(57)【要約】【課題】ダイヤフラムの撓む向きの変更に起因する弁体に働く荷重の変動が原因で、個体差による作動圧のばらつきを抑制できる弁装置、流体供給装置及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】バルブユニット２１において、インク供給室５６と圧力室４３を区画する隔壁５１には弁孔５２が形成されている。インク供給室５６に圧縮バネ５９により圧力室４３側へ付勢された弁体５７の軸部５７ｂは弁孔５２に挿通され、ダイヤフラム４２ａの内面に固着された受圧部材６５に当接している。また、受圧部材６５は圧力室４３内に配設された負圧保持バネ６６により外側へ付勢されている。圧力室４３が作動圧にある状態で、弁体５７の板状部５７ａに冠着されたシール部材６０の凸部６０ａが弁座６１に当接した閉弁状態において、ダイヤフラム４２ａが、フィルム部材４２のフレーム４０の側面における溶着位置より圧力室４３側へ凹む状態になるように構成されている。【選択図】図５
2008200996.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体供給源から流体噴射手段に流体を供給する流路の途中に設けられる圧力調整用の弁装置であって、
前記流路と上流側で連通する流体供給室と、
前記流路と下流側で連通する圧力室と、
前記圧力室の壁面の一部を構成するとともに該圧力室の内外の圧力差によって撓むダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムに設けられた受圧部材と、
前記圧力室の流体が減った際の該圧力室の流体圧に基づき前記受圧部材に働く開弁方向の力が強まることに基づき開弁し、該開弁により前記流体供給室から流体が前記圧力室に流入した際の該圧力室の流体圧に基づき前記受圧部材に働く開弁方向の力が弱まることに基づき閉弁する弁手段とを備え、
前記弁手段の開閉により前記流体供給室の流体圧を減圧して前記圧力室を所定の作動圧に保持するように構成され、
前記弁手段が、前記圧力室が前記作動圧にある状態で開弁状態から閉弁状態になっても、前記ダイヤフラムが前記圧力室側へ凹んだ状態に保持されるように構成されていることを特徴とする弁装置。
【請求項２】
前記弁手段は、該流体供給室に一部収容された弁体と、該弁体を閉弁方向に付勢する付勢手段とを備え、
前記弁体は前記流体供給室と前記圧力室とを連通する弁孔に挿通された軸部を有し、該軸部は前記受圧部材に直接又は間接的に当接していることを特徴とする請求項１に記載の弁装置。
【請求項３】
前記受圧部材は、前記ダイヤフラムの前記圧力室側の内面に固定され、前記圧力室が作動圧にあるときに前記弁体の軸部は前記受圧部材に当接していることを特徴とする請求項２に記載の弁装置。
【請求項４】
前記圧力室に設けられて前記受圧部材を前記弁手段の閉弁方向又は開弁方向に付勢する流体圧設定バネを備えたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の弁装置。
【請求項５】
前記流体圧設定バネはコイルバネであり、前記受圧部材は前記流体圧設定バネの一端部を支持する第１筒状部を有し、前記流体供給室と前記圧力室とを区画する隔壁における前記圧力室側の面には、前記流体圧設定バネの一端部を支持する第２筒状部が前記弁孔を囲むように形成されており、前記第２筒状部には径方向に貫通する切欠が形成されていることを特徴とする請求項４に記載の弁装置。
【請求項６】
流体供給源と、流体を噴射する流体噴射手段と、前記流体供給源の流体を前記流体噴射手段へ供給するための流路上に設けられた請求項１乃至５のいずれか一項に記載の弁装置とを備えたことを特徴とする流体供給装置。
【請求項７】
請求項６に記載の流体供給装置を備えたことを特徴とする流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムを備えるとともにダイヤフラムの両側の圧力差（差圧）に基づき開閉する弁装置、流体供給装置及び流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の弁装置として、例えば特許文献１には、背圧調整器が開示されており、その背圧調整器はダイヤフラムとダイヤフラム・ピストンとレバーと、弁座と、ノズルを備えていた。そして、プリントヘッドにおける背圧が所定値よりも下がると、ダイヤフラム・ピストンにカが加えられ、レバーが回転する。そして、このレバーの回転によりレバーに備えられている弁座がノズルから離れ、インクがプリントヘッドへ流入するようになっていた。従って、プリントヘッドには、供給チューブにおける圧力変動にかかわらず、背圧調整器によってインクが均一な圧力で供給されるようになり、印刷品質を向上させることができる。
【０００３】
しかし、上記の背圧調整器は、ダイヤフラムと弁座との間に複数の部品が介在されているため、構成が複雑になって小型化が難しいうえ、動力伝達のロスが生じやすいという問題があった。
【０００４】
この問題を解消できる構成として、例えば特許文献２に記載された弁装置が知られている。すなわち、特許文献２に記載された弁装置は、インクジエット式プリンタにおけるキャリッジ側に設けられたインク供給用のバルブユニットであり、インクジエット式プリンタの本体側に配置されたインクカートリッジからのインクを圧力調整して記録ヘッドに供給するもので、また自己封止機能を有していた。このバルブユニットはインク供給室と圧力室を備え、前記インクカートリッジから供給されたインクは、インク供給室から圧力室を経て記録ヘッドに供給されるようになっている。インク供給室と圧力室との間には圧力室側（閉弁方向）へバネで付勢された可動バルブが設けられており、この可動バルブの開閉によってインク供給室と圧力室とが連通／非連通となるように構成されている。記録ヘッドのインク吐出に伴う圧力室内部のインク量が減少することによって圧力室の一部を構成するフィルム部材（ダイヤフラム）に設けられた受圧板が変位し、その変位を可動バルブに対して直接伝達することによって可動バルブを動作させるように構成されていた。
【特許文献１】特開平９−１１４８８号公報
【特許文献２】特開２００４−１４２４０５号公報（例えば図２５〜図２７等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に記載されたインク供給用のバルブユニットでは、作動圧（圧力室のインク圧）の絶対値を小さくするという要求に対してバネを弱くすると、圧力室の一部を構成するフィルム（ダイヤフラム）の反力の影響が現れるようになり、フィルム姿勢によって作動圧が大きくバラツクという課題があった。
【０００６】
すなわち、可動バルブのロッド部材がフィルム部材における受圧板に対応する部分に当たる角度がばらつくと、フィルム部材からロッド部材に伝えられる力がばらつき、バルブユニットが開閉するときの圧力室の流体圧のばらつきをもたらし、作動圧がばらつくという問題を招く。
【０００７】
ところで、バルブユニットの閉弁状態において、ダイヤフラムは、ユニットケースの側面（ダイヤフラムを構成するフィルム部材がユニットケースに熱溶着されている面）に対してほぼ面一になっていた。しかし、例えば、バルブユニットを構成する部品の寸法ばらつきや組付け位置のばらつきなどが原因で、閉弁状態で作動圧になっているときのダイヤフラムの位置が、その溶着部分の位置より外側（大気側）に変位してしまう場合があった。この場合、ダイヤフラム（フィルム部材）が、大気側に膨らむ凸の状態から、圧力室側へ凹む状態に変化するとき、ダイヤフラムが撓みのない元の形状に復元しようとする反力（フィルム反力）の向きが、ダイヤフラムが外側に膨らんだときに働く開弁方向の向きから、ダイヤフラムが圧力室側へ凹んだ状態のときに働く閉弁方向の向きへ変化する。このため、フィルム反力が働く向きが切り換わる前後で、弁体にかかる荷重が変動して、これが個体差による作動圧のばらつきを生じさせる。この個体差による作動圧のばらつきは、記録ヘッド内のインク圧のばらつきとなって現れ、圧電振動子等の吐出駆動素子が駆動されたときにノズルから噴射されるインク滴の質量のばらつきを生じさせるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ダイヤフラムの撓む向きの変更に起因する弁体に働く荷重の変動が原因で、個体差による作動圧のばらつきを抑制できる弁装置、流体供給装置及び液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、流体供給源から流体噴射手段に流体を供給する流路の途中に設けられる圧力調整用の弁装置であって、前記流路と上流側で連通する流体供給室と、前記流路と下流側で連通する圧力室と、前記圧力室の壁面の一部を構成するとともに該圧力室の内外の圧力差によって撓むダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに設けられた受圧部材と、前記圧力室の流体が減った際の該圧力室の流体圧に基づき前記受圧部材に働く開弁方向の力が強まることに基づき開弁し、該開弁により前記流体供給室から流体が前記圧力室に流入した際の該圧力室の流体圧に基づき前記受圧部材に働く開弁方向の力が弱まることに基づき閉弁する弁手段とを備え、前記弁手段の開閉により前記流体供給室の流体圧を減圧して前記圧力室を所定の作動圧に保持するように構成され、前記弁手段が、前記圧力室が前記作動圧にある状態で開弁状態から閉弁状態になっても、前記ダイヤフラムが前記圧力室側へ凹んだ状態に保持されるように構成されていることを要旨とする。
【００１０】
これによれば、弁装置の圧力室が作動圧にある状態で、弁手段が開弁状態から閉弁状態になっても、ダイヤフラムが圧力室側へ凹む撓み状態にある。このため、その後、流体噴射手段で流体が噴射されて圧力室の流体が減って受圧部材が開弁方向に変位して、弁手段が閉弁状態から開弁状態になる過程で、ダイヤフラムの撓む向きは圧力室側へ凹んだ状態のまま保持される。つまり、受圧部材に働くダイヤフラム反力の向きが途中で切り換わることなく、ダイヤフラム反力は常に同じ向きに働く。このことは、閉弁状態にあるときにダイヤフラムがばらつきを見込んで圧力室側へ凹んだ状態にあるので、たとえ弁装置の個体差でばらつきがあっても成り立つ。このため、弁手段を開閉させる作動力（圧力室の流体圧に基づき受圧部材に働く力、ダイヤフラム反力等の力の総和）の個体差によるばらつきが生じにくい。この結果、弁装置の個体差による作動圧のばらつきを抑制できる。
【００１１】
本発明の弁装置では、前記弁手段は、該流体供給室に一部収容された弁体と、該弁体を閉弁方向に付勢する付勢手段とを備え、前記弁体は前記流体供給室と前記圧力室とを連通する弁孔に挿通された軸部を有し、該軸部は前記受圧部材に直接又は間接的に当接していることが好ましい。
【００１２】
これによれば、弁体が閉弁方向に付勢され、また、圧力室の流体圧に基づき受圧部材に働く力は、受圧部材に直接又は間接的に当接している軸部を介して弁体に伝達される。圧力室の流体が消費等により減って受圧部材に働く開弁方向の力が増すと、受圧部材から開弁方向の力を受けた弁体は付勢手段の付勢力に抗して開弁方向へ移動して、弁装置が開弁する。弁装置が開弁することで、流体供給室から圧力室へ流体が流入する。
【００１３】
本発明の弁装置では、前記受圧部材は、前記ダイヤフラムの前記圧力室側の内面に固定され、前記圧力室が作動圧にあるときに前記弁体の軸部は前記受圧部材に当接していることが好ましい。これによれば、弁体の軸部は受圧部材に直接当接している。このため、軸部がダイヤフラムを介して受圧部材に間接的に当接している構成に比べ、ダイヤフラムが損傷しにくい。
【００１４】
本発明の弁装置では、前記圧力室に設けられて前記受圧部材を前記弁手段の閉弁方向又は開弁方向に付勢する流体圧設定バネを備えていることが好ましい。
これによれば、流体圧設定バネの付勢力が閉弁方向である場合は、受圧部材は開弁方向へ変位するとき、流体圧設定バネの付勢力に抗して移動する必要があるので、流体圧設定バネの付勢力に相当する分、圧力室の流体圧（作動圧）を低い側に設定できる。一方、流体圧設定バネの付勢力が開弁方向である場合は、流体圧設定バネの付勢力が受圧部材の開弁方向の変位を助長するので、流体圧設定バネの付勢力に相当する分、圧力室の流体圧（作動圧）を高い側に設定できる。よって、流体圧設定バネがあることで、圧力室の流体圧（作動圧）を調整できる。
【００１５】
本発明の弁装置では、前記流体圧設定バネはコイルバネであり、前記受圧部材は前記流体圧設定バネの一端部を支持する第１筒状部を有し、前記流体供給室と前記圧力室とを区画する隔壁における前記圧力室側の面には、前記流体圧設定バネの一端部を支持する第２筒状部が前記弁孔を囲むように形成されており、前記第２筒状部には径方向に貫通する切欠が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の弁装置。
【００１６】
これによれば、ダイヤフラムが圧力室側へ変位して弁装置が開弁されるときに、流体圧設定バネの圧縮に伴って互いに接近した第１筒状部と第２筒状部との隙間が狭くなっても、流体供給室から弁孔を通じて流入した流体を、第２筒状部の切欠を介して圧力室の外周側へ送ることが可能になる。
【００１７】
本発明は、流体供給装置であって、流体供給源と、流体を噴射する流体噴射手段と、前記流体供給源の流体を前記流体噴射手段へ供給するための流路上に設けられた上記発明の弁装置とを備えたことを要旨とする。この流体供給装置によれば、上記発明の弁装置の作用効果を得ることができる。
【００１８】
本発明は、流体噴射装置であって、上記発明の流体供給装置を備えたことを要旨とする。この流体噴射装置によれば、上記発明の流体供給装置と同様の効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図５に従って説明する。
図１は、外装ケースを取り外した状態のインクジェット式記録装置の平面図を示す。
流体噴射装置としてのインクジェット式記録装置（以下、単に記録装置１１という）は、上側（図１では紙面手前側）が開口する略直方体形状の箱体からなる本体ケース１２を有する。本体ケース１２内には、プラテン１３が主走査方向（図１における左右方向）に沿って延びるように配置され、ターゲットとしての記録媒体（図示しない）は、プラテン１３に支持された状態で、紙送り手段（図示しない）により副走査方向（図１における上下方向）に搬送される。
【００２０】
また、本体ケース１２内には、棒状のガイド軸１４が、プラテン１３と平行に延びるように架設されている。ガイド軸１４にはキャリッジ１５が軸方向に沿って往復移動可能な状態に支持されている。キャリッジ１５は、本体ケース１２の後部（図１における上側部分）に軸支された一対のプーリ１６ａ，１６ｂに巻き掛けられたタイミングベルト１７とその背面側（図１では上側）部分にて固定されている。図１において、本体ケース１２の背面右端寄り位置に配設されたキャリッジモータ１８が正逆転駆動されることにより正逆回転するタイミングベルト１７を介してキャリッジ１５は主走査方向に沿って往復移動する。
【００２１】
キャリッジ１５の下部には、流体としてのインクを噴射する流体噴射手段としての記録ヘッド２０が設けられている。また、キャリッジ１５上には、複数の圧力調整用のバルブユニット２１が搭載されている。各バルブユニット２１により、それぞれブラック、イエロー、マゼンタ及びシアンの各インクが圧力調整（減圧）されて記録ヘッド２０へ供給される。印刷時は、画像データに基づいて、キャリッジ１５を主走査方向（図１における左右方向）に移動させながら記録ヘッド２０のノズルからインクを吐出させる印字動作と、図示しない紙送り手段によって記録媒体（記録用紙）を副走査方向に移動させる紙送り動作とを交互に行うことにより、記録媒体に印刷が施される。
【００２２】
本体ケース１２の一端部（図１における右端部）に設けられたカートリッジホルダ２４には、インク色に対応した４個の流体供給源（流体貯留手段）としてのインクカートリッジ２３が着脱可能に装填されている。各カートリッジホルダ２４は、それぞれインク供給チューブ３５を通じて各バルブユニット２１に接続されている。
【００２３】
図１に示すように、インクカートリッジ２３の装填位置の上側には、加圧ポンプ２５が本体ケース１２に支持された状態で設けられている。加圧ポンプ２５は、大気を吸引して加圧空気として排出することが可能であり、その排出された加圧空気は、加圧チューブ３７を通じて圧力検出器３６を経て大気開放弁３８に供給される。
【００２４】
圧力検出器３６では、加圧ポンプ２５から供給された空気の圧力が検出される。そして、圧力検出器３６の検出圧に基づいて、加圧ポンプ２５の駆動が制御される。大気開放弁３８は、４本の空気供給チューブ３９を通じてカートリッジホルダ２４に接続されており、インクカートリッジ２３内に加圧空気が導入される。なお、大気開放弁３８は、内部の室を大気に開放する開弁状態と、該室の大気との連通を遮断する閉弁状態に切り換えられる弁であり、加圧ポンプ２５が駆動されるときには閉弁される。
【００２５】
図２は、記録装置におけるインク供給システムの基本構成を示したものである。ここで、図２に示したインク供給システムは、空気加圧供給タイプを示している。なお、図２では、１色分のインク供給システムのみを示している。
【００２６】
加圧ポンプ２５は、電動モータ２５ａとポンプ２５ｂとを備える。ポンプ２５ｂの吐出口とインクカートリッジ２３とを接続する加圧チューブ３７上には、前述の圧力検出器３６と大気開放弁３８とが直列に設けられている。
【００２７】
インクカートリッジ２３は、気密状態に形成された外郭ケース２３ａを有しており、この外郭ケース２３ａ内に、インクが封入されるとともに可撓性材料よりなるインクパック２３ｂが収容されている。インクカートリッジ２３が装填された状態では、加圧チューブ３７が外郭ケース２３ａとインクパック２３ｂとの間の空気室３４と連通されるように構成され、加圧ポンプ２５から送られた加圧空気は、この空気室３４に導入される。
【００２８】
また、図２に示すように、インクカートリッジ２３が装填された状態では、インクパック２３ｂのインク導出部２３ｃがインク供給チューブ３５と接続されるように構成されている。インクカートリッジ２３内の空気室３４に導入された加圧空気によってインクパック２３ｂは外側から加圧され、インクパック２３ｂからは加圧インクがインク供給チューブ３５を通じてバルブユニット２１に供給される。そして、バルブユニット２１に供給された加圧インクは、大気圧より若干低い所定の作動圧（負圧）に減圧され、作動圧に減圧されたインクが記録ヘッド２０に供給される。記録ヘッド２０はノズル毎にインク室と吐出駆動素子（いずれも図示せず）とを内部に備え、吐出駆動素子が駆動された際の吐出力（吐出圧）がインク室内のインクに及ぶことにより、ノズルからインクが吐出される。なお、吐出駆動素子としては、振動による吐出圧でインク滴を吐出させる圧電振動素子又は静電駆動素子、あるいはインクに熱を与えて局所的に膜沸騰させて発生した気泡の成長・収縮を利用してインク滴を噴射させる電気熱変換素子などを採用できる。また、インク供給システムは、水頭差によりインクカートリッジ２３からインクを供給する水頭差タイプのものも採用できる。なお、インク供給システムが流体供給装置を構成する。
【００２９】
図３は、バルブユニット２１及び記録ヘッド２０を示す斜視図である。
図３に示すように、４つのバルブユニット２１は、記録ヘッド２０を下部に支持するヘッド支持体４６（キャリッジ１５の一部を構成する）の上部にそれぞれ搭載されている。バルブユニット２１は、偏平形状を有する合成樹脂製のフレーム４０を有し、その一端部に設けられた接続管部４１にチューブ３５が接続される。フレーム４０の一側面には可撓性のフィルム部材４２が熱溶着されており、バルブユニット２１の内部には、フィルム部材４２で壁面の一部を構成するように圧力室４３及びインク導出路４４が区画形成されている。
【００３０】
フィルム部材４２には、負圧状態を効率的に感知できるように軟質であると共に、インクに化学的な影響を及ぼさず、かつ水分透過度や、酸素や窒素等のガス透過度の低い材質が使用される。例えば高密度ポリエチレンフィルムあるいはポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに、塩化ビニリデン（サラン）をコーティングしたナイロンフィルムを接着ラミネートした構成が挙げられる。また、その他の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを使用してもよい。またフィルム部材４２の固着方法は、熱溶着以外に、振動溶着や接着剤を用いた固着方法も採用できる。
【００３１】
圧力室４３は、バルブユニット２１内で減圧されたインクの貯留室であり、減圧された作動圧のインクは圧力室４３からインク導出路４４を通じて、バルブユニット２１の図３における右端下側に下方へ突出する略円筒状の接続部４５に導出される。ヘッド支持体４６の上部には円環状の被接続部４７が複数（本例では４つ）設けられ、バルブユニット２１は、インク色の対応する接続部４５と被接続部４７とが接続された状態で、ヘッド支持体４６に取り付けられている。バルブユニット２１で減圧されたインクは、接続部４５と被接続部４７との接続を介してヘッド支持体４６内のインク流路（図示せず）に送られ、このインク流路から記録ヘッド２０内のインク流路を通ってノズル毎のインク室に供給される。なお、インク供給チューブ３５とヘッド支持体４６内のインク流路とにより、流体供給源と流体噴射手段とを接続する流路が構成される。
【００３２】
フィルム部材４２のうち圧力室４３の壁面の一部を構成する部分によりダイヤフラム４２ａが構成される。バルブユニット２１は、弁装置として、ダイヤフラム４２ａを有する差圧式の圧力調整弁２１Ａ（減圧弁）を内蔵する。なお、本実施形態では、バルブユニット２１は、圧力調整弁２１Ａのみ内蔵するが、他の弁も内蔵する構成も採用できる。
【００３３】
＜バルブユニット＞
次に、バルブユニット２１の詳細な構成を、図５に従って説明する。図５は、バルブユニット２１の図３におけるＡ−Ａ線断面を示している。図５（ａ）は閉弁状態、図５（ｂ）は開弁状態を示す。なお、バルブユニット２１の図５における左側の側面を左側面とし、図５における右側の側面を右側面と呼ぶことにする。フレーム４０（基材）は、図５に示すように、左側面に形成された小容積の円筒状の凹部４０ａと、右側面に、凹部４０ａより大径かつ周縁部が外側に向かって拡開する円錐台状で所定深さを有する凹部４０ｂとを有する。両凹部４０ａ，４０ｂは、両者を略区画する隔壁５１の中央部に形成された弁孔５２を通じて互いに連通している。また、フレーム４０の左側面上には凹部４０ａと連通する溝４０ｃが形成され、右側面上には凹部４０ｂと連通する溝４０ｄが形成されている。
【００３４】
フレーム４０の左側面には、凹部４０ａに嵌め込まれた蓋体５３の外側面（底面）を含むほぼ面全体に、フィルム部材５４が熱溶着されている。フィルム部材５４と溝４０ｃとに区画されてインク導入路５５が形成され、インク導入路５５はその上流側（図５における下側）で接続管部４１（図３参照）と連通するとともに、その下流側（図５における上側）で、蓋体５３と凹部４０ａとにより区画形成された流体供給室としてのインク供給室５６と連通している。一方、圧力室４３は、前述のとおり、フィルム部材４２と凹部４０ｂで区画され、インク供給室５６と弁孔５２を通じて連通している。
【００３５】
図５に示すように、インク供給室５６（弁室）には、弁体５７が収容されている。弁体５７は、円板形状の板状部５７ａと、この板状部５７ａの片面中央から圧力室４３側へ垂直に突出する軸部５７ｂと、板状部５７ａの底面（図５における左面）中央に形成された凸部５７ｃとを有している。軸部５７ｂは弁孔５２の径より若干小さな外径を有し、弁孔５２に挿通されている。弁体５７と蓋体５３との間には、付勢手段としての圧縮バネ５９（コイルバネ）が介装されており、この圧縮バネ５９の付勢力により、弁体５７は圧力室４３側に付勢されている。圧縮バネ５９は、一端部が蓋体５３の凸部に外挿された状態で保持され、他端部が弁体５７の凸部５７ｃに外挿された状態で保持されている。
【００３６】
また、板状部５７ａには、中央に孔を有するドーム形状のゴム又はエラストマよりなるシール部材６０が冠着されている。隔壁５１のインク供給室５６側の面には、弁孔５２を囲むように円環状の弁座６１が形成されている。また、シール部材６０の外周面上には、弁座６１と相対する位置に円環状の凸部６０ａが形成されている。
【００３７】
ダイヤフラム４２ａの内面中央部には、有底円筒状の受圧部材６５が熱溶着により固着されている。受圧部材６５は、弁体５７とほぼ同軸線上に位置する。圧力室４３内には、流体圧設定バネとしての負圧保持バネ６６が、受圧部材６５と隔壁５１との間に介装され、受圧部材６５は負圧保持バネ６６により大気側（外側）へ押圧付勢されている。負圧保持バネ６６として、本実施形態ではコイルバネを用いている。
【００３８】
受圧部材６５は、弁体５７の軸部５７ｂがダイヤフラム４２ａに直接当たることを避けるためにダイヤフラム４２ａの内面中央部に固着されている。受圧部材６５は、その軸線がダイヤフラム４２ａの軸線とも一致する状態に配置されている。
【００３９】
受圧部材６５は、隔壁５１側に向かって垂直に突出する筒状部６５ａを有している。筒状部６５ａは、負圧保持バネ６６の外径（バネ径）より若干大きな内径に形成されており、負圧保持バネ６６の一端部は筒状部６５ａに挿通された状態で保持されている。また、隔壁５１の圧力室４３側の面には、弁孔５２をほぼ囲む筒状部４０ｅが垂直に突出している。筒状部４０ｅには径方向に貫通する切欠４０ｆが形成されている。負圧保持バネ６６は、その一端部が筒状部４０ｅに外挿された状態で隔壁５１に当接し、その他端部が筒状部６５ａの内底面に当接している。
【００４０】
記録装置１１の電源投入状態では、加圧ポンプ２５の駆動による加圧力によりインクカートリッジ２３からインク供給チューブ３５を通じて加圧インクがインク供給室５６内に供給され、インク供給室５６内のインクは、所定インク圧（インク供給圧Ｐis）に加圧された状態にある。インク供給室５６と、弁体５７を隔てて位置する圧力室４３のインク圧Ｐinkは、大気圧より低い所定の負圧（作動圧）に保持されている。そして、図５（ａ）に示す閉弁状態において、ダイヤフラム４２ａは、フィルム部材４２がフレーム４０の側面に熱溶着された部分の外面の位置である図５（ａ）における位置Ｃよりも、弁体移動方向（図５における左右方向）において少し圧力室４３側へ凹んだ状態にある。
【００４１】
ここで、圧力調整弁２１Ａが開閉するときの力関係について説明する。弁体５７に働く力には、フィルム反力Ｆfilmと、インク圧と大気圧との差圧に基づき受圧部材６５に働く力Ｆi-aと、圧縮バネ５９の付勢力Ｆsp1と、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2と、インク供給室５６と圧力室４３との差圧に基づき弁体５７に働く力Ｆs-iとがある。
【００４２】
ここで、フィルム反力Ｆfilmとは、撓み変形したダイヤフラム４２ａが元の形状に復元しようとする力である。ダイヤフラム４２ａの変形量（撓み量）が大きいほど、フィルム反力Ｆfilmは大きくなる。フィルム反力Ｆfilmは受圧部材６５を介して軸部５７ｂ（弁体５７）に伝達される。
【００４３】
インク圧と大気圧との差圧に基づき受圧部材６５に働く力Ｆi-aとは、圧力室４３のインク圧Ｐinkと、ダイヤフラム４２ａの外側の大気圧Ｐaとの圧力差に基づき受圧部材６５に働く力である。記録ヘッド２０でインクが消費されて圧力室４３のインクが減少すると、インク圧Ｐinkと大気圧との差圧が大きくなり、力Ｆi-aは大きくなる。この受圧部材６５に働く力Ｆi-aは、軸部５７ｂを介して弁体５７に閉弁方向の力として働く。
【００４４】
次に、圧縮バネ５９の付勢力Ｆsp1とは、圧縮バネ５９が弁体５７を閉弁方向に付勢する力である。弁体５７が圧縮バネ５９から受ける付勢力Ｆsp1は、圧縮バネ５９の圧縮量に応じて決まる。弁体５７が閉弁位置にあるときの圧縮量での付勢力Ｆsp1をＦoとおくと、この閉弁位置を基準として開弁方向への変位量（圧縮量）を定め、圧縮バネ５９のバネ定数をＫ１、閉弁位置からの変位量（圧縮量）をΔｙとおくと、付勢力Ｆsp1は、Ｆsp1＝Ｆo＋Ｋ１・Δｙ  で表される。
【００４５】
また、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2とは、負圧保持バネ６６が受圧部材６５を大気側へ押圧する力である。この付勢力Ｆsp2は、受圧部材６５に働く力Ｆi-aと反対向きの力を受圧部材６５に与えるので、受圧部材６５を弁体５７が開弁位置に達するまで変位させるためには、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2に相当する分だけ、圧力室４３をより低いインク圧まで減圧させる必要がある。つまり、負圧保持バネ６６は、開弁に要する圧力室４３のインク圧Ｐinkを低く設定する機能を有する。もちろん、負圧保持バネ６６を廃止して、その付勢力分だけ、圧縮バネ５９の付勢力を増しても同様の効果は得られる。しかし、軸部５７ｂが弁孔５２のガタ等により受圧部材６５の軸線からずれた位置を押しても、軸部５７ｂを取り巻く状態に配置された負圧保持バネ６６が、軸部５７ｂと受圧部材６５との当接箇所の周囲で受圧部材６５を押すので、受圧部材６５の姿勢が傾きにくくなっている。また、作動圧を設定するためのバネを圧縮バネ５９と負圧保持バネ６６とに分けて、それぞれを別々の室４３，５６に収容することで、バネをインク供給室５６のみに収容する構成に比べ、バルブユニット２１の薄型化が図られている。
【００４６】
なお、圧力室４３のインク圧Ｐink（作動圧）を負圧に設定するのは、記録ヘッド２０のノズルからインクがその自重や毛管現象で漏出しないようにするためである。また、吐出駆動素子の駆動によってノズルから噴射されるインク滴の質量（体積）がほぼ一定に保たれるように、インク圧Ｐinkは略一定の作動圧に保たれる必要があるためである。圧力室４３が所定の作動圧（負圧）に設定されるように、圧縮バネ５９及び負圧保持バネ６６の各バネ定数などが選択されている。
【００４７】
最後に、インク供給室５６と圧力室４３との差圧に基づき弁体５７に働く力Ｆs-iとは、インク供給圧Ｐisを受けて弁体５７に働く閉弁方向の力Fcloseと、インク圧Ｐinkを受けて弁体５７に働く開弁方向の力Fopenとの差で表される力である。閉弁方向の力Fcloseは、インク供給圧Ｐisを受ける弁体５７の受圧面積Ｓ１とインク供給圧Ｐisとの積で表される。また、開弁方向の力Fopenは、インク圧Ｐinkを受ける弁体５７の受圧面積Ｓ２とインク圧Ｐinkとの積で表される。本実施形態の場合、弁体５７がインク供給圧Ｐisを受ける受圧面積Ｓ１は、シール部材６０の凸部６０ａの外周で囲まれ領域の面積に等しく、インク圧Ｐinkを受ける受圧面積Ｓ２は、シール部材６０の凸部６０ａの内周で囲まれた領域の面積に等しい。この両室４３，５６のインク圧の差圧に基づき弁体５７に働く力Ｆs-iは、インク供給圧Ｐisが正圧であるのに対し、インク圧Ｐinkが負圧であるので、常に弁体５７の閉弁方向に働く。
【００４８】
ここで、フィルム反力Ｆfilmの働く向きは、ダイヤフラム４２ａの撓む向きにより決まる。すなわち、ダイヤフラム４２ａが大気側へ凸となる向きに撓んだ場合には、フィルム反力Ｆfilmは開弁方向に働き、一方、ダイヤフラム４２ａが圧力室４３側へ凹む向きに撓んだ場合は、フィルム反力Ｆfilmは閉弁方向に働く。
【００４９】
本実施形態では、圧力調整弁２１Ａは、ダイヤフラム４２ａが常に圧力室４３側へ凹んだ状態で使用されるように設定されている。この設定のために、シール部材６０が弁座６１に当接した閉弁状態、かつ軸部５７ｂが受圧部材６５に当接した状態では、ダイヤフラム４２ａは圧力室４３側へ凹む状態に保持されるように、弁体５７の軸部５７ｂの軸長、及び受圧部材６５の厚みが設定されている。圧力調整弁２１Ａが開弁状態から閉弁状態になっても、つまり使用範囲で受圧部材６５が最も大気側に位置するときでも、ダイヤフラム４２ａが圧力室４３側へ凹んだ状態となるように構成されている。このため、バルブユニット２１の個体差によるばらつきがあっても、どのバルブユニット２１（圧力調整弁２１Ａ）でも使用範囲において、フィルム反力Ｆfilmは、常に閉弁方向に働く。
【００５０】
このため、弁体５７に働く力は、閉弁方向の力が、圧縮バネ５９の付勢力Ｆsp１、負圧保持バネ６６の付勢力Ｆsp2、インク圧の差圧に基づく力Ｆs-i、フィルム反力Ｆfilmであり、開弁方向の力が、受圧部材６５に差圧に基づき働く力Ｆi-aである。そして、開弁方向の力の総和が、閉弁方向の力の総和に勝るときに、弁体５７は開弁方向に移動する。ここで、Ｆsp１は、変位量（圧縮量）Δy1を変数とする関数として表されるので、Ｆsp１(Δy1)（＝Fo＋ｋ１・Δy1）とおける。また、Ｆsp2は、負圧保持バネ６６の自然長からの圧縮量（変位量）をΔy2、バネ定数をＫ２とすると、変位量Δy2を変数とする関数として表されるので、Ｆsp2(Δy2)（＝ｋ２・Δy2）とおける。また、Ｆs-iは、インク供給圧Ｐisを一定（定数）とみなすと、インク圧Ｐinkを変数とする関数Ｆs-i(Ｐink)として表される。さらに、Ｆi-aは、大気圧Ｐaを一定（定数）とみなすと、インク圧Ｐinkを変数とする関数Ｆi-a(Ｐink)として表される。また、Ｆfilmは、位置Ｃからの撓み量ΔBを変数とする関数Ｆfilm(ΔB)として表される。よって、以下の条件式を満たすときに、弁体５７は開弁方向へ変位する。
Ｆsp１(Δy1)＋Ｆsp2(Δy2)＋Ｆs-i(Ｐink)＋Ｆfilm(ΔB)＜Ｆi-a(Ｐink)  …(1)
上記(1)式の条件が成立して、弁体５７が開弁方向に移動すると、バネ５９，６６が弁体５７の移動量分だけそれぞれ圧縮されるため、Δy1，Δy2が増え、またダイヤフラム４２ａがさらに凹むため、ΔBが増える。このため、Ｆsp１(Δy1)とＦsp2(Δy2)とＦfilm(ΔB)が共に増加する。よって、開弁方向の力の総和と閉弁方向の力の総和とが均衡した位置で、弁体５７は停止する。また、ダイヤフラム４２ａの開弁方向への変位により圧力室４３の容積が減少するので、一旦は低下したインク圧Ｐinkが作動圧に復帰する。これは微小時間のうちに進むため、実際にはインク圧Ｐinkは作動圧に維持される。以下、圧力室４３のインクが減少するに連れて、開弁方向の力の総和と閉弁方向の力の総和との均衡を保つように、弁体５７は開弁方向へ移動する。そして、それまで弁座６１に押し付けられていた凸部６０ａが圧縮状態から復元しつつ、やがて凸部６０ａが弁座６１から離れると、圧力調整弁２１Ａが開弁する。
【００５１】
この開弁のタイミングは、圧縮バネ５９、負圧保持バネ６６、受圧部材６５の面積などにより決まる。本実施形態では、バネ５９，６６のバネ力を弱くした関係から、それに合わせて、ダイヤフラム面積に対してダイヤフラム４２ａに受圧部材６５が固着されている部分の面積である受圧面積を例えば１／３以下としている。
【００５２】
開弁した後は、次の条件が成立したときに弁体５７は、閉弁方向へ移動する。
Ｆsp１(Δy1)＋Ｆsp2(Δy2)＋Ｆs-i(Ｐink)＋Ｆfilm(ΔB)＞Ｆi-a(Ｐink)  …(2)
すなわち、閉弁方向の力の総和が、開弁方向の力の総和に勝るときに、弁体５７は閉弁方向へ移動する。圧力調整弁２１Ａが開弁すると、インク供給圧Ｐisとインク圧Ｐinkとの差圧に基づきインク供給室５６から圧力室４３へ弁孔５２を通じてインクが流入する。インクが圧力室４３へ流入すると、圧力室４３のインク圧Ｐinkが上昇する。インク圧Ｐinkが上昇すると、受圧部材６５に差圧に基づき働く力Ｆi-a(Ｐink)が小さくなる。よって、上記(2)式の条件が成立することになって、弁体５７は閉弁方向へ移動する。
【００５３】
この弁体５７の移動に伴いダイヤフラム４２ａも閉弁方向へ移動し、圧力室４３の容積が増加するため、一旦は上昇したインク圧Ｐinkが復帰する。これは微小時間のうちに進むため、実際にはインク圧Ｐinkは作動圧に維持される。以下、圧力室４３へインクが流入するに連れて、閉弁方向の力の総和と開弁方向の力の総和との均衡を保つように、弁体５７は閉弁方向へ移動する。そして、弁体５７の閉弁方向への移動に伴って凸部６０ａと弁座６１との隙間が徐々に狭くなり、インク流入速度が徐々に低下する。
【００５４】
そして、圧力調整弁２１Ａが閉弁したときには、軸部５７ｂが受圧部材６５に当接した状態にある。弁体５７の開閉位置を、変位量Δy1で表すと、Δy1＝０のときである。また、開弁するとき（又は閉弁するとき）における、変位量Δy2＝Δy2o、インク圧Ｐink＝Ｐinko、ダイヤフラム変位量ΔB＝ΔBoとすると、開弁状態から閉弁状態になったときのダイヤフラム４２ａの位置は、次式を満たすΔBoの値で示される。
Ｆsp１(０)＋Ｆsp2(Δy2o)＋Ｆs-i(Ｐinko)＋Ｆfilm(ΔBo)＝Ｆi-a(Ｐinko)
ところで、バルブユニット２１（圧力調整弁２１Ａ）の作動圧を小さくする要請や、小型化の要請から、本実施形態では、圧縮バネ５９や負圧保持バネ６６をバネ力の弱い小さな部品にしている。圧力調整弁２１Ａの作動圧を小さくする理由は、従前の高い作動圧であると、記録ヘッド２０内の吐出駆動素子が駆動されてノズルから噴射されるインク滴の質量を変動させる原因となる場合があるからである。しかし、作動圧を低くするために、圧縮バネ５９や負圧保持バネ６６をバネ力の弱い小さな部品とすると、フィルム反力Ｆfilmが無視できなくなり、これが作動圧に影響する。
【００５５】
ここで、ダイヤフラム４２ａが圧力室４３側へ凹む状態を圧力調整弁２１Ａの使用範囲としているのは、次の理由による。圧力調整弁２１Ａが使用範囲において、ダイヤフラム４２ａが大気側に凸となる状態と、圧力室４３側に凹む状態とが共存する構成を考える。この場合、フィルム反力Ｆfilmは、ダイヤフラム４２ａが大気側に凸となった状態で開弁方向に働き、ダイヤフラム４２ａが圧力室４３側へ凹んだ状態で閉弁方向に働く。すなわち、ダイヤフラム４２ａの撓み状態が凸から凹へ切り換わることで、フィルム反力Ｆfilmが、インク圧Ｐinkを加圧する向き（開弁方向）の力から、インク圧Ｐinkを減圧する向き（閉弁方向）の力に切り換わる。このため、フィルム反力Ｆfilmが無視できなくなった構成では、このダイヤフラム形状の凸から凹への切り換わり時（図５（ａ）における位置Ｃに相当）に、弁体５７に働く荷重のばらつきが発生する。
【００５６】
本実施形態では、圧力調整弁２１Ａが閉弁状態にあるときに、フィルム部材４２に溶着した受圧部材６５がフレーム端面よりも圧力室４３側へ凹んだ状態となる構成としている。そうすることで、ダイヤフラム４２ａが、弁体５７が開閉するときの開閉位置Ｘo（図４参照）に達する直前に必ず圧力室４３側へ凹んだ状態となるようにすることが可能となる。
【００５７】
フィルム部材４２がフレーム外側に凸の状態からフレーム内側に凹の状態に変化する時に、軸部５７ｂに働くフィルム反力Ｆfilmの変化は一番大きくなる。このフィルム部材４２の凸から凹への形状変化が、弁体５７が開くタイミングに近い位置にある場合は、フィルム部材４２のわずかな形状の違いによって弁体５７が開く時の圧力室４３内の負圧がバラツク要因となるため、このタイミングをずらすために、上記形状変更を実施している。特に作動圧を低く設定する仕様の圧力調整弁２１Ａでバネ荷重を小さくした場合は、フィルム反力Ｆfilmの影響が顕著に作動圧に現れるため、上記構成の採用が有効である。
【００５８】
ところで、弁体５７の軸部５７ｂが受圧部材６５の面に直角に当接するように設定されているが、実際には軸部５７ｂが受圧部材６５の面に当接する角度は製品間でばらつく。これは、部品の寸法公差、組付け公差、弁孔５２と軸部５７ｂとの隙間によるガタなどにより、受圧部材６５の姿勢の傾き、軸部５７ｂの姿勢の傾き、受圧部材６５に対する軸部５７ｂの当接箇所の受圧部材６５の中心（重心）からのずれ等をもたらすからである。この軸部５７ｂが受圧部材６５の面に当接する角度のばらつきにより、フィルム反力Ｆfilmを軸部５７ｂが受ける力、及び、受圧部材６５の力Ｆi-a(Ｐink)を軸部５７ｂが受ける力がばらつく。そして、フィルム反力Ｆfilmの変化が一番大きくなるときが、開弁のタイミングと同じになる構成では、軸部５７ｂが受圧部材６５の面に当接する角度やフィルム姿勢などのばらつきが、フィルム反力Ｆfilmを軸部５７ｂに伝わるときにばらつかせ、これがバルブユニット２１の個体差による作動圧のばらつきを助長する。
【００５９】
これに対し、本実施形態の圧力調整弁２１Ａは、使用範囲でダイヤフラム４２ａが圧力室４３側に凹んだ状態で使用される。このため、フィルム反力Ｆfilmが無視できない構成であっても、その使用範囲においてフィルム反力Ｆfilmの向きが変化しないので、個体差によって作動圧がばらつきにくい。
【００６０】
図４は、印刷中におけるダイヤフラム位置の変化の様子を示すグラフである。このグラフにおいて、横軸がダイヤフラム位置Ｘ、縦軸が時間Ｔである。ここで、グラフにおけるダイヤフラム位置Ｘは、ダイヤフラム４２ａの外面（図５における右側面）における中心位置が弁体移動方向（図５における左右方向）に変化する様子を示している。なお、位置Ｃは、フィルム部材４２がフレーム４０に接合されている部分における外面と面一となるダイヤフラム位置であり、ダイヤフラム４２ａが撓みのないフラットな状態にあるときの位置である。
【００６１】
このグラフの例では、印刷開始前は圧力調整弁２１Ａが閉弁状態にある。この状態から、印刷が開始されると（時刻Ｔo）、記録ヘッド２０のノズルからインク滴が吐出されることにより、圧力室４３のインクが減少する。インクの減少に伴いインク圧Ｐinkが低下すると、前記(1)式の条件が成立し、開弁方向の力の総和と閉弁方向の力の総和との均衡を保つように、ダイヤフラム位置Ｘ（つまり弁体５７）は開弁方向（図４のグラフにおける左方向）へ移動する。
【００６２】
そして、弁体５７の位置に応じて決まるダイヤフラム位置Ｘが、位置Ｘoに達したときに、圧力調整弁２１Ａが閉弁状態から開弁状態に切り換わる。開度が小さく圧力室４３へのインク流入量がインク消費量より少ないうちは、前記(1)式の条件が成立し、ダイヤフラム位置Ｘは開弁方向へ変位し、その開度が徐々に大きくなる。そして、圧力室４３へのインク流入量がインク消費量に勝ると、圧力室４３の容積が減少から上昇に切り換わり、前記(2)式の条件が成立し、ダイヤフラム位置Ｘが変位する方向が位置Ｘmで閉弁方向（図４における右方）へ反転する（例えば図５（ｂ）の開弁状態）。そして、ダイヤフラム位置Ｘが閉弁方向へ移動して位置Ｘoに達すると、圧力調整弁２１Ａは閉弁する。その後、ダイヤフラム位置Ｘは、凸部６０ａの圧縮等により例えば図４に示す位置Ｘcまで変位する。このダイヤフラム位置Ｘが位置Ｘcにある状態が、図５（ａ）に示す閉弁状態に相当する。
【００６３】
以後、同様に、インク消費に連れてダイヤフラム位置Ｘは、位置Ｘｃと位置Ｘmとの間の移動を繰り返し、圧力室４３のインク圧Ｐinkは、ダイヤフラム位置Ｘが位置Ｘoのときのインク圧Ｐink（作動圧）に保持される。
【００６４】
そして、圧力調整弁２１Ａが開弁状態から閉弁状態になって、ダイヤフラム位置Ｘが最も外側（大気側）に位置するとき、図５（ａ）に示すように、ダイヤフラム４２ａが位置Ｃに対して圧力室４３側へΔＢoだけ変位した位置Ｘｃにある。よって、ダイヤフラム位置Ｘが最も外側（大気側）へ変位したとき、ダイヤフラム４２ａは、圧力室４３側へ凹んだ状態になっている。このため、圧力調整弁２１Ａの使用範囲（Ｘm≦Ｘ≦Ｘc）において、フィルム反力Ｆfilmの向きが途中で変化することがないので、圧力室４３のインク圧Ｐinkがフィルム反力Ｆfilmの向きの変化に起因して変動することがない。この結果、記録ヘッド２０内のインク室のインク圧が安定し、吐出駆動素子が駆動されてノズルから噴射されるインク滴の質量が安定する。
【００６５】
以上、詳述したように本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）ダイヤフラム４２ａが開弁状態から閉弁状態になったときでも、ダイヤフラム４２ａが圧力室４３側へ凹んだ状態に保持されるようにバルブユニット２１（圧力調整弁２１Ａ）を構成した。よって、バルブユニット２１の部品寸法、部品組付け位置のばらつき等により、製品間でダイヤフラム４２ａの位置がばらついても、バルブユニット２１の使用範囲において、最も外側に位置するときのダイヤフラム４２ａが、圧力室４３側へ凹む状態に保持される。この結果、バルブユニット２１の個体差によらずその使用範囲において、フィルム反力Ｆfilmの向きの変更に起因するインク圧Ｐink（作動圧）の変動を防止できる。このため、記録ヘッド２０のノズルから噴射されるインク滴の質量を安定させることができる。
【００６６】
（２）圧力調整弁２１Ａが、図５（ｂ）に示すように開弁したとき、負圧保持バネ６６の両端部を保持する筒状部６５ａと筒状部４０ｅとが接近して両者の隙間が狭くなる。しかし、筒状部４０ｅに切欠４０ｆがあることから、弁孔５２を通じて流入したインクが圧力室４３へ流れるための流路が確保される。この結果、負圧保持バネ６６を保持する筒状部６５ａ，４０ｅの隙間が開弁時に狭くなっても、開弁時に圧力損失をさほど発生させることなく、圧力室４３へインクを円滑に供給できる。
【００６７】
（３）ダイヤフラム４２ａの内面に受圧部材６５を固着したので、弁体５７の軸部５７ｂはダイヤフラム４２ａに直接接触することがなくなる。このため、ダイヤフラム４２ａの損傷等に起因する圧力調整弁２１Ａの寿命低下を抑制できる。
【００６８】
（４）軸部５７ｂを取り巻くように配設された負圧保持バネ６６が、受圧部材６５を軸部５７ｂの当接箇所の周囲で押圧するので、受圧部材６５が傾きにくい。よって、軸部５７ｂが受圧部材６５に当接する角度のばらつきを小さく抑えることができる。また、インク圧Ｐinkを決める付勢バネを、圧縮バネ５９及び負圧保持バネ６６の二つに分けたので、一つのバネにより弁体５７を付勢する構成に比べ、弁体５７（軸部５７ｂ）を付勢する圧縮バネ５９を弱くし、圧縮バネ５９の付勢力に基づく軸部５７ｂの当接圧を小さくすることができる。
【００６９】
尚、実施形態は、上記に限定されるものではなく、以下のように変更してもよい。
（変形例１）ダイヤフラムの圧力室と反対側の面（外面）が面するのは大気圧に限定されない。負圧であってもよい。さらには正圧であってもよい。例えばダイヤフラムの外側に負圧室又は正圧室を設ける構成とすればよい。例えばまた、例えば特許文献２における図１３の構成、すなわちダイヤフラムの外側に配置された室が蛇行溝を介して外部（大気）と連通する構成も採用できる。
【００７０】
（変形例２）バルブユニットが複数のインク色に共通の一つの筐体を有し、一つの筐体に複数の圧力調整弁が内蔵された構成を採用してもよい。さらに、バルブユニット２１は、圧力調整弁２１Ａ以外の他の弁（例えば差圧弁）を内蔵する構成でもよい。
【００７１】
（変形例３）弁装置としての圧力調整弁２１Ａをインクカートリッジ２３に設けてもよい。空気加圧タイプのインクカートリッジ構成の場合、ダイヤフラム４２ａの外側面が大気に開放された状態に設けることが好ましい。例えば外郭ケース２３ａ内にインクパック２３ｂが収容される密閉収容室と大気開放室とを設け、インクパック２３ｂのインク供給部を大気開放室に配置するとともに、インク供給部と連通状態に接続された圧力調整弁も大気開放室に配置する。また、圧力調整弁２１Ａをインクカートリッジのインク導出部に内蔵した構成も採用できる。もちろん、弁装置としての圧力調整弁２１Ａは、インクパック式以外のインクカートリッジに設けることもできる。例えばインクが貯留されたインク室を有するインクカートリッジや、インクが充填された多孔質体を収容するインクカートリッジの外郭ケース内に圧力調整弁２１Ａを組み付ける構成も採用できる。
（変形例４）流体圧設定バネとして、ダイヤフラムを閉弁方向に付勢する負圧保持バネ６６に替え、ダイヤフラムを開弁方向へ付勢するバネを設けてもよい。例えばバネを圧力室４３に設ける場合、バネの両端をそれぞれ隔壁側とダイヤフラム側と接着し、ダイヤフラムが圧力室側へ付勢されるようにする。また、ダイヤフラムを外側（大気側）から開弁方向へ付勢するようにバネを設けても構わない。これらの構成によれば、圧力室の流体圧を大気圧以上の値に設定することが可能になる。
【００７２】
（変形例５）前記実施形態では、キャリッジを有する記録装置１１であったが、キャリッジを有さず複数の流体噴射ヘッドが列状に固定されたフルラインヘッドを有する流体噴射装置（例えばラインプリンタ）に、本発明のメンテナンス装置を採用することもできる。
【００７３】
（変形例６）前記実施形態では、流体噴射装置をインクジェット式記録装置に具体化したが、この限りではなく、インク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体、流体として流して噴射できる固体を含む）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置に具体化することもできる。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の流体噴射装置のメンテナンス装置に本発明を適用することができる。なお、本明細書において「流体」とは、気体のみからなる流体を含まない概念であり、流体には、例えば液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、液状体、流状体などが含まれる。さらに流体は、空気、窒素などの気体でもよい。
【００７４】
以下、前記実施形態および各変形例から把握される技術的思想を記載する。
（１）流体を貯留する流体貯留手段（２３）から、前記流体を噴射する流体噴射ヘッド（２０）へ供給するための流体供給路（３５）上において、前記流体を一時貯留し、前記流体噴射ヘッドから前記流体の噴射に伴って、前記一時貯留した前記流体が減少する圧力室と、前記圧力室（４３）内の前記流体の減少に伴う負圧を感知して前記流体供給路から前記圧力室への前記流体供給及び非供給を切り換える開閉弁（５７，５９，６０，６６）とを有する弁装置において、前記圧力室の壁面の一部を構成するダイヤフラム（４２ａ）と、該ダイヤフラムに設けられた受圧部材とを有し、前記受圧部材は、前記圧力室の流体圧と、前記ダイヤフラムを挟んで前記圧力室と反対側の圧力との差圧に基づいて変位するとともに、該受圧部材の変位に基づいて前記開閉弁が開閉するように構成されており、前記開閉弁が開弁状態から閉弁状態へ至る範囲において、前記ダイヤフラムが前記圧力室側へ凹むように構成したことを特徴とする弁装置。
【００７５】
（２）前記付勢手段は弁体を閉弁方向に付勢する第１バネ（５９）と、前記圧力室に設けられて前記受圧部材を閉弁方向へ付勢する第２バネ（６６）とを備えたことを特徴とする請求項２に記載の弁装置。なお、第２バネは、請求項３、４における流体圧設定バネに相当する。
【００７６】
（３）本発明は、流体噴射装置に着脱可能に取付けて使用される流体収容容器であって、上記発明の前記弁装置を備えていることを要旨とする。これによれば、流体収容容器を流体噴射装置に取り付けることにより、流体噴射装置に弁装置が取り付けられ、該弁装置により上記弁装置の発明と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本実施形態における記録装置の概略構成を示す平面図。
【図２】インク供給システムを示す模式図。
【図３】バルブユニット及び記録ヘッドを示す斜視図。
【図４】印刷時における経過時間とダイヤフラム位置との関係を示すグラフ。
【図５】（ａ）（ｂ）バルブユニットの図３におけるＡ−Ａ線断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１１…流体噴射装置としての記録装置、１５…キャリッジ、２０…流体噴射手段としての記録ヘッド、２１…バルブユニット、２１Ａ…弁装置としての圧力調整弁、２３…流体供給源（流体貯留手段）としてのインクカートリッジ、２５…加圧ポンプ、３５…流路を構成するインク供給チューブ、４０…フレーム、４０ｅ…第２筒状部としての筒状部、４０ｆ…切欠、４２…フィルム部材、４２ａ…ダイヤフラム、４３…圧力室、５１…隔壁、５２…弁孔、５３…蓋体、５６…流体供給室としてのインク供給室、５７…弁手段を構成する弁体、５７ｂ…軸部、５９…弁手段を構成するとともに付勢手段としての圧縮バネ、６０…弁手段を構成するシール部材、６０ａ…凸部、６１…弁座、６５…受圧部材、６５ａ…第１筒状部として筒状部、６６…流体圧設定バネとしての負圧保持バネ。
【図１】
2008200996.tif 000003
【図２】
2008200996.tif 000004
【図３】
2008200996.tif 000005
【図４】
2008200996.tif 000006
【図５】
2008200996.tif 000007