(57)【要約】  【課題】大きな値の電流を流すことのできるプローブ２０を提供する。  【解決手段】絶縁材からなるソケット２８に複数本が互いに平行に直線状に所定のピッチで配設されるプローブ２０において、チューブ２２の軸方向と直交する断面外形を、ピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、軸方向と直交する断面積が大きくなるようにする。断面積が大きくなった分だけ導体抵抗が小さくなり、チューブ２２における発熱が低減されるとともに電圧降下も小さなものとなる。そこで、ソケット２８に配設するピッチを変えることなしにより大きな値の電流を流すことができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性金属からなるチュ−ブの少なくとも一端側に、導電性金属からなるプランジャーをその先端部を外方に突出させるとともに抜け出さないようにして軸方向に突出収納自在に配設し、前記チュ−ブ内に前記プランジャーを外方に弾性付勢するスプリングコイルを縮設したプローブであって、絶縁材からなるソケットに複数本が平行に配設されるプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記複数本が直線状に配設されるピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、前記軸方向と直交する断面積が大きくなるように構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項２】
請求項１記載のプローブにおいて、前記ソケットに平面から見て格子状に複数本が配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記格子状に直交する２つのピッチ方向にそれぞれ平行な辺を有する矩形に構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項３】
請求項１記載のプローブにおいて、前記ソケットに平面から見て複数本が一列の直線状に配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記直線状のピッチ方向の寸法より前記ピッチ方向と直交する方向の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項４】
請求項１記載のプローブにおいて、前記ソケットに平面から見て複数本が二列の直線状に配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記直線状のピッチ方向の寸法より前記ピッチ方向と直交する方向の寸法で前記二列の直線状の外側の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項５】
請求項３記載のプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、断面円形を前記ピッチ方向の両側を平行に削った小判型として、前記ピッチ方向の寸法を短くするとともに、これよりも前記ピッチ方向と直交する方向の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
【請求項６】
請求項４記載のプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、断面円形を前記ピッチ方向の両側を平行に削るとともに前記二列の直線状の内側を削った形状として、前記ピッチ方向の寸法を短するとともに、これよりも前記ピッチ方向と直交して前記二列の直線状の外側の方向の寸法を大きく構成したことを特徴とするプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大きな電流を流すことの出来るプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のプローブの一例を図１５ないし図１７を参照して説明する。図１５は、従来のプローブの縦断面図である。図１６は、図１５のチュ−ブのＡ−Ａ矢視端面図である。図１７は、図１５に示すプローブをソケットに複数本配設した平面図である。図１５ないし図１７において、プローブ１０は、導電性金属からなる比較的に肉厚の薄い円筒状のチュ−ブ１２内に、導電性金属からなるプランジャー１４、１４がその先端部を外方に突出させて抜け出ないようにして軸方向に突出収納自在に配設され、さらにチュ−ブ１２内にプランジャー１４、１４を外方に弾性付勢するスプリングコイル１６が縮設されて構成されている。そして、かかる構成の複数本のプローブ１０が、絶縁材からなるソケット１８に配設される。図１７にあっては、複数本のプローブ１０が、ソケット１８に平面から見て所定のピッチ（例えば、０．５ｍｍピッチ）で二列の直線状に配設されている。かかる構成の従来のプローブ１０が、特開２００６−９８２５４号公報に示されている。
【特許文献１】特開２００６−９８２５４号公報
【０００３】
そして、プローブ１０の両端側のプランジャー１４、１４の先端部が、例えば被測定デバイスの測定端子と検査治具側の端子とにそれぞれ弾接されて、被測定デバイスの測定端子と検査治具側の端子が電気的に接続される。ここで、プランジャー１４、１４がチューブ１２の内壁に弾接して、被測定デバイスの測定端子から一方のプランジャー１４とチューブ１２と他方のプランジャー１４および検査治具側の端子が順次に接続された導電回路が形成される。また、一方のプランジャー１４とスプリングコイル１６と他方のプランジャー１４が順次に接続された導電回路も形成される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年において、電子回路等の被測定デバイスの測定端子は、例えば、０．５ｍｍ等の極めて狭いピッチで配設される。すると、プローブ１０も０．５ｍｍ等の狭いピッチで配設され、隣接するチューブ１２、１２の互いの絶縁状態を維持するために、そのチューブ１２の外径寸法は０．３ｍｍ程度である。このためにチュ−ブ１２の肉厚が薄くて断面積が小さく、断面積の大きなプランジャ−１４、１４に比較して導体抵抗が大きい。そこで、プローブ１０に大きな電流を流そうとすると、チューブ１２における発熱が著しく、また電圧降下が大きい。よって、所望の大きな値の電流を流すことが出来ないという不具合があった。上述の構造の従来例にあっては、プローブ１０に流せる電流は、最大でも１Ａ程度である。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の事情に鑑みてなされたもので、プローブのチューブの断面積を大きくして、大きな電流を流すことの出来るプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するために、本発明のプローブは、導電性金属からなるチュ−ブの少なくとも一端側に、導電性金属からなるプランジャーをその先端部を外方に突出させるとともに抜け出さないようにして軸方向に突出収納自在に配設し、前記チュ−ブ内に前記プランジャーを外方に弾性付勢するスプリングコイルを縮設したプローブであって、絶縁材からなるソケットに複数本が平行に配設されるプローブにおいて、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記複数本が直線状に配設されるピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、前記軸方向と直交する断面積が大きくなるように構成されている。
【０００７】
そして、前記ソケットに平面から見て格子状に複数本が配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記格子状に直交する２つのピッチ方向にそれぞれ平行な辺を有する矩形に構成しても良い。
【０００８】
また、前記ソケットに平面から見て複数本が一列の直線状に配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記直線状のピッチ方向の寸法より前記ピッチ方向と直交する方向の寸法を大きく構成することもできる。
【０００９】
さらに、前記ソケットに平面から見て複数本が二列の直線状に配設されるプローブであって、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、前記直線状のピッチ方向の寸法より前記ピッチ方向と直交する方向の寸法で前記二列の直線状の外側の寸法を大きく構成することも可能である。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載のプローブにあっては、チューブの軸方向と直交する断面外形を、複数本配設されるピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、軸方向と直交する断面積が大きくなるように構成したので、断面積が大きくなった分だけ導体抵抗が小さくなり、チューブにおける発熱が低減されるとともに電圧降下も小さなものとなる。そこで、ソケットに平面から見て複数本が配設されるプローブに、そのピッチを変えることなしにより大きな値の電流を流すことが出来る。
【００１１】
そして、請求項２記載のプローブにあっては、チューブの軸方向と直交する断面外形を、格子状に直交する２つのピッチ方向にそれぞれ平行な辺を有する矩形としたので、外形を従来の円形のものから矩形とすることによりチューブの断面積を大きくでき、ソケットに平面から見て格子状に複数本が配設されるプローブに、そのピッチを変えることなく、大きな値の電流を流すことが出来る。
【００１２】
また、請求項３記載のプローブにあっては、チューブの軸方向と直交する断面外形を、直線状に配設されるピッチ方向の寸法よりこのピッチ方向と直交する方向の寸法を大きくすることで、チューブの軸方向と直交する断面積を大きくでき、ソケットに平面から見て直線状に複数本が一列に配設されるプローブに、そのピッチを変えることなしに大きな値の電流を流すことが出来る。
【００１３】
さらに、請求項４記載のプローブにあっては、前記チューブの前記軸方向と直交する断面外形を、二列の直線状に配設されるピッチ方向の寸法よりこのピッチ方向と直交する方向の寸法で二列の直線状の外側の寸法を大きくすることで、チューブの軸方向と直交する断面積を大きくでき、ソケットに平面から見て複数本が二列の直線状に配設されるプローブに、そのピッチを変えることなしに大きな値の電流を流すことが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の第１実施例を図１ないし図３を参照して説明する。図１は、本発明の第１実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。図２は、図１に示すチューブのＢ−Ｂ矢視端面図である。図３は、図１に示すプローブをソケットに複数本配設した平面図である。図１ないし図３において、図１５ないし図１７に示すものと同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００１５】
図１ないし図３に示す第１実施例において、プローブ２０は、導電性金属からなる平面形状が長方形のチュ−ブ２２の中心部に穿設された孔内に、導電性金属からなるプランジャー１４、１４がその先端部を外方に突出させて抜け出ないようにして軸方向に突出収納自在に配設され、さらにチュ−ブ２２の孔内にプランジャー１４、１４を外方に弾性付勢するスプリングコイル１６が縮設されて構成されている。そして、かかる構成の複数本のプローブ２０が、絶縁材からなるソケット２８に互いに平行に配設される。図３にあっては、複数本のプローブ２０が、ソケット２８に平面から見て所定のピッチ（０．５ｍｍ）で二列の直線状に配設され、チューブ２２のピッチ方向の寸法は、例えば０．３ｍｍであり、ピッチ方向と直交する方向の寸法は、例えば０．９ｍｍである。したがって、チューブ２２の軸方向と直交する断面積が、従来のものに比べて、飛躍的に大きくなる。
【００１６】
そこで、チューブ２２の導体抵抗を小さなものに出来、大きな電流を流しても、チューブ２２における発熱が軽減され、また電圧降下も小さい。よって、所望の大きな値の電流を流すことが出来る。発明者の実験によれば、第１実施例のプローブ２０において、最大で５Ａ程度も流すことが可能である。なお、チューブ２２の軸方向と直交する断面外形は、ピッチ方向の寸法は配設されるピッチにより規制されるが、ピッチ方向と直交する方向の寸法が大きくなるように適宜に設定されれば良い。
【００１７】
次に、本発明の第２実施例を図４ないし図６を参照して説明する。図４は、本発明の第２実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。図５は、図４に示されるチューブのＣ−Ｃ矢視端面図である。図６は、図４に示すプローブをソケットに格子状に複数本配設した平面図である。図４ないし図６において、図１ないし図３および図１５ないし図１７に示すものと同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００１８】
図４ないし図６に示す第２実施例において、プローブ３０は、導電性金属からなる平面形状が正方形のチュ−ブ３２の中心部に穿設された孔内に、導電性金属からなるプランジャー１４、１４がその先端部を外方に突出させて抜け出ないようにして軸方向に突出収納自在に配設され、さらにチュ−ブ３２の孔内にプランジャー１４、１４を外方に弾性付勢するスプリングコイル１６が縮設されて構成されている。そして、かかる構成の複数本のプローブ３０が、絶縁材からなるソケット３８に互いに平行に配設される。図６にあっては、複数本のプローブ３０が、ソケット３８に平面から見て所定の同じピッチ（０．５ｍｍ）で格子状に配設され、チューブ３２の格子状に直交する２つのピッチ方向の寸法は、それぞれに例えば０．３ｍｍである。ピッチ方向の寸法は、図１５ないし図１７に示す従来例と同じであるが、ピッチ方向と異なる方向（ピッチ方向に対して４５°の方向）の寸法を大きくすることで、円形を正方形に変更して、チューブ３２の軸方向と直交する断面積を従来のものに比べて大きくしている。
【００１９】
そこで、チューブ３２の導体抵抗を従来例に比べて小さなものに出来、それだけ導体抵抗を小さくできて、大きな電流を流しても、チューブ３２における発熱が軽減され、また電圧降下も小さい。よって、所望の大きな値の電流を流すことが出来る。
【００２０】
また、本発明の第３実施例を図７ないし図１０を参照して説明する。図７は、本発明の第３実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。図８は、図７に示されるチューブのＤ−Ｄ矢視端面図である。図９は、図７に示すプローブをソケットに複数本配設した平面図である。図１０は、図８に示すチューブの外形を形成する一例を示す図である。図７ないし図１０において、図１ないし図６および図１５ないし図１７に示すものと同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２１】
図７ないし図１０に示す第３実施例において、プローブ４０は、導電性金属からなる平面形状が小判型の外形を有するチュ−ブ４２の中心部に穿設された孔内に、導電性金属からなるプランジャー１４、１４がその先端部を外方に突出させて抜け出ないようにして軸方向に突出収納自在に配設され、さらにチュ−ブ４２の孔内にプランジャー１４、１４を外方に弾性付勢するスプリングコイル１６が縮設されて構成されている。そして、かかる構成の複数本のプローブ４０が、絶縁材からなるソケット４８に互いに平行に配設される。図９にあっては、複数本のプローブ４０が、ソケット４８に平面から見て所定のピッチ（０．５ｍｍ）で直線状に配設される。チューブ４２のピッチ方向の寸法は、例えば０．３ｍｍであるが、ピッチ方向と直交する方向の寸法は適宜に大きくすることが出来る。そして、チューブ４２の外形は、図１０に示すごとく、まず大きな直径を有する断面円形の導電性金属の棒状部材が、プランジャー１４、１４およびスプリングコイル１６が収容される孔が中心部に穿設され、さらに外周部のピッチ方向の両側４４、４４が切削加工等により適宜に削り取られてチューブ４２のピッチ方向の寸法が小さく形成されれば良い。チューブ４２のピッチ方向の寸法よりもピッチ方向と直交する方向の寸法を大きく構成することで、チューブ４２の軸方向と直交する断面積を大きなものとしている。
【００２２】
さらに、本発明の第４実施例を図１１ないし図１４を参照して説明する。図１１は、本発明の第４実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。図１２は、図１１に示すチューブのＥ−Ｅ矢視端面図である。図１３は、図１１に示すプローブをソケットに複数本を二列の直線状に配設した平面図である。図１４は、図１２に示すチューブの外形を形成する一例を示す図である。図１１ないし図１４において、図１ないし図１０および図１５ないし図１７に示すものと同じまたは均等な部材には、同じ符号を付けて重複する説明を省略する。
【００２３】
図１１ないし図１４に示す第４実施例において、プローブ５０は、導電性金属からなる平面形状が長方形の一方の短辺が外方に膨らむ円弧状された外形を有するチュ−ブ４２の他方の短辺側に偏った位置に穿設された孔内に、プランジャー１４、１４とスプリングコイル１６が適宜に収納配設される。そして、かかる構成の複数本のプローブ５０が、絶縁材からなるソケット５８に互いに平行に配設される。図１３にあっては、複数本のプローブ５０が、ソケット５８に平面から見て二列の直線状に所定のピッチ（０．５ｍｍ）で配設される。チューブ５２のピッチ方向の寸法は、例えば０．３ｍｍであるが、ピッチ方向と直交する方向の寸法は適宜に大きくすることが出来る。そして、チューブ５２の外形は、図１４に示すごとく、まず大きな直径を有する断面円形の導電性金属の棒状部材が、プランジャー１４、１４およびスプリングコイル１６が収容される孔が中心部に穿設され、さらにピッチ方向の両側５４、５４が切削加工等により適宜に削り取られるとともに、ピッチ方向と直交する方向で二列の直線状に配設されて内側となる部分５６が切削加工等により適宜に削り取られる。チューブ５２のピッチ方向の寸法よりもピッチ方向と直交する方向で二列の直線状に配設されて外側となる方向の寸法を大きく構成することで、チューブ５２の軸方向と直交する断面積を大きなものとしている。
【００２４】
なお、上記実施例において、プローブ１０、２０、３０、４０、５０は、その両側に可動端子としてのプランジャー１４、１４が設けられているが、少なくても一端側に可動端子としてのプランジャー１４が設けられれば良い。また、上記実施例において、チューブ２２、３２、４２、５２の外形は、複数本配設されるピッチ方向の寸法よりもピッチ方向と異なる方向の寸法を大きくして、軸方向と直交する断面積が大きくなるようにすれば、いかなる形状であっても良い。さらに、上記第２実施例では、プローブ３０、３０…が
２つ同じピッチからなる格子状に配設されるているので、チューブ３２の平面外形が正方形とされているが、これに限られず、２つ異なるピッチからなる格子状に配設されていれば、チューブ３２の平面外形が長方形等の矩形とされても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図２】図１に示すチューブのＢ−Ｂ矢視端面図である。
【図３】図１に示すプローブをソケットに複数本配設した平面図である。
【図４】本発明の第２実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図５】図４に示すチューブのＣ−Ｃ矢視端面図である。
【図６】図４に示すプローブをソケットに格子状に複数本配設した平面図である。
【図７】本発明の第３実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図８】図７に示すチューブのＤ−Ｄ矢視端面図である。
【図９】図７に示すプローブをソケットに複数本配設した平面図である。
【図１０】図８に示すチューブの外形を形成する一例を示す図である。
【図１１】本発明の第４実施例のプローブを示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は縦断面図である。
【図１２】図１１に示すチューブのＥ−Ｅ矢視端面図である。
【図１３】図１１に示すプローブをソケットに複数本を二列の直線状に配設した平面図である。
【図１４】図１２に示すチューブの外形を形成する一例を示す図である。
【図１５】従来のプローブの縦断面図である。
【図１６】図１５のチュ−ブのＡ−Ａ矢視端面図である。
【図１７】図１５に示すプローブをソケットに複数本配設した平面図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０、２０、３０、４０、５０  プローブ
１２、２２、３２、４２、５２  チューブ
１４  プランジャー
１６  スプリングコイル
１８、２８、３８、４８、５８  ソケット
４４、５４  ピッチ方向の両側
５６  内側となる部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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