(57)【要約】【課題】プローブ１２Ａが機種等の相違により撮像画像１６Ａが変動した場合、変動後のプローブ１２Ａの撮像画像１６Ａを短時間で再登録することができる位置合わせ対象物の再登録方法を提供する。【解決手段】本発明の再登録方法は、例えば、前回登録された４本のプローブ１２に対応するマクロ１点目〜マクロ４点目の第１の画像情報の位置データに基づいて第１のＣＣＤカメラ１４を自動的に移動させ、このカメラ１４によってプローブ１２Ａの針先を低倍率でマクロ１点目〜マクロ４点目として撮像する工程と、第１の画像情報の撮像条件及び再登録時の撮像画像をそのまま再登録する工程と、第１の画像情報の位置データに基づいて第１のＣＣＤカメラ１４を自動的に移動させ、このカメラ１４によってプローブ１２Ａを高倍率でマイクロ１点目〜マイクロ４点目として撮像する工程と、前回登録された第２の画像情報の撮像条件及び再登録時の撮像画像をそのまま再登録する工程と、を備えている。【選択図】図２
2008078227.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって撮像されて登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つの画像情報を再登録する方法であって、上記画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を撮像する工程と、上記画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を備えたことを特徴とする位置合わせ対象物の再登録方法。
【請求項２】
撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって低倍率及び高倍率で撮像されてそれぞれ登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つずつの第１、第２の画像情報を再登録する方法であって、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を低倍率で撮像する工程と、上記第１の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を高倍率で撮像する工程と、上記第２の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を備えたことを特徴とする位置合わせ対象物の再登録方法。
【請求項３】
上記対象物の撮像画像及びこれに対応する登録画像を表示画面に一緒に表示することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の位置合わせ対象物の再登録方法。
【請求項４】
上記撮像画像及びこれに対応する上記登録画像それぞれに表示された位置合わせマークを目標に上記対象物または上記撮像手段を移動操作することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の位置合わせ対象物の再登録方法。
【請求項５】
上記対象物がプローブカードまたは被検査体であることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の位置合わせ対象物の再登録方法。
【請求項６】
撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって撮像されて登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つの画像情報を再登録するためのプログラムを記録した記録媒体であって、上記プログラムによってコンピュータを駆動させて、上記画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を撮像する工程と、上記画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を実行することを特徴とする記録媒体。
【請求項７】
撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって低倍率及び高倍率で撮像されてそれぞれ登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つずつの第１、第２の画像情報を再登録するためのプログラムを記録した記録媒体であって、上記プログラムによってコンピュータを駆動させて、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を低倍率で撮像する工程と、上記第１の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を高倍率で撮像する工程と、上記第２の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を実行することを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置合わせ対象物の再登録方法及びその方法を記録した記録媒体に関し、更に詳しくは、例えばウエハ等の被検査体とプローブとを電気的に接触させて被検査体の検査を行う前に被検査体の特定の検査用電極及びプローブを対象物として撮像手段で検出し、対象物を再登録する方法及びその方法を記録した記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハの半導体製造工程は種々の処理工程を備えている。各処理工程ではウエハを載置台上に載置し、載置台上でウエハに対してそれぞれの処理が施される。ウエハを処理する時には、処理に先立ってウエハを正確に位置決めするアライメント操作を行った後、所定の処理を実施することがある。
【０００３】
例えば、図５に示す検査装置を用いてウエハの検査を行う場合にも、ウエハの各デバイスの複数の検査用電極とこれらに対応するプローブとのアライメントを行った後、複数の検査用電極とこれらに対応するプローブとを電気的に接触させて検査を行う。この検査装置は、例えば図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、ウエハＷをロード、アンロードするローダ室１と、ウエハＷの電気的特性検査を行うプローバ室２とを備えている。ローダ室１は、カセットＣ内のウエハＷをプローバ室２へ搬送する搬送アーム３と、搬送アーム３によってウエハＷを搬送する間にウエハＷのプリアライメントを行うプリアライメント機構４とを備えている。プローバ室２は、プリアライメント後のウエハＷを載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置台５と、載置台５の上方に配置されたプローブカード６と、プローブカード６の複数のプローブ６Ａと載置台５上のウエハＷとのアライメントを行うアライメント機構７と、を備え、制御装置（図示せず）の制御下で駆動する。また、プローブカード６はヘッドプレート８の開口部に固定されている。ヘッドプレート８の上面にはテストヘッドＴが配置され、プローブカード６はヘッドプレート９を介してテスタ（図示せず）に電気的に接続されている。
【０００４】
而して、プリアライメント機構４は、ウエハＷを載置する回転可能な回転台４Ａと、ウエハＷの外周縁部に形成されたオリエンテーションフラット（オリフラ）またはノッチを光学的に検出する光学的検出手段（図示せず）と、を備え、ウエハＷを載置した回転台４Ａが回転する間に光学的検出手段でウエハＷのオリフラまたはノッチを検出することによって、ウエハＷを所定の向きにプリアライメントする。
【０００５】
また、アライメント機構７は、図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、プローブ７Ａを撮像するように載置台５の側方に取り付けられた第１のＣＣＤカメラ７Ａと、ウエハＷを撮像する第２のＣＣＤカメラ７Ｂと、第２のＣＣＤカメラ７Ｂを支持するアライメントブリッジ７Ｃと、アライメントブリッジ７Ｃをプローブセンタへ案内する左右一対のガイドレール７Ｄと、を備え、第１のＣＣＤカメラ７Ａでプローブ７Ａを撮像すると共に第２のＣＣＤカメラ７ＢでウエハＷの検査用電極を撮像し、それぞれの撮像位置データに基づいてプローブ６Ａと検査用電極とのアライメントを行う。
【０００６】
ところで、プローブ６ＡとウエハＷのアライメントに先立って、第１、第２のＣＣＤカメラ７Ａ、７Ｂを用いて所定のプローブ６Ａの針先及びウエハＷの検査用電極を検出して撮像し、その時の位置データ等を登録する作業がある。この登録作業は、プローブ６Ａ及びウエハＷを撮像し、例えば表示装置の表示画面９のマルチウインドウにそれぞれ表示された撮像画像と隣接する操作パネルとを用いて行われる。例えばプローブカード６の四隅のプローブ６Ａは、表示画面６の撮像画像と操作パネルを用いて、例えば図６に示す手順で登録される。そのためには、まず第１のＣＣＤカメラ７Ａによってプローブカード６を低倍率で撮像してプローブ６Ａの位置を検出した後、高倍率でそのプローブ６Ａの針先を撮像しアライメントに供する。
【０００７】
まず、制御装置の制御下で第１のＣＣＤカメラ７Ａがプローブセンタ（プローブカード６の中心）に位置するように載置台５を自動的に移動させて第１のＣＣＤカメラ７Ａでプローブカード６をプローブ６Ａ側から低倍率で撮像し、その画像を表示画面９に表示してプローブカード６全体を概観する。そして、表示画面９の撮像画像を見ながら操作パネルの操作により載置台５をプローブセンタから所定のプローブ６Ａへ移動させて第１のＣＣＤカメラ７Ａの焦点をプローブ６Ａの針先に合わせると共に第１のＣＣＤカメラ７Ａの視野及び照度（以下、「撮像条件」と称す。）を選択しその時の載置台５の位置データ及び撮像条件をマクロ１点目の第１の画像情報として登録する（ステップＳ１）。引き続き、操作パネルを操作して載置台５を同様に移動させて第１のＣＣＤカメラ７Ａの焦点をマクロ１点目のプローブ６Ａから別のプローブ６Ａの針先に合わせて撮像条件を選択しその時の載置台５の位置データ及び撮像条件をマクロ２点目の第１の画像情報として登録した後（ステップＳ２）、同様にして載置台５を介して第１のＣＣＤカメラ７Ａを更に別のプローブ６Ａへ移動させてその時の針先の位置データ及び撮像条件をマクロ３点目の第１の画像情報として登録し（ステップＳ３）、更に、別のプローブ６Ａの針先の位置データ及び撮像条件をマクロ４点目の第１の画像情報として登録する（ステップＳ４）。
【０００８】
上述のように低倍率で４本のプローブ６Ａをマクロ１点目〜マクロ４点目として撮像しそれぞれの第１の画像情報を登録し、第１のＣＣＤカメラ７Ａをアライメント時に用いられる高倍率に切り換えた後、マクロ１点目の位置データに基づいて載置台５を介して第１のＣＣＤカメラ７Ａを自動的に移動させ、第１のＣＣＤカメラ７Ａの焦点をマクロ１点目に対応するプローブ６Ａの針先を合わせ、マイクロ１点目としての撮像条件を選択し、この撮像条件を位置データと一緒にマイクロ１点目の第２の画像情報として登録する（ステップＳ５）。引き続き、マクロ２点目の位置データに基づいて載置台５を介して第１のＣＣＤカメラ７Ａを自動的に移動させ、第１のＣＣＤカメラ７Ａの焦点をマクロ２点目に対応するプローブ６Ａの針先を合わせ、マイクロ２点目としての撮像条件を選択し、この撮像条件を位置データと一緒にマイクロ２点目の第２の画像情報として登録した後（ステップＳ６）、同様にしてマクロ３点目へ載置台５を自動的に移動させて、そのプローブ６Ａをマイクロ３点目として第１のＣＣＤカメラ７Ａで撮像し、その時の撮像条件を選択し位置データと一緒にマイクロ３点目の第２の画像情報として登録し（ステップＳ７）、更に、マクロ４点目へ自動的に載置台５を移動させ、そのプローブ６Ａをマイクロ４点目として第１のＣＣＤカメラ７Ａで撮像し、その時の撮像条件を選択し位置データと一緒にマイクロ４点目の第２の画像情報として登録することで（ステップＳ８）、一連のプローブの登録作業を終了し、ウエハＷとのアライメントに供する。
【０００９】
また、ウエハＷについてもプローブ６Ａの場合と同一要領でウエハＷの複数箇所の位置データ及び撮像条件をそれぞれ登録する。然る後、プローブ６Ａ及びウエハＷの登録データを利用して、プローブ６ＡとウエハＷとをアライメントした後、ウエハＷをインデックス送りしてウエハＷに形成された複数のデバイスの電気的特性検査を行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、同一のウエハＷの電気的特性検査を繰り返し行っている間に、それまでのプローブカード６とは異なる機種のプローブカード６を使用することがあるが、この場合にはプローブカード６の仕様が実質的に同一であっても例えば機種によりプローブ６Ａの形態が異なり撮像画像が変動するため、変動後の撮像画像をコンピュータ上で認識できなくなり、切り換え後のプローブカード６を再登録する必要が生じる。また、プローブカード６が汚れた場合も再登録が必要になる。従来の方法で再登録するためには図６に示す登録作業を最初から全てやり直さなくてはならず、その再登録作業に多くの時間を割かざるを得なかった。このことは例えばウエハＷが実質的に同一の検査仕様であっても前処理に変更があった場合には、そのウエハＷについても再登録する必要があり、その再登録作業に多くに時間を割かざるを得なかった。
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、位置合わせ対象物が実質的に同一であって機種等の相違により撮像画像が変動した場合でも、変動後の対象物の撮像画像を短時間で再登録することができる位置合わせ対象物の再登録方法及びその方法を記録した記録媒体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の請求項１に記載の位置合わせ対象物の再登録方法は、撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって撮像されて登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つの画像情報を再登録する方法であって、上記画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を撮像する工程と、上記画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項２に記載の位置合わせ対象物の再登録方法は、撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって低倍率及び高倍率で撮像されてそれぞれ登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つずつの第１、第２の画像情報を再登録する方法であって、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を低倍率で撮像する工程と、上記第１の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を高倍率で撮像する工程と、上記第２の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項３に記載の位置合わせ対象物の再登録方法は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記対象物の撮像画像及びこれに対応する登録画像を表示画面に一緒に表示することを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項４に記載の位置合わせ対象物の再登録方法は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記撮像画像及びこれに対応する上記登録画像それぞれに表示された位置合わせマークを目標に上記対象物または上記撮像手段を移動操作することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項５に記載の位置合わせ対象物の再登録方法は、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、上記対象物がプローブカードまたは被検査体であることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項６に記載の記録媒体は、撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって撮像されて登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つの画像情報を再登録するためのプログラムを記録した記録媒体であって、上記プログラムによってコンピュータを駆動させて、上記画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を撮像する工程と、上記画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を実行することを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の請求項７に記載の記録媒体は、撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって低倍率及び高倍率で撮像されてそれぞれ登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つずつの第１、第２の画像情報を再登録するためのプログラムを記録した記録媒体であって、上記プログラムによってコンピュータを駆動させて、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を低倍率で撮像する工程と、上記第１の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、上記第１の画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を高倍率で撮像する工程と、上記第２の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を実行することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、位置合わせ対象物が実質的に同一であって機種等の相違により撮像画像が変動した場合でも、変動後の対象物の撮像画像を短時間で再登録することができる位置合わせ対象物の再登録方法及びその方法を記録した記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図１〜図４に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、各図中、図１は本発明方法の一実施形態を実施するために用いられる検査装置の構成を示すブロック図、図２は本発明方法の一実施形態の一つであるプローブの再登録作業を示すフローチャート、図３はアライメント時に発生するアシスト救済機能が表示された表示画面を示す図、図４は図３に示すアシスト救済機能を具備しないアライメント時に発生するアシスト機能が表示された表示画面を示す図である。
【００２１】
まず、本発明の位置合わせ対象物の再登録方法を記録した記録媒体を具備した検査装置について説明する。この検査装置１０は、例えば図１に示すように、被検査体であるウエハＷを載置する移動可能な載置台１１と、この載置台１１の上方に配置されたプローブカード１２と、このプローブカード１２の複数のプローブ１２Ａと載置台１１上のウエハＷとのアライメントを行うアライメント機構１３と、アライメント機構１３を構成する第１、第２の撮像手段（例えば、ＣＣＤカメラ）１４、１５と、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５によって撮像された画像を表示する表示画面１６を有する表示装置と、これらの構成機器を制御するコンピュータからなる制御装置１７と、を備え、制御装置１７の制御下で、アライメント機構１３によって載置台１１上のウエハＷとプローブカード１２の複数のプローブ１２Ａとのアライメントを行った後、複数のプローブ１２ＡとウエハＷとを電気的に接触させてウエハＷの電気的特性検査を行うように構成されている。
【００２２】
また、検査装置１０は、図１に示すようにキーボード等の入力部１８を備え、入力部１８によって種々の検査条件を入力することができ、表示画面１６上に表示されたメニュー１６Ａやアイコン（図示せず）を指定して種々のプログラム等を実装することができる。
【００２３】
載置台１１は、図１に示すように駆動機構１１Ａ及び検出器（例えば、エンコーダ）１１Ｂを備え、駆動機構１１Ａを介してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動すると共にエンコーダ１１Ｂを介して移動量を検出するように構成されている。駆動機構１１Ａは、載置台１１が配置されたＸＹテーブルを駆動する、例えばモータとボールねじを主体とする水平駆動機構（図示せず）と、載置台１１に内蔵された昇降駆動機構と、載置台１１をθ方向に回転させるθ駆動機構と、を備えている。エンコーダ１１Ｂは、モータの回転数を介してＸＹテーブルのＸ、Ｙ方向への移動距離をそれぞれ検出し、それぞれの検出信号を制御装置１７へ送信する。制御装置１７は、エンコーダ１１Ｂからの信号に基づいて駆動機構１１Ａを制御し、もって載置台１１のＸ、Ｙ方向への移動量を制御する。
【００２４】
アライメント機構１３は、上述のように第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５及びアライメントブリッジ１９を備えている。図１に示すように、第１のＣＣＤカメラ１４は載置台１１の側方に装着され、第２のＣＣＤカメラ１５はアライメントブリッジ１９に装着されている。第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５は、いずれも低倍率と高倍率の二つの倍率を備え、所定の倍率でプローブ１２ＡやウエハＷを撮像する。
【００２５】
第１のＣＣＤカメラ１４は、アライメントブリッジ１９がプローブ室内の背面に後退した後、プローブカード１２の下方で載置台１１がＸ、Ｙ方向へ移動する間に、プローブカード１２の下方から複数のプローブ１２Ａの針先を所定の倍率で撮像し、撮像信号を制御装置１７へ送信し、制御装置１７を介してプローブを表示画面１６上に表示する。また、第２のＣＣＤカメラ１５は、アライメントブリッジ１９を介してプローバ室の背面からプローブセンタまで進出してプローブカード１２と載置台１１との間に位置し、ここで載置台１１がＸ、Ｙ方向へ移動する間に、ウエハＷを上方から所定の倍率で撮像し、撮像信号を制御装置１７へ送信し、制御装置１７を介してそのウエハ画像を表示画面１６上に表示する。
【００２６】
制御装置１７は、中央演算処理部１７Ａと、本発明の位置合わせ対象物を再登録するためのプログラムを含む各種のプログラムが記憶されたプログラム記憶部１７Ｂと、種々のデータを記憶する記憶部１７Ｃと、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５からの撮像信号を画像処理する画像処理部１４Ａ、１５Ａと、これらの画像処理部１４Ａ、１５Ａからの画像信号を画像データとして記憶する画像記憶部１４Ｂ、１５Ｂと、これらの画像信号に基づいて表示画面１６に撮像画像等を表示するための表示制御部１４Ｃ、１５Ｃと、を備え、中央演算処理部１７Ａとプログラム記憶部１７Ｂ、記憶部１７Ｃとの間で信号を送受信して検査装置１０の各種の構成機器を制御する。
【００２７】
中央演算処理部１７Ａには入力部１８が接続され、入力部１８から入力された各種のデータ信号を中央演算処理部１７Ａで処理し、記憶部１７Ｃへ格納する。本実施形態ではプログラム記憶部１７Ｃに本発明の位置合わせ対象物の再登録方法を実行するためのプログラムが格納され、表示画面１６には撮像画像１６Ａ及び操作パネル１６Ｂ等が表示される。操作パネル１６Ｂは、後述するようにアライメントに先立って第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５を移動操作し、あるいはプローブカード１２の位置データ等の画像情報を登録する機能を有している。即ち、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５は、操作パネル１６Ｂの水平移動操作キーＫ１を押圧することでＸ、Ｙ方向へ移動すると共に、操作パネル１６Ｂの上下移動操作キーＫ２を押圧することでＺ方向へ移動するように構成されている。
【００２８】
また、中央演算処理部１７Ａには画像記憶部１４Ｂ、１５Ｂ及び表示制御部１４Ｃ、１５Ｃが接続され、第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５による撮像画像を中央演算処理部１７Ａ及び表示制御部１４Ｃ、１５Ｃを介して表示画面１６上にそれぞれ表示する。画像記憶部１４Ｂ、１５Ｂには第１、第２のＣＣＤカメラ１４、１５による現在の撮像画像以外に、過去の撮像画像や加工画像等を格納することができる。
【００２９】
本発明の位置合わせ対象物の再登録方法等のプログラムは、種々の記録媒体を介してプログラム記憶部１７Ｂに格納されている。また、これらのプログラムは、通信媒体によって各種の検査装置にダウンロードすることもできる。本実施形態では、プログラム記憶部１７Ｂに格納された位置合わせ対象物の再登録方法のプログラムを実行するようにしてある。
【００３０】
次いで、図２を参照しながら本発明の位置合わせ対象物の再登録方法の一実施形態について説明する。位置合わせ対象物の再登録作業は、例えば既に登録されているウエハＷ及びプローブカード１２が実質的に同一でそれぞれの撮像画像に変動が生じた場合に行われる。即ち、プローブカード１２が実質的に同一であっても、その機種によりプローブ１２Ａ等の形態が異なることがあり、形態が異なればその撮像画像が変動し、変動後の撮像画像をコンピュータ上で認識できなくなる。そのため、本発明の位置合わせ対象物の再登録方法を用いて、例えば予め登録されている位置データ及び撮像条件を含む登録画像情報を利用して変動後のプローブカード１２及び／またはウエハＷの撮像画像を短時間で再登録することができる。本実施形態ではプローブカード１２のプローブ１２Ａを再登録する方法について説明する。尚、本実施形態ではプローブ１２Ａ及びウエハＷが位置合わせ対象物となる。
【００３１】
まず、例えば水平移動操作キーＫ１と上下移動操作キーＫ２とを操作して表示画面１６上で位置合わせ対象物の再登録方法のプログラムを選択すると、制御装置１７を介してそのプログラムを図２に示すフローに従って実行する。即ち、図２に示すように、制御装置１７の制御下で図６に示すプローブ登録作業で登録された前回のマクロ１点目の第１の画像情報の位置データを利用してプローバ室内の第１のＣＣＤカメラ１４が載置台１１を介してマクロ１点目に自動的に移動すると共に、第１のＣＣＤカメラ１４が前回登録された第１の画像情報のマクロ１点目の撮像条件（視野及び照度）を自動的に反映してマクロ１点目に該当するプローブ１２Ａの針先を低倍率で撮像し、その撮像画像をマクロ１点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録する（ステップＳ１１）。この時、プローブカード１２の機種が異なっていてもプローブ１２Ａの針先の位置データは変わっていないため、前回の登録画像情報の位置データ及び撮像条件をそのまま利用することができる。このようにマクロ１点目に該当するプローブ１２Ａの針先を再登録する際に、新たに位置データや撮像条件を設定し直すことなく、前回のマクロ１点目の位置データ及び撮像条件を自動的にそのまま利用することができ、再登録作業を格段に短縮することができる。
【００３２】
次いで、図２に示すように制御装置１７の制御下で前回の第１の画像情報のマクロ２点目の位置データを利用して第１のＣＣＤカメラ１４が載置台１１を介してマクロ２点目に自動的に移動すると共に、第１のＣＣＤカメラ１４が前回の第１の画像情報のマクロ２点目の撮像条件（視野及び照度）を自動的に反映してマクロ２点目に該当するプローブ１２Ａの針先を低倍率で撮像し、その撮像画像をマクロ２点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録した後（ステップＳ１２）、第１のＣＣＤカメラ１４は載置台１１を介して前回の第１の画像情報のマクロ３点目の位置データを利用してマクロ３点目へ自動的に移動すると共に、前回の第１の画像情報の撮像条件でマクロ３点目に該当するプローブ１２Ａの針先を低倍率で撮像し、その撮像画像をマクロ３点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録する（ステップＳ１３）。更に第１のＣＣＤカメラ１４は載置台１１を介して前回の第１の画像情報のマクロ４点目の位置データを利用してマクロ４点目へ自動的に移動すると共に、前回の第１の画像情報の撮像条件でマクロ４点目に該当するプローブ１２Ａの針先を低倍率で撮像し、その撮像画像をマクロ４点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録する（ステップＳ１４）。
【００３３】
以上のように第１のＣＣＤカメラ１４によって低倍率でプローブカード１２の四隅のプローブ１２Ａの針先を再登録した後、これらのプローブ１２Ａの針先を第１のＣＣＤＤカメラ１４によって高倍率で以下のように再登録する。
【００３４】
図２に示すようにステップＳ１１で再登録したマクロ１点目の位置データを利用して第１のＣＣＤカメラ１４が載置台１１を介してマイクロ１点目に自動的に移動すると共に、第１のＣＣＤカメラ１４が前回の第２の画像情報のマイクロ１点目の撮像条件（視野及び照度）を自動的に反映してマイクロ１点目に該当するプローブ１２Ａの針先を高倍率で撮像し、その撮像画像をマイクロ１点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録する（ステップＳ１５）。ステップＳ１１で再登録された位置データ及び前回の第２の画像情報の撮像条件をそのまま利用することにより、新たに位置データや撮像条件を設定し直すことなく、マイクロ１点目の撮像画像を再登録することができ、その再登録作業を格段に短縮することができる。
【００３５】
次いで、ステップＳ１２で再登録したマクロ２点目の位置データを利用して第１のＣＣＤカメラ１４が載置台１１を介してマイクロ２点目に自動的に移動すると共に、第１のＣＣＤカメラ１４が前回の第２の画像情報のマイクロ２点目の撮像条件を自動的に反映してマイクロ２点目に該当するプローブ１２Ａの針先を高倍率で撮像し、その撮像画像をマイクロ２点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録した後（ステップＳ１６）、第１のＣＣＤカメラ１４は同様にステップＳ１３のマクロ３点目の位置データを利用してマイクロ３点目へ自動的に移動すると共に、前回の第２の画像情報の撮像条件でマイクロ３点目に該当するプローブ１２Ａの針先を高倍率で撮像し、その撮像画像をマイクロ３点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録する（ステップＳ１７）。更に第１のＣＣＤカメラ１４はステップＳ１４のマクロ４点目の位置データを利用してマイクロ４点目へ自動的に移動すると共に、前回の第２の画像情報の撮像条件でマクロ４点目に該当するプローブ１２Ａの針先を高倍率で撮像し、その撮像画像をマクロ４点目の登録画像として自動的に画像記憶部１４Ｂに登録し（ステップＳ１８）、一連の再登録作業を終了する。オペレータは、一連の再登録作業では第１のＣＣＤカメラ１４の動作を確認するだけで済み、短時間で再登録作業を終了することができる。
【００３６】
プローブカード１２の再登録を終了すると、このプローブカード１２とウエハＷとのアライメントを行った後、ウエハＷの電気的特性検査を行うことができる。アライメントはウエハＷ毎に行うことになる。アライメントを繰り返している間に例えばアライメント用のプローブ１２Ａが何等か原因で位置ズレすると、アライメントのアシスト機能が作動してアライメントを中断する。この場合、本実施形態ではアシスト救済機能が付加されていて、このアシスト救済機能を介して不具合を解消し、短時間でアライメントを続行することができるようになっている。
【００３７】
即ち、アシスト救済機能が作動すると、例えば図３に示すように表示画面１６には４つの画面が自動的に表示される。表示画面１６の左上の画面にアライメントマークＭが針先から位置ズレした不具合のあるプローブ１２Ａの撮像画像１６Ａが表示され、その右隣の画面に撮像画像１６Ａに対応する登録画像１６Ｃが表示される。この登録画像１６ＣではアライメントマークＭ’が所定の針先に位置している。また、登録画像１６Ｃの下側の画面に操作パネル１６Ｂが表示され、操作パネル１６Ｂの左隣に撮像画像１６Ａの不具合の現在の状態及び指示事項が文字情報１６Ｄで表示される。オペレータは、登録画像１６Ｃを見ながら文字情報１６Ｄの指示事項に従って操作パネル１６Ｂの水平移動操作キーＫ１を押圧操作して撮像画面１６Ａを移動させる。撮像画面１６Ａが登録画像１６Ｃと一致すると所定のプローブ１２Ａの不具合が解消するため、オペレータは、確定終了キーＫ３を押圧操作することによりアシスト救済機能を停止させる。これによりアシスト機能が自動的に解除されてアライメント動作に戻り、アライメントを正確に続行することができる。登録画像１６Ｃは、上述したプローブ登録時にプローブカード１２の四隅のプローブ１２Ａの針先を撮像して位置データ及び撮像条件と一緒に撮像画像１６Ａがその都度画像記憶部１４Ｂに登録されたものである。
【００３８】
これに対して上記アシスト救済機能を具備しない既存のアシスト機能の場合には、図４に示すようにアライメントマークＭが針先から位置ズレした撮像画像１６Ａ及び操作パネル１６Ｂが表示され、撮像画像１６Ａに対応する登録画像１６Ｃが表示されない。このように既存のアシスト機能が発生した場合、表示画面１６には撮像画像１６Ａしか表示されないため、オペレータは複数の針先のどの針先にアライメントマークＭを合わせてアシスト機能を解除すれは良いのか判らない。アシスト機能を解除するためには登録した位置を正確に覚えておくか、プローブの登録マニュアル等を参照しなくてはならず、アライメントに戻すために多くに時間を割かざるを得ない。また、アシスト機能を解除する際に、アライメントマークＭを本来の針先とは別の針先に合わせると、その後のアライメントを正確に行うことができず、検査不良を起こすことになる。
【００３９】
以上説明したように本実施形態によれば、例えば実質的に同一の仕様でプローブカード１２の機種のみが変更されて、変更後のプローブカード１２のプローブ１２Ａの針先を再登録する場合には、前回登録された第１の画像情報の位置データに基づいて第１のＣＣＤカメラ１４を自動的に移動させ、第１のＣＣＤカメラ１４によってプローブ１２Ａの針先を低倍率でマクロ１点目〜マクロ４点目としてそれぞれ撮像する工程と、マクロ１点目〜マクロ４点目それぞれの第１の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、マクロ１点目〜マクロ４点目をそれぞれ示す第１の画像情報の位置データに基づいて第１のＣＣＤカメラ１４を自動的に移動させ、第１のＣＣＤカメラ１４によってプローブ１２Ａの針先を高倍率でマイクロ１点目〜マイクロ４点目としてそれぞれ撮像する工程と、前回登録されたマイクロ１点目〜マイクロ４点目それぞれの第２の画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を備えているため、プローブカード１２が実質的に同一であって機種の相違やプローブ１２Ａの針先の汚れによりプローブ１２Ａの撮像画像が変動した場合でも、前回登録された第１、第２の画像情報の位置データ及び撮像条件をそのまま利用することができ、変動後のプローブ１２Ａの撮像画像を極めて短時間で再登録することができる。
【００４０】
また、本実施形態によれば、プローブ１２Ａの撮像画像１６Ａ及びこの撮像画像１６Ａに対応する登録画像１６Ｃを一緒に表示するようにしたため、現在の撮像画像１６Ａとこれに対応する登録画像１６Ｃとが同一であるか否かを表示画面１６上で確認することができる。
【００４１】
また、本実施形態によれば、プローブ１２Ａの撮像画像１６Ａ及びこれに対応する登録画像それぞれに表示されたアライメントマークＭ、Ｍ’を目標に第１のＣＣＤ１４を移動操作するようにしたため、ウエハＷとプローブ１２Ａのアライメント時にアシスト機能が発生すると、表示画面１６に表示された操作パネル１６Ｂの移動操作キーＫ１、Ｋ２を用いて第１のＣＣＤカメラ１４を移動させて撮像画面１６Ａを登録画像１６Ｃに短時間で一致させ、アライメント動作に迅速に復帰させることができる。
【００４２】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各種の処理装置に適用することができる。また、アライメント対象物はプローブ及びウエハに制限されるものではなく、ガラス基板等の種々のものに対しても適用することができる。また、上記実施形態では複数本のプローブ１２Ａの針先をそれぞれ異なる倍率で撮像し、それぞれの第１、第２の画像情報を再登録しているが、倍率を変えることなく再登録する方法でも良い。要は、撮像手段を用いて対象物の位置合わせを行うために、予め上記撮像手段によって撮像されて登録された上記対象物の位置データ及び撮像条件を含む少なくとも一つの画像情報を再登録する際に、上記画像情報の位置データに基づいて上記対象物または上記撮像手段を自動的に移動させ、上記撮像手段によって上記対象物を撮像する工程と、上記画像情報の撮像条件をそのまま利用して再登録する工程と、を備えた位置合わせ対象物の再登録方法であれば、本発明に包含される。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、半導体製造装置や検査装置において好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明方法の一実施形態を実施するために用いられる検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明方法の一実施形態の一つであるプローブの再登録作業を示すフローチャートである。
【図３】アライメント時に発生するアシスト救済機能が表示された表示画面を示す図である。
【図４】図３に示すアシスト救済機能を具備しないアライメント時に発生するアシスト機能が表示された表示画面を示す図である。
【図５】検査装置の一例を示す図で、（ａ）は正面の一部を破断して示す正面図、（ｂ）は検査装置の内部を示す平面図である。
【図６】プローブの登録作業を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
１２Ａ  プローブ（対象物）
１４    第１のＣＣＤカメラ（撮像手段）
１６    表示画面
１６Ａ  撮像画面
１６Ｂ  操作パネル
１６Ｃ  登録画像
Ｍ、Ｍ’アライメントマーク（位置合わせマーク）
Ｗ  ウエハ
【図１】
2008078227.tif 000003
【図２】
2008078227.tif 000004
【図３】
2008078227.tif 000005
【図４】
2008078227.tif 000006
【図５】
2008078227.tif 000007
【図６】
2008078227.tif 000008