(57)【要約】【課題】基板搬送に要する時間を短縮化する。【解決手段】ウェハＷを搬送する基板搬送装置であるウェハ搬送装置３０は、回転軸３１を中心に３つの搬送アーム３２が放射状に延設されている。搬送アーム３２にはウェハＷを保持するハンド３３が設けられており、ハンド本体３５に貫通された孔３７を覆うように固定部３８が取り付けられている。搬送アーム３２を下降させて孔３７にピン４２を挿入させると、固定部３８がピン４２に押されてウェハＷから退避する。搬送アーム３２を上昇させると、ピン４２が抜けて固定部３８がウェハＷを位置決めして保持する。【選択図】図２
2008153353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を載せるハンドを備える搬送アームが回転軸の径方向に複数延設され、前記搬送アームのそれぞれを予め定められた受け渡し位置に順次移動させることで基板を搬送する基板搬送装置であって、
前記回転軸を中心にして前記搬送アームを回転させるときに基板に当接する固定部が前記ハンドに設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記固定部は、前記回転軸を中心にして前記搬送アームを回転させるときの遠心方向外側から基板に当接する位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記固定部は、前記回転軸を中心にして前記搬送アームを回転させるときの回転方向において基板に当接する位置に設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記固定部は、前記搬送アームの前記ハンドに基板を収容可能に形成された凹部であることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記固定部は、基板に当接可能な固定位置と、基板の保持を解除する解除位置との間で移動可能で、前記搬送アームの下降時に前記固定部を解除位置に移動させ、前記搬送アームの上昇時に前記固定部を固定位置に移動させる固定制御部を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記固定部は、前記ハンドにピンで回動自在に取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記固定部は、基板に近接、隔離するように基板の径方向にスライド自在に前記ハンドに取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記固定制御部は、受け渡し位置に固定され、前記固定部に下方から当接するピンであることを特徴とする請求項４から請求項７のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の基板搬送装置を備え、複数の受け渡し位置のいずれかに、目視による基板検査が可能な第一の検査部と、顕微鏡による基板検査が可能な第二の検査部とが連結されていることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転運動でウェハなどの基板を搬送する基板搬送装置、基板搬送装置を備える基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場などでウェハを搬送する際には、ウェハを保持する搬送アームが回転軸から３本延びるウェハ搬送装置を用いることがある。例えば、特許文献１に示すように、搬送アームは回転軸周りに１２０°の等間隔に配置され、その各々の先端にハンドが設けられている。ハンドは、ウェハを吸着保持する吸着孔が複数穿設されている。吸着孔は、電磁弁を介して吸引装置に接続されている。ウェハを搬送するときは、搬送アームを下げた位置で、ウェハを受け取る。ウェハがハンド上に位置決めして載置されたら、電磁弁を開いてウェハの裏面を真空吸着する。この後、搬送アームを上昇させてから、回転軸を回転させ、ウェハを検査する検査位置に搬送する。
【特許文献１】特開２００２−２７０６７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、真空吸着によるウェハの保持力には限界があるので、搬送中にウェハに生じる慣性の力や遠心力が大きくなると、ウェハが搬送中に位置ずれしてしまうことがあった。このため、ウェハ搬送装置の回転速度に制限が生じ、ウェハ搬送を高速化することが難しかった。また、真空引きに時間がかかるので、電磁弁を操作してから実際にウェハが吸着保持されるまでの間は、ウェハを搬送することができず、ウェハ搬送に要する時間を短縮することが難しかった。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、基板搬送に要する時間を短縮化することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決する本発明は、基板を載せるハンドを備える搬送アームが回転軸の径方向に複数延設され、前記搬送アームのそれぞれを予め定められた受け渡し位置に順次移動させることで基板を搬送する基板搬送装置であって、前記回転軸を中心にして前記搬送アームを回転させるときに基板に当接する固定部が前記ハンドに設けられていることを特徴とする基板搬送装置とした。
この基板搬送装置では、回転軸に対して搬送アームを回転させながら基板を搬送する際に、回転移動によって基板に外力が作用したときに、固定部が基板に当接して保持することで、基板の位置ずれが防止される。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、搬送アームを回転軸周りに回転させながら基板を搬送する場合に、回転によって基板に外力が作用しても、固定部が基板の移動を防止するので、位置ずれを防止できる。基板の位置ずれが防止されるので、基板搬送を高速化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１に基板搬送装置を含む基板検査装置の平面図を示す。基板検査装置１は、基板であるウェハＷの供給及び排出を行うローダ部２に、検査ステーションである検査部３が接続された構成を有する。基板は、半導体のウェハに限定されず、ガラスウェハでも良い。また、基板の外形は円形に限定されない。また、基板検査装置１は、検査部３のみで構成することもできる。
【０００７】
ローダ部２は、検査員Ｐが位置する正面側からみて左側に配置されており、ベース１１にウェハキャリア１２が交換可能に搭載される。ウェハキャリア１２は、複数のウェハＷを所定のピッチで収納可能になっている。さらに、ローダ部２には、ウェハＷを１枚ずつ取り扱うウェハ搬送ロボット１３が設けられている。ウェハ搬送ロボット１３は、例えば、３つの連結アーム１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃを連結させて構成され、連結アーム１４Ａ〜１４Ｃの伸縮や回転が可能な多関節型になっている。連結アーム１４Ａ〜１４Ｃの先端には、ハンド１５が取り付けられている。ハンド１５は、屈曲した外形を有し、ウェハＷの載置面に複数の吸着孔１６が形成されている。これら吸着孔１６は、不図示の吸引装置に接続されている。
【０００８】
また、ベース１１には、４つのアライメント用のセンサ１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃ，１７Ｄがウェハ搬送ロボット１３の軸１３Ａを囲むように、かつ検査対象となるウェハＷの半径に略等しい同心円上に配置されている。隣り合う２つのセンサ１７Ａ〜１７Ｄの間隔は、ウェハＷのノッチやオリエンテーションフラットの長さより大きい。センサ１７Ａ〜１７Ｄは、例えば、ＣＣＤやラインセンサが用いられている。ラインセンサを使用するときは、ライン方向がウェハＷのエッジに対して交差する方向、例えば、エッジの接線に対して略９０°の方向になるように配置される。
【０００９】
これらセンサ１７Ａ〜１７Ｄは、ウェハキャリア１２から検査部３までウェハ搬送ロボット１３がウェハＷを搬送する間に、ウェハＷの中心ずれ及び角度ずれを検査するために設けられている。ウェハＷの中心ずれは、ウェハＷのエッジから検出される。ウェハＷの角度ずれは、ノッチやオリエンテーションフラットの位置から検出できる。
なお、センサ１７Ａ〜１７Ｄをローダ部２のベース１１に設ける代わりに、ウェハ搬送ロボット１３の上方の梁等に設けたり、吊り下げたりしても良い。いずれの場合でも、ウェハＷに近接して配置すると共に、ウェハ搬送ロボット１３の各連結アーム１４Ａ〜１４Ｃに干渉しない配置にする。
【００１０】
検査部３は、ベース２１上にローダ部２に面して配置されたウェハ搬送装置３０と、ウェハ搬送装置３０に接続された第一の検査部であるマクロ検査部４０と、第二の検査部であるミクロ検査部５０とを備える。
ウェハ搬送装置３０は、回転軸３１を中心に３本の搬送アーム３２が放射状に延設された基板搬送装置である。各搬送アーム３２は、回転軸３１の周りに１２０度の等間隔に配置され、それぞれの先端にハンド３３が１つずつ設けられている。ウェハ搬送装置３０は、回転軸３１を中心に一定の方向、例えば、図１に矢印Ｄ１で示す方向に回転し、３つの搬送アーム３２のそれぞれが３つの受け渡し位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３のいずれかにポジショニングされるようになっている。なお、受け渡し位置Ｐ１は、ローダ部２のウェハ搬送ロボット１３との間でウェハＷを受け渡す位置である。受け渡し位置Ｐ１の中心位置は、検査部３の左側壁面と背面側壁面から等距離の位置になっている。さらに、受け渡し位置Ｐ１とウェハ搬送ロボット１３の軸１３Ａとの間隔がウェハ搬送ロボット１３の搬送ストローク範囲内になる位置である。受け渡し位置Ｐ２は、マクロ検査部４０との間でウェハＷを受け渡す位置である。受け渡し位置Ｐ３は、ミクロ検査部５０との間でウェハＷを受け渡す位置である。
【００１１】
図２に示すように、ハンド３３は、回転軸３１の径方向外側である搬送アーム３２の先端側から、円形の一部に切り欠き３４を形成したハンド本体３５を有する。切り欠き３４は、ハンド本体３５の中心部を越えて回転軸３１側に延びている。切り欠き３４の幅は、ウェハＷの外径より小さい。また、切り欠き３４を挟むように一対のスリット３６がハンド本体３５に形成されている。スリット３６は、切り欠き３４に達しない範囲で、ウェハＷの外径より内側に相当する位置まで延びている。
さらに、ハンド本体３５には、貫通孔３７が３つ形成されている。貫通孔３７は、回転軸３１に向かう位置と、この貫通孔３７からハンド本体３５の中心周りに１２０°ずれた位置に１つずつ形成されている。さらに、各貫通孔３７を上側から覆うように、固定部３８が配置されている。図２及び図３に示すように、固定部３８は、貫通孔３７より外周側においてピン３９でハンド本体３５に回動自在に取り付けられている。固定部３８は、ハンド本体３５に臨む下面の一部が切り欠かれた外形を有する。切り欠き４１の高さは、ウェハＷの厚さに略等しい。切り欠き４１によって形成される側壁４１Ａは、平面視で略円弧形状を有し、３つの固定部３８の側壁４１Ａは、ハンド本体３５を中心とする同一の円周上に配置される。この円周は、ウェハＷの外径に略等しいか、ウェハＷの位置ずれとして許容可能な範囲を加味した大きさである。
【００１２】
前記した３つの受け渡し位置Ｐ１〜Ｐ３のそれぞれには、固定制御部であるピン４２が３本ずつベース２１から立設されている。各ピン４２は、搬送アーム３２のハンド本体３５の貫通孔３７の形成位置に対応して配設されている。各ピン４２の外径は、貫通孔３７の径より小さい。このため、受け渡し位置Ｐ１〜Ｐ３で搬送アーム３２を下降させると、ピン４２が貫通孔３７内に進入する。
【００１３】
図１に示すように、受け渡し位置Ｐ２には、マクロ検査部４０が設けられている。マクロ検査部４０は、検査員Ｐが目視でウェハＷの表面や裏面を検査するような、いわゆるマクロ検査を行う部分である。マクロ検査部４０は、マクロ検査用揺動機構４５と、ウェハＷを上方から照明する不図示の照明装置とを有する。マクロ検査用揺動機構４５は、ウェハの外周を支持する略円弧形のハンド４６を有する。ハンド４６の両端部と、両端部の間の略中間位置のそれぞれは、支持片４６Ａが中心に向かって延びている。各支持片４６Ａには、ウェハＷの外周縁を吸着する吸着孔が形成されている。両端部の支持片４６Ａは、ハンド本体３５のスリット３６に挿入可能な位置に形成されている。中間位置の支持片４６Ａは、ハンド本体３５の切り欠き３４に挿入可能な位置に形成されている。
【００１４】
受け渡し位置Ｐ３では、ミクロ検査部５０との間でウェハＷの受け渡しが可能になっている。ミクロ検査部５０は、検査員Ｐが顕微鏡でウェハＷの表面を検査するような、いわゆるミクロ検査を行う部分である。ミクロ検査部５０は、架台上に設けられ、ウェハＷを３次元に移動可能、かつ回転制御可能なＸＹＺθステージ５１と、ＸＹＺθステージ５１上のウェハＷを検査する顕微鏡５２とを有する。顕微鏡５２の像は、ＣＣＤカメラ等によって撮像したり、接眼レンズ５４を通して観察したりできる。
【００１５】
検査部３の前面には、ローダ部２の動作、検査部３におけるミクロ検査及びマクロ検査を行う際に使用する操作部５６が設けられている。操作部５６の左側には、ミクロ検査時に顕微鏡５２を通して撮像されたウェハＷの拡大画像等を表示するモニタ５７が取り付けられている。
【００１６】
また、基板検査装置１を制御する制御装置６０は、ロボット受け渡し制御手段６１と、補正量演算手段６２と、アライメント実行手段６３と、搬送装置制御手段６４と、マクロ検査部制御手段６５と、ミクロ検査部制御手段６６とに機能分割できる。
ロボット受け渡し制御手段６１は、ウェハＷを検査部３に受け渡す際に、ウェハ搬送ロボット１３の回転中心とハンド１５上に吸着されているウェハＷの中心を一致させ、かつウェハ搬送ロボット１３を略９０°回転動作させる機能を有する。
補正量演算手段６２は、ウェハＷを検査部３に渡す際に、４つのセンサ１７Ａ〜１７Ｄが検出したウェハＷの位置情報に基づき、検査部３に対するウェハＷの中心ずれ及び角度ずれを演算し、アライメント補正量として求める機能を有する。
アライメント実行手段６３は、補正量演算手段６２が求めたアライメント補正量に従ってウェハ搬送ロボット１３の各連結アーム１４Ａ〜１４Ｃ及びハンド１５を動作させ、受け渡し位置Ｐ１におけるウェハＷの中心位置をアライメントする。さらに、マクロ検査部４０やミクロ検査部５０が有する回転機構を駆動させ、ウェハＷのノッチやオリエンテーションフラットの位置をアライメントする機能を有する。
搬送装置制御手段６４は、ウェハ搬送装置３０の回転軸３１の回転制御と、搬送アーム３２の昇降を制御する。
マクロ検査部制御手段６５は、マクロ検査用揺動機構４５の制御と、ウェハＷの吸着や吸着の解除を制御する。
ミクロ検査部制御手段６６は、ミクロ検査部５０のＸＹＺθステージ５１の制御と、顕微鏡５２がＣＣＤカメラを有する場合に、画像処理を実施する。
【００１７】
この基板検査装置１及びウェハ搬送装置３０の動作について説明する。
検査を実施するときは、検査対象となるウェハＷが収納されたウェハキャリア１２をローダ部２にセットする。操作部５６の操作によってロボット受け渡し制御手段６１が制御を実施し、ウェハ搬送ロボット１３が１枚のウェハＷを吸着保持して取り出す。ウェハ搬送ロボット１３が検査部３に向けて略９０°回転するときに、ローダ部２の４つのセンサ１７Ａ〜１７ＤがウェハＷの位置を検出し、補正量演算手段６２がアライメント補正量を演算する。
ウェハ搬送ロボット１３は、アライメント実行手段６３の指令に従って、ウェハの位置を補正しながら、受け渡し位置Ｐ１にウェハＷを載置する。
ここで、ウェハ搬送装置３０は、各搬送アーム３２が下降した位置で待機している。図４に示すように、ピン４２が貫通孔３７を貫通しており、固定部３８がピン４２で押し上げられている。このときの固定部３８は、ウェハＷ及びその上方から退避した解除位置にあり、ウェハＷを上方からハンド本体３５に載置することができる。
【００１８】
ウェハ搬送ロボット１３は、ウェハＷをハンド本体３５に載せたら、ウェハＷの吸着を解除した後に退避する。ウェハ搬送ロボット１３からウェハ搬送装置３０にウェハＷが移載されるので、搬送装置制御手段６４が搬送アーム３２をピン４２より高い位置まで上昇させる。ピン４２がハンド本体３５から抜けると、図３のように固定部３８がハンド本体３５上に倒れる。ウェハＷがハンド本体３５と固定部３８との間に挟まれ、かつ固定部３８の側壁４１ＡでウェハＷが位置決めして保持される。なお、このときの固定部３８の位置を固定位置とする。
この状態で、回転軸３１を回転させると、搬送アーム３２が移動して受け渡し位置Ｐ１から受け渡し位置Ｐ２にウェハＷが搬送される。回転軸３１を回転させたときに、ウェハＷに遠心力が作用するが、外周側の２つの固定部３８の側壁４１Ａに当接することで遠心方向の位置ずれが防止される。また、搬送アーム３２が加減速するときに回転方向の力がウェハＷに作用するが、ウェハＷが３つの固定部３８の側壁４１Ａに当接することで、回転方向の位置ずれが防止される。
【００１９】
受け渡し位置Ｐ２では、搬送アーム３２を下降させ、ピン４２で固定部３８を解除位置に押し上げる。ウェハＷの保持が解除されるので、マクロ検査部制御手段６５がマクロ検査用揺動機構４５の支持片４６Ａをハンド本体３５の切り欠き３４及びスリット３６に挿入させ、ウェハＷを吸着保持しつつ、下方から持ち上げさせる。搬送アーム３２の上方で照明装置を使って照明しながらマクロ検査を実施したら、再びウェハＷをウェハ搬送装置３０に受け渡す。搬送アーム３２を上昇させると、ピン４２が抜けて固定部３８が倒れて固定位置になり、ウェハＷが位置決め保持される。
【００２０】
同様にして、受け渡し位置Ｐ３まで搬送し、搬送アーム３２を下降させて固定部３８の位置決めを解除してからミクロ検査部５０に受け渡す。マクロ検査部制御手段６５がＸＹＺθステージ５１などを制御し、ミクロ検査を実施させる。ミクロ検査部５０における顕微鏡観察が終了したら、検査済みのウェハＷをハンド３３上に載せ、搬送アーム３２を上昇させる。固定部３８で位置決め保持しながら、ウェハＷを受け渡し位置Ｐ３まで搬送する。搬送アーム３２を下降させて固定部３８による位置決めを解除したら、検査済みのウェハＷをウェハ搬送ロボット１３で取り出す。このウェハＷは、ウェハキャリア１２の所定位置に収容される。
なお、この間の他の２つの搬送アーム３２がいずれかの受け渡し位置Ｐ１〜Ｐ３にいるので、各搬送アーム３２にウェハＷを１枚ずつ搭載させることで、多数のウェハＷを受け渡し位置Ｐ１〜Ｐ３に順次搬送できる。これによって、複数のウェハＷを連続して検査できる。
【００２１】
この実施の形態によれば、ウェハ搬送装置３０に機械的に開閉する手段を設けることで、ウェハＷを位置決めするようにしたので、回転軸３１周りにウェハＷを回転させながら搬送する際に、ウェハＷの位置ずれを防止できる。ウェハＷを高速に搬送できるようになるので、ウェハＷの搬送や検査に要する時間を短縮できる。
機械的に開閉する手段である固定部３８は、受け渡し位置Ｐ１〜Ｐ３に固定したピン４２で起倒させるようにしたので、簡単な構成でウェハＷの保持及び解放を制御できる。真空引きする場合に比べ高速にウェハＷの保持及び解放を切り替えられるので、ウェハＷの搬送や検査に要する時間を短縮できる。
【００２２】
図５及び図６に固定部の変形例を示す。固定部７１は、ハンド本体３５に横方向に移動自在に取り付けられている。固定部７１は、切り欠き４１によってウェハＷに当接可能な円弧状の側壁４１Ａが形成されると共に、固定制御部であるピン４２Ａを挿通可能なスリット７２が形成されている。この固定部７１は、不図示のバネなどの弾性部材でハンド本体３５の中心に向けて付勢されている。スリット７２は、固定部７１が最もハンド本体３５の中心に移動したときでも、平面視で貫通孔３７に一部が重なり、貫通孔３７より中心側に移動しない位置に形成されている。ベース２１側に固定されたピン４２Ａは、先端がハンド本体３５の中心に向けて斜めにカットされた楔状になっている。
搬送アーム３２を下降させると、ピン４２Ａがハンド本体３５の貫通孔３７から固定部７１のスリット７２に進入する。図７に示すように、固定部７１がピン４２Ａの傾斜面に押され、バネに抗して矢印方向に移動し、ウェハＷの径方向外側の解除位置まで退避する。この状態でウェハＷを載置したら、搬送アーム３２を上昇させる。ピン４２Ａが固定部７１から抜けると、バネの復元力で固定部７１がウェハＷに向けて移動し、ウェハＷの外周面に側壁４１Ａが当接する固定位置まで移動する。これによって、ウェハＷが位置決めして固定される。この変形例では、ピン４２Ａで固定部７１をスライド移動させ、ウェハＷに対して近接、離隔させるように構成したので、前記と同様の効果が得られる。
【００２３】
図８に示す固定部８１は、ハンド本体３５に固定されたピンからなる。固定部８１は、ハンド本体３５の中心側の面がウェハＷの外径に等しいか、誤差として許容可能な範囲だけ拡径させた円周上に配置されている。それぞれの固定部８１がウェハＷに当接することで、ウェハＷの遠心方向及び回転方向の位置ずれが防止される。なお、固定部８１の高さ方向において、ハンド本体３５から離れるにしたがって固定部８１を細径にすると、ウェハＷの受け渡しが容易になる。なお、この場合、ウェハＷの吸着保持を併用すると、さらにウェハＷを確実に保持することができる。
【００２４】
図９は、ハンド本体に固定部を設けた変形例を示す。ハンド本体３５には、ウェハＷを位置決め固定する固定部として、凹部８２がウェハＷの外径に略合わせて形成されている。ウェハＷを凹部８２に収めることでウェハＷの遠心方向及び回転方向の位置ずれが防止される。なお、この場合、ウェハＷの吸着保持を併用すると、さらにウェハＷを確実に保持することができる。
【００２５】
図１０にハンドの変形例を示す。ハンド８５は、搬送アーム３２のアーム部３２Ａから一対の細長の支持片８６が延びており、全体として略Ｕ字形になっている。アーム部３２Ａ及び支持片８６の先端のそれぞれに１つずつ貫通孔３７が形成されると共に、固定部３８が取り付けられている。このハンド８５でも前記と同様の効果が得られる。また、固定部３８の代わりに固定部７１を使用しても良い。固定部３８の代わりにピンからなる固定部８１や、凹部８２を用いても良い。
【００２６】
本発明は、前記の実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、貫通孔３７及び固定部３８，７１，８１の配置は、径方向外側に１つ設け、ここを基準にして周方向１２０°の配置間隔にするなど、種々の変更が可能である。
径方向外側に固定部３８，７１を使用し、径方向内側に固定部８１を使用しても良い。
ウェハ搬送装置３０の回転方向の位置ずれのみを防止する場合は、加速時にウェハＷに作用する力を受ける固定部３８，７１，８１を少なくとも１つ設け、減速時にウェハＷに作用する力を受ける固定部３８，７１，８１を少なくとも１つ設ければ良い。この場合、ウェハＷの吸着を併用する必要はない。
また、遠心方向の位置ずれのみを防止する場合は、径方向外側からウェハＷに当接する固定部３８，７１，８１を少なくとも１つ設ければ良い。
【００２７】
搬送アーム３２を昇降させる代わりに、固定制御部であるピン４２，４２Ａを昇降させても良い。また、固定制御部として、固定部３８，７１を電磁石等を用いて電動で開閉又はスライド移動させる機構を設けても良い。
ウェハ搬送装置３０は、処理装置等の基板検査装置１以外の装置に使用しても良い。また、搬送アーム３２の数は、１本や、２本、４本以上でも良い。各搬送アーム３２は回転方向に等間隔に配置されることが望ましい。
貫通孔３７をピン４２，４２Ａに平行に設ける代わりに、ピン４２，４２Ａに対して斜めに設けても良い。例えば、ウェハＷに平行な平面内で固定部３８，７１が回転して固定位置と解除位置との間で移動させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板搬送装置及び基板検査装置の構成を示す平面図である。
【図２】基板搬送装置を拡大して示す図である。
【図３】搬送アームを側方からみた図である。
【図４】図３の位置から搬送アームを下降させた図である。
【図５】固定部の変形例を示し、搬送アームを側方からみた図である。
【図６】固定部の平面図である。
【図７】図６の位置から搬送アームを下降させた図である。
【図８】固定部が固定式のピンである例を示す図である。
【図９】固定部がハンド本体に形成された凹部である例を示す図である。
【図１０】ハンドの変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      基板検査装置
３      検査部
３０      ウェハ搬送装置（基板搬送装置）
３１      回転軸
３２      搬送アーム
３３，８５      ハンド
３８，７１，８１      固定部
４０      マクロ検査部（第一の検査部）
５０      ミクロ検査部（第二の検査部）
４２、４２Ａ      ピン（固定制御部）
８２      凹部（固定部）
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３      受け渡し位置
Ｗ      ウェハ
【図１】
2008153353.tif 000003
【図２】
2008153353.tif 000004
【図３】
2008153353.tif 000005
【図４】
2008153353.tif 000006
【図５】
2008153353.tif 000007
【図６】
2008153353.tif 000008
【図７】
2008153353.tif 000009
【図８】
2008153353.tif 000010
【図９】
2008153353.tif 000011
【図１０】
2008153353.tif 000012