(57)【要約】【課題】反射率の異なる部分を有する被測定物上の被測定面の高さを高速で測定することができる表面測定装置を提供する。【解決手段】共焦点光学系２を有した表面測定装置１であって、この共焦点光学系２の対物レンズ２７と結像レンズ２５との間に、この対物レンズ２７と同軸に設けた遮光板２６と、この対物レンズ２７と同軸に、被測定面６ａにレーザ光を照射するレーザ発振器２０と、前記対物レンズ２７を介して前記被測定面６ａの像の輝度を検出する光検出手段２１と、この共焦点光学系２の焦点面を被検物に垂直に相対移動させるピエゾ素子２５ａとを有することを特徴としている。【選択図】図２
2008261829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共焦点光学系を有した表面測定装置であって、この共焦点光学系の対物レンズと結像レンズとの間に、この対物レンズと同軸に遮光板を設けたことを特徴とする表面測定装置。
【請求項２】
共焦点光学系を有した表面測定装置であって、この共焦点光学系の対物レンズと結像レンズとの間に、この対物レンズと同軸に設けた遮光板と、この対物レンズと同軸に、被測定物に光を照射する光学手段と、前記対物レンズを介して前記被測定物の像の輝度を検出する光検出手段と、この共焦点光学系の焦点面を被検物に垂直に相対移動させる移動手段と、を有することを特徴と表面測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、共焦点光学系を有した被測定物の表面測定装置に関し、詳しくは、被測定面の下面に反射率の高い部分を有する被測定物の被測定面の高さを、高速で測定する表面測定装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】  従来、微小な被測定物の形状の測定には、共焦点顕微鏡等の形状測定装置が知られている。
この共焦点顕微鏡による微小な被測定物の形状は、共焦点顕微鏡の対物レンズの焦点面と試料との相対的な位置を光軸方向に変化させ、共焦点絞りを介して検出器に入射する被測定物を含む高さ方向の走査画像を取得・保存した後、その走査画像を順に読み出して輝度を検出し、その輝度が最大となる対物レンズと被測定物表面の相対位置から被検部位の高さを求めるものである。（特許文献１）
また、上記装置を用いて、反射率の異なる部分を有する被測定物上の被測定面の高さ測定する場合（例えば、反射率の高い金属面上に、反射率の低い透明膜（被測定物）がある場合等）では、前記光軸方向における前記輝度のピークが複数検出されるため、ソフト上の処理等を行って被測定面の輝度のピーク値を算出し、この部分の高さをもとめている。（特許文献２）
【特許文献１】特開２００６−３００３９号
【特許文献２】特開平０８−４３０１８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  ところが、前記被測定物の透明膜の厚みが厚い場合は、前記輝度のピークが複数検出されるが（図４ａ）、前記透明膜の厚みが薄い場合は、被測定物の表面からの反射光の輝度のピークと、被測定物の裏面からの反射光の輝度のピークが近接し、一つのピークとして観察されてしまう。（図４ｂ）。
その結果、前記裏面からの反射光の強度が、前記表面からの反射光の強度より高い場合は、この裏面からの反射光によって、この表面からの反射光の輝度が正確に測定できず、被測定面の高さ測定が困難となる場合があった。【０００４】  また、前記被測定物の表面からの反射光の輝度のピークと、被測定物の裏面からの反射光の輝度のピークが近接ししている場合は、測定用の光の波長をより短いものにするか、対物レンズの開口数を大きなものにすることによって、分離可能であるが、被測定物裏面からの反射光の輝度のピーク値が、被測定物の表面からの反射光の輝度のピーク値より大きいため、特許文献２のような処理が必要になり、処理が複雑になる問題がある。【０００５】  そこで、本発明は、上記問題点を鑑み、反射率の異なる部分を有する被測定物上の被測定面の高さを、高速で、簡単に測定することができる表面測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  上記目的を達成するために、本発明は以下の特徴を有している。
即ち、第１の本発明に係る表面測定装置は、共焦点光学系を有した表面測定装置であって、この共焦点光学系の対物レンズと結像レンズの間に、対物レンズと同軸に遮光板を設けたことを特徴としている。
また、第２の発明に係る表面測定装置は、共焦点光学系を有した表面測定装置であって、この共焦点光学系の対物レンズと結像レンズとの間に、この対物レンズと同軸に設けた遮光板と、この対物レンズと同軸に、被測定物に光を照射する光学手段と、前記対物レンズを介して前記被測定物の像の輝度を検出する光検出手段と、この共焦点光学系の焦点面を被検物に垂直に相対移動させる移動手段と、を有することを特徴と表面測定装置。
【発明の効果】
【０００７】  以上の構成によって、本発明は、以下のような優れた効果を有している。
請求項１または２に係る発明によれば、共焦点光学系の対物レンズと結像レンズの間に、対物レンズと同軸に遮光板を設けているため、対物レンズを経て、被測定物に対物レンズと同軸に照射される光の内、前記遮光板の外縁より内側の光は遮断され、前記被測定物には所定の入射角度以上の光が照射される。  このため、前記遮光板で遮光される光量だけ、前記被測定物からの反射光の輝度が低下するが、反射率の小さい被測定物の表面からの反射光の輝度低下量より、反射率の大きな被測定物の裏面からの反射光の輝度低下量の方が大きくなる。【０００８】  即ち、図７に示すように、被測定面６ａ及び金属膜６ｂで反射されるレーザ光の輝度は被測定面６ａ及び金属膜６ｂに対する、そのレーザ光の入射角度によって変化し、入射角度が小さい領域では、金属膜６ｂからの反射レーザ光の輝度が高く、入射角度の大きな領域では被測定面６ａからの反射レーザ光の輝度が高い。（入射角度が小さい領域では、金属膜６ｂからの反射光のエネルギーが高く、被測定面６ａからの反射レーザ光のエネルギーが低い。一方、入射角度の大きい領域では、金属膜６ｂからの反射レーザ光のエネルギーが低く、被測定面６ａからの反射レーザ光のエネルギーが高い。）
そこで、入射角度の小さい領域（例えば、図７の入射角度Φ以下）のレーザ光を遮断することによって、被測定面６ａからの反射レーザ光のエネルギーをあまり減少させず（図７のＢ）、金属膜６ｂからの反射レーザ光のエネルギーを大幅に減少させることができる（図７のＡ）。【０００９】  そのうえ、被測定物の表面からの反射レーザ光は、前記対物レンズによって捉えられるが、図３に示すごとく、被測定物の表面を透過して被測定物の裏面（金属膜）に達したレーザ光は、その裏面で反射され、再度、前記被測定物の表面に向かい、その一部が被測定物の表面の裏側で、再度裏面側に反射されるため、被測定物の裏面からの反射光の内、前記被測定物の表面を透過できたレーザ光が前記対物レンズで捉えられる。
その結果、前記対物レンズで捉えられる、前記被測定物の裏面からの反射光の輝度がさらに低下し、前記被測定物の表面からの反射レーザ光の輝度測定が容易に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】  以下、添付図面（図１〜８）に基づいて、本発明の一実施の形態に係る表面検査装置ついて説明する。図１は本発明の一実施の形態に係る表面測定装置１を示す概念図である。
この表面測定装置１は、共焦点光学系２を用いて被測定物（以下、「ワーク」という）６の被測定面６ａの高さを測定するもので、共焦点光学系２の他、観察光学系３と、フォーカス調整手段４と、制御手段５を備えている。
尚、ワーク６は、被測定面６ａ（反射率の低い透明膜）と、この透明膜の下側に位置し、この透明膜の反射率より高い反射率を有する金属膜６ｂとから構成されている（図３）。【００１１】  共焦点光学系２は、ワーク６を載置しＸＹ軸方向（Ｙ軸は図１の紙面に直角な方向）に移動させるためのＸＹステージ７の上方に設けられて、ＸＹステージ７に載置されたワーク６の被測定面６ａに対向して配置された対物レンズ２７と、対物レンズ２７の光軸と同軸に配置された結像レンズ２５と、対物レンズ２７と結像レンズ２５との間に、対物レンズ２７と同軸に配置された遮光板２６と、対物レンズ２７を介して被測定面６ａにレーザ光（波長４０８ｎｍ）を照射するためのレーザ発振器２０と、被測定面６ａから反射された前記レーザ光を検知する光検出器２１と、を備えると共に、レーザ発振器２０と結像レンズ２５との間に設けられ、レーザ発振器２０から放射されるレーザ光をワーク６の被測定面６ａ側に反射させる他、被測定面６ａの表面にレーザ光を走査させるためのレーザ走査手段２４を備えている。【００１２】  そして、レーザ発振器２０とレーザ走査手段２４との間には、レーザ発振器２０から放射される前記レーザ光をレーザ走査手段２４側に向けるためのハーフミラー２３が設けられており、レーザ発振器２０から放射された前記レーザ光は、ハーフミラー２３によってレーザ走査手段２４側に向けられてから、結像レンズ２５、遮光板２６、ハーフミラー２８、対物レンズ２７を経て、被測定面６ａに照射されるようになっている。
尚、ハーフミラー２８は、共焦点光学系２の光軸と後述する観察光学系３の光軸を分離するためのものである。【００１３】  また、ハーフミラー２３のレーザ走査手段２４と反対側の光軸上にコンデンサーレンズ２２と光検出器２１が設けられている。
光検出器２１は被測定面６ａから反射された前記レーザ光の輝度を検出するものであり、多数の受光素子を備えた二次元撮像手段である。
コンデンサーレンズ２２は、被測定面６ａからの反射レーザ光を前記光検出器２１の受光素子上に集光するものである。【００１４】  レーザ走査手段２４は、個々に傾動する複数のマイクロミラー２４ａを平面状に配列した反射面（例えば、特開２００６−２６６８２３の測定点選択手段４）を有しており、このマイクロミラー２４ａのサイズは、例えば、一辺が十数μｍの角型である。
そして、マイクロミラー２４ａは図６のごとく、作動時（以下、「ミラーＯＮの状態」という）に傾くようになっており、このミラーＯＮの状態でレーザ発振器２０から放射されたレーザ光が被測定面６ａの方向に反射される。一方、マイクロミラー２４ａが作動していない時（以下、「ミラーＯＦＦの状態」という）は図６の破線で示す状態になっており、このミラーＯＦＦの状態でレーザ発振器２０から放射されたレーザ光は、被測定面６ａの方向と異なる方向（図６の破線矢印で示される方向）に反射され、図示しないレーザ光吸収体により吸収されるようになっている。
尚、マイクロミラー２４ａの１つで反射されるレーザ光のサイズは、マイクロミラー２４ａの前記サイズ（十数μｍ角）と同程度のレーザ光である。
そして、レーザ走査手段２４の少なくとも１つ以上のマイクロミラー２４ａを作動させることによって、レーザ走査手段２４によって被測定面６ａ側に反射にされる前記レーザ光は、所定のサイズのレーザ光（以下、「レーザスポット光」という）となる。【００１５】  尚、後述の制御手段５によって、前記平面状に配列された複数のマイクロミラー２４ａの少なくとも１つ以上のマイクロミラー２４ａを順次ミラーＯＮ、ミラーＯＦＦの状態することにより、被測定面６ａ上を前記レーザスポット光で走査することができ、被測定面６ａのプロファイルの計測も行える。
そして、被測定面６ａに照射された前記レーザスポット光うち、対物レンズ２７の合焦点位置から反射されたレーザスポット光が、この合焦点位置と光学的に共役な関係にあるマイクロミラー２４ａ上に結像して、ハーフミラー２３側に反射されるため、前記マイクロミラー２４ａはピンホールとしての機能を有するものである。【００１６】  対物レンズ２７は、例えば、開口数（以下、「ＮＡ」という）０．９２、瞳径略７．６ｍｍのものである。そして、図２のごとく、対物レンズ２７と結像レンズ２５の間に、直径が数ｍｍ（上記瞳径より小さい）の遮光板２６が対物レンズ２７と同軸に配置されており、被測定面６ａに照射される前記レーザスポット光のうち、所定の入射角度Φ以下の前記レーザ光が遮光される。尚、この所定の入射角度Φ以下のレーザ光が遮光された前記レーザスポット光を以下、「限定レーザスポット光」という。【００１７】  図３に示すように、被測定面６ａに照射された、前記限定レーザスポット光は、被測定面６ａで一部が反射され、その余が前記透明膜を透過し、金属膜６ｂで反射される。
そして、金属膜６ｂで反射された前記限定レーザスポット光は被測定面６ａに向かい、一部が被測定面６ａと空気（表面測定装置１は大気中に設置され、対物レンズ２７とワーク６との間は大気である。）との境界面で再び金属膜６ｂ側に反射され、その余が被測定面６ａと空気との境界面を透過し、前記被測定面６ａで一部反射された前記限定レーザスポット光と共に、対物レンズ２７によって捉えられる。【００１８】  さらに、前記対物レンズ２７で捉えられた前記限定レーザスポット光のうち対物レンズ２７の合焦点位置から反射された前記限定レーザスポット光が、レーザ走査手段２４のマイクロミラー２４ａ（ピンホールとして機能する）に結像し、光検出器２１側に反射され、コンデンサーレンズ２２で光検出器２１受光素子に結像される。
即ち、前述のごとく、開口数の大きな対物レンズ２７を使用することによって、被測定面６ａから反射された前記限定レーザスポット光の輝度ピークと、金属膜６ｂから反射された前記限定レーザスポット光の輝度のピークとを分離することができ、遮光板２６を使用することによって、金属膜６ｂで反射された前記限定レーザスポット光の輝度の最大値（図５のＩ６ｂ）を、被測定面６ａで反射された前記限定レーザスポット光の輝度の最大値（図５のＩ６ａ）より小さくすることができる（図５）。【００１９】  また、結像レンズ２５にはピエゾ素子２５ａが取り付けられている。このピエゾ素子２５ａは、結像レンズ２５を対物レンズ２７の光軸方向にステップ移動または連続移動させることにより、共焦点光学系２の焦点面を対物レンズ２７の光軸と平行な軸方向（以下、「Ｚ軸方向」という）に移動させるものである。
前記ステップ移動または連続移動する移動量は、後述する制御装置内に設けられているピエゾ素子駆動回路（図示せず）からピエゾ素子２５ａに印加する電圧によって、調整できるようになっており、その印加電圧から、ピエゾ素子２５ａによる結像レンズ２５のＺ軸方向の移動量がわかるようになっている。【００２０】  観察光学系３は、白色光を照射する白色光源３２と、被測定面６ａの画像を撮像するＣＣＤカメラ３０とを備えている他、白色光を照射する白色光源３２からハーフミラー２８に至る光路上に配置されたハーフミラー３３、ハーフミラー３３とＣＣＤカメラ３０との間に配置されたコンデンサーレンズ３１とを備えている。
白色光源３２から被測定面６ａにいたる光路のうち、ハーフミラー２８、対物レンズ２７を経て被測定面６ａに至る光路は、共焦点光学系２の光路と共通している。
また、白色光源３２からの白色光は、共焦点光学系２によって、高さ測定を行う前に、後述のフォーカス調整手段４によって、ＣＣＤカメラ３０のフォーカスを被測定面６ａに合せる際等に用いられるものである。【００２１】  フォーカス調整手段４は、ベース４１と、ベース４１をＺ軸方向に移動可能にするベース移動装置４０（例えば、図示しない、走行ガイド、ステッピングモータ、駆動用スクリューとナット等で構成されている）を備えており、ベース４１には、共焦点光学系２及び観察光学系３が一体的に取り付けられている。
ベース移動装置４０の前記ステッピングモータを、後述する制御手段５で作動させることによって、ベース４１をＺ軸方向に移動させて、観察光学系３のＣＣＤカメラ３０のフォーカスを被測定面６ａ上に合せるものである。【００２２】  制御手段５は、演算制御装置５０と、メモリ５１と、表示器５２と、演算制御装置５０にデータ入出力等を行うコンピュータ（以下、「外部ＰＣ」という）５３と、を備えている。
そして、演算制御装置５０には、レーザ発振器２０と、光検出器２１と、レーザ走査手段２４と、ピエゾ素子２５ａと、白色光源３２と、ＣＣＤカメラ３０と、ベース移動装置４０が接続されている。
この演算制御装置５０は、レーザ走査手段２４の複数のマイクロミラー２４ａ群の中から所定のマイクロミラー２４ａを選択して作動させると共に、光検出器２１で検出された前記限定レーザスポット光の輝度及び前記ピエゾ素子２５ａへの印加電圧から最大輝度を示す結像レンズ２５のＺ軸方向の位置から基準面または被測定面６ａのＺ軸方向の位置データを求め、基準面のＺ軸方向の位置データ及び被測定面６ａのＺ軸方向の位置データから、被測定面６ａの高さを検出するものである。【００２３】  前記基準面または被測定面６ａの最大輝度は、前記基準面または被測定面６ａから反射される前記限定レーザスポット光の輝度を、結像レンズ２５をＺ軸方向に移動させる毎に、光検出器２１で検出し、この検出した輝度を夫々一つ前に検出されメモリ５１に記憶されている輝度と比較し、前記検出された輝度が前記記憶された輝度より高い場合は、前記記憶された輝度を更新し、前記検出された輝度が前記記憶された輝度より低い場合は、前記記憶された輝度は更新しないことにより、輝度の更新が行われなくなったときに、記憶されている輝度を、前記基準面のまたは被測定面６ａの最大輝度と定めることによりおこなうものである。【００２４】  演算制御装置５０は、外部ＰＣ５３から予め設定された作動パターンにしたがってレーザ走査手段２４のマイクロミラー２４ａ群のうち所定のマイクロミラー２４ａを選択して作動させるほか、外部ＰＣ５３から予め設定された結像レンズ２５の移動条件（ステップ送りの場合は、送り速度及び送り量を、連続送り場合は送り速度）にしたがって、ピエゾ素子２５ａを作動させるものである。さらに、白色光源３２のＯＮ−ＯＦＦを行う他、ベース移動装置４０を作動させて、ＣＣＤカメラ３０のフォーカスを被測定面６ａに合せると共に、ＣＣＤカメラ３０で撮像した被測定面６ａの画像を表示器５２に表示させるものである。【００２５】  次に前記構成の表面測定装置の動作について図８のフローチャートを参照して説明する。まず、ステップ１（Ｓ１）において、ベース４１および結像レンズ２５を、夫々のＺ軸方向の所定の位置にセットしてから、ＣＣＤカメラ３０を作動させて、観察光学系３の白色光源３２をＯＮし、ワーク６が載置された前記測定装置のＸＹステージ７の駆動手段を作動し、予め設定してある、ワーク６の基準面が対物レンズ２７の直下に位置するように移動させた後，ＣＣＤカメラ３０のフォーカスをワーク６の被測定面６ａに合わせてから、観察光学系３の白色光源３２をＯＦＦさせる。【００２６】  ステップ２（Ｓ２）において、共焦点光学系２の、レーザ発振器２０を作動させ、レーザ光を放射し、レーザ走査手段２４の所定のマイクロミラー２４ａを作動させて、前記基準面に対物レンズ２７を介して、前記限定レーザスポット光を照射する。
その後、ピエゾ素子２５ａを作動させることにより、結像レンズ２５をＺ軸方向に移動させながら、前記基準面から反射される限定レーザスポット光の輝度を光検出器２１で連続的に検出し、結像レンズ２５のＺ軸方向の位置毎の輝度データを、演算制御装置５０に入力する。【００２７】  この結像レンズ２５のＺ軸方向の位置毎の輝度を夫々一つ前に検出されメモリ５１に記憶されている輝度と比較し、前記検出された輝度が、前記記憶された輝度より高い場合は、前記記憶された輝度を更新し、前記検出された輝度、前記記憶された輝度より低い場合は、前記記憶された輝度は更新しないことにより、輝度の更新が行われなくなったときに、記憶されている輝度を最大輝度と定め、その最大輝度が検出された結像レンズ２５のＺ軸方向の位置データを、基準面のＺ軸方向の位置データとして、メモリ５１に記憶する。【００２８】  ステップ３（Ｓ３）において、その他のマイクロミラー２４ａを作動させて被測定面６ａに限定レーザスポット光を照射した後、ピエゾ素子２５ａを再度作動（Ｚ軸方向上向きに）させて、結像レンズ２５をＺ軸方向に移動させながら、被測定面６ａから反射される限定レーザスポット光の輝度を光検出器２１で連続的に検出し、結像レンズ２５のＺ軸方向の位置毎の輝度データを、演算制御装置５０に入力する。【００２９】  この結像レンズ２５の位置毎の輝度を夫々一つ前に検出されメモリ５１に記憶されている輝度と比較し、前記検出された輝度が、前記記憶された輝度より高い場合は、前記記憶された輝度を更新し、前記検出された輝度、前記記憶された輝度より低い場合は、前記記憶された輝度は更新しないことにより、輝度の更新が行われなくなったときに、記憶されている輝度を最大輝度と定め、その最大輝度が検出された結像レンズ２５のＺ軸方向の位置データを、被測定面６ａのＺ軸方向の位置データとして、メモリ５１に記憶する。【００３０】  ステップ４（Ｓ４）において、メモリ５１に記憶されている、前記基準面のＺ軸方向の位置データ及び前記被測定面６ａのＺ軸方向の位置データを演算制御装置５０に取り込み、両者の差を演算し、被測定面６ａの高さを検出し、外部ＰＣ５３に出力し、被測定面６ａの高さ測定を終了する。【００３１】  ステップ５（Ｓ５）において、その他の被測定面６ａがあれば、その被測定面６ａについて前記ステップ１〜４を繰り返し、その他の被測定面６ａがなければ、ワーク６の表面測定を終了する。【００３２】  尚、上述の実施の形態に係る表面測定装置１では、共焦点光学系２において、ＮＡ０．９２、瞳径略７．６ｍｍの対物レンズ２７、直径が数ｍｍ（対物レンズ２７の瞳径より小さい）の遮光板２６を使用しているが、対物レンズ２７及び遮光板２６の条件は、これに限らず、対物レンズ２７のＮＡは被測定面６ａから反射された限定レーザスポット光の輝度ピークと、金属膜６ｂから反射されたレーザスポット光の輝度のピークとを分離することができるものであればよく、また、遮光板２５のサイズは、金属膜６ｂで反射された前記レーザスポット光の輝度の最大値（図５のＩ６ｂ）を、被測定面６ａで反射されたレーザスポット光の輝度の最大値（図５のＩ６ａ）より小さくすることができるものであればよい。
さらに、図１において、遮光板２６がハーフミラー２８と結像レンズ２５との間に位置する場合について示しているが、遮光板２６を設ける位置は、対物レンズ２７と結像レンズ２５との間であればよく、例えば、図１のハーフミラー２８と対物レンズ２７との間に設けてもよい。【００３３】  尚、遮光板２６の径の対物レンズ２７の瞳径に対する比率を大きくすることによって、金属膜６ｂから反射される限定レーザスポット光の輝度をさらに低下させることが可能であるが、遮光板２６の径をあまり大きくすると、被測定面６ａから反射される限定レーザスポット光の輝度も低下し、高さ測定の精度が低下するため、遮光板２６の径の対物レンズ２７の瞳径に対する比率は、被測定面６ａから反射される限定レーザスポット光の輝度ピーク値を、あまり低下させず、且つ、金属膜６ｂから反射される限定レーザスポット光の輝度ピーク値が、被測定面６ａから反射される限定レーザスポット光の輝度ピーク値より低くなる比率にするのがよい。【００３４】  尚、本実施の形態に係る表面測定装置１では、対物レンズ２５のＺ軸方向の移動手段にピエゾ素子２５ａを用いているが、その他の移動手段、たとえば、走行用ガイドと、ステッピングモータと、ボールネジ及びナットから構成されるフォーカス調整手段４のベース移動装置４０のような移動手段を用いてもよい。
また、本実施の形態に係る表面測定装置１では、輝度測定にあたって、結像レンズ２５をＺ軸方向に移動させる方法を採用しているが、結像レンズ２５と対物レンズ２７のＺ軸方向の間隔を変化させず、共焦点光学系２が取り付けられているベース４１を被測定表面６ａに対し接近離間させる方法や、対物レンズ２７のみをＺ軸方向に上下させてもよい。
さらに、ステージ７をＺ軸方向に移動させることにより、被測定面６ａを対物レンズ２７に接近離間させるようにしてもよい。
さらに、また、レーザ走査手段２４には、ニポウディスクを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る表面測定装置の実施の形態を示す概念図である。
【図２】上記表面測定装置の遮光板によるレーザ光の作用を説明する説明図である。
【図３】ワークに対するレーザ光の入射と反射の関係を説明する説明図である。
【図４】透明膜と金属面から構成されるワークの輝度に関する説明図であって、（ａ）は透明膜が厚い場合の反射光の輝度を説明する概念図であり、（ｂ）は透明膜が薄い場合の輝度を説明する概念である。
【図５】遮光板の効果を説明する説明図であり、（ａ）は遮光板がない場合を示し、（ｂ）は遮光板がある場合を示している。
【図６】レーザ走査手段の作用を説明する概略図である。
【図７】被測定面及び金属膜に対するレーザ光の入射角度による、夫々の反射光の輝度変化を説明する概念図
【図８】本発明に係る表面測定装置の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００３６】  １    表面測定装置
２    共焦点光学系
３    観察光学系
４    フォーカス手段
５    制御手段
６    ワーク
２０    レーザ発振器
２１    光検出器
２４    レーザ走査手段
２５    結像レンズ
２５ａ  ピエゾ素子
２６    遮光板
２７    対物レンズ
３０    ＣＣＤカメラ
３２    白色光源
５０    演算制御装置
【図１】
2008261829.tif 000003
【図２】
2008261829.tif 000004
【図３】
2008261829.tif 000005
【図４】
2008261829.tif 000006
【図５】
2008261829.tif 000007
【図６】
2008261829.tif 000008
【図７】
2008261829.tif 000009
【図８】
2008261829.tif 000010