(57)【要約】【課題】真空層を有し断熱特性が優れる複層ガラスの製造方法を提供する。【解決手段】（１）ガラス板の周辺端部に沿って低融点のガラスバルクを配置し、該ガラスバルクで囲まれた領域の内外を連通する排気用開口部を設けるとともに、ガラスバルクで囲まれた領域内にスペーサを配置する工程と、（２）ガラスバルクとスペーサが配置されたガラス板の上にガラス板を重ねて積層体を形成する工程と、（３）積層体を減圧室内で減圧するとともに加熱し、積層体内部が排気用開口部を通して排気された状態で、溶融されたガラスバルクで排気用開口部を閉塞し積層体の周辺端部を封着する工程と、を有する複層ガラスの製造方法。【選択図】図７
2008201662.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空層によって隔置されたガラス板の周辺端部が封着用ガラスバルクによって封着され、前記真空層内に複数個のスペーサが配置されている複層ガラスの製造方法であって、
（１）一つのガラス板の周辺端部に沿って低融点の封着用ガラスバルクを配置し、該封着用ガラスバルクで囲まれた領域の内外を連通する排気用開口部を設けるとともに、封着用ガラスバルクで囲まれた領域内に前記スペーサを配置する工程と、
（２）前記封着用ガラスバルクとスペーサが配置されたガラス板の上に他のガラス板を重ねて積層体を形成する工程と、
（３）前記積層体を減圧室内に入れて減圧室を減圧するとともに加熱し、積層体の内部が排気用開口部を通して排気された状態で、溶融された封着用ガラスバルクで前記排気用開口部を閉塞して積層体の周辺端部を封着する工程と、
を有することを特徴とする排気複層ガラスの製造方法。
【請求項２】
前記排気用開口部を積層体の周辺端部に沿って複数設ける請求項１に記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項３】
前記封着用ガラスバルクの高さがスペーサの高さより大である請求項１または２に記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項４】
上記（３）工程において、前記積層体の周辺端部を封着用ガラスバルクで封着する際に積層体を上方および／または下方から押圧する請求項１〜３のいずれかに記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項５】
上記（２）工程で得られた積層体の上に更に積層体を形成して多層構造の積層体とする請求項１〜４のいずれかに記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項６】
前記封着用ガラスバルクの５０℃〜３００℃における平均熱膨張係数が７０×１０−７／℃〜１００×１０−７／℃である請求項１〜５のいずれかに記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項７】
前記封着用ガラスバルクのガラス転移温度が５００℃以下である請求項１〜６のいずれかに記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項８】
前記封着用ガラスバルクが、モル％表示で次の組成のガラスから形成されている請求項１〜７のいずれかに記載の排気複層ガラスの製造方法。
Ｐ２Ｏ５：    ２０〜４５％
ＳｎＯ：    ２０〜４０％
ＺｎＯ：    ２５〜５０％
Ｂ２Ｏ３：      ０〜１０％
ＣａＯ：      ０〜１５％
Ａｌ２Ｏ３：    ０〜  ６％
Ｉｎ２Ｏ３：    ０〜  ６％
Ｌａ２Ｏ３：    ０〜  ６％
Ａｌ２Ｏ３＋Ｉｎ２Ｏ３＋Ｌａ２Ｏ３：  ０〜１０％
【請求項９】
前記封着用ガラスバルクが、（結晶化温度−ガラス転移温度）≧１８５℃のガラスからなる請求項８に記載の排気複層ガラスの製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の排気複層ガラスの製造方法によって製造されたことを特徴する排気複層ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空層によって隔置されたガラス板の周辺端部が封着用ガラスバルクによって封着され、前記真空層内に複数個のスペーサが配置されている排気複層ガラスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複層ガラスの一つとして、ガラス板間に真空層（減圧層）を保ったまま、その周辺端部を前記真空層内に複数個のスペーサを配置した状態で封着してなる複層ガラス（以下、排気複層ガラスという）が知られている。この排気複層ガラスは、ガラス板が真空層によって隔置されているため、周縁が密封された２枚のガラス板の気密層に乾燥空気または不活性ガスを封入して得られる通常の複層ガラスに比べると、前記真空層の厚さが例えば１ｍｍ程度であっても高い断熱性能が得られる特徴を有している。
【０００３】
このような排気複層ガラスにおいて周辺端部は、従来、樹脂またはフリットガラス等で封着されているが、樹脂で封着した場合には、長時間の気密維持が難しいため、フリットガラスで封着する方法が提案されている。例えば特許文献１に記載されている方法によれば、排気複層ガラスを構成する２枚のガラス板の間に複数の支柱（スペーサ）を配置し、この状態でこれらガラス板の周辺端部を結合用ガラスで封着する工程と、周辺端部が封着された２枚のガラス板の気密層を排気する工程とを経て製造される。
【０００４】
すなわち、この製造方法を特許文献１に従って更に詳述すると、排気複層ガラスは次の（ａ）〜（ｅ）工程によって製造される。
（ａ）２枚のガラス板の間に複数の支柱を配置して所定の間隔をおいて保持する工程
（ｂ）保持されたガラス板の周辺端部に結合用ガラス（液体スラリ）を配置する工程
（ｃ）ガラス板を加熱して結合用ガラスを溶解させ、２枚のガラス板の周辺端部を結合用ガラスで封着する工程
（ｄ）封着されたガラス板の、一方のガラス板の一辺に沿った中点または中点付近に排気チューブを配置する工程
（ｅ）２枚のガラス板の気密層を、上記排気チューブを介してポンプ出しすることにより排気する工程
【特許文献１】特表平９−５００４３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載されている排気複層ガラスの製造方法では、次のような問題がある。
【０００６】
すなわち、結合用ガラス（フリットガラス）をスラリーとして配置しているために、このフリットガラスが溶解するとき粉体界面のガスが膨張して泡が発生し、泡同士が接合して封着部に気密層と外部とを貫通させる孔が生成することがあり、排気複層ガラスとしての性能が得られなくなるおそれがある。
【０００７】
また、２枚のガラス板の周辺端部を封着した後にガラス板間に形成された気密層を排気し、周辺端部の封着と気密層の排気とをまったく独立した二段工程で行うため、製造装置が複雑になるとともに作業時間も長くなり、コストの高騰を招いている。特に気密層の排気には排気チューブを個別に後加工で設けなければならないため（特許文献１の図４ｂ参照）、排気チューブの取り付けに高度な技術が必要であるばかりでなく、取り付けに手間がかかる。
【０００８】
また、排気チューブをガラス板のできるだけ端部に近い位置に設けて排気部が目立たないようにしても、この排気部は排気複層ガラスのガラス面に残るため、製品の外観を損ねている。
【０００９】
本発明の目的は、ガラス板の周辺端部を減圧室内において封着することにより、排気チューブを設けて気密層の排気を行わなくても、周辺端部の封着と同時に真空層を形成でき、外観および品質が優れる排気複層ガラスを効率よく低コストで製造できる排気複層ガラスの製造方法、および封着部の気密性と強度に優れ、かつ排気部が製品に残らない外観が優れた排気複層ガラスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は、真空層によって隔置されたガラス板の周辺端部が封着用ガラスバルクによって封着され、前記真空層内に複数個のスペーサが配置されている複層ガラスの製造方法であって、
（１）一つのガラス板の周辺端部に沿って低融点の封着用ガラスバルクを配置し、該封着用ガラスバルクで囲まれた領域の内外を連通する排気用開口部を設けるとともに、封着用ガラスバルクで囲まれた領域内に前記スペーサを配置する工程と、
（２）前記封着用ガラスバルクとスペーサが配置されたガラス板の上に他のガラス板を重ねて積層体を形成する工程と、
（３）前記積層体を減圧室内に入れて減圧室を減圧するとともに加熱し、積層体の内部が排気用開口部を通して排気された状態で、溶融された封着用ガラスバルクで前記排気用開口部を閉塞して積層体の周辺端部を封着する工程と、を有することを特徴とする排気複層ガラスの製造方法（以下、本発明の製造方法とする）を提供する。
【００１１】
本発明の製造方法において、前記排気用開口部は積層体の周辺端部に沿って複数設けることが好ましい。また、前記封着用ガラスバルクの高さがスペーサの高さより大であることが好ましい。
【００１２】
本発明の製造方法は、上記（３）工程において、積層体の周辺端部を封着用ガラスバルクで封着する際に積層体を上方および／または下方から押圧することが好ましい。
【００１３】
また、本発明の製造方法は、上記（２）工程で得られた積層体の上に、更に積層体を形成して多層構造の積層体とすることで断熱性が改善できる。
【００１４】
本発明の製造方法において、前記封着用ガラスバルクの５０℃〜３００℃における平均熱膨張係数は７０×１０−７／℃〜１００×１０−７／℃であることが好ましく、またそのガラス転移温度は５００℃以下であることが好ましい。
【００１５】
本発明の製造方法は、前記封着用ガラスバルクが、モル％表示で次の組成のガラスで形成されることが好ましい。
Ｐ２Ｏ５：    ２０〜４５％
ＳｎＯ：    ２０〜４０％
ＺｎＯ：    ２５〜５０％
Ｂ２Ｏ３：      ０〜１０％
ＣａＯ：      ０〜１５％
Ａｌ２Ｏ３：    ０〜  ６％
Ｉｎ２Ｏ３：    ０〜  ６％
Ｌａ２Ｏ３：    ０〜  ６％
Ａｌ２Ｏ３＋Ｉｎ２Ｏ３＋Ｌａ２Ｏ３：  ０〜１０％
本発明の製造方法において、前記封着用ガラスバルクは、（結晶化温度−ガラス転移温度）≧１８５℃のガラスからなることが好ましい。
また、本発明は本発明の製造方法によって製造される排気複層ガラスを提供する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、排気複層ガラスを構成するガラス板をスペーサで隔置してなる積層体の周辺端部を、減圧室内において封着用ガラスバルクで封着することで、周辺端部の封着と同時に真空層を形成して排気複層ガラスを得ることができる。これにより、従来のように排気チューブを設けて気密層の排気を行う必要がなくなるので、製造工程が簡略化され、排気複層ガラスを効率よく低コストで製造できる。
【００１７】
また、排気複層ガラスを構成するガラス板の周辺端部を封着用ガラスバルクで封着することにより封着時の泡発生が防止されるため、封着部の気密性と強度が優れる排気複層ガラスを得ることができる。さらに製品に排気部が残らないため、排気複層ガラスの外観も優れている。
【００１８】
また、本発明は、封着時における封着用ガラスバルクの結晶化を抑制することにより、封着時の作業性を向上させ、かつ封着部の接着強度が大きい排気複層ガラスを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明は、真空層に複数個のスペーサを配置して隔置されたガラス板の周辺端部を封着してなる排気複層ガラス（以下、複層ガラスということもある）に関する。この排気複層ガラスは、ガラス板間に前記真空層が設けられているので、優れた断熱防音性能を持っており、建築分野や産業分野等における断熱ガラスあるいは防音ガラスとして広く使用することができる。
【００２０】
本発明において、排気複層ガラスを構成する上記ガラス板には、通常の建築用板ガラスが一般的に使用できる。この建築用板ガラスには、例えば熱線反射被膜の表面処理したガラス板も含まれる。典型的な排気複層ガラスは、２枚の矩形状のガラス板を組み合わせて製造されるが、形状はこれに限定されない。また、組み合わせる２枚のガラス板の厚さは異なっていてもよい。ガラス板の組成としては、ソーダライムガラスが好ましく、５０℃〜３００℃における平均熱膨張係数は、７０×１０−７／℃〜１００×１０−７／℃であるのが好ましい（一般的なソーダライムガラスの５０℃〜３００℃における平均熱膨張係数は、８５×１０−７／℃〜９０×１０−７／℃である）。
【００２１】
本発明において、上記ガラス板の周辺端部の封着には、封着用ガラスバルク（以下、ガラスバルクとする）が使用される。ここで、ガラスバルクとは、予め所定形状に形成されたガラス材料からなる成形体を意味しており、粉末状や液状、ペースト状等のガラス材料のように、本発明における封着工程が完了するまでの形状が定まらない不定形のものは含まない。このガラスバルクは、ガラス板の周辺端部を封着するはんだガラスとして使用されるため、軟化点温度（軟化点ともいう）が約５８０℃以下、好ましくは約４４０℃以下の低融点ガラスが好ましく使用できる。本発明における低融点のガラスバルクは、このような軟化点温度が約５８０℃以下の低融点ガラスで形成されたガラスバルクを指す。一般に、ガラスの軟化点温度はガラス転移温度と相関しているので、本発明では便宜的にガラス転移温度によって特定する。
【００２２】
本発明において、上記ガラスバルクのガラス転移温度としては、５００℃以下が好ましい。ガラス転移温度が５００℃より高くなると、複層ガラスの周辺端部を高温で封着しなければならないため、封着時の加熱エネルギーが増大し好ましくない。このガラス転移温度はガラスバルクの組成によって変わり、ガラス転移温度が低いガラスバルクほど封着温度を下げることができる。したがって、低い温度で封着するためにはガラス転移温度が低いガラスバルクを使用してできるだけ低い封着温度を選定することが好ましい。
【００２３】
また、上記ガラスバルクは、５０℃〜３００℃における平均熱膨張係数が７０×１０−７／℃〜１００×１０−７／℃であることが好ましく、７５×１０−７／℃〜９５×１０−７／℃であることがより好ましく、８０×１０−７／℃〜９０×１０−７／℃であると更に好ましい。排気複層ガラスの製造工程において、ガラス板はガラスバルクのガラス転移温度以上に加熱される。また、製品としての排気複層ガラスもいろいろの温度条件下で使用されるため、ガラスバルクとガラス板の熱膨張係数差が大きいと、大きな温度変化を受けたときガラス板や封着部が熱応力で破損するおそれがある。ガラスバルクの熱膨張係数が上記範囲であれば、ガラス板の熱膨張係数との差を許容範囲にすることができるので、このような破損を防止できる。
【００２４】
本発明のガラスバルクとしては、モル％表示で以下の組成範囲のガラスが好ましく使用できる。このガラスの転移温度は約３００℃〜４２０℃であるので、封着温度を低く（約４００℃〜５２０℃）できる。また、５０℃〜３００℃における平均熱膨張係数は７０×１０−７／℃〜１００×１０−７／℃であるので、ガラス板の熱膨張係数との整合も得られる。このガラスのガラス転移温度は、４００℃以下であればより好ましく、３８０℃以下であれば更に好ましく、３６０℃以下であれば最も好ましい。
【００２５】
Ｐ２Ｏ５：２０〜４５％
ＳｎＯ：２０〜４０％
ＺｎＯ：２５〜５０％
Ｂ２Ｏ３：  ０〜１０％
ＣａＯ：  ０〜１５％
Ａｌ２Ｏ３：０〜  ６％
Ｉｎ２Ｏ３：０〜  ６％
Ｌａ２Ｏ３：０〜  ６％
Ａｌ２Ｏ３＋Ｉｎ２Ｏ３＋Ｌａ２Ｏ３：０〜１０％
【００２６】
以下、各成分について説明する。
Ｐ２Ｏ５は網目形成酸化物であって、ガラスの安定化に有効な成分であり、その含有量が２０モル％未満の場合には、ガラス化が困難になるおそれがある。一方、４５モル％超の場合には、封着部の耐水性が低下するおそれがある。好ましいＰ２Ｏ５の含有量は２７〜３５モル％であり、特に耐水性をよくするためには、３２モル％以下が好ましい。
【００２７】
ＳｎＯは、流動性を増す効果があり、含有量が２０モル％未満では軟化点が高くなりすぎ、流動性が悪くなるために、封着部の強度と気密性が低下するおそれがある。含有量が４０モル％超ではガラス化が困難になる。好ましくは２５〜３５モル％である。
【００２８】
ＺｎＯは耐水性を向上させ、熱膨張係数を低下させる作用があり、含有量が２５モル％未満では熱膨張係数が大きくなりすぎ、ガラス板の熱膨張係数との整合性が得られなくなるため割れを生じるおそれがある。含有量が５０モル％超では失透が析出しやすくなり、さらに軟化点が高くなりすぎる。好ましくは、３０〜４０モル％である。
【００２９】
Ｂ２Ｏ３は、ガラスを安定化させ封着時の結晶化を抑えるのに有効である。含有量が１０モル％超の場合は軟化点が高くなりすぎるおそれがある。好ましい含有量は５モル％以下である。
【００３０】
ＣａＯは、耐水性を向上させ、熱膨張係数を低下させるとともに封着時の結晶化を抑える有効成分として働く。１５モル％超の場合は軟化点が高くなりすぎるおそれがある。好ましい含有量は１０モル％以下、更に好ましくは５モル％以下である。
【００３１】
Ａｌ２Ｏ３は、耐水性を向上させ、ガラスを安定化させるために含んでもよい。６モル％超の場合は軟化点が高くなりすぎるおそれがある。好ましい含有量は３モル％以下である。
【００３２】
Ｉｎ２Ｏ３は、耐水性を向上させ、ガラスを安定化させるために含んでもよい。６モル％超の場合は軟化点が高くなりすぎるおそれがある。好ましい含有量は３モル％以下である。
【００３３】
Ｌａ２Ｏ３は、耐水性を向上させ、ガラスを安定化させるために含んでもよい。６モル％超の場合は軟化点が高くなりすぎるおそれがある。好ましい含有量は３モル％以下である。
【００３４】
Ａｌ２Ｏ３＋Ｉｎ２Ｏ３＋Ｌａ２Ｏ３は合計で１０モル％まで含有してもよい。１０モル％超の場合は軟化点が高くなりすぎるおそれがある。好ましい含有量は合計で７モル％以下である。
【００３５】
上記ガラスにおいて、封着時におけるガラスバルクの結晶化を抑えるためには、Ｂ２Ｏ３およびＣａＯを一定量含有するのが好ましく、その含有量としては（Ｂ２Ｏ３＋ＣａＯ）として０．５〜６モル％が好ましく、１〜４モル％がより好ましい。ガラス板の封着時において溶融したガラスバルクが結晶化すると、ガラス板との接着性が劣悪になり、結晶化の程度が大きいときには所望の接着強度が得られなくなるおそれがある。このように結晶化により接着強度が低下する理由は、ガラスバルクの熱膨張係数を結晶化しないガラスの状態でガラス板の熱膨張係数と整合させているため、封着時にガラスバルクが結晶化すると、その熱膨張係数が増大してガラス板の熱膨張係数と整合しなくなり、ガラスバルクとガラス板との接着面における接着強度が低下するためである。また、ガラスバルクの結晶化がガラス板との界面における接着層の形成に寄与しないことも接着強度低下の要因となる。
【００３６】
したがって、封着時に結晶化のおそれがあるガラスバルクの場合には、封着条件を結晶化が回避できるように設定する必要があるため、一般に作業性が悪くなり量産に適合しにくくなる。これに対し結晶化が生じにくいガラスの場合には、封着条件の自由度が増すので作業がしやすくなり量産に適合する。また、ガラスバルク用ガラスが失透しやすい場合には、ガラスバルクの製造過程でも結晶を生じるため、ガラスバルクの量産に不適となる。したがって、本発明においてガラスバルク用ガラスとしては、ガラスバルクの製造時と複層ガラスの封着時の何れにおいても結晶化しないことが好ましい。
【００３７】
本発明のガラスバルクとしては、上記ガラスに限定されない。例えば、他のガラスバルクとして、モル％表示で次の組成範囲のＢｉ系ガラスを挙げることができる。
Ｂｉ２Ｏ３：  ２０〜６０％
その他の酸化物（Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、Ｇａ２Ｏ３、Ｂ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、ＣｅＯ２など）：  ４０〜８０％
【００３８】
また、本発明のガラスバルク用ガラスは、複層ガラスの封着過程における結晶化を抑制もしくは防止するために、（結晶化温度−ガラス転移温度）≧１８５℃であることが好ましい。すなわち、ガラスバルク用ガラスは、ガラス転移温度に対し結晶化温度が１８５℃以上高いことが、封着条件の自由度を大きくさせ通常の封着条件において結晶化を抑制もしくは防止するのに有効となる。（結晶化温度−ガラス転移温度）が１８５℃より低いガラスバルク用ガラスでは、封着時に結晶化が生じるおそれがある。（結晶化温度−ガラス転移温度）≧１９０℃であるとより好ましく、（結晶化温度−ガラス転移温度）≧２００℃であれば更に好ましい。ここで、結晶化温度は、示差熱分析（ＤＴＡ）によって得られる結晶化ピーク温度であり、結晶化ピークが認められない場合は、結晶化温度は∞とする。以下に、封着時におけるガラスバルク用ガラスの結晶化について説明する。
【００３９】
図１０は、本発明のガラスバルクの示差熱分析（ＤＴＡ）の模式図である。図１０において、横軸は温度、縦軸は発熱−吸熱量であり、Ｔｇはガラス転移温度、Ｔｘは結晶化開始温度、Ｔｃは結晶化温度をそれぞれ示す。図中のａが結晶化を生じる可能性のある結晶化領域である。また、この示差熱分析は、ガラス転移が吸熱反応であり、ガラス結晶化が発熱反応であることを示しており、結晶化領域ａにおける発熱−吸熱量のピークが結晶化温度Ｔｃである。本発明においてＴｇ、Ｔｘ、Ｔｃは、いずれもガラスバルク用ガラスの組成に固有する温度（℃）で、該ガラスの示差熱分析（ＤＴＡ）からＤＴＡ曲線の変極点として求めることができる。
【００４０】
ガラスバルクによる複層ガラスの封着において、封着温度＜Ｔｘであれば、ガラスは封着時に結晶化しないが、Ｔｘ≦封着温度＜（Ｔｃ−３０）のときは、条件により結晶化する場合があるため、熱処理時間の制御が必要である。そして、（Ｔｃ−３０）≦封着温度＜（Ｔｃ＋４０）であると、ガラスは封着時にほとんどが結晶化する。したがって、ガラスバルクによる複層ガラスの封着において、封着温度は上記の結晶条件に基づき結晶化を回避できるように決めることが好ましい。実際の封着温度は、封着時に加圧するか否か、あるいは加圧する場合の加圧力の大きさなどによっても調節されるが、Ｔｇ＋１５５℃±１０℃であることが好ましい。
【００４１】
また、本発明においてガラスバルクの含水率は小さい方が好ましい。本発明者はガラスバルクによる複層ガラスの封着部に発生する泡成分を分析することによって、ガラスバルク中の水分が泡の発生要因であることを究明し、これに基づいてガラスバルクの含水率を低下させたところ、封着ガラスに発生する泡が減少もしくは防止されることを見出した。その結果、封着用ガラスバルクの含水率を小さくすると、ガラス組成に関係なく泡の発生を抑制できる。
【００４２】
本発明において、ガラスバルクの含水率を低下させる方法としては、ガラスバルク原料として正燐酸原料（液体）の代わりに例えば高純度の燐酸亜鉛・カルシウム・アルミニウム粉末のような粉末原料を使用する方法、あるいはガラスバルク原料の溶解時に例えばＮ２ガスでバブリングする方法などが好ましい。前者の粉末原料を使用する方法は、水分を実質的に含有しない原料を用いることによってガラスバルクに水分が入らないようにし、また後者のバブリング方法は、原料に含まれている残存水を溶解プロセスにおけるバブリング効果によって除去する方法である。これらの方法によって得られるガラスバルクはいずれも含水率が低く、封着時の発泡を減少もしくは防止できる。なお、上記の各方法はそれぞれ単独でも十分に効果が得られるが、併用するとより大きい効果が得られる。
【００４３】
本発明は、複層ガラスの周辺端部をガラスバルクで封着することを特徴とする。所定の形体にあらかじめ形成されているガラスバルクは、ガラス板の周辺端部に後述の排気用開口部を設けながら配置することを容易にし、さらに複層ガラスの封着時における泡の発生を防ぐのにも有効である。特に、封着時における泡の発生防止については、ガラスバルクの製造時に泡や水分を除去しておくことができるため、複層ガラスの封着過程では気密性を損ねるような泡が実質的に発生しない。因みに、従来のように例えばフリットガラスをペースト状（スラリー状）で供給すると、フリットガラスの溶融時に泡が発生しやすい。
【００４４】
本発明において上記ガラスバルクは、断面が円形、楕円形または矩形もしくは多角形で、その形体がブロック状、リボン状またはファイバー状のものが好ましい。なお、矩形断面の角部を面取りして略矩形状としてもよく、この場合、厳密には断面形状は多角形となる。ブロック状のガラスバルクは、あらかじめ所定の長さに形成されているもので、その断面は円形、楕円形または矩形等のいずれであってもよい。リボン状およびファイバー状のガラスバルクは、長い紐状および線状に形成しておき、これを切断して使用できるもので、リボン状のものは断面が矩形または矩形に近いものが好ましく、ファイバー状のものは断面が円形または円形に近いものが好ましい。
【００４５】
また、これらガラスバルクの高さ（厚さ）は、ガラスバルクをガラス板の周辺端部に配置したとき、複層ガラスの真空層に配置されるスペーサより少し高くなるように設定されることが好ましい。その理由は、スペーサより高いガラスバルクをガラス板間に配置し、該ガラスバルクを加熱して溶融させると、上方のガラス板の自重や必要に応じ加えられる押圧力により加圧されて流動変形し、複層ガラスの周辺端部の間隔をスペーサの高さと実質的に同じにさせることができるからである。しかも、この流動変形によって溶融されたガラスバルクがガラス板面に沿って伸延するため、ガラス板との密着性が高まるとともに排気用開口部を閉塞させることができる。これにより、高い気密度と強度を有する良好な封着部が得られる。ガラスバルクの高さをスペーサに対しどの程度にするかは、ガラスバルクのガラス組成や形体、あるいは配置の仕方などを考慮して適宜決めるとよい。
【００４６】
本発明において、ガラス板の周辺端部に沿って上記ガラスバルクを配置する場合、該ガラスバルクには排気用開口部がガラス板の周辺端部に沿って設けられる。次に、この排気用開口部について、図面を参照して具体的に説明する。なお、説明の便宜を図るため、排気複層ガラスを構成するガラス板を下ガラス板と上ガラス板とする。
【００４７】
図１は、周辺端部にブロック状のガラスバルク２を配置した下ガラス板１を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。図１において、４は該ガラスバルク２で囲まれた内側の領域６に配置されたスペーサで、これについては後述する。図１に示すように、下ガラス板１に配置されたガラスバルク２には、下ガラス板１の周辺端部に沿って排気用開口部３が設けられる。本例はブロック状のガラスバルク２間に所定の隙間をあけることによって下ガラス板１の各辺に複数個の排気用開口部３を設けている。そして、ガラスバルク２とスペーサ４とが配置された下ガラス板１の上に、正確にはガラスバルク２とスペーサ４の上に、上ガラス５を載置して積層体を形成する。
【００４８】
図２はこの積層体の正面図である。図２に示すように積層体の周辺端部に配置されたガラスバルク２には排気用開口部３が設けられている。この排気用開口部３は、積層体内部に形成される前記領域６を外部に連通させる、すなわち前記領域６の内外を連通する開口部である。本発明は、減圧室内において積層体内部（領域６）の空気を該排気用開口部３から外部に排出し、領域６内が例えば１Ｐａ以下（約１０−２Ｔｏｒｒ以下）に排気された状態で、溶融されたガラスバルク２によって該排気用開口部３を閉塞し、同時に積層体の周辺端部を封着する。かくして、積層体は内部が排気用開口部３を通して十分に排気された状態で周辺端部が封着され、排気された内部が真空層となって排気複層ガラスを形成できる。
【００４９】
本発明において、排気用開口部３の設置数および設置の仕方は適宜変えられる。例えば、図３はガラスバルク２が配置された下ガラス板１の周辺端部に沿って排気用開口部３を１個設けた例である。なお、積層体の周辺端部に配置されたガラスバルクに排気用開口部を１乃至複数個設ける場合、その設置位置は積層体の周辺端部であればよく限定されないが、複数個のときは積層体の周辺端部にできるだけ均等に分散させて設けることが好ましい。
【００５０】
また、排気用開口部３は、図１および図３に例示するように、その開口方向が下ガラス板１の各辺に対して直角となるように設置するほか、下ガラス板１の各辺に対して所定の角度をなすように設置してもよい。
【００５１】
また、排気用開口部３は、通常は図１および図３に例示するように相隣るガラスバルク２の間に切欠部として設けられるが、設置の仕方および方法は変えられる。例えば、図４は排気用開口部３をガラスバルク２の切欠部として設けるのではなく、ガラスバルク２を下ガラス板１の周辺端部に配置するとき、相隣る各辺に配置するガラスバルク２の端部を、図４に示すように下ガラス板１の角部において重ねて井桁状に配置し、その上に上ガラス板を載置して積層体を形成することにより、積層体の周辺端部に排気用開口部が得られるようにしたものである。
【００５２】
図５はこの積層体の側面図である。図５に示すように配置されたガラスバルク２と、下ガラス板１および上ガラス板５との間には空隙部７が形成される。すなわち、積層体の角部では、ガラスバルク２の厚さ（高さ）がガラスバルク２の重なりにより辺部の厚さの２倍になるため、積層体の辺部にガラスバルク２の厚さに相当する隙間が形成される。前記空隙部７はこの隙間である。この積層体を減圧室に入れて減圧すると、積層体内部（領域６）は該空隙部７が排気用開口部３となって排気される。そして、積層体内部が十分に排気された状態で積層体を減圧室において加熱すると、ガラスバルク２が溶融されて角部のガラスバルク２の厚さが押圧されて減少するために、辺部のガラスバルクが上下のガラス板と封着し、この空隙部７はなくなって閉塞される。これにより、積層体の周辺端部がガラスバルクで気密に封着され、排気複層ガラスが得られる。
【００５３】
本発明において、排気用開口部の大きさは限定されないが、溶融されたガラスバルクによって排気用開口部が確実に閉塞できる大きさに設定する必要がある。この排気用開口部が大きすぎると、溶融されたガラスバルクによって完全に閉塞することができなくなるおそれがある。特に図１および図３のように排気用開口部３がガラスバルク２に切欠部として設けられる場合、この切欠部の幅を広くして大きい排気用開口部３を形成すると、この切欠部を完全に閉塞することが困難になる。また、逆に排気用開口部３が小さすぎると、排気時間が長くなり生産性が低下する。ガラスバルクの切欠部の幅としては１〜３ｍｍ程度を例示できる。
【００５４】
次に、スペーサ４（図１参照）について説明する。排気複層ガラスは真空層を有しているため、ガラス板は大気圧によって両側から大きな圧力を受ける。これは真空層を有する排気複層ガラスの特徴であり、排気複層ガラスを構成するガラス板は真空層において内側から支持されていないと、大気圧の圧力でガラス板に許容値以上の引張り応力が生じ破損を引き起こす。スペーサ４は、排気複層ガラスにおいてこのように大気圧を受けるガラス板を圧力に耐えられるように支持し、かつ排気複層ガラスの真空層が所望の厚さとなるようにガラス板を隔置するための手段で、前記真空層内に複数個が配列される。
【００５５】
本発明において上記スペーサは、大気圧によって与えられる大きな圧力に耐え得る適切な圧縮強度を有していればよく、約５００ＭＰａ以上の圧縮強度をもっている材料が好ましい。さらに、排気複層ガラスの製造過程において積層体全体が５００℃以上まで加熱されることもあるため、このような高温でも問題を生じない耐熱性を持っていなければならない。
【００５６】
本発明においてスペーサの材料および配置の仕方などは特許文献１に記載されている支柱と同じものが使用できる。例えば、スペーサの材料としては、タングステン、モリブデン、ニッケル、チタン、高強度合金鋼、ステンレス鋼、高強度アルミナ、ジルコニアおよびこれら材料を多く含むセラミックスが挙げられる。
【００５７】
本発明は、これらの材料から形成された柱状のスペーサが好ましく使用できる。しかし、スペーサの形状はこれに限定されないで、例えば球状または半球状でもよい。排気複層ガラスの真空層内にスペーサが所定の間隔で配置されると、スペーサが設置された箇所のガラス板の表面には引張り応力が発生する。そこで、スペーサを排気複層ガラスの真空層内に配置する場合には、この引張り応力がガラス板の破壊強度を超えないようにその形状と配列の仕方を選定する。具体的には、スペーサの配置間隔およびその径（平均径）を前記引張り応力が所定値以下となるように選択する。一般に配置間隔が大きくなるほど、またスペーサ径が小さくなるほど、前記引張り応力を増大させる。一方、配置間隔が小さくなるほど、またスペーサ径を大きくするほど、スペーサとガラス板との接触面積が増大し、スペーサを通しての熱伝導が増加するために、排気複層ガラスの断熱性能が低下する。したがって、スペーサの配置間隔とスペーサ径は、かかる熱伝導をも考慮して適切に選択することが好ましい。なお、スペーサの高さは排気複層ガラスの真空層の厚さと同じであり、典型的には０．１〜１ｍｍ程度である。
【００５８】
次に、本発明の排気複層ガラスの製造方法について説明する。
本発明の排気複層ガラスは、図６に示すように（Ａ）ガラスバルクを配置する工程、（Ｂ）スペーサを配置する工程、（Ｃ）積層体を形成する工程、（Ｄ）積層体を排気する工程、（Ｅ）積層体の周辺端部を封着する工程、を経て製造される。これら各工程は本発明の好ましい実施形態ではほぼこの順序で実施される。しかし、ガラスバルクとスペーサの配置は、スペーサを配置した後にガラスバルクを配置してもよい。
【００５９】
本発明は、積層体を排気した状態で積層体の周辺端部を封着することを特徴としている。すなわち、積層体の周辺端部に配置したガラスバルクに排気用開口部を設け、該積層体を減圧室に入れて減圧することにより積層体の内部を前記排気用開口部を通して排気（減圧）し、さらに減圧室内において積層体を加熱してガラスバルクを溶融せしめ、積層体の内部が排気された状態で排気用開口部を溶けたガラスバルクで閉塞して積層体の周辺端部を封着する。これは、本発明の排気複層ガラスの製造方法が、積層体の周辺端部を封着した後に、封着された積層体の内部を排気して排気複層ガラスを製造する従来方法と明確に異なる点である。
【００６０】
以下、各工程について図７を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
（Ａ）ガラスバルクを配置する工程
排気複層ガラスを構成する上下のガラス板を用意し、先ず図７（ａ）に示すように下ガラス板１の周辺端部に沿ってガラスバルク２を配置する。ガラスバルク２は、低融点ガラスから事前成形した例えば断面が矩形のブロック状のもので、高さがスペーサの高さより大であるものを使用する。該ガラスバルク２を下ガラス板１の端部から少し内側の位置に、相隣るガラスバルク２の間に例えば１〜３ｍｍ程度の間隔をおいて下ガラス板１の周辺端部に沿って配置し、配置されたガラスバルク２とガラスバルク２との間に排気用開口部３を形成する。この場合、ガラスバルク２は下ガラス板１の周辺端部に単におくだけでも配置できる。なお、ガラスバルクは、各成分の原料試薬を混合し、坩堝（リン酸系ガラスの場合は石英ガラス製／ビスマス系ガラスの場合は白金製）に入れ、坩堝ごと１０００〜１５００℃の電気炉に投入し、均質な融液とした後（溶解プロセス）、融液をカーボン製の型に流しだし、バルク体を成型し（成型プロセス）、バルク体の固化を確認した後、直ちにガラス転移温度＋３０℃の電気炉にバルク体を入れて数時間保持した後、１〜２℃／分で冷却する（徐冷プロセス）ことにより得られる。また、後述する（Ｅ）工程での封着時における泡の発生を防止するため、ガラスバルクの製造時に泡や水分を除去しておくのが好ましい。
（Ｂ）スペーサを配置する工程
下ガラス板１のガラスバルク２で囲まれた領域６に、図７（ｂ）に示すようにスペーサ４を配置する。スペーサ４は排気複層ガラスの真空層の厚さに相当する高さの柱状体を使用する。また、配置する間隔は、断熱性能の低下要因となる熱伝導を考慮しつつ、排気複層ガラスが大気圧や外力を受けたとき、スペーサが配置された箇所のガラス板表面に発生する引張り応力が所定値以下になるように選択する。
（Ｃ）積層体を形成する工程
次いで、ガラスバルク２とスペーサ４が配置された下ガラス板１の上に上ガラス板５を載置し、図７（ｃ）に示す積層体を形成する。この積層体は周辺端部にガラスバルク２が配置されており、ガラスバルク２で囲まれた内部（領域６）にスペーサが配置されている。そして、積層体の周辺端部に配置されたガラスバルク２には、積層体の周辺端部に沿って複数個の排気用開口部３が形成されており、積層体の内部（領域６）はこれらの排気用開口部３を通して外部に連通している。
【００６１】
なお、上記積層体の上にガラスバルク２とスペーサ４を同じように配置し、その上に他のガラス板を載置すると、１枚のガラス板を共用して２層構造の積層体を形成することができ、さらにこれを繰り返すと所望数の多層構造の積層体が得られる。この多層構造の積層体の周辺端部を封着すると、真空層を多層有する断熱性能の高い排気複層ガラスを製造できる。本発明の排気複層ガラスはこのような多層の複層ガラスをも含んでいる。
（Ｄ）積層体を排気する工程
上記積層体を減圧室に入れ該減圧室を減圧して積層体内部を排気する。すなわち、積層体を入れた状態で減圧室を減圧し、積層体内の空気を前記排気用開口部３から外部に吸引して排気し、最終的には積層体の内部を排気複層ガラスの真空層に必要な例えば１Ｐａ以下（約１０−２Ｔｏｒｒ以下）、さらに好ましくは０．１Ｐａ以下（約１０−３Ｔｏｒｒ以下）に減圧する。
（Ｅ）積層体の周辺端部を封着する工程
この工程は、減圧室内において積層体の内部が所定の減圧度に排気された状態で、積層体の周辺端部を溶融されたガラスバルクによって封着する工程である。積層体を減圧室内において加熱すると、積層体全体が加熱されるため、積層体の周辺端部に配置されたガラスバルクも同時に加熱される。図８はこの封着工程における該ガラスバルクの加熱温度推移の一例を示したものである。図８の縦軸はこのガラスバルクの加熱温度であり、Ｔｇはガラスバルクのガラス転移温度である。
【００６２】
図８に示すようにガラスバルクがガラス転移温度に達するまでは、減圧室内は真空（減圧）または大気圧のいずれでも加熱できる。しかし、ガラス転移温度以上に加熱するときは積層体内部を一定圧以下に保持するために真空プロセス（減圧状態）で行う必要がある。これは、ガラスバルクがガラス転移温度以上の封着温度で溶融されるときには、積層体の内部が十分に排気されていないと、排気が不充分な状態で排気用開口部が溶けたガラスバルクによって閉塞されてしまうからである。したがって、ガラスバルクがガラス転移温度に加熱されるときには、積層体の内部を例えば１Ｐａ以下（約１０−２Ｔｏｒｒ以下）に減圧する。
【００６３】
積層体を減圧室内においてガラスバルクのガラス転移温度以上の封着温度に一定時間加熱すると、積層体の周辺端部に配置されたガラスバルクが溶融し、溶けたガラスバルクは上ガラス板に押圧されてスペーサと同じ高さとなる。この間に溶融されたガラスバルクは積層体の周辺端部をガラス面方向に流動し、前記排気用開口部を閉塞して内部が排気された状態にある積層体の周辺端部を封着する。封着された積層体は封着部が冷却固化されたのち、排気複層ガラスとして減圧室から取り出される。
【００６４】
なお、ガラスバルクがガラス転移温度以上に加熱された封着時の積層体を、必要に応じ上方および／または下方から積極的に押圧すると、溶融されたガラスバルクによる封着高さ（厚さ）の均一性が改善され、良好な封着部を形成できる。
【００６５】
図７（ｄ）は上記方法によって製造された排気複層ガラスである。この排気複層ガラスの内部には真空層８が形成されており、この真空層８内にスペーサ４が配置されている。排気複層ガラスには大気圧によって大きな圧力が外部からかかるため、真空層に配置されたスペーサ４は両側から下ガラス板１と上ガラス板５がしっかりと挟持し固定される。なお、スペーサ４は、下ガラス板１または上ガラス板５のいずれに接着固定してもよい。
【実施例】
【００６６】
以下に、本発明を実施例によって更に詳細に説明する。
（実施例１）
厚さ３ｍｍで同一サイズ（３００ｍｍ×３００ｍｍ）のガラス板（旭硝子社製フロート板ガラス「ＡＳ」）を２枚用意し、その１枚のガラス板の周辺端部に以下に示すガラスバルク１を配置する。その際、排気用開口部を形成するために相隣るガラスバルクの間に約１ｍｍの間隔をガラス板の各辺に２個ずつ設ける。
＜ガラスバルク１＞
・ガラス組成：Ｐ２Ｏ５３０モル％、ＳｎＯ３０モル％、ＺｎＯ４０モル％
・断面：矩形（高さ：約０．５ｍｍ、幅：約５ｍｍ）
・形状：ブロック状（長さ：約１００ｍｍ）
・ガラス転移温度：３４５℃
・平均熱膨張係数（５０℃〜３００℃）：９０×１０−７／℃
さらに、ガラス板に配置されたガラスバルク１で囲まれた領域に、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の柱状スペーサ（直径：０．５ｍｍ、高さ：約０．２ｍｍ）１６９個を等間隔で配列した後、このガラス板の上に他のガラス板を載置して積層体を形成する。
【００６７】
この積層体を減圧室に入れて減圧と同時に積層体の上下両側からホットプレートで加熱を開始し、積層体内部を排気しながら加熱しガラスバルク１がガラス転移温度（３４５℃）に加熱されるまでに減圧室を約１０−３Ｐａに減圧し、この減圧状態を保持する。この減圧状態で加熱温度を４５０〜５００℃にして約１５分保持した後、約０．２ＭＰａで押圧し、加熱を停止し減圧室内を徐々に冷却して積層体の封着部を冷却固化させてから減圧室から取り出し、取り出された積層体の封着部を観察評価する。
【００６８】
その結果、積層体の周辺端部はガラスバルク１の排気用開口部がすべて閉塞されて封着されており、封着部に気密性を損ねるような発泡がなく、封着部の気密性と強度に優れ、かつ排気部が製品に残らない外観に優れた排気複層ガラスが製造できる。また、ガラス板の周辺端部を減圧室内において封着するので、排気チューブを設けて気密層の排気を行わなくても、周辺端部の封着と同時に真空層を形成でき、外観および品質が優れる排気複層ガラスを効率よく低コストで製造できる。
【００６９】
（実施例２）
厚さ０．７ｍｍで同一サイズ（５０ｍｍ×５０ｍｍ）のガラス板（旭硝子社製フロート板ガラス「ＡＳ」）を２枚用意し、その１枚のガラス板の周辺端部に以下に示すガラスバルク２をガラス板の一辺に沿うように９本配置した。
＜ガラスバルク２＞
・ガラス組成：Ｂｉ２Ｏ３４２．６モル％、Ａｌ２Ｏ３３．６モル％、ＳｉＯ２３４．２モル％、Ｇａ２Ｏ３１７．８モル％、Ｌａ２Ｏ３１．４モル％、ＣｅＯ２０．２モル％
・断面：円形（直径０．１ｍｍ）
・形状：ファイバー状（長さ約５０ｍｍ）
・ガラス転移温度：４９７℃
・平均熱膨張係数（５０℃〜３００℃）：８５×１０−７／℃
このガラスバルク２を配置したガラス板の上に他のガラス板を重ねて積層体を形成し、更にその上に４０５ｇの重さのジルコニア製の錘を載せた。これを減圧炉中に入れ、０．５ｋＰａまで減圧した後に、図９に示す加熱温度推移にしたがって熱処理した。この処理によりファイバー状のガラスバルク２は溶けて扁平に潰れ、２枚のガラス板は溶けたガラスバルク２により強固に接着された。またガラスバルク２からの発泡もないことを確認した。したがって、ガラスバルク２は排気複層ガラスの周辺端部の封着に好適に使用できる。
【００７０】
（実施例３）
表１の例１〜１７のガラス組成（モル％）と物性（Ｔｇ、Ｔｘ、Ｔｃ）を有するブロック状のガラスバルク（高さ：約０．５ｍｍ、幅：約５ｍｍ、長さ：約１００ｍｍ）を２本ずつ作製した。そして、各ガラスバルクに対して厚さ３ｍｍで同一サイズ（２００ｍｍ×２００ｍｍ）のガラス板（旭硝子社製フロート板ガラス「ＡＳ」）を２枚ずつ用意し、一方のガラス板の左右端部近傍上に、上記ガラスバルクをそれぞれ配置し、さらにその上に他のガラス板を載置して例１〜１７の積層体を形成した。この積層体をそれぞれ加熱炉に入れて加熱し表１の封着温度で約１５分間保持し、溶融されたガラスバルクでガラス板を接着した。
【００７１】
この接着された各ガラス板の接着部の結晶化状況を目視で観察した。その結果を表１に示す。表１において、〇は結晶化が認められないもの、△は一部に結晶化が認められたもの、×はほぼ全体に結晶化が認められたものを表す。
【００７２】
表１に示すように、Ｔｃ−Ｔｇ≧１８５℃の例５、例７、例８、例１１、例１２、例１３、例１５、例１６及び例１７では、結晶化状況は〇または△であり過度の結晶化を生じないで接着できることが分かる。しかし、Ｔｃ−Ｔｇ＜１８５℃のものについては、いずれもほぼ全体に結晶化が認められ、良好な接着が得られなかった。
【００７３】
【表１】
2008201662.tif 000003
【００７４】
（実施例４）
実施例３の例１３のガラス組成を有するガラスバルクの発泡性について、次の実験を行った。
表２において、例１８のガラスバルクは発泡対策を実施しない場合であり、例１９乃至２１は発泡対策を実施した場合である。すなわち、例１８はＰ２Ｏ５の原料構成として正燐酸原料（液体）を使用し、調合されたガラス原料をＮ２バブリングなしで約１１００℃で溶解しガラスバルクを作製した場合であり、例１９は、例１８と同じガラス原料を約１１００℃で溶解する際にＮ２バブリングを行ってガラスバルクを作製した場合である。また、例２０と例２１は原料構成として燐酸亜鉛・カルシウム・アルミニウム高純度粉末を使用し、約１１００℃で溶解する際に例２０はＮ２バブリングなしで、例２１はＮ２バブリングを行ってガラスバルクを作製した場合である。ガラスバルクはいずれも（高さ：約０．５ｍｍ、幅：約５ｍｍ、長さ：約１００ｍｍ）とした。
【００７５】
さらに、例１８乃至２１の各ガラスバルクを減圧炉（約１ｋＰａ）中で封着温度（５００℃）まで加熱したときの状態をビデオ撮影し、発泡状況を調査した。その結果を表２に示す。表２において、Ａ：発泡なし、Ｂ：多少の発泡あり、Ｃ：多数の発泡あり、を示す。
【００７６】
【表２】
2008201662.tif 000004
【００７７】
表２に示すように、発泡対策を実施した例１９〜２１のガラスバルクの発泡状況は、発泡対策を実施しない例１８のガラスバルクに比べていずれも少ない。特に、Ｎ２バルリングを行った例１９および例２１では発泡が生じず、Ｎ２バルリングによるガラスバルクの含水率低下が発泡抑制効果として優れていることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、真空層を介して隔置されたガラス板の周辺端部が封着用ガラスバルクによって封着され、前記真空層内に複数個のスペーサが配置されている排気複層ガラスの製造に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】図１は、本発明の周辺端部にブロック状のガラスバルクを配置したガラス板の一例を示す説明図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。
【図２】図２は、図１のガラス板に他のガラス板を載置してなる積層体の側面図である。
【図３】図３は、ガラスバルクを配置したガラス板の他の例を示す平面図である。
【図４】図４は、ガラスバルクを配置したガラス板の他の例を示す平面図である。
【図５】図５は、図４のガラス板に他のガラス板を載置してなる積層体の側面図である。
【図６】図６は、本発明の好ましい排気複層ガラスの製造方法の工程図である。
【図７】図７は、本発明の好ましい排気複層ガラスの製造工程の説明図である。
【図８】図８は、本発明の封着工程における温度の推移の一例を示すグラフである。
【図９】図９は、参考例の封着工程における温度の推移を示すグラフである。
【図１０】図１０は、本発明のガラスバルクの示差熱分析（ＤＴＡ）の模式図である。
【符号の説明】
【００８０】
１：下ガラス板
２：ガラスバルク
３：排気用開口部
４：スペーサ
５：上ガラス板
６：領域
７：空隙部
８：真空層
【図１】
2008201662.tif 000005
【図２】
2008201662.tif 000006
【図３】
2008201662.tif 000007
【図４】
2008201662.tif 000008
【図５】
2008201662.tif 000009
【図６】
2008201662.tif 000010
【図７】
2008201662.tif 000011
【図８】
2008201662.tif 000012
【図９】
2008201662.tif 000013
【図１０】
2008201662.tif 000014