(57)【要約】【課題】強磁場内における抵抗測定技術を改良して、プローブと抵抗測定回路とを結ぶ信号線に誘導電圧が発生して測定が乱されることの無いようにする。【解決手段】プローブ２は測定対象ワーク１に接触し、抵抗測定回路６に信号を送ってワークの電気抵抗値を計測する。マグネット７はＸ軸方向に平行移動して測定対象ワーク１に与える磁界強度を変化させ、かつＸ軸回りに１８０度回転して前記測定対象ワーク１に与える磁界の方向を反転させる。前記マグネット７がＸ軸方向に移動してもＡ信号線４やＢ信号線５に誘導電圧が発生しないようにするため、これらの信号線をＺ軸方向に（すなわち磁界方向に）対向離間させて配列する。前記２本の信号線４，５の間に磁力線が通らないので、マグネット７が矢印ａ−ｃ方向に移動しても信号線に誘導電圧が発生しない。なお、アーム１０を樹脂で構成してあるので、渦電流が誘導されることも無い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
1対または複数対の平行な信号線の先端に接続されたプローブを測定対象ワークに接触導通させて抵抗値を測定しつつ、上記測定対象ワークをマグネットの磁界内に位置せしめ、
上記マグネットを前記信号線と平行に移動させて測定対象ワークに印加される磁界強度を変化させたり、該マグネットを回転させて測定対象ワークに印加される磁界方向を反転させたりする強磁場内抵抗測定方法において、
前記1対または複数対の平行な信号線の長手方向をＸ軸とし、前記マグネットの磁極が対向している方向をＺ軸として、
上記1対または複数対の平行な信号線をＺ軸方向に対向離間させて配列することにより、該1対または複数対の平行な信号線によって形成されるループの中を磁力線が通過しないようにすることを特徴とする、強磁場内抵抗測定方法。
【請求項２】
電気絶縁性の非磁性体からなるアームを用いて前記の信号線を支承することにより、
マグネットの移動に伴って信号線支承部材内の誘導渦電流発生を防止することを特徴とする、請求項１に記載した強磁場内抵抗測定方法。
【請求項３】
1対または複数対の平行な信号線の先端に接続されたプローブと、
上記プローブの接触を受ける位置に在る測定対象ワークに対してＺ軸方向の磁場を印加するマグネットと、
上記マグネットを前記信号線と平行なＸ軸方向に移動させる手段と、
該マグネットの磁界方向を反転させる手段とを有する強磁場内抵抗測定装置において、
前記Ｘ軸方向の1対または複数対の平行な信号線が、Ｚ軸方向に対向離間していることを特徴とする強磁場内抵抗測定装置。
【請求項４】
前記２本の信号線が、基板の導通パターンによって形成されていることを特徴とする、請求項３に記載した強磁場内抵抗測定装置。
【請求項５】
前記1対または複数対の平行な信号線を形成された基板が、電気絶縁性の非磁性体からなるアームによって支承されていることを特徴とする、請求項４に記載した強磁場内抵抗測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドの検査などに用いられる強磁場内抵抗測定に係り、簡単で安価な構成で測定誤差の発生を防止したものである。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来例の強磁場内抵抗測定装置を描いた模式図である。
測定対象ワーク１に２本のプローブ２を接触させ、２本の信号線（Ａ信号線４とＢ信号線５と）を介して抵抗測定回路６によって抵抗値を測定しながら、前記測定対象ワーク１に対して与える磁界の方向および強度を変化させるようになっている。
図示を省略するが、４本、６本、８本…すなわち複数対のプローブに複数対の信号線を介して抵抗測定回路を接続した従来例も有る。説明の便宜上、以下、１対（２本）の信号線に１対（２本）のプローブが接続された従来例について述べる。複数対の場合も、その内の１対（２本）について考察すると以下に述べる１対（２本）と同様である。
前記１対（２本）のプローブ２は基板３に装着されており、該基板３は真鍮製のアーム８で支承されている。
【０００３】
本図には２個のマグネットを描いてあるが、マグネットの設置個数は１個であって、矢印ａ−ｃ方向に往復させるように案内・駆動手段（図示省略）を備えている。
符号７Ａを付して示したのは前進位置のマグネット、符号７Ｂは後退位置のマグネットである。マグネットに付記した符号Ｎ，Ｓは磁極と極性とを表しており、仮想線で付記したのは導磁ヨークを表している。実際のヨークは環状であるが、図を簡潔にするためコの字形に描いてある。
【０００４】
説明の便宜上、磁界に平行なＺ軸を想定し、磁界方向をＺ′とし、その反対方向をＺとする。
前記２本の信号線の方向はＺ軸に直交している、この方向をＸ軸とする。
次に、測定対象ワーク１に与える磁界の強度と方向とを変化させる状態について、本図３を参照しつつ説明する。
【０００５】
第１工程
マグネットを前進位置７Ａにする。これにより、測定対象ワーク１に与えられるＺ′方向の磁界強度は最大値＋１．５（Ｔ）になる。
第２工程
前進位置のマグネット７Ａを、矢印ａ方向に後退位置７Ｂまで平行移動させる。これにより、測定対象ワーク１に与えられる磁界強度は最小値０（Ｔ）まで減少する。
第３工程
後退位置のマグネット７Ｂを円弧矢印ｂのように、Ｘ軸周りに１８０度回転させる。この工程においては測定対象ワーク１に与えられる磁界強度は別段変化しない（磁界強度０であるから）。
第４工程
後退位置のマグネット７Ｂを、矢印ｃのように前進位置７Ａまで平行移動させる。これにより、測定対象ワーク１に与えられる磁界強度は、反対方向の最大値−１．５（Ｔ）まで増加する。
第５工程
第２工程と同様に操作（矢印ａ移動）して、磁界強度を０（Ｔ）まで弱め、
第６工程
第３工程と類似の操作（円弧矢印ｄ回転）して磁極方向を反転させ、
第７工程
後退位置のマグネット７Ｂを、矢印ｃのように前進位置７Ａまで平行移動（矢印ｃ）させる。これにより、測定対象ワーク１に与えられる磁界強度は、正の最大値＋１．５（Ｔ）まで増加する。
【０００６】
磁界を印加して電気抵抗を測定する技術に関しては、特許文献１に示した特開２００１−３１１７５０号公報に記載されたシート抵抗測定方法が公知であるが、この発明方法は磁力線を印加して渦電流を発生させ、渦電流損失を計測して抵抗値を算出するものであり、本発明とは異なる分野の技術である。
【特許文献１】特開２００１−３１１７５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述の抵抗値測定操作における第２工程、第４工程、第５工程及び第７工程、すなわちマグネットをＸ軸方向に平行移動させる際、次のような不具合を生じる。
イ．２本の信号線（４，５）、及びプローブ２によって形成されるループの中を磁力線が移動するので、微小な誘導電圧を生じる。電圧値は極微小であるが、強磁場内抵抗測定
は極度に高精度を要するので、この誘導電圧による誤差を無視できない。
ロ．導電性の材料で構成されているアーム８の中を磁力線が移動するので、誘導渦電流を生じて該アーム８が動かされる。
アーム８が動くとプローブ２が動かされ、測定対象ワーク１に対して摺動するので測定誤差を生じる。
【０００８】
本発明は以上に述べた事情に鑑みて為されたものであって、その目的は、
マグネットを信号線と平行に移動させても該信号線に誘導電圧を生ぜず、かつアームに渦電流を生じる虞れの無い強磁場内抵抗測定技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために創作した本発明の基本的な原理を略述すると次のごとくである。
イ．信号線に誘導電圧を生じさせないためには、該信号線によって形成されるループの中に磁力線が通らないようにする。すなわち、信号線によって形成されるループを、磁力線と平行な面内に位置せしめる。
ロ．アーム内に渦電流が生じないようにするため、該アームを電気絶縁性の材料で構成する。
【００１０】
請求項１の発明に係る強磁場内抵抗測定方法は、
1対または複数対の平行な信号線の先端に接続されたプローブを測定対象ワークに接触導通させて抵抗値を測定しつつ、上記測定対象ワークをマグネットの磁界内に位置せしめ、
上記マグネットを前記信号線と平行に移動させて測定対象ワークに印加される磁界強度を変化させたり、該マグネットを回転させて測定対象ワークに印加される磁界方向を反転させたりする強磁場内抵抗測定方法において、
前記1対または複数対の平行な信号線の長手方向をＸ軸とし、前記マグネットの磁極が対向している方向をＺ軸として、
前記1対または複数対の信号線をＺ軸方向に対向離間させて配列することにより、該1対または複数対の信号線によって形成されるループの中を磁力線が通過しないようにすることを特徴とする。
【００１１】
請求項２の発明に係る強磁場内抵抗測定方法は、前記請求項１の発明方法の構成要件に加えて、
電気絶縁性の非磁性体からなるアームを用いて前記1対または複数対の信号線を支承することにより、マグネットの移動に伴って信号線支承部材内の誘導渦電流発生を防止することを特徴とする。
【００１２】
請求項３の発明に係る強磁場内抵抗測定装置の構成は、
1対または複数対の平行な信号線の先端に接続されたプローブと、
上記プローブの接触を受ける位置に在る測定対象ワークに対してＺ軸方向の磁場を印加するマグネットと、
上記マグネットを前記信号線と平行なＸ軸方向に移動させる手段と、
該マグネットの磁界方向を反転させる手段とを有する強磁場内抵抗測定装置において、
前記Ｘ軸方向の1対または複数対の信号線が、Ｚ軸方向に対向離間して配設されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４の発明に係る強磁場内抵抗測定装置の構成は、前記請求項３の発明の構成要件に加えて、
前記1対または複数対の信号線が、基板の導通パターンによって形成されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項５の発明に係る強磁場内抵抗測定装置の構成は、前記請求項４の発明の構成要件に加えて、
前記1対または複数対の信号線を形成された基板が、電気絶縁性の非磁性体からなるアームによって支承されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１の発明方法を適用すると、1対または複数対の信号線が磁界方向に対向するため、該1対または複数対の信号線で形成されるループの中に磁力線が通らない。
従って、マグネットを移動させて測定対象ワークに与えられる磁界を変化させても、ループを形成している信号線に誘導電圧を生じない
誘導による悪影響を防止し得たため、従来例に比して数倍の速度で高精度測定を行ない得るようになった。
【００１６】
請求項２の発明方法を、前記請求項１の発明方法に併せて適用すると、
信号線を支承するアームを電気絶縁性の材料で構成するので、該アーム内を磁力線が移動しても、渦電流が誘導されない。従って、アームが電磁力で動かされることが無く、該アームに支承されているプローブが静止状態を保持し、電気抵抗値の高精度測定を妨げられる虞れが無い。
【００１７】
請求項３に係る強磁場内抵抗測定装置を適用すると、1対または複数対の信号線がＺ軸方向すなわち磁界方向に対向して配設されているので、該1対または複数対の信号線で形成されるループの中に磁力線が通らない。従って、磁力線が移動しても信号線に誘導電圧が発生せず、高精度の抵抗値測定が可能になる。
誘導による悪影響を防止し得たため、従来例に比して数倍の速度で測定を行ない得るようになった。
【００１８】
請求項４に係る強磁場内抵抗測定装置を、前記請求項３の発明に併せて適用すると、
1対または複数対の信号線が基板の導通パターンで構成されているので、該1対または複数対の信号線が低コストで高精度に構成され、しかも相互の位置関係が確実に保持される。
その上、基板の厚さ寸法を小さく構成することによってマグネットの磁極間隔を縮小することができる。磁極間隔の縮によって導磁抵抗が減少して強い印加磁界を得ることができる。
【００１９】
請求項５に係る強磁場内抵抗測定装置を、前記請求項４の発明に併せて適用すると、
基板を支承しているアームが非磁性体で構成されているので、磁力線がアームに対して移動しても該アーム内に渦電流が誘導されない。
従って、アームが電磁力で動かされる虞れが無い。アームが動かされないので、これによって支承されているプローブが安定して保持され、高精度で電気抵抗を測定することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は本発明に係る強磁場内抵抗測定装置の実施形態を示す模式図に部分拡大断面図を付記した図である。
本図は,本発明を簡明に表すため、１対（２本）のプローブと１対（２本）の信号線とを描いてあるが、これらの部材の複数対（偶数本）が配置されている場合も、原理的には１対（２本）の場合と同様である。
符号７を付して示したのはマグネットである。図示を省略するが前掲の図３（従来例）におけると同様に、Ｘ軸方向（矢印ａ−ｃ）に往復平行移動させる手段、及び、Ｘ軸周りに１８０度回転させる手段を備えている。
測定対象ワーク１、プローブ２、及び抵抗測定回路６は前掲の図３（従来例）におけると同様ないし類似の部材である。
【００２１】
本実施形態のプローブ２は細長い基板９の一端に設置され、樹脂製アーム１０によって支承されている。
Ｚ軸はマグネット７の磁界の方向であり、Ｘ軸は基板９の長手方向である。
上記基板９のＺ−Ｙ面による断面の拡大を本図１の右下部に鎖線楕円で囲んで示す。
この基板９の中に２本の信号線が通っている。その片方をＡ信号線と名付けて符号４を付し、他方をＢ信号線と名付けて符号５を付した。
本発明を実施する場合、前記のアームを構成する材料は樹脂に限定されない。要するに非磁性の電気絶縁性材料を用いればよい。
【００２２】
前記２本の信号線は相互に平行で、Ｘ方向に配置されており、
該２本の信号線５Ａ，５ＢはＺ方向に対向離間している。
マグネット７の磁力線がＺ軸方向であり、２本の信号線がＺ軸方向に対向しているから、該２本の信号線の間に磁力線が通らない。
上記２本の信号線はプローブ２を介してループを形成しているが、このループの中に磁力線が通っていないから、磁力線が移動しても信号線に誘導電圧を生じない。
【００２３】
Ｚ軸方向に対向離間する２本の信号線とプローブ２との関係について、図２を参照しつつ詳しく説明する。
図２（Ａ）は、対比のために示した従来例の模式的な平面図である。前掲の図３（従来例）と見比べて御理解いただきたい。
図２（Ｂ）は本発明の実施例における模式的な平面図であって、２本の信号線（４，５）が重なって１本に描かれている。その斜視図を図２（Ｃ）に示した。
Ａ信号線４とＢ信号線５とは、プローブ２に対する接続部では左右に並んでいるが、プローブの直近で立体的に捩れ交差して、その大部分は上下（Ｚ軸方向）に並んでいる。
【００２４】
単独の信号線を図２（Ｃ）のように空中に保持することは容易でないが、本実施形態においては図１に表されているように基板９の中に形成されているから、確実に保持され、外部から保護されている。
さらに、本実施形態のように信号線を基板の導通パターンとして作成すると、２本の信号線の間隔寸法を小さく構成することができる。その結果、マグネット７の磁極間隔を狭めることができる。
磁極間隔が狭いと、導磁抵抗が少ないので強力な磁界が得られ、測定対象ワーク１に対して強力な磁界を印加することができる。
【００２５】
（図１参照）本実施形態のアーム１０は樹脂製である。このため、マグネット７が移動して磁力線が移動しても、アーム１０の中に渦電流が誘導されない。従って、アームが電磁力によって動かされる虞れが無い。
アームが静止していると、これに支承された基板９が安定し、プローブ２が安定に保持される。このため高精度の抵抗測定が可能になる。
上述したように、誘導による悪影響を防止したので、本実施形態においては従来例に比してマグネットを数倍の速度で移動させて高精度測定を行ない得るようになり、能率向上の効果も得られた。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る強磁界内抵抗測定装置の１実施形態を示す模式図に部分拡大断面を付記した図
【図２】（Ａ）は比較対照のために示した従来例の要部平面図、（Ｂ）は本発明の１実施形態における模式的な要部平面図、（Ｃ）は本発明の１実施形態における模式的な要部斜視図
【図３】従来例の強磁界内抵抗測定装置を描いた模式的な斜視図に、作動を表す矢印を付記した図
【符号の説明】
【００２７】
１…測定対象ワーク
２…プローブ
３…基板
４…Ａ信号線
５…Ｂ信号線
６…抵抗測定回路
７…マグネット
７Ａ…前進位置のマグネット
７Ｂ…後退位置のマグネット
８…アーム
９…基板
１０…樹脂製アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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