(57)【要約】【課題】エッチングピットの発生、成長をより好適化することにより、静電容量の増大を図ることのできる電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または／および電気化学的なエッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、エッチング液にエチレンジアミン四酢酸またはその塩を添加する。さらに、エッチング液には、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも１種を配合する。【選択図】図１
2008091374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または／および電気化学的なエッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、
前記エッチング液に、エチレンジアミン四酢酸またはその塩が配合されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【請求項２】
前記エッチング液におけるエチレンジアミン四酢酸またはその塩の濃度は、エッチング液全体に対して０．０９〜０．５ｗｔ％であることを特徴とする請求項１に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【請求項３】
前記エッチング液には、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも１種が配合されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電解コンデンサ用アルミニウム箔は、一般に陽極用、陰極用とも、塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または／および電気化学的なエッチングを行うことにより、表面を粗面化し、表面積の拡大化を図っている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
また、エッチング液には、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオン、シュウ酸等が配合されることもある。
【０００４】
【非特許文献１】永田伊佐也著、「電解液陰極アルミニウム電解コンデンサ」、日本蓄電器工業株式会社出版、平成９年２月２４日、第２版第１刷、Ｐ２２１〜２５７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電解コンデンサの小形化の要求はますます高まっており、それに伴い、電解コンデンサに用いられる電極箔には従来以上に高い静電容量が要求され、アルミニウム箔の表面積をより効率よく拡大することが望まれている。
【０００６】
しかしながら、従来のエッチング方法では、形成されたエッチングピット内部は、溶解したアルミニウムにより、表面付近のアルミニウムイオン濃度が高い状態になり、エッチングピットが効率よく発生、成長する際の障害となっている。
【０００７】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、エッチングピットの発生、成長をより好適化することにより、静電容量の増大を図ることのできる電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法では、少なくとも塩素イオンを含むエッチング液中で、アルミニウム箔に化学的または／および電気化学的なエッチングを行う電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法において、前記エッチング液に、エチレンジアミン四酢酸またはその塩が配合されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明において、前記エッチング液におけるエチレンジアミン四酢酸またはその塩の濃度は、エッチング液全体に対して０．０９〜０．５ｗｔ％であることが好ましい。
【００１０】
本発明において、前記エッチング液には、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも１種が配合されていることを特徴とする電解コンデンサ用エッチング箔の製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、エッチング液にエチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）またはその塩を添加することで、エッチングピットの発生、成長をより好適化することができ、単位面積当たりの静電容量の増大を図ることができる。
その理由としては、エッチング液において、アノードサイクルによりアルミニウムが溶解されるが、ＥＤＴＡまたはその塩がカソードサイクルにおいて溶解されたアルミニウムとキレートを形成することにより、溶解したアルミニウムイオンを電気的にアルミニウム表面より引き離し、表面付近のアルミニウムイオン濃度を低下させるため、エッチングピットがアルミニウム箔の表面全体で効率よく発生、成長するためと考えられる。
【００１２】
本発明は、前記エッチング液に対して、さらに、リン酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオンおよびシュウ酸イオンのうち少なくとも１種を配合した場合にも適用することができる。このようなイオンは、アルミニウムに対して皮膜生成能力を備えており、かかるイオンをエッチング液に配合すると、アルミニウムの溶解と皮膜生成の双方が起こり、エッチングピットの発生、成長をより好適化することができる。
【００１３】
このようなエッチング液にＥＤＴＡまたはその塩を添加すると、その効果がより大きくなる。その理由としては、エッチング液にＥＤＴＡまたはその塩を添加すると、アルミニウムの溶解と皮膜生成のいずれもが効率よく起こるため、エッチングピットの発生、成長をより好適化することができると考えられる。
【実施例】
【００１４】
以下、本願発明の実施例に基づいて、本発明をより詳細に説明する。
【００１５】
以下に説明する実施例および比較例では、塩酸１０．０ｗｔ％、リン酸２．０ｗｔ％、硝酸２．０ｗｔ％、硫酸１．０ｗｔ％を配合したエッチング液をベースとして用い、実施例１〜８では、表１に示す濃度（ｗｔ％）のＥＤＴＡ・２Ｎａをエッチング液に添加した。
【００１６】
【表１】
2008091374.tif 000003
【００１７】
ここで、アルミニウム箔は、純度９９．９％の低電圧用の陽極箔である。
【００１８】
また、エッチング条件は、電解液温度を３０℃、電圧波形を正弦波、周波数を６０Ｈｚ、電流密度を０．４Ａ／ｃｍ2とした。
【００１９】
また、いずれの条件においても、アルミニウム箔をエッチングした後、アルカリ、酸を用いた公知の方法でケミカル洗浄を行った。
【００２０】
得られたエッチング箔に対してアジピン酸アンモニウム水溶液中で印加電圧が２０Ｖの条件で陽極酸化を行った。静電容量値を測定した結果を表１および図１に示す。図１は、エッチング液中へのＥＤＴＡ・２Ｎａの添加量と、比較例に対する容量比との関係を示すグラフである。
【００２１】
［実施例１〜７］
上記エッチング液中にＥＤＴＡ・２Ｎａを、各々０．０２ｗｔ％、０．０４ｗｔ％、０．０７ｗｔ％、０．０９ｗｔ％、０．１３ｗｔ％、０．２２ｗｔ％、０．４３ｗｔ％、添加したエッチング液を使用した。
【００２２】
（比較例）
エッチング液中にＥＤＴＡ・２Ｎａを添加しないエッチング液を使用した。
【００２３】
［試験結果］
表１および図１から明らかなように、ＥＤＴＡ・２Ｎａの添加によって、エッチングピットの発生、成長が効率的に行われ、化成容量の向上を図ることができた。ここで、ＥＤＴＡ・２Ｎａの添加量については、０．０２〜０．０７ｗｔ％添加では静電容量の向上効果が小さいが、０．０９〜０．４３ｗｔ％では、静電容量を十分に向上できていることが分かる。０．５ｗｔ％を超えると溶解が限界に達することから、ＥＤＴＡ・２Ｎａの添加量は、０．０９〜０．５ｗｔ％の範囲が好ましい。
【００２４】
上記実施例では、ＥＤＴＡ・２Ｎａを用いたが、これに限らず、ＥＤＴＡまたはその他の塩を用いても同様の効果が得られる。
【００２５】
また、上記実施例では、エッチング液を、塩酸１０．０ｗｔ％、リン酸２．０ｗｔ％、硝酸２．０ｗｔ％、硫酸１．０ｗｔ％からなる組成としたが、これに限定されるものではない。
【００２６】
さらに、上記実施例では、低電圧用の陽極箔を対象としたが、陰極用または中高圧用の陽極箔を使用した場合でも、ＥＤＴＡまたはその塩を添加することで静電容量の増大を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】エッチング液中へのＥＤＴＡ・２Ｎａの添加量と、比較例に対する実施例の静電容量比との関係を示すグラフである。
【図１】
2008091374.tif 000004