(57)【要約】【課題】駆動源を使用することなく、自動的にクランプ状態の設定やクランプ状態の解除を行えるようにする。【解決手段】基板ステージの移動方向に直交する方向Ａ，Ｂに沿って設けられたホルダ部２に、クランプ爪３２を含むクランプ機構３０を設け、その下方に、Ａ，Ｂ方向に沿って移動可能なスライド機構２０を設ける。基板ステージが初期位置から移動すると、ステージの支持台に設けられたガイド部によって、スライド機構２０の下部ローラ２７がＡ方向に沿って変位し、下部ローラ２７に一体化されたスライドフレーム２１および案内部材２８がＡ方向に沿って移動する。さらに案内部材２８の移動によってクランプ機構３０の上部ローラ３１が押し上げられ、クランプ爪支持ブロック３１が背面側の基板に向かう方向に軸回転し、クランプ爪３２を基板の上面に接触させる。【選択図】図５
2008091372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント基板を固定状態で支持するための基板ステージが、所定広さの支持部上に、少なくとも特定の一軸に沿って往復動可能に設置されており、
前記基板ステージは、前記基板の端縁部を上下いずれかの方向から押圧して固定するクランプ機構と、自己の変位を前記クランプ機構に作用させて、クランプ機構により基板が固定される状態と固定が解除される状態とを切り換えるスライド機構とを具備し、
前記支持部には、前記基板ステージが前記特定の一軸に沿って移動する間に前記スライド機構に接触して、この機構を変位させるガイド部が設けられている、基板支持装置。
【請求項２】
前記クランプ機構およびスライド機構は、スライド機構がクランプ機構より下方に位置し、かつ両機構が互いに一部を接触させた状態で設けられており、
前記スライド機構は、前記ガイド部に接触することによって基板の一端縁に沿って移動するとともに、この移動中に前記クランプ機構に接する部分の高さが変化するように構成されており、
前記クランプ機構は、前記スライド機構の接触部分の高さ変化に応じた変位により、基板を固定する状態と固定が解除される状態とが切り換えられるように構成されている、請求項１に記載された基板支持装置。
【請求項３】
前記クランプ機構は、基板の一端縁に沿う軸に回転可能に支持されたクランプ爪支持部と、このクランプ爪支持部に支持された所定数のクランプ爪と、クランプ爪支持部とスライド機構との間に設けられた上下動機構とを含み、
前記上下動機構は、前記スライド機構の移動により前記接触部分の高さが変化するのに伴って上下動し、
前記クランプ爪支持部は、前記上下動機構が上昇したとき、基板に向かう方向に回転して前記クランプ爪により基板の上面を固定し、上下動機構が下降したとき、基板から離れる方向に回転して前記クランプ爪による固定状態を解除する、請求項２に記載された基板支持装置。
【請求項４】
前記クランプ機構およびスライド機構は、基板の前記特定の一軸に直交する端縁に対応する位置に設けられ、
前記スライド機構には、基板の前記端縁に沿って往復動可能に設けられたスライドフレームと、このスライドフレームの前記ガイド部に対応する部分に連結されたローラとが含まれており、
前記ガイド部は、前記基板ステージが前記特定の一軸に沿って移動する間に、この移動方向に直交する方向に沿って前記ローラを変位させ、前記スライドフレームは、ローラの変位の方向と同じ方向に移動する、請求項２に記載された基板支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント基板の製造装置（はんだ印刷装置、マウンタなど）や検査装置などにおいて、処理対象の基板を固定状態で支持する（クランプする）ための基板の支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板支持装置は、一般に、基板ステージと、このステージ上のプリント基板（以下、単に「基板」という。）を端縁部で固定支持するクランプ機構とを具備する。クランプ機構は、手動で調整される場合もあるが、エアシリンダ、モータなどの駆動源によりクランプ機構を駆動するものが広く知られている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２６２８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、駆動源を用いるタイプの装置では、装置が大がかりになる上、駆動源の動作環境の設定（エア設備の準備やモータへの供給電圧の調整など）が必要になり、コストや手間がかかる。一方、クランプ機構を手動で動かすタイプの装置では、基板の位置決めに時間がかかり、作業効率が低下するおそれがある。
【０００５】
この発明は上記の問題点に着目してなされたもので、クランプ用の駆動源を使用することなく、自動的にクランプ状態の設定やクランプ状態の解除を行えるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決する基板支持装置は、プリント基板を支持するための基板ステージが、所定広さの支持部上に、少なくとも特定の一軸に沿って往復動可能に設置され、基板ステージは、基板の端縁部を上下いずれかの方向から押圧して固定するクランプ機構と、自己の変位をクランプ機構に作用させて、クランプ機構により基板が固定される状態（クランプ状態）と固定が解除される状態（非クランプ状態）とを切り換えるスライド機構とを具備する。また支持部には、基板ステージが特定の一軸に沿って移動する間にスライド機構に接触して、この機構を変位させるガイド部が設けられる。
【０００７】
上記において、クランプ機構には、たとえば、基板ステージに支持された状態の基板を上方から押さえて固定するクランプ爪が含まれる。また、たとえば、基板を下面側から押し上げる押圧部材を具備する構成としてもよい。
【０００８】
基板ステージは、支持対象の基板の直交する２辺のいずれか一方に沿う軸を「特定の一軸」とするのが望ましい。基板ステージは、特定の一軸にでのみ往復動すれば良いが、さらに特定の一軸に直交する軸に沿って往復動するものであってもよい。
【０００９】
上記の構成によれば、基板ステージが特定の一軸に沿って移動し、スライド機構が支持部のガイド部に接触すると、このガイド部の作用によりスライド機構が変位し、さらにその変位によってクランプ機構の状態が切り換えられる。たとえば、非クランプ状態にある基板ステージに基板を設置し、特定の一軸に沿って基板ステージを移動させると、非クランプ状態からクランプ状態に切り換えられる。また、このクランプ状態の基板ステージの移動方向を逆転させて元の位置に戻すと、クランプ状態から非クランプ状態に切り換えられる。
【００１０】
このように、基板ステージの移動に伴って自動的にクランプ機構の状態を切り換えることができるから、クランプ機構用の駆動源を設ける必要がなくなる。よって、装置の小型化やコストの削減を実現できるとともに、基板の位置決め処理について、従来の駆動源を用いるタイプの装置と同様の効率を確保することができる。
【００１１】
上記の基板支持装置の好ましい一態様では、クランプ機構およびスライド機構は、スライド機構がクランプ機構より下方に位置し、かつ両機構が互いに一部を接触させた状態で設けられる。また、スライド機構は、ガイド部に接触することによって基板の一端縁に沿って移動するとともに、この移動中にクランプ機構に接する部分の高さが変化するように構成される。一方、クランプ機構は、スライド機構の接触部分の高さ変化に応じた変位により、クランプ状態と非クランプ状態とが切り換えられるように構成される。
【００１２】
上記の態様では、基板ステージが特定の一軸に沿って移動すると、スライド機構が、基板の端縁に沿って移動する。この移動に伴ってクランプ機構に接する部分の高さが変化し、その動きによって、クランプ状態と非クランプ状態とが切り換えられる。
【００１３】
上記の態様に係る基板支持装置は、たとえば、クランプ機構に、基板の一端縁に沿う軸を介して回転可能に支持されたクランプ爪支持部と、このクランプ爪支持部に支持された所定数のクランプ爪と、クランプ爪支持部とスライド機構との間に設けられた上下動機構とを設けた構成のものとなる。また、上下動機構は、スライド機構の移動により接触部分の高さが変化するのに伴って上下動する。さらに、クランプ爪支持部は、上下動機構が上昇したとき、基板に向かう方向に回転してクランプ爪により基板の上を固定し、上下動機構が下降したとき、基板から離れる方向に回転してクランプ爪による固定状態を解除する。
【００１４】
上記構成によれば、非クランプ状態の基板ステージが移動して上下動機構が上昇すると、クランプ爪支持部が基板に向かう方向に回転し、クランプ爪により基板の上面が固定されて、クランプ状態が設定される。またこのクランプ状態下で基板ステージの移動方向が切り換えられて上下動機構が下降すると、クランプ爪支持部が基板から離れる方向に回転し、クランプ爪による固定状態が解除され、クランプ状態から非クランプ状態に切り換えられる。
【００１５】
上記の構成をとる場合には、さらに基板の下面を支持する支持部を、クランプ爪による押圧力に応じて下方に変位し、押圧力が解除されたときに、元の位置に復帰するように構成するのが望ましい。このようにすれば、クランプ爪は、可動範囲のリミット位置まで下がるので、クランプ状態下では、基板の上面の高さを一定にすることができる。
【００１６】
さらに、好ましい態様にかかる基板支持装置では、クランプ機構およびスライド機構は、基板の移動軸である特定の一軸に直交する端縁に対応する位置に設けられる。また、スライド機構には、基板の上記端縁に沿って往復動可能に設けられたスライドフレームと、このスライドフレームのガイド部に対応する部分に連結されたローラとが含まれる。ガイド部は、基板ステージが特定の一軸に沿って移動する間に、この移動方向に直交する方向に沿ってローラを変位させる。このときスライドフレームは、ローラの変位の方向と同じ方向に移動する。
【発明の効果】
【００１７】
上記構成の基板支持装置によれば、基板ステージが特定の一軸に沿って移動する間に、支持部に設けられたガイド部とスライド機構とが接触することによって、クランプ機構のクランプ状態と非クランプ状態とが切り換えられる。よって、駆動源がなくとも自動的かつ簡単にクランプ機構を動かすことができ、コストの削減や装置の小型化を実現することができる。しかも、駆動源があるタイプの装置と同様に、基板の位置決め処理を効率良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１は、この発明が適用された基板検査装置１の構成を示す。
この基板検査装置１は、検査対象の基板を撮像し、生成された画像を処理することにより、部品の実装状態やはんだ付け状態などを自動的に検査するもので、基板支持装置１００、上部ケース体１０１、モニタ１０２、コントローラ１０３などにより構成される。
【００１９】
基板支持装置１００は、上面開口の筐体１０４内に基板ステージ１０やその移動機構などが組み込まれた構成のもので、所定広さのテーブル１０６の天板１０７上に設置される。上部ケース体１０１は、下面が開口された長手状の箱状体であって、内部には図示しないカメラや光源が収容されており、基板支持装置１００の奥寄りの位置に、その横幅方向を横切るように設置される。
【００２０】
モニタ１０２は上部ケース体１０１の前面の適所に取り付けられる。またコントローラ１０３は、テーブル１０６の下部に設けられた支持板１０９上に設置される。また、テーブル１０６の天板１０７の下面には引出板１１０が取り付けられ、その上に、キーボードやマウスなど、コントローラ１０３への入力用機器が設置される。
【００２１】
このほか、基板支持装置１００の上面には、電源ボタン１１１、スタートボタン１１２、停止ボタン１１３、緊急停止ボタン１１４が設けられる。
【００２２】
この基板検査装置１では、横幅方向をＸ軸、奥行き方向をＹ軸として、上部ケース体１０１内のカメラや光源を、図示しない移動機構によりＸ軸に沿って往復動させ、基板ステージ１０を、Ｙ軸方向に沿って往復動させることにより、基板とカメラとを位置合わせし、撮像を行っている。各移動機構の動作はコントローラ１０３により制御される。
【００２３】
基板ステージ１０には、基板の対向する一対の端縁を固定状態で支持するクランプ機構３０が設けられている。基板ステージ１０は、検査の開始前には、基板支持装置１００の前方側（上部ケース体１０２により開口部が覆われていない部分）に位置し、検査対象の基板を受け付ける。この後、クランプ機構３０が作動して基板が固定されると、コントローラ１０３の制御に基づき検査が開始される。
【００２４】
この実施例では、作業者が手作業により基板ステージ１０に基板をセットした後、スタートボタン１１２を操作することにより、基板ステージ１０が移動するとともにクランプ機構３０が自動的に作動し、基板を固定するように設計されている。以下、この基板ステージ１０やこれを支持する機構について、詳細に説明する。
【００２５】
なお、各図では、基板支持装置１００の前方から後方に向かう方向をＹ軸の正方向とし、その方向を矢印で示す（ただしＹ軸が紙面に直交する関係にある図では省略する。）。一方、Ｘ軸については、基板支持装置１００の前面に向かって右から左に移動する方向をＡ方向とし、この方向に反転する方向をＢ方向とし、それぞれの方向を個別に矢印で示す。また、便宜上、Ａ方向を左側、Ｂ方向を右側として、各部の左右関係を表す場合もある。また、図中の一点鎖線Ｓは基板を示す。
【００２６】
基板支持装置１００の筐体１０４内には、基板ステージ１０を支持する支持台１０８（支持部の一態様）が組み込まれている。図２は、この支持台１０８を上方から見た状態を、図３は、支持台１０８を前方側から見た状態を、それぞれ示す。
【００２７】
支持台１０８の右側縁に近い位置には、基板ステージ１０の移動機構であるボールねじ機構６０が、その軸の長さ方向をＹ軸に合わせて配備される。ボールねじ機構６０には、可動ブロック体６１、カップリング６３、モータ６４などが設けられる。
【００２８】
ボールねじ機構６０の左側には、所定距離を隔ててスライドシャフト６５が設けられ、さらに支持台１０８の左側縁に近い位置にはリニアガイド６６が設けられる。スライドシャフト６５やリニアガイド６６も、軸の長さ方向をＹ軸に合わせて配置される。また、各軸には、それぞれ可動ブロック体６７，６８が２個ずつ取り付けられている。
【００２９】
ボールねじ機構６０、スライドシャフト６５、リニアガイド６６の各可動ブロック体６１，６７，６８は、それぞれ基板ステージ１０に連結される。よって、モータ６４が回転すると、基板ステージ１０は、各可動ブロック体６１，６７，６８とともに、Ｙ軸方向の正方向または負方向に沿って移動する。この移動量や移動の方向は、モータ６４の回転数や回転方向に置き換えられて制御される。
【００３０】
ボールねじ機構６０の右手には、基板ステージ１０の位置を検出するためのセンサ６９ａ〜６９ｄが、前方側に３個、後方側に１個、それぞれ設けられている。これらのセンサ６９ａ〜６９ｄは、投受光部が対向する透過式の光電センサであって、ボールねじ６０の可動ブロック体６１に取り付けられた遮光プレート６２が投受光部間に入ったときにオン動作する。前方側の３個のセンサは、Ｙ軸の正方向に沿って、６９ｂ，６９ａ，６９ｃの順に並べられており、このうちの中央のセンサ６９ａがオン状態になったときの基板ステージ１０の位置が、ステージの初期位置に設定されている。検査開始前および検査終了後には、基板ステージ１０は、必ずこの初期位置に位置決めされる。
【００３１】
なお、初期位置検出用のセンサ６９ａの背後に設けられたセンサ６９ｃは、基板ステージ１０が初期位置に近づいていることを検出するためのものであり、最前方に配置されたセンサ６９ａおよび最後方に配置されたセンサ６９ｄは、基板ステージ１０がリミット位置に来ていることを検出するためのものである。センサ６９ｂや６９ｄがオンになった場合には、基板ステージ１０を緊急停止させるために、ステージへの電源の供給が遮断される。
【００３２】
上記構成のほか、支持台１００の上面には、３個のガイド部５１，５２，５３が設けられる（以下、符号の順に、「第１ガイド部５１」「第２ガイド部５２」「第３ガイド部５３」という。第１ガイド部５１は、基板ステージ１０の前端部の移動範囲に対応する位置に設けられ、第２、第３のガイド部５２，５３は、基板ステージ１０の後端部の移動範囲に対応する位置に設けられる。これらのガイド部５１，５２，５３の機能については、後で詳細に説明する。
【００３３】
図４は、基板ステージ１０の全体構成を示す。この例の基板ステージ１０は、前後一対のホルダ部２，３と左右一対のフレーム部４，５とを具備する枠状体であって、内部には、基板Ｓを設置するための空洞部６が形成されている。各ホルダ部２，３には、それぞれクランプ機構３０や、このクランプ機構３０の開閉動作を切り換えるためのスライド機構２０（図５以下に示す。）が設けられている。
【００３４】
左右のフレーム部４，５は、各ホルダ部２，３の左右端よりも外側に突出している。フレーム部４，５間の距離は、支持台１０８上のリニアガイド６６とスライドシャフト６５との距離に対応しており、左側のフレーム部４の底面はリニアガイド６６側の可動ブロック体６８に、右側のフレーム部５の底面はスライドシャフト６５側の可動ブロック体６７に、それぞれ連結されている。さらに、右側のフレーム５の上面には、外側に突出する矩形状の突出片７が一体に形成されている。この突出片７は、ボールねじ機構６０の可動ブロック体６１に連結されている。
【００３５】
前後のホルダ部２，３のうち、前方のホルダ部２は固定されているが、後方のホルダ部３は、前後にスライド可能に支持されている。さらに、ホルダ部２の左右には、基板Ｓの左右の端縁を支持するためのガイド片８，９が設けられる。これらのうち、左側のガイド片８は左側のフレーム部４の上面に固定されているが、右側のガイド片９は、ホルダ部２の上面に左右方向に沿って形成された溝部１７に取り付けられる。後方のホルダ部３と右側ガイド片９との位置は、基板Ｓの幅に応じて調整されている。
【００３６】
図５は、前方の固定されたホルダ部２（以下、「固定側ホルダ２」という。）の正面（基板ステージ１０の前面に対応する。）の構成を示す。また図６は、固定側ホルダ２を左手側から見た構成を示し、図７は、固定側ホルダ２の背面（空洞部６側の面）を示す。図８−１および図８−２は、固定側ホルダ２のクランプ機構３０およびスライド機構２０を抜き出して示した斜視図である。図７以外の各図では、基板を支持する前の状態（非クランプ状態）と基板を固定支持した状態（クランプ状態）とを、対比させて示している。
【００３７】
以下、上記図５〜８および前出の図２〜４を用いて、固定側ホルダ２の構成や動作を詳細に説明する。
【００３８】
この実施例の固定側ホルダ２は、垂直に起立するベースフレーム１１を有する。ベースフレーム１１の背面側には、所定の厚みを有する可動フレーム１２が、複数の圧縮バネ１４によって下方に変位可能に支持されている（図７参照。）。またこの可動フレーム１２の背面の上端部には、薄板状の基板支持プレート１３が連続形成されている。この基板支持プレート１３は、基板Ｓの端縁部を下方から支持するためのもので、その上端面は、可動フレーム１２の上端面より高くなるように設定されている。
【００３９】
ベースフレーム１１および可動フレーム１２の上には、長尺状の保護ブロック１５が配備される。この保護ブロック１５は、ベースフレーム１１と可動フレーム１２との間に立設された一対のレール１６（図６，７に示す。）により支持される。また保護ブロック１５には、基板Ｓの右側端縁支持用のガイド片９を取り付けるための溝部１７が設けられる。
【００４０】
ベースフレーム１１の前面側には、スライドフレーム２１を有するスライド機構２０が設けられる。このスライドフレーム２１は、左右に２本ずつ設けられた水平レール２２および左手側に設けられた引っ張りバネ２３により、左右に移動可能に支持される。また、スライドフレーム２１の左右には、それぞれこのフレーム２１の移動範囲を規制するためのストッパ２４，２５が設けられている。
【００４１】
スライドフレーム２１の下部には、前方に突出する取付部材２６を介してローラ２７が取り付けられている（以下、このローラ２７を「下部ローラ２７」という。）。この下部ローラ２７は、回転軸の方向を垂直にして配備されている。
【００４２】
図３では、下部ローラ２７の位置を、網点パターンにより示している。この図に示すように、下部ローラ２７は、支持台１０８上に設けられた第１ガイド部５１の右側面に接触する。
【００４３】
第１ガイド部５１は、図２、図８−２に示すように、前方から後方に向かうほど幅狭になるように、下部ローラ２７への接触面が湾曲している。基板ステージ１０が初期位置にあるときには、下部ローラ２７は、第１ガイド部５１の前端部（図２のＰ１の位置）にある。この後、基板ステージ１０がＹ軸の正方向に沿って移動するのに伴い、下部ローラ２７は第１ガイド部５１によって、Ａ方向に沿って変位する。すなわち、図２のＰ１，Ｐ２，Ｐ３に示す経路を辿ることになる。スライドフレーム２１は、この下部ローラ２７の変位を受けて、ベースフレーム１１上をＡ方向に沿って移動する。
【００４４】
スライドフレーム２１の上端縁は、中央部がＵ字状に切り欠かれており、この切り欠き部分の左右にそれぞれ案内部材２８が設けられる。各案内部材２８は、断面がＬ字状の部材であって、上端縁がスライドガイド２１より上方に突出している。さらに、この上端縁には、左から右に向かう方向（Ｂ方向）を上り方向とする傾斜面２９が形成されている。
【００４５】
上記の水平レール２２、引っ張りバネ２３、ストッパ２４，２５、取付部材２６、下部ローラ２７、および案内部材２８は、スライドフレーム２１とともにスライド機構２０を構成する。このスライド機構２０は、自己の変位をクランプ機構３０に作用させて、クランプ状態と非クランプ状態とを切り換える機能を具備する。
【００４６】
クランプ機構３０は、一対の長尺状のクランプ爪支持ブロック３１、クランプ爪支持ブロック３１により支持されたクランプ爪３２、各クランプ爪支持ブロック３１の前面に軸支されたローラ３３（以下、「上部ローラ３３」という。）などにより構成される。上部ローラ３３は上下動機構の一態様である。
【００４７】
各クランプ爪支持ブロック３１は、スライドフレーム２１の上方位置に、Ａ，Ｂ方向（基板Ｓの一端縁に沿う方向）に沿って設けられた軸３４を介して回転可能に支持される。また、保護ブロック１５と同様に、長手方向がＡ，Ｂ方向に対応づけられており、所定数の圧縮バネ３５を介して保護ブロック１５に連結されている。
【００４８】
クランプ爪支持ブロック３１の上面には、長手方向に延びる溝部３６が形成される。クランプ爪３２は、この溝部３６にネジ３７により固定される。なお、図示例では、左側のクランプ爪支持ブロック３１に３個のクランプ爪３２を、右側のクランプ爪支持ブロック３１に２個のクランプ爪３２を、それぞれ取り付けているが、クランプ爪３２の数や固定位置は、自由に変更することができる。
【００４９】
上部ローラ３３は、その外周面をスライドフレーム２１の案内部材２８の傾斜面２９に接触させた状態にして設けられる。よって案内部材２８がスライドフレーム２１とともに左右に移動すると、上部ローラ３３に接触する部分の高さが変わるため、上部ローラ３３は回転しながら上昇または下降する。
【００５０】
また、図６（１）に示すように、上部ローラ３３は、傾斜面２９の最も低い位置に接触しているときには、前面側が下がった状態になっている。また、上部ローラ３３がこのような状態下にあるときは、クランプ爪３２が持ち上げられて基板Ｓから離れた状態（すなわち非クランプ状態）になるように、クランプ爪支持ブロック３１の姿勢が調整されている。
【００５１】
上記の状態から案内部材２８がＡ方向に沿って移動すると、上部ローラ３３はしだいに持ち上げられ、最終的に回転軸の方向が水平に近い状態になる。クランプ爪支持ブロック３１は、この上部ローラ３３の動きに合わせて基板Ｓに向かう方向に軸回転する。これによりクランプ爪３２も基板Ｓ側に下降する。また、クランプ爪支持ブロック３１が保護ブロック１５に接近することにより、両者間の圧縮バネ１５はさらに圧縮される。
【００５２】
上記構成の固定側ホルダ２では、基板ステージ１０が初期位置にあるときは、スライドフレーム２１は、引っ張りバネ２３により右側のストッパ２５に当接した状態で支持されている。このとき、上部ローラ３３は、案内部材２８の傾斜面２９の最も低い位置に接触するので、クランプ爪３２は持ち上げられている。すなわち、基板Ｓは固定されておらず、いわゆる非クランプ状態にある（図５（１）、図６（１）、図８−１を参照。）。また、基板ステージ１０が初期位置にあるときは、スライドフレーム２１に取り付けられた下部ローラ２７は、図２のＰ１の位置に接触している。
【００５３】
基板ステージ１０が初期位置からＹ軸の正方向に向かって移動すると、下部ローラ２７が第１ガイド部５１に案内されて、Ａ方向に沿って変位する。この下部ローラ２７の変位に伴い、スライドフレーム２１およびその上部に取り付けられている案内部材２８がＡ方向に沿って移動し、案内部材２８の傾斜面２９と上部ローラ３３との位置関係が変化する。これにより上部ローラ３３が上方に持ち上げられて、クランプ爪支持ブロック３１が基板に向かう方向に回転し、クランプ爪３２の先端が基板Ｓの上面に接触する。よって基板Ｓは、クランプ爪３２の先端部と基板支持プレートとに挟持された状態で固定され、いわゆるクランプ状態になる（図５（２）、図６（２）、図８−２を参照。）。
【００５４】
さらにこのとき、クランプ爪３２の押圧力により、背面側の基板支持プレート１３および可動フレーム１２が基板Ｓの厚みの分だけ下降する。よって、クランプ爪３２は、可動範囲のリミット位置まで下りて基板Ｓを支持する。後記するように、後方のホルダ部３でも同様の状態になるので、クランプ後の基板の上面を、一定の高さ位置で保持することができる。
【００５５】
上記のクランプ状態が成立したとき、下部ローラ２７は、図２のＰ３の位置にある。この後、基板ステージ１０がさらにＹ軸の正方向に沿って進むと、下部ローラ２７は第１ガイド部５１から離れる。しかし、スライドフレーム２１が引っ張りバネ２３により左側のストッパ２４に当接する位置まで引っ張られ、上部ローラ３３が案内部材２８の最も高い部分に乗り上げて固定されているので、クランプ状態は維持される。よって図２の矢印Ｐで示すように、下部ローラ２７についても、Ｐ３にあるときの位置が保持される。
【００５６】
この後、基板ステージ１０の移動方向がＹ軸の負方向に切り替えられ、初期位置に近づくと、下部ローラ２７は再び第１ガイド部５１に接触する。今度は、下部ローラ２７の位置は、前記したのとは逆に、Ｂ方向に沿って（Ｐ３，Ｐ２，Ｐ１の順に）変化するので、スライドフレーム２１および案内部材２８はＢ方向に沿って移動し、上部ローラ３３が下降する。
【００５７】
クランプ爪支持ブロック３１は、上部ローラ３３の下降と圧縮バネ３５の復元力とによって、基板Ｓから離れる方向に回転する。よって、クランプ爪３２も基板から離れ、非クランプ状態に復帰する。
【００５８】
図９は、後方の可動式のホルダ部３（以下、「可動側ホルダ３」という。）の正面（基板ステージ１０の背面に対応する。）の構成を示す。この図でも、固定側ホルダ２と同様に、クランプ状態と非クランプ状態とを対比させて示す。
【００５９】
なお、可動側ホルダ３の側面および内面側の構成については、固定側ホルダ２とほぼ同様であるため、図示を省略する。また固定側ホルダ２に対応する部材については、固定側ホルダ２の対応部材と同じ符号を付すことにより、説明を省略または簡単にする。また、以下の説明で左右関係を言う場合は、可動側ホルダ３の正面を基準にせず、これまでと同様に、Ａ方向を左側、Ｂ方向を右側とする。
【００６０】
可動側ホルダ３も、固定側ホルダ２と同様に、垂直に起立するベースフレーム１１を具備する。また、このベースフレーム１１の裏面側に、基板支持プレート１３が一体化された可動フレーム１２が上下動可能に設けられる点や、上面側に保護ブロック１５が設けられる点も、固定側ホルダ２と同様である。ただし、可動側ホルダ３の保護ブロック１５には、溝部１６は形成されていない。
【００６１】
ベースフレーム１１の前面側のスライド機構２０や、クランプ機構３０も、基本的な構成は固定側ホルダ２と同様である。ただし、可動側ホルダ３の前面は基板ステージ１０の背面に対応するため、案内部材２８の傾斜面２９は、固定側ホルダ２の案内部材２８とは上り方向が逆になるように形成される。
【００６２】
さらに可動側ホルダ３では、スライドフレーム２１の右手側と、右手上部の水平レール２２の左端に対向する位置の２箇所に、ストッパ２４，２５が設けられる。また、スライドフレーム２１の左手側には、ロック機構４０が設けられる。このロック機構４０は、ストッパ２５とともに、スライドフレーム２１のＡ方向に沿う移動の範囲を規制し、またクランプ状態の維持や解除に関わる。
【００６３】
ここでロック機構４０の詳細な構成について、図１２の拡大された正面図を用いて説明する。
このロック機構４０には、ベースフレーム１１の面に直交する軸に軸支される支持部４１、この支持部４１の軸に取り付けられたロックレバー４２、ロックレバー４２の姿勢調整用の引っ張りバネ４３などが含まれる。また、支持部４１は、ベースフレーム１１より下方に突出しており、この突出部分に、軸方向を水平にした回転軸４４を介してローラ４５が取り付けられる。また、スライドフレーム２１側には、ロックレバー４２を案内して係止する部材４６（以下、「案内係支部４６」という。）が設けられる。これら回転軸４４，ローラ４５、案内係止部４６も、ロック機構４０に含められる。
【００６４】
ロックレバー４２は、先端の爪部４２ａを下に向け、引っ張りバネ４３によって、長さ方向を水平にした状態で支持されている。案内係止部４６の上端縁には、案内部材２８と同じ方向に傾斜する傾斜面４７と上記の爪部４２ａに対する係合溝４８とが連続形成されている。
【００６５】
図２に示した第２ガイド部５２はスライド機構２０の下部ローラ２７に、第３ガイド部５３はロック機構４０のローラ４５に、それぞれ接触するように位置が調整されている。第２ガイド部５２では、基板ステージ１０のＹ軸の正方向への移動に応じて下部ローラ２７がＡ方向に沿って変位するように、下部ローラ２７に接触する左側面が湾曲している。この下部ローラ２７の軌跡は、図２に点Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３および矢印Ｑにより示すとおりである。
【００６６】
一方、第３ガイド部５３は、図１０に示すように、中央の平坦面５５の前後に、それぞれこの平坦面５５に向かう方向を上り方向とする傾斜面５４，５６が形成された構成のものである。ロック機構４０のローラ４５は、これらの面５４，５５，５６に順に案内されて、上下動する。このローラ４５の上下動とスライドフレーム２１の移動とによって、ロックレバー４２の爪部４２ａと案内係止部４６との位置関係が変化する。図１２の（１）（２）（３）は、このロック機構４０の変化の様子を、順を追って示している。
【００６７】
上記構成の可動側ホルダ３では、基板ステージ１０が初期位置にある状態下では、スライドフレーム２１は、引っ張りバネ２３によってＢ方向に引っ張られた状態で支持されている。また、このときの上部ローラ３３は、案内部材２８の最も低い位置に接触しているので、固定側ホルダ２と同様に、クランプ爪３２が持ち上がり、基板は非クランプ状態にある。また、このとき下部ローラ２７は、図２のＱ１の位置にある。
【００６８】
ここで基板ステージ１０がＹ軸の正方向に向かって移動すると、下部ローラ２７が、Ａ方向に沿って変位するので、スライドフレーム２１もＡ方向に移動する。この移動に伴い、案内部材２８も同様に移動し、固定側フレーム２と同様に上部ローラ３３が持ち上げられてクランプ爪支持ブロック３１が基板Ｓに近づく方向に回転する。よってクランプ爪３２も基板Ｓの方に下降し、基板支持プレート１３とクランプ爪３２との間に基板Ｓが挟持され、クランプ状態となる。また基板支持プレート１３および可動フレーム１２は、クランプ爪３２の押圧力により下降する。
【００６９】
一方、ロック機構４０のロックレバー４２は、基板ステージ１０が初期位置にあるときは、案内係止部４６の左端、すなわち傾斜面４７の一番低い位置に接触している。この後、基板ステージ１０がＹ軸の正方向に沿って移動すると、ロック機構４０のローラ４５が第３ガイド部５３に導かれて上昇する。また、スライドフレーム２１がしだいにロック機構４０に近づいてくるので、ロックレバー４２はしだいに傾斜面４７の高い位置に接触する（図１２（１）（２）参照）。また、ローラ４５が第３ガイド部５３の平坦面５５から傾斜面５６に移動して下降したとき、スライドフレーム２１がストッパ４５に当たって止まるとともに、ロックレバー４２の爪部４２ａが案内係止部４６の係合溝４８に係合する（図１２（３）参照。）。この係合のタイミングは、クランプ状態の成立とほぼ同時になるように、各機構の関係が調整されている。
【００７０】
上記のロックレバー４２と案内係止部４６との係合により、スライドフレーム２１が固定され、上部ローラ３３と案内部材２８との関係も保持される。よって、下部ローラ２７が第２ガイドから離れた後も、クランプ状態が維持される。
【００７１】
この後、基板ステージ１０の搬送方向がＹ軸の負方向に切り換えられると、上記とは反対の動きによりロックレバー４２の係合が解除され、スライドフレーム２１は、引っ張りバネ２３の付勢力により元の位置に復帰する。これにより上部ローラ３３が下降し、クランプ状態が解除される。
【００７２】
上記したように、固定側ホルダ２、可動側ホルダ３とも、基板ステージ１０のＹ軸に沿う移動に伴うスライド機構２０の変位によって、クランプ状態と非クランプ状態とが自動的に切り換えられる。また、クランプ状態下では、基板支持プレート１３およびスライドフレーム２１が基板の厚み分だけ下降するので、クランプ爪３２を可動範囲のリミット位置まで下ろして、その先端部に基板Ｓの上面を合わせることができ、基板Ｓを、その厚みに関わらず、上面が一定の高さになるようにして支持することができる。よって、ボールねじ機構６０のモータ６４以外の駆動源を使用することなく、基板Ｓを安定して支持し、検査を実行することができる。
【００７３】
なお、上記の例の基板支持装置１００は、クランプ爪３２によって基板Ｓの上面を押圧する構成のものであるが、クランプ機構３０はこれに限定されるものではない。たとえば、固定側ホルダ２や可動側ホルダ３の内側に上記と同様のスライド機構２０を設けるとともに、その上方に基板を下面側から押し上げる押圧部材を配備し、スライド機構２０の左右への移動によって押圧部材を上下動させてもよい。
【００７４】
また、スライド機構やこの機構を変位させるガイド部の構成についても、上記の実施例に限定されるものではない。たとえば図１２および図１３、または図１４に示すような変形例（いずれも固定側ホルダ２側の構成のみを示す。）を考えることができる。
【００７５】
図１２および図１３に示す第１の変形例では、主要な構成は、最初の実施例と同様である（図示していないが、ガイド部５１〜５３も同様である。）変更されているのは、スライド機構２０の案内部材２８がリンク部材７１に置き換えられた点と、クランプ機構３０の上部ローラ３３が固定用ネジ７２に置き換えられた点である。リンク部材７１は、複数の部材を棒状に連結させたもので、両端部７１，７１ｂにはネジ止め用の孔部（図示せず。）が形成されている。
【００７６】
リンク部材７１の一端７１ａは、固定用ネジ７２により、クランプ機構３０の上部ローラ３３と同様の位置に固定され、他端７１ｂは、スライドフレーム２１の下端部に固定される（以下、７１ａ，７１ｂを、それぞれ「上端部７１ａ」「下端部７１ｂ」という。）。また、下端側７１ｂの固定位置は、スライドフレーム２１が最も左に寄っているときに、リンク部材７１が垂直状態になるように調整されている。なお、リンク部材７１は上記のものに限らず、単一の長尺状の部材を用いてもよい。
【００７７】
上記構成においても、基板ステージ１０が初期位置にあるときは、スライドフレーム２１は最も右寄り（右側ストッパ２５に当接している状態）になる。このため、図１２（１）、図１３（１）に示すように、リンク部材７１も、下端部７１ｂが上端部７１ａより右に寄った傾斜状態になるため、クランプ爪支持ブロック３１は、ベースフレーム１１側に引き寄せられた状態、すなわち基板Ｓから離れた状態となる。よって、クランプ爪３２も基板Ｓから離れ、非クランプ状態が設定される。
【００７８】
基板ステージ１０が初期位置からＹ軸の正方向に沿って移動すると、第１実施例と同様に、下部ローラ２７がガイド部５１によってＡ方向側に変位し、これに伴ってスライドフレーム２１がＡ方向に沿って移動する。この移動により、リンク部材７１の姿勢はしだいに垂直状態に近づくので、クランプ爪支持ブロック３１は基板Ｓに向かう方向に回転する。最終的にスライドフレーム２１が左側ストッパ２４に当接する位置まで移動して、リンク部材７１が垂直になったとき、クランプ爪３２が基板Ｓに接触し、クランプ状態が設定される。また上記と逆の動作により、クランプ状態から非クランプ状態への切り換えが行われる。
【００７９】
図１４に示す第２の変形例では、スライドフレーム２１を、左右ではなく上下にスライドさせ、その上下方向の変位を、上部ローラ３３を介してクランプ爪支持機構３１に伝達するようにしている。具体的には、スライド機構２０側の下部ローラ２７を、水平方向（スライドフレーム２１の面に並行な方向）に沿う軸を介して、支持台１０８上を摺動可能に取り付けるとともに、この下部ローラ２７の動きに応じてスライドフレーム２１が上下動するように構成する。なお、図中、７４は、ベースフレーム１１に立設されたレールである。スライドフレーム２１は、支持部材７５を介して、このレール７４上に摺動可能に支持されている。
【００８０】
スライドフレーム２１の前面の上端位置には、断面Ｌ字状のローラ支持部材７３が設けられる。このローラ支持部材７３は、第１実施例の案内部材２８と同様に、上端部がスライドフレーム２１よりも突出し、かつクランプ機構３０の上部ローラ３３に接触している。上部ローラ３３は、このローラ支持部材７３の上下動に応じて同じ方向に変位する。クランプ爪支持ブロック３１（図１４では図示せず。）は、上部ローラ３３の上下動に応じて、軸３４を中心軸として、基板Ｓに向かう方向または基板Ｓから遠ざかる方向に回転する。
【００８１】
さらに、この実施例の支持台１０８には、Ｙ軸の正方向に沿って勾配が変化するガイド部７６が配備される。図１４中のＫ１は、基板ステージ１０が初期位置にあるときに下部ローラ２７が置かれる位置を示し、Ｋ２は、ガイド部７６の勾配変化が終了する地点を示す。この図に示すように、ガイド部の上面は、Ｋ１からＫ２に向けて緩やかに上昇する。さらに、固定側ホルダ２が移動し得る位置まで、Ｋ２における高さを維持したまま連続する。
【００８２】
基板ステージ１０が初期位置にあるときは、図１４の（１）に示すように、スライドフレーム２１およびローラ支持部材７３は立ち下がった状態にある。このため、上部ローラ３３は、前面側が下がった状態になって、クランプ爪支持ブロック３３は基板Ｓから遠ざかる。よって、クランプ爪３２も基板Ｓから離れ、非クランプ状態となる。
【００８３】
基板ステージ１０の移動に伴い、下部ローラ２７がガイド部の傾斜面を上ると、スライドフレーム２１はしだいに上昇する。ローラ支持部材７３も同様に上昇するので、上部ローラ３３が押し上げられ、これに応じてクランプ爪支持ブロック３１が基板Ｓに向かう方向に回転し、クランプ爪３２も基板Ｓの側に下降する。
【００８４】
この実施例では、下部ローラ２７がＫ２の地点に到達したときに、上部ローラ３３の軸がほぼ水平になるように、Ｋ１−Ｋ２間の勾配の変化量を調整している。よって、図１４（２）に示すように、下部ローラ２７がＫ２の地点に達したとき、クランプ爪３２の先端部が基板Ｓに接触する状態になり、クランプ状態が成立する。
【００８５】
クランプ状態が成立した後に、基板ステージ１０がさらに進んだ場合も、ガイド部７６の上面の高さがＫ２のときの高さのまま維持されているので、クランプ状態が維持される。この後、所定位置で基板ステージ１０の移動方向が反転して、基板ステージ１０が初期位置の方に戻ってくると、上記とは反対に、下部ローラ２７がガイド部７６の傾斜面を下ってスライドフレーム２１が下降する。これに伴い、上部ローラ３３も下降し、クランプ爪３２によるクランプ状態が解除される。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】基板検査装置の外観を示す斜視図である。
【図２】基板支持装置内の支持台の構成を示す上面図である。
【図３】支持台の正面図である。
【図４】基板ステージの全体構成を示す上面図である。
【図５】基板ステージの固定側ホルダの構成を、非クランプ状態とクランプ状態とで対比して示す正面図である。
【図６】図５の固定側ホルダの側面を、拡大して示す図である。
【図７】固定側ホルダの背面図である。
【図８−１】非クランプ状態の固定側ホルダの状態を示す斜視図である。
【図８−２】クランプ状態の固定側ホルダの状態を示す斜視図である。
【図９】基板ステージの可動側ホルダの構成を、非クランプ状態とクランプ状態とで対比して示す正面図である。
【図１０】ロック機構用の第３ガイド部の構成を示す側面図である。
【図１１】ロック機構の構成およびその状態変化を示す拡大正面図である。
【図１２】変形実施例にかかる固定側ホルダの構成を、非クランプ状態とクランプ状態とで対比して示す正面図である。
【図１３】図１２の固定側ホルダの側面を、拡大して示す図である。
【図１４】変形実施例にかかる固定側ホルダの構成を、非クランプ状態とクランプ状態とで対比して示す拡大側面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１００  基板支持装置
２    固定側ホルダ
３    可動側ホルダ
１０  基板ステージ
２０  スライド機構
２１  スライドフレーム
２２  水平レール
２３  バネ
２４，２５  ストッパ
２７  下部ローラ
２８  案内部材
２９  傾斜面
３０  クランプ機構
３１  クランプ爪支持ブロック
３２  クランプ爪
３３  上部ローラ
３４  軸
４０  ロック機構
６０  ボールねじ機構
６４  モータ
【図１】
2008091372.tif 000003
【図２】
2008091372.tif 000004
【図３】
2008091372.tif 000005
【図４】
2008091372.tif 000006
【図５】
2008091372.tif 000007
【図６】
2008091372.tif 000008
【図７】
2008091372.tif 000009
【図８−１】
2008091372.tif 000010
【図８−２】
2008091372.tif 000011
【図９】
2008091372.tif 000012
【図１０】
2008091372.tif 000013
【図１１】
2008091372.tif 000014
【図１２】
2008091372.tif 000015
【図１３】
2008091372.tif 000016
【図１４】
2008091372.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月12日(2007.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
なお、初期位置検出用のセンサ６９ａの背後に設けられたセンサ６９ｃは、基板ステージ１０が初期位置に近づいていることを検出するためのものであり、最前方に配置されたセンサ６９ｂおよび最後方に配置されたセンサ６９ｄは、基板ステージ１０がリミット位置に来ていることを検出するためのものである。センサ６９ｂや６９ｄがオンになった場合には、基板ステージ１０を緊急停止させるために、ステージへの電源の供給が遮断される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
クランプ爪支持ブロック３１の上面には、長手方向に延びる溝部３６が形成される。クランプ爪３２は、この溝部３６にネジ３７により固定される。なお、図示例では、左右のクランプ爪支持ブロック３１にそれぞれ２個のクランプ爪３２を取り付けているが、クランプ爪３２の数や固定位置は、自由に変更することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
上記の状態から案内部材２８がＡ方向に沿って移動すると、上部ローラ３３はしだいに持ち上げられ、最終的に回転軸の方向が水平に近い状態になる。クランプ爪支持ブロック３１は、この上部ローラ３３の動きに合わせて基板Ｓに向かう方向に軸回転する。これによりクランプ爪３２も基板Ｓ側に下降する。また、クランプ爪支持ブロック３１が保護ブロック１５に接近することにより、両者間の圧縮バネ３５はさらに圧縮される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
可動側ホルダ３も、固定側ホルダ２と同様に、垂直に起立するベースフレーム１１を具備する。また、このベースフレーム１１の裏面側に、基板支持プレート１３が一体化された可動フレーム１２が上下動可能に設けられる点や、上面側に保護ブロック１５が設けられる点も、固定側ホルダ２と同様である。ただし、可動側ホルダ３の保護ブロック１５には、溝部１７は形成されていない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
ここでロック機構４０の詳細な構成について、図１１の拡大された正面図を用いて説明する。
このロック機構４０には、ベースフレーム１１の面に直交する軸に軸支される支持部４１、この支持部４１の軸に取り付けられたロックレバー４２、ロックレバー４２の姿勢調整用の引っ張りバネ４３などが含まれる。また、支持部４１は、ベースフレーム１１より下方に突出しており、この突出部分に、軸方向を水平にした回転軸４４を介してローラ４５が取り付けられる。また、スライドフレーム２１側には、ロックレバー４２を案内して係止する部材４６（以下、「案内係支部４６」という。）が設けられる。これら回転軸４４，ローラ４５、案内係止部４６も、ロック機構４０に含められる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
一方、第３ガイド部５３は、図１０に示すように、中央の平坦面５５の前後に、それぞれこの平坦面５５に向かう方向を上り方向とする傾斜面５４，５６が形成された構成のものである。ロック機構４０のローラ４５は、これらの面５４，５５，５６に順に案内されて、上下動する。このローラ４５の上下動とスライドフレーム２１の移動とによって、ロックレバー４２の爪部４２ａと案内係止部４６との位置関係が変化する。図１１の（１）（２）（３）は、このロック機構４０の変化の様子を、順を追って示している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
一方、ロック機構４０のロックレバー４２は、基板ステージ１０が初期位置にあるときは、案内係止部４６の左端、すなわち傾斜面４７の一番低い位置に接触している。この後、基板ステージ１０がＹ軸の正方向に沿って移動すると、ロック機構４０のローラ４５が第３ガイド部５３に導かれて上昇する。また、スライドフレーム２１がしだいにロック機構４０に近づいてくるので、ロックレバー４２はしだいに傾斜面４７の高い位置に接触する（図１１（１）（２）参照）。また、ローラ４５が第３ガイド部５３の平坦面５５から傾斜面５６に移動して下降したとき、スライドフレーム２１がストッパ２５に当たって止まるとともに、ロックレバー４２の爪部４２ａが案内係止部４６の係合溝４８に係合する（図１１（３）参照。）。この係合のタイミングは、クランプ状態の成立とほぼ同時になるように、各機構の関係が調整されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図１２および図１３に示す第１の変形例では、主要な構成は、最初の実施例と同様である（図示していないが、ガイド部５１〜５３も同様である。）。変更されているのは、スライド機構２０の案内部材２８がリンク部材７１に置き換えられた点と、クランプ機構３０の上部ローラ３３が固定用ネジ７２に置き換えられた点である。リンク部材７１は、複数の部材を棒状に連結させたもので、両端部７１，７１ｂにはネジ止め用の孔部（図示せず。）が形成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008091372.tif 000018
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2008091372.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月6日(2008.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
基板ステージ１０には、基板の対向する一対の端縁を固定状態で支持するクランプ機構３０が設けられている。基板ステージ１０は、検査の開始前には、基板支持装置１００の前方側（上部ケース体１０１により開口部が覆われていない部分）に位置し、検査対象の基板を受け付ける。この後、クランプ機構３０が作動して基板が固定されると、コントローラ１０３の制御に基づき検査が開始される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
上記構成のほか、支持台１０８の上面には、３個のガイド部５１，５２，５３が設けられる（以下、符号の順に、「第１ガイド部５１」「第２ガイド部５２」「第３ガイド部５３」という。第１ガイド部５１は、基板ステージ１０の前端部の移動範囲に対応する位置に設けられ、第２、第３のガイド部５２，５３は、基板ステージ１０の後端部の移動範囲に対応する位置に設けられる。これらのガイド部５１，５２，５３の機能については、後で詳細に説明する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
左右のフレーム部４，５は、各ホルダ部２，３の左右端よりも外側に突出している。フレーム部４，５間の距離は、支持台１０８上のリニアガイド６６とスライドシャフト６５との距離に対応しており、左側のフレーム部４の底面はリニアガイド６６側の可動ブロック体６８に、右側のフレーム部５の底面はスライドシャフト６５側の可動ブロック体６７に、それぞれ連結されている。さらに、右側のフレーム部５の上面には、外側に突出する矩形状の突出片７が一体に形成されている。この突出片７は、ボールねじ機構６０の可動ブロック体６１に連結されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
スライドフレーム２１の上端縁は、中央部がＵ字状に切り欠かれており、この切り欠き部分の左右にそれぞれ案内部材２８が設けられる。各案内部材２８は、断面がＬ字状の部材であって、上端縁がスライドフレーム２１より上方に突出している。さらに、この上端縁には、左から右に向かう方向（Ｂ方向）を上り方向とする傾斜面２９が形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
ここでロック機構４０の詳細な構成について、図１１の拡大された正面図を用いて説明する。
このロック機構４０には、ベースフレーム１１の面に直交する軸に軸支される支持部４１、この支持部４１の軸に取り付けられたロックレバー４２、ロックレバー４２の姿勢調整用の引っ張りバネ４３などが含まれる。また、支持部４１は、ベースフレーム１１より下方に突出しており、この突出部分に、軸方向を水平にした回転軸４４を介してローラ４５が取り付けられる。また、スライドフレーム２１側には、ロックレバー４２を案内して係止する部材４６（以下、「案内係止部４６」という。）が設けられる。これら回転軸４４，ローラ４５、案内係止部４６も、ロック機構４０に含められる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
ここで基板ステージ１０がＹ軸の正方向に向かって移動すると、下部ローラ２７が、Ａ方向に沿って変位するので、スライドフレーム２１もＡ方向に移動する。この移動に伴い、案内部材２８も同様に移動し、固定側ホルダ２と同様に上部ローラ３３が持ち上げられてクランプ爪支持ブロック３１が基板Ｓに近づく方向に回転する。よってクランプ爪３２も基板Ｓの方に下降し、基板支持プレート１３とクランプ爪３２との間に基板Ｓが挟持され、クランプ状態となる。また基板支持プレート１３および可動フレーム１２は、クランプ爪３２の押圧力により下降する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
上記のロックレバー４２と案内係止部４６との係合により、スライドフレーム２１が固定され、上部ローラ３３と案内部材２８との関係も保持される。よって、下部ローラ２７が第２ガイド部５２から離れた後も、クランプ状態が維持される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
上記したように、固定側ホルダ２、可動側ホルダ３とも、基板ステージ１０のＹ軸に沿う移動に伴うスライド機構２０の変位によって、クランプ状態と非クランプ状態とが自動的に切り換えられる。また、クランプ状態下では、基板支持プレート１３および可動フレーム１２が基板の厚み分だけ下降するので、クランプ爪３２を可動範囲のリミット位置まで下ろして、その先端部に基板Ｓの上面を合わせることができ、基板Ｓを、その厚みに関わらず、上面が一定の高さになるようにして支持することができる。よって、ボールねじ機構６０のモータ６４以外の駆動源を使用することなく、基板Ｓを安定して支持し、検査を実行することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図１２および図１３に示す第１の変形例では、主要な構成は、最初の実施例と同様である（図示していないが、ガイド部５１〜５３も同様である。）。変更されているのは、スライド機構２０の案内部材２８がリンク部材７１に置き換えられた点と、クランプ機構３０の上部ローラ３３が固定用ネジ７２に置き換えられた点である。リンク部材７１は、複数の部材を棒状に連結させたもので、両端部７１ａ，７１ｂにはネジ止め用の孔部（図示せず。）が形成されている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図１４に示す第２の変形例では、スライドフレーム２１を、左右ではなく上下にスライドさせ、その上下方向の変位を、上部ローラ３３を介してクランプ爪支持ブロック３１に伝達するようにしている。具体的には、スライド機構２０側の下部ローラ２７を、水平方向（スライドフレーム２１の面に並行な方向）に沿う軸を介して、支持台１０８上を摺動可能に取り付けるとともに、この下部ローラ２７の動きに応じてスライドフレーム２１が上下動するように構成する。なお、図中、７４は、ベースフレーム１１に立設されたレールである。スライドフレーム２１は、支持部材７５を介して、このレール７４上に摺動可能に支持されている。