(57)【要約】【課題】光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要で、作業性が向上すると共にコストを削減することが可能なデバイス位置検出装置を実現する。【解決手段】凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、光源とデバイスを挟んで設けられ出射光を反射する反射鏡と、反射鏡からの反射光を受光し、デバイスの乗り上げを検知する受光器とを備える。【選択図】  図１
2008249340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、
前記光源と前記デバイスを挟んで設けられ前記出射光を反射する反射鏡と、
この反射鏡からの反射光を受光し、前記デバイスの乗り上げを検知する受光器と
を備えたことを特徴とするデバイス位置検出装置。
【請求項２】
前記反射鏡が、
複数で構成され、前記光源からの出射光を順次反射させることを特徴とする
請求項１記載のデバイス位置検出装置。
【請求項３】
凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、
前記光源と前記デバイスを挟んで設けられ前記出射光を反射する反射鏡と、
前記光源と前記反射鏡の間に設けられ前記光源からの出射光を透過すると共に前記反射鏡からの反射光を反射する光学素子と、
この光学素子からの反射光を受光し、前記デバイスの乗り上げを検知する受光器と
を備えたことを特徴とするデバイス位置検出装置。
【請求項４】
前記光源と前記光学素子の間に設けられ前記出射光からＰ偏光成分又はＳ偏光成分を取り出す偏光子と、
前記光学素子と前記反射鏡の間に設けられ前記透過光を円偏光とする１／４波長板と、
前記光学素子と前記受光器の間に設けられ前記偏光子を透過した光と偏光方向が直交ニコルとなる光を前記光学素子からの反射光から取り出す検光子とを備えたことを特徴とする
請求項３記載のデバイス位置検出装置。
【請求項５】
前記光源が直線偏光性を持ったレーザ光源であり、
前記光学素子と前記反射鏡の間に設けられ前記透過光を円偏光とする１／４波長板と、
前記光学素子と前記受光器の間に設けられ前記レーザ光と偏光方向が直交ニコルとなる光を前記光学素子からの反射光から取り出す検光子とを備えたことを特徴とする
請求項３記載のデバイス位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポケットに搬送されたデバイスが適切な位置にセットされていることを検出するデバイス位置検出装置に関し、特に光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要で、作業性が向上すると共にコストを削減することが可能なデバイス位置検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイス位置検出装置の基本動作は、図６に示すように、ある位置に設置されたポケットＰＡ内に入っているデバイスＤを取り出し、別の位置に設置されたポケットＰＢへ搬送させた時に、デバイスＤがポケットＰＢへ正しくセットされていることを検出することである。
【０００３】
ポケットＰＢへデバイスＤを搬送する際に、デバイスＤがポケットＰＢ内に入らずに、ポケットＰＢの肩に乗り上げないように、それぞれのポケットはデバイスＤに対して少し大きめに作られている。
【０００４】
しかし、例えば、デバイスＤの外形寸法に対してそれぞれのポケットの余裕が大き過ぎるとポケットＰＡにデバイスＤが入った後にデバイス位置がふらつき、次のポケットＰＢの位置に対して誤差が大きくなる。そして、デバイスＤがポケットＰＢへ搬送された際にポケットＰＢに入らず、ポケットＰＢの肩に乗り上げてしまうという現象が発生する。
【０００５】
また、例えば、デバイスＤの外形寸法に対してそれぞれのポケットの余裕が小さ過ぎると、デバイスＤがポケットＰＢに入らず、ポケットＰＢの肩に乗り上げてしまうという現象が発生する。
【０００６】
そして、ポケットＰＢの肩にデバイスＤが乗り上げた状態で次の動作、すなわち、デバイスＤにアクセスする（デバイスＤを押す）ことを行った場合、デバイスＤを保持（吸着）できない、あるいは、デバイスＤを損傷させてしまうという不都合を生じていた。
【０００７】
このように、デバイスをポケットに搬送する装置としては、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）ハンドラー装置がある。ＩＣハンドラー装置は、パッケージされたデバイス（ＩＣ）を搬入トレイからポケット、ポケットからポケットへ順次移動させ、デバイスとＩＣテスタとの信号接続部であるソケットへ搬送する。
【０００８】
そして、ＩＣテスタがソケットでデバイスの試験を実行した後、デバイスをソケットからポケット、ポケットからポケット、ポケットから搬出トレイへ順次移動させる。
【０００９】
搬入トレイには、デバイスを収納するためのポケットが多く設けられている。トレイにできるだけ多くのデバイスを載せるために、トレイ上のポケットの間隔はソケットやソケット前段のポケットに比べると狭くなっている。一方、デバイスを試験するソケットも複数設けられているが、ＩＣテスタとデバイス間の試験信号をソケットに配線する関係上、ソケットの間隔はトレイに比べると広くなっている。
【００１０】
また、ソケット前段のポケットもソケットの数だけ設けられており、ソケットの間隔と同じになっている。搬入トレイ上のポケットと最初の移動先のポケットのポケット間隔が異なるため、搬入トレイからポケットにデバイスを移動する際に、ピッチ変換を行っている。
【００１１】
また、デバイスの外形寸法に対するポケットの余裕は、ソケットに近いポケット程、小さくなる。ソケットの端子はデバイスのピンと接触するように作られているが、近年のデバイスのピンはピッチが非常に狭くなってきている。このため、デバイスがソケットに入った時にデバイスのピンがソケットの端子に合うように、デバイスがポケットを順次移動しながらソケットに近づくにつれて、それぞれのポケットはデバイスの位置を微調整する役目も行っている。
【００１２】
デバイスがポケットに乗り上げてしまう原因としては、以下のことが考えられる。１つ目は、デバイスの公差異常である。これは、デバイスのパッケージの外形寸法や反り等が、デバイスの製造段階で何らかの原因により、予め決められた値の範囲を超えてしまうことである。
【００１３】
デバイスがポケットに乗り上げてしまう原因の２つ目は、デバイス搬送時の吸着（デバイスの保持方法）である。デバイスをトレイからポケット、ポケットからポケットへ移動する際に、デバイスを吸着する吸着パッドの磨耗や汚れ、又は、デバイス表面の汚れや異物により、わずかにデバイスがずれることがある。
【００１４】
デバイスがポケットに乗り上げてしまう原因の３つ目は、機械的な経時変化である。導入時や初めてのデバイスをＩＣハンドラー装置で扱う場合には、ユーザがデバイスを移動させる位置を装置に記憶させる（以下、ティーチングという）。しかし、時間が経つにつれて装置の動作部分にわずかにずれが生じてくる。このために、デバイスがポケットに入る確率が減少してくる。
【００１５】
デバイスがポケットに乗り上げてしまう原因の４つ目は、デバイスの跳ね返りである。デバイスをポケットへ移動する際に、ポケットの若干上から、デバイスを落としてポケットに入れる場合がある。しかし、デバイスを落下させた時に、デバイスが一旦はポケットにうまく入っても、跳ね返ってポケットのテーパー（傾き）部分に落ち、ポケットに乗り上げてしまうことがある。
【００１６】
このように、デバイスがポケットやソケットに入らないと、前述のようにデバイス自体の破壊のみならず、ソケットを破壊してしまうこともあり、デバイスのテスト工程に多大な遅れが生じることになる。本発明は、このようなデバイスのポケットへの乗り上げ検出に関するものである。
【００１７】
従来のデバイス位置検出装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【００１８】
【特許文献１】特開２００２−２５７５１０号公報
【００１９】
図７はこのような従来のデバイス位置検出装置を示す構成説明図である。図７において、Ｄはモールド樹脂等でパッケージされたデバイス、Ｐは凹状のポケット、ＬＸ及びＬＹはレーザ、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の光源、ＳＸは光源ＬＸからの光を受光する受光器、ＳＹは光源ＬＹからの光を受光する受光器である。
【００２０】
光源ＬＸと受光器ＳＸ、光源ＬＹと受光器ＳＹはそれぞれデバイスＤを挟んで一直線上に向き合うように、且つ、それぞれの光軸が直交してポケットＰの凹部内の（後述する）デバイス接触面と平行になるように配置される。光源ＬＸ及び光源ＬＹから出射される光は、デバイスＤの上面をかすめるように通過する。
【００２１】
図７に示す従来例の動作を説明する。図７において、光源ＬＸからの出射光の方向をＸ軸方向、光源ＬＹからの出射光の方向をＹ軸方向とする。図７（Ａ）はデバイスＤがポケットＰに正常に納まっている場合を示している。光源ＬＸから出射された光は、デバイスＤの上面近傍を通過して受光器ＳＸに入射され、光源ＬＹから出射された光は、デバイスＤの上面近傍を通過して受光器ＳＹに入射される。
【００２２】
この時、受光器ＳＸ及び受光器ＳＹは受光した光の光量を検出する。そして、この光量が予め設定されている閾値以上であれば、デバイスＤがポケットＰに正常に納まっていることを検知し、光量が予め設定されている閾値未満であれば、デバイスＤがポケットＰに正常に納まっていないことを検知する。
【００２３】
図７（Ａ）に示すように、デバイスＤがポケットＰに正常に納まっている場合には、光源ＬＸ及び光源ＬＹから出射された光は受光器ＳＸ及び受光器ＳＹに到達し、受光量が閾値を越えるので、デバイスＤの乗り上げがないことを検知できる。
【００２４】
一方、図７（Ｂ）に示すように、デバイスＤがＹ軸方向に平行な乗り上げを生じた場合には、光源ＬＸから出射された光はデバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスＤの乗り上げを検知できる。
【００２５】
同様に、図７（Ｃ）に示すように、デバイスＤがＸ軸方向に平行な乗り上げを生じた場合には、光源ＬＹから出射された光はデバイスＤの乗り上げ部分Ｂに遮られ、受光器ＳＹに到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスＤの乗り上げを検知できる。
【００２６】
また、図７（Ｄ）に示すように、デバイスＤがＸ軸方向とＹ軸方向の両方に乗り上げを生じた場合には、光源ＬＸから出射された光はデバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できず、光源ＬＹから出射された光はデバイスＤの乗り上げ部分Ｂに遮られ、受光器ＳＹに到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスＤの乗り上げを検知できる。
【００２７】
図８はポケットＰの断面図であり、（Ａ）はデバイスＤがポケットＰの上に搬送されてきた状態を示し、（Ｂ）はデバイスＤがポケットＰに収納された状態を示している。図８に示すように、ポケットＰにはデバイスＤが入りやすいようにテーパー部分がある。
【００２８】
また、ポケットＰに搬送されたデバイスＤのピンはポケットＰに触れることなく、ピン以外のパッケージ部分がポケットＰのデバイス接触面ＣＳに載るようにして、デバイスＤがポケットＰに収納される。なお、図８に示すデバイスＤは、パッケージがＢＧＡ（Ball Grid Array）の場合である。
【００２９】
図９は受光器ＳＸの構成ブロック図である。図９において、ＳＤは受光素子、ＡＭＰは信号増幅器、ＣＭＰはコンパレータ、ＶＲＥＦはコンパレータＣＭＰの閾値発生器である。
【００３０】
受光素子ＳＤの出力は信号増幅器ＡＭＰの入力に接続され、信号増幅器ＡＭＰの出力はコンパレータＣＭＰの一方の入力に接続される。閾値発生器ＶＲＥＦの出力はコンパレータＣＭＰの他方の入力に接続され、コンパレータＣＭＰの出力は判別信号として出力される。
【００３１】
図９の示す受光器ＳＸの動作を説明する。光信号が受光素子ＳＤに入射されると、受光素子ＳＤは受光量に応じた電気信号を出力する。この電気信号は、信号増幅器ＡＭＰで増幅され、コンパレータＣＭＰに入力される。コンパレータＣＭＰでは、閾値発生器ＶＲＥＦからの閾値電圧と信号増幅器ＡＭＰの出力電圧を比較し、その比較結果を電圧レベルとして出力する。
【００３２】
図１０は複数のデバイスの場合の従来のデバイス位置検出装置を示す構成説明図である。図１０において、Ｄ１１〜Ｄｍｎはモールド樹脂等でパッケージされたデバイス、Ｐ１１〜Ｐｍｎは凹状のポケット、ＬＸ１〜ＬＸｎ、ＬＹ１〜ＬＹｍはレーザ、ＬＥＤ等の光源、ＳＸ１〜ＳＸｎ、ＳＹ１〜ＳＹｍは光源からの光を受光する受光器である。また、ポケットＰ１〜Ｐｍｎは図８に示すデバイス接触面を有している。
【００３３】
光源ＬＸ１と受光器ＳＸ１はデバイスＤ１１〜Ｄｍ１を挟んで一直線上に向き合うように、且つ、光軸がポケットＰ１１〜Ｐｍ１内のデバイス接触面と平行になるように配置される。以下同様に、光源ＬＸｎと受光器ＳＸｎが配置される。
【００３４】
光源ＬＹ１と受光器ＳＹ１はデバイスＤ１１〜Ｄ１ｎを挟んで一直線上に向き合うように、且つ、光軸がポケットＰ１１〜Ｐ１ｎ内のデバイス接触面と平行になるように配置される。以下同様に、光源ＬＹｎと受光器ＳＹｎが配置される。
【００３５】
光源ＬＸｎからの出射光と光源ＬＹｎからの出射光はデバイスのパッケージ上面をかすめるように通過すると共にパッケージ上面の中心近傍でそれぞれ直交する。
【００３６】
図１０に示す従来例の動作は図７の従来例の動作と同じで、乗り上げ検知をするデバイスが複数になっただけのため、説明を省略する。
【００３７】
この結果、光源と受光器がデバイスを挟んで一直線上に向き合うように、且つ、光源から出射される光の光軸がポケット内のデバイス接触面と平行になるように配置し、受光器での受光量が予め設定された閾値以上か否かをモニタすることにより、デバイスが乗り上げている場合には光源から出射された光がデバイスの乗り上げ部分に遮られ、受光器に到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスの乗り上げを検知することが可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３８】
しかし、図７及び図１０に示す従来例では、デバイスを挟んで光源と受光器の両方を配置するため、ポケット周辺には配置するスペースを確保しなければならないという問題点があった。
【００３９】
また、図１０に示す従来例に示すように、ｎ行ｍ列にポケットが配列されている場合には、ポケットが増える毎に光源と受光器の距離が大きくなり、光軸を合わせる調整作業が難しくなるという問題があった。
【００４０】
光軸を合わせる調整作業の内容としては、光源及び受光器の高さ／水平方向の位置合わせ、垂直／水平方向の角度合わせがある。
【００４１】
また、図１０に示す従来例に示すように、ｎ行ｍ列にポケットが配列されている場合には、光源と受光器のセットが（ｎ＋ｍ）個必要になり、ポケットが増える毎に光源と受光器のセットを増やさなければならず、コストが増大するという問題があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要で、作業性が向上すると共にコストを削減することが可能なデバイス位置検出装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、
前記光源と前記デバイスを挟んで設けられ前記出射光を反射する反射鏡と、この反射鏡からの反射光を受光し、前記デバイスの乗り上げを検知する受光器とを備えたことを特徴とする。
【００４３】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載のデバイス位置検出装置において、
前記反射鏡が、
複数で構成され、前記光源からの出射光を順次反射させることを特徴とする。
【００４４】
請求項３記載の発明は、
凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、
前記光源と前記デバイスを挟んで設けられ前記出射光を反射する反射鏡と、前記光源と前記反射鏡の間に設けられ前記光源からの出射光を透過すると共に前記反射鏡からの反射光を反射する光学素子と、この光学素子からの反射光を受光し、前記デバイスの乗り上げを検知する受光器とを備えたことを特徴とする。
【００４５】
請求項４記載の発明は、
請求項３記載のデバイス位置検出装置において、
前記光源と前記光学素子の間に設けられ前記出射光からＰ偏光成分又はＳ偏光成分を取り出す偏光子と、前記光学素子と前記反射鏡の間に設けられ前記透過光を円偏光とする１／４波長板と、前記光学素子と前記受光器の間に設けられ前記偏光子を透過した光と偏光方向が直交ニコルとなる光を前記光学素子からの反射光から取り出す検光子とを備えたことを特徴とする。
【００４６】
請求項５記載の発明は、
請求項３記載のデバイス位置検出装置において、
前記光源が直線偏光性を持ったレーザ光源であり、
前記光学素子と前記反射鏡の間に設けられ前記透過光を円偏光とする１／４波長板と、前記光学素子と前記受光器の間に設けられ前記レーザ光と偏光方向が直交ニコルとなる光を前記光学素子からの反射光から取り出す検光子とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００４７】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１及び請求項２の発明によれば、凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、前記光源と前記デバイスを挟んで設けられ前記出射光を反射する反射鏡と、この反射鏡からの反射光を受光し、前記デバイスの乗り上げを検知する受光器とを備えたことにより、ポケットに対して光源と受光器を同じ側に配置できるので、光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要になる。
【００４８】
また、光源と受光器が互いに近傍に配置することにより、光軸を合わせる調整作業が容易になるので、作業性が向上する。さらに、光源と受光器のセットが１組で済むので、調整作業の作業量が半分に減り、作業性が向上すると共にコストを削減することが可能になる。
【００４９】
請求項３の発明によれば、凹状のポケット内のデバイス接触面と平行に光源から光を出射し、デバイスが適正な位置にセットされていることを検知するデバイス位置検出装置において、前記光源と前記デバイスを挟んで設けられ前記出射光を反射する反射鏡と、前記光源と前記反射鏡の間に設けられ前記光源からの出射光を透過すると共に前記反射鏡からの反射光を反射する光学素子と、この光学素子からの反射光を受光し、前記デバイスの乗り上げを検知する受光器とを備えたことにより、ポケットに対して光源と受光器を同じ側に配置できるので、光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要になる。
【００５０】
また、光源と受光器が互いに近傍に配置することにより、光軸を合わせる調整作業が容易になるので、作業性が向上する。また、光源からの出射光がデバイスのパッケージ上面の中心付近を通過するので、大きさの異なるポケット（デバイス）を配置しても乗り上げを検出することが可能になる。さらに、乗り上げている方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、又は、Ｘ軸Ｙ軸の両方向）が判別できるので、デバイス搬送機構の補正方向を知ることが可能になる。
【００５１】
請求項４の発明によれば、請求項３記載のデバイス位置検出装置において、前記光源と前記光学素子の間に設けられ前記出射光からＰ偏光成分又はＳ偏光成分を取り出す偏光子と、前記光学素子と前記反射鏡の間に設けられ前記透過光を円偏光とする１／４波長板と、前記光学素子と前記受光器の間に設けられ前記偏光子を透過した光と偏光方向が直交ニコルとなる光を前記光学素子からの反射光から取り出す検光子とを備えたことにより、偏光子を透過した光量の１００％が受光器に戻るので、高感度なデバイス乗り上げ検出が可能になる。
【００５２】
請求項５の発明によれば、請求項３記載のデバイス位置検出装置において、前記光源が直線偏光性を持ったレーザ光源であり、前記光学素子と前記反射鏡の間に設けられ前記透過光を円偏光とする１／４波長板と、前記光学素子と前記受光器の間に設けられ前記レーザ光と偏光方向が直交ニコルとなる光を前記光学素子からの反射光から取り出す検光子とを備えたことにより、光源から出射された光量の１００％が受光器に戻るので、高感度なデバイス乗り上げ検出が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５３】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るデバイス位置検出装置の一実施例を示す構成説明図である。図１において、Ｄはモールド樹脂等でパッケージされたデバイス、Ｐは凹状のポケット、ＬＸはレーザ、ＬＥＤ等の光源、ＳＸは光源ＬＸからの光を受光する受光器、Ｍ１及びＭ２は反射鏡である。また、ポケットＰは図８に示すデバイス接触面を有している。
【００５４】
光源ＬＸと反射鏡Ｍ１は、光源ＬＸから出射される光の光軸がポケットＰ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤを挟んで配置される。さらに、反射鏡Ｍ１は、光源ＬＸからの出射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【００５５】
反射鏡Ｍ２は、反射鏡Ｍ１からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置され、受光器ＳＸは、反射鏡Ｍ２からの反射光を受光できるように配置される。
【００５６】
図１に示す実施例の動作を説明する。図１において、光源ＬＸからの出射光の方向、又は、反射鏡Ｍ２からの反射光の方向をＸ軸方向、反射鏡Ｍ１からの反射光の方向をＹ軸方向とする。
【００５７】
図１（Ａ）はデバイスＤがポケットＰに正常に納まっている場合を示している。光源ＬＸから出射された光は、デバイスＤの上面近傍でパッケージの縁よりやや内側を通過して反射鏡Ｍ１に入射される。反射鏡Ｍ１で反射された光は、反射鏡Ｍ２を経由して受光器ＳＸに到達する。
【００５８】
図７の従来例と同様に、受光器ＳＸは受光した光の光量を検出する。そして、この光量が予め設定されている閾値以上であれば、デバイスＤがポケットＰに正常に納まっていることを検知し、光量が予め設定されている閾値未満であれば、デバイスＤがポケットＰに正常に納まっていないことを検知する。
【００５９】
図１（Ａ）では、光源ＬＸからの出射光は遮られることなく、受光器ＳＸに到達しているので、受光量が閾値を越えてデバイスＤの乗り上げがないことを検知できる。
【００６０】
図１（Ｂ）は、デバイスＤがＹ軸方向に平行な乗り上げを生じた場合を示している。光源ＬＸから出射された光はデバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスＤの乗り上げを検知できる。
【００６１】
図１（Ｃ）は、デバイスＤがＸ軸方向に平行な乗り上げを生じた場合を示している。光源ＬＸから出射された光は反射鏡Ｍ１及び反射鏡Ｍ２で順次反射された後、デバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスＤの乗り上げを検知できる。
【００６２】
図１（Ｄ）は、デバイスＤがＸ軸方向とＹ軸方向の両方に乗り上げを生じた場合を示している。光源ＬＸから出射された光は反射鏡Ｍ１及び反射鏡Ｍ２で順次反射された後、デバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できないので、受光量が閾値未満となり、デバイスＤの乗り上げを検知できる。
【００６３】
反射鏡Ｍ１及び反射鏡Ｍ２は、光源ＬＸや受光器ＳＸと比較して小型であり、光源ＬＸからの出射光の径と同等以上の大きさを有していれば良い。
【００６４】
この結果、光源ＬＸと反射鏡Ｍ１をデバイスを挟んで、且つ、光源ＬＸから出射される光の光軸がポケット内のデバイス接触面と平行になるように配置し、反射鏡Ｍ１からの反射光を反射鏡Ｍ２で反射して受光器ＳＸで受光し、受光器ＳＸでの受光量が予め設定された閾値以上か否かでデバイスの乗り上げを検知することにより、ポケットＰに対して光源ＬＸと受光器ＳＸを同じ側に配置できるので、光源ＬＸとデバイスＤを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要になる。
【００６５】
また、光源ＬＸと受光器ＳＸが互いに近傍に配置することにより、光軸を合わせる調整作業が容易になるので、作業性が向上する。さらに、従来では図７に示すようにＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ独立した光源と受光器のセットを２組使用しているが、本発明では１組で済むので、調整作業の作業量が半分に減り、作業性が向上すると共にコストを削減することが可能になる。
【００６６】
図２は本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図であり、図１と共通する部分には同一の符号を付けている。図２において、ＢＳＸ及びＢＳＹはビームスプリッタ、半透過反射鏡、プリズム、キュービック・ビームスプリッタ等の光学素子である。
【００６７】
光源ＬＸと反射鏡Ｍ１は、光源ＬＸから出射される光の光軸がポケットＰ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤを挟んで配置される。光学素子ＢＳＸは光源ＬＸと反射鏡Ｍ１の間に配置され、受光器ＳＸは光学素子ＢＳＸからの反射光を受光できるように配置される。
【００６８】
同様に、光源ＬＹと反射鏡Ｍ２は、光源ＬＹから出射される光の光軸がポケットＰ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤを挟んで配置される。光学素子ＢＳＹは光源ＬＹと反射鏡Ｍ２の間に配置され、受光器ＳＹは光学素子ＢＳＹからの反射光を受光できるように配置される。
【００６９】
光源ＬＸからの出射光と光源ＬＹからの出射光は、ポケットＰに納まったデバイスＤのパッケージ上面の中心近傍で交わる。
【００７０】
図２に示す実施例の動作を説明する。図２において、光源ＬＸからの出射光の方向をＸ軸方向、光源ＬＹからの出射光の方向をＹ軸方向とする。
【００７１】
図２（Ａ）はデバイスＤがポケットＰに正常に納まっている場合を示している。光源ＬＸから出射された光は光学素子ＢＳＸを透過し、デバイスＤの上面近傍でパッケージの中心付近を通過して反射鏡Ｍ１に入射される。反射鏡Ｍ１で反射された光は光学素子ＢＳＸに再び入射され、反射して受光器ＳＸに到達する。
【００７２】
同様に、光源ＬＹから出射された光は光学素子ＢＳＹを透過し、デバイスＤの上面近傍でパッケージの中心付近を通過して反射鏡Ｍ２に入射される。反射鏡Ｍ２で反射された光は光学素子ＢＳＹに再び入射され、反射して受光器ＳＹに到達する。
【００７３】
図２（Ａ）では、光源ＬＸからの出射光は遮られることなく、受光器ＳＸに到達し、光源ＬＹからの出射光は遮られることなく、受光器ＳＹに到達しているので、受光器ＳＸ及び受光器ＳＹのそれぞれの受光量が閾値を越えてデバイスＤの乗り上げがないことを検知できる。
【００７４】
図２（Ｂ）は、デバイスＤがＹ軸方向に平行な乗り上げを生じた場合を示している。光学素子ＢＳＸを透過した光源ＬＸからの出射光はデバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できないので、受光器ＳＸの受光量が閾値未満となり、デバイスＤのＹ軸方向に平行な乗り上げを検知できる。
【００７５】
一方、光源ＬＹから出射された光は光学素子ＢＳＹを透過し、デバイスＤの上面近傍でパッケージの中心付近を通過して反射鏡Ｍ２に入射される。反射鏡Ｍ２で反射された光は光学素子ＢＳＹに再び入射され、反射して受光器ＳＹに到達する。光源ＬＹからの出射光は遮られることなく、受光器ＳＹに到達しているので、受光器ＳＹの受光量が閾値を越えてデバイスＤのＸ軸方向に平行な乗り上げがないことを検知できる。
【００７６】
図２（Ｃ）は、デバイスＤがＸ軸方向に平行な乗り上げを生じた場合を示している。光源ＬＸから出射された光は光学素子ＢＳＸを透過し、デバイスＤの上面近傍でパッケージの中心付近を通過して反射鏡Ｍ１に入射される。反射鏡Ｍ１で反射された光は光学素子ＢＳＸに再び入射され、反射して受光器ＳＸに到達する。光源ＬＸからの出射光は遮られることなく、受光器ＳＸに到達しているので、受光器ＳＸの受光量が閾値を越えてデバイスＤのＹ軸方向に平行な乗り上げがないことを検知できる。
【００７７】
一方、光学素子ＢＳＹを透過した光源ＬＹからの出射光はデバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＹに到達できないので、受光器ＳＹの受光量が閾値未満となり、デバイスＤのＸ軸方向に平行な乗り上げを検知できる。
【００７８】
図２（Ｄ）は、デバイスＤがＸ軸方向及びＹ軸方向の両方に平行な乗り上げを生じた場合を示している。光学素子ＢＳＸを透過した光源ＬＸからの出射光はデバイスＤの乗り上げ部分Ａに遮られ、受光器ＳＸに到達できないので、受光器ＳＸの受光量が閾値未満となり、デバイスＤのＹ軸方向に平行な乗り上げを検知できる。
【００７９】
一方、光学素子ＢＳＹを透過した光源ＬＹからの出射光はデバイスＤの乗り上げ部分Ｂに遮られ、受光器ＳＹに到達できないので、受光器ＳＹの受光量が閾値未満となり、デバイスＤのＸ軸方向に平行な乗り上げを検知できる。
【００８０】
この結果、光源と反射鏡をデバイスを挟んで、且つ、光源から出射される光の光軸がポケット内のデバイス接触面と平行になるように配置し、光源と反射鏡の間に配置された光学素子で反射鏡からの反射光を反射して受光器で受光し、受光器ＳＸでの受光量が予め設定された閾値以上か否かでデバイスの乗り上げを検知することにより、ポケットに対して光源と受光器を同じ側に配置できるので、光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要になる。
【００８１】
また、光源ＬＸと受光器ＳＸが互いに近傍に配置することにより、光軸を合わせる調整作業が容易になるので、作業性が向上する。
【００８２】
また、光源からの出射光がデバイスのパッケージ上面の中心付近を通過するので、大きさの異なるポケット（デバイス）を配置しても乗り上げを検出することが可能になる。
【００８３】
さらに、乗り上げている方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、又は、Ｘ軸Ｙ軸の両方向）が判別できるので、デバイス搬送機構の補正方向を知ることが可能になる。
【００８４】
図３は本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図であり、図１と共通する部分には同一の符号を付けている。図３において、Ｄ１１〜Ｄｍｎはモールド樹脂等でパッケージされたデバイス、Ｐ１１〜Ｐｍｎは凹状のポケット、ＭＸｍ１〜ＭＸｍｎ及びＭＹ１ｎ〜ＭＹｍｎは反射鏡である。また、ポケットＰ１１〜Ｐｍｎは図８に示すデバイス接触面を有している。
【００８５】
光源ＬＸと反射鏡ＭＸｍ１は、光源ＬＸから出射される光の光軸がポケットＰ１１〜Ｐｍ１内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤ１１〜Ｄｍ１を挟んで配置される。さらに、反射鏡ＭＸｍ１は、光源ＬＸからの出射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【００８６】
反射鏡ＭＸｍ２は、反射鏡ＭＸｍ１からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。また、反射鏡ＭＸｍ２と反射鏡ＭＸ１２は、反射鏡ＭＸｍ２から反射される光の光軸がポケットＰｍ２〜Ｐ１２内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤｍ２〜Ｄ１２を挟んで配置される。さらに、反射鏡ＭＸ１２は、反射鏡ＭＸｍ２からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【００８７】
以下同様に、反射鏡が配置され、最後に、反射鏡ＭＸｍｎと受光器ＳＸが配置される。反射鏡ＭＸｍｎと受光器ＳＸは、反射鏡ＭＸｍｎから反射される光の光軸がポケットＰｍｎ〜Ｐ１ｎ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤｍｎ〜Ｄ１ｎを挟んで配置される。
【００８８】
また、光源ＬＹと反射鏡ＭＹ１ｎは、光源ＬＹから出射される光の光軸がポケットＰ１１〜Ｐ１ｎ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤ１１〜Ｄ１ｎを挟んで配置される。さらに、反射鏡ＭＹ１ｎは、光源ＬＹからの出射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【００８９】
反射鏡ＭＹ２ｎは、反射鏡ＭＹ１ｎからの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。また、反射鏡ＭＹ２ｎと反射鏡ＭＹ２１は、反射鏡ＭＹ２ｎから反射される光の光軸がポケットＰｎ２〜Ｐ２１内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤ２ｎ〜Ｄ２１を挟んで配置される。さらに、反射鏡ＭＹ２１は、反射鏡ＭＹ２ｎからの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【００９０】
以下同様に、反射鏡が配置され、最後に、反射鏡ＭＹｍｎと受光器ＳＹが配置される。反射鏡ＭＹｍｎと受光器ＳＹは、反射鏡ＭＹｍｎから反射される光の光軸がポケットＰｍｎ〜Ｐｍ１内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤｍｎ〜Ｄｍ１を挟んで配置される。
【００９１】
光源ＬＸからの出射光、反射鏡ＭＸ１ｎ−反射鏡ＭＸｍｎ間の反射光、反射鏡ＭＸｍｎからの反射光と光源ＬＹからの出射光、反射鏡ＭＹｍ１−反射鏡ＭＹｍｎ間の反射光、反射鏡ＭＹｍｎからの反射光は、ポケットＰに納まったデバイスＤのパッケージ上面の中心近傍で交わる。
【００９２】
図３に示す実施例の動作を説明する。図３において、光源ＬＸからの出射光の方向をＸ軸方向、光源ＬＹからの出射光の方向をＹ軸方向とする。
【００９３】
光源ＬＸからの出射光は、ポケットＰ１１〜Ｐｍ１に納まっているｍ個のデバイスＤ１１〜Ｄｍ１の上面をかすめるように通過し、反射鏡ＭＸｍ１及び反射鏡ＭＸｍ２で反射される。そして、ポケットＰ１２〜Ｐｍ２に納まっているｍ個のデバイスＤ１２〜Ｄｍ２の上面をかすめるように通過し、反射鏡ＭＸ１２及び反射鏡ＭＸ１３（図示せず）で反射される。
【００９４】
この後、順次、反射を繰り返し、反射鏡ＭＸｍｎで反射された後、ポケットＰ１ｎ〜Ｐｍｎに納まっているｍ個のデバイスＤ１ｎ〜Ｄｍｎの上面をかすめるように通過し、受光器ＳＸに到達する。
【００９５】
もし、光源ＬＸを出て受光器ＳＸに届くまでの光路において、デバイスのどれか１つでも、Ｙ軸方向に平行な乗り上げを起こした場合には、光が受光器ＳＸに到達しないので、乗り上げが発生したことを検知できる。
【００９６】
同様に、光源ＬＹからの出射光は、ポケットＰ１１〜Ｐ１ｎに納まっているｎ個のデバイスＤ１１〜Ｄ１ｎの上面をかすめるように通過し、反射鏡ＭＹ１ｎ及び反射鏡ＭＹ２ｎで反射される。そして、ポケットＰ２１〜Ｐ２ｎに納まっているｎ個のデバイスＤ２１〜Ｄ２ｎの上面をかすめるように通過し、反射鏡ＭＹ２１及び反射鏡ＭＹ３１（図示せず）で反射される。
【００９７】
この後、順次、反射を繰り返し、反射鏡ＭＹｍｎで反射された後、ポケットＰｍ１〜Ｐｍｎに納まっているｎ個のデバイスＤｍ１〜Ｄｍｎの上面をかすめるように通過し、受光器ＳＹに到達する。
【００９８】
もし、光源ＬＹを出て受光器ＳＹに届くまでの光路において、デバイスのどれか１つでも、Ｘ軸方向に平行な乗り上げを起こした場合には、光が受光器ＳＹに到達しないので、乗り上げが発生したことを検知できる。
【００９９】
この結果、光源と反射鏡、反射鏡同士、反射鏡と受光器をデバイスを挟んで、且つ、出射光、反射光の光軸がポケット内のデバイス接触面と平行になるように配置し、光源からの出射光を順次、反射鏡で反射して受光器で受光し、受光器ＳＸでの受光量が予め設定された閾値以上か否かでデバイスの乗り上げを検知することにより、ポケットに対して光源と受光器を同じ側に配置できるので、光源とデバイスを挟んだ位置に受光器を配置するスペースが不要になる。
【０１００】
また、従来では図１０に示すようにＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ独立した光源と受光器のセットを（ｎ＋ｍ）個使用しているが、本発明では２セットで済むので、コストを削減することが可能になる。
【０１０１】
図４は本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図であり、図２と共通する部分には同一の符号を付けている。図４において、ＰＸ１及びＰＹ１は直線偏光を取り出す偏光子、ＱＷＸ及びＱＷＹは直線偏光を円偏光に変える１／４波長板、ＰＸ２及びＰＹ２は特定の偏光成分を取り出す検光子である。偏光子ＰＸ１と検光子ＰＸ２、偏光子ＰＹ１と検光子ＰＹ２はそれぞれ直交ニコルとなっている。
【０１０２】
光源ＬＸと反射鏡Ｍ１は、光源ＬＸから出射される光の光軸がポケットＰ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤを挟んで配置される。光学素子ＢＳＸは光源ＬＸと反射鏡Ｍ１の間に配置され、受光器ＳＸは光学素子ＢＳＸからの反射光を受光できるように配置される。
【０１０３】
また、偏光子ＰＸ１は光源ＬＸと光学素子ＢＳＸの間に配置され、１／４波長板ＱＷＸは光学素子ＢＳＸと反射鏡Ｍ１の間に配置される。検光子ＰＸ２は光学素子ＢＳＸと受光器ＳＸの間に配置される。
【０１０４】
同様に、光源ＬＹと反射鏡Ｍ２は、光源ＬＹから出射される光の光軸がポケットＰ内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤを挟んで配置される。光学素子ＢＳＹは光源ＬＹと反射鏡Ｍ２の間に配置され、受光器ＳＹは光学素子ＢＳＹからの反射光を受光できるように配置される。
【０１０５】
また、偏光子ＰＹ１は光源ＬＹと光学素子ＢＳＹの間に配置され、１／４波長板ＱＷＹは光学素子ＢＳＹと反射鏡Ｍ２の間に配置される。検光子ＰＹ２は光学素子ＢＳＹと受光器ＳＹの間に配置される。
【０１０６】
光源ＬＸからの出射光と光源ＬＹからの出射光は、ポケットＰに納まったデバイスＤのパッケージ上面の中心近傍で交わる。
【０１０７】
図４に示す実施例の動作を説明する。図４において、光源ＬＸからの出射光の方向をＸ軸方向、光源ＬＹからの出射光の方向をＹ軸方向とする。
【０１０８】
光源ＬＸから出射された光は偏光子ＰＸ１で直線偏光（便宜上、Ｐ偏光とする）になり、Ｐ偏光を１００％透過する光学素子ＢＳＸに入る。その後、１／４波長板ＱＷＸに入り、円偏光（便宜上、左円偏光とする）になり、デバイスＤのパッケージ上面をかすめるように通過後、反射鏡Ｍ１で反射される。
【０１０９】
反射鏡Ｍ１で反射された光は、右円偏光となっているので、再び１／４波長板ＱＷＸを透過するとＳ偏光になり、Ｓ偏光を１００％反射する光学素子ＢＳＸで反射される。その後、Ｓ偏光のみを透過させる検光子ＰＸ２を透過し、受光器ＳＸに到達する。
【０１１０】
もし、デバイスＤがＹ軸方向に平行な乗り上げを起こした場合には、光が受光器ＳＸに到達しないので、乗り上げが発生したことを検知できる。
【０１１１】
同様に、光源ＬＹから出射された光は偏光子ＰＹ１で直線偏光（便宜上、Ｐ偏光とする）になり、Ｐ偏光を１００％透過する光学素子ＢＳＹに入る。その後、１／４波長板ＱＷＹに入り、円偏光（便宜上、左円偏光とする）になり、デバイスＤのパッケージ上面をかすめるように通過後、反射鏡Ｍ２で反射される。
【０１１２】
反射鏡Ｍ２で反射された光は、右円偏光となっているので、再び１／４波長板ＱＷＹを透過するとＳ偏光になり、Ｓ偏光を１００％反射する光学素子ＢＳＹで反射される。その後、Ｓ偏光のみを透過させる検光子ＰＹ２を透過し、受光器ＳＹに到達する。
【０１１３】
もし、デバイスＤがＸ軸方向に平行な乗り上げを起こした場合には、光が受光器ＳＹに到達しないので、乗り上げが発生したことを検知できる。
【０１１４】
例えば、光学素子ＢＳＸ又は光学素子ＢＳＹに５０％透過／５０％反射のビームスプリッタを使用した場合には、受光器ＳＸ又は受光器ＳＹに戻る光量は１／４に減ってしまう。
【０１１５】
しかし、本実施例のように、偏光子、偏光光学素子、１／４波長板という構成にすることにより、偏光子を透過した光量の１００％が受光器に戻るので、高感度なデバイス乗り上げ検出が可能になる。
【０１１６】
この結果、光源と光学素子の間に偏光子を配置し、光学素子と反射鏡の間に１／４波長板を配置し、光学素子と受光器の間に検光子を配置することにより、偏光子を透過した光量の１００％が受光器に戻るので、高感度なデバイス乗り上げ検出が可能になる。
【０１１７】
図５は本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図である。図５において、Ｄ１〜Ｄ４はモールド樹脂等でパッケージされたデバイス、Ｐ１〜Ｐ４は凹状のポケット、ＬＸはレーザ、ＬＥＤ等の光源、ＳＸは光源ＬＸからの光を受光する受光器、Ｍ１〜Ｍ６は反射鏡、ＳＴＧはステージ、ＳＬＤはステージＳＴＧ上を移動するスライダ、ＭＴＲはスライダＳＬＤを動かす駆動モータである。また、ポケットＰ１〜Ｐ４は図８に示すデバイス接触面を有している。
【０１１８】
デバイスＤ１〜Ｄ４を収納したポケットＰ１〜Ｐ４は、駆動モータＭＴＲでステージＳＴＧ上をＸ軸方向及び−Ｘ軸方向に移動するスライダＳＬＤ上に設置されている。駆動モータＭＴＲもスライダＳＬＤ上に設置されており、スライダＳＬＤの端からポケットＰ２及びポケットＰ４の近傍までの領域を占領し、受光器を置くスペースがない。
【０１１９】
また、反射鏡Ｍ１、Ｍ２、Ｍ５、Ｍ６は駆動モータＭＴＲとポケットＰ２、ポケットＰ４のわずかな隙間に設置されている。
【０１２０】
光源ＬＸと反射鏡Ｍ１は、光源ＬＸから出射される光の光軸がポケットＰ１及びポケットＰ２内のデバイス接触面と平行になるようにデバイスＤ１及びデバイスＤ２を挟んで配置される。さらに、反射鏡Ｍ１は、光源ＬＸからの出射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【０１２１】
反射鏡Ｍ２は、反射鏡Ｍ１からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置され、反射鏡Ｍ３は、反射鏡Ｍ２からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。
【０１２２】
反射鏡Ｍ４は、反射鏡Ｍ３からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置され、反射鏡Ｍ５は、反射鏡Ｍ４からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置される。反射鏡Ｍ６は、反射鏡Ｍ５からの反射光が入射角４５度で入射され、反射光が反射角４５度で出射されるように配置され、受光器ＳＸは、反射鏡Ｍ６からの反射光を受光できるように配置される。
【０１２３】
図５に示す実施例の動作を説明する。光源ＬＸから出射された光は、デバイスＤ１及びデバイスＤ２の上面近傍でパッケージの縁よりやや内側をかすめるように通過して反射鏡Ｍ１で反射され、反射鏡Ｍ２に入射される。反射鏡Ｍ２で反射された光は、光源ＬＸからの出射光が通過する縁とは反対側の縁のやや内側をかすめるように通過して反射鏡Ｍ３で反射され、反射鏡Ｍ４に入射される。
【０１２４】
反射鏡Ｍ４で反射された光は、デバイスＤ３及びデバイスＤ４の上面近傍でパッケージの縁よりやや内側をかすめるように通過して反射鏡Ｍ５で反射され、反射鏡Ｍ６に入射される。反射鏡Ｍ６で反射された光は、反射鏡Ｍ４での反射光が通過する縁とは反対側の縁のやや内側をかすめるように通過して受光器ＳＸに到達する。
【０１２５】
もし、光源ＬＸを出て受光器ＳＸに届くまでの光路において、デバイスＤ１〜Ｄ４のどれか１つでも、乗り上げを起こした場合には、光が受光器ＳＸに到達しないので、乗り上げが発生したことを検知できる。
【０１２６】
この結果、ステージＳＴＧ上を移動するスライダＳＬＤ上にポケットが設置されている場合、スライダＳＬＤ上に複数の反射鏡が配置され、光源ＬＸから出射された光がこれらの反射鏡を順次反射して受光器ＳＸに到達することにより、出射光や反射光は常にデバイスの上面をかすめるように通過するので、スライダＳＬＤの位置に拘らず、また、静止中、移動中に拘らず、デバイスの乗り上げ検知が可能になる。
【０１２７】
なお、図１に示す実施例において反射鏡Ｍ１と反射鏡Ｍ２の２つの反射鏡を用いているが、必ずしもこのようにする必要はなく、反射鏡を１つにして、光源ＬＸからの出射光を反射して受光器ＳＸに入射するようにしてもよい。ただし、この場合は、デバイスの乗り上げ検出の精度が少し落ちることになる。
【０１２８】
また、図４に示す実施例において光源ＬＸ及び光源ＬＹに直線偏光性を持ったレーザ光源を用いた場合には、偏光子ＰＸ１及び偏光子ＰＹ１は不要になる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】本発明に係るデバイス位置検出装置の一実施例を示す構成説明図である。
【図２】本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図である。
【図３】本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図である。
【図４】本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図である。
【図５】本発明に係るデバイス位置検出装置の他の実施例を示す構成説明図である。
【図６】デバイス位置検出装置における基本動作の説明図である。
【図７】従来のデバイス位置検出装置を示す構成説明図である。
【図８】ポケットの断面図である。
【図９】受光器の構成ブロック図である。
【図１０】複数のデバイスの場合の従来のデバイス位置検出装置を示す構成説明図である。
【符号の説明】
【０１３０】
ＡＭＰ  信号増幅器
ＢＳＸ，ＢＳＹ  光学素子
ＣＭＰ  コンパレータ
ＣＳ  デバイス接触面
Ｄ，Ｄ１〜Ｄ４，Ｄ１１〜Ｄｍｎ  デバイス
ＬＸ，ＬＹ，ＬＸ１〜ＬＸｎ，ＬＹ１〜ＬＹｎ  光源
Ｍ１〜Ｍ６，ＭＸｍ１〜ＭＸｍｎ，ＭＹ１ｎ〜ＭＹｍｎ  反射鏡
ＭＴＲ  駆動モータ
Ｐ，Ｐ１〜Ｐ４，Ｐ１１〜Ｐｍｎ，ＰＡ，ＰＢ  ポケット
ＰＸ１，ＰＹ１  偏光子
ＰＸ２，ＰＹ２  検光子
ＱＷＸ，ＱＷＹ  １／４波長板
ＳＤ  受光素子
ＳＬＤ  スライダ
ＳＴＧ  ステージ
ＳＸ，ＳＹ，ＳＸ１〜ＳＸｎ，ＳＹ１〜ＳＹｎ  受光器
ＶＲＥＦ  閾値発生器
【図１】
2008249340.tif 000003
【図２】
2008249340.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008249340.tif 000006
【図５】
2008249340.tif 000007
【図６】
2008249340.tif 000008
【図７】
2008249340.tif 000009
【図８】
2008249340.tif 000010
【図９】
2008249340.tif 000011
【図１０】
2008249340.tif 000012