(57)【要約】【課題】温度検出素子の応答性が高く、小型化が可能な温度センサ一体型圧力センサ装置を提供する。【解決手段】ターミナル１１がインサート成形された樹脂ヘッド１０と、樹脂ヘッド１０に備えられ、圧力検出を行う圧力検出素子２０と、圧力媒体を導入する連通管３４とインサート成形されたリード棒６０とを有してなり、連通管３４の第１開口部３４ａの周りで樹脂ヘッド１０に連結される樹脂パイプ３５と、連通管３４の第２開口部３４ｂの近くに配置され、圧力媒体の温度を検出する温度検出素子７０とを備え、リード棒６０の第１端部６０ａが、ターミナル１１に電気的に接続され、リード棒６０の第２端部６０ｂが、連通管３４の第２開口部３４ｂの近くに設けられ、温度検出素子７０のリード７１が、リード棒６０の第２端部６０ｂに接続されてなる温度センサ一体型圧力センサ装置１０１とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部と接続されるターミナルがインサート成形された樹脂ヘッドと、
前記ターミナルに電気的に接続された状態で前記樹脂ヘッドに備えられ、圧力検出を行う圧力検出素子と、
前記圧力検出素子へ圧力媒体を導入する連通管とインサート成形されたリード棒とを有してなり、前記連通管の第１開口部の周りで前記樹脂ヘッドに連結される樹脂パイプと、
前記樹脂パイプにおける前記連通管の第２開口部の近くに配置され、前記圧力媒体の温度を検出する温度検出素子とを備え、
前記樹脂パイプの外部に露出する前記リード棒の第１端部が、前記ターミナルに電気的に接続され、
前記樹脂パイプの外部に露出する前記リード棒の第２端部が、前記連通管の前記第２開口部の近くに設けられ、
前記温度検出素子のリード線が、前記リード棒の第２端部に接続されてなることを特徴とする温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項２】
前記リード棒の第２端部と前記温度検出素子のリード線の接続部が、樹脂保護材により覆われてなることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項３】
前記温度検出素子が、サーミスタ素子であることを特徴とする請求項１または２に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項４】
前記サーミスタ素子の直径が、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項５】
前記リード線の直径が、０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３または４に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項６】
前記リード線の長さが、１５ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項７】
前記リード棒の前記樹脂パイプへのインサート部分の断面が、Ｌ字形状であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項８】
前記リード棒の前記樹脂パイプへのインサート部分の断面が、Ｔ字形状であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項９】
前記リード棒が、黄銅またはリン青銅からなることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項１０】
前記温度センサ一体型圧力センサ装置が、車載用であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【請求項１１】
前記温度センサ一体型圧力センサ装置が、インテークマニホールドの吸気圧力と吸気温度の測定に用いられることを特徴とする請求項１０に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出素子と温度検出素子を備える温度センサ一体型圧力センサ装置に関し、特に、温度検出素子の応答性を向上させた温度センサ一体型圧力センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力検出素子と温度検出素子を備える温度センサ一体型圧力センサ装置が、例えば、特開２００６−１９４６８２号公報（特許文献１）、特開２００６−１９４６８３号公報（特許文献２）および特開２００５−２７４４１２号公報（特許文献３）に開示されている。
【０００３】
図５は、特許文献１に開示された従来の温度センサ一体型圧力センサ装置１００の全体概略断面構成を示す図である。
【０００４】
図５に示す圧力センサ装置１００は、大きくは、外部と接続されるターミナル１１がインサート成形されたケース（樹脂ヘッド）１０と、ターミナル１１に電気的に接続された状態で樹脂ヘッド１０に設けられ圧力検出を行う圧力検出素子２０と、樹脂ヘッド１０に連結され圧力検出素子２０へ圧力媒体を導入する圧力導入孔３１を有するポート部（樹脂パイプ）３０と、ターミナル１１に電気的に接続された状態で圧力導入孔３１に設けられ圧力媒体の温度を検出する温度検出素子４０とを備えて構成されている。
【０００５】
圧力センサ装置１００の樹脂パイプ３０は、樹脂ヘッド１０の凹部１２の開口部を覆うように樹脂ヘッド１０に対して連結され、この樹脂ヘッド１０と樹脂パイプ３０との間において圧力検出室１６が形成されている。樹脂パイプ３０は、樹脂ヘッド１０とは反対側の方向へ突き出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室１６に通じる圧力導入孔３１が形成されている。また、仕切り板３２によって仕切られた圧力導入孔３１は、一方が、圧力検出素子２０の受圧面まで圧力を測定すべき圧力媒体を伝達するための圧力導入孔３１ａであり、他方は、その内部に温度検出素子４０とつながる配線部材としてのリード線２４が配置される温度検出素子配置孔３１ｂである。
【０００６】
温度検出素子４０としては、通常、直径が３ｍｍ程度のサーミスタ素子が用いられる。また、サーミスタ素子４０のリード線２４は、直径が０．５ｍｍ程度の金属製のワイヤなどからなり、樹脂ヘッド１０から露出するターミナル１１の部分に対して溶接や半田付けなどにより接続部２３で接続されている。また、温度検出素子配置孔３１ｂの内部において、リード線２４と温度検出素子配置孔３１ｂとの間には、樹脂などからなる緩衝部材２５が介在している。この緩衝部材２５は、温度検出素子４０とリード線２４の振動を抑制するために設けられているものである。そして、リード線２４は、樹脂ヘッド１０側の接続部２３から温度検出素子配置孔３１ｂを介して樹脂パイプ３０の先端部付近まで延設されており、圧力導入孔３１の先端部付近にて、リード線２４と温度検出素子４０とが電気的に接続されている。
【特許文献１】特開２００６−１９４６８２号公報
【特許文献２】特開２００６−１９４６８３号公報
【特許文献３】特開２００５−２７４４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図５に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１００は、圧力検出素子２０と温度検出素子４０とを備えており、例えば自動車のインテークマニホールド（吸気管）に取り付けられ、インテークマニホールドにおける吸入空気の圧力および温度が測定される。従って、これにより、空気流量の精密な測定が可能となる。
【０００８】
ここで、インテークマニホールドに流れる吸入空気の温度を正確に測定するためには、温度温度検出素子４０は、樹脂パイプ３０の先端部付近（インテークマニホールド内の空気の流れ中）に設置する必要がある。このため、図５に示す圧力センサ装置１００の温度検出素子４０は、温度検出素子配置孔３１ｂを通る太いリード線２４に支えられて、インテークマニホールド内へ突き出るように配置される。しかしながら、圧力センサ装置１００の太いリード線２４による温度検出素子４０の保持構造は、温度検出素子４０の応答性を低下させると共に、該圧力センサ装置１００の小型化の制約となる。
【０００９】
そこで本発明は、圧力検出素子と温度検出素子を備える温度センサ一体型圧力センサ装置であって、温度検出素子の応答性が高く、小型化が可能な温度センサ一体型圧力センサ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の温度センサ一体型圧力センサ装置は、外部と接続されるターミナルがインサート成形された樹脂ヘッドと、前記ターミナルに電気的に接続された状態で前記樹脂ヘッドに備えられ、圧力検出を行う圧力検出素子と、前記圧力検出素子へ圧力媒体を導入する連通管とインサート成形されたリード棒とを有してなり、前記連通管の第１開口部の周りで前記樹脂ヘッドに連結される樹脂パイプと、前記樹脂パイプにおける前記連通管の第２開口部の近くに配置され、前記圧力媒体の温度を検出する温度検出素子とを備え、前記樹脂パイプの外部に露出する前記リード棒の第１端部が、前記ターミナルに電気的に接続され、前記樹脂パイプの外部に露出する前記リード棒の第２端部が、前記連通管の前記第２開口部の近くに設けられ、前記温度検出素子のリード線が、前記リード棒の第２端部に接続されてなることを特徴としている。
【００１１】
上記温度センサ一体型圧力センサ装置においては、樹脂パイプが、圧力検出素子へ圧力媒体を導入する連通管と共に、インサート成形されたリード棒を備えている。このリード棒の樹脂パイプの外部に露出する一方の第１端部は、樹脂ヘッドにインサート成形された外部と接続されるターミナルに接続され、このリード棒の樹脂パイプの外部に露出するもう一方の第２端部は、温度検出素子が近くに配置される連通管の第２開口部の近くに設けられている。従って、上記温度センサ一体型圧力センサ装置においては、温度検出素子のリード線をできるだけ短くした状態で、樹脂パイプにインサート成形されたリード棒を介して、温度検出素子とターミナルを電気的に接続することが可能となる。このため、当該温度センサ一体型圧力センサ装置における温度検出素子のリード線は、従来に較べて細くすることができる。また、細いリード線と共に、温度検出素子についても、従来に較べて小型軽量の温度検出素子を採用することができる。これらによって、上記温度センサ一体型圧力センサ装置においては、従来に較べて、温度検出素子の応答性を高めることができる。
【００１２】
また、小型軽量でリード線が細く短い温度検出素子を採用できるだけでなく、上記温度センサ一体型圧力センサ装置におけるリード棒は、樹脂パイプにインサート成形されており、特別な支持構造が必要ない。このため、上記温度センサ一体型圧力センサ装置は、従来に較べて、小型化が可能となる。
【００１３】
以上のようにして、上記温度センサ一体型圧力センサ装置は、圧力検出素子と温度検出素子を備える温度センサ一体型圧力センサ装置であって、温度検出素子の応答性が高く、小型化が可能な温度センサ一体型圧力センサ装置とすることができる。
【００１４】
尚、上記温度センサ一体型圧力センサ装置においては、上記樹脂ヘッドと上記樹脂パイプを共通化して、各種の特性（およびリード線）を持った温度検出素子を接続することができる。従って、製品のバリエーション展開が拡大されると共に、工程の大幅な変更が不要となり、多品種生産への対応も容易となる。
【００１５】
上記温度センサ一体型圧力センサ装置においては、請求項２に記載のように、前記リード棒の第２端部と前記温度検出素子のリード線の接続部が、樹脂保護材により覆われてなることが好ましい。
【００１６】
これによって、温度検出素子のリード線をできるだけ短くするために、リード棒の第２端部とリード線の接続部が例えば圧力媒体が流れる吸気管の中に突き出していても、該接続部を汚れや腐食をから保護することができる。
【００１７】
上記温度センサ一体型圧力センサ装置における前記温度検出素子は、請求項３に記載のように、小型軽量で安価なサーミスタ素子とすることが好ましい。
【００１８】
この場合、請求項４に記載のように、前記サーミスタ素子の直径は、高応答性と耐振性のために、１ｍｍ以下であることが好ましい。請求項５に記載のように、前記リード線の直径は、高応答性のために、０．３ｍｍ以下であることが好ましい。また、請求項６に記載のように、前記リード線の長さは、取り付けが容易であることから１５ｍｍ以上であることが好ましく、振動等に対する強度を確保するために３０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１９】
上記温度センサ一体型圧力センサ装置においては、請求項７と請求項８に記載のように、前記リード棒の前記樹脂パイプへのインサート部分の断面は、インサート時の位置決めや強度等を確保して樹脂パイプへのインサート成形を容易にするため、Ｌ字形状またはＴ字形状であるこが好ましい。
【００２０】
また、請求項９に記載のように、前記リード棒は、導電性がよく安価で高強度である、黄銅またはリン青銅からなることが好ましい。
【００２１】
上記温度センサ一体型圧力センサ装置は、圧力媒体の温度と圧力を検出できるため、圧力媒体の流量を正確に算出することができ、温度検出素子の応答性が高く、小型化が可能である。また、広範囲の製品バリエーションで、多品種生産への対応も容易である。このため、請求項１０に記載のように、前記温度センサ一体型圧力センサ装置は、車載用として好適で、特に、請求項１１に記載のように、インテークマニホールドの吸気圧力と吸気温度の測定に好適に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図に基づいて説明する。
【００２３】
図１は、本発明の温度センサ一体型圧力センサ装置の一例で、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の模式的な断面図である。また、図２は、図１に白抜き矢印で示したＡ視からの温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の側面図で、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１を車両のインテークマニホールド９０に装着した状態を模式的に示した図である。尚、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１において、図５に示した温度センサ一体型圧力センサ装置１００と同様の部分については、同じ符号を付した。
【００２４】
図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１は、大きな構成要素として、樹脂ヘッド１０と樹脂パイプ３５とを備えている。
【００２５】
図１に示すように、樹脂ヘッド１０には、外部と接続されるターミナル１１がインサート成形されている。また、樹脂ヘッド１０には、ターミナル１１に電気的に接続された状態で、圧力媒体の圧力検出を行う圧力検出素子２０が備えられている。
【００２６】
樹脂ヘッド１０は、たとえば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものである。この樹脂ヘッド１０の一面には、部分的に圧力検出素子２０を搭載するための凹部１２が形成されている。
【００２７】
また、樹脂ヘッド１０には、外部と接続される複数本の上記ターミナル１１がインサート成形により一体的に設けられている。このターミナル１１は、たとえば銅や４２アロイなどの導電材料よりなるものである。一部のターミナル１１の一端部は、上記凹部１２内にて露出した状態となるように配置されている。なお、この一部のターミナル１１における凹部１２での露出部分には、金メッキなどが施されることにより、ボンディングパッドとして機能するように構成されている。各ターミナル１１のうち樹脂ヘッド１０における開口部１３において露出する端部は、図示しない外部機器（外部の配線部材等）に接続可能となっている。つまり、この樹脂ヘッド１０の開口部１３の部分は、当該開口部１３に位置する各ターミナル１１の端部とともに、本センサ装置１０１におけるコネクタ部として構成されている。
【００２８】
樹脂ヘッド１０の凹部１２に搭載された圧力検出素子２０は、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。この圧力検出素子２０は、たとえば、半導体よりなるセンサチップとこのセンサチップを保持するガラス台座とにより構成されている。上記センサチップは、限定するものではないが、たとえば、シリコン半導体チップなどからなるピエゾ抵抗効果を利用した周知構成のもので、その上面に圧力を受けて歪むダイアフラムおよび拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えた構成となっている。この圧力検出素子２０は、上記した樹脂ヘッド１０の凹部１２の底面と上記ガラス台座との間に、たとえばシリコーンゴム等の図示しない接着剤を介在させた状態でダイボンディングされている。また、圧力検出素子２０の各入出力端子（図示せず）は、ターミナル１１の上記ボンディングパッドに対し、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１４を介して電気的に接続されている。こうして、圧力検出素子２０は、ターミナル１１に電気的に接続された状態で樹脂ヘッド１０に設けられている。
【００２９】
そして、樹脂ヘッド１０の凹部１２内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素ゲルやフッ素ゴムなどからなる保護部材１５が充填されており、この保護部材１５によって、ターミナル１１と樹脂ヘッド１０との界面、圧力検出素子２０およびボンディングワイヤ１４などが封止され、薬品からの保護、電気的な絶縁性の確保、並びに防食などが図られている。図１に示される例では、この保護部材１５としては、２層保護構造を採用している。たとえば、下層に位置する保護部材としては、ターミナル１１と樹脂ヘッド１０との界面等からの気泡の発生を抑制するために高弾性率を持ち且つ耐薬品性を有する材料からなるものにできる。限定するものではないが、たとえば、フッ素系のゴム材料などを採用することができる。また、上層に位置する保護部材としては、圧力検出素子２０およびボンディングワイヤ１４へ応力を与えないような低弾性率を持ち且つ耐薬品性を有する材料からなるものにできる。限定するものではないが、たとえば、フッ素系のゲル材料やフロロシリコーンゲルなどを採用することができる。
【００３０】
図１に示すように、樹脂パイプ３５は、圧力検出素子２０へ圧力媒体を導入する連通管３４と、インサート成形されたリード棒６０とを有している。樹脂パイプ３５は、連通管３４の第１開口部３４ａの周りで、樹脂ヘッド１０の凹部１２の開口部を覆うように樹脂ヘッド１０に連結され、樹脂ヘッド１０と樹脂パイプ３５の第１開口部３４ａの周りで圧力検出室が形成される。また、樹脂パイプ３５における連通管３４の第２開口部３４ｂの近くには、圧力媒体の温度を検出する温度検出素子７０が配置される。尚、温度検出素子７０は、抵抗の温度特性を有する通常のサーミスタ素子からなるもので、図１では、図を見易くするため図２に較べて実際より拡大して温度検出素子７０が描かれている。また、樹脂パイプ３５の外周部には、Ｏリング３３が設けられ、このＯリング３３を介して、図２に示すように、インテークマニホールド９０に気密状態で装着される。
【００３１】
樹脂パイプ３５は、たとえば樹脂ヘッド１０と同様に、ＰＢＴ、ＰＰＳなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、これらの樹脂材料を金型により型成形してなるものである。また、ここでは、樹脂パイプ３５は、樹脂ヘッド１０に対してハードエポキシ樹脂等の耐薬品性に優れ且つ高弾性である接着材１７により、固定・シールされ取り付けられている。
【００３２】
樹脂パイプ３５は、樹脂ヘッド１０とは反対側の方向へ突き出しており、その内部には、突出先端の第２開口部３４ｂから上記圧力検出室を構成する第１開口部３４ａに通じる連通管３４が形成されている。連通管３４は、圧力検出素子２０の受圧面まで圧力を測定すべき圧力媒体を伝達するための圧力導入管である。
【００３３】
樹脂パイプ３５にインサート成形されているリード棒６０は、温度検出素子７０のリード線７１を短くして、温度検出素子７０のリード線７１と樹脂ヘッド１０のターミナル１１を電気的に中継して接続するためのものである。図１に示すように、樹脂パイプ３５の外部に露出するリード棒６０の第１端部６０ａは、樹脂ヘッド１０のターミナル１１に溶接され、電気的に接続されている。また、樹脂パイプ３５の外部に露出するリード棒６０の第２端部６０ｂは、連通管３４の第２開口部３４ｂの近くに設けられ、このリード棒６０の第２端部６０ｂに、温度検出素子７０の金属ワイヤからなるリード線７１が、半田付け、溶接、かしめ等により電気的に接続される。
【００３４】
図３は、リード棒６０の樹脂パイプ３５へのインサート部分（図１の一点鎖線Ｂ−Ｂ）における断面形状を例示した図で、図３（ａ）は平板形状、図３（ｂ）はＬ字形状、図３（ｃ）はＴ字形状となっている。リード棒６０の樹脂パイプ３５の外部に露出する第１端部６０ａと第２端部６０ｂは、ターミナル１１やリード線７１と接続するために、図３（ａ）に示す平板形状となっていることが好ましい。一方、リード棒６０の樹脂パイプ３５へのインサート部分の断面は、インサート時の位置決めや強度等を確保して樹脂パイプへのインサート成形を容易にするため、図３（ｂ）に示すＬ字形状または図３（ｃ）に示すＴ字形状であるこが好ましい。また、リード棒６０の材質は、導電性がよく安価で高強度である、黄銅またはリン青銅であることが好ましい。
【００３５】
温度センサ一体型圧力センサ装置１０１においては、第２端部６０ｂとリード線７１の接続部が、図１に示すように、ポッティング等によって形成される樹脂保護材３６により覆われている。樹脂保護材３６には、例えば、耐酸性、耐腐食性にすぐれたエポキシ樹脂、フッ素ゴム、シリコーンゴム等が適用される。この樹脂保護材３６によって、温度検出素子７０のリード線７１をできるだけ短くするために、リード棒６０の第２端部６０ｂとリード線７１の接続部が図２に示すように圧力媒体が流れるインテークマニホールド（吸気管）９０の中に突き出していても、該接続部を汚れや腐食をから保護することができる。また、湿度等によるリーク等も防止することができる。
【００３６】
以上に示したように、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１においては、樹脂パイプ３５が、圧力検出素子２０へ圧力媒体を導入する連通管３４と共に、インサート成形されたリード棒６０を備えている。このリード棒６０の樹脂パイプ３５の外部に露出する一方の第１端部６０ａは、樹脂ヘッド１０にインサート成形された外部と接続されるターミナル１１に接続され、このリード棒６０の樹脂パイプ３５の外部に露出するもう一方の第２端部６０ｂは、温度検出素子７０が近くに配置される連通管３４の第２開口部３４ｂの近くに設けられている。従って、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１においては、温度検出素子７０のリード線７１をできるだけ短くした状態で、樹脂パイプ３５にインサート成形されたリード棒６０を介して、温度検出素子７０とターミナル１１を電気的に接続することが可能となる。このため、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１における温度検出素子７０のリード線７１は、図５に示した従来温度センサ一体型圧力センサ装置１００における温度検出素子４０のリード線２４に較べて、細くすることができる。また、細いリード線７１と共に、温度検出素子７０についても、従来に較べて小型軽量の温度検出素子を採用することができる。これらによって、上記温度センサ一体型圧力センサ装置１０１においては、図５に示した従来の温度センサ一体型圧力センサ装置１００に較べて、温度検出素子７０の応答性を高めることができる。
【００３７】
上記温度センサ一体型圧力センサ装置１０１における温度検出素子７０は、前述したように、小型軽量で安価なサーミスタ素子とすることが好ましい。この場合、サーミスタ素子７０の直径は、高応答性と耐振性のために、１ｍｍ以下であることが好ましい。リード線７１の直径は、高応答性のために、０．３ｍｍ以下であることが好ましい。また、リード線７１の長さは、取り付けが容易であることから１５ｍｍ以上であることが好ましく、振動等に対する強度を確保するために、３０ｍｍ以下であることが好ましい。特に、リード棒６０の第２端部６０ｂとサーミスタ素子７０のリード線７１の接続位置は、先端から樹脂パイプ３５の１／２の長さを越えない位置で、サーミスタ素子７０のリード線７１が樹脂パイプ３５から露出する長さが、１０ｍｍを越えないことが望ましい。リード線７１の露出長さが長すぎると、リード線７１のサーミスタ素子７０の保持力が低下してしまうためである。
【００３８】
図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１は、小型軽量でリード線７１が細く短い温度検出素子７０を採用できるだけでなく、温度検出素子７０のリード線７１と樹脂ヘッド１０のターミナル１１を中継するリード棒６０は、樹脂パイプ３５にインサート成形されており、特別な支持構造が必要ない。このため、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１は、図５の従来の温度センサ一体型圧力センサ装置１００に較べて、小型化が可能となる。
【００３９】
次に、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の製造方法を、図１と次の図４を参照しながら簡単に説明する。図４は、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の製造方法の一例で、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の主な製造工程をまとめて示した図である。
【００４０】
図４に示すように、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の製造においては、樹脂ヘッド１０と樹脂パイプ３５をそれぞれ別工程で準備し、これらを組み付けて製造する。
【００４１】
樹脂ヘッド１０の準備工程においては、ターミナル１１がインサート成形された樹脂ヘッド１０を用意する。そして、圧力検出素子２０を樹脂ヘッド１０の凹部１２へ接着剤など介して搭載固定し、圧力検出素子２０とターミナル１１の間でワイヤボンディングを行い、これら両者１１、２０をボンディングワイヤ１４により結線する。その後、保護部材１５を樹脂ヘッド１０の凹部１２へ注入して充填し、これに熱硬化処理を行うことによって、保護部材１５を硬化させる。
【００４２】
樹脂パイプ３５の準備工程においては、リード棒６０がインサート成形された樹脂パイプ３５を用意する。そして、サーミスタ素子７０を樹脂パイプ３５に組み付けて、リード線７１をリード棒６０の第２端部６０ｂに抵抗溶接する。次に、リード線７１と第２端部６０ｂの接続部に、樹脂保護材３６としてフッ素ゴムを注入し、硬化させる。
【００４３】
以上の各工程で準備した樹脂ヘッド１０と樹脂パイプ３５を組み付けて、エポキシ樹脂からなる接着材１７を介して固定することにより、樹脂パイプ３５と樹脂ヘッド１０とを連結する。最後に、リード棒６０の第１端部６０ａを、樹脂ヘッド１０のターミナル１１に抵抗溶接する。
【００４４】
以上で、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１が完成する。
【００４５】
以上に示したように、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１は、圧力検出素子２０と温度検出素子７０を備える温度センサ一体型圧力センサ装置であって、温度検出素子７０の応答性が高く、小型化が可能な温度センサ一体型圧力センサ装置とすることができる。
【００４６】
尚、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１においては、樹脂ヘッド１０と樹脂パイプ３５を共通化して、各種の特性（およびリード線７１）を持った温度検出素子７０を接続することができる。従って、製品のバリエーション展開が拡大されると共に、工程の大幅な変更が不要となり、多品種生産への対応も容易となる。
【００４７】
このように、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１は、圧力媒体の温度と圧力を検出できるため、圧力媒体の流量を正確に算出することができ、温度検出素子７０の応答性が高く、小型化が可能である。また、広範囲の製品バリエーションで、多品種生産への対応も容易である。このため、図１に示す温度センサ一体型圧力センサ装置１０１は、車載用として好適で、特に、図２に示すように、インテークマニホールド９０の吸気圧力と吸気温度の測定に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の温度センサ一体型圧力センサ装置の一例で、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の模式的な断面図である。
【図２】図１に白抜き矢印で示したＡ視からの温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の側面図で、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１を車両のインテークマニホールド９０に装着した状態を模式的に示した図である。
【図３】リード棒６０の樹脂パイプ３５へのインサート部分（図１の一点鎖線Ｂ−Ｂ）における断面形状を例示した図で、（ａ）は平板形状、（ｂ）はＬ字形状、（ｃ）はＴ字形状となっている。
【図４】温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の製造方法の一例で、温度センサ一体型圧力センサ装置１０１の主な製造工程をまとめて示した図である。
【図５】従来の温度センサ一体型圧力センサ装置１００の全体概略断面構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１００，１０１  温度センサ一体型圧力センサ装置
１０  樹脂ヘッド
１１  ターミナル
２０  圧力検出素子
３０，３５  樹脂パイプ
３４  連通管
３４ａ  第１開口部
３４ｂ  第２開口部
３６  樹脂保護材
６０  リード棒
６０ａ  第１端部
６０ｂ  第２端部
４０，７０  温度検出素子（サーミスタ素子）
２４，７１  リード線
９０  インテークマニホールド
【図１】
2008261796.tif 000003
【図２】
2008261796.tif 000004
【図３】
2008261796.tif 000005
【図４】
2008261796.tif 000006
【図５】
2008261796.tif 000007