(57)【要約】【課題】  透明性、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、更に、低コストで製造可能であり、例えば、飲食品、医薬品、電子部品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用材料として有用な透明バリア性フィルムを提供することである。【解決手段】  透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法による酸化アルミニウム蒸着薄膜を設けた蒸着フィルムからなり、更に、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加させてなることを特徴とする透明バリア性フィルムに関するものである。                                                      【選択図】        図１
2008121122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム加熱方式により、蒸着源としてのアルミニウム金属を加熱して、蒸発させながら、酸素ガスを供給して酸化アルミニウム蒸着薄膜を製膜化する反応性蒸着法により製造した蒸着フィルムからなり、
更に、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜が、式ＡｌＯx （ただし、式中、Ｘは、１〜１．５の数を表す。）で表される酸化アルミニウム蒸着膜からなり、
また、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近から蒸着薄膜の最表面に向かって増加させて、
かつ、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、その蒸着薄膜の膜厚の最表面層部分において、０．１〜９．０の範囲で、その膜厚の表面に向かって高くしてなる酸化アルミニウム蒸着薄膜を設けたことを特徴とする透明バリア性フィルム
【請求項２】
透明性を有する高分子フィルムが、ポリアミド系樹脂フィルムまたはポリエステル系樹脂フィルムであることを特徴とする上記の請求項１に記載する透明バリア性フィルム。
【請求項３】
酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、蒸着膜の膜厚の最表面層部分において、０．３〜６．０の範囲であることを特徴とする上記の請求項１〜２のいずれか１項に記載する透明バリア性フィルム。
【請求項４】
酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、蒸着膜の膜厚の最表面層部分において、０．６〜４．０の範囲であることを特徴とする上記の請求項１〜２のいずれか１項に記載する透明バリア性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明バリア性フィルムに関し、更に詳しくは、透明性、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、例えば、飲食品、医薬品、電子部品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用材料として有用な透明バリア性フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、飲食品等の物品を充填包装するに適する包装用材料として有用なバリア性材料としては、種々の形態のものが開発され、提案されているが、それらの一つとして、近年、プラスチックフィルムの少なくとも一方の片面に、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング法等の物理気相成長法（ＰＶＤ法）を利用して、酸化ケイ素、あるいは、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成してなる透明バリア性フィルム、あるいは、化学気相成長法（ＣＶＤ法）を用いて、酸化ケイ素の蒸着薄膜を形成してなる透明バリア性フィルム等が注目されている。
而して、上記のような透明バリア性フィルムにおいては、その酸素ガスバリア性等を向上させる技術として、例えば、基材フィルムとしてのプラスチックフィルムの表面に、予め、コロナ放電処理、グロ−放電処理等を施すことにより表面を粗面化したり、あるいは、ウレタン系のアンカ−コ−ト剤等をコ−ティングして、基材フィルムとしてのプラスチックフィルムと蒸着薄膜との密着性を良好にする方法、あるいは、酸化ケイ素の蒸着膜面に過酸化水素をコ−ティングしてバリア性を向上させる方法等が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
更に、上記の透明バリア性フィルムにおいては、印刷加工、あるいは、ラミネ−ト加工等の後加工工程を経た後においても、機械的なストレス等による酸素ガスバリア性等の劣化防止策として、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成後、その蒸着薄膜面に、高分子材料を主成分として含むプライマ−組成物をコ−ティングして保護膜層を形成する方法等も提案されている。
また、また、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成してなる透明ガスバリア性フィルムにおいては、酸化アルミニウムを蒸着後に、オフラインで水分等を吸着させ、次いで、水分を吸着させて温度以上で熱処理することによって、透明性、ガスバリア性等を向上させた透明ガスバリア性フィルムを製造する方法が提案されている（例えば、特許文献２照。）。
【特許文献１】特開平８−１９７６７５号公報
【特許文献２】特許第２６３８７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような透明バリア性フィルムにおいて、例えば、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成する場合には、原料であるアルミニウムを電子ビ−ム等を用いて加熱蒸発させ、発生するアルミニウム蒸気に酸素ガス等を吹き込みながら蒸着を行う反応性蒸着であることから、透明性を有し、かつ、酸素ガスバリア性等に優れた透明バリア性フィルムを製造するための条件を見つけることが極めて困難なことである。
例えば、透明性を向上させるために、蒸着時のアルミニウムの酸化度を大きくすると、透明性は良化するが、酸素ガスバリア性、特に、水蒸気バリア性が劣化するという問題点がある。
また、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を有する透明バリア性フィルムは、伸びに弱く、約２％以上の伸度で酸化アルミニウムの蒸着薄膜にクラックを発生するという問題点があり、いわゆる、後加工等における機械加工適性に劣るという問題点を有するものである。
更に、基材フィルムとしてのプラスチックフィルムの表面に、予め、ウレタン系の有機アンカ−コ−ト剤をコ−ティングした後、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成する場合には、アンカ−コ−ト剤によるコ−ティング膜中に含まれている残留溶剤のため、蒸着中の真空度が低下したり、あるいは、アンカ−コ−ト剤によるコ−ティング膜自体が柔らかいことから、そのコ−ティング膜の表面において酸化アルミニウムの蒸着薄膜が良好に成長せず、望ましい酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成することが極めて困難であり、結果的に、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れた酸化アルミニウムの蒸着薄膜を有する透明バリア性フィルムを製造することは困難であるという問題点がある。
更にまた、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、高分子材料を主成分として含むプライマ−組成物をコ−ティングして保護膜層を形成する方法は、コ−ティングすること自体において製造工程が増えることになり、コスト面において問題点を有するものである。  また、酸化ケイ素の蒸着膜面に過酸化水素をコ−ティングしてバリア性を向上させる方法等も提案されているが、それによる効果は、それなりに期待し得るものであるが、未だ、十分に満足し得るハイバリア性を有する透明ガスバリア性フィルムを製造することは困難であるというのが実状であり、更に、付言すれば、そのような操作を行うこと自体、その製造工程が増えることからその製造コストを高めるという問題点がある。
更に、上記のような、蒸着膜形成後に、その表面に、水分等を吸着させ、次いで、高温加熱処理するような方法は、前述と同様に、製造工程が増えることから製造コスト面から問題があるものである。
そこで本発明は、透明性、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、更に、低コストで製造可能であり、例えば、飲食品、医薬品、電子部品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用材料として有用な透明バリア性フィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者は、上記のような問題点を解決すべく種々検討の結果、透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法を用いて、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を設ける際に、該酸化アルミニウムの蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比（アルミニウム元素含有量／酸素元素含有量）を増加させて、すなわち、酸化アルミニウムの蒸着薄膜中のアルミニウム元素含有率を、その膜厚の表面に向かって高くしてなる酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成して透明バリア性フィルムを製造したところ、酸化アルミニウムの蒸着薄膜自身の伸びに対する強度が増大し、また、その蒸着薄膜表面の耐衝撃性、濡れ性等が向上し、例えば、印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加工等の後加工適性に優れて、それらの加工時に酸化アルミニウムの蒸着薄膜にクラック等が発生することを防止し、これにより、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れていると共にその透明性にも優れ、かつ、低コストで製造可能であり、例えば、飲食品、医薬品、電子部品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用材料として有用な透明バリア性フィルムを製造し得ることを見出して本発明を完成したものである。
【０００５】
すなわち、本発明は、透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法による酸化アルミニウム蒸着薄膜を設けた蒸着フィルムからなり、更に、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加させてなることを特徴とする透明バリア性フィルムに関するものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法を用いて、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を設ける際に、該酸化アルミニウムの蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比（アルミニウム元素含有量／酸素元素含有量）を増加させて、すなわち、酸化アルミニウムの蒸着薄膜中のアルミニウム元素含有率を、その膜厚の表面に向かって高くしてなる酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成して透明バリア性フィルムを製造して、酸化アルミニウムの蒸着薄膜自身の伸びに対する強度が増大し、また、その蒸着薄膜表面の耐衝撃性、濡れ性等が向上し、例えば、印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加工等の後加工適性に優れて、それらの加工時に酸化アルミニウムの蒸着薄膜にクラック等が発生することを防止し、これにより、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れていると共にその透明性にも優れ、かつ、低コストで製造可能であり、例えば、飲食品、医薬品、電子部品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用材料として有用な透明バリア性フィルムを製造し得るというものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
上記の本発明について以下に更に詳しく説明する。
まず、本発明にかかる透明バリア性フィルムの製造法について説明すると、その製造法としては、基本的には、酸化アルミニウム蒸着薄膜を形成し得る方法でればよく、例えば、アルミニウム金属等を使用し、これを蒸発させながら、酸素ガス等を供給し、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング法等の物理気相成長法（物理蒸着法、Ｐｈｙｓｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）によって、酸化アルミニウム蒸着薄膜を形成し得る方法であればいずれの方法でもよいものである。
上記において、蒸着原料の加熱方式としては、例えば、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）方式、高周波誘導加熱方式、抵抗加熱方式等を用いられる。
【０００８】
而して、本発明において、本発明にかかる透明バリア性フィルムの製造法について最も好ましい一例を挙げて具体的に説明すると、図１は、電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置の構成の概要を示す概略的構成図である。
図１に示すように、巻き取り式真空蒸着装置１の真空チャンバ−２の中で、巻き出しロ−ル３から透明性を有する高分子フィルム４をガイドロ−ル５を介してコ−ティングドラム６を経て蒸着チャンバ−７の中に繰り出す。
而して、上記の蒸着チャンバ−７内では、るつぼ８の中に蒸着源としてのアルミニウム９を入れ、そして、そのアルミニウム９の表面１０を、電子銃１１を用いて発生させた電子ビ−ム１２で予めプログラム化された偏向によって撃ち、アルミニウム９の表面１０からアルミニウム９を蒸発させて、アルミニウム９の蒸気を発生させる。
次に、上記で発生したアルミニウム９の蒸気に、予め、酸素ガスボンベ１３からガスパイプ１４を通して酸素ガス供給口１５より酸素ガス等を供給しながら、該アルミニウムの蒸気と酸素ガスとを反応させて酸化アルミニムを生成し、この生成した酸化アルミニウムを冷却したコ−ティングドラム６上のコ−ティングゾ−ン１６を通過する透明性を有する高分子フィルム４の上に、マスク１７、１７を介して蒸着、積層させて酸化アルミニウム蒸着薄膜を成膜化する。
次いで、上記で酸化アルミニウム蒸着薄膜を形成した透明性を有する高分子フィルム４を真空チャンバ−２内に送り出し、ガイドロ−ル５´を介して巻き取りロ−ル１８に巻き取ることによって、本発明にかかる透明バリア性フィルムをを製造することができる。
上記において、蒸着チャンバ−内の真空度は、約１×１０-5〜１×１０-2Ｔｏｒｒ位であり、また、ガスパイプからの導入される酸素ガス量は、アルミニウムの蒸発量に応じて調整される。
上記の例示は、その一例であり、本発明はこれによって限定されるものではない。
【０００９】
ところで、本発明において、上記のようにアルミニウムの蒸気と酸素ガスとの反応蒸着方法を用いる場合、電子ビ−ムが蒸発材料であるアルミニムウの表面を撃つ際の電子ビ−ムの照射位置が、生成する酸化アルミニムウ蒸着薄膜の膜構造、すなわち、得られる酸化アルミニウム蒸着薄膜がもつ酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性、後加工適性等の膜物性を決定する大きな要因となるものである。
本発明において、電子ビ−ムの照射位置と、得られる酸化アルミニウム蒸着薄膜の膜物性との関係について、図２、図３および図４を用いて説明する。
図２は、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置において、電子ビ−ムの照射位置が、酸素ガス供給口の真下にある場合の構成の概要を示す概略的構成図であり、図３は、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置において、電子ビ−ムの照射位置が、酸素ガス供給口より電子銃側にある場合の構成の概要を示す概略的構成図であり、図４は、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置において、電子ビ−ムの照射位置が、酸素ガス供給口より電子銃に対して奥側にある場合の構成の概要を示す概略的構成図である。
【００１０】
まず、本発明において、図２に示すように、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置１において、点線Ｌ1 で示すように、電子ビ−ム１２の照射位置Ｐ1 が、酸素ガス供給口１５の位置Ｐ2 の真下にある場合には、得られる酸化アルミニウム蒸着薄膜は、その厚さ方向（深さ方向）において、アルミニウム元素：酸素元素との含有比が、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近と蒸着薄膜の最表面とでは、０．７〜０．９程度、中間層部分では、０．２〜０．３程度である（図５参照）。
而して、上記のような膜構造からなる酸化アルミニウム蒸着薄膜は、透明性は、十分であるが、水蒸気バリア性は、不十分であり、また、後加工適性に関して、従来品と同様に劣るものである。
【００１１】
次に、本発明において、図３に示すように、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置１において、点線Ｌ2 で示すように、電子ビ−ム１２の照射位置Ｐ1 が、酸素ガス供給口１５の位置Ｐ2 より電子銃１１側にある場合には、得られる酸化アルミニウム蒸着薄膜は、その厚さ方向（深さ方向）において、アルミニウム元素：酸素元素との含有比は、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近から蒸着薄膜の最表面に向かって減少するものである（図６参照）。
これは、最表面に近づくに従って、酸素含有量が多くなることを意味するものであり、これによって得られる透明バリア性フィルムの透明性は、優れたものとなるものである。  しかし、反面に、酸化アルミニウム蒸着薄膜の膜構造は、その膜中に余分な酸素を多く取り込んでいるために、多孔質構造となり、従って、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に劣るものとなり、また、後加工適性においても、酸化アルミニウム蒸着薄膜の最表面の酸化度合いが最も高くなるために、その膜が固くなり、機械的ストレスにより蒸着薄膜にクラック等が発生し易く、その結果、酸素ガババリア性、水蒸気バリア性等の劣化を起こし易いものである。
【００１２】
更に、本発明において、図４に示すように、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置１において、点線Ｌ3 で示すように、電子ビ−ム１２の照射位置Ｐ1 が、酸素ガス供給口１５の位置Ｐ2 より電子銃１１に対して奥側にある場合には、得られる酸化アルミニウム蒸着薄膜は、その厚さ方向（深さ方向）において、アルミニウム元素：酸素元素との含有比は、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近から蒸着薄膜の最表面に向かって増加するものである（図７参照）。
これは、上記の図３に示す場合と逆であり、蒸着薄膜の最表面に近づくに従って、酸素含有量が少なくなることを意味するものであり、得られる透明バリア性フィルムは、その透明性において、若干、劣るが、逆に、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れたものとなり、また、蒸着薄膜の最表面の耐衝撃性も向上し、更に、後加工適性においても、最も優れているものである。
【００１３】
なお、本発明において、上記の図２〜図４に示す真空蒸着装置を使用して得た透明バリア性フィルムについて、酸化アルミニウム蒸着薄膜中のアルミニウム元素と酸素元素との含有率をＸ線電子分光装置〔エスカ、ＥＳＣＡ、英国、クラトス（ＫＲＡＴＯＳ）社製、機種名、ＡＸＩＳ−ＨＳ型〕を用いて測定した。
上記において、測定条件は、Ａｌ−Ｋα１（モノクロ化）を光源とし、出力：１４８６．６ｅＶで行った。その結果を図５〜図７に示すものである。
而して、図５は、上記の図２に示す真空蒸着装置を使用して得た透明バリア性フィルムについて測定した結果を示すグラフであり、図６は、上記の図３に示す真空蒸着装置を使用して得た透明バリア性フィルムについて測定した結果を示すグラフであり、図７は、上記の図４に示す真空蒸着装置を使用して得た透明バリア性フィルムについて測定した結果を示すグラフである。
上記の測定結果は、上述のとおりである。
すなわち、図５に示すように、図２に示す真空蒸着装置を使用して得た酸化アルミニウム蒸着薄膜は、その厚さ方向（深さ方向）において、アルミニウム元素：酸素元素との含有比が、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近と蒸着薄膜の最表面とでは、０．７〜０．９程度、中間層部分では、０．２〜０．３程度である（図５参照）。
また、図６に示すように、図３に示す真空蒸着装置を使用して得た酸化アルミニウム蒸着薄膜は、その厚さ方向（深さ方向）において、アルミニウム元素：酸素元素との含有比は、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近から蒸着薄膜の最表面に向かって減少するものである（図６参照）。
更に、図７に示すように、図４に示す真空蒸着装置を使用して得た酸化アルミニウム蒸着薄膜は、その厚さ方向（深さ方向）において、アルミニウム元素：酸素元素との含有比は、基材フィルムとしての透明性を有する高分子フィルムの界面付近から蒸着薄膜の最表面に向かって増加するものである（図７参照）。
【００１４】
本発明においては、上記の図５〜図７から明らかなように、上記のようにアルミニウムの蒸気と酸素ガスとの反応蒸着方法を用いる場合、電子ビ−ムが蒸発材料であるアルミニムウの表面を撃つ際の電子ビ−ムの照射位置が、生成する酸化アルミニムウ蒸着薄膜の膜構造、すなわち、得られる酸化アルミニウム蒸着薄膜がもつ酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性、後加工適性等の膜物性を決定する大きな要因となるものである。
而して、本発明においては、上記の図４に示すように、上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置１において、点線Ｌ3 で示すように、電子ビ−ム１２の照射位置Ｐ1 が、酸素吹き出し口１５の位置Ｐ2 より電子銃１１に対して奥側に位置し、この位置において、上記の図１に示すように、るつぼ８中のアルミニウム９の表面１０を、電子銃１１を用いて発生させた電子ビ−ム１２で撃ち、その表面１０からアルミニウム９の蒸気を発生さし、次に、上記で発生したアルミニウム９の蒸気に、予め、酸素ガスボンベ１３からガスパイプ１４を通して酸素ガス供給口１５より酸素ガス等を供給しながら、該アルミニウムの蒸気と酸素ガスとを反応させて酸化アルミニムを生成し、この生成した酸化アルミニウムを冷却したコ−ティングドラム６上のコ−ティングゾ−ン１６を通過する透明性を有する高分子フィルム４の上に、マスク１７、１７を介して蒸着、積層させて酸化アルミニウム蒸着薄膜を成膜化して、透明バリア性フィルムを製造することが望ましいものである。
【００１５】
本発明において、上記のようにして製造される本発明にかかる透明バリア性フィルムは、上記の図７に示すように、その酸化アルミニウム蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加してなることを特徴とするものである。
具体的には、酸化アルミニウム蒸着薄膜が、式ＡｌＯx （ただし、式中、Ｘは、１〜１．５の数を表す。）で表される酸化アルミニウム蒸着膜からなり、更に、酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、蒸着膜の膜厚の最表面層部分において、０．１〜９．０の範囲であることを特徴とする透明バリア性フィルムを製造することができるものである。
本発明にかかる透明バリア性フィルムおいて、酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比は、上記のように０．１〜９．０の範囲であることが望ましいものであるが、更に、酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、蒸着膜の膜厚の最表面層部分において、０．３〜６．０の範囲であること、更にはまた、酸化アルミニウム蒸着薄膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比が、蒸着膜の膜厚の最表面層部分において、０．６〜４．０の範囲であることからなる透明バリア性フィルムあることが望ましいものである。
上記において、０．１以下では、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性、後加工適性、等が共に不十分であり、また、９．０以上では、透明バリア性フィルムの透明性を損なうことから好ましくないものである。
【００１６】
上記のような製造法において、透明性を有する高分子フィルムとしては、通常の包装用材料として使用される無色透明な高分子フィルムを使用することができる。
例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂フィルム、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂フィルム、各種のナイロンフィルム等のポリアミド系樹脂フィルム、ポリスチレン系樹脂フィルム、ポリカ−ボネ−ト系樹脂フィルム、アセタ−ル系樹脂フィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物フィルム、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
上記のような樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、テンタ−方式あるいはチュ−ブラ−方式等により２軸方向に延伸された２軸延伸フィルムないしシ−トであってもよく、また、その厚さとしては、３〜２００μｍ位、更に好ましくは、５〜１００μｍ位が望ましい。
また、上記のような樹脂のフィルムないしシ−トは、酸化アルミニウム蒸着薄膜との密着性等を良くするために、公知の表面改質法であるコロナ放電処理、プラズマ放電処理、あるいは、アンカ−コ−ト剤によるアンカ−コ−ト処理等を行うこともできる。
【００１７】
上記のような製造法によって製造される本発明にかかる透明バリア性フィルムＡは、図８の概略的断面図に示すように、透明性を有する高分子フィルム４の少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法による酸化アルミニウム蒸着薄膜２１を設けた蒸着フィルムからなり、更に、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜２１が、その膜厚の表面に向かって（深さ方向）、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加させてなることを特徴とするものである。
上記の本発明にかかる透明バリア性フィルムにおいて、酸化アルミニウム蒸着薄膜の膜厚としては、５０〜２０００Å位、更に好ましくは、１００〜１０００Å位が望ましい。  上記において、酸化アルミニウム蒸着薄膜の膜厚が、５０Å未満であると、膜むらが生じ、十分な酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等を有する酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造することが困難であり、また、２０００Å以上で成膜すると、酸化アルミニウム蒸着薄膜を形成後、透明バリア性フィルムを巻き上げる段階等において蒸着薄膜にマイクロクラック等が発生し易く、上記と同様に、十分な酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等を有する酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造することが困難となり好ましくないものである。
【００１８】
本発明にかかる透明バリア性フィルムは、透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法による酸化アルミニウム蒸着薄膜を設けた蒸着フィルムからなり、更に、上記の酸化アルミニウム蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加させてなること、すなわち、酸化アルミニウム蒸着薄膜中のアルミニウム元素の含有率を、その膜表面に向かって高くすることにより、蒸着薄膜自身の伸びに対する強度等を増大させるとともに蒸着薄膜表面の耐クラック性を向上させることができ、これにより、従来の透明バリア性フィルムが有する印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加工等の後加工適性を著しく改良することができ、後加工時におけるクラック等の発生を防止し、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等において極めて優れているものである。
また、本発明にかかる透明バリア性フィルムは、その酸化アルミニウム蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加させてなること、すなわち、酸化アルミニウム蒸着薄膜中のアルミニウム元素の含有率を、その膜表面に向かって高くすることにより、蒸着薄膜表面の耐衝撃性が向上し、例えば、製造時にガイドロ−ル等に接触することにより、蒸着薄膜の表面にマイクロクラック等の発生を抑制することができ、これにより、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等の劣化を防止し得るものである。
更にまた、本発明にかかる透明バリア性フィルムは、その酸化アルミニウム蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比を増加させてなること、すなわち、酸化アルミニウム蒸着薄膜表面におけるアルミニウムの酸化度を小さくすること、逆に、酸化アルミニウム蒸着薄膜の表面に向かってアルミニウムの含有量を多くすることにより、蒸着薄膜の濡れ性等が向上し、例えば、後加工における例えば、印刷、ラミネ−ト等の適性（強度）等に優れ、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等の劣化を防止し得るものである。
【００１９】
上記のようにして製造した本発明にかかる透明バリア性フィルムは、例えば、樹脂のフィルム、紙基材、金属素材、合成紙、セロハン、その他等の包装用容器を構成する包装用素材等と任意に組み合わせて、例えば、ラミネ−トして種々の複合フィルムを製造し、種々の物品を充填包装するに適した包装材料を製造可能とするものである。
上記の樹脂のフィルムとしては、具体的には、例えば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、酸変性ポリオレフィン系樹脂、メチルペンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから任意に選択して使用することができる。
本発明において、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用することができる。
また、その厚さは、任意であるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用することができる。
更に、本発明においては、フィルムないしシ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。
また、上記において、紙基材としては、例えば、強サイズ性の晒または未晒の紙基材、あるいは純白ロ−ル紙、クラフト紙、板紙、加工紙等の紙基材、その他等を使用することができる。
上記において、紙層を構成する紙基材としては、坪量約８０〜６００ｇ／ｍ2 位のもの、好ましくは、坪量約１００〜４５０ｇ／ｍ2 位のものを使用することが望ましい。
また、上記にといて、金属素材としては、例えば、アルミニウム箔、あるいは、アルミニウム蒸着膜を有する樹脂のフィルム等を使用することができる。
【００２０】
次に、上記の本発明において、上記のような材料を使用して複合フィルムを製造する方法について説明すると、かかる方法としては、通常の包装材料をラミネ−トする方法、例えば、ウエットラミネ−ション法、ドライラミネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−ション法、押し出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し成形法、共押し出しラミネ−ション法、インフレ−ション法、共押し出しインフレ−ション法、その他等で行うことができる。
而して、本発明においては、上記の積層を行う際に、必要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン処理、フレ−ム処理、その他等の前処理をフィルムに施すことができ、また、例えば、ポリエステル系、イソシアネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポリブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティング剤、あるいはポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリエステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−ス系、その他等のラミネ−ト用接着剤等の公知のアンカ−コ−ト剤、接着剤等を使用することができる。
【００２１】
次に、本発明において、上記のような複合フィルムを使用して製袋ないし製函する方法について説明すると、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム等からなる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造した複合フィルムを使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ルしてシ−ル部を設けて袋体を構成することができる。
而して、その製袋方法としては、上記の複合フィルムを、その内層の面を対向させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合わせ、更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シ−ル型、二方シ−ル型、三方シ−ル型、四方シ−ル型、封筒貼りシ−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ−シ−ル型）、ひだ付シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ−ル型、その他等のヒ−トシ−ル形態によりヒ−トシ−ルして、本発明にかかる種々の形態の包装用容器を製造することができる。
その他、例えば、自立性包装袋（スタンディングパウチ）等も製造することが可能であり、更に、本発明においては、上記の複合フィルムを使用してチュ−ブ容器等も製造することができる。
上記において、ヒ−トシ−ルの方法としては、例えば、バ−シ−ル、回転ロ−ルシ−ル、ベルトシ−ル、インパルスシ−ル、高周波シ−ル、超音波シ−ル等の公知の方法で行うことができる。
なお、本発明においては、上記のような包装用容器には、例えば、ワンピ−スタイプ、ツウ−ピ−スタイプ、その他等の注出口、あるいは開閉用ジッパ−等を任意に取り付けることができる。
【００２２】
次にまた、包装用容器として、紙基材を含む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層材として、紙基材を積層した複合フィルムを製造し、これから所望の紙容器を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブランク板を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例えば、ブリックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベルトップタイプの液体用紙容器等を製造することができる。また、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等のいずれのものでも製造することができる。
【００２３】
本発明において、上記のようにして製造した包装用容器は、透明性、酸素、水蒸気等に対するガスバリア性、耐衝撃性等に優れ、更に、ラミネ−ト加工、印刷加工、製袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、また、バリア性膜としての蒸着薄膜の剥離を防止し、かつ、その熱的クラックの発生を阻止し、その劣化を防止して、バリア性膜として優れた耐性を発揮し、例えば、飲食品、医薬品、洗剤、シャンプ−、オイル、歯磨き、接着剤、粘着剤等の化学品ないし化粧品、その他等の種々の物品の充填包装適性、保存適性等に優れているものである。
上記の本発明について以下に実施例を挙げて更に具体的に説明する。
【実施例１】
【００２４】
厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り式真空蒸着装置（前述の図１参照）に装着し、他方、蒸着材料である金属アルミニウムをセラミック製るつぼに充填した後、コ−ティングチャンバ−内の真空度を６×１０-5Ｔｏｒｒまで排気した。
次に、電子銃から電子ビ−ムを発生させ、これを金属アルミニウムの表面に照射して、その表面を加熱した。
上記において、電子ビ−ムの照射位置は、酸素ガス供給口から金属アルミニウム表面に下ろした垂線と金属アルミニウムの表面との交点から電子銃と反対方向に約５ｃｍ位の所となるにうにプログラムで設定した（前述の図４参照）。
次いで、金属アルミニウムの蒸発が始まったと同時に２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの走行を開始し、走行速度１０ｍ／ｓになったところでガスパイプから酸素ガスを供給した。
上記の酸素ガスの供給量は、チャンバ−内の真空度と蒸着フィルムの紫外線透過率のモニタ−を見ながら調整し、最終的には、真空度２×１０-4Ｔｏｒｒとし、紫外線透過率９５％（２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを１００％に換算）の条件で蒸着を行った。
その結果、膜厚、２２０Å、全光線透過率、９３％の透明酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造した。
【実施例２】
【００２５】
厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り式真空蒸着装置（前述の図１参照）に装着し、他方、蒸着材料である金属アルミニウムをセラミック製るつぼに充填した後、コ−ティングチャンバ−内の真空度を６×１０-5Ｔｏｒｒまで排気した。
次に、電子銃から電子ビ−ムを発生させ、これを金属アルミニウムの表面に照射して、その表面を加熱した。
上記において、電子ビ−ムの照射位置は、酸素ガス供給口から金属アルミニウム表面に下ろした垂線と金属アルミニウムの表面との交点から電子銃と反対方向に約８ｃｍ位の所となるにうにプログラムで設定した（前述の図４参照）。
次いで、金属アルミニウムの蒸発が始まったと同時に２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの走行を開始し、走行速度１０ｍ／ｓになったところでガスパイプから酸素ガスを供給した。
上記の酸素ガスの供給量は、チャンバ−内の真空度と蒸着フィルムの紫外線透過率のモニタ−を見ながら調整し、最終的には、真空度２×１０-4Ｔｏｒｒとし、紫外線透過率９６％（２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを１００％に換算）の条件で蒸着を行った。
その結果、膜厚、２２０Å、全光線透過率、９４％の透明酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造した。
【００２６】
（比較例１）
厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り式真空蒸着装置（前述の図１参照）に装着し、他方、蒸着材料である金属アルミニウムをセラミック製るつぼに充填した後、コ−ティングチャンバ−内の真空度を６×１０-5Ｔｏｒｒまで排気した。
次に、電子銃から電子ビ−ムを発生させ、これを金属アルミニウムの表面に照射して、その表面を加熱した。
上記において、電子ビ−ムの照射位置は、酸素ガス供給口から金属アルミニウム表面に下ろした垂線と金属アルミニウムの表面との交点の所となるにうにプログラムで設定した（前述の図２参照）。
次いで、金属アルミニウムの蒸発が始まったと同時に２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの走行を開始し、走行速度１０ｍ／ｓになったところでガスパイプから酸素ガスを供給した。
上記の酸素ガスの供給量は、チャンバ−内の真空度と蒸着フィルムの紫外線透過率のモニタ−を見ながら調整し、最終的には、真空度２×１０-4Ｔｏｒｒとし、紫外線透過率９５％（２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを１００％に換算）の条件で蒸着を行った。
その結果、膜厚、２２０Å、全光線透過率、９３％の透明酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造した。
【００２７】
（比較例２）
厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを巻き取り式真空蒸着装置（前述の図１参照）に装着し、他方、蒸着材料である金属アルミニウムをセラミック製るつぼに充填した後、コ−ティングチャンバ−内の真空度を６×１０-5Ｔｏｒｒまで排気した。
次に、電子銃から電子ビ−ムを発生させ、これを金属アルミニウムの表面に照射して、その表面を加熱した。
上記において、電子ビ−ムの照射位置は、酸素ガス供給口から金属アルミニウム表面に下ろした垂線と金属アルミニウムの表面との交点から電子銃方向に約５ｃｍ位の所となるにうにプログラムで設定した（前述の図３参照）。
次いで、金属アルミニウムの蒸発が始まったと同時に２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの走行を開始し、走行速度１０ｍ／ｓになったところでガスパイプから酸素ガスを供給した。
上記の酸素ガスの供給量は、チャンバ−内の真空度と蒸着フィルムの紫外線透過率のモニタ−を見ながら調整し、最終的には、真空度２×１０-4Ｔｏｒｒとし、紫外線透過率９６％（２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを１００％に換算）の条件で蒸着を行った。
その結果、膜厚、２２０Å、全光線透過率、９４％の透明酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造した。
【００２８】
（実験例）
上記の実施例１〜２、および、比較例１〜２で製造した各透明酸化アルミニウム蒸着フィルムについて、下記のデ−タを測定した。
（１）．ガスバリア性評価
これは、上記の実施例１〜２、および、比較例１〜２で製造した各透明酸化アルミニウム蒸着フィルムについて、その酸素透過度と水蒸気透過度を測定することにより評価した。
なお、酸素透過度は、温度２５℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸ−ＴＲＡＮ）２／２０〕にて測定した。  また、水蒸気透過度は、温度３７．８℃、湿度１００％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）３／３１〕にて測定した。
（２）．透明性評価
これは、上記の実施例１〜２、および、比較例１〜２で製造した各透明酸化アルミニウム蒸着フィルムについて、ＪＩＳ  Ｋ−７６１３の方法により全光線透過率を測定して、その透明性を評価した。
（３）．ラミネ−ト適性評価
これは、上記の実施例１〜２、および、比較例１〜２で製造した各透明酸化アルミニウム蒸着フィルムと厚さ２５μｍの無延伸ポリプロピレンフィルムを２液硬化型ポリウレタン系接着剤を用いてドライラミネ−トし、次いで、２４時間エ−ジング処理して複合フィルムを製造し、これにより製造した複合フィルムについて、その酸素透過度、水蒸気透過度、および、ラミネ−ト強度とを測定することにより評価した。
上記において、ドライラミネ−トは、酸化アマミニウム蒸着薄膜面に、上記の接着剤を塗工量４ｇ／ｍ2 位に塗工して接着剤層を形成し、その接着剤層面に無延伸ポリプロピレンフィルムをドライラミネ−トした。
なお、上記の酸素透過度と水蒸気透過度の測定は、前述と同様にして測定し、また、ラミネ−ト強度は、１５ｍｍ幅の短冊状にカットしたサンプルを引っ張り試験機（株式会社オリエンテック製の引っ張り試験機）に固定し、２００ｍｍ／ｍｉｎの引っ張り速度で１８０°剥離による方法で測定した。
（４）．ゲルボ適性評価
これは、上記の実施例１〜２、および、比較例１〜２で製造した各透明酸化アルミニウム蒸着フィルムについて、ＭＩＬ−Ｂ１３１Ｈ規格に準じて、ゲルボフレックステスタ−を用いて２５℃、５０％ＲＨの条件下で行って、その酸素透過度と水蒸気透過度を測定することにより評価した。なお、上記の酸素透過度と水蒸気透過度の測定は、前述と同様にして測定した。
上記の評価結果について、下記の表１に示す。
【００２９】
（表１）
┌────┬──────────────┬──────────────┐        │        │        酸素透過度          │      水蒸気透過度          │        │        ├───────┬──────┼───────┬──────┤        │        │酸化アルミニウ│複合フィルム│酸化アルミニウ│複合フィルム│        │        │ム蒸着フィルム│            │ム蒸着フィルム│            │        ├────┼───────┼──────┼───────┼──────┤        │実施例１│    １．５    │  ０．８    │    １．３    │  ０．９    │        ├────┼───────┼──────┼───────┼──────┤        │実施例２│    １．７    │  １．０    │    １．８    │  １．１    │        ├────┼───────┼──────┼───────┼──────┤        │比較例１│    ２．０    │  １．６    │    ５．３    │  ３．８    │        ├────┼───────┼──────┼───────┼──────┤        │比較例２│    ２．５    │１１．５    │    ６．８    │１３．０    │        └────┴───────┴──────┴───────┴──────┘        
┌────┬──────────┬─────────────────┐          │        │                    │  ゲルボ５０回後のガスバリア性    │          │        │ラミネ−ト強度      ├───────┬─────────┤          │        │（ｇｆ／１５ｍｍ巾）│  酸素透過度  │  水蒸気透過度    │          ├────┼──────────┼───────┼─────────┤          │実施例１│    ４３０          │    １．５    │      １．１      │          ├────┼──────────┼───────┼─────────┤          │実施例２│    ４１０          │    ２．０    │      １．５      │          ├────┼──────────┼───────┼─────────┤          │比較例１│    ３５０          │    ５．９    │      ８．１      │          ├────┼──────────┼───────┼─────────┤          │比較例２│    ２８０          │  ２５．０    │    １７．０      │          └────┴──────────┴───────┴─────────┘            上記の表１において、酸素透過度は、ｃｃ／ｍ2 ／ｄａｙの単位であり、また、水蒸気透過度は、ｇ／ｍ2 ／ｄａｙの単位である。
【００３０】
上記の結果より明らかなように、実施例１〜２のものは、比較例１／３のものより優れた特性を有することが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、透明性を有する高分子フィルムの少なくとも一方の片面に、電子ビ−ム式物理気相成長法を用いて、酸化アルミニウムの蒸着薄膜を設ける際に、該酸化アルミニウムの蒸着薄膜が、その膜厚の表面に向かって、その蒸着膜を構成するアルミニウム元素：酸素元素の含有比（アルミニウム元素含有量／酸素元素含有量）を増加させて、すなわち、酸化アルミニウムの蒸着薄膜中のアルミニウム元素含有率を、その膜厚の表面に向かって高くしてなる酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成して透明バリア性フィルムを製造して、酸化アルミニウムの蒸着薄膜自身の伸びに対する強度が増大し、また、その蒸着薄膜表面の耐衝撃性、濡れ性等が向上し、例えば、印刷加工、ラミネ−ト加工、製袋加工等の後加工適性に優れて、それらの加工時に酸化アルミニウムの蒸着薄膜にクラック等が発生することを防止し、これにより、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れていると共にその透明性にも優れ、かつ、低コストで製造可能であり、例えば、飲食品、医薬品、電子部品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包装に適する包装用材料を構成する透明バリア性フィルムとして有用なものである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置の構成の概要を示す概略的構成図である。
【図２】上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置において、電子ビ−ムの照射位置が、酸素ガス供給口の真下にある場合の構成の概要を示す概略的構成図である。
【図３】上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置において、電子ビ−ムの照射位置が、酸素ガス供給口より電子銃側にある場合の構成の概要を示す概略的構成図である。
【図４】上記の図１に示す電子ビ−ム方式による酸化アルミニウム蒸着薄膜を製造する巻き取り式真空蒸着装置において、電子ビ−ムの照射位置が、酸素ガス供給口より電子銃に対して奥側にある場合の構成の概要を示す概略的構成図である。
【図５】上記の図２より得た透明バリア性フィルムについて測定した結果を示すグラフである。
【図６】上記の図３より得た透明バリア性フィルムについて測定した結果を示すグラフである。
【図７】上記の図４より得た透明バリア性フィルムについて測定した結果を示すグラフである。
【図８】本発明にかかる透明バリア性フィルムの層構成を示す概略的断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１    巻き取り式真空蒸着装置
２    真空チャンバ−
３    巻き出しロ−ル
４    透明性を有する高分子フィルム
５    ガイドロ−ル
５´  ガイドロ−ル
６    コ−ティングドラム
７    蒸着チャンバ−
８    るつぼ
９    アルミニウム
１０  アルミニウム９の表面
１１  電子銃
１２  電子ビ−ム
１３  酸素ガスボンベ
１４  ガスパイプ
１５  酸素ガス供給口
１６  コ−ティングゾ−ン
１７  マスク
１８  巻き取りロ−ル
Ｌ1 、Ｌ2 、Ｌ3   点線
Ｐ1   電子ビ−ム１２の照射位置
Ｐ2   酸素ガス供給口１５の位置
２１  酸化アルミニウム蒸着薄膜
Ａ    透明バリア性フィルム
【図１】
2008121122.tif 000003
【図２】
2008121122.tif 000004
【図３】
2008121122.tif 000005
【図４】
2008121122.tif 000006
【図５】
2008121122.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
2008121122.tif 000010