(57)【要約】【課題】厚みの違う板状部材やフレームが供給されても、その双方に確実にシートを貼付できるようにしたシート貼付装置とシート貼付方法を提供する。【解決手段】プレスローラ２、内側テーブル４及び、外側テーブル５の各移動手段としての第１、第２、第３の単軸ロボット１６、１８、１９を個別に制御する方式の採用により、ダイシングテープＤＴとウエハＷの上面とが接する位置を貼付基準位置Ｐとし、ダイシングテープＤＴの厚みに応じてプレスローラ２を、ウエハＷの厚みに応じて内側テーブル４を、リングフレームＦの厚みに応じて外側テーブル５を移動させ、ウエハＷとリングフレームＦとを一体化する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材の上面にシート繰出手段から繰り出されたシートを押圧手段で押圧して貼付するシート貼付装置において、
前記シート貼付装置は、
前記板状部材を支持する内側テーブルと、
前記内側テーブルを囲むように配置され、前記板状部材を保持するためのフレームを支持する外側テーブルと、
前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルそれぞれをシート貼付面に略直交する方向へ移動させる移動手段と、
前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルの各移動手段を個別に制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記シートの下面と板状部材の上面とが接する位置を貼付基準位置とし、前記シートの厚みに応じて押圧手段を、前記板状部材の厚みに応じて内側テーブルを、前記フレームの厚みに応じて外側テーブルを移動させ、前記板状部材とフレームとが一体化するようにシートを貼付すること
を特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記シート貼付装置は、前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルそれぞれに加わる圧力を検知する圧力検知手段を更に含み、
前記制御手段は、
前記押圧手段、内側テーブル又は、外側テーブルのいずれか１つの部材の圧力検知による移動手段の制御を行わないようにその機能を選択的にキャンセルするとともに、他の２つの部材のそれぞれの圧力検知手段で検知された圧力に基づき、前記板状部材の単位面積あたりの圧力が所定値となるように前記各移動手段を制御すること
を特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記シート貼付装置は、シート繰出手段から繰出されるシートの速度に同期して、内側テーブルと外側テーブルとを当該シートの繰出方向と略平行する方向に移動させながら前記押圧手段でシートを板状部材とフレームに貼付する、または、内側テーブルと外側テーブルとを移動させながら、その移動速度に同期してシート繰出し手段からシートを繰出し、前記押圧手段でシートを板状部材とフレームに貼付すること
を特徴とする請求項１、２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
板状部材の上面にシート繰出手段から繰り出されたシートを押圧手段で押圧して貼付するシート貼付方法において、
前記シート貼付方法は、
前記板状部材を内側テーブルで支持し、
前記内側テーブルを囲む外側テーブルでフレームを支持し、
前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルをそれぞれの移動手段によりシート貼付面に略直交する方向へ移動可能とし、
前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルの各移動手段をそれぞれ個別に制御可能とし、
前記シートの下面と板状部材の上面とが接する位置を貼付基準位置とし、前記シートの厚みに応じて押圧手段を、前記板状部材の厚みに応じて内側テーブルを、前記フレームの厚みに応じて外側テーブルを移動させ、前記板状部材とフレームとが一体化するようにシートを貼付すること
を特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の板状部材とこれを保持するためのリングフレーム等のフレームに、ダイシングテープ等のシートを貼付するシート貼付装置とシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工程では、半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）のダイシングを行うために、リングフレームとその中央に配置されたウエハとにダイシングテープを貼付し、当該ダイシングテープを介してリングフレームでウエハを保持するようにしている。
【０００３】
前記ダイシングテープの貼付装置としては、例えば特許文献１に開示されている。同文献１の貼付装置においては、可動テーブル（３１）の上面にウエハ（２０）を配置し、その可動テーブル（３１）の周囲に配置された固定テーブル（３５）の上面にリングフレーム（３６）を配置した上で、そのウエハ（２０）とリングフレーム（３６）の上面にダイシングテープとしてのテープ（３）をローラ（４６）で押圧して貼付している。尚、カッコ内の符号は特許文献１で用いられている符号である（次段落も同様）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−５０８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような従来の貼付装置によると、可動テーブル（３１）の周囲に配置された固定テーブル（３５）は一定の高さに固定されているため、僅かなリングフレーム（３６）の厚みの違いにしか対応できない。つまり、リングフレーム（３６）やウエハ（２０）の厚さに規格や精度によってばらつきが生じることは避けられず、例えば図６のようにリングフレーム（３６）が標準のものより薄い場合、ローラ（４６）が下降限に達してしまうと、どのように可動テーブル（３１）を上下動させても、テープ（３）はリングフレーム（３６）に押圧されることはなく、テープ貼付不良を多発する。このようなケースは、テープ（３）が薄い場合も同様である。逆にリングフレーム（３６）やテープ（３）が標準とするものより厚い場合には、ローラ（４６）の支持軸に多大な負荷が付与され、装置が破損するという不都合が生じる。総括すると、ウエハ（２０）の厚さ、テープ（３）の厚さ及びリングフレーム（３６）の厚さ全てを考慮に入れて貼付を行わないと、正確な貼付を行うことができない。
【０００６】
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ウエハ等の板状部材とリングフレーム等のフレームにダイシングシート等のシートを確実に貼付でき、更に装置自体に与える負荷を軽減できるシート貼付装置とシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明に係るシート貼付装置は、板状部材の上面にシート繰出手段から繰り出されたシートを押圧手段で押圧して貼付するシート貼付装置において、前記シート貼付装置は、前記板状部材を支持する内側テーブルと、前記内側テーブルを囲むように配置され、前記板状部材を保持するためのフレームを支持する外側テーブルと、前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルそれぞれをシート貼付面に略直交する方向へ移動させる移動手段と、前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルの各移動手段を個別に制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記シートの下面と板状部材の上面とが接する位置を貼付基準位置とし、前記シートの厚みに応じて押圧手段を、前記板状部材の厚みに応じて内側テーブルを、前記フレームの厚みに応じて外側テーブルを移動させ、前記板状部材とフレームとが一体化するようにシートを貼付することを特徴とする。
【０００８】
前記本発明に係るシート貼付装置は、前記シート貼付装置は、前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルそれぞれに加わる圧力を検知する圧力検知手段を更に含み、前記制御手段は、前記押圧手段、内側テーブル又は、外側テーブルのいずれか１つの部材の圧力検知による移動手段の制御を行わないようにその機能を選択的にキャンセルするとともに、他の２つの部材のそれぞれの圧力検知手段で検知された圧力に基づき、前記板状部材の単位面積あたりの圧力が所定値となるように前記各移動手段を制御するように構成してもよい。
【０００９】
前記本発明に係るシート貼付装置は、シート繰出手段から繰出されるシートの速度に同期して、内側テーブルと外側テーブルとを当該シートの繰出方向と略平行する方向に移動させながら前記押圧手段でシートを板状部材とフレームに貼付する、または、内側テーブルと外側テーブルとを移動させながら、その移動速度に同期してシート繰出し手段からシートを繰出し、前記押圧手段でシートを板状部材とフレームに貼付するように構成してもよい。
【００１０】
本発明に係るシート貼付方法は、板状部材の上面にシート繰出手段から繰り出されたシートを押圧手段で押圧して貼付するシート貼付方法において、前記シート貼付方法は、前記板状部材を内側テーブルで支持し、前記内側テーブルを囲む外側テーブルでフレームを支持し、前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルをそれぞれの移動手段によりシート貼付面に略直交する方向へ移動可能とし、前記押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルの各移動手段をそれぞれ個別に制御可能とし、前記シートの下面と板状部材の上面とが接する位置を貼付基準位置とし、前記シートの厚みに応じて押圧手段を、前記板状部材の厚みに応じて内側テーブルを、前記フレームの厚みに応じて外側テーブルを移動させ、前記板状部材とフレームとが一体化するようにシートを貼付することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルの各移動手段を個別に制御する方式の採用により、シートの下面と板状部材の上面とが接する位置を基準位置とし、シートの厚み、板状部材の厚み、及びフレームの厚みに応じて押圧手段、内側テーブル、及び外側テーブルを移動させることが可能となる。このため、シート、板状部材、及びフレームの厚みに変動が生じたとしても、容易に対応することができ、正確な貼付を行うことができる。
【００１２】
また、押圧手段、内側テーブル及び、外側テーブルそれぞれに加わる圧力を検知する圧力検知手段を更に含み、押圧手段、内側テーブル、又は外側テーブルのうち一つの部材を選択的に基準とし、他の２つの部材をそれぞれの圧力検知手段で検知された圧力を基に制御する構成を採用した。このため、板状部材に加わる単位面積あたりの押圧力（面圧力）だけでなく、フレームに加わる単位面積あたりの押圧力（面圧力）も常に一定の値にすることが可能となり、面圧力不足によるシートの貼付不良を効果的に防止でき、フレームや板状部材に確実にシートを貼付することができる。また、過剰な面圧力による押圧手段の支持系破損や板状部材、フレームの破損も防止できる等の作用効果が奏しえられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明に係るシート貼付装置の斜視図、図２はシート貼付装置の正面図とその制御系ブロック図である。
【００１５】
本シート貼付装置Ｍは、図１、図２に示すように、ウエハＷ（板状部材）とこれを保持するためのリングフレームＦ（フレーム）との上面に、シート繰出手段１から繰り出されたダイシングテープＤＴ（シート）をプレスローラ２（押圧手段）で押圧して貼付する装置であり、本装置Ｍは、スライドユニット３上に、ウエハＷを支持する内側テーブル４と、この内側テーブル４を囲むように配置され前記リングフレームＦを支持する外側テーブル５とを備える。
【００１６】
スライドユニット３は、下面に取り付けられたスライダ６を介してレール７上を移動するスライドベースＳＢと、スライドベース用モータ８と、当該スライドベース用モータ８により回転されるネジ軸９と、スライドベースＳＢの下面に取り付けられネジ軸９に係合するナット部材Ｎとにより構成されている。これにより、スライドユニット３は、後述のシート繰出手段１から繰出されるダイシングシートＤＴの繰出方向と略平行なＸ軸方向へ移動できるようになっている。また、このスライドベース用モータ８は、その回転パルスＤ１を出力する。
【００１７】
前記プレスローラ２は、移動手段としての第１の単軸ロボット１６の可動部１６Ａに圧力検知手段としてのロードセル２１とフレーム１３とを介して回転可能に取り付けられ、図示しない装置フレームに取り付けられている。このような構成により、プレスローラ２はシート貼付面に略直交する方向、つまり、Ｚ軸方向への移動ができ、且つ、第１のロードセル２１によって当該プレスローラ２に加わる圧力を検知し、その圧力データを出力できるようになっている。なお、フレーム１３とプレスローラ２との間には、剛性を確保すべくシャフトサポータ１０が設けられている。
【００１８】
前記内側テーブル４は、その上面がウエハＷを吸着保持可能に構成され、移動手段としての第２の単軸ロボット１８の可動部１８Ａ上にフレーム１４と圧力検知手段としての第２のロードセル２２とを介して取り付けられ、スライドベースＳＢ上に立設されたスタンド１７上に設置されている。このような構成により、内側テーブル４はシート貼付面に略直交する方向、つまり、Ｚ軸方向への移動ができ、且つ、第２のロードセル２２によって当該内側テーブル４に加わる圧力を検知し、その圧力データを出力できるようになっている。なお、フレーム１４と内側テーブル４との間には、剛性を確保すべくシャフトサポータ１１が設けられている。また、この内側テーブル４は、スライドユニット３によって、後述のシート繰出手段１から繰出されるダイシングシートＤＴの繰出方向と略平行なＸ軸方向への移動もできるようになっている。
【００１９】
前記外側テーブル５は、その上面がリングフレームＦを吸着保持可能に構成され、移動手段としての第３の単軸ロボット１９の可動部１９Ａ上にフレーム１２と圧力検知手段としての第３のロードセル２３とを介して取り付けられ、スライドベースＳＢ上に設置されている。このような構成により、外側テーブル５はシート貼付面に略直交する方向、つまり、Ｚ軸方向への移動ができ、且つ、第３のロードセル２３によって当該外側テーブル５に加わる圧力を検知し、その圧力データを出力できるようになっている。なお、フレーム１２と外側テーブル５との間には、フレーム２０を介して剛性を確保すべくシャフトサポータ１５が設けられている。また、この外側テーブル５は、内側テーブル４と同様にＸ軸方向への移動もできるようになっている。
【００２０】
前記シート繰出手段１は、帯状の剥離シートＲＬ上に図示しない接着剤層を介して所定間隔で複数のダイシングテープＤＴを仮着した構成の原反Ｒを支持軸２４に巻回し、当該原反Ｒをドライブローラ２５の回転によりガイドローラ２６経由でピールプレート２７方向へ導き、その先端部２７Ａで原反Ｒを急激に折り返すことにより、剥離シートＲＬからダイシングテープＤＴを剥離し、ピールプレート２７前方へ繰出すように構成されている。ダイシングテープＤＴを剥離した後の剥離シートＲＬはドライブローラ２５とピンチローラ２８との間を通って巻取軸２９に巻き取られる。
【００２１】
次に、本シート貼付装置Ｍの制御部３０について説明する。
【００２２】
本シート貼付装置Ｍの制御部３０は、スライドベース用モータ８の制御手段（以下「スライドユニット制御手段３１」という）と、第１の単軸ロボット１６の制御手段（以下「プレスローラ制御手段３２」という）と、第２の単軸ロボット１８の制御手段（以下「内側テーブル制御手段３３」という）と、第３の単軸ロボット１９の制御手段（以下「外側テーブル制御手段３４」という）と、各制御手段３２、３３、３４のいずれかに選択信号を出力する選択手段３５とを備える。
【００２３】
前記選択手段３５は、図２のようにプレスローラ２、内側テーブル４、外側テーブル５のいずれか一つを貼付の基準として選択するためのスイッチＳＷ１〜ＳＷ３を備え、例えばプレスローラ選択用のスイッチＳＷ１が押下された場合はプレスローラ制御手段３２へ選択信号を出力する。内側テーブル選択用のスイッチＳＷ２が押下された場合は内側テーブル制御手段３３へ選択信号を出力し、また外側テーブル選択用のスイッチＳＷ３が押下された場合は外側テーブル制御手段３４へ選択信号を出力する。この選択信号が入力された各制御手段３２、３３、３４は、第１、第２、第３のロードセル２１、２２、２３で検出された圧力による第１、第２、第３の単軸ロボット１６、１８、１９の制御を行わないように、その機能がキャンセルされる。
【００２４】
前記スライドユニット制御手段３１は、スライドベース用モータ８から出力された回転パルスＤ１からスライドベースＳＢの位置を演算する位置センサ３１Ａと、当該位置センサ３１Ａのデータに基づきスライドベース用モータ８に進退の指示を行う駆動指示部３１Ｂとを含んで構成されている。
【００２５】
前記プレスローラ制御手段３２は、第１のロードセル２１によって検出されたプレスローラ２に加わる圧力と所定圧力との比較を行う圧力制御部３２Ａと、当該圧力比較による過不足から第１の単軸ロボット１６に進退の指示を行う駆動指示部３２Ｂとを含んで構成されている。ここで、図３（ｂ）のように内側テーブル４上にウエハＷを配置し、さらに外側テーブル５上にリングフレームＦを配置した状態において、リングフレームＦの一端Ｆ１から他端Ｆ２までプレスローラ２を移動させた場合、ウエハＷとリングフレームＦとにプレスローラ２が接触する面積は図３（ａ）のように変化する。前記所定圧力とは、その変化する接触面積に応じて、予め図示しない入力手段によって入力された単位面積当たりの圧力を乗じた値のことをいう（図３（ｃ）参照）。
【００２６】
内側テーブル制御手段３３は、第２のロードセル２２によって検出されたウエハＷに加わる圧力と所定圧力との比較を行う圧力制御部３３Ａと、当該圧力比較による過不足から第２の単軸ロボット１８に進退の指示を行う駆動指示部３３Ｂとを含んで構成されている。この場合、図４（ｂ）のように内側テーブル４上にウエハＷを配置した状態において、ウエハＷの一端Ｗ１から他端Ｗ２までプレスローラ２を移動させた場合、ウエハＷとプレスローラ２が接触する面積は図４（ａ）のように変化する。前記所定圧力とは、その変化する接触面積応じて、予め図示しない入力手段によって入力された単位面積当たりの圧力を乗じた値のことをいう（図４（ｃ）参照）。
【００２７】
外側テーブル制御手段３４は、第３のロードセル２３によって検出されたリングフレームＦに加わる圧力と所定圧力との比較を行う圧力制御部３４Ａと、当該圧力比較による過不足から第３の単軸ロボット１９に進退の指示を行う駆動指示部３４Ｂとを含んで構成されている。この場合、図５（ｂ）のように外側テーブル５上にリングフレームＦを配置した状態において、リングフレームＦの一端Ｆ１から他端Ｆ２までプレスローラ２を移動させた場合、リングフレームＦとプレスローラ２が接触する面積は図５（ａ）のように変化する。前記所定圧力とは、その変化する接触面積応じて、予め図示しない入力手段によって入力された単位面積当たりの圧力を乗じた値のことをいう（図５（ｃ）参照）。
【００２８】
次に、上記の如く構成されたシート貼付装置Ｍの動作について説明する。
【００２９】
初めに、図示しない搬送装置が図１、２のように内側テーブル４と外側テーブル５の上面にそれぞれウエハＷとリングフレームＦとを配置し、吸着保持する。次に、第１及び第２の単軸ロボット１６、１８によって両テーブル４、５が昇降すると、図示しないセンサによってウエハＷの上面とリングフレームＦの上面が検出されてそれら上面が貼付基準位置Ｐで停止する。また、プレスローラ２は、ピールプレート先端部２７Ａの上方に退避している。ここで、貼付基準位置Ｐとは、ピールプレート２７で繰り出されたダイシングテープＤＴの下面とウエハＷの上面とが接する理論上の位置であって、任意に設定が可能である。また、ダイシングテープＤＴの厚みは予め図示しない入力装置によって入力されている。
【００３０】
その後、スライドベース用モータ８が駆動指示部３１Ｂの指示により駆動することによってウエハＷとリングフレームＦとが−Ｘ軸方向へ所定の速度で進行する。前記位置センサ３１Ａによって所定の貼付開始位置に到達したことが検知されると、プレスローラ２が駆動指示部３２Ｂの指示により第１の単軸ロボット１６を介してダイシングテープＤＴをリングフレームＦに押圧する。このプレスローラ２の下降は、予め入力されたダイシングテープＤＴの厚みとその押圧力を考慮して下降量が決定されている。この動作に続いて、シート繰出手段１がスライドユニット３の移動速度に同期してダイシングテープＤＴを繰り出すことにより、ダイシングテープＤＴをリングフレームＦとウエハＷに押し付け貼付することとなる。
【００３１】
ダイシングテープＤＴ貼付時における第１、第２、第３の単軸ロボット１６、１８、１９の各制御動作は、プレスローラ２、内側テーブル４、外側テーブル５の内どれを基準とするかによって異なるため、以下それぞれの基準となる場合に分けて、その各制御動作を説明する。
【００３２】
＜プレスローラ２を基準とした場合の制御動作＞
プレスローラ２を基準とする場合は、予めスイッチＳＷ１を押下することによって設定が行われる。この場合、第１のロードセル２１によって検出されたプレスローラ２に加わる圧力と、所定圧力との比較は行わないように、その機能がキャンセルされる。そしてプレスローラ２が所定の位置、つまり、プレスローラ２の下部が前記貼付基準位置ＰよりダイシングテープＤＴの厚みと略同寸法上方位置に位置決め固定される。このような状態で、第２の単軸ロボット１８は、ウエハＷに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように内側テーブル４を上下動させ、且つ、第３の単軸ロボット１９は、リングフレームＦに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように外側テーブル５を上下動させつつ、ダイシングテープＤＴがリングフレームＦとウエハＷに貼付される。
【００３３】
＜内側テーブル４を基準とした場合の制御動作＞
内側テーブル４を基準とする場合は、予めＳＷ２のスイッチを押下することによって設定が行われる。この場合、第２のロードセル２２によって検出された内側テーブル４に加わる圧力と、所定圧力との比較は行わないように、その機能がキャンセルされる。そして内側テーブル４が所定の位置、つまり、図示しないセンサで検出されウエハＷの上面が前記貼付基準位置Ｐと一致した位置に位置決め固定される。このような状態で、第１の単軸ロボット１６は、プレスローラ２に加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うようにプレスローラ２を上下動させ、且つ、第３の単軸ロボット１９は、リングフレームＦに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように外側テーブル５を上下動させつつ、ダイシングテープＤＴがリングフレームＦとウエハＷに貼付される。
【００３４】
＜外側テーブル５を基準とした場合の制御動作＞
外側テーブル５を基準とする場合は、予めＳＷ３のスイッチを押下することによって設定が行われる。この場合、第３のロードセル２３によって検出された外側テーブル５に加わる圧力と、所定圧力との比較は行わないように、その機能がキャンセルされる。そして、外側テーブル５が所定の位置、つまり、図示しないセンサで検出されリングフレームＦの上面が前記貼付基準位置Ｐと一致した位置に位置決め固定される。このような状態で、第１の単軸ロボット１６は、プレスローラ２に加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うようにプレスローラ２を上下動させ、且つ、第２の単軸ロボット１８は、ウエハＷに加わる圧力と所定圧力との比較を行い、当該圧力比較による過不足を補うように内側テーブル４を上下動させつつ、ダイシングテープＤＴがリングフレームＦとウエハＷに貼付される。
【００３５】
上述のように、プレスローラ２、内側テーブル４、外側テーブル５それぞれを選択的に基準として制御を行うことによって、例えば図６の例のようにリングフレームＦの厚みにばらつきがあっても、押圧力不足によるダイシングテープＤＴの貼付不良は生ぜず、リングフレームＦに確実にダイシングテープＤＴを貼付することができ、また、リングフレームＦが厚い場合でも、過剰な面圧力によるプレスローラ２の支持系破損も防止できる。
【００３６】
以上説明した実施形態のシート貼付装置Ｍでは、両テーブル４、５がスタンバイ位置から−Ｘ軸方向へ所定の速度で進行する経路（往路）で、ダイシングテープＤＴをリングフレームＦとウエハＷに貼付する方式を採用したが、その往路ではリングフレームＦのみにダイシングテープＤＴを貼付し、その復路、すなわち＋Ｘ軸方向へ後退する経路で、ウエハＷをダイシングテープＤＴに貼付する方式を採用することもできる。この方式を採用する場合は、往路では外側テーブル５によってリングフレームＦを貼付基準位置Ｐまで上昇させ、内側テーブル４は下降させておくように制御し、復路ではその逆に、内側テーブル４によってウエハＷを貼付基準位置Ｐまで上昇させ、外側テーブル５はプレスローラ２から押圧力を受けない程度に下降させておくように制御すればよい。このような構成によると、これまで何も利用されていなかった復路を有効に活用することができ、装置の稼働率の向上を図れる等の利点がある。
【００３７】
また、前記実施形態のシート貼付装置Ｍでは、内側テーブル４と外側テーブル５の移動速度に同期してシート繰出手段１からダイシングテープＤＴを繰出し、プレスローラ２でダイシングテープＤＴをウエハＷとリングフレームＦに貼付するようにしたが、シート繰出手段１から繰出されるダイシングテープＤＴの速度に同期して、内側テーブル４と外側テーブル５とをダイシングテープＤＴの繰出方向と略平行する方向に移動させながらプレスローラ２でダイシングテープＤＴをウエハＷとリングフレームＦに貼付してもよい。
【００３８】
以上のように、本発明の実施形態を開示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、板状部材としてウエハＷを対象としたが、これに替えて、ガラス、鋼板、または樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
【００３９】
また、前記実施形態では、シートとしてダイシングテープを例示し、フレームとしてリングフレームを例示したが、それ以外のシートやフレームを使用して一体化する場合にも適用できる。
【００４０】
更に、押圧手段はプレスローラに限定されることなく、例えば、ブレード材や、エアの噴き付け等による押圧であってもよい。
【００４１】
また、移動手段は、単軸ロボットだけでなく、圧力制御可能な機器であればよく、例えば、多関節ロボットやエアシリンダ、油圧シリンダ等で構成してもよい。
【００４２】
更に、制御手段は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等、機器を制御できるものであれば限定されない。
【００４３】
また、圧力検知手段は、ロードセル以外に圧力を検知できるものであれば何で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るシート貼付装置の斜視図。
【図２】図１のシート貼付装置の正面図とその制御系ブロック図。
【図３】（ａ）はウエハ及びリングフレーム上におけるプレスローラの位置と、ウエハ及びリングフレームとプレスローラとの接触面積の関係の説明図、（ｂ）はウエハおよびリングフレームとプレスローラとの位置関係の説明図、（ｃ）はウエハ及びリングフレーム上におけるプレスローラの位置と、プレスローラの押圧力との関係の説明図。
【図４】（ａ）はウエハ上におけるプレスローラの位置と、ウエハとプレスローラとの接触面積の関係の説明図、（ｂ）はウエハとプレスローラとの位置関係の説明図、（ｃ）はウエハ上におけるプレスローラの位置と、内側テーブルの押圧力との関係の説明図。
【図５】（ａ）はリングフレーム上におけるプレスローラの位置と、リングフレームとプレスローラとの接触面積の関係の説明図、（ｂ）はリングフレームとプレスローラとの位置関係の説明図、（ｃ）はリングフレーム上におけるプレスローラの位置と、外側テーブルの押圧力との関係の説明図。
【図６】ウエハとリングフレームとの厚さの関係の説明図。
【符号の説明】
【００４５】
Ｍ  シート貼付装置
Ｆ  リングフレーム（フレーム）
Ｗ  ウエハ（板状部材）
ＤＴ  ダイシングテープ（シート）
Ｐ  貼付基準位置
１  シート繰出手段
２  プレスローラ（押圧手段）
４  内側テーブル
５  外側テーブル
１６  第１の単軸ロボット（移動手段）
１８  第２の単軸ロボット（移動手段）
１９  第３の単軸ロボット（移動手段）
２１  第１のロードセル（圧力検知手段）
２２  第２のロードセル（圧力検知手段）
２３  第３のロードセル（圧力検知手段）
３２  プレスローラ制御手段（制御手段）
３３  内側テーブル制御手段（制御手段）
３４  外側テーブル制御手段（制御手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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