(57)【要約】【課題】ポンプ軸以外の箇所にも軸受を設ける構造工夫により、大構造物となる移動体の摺動移動の円滑さやその摺動支持手段（軸受等）の耐久性を改善させる。【課題を解決するための手段】  流体の吸込路１２と吐出路１３とを備えたポンプボティ１と、これの両端部に気密固定される一対の隔膜２と、各隔膜２の先端部に取着されるポンプ軸１５と、各ポンプ軸１５を摺動移動可能に支持して隔膜２の外側に配される連結ボデイ１６を介してポンプボティ１に一体化される一対のポンプフランジ４と、各ポンプ軸１５のポンプフランジ４からの突出先端部１５Ｂに取付けられる連結板１７どうしを、各ポンプフランジ４を貫通して隔膜２の外側に配される状態で連結する連結棒１８と、一対のポンプフランジ４に亘って設けられて連結棒１８を囲繞するカバー筒６とを有する往復動ポンプにおいて、連結棒１８を各ポンプフランジ４に支持される摺動軸受２７を介して摺動移動可能に支持する。【選択図】図２
2008303752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被移送流体の吸込路及び吐出路を備えたポンプボティと、前記ポンプボティの両端部のそれぞれに気密に固定されて前記ポンプボティとの間に密閉空間をそれぞれ形成するように対向配備される一対の隔膜と、各前記隔膜の先端部に取付けられるポンプ軸と、各前記ポンプ軸を摺動移動可能に支持するとともに前記隔膜の外側に配される連結ボデイを介して前記ポンプボティに一体化される一対のポンプフランジと、各前記ポンプ軸における前記ポンプフランジから外側に突出している貫通突出部に取付けられる連結板どうしを、各前記ポンプフランジを貫通して前記隔膜の外側に配される状態で連結する連結棒と、一対の前記ポンプフランジに亘って設けられる状態で前記連結棒を囲繞するカバー筒と、を有するとともに、
前記連結棒は、各前記ポンプフランジに支持される摺動軸受を介して摺動移動可能に支持されている往復動ポンプ。
【請求項２】
前記摺動軸受は、断面が円形の前記連結棒に外嵌し、かつ、前記連結棒の軸心方向に沿う切れ込みが形成された断面がＣ字状を呈するスリット付円筒状のものに形成されている請求項１に記載の往復動ポンプ。
【請求項３】
前記摺動軸受には、丸パイプ状の前記カバー筒の端部が嵌合支持されている請求項２に記載の往復動ポンプ。
【請求項４】
前記摺動軸受は、前記カバー筒が外嵌される小径部と、この小径部よりも大径で前記ポンプフランジに設けられている凹入部に内嵌される大径部と、を有する段付形状に形成されている請求項３に記載の往復動ポンプ。
【請求項５】
前記ポンプ軸を摺動可能に支持する軸受機構を前記ポンプフランジに着脱可能に支持するに、前記ポンプ軸に外嵌するリング状の軸受及びシールリングとが装備されるカセット体を、これが前記ポンプフランジに対する前記連結板側への取外しが行える状態で前記ポンプフランジに取付けられている請求項１〜４の何れか一項に記載の往復動ポンプ。
【請求項６】
前記隔膜が、前記ポンプボディに取付けられる厚肉フランジ部と、前記ポンプ軸の根元側に装備される板状部材に取付けられる先端厚肉板部と、前記厚肉フランジ部と前記先端厚肉板部とに亘る状態で形成される蛇腹部と、を有するベローズに構成されている請求項１〜５の何れか一項に記載の往復動ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベローズポンプ、ダイヤフラムポンプ等であって、半導体や液晶の製造設備や装置において使用される純水、薬液の送液手段として好適な往復動ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の往復動ポンプは、ベローズ等の隔膜を背中合わせ状態でポンプボディに一対装備するとともに、隔膜を迂回するよう横外側に配される連結棒によって各隔膜の先端部どうしを連動連結させることにより、一対の隔膜を背反的に拡縮動作させて連続的にポンピングできるように構成された大容量（単位時間当たりの吐出量が大）型の往復動ポンプであり、例えば、特許文献１において開示されたものが知られている。
【０００３】
つまり、特許文献１の図２に示されるように、対向配置されるベローズ１２ａ，１２ｂを背反的に拡縮駆動させるために、各ベローズ１２ａ，１２ｂの先端側に取付けられているポンプ軸２４ａ，２４ｂに固定される連結板３２ａ，３２ｂどうしを一対の連結棒３４ａ，３４ｂで連動連結するものであり、それら一対のポンプ軸２４ａ，２４ｂ、一対の連結板３２ａ，３２ｂ、及び一対の連結棒３４ａ，３４ｂは一体の移動体として往復移動するものとなる。
【０００４】
そして、上述のように複数の構成要素から構成される前記移動体を摺動自在に支持する手段は、各ポンプ軸２４ａ，２４ｂを、軸受２３ａ，２３ｂを介してポンプフランジ１ａ，１ｂの孔２２ａ，２２ｂに挿通させるものである。つまり、大なる構造物である移動体は、そのポンプ軸２４ａ，２４ｂでのみ摺動移動自在に支持させる構成が採られている。
【特許文献１】特開２００２−１７４１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ポンプ軸だけで摺動支持させる構成では、各ポンプ軸、各連結棒、各連結板、及びポンプ軸連結される各ベローズの重量が全てポンプ軸に作用することとなり、重量負荷が大きい。そのため、ポンプフランジに装備されるポンプ軸用軸受２３ａ，２３ｂに対する負荷が大きくなり、それら軸受が摩耗し易い傾向があるとともに、移動体としての摺動移動が円滑に行われ難くなるのではないかという懸念がある。
【０００６】
本発明の目的は、ポンプ軸以外の箇所にも軸受を設けるように構造工夫することにより、上述の大構造物となる移動体の摺動移動の円滑さやその摺動支持手段（軸受等）の耐久性を改善させる点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、往復動ポンプにおいて、被移送流体の吸込路１２及び吐出路１３を備えたポンプボティ１と、前記ポンプボティ１の両端部のそれぞれに気密に固定されて前記ポンプボティ１との間に密閉空間８をそれぞれ形成するように対向配備される一対の隔膜２，２と、各前記隔膜２の先端部に取付けられるポンプ軸１５と、各前記ポンプ軸１５，１５を摺動移動可能に支持するとともに前記隔膜２の外側に配される連結ボデイ１６を介して前記ポンプボティ１に一体化される一対のポンプフランジ４，４と、各前記ポンプ軸１５，１５における前記ポンプフランジ４から外側に突出している貫通突出部１５Ｂに取付けられる連結板１７どうしを、各前記ポンプフランジ４，４を貫通して前記隔膜２の外側に配される状態で連結する連結棒１８と、一対の前記ポンプフランジ４，４に亘って設けられる状態で前記連結棒１８を囲繞するカバー筒６と、を有するとともに、
前記連結棒１８は、各前記ポンプフランジ４，４に支持される摺動軸受２７を介して摺動移動可能に支持されていることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の往復動ポンプにおいて、前記摺動軸受２７は、断面が円形の前記連結棒１８に外嵌し、かつ、前記連結棒１８の軸心Ｘ方向に沿う切れ込み２８が形成された断面がＣ字状を呈するスリット付円筒状のものに形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の往復動ポンプにおいて、前記摺動軸受２７には、丸パイプ状の前記カバー筒６の端部が嵌合支持されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の往復動ポンプにおいて、前記摺動軸受２７は、前記カバー筒６が外嵌される小径部２７ｂと、この小径部２７ｂよりも大径で前記ポンプフランジ４に設けられている凹入部２４に内嵌される大径部２７ａと、を有する段付形状に形成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の往復動ポンプにおいて、前記ポンプ軸１５を摺動可能に支持する軸受機構Ｂを前記ポンプフランジ４に着脱可能に支持するに、前記ポンプ軸１５に外嵌するリング状の軸受２１及びシールリング２２とが装備されるカセット体１９を、これが前記ポンプフランジ４に対する前記連結板１７側への取外しが行える状態で前記ポンプフランジ４に取付けられていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項６に係る発明は、請求項１〜５の何れか一項に記載の往復動ポンプにおいて、前記隔膜２が、前記ポンプボディ１に取付けられる厚肉フランジ部２ａと、前記ポンプ軸１５の根元側に装備される板状部材１４に取付けられる先端厚肉板部２ｃと、前記厚肉フランジ部２ａと前記先端厚肉板部２ｃとに亘る状態で形成される蛇腹部２ｂと、を有するベローズに構成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明によれば、ベローズの先端部に取付けられる一対のポンプ軸、一対の連結板、複数の連結棒等からなる移動体は、ポンプ軸の部分だけでなく、各連結棒の両端部も摺動可能に支持されるから、従来ではポンプ軸に集中していた荷重負担が連結棒の軸受部にも分散されるようになり、各摺動軸受の摩耗を抑制できて長寿命化を図ることが可能な往復動ポンプを提供することができる。また、比較的大きな構造物となる前記移動体の摺動軸受箇所が大幅に増えるので、その移動の安定化や円滑さも改善されるようになり、より円滑で軽快に動作可能になる利点も得られる。
【００１４】
請求項２の発明によれば、連結棒の摺動軸受が、断面がＣ字状を呈するスリット付円筒状に形成されているから、雰囲気温度変化や摺動熱等によって摺動軸受や連結棒が膨張したり収縮したりしても、摺動軸受が容易に周方向に伸び縮み変位して吸収することができ、連結棒と摺動軸受との良好な摺動支持状態を維持可能となる往復動ポンプを提供することができる。
【００１５】
請求項３の発明によれば、連結棒を保護すべく囲繞するカバー筒が摺動軸受に嵌合支持される構造、即ち、１つの部品（摺動軸受）を介して嵌合される構造であるから、例えばカバー筒をポンプフランジに嵌合支持させる場合のように、２つの部品（ポンプフランジ、摺動軸受）を介して嵌合される構造に比べて、カバー筒を寸法精度良く組付けることができるとか、より連結棒の径に近付く細い径のものが可能になるといった利点がある。この場合、請求項４のように、摺動軸受を、カバー筒が外嵌される小径部と、ポンプフランジに内嵌される大径部とを有する段付形状のものとすれば、カバー筒をより細くできるとか、ポンプフランジの摺動軸受装着用の孔の内径を、廉価で作成し易い段差のない一定径のものにできるといった利点が追加される。
【００１６】
また、カバー筒を摺動軸受に嵌合支持させる構成では、摺動軸受の保守点検や交換といったメンテナンスを行うべく摺動軸受をポンプフランジに対して着脱させる際には、摺動軸受をポンプフランジに対して着脱する操作と、ポンプフランジから外されて摺動軸受とカバー筒とによる小規模な構造物の状態において、摺動軸受とカバー筒とを着脱させる操作とを行うものとなる。これは、例えば、カバー筒がポンプフランジに対して嵌合支持されている場合では、カバー筒をポンプフランジに対して着脱する操作と、摺動軸受をポンプフランジに対して着脱する操作との双方を往復動ポンプに対して行う必要があって面倒であるが、請求項３の発明では、その面倒な操作が改善されて着脱操作の容易化が可能になる利点もある。
【００１７】
請求項５の発明によれば、詳しくは実施形態の項にて説明するが、ポンプ軸を摺動可能に支持する軸受機構がポンプフランジに対して連結板側、即ち外方に取外し可能となるから、ポンプ軸用の軸受手段やシール手段の保守点検や交換の際には、軸受機構の着脱操作以外には、連結板を連結棒から外す作業を行えばよく、連結板に加えてポンプフランジも着脱しなければならない従来の往復動ポンプに比べて、ポンプ軸の摺動支持構造のメンテナンス性を改善できる利点が得られる。
【００１８】
請求項６の発明によれば、前記請求項１〜５の発明による効果の何れかを有する使い易くて改善されたベローズ式の往復動ポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明による往復動ポンプの実施の形態を、図面を参照しながら説明する。図１は往復動ポンプの全体斜視図、図２は構造を示す断面図、図３は側面図、図４はポンプ軸の摺動支持構造を示す要部の断面図、図５は軸受機構の着脱作用図、図６は連結棒の摺動支持構造を示す断面図、図７は図６の摺動軸受の単品斜視図である。
【００２０】
〔実施例１〕
往復動ポンプＡは、図１〜図３に示すように、ベローズポンプの一対を背中合わせ状態で合体させたような構造のものであり、単位時間当たりの吐出量を大きく取れる大容量ポンプである。往復動ポンプＡは、フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）等で成る左右中央のポンプボディ１、ポンプボディ１の左右に配されるフッ素樹脂（ＰＴＦＥ）等で成る一対のベローズ（隔膜の一例）２，２、一対のエアシリンダ３，３、ステンレス材（ＳＵＳ３０４）等で成る一対のポンプフランジ４，４、計４本の通しボルト・ナット５、計４本のカバー筒６，６、一対の端部カバー７，７等を有して構成されている。尚、図３は、端部カバー７を外した状態の側面図である。
【００２１】
ここで簡単にポンピング作用について説明すると、各ポンプフランジ４，４のサイドに設けられているエア給排口ａ，ａに対して図示しないエア給排装置から背反的にエアを出し入れさせて、一対のエアシリンダ３，３を背反的に伸縮作動させ、ポンプボディ１側方の下側に配備されている流体吸入部ｒｉから吸入される流体を、その上側に配備されている流体吐出部ｒｏから略連続的に吐出することができる、というものである。つまり、一対のベローズ２，２が背反的に拡縮駆動される構造であって、一方のベローズ２が流体吐出動作する間、他方のベローズ２は流体吸入動作することになり、往復動ポンプＡでありながら連続的に流体吐出できるものとなっている。
【００２２】
次に各部の詳細構造について説明する。図２，３に示すように、ポンプボディ１は、その左右両側の中心部分が外方突出する段付円筒状に形成されている。ポンプボディ１の突出部分の外周部１ａに、ベローズ２の円環状の厚肉フランジ部２ａがポンプボディ１の内側周壁１ｂに当接するまで嵌合されて支持されるとともに、ベローズ２とポンプボディ１とで囲まれる部分であるポンプ室（密閉空間の一例）８に臨む吸入用及び吐出用の各逆止弁９，１０が設けられている。そしてポンプボディ１には、一対の吸入用逆止弁９，９と流体吸入部ｒｉとを連通させる吸入側流路（吸入路の一例）１２、及び一対の吐出用逆止弁１０，１０と流体吸入部ｒｉとを連通させる吐出側流路（吐出路の一例）１３が形成されている。
【００２３】
吸入用逆止弁９は、ポンプボディ１に嵌合装着される弁ケース９Ａと、弁ケース９Ａに移動可能に内嵌される弁体９Ｂと、弁体９Ｂ先端の弁座２９をポンプボディ１における吸入側流路１２側に開口する孔周縁部３０に押圧付勢するコイルバネ９Ｃとを有して構成されている。吐出用逆止弁１０は、ポンプボディ１に嵌合装着される弁ケース１０Ａと、弁ケース１０Ａに移動可能に内嵌される弁体１０Ｂと、弁体１０Ｂ先端の弁座３１を弁ケース１０Ａのポンプ室８側に開口する状態で形成されている孔周縁部３２に押圧付勢するコイルバネ１０Ｃとを有して構成されている。図２においては、ポンプボデイ１の右側に描かれている吸入用逆止弁９は閉じ（閉弁）状態を、かつ、左側に描かれている吸入用逆止弁９は開き（開弁）状態を夫々示している。また、ポンプボデイ１の右側に描かれている吐出用逆止弁１０は開き（開弁）状態を、かつ、左側に描かれている吐出用逆止弁１０は閉じ（閉弁）状態を夫々示している。
【００２４】
ベローズ２は、前述した厚肉フランジ部２ａ、蛇腹部２ｂ、及び略円板状のヘッド部（先端厚肉板部の一例）２ｃとを有して成り、ヘッド部２ｃには、これにボルト止めされる支持板（板状部材の一例）１４を介してポンプ軸１５が取付けられている。ポンプ軸１５は、その中心がベローズ２及びポンプボディ１の中心を通る軸心Ｐに合致する状態で装備されている。ポンプ軸１５は、カセット式の軸受機構Ｂを介して摺動移動自在にポンプフランジ４に支持されており、そのポンプフランジ４は、一対のポンプフランジに亘って架設される通しボルト・ナット５により、エアシリンダ３を構成するシリンダ筒（連結ボデイの一例）１６を介して厚肉フランジ部２ａに支持されている。つまり、一対のポンプフランジ４，４は、アルミ合金製のシリンダ筒１６，１６及びベローズ２の厚肉フランジ部２ａを介してポンプボディ１に一体化されており、それらによって支持体であるポンプ枠Ｆが構成されている。尚、ポンプフランジ４には、ボルト等によって往復動ポンプＡを台座等の構造物に固定可能とするための取付フランジ部４Ａが形成されている。
【００２５】
ポンプ軸１５は、軸受機構Ｂに内嵌される本体部１５Ａと、これよりも若干径の小さい先端部（貫通突出部の一例）１５Ｂとを有して成り、ポンプフランジ４を貫通して突出する先端部１５Ｂには矩形板状でステンレス（ＳＵＳ３０４等）製の連結板１７がナット止めされている。連結板１７の上下端で左右端の夫々には、一対の連結板１７，１７を連動連結するための計４本の円柱状（円筒状でも良い）連結棒１８がナット１８ａによって固定されている。ステンレス（ＳＵＳ３０４等）製の各連結棒１８は、各ポンプフランジ４，４に設けられている軸受部１１により、摺動自在に各ポンプフランジ４，４に支持されている。各連結棒１８は、ポンプフランジ４，４に亘って架設されるステンレス（ＳＵＳ３０４等）にフッ素樹脂コーティングが施された丸パイプ状のカバー筒６によって囲繞されている。また、連結板１７は、４箇所の連結棒１８の端部と共に端部カバー７によって覆われている。
【００２６】
つまり、一対のベローズ２のヘッド部２ｃどうしは、ステンレス（ＳＵＳ３０４等）製で一対の支持板１４，１４、一対のポンプ軸１５，１５、一対の連結板１７，１７、及び４本の連結棒１８から成る移動体Ｃを伴って連動連結されている。従って、一方のベローズ２（図２の左側に描かれているベローズ２）が拡大移動、即ち左側のエアシリンダ３が負圧作動しているときは、他方のベローズ２（図２の右側に描かれているベローズ２）は縮小移動、即ち右側エアシリンダ３が正圧作動する関係で一体駆動される。この一対のベローズ２の背反駆動により、連続的に流体を吸入するとともに連続的に流体を吐出する大容量ポンプに構成されている。尚、シリンダ筒１６の内部は、エア圧によってベローズ２を拡縮駆動するためのシリンダ室３ａに形成されている。
【００２７】
複数の構成要素からなる移動体Ｃは、各ポンプ軸１５に作用する計２箇所の軸受機構Ｂと、各連結棒１８の両端部に作用する計８箇所の軸受部１１とによって摺動移動可能にポンプ枠Ｆに支持されている。このようにポンプ軸１５だけでなく、４箇所の連結棒１８の両端部も軸受を介して摺動可能に支持してあるので、移動体Ｃの支持荷重（負荷）が計１０箇所の軸受（２箇所の軸受機構Ｂと８箇所の軸受部１１）に分散され、それら軸受の早期摩耗を招くこと無いとともに、シール性の改善も可能になり、かつ、移動体Ｃが円滑で軽快に摺動移動できる摺動支持構造が往復動ポンプＡに構築されている。
【００２８】
次に、ポンプ軸１５の摺動支持構造について説明する。ステンレス（ＳＵＳ３０４等）製のポンプ軸１５は、前述の軸受機構Ｂを用いてポンプフランジ４に摺動自在に支持されている。軸受機構Ｂは、図４，５に示すように、本体ボス部１９Ａと取着フランジ部１９Ｂとを有する段付円筒状でアルミ合金製のカセット体１９と、第１Ｏリング２０と、軸受リング２１と、シールリング２２と、シールリング２２に外嵌される第２Ｏリング２３とを有して構成されている。
【００２９】
第１Ｏリング２０は、本体ボス部１９Ａの外周面に形成されている外周溝１９ａに嵌め入れられている。軸受リング２１は、カセット体１９の内周面１９ｉにおける、本体ボス部１９Ａに相当する部分に形成される扁平内周溝１９ｂに嵌め入れられており、その内周シール面２１ａの内径ｄ２１は、カセット体１９の内周面１９ｉの内径ｄ１９よりも若干小さい。シールリング２２は、カセット体１９の内周面１９ｉにおける本体ボス部１９Ａと取着フランジ部１９Ｂとに跨る部分に形成される内周深溝１９ｃに嵌め入れられており、その外周側に第２Ｏリング２３が径方向に圧縮された状態で装備される。シールリング２２の内周面２２ａの内径ｄ２２も、内周面１９ｉの内径ｄ１９よりも若干小さい。
【００３０】
一方、ポンプフランジ４には、小径孔部２４Ａと大径孔部２４Ｂとを有する軸受機構装着用の段付孔（凹入部の一例）２４が軸心Ｐを中心として形成されている。小径孔部２４Ａにはカセット体１９の本体ボス部１９Ａが密嵌合され、と大径孔部２４Ｂにはカセット体１９の取着フランジ部１９Ｂが密又は遊嵌合されるように構成されている。カセット体１９の幅寸法とポンプフランジ４の厚さ寸法とは同じに設定されており、軸受機構Ｂが段付孔２４に嵌合装着された状態では、カセット体１９の内側端面１９ｄとポンプフランジ４の内側面４ａとが面一となり、かつ、カセット体１９の外側端面１９ｅとポンプフランジ４の外側面４ｂとが面一となるように構成されている。尚、図２，３における３４は、端部カバー７を外嵌装着すべくポンプフランジ４から突出形成された枠壁である。
【００３１】
また、軸受機構Ｂのポンプフランジ４への固定は、ポンプフランジ４における小径孔部２４Ａの外周縁部に取着フランジ部１９Ｂを複数のボルト２５で締付ることによって行われる。このような構造により、複数のボルト２５を外せば、図５に示すように、軸受機構Ｂを外方に抜き出し移動してのポンプフランジ４からの取出し、及び段付孔２４に挿入しての装着が自在に行えるものとなっている。従って、摩耗する等によって軸受リング２１やシールリング２２を交換するような場合は、４箇所のナット１８ａを操作して連結棒１８から連結板１７を外すことでポンプフランジ４を露出させ、それから複数のボルト２５を操作して軸受機構Ｂをポンプフランジ４及びポンプ軸１５から取外し、その取外された軸受機構Ｂを操作して容易に行うことが可能である。
【００３２】
つまり、ポンプ軸１５を摺動可能に支持する軸受機構Ｂをポンプフランジ４に着脱可能に支持するに、ポンプ軸１５に外嵌する軸受リング（「リング状の軸受」の一例）２１及びシールリング２２とが装備されるカセット体１９を、これがポンプフランジ４に対する連結板１７側への取外しが行える状態でポンプフランジ４に取付けられているのである。このポンプフランジ４に対して着脱可能なカセット式の軸受機構Ｂの採用により、下記のように保守点検等のメンテナンス性が大きく改善されるメリットが得られる。
【００３３】
前述した特許文献１等に示される従来の往復動ポンプでは、軸受リングが直接的にポンプフランジに設けられていたため、その軸受リングの交換の際にはポンプフランジも分解する必要があり、大変面倒で煩わしい作業が要求されるものであった。これに対して本発明による往復動ポンプにおいては、軸受機構Ｂがポンプフランジ４から左右外方に着脱可能に構成してあるので、ポンプフランジ４を外し操作する必要が無く、軸受リング２１やシールリング２２の交換や保守点検の際には、軸受機構Ｂを外して簡単便利にメンテナンスすることが可能である。
【００３４】
次に、連結棒１８の摺動支持構造について説明する。図２，図６に示すように、軸受部１１は、ポンプフランジ４に形成されている段付孔２６に収容される段付円筒状のスライドベアリング（摺動軸受の一例）２７に内嵌支持されている。そして、連結棒１８を収容するカバー筒６の端部は、スライドベアリング２７の小径部２７ｂに圧入的に外嵌装着される状態でポンプフランジ４の大径孔部２６Ａに挿入されている。つまり、カバー筒６はスライドベアリング２７を介して間接的にポンプフランジ４に支持されている構造が採られている。
【００３５】
スライドベアリング２７は、図６，図７に示すように、連結棒１８を摺動可能に密内嵌する内周面２７Ａと、段付孔２６の大径孔部２６Ａに圧入的に内嵌される大径部２７ａと、この大径部２７ａよりも径が小なる小径部２７ｂとを有するとともに、その幅方向、即ち連結棒１８の軸心Ｘ方向に沿って貫通する縦スリット（切れ込みの一例）２８が形成されており、軸心Ｘの方向視で略Ｃ字状を呈する軸受部材に構成されている。つまり、スライドベアリング２７は、断面が円形の連結棒１８に外嵌し、かつ、連結棒１８の軸心Ｘ方向に沿う縦スリット２８が形成された断面がＣ字状を呈するスリット付円筒状のものに形成されている。
【００３６】
ポンプフランジ４の段付孔２６に内嵌支持され、かつ、連結棒１８を摺動可能に密内嵌合させる役割を担うスライドベアリング２７をＣ字状のものとしてあることにより、次のような作用や効果が得られる。即ち、例えば、雰囲気温度や摺動による発熱等によってスライドベアリング２７が膨張したとしても、その場合は縦スリット２８の間隔が狭くなる方向に（周方向に）伸びるだけとなり、連結棒１８との良好な嵌合状態、及びポンプフランジ４との良好な嵌合状態を維持することが可能になる。逆に、冬季等の温度低下による材料収縮が生じても、縦スリット２８の間隔が若干広まる方向に変化するだけで済み、やはり連結棒１８やポンプフランジ４との良好な嵌合状態の維持が可能になる。また、連結部１７やポンプフランジ４が膨張したり収縮したりする場合でも、前述と同様の作用効果を得ることが可能である。
【００３７】
さて、往復動ポンプＡの動き（作用）を概略説明すれば、各ポンプフランジ４のエア給排口ａ，ａに背反的に高圧エアを給排（又は一方にエア供給し、他方は減圧する手段でも良い）して一対のエアシリンダ３，３を背反的に伸縮（図３に示すように、エア給排口ａとシリンダ室３ａとを連通させるエア流路３３がポンプフランジ４に形成されている）させることにより、一対のベローズ２，２を背反的に拡縮駆動させ、流体吸入口１２から吸込んだ流体を流体吐出口１３から連続的に吐出させることができる。図２において、ポンプボディ１の右側に描かれているベローズ２は、シリンダ室３ａの拡大によって最も縮小した吐出動作終期の状態を示しており、吸入用逆止弁９は閉弁されていて吐出用逆止弁１０は開弁されている。そして、ポンプボディ１の左側に描かれているベローズ２は、シリンダ室３ａの縮小によって最も拡張した吸入動作終期の状態を示しており、吸入用逆止弁９は開弁されていて吐出用逆止弁１０は閉弁されている。
【００３８】
参考に記すが、図２，図８に示すように、ポンプ室８の残液を排出させるドレン路３４がポンプボディ１に形成されている。即ち、ポンプボディ１における厚肉フランジ部２ａを支持する部分である外周部１ａと内側周壁１ｂとに跨る状態でポンプ室８に開口する横穴３４ａと、この横穴３４ａの内奥端に連通してポンプボディ１の下傾斜外壁１ｃに開口する傾斜縦穴３４ｂと、によってドレン路３４が構成されている。図示は省略するが、傾斜縦穴３４ｂの開口部は、通常は（非ドレン時）は栓（プラグ）やバルブ等で閉じておき、必要時には取外してポンプ室８内の残液（薬液）ｅを、重力を利用してドレン路３４から排出させることが可能である。尚、吐出側流路１３は、図８に示すように上向きに取り出す構造でも良い。
【００３９】
従来では、ポンプＰの空動作させてポンプ室８から液抜きを行っても、吸入用逆止弁９の開口部以下に溜っている液を抜くことができなかった。これに対して、ドレン路３４を設けたことにより、ポンプ室８内に残っている液体を完全なまでに、しかも重力利用によって特別な機構を用いることなく排出できるので、合理的、経済的に液置換に必要な液体量や時間を削減することができる利点が得られる。尚、簡単のために図２においてはドレン路３４を右側のポンプ室８にのみ描いてあるが、実際には各ポンプ室８，８のそれぞれにドレン路３４を設けるのが望ましい。
【００４０】
〔別実施例〕
隔膜２としては、ダイヤフラム等でも良くベローズには限られない。連結棒１８の数は２本や６本等、４本以外でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】往復動ポンプの外観を示す全体斜視図
【図２】図１の往復動ポンプの構造を示す断面図
【図３】図１の往復動ポンプの側面図
【図４】ポンプ軸の支持構造を示す要部の拡大断面図
【図５】カセット摺動部の着脱構造を示す作用図
【図６】連結棒の支持構造を示す要部の拡大断面図
【図７】図６の支持構造に使用される摺動軸受単品の斜視図
【図８】ドレン路を示すポンプボディ部分での断面図
【符号の説明】
【００４２】
１          ポンプボティ
２          隔膜
２ａ        厚肉フランジ部
２ｂ        蛇腹部
２ｃ        先端厚肉板部
４          ポンプフランジ
６          カバー筒
８          密閉空間
１２        吸込路
１３        吐出路
１４        板状部材
１５        ポンプ軸
１５Ｂ      貫通突出部
１６        連結ボデイ
１７        連結板
１８        連結棒
１９        カセット体
２１        リング状の軸受
２２        シールリング
２４        凹入部
２７        摺動軸受
２７ａ      大径部
２７ｂ      小径部
２８        切れ込み
Ａ          往復動ポンプ
Ｂ          軸受機構
Ｘ          連結棒の軸心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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