(57)【要約】【課題】低酸素濃度であっても高精度に酸素濃度を検知測定でき、容易に製造可能でコストを削減すること。【解決手段】限界電流式酸素センサ１０は、イオン導電体１１と、電極１２ａ，１２ｂと、拡散律速されたガスを供給するガス拡散機構１６と、イオン伝導体１１を加熱するヒータ１７とを備える。ガス拡散機構１６は、キャップ１３に貫通するように形成された気体拡散孔１４と、この気体拡散孔１４と連通する内部空間１５とを有する。ガス拡散機構１６は、内部空間１５における酸素濃度勾配が所定の式の条件を満たすように構成されている。【選択図】図１
2008008666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質からなるイオン伝導体と、
このイオン伝導体に設けられた電界を印加するための多孔質の電極対と、
この電極対の一方の面側に拡散律速されたガスを供給するためのガス拡散機構と、
前記イオン伝導体を加熱するヒータとを備え、
前記ガス拡散機構は、前記電極対の一方の電極と接する内部空間と、この内部空間と外部とを連通する気体拡散孔とを有し、前記内部空間における酸素濃度勾配が、ファラデー定数（Ｆ）、拡散係数（Ｄ）、酸素濃度（ＣＯ２）、前記気体拡散孔の孔面積（Ｓ）、前記気体拡散孔の貫通方向の孔長（ｌ）、前記内部空間の前記電極とそれに対向する内面の間の距離（ｌｉｎ）、前記内部空間の有効断面積（Ｓｉｎ）、及び出力電流値（Ｉｌｉｍ）の関係に基づく、
１／Ｉｌｉｍ＝（１／４ＦＤＣＯ２）｛（ｌ／Ｓ）＋（ｌｉｎ／Ｓｉｎ）｝
の式を満たすように構成されていることを特徴とする限界電流式酸素センサ。
【請求項２】
前記ガス拡散機構は、前記内部空間の前記電極とそれに対向する内面の間の距離が、前記気体拡散孔の孔径よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の限界電流式酸素センサ。
【請求項３】
前記ガス拡散機構は、前記気体拡散孔の前記孔面積（Ｓ）と前記孔長（ｌ）との比率（Ｓ／ｌ）が５０μｍ〜２５０μｍとなるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の限界電流式酸素センサ。
【請求項４】
固体電解質からなるイオン伝導体と、このイオン伝導体に設けられた電界を印加するための多孔質の電極対と、この電極対の一方の面側に拡散律速されたガスを供給するためのガス拡散機構と、前記イオン伝導体を加熱するヒータとを備える限界電流式酸素センサを用いた酸素濃度の検知測定方法であって、
前記ガス拡散機構に、前記電極対の一方の電極と接する内部空間及びこの内部空間と外部とを連通する気体拡散孔を形成し、
前記内部空間における酸素濃度勾配が、ファラデー定数（Ｆ）、拡散係数（Ｄ）、酸素濃度（ＣＯ２）、前記気体拡散孔の孔面積（Ｓ）、前記気体拡散孔の貫通方向の孔長（ｌ）、前記内部空間の前記電極とそれに対向する内面の間の距離（ｌｉｎ）、前記内部空間の有効断面積（Ｓｉｎ）、及び出力電流値（Ｉｌｉｍ）の関係に基づく、
１／Ｉｌｉｍ＝（１／４ＦＤＣＯ２）｛（ｌ／Ｓ）＋（ｌｉｎ／Ｓｉｎ）｝
の式の条件を満たすように演算を行って酸素濃度を検知測定する
ことを特徴とする酸素濃度の検知測定方法。
【請求項５】
前記ガス拡散機構の前記内部空間は、前記電極とそれに対向する内面の間の距離が、前記気体拡散孔の孔径よりも大きくなるように形成されることを特徴とする請求項４記載の酸素濃度の検知測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸素濃度の検知測定を行うために用いられる限界電流式酸素センサ及びこれを用いた酸素濃度の検知測定方法に関し、特に低酸素濃度であっても精度良く酸素濃度を検知測定することができる限界電流式酸素センサ及びこれを用いた酸素濃度の検知測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、限界電流式酸素センサとして、例えば酸化イットリウム（ＹｔＯ）を添加物とする固体電解質の安定化ジルコニア（Ｙｔｔｒｉａ  Ｓｔａｂｉｌｉｚｅｄ  Ｚｉｒｃｏｎｉａ：ＹＳＺ）をイオン伝導体として用いたものが知られている。図８は、従来の限界電流式酸素センサの構造を示す模式図である。図８に示すように、一般的な従来の限界電流式酸素センサ１００は、固体電解質のイオン伝導体１０１の両面に監視電圧を印加するための多孔質材料からなるアノード側及びカソード側の電極１０２，１０３をそれぞれ形成し、一方の電極１０３側に拡散律速されたガスを供給するための気体拡散孔１０４，１０５と内部空間１０６ａとからなるガス拡散機構が形成されたキャップ１０６を取り付けて構成されている。
【０００３】
また、このキャップ１０６の外側には、イオン伝導体１０１を、例えば数百℃の監視温度に設定するためのヒータ１０７が設けられており、このヒータ１０７にはリード線１０８が接続されている。なお、気体拡散孔１０４は、電極１０３に向かってキャップ１０６を貫通した状態で、また、気体拡散孔１０５は、電極１０３の表面に沿った方向に向かって貫通した状態でそれぞれ形成されている。ここで、限界電流式酸素センサとしては、これら気体拡散孔１０４，１０５のうち、例えば気体拡散孔１０５が形成されていないようなタイプのものも多く用いられている。
【０００４】
そして、このような限界電流式酸素センサ１００は、各電極１０２，１０３間に監視電圧を印加した場合、電圧が小さい間はその電圧に比例する出力電流がイオン伝導体１０１を通って流れる構造からなる。また、この限界電流式酸素センサ１００は、監視電圧をさらに上昇させると、やがて出力電流が飽和する特性を備えている。このような飽和領域の出力電流を限界電流といい、この限界電流の大きさは酸素濃度と一定の関係を有している。したがって、このような限界電流式酸素センサ１００では、監視電圧で得られる限界電流値から酸素濃度を検知測定することが可能となる。
【０００５】
また、限界電流式酸素センサ１００のイオン伝導体１０１に流れる電流は、酸素イオンの移動に基づくもので、その電流値は電圧と温度とに依存するものである。このため、限界電流式酸素センサ１００では、例えば４００℃〜５００℃程度の監視温度に設定されて電圧駆動がなされる。通常、この監視温度の設定は、上述したような限界電流式酸素センサ１００の本体部分であるキャップ１０６にヒータ１０７を設け、これに通電することによって行われる。
【０００６】
なお、このような限界電流式酸素センサ１００の駆動には、多くの場合ヒータ１０７を常時通電した状態で、各電極１０２，１０３間に監視電圧を与えるという方法が採られている（例えば、特許文献１参照。）。そして、このように構成された従来の限界電流式酸素センサ１００では、低濃度の酸素濃度を検知測定するに際して、出力電流値を大きくするために、キャップ１０６に気体拡散孔１０４のみならず気体拡散孔１０５を形成したガス拡散機構を備えている。
【０００７】
こうした気体拡散孔１０４，１０５などの孔部をキャップ１０６に設けた構造のガス拡散機構を有する限界電流式酸素センサ１００では、ガス拡散機構が、ファラデー定数（Ｆ）、拡散係数（Ｄ）、孔部の孔面積（Ｓ）、ガス全圧（Ｐ）、気体定数（Ｒ）、温度（Ｔ）、孔部の孔長（ｌ）、酸素分圧（ＰＯ２）、及び出力電流値（ＩＬ）の関係として、次式（１）の条件を満たすように構成されていることによって、酸素濃度を測定している。
【０００８】
【数１】
2008008666.tif 000003
【０００９】
【特許文献１】特許第３３７３７４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した従来の限界電流式酸素センサ１００では、低濃度の酸素濃度を検知測定するために、キャップ１０６に気体拡散孔１０４のみならず気体拡散孔１０５を新たに形成しなければならない。このため、限界電流式酸素センサ１００の製造工程における工程数が多くなり、センサ構造自体も複雑となって、結果的にコスト増大に繋がってしまうという問題がある。
【００１１】
また、限界電流式酸素センサ１００における新たな気体拡散孔１０５をイオン伝導体１０１の電極１０３の表面（電極面）に沿った方向に向かって貫通するように形成するため、気体拡散孔１０５が形成されていないタイプのものに比べて加工精度によっては製造精度のバラつきが大きくなりやすく、結果的にセンサ特性にバラつきが生じ、測定精度が安定しないという問題がある。
【００１２】
さらに、上述した特許文献１に記載の従来の限界電流式酸素センサのような気体拡散孔１０５の代わりに気体拡散孔１０４の孔径を大きくして、気体拡散孔１０５を設けないタイプの場合、例えば酸素濃度が１％以下と低い状態における限界電流領域では、限界電流値が上記数式（１）の条件を満たさないため、正確な酸素濃度の検知測定ができなくなるという問題がある。
【００１３】
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、低酸素濃度であっても高精度で良好に酸素濃度を検知測定することができるとともに、容易に製造可能で特性のバラつきを防止しコストを削減することができる限界電流式酸素センサ及びこれを用いた酸素濃度の検知測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る限界電流式酸素センサは、固体電解質からなるイオン伝導体と、このイオン伝導体に設けられた電界を印加するための多孔質の電極対と、この電極対の一方の面側に拡散律速されたガスを供給するためのガス拡散機構と、前記イオン伝導体を加熱するヒータとを備え、前記ガス拡散機構は、前記電極対の一方の電極と接する内部空間と、この内部空間と外部とを連通する気体拡散孔とを有し、前記内部空間における酸素濃度勾配が、ファラデー定数（Ｆ）、拡散係数（Ｄ）、酸素濃度（ＣＯ２）、気体拡散孔の孔面積（Ｓ）、気体拡散孔の貫通方向の孔長（ｌ）、内部空間の前記電極とそれに対向する内面の間の距離（ｌｉｎ）、内部空間の有効断面積（Ｓｉｎ）、及び出力電流値（Ｉｌｉｍ）の関係に基づく、１／Ｉｌｉｍ＝（１／４ＦＤＣＯ２）｛（ｌ／Ｓ）＋（ｌｉｎ／Ｓｉｎ）｝の式を満たすように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る酸素濃度の検知測定方法は、固体電解質からなるイオン伝導体と、このイオン伝導体に設けられた電界を印加するための多孔質の電極対と、この電極対の一方の面側に拡散律速されたガスを供給するためのガス拡散機構と、前記イオン伝導体を加熱するヒータとを備える限界電流式酸素センサを用いた酸素濃度の検知測定方法であって、前記ガス拡散機構に、前記電極対の一方の電極と接する内部空間及びこの内部空間と外部とを連通する気体拡散孔を形成し、前記内部空間における酸素濃度勾配が、ファラデー定数（Ｆ）、拡散係数（Ｄ）、酸素濃度（ＣＯ２）、前記気体拡散孔の孔面積（Ｓ）、前記気体拡散孔の貫通方向の孔長（ｌ）、前記内部空間の前記電極とそれに対向する内面の間の距離（ｌｉｎ）、前記内部空間の有効断面積（Ｓｉｎ）、及び出力電流値（Ｉｌｉｍ）の関係に基づく、１／Ｉｌｉｍ＝（１／４ＦＤＣＯ２）｛（ｌ／Ｓ）＋（ｌｉｎ／Ｓｉｎ）｝の式の条件を満たすように演算を行って酸素濃度を検知測定することを特徴とする。
【００１６】
また、ガス拡散機構は、内部空間の電極とそれに対向する内面の間の距離が、気体拡散孔の孔径よりも大きくなるように形成される。また、ガス拡散機構は、気体拡散孔の孔面積（Ｓ）と孔長（ｌ）との比率（Ｓ／ｌ）が５０μｍ〜２５０μｍとなるように構成されている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ガス拡散機構が、電極対の一方の電極と接する内部空間と、この内部空間と外部とを連通する気体拡散孔とを有し、内部空間における酸素濃度勾配が所定の式の条件を満たすように構成されている。このため、従来のように気体拡散孔を複数設ける場合と比較して気体拡散孔の加工が簡単となるとともに、所定の式の条件を満たす濃度勾配に基づいて酸素濃度の検知測定を正確に行うことが可能となる。これにより、例えば酸素濃度が１％以下の低酸素濃度であっても高精度で良好に検知測定することができ、容易に製造可能で加工精度特性のバラつきを抑え製造コストを削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る限界電流式酸素センサ及びこれを用いた酸素濃度の検知測定方法について説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施形態に係る限界電流式酸素センサの構造を示す模式図である。また、図２は、同限界電流式酸素センサを図１における矢印Ａ方向から見た斜視図である。また、図３は、同限界電流式酸素センサを図１における矢印Ｂ方向から見た斜視図である。図１〜図３に示すように、本発明の一実施形態に係る限界電流式酸素センサ１０は、固体電解質からなるイオン導電体１１と、このイオン導電体１１に設けられた電界を印加するための多孔質材料からなる電極対である電極１２ａ，１２ｂと、これら電極１２ａ，１２ｂのうちの一方の電極１２ａを覆うキャップ１３と、イオン伝導体１１を加熱するヒータ１７とを備えて構成されている。
【００２０】
イオン伝導体１１は、数百℃の高温になると内部イオンの移動によって導電性を示す絶縁体であり、例えば安定化ジルコニアからなる。各電極１２ａ，１２ｂは、例えば多孔質な白金（Ｐｔ）あるいは銀（Ａｇ）などからなり、イオン伝導体１１の両面に形成されている。なお、本例の限界電流式酸素センサ１０は、電極１２ａがカソード電極となり、電極１２ｂがアノード電極となるように構成されている。
【００２１】
キャップ１３は、例えば有底円筒形の外観を有するセラミックなどからなり、イオン伝導体１１に取り付けられる側が凹状に形成されている。また、キャップ１３の有底円筒形の底部分中央には、厚さ方向に貫通する気体拡散孔１４が一つ形成されている。そして、キャップ１３は、イオン伝導体１１のカソード電極となる電極１２ａ側の面に、気体拡散孔１４のみからガスが電極１２ａに供給されるように密着した状態で取り付けられており、これらキャップ１３とイオン伝導体１１の電極１２ａ側の面によって内部空間１５を形成している。これら内部空間１５及び気体拡散孔１４によって、電極１２ａに拡散律速されたガスを供給するガス拡散機構１６が構成されている。
【００２２】
したがって、限界電流式酸素センサ１０において、電極１２ａは内部空間１５に接し、電極１２ｂは外部雰囲気に接するように設けられている。また、このキャップ１３のイオン伝導体１１取付側と反対側の外面には、イオン導電体１１を例えば４００℃〜５００℃程度の監視温度に加熱するためのヒータ１７が設けられている。
【００２３】
ガス拡散機構１６の気体拡散孔１４は、図１に示すように、所定の孔径（Ｓｌ）と、貫通方向の所定の長さである孔長（ｌ）とを有するようにキャップ１３に形成されている。また、ガス拡散機構１６の内部空間１５は、気体拡散孔１４の貫通方向に所定の厚さ（すなわち、具体的には電極１２ａの表面と、この表面と対向配置されたキャップ１３の内壁面との間の距離）（ｌｉｎ）を備えるように形成されている。そして、ガス拡散機構１６は、内部空間１５における酸素濃度勾配が後述する所定の式の条件を満たすように構成されている。また、ガス拡散機構１６は、ここでは内部空間１５の厚さ（ｌｉｎ）が、気体拡散孔１４の孔径（Ｓｌ）よりも大きくなるように形成されているが、これに限るものではない。
【００２４】
なお、電極１２ａ，１２ｂにはそれぞれリード線１８ａ，１８ｂが接続されており、これらリード線１８ａ，１８ｂは、外部に取り出されて監視電圧を与えるための電源３０に接続されている。また、この電源３０には、それぞれ直列及び並列に電流計３１及び電圧計３２が接続されている。さらに、ヒータ１７にはリード線１９が接続されており、このリード線１９はヒータ電源３３に接続されている。ヒータ１７は、例えば使用期間中、常にヒータ電源３３によって通電され、４００℃程度の監視温度に設定されている。
【００２５】
このように構成された限界電流式酸素センサ１０では、ヒータ電源３３からヒータ１７に給電して抵抗発熱させることにより、限界電流式酸素センサ１０自体を上記監視温度に加熱するとともに、電源３０によって電極１２ａ，１２ｂ間に所定の監視電圧（Ｖ）を印加する。監視電圧を印加すると、イオン伝導体１１とキャップ１３とに囲まれたガス拡散機構１６の内部空間１５内に存在する気体中に含有されている酸素分子は、電極１２ａを介して電子を得て酸素イオンになり、イオン伝導体１１内に入る。そして、この酸素イオンは、イオン伝導体１１内の酸素イオン空孔を介してイオン伝導体１１内を、例えば図１中におけるその厚さ方向上方に移動する。移動した酸素イオンは、電極１２ｂに到達して電子を放出し、再度酸素分子となって外部雰囲気中に放出される。この酸素イオンの移動によって、各電極１２ａ，１２ｂ間に電流（Ａ）が流れる。
【００２６】
このとき、酸素イオンの移動により限界電流式酸素センサ１０の内部空間１５は負圧となり、気体拡散孔１４を介して外部雰囲気から気体が流入する。この場合の気体の流入量は、気体拡散孔１４によって制限されるため、限界電流式酸素センサ１０の電流（Ｉ）−電圧（Ｖ）特性においては、各電極１２ａ，１２ｂ間に印加する監視電圧を上昇させても電流が変化しない限界電流値を検知することができる。
【００２７】
このような限界電流式酸素センサ１０の限界電流値は、気体拡散孔１４の形状や測定時のセンサ温度、雰囲気の圧力などが一定であるとすると、雰囲気中の酸素濃度に依存するものである。したがって、本発明者等は、限界電流値と酸素濃度との関係に基づき、適切な酸素濃度勾配を解析し、ガス拡散機構１６に適用することによって、限界電流式酸素センサ１０により低酸素濃度においても良好に酸素濃度を検知測定することを可能とした。
【００２８】
図４及び図５は、同限界電流式酸素センサにおける気体拡散孔の孔面積及び孔長と出力電流との関係を表わすグラフである。まず、本発明者等は、限界電流式酸素センサ１０において、上述したように気体拡散孔１４をキャップ１３の底部分中央に一つだけ形成したうえで、気体拡散孔１４の孔面積（Ｓ）と孔長（ｌ）とを様々に変化させた環境にて、センサ出力電流（ＩＬ）である限界電流値の測定を行った。その結果、気体拡散孔１４の孔面積（Ｓ）と孔長（ｌ）との比（以下、「Ｓ／ｌ」とする）と限界電流（ＩＬ）には、図４に示すような関係が成り立つことを確認し、破線４１及び実線４２によって表わされる特性を得ることができた。なお、破線４１は、上述した従来の数式（１）を用いて算出した理論値により表わされる特性を示しており、実線４２は、実測値により表わされる特性を示している。
【００２９】
図４に示すように、実線４２によって示す実測値による限界電流（ＩＬ）は、Ｓ／ｌの値が大きくなるにつれて、破線４１によって示す従来の数式（１）を用いて算出した理論値よりも小さな値を示すようになることが判明した。そして、例えばＳ／ｌの値が約５０μｍ〜約２５０μｍの範囲においては、Ｓ／ｌと限界電流（ＩＬ）とが直線関係を示すことが判明した。このことから、例えば１％以下の低酸素濃度では、ガス拡散機構１６の気体拡散孔１４内だけではなく内部空間１５においても濃度勾配があると仮定し、近似式の解析を行って、ガス拡散機構１６に適用される酸素濃度勾配を満たす条件の次式（２）を算出した。なお、Ｓ／ｌの値が約５０μｍ〜約２５０μｍの範囲である場合には、気体拡散孔１４は一つでなくても良い。
【００３０】
すなわち、本発明者等は、ファラデー定数（Ｆ）、拡散係数（Ｄ）、酸素濃度（ＣＯ２）、気体拡散孔の孔面積（Ｓ）、気体拡散孔の貫通方向の孔長（ｌ）、内部空間の厚さ（ｌｉｎ）、内部空間の有効断面積（Ｓｉｎ）、及び出力電流値（Ｉｌｉｍ）の関係が、
【００３１】
【数２】
2008008666.tif 000004
【００３２】
となるような条件の酸素濃度勾配を限界電流式酸素センサ１０に適用することによって、図５に示すような実線５１によって表わされる特性の気体拡散孔１４の孔長（ｌ）と孔面積（Ｓ）との比（以下、「ｌ／Ｓ」とする）と限界電流の逆数（１／ＩＬ）との関係を得ることができた。この結果、例えば上述したＳ／ｌが５０μｍ以下のときは、ガス拡散機構１６に従来の数式（１）を適用して酸素濃度の検知測定を行うことができるが、限界電流（ＩＬ）の値が小さいためあまり実用的であるとはいえない。
【００３３】
なお、上記出力電流値（Ｉｌｉｍ）は限界電流（ＩＬ）と等価である。また、内部空間１５の有効断面積（Ｓｉｎ）は、内部空間１５における酸素分子の流れが、気体拡散孔１４から電極１２ａに向かって台形形状に広がっているとの推測に基づき、気体拡散孔１４の断面積と内部空間１５の断面積の半分程度を目安とすることによって設定されている。
【００３４】
図６は、同限界電流式酸素センサの電圧（Ｖ）−電流（Ｉ）特性を示すグラフである。また、図７は、同限界電流式酸素センサのガス濃度特性を示すグラフである。限界電流式酸素センサ１０において、例えばガス拡散機構１６の気体拡散孔１４のＳ／ｌを１５０μｍとし、１０００ｐｐｍの酸素ガス中で監視電圧（Ｖｓ）−出力電流（Ｉｓ）特性を評価した場合、図６に示すような実線６１，６２によって表わされる結果を得ることができた。ここで、実線６１は、ガス拡散機構１６に従来の数式（１）を適用した場合を表わしている。
【００３５】
このように、ガス拡散機構１６に上述した数式（２）によって定義される酸素濃度勾配を適用した場合は、実線６２で示す出力電流値は実線６１が示す出力電流値よりは低い値を示すこととなる。しかし、数式（２）で定義される酸素濃度勾配を適用した場合の方が、限界電流を示すフラット域６３を明確に得ることができる。また、図７に示すように、限界電流式酸素センサ１０のガス拡散機構１６の内部空間１５において、上記数式（２）の酸素濃度勾配を適用した場合、実線７１で示すような直線関係を有するガス濃度と出力電流との特性を得ることができた。
【００３６】
このため、例えば１％以下の低酸素濃度であっても本発明の限界電流式酸素センサ１０によれば、高精度で良好に酸素濃度を検知測定することができる。また、本発明の限界電流式酸素センサ１０によれば、ガス拡散機構１６の気体拡散孔１４が一つであるため、製造工程において容易に製造することができ、加工精度特性のバラつきを抑えて製造コストを削減することが可能となる。
【００３７】
以上述べたように、本発明によれば、限界電流式酸素センサ１０のガス拡散機構１６が、キャップ１３に形成され電極１２ａに向かって貫通された気体拡散孔１４及びこの気体拡散孔１４と連通する内部空間１５を有し、内部空間１５における酸素濃度勾配が所定の条件として上記数式（２）を満たすように構成されている。また、例えばこの内部空間１５の厚さ（ｌｉｎ）が気体拡散孔１４の孔径（Ｓｌ）よりも大きくなるように形成されている。このため、気体拡散孔１４の加工が簡単となるとともに、所定の条件を満たす酸素濃度勾配に基づいて酸素濃度の検知測定を正確に行うことが可能となる。これにより、例えば酸素濃度が１％以下の低酸素濃度であっても高精度で良好に検知測定することができ、容易に製造可能で加工精度特性のバラつきを抑え製造コストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る限界電流式酸素センサの構造を示す模式図である。
【図２】同限界電流式酸素センサを図１における矢印Ａ方向から見た斜視図である。
【図３】同限界電流式酸素センサを図１における矢印Ｂ方向から見た斜視図である。
【図４】同限界電流式酸素センサにおける気体拡散孔の孔面積及び孔長と出力電流との関係を表わすグラフである。
【図５】同限界電流式酸素センサにおける気体拡散孔の孔面積及び孔長と出力電流との関係を表わすグラフである。
【図６】同限界電流式酸素センサの電圧（Ｖ）−電流（Ｉ）特性を示すグラフである。
【図７】同限界電流式酸素センサのガス濃度特性を示すグラフである。
【図８】従来の限界電流式酸素センサの構造を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０…限界電流式酸素センサ、１１…イオン伝導体、１２ａ，１２ｂ…電極、１３…キャップ、１４…気体拡散孔、１５…内部空間、１６…ガス拡散機構、１７…ヒータ、１８ａ，１８ｂ，１９…リード線。
【図１】
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【図２】
2008008666.tif 000006
【図３】
2008008666.tif 000007
【図４】
2008008666.tif 000008
【図５】
2008008666.tif 000009
【図６】
2008008666.tif 000010
【図７】
2008008666.tif 000011
【図８】
2008008666.tif 000012