(57)【要約】【課題】トナー担持体に蓄積された電荷に起因するノイズを抑制し、画質の良好な画像を安定して形成する。【解決手段】固定電極１５０には、現像器４Ｋ等が現像位置に位置決めされたときに現像器側電極４８Ｋ等と電気的に接触する現像時接触領域に加え、該現像時接触領域から回転方向上流側に向けて延設された現像前接触領域がさらに設けられている。現像器４Ｋが感光体２２と対向する現像位置にある時刻ｔ0から現像ユニットを回転させてゆくとき、現像器４Ｋの電極４８Ｋが固定電極１５０から離間し（時刻ｔ＝ｔ1）、その直後に次の現像器４Ｍの電極４８Ｍが固定電極１５０の現像前接触領域に接触する（時刻ｔ＝ｔ2）。そのため、現像ローラ４４Ｍに蓄積される電荷の量が少なくなりノイズの発生が抑制される。【選択図】図９
2008116520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にトナーを担持するトナー担持体と、現像バイアスの給電を受けて前記トナー担持体に印加するための電極部とを有する現像器と、
前記現像器を複数個装着可能となっており、しかも装置本体に軸着され、所定の回転方向に回転されて現像器を選択的に現像位置に位置決めする現像ロータリーと、
前記現像器に給電する現像バイアスを出力するバイアス出力手段と、
前記装置本体に固着されて前記現像位置に位置決めされた現像器に前記バイアス出力手段からの現像バイアスを供給する固定電極と、
前記現像ロータリーを回転させることにより前記現像ロータリーに装着された現像器を切り替えながら画像を形成する制御手段を備え、
前記固定電極は、現像器が前記現像位置に位置決めされたときに該現像器の電極部と電気的に接触する現像時接触領域と、該現像時接触領域から前記回転方向上流側に向けて延設された現像前接触領域とを有する
ことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記回転方向において、前記現像前接触領域の長さが前記現像時接触領域の長さよりも大きい請求項１記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記現像前接触領域の全体が、前記現像ロータリーの回転により前記電極部が移動する電極移動軌跡上に位置している請求項２記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記固定電極は前記電極部と電気的に接触する表面領域を有し、
前記回転方向において、前記表面領域の長さが互いに隣り合う現像器に設けられる電極部の離間間隔よりも短い請求項１記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記回転方向において、前記固定電極の表面領域のうち前記現像時接触領域よりも前記回転方向下流側の表面領域の長さが略ゼロである請求項４記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記固定電極と前記電極部とは、前記現像器を切り替える際の前記現像ロータリーの回転速度が最大に達する時刻よりも前に接触を開始する請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記固定電極と前記電極部とは、前記現像器を切り替える際の前記現像ロータリーが最大回転速度から減速開始する時刻よりも前に接触を開始する請求項１記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記現像器を切り替える際に前記現像位置から移動する現像器の前記電極部と前記固定電極とが離間した後に、新たに現像位置へ移動してくる現像器の前記電極部と前記固定電極とが接触する請求項１記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記バイアス出力手段は、前記現像位置へ移動してくる現像器の前記電極部が前記固定電極と接触した後であって前記現像ロータリーが回転を停止するよりも前に所定の現像バイアス出力を開始する請求項１ないし８のいずれかに記載の画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の現像器を現像ロータリーに装着したロータリー方式の画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
装置本体に対し回転自在に構成された現像ロータリーに現像器を装着して画像を形成する画像形成装置においては、現像ロータリーの回転により所定の現像位置へ位置決めされた現像器に設けられたトナー担持体に対し、現像バイアスを印加するための機構が必要である。例えば、特許文献１に記載の画像形成装置では、トナー担持体である現像ローラを複数備えるロータリー現像装置と、現像バイアス電源に接続された給電部材とを備えている。そして、ロータリー現像装置が現像位置に位置決めされると、一の現像ローラ軸に摺動する係合部材に給電部材が当接することによって、給電部材および係合部材を介して現像バイアス電源と現像ローラとが導通し、現像ローラに現像バイアスが印加される。このとき、画像形成に寄与しない他の現像ローラに対してはバイアス電圧は印加されない。
【０００３】
【特許文献１】特許第３６７４６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年では装置のさらなる小型化が求められている。しかしながら、装置を小型化するためには装置を構成する各電気部品間の距離を短縮する必要があり、このことに起因して、部品間の干渉やノイズの影響による画像品質の劣化や誤動作を招くなどの問題を生じるおそれが高くなる。例えば、本願発明者らは、現像器カートリッジを装着した現像ロータリーを回転させたとき、現像器カートリッジに設けられたトナー担持体が電気的に浮いた状態では、摩擦帯電や他の電気部品からの誘導等によりトナー担持体に電荷が蓄積し、この電荷に起因する放電がノイズ源となることを見出した。従来の技術においてはこのような放電に対する対策が十分でなく、装置の動作が不安定になったり、画質が劣化するなどの問題が残されていた。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、トナー担持体に蓄積された電荷に起因するノイズを抑制し、画質の良好な画像を安定して形成することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、上記目的を達成するために、表面にトナーを担持するトナー担持体と、現像バイアスの給電を受けてトナー担持体に印加するための電極部とを有する現像器と、現像器を複数個装着可能となっており、しかも装置本体に軸着され、所定の回転方向に回転されて現像器を選択的に現像位置に位置決めする現像ロータリーと、現像器に給電する現像バイアスを出力するバイアス出力手段と、装置本体に固着されて現像位置に位置決めされた現像器にバイアス出力手段からの現像バイアスを供給する固定電極と、現像ロータリーを回転させることにより現像ロータリーに装着された現像器を切り替えながら画像を形成する制御手段を備え、固定電極は、現像器が現像位置に位置決めされたときに該現像器の電極部と電気的に接触する現像時接触領域と、該現像時接触領域から回転方向上流側に向けて延設された現像前接触領域とを有することを特徴としている。
【０００７】
このように構成された発明では、現像ロータリーが回転し、現像器が現像位置へ移動してくるとき、比較的早い段階で現像器側の電極部と本体側の固定電極とが接触することになる。したがって、トナー担持体に蓄積された電荷量が比較的低い時点で所定の電位が与えられるとともに蓄積された電荷が放出されることになる。そのため、トナー担持体に蓄積された電荷の放出に伴うノイズが低く抑えられ、画質の良好な画像を安定して形成することが可能となる。
【０００８】
特に、固定電極は、回転方向において、現像前接触領域の長さが現像時接触領域の長さよりも大きくなるように構成するのが好ましい。このような構成を採用することによって、現像器に設けられた電極部と装置本体側の固定電極との接触タイミングをより早くすることができる。
【０００９】
また、現像前接触領域の全体が、 現像ロータリーの回転により電極部が移動する電極移動軌跡上に位置するように構成するのがさらに好ましい。このように構成された場合、現像ロータリーの回転により現像器の電極部は固定電極の現像前接触領域と接触した後、その電気的な接続が維持されたまま現像時接触領域に移動する。したがって、現像位置に位置決めされる直前に電極部と固定電極との接触が良好に保たれる。
【００１０】
また、固定電極は電極部と電気的に接触する表面領域を有している。ここで、回転方向において、表面領域の長さが互いに隣り合う現像器に設けられる電極部の離間間隔よりも短くなるように固定電極を構成してもよい。これによって、固定電極を介して２つの現像器のトナー担持体同士が短絡するのを未然に防止することができる。
【００１１】
また、回転方向において、固定電極の表面領域のうち現像時接触領域よりも回転方向下流側の表面領域の長さが略ゼロとなるように固定電極を構成してもよい。
【００１２】
固定電極と電極部とは、現像器を切り替える際の現像ロータリーの回転速度が最大に達する時刻よりも前に接触を開始するようにしてもよい。また、固定電極と電極部とは、現像器を切り替える際の現像ロータリーが最大回転速度から減速開始する時刻よりも前に接触を開始するようにしてもよい。これらの構成によれば、できるだけ早い段階で現像器側の電極部と本体側の固定電極とを接触させることができるので、高いノイズ抑制効果が得られる。
【００１３】
また、現像器を切り替える際に現像位置から移動する現像器の電極部と固定電極とが離間した後に、新たに現像位置へ移動してくる現像器の電極部と固定電極とが接触するようにしてもよい。こうすることで、固定電極を介して２つの現像器のトナー担持体同士が短絡するのを未然に防止することができる。
【００１４】
さらに、バイアス出力手段は、現像位置へ移動してくる現像器の電極部が固定電極と接触した後であって現像ロータリーが回転を停止するよりも前に所定の現像バイアス出力を開始するように構成されてもよい。画像を形成するという目的からは現像ロータリーの停止後にトナー担持体に現像バイアスを印加すれば足りるが、現像器の電極部が固定電極と接触した後であれば原理的にトナー担持体への現像バイアス印加が可能である。このようにできるだけ早く現像バイアスの印加を開始することにより、トナー担持体の電位および表面のトナー特性（付着量や帯電量など）を安定させることができるので、画質のさらなる向上に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１はこの発明にかかる画像形成装置の一実施形態を示す図である。また、図２は図１の画像形成装置の電気的構成を示すブロック図である。さらに、図３は装置本体への現像ユニットの取付状態を示す図である。この装置は、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の４色のトナー（現像剤）を重ね合わせてフルカラー画像を形成したり、ブラック（Ｋ）のトナーのみを用いてモノクロ画像を形成する画像形成装置である。この画像形成装置では、ホストコンピュータなどの外部装置から画像信号がメインコントローラ１１に与えられると、このメインコントローラ１１からの指令に応じてエンジンコントローラ１０に設けられたＣＰＵ１０１がエンジン部ＥＧ各部を制御して所定の画像形成動作を実行し、シートＳに画像信号に対応する画像を形成する。
【００１６】
このエンジン部ＥＧでは、感光体２２が図１の矢印方向Ｄ1に回転自在に設けられている。また、この感光体２２の周りにその回転方向Ｄ1に沿って、帯電ローラ２３、ロータリー現像ユニット４およびクリーニング部２５がそれぞれ配置されている。帯電ローラ２３は所定の帯電バイアスを印加されており、感光体２２の外周面を所定の表面電位に帯電させる。クリーニング部２５は一次転写後に感光体２２の表面に残留付着したトナーを除去し、内部に設けられた廃トナータンクに回収する。これらの感光体２２、帯電ローラ２３およびクリーニング部２５は一体的に感光体カートリッジ２を構成しており、この感光体カートリッジ２は一体として装置本体に対し着脱自在となっている。
【００１７】
そして、この帯電ローラ２３によって帯電された感光体２２の外周面に向けて露光ユニット６から光ビームＬが照射される。この露光ユニット６は、外部装置から与えられた画像信号に応じて光ビームＬを感光体２２上に露光して画像信号に対応する静電潜像を形成する。
【００１８】
こうして形成された静電潜像は装置本体ＭＢに取り付けられた現像ユニット４によってトナー現像される。この取付状態は図３に図示されている。同図中において、下方向が装置の正面側となり、上方向が装置の背面側となっている。また、この装置では、現像ユニット４は、回転軸ＲＳ回りに回転自在に設けられた支持フレーム４０、支持フレーム４０に対して着脱自在のカートリッジとして構成されてそれぞれの色の非磁性一成分トナーを内蔵するイエロー用の現像器４Ｙ、シアン用の現像器４Ｃ、マゼンタ用の現像器４Ｍ、およびブラック用の現像器４Ｋを備えている。この現像ユニット４は、エンジンコントローラ１０により制御される図示を省略する駆動モータにより回転方向Ｄ3に回転駆動される。また、装置本体には、現像ユニット４に対し離当接するロータリーロック４５が設けられている。必要に応じてこのロータリーロック４５が現像ユニット４の支持フレーム４０の外周部に当接することにより、現像ユニット４の回転を拘束し現像ユニット４を所定位置に停止位置決めするブレーキおよびロック機構として作用する。
【００１９】
そして、エンジンコントローラ１０からの制御指令に基づいて、現像ユニット４が回転駆動されるとともにこれらの現像器４Ｙ，４Ｃ，４Ｍ，４Ｋが選択的に感光体２２と対向する現像位置に位置決めされると、当該現像器に設けられて選択された色のトナーを担持する現像ローラ４４が、所定のギャップを隔てて感光体２２に対し対向配置され、その対向位置において現像ローラ４４から感光体２２の表面にトナーを付与する。これによって、感光体２２上の静電潜像が選択トナー色で顕像化される。
【００２０】
図４は現像器の構造を示す断面図である。各現像器４Ｙ、４Ｃ、４Ｍ、４Ｋはいずれも同一構造を有している。したがって、ここでは、現像器４Ｋの構成について図４を参照しながらさらに詳しく説明するが、その他の現像器４Ｙ、４Ｃ、４Ｍについてもその構造および機能は同じである。この現像器４Ｋでは、その内部にトナーＴを収容するハウジング４１に供給ローラ４３および現像ローラ４４が軸着されており、当該現像器４Ｋが上記所定位置に位置決めされると、現像ローラ４４が感光体２２と当接してまたは所定のギャップを隔てて対向位置決めされるとともに、これらのローラ４３、４４が本体側に設けられた回転駆動部（図示省略）と係合されて所定の方向に回転する。この現像ローラ４４は、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属または合金により円筒状に形成されている。そして、２つのローラ４３、４４が接触しながら回転することでトナーが現像ローラ４４の表面に擦り付けられて所定厚みのトナー層が現像ローラ４４表面に形成される。
【００２１】
ハウジング４１の内部空間は隔壁４１ａによって第１室４１１および第２室４１２に仕切られている。供給ローラ４３および現像ローラ４４はともに第２室４１２に設けられており、これらのローラの回転に伴って第２室４１２内のトナーが流動し攪拌されながら現像ローラ４４の表面に供給される。一方、第１室４１１に貯留されているトナーは、供給ローラ４３および現像ローラ４４とは隔離されているので、これらの回転によっては流動しない。このトナーは、現像ユニット４が現像器を保持したまま回転することによって、第２室４１２に貯留されたトナーと混合され攪拌される。
【００２２】
このように、この現像器では、ハウジング内部を２室に仕切り、供給ローラ４３および現像ローラ４４の周囲をハウジング４１の側壁および隔壁４１ａで囲み比較的容積の小さい第２室４１２を設けることにより、トナー残量が少なくなった場合でも、トナーが効率よく現像ローラ４４の近傍に供給されるようにしている。また、第１室４１１から第２室４１２へのトナー供給およびトナー全体の攪拌を現像ユニット４の回転によって行うようにすることで、現像器内部にトナー攪拌のための攪拌部材（オーガ）を省いたオーガレス構造を実現している。
【００２３】
また、この現像器４Ｋでは、現像ローラ４４の表面に形成されるトナー層の厚みを所定厚みに規制するための規制ブレード４６が配置されている。この規制ブレード４６は、ステンレスやリン青銅などの弾性を有する板状部材４６１と、板状部材４６１の先端部に取り付けられたゴムや樹脂部材などの弾性部材４６２とで構成されている。この板状部材４６１の後端部はハウジング４１に固着されており、図４の矢印に示す現像ローラ４４の回転方向において、板状部材４６１の先端部に取り付けられた弾性部材４６２が板状部材４６１の後端部よりも上流側に位置するように配設されている。そして、その弾性部材４６２が現像ローラ４４表面に弾性的に当接して現像ローラ４４の表面に形成されるトナー層を最終的に所定の厚みに規制する。
【００２４】
このようにして現像ローラ４４の表面に形成されたトナー層は、現像ローラ４４の回転によって順次、その表面に静電潜像が形成されている感光体２２との対向位置に搬送される。そして、エンジンコントローラ１０に制御されるバイアス電源１４０からの現像バイアスが装置本体内に設けられた固定電極１５０を介して現像ローラ４４に印加されると、現像ローラ４４上に担持されたトナーは、感光体２２の表面各部にその表面電位に応じて部分的に付着し、こうして感光体２２上の静電潜像が当該トナー色のトナー像として顕像化される。
【００２５】
上記のようにして現像ユニット４で現像されたトナー像は、一次転写領域ＴＲ1で転写ユニット７の中間転写ベルト７１上に一次転写される。転写ユニット７は、複数のローラ７２〜７５に掛け渡された中間転写ベルト７１と、ローラ７３を回転駆動することで中間転写ベルト７１を所定の回転方向Ｄ2に回転させる駆動部（図示省略）とを備えている。そして、カラー画像をシートＳに転写する場合には、感光体２２上に形成される各色のトナー像を中間転写ベルト７１上に重ね合わせてカラー画像を形成するとともに、カセット８から取り出され搬送経路ＦＦに沿って二次転写領域ＴＲ2まで搬送されてくるシートＳ上にカラー画像を二次転写する。
【００２６】
二次転写領域ＴＲ2は、ローラ７３に掛け渡された中間転写ベルト７１の表面と、該ベルト表面に対し離当接する二次転写ローラ８６とが当接するニップ部である。カセット８に積層貯留されたシートＳは、ピックアップローラ８８の回転によって１枚ずつ取り出されて搬送経路ＦＦに乗せられる。そして、フィードローラ８４、８５およびゲートローラ８１の回転によって搬送経路ＦＦに沿って二次転写領域ＴＲ2まで搬送される。
【００２７】
このとき、中間転写ベルト７１上の画像をシートＳ上の所定位置に正しく転写するため、二次転写領域ＴＲ2にシートＳを送り込むタイミングが管理されている。具体的には次の通りである。搬送経路ＦＦ上において二次転写領域ＴＲ2の手前側にゲートローラ８１が設けられるとともに、さらにその手前側にゲート前シート検出センサ８０１が設けられている。そして、搬送経路ＦＦ上を搬送されてきたシートＳが到達したことがゲート前シート検出センサ８０１により検出されるとシートＳの搬送はいったん停止され、中間転写ベルト７１の周回移動のタイミングに同期させてゲートローラ８１の回転を再開することにより、シートＳが所定のタイミングで二次転写領域ＴＲ2に送り込まれる。こうして二次転写領域ＴＲ2を通過するシートＳの表面に、中間転写ベルト７１上に形成されたトナー像が二次転写される。
【００２８】
こうしてカラー画像が形成されたシートＳは定着ユニット９によりトナー像を定着され、排出前ローラ８２および排出ローラ８３を経由して装置本体の上面部に設けられた排出トレイ部８９に搬送される。また、シートＳの両面に画像を形成する場合には、上記のようにして片面に画像を形成されたシートＳの後端部が排出前ローラ８２後方の反転位置ＰＲまで搬送されてきた時点で排出ローラ８３の回転方向を反転し、これによりシートＳは反転搬送経路ＦＲに沿って矢印Ｄ3方向に搬送される。そして、ゲートローラ８１の手前で再び搬送経路ＦＦに乗せられるが、このとき、二次転写領域ＴＲ2において中間転写ベルト７１と当接し画像を転写されるシートＳの面は、先に画像が転写された面とは反対の面である。このようにして、シートＳの両面に画像を形成することができる。
【００２９】
また、シート搬送経路ＦＦおよび反転搬送経路ＦＲ上の各位置には、前記したゲート前シート検出センサ８０１の他にも、当該経路上においてシート通過の有無を検出するためのシート検出センサ８０２〜８０４が設けられており、これらのセンサの出力に基づいて、シート搬送タイミングが管理されるとともに、各位置でのジャム検出が行われる。
【００３０】
また、ローラ７５の近傍には、クリーナ７６が配置されている。このクリーナ７６は図示を省略する電磁クラッチによってローラ７５に対して近接・離間移動可能のクリーナブレード７６１と、廃トナータンク７６２とを備えている。そして、ローラ７５側に移動した状態でクリーナブレード７６１がローラ７５に掛け渡された中間転写ベルト７１の表面に当接し、二次転写後に中間転写ベルト７１の外周面に残留付着しているトナーを掻き落として除去する。掻き落とされたトナーは廃トナータンク７６２に蓄えられる。廃トナータンク７６２には、当該タンクの満杯を検出するための廃トナーセンサ７６３が設けられている。
【００３１】
このクリーナブレード７６１は、二次転写領域ＴＲ2においてシートＳへの画像の転写が行われるときに、それと同じ周回において中間転写ベルト７１上に残留付着するトナーを除去するように、離当接制御される。したがって、例えば装置がモノクロ画像を連続的に形成する場合には、一次転写領域ＴＲ1において中間転写ベルト７１に転写された画像が直ちに二次転写領域ＴＲ2でシートＳに転写されるので、クリーナブレード７６１は当接状態に保持される。一方、カラー画像を形成する場合には、各色のトナー像が互いに重ね合わされる間、クリーナブレード７６１を中間転写ベルト７１から離間させておく必要がある。そして、各色のトナー像が互いに重ね合わされてフルカラー画像が完成し、シートＳに二次転写されるのと同一の周回において、残留トナーを除去すべくクリーナブレード７６１が中間転写ベルト７１に当接されることとなる。
【００３２】
また、ローラ７５の近傍には濃度センサ６０および垂直同期センサ７７が配置されている。この濃度センサ６０は、中間転写ベルト７１の表面に対向して設けられており、必要に応じ、中間転写ベルト７１の外周面に形成されるトナー像の画像濃度を測定する。そして、その測定結果に基づき、この装置では、画像品質に影響を与える装置各部の動作条件、例えば各現像器に与える現像バイアスや、光ビームＬの強度などの調整を行っている。この濃度センサ６０は、例えば反射型フォトセンサを用いて、中間転写ベルト７１上の所定面積の領域の画像濃度に対応した信号を出力するように構成されている。そして、ＣＰＵ１０１は、中間転写ベルト７１を周回移動させながらこの濃度センサ６０からの出力信号を定期的にサンプリングすることで、中間転写ベルト７１上のトナー像各部の画像濃度を検出することができる。
【００３３】
また、垂直同期センサ７７は、中間転写ベルト７１の基準位置を検出するためのセンサであり、中間転写ベルト７１の回転駆動に関連して出力される同期信号、つまり垂直同期信号Ｖsyncを得るためのセンサとして機能する。そして、この装置では、各部の動作タイミングを揃えるとともに各色で形成されるトナー像を正確に重ね合わせるために、装置各部の動作はこの垂直同期信号Ｖsyncに基づいて制御される。
【００３４】
また、全体として略円筒形をなす現像ユニット４の側面に当たる各現像器４Ｙ，４Ｃ，４Ｍおよび４Ｋの外周面には、それぞれメモリタグ４９Ｙ，４９Ｃ，４９Ｍおよび４９Ｋが貼付されている。例えば、イエロー現像器４Ｙに装着されたメモリタグ４９Ｙは、該現像器の製造ロットや使用履歴、内蔵トナーの残量などに関するデータを記憶するためのメモリ４９１Ｙと、該メモリと電気的に接続されたループアンテナ４９２Ｙとを備えている。また、他の現像器に設けられたメモリタグ４９Ｃ，４９Ｍおよび４９Ｋにもそれぞれメモリチップ４９１Ｃ，４９１Ｍおよび４９１Ｋと、ループアンテナ４９２Ｃ，４９２Ｍおよび４９２Ｋとが設けられている。
【００３５】
一方、装置本体側にも無線通信用アンテナ１０９が設けられている。この無線通信用アンテナ１０９は、ＣＰＵ１０１と接続されたトランシーバ１０５によって駆動されており、現像器側の無線通信用アンテナとの間で無線通信を行うことにより、ＣＰＵ１０１と現像器に設けられたメモリとの間でデータの送受を行って該現像器に関する消耗品管理等の各種情報の管理を行っている。
【００３６】
また、この装置では、図２に示すように、メインコントローラ１１のＣＰＵ１１１により制御される表示部１２を備えている。この表示部１２は、例えば液晶ディスプレイにより構成され、ＣＰＵ１１１からの制御指令に応じて、ユーザへの操作案内や画像形成動作の進行状況、さらに装置の異常発生やいずれかのユニットの交換時期などを知らせるための所定のメッセージを表示する。
【００３７】
なお、図２において、符号１１３はホストコンピュータなどの外部装置よりインターフェース１１２を介して与えられた画像を記憶するためにメインコントローラ１１に設けられた画像メモリである。また、符号１０６はＣＰＵ１０１が実行する演算プログラムやエンジン部ＥＧを制御するための制御データなどを記憶するためのＲＯＭ、また符号１０７はＣＰＵ１０１における演算結果やその他のデータを一時的に記憶するＲＡＭである。
【００３８】
図５は現像ユニットの停止位置を示す模式図である。同図においては、装置の正面側から見たときの現像ユニット４が模式的に示されている。そして、後述するように必要に応じて装置の正面側から現像器の着脱が行われる。
【００３９】
この現像ユニット４は、駆動モータおよびロータリーロック４５によって、図５に示す３種類の位置に位置決めされ固定される。その３種類の位置とは：（ａ）ホームポジション；（ｂ）作像位置；（ｃ）着脱位置である。このうち、（ａ）ホームポジションは、この画像形成装置が画像形成動作を行わない待機状態にあるときに位置決めされる位置であり、図５（ａ）に示すように、各現像器４Ｙ等に設けられた現像ローラ４４がいずれも感光体２２から離間した状態にある位置である。
【００４０】
また、（ｂ）作像位置は、感光体２２上の静電潜像を選択トナー色で顕像化する際に位置決めされる位置である。図５（ｂ）に示すように、一の現像器に設けられた現像ローラ（同図の例ではブラック現像器４Ｋに設けられた現像ローラ４４）が感光体２２と対向配置され、所定の現像バイアスを印加されることによって、静電潜像がトナーにより顕像化される。本明細書では、現像ユニット４が作像位置にあるときに、現像ローラが感光体２２と対向する現像器（同図ではブラック現像器４Ｋ）の位置を「現像位置」と称している。
【００４１】
さらに、（ｃ）着脱位置は、現像器の着脱操作を行うときのみ取りうる位置である。現像ユニット４がこの着脱位置に位置決めされると、図５（ｃ）に示すように、一の現像器が装置の外部筐体側面に設けられた開口部１２４に現れ、該開口部１２４を通して取り出すことができるようになる。図５（ｃ）は、ブラック用の現像器４Ｋが開口部１２４に現れた状態を示している。また、現像器を装着されていない支持フレーム４０に対しては、新たに現像器を装着することができるようになる。この着脱位置においては、いずれの現像器に設けられた現像ローラも感光体２２から離間した位置におかれる。このように、現像ユニット４が着脱位置に位置決めされたときに開口部１２４に現れた一の現像器のみを取り出し可能としている。すなわち、現像ユニット４が図５（ａ）に示すホームポジションや図５（ｂ）に示す作像位置に位置決めされた状態では、いずれの現像器も開口部１２４から取り出すことのできない位置にある。そのため、ユーザが不用意に現像器の着脱を行って装置を損傷することがない。なお、この画像形成装置では、４つの現像器４Ｙ、４Ｍ、４Ｃ、４Ｋのそれぞれに対して上記した作像位置および着脱位置が設定されている。
【００４２】
現像ユニット４が現像位置に位置決めされているとき、図５（ｂ）に示すように、１つの現像器に設けられた無線通信用アンテナが、本体側無線通信用アンテナ１０９と対向する位置に位置決めされる。図５（ｂ）の例に即して説明すると、現像器４Ｋの現像ローラ４４が感光体２２と対向する位置にあるとき、当該現像器４Ｋからみて現像ユニット４の回転方向Ｄ3において下流側隣接位置にある現像器４Ｙに設けられた無線通信用アンテナ４９２Ｙが、本体側無線通信用アンテナ１０９と対向する位置に位置決めされる。すなわち、この状態で、本体側無線通信用アンテナ１０９と現像器４Ｙ側の無線通信用アンテナ４９２Ｙとの間で無線通信が行われて、現像器４Ｙに設けられたメモリ４９１Ｙに記憶された情報が読み出される。また、当該メモリ４９１Ｙに新たな情報が書き込まれる。
【００４３】
図６は装置の背面側から現像ユニットおよび固定電極を見た図である。また、図７は装置本体側に設けられた固定電極の構造を示す図である。さらに、図８は現像バイアス印加用電極の構造を示す図である。以下では各現像器４Ｋ、４Ｍ、４Ｃおよび４Ｙのそれぞれに設けられた現像ローラに対し、それらを区別するために符号４４Ｋ、４４Ｍ、４４Ｃおよび４４Ｙをそれぞれ付して説明する。また、各現像器４Ｋ、４Ｍ、４Ｃおよび４Ｙのそれぞれに設けられた電極に対し、それらを区別するために符号４８Ｋ、４８Ｍ、４８Ｃおよび４８Ｙをそれぞれ付して説明する。
【００４４】
図７に示すように、装置本体ＭＢ側には、装置の背面内部側から現像ユニット４に向けて固定電極１５０が設けられている。固定電極１５０は、ステンレス板やリン青銅板などの弾性および導電性を有する板状部材１５１の一端部が音叉状の二片１５２、１５３に割られた形状を有するとともに、各片１５２、１５３は一部が屈曲されて突起部１５２ａ、１５３ａを成している。そして、突起部１５２ａ、１５３ａの表面領域ＳＲが電極４８Ｋ、４８Ｍ、４８Ｃおよび４８Ｙと接触して電気的に接続可能となっている。より詳しく説明すると、この表面領域ＳＲは３つの領域ＦＣＲ、ＣＲ、ＲＣＲを有している。これらのうち領域ＣＲは現像器４Ｋ、４Ｍ、４Ｃまたは４Ｙが現像位置に位置決めされたときに該現像器の電極４８と電気的に接触する領域であり、本発明の「現像時接触領域」に相当する。また、領域ＦＣＲは現像時接触領域ＣＲから回転方向上流側に向けて延設された領域であり、本発明の「現像前接触領域」に相当する。また、領域ＲＣＲは現像時接触領域ＣＲよりも回転方向下流側に延設された領域である。そして、このように構成された固定電極１５０には、必要に応じて現像バイアス電圧Ｖbを発生し出力するバイアス電源１４０が接続されている。
【００４５】
また、図８（ａ）に示すように、現像ユニット４全体を円筒と見たときの底面に当たる各現像器４Ｋ、４Ｍ、４Ｃおよび４Ｙの側面部（背面側部）には、銅板、ステンレス板またはリン青銅板などの導体材料からなる電極４８Ｋ、４８Ｍ、４８Ｃおよび４８Ｙがそれぞれ設けられている。各電極４８Ｋ、４８Ｍ、４８Ｃおよび４８Ｙは現像ユニット４の回転軸ＲＳを中心とし現像ユニット４の周縁に沿って配置されている。また、図示していないが、電極４８Ｋ、４８Ｍ、４８Ｃおよび４８Ｙの一部は現像器内にまで延びて現像ローラ４４Ｋ、４４Ｍ、４４Ｃおよび４４Ｙの表面またはその金属製回転軸に摺接されており、現像ローラの回転に伴って摺動することで導通を確保する。
【００４６】
固定電極１５０は、図８（ｂ）に示すように、現像ユニット４に装着された各現像器のうち現像位置にある現像器、つまり同図の例ではブラック現像器４Ｋの端面に露出している電極４８Ｋの表面に摺接する。より詳しくは、電極４８Ｋは固定電極１５０に設けられた突起部１５２ａおよび１５３ａの現像時接触領域ＣＲと接触する。また、現像位置に移動してくる直前においては、電極４８Ｋは固定電極１５０に設けられた突起部１５２ａおよび１５３ａの現像前接触領域ＦＣＲと接触する。つまり、この実施形態では、表面領域ＳＲ全体が現像ユニット４の回転により電極４８Ｋが移動する電極移動軌跡上に位置しており、角度範囲θcrにわたってバイアス電源１４０と現像ローラ４４Ｋとが、装置本体側の固定電極１５０および現像器側の電極４８Ｋを介して互いに電気的に接続される。そして、必要に応じてバイアス電源１４０から所定の現像バイアスＶbが出力されると、この現像バイアスＶbが現像ローラ４４Ｋに印加されることになる。他の現像器４Ｍ、４Ｃまたは４Ｙが現像位置にあるときにも同様に、バイアス電源１４０からの現像バイアスＶbが現像ローラ４４Ｍ、４４Ｃまたは４４Ｙに印加されることとなる。
【００４７】
この実施形態においてバイアス電源１４０から発生される現像バイアスＶbは、矩形波交流電圧に直流電圧を重畳した電圧波形を有するものであるが、現像バイアスはこれに限定されるものではなく、正弦波や三角波など他の波形を有する交流電圧を用いたものや、直流成分を有しない交流電圧であってもよい。
【００４８】
上記のように、この実施形態においては、固定電極１５０が現像時接触領域ＣＲのみならず該現像時接触領域ＣＲから回転方向上流側に向けて延設された現像前接触領域ＦＣＲを有するように構成している。このようにする理由およびその効果について、ブラック現像器からマゼンタ現像器へ切り替えるときの動作を例として以下に説明する。
【００４９】
図９はこの実施形態における本体側固定電極と現像器側電極との当接状態を示す図である。また、図１０は比較例を示す図である。また、図１１は各部の状態変化を示すタイミングチャートである。なお、図１０の比較例において、符号２００および４００は、それぞれ本実施形態における感光体２２に相当する感光体および支持フレーム４０に相当する支持フレームを示す。また、符号４０Ｋ、４０Ｍ、４０Ｃおよび４０Ｙは、それぞれ本実施形態における現像器４Ｋ，４Ｍ、４Ｃおよび４Ｙに相当する現像器を示す。また、符号４４０Ｋ、４４０Ｍ、４４０Ｃおよび４４０Ｙは、それぞれ本実施形態における現像ローラ４４Ｋ、４４Ｍ、４４Ｃおよび４Ｙに相当する現像ローラを示す。また、符号１５００は、本実施形態における固定電極１５０に相当する固定電極を示す。また、符号４８０Ｋ、４８０Ｍ、４８０Ｃおよび４８０Ｙは、各現像器の端面に設けられた電極を示す。さらに、符号Ｄ30はこの比較例における現像ユニットの回転方向を示す。
【００５０】
この比較例は従来の画像形成装置における現像器および固定電極の構成に相当しており、固定電極１５００の形状が本実施形態とは相違している。すなわち、図９に示すように、本実施形態における固定電極１５０が、現像位置において現像器側の電極４８Ｋ等と接触する位置から現像ユニット回転方向Ｄ3の上流側に延びる形状となっているのに対し、比較例として挙げた従来の現像器においては、固定電極１５００が、現像位置において現像器側の電極４８０Ｋ等と接触する位置の近傍にのみ設けられている。
【００５１】
ロータリー現像ユニットの回転に伴う本体側固定電極と現像器側電極との接触状態の変化について、時間を追って説明する。この実施形態では、図９（ａ）に示すように、ブラック現像器４Ｋが感光体２２と対向する現像位置にある時刻ｔ0においては、図１１（ａ）に示すように、ロータリー回転駆動は停止されており、現像器側電極４８Ｋと本体側固定電極１５０とは接触した状態にある。このとき固定電極１５０の表面領域ＳＲのうち現像器側電極４８Ｋと接触するのは現像時接触領域ＣＲである。一方、現像前接触領域ＦＣＲはマゼンタ現像器４Ｍに設けられた電極４８Ｍと離間している。このため、マゼンタ現像器４Ｍの電極４８Ｍは電気的にフロート状態にある。
【００５２】
ブラック現像器４Ｋへの現像バイアス印加が終了すると、現像ユニット４が回転を開始する。回転開始直後の時刻ｔ1においては、図９（ｂ）および図１１（ａ）に示すように、ブラック現像器４Ｋに設けられた電極４８Ｋが本体側の固定電極１５０から離間し、かつマゼンタ現像器４Ｍに設けられた電極４８Ｍも離間した状態にある。このとき、電気的にフロートされた現像ローラ４４Ｍが、帯電バイアスの印加により所定の表面電位に帯電された感光体２２に向かって接近移動してゆくことを主たる原因として、現像ローラ４４Ｍの表面には電荷が次第に蓄積されてゆく。電荷の蓄積は、現像ユニット４の回転に伴う摩擦帯電や他の電気部品からの静電誘導等によっても促進される。なお、複数の現像ローラ間での短絡事故やトナー飛散を防ぐために、ブラック現像器４Ｋの電極４８Ｋと、マゼンタ現像器４Ｍの電極４８Ｍとがともに固定電極１５０に接触する期間が生じることは避けるのが好ましい。
【００５３】
さらに現像ユニット４が回転し、現像ユニット回転方向Ｄ3における電極４８Ｍが固定電極１５０の現像前接触領域ＦＣＲと接触する時刻ｔ2においては、現像ローラ４４Ｍに蓄積された電荷が電極４８Ｍおよび固定電極１５０を通じて放電される。この放電により過渡的に流れる電流がパルス性のノイズを発生させることになる。このノイズは、装置内部に配置された種々の電子部品に影響を及ぼし、装置の誤動作の原因となる。特に、装置全体を小型に構成した場合、各部品間の距離が短くなるため、ノイズによる誤動作が起きやすくなる。また、現像ローラ４４Ｍに過渡的な電流が流れることにより、現像ローラ４４Ｍ上のトナー層が乱れて画像品質の低下を招くおそれがある。
【００５４】
特に、現像ローラ４４Ｍに蓄積される電荷量が大きくなると、蓄積された電荷が現像ローラ４４Ｍから装置の他の部品にリークして大きなノイズを発生させたり、場合によっては当該部品を損傷させることがある。
【００５５】
しかしながら、この実施形態においては、固定電極１５０に現像時接触領域ＣＲ（図７）から現像ユニット回転方向Ｄ3において上流側に向けて延びる現像前接触領域ＦＣＲを設けているため、図１１（ａ）に示すように、ロータリー現像ユニット４の回転開始直後の早いタイミング（時刻ｔ2）で電極４８Ｍが固定電極１５０と接触する。そのため、電荷の蓄積量が大きくならないうちに電極４８Ｍを固定電極１５０に接触させることができ、その結果、この実施形態では、現像ローラ４４Ｍに蓄積された電荷に起因するノイズの発生を大幅に抑制することができ、ノイズによる誤動作や画像品質の劣化を抑えることができる。
【００５６】
これに対し、図１０および図１１（ｂ）に示す比較例では、現像器４Ｋが現像位置に位置決めされた状態（時刻ｔ10）および現像ユニットの回転開始直後（時刻ｔ11）では本実施形態と変わらないが、固定電極１５０が短いことに起因して、マゼンタ現像器４０Ｍの電極４８０Ｍが本体側の固定電極１５００と接触するタイミングが遅くなる（時刻ｔ12）。そのため、現像ローラ４４０Ｍに蓄積された電荷量が多くなり、これに伴って大きなノイズを発生してしまう。電極４８０Ｍが本体側の固定電極１５００と接触した後（時刻ｔ13）の挙動は、本実施形態の場合と同じである。
【００５７】
以上のように、この実施形態では、ロータリー現像ユニット４に装着された現像器４Ｋ等の端面に、本体側の固定電極１５０と摺接する電極４８Ｋ等を設け、現像器４Ｋ等が現像位置に位置決めされたとき、これらの電極を介してバイアス電源１４０からの現像バイアス電圧Ｖbが現像ローラ４４Ｋ等に印加される。固定電極１５０は現像器４Ｋ等が現像位置に位置決めされた状態で現像器側電極４８Ｋ等と接触する現像時接触領域ＣＲから、現像ユニット４の回転方向Ｄ3において上流側に向けて延設して現像前接触領域ＦＣＲを形成している。このため、現像ローラに蓄積される電荷量は小さく抑えられるので、電極が接触する時に発生するノイズを小さくすることができる。その結果、この実施形態では、ノイズによる誤動作を少なくするとともに、画像品質の劣化を抑えることが可能となる。
【００５８】
次に、ノイズ発生を効果的に抑制するために好ましい本体側固定電極１５０の形状についてさらに考察する。本発明の基本的な技術思想は、固定電極１５０に対し、現像器４Ｋ等が現像位置に位置決めされたときに現像器側電極４８Ｋ等と電気的に接触する現像時接触領域ＣＲに加えて該現像時接触領域ＣＲから回転方向上流側に向けて延設された現像前接触領域ＦＣＲをさらに設けた点にある。したがって、固定電極１５０の形状は図６や図７に示すような直線形状に限定されるものではなく、上記技術思想に合致した形状に仕上げることができる。例えば、図１２に示すように、現像ユニット４の回転方向Ｄ3に沿った円弧状に仕上げてもよい。
【００５９】
また、現像前接触領域ＦＣＲを回転方向上流側に延設する距離を延ばして現像器側電極４８Ｋ等が固定電極１５０に接触するタイミングｔ2を早めるのが好ましい。このようにした場合には、現像器４Ｋ等が現像位置から離間してゆくときに現像ローラ４４Ｋ等に電荷が蓄積されるのを抑える効果が得られる。これにより、現像器４Ｋ等が再び現像位置に戻ってきたときの現像ローラ４４Ｋ等の電荷蓄積量を減らし、さらにノイズを抑えることが可能となる。ただし、現像前接触領域ＦＣＲを現像ユニット回転方向Ｄ3におけるより上流側に延設することは、現像位置への位置決めに先立って電極４８Ｋ等をできるだけ早いタイミングで固定電極１５０に接触させるという観点からは、必ずしも最良の効果をもたらさない可能性がある。そこで、回転方向Ｄ3における現像前接触領域ＦＣＲの長さは、少なくとも現像ユニット回転方向Ｄ3における現像時接触領域ＣＲの長さよりも大きいことが望ましい。逆に、回転方向Ｄ3における現像前接触領域ＦＣＲが長くなり、その結果、固定電極１５０の表面領域ＳＲが回転方向Ｄ3において互いに隣り合う現像器に設けられる電極４８の離間間隔（図１３の角度θmaxに対応する距離）と同じ、あるいはそれ以上となると、次のような問題が生じてしまう。すなわち、回転方向Ｄ3における表面領域ＳＲの長さが上記離間間隔以上となると、互いに隣り合う現像器が固定電極１５０により相互に電気的に接続されてしまう。したがって、回転方向Ｄ3において、表面領域ＳＲの長さが互いに隣り合う現像器に設けられる電極部の離間間隔よりも短くなるように構成するのが好ましい。つまり、固定電極１５０は、その表面領域ＳＲが互いに隣り合う現像器側電極４８により形成される離間角度θmaxの角度範囲に入る範囲でように構成すればよい。
【００６０】
また、上記のような短絡を防止しつつ現像器側電極４８Ｋ等が固定電極１５０に接触するタイミングｔ2を早めるためには、固定電極１５０の表面領域ＳＲのうち現像時接触領域ＣＲよりも回転方向下流側の表面領域、つまり図７中の現像後接触領域ＲＣＲの長さを略ゼロとするのが好ましい。
【００６１】
図１４はロータリー現像ユニット回転速度と電極形状との関係を示す図である。現像器切り替え時の現像ユニット４の回転速度プロファイルが、図１４（ａ）に示すように、速度一定の期間を設けないものであるときには、遅くとも回転速度が最大値ωmaxに達する時刻ｔ21よりも前に、現像器側電極と本体側固定電極とが接触しているようにすることが望ましい。
【００６２】
また、図１４（ｂ）に示すように、回転速度が一定値ωcとなる期間を設けた回転速度プロファイルを有する場合には、遅くとも回転速度が一定値ωcから低下し始める時刻ｔ23よりも前、より好ましくは回転速度が一定値ωcに達する時刻ｔ22よりも前に、現像器側電極と本体側固定電極とが接触しているようにすることが望ましい。
【００６３】
これらのいずれかの構成とすることによって、現像ローラに蓄積された電荷の放出に起因するノイズを抑制し、装置の誤動作や画像品質の劣化を抑制することが可能となる。また、現像器に設けた電極の形状を上記のようにすることにより、現像バイアスを印加するタイミングを変更して次のようにする変形例も考えられる。
【００６４】
図１５は現像バイアスの印加タイミングの変形例を示すタイミングチャートである。この例と図１１（ａ）に示す例とでは、現像バイアスをオフからオンに切り替えるタイミングのみが変更されている。図１１（ａ）の例では、ロータリー現像ユニット４の回転駆動が停止され現像器が現像位置に位置決めされた後で、バイアス電源１４０から現像バイアスＶbが出力されるようにしていた。これに対し、図１５に示す変形例では、現像ユニット４の回転によりブラック現像器４Ｋの電極４８Ｋが固定電極１５０から離間した後に、マゼンタ現像器４Ｍの電極４８Ｍが固定電極１５０と接触する時刻ｔ31よりも後であってロータリー現像ユニット４の回転が停止される時刻ｔ33よりも前の時刻ｔ32において、バイアス電源１４０からの現像バイアスＶbの出力を開始するようにしている。
【００６５】
こうすることによって、上記したノイズ抑制効果に加えて、次のような効果を得ることが可能となる。すなわち、現像位置に位置決めされた現像器の現像ローラには、現像バイアスが印加されて感光体２２上の静電潜像の顕像化に供される。このとき、現像位置に位置決めされて現像バイアスが印加された直後の現像ローラ表面では、現像器の移動および停止による機械的ショックや電圧印加による過渡的な電位変動などにより、トナーの搬送量や帯電量など画像品質に関わるトナー特性が一時的に不安定となることがある。このような特性の変動は当然に画像品質の低下をもたらすが、上記のように現像バイアスの印加タイミングを早めて現像器の移動中から現像ローラに現像バイアスを印加しておくことによって、このような変動を抑えてさらなる画像品質の向上を図ることが可能となる。
【００６６】
以上説明したように、この実施形態では、現像器４Ｋ、４Ｍ、４Ｃおよび４Ｙが本発明における「現像器」として機能している。また、各現像器に設けられた現像ローラ４４および電極４８Ｋ等が、それぞれ本発明の「トナー担持体」および「電極部」に相当している。また、ロータリー現像ユニット４が本発明の「現像ロータリー」として機能している。また、この実施形態では、バイアス電源１４０が本発明の「バイアス出力手段」として機能する一方、エンジンコントローラ１０に設けられたＣＰＵ１０１が本発明の「制御手段」として機能している。
【００６７】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、略円筒形をなす現像ユニット４の底面に当たる各現像器４Ｋ等の端面に電極４８Ｋ等を設けているが、電極の配設位置はこれに限定されるものではなく、例えば、円筒の側面に当たる各現像器の外周面上に設けてもよい。
【００６８】
また、上記実施形態では、本体側に設けた固定電極１５０を、弾性を有する金属板により板ばね状の部材に形成することで、現像器側電極に対する当接圧を確保して確実に導通を取るようにしているが、これに代えて、現像器側の電極にばね性を持たせて当接圧を確保するようにしてもよい、また、電極間の当接圧を確保するために別途付勢手段を設けてもよい。
【００６９】
さらに、上記実施形態では、ＹＭＣＫ４色のトナーを使用したカラー画像形成装置に本発明が適用されているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、色の種類や色数の異なる画像形成装置に対しても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】この発明にかかる画像形成装置の一実施形態を示す図。
【図２】図１の画像形成装置の電気的構成を示すブロック図。
【図３】装置本体への現像ユニットの取付状態を示す図。
【図４】現像器の構造を示す断面図。
【図５】現像ユニットの停止位置を示す模式図。
【図６】装置の背面側から現像ユニットおよび固定電極を見た図。
【図７】現像バイアス印加用電極の構造を示す図。
【図８】現像バイアス印加用電極の構造を示す図。
【図９】本体側固定電極と現像器側電極との当接状態を示す図。
【図１０】比較例を示す図。
【図１１】各部の状態変化を示すタイミングチャート。
【図１２】この発明にかかる画像形成装置の他の実施形態を示す図。
【図１３】本体側固定電極の延設限界を示す図。
【図１４】ロータリー現像ユニット回転速度と電極形状との関係を示す図。
【図１５】現像バイアスの印加タイミングの変形例を示すタイミングチャート。
【符号の説明】
【００７１】
４…現像ユニット（現像ロータリー）、  ４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ…現像器、  ４４，４４Ｙ，４４Ｍ，４４Ｃ，４４Ｋ…現像ローラ（トナー担持体）、  ４８Ｙ，４８Ｍ，４８Ｃ，４８Ｋ…電極（電極部）、  １０１…ＣＰＵ（制御手段）、  １４０…バイアス電源（バイアス出力手段）、  １５０…固定電極、  ＣＲ…現像時接触領域、  Ｄ3…回転方向、  ＦＣＲ…現像前接触領域、  ＳＲ…表面領域
【図１】
2008116520.tif 000003
【図２】
2008116520.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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