(57)【要約】【課題】カエリの大きさを定量的に把握するとともに、効率的に外観検査を実施することが可能な外観検査方法を提供する。【解決手段】外観検査方法は、基板Ｐの貫通部を検査する外観検査方法であって、貫通部に光を照射し、基板Ｐに対して垂直の方向から貫通部の画像を取得する画像取得工程と、画像から貫通部の輪郭の座標を複数測定し、第１座標群とする第１座標群測定工程と、第１座標群から第１近似曲線１６を演算する第１近似曲線演算工程と、貫通部の輪郭の座標のうち、第１近似曲線１６から所定の距離以内の座標を複数測定し、第２座標群とする第２座標群測定工程と、第２座標群から第２近似曲線１７を演算する第２近似曲線演算工程と、第２近似曲線１７と、貫通部の画像とを比較して、欠陥を検出する欠陥検出工程とを、備えている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の貫通部を検査する外観検査方法であって、
前記貫通部に光を照射し、前記基板に対して垂直の方向から前記貫通部の画像を取得する画像取得工程と、
前記画像から前記貫通部の輪郭の座標を複数測定し、第１座標群とする第１座標群測定工程と、
前記第１座標群から第１近似曲線を演算する第１近似曲線演算工程と、
前記貫通部の輪郭の座標のうち、前記第１近似曲線から所定の距離以内の座標を複数測定し、第２座標群とする第２座標群測定工程と、
前記第２座標群から第２近似曲線を演算する第２近似曲線演算工程と、
前記第２近似曲線と、前記貫通部の画像とを比較して、欠陥を検出する欠陥検出工程とを、備えていることを特徴とする外観検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の外観検査方法において、
前記光は、落射照明及び／または透過照明で照射されることを特徴とする外観検査方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の外観検査方法において、
前記光の光源は、白色ＬＥＤであることを特徴とする外観検査方法。
【請求項４】
請求項１に記載の外観検査方法において、
前記第１座標群及び前記第２座標群の座標の数は、それぞれ、少なくとも４つ以上であることを特徴とする外観検査方法。
【請求項５】
請求項１に記載の外観検査方法において、
前記第１近似曲線及び前記第２近似曲線は、円であることを特徴とする外観検査方法。
【請求項６】
請求項１に記載の外観検査方法において、
前記第１近似曲線演算工程と、前記第２近似曲線演算工程とを、繰り返し実行することを特徴とする外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、貫通部を有する基板として、液滴を吐出するインクジェット式の液滴吐出ヘッドが知られている。この液滴吐出ヘッドは、複数の吐出ノズルを備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドであって、液状材料を液滴として吐出するための貫通部（ノズル）を有するノズルプレートや、液状材料を溜めておくキャビティプレート、液状材料を供給するためのサプライプレートなどを供えている。そして、このサプライプレートには、液状材料を導入するための貫通部としての導入口や、液状材料を供給するための供給口、ノズルプレートに連通して液状材料を導入する連通口などを供えている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この液滴吐出ヘッドを構成する部品の一つであるサプライプレートは、導入口、供給口、連通口の３種類の孔（貫通部）にカエリと称する金属性のバリが付着していることがあった。また、カエリの評価方法は人手による目視検査方法であったため、その大きさを定量的に把握することが困難であった。しかも、サプライプレートには、これらの孔が多く形成されていることから、人手による目視検査方法では多くの時間が必要になり、手間もかかっていた。そこで、カエリの大きさを定量的に把握するとともに、効率的に検査をする検査方法が必要であった。このカエリには、孔の角部から穴の内部に向けて発生する横カエリと、孔の角部から基板の厚さ方向に向けて発生する縦カエリとに分類される。ここで、横カエリが孔の角部にあると、液状材料の流動性を阻害する要因になることがあり、液状材料を導入口、供給口、連通口などの孔に正常に導くことができなくなってしまう。そして、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量にばらつきが発生してしまうことになり、印字品質の低下を生じさせてしまうことがあった。一方、縦カエリが孔の角部にあると、ノズルプレート、サプライプレート、キャビティプレートなどを積層させて液滴吐出ヘッドを構成するときに、各プレート間に空隙が生じてしまうことになる。各プレート間に空隙が生じると、液滴がその空隙から漏れてしまうことがあり、液滴吐出ヘッドとしては好ましい状態とはいえない。
【０００４】
本発明の目的は、カエリの大きさを定量的に把握するとともに、効率的に外観検査を実施することが可能な外観検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の外観検査方法は、基板の貫通部を検査する外観検査方法であって、前記貫通部に光を照射し、前記基板に対して垂直の方向から前記貫通部の画像を取得する画像取得工程と、前記画像から前記貫通部の輪郭の座標を複数測定し、第１座標群とする第１座標群測定工程と、前記第１座標群から第１近似曲線を演算する第１近似曲線演算工程と、前記貫通部の輪郭の座標のうち、前記第１近似曲線から所定の距離以内の座標を複数測定し、第２座標群とする第２座標群測定工程と、前記第２座標群から第２近似曲線を演算する第２近似曲線演算工程と、前記第２近似曲線と、前記貫通部の画像とを比較して、欠陥を検出する欠陥検出工程とを、備えていることを特徴とする。
【０００６】
この発明によれば、第２近似曲線と、画像とを、比較することで、欠陥の大きさを定量的に把握することができる。しかも、素早く結果を得ることができるから、効率的である。
【０００７】
本発明の外観検査方法は、前記光は、落射照明及び／または透過照明で照射されることが望ましい。
【０００８】
この発明によれば、落射照明と透過照明とを使用することで、より簡単に画像を取得することができる。しかも、同時に落射照明と、透過照明とを照射することで、欠陥の大きさをより明確に表現することができるから、欠陥の大きさをより精度よく把握することができる。
【０００９】
本発明の外観検査方法は、前記光の光源は、白色ＬＥＤであることが望ましい。
【００１０】
この発明によれば、光が白色ＬＥＤであるから、被測定対象物の材料が金属材料であれば、光の反射光量が非金属材料に比べて高いので、検出しやすい。しかも、白色ＬＥＤなので、寿命が長く、検査の安定化を図ることが可能であるとともに、メンテナンスが容易になり、省電力化を実現できる。
【００１１】
本発明の外観検査方法は、前記第１座標群及び前記第２座標群の座標の数は、それぞれ、少なくとも４つ以上であることが望ましい。
【００１２】
この発明によれば、座標を４つ以上検出すれば、第２近似曲線からなる近似円を形成することができる。
【００１３】
本発明の外観検査方法は、前記第１近似曲線及び前記第２近似曲線は、円であることが望ましい。
【００１４】
この発明によれば、１近似曲線及び第２近似曲線が、第１の円及び第２の円を生成することができるから、三角形や四角形などを含む多角形の形状ではないので、欠陥の大きさを定量的に把握することができる。しかも、より素早く結果を得ることができるので、より効率的である。
【００１５】
本発明の外観検査方法は、前記第１近似曲線演算工程と、前記第２近似曲線演算工程とを、繰り返し実行することが望ましい。
【００１６】
この発明によれば、第１近似曲線演算工程と、第２近似曲線演算工程とを、繰り返して実行することで、演算精度をより向上させることができるから、高精度な測定をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態について添付図面に沿って詳細に説明する。
【００１８】
（実施形態）
本実施形態における外観検査方法を説明する前に、本実施形態で用いられる外観検査装置について説明する。この外観検査装置は、基板に形成された貫通部の角部の外観（特に、カエリと称する欠陥）を定量的に評価することが可能な検査装置である。
【００１９】
図１は、外観検査装置の構成を示す概略図である。
【００２０】
図１に示すように、外観検査装置１００は、電源ＢＯＸ１０１と、走査駆動部１０２と、画像取得部１０３と、段差測定部１０４と、表示部１０５と、入力部１０６と、制御部１１０とで、概略構成されている。走査駆動部１０２は、グランドステージＧＳ上に載置された第１位置制御部としてのＸステージ５１と、第２位置制御部としてのＹステージ５２とで、構成されている。また、外観検査装置１００は、制御部１１０を備えており、制御部１１０には、演算部１１４と、記録部１１５とを、備えている。そして、外観検査装置１００は、外部から供給された電力を電源ＢＯＸ１０１に導入することによって作動するように構成されている。
【００２１】
第１位置制御部としてのＸステージ５１は、基板を固定するための平面を有しており、吸引力を用いて基板の位置を固定する機能も有する。ここで、基板はサプライプレートＰであり、その形状は矩形状である。
【００２２】
第１位置制御部としてのＸステージ５１は、制御部１１０からの信号に応じて、グランドステージＧＳ上でＸ軸方向に移動する機能を有している。ここで、Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の双方と直交する方向である。なお、第１位置制御部としてのＸステージ５１には、移動用モータ（図示省略）が付属しており、Ｘ軸方向へ移動するように構成されている。
【００２３】
第２位置制御部としてのＹステージ５２は、グランドステージＧＳから所定の高さの位置に固定されている。この第２位置制御部としてのＹステージ５２は、制御部１１０からの信号に応じて、Ｙ軸方向に移動する機能を有している。ここで、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。なお、第２位置制御部としてのＹステージ５２には、移動用モータ（図示省略）が付属しており、Ｙ軸方向へ移動するように構成されている。
【００２４】
上記のような機能を有する第１位置制御部としてのＸステージ５１の構成と第２位置制御部としてのＹステージ５２の構成とは、リニアモータやサーボモータを利用した公知のＸＹロボットを用いて実現できる。このため、ここでは、それらの詳細な構成の説明を省略する。
【００２５】
そして、第１位置制御部としてのＸステージ５１及び第２位置制御部としてのＹステージ５２の移動結果、サプライプレートＰに対する画像取得部１０３の相対位置及びサプライプレートＰに対する段差測定部１０４の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、画像取得部１０３、または段差測定部１０４は、サプライプレートＰに対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に相対的に移動する。
【００２６】
ここで、本実施形態では、Ｘ軸方向が「第１走査方向」である。「第１走査方向」と略直交するＹ軸方向が「第２走査方向」である。
【００２７】
画像取得部１０３は、光を照射する同軸落射照明部３２（図３参照）と、透過照明部３３（図３参照）と、画像認識可能なカメラ３１などで構成されている。同軸落射照明部３２は、サプライプレートＰの上側から光を照射することができ、透過照明部３３は、サプライプレートＰの下側から光を照射することができる。画像取得部１０３は、支持部１４１によって支持されており、サプライプレートＰから所定の高さの位置に固定されていて、図３に示すサプライプレートＰに形成された貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の角部Ｋに有するカエリ２１ａの大きさを測定して画像データを取得することができる。カメラ３１は、取得された画像データを演算部１１４へ送信できる。そして、演算部１１４で画像データの大きさを算出することができるように構成されている。そして、例えばカエリ２１ａの大きさを予め決めておいた画像データの閾値（例えば１０μｍ）と比較し、演算することができる。なお、同軸落射照明部３２及び透過照明部３３から照射される光は白色光であり、ここでは白色ＬＥＤを採用した。
【００２８】
段差測定部１０４は、端子４１を備えている。段差測定部１０４は、支持部１４１によって支持されており、グランドステージＧＳから所定の高さの位置に固定されている。図３に示すサプライプレートＰに形成された貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の角部Ｋに有するカエリ２１ａの段差を測定し段差データを取得することができる。段差測定部１０４は、取得された段差データを演算部１１４へ送信できる。そして、演算部１１４で段差の大きさを算出することができるように構成されている。そして、例えば予め決めておいた段差データを閾値（例えば１０μｍ）と比較し、演算することができる。なお、段差測定部１０４は、段差測定可能な接触式の変位計である。なお、段差測定部１０４における加重の設定値は３０ｇ以内とした。
【００２９】
段差測定部１０４に接続されたアンプ１１６は、測定結果で得られた電圧値を増幅することができ、この電圧値を増幅することによって測定精度の向上に寄与することができる。そして、アンプ１１６で増幅された電圧値を制御部１１０へ送信するように構成されている。
【００３０】
次に、外観検査装置を制御している制御部について説明する。この制御部は、外観検査装置を駆動させて貫通部の角部の画像処理や、その段差の測定及び良否判定ができるように構成されており、外観検査装置を制御している。
【００３１】
図２は、外観検査装置の制御部を示すブロック図である。
【００３２】
図２に示すように、外観検査装置１００は、走査駆動部１０２と、画像取得部１０３と、段差測定部１０４と、表示部１０５と、入力部１０６と、制御部１１０とを、備えている。
【００３３】
制御部１１０は、画像処理部１１１と、ＣＰＵ１１２と、ＲＡＭ１１３と、演算部１１４と、記録部１１５とで、構成されている。また、演算部１１４は、画像取得部１０３で取得した画像データを算出することが可能な第１演算部１１４ａと、段差測定部１０４で取得した段差データを算出することが可能な第２演算部１１４ｂとで、構成されている。そして、記録部１１５は、画像データを記録することが可能な第１記録部１１５ａと、段差データを記録することが可能な第２記録部１１５ｂとで、構成されている。
【００３４】
走査駆動部１０２は、第１位置制御部としてのＸステージ５１と、第２位置制御部としてのＹステージ５２とを、備えている。走査駆動部１０２は、図示しないバスによって第１位置制御部としてのＸステージ５１と、第２位置制御部としてのＹステージ５２とが、相互に通信可能に接続されている。
【００３５】
画像取得部１０３は、カメラ３１を備えており、画像取得部１０３は、図示しないバスによって、カメラ３１と、画像処理部１１１とが、相互に通信可能に接続されている。
【００３６】
段差測定部１０４は、端子４１を備えており、段差測定可能な接触式の変位計である。段差測定部１０４は、第２演算部１１４ｂと、第２記録部１１５ｂとに、通信可能に接続されている。そして、制御部１１０は、段差測定部１０４が取得した段差データを第２演算部１１４ｂに供給するとともに、第２記録部１１５ｂに記録させることができる。さらに、制御部１１０は、段差測定部１０４が取得した段差データと、予め決めておいた閾値とを、第２演算部１１４ｂで比較演算させて、その結果を判定することができる機能を有している。
【００３７】
表示部１０５は、画像処理部１１１で処理した画像データや、段差測定部１０４で測定した段差データを表示できるとともに、制御部１１０が判定した判定結果を表示することができる。
【００３８】
入力部１０６は、カエリ２１ａの大きさの閾値について、その条件を制御部１１０に入力することができるとともに、その値を変更することもできる。制御部１１０は、これらの条件を記憶装置としてのＲＡＭ１１３に格納することができる。
【００３９】
画像処理部１１１は、画像認識可能なカメラ３１と通信可能に接続されている。画像処理部１１１は、第１演算部１１４ａと、第１記録部１１５ａとに、通信可能に接続されている。そして、制御部１１０は、画像取得部１０３が取得した画像データを画像処理部１１１から第１演算部１１４ａに供給するとともに、第１記録部１１５ａに記録させることができる。さらに、制御部１１０は、画像取得部１０３が取得した画像データと、予め決めておいた閾値とを、第１演算部１１４ａで比較演算させて、その結果を判定することができる機能を有している。
【００４０】
制御部１１０は、画像処理部１１１と、ＣＰＵ１１２と、ＲＡＭ１１３と、外部インターフェース部（図示省略）と、それらを相互に通信可能に接続するバス（図示省略）とを、含んだコンピュータである。したがって、制御部１１０の上記機能は、ＲＡＭ１１３に格納されたソフトウェアプログラムがＣＰＵ１１２によって実行されることで実現される。もちろん、制御部１１０は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００４１】
上記構成を有する外観検査装置１００は、入力されたデータに応じて、図１に示すように、サプライプレートＰに対して画像取得部１０３と、段差測定部１０４とを、相対移動させるとともに、サプライプレートＰに形成された貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の角部Ｋ（図３参照）に有するカエリ２１ａの大きさを測定し、良否判定をする機能を有している。
【００４２】
次に、貫通部の画像を取得する取得方法について説明する。
【００４３】
図３は、貫通部の画像の取得方法を説明するための概略説明図である。
【００４４】
図３に示すように、サプライプレートＰに有する貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の角部Ｋに対して画像取得部１０３（図１参照）の中に内蔵されている光源から光を照射することで角部Ｋの画像を取得することができる。そして、角部Ｋの画像を取得すると同時に、角部Ｋに付着しているカエリ２１ａの画像データをも取得することができる。また、同軸落射照明部３２からの落射照明光と、透過照明部３３からの透過照明光とを、同時に貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）に照射させることで、照射光量を増やすことができる。照射光量が増えることによって、角部Ｋに有するカエリ２１ａの大きさの画像データをより明確に取得することができる。もちろん、同軸落射照明部３２、透過照明部３３のいずれかから照射される光を用いることでカエリ２１ａの画像データが得られれば、それでもかまわない。
【００４５】
次に、貫通部の大きさを演算する演算方法について説明する。
【００４６】
図４は、貫通部の大きさを演算する演算方法を説明するための概略説明図である。
【００４７】
図４に示すように、角部Ｋに欠陥としてのカエリ２１ａが付着している。そして、この角部Ｋに複数の測定点Ｑが配置されている。これら測定点Ｑは３６０度を６度間隔に分割して６０箇所ある。なお、この測定点Ｑの数は６０箇所にこだわることはなく、６０箇所よりも数を少なくしてもよいし、多くしてもよい。例えば数を少なくすれば、測定時間が短縮できるので、効率的になり、数を多くすれば、測定精度の向上を期待することができるので、より精度の高い測定ができる。
【００４８】
次に、これら６０箇所の測定点Ｑの座標を連続的に接続すると、第１近似曲線１６が形成される。その結果、第１近似曲線１６からなる第１の円Ｃ１を形成することができる。この第１の円Ｃ１は、Ｘ方向の座標がＸ１で、Ｙ方向の座標がＹ１である中心Ｏ１と、半径Ｒ１とで、形成される。
【００４９】
次に、予め決めておいた設定値以上になったところの測定点Ｑの座標を除いて残った測定点Ｑの座標を連続的に接続すると、第２近似曲線１７が形成される。その結果、第２近似曲線１７からなる第２の円Ｃ２を形成することができる。この第２の円Ｃ２は、Ｘ方向の座標がＸ２、Ｙ方向の座標がＹ２である中心Ｏ２と、半径Ｒ２とで、形成される。また、第１近似曲線１６及び第２近似曲線１７を求める作業を繰り返し実施することで、より精度の高い値（例えば第１の円Ｃ１の座標、半径Ｒ１、第２の円Ｃ２の座標、半径Ｒ２）を得ることができる。そして、貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の大きさをより精度よく求めることができる。
【００５０】
次に、第２の円Ｃ２の大きさと、取得された元画像とを、比較することによって、カエリ２１ａの大きさを求めることができる。
【００５１】
次に、本発明の外観検査方法について、より具体的に説明する。
【００５２】
図５は、外観検査方法の手順を説明するためのフローチャートである。図６及び図７は、貫通部及びカエリの大きさを求めるための概略説明図であり、図６（ａ）〜（ｄ）及び図７（ｅ）〜（ｈ）は、概略平面図である。
【００５３】
図５のステップＳ１では、図６（ａ）に示すように、画像としての元画像１５を取得する。なお、元画像１５を取得する方法としては、図１に示す外観検査装置１００の第１位置制御部としてのＸステージ５１をＸ軸方向に移動し、第２位置制御部としてのＹステージ５２をＹ軸方向に移動して、画像認識可能なカメラ３１で撮像した画像を表示部１０５に表示することでできる。図３に示す落射照明と、透過照明とを、サプライプレートＰに照射させて、この元画像１５を外観検査装置１００に取り込んで取得することができる。ここで、この元画像１５において、貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の角部Ｋにカエリ２１ａが付着している。このカエリ２１ａは金属であるので、光を反射しやすい。角部Ｋに付着しているカエリ２１ａに光が照射されて、照射された光が反射して、その反射光が、カメラ３１にて撮像される。
【００５４】
次に、図５のステップＳ２では、図６（ｂ）に示すように、元画像１５（図６（ａ）参照）を設定値で２値化処理を行う。元画像１５は、０〜２５５の２５６階調（カメラの種類によっては階調の多いものもある）で濃淡を表現している。ここで、２値化処理とは、元画像１５を２つに区分することであって、例えば階調１００で２値化処理した場合、０〜９９階調のものは０（黒）、１００〜２５５階調のものは１（白）にする処理である。その結果、元画像１５は０（黒）と、１（白）との、２階調になる。
【００５５】
次に、図５のステップＳ３では、図６（ｃ）に示すように、角部Ｋの座標を測定する。角部Ｋの座標の検出方法は、ステップＳ２の画像をブロッブ処理して、暫定の中心から外方向に向かって階調が２５５から０になるところを測定点Ｑとして検出する。ここでは、３６０度を６度間隔毎に分割して測定点Ｑを求める。そして、求められた６０箇所の測定点Ｑの座標を測定する。ここで、ブロッブ処理とは、白黒画像の中から、白または黒の塊を抽出する処理のことであって、この場合は、白い塊（穴）を探して、その中心座標を求める。
【００５６】
次に、図５のステップＳ４では、図６（ｄ）に示すように、第１近似曲線１６を演算する。この第１近似曲線１６を演算する方法は、ステップＳ３で求めた６０箇所の測定点Ｑの座標から、近似円を算出することでできる。そして、中心Ｏ１の座標（Ｘ方向の座標がＸ１、Ｙ方向の座標がＹ１）と、半径Ｒ１とを、求め、第１の円Ｃ１を形成する。このとき、角部Ｋに付着したカエリ２１ａの影響によって、その中心位置や、半径が変化することがある。
【００５７】
次に、図５のステップＳ５では、図７（ｅ）に示すように、第２近似曲線１７を演算する。この第２近似曲線１７を演算する方法は、ステップＳ３で求めた６０箇所の測定点Ｑの座標から、エラーとなる測定点Ｑを除いて、再度、近似円を算出することでできる。ここで、エラーとなる測定点Ｑとは、予め決めておいた設定値に対して、測定点Ｑの座標がはずれている箇所のことである。そして、中心Ｏ２の座標（Ｘ方向の座標がＸ２、Ｙ方向の座標がＹ２）と、半径Ｒ２とを、求め、第２の円Ｃ２を形成する。この方法を採用すれば、簡単に近似円を求めることができる。
【００５８】
次に、図５のステップＳ６では、図７（ｆ）に示すように、マスク作成１をする。このマスク１作成方法は、ステップＳ５で求めた中心座標Ｏ２と、半径Ｒ２とを用いて別の画像領域にて第２の円Ｃ２を描画することでできる。
【００５９】
次に、図５のステップＳ７では、図７（ｇ）に示すように、マスク作成２をする。このマスク２作成方法は、ステップＳ６で描画された画像を反転処理することでできる。
【００６０】
次に、図５のステップＳ８では、図７（ｈ）に示すように、欠陥検出をする。この欠陥検出方法は、ステップＳ２で２値化処理された画像と、ステップＳ７で得られたマスク２画像とを、ＯＲすることで、欠陥だけが黒く残る。黒く残った欠陥がカエリ２１ａである。このカエリ２１ａをブロッブ処理することによって、面積、幅、高さを計測して、その良否を判定する。なお、ステップＳ８で得られた画像は、ステップＳ２で２値化処理された画像と、ステップＳ６のマスク１画像との排他的論理和でも同様の結果を得ることができる。
【００６１】
次に、液滴吐出装置に搭載される液滴吐出ヘッドの構成について説明する。
【００６２】
図８は、液滴吐出ヘッドの主要部を部分的に示す図であり、同図（ａ）は、概略斜視図であり、同図（ｂ）は、概略断面図である。
【００６３】
図８（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、第２基板としてのノズルプレート５９と、これに対向する振動板６１と、これらを互いに接合する第１基板としての仕切り部材６２とを有する。このノズルプレート５９と振動板６１との間には、仕切り部材６２によって複数の圧力室としての材料室６３と液溜り６４とが形成される。これらの材料室６３と液溜り６４とは通路６８を介して互いに連通している。
【００６４】
振動板６１には材料供給孔６６が形成されている。この材料供給孔６６には材料供給装置６７が接続される。この材料供給装置６７は、材料Ｎを材料供給孔６６へ供給する。このように供給された材料Ｎは、液溜り６４に充満し、さらに通路６８を通って材料室６３に充満する。
【００６５】
図８（ｂ）に示すように、ノズルプレート５９には、材料室６３から材料Ｎを液滴として吐出するためのノズル２１が設けられている。また、振動板６１の材料室６３に臨む面の裏面には、この材料室６３に対応させて材料加圧体６９が取り付けられている。この材料加圧体６９は、圧電素子７１並びにこれを挟持する一対の電極７２ａ及び７２ｂを有する。圧電素子７１は、電極７２ａ及び７２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室６３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する材料Ｎが液溜り６４から通路６８を通って材料室６３へ流入する。
【００６６】
その後、圧電素子７１への通電を解除すると、この圧電素子７１と振動板６１とはともに元の形状に戻り、これにより、材料室６３も元の容積に戻るため、材料室６３の内部にある材料Ｎの圧力が上昇し、ノズル２１から材料Ｎが液滴Ｌとなって吐出される。なお、ノズル２１の周辺部には、液滴Ｌの飛行曲りや、ノズル２１の孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥材料層７３が設けられていてもよい。
【００６７】
なお、液滴吐出ヘッド２０は、本発明の外観検査方法によって検査がなされているノズル２１を備えているから、液滴吐出ヘッド２０は、液滴Ｌを吐出するときの吐出特性を向上することが可能である。
【００６８】
次に、液滴吐出装置の構成について説明する。
【００６９】
図９は、液滴吐出装置１０００の斜視図である。図９において、Ｘ方向はベース１０１０の左右方向であり、Ｙ方向は前後方向であり、Ｚ方向は上下方向である。液滴吐出装置１０００は、液滴吐出ヘッド２０と、基板Ｗとを、載置するテーブル１０３０を主として構成されている。なお、液滴吐出装置１０００の動作は、制御装置１１００により制御されるように構成されている。
【００７０】
基板Ｗを載置するテーブル１０３０は、第１移動手段１０２０によりＹ方向に移動及び位置決め可能とされ、モータ１０４０によりθｚ方向に揺動及び位置決め可能とされている。一方、液滴吐出ヘッド２０は、第２移動手段によりＸ方向に移動及び位置決め可能とされ、リニアモータ１０８０によりＺ方向に移動及び位置決め可能とされている。また液滴吐出ヘッド２０は、モータ１０５０、１０６０、１０７０により、それぞれα，β，γ方向に揺動及び位置決め可能とされている。これにより、液滴吐出装置１０００は、液滴吐出ヘッド２０のインク吐出面５２０Ｐと、テーブル１０３０上の基板Ｗとの相対的な位置及び姿勢を、正確にコントロールすることができるように構成されている。
【００７１】
キャッピングユニット５６０は、液滴吐出ヘッド２０におけるインク吐出面５２０Ｐの乾燥を防止するため、液滴吐出装置１０００の待機時にインク吐出面５２０Ｐをキャッピングするものである。また、クリーニングユニット５８０は、液滴吐出ヘッド２０におけるノズルの目詰まりを取り除くため、ノズルの内部を吸引するものである。なおクリーニングユニット５８０は、液滴吐出ヘッド２０におけるインク吐出面５２０Ｐの汚れを取り除くことができるため、インク吐出面５２０Ｐのワイピングを行うことも可能である。
【００７２】
液滴吐出装置１０００は、本発明の外観検査方法によって検査がなされているノズル２１を有する液滴吐出ヘッド２０を搭載しており、液滴吐出ヘッド２０が高精度に形成されているので、高精度な描画を実現することができる。
【００７３】
本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
【００７４】
（１）貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の第２近似曲線と、貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の画像とを、比較することで、欠陥の大きさを定量的に把握することができる。しかも、素早く結果を得ることができるから、効率的である。
（２）落射照明と透過照明とを使用することで、より簡単に画像を取得することができる。しかも、落射照明と、透過照明とを同時に照射することで、欠陥の大きさをより明確に表現することができるから、欠陥の大きさをより精度よく把握することができる。
（３）光が白色ＬＥＤであるから、被測定対象物の材料が金属材料であれば、非金属材料に比べて光の反射光量が高いので、検出しやすい。しかも、白色ＬＥＤなので、寿命が長く、検査の安定化を図ることが可能であるとともに、メンテナンスが容易になり、省電力化を実現できる。
（４）貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）の角部の座標を４つ以上検出すれば、第２近似曲線からなる近似円を形成することができる。
（５）第１近似曲線１６及び第２近似曲線１７が、第１の円Ｃ１及び第２の円Ｃ２を生成することができるから、三角形や四角形などを含む多角形の形状ではないので、欠陥としてのカエリ２１ａの大きさを定量的に把握することができる。しかも、より素早く結果を得ることができるので、より効率的である。
（６）第１近似曲線演算工程と、第２近似曲線演算工程とを、繰り返して実行することで、演算精度をより向上させることができるから、高精度な測定をすることができる。
【００７５】
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造及び形状に設定できる。
【００７６】
（変形例１）
上記実施形態では、サプライプレートＰに有する貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）を測定の対象にしたが、これに限らない。例えば一般部品（製品を含む）の孔を測定の対象にしてもよい。このようにすれば、上記実施形態で得られた効果と同様の効果が得られる上に、高精度な部品（製品を含む）を提供することができる。
【００７７】
（変形例２）
上記実施形態では、サプライプレートＰに有する貫通部としての連通口１１（供給口１２、導入口１３）を測定の対象にしたが、これに限らない。例えば一般部品（製品を含む）の外形を測定の対象にしてもよい。このようにすれば、上記実施形態で得られた効果と同様の効果が得られる上に、高精度な部品（製品を含む）を提供することができる。
【００７８】
（変形例３）
上記実施形態では、円（孔、または外形）の形状を測定の対象にしたが、これに限らない。例えば楕円（孔、または外形）の形状を測定の対象にしてもよい。このようにすれば、上記実施形態で得られた効果と同様の効果が得られる上に、測定対象物の摘要範囲を拡大させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本実施形態の外観検査装置の構成を示す概略図。
【図２】外観検査装置の制御部を示すブロック図。
【図３】貫通部の画像の取得方法を説明するための概略説明図。
【図４】貫通部の大きさを演算する演算方法を説明するための概略説明図。
【図５】外観検査方法の手順を説明するためのフローチャート。
【図６】貫通部及びカエリの大きさを求めるための概略説明図であり、図（ａ）〜図（ｄ）は、概略平面図。
【図７】貫通部及びカエリの大きさを求めるための概略説明図であり、図（ｅ）〜図（ｈ）は、概略平面図。
【図８】液滴吐出ヘッドの主要部を部分的に示す図であり、図（ａ）は、概略斜視図であり、図（ｂ）は、概略断面図。
【図９】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【符号の説明】
【００８０】
１１…貫通部としての連通口、１２…貫通部としての供給口、１３…貫通部としての導入口、１５…画像としての元画像、１６…第１近似曲線、１７…第２近似曲線、２０…液滴吐出ヘッド、２１…ノズル、２１ａ…カエリ、３２…同軸落射照明部、３３…透過照明部、１００…外観検査装置、１０００…液滴吐出装置、Ｃ１…第１の円、Ｃ２…第２の円、Ｋ…角部、Ｐ…基板としてのサプライプレート、Ｑ…測定点。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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