(57)【要約】【課題】良好な基準基板データを短時間で得る。【解決手段】ＣＡＤデータから、基板の各層の層画像データを取得する層画像データ取得部３０２と、基板製造データから、材料種類データを取得する材料種類データ取得部３１２と、材料色データを格納している色データベース４２２と、色データベースから、材料種類データ取得部によって取得された材料種類データに対応する材料色データを取得する色データ取得部３２４と、層画像データ取得部によって取得された層画像データに、色データ取得部によって取得された材料色データを合成することにより、基板の各層のカラー層画像データを作成するカラー層画像データ作成部３２６と、カラー層画像データ作成部によって作成されたカラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、基板の表面のカラー表面画像データを作成する基準基板データ作成部３３２とを有する。【選択図】図１
2008008654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の外観検査の基準となる基準基板データを擬似的に作成する基準基板データ作成装置において、
前記基板の設計に関するＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、各層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記基板製造データ読出部によって読み出された前記基板製造データから、前記基板の製造に用いる材料の種類を表す材料種類データを取得する材料種類データ取得部と、
前記材料の種類に応じて定まる色を表す材料色データを格納している色データベースと、
前記色データベースから、前記材料種類データ取得部によって取得された前記材料種類データに対応する前記材料色データを取得する色データ取得部と、
前記色データ取得部によって取得された前記材料色データを、前記層画像データ取得部によって前記基板の層ごとに取得された各層の前記層画像データに合成することにより、前記基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成するカラー層画像データ作成部と、
前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、前記基準基板データの一種として、前記基板の主表面のカラー画像を表すカラー表面画像データを作成する基準基板データ作成部とを有する
ことを特徴とする基準基板データ作成装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基準基板データ作成装置において、
さらに、
前記基板製造データから、前記基板の各層の構成を表す層構成データを取得する層構成データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の中の処理が施されている層の処理内容を表す層処理データを取得する層処理データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の各層を構成する材料の厚さを表す材料厚データを取得する材料厚データ取得部とを有し、
前記基準基板データ作成部は、
前記層構成データ取得部によって取得された前記層構成データと前記層処理データ取得部によって取得された前記層処理データとに基づいて、前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせることにより、前記基板の積層構造のカラー画像を表すカラー積層画像データを作成するカラー積層画像データ作成部と、
前記カラー積層画像データ作成部によって作成された前記カラー積層画像データと前記材料厚データ取得部によって取得された前記材料厚データとに基づいて、前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、前記基準基板データの一種として、前記カラー表面画像データを作成するカラー表面画像データ作成部と、
前記カラー表面画像データ作成部によって作成された前記カラー表面画像データから色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を各検査領域として抽出することにより、前記基準基板データの別の一種として、それぞれの該検査領域を表す検査領域データを作成する検査領域データ作成部とを有する
ことを特徴とする基準基板データ作成装置。
【請求項３】
基板の外観検査の基準となる基準基板データを擬似的に作成する基準基板データ作成装置において、
前記基板の設計に関するＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、各層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記基板製造データ読出部によって読み出された前記基板製造データから、前記基板の製造に用いる材料の種類を表す材料種類データを取得する材料種類データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の中の処理が施されている層の処理内容を表す層処理データを取得する層処理データ取得部と、
前記材料の種類に応じて定まる色を表す材料色データと前記処理内容に応じて定まる色を表す処理色データとを格納している色データベースと、
前記色データベースから、前記材料種類データ取得部によって取得された前記材料種類データに対応する前記材料色データおよび／または前記層処理データ取得部によって取得された前記層処理データに対応する前記処理色データを取得する色データ取得部と、
前記色データ取得部によって取得された前記材料色データおよび／または前記処理色データを、前記層画像データ取得部によって前記基板の層ごとに取得された各層の前記層画像データに合成することにより、前記基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成するカラー層画像データ作成部と、
前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、前記基準基板データの一種として、前記基板の主表面のカラー画像を表すカラー表面画像データを作成する基準基板データ作成部とを有する
ことを特徴とする基準基板データ作成装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基準基板データ作成装置において、
さらに、
前記基板製造データから、前記基板の各層の構成を表す層構成データを取得する層構成データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の各層を構成する材料の厚さを表す材料厚データを取得する材料厚データ取得部とを有し、
前記基準基板データ作成部は、
前記層構成データ取得部によって取得された前記層構成データと前記層処理データ取得部によって取得された前記層処理データとに基づいて、前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせることにより、前記基板の積層構造のカラー画像を表すカラー積層画像データを作成するカラー積層画像データ作成部と、
前記カラー積層画像データ作成部によって作成された前記カラー積層画像データと前記材料厚データ取得部によって取得された前記材料厚データとに基づいて、前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、前記基準基板データの一種として、前記カラー表面画像データを作成するカラー表面画像データ作成部と、
前記カラー表面画像データ作成部によって作成された前記カラー表面画像データから色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を各検査領域として抽出することにより、前記基準基板データの別の一種として、それぞれの該検査領域を表す検査領域データを作成する検査領域データ作成部とを有する
ことを特徴とする基準基板データ作成装置。
【請求項５】
請求項２または４に記載の基準基板データ作成装置において、
前記カラー表面画像データ作成部は、作成した前記カラー表面画像データに対し、予め演算用データ格納部に格納されている以下の式１〜３に基づいて、前記検査領域のＲ色特徴値、Ｇ色特徴値、およびＢ色特徴値を演算する
ことを特徴とする基準基板データ作成装置。
【数１】
2008008654.tif 000005
【請求項６】
請求項１または３に記載の基準基板データ作成装置において、
さらに、
前記基準基板データ作成部によって作成された前記基準基板データを格納する基準基板データ格納部を有する
ことを特徴とする基準基板データ作成装置。
【請求項７】
コンピュータを、
基板の設計に関するＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、各層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記基板製造データ読出部によって読み出された前記基板製造データから、前記基板の製造に用いる材料の種類を表す材料種類データを取得する材料種類データ取得部と、
前記材料の種類に応じて定まる色を表す材料色データを格納している色データベースと、
前記色データベースから、前記材料種類データ取得部によって取得された前記材料種類データに対応する前記材料色データを取得する色データ取得部と、
前記色データ取得部によって取得された前記材料色データを、前記層画像データ取得部によって前記基板の層ごとに取得された各層の前記層画像データに合成することにより、前記基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成するカラー層画像データ作成部と、
前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、前記基準基板データの一種として、前記基板の主表面のカラー画像を表すカラー表面画像データを作成する基準基板データ作成部
として機能させるためのプログラム。
【請求項８】
コンピュータを、
基板の設計に関するＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段から該ＣＡＤデータを読み出すＣＡＤデータ読出部と、
前記ＣＡＤデータ読出部によって読み出された前記ＣＡＤデータから、前記基板の層ごとに、各層の画像を表す層画像データを取得する層画像データ取得部と、
前記基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から該基板製造データを読み出す基板製造データ読出部と、
前記基板製造データ読出部によって読み出された前記基板製造データから、前記基板の製造に用いる材料の種類を表す材料種類データを取得する材料種類データ取得部と、
前記基板製造データから、前記基板の中の処理が施されている層の処理内容を表す層処理データを取得する層処理データ取得部と、
前記材料の種類に応じて定まる色を表す材料色データと前記処理内容に応じて定まる色を表す処理色データとを格納している色データベースと、
前記色データベースから、前記材料種類データ取得部によって取得された前記材料種類データに対応する前記材料色データおよび／または前記層処理データ取得部によって取得された前記層処理データに対応する前記処理色データを取得する色データ取得部と、
前記色データ取得部によって取得された前記材料色データおよび／または前記処理色データを、前記層画像データ取得部によって前記基板の層ごとに取得された各層の前記層画像データに合成することにより、前記基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成するカラー層画像データ作成部と、
前記カラー層画像データ作成部によって前記基板の層ごとに作成された各層の前記カラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、前記基準基板データの一種として、前記基板の主表面のカラー画像を表すカラー表面画像データを作成する基準基板データ作成部
として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板の外観検査の基準となるデータを擬似的に作成する、基準基板データ作成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の製造に際して、基板の外観検査は、検査者が目視によって行っていた。しかしながら、目視による検査は、検査者の能力によって、検査時間や検査精度にバラツキが生じる。そのため、基板の外観検査は、検査者の能力による検査時間や検査精度にバラツキが生じないようにすること、さらには、従来よりも検査時間を短縮させるとともに検査精度を向上させることが望まれていた。
【０００３】
そこで、近年、基板の外観検査は、外観検査装置と称される装置によって行われるようになってきた（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この外観検査装置による検査で、時間を短縮するとともに精度を向上させるためには、虚報、すなわち、イレギュラーな検査結果の数を減らす必要がある。そこで、外観検査装置を操作するオペレータは、外観検査装置に設定する設定データを調整することによって、虚報の数を減らしていた。なお、設定データとしては、例えば、検査パラメータや検査領域データなどがある。検査パラメータは、検査に関連するデータであり、例えば、基板の外形（大きさ、厚さ）や検査精度（不良検出個数、不良の大きさ）などがある。検査領域データは、検査領域を表すデータであり、例えば、基板の主表面の色パターンの輪郭で区切られた各内部領域を各検査領域とし、その各検査領域を表すデータ、特に、各検査領域の位置座標を表すデータである。なお、主表面とは、配線パターンが形成された基板の上側の露出面（以下、「上面」と称する）および下側の露出面（以下、「下面」と称する）の、一方または両方を意味する。
【０００５】
しかしながら、設定データの調整は、一枚の基準基板のデータからでは、高精度な基準基板データを取得することができない。そのため、設定データの調整は、例えば、以下に述べる理由により、多大な時間を必要としていた。
【０００６】
（１）第１の理由は、設定データを調整するためのティーチング作業において、多くの作業を、手作業で慎重かつ精度良く行うための時間を必要とするからである。
【０００７】
なお、「ティーチング作業」とは、コンピュータに設定データを作成させて、その設定データを外観検査装置に設定する作業のことである。ティーチング作業の内容としては、例えば、以下の第１〜第５の作業がある。
【０００８】
第１の作業は、外観検査の基準となる基板（以下、「基準基板」と称する）を選別する作業である。なお、この基準基板は、「ゴールデンボード」と称される場合もある。この作業は、手作業で、多数の検査の対象となる基板（以下、「検査基板」と称する）の中から、不良（キズ、色ムラ、その他）が無いものを、選別することによって、行われる。
【０００９】
第２の作業は、コンピュータに検査領域データを作成させて、手作業で、その検査領域データを外観検査装置に設定する作業である。
【００１０】
第３の作業は、外観検査装置に基準基板を検査させて、基準基板のデータを収集させる作業である。
【００１１】
第４の作業は、コンピュータに、基準基板の収集データの中から、外観検査の基準となる特徴データ（以下、「検査基準特徴データ」と称する）を抽出させる作業である。
【００１２】
第５の作業は、手作業で、検査基準特徴データを、検査パラメータの一種として、外観検査装置に設定する作業である。
【００１３】
このようなティーチング作業は、外観検査装置の性能に大きな影響を与えるため、慎重かつ精度良く行う必要がある。しかも、このようなティーチング作業は、多くの作業がオペレータの手作業によって行われている。そのため、多大な時間が必要である。
【００１４】
（２）第２の理由は、ティーチング作業において、良好な検査基準特徴データを得るための時間を必要とするからである。
【００１５】
良好な検査基準特徴データを抽出するためには、オペレータは、不良（キズ、色ムラ、その他）が全く無い基板だけを、基準基板として、選別する必要がある。しかしながら、実際には、オペレータは、不良が若干存在する基板を、基準基板として、選別する場合がある。そのため、一枚の基準基板の収集データの中から抽出された検査基準特徴データは、基板ごとのバラツキが大きく、信頼性が低い。この検査基準特徴データを用いて基板の外観検査を行うと、当然ながら、検査の精度は低下する。
【００１６】
そこで、オペレータは、検査の精度を向上させるために、以下のようにして、基板の外観検査を行っている。すなわち、まず、オペレータは、多数の基板の中から、複数枚の基準基板を選別し、選別した複数枚の基準基板を外観検査装置に外観検査させて、複数枚の基準基板のデータを収集させる。次に、オペレータは、コンピュータに、複数枚の基準基板の収集データから平均データを作成させ、その平均データの中から検査基準特徴データを抽出させる。これによって、オペレータは、基板ごとのバラツキを抑えた良好な検査基準特徴データを得る。オペレータは、このようにして得た良好な検査基準特徴データを、検査パラメータの一種として、外観検査装置に設定して、外観検査装置に基板の外観検査を行わせる。このようにして、オペレータは、検査の精度を向上させていた。
【００１７】
しかしながら、このような作業は、煩雑であり、またオペレータに高度な技能を要求するため、多大な時間が必要であった。
【００１８】
（３）第３の理由は、ティーチング作業において、設定データを手作業で外観検査装置に設定するための時間を必要とするからである。
【００１９】
設定データとしては、上述の通り、例えば、検査パラメータや検査領域データなどがある。オペレータは、検査パラメータとして、基板の外形（大きさ、厚さ）や検査精度（不良検出個数、不良の大きさ）などを、外観検査装置に設定するとともに、検査領域データとして、基板の上面の色パターンの輪郭などを、外観検査装置に設定する。これらの作業は、手作業で行われるため、多大な時間が必要であった。
【００２０】
しかも、検査領域データを設定するためには、以下のような作業を行う必要があった。すなわち、まず、オペレータは、多数の基板の中から、複数枚の基準基板を選別し、選別した複数枚の基準基板を外観検査装置に外観検査させて、複数枚の基準基板のデータを収集させる。次に、オペレータは、コンピュータに、複数枚の基準基板の収集データから平均データを作成させ、その平均データにおける輝度の差に基づいて検査領域を決定させ、その検査領域を表す検査領域データを作成させる。最後に、オペレータは、作成された検査領域データを外観検査装置に設定する。しかしながら、コンピュータは、輝度の差だけでは正確な検査領域を決定することができない。そこで、オペレータは、以下のようにして、検査領域データの設定を調整している。すなわち、まず、オペレータは、コンピュータを操作して、ディスプレイに基板の画像を表示させ、さらに、作成された検査領域データが表す検査領域、すなわち、輝度の差に基づいて決定させた検査領域を、その基板の画像の上に重ねて表示させる。そして、オペレータは、ポインティングデバイス（例えば、マウス）を用いて、ディスプレイに表示された検査領域を修正する。コンピュータは、これに応答して、検査領域データの設定を調整する。
【００２１】
しかしながら、このような作業は、煩雑であるとともに、オペレータに高度な技能を要求するため、高精度な検査を行うためには、多大な時間をかける必要があった。
【特許文献１】特開２００５−１６４２７７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
従来の基板の外観検査は、一枚の基準基板のデータからでは、高精度な基準基板データを取得することができない。そのため、従来の基板の外観検査は、高精度な検査を行うためには、オペレータが以下のような煩雑な外観検査装置へのティーチング作業を行う必要があった。すなわち、従来の基板の外観検査は、（１）多量の基板を用意する作業、（２）多量の基板の中から多量の基準基板を選定する作業、（３）多量の基準基板のデータを収集する作業、（４）検査領域データを逐次作成する作業、（５）手作業で基板の外観検査装置への設定データ（例えば、検査パラメータや、検査領域データ、検査領域に対応する色データなど）を設定する作業および調整する作業、などが必要であった。
【００２３】
したがって、このような従来の基板の外観検査は、煩雑であるとともに、オペレータに高度な技能を要求するため、高精度な検査を行うためには、多大な時間をかける必要があるという課題があった。
【００２４】
この課題は、外観検査装置の検査効率を低下させ、さらに、基板の製造効率を低下させる。特に、この課題は、本来の目的である基板の外観検査よりも、外観検査装置へのティーチング作業に多大な時間を必要とする場合があるため、多品種の基板を少量ずつ製造する基板メーカ（以下、「多品種少量基板メーカ」と称する）にとって、深刻である。そのため、多品種少量基板メーカの中には、外観検査装置の検査効率が低いため、外観検査装置の利用を断念して、別の手法で基板の外観検査を行うメーカもある。したがって、この課題は、多品種少量基板メーカへの外観検査装置の普及を妨げる要因ともなっている。
【００２５】
そこで、この発明の目的は、外観検査装置へのティーチング作業の時間を大幅に短縮しつつ、外観検査装置に高精度な検査を行わせるために、簡易な手法で、高精度な基準基板データを擬似的に作成する装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
上述の目的の達成を図るため、この発明の要旨によれば、基板の外観検査の基準となる基準基板データを擬似的に作成する、以下の構成を具える基準基板データ作成装置を提供する。
【００２７】
この基準基板データ作成装置は、ＣＡＤデータ読出部と、層画像データ取得部と、基板製造データ読出部と、材料種類データ取得部と、色データベースと、色データ取得部と、カラー層画像データ作成部と、基準基板データ作成部とを有する。なお、ここでは、「取得」とは、任意のデータの中からそのデータの中に含まれているデータを抽出する動作、任意のデータに基づいて別のデータを作成する動作、および、任意の記憶部からデータを読み出す動作のいずれか一乃至複数の動作を意味している。
【００２８】
ＣＡＤデータ読出部は、基板の設計に関するＣＡＤデータを格納しているＣＡＤデータ格納手段からＣＡＤデータを読み出す。層画像データ取得部は、ＣＡＤデータ読出部によって読み出されたＣＡＤデータから、基板の層ごとに、各層の画像を表す層画像データを取得する。また、基板製造データ読出部は、基板の製造に関する基板製造データを格納している基板製造データ格納手段から基板製造データを読み出す。材料種類データ取得部は、基板製造データ読出部によって読み出された基板製造データから、基板の製造に用いる材料の種類（例えば、レジスト材、コア材、プリプレグ材、シルク材、メッキ材など）を表す材料種類データを取得する。色データベースは、材料の種類に応じて定まる色を表す材料色データを格納している。色データ取得部は、色データベースから、材料種類データ取得部によって取得された材料種類データに対応する材料色データを取得する。カラー層画像データ作成部は、色データ取得部によって取得された材料色データを、層画像データ取得部によって基板の層ごとに取得された各層の層画像データに合成することにより、基板の層ごとに、各層のカラー画像を表すカラー層画像データを作成する。基準基板データ作成部は、カラー層画像データ作成部によって基板の層ごとに作成された各層のカラー層画像データを重ね合わせる演算を行うことにより、基準基板データの一種として、基板の主表面のカラー画像を表すカラー表面画像データを作成する。
【発明の効果】
【００２９】
この基準基板データ作成装置によれば、ＣＡＤデータと基板製造データとに基づいて、基板基準データを擬似的に作成するので、実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができる。（１）このため、多量の基板を用意する作業を排除することができる、（２）用意した基板の中から多量の基準基板を選定する作業を排除することができる、および（３）多量の基準基板のデータを収集する作業を排除することができる。
【００３０】
また、この基準基板データ作成装置によれば、作成したカラー表面画像データの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域は各検査領域を表しているので、この輪郭で区切られた各内部領域を検出することにより、検査領域データを自動的に作成することができる。（４）このため、オペレータによる検査領域データを逐次作成する作業を排除することができる。
【００３１】
また、この基準基板データ作成装置によれば、基準基板データの一種として作成したカラー表面画像データは基板の外観検査装置に設定する設定データの一種となるので、基板の外観検査装置への設定データ（例えば、検査パラメータや、検査領域データ、検査領域に対応する色データなど）の設定や調整を行うことができる。（５）このため、オペレータの手作業による基板の外観検査装置への設定データを設定する作業や調整する作業を排除することができる。
【００３２】
その結果、この基準基板データ作成装置によれば、外見検査装置へのティーチング作業の時間を大幅に短縮しつつ、外観検査装置に高精度な検査を行わせることができるという効果を得ることができる。
【００３３】
このような基準基板データ作成装置は、少品種または多品種の基板を大量に検査する場合でも有効であるが、特に、多品種の基板を少量ずつ検査する場合に有効である。そのため、この基準基板データ作成装置は、多品種少量基板メーカへの外観検査装置の普及を促すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図を参照して、この発明の実施の形態につき説明する。各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
【００３５】
＜基準基板データ作成装置の構成＞
以下、図１を参照して、この発明の基準基板データ作成装置の構成例につき説明する。なお、図１は、この発明の基準基板データ作成装置の構成例を示すブロック図である。
【００３６】
この実施の形態では、基準基板データ作成装置プログラム１１０が、コンピュータにインストールされている。この基準基板データ作成プログラム１１０は、コンピュータを基準基板データ作成装置として機能させるプログラムである。基準基板データ作成プログラム１１０は、コンピュータの内部に、図１に示す各種の機能手段を構築する。これにより、コンピュータは、基準基板データ作成装置１００として機能する。
【００３７】
基準基板データ作成装置１００は、ＣＡＤデータ５２ａと基板製造データ５４ａとを用いて、基板の外観検査の基準となるデータ（以下、「基準基板データ」と称する）３３２ａを擬似的に作成する装置である。
【００３８】
なお、ＣＡＤデータ５２ａは、基板の設計に関するデータである。ＣＡＤデータ５２ａは、基板の各層の画像を表すデータ（以下、「層画像データ」と称する）３０２ａに変換することができる。この層画像データ３０２ａは、白と黒の二値の、基板の設計図面データである。
【００３９】
また、基板製造データ５４ａは、基板の製造に関するデータである。基板製造データ５４ａは、基板の製造に用いる材料の種類を表すデータ（以下、「材料種類データ」と称する）３１２ａや、基板の中の処理が施されている層（特に、層の表面）の処理内容を表すデータ（以下、「層処理データ」と称する）３１４ａ、基板の各層を構成する材料の厚さ（以下、「材料厚データ」と称する）３１６ａ、基板の各層の構成を表すデータ（以下、「層構成データ」と称する）３１８ａを含んでいる。なお、材料種類データ３１２ａは、例えば、コア材・プリプレグ材、レジスト材、シルク材、メッキ材などのデータである。材料種類データ３１２ａは、好ましくは、材料メーカや材質などに応じて作成されるとよい。また、層処理データ３１４ａは、例えば、表層処理、中層処理、メッキ処理などのデータである。また、材料厚データ３１６ａは、例えば、レジスト材、コア材、プリプレグ材、銅箔などの厚さのデータである。また、層構成データ３１８ａは、例えば、層の数、各層の形状などのデータである。
【００４０】
基準基板データ作成装置１００は、入力部２００と出力部２５０と主演算部３００と主格納部４００とを有している。
【００４１】
上述の入力部２００は、基準基板データ作成装置１００の外部から各種のデータを入力する手段である。入力部２００は、マウスなどのポインティングデバイス、キーボード、各種の記憶媒体（例えば、データ格納手段５０）との間でデータを読み書きするリーダライター（Ｒ／Ｗ）、外部の装置（例えば、データ格納手段５０や、色データベース作成装置５００、外観検査装置７００など）と通信するインターフェース（Ｉ／Ｏ）、その他で構成されている。
【００４２】
入力部２００は、データ読出部２０１を備えている。このデータ読出部２０１は、基準基板データ作成装置１００の外部のデータ格納手段５０から各種のデータを読み出す手段である。データ読出部２０１は、リーダライター（Ｒ／Ｗ）またはインターフェース（Ｉ／Ｏ）で構成されている。なお、データ格納手段５０は、データ読出部２０１の形態に対応して、各種の記憶媒体（例えば、ＤＶＤやＣＤ−ＲＯＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ＵＳＢメモリなど）または各種の記憶装置（例えば、外付けのハードディスク装置や外部のコンピュータなど）で構成されている。データ格納手段５０は、ＣＡＤデータ５２ａを格納するＣＡＤデータ格納手段５２と、基板製造データ５４ａを格納する基板製造データ格納手段５４とを構成要素として備えている。この実施の形態では、ＣＡＤデータ格納手段５２と基板製造データ格納手段５４は、別々に形成されているものとして説明するが、一体に形成されていてもよい。
【００４３】
データ読出部２０１は、ＣＡＤデータ格納手段５２からＣＡＤデータ５２ａを読み出すＣＡＤデータ読出部２０２と、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出す基板製造データ読出部２０４とを備えている。この実施の形態では、ＣＡＤデータ読出部２０２と基板製造データ読出部２０４は、別々に形成されているものとして説明するが、一体に形成されていてもよい。
【００４４】
上述の出力部２５０は、基準基板データ作成装置１００の外部に各種のデータを出力する手段である。出力部２５０は、ディスプレイ、プリンタ、各種の記憶媒体（例えば、データ格納手段５０）との間でデータを読み書きするリーダライター（Ｒ／Ｗ）、外部の装置（例えば、データ格納手段５０や、色データベース作成装置５００、外観検査装置７００など）と通信するインターフェース（Ｉ／Ｏ）、その他で構成されている。
【００４５】
上述の主演算部３００は、各種の演算を実行する手段である。主演算部３００は、ＣＰＵで構成されている。主演算部３００は、層画像データ取得部３０２と材料種類データ取得部３１２と層処理データ取得部３１４と材料厚データ取得部３１６と層構成データ取得部３１８と層画像データ展開部３２２と色データ取得部３２４とカラー層画像データ作成部３２６と基準基板データ作成部３３２とを構成要素として備えている。なお、ここでは、「取得」とは、任意のデータの中からそのデータの中に含まれているデータを抽出する動作、任意のデータに基づいて別のデータを作成する動作、および、任意の記憶部からデータを読み出す動作のいずれか一乃至複数の動作を意味している。
【００４６】
上述の主格納部４００は、各種のプログラムやデータを格納する手段である。主格納部４００は、ＲＡＭで構成されている。主格納部４００は、層画像データ格納部４０２と材料種類データ格納部４１２と層処理データ格納部４１４と材料厚データ格納部４１６と層構成データ格納部４１８と色データベース４２２と色データ格納部４２４とカラー層画像データ格納部４２６と演算用データ格納部４３１と基準基板データ格納部４３２とを構成要素として備えている。
【００４７】
以下、主演算部３００および主格納部４００の構成要素につき、順次説明する。
【００４８】
層画像データ取得部３０２は、ＣＡＤデータ格納手段５２に格納されているＣＡＤデータ５２ａから、白と黒の二値の、基板の各層の層画像データ３０２ａを取得して、層画像データ格納部４０２に格納する機能手段である（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）。
【００４９】
材料種類データ取得部３１２は、基板製造データ格納手段５４に格納されている基板製造データ５４ａから、基板の各層に用いられる材料種類データ３１２ａを取得して、材料種類データ格納部４１２に格納する機能手段である（図１０参照）。
【００５０】
層処理データ取得部３１４は、同様に、基板製造データ５４ａから、基板の各層に施される層処理データ３１４ａを取得して、層処理データ格納部４１４に格納する機能手段である（図１０参照）。
【００５１】
材料厚データ取得部３１６は、同様に、基板製造データ５４ａから、基板の各層の材料厚データ３１６ａを取得して、材料厚データ格納部４１６に格納する機能手段である（図１０参照）。
【００５２】
層構成データ取得部３１８は、同様に、基板製造データ５４ａから、基板の各層の層構成データ３１８ａを取得して、層構成データ格納部４１８に格納する機能手段である（図１０参照）。
【００５３】
層画像データ展開部３２２は、層画像データ格納部４０２から基板の各層の層画像データ３０２ａを読み出して、イメージデータとして展開する機能手段である。なお、ここでは、「展開」とは、画像の中の各ドットの位置座標が特定されたイメージデータとして、データを作成する動作を意味している。
【００５４】
色データ取得部３２４は、後述の色データベース４２２から材料種類データ３１２ａに対応する色データ（以下、「材料色データ」と称する場合もある）４２２ａを取得して、色データ格納部４２４に格納する機能手段である。なお、この実施の形態では、色データ取得部３２４は、色データベース４２２から層処理データ３１４ａに対応する色データ（以下、「処理色データ」と称する場合もある）４２２ａを取得する機能も有している。なお、この実施の形態では、基準基板データ作成装置１００は、材料色データ４２２ａと処理色データ４２２ａを同様のデータとして扱っている。これは、例えばメッキ処理などの処理により形成された層の表面を新たな層と見なすことにより、その新たな層の色を、作成する基準基板データ３３２ａ（特に、後述のカラー表面画像データ３３６ａ）の後述の色特徴データに反映させるためである。
【００５５】
カラー層画像データ作成部３２６は、層画像データ展開部３２２から出力される層画像データ３０２ａと色データ格納部４２４から読み出される色データ４２２ａとに基づいて、基板の各層のカラー画像を表すデータ（以下、「カラー層画像データ」と称する）３２６ａを作成して、カラー層画像データ格納部４２６に格納する機能手段である。このカラー層画像データ３２６ａは、例えば、図５（Ａ）〜（Ｄ）に示す層画像データ３０２ａの白色領域に、白色領域を構成する材料の種類に対応する色データ４２２ａまたは白色領域に施される処理に対応する色データ４２２ａを合成したものである。
【００５６】
基準基板データ作成部３３２は、基準基板データ３３２ａを擬似的に作成する機能手段である。基準基板データ作成部３３２は、基準基板データ３３２ａとして、例えば、基板の積層構造のカラー画像を表すデータ（以下、「カラー積層画像データ」と称する）３３４ａ（図９参照）や、基板の主表面のカラー画像を表すデータ（以下、「カラー表面画像データ」と称する）３３６ａ（図３参照）、検査領域を表すデータ（以下、「検査領域データ」と称する）３３８ａなどを作成する。なお、検査領域データ３３８ａは、カラー表面画像データ３３６ａの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域の位置座標データである。
【００５７】
この基準基板データ作成部３３２は、カラー積層画像データ作成部３３４とカラー表面画像データ作成部３３６と検査領域データ作成部３３８とを備えている。
【００５８】
カラー積層画像データ作成部３３４は、基板の構成に応じて、例えば図２に示すような、カラー積層画像データ３３４ａを作成して出力する機能手段である。このカラー積層画像データ３３４ａの作成は、層処理データ格納部４１４から読み出される層処理データ３１４ａ、材料厚データ格納部４１６から読み出される材料厚データ３１６ａ、および層構成データ格納部４１８から読み出される層構成データ３１８ａのいずれか一つのデータあるいは２以上の組み合わせデータと、カラー層画像データ格納部４２６から読み出されるカラー層画像データ３２６ａとに基づいて、行われる。なお、図２は、カラー積層画像データの一例を示す図である。
【００５９】
図２は、基板６０の、ある断面における積層構造を簡略的に示している。なお、図２に示す例では、カラー積層画像データ３３４ａは、基板６０が、シルク層７０、レジスト層７１、表層の処理層（以下、「表層（処理層）」と称する）７２、表層７３、プリプレグ層７４、中層の処理層（以下、「中層（処理層）」と称する）７５、中層７６、コア層７７、中層７８、中層（処理層）７９、プリプレグ層８０、表層８１、表層（処理層）８２、レジスト層８３、およびシルク層８４を有することを示している。なお、表層７３、中層７６、中層７８、および表層８１は、それぞれ、銅（Ｃｕ）メッキによって形成されている。
【００６０】
カラー表面画像データ作成部３３６は、カラー積層画像データ作成部３３４によって作成されたカラー積層画像データ３３４ａに基づいて、基板の構成に応じて、例えば図３に示すような、カラー表面画像データ３３６ａを作成して出力する機能手段である。なお、図３は、カラー表面画像データの一例を示す図である。図３に示すように、カラー表面画像データ３３６ａは、基板の主表面（例えば、「上面」）の色パターンを示している。
【００６１】
検査領域データ作成部３３８は、カラー表面画像データ作成部３３６によって作成されたカラー表面画像データ３３６ａに基づいて、検査領域データ３３８ａを作成して、基準基板データ格納部４３２に格納する機能手段である。なお、検査領域データ３３８ａは、上述の通り、カラー表面画像データ３３６ａの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域の位置座標データである。
【００６２】
層画像データ格納部４０２は、層画像データ取得部３０２によって取得される層画像データ３０２ａを格納する記憶領域である。
【００６３】
材料種類データ格納部４１２は、材料種類データ取得部３１２によって取得される材料種類データ３１２ａを格納する記憶領域である。
【００６４】
層処理データ格納部４１４は、層処理データ取得部３１４によって取得される層処理データ３１４ａを格納する記憶領域である。
【００６５】
材料厚データ格納部４１６は、材料厚データ取得部３１６によって取得される材料厚データ３１６ａを格納する記憶領域である。
【００６６】
層構成データ格納部４１８は、層構成データ取得部３１８によって取得される層構成データ３１８ａを格納する記憶領域である。
【００６７】
色データベース４２２は、様々な色データ４２２ａ、例えば、材料種類データ３１２ａに対応する材料色データ４２２ａや、層処理データ３１４ａに対応する処理色データ４２２ａなどを格納するデータベースである。なお、色データベース４２２に格納される色データ４２２ａは、後述の色データベース作成装置５００（図８参照）により作成される。
【００６８】
色データ格納部４２４は、色データ取得部３２４によって取得される色データ４２２ａを格納する記憶領域である。
【００６９】
カラー層画像データ格納部４２６は、カラー層画像データ作成部３２６によって作成されるカラー層画像データ３２６ａを格納する記憶領域である。
【００７０】
演算用データ格納部４３１は、基準基板データ作成部３３２による演算（特に、後述の色特徴データの演算）に用いる様々なデータを格納する記憶領域である。演算用データ格納部４３１は、例えば、後述の式１〜３や、後述の層の重ね合わせ定数αｒｐｉ、αｇｐｉ、αｂｐｉ、後述の層の厚さによる色の減衰定数βｒｐｉ、βｇｐｉ、βｂｐｉ、材料種類または層処理に応じたＲ色特徴値Ｒｐｉ、材料種類または層処理に応じたＧ色特徴値Ｇｐｉ、および、材料種類または層処理に応じたＢ色特徴値Ｂｐｉなどを格納する。
【００７１】
基準基板データ格納部４３２は、基準基板データ作成部３３２によって擬似的に作成される基準基板データ３３２ａを格納する記憶領域である。基準基板データ格納部４３２は、基準基板データ３３２ａとして、例えば、カラー積層画像データ３３４ａや、カラー表面画像データ３３６ａ、検査領域データ３３８ａなどを格納する。
【００７２】
＜ＣＡＤデータから取得されるデータ＞
以下、図４を参照して、ＣＡＤデータ５２ａから取得されるデータ、すなわち、層画像データ３０２ａにつき説明する。なお、図４は、ＣＡＤデータから取得されるデータの説明図である。
【００７３】
図４に示すように、ＣＡＤデータ読出部２０２は、ＣＡＤデータ格納手段５２からＣＡＤデータ５２ａを読み出し、読み出したＣＡＤデータ５２ａを層画像データ取得部３０２に出力する。
【００７４】
層画像データ取得部３０２は、ＣＡＤデータ読出部２０２からＣＡＤデータ５２ａが入力されると、これに応答して、ＣＡＤデータ５２ａを白と黒の二値の層画像データに変換する。これにより、層画像データ取得部３０２は、層画像データ３０２ａを取得して出力する。
【００７５】
なお、図４に示す例では、層画像データ取得部３０２は、層画像データ３０２ａとして、例えば、シルク層（上面）画像データ７０ａ、レジスト層（上面）画像データ７１ａ、表層（処理層）画像データ７２ａ、表層（銅メッキ層）画像データ７３ａ、プリプレグ層画像データ７４ａ、中層（処理層）画像データ７５ａ、中層（銅メッキ層）画像データ７６ａ、コア層画像データ７７ａ、中層（銅メッキ層）画像データ７８ａ、中層（処理層）画像データ７９ａ、プリプレグ層画像データ８０ａ、表層（銅メッキ層）画像データ８１ａ、表層（処理層）画像データ８２ａ、レジスト層（下面）画像データ８３ａ、シルク層（下面）画像データ８４ａを取得している。
【００７６】
図５（Ａ）〜（Ｄ）は、層画像データが与える画像の一例を示す図である。図５（Ａ）は、層画像データ３０２ａの中のシルク層（上面）画像データ７０ａが与える画像の一例を示している。図５（Ａ）に示す例では、白色領域は、シルク層の領域を示している。図５（Ｂ）は、層画像データ３０２ａの中のレジスト層（上面）画像データ７１ａが与える画像の一例を示している。図５（Ｂ）に示す例では、白色領域は、レジスト層の領域を示している。図５（Ｃ）は、層画像データ３０２ａの中の表層（銅メッキ層）画像データ７３ａが与える画像の一例を示している。図５（Ｃ）に示す例では、白色領域は、表層（銅メッキ）の領域を示している。図５（Ｄ）は、層画像データ３０２ａの中の中層（銅メッキ層）画像データ７６ａが与える画像の一例を示している。図５（Ｄ）に示す例では、白色領域は、中層（銅メッキ）の領域を示している。これら層画像データ３０２ａの白色領域は、それぞれ、後に、カラー層画像データ作成部３２６によって、色データ４２２ａが合成される。
【００７７】
層画像データ取得部３０２は、層画像データ３０２ａを取得すると、これに応答して、層画像データ３０２ａを主格納部４００に出力して、主格納部４００の層画像データ格納部４０２に格納する。
【００７８】
＜基板製造データから取得されるデータ＞
以下、図６と、図７（Ａ）および（Ｂ）を参照して、基板製造データ５４ａから取得されるデータ、すなわち、材料種類データ３１２ａと層処理データ３１４ａと材料厚データ３１６ａと層構成データ３１８ａにつき説明する。なお、図６は、基板製造データから取得されるデータの説明図である。また、図７（Ａ）および（Ｂ）は、基板製造データから取得されるデータの一例を示す図であり、図７（Ａ）は、材料種類データの一例を示しており、図７（Ｂ）は、層処理データの一例を示している。
【００７９】
図６に示すように、基板製造データ読出部２０４は、基板製造データ格納手段５４から基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した基板製造データ５４ａを材料種類データ取得部３１２と層処理データ取得部３１４と材料厚データ取得部３１６と層構成データ取得部３１８とに出力する。
【００８０】
材料種類データ取得部３１２は、基板製造データ読出部２０４から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから材料種類データ３１２ａを取得し、材料種類データ３１２ａを材料種類データ格納部４１２に格納する。材料種類データ３１２ａは、例えば、コア材、プリプレグ材、レジスト材、シルク材、メッキ材などの材料の種類に関するデータである。図６に示す例では、材料種類データ３１２ａとして、例えば、コア材種類データ３１３ａ、プリプレグ材種類データ３１３ｂ、レジスト材種類データ３１３ｃ、シルク材種類データ３１３ｄ、メッキ材種類データ３１３ｅが示されている。コア材とプリプレグ材は、図７（Ａ）に示すように、例えば、「ＦＲ−４」、「ＦＲ−４．５」、「ＦＲ−４ＨＦ」、「ポリイミド」、「ＢＴ」などの種類がある。また、レジスト材は、図７（Ａ）に示すように、例えば、「Ｇ２４」、「ＢＬ０１アオ」、「Ｈ１２Ｆ  ＡＢ」などの種類がある。また、シルク材は、図７（Ａ）に示すように、例えば、「２００Ｗ」、「２００Ｙ」、「２００Ｂ」などの種類がある。また、メッキ材は、図７（Ａ）に示すように、例えば、「銅（Ｃｕ）」、「半田；ソルダ・コート（ＳＣ）」、および「金（Ａｕ）」などの種類がある。これらの材料は、それぞれ、特有の色が存在する。
【００８１】
層処理データ取得部３１４は、基板製造データ読出部２０４から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから層処理データ３１４ａを取得し、層処理データ３１４ａを層処理データ格納部４１４に格納する。層処理データ３１４ａは、大別すると、中層の表面に施される処理（以下、単に「中層処理」と称する）に関する中層処理データ３１５ａと、表層の表面に施される処理（以下、単に「表層処理」と称する）に関する表層処理データ３１５ｂとがある（図６参照）。なお、中層処理は、図７（Ｂ）に示すように、例えば、「Ｂ／Ｏ」、「ＣＺ」などの種類がある。また、表層処理は、図７（Ｂ）に示すように、例えば、「ＳＲ」、「ＣＺ」、「金メッキ」などの種類がある。これらの層処理は、それぞれ、材料ごとに、特有の色が存在する。
【００８２】
材料厚データ取得部３１６は、基板製造データ読出部２０４から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから材料厚データ３１６ａを取得し、材料厚データ３１６ａを材料厚データ格納部４１６に格納する。材料厚データ３１６ａは、例えば、コア材、プリプレグ材、シルク材、レジスト材などの厚さに関するデータである。図６に示す例では、材料厚データ３１６ａとして、例えば、コア材厚データ３１７ａとプリプレグ材厚データ３１７ｂとレジスト材厚データ３１７ｃが示されている。
【００８３】
層構成データ取得部３１８は、基板製造データ読出部２０４から基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから層構成データ３１８ａを取得し、層構成データ３１８ａを層構成データ格納部４１８に格納する。層構成データ３１８ａは、例えば、層の数、各層の形状などに関するデータである。
【００８４】
＜色データベースに格納されるデータ＞
以下、図８を参照して、色データベース４２２に格納されるデータ、すなわち、色データにつき説明する。なお、図８は、色データベースに格納される色データを作成する装置（以下、「色データベース作成装置」と称する）の構成例を示すブロック図である。なお、図８に示す例では、色データベース作成装置５００は、基準基板データ作成装置１００とは異なる装置として示されているが、基準基板データ作成装置１００と一体の装置として構成してもよい。
【００８５】
色データベース作成装置５００は、各種の演算を実行する主演算部５１０と、各種のデータを格納する主格納部５２０とを有する。主演算部５１０は、ＣＰＵによって構成されている。また、主格納部５２０は、ＲＡＭによって構成されている。
【００８６】
上述の主演算部５１０は、画像取得部５１２と、色解析部５１４と、色データベース出力部５１６とを備えている。
【００８７】
画像取得部５１２は、主格納部５２０から材料種類データに対応するカラー画像データ５２０ａおよび層処理データに対応するカラー画像データ５２０ａを取得して出力する機能手段である。
【００８８】
色解析部５１４は、画像取得部５１２によって取得されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれをＲＧＢ（赤、緑、青）成分に分解して、材料種類データに対応する色データ５１４ａおよび層処理データに対応する色データ５１４ａを作成する機能手段である。色解析部５１４は、作成した色データ５１４ａを主格納部５２０に出力して、主格納部５２０の色データ格納部５３４に格納する。
【００８９】
色データベース出力部５１６は、色データ格納部５３４から色データ５１４ａを読み出し、読み出した色データ５１４ａを基準基板データ作成装置１００に出力する機能手段である。なお、基準基板データ作成装置１００に出力された色データ５１４ａは、色データベース４２２に格納されることにより、色データ取得部３２４によって取得される色データ４２２ａとなる。
【００９０】
上述の主格納部５２０は、コア材・プリプレグ材データ格納部５２２と、レジスト材データ格納部５２４と、シルク材データ格納部５２６と、メッキ材種類データ格納部５２８と、中層処理データ格納部５３０と、表層処理データ格納部５３２と、色データ格納部５３４とを備えている。
【００９１】
コア材・プリプレグ材データ格納部５２２は、材料種類データの一種として、例えば図７（Ａ）に示すような、コア材・プリプレグ材データ５２２ａを格納する記憶領域である。図８に示す例では、コア材・プリプレグ材データ格納部５２２は、「ＦＲ−４」、「ＦＲ−４．５」、「ＦＲ−４  ＨＦ」、「ポリイミド」、および「ＢＴ」の５つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【００９２】
レジスト材データ格納部５２４は、材料種類データの一種として、例えば図７（Ａ）に示すような、レジスト材データ５２４ａを格納する記憶領域である。図８に示す例では、レジスト材データ格納部５２４は、「Ｇ２４」、「ＢＬ０１アオ」、および「Ｈ１２Ｆ  ＡＢ」の３つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【００９３】
シルク材データ格納部５２６は、材料種類データの一種として、例えば図７（Ａ）に示すような、シルク材データ５２６ａを格納する記憶領域である。図８に示す例では、シルク材データ格納部５２６は、「２００Ｗ」、「２００Ｙ」、および「２００Ｂ」の３つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【００９４】
メッキ材データ格納部５２８は、材料種類データの一種として、例えば図７（Ａ）に示すような、メッキ材データ５２８ａを格納する記憶領域である。図８に示す例では、メッキ材データ格納部５２８は、「銅（Ｃｕ）」、「半田（ＳＣ）」、および「金（Ａｕ）」の３つの材料種類データを格納している。これらの材料種類データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【００９５】
中層処理データ格納部５３０は、層処理データの一種として、例えば図７（Ｂ）に示すような、中層処理データ５３０ａを格納する記憶領域である。図８に示す例では、中層処理データ格納部５３０は、「Ｂ／Ｏ」、「ＣＺ」の２つの層処理データを格納している。これらの層処理データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【００９６】
表層処理データ格納部５３２は、層処理データの一種として、例えば図７（Ｂ）に示すような、表層処理データ５３２ａを格納する記憶領域である。図８に示す例では、表層処理データ格納部５３２は、「ＳＲ」、「ＣＺ」、および「金メッキ」の３つの層処理データを格納している。これらの層処理データは、それぞれ、対応するカラー画像データ５２０ａを含んでいる。
【００９７】
色データ格納部５３４は、色解析部５１４によって作成された色データ５１４ａを格納する記憶領域である。
【００９８】
色データベース作成装置５００は、以下のように動作する。
【００９９】
まず、カラー画像データ５２０ａを含む材料種類データまたは層処理データが、主格納部５２０に格納される。これは、色データベース作成装置５００のオペレータが以下のような作業を行うことによってなされる。
【０１００】
すなわち、オペレータは、コア材・プリプレグ材として、例えば、「ＦＲ−４」、「ＦＲ−４．５」、「ＦＲ−４  ＨＦ」、「ポリイミド」、および「ＢＴ」のそれぞれが予め定められた厚さ（以下、「基準厚」と称する）だけ上に配置された、色の影響を受けない材料を用意する。そして、オペレータは、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらコア材・プリプレグ材のそれぞれの画像を撮影して、各コア材・プリプレグ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各コア材・プリプレグ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、コア材・プリプレグ材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのコア材・プリプレグ材データ５２２ａとして、コア材・プリプレグ材データ格納部５２２に格納する。
【０１０１】
同様に、オペレータは、レジスト材として、例えば、「Ｇ２４」、「ＢＬ０１  アオ」、および「Ｈ１２Ｆ  ＡＢ」のそれぞれが基準厚だけ上に配置された、色の影響を受けない材料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらレジスト材のそれぞれの画像を撮影して、各レジスト材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各レジスト材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、レジスト材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのレジスト材データ５２４ａとして、レジスト材データ格納部５２４に格納する。
【０１０２】
同様に、オペレータは、シルク材として、例えば、「２００Ｗ」、「２００Ｙ」、および「２００Ｂ」のそれぞれが基準厚だけ上に配置された、色の影響を受けない材料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらシルク材のそれぞれの画像を撮影して、各シルク材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各シルク材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、シルク材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのシルク材データ５２６ａとして、シルク材データ格納部５２６に格納する。
【０１０３】
同様に、オペレータは、メッキ材として、例えば、「銅（Ｃｕ）」、「半田（ＳＣ）」、および「金（Ａｕ）」のそれぞれが基準厚だけ上に配置された、色の影響を受けない材料を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これらメッキ材のそれぞれの画像を撮影して、各メッキ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各メッキ材に対応するカラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、メッキ材のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、材料種類データのメッキ材データ５２８ａとして、メッキ材データ格納部５２８に格納する。
【０１０４】
同様に、オペレータは、表面に層処理が施された材料として、例えば、「Ｂ／Ｏ」および「ＣＺ」のそれぞれの処理が表面に施された基準厚のコア材を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これら表面に層処理が施された材料のそれぞれの画像を撮影して、各材料に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各材料に対応する各カラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、中層処理のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、層処理データの中層処理データ５３０ａとして、中層処理データ格納部５３０に格納する。
【０１０５】
同様に、オペレータは、表面に層処理が施された材料として、例えば、「ＳＲ」、「ＣＺ」、および「金メッキ」のそれぞれの処理が表面に施された基準厚のコア材を用意し、撮像装置６００を作動させる。このとき、撮像装置６００は、これら表面に層処理が施された材料のそれぞれの画像を撮影して、各材料に対応するカラー画像データ５２０ａを取得する。撮像装置６００は、各材料に対応する各カラー画像データ５２０ａを取得すると、これに応答して、取得したカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、表層処理のデータとして、色データベース作成装置５００に出力する。色データベース作成装置５００は、撮像装置６００からカラー画像データ５２０ａのそれぞれが入力されると、入力されたカラー画像データ５２０ａのそれぞれを、層処理データの表層処理データ５３２ａとして、表層処理データ格納部５３２に格納する。
【０１０６】
このようにして、色データベース作成装置５００の主格納部５２０は、カラー画像データ５２０ａを含む材料種類データまたは層処理データを格納する。
【０１０７】
次に、色データベース作成装置５００は、オペレータによって色データ４２２ａの作成を指示する指令が入力されると、これに応答して、色データ４２２ａの作成を開始する。
【０１０８】
このとき、主演算部５１０の画像取得部５１２は、主格納部５２０のコア材・プリプレグ材データ格納部５２２とレジスト材データ格納部５２４とシルク材データ格納部５２６とメッキ材データ格納部５２８と中層処理データ格納部５３０と表層処理データ格納部５３２のそれぞれから、材料種類データに対応するカラー画像データ５２０ａおよび層処理データに対応するカラー画像データ５２０ａのそれぞれを読み出し、読み出した各カラー画像データ５２０ａを色解析部５１４に出力する。
【０１０９】
次に、色解析部５１４は、画像取得部５１２から各カラー画像データ５２０ａが入力されると、これに応答して、カラー画像データ５２０ａのそれぞれから、材料種類または層処理に対応する色データ５１４ａを作成する。具体的には、色解析部５１４は、カラー画像データ５２０ａのそれぞれを、例えば２５６階調のＲＧＢ成分に分解して、各カラー画像データ５２０ａの、２５６階調のＲ成分の画像データと２５６階調のＧ成分の画像データと２５６階調のＢ成分の画像データとを作成する。そして、色解析部５１４は、各カラー画像データ５２０ａの、Ｒ成分の画像データの平均値、Ｇ成分の画像データの平均値、およびＢ成分の画像データの平均値を演算する。これらの平均値は、それぞれ、各カラー画像データ５２０ａにおける材料種類データの色の特徴値または層処理データの色の特徴値を表している。したがって、これらの平均値は、材料種類または層処理に対応する色データを意味している。このようにして、色解析部５１４は、各カラー画像データ５２０ａの、Ｒ成分の画像データの平均値、Ｇ成分の画像データの平均値、およびＢ成分の画像データの平均値、すなわち、各カラー画像データ５２０ａの、材料種類または層処理に対応する色データ５１４ａを作成する。そして、色解析部５１４は、各カラー画像データ５２０ａの、Ｒ成分の画像データの平均値、Ｇ成分の画像データの平均値、およびＢ成分の画像データの平均値のそれぞれを、材料種類または層処理に対応する色データ５１４ａとして、主格納部５２０に出力して、主格納部５２０の色データ格納部５３４に格納する。
【０１１０】
なお、色データ格納部５３４に格納された色データ５１４ａは、例えば、以下のように、色データベース作成装置５００が基準基板データ作成装置１００から色データ５１４ａの出力を要求する指令を受信した場合に、基準基板データ作成装置１００に送信される。すなわち、色データベース作成装置５００は、基準基板データ作成装置１００から色データ５１４ａの出力を要求する指令を受信する。このとき、色データベース出力部５１６は、色データ格納部５３４から色データ５１４ａを読み出して、基準基板データ作成装置１００に送信する。基準基板データ作成装置１００は、入力部２００によって、色データベース作成装置５００から送信された色データ５１４ａを受信する。基準基板データ作成装置１００は、これに応答して、色データベース作成装置５００から受信した色データ５１４ａを色データベース４２２に格納する。なお、基準基板データ作成装置１００に送信された色データ５１４ａは、上述の通り、色データベース４２２に格納されることにより、色データ取得部３２４によって取得される色データ４２２ａとなる。
【０１１１】
この実施の形態では、色データベース作成装置５００は、各カラー画像データ５２０ａをＲＧＢ成分に分解することによって色データ５１４ａを作成しているが、その他の様々な方法（例えば、色差計で測定する方法）によっても色データ５１４ａを作成することができる。
【０１１２】
＜基準基板データ作成装置の動作＞
以下、図１を参照して、基準基板データ作成装置の動作につき説明する。この実施の形態では、図９に示す検査基板６０ｂの外観を検査する際に用いる基準基板データ３３２ａを作成する場合を例にとって、説明する。なお、図９は、ＣＡＤデータ格納手段５２に予め格納されているＣＡＤデータ５２ａが示す検査基板の積層構造の一例を示す図である。図９に示す検査基板６０ｂは、シルク層７０ｂ、レジスト層７１ｂ、表層（処理層）７２ｂ、表層７３ｂ、プリプレグ層７４ｂ、中層（処理層）７５ｂ、中層７６ｂ、コア層７７ｂ、中層７８ｂ、中層（処理層）７９ｂ、プリプレグ層８０ｂ、表層８１ｂ、表層（処理層）８２ｂ、レジスト層８３ｂ、シルク層８４ｂが積層された構造となっている。なお、表層７３ｂ、中層７６ｂ、中層７８ｂ、および表層８１ｂは、それぞれ、銅（Ｃｕ）メッキによって形成されている。この実施の形態では、シルク層７０ｂと８４ｂは「２００Ｗ」からなり、レジスト層７１ｂと８３ｂは「Ｇ２４」からなり、表層（処理層）７２ｂと８２ｂは「ＳＲ」からなり、表層７３ｂと８１ｂは「Ｃｕ」からなり、プリプレグ層７４ｂと８０ｂは「ＦＲ−４」からなり、中層（処理層）７５ｂと７９ｂは「Ｂ／Ｏ」からなり、中層７６ｂと７８ｂは「Ｃｕ」からなり、コア層７７ｂは「ＦＲ−４」からなるものとして説明する（図７参照）。なお、図９中、矢印９０ａ〜９０ｅは、検査基板６０ｂを見る視点の位置を一例として示している。以下、矢印９０ａ〜９０ｅを、それぞれ、「視点９０ａ」、「視点９０ｂ」、「視点９０ｃ」、「視点９０ｄ」、および「視点９０ｅ」と称する場合がある。視点９０ａ〜９０ｅの位置は、検査基板６０ｂの各検査領域の色特徴データを取得する際に使用する演算式、すなわち、後述の式１〜式３に用いられる。
【０１１３】
基準基板データ作成装置１００は、オペレータが例えば、マウスやキーボードなどの入力部２００を操作することによって、基準基板データ３３２ａを作成する旨を指示する指令（以下、「作成指令」と称する）が入力される。基準基板データ作成装置１００は、作成指令が入力されると、これに応答して、基準基板データ３３２ａの作成を開始する。
【０１１４】
このとき、まず、データ読出部２０１のＣＡＤデータ読出部２０２は、ＣＡＤデータ格納手段５２から検査基板６０ｂのＣＡＤデータ５２ａを読み出し、読み出したＣＡＤデータ５２ａを層画像データ取得部３０２に出力する。
【０１１５】
層画像データ取得部３０２は、ＣＡＤデータ読出部２０２からＣＡＤデータ５２ａが入力されると、これに応答して、検査基板６０ｂの層ごとに、ＣＡＤデータ５２ａを、例えば図５（Ａ）〜（Ｄ）に示すような、白と黒の二値の層画像データに変換する。これにより、層画像データ取得部３０２は、検査基板６０ｂの各層の層画像データ３０２ａを取得する。なお、図５（Ａ）〜（Ｄ）における白色領域は、それぞれ、上述の通り、後に、カラー層画像データ作成部３２６によって、色データ４２２ａが合成される領域である。
【０１１６】
層画像データ取得部３０２は、検査基板６０ｂの各層の層画像データ３０２ａを取得すると、これに応答して、層画像データ３０２ａのそれぞれを主格納部４００に出力して、主格納部４００の層画像データ格納部４０２に格納する。
【０１１７】
次に、データ読出部２０１の基板製造データ読出部２０４は、基板製造データ格納手段５４から、例えば図１０に示すような、検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａを読み出し、読み出した検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａを、材料種類データ取得部３１２と層処理データ取得部３１４と材料厚データ取得部３１６と層構成データ取得部３１８に出力する。なお、図１０は、検査基板の基板製造データの一例を示す図である。図１０に示す例では、検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａは、検査基板６０ｂの各層７０ｂ〜８４ｂに対応して、「層番号データ」と、「層構成データ」と、「材料種類／層処理データ」と、「材料厚データ」とを含んでいる。
【０１１８】
材料種類データ取得部３１２は、基板製造データ読出部２０４から検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板６０ｂの層ごとに、材料種類データ３１２ａを抽出する。これにより、材料種類データ取得部３１２は、検査基板６０ｂの各層に用いられる材料種類データ３１２ａを取得する。この実施の形態では、材料種類データ取得部３１２は、例えば、コア材の材料種類データ３１２ａとして「ＦＲ−４」を取得し、プリプレグ材の材料種類データ３１２ａとして「ＦＲ−４」を取得し、レジスト材の材料種類データ３１２ａとして「Ｇ２４」を取得し、シルク材の材料種類データ３１２ａとして「２００Ｗ」を取得し、メッキ材の材料種類データ３１２ａとして「Ｃｕ」を取得する（図１０参照）。
【０１１９】
材料種類データ取得部３１２は、検査基板６０ｂの材料種類データ３１２ａを取得すると、これに応答して、材料種類データ３１２ａを主格納部４００に出力して、主格納部４００の材料種類データ格納部４１２に格納する。
【０１２０】
また、層処理データ取得部３１４は、基板製造データ読出部２０４から検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板６０ｂの処理が施される層ごとに、層処理データ３１４ａを抽出する。これにより、層処理データ取得部３１４は、検査基板６０ｂの各層に施される層処理データ３１４ａを取得する。この実施の形態では、層処理データ取得部３１４は、例えば、表層処理の層処理データ３１４ａとして「ＳＲ」を取得し、中層処理の層処理データ３１４ａとして「Ｂ／Ｏ」を取得する（図１０参照）。
【０１２１】
層処理データ取得部３１４は、検査基板６０ｂの層処理データ３１４ａを取得すると、これに応答して、層処理データ３１４ａを主格納部４００に出力して、主格納部４００の層処理データ格納部４１４に格納する。
【０１２２】
また、材料厚データ取得部３１６は、基板製造データ読出部２０４から検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板６０ｂの層ごとに、材料厚データ３１６ａを抽出する。これにより、材料厚データ取得部３１６は、検査基板６０ｂの各層の材料厚データ３１６ａを取得する。この実施の形態では、材料厚データ取得部３１６は、例えば、コア材の材料厚データ３１６ａとして「１００μｍ」を取得し、プリプレグ材の材料厚データ３１６ａとして「１００μｍ」、レジスト材の材料厚データ「１０μｍ」を取得し、シルク材の材料厚データ３１６ａとして「５０μｍ」を取得し、メッキ材の材料厚データ３１６ａとして「１８μｍ」を取得する（図１０参照）。
【０１２３】
材料厚データ取得部３１６は、検査基板６０ｂの材料厚データ３１６ａを取得すると、これに応答して、材料厚データ３１６ａを主格納部４００に出力して、主格納部４００の材料厚データ格納部４１６に格納する。
【０１２４】
また、層構成データ取得部３１８は、基板製造データ読出部２０４から検査基板６０ｂの基板製造データ５４ａが入力されると、これに応答して、基板製造データ５４ａから、検査基板６０ｂの層ごとに、層構成データ３１８ａを抽出する。これにより、層構成データ取得部３１８は、検査基板６０ｂの各層の層構成データ３１８ａを取得する。この実施の形態では、層構成データ取得部３１８は、例えば、図１０に示されるような層構成データ３１８ａを取得する。
【０１２５】
層構成データ取得部３１８は、検査基板６０ｂの層構成データ３１８ａを取得すると、これに応答して、層構成データ３１８ａを主格納部４００に出力して、主格納部４００の層構成データ格納部４１８に格納する。
【０１２６】
次に、層画像データ展開部３２２は、層画像データ格納部４０２から、検査基板６０ｂの層ごとに、検査基板６０ｂの全ての層の層画像データ３０２ａを読み出し、読み出した層画像データ３０２ａのそれぞれを、白と黒の二値のイメージデータとして展開する。
【０１２７】
次に、色データ取得部３２４は、検査基板６０ｂの層ごとに、材料種類データ格納部４１２から材料種類データ取得部３１２によって取得された材料種類データ３１２ａを読み出すともに、層処理データ格納部４１４から層処理データ取得部３１４によって取得された層処理データ３１４ａを読み出し、さらに、色データベース４２２から、材料種類データ３１２ａのそれぞれに対応する色データ４２２ａおよび層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ４２２ａを読み出す。これにより、色データ取得部３２４は、検査基板６０ｂの層ごとに、材料種類データ３１２ａまたは層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ４２２ａを取得する。
【０１２８】
色データ取得部３２４は、材料種類データ３１２ａまたは層処理データ３１４ａのそれぞれに対応する色データ４２２ａを取得すると、これに応答して、各色データ４２２ａを主格納部４００に出力して、主格納部４００の色データ格納部４２４に格納する。
【０１２９】
次に、カラー層画像データ作成部３２６は、検査基板６０ｂの層ごとに、色データ格納部４２４から、色データ取得部３２４によって取得された各色データ４２２ａを読み出し、検査基板６０ｂの層ごとに、読み出した色データ４２２ａのそれぞれに対応する色を、層画像データ展開部３２２により展開された層画像データ３０２ａの白色領域（図５（Ａ）〜（Ｄ）参照）に合成する。これにより、カラー層画像データ作成部３２６は、検査基板６０ｂの各層のカラー層画像データ３２６ａを作成する。
【０１３０】
カラー層画像データ作成部３２６は、検査基板６０ｂの各層のカラー層画像データ３２６ａを作成すると、これに応答して、カラー層画像データ３２６ａのそれぞれを主格納部４００に出力して、主格納部４００のカラー層画像データ格納部４２６に格納する。
【０１３１】
次に、カラー積層画像データ作成部３３４は、検査基板６０ｂの層ごとに、層処理データ格納部４１４から層処理データ取得部３１４によって取得された層処理データ３１４ａを読み出し、材料厚データ格納部４１６から材料厚データ取得部３１６によって取得された材料厚データ３１６ａを読み出し、層構成データ格納部４１８から層構成データ取得部３１８によって取得された層構成データ３１８ａを読み出し、さらに、カラー層画像データ格納部４２６からカラー層画像データ作成部３２６によって作成された各層のカラー層画像データ３２６ａを読み出す。
【０１３２】
カラー積層画像データ作成部３３４は、検査基板６０ｂの層ごとに、層処理データ３１４ａと材料厚データ３１６ａと層構成データ３１８ａと各層のカラー層画像データ３２６ａとを読み出すと、これに応答して、検査基板６０ｂの構成に応じて、カラー層画像データ３２６ａを重ね合わせる。このとき、カラー積層画像データ作成部３３４は、層構成データ３１８ａが示す検査基板６０ｂの各層に対応するカラー層画像データ３２６ａと層処理データ３１４ａが示す処理が施された層に対応するカラー層画像データ３２６ａのそれぞれを層構成データ３１８ａが示す層の並びに配置し、カラー層画像データ３２６ａのそれぞれを材料厚データ３１６ａが示す各層の厚さの分だけ重ね合わせる。これにより、カラー積層画像データ作成部３３４は、カラー積層画像データ３３４ａ（図２参照）を作成する。
【０１３３】
カラー積層画像データ作成部３３４は、カラー積層画像データ３３４ａを作成すると、これに応答して、カラー積層画像データ３３４ａを、カラー表面画像データ作成部３３６に出力する。
【０１３４】
次に、カラー表面画像データ作成部３３６は、カラー積層画像データ作成部３３４からカラー積層画像データ３３４ａが入力されると、これに応答して、検査基板６０ｂの構成に応じて、カラー表面画像データ３３６ａ（図３参照）を作成する。
【０１３５】
このとき、カラー表面画像データ作成部３３６は、カラー積層画像データ３３４ａに基づいて、検査基板６０ｂの検査領域ごとに、色特徴データを演算する。なお、検査領域は、検査基板６０ｂの色パターンの輪郭で区切られた各内部領域である。例えば、図３に示すように、カラー表面画像データ３３６ａにおいて、積層構造の違いは、色パターンの色の違いとして現れる。この色の違いは、検査領域の違いを示している。また、色特徴データは、検査領域における赤色（Ｒ）の階調値、緑色（Ｇ）の階調値、および青色（Ｂ）の階調値を、それぞれ、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、およびＢ色特徴値として、抽出したデータである。なお、当然ながら、カラー表面画像データ３３６ａにおいて、同一の色は、同一の色特徴値となる。
【０１３６】
以下に、この色特徴データの演算について、詳述する。なお、ここでは、シルク層、コア層、および銅により構成された層は、光の透過率が予め定められた閾値よりも低い層（以下、単に「非透過層」と称する）であるものとして説明する。非透過層（ただし、最も外側のもの）よりも外側、すなわち、露出面側の層は、光の透過率が予め定められた閾値よりも高いため、各層が透けて見える。これに対して、非透過層（ただし、最も外側のもの）よりも内側、すなわち、コア側の層は、非透過層が透けないため、見えなくなる。
【０１３７】
色特徴データは、検査基板６０ｂの各層の重なりに対する色の組み合わせを演算することによって、求められる。この組み合わせは、以下のようになっている。
【０１３８】
すなわち、図９に示すように、例えば、視点を矢印９０ａに合わせて検査基板６０ｂの一方の主表面（図９に示す例では、上面）を見ると、シルク層７０ｂは非透過層であるため、シルク層７０ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ａに合わせて検査基板６０ｂの一方の主表面（図９に示す例では、上面）を見ると、シルク層７０ｂのみが見える。したがって、視点９０ａにおける色の組み合わせは、シルク層７０ｂの色のみとなる。
【０１３９】
また、例えば、視点を矢印９０ｂに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、銅によって構成された中層（処理層）７２ｂは非透過層であるため、中層（処理層）７２ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｂに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、レジスト層７１ｂを通して、中層（処理層）７２ｂが見える。したがって、視点９０ｂにおける色の組み合わせは、レジスト層７１ｂの色と中層（処理層）７２ｂの色となる。
【０１４０】
また、例えば、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、銅によって構成された中層（処理層）７５ｂは非透過層であるため、中層（処理層）７５ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、レジスト層７１ｂとプリプレグ層７４ｂを通して、中層（処理層）７５ｂが見える。したがって、視点９０ｃにおける色の組み合わせは、レジスト層７１ｂの色とプリプレグ層７４ｂの色と中層（処理層）７５ｂの色となる。
【０１４１】
また、例えば、視点を矢印９０ｄに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、銅によって構成された表層（処理層）７２ｂは非透過層であるため、表層（処理層）７２ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｄに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、表層（処理層）７２ｂのみが見える。したがって、視点９０ｄにおける色の組み合わせは、表層（処理層）７２ｂの色のみとなる。
【０１４２】
また、例えば、視点を矢印９０ｅに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、コア層７７ｂは非透過層であるため、コア層７７ｂから下の層は見えなくなる。そのため、視点を矢印９０ｅに合わせて検査基板６０ｂの上面を見ると、レジスト層７１ｂとプリプレグ層７４ｂを通して、コア層７７ｂが見える。したがって、視点９０ｅにおける色の組み合わせは、レジスト層の７１ｂの色とプリプレグ層７４ｂの色とコア層７７ｂの色となる。
【０１４３】
カラー表面画像データ作成部３３６は、以下の式１〜３を用いて、これらの色の組み合わせを表すデータを、検査基板６０ｂの各検査領域における色特徴データとして作成する。なお、以下の式１〜３は、視点の位置を任意の位置（例えば、ｐ番目の画素（以下、「ｐ画素目」と称する場合もある）とし、その任意の位置から検査基板６０ｂの一方の主表面を垂直に見た場合に見える、検査基板６０ｂのＲ色とＧ色とＢ色のそれぞれの階調値を、検査基板６０ｂの各検査領域における色特徴データとして算出するための式である。なお、視点の位置は、図９に示す検査基板６０ｂの左側の端部のＸ座標位置を０とする、Ｘ座標の値を表している。
【０１４４】
以下の式１〜３は、非透過層よりも外側の各層および非透過層のそれぞれの色が、層を構成する材料の種類、層処理、および材料の厚さによって変化することを考慮することにより、算出されている。以下の式１〜３は、それぞれ、主格納部４００の演算用データ格納部４３１に予め格納されている。以下の式１〜３は、それぞれ、主演算部３００（ここでは、カラー表面画像データ作成部３３６）によって、演算用データ格納部４３１から読み出されて、色特徴データの演算に用いられる。
【０１４５】
【数１】
2008008654.tif 000003
【０１４６】
ここで、Ｒ色特徴値は、ＲＧＢ成分における赤色（Ｒ色）の特徴値を示し、Ｇ色特徴値は、ＲＧＢ成分における緑色（Ｇ色）の特徴値を示し、Ｂ色特徴値は、ＲＧＢ成分における青色（Ｂ色）の特徴値を示している。
【０１４７】
また、上述の式１〜３における、層の重ね合わせ定数αｒｐｉ、αｇｐｉ、αｂｐｉ、層の厚さによる色の減衰定数βｒｐｉ、βｇｐｉ、βｂｐｉ、材料種類または層処理に応じたＲ色特徴値Ｒｐｉ、材料種類または層処理に応じたＧ色特徴値Ｇｐｉ、および、材料種類または層処理に応じたＢ色特徴値Ｂｐｉは、それぞれ、主格納部４００の演算用データ格納部４３１に予め格納されている。これらの値は、それぞれ、主演算部３００（ここでは、カラー表面画像データ作成部３３６）によって、演算用データ格納部４３１から読み出されて、色特徴データの演算に用いられる。
【０１４８】
上述の式１〜３は、任意の位置から検査基板６０ｂの一方の主表面を垂直に見た場合に、非透過層よりも外側の各層および非透過層のそれぞれのＲ色とＧ色とＢ色の階調値を、層ごとに、層の重ね合わせ定数、層の厚さによる色の減衰定数、および層の厚さを掛け合わせ、これによって得られる値を積算することを表している。
【０１４９】
上述の式１〜３は、例えば、視点を図９に示す矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂを見た場合に、レジスト層７１ｂとプリプレグ層７４を通して、中層（処理層）７５ｂが見えるため、以下の式４〜６となる。
【０１５０】
【数２】
2008008654.tif 000004
【０１５１】
ここで、Ｒ色特徴値（視点９０ｃ）は、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂを見た場合のＲ色の特徴値を示し、Ｇ色特徴値（視点９０ｃ）は、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂを見た場合のＧ色の特徴値を示し、Ｂ色特徴値（視点９０ｃ）は、視点を矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂを見た場合のＢ色の特徴値を示している。
【０１５２】
また、レジスト層７１ｂは上から第２番目の層であるので、レジスト層７１ｂはｉ＝２となり、プリプレグ層７４ｂは上から第５目の層であるので、プリプレグ層７４ｂはｉ＝５、中層（処理層）７５ｂは上から第６目の層であるので、中層（処理層）７５ｂはｉ＝６となっている（図２および図１０参照）。これらのデータは、主演算部３００（ここでは、カラー表面画像データ作成部３３６）によって、層構成データ３１８ａから抽出されて、色特徴データの演算に用いられる。
【０１５３】
また、レジスト層７１ｂの厚さＴｒｐ２、Ｔｇｐ２、Ｔｂｐ２は、それぞれ、１０（μｍ）となっている（図１０参照）。また、プリプレグ層７４ｂの厚さＴｒｐ５、Ｔｇｐ５、Ｔｂｐ５は、それぞれ、１００（μｍ）となっている（図１０参照）。また、中層（処理層）７５ｂの厚さＴｒｐ６、Ｔｇｐ６、Ｔｂｐ６は、それぞれ、実際には層の表面処理であるため、厚さは無いものの、予め定められた基準厚（ここでは、１０（μｍ））となっている。これらのデータは、主演算部３００（ここでは、カラー表面画像データ作成部３３６）によって、材料厚データ３１６ａから抽出されて、色特徴データの演算に用いられる。
【０１５４】
このように、カラー表面画像データ作成部３３６は、視点を図９に示す矢印９０ｃに合わせて検査基板６０ｂを見た場合に、上述の式１〜３に基づいて、上述の式４〜６を演算し、これによって、視点９０ｃにおける色特徴データとして、Ｒ色特徴値（視点９０ｃ）、Ｇ色特徴値（視点９０ｃ）、およびＢ色特徴値（視点９０ｃ）を算出する。
【０１５５】
カラー表面画像データ作成部３３６は、このような演算を、二次元座標系のＸ軸方向およびＹ軸方向の全画素に対して行い、これによって、検査基板６０ｂの全画素の色特徴データを算出する。
【０１５６】
すなわち、まず、カラー表面画像データ作成部３３６は、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａ（図３参照）に対して、Ｙ座標の値を初期値（例えば、０（単位：画素））とする、Ｘ軸と平行な線を設定し、設定したＸ軸と平行な線上に存在する、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの色パターンの各輪郭を順次抽出する。このとき抽出された色パターンの各輪郭で区切られたそれぞれの領域は、検査基板６０ｂの外観検査における各検査領域となる。
【０１５７】
カラー表面画像データ作成部３３６は、色パターンの各輪郭を順次抽出すると、これに応答して、各輪郭のＸ座標の値を検出する。この検出は、検査基板６０ｂの左側の端部を原点、すなわち、Ｘ座標の値を０とし、各輪郭が原点から何画素目に存在するのかを検出することによって、行われる。
【０１５８】
カラー表面画像データ作成部３３６は、色パターンの各輪郭のＸ座標の値を検出すると、これに応答して、検査基板６０ｂの外観検査における各検査領域、すなわち、色パターンの各輪郭で区切られたそれぞれの内部領域を特定する。
【０１５９】
カラー表面画像データ作成部３３６は、検査基板６０ｂの外観検査における各検査領域を特定すると、これに応答して、カラー積層画像データ３３４ａに基づいて、各検査領域における層の構成を特定する。すなわち、カラー表面画像データ作成部３３６は、例えば、図９に示す視点９０ａの位置における層の構成として、上から、シルク層７０ｂ、レジスト層７１ｂ、表層（処理層）７２ｂ、表層（銅メッキ層）７３ｂ、プリプレグ層７４ｂ、コア層７７ｂ、中層（銅メッキ層）７８ｂ、中層（処理層）７９ｂ、プリプレグ層８０ｂ、レジスト層８３ｂ、およびシルク層８４ｂからなる構成を特定する。同様に、カラー表面画像データ作成部３３６は、他の各検査領域における層の構成を、順次特定する。
【０１６０】
カラー表面画像データ作成部３３６は、検査基板６０ｂの各検査領域における層の構成を特定すると、これに応答して、演算用データ格納部４３１から上述の式１〜３、および式１〜３の演算に用いる各種のデータを読み出す。そして、カラー表面画像データ作成部３３６は、特定した検査基板６０ｂの各検査領域における層の構成に基づいて、Ｘ軸方向の全画素の色特徴データ、すなわち、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、およびＢ色特徴値を演算する。これにより、カラー表面画像データ作成部３３６は、Ｘ軸方向の全画素の色特徴データを算出する。
【０１６１】
カラー表面画像データ作成部３３６は、Ｘ軸方向の全画素の色特徴データを算出すると、これに応答して、算出したＸ軸方向の全画素の色特徴データを、Ｙ座標の値を初期値（例えば、０）とするＸ軸方向の全画素の色特徴データとして、演算用データ格納部４３１に格納する。
【０１６２】
カラー表面画像データ作成部３３６は、Ｙ座標の値を初期値とするＸ軸方向の全画素の色特徴データを演算用データ格納部４３１に格納すると、これに応答して、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａ（図３参照）に対して、Ｙ座標の値を初期値の次の値（例えば、１（単位：画素））とする、Ｘ軸と平行な線を設定し、設定したＸ軸と平行な線上に存在する、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの色パターンの各輪郭を順次抽出する。
【０１６３】
以下、カラー表面画像データ作成部３３６は、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの全画素に対して、同様の動作を、繰り返し行う。これにより、カラー表面画像データ作成部３３６は、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの全画素の色特徴データ、すなわち、Ｒ色特徴値、Ｇ色特徴値、およびＢ色特徴値を算出する。
【０１６４】
カラー表面画像データ作成部３３６は、検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの全画素の色特徴データを算出すると、これに応答して、カラー表面画像データ３３６ａと検査基板６０ｂの各検査領域を特定するデータと検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの全画素の色特徴データとを、検査領域データ作成部３３８に出力する。
【０１６５】
次に、検査領域データ作成部３３８は、カラー表面画像データ３３６ａと検査基板６０ｂの各検査領域を特定するデータと検査基板６０ｂのカラー表面画像データ３３６ａの全画素の色特徴データとが入力されると、これに応答して、検査基板６０ｂの各検査領域を特定するデータを外観検査装置７００によって利用される形式に変換して、各検査領域データ３３８ａを作成する。
【０１６６】
検査領域データ作成部３３８は、各検査領域データ３３８ａを作成すると、これに応答して、層処理データ３１４ａと材料厚データ３１６ａと層構成データ３１８ａとカラー層画像データ３２６ａとカラー積層画像データ３３４ａとカラー表面画像データ３３６ａと検査領域データ３３８ａを、基準基板データ３３２ａとして、主格納部４００に出力して、主格納部４００の基準基板データ格納部４３２に格納する。なお、このとき、検査領域データ作成部３３８は、任意の演算方法で、カラー表面画像データ作成部３３６で作成された色特徴データを検査領域データ３３８ａに合成して、その合成したデータを、基準基板データ３３２ａとして、主格納部４００に出力するようにしてもよい。
【０１６７】
以上の通り、この発明は、従来のように実際の基板に基づいて基準基板データを作成するのではなく、基板の設計過程で作成するＣＡＤデータと基板の製造過程で用いる基板製造データとを用いて基準基板データを擬似的に作成する。これにより、この発明によれば、（１）実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができるため、多量の基板を用意する作業を排除することができる、（２）実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができるため、用意した基板の中から多量の基準基板を選定する作業を排除することができる、（３）実際の基板を用いることなく基準基板データを作成することができるため、多量の基準基板のデータを収集する作業を排除することができる、（４）基準基板データ作成装置に検査領域データを自動的に作成させることができるため、オペレータによる検査領域データを逐次作成する作業を排除することができる、（５）基準基板データ作成装置に基板の外観検査装置への設定データ（例えば、検査パラメータや、検査領域データ、検査領域に対応する色データなど）の設定や調整を行わせることができるため、オペレータの手作業による基板の外観検査装置への設定データを設定する作業や調整する作業を排除することができる、などの効果を得ることができる。その結果、この基準基板データ作成装置によれば、外見検査装置へのティーチング作業の時間を大幅に短縮しつつ、外観検査装置に高精度な検査を行わせることができるという効果を得ることができる。
【０１６８】
この発明は、少品種の基板を大量に検査する場合でも有効であるが、特に、多品種の基板を少量ずつ検査する場合に有効である。そのため、少品種の基板を大量に製造する基板メーカだけでなく、多品種の基板を少量ずつ製造する基板メーカへの外観検査装置の普及を促すことができる。
【０１６９】
この発明は、上述の実施の形態に限定されることなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更や変形を行うことができる。
【０１７０】
例えば、上述の実施の形態では、基準基板データ作成装置１００は、基準基板データ作成プログラム１１０がコンピュータにインストールされることによって、実現されているが、上述の構成要素を物理的に有する専用装置として製造されることによって、実現されてもよい。
【０１７１】
また、上述の実施の形態では、データ格納手段５０は、基準基板データ作成装置１００の外部の構成要素（例えば、ＤＶＤやＣＤ−ＲＯＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ＵＳＢメモリなどの各種の記憶媒体や、外付けハードディスク装置などの各種の記憶装置）として、構成されている。しかしながら、データ格納手段５０は、基準基板データ作成装置１００の内部の構成要素（例えば、主格納部４００の一記憶領域）として、構成することもできる。
【０１７２】
また、上述の実施の形態では、図１０に示す基板製造データは、任意に変更することができる。例えば、レジスト材の種類が増えた場合や、材料メーカなどの新たなデータが追加になった場合に、基板製造データは、適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１７３】
【図１】基準基板データ作成装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】カラー積層画像データの一例を示す図である。
【図３】カラー表面画像データの一例を示す図である。
【図４】ＣＡＤデータから取得されるデータの説明図である。
【図５】図５（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ、層画像データが与える画像の一例を示す図である。
【図６】基板製造データから取得されるデータの説明図である。
【図７】基板製造データから取得されるデータの一例を示す図である。
【図８】色データベース作成装置の構成例を示すブロック図である。
【図９】検査基板の積層構造の一例を示す図である。
【図１０】検査基板の基板製造データの一例を示す図である。
【符号の説明】
【０１７４】
５０    …データ格納手段
５２    …ＣＡＤデータ格納手段
５２ａ    …ＣＡＤデータ
５４    …基板製造データ格納手段
５４ａ    …基板製造データ
１００    …基準基板データ作成装置
２００    …入力部
２０１    …データ読出部
２０２    …ＣＡＤデータ読出部
２０４    …基板製造データ読出部
２５０    …出力部
３００    …主演算部
３０２    …層画像データ取得部
３０２ａ    …層画像データ
３１２    …材料種類データ取得部
３１２ａ    …材料種類データ
３１４    …層処理データ取得部
３１４ａ    …層処理データ
３１６    …材料厚データ取得部
３１６ａ    …材料厚データ
３１８    …層構成データ取得部
３１８ａ    …層構成データ
３２２    …層画像データ展開部
３２４    …色データ取得部
３２６    …カラー層画像データ作成部
３２６ａ    …カラー層画像データ
３３２    …基準基板データ作成部
３３２ａ    …基準基板データ
３３４    …カラー積層画像データ作成部
３３４ａ    …カラー積層画像データ
３３６    …カラー表面画像データ作成部
３３６ａ    …カラー表面画像データ
３３８    …検査領域データ作成部
３３８ａ    …検査領域データ
４００    …主格納部
４０２    …層画像データ格納部
４１２    …材料種類データ格納部
４１４    …層処理データ格納部
４１６    …材料厚データ格納部
４１８    …層構成データ格納部
４２２    …色データベース
４２２ａ    …色データ（材料色データ、処理色データ）
４２４    …色データ格納部
４２６    …カラー層画像データ格納部
４３１    …演算用データ格納部
４３２    …基準基板データ格納部
５００    …色データベース作成装置
７００    …外観検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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