(57)【要約】      （修正有）【課題】吸着ノズル部の振動を抑制して、高精度で部品の高速搭載を可能とする電子部品搭載装置を提供する。【解決手段】吸着ノズル２２部の加速度を検出するためのセンサ（加速度センサ３０、ジャイロセンサ）を設け、該センサにより検出した加速度信号により、駆動軸のモータ制御装置で吸着ノズル部の振動を抑制するようにした駆動軸の駆動制御を行なう。前記モータ制御装置は、前記センサにより検出された加速度信号を用いて構成される、負荷の変動やパラメータの変動を含む外乱を補償するための負荷側外乱オブザーバにて推定した負荷側外乱を、負荷側外乱から位置指令値までの逆システムを通してフィードバックすることができる。又、前記モータ制御装置は、外乱オブザーバで用いるモータ慣性のノミナル値を実際のモータ慣性よりも大きく設定することで位相進み補償を行なうことができる。【選択図】図４
2008091856.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着ノズル部の加速度を検出するためのセンサを設け、
該センサにより検出した加速度信号により、駆動軸のモータ制御装置で吸着ノズル部の振動を抑制するようにした駆動軸の駆動制御を行なうことを特徴とする電子部品の搭載装置。
【請求項２】
前記センサにより検出した加速度信号を、駆動軸のモータ制御装置に加速度フィードバックして振動抑制補償を行なうことを特徴とする請求項１に記載の電子部品搭載装置。
【請求項３】
前記モータ制御装置が、前記センサにより検出された加速度信号を用いて構成される、負荷の変動やパラメータの変動を含む外乱を補償するための負荷側外乱オブザーバにて推定した負荷側外乱を、負荷側外乱から位置指令値までの逆システムを通してフィードバックすることを特徴とする請求項２に記載の電子部品搭載装置。
【請求項４】
前記モータ制御装置の加速度制御系が、外乱オブザーバのみを用いて構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品搭載装置。
【請求項５】
前記モータ制御装置が、外乱オブザーバと軸ねじれ反力推定オブザーバとから構成される共振比制御装置を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品搭載装置。
【請求項６】
前記モータ制御装置が、外乱オブザーバで用いるモータ慣性のノミナル値と実際のモータ慣性の値との比率を変化させることで位相補償を行なうことを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品搭載装置。
【請求項７】
前記モータ制御装置が、外乱オブザーバで用いるモータ慣性のノミナル値を実際のモータ慣性よりも大きく設定することで位相進み補償を行なうことを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搭載装置に係り、特に、その部品吸着ノズル部の振動を抑制することが可能な電子部品搭載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電子部品搭載装置は、図１に示すとおり、ガントリ型のＸＹ位置決め装置を用いて位置決めを行なうものが多い。このＸＹ位置決め装置は、Ｙ方向への移動に左右１対の平行に配置されたＹ軸駆動部（以下、ＹＬ軸１０ＹＬ、ＹＲ軸１０ＹＲ）を持ち、その上に設置されたＸ軸駆動部（以下、Ｘ軸１２Ｘ）でＸ方向への移動を行ない、部品搭載ヘッド部１４をＸＹ方向へ位置決めする構成をとる。
【０００３】
Ｘ軸、Ｙ軸の駆動には、回転型モータ＋タイミングベルト又はボールねじや、リニアモータ等が使用される。図１では例として回転型モータ１６ＹＬ、１６ＹＲ、１８Ｘ＋タイミングベルト２０を用いる場合を示す。
【０００４】
各軸は、指令発生部より各モータ制御部に受けた指令に基づき、モータ制御をして位置決めが行なわれる。
【０００５】
搭載ヘッド部１４が指定のＸＹ位置に位置決めされると、予め電子部品を吸着した部品吸着用のノズル２２を基板上に下降させ、電子部品２４の搭載を行なう。
【０００６】
部品搭載ヘッド部１４の詳細を図２にて示す。図２では吸着ノズル２２が単軸であるが、部品の搭載を高速化するため、吸着ノズルを複軸で用いることも多い。
【０００７】
又、吸着ノズルの駆動にも、ラックピニオンギヤ、タイミングベルト、ボールねじ、リニアモータ等の様々な方式が用いられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、電子部品搭載装置は、部品搭載の生産性の向上がますます望まれているため、ＸＹ位置決め装置も更に高速化が図られている。よって、高速・高加減速でのＸＹ軸の位置決めが必要となるが、それにより搭載ヘッド部１４が、特に加速時の駆動の際と、減速時の位置決め停止の際に、強い衝撃を受けることとなる。そのため、搭載ヘッド、更に搭載ヘッド上の吸着ノズル部に振動やあおりが発生するので、ＸＹ軸自体の位置精度がきちんと出ていても、吸着ノズル２２が搭載位置から位置ずれを生じて部品搭載を行なうことにより、部品搭載精度が悪化するという問題点が生じていた。
【０００９】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、吸着ノズル部の振動を抑制して、部品の高速搭載を高精度で可能とすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、電子部品の搭載装置において、吸着ノズル部の加速度を検出するためのセンサを設け、該センサにより検出した加速度信号により、駆動軸のモータ制御装置で吸着ノズル部の振動を抑制するようにした駆動軸の駆動制御を行なうようにして、前記課題を解決したものである。
【００１１】
又、前記センサにより検出した加速度信号を、駆動軸のモータ制御装置に加速度フィードバックして振動抑制補償を行なうようにしたものである。
【００１２】
又、前記モータ制御装置を、前記センサにより検出された加速度信号を用いて構成される、負荷の変動やパラメータの変動を含む外乱を補償するための負荷側外乱オブザーバにて推定した負荷側外乱を、負荷側外乱から位置指令値までの逆システムを通してフィードバックするようにしたものである。
【００１３】
又、前記モータ制御装置の加速度制御系を、外乱オブザーバのみを用いて構成するようにしたものである。
【００１４】
又、前記モータ制御装置が、外乱オブザーバと軸ねじれ反力推定オブザーバとから構成される共振比制御装置を含むようにしたものである。
【００１５】
又、前記モータ制御装置が、外乱オブザーバで用いるモータ慣性のノミナル値を実際のモータ慣性の値との比率を変化させることで位相補償を行なうようにしたものである。
【００１６】
又、前記モータ制御装置が、外乱オブザーバで用いるモータ慣性のノミナル値を実際のモータ慣性よりも大きく設定することで位相進み補償を行なうようにしたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、吸着ノズル部に取り付けた加速度センサから出力される加速度信号を用いて、モータ制御装置に例えば加速度フィードバック補償を行なうことにより、吸着ノズル部の振動を抑制することが可能となり、電子部品の高速搭載を高精度で達成できる。
【００１８】
特に、モータ制御系に共振比制御を適用することにより、モータに作用する各種外乱の影響やパラメータ変動等を抑圧することが可能である、ロバストな加速度制御系を構築することができる。
【００１９】
更に、吸着ノズル部に取り付けた加速度センサから出力される加速度信号を用いて、モータ制御系に負荷側外乱オブザーバを適用することにより、吸着ノズル部に印加される外乱及びパラメータ変動による外乱を合計した全負荷側外乱をまとめて補償することが可能となる。
【００２０】
更に、搭載する電子部品の種類毎の重さの変化の影響やノズルを交換した場合の重さの変化の影響等も抑制することが可能であり、あらゆる場合において、安定且つ高精度な電子部品の搭載を達成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
近年、携帯電話やゲーム機への使用量の増加やＭＥＭＳ（Ｍicro  Ｅlectro-Ｍechanical  Ｓystems）技術の発達などにより、加速度センサの小型化・軽量化が大幅に進んでいる。例えば、現在、日立金属より発売されている３軸（ＸＹＺ）加速度センサは、検出範囲±１０Ｇで、補正機能付き増幅回路内蔵であるが、パッケージサイズは４．８×４．８×１．５ｍｍと非常に小さい。
【００２２】
そこで本発明に係る制御装置では、図３に示す如く、吸着ノズル２２に小型の加速度センサ３０を取り付けて、吸着ノズル部のＸＹ方向への加速度信号を検出する。
【００２３】
加速度センサ３０から出力された加速度信号は、Ｘ方向の加速度信号はＸ軸の制御に用いられ、Ｙ方向の加速度信号はＹＬ、ＹＲ軸の制御に用いられる。以下の説明は、図を含めて、Ｘ軸の制御に適用した場合を例として行なうが、Ｙ軸の場合についてもＹ方向の加速度信号を用いて同様に行なうことができる。
【００２４】
本発明に係る制御装置の第１実施形態の全体のブロック図を図４に示す。図において、２４は、タイミングベルト２０の軸受部、２６は、Ｘ方向の位置を検出するためのリニアスケール、３２は、該リニアスケール２６から入力される位置フィードバック信号と位置指令の偏差を演算する位置偏差演算器、３４は、Ｘ軸モータ１８Ｘに設けられたエンコーダ、３６は、該エンコーダ３４の出力から速度を演算する速度演算部、３８は、該速度演算部３６から入力される速度フィードバック信号と前記位置偏差演算器３２から入力される速度指令の偏差を演算する速度偏差演算部、４０は低域フィルタ（ＬＰＦ）、４２は電流アンプである。
【００２５】
本実施形態では、吸着ノズル２２に取り付けた加速度センサ３０から出力されたＸ方向の加速度信号を用いて、Ｘ軸の加速度フィードバック制御を行なう。サーボモータにおいて、電流とトルクと加速度は比例するので、同種の信号として扱うことができる。
【００２６】
具体的には、ＬＰＦ４０出力のＸ軸のトルク指令信号から、加速度センサ３０で検出されたＸ方向の加速度信号を増幅器４４で加速度ゲイン倍した信号を減算することで、吸着ノズル部のＸ方向の振動を抑制するようにＸ軸のモータ制御を補償するため、吸着ノズル部のＸ方向の振動を抑制することが可能となり、高速・高加減速での位置決め時にも高精度での電子部品の搭載が達成できる。
【００２７】
第１実施形態の制御系統のブロック線図は図５のようになる。図に記していないが、電流アンプ４２内には電流フィードバックループを備える。即ち、モータ制御装置内に、位置ループ、速度ループ、加速度ループ、電流ループの、４重の制御ループを備えた制御系となる。ノイズ低減のため、図４中に破線で示すように、加速度フィードバックループ内に低域フィルタ（ＬＰＦ）４６を入れることも可能である。
【００２８】
次に、本発明に係る制御装置の第２実施形態について説明する。
【００２９】
本実施形態では、図６（全体構成のブロック図）及び図７（制御系統のブロック線図）に示す如く、モータの制御装置内に、図８に示すような外乱オブザーバ５０と、図９に示すような軸ねじれ反力推定オブザーバ６０を用いて、２慣性共振系の振動抑制において有効である共振比制御系を構成する。図において、７０は、後で詳述する負荷側外乱オブザーバ、８０は、同じく逆システムである。
【００３０】
共振比制御は、状態フィードバック制御やＨ∞制御などと異なり、比較的簡単な制御系から構成される為、設計が容易であり、計算量も少なくて済むなど実用性が高い。
【００３１】
モータ側に外乱オブザーバ５０を適用することにより、モータに作用する各種外乱の影響を除去することができ、図１０に示すようなロバストな加速度制御系を構築することができる。即ち、外乱オブザーバゲインGdisを大きく設定することにより、外乱トルクTdismの影響が除去されることが分かる。これにより、モータは軸ねじれ反力を除去し、負荷側の影響を受けないロバストな制御系となる。
【００３２】
なお、外乱オブザーバ５０をモータ側に適用することにより、唯一の負荷側の情報である軸ねじれ反力を相殺、除去してしまうため、負荷の振動を誘発してしまうことになる。そこで、外乱オブザーバ５０とほぼ同じ構造を持つ図９に示した軸ねじれ反力推定オブザーバ６０を利用して、軸ねじれ反力の推定を行なう。図９において、Greacは軸ねじれ反力推定オブザーバ６０に含まれる１次の低域フィルタ（ＬＰＦ）６２のカットオフ周波数である。
【００３３】
モータ側に外乱オブザーバ５０を適用することにより加速度制御系を構成した制御対象に、軸ねじれ反力をフィードバックした系を図１１に示す。図において、Ｋrは軸ねじれ
反力のフィードバックゲインであり、任意に設定することができる。
【００３４】
加速度参照値（ｄ2θm／ｄｔ2）refからモータ位置θmまでの伝達関数と、モータ位置
θmから負荷位置θlまでの伝達関数はそれぞれ以下のようになる。
【００３５】
【数１】
2008091856.tif 000003
【００３６】
又、モータ共振周波数ωm及び負荷共振周波数ω1を以下のように定義する。
【００３７】
【数２】
2008091856.tif 000004
【００３８】
ここで、共振比Ｋを次式に定義する。
【００３９】
Ｋ ＝ωm ／ω1          …（５）
＝√（１＋ＫrＪ1）  …（６）
【００４０】
負荷共振周波数ωlはモータ側には零点として作用する逆共振周波数となる。
【００４１】
ωlは任意パラメータを含まず制御対象により決定される。また、モータ側の状態フィ
ードバックに対して不可制御である。
【００４２】
一方、ωmは軸ねじれ反力フィードバックゲインＫrにより、任意に設定できる。
【００４３】
共振比を制御することは、仮想的モータ慣性を制御することに相当し、共振比が大きいとき、即ちＫrが大きい場合には、負荷慣性に対しモータ慣性が小さくなり、負荷側の影
響を受けやすくなる。また逆も同様である。
【００４４】
共振比を
Ｋ＝√５              …（７）
に設定することにより、いかなる２慣性共振系に対しても、振動抑制、即応性とも優れるゲイン設定が可能となる。
【００４５】
各ゲインは以下の通りである。
【００４６】
Ｋr＝４／Ｊ1         …（８）
Ｋp＝ω12             …（９）
Ｋv＝４ω1            …（１０）
（ωm：モータ共振周波数、ωl：負荷共振周波数、Ｊl：負荷慣性）
【００４７】
これらに加えて、吸着ノズル２２をＸ軸モータ１８Ｘの負荷とみなして、吸着ノズル２２に取り付けた加速度センサ３０から出力されたＸ方向の加速度信号ｄ2θ1／ｄｔ2を用いて、負荷側外乱オブザーバ７０を構成する。負荷側外乱、即ち吸着ノズル２２への外乱は、負荷側に印加される外乱及びパラメータ変動による外乱として、次式で表わされる。
【００４８】
【数３】
2008091856.tif 000005
【００４９】
負荷側外乱オブザーバ７０を構成することにより、吸着ノズル２２に印加される外乱及びパラメータ変動による外乱を合計した全負荷側外乱を推定することが可能となる。
【００５０】
負荷側外乱オブザーバ７０のブロック線図を図１２に示す。なお、広域ノイズ低減のため、カットオフ周波数ｇ1の１次低域フィルタ（ＬＰＦ）７２を挿入している。
【００５１】
前記負荷側外乱オブザーバ７０を用いて推定した吸着ノズル２２への外乱を補償するため、負荷側から位置指令値までの逆システム８０を通してフィードバックする。負荷側が全てノミナル値として制御されるため、制御系内で用いる軸ねじれ反力も実際の値ではなく、ノミナル値に基づく値をフィードバックする必要がある。
【００５２】
位置指令値θcmdから負荷位置θ1までの伝達関数は次式のようになる。
【００５３】
【数４】
2008091856.tif 000006
【００５４】
又、負荷側外乱Ｔdisl*allから負荷位置θ1までの伝達関数は次式のようになる。
【００５５】
【数５】
2008091856.tif 000007
【００５６】
従って、負荷側外乱から位置指令値までの逆システム８０は次式のようになる。
【００５７】
【数６】
2008091856.tif 000008
【００５８】
本実施形態においては、加速度センサ３０を吸着ノズル２２の先端近傍に設けているので、高精度の制御が可能である。なお、加速度センサ３０を吸着ノズル２２に直接取り付けることが困難な場合には、図２に示したように、吸着ノズル２２と同様に振動を生じるような搭載ヘッド１４上の任意の部分に加速度センサ３０を取り付けることも可能である。この場合には、吸着ノズル２２を交換しても、加速度センサ３０は交換する必要がなく、経済的である。
【００５９】
又、図６に示した本制御装置のブロック図では、速度演算部にＰ制御を用いているが、ＰＩ制御、ＰＤ制御、ＰＩＤ制御を用いても良い。
【００６０】
又、共振比制御系内の外乱オブザーバの負荷慣性のノミナル値Ｊｍｎを実際の負荷慣性値Ｊｍより大きく設定しても良い。これにより、位相進み補償を達成し、２慣性共振系よりも更に高次の振動極に対して安定化を図ることが可能となり、全ての共振極の安定化を達成することができる。
【００６１】
又、前記実施形態では、モータと負荷とが柔軟な駆動軸により結合され、軸ねじれが問題となるような剛性の低い制御系を対象としていたが、モータと搭載ヘッドとの連結の剛性が高く、軸ねじれ反力が無視できるような場合には、図１３（全体構成のブロック図）及び図１４（制御系統のブロック線図）に示す第３実施形態のように、軸ねじれ反力推定オブザーバを省略し、外乱オブザーバのみでの適用が可能である。
【００６２】
この第３実施形態においても、位相進み補償の効果により、第２実施形態と同様に全ての共振極に対して安定化を図ることができる。
【００６３】
又、前記実施形態では、回転型モータとタイミングベルトを使用した場合について示しているが、回転型モータとボールねじを組み合わせたものや、リニアモータ等何にでも用いることができる。
【００６４】
又、前記実施形態では加速度検出に小型の加速度センサを用いたが、同様に小型のジャイロセンサ等を用いることも可能である。出力が角速度信号のジャイロセンサ３１を第２実施形態と同様の構成に適用した場合について、第４実施形態として図１５（全体構成のブロック図）及び図１６（制御系統のブロック線図）に示す。
【００６５】
又、前記実施形態では、リニアスケール信号を位置フィードバックに使用したフルクロ
ーズド制御を用いているが、モータエンコーダを使用するセミクローズド制御でも可能である。
【００６６】
更に、図１７に例示する第５実施形態のように、速度フィードバックと負荷側外乱オブザーバを併用したり、加速度フィードバックと共振比制御を併用するなど、それぞれの実施形態を同時に用いることも可能である。
【００６７】
これまでの実施形態では、制御対象を単純化して、図１８（Ａ）に示すような２慣性共振系の負荷と見なしてオブザーバを構成してきた。図１８（Ｂ）に、この２慣性共振系のブロック線図を示す。図において、Ｊは慣性、θは回転角度、Ｔはトルク、Ｋfは、ばね
定数、添字mはモータ、Ｉは負荷、disは外乱、reacは軸ねじれ反力を示す。
【００６８】
しかし実際には、現実の制御対象は更に多くの振動系を含む為、図１９（Ａ）（Ｂ）に示すような高次の多慣性共振系となる。
【００６９】
例えばＸ軸からノズル２２を見た場合、Ｘ軸モータ１８Ｘの軸とヘッド１４の間をベルト２０又はボールねじ等で接続し、ヘッド１４とノズル２２の間を、図示しないラックピニオン又はベルトやボールねじ等で接続するため、少なくとも図２０に示すような３慣性共振系の負荷１、２となる。
【００７０】
制御対象を、このような３慣性共振系と考えた場合、ノズル２２に印加される負荷側外乱は次式のようになる。
【００７１】
Ｔdisl２＝Ｔreac１−（θl１・Ｊl１・ｓ2＋θl２・Ｊl２・ｓ2）  …（１６）
Ｔreac１＝Ｋf１・（θm−θl１）                           …（１７）
【００７２】
上記の式に基づき、３慣性共振系における負荷側外乱オブザーバを構成して、負荷側から位置指令値までの逆システムを通してフィードバックする事により、吸着ノズル２２への外乱を、より厳密に補償することが可能となる。
【００７３】
同様に、Ｙ軸からノズルを見た場合は、Ｙ軸モータとＸ軸を載せた可動部との間にベルト又はボールねじ等を介するので、少なくとも４慣性共振系負荷と見なし、４慣性共振系における負荷側外乱オブザーバを適用することができる。
【００７４】
例として、３慣性共振系における負荷側外乱オブザーバを適用した第６実施形態のモータ制御装置の全体の構成を図２１に、そのブロック線図を図２２に示す。図において、７１は、Ｘ軸の負荷外乱オブザーバ、８１は、その逆システムである。他の構成は、図６、図７と同じであるので、同じ符号を付して、説明は省略する。
【００７５】
また、３慣性共振系負荷における負荷側外乱オブザーバ７０の構成としては、図２３のような構成も可能である。
【００７６】
更に、本発明で用いる逆システムであるが、（１５）式の逆システムは、内部に微分項を含んでいる為、ノイズの影響を受けやすい。ノイズは騒音や発振の原因となる為、ゲインを上げることができなくなり、性能も抑えられてしまう。
【００７７】
よって、環境によりノイズが問題となる際には、図２４に示す第７実施形態のように、次式に示す如く、微分項を省略し、０次項のみを逆システム８２に用いることでノイズの影響を低減することが可能である。
【００７８】
【数７】
2008091856.tif 000009
【００７９】
また、０次項のみの逆システムとした場合に即応性が問題となる際には、図２５に示す第８実施形態のように、次式に示す如く、２次の微分項のみを省略し、１次項と０次項を用いた逆システム８３を用いることもできる。
【００８０】
【数８】
2008091856.tif 000010
【００８１】
また、本発明の適用対象は、ガントリ型ＸＹ位置決め装置に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の適用対象である電子部品搭載装置の要部を示す斜視図
【図２】同じく部品搭載ヘッド部を示す拡大斜視図
【図３】同じく本発明により加速度センサを取付けた吸着ノズル部を示す正面図
【図４】本発明の第１実施形態の全体を示すブロック図
【図５】同じく制御系統のブロック線図
【図６】本発明の第２実施形態の全体を示すブロック図
【図７】同じく制御系統のブロック線図
【図８】第１実施形態で用いられている外乱オブザーバを示すブロック線図
【図９】同じく軸ねじれ反力推定オブザーバを示すブロック線図
【図１０】同じく加速度制御系を示すブロック線図
【図１１】同じく軸ねじれ反力フィードバックを示すブロック線図
【図１２】同じく負荷側外乱オブザーバを示すブロック線図
【図１３】本発明の第３実施形態の全体を示すブロック図
【図１４】同じく制御系統のブロック線図
【図１５】本発明の第４実施形態の全体を示すブロック図
【図１６】同じく制御系統のブロック線図
【図１７】本発明の第５実施形態の全体を示すブロック図
【図１８】第１〜第５実施形態が前提とした２慣性共振系を示す図
【図１９】現実の多慣性共振系を示す図
【図２０】３慣性共振系を示す図
【図２１】本発明の第６実施形態の全体を示すブロック図
【図２２】同じく制御系統のブロック線図
【図２３】同じく変形例を示すブロック線図
【図２４】本発明の第７実施形態の全体を示すブロック図
【図２５】本発明の第８実施形態の全体を示すブロック図
【符号の説明】
【００８３】
１４…部品搭載ヘッド
２２…吸着ノズル
３０…加速度センサ
３１…ジャイロセンサ
５０…外乱オブザーバ
６０…軸ねじれ反力推定オブザーバ
７０、７１…負荷側外乱オブザーバ
８０、８１、８２、８３…逆システム
【図１】
2008091856.tif 000011
【図２】
2008091856.tif 000012
【図３】
2008091856.tif 000013
【図４】
2008091856.tif 000014
【図５】
2008091856.tif 000015
【図６】
2008091856.tif 000016
【図７】
2008091856.tif 000017
【図８】
2008091856.tif 000018
【図９】
2008091856.tif 000019
【図１０】
2008091856.tif 000020
【図１１】
2008091856.tif 000021
【図１２】
2008091856.tif 000022
【図１３】
2008091856.tif 000023
【図１４】
2008091856.tif 000024
【図１５】
2008091856.tif 000025
【図１６】
2008091856.tif 000026
【図１７】
2008091856.tif 000027
【図１８】
2008091856.tif 000028
【図１９】
2008091856.tif 000029
【図２０】
2008091856.tif 000030
【図２１】
2008091856.tif 000031
【図２２】
2008091856.tif 000032
【図２３】
2008091856.tif 000033
【図２４】
2008091856.tif 000034
【図２５】
2008091856.tif 000035