(57)【要約】【課題】コーティング層に超音波を送波し、コーティング層からの受波に基づくエネルギー変化を検出し、このエネルギー変化化に基づいてコーティング材の劣化度合を的確に判定するコーティング材の劣化判定装置を提供する。【解決手段】本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、コーティング層に臨んで配置する超音波センサ４および層厚計測センサ６と、超音波センサ４および層厚計測センサ６を保持するセンサ保持機構部を進退移動させる制御装置１０と、上記超音波センサ４および層厚計測センサ６の計測値に基づいて超音波特性値および周波数特性値を算出し、算出した超音波特性値および周波数特性値をコーティング層の層厚毎に区分化して画像化する信号処理装置１３と、信号処理装置１３で画像化した超音波特性値および周波数特性値を予めデータベースとして格納しておいたマスターカーブに照合させてコーティング材の補修の可否を判定する劣化度評価装置１４と、判定結果の情報を表示する表示装置１５とを備えた。【選択図】  図２
2008111846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーティング層に臨んで配置する超音波センサおよび層厚計測センサと、超音波センサおよび層厚計測センサを保持するセンサ保持機構部を進退移動させる制御装置と、上記超音波センサおよび層厚計測センサの計測値に基づいて超音波特性値および周波数特性値を算出し、算出した超音波特性値および周波数特性値をコーティング層の層厚毎に区分化して画像化する信号処理装置と、信号処理装置で画像化した超音波特性値および周波数特性値を予めデータベースとして格納しておいたマスターカーブに照合させてコーティング材の補修の可否を判定する劣化度評価装置と、判定結果の情報を表示する表示装置とを備えたことを特徴とするコーティング材の劣化判定装置。
【請求項２】
前記超音波センサは、振動子を円錐型に形成したことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項３】
前記超音波センサは、振動子を半円柱状に形成したことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項４】
前記超音波センサは、中央部にレーザ発振部を備え、その両外側に超音波受信部を備える一方、上記レーザ発振部にレーザ発振器を接続させるとともに、上記超音波受信部に超音波受信器を接続させたことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項５】
前記超音波センサは、中央部にレーザ発振部を備え、その両外側に音響レンズを介装して超音波受信部を備える一方、上記レーザ発振部にレーザ発振器を接続させるとともに、上記音響レンズにレーザ検出器を接続させたことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項６】
前記レーザ発振部は、レーザ光をパルス状に発信させるとともに、そのパルス状の間隔を変化させたことを特徴とする請求項４または５記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項７】
前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、アレイ型超音波センサにするとともに、アレイ型超音波センサの軸方向に配置した複数個の振動子のうち、一つを超音波送波用にし、残りを超音波受波用に区分けしたことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項８】
前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、アレイ型超音波センサにする一方、アレイ型超音波センサの軸方向に配置した複数個の振動子のうち、群として一つにまとめた超音波の送波用群振動子と、群として一つにまとめた超音波の受波用群振動子とに区分けするとともに、群として一つにまとめた超音波の送波用群振動子と、群として一つにまとめた超音波の受波用群振動子とを交互に配置したことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項９】
前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、マトリックスアレイ型超音波センサであることを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【請求項１０】
前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、アレイ型超音波センサにする一方、アレイ型超音波センサの軸方向に配置した複数個の振動子のうち、群として一つにまとめた超音波の送波用群振動子と、残りを群として一つにまとめた超音波の受波用群振動子とに区分けしたことを特徴とする請求項１記載のコーティング材の劣化判定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温雰囲気で使用するガスタービン高温部材に保護層を形成した、そのコーティング材の劣化判定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービン高温部材、例えばタービン静翼材あるいはタービン動翼材等は、燃焼ガス（ガスタービン入口のガスタービン駆動ガス）の温度が１３００℃以上の高温雰囲気の下で運転しているので、翼母材の表面に耐熱性のコーティング材を被覆しているが、経年的に高温腐食や酸化等によりコーティング層が劣化し、その劣化がコーティング層表面から厚み方向に進行し、ついで翼母材にまで達することがある。
【０００３】
このため、翼母材に劣化が進行する以前にコーティング層の劣化程度を的確に計測・評価することがガスタービンに安定運転を行わせることができる上で大切である。
【０００４】
コーティング層の劣化を検出する方法は、評価部分の合金元素の濃度分布の変化やγ′相等の組織変化を検出し、その変化率とクリープ強度などの機械的特性との相関からコーティング層の劣化程度を評価するものがあり、例えば、特許文献１，２等が公表されている。
【特許文献１】特開平５−３１２８００号公報
【特許文献２】特開平８−１０５８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高温雰囲気で使用するガスタービン静翼やガスタービン動翼等のガスタービン高温部材は、運転中、高温燃焼ガスから翼母材等を保護する必要上、耐熱性のコーティング材で被覆しているが、経年的に高温腐食や酸化等により劣化する。
【０００６】
この劣力のメカニズムを、例えば白金アルミ（ＰｔＡｌ）のコーティング材で被覆したガスタービン動翼を例に採って考察してみる。
【０００７】
ガスタービン動翼は、運転中、高温燃焼ガス中に含まれる窒素（Ｎ）に晒されており、コーティング材のアルミ（Ａｌ）と反応して窒素化合物（ＡｌＮ）を生成させる。この窒素化合物がコーティング層の内部（厚み方向）に拡散し、翼母材にまで達する。この窒素化合物の影響により、コーティング層が劣化し、さら翼母材の劣化を引き起こすため、ガスタービン動翼の健全性が損われると考えられる。
【０００８】
コーティング層の劣化評価法は、上述のとおり、評価部分の合金元素の濃度分布の変化やγ′相等の組織変化を検出し、その変化率とクリープ強度等の機械的特性との相関から材料の劣化度合を評価するものであるが、機械的特性を間接的に評価しているため、高精度かつ的確な劣化評価を行うには十分とは言い難い。
【０００９】
また、この評価法を用いてコーティング層の厚み方向の評価を行うには、コーティング層の劣化の進行の如何に拘らず、コーティング材を採取するための翼母材を傷付ける場合が生じたり、また劣化があまり進行していないコーティング材であっても再び新たなコーティング材に交換しなければならないなど、稼動率の向上やコストの低減化に反し、運用上好ましくない。
【００１０】
本発明は、このような事情に基づいてなされたもので、コーティング層に超音波弾性表面波を送波し、受波としての超音波弾性表面波のエネルギー変化を検出し、このエネルギーの変化に基づいてコーティング材の劣化度合を的確に判定するコーティング材の劣化判定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項１に記載したように、コーティング層に臨んで配置する超音波センサおよび層厚計測センサと、超音波センサおよび層厚計測センサを保持するセンサ保持機構部を進退移動させる制御装置と、上記超音波センサおよび層厚計測センサの計測値に基づいて超音波特性値および周波数特性値を算出し、算出した超音波特性値および周波数特性値をコーティング層の層厚毎に区分化して画像化する信号処理装置と、信号処理装置で画像化した超音波特性値および周波数特性値を予めデータベースとして格納しておいたマスターカーブに照合させてコーティング材の補修の可否を判定する劣化度評価装置と、判定結果の情報を表示する表示装置とを備えたものである。
【００１２】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項２に記載したように、前記超音波センサは、振動子を円錐型に形成したものである。
【００１３】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項３に記載したように、前記超音波センサは、振動子を半円柱状に形成したものである。
【００１４】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項４に記載したように、前記超音波センサは、中央部にレーザ発振部を備え、その両外側に超音波受信部を備える一方、上記レーザ発振部にレーザ発振器を接続させるとともに、上記超音波受信部に超音波受信器を接続させたものである。
【００１５】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項５に記載したように、前記超音波センサは、中央部にレーザ発振部を備え、その両外側に音響レンズを介装して超音波受信部を備える一方、上記レーザ発振部にレーザ発振器を接続させるとともに、上記音響レンズにレーザ検出器を接続させたものである。
【００１６】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項６に記載したように、前記レーザ発振部は、レーザ光をパルス状に発信させるとともに、そのパルス状の間隔を変化させたものである。
【００１７】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項７に記載したように、前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、アレイ型超音波センサにするとともに、アレイ型超音波センサの軸方向に配置した複数個の振動子のうち、一つを超音波送波用にし、残りを超音波受波用に区分けしたものである。
【００１８】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項８に記載したように、前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、アレイ型超音波センサにする一方、アレイ型超音波センサの軸方向に配置した複数個の振動子のうち、群として一つにまとめた超音波の送波用群振動子と、群として一つにまとめた超音波の受波用群振動子とに区分けするとともに、群として一つにまとめた超音波の送波用群振動子と、群として一つにまとめた超音波の受波用群振動子とを交互に配置したものである。
【００１９】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項９に記載したように、前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、マトリックスアレイ型超音波センサであるものである。
【００２０】
また、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、上記目的を達成するために、請求項１０に記載したように、前記コーティング層に臨んで配置する超音波センサは、アレイ型超音波センサにする一方、アレイ型超音波センサの軸方向に配置した複数個の振動子のうち、群として一つにまとめた超音波の送波用群振動子と、残りを群として一つにまとめた超音波の受波用群振動子とに区分けしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るコーティング材の劣化判定装置は、コーティング層に異なる周波数の超音波弾性表面波を送波し、コーティング層から得たエネルギー分布を層厚さ毎に区分化して３次元画像化するとともに、計測値と予めデータベースとして格納しておいた判定基準に照合させて再コーティングの可否等を判定・提示するので、コーティング材の健全性を確実に維持させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置の実施形態を図面および図面に付した符号を引用して説明するが、その説明に先立ち、先ず、コーティング材の劣化判定方法の実施形態を図１を引用して説明する。
【００２３】
図１は、コーティング材の劣化判定方法の実施形態を説明するために用いたブロック図である。
【００２４】
本実施形態は、白金アルミ（ＰｔＡｌ）をコーティング材として被覆したガスタービン動翼を一例に採っている。
【００２５】
コーティング材の劣化度合を評価するには、まず、ガスタービン動翼の熱応力解析あるいは目視検査等による評価部分を選択する（ステップ１）。選定された評価部分に対し、コーティング層の表面に周波数の異なる表面波を送波させ、それぞれの周波数毎に音速値、減衰率、周波数解析による周波数特性値（中心周波数、重心周波数、振幅強度、ピーク周波数など）を計測する（ステップ２）。ステップ２の周波数毎の音速値、減衰率および周波数特性値の計測と併列して電磁気法および超音波法のうち、いずれかの方法でコーティング層の厚さを計測する（ステップ３）。
【００２６】
次に、ステップ２で異なる周波数の表面波から求めた音速値等と、ステップ３で計測したコーティング層の厚さとから、コーティング層の各層毎における音速値等を区分化する（ステップ４）。
【００２７】
コーティング層の各層毎における音速値等の計測値の区分化が終ると、ステップ５では、ステップ３で求めたコーティング厚みを基にして区分化された音速値等のデータをカラー階調による３次元画像化し、任意のコーティング層においても平面画像あるいは断面画像で表示できるようにする。
【００２８】
さらに、区分化された計測値は、テスト材を予め計測しておき、その計測値を劣化度評価線であらわした、いわゆるマスターカーブをコンピュータに格納し、そのマスターカーブをデータベースにして照合し（ステップ６）、コーティング層の厚さ方向の劣化度合を評価する（ステップ７）。このデータベースとしてのマスターカーブは、テスト材から求めたコーティング層の厚み方向の音速値等とコーティング層の組織変化（ＡｌＮの体積率）とで作成されている。なお、ステップ７では、コーティング層の劣化度合をカラー階調による３次元画像化し、任意の層の位置で平面画像、断面画像などが表示できるようになっている。
【００２９】
最後に、ステップ７で求めたコーティング層の劣化度合分布を再コーティング判定基準を基に再コーティング実施時期、再コーティング実施時期を明示して運転継続、翼母材の劣化に伴う廃棄などの判定を行う（ステップ８）。
【００３０】
このように、本実施形態はコーティング層の表面に周波数の異なる表面波を送波して音速値等を求めるとともに、コーティング層の厚みを計測し、計測した各層毎に音速値等を区分化し、各層毎に音速値等を区分化したデータで３次元画像化し、さらに音速値等の計測値をデータベースとして格納したマスターカーブに照合させ、再コーティング判定基準を基にコーティング層の再コーティング時期等を判定するので、コーティング材の劣化度合を的確に判定することができる。
【００３１】
なお、本実施形態は、白金アルミ（ＰｔＡｌ）のコーティング材のほかに、耐熱性、耐酸化性に優れたコーティング材であれば、材料の種類を問わず適用することができる。
【００３２】
図２は、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置の実施形態を説明するために用いた概略系統ブロック図である。
【００３３】
本実施形態は、例えば白金アルミ（ＰｔＡｌ）をコーティング材として被覆したガスタービン動翼を一例に採っている。
【００３４】
ガスタービン動翼は、翼母材１と白金アルミ（ＰｔＡｌ）のコーティング材２で被覆したコーティング層３とで形成しているが、運転中、燃焼ガスの高温雰囲気に晒されているため、その燃焼ガスに含まれる窒素ガス（Ｎ）がコーティング材２のアルミ（Ａｌ）と反応し、窒素化合物（ＡｌＮ）３ａを生成する。さらに、運転時間の増加に伴い、窒素化合物３ａは、コーティング層３の厚み方向に拡散し、やがて翼母材１に達する。
【００３５】
このように、窒素化合物３ａがコーティング層３の厚み方向に拡散するコーティング材２に対し、ガスタービン動翼は、例えば水を接触媒質ｃとするコーティング層３に超音波弾性表面波ＵＴｂを送波する超音波センサ４を設置する。
【００３６】
この超音波センサ４は、センサホルダ５を介してコーティング層３の層厚計測センサ６とともにセンサ保持機構部７に組み込まれている。
【００３７】
また、センサ保持機構部７は、センサ駆動機構部８、駆動機構制御装置９を介して制御装置１０を備え、この制御装置１０からの指令信号を駆動機構制御装置９で演算し、その演算信号をセンサ駆動機構部８に与えて駆動させ、このセンサ駆動機構部８の駆動力に基づいて超音波センサ４および層厚計測センサ６のそれぞれをコーティング層３の適正位置に進退させるようになっている。
【００３８】
一方、超音波センサ４および層厚計測センサ６のそれぞれは、超音波送受信器１１、膜厚計測装置１２のそれぞれを介して信号処理装置１３を備えている。
【００３９】
この信号処理装置１３は、超音波送受信器１１から受波した周波数の異なる超音波弾性表面波ＵＴｂに基づいて超音波特性値、具体的には音速値、減衰率、および異なる周波数特性値（中心周波数、重心周波数、振幅強度、ピーク周波数等）に処理するとともに、膜厚計測装置１２からのコーティング層膜厚信号に基づいて周波数の超音波特性値および周波数特性値をコーティング層３の厚み方向の各層毎に区分化する。
【００４０】
また、各層毎に区分化された上述の超音波特性値等は、表示装置１５でカラー階調による３次元画像化され、任意の層の位置で平面画像、断面画像、立体画像のうち、いずれかの画像にして表示される。なお、信号処理装置１３で各層毎に区分化された信号は、制御装置１０に与えられ、ここから駆動機構制御装置９への修正信号として用いられる。また、制御装置１０は、膜厚計測センサ６からコーティング層３に異なる周波数の超音波の選択ができ、また適正な周波数の超音波の選択ができるように、膜厚計測装置１２に制御信号を与えている。
【００４１】
他方、信号処理装置１３に接続する劣化度評価装置１４は、予めテスト材を用いて作成した超音波特性値等と劣化度合との関係をデータベースとして格納しておいたマスターカーブに、上述の超音波特性値等を照合させ、各層毎に区分化してコーティング層３の劣化度合を求めることができるようにしている。
【００４２】
その際、表示装置１５は、各層毎に区分化した劣化度合にコーティング層劣化度判定基準を突き合せ、その結果を再コーティング実施時期、再コーティング実施時期を明示して運転継続、翼母材の劣化に伴う廃棄等の情報として表示する。
【００４３】
このように、本実施形態は、超音波送受信器１１から受波した周波数の異なる超音波弾性表面波ＵＴｂと膜厚計測装置１２からのコーティング層膜厚信号とを組み合せてコーティング層３の各層毎に区分化して超音波特性値等に処理する信号処理装置１３と超音波特性値等をコーティング層３の劣化判定基準に突き合せて補修時期等の再コーティングの有無の判定を行う劣化度評価装置１４とを備えたので、コーティング材２の劣化度合を精度良く、的確に判定することができる。
【００４４】
図３および図４は、本実施形態のコーティング材の劣化判定方法において、図１で示したステップ２の音速を求める場合の具体例を説明するために用いたもので、図３は、コーティング層に異なる周波数の超音波弾性表面波を送波したときの層厚方向のエネルギー分布図であり、図４中、（ａ）は層厚み方向の層厚毎のエネルギー分布線であり、（ｂ）は層厚み方向の寄与率を考慮した超音波弾性表面波のエネルギ分布図である。
【００４５】
一般に、コーティング層３の表面に異なる周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，…（ｆ１＞ｆ２＞ｆ３…）の超音波弾性表面波を送波する場合、コーティング層３の層厚み方向のエネルギ分布は、振幅強度の基準を１とするとき、図３に示すように、適用周波数が小さくなるに従ってコーティング層の層厚み方向に向って広がる傾向になっている。さら、適用周波数が小さくなると、エネルギー分布は適用周波数の１波長分とほぼ近似できるようになっている。
【００４６】
本実施形態は、このような点を利用したもので、図４（ａ）に示すように、コーティング層の各層厚み毎に異なる周波数ｆ１，ｆ２，ｆ３，…（ｆ１＞ｆ２＞ｆ３…）のエネルギー分布を求めたものである。
【００４７】
その際、適用周波数が小さくなると、コーティング層のより深い部分までのエネルギー分布情報が収集できるので、この深い部分までのエネルギー分布情報を寄与率としてコーティング層の各層における超音波弾性表面波の音速を求めることが必要とされる。
【００４８】
図４（ｂ）は、コーティング層３の層厚をｔ１，ｔ２，ｔ３，…に区分けし、区分けした層厚ｔ１，ｔ２，ｔ３，…に対応させて周波数ｆ１のときの超音波弾性表面波の層厚ｔ１までの平均エネルギーＥ１を求め、さらに周波数ｆ２のときの超音波弾性表面波の層厚ｔ１までの平均エネルギーＥ２１と層厚ｔ２までの平均エネルギーＥ２２を求める。この場合、層厚ｔ１までの寄与率α２１、層厚ｔ２までの寄与率α２２は、図４（ｃ）に示すように、それぞれα２１＝Ｅ２１／（Ｅ２１＋Ｅ２２）、α２２＝Ｅ２２／（Ｅ２１＋Ｅ２２）として求めることができる。
【００４９】
また、コーティング層の厚さ方向の音速は、次のように求めることができる。まず、センサ（探触子）を用いて周波数ｆ１のときの超音波弾性表面波ＵＴｂの音速ｖ１を求め（図４（ｃ）（１）参照）、さらにセンサを用いて周波数ｆ２のときの超音波弾性表面波ＵＴｂの音速ｖ２を求める（図４（ｃ）（２）参照）。
【００５０】
次に、層厚ｔ１までの音速ｖ２１が、音速ｖ１と等しいから、層厚ｔ１から層厚ｔ２までの音速ｖ２２は、
【数１】
2008111846.tif 000003
【００５１】
より
［数２］
ｖ２２＝（ｖ２−ｖ１×α２１）／α２２
として算出することができる。なお、コーティング層３の層厚ｔ１〜ｔ３の場合も周波数と同様にして音速ｖ３を算出する（図４（ｃ）（３）参照）。
【００５２】
このように、本実施形態は、適用周波数が小さいと、層厚方向の拡散エネルギー分布がより浅くなることを考慮し、コーティング層３の層厚ｔ１，ｔ２，ｔ３…を細かく区分けし、細かく区分けした層厚毎のエネルギーから寄与率としての比率を算出し、算出した比率を各層厚の全エネルギーに乗算し、この乗算値に対応する超音波弾性表面波の音速を算出するので、精度の高い音速度を算出することができる。
【００５３】
図５〜図７は、本実施形態のコーティング材の劣化判定方法において、図１で示したステップ６のマスターカーブとしての具体例を説明するために用いたもので、図５は、コーティング層３に窒素化合物（ＡｌＮ）が含まれる場合、その体積率と超音波弾性表面波の音速値との相関関係を示すグラフであり、図６は、窒素化合物（ＡｌＮ）の体積率と超音波弾性表面波の減衰率との相関関係を示すグラフであり、図７は、窒素化合物（ＡｌＮ）の体積率と超音波弾性表面波の中心周波数低下率との相関関係を示すグラフである。
【００５４】
これらのグラフは、テスト材から予め求めておいたもので、コンピュータにデータベースとして格納され、ステップ７でコーティング層３の劣化度を評価する際、照合される。
【００５５】
図８および図９は、本実施形態のコーティング材の劣化判定方法において、図１で示したステップ２の音速を求める際の送波の種類を説明するために用いたもので、図８は、コーティング層の表面を伝搬させる超音波としての漏洩表面波を用いることを説明する概念図であり、図９中、（ａ）は、コーティング層の表面を伝搬させる超音波として表面ＳＨ波を用いることを説明する概念図であり、（ｂ）は表面ＳＨ波の伝搬方向を説明するために用いた概念図である。
【００５６】
本実施形態は、図８に示すように、翼母材１に被覆した窒素化合物３ａを含むコーティング層３に、信号ケーブル１４から超音波センサ４を介して超音波弾性表面波ＵＴＳＡＷを送波する場合、その超音波弾性表面波ＵＴＳＡＷとして漏洩表面波を用いたものである。
【００５７】
本実施形態は、漏洩表面波を用いると、コーティング層３の層厚方向に振動する超音波弾性表面波ＵＴＳＡＷを検出することができ、また適用周波数を異ならしめてコーティング層３に伝搬させると、コーティング層３の層厚方向に異なるエネルギー分布を持つ超音波弾性表面波ＵＴＳＡＷを検出することができるので、音速度を的確に検出する際、有効である。
【００５８】
また、本実施形態は、図９（ａ）に示すように、翼母材１に被覆した窒素化合物３ａを含むコーティング層３に、超音波センサ４からの超音波弾性表面波ＵＴＳＨを送波する場合、その超音波弾性表面波ＵＴＳＨとして表面ＳＨ波を用いると、図９（ｂ）に示すように、その進行方向がコーティング層３の表面に対し平行であり、さらにその伝搬方向がコーティング層３の表面に対し垂直になるので、コーティング層３の表面の凹凸の障害に何ら影響を受けることなく音速を計測することができる点で効果的である。
【００５９】
図１０および図１１は、本実施形態のコーティング材の劣化判定方法において、図１で示したステップ３のコーティング層の層厚を計測する具体例を説明するために用いたもので、図１０中、（ａ）は、電磁気法でコーティング層の層厚を計測する概念図であり、（ｂ）は、予めテスト材で求めておいたインピーダンス変化量とコーティング層の層厚との相関関係を示すマスターカーブであり、図１１は、コーティング層の層厚を超音波法で計測することを説明するために用いた概念図である。
【００６０】
本実施形態は、図１０（ａ）に示すように、境界面Ｚで仕切られた翼母材１とコーティング層３との、そのコーティング層３に層厚計測センサとして電磁気センサ１５を設け、電磁気センサ１５からコーティング層３に渦電流の磁力線ＭＦＬを与え、その際、インピーダンスを検出し、検出したインピーダンスを基に図１０（ｂ）のマスターカーブからコーティング層３の層厚を計測したものである。
【００６１】
また、本実施形態は、図１１に示すように、境界面Ｚで仕切られた翼母材１とコーティング層３との、そのコーティング層３に層厚計測センサとして超音波センサ４を設け、超音波センサ４からコーティング層３に高周波数の超音波ＴＵｃを送波し、境界面Ｚからの反射波を検出し、その到達時間ｔａと音速Ｖａとから式（１）を用いてコーティング層３の層厚Ｔａを求めたものである。  
［数３］
Ｔａ＝Ｖａ×ｔａ  ……（１）
【００６２】
このように、本実施形態は、コーティング層３の層厚を計測するにあたり、電磁気法および超音波法のいずれかを選択して計測するので、コーティング層３の層厚を高精度に計測することができる。
【００６３】
図１２は、本実施形態のコーティング材の劣化判定方法において、図１で示したステップ５の３次元画像化の具体例を説明するために用いたもので、（ａ）はコーティング層３を層毎に区分化した概念図であり、（ｂ）は層毎にカラー階調で表示した、例えば音速分布を示す概念図である。
【００６４】
本実施形態は、図１２（ａ）に示すように、翼母材１に被覆したコーティング層３を層３ａ，３ｂ，…３ｎ毎に区分化し、図１２（ｂ）に示すように、区分化した層３ａ，３ｂ，…３ｎに画像化した音速分布Ａ，Ｂ，Ｃ，…をカラー階調で表示したものである。ここで、音速の速さの順は、Ａ＞Ｂ＞Ｃ…になっている。
【００６５】
このように、本実施形態は、コーティング層３を各層３ａ，３ｂ，…３ｎ毎に区分化し、区分化した層３ａ，３ｂ，…３ｎ毎にカラー階調にして音速分布を表示したので、画像をより鮮明に識別することができる。なお、カラー階調の画像は、音速のほかに超音波の減衰率、超音波の周波数解析による周波数特性値（中心周波数、ピーク周波数、振幅強度等）も平面像、断面像、立体像のいずれの像でも表示できる。
【００６６】
図１３および図１４は、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置において、図２で示した超音波センサの具体例を説明するために用いたもので、図１３は、振動子が円錐型のものを適用することを示す概念図であり、図１４は振動子が半円柱状のものを適用することを示す概念図である。
【００６７】
本実施形態は、図１３に示すように、翼母材１に被覆した窒素化合物３ａを含むコーティング層３に、信号ケーブル１４から超音波センサ４を介して超音波ＴＵｂを送波する場合、その超音波センサ４の振動子１６を円錐型にしたものである。振動子１６は、円錐型にすれば、音響レンズが取り付けられて、いわゆる超音波顕微鏡としての使用ができる。
【００６８】
また、本実施形態は、図１４に示すように、超音波センサ４の振動子１６を半分円柱状に形成したので、コーティング層３に対して長方形型の範囲に超音波ＵＴｂを送波し、比較的広い範囲に亘って音速等を計測することができる。
【００６９】
図１５〜図１７は、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置において、図２で示した超音波センサの他の実施形態における具体例を説明するために用いたもので、図１５は、レーザ発振部と超音波受信部とを組み合せた概念図であり、図１６は、レーザ発振部に超音波受信部および音響レンズを組み合せた概念図であり、図１７は、レーザ発振する場合、レーザパルス間隔を説明するために用いた概念図である。
【００７０】
本実施形態は、図１５に示すように、翼母材１に被覆したコーティング層３に臨む位置に設けた超音波センサ４の中央部にレーザ発振部１７を、その両外側に超音波受信部１８ａ，１８ｂを備えるとともに、レーザ発振部１７からコーティング層３にレーザビームＬｂを送波するレーザ発振器１９と、コーティング層３から反射する超音波ＵＴｂを超音波受信部１８ａ，１８ｂを介して受波する超音波発信器２０とを備えたものである。
【００７１】
このように、本実施形態は、超音波センサ４の中央部にレーザ発振部１７を、その両外側に超音波受信部１８ａ，１８ｂを備え、レーザ発振部１７から送波され、コーティング層３に入射され、入射時の熱衝撃によりコーティング層表面に超音波弾性表面波ＵＴｂが発生する。この超音波弾性表面波ＵＴｂは、コーティング層表面を伝搬し、レーザ発信部１７の周囲に配置した超音波受信部１８ａ，１８ｂで受波する。この方法で、音速や減衰率等を精度高く計測することができる。なお、本実施形態は、超音波センサ４の中央部にレーザ発振部１７を、その両外側に超音波受信部１８ａ，１８ｂを備えたが、この例に限らず、例えば図１６に示すように、超音波センサ４の中央部にレーザ発振部１７を、その両外側に音響レンズ２２，２２を介装して超音波受信部１８ａ，１８ｂを設けるとともに、音響レンズ２２，２２のそれぞれにレーザ検出器２１とを設けてもよい。また、図１５および図１６で示したレーザ発振部１７から発信するレーザ光は、図１７に示すように、パルス状に発信させるともに、そのパルスのパルス間隔Ｐｗを変化させたので、コーティング層３の表面を伝搬する超音波を任意の周波数に制御することができる。ちなみに、コーティング層３のコーティング材２を白金アルミ（ＰｔＡｌ）にした場合、適用周波数は、６００ＭＨｚ〜５ＭＨｚで音速等を充分に計測することができる。
【００７２】
図１８は、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置において、図２で示した超音波センサおよび超音波送受信器の他の実施形態を説明するために用いた概略系統図である。
【００７３】
本実施形態は、翼母材１に被覆したコーティング層３に設けたセンサ２３と、このセンサ２３を介してコーティング層３にレーザ光を送波するレーザ発振器１９とを備えるとともに、レーザ照射により、コーティング層表面に超音波弾性波が発生し、コーティング層表面を伝搬する。
【００７４】
一方、レーザ検出器２１は、コーティング層表面へのレーザ照射により、コーティング層表面を伝搬した超音波弾性波の微少変位をセンサ２３を受波し、レーザ変位計２５にて超音波信号として受信する。この超音波は、周波数毎に区分化したフィルタ１，２，…，ｎを組み込んだフィルタユニット２６を介して異なった周波数の超音波信号として検出することができ、音速、減衰率等の超音波特性値を求めることができる。
【００７５】
また、本実施形態は、レーザ発振器１９、レーザ受信器２４、レーザ変位計２５、フィルタユニット２６のそれぞれを制御する制御ユニット２７を備えている。
【００７６】
このように、本実施形態は、コーティング層３からレーザ受信器２４を介して受波したレーザ光を超音波に代えるレーザ変位計２５を備えるとともに、超音波を周波数毎に区分化するフィルタユニット２６を備えたので、より精度の高い音速等を計測することができる。
【００７７】
図１９は、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置において、図２で示した超音波センサのさらに他の実施形態を説明するために用いた概念図である。
【００７８】
本実施形態は、翼母材１に被覆したコーティング層３に、例えば水等の接触媒質ｃを介して設置させ、軸方向に配置した複数個の振動子Ａ（１），Ａ（２），…，Ａ（ｎ）を備えたアレイ型超音波センサ２８を設けたものである。
【００７９】
このアレイ型超音波センサ２８は、振動子Ａ（１），Ａ（２），…，Ａ（ｎ）のうち、振動子Ａ（１）を超音波ＵＴｂの送波用として用いるとともに、振動子Ａ（２），Ａ（３），…，Ａ（ｎ）を超音波ＵＴｂの受波用として用いたものである。
【００８０】
このように、本実施形態は、超音波センサをアレイ型超音波センサ２８にするとともに、振動子Ａ（１），Ａ（２），Ａ（３），…，Ａ（ｎ）のうち、一つを超音波ＵＴｂの送波用にし、残りを超音波ＵＴｂの受波用に区分けして軸方向に配置したので、より精度の高い音速等を計測することができる。
【００８１】
なお、本実施形態は、振動子Ａ（１），Ａ（２），Ａ（３），…，Ａ（ｎ）のうち、一つを超音波ＵＴｂの送波用とし、残りを超音波ＵＴｂの受波用に区分けして軸方向に配置したが、この例に限らず、例えば図２０に示すように、振動子Ｇ（Ｐ１），Ｇ（Ｐ２），…，Ｇ（Ｐｉ）を一つにまとめて超音波ＵＴｂの送波用群振動子Ｇ（Ｐ）とし、振動子Ｇ（Ｒ１），Ｇ（Ｒ２），…，Ｇ（Ｒｉ）を一つにまとめて超音波ＵＴｂの送波用群振動子Ｇ（Ｒ）とし、一つにまとめて超音波ＵＴｂの送波用群振動子Ｇ（Ｐ）と、一つにまとめて超音波ＵＴｂの受波用群振動子Ｇ（Ｒ）とを交互に軸方向に配置してもよい。
【００８２】
図２１は、本発明に係るコーティング材の劣化判定装置において、図２で示した超音波センサのさらに他の実施形態を説明するために用いた概念図である。
【００８３】
本実施形態は、翼母材１にコーティング材２を被覆したコーティング層３に、例えば水等の接触媒質ｃを介して設置され、複数個の振動子Ａ（１，１），Ａ（１，２），…，Ａ（１，ｍ）Ａ（２，１），…，Ａ（ｎ，１）を２次元平面状に配列したマトリックスアレイ型超音波センサ２９を設けたものである。
【００８４】
このマトリックスアレイ型超音波センサ２９は、振動子Ａ（１，１）を送波用とし、振動子（１，２），…，Ａ（１，ｍ）を受波用とし、さらに、振動子Ａ（２，１）を送波用とし、振動子（３，１），…，（ｎ，１）を受波用として用い、超音波ＵＴｂをコーティング層３に伝搬させたものである。
【００８５】
このように、本実施形態は、超音波センサをマトリックスアレイ型超音波センサ２９にしたので計測部位を広範囲に計測でき、より精度の高い音速等を計測することができる。なお、本実施形態は、超音波センサをマトリックスアレイ型超音波センサ２９にしたが、これに限らず、例えば図２２に示すように、アレイ型超音波センサ２８のうち、振動子Ａｆ（１，１），…，Ａｆ（１，ｎ）を群として一つにまとめて超音波ＵＴｂの送波用振動子Ａｆ１ｎとし、残りの振動子Ａｆ（２，１），…，Ａｆ（ｍ，ｎ）を群として一つにまとめて超音波ＵＴｂの受波様群振動子Ａｆｍｎとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明に係るコーティング材の劣化判定装置に適用するコーティング材の劣化判定方法の実施形態を説明するために用いたブロック図。
【図２】本発明に係るコーティング材の劣化判定装置の実施形態を説明するために用いたブロック図。
【図３】図１で示したステップ２の音速を求める場合、コーティング層に異なる周波数の超音波弾性表面波を送波したときの層厚方向のエネルギー分布図。
【図４】本発明に係るコーティング材の劣化判定装置に適用するコーティング材の劣化判定方法において、図１で示したステップ２の音速を求める場合の具体例を説明するために用いたもので、（ａ）はコーティング層の厚さ方向の層厚毎のエネルギー分布線図、（ｂ）はコーティング層の厚さ方向の寄与率を考慮した層厚毎の超音波弾性表面波のエネルギー分布図、（ｃ）はコーティング層の厚さ方向の寄与率を考慮した層厚毎の音速分布図。
【図５】図１で示したステップ６のマスターカーブの具体例を示すもので、コーティング層に窒素化合物が含まれる場合、その体積率と超音波弾性表面波の音速との相関関係を示すグラフ。
【図６】図１で示したステップ６のマスターカーブの具体例を示すもので、コーティング層に窒素化合物が含まれる場合、その体積率と超音波弾性表面波の減衰率との相関関係を示すグラフ。
【図７】図１で示したステップ６のマスターカーブの具体例を示すもので、コーティング層に窒素化合物が含まれる場合、その体積率と超音波弾性表面波の中心低下率との相関関係を示すグラフ。
【図８】図１で示したステップ２の音速を求める際、超音波として漏洩表面波を用いることを説明する概念図。
【図９】図１で示したステップ２の音速を求める際、超音波の種類を説明するもので、（ａ）は表面ＳＨ波を用いることを説明する概念図、（ｂ）は表面波の伝搬方向を説明するために用いた概念図。
【図１０】図１で示したステップ３のコーティング層の層厚を計測する具体例を説明するために用いたもので、（ａ）は電磁気法でコーティング層の層厚を計測する概念図、（ｂ）は予めテスト材で求めておいたインピーダンス変化量とコーティング層の層厚との相関関係を示すマスターカーブ。
【図１１】図１で示したステップ３のコーティング層の層厚を計測する具体例を説明するために用いたもので、超音波を説明するために用いた概念図。
【図１２】図１で示したステップ５の３次元画像化の具体例を説明するために用いたもので、（ａ）はコーティング層を層毎に区分化した概念図、（ｂ）は層毎にカラー階調で表示した音速分布を示す概念図。
【図１３】図２で示した超音波センサの具体例を説明するために用いたもので、振動子が円錐型のものを適用することを示す概念図。
【図１４】図２で示した超音波センサの具体例を説明するために用いたもので、振動子が半円柱状のものを適用することを示す概念図。
【図１５】図２で示した超音波センサの他の実施形態における具体例を説明するために用いたもので、レーザ発振部と超音波受信部とを組み合せた概念図。
【図１６】図２で示した超音波センサの他の実施形態における具体例を説明するために用いたもので、レーザ発振部に超音波受信部および音響レンズを組み合せた概念図。
【図１７】図１５および図１６で示したレーザ発振部から発信されるレーザパルス間隔を説明するために用いた概念図。
【図１８】図２で示した超音波センサおよび超音波送受信器の他の実施形態を説明するために用いた概略系統図。
【図１９】図２で示した超音波センサのさらに他の実施形態を説明するために用いた概念図。
【図２０】図１９で示した超音波センサの変形例を示す概念図。
【図２１】図２で示した超音波センサのさらに他の実施形態を説明するために用いた概念図。
【図２２】図２１で示した超音波センサの変形例を示す概念図。
【符号の説明】
【００８７】
１  翼母材
２  コーティング材
３  コーティング層
３ａ  窒素化合物
４  超音波センサ
５  センサホルダ
６  層厚計測センサ
７  センサ保持機構部
８  センサ駆動機構部
９  駆動機構制御装置
１０  制御装置
１１  超音波送受信器
１２  膜厚計測装置
１３  信号処理装置
１４  信号ケーブル
１５  電磁気センサ
１６  振動子
１７  レーザ発振部
１８ａ，１８ｂ  超音波受信部
１９  レーザ発振器
２０  超音波受信器
２１  レーザ検出器
２２  音響レンズ
２３  センサ
２４  レーザ受信器
２５  レーザ変位計
２６  フィルタユニット
２７  制御ユニット
２８  アレイ型超音波センサ
２９  マトリックスアレイ型超音波センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2008111846.tif 000021
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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