(57)【要約】【課題】  ノズルのインク吐出側の開口精度、エッジ品質を向上させる。【解決手段】透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂層を形成する工程と、前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂層を露光する工程と、前記感光性樹脂層を現像する工程と、前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に金属層を形成する工程と、前記露光用マスクを前記金属層及び前記犠牲層から分離する工程と、前記犠牲層を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】  図６
2008073889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂層を形成する工程と、
前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂層を露光する工程と、
前記感光性樹脂層を現像する工程と、
前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層上に金属層を形成する工程と、
前記露光用マスクを前記金属層及び前記犠牲層から分離する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂層を形成する工程と、
前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂層を露光する工程と、
前記感光性樹脂層を現像する工程と、
前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層上に撥液層を形成する工程と、
前記撥液層上に金属層を形成する工程と、
前記露光用マスクを前記金属層、前記撥液層及び前記犠牲層から分離する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
露光光の照射方向に対して前記露光用マスク及び前記感光性樹脂層から成る基板を斜めの所定角度に傾けた状態で前記基板に垂直な軸を中心として前記基板を回転させながら露光することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
前記露光とは露光光に対する前記基板の傾斜角度が異なる条件で露光する工程を更に含むことを特徴とする請求項３に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に第１の感光性樹脂層を形成する工程と、
露光光の照射方向に対して前記露光用マスクを垂直にした状態で前記露光用マスクの透明基板側から前記第１の感光性樹脂層を露光する工程と、
前記第１の感光性樹脂層を現像する工程と、
前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層上に第１の金属層を形成する工程と、
前記第１の金属層上に第２の感光性樹脂層を形成する工程と、
露光光の照射方向に対して前記露光用マスク、前記犠牲層、前記第１の金属層、及び前記第２の感光性樹脂層から成る基板を斜めの所定角度に傾けた状態で前記基板に垂直な軸を中心として前記基板を回転させながら、前記露光用マスクの透明基板側から前記第２の感光性樹脂層を露光する工程と、
前記第２の感光性樹脂層を現像する工程と、
前記第１の金属層上に第２の金属層を形成する工程と、
前記露光用マスクを前記第１の金属層、前記第２の金属層、及び前記犠牲層から分離する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
前記第１の金属層は撥液性を有することを特徴とする請求項５に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレート、及び前記ノズルプレートに接合される流路プレートを備えた液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記露光用マスクを分離する前に、前記金属層に前記流路プレートを接合する工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項５又は請求項６に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレート、及び前記ノズルプレートに接合される流路プレートを備えた液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記露光用マスクを分離する前に、前記第２の金属層に前記流路プレートを接合する工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項７又は請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法によって製造された液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置に係り、特に、電鋳法を用いたノズルプレートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置で用いられる記録ヘッドには、多数のノズルが形成されたノズルプレートが設けられており、例えば、圧電素子の変位や発熱素子で生じる熱エネルギーなどを利用して圧力室内のインクが加圧され、その圧力室に連通するノズルから液滴（インク滴）が吐出される。高解像で高品質な画像記録を実現するためには、各ノズルから吐出される液滴の体積、吐出方向、吐出速度などのばらつきをなくして安定吐出を図ることが必要であり、ノズルプレートに形成されるノズルの高精度化や品質向上が要求される。特に、ノズルのインク吐出側の開口精度やエッジ品質は重要であり、これらの精度や品質が悪いと、各ノズルの吐出特性にばらつきが生じやすく、吐出不安定を招く要因となる。
【０００３】
ノズルプレートの製造方法としては、レーザ加工、プレス加工、電鋳法などを用いた方法が挙げられるが、これらの中でも電鋳法を用いた方法は、他の方法に比べて低コストでノズルプレートを大量生産できることから広く採用されており、これまでに様々な方法が提案されている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、電鋳法を用いた方法として次のような裏面露光を行う方法が記載されている。即ち、図１５（ａ）に示すように、透明基板（ガラス基板）９００の片面に不透明金属膜（ニッケルメッキ層）９０２をパターニングし、更に、不透明金属膜９０２上にレジスト層（ホトレジスト層）９０６を形成する。次に、透明基板９００側から不透明金属膜９０２を介してレジスト層９０６を露光、現像すると、図１５（ｂ）に示すように、不透明金属膜９０２の開口領域９０２ａに対応する円柱状のレジスト９０６ａがパターニングされた状態となる。そして、不透明金属膜９０２上に電鋳法（電気めっき）で金属層（ニッケルメッキ層）９１０を形成する。このとき形成される金属層９１０はノズルプレート（又はその一部）に相当し、ノズル形状はレジスト９０６ａの外部形状に応じた形状となる。また、金属層９１０の不透明金属膜９０２との接合面がノズルプレートのインク吐出側の面となる。
【特許文献１】特開平７−３２９３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、光の回折やレジスト現像後の残渣などにより、現像後のレジストの根元形状が悪化することは考慮されていない。即ち、図１５（ａ）に示したように、透明基板９００側から不透明金属膜９０２を介してレジスト９０６層を露光、現像すると、不透明金属膜９０２の開口領域９０２ａを通過する際の紫外光（ＵＶ光）の回折やレジスト現像後の残渣などによって、図１５（ｂ）に示したレジスト９０６ａのように本来の形状（円柱状）とならずに、図１６に示すレジスト９０６ａ′のように不透明金属膜９０２側に位置する根元部分が広がり形状となってしまうことがある。このように根元形状が悪化したレジスト９０６ａ′の外部形状に応じてノズルが形成されると、ノズルのインク吐出側の形状精度やエッジ品質が低下し、各ノズルの吐出特性にばらつきが生じてしまい、不安定吐出の要因となる。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ノズルのインク吐出側の開口精度、エッジ品質を向上させたノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂層を形成する工程と、前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂層を露光する工程と、前記感光性樹脂層を現像する工程と、前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に金属層を形成する工程と、前記露光用マスクを前記金属層及び前記犠牲層から分離する工程と、前記犠牲層を除去する工程と、  を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
【０００８】
本発明によれば、不透明金属膜上に犠牲層、及び金属層を順次形成した後に犠牲層を除去することにより、現像後のレジスト（感光性樹脂）の根元形状の悪化部分がノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズルを形成することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂層を形成する工程と、前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂層を露光する工程と、前記感光性樹脂層を現像する工程と、前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に撥液層を形成する工程と、前記撥液層上に金属層を形成する工程と、  前記露光用マスクを前記金属層、前記撥液層及び前記犠牲層から分離する工程と、前記犠牲層を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
【００１０】
請求項２の態様によれば、不透明金属膜上に犠牲層、撥液層、及び金属層を順次形成した後に犠牲層を除去することにより、現像後のレジスト（感光性樹脂）の根元形状の悪化部分がノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズルを形成することができる。また、撥液層が形成されたノズルプレートを一連の工程で作製することができ、工数が減少する。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のノズルプレートの製造方法であって、露光光の照射方向に対して前記露光用マスク及び前記感光性樹脂層から成る基板を斜めの所定角度に傾けた状態で前記基板に垂直な軸を中心として前記基板を回転させながら露光することを特徴とする。
【００１２】
請求項３の態様によれば、インク吐出側の開口精度とエッジ品質の良いテーパ状のノズルを形成することができ、高粘度インクの高周波吐出が可能となる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記露光とは露光光に対する前記基板の傾斜角度が異なる条件で露光する工程を更に含むことを特徴とする。
【００１４】
請求項４の態様によれば、異なるテーパ角度の傾斜面（内壁面）から成る変形テーパ状のノズルを備えたノズルプレートを容易に作製することができる。また、各ノズルの吐出方向のばらつきを同一方向に抑えることができるようになる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、透明基板の片面に不透明金属膜がノズルパターンに従ってパターニングされた露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に第１の感光性樹脂層を形成する工程と、露光光の照射方向に対して前記露光用マスクを垂直にした状態で前記露光用マスクの透明基板側から前記第１の感光性樹脂層を露光する工程と、前記第１の感光性樹脂層を現像する工程と、前記不透明金属膜上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に第１の金属層を形成する工程と、前記第１の金属層上に第２の感光性樹脂層を形成する工程と、露光光の照射方向に対して前記露光用マスク、前記犠牲層、前記第１の金属層、及び前記第２の感光性樹脂層から成る基板を斜めの所定角度に傾けた状態で前記基板に垂直な軸を中心として前記基板を回転させながら、前記露光用マスクの透明基板側から前記第２の感光性樹脂層を露光する工程と、前記第２の感光性樹脂層を現像する工程と、前記第１の金属層上に第２の金属層を形成する工程と、前記露光用マスクを前記第１の金属層、前記第２の金属層、及び前記犠牲層から分離する工程と、前記犠牲層を除去する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供する。
【００１６】
請求項５の態様によれば、不透明金属膜上に犠牲層、撥液層、第１の金属層、及び第２の金属層を順次形成した後に犠牲層を除去することにより、現像後のレジスト（感光性樹脂）の根元形状の悪化部分がノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズルを形成することができる。また、ノズルはテーパ部とストレート部を備えたテーパストレート状に構成されるため、ノズルの吐出方向が安定化する。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のノズルプレートの製造方法であって、前記第１の金属層は撥液性を有することを特徴とする。
【００１８】
請求項６の態様によれば、撥液層を備えたノズルプレートを一連の工程で作製することができる。
【００１９】
また、請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレート、及び前記ノズルプレートに接合される流路プレートを備えた液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記露光用マスクを分離する前に、前記金属層に前記流路プレートを接合する工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００２０】
また、請求項８に記載の発明は、請求項５又は請求項６に記載のノズルプレートの製造方法によって製造されたノズルプレート、及び前記ノズルプレートに接合される流路プレートを備えた液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記露光用マスクを分離する前に、前記第２の金属層に前記流路プレートを接合する工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００２１】
請求項７及び請求項８に記載された発明によれば、金属層に相当するノズルプレートが薄い場合でもハンドリングが容易になる。また、ダミー基板を用いて貼り返る必要もなく工数が減る。
【００２２】
また、請求項９に記載の発明は、請求項７又は請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法によって製造された液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置を提供する。
【００２３】
本発明によれば、高品質画像の記録が可能となる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、不透明金属膜上に犠牲層、及び金属層を順次形成した後に犠牲層を除去することにより、現像後のレジスト（感光性樹脂）の根元形状の悪化部分がノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズルを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態（第１〜第４の実施形態）について詳説する。
【００２６】
〔第１の実施形態〕
まず、本発明に係る画像形成装置の一実施形態であるインクジェット記録装置について説明する。図１は、インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のインク吐出面（ノズル面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００２７】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００２８】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００２９】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００３０】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００３１】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のインク吐出面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
【００３２】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のインク吐出面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３３】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００３４】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３５】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考え
られるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００３６】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３７】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。印字部１２を構成する各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００３８】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００３９】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００４０】
なお本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する記録ヘッドを追加する構成も可能である。
【００４１】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００４２】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００４３】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）
がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００４４】
印字検出部２４は、各色の記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００４５】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００４６】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００４７】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００４８】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００４９】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドの一実施形態である記録ヘッドの構造について説明する。尚、インク色ごとに設けられている各記録ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって記録ヘッドを示すものとする。
【００５０】
図２は、記録ヘッド５０の構造例を示す平面透視図である。記録紙面上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、記録ヘッド５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例の記録ヘッド５０は、図２に示したように、インク滴の吐出口であるノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニット（液滴吐出素子）５３を千鳥でマトリクス状（２次元的）に配置させた構造を有し、これにより、記録ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。
【００５１】
各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１と供給インクの流入口（供給口）５４が設けられている。
【００５２】
図３は１つの液滴吐出素子（１つのノズル５１に対応したインク室ユニット）の立体的構成を示す断面図（図２中３−３線に沿う断面図）である。図３に示すように、記録ヘッド５０のインク吐出面５０ａはノズルプレート６０（６０Ａ）により構成されている。ノズルプレート６０には複数のノズル５１が形成されており、各ノズル５１はそれぞれノズル流路６８を介して圧力室５２に連通している。
【００５３】
また、圧力室５２は、その一端に形成される供給口５４を介して共通流路５５に連通する。共通流路５５はインク供給源たるインクタンク（不図示）に連通しており、インクタンクから供給されるインクは共通流路５５を介して各圧力室５２に分配供給される。
【００５４】
圧力室５２の一壁面（図３において上壁面）は振動板５６で構成されており、振動板５６上の圧力室５２に対応する位置（即ち、振動板５６を挟んで圧力室５２に対向する位置）には、個別電極５７を備える圧電素子５８が設けられている。なお、振動板５６が圧電素子５８に対する共通電極を兼ねている。また、振動板５６上には配線基板７０が接合されており、配線基板７０に形成される配線（不図示）を介して圧電素子５８に所定の駆動信号が供給される。
【００５５】
かかる構成により、圧電素子５８に所定の駆動信号が供給されると、圧電素子５８の変形に応じて圧力室５２の容積が変化し、これに伴う圧力変化により圧力室５２内のインクが加圧され、その圧力室５２に連通するノズル５１からインク滴が吐出される。インク吐出後、駆動信号の供給が解除されると、新しいインクが共通流路５５から供給口５４を通って圧力室５２に供給される。
【００５６】
なお、本実施形態では、ピエゾ素子に代表される圧電素子５８の変形によってインク液滴を飛ばす方法が採用されているが、本発明の実施に際して、インクを吐出させる方式には限定されず、ピエゾ方式に代えて、ヒータ等の発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式等でもよい。
【００５７】
図４はインクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。同図において、インクタンク８０は記録ヘッド５０にインクを供給する基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インクタンク８０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、不図示の補充口からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を変える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じた吐出制御を行うことが好ましい。なお、図４のインクタンク８０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。
【００５８】
インクタンク８０と記録ヘッド５０の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ８２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは、ノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。図４には示さないが、記録ヘッド５０の近傍又は記録ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、記録ヘッド５０の内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００５９】
また、インクジェット記録装置１０には、ノズル近傍のインク粘度の上昇、乾燥を防止するための手段としてのキャップ８４と、記録ヘッド５０のインク吐出面５０ａの清掃手段としてのクリーニングブレード８６とが設けられている。これらキャップ８４及びクリーニングブレード８６を含むメンテナンスユニットは、不図示の移動機構によって記録ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から記録ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。
【００６０】
キャップ８４は、図示せぬ昇降機構によって記録ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ８４を所定の上昇位置まで上昇させ、記録ヘッド５０に密着させることにより、インク吐出面５０ａをキャップ８４で覆う。
【００６１】
クリーニングブレード８６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示せぬブレード移動機構により記録ヘッド５０のインク吐出面５０ａに摺動可能である。インク吐出面５０ａにインク滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード８６をインク吐出面５０ａに摺動させる、いわゆるワイピング動作を行うことでインク滴等を拭き取る。
【００６２】
印字中又は待機中において、特定のノズルの使用頻度が低くなり、ノズル近傍のインク粘度が上昇した場合、その劣化インクを排出すべくキャップ８４に向かって予備吐出が行われる。
【００６３】
また、記録ヘッド５０内（圧力室５２内）のインクに気泡が混入した場合、記録ヘッド５０にキャップ８４を当て、吸引ポンプ８７で記録ヘッド５０内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク８８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクの記録ヘッド５０への装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも粘度上昇（固化）した劣化インクの吸い出しが行われる。
【００６４】
記録ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（圧電素子５８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（圧電素子５８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって圧電素子５８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、インク吐出面５０ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード８６等のワイパーによってインク吐出面５０ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作（ワイピング動作）によってノズル内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。
【００６５】
また、ノズル５１や圧力室５２に気泡が混入したり、ノズル近傍のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、以下に述べる吸引動作を行う。
【００６６】
すなわち、ノズル５１や圧力室５２のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル近傍のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、圧電素子５８を動作させてもノズルからインクを吐出できなくなる。このような場合、記録ヘッド５０のインク吐出面５０ａに、圧力室５２内のインクをポンプ等で吸い込む吸引手段としてキャップ８４を当接させて、気泡が混入したインク又は増粘インクを吸引する動作が行われる。
【００６７】
次に、本発明に係る第１の実施形態としてのノズルプレート６０Ａの製造方法について説明する。図５はノズルプレート６０Ａを製造するための工程順序を示した図である。また、図６は図５に示した各工程を説明するための図である。以下、図５に従って、図６を参照しながら各工程を説明する。
【００６８】
まず、マスク作製工程（ステップＳ１０２）として、図６（ａ）に示すように、透明基板１００及び不透明金属膜１０２から成る露光用マスク１０４を作製する。具体的には、紫外光を透過する材料（例えば、石英、ガラスなど）で構成される透明基板１００の片面に、不透明金属膜１０２をノズルパターンに従ってパターニングする。即ち、透明基板１００上にノズル５１のインク吐出側の開口形状に対応する開口領域１０２ａが所定のノズル形成位置に形成されるように不透明金属膜１０２を成膜し、パターニングする。不透明金属膜１０２は紫外光を遮断する金属膜であり、例えば、Ｃｒ膜が好適に用いられる。不透明金属膜１０２の成膜方法としては、スパッタリング、真空蒸着などの各種方法を用いることができる。また、パターニング方法として、フォトリソグラフィ法を用いることにより、不透明金属膜１０２を高精度に形成できる。このようにして透明基板１００及び不透明金属膜１０２から成る露光用マスク１０４を得ることができる。なお、本製造方法においては露光用マスク１０４の再利用が可能であり、既に露光用マスク１０４が作製されている場合には本工程（マスク作製工程）は不要である。
【００６９】
次に、レジスト形成工程（ステップＳ１０４）として、図６（ｂ）に示すように、露光用マスク１０４上にレジスト（感光性樹脂）１０６を形成する。具体的には、露光用マスク１０４の不透明金属膜１０２側にスピンコーター等によりネガ型のレジスト（ネガレジスト）１０６を塗布する。レジスト１０６の厚さはノズルプレート６０Ａの厚さに対応し、レジスト１０６の厚さが、後工程で形成される犠牲層１０８及び金属層１１０の厚さの合計よりも厚くなるように構成する。
【００７０】
次に、露光工程（ステップＳ１０６）として、図６（ｃ）に示すように、露光用マスク１０４上のレジスト１０６に対して露光を行う。具体的には、露光用マスク１０４に対し垂直な紫外光（ＵＶ光）を露光用マスク１０４の透明基板１００側から不透明金属膜１０２を介してレジスト１０６に照射する。これにより、不透明金属膜１０２の開口領域１０２ａに対応するレジスト領域１０６ａが感光される。なお、透明基板１００側から照射された紫外光は不透明金属膜１０２で遮断されるため、他のレジスト領域は感光されない。続いて、現像工程（ステップＳ１０８）として、レジスト１０６の現像を行うと、図６（ｄ）に示すように、露光用マスク１０４上にはレジスト１０６ａがパターニングされた状態となる。
【００７１】
このような露光工程又は現像工程において、前述したように、不透明金属膜１０２の開口領域１０２ａを通過する際の紫外光の回折やレジスト現像後の残渣などによって、図示するように、レジスト１０６ａの露光用マスク１０４側（即ち、不透明金属膜１０２側）に位置する根元形状が本来の円柱状（断面ストレート状）とならずに広がり形状となってしまうことがある。このように根元形状が悪化したレジスト１０６ａの外部形状に応じてノズルが形成されると、ノズルのインク吐出側の開口精度やエッジ品質が低下し、各ノズルの吐出特性にばらつきが生じてしまい、不安定吐出の要因となる。
【００７２】
そこで本製造方法では、レジスト１０６ａの根元形状の悪化部分をキャンセルするために、次の犠牲層形成工程（ステップＳ１１０）において、図６（ｅ）に示すように、不透明金属膜１０２上に、レジスト１０６ａの根元形状の悪化部分を含むように所定厚みの犠牲層１０８を形成する。犠牲層１０８の厚みは、例えば、１〜３μｍ程度である。また、犠牲層１０８としては、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂなどのめっき膜を用いることができ、無電解めっきや電気めっきによる方法で形成することができる。無電解めっきは、めっき膜の成長は遅いが均一な膜厚を形成できる。一方、電気めっきは、給電層（不透明金属膜１０２）の電気抵抗により膜厚は不均一になりやすいがめっき膜の成長は早い。このため必要とされる膜厚や精度に応じてめっき膜の形成方法を適宜選択し、この選択にあわせて不透明金属膜１０２もめっき可能な膜を選択するとよい。また、無電解めっきで十分に電気抵抗が小さい給電層を形成してから、その給電層を用いて電気めっきを行うようにしてもよい。この場合、膜厚も均一で十分な成長速度をもつめっき膜（犠牲層１０８）を形成することができる。
【００７３】
次に、電鋳工程（ステップＳ１１２）として、図６（ｆ）に示すように、不透明金属膜１０２上にＮｉ電鋳法（電気めっき）により金属層１１０を形成する。続いて、剥離工程（ステップＳ１１４）として、図６（ｇ）に示すように、有機溶媒等によりレジスト１０６ａの除去を行った後、露光用マスク１０４を犠牲層１０８及び金属層１１０から剥離する。剥離後の露光用マスク１０４は再利用することが可能である。そして最後に、犠牲層除去工程（ステップＳ１１６）として、犠牲層１０８を除去すると、図６（ｈ）に示すように、金属層１１０から成るノズルプレート６０Ａを得ることができる。なお、図３に示したように、ノズルプレート６０Ａを流路プレート６６に接合することによって、本実施形態の記録ヘッド５０を得ることができる。
【００７４】
本実施形態に係るノズルプレート６０Ａの製造方法によれば、不透明金属膜１０２上に犠牲層１０８、及び金属層１１０を順次形成した後に犠牲層１０８を除去することにより、レジスト１０６ａの根元形状の悪化部分がノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズル５１Ａを形成することができる。
【００７５】
なお、本実施形態においては、犠牲層形成工程後、撥液層形成工程を行ってから電鋳工程を行うようにしてもよい。具体的には、図７（ａ）に示すように、不透明金属膜１０２上に犠牲層１０８を形成した後、犠牲層１０８上に撥液めっきで撥液層１１２を形成してから、撥液層１１２上に金属層１１０を形成する。これにより、図７（ｂ）に示すように、金属層１１０及び撥液層１１２から成るノズルプレート６０Ａ′を得ることができる。撥液層１１２が形成されたノズルプレート６０Ａ′を一連の工程で作製することができ、ノズルプレート６０Ａの完成後に撥液処理を行う場合に比べて工数を減らすことができる。また、撥液めっきとしてフッ素樹脂を含有する複合めっきを用いる場合には剥離工程後に加熱処理を行うことが好ましく、撥液性を高めることができる。また、撥液めっきで撥液性能が不十分な場合はノズルプレート作製後に別な撥液膜を形成するようにしてもよい。
【００７６】
また、本実施形態においては、図８に示すように、電鋳工程後、金属層１１０上に流路プレート６６を接合してから剥離工程を行うようにしてもよい。また、流路プレート６６上に他のプレート部材（圧力室５２や共通流路５５の構成部材）を更に接合してから剥離工程を行うようにしてもよい。これにより、金属層１１０の厚さが薄い場合でもハンドリングが容易になる。また、ダミー基板を用いて張り替える必要もなく工数が減る。
【００７７】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明に係る第２の実施形態について説明する。以下、第１の実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【００７８】
図９は、第２の実施形態としてのノズルプレート６０Ｂの製造工程を説明するための図である。本実施形態のノズルプレート６０Ｂには、図９（ｈ）に示すように、インク吐出側に向かって先細となるテーパ状のノズル５１Ｂが形成される。以下、ノズルプレート６０Ｂの製造方法について図９を参照しながら説明する。
【００７９】
まず、マスク作製工程として、図９（ａ）に示すように、透明基板２００及び不透明金属膜２０２から成る露光用マスク２０４を作製する。なお、符号２０２ａはノズルパターンに従って形成される不透明金属膜２０２の開口領域を表す。次に、レジスト形成工程として、図９（ｂ）に示すように、露光用マスク２０４の不透明金属膜２０２側にスピンコーター等によりネガ型のレジスト（ネガレジスト）２０６を塗布する。ここまでの工程は第１の実施形態と同様である。
【００８０】
次に、露光工程として、図９（ｃ）に示すように、露光用マスク２０４の透明基板２００側から紫外光を照射する際、紫外光の照射方向に対して露光用マスク２０４及びレジスト２０６から成る基板２２０を斜めの所定角度θ〔度〕に傾斜させた状態で、基板２２０に垂直な軸Ｐを中心として基板２２０を回転させながら行う。このような傾斜回転露光を行うことにより、基板２２０の傾斜角度θに応じた逆テーパ柱状のレジスト領域２０６ａが感光される。なお、他のレジスト領域は不透明金属膜２０２により紫外光が遮断されるため感光されない。その後、現像工程として、レジスト２０６の現像を行うと、図９（ｄ）に示すように、露光用マスク２０４上に逆テーパ柱状のレジスト２０６ａがパターニングされた状態となる。
【００８１】
なお、第１の実施形態で説明したように、本実施形態においても光の回折やレジスト現像後の残渣などによってレジスト２０６ａの根元形状が悪化することがあるが、図９ではレジスト２０６ａの根元形状の悪化部分の図示を省略している。また、後述する他の実施形態についても同様に、レジスト根元形状の悪化部分の図示を省略する。
【００８２】
この後の工程は第１の実施形態と同様である。つまり、犠牲層形成工程として、図９（ｅ）に示すように、不透明金属膜２０２上に無電解めっき又は電気めっきにより犠牲層２０８を形成する。続いて、電鋳工程として、図９（ｆ）に示すように、犠牲層２０８上に電鋳法で金属層２１０を形成する。次に、剥離工程として、図９（ｇ）に示すように、有機溶媒等によりレジスト２０６ａの除去を行った後、露光用マスク２０４を犠牲層２０８及び金属層２１０から剥離する。そして最後に、犠牲層除去工程として、犠牲層２０８を除去すると、図９（ｈ）に示すように、金属層２１０から成るノズルプレート６０Ｂを得ることができる。
【００８３】
本実施形態に係るノズルプレート６０Ｂの製造方法によれば、第１の実施形態と同様に、レジスト２０６ａの根元形状の悪化部分が犠牲層２０８によってノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズル５１Ｂを形成することができる。また、ノズル５１Ｂはインク吐出側に向かって先細となるテーパ状に構成されるので、インクに対する流体抵抗が低減し、また、リフィル速度も向上するので、高粘度インクによる高周波吐出が可能になる。なお、傾斜回転露光における露光条件（紫外線強度、傾斜角度、回転速度など）を制御することで、任意のテーパ角度のノズル形状を容易に実現することができる。
【００８４】
また、第１の実施形態と同様に、犠牲層２０８と金属層２１０の間に撥液層を形成するようにしてもよい。撥液層が形成されたノズルプレート６０Ｂを一連の工程で作製することができる。
【００８５】
〔第３の実施形態〕
次に、本発明に係る第３の実施形態について説明する。以下、既述した各実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【００８６】
図１０は、第３の実施形態としてのノズルプレート６０Ｃの製造工程を説明するための図である。本実施形態のノズルプレート６０Ｃには、図１０（ｌ）に示すように、テーパ部３３０及びストレート部３３２から成るノズル５１Ｃが形成される。以下、ノズルプレート６０Ｃの製造方法について図１０を参照しながら説明する。
【００８７】
まず、マスク作製工程として、図１０（ａ）に示すように、第１の実施形態と同様にして、透明基板３００及び不透明金属膜３０２から成る露光用マスク３０４を作製する。なお、符号３０２ａはノズルパターンに従って形成される不透明金属膜３０２の開口領域を表す。次に、第１のレジスト形成工程として、図１０（ｂ）に示すように、露光用マスク３０４の不透明金属膜３０２側にスピンコーター等によりネガ型のレジスト（ネガレジスト）３０６を塗布する。
【００８８】
次に、第１の露光工程として、図１０（ｃ）に示すように、露光用マスク３０４に対し垂直な紫外光（ＵＶ光）を露光用マスク３０４の透明基板３００側から不透明金属膜３０２を介してレジスト３０６に照射する。これにより、不透明金属膜３０２の開口領域３０２ａに対応する円柱状のレジスト領域３０６ａが感光される。続いて、第１の現像工程として、レジスト３０６の現像を行うと、図１０（ｄ）に示すように、露光用マスク３０４上には、円柱状のレジスト３０６ａがパターニングされた状態となる。
【００８９】
次に、犠牲層形成工程として、図１０（ｅ）に示すように、不透明金属膜３０２上に所定厚みの犠牲層３０８を形成する。続いて、第１の電鋳工程として、図１０（ｆ）に示すように、犠牲層３０８上に電鋳法（電気めっき）で金属層３１０を形成する。
【００９０】
次に、第２のレジスト形成工程として、図１０（ｇ）に示すように、金属層３１０上にレジスト３１２を塗布する。そして、第２の露光工程として、図１０（ｈ）に示すように、第２の実施形態と同様の傾斜回転露光を行う。即ち、露光用マスク３０４の透明基板３００側から紫外光を照射する際、紫外光の照射方向に対して露光用マスク３０４、犠牲層３０８、金属層３１０、及びレジスト３１２から成る基板３２０を斜めの所定角度θ〔度〕に傾斜させた状態で、基板３２０に垂直な軸Ｐを中心として基板３２０を回転させながら行う。これにより、基板３２０の傾斜角度θに応じた逆テーパ柱状のレジスト領域３１２ａが感光される。その後、第２の現像工程として、レジスト３１２の現像を行うと、図１０（ｉ）に示すように、レジスト３０６ａの上方に逆テーパ柱状のレジスト３１２ａがパターニングされた状態となる。
【００９１】
なお、第１及び第２のレジスト形成工程においてそれぞれ形成されるレジスト３０６、３１２は、同じものか、若しくは光学特性（特に屈折率）が等しいものを用いるのが望ましい。現像後に得られるレジスト３０６ａ、３１２ａの形状精度が向上する。
【００９２】
次に、第２の電鋳工程として、図１０（ｊ）に示すように、電鋳法（電気めっき）にて金属層３１０を所定厚みとなるまで成長させる。なお、第２の電鋳工程において、第１の電鋳工程で形成された金属層３１０とは異なる金属層を形成するようにしてもよい。次に、剥離工程として、図１０（ｋ）に示すように、有機溶媒等によりレジスト３０６ａ、３１２ａの除去を行った後、露光用マスク３０４を犠牲層３０８及び金属層３１０から剥離する。剥離された露光用マスク３０４は再利用可能である。そして最後に、犠牲層除去工程として、犠牲層３０８を除去すると、図１０（ｌ）に示すように、金属層３１０から成るノズルプレート６０Ｃを得ることができる。
【００９３】
図１１は、本実施形態のノズルプレート６０Ｃの製造方法の変形例を示した図である。同図に示すように、第１の電鋳工程として、犠牲層３０８上に撥液性を有する所定厚みの第１の金属層（撥液めっき層）３１４を形成し、第２のレジスト形成工程、第２の露光工程、及び第２の現像工程を行った後、第２の電鋳工程として、第１の金属層３１４上に第２の金属層３１６を形成するようにしてもよい。特に、第１の金属層３１４の厚みをノズル５１Ｃのストレート部３３２（図１０（ｌ）参照）の長さと等しくなるように形成した場合には、ノズル５１Ｃのストレート部３３２が撥液性を有することになり、ストレート部３３２とテーパ部３３０との境界が形状（角度）だけでなく撥液性が変化する位置となり、メニスカス位置が決まりやすくなり、吐出安定性が向上する。なお、第１の金属層３１４を撥液めっき層と他の金属層との複数層で構成するようにしてもよい。
【００９４】
本実施形態に係るノズルプレート６０Ｃの製造方法によれば、レジスト３０６ａの根元形状の悪化部分が犠牲層３０８によってノズル形状に反映されずにキャンセルされるので、インク吐出側の開口精度やエッジ品質の良いノズル５１Ｃを形成することができる。また、ノズル５１Ｃはテーパ部３３０及びストレート部３３２を備えたテーパストレート状に構成されるため、ノズル５１Ｃの吐出方向が安定化する。
【００９５】
〔第４の実施形態〕
次に、本発明に係る第４の実施形態について説明する。以下、既述した各実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【００９６】
図１２は、第４の実施形態としてのノズルプレート６０Ｄの製造工程を説明するための図である。本実施形態のノズルプレート６０Ｄには、図１２（ｉ）に示すように、変形テーパ状のノズル５１Ｄが形成される。以下、ノズルプレート６０Ｄの製造方法について図１２を参照しながら説明する。
【００９７】
まず、マスク作製工程として、図１２（ａ）に示すように、透明基板４００及び不透明金属膜４０２から成る露光用マスク４０４を作製する。なお、符号４０２ａはノズルパターンに従って形成される不透明金属膜４０２の開口領域を表す。次に、レジスト形成工程として、図１２（ｂ）に示すように、露光用マスク４０４の不透明金属膜４０２側にスピンコーター等によりネガ型のレジスト（ネガレジスト）４０６を塗布する。ここまでの工程は第１の実施形態と同様である。
【００９８】
次に、第１の露光工程として、図１２（ｃ）に示すように、露光用マスク４０４の透明基板４００側から紫外光を照射する際、紫外光の照射方向に対して露光用マスク４０４及びレジスト４０６から成る基板４２０を斜めの所定角度θ１〔度〕に傾斜させた状態で、基板４２０に垂直な軸Ｐを中心として基板４２０を回転させながら行う。このような傾斜回転露光を行うことにより、第２の実施形態と同様に、紫外光の照射方向に対する基板４２０の傾斜角度θ１に応じたテーパ状のレジスト領域４０６ａが感光される。
【００９９】
次に、第２の露光工程として、図１２（ｄ）に示すように、紫外光の照射方向に対する基板４２０の傾斜角度をθ１〔度〕からθ２〔度〕（但し、θ２＜θ１）に変更し、基板４２０の回転を停止した状態で露光用マスク４０４の透明基板４００側から紫外光を照射する。このような傾斜露光を行うことにより、紫外光の照射方向に対する基板４２０の傾斜角度θ２に応じた第１の露光工程で感光されたレジスト領域４０６ａの外側の一部領域４０６ｂが感光される。なお、第２の露光工程は、第１の露光工程の前に行ってもよいし、第１の露光工程の途中で行ってもよい。
【０１００】
次に、現像工程として、レジスト４０６の現像を行うと、図１２（ｅ）に示すように、露光用マスク４０６上には、変形テーパ状のレジスト４０６ｃがパターニングされた状態となる。なお、レジスト４０６ｃの形状はレジスト４０６ａ、４０６ｂを結合した形状に相当する。このようなレジスト４０６ｃの側壁面は、テーパ角度θ１′〔度〕で規定される第１の傾斜面４１２と、テーパ角度θ２′〔度〕（但し、θ２′＜θ１′）で規定される第２の傾斜面４１４とから構成されている。また、レジスト４０６ｃの上面形状は、同図の上段に示すように、第２の傾斜面４１４側が突起状となった変形円形状（或いは、変形楕円状）となる。なお、レジスト４０６ｃの下面形状は、特に図示しないが不透明金属膜４０２の開口領域４０２ａと同様の円形状となる。
【０１０１】
次に、犠牲層形成工程として、図１２（ｆ）に示すように、第１の実施形態と同様にして不透明金属膜１０２上に犠牲層４０８を形成する。続いて、電鋳工程として、図１２（ｇ）に示すように、犠牲層４０８上にＮｉ電鋳法で金属層４１０を形成する。
【０１０２】
次に、剥離工程として、有機溶媒等によりレジスト４０６ｃの除去を行った後、図１２（ｈ）に示すように、露光用マスク４０４を犠牲層４０８との界面で剥離する。剥離後の露光用マスク４０４は再利用可能である。そして最後に、犠牲層除去工程として、犠牲層４０８を除去すると、図１２（ｉ）に示すように、金属層４１０から成るノズルプレート６０Ｄを得ることができる。
【０１０３】
このノズルプレート６０Ｄには、レジスト４０６ｃの外部形状に対応し、その内壁面がテーパ角度θ１′で規定される第１の傾斜面４１６及びテーパ角度θ２′で規定される第２の傾斜面４１８より構成されるノズル５１Ｄが形成される。ノズル５１Ｄのインク供給側開口の平面形状は、図１２（ｉ）の上段に示すように、第２の傾斜面４１８側が突起状となった変形円形状（或いは、変形楕円状）となる。一方、ノズル５１Ｄのインク吐出側開口の平面形状は、同図の下段に示すように、不透明金属膜４０２の開口領域４０２ａに対応する円形状となる。このようにノズル５１Ｄはノズル軸に対して軸対象でない形状となり、また、同図の中段に示したノズルプレート６０Ｄの断面（ノズル対称面）に対して面対称な形状となる。
【０１０４】
このように異なるテーパ角度θ１′、θ２′でそれぞれ規定される第１及び第２の傾斜面４１６、４１８によって内壁面が構成される変形テーパ状のノズル５１Ｄを備えたノズルプレート６０Ｄを用いることにより、次のような効果を得ることができる。
【０１０５】
例えば、図１３に示すノズルプレート６０Ｄの断面（ノズル対称面）と紙搬送方向が平行になるように構成される場合、ノズル形状の誤差によって各ノズル５１Ｄ-1、５１Ｄ-2の吐出方向が紙搬送方向にばらつくことはあっても、紙搬送方向に垂直な方向（紙面に対して表裏方向）へのばらつきを抑えることが可能となる。即ち、各ノズル５１Ｄ-1、５１Ｄ-2の吐出方向のばらつきを同一方向に限定することができるようになる。また、紙搬送方向のばらつきについては、ノズルプレート６０Ｄを記録ヘッド５０に組み込んだ後の検査工程において、各ノズル５１Ｄ-1、５１Ｄ-2の吐出角度θＡ、θＢを測定し、記録媒体の搬送速度、記録媒体と記録ヘッド５０の距離などから、記録媒体上で各ノズル５１Ｄ-1、５１Ｄ-2の着弾位置が所望の範囲に収まるように吐出タイミングを制御するようにすればよい。つまり、図１４に示すように、ノズル５１Ｄから吐出されたインク滴が所望の着弾位置より紙搬送方向下流側にずれる場合には吐出タイミングを遅く設定し、これとは逆に紙搬送方向上流側に着弾位置がずれる場合には吐出タイミングを早く設定するようにすればよい。このように吐出タイミングの調整で着弾位置精度の向上が可能である。
【０１０６】
なお、本実施形態においては、第２の露光工程において基板４２０を回転させずに停止させた状態で露光を行っているが、本発明はこれに限定されず、例えば、紫外線強度、紫外線の照射方向に対する基板４２０の傾斜角度や、基板４２０の回転数や回転速度などの露光条件を適宜変化させながら露光を行うようにしてもよい。
【０１０７】
以上、本発明のノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図
【図２】記録ヘッドの構造例を示す平面透視図
【図３】図２中３−３線に沿う断面図
【図４】インクジェット記録装置におけるインク供給系の構成を示した概要図
【図５】第１の実施形態のノズルプレートを製造するための工程順序を示した図
【図６】第１の実施形態のノズルプレートの製造工程の説明図
【図７】不透明金属膜上に撥液層が形成された状態を説明するための図
【図８】金属層に流路プレートを接合した状態を説明するための図
【図９】第２の実施形態のノズルプレートの製造工程の説明図
【図１０】第３の実施形態のノズルプレートの製造工程の説明図
【図１１】第３の実施形態のノズルプレートの製造方法の変形例を示した図
【図１２】第４の実施形態のノズルプレートの製造工程の説明図
【図１３】変形テーパ状ノズルの吐出方向を説明するための図
【図１４】吐出タイミングの制御方法を説明するための図
【図１５】従来のノズルプレートの製造方法を説明するための図
【図１６】従来のノズルプレートの製造方法の問題点を説明するための図
【符号の説明】
【０１０９】
１０…インクジェット記録装置、５０…記録ヘッド、５０ａ…インク吐出面、５１…ノズル、５２…圧力室、５４…インク供給口、５５…共通液室、５８…圧電素子、６０…ノズルプレート、６２…ザグリ部、６６…流路プレート、６８…ノズル流路、１００…透明基板、１０２…不透明金属膜、１０４…露光用マスク、１０６…レジスト、１０８…犠牲層、１１０…金属層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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