(57)【要約】【課題】容易な方法で、ファンフィルターユニットから発生し、機器の性能に影響を与える周波数帯の振動を低減し又は無くすクリーンルームを提供する。【解決手段】ファンフィルターユニット２８が躯体２２から懸架されたフレーム２６に取り付けられている。そして、フレーム２６上に配置したファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数を２種類以上に異ならせている。よって、加振力が最大となる振動数が同じになるファンフィルターユニット２８の数が減るので、同じ振動数で加振力が最大となるファンフィルターユニット２８の数を減らすことができる。これにより、配置された全てのファンフィルターユニット２８から発生する振動数毎の加振力を合計した値も小さくなるので、ファンフィルターユニット２８から発生し、クリーンルーム１０に設置された機器の性能に影響を与える周波数帯の振動を低減することができる。【選択図】図１
2008121993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
躯体から懸架されたフレームに取り付けられ、
ファンから浄化した空気を吹き出すファンフィルターユニットを備え、
前記ファンの運転によって生じる加振力が、異なる振動数で最大となる前記ファンフィルターユニットを前記フレーム上に２種類以上配置したことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
躯体から懸架されたフレームに取り付けられ、
ファンから浄化した空気を吹き出すファンフィルターユニットを備え、
前記ファンの運転によって生じる加振力が、所定値よりも大きい振動数で最大となる前記ファンフィルターユニットを前記フレーム上に配置したことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項３】
前記所定値は、１００Ｈｚであることを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記ファンの羽根を回転させるモータの回転数を異ならせることによって、前記ファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を異ならせることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のクリーンルーム。
【請求項５】
前記ファンの羽根の枚数を異ならせることによって、前記ファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を異ならせることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のファンフィルターユニットが配置されたクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場等のクリーンルームの天井には、通常、複数のファンフィルターユニットが配置されている。
【０００３】
ファンフィルターユニットのファンの羽根を回転させるモータの回転数は、クリーンルームが必要とする換気量から設定されている。また、一般に、ファンフィルターユニットから発生する加振力は、ファンの羽根を回転させるモータの回転数が基準となり、その整数倍の振動数に加振力をもつ。その際、加振力が最大となる振動数は、ファンの羽根枚数とファンの羽根を回転させるモータの回転数を乗じた振動数である場合が多い。
【０００４】
ファンの羽根が回転すると、この加振力による振動が天井、壁、柱を伝わって、床を振動させるので、床上に設置された機器の性能に影響を及ぼしてしまう。特に、クリーンルームには微振動を嫌う半導体製造装置や検査装置等が置かれることが多いので、床に発生する振動が問題となる。その際、前述の加振力が最大となる振動数で問題が発生する場合が多い。また、ファンフィルターユニットが大型化すると加振力も大きくなるので、床上に設置された機器に与える影響も大きくなってしまう。
【０００５】
一般に、天井に配置された複数のファンフィルターユニットは、同一の構成になっている。すなわち、ファンの羽根枚数とファンの羽根を回転させるモータの回転数が同じである。よって、当然に加振力が最大となる振動数も同じなので、ファンフィルターユニットが多くなればなるほど、所定の振動数において増幅された振動が床に伝えられてしまう。
【０００６】
図８に示すように、特許文献１のクリーンルーム２００の天井２０２には、複数のファンフィルターユニット２０４が配置されている。この複数のファンフィルターユニット２０４のいくつかはファンが正回転し、これらのファンフィルターユニット２０４に隣接する他のファンフィルターユニット２０４は逆回転する。そして、正回転のファンと逆回転のファンの振動を相互に打ち消し合わせて、ファンフィルターユニット２０４の振動増幅を低減させようとするものである。
【０００７】
しかし、ファンを逆回転させても回転数が同じであれば、正回転のファンと同じ振動数帯域に同じ大きさの加振力を持つので、所定の振動数において増幅された振動が床に伝えられてしまう。また、通常、ファンの回転位相を制御する装置などはなく、相互のファンの回転位相はランダムであるので、正回転のファンと逆回転のファンの振動を相互に打ち消し合わせるためには、相互のファンの回転の位相をちょうど１８０度ずれるように制御しなければならず、位相制御装置を新たに導入する必要があるためにコスト高となってしまう。
【特許文献１】特開平９−２４３１２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は係る事実を考慮し、容易な方法で、ファンフィルターユニットから発生し、機器の性能に影響を与える周波数帯の振動を低減し又は無くすクリーンルームを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、躯体から懸架されたフレームに取り付けられ、ファンから浄化した空気を吹き出すファンフィルターユニットを備え、前記ファンの運転によって生じる加振力が、異なる振動数で最大となる前記ファンフィルターユニットを前記フレーム上に２種類以上配置したことを特徴としている。
【００１０】
請求項１に記載の発明では、ファンから浄化した空気を吹き出すファンフィルターユニットが、躯体から懸架されたフレームに取り付けられている。
【００１１】
そして、フレーム上に配置したファンフィルターユニットのファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数を２種類以上に異ならせている。
【００１２】
よって、加振力が最大となる振動数が同じになるファンフィルターユニットの数が減るので、同じ振動数で加振力が最大となるファンフィルターユニットの数を減らすことができる。
【００１３】
これにより、配置された全てのファンフィルターユニットから発生する振動数毎の加振力を合計した値も小さくなるので、ファンフィルターユニットから発生し、クリーンルームに設置された機器の性能に影響を与える周波数帯（機器の防振スペックに規定された振動数帯）の振動を低減することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、躯体から懸架されたフレームに取り付けられ、ファンから浄化した空気を吹き出すファンフィルターユニットを備え、前記ファンの運転によって生じる加振力が、所定値よりも大きい振動数で最大となる前記ファンフィルターユニットを前記フレーム上に配置したことを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の発明では、ファンから浄化した空気を吹き出すファンフィルターユニットが、躯体から懸架されたフレームに取り付けられている。
【００１６】
そして、フレーム上に配置したファンフィルターユニットのファンの運転によって生じる加振力は、所定値よりも大きい振動数で最大となる。
【００１７】
よって、クリーンルームに設置された機器に影響のない所定値よりも大きい（機器の防振スペックから外れた）振動数の領域にファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を設定することにより、ファンフィルターユニットから発生し、機器の性能に影響を与える周波数帯（機器の防振スペックに規定された振動数帯）の振動を無くすことができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、前記所定値は、１００Ｈｚであることを特徴としている。
【００１９】
請求項３に記載の発明では、所定値を１００Ｈｚとすることにより、１００Ｈｚ以下の防振スペックを有する機器をクリーンルームに設置したときに、この機器に影響を与える振動を無くすことができる。
【００２０】
クリーンルームに設置される機器には、機器固有の防振スペックが規定されているものがあるが、防振スペックは概ね１００Ｈｚ以下の振動数領域に設定される場合が多い。
【００２１】
請求項４に記載の発明は、前記ファンの羽根を回転させるモータの回転数を異ならせることによって、前記ファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を異ならせることを特徴としている。
【００２２】
請求項４に記載の発明では、ファンの羽根を回転させるモータの回転数を異ならせることによって、容易にファンフィルターユニットの振動数を異ならせることができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、前記ファンの羽根の枚数を異ならせることによって、前記ファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を異ならせることを特徴としている。
【００２４】
請求項５に記載の発明では、ファンの羽根の枚数を異ならせることによって、効果的にファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を異ならせることができる。実際のファンの性能上、ファンの羽根を回転させるモータの回転数の変更範囲はある程度限られてしまう。よって、ファンの羽根の枚数を異ならせる方法は、ファンの羽根を回転させるモータの回転数を異ならせる方法よりもファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を大きく変え易い。
【発明の効果】
【００２５】
本発明は上記構成としたので、容易な方法で、ファンフィルターユニットから発生し、機器の性能に影響を与える周波数帯の振動を低減し又は無くすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図面を参照しながら、本発明の実施形態に係るクリーンルームを説明する。
【００２７】
まず、本発明の第１の実施形態に係るクリーンルーム１０について説明する。
【００２８】
図１に示すように、クリーンゾーン１２の床部に通気可能なグレーチング１４が敷設され、グレーチング１４の下方にリターンチャンバー１６が構築されている。また、リターンチャンバー１６は、壁部に形成されたリターンスペース１８を通じてクリーンゾーン１２の天井部に構築されたサプライチャンバー２０と連通している。
【００２９】
サプライチャンバー２０の上方に位置する躯体２２にはロッド２４の上端部が固定され、ロッド２４によってフレームとしての天井フレーム２６が躯体２２から懸架されている。そして、この天井フレーム２６の上にファンフィルターユニット２８が取り付けられ、天井部に複数並べて配置されて天井面Ｓを形成している。
【００３０】
図２の正面図に示すように、ファンフィルターユニット２８のハウジング３０は、箱状の上部ハウジング３２と枠状の下部ハウジング３４から構成されている。
【００３１】
上部ハウジング３２には羽根３６を有するファンが収納されている。上部ハウジング３２の上面には突出部３８が形成されており、この突出部３８の略中央にファンの吸気口（不図示）が設けられている。
【００３２】
上部ハウジング３２の下面は開口しており、この開口を覆うように上部ハウジング３２の下面には、図２の天井フレーム２６付近の拡大断面図である図３に示すように、フィルターとなるＵＬＰＡフィルター（Ultra Low Penetration Air Filter「定格風量で粒径が０．１５μｍの粒子に対して９９．９９９５％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が２４５Ｐａ以下の性能を持つエアフィルター」）４２が設けられている。下部ハウジング３４はＵＬＰＡフィルター４２の側面を囲むフレーム材となっている。
【００３３】
上部ハウジング３２の縁部下面と下部ハウジング３４上面の間には気密パッキン４４が設けられている。気密パッキン４４は連続した枠状のゴム材であり、下部ハウジング３４上面の全周に沿って設けられているので、下部ハウジング３４上面と上部ハウジング３２の間の気密性を確保することができる。気密パッキン４４の断面は、上面に円弧を有する半円形状をしており、上部ハウジング３２によって押し潰されて密着し、気密性が上がる。
【００３４】
これらの構成により、ファンの羽根３６を回転させることにより吸気口から吸い込んでファンから吹き出させる空気Ｑは、ハウジング３０の開口を覆うＵＬＰＡフィルター４２によって浄化される。
【００３５】
また、天井フレーム２６下部の鍔部４８の上面と下部ハウジング３４の下面の間には、気密パッキン４４の断面形状を上下逆にした気密パッキン４６が設けられている。気密パッキン４６にも気密パッキン４４と同じゴム材が用いられている。
【００３６】
よって、ファンフィルターユニット２８は、気密パッキン４６を介して天井フレーム２６に支持されている。
【００３７】
図１の天井面Ｓを下方から見た平面図である図４に示すように、天井フレーム２６上には、ファンの羽根３６を回転させるモータの回転数の異なる３種類のファンフィルターユニット２８が配置されている。図４に示された符号Ａ〜Ｃは、ファンフィルターユニット２８の種類を示している。
【００３８】
符号Ａの位置に配置されたファンフィルターユニット２８（以降、Ａのファンフィルターユニット２８と記載する）のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数は９５３ｒｐｍ、符号Ｂの位置に配置されたファンフィルターユニット２８（以降、Ｂのファンフィルターユニット２８と記載する）のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数は１２００ｒｐｍ、符号Ｃの位置に配置されたファンフィルターユニット２８（以降、Ｃのファンフィルターユニット２８と記載する）のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数は１５１１ｒｐｍに設定されている。また、Ａ〜Ｃのファンフィルターユニット２８は、それぞれ１００台配置されており、ファンの羽根３６の枚数は全て５枚となっている。
【００３９】
よって、ファンフィルターユニットのファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数は、モータの回転数×羽根枚数によって求まるので、Ａのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数は７９．４Ｈｚ（＝９５３ｒｐｍ×５枚／６０秒）、Ｂのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数は１００Ｈｚ（＝１２００ｒｐｍ×５枚／６０秒）、Ｃのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数は１２５．９Ｈｚ（＝１５１１ｒｐｍ×５枚／６０秒）となり、ファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数も３種類に分散されている。すなわち、ファンの羽根を回転させるモータの回転数を異ならせることによって、天井フレーム２６上に配置されたファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数を２種類以上に異ならせている。
【００４０】
次に、本発明の第１の実施形態に係るクリーンルーム１０の作用及び効果について説明する。
【００４１】
まず、図５に示すように、ファンの羽根３６の枚数が５枚で、ファンの羽根３６を回転させるモータの回転数が１２００ｒｐｍに設定されたＢのファンフィルターユニット２８が３００台配置された場合を考える。
【００４２】
ファンフィルターユニット２８の１台当たりの加振力をａ（Ｎ）とし、各ファンフィルターユニット２８の位相がランダムだと仮定すると、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数は全てのファンフィルターユニット２８において１２００ｒｐｍの同一回転数なので、３００台当たりの加振力は、エネルギー平均の式より１０×ｌｏｇ１０（３００）＝２４．７ｄＢ＝１７．３倍となり、１７．３ａ（Ｎ）の加振力が発生する。
【００４３】
これに対して、第１の実施形態である図４に示すファンフィルターユニット２８の配置では、先に述べたように、加振力が最大となる振動数が３つ（７９．４Ｈｚ、１００Ｈｚ、１２５．９Ｈｚ）に分散される。各１００台のファンフィルターユニット２８がこれら３つの振動数のうちの１つの値を有するので、ファンフィルターユニット２８の１台当たりの加振力がファンの羽根３６を回転させるモータの回転数によらずに一定のａ（Ｎ）だとすると、１００台当たりの加振力は、エネルギー平均の式より１０×ｌｏｇ１０（１００）＝２０ｄＢ＝１０倍となり、１０ａ（Ｎ）の加振力が発生する。
【００４４】
図６は、図４及び図５のファンフィルターユニット２８の配置における、振動数に対する加速度応答を示したグラフである。横軸は振動数であり、縦軸は加速度応答である。
【００４５】
符号５０の三角の記号は、図５の従来のファンフィルターユニット２８の配置における値を示している。すなわち、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数が全てのファンフィルターユニット２８において一定（１２００ｒｐｍ）の場合である。
【００４６】
符号５２の丸の記号は、図４の第１の実施形態のファンフィルターユニット２８の配置における値を示している。すなわち、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数が３種類（９５３ｒｐｍ、１２００ｒｐｍ、１５１１ｒｐｍ）に分散している場合である。
【００４７】
加振力から応答評価位置への伝達関数ｂ（ｍ／ｓ２／Ｎ）が一定（固有振動モードが存在しない）であるとし、先に求めたファンフィルターユニット２８の加振力にこの伝達関数ｂを掛けたものを加速度応答の値とした。なお、この評価方法は、クリーンルーム等における一般的な評価方法である。
【００４８】
図６より、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数が分散するようにファンフィルターユニット２８を配置させた場合（符号５２）の加速度応答の最大値１０ａ×ｂ（ｍ／ｓ２）は、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数が一定の場合（符号５０）の加速度応答の最大値１７．３ａ×ｂ（ｍ／ｓ２）の５８％程度にまで低減されていることがわかる。
【００４９】
よって、第１の実施形態は、加振力が最大となる振動数が同じになるファンフィルターユニット２８の数が減るので、同じ振動数で加振力が最大となるファンフィルターユニット２８の数を減らすことができる。
【００５０】
これにより、配置された全てのファンフィルターユニット２８から発生する振動数毎の加振力を合計した値も小さくなるので、ファンフィルターユニット２８から発生し、クリーンルーム１０に設置された機器の性能に影響を与える周波数帯（機器の防振スペックに規定された振動数帯）の振動を低減することができる。
【００５１】
また、ファンの羽根３６を回転させるモータの回転数を異ならせることによって、容易にファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数を異ならせることができる。
【００５２】
なお、第１の実施形態では、気密パッキン４４、４６の材料をゴム材としたが、密着性及び気密性を確保できる弾性体であればよく、ポリウレタン等を用いてもよい。気密パッキン４４、４６の断面は気密性を確保できれば半円形状でなくてもよく、また、ファンフィルターユニット２８と天井フレーム２６の間に気密性を必要としない場合には気密パッキンはなくてもよい。気密パッキン４４、４６は、ファンフィルターユニット２８のガタツキを防ぎ、振動低減効果も期待できるので、気密パッキン４４、４６を設けた方が好ましい。
【００５３】
また、フィルターとしてＵＬＰＡフィルター４２を用いた例を示したが、空気を浄化するエアフィルターであればよく、ＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air Filter「０．１ｍレベルの粒子を除去できるフィルター」）等を用いてもよい。
【００５４】
また、第１の実施形態の図４では、Ａ〜Ｃのファンフィルターユニット２８を各１００台ずつ配置した例を示したが、加振力が最大となる振動数の異なるファンフィルターユニットを２種類以上配置すればよく、加振力が最大となる振動数の分散させる種類の数、ファンの羽根を回転させるモータの回転数、及びファンフィルターユニットの台数や配置は、クリーンルームの仕様、ファンフィルターユニットの性能、及びクリーンルームに設置される機器の防振スペック等に応じて適宜決めればよい。
【００５５】
次に、本発明の第２の実施形態に係るクリーンルーム５４について説明する。
【００５６】
第２の実施形態は、ファンの羽根３６の枚数を異ならせることによって、第１の実施形態のファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数を異ならせたものである。したがって、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。
【００５７】
図１の天井面Ｓを下方から見た平面図である図７に示すように、天井フレーム２６上には、ファンの羽根３６の枚数の異なる３種類のファンフィルターユニット２８が配置されている。図７に示された符号Ｂ、Ｅ、Ｄは、ファンフィルターユニット２８の種類を示している。
【００５８】
Ｂのファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６の枚数は５枚、符号Ｅの位置に配置されたファンフィルターユニット２８（以降、Ｅのファンフィルターユニット２８と記載する）のファンの羽根３６の枚数は４枚、符号Ｄの位置に配置されたファンフィルターユニット２８（以降、Ｄのファンフィルターユニット２８と記載する）のファンの羽根３６の枚数は６枚である。また、Ｂ、Ｅ、Ｄのファンフィルターユニット２８は、それぞれ１００台配置されており、ファンの羽根３６を回転させるモータの回転数は全て１２００ｒｐｍとなっている。
【００５９】
よって、第１の実施形態と同様に、ファンフィルターユニットのファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数は、モータの回転数×羽根枚数によって求まるので、Ｂのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数は１００Ｈｚ（＝１２００ｒｐｍ×５枚／６０秒）、Ｅのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数は８０Ｈｚ（＝１２００ｒｐｍ×４枚／６０秒）、Ｄのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数は１２０Ｈｚ（＝１２００ｒｐｍ×６枚／６０秒）となり、ファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数も３種類に分散されている。すなわち、ファンの羽根枚数を異ならせることによって、天井フレーム２６上に配置したファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数を２種類以上に異ならせている。
【００６０】
次に、本発明の第２の実施形態に係るクリーンルーム５４の作用及び効果について説明する。
【００６１】
図７に示すファンフィルターユニット２８の配置においては、先に述べたように、加振力が最大となる振動数が３つ（８０Ｈｚ、１００Ｈｚ、１２０Ｈｚ）に分散される。各１００台のファンフィルターユニット２８がこれら３つの振動数のうちの１つの値を有するので、ファンフィルターユニット２８の１台当たりの加振力がファンの羽根３６を回転させるモータの回転数によらずに一定のａ（Ｎ）だとすると、１００台当たりの加振力は、エネルギー平均の式より１０×ｌｏｇ１０（１００）＝２０ｄＢ＝１０倍となり、１０ａ（Ｎ）の加振力が発生する。
【００６２】
図６の符号５６の四角の記号は、図７の第２の実施形態のファンフィルターユニット２８の配置における値を示している。すなわち、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６の枚数が３種類（４枚、５枚、６枚）に分散している場合である。
【００６３】
図６より、各ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６の枚数が分散するようにファンフィルターユニット２８を配置させた場合（符号５６）の加速度応答の最大値１０ａ×ｂ（ｍ／ｓ２）は、第１の実施形態と同様に、全てのファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数が一定の場合（符号５０）の加速度応答の最大値１７．３ａ×ｂ（ｍ／ｓ２）の５８％程度にまで低減されていることがわかる。
【００６４】
よって、第２の実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、ファンフィルターユニット２８から発生し、クリーンルーム５４に設置された機器の性能に影響を与える周波数帯（機器の防振スペックに規定された振動数帯）の振動を低減することができる。
【００６５】
また、ファンの羽根３６の枚数を異ならせることによって、効果的にファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数を異ならせることができる。実際のファンの性能上、ファンの羽根を回転させるモータの回転数の変更範囲はある程度限られてしまう。よって、ファンの羽根の枚数を異ならせる方法は、ファンの羽根を回転させるモータの回転数を異ならせる方法よりもファンフィルターユニットの加振力が最大となる振動数を大きく変え易い。
【００６６】
なお、第２の実施形態の図７では、Ｂ、Ｅ、Ｄのファンフィルターユニット２８を各１００台ずつ配置した例を示したが、加振力が最大となる振動数の異なるファンフィルターユニットを２種類以上配置すればよく、加振力が最大となる振動数の分散させる種類の数、ファンの羽根枚数、及びファンフィルターユニットの台数や配置は、クリーンルームの仕様、ファンフィルターユニットの性能、及びクリーンルームに設置される機器の防振スペック等に応じて適宜決めればよい。
【００６７】
次に、本発明の第３の実施形態に係るクリーンルーム５８について説明する。
【００６８】
第３の実施形態は、第１の実施形態のファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が、所定値よりも大きい振動数で最大となるようにしたものである。したがって、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。
【００６９】
第３の実施形態では、第１の実施形態で示したようにファンの羽根３６を回転させるモータの回転数を異ならせたり、第２の実施形態で示したようにファンの羽根３６の枚数を異ならせたり、又はこの両方の方法（回転数を異ならせる方法と羽根枚数を異ならせる方法）を組み合わせて、図１の天井面Ｓに配置したファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数が所定値よりも大きくなるように調整されている。
【００７０】
ここで、所定値とは、クリーンルーム５８の床上に設置された機器の防振スペックに規定された振動数帯の値である。すなわち、クリーンルーム５８の床上に設置された機器の性能に影響を与える振動数帯の値である。例えば、所定値を１００Ｈｚとしてもよい。
【００７１】
次に、本発明の第３の実施形態に係るクリーンルーム５８の作用及び効果について説明する。
【００７２】
第３の実施形態では、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数を異ならせたり、ファンの羽根３６の枚数を異ならせたり、又はこれらの方法（回転数を異ならせる方法と羽根枚数を異ならせる方法）を組み合わせることによって、クリーンルーム５８に設置された機器に影響のない所定値よりも大きい（機器の防振スペックから外れた）振動数の領域にファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数を設定することにより、ファンフィルターユニット２８から発生し、機器の性能に影響を与える周波数帯（機器の防振スペックに規定された振動数帯）の振動を無くすことができる。
【００７３】
例えば、機器の防振スペックが「１００Ｈｚ以下」のときには、羽根枚数が１２枚のファンを有するファンフィルターユニットをクリーンルームに複数配置し、ファンの羽根を回転させるモータの回転数を１２００ｒｐｍにすれば、ファンフィルターユニットの加振振動数は２４０Ｈｚ（＝１２００×１２／６０）となり、機器の性能に影響を与える周波数帯の振動を無くすことができる。
【００７４】
クリーンルームに設置される機器には、機器固有の防振スペックが規定されているものがあるが、防振スペックは概ね１００Ｈｚ以下の振動数領域に設定される場合が多い。
【００７５】
なお、第１の実施形態では、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６を回転させるモータの回転数を異ならせることによって、クリーンルーム１０に配置されたファンフィルターユニット２８の加振力が最大となる振動数を３種類に分散し、第２の実施形態では、ファンフィルターユニット２８のファンの羽根３６の枚数を異ならせることにより、クリーンルーム５４に配置されたファンフィルターユニット２８のファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数を３種類に分散した例を示したが、これらの方法（回転数を異ならせる方法と羽根枚数を異ならせる方法）を組み合わせて、ファンフィルターユニットのファンの運転によって生じる加振力が最大となる振動数が数種類に分散するようにファンフィルターユニットをクリーンルームに配置してもよい。
【００７６】
このように第１〜第３の実施形態により、容易な方法で、ファンフィルターユニットから発生し、機器の性能に影響を与える周波数帯の振動を低減し又は無くすことができる。また、クリーンルームで問題となる床に発生する微振動についても低減又は無くすことができる。
【００７７】
なお、ファンフィルターユニットから発生する振動は主に鉛直振動であるが、第１〜第３の実施形態は、鉛直振動はもちろんのこと、水平振動に対しても十分な振動低減効果を発揮することができるものである。
【００７８】
また、天井フレーム２６が躯体２２から懸架された例を示したが、躯体に支持された天井下地部材から天井フレーム２６が懸架されていてもよく、その場合においても、第１〜３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００７９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の第１〜３の実施形態に係るクリーンルームを示す説明図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットを示す正面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットの取り付け構造を示す拡大図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットの配置を示す平面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットの比較例の配置を示す平面図である。
【図６】本発明の第１及び第２の実施形態に係る振動数に対する加速度応答を示す線図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るファンフィルターユニットの配置を示す平面図である。
【図８】従来のクリーンルームを示す説明図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  クリーンルーム
２２  躯体
２６  天井フレーム（フレーム）
２８  ファンフィルターユニット
３６  羽根
５４  クリーンルーム
５８  クリーンルーム
Ｑ  空気
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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