(57)【要約】【課題】ガイドレールが温度変動に対して自由に伸縮し歪まない形状と、ガイドレールと搬送トレイとの最適クリアランスを一義的に決める構造を実現する。【解決手段】支持ベースに取り付けられる一対のガイドレールと、この一対のガイドレールにそれぞれ設けられ搬送用トレイを挟持する凹部とを具備する搬送装置において、  前記ガイドレールは、前記凹部を有するガイドレール本体と、このガイドレール本体の底面に一方の面が接し他方の面が前記支持ベースに取り付けられ前記ガイドレール本体より熱伝導性が良好な材料よりなるレールベースとを具備したことを特徴とする搬送装置である。【選択図】図１
2008308315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持ベースに取り付けられる一対のガイドレールと、この一対のガイドレールにそれぞれ設けられ搬送用トレイを挟持する凹部とを具備する搬送装置において、
前記ガイドレールは、前記凹部を有するガイドレール本体と、
このガイドレール本体の底面に一方の面が接し他方の面が前記支持ベースに取り付けられ前記ガイドレール本体より熱伝導性が良好な材料よりなるレールベースと
を具備したことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記レールベースの前記一方の面に設けられ前記ガイドレール本体の底部が嵌合される嵌合溝
を具備したことを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記ガイドレール本体の底部に設けられガイドレール本体の熱膨張を吸収する熱膨張吸収溝
を具備したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ガイドレール本体の長手方向の両端にそれぞれ設けられ前記ガイドレール本体を前記レールベースに固定する固定ねじと、
この固定ねじの一方側に設けられ前記ガイドレール本体の熱膨張による伸びを吸収する長穴と
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の搬送装置。
【請求項５】
前記長穴に配置された固定ねじの頭部と前記ガイドレール本体との間にコイルスプリングとワッシヤーが設けられたこと
を特徴とする請求項４記載の搬送装置。
【請求項６】
前記ガイドレール本体の一方端側に設けられ前記レールベースに前記ガイドレール本体を固定する固定ねじと、
前記ガイドレール本体の底部に設けられ前記レールベースを係止する係止溝と
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記ガイドレール本体は、互いに隙間を有して配置され、大熱膨張量を生じないように小単位長さに分割された複数の小単位長ガイドレール本体からなること
を特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トレイを搬送する搬送装置に関するものである。
更に詳述すれば、水平搬送型の搬送装置において、測定ＩＣデバイスを専用の搬送用トレイに搭載し、定まった経路で装置内を搬送させる搬送装置において、搬送用トレイを正しく導くガイドレールを有する搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
搬送装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３７０５３号公報
【０００４】
図７は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、図８は図７の要部構成説明図、図９は図８の要部構成説明図、図１０は図７の動作説明図、図１１は図７の動作説明図、図１２は図７の動作説明図である。
【０００５】
図７は、水平搬送型のＩＣハンドラーのＩＣ搬送装置とその搬送経路の概要図である。
トレイ１は、図８に示す如く、相向かい合う「コの字」状の断面形状を持つガイドレール２にガイドされ、装置の支持ベース３上を循環する。
ガイドレール２は、図９に示す如く、支持ベース３に、ねじ止め穴４を介してねじにより固定されている。
【０００６】
トレイ１の搬送動力は、アクチュエータ（エアシリンダー等。）（図示せず）を用い、トレイ１に直接ピン結合し搬送している。
トレイ１は、検査前ＩＣを供給するＩＣローダー部Ａ、トレイ１を加温するチャンバー部Ｂ，検査機器にＩＣを接続するＩＣ検査部Ｃ、検査後ＩＣを分類収納するＩＣアンローダー部Ｄの箇所において、支持ベース３のガイドレール２上に一時的に留まる。
【０００７】
ＩＣの測定条件の１つに、常温から１２５度の温度範囲があり、その間の所定の温度でＩＣを加温する。
加温はチャンバー部Ｂの他、その前後のポジションで、予熱・保温を行うヒーターを有している。
この場合は、ガイドレール２は、摺動性と耐磨耗性および耐熱性から耐熱性ナイロン素材が選定されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の理由により、搬送トレイが搬送途中にガイドレール２内で引っかかり搬送が止まる間題点がある。
図１０、図１１に示す如く、ガイドレール２は、両端または、複数点をネジにより固定されており、熱膨張による水平方向の伸びを逃がす構造になく、ガイドレール２に撓みが生じる。例えば、レール長６００ｍｍで、Δ１００℃時に約５ｍｍの伸びを生ずる。
図１０、図１１において、（Ａ）は常温時、（Ｂ）は高温時を示す。
【０００９】
図１２に示す如く、ガイドレール２と搬送トレイ１との最適クリアランスＥを、一義的に決める構造になく、クリアランスＥが小さければ引っかかり、また、クリアランスＥが大きければ、搬送トレイ１とアクチュエータ（エアシリンダーなど）とのピン勘合に許容されるクリアランスを超え、アクチュエータと搬送トレイ１との勘合が出来ないことが起る。
【００１０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ガイドレールが温度変動に対して自由に伸縮し歪まない形状と、ガイドレールと搬送トレイとの最適クリアランスを一義的に決める構造を実現する搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の搬送装置においては、
支持ベースに取り付けられる一対のガイドレールと、この一対のガイドレールにそれぞれ設けられ搬送用トレイを挟持する凹部とを具備する搬送装置において、前記ガイドレールは、前記凹部を有するガイドレール本体と、このガイドレール本体の底面に一方の面が接し他方の面が前記支持ベースに取り付けられ前記ガイドレール本体より熱伝導性が良好な材料よりなるレールベースとを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２の搬送装置においては、請求項１記載の搬送装置において、
前記レールベースの前記一方の面に設けられ前記ガイドレール本体の底部が嵌合される嵌合溝を具備したことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項３の搬送装置においては、請求項１又は請求項２記載の搬送装置において、
前記ガイドレール本体の底部に設けられガイドレール本体の熱膨張を吸収する熱膨張吸収溝を具備したことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項４の搬送装置においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の搬送装置において、
前記ガイドレール本体の長手方向の両端にそれぞれ設けられ前記ガイドレール本体を前記レールベースに固定する固定ねじと、この固定ねじの一方側に設けられ前記ガイドレール本体の熱膨張による伸びを吸収する長穴とを具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項５の搬送装置においては、請求項４記載の搬送装置において、
前記長穴に配置された固定ねじの頭部と前記ガイドレール本体との間にコイルスプリングとワッシヤーが設けられたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項６の搬送装置においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の搬送装置において、
前記ガイドレール本体の一方端側に設けられ前記レールベースに前記ガイドレール本体を固定する固定ねじと、前記ガイドレール本体の底部に設けられ前記レールベースを係止する係止溝とを具備したことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項７の搬送装置においては、請求項１乃至請求項６の何れかに記載の搬送装置において、
前記ガイドレール本体は、互いに隙間を有して配置され、大熱膨張量を生じないように小単位長さに分割された複数の小単位長ガイドレール本体からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
ガイドレールは、ガイドレール本体とレールベースとよりなるので、レール厚さを必要最小限にしたガイドレール本体が構成できるので、ガイドレール全体としての熱膨張量も少なく抑えられると共に、レールベースを熱伝導性のよい金属にする事で放熱効果も期待できる搬送装置が得られる。
熱膨張による搬送トレイの引っかかりを改善でき、さらに、組立て性の改善により組立て調整レス構成となる搬送装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
レールベースには、常温でガイドレール本体と嵌め合い可能な嵌合溝を有しているため、ねじ止め穴のクリアランスに関係なくガイドレール本体の位置決めが行え、対向するガイドレール本体間のピッチも一定になるので、トレイの搬送クリアランスを、対向するガイドレール間で保つことができ、レールベースに設けられた嵌合溝にガイドレール本体を合わせるだけで調整フリーとなる搬送装置が得られる。
ガイドレールの交換はユーザーメンテナンス作業でもあり、メンテナンス作業に有効な搬送装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
ガイドレール本体と嵌合溝とは、熱膨張を考慮しすぎると、常温時には隙間が多きくなり、使い物にならなくなる。
熱膨張吸収溝は、有る程度まで熱膨張し、嵌合溝のクリアランスでは不足になった後、熱膨張吸収溝が内側に変形することで熱膨張分を吸収できる搬送装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
長穴が設けられたので、ガイドレール本体は、自由に伸縮でき歪まない。
これにより、ガイドレール本体の撓みによる搬送トレイの引っかかりを防止できる搬送装置が得られる。
【００２２】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
コイルスプリングとワッシヤーとが設けられたので、よりガイドレール本体の熱膨張時の摺動性が良好な搬送装置が得られる。
【００２３】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
ガイドレール本体の一方端側に設けられ、レールベースにガイドレール本体を固定する固定ねじと、ガイドレール本体の底部に設けられ、レールベースを係止する係止溝とが設けられたので、ガイドレール本体がレールベースにはめ込まれる構造にして置き、一端はねじ止めされるが、他端はフリーであるので、ガイドレール本体は曲がることなく、温度変動に対しては、自由に伸縮できる搬送装置が得られる。
【００２４】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
ガイドレール本体は、互いに隙間を有して配置され、大熱膨張量を生じないように小単位長さに分割された複数の小単位長ガイドレール本体からなるので、レール長が細分化されガイドレール本体の熱膨張による影響が出難い搬送装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図７と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図７との相違部分のみ説明する。
【００２６】
図１において、ガイドレール１１は、凹部１２を有するガイドレール本体１３と、
このガイドレール本体１３の底面に一方の面が接し他方の面が支持ベース３に取り付けられ、ガイドレール本体より熱伝導性が良好な材料よりなるレールベース１４とを有する。
嵌合溝１５は、レールベース１４の一方の面に設けられ、ガイドレール本体１３の底部が嵌合される。
【００２７】
固定ねじ１６は、ガイドレール本体１３の長手方向の両端にそれぞれ設けられ、ガイドレール本体１３をレールベース１４に固定する。
長穴１７は、固定ねじ１６の一方側に設けられ、ガイドレール本体１３の熱膨張による伸びを吸収する。
【００２８】
以上の構成において、図７従来例のガイドレール２の厚さは、図９に示す如く厚く、長さ方向と共に、高さ方向にも熱膨張があったが、図１実施例では、熱伝導性の良い金属、例えば、アルミをレールベース１４とし、その上に、レール厚さを必要最小限にしたガイドレール本体１３を取付け、ガイドレール１１全体としては、長さ方向と共に、高さ方向にも熱膨張を抑えることができる。
【００２９】
レールベース１４には、ガイドレール本体１３の底部と嵌め合い可能な嵌合溝１５を有しているため、固定ねじ１６のねじ止め穴のクリアランスに関係なく、ガイドレール本体１３の位置決めが行え、対向するガイドレール本体１３間のピッチも一定にできる。
【００３０】
ガイドレール本体１３は、一端を固定ねじ１６でねじ止めとし、他端の固定ねじ１６の部分には自由度を設ける。
即ち、ロングレール、例えば、６００ｍｍのままでも、ガイドレール本体１３の他端の固定ねじ１６の部分には、長穴１７が設けられ、固定ねじ１６を段付きねじ（ショルダーボルト）とすることで、熱膨張時でもガイドレール本体１３の膨張分を押さえ込まずに、逃がせる構造とすることができる。
【００３１】
この結果、
ガイドレール１１は、ガイドレール本体１３とレールベース１４とよりなるので、レール厚さを必要最小限にしたガイドレール本体１３が構成できるので、ガイドレール１１全体としての熱膨張量も少なく抑えられると共に、レールベース１４を熱伝導性のよい金属にする事で放熱効果も期待できる搬送装置が得られる。
熱膨張による搬送トレイ１の引っかかりを改善でき、さらに、組立て性の改善により組立て調整レス構成となる搬送装置が得られる。
【００３２】
レールベース１４には、常温でガイドレール本体１３と嵌め合い可能な嵌合溝１５を有しているため、ねじ止め穴のクリアランスに関係なくガイドレール本体１３の位置決めが行え、対向するガイドレール本体１３間のピッチも一定になるので、トレイ１の搬送クリアランスを、対向するガイドレール１１間で保つことができ、レールベース１４に設けられた嵌合溝１５にガイドレール本体１３を合わせるだけで、調整フリーとなる搬送装置が得られる。
【００３３】
ガイドレール１１の交換はユーザーメンテナンス作業でもあり、メンテナンス作業に有効な搬送装置が得られる。
長穴１７が設けられたので、ガイドレール本体１３は、自由に伸縮でき歪まない。
これにより、ガイドレール本体１３の撓みによる搬送トレイ１の引っかかりを防止できる搬送装置が得られる。
【００３４】
図２は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図２において、熱膨張吸収溝２１は、ガイドレール本体１３の底部に設けられ、ガイドレール本体１３の熱膨張を吸収する。
２２は、固定ねじ１６用の穴である。
【００３５】
ガイドレール本体１３と嵌合溝１５とは、熱膨張を考慮しすぎると、常温時には隙間が多きくなり、使い物にならなくなる。
熱膨張吸収溝２１は、ガイドレール本体１３が有る程度まで熱膨張し、嵌合溝１５のクリアランスでは不足になった後、熱膨張吸収溝２１が内側に変形することで熱膨張分を吸収できる搬送装置が得られる。
【００３６】
図３は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図３において、コイルスプリング３１とワッシヤー３２とは、長穴１７に配置された固定ねじ１６の頭部とガイドレール本体１３との間に設けられている。
【００３７】
この結果、コイルスプリング３１とワッシヤー３２とが設けられたので、よりガイドレール本体１３の熱膨張時の摺動性が良好な搬送装置が得られる。
【００３８】
図４，５は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図４において、固定ねじ４１は、ガイドレール本体１３の一方端側に設けられ、レールベース１４に、ガイドレール本体１３を固定する。
係止溝４２は、ガイドレール本体１３の底部に設けられ、レールベース１４を係止する。
【００３９】
この結果、ガイドレール本体１３の一方端側に設けられ、レールベース１４にガイドレール本体１３を固定する固定ねじ４１と、ガイドレール本体１３の底部に設けられ、レールベース１４を係止する係止溝４２とが設けられたので、ガイドレール本体１３がレールベース１４にはめ込まれる構造にして置き、一端はねじ止め４１されるが、他端はフリーであるので、ガイドレール本体１３は曲がることなく、温度変動に対しては、自由に伸縮できる搬送装置が得られる。
【００４０】
図６は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図６において、ガイドレール本体５１は、互いに隙間５２を有して配置され、大熱膨張量を生じないように小単位長さに分割された複数の小単位長ガイドレール本体５３からなる。
【００４１】
５４は固定ねじである。
例えば、具体的には、単位長ガイドレール本体５３は１４０ｍｍ、隙間５２は１０〜１５ｍｍ、固定ねじ５４から単位長ガイドレール本体５３の端までは２０ｍｍである。
例えば、取付けねじピッチを１００ｍｍ程度にすることで、その箇所の熱膨張を０．８ｍｍ程度に抑えることが出来る。
隣接する単位長ガイドレール本体５３間には十分な隙間を設け、隣り合う単位長ガイドレール本体５３が干渉することがない様にする。
【００４２】
この結果、
ガイドレール本体５１は、互いに隙間５２を有して配置され、大熱膨張量を生じないように小単位長さに分割された複数の小単位長ガイドレール本体５３からなるので、レール長が細分化されガイドレール本体５１の熱膨張による影響が出難い搬送装置が得られる。
【００４３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図７】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図８】図７の要部構成説明図である。
【図９】図８の要部構成説明図である。
【図１０】図７の動作説明図である。
【図１１】図７の動作説明図である。
【図１２】図７の動作説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１      トレイ
２      ガイドレール
３      支持ベース
４      ねじ止め穴
５      ねじ
１１    ガイドレール
１２    凹部
１３    ガイドレール本体
１４    レールベース
１５    嵌合溝
１６    固定ねじ
１７    長穴
２１    熱膨張吸収溝
２２    固定ねじ１６用の穴
３１    コイルスプリング
３２    ワッシヤー
４１    固定ねじ
４２    係止溝
５１    ガイドレール本体
５２    隙間
５３    小単位長ガイドレール本体
５４    固定ねじ
Ａ      ＩＣローダー部
Ｂ      チャンバー部
Ｃ      ＩＣ検査部
Ｄ      ＩＣアンローダー部
Ｅ      クリアランス
【図１】
2008308315.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008308315.tif 000008
【図７】
2008308315.tif 000009
【図８】
2008308315.tif 000010
【図９】
2008308315.tif 000011
【図１０】
2008308315.tif 000012
【図１１】
2008308315.tif 000013
【図１２】
2008308315.tif 000014