(57)【要約】【課題】液滴吐出方法において、混色を低減させるとともに、効率的に配置することが可能な液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出による材料の配置方法は、液状材料Ｍを液滴８として吐出し、基板１２上に配置する液滴吐出による材料の配置方法であって、基板１２は、第１の領域部７ａと、第１の領域部７ａより面積の広い第２の領域部７ｂとを備えているとともに、第１の領域部７ａを複数備えた第１の着色領域群７Ａと、第２の領域部７ｂを複数備えた第２の着色領域群７Ｂと、を有しており、第１の着色領域群７Ａのうち少なくとも一つの第１の領域部７ａに液状材料Ｍを配置する工程と、第２の着色領域群７Ｂのうち少なくとも一つの第２の領域部７ｂに液状材料Ｍを配置する工程とを、備え、第１の領域部７ａ及び第２の領域部７ｂに交互に液状材料Ｍを液滴８として吐出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状材料を吐出し、基板上に配置する液状材料の配置方法であって、
前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、
前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程と、
前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程とを、備え、
前記第１の領域部及び前記第２の領域部に交互に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液状材料の配置方法において、
前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記第１の領域部の位置に対して離間する位置に配置された前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液状材料の配置方法において、
前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記第１の領域部に前記液状材料を配置した後に、時間を経過させてから、前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液状材料の配置方法において、
前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程及び前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、
前記液状材料を略同時に吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。
【請求項５】
液状材料を吐出し、基板上に配置し、前記液状材料を乾燥することにより膜パターンを有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、
前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、
前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部と、前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部とを交互に選択して前記液状材料を配置することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項６】
基板上に液状材料を吐出する吐出ヘッドであって、
前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部と、を備えており、
前記第１の領域部と、前記第２の領域部とを交互に選択して前記液状材料を吐出するときに、前記液状材料が吐出される順番に対応してノズルが配置されていることを特徴とする吐出ヘッド。
【請求項７】
基板上に液状材料を吐出する吐出装置であって、
請求項６に記載の吐出ヘッドを搭載していることを特徴とする吐出装置。
【請求項８】
吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、
前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、
前記領域部毎に前記液状材料を配置する際、少なくとも隣接する前記領域部をあけて前記液状材料を配置することを特徴とする液状材料の配置方法。
【請求項９】
複数のノズル列より吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、
前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、
各領域部は、各領域部に隣接する領域部に対して前記液状材料を吐出するノズル列とは異なるノズル列から前記液状材料を吐出することを特徴とする液状材料の配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び吐出ヘッド、並びに吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、各種の表示装置（電気光学装置）においては、カラー表示を可能にするためにカラーフィルタが設けられている。このカラーフィルタは、例えば、ガラスやプラスチックなどで構成された基板上に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色のドット状のフィルタエレメントを、いわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などといった所定の配列パターンで配列させたものがある。
【０００３】
例えば特許文献１に開示されているように、表示装置のその他の例としては、例えば配置される色要素の数を増やして、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（黄）、Ｃ（シアン）の６色の色要素を配置した６色配置があった。このような６色配置のカラーフィルタは、色要素の数を増やすことによって、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）３色の色要素を配置した３色配置に比べてきめの細かい色表現を再現することが実現可能になる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−６２８３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記カラーフィルタの製造方法において、複数種類の液状材料（インク）をそれぞれの液状材料（インク）に対応した複数の領域に吐出して形成することも可能である。しかし、色要素が多くなると使用する液状材料（インク）の種類が多くなるため、混色を発生させる機会も増える。
【０００６】
本発明の目的は、液滴吐出方法において、混色を低減させるとともに、効率的に配置することが可能な液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び液滴吐出ヘッド、並びに液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液状材料の配置方法は、液状材料を吐出し、基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程と、前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程とを、備え、前記第１の領域部及び前記第２の領域部に交互に前記液状材料を吐出することを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、第１の領域部と、第１の領域部より面積の広い第２の領域部とに液状材料を交互に配置するから、液状材料が隔壁を乗り越えて隣接する領域部に、はみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
【０００９】
本発明の液状材料の配置方法は、前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、前記第１の領域部の位置に対して離間する位置に配置された前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することが望ましい。
【００１０】
この発明によれば、液状材料を配置するときに、先に選択した第１の領域部と、この第１の領域部の後に選択した第２の領域部とが、離間するように選択するから、液状材料が隔壁を乗り越えて隣接する領域部に、よりはみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
【００１１】
本発明の液状材料の配置方法は、前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、前記第１の領域部に前記液状材料を配置した後に、時間を経過させてから、前記第２の領域部に前記液状材料を吐出することが望ましい。
【００１２】
この発明によれば、液状材料を配置するときに、第１の領域部と、第２の領域部とで、時間をずらして液状材料を配置するから、第１の領域部と、第２の領域部とでは、液状材料に含まれる溶媒成分の蒸発時間に差が生じるので、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができる。
【００１３】
本発明の液状材料の配置方法は、前記第１の領域部に前記液状材料を配置する工程及び前記第２の領域部に前記液状材料を配置する工程では、前記液状材料を略同時に吐出することが望ましい。
【００１４】
この発明によれば、第１の着色領域群及び第２の着色領域群に液状材料を略同時に配置するから、１回の走査で多色の液状材料を配置することができるので、効率的である。
【００１５】
本発明のカラーフィルタ基板の製造方法は、液状材料を吐出し、基板上に配置し、前記液状材料を乾燥することにより膜パターンを有するカラーフィルタ基板の製造方法であって、前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部とを備えているとともに、前記第１の領域部を複数備えた第１の着色領域群と、前記第２の領域部を複数備えた第２の着色領域群と、を有しており、前記第１の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第１の領域部と、前記第２の着色領域群のうち少なくとも一つの前記第２の領域部とを交互に選択して前記液状材料を配置することを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、第１の領域部と第２の領域部とを交互に選択して液状材料を配置すると、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができ、使用する液状材料が多色であっても高品質で、高精度なカラーフィルタ基板を提供できる。
【００１７】
本発明の吐出ヘッドは、基板上に液状材料を吐出する吐出ヘッドであって、前記基板は、第１の領域部と、前記第１の領域部とは異なる面積の第２の領域部と、を備えており、前記第１の領域部と、前記第２の領域部とを交互に選択して前記液状材料を吐出するときに、前記液状材料が吐出される順番に対応してノズルが配置されていることを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、液状材料が吐出される順番に対応してノズルが配置されているから、多色の液状材料を１回の走査で配置することができるので、生産効率の高い吐出ヘッドを提供できる。
【００１９】
本発明の吐出装置は、基板上に液状材料を吐出する吐出装置であって、前述に記載の吐出ヘッドを搭載していることを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、液状材料を効率的に配置できる吐出ヘッドを搭載しているので、生産性を向上することが可能な吐出装置を提供できる。
また、本発明の液状材料の配置方法は、吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、前記領域部毎に前記液状材料を配置する際、少なくとも隣接する前記領域部をあけて前記液状材料を配置することを特徴とする。
この発明によれば、隣接する領域部には連続して液状材料が配置されず、時間差をもって液状材料が配置されるため、先に配置された液状材料に含まれる溶媒成分が蒸発することで、隣接する領域部に後から配置された液状材料と混ざることが低減される。
さらに、本発明の液状材料の配置方法は、複数のノズル列より吐出した液状材料を基板上に配置する液状材料の配置方法であって、前記基板に形成された複数の領域部に前記液状材料を配置する工程を有し、各領域部は、各領域部に隣接する領域部に対して前記液状材料を吐出するノズル列とは異なるノズル列から前記液状材料を吐出することを特徴とする。
この発明によれば、異なるノズル列から液状材料を吐出することにより、吐出のタイミングに時間差が生じ、隣接する領域部どうしでは液状材料を配置する時に時間差ができるため、先に配置された液状材料に含まれる溶媒成分が蒸発することで、隣接する領域部に後から配置された液状材料と混ざることが低減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の液状材料の配置方法、表示装置の製造方法、及び吐出ヘッド、並びに吐出装置について実施形態を挙げ、添付図面に沿って詳細に説明する。ここで、本発明の特徴的な構成及び方法について説明する前に、まず、吐出方法で用いられる基板、吐出方法、について説明する。
＜基板について＞
【００２２】
液状材料の配置方法で使用される基板としては、ガラス、石英ガラス、プラスチックなど各種のものを用いることができる。
＜液滴吐出法について＞
【００２３】
液状材料の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。ここで、帯電制御方式は、液状材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で液状材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、液状材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加してノズル先端側に液状材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には液状材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると液状材料間に静電的な反発が起こり、液状材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００２４】
また、電気熱変換方式は、液状材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、液状材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の液状材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、液状材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルにメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから液状材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。なお、液滴吐出法により吐出される液状材料の一滴の量は例えば１ピコリットル〜３００ピコリットルである。
【００２５】
（実施形態）
＜カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板＞
図１は、カラーフィルタ基板の製造工程を示す図（ａ）〜（ｌ）である。（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）は、平面図であり、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）は、各平面図のＡ−Ａ線に沿って切断した断面図である。図２は、カラーフィルタ基板の製造工程の手順を示す概略フローチャートである。図３は、カラーフィルタ基板の模式図である。
【００２６】
図２に示すステップＳ１では、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、透光性を有するガラスやプラスチック等で構成された基板１２の表面上に、スピンコーティング（回転塗布）、流延塗布、ロール塗布などの種々の方法によって放射線感応性素材６Ａを塗布する。この放射線感応性素材６Ａとしては、樹脂組成物であることが好ましい。塗布後における上記放射線感応性素材６Ａの厚さは、通常０．１μｍ〜１０μｍであり、好ましくは０．５μｍ〜３．０μｍである。
【００２７】
この樹脂組成物は、例えば、（ｉ）バインダー樹脂、多官能性単量体、光重合開始剤等を含有する、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物や、（ｉｉ）バインダー樹脂、放射線の照射により酸を発生する化合物、放射線の照射により発生した酸の作用により架橋し得る架橋性化合物等を含有する、放射線の照射により硬化する放射線感応性樹脂組成物などを用いることができる。これらの樹脂組成物は、通常、その使用に際して溶媒を混合して液状組成物として調製されるが、この溶媒は、高沸点溶媒でも低沸点溶媒でもよい。放射線感応性素材６Ａとしては、（ａ）ヘキサフルオロプロピレンと不飽和カルボン酸（無水物）と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体、（ｂ）放射線の照射により酸を発生する化合物、（ｃ）放射線の照射により発生した酸の作用により架橋しうる架橋性化合物、（ｄ）前記（ａ）成分以外の含フッ素有機化合物、並びに、（ｅ）前記（ａ）〜（ｄ）成分を溶解しうる溶媒、を含有する組成物であることが好ましい。
【００２８】
次に、図２のステップＳ２では、放射線感応性素材６Ａに所定のパターンマスクを介して放射線を照射（露光）する。なお、放射線とは、可視光、紫外線、Ｘ線、電子線などが含まれるが、波長が１９０ｎｍ〜４５０ｎｍの範囲にある放射線（光）が好ましい。
【００２９】
次に、図２のステップＳ３では、図１（ｃ）、（ｄ）に示すように、放射線感応性素材６Ａを現像することによって、隔壁（バンク）６Ｂを形成する。この隔壁６Ｂは、上記パターンマスクに対応した形状（ネガパターン又はポジパターン）に構成される。隔壁６Ｂの形状としては、例えば、方形状の領域７を平面上において縦横に配列させることのできるように画成する格子状であることが好ましい。なお、放射線感応性素材６Ａを現像するのに用いられる現像液としては、アルカリ現像液が用いられる。このアルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、硅素ナトリウム、メタ硅素ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。このアルカリ現像液には、例えば、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤等を適量添加することもできる。また、アルカリ現像液による現像後は、通常、水洗が行われる。
【００３０】
次に、図２のステップＳ４では、図１（ｅ）、（ｆ）に示すように、上記隔壁６Ｂは、例えば２００℃程度にてベーク（焼成）して隔壁６Ｃとなる。この焼成温度は、上記の放射線感応性素材６Ａに応じて適宜調整される。また、ベーク処理を要しない場合もあり得る。なお、本実施形態では、隔壁６Ｃは遮光性の素材で構成されているために、各領域７を画成する（区画する）文字通りの隔壁としての機能と、領域７以外の部分を遮光する遮光層としての機能とを併せ持つものとなっている。もっとも、隔壁としての機能のみを有するように構成しても構わない。この場合、隔壁とは別に、金属等で構成される遮光層を別途形成してもよい。
【００３１】
次に、図２のステップＳ５では、図１（ｇ）、（ｈ）に示すように隔壁６Ｃによって画成される領域７にフィルタエレメント材料１３を導入する。領域７は、同図に示すように、第１の領域部７ａと、第１の領域部７ａより面積の広い第２の領域部７ｂとが、ある。また、第１の領域部７ａを複数（この場合３個）備えた第１の着色領域群７Ａと、第２の領域部７ｂを複数（この場合３個）備えた第２の着色領域群７Ｂとが、ある。そこで、着色材（顔料、染料など）を混入したフィルタエレメント材料１３を各領域７に導入する方法としては、フィルタエレメント材料１３を、溶媒などと混合することによって機能液としての液状材料Ｍに形成し、後述する液滴吐出ヘッド２２（図４、図５参照）を用いてこの液状材料Ｍを各領域７に導入する。
【００３２】
フィルタエレメント材料１３を各領域７に導入する順番としては、例えば、第１の着色領域群７Ａに有する第１の領域部７ａの一つにフィルタエレメント材料１３Ｙ（黄の着色材）を導入し、次に、第２の着色領域群７Ｂに有する第２の領域部７ｂの一つにフィルタエレメント材料１３Ｒ（赤の着色材）を導入する。次に、第１の領域部７ａの一つにフィルタエレメント材料１３Ｍ（マゼンダの着色材）を導入し、次に、第２の領域部７ｂの一つにフィルタエレメント材料１３Ｂ（青の着色材）を導入する。さらに、第１の領域部７ａの一つにフィルタエレメント材料１３Ｃ（シアンの着色材）を導入し、次に、第２の領域部７ｂの一つにフィルタエレメント材料１３Ｇ（緑の着色材）を導入する。このようにすれば、液滴８を配置するときに着弾させる位置が離れているので、液滴８が隔壁６Ｃを乗り越えて生じるような混色を低減させることができる。順番はこれに限定されるものではなく、液状材料としたフィルタエレメント材料を吐出する際、ある着色領域からみて走査方向（装置構成等については後述）および走査方向と交わる方向に並ぶ着色領域に異なるフィルタエレメント材料が配置される時には、導入する順番が連続しないようにすればどのような順番でも構わない。なお、基板１２上へのフィルタエレメント材料１３（１３Ｙ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ）の配置は、１回の走査によって実行される。複数回の走査で実行することも可能であるが、時間的な効率からしても１回の走査で実行される方が好ましい。
【００３３】
次に、図２のステップＳ６では、図１（ｉ）、（ｊ）に示すように、上記のフィルタエレメント材料１３（図１の例では１３Ｙ（黄の着色材）、１３Ｒ（赤の着色材）、１３Ｍ（マゼンダの着色材）、１３Ｂ（青の着色材）、１３Ｃ（シアンの着色材）、１３Ｇ（緑の着色材））を、減圧、加熱などによる乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、フィルタエレメント材料１３を仮固化若しくは仮硬化する。そして、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を形成する。
【００３４】
次に、図２のステップＳ７では、上記のようにして形成されたカラーフィルタを検査する。この検査は、例えば、肉眼若しくは顕微鏡等で、上記隔壁６Ｃ及び表示要素であるフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を観察する。この場合、カラーフィルタを撮影し、その撮影画像に基づいて自動的に検査を行っても構わない。この検査によって、表示要素であるフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）に欠陥が見つかった場合には、そのカラーフィルタを以下に説明する基体再生工程に移行させる。
【００３５】
ここで、フィルタエレメント３の欠陥とは、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が欠如している場合（いわゆるドット抜け）、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が形成されてはいるが、領域７内に配置されたフィルタエレメント材料１３の量（体積）が多すぎたり少なすぎたりして不適切である場合や、フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が形成されてはいるが、塵埃等の異物が混入していたり付着していたりする場合などである。
【００３６】
次に、図２のステップＳ８では、上記検査において欠陥が発見されなかった場合には、例えば２００℃程度の温度でベーク（焼成）処理を行い、カラーフィルタのフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を完全に固化若しくは硬化させる。欠陥が発見された場合は、除材される。このベーク処理の温度はフィルタエレメント材料１３（１３Ｙ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ）の組成等によって適宜に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。そして、カラーフィルタは、そのフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）が、フィルタエレメント３Ｙ、フィルタエレメント３Ｒ、フィルタエレメント３Ｍ、フィルタエレメント３Ｂ、フィルタエレメント３Ｃ、フィルタエレメント３Ｇの順番で形成されている。
【００３７】
最後に、図１（ｋ）、（ｌ）に示すように、上記フィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）の上に透明な保護層１４を形成する。そして、カラーフィルタ基板ＣＦが完成する。
【００３８】
次に、以上説明したカラーフィルタ基板の製造工程において形成されたカラーフィルタ基板について説明する。
【００３９】
図３に示すように、カラーフィルタ基板ＣＦは、６色のフィルタエレメント３（３Ｙ（黄）、３Ｒ（赤）、３Ｍ（マゼンダ）、３Ｂ（青）、３Ｃ（シアン）、３Ｇ（緑））を備えている。このフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）は、基板１２の上に形成されている。カラーフィルタ基板ＣＦが、本実施形態における製造方法で製造されているから、混色を低減させることが実現可能となり、高品質で、高精度なカラーフィルタ基板を提供できる。
【００４０】
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、上記の実施形態に用いることのできる液滴吐出ヘッドの構成について説明する。
【００４１】
図４は、液滴吐出ヘッドを示す図である。（ａ）は、概略斜視図である。（ｂ）は、ノズルの配列を示す模式図である。
【００４２】
図４（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、複数のノズル２７が配列されてなるノズル列２８を有する。同図に示す基準方向Ｓは液滴吐出ヘッド２２の標準の走査方向を示し、配列方向Ｔはノズル列２８におけるノズル２７の配列方向を示す。同図に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、ノズル列２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）を備えている。これらのノズル列２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）は、ノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）を備えている。そして、ノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）は、６色（Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（黄）、Ｃ（シアン））の液状材料Ｍ（図５参照）を略同時に吐出することができる。
【００４３】
図４（ｂ）に示すように、ノズル列２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）において、ノズル２７の数は例えば一列当たり１８０個であり、ノズル２７の孔径は例えば２８μｍであり、ノズル２７のピッチは例えば１４１μｍである。
【００４４】
図５は、液滴吐出ヘッドの主要部を部分的に示す図である。（ａ）は、概略斜視図であり、（ｂ）は、概略断面図である。
【００４５】
図５（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド２２は、ステンレス等で構成されるノズルプレート２９と、これに対向する振動板３１と、これらを互いに接合する複数の仕切り部材３２とを有する。このノズルプレート２９と振動板３１との間には、仕切り部材３２によって複数の材料室３３と液溜り３４とが形成される。これらの材料室３３と液溜り３４とは通路３８を介して互いに連通している。
【００４６】
振動板３１には材料供給孔３６が形成されている。この材料供給孔３６には材料供給装置３７が接続される。この材料供給装置３７は、液状材料Ｍを材料供給孔３６へ供給する。このように供給された材料Ｍは、液溜り３４に充満し、さらに通路３８を通って材料室３３に充満する。
【００４７】
図５（ｂ）に示すように、ノズルプレート２９には、材料室３３から液状材料Ｍを噴出するためのノズル２７が設けられている。また、振動板３１の材料室３３に臨む面の裏面には、この材料室３３に対応させて材料加圧体３９が取り付けられている。この材料加圧体３９は、圧電素子４１並びにこれを挟持する対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより材料室３３の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する液状材料Ｍが液溜り３４から通路３８を通って材料室３３へ流入する。
【００４８】
その後、圧電素子４１への通電を解除すると、この圧電素子４１と振動板３１とは共に元の形状に戻り、これにより、材料室３３も元の容積に戻るため、材料室３３の内部にある液状材料Ｍの圧力が上昇し、ノズル２７から液状材料Ｍが液滴８となって噴出する。なお、ノズル２７の周辺部には、液滴８の飛行曲りやノズル２７の孔詰まりなどを防止するために、例えば、Ｎｉ−テトラフルオロエチレン共析メッキ層からなる撥材料層４３が設けられる。
【００４９】
＜液滴吐出装置の構成＞
次に、上記の実施形態に用いることのできる液滴吐出装置の構成について説明する。
【００５０】
図６は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図である。図７は、液滴吐出装置の主要部を部分的に示す部分斜視図である。
【００５１】
図６に示すように、液滴吐出装置ＩＪは、前述にて説明した液滴吐出ヘッド２２を備えたヘッドユニット２６と、液滴吐出ヘッド２２の位置を制御するヘッド位置制御装置１７と、基板１２の位置を制御する基板位置制御装置１８と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して走査方向Ｘに走査移動させる走査駆動手段としての走査駆動装置１９と、液滴吐出ヘッド２２を基板１２に対して走査方向と交差（直交）するＹ方向に送る送り駆動装置２１と、基板１２を液滴吐出装置ＩＪ内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置２３と、液滴吐出装置ＩＪの全般の制御を司るコントロール装置２４とを有する。
【００５２】
上記のヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１の各装置は、ベース９の上に設置される。また、これらの各装置は、必要に応じてカバー１５によって覆われる。
【００５３】
基板供給装置２３は、基板１２を収容する基板収容部５７と、基板１２を搬送するロボットなどの基板移載機構５８とを有する。基板移載機構５８は、基台５９と、基台５９に対して昇降移動する昇降軸６１と、昇降軸６１を中心として回転する第１アーム６２と、第１アーム６２に対して回転する第２アーム６３と、第２アーム６３の先端下面に設けられた吸着パッド６４とを有する。この吸着パッド６４は空気吸引（真空吸着）などによって基板１２を吸着保持することができるように構成されている。
【００５４】
また、液滴吐出ヘッド２２の走査軌跡下であって、送り駆動装置２１の一方の脇位置に、キャッピング装置７６及びクリーニング装置７７が配設されている。さらに、送り駆動装置２１の他方の脇位置には電子天秤７８が設置されている。ここで、キャッピング装置７６は液滴吐出ヘッド２２が待機状態にあるときにノズル２７（図４参照）の乾燥を防止するための装置である。クリーニング装置７７は、液滴吐出ヘッド２２を洗浄するための装置である。電子天秤７８は、液滴吐出ヘッド２２内の個々のノズル２７（図４参照）から吐出される液滴８の重量をノズル２７（図４参照）毎、ノズル列２８毎、あるいは、液滴吐出ヘッド２２毎に測定する装置である。さらに、液滴吐出ヘッド２２の近傍には、液滴吐出ヘッド２２と一体に移動するヘッド用カメラ８１が取り付けられている。
【００５５】
また、コントロール装置２４は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部６６と、キーボード等の入力装置６７と、ＣＲＴ等の表示装置６８とを有する。コンピュータ本体部６６には、図８に示すＣＰＵ（中央処理ユニット）６９と、各種情報を記憶する情報記録媒体であるメモリ７１とを備えている。
【００５６】
次に、図７を参照して、液滴吐出ヘッド２２の周囲に配置されたヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、その他の手段について説明する。
【００５７】
図７に示すように、ヘッド位置制御装置１７は、ヘッドユニット２６に取り付けられた液滴吐出ヘッド２２を平面（水平面）内にて回転させるαモータ４４と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘと略直交する方向である送り方向Ｙと平行な軸線周りに揺動回転させるβモータ４６と、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘと平行な軸線周りに揺動回転させるγモータ４７と、液滴吐出ヘッド２２を上下方向へ平行移動させるＺモータ４８とを有する。
【００５８】
また、基板位置制御装置１８は、基板１２を載せるテーブル４９と、このテーブル４９を平面（水平面）内にて回転させるθモータ５１とを有する。また、走査駆動装置１９は、走査方向Ｘへ伸びるＸガイドレール５２と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＸスライダ５３とを有する。このＸスライダ５３は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｘガイドレール５２に沿って走査方向Ｘへ平行移動する。
【００５９】
さらに、送り駆動装置２１は、送り方向Ｙへ延びるＹガイドレール５４と、例えばパルス駆動されるリニアモータを内蔵したＹスライダ５６とを有する。Ｙスライダ５６は、例えば内蔵するリニアモータの稼動により、Ｙガイドレール５４に沿って送り方向Ｙへ平行移動する。
【００６０】
Ｘスライダ５３やＹスライダ５６内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精密に行うことができる。したがって、Ｘスライダ５３に支持された液滴吐出ヘッド２２の走査方向Ｘ上の位置やテーブル４９の送り方向Ｙ上の位置などを高精度に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド２２やテーブル４９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御やその他任意の方法によって実現することができる。
【００６１】
上記テーブル４９には、基板１２の平面位置を規制する位置決めピン５０ａ、５０ｂが設けられている。基板１２は、後述する基板供給装置２３によって位置決めピン５０ａ、５０ｂに走査方向Ｘ側及び送り方向Ｙ側の端面を当接させた状態で、位置決め保持される。テーブル４９には、このような位置決め状態で保持された基板１２を固定するための、例えば空気吸引（真空吸着）などの、公知の固定手段を設けることが望ましい。
【００６２】
図７に示すように、液滴吐出装置ＩＪにおいて、テーブル４９の上方に複数組（図示例では２組）の撮像装置９１Ｒ、９１Ｌ及び９２Ｒ、９２Ｌが配置されている。ここで、撮像装置９１Ｒ、９１Ｌ及び９２Ｒ、９２Ｌは、鏡筒のみを示し、他の部分及びその支持構造は省略してある。これらの観察手段である撮像装置としては、ＣＣＤカメラ等を用いることができる。なお、図６には、これらの撮像装置について図示を省略してある。
【００６３】
図８は、液滴吐出装置の制御系のブロック図である。
【００６４】
図８に示すように、ヘッド位置制御装置１７、基板位置制御装置１８、走査駆動装置１９、送り駆動装置２１、及び、液滴吐出ヘッド２２内の圧電素子４１（図５（ｂ）参照）を駆動するヘッド駆動回路７２の各機器は、入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。また、基板供給装置２３、入力装置６７、表示装置６８、キャッピング装置７６、クリーニング装置７７及び電子天秤７８も、上記と同様に入出力インターフェイス７３及びバス７４を介してＣＰＵ６９に接続されている。
【００６５】
メモリ７１は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）、ＭＤ（ＭｉｎｉＤｉｓｃ）、などのディスク型記録媒体で、これらを用いてデータを読み取る外部記憶装置などを含む概念である。機能的には、液滴吐出装置ＩＪの動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、基板１２内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図７に示す送り方向Ｙへの基板１２の送り移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ６９のためのワークエリアやテンポラリファイルなどとして機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。
【００６６】
ＣＰＵ６９は、情報記憶媒体であるメモリ７１内に記憶されたプログラムソフトに従って、基板１２の表面の所定位置に、液状材料Ｍを吐出するための制御を行うものである。具体的には、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部１５１、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部１５２、電子天秤７８を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部１５３、及び、液滴吐出によって液状材料Ｍを基板１２の表面上に着弾させ、所定のパターンにて描画するための描画演算部１５４を有する。
【００６７】
上記描画演算部１５４には、液滴吐出ヘッド２２を描画のための初期位置へ設置するための描画開始位置演算部１５５、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する走査制御演算部１５６、基板１２を送り方向Ｙへ所定の送り移動量だけずらすための制御を演算する送り制御演算部１５７、液滴吐出ヘッド２２内のノズル２７のうちのいずれを作動させて液状材料Ｍを吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部１５８などを有する。
【００６８】
なお、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いるプログラムソフトによって実現しているが、上述の各機能を、ＣＰＵ６９を用いない電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いても構わない。
【００６９】
次に、液滴吐出装置の動作を説明する。
【００７０】
図９は、液滴吐出装置ＩＪの動作を示すフローチャートである。
【００７１】
図９に示すように、オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置ＩＪ（図６、図７参照）が作動すると、ステップＳ３１では、初期設定が実現される。具体的には、図６に示すヘッドユニット２６や基板供給装置２３やコントロール装置２４などが予め決められた初期状態にセットされる。
【００７２】
次に、ステップＳ３２では、重量測定タイミングが到来する。
【００７３】
次に、ステップＳ３３では、図７に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によって、電子天秤７８の所まで移動させる。
【００７４】
次に、ステップＳ３４では、図５に示すノズル２７から吐出される液状材料Ｍの量を、図６に示す電子天秤７８を用いて測定する。
【００７５】
次に、ステップＳ３５では、このように測定されたノズル２７の吐出特性に合わせて、各ノズル２７の圧電素子４１（図５（ｂ）参照）に印加する電圧を調節する。
【００７６】
次に、ステップＳ３６では、クリーニングタイミングが到来する。
【００７７】
次に、ステップＳ３７では、図６に示すヘッドユニット２６を走査駆動装置１９によってクリーニング装置７７の所まで移動させる。
【００７８】
次に、ステップＳ３８では、図６に示すクリーニング装置７７によって液滴吐出ヘッド２２をクリーニングする。
【００７９】
次に、ステップＳ３９では、図６に示す基板供給装置２３を作動させて基板１２をテーブル４９へ供給する。なお、基板１２をテーブル４９へ供給するのは、重量測定タイミングやクリーニングタイミングが到来しない場合、或いは、重量測定やクリーニングが終了した場合に実行される。具体的には、基板収容部５７内の基板１２を吸着パッド６４によって吸着保持し、昇降軸６１、第１アーム６２及び第２アーム６３を移動させて基板１２をテーブル４９まで搬送し、さらにテーブル４９の適所に予め設けてある位置決めピン５０ａ、５０ｂ（図７参照）に押し付ける。
【００８０】
次に、ステップＳ４０では、図７に示すように、撮像装置９１Ｒ、９１Ｌによって基板１２を観察しながら、θモータ５１の出力軸を微小角度単位で回転させることにより、テーブル４９を平面（水平面）内にて回転させ、基板１２を位置決めする。より具体的には、基板１２の左右両端にそれぞれ形成されたアライメントマークを、図７に示す上記一対の撮像装置９１Ｒ、９１Ｌ又は９２Ｒ、９２Ｌによってそれぞれ撮影し、これらのアライメントマークの撮像位置によって基板１２の平面姿勢を演算して求め、この平面姿勢に応じてテーブル４９を回転させて角度θを調整する。
【００８１】
次に、ステップＳ４１では、図６に示すヘッド用カメラ８１によって基板１２を観察しながら、液滴吐出ヘッド２２によって描画を開始する位置を演算によって決定する。
【００８２】
次に、ステップＳ４２では、図６に示す走査駆動装置１９及び送り駆動装置２１を適宜に作動させて、液滴吐出ヘッド２２を描画開始位置へ移動させる。
【００８３】
このとき、液滴吐出ヘッド２２は、図４に示す基準方向Ｓが走査方向Ｘに合致した姿勢となるようにしてもよく、或いは、基準方向Ｓが所定角度で走査方向に対して傾斜する姿勢となるように構成してもよい。この所定角度は、ノズル２７のピッチと、基板１２の表面上において液状材料Ｍを着弾させるべき位置のピッチとが異なる場合が多く、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させるときに、配列方向Ｔに配列されたノズル２７のピッチの送り方向Ｙの寸法成分が基板１２の送り方向Ｙの着弾位置のピッチと幾何学的に等しくなるようにするための措置である。
【００８４】
次に、ステップＳ４３では、液滴吐出ヘッド２２が描画開始位置に置かれると、液滴吐出ヘッド２２は走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動される。この走査中において、液滴吐出ヘッド２２のノズル２７から吐出される液滴８が基板１２の表面上へ連続的に吐出される。
【００８５】
なお、液滴８の吐出量は、一度の走査によって図４に示す液滴吐出ヘッド２２がカバーすることのできる吐出範囲において全量が吐出されるように設定されており、液滴吐出ヘッド２２のノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）から６色の液状材料が略同時に吐出される。
【００８６】
次に、ステップＳ４４では、液滴吐出ヘッド２２は、基板１２に対する１ライン分の走査が終了する。
【００８７】
次に、ステップＳ４５では、液滴吐出ヘッド２２は、反転移動して初期位置へと復帰する。
【００８８】
次に、ステップＳ４６では、液滴吐出ヘッド２２は、送り方向Ｙに所定量（設定された送り移動量だけ）移動する。その度、ステップＳ１３で再び走査され、液状材料Ｍが吐出され、これ以降、上記の動作を繰り返し行って、複数ラインに亘って走査が行われる。ここで、１ライン分の走査が終了すると、そのまま送り方向Ｙに所定量移動し、反転して、逆向きに走査されるというように、交互に走査方向を反転させるように駆動してもよい。
【００８９】
次に、ステップＳ４７では、基板１２内のカラーフィルタ領域一列分について液状材料Ｍの吐出が完了する。
【００９０】
次に、ステップＳ４８では、ＣＦ（カラーフィルタ）全列終了していない場合、ステップＳ４９に処理が進み、次列ＣＦ域へ移動して、再びステップＳ４３〜ステップＳ４８までの動作を繰り返す。そして、最終的に基板１２上の全列のカラーフィルタ領域に対して液状材料Ｍの吐出が終了する。
【００９１】
次に、ステップＳ５０では、図６に示す基板供給装置２３又は別の搬出機構によって、処理後の基板１２が外部へ排出される。
【００９２】
次に、ステップＳ５１では、描画終了の指示を出す。
【００９３】
次に、ステップＳ５２では、図６におけるＣＰＵ６９は、液滴吐出ヘッド２２をキャッピング装置７６の所まで搬送し、そのキャッピング装置７６によって液滴吐出ヘッド２２に対してキャッピング処理を施す。
【００９４】
以上説明した液滴吐出装置ＩＪは、本発明に係る液滴吐出ヘッド２２を搭載しており、１回の走査で６色の液状材料Ｍをこの液滴吐出ヘッド２２から吐出することができるので、基板１２に対して液状材料Ｍの配置を効率的に実施できる。
【００９５】
以上のような実施形態では、次のような効果が得られる。
【００９６】
（１）第１の領域部と、第１の領域部より面積の広い第２の領域部とに液状材料Ｍを交互に配置するから、液滴８が隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する領域部７に、はみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
（２）液状材料Ｍを配置するときに、先に選択した第１の領域部と、この第１の領域部の後に選択した第２の領域部とが、離間するように選択するから、液滴８が隔壁６Ｃを乗り越えて隣接する領域部７に、よりはみ出しにくくなるので、混色を低減することができる。
（３）液状材料Ｍを配置するときに、第１の領域部と、第２の領域部とで、時間をずらして液滴８を配置するから、第１の領域部と、第２の領域部とでは、液状材料Ｍに含まれる溶媒成分の蒸発時間に差が生じるので、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができる。
（４）第１の着色領域群及び第２の着色領域群に液状材料Ｍを液滴８として略同時に配置するから、１回の走査で６色の液状材料Ｍを配置することができるので、効率的である。
（５）第１の領域部と第２の領域部とを交互に選択して液状材料Ｍを液滴８として配置すると、第１の領域部と、第２の領域部との混色を低減することができ、使用する液状材料Ｍが６色であっても高品質で、高精度なカラーフィルタ基板ＣＦを提供できる。
（６）液滴８が吐出される順番に対応してノズル２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）が液滴吐出ヘッド２２に配置されているから、６色の液状材料Ｍを一つの方向に１回の走査で配置することができるので、生産効率の高い液滴吐出ヘッド２２を提供できる。しかも、混色を低減することが可能になるから、描画品質が向上することを期待できる。
（７）液状材料Ｍを効率的に配置できる液滴吐出ヘッド２２を搭載しているので、描画品質の向上と、生産性の向上とを実現することが可能な液滴吐出装置ＩＪを提供できる。
【００９７】
＜表示装置（電気光学装置）及び表示装置の製造方法＞
次に、表示装置（電気光学装置）及び本実施形態に係る液滴吐出装置を用いた表示装置の製造方法について説明する。
【００９８】
図１０は、本実施形態に係る液晶装置の製造工程の手順を示すフローチャートである。図１１は、当該製造方法によって製造される表示装置（電気光学装置）の一例としての液晶装置を示す図である。図１２は、図１１のＩＸ−ＩＸ線に沿った液晶装置の断面図である。最初に、液晶装置の構造について、図１１及び図１２を参照しながら説明する。なお、この液晶装置は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射型の液晶装置である。
【００９９】
図１１に示すように、液晶装置１０１は、液晶パネル１０２に半導体チップ等として構成された液晶駆動用ＩＣ１０３ａ及び液晶駆動用ＩＣ１０３ｂを実装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（フレキシブル印刷回路）１０４を液晶パネル１０２に接続したものである。この液晶装置１０１は、液晶パネル１０２の裏面側に照明装置１０６をバックライトとして設けることによって構成されている。
【０１００】
液晶パネル１０２は、第１基板１０７ａと第２基板１０７ｂとをシール材１０８によって貼り合わせることによって形成される。シール材１０８は、例えば、スクリーン印刷などによってエポキシ系樹脂を第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面に環状（周回状）に付着することによって形成される。また、図１２に示すように、シール材１０８の内部には導電性材料によって球状又は円筒状に形成された導通材１０９が分散状態で含まれる。
【０１０１】
図１２に示すように、第１基板１０７ａは透明なガラス、透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ａを有する。この基材１１１ａの内側表面（図１２の上側表面）には反射膜１１２が形成されている。また、その上に絶縁膜１１３が積層され、その上に第１電極１１４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図１１参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ａが形成される。また、基材１１１ａの外側表面（図１２の下側表面）には偏光板１１７ａが貼着などによって装着される。
【０１０２】
図１１においては、第１電極１１４ａの配列を判り易くするために、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１ａ上に形成されている。
【０１０３】
図１２に示すように、第２基板１０７ｂは透明なガラスや透明なプラスチックなどによって形成された板状の基材１１１ｂを有する。この基材１１１ｂの内側表面（図１２の下側表面）にはカラーフィルタ１１８が形成され、その上に第２電極１１４ｂが上記第１電極１１４ａと直交する方向へ矢印Ｄから見てストライプ状（図１１参照）に形成されている。さらにその上には配向膜１１６ｂが形成されている。また、基材１１１ｂの外側表面（図１２の上側表面）には偏光板１１７ｂが貼着などによって装着されている。
【０１０４】
図１１においては、第２電極１１４ｂの配列を判り易くするために、第１電極の場合と同様に、それらの間隔を実際よりも大幅に広く描いてある。したがって、図面上で描かれている第１電極１１４ａの本数よりも実際には多数の第１電極１１４ａが基材１１１ａ上に形成されている。
【０１０５】
図１２に示すように、第１基板１０７ａ、第２基板１０７ｂ及びシール材１０８によって囲まれる間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶Ｌ、例えばＳＴＮ（スーパー捩れネマチック）液晶、が封入されている。第１基板１０７ａ又は第２基板１０７ｂの内側表面には微小で球形のスペーサ１１９が多数分散され、これらのスペーサ１１９がセルギャップ内に存在することにより、そのセルギャップが均一に維持されるようになっている。
【０１０６】
第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂとは互いに直交する方向に伸びるように配設されている。それらが平面的に交差する部分は、図１２の矢印Ｄ方向から見てドットマトリクス状に配列されている。そして、そのドットマトリクス状の各交差点が一つの表示ドットを構成する。カラーフィルタ１１８は、各色要素であるフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）を矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列などのパターンで配列させることによって構成されている。
【０１０７】
マトリクス状に配列される表示ドットを選択的にオン状態にすることにより、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂの外側に文字、数字などといった像が表示される。このようにして像が表示される領域が有効表示領域であり、図１１及び図１２において矢印Ｖによって示される。
【０１０８】
図１２に示すように、反射膜１１２はＡＰＣ合金、アルミニウムなどといった光反射性材料によって形成される。また、この反射膜１１２には、第１電極１１４ａと第２電極１１４ｂの交点である各表示ドットに対応する位置に開口１２１が形成されている。したがって、開口１２１は図１２の矢印Ｄから見て表示ドットと同様にマトリクス状に配列されている。
【０１０９】
第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂは、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）によって形成される。また、配向膜１１６ａ、１１６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着させることによって形成される。これらの配向膜１１６ａ、１１６ｂがラビング処理を受けることにより、第１基板１０７ａ及び第２基板１０７ｂの表面上における液晶分子の初期配向が決定される。
【０１１０】
図１１に示すように、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂよりも広い面積に形成されており、これらの基板をシール材１０８によって貼り合わせたとき、第１基板１０７ａは第２基板１０７ｂの外側へ張り出す基板張出部１０７ｃを有する。そして、この基板張出部１０７ｃには、第１電極１１４ａから伸び出る引出し配線１１４ｃ、シール材１０８の内部に存在する導通材１０９（図１２参照）を介して第２基板１０７ｂ上の第２電極１１４ｂと導通する引出し配線１１４ｄ、液晶駆動用ＩＣ１０３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子に接続される金属配線１１４ｅ、及び、液晶駆動用ＩＣ１０３ｂの入力用バンプに接続される金属配線１１４ｆなどといった各種の配線が所定のパターンにて形成されている。
【０１１１】
このとき、第１電極１１４ａから伸びる引出し配線１１４ｃ及び第２電極１１４ｂに通電する引出し配線１１４ｄは、それらの電極と同じ材料であるＩＴＯによって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂの入力側の配線である金属配線１１４ｅ、１１４ｆは、電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成される。このＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、これにＰｄ及びＣｕを添加した合金、例えば、Ａｇ；９８ｗｔ％、Ｐｄ；１ｗｔ％、Ｃｕ；１ｗｔ％の組成を有する合金である。
【０１１２】
液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂは、ＡＣＦ（異方性導電膜）１２２によって基板張出部１０７ｃの表面に接着されて実装される。すなわち、本実施形態では、基板上に半導体チップが直接に実装される構造、いわゆるＣＯＧ（チップオングラス）方式の液晶パネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂの入力側バンプと金属配線１１４ｅ、１１４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂの出力側バンプと引出し配線１１４ｃ、１１４ｄとが導電接続される。
【０１１３】
ＦＰＣ１０４は、可撓性の樹脂フィルム１２３と、チップ部品１２４を含んで構成された回路１２６と、金属配線端子１２７とを有する（図１１参照）。回路１２６は樹脂フィルム１２３の表面に半田付け、その他の導電接続手法によって直接に搭載される。また、金属配線端子１２７はＡＰＣ合金、Ｃｒ、Ｃｕその他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ１０４のうち金属配線端子１２７が形成された部分は、第１基板１０７ａのうち金属配線１１４ｅ、１１４ｆが形成された部分にＡＣＦ１２２によって接続される。そして、ＡＣＦ１２２の内部に含まれる導電粒子により、基板側の金属配線１１４ｅ、１１４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子１２７とが導通する。
【０１１４】
ＦＰＣ１０４の反対側の辺端部には外部接続端子１３１が形成され、この外部接続端子１３１が図示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂが駆動され、第１電極１１４ａ及び第２電極１１４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配列された表示ドットが個々に電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向が個々に制御される。
【０１１５】
照明装置１０６は、アクリル樹脂などによって構成された導光体１３２と、この導光体１３２の光出射面１３２ｂに設けられた拡散シート１３３と、導光体１３２の光出射面１３２ｂの反対側に設けられた反射シート１３４と、発光源としてのＬＥＤ（発光ダイオード）１３６とを有する。
【０１１６】
ＬＥＤ１３６は、ＬＥＤ基板１３７に支持され、そのＬＥＤ基板１３７は、例えば導光体１３２と一体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥＤ基板１３７が支持部の所定位置に装着されることにより、ＬＥＤ１３６が導光体１３２の側辺端面である光取込み面１３２ａに対向する位置に置かれる。なお、緩衝部材１３８は液晶パネル１０２に加わる衝撃を緩衝するためのものであって、液晶パネル１０２と照明装置１０６との間に挿入されている。
【０１１７】
ＬＥＤ１３６が発光すると、その光は光取込み面１３２ａから取り込まれて導光体１３２の内部へ導かれ、反射シート１３４や導光体１３２の壁面で反射しながら伝播する間に光出射面１３２ｂから拡散シート１３３を通して外部へ平面光として出射される。
【０１１８】
以上説明した液晶装置１０１は、太陽光、室内光といった外部光が十分に明るい場合には、図１２において第２基板１０７ｂ側から外部光が液晶パネル１０２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜１１２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌは、これを挟持する第１電極１１４ａ、第２電極１１４ｂによって表示ドット毎に配向制御される。したがって、液晶Ｌへ供給された光は表示ドット毎に変調され、その変調によって偏光板１１７ｂを通過する光と通過できない光とによって液晶パネル１０２の外部に文字、数字などといった像が表示され、反射型の表示が行われる。
【０１１９】
他方、外部光の光量が充分に得られない場合には、ＬＥＤ１３６が発光して導光体１３２の光出射面１３２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜１１２に形成された開口１２１を通して液晶Ｌへ供給される。このとき、反射型の表示と同様に、供給された光が、配向制御される液晶Ｌによって表示ドット毎に変調される。これにより、外部へ像が表示され、透過型の表示が行われる。
【０１２０】
次に、液晶装置の製造方法について説明する。
【０１２１】
図１０に示すように、上記構成の液晶装置１０１は、第１基板１０７ａを形成する工程と、第２基板１０７ｂを形成する工程と、これら第１基板１０７ａと、第２基板１０７ｂとを貼り合せる工程とがある。通常、第１基板１０７ａを形成する工程と、第２基板１０７ｂを形成する工程とは、それぞれが独自に実行される。
【０１２２】
まず、第１基板１０７ａを形成する（図１０のステップＳ７１〜ステップＳ７６）。ステップＳ７１では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基板の表面に液晶パネル１０２の複数個分の反射膜１１２をフォトリソグラフィ法などによって形成する。さらに、その上に絶縁膜１１３を周知の成膜法を用いて形成する。
【０１２３】
次に、ステップＳ７２では、フォトリソグラフィ法などを用いて第１電極１１４ａ、引出し配線１１４ｃ、１１４ｄ及び金属配線１１４ｅ、１１４ｆを形成する。
【０１２４】
次に、ステップＳ７３では、第１電極１１４ａの上に塗布、印刷などによって配向膜１１６ａを形成する。
【０１２５】
次に、ステップＳ７４では、形成された配向膜１１６ａに対してラビング処理を施すことにより液晶の初期配向を決定する。
【０１２６】
次に、ステップＳ７５では、例えばスクリーン印刷などによってシール材１０８を環状に形成する。
【０１２７】
さらに、ステップＳ７６では、さらにその上に球状のスペーサ１１９を分散する。以上により、液晶パネル１０２の第１基板１０７ａ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。
【０１２８】
次に、第２基板１０７ｂを形成する。（図１０のステップＳ８１〜ステップＳ８４）。ステップＳ８１では、透光性ガラス、透光性プラスチックなどによって形成された大面積のマザー原基材を用意し、その表面に液晶パネル１０２の複数個分のカラーフィルタ１１８を形成する。このカラーフィルタ１１８の形成工程は、図１及び図２に示した製造方法を用いて行われる。隔壁６Ｃ若しくは遮光層の中のフィルタエレメント３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）の形成は、図６及び図７に示す液滴吐出装置ＩＪを用いて行われる。より具体的には、液滴吐出ヘッド２２（図４（ａ）、（ｂ）参照）のノズル２７からフィルタエレメント材料１３（１３Ｙ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ）としての液滴８（図５（ａ）、（ｂ）参照）を吐出することにより実行される。
【０１２９】
次に、ステップＳ８２では、マザー基板の上にフォトリソグラフィ法によって第２電極１１４ｂを形成する。
【０１３０】
次に、ステップＳ８３では、塗布、印刷などの手法によって配向膜１１６ｂを形成する。
【０１３１】
次に、ステップＳ８４では、その配向膜１１６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初期配向を決める。以上により、液晶パネル１０２の第２基板１０７ｂ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。
【０１３２】
次に、液晶装置１０１を形成する。（図１０のステップＳ９１〜ステップＳ９６）。ステップＳ９１では、大面積のマザー第１基板及びマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板をシール材１０８を間に挟んでアライメント、すなわち位置合わせした上で互いに貼り合わせる。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネル構造体が形成される。
【０１３３】
次に、ステップＳ９２では、完成したパネル構造体の所定の位置にスクライブ溝、すなわち分断用溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準としてパネル構造体に応力又は熱を加え、或いは光を照射する等の方法により基板をブレイク（破断）させることによって分断する。これにより、各液晶パネル部分のシール材１０８の液晶注入用開口１１０（図１１参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成される。
【０１３４】
次に、ステップＳ９３では、露出した液晶注入用開口１１０を通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さらに各液晶注入用開口１１０を樹脂などによって封止する。通常の液晶注入処理は、液晶パネル部分の内部を減圧し、内外圧力差によって液晶を注入することによって行われる。例えば、貯留容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パネルとをチャンバなどに入れ、そのチャンバなどを真空状態にしてからそのチャンバの内部において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬する。その後、チャンバを大気圧に開放すると、空パネルの内部は真空状態なので、大気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口１１０を通してパネルの内部へ導入される。
【０１３５】
次に、ステップＳ９４では、液晶注入後の液晶パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の液晶パネル構造体を洗浄する。
【０１３６】
次に、ステップＳ９５では、液晶注入及び洗浄が終わった後の短冊状パネルに対して、再び所定位置にスクライブ溝を形成する。さらに、そのスクライブ溝を基準にして短冊状パネルを分断する。このことにより、複数個の液晶パネル１０２が個々に切り出される。
【０１３７】
次に、ステップＳ９６では、このようにして作製された個々の液晶パネル１０２に対して、図１１に示すように、液晶駆動用ＩＣ１０３ａ、１０３ｂを実装し、照明装置１０６をバックライトとして装着し、さらにＦＰＣ１０４を接続することにより、目標とする液晶装置１０１を完成させる。
【０１３８】
また、本実施形態のカラーフィルタ基板ＣＦの製造方法では、液滴吐出ヘッド２２（図４及び図５参照）を搭載した液滴吐出装置ＩＪ（図６及び図７参照）を用いることにより液状材料Ｍを吐出することによってフィルタエレメント３を形成するようにしているので、フォトリソグラフィ法を用いる方法のような複雑な工程を経る必要がない。また材料を浪費することもない。
【０１３９】
本実施形態で使用可能な記録媒体は、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）、ＭＤ（ＭｉｎｉＤｉｓｃ）、などである。このような記録媒体を使用すれば、データを素早く読み取ることができるので、生産効率を向上させることができる。
【０１４０】
＜電子機器＞
次に、電子機器の具体例について説明する。
図１３は、電子機器としてのパーソナルコンピュータの斜視図である。
【０１４１】
図１３に示すように、パーソナルコンピュータ４９０は、液晶装置１０１（図１１及び図１２参照）を有する液晶パネルとしての液晶表示部１０２を備えている。また、液晶装置１０１（図１１及び図１２参照）は、ＰＨＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ・Ｈａｎｄｙ・Ｐｈｏｎｅ・Ｓｙｓｔｅｍ）などの携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ（Ｐｏｉｎｔ・Ｏｆ・Ｓａｌｅｓ）端末、ＩＣカード、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、エンジニアリング・ワークステーション（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ・Ｗｏｒｋ・Ｓｔａｔｉｏｎ：ＥＷＳ）、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型またはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器などの様々な電子機器に適用できる。
【０１４２】
以上、好ましい実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含み、本発明の目的を達成できる範囲で、他のいずれの具体的な構造及び形状に設定できる。
【０１４３】
（変形例１）
前述の実施形態では、６種類のノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇ（図４参照）が液滴吐出ヘッド２２に配置される構成としたが、これに限らない。例えば６種類のノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇが６種類の液滴吐出ヘッド２２に別々に存在する構成にしてもよい。このようにしても、各ノズル２７から液状材料Ｍを液滴８として吐出する順番が決められているので、本実施形態と同様の効果が得られる。
【０１４４】
（変形例２）
前述の実施形態では、ノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇを液滴吐出ヘッド２２に一列ずつ配置される構成としたが、これに限らない。例えば複数列ずつ（二列以上）配置する構成にしてもよい。このようにすれば、ノズル２７Ｙ、ノズル２７Ｒ、ノズル２７Ｍ、ノズル２７Ｂ、ノズル２７Ｃ、ノズル２７Ｇの数が増えるので、効率的に描画をすることができる。
【０１４５】
（変形例３）
前述の実施形態では、第１の領域部７ａからスタートして、第１の領域部７ａと、第２の領域部７ｂとを交互に液滴８を配置するようにして、フィルタエレメント３を３Ｙ→３Ｒ→３Ｍ→３Ｂ→３Ｃ→３Ｇの順序で形成するようにしたが、これに限らない。例えばこれとは逆に、第２の領域部７ｂからスタートして、第２の領域部７ｂと、第１の領域部７ａとを交互に液滴８を配置するようにして、フィルタエレメント３を３Ｒ→３Ｍ→３Ｂ→３Ｃ→３Ｇ→３Ｙの順序で形成してもよい。このようにしても、本実施形態と同様の効果が得られる。
【０１４６】
（変形例４）
前述の実施形態で、例えば、液滴吐出装置ＩＪ（図６及び図７参照）では、液滴吐出ヘッド２２を走査方向Ｘへ移動させてマザー基板を走査し、マザー基板を送り駆動装置２１によって移動させることにより、液滴吐出ヘッド２２のマザー基板に対する送り動作を実現しているが、これに限らない。例えばこれとは逆に、マザー基板の移動によって走査を実行し、液滴吐出ヘッド２２の移動によって送り動作を実行することもできる。さらには、液滴吐出ヘッド２２を移動させずにマザー基板を移動させたり、双方を相対的に逆方向に移動させたりするなど、少なくともいずれか一方を相対的に移動させ、液滴吐出ヘッド２２がマザー基板の表面に沿って相対的に移動するいずれの構成とすることができる。このようにしても実施形態と同様の効果がある。
【０１４７】
（変形例５）
前述の実施形態で、液滴吐出装置ＩＪ（図６及び図７参照）が製造に使用されるのは、上述のカラーフィルタや液晶装置としたが、これに限らない。例えばＥＬ装置、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ・Ｅｍｉｓｓｉｏｎ・Ｄｉｓｐｌａｙ：フィールドエミッションディスプレイ）などの電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ・Ｄｉｓｐｌｙ・Ｐａｎｅｌ：プラズマディスプレイパネル）、電気泳動装置すなわち荷電粒子を含有する機能性液状体である液状材料を各画素の隔壁間の凹部に吐出し、各画素を上下に挟持するように配設される電極間に電圧を印加して荷電粒子を一方の電極側に寄せて各画素での表示をする装置、薄型のブラウン管、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ―Ｒａｙ・Ｔｕｂｅ：陰極線管）ディスプレイなど、基板（基材）を有し、その上方の領域に所定の層を形成する工程を有する様々な表示装置（電気光学装置）に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】本実施形態におけるカラーフィルタ基板の製造工程を示す模式図であり、（ａ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｇ）、（ｉ）、（ｋ）は、平面図であり、（ｂ）、（ｄ）、（ｆ）、（ｈ）、（ｊ）、（ｌ）は、各平面図のＡ−Ａ線に沿って切断した断面図。
【図２】カラーフィルタ基板の製造工程の手順を示す概略フローチャート。
【図３】カラーフィルタ基板の模式図。
【図４】液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は、概略斜視図、（ｂ）は、ノズルの配列を示す模式図。
【図５】液滴吐出ヘッドの主要部を部分的に示す図であり、（ａ）は、概略斜視図であり、（ｂ）は、概略断面図。
【図６】液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図。
【図７】液滴吐出装置の主要部を部分的に示す部分斜視図。
【図８】液滴吐出装置の制御系のブロック図。
【図９】液滴吐出装置の動作を示すフローチャート。
【図１０】液晶装置の製造工程の手順を示すフローチャート。
【図１１】液晶装置を示す図。
【図１２】図１１のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図。
【図１３】電子機器としてのパーソナルコンピュータの斜視図。
【符号の説明】
【０１４９】
３（３Ｙ、３Ｒ、３Ｍ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｇ）…フィルタエレメント、６（６Ｂ、６Ｃ）…隔壁、７…領域、７ａ…第１の領域部、７ｂ…第２の領域部、７Ａ…第１の着色領域群、７Ｂ…第２の着色領域群、８…液滴、１２…基板、２２…液滴吐出ヘッド、２７（２７Ｙ、２７Ｒ、２７Ｍ、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｇ）…ノズル、２８（２８Ｙ、２８Ｒ、２８Ｍ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｇ）…ノズル列、１０１…液晶装置、１０２…液晶パネル、４９０…電子機器としてのパーソナルコンピュータ、ＣＦ…表示基板としてのカラーフィルタ基板、ＩＪ…液滴吐出装置、Ｍ…液状材料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2008073629.tif 000011
【図１０】
2008073629.tif 000012
【図１１】
2008073629.tif 000013
【図１２】
2008073629.tif 000014
【図１３】
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