(57)【要約】【課題】気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着する。【解決手段】第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とを接着してケース１０が構成されており、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤６１が配置された第１の接着領域７１と、気密性を確保する第２の接着剤６２が配置された第２の接着領域７２とにより構成されており、第１の接着領域は、ケース１０内の測定圧力媒体と接する部分に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のケース部材（２０）と第２のケース部材（３０）とを接着してなり、測定圧力媒体が導入されるようになっているケース（１０）と、
前記ケース（１０）に収納され前記測定圧力の検出を行う検出部（４０）と、を備えた圧力センサ（１００）であって、
前記第１のケース部材と前記第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤（６１）が配置された第１の接着領域（７１）と、気密性を確保する第２の接着剤（６２）が配置された第２の接着領域（７２）とにより構成されており、
前記第１の接着領域は、前記ケース（１０）内の前記測定圧力媒体と接する部分に配置されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記第１の接着剤（６１）はハードエポキシ系樹脂からなる接着剤であり、前記第２の接着剤（６２）はソフトエポキシ系樹脂、シリコン系ゴムおよびフッ素系ゴムの中から選択された１種類からなる接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
一方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材の接着面には前記凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、
前記凹部（７１ａ）の底部側に前記第１の接着領域（７１）が形成され、前記凸部（７１ｂ）の外周側における前記凹部（７１ａ）の開口部側の領域に前記第２の接着領域（７２）が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
第１のケース部材（２０）と第２のケース部材（３０）とを接着してなり、測定圧力媒体が導入されるようになっているケース（１０）と、
前記ケース（１０）に収納され前記測定圧力の検出を行う検出部（４０）と、を備えた圧力センサ（１００）であって、
前記第１のケース部材と前記第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤（６１）が配置された第１の接着領域（７１）と、気密性と耐汚れ性を確保する第２の接着剤（６２）が配置された第２の接着領域（７２）とにより構成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
前記第１の接着剤（６１）はハードエポキシ系樹脂からなる接着剤であり、前記第２の接着剤（６２）はフッ素系ゴムからなる接着剤であることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項６】
一方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材の接着面には前記凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、
前記凹部（７１ａ）の底部側に前記第２の接着領域（７２）が形成され、前記凸部（７１ｂ）の外周側における前記凹部（７１ｂ）の開口部側の領域に前記第１の接着領域（７１）が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
一方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材の接着面には前記凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、
前記凹部（７１ａ）の底部側に前記第１の接着領域（７１）と前記第２の接着領域（７２）の一方が形成され、前記凹部（７１ａ）の開口部側に前記第１の接着領域（７１）と前記第２の接着領域（７２）の他方が形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記凹部（７１ａ）の底面には梨地加工が施されていることを特徴とする請求項２、３、５〜７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記凹部（７１ａ）の側面には凹凸が形成されていることを特徴とする請求項２、３、５〜８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１０】
前記凸部（７１ｂ）の側壁には凹凸が形成されていることを特徴とする請求項２、３、５〜９のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなるケース内に圧力検出部を収納してなる圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサとしては、第１のケース部材と第２のケース部材とを接着してなり、測定圧力が導入されるようになっているケースと、このケースに収納され測定圧力の検出を行う圧力検出部とを備える圧力センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような圧力センサでは、上記特許文献１にも記載されているように、第１のケース部材の開口部内に上記圧力検出部を設置し、第２のケース部材に圧力導入ポートを設け、第１のケース部材の開口縁部および第２のケース部材における圧力導入ポートの開口縁部とを一致させ、この一致させた部位を全周にわたってエポキシ樹脂などからなる接着剤により接着していた。
【特許文献１】特開２００５−３２６３３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、圧力センサには、車両のインテークマニホールド内の空気圧力を検出するために用いられるものがある。このような圧力センサは、法規制による圧力センサの高気密化の要求、エンジンの高出力化に伴う吸入空気圧の上昇、排ガス再循環（Ｅｘｈａｕｓｔ  Ｇａｓ  Ｒｅｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ）システムのＥＧＲ率の上昇によるインテークマニホールド内の圧力媒体の汚れの悪化等の観点から、第１のケース部材と第２のケース部材とが、気密性、接着強度、耐汚れ性に優れた接着構造で接着されていることが要求されている。
【０００５】
近年、特に、耐熱性、耐加水分解性等の要求から、第１、第２のケース部材の材料として、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などの接着性の良くない樹脂材料が用いられることもあり、ケースとポート部とが接着強度に優れた接着方法によって接着されていることが求められている。
【０００６】
しかしながら、従来の圧力センサは、１種類の接着剤によって第１、第２のケース部材が接着される接着構造となっており、気密性、接着強度および耐汚れ性の全てを満足するのは困難となっている。
【０００７】
なお、特許文献１に記載の圧力センサは、劣化を引き起こす酸性や腐食性の圧力媒体からセンサチップを保護することを目的とするもので、気密性、接着強度および耐汚れ性を満足する接着方法でケースとポート部を接着するものではない。
【０００８】
本発明は上記点に鑑みたもので、気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の特徴は、第１のケース部材（２０）と第２のケース部材（３０）とを接着してなり、測定圧力媒体が導入されるようになっているケース（１０）と、ケース（１０）に収納され測定圧力の検出を行う検出部（４０）と、を備えた圧力センサ（１００）であって、第１のケース部材と第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤（６１）が配置された第１の接着領域（７１）と、気密性を確保する第２の接着剤（６２）が配置された第２の接着領域（７２）とにより構成されており、第１の接着領域は、ケース（１０）内の測定圧力媒体と接する部分に配置されていることである。
【００１０】
このような構成では、第１のケース部材と第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤が配置された第１の接着領域と、気密性を確保する第２の接着剤が配置された第２の接着領域とにより構成されており、第１の接着領域は、ケース内の測定圧力媒体と接する部分に配置されているので、気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着することができる。
【００１１】
また、本発明の第２の特徴は、第１の接着剤（６１）はハードエポキシ系樹脂からなる接着剤であり、第２の接着剤（６２）はソフトエポキシ系樹脂、シリコン系ゴムおよびフッ素系ゴムの中から選択された１種類からなる接着剤となっていることである。
【００１２】
このように、ハードエポキシ系樹脂からなる第１の接着剤によって耐汚れ性と接着強度を確保し、ソフトエポキシ系樹脂、シリコン系ゴムおよびフッ素系ゴムの中から選択された１種類からなる第２の接着剤によって気密性を確保することができる。
【００１３】
また、本発明の第３の特徴は、一方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、凹部（７１ａ）の底部側に第１の接着領域（７１）が形成され、凸部（７１ｂ）の外周側における凹部（７１ａ）の開口部側の領域に第２の接着領域（７２）が形成されていることである。
【００１４】
このように、凹部の底部側に第１の接着領域を形成し、凸部の外周側における凹部の開口部側の領域に第２の接着領域を形成することができる。
【００１５】
また、本発明の第４の特徴は、第１のケース部材（２０）と第２のケース部材（３０）とを接着してなり、測定圧力媒体が導入されるようになっているケース（１０）と、ケース（１０）に収納され測定圧力の検出を行う検出部（４０）と、を備えた圧力センサ（１００）であって、第１のケース部材と第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤（６１）が配置された第１の接着領域（７１）と、気密性と耐汚れ性を確保する第２の接着剤（６２）が配置された第２の接着領域（７２）とにより構成されていることである。
【００１６】
このような構成では、第１のケース部材と第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤が配置された第１の接着領域と、気密性と耐汚れ性を確保する第２の接着剤が配置された第２の接着領域とにより構成されているので、気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着することができる。
【００１７】
また、本発明の第５の特徴は、第１の接着剤（６１）はハードエポキシ系樹脂からなる接着剤であり、第２の接着剤（６２）はフッ素系ゴムからなる接着剤となっていることである。
【００１８】
このように、ハードエポキシ系樹脂からなる第１の接着剤により耐汚れ性と接着強度を確保し、フッ素系ゴムからなる第２の接着剤により気密性と耐汚れ性を確保することができる。
【００１９】
また、本発明の第６の特徴は、一方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、凹部（７１ａ）の底部側に第２の接着領域（７２）が形成され、凸部（７１ｂ）の外周側における凹部（７１ｂ）の開口部側の領域に第１の接着領域（７１）が形成されていることである。
【００２０】
このように、凹部の底部側に第２の接着領域を形成し、凸部の外周側における凹部の開口部側の領域に第１の接着領域を形成することができる。
【００２１】
また、本発明の第７の特徴は、一方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）が形成され、他方のケース部材の接着面には凹部（７１ａ）に挿入可能な凸部（７１ｂ）が形成されており、凹部（７１ａ）の底部側に第１の接着領域（７１）と第２の接着領域（７２）の一方が形成され、凹部（７１ａ）の開口部側に第１の接着領域（７１）と第２の接着領域（７２）の他方が形成されていることである。
【００２２】
このように、凹部の底部側に第１の接着領域と第２の接着領域の一方を形成し、凹部の開口部側に第１の接着領域と第２の接着領域の他方を形成することができる。
【００２３】
また、本発明の第８の特徴は、凹部（７１ａ）の底面には梨地加工が施されていることである。
【００２４】
このように、凹部の底面に梨地加工が施されているので、凹部の底面の表面粗さを大きくすることができ、第１の接着剤の塗れ性を向上することができる。
【００２５】
また、本発明の第９の特徴は、凹部（７１ａ）の側面には凹凸が形成されていることである。
【００２６】
このように、凹部の側面には凹凸が形成されているので、凹部の側面における接着面積が広くなり、接着強度を向上することができる。
【００２７】
また、本発明の第１０の特徴は、凸部（７１ｂ）の側壁には凹凸が形成されていることである。
【００２８】
このように、凸部の側壁には凹凸が形成されているので、凸部の側壁における接着面積が広くなり、接着強度を向上することができる。
【００２９】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を図１に示す。本圧力センサ１００は、自動車のインテークマニホールドに取り付けられ、インテークマニホールド内の圧力の測定に用いられるセンサとして用いられる。
【００３１】
［構成等］
ケース１０は、圧力センサ１００の本体を区画するもので、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０とを接着してなる。この接着構造の詳細は後述する。
【００３２】
第１のケース部材２０は、例えば、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を、金型を用いて型成形してなるものである。この第１のケース部材２０の下端面には、圧力検出素子４０を搭載するための開口部２１が形成されている。
【００３３】
また、第１のケース部材２０には、外部と接続される銅や４２アロイなどからなる複数本のターミナル２２がインサート成形により一体的に設けられている。一部のターミナル２２の一端部は、上記開口部２１内にて露出した状態となるように配置されている。
【００３４】
また、各ターミナル２２のうち第１のケース部材２０における右端部側の開口部２３において露出する端部は、図示しない外部機器（外部の配線部材等）に接続可能となっている。つまり、この第１のケース部材２０の右側端部分は、当該開口部２３に位置する各ターミナル２２の端部とともに、本圧力センサ１００におけるコネクタ部として構成されている。
【００３５】
圧力検出素子４０は、測定圧力の検出を行う圧力検出部であり、具体的には、圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。この圧力検出素子４０は、たとえば、半導体よりなるセンサチップとこのセンサチップを保持するガラス台座とにより構成されている。
【００３６】
ここで、上記センサチップは、限定するものではないが、たとえば、シリコン半導体チップなどからなるピエゾ抵抗効果を利用した周知構成のもので、その上面に圧力を受けて歪むダイアフラムおよび拡散抵抗などにより形成されたブリッジ回路などを備えた構成となっている。
【００３７】
この圧力検出素子４０は、第１のケース部材２０の下端部側の開口部２１の底面と上記ガラス台座との間に、たとえばシリコンゴム等の図示しない接着剤を介在させた状態でダイボンディングされている。
【００３８】
また、圧力検出素子４０の各入出力端子（図示せず）は、ターミナル２２の上記ボンディングパッドに対し金やアルミニウム等のボンディングワイヤ２４を介して電気的に接続されている。
【００３９】
そして、第１のケース部材２０の下端部側の開口部２１内には、電気絶縁性および耐薬品性に優れたフッ素系ゲルやフッ素系ゴムなどからなる保護部材２５が充填されている。この保護部材２５によって、ターミナル２２と第１のケース部材２０との界面、圧力検出素子４０およびボンディングワイヤ２４などが封止され、保護されている。
【００４０】
また、第２のケース部材３０は、第１のケース部材２０の下端部側の開口部２１を覆うように第１のケース部材２０に対して連結され、一体化し、本圧力センサ１００のケース１０を構成している。そして、この第１のケース部材２０と第２のケース部材３０との間において圧力検出室２６が形成されている。
【００４１】
第２のケース部材３０は、測定圧力が導入される圧力導入ポートとして構成されており、たとえば上記第１のケース部材２０と同様に、ＰＢＴ、ＰＰＳなどの耐熱性を有する樹脂材料からなり、これらの樹脂材料を金型を用いて型成形してなるものである。
【００４２】
この第２のケース部材３０は、第１のケース部材２０とは反対側の方向へ突出しており、その内部には突出先端から上記圧力検出室２６に通じる圧力導入孔３１が形成されている。
【００４３】
また、第２のケース部材３０の外周部には、Ｏリング３３が設けられ、本圧力センサ１００は、当該Ｏリング３３を介して図示されないセンサ取付部に対して気密に取り付け可能になっている。
【００４４】
ここにおいて、本圧力センサ１００では、第２のケース部材３０と第１のケース部材２０とは、第２のケース部材３０の圧力導入孔３１における第１のケース部材２０側の開口縁部にて、第１、第２の接着剤６１、６２により一体化され、ケース１０を構成している。この接着部の構成について、図２、図３も参照して、より具体的に述べる。
【００４５】
図２は、上記図１中の第１のケース部材２０における接着面を示す概略平面図である。また、図３は、図１中の丸で囲まれたＡ部分の拡大図である。図２に示されるように、第１のケース部材２０の接着面には凹部７１ａが形成され、これに相対する第２のケース部材３０の接着面には、凹部７１ａに挿入可能な凸部７１ｂが形成されている。
【００４６】
また、凹部７１ａの底面には、表面粗さを大きくするための梨地加工が施されている。
【００４７】
また、凹部７１ａの側面および凸部７１ｂの内周側および外周側の各側面には、接着面積を広くするための凹凸が形成されている。具体的には、各側面の断面が図４に示すようなギャザー形状となるような凹凸が形成されている。
【００４８】
本実施形態では、第１および第２のケース部材２０、３０の接着領域は、耐汚れ性を確保するとともに接着強度を確保する第１の接着剤が配置された第１の接着領域７１と、気密性を確保する第２の接着剤が配置された第２の接着領域７２により構成されている。
【００４９】
具体的には、第１のケース部材２０に形成された凹部７１ａの底面側に第１の接着剤６１による第１の接着領域７１が形成され、凸部７１ｂの外周側における凹部７１ａの開口部側の領域に第２の接着領域７２が形成されている。
【００５０】
図５に、接着剤の材質と性能の比較例を示す。図に示すように、ハードエポキシ系樹脂からなる接着剤は、気密性は劣るが、耐汚れ性および接着強度に優れている。また、ソフトエポキシ系樹脂およびシリコン系ゴムからなる接着剤は、気密性に優れているが、耐汚れ性および接着強度が劣っている。また、フッ素系ゴムからなる接着剤は、気密性および耐汚れ性に優れているが、接着強度が劣っている。
【００５１】
本実施形態では、第１の接着剤６１として、ハードエポキシ系樹脂からなる接着剤が用いられ、第２の接着剤６２として、ソフトエポキシ系樹脂、シリコン系ゴムおよびフッ素系ゴムの中から選択された１種類からなる接着剤が用いられている。
【００５２】
すなわち、第１の接着剤６１と第２の接着剤６２による２層接着構造として、ハードエポキシ樹脂を材料とする第１の接着剤６１により耐汚れ性と接着強度を確保し、ソフトエポキシ系樹脂、シリコン系ゴムおよびフッ素系ゴムのいずれか１つを材料とする第２の接着剤６２により、気密性を確保するようになっている。
【００５３】
なお、第１の接着剤６１が配置された第１の接着領域７１は、耐汚れ性を確保するために、ケース１０内の測定圧力媒体と接する部分に配置されている。
【００５４】
［製造方法等］
本圧力センサ１００の製造方法は、例えば、次の通りである。まず、ターミナル２２がインサート成形された第１のケース部材２０と第２のケース部材３０を用意する。
【００５５】
次に、接着剤の親水性を向上させるために、第１のケース部材２０の接着面に形成された凹部７１ａと、第２のケース部材３０に形成された凸部７１ｂに対して、プラズマ洗浄処理またはプライマーを用いた脱脂処理などの前処理を実施する。
【００５６】
次に、第１のケース部材２０の接着面に形成された凹部７１ａに第１の接着剤６１を塗布した後、第１のケース部材２０の凹部７１ａに第２のケース部材３０に形成された凸部７１ｂを挿入し、第１の接着剤６１を硬化させる。
【００５７】
第１の接着剤６１が硬化すると、次に、第２の接着剤６２を第１のケース部材２０の外側から凹部７１ａと凸部７１ｂとの隙間に垂らし、第２の接着剤６２を硬化させる。
【００５８】
そして、第２の接着剤６２が硬化すると、第１、第２の接着剤６１、６２による接着が完了し、両ケース部材２０、３０が固定され、ケース１０ができあがる。
【００５９】
そして、本センサ装置１００を上記した吸気圧センサに適用する場合には、たとえば自動車におけるインテークマニホールドと圧力導入孔３１とを連通させた状態とし、圧力検出素子４０によって吸気圧（負圧）を検出できるように自動車に取り付けられる。
【００６０】
それにより、図１に示される白抜き矢印の方向に圧力が印加されると、第２のケース部材３０の圧力導入孔３１ａを通して、ケース１０内の圧力検出素子４０の受圧面まで圧力が伝達される。
【００６１】
圧力検出素子４０は、この圧力を検出してその検出値に応じたレベルの電気信号を発生し、当該電気信号はボンディングワイヤ２４からターミナル２２を介して外部へと出力される。
【００６２】
［効果等］
上記した構成によれば、第１のケース部材と第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤が配置された第１の接着領域と、気密性を確保する第２の接着剤が配置された第２の接着領域とにより構成されており、第１の接着領域は、ケース内の測定圧力媒体と接する部分に配置されているので、気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着することができる。
【００６３】
なお、ハードエポキシ系樹脂からなる第１の接着剤によって耐汚れ性と接着強度を確保し、ソフトエポキシ系樹脂、シリコン系ゴムおよびフッ素系ゴムの中から選択された１種類からなる第２の接着剤によって気密性を確保することができる。
【００６４】
また、凹部の底部側に第１の接着領域を形成し、凸部の外周側における凹部の開口部側の領域に第２の接着領域を形成することができる。
【００６５】
また、第１のケース部材の接着面に形成された凹部の底面に梨地加工が施されているので、凹部の底面の表面粗さを大きくすることができ、第１の接着剤の塗れ性を向上することができる。
【００６６】
また、第１のケース部材の接着面に形成された凹部の側面には凹凸が形成されているので、凹部の側面における接着面積が広くなり、接着強度を向上することができる。
【００６７】
また、第２のケース部材の接着面に形成された凸部の側壁には凹凸が形成されているので、凸部の側壁における接着面積が広くなり、接着強度を向上することができる。
【００６８】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を図６に示す。図７は、図６中の丸で囲まれたＡ部分の拡大図である。なお、本実施形態では、第１のケース部材２０と第２のケース部材３０の接着部以外の部分は、上記第１実施形態と同様のものである。
【００６９】
上記第１実施形態では、第１のケース部材２０の凹部７１ａの底面側に、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤６１による第１の接着領域が形成され、凸部７１ｂの外周側における凹部７１ａの開口部側の領域に、気密性を確保する第２の接着剤６２による第２の接着領域７２が形成されている。
【００７０】
本実施形態では、図７に示すように、第１のケース部材２０の凹部７１ａの底面側に、接着強度を確保する第１の接着剤６１による第１の接着領域７１が形成され、第１のケース部材２０の凹部７１ａの開口部側に、気密性と耐汚れ性を確保する第２の接着剤６２による第２の接着領域７２が積層されるように形成されている。なお、第１、第２の接着領域７１、７２は、それぞれ第２のケース部材の凸部７１ｂの内周側と外周側の両方に形成されている。
【００７１】
また、本実施形態では、第１の接着剤６１として、ハードエポキシ系樹脂からなる接着剤が用いられ、第２の接着剤６２として、フッ素系ゴムからなる接着剤が用いられている。
【００７２】
すなわち、第１の接着剤６１と第２の接着剤６２による２層接着構造として、ハードエポキシ樹脂を材料とする第１の接着剤６１により接着強度を確保し、フッ素系ゴムを材料とする第２の接着剤６２により、気密性と耐汚れ性を確保するようになっている。
【００７３】
なお、第２の接着剤６２が配置された第２の接着領域７２は、耐汚れ性を確保するために、ケース１０内の測定圧力媒体と接する部分に配置されている。
【００７４】
上記した構成によれば、第１のケース部材と第２のケース部材との接着領域は、耐汚れ性と接着強度を確保する第１の接着剤が配置された第１の接着領域と、気密性と耐汚れ性を確保する第２の接着剤が配置された第２の接着領域とにより構成されているので、気密性、接着強度および耐汚れ性を確保して第１のケース部材と第２のケース部材を接着することができる。
【００７５】
なお、ハードエポキシ系樹脂からなる第１の接着剤により耐汚れ性と接着強度を確保し、フッ素系ゴムからなる第２の接着剤により気密性と耐汚れ性を確保することができる。
【００７６】
また、凹部の底部側に第１の接着領域と第２の接着領域の一方を形成し、凹部の開口部側に第１の接着領域と第２の接着領域の他方を形成することができる。
【００７７】
（他の実施形態）
本発明は、自動車のインテークマニホールド内の圧力の測定に用いられる圧力センサに用途限定されるものではなく、例えば、排気圧センサや各種の容器や雰囲気中の圧力を検出する圧力センサに適用することができる。
【００７８】
また、圧力検出部としては、上記したピエゾ抵抗効果を利用した圧力検出素子以外にも、たとえば静電容量式の圧力検出素子であってもよい。
【００７９】
また、上記第１実施形態では、第１の接着剤６１と第２の接着剤６２による２層接着構造として、ハードエポキシ樹脂からなる第１の接着剤６１が配置された第１の接着領域を凹部７１ａの底部側に形成して耐汚れ性と接着強度を確保し、ソフトエポキシ樹脂、シリコンゴムおよびフッ素ゴムの中から選択された１種類からなる第２の接着剤６２が配置された第２の接着領域を凸部７１ｂの外周側における凹部７１ａの開口部側の領域に形成して気密性を確保する例を示したが、例えば、フッ素ゴムからなる第２の接着剤が配置された第２の接着領域を凹部７１ａの底部側に形成して耐汚れ性と気密性を確保し、ハードエポキシ樹脂からなる第１の接着剤が配置された第１の接着領域７１を凸部７１ｂの外周側における凹部７１ａの開口部側の領域に形成して接着強度を確保するようにしてもよい。
【００８０】
また、上記第２実施形態では、第１の接着剤６１と第２の接着剤６２による２層接着構造として、ハードエポキシ系樹脂からなる第１の接着剤が配置された第１の接着領域を凹部７１ａの底部側に形成して接着強度を確保し、フッ素系ゴムからなる第２の接着剤が配置された第２の接着領域を凹部７１ａの開口部側に形成して気密性と耐汚れ性を確保する例を示したが、例えば、フッ素系ゴムからなる第２の接着剤が配置された第２の接着領域を凹部７１ａの底部側に形成して気密性を確保し、ハードエポキシ系樹脂からなる第１の接着剤が配置された第１の接着領域を凹部７１ａの開口部側に形成して接着強度と耐汚れ性を確保するようにしてもよい。
【００８１】
また、上記実施形態では、第１のケース部材２０の凹部７１ａと第２のケース部材３０の凸部７１ｂとの間の第１の接着剤６１を硬化させた後、第２の接着剤６２を第１のケース部材２０の外側から凹部７１ａと凸部７１ｂとの隙間に垂らし、第２の接着剤６２を硬化させる例を示したが、例えば、第１の接着剤６１と第２の接着剤６２を積層させた後、第１のケース部材２０の凹部７１ａに第２のケース部材３０の凸部７１ｂを挿入して、第１の接着剤６１と第２の接着剤６２を同時に硬化させるようにしてもよい。
【００８２】
また、上記実施形態では、第１のケース部材２０に凹部７１ａが形成され、第２のケース部材３０に凸部７１ｂが形成された例を示したが、例えば、第１のケース部材２０に凸部が形成され、第２のケース部材３０に凹部７１ａが形成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を示す図である。
【図２】図１中の第１のケース部材における接着面を示す概略平面図である。
【図３】図１中の丸で囲まれたＡ部分の拡大図である。
【図４】凹部の側面および凸部の内周側および外周側の各側面に形成された凹凸形状を示す図である。
【図５】接着剤の材質と性能の比較について説明するための図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る圧力センサの全体概略断面構成を示す図である。
【図７】図６中の丸で囲まれたＡ部分の拡大図である。
【符号の説明】
【００８４】
１０…ケース、２０…第１のケース部材、２２…ターミナル、
２４…ボンディングワイヤ、２６…圧力検出室、３０…第２のケース部材、
４０…圧力検出素子、６１…第１の接着剤、６２…第２の接着剤、
７１…第１の接着領域、７２…第２の接着領域、凹部…７１ａ、凸部…７１ｂ、
１００…圧力センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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