生じ液晶２３０を駆動する共通電極２２３、共通電極２２３下部に設けられるカラーフィルタ２２４及び遮光層２２５等を有している。また、ガラス基板２２１の他方の面には偏光板２３２を有している。
【００４５】
また、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０はシール２３３を介して貼り合わされている。更にトランスファ電極２１７と共通電極２２３は、トランスファ材２３４により電気的に接続されており、端子２１６から入力された信号が共通電極２２３に伝達される。この他に、液晶パネル２００は駆動信号を発生する制御基板２３５、制御基板２３５を端子２１６に電気的に接続するＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）２３６、光源となるバックライトユニット（図示せず）等を備えている。
【００４６】
この液晶パネル２００は次の様に動作する。例えば、制御基板２３５から電気信号が入力されると、画素電極２１３及び共通電極２２３に駆動電圧が加わり、駆動電圧に合わせて液晶２３０の分子の方向が変わる。そして、バックライトユニットの発する光がスイッチング素子基板２１０、液晶２３０及びカラーフィルタ基板２２０を介して外部へ透過或いは遮断されることにより、液晶パネル２００に映像等が表示される。
【００４７】
なお、この液晶パネル２００は、一例であり他の構成でもよい。液晶パネル２００の動作モードは、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モードや、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、強誘電性液晶モード等でもよく、駆動方法は、単純マトリックスやアクティブマトリックス等でもよく、カラーフィルタ基板２２０に設けた共通電極２２３をスイッチング素子基板２１０側に設置して、画素電極２１３との間に横方向に液晶２３０に対して電界をかける横電界方式を用いた液晶パネルでもよい。
【００４８】
次に、本実施の形態４における液晶パネルの製造方法について説明する。スイッチング素子基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０の製造方法については一般的な方法を用いる為、簡単に説明する。スイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に、成膜、フォトリソグラフィー法によるパターンニング、エッチング等のパターン形成工程を繰り返し用いてスイッチング素子２１４や画素電極２１３、端子２１６、トランスファ電極２１７を形成することにより製造される。また、カラーフィルタ基板２２０は、同様に、ガラス基板２２１の一方の面に、カラーフィルタ２２４や共通電極２２３を形成することにより製造される。
【００４９】
続いて、本実施の形態４において特徴的な組み立て工程について図１４に示すフローチャートにしたがって説明する。まず、基板洗浄工程において、画素電極２１３が形成されているスイッチング素子基板２１０を洗浄する（Ｓ１）。次に、配向膜形成工程において、スイッチング素子基板２１０の一方の面に、配向膜２１２を形成する（Ｓ２）。この工程は、例えば、印刷法により有機膜からなる配向膜２１２を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる。その後、ラビング工程において配向膜２１２にラビングを行い、配向膜２１２を配向させる（Ｓ３）。また、Ｓ１からＳ３と同様に、共通電極２２３が形成されているカラーフィルタ基板２２０についても、洗浄、配向膜２２２の形成、及びラビングを行う。
【００５０】
続いて、シールパターンを形成するシール塗布工程において、実施の形態１で説明したスクリーン版及びシール印刷方法を用いることによりスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にシール２３３の塗布処理を行う（Ｓ４）。また、シール２３３には、例えばエポキシ系接着剤等の熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂を用いた。この実施の形態１で説明したスクリーン版及びシール印刷装置を用いたことによって、スクリーン版のメッシュ状シートにおける網の交点による圧力が分散され均一化されることから配向膜２１２或いは配向膜２２２表面へのダメージを抑えることができ、更に処理基板の凹凸にスクリーン版が馴染むことから安定した塗布量で印刷をすることができる。
【００５１】
次に、トランスファ材塗布工程において、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にトランスファ材２３４の塗布処理を行う（Ｓ５）。そして、スペーサ散布工程において、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にスペーサを散布する（Ｓ６）。この工程は、例えば、湿式法や乾式法によりスペーサを分散させることにより行われる。
【００５２】
その後、貼り合わせ工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせる（Ｓ７）。続いて、シール硬化工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた状態で、シール２３３を完全に硬化させる（Ｓ８）。この工程は、例えば、シール２３３の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。次に、セル分断工程において、貼り合わせた基板を個別セルに分解する（Ｓ９）。そして、液晶注入工程において、液晶注入口から液晶を注入する（Ｓ１０）。この工程は、例えば、液晶２３０を液晶注入口から真空注入により充填することにより行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する（Ｓ１１）。この工程は、例えば、光硬化型樹脂で封じ、光を照射することにより行われる。
【００５３】
以上のＳ７〜Ｓ１３の貼り合わせから液晶封止までの工程については、通常の注入口からの液晶注入方法を一例として説明した。しかし、別の液晶注入方法として、シール２３３を注入口の無いパターン形状とし、液晶２３０をスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の上に液滴状態で滴下して形成し、この滴下した液晶２３０を挟む様にスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた後にシール２３３を硬化させる方法、所謂、滴下注入方式を用いても構わない。
【００５４】
最後に、偏光板貼付工程において、セルに偏光板２３１、２３２を貼り付け（Ｓ１２）、制御基板実装工程において、制御基板２３５を実装する（Ｓ１３）ことによって、液晶パネル２００が完成する。
【００５５】
以上説明した実施の形態４における液晶パネルにおいては、上述の通り、メッシュ状シートと、メッシュ状シートの片面を覆うように塗布形成された乳剤層と、乳剤層のメッシュ状シート２と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層と比較し柔らかい乳剤層により構成されたスクリーン版を液晶パネルの製造方法として用いることにより表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することができる。また、本実施の形態４においては、実施の形態１のスクリーン版及びシール印刷方法をシール塗布工程に用いた液晶表示パネルについて説明した。然しながら実施の形態１のスクリーン版に代えて他の実施の形態２〜３及びそれらの変形例において説明したスクリーン版を用いた場合においても本実施の形態４と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版を示した斜視図及び断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版の製造工程における斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版の製造工程における斜視図及び断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版を用いたシール印刷工程における斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態１におけるスクリーン版の印刷状態を説明する断面図である。
【図８】本発明の実施の形態２におけるスクリーン版を示した断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３におけるスクリーン版を示した断面図である。
【図１２】本発明の実施の形態３におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態４における液晶パネルの断面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４における液晶パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５７】
２ メッシュ状シート、３ パターン開口部、４，４ａ，４ｂ，４ｃ，５，５ａ，５ｂ，５ｃ 乳剤層、８ 処理基板、９ シール剤、１０スキージ、１００ スクリーン版、２００ 液晶パネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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