(57)【要約】【課題】  ヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法において、インクノズルの配列ピッチを微小化しても加工が容易となるようにする。【解決手段】  ノズルプレート２０と、アクチュエータ基板２１と、インクを貯留する共通インク室２２ａと共通インク室を各吐出チャネルに連通させる複数の開口２２ｂとを有するカバープレート２２とを備えるインクジェットヘッド１０であって、カバープレート２２が１つの板状部材からなり、共通インク室２２ａは、板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置までの深さの凹溝として形成され、開口２２ｂは、板状部材の他方の面から凹溝の底面に貫通し、板状部材の他方の面上で、複数の吐出チャネルの上部にそれぞれ開口する複数のチャネル状溝により形成された構成する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを配列したノズルプレートと、圧電性を有する材質からなる壁体により前記複数のノズルからインクを吐出せしめる複数のチャネルが前記複数のノズルのそれぞれに応じて設けられたアクチュエータ基板と、該アクチュエータ基板の前記複数のチャネル上に前記インクを貯留する共通インク室と該共通インク室を前記複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口とを有するカバープレート部とを備えるインクジェットヘッドであって、
前記カバープレート部が１つの板状部材からなり、
前記共通インク室は、前記板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置までの深さで、前記複数のチャネルが形成された範囲を横断する状態に延設された凹溝として形成され、
前記開口は、前記板状部材の他方の面から前記凹溝の底面に貫通し、前記板状部材の他方の面上で、前記複数のチャネルの上部にそれぞれ開口する複数のチャネル状溝により形成されたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記チャネル状溝は、
前記板状部材の側端面に貫通され、貫通部を封止部材で封止されてなることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
複数のノズルからを配列したノズルプレートと、圧電性を有する材質からなる壁体により前記複数のノズルからインクを吐出せしめる複数のチャネルが前記複数のノズルのそれぞれに応じて設けられたアクチュエータ基板と、該アクチュエータ基板の前記複数のチャネル上に前記インクを貯留する共通インク室と該共通インク室を前記複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口とを有するカバープレート部とを備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記カバープレート部の製造工程が、
前記アクチュエータ基板の複数のチャネルを横断するような範囲に、板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置の深さまで、凹溝を形成することで前記共通インク室を形成する第１の工程と、
該第１の工程で形成された前記凹溝の底面に貫通するチャネル状溝を前記板状部材の他方の面から、前記アクチュエータ基板の複数のチャネルの配列パターンに合わせて形成することで、前記凹溝の底面に前記複数の開口を形成する第２の工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
複数のノズルからを配列したノズルプレートと、圧電性を有する材質からなる壁体により前記複数のノズルからインクを吐出せしめる複数のチャネルが前記複数のノズルのそれぞれに応じて設けられたアクチュエータ基板と、該アクチュエータ基板の前記複数のチャネル上に前記インクを貯留する共通インク室と該共通インク室を前記複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口とを有するカバープレート部とを備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記カバープレート部の製造工程が、
板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置の深さまで、複数のチャネル状溝を、前記アクチュエータ基板の複数のチャネルの配列パターンに合わせて形成する第１の工程と、
該第１の工程で形成された前記複数のチャネル状溝を横断する範囲で、前記板状部材の他方の面から、前記各チャネル状溝の底面に貫通するように凹溝を形成することで、前記複数の開口を備えた前記共通インク室を形成する第２の工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記チャネル状溝をダイシング加工によって形成することを特徴とする請求項３または４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１または２に記載のインクジェットヘッドを用いたことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紙などの媒体に文字や画像などを記録する手段として、インクを吐出させて印刷を行うインクジェットプリンタが用いられている。このようなインクジェットプリンタは、インクを吐出させるインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドを媒体の搬送方向と略直交する方向に走査させるキャリッジとを備えている。
インクジェットヘッドは、インクノズルに壁面に電極が設けられた複数のチャネルを有するアクチュエータ基板を備え、インクは、このアクチュエータ基板を覆うカバープレート部に設けられた共通インク室からそれぞれ各チャネルに通ずる開口を通して供給されるようになっている。そして、このアクチュエータ基板に接続されている配線基板から電極に電圧を印加してチャネルの容積を変化させることで、チャネルからノズルを経由してインクを吐出させ、これにより印刷を可能としている。
例えば、特許文献１の従来技術には、圧電素子を含む基板に複数の溝の加工を行い、その後、この溝側にカバー基板（カバープレート部）を固着することにより圧電性を有する材質からなる駆動壁とチャンネル部（チャネル）とを交互に形成するとともに、駆動壁に駆動電極をメッキ処理等により形成したインクジェットヘッドが記載されている。そして、このカバー基板には、共通インク室として、各チャンネル部を配列方向に横断する範囲に矩形状の開口部が所定深さに形成され、この開口部の下方に、この開口部の空間と各チャンネル部とをそれぞれ独立に連通させる平面視矩形状の開口が厚さ方向に貫通して設けられている。
このような構成のカバープレート部は、平板に共通インク室を形成する所定深さの矩形状開口部を形成し、その底部に開口としてチャネルに対応する平面視矩形状のスリットを形成するか、または、平板の端部に平面視コ字状の所定深さの溝を形成し、溝底部を櫛歯状に加工して、端面に他の平板を接合して形成していた。
【特許文献１】特開２００２−１０３６１２号公報（図９）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来のヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法には、以下のような問題があった。
特許文献１の従来技術に記載の技術では、平板に所定深さの矩形状開口部を形成してその底部に開口としてチャネルに対応する平面視矩形状のスリットを形成する場合、例えばサンドブラスト加工やレーザ加工が行われている。
サンドブラスト加工やレーザ加工では、インクジェットヘッドに用いるような微小スリットの形状では、貫通方向にテーパを有する貫通孔しか形成できず、最小の開口幅も、それぞれ研磨材の粒径やレーザビーム径の制約を受けるため、例えば、５０μｍ以下のような小さな開口を形成することができず、さらに開口の配列ピッチを微小化できないという問題がある。そのため、インクジェットプリンタの高解像度化に対応したインクジェットヘッドを製造することができないという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、インクノズルの配列ピッチを微小化しても加工が容易となるヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、複数のノズルを配列したノズルプレートと、圧電性を有する材質からなる壁体により前記複数のノズルからインクを吐出せしめる複数のチャネルが前記複数のノズルのそれぞれに応じて設けられたアクチュエータ基板と、該アクチュエータ基板の前記複数のチャネル上に前記インクを貯留する共通インク室と該共通インク室を前記複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口とを有するカバープレート部とを備えるインクジェットヘッドであって、前記カバープレート部が１つの板状部材からなり、前記共通インク室は、前記板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置までの深さで、前記複数のチャネルが形成された範囲を横断する状態に延設された凹溝として形成され、前記開口は、前記板状部材の他方の面から前記凹溝の底面に貫通し、前記板状部材の他方の面上で、前記複数のチャネルの上部にそれぞれ開口する複数のチャネル状溝により形成された構成とする。
この発明によれば、共通インク室を複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口を、凹溝の底面に貫通するチャネル状溝により形成するので、円盤状ブレードにより板状部材に切り込みを入れるダイシング加工などを用いることによって、サンドブラスト加工やレーザ加工では形成できないような微小ピッチであっても複数の開口を形成することができる。そのため、容易かつ効率的な加工を行うことができる。
【０００６】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記チャネル状溝は、前記板状部材の側端面に貫通され、貫通部を封止部材で封止されてなる構成とする。
この発明によれば、チャネル状溝を板状部材の側端面に貫通させ、貫通部を封止部材で封止するので、例えば、ダイシング加工の不完全な溝部の範囲の分だけ、カバープレート部を小型化することができる。
【０００７】
請求項３に記載の発明では、複数のノズルからを配列したノズルプレートと、圧電性を有する材質からなる壁体により前記複数のノズルからインクを吐出せしめる複数のチャネルが前記複数のノズルのそれぞれに応じて設けられたアクチュエータ基板と、該アクチュエータ基板の前記複数のチャネル上に前記インクを貯留する共通インク室と該共通インク室を前記複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口とを有するカバープレート部とを備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記カバープレート部の製造工程が、前記アクチュエータ基板の複数のチャネルを横断するような範囲に、板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置の深さまで、凹溝を形成することで前記共通インク室を形成する第１の工程と、該第１の工程で形成された前記凹溝の底面に貫通するチャネル状溝を前記板状部材の他方の面から、前記アクチュエータ基板の複数のチャネルの配列パターンに合わせて形成することで、前記凹溝の底面に前記複数の開口を形成する第２の工程とを備える方法とする。
この発明によれば、請求項１に記載のインクジェットヘッドを製造する方法となっているので、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を備える。
また、共通インク室を形成する第１の工程を行ってから、その底面にチャネル状溝を形成して複数の開口を形成するので、凹溝の加工工程の影響を受けることなくチャネル状溝を形成することができるため、複数の開口の形状を精度よく形成することができる。
【０００８】
請求項４に記載の発明では、複数のノズルからを配列したノズルプレートと、圧電性を有する材質からなる壁体により前記複数のノズルからインクを吐出せしめる複数のチャネルが前記複数のノズルのそれぞれに応じて設けられたアクチュエータ基板と、該アクチュエータ基板の前記複数のチャネル上に前記インクを貯留する共通インク室と該共通インク室を前記複数のチャネルにそれぞれ連通させる複数の開口とを有するカバープレート部とを備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、前記カバープレート部の製造工程が、板状部材の一方の面から板厚方向の中間位置の深さまで、複数のチャネル状溝を、前記アクチュエータ基板の複数のチャネルの配列パターンに合わせて形成する第１の工程と、該第１の工程で形成された前記複数のチャネル状溝を横断する範囲で、前記板状部材の他方の面から、前記各チャネル状溝の底面に貫通するように凹溝を形成することで、前記複数の開口を備えた前記共通インク室を形成する第２の工程とを備える方法とする。
この発明によれば、請求項１に記載のインクジェットヘッドを製造する方法となっているので、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を備える。
【０００９】
請求項５に記載の発明では、請求項３または４に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記チャネル状溝をダイシング加工によって形成する方法とする。
この発明によれば、ダイシング加工により、サンドブラスト加工やレーザ加工に比べて微小なチャネル状溝を容易に形成することができ、多数個取りの加工も容易となる。
【００１０】
請求項６に記載の発明では、インクジェットプリンタにおいて、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドを用いた構成とする。
この発明によれば、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドを用いた構成とするので、請求項１または２に記載の発明と同様の作用効果を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のヘッドジェットヘッド、それを用いたインクジェットプリンタ、およびインクジェットヘッドの製造方法によれば、共通インク室の底面の開口を板状部材にチャネル状の溝加工により形成するので、インクノズルの配列ピッチを微小化する場合でも容易に加工を行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドについて、それを用いたインクジェットプリンタとともに説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成を示す模式的な斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの主要部の構成を示す斜視図である。図３は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドに用いるカバープレートの構成を示す斜視図である。図４は、図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【００１３】
本実施形態のインクジェットプリンタ１は、図１に示すように、紙などの媒体Ｍを搬送方向Ｘに搬送する一対の搬送手段２、３と、インクを媒体Ｍに吐出するインクジェットヘッド１０と、インクジェットヘッド１０にインクを供給するインクタンク４と、インクジェットヘッド１０を媒体Ｍの搬送方向であるＸ方向と略直交するＹ方向に走査する走査手段５とを備える。
一対の搬送手段２、３は、それぞれグリッドローラ２ａ、３ａと、ピンチローラ２ｂ、３ｂとで構成されていて、図示しない駆動モータでグリッドローラ２ａ、３ａを回転させることで、ピンチローラ２ｂ、３ｂとで挟み込んだ媒体ＭをＸ方向に搬送することができる。
走査手段５は、Ｙ方向に延ばして配置された一対のガイドレール５ａ、５ｂと、ガイドレール５ａ、５ｂ上でＹ方向に摺動可能で、インクジェットヘッド１０が搭載されたキャリッジ６とを備える。一対のガイドレール５ａ、５ｂの間には、キャリッジ６が固定されたタイミングベルト７がＹ方向に沿って配置されていて、両端部において一対のプーリ８ａ、８ｂに巻回されている。プーリ８ａには、キャリッジ駆動モータ９が連結されていて、キャリッジ駆動モータ９を駆動してプーリ８ａを回転させることで、タイミングベルト７をＹ方向に走行させ、これによりキャリッジ６をＹ方向に進退させることができる。
【００１４】
本実施形態では、キャリッジ６には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクを吐出可能に、四基のインクジェットヘッド１０が搭載されている。また、インクタンク４も同様に四種類搭載されていて、キャリッジ６の移動に応じて追従可能に可撓性を有する配管４ａよってそれぞれ対応するインクジェットヘッド１０と接続されている。なお、本実施形態において、各インクタンク４に充填されているインクは、水性であるものとして説明している。
【００１５】
インクジェットヘッド１０の主要部は、図２に示すように、ノズルプレート２０、アクチュエータ基板２１、およびカバープレート２２（カバープレート部）がそれぞれ互いに固着されて、不図示の筐体内に収められてなる。ここで、図２は、見易さのため、図１のインクジェットヘッド１０を、Ｘ方向を回転中心として９０°回転させた状態で図示しており、対応するＸ方向、Ｙ方向を両矢印で示している。
【００１６】
ノズルプレート２０は、不図示の筐体から露出され、媒体Ｍ（図１参照）に対向して配置されたヘッド面２０ａ上に、インクタンク４から供給されるインクを吐出する複数のノズル２０ｂを印刷密度に応じたピッチＷ、例えば２８２μｍといった寸法で、Ｘ方向に配列したものである。ノズル２０ｂの数は、図２では見易さのため１０個に描いているが、必要に応じて、数十〜数百といった適宜の多数個に設定することができる。
【００１７】
アクチュエータ基板２１は、ノズルプレート２０のヘッド面２０ａの裏面側に、ノズル２０ｂの配列方向であるＸ方向、かつＸＹ平面に沿って配置されたノズルプレート２０に略直交するＺ方向に延ばされた板状部材であり、図４に示すように、板厚方向の中間位置から、Ｙ方向の一方の表面まで延ばされるとともに、Ｚ方向に沿って延在された複数の壁体２１ｃが設けられている。そして、これらの壁体２１ｃによって、断面が開口幅ｗを有するコ字状のチャネル状溝からなる吐出チャネル２１Ａ（チャネル）、ダミーチャネル２１Ｂ（チャネル）が交互に並んで形成されている。
壁体２１ｃは、圧電性を有する材質、例えば、圧電セラミックスなどで形成され、アクチュエータ基板２１の一方の表面側の先端部に、壁体２１ｃをＸ方向に変形させるための電極２４が設けられている。そして、不図示に制御部からの制御信号に応じて電極２４に印加される駆動電圧に応じて変形し、吐出チャネル２１Ａの容積を可変できるようになっている。
本実施形態では、アクチュエータ基板２１全体が圧電セラミックスで形成され、壁体２１ｃは、基板表面から幅ｗの溝形状を、ピッチＷ／２で形成している。
幅ｗとしては、例えば、３０μｍ〜８０μｍといった寸法を採用することができる。
【００１８】
吐出チャネル２１Ａは、ノズル２０ｂにインクを供給し、ノズル２０ｂから吐出せしめるための管路であり、平面視では、ノズルプレート２０から少なくとも後述する共通インク室２２ａの範囲を含むカバープレート２２の下面側に延在されている。
ダミーチャネル２１Ｂは、吐出チャネル２１Ａの間にインクが充填されない空間を形成し、隣接する電極２４が、導電性を有するインクにより導通しないようにするためのものである。
電極２４は、図２に示すように、カバープレート２２の外方の範囲では、配線部２１ｂとして、アクチュエータ基板２１上に延在され、アクチュエータ基板２１の端部において、例えば、フレキシブル基板などと電気的に接続するための端子部２１ａが形成されている。
【００１９】
このようなノズルプレート２０、アクチュエータ基板２１は、周知の構成を備えており、これら構成に応じて周知技術による適宜の製造方法によって、製造することができる。
例えば、ノズルプレート２０は、ポリイミドフィルムなどの板部材に、エキシマレーザなどによって微小穴加工を施して、ヘッド面２０ａ上に所定ノズル径のノズル２０ｂを所定ピッチで形成する。
また、アクチュエータ基板２１は、圧電セラミックスで板部材を成形し、板表面に、例えばダイシング加工など施して吐出チャネル２１Ａ、ダミーチャネル２１Ｂを所定ピッチで形成し、壁体２１ｃの先端部および板部材の表面に真空蒸着などによって、電極２４、配線部２１ｂ、端子部２１ａなどを形成する。
【００２０】
カバープレート２２は、アクチュエータ基板２１の吐出チャネル２１Ａおよびダミーチャネル２１Ｂを開口側から覆う範囲に延ばされて、アクチュエータ基板２１に積層された状態でノズルプレート２０およびアクチュエータ基板２１に固着された板状部材である。
そして、カバープレート２２は、吐出チャネル２１Ａの延在範囲の一部において各吐出チャネル２１Ａが形成された範囲をＸ方向に横断する状態に延設された凹溝からなる共通インク室２２ａを備えている。また、Ｚ方向に対向する共通インク室側面２２ｆの間の共通インク室底面２２ｅから各吐出チャネル２１Ａに連通する、Ｘ方向幅ｗの開口２２ｂが、それぞれ吐出チャネル２１Ａに対向する位置に設けられている。
共通インク室２２ａのノズルプレート２０と反対側の共通インク室側面２２ｆは、カバープレート２２のノズルプレート２０と反対側の端面２２ｈから距離ｅの位置に設けられている（図３参照）。
【００２１】
本実施形態の開口２２ｂは、図３に示すように端面２２ｈに貫通して、Ｚ方向に沿って所定長さに延ばされた幅ｗのチャネル状溝２２ｃの溝底部を、共通インク室２２ａ内に貫通させることによって形成されている。
このため、開口２２ｂは、共通インク室２２ａの板厚方向の下面側では、図４に示すように、Ｘ方向断面が幅ｗを有する矩形状の貫通孔を構成している。
そして、チャネル状溝２２ｃは、共通インク室２２ａのノズルプレート２０側の側方において、ノズルプレート２０側に向かって一定長さｄの範囲（図３参照）で溝深さが板厚方向に縮小する不完全溝部２２ｄを形成した状態で終端されている。
【００２２】
カバープレート２２の材質は、例えば、アクチュエータ基板２１の材質と熱膨張率が略等しいセラミック材を採用することができる。この場合、板厚を５００μｍとしたとき、共通インク室２２ａの深さを３００μｍ、チャネル状溝２２ｃの溝深さを２００μｍ程度とすることが好ましい。
【００２３】
各チャネル状溝２２ｃによって形成される端面２２ｈの櫛歯状の開口は、これら開口が形成されるカバープレート２２の端面と、この端面に接するアクチュエータ基板２１の表面との間に、例えば、接着剤などを固化させた封止部材２３を固着させることで封止されている。
【００２４】
次に、カバープレート２２の製造方法について説明する。
図５（ａ）は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の図３のＺ方向に沿う断面視の工程説明図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図６（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図５（ａ）に続く図３のＺ方向に沿う断面視の工程説明図である。図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図６（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図およびＤ視の側面図である。
【００２５】
まず、第１の工程では、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、カバープレート２２を形成するための板部材２２０（板状部材）の板厚方向の一方の面２２０Ａ側から、平面視矩形状で、板厚方向の中間位置の深さにおいて、面２２０Ａに略平行な底面２２０ｅを有する凹溝２２０ａを形成する。凹溝２２０ａの平面視の開口の形状および位置は共通インク室２２ａの開口と同様に形成する。このように、凹溝２２０ａを形成することで、底面２２０ｅから面２２０Ａ側に立ち上がる共通インク室側面２２ｆ、２２ｇが形成される。
共通インク室側面２２ｆ、２２ｇは、必ずしも底面２２０ｅから垂直に立ち上がる必要はなく、テーパ面や湾曲面などで形成されていてもよい。
本工程は、凹溝２２０ａの開口面積が研磨剤の粒径に比べて十分大きく、また開口の寸法精度も高精度が求められないため、サンドブラスト加工を採用することができる。また、共通インク室側面２２ｆ、２２ｇが湾曲面であってもよいので、ダイシング加工を採用することもできる。
【００２６】
次に、第２の工程では、図６、７に示すように、第２の工程で凹溝２２０ａが形成された板部材２２０の他方の面２２０Ｂからブレード幅が開口２２ｂと同一の円盤状のブレード３０を用いて、チャネル状溝２２ｃを形成する。チャネル状溝２２ｃの深さは、チャネル状溝２２ｃの溝底が凹溝２２０ａの底面２２０ｅに貫通する深さとする。これにより、チャネル状溝２２ｃが、凹溝２２０ａに交差する領域では、ブレード３０の先端が凹溝２２０ａの貫入し、底面２２０ｅに開口２２ｂが形成される。
また、チャネル状溝２２ｃの長さは、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、凹溝２２０ａを短手方向に横断し、板部材２２０の端面２２０Ｄ側で、共通インク室側面２２ｆの外方側にブレード３０の刃先Ｒの形状が残された不完全溝部２２ｄを形成する状態で終端し、端面２２０Ｄと対向する端面２２０Ｃ側では、端面２２０Ｃに貫通する状態に形成される。これにより、カバープレート２２の１つのチャネル状溝２２ｃ、開口２２ｂが形成される。
そして、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、この加工をチャネル状溝２２ｃの配列ピッチで、順次繰り返し、すべてのチャネル状溝２２ｃ、開口２２ｂを形成する。これにより、凹溝２２０の底面２２０ｅは、複数の開口２２ｂが形成された共通インク室底面２２ｅに加工される。
このようにして、板部材２２０から、カバープレート２２が製造される。
【００２７】
このような製造方法によれば、ダイシング加工により、開口２２ｂを形成するため、ブレード３０のブレード幅に応じて深さ方向に溝幅が一定のチャネル状溝２２ｃを形成することができる。このため、開口２２ｂの幅をブレード３０の幅と同程度の精度とし、しかも互いに近接して形成することができる。例えば、３０μｍ程度の開口２２ｂを、その２〜３倍程度のピッチで設けることが可能である。したがって、研磨材粒径やビーム径の制約で５０μｍ以下の細幅の加工が困難で、しかも、板厚方向にテーパが形成されるため、開口の隣接ピッチを低減できないサンドブラスト加工やレーザ加工などでは形成できないような開口幅で、高精度、かつ高密度に開口を設けることができる。
また、微細形状であるチャネル状溝２２ｃを、凹溝２２０ａを形成した後に形成するので、凹溝２２０ａの製造工程が、チャネル状溝２２ｃの形状形成に影響しないため、凹溝２２０ａを機械的な加工により形成しても、精密な加工が容易となる。
【００２８】
なお、ダイシング加工は、レーザ加工と同様に、開口２２ｂを個別に形成する加工方法になっているが、加工長さ当たりの加工時間は、ダイシング加工の方が高速のため、より効率的な加工を行うことができる。
【００２９】
そして、このように製造したノズルプレート２０、アクチュエータ基板２１、カバープレート２２からインクジェットヘッド１０を製造するには、まず、アクチュエータ基板２１上で、Ｘ方向において吐出チャネル２１Ａとチャネル状溝２２ｃとを位置合わせし、Ｚ方向においてアクチュエータ基板２１の吐出チャネル２１Ａが貫通する端面と面２２０Ｄが整列するように位置合わせした状態で、カバープレート２２を配置し、互いに接着する。これにより、共通インク室２２ａと吐出チャネル２１Ａとが連通され、ダミーチャネル２１Ｂの開口は、開口２２ｂ間の共通インク室底面２２ｄにより塞がれた状態とされる。
また、チャネル状溝２２ｃの面２２０Ｃに、封止部材２３を配置し、チャネル状溝２２ｃのＺ方向の開口を封止する。
次に、ノズル２０ｂが吐出チャネル２１Ａの開口部の略中央に位置する状態で、ノズルプレート２０をアクチュエータ基板２１、カバープレート２２に接着して固定する。
そして、端子部２１ａに適宜配線し、これらの組立体を不図示の筐体に配置する。このようにしてインクジェットヘッド１０を製造することができる。
【００３０】
以上に述べたように、本実施形態のインクジェットヘッド１０は、上記の製造方法を用いることにより、開口２２ｂを高精度かつ高密度の細幅に形成したカバープレート２２を備えるため、ノズル２０ｂの配列ピッチを微小化しても加工が容易となる。
【００３１】
次に、本実施形態のインクジェットヘッドの製造方法の第１の変形例について説明する。
本変形例は、カバープレート２２の製造工程の変形例であり、凹溝２２０ａの加工の影響がチャネル状溝２２ｃにあまり影響しない場合に用いることができるものである。
本変形例では、上記第１の工程と第２の工程との順序を入れ替えたものである。すなわち、板部材２２０に上記第２の工程と同様にして、面２２０Ｂ側に複数のチャネル状溝２２ｃを形成し、次に、上記第１の工程と同様にして、面２２０Ａ側に凹溝２２０ａを形成する。
この場合でも、上記実施形態と同様に開口２２ｂを形成することができる。
本変形例における凹溝２２０ａの加工方法として、例えばエッチングなどの化学的加工方法などを挙げることができる。また、先に形成したチャネル状溝２２ｃに充填材を充填した状態で、例えばダイシング加工などの機械的な加工を行い、加工後、充填材を除去するといった加工方法も好適に採用することができる。
【００３２】
次に、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の第２の変形例について説明する。
本変形例は上記実施形態の第２の工程において、ブレード３０が凹溝２２０ａを通過した後、面２２０Ｃの手前で停止させ、チャネル状溝２２ｃを面２２０Ｃに貫通させないようにしたものである。この場合、第１の工程では、共通インク室側面２２ｆから面２２０Ｃ（端面２２ｈ）までの距離ｅ（図３参照）を、ブレード３０の大きさに合わせて十分離間させた寸法とし、共通インク室側面２２ｆと面２２０Ｃとの間に、ブレード３０による不完全溝部が形成できるように設定しておく。
本変形例によれば、面２２０Ｃに、チャネル状溝２２ｃが貫通しない形状とすることができるので、上記実施形態のように、封止部材２３によって、チャネル状溝２２ｃを封止する工程を省略することができる。
【００３３】
なお、上記の説明では、カバープレート２２を、平面視の形状がカバープレート２２と同じ大きさの板部材２２０から製造する場合の例で説明したが、板部材２２０は、カバープレート２２を複数形成できる大きさとしてもよい。この場合、上記の製造工程の各動作を可能な限り複数の領域で繰り返し、多数個のカバープレート２２を略同時に形成し、その後、１枚ずつに分割することで、カバープレート２２を効率的に製造することができる。
例えば、チャネル状溝２２ｃを形成する場合、ブレード３０を一定方向に相対移動する際、断続的に溝加工を行って、複数個のカバープレート２２に対するチャネル状溝２２ｃを１つの相対移動工程で形成することができる。
【００３４】
また、上記の説明では、インクジェットヘッド１０に水性のインクを使用するものとしているが、これに限るもので無く、油性インクを使用するものとしても良い。この場合、上記の説明で吐出チャネル２１Ａと交互に配置されていたダミーチャネル２１Ｂを吐出チャネル２１Ａに置き換え、各吐出チャネル２１Ａごとにノズル２０ｂ、開口２２ｂを設けるようにすればよい。したがって、カバープレート２２は、チャネル状溝２２ｃの配列ピッチを変更するのみで同様に製造することができる。
【００３５】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成を示す模式的な斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの主要部の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドに用いるカバープレートの構成を示す斜視図である。
【図４】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の図３のＺ方向に沿う断面視の工程説明図、およびそのＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】図５（ａ）に続く図３のＺ方向に沿う断面視の工程説明図である。
【図７】図６（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図およびＤ視の側面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  インクジェットプリンタ
１０  インクジェットヘッド
２０  ノズルプレート
２０ａ  ヘッド面
２０ｂ  ノズル
２１  アクチュエータ基板
２１Ｃ  壁体
２１Ａ  吐出チャネル（チャネル）
２１Ｂ  ダミーチャネル（チャネル）
２２  カバープレート（カバープレート部）
２２ａ  共通インク室
２２ｂ  開口
２２ｃ  チャネル状溝
２２ｄ  不完全溝部
２２ｅ  共通インク室底面
２３  封止部材
３０  ブレード
２２０  板部材
２２０ａ  凹溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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