(57)【要約】【課題】シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断する。【解決手段】円盤状のカッターホイール１と、カッターホイール１を回転可能に軸支するためのシャフト４とを備え、シール材１３を介して貼り合わされたＴＦＴアレイ母基板１１及びＣＦ母基板１２におけるＣＦ母基板１２の表面にカッターホイール１の外周部Ｒ１を押し当てながら、カッターホイール１をＣＦ母基板１２の表面に沿って転動させることにより、ＣＦ母基板１２を分断する分断刃ユニット５であって、シャフト４には、一対の押圧ローラー２がカッターホイール１を挟んで回転可能に設けられ、各押圧ローラー２は、カッターホイール１の外周部Ｒ１をＣＦ母基板１２の表面に押し当てたときに、外周部Ｒ２がＣＦ母基板１２の表面に当接するように構成されている。【選択図】図１
2008156151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状の分断刃と、
上記分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、
シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板の一方の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記一方のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該一方のガラス基板を分断する分断刃ユニットであって、
上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、
上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記一方のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記一方のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする分断刃ユニット。
【請求項２】
シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を載置するための分断ステージと、
上記分断ステージの上方に配置された分断刃ユニットとを備え、
上記分断ステージに載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板を上記分断刃ユニットによって分断して、液晶表示パネルを製造する製造装置であって、
上記分断刃ユニットは、円盤状の分断刃と、該分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、上記分断ステージに載置された上側のガラス基板の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断するように構成され、
上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、
上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記上側のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記上側のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする液晶表示パネル製造装置。
【請求項３】
シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を分断ステージに載置する載置工程と、
上記載置工程で載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、円盤状の分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断する分断工程を備える液晶表示パネルの製造方法であって、
上記分断工程では、上記上側のガラス基板における上記分断刃の両側方の表面を押圧しながら、該分断刃を転動させることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより上記上側のガラス基板の表面にスクライブラインを形成した後に、該スクライブラインに沿って上記上側のガラス基板を分断することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項５】
請求項３に記載された液晶表示パネルの製造方法において、
上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより、上記上側のガラス基板に表面から裏面に達するクラックを形成して、該上側のガラス基板を分断することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分断刃ユニット、それを備えた液晶表示パネル製造装置、及び液晶表示パネルの製造方法に関し、特に、薄型の液晶表示パネルを構成するガラス基板を分断する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、例えば、薄膜トランジスタ（以下、「ＴＦＴ」と称する）などが形成されたＴＦＴアレイ基板と、そのＴＦＴアレイ基板に対向するように配置され、カラーフィルター（以下、「ＣＦ」と称する）などが形成されたＣＦ基板と、それらの両基板の間に設けられた液晶層とを備えている。ここで、上記ＴＦＴアレイ基板及びＣＦ基板は、一般的に、ガラス基板上に種々の薄膜を形成するなどしてそれぞれ作製されるので、液晶表示パネルの製造工程においては、ガラス基板を所定サイズに分断する分断工程が不可欠な工程になっている。
【０００３】
上記分断工程では、例えば、ガラス基板の表面に線状のスクライブラインを形成した後に、そのガラス基板をスクライブラインに沿って両側に分断するスクライブ方式が従来より広く利用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、ガラス基板を第１ステージ及び第２ステージの各吸着面に吸着保持させた状態で、ステージ移動機構によって、第１ステージ及び第２ステージを互いに接近又は離間させると共に、ステージの移動方向と直交する方向に沿って、スクライブライン形成手段を走査させるように構成された基板分断装置が開示されている。そして、この基板分断装置によれば、第１ステージ及び第２ステージの各吸着面の平坦度に影響されることなく、ガラス基板にスクライブライン形成手段の走査方向に沿って一直線状のスクライブラインを形成することができ、そのスクライブラインに沿って確実にガラス基板を分断することができる、と記載されている。
【特許文献１】特開２００６−１９９５５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、液晶表示パネルは、携帯電話などの種々のモバイル機器に搭載されており、このようなモバイル用途の液晶表示パネルでは、近年、パネル本体を軽量化するために、パネル本体を構成するガラス基板の薄型化が求められている。しかしながら、ガラス基板を薄型化した場合には、貼り合わされたＴＦＴアレイ基板及びＣＦ基板（以下、「貼合体」と称する）を分断する分断工程において、以下のような分断不良が発生するおそれがある。
【０００６】
図５は、従来の分断装置１２０を用いて貼合体１１５に対しスクライブラインを形成する際の貼合体１１５の状態を示す断面模式図である。
【０００７】
この分断装置１２０は、例えば、外周部の刃先が焼結ダイヤモンドにより形成された円盤状のカッターホイール１０１と、カッターホイール１０１を回転可能に軸支するためのシャフト１０４と、シャフト１０４の両端部を軸受けすると共にカッターホイール１０１の上側を収容するためのカッターホルダー１０３とを含む分断刃ユニット１１５を備えている。また、貼合体１１５は、例えば、厚さ０．４ｍｍ程度のＴＦＴアレイ母基板１１１と厚さ０．２ｍｍ程度のＣＦ母基板１１２とを各セル単位毎に枠状のシール材１１３を介して貼り合わせることにより構成されている。そして、ＣＦ母基板１１２を各セル単位毎に分断するために、分断装置１２０を用いて、例えば、ＣＦ母基板１１２の表面にスクライブラインを形成する際には、カッターホイール１０１の刃先を貼合体１１５のＣＦ母基板１１２の表面に押し当てるので、ＣＦ母基板１１２が図５に示すように撓んでしまう。そうなると、カッターホイール１０１の刃先による圧縮応力がＣＦ母基板１１２の表面に安定して加わらなくなるので、スクライブラインが所定位置に形成されなくなると共に、ＣＦ母基板１１２を所定位置で分断することが困難になって、分断不良が発生することになる。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、分断刃をガラス基板の表面に沿って転動させるときに、ガラス基板における分断刃の両側方の表面を押圧するようにしたものである。
【００１０】
具体的に本発明に係る分断刃ユニットは、円盤状の分断刃と、上記分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板の一方の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記一方のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該一方のガラス基板を分断する分断刃ユニットであって、上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記一方のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記一方のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする。
【００１１】
上記の構成によれば、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板における一方のガラス基板の表面に分断刃の外周部を押し当てたときに、支持軸に沿って分断刃の両側に設けられた各当接体の外周部が一方のガラス基板の表面に当接してそのガラス表面を押圧するので、一対のガラス基板における分断刃の外周部が押し当てられた部分、及び各当接体の外周部が当接された部分では、他方のガラス基板の表面から一方のガラス基板の表面までの距離が、各当接体の外周部が当接する部分の間で揃うことになる。そのため、一方のガラス基板の表面に対して分断刃の外周部（刃先）による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、一方のガラス基板の表面にスクライブライン、又は、一方のガラス基板にクラックが所定位置に形成されるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することが可能になる。
【００１２】
また、本発明に係る液晶表示パネル製造装置は、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を載置するための分断ステージと、上記分断ステージの上方に配置された分断刃ユニットとを備え、上記分断ステージに載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板を上記分断刃ユニットによって分断して、液晶表示パネルを製造する製造装置であって、上記分断刃ユニットは、円盤状の分断刃と、該分断刃を回転可能に軸支するための支持軸とを備え、上記分断ステージに載置された上側のガラス基板の表面に上記分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断するように構成され、上記支持軸には、各々円盤状の一対の当接体が上記分断刃を挟んで回転可能に設けられ、上記各当接体は、上記分断刃の外周部を上記上側のガラス基板の表面に押し当てたときに、外周部が上記上側のガラス基板の表面に当接するように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
上記の構成によれば、分断ステージ上に載置され、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、分断刃ユニットを構成する分断刃の外周部を押し当てたときに、分断刃ユニットの支持軸に沿って分断刃の両側に設けられた各当接体の外周部が上側のガラス基板の表面に当接してそのガラス表面を押圧するので、一対のガラス基板における分断刃の外周部が押し当てられた部分、及び各当接体の外周部が当接された部分では、下側（分断ステージ側）のガラス基板の表面から上側のガラス基板の表面までの距離が、各当接体の外周部が当接する部分の間で揃うことになる。そのため、上側のガラス基板の表面に対して分断刃の外周部（刃先）による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、上側のガラス基板の表面にスクライブライン、又は、上側のガラス基板にクラックが所定位置に形成されるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することが可能になる。
【００１４】
さらに、本発明に係る液晶表示パネルの製造方法は、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を分断ステージに載置する載置工程と、上記載置工程で載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、円盤状の分断刃の外周部を押し当てながら、該分断刃を上記上側のガラス基板の表面に沿って転動させることにより、該上側のガラス基板を分断する分断工程を備える液晶表示パネルの製造方法であって、上記分断工程では、上記上側のガラス基板における上記分断刃の両側方の表面を押圧しながら、該分断刃を転動させることを特徴とする。
【００１５】
上記の方法によれば、載置工程において分断ステージ上に載置され、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に、分断工程において分断刃ユニットを構成する分断刃の外周部を押し当てたときに、上側のガラス基板における分断刃の両側方の表面を押圧するので、一対のガラス基板における分断刃の外周部が押し当てられた部分、及び分断刃の両側方の押圧された部分では、下側（分断ステージ側）のガラス基板の表面から上側のガラス基板の表面までの距離が揃うことになる。そのため、上側のガラス基板の表面に対して分断刃の外周部（刃先）による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、上側のガラス基板の表面にスクライブライン、又は、上側のガラス基板にクラックが所定位置に形成されるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することが可能になる。
【００１６】
上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより上記上側のガラス基板の表面にスクライブラインを形成した後に、該スクライブラインに沿って上記上側のガラス基板を分断してもよい。
【００１７】
上記の方法によれば、分断ステージ上に載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面にスクライブラインを形成することにより、その上側のガラス基板を２段階で分断することになり、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【００１８】
上記分断工程では、上記分断刃を押し当てて転動させることにより、上記上側のガラス基板に表面から裏面に達するクラックを形成して、該上側のガラス基板を分断してもよい。
【００１９】
上記の方法によれば、分断ステージ上に載置された一対のガラス基板における上側のガラス基板の表面に裏面に達するクラックを形成することにより、その上側のガラス基板を１段階で分断することになり、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、分断刃をガラス基板の表面に沿って転動させるときに、ガラス基板における分断刃の両側方の表面を押圧することになるので、シール材を介して互いに対向するように貼り合わされた一対のガラス基板を所定位置で確実に分断することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
【００２２】
《発明の実施形態１》
図１〜図４は、本発明に係る分断刃ユニット、それを備えた液晶表示パネル製造装置、及び液晶表示パネルの製造方法の実施形態１を示している。具体的に、図１は、本実施形態の分断刃ユニット５を備えた液晶表示パネル製造装置２０の断面図であり、図２は、液晶表示パネル製造装置２０の斜視図である。
【００２３】
液晶表示パネル製造装置２０は、図１及び図２に示すように、貼合体１５を載置するための分断ステージ１０と、分断ステージ１０の上方に移動可能に配置された分断ユニット５とを備えている。
【００２４】
分断ユニット５は、図１に示すように、円盤状の分断刃として設けられたカッターホイール１と、カッターホイール１を回転可能に軸支するための支持軸として設けられた棒状のシャフト４と、各々円盤状の当接体として設けられ、カッターホイール１を挟むようにシャフト４に回転可能に支持された一対の押圧ローラー２と、シャフト４の両端部を軸受けすると共にカッターホイール１及び各押圧ローラー２の上側を収容するように設けられたカッターホルダー３とを備えている。
【００２５】
カッターホイール１は、例えば、タングステンカーバイドなどの超硬合金により、直径２．０ｍｍ、厚さ０．６５ｍｍ、及び刃先１５０度で、側面が厚さ方向の中央に向かってテーパー状に突出して横断面が六角形状に構成されている。また、カッターホイール１の外周部（刃先）には、ダイヤモンドが焼結されていてもよい。
【００２６】
各押圧ローラー２は、例えば、ＰＥ（ポリエチレン、PolyEthylene）樹脂などにより、直径２．０ｍｍ及び厚さ０．５ｍｍで円盤状に構成されている。なお、カッターホイール１及び各押圧ローラー２の間隔は、例えば、０．５ｍｍ程度である。
【００２７】
カッターホルダー３及びシャフト４は、例えば、タングステンカーバイドなどの超硬合金により構成されている。
【００２８】
分断ステージ１０は、例えば、ステンレスやセラミックなどにより構成され、その表面に、真空排気系の配管を介して真空ポンプに接続された多数の吸着孔１０を有している。
【００２９】
貼合体１５は、例えば、ＴＦＴアレイ母基板１１及びＣＦ母基板１２（一対のガラス基板）を各セル単位毎に枠状のシール材１３を介して貼り合わせることにより構成されている。
【００３０】
ＴＦＴアレイ母基板１１は、例えば、厚さ０．２ｍｍ〜０．４ｍｍのマザーガラス基板上に、各セル単位毎に、互いに平行に延びるように設けられた複数のゲート線（不図示）と、各ゲート線と直交する方向に互いに平行に延びるように設けられた複数のソース線（不図示）と、各ゲート線及び各ソース線の交差部分にそれぞれ設けられた複数のＴＦＴ（不図示）と、各ＴＦＴに対応してそれぞれ設けられた複数の画素電極（不図示）と、各画素電極を覆うように設けられた配向膜（不図示）とを備えている。
【００３１】
上記ＴＦＴは、上記ゲート線の側方に突出した部分であるゲート電極と、そのゲート電極を覆うように設けられたゲート絶縁膜と、そのゲート絶縁膜上でゲート電極に対応する位置に島状に設けられた半導体層と、その半導体層上で互いに対峙するように設けられたソース電極及びドレイン電極とを備えている。ここで、上記ソース電極は、上記ソース線の側方に突出した部分である。また、上記ドレイン電極は、上記画素電極に電気的に接続されている。
【００３２】
ＣＦ母基板１２は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍのマザーガラス基板上に、各セル単位毎に、ＴＦＴアレイ母基板１１上の各画素電極に対応して設けられ、例えば、各々、赤色、緑色又は青色に着色された複数の着色層（不図示）と、各着色層の間に格子状に設けられたブラックマトリクス（不図示）と、各着色層上に設けられた共通電極（不図示）と、共通電極を覆うように設けられた配向膜（不図示）とを備えている。
【００３３】
また、液晶表示パネル製造装置２０は、分断ユニット５が図２に示すように分断ステージ１０上を移動することにより、分断ステージ１０の上面に吸着して載置された貼合体１５のＣＦ母基板１２の表面にカッターホイール１の外周部（刃先）Ｒ１及び各押圧ローラー２の外周部Ｒ２を当接させた状態で、カッターホイール１及び各押圧ローラー２がＣＦ母基板１２の表面に沿って転動して、スクライブラインＬが形成されるように構成されている。このとき、液晶表示パネル製造装置２０では、図３に示すように、貼合体１５のカッターホイール１の外周部Ｒ１が押し当てられた部分、及び各押圧ローラー２の外周部Ｒ２が当接された部分において、ＴＦＴアレイ母基板１１の表面からＣＦ母基板１２の表面までの距離が、各押圧ローラー２の外周部Ｒ２が当接する部分の間で揃っているので、ＣＦ母基板１２の表面に対してカッターホイール１の外周部Ｒ１の刃先による圧縮応力を安定して（ほぼ垂直に）加えることができ、ＣＦ母基板１２の表面にスクライブラインＬを所定位置に形成することができる。ここで、図３は、図１に対応する液晶表示パネル製造装置２０の使用状態を示す断面図である。
【００３４】
次に、図１〜図４を参照して、液晶表示パネルの製造方法について一例を挙げて説明する。ここで、図４は、本実施形態の製造方法で製造される液晶表示パネルＰの断面図である。なお、本実施形態の液晶表示パネルの製造方法は、ＴＦＴアレイ母基板作製工程、ＣＦ母基板作製工程、貼り合わせ工程、エッチング工程、載置工程、分断工程、液晶注入工程及び封止工程を備える。
【００３５】
＜ＴＦＴアレイ母基板作製工程＞
まず、厚さ０．７ｍｍ程度のガラス基板の基板全体に、アルミニウムなどの金属膜を厚さ１５００Å程度でスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ゲート線及びゲート電極を形成する。
【００３６】
続いて、上記ゲート線及びゲート電極が形成された基板全体に、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法により窒化シリコン膜などを厚さ４０００Å程度で成膜し、ゲート絶縁膜を形成する。
【００３７】
さらに、上記ゲート絶縁膜が形成された基板全体に、ＣＶＤ法により真性アモルファスシリコン膜、及びリンがドープされたｎ＋アモルファスシリコン膜を、それぞれ、厚さ１５００Å及び４００Å程度で連続して成膜し、その後、フォトリソグラフィによりゲート電極上に島状にパターニングして、真性アモルファスシリコン層及びｎ＋アモルファスシリコン層からなる半導体層を形成する。
【００３８】
そして、上記半導体層が形成された基板全体に、チタンなどの金属膜を厚さ１５００Å程度でスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ソース線、ソース電極及びドレイン電極を形成する。
【００３９】
続いて、上記ソース電極及びドレイン電極をマスクとして半導体層のｎ＋アモルファスシリコン層をエッチングすることにより、チャネル部をパターニングして、ＴＦＴを形成する。
【００４０】
さらに、上記ＴＦＴが形成された基板全体に、スピンコーティング法を用いて、感光性アクリル樹脂などの有機絶縁膜を厚さ３μｍ程度で成膜し、その後、フォトリソグラフィによりドレイン電極上にコンタクトホールをパターニングして、保護絶縁膜を形成する。
【００４１】
そして、上記保護絶縁膜上の基板全体に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜を厚さ１０００Å程度でスパッタリング法により成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、画素電極を形成する。
【００４２】
最後に、上記画素電極が形成された基板全体に、印刷法により、ポリイミド樹脂を厚さ５００Å程度で塗布し、その後、ラビング処理を行うことにより、配向膜を形成する。
【００４３】
以上のようにして、ＴＦＴアレイ母基板を作製することができる。
【００４４】
＜ＣＦ母基板作製工程＞
まず、厚さ０．７ｍｍ程度のガラス基板の基板全体に、スパッタリング法により、例えば、クロム薄膜を厚さ１０００Å程度で成膜し、その後、フォトリソグラフィによりパターニングして、ブラックマトリクスを形成する。
【００４５】
続いて、上記ブラックマトリクスの格子間のそれぞれに、例えば、赤、緑又は青に着色された感光性レジスト材料などを厚さ１〜３μｍ程度で塗布した後に、フォトリソグラフィによりパターニングして、選択した色の着色層を形成する。さらに、他の２色についても同様な工程を繰り返して、他の２色の着色層を形成する。
【００４６】
さらに、上記各着色層上に、スパッタリング法により、例えば、ＩＴＯ膜を厚さ１０００Å程度で成膜して、共通電極を形成する。
【００４７】
最後に、上記共通電極が形成された基板全体に、印刷法により、ポリイミド樹脂を厚さ５００Å程度で塗布し、その後、ラビング処理を行うことにより、配向膜を形成する。
【００４８】
以上のようにして、ＣＦ母基板を作製することができる。
【００４９】
＜貼り合わせ工程＞
まず、例えば、上記ＣＦ母基板作製工程で作製されたＣＦ母基板に対し、スクリーン印刷法により、熱硬化型のエポキシ樹脂などを各セル単位毎に液晶注入口を有する枠状に塗布することにより、シール材１３を形成する。
【００５０】
続いて、シール材１３が形成されたＣＦ母基板の各シール材１３の内側に、例えば、直径３μｍ程度のプラスチック製のビーズなどからなるスペーサーを散布する。
【００５１】
さらに、上記スペーサーが散布されたＣＦ母基板と、上記ＴＦＴアレイ母基板作製工程で作製されたＴＦＴアレイ母基板とを貼り合わせた後に、加熱によりシール材１３を硬化させて、ＴＦＴアレイ母基板及びＣＦ母基板を接合することにより、貼合体を作製する。
【００５２】
＜エッチング工程＞
上記貼り合わせ工程で作製された貼合体をエッチング液に浸漬して、ＴＦＴアレイ母基板及びＣＦ母基板を構成する各ガラス基板の外面をエッチングすることにより、ＴＦＴアレイ母基板１１が０．２ｍｍ〜０．４ｍｍに、ＣＦ母基板１２が０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍにそれぞれ薄肉化された貼合体１５を作製する。
【００５３】
＜載置工程＞
液晶表示パネル製造装置２０の分断ステージ１０上に、上記エッチング工程で作製された貼合体１５をそのＣＦ母基板１２が上側になるように載置した後に、吸着孔１０ｈに接続された真空ポンプを作動させることにより、分断ステージ１０の表面に貼合体１５を吸着させる。
【００５４】
＜分断工程＞
まず、上記載置工程で分断ステージ１０上に載置された貼合体１５のＣＦ母基板１２の表面に、図２に示すように、カッターホイール１の外周部Ｒ１及びその両側の押圧ローラー２の外周部Ｒ２を押し当てながら、カッターホイール１及び各押圧ローラー２がＣＦ母基板１２の表面に沿って転動するように、分断刃ユニット５を移動させることにより、ＣＦ母基板１２の表面にスクライブラインＬを形成する。
【００５５】
続いて、分断ステージ１０上の貼合体１５を表裏反転させて、貼合体１５をそのＴＦＴアレイ母基板１１が上側になるように載置した後に、上記と同様に、分断刃ユニット５を移動させることにより、ＴＦＴアレイ母基板１１の表面にスクライブラインＬを形成する。
【００５６】
さらに、ブレークマシンを用いて、スクライブラインＬが形成された貼合体１５をスクライブラインＬに沿って分断する。
【００５７】
なお、本実施形態の分断工程では、貼合体１５が各セル単位に分割されるまで繰り返されるが、複数のセル単位が連設された短冊状の状態で分断を中断して、短冊状の貼合体に対して後述する液晶注入工程及び封止工程を行った後に、その短冊状の貼合体を各セル単位に分割してもよい。
【００５８】
＜液晶注入工程＞
上記分断工程で分断された貼合体１５に対し、減圧法により、液晶材料をシール材１３の液晶注入口から注入する。
【００５９】
＜封止工程＞
上記液晶注入工程で液晶材料が注入された貼合体１５の端面に、シール材の液晶注入口を塞ぐように、刷毛などによってＵＶ硬化型の樹脂を塗布した後に、ＵＶ光を照射することにより、液晶材料を封止して、液晶層１４を形成する。
【００６０】
以上のようにして、図４に示すように、互いに対向して配置されたＴＦＴアレイ基板１１ａ及びＣＦ基板１２ａと、両基板１１ａ及び１２ａの間に設けられた液晶層１４と、両基板１１ａ及び１２ａの間で液晶層１４を包囲するように設けられたシール材１３とを備えた液晶表示パネルＰを製造することができる。
【００６１】
以上説明したように、本実施形態の分断刃ユニット５、液晶表示パネル製造装置２０及び液晶表示パネルＰの製造方法によれば、分断ステージ１０上に載置され、シール材１３を介して互いに対向するように貼り合わされたＴＦＴアレイ母基板１１及びＣＦ母基板１２におけるＣＦ母基板１２の表面に、分断刃ユニット５を構成するカッターホイール１の外周部Ｒ１を押し当てたときに、分断刃ユニット５のシャフト４に沿ってカッターホイール１の両側に設けられた各押圧ローラー２の外周部Ｒ２がＣＦ母基板１２の表面に当接してそのガラス表面を押圧するので、ＴＦＴアレイ母基板１１及びＣＦ母基板１２におけるカッターホイール１の外周部Ｒ１が押し当てられた部分、及び各押圧ローラー２の外周部Ｒ２が当接された部分では、ＴＦＴアレイ母基板１１の表面からＣＦ母基板１２の表面までの距離が、各押圧ローラー２の外周部Ｒ２が当接する部分の間で揃うことになる。そのため、ＣＦ母基板１２の表面に対してカッターホイール１の外周部（刃先）Ｒ１による圧縮応力が安定して加わることになる。これにより、ＣＦ母基板１２の表面にスクライブラインＬ１が所定位置に形成されるので、シール材１３を介して互いに対向するように貼り合わされたＴＦＴアレイ母基板１１及びＣＦ母基板１２を所定位置で確実に分断することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、カッターホイールなどの回転刃による分断を例示したが、本発明は、固定刃による分断にも適用することができる。
【００６３】
さらに、本実施形態では、ＴＦＴアレイ母基板１１及びＣＦ母基板１２を各セル単位毎に分断する方法を例示したが、本発明は、ＴＦＴアレイ基板及びＣＦ基板の周囲の余分な部分を分断除去する際にも適用することができる。
【００６４】
また、本実施形態では、固定された分断ステージ１０に対し分断刃ユニット５を移動させる液晶表示パネル製造装置２０を例示したが、固定された分断ユニットに対し分断ステージを移動させるような装置構成であってもよい。
【００６５】
さらに、本実施形態では、液晶表示パネルの製造方法を例示したが、本発明は、一対のガラス基板を所定間隔で貼り合わせることにより製造される他の表示パネルにも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
以上説明したように、本発明は、薄型化されたガラス基板を確実に分断することができるので、モバイル用途の液晶表示パネルについて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】実施形態１に係る分断刃ユニット５を備えた液晶表示パネル製造装置２０の断面図である。
【図２】液晶表示パネル製造装置２０の斜視図である。
【図３】液晶表示パネル製造装置２０の使用状態を示す断面図である。
【図４】液晶表示パネル製造装置２０で製造される液晶表示パネルＰの断面図である。
【図５】従来の分断装置１２０を用いて貼合体１１５に対しスクライブラインを形成する際の貼合体１１５の状態を示す断面模式図である。
【符号の説明】
【００６８】
Ｌ        スクライブライン
Ｐ        液晶表示パネル
Ｒ１，Ｒ２    外周部
１        カッターホイール（分断刃）
２        押圧ローラー（当接体）
４        シャフト（支持軸）
５        分断刃ユニット
１０      分断ステージ
１１      ＴＦＴアレイ母基板（一対のガラス基板の他方）
１１ａ    ＴＦＴアレイ基板（一対のガラス基板の他方）
１２      ＣＦ母基板（一対のガラス基板の一方）
１２ａ    ＣＦ基板（一対のガラス基板の一方）
１３      シール材
２０      液晶表示パネル製造装置
【図１】
2008156151.tif 000003
【図２】
2008156151.tif 000004
【図３】
2008156151.tif 000005
【図４】
2008156151.tif 000006
【図５】
2008156151.tif 000007