(57)【要約】【課題】導電ペースト６を回路基板２５に形成する際、従来は、シリンジ内の液材をエアの加圧力によってマルチノズル本体から単に吐出しているため、その吐出量を厳密に制御できない。本発明は、導電ペースト６の吐出量を最適に制御することができる。【解決手段】本発明のマルチノズル装置は、筒状シリンダー２と、その内で往復移動するライナー４と、ライナー４の往移動方向における筒状シリンダー２先端側に突出形成され、前記ライナー４の復移動により導電ペースト６をその先端において吸引し、往移動により導電ペースト６を吐出する筒状の複数のノズル２０４と、前記ノズル２０４内に配置されてライナー４と連動し往復移動する棒状部材３００と、ライナー４を往復移動させる往復移動駆動装置４００と、を備えている。【選択図】図１
2008221053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液材を複数のノズル先端にて吸引し吐出するマルチノズル装置であって、
筒状のシリンダーと、
前記シリンダー内で往復移動し、前記シリンダー内の一方側内端側と他方側内端側とに各々当接し、上記当接により前記往復移動の往方向及び復方向の各々の停止位置が定まるライナーと、
前記シリンダーから前記往方向側に突出して筒状に形成された複数のノズルと、
前記ノズル内に配置され、前記ライナーと連動して前記往復移動することによって前記液材を前記ノズル内に吸引または吐出させる棒状部材と、
前記ライナーを前記往復移動させる往復移動駆動装置と、
を備えていることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたマルチノズル装置であって、
前記シリンダーにおける前記復方向側の端部には、前記ライナーの前記往復移動を行わせる流体の導入部および吸引部が前記シリンダーに連通して形成されていることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項３】
請求項１から請求項２のいずれかに記載されたマルチノズル装置であって、
前記往復移動駆動装置は、前記導入部に接続する流体供給装置と、前記吸引部に連通する流体吸引装置と、を備えていることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載されたマルチノズル装置であって、
前記ノズルの先端が液材保持装置に保持された液材の表面から離れる際に、ノズルの外周に付着した液材を拭い取る液材除去部材が、前記ノズルと前記液材の表面との間に配置されていることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載されたマルチノズル装置であって、
前記ノズルの先端位置を検出するノズル先端位置検出部と、前記ノズル先端位置検出部により前記ノズルの先端が前記液材内に侵入したことが検出された際は前記ライナーの前記復移動に伴って前記棒状部材が前記復移動し前記液材をノズル内に吸引するとともに、前記ノズル先端位置検出部により前記ノズルの先端が前記液材の表面から離れたことが検出された後に前記ライナーによる前記往移動に伴って前記棒状部材が前記往移動して前記液材をノズル外に吐出するような動作を制御する制御装置とを備えていることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載されたマルチノズル装置であって、
前記シリンダーにおける前記往復移動方向の前記復方向側には前記ライナーの復路での停止位置を調整する復路位置調整部と、前記シリンダーにおける前記往方向側には前記ライナーの往路側の停止位置を調整する往路位置調整部との少なくとも一方が配置されていることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載されたマルチノズル装置であって、
前記液材は、液状の導電性接着樹脂であって、前記ノズルから突出された前記導電性接着樹脂が、回路基板等の電子部材に塗布されることを特徴とするマルチノズル装置。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれかに記載されたマルチノズル装置であって、
前記液材は、封止樹脂であって、前記ノズルから突出された前記封止樹脂が、回路基板等に配置された電子光学装置に塗布されることを特徴とするマルチノズル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品同士を接合するための液状導電性接着材、半導体装置や光学的電子部品を樹脂封止するための液状封止材等の液材を複数個所に吐出させるノズルを複数個備えたマルチノズル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品同士を接合するための液状導電性接着材、半導体装置や光学的電子部品を樹脂封止するための液状封止材等の液材を複数個所に塗布・配置する方法としては、転写方式やスクリーン印刷方式が用いられてきた。
上記転写方式は、基板上に予め前記液材を複数の所定位置に配置しておきその液材を転写板に転写させてから該当部品上に転写するものである。またスクリーン印刷方式は、網目状のスクリーンの複数所定位置に液材を透過させて該当部品上に液材を塗布するものである。
【０００３】
一方、液状封止材等の液材を複数個所へ吐出させるノズルを複数個備えたマルチノズルを備えた液体定量吐出装置が、特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示された液体定量吐出装置１００は、液材が貯蔵されているシリンジ１０２と、加圧エア供給装置（ディスペンサ）１０４と、それらを連通させるチューブ１０６と、シリンジ１０２内の液材がエアの加圧力によって吐出させシリンジ下端に装着されたマルチノズル本体１０８と、を有している。
【特許文献１】特開２００４−２５１２１号公報（特許請求の範囲、図１等参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記転写方式やスクリーン印刷方式は、多数箇所に液材を塗布しやすいが、液材の形成量をコントロールしにくいという課題を有する。さらに、上記転写方式やスクリーン印刷方式は、液材を配置する対象部材が平面である場合に限られる。
また、特許文献１の液体定量吐出装置１００は、シリンジ１０２内の液材がエアの加圧力によってマルチノズル本体１０８から吐出されるため、その吐出量を厳密に制御することができない。すなわち、その吐出量は、エアの供給圧力、供給時間等により定まるものであるが、それらエアの供給圧力、供給時間は、バラツキやすいものである。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みて、上記液材を複数個所に吐出するにあたり、その吐出量を最適に制御することができるようにすることを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明実施態様１のマルチノズル装置は、液材を複数のノズル先端にて吸引し吐出するマルチノズル装置であって、筒状のシリンダーと、前記シリンダー内で往復移動し、前記シリンダー内の一方側内端側と他方側内端側とに各々当接し、上記当接により前記往復移動の往方向及び復方向の各々の停止位置が定まるライナーと、前記シリンダーから前記往方向側に突出して筒状に形成された複数のノズルと、前記ノズル内に配置され、前記ライナーと連動して前記往復移動することによって前記液材を前記ノズル内に吸引または吐出させる棒状部材と、前記ライナーを前記往復移動させる往復移動駆動装置と、を備えていることを特徴とする。
【０００７】
上記本発明実施態様１の構成によれば、前記ライナーは筒状のシリンダー内を往復移動するものであるために、その往復移動の位置は管理しやすくなる。すなわちライナーは、前記往復移動方向の一方側、つまり復路側では、筒状シリンダーの後内壁側にライナーの後壁を度当りさせる等により後退側の位置が定まり、前記往復移動方向の他方側、つまり往路側では、筒状シリンダーの前内壁側にライナーの前壁を度当させる等により進行側の位置が定まりやすくなる。したがって、前述のライナーに連動する前記棒状部材も、前記往復移動方向の各々の位置が定まりやすくなる。この場合、前記往復移動方向に移動する前記棒状部材をその内部に収納するノズルは、移動しないものである。よって、前記棒状部材は、ノズルに対して、前記往復移動方向において、前記往方向側の先端位置と、前記復方向側の後退位置とは常に定まり管理しやすくなる。
【０００８】
よって、前記棒状部材がノズルに対して前記往方向側の先端位置に移動した状態で、前記ノズルが液材保持装置の液材の表面から液材内に侵入すると、前記棒状部材が前記復方向側の後退位置まで移動した際には、ノズル内に液材が注入されるが、その注入量は一定となる。
また、ノズル内に液材が注入された状態のままで、ノズルを液材吐出対象部材に吐出する際は、前記棒状部材が前記先端位置まで移動するが、その先端位置が定まるため、液材の吐出量は一定となる。
上記ノズルが多数個であっても、上記各ノズル内に配置されている棒状部材は、前述のライナーに連動するために、上記液材の注入量と吐出量はどのノズルにおいても一定となるものである。
よって、複数のノズルに対応する複数個所において、液材の吐出された量が均一になるので、接着力や封止効果等の液材の目的を安定して発揮することができるものである。
【０００９】
さらに、従来の転写方式やスクリーン印刷方式のように、液材吐出対象部材が広い平面を有するものに限定されることなく、溝や凸部に対しても上記液材を吐出配置することができる。
なお、上記液材は、電子部品同士を導電接合する導電接着部を構成するための液状の導電性ペースト（導電性樹脂）、電子部品を樹脂封止する封止部を構成するための液状の封止樹脂、電子光学素子を封止して受光や発光を透過させる透明封止部を構成するための液状の封止樹脂など、どのような液材をも含むものである。上記液材は、加熱、紫外線照射、赤外線照射、などにより固形状態に固化される。
【００１０】
本発明実施態様２のマルチノズル装置は、実施態様１に記載されたマルチノズル装置において、前記シリンダーにおける前記復方向側の端部には、前記ライナーの前記往復移動を行わせる流体の導入部および吸引部が前記シリンダーに連通して形成されていることを特徴とする。
【００１１】
上記構成によれば、上記導入部を介して前記シリンダー内に上記流体が導入されることにより前記ライナーを往路方向に容易に移動させることができ、逆に上記吸引部を介して前記シリンダー内から上記流体を吸引することにより前記ライナーを復路方向に容易に後退させることができものである。
なお、上記導入部と上記吸引部は、それぞれ別々に設けても良いが、１箇所に設けて共用するようにしてもよい。
なお、上記流体は、空気、不活性ガス等の気体、水、アルコール等の液体、その他の流体であってもよい。
【００１２】
本発明実施態様３のマルチノズル装置は、実施態様１から実施態様２のいずれかに記載されたマルチノズル装置において、前記往復移動駆動装置は、前記導入部に接続する流体供給装置と、前記吸引部に連通する流体吸引装置と、を備えていることを特徴とする。
【００１３】
上記構成によれば、前記流体供給装置により前記流体を前記導入部経由で前記シリンダー内に容易に導入することができ、前述のように前記ライナーを往方向に容易に移動させることができる。同様に、前記流体吸引装置により前記流体を前記吸引部経由で前記シリンダー内から容易に吸引することができ、前述のように前記ライナーを復方向に容易に移動させることができる。
【００１４】
本発明実施態様４のマルチノズル装置は、実施態様１から実施態様３のいずれかに記載されたマルチノズル装置において、前記ノズルの先端が液材保持装置に保持された液材の表面から離れる際に、ノズルの外周に付着した液材を拭い取る液材除去部材が、前記ノズルと前記液材の表面との間に配置されていることを特徴とする。
【００１５】
上記構成によれば、前記液材除去部材によって、前記ノズルの先端が液材保持装置の液材の表面から離れる際に、ノズルの外周に付着した液材を拭い取ることができるので、液材吐出対象部材の所定箇所に液材を吐出する際に上記ノズル外周に付着した余分の液材が上記所定箇所に付着することを防止することができる。
よって、上記所定箇所に対して適量の液材が形成されることになる。
なお、前記液材除去部材は、前記ノズルと前記液材の表面との間の位置に配置されていればどのような配置構造であってもよい。例えば、前記シリンダーやライナー、およびノズルや棒状部材等を案内保持しているフレーム基枠に取り付けられていてもよい。あるいは、上記とは別の基枠に取り付けられていてもよい。
【００１６】
上記液材除去部材の材料は、金属、合成樹脂であっても良いが、余分の液材を拭い取るためには、合成ゴム等の弾性材が好ましい。
また、前記液材除去部材は、各ノズル位置に対応した複数個のノズル案内穴を有し、そのノズル案内穴に各ノズルが挿入することによって上記ノズルの平面方向の位置を案内するようにしてもよい。この場合は、ノズルが細く長い場合であっても、前記液材除去部材がノズルを案内するのでノズルが曲がることを防止しながら、前述のように外周に付着した不要な液材を除去することができるものである。
【００１７】
本発明実施態様５のマルチノズル装置は、実施態様１から実施態様４のいずれかに記載されたマルチノズル装置において、前記ノズルの先端位置を検出するノズル先端位置検出部と、前記ノズル先端位置検出部により前記ノズルの先端が前記液材内に侵入したことが検出された際は前記ライナーの前記復移動に伴って前記棒状部材が前記復移動し前記液材をノズル内に吸引するとともに、前記ノズル先端位置検出部により前記ノズルの先端が前記液材の表面から離れたことが検出された後に前記ライナーによる前記往移動に伴って前記棒状部材が前記往移動して前記液材をノズル外に吐出するような動作を制御する制御装置とを備えていることを特徴とする。
【００１８】
上記構成によれば、上記制御装置は、前記ノズル先端位置検出部により前記ノズルの先端が前記液材内に突入したことが検出された際は、前記ライナーの往復移動の復移動に伴い前記棒状部材が前記復移動して前記液材をノズル内に吸引し、前記ノズル先端位置検出部により前記ノズルの先端が前記液材の表面から離れたことが検出された際は前記ライナーによる前記往移動に伴い前記棒状部材が前記往移動して前記液材をノズル外に排出するように動作制御する。
すなわち、前記ノズルの先端が液材保持装置の液材の表面から内部に侵入した後に始めて液材を吸引することができ、確実な液材の吸引が可能となる。同様に前記ノズルの先端が前記液材の表面から離れた後で始めて前記シリンダーによる往移動に伴って前記棒状部材が前記往移動して前記液材をノズル外に排出することが出来るので、ノズルが前記液材に侵入している最中にノズルから液材が吐出することがなく、より確実に液材吐出対象部材の所定箇所に液材を吐出することができる。
なお上記ノズル先端位置検出部は、一例として、ノズル内を移動する棒状部材の現在位置や液材の表面位置などを監視するカメラなどの位置センサーにより構成する。前記位置センサーによるノズル先端の位置データが制御装置に入力されることによって、上記のような制御を行うものである。
【００１９】
本発明実施態様６のマルチノズル装置は、実施態様１から実施態様５のいずれかに記載されたマルチノズル装置において、前記シリンダーにおける前記往復移動方向の前記復方向側には前記ライナーの復路での停止位置を調整する復路位置調整部と、前記シリンダーにおける前記往方向側には前記ライナーの往路側の停止位置を調整する往路位置調整部との少なくとも一方が配置されていることを特徴とする。
【００２０】
上記構成によれば、前記復路位置調整部と往路位置調整部の少なくとも一方が配置されているので、前記ライナーの前記復方向側における前記ライナーの復路での停止位置を調整することによって液材の吸引量を調整でき、あるいは前記ライナーの前記往方向側における前記ライナーの往路での停止位置を調整することによって液材の吐出量を調整できる。よって、用途や状況に応じて、液材の吐出量や吐出速度を最適に調整できるものである。
なお、前記復路位置調整部と往路位置調整部は、どちらかを形成しても良く、両者を形成してもよい。
前記復路位置調整部と往路位置調整部は、前記シリンダーの上壁、下壁に調整ネジをねじ込んで構成してもよい。
【００２１】
本発明実施態様７のマルチノズル装置は、実施態様１から実施態様６のいずれかに記載されたマルチノズル装置において、前記液材は、液状の導電性接着樹脂であって、前記ノズルから突出された前記導電性接着樹脂が、回路基板等の電子部材に塗布されることを特徴とする。
【００２２】
上記構成によれば、上記導電性接着樹脂が回路基板などの電子部品の所定箇所に正確かつ適量に塗布形成されるので、電子部品同士が導電接着されることになる。
【００２３】
本発明実施態様８のマルチノズル装置は、実施態様１から実施態様７のいずれかに記載されたマルチノズル装置において、前記液材は、封止樹脂であって、前記ノズルから突出された前記封止樹脂が、回路基板等に配置された電子光学装置に塗布されることを特徴とする。
【００２４】
上記構成によれば、前記封止樹脂が、回路基板等に配置された電子的光学装置に正確かつ適量に塗布形成されるので、電子光学装置の封止が確実となり、その光学特性を良好に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２６】
〔第１実施形態〕
図１から図６は、本発明第１実施形態のマルチノズル装置１の全容図を示す。
図１はマルチノズル装置１の全体図、図２は図１のノズル先端の拡大外観図、図３は、蓋部材（液材除去部材）の部分拡大断面図を示し、図４は本発明第１実施形態のマルチノズル装置１を用いて半導体装置または回路基板に導電性接着剤である導電性ペースト６を塗布しその半導体装置または回路基板に半導体が接合された半導体装置の断面図、図５は図２の部分拡大図、図６は上記導電性ペースト６がパッケージ基板２５の各導電パターン２５ａ上に吐出され状態を示している導電パターン吐出状態図である。
【００２７】
図1において、２は本実施形態の主要部品である筒状のシリンダー、３はシリンダー２を保持しているシリンダー保持枠であり、シリンダー２はシリンダー保持枠３にネジ、ピンカシメ、接合などにより保持されている。
シリンダー２は、エンジニアリングプラスチックや金属などの耐摩耗性に優れ、摩擦係数が小さい材料で形成されている。
４は、シリンダー２内で往復移動するライナーで、エンジニアリングプラスチックや金属などの耐摩耗性に優れ、摩擦係数が小さい材料で形成されている。
ライナー４は、シリンダー２の内形状と同様な外形状に形成され、往復移動が可能ではあるが、流体である空気が漏れないようにシリンダー２の内壁とは隙間が僅少になるようにその外壁が形成されている。
【００２８】
上記隙間から、前述の空気が漏れないようにするためには、リング状の機密パッキン５をライナー４の外壁に形成された外周溝に配置しておくと好ましい。
この機密パッキン５は、耐摩耗性に優れ、摩擦係数が小さい材料で形成されエンジニアリングプラスチックが適用され、あるいは一般にパッキン材として使用される合成ゴムを用いてもよい。この機密パッキン５，５には、潤滑油を浸み込ませると好ましく、潤滑油をその表面に塗布しても良い。
この機密パッキン５は、図１の図示のように、上下にある程度の距離を確保した位置に２個以上を配置すると、ライナー４の位置が安定して、ライナー４の往復移動がスムースに確保される。
上記機密パッキン５は、シリンダー２の内壁に設けた内周溝に配置してもよい。
【００２９】
前記シリンダー２について詳述すると、前記シリンダー２は、上方に形成されたシリンダー本体２００と、下方に形成された下蓋部２０３とにより構成され、下蓋部２０３はシリンダー本体２００の下内周壁に挿入され両者が固定されている。この固定は、圧入、接着、融合、溶接等どのような方法でもよい。
上記シリンダー本体２００は、上壁２０１と円筒部２０２とが設けられており、円筒部２０２内に上記ライナー４が挿入されて上記往復移動する。
上記下蓋部２０３は、下方向に突出形成している円筒状のノズル２０４が多数個突出形成されている。このノズル２０４の内周面は、平滑に形成され、あるいは潤滑処理、例えば潤滑膜が被覆されている。
上記シリンダー本体２００と下蓋部２０３は、前述したようなエンジニアリングプラスチックや金属などの耐摩耗性に優れ、摩擦係数が小さい材料で形成されている。なお、上記シリンダー本体２００と下蓋部２０３は、上記材料の中で同じ材料を用いても良く、あるいは異なる材料を用いるようにしても良い。
【００３０】
各々の前記ノズル２０４の内周には、ライナー４から下方に突出形成された棒状部材３００が挿入されている。
この棒状部材３００は、前記ノズル２０４の内周形状と同様の外周形状を有しており、前記ノズル２０４の内周面とほぼ密接状態で前記往復移動可能に、若干ノズル２０４の内周寸法より小さく形成されている。上記棒状部材３００は、前記往復移動がスムースに行われるように、同時に後述する液材をノズル２０４内に吸引、又はノズル２０４外に排出するため、その外周面は平滑に形成され、あるいは潤滑処理、例えば潤滑膜が被覆されている。この棒状部材３００の材料は、前述した材料で形成されており、エンジニアリングプラスチックや金属などの耐摩耗性に優れ、摩擦係数が小さい材料で形成されている。
上記棒状部材３００は、ライナー４の下面に設けた穴に打ち込まれて一体化されている。なお、上記棒状部材３００がライナー４の下面に固定される方法は、どのようであってもよく、上記の他、接着、溶接、ネジ込みであってもよい。また、上記棒状部材３００がライナー４から一体に突出するものであってもよい。その場合は、上記棒状部材３００を金属で構成する場合は、ダイキャスト、鋳造等でライナー４と一体に形成してもよく、合成樹脂で構成する場合はライナー４と一体に成形型で成形加工してもよい。
【００３１】
なお、ライナー４の下面からは、上記棒状部材３００よりは短く突出して上記ノズル２０４内には挿入されない棒状部材が配置されている。この棒状部材は上記棒状部材３００の上記往復方向（図１の上下方向）の位置を検出するための棒状部材位置検出部３０１である。
この棒状部材位置検出部３０１は、詳細は後述するがノズル２０４内に吸引する液材の量、又はノズル２０４外に排出する液材の量を調整するために用いられる。
【００３２】
図１の前記ノズル２０４の下方には、液材である導電性ペースト６を貯蔵している導電性ペースト容器７が、平面的所定位置に位置決めされて保持配置されている。この導電性ペースト６は、液状樹脂に銀粒子、金粒子等の導電金属粒子が混在しているもので、吐出後に、加熱または紫外線投与により、固化し、導電部材同士を接合しながら導通させるものである。なお、導電性ペースト６は、液状で吐出されたのちに、導通接合部材同士を接合導通させるものならば、上記以外にどのようなものでもよい。
上記導電性ペースト容器７の上面には、この導電性ペースト容器７を覆う蓋部材８が、上記導電性ペースト容器７に対する平面的所定位置に位置決めされて保持配置されている。
上記蓋部材８には、前記ノズル２０４の各々の平面位置に対応して複数個のノズル案内穴８ａが形成されている。このノズル案内穴８ａの内形状は、前記ノズル２０４とほぼ同じ形状で若干大きめに形成されている。
したがって、ノズル２０４は、前記ノズル案内穴８ａに平面方向において案内され、ノズル２０４が曲がることを防止するようにしている。
【００３３】
上記ノズル２０４が、上記蓋部材８の上方から下方に移動し、前記ノズル案内穴８ａから上記導電性ペースト６内に侵入し、ノズル２０４内に上記導電性ペースト６を吸引したのち、ノズル２０４が上方に移動する際に、上記蓋部材８はノズル２０４外周に不要に付着した導電性ペースト６を取り除くようにしている。
したがって、上記蓋部材８は、本発明のノズルの外周に付着した液材を拭い取る液材除去部材となる。
【００３４】
一方、ノズル先端２０４ａが蓋部材８（液材除去部材）のノズル案内穴８ａに挿入しやすくするために、ノズル先端２０４ａの外周は、その拡大外形図である図２に図示されているように、傾斜案内面２０４ｂが形成されている。この傾斜案内面２０４ｂは、上記ノズル案内穴８ａに挿入しやすくするためである。したがって、傾斜案内面２０４ｂは、直線状の面取りであっても円弧状であってもよい。
また蓋部材８（液材除去部材）のノズル案内穴８ａは、その拡大断面図である図３に図示されているように、上面に傾斜案内面８ｂが形成されている。この傾斜案内面８ｂは、上記ノズル先端２０４ａが挿入されやすくするためである。したがって、傾斜案内面８ｂは、直線状の面取りであっても円弧状であってもよい。
なお、上記傾斜案内面２０４ｂと傾斜案内面８ｂは、両者が形成されているが、どちらか一方であっても良いものである。
【００３５】
シリンダー２の上方、すなわちその上壁２０１には、シリンダー２の内部と連通するように配置された吸排パイプ９が設けられている。
この吸排パイプ９は、合成樹脂や折り曲げられる金属からなるパイプであって上壁２０１に取り付けられている。
この吸排パイプ９の上先端は、空気の吸排室１０に連通している。
この吸排室１０には、吸排室１０に圧縮空気を供給するコンプレッサー等の流体供給装置１１と、吸排室１０から空気を吸引する真空ポンプ等の流体吸引装置１２が連通している。
したがって、上記吸排パイプ９は、シリンダー２における前記往復移動方向での復路側端部においてシリンダー２に連通して形成されており、前記ライナー４の前記往復移動を行わせる流体の導入部であり吸引部でもある。したがって、上記吸排パイプ９は、前記導入部と吸引部の両者を兼用しているものである。
【００３６】
１３は、制御部Ａであって、流体供給装置１１と流体吸引装置１２の動作を制御するものである。
１４は、上記棒状部材３００の往復方向（図１では上下方向）の位置を監視する棒状部材上下位置監視カメラであり、具体的には、棒状部材上下位置監視カメラ１４が前記棒状部材位置検出部３０１の往復方向の位置が所定位置に達したか否かを監視している。上記棒状部材上下位置監視カメラ１４が、前記棒状部材位置検出部３０１上に所定間隔毎に形成している複数の監視用目印を監視することによりその位置を検出するものである。
上記棒状部材上下位置監視カメラ１４が前記棒状部材位置検出部３０１の往復方向の位置が所定位置に達したか否かを監視するのは、ノズル２０４の先端（下端）２０４ａが導電性ペースト容器７に収納されている導電性ペースト６内に挿入したことを確認するためであり、また図６のように吐出対象物上にノズル先端２０４ａを所定位置に留めるためである。したがって、上記棒状部材上下位置監視カメラ１４が前記棒状部材位置検出部３０１により、ノズル先端位置検出部５００が構成される。
なお、ノズル先端位置検出部５００は、上述の構成に限定されるものではなく、直接にノズル先端２０４ａを監視するならばどのような構造でもどのような方法で実現してもよい。
【００３７】
上記吸排パイプ９、吸排室１０、流体供給装置１１、流体吸引装置１２によりライナー４を前記往復移動させる往復移動駆動装置４００が構成されている。なお、上記往復移動駆動装置４００には、上記の他、制御部Ａ１３、棒状部材上下位置監視カメラ１４を含めてもよい。
【００３８】
１５はシリンダー上下位置監視カメラ、１６はシリンダー上下位置監視カメラ１５の監視情報を受ける制御部Ｂ１６、１７は制御部Ｂ１６により駆動が制御されてシリンダー保持枠３を上下方向に移動できるモータＡである。
１８は、シリンダー２のＸ軸方向の位置を監視するシリンダーＸ軸方向位置監視カメラであり、１９は、シリンダー２のＹ軸方向の位置を監視するシリンダーＹ軸方向位置監視カメラであって、両監視カメラ１８、１９によるシリンダー２のＸ軸方向位置情報とＹ軸方向位置情報とが制御部Ｃ２０に入力され、制御部Ｃ２０によりシリンダーＸ軸方向位置監視カメラ１８の位置情報に基づいてシリンダー保持枠３（同時にシリンダー２）をＸ軸方向にモータＢ２１が駆動し、シリンダー２のＸ軸方向の所定位置までシリンダー２を移動する。同様に制御部Ｃ２０によりシリンダーＹ軸方向位置監視カメラ１９の位置情報に基づいてシリンダー保持枠３（同時にシリンダー２）をＹ軸方向にモータＣ２２が駆動し、シリンダー２のＹ軸方向の所定位置までシリンダー２を移動するものである。
【００３９】
次に動作を説明する。
まず、シリンダーＸ軸方向位置監視カメラ１８とシリンダーＹ軸方向位置監視カメラ１９によりシリンダー２の現在のＸ軸方向位置とＹ軸方向位置とを読み取ると、この読み取られた各位置情報に基づいて制御部Ｃ２０が、所定の位置、すなわち導電性ペースト容器７が配置された所定位置、詳しくは、上記蓋部材８の各ノズル案内穴８ａに各ノズル２０４が一致する所定位置まで、モータＢ２１とモータＣ２２を駆動制御する。
しかる後、シリンダー上下位置監視カメラ１５により現在のシリンダー２の上下方向位置を読み取り、この読み取り位置情報に基づいて制御部Ｂ１６が、シリンダー２の上下方向所定位置、すなわちノズル先端２０４ａが導電性ペースト容器７に収容された導電性ペースト６の中に侵入する位置までモータＡ１７を駆動制御する。その途中では、ノズル２０４が、蓋部材８の各ノズル案内穴８ａ内に挿入しながら降下する。その所定位置まで降下した状態が図１に図示されている。この場合、ライナー４は、往復方向のうち往方向（図１では下方向）の先端位置に位置付けられている。
【００４０】
しかる後、上記棒状部材位置監視カメラ１４により、前記棒状部材位置検出部３０１の位置が下所定位置に達したことが確認されると(図１の状態)、その下位置監視情報が制御部Ａ１３に伝達され、制御部Ａは、流体吸引装置１２を駆動して吸排室１０からそこの空気を吸引する。するとその吸引により吸排パイプ９を介してシリンダー２の上部の空気も吸引することになり、前記ライナー４が復方向（図１では上方向）に駆動される。そのため、ライナー４と一体化されている前記棒状部材３００も復方向（図１では上方向）に駆動される。
このため、図１のようにノズル２０４が上記導電性ペースト６内に挿入されているので、ノズル２０４の先端からノズル２０４の内部に上記導電性ペースト６を吸引することになる。
【００４１】
しかる後、シリンダー上下位置監視カメラ１５、制御部Ｂ１６、モータＡ１７により、シリンダー２が上方に移動し、ノズル先端２０４ａが前記蓋部材８から離れる。次に、シリンダー２は、ノズル２０４内の導電ペースト６を吐出する対象部品が配置されている所定平面位置まで移動される。
この移動は、シリンダーＸ軸方向位置監視カメラ１８とシリンダーＹ軸方向位置監視カメラ１９によりシリンダー２の現在のＸ軸方向位置とＹ軸方向位置とを読み取ると、各ノズル２０４が、この読み取られた各位置情報に基づいて制御部Ｃ２０に制御されて、ノズル２０４の所定の位置、すなわち導電性ペースト６を吐出する対称部品の配置場所の所定位置に達するまで、モータＢ２１とモータＣ２２により移動される。
【００４２】
上記対象部品は、例えば図４に図示されている。
図４は、ＩＣ２３が実装された半導体装置または回路基板２４の外周内面２４ａが、導電性ペースト６によりパッケージ基板２５に接合された完成品を図示している。この導電性ペースト６は、上記半導体装置または回路基板２４の上記外周内面２４ａに配置された導電パターン２４ｂとパッケージ基板２５の上面に形成された導電パターン２５ａとを導電接合している。
上記ノズル２０４内に吸引された導電性ペースト６を吐出する対象部品は、上記接合前のパッケージ基板２５であって、その導電パターン２５ａ上に導電性ペースト６を吐出するものである。上記パッケージ基板２５において上記導電パターン２５ａが配置されている部分は、内方平坦部２５ｃであり、その外周には上方向に突出した表面２５ｄが存在している。すなわち、上記内方平坦部２５ｃは、上記表面２５ｄに対して窪みになり、この窪みに形成された上記導電パターン２５ａに導電性ペースト６を付着させることは、従来のスクリーン印刷方式では不可能であるのに対し、本実施形態のマルチノズル装置によれば、内方の窪み内であっても複数のノズルが入り込むことが可能であるので、上記窪み部分であっても容易に導電性ペースト６を吐出することができるものである。
なお上記対象部品は、半導体装置または回路基板２４の外周内面２４ａであってもよく、この外周内面２４ａの導電パターン２４ｂとしてもよい。
上記ＩＣ２３および半導体装置または回路基板２４の半導体装置を例示すれば次のとおりである。ＩＣ２３はセンサー等の駆動用ＩＣ、半導体装置または回路基板２４の半導体装置は上記駆動用ＩＣの制御用ＩＣであり、いわばＣｈｉｐ―ｏｎ―Ｃｈｉｐを構成する。
【００４３】
図５は、図４の他の部分（図４の平面において約９０度方向部分）における拡大断面図である。図５において、２６はスルーホール導通部で導電材の半田、銅合金、金合金、銀合金等で埋められており、上記パッケージ基板２５の導電パターン２５ａをパッケージ基板２５の裏面に配線された外部接続パターン２５ｂに接続するものである。
【００４４】
上述のようにシリンダー２がＸ軸方向位置とＹ軸方向位置において、上記所定位置に移動されると、シリンダー上下位置監視カメラ１５、制御部Ｂ１６、モータＡ１７により、シリンダー２が下方に移動する。ノズル先端２０４ａが前記吐出対象部品であるパッケージ基板２５の導電パターン２５ａの近くまで下降するとその位置で停止する。
【００４５】
しかる後、上記棒状部材位置監視カメラ１４により、前記棒状部材位置検出部３０１の位置が上所定位置に達していることが確認されると、その上位置監視情報が制御部Ａ１３に伝達され、制御部Ａ１３は、流体供給装置１１を駆動して圧縮空気を吸排室１０に供給する。するとその圧縮空気が吸排パイプ９を通りシリンダー２の上部に供給され、前記ライナー４が往方向（図１では下方向）に駆動される。そのため、ライナー４と一体化されている前記棒状部材３００が往方向（図１では下方向）に駆動される。そこで、各ノズル２０４内に吸引されている導電性ペースト６がパッケージ基板２５の各導電パターン２５ａ上に吐出されることになる。
【００４６】
図６は、上記導電性ペースト６がパッケージ基板２５の各導電パターン２５ａ上に吐出され状態を図示するものである。
図６において、前記ノズル２０４は、前記吐出対象部品であるパッケージ基板２５の導電パターン２５ａの表面に対して若干上側で留まる。具体的には、ノズル先端（下端）２０４ａが導電パターン２５ａの表面に対して所定の隙間Ｄを確保した位置で留まる。この所定隙間Ｄは、導電性ペースト６の吐出量、導電パターン２５ａや導電パターン２４ａの面積等により適宜選択し設定される。
また、棒状部材先端（下端）３００ａは、ノズル先端２０４ａとほぼ同じ高さ位置まで押し出されるようにしている。このため、ノズル先端２０４ａから導電性ペースト６を良好に吐出することができる。
【００４７】
なお、ノズル２０４の少なくとも先端付近の外周部と内周部、及び棒状部材３００の先端付近の外周部と底面とには、導電性ペースト６をはじく作用をなす表面処理を施しておくことが好ましい。上記表面処理により、導電性ペースト６を吐出する際に、ノズル２０４の先端付近と棒状部材３００の先端付近に導電性ペースト６が付着することを防止し、導電性ペースト６をより良好に吐出することができる。上記はじく作用をなす表面処理は、例えばテフロン（デュポン社の登録商標）などの薄膜をコートすることにより達成される。
【００４８】
しかる後、シリンダー上下位置監視カメラ１５、制御部Ｂ１６、モータＡ１７により、シリンダー２が上方に移動する。ノズル先端２０４ａが前記吐出対象部品であるパッケージ基板２５の導電パターン２５ａから十分上方に離れると、上記シリンダーＸ軸方向位置監視カメラ１８、シリンダーＹ軸方向位置監視カメラ１９、制御部Ｃ、モータＢ２１、モータＣ２２によりシリンダー２は元の位置に戻ることになり、上記動作説明の冒頭に戻り、上記動作が繰り返されることになる。
【００４９】
〔第２実施形態〕
図７は、本発明の第２実施形態における主要部断面図を示すものである。
第２実施形態が、第１実施形態と異なる主な点は、液材除去部材が導電性ペースト容器７の蓋部材８を兼用していたが、第２実施形態では液材除去部材を独立して配置している点である。
図７において、２７は装置全体の土台とも言うべき基台で、この基台２７の所定位置に、導電性ペースト容器７と、基枠２８とが設置されている。基枠２８には支柱２９が固定されている。この支柱２９には、上下方向（往復方向）に移動可能に、且つ回転可能にシリンダー保持枠３が配置され、シリンダー保持枠３にシリンダー２が固定されている。
【００５０】
図７において、ライナー４の往復移動に関しては、図１と同様で、上記吸排パイプ９、吸排室１０、流体供給装置１１、流体吸引装置１２、制御部Ａ１３、棒状部材上下位置監視カメラ１４を含めた往復移動駆動装置４００により行われる。
シリンダー４の上下方向の移動は、図１と同様にシリンダー上下位置監視カメラ１５と制御部Ｂ１６とモータＡ１７により行われる。
また、シリンダー２の平面方向の移動は、図１と同様に、シリンダーＸ軸方向位置監視カメラ１８とシリンダーＹ軸方向位置監視カメラ１９とにより、シリンダー２の現在のＸ軸方向位置情報とＹ軸方向位置情報とを読み取り、その読み取り位置情報が制御部Ｃ２０に入力され、制御部Ｃ２０により所定のＸ軸座標と所定のＹ軸座標にシリンダー２を移動するように１つのモータ（図示せず）を駆動する。このモータの駆動は、シリンダー４が上記所定のＸ軸座標と所定のＹ軸座標に達するように、前記シリンダー保持枠３を支柱２９を中心に回転させるものである。
【００５１】
３０は、液材除去部材であって、基枠２８の所定平面位置に取り付けられている。
液材除去部材３０には、前記ノズル２０４が挿入するノズル案内穴３０ａが開口されている。このノズル案内穴３０ａは、各ノズル２０４の平面位置を案内するものであり、ノズル２０４が細く、長くなっても曲げや折れを防止することができると共に、ノズルの先端２０４ａに付着した導電性ペースト６を取り除くことが出来る。
上記液材除去部材３０が、導電性ペースト容器７に配置された蓋部材８とは異なった別の部材として配置されているので、上記液材除去部材３０の上下方向の位置、平面方向の位置を、ノズル２０４を案内する上で、且つ上記導電性ペースト６を取り除く上で、最も良い場所に配置できるもので、両者を効果的に行うことが出来るものである。
【００５２】
〔第３実施形態〕
図８は、本発明の第３実施形態における主要部断面図を示すものである。
第３実施形態が第１実施形態および第２実施形態と異なる主な点は、シリンダー２内で前記往復移動方向に移動する前記ライナー４の復路での停止位置を調整する復路位置調整部と、前記ライナーの往路での停止位置を調整する往路位置調整部との少なくとも一方が配置されていることである。図８は、復路位置調整部と往路位置調整部の両者が図示されているが、どちらか一方だけでも良い。
上記復路位置調整部は、シリンダー２の上壁に取り付けられており、具体的には小ねじからなる復路位置調整ネジ３１が上記シリンダー２の上壁にネジ込まれている。
同様に往路位置調整部は、シリンダー２の下壁に取り付けられており、具体的には小ねじからなる往路位置調整ネジ３２が上記シリンダー２の下壁（図１では下蓋体２０３）にネジ込まれている。
【００５３】
上記復路位置調整ネジ３１を回転調整すると、ライナー４の上端が上記復路位置調整ネジ３１の下端に当って停止するので復路位置が調整されることになる。この復路位置の調整により、ノズル２０４内に吸引される液材としての導電性ペースト６の吸引量を適宜調整することができる。
同様に往路位置調整ネジ３２を回転調整すると、ライナー４の下端が上記往路位置調整ネジ３２の先端に当って停止するので往路位置が調整されることになる。この往路位置の調整により、ノズル２０４内から吐出される液材としての導電性ペースト６の吐出量を適宜調整することができる。
なお、上記復路位置調整部と往路位置調整部は、上記に限定されるものではなく、ライナー４の往復移動位置が調整されるならば、どのような構造、方法であってもよい。例えば、上記復路位置調整ネジ３１とライナー４上面との間、または上記往路位置調整ネジ３２先端とライナー４下面との間に、弾性シートを挟むと、ライナー４の停止時の衝撃が緩和されるようになる。
【００５４】
〔第４実施形態〕
第１実施形態から第３実施形態までにおいて、上記ライナー４の往復方向移動は、棒状部材上下位置監視カメラ１４の位置監視情報に基づいて制御部Ａ１３が制御するものであったが、その制御部Ａ１３を用いずに、操作者が手動で行うものである。
その場合、図１から上記制御部Ａ１３またはそれに加えて棒状部材上下位置監視カメラ１４を除去し、流体供給装置１１（コンプレッサー等）をオン・オフ操作する操作スイッチを設け、さらに流体吸引装置１２（真空ポンプ等）をオン・オフ操作する操作スイッチを設けておく。操作者は、ライナー４の往復方向の所定位置を目視で確認しながら、上記各スイッチを操作するようにしても良いし、上記棒状部材上下位置監視カメラ１４を使用する場合は、ライナー４の往復方向の所定位置、具体的には棒状部材位置検出部３０１の位置を上記棒状部材上下位置監視カメラ１４で監視し、所定位置に達した際に報知音等で操作者に知らせるようにし、操作者が上記各スイッチを操作するようにしてもよいものである。
【００５５】
なお、図１において、シリンダー４の上下方向に移動させるためのシリンダー上下位置監視カメラ１５、シリンダー上下位置監視カメラ１５の監視情報を受ける制御部Ｂ１６、制御部Ｂ１６により駆動が制御されるモータＡ１７を廃止してもよく、またシリンダー４のＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させるための、シリンダー２のＸ軸方向の位置を監視するシリンダーＸ軸方向位置監視カメラ１８、シリンダー２のＹ軸方向の位置を監視するシリンダーＹ軸方向位置監視カメラ１９、両監視カメラ１８、１９によるシリンダー２のＸ軸方向位置情報とＹ軸方向位置情報とが入力される制御部Ｃ２０、制御部Ｃ２０によりＸ軸方向の所定位置にシリンダー２を移動させるモータＢ２１、Ｙ軸方向の所定位置にシリンダー２を移動させるモータＣ２２を廃止しても良い、上記Ｘ軸方向およびＹ軸方向にシリンダー４を移動させることは操作者が行っても良く、例えば、モータＡ１７を駆動するスイッチ、モータＢ２１を駆動するスイッチ、モータＣ２２を駆動するスイッチをそれぞれ設ける。図７でも、上記Ｘ軸方向およびＹ軸方向にシリンダー４を移動させるモータを駆動させるスイッチを設け、操作者がスイッチをオン・オフさせて記Ｘ軸方向およびＹ軸方向にシリンダー４を移動させるものである。
【００５６】
〔変形例１〕
本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、種々に変形してもよい。
第１実施形態において、図１に図示されているように、吸排パイプ９が、シリンダー２における前記往復移動方向での復路側端部にシリンダー２に連通して形成されて、前記ライナー４の前記往復移動を行わせる流体の導入部であり吸引部でもあり、両者を兼用していたものであったが、上記導入部と吸引部を別々に構成してもよい。
その場合は、シリンダー本体２００の上部、例えば上蓋２０１に、パイプを２箇所設けて、一方のパイプは流体供給装置１１に、他方のパイプは流体吸引装置１２に連通させる。また一方のパイプと流体供給装置１１との間に流体溜め室を、同様に他方のパイプと流体吸引装置１２との間に流体溜め室を配置しても良い。
したがって棒状部材上下位置監視カメラ１４によるライナー４の上下位置監視情報に基づいて制御部Ａ１３により流体供給装置１１と流体吸引装置１２とが選択的に駆動され、ライナー４を往復移動するように制御するものである。
このため、流体供給装置１１によるライナー４の往方向移動が、また流体吸引装置１２による復方向移動が、共に確実に制御動作されやすくなる。
【００５７】
〔変形例２〕
各ノズル２０４内に挿入される棒状部材３００は、各ノズル２０４との間において、往復方向に移動可能であると共に、液材を吸引、吐出するためには、両者がより密着していることが好ましい。このために、両者が摺動可能であると共により密着状態である構造や処理を施すことが好ましいものである。
例えば、図９に図示されているように、棒状部材３００の先端に先端突起３００ｂを設け、その上側は径小の小径部３００ｃを形成するようにする。上記先端突起３００ｂがノズル２０４の内周壁と密着でき、上記小径部３００ｃがノズル２０４の内周壁とは接しないので、往復方向の移動がスムースになる。
また図１０は、棒状部材３００の先端に付近に棒状部材パッキン３３を配置したもので、この棒状部材パッキン３３がノズル２０４の内周壁に密着するので、棒状部材先端３００ａがノズル２０４内を往復移動できるとともに、上記棒状部材パッキン３３で密着するものである。３００ｄは、棒状部材３００外周に設けた棒状部材パッキン溝である。
なお、各ノズル２０４と棒状部材３００が往復方向に移動でき、且つ密着するようには、ノズル２０４の内壁、棒状部材３００の外周、上記パッキン３３の外周に、低摩擦で密着性が高い表面処理を施すことが好ましい。その表面処理は、好ましくは低摩擦をもたらす潤滑被膜を被覆するとよい。その潤滑被膜は、例えば炭素系のものが良い。
【００５８】
〔変形例３〕
前記棒状部材３００が、往方向の最先端位置に移動してノズル２０４から液材を吐出する際に、棒状部材３００の先端３００ａの位置は、ノズル先端２０４ａの位置に対して、図１では両先端位置が一致していたものであるが、それ以外であっても良い。
図１１は、両先端位置を異ならせたことを図示するものである。
図１１（１）は、前記棒状部材３００が往方向の最先端位置に移動してノズル２０４から液材を吐出する際に、棒状部材先端３００ａの位置がノズル先端２０４ａよりも復方向（上方向）に引き込んでいる状態を示しているもので、棒状部材先端３００ａの上記引き込み深さＭが確保されている。上記引き込み深さＭが確保されていることにより、導電性ペースト６の吐出量が少なくなり、ノズル２０４と棒状部材３００が復方向（上方向）に移動（上昇）した際に、棒状部材先端３００ａの上記引き込み深さＭ部分に残されていた導電性ペースト６は上記シリンダー４が上記上方に移動するにつれて落下するようになるので、導電性ペースト６は厚さ方向に厚く吐出されることになる。したがって、吐出された導電性ペースト６を厚く形成したい場合は、図１１（１）のように、棒状部材先端３００ａは上記引き込み深さＭが確保されるような上位置にて往方向の移動が停止するように調整することが好ましい。
【００５９】
図１１（２）は、前記棒状部材３００が往方向の最先端位置に移動してノズル２０４から液材を吐出する際に、棒状部材先端３００ａの位置がノズル先端２０４ａよりも往方向（下方向）に突出している状態を示しているもので、棒状部材先端３００ａの上記突出高さＮが確保されている。上記突出高さＮが確保されていることにより、導電性ペースト６の吐出量は多くなり、ノズル２０４と棒状部材３００が復方向（上方向）に移動（上昇）する前に、導電性ペースト６は平面方向に広がることになる。したがって、吐出された導電性ペースト６を薄く平面方向に広げるように形成したい場合は、図１１（２）のように、棒状部材先端３００ａは上記突出高さＮが確保されるような下位置まで往方向に移動するように調整することが好ましい。
【００６０】
〔応用例１〕
本発明のマルチノズル装置は、図４のようにパッケージ基板２５において窪地となる内方平坦部２５ｃの上記導電パターン２５ａに導電性ペースト６を吐出させるだけでなく、どのような用途に液材を吐出することができる。
図１２は、半導体装置（ＩＣ）を半導体装置または回路基板２４に接合する場合に適用することを図示したものである。上記ＩＣ２３の接合面２３ａに形成された電極２３ｂに本発明のノズルを用いて導電性ペースト６を吐出形成しても良く、半導体装置または回路基板２４のパターン形成面２４ｃに導電性ペースト６を吐出形成しても良い。
【００６１】
〔応用例２〕
図１３は、電子光学装置に適用される例を図示したものである。
図１３において、半導体装置または回路基板２４の表面に光学的電子素子である発光素子３４を実装し、導電ワイヤー３５にて電極同士を接続した後に、本発明のノズル２０４にて液状の封止材を吐出して封止部３６を形成する。この封止部３６は透明で封止効果を有しており、例えば、合成樹脂の封止材を用いている。
上記光学的電子素子は、イメージセンサとして受光して画像を認識するものであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明のマルチノズル装置は、電子素子を半導体装置または回路基板に導電接合するための液状導電性ペーストの吐出用に用いられる他、基板に実装された電子光学素子を封止するための液状封止材を吐出するために用いられる。その他、液材を吐出する用途であればどのような用途にも用いられるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明第１実施形態のマルチノズル装置の全体図。
【図２】図１のノズル先端の拡大外観図。
【図３】図１の蓋部材（液材除去部材）における部分拡大断面図。
【図４】本発明第１実施形態のマルチノズル装置を用いて半導体装置または回路基板に導電性接着剤を塗布しその半導体装置または回路基板に半導体が接合された半導体装置の断面図。
【図５】図４の部分拡大図。
【図６】本発明第１実施形態における導電性ペーストが各導電パターン上に吐出され状態を示す導電パターン吐出状態図。
【図７】本発明の第２実施形態における主要部断面図。
【図８】本発明の第３実施形態における主要部断面図。
【図９】本発明の変形例２における棒状部材先端とノズル先端との関係図。
【図１０】本発明の変形例２における棒状部材先端とノズル先端との関係図。
【図１１】本発明の変形例３における棒状部材先端とノズル先端とにより導電性ペーストが吐出された状態図。
【図１２】本発明の応用例１における半導体装置（ＩＣ）を半導体装置または回路基板に接合する説明図。
【図１３】本発明の応用例２における電子光学装置に適用された主要部断面図。
【符号の説明】
【００６４】
１：マルチノズル装置、２：シリンダー、３：シリンダー保持枠、４：ライナー、５：気密パッキン、６：導電性ペースト、７：導電性ペースト容器、８：蓋部材（液材除去部材）、８ａ：ノズル案内穴、８ｂ：傾斜案内面、９：吸排パイプ（導入部、吸引部）、１０：吸排室、１１：流体供給装置、１２：流体吸引装置、１３：制御部Ａ、１４：棒状部材上下位置監視カメラ、１５：シリンダー上下位置監視カメラ、１６：制御部Ｂ、１７：モータＡ、１８：シリンダーＸ軸方向監視カメラ、１９：シリンダーＹ軸方向監視カメラ、２０：制御部Ｃ、２１：モータＢ、２２：モータＣ、２３：ＩＣ、２３ａ：接合面、２３ｂ：電極、２４：半導体装置または回路基板、２４ａ：外周内面、２４ｂ：導電パターン、２４ｃ：導電パターン形成面、２５：パッケージ基板、２５ａ：導電パターン、２５ｂ：外部接続パターン、２５ｃ：内方平坦部、２５ｄ：表面、２６：スルーホール導通部、２７：基台、２８：基枠、２９：支柱、３０：液材除去部材、３０ａ：ノズル案内穴、３１：復路位置調整ネジ、３２：往路位置調整ネジ、３３：棒状部材パッキン、３４：発光素子、３５：導電ワイヤー、３６：封止部、２００：シリンダー本体、２０１：上蓋、２０２：円筒部、２０３：下蓋部、２０４：ノズル、２０４ａ：ノズル先端、２０４ｂ：傾斜案内面、３００：棒状部材、３００ａ：棒状部材先端、３００ｂ：先端突起、３００ｃ：小径部、３００ｄ：棒状部材パッキン溝、３０１：棒状部材位置検出部、４００：往復移動駆動装置、５００：ノズル先端位置検出部、Ｄ：隙間、Ｍ：引き込み深さ、Ｎ：突出高さ
【図１】
2008221053.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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