(57)【要約】【課題】レーザ光源の発熱による熱膨張の影響で生じる光軸のずれをなくし、安価に小型化、軽量化を実現する高性能な光源装置を提供することを目的とする。【解決手段】基台７と、レーザ光を出射するレーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃと、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃを基台７上に支持する第２の保持部材１０とを備え、第２の保持部材１０が、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃの少なくとも一端を光軸方向に移動自在に支持する光源装置１を提供する。【選択図】図２
2008116658.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
レーザ光を出射するレーザヘッドと、
該レーザヘッドを前記基台上に支持する保持部材とを備え、
該保持部材が、前記レーザヘッドの少なくとも一端を光軸方向に移動自在に支持する光源装置。
【請求項２】
前記保持部材が、前記基台に設けられ、前記レーザヘッドの光軸と直交する方向への移動を規制するガイド部材と、前記レーザヘッドと前記基台との間に配置され、前記基台上を転がるローラとを備える請求項１記載の光源装置。
【請求項３】
前記保持部材が、前記基台と前記レーザヘッドとの間に設けられ、光軸方向に沿って弾性変形する板バネ状の弾性薄片を備える請求項１記載の光源装置。
【請求項４】
前記保持部材が、前記基台と前記レーザヘッドとの間に設けられ、該レーザヘッドの光軸方向の移動を案内するリニア軸受けを備える請求項１記載の光源装置。
【請求項５】
前記保持部材が、前記基台と前記レーザヘッドとの間に設けられ、該レーザヘッドを支持する低摩擦抵抗部材を備える請求項１に記載の光源装置。
【請求項６】
発熱源を有する基台と、
該基台上に固定され、レーザ光を出射するレーザヘッドと、
該レーザヘッドからのレーザ光を集光する光ファイバと、
該光ファイバの出力を検知する出力検知手段とを備え、
前記発熱源が、前記出力検知手段により前記光ファイバの出力の減少が検知されたときに発熱制御される光源装置。
【請求項７】
基台と、
該基台上に固定され、レーザ光を出射するレーザヘッドと、
該レーザヘッドからのレーザ光を集光する光ファイバと、
該光ファイバへのレーザ光の集光位置を検知する集光位置検知手段と、
前記光ファイバまたは該光ファイバへレーザ光を集光させる集光レンズの少なくとも一方を光軸と交差する方向に移動可能とする移動手段とを備え、
該移動手段は、前記集光位置検知手段により前記光ファイバへのレーザ光の集光位置のずれが検知されたときに、前記光ファイバおよび／または前記集光レンズをレーザ光の集光位置のずれ方向とは逆方向に移動させる光源装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載の光源装置を備える共焦点レーザ顕微鏡。
【請求項９】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載の光源装置を備える分子蛍光測光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のレーザ顕微鏡では、１つまたは複数の波長のレーザヘッドを励起光源として用い、光ファイバ、特にシングルモードファイバで走査ユニットまたは顕微鏡へ導いている。また、分子蛍光解析装置でも、同じように励起光源としてレーザ光源を用いている。
【０００３】
この励起光源としては、発振性能のよいアルゴンイオンレーザやヘリウムネオンレーザを用いることが多く、波長の異なる複数レーザヘッドを搭載した合成基台の上で合成し、光ファイバに集光しレーザ顕微鏡本体に導かれる。
【０００４】
レーザとしては、近年半導体レーザの技術の進展により、高出力、低ノイズ性、長寿命、などの低消費電力の高性能の小型のレーザが開発されてきてはいるが、波長安定性、単一波長性能やノイズ性能等ではいまだにイオンレーザが性能的にも価格的にも優れており、いまだにイオンレーザが使用されている。
【０００５】
これらのレーザは大電力で発熱量も多く、レーザヘッドの外装の寸法も熱膨張による影響を避けられず、熱膨張の影響で発生した応力により光軸のずれや光ファイバへの集光状態が変化してしまう不都合がある。特にシングルモードファイバを用いた場合には、当該ファイバの径が５μm以下の極細径であるため、わずかな光源の変形でも、レーザ光の光ファイバへの集光状態が変化してしまい、当初の性能を発揮できないこととなってしまう。
【０００６】
これを防ぐためには、この光源装置は寸法の変形しにくい縦弾性係数の高い石定盤や鋳物で形成せざるを得なかった。このため光源装置は重量物となり、高価なものとなっていた。レーザヘッドにおける応力吸収の必要性については、特許文献１に開示がある。
【特許文献１】特表平８−５０５０１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１には、レーザヘッドにおいて発熱により発生する応力を吸収するためにいかなる方法を採用するかについて、何ら開示されていない。このため、特許文献１によっては、レーザヘッドの応力を吸収することができず、光軸のずれによる性能の低下が発生するという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、レーザ発振ヘッドを搭載する顕微鏡や分子蛍光解析装置などの光源装置において、レーザヘッドの発熱による熱膨張の影響で生じる光軸のずれをなくし、安価に小型化、軽量化を実現する高性能な光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、基台と、レーザ光を出射するレーザヘッドと、該レーザヘッドを前記基台上に支持する保持部材とを備え、該保持部材が、前記レーザヘッドの少なくとも一端を光軸方向に移動自在に支持する光源装置を提供する。
【００１０】
本発明によれば、レーザヘッドの少なくとも一端を光軸方向に移動自在に保持する保持部材により、レーザヘッドの光軸方向への伸縮が可能となる。したがって、レーザヘッドが温度上昇によって熱膨張した場合に、レーザヘッドを光軸方向に伸張させることができる。これにより、レーザヘッドが光軸に交差する方向に変形するのを防止して、レーザ光の集光位置のずれを防ぐことができる。その結果、長時間にわたり安定して、同一位置にレーザ光を出射することができる。
【００１１】
また、本発明においては、前記保持部材は、基台に設けられ、前記レーザヘッドの光軸と直交する方向への移動を規制するガイド部材と、前記レーザヘッドと前記基台との間に配置され、前記基台上を転がるローラとを備えることとしてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、レーザヘッドに熱膨張が発生すると、ローラが基台上を転がることにより、レーザヘッドが光軸方向へ容易に伸張させられる。この場合に、レーザヘッドは、ガイド部材により光軸と直交する方向への移動を規制される。したがって、レーザヘッドの光軸方向への伸張に対する抵抗を少なくし、かつ、熱膨張による変形を光軸方向にのみ許容することができる。これにより、レーザ光の集光位置のずれをより確実に防止することが可能となる。
【００１３】
また、本発明においては、前記保持部材が、前記基台と前記レーザヘッドとの間に設けられ、光軸方向に沿って弾性変形する板バネ状の弾性薄片であってもよい。
このような構成によれば、レーザヘッドに熱膨張が発生すると、弾性薄片が光軸方向に沿って弾性変形することにより、レーザヘッドが光軸方向へのみ伸張させられる。したがって、レーザヘッドの熱膨張による変形を光軸方向にのみ許容することができ、レーザ光の集光位置のずれをより確実に防止するができる。また、弾性薄片を用いた簡易な構成により、光源装置の小型化および軽量化を図ることができる。
【００１４】
また、本発明においては、前記保持部材が、前記基台と前記レーザヘッドとの間に設けられ、該レーザヘッドの光軸方向の移動を案内するリニア軸受けであってもよい。
このような構成によれば、レーザヘッドに熱膨張が発生すると、リニア軸受けがレーザヘッドの光軸方向の移動を案内することにより、レーザヘッドが少ない摩擦抵抗で光軸方向移動へのみ伸張させられる。したがって、レーザヘッドの熱膨張による変形を光軸方向にのみ許容することができ、レーザ光の集光位置のずれを確実に防止することが可能となる。
【００１５】
また、本発明においては、前記保持部材が、前記基台と前記レーザヘッドとの間に設けられ、該レーザヘッドを支持する低摩擦抵抗部材であってもよい。
このような構成によれば、レーザヘッドに熱膨張が発生すると、低摩擦抵抗部材によってレーザヘッドが支持されていることにより、レーザヘッドが光軸方向へ抵抗なく容易に伸張させられる。したがって、レーザヘッドの熱膨張による光軸方向への変形を容易にし、レーザ光の集光位置のずれを防止することが可能となる。
【００１６】
本発明は、発熱源を有する基台と、該基台上に固定され、レーザ光を出射するレーザヘッドと、該レーザヘッドからのレーザ光を集光する光ファイバと、該光ファイバの出力を検知する出力検知手段とを備え、前記発熱源が、前記出力検知手段により前記光ファイバの出力の減少が検知されたときに発熱制御される光源装置を提供する。
【００１７】
このような構成によれば、レーザヘッドに熱膨張が発生して、光ファイバへのレーザ光の集光位置にずれが生じると、出力検知手段により、光ファイバの出力の減少が検知される。この場合に、基台に設けられた発熱源が加熱制御されることにより、発熱源からの熱が基台に伝えられ、基台に熱膨張が引き起こされる。このようにして、レーザヘッドが熱膨張するのに合わせて基台を熱膨張させることにより、基台とレーザヘッドの熱膨張の差を解消することができる。これにより、光ファイバへのレーザ光の集光位置を同一位置に維持することができる。
【００１８】
本発明は、基台と、該基台上に固定され、レーザ光を出射するレーザヘッドと、該レーザヘッドからのレーザ光を集光する光ファイバと、該光ファイバへのレーザ光の集光位置を検知する集光位置検知手段と、前記光ファイバまたは該光ファイバへレーザ光を集光させる集光レンズの少なくとも一方を光軸と交差する方向に移動可能とする移動手段とを備え、該移動手段は、前記集光位置検知手段により前記光ファイバへのレーザ光の集光位置のずれが検知されたときに、前記光ファイバおよび／または前記集光レンズをレーザ光の集光位置のずれ方向とは逆方向に移動させる光源装置を提供する。
【００１９】
このような構成によれば、レーザヘッドに熱膨張が発生して、光ファイバの同一位置にレーザ光が集光されなくなると、集光位置検知手段により、光ファイバへのレーザ光の集光位置のずれが検知される。この場合に、移動手段の作動により、光ファイバおよび／または集光レンズがレーザ光の集光位置のずれ方向とは逆方向、すなわち、光ファイバへのレーザ光の集光位置が補正される方向に移動される。これにより、レーザ光の集光位置のずれを補正して、レーザ光を光ファイバの同一位置に集光させることができる。
【００２０】
上記光源装置は、例えば、共焦点レーザ顕微鏡や分子蛍光測光装置に用いられる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、簡単な構成で、高性能な光源装置を実現でき、レーザ顕微鏡や解析装置を軽量で小型に安価に製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
レーザ走査型顕微鏡などの装置の光源として、種々の波長のレーザが使われている。特に、長時間安定して動作し、ノイズの少ないガスイオンレーザがよく使用される。主たるものとして、アルゴンイオンレーザ、ヘリウムネオンレーザ、ヘリウムカドミウムレーザ、クリプトンアルゴンイオンレーザなどがある。これらのうち１波長だけ使う場合もあるが、大抵の場合は複数の波長を必要として、組み合わせて使用する。そのため、複数のレーザヘッドを搭載できるベースを構成してその上に異なる波長の複数のレーザヘッドが搭載される。ここでは、ヘリウムネオンレーザヘッドの搭載方法を例として、本発明の実施形態に係る光源装置について、図面を参照して説明する。
【００２３】
〔第１の実施形態〕
図１は、本実施形態に係る光源装置１を備える共焦点レーザ顕微鏡１００の全体概要を示すものであって、光源装置１はシングルモードファイバ（光ファイバ）６３を介して共焦点レーザ顕微鏡本体６０に光学的に接続されている。
なお、図１における画像形成＆ミラー駆動回路７７を蛍光強度測定＆ミラー駆動回路と置き換えた場合には当該装置は分子蛍光測光装置となる。
【００２４】
本実施形態に係る光源装置１は波長の異なるレーザ光をそれぞれ出射するレーザヘッド１ａ、１ｂ、１ｃを有している。
各レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃから出射された光はシャッタ２、可変ＮＤフィルタ３、レーザ光軸位置調整用のビームシフタ４、ミラー５を介してカプラ６内の集光レンズ（図示省略）によりシングルモードファイバ６３の入射端面に集光されるようになっている。
【００２５】
ミラー５は反射ミラー５ａおよびダイクロイックミラー５ｂ，５ｃからなる。
カプラ６は、シングルモードファイバ６３を保持するとともに、集光レンズを内蔵し、該集光レンズはレーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃからの平行光をシングルモードファイバ６３の端面に収束させるようになっている。
上記カプラ６はカプラ保持部材８にて基台７に固定されている。
【００２６】
ここで、光源装置１から光ファイバ６３で外部に導光する場合に、光ファイバ６３の１点に集光する必要があり、各レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃと光ファイバ６３とがそれぞれ幾何学的に１直線上に配置されている必要がある。しかし、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃは発熱により熱膨張し、特に構造上光軸方向に長いので変形が大きくなる。このため、温度変化などの外乱があっても、この幾何学関係が保たれることが要求される。
【００２７】
そこで、本実施形態においては、上記レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃは、図２に示すように、各々その光出射側の端部が第１の保持部材９により基台７に固定され、光出射側とは反対側の端部が第２の保持部材１０により、基台７に対して光軸方向にのみ移動自在に支持されている。
【００２８】
具体的には、上記第２の保持部材１０は、レーザヘッド１ａの外周に固定されたレーザヘッド枠１０ａとこのレーザヘッド枠１０ａ底面の受台10ｄに配置されたローラ１０ｂとを有しており、当該レーザヘッド枠１０ａが基台７上で移動自在とされている。また、このレーザヘッド枠１０ａの上面および左右側面は、基台７に固定され且つ少なくとも上記レーザヘッド枠１０ａとの当接面に適宜の滑面を持つ固定押さえ部材（ガイド部材）１０ｃにてガイドされている。
【００２９】
これにより、第２の保持部材１０は基台７上において、レーザ光軸方向には移動自在、この軸と直交する方向には移動不可能な状態と成されている。したがって、レーザヘッド１ａが熱膨張した場合には、第２の保持部材１０がレーザ光軸方向にのみ移動して、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃを光軸方向に伸張を許容することにより、上記熱応力を吸収するようになっている。
【００３０】
ここで、第１の保持部材９とレーザヘッド１ａとの間、第２の保持部材１０におけるレーザヘッド枠１０ａとレーザヘッド１ａの間には、レーザ光軸の位置を調整する適宜の調整手段が設けられていてもよい。例えば、図３に示す如く、調整手段１１は、第１の保持部材９、第２の保持部材１０の各円周上の３等分位置である符号９１ａ，９１ｂ，９１ｃ（９１ｃは図示省略），１０１ａ，１０１ｂ，１０１c（１０１ｃは図示省略）にレーザヘッド１ａの外周に突き当たる螺子（図示省略）を埋設し、Ｌ字状部材９１，１０１にて各螺子を回転させることにより、レーザヘッド１ａの光軸位置を調整する構成、または、図４に示す如く、調整手段１１は、第１の保持部材９とレーザヘッド１ａとの嵌合部を半球リング状の回動自在な構成とし、第２の保持部材１０とレーザヘッド１ａとの嵌合部は上記図３と同様の構成とすることにより、レーザヘッド１ａの光軸位置を調整する構成等、既知の構成を種々採用できる。このようにすることで、初期状態でレーザ光軸がシングルモードファイバ６３の入射端面に正確に合致するように調整することができる。
同様の調整手段はカプラ６に設けてもよい。
【００３１】
また、カプラ保持部材８、第１の保持部材９、第２の保持部材１０の保持枠１０ａは同種の素材から形成されており、熱膨張による伸びの差が各部材間で生じないようにされていてもよい。
また、レーザヘッド１ｂ，１ｃについても上記と同様の構成とされている。
【００３２】
なお、共焦点レーザ顕微鏡本体６０は、コリメータ６２と、ダイクロイックミラー６１と、偏向素子７１，５６と、対物レンズ５４と、光学フィルタ７２と、集光レンズ７３，７５と、光検出器７４，７６と、画像形成＆ミラー駆動回路７７と、モーター駆動回路７８とを備えて構成されている。この共焦点レーザ顕微鏡本体６０は、公知の共焦点レーザ顕微鏡を採用することができる。
【００３３】
次に、本実施形態に係る光源装置１の作用について説明する。
各レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃから出射されたレーザ光はシャッタ２、可変ＮＤフィルタ３、レーザ光軸位置調整用のビームシフタ４を介し、ミラー５に入射される。
この場合において、レーザヘッド１ａから出射されたレーザ光は、反射ミラー５ａにより反射され、ダイクロイックミラー５ｂを透過した後、ダイクロイックミラー５ｃにより反射されてカプラ６へ入射される。
【００３４】
また、レーザヘッド１ｂから出射されたレーザ光は、ダイクロイックミラー５ｂ，５ｃにより反射されて、カプラ６へ入射される。
また、レーザヘッド１ｃから出射されたレーザ光は、ダイクロイックミラー５ｃを透過して、カプラ６へ入射される。
このようにして、カプラ６へ入射された各レーザ光は、集光レンズ６ｂにより収束されて、シングルモードファイバ６３の入射端面に集光される。
【００３５】
ここで、レーザヘッド１ａが温度上昇によって熱膨張すると、ローラ１０ｂが基台７上を転がって、第２の保持部材１０が光軸方向に移動することにより、レーザヘッド１ａが光軸方向へ容易に伸張させられる。この場合に、レーザヘッド１ａは固定押さえ部材１０ｃにより光軸と直交する方向には移動不可能とされているので、レーザヘッド１ａを光軸方向にのみ伸張させることができる。
【００３６】
したがって、レーザヘッド１ａが光軸に交差する方向に変形するのを防止して、レーザ光のシングルモードファイバ６３への集光位置のずれを確実に防止することができる。
なお、レーザヘッド１ｂ，１ｃについても上記と同様である。
【００３７】
このように、本実施形態に係る光源装置１によれば、使用時の熱膨張率の差により、基台７と各レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃ間の軸方向の伸びの差が生じても、シングルモードファイバ６３の同一位置に安定してレーザ光を入射させることができる。
【００３８】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態に係る光源装置における第２の保持部材２０について、図５（ａ）および図５（ｂ）を参照して説明する。
本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る光源装置１と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。また、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃについては、レーザヘッド１ａを例示して説明する。
【００３９】
本実施形態に係る光源装置における第２の保持部材２０は、第１の実施形態に係る第２の保持部材１０に代えて、リニア軸受け（保持部材）１０ｅを備えている。
リニア軸受け１０ｅは、例えば、基台７上に設けられた固定枠１０ｈと、レーザヘッド枠１０ａとの間に、例えば、光軸に沿って、上面，底面および両側面の４面に設けられている。
【００４０】
各リニア軸受け１０ｅは、レーザヘッド１ａの光軸方向の移動を案内するようになっている。また、リニア軸受け１０ｅがレーザヘッド１ａの周囲の４面に設けられているので、レーザヘッド１ａの光軸に交差する全ての方向への移動は制限されるようになっている。
【００４１】
これにより、レーザヘッド１ａが温度上昇によって熱膨張すると、各リニア軸受け１０ｅがレーザヘッド１ａの光軸方向の移動を案内することにより、レーザヘッド枠１０ａを光軸方向へ移動させて、レーザヘッド１ａを光軸方向へのみ伸張させることができる。
【００４２】
このように、本実施形態に係る光源装置によれば、リニア軸受け１０ｅを採用することにより、少ない摩擦抵抗でレーザヘッド枠１０ａを移動させることができる。したがって、レーザヘッド１ａの熱膨張による変形を光軸方向にのみ許容し、レーザ光のシングルモードファイバ６３への集光位置のずれを確実に防止することができる。
【００４３】
〔第３の実施形態〕
次に、本発明の第３の実施形態に係る光源装置における第２の保持部材３０について、図６を参照して説明する。
本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る光源装置１と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。また、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃについては、レーザヘッド１ａを例示して説明する。
【００４４】
本実施形態に係る光源装置における第２の保持部材３０は、第１の実施形態に係る保持部材１０に代えて、弾性薄片（保持部材）１０ｆを備えている。
弾性薄片１０ｆは、基台７上に設けられた固定枠１０ｈと、レーザヘッド枠１０ａとの間に、例えば、光軸方向に沿って、上面および一方の側面の２面にそれぞれ２箇所ずつ設けられている。
各弾性薄片１０ｆは、光軸方向に沿って弾性変形する板バネ状の部材により構成されている。
【００４５】
これにより、レーザヘッド１ａが温度上昇によって熱膨張すると、各弾性薄片１０ｆが光軸に沿って弾性変形することにより、レーザヘッド枠１０ａを光軸方向へ移動させて、レーザヘッド１ａを光軸方向へのみ伸張させることができる。
この場合に、弾性薄片１０ｆの寸法および弾性変形量を限定することにより、レーザヘッド１ａの光軸に交差する方向への変位は、実質的に無視することができる。
【００４６】
このように、本実施形態に係る光源装置によれば、簡易な構成で、レーザヘッド１ａの熱膨張による変形を光軸方向にのみ許容して、レーザ光のシングルモードファイバ６３への集光位置のずれを防止することができる。また、弾性薄片１０ｆを採用することにより、光源装置の小型・軽量化を図ることが可能となる。
【００４７】
〔第４の実施形態〕
次に、本発明の第４の実施形態に係る光源装置における第２の保持部材４０について、図８を参照して説明する。
本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る光源装置１と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。また、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃについては、レーザヘッド１ａを例示して説明する。
【００４８】
本実施形態に係る光源装置における第２の保持部材４０は、第１の実施形態に係る保持部材１０に代えて、押さえ部材（低摩擦抵抗部材）１０ｇを備えている。
押さえ部材１０ｇは、基台７上に設けられた固定枠１０ｈと、レーザヘッド枠１０ａとの間に、例えば、光軸に沿って、上面，底面および両側面の４箇所に設けられている。
各押さえ部材１０ｇは、例えば、少なくともレーザヘッド枠１０ａと当接する先端頭部が滑面とされており、押さえ部材１０ｇに対するレーザヘッド枠１０ａの移動が抵抗なく行われるように構成されている。
【００４９】
これにより、レーザヘッド１ａが温度上昇によって熱膨張すると、各押さえ部材１０ｇの滑面によってレーザヘッド枠１０ａを支持していることにより、レーザヘッド枠１０ａを光軸方向へ移動させて、レーザヘッド１ａを光軸方向へ伸張させることができる。
【００５０】
このように、本実施形態に係る光源装置によれば、支持部分が滑面の押さえ部材１０ｇにより、少ない摩擦抵抗でレーザヘッド枠１０ａを移動させることができる。これにより、レーザヘッド１ａの熱膨張による光軸方向への変形を容易にし、レーザ光のシングルモードファイバ６３への集光位置のずれを防止することができる。
【００５１】
〔第５の実施形態〕
次に、本発明の第５の実施形態に係る光源装置１´について、図９を参照して説明する。
本実施形態の説明において、上述した第１の実施形態に係る光源装置１と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。また、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃについては、レーザヘッド１ａを例示して説明する。
【００５２】
本実施形態に係る光源装置１´は、発熱体（発熱源）３１を有する基台７´と、光ファイバ６３と、該光ファイバ６３の出力を検知する画像形成＆ミラー駆動回路（出力検知手段）７７´とを備えている。
なお、本実施形態においては、レーザヘッド１ａは、基台７´上に固定されている。
【００５３】
光ファイバ６３の出力を受ける画像形成＆ミラー駆動回路７７´は光ファイバ６３の出力を検知し、出力が減少に転じたときには発熱体３１を加熱するようになっている。このようにして、発熱体３１の熱を基台７´へ、レーザヘッド１ａが熱膨張するのに合わせて基台７を熱膨張させるようになっている。
【００５４】
このように、本実施形態に係る光源装置１´によれば、レーザヘッド１ａが温度上昇によって熱膨張した場合に、基台７´を熱膨張させることで、レーザヘッド１ａと基台７との熱膨張の差を解消することができ、光ファイバ６３へのレーザ光の集光位置を同一位置に維持することが可能となる。
【００５５】
〔第６の実施形態〕
次に、本発明の第６の実施形態に係る光源装置１″について、図１０を参照して説明する。
本実施形態の説明において、上述した第５の実施形態に係る光源装置８０と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。また、レーザヘッド１ａ，１ｂ，１ｃについては、レーザヘッド１ａを例示して説明する。
【００５６】
本実施形態に係る光源装置１″は、光ファイバ６３と、光ファイバ６３へレーザ光を集光させる集光レンズ６ｂと、光ファイバ６３および／または集光レンズ６ｂ´の少なくとも一方を光軸と交差する方向に移動させる移動手段（図示省略）と、前記光ファイバ６３へのレーザ光の集光位置を検知する出力検知手段６４とを備えている。
【００５７】
出力検知手段６４は、例えば、光ファイバ６３の周囲に設けられた４分割光電センサからなり、レーザ光の入射領域の変化により、光ファイバ６３へのレーザ光の集光位置にずれが発生したことを検知するようになっている。そして、移動手段を作動させて、集光位置のずれを補正する向きに、光ファイバ６３および／または集光レンズ６ｂを移動させるようになっている。
この際、更にビームシフターを移動させるようにしてもよい。
【００５８】
このように構成された本実施形態に係る光源装置１″によれば、レーザヘッド１ａが温度上昇によって熱膨張した場合に、レーザ光の集光位置のずれを補正することができ、レーザ光を光ファイバ６３の同一位置に集光させることが可能となる。
【００５９】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
例えば、上記第１の実施形態では、第１の保持部材９および第２の保持部材１０の２つの保持部材によってレーザヘッド１ａを支持することとしたが、これに代えて、保持部材を１つ、または、３つ以上用いてレーザヘッド１ａを支持することとしてもよい。
【００６０】
また、例えば、上記第２の実施形態から第４の実施形態では、レーザヘッド１ａの外周にレーザヘッド枠１０ａを固定して、これをリニア軸受け１０ｅ（図５（ａ）および図５（ｂ）参照）、弾性薄片１０ｆ（図６参照）または押さえ部材１０ｇ（図８参照）によって支持することとしたが、レーザヘッド枠１０ａを採用せずに、レーザヘッド１ａを直接支持することとしてもよい。
【００６１】
また、上記第２の実施形態から第４の実施形態において、リニア軸受け１０ｅ、弾性薄片１０ｆまたは押さえ部材１０ｇを設けた位置および数は一例であり、例えば、底面のみや、上面と一方の側面だけや、上面と底面のみや、両側面のみに設けることとしてもよいし、レーザヘッド１ａの径方向に所定の間隔を空けて直接設けることとしてもよい。
【００６２】
また、上記第２の実施形態から第４の実施形態において、基台７上に固定枠１０ｈを設けることとしたが、固定枠１０ｈを設けずに、基台７上にリニア軸受け１０ｅ、弾性薄片１０ｆまたは押さえ部材１０ｇを配置することとしてもよい。
例えば、第３の実施形態に係る光源装置においては、図７に示すように、レーザヘッド１ａの光出射側とは反対側の端部を、基台７上に配置した１つの弾性薄片１０ｆによって支持することとしてもよい。
【００６３】
また、上記第２の実施形態から第４の実施形態において、固定枠１０ｈに代えて、例えば、基台７上に固定板をレーザヘッド１ａの上面および／または側面に設けて、前記固定板にリニア軸受け１０ｅ、弾性薄片１０ｆまたは押さえ部材１０ｇを備えることとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る共焦点レーザ顕微鏡の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る光源装置の概略構成を示した図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る光源装置のレーザ光軸の位置を調整する調整手段を示した図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る光源装置のレーザ光軸の位置を調整する調整手段を示した図である。
【図５】図５（ａ）および図５（ｂ）は、それぞれ、本発明の第２の実施形態に係る光源装置におけるレーザヘッドおよび第２の保持部材の横断面を示した図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る光源装置におけるレーザヘッドおよび第２の保持部材の横断面を示した図である
【図７】本発明の第３の実施形態の変形例に係る光源装置の概略構成を示した図である。
【図８】本発明の第４の実施形態に係る光源装置におけるレーザヘッドおよび第２の保持部材の横断面を示した図である。
【図９】本発明の第５の実施形態に係る光源装置の概略構成を示した図である。
【図１０】本発明の第６の実施形態に係る光源装置のレーザヘッドと集光レンズを示した図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  光源装置
１ａ、１ｂ、１ｃ  レーザヘッド
７  基台
１０  第２の保持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008116658.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2008116658.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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