(57)【要約】【課題】検査機からプローブピンを抜き取ることなく検査機に取付けたそのままの状態で全てのプローブピンを一度に簡便に清掃でき、静電気による悪影響を与える心配もないプローブピン清掃用の積層体と、この積層体を用いたプローブピンの簡便な清掃方法を提供する。【解決手段】常温で大半ないし全てが液状であるアルキレンオキサイドのセグメントを有し且つイオン化合物が含有された制電性ないし導電性のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルからなるゲル層１の両面に、制電性ないし導電性の剥離層２，２を積層した積層体１０とする。清掃方法は積層体１０の片面側の剥離層２を剥離除去してゲル層１を制電性ないし導電性のプレートに貼着し、反対面側の剥離層２を剥離除去して検査機のプローブピンをゲル層１に突き刺したのちゲル層１から引き抜き、ゲル層１の粘着力でプローブピンから塵埃を粘着除去する。【選択図】図１
2008249473.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
常温で大半ないし全てが液状であるアルキレンオキサイドのセグメントを有し且つイオン化合物が含有された制電性ないし導電性のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルからなるゲル層の両面に、制電性ないし導電性の剥離層を積層したことを特徴とする、プローブピン清掃用の積層体。
【請求項２】
ゲル層と剥離層の表面抵抗値が、１０１１Ω／□以下である請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された積層体の片面側の剥離層を剥離除去して、ゲル層を制電性ないし導電性のプレートに貼着し、反対面側の剥離層を剥離除去して、検査機のプローブピンをゲル層に突き刺したのちゲル層から引き抜くことを特徴とするプローブピンの清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査機のプローブピンに付着した塵埃を簡単に除去して清掃できる積層体と、この積層体を用いたプローブピンの清掃方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、昇降機用基板検査機などの検査機に取付けられている通電検査用のプローブピンを清掃する場合には、プローブピンを検査機から抜き取り、プローブピンに付着した塵埃を洗浄剤で洗い流す等の方法を一般に採用している。
【０００３】
これに対し、押え部材とコンタクトピンを装着したフィクスチャーとを間隔を開けて配設し、プリント基板をこの間に挿入し、該プリント基板を押え部材とフィクスチャーとで挟持して基板表面をコンタクトピンに接触させ、電子回路を検査する装置において、前記押え部材と前記フィクスチャーとの間に挿入するための、前記押え部材に当接させる清掃基板に、コンタクトピンを突き刺すための、粘着剤をコーティングした高分子フィルムを複数層粘着したコンタクトピン清掃シートが提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開平７−１２８３６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述の一般的な清掃方法は、プロープピンを検査機から抜き取り、洗浄、清掃後にプローブピンを検査機に差し込んで元通りに取付けなければならないため、このプローブピンの抜取り及び差込みの作業が面倒であり、特に、昇降機用基板検査機などは通電検査用のプローブピンの本数が多いため、清掃に時間がかかるという問題があった。
【０００５】
また、前記特許文献１のコンタクトピン清掃シートは、粘着剤がコーティングされた複数層の高分子フィルムにコンタクトピンを突き刺すだけで、簡単にコンタクトピンの清掃を行うことができる反面、高分子フィルムや粘着剤や清掃基板などが帯電するため、静電気による悪影響を回路検査装置や周辺の機器類に及ぼすという問題があった。
【０００６】
本発明は上記の問題に対処すべくなされたもので、その解決しようとする課題は、検査機からプローブピンを抜き取ることなく、検査機に取付けたそのままの状態で全てのプローブピンを一度に簡便に清掃することができ、しかも、静電気による悪影響を与える心配がないプローブピン清掃用の積層体を提供すること、並びに、この積層体を用いたプローブピンの簡便な清掃方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係るプローブピン清掃用の積層体は、常温で大半ないし全てが液状であるアルキレンオキサイドのセグメントを有し且つイオン化合物が含有された制電性ないし導電性のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルからなるゲル層の両面に、制電性ないし導電性の剥離層を積層したことを特徴とするものである。
ここに、制電性ないし導電性のゲル層及び剥離層は、いずれも、その表面抵抗値が１０１１Ω／□以下であることが好ましい。
【０００８】
そして、本発明に係るプローブピンの清掃方法は、上記積層体の片面側の剥離層を剥離除去して、ゲル層を制電性ないし導電性のプレートに貼着し、反対面側の剥離層を剥離除去して、検査機のプローブピンをゲル層に突き刺したのちゲル層から引き抜くことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のプローブピン清掃用の積層体は、本発明のプローブピンの清掃方法に記載したように、片面側の剥離層を剥離除去してゲル層を制電性ないし導電性のプレートに貼着し、反対面側の剥離層を剥離除去して、検査機のプローブピンをゲル層に突き刺したのち引き抜くことにより、プローブピンに付着した塵埃をゲル層のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルに粘着させて除去することができる。従って、検査機からプローブピンを抜き取ることなく、検査機に取付けたそのままの状態で全てのプローブピンを一度に簡便に清掃することができるので、清掃効率が大幅に向上する。
【００１０】
しかも、ゲル層と剥離層がいずれも制電性ないし導電性の層であるから、剥離層をゲル層から剥離させる際に実質的に剥離帯電することがなく、また、ゲル層を制電性ないし導電性のプレートに貼着する際に実質的に接触帯電することもないので、静電気による悪影響を検査機や周辺の機器類に及ぼす危惧も生じない。なお、粘着性を有するゲルとしてアクリルゲルに代表される含水ゲルが挙げられるが、これらは含有する水分が時間と共に蒸散し、粘着力、厚みが変化するという問題、粘着剤がピンに移転する可能性の問題や含有する水分によるピンの腐食の可能性の問題があるが、本発明に用いるセグメント化ポリウレタン粘着ゲルではこのような問題はない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の具体的な実施形態を詳述する。
【００１２】
図１は本発明の一実施形態に係るプローブピン清掃用の積層体の断面図、図２は同積層体の一使用例の説明図である。
【００１３】
このプローブピン清掃用の積層体１０は、常温で大半ないし全てが液状であるアルキレンオキサイドのセグメントを有し且つイオン化合物が含有された制電性ないし導電性のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルからなるゲル層１の両面に、制電性ないし導電性の剥離層２，２を積層した三層構造の積層体１０である。
【００１４】
ゲル層１を構成するセグメント化ポリウレタン粘着ゲルは、具体的には下記の構造式Ａ〜Ｄのポリオール成分と、下記の構造式Ｅ〜Ｉのポリイソシアネート成分を、それぞれ単独で又は混合して使用し、双方の成分の−ＯＨ基と−ＮＣＯ基をウレタン結合させることによって得られる、いわゆる三次元貫入形（Interpenetrated  Network）のセグメント化ポリウレタンゲルである。
【００１５】
【化１】
2008249473.tif 000003
式中、Ｒ１，Ｒ２はアルキル化合物、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかであり、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントである。
【００１６】
【化２】
2008249473.tif 000004
式中、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントであり、ｌは１または４の整数である。
【００１７】
【化３】
2008249473.tif 000005
式中、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントである。
【００１８】
【化４】
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式中、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントであり、Ｒは水素原子もしくはアルキル化合物、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかである。
【００１９】
【化５】
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式中、Ｒはアルキル基、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかであり、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントである。
【００２０】
【化６】
2008249473.tif 000008
式中、Ｒはアルキル基、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかであり、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントである。
【００２１】
【化７】
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式中、Ｒはアルキル基、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかであり、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントであり、ｌは１または４の整数である。
【００２２】
【化８】
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式中、Ｒはアルキル基、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかであり、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントである。
【００２３】
【化９】
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式中、Ｒはアルキル基、脂環式化合物、芳香族化合物のいずれかであり、ＡＯはアルキレンオキサイドのセグメントである。
【００２４】
構造式Ａ〜Ｄに掲げたポリオール成分としてのプレポリマーについて説明すると、構造式Ａはポリエーテルポリオールとジイソシアネートの反応物であるポリウレタンポリオールプレポリマーであって、両末端成分がポリエーテルポリオールからなり、末端は−ＯＨ基である。ここで使用されるジイソシアネート化合物は、後述するポリウレタンポリイソシアネートのプレポリマーの中のそれと同じものであり、例えばフェニレンジイソシアネート、２，４−トルイレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、４，４′−ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）、ナフタリン−１，５−ジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＭＤＩ）、テトラメチレンジイソシアネート（ＴＭＤＩ）、リジンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）、水添加ＴＤＩ、水素化ＭＤＩ、ジシクロヘキシルジメチルメタン−ｐ，ｐ′−ジイソシアネート、ジエチルフマレートジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）などが任意に使用できる。
【００２５】
構造式Ｂはグリセロール（ｌ＝１）またはソルビトール（ｌ＝４）にポリエーテルポリオールを付加したものであり、また、構造式Ｃはトリメチロールプロパンにポリエーテルを付加したものである。同様に下記の構造式Ｊの１，２，６−ヘキサントリオール、構造式Ｋのトリメチロールエタン、構造式Ｌのペンタエリスリットや構造式Ｍのポリグリセリン（ｎ＝２〜３０の整数）やその部分エステルなどの多価アルコールとポリエーテルポリオールの付加物も使用できる。
【００２６】
【化１０】
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【００２７】
【化１１】
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【００２８】
【化１２】
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【００２９】
【化１３】
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【００３０】
構造式Ｄはアルキレンオキサイド（ＡＯ）のセグメントを有するポリエーテルポリオールであり、両末端が−ＯＨ基の場合と、片末端がアルキル基、芳香族基などで封鎖されている場合があり、市販品として容易に入手できる。
【００３１】
次に、構造式Ｅ〜Ｉに掲げたポリイソシアネートプレポリマーについて説明すると、構造式Ｅはトリメチロールプロパンにジイソシアネートを反応して得られるトリイソシアネートの２分子をＡＯの１分子で２量化したもので、４官能であるテトライソシアネートである。そして、トリメチロールプロパンの代わりにグリセロールを用いたものが構造式Ｆである。この種のテトライソシアネートは、ＡＯの２分子または３分子でトリイソシアネートが２量化され易いので反応を微妙に調節する必要がある。
【００３２】
構造式Ｇは、構造式Ｂのポリオールにジイソシアネートを反応させたものである。また、構造式Ｈは同様に構造式Ｃのポリオールにジイソシアネートを反応させたものであり、３官能である。構造式Ｉはポリエーテルポリオールとジイソシアネートの反応物で２官能である。
【００３３】
上記構造式Ａ〜Ｉ中のＡＯで表されるアルキレンオキサイドのセグメントは、プローブピンの清掃に適した粘着力や柔軟性を有するセグメント化ポリウレタン粘着ゲルを得るためには、常温で大半ないし全てが液状であるセグメントであることが必要であり、具体的にはエチレンオキサイド（ＥＯ）鎖、プロピレンオキサイド（ＰＯ）鎖、エチレンオキサイドとプロピレンオキサイドの共重合体（ＥＯ−ＰＯ共重合体）、ブチレンオキサイド（ＢＯ）鎖、ＢＯ−ＰＯ共重合体のいずれかであるが、この中でも、特にＥＯ−ＰＯ共重合体が好ましい。
【００３４】
ＥＯ−ＰＯ共重合体は、例えば下記の構造式Ｎで表されるようなブロック共重合体、或いは、−（ＰＯ−ＥＯ−ＥＯ−ＰＯ）ｍ−、−（ＰＯ−ＰＯ−ＥＯ）ｍ−、−（ＥＯ−ＥＯ−ＰＯ）ｍ−、−（ＥＯ−ＰＯ−ＥＯ−ＰＯ）ｍ−等の交互共重合体（ｍは１以上の正数）、或いは、ＥＯとＰＯのランダム共重合体のいずれでもよいが、特にＥＯとＰＯのランダム共重合体が好ましい。
【００３５】
【化１４】
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【００３６】
上記のＥＯ鎖、ＰＯ鎖、ＥＯ−ＰＯ共重合体、ＢＯ鎖、ＢＯ−ＰＯ共重合体よりなるＡＯセグメントは、プローブピンの清掃に適した粘着性や柔軟性を有するセグメント化ポリウレタン粘着ゲルを得るために常温で大半ないし全てが液状でなければならないから分子量の上限が規制される。また、液状であっても分子量が小さすぎる場合は、架橋点間の距離が短くなり、架橋密度が高くなってポリウレタン粘着ゲルの柔軟性が低下することから、分子量の下限も規制される。ＥＯ鎖の分子量（重量平均分子量ＭＷ、以下同じ）は１５０〜１０００が適当であり、好ましくは３００〜８００である。ＰＯ鎖は分子量が数万でも液体であり、使用できる分子量の範囲は広い。しかし、末端基の比率が小さいほど反応確率が低くなり、また、あまりに長いセグメントの場合は、ポリウレタンゲルの流動性が増して保形性に乏しくなるので、大略２００〜数千の範囲が好ましい。
【００３７】
一方、ＥＯ−ＰＯ共重合体は、ＥＯとＰＯのモル比や配列によってその流動性（柔らかさ）等が左右される。例えば、ＥＯ−ＰＯブロック共重合体においてＰＯのモル比率が高い場合には分子量が大きくても液状であるが、ＰＯのモル比率が低い場合でも、ＥＯの分子量が小さければ液状となる。しかし、既述したようにＰＯ鎖の分子量が高ければ保形性などの問題が生じるし、共重合体の分子量が小さければ架橋密度の増大によりセグメント化ポリウレタン粘着ゲルの柔軟性が低下するので、６０〜８０００、好ましくは８００〜６０００の分子量を有する常温で液状のＥＯ−ＰＯブロック共重合体、ＥＯ−ＰＯ交互共重合体、ＥＯ−ＰＯランダム共重合体が使用される。
【００３８】
また、ＢＯ鎖は重合度が高くなると固体になるため、２００〜１０００、好ましくは４００〜８００の分子量の範囲で使用できる。そして、ＢＯ−ＰＯ共重合体は、ＰＯのモル比率が高ければ分子量が大きくても液状であるので、８００〜６０００、好ましくは９００〜３０００の分子量の範囲で使用できる。
【００３９】
ＡＯセグメントを構成するＥＯ−ＰＯ共重合体は、そのＥＯとＰＯのモル比が２０：８０〜８０：２０であることが好ましい。ＥＯのモル比が８０を越えると、ＥＯ−ＰＯ共重合体の結晶化が進むため、柔軟性や粘着力が低下する。一方、ＰＯのモル比が８０を越えて過剰になると、ＥＯ−ＰＯ共重合体の流動性が増してセグメント化ポリウレタン粘着ゲルの保形性が低下し、壊れやすくなる。ＥＯとＰＯのより好ましいモル比は５０：５０〜７０：３０である。
【００４０】
また、セグメント化ポリウレタン粘着ゲルがＥＯ鎖のセグメントとＰＯ鎖のセグメントを有する場合（例えば、ポリオール成分とポリイソシアネート成分のいずれか一方がＥＯ鎖のセグメントを有し、他方がＰＯ鎖のセグメントを有するものをウレタン反応させた場合）も、ＥＯとＰＯのモル比は上記と同様に２０：８０〜８０：２０であることが好ましい。
【００４１】
尚、ＥＯ鎖を形成する化合物としてポリエチレングリコール（ＰＥＧ）が、ＰＯ鎖を形成する化合物としてポリプロピレングリコール（ＰＰＧ）が、ＥＯ−ＰＯ共重合体を形成する化合物としてＰＥＧ−ＰＰＧブロック共重合体やランダム共重合体が、ＢＯ鎖を形成する化合物としてポリブチレングリコール（ＰＢＧ）が、ＢＯ−ＰＯ共重合体を形成する化合物としてＰＢＧ−ＰＰＧ共重合体が使用される。
【００４２】
プローブピンの清掃に適した粘着力や柔軟性を有するセグメント化ポリウレタン粘着ゲルは、ポリオール成分及びポリイソシアネート成分のＡＯセグメントやポリマー鎖が適度に伸展した三次元網目鎖構造の嵩高い分子構造を有することが好ましく、このような三次元網目鎖構造の嵩高い分子構造のセグメントポリウレタン粘着ゲルを得るためには、ウレタン反応させるポリオール成分とポリイソシアネート成分のいずれか一方が２官能で、他方が３官能または４官能であることが好ましい。ポリオール成分とポリイソシアネート成分の双方が３官能以上であると、網目鎖濃度が高くなり過ぎて、柔軟性等が損なわれる恐れが生じる。
【００４３】
また、ポリオール成分とポリイソシアネート成分の反応比は、末端の官能基の比率、即ちＯＨ／ＮＣＯの価によって規制できる。未反応の−ＮＣＯが残ると後反応が生じるので、ＯＨ／ＮＣＯは１以上でなければならないが、１．５≦ＯＨ／ＮＣＯ≦３．５で良好な粘着力と柔軟性を有するポリウレタン粘着ゲルが得られる。ＯＨ／ＮＣＯが３．５を越えると、嵩高い分子の集まりにおいて、末端にＯＨ基を備えた自由運動する直鎖セグメントが多くなり、粘着力が強くなりすぎる恐れが生じる。
【００４４】
ポリオール成分とポリイソシアネート成分の分子量の範囲は、ＡＯやイソシアネートの種類、分子形状、ＡＯセグメントがホモポリマーであるかコポリマーであるか等によって広い範囲で変わるが、分子量が高すぎると、粘着ゲルの保形性が低下するようになり、また、分子量が小さすぎると、架橋密度が高くなり過ぎて柔軟性が損なわれるようになる。それ故、ポリウレタンポリオールプレポリマーは大略１０００〜１００００、ポリオールは大略１５０〜６０００、ポリウレタンポリイソシアネートプレポリマーは大略５００〜１００００の範囲であることが必要であり、好ましくは各々大略１４００〜６０００、大略３００〜３０００、大略１０００〜６０００の範囲で選択できる。
【００４５】
以上のように、このセグメント化ポリウレタン粘着ゲルは、その大半ないし全てが常温で液状のアルキレンオキサイドのセグメントを有し、該セグメントの種類、分子量、ポリオール成分とポリイソシアネート成分の反応比などを上記のようにコントロールすることによって、プローブピンの清掃に適した柔軟性と粘着力、即ち、粘着ゲルを破壊することなくプローブピンを容易に突き刺して抜き取ることができ、それによってプローブピンに付着している塵埃を粘着保持してプローブピンから除去するに十分な粘着力を発現させたものである。プローブピンの清掃に適した具体的な粘着力の大きさは、例えば、４０×５０×１ｍｍのセグメント化ポリウレタン粘着ゲルの試験片を作成し、ピクマタックテスター（東洋精機株式会社製）を用いて、荷重５００ｇ／ｃｍ２、圧着８ｓｅｃ、引張速度３０ｍｍ／ｍｉｎ、雰囲気２３℃、５５％ＲＨの条件下に測定した場合に、その剥離力が１０〜３５０ｇ／ｃｍ２程度である。
【００４６】
尚、上記のゲル層１の厚み方向中間部には、不織布（不図示）を埋入してゲル層１の保形強度を高めることが好ましい。また、ゲル層１の厚さは、プローブピンの突出長さよりも若干小さい厚さとし、後述するようにプローブピンをゲル層１に突き刺したときに、ゲル層１の表面が検査機の内面と接触しないようにする
ことが好ましく、０．５〜５ｍｍであることが好ましい。
【００４７】
上記のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルは、イオン化合物を含有させることよって制電性ないし導電性が付与されている。この粘着ゲルに要求される制電性ないし導電性は、ゲル層１の表面が帯電するのを防止できる程度のものであればよいから、その表面抵抗値が１０１１Ω／□以下、好ましくは１０３〜１０７Ω／□となるようにイオン化合物を含有させればよい。
【００４８】
イオン化合物としては、ＮａＣｌ、ＫＣｌ、ＬｉＣｌ、ＬｉＣｌＯ４、ＮＨ４Ｃｌ、ＫＣｌＯ４、ＡｌＣｌ３、ＣｕＣｌ２、ＣｕＣｌ、ＦｅＣｌ２、ＦｅＣｌ３、ＮＨ４ＳＯ４、ＫＮＯ３、ＮａＮＯ３、Ｎａ２ＣＯ３、ＬｉＢＦ４、ＫＢＦ４、ＮａＳＣＮ、ＫＳＣＮ、ＬｉＳＣＮ、ＮＨ４ＳＣＮ、ＲｂＳＣＮ、ＣｓＳＣＮ、ＬｉＳＯ３、ＣＦ３、ＮａＩ、ＫＩ、ＬｉＩ、ＮａＢｒ、ＬｉＢｒ、ＣＨ３ＣＯＯＬｉ、ＣＦ３ＣＯＯＬｉ、ＣＦ２ＣＯＯＬｉ、アルギン酸ソーダ、ポリアクリル酸ソーダなどの金属塩が挙げられ、これらのうち（ＡＯ）のエーテル酸素と錯体を形成しやすいアルカリ金属塩が好適に使用される。アルカリ金属塩のうち、ＬｉＣｌ、ＬｉＣｌＯ４、ＬｉＢＦ４、ＬｉＳＯ３などのリチウム化合物は良いイオン導電性をし、特に、ＬｉＣｌＯ４、は（ＡＯ）に溶解しやすく、入手が容易であるので、極めて好適である。
【００４９】
上記のイオン化合物は、前記のポリオールプレポリマーに予め混合、溶解しておき、それをポリイソシアネートと混合して反応させることにより、セグメント化ポリウレタン粘着ゲル中に含有させてもよいし、また、反応後に粘着ゲルをこれらイオン化合物の水溶液又は有機溶媒中に浸漬して、その後水溶液又は溶媒を乾燥、除去することにより、セグメント化ポリウレタン粘着ゲル中に含有させてもよい。
【００５０】
上記のイオン化合物の含有量は、前述したように、セグメント化ポリウレタン粘着ゲルが制電性ないし導電性（表面抵抗値が１０１１Ω／□以下、好ましくは１０の３〜７乗オーダーΩ／□）を発現するに足る量とする必要があり、具体的には（ＡＯ）の種類や分子量によって変化するが、経験的には、エーテル酸素が大略５〜３０に対して錯体を形成するイオン数が一個の割合で配合すればよい。これよりも多量にイオン化合物を含有させると、錯体形成によりセグメントの運動が抑制されて硬くなるため、ゲルの粘着性が低下する傾向が見られ、逆に、これよりも少なくなると、粘着ゲルの制電性ないし導電性が不充分になって帯電を防止し難くなる。
【００５１】
ゲル層１の両面に積層される剥離層２，２は、ゲル層１と同様の制電性ないし導電性を有する層であって、例えば、カーボン粉末、酸化錫粉末、極細導電繊維（カーボンナノチューブや金属ナノチューブ）などの導電材を含有させることによって、表面抵抗値が１０１１Ω／□以下、好ましくは１０の５〜８乗オーダーΩ／□となるようにした剥離性のフィルム（例えば、クロポリシートＥ−２００（アキレス株式会社製）など）が使用される。
【００５２】
上記構成のプローブピン清掃用の積層体１０は、例えば次の方法で製造することができる。
【００５３】
第一の方法は、まず、前記のポリオール成分とポリイソシアネート成分をＯＨ／ＮＣＯが前記の価となるように混合すると共に、必要に応じて適量の触媒（例えば、ジブチル錫ジラウレートや、トリアルキルアミン、トリエチレンジアミンなどの第３級アミン）を混合して材料液を調製し、この材料液を型内に注入して常温ないし加温下に反応させることにより、所定の厚さと大きさを有するセグメント化ポリウレタン粘着ゲルのゲル層１を作製する。そして、このセグメント化ポリウレタン粘着ゲルのゲル層１を前記イオン化合物の水溶液又は有機溶媒中に浸漬し、その後水溶液又は溶媒を乾燥、除去することによって、前記イオン化合物をセグメント化ポリウレタン粘着ゲルのゲル層１に含有させ、このゲル層１の両面に、剥離層２，２として、前記の導電材を含有させた剥離性のフィルムを重ねて粘着させることにより、積層体１０を製造する。
【００５４】
第二の方法は、まず、前記イオン化合物を前記のポリオール成分に予め混合、溶解し、このポリオール成分と前記ポリイソシアネート成分とをＯＨ／ＮＣＯが前記の価となるように混合すると共に、必要に応じて適量の触媒を混合して調整した材料液を、型内に注入して常温ないし加温下に反応させることにより、イオン化合物を含有した所定の厚さと大きさを有するセグメント化ポリウレタン粘着ゲルのゲル層１を作製する。そして、このゲル層１の両面に、剥離層２，２として、前記の導電材を含有させた剥離性のフィルムを重ねて粘着させることにより、積層体１０を製造する。
【００５５】
次に、上記積層体１０を用いた本発明のプローブピンの清掃方法について、図２を参照しながら説明する。
【００５６】
まず、上記積層体１０を二つ使用し、各積層体１０の片面側の剥離層２を剥離除去して、図２の（ａ）に示すように、ゲル層１の露出面を制電性ないし導電性のプレート３の上下両面にそれぞれ重ねて粘着一体化し、清掃材を作製する。このプレート３は、ゲル層１や剥離層２と同程度の制電性ないし導電性を有するプレートであって、前記の導電材を含有させたプラスチック板などが好適に使用される。
【００５７】
次いで、各ゲル層１の反対面側から剥離層２を剥離除去して、清掃材を検査機Ｍの基部４と蓋部５の間に配置し、図２の（ｂ）に示すように、検査機Ｍの蓋部５を閉じて、基部４と蓋部５から突き出す多数のプローブピン６をプレート３の上下のゲル層１，１に突き刺し、その後、蓋部５をあけ、清掃材を浮上させることにより、プローブピン６をゲル層１，１から引き抜く。この操作は少なくとも一回、場合によっては数回繰り返す。
【００５８】
上記のように、検査機Ｍのプローブピン６をゲル層１に突き刺したのち引き抜くと、プローブピン６に付着している塵埃がゲル層１のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルに粘着してプローブピン６から除去される。従って、検査機Ｍからプローブピン６を抜き取ることなく、検査機Ｍに取付けたそのままの状態で全てのプローブピン６を一度に簡便に清掃することができるので、清掃効率が大幅に向上する。しかも、ゲル層１と剥離層２がいずれも制電性ないし導電性の層であるから、剥離層２をゲル層１から剥離する際に実質的に剥離帯電することがなく、また、ゲル層１を制電性ないし導電性のプレート３に貼着する際に実質的に接触帯電することもないので、静電気による悪影響を検査機Ｍや周辺の機器類に及ぼす危惧も生じない。
【００５９】
次に、本発明の更に具体的な実施例と比較例を説明する。
【００６０】
［実施例１］
下記の表１に示す構造式番号に対応する構造と分子量とアルキレンオキサイド（ＡＯ）のセグメントを有するポリオールとポリイソシアネートを表１に示す部数準備し、触媒として下記表１に示す部数のジブチル錫ラウレートと、イオン化合物として下記表１に示す部数の過塩素酸リチウムをポリオールに混合した後、この混合液をポリイソシアネートに混合して、ＯＨ／ＮＣＯが２．７である材料液を調製した。そして、この材料液を型内に注入し、５０℃で８時間反応させることによって、ＥＯとＰＯのモル比が1：１である常温で液状のＥＯ−ＰＯランダム共重合体のセグメントを備え、且つ、過塩素酸リチウムを２質量％含有した、厚さ２ｍｍのセグメント化ポリウレタン粘着ゲルよりなるゲル層を作製した。
【００６１】
【表１】
2008249473.tif 000017
【００６２】
このゲル層の表面抵抗値を、ロレスタ（三菱化学株式会社製）で測定したところ、２×１０７Ω／□であった。また、この粘着ゲルで試験片（４０×５０×１ｍｍ）を作成し、その粘着力（剥離強度）をピクマタックテスター（東洋精機株式会社製）を用いて、荷重５００ｇ／ｃｍ２、圧着８ｓｅｃ、引張速度３０ｍｍ／ｍｉｎ、雰囲気２３℃、５５％ＲＨの条件下に測定したところ、その剥離力は１００ｇ／ｃｍ２程度であった。
【００６３】
上記のゲル層の両面に、表面抵抗値が１０６Ω／□のクロポリシートを重ねて粘着一体化することにより、プローブピン清掃用の積層体を作製した。そして、この積層体を二つ使用して、各積層体の片面側のクロポリシートを剥離除去し、表面抵抗値が１０７Ω／□の制電プレート（タキロン株式会社製）の上下両面に各積層体のゲル層を粘着一体化して清掃材を作製した。
【００６４】
この清掃材を使用し、前述した本発明の清掃方法に従って、検査機の基部と蓋部から突き出すプローブピンをゲル層に突き刺しては引き抜く操作を３回繰り返して、プローブピン６の清掃を行った。清掃後のプローブピンを拡大鏡で１本ずつ観察したところ、どのプローブピンにも塵埃の付着は見られなかった。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に係るプローブピン清掃用の積層体の断面図である。
【図２】同積層体の一使用例の説明図であって、（ａ）はゲル層にプローブピンを突き刺す前の状態を、（ｂ）は突き刺した後の状態示す。
【符号の説明】
【００６６】
１    ゲル層
２    剥離層
３    プレート
６    プローブピン
１０  プローブピン清掃用の積層体
Ｍ    検査機
【図１】
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【図２】
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