(57)【要約】【課題】センサユニットの破損を未然に防ぐことができる板状部材検出装置を提供する。【解決手段】ベース部材２の長手方向に等間隔に設けられたセンサ取付部材２１の先端には、上壁２１ａと第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃとにより断面コ字状をなす保護部としての保護凹部２９が設けられる。そして、保護凹部２９には、ヘッドユニット３２が保護凹部２９の若干内側に入り込んだ位置に設けられ、直方形状をなすヘッドユニット３２は、その頂角が保護凹部２９により板状部材Ｗとの衝突から保護される。このため、ヘッドユニット３２を板状部材Ｗ間に挿入する際のヘッドユニット３２と板状部材Ｗ等との直接的な衝突が防止される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材に向かって光を投光する投光手段及び前記板状部材からの反射光を受光する受光手段を少なくとも有するセンサユニットをセンサ取付部材に取り付け、そのセンサ取付部材を介して前記センサユニットを長尺のベース部材の長手方向に所定間隔を隔てて複数取り付けてなり、互いに板厚方向に所定間隔を隔てて配列された前記板状部材に前記各センサユニットをそれぞれ近傍配置して該板状部材を検出する板状部材検出装置であって、
前記各センサ取付部材は、金属部材からなるとともに、前記センサユニットを収容可能な直方形状の頂角を前記板状部材との衝突から保護する保護部を備えたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の板状部材検出装置において、
前記センサ取付部材は、１枚の板状の金属部材から板金加工により形成されたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の板状部材検出装置において、
前記センサ取付部材の保護部は、前記センサユニットと少なくとも２方向で突き当てられる壁部を備え、
前記センサユニットは、前記各壁部に突き当てられた状態で前記保護部に対して取り付けられることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記センサ取付部材は、前記板状部材と対向する対向壁部を有し、
前記センサユニットは、投受光を行う検出面が前記対向壁部に対向するように設けられるとともに、前記対向壁部には投受光を行うための投受光窓部が貫通形成されたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記センサユニットは、前記投光手段の投光部及び前記受光手段の受光部のみを有するヘッドユニットであることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記センサユニットは、前記センサ取付部材に着脱可能に取り付けられたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の板状部材検出装置において、
前記センサ取付部材は、ベース部材に着脱可能に取り付けられており、
前記センサユニットは、検出距離の異なる複数種類のセンサユニットの中から選択されたセンサユニットを前記センサ取付部材に着脱可能であることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記各センサユニットには、外部と電気的に接続するための信号線の先端に設けられたコネクタが着脱可能に装着されることを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記各センサユニットは、自身の検出感度を調整するための検出感度設定手段をそれぞれ備えたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記各センサユニットは、自身の検出作動を確認するための動作表示部をそれぞれ備えたことを特徴とする板状部材検出装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、
前記センサ取付部材は、アース接続されたことを特徴とする板状部材検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに間隔を隔てて配列される複数の板状部材の有無をそれぞれ検出するための板状部材検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の板状部材検出装置は、例えば特許文献１で開示されているように、投光素子及び受光素子を対で有する複数のセンサユニットを備え、これらセンサユニットを例えば所定間隔を隔てて配列される複数の板状部材間にそれぞれ入り込ませて使用される。そして、各センサユニットを対応する板状部材の例えば下面に該ユニットの投光素子から光を出射し、受光素子によりその下面からの反射光を受光したその受光量に基づいて、対応する板状部材の有無をそれぞれ検出するようになっている。
【特許文献１】特開２００６−４６９５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のような板状部材検出装置では、一般にセンサユニットの投光素子及び受光素子を対で収容するケースに樹脂性のものが用いられる。このため、センサユニットが板状部材間に入り込む際に板状部材や板状部材を収容するカセット等にセンサユニットが衝突して、該センサユニットが破損する虞があった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、センサユニットの破損を未然に防ぐことができる板状部材検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、板状部材に向かって光を投光する投光手段及び前記板状部材からの反射光を受光する受光手段を少なくとも有するセンサユニットをセンサ取付部材に取り付け、そのセンサ取付部材を介して前記センサユニットを長尺のベース部材の長手方向に所定間隔を隔てて複数取り付けてなり、互いに板厚方向に所定間隔を隔てて配列された前記板状部材に前記各センサユニットをそれぞれ近傍配置して該板状部材を検出する板状部材検出装置であって、前記各センサ取付部材は、金属部材からなるとともに、前記センサユニットを収容可能な直方形状の頂角を前記板状部材との衝突から保護する保護部を備えたことをその要旨とする。
【０００６】
この発明では、ベース部材の長手方向に設けられたセンサ取付部材には、センサユニットが取り付けられるとともに、該センサユニットを収容可能な直方形状の頂角を板状部材との衝突から保護する保護部が備えられる。このため、この頂角を保護する保護部によりセンサユニットと板状部材等との直接的な衝突が防止され、これにより、センサユニットの破損を未然に防ぐことができる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の板状部材検出装置において、前記センサ取付部材は、１枚の板状の金属部材から板金加工により形成されたことをその要旨とする。
この発明では、センサ取付部材は１枚の板状の金属部材から板金加工により形成されるため、センサ取付部材の簡素化及び低廉化を図ることができる。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の板状部材検出装置において、前記センサ取付部材の保護部は、前記センサユニットと少なくとも２方向で突き当てられる壁部を備え、前記センサユニットは、前記各壁部に突き当てられた状態で前記保護部に対して
取り付けられることをその要旨とする。
【０００９】
この発明では、センサユニットは、保護部の各壁部に突き当てられた状態で該保護部に対して取り付けられるため、センサユニットをセンサ取付部材に対して容易に取り付けることができる。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記センサ取付部材は、前記板状部材と対向する対向壁部を有し、前記センサユニットは、投受光を行う検出面が前記対向壁部に対向するように設けられるとともに、前記対向壁部には投受光を行うための投受光窓部が貫通形成されたことをその要旨とする。
【００１１】
この発明では、センサユニットは投受光を行う検出面が保護部の対向壁部に対向するように設けられており、センサユニットの投受光は投受光窓部を通して投受光が行われる。これにより、センサユニットが保護部の対向壁部に覆われるため、センサユニットの検出面を保護することができる。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記センサユニットは、前記投光手段の投光部及び前記受光手段の受光部のみを有するヘッドユニットであることをその要旨とする。
【００１３】
この発明では、センサ取付部材に取り付けられるセンサユニットは、投光手段の投光部及び受光手段の受光部のみを有するヘッドユニットである。このため、センサ取付部材に取り付けられるセンサユニットを小型にすることができ、これにより板状部材の板厚方向の配置間隔が小さい場合でも対応可能となる。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記センサユニットは、前記センサ取付部材に着脱可能に取り付けられたことをその要旨とする。
【００１５】
この発明では、センサユニットはセンサ取付部材に対して着脱可能に設けられるため、センサユニットの不具合により交換が必要になったときや、検出距離の異なる複数種類のセンサユニットの中から選択したセンサユニットに交換するとき等に対応可能となる。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の板状部材検出装置において、前記センサ取付部材は、ベース部材に着脱可能に取り付けられており、前記センサユニットは、検出距離の異なる複数種類のセンサユニットの中から選択されたセンサユニットを前記センサ取付部材に着脱可能であることをその要旨とする。
【００１７】
この発明では、センサ取付部材はベース部材に着脱可能に取り付けられるとともに、センサ取付部材には、検出距離の異なる複数種類のセンサユニットの中から選択されたセンサユニットが着脱可能に取り付けられる。このため、板状部材の配置間隔の変更に伴ったセンサユニットの検出距離の変更時等に対応可能となる。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記各センサユニットには、外部と接続するための信号線の先端に設けられたコネクタが着脱可能に装着されることをその要旨とする。
【００１９】
この発明では、センサユニットには、外部と接続するための信号線の先端に設けられたコネクタが着脱可能に装着される。このため、センサユニットの交換時等に板状部材検出装置からセンサユニットを個別に取り外すことが可能となる。
【００２０】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記各センサユニットは、自身の検出感度を調整するための検出感度設定手段をそれぞれ備えたことをその要旨とする。
【００２１】
この発明では、各センサユニットには検出感度をそれぞれ調整するための検出感度設定手段が設けられるため、センサユニット個々の検出感度のばらつきを低減することができる。
【００２２】
請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記各センサユニットは、自身の検出作動を確認するための動作表示部をそれぞれ備えたことをその要旨とする。
【００２３】
この発明では、各センサユニットには検出作動を確認するための動作表示部がそれぞれ設けられるため、センサユニット毎に動作しているかを確認することができる。
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の板状部材検出装置において、前記センサ取付部材は、アース接続されたことをその要旨とする。
【００２４】
この発明では、センサ取付部材がアース接続されるため、板状部材等に帯電した静電気は、センサ取付部材を経由してアースへ流れ、これにより静電気ノイズによる影響を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２５】
従って、上記記載の発明によれば、センサユニットの破損を未然に防ぐことができる板状部材検出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。
図１及び図２に本実施の形態の板状部材検出装置１を示す。板状部材検出装置１は、長尺のベース部材２と、該ベース部材２の長手方向（この場合、上下方向）に沿って等間隔に着脱可能に取り付けられた複数の検出ユニット３とからなり、例えば図示しないカセット内に板厚方向に間隔を隔てて配列されたフラットパネルディスプレイに用いるガラス基板等の板状部材Ｗの有無を一括検出するためのものである。
【００２７】
金属部材よりなるベース部材２は、中空部１１を有する四角筒状に形成されている。ベース部材２には、その一角を水平方向に切り欠いて貫通形成された収容孔１２が（図３及び図４参照）、それぞれ同形状で長手方向に沿って等間隔に設けられている。ベース部材２には、検出ユニット３が収容孔１２にそれぞれ取り付けられている。また、ベース部材２はアース接続されており、板状部材Ｗに帯電した静電気が検出ユニット３の金属製のセンサ取付部材２１及びベース部材２を経由してアースへと流れる。
【００２８】
各検出ユニット３は、図１〜図４に示すように、センサ取付部材２１と、該センサ取付部材２１に着脱可能に取り付けられたコントローラユニット３１及びヘッドユニット３２を有するファイバセンサ２２とからなる。１枚の板状の金属部材から板金加工により形成されたセンサ取付部材２１は、ベース部材２の外側面の直交方向（この場合、水平方向）に延びる対向壁部としての上壁２１ａを備えている。上壁２１ａの長手方向両側には、下方に向かって延びる一対の壁部としての第１側壁２１ｂ及び第２側壁２１ｃが屈曲形成されている。センサ取付部材２１の基端部は、上壁２１ａから直角に切り起こし形成された取付片２３と、第２側壁２１ｃを直角に屈曲することにより形成された取付片２４とがそれぞれネジ２５にて締結されることによりベース部材２に対して着脱可能に取り付けられ
る。尚、上壁２１ａに形成された取付片２３は、該上壁２１ａに対して直角に屈曲されるとともにベース部材２の角に沿って更に直角に屈曲してその角部に嵌合するように形成されている。
【００２９】
各センサ取付部材２１の基端には、コントローラユニット３１を取り付けるためのコントローラ取付部２６が形成されるとともに、該取付部２６には第２側壁２１ｃ側においてコントローラユニット３１の一側部を上壁２１ａとで挟持する挟持片２７が屈曲形成されている。また、上壁２１ａの長手方向中央には、該上壁２１ａを下方に切り起こすことにより形成された保持爪２８が設けられている。また、センサ取付部材２１の先端は、上壁２１ａと第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃとにより断面コ字状をなしており、該上壁２１ａ及び第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃは保護部としての保護凹部２９を構成している。また、センサ取付部材２１の上壁２１ａの先端には、幅方向に延びる投受光窓部３０が貫通形成されている。
【００３０】
各ファイバセンサ２２はコントローラユニット３１とヘッドユニット３２とがそれぞれ分離して構成されており、これらユニット３１，３２は投光手段を構成する投光用光ファイバ３３ａ及び受光手段を構成する受光用光ファイバ３３ｂにより接続されている。尚、コントローラユニット３１及びヘッドユニット３２は扁平四角箱状をなし、ヘッドユニット３２の方がコントローラユニット３１よりも小型に構成されている。
【００３１】
各コントローラユニット３１は、前記コントローラ取付部２６の上壁２１ａ側から該ユニット３１を介して挟持片２７にネジ３４にて着脱可能に締結され、前記ベース部材２の収容孔１２に収容される。各コントローラユニット３１の内部にはそれぞれ、制御装置４１と、該装置４１と電気的に接続された投光手段を構成する投光素子４２及び受光手段を構成する受光素子４３が備えられている（図５参照）。また、各コントローラユニット３１の外側面にはそれぞれ、検出感度設定手段としての操作部４４、表示部４５及び動作表示部としての動作表示灯４６が設けられている。操作部４４はヘッドユニット３２における検出感度を調整すべく操作するためのものであり、制御装置４１は操作部４４の操作により出力された出力信号に基づいてファイバセンサ２２の検出感度を設定する。尚、制御装置４１はファイバセンサ２２の検出感度を表示部４５に表示させる。制御装置４１は、ファイバセンサ２２の検出作動中には動作表示灯４６を点灯させ、正しく検出作動が行われていないときは消灯させる。コントローラユニット３１は、収容孔１２からベース部材２の内部に長手方向の半分程度まで挿入されるとともに、センサ取付部材２１の第１側壁２１ｂ側で操作部４４、表示部４５及び動作表示灯４６が露出するように設けられている。
【００３２】
各コントローラユニット３１の基端部には、前記ベース部材２の中空部１１に挿通された信号線４８の先端のコネクタ４７が着脱可能に装着され電気的に接続される。また、コントローラユニット３１の先端部には投光用光ファイバ３３ａ及び受光用光ファイバ３３ｂが着脱可能に接続されている。投光用光ファイバ３３ａ及び受光用光ファイバ３３ｂは、長手方向中央で前記上壁２１ａの保持爪２８に保持されるとともに、その先端は保護凹部２９内に取り付けられたヘッドユニット３２に接続されている（図２及び図４参照）。
【００３３】
ヘッドユニット３２は、樹脂部材からなる扁平四角箱状のケース５１と、投光用光ファイバ３３ａ及び受光用光ファイバ３３ｂの先端にそれぞれ接続された投光手段を構成する投光部５２及び受光手段を構成する受光部５３とを備えている。投光部５２及び受光部５３は、ケース５１における光の投受光を行う検出面５４から一部露出している。ヘッドユニット３２は、その検出面５４が保護凹部２９の上壁２１ａと対向するように設けられるとともに、上壁２１ａからネジ５５により着脱可能に締結されている。また、ヘッドユニット３２は保護凹部２９の若干内側に入り込んだ位置に設けられ、保護凹部２９により検
出面５４の略全体が覆われるとともに、保護凹部２９の上壁２１ａ及び第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃはヘッドユニット３２より先端側に若干突出している。即ち、保護凹部２９は、直方形状をなすヘッドユニット３２の頂角を板状部材Ｗとの衝突から保護する。そして、ヘッドユニット３２の投受光は投受光窓部３０を通して投受光が行われる。尚、ヘッドユニット３２は着脱可能に設けられるため、検出距離の異なる複数種類のヘッドユニットの中から選択されたヘッドユニットと交換可能である。
【００３４】
このように構成された板状部材検出装置１では、各検出ユニット３の先端に取り付けられたヘッドユニット３２がそれぞれ対応する板状部材Ｗの下面側に挿入されることで板状部材Ｗの有無の検出を行う。コントローラユニット３１の制御装置４１は、投光素子４２を発光させるとともに、その光を投光用光ファイバ３３ａを介してヘッドユニット３２の投光部５２に伝送する。伝送された光は投光部５２から上方に向かって出射される。受光部５３には板状部材Ｗの下面にて反射した投光部５２からの光の反射光を含む光が入射し、その入射光は受光用光ファイバ３３ｂを介して受光素子４３にて受光される。受光素子４３は受光した光の受光量に応じたレベルの受光信号を制御装置４１に出力し、制御装置４１は受光信号に基づいて板状部材Ｗの有無により変化するその受光信号のレベル（受光量）と検出用閾値とを比較し、その比較結果に応じた検出信号を信号線４８を介して外部装置に出力するようになっている。
【００３５】
このような検出を行う際、各検出ユニット３が対応する板状部材Ｗの下面側に挿入されるが、板状部材Ｗが検出ユニット３に対して傾いて配置されている等して検出ユニット３の先端が板状部材Ｗに衝突してしまう場合がある。このとき、保護凹部２９の先端はヘッドユニット３２より先端側、即ちヘッドユニット３２の挿入方向側に突出しているため保護凹部２９のみが板状部材Ｗと接触することとなり、板状部材Ｗのヘッドユニット３２への衝突が未然に防止され、これによるヘッドユニット３２の破損が防止されるようになっている。
【００３６】
次に、本実施の形態の特徴的な作用効果を記載する。
（１）ベース部材２の長手方向に等間隔に設けられたセンサ取付部材２１の先端には、上壁２１ａと第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃとにより断面コ字状をなす保護部としての保護凹部２９が設けられる。そして、保護凹部２９には、ヘッドユニット３２が保護凹部２９の若干内側に入り込んだ位置に設けられ、直方形状をなすヘッドユニット３２は、その頂角が保護凹部２９により板状部材Ｗとの衝突から保護される。このため、ヘッドユニット３２を板状部材Ｗ間に挿入する際のヘッドユニット３２と板状部材Ｗ等との直接的な衝突が防止され、これによりヘッドユニット３２の破損を未然に防ぐことができる。また、上壁２１ａ及び側壁２１ｂに隣接する辺が保護凹部２９により保護されているため、ヘッドユニット３２の破損をより確実に防ぐことができる。更に、保護凹部２９を衝撃に強い断面コ字状とすることで該凹部２９の衝撃保護性能の向上を図ることができる。
【００３７】
（２）センサ取付部材２１は１枚の板状の金属部材から板金加工により形成されるため、センサ取付部材２１の簡素化及び低廉化を図ることができる。
（３）ヘッドユニット３２は保護凹部２９の上壁２１ａに対して固定されるため、ヘッドユニット３２をセンサ取付部材２１に対して容易且つ確実に取り付けることができる。
【００３８】
（４）ヘッドユニット３２は投受光を行う検出面５４が保護凹部２９の上壁２１ａに対向するように設けられており、ヘッドユニット３２の投受光は投受光窓部３０を通して投受光が行われる。これにより、ヘッドユニット３２が保護凹部２９の上壁２１ａに覆われるため、センサユニットの検出面５４を保護することができる。
【００３９】
（５）各ヘッドユニット３２のケース５１には反射率の低い樹脂部材が用いられる。こ
のため、ヘッドユニット３２の投光部５２にて出射された光が隣接する別のヘッドユニット３２の裏面で反射することによる板状部材Ｗの誤検出を抑制することができる。
【００４０】
（６）各ファイバセンサ２２はコントローラユニット３１とヘッドユニット３２とがそれぞれ分離して構成されており、センサ取付部材２１先端の保護凹部２９には、投光部５２及び受光部５３のみを備えたヘッドユニット３２が設けられる。このため、ヘッドユニット３２をコントローラユニット３１よりも小型とすることができ、これにより板状部材Ｗの板厚方向の配置間隔が小さい場合でも対応可能となる。
【００４１】
（７）ヘッドユニット３２及びコントローラユニット３１はセンサ取付部材２１に対して着脱可能に設けられている。このため、ヘッドユニット３２及びコントローラユニット３１の不具合により交換が必要になったときや、検出距離の異なる複数種類のヘッドユニットの中から選択したものに交換するとき等に対応可能となる。
【００４２】
（８）コントローラユニット３１は、センサ取付部材２１に着脱可能に取り付けられるとともに、ベース部材２に形成された収容孔１２に着脱可能に収容される。このため、コントローラユニット３１の不具合又はヘッドユニット３２の不具合に付随してコントローラユニット３１の交換が必要になったときに対応可能となる。
【００４３】
（９）各コントローラユニット３１には、それぞれ対応するヘッドユニット３２の検出感度を調整するための検出感度設定手段としての操作部４４が設けられる。このため、それぞれのファイバセンサ２２個々の検出感度のばらつきを低減することができる。
【００４４】
（１０）各コントローラユニット３１には検出作動を確認するための動作表示灯４６が設けられるため、ファイバセンサ２２毎に動作しているかを確認することができる。
（１１）センサ取付部材２１と該センサ取付部材２１に取り付けられたコントローラユニット３１及びヘッドユニット３２とで構成された検出ユニット３が、ベース部材２に着脱可能に設けられるため、検出ユニット３を一体的に交換することができる。
【００４５】
（１２）ベース部材２は中空部１１を有する筒状をなすとともに、各コントローラユニット３１の基端部はベース部材２の外側面に貫通形成された収容孔１２から中空部１１に挿入される。このため、コントローラユニット３１の基端部に接続された各信号線４８を中空部１１に通すことができ、これにより各信号線４８の引き回しの簡素化を図ることができる。
【００４６】
（１３）ベース部材２は、金属部材からなり、センサ取付部材２１はアース接続されるため、板状部材Ｗに帯電した静電気は、センサ取付部材２１及びベース部材２を経由してアースへ流れ、これにより静電気ノイズによる影響を抑制することができる。
【００４７】
（１４）ヘッドユニット３２は、一対の側壁２１ｂ及び上壁２１ａによりその取り付け位置がガイドされているため、ヘッドユニット３２をセンサ取付部材２１に対して容易に取り付けることができる。
【００４８】
（１５）センサ取付部材２１には、検出距離の異なる複数種類のヘッドユニットの中から選択されたヘッドユニットが着脱可能に取り付けられる。このため、板状部材Ｗの配置間隔の変更に伴ったヘッドユニット３２の検出距離の変更時等に対応可能となる。
【００４９】
（１６）コントローラユニット３１の基端には、外部と電気的に接続するための信号線４８の先端のコネクタ４７が着脱可能に装着されるため、ファイバセンサ２２を個別に取り外すことが可能となる。
【００５０】
尚、本発明の実施の形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施の形態では、ベース部材２は中空部１１を有する筒状に形成され、各コントローラユニット３１に接続された信号線４８はベース部材２の中空部１１に挿通されたが、これに限定されるものではなく、例えばベース部材２を柱状として、ベース部材２の外側面に沿って信号線４８を設けてもよい。
【００５１】
・上記実施の形態では、各コントローラユニット３１を含む検出ユニット３の一部をベース部材２の収容孔１２に収容したが、例えば収容孔１２を省いて、収容せずに支持してもよい。
【００５２】
・上記実施の形態では、各センサには、コントローラユニット３１とヘッドユニット３２とが分離して構成されたファイバセンサ２２を用いたが、一体に構成されたセンサを用いてもよい。
【００５３】
・上記実施の形態では、各センサ取付部材２１にはコントローラユニット３１及びヘッドユニット３２が着脱可能に設けられたが、着脱不能に固定されてもよい。
・上記実施の形態では、ベース部材２には検出ユニット３（センサ取付部材２１）が着脱可能に設けられたが、着脱不能に固定されてもよい。
【００５４】
・上記実施の形態では、ヘッドユニット３２は保護凹部２９の上壁２１ａに対して取り付けられたが、これに限定されるものではなく、例えば第１側壁２１ｂ又は第２側壁２１ｃに取り付けられてもよい。
【００５５】
・上記実施の形態では、ヘッドユニット３２のケース５１には樹脂部材を用いたが、これに限定されるものではなく、表面の反射率が低くされていれば、例えば金属部材にて形成されたものを用いてもよい。
【００５６】
・上記実施の形態では、ヘッドユニット３２は投受光を行う検出面５４が保護凹部２９の上壁２１ａに対向するように設けられたが、これに限定されるものではなく、例えば検出面５４の裏面を上壁２１ａに対向するように設けてもよい。この場合、ヘッドユニット３２の投光部５２は板状部材Ｗの上面に向かって光を出射する。
【００５７】
・上記実施の形態では、保護凹部２９は第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃが上壁２１ａから下方に向かって延びる構成としたが、第１、第２側壁２１ｂ，２１ｃが上方に向けて延びる構成としてもよい。また、コ字状の凹部に限らず、例えば上壁２１ａの先端を下方に屈曲させた形状、第１側壁２１ｂ及び第２側壁２１ｃの少なくとも一方を省いた形状、上壁２１ａの先端部を省いた形状又は四角筒状としてもよい。
【００５８】
・上記実施の形態では、上壁２１ａには幅方向に延びる投受光窓部３０が設けられたが、これに限定されるものではなく、例えば投光部５２と受光部５３の個々に対応して２つの投受光窓部を設けてもよい。
【００５９】
・上記実施の形態では、ヘッドユニット３２は直方形状をなしたが、その他の形状でもよい。この場合、ヘッドユニットを収容可能な直方形状の頂角が保護部により板状部材Ｗとの衝突から保護される。
【００６０】
・上記実施の形態では、投光素子４２及び受光素子４３はコントローラユニット３１にけられたが、これに限定されるものではなく、例えばヘッドユニット３２内に設けてもよい。
【００６１】
・上記実施の形態では、センサ取付部材２１は、１枚の板状の金属部材から板金加工により形成されたが、これに限定されるものではなく、例えば切削加工により形成してもよく、また、２つ以上の部材から形成してもよい。
【００６２】
上記実施の形態では、検出ユニット３の先端（ヘッドユニット３２）を板状部材Ｗの下方に挿入して該板状部材Ｗの検出を行ったが、挿入せずに例えば板状部材Ｗの平面に対する平行方向から該板状部材Ｗの端面に向けて光を出射し検出を行ってもよい。
【００６３】
・上記実施の形態の板状部材Ｗは、フラットパネルディスプレイに用いるガラス基板の他に例えば、半導体ウエハ、磁気ディスク基板又は電子回路基板であってもよい。また、電気製品以外に用いられる例えば、時計の文字盤、平板状の蓋体、プーリ及びワッシャ等の板状部材であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施の形態における板状部材検出装置を斜め上方から見た斜視図である。
【図２】板状部材検出装置を斜め下方から見た斜視図である。
【図３】板状部材検出装置の分解図である。
【図４】板状部材検出装置の分解図である。
【図５】ファイバセンサの電気的構成の概略を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００６５】
Ｗ…板状部材、１…板状部材検出装置、２…ベース部材、３…検出ユニット、１１…中空部、１２…収容孔、２１…センサ取付部材、２１ａ…対向壁部としての上壁、２１ｂ…壁部としての側壁、２２…ファイバセンサ、２９…保護部としての保護凹部、３０…投受光窓部、３１…コントローラユニット、３２…ヘッドユニット、３３ａ…投光手段を構成する投光用光ファイバ、３３ｂ…受光手段を構成する受光用光ファイバ、４１…制御装置、４２…投光手段を構成する投光素子、４３…受光手段を構成する受光素子、４４…検出感度設定手段としての操作部、４６…動作表示部としての動作表示灯、４７…コネクタ、４８…信号線、５１…ケース、５２…投光手段を構成する投光部、５３…受光手段を構成する受光部、５４…検出面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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