(57)【要約】【課題】  軟磁性層に生じた磁壁を除去し、エラーの少ない高品質の垂直磁気記録媒体を製造する磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体を提供すること。【解決手段】  磁界印加手段１１により、スレーブディスク４０の垂直方向と半径方向とに向かって同時に直流磁界を印加することにより、磁気転写が行われるとともに、軟磁性層４０Ａに生じた磁壁Ｓが移動して除去され、エラーの少ない高品質の垂直磁気記録媒体を製造することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性層を有する円盤状の垂直磁気記録媒体の磁気記録面に対して垂直方向に直流磁界を印加して初期磁化を行い、
初期磁化された前記垂直磁気記録媒体に対して転写情報を担持したマスター担体を密着させ、垂直方向の直流磁界を印加すると同時に、
前記垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界を印加することにより前記マスター担体の前記転写情報を前記垂直磁気記録媒体に転写することを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
前記垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界は、前記垂直磁気記録媒体の半径方向に向かった直流磁界であることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写方法。
【請求項３】
前記垂直磁気記録媒体に印加される該垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界は、前記磁性層に生じた磁壁を除去することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の磁気転写方法。
【請求項４】
磁性層を有する円盤状の垂直磁気記録媒体の磁気記録面に対し、垂直方向の直流磁界を印加する垂直磁界印加手段と、
前記垂直磁界印加手段が垂直方向の直流磁界を印加するのと同時に、前記垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界を印加する面内成分磁界印加手段と、
前記垂直磁界印加手段と、前記面内成分磁界印加手段とを前記磁気記録面と相対的に移動させる移動手段とを有することを特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
前記垂直磁気記録媒体に印加される該垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界は、前記垂直磁気記録媒体の半径方向に向かった直流磁界であって、前記磁性層に生じた磁壁を除去することを特徴とする請求項４に記載の磁気転写装置。
【請求項６】
磁性層を有する円盤状の垂直磁気記録媒体の磁気記録面に対して垂直方向に直流磁界を印加して初期磁化を行い、
初期磁化された前記垂直磁気記録媒体に対して転写情報を担持したマスター担体を密着させ、垂直方向または円周方向の直流磁界を印加すると同時に、
前記垂直磁気記録媒体の半径方向に向かって直流磁界を印加することにより前記マスター担体の前記転写情報が前記垂直磁気記録媒体に転写されたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等に用いられる磁気ディスクに、フォーマット情報等の磁気情報パターンを垂直磁気転写する磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、サーボ信号としてフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスター担体（以下、マスターディスクと称する。）より一括転写する方法が効率的であり好ましい。
【０００３】
この磁気転写技術は、マスターディスクと被転写記録媒体（以下、スレーブディスクと称する。）とを密着させた状態で、片側又は両側に電磁石装置、永久磁石装置等からなる磁界印加手段により転写用の直流磁界を印加し、マスターディスクの担持する磁気情報パターン（たとえばサーボ信号）に対応する磁化パターンの転写を行うものである。
【０００４】
このような磁気転写については、従来各種の構成や方法が提案されている（たとえば、特許文献１、２等。）。特許文献１では、一対のホルダユニットによりマスターディスクを保持し、ロボットハンドにより一対のマスターディスクの間にスレーブディスクを供給した後、スレーブディスクの両面にマスターディスクを圧接させ挟持させながら転写用磁界を印加する装置に関する発明が開示されている。
【０００５】
特許文献２では、基板の表面に情報信号に対応する凹凸形状が形成され、少なくとも凸部表面が強磁性材料により構成されるマスターディスクをスレーブディスクに圧接させながら転写用磁界を印加する方法に関する発明が開示されている。
【０００６】
ところで、磁気記録媒体としては、その磁性層の面内に磁化容易軸を有する面内磁気記録媒体、及び、磁性層の面に垂直な方向に磁化容易軸を有する垂直磁気記録媒体に分類されるが、従来は、垂直磁化膜の形成は困難であったことから、面内磁気記録媒体が主に用いられていた。
【０００７】
その一方で、記録密度の大幅な向上（記憶容量の増大）が期待できる、垂直磁気記録媒体や垂直磁気記録方法の開発が進んでおり、将来的に市場への大規模な導入が望まれている。
【０００８】
この垂直磁気記録の磁気転写方法としては、スレーブディスクに垂直方向の直流磁界をかけて初期磁化を行い、マスターディスクと接触させた後、初期磁化の際とは逆方向の垂直方向の磁界を印加して磁気転写を行う、いわゆるｂｉｔ  ｐｒｉｎｔｉｎｇ（ビットプリンティング。以下ＢＰ方式と称する）と称されている方式のものが知られている。
【０００９】
以下にＢＰ方式の垂直磁気転写方法について説明する。図３はマスターディスクの平面図、図４はマスターディスク表面の部分拡大図、図５は磁気転写装置の転写用磁界印加の様子を示す断面図、図６は磁気転写の基本原理を説明するための断面図、図７はスレーブディスクの横断面図である。
【００１０】
マスターディスク４６は、図３に示されるように、円盤状に形成され、径方向中周部分（マスターディスク４６の内周部分４６ｄと外周部分４６ｅを除いた部分）には、円周方向に、サーボ領域４６ｂと非サーボ領域４６ｃ（非ハッチング部分）とが交互に形成されている。
【００１１】
サーボ領域４６ｂは、磁気パターン（サーボ情報パターン）が形成されている領域であり、非サーボ領域４６ｃは、磁気パターン（サーボ情報パターン）が形成されていない領域である。
【００１２】
サーボ領域４６ｂ部分を拡大すると、図４に示すように、基板４７の片面に上部に磁性層４８を備えた凸部４７Ａ、４７Ａ…が形成され、転写情報担持面が形成されている。
【００１３】
この微細な凹凸パターンの形成は、光や電子ビームを用いたリソグラフィー法で形成した原盤によるスタンパー法等によりなされる。このマスターディスク４６の片面（転写情報担持面）は、スレーブディスク４０と密着される面である。
【００１４】
微細な凹凸パターンは、平面視で長方形であるものが一般的であり、厚さｔの磁性層４８が形成された状態で、トラック方向（図中の太矢印方向）の長さｂと、半径方向の長さｌからなるものである。この長さｂとｌの最適値は、記録密度や記録信号波形等により異なる。
【００１５】
マスターディスク４６の基板４７としては、ニッケル、シリコン、石英ガラス等各種組成のガラス、アルミニウム、合金、各種組成のセラミックス、合成樹脂等が使用される。
【００１６】
スレーブディスク４０は、両面又は片面に磁気記録層を有する磁気記録面が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状の磁気記録媒体である。
【００１７】
スレーブディスク４０は、図７（ａ）に示すように、磁気記録面側の磁気記録層４０Ｂの下に、磁気記録層４０Ｂの結晶制御層である中間層４０Ｄを挟んで軟磁性層４０Ａが形成され、軟磁性層４０Ａの下にガラスやアルミにより形成される基板４０Ｃが形成されている。磁気記録層４０Ｂは保護膜４０Ｅ、潤滑層４０Ｆにより覆われている。
【００１８】
磁気記録層４０Ｂには、塗布型磁気記録層、メッキ型磁気記録層、又は金属薄膜型磁気記録層が採用される。
【００１９】
金属薄膜型磁気記録層の磁性材料としては、磁束密度が大きく、磁界印加方向と同じ方向（垂直磁気記録の場合は垂直方向）の磁気異方性を有しているＣｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＣｒ、ＣｏＰｔＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒＮｂＴａ、ＣｏＣｒＢ、ＣｏＮｉ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＰｔ、ＦｅＣｏＮｉ）等が利用される。
【００２０】
中間層４０Ｄは、磁気記録層の結晶構造と格子定数との整合をとるため、Ｒｕ、Ｔｉ、Ｃｒ、ＣｒＴｉ、ＣｏＣｒ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＮｉＡｌ、Ｒｕ、Ｐｄ等が用いられる。
【００２１】
軟磁性層４０Ａは、磁気記録層の垂直磁化状態を安定化させ、また、記録再生時の感度を向上させるために備えられ、不図示の非磁性層を介して反強磁性カップリングされ、複数の層を成している。
【００２２】
軟磁性層４０Ａとしては、ＣｏＺｒＮｂ、ＦｅＴａＣ、ＦｅＺｒＮ、ＦｅＳｉ合金、ＦｅＡｌ合金、パーマロイなどＦｅＮｉ合金、パーメンジュールなどのＦｅＣｏ合金等の軟磁性材料が用いられる。
【００２３】
また、軟磁性層４０Ａは、図７（ｂ）に示すように、中心（または外周）から半径方向に向かって磁気異方性がつけられている。
【００２４】
転写用磁界を印加する磁界生成手段７０は、図５に示すとおり、密着手段に保持されたスレーブディスク４０及びマスターディスク４６の厚さ方向におけるギャップ７１を有するコア７２にコイル７３が巻き付けられた電磁石装置が設置されており、スレーブディスク４０及びマスターディスク４６に垂直な磁力線Ｇを有する転写用磁界を印加できる構成となっている。なお、磁界生成手段７０としては、電磁石装置に限らず永久磁石を用いても良い。
【００２５】
ＢＰ方式の磁気転写では、図６（Ａ）に示される初期直流磁化を行った後スレーブディスク４０のスレーブ面（磁気記録面）を、マスターディスク４６の情報担持面に接触させ、所定の押圧力で密着させる。スレーブディスク４０は、マスターディスク４６と密着させる以前に、表面の微小突起、または付着塵埃をグライドヘッド、研磨体などにより除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。
【００２６】
そして、図６（Ｂ）に示すように、このスレーブディスク４０とマスターディスク４６とを一体として回転させながら磁界生成手段７０により転写用磁界を印加する。これにより図６（Ｃ）に示すように、サーボ信号等の磁化パターンを転写記録することができる。
【特許文献１】特開２００４−８７０９９号公報
【特許文献２】特開平１０−４０５４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
しかし、前述した垂直磁気記録媒体への磁気転写（以下、垂直磁気転写と称する）では、部分的に信号が弱まる、またはノイズが大きく発生する部分が生じる場合がある。この原因については以下のように推測される。
【００２８】
前述の通り、垂直磁気転写においては、初期磁化として垂直に磁界を印加し、転写時に転写用磁界として垂直方向に磁界を印加する。このとき、図８に示すように、磁気記録層４０Ｂの下に設けられた軟磁性層４０Ａは、図８（ａ）のように半径方向に磁気異方性をつけられているが、図８（ｂ）のように、初期磁化の際に印加される磁界、または転写用磁界と同方向に磁化される。そして、磁気記録層４０Ｂの初期磁化、磁気転写終了後、磁界を除去すると軟磁性層４０Ａ内に生じた磁束が再び磁気異方性がつけられた半径方向に戻ろうとする。
【００２９】
しかし、磁気転写では磁気ヘッドによる転写と異なり、大きな面積へ一度に磁界をかけるため、同時に多くの磁束が発生し、磁束が戻る際に向く方向は、図８（ｃ）に示すように、場所により外周方向を向く場合と、または中心方向を向く場合と異なることがある。このように、異なる磁化の方向を持つ磁区の境界は磁壁Ｓと呼ばれる。
【００３０】
このような磁壁Ｓが軟磁性層４０Ａ内に存在すると、再生時にノイズ、出力低下が生じることが磁気ヘッドによる記録において知られており（参照：ＩＥＥＥ  ｔｒａｎｓ.Ｍａｇｎ.，Ｖｏｌ３７，Ｎｏ.４，ｐｐ.１２２８−１２３３，２００１）、大きな問題となっている。垂直磁気転写においても同様の問題が発生していると考えられる。
【００３１】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、垂直磁気記録媒体の垂直磁気転写において、軟磁性層に生じた磁壁を除去し、エラーの少ない高品質の垂直磁気記録媒体を製造する磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００３２】
本発明は前記目的を達成するために、磁性層を有する円盤状の垂直磁気記録媒体の磁気記録面に対して垂直方向に直流磁界を印加して初期磁化を行い、初期磁化された前記垂直磁気記録媒体に対して転写情報を担持したマスター担体を密着させ、垂直方向の直流磁界を印加すると同時に、前記垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界を印加することにより前記マスター担体の前記転写情報を前記垂直磁気記録媒体に転写することを特徴としている。
【００３３】
また、本発明では、前記垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界は、前記垂直磁気記録媒体の半径方向に向かった直流磁界であることと、前記垂直磁気記録媒体に印加される該垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界は、前記磁性層に生じた磁壁を除去することも特徴としている。
【００３４】
本発明によれば、垂直磁気記録媒体としてのスレーブディスクの磁気記録面に対して垂直方向に直流磁界を印加し、磁気記録層を垂直方向に初期磁化する。初期磁化を行った後、スレーブディスクの磁気記録面にマスター担体としてのマスターディスクを密着させ、磁気転写を行う為の垂直方向の直流磁界を印加するとともに、スレーブディスクの面内成分を有する直流磁界を印加する。
【００３５】
このとき、面内成分を有する直流磁界はスレーブディスクの半径方向に向かった直流磁界であって、磁性層である軟磁性層には、半径方向に磁気異方性がつけられているので、印加された磁界と同方向の安定した磁区が拡大することによって磁気転写により生ずる磁壁が移動し、磁壁が磁気記録面の記録再生を行うエリア外に除去される。これにより、磁壁を起因とするノイズ、出力低下がなくなり高品質の垂直磁気記録媒体を生産することが可能となる。
【００３６】
また、本発明は、磁性層を有する円盤状の垂直磁気記録媒体の磁気記録面に対し、垂直方向の直流磁界を印加する垂直磁界印加手段と、前記垂直磁界印加手段が垂直方向の直流磁界を印加するのと同時に、前記垂直磁気記録媒体の面内成分を有する直流磁界を印加する面内成分磁界印加手段と、前記垂直磁界印加手段と、前記面内成分磁界印加手段とを前記磁気記録面と相対的に移動させる移動手段とを有することを特徴としている。
【００３７】
これにより、垂直磁気記録媒体に対して垂直方向の磁界を印加して初期磁化を行うことと磁気転写を行うことが可能となり、さらに磁気転写の際に面内成分磁界印加手段により同時に面内成分の磁界を印加することにより、軟磁性層に生じた磁壁を除去することが可能となる。
【発明の効果】
【００３８】
以上説明したように、本発明の磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体によれば、垂直磁気媒体の磁気転写の際に発生する磁性層内の磁壁が除去され、エラーの少ない高品質の垂直磁気記録媒体を製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下添付図面に従って本発明に係る磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体の好ましい実施の形態について詳説する。まず、本発明に係わる磁気転写装置について説明する。図１は本発明の磁気転写装置の構成を模式的に表した斜視図である。
【００４０】
磁気転写装置１０には、図１（ａ）に示されるように、マスター担体としてのマスターディスク４６と垂直磁気記録媒体としてのスレーブディスク４０に対し、垂直方向および半径方向の磁界を印加することが可能である磁界印加手段１１が備えられている。
【００４１】
更に磁気転写装置１０には、不図示のマスターディスク４６とスレーブディスク４０とを所定の圧力で密着させる密着保持手段が備えられている。密着保持手段には、不図示の移動手段が備えられ、マスターディスク４６とスレーブディスク４０とを密着状態で回転させる、またはスレーブディスク４０のみが保持手段に保持された状態で回転させることが可能であり、これにより、印加される磁界に対し、マスターディスク４６とスレーブディスク４０とが矢印θ方向に回転移動する。
【００４２】
なお、移動手段は磁界印加手段１１に設けられていてもよく、その場合保持手段に保持されて静止しているマスターディスク４６とスレーブディスク４０とに対して磁界印加手段１１が円周方向に回転移動する。
【００４３】
磁界印加手段１１は、密着保持手段に保持されたスレーブディスク４０及びマスターディスク４６の厚さ方向におけるギャップ１１Ａを有するコア１１Ｃにコイル１１Ｂが巻き付けられた電磁石装置であり、スレーブディスク４０及びマスターディスク４６の半径方向へ角度Ｐの大きさで傾けることが可能である。
【００４４】
磁界印加手段１１は、スレーブディスク４０の初期磁化の際に水平状態で使用され、図５に示される磁界生成手段７０と同様に、垂直磁界印加手段として、スレーブディスク４０に垂直な磁力線Ｇを有する転写用の直流磁界をスレーブディスク４０へ印加する。
【００４５】
更に、磁界印加手段１１は、角度Ｐで傾けられることにより、図１（ｂ）に示されるように、磁力線Ｇをスレーブディスク４０及びマスターディスク４６の垂直方向に対して角度Ｐで傾斜させる。これにより、スレーブディスク４０及びマスターディスク４６は、磁界印加手段１１より、面内成分磁界印加手段として、スレーブディスク４０の半径方向に向かって磁力線Ｇの水平成分である磁力線Ｇｈと、垂直磁界印加手段として、磁力線Ｇの垂直成分である磁力線Ｇｐを同時に印加される。
【００４６】
このとき、スレーブディスク４０には、磁力線Ｇｐによりマスターディスク４６に担持された転写情報が磁気転写され、スレーブディスク４０内の軟磁性層４０Ａに生じた磁壁Ｓは、磁力線Ｇｈにより軟磁性層４０Ａにつけられた磁気異方性の方向である半径方向へ移動し、スレーブディスク４０の記録再生を行うエリア外へ除去される。
【００４７】
これにより、本発明の磁気転写装置１１は、エラーの少ない高品質の垂直磁気記録媒体を製造することが可能となる。
【００４８】
なお、本実施の形態では、磁界印加手段１１は電磁石装置としているが、本発明はこれに限らず、永久磁石等、所定の磁力で各方向に向かって磁界を印加することが可能であるならば、既知であるいずれの印加手段を用いてもよい。
【００４９】
また、本実施の形態では、移動手段により磁界印加手段１１、またはマスターディスク４６とスレーブディスク４０とが移動しているが、本発明はこれに限らず、複数の小型の磁界印加手段を並べるなどの方法により、印加した磁界が移動する形態でも好適に利用可能である。
【００５０】
次に本発明に係わる磁気転写方法について説明する。図２は本発明に係わる磁気転写方法の手順を示したフロー図である。
【００５１】
本発明における磁気転写方法では、最初にスレーブディスク４０へ、水平状態の磁界印加手段１１により垂直方向の直流磁界を印加して初期磁化が行われる（ステップＳ１）。
【００５２】
このとき、印加する磁界の磁力はスレーブディスク４０の垂直方向保磁力のＨｃ以上であればよく、好ましくはＨｃの２倍以上であるのがよい。
【００５３】
続いてスレーブディスク４０とマスターディスク４６とを密着保持手段により所定の力で押圧しながら密着させる（ステップＳ２）。
【００５４】
スレーブディスク４０は、マスターディスク４６と密着させる以前に、表面の微小突起、または付着塵埃をグライドヘッド、研磨体などにより除去するクリーニング処理（バーニッシィング等）が必要に応じて施される。
【００５５】
続いて、磁界印加手段１１を角度Ｐの大きさで傾け、密着したスレーブディスク４０とマスターディスク４６とに、転写用の垂直方向の直流磁界と、半径方向の直流磁界が印加され、密着したスレーブディスク４０とマスターディスク４６とが、磁界と相対的に移動して転写と磁壁の除去が同時に行われる（ステップＳ３）。
【００５６】
このとき、垂直方向に印加される転写用磁界はＨｃの±３０％が好ましく、半径方向に印加する磁界は磁壁Ｓの容易軸方向のＨｃよりも高い１００Ｏｅ（１Ｏｅ＝７９．５７７Ａ／ｍとする）以上であって、磁気記録層４０Ｂの面内の核形成磁界Ｈｎ以下の値が好ましい。更に好ましくは、２００Ｏｅ以上であって５０００Ｏｅ以下の範囲である。これは、磁界がより動きやすい値以上であり、一旦完全に磁化された方向が面内に向いてしまうと、半径方向の磁界を取り除いた後に磁気記録層４０Ｂの磁化が元の向きに戻り難いことをこの値以下にすることにより防ぐため、考えられた範囲である。
【００５７】
磁界印加手段１１を傾ける角度Ｐの大きさは、垂直方向と半径方向に対し、この範囲の磁界成分を有する大きさに設定される。例えば、垂直方向が５０００Ｏｅ、水平方向が４３６Ｏｅである場合、角度Ｐは５度となる。
【００５８】
以上により、軟磁性層４０Ａに生じた磁壁Ｓが除去された高品質でエラーの少ない垂直磁気記録媒体が製造される。なお、本実施の形態では、磁界印加手段１１を傾けることにより磁気転写用の垂直方向の磁界と、半径方向に水平な磁界を同時に印加しているが、本発明はそれに限らず、複数の磁界印加手段を用いる、またはそれ以外の既知の印加手段により、同時に垂直方向の磁界と半径方向に水平な磁界を印加可能であれば、いずれの方法を用いても好適に利用可能である。
【実施例】
【００５９】
次に本発明に係わる磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体の具体的な実施例を説明する。
【００６０】
実施例では、図９に示すように、トラック方向に２５６個、クロストラック方向に４個の格子状のパターンを形成したマスターディスク４６を使用して垂直磁気転写を行った。スレーブディスク４０としては、市販のＨＤＤディスク（例えば、Ｓｅａｇａｔｅ社製、ＳＴ９１６０８２１Ａ）をＤＣ消磁して使用する。
【００６１】
垂直磁気転写では、転写磁界の垂直成分を４１００Ｏｅに保った状態で、半径方向磁界（クロストラック方向の面内磁界）を印加していく。
【００６２】
評価は、再生ヘッド出力の画像化、またはＭＦＭを用いてスレーブディスクに転写された磁化パターンを図１０に示すようにマッピングする。マッピング後、転写された磁化パターンにおいて、クロストラック方向にトラック中心からトラック幅の３０％以上位置ズレしたパターンをエラーとし、エラー発生率を測定する。
【００６３】
評価の結果、図１１に示すように、半径方向磁界を印加することによりエラー発生率が低下し、本発明の垂直磁気転写方法により、エラーの少ない高品質の垂直磁気記録媒体が製造されることが分かる。半径方向磁界を０Ｏｅから１２００Ｏｅまで変化させた結果、１００Ｏｅから１１００Ｏｅまでエラー発生率は低下し、２００Ｏｅから５００Ｏｅまでの半径方向磁界が好ましいことが分かる。
【００６４】
以上説明したように、本発明に係る磁気転写方法、磁気転写装置及び垂直磁気記録媒体によれば、スレーブディスクの軟磁性層につけられた磁気異方性の方向である、半径方向に向かって直流磁界が印加され、軟磁性層に発生した磁壁が移動して磁気記録面の記録再生を行うエリア外に除去される。これにより、磁壁を起因とするノイズ、出力低下がなくなり高品質の垂直磁気記録媒体を生産することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係わる磁気転写装置の構成を示した斜視図。
【図２】本発明に係わる磁気転写方法の手順を示した模式図。
【図３】マスターディスクの平面図。
【図４】マスターディスク表面の部分拡大図。
【図５】ＢＰ方式の転写用磁界印加の様子を示す断面図。
【図６】ＢＰ方式の磁気転写の基本工程を示した断面図。
【図７】スレーブディスクの横断面図。
【図８】磁壁の生じる様子を示した側面図。
【図９】実施例に使用するマスターディスクを示した模式図。
【図１０】スレーブディスク上の磁化パターンにおけるエラー発生箇所の模式図。
【図１１】半径方向磁界の強さとエラー発生率を示した図表。
【符号の説明】
【００６６】
１０…転写装置，１１…磁界印加手段，３０…磁界生成手段，３１…ギャップ，１１ｃ、３２…コア，３６…回転手段，４０…スレーブディスク（垂直磁気記録媒体），４０Ａ…軟磁性層，４０Ｂ…磁気記録層，４６…マスターディスク（マスター担体），４６ｂ…サーボ領域，４６ｃ…非サーボ領域，４７…基板，４８…磁性層，ｂ…凹凸パターンの凸領域の円周方向の幅，Ｇ…磁束，Ｑ…磁化遷移領域，ｌ…凹凸パターンの凸領域の径方向の幅，ｔ…磁性層の厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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