(57)【要約】【課題】曲率が変化する被検査体に対してプローブを押圧することができる渦電流探傷プローブを提供することにある。【解決手段】探傷センサ１は、被検査体表面に面する可撓性基板７に複数のコイル２が固定され手構成されている。第１の弾性体３は、探傷センサ１の反被検査体側に配置され、２枚以上の板状の弾性体を積層したものであり、その長手方向に弾性係数変化する。第２の弾性体５は、可撓性基板７と弾性体３の間に配置された、多孔質体で形成されている。弾性体３を被検査体側に押圧する押圧手段６が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定され順次連続して切換えられる複数のコイルとを有する渦電流探傷プローブであって、
前記プローブの反被検査体側に配置され、その長手方向に弾性係数変化する第１の弾性体と、
前記可撓性基板と前記第１の弾性体の間に配置された、多孔質体で形成された第２の弾性体と、
前記第１及び第２の弾性体を被検査体側に押圧する押圧手段を設けたことを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項２】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記第１の弾性体は、２枚以上の板状の弾性体を積層したものであることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項３】
請求項２記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記第２の弾性体は、前記可撓性基板に縫合されていることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項４】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記押圧手段は、２枚以上の板状の弾性体が長手方向と直交する軸に対して回転する機構を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項５】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記押圧手段は、２枚以上の板状の弾性体が長手方向と平行な軸に対して回転する機構を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【請求項６】
請求項１記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記押圧手段は、２枚以上の板状の弾性体と垂直な軸に対して回転する機構を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、渦電流探傷プローブに係り、特に、複数のコイルを順次連続して切換えて検出用コイルからの探傷信号を検出して被検査体の探傷を行う渦電流探傷プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のコイル（マルチコイル）を順次連続して切換えて検出用コイルからの探傷信号を検出して被検査体の探傷を行う渦電流探傷プローブとしては、柔軟性の基板上に複数のコイルを配列し、このコイルを被検査体表面に例えば板ばねのような弾性を利用して押圧し、この状態で複数のコイルを順次連続して切換えて検出用コイルからの探傷信号を検出して探傷を行うものが知られている。（例えば、特許文献１，特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１９４６６１号公報
【特許文献２】特開２００３−３４４３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、マルチコイルを利用した渦電流探傷では、コイルと被検査体との距離（リフトオフ）を一定に保つことが重要となる。この対策として、特許文献１に記載の渦電流探傷プローブでは、プローブの反被検査体側に配置した弾性体を予め検査部の曲率に合わせたベークライト等の剛体で構成する。このため、弾性体で吸収できる曲率変化のみには対応できるが、大きく変化する部分にはベークライト等の剛体を付け替えて利用することが必要となる。その結果、検査時間が増加する問題がある。
【０００５】
また、特許文献２に記載の渦電流探傷プローブでは、プローブの反被検査体側に配置した気体を封じ込めた袋状物体や板ばね等の弾性体を利用する構成である。気体を封じ込めた袋状物体は、袋状物体の内圧を利用して押圧する構造であるが、仮に原子力プラントの炉内検査のように水深約３０ｍまで使用することを想定すると、袋状物体の内圧と水圧の差が大きくなる。そのため、深さに対応した袋状物体を準備することが必要である。検査時には被検査体の水深に対応する袋状物体に付け替えながら炉内の検査を実施することになり、検査時間が増加する問題がある。また、板ばねを利用した場合には、曲率が変化する被検査体に対しては、押圧力に大きな不均一が発生するため、リフトオフを一定に保つことができず、正確に検査することができない問題点がある。
【０００６】
本発明の目的は、曲率が変化する被検査体に対してプローブを押圧することができる渦電流探傷プローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）上記目的を達成するために、本発明は、被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定され順次連続して切換えられる複数のコイルとを有する渦電流探傷プローブであって、前記プローブの反被検査体側に配置され、その長手方向に弾性係数変化する第１の弾性体と、前記可撓性基板と前記第１の弾性体の間に配置された、多孔質体で形成された第２の弾性体と、前記第１及び第２の弾性体を被検査体側に押圧する押圧手段を設けるようにしたものである。  
かかる構成により、曲率が変化する被検査体に対してプローブを押圧することができるものとなる。
【０００８】
（２）上記（１）において、好ましくは、前記第１の弾性体は、２枚以上の板状の弾性体を積層したものである。
【０００９】
（３）上記（２）において、好ましくは、前記第２の弾性体は、前記可撓性基板に縫合されているものである。
【００１０】
（４）上記（１）において、好ましくは、前記押圧手段は、２枚以上の板状の弾性体が長手方向と直交する軸に対して回転する機構を備えるようにしたものである。
【００１１】
（５）上記（１）において、好ましくは、前記押圧手段は、２枚以上の板状の弾性体が長手方向と平行な軸に対して回転する機構を備えるようにしたものである。
【００１２】
（６）上記（１）において、好ましくは、前記押圧手段は、２枚以上の板状の弾性体と垂直な軸に対して回転する機構を備えるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、曲率が変化する被検査体に対しても、プローブを押圧することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図１〜図７を用いて、本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。  
最初に、図１を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成について説明する。  
図１は、本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。
【００１５】
渦電流探傷プローブ１００は、被検査体の表面に面する探傷センサ１と、この探傷センサ１を被検査体側に密着させる弾性体３，５と、この弾性体３，５を介して探傷センサ１を被検査体側に押圧する押圧手段６により構成されている。
【００１６】
探傷センサ１は、例えばポリイミドフィルムを複数層積層して形成された可撓性基板７と、この可撓性基板７の反被検査体側に、接着剤等により固定されて一方向に配列された複数のコイル２とで構成されている。本実施形態では、複数のコイル２を２列に配列しており、各コイル２に接続される配線（図示せず）は、ポリイミドフィルムの積層間を利用して、基板の一方の端部（図示の例では、左側の端部）から引き出される。
【００１７】
弾性体３は、例えば、ポリウレタンゴム製の多孔質体（スポンジ）からなり、直方体状に形成され、可撓性基板７に面する側に２列のコイル２を収容できるコイル収容溝４を形成している。
【００１８】
弾性体５は、被検査体の表面の最小曲率半径に曲げても永久変形しない弾性体である。弾性体５は、例えば、複数枚のリン青銅板やアクリル板を積層して形成される板ばねである。
【００１９】
押圧手段６は、例えばベークライトやアルミニュウム等で形成されており、弾性体３，５を介して探傷センサ１を押圧するために用いられる。押圧手段６の中央には凹部が形成され、この凹部の中に、探傷センサ１と弾性体３，５が収納される。
【００２０】
これら探傷センサ１と弾性体３，５と押圧手段６とは、例えば接着やねじ止めや係合等の周知の連結手段によって取り扱いが容易になるように、一体化されている。例えば、探傷センサ１の可撓性基板７と、弾性体３は、接着剤により固定される。弾性体３と弾性体５とは、接着剤により固定されている。探傷センサ１の可撓性基板７と弾性体５とは、部分的に絶縁物（木綿）等を用いて縫合により固定されている。弾性体５は、押圧手段６にねじ止めされる。
【００２１】
渦電流探傷プローブ１００は、被検査体の表面に押し当てたとき、積層して形成される板ばね（弾性体５）の作用により、探傷センサ１を被検査体の表面に密着させることができる。これは、板ばねを積層することで弾性係数を変化させたことによる。例えば、弾性体５は、中心部の板ばね積層枚数が多い部分で弾性係数が高く、端部方向に向かって弾性係数が低くなっている。
【００２２】
次に、図２〜図７を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの作用について説明する。  
図２は、本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの作用を示す側面図である。図２（Ａ）は、比較例として１枚の板ばねを用いた場合の作用を示す側面図であり、図２（Ｂ）は、本実施形態による積層板ばねの作用を示す側面図である。なお、図２において、図１と同一符号は同一部分を示している。図３は、比較例として１枚の板ばねを用いた場合の押圧力の説明図である。図４は、本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねによる押圧力の説明図である。
【００２３】
渦電流探傷プローブ１００で正確な探傷を行うためには、探傷センサ１の全面を被検査体の曲率平面に押圧することでリフトオフを一定に保つことが必要となる。積層した板ばねで構成される弾性体５を利用することで、単純構造で探傷センサ１の前面を押圧することが可能である。
【００２４】
図２（Ａ）は、積層しない１枚の板ばねを利用した場合の実験例の模式図を示している。図２（Ｂ）は、３枚を積層した板ばねを利用した場合の実験例の模式図を示している。
【００２５】
図２（Ａ）で用いる板ばね８は、積層しない１枚の場合であり、厚み０．５ｍｍ，長さ９０ｍｍ，巾は探傷センサ１と同様の２０ｍｍのアクリル材８を利用している。本寸法のアクリル板であれば、実験した曲率半径３０ｍｍまで曲げても永久変形しないものである。
【００２６】
これに対して、図２（Ｂ）で用いる板ばね５は、３枚積層した場合であり、厚みと巾は同様で、長さ９０ｍｍ，６０ｍｍ，３０ｍｍを積層したアクリル材１０を利用している。
【００２７】
また、弾性体３の厚みは、１０ｍｍであり、探傷センサ１の厚みは、０．３ｍｍである。押圧部材６の凹部の深さは、探傷センサ１と弾性体３，５の合計の厚み（図２（Ａ）では、１０．８ｍｍ，図２（Ｂ）の例では、１１．８ｍｍ）よりも、５mm浅くなっている。
【００２８】
渦電流探傷プローブは、図２（Ａ）に示すように、探傷センサ１を弾性体３と板ばね８を介して、板ばね８の中心を押圧手段６により押圧する。また、渦電流探傷プローブは、図２（Ｂ）に示すように、探傷センサ１を弾性体３と板ばね５０を介して、板ばね５の中心を押圧手段６により押圧する。
【００２９】
試験体９には、Ａ，Ｂ，Ｃ点の３カ所に圧力センサを取り付け、探傷センサ１の圧力分布を測定する。試験体９は、曲率半径３０ｍｍと１００ｍｍの２種を利用している。
【００３０】
図３は、１枚の板ばね８の場合の実験結果を示している。図３において、縦軸に探傷センサ１が圧力センサを押圧する力（Ａ点で規格化）、横軸に圧力センサの位置Ａ，Ｂ，Ｃを示している。
【００３１】
破線１１は曲率半径３０ｍｍ、実線１２は曲率半径１００ｍｍの特性を示している。本結果から、Ａ，Ｂ，Ｃ点の順に押圧力が顕著に減少することが分かる。曲率半径３０ｍｍでは、板ばねの端部に位置するＣ点でも、低い値であるが押圧力あるものの、曲率半径１００ｍｍでは、ほとんど押圧力が作用していないことが分かる。つまり、板ばね１枚では、曲率半径１００ｍｍの表面形状を探傷すると、板ばねの端部で探傷センサにリフトオフを生じる可能性が高いものである。
【００３２】
一方、図４は、３枚の積層した板ばね５の場合の実験結果を示している。破線１３は曲率半径３０ｍｍ、実線１４は曲率半径１００ｍｍの特性を示している。本結果より、押圧力の分布は板ばねの積層により改善され、曲率半径３０ｍｍ、１００ｍｍともにＡ，Ｂ，Ｃ点に押圧力が作用していることが確認できる。つまり、曲率が３０ｍｍから１００ｍｍまで変化するような被検査体に対して渦電流プローブ１００を走査しても、探傷センサ１を試験体に押圧する力が作用するので、リフトオフを生じないように探傷センサ１を走査できる。その結果、正確な探傷を行うことができる。
【００３３】
次に、図５及び図６を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの積層効果について説明する。  
図５及び図７は、本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの積層効果の説明図である。図６は、比較例の１枚の板ばねの押圧時の模式図である。
【００３４】
図５は、板ばねを３枚積層した弾性体５を示している。弾性体５は、端部側から中心に向かい、板ばね１枚の部分の弾性係数１、板ばねが２枚積層された部分の弾性係数２、中心の領域に当たる板ばねが３枚積層された部分の弾性係数３との間に、弾性係数１＜弾性係数２＜弾性係数３の関係がある。これは、中心部に向かい弾性体５が曲がりにくくなることを示している。すなわち、板ばねを３枚積層した弾性体５は、長手方向に弾性係数変化するものである。
【００３５】
その結果、例えば、図６に示すように１枚の弾性体８では中心部を押圧すると端部に向かって急激に押圧力が減少するが、図７に示すように３枚の積層した場合は、中心部分が曲がりにくいため、１枚の場合より、短部まで押圧力が作用するようになる。また、積層しているため、板ばねの永久変形もなく利用することが可能である。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態によれば、板ばねを積層して弾性係数を変化させることで、曲率が変化する被検査体表面に対しても、単純に板ばねの中心を押圧するのみで探傷プローブ１の全域に押圧力を発生させることが可能となるため、リフトオフを生じることなく正確な探傷を行うことができる。その結果、曲率に対応して弾性体を付替えることが不要となり、検査時間を短縮することができる。
【００３７】
次に、図８〜図１０を用いて、本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。  
図８は、本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。図９は、本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの側面図である。図１０は、本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの被検査体への押圧状態を示す側面図である。なお、各図において、図１と同一符号は、同一部分を示している。
【００３８】
図８に示すように、渦電流探傷プローブ１００Ａは、プローブの長手方向に関して、曲面を有する被検査体を垂直に押圧できない場合に有効なものである。この渦電流探傷プローブ１００Ａは、被検査体の表面に面する探傷センサ１と、この探傷センサ１を被検査体側に密着させる弾性体３，５Ａと、Ｙ方向を軸として回転する回転部品１８と、押圧手段６Ａにより構成されている。
【００３９】
探傷センサ１は、図１と同様に、例えばポリイミドフィルムを複数層積層して形成された可撓性基板７と、この可撓性基板７の反被検査体側に、接着剤等により固定されて一方向に配列された複数のコイル２とで構成されている。この例では、複数のコイル２を２列に配列しており、各コイル２に接続される配線（図示せず）は、ポリイミドフィルムの積層間を利用して引き出される。
【００４０】
弾性体３は、図１と同様に例えばポリウレタンゴム製のスポンジで直方体上に形成され、可撓性基板７に面する側に２列のコイル２を収容できるコイル収容溝４を形成している。弾性体５Ａは、例えば例えばリン青銅板やアクリル板を３枚積層して構成され、中心部に部品１８にねじ１６，１７で固定するための穴を設けている。回転部品１８は、Ｙ軸を軸として回転するように、押圧手段６Ａに対して回転可能に取付けられている。押圧手段６Ａは、例えばベークライトやアルミニュウム等で形成されており、弾性体３，５Ａ，回転部品１８を介して探傷センサ１を押圧する。
【００４１】
図９は、渦電流探傷プローブ１００ＡをＹ軸方向から見た状態を示している。この構造により、探傷センサ１，弾性体３，５Ａは、回転部品１８の回転機構により、Ｙ方向を軸として回転することができる。この機構を有することで、図１０に示すような押圧部の押付方向１２と被検査体９の表面が垂直でない場合にも、探傷センサ１は自然に被検査体９の表面の傾きに倣うように回転し、被検査体９の曲面に密着させることができる。
【００４２】
以上のように、本実施形態の渦電流探傷プローブ１００Ａを用いることで、第１の実施の形態による渦電流探傷プローブ１００では探傷センサ１と被検査体の密着性が悪化するような被検査体表面に対して垂直に被検査体を押圧できない場合においても、探傷センサ１と被検査体の密着性を確保することができる。
【００４３】
また、板ばねを積層して弾性係数を変化させているので、曲率が変化する被検査体表面に対しても、単純に板ばねの中心を押圧するのみで探傷プローブ１の全域に押圧力を発生させることが可能となるため、リフトオフを生じることなく正確な探傷を行うことができる。その結果、曲率に対応して弾性体を付替えることが不要となり、検査時間を短縮することができる。
【００４４】
次に、図１１〜図１３を用いて、本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。  
図１１は、本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。図１２は、本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの側面図である。図１３は、本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの被検査体への押圧状態を示す側面図である。なお、各図において、図１及び図８と同一符号は、同一部分を示している。
【００４５】
図１１に示すように、本実施形態の渦電流探傷プローブ１００Ｂは、プローブの長手及び短手方向に関して、押圧部が曲面を有する被検査体を垂直に押圧できない場合に有効なものである。渦電流探傷プローブ１００Ｂは、被検査体の表面に面する探傷センサ１と、この探傷センサ１を被検査体側に密着させる弾性体３、５Ａと、Ｙ方向を軸として回転する回転部品１８と、Ｘ方向を軸として回転する回転部品２２と、押圧手段６Ｂにより構成されている。
【００４６】
探傷センサ１は、図１と同様に、例えばポリイミドフィルムを複数層積層して形成された可撓性基板７と、この可撓性基板７の反被検査体側に、接着剤等により固定されて一方向に配列された複数のコイル２とで構成されている。本例においては、複数のコイル２を２列に配列しており、各コイル２に接続される配線（図示せず）は、ポリイミドフィルムの積層間を利用して引き出される。
【００４７】
弾性体３は、図１と同様に、例えばポリウレタンゴム製のスポンジで直方体上に形成され、可撓性基板７に面する側に２列のコイル２を収容できるコイル収容溝４を形成している。弾性体５Ａは、例えばリン青銅板やアクリル板を３枚積層して構成され、中心部に回転部品１８にねじ１６，１７で固定するための穴を設けている。回転部品１８は、Ｙ方向を軸として回転するように回転部品２２に取付けられている。また、回転部品２２は、Ｘ方向を軸として回転するように押圧手段６Ｂに取付けられている。回転部品１８，２２及び押圧手段６Ｂは、例えばベークライトやアルミニュウム等で形成されており、弾性体３，５Ａ及び回転部品１８，２２を介して、探傷センサ１を押圧する。
【００４８】
図１２は、渦電流探傷プローブ１００ＢをＹ軸方向から見た状態を示している。この構造により、探傷センサ１、弾性体３，５Ａは、回転部品１８，２２の回転機構により、Ｙ軸及びＸ軸を中心として回転することができる。
【００４９】
このような渦電流探傷プローブ１００Ｂを用いることで、第１及び２の実施の形態による渦電流探傷プローブ１００及び１００Ａでは探傷センサ１と被検査体の密着性が悪化するような被検査体表面に対して垂直に被検査体を押圧できない場合においても、図１３に示すように探傷センサ１と被検査体の密着性を確保することができる。
【００５０】
また、板ばねを積層して弾性係数を変化させているので、曲率が変化する被検査体表面に対しても、単純に板ばねの中心を押圧するのみで探傷プローブ１の全域に押圧力を発生させることが可能となるため、リフトオフを生じることなく正確な探傷を行うことができる。その結果、曲率に対応して弾性体を付替えることが不要となり、検査時間を短縮することができる。
【００５１】
次に、図１４〜図１６を用いて、本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。  
図１４は、本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。図１５は、本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの平面図である。図１６は、本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの被検査体への押圧状態を示す平面図である。なお、各図において、図１，図８及び図１１と同一符号は、同一部分を示している。
【００５２】
図１４に示す渦電流探傷プローブ１００Ｃは、被検査体の曲面に対する探傷センサ１配置のずれに対しても有効なものである。渦電流探傷プローブ１００Ｃは、被検査体の表面に面する探傷センサ１と、この探傷センサ１を被検査体側に密着させる弾性体３，５Ａと、Ｙ方向を軸として回転する回転部品１８と、Ｘ方向を軸として回転する回転部品２２と、Z方向を軸として回転する回転部品２５と、押圧手段６Ｃにより構成されている。
【００５３】
図１５は、渦電流探傷プローブ１００ＢをZ軸方向から見た状態を示している。この構造により、探傷センサ１及び弾性体３，５Ａは、回転部品１８，２２の回転機構により、Ｙ軸，Ｘ軸及びZ軸を中心として回転することができる。
【００５４】
このような渦電流探傷プローブ１００Ｂを用いることで、第１，第２及び第３の実施の形態による渦電流探傷プローブ１００，１００Ａ，１００Ｂでは探傷センサ１と被検査体の密着性が悪化するような被検査体の曲面に対する探傷センサ１配置の姿勢ずれに対しても密着性を確保することができる。
【００５５】
探傷センサ１はコイル２の列の長さを一度の走査で検査できるので、その走査方向はコイル列の長さ方向と直行に走査することで最も広域を検査できる。例えば、図１６に示すように被検査体の曲面の続く方向と探傷センサ１のコイル列の長さ方向が直行していない場合も、Ｚ方向を軸とする回転機構により、図１６の探傷センサ１の姿勢を、図１６の左側の状態から矢印で示す右側の状態に、調整することができる。これにより、曲面を効率良く広域に検査できる。
【００５６】
また、板ばねを積層して弾性係数を変化させているので、曲率が変化する被検査体表面に対しても、単純に板ばねの中心を押圧するのみで探傷プローブ１の全域に押圧力を発生させることが可能となるため、リフトオフを生じることなく正確な探傷を行うことができる。その結果、曲率に対応して弾性体を付替えることが不要となり、検査時間を短縮することができる。
【００５７】
なお、各渦電流探傷プローブ１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃは、気中や液中で使用されるものである。仮に、各渦電流探傷プローブ１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃが液中で使用された場合、弾性体３がポリウレタンゴム製のスポンジで形成されているので、このスポンジが密封された独立した空気泡を有している場合には、液圧により空気泡が圧縮されて縮小する。空気泡の縮小により、スポンジは柔軟性を喪失するので、探傷センサ１が被検査体の表面形状に追従できなくなり、正確な探傷ができなくなる問題がある。そのために、液中で各渦電流探傷プローブ１００，１００Ａ，１００Ｂ、１００Ｃを使用する場合には、弾性体３として使用するスポンジには、密封された空気泡がなく、液が自由に浸透する連通した多孔質のスポンジを用いるようにする。
【００５８】
また、以上の説明において、３枚積層した板バネを例に説明したが、これに限らず被検査体の曲面形状によっては異なる積層枚数としてもよいものである。弾性体４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃとしてポリウレタンゴム製のスポンジを一例に説明したが、スポンジの代わりにゴム材等を用いてもよいものである。
【００５９】
さらに、渦電流プローブ１００ＡはX軸方向を軸とした回転機構、渦電流プローブ１００ＢはX軸及びY軸の回転機構、渦電流プローブ１００ＣはX軸、Y軸及びZ軸の回転機構を設けたが、例えば、被検査体の曲面形状に合わせて、いずれかの１軸の回転機構、またはいずれか２軸の回転機構を設けてもよいものである。
【００６０】
次に、図１７を用いて、本発明の第５の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。本実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成は、図１に示すものと同様である。  
図１７は、本発明の第５の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる弾性体の構成を示す斜視図である。
【００６１】
図１７に示すように、弾性体５Ｂは、板厚Ｌ１とＬ２がＬ１＜Ｌ２の関係に設計した構造体を用いることもできる。
【００６２】
次に、図１８を用いて、本発明の第６の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。本実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成は、図１に示すものと同様である。  
図１８は、本発明の第６の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる弾性体の構成を示す斜視図である。
【００６３】
図１８に示すように、弾性体５Ｃは、３枚の板バネを積層したような形状であるとともに、回転部品１８Ａを一体化した構造体を用いることもできる。
【００６４】
この構造により、回転部品と弾性体のねじ止めが不要となる。
【００６５】
次に、図１９を用いて、本発明の第７の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。本実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成は、図１に示すものと同様である。  
図１９は、本発明の第７の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる弾性体の構成を示す斜視図である。
【００６６】
図１９に示すように、弾性体５Ｄは、板厚Ｌ１とＬ２がＬ１＜Ｌ２の関係に設計した構造体であるとともに、回転部品１８Ａを一体化した構造体を用いることもできる。
【００６７】
この構造により、回転部品と弾性体のねじ止めが不要となる。
【００６８】
次に、図２０及び図２１を用いて、本発明の各実施形態による渦電流探傷プローブを用いた検査状態について説明する。  
図２０は、本発明の各実施形態による渦電流探傷プローブによって探傷する溶接部を例示する斜視図である。
【００６９】
図２１は、本発明の各実施形態による渦電流探傷プローブを用いた検査状態を示す側面図である。
【００７０】
例えば、図２０に示すような原子炉炉底４０に貫通した管材４１との溶接部に４２を検査する場合、溶接部に対向するように設計されたレール４３を設ける。このレール４３は、図２１に示すように冶具４４で固定する。探傷センサ１００を取り付ける座４６は、車輪４５でレール４３と固定する。例えば、図示していないが、座４６は、レールの内側に車輪４５を１つ、外側に車輪２つ設けることで安定して固定できる。座４６にエアーシリンダ４７を設けて、探傷センサ１００の押付手段６を押圧する。エアーシリンダ４７で押圧した状態で、図示の右側に示すような曲率小さな部分から、図示の左側に示すような曲率が大きな部分までセンサを移動することで溶接部４２の検査が可能となる。また、本例に限らず、同様にして曲率が変化するような構造体の検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの作用を示す側面図である。
【図３】比較例として１枚の板ばねを用いた場合の押圧力の説明図である。
【図４】本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねによる押圧力の説明図である。
【図５】本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの積層効果の説明図である。
【図６】比較例の１枚の板ばねの押圧時の模式図である。
【図７】本発明の第１の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる積層板ばねの積層効果の説明図である。
【図８】本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。
【図９】本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの側面図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態による渦電流探傷プローブの被検査体への押圧状態を示す側面図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの側面図である。
【図１３】本発明の第３の実施形態による渦電流探傷プローブの被検査体への押圧状態を示す側面図である。
【図１４】本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す分解斜視図である。
【図１５】本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの平面図である。
【図１６】本発明の第４の実施形態による渦電流探傷プローブの被検査体への押圧状態を示す平面図である。
【図１７】本発明の第５の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる弾性体の構成を示す斜視図である。
【図１８】本発明の第６の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる弾性体の構成を示す斜視図である。
【図１９】本発明の第７の実施形態による渦電流探傷プローブに用いる弾性体の構成を示す斜視図である。
【図２０】本発明の各実施形態による渦電流探傷プローブによって探傷する溶接部を例示する斜視図である。
【図２１】本発明の各実施形態による渦電流探傷プローブを用いた検査状態を示す側面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１…探傷センサ
２…コイル
３…弾性体
４…コイル収容溝
５…弾性体
６…押圧手段
７…可撓性基板
９…試験体
１８，２１，２２，２５…回転部品
１００…渦電流探傷プローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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