(57)【要約】【課題】計測が正しく行なわれないというトラブルが生じた場合に、そのトラブルの原因を迅速に究明できるようにする。【解決手段】計測が行われると、計測結果および干渉波形のファイルを作成するとともに、その計測に用いた各種のパラメータのファイルのパラメータ内容をコピーしたコピーファイルを作成し、計測日付および計測単位毎の追い番を含むファイル名を付与するとともに、計測結果および干渉波形のファイルには、作成した日時をタイムスタンプとして付与する一方、コピーファイルには、元のパラメータのファイルの作成または更新に日時をタイムスタンプとして付与して保存するようにしている。【選択図】図１１
2008116407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
汎用ＯＳおよび計測用ソフトウェアを搭載したコンピュータにおけるファイルの保存方法であって、
計測に用いるパラメータのファイルを作成または更新して保存するステップと、
前記パラメータを用いて計測した計測結果のファイルを作成するとともに、前記パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するステップと、
前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与するステップと、
ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存するステップと、
を含むことを特徴とするファイルの保存方法。
【請求項２】
前記ファイル属性を、各ファイルにそれぞれ対応させて表示手段に表示するステップを含む請求項１に記載のファイルの保存方法。
【請求項３】
前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、リファレンスデータを含む請求項１または２に記載のファイルの保存方法。
【請求項４】
前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、光学定数のデータを含む請求項１ないし３のいずれか１項に記載のファイルの保存方法。
【請求項５】
汎用ＯＳおよび計測用ソフトウェアを搭載したコンピュータを備える計測装置であって、
計測用のパラメータのファイルを作成または更新するファイル作成／更新手段と、
作成または更新した前記パラメータのファイルを保存する保存手段と、
前記パラメータを用いて計測を行なう計測手段と、
計測した計測結果のファイルを作成するとともに、パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するファイル作成手段と、
前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与する属性付与手段と、
前記ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存する保存手段と、
を備えることを特徴とする計測装置。
【請求項６】
前記ファイル属性を、各ファイルにそれぞれ対応させて表示する表示手段を備える請求項５に記載の計測装置。
【請求項７】
前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、リファレンスデータを含む請求項５または６に記載の計測装置。
【請求項８】
前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、光学定数のデータを含む請求項５ないし７のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項９】
前記計測手段は、前記パラメータを用いて膜厚を計測する請求項５ないし８のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１０】
前記計測手段は、前記パラメータを用いて色度を計測する請求項５ないし８のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１１】
前記保存手段は、前記ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを、当該計測装置に着脱自在な記録媒体に保存する請求項５ないし１０のいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１２】
汎用ＯＳおよび計測用ソフトウェアを搭載したコンピュータを用いた計測方法であって、
計測用のパラメータのファイルを作成または更新するステップと、
作成または更新した前記パラメータのファイルを保存するステップと、
前記パラメータを用いて計測するステップと、
計測した計測結果のファイルを作成するとともに、パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するステップと、
前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与するステップと、
前記ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存するステップと、
を含むことを特徴とする計測方法。
【請求項１３】
計測用のプログラムであって、
汎用ＯＳが搭載されたコンピュータに、
計測に用いるパラメータのファイルを作成または更新して保存するステップと、
前記パラメータを用いて計測するステップと、
計測した計測結果のファイルを作成するとともに、前記パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するステップと、
前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与するステップと、
ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存するステップと、
を実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、汎用ＯＳ（オペレーションシステム）および計測用のソフトウェアを搭載したコンピュータにおけるファイルの保存方法、それを用いた計測装置、計測方法並びにプログラムに関し、更に詳しくは、光学式の膜厚計測装置などに好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
計測装置、例えば、光学式の膜厚計測装置には、薄膜が形成された基板に光を照射すると、前記薄膜の表面で反射する光と、薄膜と基板との境界面で反射する光とが干渉し、この干渉光の強度は、薄膜の厚みによって異なり、また同じ基板であっても、その基板に照射する光の波長によって干渉光の強度が変化するという光干渉の原理を利用した膜厚計測装置がある。
【０００３】
かかる膜厚計測装置では、所定の波長域に分布する光を発光する光源から、測定対象の基板に光を照射するとともに、その基板からの反射光を、分光フィルタや複数の受光素子より成る受光部に導いて複数の波長成分に分光して抽出し、これらの波長成分毎の反射の度合を示す反射スペクトルの実測波形と、薄膜の厚みが所定値である場合の理論上の反射スペクトルの理論波形とを順に比較するカーブフィット法によって、基板上の薄膜の厚みを計測するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−８１９１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
かかる膜厚計測装置では、種々の要因、例えば、外乱光の入光、基板のばたつき（光学系と基板との距離の変動）、あるいは、光源の経時変化による影響を校正するためのリファレンスデータの取得頻度が少ないことによる光量ドリフトなどによって、膜厚計測が正しく行われない場合がある。
【０００５】
かかる場合には、膜厚計測装置の表示部に表示される実測波形と理論波形とのカーブフィットの様子などからその原因を推定することになるが、光学や薄膜による光干渉理論を理解していなければ、表示部に表示される内容から原因を推定するのは困難である。
【０００６】
特に、膜厚計測装置は、製造ラインに設置されて使用されるのが一般的であり、実際に膜厚計測装置を使用する製造現場の作業者は、光学や光干渉理論に精通しておらず、ユーザが自ら原因を推定し、その対策を講じて膜厚計測を正しく行なえるように改善することは、極めて困難である。
【０００７】
このため、従来では、計測が正しく行えないというトラブルが発生した場合には、ユーザが、メーカのサービスエンジニアに連絡し、サービスエンジニアは、電話や電子メールなどを利用してトラブルの状態やそれまでの操作内容などを確認して原因を究明するのが一般的である。
【０００８】
しかしながら、原因を究明するためには、計測に関連する種々の設定項目、それら設定項目の変更操作などの履歴について確認する必要がある場合が多いが、現場の使用者が、計測に関連する必要な設定項目について、その履歴などを充分に把握していない場合も多く、また、ユーザとサービスエンジニアとのやり取りで誤解が生じる場合もある。
【０００９】
このため、トラブルの原因を究明して対策を講じるまでに、多大の時間および労力を要するという課題がある。
【００１０】
そこで、計測に関連する設定項目、その変更、計測結果データ、エラー履歴などの全てのデータを保存しておき、トラブルが生じたときには、そのトラブルの前後の時期における全てのデータを、サービスエンジニアがユーザから受け取り、それらデータを解析して原因を究明することも考えられるが、膨大なデータを無作為に解析するのは、現実的ではない。
【００１１】
本発明は、このような実情に鑑みて為されたものであって、計測が正しく行なわれないというトラブルが生じた場合に、そのトラブルの原因を容易に究明できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）本発明のファイルの保存方法は、汎用ＯＳおよび計測用ソフトウェアを搭載したコンピュータにおけるファイルの保存方法であって、計測に用いるパラメータのファイルを作成または更新して保存するステップと、前記パラメータを用いて計測した計測結果のファイルを作成するとともに、前記パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するステップと、前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与するステップと、ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存するステップとを含むものである。
【００１３】
計測単位とは、計測のまとまりをいい、例えば、１回の計測を、計測単位としてもよいし、複数の計測対象を順番に計測するような場合に、計測対象毎の複数回の計測を、計測単位としてもよいし、予め定めた計測回数を、計測単位としてもよい。
【００１４】
パラメータとは、計測に関連する設定データをいい、例えば、計測対象の材質、計測に用いる光学定数、校正に用いるリファレンスのデータなどをいう。
【００１５】
追い番とは、連続番号をいい、この追い番をファイル名の一部としてもよく、また、追い番に、計測日付を付加してもよい。
【００１６】
コピーファイルとは、パラメータが記録されたパラメータのファイルと、パラメータの内容が同一のファイルをいう。
【００１７】
本発明のファイルの保存方法によると、計測結果のファイルと、その計測に用いたパラメータと同一内容が記録されたコピーファイルとは、計測単位毎に、追い番が付されて保存されるので、追い番に基づいて、計測単位毎の計測結果と、その計測に用いたパラメータとを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときには、その計測結果とパラメータとに基づいて、その原因がパラメータの不適切な設定などに起因するものであるか否かを究明するといったことが可能になる。
【００１８】
更に、前記コピーファイルには、コピー元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時が付されているので、計測に用いたパラメータのファイルが作成または更新された日時、すなわち、計測に用いたパラメータの取得の日時を把握することができ、例えば、定期的に取得する必要があるパラメータが、定期的に取得されていたか否かを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときの原因の究明に利用することができる。
【００１９】
（２）本発明のファイルの保存方法の一つの実施形態では、前記ファイル属性を、各ファイルにそれぞれ対応させて表示手段に表示するようにしてもよい。
【００２０】
この実施形態によると、計測結果のファイルおよびその計測に用いたパラメータが記録されたコピーファイルを、計測単位毎の追い番、作成日時、更新日時などのファイル属性に対応させて表示できるので、計測結果とその計測に用いられたパラメータとの関係、および、計測日時とその計測に用いられたパラメータの取得日時との関係などを、容易に把握することができ、これによって、計測が正しく行なわれなったときの原因の究明が、円滑に行なえる。
【００２１】
（３）本発明のファイルの保存方法の他の実施形態では、前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、リファレンスデータを含むようにしてもよい。
【００２２】
リファレンスデータとは、校正に用いるデータをいい、例えば、光源の光量のドリフトを校正するためのデータなどをいう。
【００２３】
この実施形態によると、パラメータのファイル、したがって、パラメータのファイルと同一内容のコピーファイルには、定期的に取得すべきリファレンスデータが記録されているので、正しく計測が行なわれなかったときには、コピーファイルに付されている作成日時または更新日時に基づいて、リファレンスデータが定期的に取得されていたか否かを容易に確認することができる。
【００２４】
（４）本発明の他の実施形態では、前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、光学定数のデータを含むようにしてもよい。
【００２５】
光学定数のデータとは、例えば、屈折率や吸収係数などをいう。
【００２６】
この実施形態によると、パラメータのファイル、したがって、パラメータのファイルと同一内容のコピーファイルには、光学定数のデータが記録されているので、計測が正しく行なわれなかったときには、光学定数が正しく設定されているか否かを確認することができ、例えば、計測対象が変更されたにも関らず、その計測対象に応じた光学定数が設定されていないために、正しく計測できなかったといった原因の究明が容易となる。
【００２７】
（５）本発明の計測装置は、汎用ＯＳおよび計測用ソフトウェアを搭載したコンピュータを備える計測装置であって、計測用のパラメータのファイルを作成または更新するファイル作成／更新手段と、作成または更新した前記パラメータのファイルを保存する保存手段と、前記パラメータを用いて計測を行なう計測手段と、計測した計測結果のファイルを作成するとともに、パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するファイル作成手段と、前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与する属性付与手段と、前記ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存する保存手段とを備えている。
【００２８】
本発明の計測装置によると、計測結果のファイルと、その計測に用いたパラメータと同一内容が記録されたコピーファイルとは、計測単位毎に、追い番が付されて保存されるので、追い番に基づいて、計測単位毎の計測結果と、その計測に用いたパラメータとを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときには、その計測結果とパラメータとに基づいて、その原因がパラメータの不適切な設定などに起因するものであるか否かを究明するといったことが可能になる。
【００２９】
更に、前記コピーファイルには、コピー元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時が付されているので、計測に用いたパラメータのファイルが作成または更新された日時、すなわち、計測に用いたパラメータの取得の日時を把握することができ、例えば、定期的に取得する必要があるパラメータが、定期的に取得されていたか否かを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときの原因の究明に利用することができる。
【００３０】
（６）本発明の計測装置の一つの実施形態では、前記ファイル属性を、各ファイルにそれぞれ対応させて表示する表示手段を備えてもよい。
【００３１】
この実施形態によると、計測結果のファイルおよびその計測に用いたパラメータが記録されたコピーファイルを、計測単位毎の追い番、作成日時、更新日時などのファイル属性に対応させて表示できるので、計測結果とその計測に用いられたパラメータとの関係、および、計測日時とその計測に用いられたパラメータの取得日時との関係などを、容易に把握することができ、これによって、計測が正しく行なわれなったときの原因の究明が、円滑に行なえる。
【００３２】
（７）本発明の計測装置の他の実施形態では、前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、リファレンスデータを含むようにしてもよい。
【００３３】
この実施形態によると、パラメータのファイルと同一内容のコピーファイルには、定期的に取得すべきリファレンスデータが記録されているので、正しく計測が行なわれなかったときには、コピーファイルに付されている作成日時または更新日時に基づいて、リファレンスデータが定期的に取得されていたか否かを容易に確認することができる。
【００３４】
（８）本発明の計測装置の更に他の実施形態では、前記パラメータのファイルは、計測に用いるパラメータとして、光学定数のデータを含むようにしてもよい。
【００３５】
この実施形態によると、パラメータのファイルと同一内容のコピーファイルには、光学定数のデータが記録されているので、計測が正しく行なわれなかったときには、光学定数が正しく設定されているか否かを確認することができ、例えば、計測対象が変更されたにも関らず、その計測対象に応じた光学定数が設定されていないために、正しく計測できなかったといった原因の究明が容易となる。
【００３６】
（９）本発明の計測装置の好ましい実施形態では、前記計測手段は、前記パラメータを用いて膜厚を計測するものである。
【００３７】
この実施形態によると、膜厚の計測が正しく行なわれなかったときに、その原因の究明が容易となる。
【００３８】
（１０）本発明の計測装置の一つの実施形態では、前記計測手段は、前記パラメータを用いて色度を計測するものである。
【００３９】
この実施形態によると、色度の計測が正しく行なわれなかったときに、その原因の究明が容易となる。
【００４０】
（１１）本発明の計測装置の他の実施形態では、前記保存手段は、前記ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを、当該計測装置に着脱自在な記録媒体に保存するようにしてもよい。
【００４１】
記録媒体としては、例えばフレキシブルディスク、ＭＯ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ、リムーバブルハードディスクなどがある。
【００４２】
この実施形態によると、計測が正しく行なわれなかったときには、記録媒体に記録されたデータを、電子メール機能を利用して装置メーカに送ったり、あるいは、計測装置から取り外した記録媒体を、装置メーカに郵送し、原因の究明を図ることが可能となる。
【００４３】
（１２）本発明の計測方法は、汎用ＯＳおよび計測用ソフトウェアを搭載したコンピュータを用いた計測方法であって、計測用のパラメータのファイルを作成または更新するステップと、作成または更新した前記パラメータのファイルを保存するステップと、前記パラメータを用いて計測するステップと、計測した計測結果のファイルを作成するとともに、パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するステップと、前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与するステップと、前記ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存するステップとを含むものである。
【００４４】
本発明の計測方法によると、計測結果のファイルと、その計測に用いたパラメータと同一内容が記録されたコピーファイルとは、計測単位毎に、追い番が付されて保存されるので、追い番に基づいて、計測単位毎の計測結果と、その計測に用いたパラメータとを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときには、その計測結果とパラメータとに基づいて、その原因がパラメータの不適切な設定などに起因するものであるか否かを究明するといったことが可能になる。
【００４５】
更に、前記コピーファイルには、コピー元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時が付されているので、計測に用いたパラメータの取得の日時を把握することができ、例えば、定期的に取得する必要があるパラメータが、定期的に取得されていたか否かを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときの原因の究明に利用することができる。
【００４６】
（１３）本発明のプログラムは、計測用のプログラムであって、汎用ＯＳが搭載されたコンピュータに、計測に用いるパラメータのファイルを作成または更新して保存するステップと、前記パラメータを用いて計測するステップと、計測した計測結果のファイルを作成するとともに、前記パラメータのファイルのパラメータ内容と同一内容のコピーファイルを作成するステップと、
前記計測結果のファイルと前記コピーファイルとに、計測単位毎の追い番を、また、前記計測結果のファイルには、その作成日時を、前記コピーファイルには、同一内容の元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時を、ファイル属性としてそれぞれ付与するステップと、ファイル属性が付与された前記計測結果のファイルおよび前記コピーファイルを保存するステップとを実行させるものである。
【００４７】
このプログラムは、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等の記録媒体に保存しておくことができ、記録媒体から計測装置内部のハードディスクなどにインストールして実行させることができる。
【００４８】
本発明のプログラムによると、計測結果のファイルと、その計測に用いたパラメータと同一内容が記録されたコピーファイルとは、計測単位毎に、追い番が付されて保存されるので、追い番に基づいて、計測単位毎の計測結果と、その計測に用いたパラメータとを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときには、その計測結果とパラメータとに基づいて、その原因がパラメータの不適切な設定などに起因するものであるか否かを究明するといったことが可能になる。
【００４９】
更に、前記コピーファイルには、コピー元のパラメータのファイルの作成日時または更新日時が付されているので、計測に用いたパラメータの取得の日時を把握することができ、例えば、定期的に取得する必要があるパラメータが、定期的に取得されていたか否かを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときの原因の究明に利用することができる。
【発明の効果】
【００５０】
本発明によれば、追い番に基づいて、計測単位毎の計測結果と、その計測に用いたパラメータとを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときには、その原因がパラメータの不適切な設定などに起因するものであったか否かを究明するといったことが可能になる。
【００５１】
また、コピー元のファイルであるパラメータのファイルが作成または更新された日時から、計測に用いられたパラメータの取得の日時を把握することができ、例えば、定期的に取得する必要があるパラメータが、定期的に取得されていたか否かを把握することができ、計測が正しく行なわれなかったときの原因の究明に利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
以下、図面によって本発明の実施形態について説明する。
【００５３】
図１は、本発明に係る膜厚計測装置の構成を示すブロック図である。
【００５４】
この実施形態の膜厚計測装置は、投光部５と、光ファイバ３ａ，３ｂと、受光部６と、制御回路７とを備えている。
【００５５】
投光部５は、出力波長の特性が異なる３個のＬＥＤ１１，１２，１３と、透過特性の異なる２個のダイクロイックミラー１４，１５と、集光用のレンズ（図示せず）とが組み込まれた光源を有している。各ＬＥＤ１１〜１３には、それぞれ赤色光発光用、白色発光用、青色発光用のＬＥＤが用いられる。
【００５６】
投光部５からの光は、光ファイバケーブル３ａを介してセンサヘッド１の先端から基板８の表面に照射される。この光は、基板本体８ｂ上の薄膜８ａの表面および薄膜８ａと基板本体８ｂとの境界面において反射するもので、その反射光はセンサヘッド１に入射した後に、光ファイバケーブル３ｂを介して受光部６に導かれる。
【００５７】
受光部６は、光学多層膜を用いた分光フィルタ２０と、ラインＣＣＤ（複数のＣＣＤを一次元配列したもの）２１とにより構成される。前記反射光は、分光フィルタにより波長単位に分光された後、分光された各光がラインＣＣＤ２１の各ＣＣＤに取り込まれて波長単位の反射光の強度が取り出される。
【００５８】
制御回路７は、後述の各種ファイルの作成や更新、ファイルの保存、ファイル属性の付与といった各種の機能を有するマイクロコンピュータを主体とする制御部２２に、Ａ／Ｄ変換部２３、投光量調整部２４、受光感度調整部２５、表示制御部２６、入出力部２７などが接続されて成る。Ａ／Ｄ変換部２３は、ラインＣＣＤ２１の各ＣＣＤからの受光出力を抽出してディジタル変換することにより、前記波長単位毎の反射光の強度分布（以下、「反射光スペクトル」という。）を示す受光データを作成する。制御部２２はこの受光データを取り込んで、膜厚測定処理を実行する。
【００５９】
入出力部２７は、測定対象の基板の基板本体や薄膜について、材質、光学定数などの設定データを取り込んだり、膜厚の測定結果を装置外部に出力するためのものである。表示制御部２６は、前記測定結果などの表示用データを与えることにより、ディスプレイ画面上でのデータ表示を行わせる。
【００６０】
投光量調整部２４は、前記投光部５の各ＬＥＤ１１〜１３に対する駆動回路を制御して発光パルス間隔を調整することにより、投光部５の出力レベルを調整する。受光感度調整部２５は、ラインＣＣＤ２１のシャッタ時間間隔を制御したり、ラインＣＣＤ２１とＡ／Ｄ変換部２３との間の増幅回路２８のゲインを調整することにより、受光感度を調整する。
【００６１】
かかる膜厚計測装置では、測定対象の基板の種類に応じて前記各調整部２４，２５によりラインＣＣＤ２１の出力レベルを自動調整した後、膜厚測定処理を開始する。この測定処理において、制御部２２は、薄膜の厚みが所定値に想定されたときの理論上の反射スペクトルを示すデータを所定数の膜厚毎に設定した後、これら理論上の反射スペクトルと前記Ａ／Ｄ変換部２３から入力された受光データの示す反射スペクトルとを順に比較する方法（カーブフィッティング法）により、薄膜の厚みを特定するものである。
【００６２】
図２は、膜厚計測装置のディスプレイに表示されるメイン表示画面を示しており、波形データや計測値などがメニューバー１７や後述する各種のボタン等とともに表示されている。
【００６３】
図３は、このような膜厚計測装置において、膜厚計測アプリケーションソフトウェア２がファイル類４やレジストリにアクセスする状況を表す概要図である。膜厚計測装置は、膜厚計測装置全体を制御して膜厚計測を行わせるための膜厚計測アプリケーションソフトウエア２を備えている。
【００６４】
膜厚計測ソフトウェア２の計測本体は、ユーザインターフェースプログラムである実行ファイル(ｅｘｅファイル)、センサのボードを制御して膜厚を演算するソフト部品（ＤＬＬ）や制御用ソフト部品（ＯＣＸ）などからなるが、計測に必要な設定類や、受光量データ等は、別途ファイルとして保持しており、必要に応じて、プログラムは各種ファイル４の読み込み・上書き保存などを行っている。
【００６５】
膜厚計測装置は、計測に必要な設定等をファイルとして記憶装置内に保持している。
図４は、保存されているファイルの例を示すものである。
【００６６】
マテリアルファイル９には、膜又は基板の材質名、その光学定数（屈折率と吸収係数）などの情報が納められている。例えば、「ＳｉＯ２」というマテリアルファイルには、ＳｉＯ２の屈折率と吸収係数が記載されている。
【００６７】
パラメータセットファイル１０は、ユーザが膜厚を計測するにあたって編集すべき、「どんな基板上の何の膜種を測りたいのか」「計測したい膜厚は、どれくらいの範囲内にあるのか」といった、各種設定パラメータの集合、いわゆる計測レシピのファイルであり、膜と基板の材質の組み合わせ名称、計測する光波長範囲、そのレシピで取得されたリファレンス光量が記載されたリファレンスファイル名、リファレンス取得に使用されたマテリアルファイル名、その他、ユーザが設定したい項目が記載されている。
【００６８】
リファレンスファイル１６には、計測対象物の種類（レシピ）に対応する最適な光量や受光部のダイナミックレンジが記載されている。
【００６９】
例えば、ユーザがＳｉ上のＳｉＯ２膜を計測したいときには、次のような手順で計測する。ユーザは、図２のメイン表示画面において、メニューバー１７の「ファイル」をマウスでクリックすると、プルダウンメニューが現われ、その中の「新規パラメータセット作成」を選択すると、図５に示されるパラメータセット編集画面がディスプレイ上に現われる。
【００７０】
このパラメータセット編集画面において、
パラメータセット名称：（Ｔｅｓｔ）ＳｉＯ２ ｏｎ  Ｓｉ
膜 種：ＳｉＯ２
基板種：Ｓｉ
計測する光波長範囲：４６０〜６８０ｎｍ
リファレンス取得時に使用されるマテリアルファイル名：Ｓｉ
といった設定内容を記載して、保存するとパラメータセット編集画面は閉じられ、図２のメイン表示画面にもどる。
【００７１】
次に、光ファイバの計測位置に、膜なしのＳｉ基板を設置し、図２のメイン表示画面にて、「リファレンス」ボタン１８をクリックすると、アプリケーションソフトウェアは  リファレンス取得時に使用されるマテリアルファイル「Ｓｉ」の屈折率と吸収係数、および膜なしＳｉ基板からの反射光をもとに、投光部・受光部を制御して、Ｓｉ上ＳｉＯ２に対して最適なＬＥＤ発光量およびＣＣＤの受光ダイナミックレンジ(受光感度)を設定する。設定された発光量・ダイナミックレンジを数値化して、「ＳｉＯ２  ｏｎ  Ｓｉ」という名称のリファレンスファイルが自動的に新規作成され、パラメータセットファイルに関連付けられる。
【００７２】
光源のＬＥＤは、経時的な劣化や周囲温度変化の影響を受けて光量がドリフトするので、リファレンスは、例えば１日に１回など定期的に取得する必要がある。
【００７３】
この例にて、図２のメイン画面のパラメータセット名ボックス１９に、「（Ｔｅｓｔ）ＳｉＯ２  ｏｎ  Ｓｉ」がパラメータセットファイルとして選択されているときは、リファレンスファイルの内容に基づいて、最適化された発光量と受光ダイナミックレンジが設定されている。
【００７４】
この状態でＳｉＯ２膜が付いた基板を計測する。図２のメイン画面上の「計測」ボタン２８をクリックすると、アプリケーションソフトウェアは、投光部・受光部を制御し、受光データが制御部２２に取り込まれ、カーブフィッティング法に基づいて膜厚が演算される。
【００７５】
演算結果は、図２のメイン表示画面上に、実測した受光波形・カーブフィット法で選択された理論波形として表示されるとともに、膜厚値が表示される。
【００７６】
次に、膜厚計測装置の基本的な動作モードについて、図６および図７に基づいて説明する。
【００７７】
膜厚計測装置は、図２に示すメイン表示画面を、ニュートラルな状態として、計測セット作成モードと設定編集モードとのいずれかに移行する。
【００７８】
すなわち、図６に示すように、メイン表示画面の状態（ステップｎ１）で、各種設定の編集ボタンが押下（クリック）されると（ステップｎ２）、設定編集モードに移行し（ステップｎ４）、編集ボタンがクリックされることなく、計測ボタンが押下されると（ステップｎ３）、計測セット作成モードに移行する。
【００７９】
設定編集モードは、上述のパラメータセットやリファレンス等の計測に用いる各種のパラメータ等の設定編集を行なうモードであり、編集ボタンの押下によって、対応する設定編集画面に移行し（ステップｎ４）、ユーザが所要の設定操作を行なって保存ボタンを押下することにより（ステップｎ５）、対応する設定項目のファイルが作成され、あるいは、内容が更新される（ステップｎ６）。
【００８０】
編集ボタンが押下されず、計測ボタンが押下されると、計測セット作成モードに移行する。
【００８１】
ここで、「計測セット」とは、計測単位であり、例えば、数回の膜厚計測と、１回の計測停止とからなる、膜厚計測値のかたまりである。実際の、例えば、液晶パネルの製膜ラインにおける膜厚の計測では、一枚の基板の一層の膜について、一つの計測セットを作ると管理がしやすい。
【００８２】
例えば、膜厚計測装置のセンサヘッドによって、搬送される膜付き基板に対して、１０ポイント（１０箇所）の膜厚を計測したいような場合は、計測ボタンを合計１０回押下したあと、停止ボタンを１回押下することにより、その時点で１つの計測セットが確定し、１０回分の膜厚データおよびその平均値、最大値、最小値、標準偏差などが記載されたファイルを作成することができる。
【００８３】
すなわち、計測ボタンが押下されると、図７に示すように、基板（ワーク）からの反射光を、受光し、膜厚を演算し、コンピュータのメモリに計測結果を保持する（ステップｎ８）。再度、計測ボタンが押下されるか否かを判断し（ステップｎ９）、押下されたときには、ステップｎ８に戻る（ステップｎ９）。
【００８４】
計測ボタンが押下されず、停止ボタンが押下されたときには、ステップｎ１１に移行し（ステップｎ１０）、一つの計測セットが終了したとして、計測回数分の膜厚の計測結果の平均値等の統計値を演算し、画面出力するとともに、計測結果のファイルを保存し、図６のステップｎ１に戻る。
【００８５】
以上の説明は、基本的に従来と同様である。
【００８６】
この実施形態では、計測が正しく行なわれないというトラブルが生じた場合に、そのトラブルの原因を容易に究明できるように、次のように構成している。
【００８７】
図８は、この実施形態のファイルの保存方法の設定画面を示す図である。図２のメイン表示画面において、「動作環境設定」ボタン２９を押すと、この図８のタブが現れる。この図８において、「データ保存する」をクリックして、下に表示されている、計測結果、光干渉波形、パラメータセット等の項目のデータの内、保存すべきデータの項目の全てのデータをチェックし、保存先のパスに、例えば、ＵＳＢ外付けハードディスクを設定し、「保存」ボタン３０をクリックしてメイン表示画面に戻る。これによって、この実施形態のファイル保存機能が設定される。
【００８８】
このファイル保存機能の設定がなされた後は、計測セットが作成される度に、その計測結果やその計測に用いられる各種項目の設定内容等のファイル類の内容は、後述のようにして、全てＵＳＢ外付けハードディスクに自動的に保存される。
【００８９】
例えば、数日間にわたってテスト計測が行われ、その間に正しく膜厚計測ができなかったことがあった場合には、ユーザはハードディスク内のファイルの全てを、膜厚計測装置のメーカのシステムエンジニアに、電子メールの添付ファイル等の方法で送付する。
【００９０】
この実施形態では、システムエンジニアが、送付された全てのファイルを容易に解析して、トラブルの原因を早急に究明できるように、次のようにしてデータを保存している。
【００９１】
図９および図１０は、このデータ保存の処理を含む動作モード、すなわち、データ保存機能が設定された場合の動作モードのフローチャートであり、上述の図６および図７に対応するものである。
【００９２】
図９において、メイン表示画面の状態（ステップｎ１）で、各種設定の編集ボタンが押下されると（ステップｎ２）、設定編集モードに移行し（ステップｎ４）、編集ボタンがクリックされることなく、計測ボタンが押下されると（ステップｎ３）、計測セット作成モードに移行する。
【００９３】
設定編集モードでは、ユーザが所要の設定編集操作を行なって保存ボタンを押下することにより（ステップｎ５）、対応する設定項目のファイルが作成され、あるいは、内容が更新される（ステップｎ６）。
【００９４】
編集ボタンが押下されず、計測ボタンが押下されると、図１０の計測セット作成モードに移行する。
【００９５】
以上の処理は、この実施形態に係るデータ保存機能が設定されていない上述の図６と同様である。
【００９６】
この実施形態では、計測ボタンが押下されると、図１０に示すように、基板（ワーク）からの反射光を受光し、膜厚を演算して計測結果を保持するとともに、干渉波形をファイルとして自動保存する（ステップｎ８）。
【００９７】
再度、計測ボタンが押下されたときには、ステップｎ８に戻る（ステップｎ９）。
【００９８】
計測ボタンが押下されず、停止ボタンが押下されたときには、ステップｎ１１に移行し（ステップｎ１０）、一つの計測セットが終了したとして、計測回数分の膜厚の計測結果の平均値等の統計値を演算し、画面出力するとともに、計測結果のファイルを保存する。
【００９９】
更に、この実施形態では、この計測セットに対応させて、計測に用いた各種の設定項目のファイル、すなわち、パラメータセットファイル、リファレンスファイル、マテリアルファイル等のファイルのパラメータの内容をコピーし、コピーしたコピーファイルに後述のようなタイムスタンプをつけて保存し（ステップｎ１２）、図９のステップｎ１に戻る。
【０１００】
図１１は、この計測セット作成モードにおいて、自動保存されるファイル類の一覧を示す図である。
【０１０１】
ここで、各ファイルに付されるファイル名について説明する。
【０１０２】
ファイル名は、「計測年月日」と、「計測セット単位の追い番」とを基本ファイル名としている。図１１の例では、計測日付である２００６年９月２８日「０６０９２８」と、計測セット単位の追い番、すなわち、１回目の計測セットについては、「０００００」、２回目の計測セットについては、「００００１」が付されている。
【０１０３】
この基本ファイル名に加えて、各ファイルのデータの種別に応じて、下記の表１に示す名称が付されている。
【０１０４】
【表１】
2008116407.tif 000003
この表１は、ファイルの種類に対応するデータ種別、後述するタイムスタンプの種別、および、ファイル名の一部を構成する名称を示している。
【０１０５】
例えば、パラメータセットファイルには、その頭文字Ｐと現在のファイル名と同じファイル名「ｚｚｚｚｚｚｚｚ」とからなる、「〜Ｐ−ｚｚｚｚｚｚｚｚ」が上記基本ファイル名に引き続いて付される。
【０１０６】
光学定数データであるマテリアルファイルには、その頭文字Ｍと、リファレンス（Ｒ）、基板（Ｓ）、あるいは、１層、２層といった膜の層と、現在のファイル名と同じファイル名「ｚｚｚｚｚｚｚｚ」を示す、「〜ＭＲ−ｚｚｚｚｚｚｚｚ」、「〜ＭＳ−ｚｚｚｚｚｚｚｚ」、「〜Ｍ１−ｚｚｚｚｚｚｚｚ」、「〜Ｍ２−ｚｚｚｚｚｚｚｚ」等が、上記基本ファイル名に引き続いて付される。
【０１０７】
リファレンスファイルには、その頭文字Ｒと現在のファイル名と同じファイル名「ｚｚｚｚｚｚｚｚ」とからなる、「〜Ｒ−ｚｚｚｚｚｚｚｚ」が上記基本ファイル名に引き続いて付される。
【０１０８】
干渉波形には、Ｗａｖｅの頭文字Ｗと、チャンネル番号Ｘと、計測回数の連番（０００１〜９９９９）と、ファイルのフォーマットを示すｃｓｖとからなる、「〜ＷＸ−０００１〜９９９９．ｃｓｖ」が、上記基本ファイル名に引き続いて付される。
【０１０９】
また、計測結果には、ファイルのフォーマットを示す「〜．ｃｓｖ」が、上記基本ファイル名に引き続いて付される。
【０１１０】
その他、レジストリ、ボードパラメータ、アルゴリズムパラメータについても、対応する名称「〜．ｒｅｇ」、「〜・Ｂ．ｄａｔ」、「〜Ａ．ｄａｔ」が、上記基本ファイル名に引き続いて付される。
【０１１１】
再び、図１１を参照して、この例では、２回の計測セットを示しており、１回目の計測セットでは、干渉波形のファイル「０６０９２８−０００００−Ｗ１−０００１．ｃｓｖ」〜「０６０９２８−０００００−Ｗ１−００１０．ｃｓｖ」から１０回の計測が行なわれ、２回目の計測セットでは、同じく干渉波形のファイル「０６０９２８−０００００−Ｗ１−０００１．ｃｓｖ」〜「０６０９２８−０００００−Ｗ１−０００５．ｃｓｖ」から５回の計測が行なわれていることがわかる。
【０１１２】
この干渉波形のファイルと共に、計測に用いた種々の設定項目であるパラメータのファイル、例えば、パラメータセットファイル「０６０９２８−０００００−Ｐ−（Ｔｅｓｔ）ＳｉＯ２  ｏｎ  ｓｉ」、リファレンスファイル「０６０９２８−０００００−Ｒ−（Ｔｅｓｔ）ＳｉＯ２  ｏｎ  ｓｉ」、マテリアルファイル「０６０９２８−０００００−ＭＳ−Ｓｉ（ｏｍｒｏｎ）」等が自動保存され、更に、アルゴリズムパラメータ等のファイルも自動保存される。
【０１１３】
これらのファイルの内、計測セットによってその内容が新規に作成される計測結果のファイルとしては、計測セットの各計測毎に得られる干渉波形のファイルと、計測セット毎に演算される平均値等の演算結果のファイルであり、これらファイルには、タイムスタンプとして、作成されて保存された日時が付される。
【０１１４】
その他の設定項目であるパラメータのファイル、例えば、パラメータセットファイルやリファレンスファイル等は、その内容は、設定編集モードで既に設定されて保存されているファイルの内容と同一であり、内容をコピーしたものであり、コピーファイルとしての、これらのファイルは、計測セット毎に、内容がコピーされ、上述のようにファイル名が付されて自動保存される。これらのファイルにもタイムスタンプが付されるが、これらのファイルは、干渉波形のファイルや計測結果のファイルと異なり、保存された日時ではなく、コピー元のファイルのタイムスタンプの日時をそのまま引き継いでおり、コピー元のファイルのタイムスタンプと同じである。
【０１１５】
以上のようにして、自動保存された各種のファイルのデータは、計測が正しく行われないといったトラブルが生じた場合には、例えば、電子メールの添付データとして、膜厚計測装置のメーカのシステムエンジニアに送付される。
【０１１６】
システムエンジニアは、送付されたデータに基づいて、トラブルの原因を、例えば、次のようにして究明する。
【０１１７】
図１２は、汎用ＯＳであるウインドウズのソート機能によって、名称でソートした結果の一部を示す図である。
【０１１８】
この図１２において、例えば、右側に実線の矢印を付した１回目の計測セットに対応するリファレンスファイル「０６０９２８−０００００−Ｒ−（Ｔｅｓｔ）ＳｉＯ２  ｏｎ  ｓｉ」の更新日時、および、２回目の計測セットに対応するリファレンスファイル「０６０９２８−０００００−Ｒ−（Ｔｅｓｔ）ＳｉＯ２  ｏｎ  ｓｉ」の更新日時は、いずれも２００６／０９／２８  ２０：１３で同じであり、このことから、２回の計測セット中ではリファレンス取得は行われていないことがわかる。
【０１１９】
これらのファイルは、本来のウインドウズＯＳが行うタイムスタンプの記録方法を採った場合には、計測セット完了時のタイムスタンプになるのが自然であるが、この実施形態では、ソフトウェアプログラミングの工夫により、実際にリファレンスが取られたときのタイムスタンプを引き継いで保存するようにしている。
【０１２０】
リファレンスを取った時点、すなわち、２００６／０９／２８  ２０：１３と、２回の計測セットの取得の時点、例えば、右側に破線の矢印を付した、１回目の計測セットの１０回目の計測による干渉波形のファイル「０６０９２８−０００００−Ｗ１−００１０．ｃｓｖ」の更新日時である２００６／０９／２８  ２０：１４、あるいは、２回目の計測セットの５回目の計測による干渉波形のファイル「０６０９２８−００００１−Ｗ１−０００５．ｃｓｖ」の更新日時である２００６／０９／２８  ２０：１５とは、それぞれ１，２分しか離れていないので、リファレンス取得から日時が経過しすぎたためにＬＥＤ光量がドリフトしたといったことは無いことが判断できる。
【０１２１】
上気のようなタイムスタンプによるチェックの終了後、例えば、計測結果のデータをテキストエディタ等で開いて、膜厚データの遷移をチェックする。
予め、ユーザ側では、計測したいワークの製造膜厚は、例えば、１００００ｎｍ±２０％であることがわかっているので、パラメータセット内の「アラーム設定」でアラーム下限値８０００ｎｍ、アラーム上限値１２０００ｎｍを設定している。
【０１２２】
１回目の計測セットの計測結果のファイル「０６０９２８−０００００．ｃｓｖ」を、例えば、表計算ソフトで開いた例を図１３に示す。
【０１２３】
この図１３の右側の矢印に示すように、５ポイント目の計測にて、膜厚がアラーム下限値を下回ったことを示す「１」のフラグが立っている。
【０１２４】
そこで、１回目の計測セットの５ポイント目の光干渉波形ｃｓｖファイル「０６０９２８−０００００−Ｗ１−０００５．ｃｓｖ」を取り出して、膜厚計測装置の「再計算機能」を用いて、ｃｓｖファイルの干渉波形に対してカーブフィット法により膜厚を計算させた。参考のために、１０ポイント目の正しく計測されたときの干渉波形も再計算を行った。それぞれの再計算結果の画面を、図１４および図１５にそれぞれ示す。
【０１２５】
図１４に示すように、５ポイント目では  太い実線で示す実測波形の反射率が、細い実線で示す理論波形に比べて、著しく低下しており、例えば、基板が計測時に大きくばたついて光学系と基板との距離が変動したなどのために正しい干渉波形が得られなかったことが原因であると判断できる。
【０１２６】
このように、システムエンジニアは、干渉波形のファイル、計測結果のファイル、計測に用いられた各種のパラメータの内容がコピーされたファイル、および、それらファイルのファイル名やタイムスタンプなどのファイル属性に基づいて、計測トラブルの原因を究明するのに要する時間を、著しく短縮することができ、究明した原因、その対処方法などをユーザへ連絡する。
【０１２７】
なお、上述の各パラメータのファイルは、計測セット毎にコピーしたけれども、例えば、エラーログやバージョンデータのファイルを、その変更時点でコピーして自動保存するようにしてもよい。かかるバージョンデータのファイルを自動保存することにより、計測トラブルの原因を究明する際に、バージョンデータに基づいて、計測装置が、バージョンアップされているか否かを確認するといったことが可能となる。
【０１２８】
計測結果やパラメータを自動保存するソフトウェア（プログラム）は、その作成工数が短く、計測ソフトウェア自体に不具合を発生される可能性が低く、既に市場に出しているソフトウェアに対しても、最小の改造工数で適用することができる。
【０１２９】
上述の実施形態では、膜厚計測装置に適用した説明したけれども、本発明は、膜厚計測に限らず、他の計測装置、例えば、色度計測装置にも適用できるものである。  
【０１３０】
色度計測装置は、膜厚計測装置と同様に、白色光を物体に照射し、反射光を分光部に導入して演算するものであり、かかる色度計測装置においては、上述のパラメータセット内の情報は、使用する波長範囲、そのパラメータセットで取得されたリファレンス光量が記載されたリファレンスファイル名、使用する視野角、分光器から取得する光量データの波長間隔などの情報である。なお、リファレンスは、膜厚計と同様に  分光反射率特性が既知である物質に光を照射して、その反射光量を記録することで行う。したがって、マテリアルファイルには、その材料の名称、その分光反射率特性などの情報が記録されることになる。
【産業上の利用可能性】
【０１３１】
本発明は、計測装置の計測のトラブルの原因究明などに有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】本発明に係る膜厚計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の膜厚計測装置のメイン表示画面を示すである。
【図３】膜厚計測アプリケーションソフトウェアがファイル類やレジストリにアクセスする状況を表す概要図である。
【図４】保存されているファイルの例を示す図である。
【図５】パラメータセット編集画面を示す図である。
【図６】膜厚計測装置の動作説明に供するフローチャートである。
【図７】膜厚計測装置の動作説明に供するフローチャートである。
【図８】ファイルの保存の設定画面を示す図である。
【図９】データ保存機能が設定された場合の動作説明に供するフローチャートである。
【図１０】データ保存機能が設定された場合の動作説明に供するフローチャートである。
【図１１】自動保存されるファイル類の一覧を示す図である。
【図１２】自動保存されるファイル類を、名称でソートした結果の一部を示す図である。
【図１３】計測結果のファイルを、表計算ソフトで開いた例を示す図である。
【図１４】計測が正しく行われなかったポイントの干渉波形を再計算した表示画面を示す図である。
【図１５】計測が正しく行われたポイントの干渉波形を再計算した表示画面を示す図である。
【符号の説明】
【０１３３】
５                投光部
６                受光部
７                制御回路
８                基板
９                マテリアルファイル
１０              パラメータセットファイル
１６              リファレンスファイル
【図１】
2008116407.tif 000004
【図２】
2008116407.tif 000005
【図３】
2008116407.tif 000006
【図４】
2008116407.tif 000007
【図５】
2008116407.tif 000008
【図６】
2008116407.tif 000009
【図７】
2008116407.tif 000010
【図８】
2008116407.tif 000011
【図９】
2008116407.tif 000012
【図１０】
2008116407.tif 000013
【図１１】
2008116407.tif 000014
【図１２】
2008116407.tif 000015
【図１３】
2008116407.tif 000016
【図１４】
2008116407.tif 000017
【図１５】
2008116407.tif 000018