(57)【要約】【課題】比較的に簡単な方法で吸着エリアを変えることが可能な真空吸着テーブルを提供する。【解決手段】テーブル本体２０の径方向ｄ１が、テーブル受け部３０の吸引路３４の延び方向に一致している場合、当該最大径ｄ１の同心円上の両端吸着孔２２，２２、及び、それら両端吸着孔２２，２２の間に位置する吸着孔２２だけが吸引路３４に連通する。従って、最大径ｄ１の同心円上の両端吸着孔２２を囲む領域Ｅ１が、ワークＷを吸着可能な吸着エリアとなる。回転駆動機構１２がテーブル本体２０をテーブル受け部３０に対して相対的に回転させると、両端吸着孔２２，２２が径ｄ４の同心円上に位置する吸着孔群が、吸引路３４に対応した位置にあり、当該径ｄ４の同心円上の両端挿通孔２２を囲む領域Ｅ２が、ワークＷを吸着可能な吸着エリアとなる。【選択図】図４
2008117811.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着対象物を真空吸着する真空吸着テーブルであって、
前記吸着対象物が配置される配置面を有するテーブル本体と、前記テーブル本体に対し相対的に移動可能で、且つ、前記テーブル本体に対し前記配置面とは反対側から密着されるテーブル受け部とを備え、
前記テーブル本体は、前記配置面上に真空引き用の複数の吸着孔が開口形成され、
前記テーブル受け部は、前記テーブル本体と接触する面に、吸引装置に連なり前記配置面側から前記吸着孔を通じて空気を吸引する吸引路が開口形成され、
前記配置面上において前記吸引路に連通する吸着孔によって形成される吸着エリアが、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対的な移動に応じて変化する構成である真空吸着テーブル。
【請求項２】
前記テーブル本体と前記テーブル受け部とは、略円形または略多角形をなし、その中心を通過する中心軸を中心に相対的に回転可能とされ、前記吸着エリアが、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対角度に応じて変化する構成である請求項１に記載の真空吸着テーブル。
【請求項３】
前記複数の吸着孔は、前記テーブル本体の前記配置面上において前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる複数の直線にそれぞれ沿って形成され、且つ、前記各延長方向ごとの吸着孔は、当該延長方向における両端縁の距離が互いに異なる構成とされ、
前記吸引路は、前記複数の直線のうちの一部の直線に沿って前記延長方向における両端縁の最大距離に対応した長さに延長した形状に開口形成されている請求項２記載の真空吸着テーブル。
【請求項４】
前記吸着エリアは、前記中心軸と平行をなす所定の基準軸を中心に大きさが変化する請求項２または請求項３に記載の真空吸着テーブル。
【請求項５】
前記吸引路は、前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる複数の直線にそれぞれ沿って形成され、且つ、前記各延長方向ごとの形状は、当該延長方向における両端縁の距離が互いに異なる構成とされ、
前記複数の吸着孔は、前記テーブル本体の前記配置面上において前記複数の直線のうちの一部の直線に沿って並んで形成されている請求項１記載の真空吸着テーブル。
【請求項６】
前記テーブル本体の前記配置面には、前記中心軸の周りに当該中心軸からの径が互いに異なる複数の溝が形成され、
前記複数の吸着孔は、前記各溝内にそれぞれ形成され、且つ、前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる各直線上にそれぞれ開口形成され、
前記吸引路は、一径方向の直線上に沿って開口形成されている請求項２に記載の真空吸着テーブル。
【請求項７】
前記テーブル受け部には、前記吸引装置に接続される接続口が設けられ、
前記複数の吸着孔は、前記接続口までの吸引経路の体積が互いに略同一である請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の真空吸着テーブル。
【請求項８】
前記テーブル本体と前記テーブル受け部との間には、前記吸引路を囲む位置にパッキンが設けられている請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の真空吸着テーブル。
【請求項９】
前記吸引装置と、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対的な移動に伴って変化する吸着エリアの大きさに応じて吸引量を変化させる吸引量変更部と、を備える請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の真空吸着テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着対象物を真空吸着する真空吸着テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、生産ライン等において、ワークを加工装置の加工位置まで搬送すると共に、加工中においてワークを上記加工位置で保持するために、真空吸着テーブルが用いられる。この真空吸着テーブルは、載置面から裏面側へ空気を吸引するための吸着孔が開口形成された吸着板を備え、この空気の吸引力をもって吸着板上に載置されたワークを吸着固定するようになっている。
【０００３】
ところが、ワークの被吸着面の大きさが吸着板の吸着領域（上記吸着孔を囲む領域）の大きさよりも小さい場合、吸着領域にワークに当接しない部分が生じる。この状態でワークを吸引すると、このワークに当接しない吸着領域から空気が抵抗なく吸引されワークの吸引力が働かなくなるため、真空チャックにワークが吸着されなくなる。
【０００４】
そこで、特許文献１には、真空チャックの吸着板を表裏両面に連通する複数の透孔を有した板材であって、且つ、同一軸線を中心とし互いに径が異なる複数の円筒状の非通気層で区切られた吸着板を備えた真空チャックが開示されている。区切られた複数の吸着部には、個別の空気流路が連通し、それぞれの空気流に切替弁が設けられている。そして、各切替弁の開閉制御によって吸着可能なエリアを段階的に変化させることで、種々の大きさのワークに対応できるようになっている。
【特許文献１】特開平８−３９３７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１の真空チャックは、切替弁の開閉制御によって吸着エリアを変化させる構成であるから、その弁制御のための構成が必要となる。
【０００６】
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、その目的は、比較的に簡単な方法で吸着エリアを変えることが可能な真空吸着テーブルを提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための手段として、第１の発明に係る真空吸着テーブルは、吸着対象物を真空吸着する真空吸着テーブルであって、前記吸着対象物が配置される配置面を有するテーブル本体と、前記テーブル本体に対し相対的に移動可能で、且つ、前記テーブル本体に対し前記配置面とは反対側から密着されるテーブル受け部とを備え、前記テーブル本体は、前記配置面上に真空引き用の複数の吸着孔が開口形成され、前記テーブル受け部は、前記テーブル本体と接触する面に、吸引装置に連なり前記配置面側から前記吸着孔を通じて空気を吸引する吸引路が開口形成され、前記配置面上において前記吸引路に連通する吸着孔によって形成される吸着エリアが、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対的な移動に応じて変化する構成である。
【０００８】
第２の発明は、第１の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル本体と前記テーブル受け部とは、略円形または略多角形をなし、その中心を通過する中心軸を中心に相対的に回転可能とされ、前記吸着エリアが、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対角度に応じて変化する構成である。
【０００９】
第３の発明は、第２の発明の真空吸着テーブルにおいて、前記複数の吸着孔は、前記テーブル本体の前記配置面上において前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる複数の直線にそれぞれ沿って形成され、且つ、前記各延長方向ごとの吸着孔は、当該延長方向における両端縁の距離が互いに異なる構成とされ、前記吸引路は、前記複数の直線のうちの一部の直線に沿って前記延長方向における両端縁の最大距離に対応した長さに延長した形状に開口形成されている。
【００１０】
第４の発明は、第２または第３の真空吸着テーブルにおいて、前記吸着エリアは、前記中心軸と平行をなす所定の基準軸を中心に大きさが変化する。
【００１１】
なお、次のような発明であってもよい。
（発明Ａ）第２の発明の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル本体は円形または正多角形の形状をなし、前記複数の吸着孔は、前記テーブル本体の前記配置面上において前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる複数の直線にそれぞれ沿って形成され、且つ、前記複数の吸着孔は、前記テーブル本体の外周面に開口形成された複数の出力孔それぞれに個別に連通し、前記各延長方向ごとの吸着孔は、当該延長方向における両端縁の距離が互いに異なる構成とされ、前記テーブル受け部は前記テーブル本体の外周面を囲んで接触する囲み壁が設けられ、当該囲み壁内側の所定箇所に、前記複数の出力孔に対して選択的に前記吸引路を連通させる入力孔が開口形成されている。この発明によれば、テーブル本体とテーブル受け部とを相対的に回転させることで、吸引路に連なる入力孔が複数の出力孔に選択的に連結し、その連結された出力孔によってそれに連通する吸着孔によって形成される吸着エリアの大きさが変化する。
（発明Ｂ）第３の発明または発明Ａの真空吸着テーブルにおいて、前記延長方向が互いに直交する吸着孔同士は、前記中心軸を基準とした点対称の形状に開口形成されている。この発明によれば、直交２方向において吸着孔の形状が同一であるから、吸着対象物を当該直交２方向において安定的に吸着保持できる。
【００１２】
第５の発明は、第１の発明の真空吸着テーブルにおいて、前記吸引路は、前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる複数の直線にそれぞれ沿って形成され、且つ、前記各延長方向ごとの形状は、当該延長方向における両端縁の距離が互いに異なる構成とされ、前記複数の吸着孔は、前記テーブル本体の前記配置面上において前記複数の直線のうちの一部の直線に沿って並んで形成されている。
【００１３】
なお、次のような発明であってもよい。
（発明Ｃ）第５の発明の真空吸着テーブルにおいて、前記複数の吸着孔は、前記延長方向が互いに直交する直線上において前記中心軸を基準とした点対称の位置に開口形成されている。この発明によれば、直交２方向において吸着孔が同一位置に形成されているから、吸着対象物を当該直交２方向において安定的に吸着保持できる。
（発明Ｄ）第２の発明の真空吸着テーブルにおいて、前記複数の吸着孔は、互いに開口範囲が異なり、前記テーブル本体の前記配置面上において前記中心軸を中心に所定の角度ごとに区画された各区画領域にそれぞれ形成され、前記吸引路は、前記テーブル受け部上において前記一区画領域に対応した領域に、前記複数の吸着孔のうち開口範囲が最大の吸着孔に対応した大きさに開口形成されている。この発明によれば、テーブル本体とテーブル受け部とを相対的に回転させることで、吸引路が、互いに開口範囲が異なる吸着孔に対応した位置に順次移動し、これにより、吸着エリアの大きさが変化する。
【００１４】
第６の発明は、第２の発明の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル本体の前記配置面には、前記中心軸を中心とし互いに径が異なる円形状の複数の溝が形成され、前記複数の吸着孔は、前記各溝内にそれぞれ形成され、且つ、前記中心軸を通過し互いに延長方向が異なる各直線上にそれぞれ開口形成され、前記吸引路は、一径方向の直線上に沿って開口形成されている。
【００１５】
第７の発明は、第１から第６のいずれか１つの発明の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル受け部には、前記吸引装置に接続される接続口が設けられ、前記複数の吸着孔は、前記接続口までの吸引経路の体積が互いに略同一である。
なお、より具体的には、次の発明が望ましい。
（発明Ｅ）第１から第６のいずれか１つの発明の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル受け部には、前記吸引装置に接続される接続口が設けられ、前記複数の吸着孔は、前記接続口までの吸引経路が長い吸着孔ほど開口面積が小さくなっている。即ち、吸引路が長いほど、吸引装置による吸引力が低下するため、それに応じて開口面積を小さくすることで単位面積あたりの吸着力を均一化を図るのである。
【００１６】
第８の発明は、第１から第７のいずれか１つの発明の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との間には、前記吸引路を囲む位置にパッキンが設けられている。
【００１７】
なお、次のような発明であってもよい。
（発明Ｆ）第１から第８のいずれか１つの発明の真空吸着テーブルにおいて、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対的な回転に伴って形成される複数の吸着エリアは、互いに吸着力が略同一になるように前記各吸着孔の数・大きさ、位置が決定されている。この構成によれば、各吸着エリアの吸着力が略同一になるように、各吸着エリアを形成する吸着孔の数、大きさ（開口面積の大きさ）、位置（同じ吸着エリアに吸着孔が複数存在する場合にはそれらの吸着孔の配置間隔も含む）を決定するのが望ましい。
【００１８】
第９の発明は、第１から第８のいずれか１つの発明の真空吸着テーブルにおいて、前記吸引装置と、前記テーブル本体と前記テーブル受け部との相対的な移動に伴って変化する吸着エリアの大きさに応じて吸引量を変化させる吸引量変更部と、を備える。
【発明の効果】
【００１９】
＜第１，２の発明＞
本発明によれば、配置面上において、吸引路に連通する吸着孔を囲んだエリアが、吸着対象物を吸着可能なエリア（吸着エリア）となる。そして、テーブル本体とテーブル受け部とを相対的に移動（例えばスライド移動や相対的に回転）させることで、吸引路に連通する吸着孔が変化し、これにより上記吸着エリアを容易に変化させることができる。
【００２０】
＜第３の発明＞
本発明によれば、テーブル本体とテーブル受け部との相対的な回転により、吸引路が、延長方向（中心軸を中心とした径方向）における両端縁の距離が最も長い吸着孔に対応した位置にあるとき吸着エリアが最大となり、吸引路が、延長方向における両端縁の距離が最も短い吸着孔に対応した位置にあるとき吸着エリアが最小となる。
【００２１】
＜第４の発明＞
本構成によれば、吸着エリアがテーブル本体とテーブル受け部との回転中心軸と平行をなす所定の基準軸（上記回転中心軸そのものであっても、或いは、当該回転中心軸以外の軸であってもよい）を中心に大きさが変化するから、吸着対象物を配置すべき吸着エリアの位置を把握しやすい。
【００２２】
＜第５の発明＞
本発明によれば、テーブル本体とテーブル受け部との相対的な回転により、吸着孔が、吸引路のうち延長方向における両端縁の距離が最も長い径方向の部分に対応した位置にあるとき吸着エリアが最大となり、吸着孔が、吸引路のうち延長方向における両端縁の距離が最も短い径方向の部分に対応した位置にあるとき吸着エリアが最小となる。
【００２３】
＜第６の発明＞
本構成によれば、テーブル本体とテーブル受け部とを相対的に回転させることで、吸引路に連通する径方向外側の吸着孔と中心軸との距離が変化し、また、吸引路に連通した吸着孔が位置する溝が吸着エリアとなる。従って、その溝が形成された範囲で均一な吸着力を発生させることができる。なお、「中心軸の周りに当該中心軸からの径が互いに異なる複数の溝」は中心軸の周りを全周に亘って囲む形状（特に環状）が望ましい。
【００２４】
＜第７の発明＞
接続口からの吸引路が長い吸着孔ほど、当該吸着孔での吸引装置による吸引力は低下し得る。そこで、本発明では、各複数の吸着孔から共通の接続口までのそれぞれの吸引経路の体積が互いに略同一になっている。例えば、接続口からの吸引路が長い吸着孔ほど開口面積を小さくして各吸着孔における吸着力の均一化を図っている。
【００２５】
＜第８の発明＞
本発明によれば、テーブル本体とテーブル受け部との密着度を高めて吸着力の向上を図ることができる。
【００２６】
＜第９の発明＞
共通の吸引装置で吸引する構成では、吸着エリアの大きさに応じて吸引力が変動し得る。そこで、本発明では、例えば吸着エリアの大きさに応じて吸引量を変更することで吸着エリアにかかわらず単位面積あたりの吸着力を略均一に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１〜図４を参照しつつ説明する。
【００２８】
図１は、本発明に係る真空吸着テーブル１０を示した斜視図であり、テーブル本体２０をテーブル受け部３０から取り外した状態が示されている。図２は、真空吸着テーブル１０が使用される一例を示した模式図であり、レーザ加工装置４０と、上記真空吸着テーブル１０を有する真空吸着装置１１とが図示されている。なお、図２において、真空吸着テーブル１０は図１のＸ−Ｘ破断面における断面図（テーブル受け部３０にテーブル本体２０を組み付けた状態）として示されている。
【００２９】
１．全体構成
図２の例示するように、真空吸着テーブル１０は、レーザ加工装置４０によってレーザ加工されるワークＷ（例えば半導体チップなどの電子部品やフィルムなど  「吸着対象物」の一例）を所定の加工位置で保持するために使用される。レーザ加工装置４０は、レーザ光Ｌを出射するレーザ発振器４１、ガルバノミラー４２及び収束レンズ４３を備えている。レーザ発振器４１から出射されたレーザ光Ｌは、例えば１対のガルバノミラー４２（図２では１つのみ図示）で反射され収束レンズ４３を介してワークＷ上に照射される。そして、所望のマーキングパターンに基づき１対のガルバノミラー４２を回転駆動することで、ワークＷ上においてレーザ光Ｌの照射点が二次元方向に走査され、これにより上記マーキングパターンがワークＷ上にマーキングされる。
【００３０】
（１）真空吸着装置
真空吸着装置１１は、真空吸着テーブル１０、回転駆動機構１２、開閉弁１３、吸引装置１４及び制御部１５を備えている。回転駆動機構１２は、後述するテーブル本体２０の回転軸２０Ａに例えばギア連結し、当該回転軸２０Ａを中心にテーブル本体２０をテーブル受け部３０に対して相対的に回転させる役割を果たす。また、開閉弁１３（「吸引量変更部」の一例）は、テーブル受け部３０の接続口３１と吸引装置１４とを連結する空気伝送路１６途中に設けられており、この開閉弁１３の開閉量を変更することで真空吸着テーブル１０に対する空気の吸引量を変更することができる。
【００３１】
制御部１５は、図示しない上位装置やコンソールからの指令信号に基づき回転駆動機構を制御し、テーブル受け部３０に対するテーブル本体２０の相対角度を変更させる。これとともに、制御部１５は、テーブル受け部３０に対するテーブル本体２０の各相対角度に応じて開閉弁１３の開閉度を調整する。
【００３２】
（２）真空吸着テーブル
ａ．テーブル本体
図１〜図３に示すように、テーブル本体２０は、円形板状の形状をなし、その一方の面（表面）が、上記ワークＷが配置される配置面２１とされる。配置面２１とは反対側の面（裏面）には、その中心軸Ｘ（「中心軸」の一例）の位置に上記回転駆動機構１２からの駆動力を受ける回転軸２０Ａが突出形成されている。また、テーブル本体２０の表面には、裏面まで貫通した真空引き用の吸着孔２２が複数開口形成されている。具体的には、図３上段に示すように、テーブル本体２０には、各径方向（中心軸Ｘを通過する直線の延長方向）に沿って２以上の挿通孔２２が形成されており、且つ、各径方向に応じて径方向における両端位置の２つの挿通孔２２，２２（各径方向において最も外側に位置する２つの吸着孔２２，２２）の離間間隔が異なる。換言すれば、各径方向における両端位置の２つの挿通孔２２，２２は、上記中心軸Ｘを中心とする同心円上に位置し、かつ、その同心円の径が各径方向に応じて異なる。
【００３３】
より具体的には、図３において紙面左右方向及び縦横方向（ｄ１）における両端吸着孔２２，２２は半径ｒ１の同心円上に開口形成されている。紙面左右方向及び縦横方向より所定角度だけ紙面時計回りに回転した径方向ｄ２における両端吸着孔２２，２２は半径ｒ１の同心円よりも一回り小さい半径ｒ２（ｒ＜１）の同心円上に開口形成されている。更に、径方向ｄ２よりも所定角度だけ紙面時計回りに回転した径方向ｄ３における両端吸着孔２２，２２は半径ｒ２の同心円よりも一回り小さい半径ｒ３（ｒ＜２）の同心円上に開口形成されている。以下同様に、径方向ｄ３よりも所定角度だけ紙面時計回りに回転した径方向ｄ４における両端吸着孔２２，２２は半径ｒ３の同心円よりも一回り小さい半径ｒ４（ｒ＜３）の同心円上に、径方向ｄ４よりも所定角度だけ紙面時計回りに回転した径方向ｄ５における両端吸着孔２２，２２は半径ｒ４の同心円よりも一回り小さい半径ｒ５（ｒ＜４）の同心円上に、それぞれ開口形成されている。
【００３４】
また、本実施形態では、各径方向において、両端吸着孔２２，２２より内側に存在する同心円上にも吸着孔２２が形成されている。例えばｄ１方向においては、両端吸着孔２２，２２の内側に存在する半径ｒ２，ｒ３，ｒ４，ｒ５の４つの同心円上にもそれぞれ吸着孔２２が１つずつ形成されている。但し、両端吸着孔２２，２２以外の吸着孔２２はなくても本発明の効果を得ることができる。なお、本実施形態では、半径ｒ１〜ｒ５の５つの同心円は互いに均一間隔で配置されている。そして、図３から明らかなように、互いに直交する２つの径方向における吸着孔２２の位置関係は、中心軸Ｘを基準とした点対称とされている。
【００３５】
ｂ．テーブル受け部
テーブル受け部３０は、図３下段に示すように、テーブル本体２０に対応して円形状の受け皿形状をなし、円形の周壁部３２の内側に上記テーブル本体２０が嵌められる。テーブル受け部３０の底部には、その中心軸Ｘを中心とし、内部が貫通した軸受け筒部３３が設けられている。また、上記底部（「テーブル本体と接触する面」の一例）には、直交２方向に延びる吸引路３４が軸受け筒部３３で交差するように形成されている。なお、軸受け筒部３３の周囲には有底の溝３５が形成されており、この溝３５を介して吸引路３４全体の空気を１つの接続口３１から吸引できるようにしている。吸引路３４において中心軸Ｘから径方向外側部までの距離は、テーブル本体２０の最大径の同心円の径ｄ１以上の長さになっている。
【００３６】
テーブル本体２０をテーブル受け部３０に組み付けるには、まず、上記吸引路３４に対応した形状に切り抜かれた円形状のパッキン３６をテーブル受け部３０の底面に敷く。そして、上記回転軸２０Ａをテーブル受け部３０の軸受け筒部３３内に挿入しつつテーブル本体２０をテーブル受け部３０の周壁部３２に嵌め合わせる。上記パッキン３６は、テーブル本体２０とテーブル受け部３０との間に挟まれて、テーブル受け部３０の底面のうち吸引路３４を囲む部分の密閉性を高める役割を果たす。
【００３７】
２．作用効果
例えば図４上段に示すように、テーブル本体２０の径方向ｄ１が、テーブル受け部３０の吸引路３４の延び方向に一致している場合、換言すれば、両端吸着孔２２，２２が最大径ｒ１の同心円上に位置する吸着孔群が、吸引路３４に対応した位置にある場合、当該最大径ｒ１の同心円上の両端吸着孔２２，２２、及び、それら両端吸着孔２２，２２の間に位置する吸着孔２２だけが吸引路３４に連通する。従って、最大径ｒ１の同心円上の両端吸着孔２２を囲む領域Ｅ１が、ワークＷを吸着可能な吸着エリアとなる。
【００３８】
次に、制御部１５が例えばコンソールから所定角度回転させる指令信号を受けると、上記回転駆動機構１２がテーブル本体２０をテーブル受け部３０に対して相対的に回転させる。その結果、例えば図４下段に示す状態となったとする。このとき、両端吸着孔２２，２２が径ｒ４の同心円上に位置する吸着孔群が、吸引路３４に対応した位置にあり、当該径ｒ４の同心円上の両端挿通孔２２を囲む領域Ｅ２が、ワークＷを吸着可能な吸着エリアとなる。
【００３９】
ここで、仮に、上記回転駆動の前後において吸引装置１４による吸引量（吸引力）を変更しない場合、より少ない吸着孔２２が開口している回転駆動後の状態の方が吸着エリアにおける単位面積あたりの吸着力が強くなる。ワークＷによっては例えばフィルムなどのように所定以上の吸着力で吸着すると変形してしまうおそれがあるものがあり、特にこの場合は、テーブル本体２０の回転前後で単位面積あたりの吸着力を所定レベル以下で均一にすることが望ましい。そこで、制御部１４は、予め各相対角度ごとに対応付けられた開閉量に開閉弁１３を調整し、テーブル受け部３０に対するテーブル本体２０の相対角度にかかわらず常時吸着エリアの単位時間あたり吸着力が略均一になるように制御している。なお、ここでいう略均一とは、必ずしても厳密な意味で均一であることは必ずしも必要ではなく、ワークＷに影響を与えない不均一さがあってもよい（以下同様）。
【００４０】
以上のように、テーブル本体２０をテーブル受け部３０に対して相対的に回転させることで、それに伴って吸着エリアの大きさを変えることができる。しかも、各吸着孔２２は、テーブル本体２０上で直交２方向において中心軸Ｘを中心に点対称の位置関係で配されている。従って、直交２方向において略均一な吸着力を発生させることができる。
【００４１】
また、テーブル本体２０とテーブル受け部３０との間に挟まれるパッキン３６によって吸引路３４内をより確実に密閉状態にすることができ、効率よく真空状態にすることができる。
【００４２】
＜実施形態２＞
図５〜図７は実施形態２を示す。前記実施形態との相違は、テーブル本体の挿通孔とテーブル受け部３０の吸引路の構成にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００４３】
図５上段に示すように、テーブル本体５０は、上記実施形態１のテーブル本体２０に対して、同一径方向に並ぶ吸着孔２２を繋げて長孔の錬通孔５１にした点で異なる。一方、テーブル受け部５３は、図５下段に示すように、上記実施形態１のテーブル受け部３０に対して、中心軸を通過する直交２方向の直線上に複数の吸引孔５４ａが所定間隔を隔てて並んだ吸引路５４が開口形成されている。そして、各吸引孔５４ａは、図６に示すようにテーブル受け部５３の下部に形成された中空部に連通し、ここに形成された接続口５５を介して空気が吸引されるようになっている。
以上の構成によれば、図７に示すように、テーブル本体５０をテーブル受け部５３に対して相対的に回転させることで吸着エリアの大きさを変えることができる。
【００４４】
＜実施形態３＞
図８〜図１１は実施形態３を示す。前記実施形態１との相違は、テーブル本体の吸着孔の孔構造、テーブル受け部の構造にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００４５】
図８に示すように、テーブル本体６０は、上面側から見ると上記実施形態１のテーブル本体２０と同じ位置に挿通孔６１が開口形成されている。しかし、例えば図９，１０の断面図に示すように、テーブル本体６０の外周面には各径方向ごとに個別の出力孔６２が開口形成されている。そして、各吸着孔６１は、同一径方向に並ぶもの同士だけがテーブル本体６０の内部で連通し、同一径方向に形成された上記各出力孔６２に連結されている。
【００４６】
一方、図８下段及び図１０に示すように、テーブル受け部６５の周壁部３２（「囲み壁」の一例）の内面（「テーブル本体と接触する面」の一例）には、入力孔６６（吸引路）が周方向において等間隔で例えば４箇所に開口形成されている。そして、この４つの入力孔６６は、テーブル受け部６５の下部で連通し共通の接続口６７に繋がっている。
【００４７】
以上の構成により、図１１に示すように、テーブル本体６０をテーブル受け部６５に対して相対的に回転させるごとに、テーブル受け部６５の入力孔６６が、テーブル本体６０の各径方向ごとの出力孔６２に順次連通することになる。これにより、ワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ５，Ｅ６も変化する。なお、本実施形態は、テーブル本体６０を作業者によって手動で回転させる構成となっている。また、テーブル本体６０の外周面に、上記出力孔６２を避けつつパッキン（図示せず）を設けることで入力孔６６と出力孔６２とをより確実に密閉状態にすることができる。また、入力孔６６は１つ、２つ、３つ、または５つ以上であってもよい。
【００４８】
＜実施形態４＞
図１２，１３は実施形態４を示す。前記実施形態１との相違は、テーブル本体及びテーブル受け部の構造にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００４９】
図１２に示すように、テーブル本体７０は、上記実施形態１のテーブル本体２０に対して最大径ｒ１の同心円上に両端吸着孔２２を有する吸着孔群だけを残して他の径方向の吸着孔２２は取り除いた構成になっている。一方、テーブル受け部７５は、上記実施形態１のテーブル受け部３０に対して中心軸Ｘ側から径方向外側に向けて延びる溝を各径方向ごとに複数形成して吸引路７６とされている。各溝は、各径方向に応じて長さが異なり、且つ、直交２方向においては中心軸Ｘを中心とした点対称形状になっている。
【００５０】
以上の構成により、図１３に示すように、テーブル本体７０をテーブル受け部７５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路７６に連通する径方向外側の吸着孔２２が位置する同心円が、径が大きいものから小さいものへと変化し、これにより、ワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ７，８が変化する。
【００５１】
＜実施形態５＞
図１４，１５は本発明の実施形態５を示す。図１４に示すように、本実施形態のテーブル受け部８５の吸引路８６は、直交２方向に延びる略半円形状の溝を４つ有した形状となっている。各溝は、上記実施形態４のテーブル受け部７５において各径方向に沿って延びる複数の溝を囲んだ外形をなしている。テーブル本体は、実施形態４のテーブル本体７０と同じである。
【００５２】
このような構成によれば、図１５に示すように、テーブル本体７０をテーブル受け部８５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路８６に連通する径方向外側の吸着孔２２が位置する同心円が、径が大きいものから小さいものへと変化し、これにより、ワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ９，１０が変化する。
【００５３】
＜実施形態６＞
図１６，１７は本発明の実施形態６を示す。図１６に示すように、本実施形態のテーブル受け部９５の吸引路９６は、上記実施形態４のテーブル受け部７５に対して各径方向における吸引路７６の溝を、所定間隔ごとに配列された複数の吸引孔９６とした構成になっている。各吸引孔９６は、テーブル受け部９５の内部で連通し、図示しない接続口を介して吸引装置に連結される。テーブル本体は、実施形態４のテーブル本体７０と同じである。
【００５４】
このような構成によれば、図１７に示すように、テーブル本体７０をテーブル受け部９５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路９６に連通する径方向外側の吸着孔２２が位置する同心円が、径が大きいものから小さいものへと変化し、これにより、ワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ１１，１２が変化する。
【００５５】
＜実施形態７＞
図１８，１９は実施形態７を示す。前記実施形態１との相違は、テーブル本体の吸着孔とテーブル受け部の吸引路の構成にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００５６】
図１８上段に示すように、テーブル本体１００は、円形平板状をなし、その中心軸Ｘを中心として周方向に均等区画された、例えば４つ区画領域内にそれぞれ開口範囲が異なる吸着孔群１０１Ａ〜１００Ｄが貫通形成されている。具体的には、吸着孔群１０１Ａは、最も広い範囲内に複数の吸着孔が所定間隔で格子状に配列されている。次に吸着孔群１０１Ｃが２番目に広い範囲内に、吸着孔群１０１Ｄが３番目に広い範囲内に、吸着孔群１０１Ｂが最も狭い広い範囲内に、それぞれ複数の吸着孔が所定間隔で格子状に配列されている。
【００５７】
テーブル受け部１０５は、全体として実施形態１のテーブル受け部３０と同一形状となす一方で、吸引路の形状が異なる。即ち、図１８下段に示すように、上記連通群１０１Ｃを囲むことができる程度の大きさの吸引路１０６が軸受け筒部３３の周囲の所定の位置に開口形成されている。
【００５８】
以上の構成により、図１９に示すように、テーブル本体１００をテーブル受け部１０５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路１０６に連通する吸着孔群が順次変更し、これによりワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ１３，１４が変化する。なお、本実施形態では、吸着エリアが上記中心軸Ｘ以外の軸を中心に大小変化するようになっている。
【００５９】
＜実施形態８＞
図２０，２１は実施形態８を示す。前記実施形態１との相違は、テーブル本体の吸着孔とテーブル受け部の吸引路の構成にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００６０】
図２０上段に示すように、テーブル本体１１０は、円形平板状をなし、その中心軸Ｘを中心として周方向に均等区画された、例えば４つ区画領域内にそれぞれ一周方向に向かうに連れて徐々にテーブル本体１１０の外縁に近づくように並ぶ複数の吸着孔１１１が開口形成されている。
【００６１】
テーブル受け部１１５は、全体として実施形態１のテーブル受け部３０と同一形状となす一方で、吸引路の形状が異なる。即ち、図２０下段に示すように、上記一区画領域内の円弧状に並ぶ吸着孔１１１を囲むことが可能な大きさの矩形溝が周方向において均等間隔で複数（本実施形態では４つ）備えてなる吸引路１１６が開口形成されている。
【００６２】
以上の構成により、図２１に示すように、テーブル本体１１０をテーブル受け部１１５に対して相対的に回転させるごとに、各区画領域において吸引路１１６に連通する吸着孔の数が変化し、これによりワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ１５，１６が変化する。
【００６３】
＜実施形態９＞
図２２から２６は実施形態９を示す。前記実施形態１との相違は、テーブル本体の吸着孔とテーブル受け部の吸引路の構成にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。
【００６４】
図２２及び図２３上段に示すように、テーブル本体１２０は、円形平板状をなし、配置面２１上には、その中心軸Ｘを中心とし互いに径が異なる複数の同心円状の溝１２１（「略環状の複数の溝」の一例）がそれぞれ全周に亘って形成されている。そして、各溝１２１には、上記中心軸Ｘを通過し互いに異なる径方向に沿った直線上に吸着孔１２２が貫通形成されている（図２４参照）。
【００６５】
テーブル受け部１２５は、全体として実施形態１のテーブル受け部３０と同一形状となす一方で、吸引路の形状が異なる。即ち、図２２及び図２３下段に示すように、例えば中心軸Ｘから一径方向に向かって延びる吸引路１２６が開口形成され、その底面に吸引装置１１と接続される接続口１２７に連なる吸引孔１２８が貫通形成されている。なお、テーブル受け部１２５の底面には、吸引路１２６を囲むようにパッキン１２９が配置され、テーブル本体１２０が嵌められた状態での吸着孔１２２と吸引路１２６とで形成される空間の密閉性が高められるようになっている。
【００６６】
以上の構成により、図２５，２６に示すように、テーブル本体１２０をテーブル受け部１２５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路１２６に連通擦る吸着孔１２２が変わり、これに伴って空気が吸引される同心円状の溝１２１も変わり、これによりワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ１７，１８が変化する。なお、なお、テーブル本体１２０の配置面２１上に形成すべき溝は、同心円状の溝１２１である必要は必ずしもなく、例えば同心軸を中心とし互いに大きさの異なる複数の同一形状（例えば正多角形など）の溝であってもよいし、また互いに形状が異なる構成であってもよい。また、中心軸Ｘの全周に亘って溝が形成されている必要は必ずしもなく、一部が間欠した溝であっても本発明でいう「略環状の溝」に含まれる。
【００６７】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記実施形態では、テーブル本体及びテーブル受け部は、互いに同じ円形形状であったが、異なる形状であってもよい。例えば図２７に示すように、テーブル本体１３０は、全体として四角形状をなし、その中央部に中心軸Ｘを通過し互いに異なる径方向に沿った直線上にそれぞれ吸着孔１３１が開口形成されている。各径方向ごとの吸着孔１３１（径方向外側の吸着孔）は、中心軸Ｘから距離が互いに異なる。図２７の例では、１組の直交２方向上の各外側吸着孔１３１と、別の組の直交２方向上の各外側吸着孔１３１とは中心軸Ｘを中心とし互いに径が異なる同心円上にそれぞれ開口形成されている。テーブル受け部１３５には、上記実施形態１のテーブル受け部３０の吸引路３４を、テーブル本体１３０の一辺の長さに対応した寸法まで縮尺した形状をなす吸引路１３６が開口形成されている。このような構成であっても図２８に示すように、テーブル本体１３０をテーブル受け部１３５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路１３６に連通する外側吸着孔１３１が変化し、これによりワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ１９，２０が変化する。なお、この場合、テーブル本体１３０を、テーブル受け部１３５の周壁部３２の内面に接する程度の大きさにすれば、テーブル本体１３０を周壁部３２の内面に沿って円滑に回転させることができる。
【００６８】
（２）上記各実施形態に対して、テーブル本体及びテーブル受け部を互いに同じ正多角形にする構成であってもよい。具体的には、例えば図２９に示すように、テーブル本体１４０及びテーブル受け部１４５は、例えば正八角形に形成され、テーブル本体１４０はテーブル受け部１４５の周壁部１４６内に収まる大きさになっている。テーブル本体１４０は、中心軸Ｘを通過し互いに異なる径方向に沿った直線上にそれぞれ吸着孔１４１が開口形成されている。各径方向ごとの吸着孔１４１（径方向外側の吸着孔）は、中心軸Ｘから距離が互いに異なる。図２９の例では、１組の直交２方向上の各外側吸着孔１４１と、別の組の直交２方向上の各外側吸着孔１４１とは中心軸Ｘを中心とし互いに径が異なる同心円上にそれぞれ開口形成されている。テーブル受け部１４５には、実施形態１と同じ吸引路３４が開口形成されている。このような構成であっても図３０に示すように、テーブル本体１４０をテーブル受け部１４５に対して相対的に回転させるごとに、吸引路３４に連通する外側吸着孔１４１が変化し、これによりワークＷを吸着可能な吸着エリアＥ２１，２２が変化する。しかもテーブル本体１４０とテーブル受け部１４５とが嵌合可能な角度ごとに対応して吸引路３４に連通する外側吸着孔１４１の径方向における位置が変化するように設計しておけば、所望の吸着エリアの設定を正確且つ容易に行うことができる。
【００６９】
（３）テーブル本体とテーブル受け部とを相対的に移動させる機構としては、上記実施形態以外に、例えばテーブル本体の外周面にギア歯を形成し、その周囲に設けら上記ギア歯と噛合うギアの駆動回転によってテーブル本体を回転させる構成であってもよい。
【００７０】
（４）上記各実施形態で、吸着孔が形成される同心円は略均一間隔で配置される構成としたが、これに限らず、例えば径方向における吸着力を均一にするために、吸引装置による空気の吸引力が弱まる径方向外側に向かうに連れて同心円の間隔を狭くする構成であってもよい。
【００７１】
（５）上記変形例（２）以外の構成については、テーブル受け部の周壁部がない構成であってもよい。また、変形例（２）についても全周に亘って連続的に周壁部を有する必要はなく、一部が切りかかれた構成であってもよい。
【００７２】
（６）上記実施形態では、テーブル本体上において少なくとも互いに異なる同心円上にそれぞれ吸着孔が形成される構成であったが、これに限らず、例えばテーブル本体に中心軸を中心とした同心円上に複数の挿通孔を開口形成し、テーブル受け部に上記同心円に沿った円弧状に開口した吸引路を形成した構成であってもよい。
【００７３】
（７）上記実施形態では、中心軸Ｘを中心として点対称に吸着孔を設けた構成としたが、例えば中心軸Ｘを通過する直線を基準とした線対称に吸着孔を設けた構成であってもよい。
【００７４】
（８）吸引装置に接続される接続口は、１つでなくても複数あってもよい。また、必ずしもテーブル受け部の中央位置に設ける必要もない。
【００７５】
（９）上記実施形態１において、吸引路３４は各相対角度において直交２方向に並ぶ吸着孔２２のみを連通させる構成であったが、これに限らず、各相対角度において、吸着孔２２が形成されている全径方向のうちの一部の径方向、複数の径方向（例えば径方向ｄ１、ｄ２）の形成される連通孔２２をまとめて連通させる程度の大きさに吸引路３４が形成されている構成であってもよい。
【００７６】
（１０）上記実施形態の中には、吸引装置１４、開閉弁１３、制御部１５及び回転駆動機構１２を備えた真空吸着テーブルを例に挙げて説明したが、吸引装置１４、開閉弁１３、制御部１５及び回転駆動機構１２の全てまたは一部を外部装置に設けて、テーブル本体及びテーブル受け部だけから真空吸着テーブルを構成したものであってもよい。
【００７７】
（１１）上記実施形態では、テーブル本体とテーブル受け部とが中心軸を中心に相対的に回転する構成であったが、これに限らず、相対的にスライド移動する構成であってもよい。例えば図３１に示すように、テーブル本体１５０には、所定方向（同図で紙面上下方向）における離間間隔が異なる複数対の吸着孔１５１が、上記所定方向に直交する方向（同図では紙面左右方向）に沿って並べて形成されている。なお、これら複数対の吸着孔１５１は、上記直交する方向に沿った直線を中心に対象位置であることが望ましい。
テーブル受け部１５５には、上記所定方向に沿って延び、複数対の吸着孔１５１のなかで最大離間間隔の吸着孔対を連通し得る大きさに開口形成された吸引路１５６が設けられている。このような構成により、テーブル本体１５０とテーブル受け部１５５とを上記所定方向において相対的にスライド移動させることで、吸引路１５６に連通される吸着孔対の離間距離が変わり、これに伴って吸着エリアが変化する。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の実施形態１に係る上記真空吸着テーブルの斜視図
【図２】レーザ加工装置及び真空吸着装置を示した模式図
【図３】テーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図４】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図５】実施形態２のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図６】図５のＹ−Ｙ断面図
【図７】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図８】実施形態３のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図９】テーブル本体のＡ−Ａ断面図
【図１０】テーブル本体及びテーブル受け部のＢ−Ｂ断面図
【図１１】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図１２】実施形態４のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図１３】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図１４】実施形態５のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図１５】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図１６】実施形態６のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図１７】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図１８】実施形態７のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図１９】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図２０】実施形態８のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図２１】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図２２】実施形態９に係る上記真空吸着テーブルの斜視図
【図２３】テーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図２４】図２３のＡ−Ａ断面図
【図２５】図２３のＢ−Ｂ断面図
【図２６】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図２７】変形例１のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図２８】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図２９】変形例２のテーブル本体及びテーブル受け部の上面図
【図３０】テーブル本体の回転前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【図３１】テーブル本体のスライド移動前後を示す真空吸着テーブルの上面図
【符号の説明】
【００７９】
１０…真空吸着テーブル
１１…真空吸着装置
１３…開閉弁（吸引量変更部）
１４…吸引装置
２０，５０，６０，７０，１００，１１０，１２０，１３０，１４０…テーブル本体
２１…配置面
２２，５１，１１１，１２２．１３１，１４１…吸着孔
１０１Ａ〜１００Ｄ…吸着孔群
３０，６３，６５，７５，８５，１０５，１１５，１２５，１３５，１４５…テーブル受け部
３１，６７…接続口
３２，１４６…周壁部（囲み壁）
３４，５４，７６，８６，９６，１０６，１２６…吸引路
３６，１２９…パッキン
６２…出力孔
６６…入力孔
Ｅ１〜Ｅ２２…吸着エリア
Ｗ…ワーク（吸着対象物）
Ｘ…中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
2008117811.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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