(57)【要約】 【課題】  液晶パネルから保護シートを剥離する際に、偏光板表面に処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境や剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる保護シート剥離装置およびその剥離方法を提供する。【解決手段】  剥離部４が移動しながら液晶パネル２から保護シート８を剥離し、ミストを生成し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面に向けてミストを吹き出し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引する。液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出した湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量と前記剥離部４の移動速度とを制御するようにする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルから、前記パネルを保護するために貼り付けられている保護シートを剥離する剥離装置であって、
前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出する検出手段と、
ミストを生成し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けて前記ミストを吹き出すミスト吹出手段と、
前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にある前記ミストを吸引するミスト吸引手段と、
前記保護シートを前記パネルから剥離する剥離部と、
前記剥離部と固定され、前記剥離部を移動させるための移動部と、
前記検出手段によって検出された湿度に基づいて前記ミスト吹出手段からのミスト吹出量と前記ミスト吸引手段によるミスト吸引量と前記移動部の移動速度とを制御する制御手段とを具備することを特徴とする保護シート剥離装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を６０％〜９５％に制御することを特徴とする請求項１に記載の保護シート剥離装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記移動部の移動速度を湿度と最適な剥離速度との関係に基づいて制御することを特徴とする請求項１または２に記載の保護シート剥離装置。
【請求項４】
前記ミスト吹出手段は、前記ミストを水から生成し、前記ミストの粒子の平均粒径を５μｍ以下にすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の保護シート剥離装置。
【請求項５】
前記ミスト吹出手段は、前記ミストを超音波によって生成することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の保護シート剥離装置。
【請求項６】
前記ミスト吹出手段および前記ミスト吸引手段が、前記保護シートの剥離と共に、前記保護シートの剥離速度と同じ速度で前記保護シートの剥離と同じ方向に移動することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の保護シート剥離装置。
【請求項７】
前記パネルの表面電位を検出する帯電検出部を具備し、前記帯電検出部が、前記パネルの保護シートが剥離される側の面に対して反対側の面に配置され、検出した表面電位に基づいて前記ミスト吹出手段からのミスト吹出量と前記ミスト吸引手段によるミスト吸引量と前記移動部の移動速度とを制御することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の保護シート剥離装置。
【請求項８】
前記帯電検出部が、前記剥離境界部の表面電位と前記帯電検出部が配置されている部分の表面電位との相関関係に基づいて、前記剥離境界部の表面電位を検出することを特徴とする請求項７に記載の保護シート剥離装置。
【請求項９】
前記帯電検出部が表面電位計であることを特徴とする請求項７または８に記載の保護シート剥離装置。
【請求項１０】
前記パネルが液晶パネルであって、前記保護シートが液晶パネルの表面にある偏光板に貼り付けられていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載の保護シート剥離装置。
【請求項１１】
パネルから、前記パネルを保護するために貼り付けられている保護シートを剥離する剥離方法であって、剥離部が移動しながら前記パネルから前記保護シートを剥離し、ミストを生成し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けて前記ミストを吹き出し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にある前記ミストを吸引し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出した湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量と前記剥離部の移動速度とを制御することを特徴とする保護シート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの偏光板を保護するために貼り付けられている保護シートを剥離するための保護シート剥離装置およびその剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの断面図を図１０に示す。液晶パネル１００は、ガラス基板などの光透過基板１０１，１０２の一方の表面に所定の形状の電極１０３，１０４を形成し、この電極１０３，１０４が形成された面同士を向かい合わせた２枚の光透過基板１０１，１０２を、基板間距離が均一となるようにスペーサ１０５を介在させてシール１１３によって平行に貼り合わせる。そして、この基板間に液晶材料１０６を封入し、さらに光透過基板１０１，１０２の電極１０３，１０４が形成された面と反対側の面に偏光板１０７，１０８を貼り付けた構成である。
【０００３】
また上記の構成に、カラー表示を可能にするためのカラーフィルター１１０、たとえばＲＧＢ(Red Green Blue)のフィルターなどが設けられている液晶パネルもある。
【０００４】
最近のテレビジョン受像機（以下、テレビと記す。）に代表される液晶パネル１００には、何百万という薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）と記す。）が利用されている。これらのＴＦＴは、液晶パネル１００のｍ×ｎ行列形態の画素数にあわせてｍ本のゲート線とｎ本のソース線とが交差する場所毎に各線および各画素電極と接続されており、ゲート線からの走査信号とソース線からの画像制御信号とをＴＦＴが受けることで各画素に形成されている表示動作のための画素電極に所定の電圧が印加される。これにより画素１つ１つのオン・オフを制御できるため、目的の画素を確実に点灯させたり消したりすることができ、高精細な画像の表示を可能としている。また、ゲート線およびソース線には、ＴＦＴを駆動するためのドライバーＩＣ（Integrated circuit）が接続されている。
【０００５】
これらの液晶パネル１００に用いられている偏光板１０７，１０８の表面には、液晶パネル１００の製造時の作業における偏光板１０７，１０８の表面の損傷を防ぐために保護シート１１１，１１２が貼り付けられているが、偏光板１０７，１０８は非常に帯電しやすい性質を有しているため、最終的に保護シート１１１，１１２を剥離する際に偏光板１０７，１０８の表面において非常に高い電位上昇を招いてしまう。
【０００６】
このような保護シート１１１，１１２の剥離時に発生する偏光板１０７，１０８の表面における電位上昇によって、ＴＦＴや電極において瞬間的に大量の電荷が移動し、ＴＦＴ破壊やＴＦＴ部分の絶縁膜破壊を引き起こしてしまう。
さらに、ゲート線やソース線を介してドライバーＩＣの回路にも瞬間的に大量の電荷が流れるため、ドライバーＩＣの破壊をも引き起こしてしまう。
上記のような問題を解決するために、たとえば、特許文献１では、偏光板１０７，１０８と保護シート１１１，１１２との間に抵抗値が１０の９乗オームとなるような高抵抗の導電剤を塗布することにより、保護シート１１１，１１２の剥離時において偏光板１０７，１０８の表面に局所的に電位の高い部分が生じ、表示むらが発生することを防ぐことができることが開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−３５５７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし特許文献１のような処理を行ったとしても、温度や湿度などの保護シート剥離時の剥離環境や剥離速度などの剥離条件により表面電位が上昇する場合があることが懸念される。
【０００９】
また、偏光板表面に直接処理を行わなければならず、この処理工程においては偏光板表面を保護できない点や、作業効率が悪くなる点で好ましくない。
【００１０】
本発明は、上記のような問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、液晶パネル表面にある偏光板から保護シートを剥離する際に、偏光板表面に対して処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境や剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保ち、ＴＦＴ破壊、絶縁膜破壊およびドライバーＩＣ破壊を防ぐことができる保護シート剥離装置およびその剥離方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、パネルから、前記パネルを保護するために貼り付けられている保護シートを剥離する剥離装置であって、
前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出する検出手段と、
ミストを生成し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けて前記ミストを吹き出すミスト吹出手段と、
前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にある前記ミストを吸引するミスト吸引手段と、
前記保護シートを前記パネルから剥離する剥離部と、
前記剥離部と固定され、前記剥離部を移動させるための移動部と、
前記検出手段によって検出された湿度に基づいて前記ミスト吹出手段からのミスト吹出量と前記ミスト吸引手段によるミスト吸引量と前記移動部の移動速度とを制御する制御手段とを具備することを特徴とする保護シート剥離装置である。
【００１２】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記制御手段は、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を６０％〜９５％に制御することを特徴とする。
【００１３】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記制御手段は、前記移動部の移動速度を湿度と最適な剥離速度との関係に基づいて制御することを特徴とする。
【００１４】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記ミスト吹出手段は、前記ミストを水から生成し、前記ミストの粒子の平均粒径を５μｍ以下にすることを特徴とする。
【００１５】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記ミスト吹出手段は、前記ミストを超音波によって生成することを特徴とする。
【００１６】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記ミスト吹出手段および前記ミスト吸引手段が、前記保護シートの剥離と共に、前記保護シートの剥離速度と同じ速度で前記保護シートの剥離と同じ方向に移動することを特徴とする。
【００１７】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記パネルの表面電位を検出する帯電検出部を具備し、前記帯電検出部が、前記パネルの保護シートが剥離される側の面に対して反対側の面に配置され、検出した表面電位に基づいて前記ミスト吹出手段からのミスト吹出量と前記ミスト吸引手段によるミスト吸引量と前記移動部の移動速度とを制御することを特徴とする。
【００１８】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記帯電検出部が、前記剥離境界部の表面電位と前記帯電検出部が配置されている部分の表面電位との相関関係に基づいて、前記剥離境界部の表面電位を検出することを特徴とする。
【００１９】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記帯電検出部が表面電位計であることを特徴とする。
【００２０】
また本発明の保護シート剥離装置は、前記パネルが液晶パネルであって、前記保護シートが液晶パネルの表面にある偏光板に貼り付けられていることを特徴とする。
【００２１】
また本発明は、パネルから、前記パネルを保護するために貼り付けられている保護シートを剥離する剥離方法であって、剥離部が移動しながら前記パネルから前記保護シートを剥離し、ミストを生成し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けて前記ミストを吹き出し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にある前記ミストを吸引し、前記パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出した湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量と前記剥離部の移動速度とを制御することを特徴とする保護シート剥離方法である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、パネルから、パネルを保護するために貼り付けられている保護シートを剥離する剥離装置において、検出手段がパネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、ミスト吹出手段がミストを生成し、パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けてミストを吹き出し、ミスト吸引手段がパネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引し、制御手段が検出された湿度に基づいてミスト吹出手段からのミスト吹出量とミスト吸引手段によるミスト吸引量とを制御することによって、結露を防ぎつつパネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を高く保つことができ、パネル表面における帯電圧を低く抑えることができる。
【００２３】
したがって、パネルから保護シートを剥離する際に、パネル表面に対して処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【００２４】
また、剥離部が移動部によって移動させられながらパネルから保護シートを剥離し、制御手段が検出された湿度に基づいて移動部の移動速度を制御することによって、得られた湿度に基づいて剥離部の移動速度を制御しながらパネルから保護シートを剥離できるため、パネル表面における表面電位の上昇を防ぐことができる。
【００２５】
したがって、パネルから保護シートを剥離する際に、パネル表面に対して処理を施すことなく、剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【００２６】
また本発明によれば、制御手段が、パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を６０％〜９５％に制御することによって、確実に結露を防ぎつつパネル表面における帯電圧をより低く抑えることができる。
【００２７】
また本発明によれば、制御手段が、移動部の移動速度を湿度と最適な剥離速度との関係に基づいて制御することによって、パネルの表面における表面電位の上昇を確実に防ぐことができる。さらに、帯電圧の許容範囲内で剥離速度を可能な限り速くすることができ、剥離時間を短縮することができる。
【００２８】
また本発明によれば、ミスト吹出手段が、ミストを水から生成し、ミストの粒子の平均粒径を５μｍ以下にすることによって、パネルおよび保護シート剥離装置を構成する各部での濡れを防ぐことができる。
【００２９】
また本発明によれば、ミスト吹出手段が、ミストを超音波によって生成することによって、ミストの粒子の平均粒径が小さいミストを容易に生成することができる。
【００３０】
また本発明によれば、ミスト吹出手段およびミスト吸引手段が、パネルの表面における保護シートの剥離と共に、保護シートの剥離速度と同じ速度で保護シートの剥離と同じ方向に移動することによって、確実に剥離境界部付近の結露を防ぎつつ湿度を高く保つことができ、剥離境界部付近における帯電圧を低く抑えることができる。
【００３１】
また本発明の保護シート剥離装置が、パネルの表面電位を検出する帯電検出部を具備し、この帯電検出部が、パネルの保護シートが剥離される側の面に対して反対側の面に配置されることによって、剥離される保護シートと干渉することなくパネルの表面電位を容易に検出することができる。
【００３２】
さらに、帯電検出部が、検出した表面電位に基づいてミスト吹出手段からのミスト吹出量とミスト吸引手段によるミスト吸引量と移動部の移動速度とを制御することによって、パネル表面における電位上昇をより確実に防ぐことができる。さらに、湿度に基づく制御のみの場合と比較して、帯電圧の許容範囲内で剥離速度を可能な限り速くすることができ、より剥離時間を短縮することができる。
【００３３】
また本発明によれば、前記帯電検出部が、剥離境界部の表面電位と帯電検出部が配置されている部分の表面電位との相関関係に基づいて、剥離境界部の表面電位を検出することによって、帯電検出部がパネルの保護シートが剥離される側の面に対して反対側の面に配置されていても、パネルの剥離境界部の表面電位を検出することができる。
【００３４】
また本発明によれば、帯電検出部が表面電位計であることによって、パネルの表面電位をより定量的に検出することができる。
【００３５】
また本発明によれば、前記パネルが液晶パネルであって、保護シートが液晶パネルの表面にある偏光板に貼り付けられていることによって、偏光板から保護シートを剥離する際に、偏光板表面に対して処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境や剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができ、保護シート剥離時のＴＦＴ破壊、絶縁膜破壊およびドライバーＩＣ破壊を防ぐことができる。
【００３６】
また本発明によれば、パネルから、パネルを保護するために貼り付けられている保護シートを剥離する剥離方法において、剥離部が移動しながらパネルから保護シートを剥離し、ミストを生成し、パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けてミストを吹き出し、パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引し、パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出された湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量と剥離部の移動速度とを制御する。
【００３７】
これにより、得られた湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量とを制御できるため、結露を防ぎつつパネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を高く保つことができ、パネル表面における帯電圧を低く抑えることができる。
【００３８】
したがって、パネルから保護シートを剥離する際に、パネル表面に対して処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【００３９】
また、得られた湿度に基づいて剥離部の移動速度を制御しながらパネルから保護シートを剥離できるため、パネル表面における表面電位の上昇を防ぐことができる。
【００４０】
したがって、パネルから保護シートを剥離する際に、パネル表面に対して処理を施すことなく、剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下に実施の形態を挙げ、本発明を具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り特に限定されるものではない。
本発明の保護シート剥離装置は、製造時の作業における液晶パネルの表面にある偏光板の損傷を防ぐために偏光板表面を保護することを目的として貼り付けられている保護シートを剥離するための装置であって、液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出する検出手段と、ミストを生成し、液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けてミストを吹き出すミスト吹出手段と、液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引するミスト吸引手段と、保護シートを偏光板から剥離する剥離部と、剥離部と固定され、剥離部を移動させるための移動部と、検出手段によって検出された湿度に基づいてミスト吹出手段からのミスト吹出量とミスト吸引手段によるミスト吸引量と移動部の移動速度とを制御する制御手段とから構成されている。
【００４２】
図１は、保護シートの剥離からの時間に対する剥離境界部における表面電位の変化を概略したグラフである。
【００４３】
図１のグラフに示したように、液晶パネルの表面にある偏光板から保護シートを剥離すると、剥離時の帯電現象により、偏光板表面における保護シートの剥離された部分と剥離されていない部分との境界部分である剥離境界部では、瞬間的に表面電位が大きく上昇し、その後徐々に降下する。この瞬間的な表面電位の上昇は、液晶パネルの電気回路において大量の電荷移動を導き、最悪な場合はＴＦＴ破壊、絶縁膜破壊およびドライバーＩＣ破壊などの電気回路破壊が起こる。
【００４４】
本発明の保護シート剥離装置は、上記のような保護シート剥離時に瞬間的に起こる表面電位の上昇を防ぐことを可能にした装置であり、湿度の変化および剥離速度の変化に対する剥離帯電による表面電位上昇量の変化を利用したものである。
【００４５】
すなわち、液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を上げることで瞬間的な表面電位上昇量を低く抑えることが可能となり、電気回路破壊を防ぐことができる。
【００４６】
本発明では、液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を検出し、検出された湿度に基づいて液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面に向けてミストを吹き出す際のミスト吹出量と液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引する際のミスト吸引量とを制御することにより、液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を制御する。これによって、結露を防ぎつつ液晶パネルの保護シートが貼り付けられている面の周辺の湿度を高く保つことができ、偏光板表面における帯電圧を低く抑えることができる。
【００４７】
したがって、液晶パネルの表面にある偏光板から保護シートを剥離する際に、液晶パネル表面に対して処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【００４８】
さらに、検出された湿度に基づいて剥離部の移動速度を制御する。これにより、剥離部の移動速度を偏光板表面における表面電位の上昇を低く抑える程度に制御することができ、電気回路破壊を防ぐことができる。
【００４９】
したがって、液晶パネルの表面にある偏光板から保護シートを剥離する際に、液晶パネル表面に対して処理を施すことなく、剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【００５０】
よって、本発明の保護シート剥離装置は、保護シート剥離時のＴＦＴ破壊、絶縁膜破壊およびドライバーＩＣ破壊を防ぐことができる。
【００５１】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（第１の実施形態）
図２は、本発明の第１の実施形態における保護シート剥離装置１の概略図であり、図３は、保護シート８の一端の固定方法の一例を示す概略図である。
【００５２】
図２に示すように、本発明の第１の実施形態における保護シート剥離装置１に適用される液晶パネル２の表面にある偏光板７には、偏光板７を保護するために保護シート８が貼り付けられている。
【００５３】
液晶パネル２の大きさとしては、特に限定されるものではないが、たとえば、テレビサイズにするためのパネル分断工程後に得られる１辺が４００ｍｍを超えるサイズのものなどが挙げられる。
【００５４】
保護シート８の材質としては、特に限定されるものはないが、傷に強い樹脂、たとえば、ポリエステル樹脂、ナイロン樹脂などで作られたラミネートフィルムが好ましい。また、保護シート８は、偏光板７と同一サイズで液晶パネルの４辺の端から５ｍｍ〜１０ｍｍ程度小さいサイズであることが好ましい。
【００５５】
保護シート剥離装置１において、液晶パネル２はテーブル５上に設置され、テーブル５に埋め込まれた真空差圧を利用して液晶パネル２を吸着する複数の吸盤により固定されている。
【００５６】
液晶パネル２の固定手段は、上記の構成に限られるものではなく、液晶パネル２を固定できる形状のものであればよい。
【００５７】
液晶パネル２の一端部には、保護シート８を剥離するための剥離部４が配置されており、剥離部４には保護シート８の一端を固定するための保護シート挟持部６が配置されている。
【００５８】
保護シート８の一端の固定方法としては、特に限定されるものではないが、たとえば、図３に示すように偏光板７上に貼り付けられている保護シート８の少なくとも四隅のいずれか１箇所に所定寸法の剥離テープ２０を貼り付けた後、所定角度に引き起こして突起部２１を形成し、この突起部２１を剥離部４の保護シート挟持部６で挟持する方法などがある。
【００５９】
剥離部４は、剥離部４を移動させるためのレール３に固定され、剥離部４の移動速度を制御する剥離部駆動系１３と接続されている。
【００６０】
剥離部４がレール３上を保護シート挟持部６により挟持されている保護シート８の一端とは反対側にある一端に向かって移動することによって、保護シート８を偏光板７から剥離することができる。
【００６１】
レール３の構造としては、たとえば、リニアモータやボールネジ駆動のリニアガイドステージなどが挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
【００６２】
液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺には、図示しないミスト生成機により生成されるミストを矢印１１で示すミスト吹き出し方向、すなわち液晶パネルの保護シート８が貼り付けられている面の方向に吹き出すためのミスト吹出ノズル９が配置され、ミスト吹出ノズル９に対向する位置には、ミスト吸引ノズル１０が配置されている。ミスト吸引ノズル１０は、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺にあるミストを矢印１２で示すミスト吸引方向、すなわちミスト吸引ノズル１０の方向に吸引する。
【００６３】
ミストは水から生成されミストの粒子の平均粒径は５μｍ以下であることが好ましい。ミストの粒子の平均粒径が５μｍ以下であると、ミストの粒子の表面張力によりミストの粒子が物に当たっても濡れにくい。そのため、液晶パネル２および保護シート剥離装置１を構成する各部での濡れを防ぐことができる。また、ミストに用いられる水としては、抵抗率が１ＭΩ・ｃｍ〜１０ＭΩ・ｃｍ程度の純水であることがより好ましい。
【００６４】
また、このような平均粒径のミストの粒子を生成するためには超音波を用いることが好ましい。超音波の周波数を高くすることによって、ミストの粒子を細かくすることができるため、ミストの粒子の平均粒径が小さいミストを容易に生成することができる。
【００６５】
また、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の中央部周辺には、温度および湿度を検出するプローブである温度湿度検出部１６が設けられ、この温度湿度検出部１６は、検出された温度および湿度を測定するための温度湿度計１５と接続されている。
【００６６】
テーブル５の内部には、テーブル５の液晶パネル２が設置されている側の面の温度を検出するプローブであるテーブル温度検出部１７が設けられ、このテーブル温度検出体１７は、検出された温度を測定するためのテーブル温度計１８と接続されている。
【００６７】
さらに、テーブル５の内部には発熱体１９が設けられ、この発熱体１９は、発熱体１９に電流を流して発熱させるための給電回路２２と接続されている。
【００６８】
発熱体１９としては、電流の供給により発熱するものであれば特に限定されるものではないが、たとえば、クロム線やニッケル・クロム線などの電熱線などが挙げられる。
【００６９】
ミスト吹出ノズル９、ミスト吸引ノズル１０、温度湿度計１５、剥離部駆動系１３、テーブル温度計１８および給電回路２２は制御回路１４と接続されている。
【００７０】
制御回路１４には、温度湿度計１５によって測定された液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の温度および湿度が入力される。
【００７１】
制御回路１４は入力された湿度に基づいて、ミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量とミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量とを制御することにより、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を以下に示すように制御する。
【００７２】
図４は湿度と帯電圧との関係を示すグラフである。図４から判るように、湿度が高くなるほど帯電圧は小さくなり、湿度が６０％を超えると湿度の上昇量に対する帯電圧の減少量は小さくなる。また、湿度が１００％になると結露することから、本発明の第１の実施形態における保護シート剥離装置１では、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を６０％〜９５％の範囲内に保つように制御する。これにより、結露を防ぎつつ偏光板７表面の帯電圧を抑えることができる。
【００７３】
なお、湿度が高くなるほど帯電圧が小さくなることから上記の６０％〜９５％の範囲の中で、比較的湿度が高い値、たとえば９０％を目標値として定め、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度がこの値に近づくように制御してもよい。
【００７４】
また制御回路１４は、入力された湿度に基づいて剥離部４の移動速度を以下に示すように算出する。
【００７５】
保護シート８の剥離による帯電状況は、保護シート８や偏光板７の材質、また剥離速度や剥離環境などの様々な条件によって異なる。また、帯電圧も液晶パネル２のサイズや配線パターン、基板の種類などの条件によって異なる。
【００７６】
したがって、保護シート８や偏光板７の材質、液晶パネル２のサイズなどが異なる様々な条件下において保護シート８の剥離試験を行い、それぞれの条件における湿度と最適な剥離速度との相関関係を求め、それらを蓄積したデータベースを作成しておく。そして、このデータベースに保護シート８や偏光板７の材質、液晶パネル２のサイズなどの条件の情報を入力することにより入力した条件に近い湿度と最適な剥離速度との相関関係を取得できるようにしておく。
【００７７】
そして保護シート８の剥離開始前には、上記のデータベースから所望の条件に近い湿度と最適な剥離速度との相関関係を取得しておき、あらかじめ制御回路１４に記憶させておく。
【００７８】
なお、上記の相関関係は、条件が異なる場合は、その都度上記データベースから取得し直して制御回路１４に記憶させる必要がある。
【００７９】
制御回路１４では、上記のように制御回路１４に記憶させてある湿度と最適な剥離速度との相関関係に基づいて、制御回路１４に入力された湿度に対応する剥離速度を求め、さらに、剥離部４の移動速度は剥離速度の２倍であるため、算出された剥離速度の値を２倍することにより剥離部４の移動速度を算出する。
【００８０】
そして、上記のようにして算出された剥離部４の移動速度に基づいて剥離部駆動系１３の動作を調整するために、剥離部４の移動速度を決定する。
【００８１】
温度湿度検出部１６による温度および湿度検出のサンプリングは、１秒毎に行うことが好ましい。
【００８２】
剥離部４の移動速度の算出は、温度および湿度を検出する毎に行うことが好ましい。また、３回分の検出値の平均値に基づいて算出してもよい。
【００８３】
上記のように移動部４の移動速度が制御されることによって、液晶パネル２の表面における表面電位の上昇を確実に防ぐことができる。さらに、帯電圧の許容範囲内で剥離速度を可能な限り速くすることができ、剥離時間を短縮することができる。
【００８４】
なお、上記に述べた剥離部４の移動速度の算出方法では、あらかじめ制御回路１４に記憶させておいた湿度と最適な剥離速度との相関関係に基づいて剥離部４の移動速度を算出したが、特にこれに限定されるものではなく、保護シート８を剥離しながら湿度と最適な剥離速度との相関関係を求め、その結果に基づいて剥離部４の移動速度を算出してもよい。
【００８５】
さらに、制御回路１４には、テーブル温度計１８によって測定されたテーブル５の液晶パネル２が設置されている側の面の温度が入力される。
【００８６】
制御回路１４は入力された温度に基づいて、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度が２５℃となるように、給電回路２２から発熱体１９に流す電気量を調整する。
【００８７】
また、制御回路１４は、温度湿度計１５によって測定された温度に基づいて液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の温度を、図示しない剥離雰囲気を加熱するためのヒータにより２５℃に保つように制御してもよい。
【００８８】
湿度が同じであれば温度が高い方が飽和水蒸気量が大きくなり、空気中に存在する水分量が多くなるため、帯電圧が低くなる。したがって、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面およびその周辺の温度は高いほうが好ましい。さらには、ミストの気化熱により温度が低下するため２５℃に保つように制御することが好ましい。
【００８９】
次に、図５を用いて本発明の第１の実施形態における保護シート剥離装置１の動作について説明する。図５（ａ）は、保護シート８の剥離開始前の状態を示す概略図、図５（ｂ）は保護シート８の剥離開始時の状態を表す概略図、図５（ｃ）は、保護シート８の剥離途中の状態を表す概略図、図５（ｄ）は保護シート８の剥離終了後の状態を表す概略図である。
【００９０】
図５（ａ）に示すように、保護シート剥離装置１には、液晶パネル２がテーブル５上に設置されている。
【００９１】
液晶パネル２に貼り付けられている保護シート８の剥離を開始するにあたって、まず液晶パネル２の表面にある偏光板７の保護シート８の一端が剥離部４の保護シート挟持部６に挟持され固定される。
【００９２】
そして、ミスト吹出ノズル９から液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面に向けてミストが吹き出され、ミスト吸引ノズル１０により液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺のミストが吸引される。
【００９３】
次いで、温度湿度検出部１６によって液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の温度および湿度が検出され、検出された温度および湿度は温度湿度計１５によって測定される。
【００９４】
測定された温度および湿度は制御回路１４に入力され、制御回路１４は入力された湿度に基づいて、ミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量およびミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量を制御し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を６０％〜９５％に保つように制御する。
【００９５】
また、テーブル温度検出部１７によってテーブル５の液晶パネル２が設置されている側の面の温度が検出され、検出された温度はテーブル温度計１８によって測定される。
【００９６】
そして測定された温度は制御回路１４に入力され、制御回路１４は入力された温度に基づいて、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度が２５℃となるように、給電回路２２から発熱体１９に流れる電気量を調整する。
【００９７】
上記の温度湿度検出部１６による温度および湿度の検出と温度湿度計１５による測定、テーブル温度検出部１７による温度の検出とテーブル温度計１８による測定、ならびに制御回路１４による温度および湿度の制御は、保護シート８の剥離が終了するまで続けられる。
【００９８】
次いで図５（ｂ）に示すように、剥離部４がレール３上を矢印Ａの方向、すなわち液晶パネル２の保護シート挟持部６で固定されている保護シート８の一端とは反対側にある一端に向かって移動し始めると、保護シート８の剥離が開始される。
【００９９】
剥離開始とともに、制御回路１４は、あらかじめ記憶させてある湿度と最適な剥離速度との相関関係に基づいて、入力された湿度に対応する剥離部４の最適な移動速度を算出し、得られた算出結果に基づいて剥離部駆動系１３の動作を調整するために、剥離部４の移動速度を決定する。
【０１００】
そして、図５（ｃ）に示すように、制御回路１４および剥離部駆動系１３によって液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度およびその周辺の湿度、剥離部４の移動速度が制御されつつ、液晶パネル２から保護シート８が全て剥離されるまで剥離部４は移動する。
【０１０１】
剥離が完了すると図５（ｄ）に示すように、保護シート８が偏光板７から完全に剥離され、剥離部４の保護シート挟持部６の固定を外すことで、装置から保護シート８を排出できる。
【０１０２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。
図６は、本発明の第２の実施形態における保護シート剥離装置３１の概略図である。
本発明の第２の実施形態における保護シート剥離装置３１において、第１の実施形態における保護シート剥離装置１と同一のものには同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１０３】
図６に示すように、保護シート剥離装置３１において、保護シート剥離装置１と異なる部分はミスト吹出ノズル９とミスト吸引ノズル１０の設置部分であり、ミスト吹出ノズル９とミスト吸引ノズル１０は、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺に設けられるようにノズル台３２に互いに対向するように固定される。
【０１０４】
ノズル台３２は、ノズル台３２を移動させるためのレール３に固定され、ノズル台３２の移動速度を制御するノズル台駆動系３３と接続されており、ノズル台駆動系３３は制御回路１４と接続されている。
【０１０５】
制御回路１４は、制御回路１４に記憶させてある湿度と最適な剥離速度との相関関係に基づいて、制御回路１４に入力された湿度に対応する剥離速度を算出する。
【０１０６】
ノズル台３２の移動速度は上記剥離速度と同じであり、移動方向は保護シート８の剥離と同じ方向である。また、剥離速度は剥離部４の移動速度の２分の１である。
【０１０７】
そして、制御回路１４は、上記のようにして算出された剥離速度に基づいてノズル台駆動系３３の動作を調整するために、ノズル台３２の移動速度を決定する。
【０１０８】
ノズル台３２がレール３上を保護シート８の剥離と共に、保護シート８の剥離速度と同じ速度で保護シート８の剥離と同じ方向に移動することによって、常に剥離境界部付近の湿度をミスト吹出ノズル９およびミスト吸引ノズル１０によって制御できるようになるため、確実に剥離境界部付近の結露を防ぎつつ湿度を高く保つことができ、剥離境界部付近における帯電圧を低く抑えることができる。
【０１０９】
なお、第２の実施形態において、温度湿度検出部１６は第１の実施形態と同様に固定されていたが、特にこれに限定されるものではなく、たとえば、保護シート８の剥離と共に剥離速度と同じ速度で、保護シート８の剥離と同じ方向に移動する構成であってもよい。
【０１１０】
次に、図７を用いて本発明の第２の実施形態における保護シート剥離装置３１の動作について説明する。図７（ａ）は保護シート８の剥離開始前の状態を表す概略図、図７（ｂ）は保護シート８の剥離開始時の状態を表す概略図、図７（ｃ）は、保護シート８の剥離途中の状態を表す概略図、図７（ｄ）は保護シート８の剥離終了後の状態を表す概略図である。
【０１１１】
図７（ａ）に示すように、保護シート剥離装置３１には、液晶パネル２がテーブル５上に設置されている。
【０１１２】
液晶パネル２に貼り付けられている保護シート８の剥離を開始するにあたって、まず液晶パネル２の表面にある偏光板７の保護シート８の一端が剥離部４の保護シート挟持部６に挟持され固定される。
【０１１３】
そして、ミスト吹出ノズル９から液晶パネル２のこれから保護シート８の剥離が開始される部分に向けてミストが吹き出され、ミスト吸引ノズル１０により液晶パネル２のこれから保護シート８の剥離が開始される部分の周辺のミストが吸引される。
【０１１４】
次いで、温度湿度検出部１６によって液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の温度および湿度が検出され、検出された温度および湿度は温度湿度計１５によって測定される。
【０１１５】
測定された温度および湿度は制御回路１４に入力され、制御回路１４は入力された湿度に基づいて、ミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量および吸引ノズル１０によるミスト吸引量を制御し、液晶パネル２のこれから保護シート８の剥離が開始される部分の周辺の湿度を６０％〜９５％に保つように制御する。
【０１１６】
また、テーブル温度検出部１７によってテーブル５の液晶パネル２が設置されている側の面の温度が検出され、検出された温度はテーブル温度計１８によって測定される。
【０１１７】
そして測定された温度は制御回路１４に入力され、制御回路１４は入力された温度に基づいて、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度が２５℃となるように、給電回路２２から発熱体１９に流れる電気量を調整する。
【０１１８】
上記の温度湿度検出部１６による温度および湿度の検出と温度湿度計１５による測定、テーブル温度検出部１７による温度の検出とテーブル温度計１８による測定、ならびに制御回路１４による温度および湿度の制御は、保護シート８の剥離が終了するまで続けられる。
【０１１９】
次いで図７（ｂ）に示すように、剥離部４がレール３上を矢印Ａの方向、すなわち液晶パネル２の保護シート挟持部６で固定されている保護シート８の一端とは反対側にある一端に向かって移動し始めると、保護シート８の剥離が開始される。
【０１２０】
剥離開始とともに、制御回路１４は、あらかじめ記憶させてある湿度と最適な剥離速度との相関関係に基づいて、入力された湿度に対応する剥離部４の最適な移動速度を算出し、得られた算出結果に基づいて剥離部駆動系１３の動作を調整するために、剥離部４の移動速度を決定する。
【０１２１】
そして、ノズル台３２はレール３上を矢印Ａの方向に保護シート８の剥離と共に移動し、それにともなって、ミスト吹出ノズル９およびミスト吸引ノズル１０も移動し、剥離境界部付近の湿度を制御する。
【０１２２】
制御回路１４は、あらかじめ記憶させてある湿度と最適な剥離速度との相関関係に基づいて、入力された湿度に対応するノズル台３２の最適な移動速度を算出し、得られた算出結果に基づいてノズル台駆動系３３の動作を調整するために、ノズル台３２の移動速度を決定する。
【０１２３】
そして、図７（ｃ）に示すように、制御回路１４、剥離部駆動系１３およびノズル台駆動系３３によって液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度、剥離境界部付近の湿度、剥離部４およびノズル台３２の移動速度が制御されつつ、偏光板７から保護シート８が全て剥離されるまで剥離部４は移動する。
【０１２４】
剥離が完了すると図７（ｄ）に示すように、保護シート８が偏光板７から完全に剥離され、剥離部４の保護シート挟持部６の固定を外すことで、装置から保護シート８を排出できる。
【０１２５】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。
図８は、本発明の第３の実施形態における保護シート剥離装置４１の概略図である。
本発明の第３の実施形態における保護シート剥離装置４１において、第１および第２の実施形態における保護シート剥離装置１，３１と同一のものには同一の符号を付し、説明を省略する。
【０１２６】
図８に示すように、保護シート剥離装置４１において、保護シート剥離装置１，３１と異なる構成は表面電位計４２を設置した部分である。表面電位計４２は、液晶パネル２から表面電位計４２までの高さ方向の距離が一定になるように、液晶パネル２の保護シート８が剥離される側の面に対して反対側の面の中心に固定され、制御回路１４と接続されている。
【０１２７】
上記のように表面電位計４２が配置されることにより、剥離される保護シート８と干渉することなく偏光板７の表面電位を容易に検出することができる。また、表面電位の検出手段として表面電位計４２を用いることにより、偏光板７の表面電位をより定量的に検出することができる。
【０１２８】
表面電位計４２のプローブは、液晶パネル２の保護シート８が剥離される側の面に対して反対側の面の中心部に位置しており、液晶パネル２とは非接触で所定の距離だけ離れている。液晶パネル２と表面電位計４２のプローブとの距離は測定器に依存しており、各測定器に適した距離であればよい。
【０１２９】
本発明の保護シート剥離装置４１の構成では、表面電位計４２は、保護シート８の剥離時において、液晶パネル２の剥離境界部のある側の面に対して反対側の面の中心に固定されているため、剥離境界部における実際の表面電位を検出することはできない。
【０１３０】
そこで表面電位計を用いて、剥離境界部の表面電位と表面電位計４２が配置されている部分の表面電位とを検出し、それぞれの表面電位の相関関係を求めておき、あらかじめ制御回路１４に記憶させておく。
【０１３１】
なお、上記の相関関係は、剥離条件が異なる場合は、その都度求め直し、制御回路１４に記憶させる必要がある。
【０１３２】
制御回路１４では、上記のように制御回路１４に記憶させてある表面電位の相関関係に基づいて、表面電位計４２の検出値を剥離境界部の表面電位の値に換算し、その換算値が許容電圧、たとえば２０００Ｖを超えないように、すなわち許容電圧の値が換算値より大きくなるようにミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量とミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量を制御し、さらに剥離部駆動系１３の動作を調整するために、剥離部４の移動速度を決定している。
【０１３３】
上記のように、剥離境界部の表面電位と表面電位計４２が配置されている部分の表面電位との表面電位の相関関係に基づいて、剥離境界部の表面電位を検出することによって、表面電位計４２が液晶パネル２の保護シート８が剥離される側の面に対して反対側の面に配置されていても、剥離境界部の表面電位を検出することができる。
【０１３４】
また、上記の制御方法では、上記換算値が許容電圧を超えないように、ミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量とミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量と剥離部４の移動速度とを制御しているが、たとえば、あらかじめ求めておいた所定の表面電位値に近づくように制御してもよい。
【０１３５】
上記の所定の表面電位値としては、剥離条件によって異なるため特に限定されるものではないが、１０００Ｖ以下であることが好ましく、さらには５００Ｖ以下であることが好ましい。
【０１３６】
なお、表面電位計４２による表面電位の検出のサンプリング時間は、１００ｍｓｅｃ以下であることが好ましく、さらには１０ｍｓｅｃ以下であることが好ましい。
【０１３７】
上記の表面電位計４２の検出値に基づく制御は、表面電位値が許容電圧を超えない程度の間隔で行えばよいが、たとえば、１０回〜３０回検出する毎に行うことが好ましい。また、５回〜１０回分の検出値の平均値に基づいて制御してもよい。
【０１３８】
上記のように表面電位計４２によって検出された表面電位に基づいてミスト吹出手段からのミスト吹出量とミスト吸引手段によるミスト吸引量と移動部の移動速度とが制御されることによって、偏光板７表面における電位上昇をより確実に防ぐことができる。さらに、湿度に基づく制御のみの場合と比較して、帯電圧の許容範囲内で剥離速度を可能な限り速くすることができ、より剥離時間を短縮することができる。
【０１３９】
なお、上記に述べた制御方法では、あらかじめ制御回路１４に記憶させておいた表面電位の相関関係に基づいて、ミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量とミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量と剥離部４の移動速度とを制御しているが、特にこれに限定されるものではなく、保護シート８を剥離しながら表面電位の相関関係を求め、その結果に基づいて制御してもよい。
【０１４０】
また、第３の実施形態において、表面電位計４２は固定されていたが、特にこれに限定されるものではなく、たとえば、表面電位計４２をレールなどに固定することにより保護シート８の剥離と共に、保護シート８の剥離速度と同じ速度で保護シート８の剥離と同じ方向に表面電位計４２を移動させながら表面電位を測定する構成であってもよい。
【０１４１】
次に、図９を用いて本発明の第３の実施形態における保護シート剥離装置４１の動作について説明する。図９（ａ）は、保護シート８の剥離開始前の状態を示す概略図、図９（ｂ）は保護シート８の剥離開始時の状態を表す概略図、図９（ｃ）は、保護シート８の剥離途中の状態を表す概略図、図９（ｄ）は保護シート８の剥離終了後の状態を表す概略図である。
【０１４２】
図９（ａ）に示すように、保護シート剥離装置４１には、液晶パネル２がテーブル５上に設置されている。
【０１４３】
液晶パネル２に貼り付けられている保護シート８の剥離を開始するにあたって、まず液晶パネル２の表面にある偏光板７の保護シート８の一端が剥離部４の保護シート挟持部６に挟持され固定される。
【０１４４】
そして、ミスト吹出ノズル９から液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面に向けてミストが吹き出され、ミスト吸引ノズル１０により液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺のミストが吸引される。
【０１４５】
次いで、温度湿度検出部１６によって液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の温度および湿度が検出され、検出された温度および湿度は温度湿度計１５によって測定される。
【０１４６】
測定された温度および湿度は制御回路１４に入力され、制御回路１４は入力された湿度に基づいて、ミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量およびミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量を制御し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を６０％〜９５％に保つように制御する。
【０１４７】
また、テーブル温度検出部１７によってテーブル５の液晶パネル２が設置されている側の面の温度が検出され、検出された温度はテーブル温度計１８によって測定される。
【０１４８】
そして測定された温度は制御回路１４に入力され、制御回路１４は入力された温度に基づいて、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度が２５℃となるように、給電回路２２から発熱体１９に流れる電気量を調整する。
【０１４９】
上記の温度湿度検出部１６による温度および湿度の検出と温度湿度計１５による測定、テーブル温度検出部１７による温度の検出とテーブル温度計１８による測定、ならびに制御回路１４による温度の制御は、保護シート８の剥離が終了するまで続けられる。
【０１５０】
次いで図９（ｂ）に示すように、剥離部４がレール３上を矢印Ａの方向、すなわち液晶パネル２の保護シート挟持部６で固定されている保護シート８の一端とは反対側にある一端に向かって移動し始めると保護シート８の剥離が開始され、表面電位計４２は剥離境界部の表面電位を検出し始める。
【０１５１】
剥離開始とともに、制御回路１４には、測定された湿度および検出された表面電位が入力され、制御回路１４は入力された情報のうち少なくともどちらか一方の情報に基づいて、剥離部４の最適な移動速度を算出し、得られた算出結果に基づいて剥離部駆動系１３の動作を調整するために、剥離部４の移動速度を決定する。
【０１５２】
また、制御回路１４は上記と同様に入力された情報のうち少なくともどちらか一方の情報に基づいて、最適なミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量および吸引ノズル１０によるミスト吸引量を算出し、得られた算出結果に基づいて液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を制御する。
【０１５３】
そして、図９（ｃ）に示すように、制御回路１４および剥離部駆動系１３によって液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の温度およびその周辺の湿度、剥離部４の移動速度が制御されつつ、液晶パネル２から保護シート８が全て剥離されるまで剥離部４は移動する。
【０１５４】
剥離が完了すると図９（ｄ）に示すように、保護シート８が偏光板７から完全に剥離され、剥離部４の保護シート挟持部６の固定を外すことで、装置から保護シート８を排出できる。
【０１５５】
なお、上記第１〜第３の実施形態における液晶パネル２は矩形であるが、本発明の保護シート剥離装置が対象とする液晶パネルの形状は特に矩形に限定されるものではない。
【０１５６】
また、剥離部４およびノズル台３２は液晶パネル２の長手方向に移動しているが、移動方向はこれに限定するものではなく、例えば液晶パネル２の対角方向へ移動してもよい。
【０１５７】
また、剥離部４は、特に上記第１〜第３の実施形態に示した構成に限定されるものではなく、たとえば、表面に偏光板７と保護シート８との粘着力よりも大きい粘着力を有している回転ローラなどを用いてもよい。
【０１５８】
回転ローラを用いる場合、回転ローラは、液晶パネル２の上方に液晶パネル２の表面と回転軸とが平行になるように配置され、さらに回転ローラの下端を液晶パネル２の表面と接触する位置まで下降させることを可能にする、たとえばエアシリンダーや電動モーターシリンダーなどの昇降装置を設置する。
【０１５９】
そして、リニアガイドステージやレールなどにより両支持になるように固定し、回転ローラが液晶パネル２の表面と平行な一方方向に移動できるようにする。
【０１６０】
上記のような構成の回転ローラが移動しながら保護シート８を巻き取ることにより偏光板７から保護シート８を安定して剥離することができる。
【０１６１】
以上に説明したように、本発明の保護シート剥離装置１，３１，４１は、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の温度および湿度を検出する温度湿度検出部１６および温度湿度計１５と、ミストを生成し、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面に向けてミストを吹き出すミスト吹出ノズル９と、液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺にあるミストを吸引するミスト吸引ノズル１０と、保護シート８を偏光板７から剥離する剥離部４と、剥離部４と固定され、剥離部４を移動させるためのレール３と、検出された湿度に基づいてミスト吹出ノズル９からのミスト吹出量とミスト吸引ノズル１０によるミスト吸引量と移動部４の移動速度とを制御する制御回路１４とから構成されていることによって、検出された湿度に基づいてミスト吹出量とミスト吸引量とを制御できるため、結露を防ぎつつ液晶パネル２の保護シート８が貼り付けられている面の周辺の湿度を高く保つことができ、偏光板７表面における帯電圧を低く抑えることができる。
【０１６２】
そのため、偏光板７から保護シート８を剥離する際に、液晶パネル２の表面に対して処理を施すことなく、温度や湿度などの剥離環境に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【０１６３】
また、検出された湿度に基づいて剥離部４の移動速度を制御しながら偏光板７から保護シート８を剥離できるため、偏光板７表面における表面電位の上昇を防ぐことができる。
【０１６４】
そのため、偏光板７から保護シート８を剥離する際に、液晶パネル２の表面に対して処理を施すことなく、剥離速度などの剥離条件に影響されない安定した表面電位を保つことができる。
【０１６５】
したがって、偏光板７から保護シート８を剥離する際に、ＴＦＴ破壊、絶縁膜破壊およびドライバーＩＣ破壊を防ぐことができる。
【０１６６】
なお、上記の第１〜第３の実施形態において、本発明の保護シート剥離装置は液晶パネル２のみを対象としたが、これに限られることなく、保護シート８を剥離する際に生じる表面電位の上昇が問題となる他のパネルにおいても本発明の保護シート剥離装置を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１６７】
【図１】保護シートの剥離からの時間に対する剥離境界部における表面電位の変化を概略したグラフである。
【図２】本発明の第１の実施形態における保護シート剥離装置の概略図である。
【図３】保護シートの一端の固定方法の一例を示す概略図である。
【図４】湿度と帯電圧との関係を示すグラフである。
【図５】本発明の第１の実施形態における保護シート剥離装置の動作について説明する工程図である。
【図６】本発明の第２の実施形態における保護シート剥離装置の概略図である。
【図７】本発明の第２の実施形態における保護シート剥離装置の動作について説明する工程図である。
【図８】本発明の第３の実施形態における保護シート剥離装置の概略図である。
【図９】本発明の第３の実施形態における保護シート剥離装置の動作について説明する工程図である。
【図１０】液晶パネルの構造を表す断面図である。
【符号の説明】
【０１６８】
１，３１，４１  保護シート剥離装置
２  液晶パネル
３  レール
４  剥離部
５  テーブル
６  保護シート挟持部
７  偏光板
８  保護シート
９  ミスト吹出ノズル
１０  ミスト吸引ノズル
１１  ミスト吹き出し方向
１２  ミスト吸引方向
１３  剥離部駆動系
１４  制御回路
１５  温度湿度計
１６  温度湿度検出部
１７  テーブル温度検出部
１８  テーブル温度計
１９  発熱体
２０  剥離テープ
２１  突起部
２２  給電回路
３２  ノズル台
３３  ノズル台駆動系
４２  表面電位計
１００  液晶パネル
１０１，１０２  光透過基板
１０３，１０４  電極
１０５  スペーサー
１０６  液晶材料
１０７，１０８  偏光板
１１０  カラーフィルター
１１１，１１２  保護フィルム
１１３  シール
Ａ  剥離部４の移動方向
【図１】
2008083418.tif 000003
【図２】
2008083418.tif 000004
【図３】
2008083418.tif 000005
【図４】
2008083418.tif 000006
【図５】
2008083418.tif 000007
【図６】
2008083418.tif 000008
【図７】
2008083418.tif 000009
【図８】
2008083418.tif 000010
【図９】
2008083418.tif 000011
【図１０】
2008083418.tif 000012