(57)【要約】【課題】  試料の電子線損傷を低減するためのＭＤＳにおける三つのモードのそれぞれについて複数の条件を記憶して、繰り返し作業を簡単に行うと共に、試料や目的に応じて最適な条件を任意に設定できるＴＥＭを提供する。【解決手段】  サーチ、フォーカス、フォトの各モードに複数の条件を記憶しておく。例えば、ボックス３１ａにおいてサーチモードの条件をプルダウンメニュー３３ａにより表示し、マウスポインタ３６によりＴｒｕｃｋｉｎｇを選択する。ボタン３２ａをクリックすると装置は選択した条件に設定される。サーチモード操作から他のモード操作に移るか又は撮影実行又はＭＤＳ操作を終了するとき、直前の装置の状態が３１ａに表示されている名称で記憶される。フォーカスモード、フォトモードについても同様に記憶されている複数の条件から任意の条件を選択し、その条件に装置を設定できる。【選択図】図５
2008117679.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を試料に照射し電子顕微鏡像の撮影を行うとき、低照射で撮影視野を探すサーチモード、該撮影視野の近傍で焦点合せを行うフォーカスモード及び該撮影視野の写真撮影条件を設定するフォトモードを組み合わせて、試料に当たる電子線量を最小にする電子線損傷低減法により該撮影視野の写真撮影を行う機能を備えた電子顕微鏡であって、
前記サーチモード、前記フォーカスモード及び前記フォトモードのそれぞれについて、複数の条件をメモリーに記憶する記憶手段と、
前記メモリーに記憶されている前記複数の条件について追加、削除、複製及び内容変更の作業を行う作業手段とを備え、
前記メモリーに記憶されている複数の条件の中から任意の条件を選択して設定し、視野探し及び／又は焦点合せ及び／又は写真撮影を行うようにしたことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】
前記記憶手段は、前記サーチモード、前記フォーカスモード及び前記フォトモードの何れかのモードから抜けて電子線損傷低減法の他のモードに移行するとき、若しくは電子線損傷低減法から抜けるとき、その直前に設定されている電子線照射と写真撮影にかかわる条件を、他の条件と識別可能な名称とともに自動的に前記メモリーに記憶するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡。
【請求項３】
前記電線照射条件を自動的に前記メモリーに記憶する前に、操作者が前記識別可能な名称を予め指定しておくことができるようにした、ことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【請求項４】
前記メモリーに記憶されている複数の電子線照射条件の中から任意の条件を選択して作成した、前記サーチモード、前記フォーカスモード及び前記フォトモードの組み合わせについて、操作者が任意の識別可能な名称をつけて前記メモリーに記憶し、必要に応じて前記メモリーから呼び出して実行できるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線損傷低減法（以下、「ＭＤＳ」と略称する）により、試料に照射する電子線量を最小にして試料撮影を行う機能を有する透過型電子顕微鏡（以下「ＴＥＭ」と略称する）に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＥＭを用いて試料を観察する場合、試料は必ず電子線照射によって損傷を受ける。特に試料が生物や高分子の場合、試料損傷は大きな問題である。そのため、電子顕微鏡像の撮影を行う前の準備として行う視野探し、焦点合せ及び非点補正等の作業において、試料に対する電子線照射を極力少なくし、電子顕微鏡像を撮影する操作方法が広く行われている。この方法は電子線損傷低減法（ＭＤＳ：Minimum Dose System）と呼ばれ、例えば特許文献１の特公昭５９−０１９４０８号公報に開示されている。ここではＭＤＳについて簡単に説明する。
【０００３】
ＭＤＳは、低照射で撮影視野を探すサーチモード、撮影視野の近傍で焦点合せを行うフォーカスモード及び撮影視野の写真撮影を行う条件を設定するフォトモードの三つのモードと写真撮影で構成されている。図２は、これら三つのモードと写真撮影に対応する電子線の状態を説明するための図である。図２において、ＥＢは電子線、２は電子銃、３は第1集束レンズ、４は第２集束レンズ、５は偏向コイル、Ｓは試料である。Ａは撮影目的の視野、ＢはＡから数μｍ程度はなれた近傍の視野を表す。なお、偏向コイル５は通常２段のコイルで構成されることが多いが、図中では簡単のため一段で表している。
【０００４】
図２（ａ）はサーチモードの状態を表し、電子線は試料の広範囲に照射されるので単位面積当たりの照射線量は少ない。図２（ｂ）はフォーカスモードの状態を表し、細く絞られた電子線が撮影視野Ａの近傍の視野Ｂに照射されている。図２（ｃ）はフォトモードで設定された条件で、細く絞られた電子線が撮影視野Ａに照射され、写真撮影が実行される状態を表している。
【０００５】
図３は、従来のＭＤＳによって電子顕微鏡像の撮影を行う時の手順を示すフロー図である。図３を参照しながら手順を説明する。ステップＳ１において操作者がサーチモードを選択すると、ステップＳ２において、電子線照射条件は前回のサーチモードの操作条件に設定される。操作者は移動機構により試料を水平移動させながら撮影に適した視野を探し、撮影視野Ａを決めて視野の中心に持ってくる。ステップＳ３において操作者がフォーカスモードを選択すると、ステップＳ４において電子線は細く集束され、撮影視野Ａの近傍の視野Ｂに電子線が照射されるように電子線を偏向する。このときの電子線の照射条件及び偏向条件は前回のフォーカスモードの操作条件に設定される。蛍光板には視野Ｂの電子顕微鏡像が拡大されて投影されるので、操作者は焦点合せや非点補正等の撮影に必要な操作を行う。
【０００６】
ステップＳ８において操作者がフォトモードを選択すると、ステップＳ９において電子線の照射条件及び露光条件等は前回のフォトモードの条件に設定される。必要に応じて操作者は撮影条件を変更する。ステップＳ１０で操作者が写真撮影を指示すると、ステップＳ１３で撮影が実行され、指定されている撮影後のモードに移行する。ステップＳ１５で他の視野の撮影を続けて行うか否かを判断し、続ける場合はステップＳ１に戻る。
【０００７】
ステップＳ５に続いてフォーカスモードの終了後直ちに写真撮影を行う場合は、ステップＳ１１に進み操作者は撮影を指示する。ステップＳ１２で電子顕微鏡はフォトモードの撮影条件に設定され、ステップＳ１３に進む。
【０００８】
ステップＳ２に続いてサーチモードの終了後直ちに写真撮影を行う場合は、ステップＳ６に進み操作者は撮影を指示する。ステップＳ７で電子顕微鏡はサーチモードの撮影条件に設定され、ステップＳ１４で撮影が実行され、ステップＳ１５に進む。
【０００９】
以上が従来のＭＤＳの実行手順である。なお、ＭＤＳのフォーカスモードにおいて、焦点合せを行うための視野Ｂの位置を操作者が任意に指定できるようにした拡張ＭＤＳと呼ばれる技術がある。特許文献２の特開２００２−２７９９２６号公報には、拡張ＭＤＳをさらに改良した技術として、フォーカスモードにおいて、試料傾斜させたときの焦点合せ位置（視野Ｂの位置）を傾斜軸上に設定することにより撮影視野Ａと視野Ｂとで焦点を合わせる試料高さが変化しないようにする技術が開示されている。
【００１０】
【特許文献１】特公昭５９−０１９４０８号公報
【特許文献２】特開２００２−２７９９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ＴＥＭを用いて試料を観察する条件は、試料の種類や目的により様々である。例えば結像系の観察条件として、Ｄｉｆｆ（回折）、Ｍａｇ１（高倍率）、Ｍａｇ２（中倍率）、ＬｏｗＭａｇ（低倍率）、ＳＡ＿Ｍａｇ（制限視野）等があり、これらの条件では全て電子線照射状態が異なる。ＭＤＳは何れの観察条件においても用いられるので、ＭＤＳにおける三つのモード（サーチモード、フォーカスモード、フォトモード）についても、それぞれのモードがいろいろな観察条件に適合した設定条件となる必要が有る。
【００１２】
従来のＭＤＳにおいては、あるモードを実行した後に他のモードに移行するとき、その直前のモードにおいて設定されていた観察条件を記憶するようにしている。そのため、図３に示したフローのように、前の撮影視野と同じ条件で撮影を繰り返す場合は特に問題となることは無い。しかし、例えば倍率をより低い方から段階的に高い方に変えて撮影に適した場所を探すというように、同じ目的の作業を異なる条件で繰り返すということはできなかった。また、例えば少しだけ撮影時の露光時間を変えたり倍率を変えたりすることができなかった。
【００１３】
本発明は上記の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、ＴＥＭを用いて電子顕微鏡像を撮影するとき、試料の電子線損傷を低減するためのＭＤＳにおける三つのモードのそれぞれについて複数の条件を記憶できるようにすることにより、繰り返し作業を簡単に行えると共に、試料や目的に応じて最適な条件を柔軟に設定できる使い勝手に優れたＴＥＭを提供することに有る。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の問題を解決するために、
請求項１に記載の発明は、電子線を試料に照射し電子顕微鏡像の撮影を行うとき、低照射で撮影視野を探すサーチモード、該撮影視野の近傍で焦点合せを行うフォーカスモード及び該撮影視野の写真撮影条件を設定するフォトモードを組み合わせて、試料に当たる電子線量を最小にする電子線損傷低減法により該撮影視野の写真撮影を行う機能を備えた電子顕微鏡であって、
前記サーチモード、前記フォーカスモード及び前記フォトモードのそれぞれについて、複数の条件をメモリーに記憶する記憶手段と、
前記メモリーに記憶されている前記複数の条件について追加、削除、複製及び内容変更の作業を行う作業手段とを備え、
前記メモリーに記憶されている複数の条件の中から任意の条件を選択して設定し、視野探し及び／又は焦点合せ及び／又は写真撮影を行うようにしたことを特徴とする。
【００１５】
また請求項２に記載の発明は、前記記憶手段は、前記サーチモード、前記フォーカスモード及び前記フォトモードの何れかのモードから抜けてＭＤＳの他のモードに移行するとき、若しくは電子線損傷低減法から抜けるとき、その直前に設定されている電子線照射と写真撮影にかかわる条件を、他の条件と識別可能な名称とともに自動的に前記メモリーに記憶するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
また請求項３に記載の発明は、前記電線照射条件を自動的に前記メモリーに記憶する前に、操作者が前記識別可能な任意の名称を予め指定しておくことができるようにしたことを特徴とする。
【００１７】
また請求項４に記載の発明は、前記メモリーに記憶されている複数の電子線照射条件の中から任意の条件を選択して作成した、前記サーチモード、前記フォーカスモード及び前記フォトモードの組み合わせについて、操作者が任意の識別可能な名称をつけて前記メモリーに記憶し、必要に応じて前記メモリーから呼び出して実行できるようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、電子線損傷低減法における三つのモードのそれぞれについて複数の条件を記憶し、その中から任意の条件を選んで操作できるので、繰り返し作業を簡単に行う操作や、試料や目的に応じた最適な条件による操作を簡単に行うことができる。
【００１９】
また請求項２に記載の発明によれば、操作に用いた条件を他の条件と異なる名称を付けて記憶させ、試料や目的に応じて任意の条件を選択できるので、最適な条件を簡単に選択して操作することができる。また、記憶させる条件と始めに設定した条件が異なるときに自動的に識別可能な名称を付して記憶するようにしたので、操作者の操作ミスによって始めの条件を意図しないで書き換えてしまうような操作を防止できる。
【００２０】
また請求項３に記載の発明によれば、操作に用いた条件を他の条件と異なる名称を付けて記憶させ、試料や目的に応じて任意の条件を選択するとき、操作者が任意の名称を付すことができるので、名称を見ただけで条件の内容を推測できるような判りやすい名称を付すことができる。
【００２１】
また請求項４に記載の発明によれば、試料や目的に応じて各モードを組み合わせた条件を任意の数だけ記憶し、呼び出して設定できるので、試料や目的に応じた最適な繰り返し作業を簡単に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。但し、この例示によって本発明の技術範囲が制限されるものでは無い。各図において、同一または類似の動作を行うものには共通の符号を付し、詳しい説明の重複を避ける。
【００２３】
図１に、本発明を実施するＴＥＭの概略構成例を示す。鏡体１の内部は図示しない排気系により真空が保たれている。電子銃２から放出された電子線ＥＢは、第１集束レンズ３、第２集束レンズ４により集束されて試料Ｓに照射される。電子線ＥＢは偏向コイル５により偏向されて、試料上の照射位置を変えることができる。試料を透過した電子線は中間レンズ７、投影レンズ８の拡大レンズ系により蛍光板９に像を結ぶ。ＣＣＤカメラ１１により写真撮影を行う場合は、蛍光板９を９ａの位置に移動させる。
【００２４】
さらにＴＥＭは、試料位置を移動させる試料移動機構１０、第１と第２集束レンズ、対物レンズ、中間レンズ及び投影レンズの励磁を制御するレンズ制御部１２、偏向コイル５の偏向を制御する偏向制御部１３、試料移動機構の移動を制御する移動制御部１４、蛍光板９の位置を制御する蛍光板制御部１５、写真撮影装置１１を制御する撮影制御部１６、電子顕微鏡の制御とデータ処理を行うコンピュータ１８、コンピュータに接続する液晶モニタ等の表示装置１９とキーボード・マウス等の入力装置２０、及びＭＤＳの設定条件を記憶する記憶装置２１を備えている。
【００２５】
なお実際のＴＥＭは、上記以外にも電子レンズ、偏向器、絞り装置、シャッタ等を備えており、それらをコンピュータで制御できるようになっているが、説明を簡単にするため省略している。
【００２６】
図５は本発明を実施するＭＤＳ操作の一つであるＭＤＳ基本操作の操作画面例を表している。この画面（図６〜９に例示する画面も同じ）は、コンピュータ１８に接続された表示装置１９上のウィンドウとして表示される。なお、図５〜９に示すウィンドウは、電子顕微鏡全体を操作するウィンドウの中にそれぞれ対応して設けられアイコンをマウスでクリックすることにより表示されるようになっている。
【００２７】
図５において、マウスポインタ３６は入力装置２０から操作可能である。３１ａは、サーチモードにおいて複数記憶されている条件の中から設定する名称を選択するための操作ボックスである。ボックス３１ａの右端のボタン３７をマウスでクリックし、表示されたプルダウンメニュー３３ａのメニューの中から設定する条件を選択する。図５はサーチモードの条件に「Ｔｒｕｃｋｉｎｇ」の名称で記憶されている条件が選択されている例を示している。同様に３１ｂと３１ｃはそれぞれフォーカスモードとフォトモードの条件を選択するための操作ボックスである。なお、右端にボタン３７が設けられているボックスは、ボックス３１ａと同様に全てプルダウンメニューが表示されるボックスを表している。
【００２８】
ボタン３２ａをマウスでクリックすると、電子顕微鏡はボックス３１ａに表示されている条件に設定される。同様に、ボタン３２ｂ又は３２ｃをマウスでクリックすると、電子顕微鏡はそれぞれ、ボックス３１ｂ又は３１ｃで選択されている条件に設定される。ボタン３４（撮影実行）をクリックすると写真撮影が実行される。ボタン３５（出口）をクリックすると、このウィンドウを閉じてＭＤＳ基本操作を終了する。
【００２９】
プルダウンメニュー３３ａで表示される条件は、図４に例示するように、それぞれのモードに対応して記憶装置２１に記憶されている。記憶される条件の数は記憶装置２１の記憶容量を除いて特に制限はない。図６と図７は、図４に例示される複数の条件の編集を行うための操作画面の例を示す。図６は、あるモード条件を他のモードの条件として新たに作成する場合の操作画面例である。コピー元については、ボックス４１ａでフォトモード、ボックス４２ａで条件「ＨｉｇｈＱｕａｌｉｔｙ」が選択されている。コピー先のモードとして、ボックス４１ｂでサーチモードを選択し、ボックス４２ｂに新たに作成する条件の名称をキーボードから「ＨｉｇｈＱｕａｌｉｔｙ＿Ｄｉｆｆ」と入力する。ボタン４３（コピー実行）をクリックするとコピーが実行され、新しい条件がサーチモードに追加される。ボタン４４（出口）をクリックすると、このウィンドウを閉じてＭＤＳ条件コピー操作を終了する。
【００３０】
図７は、それぞれのモードに記憶されている条件を削除する場合の操作画面例である。ボックス５１で削除対象となるモードとしてサーチモードを選択し、削除する条件として「Ｓｅａｒｃｈ＿２」を選択する。ボタン５３（削除実行）をクリックすると選択した条件の削除が実行される。ボタン５４（出口）をクリックすると、このウィンドウを閉じてＭＤＳ条件削除操作を終了する。
【００３１】
次に、図１０のフロー図を参照しながら、図５の操作画面で行なわれるＭＤＳの操作の例を説明する。ステップＳ２１において、操作者は必要に応じて図６〜７に示す画面を呼び出し、ＭＤＳ条件編集（コピー及び／又は削除）を行う。ステップＳ２２において、操作者は図５に示すＭＤＳ基本操作のための画面を呼び出す。ステップＳ２３はサーチモードの操作を行うステップで、その詳細を図１１のフロー図に示す。
【００３２】
図１１において、ステップＳ４０で操作者はボックス３１ａのサーチモードの設定条件を選択する。ステップＳ４１でボタン３２ａをクリックすると、ステップＳ４２で電子線は試料の広範囲を照射するような照射条件に設定される。ステップＳ４３で操作者は試料移動装置を操作して、広い視野の中から撮影視野Ａを探し、視野の中心に移動させる。ステップＳ４４で操作者はボックス３１ａの条件名を必要に応じて変更する。始めに設定した条件のまま撮影視野を探す操作を行った場合は特に変更する必要は無い。また、始めに設定された条件から電子線の照射条件を変化させて視野探しを行った場合でも、その条件を同じ名称で記憶させたければ名称を変更する必要は無い。もし、始めに設定した条件は保存しておいて、変更した現在の照射条件も保存しておきたければ、ボックス３１ａに新しい名称を入力しておく。ステップＳ４５において、例えばフォーカスモードなど他のモードに移るとき、ボタン３４をクリックして撮影実行するとき、又はボタン３５をクッリクして「ＭＤＳ基本操作」のウィンドウを閉じたとき、直前に設定されている条件が、ボックス３１ａに表示されている名称の条件として記憶装置２１に記憶される。
【００３３】
図１０のフロー図の説明に戻る。ステップＳ２３のサーチモード操作を終了してフォーカスモード操作に移行する場合はステップＳ２４に進む。ステップＳ２４の詳細を図１２のフロー図に示す。
【００３４】
図１２において、ステップＳ５０で操作者はボックス３１ｂのフォーカスモードの設定条件を選択する。ステップＳ５１でボタン３２ｂをクリックすると、ステップＳ５２で電子線は集束されて視野Ｂを照射する照射条件に設定される。ステップＳ５３で操作者は焦点合せを行い、必要に応じて非点補正等の操作も行う。ステップＳ５４で操作者はボックス３１ｂの条件名を必要に応じて変更する。始めに設定した条件のままフォーカスモードの操作を行った場合は特に変更する必要は無い。また、始めに設定された条件から電子線の照射条件を変化させて操作した場合でも、その条件を同じ名称で記憶させたければ名称を変更する必要は無い。もし、始めに設定した条件は保存しておいて、変更した現在の照射条件も保存しておきたければ、ボックス３１ｂに新しい名称を入力しておく。ステップＳ５５において、例えばフォトモードなど他のモードに移るとき、ボタン３４をクリックして撮影実行するとき、又はボタン３５をクッリクして図５に示すＭＤＳ基本操作のウィンドウを閉じたとき、直前に設定されている条件が、ボックス３１ｂに表示されている名称の条件として記憶装置２１に記憶される。
【００３５】
再び図１０のフロー図の説明に戻る。ステップＳ２４のフォーカスモード操作を終了してフォトモード操作に移行する場合はステップＳ２７に進む。ステップＳ２７の詳細を図１３のフロー図に示す。
【００３６】
図１３において、ステップＳ６０で操作者はボックス３１ｃのフォトモードの設定条件を選択する。ステップＳ６１でボタン３２ｃをクリックすると、ステップＳ６２で電子線は選択された照射条件に設定される。ステップＳ６３で操作者は必要に応じて撮影条件の変更を行う。このとき、操作者は電子線の照射位置を変えて、撮影を実行するまで電子線が撮影視野Ａに照射されないようにする。
ステップＳ６４で操作者はボックス３１ｃの条件名を必要に応じて変更する。始めに設定した条件のままフォトモードの操作を行った場合は特に変更する必要は無い。また、始めに設定された条件から撮影条件を変化させた場合でも、その条件を同じ名称で記憶させたければ名称を変更する必要は無い。もし、始めに設定した条件は保存しておいて、変更した現在の撮影条件も保存しておきたければ、ボックス３１ｃに新しい名称を入力しておく。ステップＳ６５において、例えばフォーカスモードなど他のモードに移るとき、ボタン３４をクリックして撮影実行するとき、又はボタン３５をクッリクして「ＭＤＳ基本操作」のウィンドウを閉じたとき、直前に設定されている条件が、ボックス３１ｃに表示されている名称の条件として記憶装置２１に記憶される。
【００３７】
再び図１０のフローの説明に戻る。フォトモード操作を終了し、ステップＳ３０で操作者がボタン３４をクリックすると、ステップＳ３１で撮影が実行され、指定された撮影後のモードに移行する。ステップＳ３３で他の視野の撮影を続けて行うか否かを判断し、続ける場合はステップＳ２１に戻る。ボタン３５（出口）をクリックするとＭＤＳ基本操作を終了する。
【００３８】
ステップＳ２４のフォーカスモード操作の終了後直ちに写真撮影を行う場合は、ステップＳ２８で撮影を指示する。ステップＳ２９で電子顕微鏡はフォトモードの撮影条件に設定され、ステップＳ３１に進む。このとき、ビームシャッタ若しくはビームブランキング等の機能によって、撮影が実行される直前まで、電子線は撮影視野Ａに照射されないようになっている。
【００３９】
ステップＳ２３のサーチモード操作の終了後直ちに写真撮影を行う場合は、ステップＳ２５で撮影を指示する。ステップＳ２６で電子顕微鏡はサーチモードの撮影条件に設定され、ステップＳ３２で撮影を実行し、ステップＳ３３に進む。
【００４０】
なお、上記の図１１〜１３の説明の中で、各モードから他のモードに移行するときやＭＤＳを終了するとき、「始めに設定された条件から電子線の照射条件を変化させて視野探しを行った場合でも、その条件を同じ名称で記憶させたければ名称を変更する必要は無い」としているが、記憶する条件と始めの条件が異なる場合、例えば「Ｓｅａｒｃｈ＿２」などのように自動的に連番を付して記憶させるようにしてもよい。このようにすれば、操作者の操作ミスによって始めの条件を意図しないで書き換えてしまうような操作を防止できる。
【００４１】
次に、ＭＤＳの各モードが記憶している複数の条件の中から任意の条件を組み合わせて連続的に実行する条件の作成方法について説明する。図８は、ＭＤＳ撮影順序を作成するための操作画面の例である。図８において、ボックス６１はフォーカスモードの条件に「ＬｏｎｇＤｅｆｏｃｕｓ」が選択されている例である。同様に、ボックス６２はフォトモードの条件に「ＬｏｎｇＥｘｐｏｓｕｒｅＴｉｍｅ」、ボックス６３は撮影終了後にサーチモードの「Ｓｅａｒｃｈ＿１」が選択されている例である。ボタン６５（作成実行）をクリックすると、フォーカスモードから撮影終了後までの上記の順序が、ボックス６４の「ＬｏｎｇＤｅｆｏ＿ＬｏｎｇＥｘｐ」という作成名で記憶装置２１に記憶される。
【００４２】
図９は、図８で設定したＭＤＳ撮影順序の設定を利用して連続操作を行うための操作画面の例である。サーチモードの条件としてボックス７１ａに「Ｔｒｕｃｋｉｎｇ」の名称で記憶されている条件が選択され、連続操作の条件としてボックス７１ｂに「ＬｏｎｇＤｅｆｏ＿ＬｏｎｇＥｘｐ」が選択されている
例を示している。
【００４３】
次に、図９の操作画面で行なわれるＭＤＳの連続操作の例を、図１４のフロー図を参照しながら説明する。ステップＳ７０において、操作者は必要に応じて図６〜８に示す画面を呼び出し、ＭＤＳ条件編集（コピー及び／又は削除）と連続操作のための条件設定を行う。ステップＳ７１において、操作者は図９に示すＭＤＳ連続操作のための画面を呼び出す。ステップＳ７２はサーチモードの操作を行うステップで、その詳細は図１１のフロー図に示されている。図１１のフローの説明は図１０に示すフローの説明の中で既に行っているので、ここでは省略する。ステップＳ７２で、ボックス７１ｂに表示される連続操作の組合せ条件を選択する。ステップＳ７４で操作者がボタン７２ｂ（フォーカス→フォト）をクリックするとステップＳ７５のフォーカスモード操作に進む。フォーカスモード操作の詳細は図１２のフロー図に示されている。図１２のフローの説明は図１０に示すフローの説明の中で既に行っているので、ここでは省略する。ステップＳ７５のフォーカスモード操作を終了すると、自動的にステップＳ７８に進み、フォトモードに設定されている撮影条件で撮影が実行される。ステップＳ７９で他の視野の撮影を続けて行うか否かを判断し、続ける場合はステップＳ７２に戻る。
【００４４】
ステップＳ７２に続いてサーチモード操作の終了後直ちに写真撮影を行う場合は、ステップＳ７６で撮影を指示する。ステップＳ７７で電子顕微鏡はサーチモードの撮影条件に設定され、ステップＳ７８で撮影が実行される。
ボタン７４（出口）をクリックするとＭＤＳ連続操作を終了する。
【００４５】
以上本発明に関わるＭＤＳの操作について、操作画面とフローの例に基づいて説明したが、これらはあくまでも一例に過ぎず、操作画面の配置や機能の名称などに変形が可能であることはいうまでも無い。
【００４６】
上述したように、ＭＤＳにおける三つのモードのそれぞれについて複数の条件を記憶できるようにすることにより、繰り返し作業を簡単に行えると共に、試料や目的に応じて最適な条件を柔軟に設定できる、使い勝手に優れたＴＥＭを提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明を実施する透過型電子顕微鏡の概略構成例。
【図２】電子線損傷低減法の三つのモードと写真撮影に対応する電子線の状態を説明するための図。
【図３】従来の電子線損傷低減法による操作を説明するためのフロー図。
【図４】本発明の電子線損傷低減法において、各モードに複数の条件が記憶されていることを説明するための一覧表の例。
【図５】本発明の電子線損傷低減法による基本操作画面の例。
【図６】本発明の電子線損傷低減法における条件を各モード間でコピーする操作を行う操作画面の例。
【図７】本発明の電子線損傷低減法において記憶されている条件の中から任意の条件を削除する操作を行う操作画面の例。
【図８】本発明の電子線損傷低減法において連続操作の条件を作成するための操作画面の例。
【図９】本発明の電子線損傷低減法において連続操作を実行するための操作画面の例。
【図１０】本発明の電子線損傷低減法において図５の基本操作を行う手順を説明するためのフロー図。
【図１１】サーチモード操作の詳細を説明するためのフロー図。
【図１２】フォーカスモード操作の詳細を説明するためのフロー図。
【図１３】フォトモード操作の詳細を説明するためのフロー図。
【図１４】本発明の電子線損傷低減法において、連続操作を行う手順を説明するためのフロー図。
【符号の説明】
【００４８】
（同一または類似の動作を行うものには共通の符号を付す。）
ＥＢ  電子線                    Ｓ  試料
１  鏡体                        ２  電子銃
３  第１集束レンズ              ４  第２集束レンズ
５  偏向コイル                  ６  対物レンズ
７  中間レンズ                  ８  投影レンズ
９  蛍光板                      １０  試料移動機構
１１  撮影装置                  １２  レンズ制御部
１３  偏向制御部                １４  移動制御部
１５  蛍光板制御部              １６  撮影制御部
１７  インターフェース          １８  コンピュータ
１９  表示装置                  ２０  入力装置
２１  記憶装置
【図１】
2008117679.tif 000003
【図２】
2008117679.tif 000004
【図３】
2008117679.tif 000005
【図４】
2008117679.tif 000006
【図５】
2008117679.tif 000007
【図６】
2008117679.tif 000008
【図７】
2008117679.tif 000009
【図８】
2008117679.tif 000010
【図９】
2008117679.tif 000011
【図１０】
2008117679.tif 000012
【図１１】
2008117679.tif 000013
【図１２】
2008117679.tif 000014
【図１３】
2008117679.tif 000015
【図１４】
2008117679.tif 000016