(57)【要約】【課題】レシピの内容の変更が行われた場合に、その変更に関する注意喚起を行う。【解決手段】サーバ装置２０は、製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部２４と、製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信部２３と、レシピ受信部２３が受信したレシピをレシピ記憶部２４に蓄積するレシピ蓄積部２５と、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部２７と、変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部２８と、送信先情報記憶部２８から送信先情報を取得する送信先情報取得部２９と、送信先情報取得部２９が取得した送信先情報の示す送信先に、変更情報構成部２７が構成した変更情報を送信する変更情報送信部３０と、を備える。【選択図】図４
2008117974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、
前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信部と、
前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、
前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、
前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備えたサーバ装置。
【請求項２】
前記変更情報構成部は、レシピの内容が変更された旨を含む変更情報を構成する、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記変更情報構成部は、前記レシピ受信部が受信した変更後のレシピを含む変更情報を構成する、請求項１または請求項２記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記変更情報構成部は、前記レシピ記憶部で記憶されている変更前のレシピと前記レシピ受信部が受信した変更後のレシピとの差分を求め、当該差分を含む変更情報を構成する、請求項１から請求項３のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項５】
レシピの内容の変更は、レシピにおける製造装置の設定に関する情報の内容の変更である、請求項１から請求項４のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項６】
レシピの内容の変更は、レシピの管理に関する情報の内容の変更である、請求項１から請求項４のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項７】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、
前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信部と、
前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、
前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、
前記レシピ受信部が受信した最新のレシピと、当該最新のレシピが用いられる製造装置のレシピであり、前記レシピ記憶部で記憶されている、当該最新のレシピに最も近い時期のレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得部と、
前記異同情報取得部が取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備えたサーバ装置。
【請求項８】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、
前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信部と、
前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、
基準となるレシピであるマスタレシピが記憶されるマスタレシピ記憶部と、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、
前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、
前記レシピ受信部が受信した最新のレシピと、前記マスタレシピ記憶部で記憶されているマスタレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得部と、
前記異同情報取得部が取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備えたサーバ装置。
【請求項９】
前記異同情報取得部は、両レシピの製造装置の設定に関する情報を比較し、当該製造装置の設定に関する情報の異同に関する異同情報を取得する、請求項７または請求項８記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記製造装置の設定に関する情報は、レシピに含まれるステップであり、
前記異同情報取得部は、両レシピに含まれるステップごとに比較し、ステップごとの異同を示す異同情報を取得する、請求項９記載のサーバ装置。
【請求項１１】
前記異同情報取得部は、両レシピの管理に関する情報を比較し、当該レシピの管理に関する情報の異同に関する異同情報を取得する、請求項７または請求項８記載のサーバ装置。
【請求項１２】
前記変更情報構成部は、前記異同情報取得部が取得した異同情報を含む変更情報を構成する、請求項７から請求項１１のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１３】
前記変更情報構成部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピを含む変更情報を構成する、請求項７から請求項１１のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１４】
前記変更情報を送信するかどうか判断する判断部をさらに備え、
前記変更情報送信部は、前記判断部による判断結果に応じて前記変更情報を送信する、請求項１から請求項１３のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１５】
前記判断部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピについて、所定の条件が満たされる場合に、変更情報を送信すると判断する、請求項１４記載のサーバ装置。
【請求項１６】
前記所定の条件は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピについて、変更情報を送信することが設定されていることである、請求項１５記載のサーバ装置。
【請求項１７】
前記所定の条件は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピについて、所定の期間以上変更がなされていないことである、請求項１５記載のサーバ装置。
【請求項１８】
前記送信先情報は、レシピごとに設定されており、
前記送信先情報取得部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピに対応する送信先情報を取得する、請求項１から請求項１７のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１９】
前記送信先情報は、製造装置ごとに設定されており、
前記送信先情報取得部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピが用いられる製造装置に対応する送信先情報を取得する、請求項１から請求項１７のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項２０】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項２１】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信した最新のレシピと、当該最新のレシピが用いられる製造装置のレシピであり、前記レシピ記憶部で記憶されている、当該最新のレシピに最も近い時期のレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得ステップと、
前記異同情報取得ステップで取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項２２】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信した最新のレシピと、マスタレシピ記憶部で記憶されている、基準となるレシピであるマスタレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得ステップと、
前記異同情報取得ステップで取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項２３】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、
前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させるためのプログラム。
【請求項２４】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、
前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信した最新のレシピと、当該最新のレシピが用いられる製造装置のレシピであり、前記レシピ記憶部で記憶されている、当該最新のレシピに最も近い時期のレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得ステップと、
前記異同情報取得ステップで取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させるためのプログラム。
【請求項２５】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、
前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、
レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、
前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、
前記レシピ受信ステップで受信した最新のレシピと、マスタレシピ記憶部で記憶されている、基準となるレシピであるマスタレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得ステップと、
前記異同情報取得ステップで取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を送信するサーバ装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、その１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムが知られていた。また、そのような群管理システムにおいて、レシピを用いた半導体プロセス等が行われていた。
【０００３】
なお、関連する技術として、サーバ装置と１以上の半導体製造装置との間で、双方で保持されているレシピの整合をとるためのレシピの管理方法があった（例えば、特許文献１参照）。
また、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた（特許文献２、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００６−７３８４５号公報
【特許文献２】特許３５４３９９６号公報
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
製造装置で保持されているレシピの内容を変更することにより、例えば、製造装置で実行されるプロセス等を変更することができる。しかしながら、そのようなプロセス等の変更が不用意に行われることにより設定ミス等が発生した場合には、製品のロットアウト等が発生してしまうことになる。
【０００５】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、レシピの内容の変更が行われた場合に、その変更に関する注意喚起を行うことができるサーバ装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明によるサーバ装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信部と、前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備えたものである。
【０００７】
このような構成により、レシピの内容の変更が行われた場合に、その変更に関する注意喚起を行うことができ、不用意なレシピの内容の変更に起因するロットアウト等の発生を回避することができうる。
【０００８】
また、本発明によるサーバ装置では、前記変更情報構成部は、レシピの内容が変更された旨を含む変更情報を構成してもよい。
このような構成により、変更情報により、レシピの内容が変更された旨を知ることができる。その結果、例えば、内容が変更されたレシピにアクセスすることによって、レシピの変更の内容を知ることができうる。
【０００９】
また、本発明によるサーバ装置では、前記変更情報構成部は、前記レシピ受信部が受信した変更後のレシピを含む変更情報を構成してもよい。
このような構成により、変更情報により、変更後のレシピの内容について知ることができる。その結果、変更後のレシピにアクセスする必要がなくなり、ユーザの利便性が向上されている。
【００１０】
また、本発明によるサーバ装置では、前記変更情報構成部は、前記レシピ記憶部で記憶されている変更前のレシピと前記レシピ受信部が受信した変更後のレシピとの差分を求め、当該差分を含む変更情報を構成してもよい。
【００１１】
このような構成により、変更情報により、変更前のレシピの内容と、変更後のレシピの内容との差分を知ることができる。その結果、変更後のレシピにアクセスする必要がないばかりか、変更情報からレシピの内容のどこが変更されたのかを容易に知ることができ、ユーザの利便性が向上されている。
【００１２】
また、本発明によるサーバ装置では、レシピの内容の変更が、レシピにおける製造装置の設定に関する情報の内容の変更であってもよい。
また、本発明によるサーバ装置では、レシピの内容の変更が、レシピの管理に関する情報の内容の変更であってもよい。
【００１３】
また、本発明によるサーバ装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信部と、前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピと、当該最新のレシピが用いられる製造装置のレシピであり、前記レシピ記憶部で記憶されている、当該最新のレシピに最も近い時期のレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得部と、前記異同情報取得部が取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備えたものである。
【００１４】
このような構成により、レシピの内容の変更が行われた場合に、その変更に関する注意喚起を行うことができ、不用意なレシピの内容の変更に起因するロットアウト等の発生を回避することができうる。また、異同情報によって、比較対象の２個のレシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信するため、不必要な変更情報の送信を回避することができうる。
【００１５】
また、本発明によるサーバ装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部と、前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信部と、前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積部と、基準となるレシピであるマスタレシピが記憶されるマスタレシピ記憶部と、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成部と、前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部と、前記送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得部と、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピと、前記マスタレシピ記憶部で記憶されているマスタレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得部と、前記異同情報取得部が取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得部が取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成部が構成した変更情報を送信する変更情報送信部と、を備えたものである。
【００１６】
このような構成により、レシピの内容の変更が行われた結果、そのレシピとマスタレシピとが異なるようになった場合に、その変更に関する注意喚起を行うことができ、不用意なレシピの内容の変更に起因するロットアウト等の発生を回避することができうる。また、異同情報によって、比較対象の２個のレシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信するため、不必要な変更情報の送信を回避することができうる。
【００１７】
また、本発明によるサーバ装置では、前記異同情報取得部は、両レシピの製造装置の設定に関する情報を比較し、当該製造装置の設定に関する情報の異同に関する異同情報を取得してもよい。
【００１８】
また、本発明によるサーバ装置では、前記製造装置の設定に関する情報は、レシピに含まれるステップであり、前記異同情報取得部は、両レシピに含まれるステップごとに比較し、ステップごとの異同を示す異同情報を取得してもよい。
【００１９】
また、本発明によるサーバ装置では、前記異同情報取得部は、両レシピの管理に関する情報を比較し、当該レシピの管理に関する情報の異同に関する異同情報を取得してもよい。
【００２０】
また、本発明によるサーバ装置では、前記変更情報構成部は、前記異同情報取得部が取得した異同情報を含む変更情報を構成してもよい。
このような構成により、例えば、異同情報によって比較対象となる２個のレシピに差異があることが示される場合には、変更情報によって、そのことを知ることができ、異同情報によって比較対象となる２個のレシピの差分が示される場合には、変更情報によって、その差分を知ることができる。
【００２１】
また、本発明によるサーバ装置では、前記変更情報構成部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピを含む変更情報を構成してもよい。
このような構成により、変更情報により、変更後のレシピの内容について知ることができる。その結果、変更後のレシピにアクセスする必要がなくなり、ユーザの利便性が向上されている。
【００２２】
また、本発明によるサーバ装置では、前記変更情報を送信するかどうか判断する判断部をさらに備え、前記変更情報送信部は、前記判断部による判断結果に応じて前記変更情報を送信してもよい。
【００２３】
このような構成により、判断部による判断結果に応じて変更情報を送信することができ、不必要な変更情報の送信を行わないようにすることができうる。その結果、必要な変更情報が、不必要な変更情報に埋もれてしまうような事態を回避することができうる。
【００２４】
また、本発明によるサーバ装置では、前記判断部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピについて、所定の条件が満たされる場合に、変更情報を送信すると判断してもよい。
このような構成により、適切な条件を設定することにより、不必要な変更情報の送信を行わないようにすることができる。
【００２５】
また、本発明によるサーバ装置では、前記所定の条件は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピについて、変更情報を送信することが設定されていることであってもよい。
【００２６】
このような構成により、変更情報を送信するレシピと、変更情報を送信しないレシピとを設定することができる。したがって、内容が変更された場合に影響の大きいレシピについては、変更情報を送信するように設定しておくことで、その変更に関する注意喚起を適切に行うことができるようになる。
【００２７】
また、本発明によるサーバ装置では、前記所定の条件は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピについて、所定の期間以上変更がなされていないことであってもよい。
【００２８】
このような構成により、安定して一定の期間以上用いられているレシピが変更された場合に、変更情報を送信することによってその旨の注意を喚起することができる。一方、試行錯誤によって最適なレシピを見つけようとしている場合に、頻繁にレシピが変更されたとしても変更情報を送信しないことによって、必要性の低い変更情報が送信されることを防止することができる。その結果、必要性の高い変更情報が必要性の低い変更情報に埋もれてしまう事態を回避することができる。
【００２９】
また、本発明によるサーバ装置では、前記送信先情報は、レシピごとに設定されており、前記送信先情報取得部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピに対応する送信先情報を取得してもよい。
【００３０】
このような構成により、レシピごとに変更情報の送信先を設定することができる。例えば、レシピごとにレシピの管理者が異なる場合に、その管理者に対応する送信先を、レシピごとに設定することができる。
【００３１】
また、本発明によるサーバ装置では、前記送信先情報は、製造装置ごとに設定されており、前記送信先情報取得部は、前記レシピ受信部が受信した最新のレシピが用いられる製造装置に対応する送信先情報を取得してもよい。
【００３２】
このような構成により、製造装置ごとに変更情報の送信先を設定することができる。例えば、製造装置ごとにレシピの管理者が異なる場合に、その管理者に対応する送信先を、製造装置ごとに設定することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によるサーバ装置等によれば、レシピの内容の変更が行われた場合に、その変更を確認することができ、不用意なレシピの内容の変更に起因するロットアウト等の発生を回避することができうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明による群管理システムについて、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００３５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態による群管理システムは、クライアント装置１０と、サーバ装置２０と、Ｎ個の製造装置４０とを備える。ここで、Ｎは、１以上の整数である。群管理システムにおいて、クライアント装置１０、サーバ装置２０、１以上の製造装置４０は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。
【００３６】
クライアント装置１０は、サーバ装置２０、及び製造装置４０と通信可能な端末装置である。クライアント装置１０のユーザは、例えば、製造装置４０で保持されているレシピの内容を変更することができる。なお、レシピは、厳密にはレシピを示す情報のことであるが、本実施の形態では単にレシピと呼ぶことにする。また、本実施の形態では、群管理システムにおいて、クライアント装置１０が１個だけ存在する場合について説明するが、群管理システムは、２以上のクライアント装置１０を備えてもよい。
【００３７】
サーバ装置２０は、製造装置４０が保持しているレシピが変更された場合に、その変更後のレシピを受信し、そのレシピの受信に応じて変更情報を送信する。この処理の詳細については後述する。また、サーバ装置２０は、１以上の製造装置４０における各種の測定情報を格納可能なものである。また、サーバ装置２０は、クライアント装置１０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置１０に送信してもよい。
【００３８】
製造装置４０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置４０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、プラズマ表示パネル製造装置等である。被処理基板は、例えば、半導体ウエハやＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等である。ＦＰＤ基板は、例えば、ガラス基板等である。なお、製造装置４０が実行する被処理基板に対する所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでもよく、あるいは、含まなくてもよい。製造装置４０が被処理基板に対して行う処理は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等であってもよい。
【００３９】
製造装置４０は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。製造装置４０の例を図２に示す。製造装置４０は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置４０は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボートｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置４０の例における、その他の部位、及び動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置４０を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。また、製造装置４０は、図２で示される以外のものであってもよいことは言うまでもない。また、製造装置４０は、例えば、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する情報であるレシピを保持しており、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行する。
【００４０】
次に、本実施の形態によるクライアント装置１０、サーバ装置２０、製造装置４０の構成について、図３〜図５のブロック図を用いて説明する。なお、図３〜図５のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、クライアント装置１０、サーバ装置２０、製造装置４０は、半導体を有するデバイスの製造に関する処理を実行する構成、例えば、製造装置４０における被処理基板を搬送する構成や、製造装置４０における製造工程での温度や圧力等をサーバ装置２０に送信する構成等を有していてもよい。
【００４１】
図３は、本実施の形態によるクライアント装置１０の構成を示すブロック図である。図３において、本実施の形態によるクライアント装置１０は、入力受付部１１と、変更指示送信部１２と、変更情報受信部１３と、変更情報出力部１４とを備える。
【００４２】
入力受付部１１は、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報を受け付ける。入力受付部１１は、例えば、後述する変更指示送信部１２が送信する変更指示の内容、その変更指示を送信する旨の命令、変更指示の送信先を特定する情報等を受け付ける。なお、入力受付部１１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４３】
変更指示送信部１２は、変更指示を製造装置４０に送信する。この変更指示は、製造装置４０が有するレシピの内容を変更する旨の指示である。レシピの内容を変更するとは、レシピにおいて設定されているパラメータ等を変更することである。変更指示送信部１２は、変更指示を製造装置４０に直接送信してもよく、あるいは、所定のサーバ等を介して送信してもよい。なお、変更指示送信部１２は、通信を行うための通信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、変更指示送信部１２と通信回線との間に図示しない通信デバイスが存在することとなる）。また、変更指示送信部１２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは通信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４４】
変更情報受信部１３は、変更情報を受信する。この変更情報はサーバ装置２０から送信されたものである。変更情報の詳細については後述する。なお、変更情報受信部１３は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、変更情報受信部１３と通信回線との間に図示しない受信デバイスが存在することとなる）。また、変更情報受信部１３は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４５】
変更情報出力部１４は、変更情報受信部１３が受信した変更情報を出力する。ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、赤色回転灯を動作させることでもよい。本実施の形態では、表示デバイスへの表示であるとする。なお、変更情報出力部１４は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、変更情報出力部１４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４６】
図４は、本実施の形態によるサーバ装置２０の構成を示すブロック図である。図４において、本実施の形態によるサーバ装置２０は、変更通知受信部２１と、レシピ要求部２２と、レシピ受信部２３と、レシピ記憶部２４と、レシピ蓄積部２５と、判断部２６と、変更情報構成部２７と、送信先情報記憶部２８と、送信先情報取得部２９と、変更情報送信部３０とを備える。
【００４７】
変更通知受信部２１は、変更通知を受信する。ここで、変更通知とは、製造装置４０の保持しているレシピの内容が変更された旨を通知する情報である。変更通知は、保持しているレシピの内容が変更された製造装置４０から送信されるものとする。変更通知によって、どの製造装置４０が保持しているレシピの内容が変更されたのかについて、また、どのレシピの内容が変更されたのかについて示されることが好適である。例えば、変更通知の送信元のアドレス等によって内容の変更が行われたレシピを保持している製造装置４０が特定されてもよく、あるいは、内容の変更が行われたレシピを保持している製造装置４０を識別する装置識別情報が変更通知に含まれていてもよい。また、例えば、内容の変更されたレシピを識別するレシピ識別情報が変更通知に含まれていてもよい。
【００４８】
なお、変更通知受信部２１は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、変更通知受信部２１と通信回線との間に図示しない受信デバイスが存在することとなる）。また、変更通知受信部２１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００４９】
レシピ要求部２２は、変更通知受信部２１が変更通知を受信した場合に、その変更通知によって通知されたレシピの内容の変更が行われた製造装置４０に、変更後のレシピを送信する旨の要求を送信する。ここで、レシピの内容の変更とは、例えば、レシピにおける製造装置４０の設定に関する情報の内容の変更であってもよく、あるいは、レシピの管理に関する情報の内容の変更であってもよい。レシピにおける製造装置４０の設定に関する情報は、例えば、製造装置４０のプロセスに関する情報であってもよく、製造装置４０のレイアウトに関する情報であってもよく、あるいは、その他の製造装置４０の設定に関する情報であってもよい。レシピの管理に関する情報は、例えば、レシピの内容の変更の可否に関する情報などである。レシピは、レシピにおける製造装置４０の設定に関する情報と、レシピの管理に関する情報との両者を含んでもよく、あるいは、レシピは、レシピにおける製造装置４０の設定に関する情報を含み、レシピの管理に関する情報を含まなくてもよい。レシピにおける製造装置４０の設定に関する情報と、レシピの管理に関する情報とは、１個のファイルで構成されていてもよく、あるいは、別々のファイルであってもよい。レシピ要求部２２は、例えば、変更通知受信部２１が受信した変更通知の送信元のアドレスに、レシピを送信する旨の要求を送信する。
【００５０】
なお、レシピ要求部２２は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、レシピ要求部２２と通信回線との間に図示しない送信デバイスが存在することとなる）。また、レシピ要求部２２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００５１】
レシピ受信部２３は、レシピ要求部２２が送信した要求に応じて製造装置４０から送信された変更後のレシピを受信する。すなわち、レシピ受信部２３は、製造装置４０のレシピの内容が変更された場合に、その変更後のレシピを受信することになる。なお、レシピ受信部２３は、レシピ以外の情報を受信してもよい。例えば、レシピ受信部２３は、レシピの内容の変更が行われた製造装置４０を識別する装置識別情報をレシピと共に受信してもよく、レシピの内容の変更を行ったユーザの氏名やユーザＩＤ等をレシピと共に受信してもよい。また、レシピ受信部２３は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、レシピ受信部２３と通信回線との間に図示しない受信デバイスが存在することとなる）。また、レシピ受信部２３は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００５２】
レシピ記憶部２４では、１以上の製造装置４０で用いられているレシピが少なくとも記憶される。レシピ記憶部２４では、製造装置４０において過去に用いられたレシピが記憶されていてもよく、あるいは、記憶されていなくてもよい。本実施の形態では、前者の場合について説明する。レシピ記憶部２４では、記憶されているレシピがどの製造装置４０に対応するものであるのかがわかるように、例えば、レシピと、製造装置４０を識別する情報である装置識別情報とが対応付けられて記憶されていてもよい。レシピ記憶部２４は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。レシピ記憶部２４での記憶は、レシピのＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。
【００５３】
レシピ蓄積部２５は、レシピ受信部２３が受信したレシピをレシピ記憶部２４に蓄積する。
判断部２６は、変更情報を送信するかどうか判断する。判断部２６は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピについて、所定の条件が満たされる場合に、変更情報を送信すると判断してもよい。その所定の条件は、例えば、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピについて、変更情報を送信することが設定されていることであってもよく、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピについて、所定の期間以上変更がなされていないことであってもよい。
【００５４】
変更情報構成部２７は、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する。変更情報構成部２７は、例えば、レシピの内容が変更された旨を含む変更情報を構成してもよく、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピ、すなわち変更後のレシピを含む変更情報を構成してもよく、レシピ記憶部２４で記憶されている変更前のレシピとレシピ受信部２３が受信した変更後のレシピとの差分を求め、その差分を含む変更情報を構成してもよい。変更情報には、内容の変更されたレシピを識別する情報が含まれていることが好適である。また、変更情報には、内容の変更されたレシピを保持している製造装置４０を識別する情報が含まれていることがさらに好適である。また、変更情報に、レシピの内容を変更したユーザを特定することができる情報、例えば、ユーザの氏名やユーザＩＤ等が含まれていてもよい。また、変更情報に、レシピの内容の変更が行われた日時を示す情報が含まれていてもよい。
【００５５】
送信先情報記憶部２８では、変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される。この送信先情報は、レシピごとに設定されていてもよく、レシピが用いられる製造装置４０ごとに設定されていてもよく、その両者が組み合わせられてもよく、あるいは、すべてのレシピ、製造装置４０について同じに設定されていてもよい。また、送信先情報が示す送信先は、単数であってもよく、複数であってもよい。また、送信先情報が示す送信先は、例えば、ＩＰアドレス、メールアドレス、電話番号等の送信先情報の送信先のアドレス等を示す情報であってもよく、あるいは、装置識別情報等の送信先の装置等を特定する情報であってもよい。後者の場合には、例えば、装置識別情報等とアドレスとを対応付ける情報を用いて、装置識別情報等に対応するアドレスを取得することができるものとする。送信先情報記憶部２８での記憶は、送信先情報のＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。前者の場合には、送信先情報記憶部２８は、例えば、サーバ装置２０が受信したパケットの送信元のアドレスが一時的に記憶されているメモリ等であってもよい。
【００５６】
なお、送信先情報記憶部２８に送信先情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して送信先情報が送信先情報記憶部２８で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された送信先情報が送信先情報記憶部２８で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された送信先情報が送信先情報記憶部２８で記憶されるようになってもよい。
【００５７】
送信先情報取得部２９は、送信先情報記憶部２８から送信先情報を取得する。なお、例えば、送信先情報がレシピごとに設定されている場合には、送信先情報取得部２９は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピに対応する送信先情報を取得する。また、例えば、送信先情報が製造装置４０ごとに設定されている場合には、送信先情報取得部２９は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピが用いられる製造装置４０に対応する送信先情報を取得する。
【００５８】
変更情報送信部３０は、送信先情報取得部２９が取得した送信先情報の示す送信先に、変更情報構成部２７が構成した変更情報を送信する。変更情報送信部３０は、判断部２６による判断結果に応じて変更情報を送信する。すなわち、判断部２６によって変更情報を送信すると判断された場合には変更情報を送信し、判断部２６によって変更情報を送信しないと判断された場合には、変更情報を送信しなくてもよい。なお、判断部２６による判断結果に応じた変更情報の送信は、結果としてこのようになればよい。したがって、例えば、変更情報送信部３０は、変更情報構成部２７が変更情報を構成した場合には、変更情報を送信するものであり、判断部２６によって変更情報を送信すると判断された場合には、変更情報構成部２７が変更情報を構成し、判断部２６によって変更情報を送信しないと判断された場合には、変更情報構成部２７が変更情報を構成しなくてもよい。また、例えば、変更情報送信部３０は、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得した場合には、変更情報を送信するものであり、判断部２６によって変更情報を送信すると判断された場合には、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得し、判断部２６によって変更情報を送信しないと判断された場合には、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得しなくてもよい。
【００５９】
変更情報送信部３０による変更情報の送信は、例えば、電子メールによる送信であってもよく、ＦＴＰによる通信であってもよく、その他のＩＰ通信による送信であってもよく、自動ＦＡＸ送信や、自動音声による電話等であってもよい。また、変更情報送信部３０は、変更情報を送信先に直接送信してもよく、あるいは、所定のサーバ等を介して送信してもよい。
【００６０】
なお、変更情報送信部３０は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、変更情報送信部３０と通信回線との間に図示しない送信デバイスが存在することとなる）。また、変更情報送信部３０は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６１】
また、レシピ記憶部２４と、送信先情報記憶部２８とは、同一の記録媒体によって実現されてもよく、あるいは、別々の記録媒体によって実現されてもよい。前者の場合には、レシピを記憶している領域がレシピ記憶部２４となり、送信先情報を記憶している領域が送信先情報記憶部２８となる。
【００６２】
図５は、本実施の形態による製造装置４０の構成を示すブロック図である。図５において、本実施の形態による製造装置４０は、レシピ記憶部４１と、変更指示受付部４２と、レシピ変更部４３と、変更通知送信部４４と、レシピ要求受信部４５と、レシピ送信部４６と、変更情報受信部４７と、変更情報出力部４８とを備える。
【００６３】
レシピ記憶部４１では、製造装置４０で用いられるレシピが記憶される。レシピ記憶部４１は、製造装置４０で用いられていた過去のレシピを記憶していてもよく、あるいは、記憶していなくてもよい。レシピ記憶部４１は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。レシピ記憶部４１での記憶は、レシピのＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。
【００６４】
変更指示受付部４２は、変更指示を受け付ける。この変更指示は、レシピ記憶部４１で記憶されているレシピの内容を変更する旨の指示である。ここで、この受け付けは、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された変更指示の受け付けでもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された変更指示の受信でもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された変更指示の受け付けでもよい。送信された変更指示を受信する場合には、その変更指示は、例えば、クライアント装置１０から送信されたものであってもよく、他の装置から送信されたものであってもよい。本実施の形態では、変更指示は、クライアント装置１０から送信されるものとする。なお、変更指示受付部４２は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、変更指示受付部４２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６５】
レシピ変更部４３は、変更指示受付部４２が受け付けた変更指示に応じて、レシピ記憶部４１で記憶されているレシピの内容を変更する。
変更通知送信部４４は、レシピ変更部４３がレシピ記憶部４１で記憶されているレシピの内容を変更した場合に、レシピの内容が変更された旨を通知する情報である変更通知をサーバ装置２０に送信する。この変更通知には、例えば、変更通知を送信する製造装置４０を識別する装置識別情報が含まれていてもよく、内容が変更されたレシピを識別するレシピ識別情報が含まれていてもよい。
【００６６】
なお、変更通知送信部４４は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、変更通知送信部４４と通信回線との間に図示しない送信デバイスが存在することとなる）。また、変更通知送信部４４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６７】
レシピ要求受信部４５は、サーバ装置２０から送信された変更後のレシピを送信する旨の要求を受信する。なお、レシピ要求受信部４５は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、レシピ要求受信部４５と通信回線との間に図示しない受信デバイスが存在することとなる）。また、レシピ要求受信部４５は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６８】
レシピ送信部４６は、レシピ要求受信部４５がレシピを送信する旨の要求を受信した場合に、レシピ記憶部４１で記憶されている変更後のレシピを読み出し、そのレシピをサーバ装置２０に送信する。なお、レシピ送信部４６は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、レシピ送信部４６と通信回線との間に図示しない送信デバイスが存在することとなる）。また、レシピ送信部４６は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６９】
変更情報受信部４７は、サーバ装置２０から送信された変更情報を受信する。変更情報については、前述の通りである。なお、変更情報受信部４７は、受信を行うための受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい（この場合には、変更情報受信部４７と通信回線との間に図示しない受信デバイスが存在することとなる）。また、変更情報受信部４７は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７０】
変更情報出力部４８は、変更情報受信部４７が受信した変更情報を出力する。ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、赤色回転灯を動作させることでもよい。本実施の形態では、表示デバイスへの表示と、赤色回転灯の動作とであるとする。なお、変更情報出力部４８は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、変更情報出力部４８は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７１】
次に、本実施の形態によるクライアント装置１０の動作について、図６のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ１０１）入力受付部１１は、変更指示の入力を受け付けたかどうか判断する。そして、その入力を受け付けた場合には、ステップＳ１０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０３に進む。
【００７２】
（ステップＳ１０２）変更指示送信部１２は、変更指示を製造装置４０に送信する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
（ステップＳ１０３）変更情報受信部１３は、変更情報を受信したかどうか判断する。そして、変更情報を受信した場合には、ステップＳ１０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。
【００７３】
（ステップＳ１０４）変更情報出力部１４は、変更情報受信部１３が受信した変更情報を出力する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
なお、図６のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００７４】
次に、本実施の形態によるサーバ装置２０の動作について、図７のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ２０１）変更通知受信部２１は、変更通知を受信したかどうか判断する。そして、変更通知を受信した場合には、ステップＳ２０２に進み、そうでない場合には、変更通知を受信するまで、ステップＳ２０１の処理を繰り返す。
【００７５】
（ステップＳ２０２）レシピ要求部２２は、変更通知を送信した製造装置４０に、変更後のレシピを送信する旨の要求を送信する。例えば、レシピ要求部２２は、その要求を、変更通知の送信元に送信することにより、変更通知を送信した製造装置４０に送信することができる。
【００７６】
（ステップＳ２０３）レシピ受信部２３は、製造装置４０から送信された変更後のレシピを受信したかどうか判断する。そして、受信した場合には、ステップＳ２０４に進み、そうでない場合には、受信するまでステップＳ２０３の処理を繰り返す。なお、変更後のレシピを送信する旨の要求が送信されてから一定の時間が経過しても、レシピを受信しない場合には、タイムアウトであるとして、ステップＳ２０１に戻ってもよい。
【００７７】
（ステップＳ２０４）レシピ蓄積部２５は、レシピ受信部２３が受信したレシピをレシピ記憶部２４に蓄積する。
（ステップＳ２０５）判断部２６は、ステップＳ２０３においてレシピ受信部２３が受信した変更後のレシピについて、変更情報を送信するかどうか判断する。そして、変更情報を送信すると判断した場合には、ステップＳ２０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０１に戻る。
【００７８】
（ステップＳ２０６）変更情報構成部２７は、ステップＳ２０３においてレシピ受信部２３が受信した変更後のレシピについて、変更情報を構成する。
（ステップＳ２０７）送信先情報取得部２９は、送信先情報記憶部２８から送信先情報を取得する。
【００７９】
（ステップＳ２０８）変更情報送信部３０は、変更情報構成部２７が構成した変更情報を、送信先情報取得部２９が取得した送信先情報の示す送信先に送信する。そして、ステップＳ２０１に戻る。なお、送信先情報取得部２９が２以上の送信先情報を取得した場合には、変更情報送信部３０は、各送信先情報の示すそれぞれの送信先に変更情報を送信してもよい。
なお、図７のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００８０】
次に、本実施の形態による製造装置４０の動作について、図８のフローチャートを用いて説明する。
（ステップＳ３０１）変更指示受付部４２は、変更指示を受け付けたかどうか判断する。そして、変更指示を受け付けた場合には、ステップＳ３０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０４に進む。
【００８１】
（ステップＳ３０２）レシピ変更部４３は、変更指示受付部４２が受け付けた変更指示に応じて、レシピ記憶部４１で記憶されているレシピの内容を変更する。
（ステップＳ３０３）変更通知送信部４４は、レシピの内容が変更された旨を通知する情報である変更通知をサーバ装置２０に送信する。そして、ステップＳ３０１に戻る。
【００８２】
（ステップＳ３０４）レシピ要求受信部４５は、変更後のレシピを送信する旨の要求を受信したかどうか判断する。そして、受信した場合には、ステップＳ３０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０６に進む。
【００８３】
（ステップＳ３０５）レシピ送信部４６は、レシピ記憶部４１から変更後のレシピを読み出し、そのレシピをサーバ装置２０に送信する。そして、ステップＳ３０１に戻る。
【００８４】
（ステップＳ３０６）変更情報受信部４７は、変更情報を受信したかどうか判断する。そして、変更情報を受信した場合には、ステップＳ３０７に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０１に戻る。
（ステップＳ３０７）変更情報出力部４８は、変更情報受信部４７が受信した変更情報を出力する。そして、ステップＳ３０１に戻る。
【００８５】
なお、図８のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。また、変更指示に応じてレシピの内容を変更する際に、その変更指示を入力したユーザや、変更指示を送信したユーザの権限に応じて、その変更指示に応じたレシピの内容の変更を行うことができるかどうかについて判断し、レシピの内容の変更を行うことができると判断された場合に、レシピの内容の変更を行うようにしてもよい。
【００８６】
次に、本実施の形態による群管理システムの動作について、具体例を用いて説明する。
この具体例では、各製造装置４０が、装置識別情報によって識別されているものとする。そして、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０のレシピ記憶部４１において、図９で示されるレシピが最新のレシピとして記憶されているものとする。図９で示されるレシピは、レシピ識別情報「Ｒ００１」で識別されるものであり、レシピのバージョンを示すレシピバージョンが「１１１」である。このレシピバージョンは、新しいものほど、値が大きくなるものとする。なお、レシピ識別情報「Ｒ００１」で識別されるレシピのことをレシピＲ００１と呼ぶこともある。他のレシピについても同様であるとする。
【００８７】
また、図９で示されるレシピは、ヘッダとボディとを有する。ヘッダには、レシピの管理に関する情報が含まれている。具体的には、ヘッダは、レシピの書き換えが可能であるかどうかを示す情報と、レシピを書き換えることができるレベルに関する情報とを含む。このヘッダによって、書き換え可能レベルが３以上のユーザが、変更指示を入力したり、変更指示を送信したりした場合に、レシピ変更部４３は、その変更指示に応じたレシピの内容の変更を行うことが示されている。
【００８８】
ボディには、製造装置４０の設定に関する情報が含まれる。この情報は、例えば、製造装置４０のプロセスに関する情報であってもよく、製造装置４０のレイアウトに関する情報であってもよく、あるいは、その他の製造装置４０の設定に関する情報であってもよい。この具体例では、図９で示されるように、レシピのボディにプロセスに関する情報が含まれているものとする。
【００８９】
まず、クライアント装置１０のユーザであって、３以上の書き換え可能レベルが設定されているユーザが、クライアント装置１０に接続されている入力デバイスを操作し、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０のレシピＲ００１のステップ２の処理時間を「Ｔ２０」に変更し、ステップ３のプロセスガスを「Ｃ」に変更する旨の変更指示を入力したとする。すると、その変更指示は入力受付部１１で受け付けられ（ステップＳ１０１）、変更指示送信部１２に渡される。変更指示送信部１２は、入力受付部１１から受け取った変更指示と、クライアント装置１０において保持されている、その操作を行っているユーザの書き換え可能レベルとを装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０に送信する（ステップＳ１０２）。
【００９０】
その変更指示等は、通信回線を介して送信され、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０の変更指示受付部４２で受信される（ステップＳ３０１）。すると、レシピ変更部４３は、レシピ記憶部４１を参照し、変更指示で変更の対象となっているレシピＲ００１が書き換え可能であり、書き換え可能レベルが３であることを取得する。そして、変更指示受付部４２が、３以上のレベルの書き換え可能レベルを受信しているため、レシピ変更部４３は、変更指示に応じてレシピＲ００１を書き換え可能であると判断し、レシピＲ００１を変更指示に応じて書き換え、レシピバージョンを１だけインクリメントする（ステップＳ３０２）。その結果、レシピ記憶部４１で記憶されているレシピは、図１０で示されるようになる。
【００９１】
その後、変更通知送信部４４は、レシピ変更部４３が内容を変更したレシピのレシピ識別情報「Ｒ００１」と、製造装置４０の装置識別情報「Ｄ００１」と、レシピが変更された旨とを含む変更通知を構成し、その変更通知をサーバ装置２０に送信する（ステップＳ３０３）。変更通知送信部４４は、変更通知を送信する時点において、サーバ装置２０のアドレスを知っているものとする。
【００９２】
その変更通知は、通信回線を介して送信され、サーバ装置２０の変更通知受信部２１で受信される（ステップＳ２０１）。すると、レシピ要求部２２は、変更後のレシピを送信する旨の要求を製造装置４０に送信する（ステップＳ２０２）。その要求の送信先は、変更通知受信部２１が受信した変更通知の送信元のアドレスである。
【００９３】
その要求は、通信回線を介して送信され、装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０のレシピ要求受信部４５で受信される（ステップＳ３０４）。すると、レシピ送信部４６は、レシピ記憶部４１で記憶されている変更後のレシピ、すなわち、図１０で示されるレシピを読み出して、サーバ装置２０に送信する（ステップＳ３０５）。なお、このレシピと共に、製造装置４０の装置識別情報「Ｄ００１」も送信されるものとする。
【００９４】
そのレシピ等は、通信回線を介して送信され、サーバ装置２０のレシピ受信部２３で受信される（ステップＳ２０３）。そして、レシピ蓄積部２５は、そのレシピを装置識別情報「Ｄ００１」に対応付けてレシピ記憶部４１に蓄積する（ステップＳ２０４）。図１１は、そのようにして蓄積された装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０のレシピを示す図である。
【００９５】
また、レシピ記憶部２４では、レシピのみでなく、レシピ管理情報も記憶されているものとする。レシピ管理情報は、製造装置４０と、レシピと、レシピバージョンと、レシピが変更された日時とを対応付ける情報であるとする。図１２は、レシピ記憶部２４で記憶されているレシピ管理情報の一例を示す図である。図１２の１番目のレコードで示されるように、レシピ蓄積部２５は、レシピ受信部２３が受信した装置識別情報「Ｄ００１」と、レシピ受信部２３が受信したレシピのレシピ識別情報「Ｒ００１」と、レシピバージョン「１１２」と、レシピの内容の変更が行われた日時「２００６年９月１５日午前１１時０分」とを蓄積する。なお、レシピの内容の変更が行われた日時は、レシピ受信部２３が変更後のレシピを受信した日時であってもよく、製造装置４０においてレシピが変更された日時が製造装置４０から送信された場合には、その日時であってもよく、あるいは、レシピの内容の変更に関するその他の日時であってもよい。
【００９６】
判断部２６は、所定のレシピの内容の変更がなされた場合に、変更情報を送信すると判断するものとする。図１３は、判断部２６が図示しない記録媒体において保持している変更情報を送信するレシピ識別情報であるとする。この具体例では、レシピＲ００１が変更されたため、判断部２６は、図１３で示される情報を参照し、変更情報を送信すると判断する（ステップＳ２０５）。そして、判断部２６は、そのレシピ識別情報「Ｒ００１」を送信先情報取得部２９に渡し、レシピ記憶部２４からレシピＲ００１の最新のバージョンを読み出して、そのレシピＲ００１と、レシピの内容の変更の行われた製造装置４０の装置識別情報「Ｄ００１」と、そのレシピのレシピ識別情報「Ｒ００１」とを変更情報構成部２７に渡す。
【００９７】
変更情報構成部２７は、装置識別情報等を用いて図１４で示されるテキスト情報を作成する。このテキスト情報は、変更情報構成部２７が図示しない記録媒体において保持しているテンプレート等を用いて作成されてもよい。また、変更情報構成部２７は、そのテキスト情報と、レシピＲ００１とを含む変更情報を構成し（ステップＳ２０６）、その構成した変更情報を変更情報送信部３０に渡す。
【００９８】
一方、送信先情報記憶部２８では、図１５で示されるように、レシピ識別情報と、送信先情報とが対応付けられて保持されている。そして、送信先情報取得部２９は、判断部２６から受け取ったレシピ識別情報「Ｒ００１」に対応付けられている送信先情報「ｕｓｅｒ００１＠ｔｅｌ...ｃｏｍ」、「Ｃ００１」、「レシピのある製造装置」を取得する（ステップＳ２０７）。なお、送信先情報「レシピのある製造装置」を取得したため、送信先情報取得部２９は、判断部２６に問い合わせて、レシピの内容が変更された製造装置４０の装置識別情報「Ｄ００１」を送信先情報として取得する。そして、送信先情報取得部２９は、送信先情報「ｕｓｅｒ００１＠ｔｅｌ...ｃｏｍ」、「Ｃ００１」、「Ｄ００１」を変更情報送信部３０に渡す。
【００９９】
変更情報送信部３０は、送信先情報「ｕｓｅｒ００１＠ｔｅｌ...ｃｏｍ」、「Ｃ００１」、「Ｄ００１」を受け取ると、その１個目の送信先情報について、図１６で示される電子メールを構成して送信する。この電子メールにおいて、送信先のアドレスは、送信先情報の示す電子メールアドレスである。また、送信元のアドレスは、あらかじめ変更情報送信部３０において設定されているものとする。また、電子メールの件名は、変更情報構成部２７が構成した変更情報に含まれるテキスト情報の１行目の文を使用するように、あらかじめ設定されているものとする。
【０１００】
また、変更情報送信部３０は、図示しない記録媒体において図１７で示される装置識別情報とアドレスとを対応付ける情報を保持しており、その情報を用いて、送信先情報「Ｃ００１」、「Ｄ００１」に対応するアドレスを取得する。そして、その各アドレスを送信先として、図１４のテキスト情報と、レシピＲ００１とを含む変更情報を送信する。このようにして、変更情報送信部３０による変更情報の送信が行われる（ステップＳ２０８）。
【０１０１】
なお、電子メールを受信する処理は、すでに知られているため、図１６で示される電子メールを、電子メールアドレス「ｕｓｅｒ００１＠ｔｅｌ...ｃｏｍ」に対応するユーザが情報端末等により受信する処理の説明を省略する。なお、そのユーザは、図１６で示される電子メールを見ることにより、レシピの内容が変更されたことを知ることができる。そして、そのレシピの内容の変更が適切でなければ、そのユーザは、例えば、クライアント装置１０等から変更指示を製造装置４０に送信することにより、変更内容を元に戻すこともできうる。
【０１０２】
図１の群管理システムにおけるクライアント装置１０の装置識別情報が「Ｃ００１」であったとする。すると、サーバ装置２０から送信された変更情報は、クライアント装置１０の変更情報受信部１３で受信される（ステップＳ１０３）。そして、そのクライアント装置１０に接続されているディスプレイに、図１８で示されるレシピの内容の変更を通知する旨の情報が表示される（ステップＳ１０４）。この表示において、ユーザが、マウスを操作することにより、レシピＲ００１のアイコンをクリックすると、レシピＲ００１のレシピバージョン１１２の内容がディスプレイに表示されるものとする。この表示をクライアント装置１０のユーザが見ることにより、レシピの内容の変更に関するユーザへの注意喚起が行われることになる。もしも、そのレシピの内容の変更が適切でなければ、ユーザは、クライアント装置１０から再度、変更指示を製造装置４０に送信することにより、変更内容を元に戻すこともできうる。
【０１０３】
サーバ装置２０から装置識別情報「Ｄ００１」で識別される製造装置４０に送信された変更情報は、製造装置４０の変更情報受信部４７で受信される（ステップＳ３０６）。そして、ディスプレイに図１８と同様の表示がなされると共に、赤色回転灯が作動することにより、レシピの内容の変更に関する製造装置４０のユーザへの注意喚起が行われることになる（ステップＳ３０７）。もしも、そのレシピの内容の変更が適切でなければ、ユーザは、製造装置４０に接続されている入力デバイス等を操作することにより、変更内容を元に戻すこともできうる。
【０１０４】
なお、この具体例では、送信先情報記憶部２８においてレシピ識別情報ごとに送信先情報が設定されている場合について説明したが、送信先情報記憶部２８で記憶されている送信先情報はこれに限定されるものではない。送信先情報記憶部２８において、例えば、図１９で示されるように、製造装置４０の装置識別情報ごとに送信先情報が設定されていてもよく、図２０で示されるように、レシピ識別情報及び装置識別情報ごとに、送信先情報が設定されていてもよく、あるいは、レシピ識別情報や、装置識別情報に対応付けられることなく送信先情報が設定されていてもよい。なお、送信先情報が装置識別情報ごとに設定されている場合には、例えば、変更後のレシピと一緒に送信された、レシピの内容の変更された製造装置４０を識別する装置識別情報を用いて、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得してもよい。
【０１０５】
また、この具体例では、送信先情報が電子メールアドレスや、装置識別情報である場合について説明したが、送信先情報は、ＩＰアドレスや、電話番号、ＩＥＥＥ１３９４のアドレス等であってもよい。また、送信先情報は、「すべての装置」であってもよい。その場合には、変更情報送信部３０は、ブロードキャストにより、通信回線に接続されているすべての装置に変更情報を送信してもよい。
【０１０６】
また、この具体例では、変更情報に変更後のレシピが含まれる場合について説明したが、変更情報には、変更後のレシピと変更前のレシピとの差分が含まれてもよく、あるいは、レシピが変更された旨のみが含まれてもよい。レシピの差分を含む変更情報が電子メールで送信される場合には、例えば、図２１で示される電子メールが送信されてもよい。
【０１０７】
また、この具体例では、図１３で示されるように、変更情報を送信するレシピがあらかじめ設定されており、その設定に応じて判断部２６が変更情報を送信するかどうかの判断を行う場合について説明したが、判断部２６は、これ以外の判断を行ってもよい。例えば、レシピの内容の変更前に所定の期間（例えば、３か月など）以上変更がなされていない場合には、判断部２６が変更情報を送信すると判断し、それ以外の場合には、判断部２６は、変更情報を送信しないと判断してもよい。例えば、所定の期間が３か月である設定において、レシピＲ００１が変更された場合には、判断部２６は、例えば、図１２で示されるレシピ管理情報を参照し、レシピＲ００１の変更間隔が３か月以上であるため、変更情報を送信すると判断してもよい。なお、レシピ管理情報において、例えば、レシピが変更なしに使用されている期間を示す連続使用期間が保持されている場合には、判断部２６は、その連続使用期間が所定の期間以上であるかどうかの判断することによって、レシピの内容の変更前に所定の期間以上変更がなされていないかどうかを判断してもよい。このようにすることで、安定して長期間用いられているレシピが変更された場合に、変更情報を送信することによってその旨の注意を喚起することができる。一方、試行錯誤によって最適なレシピを見つけようとしている場合に、頻繁にレシピが変更されたとしても変更情報を送信しないことによって、必要性の低い変更情報が送信されることを防止することができると共に、必要性の高い変更情報が必要性の低い変更情報に埋もれてしまう事態を回避することができる。なお、この場合には、変更情報に、レシピが変更なしに連続して使用されていた期間を示す情報を含ませるようにしてもよい。そのようにすることで、変更情報を見たユーザは、どれぐらいの期間、安定してレシピが用いられているかをすぐに知ることができ、レシピの内容の変更が妥当であるかどうかの判断をより容易にすることができうる。
【０１０８】
また、判断部２６は、例えば、所定のフォルダに格納されているレシピの内容の変更が行われた場合には、変更情報を送信すると判断し、それ以外のレシピの内容の変更が行われた場合には、変更情報を送信しないと判断してもよい。また、判断部２６は、例えば、所定の製造装置４０においてレシピの内容の変更が行われた場合には、変更情報を送信すると判断し、それ以外の製造装置４０においてレシピの内容の変更が行われた場合には、変更情報を送信しないと判断してもよい。
【０１０９】
所定の条件が満たされるかどうかに応じて、変更情報を送信するかどうかを判断部２６が判断する場合に、その所定の条件は、判断部２６がアクセス可能な記録媒体において保持されていてもよい。その記録媒体は、例えば、判断部２６が有してもよい。
【０１１０】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、製造装置４０が保持しているレシピの内容が変更された場合に、その変更に関する変更情報を送信することができる。そして、その変更情報により、ユーザは、レシピの内容が変更されたことを知ることができ、その変更の妥当性を判断することができる。その判断の結果、その変更が妥当でない場合には、レシピの内容を元に戻したり、あるいは、別の内容に変更したりすることができうる。このようにして、不用意なレシピの内容の変更を防止することができ、不用意なレシピの内容の変更に起因するロットアウト等の発生を回避することができうる。
【０１１１】
また、判断部２６の判断結果に応じて変更情報を送信することにより、変更情報を送信する必要性のない場合、あるいは必要性の低い場合に変更情報を送信する事態を回避することができる。
【０１１２】
また、変更情報に変更後のレシピやレシピの差分が含まれている場合には、ユーザは、その変更情報によってレシピの変更の内容を知ることができ、サーバ装置２０や、製造装置４０にアクセスすることによってレシピの変更の内容を取得する作業を行わなくてもよくなり、ユーザの利便性が向上されている。
【０１１３】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置において、レシピ受信部が受信した最新のレシピと、その直前のレシピとの異同に関する情報である異同情報を取得し、その異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信するものである。
【０１１４】
図２２は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図２２において、本実施の形態による群管理システムは、クライアント装置１０と、サーバ装置５０と、Ｎ個の製造装置４０とを備える。ここで、Ｎは、１以上の整数である。サーバ装置５０以外の構成及び動作は、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。
【０１１５】
図２３は、本実施の形態によるサーバ装置５０の構成を示すブロック図である。図２３において、本実施の形態によるサーバ装置５０は、変更通知受信部２１と、レシピ要求部２２と、レシピ受信部２３と、レシピ記憶部２４と、レシピ蓄積部２５と、判断部２６と、変更情報構成部２７と、送信先情報記憶部２８と、送信先情報取得部２９と、変更情報送信部３０と、異同情報取得部５１とを備える。なお、異同情報取得部５１以外の構成及び動作は、変更情報送信部３０が、異同情報取得部５１が取得した異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信し、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合に変更情報を送信しない以外は、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。
【０１１６】
ここで、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合には、結果として、変更情報送信部３０が変更情報を送信しなければよい。例えば、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合に、変更情報構成部２７が変更情報を構成しないことや、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得しないことによって、変更情報送信部３０が変更情報を送信しなくてもよく、または、変更情報構成部２７が変更情報を構成し、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得しているにもかかわらず、その変更情報を変更情報送信部３０が送信しなくてもよい。本実施の形態では、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合には、判断部２６による判断を行わないことによって、変更情報の構成や、送信先情報の取得が行われず、変更情報が送信されない場合について説明する。また、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のあることが示される場合であっても、他の理由によって変更情報が送信されない場合もありうる。例えば、実施の形態１で説明した判断部２６による判断により、変更情報を送信しないと判断された場合には、変更情報は送信されないことになる。
【０１１７】
また、本実施の形態では、レシピ受信部２３が受信するレシピは、レシピの内容が変更された製造装置４０のレシピであってもよく、レシピの内容が変更されていない製造装置４０のレシピであってもよい。
【０１１８】
異同情報取得部５１は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピと、その最新のレシピが用いられる製造装置４０のレシピであり、レシピ記憶部２４で記憶されているレシピを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する。ここで、比較の対象となるレシピ記憶部２４で記憶されているレシピは、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピに最も近い時期のレシピである。したがって、異同情報取得部５１は、最新のレシピと、その最新のレシピの直前のレシピとを比較することになる。また、異同情報は、例えば、両レシピの異同を示す情報を含んでもよく、両レシピに差異が存在する場合に、その差分を示す情報を含んでもよい。
【０１１９】
また、異同情報取得部５１は、両レシピの製造装置４０の設定に関する情報を比較し、その製造装置４０の設定に関する情報の異同に関する異同情報を取得してもよい。製造装置４０の設定に関する情報とは、例えば、実施の形態１で説明したレシピのボディであってもよい。レシピのボディには、一般的に、ステップが含まれているため、製造装置４０の設定に関する情報は、レシピに含まれるステップであり、異同情報取得部５１は、両レシピに含まれるステップごとに比較し、ステップごとの異同を示す異同情報を取得してもよい。
【０１２０】
また、異同情報取得部５１は、両レシピの管理に関する情報を比較し、そのレシピの管理に関する情報の異同に関する異同情報を取得してもよい。管理に関する情報とは、例えば、実施の形態１で説明したレシピのヘッダであってもよい。
【０１２１】
異同情報取得部５１が取得する異同情報が両レシピの異同を示す情報の場合には、その異同情報は、例えば、両レシピの異同を示すフラグを有する情報であってもよく、異同情報が両レシピの差分を示す情報の場合には、その異同情報は、例えば、図２１で示される変更情報における最後の２行のような情報であってもよい。２個の情報の差分を作成する方法は、すでに知られており、その説明を省略する。
また、変更情報構成部２７は、異同情報取得部５１が取得した異同情報を含む変更情報を構成してもよい。
【０１２２】
図２４は、本実施の形態によるサーバ装置５０の動作を示すフローチャートである。なお、ステップＳ４０１，Ｓ４０２以外の処理は、実施の形態１における図７のフローチャートの各処理と同様であり、その説明を省略する。
【０１２３】
（ステップＳ４０１）異同情報取得部５１は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピ、すなわち、レシピ記憶部２４で記憶されている最新のレシピと、その最新のレシピが用いられる製造装置４０のレシピであり、レシピ記憶部２４で記憶されている直前のレシピを比較する。そして、異同情報取得部５１は、その両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する。
【０１２４】
（ステップＳ４０２）判断部２６は、異同情報によって、両レシピに差異の存在することが示されているかどうか判断する。そして、差異の存在することが示されている場合には、ステップＳ２０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０１に戻る。
【０１２５】
なお、本実施の形態では、異同情報によって、両レシピに差異の存在することが示されているかどうかの判断を判断部２６が行う場合について説明したが、前述のように、差異の存在しない場合に、結果として変更情報が送信されないのであれば、他の構成要素が判断してもよい。例えば、変更情報送信部３０がその判断を行ってもよい。
【０１２６】
また、本実施の形態による群管理システムの具体的な動作等は、レシピについての異同情報を取得し、その異同情報の内容に応じて変更情報を送信する以外、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。
【０１２７】
以上のように、本実施の形態による群管理システムでは、実施の形態１と同様の効果に加え、取得した異同情報によって、両レシピに差異のないことが示される場合には、変更情報を送信しないため、レシピの内容が変更された場合にのみ、変更情報を送信するようにすることができる。その結果、無意味な変更情報の送信を回避することができる。
【０１２８】
なお、本実施の形態では、サーバ装置５０が、変更通知の受信に応じてレシピの送信を要求し、その要求に応じて受信したレシピについて異同情報を取得する場合について説明した。したがって、例えば、レシピの一部の値を変更し、その後に、その変更した値を元の値に戻すといったレシピの内容の変更が行われない限り、最新のレシピと、その直前のレシピとの内容は異なることになると考えられる。しかしながら、サーバ装置５０が、変更通知に関係なく、例えば、定期的に製造装置４０のレシピを受信する場合には、本実施の形態で説明したように、異同情報を取得し、その異同情報の内容に応じて変更情報を送信することは非常に有効である。
【０１２９】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置において、レシピ受信部が受信した最新のレシピと、マスタレシピとの異同に関する情報である異同情報を取得し、その異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信するものである。本実施の形態によるサーバ装置は、比較の対象となるレシピがマスタレシピとなった以外は、実施の形態２とほぼ同様の構成及び動作となる。
【０１３０】
図２５は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図２５において、本実施の形態による群管理システムは、クライアント装置１０と、サーバ装置６０と、Ｎ個の製造装置４０とを備える。ここで、Ｎは、１以上の整数である。サーバ装置６０以外の構成及び動作は、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。
【０１３１】
図２６は、本実施の形態によるサーバ装置６０の構成を示すブロック図である。図２６において、本実施の形態によるサーバ装置６０は、変更通知受信部２１と、レシピ要求部２２と、レシピ受信部２３と、レシピ記憶部２４と、レシピ蓄積部２５と、判断部２６と、変更情報構成部２７と、送信先情報記憶部２８と、送信先情報取得部２９と、変更情報送信部３０と、マスタレシピ記憶部６１と、異同情報取得部６２とを備える。なお、マスタレシピ記憶部６１、及び異同情報取得部６２以外の構成及び動作は、変更情報送信部３０が、異同情報取得部５１が取得した異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のあることが示される場合に変更情報を送信し、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合に変更情報を送信しない以外は、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。
【０１３２】
ここで、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合には、結果として、変更情報送信部３０が変更情報を送信しなければよい。例えば、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合に、変更情報構成部２７が変更情報を構成しないことや、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得しないことによって、変更情報送信部３０が変更情報を送信しなくてもよく、または、変更情報構成部２７が変更情報を構成し、送信先情報取得部２９が送信先情報を取得しているにもかかわらず、その変更情報を変更情報送信部３０が送信しなくてもよい。本実施の形態では、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のないことが示される場合には、判断部２６による判断を行わないことによって、変更情報の構成や、送信先情報の取得が行われず、変更情報が送信されない場合について説明する。また、異同情報によって、比較対象となる２個のレシピに差異のあることが示される場合であっても、他の理由によって変更情報が送信されない場合もありうる。例えば、実施の形態１で説明した判断部２６による判断により、変更情報を送信しないと判断された場合には、変更情報は送信されないことになる。
【０１３３】
また、本実施の形態では、レシピ受信部２３が受信するレシピは、レシピの内容が変更された製造装置４０のレシピであってもよく、レシピの内容が変更されていない製造装置４０のレシピであってもよい。
【０１３４】
マスタレシピ記憶部６１では、マスタレシピが記憶される。ここで、マスタレシピとは、基準となるレシピである。例えば、２以上の製造装置４０において同じレシピが用いられる場合に、その基準となるレシピがマスタレシピとしてマスタレシピ記憶部６１で記憶されてもよい。マスタレシピ記憶部６１では、一のマスタレシピが記憶されてもよく、または、製造装置４０ごとに、もしくは、製造装置４０のグループごとに、２以上のマスタレシピが記憶されてもよい。マスタレシピ記憶部６１は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。マスタレシピ記憶部６１にマスタレシピが記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介してマスタレシピがマスタレシピ記憶部６１で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信されたマスタレシピがマスタレシピ記憶部６１で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力されたマスタレシピがマスタレシピ記憶部６１で記憶されるようになってもよい。また、図示しない手段によって、マスタレシピ記憶部６１で記憶されているマスタレシピが変更されるようにしてもよい。
【０１３５】
なお、レシピ記憶部２４と、送信先情報記憶部２８と、マスタレシピ記憶部６１との任意の２以上の記憶部は、同一の記録媒体によって実現されてもよく、あるいは、別々の記録媒体によって実現されてもよい。
【０１３６】
異同情報取得部６２は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピと、マスタレシピ記憶部６１で記憶されているマスタレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する。ここで、比較の対象となるマスタレシピは、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピの用いられる製造装置４０に対応するマスタレシピである。また、異同情報は、例えば、両レシピの異同を示す情報を含んでもよく、両レシピに差異が存在する場合に、その差分を示す情報を含んでもよい。
【０１３７】
また、異同情報取得部６２は、両レシピの製造装置４０の設定に関する情報を比較し、その製造装置４０の設定に関する情報の異同に関する異同情報を取得してもよい。製造装置４０の設定に関する情報とは、例えば、実施の形態１で説明したレシピのボディであってもよい。レシピのボディには、一般的に、ステップが含まれているため、製造装置４０の設定に関する情報は、レシピに含まれるステップであり、異同情報取得部６２は、両レシピに含まれるステップごとに比較し、ステップごとの異同を示す異同情報を取得してもよい。
【０１３８】
また、異同情報取得部６２は、両レシピの管理に関する情報を比較し、そのレシピの管理に関する情報の異同に関する異同情報を取得してもよい。管理に関する情報とは、例えば、実施の形態１で説明したレシピのヘッダであってもよい。
また、変更情報構成部２７は、異同情報取得部６２が取得した異同情報を含む変更情報を構成してもよい。
【０１３９】
図２７は、本実施の形態によるサーバ装置６０の動作を示すフローチャートである。なお、ステップＳ５０１，Ｓ５０２以外の処理は、実施の形態１における図７のフローチャートの各処理と同様であり、その説明を省略する。
【０１４０】
（ステップＳ５０１）異同情報取得部６２は、レシピ受信部２３が受信した最新のレシピ、すなわち、レシピ記憶部２４で記憶されている最新のレシピと、マスタレシピ記憶部６１で記憶されているマスタレシピとを比較する。そして、異同情報取得部６２は、その両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する。
【０１４１】
（ステップＳ５０２）判断部２６は、異同情報によって、両レシピに差異の存在することが示されているかどうか判断する。そして、差異の存在することが示されている場合には、ステップＳ２０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０１に戻る。
【０１４２】
なお、本実施の形態では、異同情報によって、両レシピに差異の存在することが示されているかどうかの判断を判断部２６が行う場合について説明したが、前述のように、差異の存在しない場合に、結果として変更情報が送信されないのであれば、他の構成要素が判断してもよい。例えば、変更情報送信部３０がその判断を行ってもよい。
【０１４３】
また、本実施の形態による群管理システムの具体的な動作等は、レシピについての異同情報を取得し、その異同情報の内容に応じて変更情報を送信する以外、実施の形態１と同様であり、その説明を省略する。なお、本実施の形態のように、複数の製造装置４０で同一のマスタレシピを持つことができることによって、群管理システムとして、製造装置４０間のレシピの差をチェックすることができる。
【０１４４】
以上のように、本実施の形態による群管理システムでは、実施の形態１と同様の効果に加え、取得した異同情報によって、両レシピに差異のないことが示される場合には、変更情報を送信しないため、製造装置４０で用いられているレシピがマスタレシピと異なるようになった場合にのみ、変更情報を送信するようにすることができる。その結果、無意味な変更情報の送信を回避することができる。
【０１４５】
なお、本実施の形態では、サーバ装置５０が、変更通知の受信に応じてレシピの送信を要求し、その要求に応じて受信したレシピについて異同情報を取得する場合について説明した。しかしながら、サーバ装置５０が、変更通知に関係なく、例えば、定期的に製造装置４０のレシピを受信するようにしてもよい。
【０１４６】
なお、上記各実施の形態による群管理システムにおけるサーバ装置２０、５０、６０は、図４等の構成で示されるように、レシピの管理をするだけのものであってもよい。したがって、群管理システムにおけるその他の処理、例えば、クライアント装置１０等の要求に応じて処理を実行し、その処理結果をクライアント装置１０に送信する処理や、１以上の製造装置４０から送信された各種の測定情報を蓄積する処理等を行うサーバ装置が、サーバ装置２０、５０、６０以外に設けられていてもよい。
【０１４７】
また、上記各実施の形態による群管理システムを構成するクライアント装置１０、サーバ装置２０、５０，６０、製造装置４０が本実施の形態で説明した以外の構成要素を有していてもよいことは言うまでもない。
【０１４８】
また、本実施の形態では、製造装置４０が保持しているレシピが変更された場合に、その旨を示す変更通知がサーバ装置２０、５０、６０に送信され、その変更通知の受信に応じてサーバ装置２０、５０、６０は製造装置４０に変更後のレシピを送信する旨の要求を行い、その要求に応じて変更後のレシピが製造装置４０からサーバ装置２０、５０、６０に送信される場合について説明したが、サーバ装置２０、５０、６０が変更後のレシピを受信する方法は、これに限定されるものではない。例えば、製造装置４０が保持しているレシピが変更された場合に、変更後のレシピがサーバ装置２０、５０、６０に送信されてもよく、レシピの内容の変更の有無にかかわらず定期的に製造装置４０からサーバ装置２０、５０、６０にレシピが送信されてもよく、レシピの内容の変更の有無にかかわらず定期的にサーバ装置２０、５０、６０から製造装置４０に対してレシピを送信する旨の要求を行うようにしてもよい。レシピの内容の変更の有無にかかわらず製造装置４０からサーバ装置２０、５０、６０にレシピが送信される場合には、レシピ蓄積部２５は、レシピの内容の変更が行われている場合にのみ、その変更後のレシピをレシピ記憶部２４に蓄積するようにしてもよい。また、上記実施の形態２，３のように、異同情報を取得して、レシピの内容の変更が行われたかどうかを判断してもよい。レシピの内容の変更の有無にかかわらず製造装置４０からサーバ装置２０、５０、６０にレシピが送信される場合であっても、製造装置４０が保持しているレシピが変更された際には、変更後のレシピが送信されることとなるため、レシピ受信部２３は、製造装置４０のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信することになる。また、サーバ装置２０、５０、６０から変更後のレシピを送信する旨の要求を送信しなくてよい場合には、サーバ装置２０、５０、６０は、変更通知受信部２１、及びレシピ要求部２２を備えなくてもよい。
【０１４９】
また、上記各実施の形態では、サーバ装置２０、５０、６０が判断部２６を備え、判断部２６の判断結果に応じて変更情報送信部３０が変更情報を送信する場合について説明したが、サーバ装置２０、５０、６０は、判断部２６を備えなくてもよい。その場合には、レシピの内容の変更が行われた場合には、変更情報が送信されることになる。なお、レシピ受信部２３が変更後のレシピのみを受信する場合には、変更後のレシピが受信された場合に、変更情報が送信されることになる。一方、変更の有無にかかわらずレシピ受信部２３がレシピを受信する場合には、実施の形態２のように受信されたレシピが変更後のものであるかどうかを判断してもよく、実施の形態３のように受信されたレシピがマスタレシピと同じかどうかを判断してもよい。その判断は、例えば、レシピ記憶部２４で記憶されているレシピと、レシピ受信部２３が受信したレシピとを比較することによって行うことができる。実施の形態２，３では、異同情報を用いて、その判断を行うことができる。その判断は、例えば、変更情報構成部２７、送信先情報取得部２９、もしくは変更情報送信部３０が行ってもよく、または、その他の構成要素が行ってもよい。そして、受信されたレシピが変更後のものである場合や、マスタレシピと異なるものである場合に、変更情報が送信されることになる。
【０１５０】
また、一のレシピが変更された場合に、２以上の送信先が送信先情報によって設定されている場合には、その送信先ごとに異なる変更情報を送信するようにしてもよい。例えば、ユーザの携帯電話等の送信先には、単にレシピが変更された旨のみを通知する変更情報を構成して送信し、クライアント装置１０や、製造装置４０等の送信先には、変更後のレシピや、レシピの差分等を含む変更情報を構成して送信してもよい。
【０１５１】
また、上記各実施の形態において、製造装置４０の変更指示受付部４２が受け付ける変更指示の入力元、送信元は問わない。例えば、サーバ装置２０、５０、６０から製造装置４０に変更指示が送信されてもよく、図１で示す以外の装置から製造装置４０に変更指示が送信されてもよい。
【０１５２】
また、上記各実施の形態において、サーバ装置２０、５０、６０が送信する変更情報の送信先は問わない。例えば、サーバ装置２０、５０、６０は、図１、図２２、図２５で示す以外の装置に変更情報を送信してもよい。
【０１５３】
また、上記各実施の形態において、例えば、レシピがヘッダとボディを有する場合について説明したが、上記各実施の形態による群管理システムにおいて送受信されるレシピは、ボディのみを有するものであってもよく、その他の形式を有するものであってもよく、上記各実施の形態における説明に限定されるものではない。
【０１５４】
また、上記各実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１５５】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記各実施の形態におけるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、前記製造装置のレシピの内容が変更された場合に、変更後のレシピを受信するレシピ受信ステップと、前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させるためのものである。
【０１５６】
また、他のプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信ステップと、前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、前記レシピ受信ステップで受信した最新のレシピと、当該最新のレシピが用いられる製造装置のレシピであり、前記レシピ記憶部で記憶されている、当該最新のレシピに最も近い時期のレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得ステップと、前記異同情報取得ステップで取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させるためのものである。
【０１５７】
また、他のプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と接続されているサーバ装置における処理を実行させるプログラムであって、前記製造装置のレシピを受信するレシピ受信ステップと、前記レシピ受信ステップで受信したレシピを、前記１以上の製造装置で用いられているレシピが少なくとも記憶されるレシピ記憶部に蓄積するレシピ蓄積ステップと、レシピの内容の変更に関する情報である変更情報を構成する変更情報構成ステップと、前記変更情報の送信先を示す情報である送信先情報が記憶される送信先情報記憶部から送信先情報を取得する送信先情報取得ステップと、前記レシピ受信ステップで受信した最新のレシピと、マスタレシピ記憶部で記憶されている、基準となるレシピであるマスタレシピとを比較し、両レシピの異同に関する情報である異同情報を取得する異同情報取得ステップと、前記異同情報取得ステップで取得した異同情報によって、両レシピに差異のあることが示される場合に、前記送信先情報取得ステップで取得した送信先情報の示す送信先に、前記変更情報構成ステップで構成した変更情報を送信する変更情報送信ステップと、を実行させるためのものである。
【０１５８】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアでしか行われない処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理は少なくとも含まれない。
【０１５９】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。
【０１６０】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１６１】
以上より、本発明によるサーバ装置等によれば、レシピの内容の変更が行われた場合に、その変更に関する注意喚起をすることができ、不用意なレシピの内容の変更に起因するロットアウト等の発生を回避することができ、１以上の製造装置を備える群管理システムにおけるサーバ装置として有効である。
【図面の簡単な説明】
【０１６２】
【図１】本発明の実施の形態１による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２】同実施の形態による製造装置の一例を示す図
【図３】同実施の形態によるクライアント装置の構成を示すブロック図
【図４】同実施の形態によるサーバ装置の構成を示すブロック図
【図５】同実施の形態による製造装置の構成を示すブロック図
【図６】同実施の形態によるクライアント装置の動作を示すフローチャート
【図７】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図８】同実施の形態による製造装置の動作を示すフローチャート
【図９】同実施の形態におけるレシピの一例を示す図
【図１０】同実施の形態におけるレシピの一例を示す図
【図１１】同実施の形態におけるレシピの一例を示す図
【図１２】同実施の形態におけるレシピ管理情報の一例を示す図
【図１３】同実施の形態における判断部による判断で用いられる条件の一例を示す図
【図１４】同実施の形態における変更情報に含まれるテキスト情報の一例を示す図
【図１５】同実施の形態における送信先情報記憶部で記憶されている送信先情報の一例を示す図
【図１６】同実施の形態における電子メールで送信される変更情報の一例を示す図
【図１７】同実施の形態における装置識別情報とアドレスとの対応の一例を示す図
【図１８】同実施の形態における変更情報の表示の一例を示す図
【図１９】同実施の形態における送信先情報記憶部で記憶されている送信先情報の一例を示す図
【図２０】同実施の形態における送信先情報記憶部で記憶されている送信先情報の一例を示す図
【図２１】同実施の形態における電子メールで送信される変更情報の一例を示す図
【図２２】本発明の実施の形態２による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２３】同実施の形態によるサーバ装置の構成を示すブロック図
【図２４】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図２５】本発明の実施の形態３による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２６】同実施の形態によるサーバ装置の構成を示すブロック図
【図２７】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【符号の説明】
【０１６３】
１０  クライアント装置
１１  入力受付部
１２  変更指示送信部
１３  変更情報受信部
１４  変更情報出力部
２０、５０、６０  サーバ装置
２１  変更通知受信部
２２  レシピ要求部
２３  レシピ受信部
２４  レシピ記憶部
２５  レシピ蓄積部
２６  判断部
２７  変更情報構成部
２８  送信先情報記憶部
２９  送信先情報取得部
３０  変更情報送信部
４０  製造装置
４１  レシピ記憶部
４２  変更指示受付部
４３  レシピ変更部
４４  変更通知送信部
４５  レシピ要求受信部
４６  レシピ送信部
４７  変更情報受信部
４８  変更情報出力部
５１、６２  異同情報取得部
６１  マスタレシピ記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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