(57)【要約】【課題】取り付け位置の誤差がほとんどなくサポートユニットが取り付けられた一軸アクチュエータを提供する。【解決手段】一軸アクチュエータのサポートユニット１７は、案内レール１１の転動体転動溝１１ａに対向する位置に、案内レール１１の転動体転動溝１１ａに係合する形状の凸部３４，３４を２つ有している。そして、これら２つの凸部３４，３４を案内レール１１の両側壁３２，３２の転動体転動溝１１ａ，１１ａにそれぞれ嵌め合わせて、サポートユニット１７の取り付け位置の位置合わせを行った後に、サポートユニット１７を案内レール１１の端面にボルト２５で固定してある。【選択図】図４
2008298193.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、
前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を有していて、前記案内レールの両側壁のうち少なくとも一方の転動体転動溝に前記凸部を係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
【請求項２】
軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、
前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を複数有していて、前記案内レールの両側壁の転動体転動溝に前記凸部をそれぞれ係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
【請求項３】
前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、その一部分が前記サポートユニットに接触し他部分が前記案内レールの側壁に接触する固定用部材を前記案内レールの側壁の側方に配し、その側壁を前記サポートユニットと前記固定用部材とで挟み込んだ上、前記サポートユニットと前記固定用部材との接触部を固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする請求項１又は請求項２に記載の一軸アクチュエータ。
【請求項４】
前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、前記案内レールの側壁の上端を跨ぎ前記側壁の下部まで延びる固定用腕部を前記サポートユニットに設け、前記案内レールと前記固定用腕部とを前記側壁の下部にて固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする請求項１又は請求項２に記載の一軸アクチュエータ。
【請求項５】
前記凸部は、前記案内レールの転動体転動溝の溝面に少なくとも２点において接触しており、この接触点の前記溝面における位置は、前記転動体と前記案内レールの転動体転動溝との接触点の前記溝面における位置と略同一であること特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータ。
【請求項６】
前記スライダには前記ねじ軸を挿通する貫通孔が設けられており、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝が、前記貫通孔の内面に加工により形成されていること特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直動案内軸受とねじ式送り装置とを一体化してなる一軸アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の一軸アクチュエータとしては、例えば、断面が凹字状で、相対する内側面に軸方向に延びる転動体転動溝を有する案内レールと、この案内レールの幅方向のほぼ中央部に軸方向に対して平行に配設されたねじ軸と、案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有しねじ軸に多数のボールを介して螺合されたスライダと、案内レールの両端にそれぞれ取り付けられねじ軸を回転可能に支持する２つのサポートユニットと、を備えるものが知られている。
【０００３】
スライダの両側面には、案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝が形成されており、両転動体転動溝によって転動体転動路が形成されている。また、スライダの内部には、両側面の転動体転動溝と平行をなして軸方向に貫通する貫通孔からなる転動体戻し路がそれぞれ形成されている。さらに、スライダの軸方向両端に取り付けられたエンドキャップには、転動体転動路とこれに対応する転動体戻し路とを連通させる湾曲路が形成されている。そして、これらの転動体転動路と転動体戻し路と両端の湾曲路とで転動体循環路が形成されており、この転動体循環路内には、直動案内用の多数の転動体（玉）が転動自在に装填されている。
【０００４】
また、サポートユニットには貫通孔が設けられており、この貫通孔の内周面に転がり軸受が嵌合されている。そして、この転がり軸受の内径部にねじ軸が挿通されるとともに嵌合され、この転がり軸受によってねじ軸が回転可能とされている。
ねじ軸を回転させると、これに螺合するスライダが、転動体転動路内の転動体の転動を介して軸方向に滑らかに移動する。この移動時には、直動案内用の転動体は転動体循環路内を転動しつつ無限循環する。
このような従来の一軸アクチュエータにおいては、サポートユニットは、案内レールの両端面に取り付けられていた。すなわち、案内レールの端面にタップ穴が設けられ、ボルトによってサポートユニットが取り付けられていた。
【特許文献１】特開２００３−１２０８２０号公報
【特許文献２】特開平１１−１０８１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一軸アクチュエータが円滑に駆動されるためには、ねじ軸は、その中心位置が高精度で位置合わせされている必要があるので、ねじ軸を支持するサポートユニットを案内レールに取り付ける際にも、高精度な位置合わせが必要であった。すなわち、ねじ軸の中心が所定の位置となるように、サポートユニットに設けられた貫通孔の位置を合わせる必要があった。
【０００６】
しかしながら、位置合わせのための基準となるものがないため、高精度な位置合わせを行うことは容易ではなく、サポートユニットの取り付け位置に誤差が生じるおそれがあった。
そこで、本発明は、上記のような従来の一軸アクチュエータが有する問題点を解決し、取り付け位置の誤差がほとんどなくサポートユニットが取り付けられた一軸アクチュエータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明に係る請求項１の一軸アクチュエータは、軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を有していて、前記案内レールの両側壁のうち少なくとも一方の転動体転動溝に前記凸部を係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る請求項２の一軸アクチュエータは、軸方向に延びる帯状の底板と該底板の両側部から垂直に立設された側壁とからなり前記両側壁の内側面にそれぞれ転動体転動溝が軸方向に形成された断面略凹字状の案内レールと、前記案内レールの内側に軸方向に対して平行に配設され螺旋状のねじ溝を外周面に有するねじ軸と、前記案内レールに取り付けられ前記ねじ軸を回転可能に支持するサポートユニットと、前記案内レールの転動体転動溝に対向する転動体転動溝を有し前記ねじ軸に螺合されたスライダと、対向する前記案内レールの転動体転動溝と前記スライダの転動体転動溝との間に転動自在に介在された複数の転動体と、を備えていて、前記スライダが前記転動体の転動を介して前記案内レールに沿って軸方向に移動可能とされた一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットは、前記案内レールの転動体転動溝に係合する形状の凸部を複数有していて、前記案内レールの両側壁の転動体転動溝に前記凸部をそれぞれ係合させつつ前記案内レールに取り付けられていることを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明に係る請求項３の一軸アクチュエータは、請求項１又は請求項２に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、その一部分が前記サポートユニットに接触し他部分が前記案内レールの側壁に接触する固定用部材を前記案内レールの側壁の側方に配し、その側壁を前記サポートユニットと前記固定用部材とで挟み込んだ上、前記サポートユニットと前記固定用部材との接触部を固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする。
【００１０】
さらに、本発明に係る請求項４の一軸アクチュエータは、請求項１又は請求項２に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記サポートユニットを前記案内レールの内側に配するとともに、前記案内レールの側壁の上端を跨ぎ前記側壁の下部まで延びる固定用腕部を前記サポートユニットに設け、前記案内レールと前記固定用腕部とを前記側壁の下部にて固着することで、前記サポートユニットを前記案内レールに取り付けたこと特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明に係る請求項５の一軸アクチュエータは、請求項１〜４のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記凸部は、前記案内レールの転動体転動溝の溝面に少なくとも２点において接触しており、この接触点の前記溝面における位置は、前記転動体と前記案内レールの転動体転動溝との接触点の前記溝面における位置と略同一であること特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項６の一軸アクチュエータは、請求項１〜５のいずれか一項に記載の一軸アクチュエータにおいて、前記スライダには前記ねじ軸を挿通する貫通孔が設けられており、前記ねじ軸のねじ溝に対向するねじ溝が、前記貫通孔の内面に加工により形成されていること特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一軸アクチュエータは、取り付け位置の誤差がほとんどなくサポートユニットが取り付けられているため、円滑に駆動することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
〔第一実施形態〕
図１は、本発明に係る一軸アクチュエータの第一実施形態を説明する一部を破断して示した斜視図である。また、図２は、図１の一軸アクチュエータを軸方向に垂直な面で破断した断面図である。
軸方向に延びる案内レール１１は、帯状の底板３１と該底板３１の両側部から垂直に立設された側壁３２，３２とからなり、軸方向に垂直な面で破断した断面は略凹字状をなしている。また、案内レール１１の内側の幅方向中央部には、螺旋状に連続する断面円弧状のねじ溝１３ａを外周面に有するねじ軸１３が、軸方向に対して平行に配設されている。そして、このねじ軸１３は、案内レール１１の両端に取り付けられたサポートユニット１７，１７によって、正逆両方向に回転可能に支持されている。
【００１４】
また、案内レール１１の内側には直方体状のスライダ１２が配されていて、多数の転動体１４を介してねじ軸１３に螺合されている。すなわち、スライダ１２にはねじ軸１３を挿通する貫通孔が設けられており、この貫通孔の内周面には螺旋状に連続する断面円弧状のねじ溝１２ａが形成されている。そして、このねじ溝１２ａはねじ軸１３のねじ溝１３ａと対向しており、両ねじ溝１２ａ，１３ａで形成される断面略円形の第一転動体転動路２１内には、例えば鋼球からなる多数の転動体１４が転動自在に装填されている。なお、スライダ１２は、スライダ本体１２Ａと、その軸方向両端部に着脱可能に取り付けられたエンドキャップ１２Ｂ，１２Ｂと、で構成されている。
【００１５】
さらに、案内レール１１の両側壁３２，３２の相対する内側面には、軸方向に延びる断面略円弧状の転動体転動溝１１ａ，１１ａが備えられ、また、スライダ１２の両側面には、案内レール１１の転動体転動溝１１ａ，１１ａに対向する断面略円弧状の転動体転動溝１２ｂ，１２ｂが備えられており、対向する案内レール１１の転動体転動溝１１ａとスライダ１２の転動体転動溝１２ｂとで、断面略円形の第二転動体転動路２２，２２が形成されている。なお、第二転動体転動路２２は片側１条に限定されるものではなく、２条以上設けても差し支えない。
【００１６】
さらにまた、スライダ１２の内部には、第二転動体転動路２２と平行をなして軸方向に貫通する断面円形の貫通孔からなる転動体戻し路２３，２３がそれぞれ形成されている。さらに、スライダ１２の軸方向両端に備えられたエンドキャップ１２Ｂ，１２Ｂには、第二転動体転動路２２とこれに対応する転動体戻し路２３とを連通させる図示されない湾曲路が形成されており、これら第二転動体転動路２２と転動体戻し路２３と両端の前記湾曲路とで、転動体の循環路が形成されている。この転動体の循環路内には、例えば鋼球からなる多数の転動体１５が転動自在に装填されている。
【００１７】
さらに、サポートユニット１７，１７には貫通孔が設けられており、この貫通孔の内周面に図示しない転がり軸受が嵌合されている。そして、この転がり軸受の内径部にねじ軸１３が挿通されるとともに嵌合され、この転がり軸受によってねじ軸１３が回転可能とされている。
ねじ軸１３を回転させると、これに螺合するスライダ１２が、第二転動体転動路２２内の転動体１５の転動を介して案内レール１１に沿って軸方向に滑らかに移動する。このスライダ１２の移動時には、第二転動体転動路２２内の転動体１５は前記循環路を転動しつつ無限循環する。
【００１８】
このような本実施形態の一軸アクチュエータにおいては、サポートユニット１７，１７は、案内レール１１の両端面に取り付けられている。すなわち、案内レール１１の端面にタップ穴が設けられ、ボルト２５によってサポートユニット１７，１７が取り付けられている。そして、サポートユニット１７，１７の取り付けに際して、その位置合わせが以下のようにして行われている。
【００１９】
一軸アクチュエータの部分平面図である図３とそのＡ−Ａ断面図である図４から分かるように、サポートユニット１７は、案内レール１１の転動体転動溝１１ａに対向する位置に、案内レール１１の転動体転動溝１１ａに係合する形状の凸部３４，３４（すなわち断面略半円形の突起）を２つ有している。そして、これら２つの凸部３４，３４を案内レール１１の両側壁３２，３２の転動体転動溝１１ａ，１１ａにそれぞれ嵌め合わせて、サポートユニット１７の取り付け位置の位置合わせを行った後に、サポートユニット１７を案内レール１１の端面にボルト２５で固定してある。
【００２０】
このように、案内レール１１の転動体転動溝１１ａを基準としてサポートユニット１７の取り付け位置の位置合わせを行っているため、サポートユニット１７の位置合わせが高精度となり、取り付け位置の誤差がほとんどない。よって、サポートユニット１７に支持されるねじ軸１３の中心位置が高精度で位置合わせされるため、一軸アクチュエータの駆動が極めて円滑である。
【００２１】
なお、本実施形態においては、凸部３４を２個設けて、両側の転動体転動溝１１ａに係合させたが、凸部３４は１個でもよい。１個の凸部３４が片側の転動体転動溝１１ａに係合してあれば、サポートユニット１７の姿勢がピッチング方向及びヨーイング方向に傾くことを抑制することができる。ただし、ピッチング方向及びヨーイング方向に加えてローリング方向に傾くことも抑制するためには、凸部３４を２個設けて両側の転動体転動溝１１ａに係合させることが好ましい。
【００２２】
また、転動体１５は、案内レール１１の転動体転動溝１１ａの溝面に２点において接触しているが、凸部３４も転動体１５と同様に前記溝面に２点において接触していることが好ましい。そして、その接触点Ｃの前記溝面における位置（図５に示すように、軸方向に直交する面で破断した場合の溝面における位置）は、転動体１５と案内レール１１の転動体転動溝１１ａとの接触点の溝面における位置と略同一であることが好ましい。
【００２３】
スライダ１２も案内レール１１の転動体転動溝１１ａにより位置決めされていることになるが、厳密に言えば、転動体１５と転動体転動溝１１ａとの接触点の位置により位置決めされていることになる。ねじ軸１３はスライダ１２と一体となっているから、ねじ軸１３の中心位置を左右するサポートユニット１７の位置決めについても、転動体１５と転動体転動溝１１ａとの接触点の位置を基準とすることが好ましく、より高精度の位置合わせが可能である。
さらに、凸部３４の形状は、図４のように転動体転動溝１１ａの溝面に沿うような形状が好ましいが、転動体転動溝１１ａと係合して位置合わせが可能であれば、転動体転動溝１１ａの溝面に沿う形状でなくてもよい。例えば、断面多角形状でもよい。
【００２４】
さらに、案内レール１１の端面にタップ穴を加工する際には、案内レール１１の一方の側壁３２の外側面を一軸アクチュエータの取付基準面に設定して、それに合わせて加工を行うため、このようにして製造された一軸アクチュエータは、反対側の側壁３２の外側面を取付基準面として使用することはできない。固定側のサポートユニット１７と支持側のサポートユニット１７を逆の位置に入れ替えて取り付ければ、上記問題は解決するが、両サポートユニット１７は転がり軸受を嵌め込む貫通孔などがそれぞれ別の基準で加工されているので、単純に位置を入れ替えて取り付けても高精度で取り付けできなかった。本実施形態の一軸アクチュエータであれば、案内レール１１の転動体転動溝１１ａを基準として両サポートユニット１７が加工されているので、固定側のサポートユニット１７と支持側のサポートユニット１７を逆の位置に入れ替えても高精度で取り付けることが可能である。
【００２５】
さらに、スライダ１２の貫通孔の内周面に形成されたねじ溝１２ａは、ねじ溝が内周面に形成された筒状部材をスライダ１２の貫通孔に嵌め込むことにより設けるのではなく、加工により内周面に直接的に形成して設けることが好ましい。すなわち、別途製造されたボールねじをスライダ１２の貫通孔に組み込んで一軸アクチュエータを得ることも可能であるが、ねじ軸１３の中心位置を高精度で位置合わせするためには、スライダ１２の製造時に転動体転動溝１２ｂとねじ溝１２ａとを加工により形成することが好ましい。なお、同様の理由により、サポートユニット１７の製造時には、その貫通孔と、凸部３４の転動体転動溝１１ａとの当接面と、を加工により形成することが好ましい。
【００２６】
〔第二実施形態〕
図６は、本発明に係る一軸アクチュエータの第二実施形態を説明する平面図である。また、図７は、図６の一軸アクチュエータを軸方向から見た断面図である。なお、第二実施形態の一軸アクチュエータの構成及び作用は、第一実施形態とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。また、図６及び図７においては、図１〜４と同一又は相当する部分には、図１〜４と同一の符号を付してある。
サポートユニット１７は、案内レール１１の端面ではなく、スライダ１２と同様に案内レール１１の内側に配されており、図６，７に示すように固定用部材４０を用いて案内レール１１に取り付けられている。以下にその詳細を説明する。
【００２７】
サポートユニット１７の両側面から突出する２つの凸部３４が、案内レール１１の両側壁３２，３２の転動体転動溝１１ａ，１１ａにそれぞれ嵌め合わされていて、これによりサポートユニット１７の取り付け位置の位置合わせがなされている。また、クランク状に屈曲した板状の固定用部材４０が案内レール１１の側壁３２の側方に配されていて、固定用部材４０の一部分がサポートユニット１７の側面に接触するとともに、固定用部材４０の他部分が案内レール１１の側壁３２の外側面に接触している。そして、サポートユニット１７と固定用部材４０との接触部が、ボルト２５により固着されている。このように、案内レール１１の側壁３２がサポートユニット１７と固定用部材４０とで挟まれることにより、サポートユニット１７が案内レール１１に取り付けられている。
【００２８】
このように固定用部材４０を用いてサポートユニット１７を取り付ければ、案内レール１１にタップ穴を加工する必要がない。よって、一軸アクチュエータのコストダウンが可能である。また、摩擦締結となるので、例えばボールねじ部分が破壊するような静定格荷重を超える過負荷が作用した場合に締結部分が滑り、ボールねじ部分の破壊が免れる可能性がある。さらに、スライダ１２に加わる荷重やモーメントにより、案内レール１１は側壁３２の上端部を外側に開かせるような方向の応力を受ける。特に、案内レール１１の両端部は、そのような応力に対する抗力が弱い。本実施形態の一軸アクチュエータは、固定用部材４０により案内レール１１の両側壁３２が外側から押さえられているので、側壁３２の上端部が外側に開くような変形が抑制される。
【００２９】
さらに、一軸アクチュエータを切断して短尺化を図る場合、従来の一軸アクチュエータであれば、案内レールの端面にサポートユニットを取り付けるためのタップ穴を切断後に後加工する必要があるが、案内レールは焼入れにより高硬度化されているのでタップ穴の後加工は簡単ではなかった。これに対して、本実施形態の一軸アクチュエータであれば、固定用部材４０を用いてサポートユニット１７を取り付けるので、タップ穴の後加工を行う必要がない。よって、一軸アクチュエータの仕様変更を簡単に行うことができる。
【００３０】
〔第三実施形態〕
図８は、本発明に係る一軸アクチュエータの第三実施形態を説明する軸方向から見た正面図である。なお、第三実施形態の一軸アクチュエータの構成及び作用は、第一実施形態とほぼ同様であるので、異なる部分のみ説明し、同様の部分の説明は省略する。また、図８においては、図１〜４と同一又は相当する部分には、図１〜４と同一の符号を付してある。
サポートユニット１７は、案内レール１１の端面ではなく、案内レール１１の内側に配されており、図８に示すように固定用腕部４１を用いて案内レール１１に取り付けられている。以下にその詳細を説明する。
【００３１】
サポートユニット１７の両側面から突出する２つの凸部３４が、案内レール１１の両側壁３２，３２の転動体転動溝１１ａ，１１ａにそれぞれ嵌め合わされている。これにより、サポートユニット１７の取り付け位置の位置合わせがなされている。また、サポートユニット１７には、サポートユニット１７の上部から水平に突出して側壁３２の上端を跨ぎ、側壁３２の外側面に沿って側壁３２の下部まで延びる固定用腕部４１が設けられている。そして、固定用腕部４１の先端と案内レール１１の側壁３２の下部とがボルト２５により固着されている。
【００３２】
このように、別部材を用いることなくサポートユニット１７と案内レール１１とを固着しているので、締結の信頼性が高い。また、案内レール１１の側壁３２の下部は、転動体転動溝１１ａから離れているので、硬度が比較的低く、タップ穴を加工しやすい。さらに、ねじ軸１３の中心に外力がかかるが、この外力は転動体転動溝１１ａに当接するサポートユニット１７の凸部３４で受けることができるので、転動体転動溝１１ａから離れた位置にあるボルト２５にかかる応力を低減することができる。
さらに、第二実施形態の場合と同様に、固定用腕部４１により案内レール１１の両側壁３２が外側から押さえられているので、側壁３２の上端部が外側に開くような変形が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る一軸アクチュエータの第一実施形態の斜視図である。
【図２】図１の一軸アクチュエータの断面図である。
【図３】図１の一軸アクチュエータの部分平面図である。
【図４】図３の一軸アクチュエータのＡ−Ａ断面図である。
【図５】サポートユニットの凸部と案内レールの転動体転動溝との接触点の位置を説明する断面図である。
【図６】本発明に係る一軸アクチュエータの第二実施形態の平面図である。
【図７】図６の一軸アクチュエータを軸方向から見た正面図である。
【図８】本発明に係る一軸アクチュエータの第三実施形態の正面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１１        案内レール
１１ａ      転動体転動溝
１２        スライダ
１２ｂ      転動体転動溝
１３        ねじ軸
１３ａ      ねじ溝
１５        転動体
１７        サポートユニット
３１        底板
３２        側壁
３４        凸部
４０        固定用部材
４１        固定用腕部
Ｃ        接触点
【図１】
2008298193.tif 000003
【図２】
2008298193.tif 000004
【図３】
2008298193.tif 000005
【図４】
2008298193.tif 000006
【図５】
2008298193.tif 000007
【図６】
2008298193.tif 000008
【図７】
2008298193.tif 000009
【図８】
2008298193.tif 000010