(57)【要約】【課題】多数のワークのピッチを一括して任意に変更でき、ワークの飛び出し等の不都合も回避できるワークピッチ変換装置を提供する。【解決手段】ワークピッチ変換装置１０は、複数のカム５ａを有する回転可能な部材であって、回転軸方向における該複数のカムのピッチが回転方向において変化するカム部材５を有する。また、それぞれワーク２０の保持が可能であり、かつそれぞれ該複数のカムに係合してカム部材の回転に伴い回転軸方向に移動可能な複数のワーク保持部材２と、カム部材を回転駆動する駆動手段６と、該駆動手段を介してカム部材の回転位置を制御する制御手段７とを有する。【選択図】図２
2008013282.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のカムを有する回転可能な部材であって、回転軸に平行な方向における前記複数のカムのピッチが回転方向において変化するカム部材と、
それぞれワークの保持が可能であり、かつそれぞれ前記複数のカムに係合して前記カム部材の回転に伴い前記回転軸に平行な方向に移動可能な複数のワーク保持部材と、
前記カム部材を回転駆動する駆動手段と、
該駆動手段を介して前記カム部材の回転位置を制御する制御手段とを有することを特徴とするワークピッチ変換装置。
【請求項２】
前記複数のカムのピッチが、前記カム部材の回転方向のうち一方に向かって減少し、他方に向かって増加することを特徴とする請求項１に記載のワークピッチ変換装置。
【請求項３】
前記複数のカムのピッチが等ピッチであり、前記カム部材の回転方向のうち一方に向かって減少し、他方に向かって増加することを特徴とする請求項１に記載のワークピッチ変換装置。
【請求項４】
前記各ワーク保持部材は該ワークピッチ変換装置に対して着脱が可能であり、かつ使用するワーク保持部材の数および該ワーク保持部材が係合するカムの変更が可能な構造を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載のワークピッチ変換装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記駆動手段を介して前記カム部材の回転速度を制御することを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載のワークピッチ変換装置。
【請求項６】
ワークの保持が可能であり、前記カム部材の回転にかかわらず前記回転軸に平行な方向での位置が固定された固定ワーク保持部材を有することを特徴とする請求項１から５のいずれか１つに記載のワークピッチ変換装置。
【請求項７】
前記複数のカムおよび前記カム部材上における前記固定ワーク保持部材に対応する位置の前記回転軸に平行な方向におけるピッチが等ピッチであり、前記カム部材の回転方向のうち一方に向かって減少し、他方に向かって増加することを特徴とする請求項６に記載のワークピッチ変換装置。
【請求項８】
複数の前記ワーク保持部材のうち第１ワーク保持部材を前記回転軸に平行な方向にガイドする第１ガイド部材と、該第１ワーク保持部材に対して隣り合う第２ワーク保持部材を前記回転軸に平行な方向にガイドする第２のガイド部材とを有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１つに記載のワークピッチ変換装置。
【請求項９】
カムを有する回転可能なカム部材と、
ワークの保持が可能であり、かつ前記カムに係合して前記カム部材の回転に伴い前記回転軸に平行な方向にスライドする可動ワーク保持部材と、
ワークの保持が可能であり、前記カム部材の回転にかかわらず前記回転軸に平行な方向での位置が固定された固定ワーク保持部材と、
前記カム部材を回転駆動する駆動手段と、
該駆動手段を介して前記カム部材の回転位置を制御する制御手段とを有することを特徴とするワークピッチ変換装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１つに記載のワークピッチ変換装置と、
複数のワークを第１の配列ピッチで前記ワークピッチ変換装置に搬送し、該ワークピッチ変換装置によって前記第１の配列ピッチとは異なる第２の配列ピッチに変更された前記複数のワークを搬送する搬送装置とを有することを特徴とするワーク搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のワーク、例えばＩＣチップやメモリカード等の半導体装置を搬送する際に、該複数のワークのピッチを変更するワークピッチ変換装置およびこれを備えたワーク搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＢＧＡ（ball grid array）やＣＳＰ（chip size package）等の複数のワークを前の工程から後の工程に一括搬送する場合において、前の工程でのワークのピッチを後の工程でのワークのピッチに合わせる必要がある。
【０００３】
このような場合、前の工程から搬出された複数のワークを一旦ワークピッチ変換装置に搬送し、該変換装置によってワークピッチを後の工程での受け入れピッチに合わせた後、後の工程に搬送することが多い。
【０００４】
このようなワークピッチ変換装置としては、例えば特許文献１にて開示されたものがある。このワークピッチ変換装置（以下、第１の従来のワークピッチ変換装置という）では、前の工程が完了した２つのワークが搭載された２つのステージを、右ネジ部と左ネジ部とを有するボールネジの回転によって移動させることで、該２つのステージ間の間隔を後の工程のワークピッチに合わせるように変更する。
【０００５】
また、前の工程のワークピッチに合わせて互いに間隔をあけた状態で配置された複数のステージを、その一方から空圧シリンダ等のアクチュエータによって押し込んで互いに当接させることにより、ワークピッチを後の工程に合わせるワークピッチ変換装置（以下、第２の従来のワークピッチ変換装置という）もある。
【特許文献１】特開平９−５５４６３号公報（段落００５９〜００７０、図４，５等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、第１の従来のワークピッチ変換装置では、基本的に２つのワーク間の間隔を変更する場合にしか適用することができない。より多数のワークのピッチを一括変更する場合には、ボールネジと２つのステージからなる機構を複数設ける必要がある。また、第１の従来のワークピッチ変換装置では、２つのワーク間の間隔を変更する場合に、必ず両方のワークが移動してしまう。このため、一方のワークを停止させたまま他方のワークを移動させて間隔を変更したい場合には用いることができない。
【０００７】
また、第２の従来のワークピッチ変換装置は、ステージ間に間隔が設けられた状態とステージ同士が当接した状態との２つのワークピッチの切り換えが行えるに過ぎない。このため、前の工程や後の工程でのワークピッチが変更された場合には、各状態でのステージ位置を調整する特別な作業が必要となり、迅速なワークピッチ調整に手間がかかる。しかも、ステージ同士を高速で当接させると、その衝撃でステージ上からワークが飛び出す可能性がある。このため、ワークピッチの変更を高速で行うことができない。
【０００８】
本発明は、多数のワークのピッチを一括して任意に変更することが可能であり、ワークの飛び出し等の不都合も回避できるワークピッチ変換装置を提供することを目的の１つとしている。
【０００９】
また、本発明は、１つのワークを停止させたまま他のワークを移動させてこれらワークの間隔又はピッチを変更することができるワークピッチ変換装置を提供することを目的の１つとしている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面としてのワークピッチ変換装置は、複数のカムを有する回転可能な部材であって、回転軸に平行な方向における該複数のカムのピッチが回転方向において変化するカム部材と、それぞれワークの保持が可能であり、かつそれぞれ該複数のカムに係合してカム部材の回転に伴い回転軸に平行な方向に移動可能な複数のワーク保持部材と、カム部材を回転駆動する駆動手段と、該駆動手段を介してカム部材の回転位置を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
また、上記ワークピッチ変換装置と、複数のワークを第１の配列ピッチで該ワークピッチ変換装置に搬送し、該ワークピッチ変換装置によって第１の配列ピッチとは異なる第２の配列ピッチに変更された複数のワークを搬送する搬送装置とを有するワーク搬送システムも本発明の他の側面を構成する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、カム部材上に設けるカムの数を任意に選択できるので、ワーク保持部材の数、すなわちピッチを一括変更するワークの数も任意に選択することができる。また、カム部材の回転位置を変更するだけで、変更前と変更後のワークピッチを任意に選択することができる。さらに、ワークピッチの変更時に衝撃を生ずることがないので、ワーク保持部材上からのワークの飛び出し等の不都合を生じることなく高速でワークピッチを変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１には、本発明の実施例であるワークピッチ搬送装置の側面図を示している。また、図２には、該ワークピッチ搬送装置の平面図を、図３には、図２の一部を拡大して示している。さらに、図４および図５にはそれぞれ、該ワークピッチ変換装置の前面図および後面図を示している。
【００１５】
これらの図において、１０はワークピッチ搬送装置であり、１は該ワークピッチ搬送装置１０の本体である。
【００１６】
２はワーク保持部材としての可動ステージであり、第１および第２ガイドレール３ａ，３ｂによって本体１に対して左右方向（図１の紙面に垂直な方向、図２における左右方向）に移動可能に支持されている。本実施例では、７個の可動ステージ２を有する場合について説明する。また、以下の説明において、図１の左側および図２の上側に相当する側を「前」側、図１の右側および図２の下側に相当する側を「後」側とする。
【００１７】
各可動ステージ２の前部および前後方向中間部には、スライダ保持部２ｂが形成されており、各スライダ保持部２ｂの下面には、ガイドレール３ａ又は３ｂに対する滑りを良くするためのスライダ２ｃが取り付けられている。
【００１８】
また、各可動ステージ２における前後のスライダ保持部２ｂの間には、ワークが搭載収容される矩形凹部としてのポケット２ａが形成されている。全ての可動ステージ２に形成されたポケット２ａは、左右方向に一列に並ぶ。
【００１９】
ワークとしては、例えば、半導体基板から切り出されて個片化されたＢＧＡやＣＳＰタイプのメモリチップやコントローラチップ、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＳＯＰ（Small Outline Package）等の半導体装置が挙げられる。但し、ワークはこれらに限定されるものではなく、様々な種類のワークに対して本実施例のワークピッチ変換装置を適用することができる。
【００２０】
図２に示すように、左側から奇数番目の可動ステージ（第１可動ステージ）２に取り付けられたスライダ２ｃは、第１ガイドレール３ａ上をスライドする。また、左側から偶数番目の可動ステージ（第２可動ステージ）２に取り付けられたスライダ２ｃは、第２ガイドレール３ｂ上をスライドする。第１および第２ガイドレール３ａ，３ｂは互いに前後に分かれて配置されている。
【００２１】
このように互いに隣り合う可動ステージ２を異なるガイドレール３ａ，３ｂによって支持することで、これらの可動ステージ２においてスライダ保持部２ｂがポケット２ａの周辺部分（以下、ポケット部という）より左右方向に突出していても、該ポケット部同士を接近させることができる。つまり、すべての可動ステージのスライダ保持部を共通のガイドレール上に設けて該スライダ保持部同士が当接する位置までしか可動ステージ同士を接近させることができない場合に比べて、より小さなワークピッチに対応することが可能となる。
【００２２】
また、隣り合う可動ステージ２間には、これらを左右に離す方向に付勢するコイルバネ１１が設けられている。このコイルバネ１１の役割については後述する。
【００２３】
さらに、右から２番目と３番目の可動ステージ２の間には、本体１に対して固定された固定ステージ２′が設けられている。この固定ステージ２′にも、ワークが搭載収容される矩形凹部としてのポケット２ａが形成されており、可動ステージ２に形成されたポケット２ａと左右方向にて同一直線上に並んでいる。
【００２４】
５はカム部材としての円筒カムである。この円筒カム５は左右方向を回転軸方向（回転軸に平行な方向）として配置され、そのシャフト５ｂが図２および図５に示すベアリング９によって回転自在に支持されている。
【００２５】
６は本体１に固定された駆動源としてのモータであり、その出力軸６ａは、カップリング８を介してシャフト５ｂに連結されている。このため、モータ６が作動すると、円筒カム５が回転する。
【００２６】
モータ６としては、ステッピングモータ等、回転位置（回転角度）の制御が可能なものが用いられる。これにより、円筒カム５の回転位置の制御が可能となる。
【００２７】
モータ６は、図１に示す制御手段としてのコントローラ（コンピュータ）７によってその回転が制御される。コントローラ７は、不図示の入力ユニットを通じてユーザが入力した変換前後のワークピッチの値に応じて、モータ６、つまりは円筒カム５の回転位置を制御する。
【００２８】
図２および図５に示すように、円筒カム５の外周面（円筒面）には、周方向（回転方向）に延びる７本の溝カム５ａが回転軸方向に並んで形成されている。図８には、円筒カム５上に形成された７本の溝カム５ａを周方向に展開して示している。
【００２９】
これら７本の溝カム５ａのうち左側（図８では下側）の５本のピッチと右側（図８では上側）の２本のピッチ（間隔）とは互いに同じ（等ピッチ）であり、該ピッチは溝カム５ａの周方向における一端において最も広く（ＭＡＸ）、他端において最も狭く（ＭＩＮ）なるように連続的に変化している。以下、溝カム５ａの該一端をＭＡＸ位置と、該他端をＭＩＮ位置という。
【００３０】
また、右から（図８では上から）２番目と３番目の溝カム５ａの間には、前述した固定ステージ２′の幅に対応したスペースが設けられており、該固定ステージ２′の中心線を図８にＣで示している。
【００３１】
図８において上から１番目と４番目の溝カム５ａおよび２番目と３番目の溝カム５ａはそれぞれ、中心線Ｃについて対称な形状を有する。また、中心線Ｃと２番目および３番目の溝カム５ａのＭＡＸ位置およびＭＩＮ位置との間隔は、互いに隣り合うカム溝５ａのＭＡＸ位置間の間隔およびＭＩＮ位置間の間隔に等しい。すなわち、７本のカム溝５ａおよび中心線Ｃのピッチは、等ピッチである。
【００３２】
各溝カム５ａには、各可動ステージ２の後端部に取り付けられたカムフォロア４が係合している。このため、モータ６によって円筒カム５が回転駆動されると、７個の可動ステージ２が左右方向に移動し、それらの間隔が変化する。
【００３３】
上述したような７本の溝カム５ａの形状および配置の関係により、７個の可動ステージ２は、固定ステージ２′を含めて全ての隣り合うステージ２，２′（ポケット２ａ）間の間隔が等しい状態で左右方向に移動する。つまり、円筒カム５の回転によって、可動ステージ２および固定ステージ２′の８つのポケット２ａが等ピッチで並んだ状態で、該ピッチが増減する。さらに、円筒カム５の回転位置は任意に選択可能であるため、８つのポケット２ａのピッチも任意に選択することができる。
【００３４】
なお、本実施例では、カムフォロア４が溝カム５ａのＭＩＮ位置に係合している最小ピッチ状態でも、可動ステージ２間および固定ステージ２′とこれに隣り合う可動ステージ２との間に適度な間隔があくように設定されている。
【００３５】
また、可動ステージ２の駆動がスムーズに行われるように、カムフォロア４と溝カム５との間には所定のガタが設けられているが、前述したコイルバネ１１の付勢力によって、各カムフォロア４は常に各溝カム５ａの一方の面に押し付けられている。このため、８つのポケット２ａの左右方向位置を精度良く制御することができる。
【００３６】
以上のように構成されたワークピッチ変換装置１０は、図１に示した吸着ヘッド１５Ａ，１５Ｂを有する搬送装置とともに使用される。これにより、搬送システムが構成される。ワークピッチ変換装置１０と搬送装置からなる搬送システムは、例えば、前工程装置としてワークを切断して個片化する切断装置Ｆと、後工程装置として個片化されたワークに対する所定の処理を行う処理装置Ｒとの間に配置される。
【００３７】
ここで、図６には、該搬送装置の概略構成（下面図）を示している。搬送装置１５は、第１吸着ヘッド１５Ａと第２吸着ヘッド１５Ｂとを一体化して有する。第１吸着ヘッド１５Ａには、左右方向（図６の上下方向）にピッチαで配置された８個の吸着部１５Ａ１が設けられている。一方、第１吸着ヘッド１５Ａよりも後方（図６の右側）に設けられた第２吸着ヘッド１５Ｂには、左右方向にピッチβで配置された８個の吸着部１５Ｂ１が設けられている。
【００３８】
各吸着部１５Ａ１，１５Ｂ１には、不図示の真空発生器が接続されている。このため、各吸着部１５Ａ１，１５Ｂ１はワークを負圧吸着することができる。
【００３９】
図７には、ワークとワークピッチ変換装置との関係を示している。図７中のラインＣは、図８にも示したように、ピッチ変換時に移動しない固定ステージ２′上のポケット２ａの中心線であり、以下、ピッチ変換基準線という。ワークピッチ変換装置１０および搬送装置１５は、このピッチ変換基準線Ｃが切断装置Ｆおよび処理装置Ｒの右（図７中の上）から３番目のワーク２０の中心を通るように左右方向位置が設定される。
【００４０】
以下、ワークピッチ変換装置１０と搬送装置１５の動作について説明する。
【００４１】
（１）切断装置Ｆ上の「ワーク個片分離位置」では、該切断装置Ｆによって切り出されてピッチαで配列された８個のワーク２０が存在する。搬送装置１５は、第１吸着ヘッド１５Ａの８つの吸着部１５Ａ１によってこれらワーク２０を吸着し（図６中の動作Ｚ１）、図７の下側に示したピッチ変換前の状態にあるワークピッチ変換装置１０上に搬送する（図６中の動作Ｘ１）。
【００４２】
一方、ピッチ変換前のワークピッチ変換装置１０では、８つのポケット２ａが「ワークピッチ変換位置」においてピッチαで並んでいる。このため、第１吸着ヘッド１５Ａに吸着された８個のワーク２０はそのまま８つのポケット２ａ内に収容される。
【００４３】
（２）ワーク２０のポケット２ａ内への収容が完了すると、搬送装置１５は、第１吸着ヘッド１５Ａによるワーク２０の吸着を解除し、第１吸着ヘッド１５Ａを切断装置Ｆ側に戻す（図６中の動作Ｘ２）。第１吸着ヘッド１５Ａが切断装置Ｆ側に戻るのと同時に、第２吸着ヘッド１５Ｂがワークピッチ変換位置に向かって移動する。
【００４４】
（３）そして、この第２吸着ヘッド１５Ｂがワークピッチ変換位置に移動してくる間に、ワークピッチ変換装置１０は、図７の上側に示したピッチ変換後の状態に動作する。
【００４５】
具体的には、図１に示したコントローラ７からの指令信号によってモータ６が駆動され、円筒カム５が回転する。これにより、溝カム５ａとカムフォロア４とのカム作用によって７個の可動ステージ２が左右方向に移動し、固定ステージ２′のポケット２ａを含む８つのポケット２ａのピッチがβ（＞α）となる。このようにして、８つのポケット２ａは、第２吸着ヘッド１５Ｂが該ポケット２ａ上に到達するのと同時に又はそれよりも早くピッチ変換後の状態になる。
【００４６】
したがって、搬送装置１５は、第２吸着ヘッド１５Ｂがポケット２ａ上に到達した直後に８つのポケット２ａ内に収容された、ピッチβで配置された８つのワーク２０を吸着して（図６中の動作Ｚ２）、処理装置Ｒ側（「ワーク整列位置」）に搬送することができる。
【００４７】
このことに関してワークピッチ変換装置１０に着目すると、ワークピッチ変換装置１０では、ピッチ変換前の状態からピッチ変換後の状態まできわめて短時間で、すなわち高速で動作（以下、ピッチ変換前の状態とピッチ変換後の状態との間の動作をピッチ変換動作という）することができる。しかも、高速で動作しても、立ち上げ、立ち下げ速度を制御することで、ステージ２，２′間の衝突による衝撃が発生しないので、ピッチ変換動作によってポケット２ａからワーク２０が飛び出す可能性が少ない。
【００４８】
なお、第２吸着ヘッド１５Ｂがポケット２ａ上から処理装置Ｒ側に移動する際には、第１吸着ヘッド１５Ａは、切断装置Ｆによって切り出された次の８個のワーク２０を吸着しており、これらワーク２０をワークピッチ変換位置に向かって搬送する。そして、第１吸着ヘッド１５Ａがワークピッチ変換位置に移動する間（第２吸着ヘッド１５Ｂが処理装置Ｒに移動する間）に、ワークピッチ変換装置１０は、再びピッチ変換前の状態に動作する。
【００４９】
こうして（１）〜（３）の動作を繰り返すことで、切断装置Ｆにおいて８個ずつ切り出されるワーク２０を、その配置ピッチを変更しながら高速で処理装置Ｒに搬送することができる。
【００５０】
なお、ワークピッチ変換装置１０におけるピッチ変換動作の速度、つまりはモータ６による円筒カム５の駆動速度に関しては、ユーザの任意の速度入力値に応じた速度となるようにコントローラ７により制御してもよい。
【００５１】
また、ピッチ変換動作の終了時において、円筒カム５の回転位置が目標のワークピッチに対応した位置に正確に停止し、かつ停止のショックでポケット２ａからワーク２０が飛び出す可能性をより少なくするために、動作終了直前からモータ６の減速制御を行うようにしてもよい。さらに、ピッチ変換動作の開始直後において、移動開始のショックでポケット２ａからワーク２０が飛び出す可能性をより少なくするために、モータ６の緩やかな加速制御を行うようにしてもよい。
【００５２】
以上、８つのステージ２，２′が設けられたワークピッチ変換装置１０により８個のワークに対するピッチ変換動作を行う場合について説明した。しかし、本実施例のワークピッチ変換装置１０では、８個より少ない数のワークのピッチ変換動作を行うこともできる。以下、そのピッチ変換動作の例を説明する。
【００５３】
図９には、２つのワーク２０のピッチ（間隔）を２つの可動ステージ２を用いて変更する場合を示している。ここで、本実施例のワークピッチ変換装置１０では、各可動ステージ２のガイドレール３ａ，３ｂに対する着脱および固定ステージ２′の本体１に対する着脱が可能な構造を有する。
【００５４】
しかも、全ての可動ステージ２に設けられたカムフォロア４の形状および円筒カム５上に形成された全ての溝カム５ａの幅がそれぞれ互いに同一であるため、各可動ステージ２のカムフォロア４をいずれの溝カム５ａにも係合させることができる。すなわち、各可動ステージ２をどの溝カム５ａで駆動するかをユーザが任意で選択することができる。
【００５５】
図９では、２つの可動ステージ２をガイドレール３ａ，３ｂ上に設け、これら可動ステージ２を、図８における上から（図２，３，５における右から）２番目と３番目の溝カム５ａを用いてピッチ変換動作を行う場合を示している。図中の矩形枠は、ポケット２ａ（つまりはワーク）を示す。また、図９におけるピッチ変換前の状態では、カムフォロア４を溝カム５ａのＭＩＮ位置に位置させており、この状態では、２つのポケット２ａが互いに近接して位置する。
【００５６】
前述したように、１番目と４番目の溝カム５ａは、ピッチ変換基準線Ｃについて対称形状を有する。このため、ピッチ変換前にピッチ変換基準線Ｃについて対称となるように配置された２つのポケット２ａは、ピッチ変換後もピッチ変換基準線Ｃについて対称に配置される。このようにして２つのワークのピッチ（間隔）を、それらの中心を変化させることなく変化させることができる。
【００５７】
図１０では、固定ステージ２′を用いるとともに、該固定ステージ２′の両側に２つの可動ステージ２を配置し、これら可動ステージ２を、図８における上から２番目と３番目の溝カム５ａを用いてピッチ変換動作を行う場合を示している。ピッチ変換前の状態では、カムフォロア４を溝カム５ａのＭＩＮ位置よりもＭＡＸ位置側に位置させており、この状態では、２つの可動ステージ２のポケット２ａが、図中にハッチングして示した固定ステージ２′のポケット２ａに近接して位置する。
【００５８】
図９の場合と同様に、１番目と４番目の溝カム５ａは、ピッチ変換基準線Ｃについて対称形状を有する。このため、図１０の場合は、ピッチ変換基準線Ｃが中心を通る固定ステージ２′上のワークについて対称な位置に配置されたピッチ変換前の２つのワークは、ピッチ変換後も固定ステージ２′上のワークについて対称な位置に配置される。このようにして、３つのワークのピッチを、それらの中心に配置されたワークを移動させることなく変化させることができる。
【００５９】
図１１では、固定ステージ２′を用いるとともに、該固定ステージ２′の両側に２ずつ可動ステージ２を配置し、これら４つの可動ステージ２を、図８における上から１番目、２番目、３番目および４番目の溝カム５ａを用いてピッチ変換動作を行う場合を示している。ピッチ変換前の状態では、カムフォロア４を溝カム５ａのＭＩＮ位置よりもＭＡＸ位置側に位置させており、この状態では、４つの可動ステージ２および固定ステージ２′上の５つのポケット２ａが互いに近接して位置する。
【００６０】
この場合でも、ピッチ変換基準線Ｃが中心を通る固定ステージ２′上のワークについて対称な位置に配置されたピッチ変換前の４つのワークは、ピッチ変換後も固定ステージ２′上のワークについて対称な位置に配置される。このようにして、５つのワークのピッチを、それらの中心に配置されたワークを移動させることなく変化させることができる。
【００６１】
なお、図９〜図１１に示した例以外のピッチ変換動作も可能である。例えば、３つの可動ステージ２を、図８における上から１番目、３番目および６番目の溝カム５ａを用いて駆動するようにすれば、ピッチ変換前に等ピッチで配置された３つのワークを、ピッチ変換後も等ピッチを維持しながらそのピッチを変化させることができる。
【００６２】
また、固定ステージ２′と１つの可動ステージ２とを用いて２つのワークのピッチ（間隔）を変化させるようにしてもよい。
【００６３】
また、本実施例では、２番目と３番目の溝カム５ａの間に中心線Ｃをおき、固定ステージ（中心線Ｃ）に対して２番目と３番目の溝カム５ａが対称になるように設定したが、固定ステージは必ずしも２番目と３番目の溝カム５ａの間に設ける必要はない。例えば、１番目と２番目の溝カムの間に固定ステージ（中心線Ｃ）を配置してもよい。また、１番目の外側に固定ステージを設け、該中心線Ｃと複数の溝カム５ａのピッチが回転軸に平行な方向のうち中心線Ｃ側とは反対側に向かって広がるように設定してもよい。
また、本実施例では、７本の溝カム５ａが形成された円筒カム５によって駆動される７個の可動ステージ２と不動の固定ステージ２′とを有するワークピッチ変換装置について説明したが、本発明はこれに限られず、溝カムや可動ステージの数および固定ステージを設けるか否かは任意である。例えば、固定ステージを設けず、複数の可動ステージのみを有するワークピッチ変換装置も本発明に含まれる。この場合、複数の可動ステージを回転軸と平行な方向に駆動する複数のカムを、円筒カム上に、等ピッチで、かつ回転方向においてピッチが変化する（回転方向の一方に向かって減少し、他方に向かって増加する）ように設ければよい。
【００６４】
また、本実施例では、固定ステージを本体に対して固定した場合について説明したが、円筒カムにその回転軸に平行な方向にリフトを持たない溝又はリブ（突条）を設け、該溝又はリブに固定ステージを係合させてもよい。この場合、該溝又はリブと複数のカムとを、等ピッチで、かつ回転方向においてピッチが変化する（回転方向の一方に向かって減少し、他方に向かって増加する）ように設ければよい。
【００６５】
さらに、本実施例では、円筒カム５に溝カム５ａを設け、該溝カム５ａの内側に可動ステージ２に設けたカムフォロア４を挿入する場合について説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、円筒カムの円筒面にリブ状のカム（突条カム）を設け、これを可動ステージに設けた一対のカムフォロア（ローラ）によって挟むように構成してもよい。
【００６６】
また、カム部材（円筒カム）に１本のみカムを形成し、該カムに係合する１つの可動ステージと固定ステージとを用いて、２つのワークのピッチ（間隔）を変化させるようにしてもよい。
【００６７】
さらに、上記実施例では、ワーク保持部材として、ポケット内にワークを収容するステージを用いた場合について説明したが、本発明にいうワーク保持部材には、ワークを負圧吸着する吸着ノズルも含まれる。これにより、吸着ノズルによって吸着した複数のワークの搬送中に該複数のワークのピッチを変更し、後の工程に対して受け渡すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施例であるワークピッチ変換装置の側面図。
【図２】実施例のワークピッチ変換装置の平面図。
【図３】図２の部分拡大図。
【図４】実施例のワークピッチ変換装置の正面図。
【図５】実施例のワークピッチ変換装置の後面図。
【図６】実施例のワークピッチ変換装置ととも用いられる搬送装置の概略図。
【図７】実施例のワークピッチ変換装置におけるピッチ変換動作の様子を示す概略図。
【図８】実施例のワークピッチ変換装置における円筒カム上に設けられた溝カムの展開図。
【図９】実施例のワークピッチ変換装置における使用例を示す概略図。
【図１０】実施例のワークピッチ変換装置における使用例を示す概略図。
【図１１】実施例のワークピッチ変換装置における使用例を示す概略図。
【符号の説明】
【００６９】
２  可動ステージ
２′  固定ステージ
２ａ  ポケット
３ａ，３ｂ  ガイドレール
４  カムフォロア
５  円筒カム
５ａ  溝カム
６  モータ
７  コントローラ
８  カップリング
１０  ワークピッチ変換装置
１５  搬送装置
２０  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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