(57)【要約】【課題】プルイン時のミラーの固着を解消して、ミラーを初期位置に復帰させる。【解決手段】ミラー制御装置１００は、回動可能に支持されたミラー２３０と、ミラー２３０から離間して配置された複数の電極３４０ａ〜３４０ｄと、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとの固着の解除を指示するプルイン解除指令信号が外部から入力されたときに、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄのうち少なくとも一方に直流成分が略零の交流電圧を印加するミラー電圧印加手段４００及び駆動電圧印加手段４０１とを備える。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動可能に支持されたミラーと、このミラーから離間して配置された複数の電極とを備えたミラー制御装置において、
前記ミラーと前記電極との固着の解除を指示するプルイン解除指令信号が外部から入力されたときに、前記ミラーと前記電極のうち少なくとも一方に交流電圧を印加する交流電圧印加手段を備えることを特徴とするミラー制御装置。
【請求項２】
請求項１記載のミラー制御装置において、
さらに、前記ミラーの反射光が入射すべきポートに入射したか否かを検出する検出手段と、
この検出手段による検出結果を受けて、前記ミラーの反射光が入射すべきポートに入射していないと判定した場合に、前記プルイン解除指令信号を前記交流電圧印加手段に出力する判定手段とを備えることを特徴とするミラー制御装置。
【請求項３】
請求項１記載のミラー制御装置において、
さらに、前記ミラーから離間して配置されたセンサ電極と、
このセンサ電極の信号に基づいて前記ミラーの傾斜角を検出し、検出した傾斜角が所定の閾値を超えた場合に、前記プルイン解除指令信号を前記交流電圧印加手段に出力する判定手段とを備えることを特徴とするミラー制御装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のミラー制御装置において、
前記交流電圧は、直流成分が略零であることを特徴とするミラー制御装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のミラー制御装置において、
前記交流電圧は、矩形波電圧であることを特徴とするミラー制御装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のミラー制御装置において、
前記交流電圧は、正弦波電圧であることを特徴とするミラー制御装置。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のミラー制御装置において、
前記交流電圧は、正電位と零電位と負電位とが周期的に入れ替わることを特徴とするミラー制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通信用の光スイッチ等に使用されるミラー制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インターネット通信網などにおける基盤となる光ネットワークの分野では、多チャンネル化、波長分割多重（ＷＤＭ）化および低コスト化を実現する技術として、光ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）技術が脚光を浴びており、この技術を用いて光スイッチが開発されている（例えば、特許文献１参照）。このＭＥＭＳ型の光スイッチの構成部品として最も特徴的なものがミラーアレイであり、ミラーアレイは複数のミラー制御装置を２次元的にマトリクス状に配設したものである。図１は本発明の第１の実施の形態に係るミラー制御装置の構成を示す分解斜視図、図２は図１のミラー制御装置の断面図であるが、従来のミラー制御装置においても機械的な構成は同様であるので、図１、図２を用いて従来のミラー制御装置を説明する。
【０００３】
ミラー制御装置１００は、ミラーが形成されたミラー基板（上部基板）２００と、電極が形成された電極基板（下部基板）３００とが平行に配設された構造を有する。
ミラー基板２００は、平面視略円形の開口を有する板状の枠部２１０と、平面視略円形の開口を有し、一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂにより枠部２１０の開口内に配設された可動枠２２０と、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂにより可動枠２２０の開口内に配設された平面視略円形のミラー２３０とを有する。枠部２１０、トーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ、可動枠２２０およびミラー２３０は、例えば単結晶シリコンで一体形成されている。ミラー２３０の表面には例えば３層のＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ層が形成されている。また、枠部２１０の上面には、可動枠２２０およびミラー２３０を取り囲むような枠状部材２４０が形成されている。
【０００４】
一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂは、枠部２１０と可動枠２２０とを連結している。可動枠２２０は、一対のトーションバネ２１１ａ，２１１ｂを通る図１の可動枠回動軸ｘを軸として回動することができる。
同様に、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂは、可動枠２２０とミラー２３０とを連結している。ミラー２３０は、一対のトーションバネ２２１ａ，２２１ｂを通る図１のミラー回動軸ｙを軸として回動することができる。可動枠回動軸ｘとミラー回動軸ｙとは、互いに直交している。結果として、ミラー２３０は、直交する２軸で回動する。
【０００５】
電極基板３００は、板状の基部３１０と、基部３１０の表面（上面）から突出し、対向するミラー基板２００のミラー２３０と対向する位置に形成された段丘状の突出部３２０を有する。基部３１０と突出部３２０は例えば単結晶シリコンからなる。突出部３２０は、基部３１０の上面に形成された角錐台の形状を有する第２テラス３２２と、この第２テラス３２２の上面に形成された角錐台の形状を有する第１テラス３２１と、この第１テラス３２１の上面に形成された柱状の形状を有するピボット３３０とから構成される。このピボット３３０は、第１テラス３２１のほぼ中央に位置するように形成される。これにより、ピボット３３０は、ミラー２３０の中心に対向する位置に配設される。
【０００６】
突出部３２０の四隅とこの四隅に続く基部３１０の上面には、対向するミラー基板２００のミラー２３０と同心の円内に４つの電極３４０ａ〜３４０ｄが形成されている。また、基部３１０の上面には、突出部３２０を挟むように並設された一対の凸部３６０ａ，３６０ｂが形成されている。さらに、基部３１０の上面の突出部３２０と凸部３６０ａおよび凸部３６０ｂとの間の箇所には、それぞれ配線３７０が形成されており、この配線３７０には、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄを介して電極３４０ａ〜３４０ｄが接続されている。なお、基部３１０の表面には酸化シリコン等からなる絶縁層３１１が形成されており、この絶縁層３１１の上に電極３４０ａ〜３４０ｄ、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄ、配線３７０が形成されている。
【０００７】
以上のようなミラー基板２００と電極基板３００とは、ミラー２３０とこのミラー２３０に対応する電極３４０ａ〜３４０ｄとが対向配置されるように、枠部２１０の下面と凸部３６０ａ，３６０ｂの上面とを接合することにより、図２に示すようなミラー制御装置１００を構成する。
このようなミラー制御装置１００においては、ミラー２３０を接地し、電極３４０ａ〜３４０ｄに正の電圧を与えて、しかも電極３４０ａ〜３４０ｄ間に非対称な電位差を生じさせることにより、ミラー２３０を静電引力で吸引し、ミラー２３０を任意の方向へ回動させることができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−５７５７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ミラー２３０は、４つの電極３４０ａ〜３４０ｄ間の電位差によって発生する静電引力と、この静電引力に抗してミラー２３０の位置を戻そうとするトーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂの復元力とが釣り合った場合に、ある角度を維持して停止する。電極３４０ａ〜３４０ｄに加える駆動電圧を高くして、ミラー２３０の傾斜角を大きくすると、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄ間の距離が小さくなる。ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとの間に発生する静電引力は、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄ間の距離の２乗に反比例する。よって、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄ間の距離が小さくなると、静電引力は大きくなる。一方、静電引力に抗するトーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂの復元力は、ミラー２３０の傾斜角に比例して大きくなる。したがって、ミラー２３０の傾斜角が大きくなると、静電引力とトーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂの復元力とが釣り合わなくなり、図１０に示すようにミラー２３０の回動が停止せずに、ミラー２３０が絶縁層３１１や電極３４０ａ〜３４０ｄに接触するプルインと呼ばれる現象が発生する。
【００１０】
絶縁層３１１が電極３４０ａ〜３４０ｄへの電圧印加により分極し、あるいは何らかの理由で帯電していると、ミラー２３０が絶縁層３１１に接触したときに、ミラー２３０が絶縁層３１１に固着してしまうことがあった。一旦、この静電引力による固着が発生すると、その後に電極３４０ａ〜３４０ｄの電位を零にしたり、反対側にミラー２３０が回動するように電極３４０ａ〜３４０ｄに電圧を印加したりしたとしても、ミラー２３０が絶縁層３１１に固着したまま動かないという問題点があった。
【００１１】
また、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが接触したときに、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄ間に電位差があると、電極３４０ａ〜３４０ｄに駆動電圧を供給している電源から電流が短時間に流れ、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが電着される。この電着が発生すると、静電引力による固着の場合と同様に、ミラー２３０を復帰させることができなくなる。このような電着を防止するために、電極３４０ａ〜３４０ｄの表面あるいはミラー２３０の表面を絶縁層で覆い、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが接触したとしても電流が流れないようにすることが考えられる。しかし、この絶縁層とミラー２３０あるいは電極３４０ａ〜３４０ｄが接触すると、先に説明した絶縁層３１１とミラー２３０との接触の場合と同様に、ミラー２３０が絶縁層に固着してしまう可能性があった。
【００１２】
また、どのような条件下でもプルインが発生しないように、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄ間の距離を大きくすることも考えられるが、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄ間の距離を大きくすると、静電駆動型のミラー制御装置１００の場合には非常に大きな駆動電圧を必要とするという問題点があった。
【００１３】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、プルイン時のミラーの固着を解消して、ミラーを初期位置に復帰させることができるミラー制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、回動可能に支持されたミラーと、このミラーから離間して配置された複数の電極とを備えたミラー制御装置において、前記ミラーと前記電極との固着の解除を指示するプルイン解除指令信号が外部から入力されたときに、前記ミラーと前記電極のうち少なくとも一方に交流電圧を印加する交流電圧印加手段を備えるものである。
また、本発明のミラー制御装置の１構成例は、さらに、前記ミラーの反射光が入射すべきポートに入射したか否かを検出する検出手段と、この検出手段による検出結果を受けて、前記ミラーの反射光が入射すべきポートに入射していないと判定した場合に、前記プルイン解除指令信号を前記交流電圧印加手段に出力する判定手段とを備えるものである。
また、本発明のミラー制御装置の１構成例は、さらに、前記ミラーから離間して配置されたセンサ電極と、このセンサ電極の信号に基づいて前記ミラーの傾斜角を検出し、検出した傾斜角が所定の閾値を超えた場合に、前記プルイン解除指令信号を前記交流電圧印加手段に出力する判定手段とを備えるものである。
また、本発明のミラー制御装置の１構成例において、前記交流電圧は、直流成分が略零の電圧である。この交流電圧は、矩形波電圧でもよいし、正弦波電圧でもよく、また正電位と零電位と負電位とが周期的に入れ替わる電圧でもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、プルイン解除指令信号が外部から入力されたときに、ミラーと電極のうち少なくとも一方に交流電圧を印加する交流電圧印加手段を設けることにより、静電引力によるミラーの固着を解消して、ミラーを初期位置に復帰させることができる。その結果、本発明では、プルインの発生を防止するために、ミラーと電極間の距離を大きくする必要がなく、ミラーと電極間の距離の増大に応じて駆動電圧を大きくする必要もない。
【００１６】
また、本発明では、ミラーの反射光が入射すべきポートに入射したか否かを検出する検出手段と、ミラーの反射光が入射すべきポートに入射していないと判定した場合に、プルイン解除指令信号を交流電圧印加手段に出力する判定手段とを設けることにより、静電引力によるミラーの固着を解消して、ミラーを自動的に初期位置に復帰させることができる。
【００１７】
また、本発明では、センサ電極と、センサ電極の信号に基づいてミラーの傾斜角を検出し、検出した傾斜角が所定の閾値を超えた場合に、プルイン解除指令信号を交流電圧印加手段に出力する判定手段とを設けることにより、静電引力によるミラーの固着を解消して、ミラーを自動的に初期位置に復帰させることができる。
【００１８】
また、本発明では、交流電圧の直流成分を略零とすることにより、電極の下にある絶縁層あるいは電極の表面を覆う絶縁層に溜まった電荷を時間平均的に零に近づけることができ、静電引力によるミラーの固着を解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係るミラー制御装置の構成を示す分解斜視図、図２は図１のミラー制御装置の断面図である。前述のとおり、枠部２１０、トーションバネ２１１ａ，２１１ｂ，２２１ａ，２２１ｂ、可動枠２２０およびミラー２３０は導電性の材料（本実施の形態では単結晶シリコン）で一体形成されており、ミラー２３０はミラー基板２００に対して回動可能に支持されている。一方、単結晶シリコン等からなる基部３１０の表面には酸化シリコン等からなる絶縁層３１１が形成されており、この絶縁層３１１の上に電極３４０ａ〜３４０ｄ、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄ、配線３７０が形成されている。
【００２０】
本実施の形態は、プルインが発生したときに電極３４０ａ〜３４０ｄに周期電圧（交流電圧）を印加することを特徴とする。図３は本実施の形態のミラー制御装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。
通常の動作の場合、ミラー電圧印加手段４００は、枠部２１０とトーションバネ２１１ａ，２１１ｂと可動枠２２０とトーションバネ２２１ａ，２２１ｂとを介してミラー２３０に接地電位を印加する。
【００２１】
一方、駆動電圧印加手段４０１は、通常の動作の場合、電極３４０ａ〜３４０ｄのうち少なくとも１つに対して駆動電圧を印加する。駆動電圧印加手段４０１は、予めミラー２３０の傾斜角と駆動電圧値との関係が設定されたテーブルを内部に備えており、ミラー２３０の所望の傾斜角に対応する駆動電圧値をテーブルから取得して、電極３４０ａ〜３４０ｄに駆動電圧を印加する。電極３４０ａ〜３４０ｄには、引き出し線３４１ａ〜３４１ｄを介して駆動電圧が印加される。
【００２２】
ここで、ミラー２３０にプルインが発生したことを監視員が発見した場合、監視員はプルイン解除指令信号をミラー電圧印加手段４００と駆動電圧印加手段４０１とに入力する。プルイン解除指令信号を受けたミラー電圧印加手段４００は、ミラー２３０をオープン状態（フローティング状態）にする。本実施の形態において、交流電圧印加手段となる駆動電圧印加手段４０１は、プルイン解除指令信号が入力された場合、全ての電極３４０ａ〜３４０ｄに図４に示すような直流成分が略零の交流電圧を印加する。ミラー２３０をオープン状態にする理由は、駆動電圧印加手段４０１から電極３４０ａ〜３４０ｄを介してミラー２３０に電流が流れることを防止するためである。
【００２３】
プルインが発生した状態で直流成分が略零の交流電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄに印加すると、絶縁層３１１に溜まった電荷を時間平均的には零に近づけることができる。結果として、本実施の形態では、静電引力によるミラー２３０の固着を解消して、ミラー２３０を初期位置（図２における水平位置）に復帰させることができる。
【００２４】
［第２の実施の形態］
第１の実施の形態では、プルインが発生したときに直流成分が略零の交流電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄに印加しているが、ミラー２３０に印加するようにしてもよい。この場合、プルイン解除指令信号を受けた駆動電圧印加手段４０１は、全ての電極３４０ａ〜３４０ｄをオープン状態にする。本実施の形態において、交流電圧印加手段となるミラー電圧印加手段４００は、プルイン解除指令信号が入力された場合、ミラー２３０に図４に示したような直流成分が略零の交流電圧を印加する。こうして、本実施の形態においても、ミラー２３０を初期位置に復帰させることができる。
【００２５】
［第３の実施の形態］
第１、第２の実施の形態では、電極３４０ａ〜３４０ｄとミラー２３０のうちどちらか一方に交流電圧を印加しているが、両方に印加してもよい。この場合、プルイン解除指令信号を受けたミラー電圧印加手段４００は、ミラー２３０に図５（Ａ）に示すような直流成分が略零の交流電圧を印加し、同じくプルイン解除指令信号を受けた駆動電圧印加手段４０１は、全ての電極３４０ａ〜３４０ｄに図５（Ｂ）に示すような直流成分が略零の交流電圧を印加する。ミラー２３０に印加する交流電圧と電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する交流電圧とは同位相でよいが、両者の振幅に差を設けるようにしておけばよい。これにより、本実施の形態においても、ミラー２３０を初期位置に復帰させることができる。
【００２６】
なお、第１〜第３の実施の形態では、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが接触したときに駆動電圧印加手段４０１から電極３４０ａ〜３４０ｄを介してミラー２３０に電流が流れて、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが電着してしまった場合、この電着を解消してミラー２３０を初期位置に復帰させることはできない。しかし、電極３４０ａ〜３４０ｄの表面に自然にできた酸化膜や水分があれば、これらが絶縁層として作用するので、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとの電着を回避することができる。
【００２７】
また、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとの電着を防止するために、予め電極３４０ａ〜３４０ｄの表面、あるいはミラー２３０の表面、あるいはその両方を覆う絶縁層を設けてもよい。この場合には、ミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとが電気的に接触することがないので、プルイン発生時にミラー２３０あるいは電極３４０ａ〜３４０ｄをオープン状態にする必要はない。
【００２８】
［第４の実施の形態］
第１〜第３の実施の形態では、ミラー２３０にプルインが発生したことを監視員が発見したときに、プルイン解除指令信号をミラー電圧印加手段４００と駆動電圧印加手段４０１に入力するようにしているが、プルインの発生を検出して自動的にプルイン解除指令信号を生成することも可能である。図６は本実施の形態のミラー制御装置を適用する光スイッチの構成を示す斜視図である。
【００２９】
図６において、１１ａは入力ポート、１１ｂは出力ポート、１２ａは入力側コリメータアレイ、１２ｂは出力側コリメータアレイ、１３ａは入力側ミラーアレイ、１３ｂは出力側ミラーアレイである。入力ポート１１ａと出力ポート１１ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数の光ファイバからなり、コリメータアレイ１２ａ，１２ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数のマイクロレンズからなり、ミラーアレイ１３ａ，１３ｂは、それぞれ２次元的に配列された複数のミラー制御装置１００からなる。図６における矢印は光ビームの進行方向を示している。
【００３０】
ある入力ポート１１ａから出射した光信号は、入力側コリメータアレイ１２ａのマイクロレンズによりコリメート光に変換され、入力側ミラーアレイ１３ａ、出力側ミラーアレイ１３ｂで順次反射され、出力側コリメータアレイ１２ｂのマイクロレンズにより集光され、出力ポート１１ｂに導かれる。ミラーアレイ１３ａと１３ｂのそれぞれのミラー制御装置１００のミラー２３０の傾斜角を適当に制御することにより、２次元的に配列された任意の入力ポート１１ａと出力ポート１１ｂとの間を接続することができ、光路の切り替えを行うことができる。
【００３１】
本実施の形態では、このような光スイッチにおいて、各出力ポート１１ｂにそれぞれ出力光検出手段を設ける。図７は本実施の形態のミラー制御装置の電気的な接続関係を示すブロック図であり、図３と同一の構成には同一の符号を付してある。ただし、図７の例では１つのミラー制御装置１００についてのみ記載している。
各出力ポート１１ｂの出力光検出手段４０２は、自身の出力ポート１１ｂに出力光が入射しているか否かを検出する。
【００３２】
例えば光スイッチ全体を制御する制御装置からなる判定手段４０３は、複数の出力ポート１１ｂのうちどのポートに出力光が入射すべきかを認識している。
判定手段４０３は、各出力ポート１１ｂの出力光検出手段４０２による出力光検出結果を受けて、出力光が入射すべき出力ポート１１ｂに出力光が入射していない場合、この出力光の経路上にあるミラー制御装置１００にプルインが発生したと見なして、当該ミラー制御装置１００のミラー電圧印加手段４００と駆動電圧印加手段４０１に対してプルイン解除指令信号を出力する。以降の動作は、第１〜第３の実施の形態で説明したとおりである。こうして、本実施の形態によれば、ミラー２３０にプルインが発生したときに、ミラー２３０を自動的に初期位置に復帰させることができる。
【００３３】
［第５の実施の形態］
第４の実施の形態では、出力光検出手段による出力光検出結果を利用してミラー２３０にプルインが発生しているか否かを判定していたが、ミラー２３０の傾斜角を検出してミラー２３０にプルインが発生しているか否かを判定するようにしてもよい。図８は本実施の形態のミラー制御装置の電気的な接続関係を示すブロック図であり、図３と同一の構成には同一の符号を付してある。
【００３４】
本実施の形態では、電極３４０ａ〜３４０ｄとは別に、ミラー制御装置１００の基部３１０の絶縁層３１１上に、ミラー２３０と対向するようにセンサ電極４０４を設ける。
判定手段４０５は、ミラー２３０の傾斜角に応じて変化するミラー２３０とセンサ電極部４０４との距離に応じた静電容量を検出することにより、ミラー２３０の姿勢、すなわち傾斜角を検出する。そして、判定手段４０５は、検出したミラー２３０の傾斜角が所定の閾値を超えた場合、ミラー２３０にプルインが発生したと見なして、ミラー電圧印加手段４００と駆動電圧印加手段４０１に対してプルイン解除指令信号を出力する。以降の動作は、第１〜第３の実施の形態で説明したとおりである。こうして、本実施の形態においても、第３の実施の形態と同様にミラー２３０を自動的に初期位置に復帰させることができる。
【００３５】
［第６の実施の形態］
第１〜第５の実施の形態では、プルイン発生時にミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄのうち少なくとも一方に印加する交流電圧として矩形波を用いたが、矩形波以外の正弦波電圧や三角波電圧を用いてもよい。
また、図９に示すように正電位と零電位と負電位とが周期的に入れ替わる交流電圧をミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄのうち少なくとも一方に印加するようにしてもよい。この場合は、正電位と負電位の振幅及び印加時間幅を等しくすれば、直流成分を零にすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、ミラー制御装置、および複数のミラー制御装置を２次元的に配置したミラーアレイに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るミラー制御装置の構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１のミラー制御装置の断面図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るミラー制御装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態においてプルイン発生時に電極に印加する交流電圧を示す波形図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態においてプルイン発生時にミラーと電極に印加する交流電圧を示す波形図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係る光スイッチの構成を示す斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係るミラー制御装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。
【図８】本発明の第５の実施の形態に係るミラー制御装置の電気的な接続関係を示すブロック図である。
【図９】本発明の第６の実施の形態においてプルイン発生時にミラーと電極のうち少なくとも一方に印加する交流電圧を示す波形図である。
【図１０】ミラーが電極や絶縁層と接触するプルイン現象を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１００…ミラー制御装置、２００…ミラー基板、２１１ａ，２１１ｂ，２１１ｃ，２１１ｄ，２２１ａ，２２１ｂ，２２１ｃ，２２１ｄ…トーションバネ、２２０…可動枠、２３０…ミラー、３００…電極基板、３４０ａ〜３４０ｄ…電極、４００…ミラー電圧印加手段、４０１…駆動電圧印加手段、４０２…出力光検出手段、４０３，４０５…判定手段、４０４…センサ電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008046452.tif 000007
【図６】
2008046452.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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