(57)【要約】【課題】長寿命で安定した振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラシステムを提供する。【解決手段】電気機械変換素子１１の励振により、弾性体１２に振動を発生する振動子と、振動子に加圧接触され、振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材１３とを備えた振動波モータであって、振動子と相対運動部材１３との摩擦接触面の少なくとも一方には、シリコンビーズとエポキシ樹脂とを用いたエポキシ樹脂膜１７が形成されていることを特徴とする振動波モータ１０とした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と第２部材とが接触しながら前記第１部材と前記第２部材とが相対移動するモータであって、
前記第１部材と前記第２部材との接触面の少なくとも一方には、粒子状の添加剤と熱硬化性樹脂とを用いた熱硬化性樹脂膜が形成されていること
を特徴とするモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のモータにおいて、
前記添加剤は、前記接触面の前記熱硬化性樹脂膜が形成されていない面と点又は円で接触すること
を特徴とするモータ。
【請求項３】
請求項２に記載のモータにおいて、
前記添加剤は、シリコンビーズ、アクリルビーズ、カーボンビーズを少なくとも１つ含有すること
を特徴とするモータ。
【請求項４】
請求項３に記載のモータにおいて、
前記シリコンビーズは、５〜２０重量％含有されていること
を特徴とするモータ。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載のモータにおいて、
前記シリコンビーズは、粒径が６μｍ以下であること
を特徴とするモータ。
【請求項６】
請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記アクリルビーズは、５〜３０重量％含有されていること
を特徴とするモータ。
【請求項７】
請求項３から請求項６までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記アクリルビーズは、粒径が５μｍ以下であること
を特徴とするモータ。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、フッ素樹脂を用いて形成されていること
を特徴とするモータ。
【請求項９】
請求項８に記載のモータにおいて、
前記フッ素樹脂は、ポリテトラフルオロエチレンであること
を特徴とするモータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、前記接触面の摩擦係数を増加させる摩擦係数増加材を用いて形成されていること
を特徴とするモータ。
【請求項１１】
請求項１０に記載のモータにおいて、
前記摩擦係数増加材は、カーボンであること
を特徴とするモータ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のモータにおいて、
前記カーボンは、２〜１０重量％含有されていること
を特徴とするモータ。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の少なくとも１つを含有すること
を特徴とするモータ。
【請求項１４】
請求項１３に記載のモータにおいて、
前記エポキシ樹脂は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂であること
を特徴とするモータ。
【請求項１５】
請求項１４に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、膜厚が６０μｍ以下であること
を特徴とするモータ。
【請求項１６】
請求項１４又は請求項１５に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、ポリテトラフルオロエチレンを、５〜３５重量％含有していること
を特徴とするモータ。
【請求項１７】
請求項１３に記載のモータにおいて、
前記エポキシ樹脂は、フェノール性水酸基又はメチロール基を持つものを硬化性プレポリマーとして配合したエポキシ樹脂であること
を特徴とするモータ。
【請求項１８】
請求項１７に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、膜厚が１００μｍ以下であること
を特徴とするモータ。
【請求項１９】
請求項１７又は請求項１８に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、前記ポリテトラフルオロエチレンを、１０〜３５重量％含有していること
を特徴とするモータ。
【請求項２０】
請求項１から請求項１９までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜の表面の粗さは、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下であること
を特徴とするモータ。
【請求項２１】
請求項１から請求項２０までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜の縦断面形状は、略台形状であること
を特徴とするモータ。
【請求項２２】
請求項１から請求項２１までのいずれか１項に記載のモータにおいて、
前記第１部材は、電気機械変換素子の励振により弾性体に振動を発生する振動子であり、
前記第２部材は、前記振動により前記相対移動を行う相対移動部材であること
を特徴とするモータ。
【請求項２３】
電気機械変換素子の励振により、弾性体に振動を発生する振動子と、
前記振動子に加圧接触され、前記振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを備えたモータであって、
前記振動子と前記相対運動部材との摩擦接触面の少なくとも一方には、エポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂膜が形成されており、
前記エポキシ樹脂膜は、アクリルビーズ、カーボンの少なくとも１つを含むこと
を特徴とするモータ。
【請求項２４】
電気機械変換素子の励振により、弾性体に振動を発生する振動子と、
前記振動子に加圧接触され、前記振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを備えたモータであって、
前記振動子と前記相対運動部材との摩擦接触面の少なくとも一方には、エポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂膜が形成されており、
前記エポキシ樹脂膜は、ポリテトラフルオロエチレン、シリコンビーズの少なくとも１つを含むこと
を特徴とするモータ。
【請求項２５】
請求項１から請求項２４までのいずれか１項に記載のモータと、
前記モータを駆動源として駆動される光学系と、
を備えたレンズ鏡筒。
【請求項２６】
請求項２５に記載のレンズ鏡筒を装着することが可能なマウント部を有するカメラシステム。
【請求項２７】
第１部材と第２部材との接触面の少なくとも一方に、粒子状の添加剤と熱硬化性樹脂とを供給する工程と、
前記第１部材と前記第２部材とを接触させた状態で前記第１部材と前記第２部材とを相対移動させる工程と、
を備えることを特徴とするモータの製造方法。
【請求項２８】
請求項２７に記載のモータの製造方法において、
前記熱硬化性樹脂を硬化させてから研磨する工程を備えること
を特徴とするモータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ、レンズ鏡筒、カメラシステム、及びモータの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、モータの１つである振動波モータでは、振動子と相対移動部材としての相対運動部材とは摩擦接触されており、振動子に発生した振動波、例えば、超音波振動は、相対運動部材に伝達され、相対運動部材が摩擦駆動される。従って、振動子は、与えられた超音波振動を効率よく相対運動部材に伝える必要がある。このため、振動子には、高弾性材料、例えば鉄系やステンレス系の金属材料が用いられている。
振動子と相対運動部材との摩擦接触面は、様々な試みがなされており、特許文献１では、一方の摩擦接触面にアルマイト層を設け、他方の摩擦接触面にニッケル層（Ｎｉ層）を設けた例が開示されている。ここで、アルマイト層とは、アルミニウムを陽極酸化することにより形成された耐食性を有する酸化皮膜層である。
このアルマイト層とＮｉ層との摩擦接触面には、潤滑油等は用いることができない。従って、この摩擦接触面は、非流体力学的な潤滑、いわゆる境界潤滑が主となる。このため、アルマイト層は、潤滑油的な役割を果たすことになり、超音波振動の伝達効率、振動波モータの機能に大きな影響を与える。
【０００３】
しかし、従来の振動波モータは、長時間にわたって、振動子と移動体との摩擦接触面が摩擦駆動されると、アルマイト層の劣化やアルマイト層とＮｉ層との硬度差が小さいことに起因する摩擦接触面の著しい損傷により、磨耗粉が発生し、摩擦接触面の安定性が保てないという問題があった。そのため、駆動時に異音が発生したり、駆動効率が低下したりするという問題があった。
また、磨耗により、摩擦接触面が不安定となり、高負荷下で長時間駆動した場合、急に回転数が低下してしまい、安定した駆動を保てず、駆動性能が悪くなるという問題があった。
【０００４】
さらに、従来のアルマイト層やＮｉ層等の無機材料同士を摩擦接触面とする振動波モータは、振動子と相対運動部材の両方に表面処理等を行っているので、作業工程が多いという問題や、生産コストがかかるという問題があった。特に、弾性体は、電気機械変換素子を接着するので、電気機械変換素子の接着面に表面処理が行われることを防ぐためのマスキング処理が必要であった。さらに、表面処理液の廃棄処理に多くの時間や費用がかかるという問題があった。
【０００５】
前述の振動波モータの他に、摩擦接触面の一方にプラスチック等の樹脂の成形加工品を用いた振動波モータも知られている。しかし、樹脂を成形するための成形条件は、成形加工品の物性に大きな影響を与える。そのため、摩擦接触面に用いるために最適な物性を樹脂の成形加工品に与えるための最適な成形条件の選出が困難であるという問題があった。
また、成形加工品を摩擦接触面に使用するためには、切削加工を加えて寸法精度を向上させる必要がある。通常は、樹脂の成形加工品中に摩擦係数増加材として導電性カーボンフィラー等を添加しているが、導電性カーボンフィラー等が原因で切削工具の刃に著しい損傷を引き起こすため、切削速度を上げることができなかった。また、切削加工品を弾性体に接着剤等により接合する必要も生じる。この事情から、摩擦係数増加材として導電性カーボンフィラー等を添加する樹脂成形加工品を弾性体に用いると、加工に長時間を要し、生産コストが高くなり、所望の寸法精度が得にくいという問題があった。
【特許文献１】特許２５７８９０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、長寿命で安定したモータとその製造方法、レンズ鏡筒及びカメラシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、請求項１の発明は、第１部材（１１，１２，２１，２２）と第２部材（１３，２３）とが接触しながら前記第１部材と前記第２部材とが相対移動するモータであって、前記第１部材と前記第２部材との接触面の少なくとも一方には、粒子状の添加剤と熱硬化性樹脂とを用いた熱硬化性樹脂膜（１７，３０）が形成されていることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載のモータにおいて、前記添加剤は、前記接触面の前記熱硬化性樹脂膜（１７，３０）が形成されていない面と点又は円で接触することを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項３の発明は、請求項２に記載のモータにおいて、前記添加剤は、シリコンビーズ、アクリルビーズ、カーボンビーズを少なくとも１つ含有することを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項４の発明は、請求項３に記載のモータにおいて、前記シリコンビーズは、５〜２０重量％含有されていることを特徴とするモータ（１０）である。
請求項５の発明は、請求項３又は請求項４に記載のモータにおいて、前記シリコンビーズは、粒径が６μｍ以下であることを特徴とするモータ（１０）である。
請求項６の発明は、請求項３から請求項５までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記アクリルビーズは、５〜３０重量％含有されていることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項７の発明は、請求項３から請求項６までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記アクリルビーズは、粒径が５μｍ以下であることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項８の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７，３０）は、フッ素樹脂を用いて形成されていることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項９の発明は、請求項８に記載のモータにおいて、前記フッ素樹脂は、ポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１０の発明は、請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７，３０）は、前記接触面の摩擦係数を増加させる摩擦係数増加材を用いて形成されていることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１１の発明は、請求項１０に記載のモータにおいて、前記摩擦係数増加材は、カーボンであることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１２の発明は、請求項１１に記載のモータにおいて、前記カーボンは、２〜１０重量％含有されていることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１３の発明は、請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７，３０）は、エポキシ樹脂とフェノール樹脂の少なくとも１つを含有することを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１４の発明は、請求項１３に記載のモータにおいて、前記エポキシ樹脂は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂であることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１５の発明は、請求項１４に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７，３０）は、膜厚が６０μｍ以下であることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１６の発明は、請求項１４又は請求項１５に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７，３０）は、ポリテトラフルオロエチレンを、５〜３５重量％含有していることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項１７の発明は、請求項１３に記載のモータにおいて、前記エポキシ樹脂は、フェノール性水酸基又はメチロール基を持つものを硬化性プレポリマーとして配合したエポキシ樹脂であることを特徴とするモータ（１０）である。
請求項１８の発明は、請求項１７に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７）は、膜厚が１００μｍ以下であることを特徴とするモータ（１０）である。
請求項１９の発明は、請求項１７又は請求項１８に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７）は、前記ポリテトラフルオロエチレンを、１０〜３５重量％含有していることを特徴とするモータ（１０）である。
請求項２０の発明は、請求項１から請求項１９までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜の表面の粗さは、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下であることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項２１の発明は、請求項１から請求項２０までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１７）の縦断面形状は、略台形状であることを特徴とするモータ（１０）である。
請求項２２の発明は、請求項１から請求項２１までのいずれか１項に記載のモータにおいて、前記第１部材は、電気機械変換素子（１１，２１）の励振により弾性体（１２，２２）に振動を発生する振動子（１１，１２，２１，２２）であり、前記第２部材は、前記振動により前記相対移動を行う相対移動部材（１３，２３）であることを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項２３の発明は、電気機械変換素子（１１，２１）の励振により、弾性体（１２，２２）に振動を発生する振動子（１１，１２，２１，２２）と、前記振動子に加圧接触され、前記振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材（１３，２３）とを備えたモータであって、前記振動子と前記相対運動部材との摩擦接触面の少なくとも一方には、エポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂膜（１７，３０）が形成されており、前記エポキシ樹脂膜は、アクリルビーズ、カーボンの少なくとも１つを含むことを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項２４の発明は、電気機械変換素子（１１，２１）の励振により、弾性体（１２，２２）に振動を発生する振動子（１１，１２，２１，２２）と、前記振動子に加圧接触され、前記振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材（１３，２３）とを備えたモータであって、前記振動子と前記相対運動部材との摩擦接触面の少なくとも一方には、エポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂膜（１７，３０）が形成されており、前記エポキシ樹脂膜は、ポリテトラフルオロエチレン、シリコンビーズの少なくとも１つを含むことを特徴とするモータ（１０，２０）である。
請求項２５の発明は、請求項１から請求項２４までのいずれか１項に記載のモータ（１０）と、前記モータを駆動源として駆動される光学系（Ｌ）と、を備えたレンズ鏡筒（３）である。
請求項２６の発明は、請求項２５に記載のレンズ鏡筒（３）を装着することが可能なマウント部を有するカメラシステム（１）である。
請求項２７の発明は、第１部材と第２部材との接触面の少なくとも一方に、粒子状の添加剤と熱硬化性樹脂とを供給する工程（図５（ｂ））と、前記第１部材と前記第２部材とを接触させた状態で前記第１部材と前記第２部材とを相対移動させる工程（図５（ｆ））と、を備えることを特徴とするモータの製造方法。
請求項２８の発明は、請求項２７に記載のモータの製造方法において、前記熱硬化性樹脂を硬化させてから研磨する工程（図５（ｃ））を備えることを特徴とするモータの製造方法。
以上、理解を容易にするために、本発明の一実施例を示す図面に対応する符号を付して説明したが、これに限定されるものではない。なお、符号を付して説明した構成は、適宜変更してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替えしてもよい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、低速での起動特性が良好であり、安定した駆動のモータを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
弾性体の摩擦接触面にエポキシ樹脂を用いてエポキシ樹脂膜を形成した。
【実施例１】
【００１０】
以下、本発明によるモータの各実施例は、モータの一例として振動波モータ、詳しくは超音波の振動域を利用する超音波モータを例にとって説明する。
図４は、実施例１の振動波モータを備えたカメラを示す断面図である。
本実施例のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備えている。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２のマウント部に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施例のカメラ１では、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒を備えたカメラであってもよい。
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、振動波モータ１０等を備えている。本実施例では、振動波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられており、振動波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４は、カム筒５とカム係合しており、振動波モータ１０の駆動力によってカム筒５が回転すると、レンズ４は、カム筒５とのカム係合によって光軸方向へ移動して、焦点調節が行われる。
【００１１】
図１は、実施例１の振動波モータを示す斜視図である。
実施例１の振動波モータ１０は、第１部材としての振動子を構成する圧電体１１，弾性体１２と、第２部材としての移動体１３と、フレキシブルプリント基板１４と、振動吸収材１５と、支持体１６等とを備えている。この振動波モータ１０は、前述のようにカメラ１のレンズ鏡筒３に用いられ、フォーカス動作時に、レンズ４を駆動する駆動源として用いられている。
【００１２】
圧電体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子の１つであり、フェルト等の振動吸収材１５を介して、カメラのレンズ鏡筒の支持体１６に固定されている。圧電体１１は、フレキシブルプリント基板１４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体１２を励振する。
弾性体１２は、圧電体１１の励振により進行性振動波を発生させるものである。弾性体１２は、ステンレス鋼，インバー鋼等の鉄合金から形成される。
弾性体１２は、略円環形状の部材であり、一方の面には導電性を有する接着剤等により圧電体１１が接着され、もう一方の面には複数の溝を切って形成された櫛歯部１２ａが設けられている。櫛歯部１２ａの先端面は、後述する移動体１３と加圧接触して移動体１３を回転駆動させる摩擦接触面である。この櫛歯部１２ａの先端面には、エポキシ樹脂膜１７が形成されている。エポキシ樹脂膜１７については後述する。
移動体１３は、弾性体１２に加圧接触され、進行性振動波により摩擦駆動される相対運動部材である。この移動体１３は、アルミニウム等の軽金属によって形成された略円環形状の部材であり、その表面には後述のアルマイト皮膜層１８が形成されている。
フレキシブルプリント基板１４は、圧電体１１に駆動信号を供給する部材であり、圧電体１１の所定の電極部と電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板１４には、カメラ１の制御を行う制御装置８が接続されている。本実施例において、制御装置８には温度センサ９が接続されており、温度センサ９の検知結果に応じて、圧電体１１に供給する駆動信号を調整するようになっている。詳しくは、図１に示す振動波モータ１０の場合、回転数が一定（８０ｒｐｍ程度）となるように、検知された温度条件に応じて駆動信号の周波数を調整している。
【００１３】
次に、実施例１の振動波モータ１０をさらに詳細に説明する。
図２は、実施例１の振動波モータ１０の弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面を詳細に示す断面図である。
弾性体１２は、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０３）によって形成され、移動体１３との摩擦接触面上に、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂を用いて形成されたエポキシ樹脂膜１７が設けられている。移動体１３は、アルミニウム合金で形成され、弾性体１２との摩擦接触面上には、アルマイト皮膜層１８が設けられている。従って、振動子（弾性体１２）と移動体１３との摩擦接触面は、エポキシ樹脂膜１７とアルマイト皮膜層１８とが接触する形態となっている。
【００１４】
本実施例のエポキシ樹脂膜１７は、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥとする）を２０重量％、粒径５μｍのアクリルビーズを１０重量％、導電性カーボンを３．５重量％含有したイソシアネート硬化型エポキシ樹脂によって形成され、その表面の最大高さ粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１）は、０．５μｍであり、その膜厚は３０μｍである。
【００１５】
図５に示すように、本実施例のエポキシ樹脂膜１７は、以下に示す工程を経て形成される。
まず、弾性体１２の摩擦接触面（櫛歯部１２ａの先端面）にプライマーを塗布して乾燥させるとともに、弾性体１２の反対面には圧電体１１の接着部にマスキングテープを貼り付けてマスキングする（図５（ａ）参照）。次に、エポキシ樹脂に、エポキシ樹脂を硬化させるイソシアネート硬化剤、ＰＴＦＥ，アクリルビーズ，導電性カーボン等の添加物、シンナー等の溶剤を混合した溶液を作る。弾性体１２からマスキングテープを除去し、この溶液を弾性体１２の摩擦接触面に塗布し（図５（ｂ）参照）、１８０℃程度の高温下に６０分間放置して、乾燥硬化させる。この際のエポキシ樹脂膜の断面を図６に示す。図６からわかるように、エポキシ樹脂膜１７の表面は湾曲しているが、硬化後、その表面の中央部を、グリーンカーボランダムを用いて研磨して平坦にする（図５（ｃ）破線参照）。ここで、研磨する前のエポキシ樹脂膜の表面は湾曲しているため、研磨後もエポキシ樹脂膜１７の周縁部が傾斜することとなり、縦断面形状が略台形状のエポキシ樹脂膜１７が形成される（図５（ｄ）参照）。なお、本実施例のエポキシ樹脂膜１７には、粒子状の添加剤（アクリルビーズ）が用いられているため、研磨後のエポキシ樹脂膜１７表面には、アクリルビーズが抜け落ちた空間や、アクリルビーズが突出した面や、アクリルビーズの切断面が露出する（図７参照）。このように、本実施例のエポキシ樹脂膜１７においては、その表面に露出されているアクリルビーズの点又は面がアルマイト皮膜層１８と接し、摩擦接触面が固着することを防止している。
一方、移動体１３は、アルミニウム合金（Ａ６０６１）によって形成され、その表面を陽極酸化処理することにより、移動体１３の表面にアルマイト皮膜層１８が形成されている。
その後、弾性体１２の所定位置に圧電体１１を接着させ（図５（ｅ）参照）、移動体１３をアルマイト皮膜層１８がエポキシ樹脂膜１７に接触するように弾性体１２と組み合わせて振動波モータ１０を組み立てる（図５（ｆ）参照）。ここで、弾性体１２と移動体１３は、進行性振動波による摩擦駆動で相対移動可能であり、振動波モータ１０の組み立て段階又は組み立て後の段階で、弾性体１２と移動体１３とが相対移動することもある。
【００１６】
本実施例のエポキシ樹脂膜１７に用いられるイソシアネート硬化型エポキシ樹脂は、イソシアネートを硬化剤として添加したエポキシ樹脂であり、他の硬化剤を添加した場合に比べて、可撓性や柔軟性、密着性や剥離強度、耐摩耗性、耐衝撃性が優れている。また、疎水性や耐久性の向上を図ることもできる。疎水性を向上させることにより、エポキシ樹脂が空気中の水分を吸収することによる寸法変化や固着の発生を防止できる。また、耐久性を向上させることにより、弾性体１２の超音波振動が与えられても分子構造が変化せず、劣化等が生じ難い。
【００１７】
ＰＴＦＥは、エポキシ樹脂膜１７がアルマイト皮膜層１８と固着することを防止する固着防止材である。また、ＰＴＦＥは、エポキシ樹脂膜１７に添加することにより、振動波モータの低速での起動性を向上させる効果を有する。
アクリルビーズ及び導電性カーボンは、弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面の摩擦係数を増加させる摩擦係数増加材である。
アクリルビーズは、エポキシ樹脂膜１７に添加することにより、摩擦接触面の摩擦係数を増加させ、保持トルク（静止時に、移動体の位置が保持された状態から移動体を移動させるために必要なトルク）を上げる効果を有する。本実施例では、アクリルビーズは、粒子状であり、その粒径は５μｍである。なお、アクリルビーズに限らず、チタン，シリコン，シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等の粒子を用いても保持トルクを向上させる効果は期待できる。しかし、耐磨耗性等を考慮し、本実施例ではアクリルビーズを用いている。
また、アクリルビーズは、粒子状であるので、エポキシ樹脂膜１７に添加することにより、アルマイト皮膜層１８は、エポキシ樹脂膜１７に含まれるアクリルビーズの点又は円（微小な面）と接する形態とすることができ、エポキシ樹脂膜１７が、アルマイト皮膜層１８に固着することを防止する効果が期待できる。
【００１８】
導電性カーボンは、アクリルビーズと同様の効果に加え、磨耗粉の発生を低減させる効果を有している。また、静電気による埃等の吸着防止の効果も有する。なお、本実施例では、導電性カーボンを用いたが、これに限らず、例えば、カーボンビーズや、グラファイト等でもよい。
イソシアネート硬化型エポキシ樹脂のみを摩擦接触面に塗布して塗膜を形成した場合、そのような振動波モータは、摩擦接触面での弾性体と移動体との摩擦係数が低く、低速での起動特性は向上する。しかし、保持トルクが低すぎるために空回りを起こし易く駆動効率が十分ではなく、また、摩擦接触面に固着が生じる可能性がある。
一方、上述したＰＴＦＥ，アクリルビーズ，導電性カーボンを含有するエポキシ樹脂膜１７は、振動波モータとして使用するに適した保持トルクを有し、かつ、アルマイト皮膜層１８との固着を防止できる。
また、エポキシ樹脂膜１７は、弾性体１２に塗布して形成するため、メッキ処理等によりＮｉ層を摩擦接触面に形成する場合と異なり、廃液処理を必要としない。さらに、圧電体１１を接着するために従来必要であった弾性体１２への表面処理やマスキング処理等を省いて作業工程を少なくでき、生産コストを低減できる。
【００１９】
ここで、エポキシ樹脂膜１７に含まれるＰＴＦＥ，アクリルビーズ，導電性カーボンの含有率（重量％）や、アクリルビーズの粒径、エポキシ樹脂膜１７の表面の粗さ等が、振動波モータの駆動性能等に与える影響を調べた。
【００２０】
【表１】
2008035685.tif 000003
【００２１】
表１は、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びアクリルビーズの含有量と、最低回転数との関係を示す表である。
実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びアクリルビーズの量が異なる振動波モータを複数用意し、温度−２０℃、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍ（２００ｇｆ・ｃｍ）で駆動した場合の最低回転数を測定した。
ここで、最低回転数とは、振動波モータを駆動可能な最低の回転数であり、この値が小さいほど、低速での駆動が可能であり、起動特性が良好であるといえる。また、起動特性は低温になるほど悪くなる傾向を示すため、温度−２０℃で測定した。
【００２２】
移動体の摩擦接触面がアルマイト皮膜層、弾性体の摩擦接触面が無電解ニッケル−リンメッキ層（以下、無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層とする）で形成された従来の振動波モータを、温度−２０℃、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍで駆動した場合の最低回転数は、１０〜３０ｒｐｍであった。
しかし、表１に示すように、弾性体の摩擦接触面にイソシアネート硬化型エポキシ樹脂を塗布することにより、温度−２０℃での最低回転数は、８ｒｐｍとなり、従来の振動波モータに比べて起動特性が向上した。また、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に、アクリルビーズ及びＰＴＦＥを添加したエポキシ樹脂膜とすることにより、最低回転数はさらに小さくなり、起動特性をより向上できた。
【００２３】
ここで、ＰＴＦＥは、アクリルビーズの含有量を一定とした場合、その含有量が多いほど最低回転数の減少に効果があった。一方、ＰＴＦＥの含有量を一定とした場合、アクリルビーズの含有量が３０重量％を超えると、最低回転数は、急激に増加し始めた。
従って、表１の結果より、低速での起動特性を向上させるためには、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂によって形成されたエポキシ樹脂膜のアクリルビーズの含有量は、３０重量％以下であることが好ましい。
実施例１の振動波モータ１０では、エポキシ樹脂膜１７に含まれるアクリルビーズの含有量は、１０重量％であり、ＰＴＦＥは、２０重量％であり、低速での起動特性を向上させるに好ましい範囲内である。
【００２４】
【表２】
2008035685.tif 000004
【００２５】
表２は、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びアクリルビーズの含有量と、振動子（弾性体）と移動体との固着の発生状況との関係を示す表である。
実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びアクリルビーズの量が異なる振動波モータを複数用意し、各振動波モータを、温度７０℃、相対湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の固着の発生を調べた。
移動体と振動子との摩擦接触面に固着が生じると、振動波モータが駆動しなかったり、駆動に大きな電流を必要としたりする等、駆動性能が劣化する要因となる。そのため、高温多湿の環境下に長時間置かれた場合でも、摩擦接触面に固着が発生しないことが望まれる。
【００２６】
表２に示すように、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂にアクリルビーズ及びＰＴＦＥを添加しなかった場合は、固着が発生した。しかし、アクリルビーズ，ＰＴＦＥを５重量％以上含有することにより、固着の発生し易い高温多湿の環境下でも、固着の発生を防止できる。
また、固着防止材のＰＴＦＥを含まず、アクリルビーズのみが５重量％以上含まれた場合にも、固着防止の効果は発揮されていた。これは、エポキシ樹脂膜に含有されるアクリルビーズが、点又は円（微小な面）として移動体のアルマイト皮膜層と接することによる効果である。
実施例１の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂が、ＰＴＦＥを２０重量％、アクリルビーズを１０重量％含有しており、固着防止の観点から好ましい含有量の条件を満たしている。
【００２７】
【表３】
2008035685.tif 000005
【００２８】
表３は、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びアクリルビーズの含有量と、保持トルクとの関係を示す表である。
実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂が含有するＰＴＦＥ及びアクリルビーズの量が異なる振動波モータを複数用意し、駆動電圧ＡＣ３０Ｖ、回転数６０ｒｐｍで駆動した場合の保持トルクの規定値を満足するか否かを調べた。
ここで、表３における保持トルクの規定値とは、本実施例の振動波モータ１０に示したように、カメラのレンズ鏡筒に光学系を駆動する駆動源として振動波モータを使用する場合に必要となる保持トルクの値である。なお、実施例１の振動波モータ１０に必要な保持トルクの規定値は、１５０Ｎ・ｍｍである。
【００２９】
表３に示すように、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂のみを弾性体の摩擦接触面に塗布した場合、保持トルクは規定値以上得られた。また、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂にＰＴＦＥ及びアクリルビーズを添加した場合も規定値以上の保持トルクは得られた。
しかし、アクリルビーズの含有量が、１０重量％以下の場合に、ＰＴＦＥの含有量が３５重量％を超えると、保持トルクは規定値の８０％以下となった。
従って、表３に示す結果より、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれるＰＴＦＥの量は、３５重量％以下であることが、保持トルクの向上に好ましいことがわかった。
なお、実施例１の振動波モータ１０は、ＰＴＦＥの含有量が２０重量％であり、アクリルビーズの含有量が１０重量％であるので、保持トルクの向上に好ましい含有量の条件を満たしている。
【００３０】
【表４】
2008035685.tif 000006
【００３１】
表４は、５００００回転後の入力電流値の変化率について、実施例１の振動波モータ１０と従来の振動波モータを比較した表である。
従来の振動波モータは、実施例１の振動波モータ１０と略同じ形態であるが、弾性体の摩擦接触面に無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層が形成されている点が異なる。
実施例１の振動波モータ１０及び従来の振動波モータを同一の条件下で５００００回転させ、回転前と後の入力電流値の変化率を調べた。回転時の負荷トルクは、１９．６Ｎ・ｍｍ（２００ｇｆ・ｃｍ）と、５８．８Ｎ・ｍｍ（６００ｇｆ・ｃｍ）との２条件について測定し、測定時の回転数は６０ｒｐｍである。
【００３２】
ここで、入力電流値とは、各負荷トルクがかかった状態で、振動波モータが回転し始めるときの電流値であり、入力電流値変化率とは、本測定では、５００００回転させた前と後での入力電流値の変化率である。通常、長時間駆動する等により、摩擦接触面は荒れるため、入力電流の変化率は大きくなる。また、負荷トルクが大きいほど、その変化率が大きくなる傾向を持つ。
従って、入力電流値変化率が小さいほど、振動波モータの耐久性が良好であることを示し、負荷トルクが大きい場合にも、入力電流値変化率が小さいことが耐久性の観点からは好ましい。
【００３３】
表４に示すように、従来の振動波モータでは、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は、＋１０％であり、負荷トルク５８．８Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は＋４０％であり、各負荷トルク下での入力電流値変化率の増加が大きく、負荷トルクが大きくなった場合の入力電流値変化率も大きい。
しかし、実施例１の振動波モータ１０では、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は、＋５％であり、負荷トルク５８．８Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は＋９％であり、各負荷トルク下での入力電流値変化率は小さく、負荷トルクが大きくなった場合の入力電流値変化率も小さい。
よって、本実施例のエポキシ樹脂膜１７を形成することにより、５００００回転駆動後の入力電流値変化率は小さくなり、振動波モータの耐久性が向上する。
【００３４】
【表５】
2008035685.tif 000007
【００３５】
表５は、弾性体の摩擦接触面の磨耗量について、実施例１の振動波モータ１０と従来の振動波モータとを比較した表である。
従来の振動波モータは、実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、弾性体の摩擦接触面には無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層が形成されている点が異なる。
実施例１の振動波モータ１０及び従来の振動波モータを、負荷トルク２０Ｎ・ｍｍ、回転数６０ｒｐｍで駆動し、５００００回転させた場合の弾性体の摩擦接触面の磨耗量を磨耗深さとして測定した。
ここで、磨耗深さとは、５００００回転させる前の弾性体の厚みを基準とし、回転駆動後の弾性体の厚みとの差を求め、その差を磨耗によって生じた深さとして示したものである。従って、磨耗深さは、その値が小さい方が、駆動によって生じた磨耗量が小さいことを示し、耐久性が良好であることを示す。
表５に示すように、従来の振動波モータでは、５００００回転させることにより、３μｍの磨耗深さが生じたが、実施例１の振動波モータ１０では、生じた磨耗深さは０．８μｍであった。
よって、本実施例のエポキシ樹脂膜１７を弾性体１２の摩擦接触面に形成することにより、磨耗量が少なくなり、耐久性を向上できる。
【００３６】
【表６】
2008035685.tif 000008
【００３７】
表６は、エポキシ樹脂膜の膜厚と固着の発生との関係を示す表である。
実施例１の振動波モータ１０と略同様な形態であるが、エポキシ樹脂膜の厚さのみが１０〜７０μｍまで１０μｍ毎に異なる７つの振動波モータを用意し、温度７０℃、湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の、弾性体のエポキシ樹脂膜と移動体のアルマイト皮膜層との固着の発生状況を調べた。
表６に示すように、エポキシ樹脂膜の厚さは、６０μｍ以下では固着は発生しなかったが、７０μｍ以上では固着が発生した。固着は、振動波モータの起動特性や駆動性能を劣化させる。従って、エポキシ樹脂膜は、その膜厚が６０μｍ以下であることが、固着を防ぎ、起動特性及び駆動性能の向上に好ましい。
実施例１の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７の厚さが３０μｍであり、固着の防止に好ましい膜厚の条件を満たしている。
【００３８】
【表７】
2008035685.tif 000009
【００３９】
表７は、アクリルビーズの粒径と入力電流最低値の変化率との関係を示す表である。
実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に添加されたアクリルビーズの粒径が、１μｍ、５μｍ、７μｍと異なる３つの振動波モータを１時間駆動し、駆動前と駆動後の入力電流最低値の変化率を調べた。
ここで、振動波モータは、駆動する際に、その周波数を上げていくと電流値も上がる傾向を示すが、周波数がある点になると電流値が下がり最低値となり、再び上昇する。入力電流最低値とは、その最低値となったときの電流値を意味する。また、入力電流最低値変化率とは、本測定において、１時間駆動した前と後とでの入力電流最低値の変化の割合を示しており、この変化率が小さい方が、より安定した駆動であるといえる。
表７に示すように、アクリルビーズの粒径が７μｍの場合は、１時間駆動後の入力電流最低値変化率が８％となったが、アクリルビーズの粒径が５μｍ以下では変化率が５％以下であった。よって、安定した駆動を行うという観点から、アクリルビーズの粒径は、５μｍ以下であることが好ましい。
実施例１の振動波モータ１０は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に添加したアクリルビーズの粒径が５μｍであり、安定した駆動を行うことができる。
【００４０】
【表８】
2008035685.tif 000010
【００４１】
表８は、アクリルビーズの粒径と固着の発生との関係を示す表である。
実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に添加されたアクリルビーズの粒径とＰＴＦＥの量とが異なる振動波モータを用意し、各振動波モータを、温度７０℃、相対湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の固着の発生を調べた。
表８に示すように、ＰＴＦＥの有無に関わらず、アクリルビーズを添加させた場合は、固着の発生を防止することができる。表７の結果より、安定駆動の観点からは、アクリルビーズの粒径を小さくすることが好ましいが、表８の結果より、摩擦接触面の固着防止の観点からは、アクリルビーズの粒径に特に制限はない。
なお、実施例１の振動波モータ１０は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に粒径５μｍのアクリルビーズを添加しており、固着発生を防止することともに、安定した駆動を行うことが可能である。
【００４２】
【表９】
2008035685.tif 000011
【００４３】
表９は、導電性カーボンの含有量と最大負荷トルクとの関係を示す表である。
実施例１に示した振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜１７を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれる導電性カーボンの量が異なる６つの振動波モータを用意し、駆動可能な負荷トルクの最大値（以下、最大負荷トルクとする）を求めた。表９において、導電性カーボンの含有量が２重量％の振動波モータを基準とし、その最大負荷トルクを、例えば、振動波モータを用いてレンズ群を駆動するために少なくとも必要な最大負荷トルクの規定値とし、各振動波モータの最大負荷トルクの測定値と規定値との比を求めた。なお、最大負荷トルクの測定値の規定値に対する比は、１以上であることが好ましいが、０．９以上であれば、許容範囲内であるとした。
表９に示すように、導電性カーボンの含有量が１重量％では、最大負荷トルクの測定値の規定値に対する比は０．７であり、振動波モータとしての使用には適さないことがわかった。また、導電性カーボンの含有量が１１重量％では、最大負荷トルクの測定値の規定値に対する比は０．９であり、許容範囲内ではあるが、規定値を下回った。
従って、導電性カーボンの含有量は、２〜１０重量％であると、最大負荷トルクを上げることができ、駆動性能の向上に有効である。
実施例１の振動波モータ１０は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれる導電性カーボンの量が、３．５重量％であり、最大負荷トルクの向上に有効な含有量の条件を満たしている。
【００４４】
【表１０】
2008035685.tif 000012
【００４５】
表１０は、エポキシ樹脂膜の表面粗さと入力電流最低値の変化率との関係を示す表である。
表１０に示すように、実施例１の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜の表面粗さが異なる５つの振動波モータを用意し、１時間駆動後の入力電流最低値の変化率を調べた。
表面粗さは、最大高さ粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１）によって示した。最大高さ粗さＲｚとは、基準長さにおける輪郭曲線の山高さの最大値と谷深さの最大値との和である。
表１０に示すように、１時間駆動後の入力電流最低値の変化率は、最大高さ粗さＲｚが１μｍを超えると、約１０％であったが、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下では、５％以下であった。よって、エポキシ樹脂膜１７の表面粗さは、安定した駆動を行うという観点から、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下であることが望ましいことがわかった。
実施例１の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７の表面の最大高さ粗さＲｚが０．５μｍであり、安定した駆動を行うことができる。
【００４６】
表１から表１０に示した結果より、エポキシ樹脂膜を形成するイソシアネート硬化型エポキシ樹脂に含まれる各添加物の量は、ＰＴＦＥが５〜３５重量％以下、アクリルビーズが５〜３０重量％以下、導電性カーボンが２〜１０重量％以下であることが、低速での起動特性の向上、固着防止、保持トルクの向上、最大負荷トルクの向上の観点から好ましい。
また、安定した駆動を得るという観点から、アクリルビーズの粒径は、５μｍ以下であることが好ましい。
さらに、エポキシ樹脂膜の膜厚は、６０μｍ以下であることが、固着防止の観点から好ましく、エポキシ樹脂膜の表面の粗さは、安定した駆動を得るという観点から、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下であることが好ましい。
【００４７】
実施例１の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７に、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂を使用しており、ＰＴＦＥを２０重量％、アクリルビーズを１０重量％、導電性カーボンを３．５％含有しており、以上に示した条件を満たしている。
実施例１の振動波モータ１０を駆動させたところ、従来の振動波モータと比較して、次に示すような効果が得られた。
（１）摩擦接触面の磨耗量が極めて少ない。従って磨耗粉の発生が少なく、弾性体１２の形状が変化しない。
（２）長時間にわたって安定した摩擦駆動が得られる。
（３）摩擦駆動時に発生する異音が小さい。
（４）低温環境下における低速での起動特性が良好であり、温度−４０℃〜８０℃の範囲での起動特性が良好であり、温度−２０℃〜６０℃の範囲での起動特性が特に良好である。
（５）高負荷での長時間駆動後の電流値変化が少なく、安定した駆動が得られる。
（６）マスキング処理工程や樹脂の成形品等の接着工程、表面処理溶液の廃棄処分等が不要であり、作業工程及び作業時間の短縮、生産コストの減少等を図ることができる。
【実施例２】
【００４８】
実施例２の振動波モータは、エポキシ樹脂膜１７の主剤となる材料や添加物、膜厚等の点が、実施例１に示した振動波モータ１０とは異なる。よって、前述の実施例１と同様の機能を果たす部分には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
本実施例のエポキシ樹脂膜１７は、ＰＴＦＥを２０重量％、粒径６μｍのシリコンビーズを１０重量％、導電性カーボンを３．５重量％含有し、フェノール樹脂を硬化性プレポリマーとして配合したエポキシ樹脂によって形成され、その表面の最大高さ粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１）は、０．４μｍであり、その膜厚は３０μｍである。
【００４９】
実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、前述の実施例１のエポキシ樹脂膜１７と略同様の工程を経て形成される。
まず、弾性体１２の摩擦接触面（櫛歯部１２ａの先端面）にプライマーを塗布して乾燥させる。次に、フェノール樹脂を硬化性プレポリマーとして配合したエポキシ樹脂に、ＰＴＦＥ，シリコンビーズ，導電性カーボン等の添加物、シンナー等の溶剤を混合した溶液を作る。この溶液を弾性体１２の摩擦接触面に塗布し、１８５℃程度の高温下に６０分間放置して、乾燥硬化させる。硬化後、その表面を、グリーンカーボランダムを用いて研磨し、本実施例のエポキシ樹脂膜１７が形成される。
【００５０】
ここで、プレポリマーとは、分子量が３００〜８０００程度と比較的小さい低分子ポリマーのことであり、熱硬化性樹脂の予備重合物（重合反応又は重縮合反応を停止させることによって生成された重合物）である。プレポリマーは、比較的取り扱いが容易であり、硬化成分として用いられる。
なお、本明細書中、及び、特許請求の範囲において、硬化性プレポリマーとは、エポキシ樹脂とともに加熱したときに、架橋反応するプレポリマーであり、以下の説明中、及び、特許請求の範囲においても同一の定義として用いている。
【００５１】
実施例２のエポキシ樹脂膜１７に用いられる、フェノール樹脂を硬化性プレポリマーとして配合したエポキシ樹脂（以下、エポキシ−フェノール樹脂と呼ぶ）は、他の樹脂を配合した場合に比べて、硬さ、密着性や剥離強度、耐摩耗性、耐熱性、耐薬品性が優れている。また、疎水性や耐久性の向上を図ることもできる。
フェノール樹脂，尿素樹脂，メラミン樹脂等のフェノール性水酸基やメチロール基を持つ樹脂とエポキシ樹脂とを併用し、硬化乾燥させた場合には、エポキシ樹脂のエポキシ基と添加されたフェノール樹脂等の水酸基とが、反応してエーテル結合する。さらに、添加されたフェノール樹脂等の縮合が進むことによって網状化するため、その塗膜は硬くなる。本実施例に示す、エポキシ−フェノール樹脂を用いたエポキシ樹脂膜１７は、他のエポキシ樹脂を用いた塗膜に比べて硬く、摩擦接触面の耐摩耗性を向上できる。
また、エポキシ−フェノール樹脂は、密着性、剥離強度が優れているので、エポキシ樹脂膜の耐久性を向上させることができる。
さらに、エポキシ−フェノール樹脂を用いて耐熱性を向上させることにより、摩擦熱によるエポキシ樹脂膜１７の変質を防ぐことができる。さらにまた、エポキシ−フェノール樹脂を用いて耐薬品性を向上させることにより、エポキシ樹脂膜１７が摩擦接触するアルマイト皮膜層１８に含まれる微量の硫酸による化学的な変質を防ぐことができる。
【００５２】
ＰＴＦＥ及びシリコンビーズは、エポキシ樹脂膜１７がアルマイト皮膜層１８と固着することを防止する固着防止材である。シリコンビーズは、粒子状であるので、エポキシ樹脂膜１７に添加することにより、アルマイト皮膜層１８は、エポキシ樹脂膜１７に含まれるシリコンビーズと点又は円（微小な面）で接する形態とすることができ、エポキシ樹脂膜１７が、アルマイト皮膜層１８に固着することを防止する効果が期待できる。
また、ＰＴＦＥは、エポキシ樹脂膜１７に添加することにより、振動波モータの低速での起動性を向上させる効果を有し、シリコンビーズは、エポキシ樹脂膜１７の耐水性及び耐熱性を向上させる効果を有する。
【００５３】
導電性カーボンは、弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面の摩擦係数を増加させる摩擦係数増加材である。また、導電性カーボンは、磨耗粉の発生を低減させる効果や、静電気による埃等の吸着防止の効果も有する。なお、本実施例では、摩擦係数増加材として導電性カーボンを用いたが、これに限らず、例えば、カーボンビーズや、グラファイト等を用いてもよい。
摩擦係数増加材としては、実施例１に示したように、チタン，シリコン，シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等の粒子を用いても保持トルクを向上させる効果は期待できる。しかし、本実施例では、耐磨耗性や静電気防止効果を考慮し、導電性カーボンを用いている。
【００５４】
フェノール樹脂を配合していないエポキシ樹脂を摩擦接触面に塗布して塗膜を形成し振動波モータの場合、摩擦接触面での弾性体と移動体との接触面の微細な凹凸形状によるアンカー効果によって、摩擦接触面に固着が生じる可能性がある。
また、上述したＰＴＦＥ，シリコンビーズ，導電性カーボンを含有する実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、振動波モータとして使用するに適した保持トルクを有し、かつ、アルマイト皮膜層１８との固着を防止できる。
さらに、実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、実施例１と同様に、弾性体１２に塗布して形成するため、メッキ処理等によりＮｉ層を摩擦接触面に形成する場合と異なり、廃液処理を必要としない。さらにまた、圧電体１１を接着するために従来必要であった弾性体１２への表面処理やマスキング処理等を省いて作業工程を少なくでき、生産コストを低減できる。
【００５５】
ここで、実施例２のエポキシ樹脂膜１７に含まれるＰＴＦＥ，シリコンビーズ，導電性カーボンの含有率（重量％）や、シリコンビーズの粒径、エポキシ樹脂膜１７の表面の粗さ等が、振動波モータの駆動性能等に与える影響を調べた。
【００５６】
【表１１】
2008035685.tif 000013
【００５７】
表１１は、エポキシ樹脂膜を形成するエポキシ−フェノール樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びシリコンビーズの含有量と、最低回転数との関係を示す表である。
実施例２の振動波モータと略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜を形成するエポキシ−フェノール樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びシリコンビーズの量が異なる振動波モータを複数用意し、温度−２０℃、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍ（２００ｇｆ・ｃｍ）で駆動した場合の最低回転数を測定した。
【００５８】
移動体の摩擦接触面がアルマイト皮膜層、弾性体の摩擦接触面が無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層で形成された従来の振動波モータを、温度−２０℃、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍで駆動した場合の最低回転数は、１０〜３０ｒｐｍであった。
しかし、表１１に示すように、弾性体の摩擦接触面に、エポキシ−フェノール樹脂を塗布することにより、温度−２０℃での最低回転数は、７ｒｐｍとなり、従来の振動波モータに比べて起動特性が向上した。また、エポキシ−フェノール樹脂に、シリコンビーズ及びＰＴＦＥを添加したエポキシ樹脂膜とすることにより、最低回転数はさらに小さくなり、起動特性をより向上できた。
また、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂を用いた実施例１のエポキシ樹脂膜１７を用いた場合に比べて、実施例２のエポキシ−フェノール樹脂を用いたエポキシ樹脂膜１７を用いた方が、表１及び表１１の測定値上には表れないが、振動波モータ１０の駆動時の回転数のムラが少なく、安定した駆動が得られた。
【００５９】
ここで、ＰＴＦＥは、シリコンビーズの含有量を一定とした場合、その含有量が多いほど最低回転数の減少に効果があった。一方、ＰＴＦＥの含有量を一定とした場合、シリコンビーズの含有量が２５重量％を超えると、最低回転数は、急激に増加し始めた。
従って、表１１の結果より、低速での起動特性を向上させるためには、エポキシ−フェノール樹脂を用いて形成されたエポキシ樹脂膜のシリコンビーズの含有量は、２０重量％以下であることが好ましい。
実施例２の振動波モータ１０では、エポキシ樹脂膜１７に含まれるシリコンビーズの含有量は、１０重量％であり、ＰＴＦＥの含有量は、２０重量％であり、低速での起動特性を向上させるに好ましい範囲内である。
【００６０】
【表１２】
2008035685.tif 000014
【００６１】
表１２は、エポキシ樹脂膜を形成するエポキシ−フェノール樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びシリコンビーズの含有量と、振動子（弾性体）と移動体との固着の発生状況との関係を示す表である。
実施例２の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜を形成するエポキシ−フェノール樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びシリコンビーズの量が異なる振動波モータを複数用意し、各振動波モータを、温度７０℃、相対湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の固着の発生を調べた。
【００６２】
実施例１に示したイソシアネート硬化型エポキシ樹脂にシリコンビーズ及びＰＴＦＥを添加しなかった場合には、固着が発生し、その固着力は大きく、弾性体１２と移動体１３と分離することは困難であった。
エポキシ−フェノール樹脂にシリコンビーズ及びＰＴＦＥを添加しなかった場合には、その固着力は実施例１の場合に比べて小さく、手で容易に分離できる程度であったが、表１２に示すように、固着が発生した。
しかし、シリコンビーズ，ＰＴＦＥを５重量％以上含有することにより、固着の発生し易い高温多湿の環境下でも、固着の発生を防止できる。
また、ＰＴＦＥを含まず、シリコンビーズのみが５重量％以上含まれた場合にも、固着防止の効果は発揮されていた。これは、エポキシ樹脂膜に含有されるシリコンビーズが、点又は円（微小な面）で移動体のアルマイト皮膜層と接することによる効果である。
実施例２の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７を形成するエポキシ−フェノール樹脂が、ＰＴＦＥを２０重量％、アクリルビーズを１０重量％含有しており、固着防止の観点から好ましい含有量の条件を満たしている。
【００６３】
【表１３】
2008035685.tif 000015
【００６４】
表１３は、エポキシ樹脂膜を形成するエポキシ−フェノール樹脂に含まれるＰＴＦＥ及びシリコンビーズの含有量と、保持トルクとの関係を示す表である。
実施例２の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜を形成するエポキシ−フェノール樹脂が含有するＰＴＦＥ及びシリコンビーズの量が異なる振動波モータを複数用意し、駆動電圧ＡＣ３０Ｖ、回転数６０ｒｐｍで駆動した場合の保持トルクの規定値を満足するか否かを調べた。
ここで、表１３における保持トルクの規定値は、実施例１に示したように、１５０Ｎ・ｍｍである。
【００６５】
表１３に示すように、エポキシ−フェノール樹脂のみを弾性体の摩擦接触面に塗布した場合、保持トルクは、規定値以上得られた。また、エポキシ−フェノール樹脂にＰＴＦＥ及びシリコンビーズを添加した場合も、規定値以上の保持トルクは得られた。
また、実施例１のイソシアネート硬化型エポキシ樹脂を用いた場合に比べて、実施例２に示すエポキシ−フェノール樹脂を用いた場合の方が、全体的に、保持トルクの数値は大きく、良好であった。
しかし、シリコンビーズの含有量が、１０重量％以下の場合に、ＰＴＦＥの含有量が３５重量％を超えると、保持トルクは規定値の８０％以下となった。
従って、表１３に示す結果より、エポキシ−フェノール樹脂に含まれるＰＴＦＥの量は、３５重量％以下であることが、保持トルクの向上に好ましいことがわかった。
なお、実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、ＰＴＦＥの含有量が２０重量％であり、シリコンビーズの含有量が１０重量％であるので、保持トルクの向上に好ましい含有量の条件を満たしている。
【００６６】
【表１４】
2008035685.tif 000016
【００６７】
表１４は、５００００回転後の入力電流値の変化率について、実施例２の振動波モータ１０と従来の振動波モータを比較した表である。
従来の振動波モータは、実施例２の振動波モータ１０と略同じ形態であるが、弾性体の摩擦接触面に無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層が形成されている点が異なる。
実施例２の振動波モータ１０及び従来の振動波モータを同一の条件下で５００００回転させ、回転前と後の入力電流値の変化率を調べた。回転時の負荷トルクは、１９．６Ｎ・ｍｍ（２００ｇｆ・ｃｍ）と、５８．８Ｎ・ｍｍ（６００ｇｆ・ｃｍ）との２条件について測定し、測定時の回転数は６０ｒｐｍである。
【００６８】
表１４に示すように、従来の振動波モータでは、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は、＋１０％であり、負荷トルク５８．８Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は、＋４０％であり、各負荷トルク下での入力電流値変化率の増加が大きく、負荷トルクが大きくなった場合の入力電流値変化率も大きい。
しかし、実施例２の振動波モータ１０では、負荷トルク１９．６Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は、＋４％であり、負荷トルク５８．８Ｎ・ｍｍでの入力電流値変化率は、＋７％であり、各負荷トルク下での入力電流値変化率は小さく、負荷トルクが大きくなった場合の入力電流値変化率も小さい。
また、実施例１に示したイソシアネート硬化型エポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂膜１７に比べて、実施例２のエポキシフェノール樹脂を用いたエポキシ樹脂膜１７の方が、各負荷トルクの場合における入力電流値変化率は小さい。これは、実施例１に比べて、実施例２のエポキシ樹脂膜１７の方が、耐摩耗性がよいことを示している。
よって、実施例２のエポキシ樹脂膜１７を形成することにより、５００００回転駆動後の入力電流値変化率は小さくなり、振動波モータの耐久性が向上する。
【００６９】
【表１５】
2008035685.tif 000017
【００７０】
表１５は、弾性体の摩擦接触面の磨耗量について、実施例２の振動波モータ１０と従来の振動波モータとを比較した表である。
従来の振動波モータは、実施例２の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、弾性体の摩擦接触面には無電解Ｎｉ−Ｐメッキ層が形成されている点が異なる。
実施例２の振動波モータ１０及び従来の振動波モータを、負荷トルク２０Ｎ・ｍｍ、回転数６０ｒｐｍで駆動し、５００００回転させた場合の弾性体の摩擦接触面の磨耗量を磨耗深さとして測定した。
表１５に示すように、従来の振動波モータでは、５００００回転させることにより、３μｍの磨耗深さが生じたが、実施例２の振動波モータ１０では、生じた磨耗深さは０．７μｍであった。また、実施例１に比べて、実施例２のエポキシ樹脂膜１７の方が、磨耗深さは小さかった。これは、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂に比べて、エポキシ−フェノール樹脂の方が硬く、耐磨耗性が良好であることを示している。
よって、実施例２のエポキシ樹脂膜１７を弾性体１２の摩擦接触面に形成することにより、磨耗量が少なくなり、耐久性を向上できる。
【００７１】
【表１６】
2008035685.tif 000018
【００７２】
表１６は、エポキシ樹脂膜の膜厚と固着の発生との関係を示す表である。
実施例２の振動波モータ１０と略同様な形態であるが、エポキシ樹脂膜の厚さのみが１０〜７０μｍまで１０μｍ毎に異なる７つの振動波モータを用意し、温度７０℃、湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の、弾性体のエポキシ樹脂膜と移動体のアルマイト皮膜層との固着の発生状況を調べた。
表１６に示すように、エポキシ樹脂膜の厚さは、１００μｍ以下では固着は発生しなかったが、１２０μｍ以上では固着が発生した。従って、エポキシ樹脂膜は、その膜厚が１００μｍ以下であることが、固着を防ぎ、起動特性及び駆動性能の向上に好ましい。
実施例２の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７の厚さが３０μｍであり、固着の防止に好ましい膜厚の条件を満たしている。
また、実施例１のイソシアネート硬化型エポキシ樹脂を用いた場合、エポキシ樹脂膜１７の上限は６０μｍであったが、エポキシ−フェノール樹脂を用いた本実施例の場合は、膜厚を１００μｍまで厚くできるので、耐久性を向上できる。
【００７３】
【表１７】
2008035685.tif 000019
【００７４】
表１７は、シリコンビーズの粒径と入力電流最低値の変化率との関係を示す表である。
実施例２の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ−フェノール樹脂に添加されたシリコンビーズの粒径が、２μｍ、６μｍ、８μｍと異なる３つの振動波モータを１時間駆動し、駆動前と駆動後の入力電流最低値の変化率を調べた。
表１７に示すように、シリコンビーズの粒径が８μｍの場合は、１時間駆動後の入力電流最低値変化率が９％となったが、シリコンビーズの粒径が６μｍ以下では変化率が５％以下であった。よって、安定した駆動を行うという観点から、シリコンビーズの粒径は、６μｍ以下であることが好ましい。
実施例２の振動波モータ１０では、エポキシ−フェノール樹脂に添加したシリコンビーズの粒径が６μｍであり、安定した駆動を行うことができる。
【００７５】
【表１８】
2008035685.tif 000020
【００７６】
表１８は、シリコンビーズの粒径と固着の発生との関係を示す表である。
実施例２の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ−フェノール樹脂に添加されたシリコンビーズの粒径とＰＴＦＥの量とが異なる振動波モータを用意し、各振動波モータを、温度７０℃、相対湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の固着の発生を調べた。
表１８に示すように、ＰＴＦＥの有無に関わらず、シリコンビーズを含む場合は、固着の発生を防止することができる。表１７の結果より、安定駆動の観点からは、シリコンビーズの粒径を小さくすることが好ましいが、表１８の結果より、摩擦接触面の固着防止の観点からは、シリコンビーズの粒径に特に制限はない。
なお、実施例２の振動波モータ１０は、エポキシ−フェノール樹脂に粒径６μｍのシリコンビーズを添加しており、固着発生を防止するとともに、安定した駆動を行うことが可能である。
【００７７】
【表１９】
2008035685.tif 000021
【００７８】
表１９は、導電性カーボンの含有量と最大負荷トルクとの関係を示す表である。
実施例２に示した振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ−フェノール樹脂に含まれる導電性カーボンの量が異なる６つの振動波モータを用意し、最大負荷トルクを求めた。表１９において、導電性カーボンの含有量が２重量％の振動波モータを基準とし、その最大負荷トルクを規定値とし、各振動波モータの最大負荷トルクの測定値と規定値との比を求めた。なお、最大負荷トルクの測定値の規定値に対する比は、１以上であることが好ましいが、０．９以上であれば、許容範囲内であるとした。
【００７９】
表１９に示すように、導電性カーボンの含有量が１重量％では、最大負荷トルクの測定値の規定値に対する比は０．８であり、振動波モータとしての使用には適さないことがわかった。また、導電性カーボンの含有量が１１重量％では、最大負荷トルクの測定値の規定値に対する比は０．９であり、許容範囲内ではあるが、規定値を下回った。
従って、導電性カーボンの含有量は、２〜１０重量％であると、最大負荷トルクを上げることができ、駆動性能の向上に有効である。
実施例２の振動波モータ１０は、エポキシ−フェノール樹脂に含まれる導電性カーボンの量が、３．５重量％であり、最大負荷トルクの向上に有効な含有量の条件を満たしている。
また、表１９に示すように、エポキシ樹脂膜１７に導電性カーボンを添加することにより、弾性体１２の摩擦接触面の帯電電圧が０Ｖとなった。これは、導電性カーボンを添加することにより、静電気防止効果が得られるためである。
【００８０】
【表２０】
2008035685.tif 000022
【００８１】
表２０は、エポキシ樹脂膜の表面粗さと入力電流最低値の変化率との関係を示す表である。
表２０に示すように、実施例２の振動波モータ１０と略同様の形態であるが、エポキシ樹脂膜の表面粗さが異なる５つの振動波モータを用意し、１時間駆動後の入力電流最低値の変化率を調べた。表面粗さは、最大高さ粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１）によって示した。
表２０に示すように、１時間駆動後の入力電流最低値の変化率は、最大高さ粗さＲｚが１μｍを超えると、約１０％であったが、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下では、５％以下であった。よって、エポキシ樹脂膜１７の表面粗さは、安定した駆動を行うという観点から、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下であることが望ましいことがわかった。
実施例２の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７の表面の最大高さ粗さＲｚが０．４μｍであり、安定した駆動を行うことができる。
また、実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、実施例１に示したエポキシ樹脂膜１７と同じ条件で研磨した場合にも、摩擦接触面の平面性が良好である。
【００８２】
表１１から表２０に示した結果より、エポキシ樹脂膜１７を形成するエポキシ−フェノール樹脂に含まれる各添加物の量は、ＰＴＦＥが１０〜３５重量％以下、シリコンビーズが５〜２０重量％以下、導電性カーボンが２〜１０重量％以下であることが、低速での起動特性の向上、固着防止、保持トルクの向上、最大負荷トルクの向上の観点から好ましい。
また、安定した駆動を得るという観点から、シリコンビーズの粒径は、６μｍ以下であることが好ましい。
さらに、エポキシ樹脂膜１７の膜厚は、１００μｍ以下であることが、固着防止の観点から好ましく、エポキシ樹脂膜１７の表面の粗さは、安定した駆動を得るという観点から、最大高さ粗さＲｚが１μｍ以下であることが好ましい。
【００８３】
【表２１】
2008035685.tif 000023
【００８４】
表２１は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂を用いた実施例１のエポキシ樹脂膜１７と、エポキシ−フェノール樹脂を用いた実施例２のエポキシ樹脂膜１７の耐薬品性を示す表である。
エポキシ樹脂膜１７の主剤等が異なる実施例１，実施例２の振動波モータ１０を５分間駆動した後に、双方のエポキシ樹脂膜１７の表面を、飛行時間型二次イオン質量分析法（ＴＯＦ−ＳＩＭＳ：Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）を用いて分析した。
飛行時間型二次イオン質量分析法とは、真空中で試料表面にガリウム等のイオン（一次イオン）を照射したときに、試料表面から放出される二次イオンを一定電圧で加速すると、軽いイオンほど早く検出器に到達するという現象を用いて、二次イオンの飛行時間差によって質量分析を行う方法である。
【００８５】
表２１に示すように、５分間駆動後の実施例１のエポキシ樹脂膜１７の表面からは、硫化物が検出された。これは、駆動によってアルマイト皮膜層１８と摩擦接触することにより、実施例１のエポキシ樹脂膜１７の成分がアルマイト皮膜層１８に微量に含まれる硫酸成分と化学的に反応したことを示す。つまり、駆動することにより、実施例１のエポキシ樹脂膜１７は、アルマイト皮膜層１８の硫酸成分に浸食されている。このような化学的な反応は、摩擦接触面の劣化の原因となり、振動波モータの駆動性能や耐久性を劣化させる。
しかし、５分間駆動後の実施例２のエポキシ樹脂膜１７の表面からは、硫化物が検出されなかった。これは、駆動によってアルマイト皮膜層１８と摩擦接触しても、実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、アルマイト皮膜層１８の硫酸成分と化学的に反応せず、浸食されないことを示している。
従って、実施例２のエポキシ樹脂膜１７は、実施例１のエポキシ樹脂膜１７に比べて、耐薬品性が優れており、化学的に安定している。
【００８６】
実施例２の振動波モータ１０は、エポキシ樹脂膜１７に、エポキシ−フェノール樹脂を使用しており、ＰＴＦＥを２０重量％、アクリルビーズを１０重量％、導電性カーボンを３．５％含有している。各添加物の含有量は、低速での起動特性の向上、固着防止、保持トルクの向上、最大負荷トルクの向上の観点から好ましい含有量の条件、つまり、ＰＴＦＥが１０〜３５重量％以下、シリコンビーズが５〜２０重量％以下、導電性カーボンが２〜１０重量％以下であることを満たしている。
実施例２の振動波モータ１０を駆動させたところ、従来の振動波モータと比較して、実施例１と同様に、次に示すような効果が得られた。
（１）摩擦接触面の磨耗量が極めて少ない。従って磨耗粉の発生が少なく、弾性体１２の形状が変化しない。
（２）長時間にわたって安定した摩擦駆動が得られる。
（３）摩擦駆動時に発生する異音が小さい。
（４）低温環境下における低速での起動特性が良好であり、温度−４０℃〜８０℃の範囲での起動特性が良好であり、温度−２０℃〜６０℃の範囲での起動特性が特に良好である。
（５）高負荷での長時間駆動後の電流値変化が少なく、安定した駆動が得られる。
（６）マスキング処理工程や樹脂の成形品等の接着工程、表面処理溶液の廃棄処分等が不要であり、作業工程及び作業時間の短縮、生産コストの減少等を図ることができる。
また、耐久性、耐摩耗性、低温での起動特性、駆動性能の面では、実施例１の振動波モータ１０に比べて良好であった。
さらに、実施例１の振動波モータ１０に比べて、摩擦接触面の耐薬品性が優れており、化学的に安定している。
【実施例３】
【００８７】
図３は、実施例３の振動波モータを説明する図である。
実施例３の振動波モータ２０は、振動子を形成する弾性体２２と圧電体２１、移動体２３、支持体２６、出力軸２８等を備えており、不図示のカメラに備えられ、不図示のレンズ鏡筒のズーム動作を行う被駆動部材を駆動する駆動源として用いられている。
振動子は、弾性体２２、弾性体２２に接合された圧電体２１等を有する略円環形状の部材であり、圧電体２１の伸縮により進行性振動波が発生する。
【００８８】
弾性体２２は、ステンレス鋼等の共振先鋭度が大きな金属により形成された略円環形状の部材であり、一方の面には圧電体２１が接合され、もう一方の面には周方向に複数の溝を切って形成された櫛歯部２２ａが設けられている。この櫛歯部２２ａの先端面は、移動体２３に加圧接触され、移動体２３を摩擦駆動する摩擦接触面となる。
弾性体２２の摩擦接触面には、実施例１に示した例と同様に、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂によって形成されたエポキシ樹脂膜３０が形成されている。本実施例のエポキシ樹脂膜３０は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂を主剤とし、ＰＴＦＥを２０重量％、アクリルビーズを１０重量％、導電性カーボンを３．５重量％含有しており、その膜厚は３０μｍである。
弾性体２２は、その内周側の径方向に伸ばして形成された鍔状のフランジ部２２ｂを有し、このフランジ部２２ｂにより支持体２６に支持され、固定されている。
【００８９】
なお、本実施例では、エポキシ樹脂膜３０は、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂を主剤として用いる例を示したが、これに限らず、エポキシ−フェノール樹脂を主剤として用いてもよい。また、ＰＴＦＥ等の各添加物の含有量、エポキシ樹脂膜３０の膜厚や表面の粗さは、実施例１及び実施例２に示した条件の範囲内であるならば、適宜最適なものを選択して用いてよい。例えば、本実施例のエポキシ樹脂膜３０は、エポキシ−フェノール樹脂を主剤とし、ＰＴＦＥを２０重量％、粒径６μｍのシリコンビーズを１０重量％、導電性カーボンを３．５重量％含有し、その膜厚を３０μｍとしてもよい。
【００９０】
圧電体２１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。この圧電体２１は、その所定の電極部と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板２４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体２２に振動を生じさせる。フレキシブルプリント基板２４には、振動波モータ２０を備えられるカメラの制御を行う制御装置３１が接続されている。本実施例において、制御装置３１には温度センサ３２が接続されており、温度センサ３２の検知結果に応じて、圧電体２１に供給する駆動信号を調整するようになっている。詳しくは、図３に示す振動波モータ２０の場合、回転数が一定（３５０ｒｐｍ程度）となるように、検知された温度条件に応じて駆動信号の周波数を調整している。
【００９１】
移動体２３は、弾性体２２と加圧接触し、弾性体２２の摩擦接触面に生じた進行性振動波による楕円運動によって回転駆動される相対運動部材である。移動体２３は、アルミニウム等の軽金属により形成された部材であり、出力軸２８に嵌合している。本実施例の移動体２３は、アルミニウム合金によって形成され、移動体２３の表面には、アルマイト皮膜層４０が形成されており、移動体２３と振動子（弾性体２２）との摩擦接触面は、アルマイト皮膜層４０とエポキシ樹脂膜３０とが接する形態となっている。
【００９２】
出力軸２８は、略円筒形状をしており、一方の端部は移動体２３と嵌合し、もう一方の端部は、ベアリング２７を介して支持体２６に回転自在に取り付けられている。この出力軸２８は、移動体２３と一体に回転して移動体２３の回転運動を不図示の被駆動部材に伝達する。
加圧部２９は、振動子と移動体２３とを加圧する機構であり、出力軸２８に設けられている。この加圧部２９は、加圧力を発生するバネ２９ａと、ベアリング２７に接して配置され、バネ２９ａの一端を押さえる押さえリング２９ｂと、バネ２９ａの他端を押さえる押さえリング２９ｃと、出力軸２８に形成された溝に挿入され、押さえリング２９ｃの位置を規制するＥリング２９ｄとを備えている。
【００９３】
本実施例に示すような振動波モータ２０においても、イソシアネート硬化型エポキシ樹脂によって形成されたエポキシ樹脂膜３０を弾性体２２の摩擦接触面に形成することにより、磨耗粉の低減、長時間・高負荷下での駆動に対する耐久性の向上と駆動性能の安定化、異音の低減、低温環境下での低速での起動特性の向上等を図ることができる。また、本実施例に示した振動波モータ２０は、小型であり、マスキング等の処理を行うことが困難であるが、本実施例によれば、エポキシ樹脂膜３０は、弾性体２２に塗布して容易に形成することができ、作業工程を短縮でき、安価で容易に製造することができる。また、表面処理液の廃棄の処理等も不要である。
【００９４】
（変形例）
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
（１）実施例１において、エポキシ樹脂膜１７は、イソシアネート硬化型樹脂を主剤とし、実施例２において、エポキシ樹脂膜１７は、エポキシ−フェノール樹脂を主剤とする例を示したが、これに限らず、例えば、実施例１のエポキシ樹脂膜１７の主剤をエポキシ−フェノール樹脂としてもよいし、実施例２のエポキシ樹脂膜１７の主剤をイソシアネート硬化型エポキシ樹脂としてもよい。
また、各実施例において、エポキシ樹脂膜１７，３０の主剤は、イソシアネートを硬化剤として添加し、かつ、硬化性プレポリマーとしてフェノール樹脂を配合したエポキシ樹脂を用いてもよい。
【００９５】
（２）各実施例において、弾性体１２，２２側にエポキシ樹脂膜１７，３０を形成したが、これに限らず、移動体１３，２３側にエポキシ樹脂膜を形成してもよい。また、弾性体１２，２２を使用せずに、圧電体１１，２１上にエポキシ樹脂膜を形成してもよい。さらに、接触面を構成する両部材（弾性体１２，２２と移動体１３，２３）にエポキシ樹脂膜を形成してもよい。
【００９６】
（３）各実施例において、弾性体１２，２２を形成する材料として、ステンレス鋼を用いたが、その他の鉄系材料を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよいし、リン青銅、アルミニウム系合金を用いてもよい。
【００９７】
（４）各実施例において、移動体１３，２３は、アルミニウム合金によって形成される例を示したが、これに限らず、鉄系材料等を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよい。また、ＰＩ、ＰＥＥＫ等の耐熱性の高い樹脂を用いてもよい。
【００９８】
（５）各実施例において、回転型の振動波モータ１０、２０に適用する例を示したが、これに限らず、相対運動部材が直線方向に駆動されるリニア駆動型の振動波モータ等にも適用することができる。各実施例において、移動体１３，２３が回転駆動される回転型（円環型）の振動波モータを例としてあげたが、これはこの型の振動波モータでは固着が問題になることが多く、本発明を適用すると特に大きな効果が得られるからである。
【００９９】
（６）各実施例において、２つの屈曲振動による進行性振動波によって移動体１３を駆動する振動波モータ１０，２０を例として示したが、屈曲振動や面内振動を利用したロッド型アクチュエータ、ペンシル型アクチュエータ、円盤型アクチュエータ等の他の駆動モードを用いる振動波モータ、振動アクチュエータにも適用することができる。
【０１００】
（７）各実施例において、超音波領域を用いる振動波モータ１０，２０を例として示したが、第１部材と第２部材とが接触して相対移動するモータであればよく、超音波領域を用いない電気機械変換アクチュエータにも適用することができる。
【０１０１】
（８）実施例１及び実施例２において、振動波モータ１０は、カメラのレンズ鏡筒のフォーカス動作を行う駆動源として用いられる例を示し、実施例３において、振動波モータ２０は、不図示のカメラのレンズ鏡筒のズーム動作を行う駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、実施例１及び実施例２の振動波モータ１０をレンズ鏡筒のズーム動作を行う駆動源に用いてもよいし、実施例３の振動波モータ２０を、レンズ鏡筒のフォーカス動作を行う駆動源に用いてもよい。また、実施例１から実施例３の振動波モータ１０，２０を、複写機等の駆動源や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部等に用いてもよい。
【０１０２】
（９）各実施例において、硬化温度等、エポキシ樹脂膜１７，３０の形成条件を示したが、これに限らず、適宜選択してよい。また、主剤や添加物の状態も各実施例に示したものに限らず、適宜選択してよい。さらに、熱硬化性樹脂として特に制限はなく、熱硬化性樹脂としてのフェノール樹脂に予め添加剤としてのシリコンビーズを分散させたものを用いてもよい。本実施例では、熱硬化性樹脂を用いるので、弾性体１２に塗布して樹脂膜を形成することが可能であり、成形加工品を用いるより製造が容易である。
【０１０３】
（１０）摩擦接触面の固着を防止する粒子状の添加剤としては、アクリルビーズ、シリコンビーズ、カーボンビーズ等の他、アルマイト皮膜層１８，４０と点又は円（微小な面）で接する形態をとることができるものであればよく、複数種類の添加剤を用いることとしてもよい。なお、シリコンビーズを添加した場合、摩擦接触面の固着を防止することができるという効果の他に、エポキシ樹脂膜１７，３０の耐水性及び耐熱性を向上させることも可能である。また、アクリルビーズやカーボンビーズの場合、摩擦接触面の固着を防止する添加剤として作用するとともに、摩擦接触面の摩擦係数を増加させる摩擦係数増加剤としても作用する。ここで、粒子状の添加剤と熱可塑性樹脂とを用いて樹脂膜を形成した場合、接触面で発生する摩擦熱により樹脂膜が溶けてしまい添加剤の移動や脱落が生じてしまい安定した駆動が行えないという問題があるが、本実施例においては、粒子状の添加剤と熱硬化性樹脂とを用いて樹脂膜を形成するので、摩擦熱による再溶解が起こらず上記弊害を防ぐことも可能である。
【０１０４】
（１１）各実施例において、フッ素樹脂としてＰＴＦＥを用いたが、これに限らず、適宜選択してよい。フッ素樹脂の一例としては、ＰＦＡ（Tetrafuluoroethylene-perfluoroalkoxyvinylether Copolymer）、ＦＥＰ（Tetrafluroethylene-hexafluoropropylene Copolymer）、ＰＣＴＦＥ（Polychloro-Trifluoroethylene Copolymer）、ＥＴＦＥ（Ethylene Tetrafluoroethylene Copolymer）、ＥＣＴＦＥ（Ethylene Chlorotrifluoroethylene Copolymer）、ＰＶＤＦ（Polyvinylidene Fluoride）、ＰＶＦ（Polyvinylfluoride）等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】実施例１の振動波モータを示す斜視図である。
【図２】実施例１の振動波モータ１０の弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面を詳細に示す断面図である。
【図３】実施例３の振動波モータを説明する図である。
【図４】実施例１の振動波モータを備えたカメラを示す断面図である。
【図５】実施例１のエポキシ樹脂膜の製造工程を示す図である。
【図６】実施例１のエポキシ樹脂膜の研磨前の断面図である。
【図７】実施例１のエポキシ樹脂膜の研磨後の断面図である。
【符号の説明】
【０１０６】
１０，２０：振動波モータ、１１，２１：圧電体、１２，２２：弾性体、１３，２３：移動体、１７，３０：エポキシ樹脂膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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