(57)【要約】【課題】液滴を吐出して形成する薄膜の筋状の膜厚段差を解消させた薄膜形成方法、液滴吐出装置および液晶表示装置を提供することである。【解決手段】液滴吐出装置は、第一吐出ヘッドと、第二吐出ヘッドとを主走査方向から見て重なり合うように配置させ、第一吐出ヘッドの走査経路と前記第二吐出ヘッドの走査経路とが重なり合う重畳経路ＯＡ上に第三吐出ヘッド１６Ｃを配置させる。そして、第一吐出ヘッドが第一液状膜ＦＬＦに与える吐出量と、第二吐出ヘッドが第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値を、第三吐出ヘッド１６Ｃが第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量とする。【選択図】図７
2008221132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、液滴を吐出する吐出ヘッドユニットとを走査方向に相対移動させて前記基板の
上に前記液滴からなる液状膜を形成し、前記液状膜を乾燥させて薄膜を形成する薄膜形成
方法であって、
前記走査方向と交差する一方向に配列した複数の第一ノズルを有する第一吐出ヘッドの
一側と、前記一方向に配列した複数の第二ノズルを有する第二吐出ヘッドの他側とを前記
走査方向から見て重なり合うように配置させるとともに、前記走査方向と交差する方向に
配列した複数の第三ノズルを有する第三吐出ヘッドを、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐
出ヘッドとが重なり合う領域の前記走査方向に配置させ、
前記第一吐出ヘッドの吐出量と前記第二吐出ヘッドの吐出量との差分値を前記第三吐出
ヘッドの吐出量にすること、
を特徴とする薄膜形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の薄膜形成方法であって、
前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う領域の前記走査方向に前記第
三吐出ヘッドを配置させて前記基板を前記走査方向に移動させること、
を特徴とする薄膜形成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄膜形成方法であって、
前記複数の第三ノズルを前記走査方向と交差する他方向に配列させて、前記他方向と前
記走査方向とのなす角度を前記一方向と前記走査方向とのなす角度よりも小さくすること
、
を特徴とする薄膜形成方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の薄膜形成方法であって、
前記第一吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さく、かつ、前記第二吐出ヘッドが吐出す
る液滴よりも小さいサイズの液滴を前記第三吐出ヘッドに吐出させて、前記第一吐出ヘッ
ドの吐出量と前記第二吐出ヘッドの吐出量との差分値を前記第三吐出ヘッドの吐出量にす
ること、
を特徴とする薄膜形成方法。
【請求項５】
液滴を吐出する吐出ヘッドユニットと、
前記吐出ヘッドユニットと基板を走査方向に沿って相対移動させる走査手段と、
前記吐出ヘッドユニットと前記走査手段とを駆動制御して前記吐出ヘッドユニットから
前記基板の上に液滴を吐出させる制御手段と、を備えた液滴吐出装置であって、
前記吐出ヘッドユニットは、
前記走査方向と交差する一方向に配列した複数の第一ノズルを有する第一吐出ヘッドと
、前記一方向に配列した複数の第二ノズルを有する第二吐出ヘッドと、前記走査方向と交
差する方向に配列した複数の第三ノズルを有する第三吐出ヘッドと、を有し、
前記走査方向から見て前記第一吐出ヘッドの一側と前記第二吐出ヘッドの他側とを重な
り合うように配置させ、かつ、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う
領域の前記走査方向に前記第三吐出ヘッドを配置させ、
前記制御手段は、
前記第一吐出ヘッドの吐出量と前記第二吐出ヘッドの吐出量との差分値を前記第三吐出
ヘッドの吐出量にすること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置であって、
前記走査手段は、前記基板を前記走査方向に移動させ、
前記第三吐出ヘッドは、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う領域
の前記走査方向に配置されること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の液滴吐出装置であって、
前記複数の第三ノズルは、前記走査方向と交差する他方向に配列させて、
前記他方向と前記走査方向とのなす角度は、前記一方向と前記走査方向とのなす角度よ
りも小さいこと、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置であって、
前記第三吐出ヘッドは、前記第一吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さく、かつ、前記
第二吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さいサイズの液滴を吐出すること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項５〜７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置であって、
前記制御手段は、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドにそれぞれ第一駆動信号を
供給して液滴を吐出させ、前記第一吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さく、かつ、前記
第二吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さいサイズの液滴を吐出するための第二駆動信号
を前記第三吐出ヘッドに供給すること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
液晶分子を封入する基板に薄膜を備えた液晶表示装置であって、
前記薄膜は、請求項５〜９のいずれか１つに記載の液滴吐出装置を用いて形成されたこ
と、
を特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜形成方法、液滴吐出装置および液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置においては、液晶分子の配向方向を規定するために、配向処理の施された
配向膜を利用する。この配向膜の製造方法としては、生産性の向上と製造コストの低減を
図るために、液滴吐出装置を用いるインクジェット法が鋭意開発されている。
【０００３】
液滴吐出装置は、配向膜材料を含む液状体を液滴として吐出するノズルと、複数のノズ
ルを有して基板に対して相対移動する吐出ヘッドとを有し、吐出ヘッドと基板とを主走査
方向に沿って相対移動させながら選択するノズルに液滴を吐出させる。そして、配向膜材
料を含む液状膜を基板の主走査方向に沿って順に描画し、この液状膜を乾燥させることに
よって配向膜を形成する。
【０００４】
液滴吐出装置では、配向膜のサイズが吐出ヘッドの走査幅より大きくなると、主走査方
向と交差する副走査方向に沿って基板と吐出ヘッドとを相対移動させ、吐出ヘッドと基板
とを再び主走査方向に沿って相対移動させる、すなわち、吐出ヘッドを改行走査させる。
この改行走査においては、基板のサイズが大きくなるに連れて吐出ヘッドの走査回数が多
くなるため、大型の液晶表示装置の場合には、配向膜の形成に多大な時間を要して液晶表
示装置の生産性を著しく損なう虞がある。
【０００５】
そこで、液滴吐出装置においては、従来から、吐出ヘッドの改行走査を回避させて生産
性を向上させる提案がなされている。特許文献１と特許文献２においては、それぞれ主走
査方向と交差する副走査方向に沿って複数の吐出ヘッドを配列させて、基板の副走査方向
の全幅にわたって、一度に液滴を吐出させる。また、特許文献３においては、複数の第一
吐出ヘッドを副走査方向に沿って配列させて、さらに、複数の第二吐出ヘッドを副走査方
向に沿って配列させる。そして、第一吐出ヘッドからインクを吐出させて、第二吐出ヘッ
ドからは、インク中の色素材を不溶化または凝集させる処理液を吐出させる。これらによ
れば、吐出ヘッドの改行走査を行うことなく、所望する状態の液滴を対象物の全面に吐出
させることができる。
【特許文献１】特開２００４−２５５３３５号公報
【特許文献２】特開２００５−９５８３５号公報
【特許文献３】特開２００６−１３７１１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１〜３においては、異なる複数の吐出ヘッドを副走査方向に配
列させるため、吐出ヘッドごとに吐出量の個体差が生じると、異なる膜厚を有した配向膜
が主走査方向の全幅にわたって形成されるようになる。この結果、基板の表面において隣
接する吐出ヘッドの境界と対向する領域には、主走査方向に連続する筋状の膜厚段差が形
成されてしまう。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴を吐出し
て形成する薄膜の筋状の膜厚段差を解消させた薄膜形成方法、液滴吐出装置および液晶表
示装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の薄膜形成方法は、基板と、液滴を吐出する吐出ヘッドユニットとを走査方向に
相対移動させて前記基板の上に前記液滴からなる液状膜を形成し、前記液状膜を乾燥させ
て薄膜を形成する薄膜形成方法であって、前記走査方向と交差する一方向に配列した複数
の第一ノズルを有する第一吐出ヘッドの一側と、前記一方向に配列した複数の第二ノズル
を有する第二吐出ヘッドの他側とを前記走査方向から見て重なり合うように配置させ、前
記走査方向と交差する方向に配列した複数の第三ノズルを有する第三吐出ヘッドを、前記
第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う領域の前記走査方向に配置させ、前
記第一吐出ヘッドの吐出量と前記第二吐出ヘッドの吐出量との差分値を前記第三吐出ヘッ
ドの吐出量にする。
【０００９】
本発明の薄膜形成方法によれば、第一吐出ヘッドの吐出量と第二吐出ヘッドの吐出量と
の差分値が、第三吐出ヘッドによって補填される。したがって、第一吐出ヘッドが形成す
る薄膜と第二吐出ヘッドが形成する薄膜との間の膜厚段差を、第三吐出ヘッドによって平
坦化させることができる。この結果、各吐出ヘッドがそれぞれ異なる吐出量を有する場合
であっても、個体差に起因する筋状の膜厚段差を解消させることができる。
【００１０】
この薄膜形成方法は、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う領域の
前記走査方向に前記第三吐出ヘッドを配置させて前記基板を前記走査方向に移動させる構
成が好ましい。
【００１１】
この薄膜形成方法によれば、第一吐出ヘッドが液状膜を形成し、かつ、第二吐出ヘッド
が液状膜を形成した後に、第三吐出ヘッドが、これらの液状膜の境界上に液滴を吐出する
。したがって、差分値に相当する液滴、すなわち、少ない吐出量の液状体を、先行して形
成される液状膜の上に着弾させることができる。吐出量の低い液滴は、基板の上に直接着
弾する場合、瞬時に乾燥を開始させて走査方向に沿う筋状のムラを形成させてしまう。よ
って、第三吐出ヘッドが液状膜の上に液滴を着弾させる分だけ、各液状膜を円滑に合一さ
せることができ、より確実に膜厚段差を解消させることができる。
【００１２】
しかも、差分値に相当する液滴を、第一吐出ヘッドによる液状膜と第二吐出ヘッドによ
る液状膜との双方に合一させることができる。この結果、個体差に起因する筋状の膜厚段
差を、より確実に解消させることができる。
【００１３】
この薄膜形成方法は、前記複数の第三ノズルを前記走査方向と交差する他方向に配列さ
せて、前記他方向と前記走査方向とのなす角度を前記一方向と前記走査方向とのなす角度
よりも小さくする構成であってもよい。
【００１４】
この薄膜形成方法によれば、第三ノズルの配列方向を走査方向に近づける分だけ、第三
吐出ヘッドから吐出する液滴の解像度を向上させることができる。したがって、各吐出ヘ
ッドの個体差に起因する筋状の膜厚段差を、より高い精度の下で解消させることができる
。
【００１５】
この薄膜形成方法は、前記第一吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さく、かつ、前記第
二吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さいサイズの液滴を前記第三吐出ヘッドに吐出させ
て、前記第一吐出ヘッドの吐出量と前記第二吐出ヘッドの吐出量との差分値を前記第三吐
出ヘッドの吐出量にする構成が好ましい。
【００１６】
この薄膜形成方法によれば、第三吐出ヘッドから吐出される液滴が、そのサイズを小さ
くする分だけ、より少ないエネルギーの下で液状膜と合一する。したがって、第一吐出ヘ
ッドによる液状膜と第二吐出ヘッドによる液状膜とを、より短時間で平坦化させることが
できる。この結果、個体差に起因する筋状の膜厚段差を、より高い精度の下で確実に解消
させることができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出する吐出ヘッドユニットと、前記吐出ヘッドユニ
ットと前記基板とを走査方向に沿って相対移動させる走査手段と、前記吐出ヘッドユニッ
トと前記走査手段とを駆動制御して前記吐出ヘッドユニットから前記基板の上に液滴を吐
出させる制御手段と、を備えた液滴吐出装置であって、前記吐出ヘッドユニットは、前記
走査方向と交差する一方向に配列した複数の第一ノズルを有する第一吐出ヘッドと、前記
一方向に配列した複数の第二ノズルを有する第二吐出ヘッドと、前記走査方向と交差する
方向に配列した複数の第三ノズルを有する第三吐出ヘッドと、を有し、前記走査方向から
見て前記第一吐出ヘッドの一側と前記第二吐出ヘッドの他側とを重なり合うように配置さ
せ、かつ、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う領域の前記走査方向
に前記第三吐出ヘッドを配置させ、前記制御手段は、前記第一吐出ヘッドの吐出量と前記
第二吐出ヘッドの吐出量との差分値を前記第三吐出ヘッドの吐出量にする。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置によれば、第一吐出ヘッドの吐出量と第二吐出ヘッドの吐出量と
の差分値が、第三吐出ヘッドによって補填される。したがって、第一吐出ヘッドが形成す
る薄膜と第二吐出ヘッドが形成する薄膜との間の膜厚段差を、第三吐出ヘッドによって平
坦化させることができる。この結果、各吐出ヘッドがそれぞれ異なる吐出量を有する場合
であっても、個体差に起因する筋状の膜厚段差を解消させることができる。
【００１９】
この液滴吐出装置において、前記走査手段は、前記基板を前記走査方向に移動させ、前
記第三吐出ヘッドは、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッドとが重なり合う領域の前
記走査方向に配置される構成が好ましい。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、第一吐出ヘッドが形成する液状膜と、第二吐出ヘッドが形
成する液状膜との境界に向けて、第三吐出ヘッドが液滴を吐出する。したがって、差分値
に相当する液滴、すなわち、少ない吐出量の液状体を、先行して形成される液状膜の上に
着弾させることができる。吐出量の低い液滴は、基板の上に着弾すると、瞬時に乾燥を開
始させて走査方向に沿う筋状のムラを形成させてしまう。よって、第三吐出ヘッドから吐
出される液滴を液状膜の上に着弾させる分だけ、より確実に膜厚段差を解消させることが
できる。
【００２１】
しかも、差分値に相当する液滴を、第一吐出ヘッドによる液状膜と第二吐出ヘッドによ
る液状膜との双方に合一させることができる。この結果、個体差に起因する筋状の膜厚段
差を、より確実に解消させることができる。
【００２２】
この液滴吐出装置において、前記複数の第三ノズルは、前記走査方向と交差する他方向
に配列させて、前記他方向と前記走査方向とのなす角度は、前記一方向と前記走査方向と
のなす角度よりも小さい構成であってもよい。
【００２３】
この液滴吐出装置によれば、第三ノズルの配列方向が走査方向に近くなる分だけ、第三
吐出ヘッドから吐出する液滴の解像度を向上させることができる。したがって、各吐出ヘ
ッドの個体差に起因する筋状の膜厚段差を、より高い精度の下で解消させることができる
。
【００２４】
この液滴吐出装置において、
前記第三吐出ヘッドは、前記第一吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さく、かつ、前記
第二吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さいサイズの液滴を吐出する構成であってもよい
。
【００２５】
この液滴吐出装置によれば、第三吐出ヘッドから吐出される液滴が、そのサイズを小さ
くする分だけ、より少ないエネルギーの下で液状膜と合一する。したがって、第一吐出ヘ
ッドによる液状膜と第二吐出ヘッドによる液状膜とを、より短時間で平坦化させることが
できる。この結果、個体差に起因する筋状の膜厚段差を、より高い精度の下で確実に解消
させることができる。
【００２６】
この液滴吐出装置において、前記制御手段は、前記第一吐出ヘッドと前記第二吐出ヘッ
ドにそれぞれ第一駆動信号を供給して液滴を吐出させ、前記第一吐出ヘッドが吐出する液
滴よりも小さく、かつ、前記第二吐出ヘッドが吐出する液滴よりも小さいサイズの液滴を
吐出するための第二駆動信号を前記第三吐出ヘッドに供給する構成であってもよい。
【００２７】
この液滴吐出装置によれば、第一および第二吐出ヘッドが、それぞれ第一駆動信号に応
じて液滴を吐出し、第三吐出ヘッドが、第二駆動信号に応じて、第一および第二吐出ヘッ
ドから吐出される液滴よりも小さいサイズの液滴を吐出する。したがって、第三吐出ヘッ
ドから吐出される液滴が、そのサイズを小さくする分だけ、より少ないエネルギーの下で
液状膜と合一する。よって、第一吐出ヘッドによる液状膜と第二吐出ヘッドによる液状膜
とを、より短時間で平坦化させることができる。この結果、個体差に起因する筋状の膜厚
段差を、より高い精度の下で確実に解消させることができる。
【００２８】
本発明の液晶表示装置は、液晶分子を封入する基板に薄膜を備えた液晶表示装置であっ
て、前記薄膜は、上記液滴吐出装置を用いて形成された。
本発明の液晶表示装置によれば、液晶表示装置が有する薄膜において筋状の膜厚段差を
解消させることができ、ひいては、液晶表示装置の表示画質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。図１は、液滴
吐出装置１０を示す斜視図である。
図１において、液滴吐出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有する。基台
１１の上面には、基台１１に設けられたステージモータの出力軸に駆動連結されるステー
ジ１２が取着されている。ステージ１２は、基板Ｓを載置して位置決め固定し、ステージ
モータが正転又は逆転するとき、基台１１の長軸方向に沿って所定の速度で往復移動して
基板Ｓを走査させる。
【００３０】
ここで、図１の右下から左上に向かう方向を＋Ｘ方向（主走査方向）とし、＋Ｘ方向の
反対方向、すなわち、図１の左上から右下に向かう方向を−Ｘ方向という。ステージ１２
が、この＋Ｘ方向に沿って基板Ｓを走査する動作を、「主走査」という。なお、基板Ｓと
しては、例えば、液晶表示装置に利用される平面板状あるいは円盤状のガラス基板や半導
体装置に利用される円盤状のシリコン基板を用いることができる。
【００３１】
基台１１の上側には、門型に形成されたガイド部材１３が基台１１を跨ぐように架設さ
れ、そのガイド部材１３の上側には、インクＩｋを貯留するインクタンク１４が搭載され
ている。インクタンク１４は、貯留する液状体としてのインクＩｋを所定の圧力で導出可
能にする。インクＩｋとしては、ポリイミドなどの配向性高分子を含む配向膜インクやノ
ボラック系樹脂などの感光性樹脂を含むレジスト膜インクなどを用いることができる。
【００３２】
ガイド部材１３の下側には、ガイド部材１３に設けられたキャリッジモータの出力軸に
駆動連結されるキャリッジ１５が取着され、そのキャリッジ１５の下側には、吐出ヘッド
１６が搭載されている。キャリッジ１５は、キャリッジモータが正転又は逆転するとき、
基台１１の短軸方向に沿って往復移動して吐出ヘッド１６を走査させる。
【００３３】
ここで、図１の右上から左下に向かう方向を＋Ｙ方向（副走査方向）とし、＋Ｙ方向の
反対方向、すなわち、図１の左下から右上に向かう方向を−Ｙ方向という。キャリッジ１
５が、この−Ｙ方向に沿って吐出ヘッド１６を走査し、吐出ヘッド１６から見て、基板Ｓ
を相対的に＋Ｙ方向に走査する動作を、「副走査」という。
【００３４】
基台１１の左側には、液滴重量装置１７が配設されている。液滴重量装置１７は、吐出
ヘッド１６が吐出する液滴の重量を計測するものであって、公知の重量計測装置を用いる
ことができる。液滴重量装置１７には、例えば、吐出された液滴を受け皿で受けて液滴を
秤量する電子天秤を用いることができる。また、液滴重量装置１７には、電極を有した圧
電振動子を利用し、該電極に向けて液滴を吐出させ、液滴の着弾により変化する圧電振動
子の共振周波数に基づいて液滴の重量を検出するものを用いることができる。
【００３５】
図２は、吐出ヘッド１６をステージ１２から見た斜視図であり、図３は、吐出ヘッド１
６の配置位置を示す平面図である。また、図４は、図３のＡ−Ａ断面図である。
図２において、各吐出ヘッド１６の上側（図１の下側）には、それぞれノズルプレート
１８が備えられている。ノズルプレート１８の上面には、基板Ｓと平行のノズル形成面１
８ａが形成され、そのノズル形成面１８ａには、ノズル形成面１８ａの法線方向に貫通す
る１８０個のノズルＮが副走査方向に沿って等間隔で配列されて１列のノズル列ＮＲを構
成している。各吐出ヘッド１６の下側（図１の上側）には、それぞれヘッド基板１９が設
けられ、各ヘッド基板１９の一側端には、入力端子１９ａが設けられている。各入力端子
１９ａには、それぞれ対応する吐出ヘッド１６を駆動するための所定の駆動波形信号が入
力される。
【００３６】
図３において、複数の吐出ヘッド１６は、それぞれ副走査方向に沿って３列に配列され
ている。ここで、最も−Ｘ方向に配置される複数の吐出ヘッド１６を、それぞれ第一吐出
ヘッド１６Ｆとし、第一吐出ヘッド１６Ｆが有するノズルＮを、第一ノズルＮＦという。
また、第一吐出ヘッド１６Ｆの＋Ｘ方向（主走査方向）に配置される複数の吐出ヘッド１
６を、それぞれ第二吐出ヘッド１６Ｌとし、第二吐出ヘッド１６Ｌが有するノズルＮを、
第二ノズルＮＬという。さらに、第二吐出ヘッド１６Ｌの＋Ｘ方向（主走査方向）に配置
させる吐出ヘッド１６を、それぞれ第三吐出ヘッド１６Ｃとし、第三吐出ヘッド１６Ｃが
有するノズルＮを、第三ノズルＮＣという。
【００３７】
なお、本実施形態においては、これら第一吐出ヘッド１６Ｆ、第二吐出ヘッド１６Ｌお
よび第三吐出ヘッド１６Ｃによって吐出ヘッドユニットが構成されている。
各第一吐出ヘッド１６Ｆおよび各第二吐出ヘッド１６Ｌは、それぞれ副走査方向に沿っ
て千鳥状に配置されて、第一ノズルＮＦおよび第二ノズルＮＬの配列方向を副走査方向に
対応させる。これによって、第一および第二吐出ヘッド１６Ｆ，１６Ｌは、ステージ１２
が基板Ｓを主走査するとき、基板Ｓの副走査方向の略全幅にわたりノズルＮを対向させる
。
【００３８】
隣接する第一吐出ヘッド１６Ｆおよび第二吐出ヘッド１６Ｌは、それぞれ主走査方向か
ら見て、互いに重なり合うように配置されて、各第一ノズルＮＦと各第二ノズルＮＬとを
連続的に等間隔で配列させる。これによって、第一および各第二吐出ヘッド１６Ｆ，１６
Ｌは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき、副走査方向におけるノズルＮの解像度を
均一にする。
【００３９】
第一および第二吐出ヘッド１６Ｆ，１６Ｌは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき
、それぞれ基板Ｓに対して相対移動して、主走査方向に延びる走査径路を描く。また、隣
接する第一および第二吐出ヘッド１６Ｆ，１６Ｌは、ステージ１２が基板Ｓを主走査する
とき、第一吐出ヘッド１６Ｆの走査径路と第二吐出ヘッドの走査径路とが重なり合う経路
（以下単に、重畳経路ＯＡという。）を描く。
【００４０】
ここで、各第一ノズルＮＦあるいは各第二ノズルＮＬの配列方向と、＋Ｘ方向（主走査
方向）とのなす角度を、主描画角θ１という。本実施形態においては、第一ノズルＮＦあ
るいは第二ノズルＮＬの配列方向が副走査方向であるため、主描画角θ１は９０°である
。
【００４１】
各第三吐出ヘッド１６Ｃは、それぞれ隣接する第一および第二吐出ヘッド１６Ｆ，１６
Ｌの重なり合う領域の主走査方向に配置されている。各第三吐出ヘッド１６Ｃは、それぞ
れ対応する第三ノズルＮＣの配列方向を、主走査方向および副走査方向と交差する方向に
規定する。
【００４２】
ここで、各第三吐出ヘッド１６Ｃの配列方向と、＋Ｘ方向（主走査方向）とのなす角度
を、副描画角θ２という。副描画角θ２は、主描画角θ１よりも小さい角度に設定されて
いる。本実施形態においては、この副描画角θ２が、主描画角θ１よりも小さい３０℃に
設定されている。これによって、各第三吐出ヘッド１６Ｃは、主走査方向から見て、それ
ぞれ第三ノズルＮＣの配列ピッチを縮小させて、副走査方向におけるノズルＮの解像度を
増大させる。各第三吐出ヘッド１６Ｃは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき、基板
Ｓから見て、それぞれ対応する重畳経路ＯＡに重なる走査径路を、隣接する第一および第
二吐出ヘッド１６Ｆ，１６Ｌに追従して描く。
【００４３】
図４において、各ノズルＮの上側には、それぞれインクタンク１４に連通するキャビテ
ィ２１が形成されている。各キャビティ２１は、それぞれインクタンク１４が導出したイ
ンクＩｋを貯留して対応するノズルＮに供給する。各キャビティ２１の上側には、上下方
向に振動可能な振動板２２が貼り付けられて、対応するキャビティ２１の容積を拡大及び
縮小可能にする。振動板２２の上側には、それぞれ圧電素子ＰＺが配設されている。各圧
電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号が入力されるとき、
上下方向に収縮及び伸張して対応する振動板２２を振動させる。
【００４４】
各キャビティ２１は、それぞれ対応する振動板２２が振動するとき、対応するノズルＮ
のメニスカスを上下方向に振動させて、駆動電圧に応じた所定の重量のインクＩｋを、対
応するノズルＮから液滴Ｄとして吐出させる。吐出される各液滴Ｄは、それぞれ基板Ｓに
向かって飛行し、ノズルＮと相対向する表面Ｓａに着弾する。着弾後の各液滴Ｄは、それ
ぞれ表面Ｓａの上において濡れ広がり、合一した液状膜ＦＬを形成する。
【００４５】
ここで、第一ノズルＮＦ、第二ノズルＮＬ、第三ノズルＮＣが吐出する液滴Ｄを、それ
ぞれ第一液滴ＤＦ、第二液滴ＤＬ、第三液滴ＤＣという。本実施形態においては、第三吐
出ヘッド１６Ｃが、第一吐出ヘッド１６Ｆと第二吐出ヘッド１６Ｌよりも低い電位の駆動
電圧を受けて、第三液滴ＤＣのサイズを第一液滴ＤＦおよび第二液滴ＤＬよりも小さくす
る。なお、これら第一液滴ＤＦ、第二液滴ＤＬ、第三液滴ＤＣが形成する液状膜ＦＬを、
それぞれ第一液状膜ＦＬＦ、第二液状膜ＦＬＬ、第三液状膜ＦＬＣという。
【００４６】
図５は、第一液滴ＤＦと第二液滴ＤＬの吐出位置を模式的に示す平面図（以下単に、ド
ットパターンという。）であり、図６は、第一液状膜ＦＬＦと第二液状膜ＦＬＬとを模式
的に示す側断面図である。
【００４７】
図５において、各第一ノズルＮＦと各第二ノズルＮＬの走査経路は、それぞれ一点鎖線
で示すドットパターン格子によって仮想分割されている。このドットパターン格子は、そ
れぞれ主走査方向における第一液滴ＤＦあるいは第二液滴ＤＬの吐出間隔と、副走査方向
における第一液滴ＤＦあるいは第二液滴ＤＬの吐出間隔とによって規定される格子である
。各液滴Ｄの吐出・非吐出は、このドットパターン格子の格子点ごとに規定される。
【００４８】
ここで、第一ノズルＮＦと第二ノズルＮＬに対応するドットパターンの格子点を、それ
ぞれ主描画格子点Ｐという。本実施形態において、主描画格子点Ｐの副走査方向における
吐出間隔は、主走査方向から見た第一ノズルＮＦあるいは第二ノズルＮＬの配列ピッチに
規定される。
【００４９】
各主描画格子点Ｐに向けて液滴Ｄを吐出するノズルＮとしては、基板Ｓを主走査すると
きに、対応する主描画格子点Ｐの直上を通過する第一ノズルＮＦあるいは第二ノズルＮＬ
のいずれか一方が選択される。
【００５０】
各第一ノズルＮＦと各第二ノズルＮＬは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき、そ
れぞれ走査経路に規定される各主描画格子点Ｐの直上を通過し、駆動波形信号に応じ、対
応する主描画格子点Ｐに向けて液滴Ｄを吐出する。そして、各第一ノズルＮＦと各第二ノ
ズルＮＬは、それぞれ選択される主描画格子点Ｐに液滴Ｄを着弾させ、対応する走査経路
に広がる第一液状膜ＦＬＦと第二液状膜ＦＬＬとを描画する。この際、第一液状膜ＦＬＦ
は、第二液状膜ＦＬＬよりも先行して形成される分だけ、その乾燥状態を第二液状膜ＦＬ
Ｌよりも先行させ、外縁を基板Ｓの表面Ｓａに先行して定着する。
【００５１】
図６において、第一液状膜ＦＬＦは、その乾燥状態を第二液状膜ＦＬＬよりも先行させ
るため、第二液状膜ＦＬＬとの間のインクＩｋの流動を抑制し、第一液状膜ＦＬＦが有す
るインクＩｋの容量と、第二液状膜ＦＬＬが有するインクＩｋの容量との平均化をし難く
する。そのため、第一吐出ヘッド１６Ｆに与える吐出量と、第二吐出ヘッド１６Ｌに与え
る吐出量との間に差がある場合、上記重畳経路ＯＡにおいては、吐出量の差に起因する段
差部ＳＰが形成される。
【００５２】
図７は、第三液滴ＤＣの吐出位置を模式的に示す平面図（以下単に、ドットパターンと
いう。）であり、図８は、第三液状膜ＦＬＣを模式的に示す側断面図である。
図７において、各第三ノズルＮＣの走査経路は、それぞれ一点鎖線で示すドットパター
ン格子によって仮想分割されている。このドットパターン格子は、主走査方向における第
三液滴ＤＣの吐出間隔と、副走査方向における第三液滴ＤＣの吐出間隔とによって規定さ
れる格子である。第三液滴ＤＣの吐出・非吐出は、このドットパターン格子の格子点ごと
に規定される。
【００５３】
ここで、第三ノズルＮＣに対応する格子点を、副描画格子点Ｐｓという。本実施形態に
おいて、副描画格子点Ｐｓの副走査方向における吐出間隔は、主走査方向から見た第三ノ
ズルＮＣの配列ピッチに規定される。すなわち、副描画格子点Ｐｓの副走査方向における
吐出間隔は、副描画角θ２が主描画角θ１よりも小さい分だけ、主描画格子点Ｐの吐出間
隔よりも小さい間隔に規定される。
【００５４】
各副描画格子点Ｐｓに第三液滴ＤＣを吐出するための第三ノズルＮＣとしては、基板Ｓ
を主走査するときに対応する副描画格子点Ｐｓの直上を通過する第三ノズルＮＣが選択さ
れる。選択される第三ノズルＮＣの吐出・非吐出は、第一液状膜ＦＬＦに与える吐出量と
、第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値に基づいて規定される。
【００５５】
すなわち、第三液滴ＤＣの吐出・非吐出は、第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量が、第一
液状膜ＦＬＦに与える吐出量と、第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値になるよう
に規定される。
【００５６】
各第三ノズルＮＣは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき、それぞれ走査経路に規
定される各副描画格子点Ｐｓの直上を通過し、駆動波形信号に応じ、対応する副描画格子
点Ｐｓに向けて第三液滴ＤＣを吐出する。そして、各第三ノズルＮＣは、選択される副描
画格子点Ｐｓに第三液滴ＤＣを着弾させ、対応する重畳経路ＯＡに広がる第三液状膜ＦＬ
Ｃを描画する。
【００５７】
この際、第三吐出ヘッド１６Ｃは、副描画角θ２が主描画角θ１よりも小さい分だけ、
主走査方向に延びる重畳経路ＯＡに対し第三液滴ＤＣの解像度を高くさせ、段差部ＳＰの
全体にわたり、より高い精度の下で第三液滴ＤＣを着弾させる。また、第三吐出ヘッド１
６Ｃは、第三液滴ＤＣのサイズを小さくさせる分だけ、段差部ＳＰに着弾する第三液滴Ｄ
Ｃを、より少ないエネルギーによって短い時間で流動させる。そして、第三吐出ヘッド１
６Ｃは、第三液状膜ＦＬＣに段差部ＳＰの段差量に対応する吐出量を与え、段差部ＳＰの
全体にわたりインクＩｋを充填させる。これにより、第三吐出ヘッド１６Ｃは、第一液状
膜ＦＬＦの表面と第二液状膜ＦＬＬの表面とを第三液状膜ＦＬＣの描画によって連続的に
させ、表面Ｓａの全体から見た液状膜ＦＬの均一性を向上させる。
【００５８】
次に、上記液滴吐出装置１０の電気的構成を図９および図１０に従って説明する。図８
は、液滴吐出装置１０の電気的構成を示すブロック回路図であり、図９は、ヘッド駆動回
路の電気的構成を示すブロック回路図である。
【００５９】
図９において、制御手段を構成する制御装置３０は、液滴吐出装置１０に各種の処理動
作を実行させるものである。制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１と、ＣＰＵなどからなる制
御部３２と、ＤＲＡＭ及びＳＲＡＭを含み各種のデータを格納するＲＡＭ３３と、各種制
御プログラムを格納するＲＯＭ３４とを有する。また、制御装置３０は、クロック信号を
生成する発振回路３５と、圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号を生成する駆動波
形生成回路３６と、各種の信号を送信する内部Ｉ／Ｆ３８とを有する。
【００６０】
制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１を介して、入出力装置３７に接続されている。また、
制御装置３０は、内部Ｉ／Ｆ３８を介して、ステージ１２やキャリッジ１５を走査するた
めのモータ駆動回路３９に接続されている。また、制御装置３０は、内部Ｉ／Ｆ３８を介
して、第一吐出ヘッド１６Ｆを駆動制御するための第一ヘッド駆動回路４０Ｆと、第二吐
出ヘッド１６Ｌを駆動制御するための第二ヘッド駆動回路４０Ｌと、第三吐出ヘッド１６
Ｃを駆動制御するための第三ヘッド駆動回路４０Ｃとに接続され、ている。
【００６１】
入出力装置３７は、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、液晶ディスプ
レイなどを有した外部コンピュータである。入出力装置３７は、ＲＯＭまたはハードディ
スクに記憶された制御プログラムに従って液滴吐出装置１０を駆動させるための各種の制
御信号を外部Ｉ／Ｆ３１に出力する。外部Ｉ／Ｆ３１は、入出力装置３７から描画データ
Ｉｐを受信する。
【００６２】
描画データＩｐとは、基板Ｓの表面Ｓａに向けて第一液滴ＤＦ、第二液滴ＤＬおよび第
三液滴ＤＣを吐出させるための各種のデータである。描画データＩｐとは、例えば、表面
Ｓａに対する走査経路の位置に関するデータやステージ１２の走査速度に関するデータで
ある。また、描画データＩｐとは、各主描画格子点Ｐに対し第一液滴ＤＦおよび第二液滴
ＤＬの吐出・非吐出を規定するデータや各副描画格子点Ｐｓに対し第三液滴ＤＣの吐出・
非吐出を規定するデータである。さらに、描画データＩｐとは、各吐出ヘッド１６ごとに
計測される液滴Ｄの重量に関するデータであって、第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量を、
第一液状膜ＦＬＦに与える吐出量と、第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値にする
ために利用されるデータである。
【００６３】
ＲＡＭ３３は、受信バッファ、中間バッファ、出力バッファとして利用される。ＲＯＭ
３４は、制御部３２が実行する各種の制御ルーチンと、その制御ルーチンを実行するため
の各種のデータとを格納する。
【００６４】
発振回路３５は、各種のデータや各種の駆動信号を同期させるためのクロック信号を生
成する。発振回路３５は、例えば、各種のデータをシリアル転送する時に用いる転送クロ
ックＣＬＫを生成する。発振回路３５は、シリアル転送される各種のデータをパラレル変
換時するときに用いるラッチ信号ＬＡＴを、液滴Ｄの吐出周期ごとに生成する。
【００６５】
駆動波形生成回路３６は、各種の駆動波形信号を生成するための波形データを所定のア
ドレスに対応させて格納する。駆動波形生成回路３６は、制御部３２が読み出す波形デー
タを吐出周期のクロック信号ごとにラッチしてアナログ信号に変換し、そのアナログ信号
を増幅して駆動波形信号を生成する。すなわち、駆動波形生成回路３６は、制御部３２が
読み出す波形データに応じ、第一吐出ヘッド１６Ｆおよび第二吐出ヘッド１６Ｌを駆動す
るための高い電位レベルからなる主描画駆動信号ＣＯＭＡと、第三吐出ヘッド１６Ｃを駆
動するための低い電位レベルからなる副描画用駆動信号ＣＯＭＢとを生成する。
【００６６】
制御部３２は、外部Ｉ／Ｆ３１が受信した入出力装置３７からの描画データＩｐをＲＡ
Ｍ３３に一時的に格納して中間コードに変換する。制御部３２は、ＲＡＭ３３に格納する
中間コードデータを読み出してドットパターンデータを生成する。ドットパターンデータ
とは、主描画格子点Ｐの各々に関して第一液滴ＤＦあるいは第二液滴ＤＬを吐出させるか
否かを対応付けるデータであり、副描画格子点Ｐｓの各々に関して第三液滴ＤＣを吐出さ
せるか否かを対応付けるデータである。
【００６７】
制御部３２は、主走査分に相当するドットパターンデータを生成すると、ドットパター
ンデータを用いて転送クロックＣＬＫに同期したシリアルデータを生成し、内部Ｉ／Ｆ３
８を介して、そのシリアルデータを対応するヘッド駆動回路にシリアル転送する。
【００６８】
ここで、ドットパターンデータを用いて生成されて第一ヘッド駆動回路４０Ｆに転送さ
れるシリアルデータを、第一シリアルパターンデータＳＩＦという。ドットパターンデー
タを用いて生成されて第二ヘッド駆動回路４０Ｌに転送されるシリアルデータを、第二シ
リアルパターンデータＳＩＬという。また、ドットパターンデータを用いて生成されて第
三ヘッド駆動回路４０Ｃに転送されるシリアルデータを、第三シリアルパターンデータＳ
ＩＣという。各シリアルパターンデータＳＩＦ，ＳＩＬ，ＳＩＬは、それぞれ対応する液
滴Ｄの吐出・非吐出を規定するためのビットの値をノズルＮの数量、すなわち１８０個分
だけ有するデータであって、吐出周期ごとに順次生成される。
【００６９】
制御部３２は、内部Ｉ／Ｆを介してモータ駆動回路３９に接続されて、モータ駆動回路
３９に対応する駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路３９は、制御部３２からの駆動
制御信号に応答し、内部Ｉ／Ｆ３８を介してステージ１２とキャリッジ１５を移動させる
、すなわち、基板Ｓを主走査および副走査させる。
【００７０】
次に、第一ヘッド駆動回路４０Ｆ、第二ヘッド駆動回路４０Ｌ、第三ヘッド駆動回路４
０Ｃについて以下に説明する。図１０において、各ヘッド駆動回路４０Ｆ，４０Ｌ，４０
Ｃは、それぞれシフトレジスタ４１と、ラッチ４２と、レベルシフタ４３と、アナログス
イッチ４４とを有する。
【００７１】
各シフトレジスタ４１は、それぞれ制御装置３０がシリアルパターンデータＳＩＦ，Ｓ
ＩＬ，ＳＩＣをシリアル転送するとき、対応するシリアルパターンデータＳＩＦ，ＳＩＬ
，ＳＩＣを転送クロックＣＬＫによって順次シフトさせて１８０ビットのシリアルパター
ンデータＳＩＦ，ＳＩＬ，ＳＩＣを格納する。各ラッチ４２は、それぞれ制御装置３０が
ラッチ信号ＬＡＴを入力するとき、対応するシフトレジスタ４１に格納されるシリアルパ
ターンデータＳＩＦ，ＳＩＬ，ＳＩＣをラッチしてシリアル／パラレル変換し、対応する
パラレルパターンデータＰＩとしてレベルシフタ４３に出力する。
【００７２】
各レベルシフタ４３は、それぞれ対応するラッチ４２がパラレルパターンデータＰＩを
出力するとき、パラレルパターンデータＰＩをアナログスイッチ素子の駆動電圧レベルに
昇圧して、対応する吐出ヘッド１６の各圧電素子ＰＺに対し開閉信号を生成する。
【００７３】
すなわち、第一ヘッド駆動回路４０Ｆにおいて、レベルシフタ４３は、第一シリアルパ
ターンデータＳＩＦを利用し、第一吐出ヘッド１６Ｆが有する１８０個の圧電素子ＰＺの
各々に対して開閉信号を生成する。第二ヘッド駆動回路４０Ｌにおいて、レベルシフタ４
３は、第二シリアルパターンデータＳＩＬを利用し、第二吐出ヘッド１６Ｌが有する１８
０個の圧電素子ＰＺの各々に対して開閉信号を生成する。また、第三ヘッド駆動回路４０
Ｃにおいて、レベルシフタ４３は、第三シリアルパターンデータＳＩＣを利用し、第三吐
出ヘッド１６Ｃが有する１８０個の圧電素子ＰＺの各々に対して開閉信号を生成する。
【００７４】
各アナログスイッチ４４は、圧電素子ＰＺに対応する１８０個のスイッチ素子を有して
いる。各スイッチ素子は、それぞれ対応するレベルシフタ４３が出力する開閉信号を受け
て開閉する。各スイッチ素子の入力端には、それぞれ制御装置３０から主描画駆動信号Ｃ
ＯＭＡあるいは副描画駆動信号ＣＯＭＢが入力され、各スイッチ素子の出力端には、それ
ぞれ対応する圧電素子ＰＺが接続されている。各スイッチ素子は、それぞれ対応するレベ
ルシフタ４３が“Ｈ”レベルの開閉信号を出力するとき、対応する圧電素子ＰＺに主描画
駆動信号ＣＯＭＡあるいは副描画駆動信号ＣＯＭＢを供給する。逆に、各スイッチ素子は
、それぞれ対応するレベルシフタ４３が“Ｌ”レベルの開閉信号を出力するとき、主描画
駆動信号ＣＯＭＡあるいは副描画駆動信号ＣＯＭＢの出力を停止させる。
【００７５】
すなわち、第一ヘッド駆動回路４０Ｆにおいて、アナログスイッチ４４は、第一シリア
ルパターンデータＳＩＦに基づく“Ｈ”レベルの開閉信号を受けて、第一吐出ヘッド１６
Ｆの中から選択される圧電素子ＰＺに主描画駆動信号ＣＯＭＡを供給する。第二ヘッド駆
動回路４０Ｌにおいて、アナログスイッチ４４は、第二シリアルパターンデータＳＩＬに
基づく“Ｈ”レベルの開閉信号を受けて、第二吐出ヘッド１６Ｌの中から選択される圧電
素子ＰＺに主描画駆動信号ＣＯＭＡを供給する。また、第三ヘッド駆動回路４０Ｃにおい
て、アナログスイッチ４４は、第三シリアルパターンデータＳＩＣに基づく“Ｈ”レベル
の開閉信号を受けて、第三吐出ヘッド１６Ｃの中から選択される圧電素子ＰＺに副描画駆
動波形ＣＯＭＢを供給する。
【００７６】
これによって、制御装置３０は、ドットパターンデータに応じ、選択される主描画格子
点Ｐに向けて第一液滴ＤＦおよび第二液滴ＤＬの吐出処理を実行させ、第一液状膜ＦＬＦ
および第二液状膜ＦＬＬを相対的に大きい液滴Ｄで描画させる。そして、制御装置３０は
、選択される副描画格子点Ｐｓに向けて第三液滴ＤＣの吐出処理を実行させ、第一液状膜
ＦＬＦに与える吐出量と、第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値から成る第三液状
膜ＦＬＣを相対的に小さいサイズの液滴Ｄで描画させる。
【００７７】
次に、上記液滴吐出装置１０を用いた薄膜の形成方法について以下に説明する。
まず、液滴吐出装置１０は、液滴重量装置１７を用いて、各吐出ヘッド１６ごとの液滴
Ｄの重量を計測する。入出力装置３７は、液滴重量装置１７の計測結果に基づいて描画デ
ータＩｐを生成し、その描画データＩｐを制御装置３０に入力する。次いで、液滴吐出装
置１０は、表面Ｓａを上側にして基板Ｓをステージ１２に載置させ、基板Ｓをキャリッジ
１５の−Ｘ方向に配置する。
【００７８】
制御装置３０は、モータ駆動回路３９を介してキャリッジ１５を副走査し、基板Ｓが主
走査されるときに各ノズルＮが対応する主描画格子点Ｐあるいは副描画格子点Ｐｓ上を通
過するようにキャリッジ１５を配置する。制御装置３０は、キャリッジ１５を配置すると
モータ駆動回路３９を介して基板Ｓの主走査を開始させる。
【００７９】
制御装置３０は、入出力装置３７から入力される描画データＩｐをドットパターンデー
タに展開する。制御装置３０は、展開したドットパターンデータを用いて第一シリアルパ
ターンデータＳＩＦ、第二シリアルパターンデータＳＩＬおよび第三シリアルパターンデ
ータＳＩＣを生成する。制御装置３０は、各シリアルパターンデータＳＩＦ，ＳＩＬ，Ｓ
ＩＣを転送クロックＣＬＫに同期させて対応する各ヘッド駆動回路４０Ｆ，４０Ｌ，４０
Ｃにシリアル転送する。
【００８０】
そして、制御装置３０は、各主描画格子点Ｐが第一ノズルＮＦあるいは第二ノズルＮＬ
の直下に到達すると、吐出周期ごとにラッチ信号ＬＡＴと、ラッチ信号ＬＡＴに同期した
主描画駆動信号ＣＯＭＡとを出力する。制御装置３０は、第一ヘッド駆動回路４０Ｆおよ
び第二ヘッド駆動回路４０Ｌを介して第一および第二シリアルパターンデータＳＩＦ，Ｓ
ＩＬをシリアル／パラレル変換し、対応する各スイッチ素子を開閉するための開閉信号を
生成する。制御装置３０は、開閉信号に従って、選択する各主描画格子点Ｐに第一液滴Ｄ
Ｆあるいは第二液滴ＤＬを吐出させ、第一液状膜ＦＬＦおよび第二液状膜ＦＬＬを描画さ
せる。
【００８１】
また、制御装置３０は、各副描画格子点Ｐｓが第三ノズルＮＣの直下に到達すると、吐
出周期ごとにラッチ信号ＬＡＴと、ラッチ信号ＬＡＴに同期した副描画駆動信号ＣＯＭＢ
とを出力する。制御装置３０は、第三ヘッド駆動回路４０Ｃを介して第三シリアルパター
ンデータＳＩＣをシリアル／パラレル変換し、対応する各スイッチ素子を開閉するための
開閉信号を生成する。制御装置３０は、開閉信号に従って、選択する各副描画格子点Ｐｓ
に第三液滴ＤＣを吐出させ、第三液状膜ＦＬＣを描画させる。
【００８２】
これによって、制御装置３０は、段差部ＳＰに対し、優れた流動性を有する第三液状膜
ＦＬＣを高い精度の下で形成させることができ、その第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量を
、第一液状膜ＦＬＦに与える吐出量と、第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値にす
ることができる。そして、表面Ｓａの全体から見て、液状膜ＦＬの膜厚均一性を向上させ
ることができ、その液状膜ＦＬを乾燥させることによって、薄膜の膜厚均一性を向上させ
ることがきる。
【００８３】
（１）上記実施形態においては、第一吐出ヘッド１６Ｆと、第二吐出ヘッド１６Ｌとを
主走査方向から見て重なり合うように配置させ、第一吐出ヘッド１６Ｆの走査経路と前記
第二吐出ヘッド１６Ｌの走査経路とが重なり合う重畳経路ＯＡ上に第三吐出ヘッド１６Ｃ
を配置させる。そして、第一吐出ヘッド１６Ｆが第一液状膜ＦＬＦに与える吐出量と、第
二吐出ヘッド１６Ｌが第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値を、第三吐出ヘッド１
６Ｃが第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量とする。
【００８４】
したがって、第一液状膜ＦＬＦと第二液状膜ＦＬＬとが重畳する領域に、第三液状膜Ｆ
ＬＣを形成させることができ、その第三液状膜ＦＬＣを、第一液状膜ＦＬＦと第二液状膜
ＦＬＬの膜厚差に相当する膜厚によって形成させることができる。この結果、第一液状膜
ＦＬＦと第二液状膜ＦＬＬとの間の段差部ＳＰを、第三液状膜ＦＬＣによって補填して平
坦化させることができる。よって、吐出ヘッド１６の個体差に起因する筋状の膜厚段差を
解消させることができる。
【００８５】
（２）上記実施形態においては、主走査方向から順に、第三吐出ヘッド１６Ｃ、第二吐
出ヘッド１６Ｌ、第一吐出ヘッド１６Ｆを配置させ、第一吐出ヘッド１６Ｆに第一液状膜
ＦＬＦを形成させ、かつ、第二吐出ヘッド１６Ｌに第二液状膜ＦＬＬを形成させた後、第
三吐出ヘッド１６Ｃに第三液状膜ＦＬＣを形成させる。
【００８６】
したがって、少ない吐出量のインクＩｋを、先行して形成される第一液状膜ＦＬＦおよ
び第二液状膜ＦＬＬの上に吐出させることができる。少ない吐出量のインクＩｋは、基板
Ｓの上に直接着弾する場合、瞬時に乾燥を開始させて主走査方向に沿う筋状のムラを形成
させてしまう。よって、第三液状膜ＦＬＣを、第一液状膜ＦＬＦおよび第二液状膜ＦＬＬ
の上に形成させる分だけ、第三液状膜ＦＬＣに起因するムラを回避させることができ、各
液状膜ＦＬの合一を円滑にさせることができる。ひいては、薄膜の膜厚均一性を、さらに
向上させることができる。
【００８７】
（３）上記実施形態においては、副描画角θ２を主描画角θ１よりも小さい値で構成し
、主走査方向から見た第三ノズルＮＣの解像度を第一ノズルＮＦおよび第二ノズルＮＬの
解像度よりも高くする。したがって、第三ノズルＮＣの解像度を高くする分だけ、段差部
ＳＰに対する第三液滴ＤＣの解像度を高くさせることができ、段差部ＳＰの全体にわたり
、より高い精度の下で第三液滴ＤＣを着弾させることができる。
【００８８】
（４）上記実施形態においては、第三液滴ＤＣのサイズを、第一液滴ＤＦおよび第二液
滴ＤＬよりも小さくする。したがって、第三液滴ＤＣのサイズを小さくする分だけ、より
少ないエネルギーの下で第三液滴ＤＣを流動させることができる。すなわち、第三吐出ヘ
ッド１６Ｃから吐出するインクＩｋを、より短時間で段差部ＳＰに充填させることができ
、第一液状膜ＦＬＦと第二液状膜ＦＬＬとを、より短時間で平坦化させることができる。
【００８９】
（第二実施形態）
次に、本発明の液晶表示装置を図１１および図１２に従って説明する。図１１は、液晶
表示装置を示す斜視図であり、図１３は、対向基板５２を示す斜視図である。
【００９０】
図１１において、液晶表示装置５０は、相対向する素子基板５１と対向基板５２を有し
、素子基板５１と対向基板５２は、四角枠状のシール材５３により貼り合わされて、その
間隙に液晶ＬＣを封入している。素子基板５１の下面には、偏光板や位相差板などの光学
基板５４が貼り合わされている。光学基板５４は、所定の方向に透過軸を有し、バックラ
イトなどからの光を液晶ＬＣに向けて透過可能にする。
【００９１】
素子基板５１の上面（以下単に、素子形成面５１ａと言う。）には、複数の素子領域５
５が区画形成されて、各素子領域５５には、それぞれＴＦＴからなる図示しないスイッチ
ング素子や光透過性の画素電極５６などが形成されている。
【００９２】
各画素電極５６の上側には、素子形成面５１ａの全面にわたる配向膜ＯＦ１が積層され
ている。配向膜ＯＦ１は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、
対応する画素電極５６の近傍で液晶ＬＣの配向方向を規定する。配向膜ＯＦ１は、配向膜
材料（例えば、ポリイミドなどの配向性高分子）の分散したインクＩｋを上記液滴吐出装
置１０に供給して各素子領域５５の上側全体に吐出させ、着弾した複数の液滴Ｄからなる
液状膜ＦＬを乾燥させることにより形成される。
【００９３】
図１２は、素子基板５１の側を上にした状態の対向基板５２を示す斜視図である。図１
２において、対向基板５２の下面（図１１における上面）には、偏光板５７が配設されて
いる。偏光板５７は、所定の方向に透過軸を有して液晶ＬＣからの光を透過可能にする。
対向基板５２の上面（図１１における下面：以下単に、フィルタ形成面５２ａと言う。）
には、ブラックマトリックスＢＭが形成されている。ブラックマトリックスＢＭは、液晶
ＬＣから出射される光を遮光する遮光材料によって形成された薄膜であり、画素電極５６
と対向する領域を囲う格子状に形成されている。フィルタ形成面５２ａには、ブラックマ
トリックスＢＭによって囲まれる領域に、それぞれカラーフィルタＣＦが形成されている
。カラーフィルタＣＦは、液晶ＬＣから出射される光の中から特定波長の光を透過し、液
晶ＬＣからの光を有色の光に変換して出射する。
【００９４】
ブラックマトリックスＢＭおよびカラーフィルタＣＦの上側には、共通するオーバーコ
ート層ＯＣが積層されている。オーバーコート層ＯＣは、液晶ＬＣから出射される光を透
過する光透過性樹脂によって形成された薄膜であり、対向基板５２の表面全体を平坦にす
る。オーバーコート層ＯＣは、光透過性樹脂の分散したインクＩｋを上記液滴吐出装置１
０に供給して対向基板５２の全体に吐出させ、着弾した複数の液滴Ｄからなる液状膜ＦＬ
を乾燥させることにより形成される。
【００９５】
オーバーコート層ＯＣの上側には、光透過性の対向電極５８が積層されている。対向電
極５８は、所定の共通電位を受けて、各画素電極５６と対向電極５８との間の電位差を形
成し、対応する液晶ＬＣの配向状態を変調する。これにより、光学基板５４から出射され
た光の偏光状態を素子領域５５ごとに変調させる。
【００９６】
対向電極５８の上側には、配向膜ＯＦ２が積層されている。配向膜ＯＦ２は、配向膜Ｏ
Ｆ２と同じく、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、近傍に位置
する液晶分子の配向状態を規定する。配向膜ＯＦ２は、配向性高分子の分散したインクを
上記液滴吐出装置１０に供給して対向電極５８の全体に吐出させ、着弾した複数の液滴か
らなる液状膜を乾燥させることにより形成される。
【００９７】
これによれば、配向膜ＯＦ１，ＯＦ２、および、オーバーコート層ＯＣに関して、薄膜
材料の使用量を抑制させて膜厚の均一性を向上させることができる。ひいては、液晶表示
装置５０の生産性を向上させることができる。
【００９８】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態においては、第三液滴ＤＣのサイズを、第一液滴ＤＦおよび第二液滴Ｄ
Ｌのサイズよりも小さくさせる構成にした。これに限らず、例えば、第一液滴ＤＦ、第二
液滴ＤＬおよび第三液滴ＤＣが同じサイズであってもよい。すなわち、本発明は、液滴Ｄ
のサイズに限定されるものではなく、第一吐出ヘッド１６Ｆが第一液状膜ＦＬＦに与える
吐出量と、第二吐出ヘッド１６Ｌが第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値が、第三
液状膜ＦＬＣに与える吐出量となる構成であればよい。
【００９９】
・上記実施形態においては、副描画格子点Ｐｓの副走査方向における吐出間隔を、主描
画格子点Ｐの副走査方向における吐出間隔よりも小さくさせる構成にした。これに限らず
、例えば、副描画格子点Ｐｓの吐出間隔と主描画格子点Ｐの吐出間隔とが同じサイズであ
ってもよい。すなわち、本発明は、液滴Ｄの吐出間隔に限定されるものではなく、第一吐
出ヘッド１６Ｆが第一液状膜ＦＬＦに与える吐出量と、第二吐出ヘッド１６Ｌが第二液状
膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値が、第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量となる構成であ
ればよい。
【０１００】
・上記実施形態においては、主走査方向（＋Ｘ方向）から順に、第三吐出ヘッド１６Ｃ
、第二吐出ヘッド１６Ｌ、第一吐出ヘッド１６Ｆを配置させる構成にした。これに限らず
、例えば、図１３に示すように、主走査方向から順に、第二吐出ヘッド１６Ｌ、第三吐出
ヘッド１６Ｃ、第一吐出ヘッド１６Ｆを配置させる構成であってもよく、あるいは、図１
４に示すように、第二吐出ヘッド１６Ｌ、第一吐出ヘッド１６Ｆ、第三吐出ヘッド１６Ｃ
を配置させる構成であってもよい。すなわち、本発明は、各吐出ヘッド１６の主走査方向
に対する配置順序に限定されるものではなく、第一吐出ヘッド１６Ｆが第一液状膜ＦＬＦ
に与える吐出量と、第二吐出ヘッド１６Ｌが第二液状膜ＦＬＬに与える吐出量との差分値
が、第三液状膜ＦＬＣに与える吐出量となる構成であればよい。
【０１０１】
・上記実施形態においては、第一吐出ヘッド１６Ｆおよび第二吐出ヘッド１６Ｌに供給
する駆動電圧と、第三吐出ヘッド１６Ｃに供給する駆動電圧とを変更して、第三液滴ＤＣ
のサイズを第一液滴ＤＦおよび第二液滴ＤＬのサイズよりも小さくさせる構成にした。こ
れに限らず、例えば、第一、第二および第三吐出ヘッド１６Ｆ，１６Ｌ，１６Ｃに供給す
る駆動電圧を同じレベルに構成し、第一ノズルＮＦおよび第二ノズルＮＬのサイズに比べ
て第三ノズルＮＣのサイズを小さくさせる構成であってもよい。
【０１０２】
・上記実施形態においては、第三ノズルＮＣの数量を、第一ノズルＮＦおよび第二ノズ
ルＮＬの数量と同じ値で構成した。これに限らず、例えば、図１３および図１４に示すよ
うに、第三ノズルＮＣの数量を、第一ノズルＮＦおよび第二ノズルＮＬの数量よりも少な
い値で構成し、第三吐出ヘッド１６Ｃのサイズを、第一吐出ヘッド１６Ｆおよび第二吐出
ヘッド１６Ｌのサイズよりも小さく構成してもよい。
【０１０３】
・上記第二実施形態においては、薄膜を、配向膜ＯＦ１，ＯＦ２、および、オーバーコ
ート層ＯＣに具体化した。これに限らず、薄膜を、感光性樹脂からなるブラックマトリッ
クスＢＭや、エッチング工程に利用するレジスト膜に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明を具体化した第一実施形態の液滴吐出装置を示す斜視図。
【図２】同じく、基板から見た吐出ヘッドを示す斜視図。
【図３】同じく、吐出ヘッドの配置位置を示す平面図。
【図４】同じく、吐出ヘッドの内部を示す概略側断面図。
【図５】同じく、第一および第二液滴の吐出位置を模式的に示す平面図。
【図６】同じく、第一および第二液状膜を示す側面図。
【図７】同じく、第三液滴の吐出位置を模式的に示す平面図。
【図８】同じく、第三液状膜を示す側面図。
【図９】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【図１０】同じく、ヘッド駆動回路の電気的構成を示すブロック回路図。
【図１１】本発明を具体化した第二実施形態の液晶表示装置を示す斜視図。
【図１２】同じく、対向基板を示す斜視図。
【図１３】変更例における吐出ヘッドの配置位置を示す平面図。
【図１４】変更例における吐出ヘッドの配置位置を示す平面図。
【符号の説明】
【０１０５】
Ｄ…液滴、ＤＦ…第一液滴、ＤＬ…第二液滴、ＤＣ…第三液滴、ＦＬ…液状膜、ＮＦ…第
一ノズル、ＮＬ…第二ノズル、ＮＣ…第三ノズル、Ｓ…基板、１０…液滴吐出装置、１２
…走査手段を構成するステージ、１６…吐出ヘッド、１６Ｆ…第一吐出ヘッド、１６Ｌ…
第二吐出ヘッド、１６Ｃ…第三吐出ヘッド、３０…制御手段を構成する制御装置、３９…
制御手段を構成するモータ駆動回路、４０Ｆ…制御手段を構成する第一ヘッド駆動回路、
４０Ｌ…制御手段を構成する第二ヘッド駆動回路、４０Ｃ…制御手段を構成する第三ヘッ
ド駆動回路、５０…液晶表示装置。
【図１】
2008221132.tif 000003
【図２】
2008221132.tif 000004
【図３】
2008221132.tif 000005
【図４】
2008221132.tif 000006
【図５】
2008221132.tif 000007
【図６】
2008221132.tif 000008
【図７】
2008221132.tif 000009
【図８】
2008221132.tif 000010
【図９】
2008221132.tif 000011
【図１０】
2008221132.tif 000012
【図１１】
2008221132.tif 000013
【図１２】
2008221132.tif 000014
【図１３】
2008221132.tif 000015
【図１４】
2008221132.tif 000016