(57)【要約】【課題】本発明は、慣性センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】慣性センサは、検出された圧力差（圧力勾配）による移動対象物の加速度および角加速度を測定する。慣性センサは、基板と、該基板上に配置された回路と、第１端部および第２端部を有した環状チャンバを備える加圧装置と、第１端部および第２端部を有し且つ該第２端部が環状チャンバの第２端部に接続されたチャネルと、環状チャンバの第１端部とチャネルの第１端部とにそれぞれ接続され且つ前記回路に電気的に接続された圧力計と、環状チャンバを満たす液体とを備えている。したがって、本発明は、構造を簡素化し、製造工程を容易にし、コストを低減した高感度平面慣性センサを提供する。この発明に基づいた慣性センサは、移動または回転する対象物の加速度および角加速度を測定することができ、さらに、相互一体化の結果、多重軸測定を可能にする。【選択図】図１
2008275583.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、回路と、加圧装置とを備えた慣性センサであって、前記慣性センサは、
第１端部および第２端部を有した環状チャンバと、
第１端部および第２端部を有し、該第２端部が前記環状チャンバの第２端部に接続されたチャネルと、
前記環状チャンバの第１端部と前記チャネルの第１端部とにそれぞれ接続され、前記回路に電気的に接続された圧力計と、
前記環状チャンバを満たす流体と
を備える、慣性センサ。
【請求項２】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板を含んでいる、請求項１記載の慣性センサ。
【請求項３】
前記圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項１記載の慣性センサ。
【請求項４】
前記流体は液体である、請求項１記載の慣性センサ。
【請求項５】
前記液体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物を含んでいる、請求項４記載の慣性センサ。
【請求項６】
前記回路は、前記基板上に配置されている、請求項１記載の慣性センサ。
【請求項７】
前記回路は、前記慣性センサの外部に配置されている、請求項１記載の慣性センサ。
【請求項８】
前記慣性センサは、前記圧力計によって測定される前記圧力値を通じて得られる角加速度感度をさらに備え、それによって、前記角加速度は、下の式を適用することによって決定され、
α＝Ｐ／（２πｄＲ２）、
ここで、
Ｐは、前記圧力計によって測定される圧力値を表わし、
ｄは、流体密度を表わし、
αは、角加速度を表わし、
Ｒは、前記環状チャンバの半径を表わしている、請求項１記載の慣性センサ。
【請求項９】
基板と、回路と、加圧装置とを備えた慣性センサであって、前記慣性センサは、
第１端部および第２端部を有した環状チャンバと、
ベースと、
前記環状チャンバの第１端部に接続され且つ前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、
前記環状チャンバの第２端部に接続され且つ前記回路に電気的に接続された第２圧力計と、
前記環状チャンバを満たす流体と
を備える、慣性センサ。
【請求項１０】
前記ベースは、第１端部および第２端部を有したチャネルを備え、該チャネルの第１端部は、前記第１圧力計のチャンバに接続され、前記チャネルの第２端部は、前記第２圧力計のチャンバに接続されている、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項１１】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板を含んでいる、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項１２】
前記チャネルは、前記基板上に配置されている、請求項１０記載の慣性センサ。
【請求項１３】
前記チャネルは、前記基板内に延びている、請求項１０記載の慣性センサ。
【請求項１４】
前記チャネルは、空気で満たされている、請求項１０記載の慣性センサ。
【請求項１５】
前記チャネルは、真空状態下にある、請求項１０記載の慣性センサ。
【請求項１６】
前記第１圧力計および前記第２圧力計の各々は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項１７】
前記回路は、前記基板上に配置されている、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項１８】
前記回路は、前記慣性センサの外部に配置されている、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項１９】
前記流体は液体である、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項２０】
前記液体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物を含んでいる、請求項１９記載の慣性センサ。
【請求項２１】
前記慣性センサは前記第１圧力計と前記第２圧力計との間の圧力差を通じて得られる角加速度感度をさらに備え、それによって、前記角加速度は、下の式を適用することによって決定され、
α＝（Ｐ２−Ｐ１）／（２πｄＲ２）、
ここで、
Ｐ１は、前記第１圧力計によって測定される圧力値を表わし、
Ｐ２は、前記第２圧力計によって測定される圧力値を表わし、
ｄは、流体密度を表わし、
αは、角加速度を表わし、
Ｒは、前記環状チャンバの半径を表わしている、請求項９記載の慣性センサ。
【請求項２２】
回路と、加圧装置とを備えた慣性センサであって、前記慣性センサは、
ベースと、
前記ベース上に配置され且つ前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、
前記ベース上に配置され且つ前記回路に電気的に接続された第２圧力計と、
前記加圧装置を収容したハウジングと、
前記ハウジングを満たす流体と
を備える、慣性センサ。
【請求項２３】
前記ベースは、第１端部および第２端部を有したチャネルを備え、該チャネルの第２端部は、前記第１圧力計のチャンバに接続され、前記チャネルの第１端部は、前記第２圧力計のチャンバに接続されている、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項２４】
基板が前記ハウジングの底部上に配置されている、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項２５】
前記ハウジングは、上側蓋および基板を備えている、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項２６】
前記チャネルは、前記第１端部および前記第２端部と非同一直線上の第３端部をさらに備えている、請求項２３記載の慣性センサ。
【請求項２７】
前記加圧装置は、前記チャネルの第３端部に接続され且つ前記回路に電気的に接続された第３圧力計を、さらに備えている、請求項２６記載の慣性センサ。
【請求項２８】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板を含んでいる、請求項２４記載の慣性センサ。
【請求項２９】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板を含んでいる、請求項２５記載の慣性センサ。
【請求項３０】
前記チャネルは、前記基板上に配置されている、請求項２３記載の慣性センサ。
【請求項３１】
前記チャネルは、前記基板内に延びている、請求項２３記載の慣性センサ。
【請求項３２】
前記チャネルは、空気で満たされている、請求項２３記載の慣性センサ。
【請求項３３】
前記チャネルは、真空状態下にある、請求項２３記載の慣性センサ。
【請求項３４】
前記第１圧力計および前記第２圧力計の各々は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項３５】
前記第１圧力計、前記第２圧力計、および前記第３圧力計の各々は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項２７記載の慣性センサ。
【請求項３６】
前記流体は液体である、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項３７】
前記液体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物である、請求項３６記載の慣性センサ。
【請求項３８】
前記慣性センサは、前記第１圧力計と前記第２圧力計との間の圧力差を通じて得られる線形加速度感度をさらに備え、それによって、前記加速度は、下の式を適用することによって決定され、
ａ＝（Ｐ２−Ｐ１）／（ｄ×Ｓ）、
ここで、
Ｐ１は、前記第１圧力計の圧力値を表わし、
Ｐ２は、前記第２圧力計の圧力値を表わし、
ｄは、流体密度を表わし、
ａは、加速度を表わし、
Ｓは、前記第１圧力計の中心と前記第２圧力計の中心との間の距離を表わしている、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項３９】
前記慣性センサは、前記第１圧力計と前記第２圧力計との間の圧力差を通じて得られる角速度感度をさらに備え、それによって、前記圧力差は、下の式を適用することによって決定され、
【数１】
2008275583.tif 000004
ここで、
Ｐ１は、前記第１圧力計の圧力値を表わし、
Ｐ２は、前記第２圧力計の圧力値を表わし、
ｄは、流体密度を表わし、
ωは、角速度を表わし、
Ｒ１は、回転中心と前記第１圧力計の中心との間の距離を表わし、
Ｒ２は、回転中心と前記第２圧力計の中心との間の距離を表わしている、請求項２２記載の慣性センサ。
【請求項４０】
ハウジングを設けること、
回路を形成すること、
前記ハウジング内に加圧装置を形成すること、および
前記ハウジングを流体で満たすことと
を含む、慣性センサの製造方法。
【請求項４１】
基板が前記ハウジングの底部上に配置されている、請求項４０記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４２】
前記回路は、前記ハウジングの内部に配置されている、請求項４０記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４３】
前記回路は、前記ハウジングの外部に配置されている、請求項４０記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４４】
前記回路および前記加圧装置は、前記基板上に配置されている、請求項４１記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４５】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板を含んでいる、請求項４１記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４６】
前記加圧装置は、
第１端部および第２端部を有したチャネルを収容するベースと、
前記チャネルの第１端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、
前記チャネルの第２端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第２圧力計と
を備える、請求項４０記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４７】
前記チャネルは第３端部をさらに備え、前記チャネルは平面でＬ字形の形態をなしている、請求項４６記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４８】
前記加圧装置は、前記チャネルの第３端部に接続され且つ前記回路に電気的に接続された第３圧力計を、さらに備えている、請求項４７記載の慣性センサの製造方法。
【請求項４９】
前記チャネルは、前記基板上に配置されている、請求項４６記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５０】
前記チャネルは、前記基板内に延びている、請求項４６記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５１】
前記チャネルは、空気で満たされている、請求項４６記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５２】
前記チャネルは、真空状態下にある、請求項４６記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５３】
前記第１圧力計および前記第２圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項４６記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５４】
前記第１圧力計、前記第２圧力計、および前記第３圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項４８記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５５】
前記前記ハウジングを満たす流体は液体である、請求項４０記載の慣性センサ。
【請求項５６】
前記液体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物を含んでいる、請求項５５記載の慣性センサの製造方法。
【請求項５７】
回路と、加圧装置とを備えた慣性センサであって、前記慣性センサは、
第１端部および第２端部を有したチャネルを収容するベースと、
前記チャネルの第１端部に接続され且つ前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、
前記チャネルの第２端部に接続され且つ前記回路に電気的に接続された第２圧力計と、
前記チャネルを満たす流体と
を備える、慣性センサ。
【請求項５８】
前記第１圧力計および前記第２圧力計の各々は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計を備えている、請求項５７記載の慣性センサ。
【請求項５９】
基板が前記加圧装置の底部上に配置されている、請求項５７記載の慣性センサ。
【請求項６０】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板を含んでいる、請求項５７記載の慣性センサ。
【請求項６１】
前記チャネルを満たす流体は液体である、請求項５７記載の慣性センサ。
【請求項６２】
前記液体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物を含んでいる、請求項６１記載の慣性センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、慣性センサおよびその製造方法に関し、特に、改善された感度の平面慣性センサおよびそのような慣性センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
先行技術に開示された慣性センサは、加速度計またはマイクロ加速度計に主として適用される。４つの典型的な実施形態としては、次のようなものが与えられる。
たとえば、特許文献１に開示された単一のユニットの位置センサは、弾性構造を介してシリコン基板に接続された質量単位を生成し、コンデンサを作るために使用される。加速度は、該加速度が質量単位の移動を通じて生じるときに、弾性構造の弾性係数によって演算されることができる。
【０００３】
また、特許文献２に開示された対流電流応答機器は、ガスチャンバを製造するために使用される。発熱体は、ガスを熱するためにガスチャンバの内部に設けられ、チャンバのガス密度を変更する。温度分布は、浮力の影響によって、加速度の変化の結果として検出されることができる。加速度は、電熱線の温度差を読むために、抵抗ブリッジを使用することによってさらに演算されることができる。
【０００４】
さらに、特許文献３に開示された熱気泡式のマイクロ慣性センサは、液封チャンバを製造するために使用される。発熱体は、液体を部分的にガス化することによって泡を形成するように、液体を熱するために液封チャンバの内部に設けられる。温度分布は、加速度の変化によって、泡の位置の変化の結果として検出されることができる。その結果、加速度を演算することができる。
【０００５】
さらに、特許文献４に開示された加速度計は、液封チャンバを製造するために使用され、その壁には、液体の慣性の平均圧力を検出する圧力検出要素が設けられ、その結果、加速度を演算することができる。この特許は、平均（合計）圧力の測定を通じて加速度を演算するために使用される。実際には、密封容器内の液体の平均圧力は、加速度との直接の関係においては必要ではない。
【０００６】
最後に、特許文献５に開示された液体充填加速度計は、液封チャンバを製造するために使用され、圧力検出要素は、チャンバ壁に取り付けられる。この特許は、チャンバ壁上の液体によって及ぼされる加速度と反作用力との両方を明らかにしている。それは、圧力検出要素によって測定される反作用力である。この特許は、圧力勾配を検出することを明らかにはしていない。
【特許文献１】米国特許第６，７１３，８２９号明細書
【特許文献２】米国特許第２，４４０，１８９号明細書
【特許文献３】米国特許第７，０６９，７８５号明細書
【特許文献４】米国特許第２，６５０，９９１号明細書
【特許文献５】米国特許第２，７２８，８６８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、高感度の平面慣性センサを提供することにある。すなわち、本発明は、圧力差（圧力勾配）によって回転する対象物の角加速度を測定する慣性センサおよびその製造方法に関する。
【０００８】
本発明の別の目的は、低コストの慣性センサおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、一実施形態に開示される慣性センサは、（１）基板と、（２）該基板上に配置された回路と、（３）第１端部および第２端部を有する環状チャンバを有した加圧装置と、（４）第１端部および第２端部を有し、該第２端部が前記環状チャンバの第２端部に接続されたチャネルと、（５）前記環状チャンバの第１端部と前記チャネルの第１端部とにそれぞれ接続され、前記回路に電気的に接続された圧力計と、（６）前記環状チャンバを満たす流体とを備えている。したがって、本発明は、簡単な構造、容易な製造、および低コストの利点を達成することができる。
【００１０】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
前記圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
【００１１】
前記流体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができる。
前記慣性センサは、前記圧力計と基準圧力との間の圧力差を通じて得られる角加速度感度をさらに備えている。前記角加速度は、下の式を適用することによって決定される。
【００１２】
α＝Ｐ／（２πｄＲ２）、
ここで、
Ｐは、前記圧力計の圧力値を表わし、
Ｄは、流体密度を表わし、
αは、角加速度を表わし、
Ｒは、前記環状チャンバの半径を表わしている。
【００１３】
本発明は、回転する対象物の角加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用する慣性センサの別の実施形態を提供する。前記慣性センサは、（１）基板と、（２）該基板上に配置された回路と、（３）第１端部および第２端部を有した環状チャンバを備える加圧装置と、（４）第１端部および第２端部を有したチャネルを収容するベースと、（５）前記環状チャンバの第１端部と前記チャネルの第１端部とにそれぞれ接続され、前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、（６）前記環状チャンバの第２端部と前記チャネルの第２端部とにそれぞれ接続され、前記回路に電気的に接続された第２圧力計と、（７）前記環状チャンバを満たす流体とを備えている。
【００１４】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、またはセラミック基板であることができる。
前記チャネルは、前記基板上に配置されるか、または、前記基板内に延長されることができる。さらに、前記チャネルは、空気で満たされるか、または、真空状態下にあることができる。さらに、前記チャネルは、密封されるか、または、外界と連通されることができる。
【００１５】
前記第１圧力計および前記第２圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
前記流体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができる。
【００１６】
前記慣性センサは、前記第１圧力計と前記第２圧力計との間の圧力差を通じて得られる角加速度感度をさらに備えている。前記角加速度は、下の式を適用することによって決定される。
【００１７】
α＝（Ｐ２−Ｐ１）／（２πｄＲ２）、
ここで、
Ｐ１は、前記第１圧力計の圧力値を表わし、
Ｐ２は、前記第２圧力計の圧力値を表わし、
ｄは、流体密度を表わし、
αは、角加速度を表わし、
Ｒは、前記環状チャンバの半径を表わしている。
【００１８】
本発明は、前記慣性センサのさらに別の実施形態を提供する。この実施形態と第２実施形態との間の差異は、この実施形態に対して設計された前記チャネルが前記基板内に延びることができるということだけである。この実施形態の残りの要素の構成は、第２実施形態のそれと同一である。
【００１９】
本発明にかかる前記慣性センサの実施形態は、対象物の加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用する慣性センサを示している。該慣性センサは、（１）回路と、（２）チャネルを収容したベースを備え、第１端部および第２端部を有した加圧装置と、（３）前記チャネルの第１端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、（４）前記チャネルの第２端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第２圧力計と、（５）前記加圧装置を収容したハウジングと、（６）該ハウジングを満たす流体とを備えている。
【００２０】
前記ハウジングは、該ハウジングの底部上に配置された基板を備え、前記回路および前記加圧装置は、前記基板上に配置されている。
前記チャネルは、第３端部をさらに備え、平面でＬ字形の形態をなし、前記加圧装置は、前記チャネルの第３端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第３圧力計をさらに備えている。
【００２１】
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
前記チャネルは、前記基板上に配置されるか、または前記基板内に延びることができる。さらに、前記チャネルは、空気で満たされるか、または、真空状態下にあることができる。さらに、前記チャネルは、密封されるか、または、外界と連通されることができる。
【００２２】
前記第１圧力計、前記第２圧力計、および前記第３圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
前記流体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができる。
【００２３】
前記慣性センサは、前記第１圧力計と前記第２圧力計との間の圧力差を通じて得られる線形加速度感度をさらに備えている。該線形加速度は、下の式を適用することによって決定される。
【００２４】
ａ＝（Ｐ２−Ｐ１）／（ｄ×Ｓ）、
ここで、
Ｐ１は、前記第１圧力計の圧力値を表わし、
Ｐ２は、前記第２圧力計の圧力値を表わし、
ｄは、流体密度を表わし、
ａは、加速度を表わし、
Ｓは、前記第１圧力計の中心と前記第２圧力計の中心との間の距離を表わしている。
【００２５】
本発明にかかる前記慣性センサの製造方法であって、該方法は、（１）ハウジングを設けること、（２）該ハウジング内に回路を形成すること、（３）前記ハウジングの内部に加圧装置を形成すること、および（４）前記ハウジングを流体で満たすことを含んでいる。したがって、前記慣性センサを製造する微細構造製造方法を利用することによって、本発明は、前記慣性センサの大きさを低減し、製品用途を向上させることができる。
【００２６】
前記ハウジングは、該ハウジングの底部上に配置された基板を備え、前記回路および前記加圧装置は、前記基板上に配置されている。
前記基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
【００２７】
前記加圧装置は、（１）第１端部および第２端部を有したチャネルを収容するベースと、（２）前記チャネルの第１端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、（３）前記チャネルの第２端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第２圧力計とを備えている。
【００２８】
前記チャネルは、第３端部をさらに備え、平面でＬ字形の形態をなし、前記加圧装置は、前記チャネルの第３端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第３圧力計をさらに備えている。
【００２９】
前記チャネルは、前記基板上に配置されるか、または、前記基板内に延長されることができる。さらに、前記チャネルは、空気で満たされるか、または、真空状態下にあることができる。さらに、前記チャネルは、密封されるか、または、外界と連通されることができる。
【００３０】
前記第１圧力計、前記第２圧力計、および前記第３圧力計は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
前記流体は、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができる。
【００３１】
前記慣性センサのさらに別の実施形態において、本発明は、移動対象物の加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用する慣性センサに関する。該慣性センサは、（１）回路と、（２）チャネルを収容したベースを備え、第１端部および第２端部を有した加圧装置と、（３）前記チャネルの第１端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第１圧力計と、（４）前記チャネルの第２端部に接続され、前記回路に電気的に接続された第２圧力計と、（５）前記チャネルを満たす流体とを備えている。
【００３２】
本実施形態および先の実施形態の両方は、基板チャネルを流体を満たすハウジングとしてなすことができ、ここで、外側圧力は、本構造をより複雑でないようにするために基準圧力として提供されることができる。流体の内側圧力勾配の形成が前記ハウジングの形状とは全く関係がないので、前記チャネルの設計は、それが流体の自由な連通を可能にすれば十分であろう。
【００３３】
本発明は、慣性センサ（すなわち、移動または回転する対象物の加速度または角加速度を測定するために圧力差を利用する慣性センサ）を製造する微細構造製造方法を利用する。本発明は、高感度の平面慣性センサを提供し、それは、単純な構造および多くを求めない製造工程を提供し、移動または回転する対象物の加速度または角加速度の測定を可能にし、さらに、相互一体化を通じた多重軸測定を試みる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
慣性センサは、主として、加速度計およびジャイロスコープを備えている。加速度計は
、振動、衝撃、および傾斜などを検出するために使用されることができ、その感度は、慣性センサの市場用途を決定する。たとえば、高感度の加速度計は、主に自動車および消費者市場に適用される通常感度の加速度計に対して、主として、国防および地震検出に適用される。８０％の加速度計は、自動車市場において使用されており、ここでは、高重力加速度計は、エアバッグおよび他の安全制御システムに適用され、低重力加速度計は、電子制御安定装置、アンチロック・ブレーキ・システム、電子制御懸垂システム、電子駐車支援システム、自動車警報システム、およびナビゲーション・システムなどに適用されている。医学用途では、慣性センサは、ペースメーカおよび転落検出器のような患者監視装置に一般に採用されている。国防分野では、慣性センサは、ミサイル誘導システムおよびスマート爆弾において一般に使用されている。産業用途では、慣性センサは、輸送ツールおよび建設機械において頻繁に使用されている。輸送ツールについては、慣性センサは、高速列車のスムーズさおよび安定性を維持する際のような、傾斜検出、位置監視、回転制御、およびプラットフォーム・レベル維持に対して使用される。さらに、慣性センサは、地震の監視、そして、構造の傾斜検出、ならびに変位および振動の監視に使用されることもできる。
【００３５】
図１および図２は、それぞれ、本発明の第１実施形態にかかる慣性センサの正面図および平面図を示している。慣性センサ１００は、回転する対象物の角加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用する。慣性センサ１００は、基板１１０と、該基板１１０上に配置された回路１２０と、加圧装置１３０と、流体Ｌとを備えている。加圧装置１３０は、（１）第１端部１３１Ａおよび第２端部１３１Ｂを有した環状チャンバ１３１と、（２）第１端部１３３Ａおよび第２端部１３３Ｂを有したチャネル１３３と、（３）環状チャンバ１３１の第１端部１３１Ａとチャネル１３３の第１端部１３３Ａとに接続された圧力計１３５とを備えている。チャネル１３３の第２端部１３３Ｂは、環状チャンバ１３１の第２端部１３１Ｂに接続され、圧力計１３５は、回路１２０に電気的に接続され、流体Ｌは、環状チャンバ１３１の内部を満たしている。好ましくは、流体Ｌは、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができる。
【００３６】
圧力計１３５の構造は、図３、図４、および図５に示されるようなものであることができる。図３における圧力計１３５は、その最上端部に取り付けられたピエゾ抵抗の歪みゲージ、容量検出または同様のセンサを有することができ、チャンバ１３５Ｃは、その底端部に形成され、チャネル１３３に接続されている。さらに、圧力計１３５の前述の構造は、図４および図５に示されるようなものであることができ、その構造は、図３に示される圧力計１３５のそれと同様である。いずれにせよ、図４に示される圧力計１３５の底部は、その開口によってチャンバ１３５Ｃがチャネル１３３に接続されることを可能にするガラス基板１３５Ｇを有している。図５に示される圧力計１３５の底部は、チャンバ１３５Ｃを密封するために使用されるガラス基板１３５Ｇを有している。圧力計１３５によって測定される圧力値は、通常、チャンバ１３５Ｃの圧力を基準値として取る。圧力計１３５よりも上の圧力が基準圧力として取られる場合、それは、チャンバ１３５Ｃの圧力を検出する別の実施形態になる。チャンバ１３５Ｃが閉じており、チャンバ１３５Ｃ内の基準圧力が環境圧の変化の影響を受けない場合には、それは、絶対圧計として従来から公知の別の実施形態になる。
【００３７】
本発明にかかる慣性センサ１００の製造方法は、（１）基板１１０を設けること、（２）該基板１１０上に回路１２０を形成すること、（３）基板１１０上に加圧装置１３０を形成することであって、加圧装置１３０のチャネル１３３が基板１１０内に形成されることができ、圧力計１３５が回路１２０に電気的に接続され、さらに、加圧装置１３０の環状チャンバ１３１の第１端部１３１Ａとチャネル１３３の第１端部１３３Ａとにそれぞれ接続され、環状チャンバ１３１の第２端部１３１Ｂとチャネル１３３の第２端部１３３Ｂとが互いに接続されること、および（４）流体Ｌを環状チャンバ１３１に満たすことを含
んでおり、ここでは、流体Ｌが、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができる。加圧装置１３０の圧力計１３５が圧力の変化を検出したときに、それは、回路１２０に信号を送信し、回転する対象物の角加速度を得るように演算されるであろう。
【００３８】
角加速度感度は、圧力計１３５の圧力値Ｐとチャネル内の基準圧力Ｐ０との間の圧力差を通じて得られる。角加速度は、下の式（１）を適用することによって決定される。
α＝Ｐ／（２πｄＲ２）  …（１）
ここで、ｄは、流体Ｌの密度を表わし、
αは、角加速度を表わし、
Ｒは、環状チャンバの半径を表わしている。
【００３９】
たとえば、流体密度が１ｇ／ｃｍ３に等しいときには、環状チャンバの半径は、５ｍｍに等しく、圧力値は、０．１５７Ｎｔ／ｍ２に等しく、角加速度は、１ｒａｄ／ｓ２になるであろう。
【００４０】
好ましくは、基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
好ましくは、圧力計１３５は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
【００４１】
図６および図７は、本発明の第２実施形態にかかる慣性センサ２００の正面断面図および平面図をそれぞれ示している。本発明の慣性センサ２００は、回転する対象物の角加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用する。慣性センサ２００は、基板２１０と、該基板２１０上に配置された回路２２０と、加圧装置２３０と、流体Ｌと、ガスＡとを備えている。加圧装置２３０は、（１）第１端部２３１Ａおよび第２端部２３１Ｂを有した環状チャンバ２３１と、（２）第１端部２３３Ａおよび第２端部２３３Ｂを有したチャネル２３３を有するベース２３２と、（３）環状チャンバ２３１の第１端部２３１Ａとチャネル２３３の第１端部２３３Ａとにそれぞれ接続された第１圧力計２３５と、（４）環状チャンバ２３１の第２端部２３１Ｂとチャネル２３３の第２端部２３３Ｂとにそれぞれ接続された第２圧力計２３７とを備えており、第１圧力計２３５および第２圧力計２３７は、両方とも回路２２０に電気的に接続されている。流体Ｌは、環状チャンバ２３１の内部を満たし、ガスＡは、チャネル２３３の内部を満たしている。加圧装置２３０の第１圧力計２３５と第２圧力計２３７とが圧力の変化を検出したときに、それらは、回路２２０に信号を送信し、回転する対象物の角加速度を得るように演算されるであろう。
【００４２】
本発明にかかる慣性センサ２００の製造方法は、（１）基板２１０を設けること、（２）該基板２１０上に回路２２０を形成すること、（３）基板２１０上に加圧装置２３０を形成することであって、加圧装置２３０のチャネル２３３を基板２１０内に形成することができ、第１圧力計２３５が環状チャンバ２３１の第１端部２３１Ａとチャネル２３３の第１端部２３３Ａとにそれぞれ接続され、第２圧力計２３７が環状チャンバ２３１の第２端部２３１Ｂとチャネル２３３の第２端部２３３Ｂとにそれぞれ接続され、第１圧力計２３５および第２圧力計２３７が回路２２０に電気的に接続されていること、および、（４）環状チャンバ２３１を流体Ｌで満たし、チャネル２３３をガスＡで満たすことであって、流体Ｌが、水、油、液晶、またはそれらの混合であることができ、ガスＡが、空気であるか、または、真空状態下にあることができることを含んでいる。
【００４３】
慣性センサの角加速度感度は、第１圧力計２３５の圧力値Ｐ１と第２圧力計２３７の圧力値Ｐ２との間の圧力差を通じて得られる。角加速度は、下の式（２）を適用することによって決定される。
【００４４】
α＝（Ｐ２−Ｐ１）／（２πｄＲ２）  …（２）
ここで、ｄは、流体Ｌの密度を表わし、
αは、角加速度を表わし、
Ｒは、環状チャンバの半径を表わしている。
【００４５】
たとえば、流体密度が１ｇ／ｃｍ３に等しいときには、環状チャンバの半径は、５ｍｍに等しく、圧力差は、（Ｐ２−Ｐ１）＝０．１５７Ｎｔ／ｍ２に等しく、角加速度αは、１ｒａｄ／ｓ２の大きさになるであろう。
【００４６】
好ましくは、第１圧力計２３５および第２圧力計２３７は、容量式、圧電式およびピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
好ましくは、基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
【００４７】
本発明の第１実施形態および第２実施形態は、高感度に平面慣性センサの角加速度を測定するために提供され、それは、単純な構造および多くを求めない製造工程を提供し、コストを低減し、そして、様々な種類の製品の一体化を可能にする。
【００４８】
図８は、本発明にかかる慣性センサ３００の第３実施形態の正面断面図を示している。この実施形態と第２実施形態の慣性センサ２００との間の差異は、チャネル３３３が基板３１０内に延びることができるということだけである。この実施形態の残りの要素の構成は、第２実施形態のそれと同一である。
【００４９】
図９、図１０、および図１１ｅは、本発明の第４、第５、および第６実施形態にかかる慣性センサ４００、５００、および６００の正面断面図をそれぞれ示している。第４、第５、および第６実施形態の慣性センサと第２実施形態の慣性センサ２００との間の差異は、チャネル４３３，５３３，６３３が外界と連通するように、それぞれの通路を通じて基板４１０，５１０，６１０に延びているということだけである。第４、第５、および第６実施形態の残りの要素の構成は、第２実施形態のそれと同一である。
【００５０】
図１２および図１３は、本発明の第７実施形態にかかる慣性センサ７００の正面断面図および平面図をそれぞれ示している。慣性センサ７００は、一方向に移動する対象物の線形加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用している。慣性センサ７００は、回路７２０と、加圧装置７３０と、ハウジング７４０と、流体Ｌとを備えている。ハウジング７４０は、該ハウジングの底部上に配置された基板７１０を備え、加圧装置７３０は、第１端部７３３Ａおよび第２端部７３３Ｂを有するチャネル７３３を有したベース７３２を備え、第１圧力計７３５は、チャネル７３３の第１端部７３３Ａに接続されている。また、慣性センサ７００は、チャネル７３３の第２端部７３３Ｂに接続された第２圧力計７３７を備えている。第１圧力計７３５および第２圧力計７３７の両方とも、回路７２０に電気的に接続されている。ハウジング７４０は、基板上に配置され、回路７２０および加圧装置７３０を覆っている。流体Ｌは、ハウジング７４０の内部を満たし、ガスＡは、チャネル７３３の内部を満たしている。加圧装置７３０の第１圧力計７３５および第２圧力計７３７が圧力の変化を検出したときに、それらは、回路７２０に信号を送信し、一方向に移動する対象物の線形加速度を得るように演算されるであろう。
【００５１】
本発明にかかる慣性センサ７００の製造方法は、ハウジング７４０を設けること、該ハウジング７４０内に回路７２０を形成すること、および、ハウジング７４０の内部に加圧装置７３０を形成することを含んでおり、流体Ｌが、ハウジング７４０を満たしている。ハウジング７４０は、該ハウジングの底部上に配置された基板７１０を備えており、加圧装置７３０のチャネル７３３は、ベース７３２内に形成されることができ、第１圧力計７
３５は、チャネル７３３の第１端部７３３Ａに接続され、第２圧力計７３７は、チャネル７３３の第２端部７３３Ｂに接続され、そして、第１圧力計７３５および第２圧力計７３７は、回路７２０に電気的に接続されている。流体Ｌは、水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができ、チャネル７３３は、ガスＡ（たとえば、空気）で満たすことができるか、または、真空状態下にあることができる。さらに、チャネルは、密封されるか、または、外界と連通されることができる。
【００５２】
好ましくは、第１圧力計７３５および第２圧力計７３７は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
好ましくは、基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
【００５３】
慣性センサの線形加速度感度は、第１圧力計７３５の圧力値Ｐ１と第２圧力計７３７の圧力値Ｐ２との間の圧力差を通じて得られる。加速度は、下の式（３）を適用することによって決定される。
【００５４】
ａ＝（Ｐ２−Ｐ１）／（ｄ×Ｓ）  …（３）
ここで、ｄは、流体密度を表わし、
ａは、加速度を表わし、
Ｓは、第１圧力計の中心から第２圧力計の中心までの距離を表わしている。
【００５５】
たとえば、流体密度が１ｇ／ｃｍ３に等しいときには、距離は、５ｍｍに等しく、圧力差は、４９Ｎｔ／ｍ２に等しく、加速度は、１ｇの大きさになるであろう（ｇは、地球の表面での重力加速度を表わし、それは、約９．８ｍ／ｓ２の大きさになる）。チャネル７３３がガスで満たされる理由は、ガスの軽い密度のためであり、したがって、ガスＡの密度は、容易な理解のために上記の演算においては無視される。本発明のチャネル７３３の唯一の目的は、例示のみの目的のためにチャネルにおいてガスを使用して圧力計に同一の基準圧力を提供することである。実際のところ、本発明によれば、チャネルは、真空状態下にあることができるか、または、チャネルの内部のガスは、一般には、より小さい密度を持った流体と称することができる。したがって、チャネルが異なる種類の流体で満たされる場合であっても、その流体は、依然として加速度の影響下で圧力勾配を生じることができる。流体Ｌの密度が流体Ａの密度と異なる場合には、上式は、元の式における密度ｄを流体Ｌと流体Ａとの間の密度差と入れ替えれば、依然として成立することができる。
【００５６】
円運動に起因する遠心力もまた、圧力勾配をもたらす。遠心力への慣性センサの感度は、第１圧力計７３５の圧力値Ｐ１と第２圧力計７３７の圧力値Ｐ２との間の圧力差を通じて得られる。圧力差は、下の式（４）を適用することによって決定される。
【００５７】
【数１】
2008275583.tif 000003
ここで、ｄは、流体密度を表わし、
ωは、角速度を表わし、
Ｒ１は、回転中心Ｃと第１圧力計７３５の中心との間の距離を表わし、
Ｒ２は、回転中心Ｃと第２圧力計７３７の中心との間の距離を表わしている。
【００５８】
一般的には、回転速度がそれほど速くない場合には、遠心力の影響は無視されることができる。
図１４によれば、回転中心Ｃが第１圧力計７３５および第２圧力計７３７と非同一直線上であっても、式（４）は、依然として適用可能である。
【００５９】
図１５は、本発明の第８実施形態にかかる慣性センサ８００の正面断面図を示している。この実施形態と第７実施形態の慣性センサ７００との間の差異は、チャネル８３３が基板８１０内に延びることができるということだけである。この実施形態の残りの要素の構成は、第７実施形態のそれと同一である。
【００６０】
図１６、図１７、および図１８は、本発明の第９、第１０、および第１１実施形態にかかる慣性センサ９００，１０００，および１１００の正面断面図を示している。これら３つの実施形態と第７および第８実施形態との間の差異は、これら３つの実施形態にはベース要素がないということだけである。さらに、これら３つの実施形態におけるチャネル９３３，１０３３，１１３３が、外界と連通するように、それぞれの通路を通じて基板９１０，１０１０，１１１０内に延びるという事実を除いては、３つの実施形態の残りの要素は、第７実施形態のものと同一である。
【００６１】
図１９は、本発明の第１２実施形態にかかる慣性センサ１２００の平面図を示している。慣性センサ１２００は、対象物がＸ−Ｙ平面において任意の方向に沿って移動するときに、ｘ方向加速度およびｙ方向加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用する。慣性センサ１２００は、基板１２１０と、該基板１２１０上に形成された回路１２２０と、加圧装置１２３０と、ハウジング１２４０と、流体Ｌと、ガスＡとを備えている。加圧装置１２３０は、（１）第１端部１２３３Ａ、第２端部１２３３Ｂ、および第３端部１２３３Ｃを有するＬ字形チャネル１２３３を有したベース１２３２と、（２）Ｌ字形チャネル１２３３の第１端部１２３３Ａに接続された第１圧力計１２３５と、（３）Ｌ字形チャネル１２３３の第２端部１２３３Ｂに接続された第２圧力計１２３７と、（４）Ｌ字形チャネル１２３３の第３端部１２３３Ｃに接続された第３圧力計１２３９とを備えており、第１圧力計１２３５、第２圧力計１２３７、および第３圧力計１２３９は全て、回路１２２０に電気的に接続されている。さらに、ハウジング１２４０は、基板１２１０上に配置され、回路１２２０および加圧装置１２３０を覆い、流体Ｌは、ハウジング１２４０の内部を満たし、そして同様に、ガスＡは、チャネル１２３３の内部を満たしている。加圧装置１２３０の第１圧力計１２３５、第２圧力計１２３７、および第３圧力計１２３９が圧力の変化を検出したときに、それらは、回路１２２０に信号を送信し、Ｘ−Ｙ方向に沿った移動対象物のｘ方向加速度およびｙ方向加速度を得るように演算されるであろう。
【００６２】
Ｌ字形ベースおよびＬ字形チャネルは、ここでは例示だけの目的のために提供されている。実際のところ、ベースの輪郭は、該ベースの機能と関係がなく、ガス・チャネルの唯一の目的は、圧力計間で共有される基準圧力を提供することである。チャネルは、外界に接続されるか、または、外界を介して相互に連通することもできる。３つの圧力計が三角形の形態（つまり、非同一直線上）に配置されるならば、Ｘ−Ｙ方向に沿った検出加速度の情報を得ることができる。
【００６３】
本発明の慣性センサ１２００の製造方法は、（１）基板１２１０を設けること、（２）該基板１２１０上に回路１２２０を形成すること、（３）基板１２１０上に加圧装置１２３０を形成することであって、加圧装置１２３０のＬ字形チャネル１２３３がＬ字形ベース１２３２内に形成されることができ、第１圧力計１２３５がＬ字形チャネル１２３３の第１端部１２３３Ａに接続され、第２圧力計１２３７がＬ字形チャネル１２３３の第２端部１２３３Ｂに接続され、第３圧力計１２３９がＬ字形チャネル１２３３の第３端部１２３３Ｃに接続され、第１圧力計１２３５、第２圧力計１２３７、および第３圧力計１２３９が全て回路１２２０に電気的に接続されていること、および（４）チャンバ（図示せず）を流体Ｌで満たし、チャネル１２３３をガスＡで満たすことを含んでいる。流体Ｌは、
水、油、液晶、またはそれらの混合物であることができ、ガスＡは、空気であることができるか、または、真空状態下にあることができる。チャネルは、密封されるか、または、外界と連通されることができる。
【００６４】
好ましくは、第１圧力計１２３５、第２圧力計１２３７、および第３圧力計１２３９は、容量式、圧電式、またはピエゾ抵抗式の圧力計であることができる。
好ましくは、基板は、シリコン・ウェハ、集積回路、プリント回路基板、ガラス基板、プラスチック基板、またはセラミック基板であることができる。
【００６５】
図２０〜図２３は、本発明の第１３、第１４、第１５、および第１６実施形態にかかる慣性センサ１３００，１４００，１５００，および１６００を示している。第７実施形態に適用された原理および数式は、第１３、第１４、第１５、および第１６実施形態に適用されるものと同一であり、その差異は、チャネル１３３３，１４３３，１５３３，および１６３３が、流体Ｌを満たすハウジングとして得られ、その結果、外圧Ａを基準圧力として取り、本発明の構造を簡素化することだけである。流体の内側圧力勾配の形成がハウジングの形状とは全く関係がないので、チャネル１３３３，１４３３，１５３３，および１６３３の設計は、それが流体Ｌの自由な連通を可能にするのであれば十分であろう。
【００６６】
したがって、本発明には、次の長所がある。
１．平面設計は、可動部を殆ど包含することなしに構造を大幅に簡素化する。
２．液圧を利用し、感度を向上させる。
３．加熱は必要ではなく、エネルギは殆ど消費されず、流体の流れは殆ど必要なく、本発明は非常に反応が良い。
４．平面構造は、現代のＰＣＢベースのＳＩＰ製造要件を満たす。これに代えて、平面構造は、１つのチップに組み込まれた複数の圧力計を有することもでき、その結果、可動部を殆ど包含することなしにそれを２軸構造にする。
５．基本的に、測定に使用される慣性質量は、それを通じて高感度を容易に得ることができる圧力計検出領域、圧力計間の距離、および充填流体の密度の積と等価である。
６．本発明は、従来の櫛形電極よりも大きいキャパシタンスを有した容量圧力センサを収容している。
７．望ましい非圧縮性流体に対しては、圧力勾配の生成および変化は、流体の流れと同調する必要はない。本システムは、そういうものとして非常に良好な反応であることができる。
【００６７】
要約すれば、本発明は、高感度の平面慣性センサを製造するための微細構造製造方法を利用し、その結果、慣性センサの大きさを低減し、本製品の市場用途を拡張する。さらに、慣性センサの単純な構造を与えることによって、加工費が大量生産の際に大きく低減されることができる。さらに、本発明にかかる慣性センサは、移動または回転する対象物の加速度または角加速度を測定するために圧力差（圧力勾配）を利用し、さらに、相互一体化に基づいた多軸測定を可能にする。本発明は、特許要件を全て満たしており、したがって、本願は、特許法に準ずるように出願されている。
【００６８】
本発明の上記の好ましい実施形態は、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。本発明の記述は、当業者によって理解されるべきである。さらに、本発明の精神から逸脱せずになされることができる如何なる変更または修正またはその等価物も、次の請求の範囲によって保護されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態にかかる慣性センサの平面図である。
【図３】本発明にかかる慣性センサの圧力計の構造である。
【図４】本発明にかかる慣性センサの圧力計の別の構造である。
【図５】本発明にかかる慣性センサの圧力計のさらに別の構造である。
【図６】本発明の第２実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態にかかる慣性センサの平面図である。
【図８】本発明の第３実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１０】本発明の第５実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１１】本発明の第６実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１２】本発明の第７実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１３】本発明の第７実施形態にかかる慣性センサの平面図である。
【図１４】本発明の第７実施形態にかかる慣性センサの平面図である。
【図１５】本発明の第８実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１６】本発明の第９実施形態にかかる慣性センサの平面図である。
【図１７】本発明の第１０実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１８】本発明の第１１実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図１９】本発明の第１２実施形態にかかる慣性センサの平面図である。
【図２０】本発明の第１３実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図２１】本発明の第１４実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図２２】本発明の第１５実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【図２３】本発明の第１６実施形態にかかる慣性センサの正面断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１００〜１６００      慣性センサ
１１０〜１６１０      基板
１２０〜１６２０      回路
１３０〜１６３０      加圧装置
１３１〜１６３１      環状チャンバ
１３１Ａ〜１６３１Ａ  環状チャンバの第１端部
１３１Ｂ〜１６３１Ｂ  環状チャンバの第２端部
１３３〜１６３３      チャネル
１３３Ａ〜１６３３Ａ  チャネルの第１端部
１３３Ｂ〜１６３３Ｂ  チャネルの第２端部
１３５〜１６３５      圧力計
Ａ                    ガス
Ｃ                    回転中心
Ｌ                    流体
【図１】
2008275583.tif 000005
【図２】
2008275583.tif 000006
【図３】
2008275583.tif 000007
【図４】
2008275583.tif 000008
【図５】
2008275583.tif 000009
【図６】
2008275583.tif 000010
【図７】
2008275583.tif 000011
【図８】
2008275583.tif 000012
【図９】
2008275583.tif 000013
【図１０】
2008275583.tif 000014
【図１１】
2008275583.tif 000015
【図１２】
2008275583.tif 000016
【図１３】
2008275583.tif 000017
【図１４】
2008275583.tif 000018
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【外国語明細書】
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