(57)【要約】【課題】複数のインクジェットノズルを備えるインクジェットヘッドを用いてスペーサを混入したインクを吐出する構成において、ギャップムラに起因する表示品位の低下を抑制することができる液晶表示装置の製造方法及び製造装置の提供。【解決手段】複数のインクジェットノズル２を備えるインクジェットヘッド３を移動させて、スペーサを混入したインクをＴＦＴ基板又はＣＦ基板又はその双方に吐出する際に、一部のインクジェットノズル２の軌跡がオーバーラップするようにインクジェットヘッド３及び／又はＸ−Ｙテーブル４の移動動作を制御すると共に、オーバーラップ部分ではインクが重複して吐出されないようにインクジェットノズル２を制御して、インクジェットヘッド３の軌跡の継ぎ目部分でのインクの吐出量（スペーサの吐出個数）の変化の急峻性を緩和して、ギャップムラを視認されにくくする。【選択図】図１
2008249936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドに設けた、一列に並んだＮ（Ｎは２以上の整数）個のインクジェットノズルから、スペーサを混入したインクを吐出して、Ｘ−Ｙテーブル上に載置した基板上に前記スペーサを配置する液晶表示装置の製造方法において、
前記インクジェットヘッドが、前記基板に対して、前記インクジェットノズルの列に直交する第１の方向に沿った第１の移動と、前記列に平行な第２の方向に沿った第２の移動とを交互に繰り返すように、前記インクジェットヘッド及び／又は前記Ｘ−Ｙテーブルを移動させ、
前記第２の移動では、該第２の移動前後の前記第１の移動における前記インクジェットノズルの軌跡を部分的にオーバーラップさせ、
オーバーラップする各々の前記軌跡では、前記第２の移動前後のいずれか一方の前記第１の移動において、各々の前記軌跡に対応する前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
Ｎは４以上の整数であり、
前記第２の移動において、２個の前記インクジェットノズルの軌跡をオーバーラップさせ、
２番目及びＮ−１番目以外の前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
Ｎは４以上の偶数であり、
偶数回目の前記第２の移動においてのみ、Ｎ−１個の前記インクジェットノズルの軌跡をオーバーラップさせ、
奇数番目の前記インクジェットノズルのみから前記インクを吐出させることを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記基板はカラーフィルタ基板であり、前記インクを前記カラーフィルタ基板の遮光領域に吐出させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
一列に並んだＮ（Ｎは２以上の整数）個のインクジェットノズルを備えるインクジェットヘッドと、基板を載置するＸ−Ｙテーブルと、コントローラとを少なくとも備え、前記インクジェットノズルからスペーサを混入したインクを吐出して、前記基板上に前記スペーサを配置する製造装置において、
前記コントローラは、
前記インクジェットヘッドが、前記基板に対して、前記インクジェットノズルの列に直交する第１の方向に沿った第１の移動と、前記列に平行な第２の方向に沿った第２の移動とを交互に繰り返すように、前記インクジェットヘッド及び／又は前記Ｘ−Ｙテーブルを移動させ、
前記第２の移動では、該第２の移動前後の前記第１の移動における前記インクジェットノズルの軌跡を部分的にオーバーラップさせ、
オーバーラップする各々の前記軌跡では、前記第２の移動前後のいずれか一方の前記第１の移動において、各々の前記軌跡に対応する前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させる制御を行うことを特徴とする製造装置。
【請求項６】
Ｎは４以上の整数であり、
前記第２の移動において、２個の前記インクジェットノズルの軌跡をオーバーラップさせ、
２番目及びＮ−１番目以外の前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させることを特徴とする請求項５記載の製造装置。
【請求項７】
Ｎは４以上の偶数であり、
偶数回目の前記第２の移動においてのみ、Ｎ−１個の前記インクジェットノズルの軌跡をオーバーラップさせ、
奇数番目の前記インクジェットノズルのみから前記インクを吐出させることを特徴とする請求項５記載の製造装置。
【請求項８】
前記基板は液晶表示装置のカラーフィルタ基板であり、前記インクを前記カラーフィルタ基板の遮光部に吐出させることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一に記載の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法及び製造装置に関し、特に、液晶表示装置を構成する基板にインクジェット法を用いてスペーサを混入したインクを吐出する液晶表示装置の製造方法及びインクジェット印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＡＶ機器やＯＡ機器の表示装置として、薄型、軽量、低消費電力等の利点から液晶表示装置が広く用いられている。この液晶表示装置は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）等のスイッチング素子がマトリクス状に形成された一方の基板（以下、ＴＦＴ基板と呼ぶ。）と、カラーフィルター（ＣＦ）やブラックマトリクス（ＢＭ）等が形成された他方の基板（以下、ＣＦ基板と呼ぶ。）との間に液晶が挟持された液晶パネルを備え、一方又は双方の基板に設けた電極間に生じる電界によって液晶分子の配向方向を制御することによって光の透過率を変化させている。
【０００３】
この液晶パネルの表示品位を向上させるためには、ＴＦＴ基板とＣＦ基板との間のギャップ（セルギャップ）を制御することが重要であり、通常、基板間に所定の形状及び大きさのスペーサ材（球状スペーサや柱状スペーサ）が配設される。例えば、高応答速度、高精細、高コントラストといった高性能用途として、柱状スペーサを遮光部に定点配置した液晶表示装置が一般的に知られている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００４】
上記柱状スペーサは一般的な球状スペーサに比べて弾性が小さく、温度変化による液晶体積変動等により、ギャップムラや応力ひずみによる表示ムラが生じやすいといった欠点を有し、狭ギャップ化が進んできている近年において、問題が生じやすくなってきている。また、柱状スペーサはフォトリソグラフィを用いて形成するために工程が複雑になり、低コスト化を図ることができないという問題もある。
【０００５】
そこで、インクジェット法を用いてインクジェットノズルから球状スペーサを混入したインクを吐出する方法が用いられており、例えば、下記特許文献２には、インクジェットヘッドから１回の吐出で複数個のスペーサを吐出し、複数個のスペーサが凝集したスペーサ凝集体を、画素を囲むように設けられた遮光部がＴ字状または十字状に交差する部分に配置する構成が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２１５６１２号公報
【特許文献２】特開平１１−２４０８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、生産性を向上させるために、インクジェットヘッドに、一列に並べた複数のインクジェットノズルを設け、複数のインクジェットノズルから同時にインクを吐出させることが望ましいが、各々のインクジェットノズルから吐出されるインクの量は一定ではなく、通常、列の一方の端部から他方の端部に向かって徐々に吐出するインクの量が変化するため、インクジェットヘッドの軌跡の継ぎ目部分でインクの量（すなわち、スペーサの個数）が急激に変化してギャップが変動し、継ぎ目の部分でのギャップムラが視認されやすくなってしまい、その結果、表示品位が低下するという問題が生じる。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その主たる目的は、複数のインクジェットノズルを備えるインクジェットヘッドを用いてスペーサを混入したインクを吐出する構成において、ギャップムラに起因する表示品位の低下を抑制することができる液晶表示装置の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、インクジェットヘッドに設けた、一列に並んだＮ（Ｎは２以上の整数）個のインクジェットノズルから、スペーサを混入したインクを吐出して、Ｘ−Ｙテーブル上に載置した基板上に前記スペーサを配置する液晶表示装置の製造方法において、前記インクジェットヘッドが、前記基板に対して、前記インクジェットノズルの列に直交する第１の方向に沿った第１の移動と、前記列に平行な第２の方向に沿った第２の移動とを交互に繰り返すように、前記インクジェットヘッド及び／又は前記Ｘ−Ｙテーブルを移動させ、前記第２の移動では、該第２の移動前後の前記第１の移動における前記インクジェットノズルの軌跡を部分的にオーバーラップさせ、オーバーラップする各々の前記軌跡では、前記第２の移動前後のいずれか一方の前記第１の移動において、各々の前記軌跡に対応する前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させるものである。
【００１０】
本発明においては、Ｎは４以上の整数であり、前記第２の移動において、２個の前記インクジェットノズルの軌跡をオーバーラップさせ、２番目及びＮ−１番目以外の前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させる構成とすることができる。
【００１１】
また、本発明においては、Ｎは４以上の偶数であり、偶数回目の前記第２の移動においてのみ、Ｎ−１個の前記インクジェットノズルの軌跡をオーバーラップさせ、奇数番目の前記インクジェットノズルのみから前記インクを吐出させる構成とすることもできる。
【００１２】
また、本発明においては、前記基板はカラーフィルタ基板であり、前記インクを前記カラーフィルタ基板の遮光領域に吐出させる構成とすることもできる。
【００１３】
また、本発明は、一列に並んだＮ（Ｎは２以上の整数）個のインクジェットノズルを備えるインクジェットヘッドと、基板を載置するＸ−Ｙテーブルと、コントローラとを少なくとも備え、前記インクジェットノズルからスペーサを混入したインクを吐出して、前記基板上に前記スペーサを配置する製造装置において、前記コントローラは、前記インクジェットヘッドが、前記基板に対して、前記インクジェットノズルの列に直交する第１の方向に沿った第１の移動と、前記列に平行な第２の方向に沿った第２の移動とを交互に繰り返すように、前記インクジェットヘッド及び／又は前記Ｘ−Ｙテーブルを移動させ、前記第２の移動では、該第２の移動前後の前記第１の移動における前記インクジェットノズルの軌跡を部分的にオーバーラップさせ、オーバーラップする各々の前記軌跡では、前記第２の移動前後のいずれか一方の前記第１の移動において、各々の前記軌跡に対応する前記インクジェットノズルから前記インクを吐出させる制御を行うものである。
【００１４】
このように、インクジェットノズルの軌跡が部分的にオーバーラップするようにインクジェットヘッド及び／又はＸ−Ｙテーブルの動作を制御することにより、インクジェットヘッドの軌跡の継ぎ目部分でのギャップムラを視認されにくくすることができ、これにより、ギャップムラに起因する表示品位の低下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の液晶表示装置の製造方法及び製造装置によれば、下記記載の効果を奏する。
【００１６】
本発明の第１の効果は、ギャップムラに起因する表示品位の低下を抑制することができるということである。その理由は、一列に並んだ複数のインクジェットノズルを備えるインクジェットヘッドを、列に直交する第１の方向及び列に平行な第２の方向に交互に移動させて、インクに混入したスペーサを基板上にマトリクス状に配置する際に、インクジェットノズルの軌跡が部分的にオーバーラップするようにインクジェットヘッド及び／又はＸ−Ｙテーブルの動作を制御することにより、端部のインクジェットノズルからのインク吐出量のバラツキの急峻性を小さくして、インクジェットヘッドの軌跡の継ぎ目部分でのギャップムラを視認されにくくすることができるからである。
【００１７】
また、本発明の第２の効果は、高コントラストな製品の供給が可能となるということである。その理由は、弾性力の高い球状スペーサを用いることにより、温度変化によるギャップ変化に対してスペーサの追従性を高めることができ、また、ＣＦ基板の遮光部にスペーサを配置することにより、スペーサに起因した光漏れやギャップムラを防止することができるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
従来技術で示したように、液晶表示装置の表示品位を向上させるためには、ＴＦＴ基板とＣＦ基板との間のギャップを制御することが重要であり、特許文献２のように、インクジェット法を用いてスペーサを混入したインクを吐出する方法などが用いられているが、生産性を向上させるために、一列に並んだ複数のインクジェットノズルから同時にインクを吐出する構成とすると、インクジェットノズルから吐出されるインクの量（すなわち、スペーサの個数）は列方向で徐々に変化する傾向があるため、インクジェットヘッドの軌跡の継ぎ目部分でインク吐出量が急峻に変化し、その結果、ギャップムラが視認されやすくなって表示品位が低下するという問題があった。
【００１９】
そこで、本発明では、スペーサを混入したインクをＴＦＴ基板又はＣＦ基板又はその双方に吐出する際に、インクジェットノズルの軌跡が部分的にオーバーラップするようにインクジェットヘッド及び／又はＸ−Ｙテーブルの動作を制御すると共に、オーバーラップ部分ではインクが重複して吐出されないようにインクジェットノズルを制御して、インクジェットヘッド軌跡の継ぎ目部分でのインクの吐出量（すなわち、スペーサの吐出個数）の変化の急峻性を緩和して、ギャップムラを視認されにくくする。以下、図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００２０】
まず、本発明の第１の実施例に係る液晶表示装置の製造方法及び製造装置について、図１乃至図７を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施例に係るインクジェット印刷装置の構成を模式的に示す斜視図である。また、図２は、本実施例のＣＦ基板におけるスペーサの配置を示す平面図であり、図３は、図２のＸ−Ｘ線に沿った液晶パネルの構造を示す断面図である。また、図４は、本実施例の液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート図であり、図５は、本実施例の効果を説明するための図である。また、図６及び図７は、本実施例のＣＦ基板におけるスペーサの配置の他の例を示す平面図である。
【００２１】
液晶表示装置は、液晶パネルと、液晶パネルを照明するバックライトユニットなどから構成され、液晶パネルは、ＴＦＴ等のスイッチング素子がマトリクス状に形成されたアクティブマトリクス基板（本実施例ではＴＦＴ基板）と、ＴＦＴ基板に対向する対向基板（本実施例ではＣＦ基板）と、ＴＦＴ基板とＣＦ基板との間に配置される略球状のスペーサと、スペーサで規定されるセルギャップに挟持される液晶材とで構成される。また、上記スペーサは、スペーサを混入したインクとして、インクジェット印刷装置によりＴＦＴ基板又はＣＦ基板又はその双方（本実施例ではＣＦ基板）に配設される。
【００２２】
このインクジェット印刷装置１は、図１に示すように、略球状スペーサを混入したインクを吐出する、一列に並んだ複数のインクジェットノズル２と、この複数のインクジェットノズル２を支持し、各々のインクジェットノズル２にインクを供給するインクジェットヘッド３と、インクを吐出する基板を載置するＸ−Ｙテーブル４と、インクジェットヘッド３及びＸ−Ｙテーブル４の動作を制御するコントローラ５とを含み、インクジェットヘッド３をインクジェットノズル２が並ぶ方向に直交する方向（第１の方向とする。）に移動させて複数列に同時にインクを吐出した後、Ｘ−Ｙテーブル４をインクジェットノズル２が並ぶ方向（第２の方向とする。）に移動させ、この動作を繰り返し行う。
【００２３】
なお、本実施例では、インクジェットヘッド３が第１の方向に移動し、Ｘ−Ｙテーブル４が第２の方向に移動する構成としたが、インクジェットヘッド３を動かさずにＸ−Ｙテーブル４を第１の方向及び第２の方向に移動させる構成としてもよいし、Ｘ−Ｙテーブル４を動かさずにインクジェットヘッド３を第１の方向及び第２の方向に移動させる構成としてもよいし、インクジェットヘッド３及びＸ−Ｙテーブル４の双方を移動させる構成としてもよい。また、図１では、インクジェットヘッド３が第１の方向の往路及び復路の双方でインクを吐出する構成としているが、第１の方向の往路でインクを吐出した後、復路ではインクを吐出せず、再び往路でインクを吐出する構成としてもよい。
【００２４】
また、インクに混入させるスペーサの密度やインクジェットノズル２からのインクの吐出量は特に限定されないが、１回毎に吐出されるインクの中に複数個のスペーサが含まれるようにスペーサの密度やインクの吐出量が設定されているものとする。
【００２５】
ここで、上記複数のインクジェットノズル２からは同量のインクを吐出することが望ましいが、実際には、各々のインクジェットノズル２に供給されるインクの量のバラツキなどによりインクの吐出量が一定にならず、通常、インクジェットヘッド３の一方の端部から他方の端部に向かって、インクの吐出量が徐々に変化する傾向を示す。そのため、インクジェットヘッド３の軌跡がオーバーラップしないように（すなわち、同じ列にインクを吐出しないように）すると、図５（ａ）に示すように、インクジェットノズル２が並ぶ方向（第２の方向）では、インクジェットヘッド３単位で、インクの吐出量（すなわち、スペーサの配置個数）が階段状に変化してしまい、インクジェットヘッド３の軌跡の継ぎ目部分でギャップが急峻に変動し、ギャップムラが視認されやすくなってしまうという問題があった。
【００２６】
そこで、本実施例のインクジェット印刷装置１では、上記インク吐出量の傾向に起因するギャップムラを視認されにくくするために、コントローラ５は、一部のインクジェットノズル２の第１の方向の軌跡がオーバーラップするように、インクジェットヘッド３及び／又はＸ−Ｙテーブル４の動作を制御する。
【００２７】
具体的には、図１に示すように、試料となるＣＦ基板１０をＸ−Ｙテーブル４にセットし、ＣＦ基板１０上の予め定められた位置に複数のインクジェットノズル２からインクを吐出する際に、インクジェットヘッド３が第１の方向に１回目に移動する際にスペーサを配置する領域（１回目スペーサ配置領域６と呼ぶ。）と２回目に移動する際にスペーサを配置する領域（２回目スペーサ配置領域７と呼ぶ。）とを部分的にオーバーラップさせて、オーバーラップ領域８が形成されるようにし、以降、同様に繰り返す。これにより、図５（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３の軌跡の継ぎ目部分での急峻なギャップ変動を抑制し、ギャップムラを視認されにくくすることができる。
【００２８】
その際、１回目と２回目の双方で全てのインクジェットノズル２からインクを吐出すると、オーバーラップ領域８のインクの吐出量が他の領域に比べて多くなってしまうため、複数のインクジェットノズル２の中の特定のインクジェットノズル２からのインクの吐出を停止させるように、コントローラ５はインクジェットヘッド３の動作を制御する。
【００２９】
上記制御に従ってインクを吐出したＣＦ基板１０の表面状態を模式的に示すと図２のようになり、ＴＦＴ基板の各画素に相当する部分にＲＧＢ等の各色の色層（図ではハッチングの種類で色の違いを表現している。）１３がマトリクス状に配列され、その間の領域（すなわち、図示しないブラックマトリクスによって光が遮光される遮光部）に、等間隔にインクが吐出されてスペーサが形成される。
【００３０】
具体的には、両端から２番目のインクジェットノズル２からのインクの吐出を停止させると、Ｍ−１回目の移動では、右端から２番目のインクジェットノズル２（図では左から３列目に相当）からはインクが吐出されず、Ｍ回目の移動では、左端のインクジェットノズル２によって、その列にインクが吐出され、左端から２番目のインクジェットノズル２（図では左から４列目に相当）からはインクが吐出されない。同様に、Ｍ回目の移動では、右端から２番目のインクジェットノズル２（図では左から１１列目に相当）からはインクが吐出されず、Ｍ＋１回目の移動では、左端のインクジェットノズル２によって、その列にインクが吐出され、左端から２番目のインクジェットノズル２（図では左から１２列目に相当）からはインクが吐出されない。
【００３１】
すなわち、インクジェットノズル２の数をＮ（Ｎは正の整数）とすると、２番目とＮ−１番目のインクジェットノズル２からはインクを吐出させず、端部の２個分のインクジェットノズル２が重なるようにインクジェットヘッド３の軌跡をオーバーラップさせると図２のような構成になる。
【００３２】
なお、図２では、インクジェットヘッド３に１０個のインクジェットノズル２を設け、１０列を１群としているが、インクジェットノズル２の数は４以上であればよい。なぜならば、Ｎを２とすると全てのインクジェットノズル２からインクを吐出させないことになってしまい、また、Ｎを３とすると中央のインクジェットノズル２のみからインクを吐出させないことになり、全ての列で２回、インクジェットノズル２からインクを吐出させることになってしまうからである。
【００３３】
また、図２では、１０列の内、両端側の２列をオーバーラップさせているが、オーバーラップさせる列は、インクジェットノズル２の数の１／２以下であればよい。例えば、Ｎが８以上の場合は、図６に示すように、２、４番目及びＮ−３、Ｎ−１番目のインクジェットノズル２からはインクを吐出させず、端部の４個分のインクジェットノズル２が重なるようにインクジェットヘッド３の軌跡をオーバーラップさせる構成とすることもできるし、図７に示すように、３、４番目及びＮ−３、Ｎ−２番目のインクジェットノズル２からはインクを吐出させず、端部の４個分のインクジェットノズル２が重なるようにインクジェットヘッド３の軌跡をオーバーラップさせる構成とすることもできる。
【００３４】
また、図２では、各々の色層１３に対して１つのスペーサを配置しているが、複数の色層１３に対して１つのスペーサを配置する構成としてもよく、例えば、隣接する３色の色層１３に対して１つのスペーサを配置したり、２×２の色層１３に対して１つのスペーサを配置してもよい。
【００３５】
次に、上記インクジェット印刷装置１を用いて、液晶表示装置を製造する手順について、図３の液晶パネルの断面図及び図４のフローチャート図を参照して説明する。
【００３６】
まず、ステップＳ１０１で、公知の手法を用いてＣＦ基板１０とＴＦＴ基板２０とを作成する。
【００３７】
このＣＦ基板１０は、図３に示すように、ガラス基板１１などの絶縁性基板と、フォトリソグラフィにより形成されるブラックマトリックス１２及び色層１３と、スパッタリングにより形成された対向電極１４などから構成される。
【００３８】
また、ＴＦＴ基板２０は、ガラス基板２１などの透明絶縁性基板と、フォトリソグラフィにより形成されたゲート配線２２（走査線）や画素周縁部の光を遮断するためのゲート遮光部（図示せず）と、真空蒸着法により形成されたゲート絶縁膜２３と、フォトリソグラフィにより形成され、ＴＦＴの一方の電極に接続されるドレイン電極２４（信号線）と、真空蒸着法により形成されたパッシベーション絶縁膜２５と、アモルファスシリコンやポリシリコンなどで形成されるＴＦＴ（図示せず）と、感光性有機膜などからなる平坦化膜２６などから構成され、平坦化膜２６には感光性有機膜を除去したスペーサ接触凹部が形成される。
【００３９】
次に、ステップＳ１０２で、ＣＦ基板１０及びＴＦＴ基板２０の各々に対して、基板洗浄、配向膜印刷、配向膜焼成、ラビング処理、ラビング後基板洗浄、基板乾燥といった配向処理までの一連の処理を行う。その後、図１に示すインクジェット印刷装置１のＸ−Ｙテーブル４上に一方の基板（ここではＣＦ基板１０）を載置する。
【００４０】
次に、ステップＳ１０３で、製造する製品に合わせて、スペーサを配置する領域、インクの吐出量（スペーサの吐出個数）及びオーバーラップ領域８の幅をコントローラ５に入力する。
【００４１】
次に、ステップＳ１０４で、基板のアライメントマーク等の画像読み取りを行い、ステップＳ１０５で、基板に合わせて、インクを吐出するインクジェットノズル２の選定を行う。
【００４２】
次に、ステップＳ１０６で、コントローラ５は、インクジェットヘッド３を第１の方向に移動させながらインクジェットノズル２からスペーサを混入したインクを吐出させ、１回目スペーサ配置領域６にスペーサを配置する。その際、インクジェットヘッド３の右端部から１列内側にはスペーサ配置は行わず、その列は、インクジェットヘッド３の軌跡をオーバーラップさせることにより、次の移動でスペーサ配置を行う。
【００４３】
次に、ステップＳ１０７で、コントローラ５は、スペーサの配置が完了したかを判断し、完了していない場合は、ステップＳ１０８で、コントローラ５は、インクジェットヘッド３の軌跡がオーバーラップするようにＸ−Ｙステージ４を第２の方向に移動させ、ステップＳ１０６〜Ｓ１０８の動作を繰り返し行う。
【００４４】
そして、スペーサの配置が完了したら、ステップＳ１０９で、スペーサを印刷した基板に加熱処理を行い、スペーサを基板に固着させる。
【００４５】
次に、ステップＳ１１０で、いずれか一方の基板に光＋熱硬化性のシール材料の形成を行い、さらにもう一方の基板側に液晶滴下を行い、対向する両基板を重ね合わせる。そして、シール材のＵＶ硬化及び熱硬化を行って液晶パネルを作成し、その後、液晶パネルとバックライトユニットを組み合わせて液晶表示装置が完成する。
【００４６】
このように、一列に並んだ複数のインクジェットノズル２を備えるインクジェットヘッド３を第１の方向及び第２の方向に移動させて、各々のインクジェットノズル２から基板上にスペーサを混入したインクを吐出する際に、端部の所定数のインクジェットノズル２の軌跡がオーバーラップし、オーバーラップ部分で重複してインクが吐出されないように制御することにより、インクジェットヘッド３の軌跡の継ぎ目部分で吐出量（すなわち、スペーサの吐出個数）の変化の急峻性を緩和して、ギャップムラを視認されにくくすることができ、これにより、液晶表示装置の表示品位の低下を抑制することができる。
【実施例２】
【００４７】
次に、本発明の第２の実施例に係る液晶表示装置の製造方法及び製造装置について、図８を参照して説明する。図８は、本実施例のＣＦ基板におけるスペーサの配置を示す平面図である。
【００４８】
前記した第１の実施例では、オーバーラップさせる列をインクジェットノズル２の数の１／２以下としたが、本実施例では、図８に示すように、複数のインクジェットノズル２を１つおきに動作させ、インクジェットヘッド３を第２の方向に１列分ずらす。
【００４９】
具体的には、Ｍ−１回目では１列毎（図の左から１、３、５、７、９、１１列）にスペーサ９ａを配置し、Ｍ回目ではＭ−１回目で配置しなかった列（図の左から２、４、６、８、１０、１２列）にスペーサ９ｂを配置する。そして、Ｍ＋１回目では、Ｍ回目とオーバーラップしないようにインクジェットヘッド３をずらし、以下、同様に繰り返す。
【００５０】
このように、本実施例では、インクジェットヘッド３の軌跡の大部分をオーバーラップさせてスペーサを配置することになり、インクの吐出量が不安定なインクジェットヘッド３の両端部でのスペーサ配置個数の不均一性を改善することが可能となる。
【００５１】
なお、上記各実施例では、本発明のインクジェット印刷装置１を液晶表示装置の製造に適用する場合について示したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、第１の基板と第２の基板との間のギャップがスペーサによって規定される任意の装置の製造に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、ＣＦ基板又はＴＦＴ基板、又はその双方にスペーサが配置される液晶表示装置の製造方法、及び、そのスペーサを混入したインクを吐出するインクジェット装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１の実施例に係るインクジェット印刷装置の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係るＣＦ基板におけるスペーサの配置を示す平面図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係る液晶パネルの構造を示す断面図である。
【図４】本発明の第１の実施例に係る液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート図である。
【図５】本発明の第１の実施例の効果を示す図であり、オーバーラップ有／無の場合のスペーサの配置個数を示している。
【図６】本発明の第１の実施例に係るＣＦ基板におけるスペーサの配置の他の例を示す平面図である。
【図７】本発明の第１の実施例に係るＣＦ基板におけるスペーサの配置の他の例を示す平面図である。
【図８】本発明の第２の実施例に係るＣＦ基板におけるスペーサの配置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  インクジェット印刷装置
２  インクジェットノズル
３  インクジェットヘッド
４  Ｘ−Ｙテーブル
５  コントローラ
６  １回目スペーサ配置領域
７  ２回目スペーサ配置領域
８  オーバーラップ領域
９ａ  スペーサ（Ｍ−１回目配置）
９ｂ  スペーサ（Ｍ回目配置）
９ｃ  スペーサ（Ｍ＋１回目配置）
９ｄ  スペーサ（Ｍ＋２回目配置）
１０  ＣＦ基板
１１  ガラス基板
１２  ブラックマトリクス
１３  色層
１４  対向電極
２０  ＴＦＴ基板
２１  ガラス基板
２２  ゲート配線
２３  ゲート絶縁膜
２４  ドレイン電極
２５  パッシベーション
２６  平坦化膜
【図１】
2008249936.tif 000003
【図２】
2008249936.tif 000004
【図３】
2008249936.tif 000005
【図４】
2008249936.tif 000006
【図５】
2008249936.tif 000007
【図６】
2008249936.tif 000008
【図７】
2008249936.tif 000009
【図８】
2008249936.tif 000010