(57)【要約】【課題】  所定波長の光を反射又は透過させる光学部品の反りを十分に解消することができる光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置を提供すること。【解決手段】  導波路型光モジュール１０を製造する場合、まず、光フィルタ１３の主面１３ｂと同等以上の面積を有し主面１３ｂを直接的に密着保持可能な平面状の保持面４０ａを有する保持用チップ４０を用意する。続いて、光フィルタ１３の主面１３ｂ全面を保持面４０ａに直接的に密着保持する。続いて、第１導波路部材１１の端面１１ａと光フィルタ１３の主面１３ａとの間に紫外線硬化型接着剤５０を介在させ、その接着剤を硬化させることで、第１導波路部材１１と光フィルタ１３とを接合する。続いて、光フィルタ１３の主面１３ｂから保持用チップ４０を引き離す。最後に、光フィルタ１３の主面１３ｂと第２導波路部材１２の端面１２ａとを接合する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路を有する導波路部材と、前記導波路部材の端面に固定され、前記光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、
前記平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を有し前記平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面全面を前記保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、
前記導波路部材の端面と前記平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、前記導波路部材と前記平面状光学部品とを接合する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面から前記保持部材を引き離す工程とを含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
【請求項２】
第１光導波路を有する第１導波路部材と、第２光導波路を有する第２導波路部材と、前記第１導波路部材の端面と前記第２導波路部材の端面とに挟まれるように固定され、前記第１導波路又は前記第２導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、
前記平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を有し前記平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面全面を前記保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、
前記第１導波路部材の端面と前記平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、前記第１導波路部材と前記平面状光学部品とを接合する工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面から前記保持部材を引き離す工程と、
前記平面状光学部品の一方の主面と前記第２導波路部材の端面とを接合する工程とを含むことを特徴とする光モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記平面状光学部品を誘電体多層膜フィルタとすることを特徴とする請求項１又は２に記載の光モジュールの製造方法。
【請求項４】
光導波路を有する導波路部材と、前記導波路部材の端面に固定され、前記光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造装置であって、
前記導波路部材を支持する支持部と、
前記平面状光学部品を保持する保持部材と、
前記導波路部材と前記保持部材との距離を調整する距離調整手段と、
前記導波路部材と前記保持部材との相対角度を調整する相対角度調整手段とを備え、
前記保持部材は、前記平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を持った平面状の保持面を有し、
前記平面状の保持面は、前記平面状光学部品の主面全面を直接的に密着保持可能であることを特徴とする光モジュールの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導波路部材と光フィルタ等の平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数波長の信号光を伝送する光伝送システムでは、当該複数波長の信号光を合波または分波する光合分波モジュールが用いられる。光合分波モジュールには所定波長の光を反射・透過させる光フィルタが設けられている。このような光合分波モジュールを製造する方法は従来からよく知られている（例えば、下記特許文献１、２及び３参照）。
【特許文献１】特開平９−２４３８４７号公報
【特許文献２】特開平９−２９７２２９号公報
【特許文献３】特開２０００−１９９８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、光フィルタは、例えば数μｍの基板に数十μｍの誘電体多層膜を堆積させたものであり、元々数μｍの反りを持っている。このような性質を持つ光フィルタを実装するために、上記特許文献１に開示されている光合分波モジュールの製造方法では、光フィルタをフィルタ用保持ハンドに真空吸着した上で、その光フィルタを光導波路素子の溝に挿入する方法が採用されている。一方、上記特許文献２及び３に開示されている光合分波モジュールの製造方法では、光フィルタをフィルタブロックに接着固定させた上で、その光フィルタを光導波路素子の溝に挿入する方法が採用されている。
【０００４】
しかしながら、上記各特許文献に記載されたいずれの方法を用いても、光フィルタの反りを所定値（例えば０．１μｍ）以下に抑えることは困難である。これにより、光合分波モジュールの光学特性が悪化することがある。特に多チャンネルの光合分波モジュールにおいて、この課題は顕著である。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決する為になされたものであり、所定波長の光を反射又は透過させる光学部品の反りを十分に解消することができる光モジュール製造方法及び光モジュール製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、光導波路を有する導波路部材と、導波路部材の端面に固定され、光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を有し平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、平面状光学部品の一方の主面全面を保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、導波路部材と平面状光学部品とを接合する工程と、平面状光学部品の一方の主面から保持部材を引き離す工程とを含むことを特徴とする。
【０００７】
このような光モジュール製造方法によれば、平面状光学部品は、まず保持部材の保持面に直接的に密着保持される。ここで、保持部材の保持面は、平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を持った平面状を有しているので、平面状光学部品の一方の主面全面が保持部材の平坦な保持面に容易にかつ確実に密着保持される。これにより、平面状光学部品は殆ど反ることなく平らな状態で保持面に保持されるようになる。そして、平面状光学部品がその状態を維持したまま、導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面とが接着剤を用いて接合され、その後平面状光学部品を保持していた保持部材が当該平面状光学部品から引き離される。したがって、平面状光学部品の反りを解消しつつ当該平面状光学部品に導波路部材を接合することができる。
【０００８】
また、本発明は、第１光導波路を有する第１導波路部材と、第２光導波路を有する第２導波路部材と、第１導波路部材の端面と第２導波路部材の端面とに挟まれるように固定され、第１導波路又は第２導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造方法であって、平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を有し平面状光学部品の主面を直接的に密着保持可能な平面状の保持面を有する保持部材を用意する工程と、平面状光学部品の一方の主面全面を保持部材の保持面に直接的に密着保持する工程と、第１導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面との間に接着剤を介在させ、該接着剤を硬化させることにより、第１導波路部材と平面状光学部品とを接合する工程と、平面状光学部品の一方の主面から保持部材を引き離す工程と、平面状光学部品の一方の主面と第２導波路部材の端面とを接合する工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
このような光モジュール製造方法によれば、平面状光学部品は、まず保持部材の保持面に直接的に密着保持される。ここで、保持部材の保持面は、平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を持った平面状を有しているので、平面状光学部品の一方の主面全面が保持部材の平坦な保持面に容易にかつ確実に密着保持される。これにより、平面状光学部品は殆ど反ることなく平らな状態で保持面に保持されるようになる。そして、平面状光学部品がその状態を維持したまま、第１導波路部材の端面と平面状光学部品の他方の主面とが接着剤を用いて接合され、その後平面状光学部品を保持していた保持部材が当該平面状光学部品から引き離される。また、平面状光学部品が平らな状態で第１導波路部材に接合された後に、当該平面状光学部品と第２導波路部材とが接合される。したがって、平面状光学部品の反りを解消しつつ当該平面状光学部品に第１導波路部材及び第２導波路部材を接合することができる。
【００１０】
本発明の光モジュール製造方法では、平面状光学部品を誘電体多層膜フィルタとすることが好ましい。
【００１１】
誘電体多層膜フィルタは、極めて薄い基板上に積層されることが多いため、元々持つ反りの度合いが大きい。しかし、保持部材は、平面状光学部品の主面と同等以上の面積を持った平面状の保持面を有しているので、その保持面に誘電体多層膜フィルタを直接的に密着保持すれば、当該誘電体多層膜フィルタの反りを解消しつつ導波路部材に誘電体多層膜フィルタを接合することができる。すなわち、元々の反りの度合いが大きい誘電体多層膜フィルタを導波路部材に接合する場合には、本発明の光モジュール製造方法は特に有効である。
【００１２】
更に、本発明は、光導波路を有する導波路部材と、導波路部材の端面に固定され、光導波路を通る所定波長の光を反射又は透過させる平面状光学部品とを備える光モジュールの製造装置であって、導波路部材を支持する支持部と、平面状光学部品を保持する保持部材と、導波路部材と保持部材との距離を調整する距離調整手段と、導波路部材と保持部材との相対角度を調整する相対角度調整手段とを備え、保持部材は、平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を持った平面状の保持面を有し、平面状の保持面は、平面状光学部品の主面全面を直接的に密着保持可能であることを特徴とする。
【００１３】
このような光モジュール製造装置によれば、まず導波路部材を支持部に支持するとともに、平面状光学部品を導波路部材と対向するように保持部材の保持面に直接的に密着保持する。ここで、保持部材の保持面は、平面状光学部品の対向する２つの主面と同等以上の面積を持った平面を有しているので、平面状光学部品の一方の主面全面が保持部材の平坦な保持面に容易にかつ確実に密着保持される。そして、平面状光学部品の他方の主面又は導波路部材の端面に接着剤を塗布した後、距離調整手段により導波路部材と平面状光学部品との距離を調整するとともに、相対角度調整手段により導波路部材と平面状光学部品との相対角度を調整し、導波路部材と平面状光学部品とを接合する。したがって、上記の光モジュール製造方法が実施可能となるので、平面状光学部品の反りを解消しつつ、当該平面状光学部品に導波路部材を確実に接合することができる。また、距離調整手段及び相対角度調整手段によって、導波路部材に対する平面状光学部品の位置及び角度を調整しながら平面状光学部品を導波路部材に精度よく接合することができる。
【発明の効果】
【００１４】
このような本発明の光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置によれば、所定波長の光を反射又は透過する光学部品の反りを解消し、光モジュールの光学特性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１６】
まず、図１及び図２を用いて、本発明の一実施形態に係る光モジュール製造方法及び装置により製造される導波路型光モジュール１０の構造について説明する。図１は、導波路型光モジュール１０の平面図であり、図２は、図１に示す導波路型光モジュール１０の分解斜視図である。
【００１７】
導波路型光モジュール１０は、第１導波路部材１１と、第２導波路部材１２と、第１導波路部材１１と第２導波路部材１２との間に設けられる光フィルタ１３とを備えている。光フィルタ１３は、接着層１４及び接着層１５により、第１導波路部材１１及び第２導波路部材１２に接合されている。
【００１８】
第１導波路部材１１は、平面導波路を有する直方体形状をなしている。その内部には、第１光導波路１６および第２光導波路１７がそれぞれ第１導波路部材１１の一方の端面１１ａから他方の端面１１ｂにかけて延びるように形成されている。第１光導波路１６と第２光導波路１７とは、第１導波路部材１２側の端面１１ａのほぼ中央位置で交差しており、略Ｖ字形状に形成されている。
【００１９】
第２導波路部材１２は、平面導波路を有する直方体形状をなしている。その内部には、光導波路１８が第２導波路部材１２の端面１２ａから端面１２ｂにかけて延びるように略Ｉ字形状に形成されている。第２導波路部材１２の端面１２ａは、第１導波路部材１１の端面１１ａと対向している。
【００２０】
第１導波路部材１１及び第２導波路部材１２は、例えば、石英ガラスまたはシリコンからなる基板上に、石英ガラスからなるクラッド、及びＧｅＯ２が添加された石英ガラスからなるコアが形成されたものである。そして、このコアが光導波路１６〜１８となる。
【００２１】
光フィルタ１３は、平板状の誘電体多層膜フィルタである。光フィルタ１３としては、例えば、ポリイミド基板あるいは石英基板の上に誘電体多層膜を設けたものが用いられるが、光フィルタ１３に用いられる原材料はこれに限定されない。光フィルタ１３は、第１導波路部材１１の端面１１ａ及び第２導波路部材１２の端面１２ａよりも小さく形成され、第１導波路部材１１の端面１１ａ及び第２導波路部材１２の端面１２ａのほぼ中央位置に配置されている。光フィルタ１３を形成する面のうち、第１導波路部材１１の端面１１ａと対向する主面（ここでは光入射面）１３ａ、及び、第２導波路部材１２の端面１２ａと対向する主面（ここでは光入射面の反対側の面）１３ｂは、例えば３．５ｍｍ×０．４ｍｍの長方形であるが、光フィルタ１３の形状はこれに限定されない。また、光フィルタ１３の厚みは、例えば０．０２ｍｍである。
【００２２】
光フィルタ１３は、ある波長λＲの光を反射させる一方で、他の波長λＴの光を透過させる光学部品である。これにより、波長λＴの光と波長λＲの光とを分波又は合波させることができる。具体的には、図１に示すように、第１光導波路１６を通る波長λＴ、λＲの光のうち、波長λＲの光は光フィルタ１３で反射されて第２光導波路１７を伝搬し、波長λＴの光は光フィルタ１３を透過して光導波路１８を伝搬するようになる。なお、反射波長λＲは、例えば１．５５μｍであり、透過波長λＴは、例えば１．３１μｍおよび１．４９μｍであるが、反射波長及び透過波長はこれに限定されない。
【００２３】
第１導波路部材１１と光フィルタ１３との間には接着層１４が介在されている。接着層１４は、光フィルタ１３の主面１３ａ全体に塗られているとともに、薄く（例えば１μｍ）形成されている。また、第２導波路部材１２と光フィルタ１３との間には、接着層１５が介在されている。接着層１５は、光フィルタ１３の主面１３ｂ全体に塗られているとともに、薄く（例えば１μｍ）形成されている。
【００２４】
次に、図３を用いて、上記の導波路型光モジュール１０を製造する光モジュール製造装置２０について説明する。図３は、実施形態に係る光モジュール製造装置２０を模式的に示した斜視図である。
【００２５】
光モジュール製造装置２０は、第１導波路部材１１を支持するための第１支持ユニット２１と、後述する保持用チップ４０を取付可能な保持ユニット２２と、第２導波路部材１２を支持するための第２支持ユニット２３とを備えている。第１支持ユニット２１と第２支持ユニット２３とは互いに対向するように設けられており、保持ユニット２２はこれらの支持ユニット２１及び２３に挟まれるように設けられている。
【００２６】
第１支持ユニット２１は、Ｚ軸方向移動ステージ（距離調整手段）２４ａ、Ｘ軸方向移動ステージ（距離調整手段）２４ｂ及びＺ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）２４ｃを有する土台部２４と、Ｙ軸方向移動ステージ（距離調整手段）２５ａ、Ｙ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）２５ｂ、Ｘ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）２５ｃ及び支持台（支持部）２５ｄを有する導波路部材載置部２５と、土台部２４及び導波路部材載置部２５を連結する連結部２６とを備える。
【００２７】
Ｚ軸方向移動ステージ２４ａは、ユニット２１〜２３の並設方向（Ｚ軸方向）に沿って移動可能であり、これにより支持台２５ｄのＺ軸方向の位置を調節することができる。Ｘ軸方向移動ステージ２４ｂは、光モジュール製造装置２０の幅方向（Ｘ軸方向）に沿って移動可能であり、これにより支持台２５ｄのＺ軸方向の位置を調節することができる。Ｚ軸回り回転ステージ２４ｃは、Ｚ軸を中心に回動可能であり、これによりＺ軸に対する支持台２５ｄの角度を調節することができる。
【００２８】
Ｙ軸方向移動ステージ２５ａは、光モジュール製造装置２０の高さ方向（Ｙ軸方向）に沿って移動可能であり、これにより支持台２５ｄのＹ軸方向の位置を調節することが可能である。Ｙ軸回り回転ステージ２５ｂは、Ｙ軸を中心に回動可能であり、これによりＹ軸に対する支持台２５ｄの角度を調節することができる。Ｘ軸回り回転ステージ２５ｃは、Ｘ軸を中心に回動可能であり、これによりＸ軸に対する支持台２５ｄの角度を調節することができる。支持台２５ｄは導波路部材載置部２５の先端に設けられ、支持台２５ｄの上面に第１導波路部材１１が載置される。
【００２９】
保持ユニット２２は、高さ方向に延びる土台部２７と、その土台部２７の上端部に固定された高さ方向に延びるチップ台２８とを備える。チップ台２８の上端面には、後述する保持用チップ４０が取り付けられる。
【００３０】
第２支持ユニット２３は、Ｚ軸方向移動ステージ（距離調整手段）２９ａ、Ｘ軸方向移動ステージ（距離調整手段）２９ｂ及びＺ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）２９ｃを有する土台部２９と、Ｙ軸方向移動ステージ（距離調整手段）３０ａ、Ｙ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）３０ｂ、Ｘ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）３０ｃ及び支持台（支持部）３０ｄを有する導波路部材載置部３０と、土台部２９と導波路部材載置部３０とを連結する連結部３１とを備える。第２支持ユニット２３の構造は第１支持ユニット２１と同様である。
【００３１】
次に、図４及び図５を用いて、このような光モジュール製造装置２０による導波路型光モジュール１０の製造方法について説明する。図４は、図３に示す光モジュール製造装置２０による導波路型光モジュール１０の製造工程を示すフローチャートである。図５は、図４に示すフローチャートに従って導波路型光モジュール１０を製造する様子を模式的に示す平面図である。
【００３２】
まず、第１導波路部材１１及び第２導波路部材１２を用意し、第１導波路部材１１を第１支持ユニット２１の支持台２５ｄに、第２導波路部材１２を第２支持ユニット２３の支持台３０ｄに、それぞれ載置する（工程Ｓ１）。このとき、第１導波路部材１１及び第２導波路部材１２は、それらの端面１１ａ、１２ａ同士が対向するように支持台２５ｄ、３０ｄに置かれる。
【００３３】
続いて、光フィルタ１３を保持するための保持用チップ４０を用意する（工程Ｓ２）。この保持用チップ４０は、表面が鏡面状で平坦度の高いシリコンウェハーやガラスウェハーから切り出した直方体状のチップである。なお、ガラスウェハーを構成するガラスの種類は限定されないが、例えば紫外線をよく通す石英ガラスウェハーが用いられる。
【００３４】
保持用チップ４０は、光フィルタ１３を保持するための保持面４０ａを有する。この保持面４０ａは、光フィルタ１３の主面１３ａ及び主面１３ｂと同等か或いはそれよりも広い領域（面積）を有する。例えば、３．５ｍｍ四方の光フィルタ１３を保持する場合、保持面４０ａは、１辺が３．５ｍｍ以上の長さの長方形であることを要する。保持面４０ａは、その中における最大高低差が０．１μｍ以下になるように研磨されており、本明細書中では、この状態を「保持面４０ａの平坦度は０．１μｍ以下である」と定義するものとする。また、この保持面４０ａの中心線平均粗さ（Ｒａ）は、０．０１μｍ以下である。
【００３５】
続いて、図５（ａ）に示すように、保持用チップ４０の保持面４０ａに光フィルタ１３を直接的に密着保持させる（工程Ｓ３）。つまり、保持用チップ４０と光フィルタ１３との間に接着剤等を介在させたり、保持用チップ４０に対して光フィルタ１３を真空吸引することなく、光フィルタ１３の主面１３ｂ全面が保持面４０ａと直接接するように光フィルタ１３を保持面４０ａに保持する。このような保持面４０ａに対する光フィルタ１３の密着保持は、保持面４０ａと光フィルタ１３の主面１３ｂとの間に生ずるファンデルワールス力（分子間引力）又は静電気力により起こりうるものと推測される。このとき、保持面４０ａの平坦度は０．１μｍ以下であり、光フィルタ１３の主面１３ｂ全面がその保持面４０ａ上に保持されるので、光フィルタ１３を確実に密着保持することができる。
【００３６】
このように保持用チップ４０の保持面４０ａに光フィルタ１３を密着保持させる際には、保持用チップ４０と光フィルタ１３との間に何も介在させる必要がなく、保持面４０ａ上に光フィルタ１３を置けば足りる。したがって、光フィルタ１３を容易に密着保持することができる。また、光フィルタ１３の一部が保持面４０ａからはみ出ることはなく、光フィルタ１３の主面１３ｂ全面が保持面４０ａ上に置かれるので、光フィルタ１３の平坦度も０．１μｍ以下となる。すなわち、光フィルタ１３を保持面４０ａに保持した時点で、光フィルタ１３の反りを解消することができる。光フィルタ１３のような誘電体多層膜フィルタの中には、基板の厚さが極めて薄いために元々持つ反りの度合いが大きいものがあるが、そのようなフィルタも０．１μｍ以下の平坦度で保持することができる。
【００３７】
続いて、図５（ｂ）に示すように、光フィルタ１３の反対側の主面１３ａに紫外線硬化型接着剤５０を塗布する（工程Ｓ４）。なお、接着剤の種類はこれに限定されず、例えば熱硬化型接着剤を用いてもよい。紫外線硬化型接着剤５０を塗布する際は、この紫外線硬化型接着剤５０が光フィルタ１３の主面１３ａから溢れない程度に塗布量を計算した上で実施することが好ましい。例えば、接着層の厚さ及び面積に基づいて紫外線硬化型接着剤５０の塗布量を算出し、主面１３ａに塗布する。
【００３８】
続いて、第１導波路部材１１と光フィルタ１３とを接合する（工程Ｓ５）。具体的には、まず、第１導波路部材１１の端面１１ａにおける第１光導波路１６と第２光導波路１７との交差断面が光フィルタ１３の主面１３ａの範囲内に配置されるように、光フィルタ１３と第１導波路部材１１とを突き合わせる。
【００３９】
この際には、第１支持ユニット２１のＺ軸方向移動ステージ２４ａ、Ｘ軸方向移動ステージ２４ｂ及びＹ軸方向移動ステージ２５ａにより第１導波路部材１１と保持用チップ４０との距離を調整することで、第１導波路部材１１と光フィルタ１３との間隔及び光フィルタ１３の貼付位置を調整する。また、第１支持ユニット２１のＺ軸回り回転ステージ２４ｃ、Ｙ軸回り回転ステージ２５ｂ及びＸ軸回り回転ステージ２５ｃにより第１導波路部材１１と保持用チップ４０との相対角度を調整することで、第１導波路部材１１と光フィルタ１３との相対角度を調整する。このように、光モジュール製造装置２０は第１導波路部材１１と光フィルタ１３との相対位置及び相対角度を調整することができるので、光フィルタ１３を第１導波路部材１１に精度よく接合することが可能になる。
【００４０】
次に、第１支持ユニット２１により、保持用チップ４０に密着保持された光フィルタ１３に第１導波路部材１１を押し付けながら、光フィルタ１３の主面１３ａに塗布された紫外線硬化型接着剤５０に紫外線を照射して、紫外線硬化型接着剤５０を硬化させる。これにより、図５（ｃ）に示すように、紫外線硬化型接着剤５０が硬化して接着層１４が形成されるとともに第１導波路部材１１と光フィルタ１３とが接合される。なお、第１導波路部材１１に光フィルタ１３を貼り付ける際には、第１支持ユニット２１のＺ軸方向移動ステージ２４ａを制御することで、第１導波路部材１１と光フィルタ１３との間に介在する紫外線硬化型接着剤５０の厚み、すなわち接着層１４の厚みを調整することが可能である。
【００４１】
この間、光フィルタ１３は、保持用チップ４０の保持面４０ａに平らな状態で密着保持され続けているので、光フィルタ１３の反りが解消された状態を維持しつつ第１導波路部材１１と光フィルタ１３とを接合することができる。また、光フィルタ１３の反りは解消されているので、光フィルタ１３と第１導波路部材１１とを接合する際に過度に押し付ける必要がない。そのため、過度の押し付けにより光フィルタ１３にうねりが生ずることもない。更に、光フィルタ１３と保持面４０ａとの間には接着剤が介在されていないため、接着層のうねりに倣って光フィルタ１３にうねりが生ずることもない。
【００４２】
続いて、図５（ｄ）に示すように、第１支持ユニット２１の支持台２５ｄを保持ユニット２２からＺ軸方向に沿って離すように移動させ、保持用チップ４０と光フィルタ１３とを引き離す（工程Ｓ６）。このとき、保持用チップ４０と光フィルタ１３との間には、何らの接着剤や保持部材も介在させておらず、光フィルタ１３が保持用チップ４０に直接密着しているだけであるので、容易に保持用チップ４０から光フィルタ１３をはがすことができる。その後、保持ユニット２２に取り付けられていた保持用チップ４０を取り外す。
【００４３】
続いて、光フィルタ１３の主面１３ｂに紫外線硬化型接着剤５０を塗布する（工程Ｓ７）。この際には、紫外線硬化型接着剤５０が光フィルタ１３の主面１３ｂから溢れない程度に塗布量を計算した上で実施することが好ましい。
【００４４】
続いて、第２導波路部材１２と光フィルタ１３とを接合する（工程Ｓ８）。具体的には、まず、第１導波路部材１１の端面１１ａと第２導波路部材１２の端面１２ａとを対向させるように突き合せつつ、第１導波路部材１１と第２導波路部材１２とを調芯する。すなわち、第１導波路部材１１の第１光導波路１６から出射した光が光フィルタ１３を透過して第２導波路部材１２の光導波路１８に入射するように、第１導波路部材１１と第２導波路部材１２との相対位置を調整し、光の透過に最適となる第１導波路部材１１と第２導波路部材１２との位置を確認する。
【００４５】
この際には、第１支持ユニット２１又は第２支持ユニット２３の各移動ステージにより第２導波路部材１２と光フィルタ１３との距離を調整することで、第２導波路部材１２と光フィルタ１３との間隔及び光フィルタ１３の貼付位置を調整する。また、第１支持ユニット２１又は第２支持ユニット２３の各回転ステージにより第２導波路部材１２と光フィルタ１３との相対角度を調整することで、第２導波路部材１２と光フィルタ１３との相対角度を調整する。したがって、光フィルタ１３を第２導波路部材１２に精度よく接合することが可能になる。
【００４６】
第１導波路部材１１と第２導波路部材１２とを調芯した後、第２支持ユニット２３により第２導波路部材１２を光フィルタ１３に押し付けながら、主面１３ｂに塗布された紫外線硬化型接着剤５０に紫外線を照射して、紫外線硬化型接着剤５０を硬化させる。これにより、図５（ｅ）に示すように、主面１３ｂに塗布された紫外線硬化型接着剤５０が硬化され接着層１５が形成される。そして、第２導波路部材１２と光フィルタ１３とが接合される。なお、第２導波路部材１２と光フィルタ１３とを貼り付ける際には、第１支持ユニット２１のＺ軸方向移動ステージ２４ａ又は第２支持ユニット２３のＺ軸方向移動ステージ２９ａを制御することで、第２導波路部材１２と光フィルタ１３との間に介在する紫外線硬化型接着剤５０の厚み、すなわち接着層１５の厚みを調整することが可能である。
【００４７】
以上により、導波路型光モジュール１０が完成する。光フィルタ１３は、０．１μｍ以下の平坦度を維持したまま第１導波路部材１１に接合されているので、光フィルタ１３と第２導波路部材１２とが接合された際の光フィルタ１３の平坦度も０．１μｍ以下である。したがって、光フィルタ１３で反射する光又は光フィルタ１３を透過する光の損失を防止し、導波路型光モジュール１０の光学特性を向上させることができる。また、光フィルタ１３を平坦に維持するための部材を導波路型光モジュール１０に設ける必要が無く、導波路型光モジュール１０の小型化を妨げない。
【００４８】
以上、本発明をその実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で以下のような様々な変形が可能である。
【００４９】
上記実施形態では、単チャンネルの導波路型光モジュールの製造方法について説明したが、本発明は、上記の光導波路１６〜１８を複数ずつ有する多チャンネルの導波路型光モジュールに適用してもよい。
【００５０】
また、本発明は、導波路型光モジュールに限られず、コリメータ型光モジュールにも適用可能である。コリメータ型光モジュールの一例を図６に示す。図６において、コリメータ型光モジュール６０は導波路部材６１を有し、導波路部材６１は、２本の光ファイバ６４を保持した円筒状ガラス６２と、この円筒状ガラス６２に固定されたロッドレンズ６３とを有している。ロッドレンズ６３の端面には、上記の光フィルタ１３が接合され、一方の光ファイバ６４から入射した光はロッドレンズ６３中を伝播し、光フィルタ１３で反射した後、他方の光ファイバ６４に入射する。このようなコリメータ型光モジュールの場合は、上述の第２導波路部材１２に対応する部材がないので、用意した導波路部材６１を第１支持ユニット２１の支持台２５ｄに載置した上で、上述の工程Ｓ１から工程Ｓ６の工程を経ることで、上記のコリメータ型光モジュールを製造することができる。
【００５１】
上記実施形態では、第１導波路部材１１又は第２導波路部材１２と光フィルタ１３とを接合する際に、光フィルタ１３の主面１３ａ又は主面１３ｂに紫外線硬化型接着剤５０を塗布した。しかし、接着剤の介在方法はこれに限定されず、導波路部材１１、１２の端面に接着剤を塗布した上で導波路部材１１、１２と光フィルタ１３とを接合してもよい。
【００５２】
また、上記実施形態では、導波路部材１１、１２の端面に光フィルタ１３を接着固定するものとしたが、導波路部材の端面に固定される平面状光学部品としては、反射ミラーなどであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】実施形態に係る光モジュール製造方法及び装置により製造される導波路型光モジュールの平面図である。
【図２】図１に示す導波路型光モジュールの分解斜視図である。
【図３】実施形態に係る光モジュール製造装置を模式的に示した斜視図である。
【図４】図１及び２に示す導波路型光モジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【図５】導波路型光モジュールを製造する様子を模式的に示す平面図である。
【図６】コリメータ型光モジュールの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０…導波路型光モジュール、１１…第１導波路部材（導波路部材）、１１ａ、１２…第２導波路部材、１２ａ…端面、１３…光フィルタ（平面状光学部品）、１３ａ…主面（他方の主面）、１３ｂ…主面（一方の主面）、２０…光モジュール製造装置、２４ａ、２９ａ…Ｚ軸方向移動ステージ（距離調整手段）、２４ｂ、２９ｂ…Ｘ軸方向移動ステージ（距離調整手段）、２４ｃ、２９ｃ…Ｚ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）、２５ａ、３０ａ…Ｙ軸方向移動ステージ（距離調整手段）、２５ｂ、３０ｂ…Ｙ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）、２５ｃ、３０ｃ…Ｘ軸回り回転ステージ（相対角度調整手段）、２５ｄ、３０ｄ…支持台（支持部）、４０…保持用チップ（保持部材）、４０ａ…保持面、５０…紫外線硬化型接着剤（接着剤）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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