(57)【要約】      （修正有）【課題】装置への粉末状生成物の堆積の問題を装置の構造的配置の改善によって対処する装置を提供する。【解決手段】マイクロ波プラズマによって熱可塑性プラスチック製の容器に保護膜を堆積させる装置は、複数の処理ステーション１を備え、各処理ステーションは、チャンバ２と、機能構成部材と連通する真空ポンプチャンバを含んだカバー３と有している。機能構成部材は、カバーに取り付けることができる着脱可能なユニット７として１つにまとめられ、着脱可能なユニットの結合面８に設けられたそれぞれのハウジングに収容されている。カバーは、機能構成部材にとって必要であり、相補的に一致しているカバーの結合面９に現れている機能接続部１６を内蔵している。着脱可能なユニットが相互に協働するそれらのそれぞれの結合面がカバーに取り付けられた際に、これらの接続部とこれらのハウジングとがそれぞれ結合される。【選択図】図５
2008121112.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波プラズマによって、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）のような熱可塑性プラスチック製の容器の内面にバリアを形成する被膜を堆積させる装置であって、前記容器を処理するためのステーション（１）を複数備え、各ステーションが、処理チャンバ（２）と、前記装置の動作中、前記被膜を構成する粉末状物質で少なくとも部分的に被覆されやすい機能構成部材（１１、３６、３７）と連通している真空ポンプチャンバを含んだカバー（３）と、を有する装置において、
前記機能構成部材（１１、３６、３７）が、前記チャンバ（２）内部および処理される前記容器内部の真空および大気圧の確立を選択的に制御する電磁弁（１１）を備え、前記カバー（３）に取り付けることができる着脱可能なユニット（７）として１つにまとめられ、前記着脱可能なユニット（７）の結合面（８）に設けられたそれぞれのハウジング（１０）の内部に収容され、
前記カバー（３）が、前記機能構成部材（１１、３６、３７）のそれぞれの動作に必要であり、前記着脱可能なユニット（７）の前記結合面（８）と相補的に一致している前記カバー（３）の結合面（９）で開口している、機能接続部（１６、２０）を内蔵し、
前記着脱可能なユニット（７）が相互に協働するそれぞれの前記結合面（８、９）で前記カバー（３）に取り付けられた際に、前記接続部（１６、２０）とそれぞれの前記機能構成部材（１１、３６、３７）を収容する前記ハウジング（１０）とが、それぞれ結合される
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記処理ステーションが（１）偶数個設けられ、
各グループ（３３）が互いに隣接する２つの前記ステーション（１）を含み、
前記グループ（３３）における互いに隣接する２つの前記ステーション（１）の前記機能構成部材（１１、３６、３７）が、それぞれ２つの前記ステーション（１）の前記カバー（３）の結合面（９）に取り付け可能である共通の前記着脱可能なユニット（７）として１つにまとめられている
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
マイクロ波プラズマによって、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）のような熱可塑性プラスチック製の容器の内面にバリアを形成する被膜を堆積させる装置であって、前記容器を処理するためのステーション（１）を複数備え、各ステーションが、処理チャンバ（２）と、前記装置の動作中、前記被膜を構成する粉末状物質で少なくとも部分的に被覆されやすい機能構成部材（１１、３６、３７）と連通している真空ポンプチャンバを含んだカバー（３）と、を有する装置において、
前記処理ステーションが（１）偶数個設けられ、
各グループ（３３）が互いに隣接する２つの前記ステーション（１）を含み、
前記グループ（３３）における互いに隣接する２つの前記ステーション（１）の前記機能構成部材（１１、３６、３７）が、それぞれ２つの前記ステーション（１）の前記カバー（３）の結合面（９）に取り付け可能である共通の前記着脱可能なユニット（７）として１つにまとめられ、前記着脱可能なユニット（７）の結合面（８）に設けられたそれぞれのハウジング（１０）の内部に収容され、
前記カバー（３）が、前記機能構成部材（１１、３６、３７）のそれぞれの動作に必要であり、前記着脱可能なユニット（７）の前記結合面（８）と相補的に一致している前記カバー（３）の結合面（９）で開口している、機能接続部（１６、２０）を内蔵し、
前記着脱可能なユニット（７）が相互に協働するそれぞれの前記結合面（８、９）で前記カバー（３）に取り付けられた際に、前記接続部（１６、２０）とそれぞれの前記機能構成部材（１１、３６、３７）を収容する前記ハウジング（１０）とがそれぞれ結合される
ことを特徴とする装置。
【請求項４】
前記機能構成部材が、前記チャンバ（２）内部および処理される前記容器内部の真空および大気圧の確立を選択的に制御する電磁弁（１１）を備えている
ことを特徴とする、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記機能構成部材が、少なくとも１つの真空センサ（３６）および／または少なくとも１つの流量計（３７）を備えている
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記容器内部の真空を制御する前記電磁弁（１１）の前記ハウジング（１０）が、前記結合面（８）上に突出した、前記着脱可能なユニット（７）の部分（３０）に位置し、前記カバー（３）の前記結合面（９）が、相補的形状を有し、前記突出部分（３０）を受け入れ可能な凹部（３２）を有する
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記着脱可能なユニット（７）の前記結合面（８ａ）が、前記カバー（３）との機械的結合手段（３５）を支持する組立面（８ｂ）に対して突出し、前記カバー（３）が、前記突出した結合面（８ａ）を受け入れ可能な凹部（９ａ）を有する
ことを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記処理ステーション（１）が、互いに隣接するいくつかのステーションからなる前記グループ（３３）に割り振られ、共通の前記着脱可能なユニット（７）が、前記グループ（３３）における互いに隣接するいくつかの前記ステーション（１）の前記機能構成部材（１１、３６、３７）を１つにまとめ、前記着脱可能なユニット（７）が、それぞれの前記ステーション（１）の前記カバー（３）の前記結合面（９）に取り付けることができる
ことを特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
前記グループ（３３）における互いに隣接する前記処理ステーション（１）の前記チャンバ（２）が、１つにまとめられて並置され、それぞれの前記カバーも（３）並置されている
ことを特徴とする、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記グループ（３３）における前記処理ステーション（１）が、共通の単一の前記カバー（３）を備え、前記着脱可能なユニット（７）が、共通の前記カバー（３）の前記結合面（９）に取り付けることができる
ことを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
処理される前記容器外部の前記チャンバ（２）の内部容積の真空の確立を制御する前記電磁弁と、
処理される前記容器の内部容積の真空の確立を制御する前記電磁弁と、
処理される前記容器外部の前記チャンバ（２）の容積内部の大気圧の再確立を制御する前記電磁弁と、
処理される前記容器の内部容積の大気圧の再確立を制御する前記電磁弁と、
が各前記作業ステーション（１）に機能的に関連している、前記装置であって、
前記装置が、処理される前記容器の内部容積の真空の確立を制御する、各前記処理ステーションに対する前記電磁弁と、処理される前記容器の内部容積の大気圧の再確立を制御する、各前記処理ステーションに対する前記電磁弁と、を備え、
前記装置が、処理される前記容器外部の前記チャンバ（２）の内部容積の真空の確立を制御する、前記グループ（３３）におけるすべての前記処理ステーション（１）に共通な単一の前記電磁弁と、前記処理される前記容器外部の前記チャンバ（２）の内部容積の大気圧の再確立を制御する、前記グループ（３３）におけるすべての前記処理ステーション（１）に共通な単一の前記電磁弁と、を備えている
ことを特徴とする、請求項１、４、および請求項８から１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
各前記処理ステーション（１）に対して、
前記カバー（３）が、それぞれの前記チャンバ（２）に固定され一体となっており、
前記チャンバ（２）の下部を通じて、ネックが上向きの状態で前記容器の導入および排出が可能になるように、前記チャンバ（２）の前記下部を軸方向に移動させることができる
ことを特徴とする、請求項１から１１のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１３】
前記装置が、回転するカルーセルの形式であり、周辺に配分された複数の前記処理ステーション（１）を支持する回転フレームを備え、前記着脱可能なユニット（７）が、半径方向外側へ回転する前記処理ステーションの前記カバー（３）の側面にそれぞれ装着されている
ことを特徴とする、請求項１から１２のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的には、壁面を通じた分子交換またはイオン交換を防止、抑制できる保護膜、例えば炭素、シリカ、または他の材料から成る保護膜の内層を備えた壁面を有する熱可塑性プラスチック製、特にポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）製の容器の作製の分野に関する。
【０００２】
本発明は、特に、マイクロ波プラズマによって、ＰＥＴのような熱可塑性プラスチック製の容器の内面にバリアを形成する被膜を堆積させる装置の改良に関するものである。この装置は、容器を処理するためのステーションを複数備え、各ステーションが、処理チャンバと、装置の動作中、被膜を構成する粉末状物質で少なくとも部分的に被覆されやすい機能構成部材と連通している真空ポンプチャンバを含んだカバーとを有する。
【背景技術】
【０００３】
考慮される形式の装置における、操作手順および処理ステーションの構造の一例は、本出願人名義で、特に仏国特許第２７７６５４０号明細書に記載、説明されている。
【０００４】
容器の処理中、マイクロ波場は処理チャンバ内部に放射され、ジャケットを通してポンプチャンバに広がっていく。ジャケット内部およびポンプチャンバ内部に伝播されるマイクロ波は、そこでバリア材の粒子（炭素、シリカ、または他の材料）を堆積させている。このことは、非付着粒子の同伴により、ジャケットおよびポンプチャンバの内壁、またはそれを越えてポンプ回路の内壁すら汚染することになる。
【０００５】
その結果、装置のいくつかの機能構成部材は少なくとも部分的に粉末状のバリア材で被覆され、汚染されることになる。これは、例えば、チャンバ内および容器内の真空度を制御するのに有用な圧力センサに対して起こりうる。センサの敏感な表面が粉末状物質の堆積により不透明になると、センサの動作が阻害されたり、効果がなくなったりすらする。
【０００６】
しかし、この粉末状物質の同伴の主たる不利な点は、その材料の一部が、いくつかの構成部材に固定されたシール部のような、特に敏感ないくつかの要素に堆積するという事実にある。そのシール部は、特に、真空ポンプチャンバのろ過手段の下流に位置して、処理ステーションの動作に関連している流体制御電磁弁（チャンバ内および処理される容器内の真空を確立し、大気圧を再確立するために選択的制御を行う）のシール部のことである。これらのシール部への粉末状物質の堆積は、それらの弾力性を低下させ、衝撃時における変形能力を低下させ、このシール部によって提供される気密性の質が低下する結果となり、直接の帰結として、チャンバで達成可能な真空度が減少することになる。したがって、プラズマを発生させる状態が劣化し、粗悪なバリア材の被膜を容器に堆積させることになる。ここで、そのことは装置作動時の根本的な欠点から来ており、これを改善するためには、シール部を定期的にクリーニングすることが必要であり、また通常必要とされるよりも頻繁にシール部を交換することも必要であることがわかる。
【０００７】
さて、現在の装置では、利用可能な空間に応じて、電磁弁が様々な位置に個々に装着されている。
【０００８】
このため、電磁弁のシール部に対する保守は、装置のすべての電磁弁を定期的に取り外し、かつ再装着することが要求される。典型的には、１つの処理ステーションにつき３つの電磁弁（すなわち、容器の内部容積を真空にする１つの電磁弁、容器外側のチャンバの容積を真空にする１つの電磁弁、容器の内部容積および容器外側のチャンバの容積に対して共通に大気圧を再確立する１つの電磁弁）が装着されている。約２０個の処理ステーションを装備している現在の装置では、これは約６０個の電磁弁に相当する。有資格労働者を長期にわたって雇用する必要があるかなりの作業を伴い、これは、当然この保守作業期間はずっと装置を停止する必要があることを意味している。現在は、常に生産速度の向上を追求する傾向があるので、困難が増加するにつれて、保守作業は作業者が受け入れる制約条件となる。このことは第一に、特に保守における装置の停止が最小限に制限されてしまうことを示唆している。
【０００９】
さらに、より高い生産速度を追求することは、特に、ある閾値より低いバリア材の層を堆積させるプロセスの時間短縮が不可能なため、各装置内のステーションの数の増加につながる。したがって、例えば、本出願人は現在処理ステーションの数を約４８まで増やしたより大容量の装置の生産を想定しているが、これは、電磁弁のためだけに定期的に保守するシール部が１９２個あることを表している。現在の実施に基づいた、シール部の保守に要する非常に長期間の装置の停止は、もはや予想不能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、実施要件を、少なくともかなりの程度まで満足させることを目的とした解決法を提供することであり、装置が作動している際の粉末状の生成物の堆積および同伴の問題に対処しようとすることなく、装置の構造的配置の改善によって、装置の回復過程の単純化および迅速化、および装置の停止時間の大幅な短縮化を可能にする装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
これらの目的を達成するために、本発明は、前提部に記載したような装置において、以下の配置を提供する。その配置では、
機能構成部材が、チャンバ内部および処理される容器内部の真空および大気圧の確立を選択的に制御する電磁弁を備え、カバーに取り付けることができる着脱可能なユニットとして１つにまとめられ、着脱可能なユニットの結合面に設けられたそれぞれのハウジングの内部に収容され、
カバーが、機能構成部材のそれぞれの動作に必要であり、着脱可能なユニットの結合面と相補的に一致しているカバーの結合面で開口している、機能接続部を内蔵し、
着脱可能なユニットが相互に協働するそれぞれの結合面でカバーに取り付けられた際に、接続部とそれぞれの機能構成部材を収容するハウジングとがそれぞれ結合される。
【００１２】
本発明による構造により、敏感な機能構成部材はすべて、単純な即効力のある取り付け手段によって容易かつ迅速に交換できる着脱可能なユニットとして１つにまとめられる。この場合、装置を再び動作可能にして運転させることができるようにするには、不十分か、あるいは予防上そうであると考えられる着脱可能なユニットを、良好な状態の取り付け可能なユニットと交換することで十分となる。そして、取り外されたユニットの１つまたはそれ以上の汚染された構成部材の洗浄が、距離を置いて、さらには洗浄のために性能が向上した作業場で行われる。複数の処理ステーションを１つにまとめた装置の場合、この構造だと、すべての処理ステーションの回復を行うことができるように、完全な状態の１組の着脱可能なユニットを予備に保持しておくことで十分である。この全面保守作業のために装置を停止する時間は、以前の構成の装置を回復させるのに要する時間と比べると、大幅に短縮されている。
【００１３】
本発明の配置は、以下のような場合に、特に容易に実現する。そこでは、処理ステーションが偶数個設けられ、
各グループが互いに隣接する２つのステーションを含み、
グループにおける互いに隣接する２つのステーションの機能構成部材が、それぞれ２つのステーションのカバーの結合面に取り付け可能である共通の着脱可能なユニットとして１つにまとめられている。
【００１４】
本発明は、前提部に記載したような装置において、以下の配置を提供する。その配置では、
処理ステーションが偶数個設けられ、
各グループが互いに隣接する２つのステーションを含み、
グループにおける互いに隣接する２つのステーションの機能構成部材が、それぞれ２つのステーションのカバーの結合面に取り付け可能である共通の着脱可能なユニットとして１つにまとめられ、着脱可能なユニットの結合面に設けられたそれぞれのハウジングの内部に収容され、
カバーが、機能構成部材のそれぞれの動作に必要であり、着脱可能なユニットの結合面と相補的に一致しているカバーの結合面で開口している、機能接続部を内蔵し、
着脱可能なユニットが相互に協働するそれぞれの結合面でカバーに取り付けられた際に、接続部とそれぞれの機能構成部材を収容するハウジングとが、それぞれ結合される。
【００１５】
本発明のこれらの配置は、上述の機能構成部材が、チャンバおよび処理される容器の真空の確立、および大気圧の再確立を選択的に制御する電磁弁である場合に、特に価値のある適用を見出している。それは、装置の性能および堆積された保護被膜の質はすべて、容器およびプラズマ形成用のチャンバの中で維持される真空度に特に依存しており、この真空度それ自身が、動作サイクルを制御する電磁弁のシール部によってもたらされる気密性の質に第一に依存しているからである。しかし、理解されるべきは、真空センサや流量計などの他の機能構成部材も、着脱可能なユニットに組み込むことが可能なことである。
【００１６】
実施形態の具体例では、結合面上に突出し、着脱可能なユニットの部分に位置している、容器内部の真空を制御する電磁弁のハウジングと、相補的形状を有し、突出部を受け入れ可能な凹部を有する、カバーの結合面とを備えることが可能である。このようなレイアウトは、電磁弁と関連している吸気口および排気口の位置決めを単純化することを可能にしている。また、カバーとの機械的結合手段を支持する組立面に対して突出した、着脱可能なユニットの結合面と、突出した結合面を受け入れ可能な凹部を有するカバーとを備えることも可能となる。このことは、着脱可能なユニットがそれぞれのカバーに取り付けられるときに、その誘導を容易にし、着脱可能なユニットとカバーの協働する面間でのシール部の取り付けを容易にしている。
【００１７】
本発明による配置は、以下の装置の特定の構造に関連して、非常に価値のある適用を見出すことができる。そのような装置では、処理ステーションが、互いに隣接するいくつかのステーションからなるグループに割り振られ、共通の着脱可能なユニットが、グループの互いに隣接するいくつかのステーションの機能構成部材を１つにまとめ、着脱可能なユニットが、それぞれのステーションのカバーの結合面に取り付けることができる。この状況において、特に有効なのは、グループにおける隣接する処理ステーションのチャンバが、１つにまとめられて並置され、それぞれのカバーも並置されている場合である。このような配置により、処理ステーションの設置に要する空間が減少し、処理ステーションが増加しても所与の空間に導入することができる。そして、グループにおける処理ステーションが、共通の単一のカバーを備え、着脱可能なユニットが、共通のカバーの結合面に取り付けることができることによって、構造をなおさら単純化することが可能になる。そのような配置は、いくつかの処理ステーションが単一の操作で同時に処理されるという事実によって、カバーを分解し再装着する時間をかなり増加させることができるので、このようにして装置が停止される時間が大幅に短縮される。
【００１８】
本出願者が作製する装置において、各作業ステーションは、
−処理される容器外部のチャンバの内部容積の真空の確立を制御する電磁弁と、
−処理される容器の内部容積の真空の確立を制御する電磁弁と、
−処理される容器外部のチャンバの容積内部の大気圧の再確立を制御する電磁弁と、
−処理される容器の内部容積の大気圧の再確立を制御する電磁弁と、
に機能的に関連している。
【００１９】
上述した本発明による配置の実施は、以下のように構成された装置を可能にする。その装置は、処理される容器の内部容積の真空の確立を制御する、それぞれの処理ステーションに対する電磁弁と、処理される容器の内部容積の大気圧の再確立を制御する、それぞれの処理ステーションに対する電磁弁とを備えており、また、処理される容器外部のチャンバの内部容積の真空の確立を制御する、グループにおけるすべての処理ステーションに共通な単一の電磁弁と、処理される容器外部のチャンバの内部容積の大気圧の再確立を制御する、グループにおけるすべての処理ステーションに共通な単一の電磁弁とを備えている。この結果、処理ステーションの構造がかなり単純化され、装備が少なからず節約できる。
【００２０】
本発明による配置は、様々な構成の装置に適用を見出すことができる。これらの配置は、各処理ステーションに対して、カバーが、それぞれのチャンバに固定され一体となっており、チャンバの下部を通じて、ネックが上向きの状態で容器の導入および排出が可能になるように、チャンバの下部を軸方向に移動させることができる装置において、特に有利な適用を見出すことができる。
【００２１】
本発明による配置はすべて、複数の処理ステーションを装備する、高スループットな高性能の装置に特に適している。そのような装置は、回転するカルーセルの形式であり、周辺に配分された複数の処理ステーションを支持する回転フレームを備えており、そのような装置では、着脱可能なユニットが、半径方向外側へ回転する処理ステーションのカバーの側面にそれぞれ装着されている。このようにして、装置の外側から着脱可能なユニットに簡単にアクセスできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明は、純粋に例示的な実施例としてのみ与えられる、いくつかの好適な実施形態に関する以下の詳細な説明を読むことにより、より良く理解されるであろう。
【００２３】
本発明の目的は、マイクロ波プラズマによって、ＰＥＴなどの熱可塑性プラスチック製の容器の内面にバリアを形成する被膜を堆積させるように構成された装置を改良することであり、このような装置は、容器を処理する複数のステーションを有している。
【００２４】
図１に、その全体を参照番号１で記した単一の処理ステーションを示し、本発明が提供する装置の改良を理解するのに好都合である一部分のみを外観斜視図で概略的に示す。
【００２５】
基本的に、各処理ステーション１は特に、
−注入された前駆体ガスから発生したマイクロ波プラズマによって、バリア材（例えば、炭素）の被膜を特に容器の内面に堆積させるプロセスが展開できるように、装着され、処理される少なくとも１つの容器を受け入れるのに適している処理チャンバ２と、
−チャンバ２の上に置かれ、真空ポンプチャンバ（図１では不図示）を含んでいるカバー３と、を有している。真空ポンプチャンバでは、容器と連結する漏れ防止手段が容器のネック部と同軸であるほぼ管状の形状をしたジャケット４を備えている。ジャケット４は、理解しやすいように、図１にカバー３のハウジング５から出た状態で示されている。カバー３はまた、容器の内面にバリア材の層を形成するために、管状の注入器（図示せず）も支持している。注入器は、ジャケット４を同軸上に通過しており（通路６）、容器を処理するプロセスが進むにつれて容器に反応性流体を注入できる。
【００２６】
このように配置された処理ステーションのより詳細な記載は、本出願人名義による仏国特許第２８７２１４８号明細書に見出すことができる。
【００２７】
装置の機能構成部材（図１では不図示）は、この真空ポンプチャンバと連通しており、装置が作動すると、被膜を構成する粉末状物質で少なくとも一部が被覆されやすくなる。
【００２８】
本発明によれば、
機能構成部材（図１では不図示）が、好ましくは迅速な取り付け手段を用いてカバー３に取り付けることができる着脱可能なユニット７として１つにまとめられ、着脱可能なユニット７の結合面８に設けられたそれぞれのハウジングの内部に収容され、
カバー３が、機能構成部材のそれぞれの動作に必要であり、着脱可能なユニット７の結合面８と相補的に一致しているカバー３の結合面９で開口している機能接続部を内蔵し、
着脱可能なユニット７が相互に協働するそれぞれの結合面８、９でカバー３に取り付けられた際に、接続部とそれぞれの機能構成部材を収容するハウジングとが、それぞれ結合される
ように対策が行われる。
【００２９】
図１に、カバー３に装着された状態の着脱可能なユニット７を示す。
【００３０】
本発明に関連して提案されている構成によって、目的となる機能構成部材は、その機能が粉末状のバリア材の存在によって阻害されたり、あるいは破壊されたりすらする構成部材である。それは、処理ステーションの動作を制御するために作動させる圧力センサおよび流量計で特に懸念される。しかし、外部の真空ポンプによるチャンバの真空の確立を制御する役目を果たしている電磁弁についても、チャンバを大気に触れさせるため、逆止め弁のシール部上の粉末状物質の存在が逆止め弁のシール部の気密性に悪影響を与えており、特に懸念される。
【００３１】
ここで着脱可能なユニット７の構成について、２つの具体例をそれぞれ図２および図３で説明することは、電磁弁から成る機能構成部材に関してより詳細に関連づけられるだろう。
【００３２】
まず図２の例を参照すると、着脱可能なユニット７は、それ全体が参照番号１０で記され、参照番号１１で記された電磁弁のすべての構成部材を収容している、ハウジングを有する本体１８を備えている。
【００３３】
電磁弁１１は、少なくとも１つのシール部１３を備えた逆止め弁１２を含み、逆止め弁は、オリフィス１５を囲んでいる段面部１４と協働可能である。オリフィス１５は着脱可能なユニット７の結合面８を構成する本体１８の前面に現れている。着脱可能なユニット７の結合面８は、カバー３の対向する結合面９と協働するように形成されている。結合面９上には、カバー３を貫いて形成された通路１６が現れ、着脱可能なユニット７のオリフィス１５とほぼ同軸上に並んでいる。シール部１７が２つの協働する結合面８、９の間に設けられ、着脱可能なユニット７の協働する面の、特にオリフィス１５近傍で装着することができる。
【００３４】
ハウジング１０の、例えばその側壁には、着脱可能なユニット７の本体１８に穴を開けられたダクト１９が現れており、その反対側では、着脱可能なユニット７の結合面８上に現れ、カバー３に作られ結合面９上に現れている通路２０と面している。シール部２１は、例えば着脱可能なユニット７によって支持されて、２つの結合面８、９の間に置かれている。
【００３５】
電磁弁の逆止め弁１２は、空気圧シリンダによって駆動することができる。本発明の目的を達成するために、弁１２は、ロッド２２を介して、チャンバ２４内を移動可能なピストンのヘッド２３に固定されている。チャンバ２４は、着脱可能なユニット７の本体１８に取り付けられた電磁弁本体２５に形成されている。ピストンのヘッド２３の動き、すなわち弁１２の動きを制御するために、空気圧が制御された流体（通常、７×１０5パスカルを超えない程度の加圧空気）を導入するためのダクト２６が、チャンバ２４で開口している。ハウジング１０内に伸びるガイドスリーブ２７は、一方ではロッド２２を案内する役割を果たし、他方では、ロッド２２の周りを同軸上で取り囲んでいる伸縮バネ２８の一方の端部を支持する、支持部としての役割を果たしている。伸縮バネ２８のもう一方の端部は、弁１２、ロッド２２、およびピストンヘッド２３で形成される移動可能なシステムを（例示した弁１２の開放位置に対応する）停止位置に戻すために、ピストンのヘッド２３の下に置かれている。最終的には、ベローズ２９のようなシール装置が、弁１２と電磁弁本体２５との間を密封するように、その間に置かれている。
【００３６】
保守を単純化し、必要に応じて迅速に電磁弁を交換可能にする目的で、電磁弁１１が、着脱可能なユニット７の本体１８のハウジングに挿入可能なカートリッジ型であると好都合である（詳細には図示せず）。
【００３７】
図２に関して上で説明した配置では、着脱可能なユニット７およびカバー３にそれぞれ属している結合面８、９は、少なくとも電磁弁の挿入に直接関係するそれぞれの区域では、ほぼ平坦である。
【００３８】
同一の構成部材からなる他の配置例を図３に示す。他方では、上述した方法とは異なる方法であるが、結合面８に対して突出した部分３０に電磁弁の弁１２は収容されており、一方カバー３は、着脱可能なユニット７の突出部分３０を受け入れ可能な凹部３２を有している。そして、突出部分３０の前面部３１．８と凹部３２の底面部３１．９との間にはシール部１７が置かれている。しかし、このような構造は、機能面においては先の配置例と等価であるが、場合によっては装置が単純化するという利点を提供する。それは特に、処理される容器内部における真空の確立を対象とした連通に対しての場合である。この連通は、カバー３内部に設けられたハウジング５に取り付けられたジャケット４を通して確立される。このレイアウトの枠内で提案される構造により、電磁弁の逆止め弁を収容するハウジング１０を移動させて、ジャケット４のハウジング５にほぼ向かい合わせることが可能となる。このようにして、前述のダクト１９がこのハウジング５に直接現れることができる。図３に示した有益な実施形態の一例において、ハウジング５は、一部はカバー３にのみ５ａとして定義され、一部は突出部３０に５ｂとして定義される。ダクト１９はこの５ｂの部分に直接現れている。この構成において、通路１６は真空発生源に連結され、一方でダクト１９は、ジャケット４を介して処理される容器の内部容積に連結されている。
【００３９】
このように、着脱可能なユニット７は、それぞれの処理ステーションに対して、図３に示す構造に従って取り付けられ、処理される容器の内部容積の真空を確立する電磁弁と、図２に示す構造に従って取り付けられる他の３つの（容器外側のチャンバにおける真空の確立、容器の内部容積における大気圧の再確立、容器外側のチャンバにおける空気圧の再確立を行う）電磁弁とを有している。
【００４０】
電磁弁のシール部の少なくとも１つを洗浄、または交換しなければならない場合、本発明に従って提供する配置のために、関連する着脱可能なユニット７は取り外され、予備として保持されている正常な機能状態の着脱可能なユニット７と迅速に交換される。これにより、装置を停止する時間を大幅に短縮できる。そして、取り外したユニットの保守を最適な条件下の作業場にて機械から外した状態で行い、回復したユニットは予備として保持される。
【００４１】
同様に、系統的な予防保守の枠内において、装置のすべての着脱可能なユニット７を取り外して、予備として保持する予め修理してあるユニットと交換することができる。そのとき装置を停止する時間は最小まで削減されるが、利用可能である完全な２組の着脱可能なユニットを有することが一方では必要となる。
【００４２】
既に上記で強調したように、本発明による配置は、非常に多数の処理ステーションを備えた装置の場合に、さらにより価値あるものとなる。この状況において、保守の目的で装置を停止する時間を短縮するという点でさらなる改良が想定できる。それは、互いに隣接するいくつかのステーションからなるグループに割り振られた処理ステーション１と、グループにおける互いに隣接するいくつかのステーション１の機能構成部材を１つにまとめた共通の着脱可能なユニット７と、それぞれのステーションのカバー３の結合面９に取り付け可能な共通な着脱可能なユニット７とを備えることで想定できる。
【００４３】
その場合特に、グループにおける隣接する処理ステーション１のチャンバ２は、１つにまとめて並置され、それぞれのカバー３も並置されている。この場合、同一グループの処理ステーション１の一体化は、グループにおける処理ステーション１のそれぞれのカバーが共通の単一カバー３の形で一緒になることで、よりさらに発展させることができる。
【００４４】
添付した図面の図４から図６は、偶数の処理ステーションを装備した装置の場合における前述のレイアウトを図示している。このとき、処理ステーション１は、参照番号３３で記した２つ一組のグループに配列され、各グループ３３は、２つの隣接した処理ステーション１を備えている。
【００４５】
単一のステーションを示す図１と同様の斜視図である、図４からも明らかなように、２つのチャンバ２は接合され、２つの処理ステーションが機能するのに必要な各装備を１つにまとめた共通のカバー３がその上に載せられている。図１と同様に、２つのジャケット４がそれぞれのハウジング５から離れる状態で示されている。共通の着脱可能なユニット７は、ステーションのグループ３３の互いに隣接した２つの処理ステーションの機能構成部材を１つにまとめ、共通カバー３の結合面９に、好ましくは迅速な取り付け手段を用いて取り付けることができる。
【００４６】
図５は、図４の処理ステーションのグループ３３において、着脱可能なユニット７が取り外されカバー３から分離されている様子を示している。一方で、図６に、結合面８が見えるような位置からの着脱可能なユニット７の斜視図を示す。
【００４７】
これら２つの図５および図６によって、特に、２つの処理ステーション１で処理される２つの容器の内部容積の真空を確立する２つの電磁弁の配置や、着脱可能なユニット７の突出部分３０、およびカバー３で相補的形状を有する凹部３２を確認することが可能となり、（右側に位置している）ジャケット４のハウジング５が一部現れている様子も確認できる。
【００４８】
図６では、シール部１７が、各オリフィスを個別にシールする様子が明確に見られている。なお、共通ユニット７の結合面８に現れているオリフィスのすべてを取り囲んでいるシール部３４によって、全体にわたる補完的漏れ止めがなされていることに注意すべきである。
【００４９】
共通の着脱可能なユニット７の電磁弁を１つにまとめることにより、これらの電磁弁のいくつかは、２つの処理ステーションに対して共通の機能を提供可能であることが想定できる。このことを念頭に置くと、それぞれの処理ステーションに対する１つの電磁弁が、処理される容器の内部容積の真空の確立を制御するために保持され、それぞれの処理ステーションに対する１つの電磁弁が、処理される容器の内部容積の大気圧の再確立を制御するために保持されている。その一方では、グループにおけるすべての処理ステーションに共通な単一の電磁弁が、処理される容器外部のチャンバの内部容積の真空の確立を制御するために保持され、グループにおけるすべての処理ステーションに共通な単一の電磁弁が、処理される容器外部のチャンバの内部容積の大気圧の再確立を制御するために保持されている。このように電磁弁の数が削減することで、保有している装備の保守コストと同じように、使用される装備のコストが削減され、それと同時に、共通の着脱可能なユニット７の容積も大幅に削減される。このことが、装置全体のサイズおよび重量を低減させ、装置の慣性をより低くすることにつながっている。
【００５０】
実施形態の具体例において、重要なことは着脱可能なユニット７の結合面８が段階状に作られることであり、これにより、重要なことである各カバー３に装着される際に着脱可能なユニット７の案内を容易にし、また着脱可能なユニットおよびカバーの協働する面間へのシール部の挿入を容易にする。このため、電磁弁のハウジングのオリフィス１５を１つにまとめる結合面の部分８ａが、カバー３との機械的結合手段３５（図６に図示）を支持する組立面８ｂに対して突出するようになっている。ピンを使用するような相補的な方法で、カバー３の結合面９は、結合面８から突出した部分８ａを受け入れ可能な凹部９ａを有しており、凹部９ａは着脱可能なユニット７の組立面８ｂと協働可能な組立面９ｂに取り囲まれている。このときシール部３４は、図６に示すように、組立面８ｂに配置されている。
【００５１】
２つの処理ステーションをそれぞれ対象とした真空を確立する電磁弁を収容する前述の２つの各突出部分３０には、その前面に真空センサ３６が現れているが、そのセンサを収容する２つのハウジングも図６には示されている。
【００５２】
同様に、図５および図６には、２つの処理ステーションに共通であり、処理される２つの容器内に注入される前駆体ガス（例えば、アセチレン）の流量を測定している、流量計３７が示されている。流量計３７は、着脱可能なユニット７の外面に装着され、前駆体ガスを供給するためのダクト３８と連結しており、通路３９を通って着脱可能なユニット７の面８ｂに現れている。また、復路としてカバー３に穴を開けられた通路４０が、ジャケット４上部の同軸上に位置している２つのインジェクタ（図示せず）と連通している。
【００５３】
なお、強調すべきことは、自動接続の手段により、特に図５に示した着脱可能なユニット７の接続部４０およびカバー３の固定接続部４１（図６には接続部４０は図示せず）のような電気−空気接続を組み合わせた手段により、着脱可能なユニット７への（電気、または空気の）出力の供給が有利に行えることである。
【００５４】
本発明による配置は、様々な構成を備えた装置に適用を見出すことができる。特に好ましい手段で、各ステーション１に対して、カバー３がそれぞれのチャンバ２に固定され一体となっており、チャンバ２の下部を通じて、ネックが上向きの状態で容器の導入および排出が可能になるように、チャンバ２の下部を軸方向に移動させることができるような構成の装置に適用を見出すことができるが、これに限定されるものではない。
【００５５】
さらに、本発明による配置はすべて、複数の処理ステーションを装備する、高スループットな高性能の装置に特に適している。そのような装置は、回転するカルーセルの形式であり、周辺に配分された複数の処理ステーションを支持する回転フレームを備えており、そのような装置では、着脱可能なユニットが、半径方向外側へ回転する処理ステーションのカバーの側面にそれぞれ装着されている。このようにして、他の構成部材を反転させたり、取り外したりする必要がなく、装置の外側から着脱可能なユニットに直接簡単にアクセスできる。このことで、ここでも、着脱可能なユニット７の交換作業の時間を短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明による着脱可能なユニットを備えた処理ステーションの一部分を示す斜視図である。
【図２】図１の着脱可能なユニットにおける電磁弁の構造を拡大して示した概略断面図である。
【図３】図１の着脱可能なユニットにおける電磁弁構造の変形例を拡大して示した概略断面図である。
【図４】本発明の好適な実施形態により、２つずつを１つにまとめられた処理ステーションで構成された容器処理装置の一部分を部分的に示した分解斜視図である。
【図５】２つの処理ステーションから着脱可能なユニットを取り外した状態を、図４と同様に部分的に示した分解斜視図である。
【図６】結合面を図示した状態での着脱可能なユニットの斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【外国語明細書】
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