(57)【要約】【課題】小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能な面発光レーザを実現する。【解決手段】活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、基板と、基板の上に形成された第１のミラーと、第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、第１のスペーサ層の上に形成された活性層と、活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、第２のスペーサ層の上に形成され複数に分割された第２のミラーと、第２のミラーの上に形成されたバルク層とを備える。【選択図】  図１
2008041937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
基板と、
この基板の上に形成された第１のミラーと、
この第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、
この第１のスペーサ層の上に形成された前記活性層と、
前記活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、
この第２のスペーサ層の上に形成され複数に分割された第２のミラーと、
この第２のミラーの上に形成されたバルク層と
を備えたことを特徴とする面発光レーザ。
【請求項２】
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
基板と、
この基板の上に形成され複数に分割された第１のミラーと、
この第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、
この第１のスペーサ層の上に形成された前記活性層と、
前記活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、
この第２のスペーサ層の上に形成された第２のミラーと、
この第２のミラーの上に形成されたバルク層と
を備えたことを特徴とする面発光レーザ。
【請求項３】
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
基板と、
この基板の上に形成され複数に分割された第１のミラーと、
この第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、
この第１のスペーサ層の上に形成された前記活性層と、
前記活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、
この第２のスペーサ層の上に形成され複数に分割された第２のミラーと、
この第２のミラーの上に形成されたバルク層と
を備えたことを特徴とする面発光レーザ。
【請求項４】
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
上面に空洞を有する第１の基板と、
前記空洞の上に形成され梁で支持された可動面と、
この可動面の上に形成された第１のミラーとから構成される第１の部材と、
第２の基板と、
この第２の基板の上に形成された第２のミラーと、
この第２のミラーの上に形成された前記活性層と、
前記活性層の上に形成されたスペーサ層とから構成される第２の部材とを備え、
前記第１のミラーの上若しくは前記スペーサ層の上に光分離壁が形成され、前記スペーサ層が前記第１のミラーに向き合うように前記第１の部材と前記第２の部材を支柱で接合したことを特徴とする面発光レーザ。
【請求項５】
前記第２のミラーと前記活性層の間に光分離壁が形成されたことを特徴とする
請求項４記載の面発光レーザ。
【請求項６】
前記第１のミラーが、
分割されたことを特徴とする
請求項４若しくは請求項５記載の面発光レーザ。
【請求項７】
前記第２のミラーが、
分割されたことを特徴とする
請求項４乃至請求項６のいずれかに記載の面発光レーザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大口径の面発光レーザに関し、特に小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能な面発光レーザに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）は活性層とスペーサ層を多層膜等で形成されたミラーで挟み込んだ構造を有するものであり、光通信用光源や光計測用光源として用いられ、特にＷＤＭ（Wavelength Division Multiplexing：波長分割多重）等の波長多重通信に適用される。
【０００３】
従来の面発光レーザに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０６３７０７号公報
【特許文献２】特開２００４−１２８３５１号公報
【０００５】
図７はこのような従来の面発光レーザの一例を示す構成断面図である。なお、図７は説明の簡単のために面発光レーザの口径部分を拡大して示しており、出射口の周辺部分に形成される電極等は図示していない。
【０００６】
図７において１は基板、２及び６は光共振器を構成するミラー、３及び５はスペーサ層、４は活性層、７はバルク層である。基板１の上にはミラー２が形成され、ミラー２の上にはスペーサ層３が形成される。スペーサ層３の上には活性層４が形成され、活性層４の上にはスペーサ層５が形成される。スペーサ層５の上にはミラー６が形成され、ミラー６の上にはバルク層７が形成される。
【０００７】
基板１、ミラー２、スペーサ層３、活性層４、スペーサ層５、ミラー６及びバルク層７は面発光レーザ１００を構成している。
【０００８】
ここで、光共振器を用いたレーザ装置の動作を図８を用いて説明する。図８は光共振器を用いたレーザ装置の概念図である。図８において８は光源、９及び１０はミラー、１１はレーザ媒質、１２はレーザ光である。また、ミラー９は反射率が”１００％”、すなわち、全反射であり、ミラー１０は反射率が”１００％”未満、すなわち、わずかに光が透過する。
【０００９】
図８（Ａ）において光源８からレーザ媒質１１を励起するための光を入射する。レーザ媒質１１中の原子はこの光を吸収し、励起状態になり、その後、光を放出して基底状態に戻る。この様子を示したのが図８（Ｂ）である。
【００１０】
光源８から光を入射し続けることにより、励起状態である原子数が基底状態である原子数より多くなり（この状態を反転分布状態という）、原子が放出する光と同じ波長の光を入射すると、励起状態である原子が同一方向に向けて光を放出（誘導放出）し、入射光よりも増幅された出射光が得られる（光増幅）。
【００１１】
図８（Ｃ）においてミラー９及びミラー１０に対して垂直な光が反射を繰り返し、レーザ媒質１１を往復することにより、光が増幅される。そして、増幅された光は反射率が”１００％”未満であるミラー１０を透過し、レーザ光１２として出射される。
【００１２】
ここで、図７に示す従来例の動作を説明する。基板１の表面及びバルク層７の表面にはそれぞれ電極が形成されており（図示せず）、この電極間に電圧が印加されると、活性層４において正孔と電子の結合が生じて光が発生する。この光はミラー２とミラー６との間に形成される光共振器で光増幅され、ミラー６及びバルク層７を透過し、レーザ光として出射される。
【００１３】
この結果、活性層４から出射される光をミラー２及びミラー６で構成される光共振器で反射を繰り返すことにより、光増幅されるので、固定波長のレーザ光が得られる。
【００１４】
図９は従来の面発光レーザの他の一例を示す構成断面図である。図９において１３及び２３は基板、１４は絶縁層、１５及び２０はスペーサ層、１６は梁、１７は可動面、１８及び２２はミラー、１９は支柱、２１は活性層である。
【００１５】
基板１３の上の両端には絶縁層１４が形成され、絶縁層１４の上にはスペーサ層１５が形成される。可動面１７はスペーサ層１５に付けられた梁１６により支持され、ミラー１８は可動面１７の上には形成される。可動面１７の下部にはエッチングにより形成された空洞”ＣＶ０１”がある。
【００１６】
そして、別途、基板２３の上にはミラー２２が形成され、ミラー２２の上には活性層２１が形成される。さらに、活性層２１の上にはスペーサ層２０が形成される。この積層された部材のスペーサ層２０がミラー１８に向き合うように支柱１９により、スペーサ層２０とスペーサ層１５が接合される。ミラー１８とスペーサ層２０の間に空隙部”ＡＧ０１”がある。
【００１７】
基板１３、絶縁層１４、スペーサ層１５、梁１６、可動面１７、ミラー１８、支柱１９、スペーサ層２０、活性層２１、ミラー２２及び基板２３は面発光レーザ１０１を構成している。
【００１８】
ここで、図９に示す従来例の動作を説明する。基板２３の表面及びスペーサ層２０の表面にはそれぞれ電極が形成されており（図示せず）、この電極間に電圧が印加されると、活性層２１において正孔と電子の結合が生じて光が発生する。この光はミラー１８とミラー２２との間に形成される光共振器で光増幅され、ミラー２２及び基板２３を透過し、レーザ光として出射される。
【００１９】
また、基板１３の表面及びスペーサ層１５の表面には電極があり（図示せず）、この電極間に電圧を印加することで静電力が発生し、この静電力により可動面１７及びミラー１８を上下させ、ミラー１８及びミラー２２の間の距離、すなわち、光共振器の長さを変化させ、出射光の波長を変化させる。
【００２０】
この結果、活性層２１から出射される光をミラー１８及びミラー２２で構成される光共振器で反射を繰り返すことにより、レーザ光が得られ、さらに、静電力により可動面１７及びミラー１８を上下させ、ミラー１８及びミラー２２の間の距離を変化させることにより、光共振器の長さが変化するので、レーザ光の波長を変化させることが可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
しかし、図７及び図９に示す従来例では、活性層の大きさと上下両方のミラーの大きさが同程度、又は、活性層の大きさと上下どちらか一方のミラーの大きさが同程度になるため、面発光レーザが大口径になると、光共振器の損失が下がることにより、高次モードの発振が起こるので、出射されるレーザ光に不必要な周波数成分が入ってしまうという問題があった。
【００２２】
不必要な周波数成分とは、例えば、周波数”１０ＭＨｚ”の信号を出射した時に、周波数”１０．５ＭＨｚ”の信号や周波数”１１ＭＨｚ”の信号が同じレベルで出射されてしまうことである。
従って本発明が解決しようとする課題は、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能な面発光レーザを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
基板と、この基板の上に形成された第１のミラーと、この第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、この第１のスペーサ層の上に形成された前記活性層と、前記活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、この第２のスペーサ層の上に形成され複数に分割された第２のミラーと、この第２のミラーの上に形成されたバルク層とを備えたことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００２４】
請求項２記載の発明は、
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
基板と、この基板の上に形成され複数に分割された第１のミラーと、この第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、この第１のスペーサ層の上に形成された前記活性層と、前記活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、この第２のスペーサ層の上に形成された第２のミラーと、この第２のミラーの上に形成されたバルク層とを備えたことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００２５】
請求項３記載の発明は、
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
基板と、この基板の上に形成され複数に分割された第１のミラーと、この第１のミラーの上に形成された第１のスペーサ層と、この第１のスペーサ層の上に形成された前記活性層と、前記活性層の上に形成された第２のスペーサ層と、この第２のスペーサ層の上に形成され複数に分割された第２のミラーと、この第２のミラーの上に形成されたバルク層とを備えたことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００２６】
請求項４記載の発明は、
活性層に垂直な方向にレーザ光を出射する面発光レーザにおいて、
上面に空洞を有する第１の基板と、前記空洞の上に形成され梁で支持された可動面と、この可動面の上に形成された第１のミラーとから構成される第１の部材と、第２の基板と、この第２の基板の上に形成された第２のミラーと、この第２のミラーの上に形成された前記活性層と、前記活性層の上に形成されたスペーサ層とから構成される第２の部材とを備え、前記第１のミラーの上若しくは前記スペーサ層の上に光分離壁が形成され、前記スペーサ層が前記第１のミラーに向き合うように前記第１の部材と前記第２の部材を支柱で接合したことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００２７】
請求項５記載の発明は、
請求項４記載の面発光レーザにおいて、
前記第２のミラーと前記活性層の間に光分離壁が形成されたことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００２８】
請求項６記載の発明は、
請求項４若しくは請求項５記載の面発光レーザにおいて、
前記第１のミラーが、
分割されたことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００２９】
請求項７記載の発明は、
請求項４乃至請求項６のいずれかに記載の面発光レーザにおいて、
前記第２のミラーが、
分割されたことにより、小口径に分割できると共に高次モードの抑制ができ、分割された面発光レーザがほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば次のような効果がある。
請求項１、請求項２及び請求項３の発明によれば、ミラーを分割して大口径の面発光レーザを小口径にすることにより、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇し、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。さらに、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００３１】
請求項４、請求項５、請求項６及び請求項７の発明によれば、ミラーと活性層の間に光分離壁を備え、大口径の面発光レーザを小口径に分割することにより、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇し、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。さらに、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る面発光レーザの一実施例を示す構成断面図である。
【００３３】
図１において２４は基板、２５及び２９は光共振器を構成するミラー、２６及び２８はスペーサ層、２７は活性層、３０はバルク層である。
【００３４】
基板２４の上にはミラー２５が形成され、ミラー２５の上にはスペーサ層２６が形成される。スペーサ層２６の上には活性層２７が形成され、活性層２７の上にはスペーサ層２８が形成される。スペーサ層２８の上にはミラー２９が形成され、ミラー２９の上にはバルク層３０が形成される。
【００３５】
基板２４、ミラー２５、スペーサ層２６、活性層２７、スペーサ層２８、ミラー２９及びバルク層３０は面発光レーザ１０２を構成している。
【００３６】
ここで、図１に示す実施例の動作を説明する。図１に示す実施例の動作は図７の従来例とほぼ同一であり、異なる点は一方のミラーが分割されていることである。ミラーが分割されているので、大口径の面発光レーザを小口径の面発光レーザとすることが可能になる。
【００３７】
具体的には、図１においてミラー２５に対してミラー２９がある所は光共振器が構成されるため、レーザ光を出射することができるが、ミラー２５に対してミラー２９がない所は光共振器が構成されないため、レーザ光を出射することができない。
【００３８】
また、小口径にした場合、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇することにより、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。
【００３９】
また、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００４０】
この結果、ミラーを分割して大口径の面発光レーザを小口径の面発光レーザにすることにより、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇し、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。さらに、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００４１】
図２は本発明に係る面発光レーザの他の実施例を示す構成断面図である。図２において３１及び４２は基板、３２は絶縁層、３３及び３９はスペーサ層、３４は梁、３５は可動面、３６及び４１はミラー、３７は格子状の光分離壁、３８は支柱、４０は活性層である。
【００４２】
基板３１の上部両端に絶縁層３２が形成され、絶縁層３２の上にはスペーサ層３３が形成される。可動面３５はスペーサ層３３に付けられた梁３４により支持され、光分離壁３７は可動面３５の上に形成される。ミラー３６は可動面３５の上、且つ、光分離壁３７の間に形成される。可動面３５の下部にはエッチングにより形成された空洞”ＣＶ０２”がある。
【００４３】
そして、別途、基板４２の上にはミラー４１が形成され、ミラー４１の上には活性層４０が形成される。さらに、活性層４０の上にはスペーサ層３９が形成される。この積層された部材のスペーサ層３９がミラー３６に向き合うように支柱３８により、スペーサ層３３とスペーサ層３９が接合される。
【００４４】
基板３１、絶縁層３２、スペーサ層３３、梁３４、可動面３５、ミラー３６、光分離壁３７、支柱３８、スペーサ層３９、活性層４０、ミラー４１及び基板４２は面発光レーザ１０３を構成している。
【００４５】
ここで、図２に示す実施例の動作を説明する。図２に示す実施例の動作は図１の実施例とほぼ同一であり、異なる点は図１の実施例が固定波長面発光レーザに本発明を適用した場合に対して、図２の実施例は可変波長面発光レーザに本発明を適用した場合である。
【００４６】
可動面３５とスペーサ層３９の間の空隙部に光分離壁３７が形成され、大口径の面発光レーザが小口径の面発光レーザに分割される。このようにすることで、図１の実施例と同様に高次モードの抑制が可能になると共に小口径の面発光レーザはそれぞれほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００４７】
この結果、可動面３５の上に光分離壁３７を形成して大口径の面発光レーザを小口径の面発光レーザに分割することにより、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇し、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。さらに、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００４８】
図３は本発明に係る面発光レーザの他の実施例を示す構成断面図である。図３において３１，３２，３３，３４，３６，３８，３９，４０，４１及び４２は図２と同一符号を付してあり、４３は可動面、４４は格子状の光分離壁である。
【００４９】
可動面４３はスペーサ層３３に付けられた梁３４により支持され、光分離壁３７は可動面３５の上の空隙部に形成される。実際には、この光分離壁３７はスペーサ層３９と可動面４３との間にスペーサとして入れられる。ミラー３６は可動面４３の上、且つ、光分離壁４４の間に形成される。可動面４３の下部にはエッチングにより形成された空洞”ＣＶ０３”がある。その他の層の形成に関しては図２と同じため、説明を省略する。
【００５０】
基板３１、絶縁層３２、スペーサ層３３、梁３４、ミラー３６、支柱３８、スペーサ層３９、活性層４０、ミラー４１、基板４２、可動面４３及び光分離壁４４は面発光レーザ１０４を構成している。
【００５１】
ここで、図３に示す実施例の動作を説明する。図３に示す実施例の動作は図２の実施例とほぼ同一であり、異なる点は図２の実施例では光分離壁３７が可動面３５に接して形成されているが、図３の実施例では光分離壁４４が可動面４３の上の空隙部に形成されていることである。
【００５２】
この結果、可動面４３の上にある空隙部に光分離壁４４を形成して大口径の面発光レーザを小口径の面発光レーザに分割することにより、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇し、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。さらに、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００５３】
図４は本発明に係る面発光レーザの他の実施例を示す構成断面図である。図４において３１，３２，３３，３４，３６，３８，４０，４１及び４２は図２と同一符号を付してあり、４５は可動面、４６及び４７は格子状の光分離壁、４８はスペーサ層である。
【００５４】
可動面４５はスペーサ層３３に付けられた梁３４により支持され、光分離壁４６は可動面４５の上に形成される。ミラー３６は可動面４５の上、且つ、光分離壁４６の間に形成される。可動面４５の下部にはエッチングにより形成された空洞”ＣＶ０４”がある。
【００５５】
また、活性層４０の上にはスペーサ層４８が形成される。スペーサ層４８の下部、すなわち、光分離壁４６に対抗する面に光分離壁４７が形成され、光分離壁４６と光分離壁４７が接合される。その他の層の形成に関しては図２と同じため、説明を省略する。
【００５６】
基板３１、絶縁層３２、スペーサ層３３、梁３４、ミラー３６、支柱３８、活性層４０、ミラー４１、基板４２、可動面４５、光分離壁４６、光分離壁４７及びスペーサ層４８は面発光レーザ１０５を構成している。
【００５７】
ここで、図４に示す実施例の動作を説明する。図４に示す実施例の動作は図２の実施例とほぼ同一であり、異なる点は図２の実施例では光分離壁３７が可動面３５にのみ形成されているが、図４の実施例では光分離壁４６が可動面４５に形成され、さらに、光分離壁４７がスペーサ層４８の下部にも形成されていることである。
【００５８】
この結果、可動面４５の上に光分離壁４６を形成し、スペーサ層４８の下部に光分離壁４７を形成し、光分離壁４６と光分離壁４７を接合して大口径の面発光レーザを小口径の面発光レーザに分割することにより、単一モードの損失に比べて高次モードの損失が上昇し、高次モードが発振しにくくなるので、高次モードの抑制が可能になる。さらに、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザは活性層を共有しているので、周波数引き込み等の非線形効果を利用して、ほぼ等しい周波数で発振することが可能になる。
【００５９】
なお、図２、図３及び図４に示す実施例において光分離壁を格子状としているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、小口径の面発光レーザに分割できるようミラーとミラーの間に光を閉じ込めるような仕切り壁であればよい。
【００６０】
この場合の具体例を図５及び図６に示す。図５及び図６は光分離壁の上面図である。図５において４９はミラー、５０は光分離壁である。光分離壁５０は格子状をしており、仕切り壁により、ミラー４９を小さく分割している。
【００６１】
また、図６において５１はミラー、５２は光分離壁である。光分離壁５２は複数の開口部を有しており、それぞれの開口部により、ミラー５１を小さく分割している。
【００６２】
また、図１に示す実施例においてミラー２９のみを分割しているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、ミラー２５のみを分割してもよいし、ミラー２５及びミラー２９の両方を分割してもよい。
【００６３】
また、図２に示す実施例において光分離壁３７が可動面３５上に形成されているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、光分離壁３７をスペーサ層３９の下部に形成してもよい。
【００６４】
また、図１、図２、図３及び図４に示す実施例において分割されるミラーの数は、特に限定されるものではなく、高次モードの発振が抑えられる範囲で複数あればよい。
【００６５】
また、図２、図３及び図４に示す実施例においてミラー３６を分割して形成しているが、必ずしもこのようにする必要はなく、分割せずに形成してもよい。
【００６６】
また、図２、図３及び図４に示す実施例において可動面とスペーサ層の間に光分離壁を形成しているが、必ずしもこのようにする必要はなく、活性層４０とミラー４１の間に光分離壁を形成してもよい。この場合、ミラー４１を分割してもよい。
【００６７】
また、図１、図２、図３及び図４に示す実施例において分割されたそれぞれの小口径面発光レーザのレーザ光を別の光学素子で集光させることで、大口径の面発光レーザと同等の光出力が得られる。
【００６８】
また、図１、図２、図３及び図４に示す実施例において分割されたそれぞれの小口径面発光レーザのレーザ光を別々に取り出すことで、互いにコヒーレントな光を異なる光学機器に供給可能になる。
【００６９】
また、図１、図２、図３及び図４に示す実施例において可動面が撓んでいれば、分割されたそれぞれの小口径面発光レーザから発振周波数の異なるレーザ光が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明に係る面発光レーザの一実施例を示す構成断面図である。
【図２】本発明に係る面発光レーザの他の実施例を示す構成断面図である。
【図３】本発明に係る面発光レーザの他の実施例を示す構成断面図である。
【図４】本発明に係る面発光レーザの他の実施例を示す構成断面図である。
【図５】光分離壁の上面図である。
【図６】光分離壁の上面図である。
【図７】従来の面発光レーザの一例を示す構成断面図である。
【図８】光共振器を用いたレーザ装置の概念図である。
【図９】従来の面発光レーザの他の一例を示す構成断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１，１３，２３，２４，３１，４２  基板
２，６，９，１０，１８，２２，２５，２９，３６，４１，４９，５１  ミラー
３，５，１５，２０，２６，２８，３３，３９，４８  スペーサ層
４，２１，２７，４０  活性層
７，３０  バルク層
８  光源
１１  レーザ媒質
１２  レーザ光
１４，３２  絶縁層
１６，３４  梁
１７，３５，４３，４５  可動面
１９，３８  支柱
３７，４４，４６，４７，５０，５２  光分離壁
１００，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５  面発光レーザ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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