(57)【要約】【課題】この発明は、２枚の平板を何度でも高精度且つ容易に位置合わせできる位置合わせ方法、および位置合わせ装置を提供することを課題とする。【解決手段】表示パネルの前面基板２と背面基板４を面方向に位置合わせするための位置合わせ装置２０は、背面基板４の内面４ａに垂直に移動可能に突設された先細のピン２１、前面基板２に固設された遊嵌のための大きな孔２２を有する支持部材２３、およびピン２１を隙間無く受け入れる比較的小さな孔２４を有するコイン２５を有する。基板２、４を面方向に位置合わせした後、コイン２５を支持部材２３に固定し、位置合わせの再現性を高める。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の平板を互いに平行に対向させた状態で面方向に相対的に移動させて位置合わせする位置合わせ装置において、
上記第１の平板の上記第２の平板に対向する内面から略垂直に延設された少なくとも２本のピンと、
これらピンに対向する位置で上記第２の平板に対して固定的に設けられ、上記第１および第２の平板の位置合わせのための移動のマージンを与えるように上記少なくとも２本の位置決めピンをそれぞれ遊嵌する第１の孔を有する支持部材と、
上記ピンをそれぞれ隙間無く挿通する上記第１の孔より小さい第２の孔を有し、上記第１および第２の孔に上記ピンを挿通した状態で、上記第１および第２の平板を位置合わせした後、上記支持部材に固定されるコインと、
を有することを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項２】
上記ピンは、上記第１の平板に対して脱着可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
上記ピンは、上記第１の平板の角部を含む縁部を挟持する持具を介して第１の平板に固定され、上記持具を上記第１の平板の面方向に引き抜くことで第１の平板から取り外されることを特徴とする請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
上記ピンは、その軸方向に突没可能な構造を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
上記支持部材は、上記第２の平板に対して脱着可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
上記支持部材は、上記第２の平板の角部を含む縁部を挟持する持具を介して第２の平板に固定され、上記持具を上記第２の平板の面方向に引き抜くことで第２の平板から取り外されることを特徴とする請求項５に記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
第１および第２の平板を互いに平行に対向させた状態で面方向に相対的に移動させて位置合わせする位置合わせ装置において、
上記第１の平板の上記第２の平板に対向する内面から略垂直に延設された少なくとも２本のピンと、
これらピンに対向する位置で上記第２の平板に形成されたピンを遊嵌するための第１の孔と、
上記ピンを隙間無く挿通する上記第１の孔より小さい第２の孔を有するコインと、を有し、
上記少なくとも２本のピンを上記コインの第２の孔および上記第２の平板の第１の孔にそれぞれ挿通して上記第１および第２の平板を面方向に位置合わせした後、この状態を維持したまま、上記コインを上記第２の平板に固定することを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項８】
上記ピンは、上記第１の平板に対して脱着可能に取り付けられていることを特徴とする請求項７に記載の位置合わせ装置。
【請求項９】
上記ピンは、上記第１の平板の角部を含む縁部を挟持する持具を介して第１の平板に固定され、上記持具を上記第１の平板の面方向に引き抜くことで第１の平板から取り外されることを特徴とする請求項８に記載の位置合わせ装置。
【請求項１０】
上記ピンは、その軸方向に突没可能な構造を有することを特徴とする請求項７乃至請求項９のうちいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項１１】
請求項１乃至請求項６のうち１項に記載の位置合わせ装置で上記第１および第２の平板を位置合わせして上記コインを上記支持部材に固定した後、上記少なくとも２本のピンを上記第１および第２の孔から引き抜くことで上記第１および第２の平板を一旦分離し、上記少なくとも２本のピンを上記支持部材の第２の孔に挿通することで上記第１および第２の平板を面方向に再度位置合わせすることを特徴とする位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、２枚の平板を対向させて位置合わせする方法、およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等が知られている。また、ＦＥＤの一種として、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。
【０００３】
ＳＥＤは、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有する。これらの基板は、真空チャンバ内で矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合され、内部を真空にされた偏平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。
【０００４】
前面基板の内面には３色の蛍光体層に重ねてメタルバックを有する蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には蛍光体層を励起発光させる電子を放出する多数の電子放出素子が整列配置されている。また、背面基板の内面上には、電子放出素子を駆動するための多数本の配線がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器の外部に引き出されている。
【０００５】
前面基板と背面基板の間には板状或いは柱状の複数のスペーサが設けられている。これらスペーサは、前面基板および背面基板の内面に当接することで、大気圧荷重を支えて基板間の隙間を維持するよう機能する。
【０００６】
このＳＥＤを動作させる場合、基板間に１０［ｋＶ］程度の高電圧を与え、配線に接続した駆動回路を介して各電子放出素子に選択的に駆動電圧を印加する。これにより、各電子放出素子から選択的に電子ビームが放出され、これら電子ビームが、対応する蛍光体層に照射され、蛍光体層が励起発光されてカラー画像が表示されるようになっている。
【０００７】
上記ＳＥＤの製造工程では、前面基板や背面基板を位置決め保持する工程が数多くあり、基板を支持すること、および、所定の位置に位置決めすることが重要となる。例えば、前面基板に蛍光体層を形成する際の印刷版および前面基板の支持および位置決め、前面基板と背面基板を接合して封着する封着工程におけるこれら基板の支持および位置合わせなどを行なう必要がある。
【０００８】
特に、前面基板と背面基板を接合する封着工程では、２枚の基板が互いに高精度に位置合わせされていないと、複数の蛍光体層と複数の電子放出素子との位置が合わなくなり、任意の画素の組み合わせにおいて、電子放出素子から放出される電子ビームが対応する蛍光体層に収束しない、蛍光体層を十分な輝度で発光させることができない等の問題を生じる。この場合、画像を表示すると、色違い、画面全体の輝度不足、輝度ムラ、フォーカス不足等の問題を生じる。
【０００９】
このため、２枚のガラス基板を位置合わせする技術として、例えば、２枚重ねた基板それぞれに設けられた位置決め用マークを、基板の重なった方向に離間して配置された撮像カメラで検出して、位置合わせする方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【００１０】
しかし、この方法を採用した場合、ＳＥＤの製造工程において、前面基板と背面基板の位置合わせと分離を何度も繰り返すときに、その都度、高精度な位置合わせ作業が必要となり、作業負担が多く面倒であった。また、この位置合わせ作業を真空チャンバ内で実施するためには、複雑な装置構成が必要となり、環境温度や雰囲気などの別のファクターが重なると位置合わせが極めて難しくなる。
【特許文献１】特開平６−７５１９９号公報（段落［００９２］、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
この発明の目的は、２枚の平板を何度でも高精度且つ容易に位置合わせできる位置合わせ方法、および位置合わせ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、この発明の位置合わせ装置は、第１および第２の平板を互いに平行に対向させた状態で面方向に相対的に移動させて位置合わせする装置であって、上記第１の平板の上記第２の平板に対向する内面から略垂直に延設された少なくとも２本のピンと、これらピンに対向する位置で上記第２の平板に対して固定的に設けられ、上記第１および第２の平板の位置合わせのための移動のマージンを与えるように上記少なくとも２本の位置決めピンをそれぞれ遊嵌する第１の孔を有する支持部材と、上記ピンをそれぞれ隙間無く挿通する上記第１の孔より小さい第２の孔を有し、上記第１および第２の孔に上記ピンを挿通した状態で、上記第１および第２の平板を位置合わせした後、上記支持部材に固定されるコインと、を有する。
【００１３】
また、この発明の位置合わせ装置は、第１および第２の平板を互いに平行に対向させた状態で面方向に相対的に移動させて位置合わせする装置であって、上記第１の平板の上記第２の平板に対向する内面から略垂直に延設された少なくとも２本のピンと、これらピンに対向する位置で上記第２の平板に形成されたピンを遊嵌するための第１の孔と、上記ピンを隙間無く挿通する上記第１の孔より小さい第２の孔を有するコインと、を有し、上記少なくとも２本のピンを上記コインの第２の孔および上記第２の平板の第１の孔にそれぞれ挿通して上記第１および第２の平板を面方向に位置合わせした後、この状態を維持したまま、上記コインを上記第２の平板に固定する。
【００１４】
上記発明によると、第１および第２の平板を位置合わせした後、コインを支持部材（第２の平板）に固定することで、２枚の平板を分離した後、再び位置合わせするような場合に、第１の平板から突設されたピンを支持部材の第２の孔に挿通するだけで、容易且つ高精度に２枚の平板を位置合わせすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明の位置合わせ装置は、上記のような構成および作用を有しているので、２枚の平板を何度でも高精度且つ容易に位置合わせできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。  
始めに、図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、ＳＥＤ（Surface-conduction Electron-emitter Display）について説明する。図１は、前面基板２（第２の平板）を部分的に切り欠いた状態のＳＥＤの真空外囲器１０（以下、表示パネル１０と称する場合もある）を示す斜視図であり、図２は、図１の真空外囲器１０を線II-IIで切断した断面図であり、図３は、図２の断面を部分的に拡大した部分拡大断面図である。図１乃至図３において、表示パネル１０の内部構造は、説明を分かり易くするため、適宜、構成を拡大して或いは概略的に示してある。
【００１７】
図１乃至図３に示すように、表示パネル１０は、それぞれ矩形のガラス板からなる前面基板２（第２の平板）および背面基板４（第１の平板）を備え、これらの基板は約１．０〜２．０ｍｍの隙間をおいて互いに平行に対向配置されている。なお、背面基板４は、前面基板２より１回り大きいサイズを有する。また、前面基板２および背面基板４は、ガラスからなる矩形枠状の側壁６を介して周縁部同士が接合され、内部が真空の扁平な平面パネル構造の真空外囲器１０を構成している。
【００１８】
前面基板２の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１２が形成されている。この蛍光体スクリーン１２は、赤、青、緑の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１を並べて構成され、重ねてアルミニウム等からなるメタルバック１４を有する。蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂは、ストライプ状あるいはドット状に形成されている。
【００１９】
背面基板４の内面には、蛍光体スクリーン１２の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを励起発光させるための電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１６が設けられている。これらの電子放出素子１６は、画素毎、すなわち蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１６は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板４の内面上には、各電子放出素子１６に駆動電圧を与えるための多数本の配線１８がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器１０の外部に引き出されている。
【００２０】
接合部材として機能する側壁６は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材１９により、前面基板２の周縁部および背面基板４の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。本実施の形態では、背面基板４と側壁６をフリットガラス１９ａを用いて接合し、前面基板２と側壁６をインジウム１９ｂを用いて接合した。
【００２１】
また、表示パネル１０は、前面基板２と背面基板４の間にガラスからなる複数の細長い板状のスペーサ８を備えている。本実施の形態において、スペーサ８は、複数の細長いガラス板としたが、多数の柱状のスペーサでも良い。各スペーサ８は、上述した蛍光体スクリーン１２のメタルバック１４および遮光層１１を介して前面基板２の内面に当接する上端８ａ、および背面基板４の内面上に設けられた配線１８上に当接する下端８ｂを有する。しかして、これら複数のスペーサ８は、前面基板２および背面基板４の外側から作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。
【００２２】
さらに、ＳＥＤは、前面基板２のメタルバック１４にアノード電圧を印加する図示しない電圧供給部を備えている。電圧供給部は、例えば、メタルバック１４に１０［ｋＶ］程度の高電圧を印加することにより、蛍光体スクリーン１２の電位を高くする。これにより、接地された背面基板４と前面基板２との間に１０［ｋＶ］程度の電位差が形成される。
【００２３】
そして、上記ＳＥＤにおいて、画像を表示する場合、配線１８に接続した図示しない駆動回路を介して電子放出素子１６の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子１６の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、メタルバック１４にアノード電圧を印加する。電子放出部から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、蛍光体スクリーン１２に照射される。これにより、蛍光体スクリーン１２の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが励起されて発光し、カラー画像を表示する。
【００２４】
また、上記構造の表示パネル１０を製造する場合、予め、蛍光体スクリーン１２の設けられた前面基板２を用意し、電子放出素子１６および配線１８が設けられているとともに側壁６およびスペーサ８が接合された背面基板４を用意しておく。そして、前面基板２、および背面基板４を図示しない真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁６を介して前面基板２を背面基板４に接合する。
【００２５】
このとき、良質な画像を表示可能な表示パネル１０を製造するためには、前面基板２の複数の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂと背面基板４の複数の電子放出素子１６が１対１で高精度に対向するように２枚の基板２、４を位置合わせして接合することが重要である。
【００２６】
図４には、この発明の実施の形態に係る位置合わせ装置の要部概略断面図を示してある。また、図５には、図４の構成の要部を部分的に拡大した部分拡大断面図を示してある。この位置合わせ装置は、真空チャンバ内で前面基板２と背面基板４を互いに平行な姿勢で対向させた状態で相対的に面方向に移動させることで両者を高精度に位置合わせするよう機能する。
【００２７】
図４および図５に示すように、位置合わせ装置２０は、背面基板４が前面基板２に対向する内面から略垂直に延設された位置合わせ用のピン２１、このピン２１の先端をゆるく受け入れる比較的大きな孔２２を有する板状の支持部材２３、およびピン２１を隙間無く受け入れる比較的小さな孔２４を有するコイン２５を有する。
【００２８】
ピン２１は、略円柱形のボディーに略円錐台形状の先端を一体にした形状を有し、背面基板４の内面４ａにその軸方向端部を固定した略円筒形のスリーブ２６内にボディーをスライド可能に収容して取り付けられている。つまり、ピン２１の先端は、スリーブ２６の基板４から離間した上端から突出している。そして、スリーブ２６内には、バネ２７が配置され、ピン２１を軸方向に押し上げるよう付勢する。
【００２９】
スリーブ２６は、背面基板４の４つの角部にそれぞれ固設され、ピン２１を基板４と垂直な軸方向に高精度にスライド可能に保持している。本実施の形態では、このように４本のピン２１を背面基板４の内面４ａに突設したが、面方向に離間した少なくとも２本のピン２１があれば面方向に関する位置合わせは可能である。いずれにしても、高精度な位置合わせを実現するためには、ピン２１の軸を背面基板４の内面４ａに対して垂直に保持することが重要である。
【００３０】
また、支持部材２３は、４本のピン２１それぞれに対向する位置、すなわち本実施の形態では前面基板２の４つの角部にそれぞれ固設されており、ピン２１の先端を遊嵌する貫通した孔２２をそれぞれ有する。本実施の形態では、ピン２１を背面基板４の角部に設けたため、支持部材２３は、背面基板４より一回り小さい前面基板２の角部から外側に延設されており、その先端側のピン２１に対向する位置に孔２２を有する。
【００３１】
なお、特許請求の範囲にも記載した「遊嵌」とは、この後の位置合わせ工程で前面基板２と背面基板４を面方向に相対的に移動させるときの移動のマージンを与えるように、ピン２１を遊びを介して孔２２内にゆるく受け入れた状態を言う。また、本実施の形態では、支持部材２３の基端部を前面基板２の外面に接着固定したが、支持部材２３の前面基板２に対する固定方法はいかなるのもでも良い。さらに、支持部材２３および孔２２の形状も任意に設計できる。いずれにしても、２枚の基板２、４を対向させてピン２１を孔２２に挿通した状態で、２枚の基板２、４を位置合わせのため相対的に移動させることのできる位置、孔形状にすれば良い。
【００３２】
さらに、コイン２５は、略円環形の板状体により形成され、ピン２１の先端を孔２４に挿通した状態で、上記ピン２１および支持部材２３の間に配置される。コイン２５の孔２４は、上述した支持部材２３の孔２２より径の小さい円形の貫通した孔であり、ピン２１を隙間無く受け入れる。このため、ピン２１を孔２４に挿通した状態では、コイン２５はピン２１と一体になる。なお、本実施の形態では、上述したように、ピン２１がバネ２７によって軸方向に付勢されているため、ピン２１をコイン２５の孔２４および支持部材２３の孔２２に挿通した状態では、コイン２５は支持部材２３に押し付けられる。しかし、この状態では、コイン２５は、支持部材２３の下面に対して摺動自在であり、２枚の基板２、４を相対的に面方向に移動可能となっている。
【００３３】
このため、以下に説明するように前面基板２と背面基板４を面方向に位置合わせした後、例えば図５に示すレーザー溶接機２８などでコイン２５と支持部材２３の接触部分を溶接し、前面基板２と背面基板４の相対位置を確定しておく必要がある。つまり、位置合わせ後にコイン２５を支持部材２３に固定することで、２枚の基板２、４を一旦分離した後、再び近接対向させて位置合わせする際には、複数本のピン２１をそれぞれ対応するコイン２５の孔２４に挿通するだけで位置合わせが可能となり、位置合わせを容易且つ何度でも再現できる。
【００３４】
図６には、位置合わせ装置２０の他の構成、すなわち、基板２、４を面方向に移動させる機構を図示してある。つまり、位置合わせ装置２０は、前面基板２と背面基板４をＸＹ平面に沿って相対的に移動させる移動機構３０を有する。
【００３５】
移動機構３０は、位置合わせの対象となる２枚の基板２、４をＸＹ平面に沿った方向に位置調整可能に支持した３つの支持部材３１、３２、３３を有する。また、移動機構３０は、これら３つの支持部材３１、３２、３３に対応して設けられた３つの駆動モータ３４、３５、３６を有する。つまり、移動機構３０は、上記基板２、４の図中Ｘ方向の位置合わせをするモータ（Ｘ）３４、同じく図中Ｙ方向の位置合わせをするモータ（Ｙ）３５、および、同じく傾きの位置合わせをするモータ（θ）３６を有する。
【００３６】
移動機構３０の動作を制御する制御部４０は、前面基板２と背面基板４のＸＹ平面に沿った方向に関する位置ずれを検出する検出部４２からの検出信号に基づいて、上記各モータ３４、３５、３６を駆動制御し、検出した位置ずれを補正して２枚の基板２、４を位置合わせする。
【００３７】
２枚の基板２、４の位置ずれを検出する検出部４２は、図５に示すように、２枚の基板２、４が重なった方向、すなわち面方向と略直交する方向に離間して真空チャンバの外側に配置された拡大カメラ４４を有する。しかして、前面基板２および背面基板４それぞれに予め設けられたアラインメントマークＭｆ、Ｍｒが拡大カメラ４４で撮像され、このアラインメントマークＭｆ、Ｍｒの相対的な位置ずれを制御部４０が検出して基板２、４の位置ずれを検出する。
【００３８】
以上のように、本実施の形態によると、前面基板２と背面基板４を面方向に位置合わせした後、４角のコイン２５を支持部材２３に固定することで、２枚の基板２、４の面方向の相対位置を確定するようにした。このような位置合わせ方法を採用すると、表示パネル１０の製造工程において、何度も基板２、４を分離して接合する動作を繰り返す必要がある場合、または、真空チャンバ内や特殊な環境下において位置合わせを行なう必要がある場合にも対応できる。つまり、このような場合には、予め通常の環境において位置合わせを完了させておき、真空チャンバ内や特殊環境下においては、ピン２１に対する孔２４の合せ込みのみの作業とすることができる。
【００３９】
なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。
【００４０】
例えば、上述した実施の形態では、ピン２１をスリーブ２６を介して背面基板４に固定し、且つ支持部材２３を前面基板２に接着固定した場合について説明したが、これに限らず、図７に示すように、ピン２１および支持部材２３を基板２、４に対して脱着可能としても良い。
【００４１】
この場合、例えば、スリーブ２６の基端部に断面コ字形状のクランパ２９（持具）を固設し、クランパ２９を背面基板４の角部にかしめ留めすることでピン２１を背面基板４に取り付ける。そして、ピン２１を背面基板４から取り外す際には、クランパ２９を背面基板４の面方向外側に引き抜くようにすれば良い。クランパ２９の引き抜く方向を面方向とすることで、表示パネル１０を組み立てた後にピン２１をパネルの外側から容易に取り外すことができる。
【００４２】
また、支持部材２３’にもクランプ機能を持たせ、前面基板２の角部にかしめ留めし、同様にして面方向に引き抜くことで取り外しもできる。なお、ここで説明したように機械的にかしめ留めする代わりに各部材を基板に接着固定して、パネル製造工程の焼成工程で接着剤を焼失させて部材を取り外すようにしても良い。
【００４３】
いずれにしても、ピン２１および支持部材２３（コイン２５）を基板に対して脱着可能とすることで、これらの部材を何度も使いまわしすることができ、その分、基板の位置合わせに要する製造コストを低減できる。つまり、これらの部品を基板２、４に残したまま製品を出荷すると、その分、部品材料費用が増加する。
【００４４】
また、上述した実施の形態では、ピン２１をスリーブ２６を介して背面基板４に取り付けて軸方向にバネ２７により付勢可能とした場合について説明したが、これに限らず、例えば、図８に示すように、ピン２１を背面基板４の内面４ａに固設しても良い。つまり、基板の構造や製造方法、位置合わせ精度において、ピン２１を垂直方向に移動させる必要が無い場合には、ピン２１を背面基板４に固定しても良い。これにより、上述した実施の形態と比較して、ピン２１の基板４に対する垂直度をより高めることができ、高精度な位置合わせに有利となる。
【００４５】
また、上述した実施の形態では、ピン２１を遊嵌する孔２２を有する支持部材２３を前面基板２に固設した場合について説明したが、これに限らず、前面基板２自体にピン２１を遊嵌する孔を形成しても良い。この場合、位置合わせ後、コイン２５は、前面基板２の内面に固定されることになる。
【００４６】
また、上述した実施の形態では、基板２、４の位置合わせのための構成を表示パネル１０の側壁６の外側に配置した場合について説明したが、これに限らず、パネル１０の内側に配置しても良い。また、ピン２１および支持部材２３の取り付け位置は角部に限らず、各基板の辺部に取り付けても良い。
【００４７】
さらに、上述した実施の形態では、本発明をＳＥＤの前面基板２および背面基板４の位置合わせに適用した場合について説明したが、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイの２枚の基板を位置合わせする場合にも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】この発明の実施の形態に係るＳＥＤの真空外囲器を示す外観斜視図。
【図２】図１の真空外囲器を線分II−IIに沿って切断した断面斜視図。
【図３】図２の断面を部分的に拡大して示す部分拡大断面図。
【図４】基板の位置合わせ装置の要部の構成を説明するための断面図。
【図５】図４の要部を部分的に拡大して示す部分拡大断面図。
【図６】基板を位置合わせするための移動機構について説明するための模式図。
【図７】位置合わせ用のピンなどの構成を基板に対して脱着可能とした例を説明するための部分拡大断面図。
【図８】ピンを背面基板に固設した例を説明するための部分拡大断面図。
【符号の説明】
【００４９】
２…前面基板、４…背面基板、６…側壁、８…スペーサ、１０…真空外囲器（表示パネル）、１２…蛍光体スクリーン、１４…メタルバック、１６…電子放出素子、１８…配線、２０…位置決め装置、２１…ピン、２２…孔、２３…支持部材、２４…孔、２５…コイン、２６…スリーブ、２７…バネ、２９…クランパ、４２…検出部、４４…拡大カメラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008234873.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008234873.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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