(57)【要約】【課題】コンパクト化の要請を満たしつつ、高いフィルタリング機能を果たして高画質の画像を得ることを目的とする。【解決手段】入射光のうちＰ偏光光又はＳ偏光光のうち何れか一方のみを透過させる平板状の偏光フィルタ５０には、Ｐ偏光光又はＳ偏光光のうち何れか一方を信号光として透過し、他方を不要光として反射させて、入射光を必要光と不要光とに分解する機能を有する偏光フィルタ機能膜５１が、入射光の進行方向に対して傾斜した方向に複数並列して形成され、偏光フィルタ機能膜５１で反射した不要光を吸収する機能を有する吸収膜５２が、偏光フィルタ機能膜５１に対応して、入射光と平行な方向に複数並列して形成されている。【選択図】  図２
2008116898.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光のうち不要光を除去する光学フィルタであって、
前記光学フィルタは平板状の形状からなり、前記入射光のうち必要光のみを透過させ、他方を前記不要光として反射させて、前記入射光を前記必要光と前記不要光とに分解する機能を有する光学フィルタ機能膜が、入射光の進行方向に対して傾斜した方向に等間隔に複数並列して形成され、
前記光学フィルタ機能膜で反射した前記不要光を吸収する機能を有する光吸収部材が、前記光学フィルタ機能膜に対応して、前記入射光と平行な方向に等間隔に複数並列して形成されてことを特徴とする光学フィルタ。
【請求項２】
請求項１記載の光学フィルタであって、
前記光吸収部材は光吸収性を有する吸収膜であることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項３】
請求項２記載の光学フィルタであって、
前記吸収膜には、この吸収膜を透過した前記不要光の進行を遮断する遮断膜が形成されていることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項４】
請求項２記載の光学フィルタであって、
前記吸収膜には、この吸収膜を透過した前記不要光を吸収する光吸収接着剤が形成されていることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項５】
請求項１記載の光学フィルタであって、
前記光吸収部材は光吸収性接着剤であることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項６】
請求項１記載の光学フィルタであって、
前記光学フィルタは、Ｐ偏光光又はＳ偏光光のうち何れか一方の偏光光のみを透過させる偏光フィルタであり、前記光学フィルタ機能膜は偏光分離膜であることを特徴とする光学フィルタ。
【請求項７】
請求項１乃至６何れか１項に記載の光学フィルタを有することを特徴とする投射型表示装置。
【請求項８】
平面度が高い平板状の形状をした平板被処理体の一面に対して、不要光を反射し、前記不要光以外の必要光を透過する分離作用を有するフィルタ機能膜を成膜する光学フィルタ機能膜成膜工程と、
前記平板被処理体に前記光学フィルタ機能膜が成膜された成膜平板体を階段状に積層する階段積層体生成工程と、
前記成膜平板体が階段状に積層された階段積層体を、前記階段状に沿って等間隔に切断する階段積層体切断工程と、
前記階段積層体を切断した階段切断体の両面又は一面に光吸収作用を有する吸収膜を成膜し、その上に前記不要光の進行を遮断する遮断膜を成膜する吸収膜・遮断膜成膜工程と、
前記階段切断体に前記吸収膜及び前記遮断膜を成膜した成膜切断体を直立状態に積層する成膜切断体積層工程と、
前記成膜切断体を直立状態に積層した直立積層体を垂直方向に等間隔で切断する直立積層体切断工程と、を有することを特徴とする光学フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、必要な光のみを透過させる光学フィルタ、これを適用した投射型表示装置及び光学フィルタを製造する光学フィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
投射型表示装置の代表的なものとして液晶プロジェクタがある。液晶プロジェクタは、光源から射出した白色光をダイクロイックミラー等の波長域ごとに透過・反射を分ける素子により青色の光、緑色の光、赤色の光の３つの光に色分解を行い、各色の光に対して液晶表示素子により光変調を行い、最終的に色合成用のダイクロイック素子等により色合成を行って、投射レンズによりスクリーン上に画像を投影する。
【０００３】
色分解された各色の光は、入射光の偏光方向によって透過と反射とを分ける偏光ビームスプリッタを用いて、光変調が施された信号光を色合成用のダイクロイック素子に導かれている。液晶表示素子で光変調がされるときには、信号光は偏光方向が９０°回転されて反射されるため、光源側から入射したときにはＰ偏光光又はＳ偏光光であって光が、光変調された信号光は偏光方向が逆転し、Ｓ偏光光又はＰ偏光光となっている。これにより、光源側から光が入射したときとは異なる方向に信号光を透過又は反射させることができるため、光変調された信号光をダイクロイック素子に導くことができる。
【０００４】
ここで、偏光ビームスプリッタは所定の消光比（透過光又は反射光に含まれるＰ偏光光とＳ偏光光との比）を有しているため、入射光をＰ偏光光とＳ偏光光とに完全に分離することは実質上極めて困難である。従って、信号光として光変調されるべき光も不要な偏光光が混入しているため、正確な光変調を行うことができず、このことにより画質の低下を招来する。そこで、偏光ビームスプリッタに入射させる前に予め不要な偏光光を除去するものが特許文献１の第３の実施形態に開示されている。特許文献１の第３の実施形態では、偏光ビームスプリッタに入射させる前段に、当該偏光ビームスプリッタと同一の偏光ビームスプリッタを配置し、これを不要光除去用のフィルタとして用いている。不要光除去用のフィルタとして用いられる偏光ビームスプリッタを透過することにより、その後段に配置される偏光ビームスプリッタの消光比を高くしている。
【特許文献１】特開平９−８０３５６公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
偏光ビームスプリッタが偏光方向によって透過と反射とを分ける偏光分離作用は、偏光ビームスプリッタの内部に形成されている偏光分離膜によって発揮される。偏光分離膜の偏光分離作用は、Ｐ偏光光及びＳ偏光光による光のふるまいの違いを利用して透過光と反射光とに分けるため、その膜厚や膜層数、入射光に対しての偏光分離膜の傾斜角度等の種々の条件が極めてシビアに要求される。
【０００６】
しかしながら、特許文献１の偏光ビームスプリッタは、プリズムの光路長を短縮させるために、微小な小型光学素子を階段状の支持部材により取り付けられて固定されている。そして、支持部材に取り付けられたときに各小型光学素子の偏光分離膜が同一平面となるようにしている。つまり、偏光分離膜の平面性は支持部材により保たれていることになる。そうすると、支持部材の取り付け精度によっては、夫々の小型光学素子の偏光分離膜に凹凸が生じ、同一平面を維持すること極めて困難なものとなる。特に、投射型表示装置はコンパクト化の要請が高いことから、装置を構成する部品も微小なものが用いられるため、微小な部品である小型光学素子を支持部材により同一平面に位置させることは実質的に不可能である。
【０００７】
前述したように入射光に対して偏光分離作用を及ぼすためには、シビアな条件が課されることになるが、偏光分離膜の平面性が損なわれているときには、偏光分離作用を発揮することができず、フィルタリング機能としての役割を果たすことができない。そうすると、不要光が透過して偏光ビームスプリッタに入射し、当該不要光がスクリーンに投影される画像にゴーストとして悪影響を与えることになる。特に、近年の液晶プロジェクタは高画質が進んでいるため、不要光はできる限り除去することが好ましいため、フィルタリング機能を十分に果たすフィルタが求められている。
【０００８】
また、特許文献１のフィルタリング機能を果たす偏光ビームスプリッタは、プリズム内部の光路長を短縮すべく階段形状をしているため、液晶プロジェクタの装置全体が大型化する。つまり、階段形状の偏光ビームスプリッタを用いると、光の進行方向及びこれに直交する方向にある程度の占有スペースを必要とする。近年では、液晶プロジェクタのコンパクト化の要請が高いため、この点を満足することができない。
【０００９】
そこで、本発明は、コンパクト化の要請を満たす高いフィルタリング機能を発揮する光学フィルタ及びこれを適用した投射型表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の光学フィルタは、入射光のうち不要光を除去する光学フィルタであって、前記光学フィルタは平板状の形状からなり、前記入射光のうち必要光のみを透過させ、他方を前記不要光として反射させて、前記入射光を前記必要光と前記不要光とに分解する機能を有する光学フィルタ機能膜が、入射光の進行方向に対して傾斜した方向に等間隔に複数並列して形成され、前記光学フィルタ機能膜で反射した前記不要光を吸収する機能を有する光吸収部材が、前記光学フィルタ機能膜に対応して、前記入射光と平行な方向に等間隔に複数並列して形成されてことを特徴とする。
【００１１】
前記光学フィルタによれば、光学フィルタは平板状の形状をしていることから、薄型化することができ、装置全体のコンパクト化を達成することができる。また、フィルタ機能膜で分解された不要光は、反射して光吸収部材に入射するが、当該光吸収部材でそのエネルギーが吸収されるため、光学フィルタの内部で不要光の処理をすることが可能になる。このため、光学フィルタの外部に不要光が漏れて、不要光が悪影響を与えることを防止することができる。
【００１２】
前記の光学フィルタにおいて、光吸収部材には光吸収性を有する吸収膜（光吸収性を有する誘電体多層膜である吸収膜）を適用することができる。吸収膜としては、例えばＣｒ膜とＳｉＯ２膜との１層以上の交互積層によって実現することができる。当該吸収膜により不要光の処理がされることになるが、不要光のエネルギーを吸収膜が完全に吸収しきれずに、一部の不要光が吸収膜から漏れる可能性もある。この場合、吸収膜から漏れた不要光は隣接する光学フィルタ機能膜で反射して必要光と同じ方向に出射してしまう。そこで、吸収膜の上に前記の遮断膜を形成することにより、不要光が吸収膜で吸収しきれないときでも、不要光は遮断膜より先には進行しないため、隣接する光学フィルタ機能膜に向かうことはない。
【００１３】
遮断膜としては主に反射膜を適用することができる。反射機能を有する反射膜を適用すれば、反射膜で不要光は反射するため、遮断機能を十分に発揮することができる。反射膜としては、主にＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ等の金属膜を適用することができる。これらの金属膜は入射光の全てを反射又は吸収されるため（大部分は反射し、一部は吸収される）、金属膜を光が透過することはない。従って、不要光が透過することを確実に遮断することができる。また、反射膜の代わりに別の吸収膜として、例えば酸化クロム等の誘電体多層膜を形成しておくことにより、一部の不要光が漏れることを防止することができる。なお、遮断膜として反射膜を適用した場合、吸収膜から漏れた一部の不要光は反射膜で反射して再び吸収膜に入射することになる。そうすると、残余の一部の不要光のエネルギーも再度吸収膜に入射することにより、完全にそのエネルギーが吸収されつくすことになる。
【００１４】
一方、吸収膜の上に光吸収性を有する接着剤である光吸収接着剤を形成することができる。前記の光学フィルタは透明基板の切断や積層、光学フィルタ機能膜や吸収膜の成膜を行って生成されるため、吸収膜が形成される面は接着剤が形成される面ともなる。従って、接着剤として光吸収性接着剤を用いることにより、吸収膜を一部の不要光が透過しても、光吸収性接着剤によりさらに光吸収されるため、隣接する光学フィルタ機能膜に不要光が漏れることを防止することができる。光吸収接着剤としては、例えば光吸収性の顔料を充填した接着剤を適用することができる。光吸収接着剤を用いれば、光学フィルタを構成するために必要となる接着剤に前記の遮断膜としての役割を持たせることができるため、遮断膜と接着剤とを別個独立に設ける必要がなくなる。
【００１５】
また、前記の光吸収部材としては、吸収膜を用いるのではなく、光吸収接着剤のみを使用することによりその機能を発揮することも可能である。つまり、光吸収性接着剤は光吸収作用を有するため、単体で光吸収部材とすることができる。ただし、光学フィルタ機能膜で反射した不要光を完全に光吸収できる接着剤である必要がある。また、光吸収接着剤のみを使用して光吸収させる場合、吸収した光のエネルギーによっては光吸収接着剤が高温状態となることがあるため、その場合には、耐熱性を有する光吸収接着剤を使用することが好ましい。耐熱性を有する光吸収接着剤としては、例えばシリコーン接着剤を適用することができる。シリコーン接着剤は熱伝導性を有する各種の充填剤が含まれているため、良好な放熱性を有し、耐熱性を有する光吸収接着剤としては好適である。
【００１６】
光学フィルタは種々のフィルタリング機能を発揮することができる。光学フィルタが偏光フィルタとして機能する場合には、Ｐ偏光光又はＳ偏光光のうち何れか一方の偏光光のみを透過し、他方の偏光光を吸収膜に吸収させる。この場合は、光学フィルタ機能膜は偏光分離膜として機能する。その他にも、例えば赤外除去フィルタとしても機能させることができる。この場合には、赤外光成分の光は吸収させ、それ以外の光を透過させるフィルタリング機能を光学フィルタは発揮する。この場合は、光学フィルタ機能膜は赤外光の波長域の光を透過させ、それ以外の波長域の光を反射させて吸収膜に吸収させる。つまり、偏光方向や波長域等を基準として、任意のフィルタリング機能を発揮させることができる。
【００１７】
光学フィルタの用途としては種々のものがある。例えば、液晶プロジェクタにおいては、偏光ビームスプリッタに入射させる前段に偏光フィルタとして機能する光学フィルタを配置すれば、不要光成分が除去された純粋な偏光光の光を偏光ビームスプリッタに入射させることができ、画質の向上を図ることができる。その他にも、光ピックアップ等についても光学フィルタを適用することが出来る。
【００１８】
また、本発明の偏光フィルタの製造方法は、平面度が高い平板状の形状をした平板被処理体の一面に対して、不要光を反射し、前記不要光以外の必要光を透過する分離作用を有するフィルタ機能膜を成膜する光学フィルタ機能膜成膜工程と、前記平板被処理体に前記光学フィルタ機能膜が成膜された成膜平板体を階段状に積層する階段積層体生成工程と、前記成膜平板体が階段状に積層された階段積層体を、前記階段状に沿って等間隔に切断する階段積層体切断工程と、前記階段積層体を切断した階段切断体の両面又は一面に光吸収作用を有する吸収膜を成膜し、その上に前記不要光の進行を遮断する遮断膜を成膜する吸収膜・遮断膜成膜工程と、前記階段切断体に前記吸収膜及び前記遮断膜を成膜した成膜切断体を直立状態に積層する成膜切断体積層工程と、前記成膜切断体を直立状態に積層した直立積層体を垂直方向に等間隔で切断する直立積層体切断工程と、を有することを特徴とする。
【００１９】
前記した光学フィルタにおいては、光学フィルタに入射する入射光の全ての光線に対してフィルタ機能を発揮するため、光学フィルタ内部に形成されている複数の光学フィルタ機能膜が入射光と直交する方向において隙間なく形成されている必要がある。そこで、前記光学フィルタの製造方法によれば、直立積層体の垂直方向が入射光と直交する方向になるが、直立積層体を構成する各成膜切断体は、隣接する成膜切断体と隙間なく積層されているため、隙間のない光学フィルタを製造することができる。
【００２０】
前記した光学フィルタの製造方法において、光学フィルタ機能膜が成膜される成膜平板体を接合するときには、屈折率整合性及び光透過性が良好な光学接着剤を使用し、吸収膜及び遮断膜が成膜された成膜切断体を接合するときには、耐熱性を有する接着剤を使用することが好ましい。吸収膜には光エネルギーが吸収されて熱エネルギーに変換されるため吸収膜は高温状態となるが、耐熱性を有する接着剤を使用すれば、高温状態になっても接着剤の剥離等を生じることはない。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の光学フィルタは平板状の形状を採用することができるため、薄型化することができ、コンパクト化を実現することができる。また、除去される不要光を吸収膜で吸収することにより、高いフィルタリング機能を実現でき、高画質の画像を得ることができる。さらに、本発明の偏光フィルタの製造方法を採用することにより、上述した偏光フィルタを高い精度をもって製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。ここでは、光学フィルタとして偏光フィルタを適用した場合について説明する。偏光フィルタは、入射光のうちＰ偏光光又はＳ偏光光のうち何れか一方の偏光光のみを実際に信号形成に用いる必要光として透過させ、他方の偏光光を不要光として除去する機能を有する。本発明の光学フィルタは、他の用途、例えば赤外光を不要光として除去する機能を有する赤外光除去フィルタ等の任意の光学フィルタとして適用することができる。
【００２３】
図１は投射型表示装置の一例として反射型液晶プロジェクタの一部を示している。図１の投射型表示装置は、光源１０とフライアイレンズ２０と偏光変換素子３０とダイクロイックミラー４０と偏光フィルタ５０と偏光ビームスプリッタ６０と液晶表示素子７０と投射レンズ８０とスクリーン９０とを有して構成される。
【００２４】
光源１０からは白色光が射出される。このため、例えば、光源１０には発光体とリフレクタとが具備され、発光体により発光された白色光がリフレクタにより反射され、高い集光率で白色光が射出される。光源１０から射出した白色光はフライアイレンズ２０に入射する。フライアイレンズ２０は、単レンズを縦・横に配列したレンズアレイであり、２組の偏心させたフライアイレンズ２０により、光源１０の輝度むらを分散させて、一様な照度分布を得るものである。フライアイレンズ２０を透過した白色光は偏光変換素子３０に入射する。偏光変換素子３０は、白色光を直線偏光に変換する機能を発揮する。
【００２５】
偏光変換素子３０により偏光方向が変換された光は、ダイクロイックミラー４０に入射する。ダイクロイックミラー４０は、入射光の波長域によって透過と反射とを分ける色分解用の光学素子である。ここでは、青色光の波長域の光のみを透過し、他の波長域を反射する光学特性をダイクロイックミラー４０が有しているものとする。従って、図１に示すように、青色光（図中Ｂで示す）は透過し、緑色光（図中Ｇで示す）及び赤色光（図中Ｒで示す）は反射する。
【００２６】
ダイクロイックミラー４０を透過した青色光は、偏光フィルタ５０に入射する。偏光フィルタ５０は、画像形成に必要となる光（信号光）を透過し、信号光以外の光（不要光）を除去するフィルタリング機能を果たすものである。ここでは、Ｐ偏光光である青色光が信号光となるため、信号光であるＰ偏光光のみを透過し、Ｐ偏光光以外の光（Ｓ偏光光）は不要光になるため、これを除去する。従って、青色光は純粋なＰ偏光光となって、偏光ビームスプリッタ６０に入射する。
【００２７】
偏光ビームスプリッタ６０は、入射光の偏光方向によって透過と反射とを分ける光学素子である。ここでは、偏光ビームスプリッタ６０は、Ｐ偏光光を透過し、Ｓ偏光光を反射する光学特性を有するものとして説明するが、Ｐ偏光光を反射し、Ｓ偏光光を透過するものについても適用することが出来る。偏光分離作用を発揮するため、偏光ビームスプリッタ６０には誘電体多層膜である偏光分離膜６１が形成されている。通常は、ガラス等を素材とするキューブ形状のプリズム６２の内部に偏光分離膜６１が形成されて偏光ビームスプリッタ６０が構成される。
【００２８】
偏光ビームスプリッタ６０に入射する青色光は、前述したようにＰ偏光光である。従って、偏光分離膜６１に入射した青色光は、液晶表示素子７０に向かって透過する。液晶表示素子７０は、各画素の選択（ＯＮ）・非選択（ＯＦＦ）に対応して、入射光の偏光方向の変調制御（光変調）を行う反射型のライトバルブである。液晶表示素子７０には、各画素に対応してスイッチング素子が配置され、当該スイッチング素子により、各画素の液晶分子に電圧が印加される。液晶分子に電圧が印加されると、液晶分子の配列方向が変化し、入射光の偏光方向を９０°回転させる配列方向に液晶分子が変化する。従って、画素が選択状態である場合は、入射光のＰ偏光光はＳ偏光光に偏光方向が変調されて、偏光ビームスプリッタ６０に向かって反射する。一方、画素が非選択状態である場合は、液晶分子に電圧が印加されないため、液晶分子の配列方向に変化は生じない。従って、入射光に対して変調作用を及ぼさないため、入射光のＰ偏光光はそのままＰ偏光光として、偏光ビームスプリッタ６０に向かって反射する。
【００２９】
液晶表示素子７０で反射した青色光は、再び偏光ビームスプリッタ６０の偏光分離膜６１に入射する。画素が非選択状態（ＯＦＦ）になっている青色光はＰ偏光光であるため、偏光分離膜６１を透過する。一方、画素が選択状態（ＯＮ）になっている青色光はＳ偏光光となっているため、偏光分離膜６１で反射する。偏光分離膜６１で反射した青色光、即ち画素が選択状態となっている青色光は投射レンズ８０に入射し、当該投射レンズ８０によりスクリーン９０に画像が投影される。
【００３０】
なお、前述してきたものは、青色光についての説明であるが、ダイクロイックミラー４０で反射した緑色光及び赤色光についても、図示しない別のダイクロイックミラーにより色分解が行われ、緑色光及び赤色光の夫々の光について、図示しない専用の液晶表示素子により光変調が行われる。そして、光変調が施された緑色光、赤色光及び青色光は、図示しない色合成用のダイクロイックミラーにより色合成が行われ、投射レンズ８０によりスクリーン９０にカラー画像が表示される。
【００３１】
ところで、偏光変換素子３０において、青色光はＰ偏光光に変換されるが、完全なＰ偏光光を得ることはできず、若干のＳ偏光光が含まれることになる。そして、偏光変換素子３０を透過した光は、偏光ビームスプリッタ６０に入射する前に他の光学部品であるダイクロイックミラー４０に入射するため、ダイクロイックミラー４０により不要光成分が増加することもあり得る。そうすると、スクリーン９０に投影される画像に不要光がゴーストとして悪影響を与え、投影される画像の画質の低下を招来する。従って、偏光ビームスプリッタ６０に入射する前段に、フィルタリング機能を発揮する偏光フィルタ５０を配置し、不要光を除去する。
【００３２】
偏光フィルタ５０は平板状の形状をしている。図２はその断面図を示している。偏光フィルタ５０の表面は光が入射する入射平面５０Ｓとして、裏面は光が出射する出射平面５０Ｒとして形成される。入射平面５０Ｓ及び出射平面５０Ｒは入射光に対して直交するように配置され、入射光に対してフィルタリング機能を及ぼすため、入射光のスポット径をカバーできる広さを有している。偏光フィルタ５０はガラス等を材料とする透明部材５９の内部に、入射光に対して所定角度（例えば、４５°）傾斜した偏光フィルタ機能膜５１が複数形成されている。偏光フィルタ機能膜５１は、Ｐ偏光光又はＳ偏光光のうち何れか一方を透過して、他方を反射する光学特性を有する誘電体多層膜である。機能的には、偏光ビームスプリッタ６０に形成される偏光分離膜６１と同一であり、Ｐ偏光光を透過し、Ｓ偏光光を反射する光学的機能を有する誘電体多層膜であるものとする。
【００３３】
また、偏光フィルタ５０がフィルタリング機能を発揮するためには、入射光の全ての光線が偏光フィルタ機能膜５１に入射する必要がある。偏光フィルタ５０には複数の偏光フィルタ機能膜５１が並列して配置されているが、入射光の全ての光線に対して偏光分離作用を及ぼすためには、入射光の進行方向と直交する方向において、隣接する偏光フィルタ機能膜５１は連続している必要がある。隙間が生じている場合には、当該隙間から不要光が漏れてしまい、漏れ光が画像形成に悪影響を与えることになる。このため、前記方向において隙間が発生しないように連続させる。
【００３４】
以上のような偏光フィルタ５０のフィルタリング機能により、信号光であるＰ偏光光が透過し、不要光であるＳ偏光光が除去される。このとき、除去された不要光が再び偏光ビームスプリッタ６０に向かって出射しないように制御する必要がある。除去された不要光を処理する方法としては、偏光フィルタ５０の内部から偏光ビームスプリッタ６０とは異なる方向に排除する方法が考えられる。しかし、偏光フィルタ５０には多数の偏光フィルタ機能膜５１が形成されているため、偏光フィルタ機能膜５１で反射した不要光が隣接する偏光フィルタ機能膜５１において光路が変えられて、偏光ビームスプリッタ６０に向かって出射することが考えられる。また、偏光フィルタ５０はガラス等を素材とする透明部材であり、その外部は空気であるため、透明部材と空気との間には屈折率差が存在することになる。そうすると、偏光フィルタ５０から外部に不要光を排除する場合、屈折率差による作用により、不要光が偏光フィルタ５０の境界面で反射して、再び偏光ビームスプリッタ６０に向かって光路を変える可能性もある。
【００３５】
そこで、本発明では、偏光フィルタ機能膜５１で反射した不要光を偏光フィルタ５０の外部に排除するのではなく、吸収膜５２に吸収させて偏光フィルタ５０の内部で不要光の処理を行う。図２に示されるように、偏光フィルタ５０には各偏光フィルタ機能膜５１に対応して各吸収膜５２が形成されている。吸収膜５２は光吸収性を有する誘電体多層膜であり、不要光を吸収させるために、偏光フィルタ機能膜５１に対応して形成されている。従って、偏光フィルタ機能膜５１で反射した不要光を吸収膜５２に吸収させることができ、偏光フィルタ機能膜５１で信号光から分離された不要光が偏光ビームスプリッタ６０に入射されることを防止することができる。吸収膜５２としては、例えばＣｒ膜とＳｉＯ２膜との少なくとも１層以上の交互積層によって実現される。
【００３６】
また、本発明では、図３に示されるように、吸収膜５２の上には遮断膜として機能する反射膜５３が形成されている（偏光フィルタ機能膜５１から順番に吸収膜５２、反射膜５３の順番に形成され、反射膜５３の上には接着剤１００（透明部材同士を接合する接着剤）が形成されている）。反射膜５３は光を反射させる機能を有する光学膜であり、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ等の金属膜や酸化クロム等の誘電体多層膜等が適用される。反射膜５３を用いている理由は、隣接する偏光フィルタ機能膜５１に光を入射させないためである。つまり、吸収膜５２が形成されていることにより、不要光は吸収膜５２に吸収される。しかし、吸収膜５２が完全に不要光を吸収しきれない場合もある。そうすると、吸収膜５２から残余の不要光が透過し、当該不要光が隣接する偏光フィルタ機能膜５１で反射して、必要光と同じ方向に向かって反射することになり、フィルタリング機能を発揮することができない。
【００３７】
そこで、反射膜５３が吸収膜５２の上に形成されている。吸収膜５２から一部の不要光が漏れたとしても、反射膜５３を透過することなく反射する。そして、反射した一部の不要光は再度吸収膜５２に入射して、完全に不要光のエネルギーは吸収し尽くされる。従って、反射膜５３により確実に不要光を吸収膜５２に吸収させることができ、隣接する偏光フィルタ機能膜５１に一部の不要光が漏れることを防止することができる。つまり、反射膜５３は隣接する偏光フィルタ機能膜５１に不要光が進行することを遮断する遮断膜としての機能を発揮している。
【００３８】
このとき、反射膜５３は必ずしも漏れた不要光を全反射させる機能を有している必要はない。つまり、反射膜５３の目的としては、あくまでも隣接する偏光フィルタ機能膜５１に不要光が漏れることを防止することにある。そうすると、反射膜５３は不要光を遮断するという機能がメインとなる。つまり、反射膜５３は不要光の進行を遮断する遮断膜として機能する。従って、反射膜５３の反射率は１００％ではなくともよく、例えば６０％の反射率を有しているものでもよい。この場合、残りの４０％の不要光のエネルギーは透過することなく反射膜５３に吸収されることになるが、不要光を遮断する遮断膜としての機能を発揮していることになる。
【００３９】
一方、前述したように反射膜５３の上には透明部材同士を接合する接着剤１００が形成されている。当該接着剤１００は偏光フィルタ５０を構成するために必須のものである。そこで、吸収膜５２の上に遮断膜として機能する反射膜５３を形成するのではなく、吸収膜５２に接着剤１００を形成し、当該接着剤１００に光吸収機能を持たせることにより、反射膜５３は不要となる。つまり、光吸収機能を有する接着剤１００（光吸収接着剤）を用いると、吸収膜５２において吸収しきれずに透過した一部の不要光は当該接着剤１００においてさらに光吸収されることになる。このため、接着剤１００を透過して隣接する偏光フィルタ機能膜５１に不要光が透過することを防止することができる。
【００４０】
また、吸収膜５２の機能を接着剤１００に持たせることも可能である。つまり、光吸収接着剤において完全に光吸収させることができれば、吸収膜５２も遮断膜５３も不要となり、光吸収接着剤のみで不要光の透過を防止することができる。ただし、この場合は、光吸収接着剤が偏光フィルタ機能膜５１で反射した不要光を完全に吸収させる必要がある。
【００４１】
図３では、偏光フィルタ機能膜５１に対して片側に吸収膜５２を設けている。つまり、入射平面５０Ｓから入射した光が偏光フィルタ機能膜５１で反射した不要光を吸収させる位置に吸収膜５２を設けている。一方、図４では、１つの偏光フィルタ機能膜５１に対して両側に吸収膜５２を設けている。つまり、偏光フィルタ機能膜５１を挟んで、図３の吸収膜５２の反対側にも吸収膜５２を設けている。換言すれば、偏光フィルタ機能膜５１に対して、入射平面５０Ｓの側から入射する光と出射平面５０Ｒの側から入射する光とを吸収させる位置に夫々吸収膜５２を設けている。図４のように、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２を設けることにより、不要光除去効果を高めることができ、さらに画質の向上を図ることができる。
【００４２】
図４を用いて具体的に説明する。入射平面５０Ｓから入射した光は偏光フィルタ機能膜５１で必要光が透過し、不要光が反射する。そして、偏光フィルタ機能膜５１を透過した必要光はそのまま偏光ビームスプリッタ６０に向かって直進していく。図１に示されるように、偏光ビームスプリッタ６０に入射した必要光は最終的にはスクリーン９０に投射されて映像を映し出すが、偏光ビームスプリッタ６０から一部の光が偏光フィルタ５０に戻ってくることがある。これを戻り光ＲＬとする。
【００４３】
戻り光ＲＬがＳ偏光光の場合、戻り光ＲＬは再び偏光ビームスプリッタ６０に向かって光路を変えるため、画質の低下を招来する。つまり、図３のように偏光フィルタ機能膜５１の片側に吸収膜５２が設けられている場合には、戻り光ＲＬは偏光フィルタ機能膜５１で、入射平面５０Ｓから入射した光の不要光とは反対方向に向かって反射する。そうすると、吸収膜５２を通過することなく、反射膜５３で反射して再度偏光フィルタ機能膜５１に入射する。この戻り光ＲＬは、Ｓ偏光光であるため、偏光フィルタ機能膜５１で反射して、再び偏光ビームスプリッタ６０に向かって光路を変えることになる。従って、戻り光ＲＬが不要光として画質低下を招来する。そこで、図４のように、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２を設ければ、入射平面５０Ｓの側、又は出射平面５０Ｒの側の何れから入射した場合であっても、前記の戻り光ＲＬを不要光として確実に吸収させることができ、さらに画質の向上を図ることができる。
【００４４】
また、図４のように、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２を設けると、偏光フィルタ５０を配置するときの方向性という点でも有利な効果を奏する。つまり、図２に示される偏光フィルタ５０を、投射型表示装置等の光学システムの構成部品として配置するときに、本来の方向と反対の方向に配置すると、偏光フィルタ機能膜５１に入射する光の方向も、図２の光の方向とは反対の方向になる。そうすると、不要光を除去するという偏光フィルタ５０の機能を完全に果たすことができない。例えば、図２において、本来の方向と反対方向に偏光フィルタ５０を配置すると、光が出射平面５０Ｒから入射する。このときに、反射膜５３が形成されていない場合には、吸収膜５２により吸収しきれない不要光の一部が、隣接する偏光フィルタ機能膜５１で反射して、ノイズ成分の光として画質低下の要因となり得る。そこで、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２を設けることにより、前記の方向性という問題を回避することができる。
【００４５】
また、図２に示されるように、吸収膜５２は偏光フィルタ５０に複数設けられ、吸収膜５２と平行な２つの偏光フィルタ５０の端面のうち１つの端面には吸収膜５２が設けられているが、他方の端面には吸収膜５２は設けられていない。そうすると、この端面から不要光が漏れてしまい、ノイズ光として画質低下の要因となることがある。そこで、前記の端面に吸収膜５２を設けることが好ましい。このとき、前記の端面に吸収膜５２を設ければよいが、前述したように、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２を設けることにより、前記の端面にも吸収膜５２が設けられることになる。
【００４６】
従って、不要光除去の効果をさらに高め、偏光フィルタ５０を配置するときの方向性という観点からは、偏光フィルタ機能膜５１を挟んで吸収膜５２を両方向に配置したほうが好ましい。ただし、基本的には、図３のように偏光フィルタ機能膜５１の片側にだけ吸収膜５２を配置している場合でも、不要光除去という機能は十分に発揮する。
【００４７】
なお、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２を設ける場合、吸収膜５２と共に反射膜５３を設けると、図４のように、吸収膜５２、反射膜５３、接着剤１００、反射膜５３、吸収膜５２の順番になる。このとき、反射膜５３は不要光を反射させる機能を発揮すればよいため、吸収膜５２と共に反射膜５３が２箇所に設けられなくても、１箇所に設けられていればよい（つまり、吸収膜５２、反射膜５３、接着剤１００、吸収膜５２のように、反射膜５３を１つ省いてもよい）。
【００４８】
次に、偏光フィルタ５０の製造方法について、図５のフローチャートに沿って説明する。最初に、図６（ａ）に示されるような平板状の形状をしたガラス材料等を材料とする平板被処理体９１に対して両面研磨を施す（ステップＳ１：平板被処理体両面研磨工程）。平板被処理体９１の一面には誘電体多層膜である偏光フィルタ機能膜５１が成膜されるため、所定の光学的機能を発揮するためには、予め高い平面度を得ておく必要があるため、平板被処理体９１に対して両面研磨を施しておく必要がある。ここで、以下において順次説明していくが、平板被処理体９１に対して各種光学膜の成膜、積層、切断の処理を施して最終的に偏光フィルタ５０が生成されるため、その基材となる平板被処理体９１は偏光フィルタ５０を構成する透明部材５９と同一の材料が用いられることになる。なお、平板被処理体９１が予め高い平面度を得ている場合には、ステップＳ１は省略することが可能である。
【００４９】
図６（ｂ）に示されるように、両面研磨が施された平板被処理体９１の一面に対して偏光分離作用を発揮する偏光フィルタ機能膜５１を成膜して、成膜平板体９２を得る（ステップＳ２：偏光フィルタ機能膜成膜工程）。そして、同図（ｃ）に示されるように、成膜平板体９２を階段形状に積層して階段積層体９３を得る（ステップＳ３：階段積層体生成工程）。階段積層体９３を得るために、ステップＳ１及びＳ２を経て生成された成膜平板体９２を予め複数生成しておく。ここで、階段積層体９３の階段形状は偏光フィルタ５０に形成される偏光フィルタ機能膜５１の傾斜角によって決定される。一般に、偏光フィルタ機能膜５１は入射光に対して４５°の傾斜角で形成されるため、この場合は、階段積層体９３の階段形状の傾斜角も４５°で形成する。階段積層体９３を４５°の傾斜角で形成するためには、成膜平板体９２の厚み分だけずらして各成膜平板体９２を積層していく。そして、成膜平板体９２同士を接着剤で接着することにより、階段積層体９３が生成される。
【００５０】
次に、階段積層体９３を階段形状に沿って等間隔に切断して（図６（ｃ）に示される二点鎖線が切断箇所）、図７（ａ）に示されるような複数の階段切断体９４を得る（ステップＳ４：階段積層体切断工程）。後に（ステップＳ６のときに）、階段切断体９４の両面には吸収膜５２及び反射膜５３が成膜されるため、階段切断体９４の両面の平面度は高くなければならない。しかし、階段積層体９３を切断するときには、切断面に高い平面度を持たせることは難しいため、階段切断体９４の両面を研磨する必要がある。そこで、階段切断体９４の両面の研磨を行う（ステップＳ５：階段切断体両面研磨工程）なお、両面研磨を行わなくても高い平面度を保証できる場合には、ステップＳ５を省略することは可能である。
【００５１】
そして、両面研磨された階段切断体９４に吸収膜５２及び遮断膜としての反射膜５３を成膜して、成膜切断体９５を得る（ステップＳ６：吸収膜・遮断膜成膜工程）。このとき、図３のように偏光フィルタ機能膜５１の片側に吸収膜５２を設ける場合と図４のように偏光フィルタ機能膜５２の両側に吸収膜５２を設ける場合とで、このステップＳ６の内容が異なる。まず、偏光フィルタ機能膜５１の片側に吸収膜５２及び反射膜５３を配置する場合には、階段切断体９４の一面９４Ｓに対して、吸収膜５２を成膜して、その上に反射膜５３を成膜して成膜切断体９５を得る。一方、偏光フィルタ機能膜５１の両側に吸収膜５２及び反射膜５３を配置する場合には、成膜切断体９４の一面９４Ｓ及び反対面９４Ｒに対して、吸収膜５２を成膜して、その上に反射膜５３を成膜して成膜切断体９５を得る。階段積層体９３を切断することにより、複数の階段切断体９４が生成されるため、全ての階段切断体９４に対してステップＳ５及びＳ６の処理を施して、複数の成膜切断体９５を予め生成しておく。
【００５２】
なお、偏光フィルタ機能膜５１の片側に吸収膜５２及び反射膜５３を配置する場合において、複数の階段切断体９４に吸収膜５２及び反射膜５３を成膜するときには、全て同一の面９４Ｓに成膜するようにする。複数の階段切断体９４において、ある階段切断体９４は一面９４Ｓに、別の階段切断体９４は反対面９４Ｒに成膜されると、不要光を吸収する機能を発揮しないからである。
【００５３】
次に、図７（ｃ）に示されるように、直立状態となるように複数の成膜切断体９５を積層して直立積層体９６を得る（ステップＳ７：直立積層体生成工程）。階段積層体９３は階段形状となるように積層したが、直立積層体９６は直立状態となるように積層する。ただし、積層する態様は異なるが、階段積層体９３を生成したときと同様に、複数の成膜切断体９５を接着剤により接着する。そして、直立積層体９６に対して等間隔をもって垂直方向に切断することにより、図７（ｄ）に示されるような直立切断体９７が複数生成される（ステップＳ８：直立積層体切断工程）。直立切断体９７は目的物である偏光フィルタ５０とほぼ同一のものである。なお、このとき、図中にも示されるように、予め研磨代を見越して、目的物である偏光フィルタ５０よりも若干厚めに直立積層体９６を切断する。
【００５４】
偏光フィルタ５０の入射平面５０Ｓ及び出射平面５０Ｒは入射光に対して厳格に直交している必要がある。一方、直立切断体９７の切断面は偏光フィルタ５０の入射平面５０Ｓ及び出射平面５０Ｒとなるが、切断面の平面度は保証されていない。そこで、直立切断体９７の両面の切断面を研磨して、高い平面度を得る（ステップＳ９：直立切断体両面研磨工程）。当該研磨により、最終的に光学的精度が高い偏光フィルタ５０を得ることができる。
【００５５】
なお、接着剤１００が光吸収接着剤であり、当該接着剤が反射膜５３としての機能を果たす場合には反射膜５３の成膜は不要である。また、光吸収接着剤が吸収膜５２の機能をも果たす場合には、吸収膜５２の成膜も不要となる。
【００５６】
前述したように、偏光フィルタ５０は平板形状の透明部材５９に偏光フィルタ機能膜５１が所定角度をもって複数形成してフィルタリング機能を発揮しているため、偏光フィルタ５０を薄型化することができ、装置全体のコンパクト化という目的を達成することができる。換言すれば、本来なら１つの平面上に形成される偏光フィルタ機能膜５１を複数の偏光フィルタ機能膜５１に分割して並列させることにより、薄型化を実現しつつ偏光フィルタとしての役割を果たしていることになる。そうすると、偏光フィルタ５０の入射平面５０Ｓから入射する光の全ての光線が偏光フィルタ機能膜５１に入射させる必要があるが、光が進行する方向に対して各偏光フィルタ機能膜５１の間に隙間が生じていると、当該隙間から光が漏れるためフィルタリング機能を十分に発揮することはできない。
【００５７】
しかし、前述の製造方法によれば、ステップＳ７において、直立積層体９６を生成するときに、各成膜切断体９５は垂直方向においては隙間なく積層されている。図７（ｃ）及び（ｄ）に示されるように、直立積層体９６を切断した切断面と直交する方向が光の入射方向になる。そうすると、直立積層体９６を積層するときに、各成膜切断体９５は隙間なく積層されているため、光の入射方向に対しての隙間は生じなくなる。よって、前述の製造方法の各ステップを経ることにより、薄型化を実現した隙間のない偏光フィルタを製造することができる。
【００５８】
ここで、前述したステップＳ３において、階段積層体９３を生成するときに、複数の成膜平板体９２同士の接着には光学接着剤を用い、前述したステップＳ７において、直立積層体９６を生成するときに、成膜切断体９５同士の接着には光学接着剤以外の接着剤を使用する。光学接着剤はガラス等の光学部材同士を接合する接着剤であるが、接着剤により接合された接合面を光が透過するときには、通常の接着剤ではなく光学接着剤が使用される。つまり、接合面により透過光が光減衰等の影響を受けることを防止するためである。このため、光学接着剤には、ガラス等の光学部材との屈折率整合性が良く、光透過率も高い接着剤を使用する必要がある。
【００５９】
本発明では、成膜平板体９２同士を接合する接合面には、偏光フィルタ機能膜５１が成膜されている。偏光フィルタ機能膜５１は信号光を透過し、不要光を反射させる機能を有している。従って、信号光については、偏光フィルタ機能膜５１を透過するため、前記接合面も信号光が透過することになる。そこで、成膜平板体９２同士の接合には光学接着剤を使用することにより、光減衰等の影響を受けることを防止することができる。
【００６０】
一方、成膜切断体９５同士を接合する接合面には、吸収膜５２及び反射膜５３が成膜されている。前述したように吸収膜５２は不要光のエネルギーを吸収し、反射膜５３は不要光を全反射させる機能を有している。そうすると、成膜切断体９５同士の接合面を光は透過せず、むしろ光を透過させてはならないため、当該接合面には光学接着剤以外の接着剤を積極的に用いる。このとき、吸収膜５２は不要光のエネルギーを吸収しているため、吸収した光エネルギーは熱エネルギーに変換され、吸収膜５２に熱が蓄積されることになる。そうすると、金属膜である反射膜５３を介して接着剤にも熱エネルギーが伝わるため、接着剤は高温状態となる。そこで、光学接着剤以外の接着剤として耐久性や耐熱性に優れた接着剤を使用することが好ましい。このような接着剤を用いることにより、高温状態になったとしても剥離等の問題を招来することはない。
【００６１】
以上説明したように、本発明の偏光フィルタは、偏光フィルタ機能膜が光の進行方向に直交する方向に隙間なく並列して複数形成されることにより、偏光フィルタを薄型化することができ、装置全体のコンパクト化という目的を達成することができる。特に、偏光フィルタ機能膜に対応して複数の吸収膜が形成されることにより、信号光から分離された不要光を吸収させることができ、当該不要光によってスクリーンに投影される画像に対して悪影響を与えることを防止することができる。
【００６２】
ところで、図１の例では、偏光フィルタ５０はＰ偏光光を信号光として透過させ、Ｓ偏光光を不要光として除去しているものについて説明したが、Ｓ偏光光を信号光として透過し、Ｐ偏光光を不要光として除去する場合についても本発明を適用することが出来る。ここで、図８（ａ）及び（ｂ）において、相互に直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として定義し、光の進行方向をＺ軸とし、Ｚ軸に相互に直交する２軸をＸ軸とＹ軸とする。同図（ａ）は、Ｘ軸方向の面内を振動する場合を、同図（ｂ）は、Ｙ軸方向の面内を振動する場合について示している。偏光方向は、偏光フィルタ機能膜５１の入射面によって定まるため、図８（ａ）の場合は、Ｘ軸方向の面内を振動する光（図中、Ｂ（Ｘ）としている）がＰ偏光光となり、同図（ｂ）の場合は、Ｙ軸方向の面内を振動する光（図中、Ｂ（Ｙ）としている）がＰ偏光光となる。
【００６３】
図８（ａ）に示されるような態様で偏光フィルタ５０を配置すると、入射光の入射面はＢ（Ｘ）と平行な面内を振動する光となるため、Ｂ（Ｘ）と平行な偏光光は透過し、Ｂ（Ｘ）と直交する偏光光は透過せず反射する。一方、図８（ｂ）は、偏光フィルタ５０を９０°回転させて配置したものである。偏光フィルタ５０が９０°回転されると、入射面はＢ（Ｘ）から９０°回転され、入射面はＢ（Ｙ）と平行な面内を振動する光となる。従って、Ｂ（Ｙ）と平行な偏光光は透過し、Ｂ（Ｙ）と直交する偏光光は透過せず反射する。つまり、偏光フィルタ５０に入射する光の偏光方向によって、偏光フィルタ５０の配置態様を図８（ａ）又は（ｂ）のようにすることにより、任意の偏光方向の入射光についてフィルタリング機能を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】液晶プロジェクタの一部を示す概略構成図である。
【図２】偏光フィルタの断面図である。
【図３】片面に吸収膜を成膜している場合の偏光フィルタの拡大図である。
【図４】両面に吸収膜を成膜している場合の偏光フィルタの拡大図である。
【図５】偏光フィルタを製造する処理の流れを示すフローチャートである。
【図６】偏光フィルタの製造方法のステップＳ１〜Ｓ４までの説明図である。
【図７】偏光フィルタの製造方法のステップＳ６〜Ｓ８までの説明図である。
【図８】Ｐ偏光光を反射してＳ偏光光を透過する場合の偏光フィルタの説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
５０    偏光フィルタ                ５１    偏光フィルタ機能膜
５２    吸収膜                    ５３    反射膜
６０    偏光ビームスプリッタ            ９１    平板被処理体
９２    成膜平板体                ９３    階段積層体
９４    階段切断体                ９５    成膜切断体
９６    直立積層体                ９７    直立切断体
【図１】
2008116898.tif 000003
【図２】
2008116898.tif 000004
【図３】
2008116898.tif 000005
【図４】
2008116898.tif 000006
【図５】
2008116898.tif 000007
【図６】
2008116898.tif 000008
【図７】
2008116898.tif 000009
【図８】
2008116898.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月13日(2007.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
入射光のうち不要光を除去する光学フィルタであって、
前記光学フィルタは平板状の形状からなり、前記入射光のうち必要光のみを透過させ、他方を前記不要光として反射させて、前記入射光を前記必要光と前記不要光とに分解する機能を有する光学フィルタ機能膜が、入射光の進行方向に対して傾斜した方向に等間隔に複数並列して形成され、
前記光学フィルタ機能膜で反射した前記不要光を吸収する機能を有する光吸収部材が、前記光学フィルタ機能膜に対応して、等間隔に複数並列して形成されていることを特徴とする光学フィルタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
平板状の形状をした平板被処理体の一面に対して、不要光を反射し、前記不要光以外の必要光を透過する分離作用を有する光学フィルタ機能膜を成膜する工程と、
前記平板被処理体に前記光学フィルタ機能膜が成膜された成膜平板体を階段状に積層する工程と、
前記成膜平板体が階段状に積層された階段積層体を、前記階段形状の傾斜角に沿って等間隔に切断する工程と、
前記階段積層体を切断した階段切断体の両面又は一面に光吸収作用を有する部材を形成する工程と、
前記階段切断体に前記光吸収性を有する部材を形成した切断体を直立状態に積層する工程と、
前記光吸収性を有する部材を形成した切断体を直立状態に積層した直立積層体を垂直方向に等間隔で切断する工程と、を有することを特徴とする光学フィルタの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の光学フィルタは、入射光のうち不要光を除去する光学フィルタであって、前記光学フィルタは平板状の形状からなり、前記入射光のうち必要光のみを透過させ、他方を前記不要光として反射させて、前記入射光を前記必要光と前記不要光とに分解する機能を有する光学フィルタ機能膜が、入射光の進行方向に対して傾斜した方向に等間隔に複数並列して形成され、前記光学フィルタ機能膜で反射した前記不要光を吸収する機能を有する光吸収部材が、前記光学フィルタ機能膜に対応して、等間隔に複数並列して形成されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明の偏光フィルタの製造方法は、平板状の形状をした平板被処理体の一面に対して、不要光を反射し、前記不要光以外の必要光を透過する分離作用を有する光学フィルタ機能膜を成膜する工程と、前記平板被処理体に前記光学フィルタ機能膜が成膜された成膜平板体を階段状に積層する工程と、前記成膜平板体が階段状に積層された階段積層体を、前記階段形状の傾斜角に沿って等間隔に切断する工程と、前記階段積層体を切断した階段切断体の両面又は一面に光吸収作用を有する部材を形成する工程と、前記階段切断体に前記光吸収性を有する部材を形成した切断体を直立状態に積層する工程と、前記光吸収性を有する部材を形成した切断体を直立状態に積層した直立積層体を垂直方向に等間隔で切断する工程と、を有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2008116898.tif 000011