(57)【要約】【課題】この発明は複数に分断された粘着テープを基板の一側部に能率よく貼着することができるようにした貼着装置を提供することにある。【解決手段】離型紙１付きの粘着テープ２が巻装された供給リール１１及び粘着テープを基板に貼着した後の離型紙を巻き取る巻き取りリール１２と、離型紙付きの粘着テープを供給リールから基板の側辺部と対応する長さで引き出す送りチャック２７と、粘着テープを供給リールから引き出すときに粘着テープだけを所定長さの複数の部分に切断する切断機構２４と、切断された粘着テープを基板に対して加圧貼着する加圧ツール７と、基板の側辺部に切断された最初の粘着テープを加圧ツールによって貼着した後、基板の側辺部に切断されたつぎの粘着テープを加圧ツールによって貼着するときに、基板に最初に貼着された粘着シートから離型紙を剥離し、ついで基板の側辺部に貼着されたつぎの粘着テープから離型紙を剥離する剥離ユニット１６を具備する。【選択図】図２
2008303028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の側辺部に離型紙付きの粘着テープを複数に切断して貼着するとともに、貼着された粘着テープから上記離型紙を剥離する粘着テープの貼着装置であって、
上記離型紙付きの粘着テープが巻装された供給リール及び粘着テープを基板に貼着した後の離型紙を巻き取る巻き取りリールと、
上記離型紙付きの粘着テープを上記供給リールから上記基板の側辺部と対応する長さで引き出す引き出し手段と、
この引出し手段によって粘着テープを上記供給リールから引き出すときに上記粘着テープだけを所定長さの複数の部分に切断する切断手段と、
所定長さに切断された上記粘着テープと対応する幅寸法を有し、切断された粘着テープを上記基板に対して加圧貼着する加圧手段と、
上記基板の側辺部に粘着テープの最初に切断された部分を上記加圧手段によって貼着した後、上記基板の側辺部に粘着テープのつぎに切断された部分を上記加圧手段によって貼着するときに、上記基板に粘着シートの最初に貼着された部分から離型紙を剥離し、ついで上記基板の側辺部に粘着テープのつぎに貼着された部分から離型紙を剥離する剥離手段と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置。
【請求項２】
上記基板の側辺部に上記粘着テープのつぎに切断された部分を貼着するとき、上記加圧手段と上記基板を、この基板の側辺部に対して相対的に移動させることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項３】
上記基板の側辺部に貼着される上記粘着テープの複数の部分に対応する複数の加圧手段を有し、切断された粘着テープの複数の部分を各加圧手段によって上記基板の側辺部に順次加圧貼着することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項４】
基板の側辺部に離型紙付きの粘着テープを複数に切断して貼着するとともに、貼着された粘着テープから上記離型紙を剥離する粘着テープの貼着方法であって、
上記離型紙付きの粘着テープを上記基板の側辺部と対応する長さで引き出す工程と、
粘着テープを引き出すときに上記粘着テープだけを所定長さの複数の部分に切断する工程と、
粘着テープの複数に切断された部分を上記基板の側辺部に順次貼着する工程と、
上記基板の側辺部に粘着テープの最初に切断された部分を貼着した後、上記基板の側辺部につぎに切断された部分を貼着するときに、上記基板に最初に貼着された部分から離型紙を剥離し、ついでつぎに貼着された部分から離型紙を剥離する工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法。
【請求項５】
上記粘着テープの１回の引き出し作業に対し、上記基板への粘着テープの貼着作業と、貼着された粘着テープからの離型紙の剥離作業は複数回であることを特徴とする請求項４記載の粘着テープの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は液晶表示パネルなどの基板の側辺部に離型紙付きの粘着テープを貼着する貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の組立工程では、液晶表示パネル（以下、基板という）にＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装したり、このＴＣＰを回路基板に実装するという作業が行われる。上記ＴＣＰを基板に実装する場合、まず、基板の側辺部に異方性導電部材からなる離型紙付きの粘着テープを貼着する。ついで、この粘着テープから離型紙を剥離し、この粘着テープにＴＣＰを仮圧着した後、本圧着するようにしている。
【０００３】
基板の側辺部に離型紙付きの粘着テープを貼着する場合、この基板の側辺部の下面をバックアップツールによって支持し、側辺部の上面に離型紙付きの粘着テープを位置決めしたならば、上記バックアップツールによって支持された基板の側辺部の上面を加圧ツールによって加圧して上記粘着テープを貼着するようにしている。
【０００４】
ところで、最近では基板の大型化によって、粘着テープが貼着される一側部の長さも長尺化してきている。粘着テープが貼着される側辺部が長尺化すると、その側辺部の下面を支持するバックアップツールや粘着テープを加圧貼着する加圧ツールの幅寸法も長尺化することになる。
【０００５】
しかしながら、バックアップツールや粘着テープが長尺化すると、これらの上端面と下端面とを高い精度で平行に設定することが難しくなるということがあったり、加圧ツールが高重量化するため、その取り扱いが困難になったり、上下駆動する駆動機構が大型化するなどのことがある。
【０００６】
そこで、基板が大型化した場合、その一側部の上面に貼着される粘着テープを複数に分割して貼着する。それによって、加圧ツールの幅寸法を分割された粘着テープの長さ寸法に応じて小さくするということが考えられている。
【０００７】
通常、基板の一側部の上面に粘着テープを貼着する場合、離型紙付きの粘着テープを供給リールから所定長さで引き出し、切断機構で粘着テープだけを切断してバックアップツールによって支持された一側部の上面に位置決めしたならば、その粘着テープの切断された部分を加圧ツールによって加圧して基板の一側部上面に貼着する。ついで、貼着された粘着テープから離型紙を剥離することで貼着作業が終了する。
【０００８】
基板の一側部の上面に粘着テープを複数、たとえば粘着テープを２つに分割して貼着する場合、上述した基板の一側部の上面に１つの粘着テープを貼着する作業を、複数回繰り返して行なうことになる。
【０００９】
粘着テープの切断された部分を基板に貼着したならば、その部分から離型紙を剥離した後、基板を移動させてから、離型紙付きの貼着テープを供給リールから引き出し、上述した工程を繰り返して行なうことになる。
【００１０】
特許文献１には基板の一側部に粘着テープを貼着する技術が示されている。しかしながら、一側部に貼着される粘着テープを複数に分割するということは示されていない。
【特許文献１】特開２００３−５１５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、基板の一側部の上面に粘着テープを複数に分割して貼着する場合、粘着テープの分割されたそれぞれの部分を貼着する毎に、貼着された粘着テープの部分から離型紙を剥離する作業と、剥離後に供給リールから離型紙付きの粘着テープを引き出すための作業が必要となる。
【００１２】
つまり、基板の一側部の上面に粘着テープを複数に分割して貼着する場合、分割されたそれぞれの粘着テープを貼着する毎に、基板の一側部に粘着テープを分割せずに貼着する場合に行なわれる作業を、複数回繰り返して行なわなければならない。
【００１３】
そのため、基板の一側部の上面に粘着テープを複数に分割して貼着する場合、分割しないで貼着する場合に比べて貼着に要する作業が分割されて貼着される粘着テープの数に応じて増加するから、生産性が大幅に低下するということになる。
【００１４】
そこで、基板の一側部に粘着テープを複数に分割して貼着する場合、同じ作業を単に複数回繰り返すだけでなく、貼着作業を少しでも効率よく行なえるようにすることが望まれている。
【００１５】
この発明は、基板の一側部に分割された複数の粘着テープを貼着する場合、基板の一側部に粘着テープを分割せずに貼着する場合に行なわれる作業を複数回繰り返すよりも、作業効率を向上させることができるようにした粘着テープの貼着装置及び貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明は、基板の側辺部に離型紙付きの粘着テープを複数に切断して貼着するとともに、貼着された粘着テープから上記離型紙を剥離する粘着テープの貼着装置であって、
上記離型紙付きの粘着テープが巻装された供給リール及び粘着テープを基板に貼着した後の離型紙を巻き取る巻き取りリールと、
上記離型紙付きの粘着テープを上記供給リールから上記基板の側辺部と対応する長さで引き出す引き出し手段と、
この引出し手段によって粘着テープを上記供給リールから引き出すときに上記粘着テープだけを所定長さの複数の部分に切断する切断手段と、
所定長さに切断された上記粘着テープと対応する幅寸法を有し、切断された粘着テープを上記基板に対して加圧貼着する加圧手段と、
上記基板の側辺部に粘着テープの最初に切断された部分を上記加圧手段によって貼着した後、上記基板の側辺部に粘着テープのつぎに切断された部分を上記加圧手段によって貼着するときに、上記基板に粘着シートの最初に貼着された部分から離型紙を剥離し、ついで上記基板の側辺部に粘着テープのつぎに貼着された部分から離型紙を剥離する剥離手段と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
【００１７】
上記基板の側辺部に上記粘着テープのつぎに切断された部分を貼着するとき、上記加圧手段と上記基板を、この基板の側辺部に対して相対的に移動させることが好ましい。
【００１８】
上記基板の側辺部に貼着される上記粘着テープの複数の部分に対応する複数の加圧手段を有し、切断された粘着テープの複数の部分を各加圧手段によって上記基板の側辺部に順次加圧貼着することが好ましい。
【００１９】
この発明は、基板の側辺部に離型紙付きの粘着テープを複数に切断して貼着するとともに、貼着された粘着テープから上記離型紙を剥離する粘着テープの貼着方法であって、
上記離型紙付きの粘着テープを上記基板の側辺部と対応する長さで引き出す工程と、
粘着テープを引き出すときに上記粘着テープだけを所定長さの複数の部分に切断する工程と、
粘着テープの複数に切断された部分を上記基板の側辺部に順次貼着する工程と、
上記基板の側辺部に粘着テープの最初に切断された部分を貼着した後、上記基板の側辺部につぎに切断された部分を貼着するときに、上記基板に最初に貼着された部分から離型紙を剥離し、ついでつぎに貼着された部分から離型紙を剥離する工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法にある。
【００２０】
上記粘着テープの１回の引き出し作業に対し、上記基板への粘着テープの貼着作業と、貼着された粘着テープからの離型紙の剥離作業は複数回であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、離型紙付きの粘着テープを最初に基板の側辺部と対応する長さで引き出すため、上記粘着テープの引き出し作業が１回ですみ、しかも粘着テープの最初に切断された部分を貼着した後、つぎに切断された部分を貼着するときに、その貼着作業と同時に最初に貼着された部分から離型紙を剥離する作業を行なことができるから、これらのことによって作業時間を短縮することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１は離型紙１付きの粘着テープ２の貼着装置を示す概略的構成図であって、この貼着装置は第１の駆動手段４によってＸ，Ｙ及びＺ方向に駆動されるテーブル５を有する。このテーブル５の上面には図２に示すように液晶表示パネルからなる基板Ｗが一側部を上記テーブル５の一側端から外方へ突出させて供給載置される。
【００２３】
テーブル５の上面に供給載置された基板Ｗは、テーブル５がＸ，Ｙ及びＺ方向に駆動されることで、その一側部の下面がバックアップツール６の上端面によって支持されるようになっている。バックアップツール６は上記基板Ｗの一側部の長さ寸法の約半分の幅寸法を有し、少なくとも上端部は基板Ｗの一側部の長手方向に沿う扁平板状となっている。
【００２４】
上記バックアップツール６の上方には加圧手段としての加圧ツール７が第２の駆動手段８によってＺ方向に駆動可能に設けられている。この加圧ツール７は上記バックアップツール６とほぼ同じ幅寸法に形成されていて、少なくとも下端部は上記バックアップツール６の上端部と対応する扁平板状となっている。
【００２５】
上記離型紙１付きの粘着テープ２は供給リール１１に巻装されている。供給リール１１から繰り出された離型紙１付きの粘着テープ２は上記基板Ｗの上記バックアップツール６によって下面が支持された一側部の上面に上記加圧ツール７によって後述するように貼着され、上記離型紙１だけが巻き取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００２６】
上記供給リール１１は第３の駆動手段９によって回転駆動され、上記巻き取りリールは第４の駆動手段１０によって回転駆動されるようになっている。
【００２７】
図３に示すように、この実施の形態では上記基板Ｗの一側部の上面には粘着テープ２が２つに分断されて貼着される。分断された粘着テープ２を第１の分断部分２ａと第２の分断部分２ｂとする。
【００２８】
それによって、上記バックアップツール６と加圧ツール７の幅寸法は、粘着テープ２の各分断部分２ａ，２ｂとほぼ同じ長さ寸法とすることができる。つまり、基板Ｗが大型化しても、上記バックアップツール６と加圧ツール７の幅寸法は基板Ｗの長さ寸法の約半分の幅寸法とすることができる。
【００２９】
上記テーブル５の幅方向一端側には剥離手段を構成する剥離ユニット１６が固定的に設けられている。この剥離ユニット１６は取り付け板２１を有し、この取り付け板２１には下ローラ２２と、この下ローラ２２よりも高い位置に上ローラ２３がそれぞれ回転可能に設けられている。
【００３０】
上記下ローラ２２と上ローラ２３の外周面には粘着テープ２が基板Ｗに貼着された後の離型紙１が順次係合している。そして、上ローラ２３から導出された離型紙１は上記テーブル５の幅方向一端側に位置する一方のガイドローラ１３を経て上記巻き取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００３１】
上記テーブル５の幅方向他端側で、他方のガイドローラ１３の近くには切断機構２４が設けられている。この切断機構２４は下端面を離型紙１に接触させて配置された保持部材２５と、この保持部材２５の下方に対向して設けられたカッタ２６を有し、このカッタ２６は図示しないシリンダによって上下方向に駆動される。
【００３２】
上記保持部材２５とカッタ２６との間には上記供給リール１１から繰り出された離型紙１付きの粘着テープ２がその粘着テープ２を下に向けて通されている。切断機構２４のカッタ２６が上昇方向に駆動されると、上記粘着テープ２だけが切断されるようになっている。
【００３３】
上記切断機構２４は、上記粘着テープ２に図４（ａ）に示すように所定の幅寸法で２箇所に切断線ｃを形成し、これら２箇所の切断線ｃの間の部分ｒが図示しない剥離テープによって除去される。それによって、粘着テープ２には図４（ｂ）に示すように所定長さに分断されて上記剥離テープによって除去された除去部分ｍが形成される。
【００３４】
上記剥離ユニット１６と一方のガイドローラ１３との間には送りチャック２７が配設されている。この送りチャック２７は第５の駆動手段２８よって図１に矢印Ｘで示す水平方向に往復駆動される。
【００３５】
上記送りチャック２７が剥離ユニット１６から導出された離型紙１を挟持した状態で、＋Ｘ方向に駆動されれば、離型紙１付きの粘着テープ２が上記供給リール１１から繰り出される。
【００３６】
送りチャック２７が第５の駆動手段２８よって＋Ｘ方向に駆動されるとき、上記供給リール１１を回転駆動する第３の駆動手段９と、上記巻き取りリール１２を回転駆動する第４の駆動手段１０が同期して作動する。それによって、供給リール１１から離型紙１付きの粘着テープ２が繰り出されるとき、基板Ｗに粘着テープ２が貼着されることで除去された離型紙１が巻き取りリール１２に巻き取られる。
【００３７】
上記送りチャック２７は、離型紙１付きの粘着テープ２を上記供給リール１１から上記基板Ｗの一側部に対応する長さ寸法で引き出す距離だけ＋Ｘ方向に駆動される。この送りチャック２７は上記離型紙１付きの粘着テープ２を所定の長さ、たとえば上記基板Ｗの一側部の長さ寸法の約半分の長さで引き出したときに一度停止する。
【００３８】
そして、そのときに図４（ａ），（ｂ）に示すように上記切断機構２４のカッタ２６が駆動されて粘着テープ２に１つ目の切断線ｃを形成したのち、さらに上記離型紙１付きの粘着テープ２が僅かに送られて２つ目の切断線ｃが形成され、一対の切断線ｃの間の部分ｒが除去されて除去部分ｍが設けられる。
【００３９】
除去部分ｍを形成した後、再度上記基板Ｗの一側部の長さ寸法の約半分に対応する長さが引き出され、その位置に再び除去部分ｍが設けられる。それによって、基板Ｗの一側部と対応する長さで引き出された離型紙１付きの粘着テープ２には、図１に示すように基板Ｗの一側部の約半分の長さで分断された２つの分断部分２ａ，２ｂが設けられることになる。
【００４０】
巻き取りリール１２による離型紙１の巻き取りは、上述したように上記送りチャック２７によって離型紙１付きの粘着テープ２が供給リール１１から引き出されるときに同期して行なわれる。つまり、粘着テープ２の分断部分２ａ，２ｂが後述するように基板Ｗに貼着されると、残留する離型紙１だけが上記巻き取りリール１２に巻き取られる。
【００４１】
なお、上記第１乃至第５の駆動手段４，８，９，１０，２８は図１に示す制御装置３１によって駆動が制御されるようになっている。
【００４２】
つぎに、上記構成の貼着装置によって基板Ｗの一側部の上面に粘着テープ２を２つに分断して貼着するときの動作を図５乃至図７を参照しながら説明する。
【００４３】
まず、第５の駆動手段２８によって送りチャック２７を駆動し、供給リール１１から離型紙１付きの粘着テープ２を基板Ｗの一側部とほぼ同じ長さだけ引き出す。粘着テープ２を引き出す際、基板Ｗの長さの約半分の長さを引き出したときに、カッタ２６を作動させて上記粘着テープ２に一対の切断線ｃを入れ、その間の部分ｒを除去して除去部分ｍを設ける。
【００４４】
除去部分ｍを設けたならば、離型紙１付きの粘着テープ２をさらに基板Ｗの長さの約半分の長さ引き出し、その時点で再度カッタ２６によって粘着テープ２に除去部分ｍを形成する。
【００４５】
それによって、供給リール１１から基板Ｗの一側部の長さとほぼ同じ長さで引き出された粘着テープ２には、図１に示すように上記一側部のほぼ半分の長さ寸法に分断された２つの分断部分２ａ、２ｂが形成される。２つの分断部分２ａ、２ｂを第１の分断部分２ａと、第２の分断部分２ｂとする。
【００４６】
つぎに、テーブル５を第１の駆動手段４によってＸ，Ｙ方向（水平方向）に駆動し、テーブル５の上面に保持された基板Ｗの、テーブル５の上面から突出させた一側部の長手方向の一端部をバックアップツール６の上方に位置決めする。ついで、テーブル５を下降させ、図２に示すように基板Ｗの一側部の一端部側の下面を上記バックアップツール６の上端面によって支持する。
【００４７】
それによって、図５に示すように粘着テープ２の分断された２つの分断部分２ａ、２ｂのうち、粘着テープ２の送り方向下流側に位置する第１の分断部分２ａが基板Ｗのバックアップツール６によって支持された長手方向一端部の上面に対向するよう位置決めされる。
【００４８】
基板Ｗを粘着テープ２に対して位置決めしたならば、第２の駆動手段８によって加圧ツール７を図５に鎖線で示すように下降方向に駆動する。それによって、粘着テープ２の第１の分断部分２ａが基板Ｗの一側部の上面の一端部に加圧されて貼着される。
【００４９】
加圧ツール７によって粘着テープ２の第１の分断部分２ａを基板Ｗに貼着したならば、第１の駆動手段４によって基板Ｗが載置されたテーブル５を、図６に＋Ｘで示す方向に駆動する。テーブル５の駆動と同期させて第５の駆動手段２８により送りチャック２７を＋Ｘ方向に駆動するとともに、第４の駆動手段１０によって巻き取りリール１２を回転駆動し、離型紙１の第１の分断部分２ａよりも下流側に位置する、すでに粘着テープ２が剥離された部分を巻き取る。
【００５０】
それによって、図６に示すように剥離ユニット１６によって基板Ｗに貼着された粘着テープ２の第１の分断部分２ａから離型紙１が剥離されるとともに、基板Ｗの長手方向一側部の他端部と、粘着テープ２の切断された第２の分断部分２ｂを加圧ツール７の下方に対向位置させることができる。
【００５１】
このようにして、基板Ｗと粘着テープ２の第２の分断部分２ｂを加圧ツール７に対向する位置に位置決めしたならば、第２の駆動手段８を作動させて加圧ツール７を図６に鎖線で示すように下降方向に駆動し、粘着テープ２の第２の分断部分２ｂを基板Ｗの一側部の上面の他端部に加圧貼着する。
【００５２】
粘着テープ２の第２の部分２ｂを基板Ｗの一側部上面の長手方向他端部に貼着したならば、図７に示すように加圧ツール７を第２の駆動手段８によって上昇させたのち、テーブル５を＋Ｘ方向に駆動する。それによって、基板Ｗに貼着された粘着テープ２の第２の部分２ｂから離型紙１が剥離されることになる。
【００５３】
粘着テープ２の第２の部分２ｂから離型紙１を剥離したならば、粘着テープ２が貼着された基板をテーブル５から次工程に受け渡した後、テーブル５を−Ｘ方向に駆動して初期位置に戻し、上述した工程が繰り返して行なわれる。
【００５４】
このようにして、基板Ｗの一側部に粘着テープ２の第１の分断部分２ａと第２の分断部分２ｂを貼着すれば、第１の分断部分２ａから離型紙１を剥離する作業と、第２の分断部分２ｂを基板Ｗに圧着する作業を同時に行なうことができる。
【００５５】
しかも、粘着テープ２を最初に基板Ｗの一側部とほぼ同じ長で引き出すようにしたから、基板Ｗに第１の分断部分２ａと第２の分断部分２ｂを貼着する２回の貼着作業に対し、粘着テープ２の引き出し作業は最初に基板Ｗの一側部の長さ寸法とほぼ同じ長さで引き出すだけでよい。
【００５６】
したがって、これらのことにより、基板Ｗの一側部に第１の分断部分２ａと第２の分断部分２ｂを貼着する作業を、従来の貼着作業を２回繰り返して行なう場合に比べて能率よく行なうことができるから、タクトタイムの短縮を図ることができる。
【００５７】
さらに、基板Ｗの一側部上面に粘着テープ２を第１の分断部分２ａと第２の分断部分２ｂに分断して貼着するようにすれば、バックアップツール６と加圧ツール７の幅寸法を基板Ｗの一側部の長さ寸法の約半分にすることができる。
【００５８】
そのため、基板Ｗが大型化しても、バックアップツール６と加圧ツール７の幅寸法を基板Ｗの長さ寸法に比べて十分に小さくすることができるから、バックアップツール６と加圧ツール７の平行度の設定を容易に行なうことができるばかりか、加圧ツール７を上下駆動する第２の駆動手段８を大型化させずにすむ。
【００５９】
上記一実施の形態では粘着テープの第１の分段部分を基板に貼着した後、つぎの第２の分断部分を基板に貼着する際、粘着テープを送りながらテーブルを駆動して粘着テープの第２の部分及び基板の第２の部分に対向する部分を、バックアップツールと加圧ツールに対して位置決めするようにしたが、基板及び粘着テープは動かさず、バックアップツールと加圧ツールを基板の長手方向に沿って駆動可能な構成としてもよい。  
そして、第１の分段部分を基板に貼着した後、これらバックアップツールと加圧ツールを駆動して第２の分断部分２ｂに対向するよう、位置決めするようにしてもよい。
【００６０】
なお、バックアップツールを基板の一側部とほぼ同じ長さにしておけば、加圧ツールだけを駆動して基板に対して位置決めすればよい。つまり、基板とバックアップツールを相対的に移動させてこれらを位置決めできる構成であればよい。
【００６１】
第１の分断部分を貼着した後、第２の分断部分を貼着する際、テーブルを駆動せずに、加圧ツールを駆動して第２の分断部分に対向位置させる場合、剥離ユニットをＸ方向に沿って駆動可能に設ける。そして、加圧ツールを駆動して第２の分断部分に対向位置させるとき、剥離ユニットを−Ｘ方向に駆動して第１の分断部分から離型紙を剥離するようにすればよい。
【００６２】
また、基板の一側部の上面に粘着テープの分断された２つの部分を貼着する場合について説明したが、基板の一側部の上面に粘着テープを３つ或いはそれ以上に分断して貼着する場合であっても、この発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】この発明の一実施の形態を示す剥離装置の概略的構成図。
【図２】基板の一側部のテーブルから突出した部分がバックアップツールによって指示された状態を示す側面図。
【図３】一側部の上面に粘着テープが２つに分断されて貼着された状態を示す基板の平面図。
【図４】（ａ），（ｂ）は切断機構によって離型紙つきの粘着テープに、この粘着テープの一部を除去して除去部部分を形成する説明図。
【図５】粘着テープの分断された第１の部分を加圧ツールの下方に対向位置決めした時の説明図。
【図６】粘着テープの分断された第１の部分から離型紙を剥離するときの説明図。
【図７】粘着テープの分断された第２の部分から離型紙を剥離するときの説明図。
【符号の説明】
【００６４】
１…離型紙、２…粘着テープ、５…テーブル、６…バックアップツール、７…加圧ツール（加圧手段）、１１…供給リール、１２…巻き取りリール、１６…剥離ユニット（剥離手段）。
【図１】
2008303028.tif 000003
【図２】
2008303028.tif 000004
【図３】
2008303028.tif 000005
【図４】
2008303028.tif 000006
【図５】
2008303028.tif 000007
【図６】
2008303028.tif 000008
【図７】
2008303028.tif 000009