(57)【要約】【課題】 組立て作業効率の向上が図られた流体制御装置を提供する。【解決手段】  継手部材3,6a同士は、互いに突き合わされて前後方向からのおねじ部材18によって結合されている。隣り合う継手部材3,6a間には、その方形の突き合わせ面ほぼ中央にシール部20が設けられている。前後方向からのおねじ部材18は、方形の４隅のうち１８０°離れた２カ所にだけ配置されている。一方の継手部材3の４隅には、ねじ挿通孔29とめねじ30とが交互に設けられ、他方の継手部材6aの４隅には、ねじ挿通孔29とめねじ30とが交互にかつ一方の継手部材3のものとは逆位置となるように設けられている。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前後方向に並んで配置される複数の流体制御機器と、流体制御機器と一体または別体の複数のブロック状継手部材と、継手部材同士が突き合わされた部分におけるシール性を確保するためのシール手段とを備えている流体制御装置において、
継手部材同士は、互いに突き合わされて前後方向からのおねじ部材によって結合されており、隣り合う継手部材間には、その方形の突き合わせ面ほぼ中央にシール手段が設けられており、前後方向からのおねじ部材は、方形の４隅のうち１８０°離れた２カ所にだけ配置されており、一方の継手部材の４隅には、ねじ挿通孔とめねじとが交互に設けられ、他方の継手部材の４隅には、ねじ挿通孔とめねじとが交互にかつ一方の継手部材のものとは逆位置となるように設けられていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
隣り合う継手部材の一方に、凸部が、同他方に、これに嵌め合わされる凹部が形成されていることを特徴とする流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置に関し、特に、複数の流体制御機器が集積化されて形成される流体制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が直列状に配されてパイプや継手を介さずに接続されることによって形成された複数のラインをベース部材上に並列状に設置するという集積化が進んでおり、特許文献１には、そのような流体制御装置として、下段層となる複数のブロック状継手部材がおねじ部材によってベース部材に取り付けられ、隣り合う継手部材にまたがるように上段層となる複数の流体制御機器が取り付けられているものが開示されている。
【特許文献１】特開平１０−２２７３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１の流体制御装置では、従来のものに比べて、装置の占有スペースの減少および通路のボリュームの減少が可能となるという利点を有しているが、隣り合う継手部材にまたがるように流体制御機器を取り付ける際の位置決めに手間がかかるという問題があった。
【０００４】
この発明の目的は、組立て作業効率の向上が図られた流体制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明による流体制御装置は、前後方向に並んで配置される複数の流体制御機器と、流体制御機器と一体または別体の複数のブロック状継手部材と、継手部材同士が突き合わされた部分におけるシール性を確保するためのシール手段とを備えている流体制御装置において、継手部材同士は、互いに突き合わされて前後方向からのおねじ部材によって結合されており、隣り合う継手部材間には、その方形の突き合わせ面ほぼ中央にシール手段が設けられており、前後方向からのおねじ部材は、方形の４隅のうち１８０°離れた２カ所にだけ配置されており、一方の継手部材の４隅には、ねじ挿通孔とめねじとが交互に設けられ、他方の継手部材の４隅には、ねじ挿通孔とめねじとが交互にかつ一方の継手部材のものとは逆位置となるように設けられていることを特徴とするものである。
【０００６】
継手部材同士は、前後方向からのおねじ部材によって順次結合される。流体制御機器は、予め継手部材に一体化されているか、そうでない場合には、上方からのおねじ部材によって継手部材に結合される。したがって、隣り合う継手部材にまたがるように流体制御機器を配置していく必要がないし、この配置で使用される流体通路に比べて、流体を直線的に流すことができる流体通路を得ることができる。また、前後方向からのおねじ部材は、方形の４隅のうち１８０°離れた２カ所にだけ配置されており、一方の継手部材の４隅には、ねじ挿通孔とめねじとが交互に設けられ、他方の継手部材の４隅には、ねじ挿通孔とめねじとが交互にかつ一方の継手部材のものとは逆位置となるように設けられていることにより、１対の継手部材同士を２本のおねじ部材によって結合することができる。この結果、軽量化が図られるとともに、継手部材の増減を容易に行うことができ、組立て作業効率も向上する。しかも、シール手段が隣り合う継手部材の方形の突き合わせ面ほぼ中央に設けられているので、２本のおねじ部材を使用して結合することで、おねじ部材を４本使用しなくても、そのシール性が確保される。
【０００７】
この明細書において、上下は、図１の上下をいうものとするが、この上下は、便宜的なものであり、例えば図１の左右が上下になるように配置されてもよく、設置時の上下に一致するものではない。
【０００８】
流体制御機器としては、開閉弁、減圧弁、圧力表示器、流量調整器（マスフローコントローラ）などがある。各流体制御機器は、開閉機能、流量調整機能などを行う構成を内蔵した機能部分と、機能部分と一体に設けられかつ流体通路が設けられた本体部分とからなることがあり、この場合に、本体部分がブロック状継手部（「ブロック状継手部材」に含まれる。）となる。また、流体制御機器は、本体部分とは別体のブロック状継手部材に支持されることもある。
【０００９】
シール手段は、継手部材間に介在させられたガスケットと、継手部材の突き合わせ面に形成された環状ガスケット押さえ突起とを有しており、環状ガスケット押さえ突起によってガスケットが変形させられることでシール性を確保するものとされる。
【００１０】
なお、「方形の突き合わせ面ほぼ中央」は、幅方向（左右方向）のちょうど中央であって、上下方向については、隣り合う継手部材に合わせるなどの必要に応じて、その位置を適宜変更してもよいことを意味している。
【００１１】
おねじ部材は、ステンレス鋼製（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３１６など）が好ましく、継手部材もステンレス鋼製（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３１６など）が好ましい。ガスケットは、ステンレス鋼、ニッケル合金などで円環状（孔あき円板状）に形成されたものが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
この発明の流体制御装置によると、前後方向に並ぶブロック状継手部材同士を前後方向からのおねじ部材によって順次結合することができるので、組立性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１４】
図１から図３までは、この発明の流体制御装置の第１実施形態を示している。
【００１５】
この流体制御装置(1)は、半導体製造装置等において用いられるもので、下端に接続ブロック部(2a)を有している減圧弁(2)と、減圧弁(2)を支持する第１ブロック状継手部材(3)と、減圧弁(2)の出口側（図の右側）に隣り合って配置され下端に接続ブロック部(4a)を有している圧力表示器(4)と、圧力表示器(4)を支持する第２ブロック状継手部材(5)と、圧力表示器(5)の出口側に隣り合って配置され下方に継手部材(3)(5)と同じレベルにあるブロック状継手部(6a)が一体に形成された第１開閉弁(6)と、第１開閉弁(6)の出口側に隣り合って配置され第１開閉弁(6)のブロック状継手部(6a)よりも高さが低いブロック状継手部(7a)が一体に形成された第２開閉弁(7)と、下面が継手部材(3)(5)の下面と同じレベルにあって第２開閉弁(7)を支持する第３ブロック状継手部材(8)と、第２開閉弁(7)のブロック状継手部(7a)の出口側に隣り合って配置された第４ブロック状継手部材(9)と、第４継手部材(9)の出口側に所定間隔をおいて対向状に配置された第５ブロック状継手部材(10)と、入口側（図の左側）および出口側に接続ブロック部(11a)(11b)を有しており入口側接続ブロック部(11a)が第４継手部材(9)に、出口側接続ブロック部(11b)が第５継手部材(10)にそれぞれ支持されることで第４および第５継手部材(9)(10)にまたがって支持された流量調整器（第３の流体制御器）(11)と、第５継手部材(10)の出口側に隣り合って配置され第５継手部材(10)よりも高さが低いブロック状継手部(12a)が一体に形成された第３開閉弁(12)と、下面が他の継手部材(3)(5)(8)(9)の下面と同じレベルにあって第３開閉弁(12)を支持する第６ブロック状継手部材(13)とを備えている。
【００１６】
第１継手部材(3)には、プロセスガスを減圧弁(2)に供給するためのプロセスガス導入用継手(14)が接続されている。第３継手部材(8)には、パージガスを第２開閉弁(7)に供給するパージガス導入用継手(15)が接続されている。第６継手部材(13)には、プロセスガスおよびパージガスを第３開閉弁(12)から排出するプロセスガスおよびパージガス排出用継手(16)が接続されている。
【００１７】
各部品(2)(3)(4)(5)(6)(7)(8)(9)(10)(11)(12)(13)の組立てに際しては、上方からのおねじ部材(17)(19)だけでなく、前後方向からのおねじ部材(18)も使用されており、また、各ブロック状継手部材(3)(5)(8)(9)(10)(13)、各開閉弁(6)(7)(12)のブロック状継手部(6a)(7a)(12a)および各流体制御器(2)(4)(11)の接続ブロック部(2a)(4a)(11a)(11b)は、シール部（シール手段）(20)を介して突き合わされている。
【００１８】
減圧弁(2)および圧力表示器(4)とこれに対応する継手部材(3)(5)とは、前後に所定間隔をおいた２カ所においてその流体通路(23)(24)同士が接続されており、これに対応して、減圧弁(2)および圧力表示器(4)と継手部材(3)(5)との間には、それぞれ前後に所定間隔をおいて２つのシール部(20)が設けられている。
【００１９】
図３に示すように、継手部材(3)(5)の前後端部には、めねじ(30)が設けられており、上方からのおねじ部材(17)は、各シール部(20)の前後方向外側に各１本ずつだけ配置されている。また、圧力表示器(4)を支持している継手部材(5)とこれに隣り合っている第１開閉弁(6)のブロック状継手部(6a)との間には、その方形の突き合わせ面のほぼ中央にシール部(20)が設けられており、前後方向からのおねじ部材(18)は、方形の４隅のうち１８０°離れた２カ所にだけ配置されており、継手部材(5)の４隅には、ねじ挿通孔(29)とめねじ(30)とが交互に設けられ、第１開閉弁(6)のブロック状継手部(6a)の４隅には、ねじ挿通孔(29)とめねじ(30)とが交互にかつ継手部材(5)のものとは逆位置となるように設けられている。
【００２０】
隣り合う継手部材(3)(5)同士、隣り合う開閉弁(6)(7)のブロック状継手部(6a)(7a)同士、開閉弁(7)(12)のブロック状継手部(7a)(12a)と継手部材(9)(10)なども、図３と同様にして結合されている。したがって、従来のように、隣り合う継手部材にまたがるように流体制御機器を配置していく必要がないので、組立て作業効率が向上する。また、１対の継手部材(3)(5)同士を２本のおねじ部材(18)によって結合することができるので、軽量化されるとともに、継手部材の増減を容易に行うことができ、この点でも、組立て作業効率が向上する。しかも、シール手段(20)が隣り合う継手部材(3)(5)の方形の突き合わせ面ほぼ中央に設けられているので、２本のおねじ部材(18)を使用して結合することで、おねじ部材を４本使用しなくても、そのシール性が確保される。
【００２１】
図４は、この発明の流体制御装置の第２実施形態を示している。この第２実施形態は、ブロック状継手部材だけが第１実施形態と相違しており、以下では、第１実施形態と同じ構成には同じ符号を付して説明を省略し、相違部分だけを説明する。
【００２２】
図４において、隣り合う継手部材(3)(5)の一方に、円柱状ピンからなる凸部(31)が、同他方に、これに嵌め合わされる円柱状凹部(32)が形成されている。これらの凸部(31)および凹部(32)は、シール部(20)を介して幅方向（左右方向）に並ぶように計２つ設けられている。１対の継手部材(3)(5)同士を２本のおねじ部材(18)によって結合する場合、遊びによって、シール部(20)が２本のおねじ部材(18)のちょうど中央から僅かにずれる可能性があるが、おねじ部材(18)の締付け前に、凸部(31)と凹部とを嵌め合わせておくことにより、シール部(20)が位置決めされ、遊びが大きい場合であっても、シール性が低下することが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、この発明による流体制御装置の第１実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図２は、同平面図である。
【図３】図３は、同要部の拡大分解斜視図である。
【図４】図４は、この発明による流体制御装置の第２実施形態を示す要部の拡大分解斜視図である。
【符号の説明】
【００２４】
(1)           流体制御装置
(2)           減圧弁（流体制御機器）
(3)(5)(9)(10) ブロック状継手部材
(4)           圧力表示器（流体制御機器）
(6)(7)(12)    開閉弁（流体制御機器）
(6a)(7a)(12a) ブロック状継手部（ブロック状継手部材）
(11)          流量調整器（流体制御機器）
(17)          上方からのおねじ部材
(18)          前後方向からのおねじ部材
(20)          シール部（シール手段）
(29)          ねじ挿通孔
(30)          めねじ
(31)          凸部
(32)          凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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