(57)【要約】【課題】製造条件を定める際の効率化を実現可能な半導体装置の生産管理システムを提供する。【解決手段】例えば、複数の端末装置とサーバ装置からなる生産管理システムを構築する。サーバ装置では、各種製造条件（工程フロー情報、品種情報等）が記載された複数の条件ファイルがデータベースとして管理される。端末装置では、このデータベースを閲覧可能となっており、工程フロー情報や品種情報の識別子の一覧などを表示可能となっている。ユーザは、端末装置上でこのような識別子の一覧を選択画面として表示し、この中から、所望のフローＮｏとそれに対応させて所望の複数の品種名を選択してリスト追加画面上に追加する。そして、回覧開始を行うと、リスト追加画面内の各種条件ファイルが統合されたのち所望の端末装置に向けて回覧され、そこで内容のチェックが行われる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに通信ネットワークで接続された複数の端末装置とサーバ装置を含み、複数の品種の半導体装置の製造条件を管理する半導体装置の生産管理システムであって、
前記サーバ装置は、複数のファイルを管理するデータベースを備え、
前記データベースには、半導体装置を製造する際のそれぞれ異なる工程フローが記載された複数の第１ファイルと、前記複数の品種のそれぞれに対応して各品種の詳細情報が記載された複数の第２ファイルとが格納され、
前記複数の端末装置は、
前記データベースを前記通信ネットワークを介して閲覧可能にする第１機能と、
ユーザに対して、前記複数の第１ファイルのいずれかと前記複数の第２ファイルの一部または全部からなる組合せを複数選択させる第２機能とを備え、
前記サーバ装置または前記複数の端末装置は、
前記第２機能で選択された前記複数の第１ファイルおよび前記複数の第２ファイルを１つの第３ファイルに統合する第３機能と、
前記複数の端末装置の中からユーザによって予め選択された単数または複数の端末装置に向けて回覧通知を送信し、前記回覧通知が送信された端末装置から前記第３ファイルを閲覧可能にする第４機能とを備えることを特徴とする半導体装置の生産管理システム。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置の生産管理システムにおいて、
前記サーバ装置は、前記第４機能によって前記回覧通知が送信された端末装置から前記第３ファイルが閲覧され、ユーザの操作によって当該端末装置から前記第３ファイルのチェック完了の通知が行われた際に、前記データベース上で、前記第３ファイルに含まれる前記複数の第１ファイルおよび前記複数の第２ファイルをチェック完了のファイルとして識別できるようにすることを特徴とする半導体装置の生産管理システム。
【請求項３】
請求項２記載の半導体装置の生産管理システムにおいて、
前記第４機能は、前記回覧通知を送信するためにユーザによって予め選択された前記複数の端末装置に対して、更にユーザによって各端末装置毎の回覧順番を予め設定可能になっていることを特徴とする半導体装置の生産管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置の生産管理システムに関し、特に、多品種の半導体装置を対象としてその製造条件を管理する生産管理システムに適用して有益な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体装置を製造する際には、通常、当該半導体装置の開発担当エンジニア等が製造条件を定め、その製造条件を製造ラインの担当スタッフ等に指示し、これに基づいて各種製造作業が行われる。製造条件の指示内容としては、例えば、製造対象である品種情報と、フォトリソグラフィー工程→エッチング工程→成膜工程などといった工程フロー情報と、その各工程内の詳細な処理条件となる所謂レシピ情報などが挙げられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、半導体装置の多様化に伴い、１つの半導体製造ラインで多品種の半導体装置を製造するような場合がある。例えば、複数の依頼者からの要求を受けてそれぞれ品種（仕様）が異なる半導体装置を製造したい場合などでは、それらの製造条件を迅速に確定し、早期に製造に着手することが求められる。ただし、製造条件を確定する際には、スピードと共に確実性も必要となるため、例えば、複数の開発担当エンジニアの間で製造条件のダブルチェックやトリプルチェックなどを行うことが望ましい。
【０００４】
このような場合、例えば、品種情報、フロー情報、その他詳細情報（レシピ情報等）を含む製造条件を記載したファイルをある開発担当エンジニアが作成し、そのファイルを開発担当エンジニアの責任者等に電子回覧することでチェック機能を実現する方式が考えられる。この際に、例えば、１品種毎の単位で製造条件の電子回覧を行うと、複数の品種がある場合に、責任者がその複数の回数分のチェック作業を行わなければならないため、時間的な作業効率が悪くなる。そうすると、製造条件の確定に時間がかかり、場合によっては製造ＴＡＴ（Turn Around Time）の長期化を招いてしまう。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、製造条件を定める際の効率化を実現可能な半導体装置の生産管理システムを提供することにある。本発明の前記ならびにそれ以外の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【０００７】
本発明による半導体装置の生産管理システムは、互いに通信ネットワークで接続された複数の端末装置とサーバ装置を含み、複数の品種の半導体装置の製造条件を管理するものである。ここで、サーバ装置は、複数のファイルを管理するデータベースを備え、これには、各種半導体装置の工程フローが記載された複数の第１ファイルと、各品種の詳細情報が記載された複数の第２ファイルとが少なくとも格納されている。また、複数の端末装置は、サーバ装置のデータベースを閲覧可能にする第１機能と、ユーザに対して、複数の第１ファイルのいずれかと複数の第２ファイルの一部または全部からなる組合せを複数選択させる第２機能とを備えている。そして、サーバ装置（または複数の端末装置）は、前述した第２機能で選択された複数の第１ファイルおよび複数の第２ファイルを１つの第３ファイルに統合する第３機能と、ユーザによって予め選択された単数または複数の端末装置に向けて回覧通知を送信し、この回覧通知が送信された端末装置から第３ファイルを閲覧可能にする第４機能とを備えたものとなっている。
【０００８】
このような構成を用いると、複数の工程フロー情報と複数の品種情報を一括して回覧可能になり、回覧先においてチェック作業に伴う時間的な作業効率が向上し、迅速に製造条件を確定することができる。したがって、例えば、複数の品種の製造依頼などがあった場合に製造期間（製造ＴＡＴ）の短縮などが実現可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すると、製造条件を定める際の効率化が実現可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下の実施の形態において、要素の数等（個数、数値、量、範囲等を含む）に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１１】
図１は、本発明の一実施の形態による半導体装置の生産管理システムにおいて、その構成の一例を示す概略図である。図１の生産管理システムは、例えば、複数の端末装置ＰＣ１，ＰＣ２，…，ＰＣｎ，ＰＣｍと、複数のサーバ装置ＳＶ１〜ＳＶ３と、複数の半導体製造装置ＥＱ１〜ＥＱｋを含んだものとなっている。ここでは、ＰＣ１〜ＰＣｎとＳＶ１がそれぞれ通信ネットワークＮＷで接続され、ＳＶ１〜ＳＶ３が通信ネットワークＮＷで接続され、ＳＶ３とＥＱ１〜ＥＱｋがそれぞれ通信ネットワークＮＷで接続されている。
【００１２】
ＳＶ１には、品種情報、工程フロー情報、その他詳細情報（各工程内のレシピ情報等）を含む製造条件が記載された複数の条件ファイルが、それぞれを区別する識別子などと共にデータベースとして格納されている。これらの条件ファイルは、開発担当エンジニア等によって作成され、データベース上に登録されたものである。ＳＶ２には、ＳＶ１に格納されている複数の条件ファイルの中から製造ライン上で必要となる条件ファイルがコピーされ、格納されている。ＳＶ３は、ＳＶ２に格納された条件ファイルに基づいてＥＱ１〜ＥＱｋを制御し、工程フローの進捗管理を行う。
【００１３】
また、ＳＶ２およびＳＶ３には、例えば、製造ラインの担当スタッフ等が使用する端末装置ＰＣｍが接続される。担当スタッフは、このＰＣｍを介して、ＳＶ２の条件ファイルを閲覧したり、この条件ファイル内に含まれる詳細作業手順書などをプリンタ装置ＰＲＴで出力することで、ＳＶ３やＥＱ１〜ＥＱｋの実際の動作状況などを管理する。ＥＱ１〜ＥＱｋは、露光装置やエッチング装置や成膜装置等であったり、又は、検査装置や組み立て（パッケージング）装置であってもよい。
【００１４】
このような生産管理システムにおいて、例えば、ある開発担当エンジニアは、前述したような条件ファイルを作成した際には、その条件ファイルを指示書ファイルと共に回覧し、内容のチェックを依頼する。指示書ファイルとは、製造条件を示す条件ファイルを対象とした様々な指示内容が記載されたものであり、例えば、「条件ファイルに記載された内容をサーバ上に正式登録する。」といった内容のものや、「識別子○○の条件ファイルに記載された製造条件を用いて○○個生産する。」といった内容のものなどが挙げられる。
【００１５】
図２は、本発明の一実施の形態による半導体装置の生産管理システムにおいて、その回覧手順の一例を示すフロー図である。図２に示すように、例えば、作成者となる開発担当エンジニアがＰＣ１を用いて前述したような条件ファイルおよび指示書ファイルを作成し、それらの回覧を開始すると（Ｓ２０１）、開発担当エンジニアの中位責任者が使用するＰＣ２にその回覧の通知が行われる。中位責任者は、この通知から得られる条件ファイルの内容および指示書ファイルの内容を審査する（Ｓ２０２）。問題が無ければ、上位責任者が使用するＰＣｎ−１にその回覧の通知が行われる。問題が有れば作成者が使用するＰＣ１にその通知が行われる。以降同様にして、上位責任者による合議（Ｓ２０３）や、最上位責任者による承認（Ｓ２０４）を経て、この承認を経たものが図１のサーバ装置ＳＶ１上に正式登録される。すなわち、審査・合議・承認からなるトリプルチェック機能を経たものがサーバ装置ＳＶ１に正式登録される。
【００１６】
図３は、図２において、ファイルの回覧を開始する際の詳細な処理内容を説明する表示画面例である。この表示画面は、端末装置ＰＣ１〜ＰＣｎ上で表示されるものであり、ＰＣ１〜ＰＣｎ内とサーバ装置ＳＶ１内にそれぞれソフトウェアを備えることで、ＳＶ１内にデータベースとして格納されている条件ファイルをＰＣ１〜ＰＣｎから閲覧した画面である。図３においては、上側に選択画面が表示され、下側にリスト追加画面が表示されている。
【００１７】
選択画面は、工程フロー情報と品種情報の一覧を示しており、これらの情報は、予め作成者となる開発担当エンジニア等がＰＣ１等を用いて作成し、図１のサーバ装置ＳＶ１のデータベース上に仮登録としておくことで表示されるものである。工程フロー情報では、フローＮｏ（フロー情報の識別子）やプロセス（プロセスレシピの識別子）などの一覧が示されている。図示はしないが、例えばフローＮｏ「１０００」には、その実体となる、エッチング工程→成膜工程→…といった詳細な工程フローの内容が記載された条件ファイルがリンクされており、プロセス「ＴｘＰｒｏ」には、その実体となる、各工程の詳細処理条件（プロセスレシピ）等を示す条件ファイルがリンクされている。同様に、品種情報では、品種名、品種グループ、ファミリ名をそれぞれ表す識別子（「ＡＢＣ」等）が示されており、各識別子には、その実体となる詳細情報（正式型名、略称、パッケージ情報等）が記載された条件ファイルがリンクされている。
【００１８】
リスト追加画面では、フローＮｏ（フロー情報の識別子）と、当該フローを用いて製造を行う品種名（品種名の識別子）を複数（ここでは１０個まで）選択可能となっており、更に、このフローＮｏと複数の品種の組合せを複数（ここでは５組まで）選択可能となっている。例えば、図３の例では、１組目として、フローＮｏ「１０００」を選択画面からリスト追加画面にドラック＆ドロップ等によって追加し（Ｓ３０１）、このフローＮｏ「１０００」に対応して３個の品種名「ＡＢＣ」、「ＤＥＦ」、「ＧＨＩ」を同様に追加している（Ｓ３０２）。更に、２組目として、フローＮｏ「１００１」とこれに対応して品種名「ＪＫＬ」を追加している。そして、回覧開始ボタンを押すことで（Ｓ３０３）、このリスト追加画面に追加されたフローＮｏと複数の品種名からなる複数の組合せに関連する条件ファイルが回覧される。この際に、図示はしないが、前述した指示書ファイルも同時に回覧される。なお、この指示書ファイルも、条件ファイルと同様に識別子（番号（Ｎｏ）等）によって管理される。
【００１９】
図４は、図２の回覧およびチェックに伴う詳細な処理内容の一例について説明するための図である。図３に示したような表示画面上で回覧開始ボタンを押すと、図４のＳ４０１に示すように、前述したリスト追加情報に基づく１つのファイルが生成される。すなわち、このリスト追加情報ファイルは、図３のリスト追加画面内の各識別子の実体データ（条件ファイル）を１つのファイルに統合したものである。この統合は、ＰＣ１〜ＰＣｎ上またはサーバ装置ＳＶ１上のソフトウェア処理によって行われ、これによって生成されたリスト追加情報ファイルは、指示書ファイルと共に例えばサーバ装置ＳＶ１上に保存される。そして、このリスト追加情報ファイルと指示書ファイルは、図３での回覧開始に伴い、作成者等によって端末装置ＰＣ１〜ＰＣｎの中から予め選択されている端末装置（即ち選択された責任者）に向けて回覧される。
【００２０】
図２で述べたような各責任者は、この回覧されたリスト追加情報ファイルおよび指示書ファイルの内容をチェックする（Ｓ４０２）。この際に、各責任者には、例えば、メール等によって回覧が開始された旨の通知と、その回覧対象となるファイル（リスト追加情報ファイル、指示書ファイル）のサーバ装置ＳＶ１上での保存先（例えばＷｅｂリンクアドレス）の通知が行われる。各責任者は、この保存先から指示書ファイルおよびリスト追加情報ファイル（即ちこれに含まれているフロー情報や品種情報を示す複数の条件ファイル）の内容をチェックし、問題があれば作成者へ差し戻し、問題がなければ順次回覧を継続する。このチェックの際には、複数の品種を製造する際に必要な情報を纏めて確認することができるため、効率的にチェック作業を行うことが可能となる。
【００２１】
また、前述した順次回覧を行う際には、例えば、その回覧を行う順番を予めサーバ装置ＳＶ１上に設定しておくとよい。図２の場合では、例えば、審査を行う者のメールアドレス、合議を行う者のメールアドレス、承認を行う者のメールアドレスの順番で設定しておく。そうすると、サーバ装置ＳＶ１は、まず、審査を行う者のメールアドレスに対して回覧開始の通知を送信し、その後、審査を行う者から審査完了の通知を受けた際には、自動的に次のメールアドレス（即ち合議を行う者のメールアドレス）に対して回覧開始の通知を送信する。以降同様にして承認まで順次回覧を行う。
【００２２】
そして、最終段階のチェック完了の通知（図２の場合では承認完了の通知）が行われると、サーバ装置ＳＶ１は、指示書ＮｏとフローＮｏと品種名を関連付けてデータベース上に登録する（Ｓ４０３）。これによって、ＳＶ１のデータベース上で指示書Ｎｏ、フローＮｏおよび品種名のそれぞれの関連を検索することが可能となる。また、最終段階のチェックが完了した際には、図３の表示画面内の選択画面上の「承認日」の蘭に日付が記載され、これによって、当該フローＮｏおよび品種名等がＳＶ１のデータベース上に正式登録されることになる。なお、正式登録された条件ファイルの内、例えばフロー情報を示す条件ファイルや各フロー内の詳細処理条件（プロセスレシピ）を示す条件ファイルなどは、サーバ装置ＳＶ２にもコピーされ、半導体製造装置ＥＱ１〜ＥＱｋの製造条件として用いられる。
【００２３】
以上のように、本実施の形態の生産管理システムを用いると、フローＮｏと複数の品種名からなる組合せを複数回覧可能となり、チェック作業における時間的な作業効率が向上し、迅速に製造条件を確定することができる。これによって、例えば、複数の品種の製造依頼などがあった場合に製造期間（製造ＴＡＴ）の短縮が実現可能となる。
【００２４】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明の半導体装置の生産管理システムは、多品種の半導体装置に対応した製造ラインで用いる生産管理システムに適用して特に有益な技術であり、これに限らず、半導体装置の前工程ラインや後工程ラインに対して広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態による半導体装置の生産管理システムにおいて、その構成の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施の形態による半導体装置の生産管理システムにおいて、製造条件を示す条件ファイルの回覧手順の一例を示すフロー図である。
【図３】図２におけるファイルの回覧方法の一例を説明する表示画面である。
【図４】図２のチェック機能の一例について説明するための図である。
【符号の説明】
【００２７】
ＰＣ  端末装置
ＮＷ  通信ネットワーク
ＳＶ  サーバ装置
ＰＲＴ  プリンタ装置
ＥＱ  半導体製造装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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