(57)【要約】【課題】吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することが可能であって、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することが可能な板状材の塗工方法の提供を目的とする。【解決手段】塗工液の吐出量を調整するために吐出口１３の開き度合を調整する吐出口調整手段を構成する加力手段１０と、板状材に形成した塗工面と吐出ノズル４との間の距離を測定するための測距手段６を予め備えておき、まず、テーブルに試験用の板状材を設置して、テーブルと吐出ノズルとを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材に試験塗工を行い、次いで、テーブルと吐出ノズルとを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、測距手段により測定を行い、次いで、所望の塗工面を得るために、測距手段による測定結果に応じて、吐出口調整手段により吐出口の開き度合を調整し、その後、板状材に塗工処理を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状材が設置されるテーブルと、塗工液を吐出する吐出口を有する吐出ノズルとを相対的に前後移動させることにより、該板状材に塗工する板状材の塗工方法であって、
塗工液の吐出量を調整するために上記吐出口の開き度合を調整する吐出口調整手段と、板状材に形成した塗工面と上記吐出ノズルとの間の距離を測定するための測距手段を予め備えておき、
まず、上記テーブルに試験用の板状材を設置して、該テーブルと上記吐出ノズルとを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材に試験塗工を行い、
次いで、上記テーブルと上記吐出ノズルとを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、上記測距手段により測定を行い、
次いで、所望の塗工面を得るために、上記測距手段による測定結果に応じて、上記吐出口調整手段により上記吐出口の開き度合を調整し、
その後、板状材に塗工処理を行うことを特徴とする板状材の塗工方法。
【請求項２】
前記吐出口は、前記吐出ノズルに設けられた一対のリップ間に形成され、前記吐出口調整手段は、これらリップを接離させる加力手段とこれらリップの変位を測定する測定手段とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の板状材の塗工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することが可能であって、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することが可能な板状材の塗工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルなどの高品質が求められる板状材に対する塗工関連技術では、当該板状材に形成される塗工面の管理が重要である。特に近年は、幅２ｍを超えるような塗工が必要となり、従来の塗工面管理では品質要求を満たすことが難しくなっている。関連する技術を開示したものとして、例えば特許文献１〜３が知られている。特許文献１の「塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法」は、ガラス基板を大型化しても、基板と塗布ヘッドとのクリアランスを幅方向に均一にして、均一で高速塗布可能とするもので、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔を幅方向に調整する間隔調整手段を設け、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔が幅方向に一定になるように、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面位置を幅方向に変化させて塗布するようにしている。
【０００３】
特許文献２の「基板処理装置」は、作成したレジスト膜の検査のために、ギャップセンサがレジスト塗布領域を走査し、基板上に形成されたレジスト膜とのギャップを測定して制御系に伝達し、制御系は、レジスト塗布前に測定したギャップの値（基板の表面との距離）と、レジスト塗布後に測定したギャップの値（レジスト膜の表面との距離）とを比較することにより、基板上のレジスト膜の厚さを算出するようになっている。
【０００４】
特許文献３の「スリットダイ、ならびに、塗膜を有する基材の製造方法および製造装置」は、サブミクロンオーダのリップ間隙精度が容易に得られるスリットダイを提供し、またダイを組み立てた後においては、特別な調整を行わなくても、３％以下の極めて高い塗布厚み精度で均一に塗膜を形成することを可能にするもので、リップ間隙の長手方向における間隙幅分布が調整できるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−３００２５８号公報
【特許文献２】特開２００４−１４６０７号公報
【特許文献３】特開２００４−２８３８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、間隔調整手段により、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面位置を幅方向に変化させて、塗布液吐出装置の塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔が幅方向に一定になるようにしているけれども、装置側で塗液吐出先端面と被塗布部材との間の間隔を一定にするだけでは、塗工面を適正かつ確実に管理できているとは言えなかった。
【０００６】
特許文献２では、ギャップセンサを備えて、レジスト塗布前に測定したギャップの値（基板の表面との距離）と、レジスト塗布後に測定したギャップの値（レジスト膜の表面との距離）とを検出できるようにしているが、これらギャップの値は、レジスト膜の検査に用いられるものであり、すなわち、製品の良否のチェックを行うにすぎないものであって、塗工する際に塗工面の形成を適切に管理できているとは言えなかった。
【０００７】
特許文献３では、リップ間隙の幅方向分布を調整するようにしているけれども、装置側でリップ間隙を調整しても、塗工面を適正かつ確実に管理できているとは言えなかった。
【０００８】
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することが可能であって、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することが可能な板状材の塗工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる板状材の塗工方法は、板状材が設置されるテーブルと、塗工液を吐出する吐出口を有する吐出ノズルとを相対的に前後移動させることにより、該板状材に塗工する板状材の塗工方法であって、塗工液の吐出量を調整するために上記吐出口の開き度合を調整する吐出口調整手段と、板状材に形成した塗工面と上記吐出ノズルとの間の距離を測定するための測距手段を予め備えておき、まず、上記テーブルに試験用の板状材を設置して、該テーブルと上記吐出ノズルとを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材に試験塗工を行い、次いで、上記テーブルと上記吐出ノズルとを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、上記測距手段により測定を行い、次いで、所望の塗工面を得るために、上記測距手段による測定結果に応じて、上記吐出口調整手段により上記吐出口の開き度合を調整し、その後、板状材に塗工処理を行うことを特徴とする。
【００１０】
前記吐出口は、前記吐出ノズルに設けられた一対のリップ間に形成され、前記吐出口調整手段は、これらリップを接離させる加力手段とこれらリップの変位を測定する測定手段とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる板状材の塗工方法にあっては、吐出ノズルから吐出される塗工液で形成される塗工面を適正かつ確実に管理することができ、ひいては塗膜厚も適切に管理でき、塗工面の品質管理を高い作業効率で確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明にかかる板状材の塗工方法の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。本実施形態にかかる板状材の塗工方法は基本的には図１〜図７に示すように、板状材１Ｓ，１Ｐが設置されるテーブル２と、塗工液Ｌを吐出する吐出口１３を有する吐出ノズル４とを相対的に前後移動させることにより、板状材１Ｓ，１Ｐに塗工する板状材の塗工方法であって、塗工液Ｌの吐出量を調整するために吐出口１３の開き度合を調整する吐出口調整手段３と、板状材１Ｓに形成した塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するための測距手段６を予め備えておき、まず、テーブル２に試験用の板状材１Ｓを設置して、テーブル２と吐出ノズル４とを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材１Ｓに試験塗工を行い、次いで、テーブル２と吐出ノズル４とを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、測距手段６により測定を行い、次いで、所望の塗工面ＬＳを得るために、測距手段６による測定結果に応じて、吐出口調整手段３により吐出口１３の開き度合を調整し、その後、板状材１Ｐに塗工処理を行うようになっている。図１（ａ）は塗工工程を正面から見た図、図１（ｂ）は塗工工程を側方から見た図である。
【００１３】
まず、本実施形態にかかる板状材の塗工方法に用いられる装置について説明する。図１〜図６に示すように、当該装置は主に、御影石等で定盤として形成されるテーブル２と、テーブル２上で板状材１Ｓ，１Ｐ上方を走行移動するノズルホルダー５と、ノズルホルダー５に取り付け支持され、塗工液Ｌを吐出して板状材１Ｓ，１Ｐに塗工処理を施す吐出ノズル４とから構成される。
【００１４】
テーブル２上面は、高い平面度の平坦面で形成される。このテーブル２上面には、試験用の板状材１Ｓや製品用の板状材１Ｐが載置される。ノズルホルダー５は、左右一対の脚部５ａと、これら脚部５ａ間に掛け渡される横架部５ｂとを備えて、全体として門形状に形成される。横架部５ｂが板状材１Ｓ，１Ｐ上方を横行する。ノズルホルダー５はさらに、左右一対の脚部５ａおよび横架部５ｂと接合された縦壁部５ｃを有し、側断面Ｌ字状に形成される。
【００１５】
ノズルホルダー５の各脚部５ａとテーブル２上面との間には、ノズルホルダー５をテーブル２上で前後方向に往復移動させるためのリニアモーター７が左右一対設けられる。これにより、ノズルホルダー５は、待機位置Ｘからスタートして、板状材１Ｓ，１Ｐ上方を前進し、折り返し位置Ｙまで達して一旦停止し、その後、折り返し位置Ｙからリスタートして、待機位置Ｘまで戻って停止する往復移動を行うようになっている。ノズルホルダー５に対して、テーブル２を移動させるようにしても良い。また、図示しないけれども、各脚部５ａにはそれぞれ、それらの高さを個別に調整して横架部５ｂの横架状態を調整できるように、ボールネジ形式などのジャッキが組み込まれる。
【００１６】
吐出ノズル４は、ノズルホルダー５の長さ方向に沿って、横架部５ｂ下に縦壁部５ｃに沿って設けられる。吐出ノズル４は、互いに重ね合わされる前後一対の板状のリップ８ａ，８ｂから構成される。これらリップ８ａ，８ｂは、Ｖ字状に先細りに形成された吐出ノズル４の下端部４ａと反対側の上端部４ｂがノズルホルダー５の横架部５ｂから吊り下げた状態で保持され、これによりリップ８ａ，８ｂの下端側は変形可能な自由端として構成される。一方のリップ８ｂには、他方のリップ８ａに面して、かつ吐出ノズル４の長さ方向に沿って、塗工液導入管１５から吐出ノズル４に導入される塗工液Ｌを一旦貯留するためのチャンバ９が形成される。また、これら一対のリップ８ａ，８ｂ間には、チャンバ９と連通するスリット状の隙間が形成され、この隙間が、吐出ノズル４の下端部４ａにその長さ方向に沿って一連な吐出口１３として形成される。吐出口１３は、チャンバ９から供給される塗工液Ｌを吐出する。
【００１７】
本実施形態にあっては、吐出口１３の開き度合を調整して塗工液Ｌの吐出量を調整するための吐出口調整手段３が備えられる。吐出口調整手段３は図３〜図６に示すように、一方のリップ８ａに対して他方のリップ８ｂを接離させる方向に力を加えるための加力手段１０と、これらリップ８ａ，８ｂの変位を測定する測定手段１１とから構成される。これら図にあっては、ノズルホルダー５を進退方向に倒して、吐出ノズル４を横向きに寝かせた状態を示している。加力手段１０は、一方のリップ８ａに固定され、ノズルホルダー５の縦壁部５ｃから外方へ突出されたケーシング１０ａと、ケーシング１０ａに対し前後方向にスライド自在に設けられ、当該一方のリップ８ａを貫通して他方のリップ８ｂにネジ込みや溶接などで接合されたロッド１０ｂと、ケーシング１０ａ内に設けられ、ロッド１０ｂをスライド移動させる図示しない駆動部とから構成される。駆動部の駆動方式としては、空圧式など、周知の方式が採用される。加力手段１０として具体的には、空圧シリンダー等を採用することができる。ロッド１０ｂは図４に示すように、チャンバ９を避けた位置に接合することが好ましい。
【００１８】
加力手段１０は、ケーシング１０ａを介して一方のリップ８ａに反力をとって、他方のリップ８ｂを押し出す方向もしくは引き込む方向に力を加え、自由端であるリップ８ａ，８ｂ同士を接離させる方向の力を加える。これによりスリット状の隙間で形成される吐出口１３を開いたり閉じたりして、その開き度合を調整する。この際、加力手段１０のロッド１０ｂ接合部分（吐出ノズル４端部）におけるリップ８ａ，８ｂの間隔は、変化量としては、殆ど無いに等しいが、吐出ノズル４は長さ２ｍにも及ぶため、加力手段１０で加えた力は、吐出ノズル４に内部応力として伝わった結果、吐出口１３の長さ方向中央部ではスリット状の隙間が１０μｍ程度の変化量となって現れ、これが膜厚分布の調整に大きな効果を与える。また、上記のように、ロッド１０ｂは、チャンバ９を避けた位置に接合されているが、加力手段１０によって力を加えても、上記のように、ロッド１０ｂ接合部分（吐出ノズル４端部）における間隔の変化量は無いに等しいため、その部分から塗工液Ｌが漏れ出ることはない。
【００１９】
吐出口１３の開き度合は測定手段１１によって、事前に測定される。図３，図５および図６は、吐出ノズル４をノズルホルダー５から外して進退方向に９０°倒し、別途準備した測定用定盤２ａ上のブロック２ｂに載せた状態を示す。しかし、吐出ノズル４を外すことなく測定できる機構をテーブル２に組み込むようにしてもよいことはもちろんである。この測定手段１１は、テーブル２上に設置されるスタンド１１ａと、スタンド１１ａに設けられたアーム１１ｂと、アーム１１ｂの先端に設けられたダイヤルゲージ等の変位表示ゲージ１１ｃとから構成される。変位表示ゲージ１１ｃの測定ロッド１１ｄは出没自在で、吐出ノズル４の外側からリップ８ａ，８ｂの下端部に、その開閉方向に沿って当接され、加力手段１０によるリップ８ａ，８ｂの変形もしくはリップ８ａ，８ｂの変位で押されて、当該変形量等を目視で計測できるようになっている。変位表示ゲージ１１ｃの目盛りを読み取ることで、吐出口１３の開き度合が確認される。
【００２０】
本実施形態にあっては図５および図６に示すように、加力手段１０および測定手段１１から構成される吐出口調整手段３が、吐出ノズル４の長さ方向中央と一端に、２セット設けられている。そして例えば、吐出ノズル４の両端に配置した左右２セットの加力手段１０に備えたロッド１０ｂをともに押し出す方向に力を加えると、いずれのリップ８ａ，８ｂもともに、他方に対して僅かながら凸の形態に反って、これにより、吐出ノズル４の中央部において、初期隙間量ｆに対し、吐出口１３の開き度合が調整隙間量Ｆに変更され、それに従って吐出口１３の開き具合が吐出ノズル４の長さ方向に調整される。吐出口調整手段３は、吐出ノズル４の長さ方向に適宜間隔を隔てて３セット以上設けるようにしてもよく、このようにすればきめ細やかな調整を行うことができる。測定手段１１としては、ゲージ式のものに代えて、変位やひずみ、圧力を検出することができる各種のセンサ等を使用することもできる。このようにして、加力手段１０の加力量（例えば、空圧シリンダーへ供給する空気圧）と、吐出口１３の開き度合との関係を事前に測定し、この測定データを予めコントローラ１２に入力しておいて、膜厚の調整に用いるようにしている。
【００２１】
テーブル２上面には、ノズルホルダー５の待機位置Ｘに、吐出ノズル４の長さ方向に適宜間隔を隔てて、吐出ノズル４との間、具体的には吐出口１３が設けられた下端部との間の隙間寸法を検出する隙間センサー１４が設けられる。隙間センサー１４としては、例えばマグネスケール（登録商標）が用いられる。隙間センサー１４は、後述するコントローラ１２に接続されて、検出した隙間量をコントローラ１２に出力する。コントローラ１２は、隙間センサー１４から入力される隙間量に応じて、脚部５ａのジャッキを適宜に昇降制御し、適時に、吐出ノズル４のレベルを初期化する動作をも制御する。
【００２２】
測距手段６は、ノズルホルダー５の縦壁部５ｃに、吐出ノズル４とは反対側に位置させて設けられる。測距手段６も、縦壁部５ｃの長さ方向に適宜間隔を隔てて設けられる。図２の例にあっては、測距手段６は、塗工面ＬＳの両端と中央に位置させて、３セット設けられる。これら測距手段６としては例えば、出射したレーザー光が反射して戻ってくるまでの時間を計測して距離を測定するレーザーセンサーが採用される。これら測距手段６にはコントローラ１２が接続され、測定値が当該コントローラ１２へと出力される。
【００２３】
これら測距手段６は、試験用の板状材１Ｓに吐出ノズル４で塗工を施した後の当該吐出ノズル４の後進時に、それら直下の塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離をノズルホルダー５の走行方向に沿って測定し、当該距離を測定値として出力する。測距手段６による測定操作は、吐出ノズル４の後進中に連続して行うようにしてもよいし、あるいは適宜間隔ごとに行うようにしてもよい。前者は、測定対象距離を連続的に測定する方法であり、後者は、測定対象距離を複数箇所でサンプリングする方法であって、いずれの方法を採用しても良い。
【００２４】
コントローラ１２には、各吐出口調整手段３の加力手段１０が接続され、コントローラ１２は、測距手段６から入力された測定値を演算処理して、加力手段１０で調整すべき吐出口１３の開き度合を、制御量として各吐出口調整手段３の加力手段１０へ出力する。本実施形態にあっては、３セットの測距手段６を、２セットの加力手段１０の間に配設したので、コントローラ１２にて、これら３セットの測距手段６の測定値に対し補間処理を行って、各加力手段１０の取付位置においてこれら加力手段１０それぞれによりリップ８ａ，８ｂに加える力を最適化できるように構成されている。吐出口１３の開き度合の制御量は、駆動部でロッド１０ｂを押し出しあるいは引き込みする加力値として出力される。各加力手段１０は、コントローラ１２から入力される制御量に従い、それらの駆動部がロッド１０ｂに加力してスライド移動させる力を加え、これにより測距手段６で測定された測定結果に応じて、具体的には測定値に対するコントローラ１２での演算処理結果に応じて、吐出口１３の開き度合の調整が行われる。
【００２５】
次に、本実施形態にかかる板状材の塗工方法について説明する。まず、待機位置Ｘにおいて、隙間センサー１４による測定により、ノズルホルダー５の脚部５ａのジャッキを適宜調整することで、吐出ノズル４が初期状態にレベル調整される。この動作は、塗装条件の変更等に応じて、初期設定として最初だけ行われる。次に、テーブル２上面に第１の試験用の板状材１Ｓを、吸引手段等でテーブル面に吸着固定して設置し、テーブル２に対してノズルホルダー５を前進させ、吐出ノズル４により第１の試験塗工を行う（図１中、（i）〜（ii）参照）。次いで、テーブル２に対してノズルホルダー５を後進させ、その過程で測距手段６により測定を行う（図１中、（iii）参照）。例えば、図７の「データ１」で示すように、第１の試験用の板状材１Ｓの左右端部間で、ΔｔＢの偏差があった場合には、隙間センサー１４で検出される隙間量を用い、コントローラ１２でジャッキを作動させて左右一対の脚部５ａの高さを調整し、横架部５ｂの横架状態を調節して、塗工面ＬＳに対しての吐出ノズル４のレベル補正を行う（図１中、（iv）参照）。これにより、ΔｔＢをほぼゼロに設定する。
【００２６】
次いで、テーブル２上面に第２の試験用の板状材１Ｓを設置し、テーブル２に対してノズルホルダー５を前進させ、吐出ノズル４により第２の試験塗工を行う（図１中、（i）〜（ii）参照）。このときの塗工面ＬＳは、前記レベル補正により、ΔｔＢがほぼゼロの状態に仕上がっている。次いで、テーブル２に対してノズルホルダー５を後進させ、その過程で測距手段により測定を行う（図１中、（iii）参照）。仮に、図７の「データ２」に示すように、第２の試験用の板状材１Ｓの塗工面ＬＳの中央部が左右よりもΔｔＣ高い状態が測定された場合には、測距手段６で計測された測定値を用い、コントローラ１２で吐出口調整手段３を作動させて吐出口１３の開き度合の調整を行う（図１中、（iv）参照）。吐出ノズル４の長さ方向において、吐出口１３の開き度合を狭くした箇所からは、開き度合の広い箇所よりも塗工液を少なく吐出させることができ、これにより、ΔｔＣをほぼゼロに設定することができる。このようにしてΔｔＣをほぼゼロに設定できれば、その後塗工が施される製品用の板状材１Ｐに平坦な塗工面ＬＳを形成することができる（図１中、（v）参照）。
【００２７】
図７に示したように、レベル補正や開き度合の調整のために、複数回の試験塗工を繰り返すようにしてもよい。また、本実施形態にあっては、平坦な塗工面ＬＳを得る場合について説明したが、吐出口１３の開き度合の調整のみ、あるいはこれにレベル補正を組み合わせることで、吐出ノズル４の長さ方向に適宜に傾斜させた塗工面ＬＳや任意形態の塗工面ＬＳを形成することもできる。
【００２８】
さらに、上記手順では、第１の試験塗工、第２の試験塗工というように、２回に分けて行うようにしたが、コントローラ１２での演算により、１回の試験塗工で済ませることも可能である。
【００２９】
以上説明した本実施形態にかかる板状材の塗工方法にあっては、塗工液Ｌの吐出量を調整するために吐出口１３の開き度合を調整する吐出口調整手段３と、板状材１Ｓに形成した塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するための測距手段６を予め備えておき、まず、テーブル２に試験用の板状材１Ｓを設置して、テーブル２と吐出ノズル４とを相対的に前方へ向かって移動させて当該試験用板状材１Ｓに試験塗工を行い、次いで、テーブル２と吐出ノズル４とを相対的に後方へ向かって移動させる過程で、測距手段６により測定を行い、次いで、所望の塗工面ＬＳを得るために、測距手段６による測定結果に応じて、吐出口調整手段３により吐出口１３の開き度合を調整し、その後、板状材１Ｐに塗工処理を行うようにしたので、吐出ノズル４から吐出される塗工液Ｌで形成される塗工面ＬＳを適正かつ確実に管理することができ、板状材１Ｓ，１Ｐが高い平面度であれば塗膜厚も適切に管理できて、塗工面ＬＳの品質管理、製品の歩留まり向上を、高い作業効率で確保することができる。
【００３０】
このように適切な塗工面管理を行うことができれば、塗工液Ｌを板状材１Ｐに塗工した後でも、塗工面ＬＳを自由に調整することができ、製品品質を向上することができる。また、吐出ノズル４等の部品の機械的精度や組み立て精度が十分に得られなくても、本実施形態にかかる方法により塗工面ＬＳの精度を保証できることから、装置の分解修理等のメンテナンスを削減して、塗工操作を行うことができ、メンテナンスコストの削減や作業能率の向上を確保できる。さらに、塗工液Ｌの交換や塗工液Ｌの品質のばらつきに対しても、本実施形態にかかる方法による吐出ノズル４の位置調整で簡便に塗工処理を実行することができ、作業効率を向上することができる。また、各種塗工液Ｌに対し、塗工速度も考慮して、吐出口１３の開き度合と塗膜厚との相関データを取得しておけば、塗工中にコントローラ１２にて自動膜厚設定や自動膜厚補正を行って、板状材１Ｐの全面にわたって適切な塗工作業を実施することができる。
【００３１】
また、測距手段６で塗工面ＬＳと吐出ノズル４との間の距離を測定するようにしているので、この測定結果を用いて、コントローラ１２による吐出口調整手段３の制御量を設定することができ、塗工面ＬＳの補正や管理を自動化することができる。また、前進して塗工処理するノズルホルダー５の後進過程を利用して測距手段６で測定を行うようにしているので、処理時間を短縮化することができる。また、左右一対の脚部５ａの高さ調整を行うジャッキを用いたレベル補正と組み合わせた塗工制御としているので、吐出口１３の開き度合の調整量を必要最小限に抑えることができ、合理的かつ適切に塗工面管理を行うことができる。
【００３２】
さらに、吐出口調整手段３を、吐出ノズル４のリップ８ａ，８ｂを接離させる加力手段１０と、これらリップ８ａ，８ｂの変位を測定する測定手段１１とで構成したので、加力手段１０の加力値に対する吐出口１３の開き度合を事前に測定して、その結果をコントローラ１２に入力することができ、ミクロンオーダーとなる開き度合の調整を、簡易かつ適切に行うことができる。本実施形態にあっては、ガラス基板などの板状材を例にとって説明したが、フィルムなどの表面にペースト、レジスト液、カラーフィルタなどの塗工液を塗工する処理にも好ましく適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明にかかる板状材の塗工方法の好適な一実施形態を説明する概略説明図である。
【図２】図１に示した方法に用いられる塗工装置を、前方斜めおよび後方斜めから見た状態を示す概略説明図である。
【図３】図１の方法に用いられる塗工装置に適用される吐出口調整手段による吐出口の開き具合の測定状態を示す側面図である。
【図４】図３に示した吐出口調整手段の加力手段を示す平面図である。
【図５】図３に示した吐出口調整手段による吐出口の開き度合調整前の段階を示す説明図である。
【図６】図３に示した吐出口調整手段による吐出口の開き度合調整後の段階を示す説明図である。
【図７】図１に示した方法における塗工処理手順の概略を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１Ｓ，１Ｐ  板状材
２  テーブル
３  吐出口調整手段
４  吐出ノズル
６  測距手段
８ａ，８ｂ  リップ
１０  加力手段
１１  測定手段
１３  吐出口
１５  塗工液導入管
Ｌ  塗工液
ＬＳ  塗工面
【図１】
2008183491.tif 000003
【図２】
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【図３】
2008183491.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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