(57)【要約】【課題】  加工精度が高く、かつ信頼性の高い超音波加工する工具ホルダを提供すること。【解決手段】  超音波工具ホルダ１は、振動駆動部２、チャック棒４そして工具取付け軸５から構成される。振動駆動部２は、ステンレス製の正６角柱の外周に６個の直方体の圧電セラミック３を、エポキシ樹脂を用いて接合して構成している。そして、ステンレス製の正６角柱の先端に工具６を取り付けるための工具取付け軸５がある。ステンレス製の正６角柱の後部には、チャック装置により保持される円柱状のチャック棒４を持つ。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工具を保持する工具ホルダにおいて、中心軸を同一にする工具または工具取付け軸、振動駆動部、そしてチャック棒から構成されていること、そして振動駆動部は圧電セラミックを有していること、かつ機械加工装置がチャック棒を固定保持する特徴とするものである。
【請求項２】
前記チャック棒の直径が振動駆動部の内接円より小さいことを特徴とする請求項１に記載の工具ホルダ。
【請求項３】
前記工具取付け軸の直径が振動駆動部の内接円より小さいことを特徴とする請求項１に記載の工具ホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、工具を保持する超音波工具ホルダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  最近、いわゆる難加工材料を加工するために超音波振動を工具または、ワークに与え加工する方法が多用されるようになってきた。このような加工方法は、超音波切削加工と呼ばれて、例えば、非特許文献１に詳しく記載されている。工具としては、旋盤に用いるバイト、フライス盤に用いるエンドミルなどがある。超音波切削加工は、ワークと工具との摩擦抵抗が、小さくなるため、加工面の熱歪みが低減され、加工精度が高くなり、そして切削工具の寿命が長くなるなどの利点を有している。【０００３】  ここで図１の特許文献１に示す切削工具について詳しく説明する。切削工具は、超音波捻り振動を発生する超音波捻り振動器と、超音波捻り振動器により発生された捻り振動を撓み振動に変換する撓み振動体とを備えている。超音波捻り振動器は、ボルト締めランジュバン型電歪振動子からなり、超音波発振器からの高周波駆動信号により駆動される。【０００４】  また、超音波捻り振動器の先端には、超音波捻り振動器より発生した捻り振動の振幅を拡大して、撓み振動体に伝達する振幅拡大用ホーンがねじ止めされており、超音波捻り振動は該ホーンを通過することにより振動振幅が数倍に拡大される。【０００５】  さらに振幅拡大用ホーンの先端には、捻り振動を撓み振動に変換するための撓み振動体が図示しないネジでねじ止めされており、該撓み振動体の先端には切削チップがねじ止めされている。【０００６】  そして、これら超音波捻り振動器、振幅拡大用ホーン、撓み振動体、切削チップは、超音波捻り振動器の固有振動数とほぼ同一の振動数で定在波が発生し共振する振動系となっている。【０００７】  さらに該捻り振動系は、振幅拡大用ホーンに発生した定在波の節に設けられたフランジによりケースに取付けられている。また、超音波捻り振動器の後方には、該超音波捻り振動器を冷却するファンが設けられている。【０００８】  また、このような切削工具を旋盤の刃物台に取り付け、ワークの円周切削加工を行う場合には、該切削工具の取付け手段として防振合金製のバイトホルダーを用いることが好ましいとされている。【０００９】  このような構成の切削工具によると、加工中のホルダに発生する振動が、従来の１／１０〜１／３０に減少し、高精度且つ高能率の切削加工を行うことができ、工具の長寿命化が図られているとされている。【００１０】  また超音波研削装置は、非特許文献２に詳しく記載されている。図２に示す超音波研削装置も回転軸を回転させるためのモータがあり、その回転軸にスリップリング、超音波振動子が備えられている。さらに、回転軸にはブースタ、ホーンそして研削工具であるダイヤモンド砥石が接続されている。また回転自在に支持するための軸受が配置されている。また超音波交流電圧を超音波振動子に印加するための超音波発振器とブラシを備えている。【００１１】  上記の超音波研削装置の概略の運転方法は以下の通りである。まずモータを動作させるとほぼ同時に超音波発振器からブラシを介して回転するスリップリングに超音波交流電圧を印加する。スリップリングに与えられた交流電圧は超音波振動子に印加され、超音波振動子は超音波振動する。この超音波振動が、ブースタそしてホーンを伝播し、そして研削工具���あるダイヤモンド砥石に伝播する。
【非特許文献１】超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成１１年８月、ｐ６７９−６８４
【非特許文献２】日本電子機械工業会、「超音波工学」、株式会社コロナ社、１９９３年、ｐ２１８−２２９
【特許文献１】特開平７−１６４２１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】  しかし、図１の旋盤において、工具を保持する保持装置である刃物台と切削工具の一部であるバイトホルダーが超音波振動により互いに摩擦し焼き付けが発生する虞がある。【００１３】  また超音波振動により、バイトホルダーと保持装置である刃物台の摩擦力が小さくなり、加工時に機械的負荷が切削工具の一部であるバイトホルダーに加わったときに保持装置内でバイトホルダーの位置が変化することにより加工精度が悪化する問題点もある。【００１４】  さらに、超音波振動子の超音波振動が保持装置である刃物台などに伝播してしまい、切削チップに与える超音波振動が小さくなる。所望の大きさの超音波振動を切削チップに印加するためには、保持装置である刃物台など不要な部分に振動を与えるため不要に大きい超音波交流電力を超音波振動子に与える。このため、超音波振動子は、不要な部分に超音波振動を与える分に相当する余分な発熱があり、切削チップ、保持装置などの温度が上昇する。そのため、加工精度、加工能率及び切削チップの寿命に悪影響を与える。【００１５】  そして、さらに別の問題点としてバイトホルダーの後部に超音波振動子を接合しているため、切削チップに励起できる超音波振動モードが限定される。つまり、所望の振動モードを励起できない虞がある。【００１６】  図２の超音波研削装置おいては、回転軸に超音波振動子を取り付けると回転軸が超音波振動するので軸受にも超音波振動が伝播し、軸受は破損の恐れが生ずる。また回転軸および軸受に異常な磨耗が発生し、磨耗が大きくなる恐れがある。さらに、回転軸の直径とほぼ等しい超音波振動子であるランジュバン型超音波振動子を回転軸に接合するため、重量が増加して、回転慣性が大きくなり高速回転には不適な構成になる。さらに、回転軸に接合された超音波振動子の形状の誤差、重量のアンバランスにより回転が不安定になり、回転装置が故障し、加工精度が低下する。
別の問題点として、工具を保持するチャック装置と工具が超音波振動により互いに摩擦し焼き付けが発生する。
さらに、超音波振動により、時としては工具を保持するチャック装置の保持力が小さくなり、加工時に機械的負荷が工具に加わったときに工具が止まってしまう問題点もある。【００１７】  また、チャック装置を固定端として工具が振動するので、固定端からの工具の長さにより駆動周波数を変化させなければならないが、工具に比較してランジュバン型超音波振動子、回転軸及びホーンの質量が大きいため、主に前記ランジュバン型超音波振動子などの固有振動数でしか効率的に振動を励起することができない。したがって、工具に最適な振動を励起することができないという問題点もある。【００１８】  本発明の目的は、高精度および高い信頼性をもつ超音波加工法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】  本発明は、工具を保持する工具ホルダにおいて、中心軸を同一にする工具または工具取付け軸、振動駆動部、そしてチャック棒から構成されていること、そして振動駆動部には圧電セラミックを接合していること、かつ機械加工装置がチャック棒を固定保持するものである。【００２０】  本発明はまた、前記チャック棒の直径を超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円より小さいものとすることである。【００２１】  本発明はまた、工具または工具取付け軸の直径を超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円より小さいものとすることである。
【発明の効果】
【００２２】  本発明の超音波工具ホルダを使用して、旋盤、フライス盤などの機械加工機に用いて超音波加工を行うことにより高精度かつ高速加工を可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】  図３は、本発明の第１の構成の超音波工具ホルダ１を示す基本的な構成を示す正面図、そして図４は図３の側面図である。超音波工具ホルダ１は、振動駆動部２、チャック棒４そして工具取付け軸５から構成される。振動駆動部２は、ステンレス製の正６角柱の外周に６個の直方体の圧電セラミック３を、エポキシ樹脂を用いて接合して構成している。そして、ステンレス製の正６角柱の先端に工具６を取り付けるための工具取付け軸５がある。ステンレス製の正６角柱の後部には、チャック装置により保持される円柱状のチャック棒４を持つ。【００２４】  チャック棒４の直径Ｄ２は超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円Ｄ１の０．１倍から０．８倍の範囲にあることが望ましい。ここで、前記正６角柱の断面の正６角形の内接する円を内接円という。また、もし円柱であるならば、円柱の断面の円を内接円とする。チャック棒４の直径Ｄ２が超音波工具ホルダ１の振動駆動部２の内接円Ｄ１の０．１倍より小さいと、チャック棒４が細くなる過ぎるため、工具６を剛性高く保持できない。そしてチャック棒４の直径Ｄ２が超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円Ｄ１の０．８倍より大きいと、振動駆動部２だけの超音波振動が励起され難い。チャック棒４と振動駆動部２が一体となった振動は、振動させる質量が大きくなり、工具に同じ振動変位を与えるために大きな電力が必要となり、好ましくない。【００２５】  また工具取付け軸５の直径Ｄ３も超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円Ｄ１の０．１倍から０．７倍の範囲にあることが望ましい。工具取付け軸５の直径Ｄ３が超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円Ｄ１の０．１倍より小さいと、工具取付け軸５が細くなる過ぎるため、工具６を剛性高く保持できない。そして工具取付け軸５の直径Ｄ３が超音波工具ホルダの振動駆動部の内接円Ｄ１の０．７倍より大きいと、工具取付け軸５の超音波振動の変位が小さくなってしまう。【００２６】  直方体の圧電セラミック３は板厚方向に分極されている。そしてその表面と裏面に銀電極が設けられている。なお、裏面から表面に折り返し電極が設けられている。【００２７】  上記の超音波工具ホルダ１の振動を、有限要素法を用いて計算した。計算を簡単にするために対称条件を用いて図５に示すモデルを用いて６０度だけ計算した。工具取付け軸５の材質は鋼製で寸法は、直径１０ｍｍそして長さ３０ｍｍである。また超音波工具ホルダ１の振動駆動部２は外接円の直径が３０ｍｍ、長さ４５ｍｍの鋼製の正６角柱の外側に幅が１３ｍｍ、長さ２５ｍｍ、厚さ１ｍｍの圧電セラミック３を接合して製作する。さらにチャック棒４は、鋼製で直径６ｍｍ、長さ４０ｍｍである。そして、１０ＫＨｚから１００ＫＨｚまで１ＫＨｚ刻みで圧電セラミックに１Ｖ印加した周波数特性を計算した。この計算結果を図６に示す。【００２８】  まず３６ＫＨｚの振動モードを図７に示す。超音波工具ホルダ１の振動変位をベクトルにより示す。チャック棒４はほとんど振動していない。そして、正６角柱の振動駆動部２も振動が小さい。工具取付け軸５だけが、振動駆動部２の端面を固定端として大きく振動している。この振動モードは、今まで使用されていない新規な振動モードである。【００２９】  この���規な振動モードをより確実に励起するためには、工具取付け軸５とチャック棒４の長さが１０％以上異なることが望ましい。これは、工具取付け軸５とチャック棒４の長さがほぼ等しくなると工具取付け軸５だけを振動させることが困難になるためである。さらに、工具取付け軸５の長さは、振動駆動部２の０．５倍以上であることが望ましい。なぜならば工具取付け軸の長さが振動駆動部２の長さの０．５倍以上にすることにより振動駆動部の端面を固定端とする工具取付け軸５の１次縦振動モードを励起させ易くするためである。【００３０】  以上のようなチャック棒４がほとんど節になっている振動モードでは、チャック棒４を拘束してもほとんど工具取付け軸５の縦振動を減衰させない。工具取付け軸５だけをほぼ振動させるだけなので、不要な振動を機械装置に伝播させない。また、不要な振動を伝播させないため、振動エネルギーを小さくできるので発熱量を小さくでき、加工精度を向上させることができる。さらに供給電力を小さくすることができるので電源を小さくすることができるので設備コストを低減することができる。【００３１】  次に５７ＫＨｚの振動モードを図８に示す。超音波工具ホルダ１の振動変位をベクトルにより示す。正６角柱状の振動駆動部２の中心部を節とした縦振動をしている。【００３２】  以上のような振動駆動部２の中心部を節とする振動モードでは、チャック棒４は、振動駆動部２の中心部を節とした振動をするが、チャック棒４の直径が小さいため、振動エネルギーの伝播量が小さい。したがって、図７の振動モードよりは、チャック棒４の振動が大きいものの、チャック棒４の直径が小さいため、不要な振動エネルギーを機械装置に伝播する量は小さい。【００３３】  図９は、超音波工具ホルダ１を用いた超音波研磨装置の基本的な構成を示す一部の断面を含む正面図である。ステンレス製の中空の回転軸８を回転させるための中空のモータ９が備えられている。回転軸８を回転自在に支持するための軸受１０があり、さらにこの軸受１０を固定するためのステンレスのケース１１がある。回転軸８には回転軸８に固着された回転側のロータリートランス１２ａがある。回転側のロータリートランス１２ａの近傍には固定側のロータリートランス１２ｂがある。固定側のロータリートランス１２ｂを取付けた固定板は図面を簡略化するために示さない。回転軸８に取り付けた保持装置であるチャック装置１６によりチャック棒４を介して超音波工具ホルダ１を固定する。回転側のロータリートランス１２ａと、超音波工具ホルダ１に固着した圧電セラミック３はリード線１９により電気的に結合されている。超音波工具ホルダ１の工具取付け軸５の先端には工具６であるダイヤモンド単結晶の切削チップ１７を持った円盤が接合してある。そしてその下には、テーブル２０に固定された円盤状のアルミナのワーク１５がある。【００３４】  次にこの超音波工具ホルダ１を用いた加工装置の運転方法を、図９を用いて説明する。まずモータ９の電源をいれ回転軸８を回転させる。次に超音波発振器１８のスイッチを入れ、回転側のロータリートランス１２ａ、固定側のロータリートランス１２ｂを介して圧電セラミック３に３６ＫＨｚの９０Ｖ（Ｐ−Ｐ）の交流電圧を印加する。工具取付け軸５先端に約１５μｍの縦振動が励起され、工具取付け軸５先端に取り付けた工具６であるダイヤモンド単結晶の切削チップ１７を持った円盤が振動する。【００３５】  上記の加工は超音波切削加工であり、ワーク１５と工具６との摩擦抵抗が、小さくなるため、加工面の熱歪みが低減され、加工精度が高くなり、そして、工具６の寿命が長くなるなどの利点を有している。【００３６】  上記の同様な超音波切削加工の効果については、非特許文献２の２２６ページから２２９ページに詳しく記述されている。【００３７】  また、当然回転軸８にもほとんど振動が伝播しないので軸受１０または回転軸８の振動による損傷の恐れはほとんどない。【００３８】  上記のように、工具６と超音波工具ホルダ１の工具取付け軸５にだけ振動を励起することができることにより加工精度の高い、信頼性の高い超音波加工を提供できる。【００３９】  上記の実施の形態では、振動駆動部２と工具取付け軸５を一体化した構成について説明したが、工具取付け軸５に代わり工具６を直接、振動駆動部２と一体化するか、接合しても、もちろんよく工具の例としてドリル、エンドミルなどがある。【００４０】  次に別の運転方法を説明する。まずモータ９の電源をいれ回転軸８を回転させる。次に超音波発振器１８のスイッチを入れ、回転側のロータリートランス１２ａ、固定側のロータリートランス１２ｂを介して圧電セラミック３に５７ＫＨｚの９０Ｖ（Ｐ−Ｐ）の交流電圧を印加する。工具取付け軸５先端に約８μｍの縦振動が励起され、工具取付け軸５先端に図示しないネジにより取り付けた工具６が振動する。【００４１】  この別の振動モードでももちろん超音波加工の効果は大きいが、両端自由の駆動振動部２の縦振動モードが主であるので、工具取付け軸５の長さによっては、工具取付け軸５内の好ましくない位置に振動の節が発生する虞もある。【００４２】  ここで、工具取付け軸５に楕円振動を励起する駆動方法について図１０、図１１を用いて説明する。図３の構成の超音波工具ホルダ１の圧電セラミック３の分極方向を図１０に示す。そして、図１１に工具取付け軸５に楕円振動を励起するための電気配線と電圧印加方法について説明する。まず、正６角柱に接する側の圧電セラミック３の電極はアース電位にする。そして、図１１には、図中のＡは０度位相の電圧を、Ｂは、６０度位相の電圧を、Ｃには１２０度位相の電圧を印加する。なお、Ａ、Ｂ、Ｃは同じ周波数で位相が異なる電圧を印加する装置である。【００４３】  工具６に楕円振動を与えることにより、工具６はワーク１５面に対して平行な楕円振動になる。ワーク１５面に対して垂直な振動は、加工面の粗さを悪化させる。したがって、ワーク１５面に対して平行な振動が求められる。【００４４】  図１２は、本発明の第２の構成の超音波工具ホルダ１を示す基本的な構成を示す正面図、そして図１３は図１２のＡ−Ａ線での断面図である。超音波工具ホルダ１は、振動駆動部２、チャック棒４そして工具取付け軸５から構成される。振動駆動部２は、圧電セラミック３ａ、３ｂをチタン製のフロントマス２１と、リアマス２２により締め付けて一体化したものである。そして、圧電セラミックの電極とフロントマスが短絡するのを防ぐために絶縁体２６を持つ。なお、このような構成はランジュバン型振動子と呼ばれている。チタン製のリアマス２２の後部には、チャック装置により保持される円柱のチャック棒４を持つ。工具取付け軸５の先端には工具６である超硬性の極細のピンを銀ロウを使用して接合している。【００４５】  工具６である超硬性の極細のピンを取り付けた超音波工具ホルダ１を図１４に示す加工装置に取り付ける。チャック棒４にネジを切り、ボルト状にする。前記ネジを切ったチャック棒４を昇降板２３に通し上下からナット２４により締めこむことにより昇降板２３に固定する。そして、モータ９を駆動して昇降板２３を駆動し、同時に超音波発振器１８を駆動し、さらに砥粒を含んだスラリー２５をワーク１５に向けて噴射する。ワーク１５であるアルミナセラミックに超硬性の極細のピンを押し当て砥粒加工により孔を設ける。【００４６】  上記のようにチャック棒４を固定する方法として、ネジによる固定の他、コレットチャック、ドリルチャック、熱によるカシメ、圧着そして溶接による固定などがある。【００４７】  この構成においても工具取付け軸５だけがほぼ振動するモードを使用することにより、約３５ＫＨｚで１５μｍ以上の振動を工具取付け軸５の先端に励起できる。さらに超硬性の極細のピンで振幅が拡大されるので、従来の超音波加工機のように振動を拡大するためのホーンが不要になる。【００４８】  このことにより装置は小型化ができる。また、ホーンなどの大型部品を振動させる必要がないので省電力かできる。さらに、工具取付け軸５だけがほぼ振動するモードを使用するため、ホーンなどの大型部品の振動により影響を受けることがないので超硬性の極細のピンに安定した超音波振動を励起できる。【００４９】  上記の実施の形態では、振動駆動部２と工具取付け軸５を一体化した構成について説明したが、工具取付け軸５に代わり工具６を直接、振動駆動部２と一体化するか、接合しても、もちろんよく工具の例としてドリル、エンドミルなどがある。【００５０】  本発明の第３の構成の超音波工具ホルダ１を用いた旋盤１４の運転方法について図１５を用いて説明する。図示しない超音波発振器から高周波電圧を圧電セラミック３に印加する。所望の周波数の高周波電圧を印加することにより工具取付け軸５に長さ方向に伸縮振動が励起される。そして、工具取付け軸５の先端に取り付けた工具６である切削チップ１７に振動が励起される。これとほぼ同時に図示しないモータを起動し、チャック装置１６とこれにより機械的に固定されたワーク１５を回転させる。そして、図示しない送りモータを起動し、切削チップ１７である工具６をワーク１５方向に移動させ、ワーク１５の内周部を切削加工する。【００５１】  超音波工具ホルダ１の詳細を図１６の側面図を用いて説明する。超音波工具ホルダ１は、工具取付け軸５、振動駆動部２、チャック棒４から構成されている。そして鋼製であり、切削加工により一体で構成されている。超音波工具ホルダ１の中心軸に直交する断面は正方形である。振動駆動部２の４面には直方体状の圧電セラミック３がエポキシ樹脂により接合されている。圧電セラミック３は板厚方向に分極されている。工具取付け軸５の先端には切削チッ��１７を図示しないボルトにより接合する。そして、チャック棒４を刃物台１３により固定する。【００５２】  上記の構成において、先に説明したほぼ超音波工具ホルダ１の工具取付け軸５だけが振動するモードを使用する。旋盤１４の刃物台１３には、ほとんど振動は伝播しない。したがって、不要な振動を励起する電力を必要としないため、超音波発振器を小型化できることはもちろん、電力投入量が小さいため切削チップの温度の上昇も小さくできるので、加工精度、加工速度も高くできる。【００５３】  以上の３例で示したように本発明の超音波工具ホルダを用いた超音波加工は、超音波工具ホルダの工具取付け軸と工具にだけほぼ超音波振動を励起させることができるので、加工精度が高く、工具の寿命が長くなりそして加工速度を高めるなどの利点を有している。【００５４】  本発明に用いる工具は、上記の他、エンドミル、ナイフ、ドリル、リーマー、溶着ヘッド、分散ヘッドなどがある。【００５５】  以上の超音波工具ホルダ１の外側形状は、円柱、正四角柱および正六角柱で説明したが、超音波工具ホルダの所望の振動モードを得るためには、正三角柱以上の正多角柱および円柱が望ましい。【００５６】  また工具取付け軸の形状をストレート状でない構成を図１７と図１８の側面図で示す。図１７の超音波工具ホルダ１の工具取付け軸５は、段付き状の円柱になっている。ここで振動駆動部の直径Ｄ１の０．７倍より工具取付け軸のもっとも直径が大きいところの直径より小さいことが所望の振動を得るために必要である。図１８の超音波工具ホルダ１の工具取付け軸５は、テーパー付きの円柱になっている。ここで振動駆動部の直径Ｄ１の０．７倍よりテーパーのもっとも直径が大きいところの直径より小さいことが所望の振動を得るために必要である。【００５７】  さらにＢＴシャンクに取付ける構成も簡単に構成できる。例えば特許文献２に示すような構成に本発明の超音波工具ホルダを取り付けるのは容易である。また、特許文献２においては、圧電素子に交流電圧を供給するために印加するためにブラシとスリップリングを用いているが、これをロータリートランスに変えて用いることも容易である。
【特許文献２】特開２００６−１４２４６９号公報
【産業上の利用可能性】
【００５８】  本発明の超音波工具ホルダは、多様な機械加工装置に用いて超音波加工することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】従来の超音波バイトを示す概略説明図である。
【図２】従来の超音波研磨装置を示す概略説明図である。
【図３】本発明の第１の構成の超音波工具ホルダを示す正面図である。
【図４】図３の側面図である。
【図５】超音波回転ホルダの有限要素法の計算で使用するモデルである。
【図６】図５のモデルの周波数応答を示す図である。
【図７】有限要素法により３６ＫＨｚの振動モードを計算した図である。
【図８】有限要素法により５７ＫＨｚの振動モードを計算した図である。
【図９】研磨装置に本発明の超音波工具ホルダを用いた一部断面を含む側面図である。
【図１０】図３の超音波工具ホルダの圧電セラミックの分極方向を示す図である。
【図１１】図１０の圧電セラミックに電圧を印加する方法を示す図である。
【図１２】本発明の第２の構成の超音波回転ホルダを示す正面図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ線での断面図である。
【図１４】超音波加工装置に図１２の超音波回転ホルダを用いた図である。
【図１５】本発明の第３の構成の超音波工具ホルダを旋盤に用いた正面図である。
【図１６】図１５に用いた超音波工具ホルダの側面図である。
【図１７】超音波工具ホルダの工具取付け軸の別の構成の側面図である。
【図１８】超音波工具ホルダの工具取付け軸のさらに別の構成の側面図である。
【符号の説明】
【００６０】１    超音波工具ホルダ
２    振動駆動部
３    圧電セラミック
４    チャック棒
５    工具取付け軸
６    工具
７    超音波研磨装置
８    回転軸
９    モータ
１０  軸受
１１  ケース
１２  ロータリートランス
１３  刃物台
１４  旋盤
１５  ワーク
１６  チャック装置
１７  切削チップ
１８  超音波発振器
１９  リード線
２０  テーブル
２１  フロントマス
２２  リアマス
２３  昇降板
２４  ナット
２５  スラリー
【図１】
2008200839.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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