(57)【要約】【課題】塗布装置に取り付けたまま、分解、組み立てを容易にかつ正確に行うことのできるスリットノズルを備えた塗布装置を提供する。【解決手段】半体８の端面に側板１０を密接させるには、ベース１３をボルト１６によって半体８に固定する。ベース１３が半体８に固定されたならば、アーム１８の先端をフック１９に係止し、レバー１７を半体８側に押付けるように押し倒す。すると、アーム１８が図５において左側に移動し、側板１０が半体８の端面に押付けられ密着する。【選択図】 図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物表面に、所定幅で塗布液を塗布するためのスリットノズルを備えた塗布装置において、前記スリットノズルは、２つの半体のうちの一方の半体のマニホールドが形成された面と、他方の半体のフラットな面とを接面・一体化してなり、また前記２つの半体のうちの一方の半体の長手方向両端部にはマニホールド等からの塗布液の漏洩を防止するための側板が取り付けられ、この側板と他方の半体とはレバー操作によってロック状態となる錠にて固定されていることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記錠は互いの間隔を調整可能とした２つのベースと、一方のベースに揺動可能に取り付けられたレバーと、このレバーの揺動中心から偏心した位置に一端が回動自在に取り付けられたアームと、他方のベースに設けられるとともにアームの先端が係止するフックからなることを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体ウェーハなどの被処理物の表面に塗布液を塗布するスリットノズルを備えた塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にスリットノズルは２つの半体を接合して構成される。２つの半体を接合した場合、側面からの液漏れを防止するため側板をスリットノズル長手方向の両端部に取り付けることが考えられている。特許文献１〜３に示されるスリットノズルでは、ノズル本体の側面に直接側板を取り付けている。また、特許文献４，５に示されるスリットノズルでは、側板とノズル本体の側面との間にシール板またはパッキンを介在せしめている。
【０００３】
また、特許文献６にはノズル本体のマニホールドが開口する側面にポケット栓を嵌め込み、その外側に側板を取り付け、更にノズルの開口幅はフッ素樹脂製のスペーサ（シム）で調整することが開示されている。また、スリットノズルの両側端を側板で液密に閉じている。側板は樹脂などの撥水性の材料で構成されるか、側板の半体と接合される裏側面に撥水コーティングを施している。
【０００４】
さらに特許文献７に示されるスリットノズルにおいても、側板を撥水性の材料とするか、または、側板の少なくとも前記側面開口に臨む部分を撥水性の材料で被覆している。
【０００５】
【特許文献１】特許第３１０５１６１号公報
【特許文献２】特開２０００−３３３１２号公報
【特許文献３】特開２０００−７０８１７号公報
【特許文献４】特開２００２−８６０４５号公報
【特許文献５】特許第２９８１８７３号公報
【特許文献６】特開２００２−３６１１５０号公報
【特許文献７】特開２００５−１５２８８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１〜７に開示されたスリットノズルにあっては、側板を固定する際、塗布装置から取り外し、定盤の上にスリットノズルの先端を上向きに置いて正確に取り付けていた。しかし、被塗物である基板の大型化に伴いスリットノズル自体も大型化し、これを塗布装置の塗布部から取り外し、再度取り付ける作業が重量労働となるという問題が顕在化してきた。
【０００７】
また、従来にあっては、スリットノズルは左右の半体を定盤の上で合わせて塗布部に取り付けるが、その際にはおおよそのギャップ調整しかしておらず、実際はコーティングした結果に合わせてノズルのギャップを調整する。その際に側板のネジを緩めてノズルのギャップ調整用のネジを調整することになるが、塗布部に取り付けられたスリットノズルの両端部近傍には、スリットノズルを搬送する門型移動部材（ガントリ）のガントリの脚部が接近していて隙間が小さい。その結果、ネジを緩めるの困難となり、また、ネジをいくつも緩めいていると作業性が悪くなる。
【０００８】
本発明は、スリットノズルを構成する左右の半体の一方を横メンバやフレームに固定したまま、分解、組み立てを容易にかつ正確に行うことのできるスリットノズルを備えた塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決すべく、本発明の塗布装置は、スリットノズルを備え、このスリットノズルは２つの半体のうちの一方の半体のマニホールドが形成された面と、他方の半体のフラットな面とを接面・一体化して構成され、また前記２つの半体のうちの一方の半体の長手方向両端部にはマニホールド等からの塗布液の漏洩を防止するための側板が取り付けられ、この側板と他方の半体とはレバー操作によってロック状態となる錠にて固定される構成とした。
【００１０】
前記錠としては、例えば、互いの間隔を調整可能とした２つのベースと、一方のベースに揺動可能に取り付けられたレバーと、このレバーの揺動中心から偏心した位置に一端が回動自在に取り付けられたアームと、他方のベースに設けられるとともにアームの先端が係止するフックからなるものが考えられる。
【発明の効果】
【００１１】
スリットノズルの半体の一方と側板とを接合する際、位置決めピンを使用することにより、正確な接合を容易に行うことが可能である。また、他方の半体を側板と固定する際、スライドさせながら位置決めおよび固定が可能な錠を使用しているため、塗布装置に取り付けたままの状態であっても、ガントリの脚部が取り付けの障害となることなく、容易に側板を緩めスリットノズルのギャップ調整が可能となる。
【００１２】
また、簡易的なスリットノズルのメンテナンス等には、他方の半体だけを取外し、取付すればよいため、清掃が効率よく行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明の塗布装置の一例を示す側面図である。塗布装置１はスリットノズル２と、門型移動機構３が設けられ、この門型移動機構３は左右の脚部３ａとこれら左右の脚部３ａ間に昇降機構を介して架設される横メンバ３ｂからなり、この横メンバ３ｂにスリットノズル２が固定されている。
【００１４】
横メンバ３の上面には送液ポンプ４が備えられ、送液ポンプ４には図示しない塗布液タンクから塗布液が供給され、スリットノズル２に送液ポンプ４から塗布液を供給するようにしている。また、スリットノズル２の走行方向前面にはギャップセンサ５が取り付けられている。
【００１５】
前記塗布装置１は、被処理物上を右矢印方向に移動しながら塗布液を被処理物に供給する。あるいは、門型移動機構に懸架された塗布装置１を移動させず、被処理物を載置したベース６を移動させて塗布を行う方法もある。
【００１６】
図２は、本発明に係るスリットノズルの組み立て途中の状態を示す側面図であり、図３は、本発明に係るスリットノズルの組み立て後の状態を示す側面図である。スリットノズル２は、突合せ面にマニホールド８ａが形成された半体８と、突合せ面がフラットになった半体９および側板１０を備えている。
【００１７】
スリットノズル２を組み立てる場合には、定盤の上で左右の半体を合わせて組みつける。まず、フラット面を有するの半体９に側板１０を固定する。このとき、側板１０に立設された複数の位置決め用ピン１０ａを、半体９に穿設された位置決め孔（図示せず）に合わせておき、この状態でボルト１０ｂを締め付ける。ここまでの作業は定盤の上などで行う必要があるが、こうして固定された半体９と側板１０の組み物を一度塗布装置（横メンバ）に取り付けた後は、通常のスリットノズル２の清掃等のメンテナンス時にスリットノズル２全体を外す必要はなく、半体８のみを外せばよい。
【００１８】
次に、半体９と側板１０の組み物に半体８を取り付ける。半体８の取り付けは塗布装置に組み物を取り付けたままで行うことができる。すなわち、側板１０と組み合わされている半体９に半体８を合わせ、これを側板１０側に既に取り付けられている錠１１で固定する。
【００１９】
前記錠１１は、本実施例にあっては半体９側に取り付けられている。錠１１は２つのベース１２，１３を備え、ベース１２がボルト１４にて側板１０に固定され、このベース１２に対しネジ棒１５を介してベース１３が連結され、ネジ棒１５を回転することでベース１２，１３の間隔が調整可能とされている。
【００２０】
また、ベース１３には長孔１３ａが形成され、この長孔１３ａを介してボルト１６によって半体８の側面に形成したボルト取り付け孔に固定される。このベース１３にはレバー１７を揺動可能に取り付けられている。更にレバー１７の揺動支点から偏心した位置にアーム１８の一端が回転自在に取り付けられ、このアーム１８の先端部と係合するフック１９が前記ベース１３に形成されている。
【００２１】
以上において、横メンバ３ｂに半体９が取り付けられ、この半体９に側板１０が固定された状態からスリットノズル２を組み立てるには、錠１１に干渉しないように上方または下方から半体８を半体９に合せ、位置決めピンによって半体８と半体９とを正確に位置決めした後、ボルト２０によって半体８を半体９に固定する。
【００２２】
次いで、半体８の端面に側板１０を密接させるには、ベース１３をボルト１６によって半体８に固定する。尚、ベース１２，１３の間隔は予めネジ棒１５を廻して調整しておく。
【００２３】
ベース１３が半体８に固定されたならば、アーム１８の先端をフック１９に係止し、レバー１７を半体８側に押付けるように押し倒す。すると、アーム１８が図５において左側に移動し、側板１０が半体８の端面に押付けられ密着する。
【００２４】
ここで、図５に示すように、スリットノズル２の側板１０の近傍には門型移動機構３の脚部３ａが近接して存在する。したがって、半体８と半体９とを一体化した後に、ノズルの端面に側板１０を取り付けようとしても脚部３ａが邪魔になってしまう。しかしながら、上記構成とすれば、側板１０は半体８と半体９とを一体化した後に脚部３ａと干渉しない方向から、レバー１６を押し倒すだけで、側板１０を半体８の端面に密着せしめることができる。これによって、調整時間が短縮される。
【００２５】
このように一度塗布装置に取り付けた後は、スリットノズル２の清掃等のメンテナンス時であっても、スリットノズル２全体を塗布装置から取り外すことなく、半体８のみを取り外してメンテナンスを行うことが可能である。
【００２６】
また、図５に示すように、スリットノズル２の側板１０の近傍には門型移動機構３の脚部３ａが近接して存在する。したがって、半体８と半体９とを一体化した後に、ノズルギャップを調整する時に、端面の側板１０のボルト１０を緩めなければならず脚部３ａが邪魔になってしまう。しかしながら、上記構成とすれば、脚部３ａと干渉しない方向から、レバー１６を押し倒すだけで、半体８を緩めることができ、スリットノズルのギャップ調整時間が短縮される。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明の塗布装置は、ガラス基板や半導体ウェーハの表面に所定幅でホトレジスト液、ＳＯＧ液或いはカラーフィルター用の塗布液を塗布する装置に適用でき、スリットノズルのメンテナンスが容易であるため大型基板用として特に有用である
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係る塗布装置の一例を示す側面図
【図２】本発明に係るスリットノズルの組み立て途中を示す側面図
【図３】本発明に係るスリットノズルの組み立て後を示す側面図
【図４】本発明で使用する錠の一例を示す側面図
【図５】本発明に係るスリットノズルの一例を示す部分側面図
【符号の説明】
【００２９】
１…塗布装置、２…スリットノズル、３…門型移動機構、３ａ…脚部、３ｂ…横メンバ、４…送液ポンプ、５…ギャップセンサ、６…ベース、８、９…半体、８ａ…マニホールド、１０…側板、１０ａ…位置決め用ピン、１０ｂ…ビス、１１…錠、１２、１３…ベース、１２ａ…長孔、１４…ボルト、１５…ネジ棒、１６…ボルト、１７…レバー、１８…アーム、１９…フック、２０…ボルト。
【図１】
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【図２】
2008200661.tif 000004
【図３】
2008200661.tif 000005
【図４】
2008200661.tif 000006
【図５】
2008200661.tif 000007