(57)【要約】【課題】レーザー光の使用により、コントラストが高い可視画像を効率よく記録可能な光ディスクを提供する。【解決手段】光学フィルム上に、粘着剤を含有する粘着層が形成されたスタンパー検査用粘着シートであって、前記粘着剤の粘着力が、３（Ｎ／２５ｍｍ）以下であることを特徴とするスタンパー検査用粘着シートである。スタンパーにレーザ光を照射してその反射光により検査を行うスタンパー検査方法であって、前記スタンパーの被検査面に本発明のスタンパー検査用粘着シートを貼り合わせて前記レーザ光を照射することを特徴とするスタンパー検査方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学フィルム上に、粘着剤を含有する粘着層が形成されたスタンパー検査用粘着シートであって、
前記粘着剤の粘着力が、３（Ｎ／２５ｍｍ）以下であることを特徴とするスタンパー検査用粘着シート。
【請求項２】
スタンパーにレーザ光を照射してその反射光により検査を行うスタンパー検査方法であって、
前記スタンパーの被検査面に請求項１に記載のスタンパー検査用粘着シートを貼り合わせて前記レーザ光を照射することを特徴とするスタンパー検査方法。
【請求項３】
前記スタンパー検査用粘着シートの貼り合わせにローラーを使用し、当該ローラーの押し圧を実圧１００ｋＰａ〜４ＭＰａとすることを特徴とする請求項２に記載のスタンパー検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク用のスタンパー検査方法およびスタンパー検査用粘着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
ブルーレイディスクは、基板上に厚さ０．１ｍｍのカバー層等を形成して記録面にフォーカスを合わせて記録再生を行っている。一般に、スタンパーの溝信号等の検査を行う際にスタンパー面にフォーカスを合わせるには、厚さ０．１ｍｍのカバー層をスタンパー面に設けるか、または専用ピックアップを作製する必要がある。
【０００３】
ブルーレーザー用の専用ピックアップを特別に設計するには、費用がかかり現実的ではなく、実際に市販されているスタンパー検査機もディスク用の記録再生機と同じピックアップを搭載したものである。
【０００４】
ディスクにカバー層を設ける方法としては、あらかじめ粘着層が設けられたシートを貼り合わせる方法、接着剤でシートを貼り合わせる方法及びＵＶ硬化樹脂のみで０．１ｍｍ塗布する方法がある。スピンコータやＵＶ照射装置等の大掛かりな装置がいらないことを考慮すると、スタンパー上にカバー層（粘着シート）を設ける方法が簡便で有効と考えられる。
【０００５】
スタンパーの検査方法としては種々の方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。そのような中、ブルーレイディスクの場合はカバー層を設けることを考慮して、カバー層と同じ厚みの粘着シートを設けて検査を行うことが考えられている。しかし、ディスクのスタンパー検査の場合は、検査終了後カバー層を除去し、基板の成形を行わなければならないが、通常のディスク用の粘着シートではスタンパー表面に粘着剤成分が残留しやすく、ゴミやホコリを付着させる原因となった。
【特許文献１】特開平６−２５９８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決することを目的とする。すなわち、本発明は、検査後も清浄面を維持し、成形基板の信号変動を少なくすることができるスタンパー検査用粘着シートおよびスタンパー検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明者は、下記本発明に想到し当該課題を解決できることを見出した。
【０００８】
すなわち、本発明は、光学フィルム上に、粘着剤を含有する粘着層が形成されたスタンパー検査用粘着シートであって、前記粘着剤の粘着力が、３（Ｎ／２５ｍｍ）以下であることを特徴とするスタンパー検査用粘着シートである。
【０００９】
また、本発明は、スタンパーにレーザ光を照射してその反射光により検査を行うスタンパー検査方法であって、前記スタンパーの被検査面に請求項１に記載のスタンパー検査用粘着シートを貼り合わせて前記レーザ光を照射することを特徴とするスタンパー検査方法である。当該検査方法では、前記スタンパー検査用粘着シートの貼り合わせにローラーを使用し、当該ローラーの押し圧を実圧１００ｋＭＰａ〜４ＭＰａとすることが好ましい。ここで、「実圧」とは、ローラにかかる圧力（シリンダ圧力）をローラの弾性による変形幅が１ｍｍとして均一に受けた場合の平均の圧力をいう。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、検査後も清浄面を維持し、成形基板の信号変動を少なくすることができるスタンパー検査用粘着シートおよびスタンパー検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
［スタンパー検査用粘着シート］
本発明のスタンパー検査用粘着シートは、光学フィルム上に粘着剤を含有する粘着層が形成されている。そして、粘着剤の粘着力が３（Ｎ／２５ｍｍ）以下となっている。
【００１２】
当該スタンパー検査用粘着シートは、公知のスタンパー検査機でスタンパーを検査する際に使用される。例えば、ブルーレイディスクの基板成形用のスタンパーのように、従来の装置ではそのまま転用できないスタンパーに適用することができる。
【００１３】
粘着シートを単にスタンパーの被検査面に貼り合わせるだけでは、スタンパーの溝部で隙間ができてしまう。一方で、粘着力の高い粘着剤が塗布された粘着シートをスタンパーに貼り合わせた場合は、検査後の粘着シートの剥離時に粘着剤の一部がスタンパー上に残ってしまい汚れや欠陥の原因となってしまう。
【００１４】
上記を考慮して、本発明では、粘着剤の粘着力が３（Ｎ／２５ｍｍ）以下となっている。すなわち、粘着力が３（Ｎ／２５ｍｍ）を超えると、スタンパの溝に粘着剤が残ってしてしまう。当該粘着力は、０〜１（Ｎ／２５ｍｍ）であることが好ましい。なお、ここで、「粘着力」は、下記の通りにして測定する。まず、図１に示すように、スタンパ材質（例えばＮｉ）と同じ板２に２５ｍｍ幅×２００ｍｍに切ったスタンパー検査用粘着シート４を貼り付ける。この時に、実際にスタンパで貼り付ける以上の圧力で擦り、スタンパー検査用粘着シート４と板２とを密着させる。室温（２３℃５０％）で２４時間放置し、次に端から５０ｍｍを剥離し、１８０°折り返し、その端を引っ張り試験機６にて速度１０ｍｍ／分で引っ張り、粘着シートがＮｉ板から剥離するのに必要な荷重を測定し、粘着力を測定する。
【００１５】
当該粘着剤としては粘着力が３Ｎ／２５ｍｍ以下のものを使用するが、その例としては、アクリル系粘着剤があげられ主成分はアクリル酸エステルのコポリマーであり、構成するモノマーとしてはエチルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、酢酸ビニル、アクリル酸、メタクリル酸などがあげられ、この主成分以外に硬化剤としてトリレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ヘキメチレンジイソシアネートが加えられているものなどが挙げられる。主成分の分子量及びコポリマーの種類及び比率、硬化剤により粘着力はコントロールできる。また、主成分のコポリマーより低分子のアクリル成分を可塑剤として添加することにより粘着力はコントロールできる。
【００１６】
光学フィルムとしては、ポリカーボネトフィルム、トリアセテートセルロース、環状ポリオレフィンフィルムなどを使用することができる。粘着剤からなる粘着剤層の厚みは、５〜５０μｍであることが好ましい。光学フィルムの厚みは、５０〜９５μｍであることが好ましい。
【００１７】
［スタンパー検査方法］
本発明のスタンパー検査方法は、スタンパーにレーザ光を照射してその反射光により検査を行うものであり、スタンパーの被検査面に既述の本発明のスタンパー検査用粘着シートを貼り合わせてレーザ光を照射して行うものである。
【００１８】
スタンパー検査方法は、公知の光ディスクスタンパ検査機を用いて行うことができる。光ディスクスタンパに形成されたピットのＨＦ信号やグルーブのトラッキングエラー信号等の再生特性を検査する方法を、図２を用いて説明する。なお、図２は理解を容易にするため、誇張して表現している。
【００１９】
測定対象の光ディスクスタンパ１０を回転テーブル１２に取り付けておき、スピンドルモータ１４で回転させながら、光学式ヘッド１６でスタンパー検査用粘着シート３０を通して光ディスクスタンパ１０にレーザ光を照射し、その反射光量を検出する。光学式ヘッド１６では、半導体レーザ１８から拡散光が放出され、コリメートレンズ２０で平行光に変換され、ビームスプリッタ２２を透過後、対物レンズ２４で集光され光ディスクスタンパ１０の信号面に至る。
【００２０】
スタンパー検査用粘着シート３０は記述の本発明の粘着シートであり、当該粘着シートを設けることで、ブルーレイディスク用の基板成形を想定した検査が可能となる。その結果、検査後も清浄面を維持し、成形基板の信号変動を少なくすることができる。
【００２１】
光ディスクスタンパ１０信号面に照射されたレーザスポットは、ピットまたはグルーブの形状による変調を受けながら反射し、再びスタンパー検査用粘着シート３０、対物レンズ２４を透過後、ビームスプリッタ２２で反射し、フォトダイオード２８で光量の検出を行う。フォトダイオード２８の入射面は２つの領域に分割されており、それぞれ独立に電流電圧変換及び増幅を行い２つのチャンネルを形成する。
【００２２】
ＨＦ信号はぞれぞれのチャンネルの出力信号を、高帯域を保存しながら加算することによって得られる。トラッキングエラー信号はこれらの２つのチャンネルの出力信号を減算することによって得られる。ここで用いられる対物レンズ２４は、光ディスクドライブに搭載されるものと同等の設計仕様をもつものを使うことができる。
【００２３】
ここで、スタンパー検査用粘着シートの貼り合わせには真空処理やローラーを使用した処理などが挙げられる。装置の簡便性やサイクルタイムなどの生産性を考慮すると、ローラーを使用し、当該ローラーの押し圧を実圧１００ｋＰａ〜４ＭＰａとすることが好ましい。
【００２４】
当該ローラーの押し圧を実圧１００ｋＰａ〜４ＭＰａとすることで、気泡の混入がなくなり、シワの発生もなくすることができる。ローラーの押し圧は２００ｋＰａ〜２ＭＰａとすることがより好ましい。
【実施例】
【００２５】
（実施例１）
トラックピッチ３２０ｎｍ、深さ４５ｎｍのスパイラル状の溝を有するスタンパーを載置した。当該スタンパーの溝が形成されている面に、スタンパー検査用粘着シートの粘着剤層をローラを用いて貼り合わせた。なお、ローラの押し圧は５００ＫＰａとした。また、粘着剤層を構成する粘着剤は、ブチルメタクリレート系／トリレンジイソシアネート系であり、低分子（Ｍｎ＝３０００）のアクリルを添加して粘着力は、０（Ｎ／２５ｍｍ）にしたものであった。
【００２６】
シートを貼り合わせた後のスタンパーをパルステック社製のスタンパー検査機（レーザー波長４０５ｎｍ、ＮＡ０．８５レンズのピックアップ搭載）に取り付けスタンパの検査を行った。具体的には、スタンパ面にレーザーを照射し、その反射光による信号の変動を検知して欠陥の検査を行った。また、検査後、カバーシートを剥離して、粘着シート剥離後の目視可能な付着物（目視可能残物）の有無を確認した。そのスタンパを使いＢｌｕ−ｒａｙ用１．１ｍｍ基板を射出成形（帝人化成社製ポリカーボネート商品名パンライトＡＤ５５０３方法にて作製した。さらにＡｇをスパッタして１００ｎｍの膜厚の反射層を形成し、その後、上記のカバーシートを貼り合せ、成型基板の信号変動を測定した。これらの結果を下記表１に示す。
【００２７】
（実施例２〜５および比較例１〜３）
下記表１に示すように、ローラによる押し圧、または、粘着層の主成分のモノマー成分を変更（２−エチルヘキシルアクリレート／トリレンジイソシアネート系、低分子アクリル成分添加量↓）して粘着層の粘着力を変更した以外は、実施例１と同様にして、スタンパーの検査および評価を行った。結果を下記表１に示す。
【００２８】
【表１】
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【００２９】
上記表１より、実施例４および５では、検査可能の項目で多少の問題があるが、実用上は問題ない。また、実施例では、検査後も清浄面を維持し、成形基板の信号変動も４％以下で良好であることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】スタンパー検査用粘着シートの粘着力の測定方法を説明する説明図である。
【図２】スタンパー検査機を説明するための要部説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０・・・光ディスクスタンパ
１２・・・回転テーブル
１４・・・スピンドルモータ
１６・・・光学式ヘッド
１８・・・半導体レーザ
２０・・・コリメートレンズ
２２・・・ビームスプリッタ
２４・・・対物レンズ
２８・・・フォトダイオード
３０・・・スタンパー検査用粘着シート
【図１】
2008041165.tif 000004
【図２】
2008041165.tif 000005