(57)【要約】【課題】動圧軸受装置の動圧発生部の成形性及び耐摩耗性を向上させる【解決手段】スラスト動圧発生部を、軸受部品８に設けられたフランジ部８ｂに型成形により形成する。これにより、金属製のハウジング７の開口側端面に形成する場合と比べ、軸方向の加圧がしやすくなるため、動圧発生部の成形性が向上する。また、軸受部品８を多孔質材料で形成すると、軸受部品８の内部に含浸された潤滑流体が、軸受隙間に逐次供給されるため、潤滑性が向上し、動圧発生部の摩耗を抑えることができる。【選択図】図２
2008111520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部を有する第１部材と、軸部を内周に挿入し、軸方向一端が開口し他端が閉口した第２部材とを備え、第２部材の開口側端面と第１部材との間のスラスト軸受隙間に生じる潤滑流体の動圧作用で、第１部材をスラスト方向で相対回転可能に支持する動圧軸受装置において、
第２部材が、軸受部品と、軸受部品を内周に保持した金属製のハウジングとを有し、軸受部品が、円筒状のスリーブ部及びスリーブ部の一端から外径へ向けて延びたフランジ部を有し、該フランジ部が前記スラスト軸受隙間に面することを特徴とする動圧軸受装置。
【請求項２】
前記フランジ部の端面に、前記スラスト軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧発生部を形成した請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項３】
軸受部品を多孔質材料で形成した請求項１記載の動圧軸受装置。
【請求項４】
軸受部品のスリーブ部の外周面及びハウジングの内周面の一方又は双方に形成した軸方向溝で、前記外周面及び内周面の界面の両端を連通する軸方向孔を形成すると共に、軸受部品に、一端が軸受部品の上側端面に開口し、他端が前記軸方向孔と連通した貫通孔を形成した請求項１記載の動圧軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受隙間に生じる潤滑流体の動圧作用で、軸部材を回転可能に支持する動圧軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、その高回転精度および静粛性から、情報機器、例えばＨＤＤ等の磁気ディスク駆動装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク駆動装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク駆動装置等のスピンドルモータ用、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ、プロジェクタのカラーホイール、あるいは電気機器の冷却ファン等に使用されるファンモータなどの小型モータ用として好適に使用可能である。
【０００３】
例えば、特許文献１に示されている動圧軸受装置は、金属材料のプレス加工で形成したコップ状のハウジングと、ハウジングの内周に保持した軸受スリーブと、軸受スリーブの内周に挿入した軸部材と、軸部材に固定し、ハウジングの開口部を覆うロータハブとを備える。軸受スリーブの内周面と軸部材の外周面との間にラジアル軸受隙間が形成され、ハウジングの開口側端面とロータハブの端面との間にスラスト軸受隙間が形成される。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−９０３９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなハウジングの開口側端面はスラスト軸受隙間に面するため、この部分には高精度の加工が要求される。金属製ハウジングの端面の加工方法としては、例えば電解加工や型成形が考えられる。しかし、電解加工でハウジングの端面を加工する場合、設備が高額になると共に管理が煩雑になるため、コスト高や製造の長時間化を招く。一方、型成形でハウジングの端面を加工する場合、ハウジングの円筒状の側壁部分を軸方向に加圧する必要があるため、ハウジングが複雑な形状である場合、十分に加圧することが困難となるため、精度を高めることは難しい。
【０００６】
また、一般に金属製ハウジングは、軸受内部に充填される潤滑流体が浸透するような内部空孔を有さず、内部に潤滑流体を保持することができない。従って、このハウジングがスラスト軸受隙間に面する場合、スラスト軸受隙間に十分な潤滑流体が供給されず、潤滑性が不足し、スラスト軸受隙間に面する部分が摩耗する恐れがある。
【０００７】
本発明の課題は、動圧軸受装置のスラスト軸受隙間に面する部分の成形性及び耐摩耗性を向上させるとともに、低コスト化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明は、軸部を有する第１部材と、軸部を内周に挿入し、軸方向一端が開口し他端が閉口した第２部材とを備え、第２部材の開口側端面と第１部材との間のスラスト軸受隙間に生じる潤滑流体の動圧作用で、第１部材をスラスト方向で相対回転可能に支持する動圧軸受装置において、第２部材が、軸受部品と、軸受部品を内周に保持した金属製のハウジングとを有し、軸受部品が、円筒状のスリーブ部及びスリーブ部の一端から外径へ向けて延びたフランジ部を有し、該フランジ部が前記スラスト軸受隙間に面することを特徴とする。
【０００９】
このように、本発明の動圧軸受装置では、ハウジングと別途に形成した軸受部品のフランジ部がスラスト軸受隙間に面する構成とした。これにより、スラスト軸受隙間に面する部分の成形性を向上させることができる。例えば、フランジ部を型成形する場合、フランジ部の軸方向寸法を小さくし、かつ単純な形状に形成することで、軸方向に加圧しやすくなり、端面を高精度に加工することが可能となる。また、ハウジングの端面はスラスト軸受隙間に面さないため、ハウジングの加工精度を緩和することができ、低コスト化が図られる。
【００１０】
この動圧軸受装置が、スラスト軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させる動圧発生部を備える場合、この動圧発生部をフランジ部の端面に型成形等で形成することで、動圧発生部の成形性を向上させることができる。
【００１１】
また、軸受部品を多孔質材料で形成すると、軸受部品の内部に含浸された潤滑流体が軸受隙間に逐次供給されるため、スラスト軸受隙間における潤滑性が向上し、スラスト軸受隙間に面する部分の摩耗を抑えることができる。
【００１２】
また、この動圧軸受装置において、軸受部品のスリーブ部の外周面及びハウジングの内周面の一方又は双方に形成した軸方向溝で、前記外周面及び内周面の界面の両端を連通する軸方向孔を形成すると共に、軸受部品に、一端が軸受部品の上側端面に開口し、他端が前記軸方向孔と連通した貫通孔を形成すると、この軸方向孔及び貫通孔により、軸受装置内部に満たされた潤滑流体の圧力バランスを適正に保つことができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明の動圧軸受装置では、スラスト軸受隙間に面する部分の成形性を向上させることができるため、スラスト軸受隙間の幅精度が高められ、スラスト方向の支持力が高められる。また、ハウジングの精度緩和により低コスト化が図られる。さらに、軸受部品の多孔質化による潤滑性の向上により、耐摩耗性の向上が図られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る動圧軸受装置１を組込んだ情報機器用スピンドルモータの一構成例を概念的に示している。この情報機器用スピンドルモータは、ＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるもので、動圧軸受装置１と、例えば、半径方向のギャップを介して対向させたステータコイル４およびロータマグネット５とを備えている。ステータコイル４はブラケット６の外周側内周面６ａに取り付けられ、ロータマグネット５は、動圧軸受装置１に設けられたディスクハブ１０の外周に取り付けられている。ディスクハブ１０には、磁気ディスク等のディスク状情報記録媒体（図示省略）が一枚または複数枚保持される。ブラケット６の内周には動圧軸受装置１のハウジング７が装着されている。ステータコイル４に通電すると、ステータコイル４とロータマグネット５との間に発生する励磁力でロータマグネット５が回転し、それに伴って、ディスクハブ１０及びディスクが回転する。
【００１６】
図２に、動圧軸受装置１を示す。動圧軸受装置１は、第２部材としての固定側部材２と、第１部材としての回転側部材３とで構成される。回転側部材３は、軸部材９と、軸部材９から外径へ突出して設けられたディスクハブ１０とを備える。固定側部材２は、軸部材９を内周に挿入した軸受部品８と、軸受部品８を内周に保持するハウジング７とを備え、軸方向一端に開口し、他端に閉口している。なお、説明の便宜上、固定側部材２の開口側を上側、閉口側を下側として、以下の説明を行う。
【００１７】
この動圧軸受装置１では、詳細は後述するが、軸部材９の外周面と軸受部品８のスリーブ部８ａの内周面８ａ１との間に、回転側部材３をラジアル方向に支持するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が形成されると共に、ディスクハブ１０の基部１０ａの下側端面１０ａ１と軸受部品８のフランジ部８ｂの上側端面８ｂ１との間に、回転側部材３をスラスト方向に支持するスラスト軸受部Ｔが形成される。
【００１８】
軸部材９は、例えばステンレス鋼等の金属材料を切削加工もしくは鍛造加工することにより、円筒状に形成される。軸部材９の外周面９ａは、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２のラジアル軸受隙間に面する。
【００１９】
ディスクハブ１０は、例えば金属材料で形成され、軸部材９の上端に、接着、圧入、接着剤介在下での圧入（以下、圧入接着）等の手段により固定される。ディスクハブ１０は、略円板形状を成す基部１０ａと、基部１０ａの外周部から軸方向下方に延在した周壁部１０ｂと、周壁部１０ｂの外周に設けられた鍔部１０ｃおよびディスク搭載面１０ｄを備えている。周壁部１０ｂの外周面１０ｂ１には、ロータマグネット５が取り付けられる。周壁部１０ｂの内周には抜け止め部材１１が設けられる。抜け止め部材１１は、例えば、金属材料、例えば真ちゅう等の軟質金属のプレス成形で断面略Ｌ字型のリング状に形成され、周壁部１０ｂの内周面上端部に設けられた段部１０ｅに、接着、溶接等の適宜の手段で固定される。この抜け止め部材１１が、ハウジング７の上方部外周に設けられた肩面７ｄと軸方向で係合することにより、回転側部材３の固定側部材２からの抜けを規制している。
【００２０】
ハウジング７は、略円筒状の側部７ａと、側部７ａの下端開口部を閉口する底部７ｂとを有し、金属材料の切削加工や塑性加工（例えば真ちゅうの鍛造加工など）により一体に形成される。側部７ａの外周には、上方部に径方向に設けられた肩面７ｄと、肩面７ｄの内径端から下方へ向けて漸次縮径したテーパ面７ｆと、テーパ面７ｆの下方に設けられた円筒面７ｇとが形成される。このテーパ面７ｆは、ディスクハブ１０に固定された抜け止め部材１１の内周面１１ａとの間に、上方に向けて径方向寸法が漸次縮小した環状のシール空間Ｓを形成する。このシール空間Ｓは、後述するスラスト軸受部Ｔのスラスト軸受隙間の外径側と連通している。円筒面７ｇには、ブラケット６が接着等により固定される。尚、本実施形態では、側部７ａ及び底部７ｂが一体に形成されているが、これらを別体に形成してもよい。
【００２１】
軸受部品８は、スリーブ部８ａと、スリーブ部８ａの上端部から外径へ向けて延びたフランジ部８ｂとを一体に備える。軸受部品８は、ハウジング７の内周面７ｅに、接着、圧入、圧入接着、溶着等の適宜の手段により固定され、フランジ部８ｂの下側端面８ｂ２をハウジング７の内周に形成された肩面７ｃと当接させることにより、ハウジング７に対して軸方向で位置決めされる。尚、軸受部品８を形成する多孔質材料は焼結金属に限らず、例えば多孔質樹脂を使用することもできる。
【００２２】
このように、円筒状のスリーブ部８ａにフランジ部８ｂを一体に設けることにより、軸受部品８の径方向での剛性が高まり、ハウジング７への組み込み時等に横断面形状が変形することを防止できる。特にスリーブ部８ａを薄肉化した場合、フランジ部８ｂによる剛性の向上が有効となる。
【００２３】
スリーブ部８ａの内周面８ａ１には、図３に示すように、軸方向に離隔した２箇所の領域に、ラジアル動圧発生部として、ヘリングボーン形状に配列した動圧溝８ａ１１、８ａ１２が形成される。また、フランジ部８ｂの上側端面８ｂ１には、図４に示すように、スラスト動圧発生部として、スパイラル形状に配列した動圧溝８ｂ１１が形成される。
【００２４】
スリーブ部８ａの外周面８ａ２には、軸方向溝８ａ２１が１又は複数本形成される。この軸方向溝８ａ２１は、軸受部品８をハウジング７の内周に固定した際、ハウジング７の内周面７ｅとの間に、スリーブ部８ａの外周面８ａ２及びハウジング７の内周面７ｅとの界面の軸方向両端を連通する軸方向孔１２ａを形成する。また、この軸方向孔１２ａの軸方向延長上の軸受部品８（フランジ部８ｂの内径端部）には、一端が軸受部品８の上側端面に開口し、他端が軸方向孔１２ａと連通した貫通孔８ｂ３が形成される。この軸方向孔１２ａと貫通孔１２ｂとで、軸受部品８の上側端面が面する空間と下側端面８ａ３が面する空間とを連通する連通孔１２が形成される。尚、前記軸方向孔１２ａを形成する軸方向溝は、ハウジング７の内周面７ｅに形成してもよい。あるいは、スリーブ部８ａの外周面８ａ２及びハウジング７の内周面７ｅの双方に軸方向溝を形成してもよい。
【００２５】
この軸受部品８は、本実施形態では、多孔質材料（例えば銅を主成分とした焼結金属）で型成形され、具体的には、金属粉末を圧粉成形し、熱処理（焼結）した後、金型によるサイジング（整形）で寸法精度を高めることにより形成される。フランジ部８ｂは、ハウジング７と比べて軸方向寸法が小さく、且つ単純な形状をしているため、軸方向の加圧がしやすい。このため、上記のような型成形（サイジング）により端面を精度良く加工することができる。従って、スラスト軸受隙間に面するフランジ部の上側端面８ｂ１の成形性を向上させることができるため、スラスト軸受隙間の隙間幅が高精度に設定され、スラスト方向の支持力が高められる。
【００２６】
また、この軸受部品８のサイジングと同時に、上記の動圧溝８ａ１１、８ａ１２、及び８ｂ１１が形成することができる。具体的には、このサイジングで使用する金型に、動圧溝８ａ１１、８ａ１２、及び８ｂ１１に形成するための成形型を形成し、サイジングと同時にこの成形型をフランジ部８ｂの上側端面８ｂ１に押し付ける。これにより、成形型の形状が軸受部品８に転写され、動圧溝８ａ１１、８ａ１２、及び８ｂ１１が成形される。上記のように、フランジ部８ｂは軸方向の加圧がしやすいため、動圧溝８ｂ１１を精度良く型成形することができる。また、軸受部品８の成形と同時にラジアル動圧発生部及びスラスト動圧発生部を形成できるため、工程数が削減され、低コスト化及び生産性の向上が図られる。
【００２７】
上記の構成の動圧軸受装置１の内部空間に、潤滑流体として、例えば潤滑油を充満させることにより、動圧軸受装置１が完成する。この状態で、シール空間Ｓよりも軸受内部側の空間は潤滑油で満たされ、油面は常にシール空間Ｓ内に保持される。
【００２８】
軸部材９が回転すると、軸受部品８の内周面８ａ１に形成された動圧溝８ａ１１、８ａ１２が、ラジアル軸受隙間の潤滑油に動圧作用を発生させることにより、軸部材９をラジアル方向で回転自在に支持するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が形成される。これと同時に、軸受部品８の上側端面８ｂ１に形成された動圧溝８ｂ１１が、スラスト軸受隙間の潤滑油に動圧作用を発生させることにより、軸部材９をスラスト方向で回転自在に支持するスラスト軸受部Ｔが形成される。
【００２９】
このとき、多孔質材料で形成された軸受部品８から滲み出た潤滑油が、ラジアル軸受隙間及びスラスト軸受隙間に逐次供給されることにより、各軸受隙間を介して対向する部材間の潤滑性が向上する。軸受装置の起動、停止時等の低速回転時には、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２及びスラスト軸受部Ｔの動圧作用が十分に発現されず、ラジアル動圧発生部及びスラスト動圧発生部が各軸受隙間を介して対向する部材と接触することがあるが、上記のようにこれらの部材間の潤滑性が向上することにより、各動圧発生部の摩耗を抑えることができる。
【００３０】
また、本実施形態では、図２に示すように、軸受部品８の上側端面８ｂ１及び下側端面８ａ３とを連通する連通孔１２により、軸受部品８の下側端面８ａ３とハウジング７の内底面７ｂ１との間の隙間（以下、第１隙間）と、軸受部品８の上側端面とディスクハブ１０の基部１０ａの下側端面１０ａ１との間の隙間（以下、第２隙間）とを連通することができるため、内部空間での圧力バランスを適正に保つことができる。さらに、図３に示すように、軸受部品８の内周面８ａ１の動圧溝８ａ１１を、軸方向中央部ｍに対して軸方向非対称、具体的には、軸方向中央部ｍより上側領域の軸方向寸法Ｘ１が下側領域の軸方向寸法Ｘ２よりも大きくなっているため、軸部材９の回転時、動圧溝８ａ１１による潤滑油の引き込み力（ポンピング力）は上側領域が下側領域に比べて相対的に大きくなる。この引き込み力の差圧によって、第１ラジアル軸受部Ｒ１のラジアル軸受隙間に満たされた潤滑油が下方に流動し、第１隙間→連通孔１２→第２隙間を流動して、再びラジアル軸受隙間に戻る。このように、ラジアル軸受隙間の潤滑油を強制的に循環させることにより、軸受装置の内部空間での局所的な負圧の発生をより効果的に防止できる。なお、このようにラジアル軸受隙間で潤滑油を強制的に流動させる必要がないときは、動圧溝８ａ１１の形状を軸方向中央部ｍに対して軸方向対称に形成してもよい。
【００３１】
本発明は、上記の実施形態に限られない。以下、本発明の他の実施形態を説明する。尚、以下の説明において、上記の実施形態と同一の構成、機能を有する箇所には、同一符合を付し、説明を省略する。
【００３２】
図５に、本発明の第２の実施形態に係る動圧軸受装置２１を示す。この動圧軸受装置２１は、軸部材９の下端に円盤状の抜け止め部材１３が固定されている点で、上記実施形態と異なる。抜け止め部材１３の上側端面１３ａは、スラスト軸受隙間を介して軸受部品８の下側端面８ａ３と対向する。軸部材９の回転時には、軸受部品８の上側端面８ｂ１とディスクハブ１０の基部１０ａの下側端面１０ａ１との間に第１のスラスト軸受部Ｔ１が形成されると共に、軸受部品８の下側端面８ａ３に形成された動圧発生部がスラスト軸受隙間の潤滑流体に動圧作用を発生させ、軸部材９をスラスト方向に回転自在に支持する第２のスラスト軸受部Ｔ２が形成される。このように、軸方向に離隔した２箇所にスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２が形成されることにより、軸受剛性、特にモーメント剛性が高められる。
【００３３】
以上の実施形態では、軸部材９に別体に形成されたディスクハブ１０が固定されているが、これに限らず、例えば軸部材９をインサート部品としてディスクハブ１０を射出成形することにより、軸部材９とディスクハブ１０とを一体に形成してもよい。あるいは、軸部材９及びディスクハブ１０を同一材料で一体に射出成形してもよい。
【００３４】
また、以上の実施形態では、軸受部品８を構成するスリーブ部８ａ及びフランジ部８ｂが一体に形成されているが、これに限らず、例えば別体に形成したスリーブ部８ａ及びフランジ部８ｂを密着させて固定してもよい。また、以上の実施形態では、軸受部品８を多孔質材料で形成する場合を示したが、これに限らず、例えばその他の金属材料で形成してもよい。この場合、ハウジング７よりも硬度の高い金属材料で軸受部品８を形成すれば、スラスト軸受隙間に面する部分の硬度が高められ、耐摩耗性の向上を図ることができる。この場合、スラスト動圧発生部としての動圧溝８ｂ１１は、必ずしも軸受部品８の形成と同時に型成形する必要はなく、例えば軸受部品８を形成した後、プレス加工や機械加工等により形成してもよい。
【００３５】
また、以上の実施形態では、ハウジング７の材料として真ちゅうが使用されているが、これに限らず、その他の金属材料、例えばステンレス鋼を使用することもできる。また、ハウジング７が鍛造加工で形成される場合を示したが、これに限らず、例えばプレス加工など任意の方法で形成することもできる。
【００３６】
また、以上の実施形態では、スリーブ部８ａの外周面８ａ２に形成した軸方向溝８ａ２１と、フランジ部８ｂに形成した貫通孔１２ｂとで、連通孔１２を構成しているが、これに限らない。例えば、図示は省略するが、スリーブ部８の外周面８ａ２に軸方向溝８ａ２１を形成すると共に、フランジ部８ｂの下側端面８ｂ２に径方向溝を、さらにフランジ部８ｂの外周面に軸方向溝を形成し、これらの溝とハウジング７とで形成される孔を連通させることにより、連通孔を構成することもできる。この連通孔により、スラスト軸受部Ｔのスラスト軸受隙間の外径端と、スリーブ部８ａの下側端面８ａ３が面する空間とが連通する。また、上記の軸方向溝及び径方向溝は、スリーブ部８ａ側ではなく、ハウジング７側に形成することもできる。
【００３７】
また、以上では、ラジアル動圧発生部としてヘリングボーン形状の動圧溝が、スラスト動圧発生部としてスパイラル形状の動圧溝が形成されているが、これに限らない。例えば、ラジアル動圧発生部として、スパイラル形状の動圧溝や、多円弧軸受、あるいはステップ軸受を形成してもよい。また、スラスト動圧発生部として、へリングベーン形状の動圧溝や、ステップ軸受、あるいは波型軸受（ステップ軸受が波型形状になったもの）を形成してもよい。
【００３８】
また、以上では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が軸方向に離隔して設けられているが、これに限らず、例えばこれらを軸方向で連続的に形成してもよい。あるいは、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２の何れか一方のみを設けても良い。
【００３９】
また、以上では、軸部を有する第１部材が回転側となり、軸受部品を有する第２部材が固定側となる場合を示しているが、これとは逆に、第１部材が固定側、第２部材が回転側となる構成であってもよい。
【００４０】
また、以上では、潤滑流体として潤滑油が使用されているが、これ以外にも各軸受隙間に動圧作用を発生可能な流体、例えば空気等の気体や、磁性流体、あるいは潤滑グリース等を使用することもできる。
【００４１】
また、本発明の動圧軸受装置は、上記のようにＨＤＤ等のディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータに限らず、光ディスクの光磁気ディスク駆動用のスピンドルモータ等、高速回転下で使用される情報機器用の小型モータ、レーザビームプリンタのポリゴンスキャナモータ等における回転軸支持用、あるいは電気機器の冷却ファン用のファンモータとしても好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】動圧軸受装置１を組み込んだスピンドルモータを示す断面図である。
【図２】本発明に係る動圧軸受装置１を示す断面図である。
【図３】軸受部品８の軸方向断面図である。
【図４】軸受部品８の上面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る動圧軸受装置２１の断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１     動圧軸受装置
２     固定側部材（第２部材）
３     回転側部材（第１部材）
４     ステータコイル
５     ロータマグネット
６     ブラケット
７     ハウジング
８     軸受部品
８ａ スリーブ部
８ａ２１  軸方向溝
８ｂ フランジ部
９     軸部材
１０   ディスクハブ
１２   連通孔
１２ａ      軸方向孔
１２ｂ      貫通孔
Ｒ１、Ｒ２    ラジアル軸受部
Ｔ     スラスト軸受部
Ｓ     シール空間
【図１】
2008111520.tif 000003
【図２】
2008111520.tif 000004
【図３】
2008111520.tif 000005
【図４】
2008111520.tif 000006
【図５】
2008111520.tif 000007