(57)【要約】【課題】装置のランニングコストを低減し且つ装置を小型化しながら、同時にブラインの温度を安定的に制御して装置の安定的運用を可能にするブライン供給装置を提供する。【解決手段】戻り流路２と、ブラインの温度を検出するための温度センサ４と、ブラインを蓄積するためのブラインタンク５と、ポンプ６と、を設け、流路２から２つの分岐した一方に、ブラインが流れるブライン冷却流路１２に設けられる熱交換器１３と、流路２から２つの分岐した他方に、負荷１側から戻されたブラインが流れるブライン加熱流路２５に設けられるヒーター２６と、ブライン冷却流路１２とブライン加熱流路２５との接続部に設けられる混合部３０と、混合部３０の出口側に備えられる混合部出口側温度センサ３２と、混合調整手段３３と、混合部３０と負荷１との間に配置されるイオン交換器３５と、を備えている。【選択図】図１
2008111665.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの負荷に対して、純水から成るブラインを前記負荷の目標温度に適合するように調整して循環供給するブライン供給装置において、
前記負荷側からブライン供給装置側にブラインを戻すための戻り流路と、
前記戻り流路にブラインの温度を検出するための温度センサと、
前記戻り流路から戻されたブラインを蓄積するためのブラインタンクと、
前記ブラインタンク内からブラインをブライン供給装置側の流路へ送り込むためのポンプと、を設け、
前記流路から２つの分岐した一方に、ブラインが流れるブライン冷却流路に設けられ、前記ブラインを工業用水により冷却するための熱交換器と、
前記流路から２つの分岐した他方に、前記ブライン冷却流路と並列に形成された、前記負荷側から戻されたブラインが流れるブライン加熱流路に設けられ、前記ブラインを加熱するためのヒーターと、
前記ブライン冷却流路と前記ブライン加熱流路との接続部に設けられ、前記熱交換器により冷却されたブラインと前記ヒーターにより加熱されたブラインとを混合するための混合部と、
前記混合部の出口側に備えられ、前記混合部からのブラインの温度を検出するための混合部出口側温度センサと、
前記混合部出口側温度センサからの出力に基づいて前記熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒーターで加熱されたブラインとの混合比を調整するための混合調整手段と、
前記純水の導電度を所定値以下に維持するためのイオン交換器であって、前記混合部と前記負荷との間に配置され、前記混合部から前記負荷へ流れるブラインの急激な温度変動を緩和可能なバッファー機能を果たす容量を有するイオン交換器と、
を備えたことを特徴とするブライン供給装置。
【請求項２】
請求項１において、前記熱交換器の出口側に備えられ、前記熱交換器からのブラインの温度を検出するための熱交換器出口側温度センサを備え、
前記熱交換器出口側温度センサからの出力に基づいて前記熱交換器に供給する工業用水の流量を調整するためのバルブを含んでいる、ことを特徴とするブライン供給装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記加熱流路の出口側に備えられ、前記加熱流路からのブラインの温度を検出するための加熱流路出口側温度センサを備え、
前記加熱流路出口側温度センサからの出力に基づいて前記ヒーターに供給する電力を調整する電力調整手段を備えた、ことを特徴とするブライン供給装置。
【請求項４】
請求項１，２または３において、前記混合部は、前記熱交換器で冷却されたブラインの前記負荷側への供給と、前記ヒーターで加熱されたブラインの前記負荷側への供給とを交互に切り替えるための三方弁を含んでいる、ことを特徴とするブライン供給装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれかにおいて、前記イオン交換器の出口側に備えられ、前記イオン交換器からのブラインの温度を検出するためのイオン交換器出口側温度センサを備え、
前記混合調節手段は、前記混合部出口側温度センサからの出力と前記イオン交換器出口側温度センサからの出力に基づいて、前記熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒーターで加熱されたブラインとの混合比を調整するものである、ことを特徴とするブライン供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つの負荷に対して、ブラインを前記負荷の目標温度に適合するように調整してから供給するためのブライン供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧縮機（コンプレッサ）、凝縮機、膨張弁、及び熱交換器（蒸発器）から構成される冷凍機を使用したブライン供給装置が知られている（特許文献１参照）。このような冷凍機を備えたブライン供給装置では、負荷から戻されたブラインを前記冷凍機で負荷の目標温度に冷却し、再び、前記負荷側に供給するようにしている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１７４４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のような従来の冷凍機を備えたブライン供給装置では、冷凍機を使用しているために装置の消費電力などのランニングコストが高くなってしまう、また冷凍機の存在により装置が大型化してしまう、などの問題があった。しかし、他方、冷凍機を使用しないでブラインを冷却することは、冷凍機なしではブラインの高精度の温度制御が極めて困難であるため、装置の安定的な運用ができないという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような従来技術の問題点に着目してなされたものであって、装置の消費電力などのランニングコストを低減し且つ装置を小型化しながら、同時にブラインの温度を安定的に制御して装置の安定的運用を可能にすることができるブライン供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような従来技術の課題を解決するための本発明によるブライン供給装置は、少なくとも１つの負荷に対して、純水から成るブラインを前記負荷の目標温度に適合するように調整して循環供給するブライン供給装置において、前記負荷側からブライン供給装置側にブラインを戻すための戻り流路と、前記戻り流路にブラインの温度を検出するための温度センサと、前記戻り流路から戻されたブラインを蓄積するためのブラインタンクと、前記ブラインタンク内からブラインをブライン供給装置側の流路へ送り込むためのポンプと、を設け、前記流路から２つの分岐した一方に、ブラインが流れるブライン冷却流路に設けられ、前記ブラインを工業用水により冷却するための熱交換器と、前記流路から２つの分岐した他方に、前記ブライン冷却流路と並列に形成された、前記負荷側から戻されたブラインが流れるブライン加熱流路に設けられ、前記ブラインを加熱するためのヒーターと、前記ブライン冷却流路と前記ブライン加熱流路との接続部に設けられ、前記熱交換器により冷却されたブラインと前記ヒーターにより加熱されたブラインとを混合するための混合部と、前記混合部の出口側に備えられ、前記混合部からのブラインの温度を検出するための混合部出口側温度センサと、前記混合部出口側温度センサからの出力に基づいて前記熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒーターで加熱されたブラインとの混合比を調整するための混合調整手段と、前記純水の導電度を所定値以下に維持するためのイオン交換器であって、前記混合部と前記負荷との間に配置され、前記混合部から前記負荷へ流れるブラインの急激な温度変動を緩和可能なバッファー機能を果たす容量を有するイオン交換器と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明においては、前記熱交換器の出口側に備えられ、前記熱交換器からのブラインの温度を検出するための熱交換器出口側温度センサを備え、前記熱交換器出口側温度センサからの出力に基づいて前記熱交換器に供給する工業用水の流量を調整するためのバルブを含んでいることが望ましい。
【０００８】
また、本発明においては、前記加熱流路の出口側に備えられ、前記加熱流路からのブラインの温度を検出するための加熱流路出口側温度センサを備え、前記加熱流路出口側温度センサからの出力に基づいて前記ヒーターに供給する電力を調整する電力調整手段を備えていることが望ましい。
【０００９】
また、本発明においては、前記混合部は、前記熱交換器で冷却されたブラインの前記負荷側への供給と、前記ヒーターで加熱されたブラインの前記負荷側への供給とを交互に切り替えるための三方弁を含んでいることが望ましい。
【００１０】
また、本発明においては、前記イオン交換器の出口側に備えられ、前記イオン交換器からのブラインの温度を検出するためのイオン交換器出口側温度センサを備え、前記混合調節手段は、前記混合部出口側温度センサからの出力と前記イオン交換器出口側温度センサからの出力に基づいて、前記熱交換器で冷却されたブラインと前記ヒーターで加熱されたブラインとの混合比を調整するものであることが望ましい。
【００１１】
また、本発明においては、前記イオン交換器は、１０リットル以上の容積を有するものであることが望ましい。
【発明の効果】
【００１２】
以上に説明したように、本発明のブライン供給装置においては、ブラインを、冷凍機を使用することなく工業用水を利用した熱交換器を使用して冷却すると共にヒーターを使用して加温して適切な温度に調整するようにしているので、従来のような冷凍機を使用してブラインを冷却する場合と比較して、消費電力などのランニングコストを大幅に低減させることができると共に、装置を大幅に小型化することができる。
【００１３】
また、本発明では、ブラインを冷凍機を使用することなく工業用水を利用した熱交換器で冷却すると共にヒーターで加熱するようにした結果として、ブラインの温度が急激に変動してしまうような場合でも、前記ブラインが前記負荷に供給される前に、前記ブラインを少なくとも１０リットル以上の容積を有するタンク内をゆっくりと通過させるようにしているので、前記のブラインの急激な温度変動はバッファーの機能をも有する前記タンクにより緩和され、適切な温度に収斂された純水を負荷側に供給することができるようになる。
【００１４】
また、本発明では、ブラインとしての純水を冷凍機を使用することなく工業用水を利用した熱交換器で冷却すると共にヒーターで加熱するようにした結果として、純水の温度が急激に変動してしまうような場合でも、前記純水が前記負荷に供給される前に、前記純水を少なくとも１０リットル以上の容積を有するイオン交換器内をゆっくりと通過させるようにしているので、前記の純水の急激な温度変動はバッファーの機能をも有する前記イオン交換器により緩和され、適切な温度に収斂された純水を負荷側に供給することができるようになる。
【００１５】
また、本発明において、前記熱交換器が設けられた冷却流路と前記ヒーターが設けられた加熱流路とを接続する部分に三方弁を設けるようにしたときは、前記冷却流路からのブライン（純水）と前記加熱流路からのブライン（純水）の双方の流量調整を安定的に行うことができる。
【００１６】
また、本発明において、前記のバッファーの機能をも有するイオン交換器からの純水の温度を検出する温度センサからの信号に基づいて、前記熱交換器により冷却された純水と前記ヒーターにより加熱された純水との混合比を調整するようにしたときは、前記イオン交換器のバッファー機能をも踏まえて前記の冷却された純水と前記の加温された純水との混合比の最適な調整を行うことが可能になる。
【００１７】
また、本発明において、前記のバッファーの機能をも有するイオン交換器からの純水の温度を検出する温度センサからの信号に基づいて、前記熱交換器により冷却された純水を加熱するための前記ヒーターの加熱力を調整するようにしたときは、前記イオン交換器のバッファー機能をも踏まえて前記熱交換器により冷却された純水の最適な加温制御を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を説明する。図１は半導体製造装置などの負荷にブラインとしての純水を供給するための、本実施形態によるブライン供給装置を示す配管ブロック図である。図１において、１は半導体製造装置などの負荷、２は前記負荷１に対する機能を終えた純水（ブライン）を前記負荷１側からブライン供給装置側に戻すための戻し流路、３は前記戻し流路２に備えられ、純水の抵抗値（導電度）を検出するための抵抗率計、４は前記戻し流路２に備えられ、純水の温度を予備的に検出するための温度センサ、５は前記戻し流路２からの純水をいったん蓄積するための純水タンク、６は前記純水タンク５内の純水を次の流路７へ送り出すためのポンプ、６ａは前記ポンプ６を駆動する電力の周波数を変換するためのインバータ、６ｂは前記インバータ６ａを制御するための制御部（ＣＰＵ）、８は前記流路７を流れる純水の温度を予備的に検出するための温度センサ、９は前記流路７を流れる純水の流量を検出するための流量センサ、１０は前記流路７を流れる純水の圧力を検出してパイプ詰まりなどの異常を検知したときは装置全体を停止させるための圧力スイッチ、１１は前記流路７内の純水の流れから前記ポンプ６の吐出圧力を予備的に検出するためのポンプ吐出圧力計、である。
【００１９】
また、図１において、１２は前記流路７から２つに分岐した一方の純水冷却流路、１３は前記純水冷却流路１２の途中に設けられた、純水を冷却するための熱交換器、１４は前記純水冷却流路１２の途中に設けられた、前記熱交換器１３で冷却された純水の温度を検出するための温度センサ、である。前記熱交換器１３には、常時、平均的な温度が例えば約２０〜２８℃に保たれている工業用水（工場循環水）が供給されている。前記熱交換器１３は、前記工業用水により、前記純水冷却流路１２を流れる純水を冷却するようにしている。
【００２０】
また、図１において、１５は外部から工業用水を導入して前記熱交換器１３に供給するための冷却水導入パイプ、１６は前記熱交換器１３において熱交換のために使用された工業用水を外部に排出するための冷却水排出パイプ、１７は前記冷却水排出パイプ１６の途中に備えられた流量センサ、１８は前記冷却水排出パイプ１６の途中に備えられたモーターバルブ、１９は前記熱交換器１３からの純水の温度を検出する温度センサ１４からの出力に基づいて前記モーターバルブ１８の開度を制御して前記熱交換器１３に供給される工業用水の流量を調整する（これにより、前記熱交換器１３の冷却能力を可変させる）ための制御部（ＣＰＵ）、２０は前記冷却水導入パイプ１５と前記冷却水排出パイプ１６との水圧差を検出してパイプ詰まりなどの異常を検知したときは装置全体を停止させるための冷却水差圧スイッチ、２１は冷却水導入パイプ１５を流れる純水の圧力を予備的に検出するための冷却水圧力計、２２は冷却水導入パイプ１５内の工業用水の温度を検出するための温度センサ、である。
【００２１】
また、図１において、２５は前記流路７から前記純水冷却流路１２と並列に分岐された純水加熱流路、２６は前記純水加熱流路２５の途中に備えられたヒーター、２７は前記ヒーター２６で加熱された純水の温度を検出するための温度センサ、２８は前記温度センサ２７からの出力に基づいて前記ヒーター２６の加熱力を制御するための制御部（ＣＰＵ）、である。
【００２２】
また、図１において、３０は前記純水冷却流路１２と前記純水加熱流路２５とが合流して次の送り流路３１と接続する位置に備えられたモーター駆動の三方弁である。前記三方弁３０は、前記純水冷却流路１２からの純水が前記送り流路３１に流れる流量と前記純水加熱流路２５からの純水が前記送り流路３１に流れる流量とを、それぞれバルブの開度を調整することにより可変できるようになっている。
【００２３】
また、図１において、３２は前記三方弁３０の出口側に備えられ、前記三方弁３０で混合された純水の温度を検出するための温度センサ、３３は前記温度センサ３２からの出力（及び、後述するイオン交換器３５からの純水の温度を検出する温度センサ３６からの出力）に基づいて前記三方弁３０を制御するための制御部（ＣＰＵ）、である。本実施形態では、前記制御部（ＣＰＵ）３３が前記三方弁３０を制御することにより、前記純水冷却流路１２からの冷却された純水と前記純水加熱流路２５からの加熱された純水との混合比が調整されて、適正な温度に調整された純水が前記送り流路３１に供給されるようになっている。
【００２４】
また、図１において、３５は前記送り流路３１の途中に備えられ、前記三方弁３０で混合された純水の導電度を所定値以下に維持するためのイオン交換器である。このイオン交換器３５は、図２に示すように、筒状の容器３５ａ内の下方に備えられた円板状の網３５ｂと前記容器３５ａ内の上方に備えられた円板状の網３５ｃとの間に顆粒状のイオン交換樹脂３５ｄが充填されて成るものである。
【００２５】
また、図２において、３５ｅは、前記送り流路３１からの純水を前記容器３５ａ内に流入させるために、前記容器３５ａの底面と前記網３５ｂとの間に形成された入口穴である。また、３５ｆは、前記入口穴３５ｅから流入して前記イオン交換樹脂３５ｄを通過した純水を前記送り流路３１に戻すために、前記容器３５ａの上面と前記網３５ｃとの間に形成された出口穴である。このように、本実施形態の前記容器３５ａ内では、前記入口穴３５ｅ及び出口穴３５ｆを形成するために必要なスペースを除くほとんどのスペースに、前記イオン交換樹脂３５ｄが充填されている。
【００２６】
本実施形態では、前記三方弁３０から前記送り流路３１に供給された純水は、前記容器３５ａの底面近くに形成された入口穴３５ｅを介して容器３５ａ内に流入し、その後、前記イオン交換樹脂３５ｄ内をゆっくりと通過して、前記容器３５ａの上面近くに形成された出口穴３５ｆを通って、前記送り流路３１に戻される。前記の純水が前記イオン交換樹脂３５ｄをゆっくりと通過する間に、純水の温度は徐々に適度な温度に収斂されていく。よって、本実施形態では、仮に前記三方弁３０からの純水の温度に急激な変動が生じてしまったような場合でも、前記の純水の急激な温度変動は、純水が前記イオン交換樹脂３５ｄ内をゆっくり通過していく間に緩和され、純水の温度は適度なものに収斂されていくことになる。
【００２７】
前記イオン交換器３５の容器３５ａは、例えば、直径２２０ｍｍ、高さ３６５ｍｍで、１４リットルの容積を有するように形成されている。本実施形態において、前記イオン交換器３５の容積を１４リットル以上としているのは、前記三方弁３０で混合された純水の温度が急激に変動しても、前記純水が、この１４リットル以上の容積を有するイオン交換器３５の内部をゆっくりと移動する間に、前記の急激な温度変動が徐々に緩和されて、適切な温度に収斂されてから負荷１側に送られることを可能にするためである。
【００２８】
このように、本実施形態では、前記イオン交換器３５に、前記三方弁３０からの純水の急激な温度変動を緩和するためのバッファーの機能をも持たせている。これは、本実施形態において、従来のブライン供給装置におけるような冷凍機を使用していないことと関係している。すなわち、従来の冷凍機を使用したブライン供給装置では、ブラインの温度制御が冷凍機により高精度に行われるので、負荷側に送られるブラインの温度が急激に変動することは通常は考えられない。しかし、本実施形態のように、冷凍機を使用しないで、工業用水を使用した熱交換器１３とヒーター２６によりで純水（ブライン）の温度を調整しようとする場合は、負荷側に供給する純水の温度が急激に変動することがかなりの確率で生じうる。
【００２９】
特に、本実施形態のように、前記純水冷却流路１２からの冷却された純水と前記純水加熱流路２５からの加熱された純水とを三方弁３０を使用して機械的に混合する場合は、例えば前記三方弁３０のバルブ開度調整用モーターの作動タイミング遅れなどにより、前記三方弁３０から供給される純水の温度が急激に変動してしまうことが少なくないと予想される。
【００３０】
このように純水の温度に急激な変動が生じうる場合は、大容量の純水タンクなどのバッファーを介設することが必要になるが、純水タンクなどのバッファーを特別に介設すると装置が大型化してしまうという問題がある。そこで、本実施形態においては、前記三方弁３０と前記負荷１との間に純水の導電度を所定値以下に維持するためのイオン交換器３５を介設し、このイオン交換器３５を１４リットル以上の容積にして、このイオン交換器３５を同時にバッファーとしても機能させることにより、前記の装置の大型化の問題を回避するようにしているのである。
【００３１】
なお、本発明者が実験したところでは、負荷１側に純水を１分当たり５リットルの流量で供給する場合における前記イオン交換器３５内の純水の移動速度は０．００２２ｍ／ｓ、負荷１側に純水を１分当たり１０リットルの流量で供給する場合における前記イオン交換器３５内の純水の移動速度は０．００４４ｍ／ｓ、負荷１側に純水を１分当たり２０リットルの流量で供給する場合における前記イオン交換器３５内の純水の移動速度は０．００８８ｍ／ｓ、負荷１側に純水を１分当たり２５リットルの流量で供給する場合における前記イオン交換器３５内の純水の移動速度は０．０１１ｍ／ｓであった。純水に急激な温度変動が生じた場合でも、その純水が前記イオン交換器３５内を例えば０．０１１ｍ／ｓ程度の遅い移動速度で移動する場合は、その移動時間内に前記の急激な温度変動が緩和されることになるので、前記イオン交換器３５がバッファーの機能を十分に果たしうることは明らかである。
【００３２】
また、図１において、３６は前記イオン交換器３５からの純水の温度を検出するための温度センサ、３７は前記負荷１側に送られる純水の抵抗率（導電度）を検出するための抵抗率計、３８は前記負荷１側に送られる純水の圧力を検出するためのブライン出口圧力計、である。本実施形態では、前記温度センサ３６からの信号は、前記の三方弁３０を制御するための制御部（ＣＰＵ）３３に入力されている。前記制御部（ＣＰＵ）３３は、前記三方弁３０からの純水の温度（前記温度センサ３２からの出力）と前記イオン交換部３５からの純水の温度（前記温度センサ３６からの出力）とに基づいて、前記三方弁３０を制御して、前記熱交換器１３で冷却された純水と前記ヒーター２６で加熱された純水との混合比を調整するようにしている。
【００３３】
次に本実施形態の動作を補足的に説明する。本実施形態では、負荷１のブラインの目標温度（例えば３０℃）が、工業用水（工場循環水）の温度よりも２℃以上高いとき、ブラインである純水を、工業用水を利用して（冷凍機を使用しないで）前記目標温度に適合するように冷却し、負荷１に供給する。すなわち、本実施形態は、負荷１のブラインの目標温度が工業用水の温度と比較して２℃以下であるときは、使用しないようにしている。
【００３４】
また、本実施形態では、前記制御部（ＣＰＵ）１９が、前記熱交換器１３からの純水の温度を検出する温度センサ１４からの出力に基づいて前記モーターバルブ１８の開度を制御し、これにより、前記熱交換器１３に供給される工業用水の通水量を調整し、前記熱交換器１３の冷却能力を適当に可変させている。
【００３５】
また、本実施形態では、負荷１から戻された純水は、前記純水冷却流路１２と前記純水加熱流路２５との２つの流路に分水される。前記純水冷却流路１２では、純水が前記負荷１のブラインの目標温度より僅かに低い温度となるように前記熱交換器１３を制御する。また、前記純水加熱流路２５では、純水が前記負荷１のブラインの目標温度よりも僅かに高い温度となるように前記ヒーター２６を制御する。
【００３６】
また、本実施形態では、前記三方弁３０で、前記純水冷却流路１２からの純水と前記純水加熱流路２５からの純水とを最適な混合比で混合することにより、前記負荷１のブラインの目標温度に調整された純水が前記負荷１側に供給されるようにしている。
【００３７】
また、本実施形態においては、特に、前記純水冷却流路１２からの純水と前記純水加熱流路２５からの純水との混合比を調整するために、前記三方弁３０のバルブ開度調整用モーターの駆動により機械的に双方の流量を調整しているので、前記三方弁３０で混合された後の純水の温度が急激に変動してしまう場合がありうる。そこで、本実施形態では、前記三方弁３０と前記負荷１との間を結ぶ送り流路３１の途中に、約１４リットル以上の容積を有しておりその内部を前記純水がゆっくりと移動するようなイオン交換器３５を介設し、このイオン交換器３５をバッファーとしても使用することにより、前記負荷１に供給される純水の温度が急激に変動してしまうことを回避するようにしている。
【００３８】
また、本実施形態によるブライン供給装置では、次のようなインターロック機能を装備している。
【００３９】
（１）本実施形態の起動時に、工業用水の温度を測定し、設定可能な温度を、「工業用水の温度＋２℃」以上の温度だけとしている。また、本実施形態の起動後に、工業用水の温度が「設定済み温度−２℃」以上に上昇したときは、警報を発令するか又は装置を停止するようにしている。
【００４０】
（２）本実施形態の純水の負荷１への出口と負荷１からの入口（戻り）との双方の位置で、純水の比抵抗を測定する。そして、前記出口側の比抵抗が管理値を下回る場合は、警報を発令するか又は装置を停止する。また、前記入口側の比抵抗が管理値を下回る場合は、警報を発令するか又は装置を停止する。
【００４１】
（３）前記純水冷却流路１２において、工業用水の前記熱交換器１３の入口側の圧力と出口側の圧力とを常に監視し、「入口側圧力−出口側圧力」が管理値を下回る場合は、パイプ詰まりなどの異常が予測されるため、警報を発令するか又は装置を停止する。
【００４２】
なお、以上に説明した本実施形態では、イオン交換器３５として、１４リットルの容積を有するものを使用しているが、本発明はこれに限られるものではない。少なくとも約１０リットル以上の容積を有するイオン交換器であれば、本実施形態について述べたような「純水がイオン交換器内を低速度で移動する間に純水の急激な温度変動を緩和させる」というバッファーの機能を十分に果たすことができる。また、本発明のイオン交換器は、図２で示すような構成のものに限られるものではない。また、本発明において、ブラインとして純水を使用しない場合は、図１のイオン交換器３５の代わりに、例えば１０リットル以上の容積を有するタンクを使用することができる。
【００４３】
また、以上の本実施形態では、負荷１から戻された純水を、純水冷却流路１２と純水加熱流路２５に分水し、前記純水冷却流路１２に介設した熱交換器１３と前記純水加熱流路２５に介設したヒーター２６とを互いに並列に接続するようにしているが、本発明はこれに限られるものではない。本発明においては、例えば、前記負荷１から戻された純水をまず熱交換器で冷却し、この冷却した純水をヒーターで加熱すること、すなわち、熱交換器とヒーターとを直列に接続することも可能である（なお、この場合は、図１の三方弁３０は不要になるが、ヒーターにより加熱される純水の急激な温度変動を緩和させるために、バッファーの機能をも果たすイオン交換器３５を設置することはなお必要である）。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態によるブライン供給装置の配管ブロック図。
【図２】本実施形態で使用されるイオン交換器の構成を説明するための図。
【符号の説明】
【００４５】
１  負荷
２  戻り流路
３，３７  抵抗率計
４，８，１４，２２，２７，３２，３６  温度センサ
５  タンク
６  ポンプ
６ｂ，１９，２８，３３  制御部（ＣＰＵ）
７  流路
１２  純水冷却流路
１３  熱交換器
１５  冷却水導入パイプ
１６  冷却水排出パイプ
１７  流量センサ
１８  モーターバルブ
２０  冷却水差圧スイッチ
２５  純水加熱流路
２６  ヒーター
３０  三方弁
３１  送り流路
３５  イオン交換器
３５ａ  容器
３５ｂ，３５ｃ  円板状網
３５ｄ  イオン交換樹脂
３５ｅ  入口穴
３５ｆ  出口穴
【図１】
2008111665.tif 000003
【図２】
2008111665.tif 000004