(57)【要約】【課題】  ガラス管内面の黒化を抑制でき、テレビ受像機等で要求される長寿命を有する冷陰極放電ランプおよび蛍光管を提供する。【解決手段】  冷陰極蛍光管１の両端の電極部２をカップ形状の電子放出性電極４とし、その材料として導電性を備えた結晶性シリコン材料、を用いる。導電性を備えた単結晶シリコン結晶を用いることが好ましい。単結晶シリコンを所定形状に加工して蛍光管の電子放出電極として使用する。蛍光管内には、例えばアルゴン、ネオンおよび水銀を所定量、所定圧力にて封入する。シリコン結晶単結晶を電子放出電極として用いた場合には、従来のニッケルやタングステンを電子放出電極材料として用いた場合に比べて、ガラス管の黒化現象が生じ難くなり、寿命を長くすることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端が気密封止された中空円筒状のガラス管と、ガラス管端部の電子放出電極とを備えた蛍光管において、
前記電子放出電極が、導電性を備えた結晶性の半導体材料であり、かつ、前記ガラス管の中空空間側に凹形状部を有する表面形状とされている、ことを特徴とする蛍光管。
【請求項２】
前記電子放出電極が、窒化ガリウム系半導体、シリコン半導体のいずれかの材料からなる、ことを特徴とする請求項１に記載の蛍光管。
【請求項３】
前記電子放出電極が、カップ形状である、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の蛍光管。
【請求項４】
前記電子放出電極の端部側には導電性を備えた結晶性シリコン材料からなる封着部を備え、前記封着部が前記ガラス管端部を貫通している、ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の蛍光管。
【請求項５】
両端が気密封止された中空円筒状のガラス管と、ガラス管端部の電子放出電極とを備えた冷陰極放電ランプにおいて、
前記ガラス管内には、少なくともネオン（Ｎｅ），アルゴン（Ａｒ）および水銀（Ｈｇ）が封入され、
前記電子放出電極が導電性を備えた結晶性の半導体材料である、ことを特徴とする冷陰極放電ランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光管に関し、特に冷陰極蛍光管に関するもので、好適にはテレビ受像器やパソコン等のＬＣＤ（液晶ディスプレイ）用バックライト等に用いられるものである。
【背景技術】
【０００２】
パソコンやワープロ等のＯＡ機器に用いられている液晶表示装置（ＬＣＤ）には、該ＬＣＤを照明するための冷陰極蛍光管を光源とするバックライトが組み込まれている。この光源には発熱の少ない冷陰極蛍光管が多く用いられている。一般に蛍光管は冷陰極蛍光管および熱陰極蛍光管に大別される。
これらの蛍光管は、大別すると電極部とガラス管部とで構成されている。
【０００３】
例えば冷陰極蛍光管においては、一般に前記電極部はカップ電極、封着棒及びリード線から構成されている。カップ電極の材質は、従来はニッケルが用いられ、近年ではニオブ、モリブデン、タングステン等が使用されるようになってきている。封着棒は、ガラスシールされるため、熱膨張係挙動がガラスと近似しているコバール、タングステン、モリブデンが使用されている。また、外部リード線は、ジメット線やニッケル線が用いられている。そして、これらの各部は、通常抵抗溶接やレーザ溶接で接合され、電極部を構成している。また、ガラス管部は、内面に蛍光塗料を塗布され、外径２ｍｍ程度で、長さは１００〜１０００ｍｍ程度となっている。ガラス管は、ガラスビーズ巻きされた封入棒により封止されている。
【０００４】
また、スパッタの影響を抑制し、長寿命で高出力化を図った陰極管用電極も提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、さらにガラス管の黒化を抑制し、長寿命で高出力化を図った陰極管用電極も提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特許第２７９２５４３号公報
【特許文献２】特開２００５−２８５５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで近年、テレビ受像機に液晶表示装置が使用されるようになってきているが、このテレビ受像機は、従来使用されてきたパソコン等のＯＡ機器に比べ、液晶表示装置に長寿命化や高輝度化が要求される。すなわち、液晶表示装置のバックライト、その光源である冷陰極管も長寿命化及び高輝度化が要求される。また、表示画面の大型化に伴い、冷陰極管も長寸化し、作動電圧も高電圧化している。
【０００７】
ここで、ランプ寿命を決定するのは、電極部近傍のガラス管内面の黒化である。これは、水銀イオン等によりカップ電極表面から電極物質がたたき出され、このたたき出された電極物質が電極近傍のガラス管内面に付着し、ガラス管内面を黒化させるもので、これにより冷陰極管の寿命が短縮される。
【０００８】
前記の黒化対策として、電極材料に従来のニッケルに代わって、水銀イオンに対する耐スパッタ性に優れたモリブデンやタングステンが使用されるようになってきている。しかしながら、これらの材料を使用しても、黒化対策は十分でなく、所望の寿命は得られなかった、という問題がある。
【０００９】
一方、モリブデンやタングステンの電極に、比較的少量のランタナ等の低仕事関数物質を添加する電極、酸化ランタン、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化ストロンチウム、酸化ハフニウム及び酸化バリウムからなる群のうちの１種または２種以上を４〜１０ｗｔ％含有し、さらに、重量比で０．０５〜０．５ｗｔ％のニッケル、鉄、コバルト及びパラジウムのうちの１種または２種以上を含有する電極も提唱されている。該電極では、モリブデンやタングステン電極に比べ黒化の抑制は改良されているが、冷陰極管の寿命の更なる長寿命化が求められており、依然十分ではない、という問題がある。
【００１０】
本発明は、このような背景に鑑みてなされたもので、ガラス管内面の黒化を抑制でき、より一層の長寿命の要求に対応可能な蛍光管を比較的簡易な構成にて提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、長寿命で信頼性の高い蛍光管を提供することである。
【００１１】
より具体的には、６万時間の連続点灯の場合であっても初期輝度に対する輝度の低下５０％以下を満足するような従来にない長寿命の冷陰極放電ランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このため、前記課題は本発明の１観点によれば、両端が気密封止された中空円筒状のガラス管と、ガラス管端部の電子放出電極とを備えた蛍光管において、により、解決される。
この構成によれば、電子放出電極からのスパッタが抑止され蛍光管の黒化が改良された蛍光管を提供でき得る。また、中空空間側に凹形状部を有する表面形状としているので電子放出面積を大きくすることができ、比較的簡易な構成で長寿命の蛍光管を得ることができ得る。
【００１３】
好ましくは、前記電子放出電極が、窒化ガリウム系半導体、シリコン半導体のいずれかの材料からなる、ことを特徴とする蛍光管により、解決される。
この構成によれば、例えば導電性の単結晶炭化珪素を加工する等の比較的容易な製造工程にて電子放出電極を作成することができ、比較的簡易な構成で長寿命の蛍光管を得ることができ得る。
【００１４】
好ましくは、前記電子放出電極が、カップ形状である、ことを特徴とする蛍光管により、解決される。
この構成によれば、導電性を備えた結晶性の炭化珪素材料を、例えばエッチングする等の比較的容易な製造工程にて凹部を形成するものであるので、電子放出電極の製造コストを低減した蛍光管とすることができる。また、スパッタされ易い電子放出電極の中央部からたたき出された材料がカップ形状の立壁によりガラス管に向かうのが妨げられる。よって、ガラス管の黒化を抑止した蛍光管を得ることができ得る。
【００１５】
好ましくは、前記電子放出電極の端部側には導電性を備えた結晶性シリコン材料からなる封着部を備え、前記封着部が前記ガラス管端部を貫通している、ことを特徴とする蛍光管により、解決される。
この構成によれば、ガラス管の外部まで導電性を備えた結晶性シリコン材料にて導出しているので、例えばガラス管内にて金属材料から封着棒との異種材料接続を図る必要がなくなり、異種接続のための銀ろう等の接続物質がガラス管内等に混入する等の問題の発生を防ぐことができ、長寿命で信頼性の高い蛍光管を得ることができ得る。また、シリコン単結晶製の電子放出電極と一体とした場合には、異種材料である封着棒との接続といった慎重な作業が求められる煩雑な作業が不要となるため、安定した品質の製品を歩留まりよく製造でき得る。
【００１６】
好ましくは、両端が気密封止された中空円筒状のガラス管と、ガラス管端部の電子放出電極とを備えた冷陰極放電ランプにおいて、前記ガラス管内には、少なくともネオン（Ｎｅ），アルゴン（Ａｒ）および水銀（Ｈｇ）が封入され、前記電子放出電極が導電性を備えた結晶性の炭化珪素材料である、ことを特徴とする冷陰極放電ランプにより、解決される。
この構成によれば、電子放出電極からのスパッタが抑止されガラス管の黒化が改良される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、導電性を備えた結晶性の半導体材料を電子放出電極とすることにより、長寿命で黒化が抑止された、蛍光管が得られることが見出された。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態例を冷陰極蛍光管の例にて具体的に説明する。図１は本発明に係る蛍光管の構造を示す（一部）断面図である。図２は本発明に係る蛍光管に給電するためのソケットとの接続構造を拡大して示す側面図である。図３は本発明に係る蛍光管に用いる電子放出性電極の一例を説明する拡大斜視図である。図４および図５は異なる電極形状とした実施形態例を説明する一部断面図である。
【００１９】
この冷陰極蛍光管１は、管形のガラスバルブ２の両端には電極部３が設けられ、この電極部３は、中空空間部７側の表面形状を凹形状部４ａとして設けたカップ形状の電子放出電極部４と、ガラスバルブ２の端部を貫通する封入棒部５を備える。ガラスバルブ２の端部の貫通孔は、電極封止部６を介してガラスバルブ２に封入棒部５が封止されている。また、ガラスバルブ２の内面には、蛍光体膜８が設けられ、気密封止されたガラスバルブ２の内部には封入ガス９が充填されている。
【００２０】
蛍光管１は、大別すると電極部とガラス管部とで構成されている点は従来の蛍光管と変わりはないが、本願発明においては、電子放出電極に導電性を備えた結晶性の半導体材料を用いている点で相違する。
【００２１】
前記ガラスバルブ２は、例えば外径が約３．４ｍｍ、内径が２．４ｍｍ、長さが約３００ｍｍの直管形となっている。線膨張係数が５．１ｐｐｍのコバールガラス（日本電気硝子株式会社製：コード番号ＢＦＫ）や線膨張係数が３．８ｐｐｍのタングステンガラス（日本電気硝子株式会社製：コード番号ＢＦＷ）からなり、中空の円筒状に形成される。
【００２２】
中空としたガラスバルブ内部に充填される封入ガス９としては、例えば、Ａｒ（アルゴン）とネオン（Ｎｅとを）５：９５の比とした混合ガスと十分なＨｇ（水銀）蒸気用い、全圧を常温において６０Ｔｏｒｒとした。ガラスバルブ内面の蛍光体膜８は、ガラスバルブ２の両端に設けた電極部３間で生じる放電により励起され、可視光等を放射する蛍光体、例えば、Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ、ＢＡＭ等からなる蛍光体粒子とバインダーを混合したスラリーを塗布乾燥した蛍光体塗膜とする。
【００２３】
電極部３の電子放出性電極部４は、導電性を備えた結晶性の半導体材料からなる。また、蛍光管１の中空空間部７側となる電極表面形状を凹形状部４ａとしている。凹形状としては図１に示した断面略Ｕ字状のカップ形状に限らず、図３に示したストライプ状の凹溝４１ａを備えた電子放出性電極部４１や、図示しない格子状の凹溝を形成した形状および中央部が凹んだ凹曲面等の形状が含まれる。特に好ましくは、円筒状の立壁を備えた電子放出性電極部の周縁に備えたもの、例えばカップ形状であろう。この場合には、電子放出電極のガラス管近傍の周縁部に比べてスパッタされ易い電子放出電極の中央部からたたき出された材料が、ガラス管壁側の立壁によりガラス管に向かうのが妨げられることになり、ガラス管の黒化を抑止した蛍光管を得ることができ得る。
逆に円錐形状などとして中空空間部側の中央部を凸形状として表面積を増加した場合には、他形状に比べて早い段階から黒化する。これは、電界の集中によりスパッタされたものと思われる。よって中央部形状は凹形状が好適と考えられる。
【００２４】
導電性を備えた結晶性の半導体材料としては、ＧａＮ（窒化ガリウム）、ＧａＩｎＮ（窒化ガリウムインジウム）などの窒化ガリウム系半導体およびＳｉ（シリコン）いずれかの半導体材料を用いる。より好適には（シリコン）半導体単結晶を用いる。シリコン結晶は大型の単結晶を得易く、安定した品質の電極を他の半導体材料に比較して安価に提供できるからである。
【００２５】
ガラスバルブの両端部においては、前記電極部３がガラスバルブ２の端部を貫通している。ガラスバルブ端部の貫通孔には、電極封止部６を介してガラスバルブ２に封入棒部５が封止されており、電極封止部６は、ガラスバルブ２と前記封入棒部５とを気密に封止する。電極封止部６は接着剤を用いて前記両者を接合する。接着剤の材料としては、ガラスとセラミックスの接合用接着剤が好適である。最も好適にはフリットガラスを用いる。ガラスバルブ２と封入棒部５とでは熱膨張係数が異なるが、電極封止部６にてひずみを抑止する。また、活性金属銀ろうを用いることもできる。
【００２６】
封入棒部５として電子放出性電極部４と同一材料からなるシリコン結晶を一体にして形成する場合には、図１に示すように、貫通孔内側にのみ電極封止部６を設けて封止する。封入棒部５としてコバールもしくはモリブテン（Ｍｏ）等の既知の金属を用いる場合には、図４に示すように予めガラス被覆層からなる溶着部を備えたコバールガラスを用いて封着する。なお、符号４２は平板状の電子放出性電極部４２で、その中空空間部側表面には凹部が形成されている。また、封入棒部５は図示しない外部接続するリード電極線としてジメット線と蛍光管外部で接続され給電する。
【００２７】
また、封入棒部５として電子放出性電極部４と同一材料からなるシリコン結晶を一体にして形成することが好ましい。一体化するには、単結晶シリコンの結晶ロッドから所定形状に削りだす等の既知の方法で実現できる。一体とすることで、シリコン結晶と封入棒部との接続が不要となる。これにより冷陰極蛍光管１内にて電子放出性電極部４と封入棒部５との接続部を設ける必要がなくなる。
【００２８】
すなわち、一体化せずに封入棒部５をシリコン結晶と異なる材料にて形成した場合には、異種材料の接合のためにフリットガラス、活性銀ろう等の接着材料を使用する。
例えば、シリコン結晶とコバールを接続する際に、活性銀ろうを使用して図４に示す形状にて電気的および機械的に接続した。活性銀ろうにて接続する場合には、シリコン結晶の所定箇所に活性銀ろうを付着させ、その箇所にコバールを接続した状態で７００℃の高温（不活性ガス雰囲気下）にて、熱処理を施して活性銀ろうを溶かして接続する。そのため、接続のための作業工程が必要で、また、処理に時間を要することになり加工コストが上昇する問題がある。また、接続作業中に活性銀ろうの残渣が蛍光管内に残り、残渣からガスが発生して蛍光管内に不要なガスを発生させて不点灯となることもあった。更に小さなシリコン結晶に対して一定の角度、位置で接続する作業には熟練を必要とし、安定して同じ接続結果を得るのは難しかった。
【００２９】
しかしながら、一体化した場合には、かかる問題が生じ得ないので、製造工程の簡素化とかかる不具合の発生をなくした信頼性の向上を図ることができ得るからである。
また、封入棒部５として電子放出性電極部４と同一材料からなるシリコン結晶を一体にして形成した場合には、図２に示すように、内部にバネ性を有する金属片５５ａを備えたソケット５５を冷陰極蛍光管１の外部に突出している封入棒部５に勘合することで外部電源からの給電を行うことができ、接続の簡素化も可能となり得る。
【００３０】
ここで、半導体材料を電子放出性電極部に用いた場合の優位性確認結果を説明する。
【００３１】
＜実施例１＞
冷陰極蛍光管は、ガラスバルブ２として外径が約３．４ｍｍ、内径が２．４ｍｍ、長さが約３００ｍｍの直管形のものを使用し、封入ガス９として、希ガスと十分なＨｇ（水銀）蒸気を用い、全圧を常温において６０Ｔｏｒｒとした。またガラスバルブ内面には蛍光塗料を塗布形成した。
電極部３は、図４に示した構造とした。すなわち、電子放出性電極部としてｎ型単結晶シリコンウエハーから２ｍｍ角の大きさに切断した平板状電極４２を用いた。電子放出性電極部４２には封入棒部５が接続され、封入棒部５はガラスバルブ２を貫通し封止されている。封入棒部５としては円柱状のコバールを用いた。平板状電極４２の中央部には、封入棒部５を固定するための開口を設けた。封入棒部５はガラスバルブ２を貫通し封止されている。封入棒部５と電子放出性電極部４２は前記開口部にディスペンサにて活性銀ろうからなる接着材を滴下し、その後封入棒部を前記開口部に挿入し、その状態のまま窒素ガスの不活性環境下で約７００度の高温で加熱して接続している。
なお、平板状の電子放出性電極部４２の中空空間側表面には凹部４２ａとして凹溝を形成したものを用いた。
【００３２】
＜実施例２＞
冷陰極蛍光管は、前記実施例１と同一の大きさ、同一の材料を用いて同一構成とした。
電極部３は、実施例１のｎ型単結晶シリコンウエハーの代わりに、ｎ型ＧａＮ（窒化ガリウム）単結晶ウエハーを用いて平板状電極とした点以外は、全て実施例１と同一条件とした。
【００３３】
＜比較例１＞
冷陰極蛍光管は、前記実施例１と同一の大きさ、同一の材料を用いて同一構成とした。
電極部３は、実施例１に比較して平板状電極４２の変わりに図５に示すようなカップ形状の電極を用いた。カップ形状電極４３は肉厚０．２ｍｍのニッケル（Ｎｉ）金属を加工して外径２．１ｍｍ、長さ５ｍｍの凹部を備えたカップ形状としたものを用いた。カップ形状電極４３と封入棒部５との接続は銀ろうを用いて溶着した。
【００３４】
＜比較例２＞
冷陰極蛍光管は、前記比較例１に比べてと同一の大きさ、同一の材料を用いて同一構成とした。
電極部３は、実施例１に比較して平板状電極４２の変わりに図５に示すようなカップ形状の電極４３を用いた。カップ形状電極４３は肉厚０．２ｍｍのニッケル（Ｎｉ）金属を加工して外径２．１ｍｍ、長さ５ｍｍの凹部を備えたカップ形状としたものを用いた。カップ形状電極４３と封入棒部５との接続は実施例１と同様に銀ろうを用いて溶着した。
【００３５】
また、前記実施例１〜実施例３、比較例１および比較例２で用いた半導体結晶，ＮｉおよびＭｏについて耐スパッタ性の評価をする。図６はＡｒイオンに対するスパッタ率を示し、図７はＮｅイオンに対するスパッタ率を、図８はＨｅイオンに対するスパッタ率を示す。
【００３６】
スパッタ率は図６〜図８の各々の図面において、上からＮｉ，Ｍｏ，ＧａＮ（窒化ガリウム）、シリコン結晶の順である。すなわち、半導体結晶、特にシリコン結晶は、スパッタ率がいずれのイオンに対するスパッタ率も低く、スパッタされ難い。特に冷陰極蛍光管の主要な封入ガス成分であるＮｅイオンにおいても、一般的に使用されているＮｉのおおよそ２分の１、Ｍｏのおおよそ３分の２のスパッタ率であり、冷陰極蛍光管の黒化の一因である電子放出性電極のスパッタを大幅に低減できている。
【００３７】
図９は、前記した実施例１、実施例２、比較例１および比較例２の冷陰極蛍光管の加速寿命試験の結果を示す。”×”は加速試験において電子放出性電極に穴が発生したもの。”○”は同試験において電子放出性電極に穴が発生していないものを示し、”−”は不点灯のものを示す。なお、各ランプは同一の所定の定電流駆動にて評価を行った。
比較例１（Ｎｉ電極）の場合には５００時間で穴があき、１０００時間以上では不点灯となった。比較例２（Ｍｏ電極）の場合には２０００時間で穴があき、目視による点灯状態評価において黒化現象が顕著に観察された。実施例１（シリコン結晶電極）の場合には２０００〜５０００時間の時点でも良好な点灯状態を保っており、電子放出性電極に穴はまったく観察されなかった。また、目視による点灯状態評価においても目立った黒化現象が観察されず、寿命試験初期の点灯状態と変わりなく点灯していた。実施例２（窒化ガリウム電極）の場合には２０００時間の時点でも良好な点灯状態を保っており、５０００時間以上では不点灯となった。
【００３８】
なお、加速寿命試験は、封入ガス９として、Ａｒ（アルゴン）とネオン（Ｎｅとを）５：９５の比とした混合ガスと十分なＨｇ（水銀）蒸気を用い、全圧を常温において６０Ｔｏｒｒとした通常の蛍光ランプに対して少なくとも２０倍以上で、凡そ３０倍程度の加速係数となる条件に相当する。よって、本加速寿命試験において２０００時間以上の寿命を示せば、通常ランプの６万時間の寿命に相当する。
【００３９】
以上の実験結果より、導電性を備えた結晶性のシリコンを用いた場合には、ガラス管内面の黒化を抑制できることがわかった。また、加速寿命試験と通常の寿命との対応関係から、実施例１の冷陰極蛍光管では、６万時間の連続点灯の場合であっても初期輝度に対する輝度の低下５０％以下を満足するような従来にない長寿命の冷陰極放電ランプが得られた。
【００４０】
また、電極部３として、同じｎ型単結晶シリコン結晶ウエハーを用いて、その形状の異なる電極とした場合についても検討を行った。
＜実施例３＞
実施例１の電子放出性電極部として、凹溝を形成しない平板のウエハーのシリコン結晶とした以外は全て実施例１と同一の条件にて冷陰極蛍光管を作成した。
＜実施例４＞
実施例１の電子放出性電極部として、ドライエッチングにて中央部に凹部４３ａを形成し、周縁部に立壁を設けた断面Ｕ字状の電子放出性電極部４３とした以外は全て実施例１と同一の条件にて図５に示す冷陰極蛍光管を作成した。
＜実施例５＞
実施例１の電子放出性電極部として直線状の棒状に切り出して、電子放出性電極部４および封入棒部５を同一のシリコン結晶とした以外は全て実施例１と同一の条件にて冷陰極蛍光管を作成した。
【００４１】
実施例３および実施例４のいずれの冷陰極蛍光管も、実施例１の冷陰極蛍光管と同様に２０００時間までの加速寿命試験結果では、寿命上の優位差が見受けられなかった。また、黒化現象については、目視観察において、比較例に比べて優れていたが、２０００時間において、実施例３のものは実施例１および実施例４に比べてガラス管が黒化していた。実施例５の場合は、電子放出性電極部の封止作業性は他の実施例および比較例に比べて優れていた。しかし、実施例１、実施例３に比べてガラス管が黒化していた。これは、実施例５の場合には形状が殆ど針状とみなされる程度のものであったため、電界が集中してスパッタされたものと考えられる。また、外部電源との接続に注意をしないと電極が折れ易く、取り扱いのしにくいものであった。
【００４２】
以上、シリコン結晶および窒化ガリウム結晶を用いた冷陰極蛍光管の実施例に沿って説明したが、蛍光管は冷陰極蛍光管に限らず、熱陰極蛍光管においても同様の効果が期待でき、適用可能であろう。また、窒化ガリウム（ＧａＮ）結晶のみならず窒化ガリウムインジウム（ＧａＩｎＮ）等の公知の混晶化合物半導体も同様の効果が期待できる。本発明はこれらに限定されるものではなく、種々の変更、置換、組み合わせなどが可能なことは当業者に自明であろう。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
導電性を備えた結晶性の炭化珪素材料を電子放出性電極に用いて長寿命の蛍光管とすることによって、冷陰極蛍光管を用いたバックライト等の蛍光管の交換作業が煩雑な照明装置などのにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る冷陰極蛍光管の構造を示す断面図
【図２】本発明に係る冷陰極蛍光管の構造のソケットとの取り付け構造を示す側面説明図
【図３】本発明に係る冷陰極蛍光管の電子放出性電極の他の実施形態を示す拡大斜視図
【図４】本発明に係る冷陰極蛍光管の電極構造の他の実施形態を示す断面図
【図５】本発明に係る冷陰極蛍光管の電極構造のさらに他の実施形態を示す断面図
【図６】各電極材料のＡｒイオンエネルギーを用いた場合のスパッタ率を示す説明図
【図７】各電極材料のＮｅイオンエネルギーを用いた場合のスパッタ率を示す説明図
【図８】各電極材料のＨｇイオンエネルギーを用いた場合のスパッタ率を示す説明図
【図９】実施例および比較例の検討結果を示す一覧表
【符号の説明】
【００４５】
１    冷陰極蛍光管
２    ガラスバルブ
３    電極部
４    電子放出性電極
５    封入棒部
６    電極封止部
７    中空空間部
８    蛍光体膜
９    封入ガス
４ａ    凹部
４１、  ４２    電子放出性電極
４１ａ    凹溝
５５    ソケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008288018.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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