(57)【要約】【課題】検査効率、Ｓ／Ｎ比及びプローブの交換作業効率の向上を図る。【解決手段】検査対象板の電極に直接接触するプローブを複数支持したプローブブロックと、当該プローブブロックに一体的に組み込まれ前記プローブからの検出信号を少なくともＡＤ変換して出力するテスター回路と、フレキシブルプリントケーブルを介して前記テスター回路に接続されＡＤ変換されたデジタルの検出信号を入力して解析するコンピュータとを備えた。前記テスター回路の前記プローブ側に、当該各プローブの基端部がそれぞれ電気的に接続される電極板を設けた。前記テスター回路と前記フレキシブルプリントケーブルとをコネクタで接続した。【選択図】図１
2008046084.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象板の電極に直接接触するプローブを複数支持したプローブブロックと、
当該プローブブロックに一体的に組み込まれ前記プローブからの検出信号を少なくともＡＤ変換して出力するテスター回路と、
フレキシブルプリントケーブルを介して前記テスター回路に接続されＡＤ変換されたデジタルの検出信号を入力して解析するコンピュータとを備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記テスター回路に嵌合側コネクタを設けると共に、前記フレキシブルプリントケーブルの一端部に被嵌合側コネクタを設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の検査装置において、
前記テスター回路に、前記複数のプローブの基端部側へ延出して設けられ当該各基端部がそれぞれ電気的に接続される電極板を設け、
前記プローブブロックに前記テスター回路が取り付けられた状態で前記プローブが前記プローブブロックに取り付けられることにより前記テスター回路の電極板と前記プローブとが電気的に接続されることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、
前記電極板が弾力を有することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の検査対象板の電気的検査を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査装置は、検査対象板（液晶パネル等）にプローブをコンタクトして、電気的検査を行うための装置である。従来の検査装置では、検査対象板にプローブをコンタクトして、電荷信号をＦＰＣ（フレキシブルプリントケーブル）を経由して長距離（例えば２ｍ以上）引き回して、テスター回路基板上の積分回路に接続する構成になっている。これにより、プローブで検出したアナログ信号を、２ｍ以上のＦＰＣを経由してテスター回路基板上の回路に入力して，ＡＤ変換されたデジタル信号を、コンピュータに入力していた。
【０００３】
このような検査装置の一例を図２〜４に基づいて説明する。検査装置１は、ＸＹＺステージ２と、プローブユニット３と、ＦＰＣ４と、テスター回路基板５と、コンピュータ６とを備えている。なおここでは、他の構成は省略している。
【０００４】
ＸＹＺステージ２は、その上側面のパネル７を支持して、ＸＹＺ軸方向の微調整をするための装置である。このＸＹＺステージ２でパネル７の位置を微調整して、パネル７の表面の電極(図示せず)と、後述するプローブブロック９のプローブ１０とを整合させる。
【０００５】
プローブユニット３は、後述するプローブ１０を支持してパネル７の各電極に接触させるための部材である。プローブユニット３は主に、ベースプレート８と、プローブブロック９とを備えて構成されている。ベースプレート８は、四角形板状に形成されている。ベースプレート８の中央には開口８Ａが設けられている。開口８Ａは、パネル７に臨ませて四角形状に形成されている。プローブブロック９は、多数のプローブ１０を一体的に支持するための部材である。プローブブロック９は、多数のプローブ１０をパネル７の電極側へ臨ませた状態で支持している。このプローブブロック９は、ベースプレート８の開口８Ａの縁に設けられている。
【０００６】
ＦＰＣ４は、プローブ１０とテスター回路基板５との間及びテスター回路基板５とコンピュータ６との間を電気的に接続するための部材である。プローブ１０とテスター回路基板５との間は、例えば２ｍ以上のＦＰＣ４で接続されて、アナログ信号が送信される。テスター回路基板５とコンピュータ６と間のＦＰＣ４は、デジタル信号が送信される。プローブ１０とＦＰＣ４との間は、ＡＣＦ（異方性導電膜）で直付けされている。
【０００７】
テスター回路基板５は、プローブ１０で検出した検出信号に対して、増幅、ノイズ除去、ＡＤ変換等の処理を施して、デジタル信号としてコンピュータ６に送信するための装置である。テスター回路基板５は、コンピュータ６の近傍に設けられ、ＡＤ変換したデジタルの検出信号をコンピュータ６に送信する。このテスター回路基板５の一例を図５に示す。テスター回路基板５は、入力信号波形を時間について積分する電荷積分回路１２と、ノイズを除去するＬＰＦ（ローパスフィルタ）１３と、ノイズエラーを除去するＣＤＳアンプ１４と、ＡＤ変換中の信号をホールドするＴ／Ｈ回路１５と、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡＤＣ回路１６とから構成されている。このようなテスター回路基板５では、多数のプローブ１０からの検出信号を効率的に処理するために、例えば２個のＡＤＣ回路１６とマルチプレクサ(図示せず)が設けられる場合がある。この場合は、マルチプレクサを介して各ＡＤＣ回路１６に多数のプローブ１０を接続して、時分割でＡＤ変換処理が行われる。
【０００８】
テスター回路基板５は、各プローブブロック９のうち、検査信号をパネル７の電極に出力する側ではなく、出力された検査信号を検出する側のプローブブロック９（図２中のパネル７の長尺側の５個のプローブブロック９）にそれぞれ接続されている。検査信号をパネル７の電極に出力する側のプローブブロック９（図２中のパネル７の短尺側の３個のプローブブロック９）は、直接コンピュータ６に接続されている。
【０００９】
コンピュータ６は、パネル７からの検出信号を解析するための装置である。コンピュータ６は、テスター回路基板５からのデジタル信号を、ＦＰＣ４を介して受信して解析し、パネル７の良否を判断する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、前記従来の検査装置１では、テスター回路基板５上の２個のＡＤＣ回路１６にマルチプレクサで多数のプローブ１０を接続して時分割で測定するが、この場合、パネル７の全画素をスキャンするのに、例えば数十秒かかってしまい、検査効率が悪いという問題がある。
【００１１】
また、プローブ１０で検出した微弱な電荷アナログ信号を２ｍ以上のＦＰＣ４で引き回してテスター回路基板５に入力させていたため、外部ノイズに対して極めて敏感になり、ノイズを拾いやすく、Ｓ／Ｎ比が低いという問題がある。
【００１２】
さらに、プローブ１０とＦＰＣ４とは、ＡＣＦ（異方性導電膜）で直付けされているため、プローブブロック９の交換に伴う、プローブ１０とＦＰＣ４との接続に時間がかかり、プローブ１０の交換作業効率が悪いという問題がある。
【００１３】
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、検査効率、Ｓ／Ｎ比及びプローブの交換作業効率の向上を図った検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するために本発明は、検査対象板の電極に直接接触するプローブを複数支持したプローブブロックと、当該プローブブロックに一体的に組み込まれ前記プローブからの検出信号を少なくともＡＤ変換して出力するテスター回路と、フレキシブルプリントケーブルを介して前記テスター回路に接続されＡＤ変換されたデジタルの検出信号を入力して解析するコンピュータとを備えたことを特徴とする。
【００１５】
前記構成により、前記プローブブロックに一体的に組み込まれたテスター回路は、前記プローブからの検出信号を少なくともＡＤ変換してデジタルの検出信号として出力する。このデジタルの検出信号は、フレキシブルプリントケーブルを介して前記コンピュータに入力して解析される。
【００１６】
前記テスター回路には嵌合側コネクタを設けると共に、前記フレキシブルプリントケーブルの一端部には被嵌合側コネクタを設けることが望ましい。
【００１７】
前記構成により、前記テスター回路の嵌合側コネクタに、前記フレキシブルプリントケーブルの一端部の被嵌合側コネクタを差し込むだけで、前記テスター回路と前記コンピュータとを接続する。
【００１８】
前記テスター回路には、前記複数のプローブの基端部側へ延出して設けられ当該基端部がそれぞれ電気的に接続される電極板を設け、前記プローブブロックに前記テスター回路が取り付けられた状態で前記プローブが前記プローブブロックに取り付けられることにより前記テスター回路の電極板と前記プローブとが電気的に接続されることが望ましい。
【００１９】
前記構成により、前記プローブブロックに前記テスター回路が取り付けられた状態で前記プローブを前記プローブブロックに取り付けられることにより前記テスター回路の電極板と前記プローブとが電気的に接続することができるため、前記テスター回路及び前記複数のプローブの取り付けが容易になる。
【００２０】
前記電極板は弾力を有することが望ましい。
【００２１】
前記構成により、前記プローブブロックに前記テスター回路が取り付けられた状態で前記プローブを前記プローブブロックに取り付けられることにより、前記プローブの基端部が前記テスター回路の電極板と弾性的に接触して電気的に確実に接続することができる。
【発明の効果】
【００２２】
前記プローブブロックに一体的に組み込まれたテスター回路が、前記プローブからの検出信号をＡＤ変換してデジタルの検出信号として出力し、フレキシブルプリントケーブルを介して前記コンピュータに入力されるため、処理の高速化を図ることができる。即ち、各プローブブロックに個別にテスター回路を組み込むため、個々のテスター回路が処理する情報量が減少して、各プローブブロックのテスター回路が並行処理を行い、処理の高速化を図ることができ、検査効率の向上を図ることができる。さらに、ＡＤ変換後のデジタル検出信号を、前記フレキシブルプリントケーブルを介して前記コンピュータに送信するため、外部ノイズの影響を受けにくく、高Ｓ／Ｎ比のシステムを構築することができる。
【００２３】
前記テスター回路の嵌合側コネクタに、前記フレキシブルプリントケーブルの一端部の被嵌合側コネクタを差し込んで、前記テスター回路と前記コンピュータとを接続するため、プローブやプローブブロックの交換に伴う配線処理を容易にすることができ、品種交換作業効率の向上と品種交換時間の改善を図ることができる。
【００２４】
前記プローブブロックに前記テスター回路が取り付けられた状態で前記プローブを前記プローブブロックに取り付けられることにより前記テスター回路の電極板と前記プローブとを電気的に接続することができるため、前記テスター回路及び前記複数のプローブの取り付けが容易になり、品種交換作業効率が向上する。
【００２５】
前記プローブブロックに前記テスター回路が取り付けられた状態で前記プローブを前記プローブブロックに取り付けられることにより、前記プローブの基端部が前記テスター回路の電極板と弾性的に接触して電気的に確実に接続することができるため、前記テスター回路及び前記複数のプローブの取り付けが容易になり、品種交換作業効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２７】
図１は本実施形態にかかる検査装置２１の概略構成図である。本実施形態の検査装置２１の全体構成は、前記従来の検査装置１とほぼ同様である。具体的には、検査装置２１は、ＸＹＺステージ(図示せず)と、プローブユニット２２と、ＦＰＣ２３と、テスター回路基板２４と、コンピュータ２５とを備えて構成されている。このうち、ＸＹＺステージ(図示せず)と、コンピュータ２５とは、前記従来の検査装置１と同様である。また、検査対象板としては、液晶パネル等の、プローブに接触させる電極を備えたパネル全般を用いることができる。
【００２８】
プローブユニット２２は、ベースプレート２７と、プローブブロック２８とを備えて構成されている。ベースプレート２７は、前記従来のベースプレート８と同様である。プローブブロック２８は、多数のプローブ２９をパネル７の電極側へ臨ませた状態で支持している点で従来のプローブブロック９と同様であるが、ここでは、テスター回路基板２４が一体的に組み込まれている点で相違する。テスター回路基板２４を小型にして、プローブブロック２８の下側面のうちプローブ２９の基端部に隣接する位置に取り付けられている。この点の詳細については後述する。
【００２９】
ＦＰＣ２３は、その一端をコンピュータ６に接続されて、他端をテスター回路基板２４に接続されている。ＦＰＣ２３は、コンピュータ６とテスター回路基板２４との設置位置の関係で、例えば２ｍ以上の長さに配設される。このＦＰＣ２３には、テスター回路基板２４でＡＤ変換された後のデジタル信号が送信される。
【００３０】
テスター回路基板２４は、従来のテスター回路基板５と同様に、プローブ２９で検出した検出信号に対して、増幅、ノイズ除去、ＡＤ変換等の処理を施して、デジタル信号としてコンピュータ６に送信するための装置である。このテスター回路基板２４では、従来のテスター回路基板５に組み込まれるＡＤＣ回路１６の代わりに、小型の電荷積分ＡＤＣチップを用い、他の素子も小型のものを用いて、テスター回路基板２４を小型化して、検出側のプローブブロック２８上に直接実装するようにした。これにより、従来の検査装置１が１つのテスター回路基板５で複数のプローブブロック２８からの信号を処理していたのに対して、本実施形態の検査装置２１では各プローブブロック２８毎に並行処理するようにした。即ち、各プローブブロック２８にそれぞれ組み込まれたテスター回路基板２４が各プローブブロック２８での検出信号を個別に処理することで、全体として並行処理するようにした。各テスター回路基板２４からのデジタルの検出信号は、ＦＰＣ２３を介してコンピュータ２５に送信される。
【００３１】
テスター回路基板２４は、図６，７に示すように、長尺の直方体状に形成され、検出側のプローブブロック２８の下側面に、２つのネジ３１で固定されている。テスター回路基板２４の一側には、ＦＰＣ２３が一体的に接続されている。テスター回路基板２４の他側には、各プローブ２９の基端部側へ延出してこのプローブ２９の基端部にそれぞれ電気的に接続される電極板３２が設けられている。この電極板３２は、テスター回路基板２４から延出した平板状のベース板３３と、このベース板３３の上側面に配設された電極３４とから構成されている。この電極板３２の各電極３４は、テスター回路基板２４がプローブブロック２８の下側面にネジ３１で固定された状態で、各プローブ２９の基端部に整合するように、ベース板３３上に配設されている。これにより、プローブブロック２８にテスター回路基板２４が取り付けられた状態で、プローブ２９がプローブブロック２８に取り付けられることにより、テスター回路基板２４の電極板３２とプローブ２９とが電気的に接続されるようになっている。
【００３２】
以上のように構成された検査装置２１では、パネル７の検査に際して次のように動作する。
【００３３】
ＸＹＺステージ上に載置されたパネル７の位置が微調整されて、各プローブブロック２８の各プローブ２９の先端がパネル７の各電極にそれぞれ接触される。この状態で、検査信号を出力側のプローブブロック２８のプローブ２９からパネル７の各電極に出力して、検出側のプローブブロック２８のプローブ２９で検出する。このプローブ２９で検出した検出信号は、プローブ２９の基端部、電極板３２を介してテスター回路基板２４に入力され、このテスター回路基板２４で、増幅、ノイズ除去、ＡＤ変換等の処理を施されて、デジタル信号として、ＦＰＣ２３を介してコンピュータ６に送信される。そして、コンピュータ６で検出信号が処理される。
【００３４】
以上のように、各プローブブロック２８に一体的に組み込まれたテスター回路基板２４が、各プローブ２９からの検出信号に対してＡＤ変換等を施してデジタルの検出信号として出力し、このデジタルの検出信号がＦＰＣ２３を介してコンピュータ６に入力されるため、処理の高速化を図ることができると共に、外部ノイズの影響を受けにくくすることができる。
【００３５】
即ち、各プローブブロック２８に個別にテスター回路基板２４を組み込むため、個々のテスター回路基板２４が処理する情報量が減少して、各プローブブロック２８のテスター回路基板２４が並行処理を行うことができる。この結果、全体として処理の高速化を図ることができ、検査効率の向上を図ることができる。
【００３６】
さらに、テスター回路基板２４でのＡＤ変換後のデジタル検出信号を、ＦＰＣ２３を介してコンピュータ６に送信するため、ＦＰＣ２３が長くても、外部ノイズの影響を受けにくくなり、高Ｓ／Ｎ比のシステムを構築することができる。
【００３７】
また、プローブブロック２８の下側面にテスター回路基板２４がネジ３１で取り付けられた状態で、プローブ２９をプローブブロック２８に取り付けることにより、テスター回路基板２４の電極板３２とプローブ２９とを電気的に接続することができるため、テスター回路基板２４及びプローブ２９の取り付けが容易になる。この結果、品種交換作業効率が向上と品種交換時間の改善を図ることができる。
【００３８】
［変形例］
前記実施形態では、テスター回路基板２４とＦＰＣ２３とを一体的に接続したが、図８に示すように、テスター回路基板２４に嵌合側コネクタ３６を設けると共に、ＦＰＣ２３の一端部に被嵌合側コネクタ３７を設けて、着脱自在に接続するようにしてもよい。アナログの検出信号の場合は、コネクタでテスター回路基板２４とＦＰＣ２３とを接続するのは好ましくないが、デジタルの検出信号の場合は、コネクタで接続しても問題ない。このため、嵌合側コネクタ３６と被嵌合側コネクタ３７とでテスター回路基板２４とＦＰＣ２３とを接続することができ、これにより、配線処理の容易化を図ることができる。即ち、テスター回路基板２４の交換の際には、嵌合側コネクタ３６を被嵌合側コネクタ３７から引き抜いてテスター回路基板２４とＦＰＣ２３とを切り離し、別の品種のテスター回路基板２４をＦＰＣ２３に接続してプローブブロック２８に取り付ける。尚、コネクタ以外の接続手段でもよいことは言うまでもない。公知のケーブル接続手段全てを使用することができる。
【００３９】
この結果、ＦＰＣ２３をテスター回路基板２４と共に交換する必要がなくなるため、配線処理の容易化を図ることができると共に、この配線処理の容易化による品種交換作業効率の向上と品種交換時間の改善を図ることができる。
【００４０】
また、前記テスター回路基板２４の電極板３２を、弾力を有する材料で構成してもよい。この構成により、プローブ２９の基端部がテスター回路基板２４の電極板３２と弾性的に接触して、電極板３２をあまり傷つけることなく、電気的に確実に接続することができる。この結果、テスター回路基板２４及びプローブ２９の取り付けが容易になり、品種交換作業効率の向上と品種交換時間の改善を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係る検査装置を示す概略構成図である。
【図２】従来の検査装置を示す平面図である。
【図３】従来の検査装置のＸＹＺステージとプローブユニットの部分を示す側面断面図である。
【図４】従来の検査装置を示す概略構成図である。
【図５】テスター回路基板の回路構成例を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施形態に係るテスター回路基板を示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るテスター回路基板を示す側面図である。
【図８】本発明の変形例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４２】
２１：検査装置、２２：プローブユニット、２３：ＦＰＣ、２４：テスター回路基板、２５：コンピュータ、２７：ベースプレート、２８：プローブブロック、２９：プローブ、３１：ネジ、３２：電極板、３３：ベース板、３４：電極、３６：嵌合側コネクタ、３７：被嵌合側コネクタ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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