(57)【要約】【課題】特にペレット状の蒸着材料をその収容部に落下させて供給する蒸着装置及び蒸着材料の供給方法において、供給される蒸着材料が供給管内に詰まることなく効率的に供給可能にする。【解決手段】蒸着材料２３が収容される収容部７ａとこの収容部に蒸着材料を供給する供給手段９とを有する蒸着装置１において、供給手段は、収容部よりも上方に設けられ所定形状を有する蒸着材料を複数収容するホッパー部３１と、ホッパー部から蒸着材料を落下させる送り出し手段３２と、落下された蒸着材料を側方に開口された開口部４１ａを通じて収容部側に案内する案内部３３，４１と、案内部における開口部を閉開成可能にその上部が開口部の上方位置に軸支される蓋部４２と、を有し、蓋部は常態時には自重により開口部を閉成し落下された蒸着材料が蓋部に当接した際には蒸着材料の落下エネルギーによって開成される構成である。【選択図】図２
2008274356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料が収容される収容部と該収容部に前記蒸着材料を供給する供給手段とを有する蒸着装置において、
前記供給手段は、
前記収容部よりも上方に設けられ、所定の形状を有する前記蒸着材料を複数収容するホッパー部と、
前記ホッパー部から前記蒸着材料を落下させるための送り出し手段と、
前記落下された蒸着材料を、側方に開口された開口部を通じて前記収容部側に案内する案内部と、
前記案内部における前記開口部を閉開成可能にその上部が前記開口部の上方位置に軸支される蓋部と、
を有し、
前記蓋部は、常態時には自重により前記開口部を閉成し、前記落下された蒸着材料が当該蓋部に当接した際には、前記蒸着材料の落下エネルギーによって開成される構成であることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
蒸着材料が収容される収容部に前記蒸着材料を供給する蒸着材料の供給方法において、
前記収容部よりも上方の位置から、所定形状の前記蒸着材料を落下させるステップと、
前記落下された蒸着材料を、側方に開口された開口部を通じて前記収容部側に案内するステップと、
前記収容部側に案内された蒸着材料を、前記開口部を閉開成可能にその上部が前記開口部の上方位置に軸支されると共に常態時には自重により前記開口部を閉成する蓋部に当接させるステップと、
前記蓋部に当接された蒸着材料を、その落下エネルギーによって前記蓋部を開成させて、前記収容部に落下させるステップと、
を有する手順としたことを特徴とする蒸着材料の供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及び蒸着材料の供給方法に係り、特に、蒸着中に蒸着材料をルツボ内に供給可能な蒸着装置及び蒸着材料の供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着方法は、一般的に、真空室内において、ルツボ内に収容された蒸着材料を加熱して蒸発させ、この蒸発した蒸着材料を基体等に付着させる方法であり、半導体や磁気テープ等の成膜方法として広く用いられている。
蒸着方法としては、抵抗加熱法、誘導加熱法、電子ビーム加熱法等があり、例えば、磁気テープの場合、コバルトやコバルト合金等の高融点材料をテープ状或いはフィルム状の基体に蒸着する際、通常、高出力加熱が可能な電子ビーム加熱法が用いられる。
【０００３】
また、磁気テープの場合、通常、生産性向上のため、複数の磁気テープ分に相当する、幅が０．３ｍ〜１ｍであり長さが２０ｋｍ以上のベースフィルムにその搬送方向に順次連続して蒸着を行うが、この蒸着には数時間という長い時間を要するため、予めルツボ内に収容された蒸着材料だけでは蒸着途中にルツボ内の蒸着材料が不足してしまう。
そこで、蒸着中にルツボ内に蒸着材料を新たに供給する必要がある。
【０００４】
蒸着材料の供給方法としては、真空室内に複数のルツボを設ける方法、ワイヤ状またはロッド状の蒸着材料をルツボ内に連続的に供給する方法、及びペレット状の蒸着材料をルツボ内に断続的に落下させて供給する方法等がある。
【０００５】
真空室内に複数のルツボを設ける方法は、真空室内に複数のルツボを配置するスペースが必要であり、また、ルツボを交換する度に新たなルツボを電子ビームが照射される位置まで移動する移動手段が必要となるため、蒸着装置が大型化してしまうと共にその機構が複雑になるため、設備コストが高くなり、その改善が望まれる。
また、ルツボの交換時には蒸着がストップしてしまうため、生産性においてもその改善が望まれる。
【０００６】
ワイヤ状またはロッド状の蒸着材料をルツボ内に連続的に供給する方法は、蒸着材料供給手段を比較的小型にできるものの、ワイヤ状またはロッド状の終端部がこの蒸着材料供給手段に保持されているので、この終端部の蒸着材料をルツボ内に供給することが困難なため、終端部の蒸着材料が無駄になり、蒸着材料の使用効率の点でその改善が望まれる。
【０００７】
ペレット状の蒸着材料をルツボ内に断続的に落下させて供給する方法は、蒸着材料供給手段を上記２つの方法よりもさらに小型化及び簡易化することが可能であり、また、蒸着材料の使用効率の点でも有利な方法である。
このような、ペレット状の蒸着材料をルツボ内に断続的に落下させて供給する蒸着装置及び蒸着材料の供給方法の一例が特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平５−３３９７１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載されているような、ペレット状の蒸着材料をルツボ内に断続的に落下させて供給する蒸着装置及び蒸着材料の供給方法では、ペレット状の蒸着材料が収納されたホッパーから送り出し装置により送り出された上記蒸着材料が、その自重により、供給管を滑り落ちてルツボ内に落下した際、ルツボ内の溶融した蒸着材料が跳ね上がって供給管のルツボ近傍の内面に付着する場合がある。この蒸着材料の跳ね上がりを一般的にスプラッシュ(飛沫)と称す。
【０００９】
また、上記蒸着装置及び蒸着材料の供給方法では、蒸発した蒸着材料や突沸により飛散した蒸着材料が供給管の内面に付着する場合がある。
【００１０】
蒸着材料が供給管の内面に付着した状態で、ペレット状の蒸着材料をホッパーから送り出し装置により送り出した際、供給管を滑り落ちてきた上記ペレット状の蒸着材料が供給管の内面に付着した蒸着材料によって供給管内で停止してしまい、蒸着材料をルツボ内に供給できないという不具合が生じる場合がある。
【００１１】
また、蒸着時のルツボ内の蒸着材料は例えば１５００℃以上の温度に加熱されるので、その輻射熱によってルツボ近傍の供給管の内面が加熱され、この内面に付着した蒸着材料が半溶融状態となるため、供給管を滑り落ちてきた供給用の蒸着材料をより停止させてしまう可能性が高くなる。
【００１２】
通常、ホッパー内部は、供給管及び送り出し装置を介して、真空室内に連結しているので、蒸着中はホッパー内部も真空状態であるため、供給管内に供給用の蒸着材料が詰まってしまった場合、蒸着作業を中止しない限り、この詰まった蒸着材料を除去することは困難である。
【００１３】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、特に、ペレット状の蒸着材料をルツボ内に断続的に落下させて供給する蒸着装置及び蒸着材料の供給方法において、供給用の蒸着材料が供給管内に詰まることなく、この蒸着材料をルツボ内に効率的に供給可能な蒸着装置及び蒸着材料の供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するために、本願各発明は次の手段を有する。
１）蒸着材料（２３）が収容される収容部（７ａ）と該収容部に前記蒸着材料を供給する供給手段（９）とを有する蒸着装置において、前記供給手段は、前記収容部よりも上方に設けられ、所定の形状を有する前記蒸着材料を複数収容するホッパー部（３１）と、前記ホッパー部から前記蒸着材料を落下させるための送り出し手段（３２）と、前記落下された蒸着材料を、側方に開口された開口部（４１ａ）を通じて前記収容部側に案内する案内部（３３，４１）と、前記案内部における前記開口部を閉開成可能にその上部が前記開口部の上方位置に軸支される蓋部（４２）と、を有し、前記蓋部は、常態時には自重により前記開口部を閉成し、前記落下された蒸着材料が当該蓋部に当接した際には、前記蒸着材料の落下エネルギーによって開成される構成であることを特徴とする蒸着装置（１）である。
２）蒸着材料（２３）が収容される収容部（７ａ）に前記蒸着材料を供給する蒸着材料の供給方法において、前記収容部よりも上方の位置から、所定形状の前記蒸着材料を落下させるステップと、前記落下された蒸着材料を、側方に開口された開口部（４１ａ）を通じて前記収容部側に案内するステップと、前記収容部側に案内された蒸着材料を、前記開口部を閉開成可能にその上部が前記開口部の上方位置に軸支されると共に常態時には自重により前記開口部を閉成する蓋部（４２）に当接させるステップと、前記蓋部に当接された蒸着材料を、その落下エネルギーによって前記蓋部を開成させて、前記収容部に落下させるステップと、を有する手順としたことを特徴とする蒸着材料の供給方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、蒸着装置及び蒸着材料の供給方法において、供給用の蒸着材料が供給管内に詰まることなく、この蒸着材料をルツボ内に効率的に供給できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施の形態を、好ましい実施例により図１〜図４を用いて説明する。
図１〜図４は本発明の蒸着装置及び蒸着材料の供給方法を説明するための図である。
【００１７】
＜実施例＞
ここでは、ベースフィルムにコバルトやコバルト合金等の蒸着材料を蒸着する、所謂、磁気テープ用の蒸着装置及び蒸着材料の供給方法を例に挙げて説明する。
【００１８】
［蒸着装置］
まず、本発明の蒸着装置の実施例について、図１〜図３を用いて説明する。
図１は本発明の蒸着装置の実施例を説明するための模式的断面図、図２は図１中の矢視Ｓ１から見たときの模式的断面図、図３（ａ）は図２中のスプラッシュ保護部の模式的断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）中の矢視Ｓ２からみたときの開閉自在蓋の平面図である。
【００１９】
図１〜図３に示すように、蒸着装置１は、主として、磁気テープの基体であるベースフィルム２１の一端側が軸芯２２ａに巻回された送り出しロール２と、送り出しロール２を保持すると共にベースフィルム２１を送り出す送り出しロール保持手段３と、送り出しロール２から送り出されたベースフィルム２１がその外周面に接すると共に蒸着時の熱によってベースフィルム２１の温度が上昇してしまうことを抑制する冷却手段を備えた冷却キャンロール４と、ベースフィルム２１の他端側が軸芯２２ｂに保持された巻き取りロール５と、巻き取りロール５を保持すると共にベースフィルム２１をこの巻き取りロール５に巻回する巻き取りロール保持手段６と、蒸着材料２３であるコバルトやコバルト合金が収容された収容部７ａを備えたルツボ７と、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３に電子ビーム８ａを照射する電子銃８と、ルツボ７の収容部７ａ内に新たな蒸着材料２３を供給する蒸着材料供給手段９と、これら送り出しロール２，送り出しロール保持手段３，冷却キャンロール４，巻き取りロール５，巻き取りロール保持手段６，ルツボ７，電子銃８を収容する真空室１０と、真空室１０内を大気圧から所定の圧力まで減圧する真空ポンプ等の減圧手段１１と、により構成されている。
【００２０】
ベースフィルム２１は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート），ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート），及びアラミド（ポリアミドと称す場合がある）等のプラスチック材料からなり、その厚さは４μｍ〜７μｍである。
【００２１】
冷却キャンロール４は、蒸着時の熱、即ち、ベースフィルム２１に蒸着された蒸着材料２３からの熱、及び、ルツボ７内の蒸着材料２３を加熱する際に発生する輻射熱によってベースフィルム２１が所定温度以上に上昇してしまわないように、少なくとも蒸着時には０℃〜−（マイナス）４０℃に冷却されており、また、送り出されたベースフィルム２１の走行方向及び走行速度に合わせてその軸中心に回転する。
【００２２】
ルツボ７は、高純度マグネシアからなり、その収容部７ａは、図１における手前−奥方向を長手とする略長方形の開口部７ｂを有している。
開口部７ｂの長手方向の長さは、ベースフィルム２１の幅（図１における手前−奥方向の長さ）に応じて設定されている。
【００２３】
電子銃８は、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３を所定の蒸着速度が得られるような温度に加熱可能な電子ビーム８ａを出射すると共に、この電子銃８から出射された電子ビーム８ａを上記開口部７ｂの長手方向に、または長手方向及び短手方向に走査可能な電子ビーム偏向手段を備えている。電子ビーム８ａの偏向は電気的或いは磁気的に行う。
この電子銃８によれば、電子ビーム８ａをルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３の表面における広い範囲に照射することができるので、上記蒸着材料２３を効率的に蒸発させることができる。
【００２４】
また、実施例では、ベースフィルム２１を冷却キャンロール４で効率的に冷却するために、ベースフィルム２１と冷却キャンロール４との接触面積が大きくなるように、ベースフィルム２１を回転自在に保持するベースフィルム保持手段１２を真空室１０内の２箇所にそれぞれ設けている。
【００２５】
また、実施例では、ベースフィルム２１が冷却キャンロール４の外周面に接している範囲において、ベースフィルム２１を部分的に覆う遮蔽板１３を設けている。
この遮蔽板１３によって、ベースフィルム２１に対する蒸着材料２３の成膜角度を制御することができるので、ベースフィルム２１に蒸着された蒸着材料２３の結晶成長方向を所定の範囲内に管理することができる。
【００２６】
また、実施例では、上記遮蔽板１３の開口部を覆ったり開口したりすることが可能なシャッター１４を設けている。
蒸着前の準備段階として、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３を所定温度まで昇温している過程で、蒸着材料２３は所定温度に達する以前から蒸発し始めるので、この蒸発した蒸着材料２３及び加熱に伴う輻射熱によりベースフィルム２１が熱的ダメージを受ける。
そのため、昇温過程においては、通常、ベースフィルム２１を走行させておく必要があり、この昇温過程で走行された範囲のベースフィルム２１は無駄になってしまう。
そこで、昇温過程において、シャッター１４で遮蔽板１３の開口部を覆っておくことにより、ベースフィルム２１の熱的ダメージを防止することができるので、ベースフィルム２１を走行させておく必要がないため、上記ベースフィルム２１の無駄をなくすことができる。
【００２７】
ここで、蒸着材料供給手段９について、図２及び図３を用いて詳細に説明する。
図２に示すように、蒸着材料供給手段９は、主として、ペレット状の蒸着材料２３が複数収納されたホッパー部３１と、ホッパー部３１に収納されている上記ペレット状の蒸着材料２３を例えば１つずつ送り出す送り出し手段３２と、一端側が送り出し手段３２に連結されてホッパー部３１から送り出し手段３２によって送り出された蒸着材料２３がルツボ７の収容部７ａ内に落下するように上記蒸着材料２３を案内する供給管３３と、供給管３３の他端側、即ちルツボ７側に着脱可能に設けられたスプラッシュ保護部４０と、により構成されている。
【００２８】
また、供給管３３における送り出し手段３２側，送り出し手段３２，及びホッパー部３１は真空室１０の外側に、供給管３３におけるスプラッシュ保護部４０側及びスプラッシュ保護部４０は真空室１０内に、それぞれ配置されており、真空室１０と供給管３３とは隙間なく接合されている。
【００２９】
ホッパー部３１は、主として、本体部３１ａと、外部からこの本体部３１ａにペレット状の蒸着材料２３を供給するための開口部３１ｂと、この開口部３１ｂを覆って本体部３１ａを外部に対して密閉可能とする蓋部３１ｃとを有している。
真空室１０内を減圧手段１１によって減圧する際には、蓋部３１ｃで本体部３１ａを外部に対して密閉する。従って、真空室１０内が減圧された際には、ホッパー部３１，送り出し手段３２，供給管３３，及びスプラッシュ保護部４０の各内部も真空室１０内と同様に減圧される。
【００３０】
ルツボ７の収容部７ａ内への蒸着材料２３の落下速度は、送り出し手段３２とルツボ７との高低差や、供給管３３及びスプラッシュ保護部４０の重力方向に対する傾斜角度θａによって調整することができる。
即ち、送り出し手段３２とルツボ７との高低差を大きくすることによって蒸着材料２３の落下速度を速くすることができ、上記高低差を小さくすることによって蒸着材料２３の落下速度を遅くすることができる。
また、上記傾斜角度θａを小さくすることによって蒸着材料２３の落下速度を速くすることができ、上記傾斜角度θａを大きくすることによって蒸着材料２３の落下速度を遅くすることができる。
【００３１】
また、後述する開閉自在蓋４２におけるルツボ７の収容部７ａ側の表面には、ルツボ７の収容部７ａから蒸発した蒸着材料２３が蒸着の累積時間に応じて厚く付着するので、この蒸着材料２３の付着量に応じて開閉自在蓋４２が開きにくくなるため、予め蒸着材料２３の付着量を想定して、上記高低差や上記傾斜角度θａ，及び開閉自在蓋４２の材質や厚さを設定しておくことが望ましい。
【００３２】
ここで、スプラッシュ保護部４０について、図３（ａ），（ｂ）を用いて詳細に説明する。
【００３３】
図３（ａ），（ｂ）に示すように、スプラッシュ保護部４０は、主として、ルツボ７（図２参照）側の端面Ａ４１に第１の開口部４１ａを備えると共に反対側の端面Ｂ４１に第２の開口部４１ｂを備えた略円筒形状を有する本体部４１と、第１の開口部４１ａを開閉自在に覆う開閉自在蓋４２と、本体部４１に設けられて開閉自在蓋４２を揺動自在に支持する支持部４３と、により構成されている。
【００３４】
本体部４１において、端面Ａ４１は略重力方向に沿って形成されており、端面Ｂ４１側は供給管３３（図２参照）に着脱自在に接続されている。
実施例では、本体部４１の内面と供給管３３の外周面とが接するように、本体部４１の端面Ｂ４１側を供給管３３に着脱自在に接続する構成とした。
【００３５】
開閉自在蓋４２は、主として、第１の開口部４１ａが完全に覆われるように第１の開口部４１ａよりも大きい面積を有する蓋部４２ａと、支持部４３に支持される被支持部４２ｂとからなる。
実施例では、開閉自在蓋４２の被支持部４２ｂの所定の２箇所に貫通孔４２ｃをそれぞれ設け、支持部４３の所定箇所に貫通孔４３ｃを設け、リング４３ｂが各貫通孔４２ｃ，４３ｃをそれぞれ貫通する構成とした。
この構成により、開閉自在蓋４２は、リング４３ｂの中心を略支点として支持体４３に揺動自在に支持される。
【００３６】
また、実施例では、スプラッシュ保護部４０の各構成部材をステンレス（ＳＵＳ３０４）とし、本体部４１の内径を３９ｍｍ，厚さを２ｍｍ、傾斜角度θａを４５度とし、開閉自在蓋４２の蓋部４２ａを、長径が６６ｍｍであり短径が４９ｍｍであり厚さが１ｍｍである楕円板とした。
【００３７】
［蒸着材料の供給方法］
次に、上述した蒸着装置に蒸着材料の供給する蒸着材料の供給方法について、図１〜図４を用いて説明する。
図４は、本発明の蒸着材料の供給方法の実施例を説明するための工程フロー図である。
【００３８】
まず、真空室１０内を大気圧状態にして、送り出しロール２を送り出しロール保持手段３に取り付け、ベースフィルム２１が冷却キャンロール４及びベースフィルム保持手段１２の各外周面にそれぞれ接するようにして、ベースフィルム２１の他端側を巻き取りロール５に取り付ける（Ｐ１）。
また、ホッパー部３１の蓋部３１ｃを開いて開口部３１ｂから供給用のペレット状の蒸着材料２３を本体部３１ａ内へ複数供給した後、蓋部３１ｃを閉めてホッパー部３１を外部に対して密閉する（Ｐ２）。
実施例では、上記蒸着材料２３を、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３と同一組成のものとし、直径が１０ｍｍであり長さが２６ｍｍであるペレット状とした。
なお、Ｐ１工程及びＰ２工程の順序は限定されるものではなく、Ｐ１工程を行った後にＰ２工程を行ってもよいし、逆に、Ｐ２工程を行った後にＰ１工程を行ってもよい。
【００３９】
次に、減圧手段１１により、真空室１０内の減圧を開始する（Ｐ３）。
蒸着材料供給手段９は真空室１０内と繋がっているため、蒸着材料供給手段９におけるスプラッシュ保護部４０，供給管３３，送り出し手段３２，及びホッパー部３１の各内部は、真空室１０内と共に減圧される。
【００４０】
その後、真空室１０内が所定の第１の圧力に達したら、冷却キャンロール４の冷却を開始する（Ｐ４）。
【００４１】
さらに、真空室１０内の減圧及び冷却キャンロール４の冷却を進め、真空室１０内が上記第１の圧力よりも低い所定の第２の圧力に達し、且つ、冷却キャンロール４が所定の温度まで冷却された後に、電子銃８から、ルツボ７の収容部７ａ内に収容されている蒸着材料２３に向かって電子ビーム８ａを照射する（Ｐ５）。
電子ビーム８ａを照射する際、シャッター１４で遮蔽板１３の開口部を覆っておくことにより、蒸発した蒸着材料２３及び加熱に伴う輻射熱によりベースフィルム２１が熱的ダメージを受けることを防止できる。
【００４２】
所定時間後、即ち蒸着材料２３が溶融してその蒸発速度が安定した後に、送り出しロール２，冷却キャンロール４，及び巻き取りロール５をそれぞれ所定方向(図１における矢印方向)に回転させて、ベースフィルム２１の走行を開始する（Ｐ６）。
【００４３】
ベースフィルム２１の走行速度が所定速度に達したら、シャッター１３を開けて遮蔽板１２の開口部を開口させて、走行するベースフィルム２１に蒸着材料２３を連続的に蒸着させる蒸着作業を開始する（Ｐ７）。
【００４４】
蒸着過程において、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３はその蒸発量に伴って減少するため、収容部７ａ内の蒸着材料２３の減少量に応じて、蒸着材料供給手段９のホッパー部３１内に収容されている供給用の蒸着材料２３を、上記収容部７ａに供給する（Ｐ８）。
【００４５】
詳しくは、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３の表面の高さを経時的に検出し、上記蒸着材料２３の表面の高さが所定の高さまで下降した時点で、蒸着材料供給手段９におけるホッパー部３１内の蒸着材料２３を、送り出し手段３２により供給管３３に向かって１つずつ送り出し、上記蒸着材料２３の表面の高さが所定の高さまで上昇した時点で蒸着材料２３の供給を停止する。
上記蒸着材料２３の表面の高さは、既存の高さ検出器を用いたり、作業者が目視で観察することによって検出することができる。
【００４６】
送り出された蒸着材料２３は、自らの自重によって供給管３３の内面を滑り落ち、スプラッシュ保護部４０に達し、このときの蒸着材料２３の落下エネルギーによって、自ら、スプラッシュ保護部４０の開閉自在蓋４２を押し開けてルツボ７の収容部７ａ内に向かって落下する。
【００４７】
また、蒸着材料２３がルツボ７の収容部７ａに落下した際、ルツボ７の収容部７ａ内の溶融している蒸着材料２３が跳ね上がる、所謂スプラッシュが発生する場合があるが、このときには開閉自在蓋４２はその自らの自重によってスプラッシュ保護部４０における本体部４１の第１の開口部４１ａをすでに覆っているので、跳ね上がった蒸着材料２３はこの開閉自在蓋４２のルツボ７側の表面に付着するため、開閉自在蓋４２によって、跳ね上がった蒸着材料２３がスプラッシュ保護部４０の本体部４１の内面や供給管３３の内面に付着することを防止できる。
【００４８】
また、開閉自在蓋４２によって、ルツボ７の収容部７ａから蒸発した蒸着材料２３がスプラッシュ保護部４０の本体部４１の内面や供給管３３の内面に蒸着することを防止できると共に、上記各内面への輻射熱の影響を低減することができる。
【００４９】
従って、上述したように、開閉自在蓋４２によって、スプラッシュ保護部４０の本体部４１の内面や供給管３３の内面に蒸着材料２３が付着すること防止できると共に、蒸着による各内面の温度上昇を低減することができるので、供給用の蒸着材料が供給管内やスプラッシュ保護部内に詰まることなく、この蒸着材料をルツボの収容部内に効率的に供給することができる。
【００５０】
その後、上述した蒸着材料の供給方法により、蒸着材料２３をルツボ７の収容部７ａ内に供給しながら蒸着を続け、ベースフィルム２１の終端近傍まで蒸着材料２３が蒸着された後に、電子ビーム８ａの照射を停止すると共にシャッター１４で遮蔽板１３の開口部を覆い、ベースフィルム２１の走行を停止する（Ｐ９）。
【００５１】
所定時間後、または、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３の温度が所定温度以下になった後に、減圧手段１１を停止させて真空室１０内に大気を導入して真空室１０内を大気圧にする（Ｐ１０）。
【００５２】
その後、送り出しロール２、及び、蒸着材料２３が蒸着されたベースフィルム２１が巻回された巻き取りロール５を真空室１０内から取り出す（Ｐ１１）。
また、スプラッシュ保護部４０は、供給管３３に対して着脱可能であるので、例えば、長期に亘る蒸着によって蒸着材料が開閉自在蓋４２の表面に多量に付着した場合には、このスプラッシュ保護部４０を新しいものと交換するようにしてもよい。
また、蒸着材料が多量に付着したスプラッシュ保護部４０は、付着した蒸着材料を薬液等を用いて選択的に除去することによって、繰り返し使用することができる。
【００５３】
さらに、上述した蒸着材料２３が蒸着されたベースフィルム２１を所定の幅及び長さに切断する等の所定の後工程を行うことによって、複数の蒸着テープを得る（Ｐ１２）。
【００５４】
本発明の実施例は、上述した構成及び手順に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において変形例としてもよいのは言うまでもない。
【００５５】
例えば、スプラッシュ保護部４０の構成は実施例に限定されるものではなく、供給用の蒸着材料がその落下エネルギーによって、自ら、スプラッシュ保護部４０の開閉自在蓋４２を押し開けてルツボ７の収容部７ａ内に向かって落下するように、蒸着材料の形状，送り出し手段３２とルツボ７との高低差，供給管３３及びスプラッシュ保護部４０の重力方向に対する傾斜角度θａ，及び開閉自在蓋４２の材質や形状等をそれぞれ適宜設定すればよい。
【００５６】
また、実施例では、リング４３ｂを用いて開閉自在蓋４２を支持部４３で支持する構成としたが、これに限定されるものではなく、開閉自在蓋４２が第１の開口部４１ａを開閉自在に覆う構成であればよい。
【００５７】
また、実施例では、スプラッシュ保護部４０の各構成部材をそれぞれステンレス（ＳＵＳ３０４）としたが、これに限定されるものではなく、上述した蒸着材料からの熱やルツボからの輻射熱に対して耐熱性を有する材料であればよい。
【００５８】
また、実施例では、蒸着過程において、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３の表面の高さを経時的に検出し、上記蒸着材料２３の表面の高さが所定の高さまで下降した時点で、供給用の蒸着材料２３を収容部７ａ内に供給し、上記蒸着材料２３の表面の高さが所定の高さまで上昇した時点で蒸着材料２３の供給を停止するようにしたが、これに限定されるものではない。
【００５９】
例えば、予め、ルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３の表面の高低差に対する蒸着材料２３の供給量を算出しておき、蒸着過程において、上記蒸着材料２３の表面が所定の高さまで下降したときに、上記高低差に応じた量の蒸着材料２３をルツボ７の収容部７ａ内に供給時間の間隔を調整して供給するようにしてもよいし、また、予め、蒸着時間に対するルツボ７の収容部７ａ内の蒸着材料２３の消費量を算出しておき、蒸着過程において、所定時間毎に所定量の蒸着材料２３をルツボ７の収容部７ａ内に供給するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の蒸着装置及び蒸着材料の供給方法を説明するための模式的断面図である。
【図２】本発明の蒸着装置及び蒸着材料の供給方法を説明するための模式的断面図である。
【図３】本発明の蒸着装置及び蒸着材料の供給方法を説明するための模式的断面図及び平面図である。
【図４】本発明の蒸着材料の供給方法を説明するためのフロー図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  蒸着装置、  ２  送り出しロール、  ３  送り出しロール保持手段、  ４  冷却キャンロール、  ５  巻き取りロール、  ６  巻き取りロール保持手段、  ７  ルツボ、  ７ａ  収容部、  ７ｂ，３１ｂ，４１ａ，４１ｂ  開口部、  ８  電子銃、  ８ａ  電子ビーム、  ９  蒸着材料供給手段、  １０  真空室、  １１  減圧手段、  １２  ベースフィルム保持手段、  １３  遮蔽板、  １４  シャッター、  ２１  ベースフィルム、  ２２ａ，２２ｂ  軸芯、  ２３  蒸着材料、  ３１  ホッパー部、  ３１ａ，４１  本体部、  ３１ｃ  蓋部、  ３２  送り出し手段、  ３３  供給管、  ４０  スプラッシュ保護部、  ４２  開閉自在蓋、  ４２ａ  蓋部、  ４２ｂ  被支持部、  ４２ｃ，４３ｃ  貫通孔、  ４３  支持部、  Ｓ１，Ｓ２  矢視、  Ａ４１，Ｂ４１  端面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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