(57)【要約】【課題】ラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査可能とする。【解決手段】ハウジング２の内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブ３，４を軸方向に並べて固定した後、第２軸受スリーブ４の内周に第１治具２２を圧入すると共に、第１軸受スリーブ３の内周に第２治具２３を圧入する。第１治具２２を回転させてハウジング２、両軸受スリーブ３，４、および第２治具２３を一体に回転させ、第２治具２３の振れ量を測定する。【選択図】図４
2008298684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定し、
一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブに第２治具を圧入し、
一方の治具を回転させてハウジング、両軸受スリーブ、および他方の治具を一体に回転させ、他方の治具の振れ量を測定することを特徴とする流体軸受装置の検査方法。
【請求項２】
第１および第２治具を、０以上２μｍ以下の締め代をもって軸受スリーブに圧入した請求項１記載の流体軸受装置の検査方法。
【請求項３】
ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定した流体軸受装置において、
一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブの内周に第２治具を圧入した状態で、一方の治具を回転させたときの他方の治具の振れ量が０以上２μｍ以下であることを特徴とする流体軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体軸受装置の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
流体軸受装置は、軸受部材と軸部材の相対回転により、軸受隙間に形成される油膜で軸部材を回転自在に支持する軸受装置である。この流体軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を有するものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器をはじめ種々の電気機器に搭載されるモータ用の軸受装置として、より具体的には、ＨＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置等のスピンドルモータ、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイールモータ、ファンモータなどのモータ用軸受装置として好適に使用されている。
【０００３】
上記モータのうち、例えば、ＨＤＤ等のディスク駆動装置のスピンドルモータに組み込まれる流体軸受装置には、軸部材をラジアル方向に支持するラジアル軸受部と、スラスト方向に支持するスラスト軸受部とが設けられる。両軸受部のうち、ラジアル軸受部は、ラジアル軸受隙間を介して対向する軸受部材の内周面および軸部材の外周面の何れか一方に動圧溝等の動圧発生部を設けた動圧軸受で構成される場合と、この種の動圧発生部を設けない真円軸受で構成される場合とがある。
【０００４】
上記構造の流体軸受装置として、ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定したものが公知である（例えば、特許文献１を参照）。かかる構造の流体軸受装置では、ハウジングの内周に軸受スリーブを固定した状態におけるラジアル軸受面相互間の精度（例えば、同軸度）がラジアル方向の回転精度を大きく左右する。そのため、上記構造の流体軸受装置の製造工程では、ハウジングの内周に軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定した後、例えば真円度測定機を用いてラジアル軸受面相互間の精度を検査するのが通例となっている。真円度測定機を用いての検査は、例えば以下示す手順で行われる。
【０００５】
（１）真円度測定機のターンテーブル上にハウジングを固定する。（２）軸受スリーブのラジアル軸受面の内周に測定端子を配置した状態でターンテーブルを回転させて各ラジアル軸受面における断面形状を個別に測定する。（３）前記の測定データに基づいて各軸受スリーブのラジアル軸受面における軸心を算出した後、一方の軸心に対する他方の軸心のズレを解析する。
【特許文献１】特開平１１−２６９４７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の方法で信頼性の高い検査結果を得るには、ハウジングをターンテーブル上に精度良く位置決めすると共に、軸受スリーブ内周の所定箇所に測定端子を精度良く配置する必要がある。しかしながら、軸受スリーブの内径寸法は数ｍｍ程度（例えば、２ｍｍ）に設定される場合が多く、しかも要求される上記の各種位置決め精度はマイクロオーダーレベルであるため、これらを精度良く位置決めするのに手間がかかる。また、上記のとおり、直接的にラジアル軸受面相互間の精度を検査することができないため、データ解析に長時間を要す。従って、従来方法は、ラジアル軸受面相互間の精度を検査するのに多大な時間（約２０分／個）を要すため、量産時における検査方法として用いるには難がある。
【０００７】
また、この種の流体軸受装置は、その内部へ異物が混入するのを極度に嫌うため、クリーンルーム内で製造する場合がある。しかしながら、このような特殊環境下に、ターンテーブル等を有する大掛かりな真円度測定機を持ち込むことは現実的ではない。
【０００８】
本発明の課題は、ハウジングにラジアル軸受面を有する軸受スリーブを二つ固定した状態におけるラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査し得る方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明では、ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定し、一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブの内周に第２治具を圧入し、一方の治具を回転させてハウジング、両軸受スリーブ、および他方の治具を一体に回転させ、他方の治具の振れ量を測定することを特徴とする流体軸受装置の検査方法を提供する。なお、ここでいうラジアル軸受面は、ラジアル軸受隙間を形成する一方の面を意図したものであり、この面に動圧溝等の動圧発生部が形成されているか否かは問わない。
【００１０】
上記のように、本発明では、二つの軸受スリーブの内周に第１および第２の治具を個別に圧入し、一方の治具を回転させて他方の治具の振れ量を測定するようにしたので、従来方法のように両軸受スリーブのラジアル軸受面における軸心位置をそれぞれ導き出すことなく、一工程でラジアル軸受面相互間の精度を検査することができる。また、本発明にかかる検査方法であれば、治具を軸受スリーブよりも突出させて設けることができるため、測定端子を治具の外周側に配置することができる。また、軸受スリーブの内周へ圧入するだけで測定対象物（治具）の位置決めがなされる。従って、検査および検査準備の双方に多大な手間を要していた従来方法に比べ、ラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査することができる。
【００１１】
また、本発明にかかる検査方法では、上記のように、軸受スリーブの端面よりも突出して設けた治具の振れ量を測定することができるから、測定される振れ量は、実際のラジアル軸受面相互間のずれ量よりも増幅された値となる。そのため、微細な位置ずれ等も検知することが可能となり、高い回転精度を誇る流体軸受装置が提供可能となる。
【００１２】
また、上記の方法であればターンテーブル等を必要としないため、測定装置の簡略化および小型化を図ることができる。そのため、クリーンルーム等の特殊な環境化に測定装置を搬入することができ、クリーンルーム内でもかかる検査を容易に行い得る。
【００１３】
上記の態様でラジアル軸受面相互間の精度を検査するに際し、第１および第２治具は、０以上２μｍ以下の締め代をもって軸受スリーブに圧入するのが望ましい。締め代が０μｍよりも小さいと、軸受スリーブおよびハウジングを治具と同期させて回転させることができず、締め代が２μｍよりも大きいと、圧入力が過大となってラジアル軸受面が損傷するおそれがあるからである。なお、逆を言えば、例えば締め代が２μｍとなるように形成された治具を用いた場合に、当該治具が円滑に圧入されない軸受スリーブは、所定の精度で形成されていない軸受スリーブであるとも言え、上記検査を行うまでもなく個々の軸受スリーブが不良品であると判定することも可能である。
【００１４】
また、本発明では、ハウジングの内周に、ラジアル軸受面を有する軸受スリーブを軸方向に二つ並べて固定した流体軸受装置において、一方の軸受スリーブの内周に第１治具を圧入すると共に、他方の軸受スリーブの内周に第２治具を圧入した状態で、一方の治具を回転させたときの他方の治具の振れ量が０以上２μｍ以下であることを特徴とする流体軸受装置を提供する。かかる構成の流体軸受装置は、ラジアル軸受面相互間の精度が高く、高い軸受性能を具備するものである。
【発明の効果】
【００１５】
以上に示すように、本発明によれば、ハウジングにラジアル軸受面を有する軸受スリーブを二つ固定した状態におけるラジアル軸受面相互間の精度を簡易にかつ精度良く検査することが可能となる。これにより、検査工程の簡略化を図ることができ、流体軸受装置の製造コストを低廉化することが、またあるいは検査頻度を増大させ流体軸受装置の品質保証レベルを高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明における『上下』方向は単に各図における上下方向を便宜的に示すものであり、使用態様等を限定するものではない。
【００１７】
図１は、本発明を適用可能な流体軸受装置の一実施形態を示している。同図に示す流体軸受装置１は、例えばＨＤＤ用のスピンドルモータに組み込んで用いられるものであり、ハウジング２と、ハウジング２の内周に軸方向に二つ並べて固定された第１，第２軸受スリーブ３，４と、軸受スリーブ３，４の内周に挿入された軸部材５と、軸部材５の外径側に突出して設けられたシール部材６，７とを備える。
【００１８】
ハウジング２は、例えば樹脂材料を射出成形して略円筒状に形成され、その内周面は、第１および第２軸受スリーブ３，４の固定面となる小径内周面２ａと、小径内周面２ａの両端側で小径内周面２ａよりも大径に形成された第１，第２大径内周面２ｂ，２ｃとに区画される。第１大径内周面２ｂは第１段面２ｄを介して小径内周面２ａに繋がり、第２大径内周面２ｃは第２段面２ｅを介して小径内周面２ａに繋がっている。
【００１９】
図２（ａ）に示すように、ハウジング２の第１段面２ｄの一部又は全部環状領域には、第１スラスト軸受部Ｔ１のスラスト軸受面となる領域が形成され、該スラスト軸受面には動圧発生部として、ヘリングボーン形状に配列された複数の動圧溝２ｄ１が形成されている。また、図２（ｃ）に示すように、ハウジング２の第２段面２ｅの一部又は全部環状領域には、第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受面となる領域が形成され、該スラスト軸受面には動圧発生部として、ヘリングボーン形状に配列された複数の動圧溝２ｅ１が形成されている。これら動圧溝２ｄ１、２ｅ１は、ハウジング２の射出成形型のうち、第１段面２ｄ、第２段面２ｅの形成領域に、動圧溝形状に対応した型部を設けることにより、ハウジング２の射出成形と同時に型成形される。なお、動圧溝は、対向するシール部材６，７の端面に形成してもよく、またその形状は、スパイラル形状等、公知のその他の形状とすることもできる。
【００２０】
ハウジング２の成形に用いるベース樹脂としては、射出成形可能なものであれば非晶性樹脂，結晶性樹脂を問わず使用可能で、例えば、非晶性樹脂として、ポリサルフォン（ＰＳＵ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリフェニルサルフォン（ＰＰＳＵ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等、結晶性樹脂として、液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等を用いることができる。もちろんこれらは一例にすぎず、使用環境や用途等を考慮してその他のベース樹脂を使用することもできる。また、上記のベース樹脂には、強度アップや導電性付与を目的として、公知の各種充填材を一種又は二種以上配合することもできる。
【００２１】
なお、ハウジング２は、上記のように樹脂材料で形成する他、黄銅やアルミニウム合金等の軟質金属やステンレス鋼等の金属材料で形成することも可能である。
【００２２】
軸部材５は、ステンレス鋼等の金属材料で形成され、全体として概ね同径の軸状をなしている。さらに、この実施形態では、軸部材５に環状のシール部材６，７が適宜の固定手段、例えば接着又は圧入接着（圧入と接着の併用）により固定されている。これらシール部材６，７は、軸部材５の外周面５ａから外径側に突出した形態となり、それぞれハウジング２の第１大径内周面２ｂ、第２大径内周面２ｃの内周側に収容される。また、接着剤による固定強度を高めるため、シール部材６，７の固定位置となる軸部材５の外周面５ａには接着剤溜りとなる円周溝５ａ１、５ａ２が設けられている。なお、シール部材６，７は、黄銅等の軟質金属材料やその他の金属材料で形成しても良いし、樹脂材料で形成しても良い。また、部品点数削減および組立工数低減を図るため、シール部材６，７のうち何れか一方は、軸部材５に一体形成しても良い。
【００２３】
シール部材６の外周面６ａはハウジング２の第１大径内周面２ｂとの間に所定容積のシール空間Ｓ１を形成し、シール部材７の外周面７ａはハウジング２の第２大径内周面２ｃとの間に所定容積のシール空間Ｓ２を形成する。この実施形態において、シール部材６の外周面６ａ及びシール部材７の外周面７ａは、それぞれハウジング２の外部側に向かって漸次縮径したテーパ面状に形成されている。そのため、シール空間Ｓ１、Ｓ２は、ハウジング２の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈する。
【００２４】
第１軸受スリーブ３および第２軸受スリーブ４は、共に、例えば焼結金属からなる多孔質体、特に銅を主成分とする焼結金属の多孔質体で円筒状に形成されている。本実施形態で、第１軸受スリーブ３は、その上側端面３ｂが、ハウジング２の第１段面２ｄから軸方向にδ１だけ下方に位置するようにして、ハウジング２の小径内周面２ａに固定されている（図３参照）。また、図示は省略するが、第２軸受スリーブ４は第１軸受スリーブ３と同様に、その下側端面４ｂが、ハウジング２の第２段面２ｅから所定寸法（δ１）軸方向上方に位置するようにして、ハウジング２の小径内周面２ａに固定されている。なお、ハウジング２に対する両軸受スリーブ３，４の固定手段としては、接着、圧入等適宜の手段を採用することができ、本実施形態では、所定幅の接着隙間に充填された接着剤を介して両者が接着固定されている（隙間接着）。また本実施形態では、第１軸受スリーブ３の下側端面３ｃと第２軸受スリーブ４の上側端面４ｃとが非当接とされているが、両軸受スリーブ３，４の軸方向寸法等によっては当接する場合もある。
【００２５】
第１軸受スリーブ３の内周面３ａには、軸部材５の外周面５ａとの間にラジアル軸受隙間を形成する第１および第２のラジアル軸受面Ａ１、Ａ２が軸方向の二箇所に離隔形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１には、動圧発生部として、例えば図２（ｂ）に示すようなヘリングボーン形状の動圧溝３ａ１が形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１は、第２軸受スリーブ４から離反する側（上側）の端部に形成され、第２のラジアル軸受面Ａ２はその反対側の端部に形成されている。第２のラジアル軸受面Ａ２は平滑な円筒面をなし、その内径寸法は、動圧溝３ａ１を区画形成する背部（図中クロスハッチングで示す）と略同径（同径の場合も含む）に形成されている。外周面３ｄには、円周方向等間隔に配された複数（図示例は３本）の軸方向溝３ｄ１が形成されている。
【００２６】
また、第２軸受スリーブ４の内周面４ａには、軸部材５の外周面５ａとの間にラジアル軸受隙間を形成する第１および第２のラジアル軸受面Ａ１’、Ａ２’が軸方向の二箇所に離隔形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１’には、動圧発生部として、例えば図２（ｂ）に示すようなヘリングボーン形状の動圧溝４ａ１が形成されている。第１のラジアル軸受面Ａ１’は、第１軸受スリーブ３から離反する側（下側）の端部に形成され、第２のラジアル軸受面Ａ２’はその反対側の端部に形成されている。第２のラジアル軸受面Ａ２’は平滑な円筒面をなし、その内径寸法は、動圧溝４ａ１を区画形成する背部（図中クロスハッチングで示す）と略同径（同径の場合も含む）に形成されている。外周面４ｄには、円周方向等間隔に配された複数（図示例は３本）の軸方向溝４ｄ１が形成されている。
【００２７】
上記の構成からなる流体軸受装置１（ハウジング２）の内部空間には、両軸受スリーブ３，４の内部気孔も含め潤滑流体として例えば潤滑油が充満される。潤滑油は、例えば組立が完了した流体軸受装置１を真空槽内で潤滑油中に浸漬した後、大気圧に開放することによりハウジング２の内部空間に充満される。なお、潤滑流体としては、潤滑油以外にも磁性流体や空気等の気体を使用することもできる。
【００２８】
上記構成の流体動圧軸受装置１において、軸部材５が回転すると、第１軸受スリーブ３の第１および第２のラジアル軸受面Ａ１、Ａ２は、それぞれ軸部材５の外周面５ａとラジアル軸受隙間を介して対向する。第１のラジアル軸受面Ａ１が面するラジアル軸受隙間では、このラジアル軸受隙間に充満された潤滑油が動圧溝３ａ１の動圧作用によってその圧力を高められ、この圧力によって軸部材２がラジアル方向に回転自在に非接触支持される。一方、第２のラジアル軸受面Ａ２が面するラジアル軸受隙間では、ラジアル軸受隙間に滲み出した油で油膜が形成され、この油膜で軸部材５がラジアル方向に回転自在に支持される。これにより、動圧軸受および真円軸受で軸部材５をラジアル方向に回転自在に支持する第１ラジアル軸受部Ｒ１が形成される。同様に第２軸受スリーブ４でも第１および第２のラジアル軸受面Ａ１’，Ａ２’によって動圧軸受および真円軸受が構成され、軸部材５をラジアル方向に回転自在に支持する第２ラジアル軸受部Ｒ２が形成される。
【００２９】
また、軸部材５が回転すると、ハウジング２の第１段面２ｄのスラスト軸受面がシール部材６の下側端面６ｂと所定のスラスト軸受隙間を介して対向し、ハウジング２の第２段面２ｅのスラスト軸受面がシール部材７の上側端面７ｂと所定のスラスト軸受隙間を介して対向する。そして軸部材５の回転に伴い、各スラスト軸受隙間に充満された潤滑油は、動圧溝の動圧作用によってその圧力が高められ、軸部材５が両スラスト方向に回転自在に非接触支持される。これにより、軸部材５を両スラスト方向に回転自在に非接触支持する第１スラスト軸受部Ｔ１と第２スラスト軸受部Ｔ２とが形成される。
【００３０】
また、軸部材５の回転時には、上述のように、シール空間Ｓ１、Ｓ２が、ハウジング２の内部側に向かって漸次縮小したテーパ形状を呈しているため、両シール空間Ｓ１、Ｓ２内の潤滑油は毛細管力による引き込み作用と、回転時の遠心力による引き込み作用とにより、シール空間が狭くなる方向、すなわちハウジング２の内部側に向けて引き込まれる。これにより、ハウジング２の内部からの潤滑油の漏れ出しが効果的に防止される。また、シール空間Ｓ１、Ｓ２は、ハウジング２の内部空間に充填された潤滑油の温度変化に伴う容積変化量を吸収するバッファ機能を有し、想定される温度変化の範囲内では、潤滑油の油面は常にシール空間Ｓ１、Ｓ２内にある。
【００３１】
また、第１軸受スリーブ３の軸方向溝３ｄ１によって形成される流体通路、第２軸受スリーブ４の軸方向溝４ｄ１によって形成される流体通路、および各軸受隙間（第１ラジアル軸受部Ｒ１および第２ラジアル軸受部Ｒ２のラジアル軸受隙間、第１スラスト軸受部Ｔ１および第２スラスト軸受部Ｔ２のスラスト軸受隙間）により、ハウジング２の内部に一連の循環通路が形成される。そして、ハウジング２の内部空間に充満された潤滑油がこの循環通路を介して流動循環することにより、潤滑油の圧力バランスが保たれると同時に、局部的な負圧の発生に伴う気泡の生成、気泡の生成に起因する潤滑油の漏れや振動の発生等が防止される。
【００３２】
特に本実施形態では、第１軸受スリーブ３の軸方向溝３ｄ１によって形成される流体通路の一端と、第２軸受スリーブ４の軸方向溝４ｄ１によって形成される流体通路の一端は、それぞれ、大気開放側となるシール空間Ｓ１、Ｓ２に通じている。そのため、何らかの理由で潤滑油中に気泡が混入した場合でも、気泡が潤滑油に伴って循環する際に外気開放側に排出されるので、気泡による悪影響はより一層効果的に防止される。なお、本実施形態では、第１軸受スリーブ３および第２軸受スリーブ４の外周縁部にそれぞれ面取りが設けられていることから、各軸方向溝３ｄ１、４ｄ１の円周方向の位相を合せなくても、第１スラスト軸受部Ｔ１および第２スラスト軸受部Ｔ２の両スラスト軸受隙間は連通可能である。
【００３３】
上記構成の流体軸受装置１では、ハウジング２の内周に軸受スリーブ３，４を固定した状態におけるラジアル軸受面Ａ１、Ａ２、Ａ１’、Ａ２’相互間の精度がラジアル方向の回転精度を大きく左右する。そのため、上記構成の流体軸受装置１では、ハウジング２の内周に第１および第２軸受スリーブ３，４を軸方向に並べて固定した後、各ラジアル軸受面相互間で所定の精度が確保されているか否かを検査する検査工程を設けるのが通例となっている。本発明はこの検査方法に関するものであり、以下、その要旨を図４に基づいて詳述する。
【００３４】
図４に示す検査装置２０は、第１治具２２を一体に有する回転駆動部２１と、第１治具２２と別体に設けられた第２治具２３と、第２治具２３の振れ量を測定する測定端子２４を有するゲージ２５とを主要な構成として備える。第１および第２治具２２，２３は、例えばステンレス鋼等の金属材料で全長に亘って径一定に形成され、またその外周面は凹凸のない平滑な円筒面に形成されている。回転駆動部２１には図示しないスピンドルが組み込まれており、第１治具２２が回転駆動部２１の運転に伴って回転駆動される。なお、回転駆動部２１に組み込むスピンドルとしては、高い回転精度を誇るエアスピンドルが望ましい。
【００３５】
以上の構成からなる検査装置２０において、まず、ハウジング２の内周に固定した第２軸受スリーブ４に第１治具２２を圧入した後、第１軸受スリーブ３に第２治具２３を圧入する。第１治具２２は、その上端部が第２ラジアル軸受面Ａ２’の上端部を超えるようにして第２軸受スリーブ４の内周に圧入され、第２治具２３は、その下端部が第２ラジアル軸受面Ａ２の下端部を超えるようにして第１軸受スリーブ３の内周に圧入される。第１軸受スリーブ３への圧入が完了した時点で、第２治具２３はハウジング２の上端面よりも軸方向上方に所定量突出する。
【００３６】
なお、第１治具２２および第２治具２３は、それぞれ、０以上２μｍ以下の締め代をもって軸受スリーブ３，４に圧入できるように形成される。これにより、軸受スリーブ３，４およびハウジング２が治具２２，２３と同期して回転可能となる一方で、第１ラジアル軸受面Ａ１、Ａ１’（動圧溝３ａ１、４ａ１）および第２ラジアル軸受面Ａ２、Ａ２’が、治具２２，２３の圧入に伴って損傷する事態が回避される。なお、本実施形態では、１μｍの締め代をもって軸受スリーブ３，４に圧入される治具２２，２３を用いている。そのため、各治具２２，２３を所定の圧入力で軸受スリーブ３，４に圧入できない場合には、第１軸受スリーブ３のラジアル軸受面Ａ１，Ａ２間および第２軸受スリーブ４のラジアル軸受面Ａ１’，Ａ２’間で所定の精度（１μｍ以下の同軸度）が確保されていないこと、すなわち単体の軸受スリーブが所定の精度で形成されていないことを意味する。従って、この時点で個々の軸受スリーブの内径寸法異常等を発見することができる。
【００３７】
上記のように、第２軸受スリーブ４に第１治具２２を、第１軸受スリーブ３に第２治具２３を圧入した後、第２治具２３の外周に測定端子２４を備えたゲージ２５を配設する。測定端子２４は、例えば第２軸受スリーブ４の上側端面４ｃ又は第１治具２２の上端面を基準として軸方向に位置決めされ、また第１治具２２の軸心を基準として径方向に位置決めされる。
【００３８】
以上のようにして各種位置決めが完了すると回転駆動部２１を駆動して、第１治具２２、第２治具２３、ハウジング２および軸受スリーブ３，４を一体に回転させ、測定端子２４で第２治具２３の振れ量を測定する。このように振れ量を測定することで、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２、Ａ１’、Ａ２’相互間の同軸度、ラジアル軸受面Ａ１’，Ａ２’（第２軸受スリーブ４）の軸心に対するラジアル軸受面Ａ１，Ａ２（第１軸受スリーブ３）の軸心の傾き等が検知できる。合否判定は、第１治具２２を所定時間（例えば３秒）あるいは所定数（例えば５回）回転させたときの第２治具２３の振れ回り量の平均を評価することによって行われ、この平均値が２μｍ以下であれば合格（良品）と判定される。
【００３９】
以上に示すように、本発明にかかる検査方法であれば、真円度測定機を用いる場合のように軸受スリーブ３，４のラジアル軸受面の軸心位置を個別に導き出すことなく、一工程でラジアル軸受面相互間の精度を検査（検知）することができる。また、測定対象物を軸受外部に突出させた第２治具２３としているので、測定端子２４の位置決めを簡便に行うことができ、さらに軸受スリーブ３の内周に第２治具２３を圧入するだけで測定対象物としての第２治具２３の位置決めがなされる。このように、本発明に係る検査方法では、検査およびその準備が従来方法に比べて大幅に簡略化されるので、ラジアル軸受面相互間の精度を簡易に検査することが可能となる。本願発明者らの検証によれば、従来方法では上述のとおり約２０分／個の検査時間を要していたのに対し、本発明にかかる方法では約２０秒／個の検査時間、すなわち検査時間を６０分の１程度に短縮できることが確認された。
【００４０】
また、本発明にかかる検査方法では、上記のように、第１軸受スリーブ３に圧入した第２治具２３のうち、軸受スリーブ３の上側端面３ｂよりも突出した部分での振れ量を測定するので、測定される振れ量は、実際のラジアル軸受面相互間のずれ量よりも増幅された値となる。そのため、微細な位置ずれ等も検知することが可能となり、高い回転精度を誇る流体軸受装置１が提供可能となる。
【００４１】
また、本発明にかかる検査方法で用いる検査装置２０は、上記のようにターンテーブル等を有しないものであるから、一般的な真円度測定機に比べて小型化される。そのため、クリーンルーム等の特殊な環境化にも容易に搬入することが、換言するとクリーンルーム内でもラジアル軸受面相互間の精度検査を行うことが可能となる。従って、ラジアル軸受面相互間の精度検査に際し、軸受スリーブ３，４を内周に固定したハウジング２を別工程に搬送する手間を省くことができ、製造コストの低廉化を図ることができる。またあるいは、検査頻度を増大させて流体軸受装置１の品質保証レベルを高めることもできる。
【００４２】
以上のような検査工程を経て製造された流体軸受装置１は、ラジアル軸受面Ａ１、Ａ２、Ａ１’、Ａ２’相互間における精度が高く、従って、高い軸受性能を具備する。
【００４３】
以上、本発明の一実施形態について説明を行ったが、本発明は上記構成の流体軸受装置に限定適用されるものではない。例えば、図５に示すように、ハウジング２内周に、軸受スリーブ３，４およびスペーサ部材９を固定した構成とした場合にも、上記同様にしてラジアル軸受面相互間の精度検査を簡易に行うことができる。スペーサ部材９は、その内周面９ａと軸部材５の外周面５ａとの間にラジアル軸受隙間を形成するものではなく、単に両軸受スリーブ３，４間の空間を埋めるために設けられる部材であるため、スペーサ部材９の内径寸法は軸受スリーブ３，４のそれよりも大径に設定される。そのため、図示する態様で治具２２，２３を軸受スリーブ４，３に圧入しても、治具２２，２３の固定精度に悪影響は及ばない。なお、検査の手順は上記同様であるから、具体的な検査手順の説明は省略する。
【００４４】
以上では、軸受スリーブ３，４を焼結金属で形成した場合について説明を行ったが、軸受スリーブ３，４を焼結金属以外のその他の弾性体、例えば樹脂材料（多孔質であるか否かは問わない）で形成した場合にも、上記同様の手法でラジアル軸受面相互間の精度検査を行うことができる。また、例えば、軸受スリーブ３，４を金属材料等の非弾性体で形成した場合には、治具２２，２３を弾性体で形成することにより、上記本発明にかかる検査方法を用いることができる。さらに、例えば治具２２、２３を縮拡径自在な構造とすれば、軸受スリーブ３，４の形成材料に関わらず、上記本発明にかかる検査方法を用いることができる。
【００４５】
また、以上では、第１軸受スリーブ３および第２軸受スリーブ４の内周面の双方に、軸方向に離隔して２つのラジアル軸受面を設けた構成について説明を行ったが、ラジアル軸受面の形成数は、軸受スリーブ３，４の内周面の軸方向１箇所あるいは３箇所以上とすることもできる。
【００４６】
また、以上では、ハウジング２の内周面を、小径内周面２ａと大径内周面２ｂ、２ｃとで形成した場合について説明を行ったが、ハウジング２は、その内周面が全長に亘って径一定のものとしてもよい。
【００４７】
また、以上では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２のうちの動圧軸受として、ヘリングボーン形状等の動圧溝によって潤滑油の動圧作用を発生させる場合について説明を行っているが、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を構成する動圧軸受として、いわゆるステップ軸受や多円弧軸受を採用しても良い。さらに、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を全て真円軸受で構成することもできる（以上、図示省略）。
【００４８】
また、以上では、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２を、へリングボーン形状等の動圧溝を設けた動圧軸受で構成としているが、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２の一方又は双方は、いわゆるステップ軸受や波型軸受（ステップ型が波型になったもの）で構成することもできる（図示省略）。また、スラスト軸受部は、軸部材５の一端を接触支持する、いわゆるピボット軸受で構成することもできる。
【００４９】
また、本発明にかかる検査方法は、上記のように両端を開口させた状態で使用されるハウジングを組み込んだ流体軸受装置に限定適用されるわけではなく、一端開口部を別体の蓋部材で封止したハウジングを組み込んだ流体軸受装置にも好ましく用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】流体軸受装置の一構成例を示す断面図である。
【図２】第１および第２軸受スリーブを内周に固定したハウジングを示すもので（ａ）図はその上面図、（ｂ）図はその断面図、（ｃ）図はその下面図である。
【図３】図１の一部拡大断面図である。
【図４】本発明にかかる検査方法の第１実施形態を示す図である。
【図５】本発明にかかる検査方法の第２実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１      流体軸受装置
２      ハウジング
３      第１軸受スリーブ
４      第２軸受スリーブ
２０    検査装置
２１    回転駆動部
２２    第１治具
２３    第２治具
２４    測定端子
Ａ１、Ａ１’  第１のラジアル軸受面
Ａ２、Ａ２’  第２のラジアル軸受面
Ｒ１    第１ラジアル軸受部
Ｒ２    第２ラジアル軸受部
Ｔ１    第１スラスト軸受部
Ｔ２    第２スラスト軸受部
Ｓ１、Ｓ２    シール空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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