(57)【要約】【課題】軸方向の高さ寸法を小さく抑えつつ大きな推力を発生させること。【解決手段】内側ヨーク３１の外周面には内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３が接合されている。この内側ヨーク３１の外周部には外側ヨーク３７が配置されており、外側ヨーク３７の内周面には外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９が接合されている。これら外側上永久磁石３８および内側上永久磁石３２相互間には上電機子コイル６５が移動可能に配置され、外側下永久磁石３９および内側下永久磁石３３相互間には下電機子コイル６６が移動可能に配置されている。これら上電機子コイル６５および下電機子コイル６６は共通のボビン５１に巻回されたものであり、上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれには共通方向の推力が発生するように相互に逆方向に電流が流される。【選択図】図４
2008237004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体からなる筒状の内側ヨークと、
前記内側ヨークの外周面に接合されたものであって、内周部がＮ極およびＳ極の一方に磁化され且つ外周部が他方に磁化された筒状の第１の内側永久磁石と、
前記内側ヨークの外周面に前記第１の内側永久磁石から軸方向に離して接合されたものであって、内周部および外周部のそれぞれが前記第１の内側永久磁石の同部分に対して逆の極性となるように磁化された筒状の第２の内側永久磁石と、
前記第１の内側永久磁石の外径寸法および前記第２の内側永久磁石の外径寸法のそれぞれに比べて大きな内径寸法を有する筒状をなすものであって、前記第１の内側永久磁石および前記第２の内側永久磁石の双方の外周部に配置された磁性体製の外側ヨークと、
前記外側ヨークの内周面が前記第１の内側永久磁石の外周面および前記第２の内側永久磁石の外周面のそれぞれに径方向から空隙を介して対向するように前記外側ヨークおよび前記内側ヨークを相互に連結する連結部材と、
前記外側ヨークの内周面に接合されたものであって、前記第１の内側永久磁石の外周面に径方向から空隙を介して対向する筒状をなすと共に内周部および外周部のそれぞれが前記第１の内側永久磁石の同部分に対して同一の極性となるように磁化された第１の外側永久磁石と、
前記外側ヨークの内周面に前記第１の外側永久磁石から軸方向に離して接合されたものであって、前記第２の内側永久磁石の外周面に径方向から空隙を介して対向する筒状をなすと共に内周部および外周部のそれぞれが前記第２の内側永久磁石の同部分に対して同一の極性となるように磁化された第２の外側永久磁石と、
マグネットワイヤを筒状に巻回してなるものであって、前記第１の内側永久磁石および前記第１の外側永久磁石相互間の空隙に軸方向へ相対的に移動可能に挿入された第１の電機子コイルと、
マグネットワイヤを筒状に巻回してなるものであって、前記第２の内側永久磁石および前記第２の外側永久磁石相互間の空隙に軸方向へ相対的に移動可能に挿入され且つ前記第１の電機子コイルに機械的に連結されていると共に前記第１の電機子コイルとは逆向きに電流が流れる第２の電機子コイルを備えたことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記第２の電機子コイルは、前記第１の電機子コイルと逆向きにマグネットワイヤを巻回することから構成されたものであって前記第１の電機子コイルに対して逆向きに電流が流れるように前記第１の電機子コイルに直列に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記第２の電機子コイルは、前記第１の電機子コイルと同じ向きにマグネットワイヤを巻回することから構成されたものであって前記第１の電機子コイルに対して逆向きに電流が流れるように前記第１の電機子コイルに並列に接続されていることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記第１の内側永久磁石および前記第２の内側永久磁石相互間は、前記第１の内側永久磁石の径方向の幅寸法および前記第２の内側永久磁石の径方向の幅寸法のそれぞれの半分以上の大きさの距離だけ軸方向に離して配置され、
前記第１の外側永久磁石および前記第２の外側永久磁石相互間は、前記第１の外側永久磁石の径方向の幅寸法および前記第２の外側永久磁石の径方向の幅寸法のそれぞれの半分以上の大きさの距離だけ軸方向に離して配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記連結部材は、非磁性体を材料とするものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
【請求項６】
前記第１の電機子コイルおよび前記２の電機子コイルは、共通のボビンに巻回されることに基づいて相互に機械的に連結されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
【請求項７】
前記内側ヨークおよび前記外側ヨークのそれぞれは、径方向の厚さ寸法が一定に設定されていないことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
【請求項８】
前記内側ヨークのうち前記第１の内側永久磁石および前記第２の内側永久磁石のそれぞれに径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記内側ヨークの残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が大きな内側厚肉部と、
前記外側ヨークのうち前記第１の外側永久磁石および前記第２の外側永久磁石のそれぞれに径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記外側ヨークの残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が大きな外側厚肉部を備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
【請求項９】
前記内側ヨークのうち前記第１の内側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第１の内側永久磁石のうち前記第２の内側永久磁石と反対側である一端部から同一側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる第１の内側傾斜部と、
前記内側ヨークのうち前記第２の内側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第２の内側永久磁石のうち前記第１の内側永久磁石と同一側である一端部から反対側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が小さくなる第２の内側傾斜部と、
前記第１の内側永久磁石に設けられたものであって、前記第１の内側傾斜部の外周面に面接触状態で接合された第１の内側傾斜面と、
前記第２の内側永久磁石に設けられたものであって、前記第２の内側傾斜部の外周面に面接触状態で接合された第２の内側傾斜面と、
前記外側ヨークのうち前記第１の外側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第１の外側永久磁石のうち前記第２の外側永久磁石と反対側である一端部から同一側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる第１の外側傾斜部と、
前記外側ヨークのうち前記第２の外側永久磁石に径方向から対向する部分に位置して設けられたものであって、前記第２の外側永久磁石のうち前記第１の外側永久磁石と同一側である一端部から反対側である他端部に向かって径方向の厚さ寸法が小さくなる第２の外側傾斜部と、
前記第１の外側永久磁石に設けられたものであって、前記第１の外側傾斜部の内周面に面接触状態で接合された第１の外側傾斜面と、
前記第２の外側永久磁石に設けられたものであって、前記第２の外側傾斜部の外周面に面接触状態で接合された第２の外側傾斜面を備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のリニアアクチュエータ。
【請求項１０】
部品を保持するための保持部材と、
前記保持部材を予め決められた設定方向へ移動可能に支えるベース部材と、
前記ベース部材を前記設定方向とは異なる方向へ移動操作することに基づいて前記保持部材を部品に押付けるための押付け位置から当該押付け位置とは異なる位置に移送する移送機構と、
前記保持部材を前記押付け位置から前記設定方向へ移動操作することに基づいて部品に押付ける操作機構を備え、
前記ベース部材および前記保持部材相互間には、請求項１〜９のいずれかに記載のリニアアクチュエータが前記第１の電機子コイルおよび前記第２の電機子コイルのそれぞれが前記設定方向へ相対的に移動可能となるように介在されていることを特徴とする部品保持装置。
【請求項１１】
半導体ウエハから半導体チップを取出してリードフレームにマウンティングするものにおいて、
半導体チップを吸着するための吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを予め決められた設定方向へ移動可能に支える移送ヘッドと、
前記移送ヘッドを前記設定方向とは異なる方向へ移動操作することに基づいて前記吸着ノズルを半導体チップに押付けるための第１の押付け位置および前記吸着ノズルが吸着した半導体チップをリードフレームに押付けるための第２の押付け位置相互間で移送する移送機構と、
前記吸着ノズルを前記設定方向へ移動操作することに基づいて前記吸着ノズルを前記第１の押付け位置から半導体チップに押付けると共に前記吸着ノズルが吸着した半導体チップを前記第２の押付け位置からリードフレームに押付ける操作機構を備え、
前記移送ヘッドおよび前記吸着ノズル相互間には、請求項１〜９のいずれかに記載のリニアアクチュエータが前記第１の電機子コイルおよび前記第２の電機子コイルのそれぞれが前記設定方向へ相対的に移動可能となるように介在されていることを特徴とするダイボンダ装置。
【請求項１２】
半導体ウエハから半導体チップを取出してリードフレームにマウンティングする方法において、
吸着ノズルを予め決められた設定方向へ移動操作することに基づいて半導体チップに押付け、半導体チップを吸着ノズルによって吸着する吸着工程と、
前記吸着ノズルを前記設定方向へ移動操作することに基づいて前記吸着ノズルが吸着した半導体チップをリードフレームに押付け、半導体チップをリードフレームにマウンティングするマウンティング工程を備え、
前記吸着工程および前記マウンティング工程のそれぞれは、請求項１〜９のいずれかに記載のリニアアクチュエータの第１の電機子コイルおよび第２の電機子コイルの両者に通電することに基づいて前記吸着ノズルに前記設定方向への推力を付与して行われることを特徴とする半導体チップのマウンティング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は媒体に直線的な推力を電磁力によって付与するリニアアクチュエータとリニアアクチュエータの性質を利用した部品装着装置とリニアアクチュエータの性質を利用したダイボンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１３は特許文献１に記載されたリニアアクチュエータを示している。この従来のリニアアクチュエータは円柱状の内側ヨーク１０１および円筒状の外側ヨーク１０２を備えたものであり、内側ヨーク１０１は外側ヨーク１０２の内部に挿入され、内側ヨーク１０１の外周面には円筒状の永久磁石１０３が軸方向に３段に接合されている。これら３個の永久磁石１０３のそれぞれは内周部がＮ極およびＳ極の一方に磁化され且つ外周部がＮ極およびＳ極の他方に磁化されたものであり、３個の永久磁石１０３は軸方向に沿って内周部にＮ極とＳ極とＮ極が順に並び、軸方向に沿って外周部にＳ極とＮ極とＳ極が順に並ぶように配置されている。これら３個の永久磁石１０３のそれぞれの外周面と外側ヨーク１０２の内周面との間には円筒状の電機子コイル１０４が軸方向へ移動可能に挿入されている。これら３個の電機子コイル１０４は相互に機械的に連結されたものであり、３個の電機子コイル１０４のそれぞれには共通方向の推力が発生するように電流が流される。
【特許文献１】特開２００４−８８９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来のリニアアクチュエータの場合、永久磁石１０３および電機子コイル１０４のそれぞれを軸方向に沿って３段に配列しているので、軸方向の高さ寸法が大きくなる。しかも、軸方向に隣接する永久磁石１０３相互間を接触させているので、軸方向に隣接する永久磁石１０３相互間で磁束が直接的にループする。このため、電機子コイル１０４を鎖交する磁束が減少するので、推力が低下する。
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、軸方向の高さ寸法を小さく抑えながらも大きな推力を発生させることができるリニアアクチュエータ等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のリニアアクチュエータは、磁性体からなる筒状の内側ヨークと、前記内側ヨークの外周面に接合されたものであって内周部がＮ極およびＳ極の一方に磁化され且つ外周部が他方に磁化された筒状の第１の内側永久磁石と、前記内側ヨークの外周面に前記第１の内側永久磁石から軸方向に離して接合されたものであって内周部および外周部のそれぞれが前記第１の内側永久磁石の同部分に対して逆の極性となるように磁化された筒状の第２の内側永久磁石と、前記第１の内側永久磁石の外径寸法および前記第２の内側永久磁石の外径寸法のそれぞれに比べて大きな内径寸法を有する筒状をなすものであって前記第１の内側永久磁石および前記第２の内側永久磁石の双方の外周部に配置された磁性体製の外側ヨークと、前記外側ヨークの内周面が前記第１の内側永久磁石の外周面および前記第２の内側永久磁石の外周面のそれぞれに径方向から空隙を介して対向するように前記外側ヨークおよび前記内側ヨークを相互に連結する連結部材と、前記外側ヨークの内周面に接合されたものであって前記第１の内側永久磁石の外周面に径方向から空隙を介して対向する筒状をなすと共に内周部および外周部のそれぞれが前記第１の内側永久磁石の同部分に対して同一の極性となるように磁化された第１の外側永久磁石と、前記外側ヨークの内周面に前記第１の外側永久磁石から軸方向に離して接合されたものであって前記第２の内側永久磁石の外周面に径方向から空隙を介して対向する筒状をなすと共に内周部および外周部のそれぞれが前記第２の内側永久磁石の同部分に対して同一の極性となるように磁化された第２の外側永久磁石と、マグネットワイヤを筒状に巻回してなるものであって前記第１の内側永久磁石および前記第１の外側永久磁石相互間の空隙に軸方向へ相対的に移動可能に挿入された第１の電機子コイルと、マグネットワイヤを筒状に巻回してなるものであって前記第２の内側永久磁石および前記第２の外側永久磁石相互間の空隙に軸方向へ相対的に移動可能に挿入され且つ前記第１の電機子コイルに機械的に連結されていると共に前記第１の電機子コイルとは逆向きに電流が流れる第２の電機子コイルを備えたところに特徴を有する。
【発明の効果】
【０００６】
第１の内側永久磁石および第１の外側永久磁石相互間に第１の電機子コイルが軸方向へ相対的に移動可能に配置され、第２の内側永久磁石および第２の外側永久磁石相互間に第２の電機子コイルが軸方向へ相対的に移動可能に配置されているので、リニアアクチュエータの軸方向の高さ寸法が小さく抑えられる。しかも、第１の電機子コイルおよび第２の電機子コイルのそれぞれを鎖交する磁束が増えるので、第１の電機子コイルおよび第２の電機子コイルのそれぞれで発生する推力が大きくなる。これと共に第１の内側永久磁石および第２の内側永久磁石相互間が軸方向に離して配置され、第１の外側永久磁石および第２の外側永久磁石相互間が軸方向に離して配置されているので、第１の内側永久磁石および第２の内側永久磁石相互間で磁束が直接的にループすることが抑えられ、第１の外側永久磁石および第２の外側永久磁石相互間で磁束が直接的にループすることが抑えられる。このため、第１の電機子コイルを鎖交する磁束および第２の電機子コイルを鎖交する磁束のそれぞれが一層増加するので、第１の電機子コイルおよび第２の電機子コイルのそれぞれで発生する推力が一層大きくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
［実施例１］
半導体ウエハ１には、図１に示すように、複数の半導体チップ２が並べられている。これら複数の半導体チップ２のそれぞれは半導体ウエハ１に回路パターンを焼き付け、回路パターンに露光およびエッチング等の処理を施した後に回路パターンを長方形状に切出すことで形成されたものであり、半導体ウエハ１の右側には複数のリードフレーム３が一列に並べられている。これら複数のリードフレーム３のそれぞれには接着剤からなる接着層が形成されており、半導体チップ２は半導体チップ２をリードフレーム３の接着層に押付けることに基づいてリードフレーム３にマウンティングされる。これら複数のリードフレーム３はコンベア４に搭載されたものである。このコンベア４は複数のリードフレーム３を次工程のワイヤボンディング装置に順に搬送するものであり、半導体チップ２の電極およびリードフレーム３のリード相互間はワイヤボンディング装置で結線される。
【０００８】
ダイボンダ装置１０は半導体ウエアハ１から半導体チップ２を取出してリードフレーム３の接着層に押付けるものであり、次のように構成されている。
１．ダイボンダ装置１０の説明
移送ヘッド１１はＸＹ直交座標系ロボットのアームに連結されたものであり、図２に示すように、鉛直方向へ延びる板状のベース部１２および水平方向へ延びる板状のホルダ部１３を有している。このロボットのアームはＸ軸サーボモータを駆動源として移送ヘッド１１をＸ方向へ直線的に移動操作し、Ｙ軸サーボモータを駆動源として移送ヘッド１１をＹ方向へ直線的に移動操作するものであり、Ｙ方向とは複数のリードフレーム３の並び方向を称し、Ｘ方向とはＹ方向に対して直角に交差する方向を称する。この移送ヘッド１１のベース部１２にはリニアスライダー１４が装着されている。このリニアスライダー１４はベース部１２に移動不能に固定されたガイド部１５とガイド部１５にＺ方向へ直線的に移動可能に装着されたスライド部１６とスライド部１６をＺ方向へ移動操作するＺ軸サーボモータを有するものであり、スライド部１６にはノズルヘッド１７が移動不能に固定されている。このリニアスライダー１４は操作機構に相当するものであり、ＸＹ直交座標系ロボットは移送機構に相当するものである。
【０００９】
ノズルヘッド１７には、図２に示すように、吸着ノズル１８が固定されており、ロボットは移送ヘッド１１をＸ方向およびＹ方向のそれぞれへ移動操作することに基づいて吸着ノズル１８を吸着の対象となる半導体チップ２の真上の吸着前位置およびマウンティングの対象となるリードフレーム３の真上のマウンティング前位置相互間で移動操作する。この吸着ノズル１８は真空ポンプの吸気口に接続されたものである。この吸着ノズル１８は真空ポンプの吸引力で真空化されることに基づいて半導体チップ２を吸着するものであり、リニアスライダー１４はノズルヘッド１７を吸着前位置からＺ方向へ移動操作することに基づいて吸着ノズル１８を吸着の対象となる半導体チップ２に押付けて半導体チップ２を吸着し、ノズルヘッド１７をマウンティング前位置からＺ方向へ移動操作することに基づいて吸着ノズル１８が吸着した半導体チップ２をマウンティングの対象となるリードフレーム３の接着層に押付けてマウンティングする。このマウンティング前位置は第２の押付け位置に相当し、吸着前位置は第１の押付け位置に相当し、Ｚ方向は設定方向に相当する。
【００１０】
ノズルヘッド１７には、図２に示すように、円筒型のリニアアクチュエータ２０が連結されている。このリニアアクチュエータ２０はリニアスライダー１４のスライド部１６にノズルヘッド１７を介して推力を付与するものであり、移送ヘッド１１が移動するときの振動でリニアスライダー１４のスライド部１６がガイド部１５に対して動くことはリニアアクチュエータ２０からスライド部１６に付与される推力によって防止され、吸着ノズル１８が半導体チップ２を半導体ウエハ１から吸着するときに吸着ノズル１８から半導体チップ２に作用する加圧力および吸着ノズル１８が半導体チップ２をリードフレーム３にマウンティングするときに吸着ノズル１８から半導体チップ２に作用する加圧力のそれぞれはリニアアクチュエータ２０からスライド部１６に付与される推力によって調整されている。このリニアアクチュエータ２０は、図３に示すように、磁石部３０および巻線部５０を有するものであり、磁石部３０は可動側であるノズルヘッド１７に固定され、巻線部５０は固定側である移送ヘッド１１に固定されている。これら磁石部３０および巻線部５０のそれぞれの詳細構成は次の通りである。
２．磁石部３０の説明
ノズルヘッド１７には、図４に示すように、縦長な円筒状の内側ヨーク３１が固定されている。この内側ヨーク３１はパーメンジュール（Ｆｅ−Ｃｏ）製の冷間圧延鋼板を丸めることから形成されたものであり、内側ヨーク３１の径方向の厚さ寸法は軸方向の全域で一定に設定され、内側ヨーク３１の内径寸法および外径寸法のそれぞれは軸方向の全域で一定に設定されている。この内側ヨーク３１の外周面には上端部に位置して内側上永久磁石３２の内周面が接触状態で嵌合されている。この内側上永久磁石３２は第１の内側永久磁石に相当するものであり、内側ヨーク３１に接着剤によって移動不能に接合されている。この内側上永久磁石３２は内側ヨーク３１に対して同心な円筒状をなすものであり、外周部がＮ極となり且つ内周部がＳ極となるように磁化されている。
【００１１】
内側ヨーク３１の外周面には、図４に示すように、内側下永久磁石３３の内周面が接触状態で嵌合されており、内側下永久磁石３３は内側ヨーク３１に接着剤によって移動不能に接合されている。この内側下永久磁石３３は第２の内側永久磁石に相当するものであり、内側上永久磁石３２の下方に内側上永久磁石３２から離間して配置されている。この内側下永久磁石３３は内側ヨーク３１に対して同心な円筒状をなすものであり、外周部がＳ極となり且つ内周部がＮ極となるように磁化されている。これら内側下永久磁石３３および内側上永久磁石３２相互間には円環状の内側スペーサ３４が同心状に介在されている。この内側スペーサ３４は絶縁性の合成樹脂を材料とするものであり、内側スペーサ３４の軸方向の厚さ寸法は内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３のそれぞれの径方向の幅寸法の１／２に設定されている。即ち、内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間は内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３のそれぞれの径方向の幅寸法の半分の大きさの距離だけ軸方向に離して配置されている。
【００１２】
内側ヨーク３１の外周面には、図４に示すように、下端部に位置して連結プレート３５の内周面が嵌合されている。この連結プレート３５は内側ヨーク３１に対して同心な円環状をなすものであり、内側ヨーク３１に接着剤によって移動不能に接合されている。この連結プレート３５はアルミニウム等の非磁性体を材料とするものであり、連結プレート３５の外周部には上方へ突出する円筒状のホルダ部３６が形成されている。この連結プレート３５は連結部材に相当するものであり、連結プレート３５の上面には外側ヨーク３７が接着剤によって接合されている。この外側ヨーク３７は内側上永久磁石３２の外径寸法および内側下永久磁石３３の外径寸法のそれぞれに比べて大きな内径寸法を有する円筒状をなすものであり、外側ヨーク３７の外周面をホルダ部３６の内周面に接触させることに基づいて内側ヨーク３１に対して同心となる定位置に保持されている。この外側ヨーク３７はパーメンジュール製の冷間圧延鋼板を丸めることから形成されたものであり、外側ヨーク３７の径方向の厚さ寸法は軸方向の全域で一定に設定され、外側ヨーク３７の内径寸法および外径寸法のそれぞれは軸方向の全域で一定に設定されている。この外側ヨーク３７の内周面は内側上永久磁石３２の外周面および内側下永久磁石３３の外周面のそれぞれに径方向から空隙を介して対向配置されている。
【００１３】
外側ヨーク３７の内周面には、図４に示すように、上端部に位置して外側上永久磁石３８の外周面が接触状態で嵌合されており、外側上永久磁石３８は外側ヨーク３７に接着剤によって移動不能に接合されている。この外側上永久磁石３８は第１の外側永久磁石に相当するものであり、内側ヨーク３１に対して同心な円筒状をなしている。この外側上永久磁石３８は内側上永久磁石３２に対して軸方向の高さ寸法が同一に設定され且つ内側上永久磁石３２に対して軸方向の同一高さに配置されたものであり、外周部がＮ極となり且つ内周部がＳ極となる内側上永久磁石３２と同一パターンで磁化されている。
外側ヨーク３７の内周面には、図４に示すように、外側下永久磁石３９の外周面が接触状態で嵌合されており、外側下永久磁石３９は外側ヨーク３７に接着剤によって移動不能に接合されている。この外側下永久磁石３９は内側ヨーク３１に対して同心な円筒状をなすものであり、外側上永久磁石３８の下方に外側上永久磁石３８から離間して配置されている。この外側下永久磁石３９は内側下永久磁石３３に対して軸方向の高さ寸法が同一に設定され且つ内側下永久磁石３３に対して軸方向の同一高さに配置されたものであり、外周部がＳ極となり且つ内周部がＮ極となる内側下永久磁石３３と同一パターンで磁化されている。この外側下永久磁石３９は第２の外側永久磁石に相当するものであり、外側下永久磁石３９および外側上永久磁石３８相互間には円環状の外側スペーサ４０が同心状に介在されている。この外側スペーサ４０は内側スペーサ３４と同種の絶縁体を材料とするものであり、外側スペーサ４０の軸方向の厚さ寸法は外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９のそれぞれの径方向の厚さ寸法の１／２に設定されている。即ち、外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間は外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９のそれぞれの径方向の幅寸法の半分の大きさの距離だけ軸方向に離して配置されている。尚、図５は磁石部３０を分解状態で示している。
３．巻線部５０の説明
移送ヘッド１１のホルダ部１３には、図２に示すように、円筒状のボビン５１が移動不能に固定されている。このボビン５１はＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂）等の絶縁性の合成樹脂を材料に形成されたものであり、図４に示すように、内側ヨーク３１に対して同心状に配置されている。このボビン５１の外径寸法は外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９のそれぞれの内径寸法に比べて小さく設定され、ボビン５１の内径寸法は内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３のそれぞれの外径寸法に比べて大きく設定されており、外側上永久磁石３８の内周面および外側下永久磁石３９の内周面のそれぞれはボビン５１の外周面に対して離間して配置され、内側上永久磁石３２の外周面および内側下永久磁石３３の外周面のそれぞれはボビン５１の内周面に対して離間して配置されている。即ち、ボビン５１は磁石部３０に対して相対的に軸方向へ移動可能にされたものである。
【００１４】
ボビン５１には、図４に示すように、エンドプレート５２が形成されている。このエンドプレート５２はボビン５１の上面を塞ぐ円形板状の部分を称するものであり、エンドプレート５２の外周部には、図６に示すように、ピン穴５３およびピン穴５４が形成され、ピン穴５３の内部にはピン状の電源端子５５の一端部が接着剤によって脱落不能に固定され、ピン穴５４の内部にはピン状の電源端子５６の一端部が接着剤によって脱落不能に固定されている。これら電源端子５５および電源端子５６のそれぞれは銅等の導電体を材料とするものであり、電源端子５５の残り部分および電源端子５６の残り部分のそれぞれはエンドプレート５２から突出している。
【００１５】
ボビン５１には、図４に示すように、内側上永久磁石３２および外側上永久磁石３８相互間に位置して上コイル巻装部５７が形成され、内側下永久磁石３３および外側下永久磁石３９相互間に位置して下コイル巻装部５８が形成されている。これら上コイル巻装部５７および下コイル巻装部５８のそれぞれは外周面が開口する凹状をなすものであり、ボビン５１を取囲むようにボビン５１の全周に形成されている。このボビン５１には、図７に示すように、上コイル巻装部５７の上方に位置して上渡り溝５９と上渡り溝６０と上渡り溝６１と上渡り溝６２が形成され、上コイル巻装部５７および下コイル巻装部５８相互間に位置して下渡り溝６３と下渡り溝６４が形成されている。これら上渡り溝５９〜６２および下渡り溝６３〜６４のそれぞれはマグネットワイヤが挿入されるものであり、ボビン５１の軸方向へ直線的に延びる直状をなしている。
【００１６】
上コイル巻装部５７の内部には、図４に示すように、上電機子コイル６５が収納されており、上電機子コイル６５は内側上永久磁石３２および外側上永久磁石３８相互間に軸方向へ相対的に移動可能に配置されている。この上電機子コイル６５は１本のマグネットワイヤを上コイル巻装部５７内に時計回り方向に巻回することから構成されたものであり、上電機子コイル６５の巻回開始端部は上渡り溝５９の内部を通して電源端子５５に半田付けされ、上電機子コイル６５の巻回終了端部は下渡り溝６３を通して下コイル巻装部５８内に挿入されている。この上電機子コイル６５は第１の電機子コイルに相当するものである。
【００１７】
下コイル巻装部５８の内部には、図４に示すように、下電機子コイル６６が収納されており、下電機子コイル６６は内側下永久磁石３３および外側下永久磁石３９相互間に軸方向へ相対的に移動可能に配置されている。この下電機子コイル６６は第２の電機子コイルに相当するものであり、内側上永久磁石３２で発生した磁束は上電機子コイル６５と外側上永久磁石３８と外側ヨーク３７と外側下永久磁石３９と下電機子コイル６６と内側下永久磁石３３と内側ヨーク３１を順に通って内側上永久磁石３２にループし、上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれにはマグネットワイヤの巻回方向に対して直角に磁束が交差している。この下電機子コイル６６は上電機子コイル６５の巻回終了端部を下コイル巻装部５８内に巻回することから形成されたものであり、下電機子コイル６６の巻回方向は上電機子コイル６５とは逆の反時計回り方向に設定され、下電機子コイル６６の巻回終了端部は下渡り溝６４および上渡り溝６２を順に通して電源端子５６に半田付けされている。
【００１８】
上電機子コイル６５および下電機子コイル６６は相互に直列接続されたものであり、電源端子５５および電源端子５６相互間に電圧が印加されたときには上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれに相互に逆方向へ電流が流れる。すると、上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれでフレミングの左手の法則によって共通の軸方向に推力が発生し、固定側である巻線部５０から可動側である磁石部３０に下方向の推力が付与される。即ち、吸着ノズル１８を下方向へ移動操作することに基づいて半導体チップ２に押付けて半導体チップ２を吸着ノズル１８によって吸着する吸着工程は上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれに通電することに基づいて吸着ノズル１８に下方向への推力を付与して行われ、吸着ノズル１８を下方向へ移動操作することに基づいて吸着ノズル１８が吸着した半導体チップ２をリードフレーム３の接着層に押付けて半導体チップ２をリードフレーム３にマウンティングするマウンティング工程は上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれに通電することに基づいて吸着ノズル１８に下方向への推力を付与して行われる。
【００１９】
上記実施例１によれば次の効果を奏する。
内側上永久磁石３２および外側上永久磁石３８相互間に上電機子コイル６５を軸方向へ相対的に移動可能に配置し、内側下永久磁石３３および外側下永久磁石３９相互間に下電機子コイル６６を軸方向へ相対的に移動可能に配置したので、リニアアクチュエータ２０の軸方向の高さ寸法が小さく抑えられる。しかも、上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれを鎖交する磁束が増えるので、上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれで発生する推力が大きくなる。これと共に連結プレート３５を経由することなく内側上永久磁石３２と内側下永久磁石３３と外側上永久磁石３８と外側下永久磁石３９で磁束の流れが形成される。このため、非磁性のアルミニウム製の連結プレート３５を使用することができるので、リニアアクチュエータ２０が軽量化される。
【００２０】
内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間を軸方向に離して配置したので、内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間で磁束が直接的にループすることが抑えられる。しかも、外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間を軸方向に離して配置したので、外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間で磁束が直接的にループすることが抑えられる。このため、上電機子コイル６５を鎖交する磁束および下電機子コイル６６を鎖交する磁束のそれぞれが増加するので、この点からも推力が大きくなる。この効果は内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間の離間距離を内側上永久磁石３２の径方向の幅寸法および内側下永久磁石３３の径方向の幅寸法のそれぞれの半分以上の大きさに設定することで高められ、外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間の離間距離を外側上永久磁石３８の径方向の幅寸法および外側下永久磁石３９の径方向の幅寸法のそれぞれの半分以上の大きさに設定することで高められている。
【００２１】
内側ヨーク３１および外側ヨーク３７のそれぞれを鉄等に比べて飽和磁束密度が大きなパーメンジュールの冷間圧延材を材料に形成した。このため、内側ヨーク３１および外側ヨーク３７のそれぞれを鉄等を材料に形成する場合に比べて薄肉化することができるので、この点からもリニアアクチュエータ２０が軽量化される。しかも、内側ヨーク３１および外側ヨーク３７のそれぞれをパーメンジュールの冷間圧延鋼板を丸めることから形成したので、パーメンジュールの冷間圧延材を切削することから形成する場合に比べて廃材の量が少なくなる。このため、パーメンジュールの使用量が削減されるので、省資源化および低コスト化のそれぞれの点で有利になる。
【００２２】
ダイボンダ装置１０の移送ヘッド１１および吸着ノズル１８相互間に軽量なリニアアクチュエータ２０を上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれがＺ方向へ相対的に移動可能となるように介在した。このため、移送ヘッド１１とリニアスライダー１４とノズルヘッド１６と吸着ノズル１８とリニアアクチュエータ２０の合計の重量が軽くなるので、Ｘ軸サーボモータとＹ軸サーボモータとＺ軸サーボモータのそれぞれの負荷が小さくなる。従って、Ｘ軸サーボモータ〜Ｚ軸サーボモータのそれぞれとして低出力で小形なものを使用することができるので、ダイボンダ装置１０の全体構成を小さくすることができる。しかも、吸着ノズル１８をＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに速く動作させることができる。このため、ダイボンダ装置１０のタクトタイムを短縮することができるので、生産性が向上する。
［実施例２］
ベルトコンベア７０には、図８に示すように、複数のプリント配線基板７１が搭載されている。これら複数のプリント配線基板７１のそれぞれはクリーム半田からなる半田層が形成されたものであり、ベルトコンベア７０が作動することに基づいてベルトコンベア７０に沿って搬送される。このベルトコンベア７０の前方には複数のリール７２が設置されており、各リール７２にはテープ７３が巻装されている。これら各テープ７３にはチップ抵抗およびチップコンデンサ等の電子部品が接合されており、電子部品はテープ７３から取出された後にプリント配線基板７１の半田層に押付けられることに基づいてプリント配線基板７１にマウンティングされる。この電子部品は部品に相当するものである。
【００２３】
チップマウンタ装置８０はテープ７３から電子部品を取出してプリント配線基板７１の半田層に押付けるものである。このチップマウンタ装置８０は部品装着装置に相当するものであり、移送機構に相当するＸＹ直交座標系ロボットとベース部材に相当する移送ヘッド１１と操作機構に相当するリニアスライダー１４とノズルヘッド１７と保持部材に相当する吸着ノズル１８とリニアアクチュエータ２０を有している。これらＸＹ直交座標系ロボット〜リニアアクチュエータ２０のそれぞれは実施例１で説明した通りのものであり、ロボットは移送ヘッド１１をＸ方向およびＹ方向のそれぞれに移動操作することに基づいて吸着ノズル１８を吸着の対象となる電子部品の真上の吸着前位置およびマウンティングの対象となるプリント配線基板７１の真上のマウンティング前位置相互間で移動操作し、リニアスライダー１４はノズルヘッド１７を吸着前位置からＺ方向へ移動操作することに基づいて吸着ノズル１８を吸着の対象となる電子部品に押付けて電子部品を吸着し、ノズルヘッド１７をマウンティング前位置からＺ方向へ移動操作することに基づいて電子部品をマウンティングの対象となるプリント配線基板７１に押付けてマウンティングし、リニアアクチュエータ２０は吸着ノズル１８が電子部品を吸着する場合およびマウンティングする場合のそれぞれに吸着ノズル１８に下方向への推力を付与する。この吸着前位置は押付け位置に相当し、Ｚ方向は設定方向に相当する。
【００２４】
上記実施例２によれば次の効果を奏する。
チップマウンタ装置８０の移送ヘッド１１および吸着ノズル１８相互間に軽量なリニアアクチュエータ２０を上電機子コイル６５および下電機子コイル６６のそれぞれがＺ方向へ相対的に移動可能となるように介在したので、Ｘ軸サーボモータとＹ軸サーボモータとＺ軸サーボモータのそれぞれの負荷が小さくなる。このため、Ｘ軸サーボモータ〜Ｚ軸サーボモータのそれぞれとして低出力で小形なものを使用することができるので、チップマウンタ装置８０の全体構成を小さくすることができる。しかも、吸着ノズル１８をＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに速く動作させることができるので、生産性が向上する。
［実施例３］
ボビン５１の上コイル巻装部５７内には、図３に示すように、上電機子コイル６５が収納されている。この上電機子コイル６５は上コイル巻装部５７内にマグネットワイヤを時計回り方向へ巻回することから形成されたものであり、上電機子コイル６５の巻回開始端部は上渡り溝５９を通して電源端子５５に半田付けされ、上電機子コイル６５の巻回終了端部は上渡り溝６１を通して電源端子５６に半田付けされた後に上渡り溝６２および下渡り溝６４を順に通して下コイル巻装部５８内に挿入されている。この下コイル巻装部５８内には下電機子コイル６６が収納されている。この下電機子コイル６６は下コイル巻装部５８内にマグネットワイヤを上電機子コイル６５と同一の時計回り方向へ巻回することから形成されたものであり、下電機子コイル６６の巻回終了端部は下渡り溝６３および上渡り溝６０を順に通して電源端子５５に半田付けされている。即ち、上電機子コイル５５および下電機子コイル５６は相互に逆方向に電流が流れるように並列に接続されている。
【００２５】
上記実施例３によれば次の効果を奏する。
上電機子コイル５５の巻回方向および下電機子コイル５６の巻回方向を相互に同一に設定した。このため、ボビン５１に上電機子コイル５５および下電機子コイル５６を順に巻回するときに巻回方向を途中で切換えるための作業を行う必要がなくなるので、作業時間を短縮することができる。
【００２６】
上記実施例１〜３のそれぞれにおいては、内側ヨーク３１および外側ヨーク３７のそれぞれとして径方向の厚さ寸法が一定に設定されていないものを用いても良い。以下、径方向の厚さ寸法が一定ではない内側ヨーク３１および径方向の厚さ寸法が一定ではない外側ヨーク３７のそれぞれについて説明する。
［実施例４］
内側ヨーク３１には、図９に示すように、内側薄肉部８１および内側厚肉部８２が形成されている。内側薄肉部８１は内側ヨーク３１の軸方向の下端部に配置されたものである。この内側薄肉部８１は内側ヨーク３１のうち残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が薄く設定されたものであり、内側ヨーク３１のうち内側薄肉部８１での内径寸法は残り部分に比べて大きな一定値に設定されている。内側厚肉部８２は内側ヨーク３１の軸方向の中央部に配置されたものであり、内側上永久磁石３２と内側下永久磁石３３と内側スペーサ３４のそれぞれは内側厚肉部８２に径方向から対向している。この内側厚肉部８２は内側ヨーク３１の残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が厚く設定されたものであり、内側ヨーク３１のうち内側厚肉部８２での内径寸法は残り部分に比べて小さな一定値に設定されている。符号Ｒｉは内側厚肉部８２の突出量を示すものであり、突出量Ｗｉは「０．３ｍｍ」に設定されている。
【００２７】
外側ヨーク３７には、図１０に示すように、外側厚肉部８３が形成されている。この外側厚肉部８３は、図９に示すように、外側ヨーク３７の軸方向の中央部に配置されたものであり、外側上永久磁石３８と外側下永久磁石３９と外側スペーサ４０のそれぞれは外側厚肉部８３に径方向から対向している。この外側厚肉部８３は外側ヨーク３７の残り部分に比べて径方向の厚さ寸法が厚く設定されたものであり、外側ヨーク３７のうち外側厚肉部８３での外径寸法は残り部分に比べて大きな一定値に設定されている。符号Ｒｏは外側厚肉部８３の突出量を示すものであり、突出量Ｗｏは「０．５ｍｍ」に設定されている。
【００２８】
上記実施例４によれば次の効果を奏する。
内側ヨーク３１に内側厚肉部８２を形成し、内側ヨーク３１のうち磁束が集中する内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間の境界部分の径方向の厚さ寸法を内側ヨーク３１の残り部分に比べて大きく設定したので、内側ヨーク３１の重量の増加を抑えつつ内側ヨーク３１で磁気飽和が発生することを防止できる。外側ヨーク３７に外側厚肉部８３を形成し、外側ヨーク３７のうち磁束が集中する外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間の境界部分の径方向の厚さ寸法を外側ヨーク３７の残り部分に比べて大きく設定したので、外側ヨーク３７の重量の増加を抑えつつ外側ヨーク３７で磁気飽和が発生することを防止できる。
［実施例５］
内側ヨーク３１には、図１１に示すように、第１の内側傾斜部に相当する内側上傾斜部９１が形成されている。この内側上傾斜部９１は上から下へ向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる部分であり、内側ヨーク３１の内側上傾斜部９１での外径寸法は上から下へ向かって大きく設定され、内側上永久磁石３２および内側スペーサ３４相互間の接触面で最大に設定されている。この内側上傾斜部９１の外周面には内側上永久磁石３２の内側上傾斜面９２が面接触状態で接合されている。この内側上傾斜面９２は上から下へ向かって外周側へ傾斜するものであり、内側上永久磁石３２の径方向の厚さ寸法は上から下へ向かって小さく設定されている。この内側上傾斜面９２は第１の内側傾斜面に相当するものである。
【００２９】
内側ヨーク３１には、図１１に示すように、第２の内側傾斜部に相当する内側下傾斜部９３が形成されている。この内側下傾斜部９３は下から上へ向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる部分であり、内側ヨーク３１の内側下傾斜部９３での外径寸法は下から上へ向かって大きく設定され、内側下永久磁石３３および内側スペーサ３４相互間の接触面で最大に設定されている。この内側下傾斜部９３の外周面には内側下永久磁石３３の内側下傾斜面９４が面接触状態で接合されている。この内側下傾斜面９４は下から上へ向かって外周側へ傾斜するものであり、内側下永久磁石３３の径方向の厚さ寸法は下から上へ向かって小さく設定されている。この内側下傾斜面９４は第２の内側傾斜面に相当するものであり、内側下傾斜面９４の傾斜角度θと内側下傾斜部９３の傾斜角度θと内側上傾斜面９２の傾斜角度θと内側上傾斜部９１の傾斜角度θのそれぞれは相互に同一値に設定されている。
【００３０】
外側ヨーク３７には、図１１に示すように、第１の外側傾斜部に相当する外側上傾斜部９５が形成されている。この外側上傾斜部９５は上から下へ向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる部分であり、外側ヨーク３７の外側上傾斜部９５での内径寸法は上から下へ向かって小さく設定され、外側上永久磁石３８および外側スペーサ４０相互間の接触面で最小に設定されている。この外側上傾斜部９５の内周面には外側上永久磁石３８の外側上傾斜面９６が面接触状態で接合されている。この外側上傾斜面９６は上から下へ向かって内周側へ傾斜するものであり、外側上永久磁石３８の径方向の厚さ寸法は上から下へ向かって小さく設定されている。この外側上傾斜面９６は第１の外側傾斜面に相当するものである。
【００３１】
外側ヨーク３７には、図１１に示すように、第２の外側傾斜部に相当する外側下傾斜部９７が形成されている。この外側下傾斜部９７は下から上へ向かって径方向の厚さ寸法が大きくなる部分であり、外側ヨーク３７の外側下傾斜部９７での内径寸法は下から上へ向かって小さく設定され、外側下永久磁石３９および外側スペーサ４０相互間の接触面で最小に設定されている。この外側下傾斜部９７の内周面には外側下永久磁石３９の外側下傾斜面９８が面接触状態で接合されている。この外側下傾斜面９８は下から上へ向かって内周側へ傾斜するものであり、外側下永久磁石３９の径方向の厚さ寸法は下から上へ向かって小さく設定されている。この外側下傾斜面９８は第２の外側傾斜面に相当するものであり、外側下傾斜面９８の傾斜角度θと外側下傾斜部９７の傾斜角度θと外側上傾斜面９６の傾斜角度θと外側上傾斜部９５の傾斜角度θは相互に同一値に設定されている。
【００３２】
上記実施例５によれば次の効果を奏する。
内側ヨーク３１に内側上傾斜部９１および内側下傾斜部９３のそれぞれを形成した。このため、内側ヨーク３１のうち磁束が集中する内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間の境界部分の径方向の厚さ寸法が内側ヨーク３１の残り部分に比べて大きくなるので、内側ヨーク３１の重量の増加を抑えつつ内側ヨーク３１で磁気飽和が発生することを防止できる。しかも、内側上永久磁石３２に内側上傾斜面９２を形成し、内側下永久磁石３３に内側下傾斜面９４を形成した。このため、内側ヨーク３１の内側上傾斜部９１および内側上永久磁石３２の内側上傾斜面９２相互間を面接触させることに基づいて両者のそれぞれを目標位置に固定し、内側ヨーク３１の内側下傾斜部９３および内側下永久磁石３３の内側下傾斜面９４相互間を面接触させることに基づいて両者のそれぞれを目標位置に固定することができるので、内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３のそれぞれの内側ヨーク３１に対する位置決め作業性が向上する。
【００３３】
外側ヨーク３７に外側上傾斜部９５および外側下傾斜部９７のそれぞれを形成した。このため、外側ヨーク３７のうち磁束が集中する外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間の境界部分の径方向の厚さ寸法が外側ヨーク３７の残り部分に比べて大きくなるので、外側ヨーク３７の重量の増加を抑えつつ外側ヨーク３７で磁気飽和が発生することを防止できる。しかも、外側上永久磁石３８に外側上傾斜面９６を形成し、外側下永久磁石３９に外側下傾斜面９８を形成した。このため、外側ヨーク３７の外側上傾斜部９５および外側上永久磁石３３の外側上傾斜面９６相互間を面接触させることに基づいて両者のそれぞれを目標位置に固定し、外側ヨーク３７の外側下傾斜部９７および外側下永久磁石３９の外側下傾斜面９８相互間を面接触させることに基づいて両者のそれぞれを目標位置に固定することができるので、外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９のそれぞれの外側ヨーク３７に対する位置決め作業性が向上する。
【００３４】
図１２は内側上永久磁石３２の下端部の厚さ寸法Ｔａおよび内側下永久磁石３３の上端部の厚さ寸法Ｔａのそれぞれを「１．０」に固定し、内側上永久磁石３２の上端部の厚さ寸法Ｔｂおよび内側下永久磁石３３の下端部の厚さ寸法Ｔｂのそれぞれを共通に変化させたときの最大推力および重量のそれぞれの演算結果を示すものである。この図１２によれば両厚さ寸法Ｔｂのそれぞれが大きくなることに比例して最大推力が大きくなるので、最大推力を高める点では両厚さ寸法Ｔｂのそれぞれが大きいことが好ましい。これら両厚さ寸法Ｔｂのそれぞれが大きい場合には内側上永久磁石３２の内側傾斜面９２および内側下永久磁石３３の内側下傾斜面９４のそれぞれの傾斜角度θが大きくなるので、内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３のそれぞれの製造作業が困難になる。しかも、両厚さ寸法Ｔｂのそれぞれが大きい場合には内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３のそれぞれの重量が重くなるので、両厚さ寸法Ｔｂのそれぞれは最大推力と製造作業性と重量相互間のバランスを考慮して「１．０＜Ｔｂ≦１．７」の範囲内で設定されている。
【００３５】
上記実施例１〜５のそれぞれにおいては、内側ヨーク３１および外側ヨーク３７のそれぞれをフェライト系鉄またはフェライト系ステンレスまたはマルテンサイト系鉄またはマルテンサイト系ステンレス等の磁性体を材料に形成しても良い。
上記実施例１〜５のそれぞれにおいては、ボビン５１をＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂）等の絶縁性の合成樹脂を材料に形成しても良い。
【００３６】
上記実施例１〜５のそれぞれにおいては、内側上永久磁石３２および内側下永久磁石３３相互間を内側上永久磁石３２の径方向の幅寸法および内側下永久磁石３３の径方向の幅寸法のそれぞれの半分より大きな距離だけ軸方向に離して配置しても良い。
【００３７】
上記実施例１〜５のそれぞれにおいては、外側上永久磁石３８および外側下永久磁石３９相互間を外側上永久磁石３８の径方向の幅寸法および外側下永久磁石３９の径方向の幅寸法のそれぞれの半分より大きな距離だけ軸方向に離して配置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】ダイボンダ装置の外観を概略的に示す斜視図
【図２】図１のＸ２線に沿う断面図
【図３】磁石部の外観および巻線部の外観のそれぞれを両者の分解状態で示す斜視図
【図４】リニアアクチュエータを示す断面図
【図５】磁石部の外観を磁石部の分解状態で示す斜視図
【図６】巻線部の外観を示す斜視図
【図７】巻線部の外観を巻線部の分解状態で示す斜視図
【図８】実施例２を示す図（チップマウンタ装置の外観を概略的に示す斜視図）
【図９】実施例４を示す図４相当図
【図１０】図３相当図
【図１１】実施例５を示す図４相当図
【図１２】内側上傾斜面の傾斜角度および内側下傾斜面の傾斜角度を共通に変化させたときの最大推力および重量のそれぞれの変化を演算で示す図
【図１３】従来例を示す図
【符号の説明】
【００３９】
１は半導体ウエハ、２は半導体チップ、３はリードフレーム、１０はダイボンダ装置、１１は移送ヘッド（ベース部材）、１４はリニアスライダー（操作機構）、１８は吸着ノズル（保持部材）、２０はリニアアクチュエータ、３１は内側ヨーク、３２は内側上永久磁石（第１の内側永久磁石）、３３は内側下永久磁石（第２の内側永久磁石）、３５は連結プレート（連結部材）、３７は外側ヨーク、３８は外側上永久磁石（第１の外側永久磁石）、３９は外側下永久磁石（第２の外側永久磁石）、５１はボビン、６５は上電機子コイル（第１の電機子コイル）、６６は下電機子コイル（第２の電機子コイル）、８０はチップマウンタ装置（部品装着装置）、８２は内側厚肉部、８３は外側厚肉部、９１は内側上傾斜部（第１の内側傾斜部）、９２は内側上傾斜面（第１の内側傾斜面）、９３は内側下傾斜部（第２の内側傾斜部）、９４は内側下傾斜面（第２の内側傾斜面）、９５は外側上傾斜部（第１の外側傾斜部）、９６は外側上傾斜面（第１の外側傾斜面）、９７は外側下傾斜部（第２の外側傾斜部）、９８は外側下傾斜面（第２の外側傾斜面）を示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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