(57)【要約】【課題】バリを除去するための噴射液がワークの品質に影響を与えることを防止したバリ取り装置およびバリ取り方法を提供すること。【解決手段】バリ取り装置１は、ワークＷのバリを除去する装置である。このバリ取り装置１は、ワークＷのバリ除去対象部以外の部位を覆ってマスキングし、搬送装置２により搬送される搬送治具Ｊと、ワークＷのバリ除去対象部の表面に対して、高圧処理液とメディアとを混合した混合液を噴射してバリを除去するメディア混合液噴射装置３と、を備えている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークのバリを除去するバリ取り方法であって、
前記ワークのバリ除去対象部以外の部位を搬送治具で覆って保持するマスキング工程と、
前記ワークを保持した前記搬送治具を搬送手段で搬送するワーク搬送工程と、
前記ワークに対して、高圧処理液とメディアとを混合した混合液をメディア混合液噴射手段から噴射して前記ワークのバリ除去対象部のバリを除去する混合液噴射工程と、
を含むことを特徴とするバリ取り方法。
【請求項２】
ワークのバリを除去するバリ取り装置であって、
前記ワークのバリ除去対象部以外の部位を覆ってマスキングし、搬送手段により搬送される搬送治具と、
前記ワークのバリ除去対象部の表面に対して、高圧処理液とメディアとを混合した混合液を噴射してバリを除去するメディア混合液噴射手段と、
を備えたことを特徴とするバリ取り装置。
【請求項３】
前記搬送治具は、基体と、
この基体に回動自在に設置された可動体と、
前記基体と前記可動体とで前記ワークを挟持した状態に保持するための保持手段と、
を有することを特徴とする請求項２に記載のバリ取り装置。
【請求項４】
前記搬送治具が前記搬送手段によって軌道の所定位置に搬送されて来たときに、前記保持手段を開放させて、前記ワークを落下させるための治具開放手段を備えていることを特徴とする請求項３に記載のバリ取り装置。
【請求項５】
前記搬送治具には、複数の前記ワークが保持され、
前記搬送手段の軌道の所定位置の下方には、前記搬送治具から落下した前記複数のワークを仕分ける仕分け手段が備えられ、
前記仕分け手段は、前記搬送治具から落下した前記複数のワークをそれぞれの所定方向に移動させるシュータと、
前記シュータに設置され前記保持手段の開放で落下した前記複数のワークをそれぞれ分離させる仕分け部材と、
前記シュータに設置され前記仕分け部材によって仕分けられた前記複数のワークの降下する速度を相違させるための規制部材と、
を備えていることを特徴とする請求項４に記載のバリ取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークのバリ取りを、粒子からなるメディアと液体とを混合した混合液を噴射することによってバリを除去するバリ取り装置およびバリ取り方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体パッケージ等の樹脂製品からなるワークをモールド成形や機械加工で製造した場合には、モールド成形部分にいわゆるダムバリ、フラッシュバリといわれるバリが生じることがある。このようなワークのバリを除去する方法としては、ノズルによって７０ＭＰａ〜１３０ＭＰａの超高圧水をワークに噴射することによりバリを除去する方法が知られている（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。
その他、ワークのバリを苛性ソーダ等の電解処理によって浮かし、その電解処理後に１０ＭＰａ〜２０ＭＰａの高圧水をワークに噴射することによりバリを除去する方法が知られている。
【特許文献１】特開平９−１９３１００号公報（特許請求の範囲、図１〜図２参照）
【特許文献２】特開平９−３１６６９号公報（特許請求の範囲、図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記特許文献１および特許文献２に示すような超高圧水をワークに噴射してバリを除去するバリ取り方法では、直接超高圧水が樹脂モールド製品等のワークに当たるため、超高圧水がワーク内に浸入したり、いわゆるカケが発生してワークが変形したりするという問題点があった。
一方、前記電解処理してから高圧水をワークに噴射してバリを除去するバリ取り方法でも、電解液がワーク内に浸入することがあるという問題点があった。
特に、ワークが半導体チップである場合には、半導体を樹脂でモールドした樹脂モールド成形部の外表面部の肉厚が薄いため、僅かな浸漬であっても品質に影響を与えるという問題点があった。
【０００４】
そこで、本発明は、このような問題点を解決するために創案されたものであり、バリを除去するための噴射液がワークの品質に影響を与えることを防止したバリ取り装置およびバリ取り方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、請求項１に記載のバリ取り方法の発明は、ワークのバリを除去するバリ取り方法であって、前記ワークのバリ除去対象部以外の部位を搬送治具で覆って保持するマスキング工程と、前記ワークを保持した前記搬送治具を搬送手段で搬送するワーク搬送工程と、前記ワークに対して、高圧処理液とメディアとを混合した混合液をメディア混合液噴射手段から噴射して前記ワークのバリ除去対象部のバリを除去する混合液噴射工程と、を含むことを特徴とする。
【０００６】
請求項１に記載の車両のバリ取り方法の発明によれば、マスキング工程でワークのバリ除去対象部以外の部位を搬送治具で覆って、この搬送治具内にワークを入れて搬送することによって、ワークのバリ除去対象部以外の部位が搬送治具で覆われてマスキングされる。また、混合液噴射工程でワークのバリを除去する際には、ワークのバリ除去対象部以外の部位が搬送治具でマスキングされていることにより、メディア混合液噴射手段から噴射される領域が制限される。このため、バリ除去対象部のみに混合液を噴射してワークのバリ取りを行うことができる。
【０００７】
請求項２に記載のバリ取り装置の発明は、ワークのバリを除去するバリ取り装置であって、前記ワークのバリ除去対象部以外の部位を覆ってマスキングし、搬送手段により搬送される搬送治具と、前記ワークのバリ除去対象部の表面に対して、高圧処理液とメディアとを混合した混合液を噴射してバリを除去するメディア混合液噴射手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載のバリ取り装置の発明によれば、ワークは、搬送治具によってワークのバリ除去対象部以外の部位が覆われてマスキングされる。このため、ワークは、メディア混合液噴射手段から噴射される混合液によってバリを除去する際に、噴射された混合液の衝突する領域がバリ除去対象部に制限される。
【０００９】
請求項３に記載のバリ取り装置の発明は、請求項２に記載のバリ取り装置であって、前記搬送治具は、基体と、この基体に回動自在に設置された可動体と、前記基体と前記可動体とで前記ワークを挟持した状態に保持するための保持手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載のバリ取り装置の発明によれば、ワークは、搬送治具が基体と可動体との間に設けられて挟持されていることにより、搬送手段で搬送中に物体が衝突した場合、外側の搬送治具に衝突する。
【００１１】
請求項４に記載のバリ取り装置の発明は、請求項３に記載のバリ取り装置であって、前記搬送治具が前記搬送手段によって軌道の所定位置に搬送されて来たときに、前記保持手段を開放させて、前記ワークを落下させるための治具開放手段を備えていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載のバリ取り装置の発明によれば、ワークは、搬送治具が搬送手段によって搬送される。そして、搬送治具は、例えば、水槽上（所定位置）まで搬送されたときに、保持手段が治具開放手段によって開放されるため、ワークが水槽に落下させられる。
【００１３】
請求項５に記載のバリ取り装置の発明は、請求項４に記載のバリ取り装置であって、前記搬送治具には、複数の前記ワークが保持され、前記搬送手段の軌道の所定位置の下方には、前記搬送治具から落下した前記複数のワークを仕分ける仕分け手段が備えられ、前記仕分け手段は、前記搬送治具から落下した前記複数のワークをそれぞれの所定方向に移動させるシュータと、前記シュータに設置され前記保持手段の開放で落下した前記複数のワークをそれぞれ分離させる仕分け部材と、前記シュータに設置され前記仕分け部材によって仕分けられた前記複数のワークの降下する速度を相違させるための規制部材と、を備えていることを特徴とする。
【００１４】
請求項５に記載のバリ取り装置の発明によれば、搬送治具から落下したワークは、仕分け手段の上に落下して予め設定した所定方向に移動するように仕分けられる。例えば、複数のワークがシュータの上に同時に落下した場合、複数のワークは、仕分け部材によってそれぞれ相違した方向に移動するようにガイドされると共に、規制部材によって降下速度が相違した状態で降下して、それぞれずれた時間に落下する。
【００１５】
本発明に係るバリ取り装置の発明は、前記搬送治具が、少なくとも、前記搬送手段によって搬送されながら前記メディア混合液噴射手段で前記ワークのバリを除去しているときに、前記搬送手段の軌道に沿って設置された治具ガイド手段によってガイドされながら搬送されることが好ましい。
このような構成にすれば、搬送治具は、ワークのバリ取りを行っている最中に、治具ガイド手段によって表面側および裏面側が支持されるため、横振れすることが抑制されて、安定した状態で搬送される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の請求項１に係るバリ取り方法によれば、ワークのバリ除去対象部以外の部位を搬送治具で覆ってマスキングし、この搬送治具内に入れて搬送することによって、ワークのバリ除去対象部以外の部位が、搬送時に外力を受けて損傷することを防止できる。さらに、混合液噴射工程でワークのバリを除去する際にも、メディア混合液噴射手段から噴射された混合液が当たる領域が搬送治具によって制限されることにより、バリ取りが必要なバリ除去対象部のみにメディア混合液を噴射してワークのバリを除去できるため、ワークの品質に影響を与えることを解消できる。さらに、モールド欠けおよびワークの変形等を解消することもできる。また、電解処理液が不要になるので、電解液がワークに浸漬することが解消されるため、ワークの品質を向上できる。
【００１７】
本発明の請求項２に係るバリ取り装置によれば、ワークは、搬送治具によってバリ除去対象部以外の部位が覆われてマスキングされているので、メディア混合液噴射手段から噴射される混合液によってバリを除去する際に、噴射された混合液の衝突する領域が制限されるため、バリ除去対象部のみをバリ取りすることができる。その結果、メディア混合液噴射手段から噴射される混合液がワークの不必要な箇所に直接吹き付けられることがなくなり、ワークの品質に影響を与えることを解消して、品質を向上できる。
【００１８】
本発明の請求項３に係るバリ取り装置によれば、ワークは、搬送治具の基体と可動体とによって挟持された状態を保持手段で保持して搬送されることにより、搬送手段で搬送中に外力が負荷されることを搬送治具によって保護して防止することができる。
【００１９】
本発明の請求項４に係るバリ取り装置によれば、治具開放手段は、ワークが搬送手段の軌道の所定位置まで搬送されて来たときに、搬送治具の保持手段を開放させて、ワークを落下させることができる。
【００２０】
本発明の請求項５に係るバリ取り装置によれば、搬送治具から落下した複数のワークは、シュータの上面に落下して予め設定したそれぞれの所定方向に移動するため、それぞれのワークが互いに衝突したり、重なり合ったり、向きが変わることを解消できる。その結果、各ワークは、それぞれの所望位置の方向へ正確に送ることができるようになり、１つ１つのワークを所定間隔を空けて安定した状態で搬送することができるようになる。
例えば、複数のワークがシュータの上に同時に落下した場合、複数のワークは、仕分け部材および規制部材によってそれぞれ相違した方向に移動するため、互いに重なり合ったり、衝突し合ったりすることを解消できる。その結果、複数のワークは、所望とする状態で次工程が行われる位置へ時間をずらして適宜な間隔で送られて、次工程の作業が良好に行われるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法を説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法に使用されるワークの一例を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。図２は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法に使用される搬送治具の一例を示す図であり、（ａ）は、マスキングしたワークを挟持する搬送治具の分解斜視図、（ｂ）はワークを取り付けたときの状態を示す図で（ａ）の矢印Ａ方向の矢視図である。
【００２２】
≪ワークの構成≫
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ワークＷは、例えば、樹脂モールド成形によって成形された半導体パッケージ等の樹脂製品であり、樹脂モールド成形する際に、モールド成形部Ｗａの付近に不図示のダムバリやフラッシュバリ等のバリが生成されている。このワークは、四角形のモールド成形部Ｗａを横一列に多数配置し、全体が細長い略平板状に形成されている。
【００２３】
＜マスキング部の構成＞
図２（ｂ）に示すように、ワークＷは、バリを除去するバリ除去対象部Ｗｂと、バリを除去しないマスキング部Ｍと、からなる。ワークＷは、図２（ｂ）に示すように、バリ除去対象部Ｗｂが露出するようにして、２個を横１列に並べて搬送治具Ｊに挟持される。このワークＷのバリ除去対象部Ｗｂ以外は、搬送治具Ｊによって保持されて覆われるマスキング部Ｍである。
なお、ワークＷは、バリが生成されたものであればよく、その他樹脂製品や金属製品等でも構わない。以下、半導体パッケージをワークＷとした場合を例に挙げて説明する。
【００２４】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、マスキング部Ｍは、ワークＷのバリ除去対象部Ｗｂ以外の部位を、搬送治具Ｊの基体Ｊ１に設けられた支持部Ｊ１ｂと、可動体Ｊ２に形成された開口部Ｊ２ｂの縁とによって挟持して、ワークＷが搬送治具Ｊと重なって覆われる部分である。このマスキング部Ｍは、基体Ｊ１と可動体Ｊ２との覆われることによって、ワークＷに対して噴射されるメディアと処理液との混合液などが当たらないようにマスキングされて隠れる部分である。このマスキング部Ｍは、例えば、端子（図示せず）が配設されるワークＷの上下部分（図１参照）と、モールド成形部Ｗａの裏側である。なお、図２（ｂ）に示す裏面側において、モールド成形部Ｗａは、細長い平板状の支持部Ｊ１ｂによって覆われてマスキング部Ｍが形成されている。
【００２５】
≪搬送治具の構成≫
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、搬送治具Ｊは、少なくとも１個以上のワークＷを挟持して搬送装置（搬送手段）２の軌道２１に設けられたフック２２に係止される部材である。搬送治具Ｊは、移動するフック２２の係止溝２２ａに係止させて搬送されることによって、ワークＷをマスキングしながら移動させるための部材である。搬送治具Ｊは、ワークＷを裏面側から支持する略枠状の基体Ｊ１と、この基体Ｊ１に回動自在に設置されてワークＷを表面側から支持する略枠状の可動体Ｊ２と、基体Ｊ１と可動体Ｊ２とでワークＷを挟持した状態に保持するための係合部（保持手段）Ｊ１ａ，Ｊ２ａと、を有する。
【００２６】
その他この搬送治具Ｊは、可動体Ｊ２を基体Ｊ１に対して回動自在に取り付けるための蝶番（保持手段）Ｊ３と、基体Ｊ１と可動体Ｊ２との間に所定間隔のスペースを形成するためのスペーサＪ５と、下端部が基体Ｊ１に連結され、上端部がフック２２に連結された連結片Ｊ４と、保持したワークＷを露出させるための開口部Ｊ２ｂと、メディア混合液噴射装置３（図５参照）によってワークＷのバリ取りを行う際に、パレットガイド１２（図４参照）のガイドレール１２ｃのガイド溝に係合して回転しながら搬送治具Ｊと共に移動するローラＪ６と、を備えている。
【００２７】
搬送治具Ｊ内に収納されたワークＷは、可動体Ｊ２の載置部Ｊ２ｃに載せた状態で、基体Ｊ１の支持部Ｊ１ｂと可動体Ｊ２の開口部Ｊ２ｂの周縁部とで上下動自在に挟持されると共に、ワークＷの上端部から０．５ｍｍ程度の隙間を介して僅かにワークＷが上下方向に移動可能な状態に上側支持部Ｊ２ｄによって支持されている。
【００２８】
搬送口部２１ａ（図５参照）から軌道２１に送り出された搬送治具Ｊは、表面側および裏面側の上下部分が、装置本体１１（図３参照）にレール状に垂設されたパレットガイド１２の２本２組のガイドレール１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ（図４参照）に支持されて案内されながら水槽４（図３参照）上まで搬送装置２によって搬送されるようになっている。
そして、搬送治具Ｊは、搬送装置２で後記する水槽４（図３参照）上に搬送されたときに、治具開放部材（治具開放手段）５１の先細りの勾配が形成された先端部が基体Ｊ１と可動体Ｊ２との間に突入することと、ワーク落としブラシ５２，５３（図８および図９（ａ）参照）のハケが摺接することとによって、可動体Ｊ２が蝶番Ｊ３を中心として回動するように開放されて、ワークＷが落下させるようになっている。
【００２９】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、基体Ｊ１は、平板部材によって四角形の略枠状に形成された部材からなる。この基体Ｊ１には、上端部中央に設置された連結片Ｊ４と、上端両側に設置されて平板部材からなるスペーサＪ５と、このスペーサＪ５を介在して設置された蝶番Ｊ３と、下端部の適宜な位置に突設された係合部Ｊ１ａと、中央部やや下側に設置されワークＷのモールド成形部Ｗａに宛がってバリ取り時に、モールド成形部Ｗａを保護する細長い平板部材からなる支持部Ｊ１ｂと、がそれぞれ設けられている。
【００３０】
可動体Ｊ２は、基体Ｊ１に対して蝶番Ｊ３の軸部を中心として回動自在に配置された四角形の平板部材からなる開き戸状の部材である。この可動体Ｊ２は、基体Ｊ１に設けられた係合部Ｊ１ａに係合してワークＷを開口部Ｊ２ｂの縁とで挟持した状態に保持する係止部Ｊ２ａと、搬送治具Ｊで保持したワークＷのバリ除去対象部Ｗｂを露出させるための開口部Ｊ２ｂと、この開口部Ｊ２ｂの裏面側の下側縁部に設置されてワークＷが載置される載置部Ｊ２ｃと、開口部Ｊ２ｂの裏面側の上側に設置されてワークＷの上側を支持するための上側支持部Ｊ２ｄと、を備えている。
【００３１】
係止部Ｊ２ａは、例えば、係合部Ｊ１ａの先端部が係合および離脱する略円環状の部材であり、可動体Ｊ２の内面下端部に設置されている。
開口部Ｊ２ｂは、搬送治具Ｊ内に保持されたワークＷにメディア混合液噴射装置３から噴射された混合液がワークＷのバリ除去対象部Ｗｂのバリに当たって除去されるように開口された貫通孔であり、横方向に細い長く形成されている。
載置部Ｊ２ｃは、例えば、ワークＷを下側から支持する横方向に細長い平板部材からなり、開口部Ｊ２ｂ内の下側縁部に沿って設置されている。
上側支持部Ｊ２ｄは、ワークＷを上側から支持して上下方向の移動範囲を規制するための部材であり、横方向に細長い平板部材からなる。
【００３２】
なお、係合部Ｊ１ａと係止部Ｊ２ａと蝶番Ｊ３は、特許請求の範囲に記載の「保持手段」に相当する。係合部Ｊ１ａと係止部Ｊ２ａとから構成される保持手段の形状は、互いに係合されるものであって、基体Ｊ１と可動体Ｊ２とでワークＷを挟持した状態を保持可能なものであれば、特に限定されるものではない。
【００３３】
また、その係合部Ｊ１ａと係止部Ｊ２ａは、基体Ｊ１と可動体Ｊ２とでワークＷを挟持した状態を保持する機能がある蝶番Ｊ３等の保持手段があれば、なくてもよい。この場合、可動体Ｊ２の基端部を基体Ｊ１に回動自在に連結させるための蝶番Ｊ３は、例えば、軸部にねじりコイルばね（図示せず）等の付勢手段を設けたスプリング蝶番にして、可動体Ｊ２の先端側が基体Ｊ１側に自動復帰するばね力を備えて、可動体Ｊ２と基体Ｊ１とでワークＷを挟持できるようにすればよい。
【００３４】
図２（ａ）に示すように、連結片Ｊ４は、基体Ｊ１の上側中央に固定される平板部材からなり、上端部にフック２２の係止溝２２ａに着脱される連結ピンを備えている。
スペーサＪ５は、基体Ｊ１と可動体Ｊ２との間隔をワークＷの厚さ分に維持するための部材であり、平板部材からなる。
図２（ｂ）に示すように、ローラＪ６は、メディア混合液噴射装置３（図５参照）でワークＷのバリ取りを行う際の搬送治具Ｊの上下方向の位置決めを行うための部材であり、基体Ｊ１の上端部の前後中央部に、それぞれ回転自在に軸支された円筒体からなる。
【００３５】
図３は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置の一例を示す概略正面図である。図４は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置のパレットガイドを通過する搬送治具の状態を示す概略平面図である。図５は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置の一例を示す概略平面図である。
【００３６】
≪バリ取り装置の構成≫
図３および図５に示すように、バリ取り装置１は、ワークＷのバリをメディア混合液噴射装置（メディア混合液噴射手段）３によって除去する装置である。このバリ取り装置１は、ワークＷのバリ除去対象部Ｗｂ以外の部位を覆ってマスキングし、搬送装置（搬送手段）２により搬送される搬送治具Ｊと、ワークＷのバリ除去対象部Ｗｂの表面に対して、高圧処理液とメディアとを混合した混合液を噴射してバリを除去するメディア混合液噴射装置（メディア混合液噴射手段）３と、を備えている。
【００３７】
この他バリ取り装置１は、搬送治具Ｊを搬送するための搬送装置（搬送手段）２と、この搬送装置２によって搬送治具Ｊを搬送口部２１ａから水槽４までの間を搬送する際に搬送治具Ｊをガイドするパレットガイド１２と、水槽４上（所定位置）に搬送されて来た搬送治具Ｊを開放させて複数のワークＷを水槽４の水中に落下させるための治具開放機構（治具開放手段）５と、搬送治具Ｊから落下し複数のワークＷを仕分ける仕分け機構（仕掛け手段）６と、この仕分け機構６によってそれぞれ仕分けられた各ワークＷを水槽４外に引き上げる引き上げコンベア（引き上げ手段）８と、この引き上げコンベア８で引き上げたワークＷを洗浄する洗浄装置９と、ワークＷに付着した洗浄液を乾燥させるワーク乾燥装置１０と、搬送治具Ｊを搬送装置２から取り外す治具外しベルト装置Ｂと、その搬送治具Ｊをストックさせるための治具ストック装置２９と、を備えている。
【００３８】
≪パレットガイド（治具ガイド手段）の構成≫
図４に示すように、パレットガイド１２は、メディア混合液噴射装置３（図５参照）でバリ取りを行う際に、搬送装置２によって軌道２１（図５参照）を搬送される搬送治具Ｊのガイドと位置決めとを行うものであり、装置本体１１に載設されている。このパレットガイド１２は、装置本体１１に立設されて軌道２１に沿って所定間隔で設置された支柱１２ｅ，１２ｆと、この支柱１２ｅに上下方向に平行に設置されたガイドレール１２ａ，１２ｂと、このガイドレール１２ａ，１２ｂに略対向して配置されると共に、前記支柱１２ｆに上下方向に平行に設置されたガイドレール１２ｃ，１２ｄと、から構成されている。
【００３９】
ガイドレール１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、例えば、細長いレール状の部材からなり、支柱１２ｅ，１２ｆにボルト締めして固定されている。表面側のガイドレール１２ａ，１２ｂと、裏面側のガイドレール１２ｃ，１２ｄとは、搬送装置２によって搬送される搬送治具Ｊの左右外側面の上下部分が摺接して振れ止めされるように、所定間隔を介して設置されている。
図４に示すように、裏面上側に配置されるガイドレール１２ｃには、ローラＪ６が回転自在に挿入される溝が水平方向（搬送方向）に形成されて、搬送装置２によって搬送中の搬送治具Ｊが予め設置した所定位置に位置決めされるようになっている。
【００４０】
≪搬送装置（搬送手段）の構成≫
図３に示すように、搬送装置２は、バリ取り装置１の装置本体１１の天井部材１１ａに沿って水平に配設されて移動する軌道２１に、移動自在に設けた搬送治具Ｊを搬送させるいわゆる天井走行搬送装置からなる。この搬送装置２は、搬送治具Ｊと、搬送治具Ｊを搬送させる略チェーン状の軌道２１と、搬送治具Ｊを軌道２１に掛止するためのフック２２と、軌道２１に噛合する回転駆動体２３と、回転駆動体２３を回転駆動させるためのモータ２５と、ガイド用回転体２４と、を備えている。搬送装置２の軌道２１の落下部（所定位置）２１ｄの下方には、搬送治具Ｊから落下した複数のワークＷを仕分ける仕分け機構（仕分け手段）６が備えられている。
【００４１】
軌道２１は、図５に示すように、搬送装置２において、搬送口部２１ａからスタートして治具外し部２１ｇで終了するように、平面視して略Ｕ字状に配設されている。すなわち、軌道２１は、ワークＷを保持した搬送治具Ｊが送り込まれる搬送口部２１ａと、この搬送口部２１ａから水槽４までの間に配置されて搬送装置２によって搬送される搬送治具Ｊをガイドするパレットガイド１２と、裏面側ノズル３１ａでのバリ取りが行われる裏面ノズル部２１ｂと、表面側ノズル３２ａでのバリ取りが行われる表面ノズル部２１ｃと、搬送治具ＪからワークＷが落とされる落下部２１ｄと、軌道２１を駆動させながら搬送方向を略１８０度変換する方向転換部（駆動部）２１ｅと、搬送治具Ｊを安定した状態で直線移動するようにガイドするためのガイド部２１ｆと、搬送治具Ｊを軌道２１から外す作業が行われる治具外し部２１ｇと、を順次に移動するように配置されている。
フック２２は、搬送方向の下流側に、係止溝２２ａ（図２（ａ）参照）が切欠形成され、この係止溝２２ａに搬送治具Ｊが着脱できるように掛止されている。
【００４２】
＜方向転換部の構成＞
方向転換部２１ｅには、軌道２１の移動方向を変換させると共に、後記するモータ２５の回転を伝達するための回転駆動体２３が設置されている（図３参照）。回転駆動体２３は、軌道２１に噛合するスプロケット等の歯車部材からなる。この回転駆動体２３は、トルクリミッタカップリング２６等を介在して、可変速ギアモータ等からなるモータ２５に連結されている（図３参照）。また、軌道２１の適宜な箇所には、軌道２１を支持するガイド用回転体２４が設置されている。
【００４３】
＜治具外し部の構成＞
搬送装置２の治具外し部２１ｇには、搬送治具Ｊを軌道２１から外す治具外しベルト装置Ｂが設置されている。この治具外しベルト装置Ｂは、駆動モータＢａと、この駆動モータＢａによって回転する駆動車Ｂｂと、駆動車Ｂｂによって搬送装置２の搬送速度より同じ下流側に速く駆動して搬送装置２のフック２２から搬送治具Ｊを離脱させるための治具外しベルトＢｃと、を備えている。
図５に示す治具外しベルトＢｃは、治具外しベルト装置Ｂによって搬送治具Ｊを搬送装置２より速い速度で同じ搬送方向に送ることによって、フック２２に形成された横溝状の係止溝２２ａ（図２（ａ）参照）の離脱方向（搬送方向）に移動させて、搬送装置２から搬送治具Ｊを自動的に取り外すことができるようになっている。
【００４４】
＜治具ストック装置の構成＞
図５に示すように、治具ストック装置２９は、搬送装置２から取り外した搬送治具Ｊを回収して、多数の搬送治具Ｊを数珠状に並べてストックするための装置である。この治具ストック装置２９は、駆動モータ２９ａと、この駆動モータ２９ａによって回転する駆動ローラ２９ｂと、この駆動ローラ２９ｂと従動ローラ２９ｄとに巻き掛けられた搬送ベルト２９ｃと、従動ローラ２９ｄと、搬送治具Ｊをストックする治具ストック部２９ｅとを備えている。
【００４５】
図６は、ワークの表裏のバリ除去対象部のバリ取りを行う高圧流体噴射ノズルの設置状態を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は表面用ノズルの正面図、（ｃ）は裏面用ノズルの正面図、（ｄ）は表面側ノズルの要部拡大断面図である。
【００４６】
≪メディア混合液噴射装置（メディア混合液噴射手段）の構成≫
図６（ａ）に示すように、メディア混合液噴射装置３は、搬送装置２で搬送されるワークＷに対して高圧処理液とメディアとを混合した混合液を噴射してバリ取りを行う装置である。このメディア混合液噴射装置３は、例えば、軌道２１の左右両側に位置を互いにずらして配置された裏面側ノズル３１ａおよび表面側ノズル３２ａを有する。このメディア混合液噴射装置３は、軌道２１を中心としてワークＷの裏面側に配置され混合液を噴射してバリ除去対象部Ｗｂのバリを除去する裏面側噴射装置３１と、ワークＷの表面側に配置され混合液を噴射してバリ除去対象部Ｗｂのバリを除去する表面側噴射装置３２とから主に構成されている。このメディア混合液噴射装置３には、搬送治具Ｊが裏面ノズル部２１ｂ（図３参照）および表面側ノズル３２ａ（図３参照）に搬送されて来たことを検出する光センサ、タッチセンサ、近接センサ等の位置検出センサ（図示せず）が設置されている。
【００４７】
メディア混合液噴射装置３は、位置検出センサからの位置信号が制御装置（図示せず）を介して裏面側噴射装置３１および表面側噴射装置３２に接続されたそれぞれの電磁弁に出力信号が送られて作動し、裏面側ノズル３１ａおよび表面側ノズル３２ａから混合液が噴射されてバリ取りが行われるようになっている。
その他メディア混合液噴射装置３には、裏面側ノズル３１ａに対向する位置に設置され、裏面側ノズル３１ａから噴射されて軌道２１の反対側まで達した混合液を受け止めるための噴射受け３５と、表面側ノズル３２ａに対向する位置に設置され、表面側ノズル３２ａから噴射されて軌道２１の反対側まで達した混合液を受け止めるための噴射受け３６と、ワークＷおよび搬送治具Ｊに付着した混合液を除去する水を噴射するシャワーリング３４（図７および図９（ｂ）参照）と、が備えられている（図３参照）。
裏面側ノズル３１ａおよび表面側ノズル３２ａは、不図示の制御盤に内設された制御装置からのセンサ信号に基づく出力信号によって開閉する電磁弁等を介在して高圧流体用のジェットポンプ（図示せず）に接続されている。
【００４８】
メディア混合液噴射装置３の下方には、噴射した混合液を回収する回収処理槽（図示せず）が設置されている。この回収処理槽には、メディア混合液噴射装置３の裏面側ノズル３１ａおよび表面側ノズル３２ａから噴射されたメディアを処理液と共に回収する回収ポンプ装置（図示せず）と、この回収ポンプ装置で回収したメディア中の不良メディアを除去して再度メディア混合液噴射装置３にメディアを供給するためのメディア供給ユニット（図示せず）等が備えられている。回収処理槽の処理液内には、メディア混合液噴射装置３から噴射された高圧処理液の水と、メディアと、除去したバリが存在している。
【００４９】
なお、メディア混合液噴射装置３は、高圧処理液と粒子状のメディアとを混合してワークＷに対して噴射するものであれば良く、例えば、高圧処理液を噴射するノズルと、メディアを噴射するノズルとを別々に設けて、同時に噴射するように構成したものであっても構わない。
【００５０】
また、位置検出センサと、裏面側噴射装置３１および表面側噴射装置３２に接続されたそれぞれの電磁弁は、なくても構わない。この場合は、裏面側噴射装置３１および表面側噴射装置３２から噴射される混合液を回収し浄化して循環させ、常に継続的に混合液を噴射させればよい。
【００５１】
＜裏面側噴射装置の構成＞
図６（ｂ）に示すように、裏面側噴射装置３１は、バリ除去対象部Ｗｂ（図１（ｂ）および図２（ａ）、（ｂ）参照）以外を搬送治具Ｊでマスキングして保持されたワークＷの裏面側に対して、高圧流体を噴射する裏面側ノズル３１ａを多数設置した装置である。裏面側ノズル３１ａは、例えば、それぞれ設置した高さが相違する４つ１組のノズルを、僅かに高さをずらして軌道２１に沿って４組配設されている。
【００５２】
＜表面側噴射装置の構成＞
図６（ｃ）に示すように、表面側噴射装置３２は、バリ除去対象部Ｗｂ以外を搬送治具Ｊで保持してマスキングされたワークＷの表面側に対して、混合液を噴射する表面側ノズル３２ａを複数設置した装置である（図１（ｂ）参照）。表面側ノズル３２ａは、例えば、それぞれ高さが相違する４つのノズルを備えている。
【００５３】
＜裏面側ノズルおよび表面側ノズルの構成＞
裏面側ノズル３１ａおよび表面側ノズル３２ａは、図６（ｄ）に示すように、高圧にした高圧処理液を噴射する高圧処理液噴射ノズル３２ｄと、この高圧処理液噴射ノズル３２ｄの外周部に設けられて、メディア供給ユニット（図示せず）からメディア流路３２ｂを介して供給されるメディアと処理液の混合液を噴射するメディアノズルチップ３２ｃと、を１つのノズルヘッドから混合液の状態でワークＷのバリ除去対象部Ｗｂに向けて噴射するノズルである。この裏面側ノズル３１ａおよび表面側ノズル３２ａは、搬送治具Ｊに保持されて搬送装置２によって移動するワークＷに、噴射口を向けて設置されている。
【００５４】
高圧処理液噴射ノズル３２ｄは、回収処理槽（図示せず）内の処理液をポンプ（図示せず）によって吸引して高圧にした高圧処理液を噴射する。
メディアノズルチップ３２ｃは、回収処理槽（図示せず）の下層に沈下したメディアを回収ポンプ装置（図示せず）で吸引して不良メディアを除去して再利用可能なメディアをメディア混合液の状態で貯留しているメディア供給ユニット（図示せず）から供給される混合液を噴射する。このときに噴射される混合液の圧力は、例えば、高圧処理液が１０ＭＰａ、メディアが０．１ＭＰａで噴射される。
【００５５】
＜混合液の構成＞
ここで、混合液とは、例えば、図６（ｄ）に示すように、水等からなる高圧処理液と、メディアとを混合した液体である。混合液中のメディアの割合は、１０〜３０％で、好ましくは１５％である。
メディアは、ワークＷに対して噴射するショット材、研掃材を意味するものであって、ワークＷの種類に応じて例えば、樹脂、ガラスビーズ、セラミック等から最適なものを選択して使用する。
【００５６】
図７は、図３の要部拡大図である。図８は、図５の要部拡大図である。
≪治具開放機構（治具開放手段）の構成≫
メディア混合液噴射装置３を通過した搬送治具Ｊは、図７または図８に示すように、次に、水槽４上に搬送されて、治具開放機構（治具開放手段）５によって可動体Ｊ２が基体Ｊ１から開放されるようになっている。この治具開放機構５は、搬送装置２によって搬送治具Ｊが水槽４上（軌道２１の所定位置）に搬送されて来たときに、治具開放部材５１の先端が可動体Ｊ２と基体Ｊ１との間に入り込み、係合部Ｊ１ａ（図２参照）に係止していた係止部（保持手段）Ｊ２ａ（図２参照）を解除させて搬送治具Ｊの基体Ｊ１と可動体Ｊ２とを分離させ、ワークＷをワーク落としブラシ５２，５３によって水槽４の水中に落下させるための装置である。この治具開放機構５の近傍には、可動体Ｊ２が当接する位置に設けられたワーク落としブラシ５２と、基体Ｊ１に対して蝶番Ｊ３を中心として回動させられた可動体Ｊ２に当接するワーク落としブラシ５３と、が設置されている。
【００５７】
図８に示すように、治具開放部材５１は、搬送されて来る搬送治具Ｊ側の端部に、蝶番Ｊ３（図７参照）の下方の基体Ｊ１と可動体Ｊ２との間に先端が入り込むように配置された爪部５ａを有する部材であり、軌道２１に沿って延設されて平板部材からなる。
爪部５ａは、この爪部５ａを基体Ｊ１と可動体Ｊ２との間に入り込み易くするためのガイド５ｂと、可動体Ｊ２を回動させて広げるための傾斜部５ｃとからなり、鋭角に形成されている。この爪部５ａの先端は、図８に示すように、水槽４に前側寄り中央部位上に配設されて、ワークＷが水槽４の上側に配置された仕分け機構６上に落下するように配置されている。
【００５８】
図９は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置の水槽の付近の構造を示す図であり（ａ）は要部拡大断面図、（ｂ）は（ａ）の矢視Ｘ−Ｘ線方向断面図である。
【００５９】
図９（ａ）に示すように、ワーク落としブラシ５２，５３は、移動する搬送治具ＪおよびワークＷを損傷させることなく柔らかく当接して、ワークＷを水槽４内に確実に落下させるためのものである。ワーク落としブラシ５２は、当接する基体Ｊ１の板面に合わせてハケが垂直に配設されている。ワーク落としブラシ５３は、回動したときの可動体Ｊ２の板面に合わせてハケが傾斜した状態に配設されている。このワーク落としブラシ５２，５３の下方の水槽４内の上側には、仕分け機構６のシュータ７が設置されている。
【００６０】
≪仕分け機構（仕分け手段）の構成≫
仕分け機構６は、搬送治具Ｊから落下した複数のワークＷが互いに重なり合うことを防止して、各ワークＷが所望間隔で引き上げコンベア８上に落下するように規制するための装置である。この仕分け機構６は、搬送治具Ｊから落下したワークＷを所定方向に移動させるシュータ７と、このシュータ７に設置され係合部Ｊ１ａ，Ｊ２ａの解除でそれぞれ別々に落下した複数のワークＷをそれぞれ分離させる仕分け部材７１と、シュータ７に設置され仕分け部材７１によって仕分けられた複数のワークＷの降下する速度を相違させるための規制部材７３ａと、を備えて構成されている。
【００６１】
＜シュータの構成＞
図９（ａ）、（ｂ）に示すシュータ７は、係合部Ｊ１ａに係止していた係止部（保持手段）Ｊ２ａの治具開放部材５１による解除で同時に落下した２枚（複数）のワークＷをそれぞれ別々に移動させ、引き上げコンベア８上にそれぞれ分離した状態で送るためのコンベア式搬送装置である。このシュータ７は、図９（ｂ）に示すように、落下した２つのワークＷを左右方向に分離させて遠避けるための仕分け部材７１と、この仕分け部材７１の右側に配置された一方の傾斜板７２と、仕分け部材７１の左側に配設されて一方の傾斜板７２の傾斜角度と相違した傾斜角度で隣設されると共に、後記する規制部材７３ａが張り付けられた傾斜板７３と、を備えている。シュータ７の下方部位には、このシュータ７の上面を降下した複数のワークＷが落下する水槽４と、この水槽４内の複数のワークＷを水槽４外に引き上げる引き上げコンベア（引き上げ手段）８と、が配設されている。
【００６２】
図９（ｂ）に示すように、仕分け部材７１は、同時に落下した２つのワークＷが、左右に分かれて移動し、重ならないようにするための部材である。この仕分け部材７１は、正面視して、上方向に尖った三角形をした部材であり、シュータ７の中央部上端に設置されている。
【００６３】
傾斜板７２，７３は、同時に落下した２つのワークＷが、引き上げコンベア８上にそれぞれ重ならないように分離した状態で載置されるように時間差をつけるために、表面の傾斜角度と、表面の摩擦係数とを相違させて設けられている。傾斜板７３の表面には、ワークＷの滑りを鈍くして落下速度を低下させるためのゴムシート等の比較的摩擦係数が高い規制部材７３ａが設置されている。
【００６４】
≪水槽の構成≫
図９（ａ）に示すように、水槽４は、この水槽４内に落下したワークＷを受け止めて、落下時の衝撃を緩和するための水を貯留するタンクである。この水槽４には、搬送治具Ｊから落下したワークＷを所定方向に移動させるシュータ７と、このシュータ７で搬送されたワークＷを水槽４外にワークＷを引き上げる引き上げコンベア８と、水抜きパイプ４１と、が配設されている。
なお、水槽４は、メディア混合液噴射装置３の回収処理槽や、洗浄装置９の洗浄液貯留槽と兼用したものであってもよい。水槽４内の水は、メディア混合液噴射装置３で使用した混合液や、洗浄装置９の洗浄液等であってもよく、その成分は特に限定されない。
【００６５】
≪引き上げコンベア（引き上げ手段）の構成≫
図９（ａ）に示すように、引き上げコンベア８は、シュータ７から滑り落ちたワークＷを、水槽４から引き揚げる装置である。この引き上げコンベア８は、シュータ７の裏面下方部位の水中に配置された従動ローラ８１と、水槽４外のこの水槽４より高い位置に配置された駆動ローラ８２と、従動ローラ８１と駆動ローラ８２に巻き掛けられたワーク引き上げベルト８３と、駆動ローラ８２を回転させるための駆動モータ８４と、を備えたベルトコンベア装置からなる。この引き上げコンベア８は、全体が水槽４に対して斜めに配置されて、一端の従動ローラ８１側が水中に配置され、他端の駆動ローラ８２側が水槽４外のワーク洗浄用搬送装置２７上に配置されている。
【００６６】
なお、ワーク引き上げベルト８３は、水中であっても、このワーク引き上げベルト８３上に載置されたワークＷが滑らないようにするための無端の水切りのよいメッシュベルトからなる。このワーク引き上げベルト８３の先端の下方の近傍には、引き上げコンベア８で引き上げたワークＷを搬送させるワーク洗浄用搬送装置２７が配設されている。
【００６７】
≪ワーク洗浄用搬送装置の構成≫
図１０は、洗浄装置の設置状態を示す要部拡大断面図である。
ワーク洗浄用搬送装置２７は、図１０に示すように、後記する洗浄装置９の洗浄ノズル９１，９２が設置されている間にワークＷを搬送させて、ワークＷを洗浄させるためのベルトコンベア装置である。ワーク洗浄用搬送装置２７は、図５に示すように、駆動モータ２７ａと、この駆動モータ２７ａによって減速回転される駆動ローラ２７ｂと、この駆動ローラ２７ｂによって駆動するメッシュベルトからなる搬送ベルト２７ｃと、搬送ベルト２７ｃを巻き掛けた従動ローラ２７ｄと、搬送ベルト２７ｃで搬送されるワークＷの傾きおよび位置を規制するための搬送ガイド２７ｅと、を備えている。ワーク洗浄用搬送装置２７の搬路の下流端には、ワーク洗浄用搬送装置２７の搬送終了部位に配設されてワークＷを早送りするための搬出回転車（早送り手段）Ｒと、ワーク洗浄用搬送装置２７に直交するように配設されたワーク乾燥用搬送装置２８と、ワーク乾燥装置１０と、が設けられている。
【００６８】
≪搬出回転車（早送り手段）の構成≫
図５に示すように、搬出回転車Ｒは、ワークＷを早送りするためのローラであり、駆動モータ２７ａの駆動力を利用して回転するシャフトＲａによって駆動ローラ２７ｂより速く回転するように設置されている。搬出回転車Ｒは、ワーク洗浄用搬送装置２７で搬送されて来たワークＷのスピードを上げてワークプレッシャ２８ｅの前方へ安定した姿勢で移動させるための装置である。
【００６９】
≪洗浄装置の構成≫
図５に示すように、洗浄装置９は、バリ取りを行ったワークＷを洗浄ノズル９１，９２からの洗浄液を噴き付けて洗浄する装置であり、ワーク洗浄用搬送装置２７の上下に配置されている（図１０参照）。洗浄装置９は、洗浄ノズル９１，９２と、この洗浄ノズル９１，９２への洗浄液の流路を開閉するための電磁弁（図示せず）と、搬送装置２で搬送されて来たワークＷの位置を検出するワーク検出センサ（図示せず）と、このワーク検出センサからの検出信号が入力されて電磁弁を開閉させるための制御装置（図示せず）と、洗浄ノズル９１，９２に洗浄液を供給するための洗浄液供給ポンプ（図示せず）と、を備えている。
【００７０】
搬路の上流側に設置された洗浄ノズル９１は、搬送ベルト２７ｃの下面側に設置されて下方から上方向に向かって洗浄液を噴射して洗浄するシャワーリングノズルからなる（図１０参照）。
搬路の下流側に設置された洗浄ノズル９２は、搬送ベルト２７ｃの上面側に設置されて上方から下方向に向かって洗浄液を噴射して洗浄するワーク水切りノズルからなる（図１０参照）。
なお、ワーク検出センサと、洗浄ノズル９１，９２への洗浄液の流路を開閉するための電磁弁と、この電磁弁を開閉させるための制御装置は、なくても構わない。この場合は、バリ取り装置１をＯＮしたときに、洗浄ノズル９１，９２から洗浄液を常に継続的に噴射して、下に落ちた洗浄液を回収し、浄化して循環させるようにする。
【００７１】
≪ワーク乾燥用搬送装置の構成≫
図５に示すように、ワーク乾燥用搬送装置２８は、洗浄装置９で洗浄したワークＷをワーク乾燥室１０ｂ内に通過させて、さらに、ワークストック部１０ｄに搬送するためのベルトコンベアである。ワーク乾燥用搬送装置２８は、駆動モータ２８ａと、この駆動モータ２８ａによって減速回転される駆動ローラ２８ｂと、この駆動ローラ２８ｂによって駆動する搬送ベルト２８ｃと、搬送ベルト２８ｃを巻き掛けた従動ローラ２８ｄと、搬出回転車Ｒによって送られて来たワークＷをワーク乾燥用搬送装置２８の搬路方向に押圧するためのワークプレッシャ２８ｅと、を備えている。
【００７２】
≪ワーク乾燥装置の構成≫
図５に示すように、ワーク乾燥装置１０は、洗浄装置９で洗浄したワークＷに付着した洗浄液をエアで吹き飛ばして除去し、さらに、乾燥させてワークＷを一時的にストックするための装置である。このワーク乾燥装置１０は、ワーク水切り用ブロワ１０ａ（図３参照）と、ワークＷを乾燥させるためのワーク乾燥室１０ｂと、このワーク乾燥室１０ｂに設けられた吐出口１０ｆにエアを送るためのワーク乾燥用ブロワ１０ｃ（図３参照）と、乾燥処理を行った多数のワークＷを数珠状に並べてストックしておくワークストック部１０ｄと、このワークストック部１０ｄの奥端部に設けられた搬出口１０ｅと、を備えている。
【００７３】
ワーク水切り用ブロワ１０ａ（図３参照）は、ワーク乾燥室１０ｂ内に送り込む前に、ワークＷに付着した洗浄液を吹き落とすエアを吐出させるための装置である。
ワーク乾燥室１０ｂは、ワーク乾燥用搬送装置２８の搬送ベルト２８ｃの上方部位を覆うように設けられたトンネル形状のものからなる。
ワーク乾燥用ブロワ１０ｃ（図３参照）は、ワーク水切り用ブロワ１０ａ（図３参照）で除去したワークＷに付着した洗浄液を、さらに、エアを吹き付けて乾燥させるための装置である。
ワークストック部１０ｄは、ワーク乾燥用搬送装置２８の搬路の下流側に設置されて、バリ取り作業と洗浄・乾燥作業とを終了したワークＷを一時的にストックして、適宜に搬出口１０ｅからワークＷを送り出すように構成されている。
搬出口１０ｅは、バリ取り装置１での処理を終了したワークＷを送り出すための送出口である。
【００７４】
≪作用≫
次に、図１１を主に参照しながら本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法の作用を作業工程順に説明する。図１１は、本発明の実施形態に係るバリ取り方法を示す工程図である。
【００７５】
≪マスキング工程Ｓ１の説明≫
まず、初めに図１１に示すワークＷに搬送治具Ｊを取り付け、マスキング部Ｍ（図２（ａ）参照）をマスキングして保持するマスキング工程Ｓ１を行う。このマスキング工程Ｓ１では、図２（ａ）に示すように、樹脂モールド成形によって形成されたワークＷのバリ除去対象部Ｗｂ以外の部位を搬送治具Ｊで覆って保護する。このマスキング工程Ｓ１では、例えば２つのワークＷを、搬送治具Ｊ内に取り付け、この２つのワークＷを搬送治具Ｊで保持する。
【００７６】
≪ワーク搬送工程Ｓ２、Ｓ４の説明≫
続いて、搬送治具Ｊを搬送するワーク搬送工程Ｓ２を行う。このワーク搬送工程Ｓ２では、図５に示すように、ワークＷを保持した搬送治具Ｊを、パレットガイド（治具ガイド手段）１２で所定の高さの位置に位置決めしてガイドしながら搬送装置（搬送手段）２によってメディア混合液噴射装置３まで搬送し（Ｓ２）、さらに、水が貯留された水槽４上に搬送する（Ｓ４）。このとき、ワークＷは、搬送治具Ｊに内設されて保護されているため、搬送中に異物に衝突することがない。
【００７７】
≪混合液噴射工程Ｓ３の説明≫
次に、メディア混合液噴射装置３では、裏面側噴射装置３１と表面側噴射装置３２とによってワークＷのバリ取りをする混合液噴射工程Ｓ３を行う。この混合液噴射工程Ｓ３では、ワーク搬送工程Ｓ２で搬送装置２によって搬送治具Ｊを搬送口部２１ａから水槽４上に搬送する途中で、図６（ａ）に示すように、メディア混合液噴射装置３の裏面側ノズル３１ａと表面側ノズル３２ａとで混合液を噴射してワークＷの裏面と表面のバリ取り作業を交互に行う。このとき、ワークＷのバリ除去対象部Ｗｂ以外の部分は、搬送治具Ｊによって覆われて保護されているため、混合液が当たっても影響を受けることがない。
また、搬送治具Ｊは、バリ取りを行っている最中に、パレットガイド１２のガイドレール１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄによって表面側および裏面側が支持されているため、横振れすることなく、安定した状態で搬送される。
【００７８】
なお、除去されたバリは、回収処理槽（図示せず）に回収される。また、メディア混合液噴射装置３から噴射されたメディアは、処理液と共にポンプで吸引されてメディア供給ユニット（図示せず）に回収され、再度メディア混合液噴射装置３から噴射されるように循環される。
【００７９】
≪ワーク落下工程Ｓ５の説明≫
さらに、搬送装置２によって搬送治具Ｊが水槽４上に搬送されると、ワークＷを水槽４に落下させるワーク落下工程Ｓ５を行う。このワーク落下工程Ｓ５では、図２（ａ）に示すように、治具開放機構５によって搬送治具Ｊを開放させて、さらに、図９（ａ）に示すように、ワーク落としブラシ５２，５３がワークＷに摺接することによって、搬送治具Ｊ内の２つのワークＷを水槽４上に落下させる。
【００８０】
図１２は、ワークが落下したときの状態を示す図であり、（ａ）従来の一般に知られているシュータを使用した比較例を示す概略平面図、（ｂ）本発明の実施形態に係るバリ取り装置のシュータを示す概略平面図である。
【００８１】
≪仕分け工程Ｓ６の説明≫
続いて、搬送治具Ｊから落下した２つのワークＷを、搬送装置２の軌道２１の所定位置の下方に設置された仕分け機構６によって仕分ける仕分け工程Ｓ６を行う。図１２（ｂ）に示すように、搬送治具Ｊから同時に落下した２つのワークＷは、シュータ７の仕分け部材７１によって左右に分かれ、さらに、傾斜および摩擦係数が相違するそれぞれの傾斜板７２，７３を滑り落ちることにより、傾斜板７３側のワークＷが遅い速度で落下して落下時間がずれる。その結果、２つのワークＷは、互いに重ならないように仕分けられて所望間隔で引き上げコンベア８上に載せられる。すわわち、仕分け機構６は、シュータ７に上部に設置された仕分け部材７１と、傾斜角度が相違する傾斜板７２，７３と、傾斜板７３の表面に設け、摩擦係数が傾斜板７２の表面より高い規制部材７３ａとを備えていることによって、図１２（ａ）に示す比較例のように、ワークＷ'が傾いたり、同時に落下した２つのワークＷ'が重なり合ったりすることを防止できる。
【００８２】
≪ワーク引き上げ工程Ｓ７の説明≫
次に、水槽４内からワークＷを引き上げるワーク引き上げ工程Ｓ７を行う。このワーク引き上げ工程Ｓ７では、図９（ａ）に示すように、ワークＷをコンベア８によって水中から所望間隔で引き上げてワーク洗浄用搬送装置２７に搬送させる。このとき、ワーク引き上げベルト８３は、メッシュベルトからなるので、水切れがよいため、ワークＷをスムーズに搬送することができる。
【００８３】
≪ワーク洗浄工程Ｓ８の説明≫
次に、ワークＷを洗浄するワーク洗浄工程Ｓ８が行われる。このワーク洗浄工程Ｓ８では、図５に示すように、ワーク洗浄用搬送装置２７によってワークＷを搬送させながら洗浄装置９の洗浄ノズル９１，９２によってワークＷに付着した処理液およびメディアを除去する洗浄が行われる。ワーク洗浄用搬送装置２７の搬送終了部位に送られたワークＷは、搬出回転車Ｒによってワーク乾燥用搬送装置２８に向けて早送りされる。
【００８４】
≪ワーク乾燥工程Ｓ９の説明≫
次に、ワークＷを乾燥するワーク乾燥工程Ｓ９が行われる。このワーク乾燥工程Ｓ９では、図５に示すように、ワーク乾燥用搬送装置２８でワークＷを搬送させながらワーク水切り用ブロワ１０ａで洗浄液を除去し、さらに、ワーク乾燥室１０ｂ内を通過させることによってワーク乾燥装置１０でワークＷを乾燥させる。乾燥処理が終了したワークＷは、ワークストック部１０ｄに一時期的にストックされた後適宜に搬出口１０ｅから取り出して別の装置による工程へと移される。
これで、バリ取り装置１によるワークＷの処理が終了する。
【００８５】
≪治具搬送工程Ｓ１０の説明≫
ワーク落下工程Ｓ５が行われた水槽４上まで搬送装置２によって搬送治具Ｊは、その後、搬送装置２によって治具外しベルト装置Ｂがある位置まで搬送される治具搬送工程Ｓ１０が行われる。搬送装置２で搬送される搬送治具Ｊは、水槽４上でワークＷがそれぞれ別々に落下された後、回転駆動体２３によって駆動されながら搬送方向を略１８０度方向転換し、ガイド部２１ｆでその搬送方向を規制されて、治具外しベルト装置Ｂがある位置まで搬送される。
【００８６】
≪治具取り外し工程Ｓ１１の説明≫
次に、搬送治具Ｊを搬送装置２から取り外す治具取り外し工程Ｓ１１が行われる。この治具取り外し工程Ｓ１１では、図５に示すように、治具外しベルト装置Ｂによって搬送治具Ｊが搬送装置２のフック２２から離脱されて、治具ストック装置２９に送られる。
【００８７】
≪治具回収工程Ｓ１２の説明≫
続いて、搬送治具Ｊを治具ストック部２９ｅにストックする治具回収工程Ｓ１２が行われる。この治具回収工程Ｓ１２では、図５に示すように、搬送ベルト２９ｃ上に搬送された搬送治具Ｊを、搬送ベルト２９ｃで治具ストック部２９ｅに搬送させてストックさせる。これで、搬送装置２による搬送治具Ｊの搬送が終了する。
そして、ストックされている搬送治具Ｊは、治具ストック部２９ｅの近隣に配置された搬送口部２１ａからワークＷを取り付けて適宜に搬送装置２によって、再度軌道２１を循環するように搬送される。
【００８８】
以上のように、搬送治具Ｊは、搬送口部２１ａで搬送装置２に取り付けられて搬送されて、治具外しベルト装置Ｂまで搬送されたときに、治具外しベルトＢｃによって軌道２１から取り外され、治具外しベルト装置Ｂ、治具ストック装置２９へと送られて治具ストック部２９ｅにストックされる。
【００８９】
一方、ワークＷは、搬送治具Ｊと共に搬送装置２で搬送しながらメディア混合液噴射装置３でバリ取りを行い、水槽４上に送られたときに治具開放機構５によって搬送治具Ｊからそれぞれ別々に落下され、仕分け機構６に案内されて水中で引き上げコンベア８上に載せられる。その後、ワークＷは、引き上げコンベア８、ワーク洗浄用搬送装置２７、ワーク乾燥用搬送装置２８よって治具ストック部２９ｅに送られてストックされる。
【００９０】
≪変形例≫
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造および変更が可能であり、本発明はこれら改造および変更された発明にも及ぶことは勿論である。
【００９１】
図１３は、本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法に使用されるワークの変形例を示す図であり、（ａ）は２列に配置したモールド成形部を有するワークの側面図および正面図、（ｂ）は搬送治具に１つのワークを取り付けて搬送するときに使用されるワークの側面図およびその正面図である。
【００９２】
前記実施形態のワークＷ（図１（ａ）、（ｂ）参照）は、図１３（ａ）、（ｂ）に示す変形例のようなワークＷ１、Ｗ２でもよく、それらの形状や数量等は限定されない。さらに、ワークＷは、搬送治具Ｊ（図２（ａ）、（ｂ）参照）の取り付けることができるものであれば、特にそれらの形状やそのもの自体等は限定されない。
【００９３】
ワークＷ１は、図１３（ａ）に示すように、例えば、前記実施形態のワーク図１（ａ）、（ｂ）参照）より、長く幅広に形成した半導体パッケージであり、２列にモールド成形部Ｗ１ａを配設している。このワークＷ１は、搬送治具Ｊ（図２（ａ）、（ｂ）参照）に１つだけ取り付けて搬送される。
【００９４】
ワークＷ２は、図１３（ｂ）に示すように、例えば、前記実施形態のワーク図１（ａ）、（ｂ）参照）より、長く幅広に形成した半導体パッケージであり、１列にモールド成形部Ｗ２ａを配設している。この場合も、ワークＷ２は、搬送治具Ｊ（図２（ａ）、（ｂ）参照）に１つだけ取り付けて搬送される。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法に使用されるワークの一例を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法に使用される搬送治具の一例を示す図であり、（ａ）は、マスキングしたワークを挟持する搬送治具の分解斜視図、（ｂ）はワークを取り付けたときの状態を示す図で（ａ）の矢印Ａ方向の矢視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るバリ取り装置の一例を示す概略正面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るバリ取り装置のパレットガイドを通過する搬送治具の状態を示す概略平面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るバリ取り装置の一例を示す概略平面図である。
【図６】ワークの表裏のバリ除去対象部のバリ取りを行う高圧流体噴射ノズルの設置状態を示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は表面用ノズルの正面図、（ｃ）は裏面用ノズルの正面図、（ｄ）は表面側ノズルの要部拡大断面図である。
【図７】図３の要部拡大図である。
【図８】図５の要部拡大図である。
【図９】本発明の実施形態に係るバリ取り装置の水槽の付近の構造を示す図であり（ａ）は要部拡大断面図、（ｂ）は（ａ）の矢視Ｘ−Ｘ線方向断面図である。
【図１０】洗浄装置の設置状態を示す要部拡大断面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るバリ取り方法を示す工程図である。
【図１２】ワークが落下したときの状態を示す図であり、（ａ）従来の一般に知られているシュータを使用した比較例を示す概略平面図、（ｂ）本発明の実施形態に係るバリ取り装置のシュータを示す概略平面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係るバリ取り装置およびバリ取り方法に使用されるワークの変形例を示す図であり、（ａ）は２列に配置したモールド成形部を有するワークの側面図および正面図、（ｂ）は搬送治具に１つのワークを取り付けて搬送するときに使用されるワークの側面図およびその正面図である。
【符号の説明】
【００９６】
１      バリ取り装置
２      搬送装置（搬送手段）
３      メディア混合液噴射装置（メディア混合液噴射手段）
４      水槽
５      治具開放機構（治具開放手段）
６      仕分け機構（仕分け手段）
７      シュータ
８      引き上げコンベア（引き上げ手段）
１２    パレットガイド（治具ガイド手段）
２７    ワーク洗浄用搬送装置（ワーク搬送手段）
２１    軌道
５１    治具開放部材
７１    仕分け部材
７２，７３  傾斜板
７３ａ  規制部材
Ｊ      搬送治具
Ｊ１    基体
Ｊ１ａ  係合部（保持手段）
Ｊ２    可動体
Ｊ２ａ  係止部（保持手段）
Ｊ３    蝶番（保持手段）
Ｍ      マスキング部
Ｓ１    マスキング工程
Ｓ２，Ｓ４  ワーク搬送工程
Ｓ３    混合液噴射工程
Ｓ５    ワーク落下工程
Ｓ６    仕分け工程
Ｗ，Ｗ’，Ｗ１，Ｗ２  ワーク
Ｗｂ    バリ除去対象部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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