(57)【要約】【課題】本発明の課題は、製造装置のメンテナンス作業や清掃作業などの局所領域における非定常作業に容易に個別対応でき、かつ、浮遊塵埃および自重落下する生成物の両方を効率よく集塵できる可搬型局所集塵装置を提供することである。【解決手段】本発明の可搬型局所集塵装置１０は、床面上の任意位置に配置できるように搬送可能に構成され、かつ、作業者がその上に載って所定の作業ができる作業エリア面積と機械的強度とを有する作業台を兼ねる吸引チャンバとしてのハウジング１１と、ハウジング１１内に吸引した空気を排気する排気ホース１３およびその末端に接続された吸引ポンプ１４とを備え、ハウジング１１の上方の空気を床面方向に吸引する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面上の任意位置に配置できるように搬送可能に構成され、かつ、作業者がその上に載って所定の作業ができる作業エリア面積と機械的強度とを有する作業台を兼ねる吸引チャンバとしてのハウジングを備え、前記ハウジングの上方の空気を床面方向に吸引する可搬型局所集塵装置。
【請求項２】
可搬であり、作業者が上面に乗ることが可能なハウジングと前記ハウジングの上面に設けられた複数の吸引孔と前記ハウジングの側面または下面に設けられた排気口とを備えた可搬型局所集塵装置。
【請求項３】
前記ハウジングの上面部の全面に亘って、複数の吸引孔が設けられた請求項１または２に記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項４】
前記ハウジングの側面部に排気口が設けられた請求項１に記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項５】
前記排気口は、複数箇所に設けられた請求項２または４に記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項６】
作業エリアとなる前記ハウジングの上面部の面積は、所定の作業に必要な最小面積である請求項１から５のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項７】
前記ハウジングの上面部は矩形状であり、その面積は一辺が６０ｃｍ〜１２０ｃｍの矩形面積である請求項１から６のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項８】
前記ハウジングの高さ寸法は、１ｃｍ〜２０ｃｍの範囲である請求項１から７のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項９】
前記ハウジングは、２００ｋｇ以上の耐荷重性を有する請求項１から８のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１０】
前記ハウジングの外周縁に、裾広がりの傾斜面を有する段差解消用のスロープ部を備えた請求項１から９のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１１】
前記ハウジングは、前記ハウジングの機械的強度を保持するフレーム部と、
外壁となる上板部，側板部，底板部とを備えた請求項１から１０のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１２】
前記ハウジングは、上板部と底板部と、
前記ハウジングの内部空間に面する複数の通気孔を有する中空パイプからなる外壁を兼ねる外周フレーム部と、
前記内部空間をいくつかの空間に分割する、前記外周フレーム部と連通可能な中空パイプからなる仕切りフレーム部とを備えた請求項１から１０のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１３】
前記外周フレーム部に設けられた通気孔は、前記排気口に近い位置から遠い位置に向かって徐々に大口径となっている請求項１２に記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１４】
前記仕切りフレーム部は、前記ハウジングの内部空間に面する複数の通気孔を有する請求項１２または１３に記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１５】
前記仕切りフレーム部に設けられた通気孔は、前記排気口に近い位置から遠い位置に向かって徐々に大口径となっている請求項１４に記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１６】
前記ハウジング内部に、メッシュ板からなる補強部材がさらに配置された請求項１から１５のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１７】
前記ハウジングの上方空間を取り囲むような仕切りフードをさらに配置した請求項１から１６のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１８】
前記ハウジングの重量は、３５ｋｇ以内である請求項１から１７のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【請求項１９】
前記ハウジングはステンレス、アルミニウム、またはチタンからなる請求項１から１８のいずれかに記載の可搬型局所集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可搬型局所集塵装置に係り、例えば半導体デバイス等を製造するクリーンルームなどで利用できる可搬型局所集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場のクリーンルームでは、通常、半導体デバイスを製造する製造エリアと、エッチング装置等の半導体製造装置のメンテナンス作業や清掃作業を行うためのメンテナンスエリアとは、間仕切りによって仕切られており、製造エリアは高いクリーン度の管理がなされている。
【０００３】
図８に、クリーンルームの一例を示す。図８はダウンフロー方式のクリーンルームの構成図である。
【０００４】
図８において、１は製造エリア、２は半導体製造装置、３はメンテナンスエリア、４，５は間仕切り、６はファンフィルタユニットである。
【０００５】
製造エリア１とメンテナンスエリア３とは、間仕切り４，５によって仕切られ、それぞれの天井面にはファンフィルタユニット６が設置され、清浄な空気がダウンフロー方式（図中に、気流を白抜き矢印で示す）で供給されている。
【０００６】
ここで、製造エリア１は高いクリーン度が要求されるため、ファンフィルタユニット６がメンテナンスエリア３よりも多く設置されている。
【０００７】
また、半導体製造装置２は、メンテナンスエリア３から製造エリア１に跨って、間仕切り４を貫通して配置されている。
【０００８】
そして、このように配置された種々の半導体製造装置２は、装置毎にメンテナンスエリア３において定期的にメンテナンス作業や清掃作業が行なわれる（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−３０８９６４号公報  図３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ここで、個々の半導体製造装置２に対するメンテナンス作業や清掃作業は、半導体製造装置２の外装パネルを取り外して実施されるが、その際に、作業のため動き回るメンテナンス作業者から発生する浮遊塵埃が半導体製造装置２内部に侵入したり、また反対に、外装パネルなどに付着したプロセス処理で発生した生成物が半導体製造装置２側からメンテナンスエリア３の床面上に落下し、メンテナンスエリア３を汚染するおそれがあった。
【００１０】
このため、個々の半導体製造装置２に対するメンテナンス作業や清掃作業などの非定常作業に容易に個別対応でき、かつ、その作業エリアにとくに発生しやすい浮遊する塵埃や自重落下する生成物の両方を効率よく集塵できる可搬型局所集塵装置が望まれた。
【００１１】
本発明の課題は、製造装置のメンテナンス作業や清掃作業などの局所領域における非定常作業に容易に個別対応でき、かつ、浮遊塵埃および自重落下する生成物の両方を効率よく集塵できる可搬型局所集塵装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の可搬型局所集塵装置は、床面上の任意位置に配置できるように搬送可能に構成され、かつ、作業者がその上に載って所定の作業ができる作業エリア面積と機械的強度とを有する作業台を兼ねる吸引チャンバとしてのハウジングを備え、ハウジングの上方の空気を床面方向に吸引する可搬型局所集塵装置である。
【００１３】
また、本発明の可搬型局所集塵装置は、可搬であり、作業者が上面に乗ることが可能なハウジングとハウジングの上面に設けられた複数の吸引孔とハウジングの側面または下面に設けられた排気口とを備えた可搬型局所集塵装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の可搬型局所集塵装置によれば、床面上の任意位置に配置できるように搬送可能に構成され、かつ、作業者がその上に載って所定の作業ができる作業エリア面積と機械的強度とを有する作業台を兼ねる吸引チャンバとしてのハウジングを備え、ハウジングの上方の空気を床面方向に吸引するため、製造装置のメンテナンス作業や清掃作業などの局所領域における非定常作業に容易に個別対応でき、かつ、浮遊塵埃および自重落下する生成物の両方を効率よく集塵できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の第１実施例としての可搬型局所集塵装置を図１，図２に示す。図１（ａ）は可搬型局所集塵装置を図８で説明したメンテナンスエリアに配置した構成図である。図１（ｂ）は可搬型局所集塵装置の斜視図であり、図２は可搬型局所集塵装置の要部分解斜視図（吸引ポンプは省略）である。尚、図８と同一部分には同一符号を付す。
【００１６】
図１，図２において、１０は本発明の第１の実施例としての可搬型局所集塵装置、１１はハウジング、１１ａは上板部、１１ｂは吸引孔、１１ｃはフレーム部、１１ｄは側板部、１１ｅは底板部、１２は排気口、１３は排気ホース、１４は吸引ポンプである。
【００１７】
図１に示すように、可搬型局所集塵装置１０は、薄型箱状のハウジング１１と、その側面に設けられた排気口１２に一端を接続された排気ホース１３と、その排気ホース１３の末端に接続された吸引ポンプ１４とを備えている。
【００１８】
そして、吸引ポンプ１４の吸引力により、ハウジング１１の上方の空気を上板部１１ａに設けられた多数の吸引孔１１ｂからハウジング１１の内部空間に吸引し、その吸引した空気を排気ホース１３を通して外部の排気系に排出し処理できるようになっている。
【００１９】
また、可搬型局所集塵装置１０は、搬送可能に構成され、床面上の任意位置に自由に配置できるようになっており、半導体製造装置２のメンテナンス作業や清掃作業などの局所領域における非定常作業に容易に個別対応できる。
【００２０】
また、メンテナンス作業者がその上に載って半導体製造装置２の外装パネルを脱着したり、メンテナンス作業や清掃作業ができる作業エリア面積と機械的強度とを備えている。
【００２１】
即ち、ハウジング１１は作業台、兼、吸引チャンバの役目をしている。
【００２２】
詳細には、図２に示すように、ハウジング１１は、その機械的強度を保持するためのフレーム部１１ｃと、外壁となる上板部１１ａ，側板部１１ｄ，底板部１１ｅとで構成されている。尚、図中ではフレーム部１１ｃの形状を、外枠と、外枠に対して十字状に設けた内枠との組合せで示したが、内枠は格子状に複数の枠を設けてもよいし、対角線状にたすき掛けの枠を設けてもよい。
【００２３】
作業エリアとなる上板部１１ａには、多数の吸引孔１１ｂが全面に亘って均等配置して設けられており、その上方の空気を床面方向に吸引できるようになっている。
【００２４】
これにより、浮遊する塵埃だけでなく自重落下する生成物も効率よく集塵できる。また、上板部１１ａ上のどの位置に作業者が移動しても、つねに等しい集塵効果が得られる。
【００２５】
また、排気口１２は、側板部１１ｄの一箇所に設けられている。
【００２６】
ここで、上板部１１ａの面積を作業のために必要な最小面積としておくとハウジング１１がコンパクトで軽量となり搬送に好適である。
【００２７】
例えば、上板部１１ａを矩形状とし、その面積を一辺が６０ｃｍ〜１２０ｃｍの矩形面積とし、ハウジング１１の重量を３５ｋｇ以内にしておくと、２人での搬送が十分可能で望ましい。
【００２８】
また、作業者がその上に載って作業のために動き回っても安全性に問題ないようにハウジング１１の耐荷重性は２００ｋｇ以上としておく。
【００２９】
また、ハウジング１１の高さ寸法を５ｃｍ〜２０ｃｍ程度の範囲とすると内部空間が十分確保でき吸引チャンバとしての吸引性および通気性がよい。
【００３０】
次に、本発明の第２の実施例を図３を用いて説明する。図３は可搬型局所集塵装置の要部斜視図（吸引ポンプは省略）である。図１，２と同一部分には同一符号を付す。
【００３１】
図３に示すように、本発明の第２の実施例としての可搬型局所集塵装置２０は、平面形状が矩形のハウジング２１の各側板部１１ｄの４箇所に排気口１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが設けられており、それぞれに排気ホース１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが接続されている。
【００３２】
排気口１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ（４箇所）は、ハウジング２１に対して略均等位置に設けられ、ハウジング１１内の空気を均等排気できるようになっている。
【００３３】
尚、排気ホース１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄの末端は１つに統合して１個の吸引ポンプ（図示せず）に接続するようにしてもよいし、４個の吸引ポンプ（図示せず）を準備してそれぞれ接続するようにしてもよい。
【００３４】
次に、本発明の第３の実施例を図４を用いて説明する。図４は可搬型局所集塵装置の要部分解斜視図（吸引ポンプは省略）である。図１〜３と同一部分には同一符号を付す。
【００３５】
図４に示すように、本発明の第３の実施例としての可搬型局所集塵装置３０は、ハウジング３１が中空角パイプからなる外周フレーム部３２と、内部空間を４つの空間に分割する中空角パイプからなる仕切りフレーム部３３と、上板部１１ａと、底板部１１ｅとで構成されている。
【００３６】
外周フレーム部３２には、ハウジング３１の内部空間に面する複数の通気孔３４が設けられている。
【００３７】
また、外周フレーム部３２と仕切りフレーム部３３とはその連結部で互いに連通可能に構成されている。
【００３８】
また、外周フレーム部３２や仕切りフレーム部３３に設けられた通気孔３４は、排気口１２に近い位置から遠い位置に向かって徐々に大口径となっている。
【００３９】
このように、ハウジング３１の内部空間を多分割し、多数の通気孔３４から内部空気を分散吸引するようにしておくと、ハウジング３１内の空気を吸引孔１２に導入する際に、内部空間の隅々まで、よりバランスのよい吸引圧を生じせしめることができ、所謂、空気溜りが生じにくくなる。
【００４０】
また、それぞれの通気孔３４の口径は互いに同じでもよいが、排気口１２に近くを小さくし、離れるにしたがって大きくしておくとよい。
【００４１】
なぜならば、排気口１２の近くは排気の力が強く、離れるにしたがって弱くなるので、近くの口径を小さくして排気抵抗を小さくし、離れるにしたがって口径を大きくすると、場所に寄らず同じ力で排気できるのでバランスが良く均一に集塵することができる。
【００４２】
そして、その結果、ハウジング３１の高さ寸法を１ｃｍ〜５ｃｍ程度の薄型にすることができ作業性・安全性に優れる。
【００４３】
尚、図中では、通気孔３４は丸穴形状で示したが、長孔であってもよい。
【００４４】
次に、本発明の第４の実施例を図５を用いて説明する。図５は可搬型局所集塵装置の要部斜視図（吸引ポンプは省略）である。図１〜４と同一部分には同一符号を付す。
【００４５】
図５に示すように、本発明の第４の実施例としての可搬型局所集塵装置４０は、ハウジング４１の外周縁の一部に裾広がりの傾斜面を有する段差解消用のスロープ部４２を備えている。
【００４６】
このように、スロープ部４２を備えていると、作業者がハウジング４１上に上がったり降りたりする動作が容易となるとともに安全性が向上する。
【００４７】
次に、本発明の第５の実施例を図６を用いて説明する。図６は可搬型局所集塵装置の要部分解斜視図（吸引ポンプは省略）である。図１〜５と同一部分には同一符号を付す。
【００４８】
図６に示すように、本発明の第５の実施例としての可搬型局所集塵装置５０は、そのハウジング５１内に、ハウジング５１の機械的強度をさらに向上させるためのステンレス製のメッシュ板からなる補強部材５２が配置されている。尚、図中では補強部材５２を、外枠に対して対角線状にたすき掛けで設けた構成で示したが、外枠に対して十字状または格子状に設けてもよい。いずれの場合も、内部空間を均等分割するようにしておくと排気のバランスがよい。
【００４９】
このように、メッシュ板からなる補強部材５２を配置すると通気性を損なうことなくハウジング１１の機械的強度を向上できる。
【００５０】
尚、上記の実施例１〜５では、メンテナンスエリアがダウンフロー方式の場合で説明したが、この場合は、可搬型局所集塵装置の吸引気流と室内気流とが同方向（床面向き）となり、室内気流を乱すことがなく好適である。
【００５１】
これに対して、アップフロー方式の場合でも、床下からの気流は可搬型局所集塵装置の底板部に遮られ迂回してメンテナンスエリアに流れ込むため、直接、吸引気流とぶつかることが無く室内気流を大きく乱すことはないが、第６の実施例として、図７に示すように、可搬型局所集塵装置６０の周囲を取り囲むビニールカーテンなどからなる仕切りフード６１を配置併用すると、さらに安定した効率のよい吸引や集塵が可能となる。
【００５２】
また、上記の実施例１〜６では、吸引ポンプ１４で吸引する構成で説明したがとくに限定するものではなく、工場内に配設されている排気ダクト（図示せず）などに接続して吸引するようにしてもよい。
【００５３】
また、ハウジング１１，２１，３１，４１，５１の平面形状は、作業場所に適した形状にすればよく、矩形に限るものではない。
【００５４】
また、ハウジング１１，２１，３１，４１，５１を構成する材料としては、一定の機械的強度、耐久性を有し、発塵性の少ないステンレス、あるいは軽量化が図れるアルミニウムやチタンなどが望ましい。
【００５５】
また、ハウジング１１，２１，３１，４１，５１に搬送用の取っ手（図示せず）などを設けて搬送しやすいようにしてもよい。
【００５６】
また、上板部１１ａに多数の吸引孔１１ｂを設ける構成で説明したが、グレーチング板を用いてもよい。
【００５７】
また、実施例２では排気口１２ａ〜１２ｄを４箇所設けることで説明したが、とくにこれに限定せず２箇所以上であればよい。また、排気口はハウジングに脚などを取り付けてその下にスペースを設けることで底面部に設けることもできる。
【００５８】
また、実施例３では、ハウジング３１内部を４分割することで説明したが、とくにこれに限るわけではなく、２分割以上であれば相応の効果が得られる。
【００５９】
また、実施例４では、スロープ部４２を一方向の側面にだけ設けたが、さらに他の側面に設けてもよい。
【００６０】
また、組合せ可能なそれぞれの実施例同士を適宜、組合わせてもよいことは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明は、製造装置のメンテナンス作業や清掃作業などの局所領域における非定常作業に容易に個別対応でき、かつ、浮遊塵埃や自重落下する生成物の両方を効率よく集塵できる可搬型局所集塵装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の可搬型局所集塵装置をメンテナンスエリアに配置した構成図および可搬型局所集塵装置の斜視図
【図２】本発明の第１実施例としての可搬型局所集塵装置の要部分解斜視図（吸引ポンプは省略）
【図３】本発明の第２の実施例としての可搬型局所集塵装置の要部斜視図（吸引ポンプは省略）
【図４】本発明の第３の実施例としての可搬型局所集塵装置の要部分解斜視図（吸引ポンプは省略）
【図５】本発明の第４の実施例としての可搬型局所集塵装置の要部斜視図（吸引ポンプは省略）
【図６】本発明の第５の実施例としての可搬型局所集塵装置の要部分解斜視図（吸引ポンプは省略）
【図７】本発明の第６の実施例としての可搬型局所集塵装置の斜視図
【図８】クリーンルームの一例の構成図
【符号の説明】
【００６３】
１    製造エリア
２    半導体製造装置
３    メンテナンスエリア
４，５    間仕切り
６    ファンフィルタユニット
１０    本発明の第１の実施例としての可搬型局所集塵装置
１１，２１，３１，４１，５１    ハウジング
１１ａ    上板部
１１ｂ    吸引孔
１１ｃ    フレーム部
１１ｄ    側板部
１１ｅ    底板部
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ    排気口
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ    排気ホース
１４    吸引ポンプ
２０    本発明の第２の実施例としての可搬型局所集塵装置
３０    本発明の第３の実施例としての可搬型局所集塵装置
３２    外周フレーム部
３３    仕切りフレーム部
３４    通気孔
４０    本発明の第４の実施例としての可搬型局所集塵装置
４２    スロープ部
５０    本発明の第５の実施例としての可搬型局所集塵装置
５２    補強部材
６０    本発明の第６の実施例としての可搬型局所集塵装置
６１    仕切りフード
【図１】
2008275200.tif 000003
【図２】
2008275200.tif 000004
【図３】
2008275200.tif 000005
【図４】
2008275200.tif 000006
【図５】
2008275200.tif 000007
【図６】
2008275200.tif 000008
【図７】
2008275200.tif 000009
【図８】
2008275200.tif 000010