(57)【要約】【課題】ノッチやオリフラの位置合わせをして、次の工程にウェハを受け渡す準備をするウェハ位置合わせ装置、およびこの装置と搬送装置を含めたウェハ位置合わせシステムにおいて、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を簡易な構成で迅速化する。【解決手段】  ウェハ位置合わせ装置１は、ウェハ１００を近接隔離して保持する保持具３と、クランパ４１〜４３と、クランパ支持部４１１、４２１、４３１と、これらクランパ支持部を半径方向に開閉するチャック４４と、スピンドル４５と、スピンドル回転機構５と、センサ部６を備える。搬送装置のハンドがウェハ１００をその上面から懸垂保持してベルヌーイ円盤３０をウェハ位置合わせ装置１に受け渡すと、このベルヌーイ円盤３０はウェハ１００を近接隔離して保持し、かつクランパ４１〜４３でウェハ１００に当接した状態でスピンドル４５を回転させ、センサ部６でノッチやオリフラを検出する。【選択図】図１
2008091770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの一方の面に対向する保持面に吐出口を形成した保持具と、
前記吐出口からエアを吐出させるエア吐出部と、
前記ウェハの外周に当接する当接位置とウェハの外周から離間する退避位置との間を前記ウェハの半径方向に沿って移動自在にされた少なくとも１つの移動クランパを含み、それぞれが互いに異なる回転位置で前記ウェハの外周に当接する複数のクランパと、
前記移動クランパを前記当接位置と前記退避位置とのいずれかに位置させるクランパ移動部と、
前記複数のクランパを前記ウェハの中心軸周りに一体的に回転させるクランパ回転部と、
前記ウェハの外周の一部に形成された被検出体を検出するセンサと、
前記エア吐出部による前記エア吐出口からのエアの吐出量、および、前記クランパ移動部による移動クランパの位置を制御して前記ウェハを前記保持面に近接隔離した状態で、前記複数のクランパに保持させると共に、前記センサの検出結果に基づいて前記クランパ回転部による前記複数のクランパの回転を制御する制御部と、を備えたウェハ位置合わせ装置。
【請求項２】
前記吐出口に、エアの旋回流を発生させる旋回流形成体を備えた請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウェハ位置合わせ装置を用いて、前記被検出体の回転位置を検出するウェハ位置合わせ方法であって、
前記保持面に対向する位置へのウェハの搬入時に前記移動クランパを前記退避位置に位置させ、前記吐出口からエアを吐出させて、搬入させたウェハを前記保持面に近接隔離した状態で前記移動クランパを前記当接位置に移動させて前記複数のクランパを前記ウェハの外周に当接させる保持工程と、
前記複数のクランパを回転させつつ前記センサによって前記被検出体を検出する検出工程と、を含むウェハ位置合わせ方法。
【請求項４】
前記検出工程で前記センサが前記被検出体を検出しなかった際に、前記移動クランパを前記退避位置に位置させて、前記吐出口からエアの吐出を調整して前記ウェハを中心軸周りに所定量だけ回転させた後、前記移動クランパを前記当接位置に移動させて前記複数のクランパを前記ウェハの外周に当接させる再保持工程を含み、
前記再保持工程の後に前記検出工程を再度行う請求項３に記載のウェハ位置合わせ方法。
【請求項５】
請求項１〜２のいずれかに記載のウェハ位置合わせ装置を備えるウェハ位置合わせシステムであって、
前記保持具の保持面に対向する方向から、接触しまたは近接隔離して前記ウェハを保持するハンドと、
前記ハンドを移動させるハンド移動手段と、
前記ウェハを前記ウェハ位置合わせ装置における前記保持面に対向する位置に搬入するように前記ウェハ保持手段および前記ハンド移動手段を制御する搬送制御部と、を備えるウェハ搬送装置を備えるウェハ位置合わせシステム。
【請求項６】
請求項５に記載のウェハ位置合わせシステムを用いて、被検出体の位置を検出するウェハ位置合わせ方法であって、
前記移動クランパを予め前記退避位置に位置させた状態で、前記ハンドを移動させて前記ハンドで保持したウェハを前記保持具の前記保持面上に搬入させる搬入工程と、
前記吐出口からエアを吐出させて、前記搬入させたウェハを前記保持面に近接隔離した状態で前記移動クランパを前記当接位置に移動させて前記複数のクランパを前記ウェハの外周に当接させ、前記ハンドがウェハを保持しない状態にする保持工程と、
前記複数のクランパを回転させつつ前記センサによって前記被検出体を検出する検出工程と、
前記被検出体を検出した場合に、前記ハンドが前記保持具に保持されたウェハを保持し、前記移動クランパを前記退避位置に位置させると共に前記吐出口からエアを吐出を停止し、前記ハンドを移動させて、ウェハを搬出する搬出工程と、を含むウェハ位置合わせ方法。
【請求項７】
前記検出工程で前記センサが前記被検出体を検出しなかった際に、前記移動クランパを前記退避位置に位置させて、前記吐出口からのエアの吐出を調整して、前記ウェハを中心軸周りに所定量だけ回転させた後、前記移動クランパを前記当接位置に移動させて前記複数のクランパを前記ウェハの外周に当接させる再保持工程を含む請求項６に記載のウェハ位置合わせ方法。
【請求項８】
前記搬入工程の後、前記ハンドを前記ウェハ位置合わせ装置における前記保持面に対向する位置に停留させたまま、前記保持工程および前記再保持工程を行う請求項７に記載のウェハ位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ウェハに形成された被検出体であるノッチやオリフラを位置合わせする装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハは、シリコンの単結晶をスライスしたものである。ウェハの面方位が変わると、シリコン原子間距離が異なり、そのため微視的な性質も変わる。このため、ウェハには結晶方位を揃えるためのノッチやオリフラがつけられている。半導体の製造工程では、ウェハを回転させてノッチやオリフラをセンサで検出することにより位置合わせをして、次の工程へ搬送する。このようなノッチやオリフラの位置合わせをする装置が実用化され、種々の提案がなされている（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【０００３】
特許文献１には、ウェハに向けてエアを吐出し、ベルヌーイ効果による負圧発生作用およびクッション効果による正圧発生作用（以下単に「ベルヌーイ効果」という。）を用いてウェハを近接隔離して保持する非接触保持器と、ウェハの外周に押し付けてウェハを回転させるローラ回転具と、を備えて、ノッチやオリフラの位置合わせをする位置合わせ装置が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、ウェハを一時的に２枚格納してバッファの役割を果たすよう、上下２段にウェハのエッジを保持する複数のクランパを設けたアライナー装置が開示されている。また、特許文献２には、このクランパを閉じた状態で回転させる回転駆動部と、クランパ間でウェハを昇降移動させる昇降駆動部等を備え、ノッチやオリフラの位置合わせをする旨の記載がある。
【０００５】
特許文献３には、エア吐出によるベルヌーイ効果を用いてウェハを近接隔離して保持する非接触搬送装置において、吸引力を強化するために、旋回流が生じるような流体通路を設けた吐出口のヘッドが開示されている。特許文献３には、このヘッドを用いることにより、ウェハをヘッドから近接隔離した状態でウェハを回転駆動させることができ、ノッチを合わせるときの回転駆動装置に応用できる旨の記載がある。
【０００６】
特許文献４には、ベルヌーイ効果により、近接隔離した状態でウェハを浮かして保持する３つのヘッドをロボットハンド上に設けた構成が開示されている。特許文献４には、各ヘッドからのエアの吐出を調整してウェハを傾けると共にその傾き方向を回転させることで、ウェハを回転させる旨の記載がある。
【特許文献１】特開２００２−３６８０６５公報
【特許文献２】特開２００３−１００８５公報
【特許文献３】特開２００２−６４１３０公報
【特許文献４】特開２００４−１４００５８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の構成では、それぞれのローラの下にローラ回転具を設けているため、コストの高騰および大型化を招く問題があった。また、ローラの周曲と平板状のウェハとが点接触にならざるを得ず、ローラの駆動系に生じるロストモーションの影響で、位置合わせしたノッチやオリフラの位置がずれる虞があった。
【０００８】
特許文献２の構成では、２段にウェハを載置する前提として、外周のエッジだけで保持できるような撓みにくいウェハの処理には適用できるが、中央部で歪があるウェハや薄いウェハのような自重による撓みを生じるウェハの処理に対して適用できない問題があった。また、この構成では、クランパとノッチとが重なって、ノッチがクランパに隠れて検出できない場合、クランパとノッチとの相対位置を変えるべくウェハを回転させるためには、昇降駆動部により一旦ウェハを持ち上げる必要があった。
【０００９】
特許文献３、４に記載された、エア吐出の制御だけでウェハを回転させる方法をウェハ位置合わせ装置に適用するには、ノッチを合わせる精度が十分でない虞があった。また、ウェハを所定の中心位置に合わせることが困難であった。さらに、位置合わせしたノッチの位置が容易にずれやすい問題があった。
【００１０】
そこで、この発明は、ノッチやオリフラの位置合わせをして、次の工程にウェハを受け渡す準備をするウェハ位置合わせ装置、および、この装置と搬送装置を含めたウェハ位置合わせシステムにおいて、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を簡易な構成で迅速化することを目的とする。また、この目的の達成のため、クランパとノッチやオリフラとが重なってノッチやオリフラがクランパに隠れて検出できない場合に、昇降駆動部等によりウェハを持ち上げなくとも、簡易な構成でこの状態を解消することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（１）この発明の位置合わせ装置は、保持具と、エア吐出部と、複数のクランパと、クランパ移動部と、クランパ回転部と、センサと、制御部と、を備えた。
【００１２】
保持具は、ウェハの一方の面に対向する保持面に吐出口を形成している。エア吐出部は、吐出口からエアを吐出させる。複数のクランパは、前記ウェハの外周に当接する当接位置とウェハの外周から離間する退避位置との間を前記ウェハの半径方向に沿って移動自在にされた少なくとも１つの移動クランパを含み、それぞれが互いに異なる回転位置でウェハの外周に当接する。クランパ移動部は、移動クランパを当接位置と退避位置とのいずれかに位置させる。クランパ回転部は、複数のクランパをウェハの中心軸周りに一体的に回転させる。センサは、ウェハの外周の一部に形成された被検出体を検出する。制御部は、前記エア吐出部による前記エア吐出口からのエアの吐出量、および、前記クランパ移動部による移動クランパの位置を制御して前記ウェハを前記保持面に近接隔離した状態で保持させると共に、前記センサの検出結果に基づいて前記クランパ回転部による前記複数のクランパの回転を制御する。
【００１３】
この構成では、中央部でひずみがあるウェハや薄いウェハのような自重による撓みを生じるウェハが保持具に近接隔離した状態に保持される。また、この構成では、クランパがウェハの周囲に当接した状態で回転させることができるから、ウェハを高速かつ確実に回転させることができるとともに、被検出体を検出した後に被検出体の位置がずれにくい。
【００１４】
（２）吐出口に、エアの旋回流を発生させる旋回流形成体を備えることもできる。
【００１５】
この構成では、吐出口から、旋回流状のエアが吐出されるため、エアの吐出量を制御しなくとも、一定量吐出するだけで、ウェハを保持具から近接隔離した状態で回転させることができる。
【００１６】
（３）この発明のウェハ位置合わせ方法は、（１）または（２）に記載のウェハ位置合わせ装置を用いて、前記被検出体の回転位置を検出するウェハ位置合わせ方法であって、保持工程と、検出工程を含む。
【００１７】
保持工程では、保持面に対向する位置へのウェハの搬入時に移動クランパを退避位置に位置させ、吐出口からエアを吐出させて、搬入させたウェハを保持面に近接隔離した状態で移動クランパを当接位置に移動させて複数のクランパをウェハの外周に当接させる。検出工程では、複数のクランパを回転させつつセンサによって被検出体を検出する。
【００１８】
保持工程で移動クランパを当接位置にした状態で、クランパ回転部がウェハを回転させるので、ウェハを高速かつ確実に回転することができ、被検出体を検出した後に被検出体の位置がずれにくい。
【００１９】
（４）前記検出工程で前記センサが前記被検出体を検出しなかった際に、前記検出工程を行う前に、前記再保持工程を行うのが望ましい。
再保持工程は、前記検出工程で前記センサが前記被検出体を検出しなかった際に、前記移動クランパを前記退避位置に位置させて、前記吐出口からのエアの吐出を調整して、前記ウェハを中心軸周りに所定量だけ回転させた後、前記移動クランパを前記当接位置に移動させて前記複数のクランパを前記ウェハの外周に当接させる。
【００２０】
この構成の方法では、クランパと、被検出体の位置とが重なったときに、移動クランパを退避位置に位置させた状態のままエアの吐出を調整する。これにより、ウェハを近接隔離した状態のまま、ウェハを所定量回転させることで、被検出体の位置をクランパの位置からずらすことができる。したがって、ウェハを持ち上げたり、ウェハを持ち替えたりする必要がないので、被検出体の検出の時間を短縮できる。
なお、本発明の「所定の回転量」は、クランパと、被検出体の位置とが重なった状態を解消できる量であれば良く、厳密に一定量である必要はない。所定の回転量を回転時間を基準に決めても良い。例えば１秒〜３秒程度とすることができる。
また、再保持工程では、（２）の旋回流形成体の構成を用いる場合には、吐出量を一定に保つだけで、ウェハを回転できる。この場合、吐出量を一定に保つか、オフの状態にするかを調整することが「前記吐出口からのエアの吐出を調整」することに相当する。請求項７も同様である。
さらに、再保持工程では、旋回流形成体の構成を備えなくとも、エア吐出量を調整して回転させても良い。この方法も「エアの吐出を調整して」に相当する。
【００２１】
（５）この発明の位置合わせシステムは、（１）、（２）のいずれかに記載のウェハ位置合わせ装置を備えるウェハ位置合わせシステムであって、ウェハ搬送装置を備える。
ウェハ搬送装置は、ハンドと、ハンド移動手段と、搬送制御部とを備える。ハンドは、保持具の保持面と対向した方向から、接触しまたは近接隔離してウェハを保持する。ハンド移動手段は、ハンドを移動させる。搬送制御部は、ウェハをウェハ位置合わせ装置における保持面に対向する位置に搬入するようにウェハ保持手段およびハンド移動手段を制御する。
【００２２】
この構成では、搬送装置が、保持具の保持面と対向して、ウェハを保持するハンドを備えている。したがって、保持具とハンドとが、ウェハの面の表裏面を挟んで互いに対向する位置で、ウェハを受け渡すことになり、ウェハの受け渡し時に、保持具とウェハとの間から搬送装置のハンドを挿入したり、昇降駆動部によりウェハを持ち上げる必要がなく、装置を簡易に構成できる。また、このような動作が必要ないので、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を迅速化することができる。
【００２３】
（６）この発明のウェハ位置合わせ方法は、（５）に記載のウェハ位置合わせシステムを用いて、被検出体の位置を検出するウェハ位置合わせ方法であって、搬入工程と、保持工程と、検出工程と、搬出工程と、を含む。
【００２４】
搬入工程は、移動クランパを予め退避位置に位置させた状態で、ハンドを移動させてハンドで保持したウェハを保持具の保持面上に搬入させる。保持工程は、吐出口からエアを吐出させて、搬入させたウェハを保持面に近接隔離した状態で移動クランパを当接位置に移動させて複数のクランパをウェハの外周に当接させ、ハンドがウェハを保持しない状態にする。検出工程は、複数のクランパを回転させつつセンサによって被検出体を検出する。搬出工程は、被検出体を検出した場合に、ハンドが保持具に保持されたウェハを保持し、移動クランパを退避位置に位置させると共に吐出口からエアの吐出を停止し、ハンドを移動させて、ウェハを搬出する。
【００２５】
この構成では、保持具の保持面と対向した方向からウェハと接しまたは近接隔離して保持するハンドを用いて、ウェハ搬入工程、ウェハ搬出工程を行なっている。したがって、保持具と、ハンドは、ウェハの互いに逆側を保持することになる。この構成では、近接隔離したウェハと保持具の間にハンドを挿入したり、これを回避するために持ち替えたりする必要がないから、ウェハ搬入工程、ウェハ搬出工程を円滑に行なうことができる。よって、この構成では、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を迅速化することができる。
【００２６】
（７）前記検出工程で前記センサが前記被検出体を検出しなかった際に、再保持工程をするのが望ましい。再保持工程は、前記吐出口からのエアの吐出を調整して、前記ウェハを中心軸周りに所定量だけ回転させた後、前記移動クランパを前記当接位置に移動させて前記複数のクランパを前記ウェハの外周に当接させる。
【００２７】
この構成では、被検出体がクランパに隠れて検出できない場合でも、再保持工程によれば、保持具とウェハとの間から搬送装置のクランパを挿入したり、昇降駆動部によりウェハを持ち上げる必要がない。したがって、被検出体の検出の時間を短縮できる。
【００２８】
（８）上記（７）に記載のウェハ位置合わせ方法において、搬入工程の後、ハンドをウェハ位置合わせ装置における保持面に対向する位置に停留させたまま、保持工程および再保持工程を行うのが望ましい。
【００２９】
上記（７）の方法を前提として、搬入工程の後、ハンドをウェハ位置合わせ装置における保持面に対向する位置に停留した状態にすることができる。この構成では、ハンドをウェハ位置合わせ装置における保持面に対向する位置に停留したまま検出工程および再保持工程を行う。したがって、ウェハ位置合わせ方法の工程の無駄が少ない。よって、この方法では、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を迅速化することができる。
【００３０】
なお、ハンドを保持面に対向する位置に停留させたまま検出工程を行うときに、ハンドをウェハに接触させる場合、即ちハンドがウェハを吸着する場合には、クランパを回転させても、ハンドとウェハ位置合わせ装置のクランパは、干渉は生じない。ハンドにもベルヌーイ効果を利用したヘッドを備える場合には、搬出時にウェハの角度を維持するためクランパが必要であることから、ハンドのクランパとウェハ位置合わせ装置のクランパの干渉を防ぐ必要がある。干渉を防ぐ方法としては、ハンドを保持面から離れる方向に移動させるか、ハンドのクランパをウェハ位置合わせ装置のクランパより大きく開かせる方法がある。
【発明の効果】
【００３１】
この発明によれば、ノッチやオリフラ等の被検出体の位置を検出して、次の工程にウェハを受け渡す準備をするウェハ位置合わせ装置、および、この装置と搬送装置を含めたウェハ位置合わせシステムにおいて、搬送装置による搬送を含めた位置合わせ工程全体を簡易な構成で迅速化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態に係るウェハ位置合わせ装置について詳細に説明する。
図１は、ウェハ位置合わせ装置１の側面図である。図２は、ウェハ位置合わせ装置１の平面図であり、本発明の保持面に相当するベルヌーイ円盤３０の上面側から見た図を示している。ただし、図１では、クランパ４１、クランパ支持部４１１について、図２のＡ−Ａ断面で切断した図を示している。また、図１のクランパ４２、４３、クランパ支持部４２１、４３１については、Ｂ１−Ｂ１断面、Ｂ２−Ｂ２断面で切断した断面図で図示している。また、破断線１０１，１０２の内側では、回転中心３７を通る面で切断した断面図で示している。
【００３３】
図１に示すように、ウェハ位置合わせ装置１は、台座部２と、保持具３と、クランパ４１〜４３と、クランパ支持部４１１、４２１、４３１と、チャック４４と、スピンドル４５と、スピンドル回転機構５と、センサ部６と、制御盤９０とを備える。
【００３４】
保持具３は、ベルヌーイ円盤３０と、支持台３０１を備えている。ベルヌーイ円盤３０は、エアの吐出口３１〜３６（図２参照。）を複数備え、ウェハに向けてエアを吐出し、ベルヌーイ効果による負圧発生作用およびクッション効果による正圧発生作用（以下単に「ベルヌーイ効果」という。）により、ウェハ１００を浮かせて、保持具３から近接隔離して保持する。支持台３０１は、ベルヌーイ円盤３０をチャック４４の中心（回転中心３７の位置）に固定するものである。
なお、ベルヌーイ円盤３０のうちウェハ１００が対向する面は、本発明の保持面に相当する。
【００３５】
クランパ４１〜４３は、ウェハ１００外周の互いに異なる回転位置に配置されている。このクランパ４１〜４３は、ウェハ１００の外周に当接する受部を備えている。
【００３６】
クランパ支持部４１１、４２１、４３１は、クランパ４１〜４３を固定し、クランパ４１〜４３にチャック４４の動力を伝達する。チャック４４は、回転中心３７の方向へ力を与える電磁チャックであり、半径方向に開閉する可動部を有する。チャック４４の可動部の開閉により、クランパ支持部４１１、４２１、４３１を介して、クランパ４１〜４３を、ウェハ１００に当接させ、また、ウェハ１００から退避させることができる。
【００３７】
スピンドル４５は、チャック４４とプーリ５２を固定する。
スピンドル回転機構５は、モータ５０と、プーリ５１と、プーリ５２と、ベルト５３とを備える。モータ５０は、スピンドル４５を回転させる駆動源である。制御部９およびモータ５０の駆動部を内蔵する制御盤９０に接続されている。
【００３８】
プーリ５１は、モータ５０の回転軸に固定され、回転中心５４の周りを回転する。プーリ５２は、スピンドル４５に固定されている。プーリ５１、５２の外周には、ベルト５３を受ける溝が形成されている。ベルト５３は、例えばゴムベルトで構成し、プーリ５１からプーリ５２に動力を伝達する。
【００３９】
センサ部６は、発光素子６０とセンサ６１とこれらを支持する支持部６３を備え、ノッチ（本発明のノッチに相当する。）を検出する。発光素子６０は、例えば発光ダイオードで構成し、レーザ光を発生させる。発光素子の前方側面には、図示しないフードが取り付けられており、発光素子の前方以外の方向への光の放射を遮断する。発光素子６０は、ウェハ１００が回転したときにノッチへ向けて光を照射する。センサ６１は、フォトダイオード等で構成し、発光素子６０の光を受光できる位置に配置する。ウェハ１００が回転してノッチの位置に来たときにウェハ１００が光を通すので、ノッチを検出できる。
【００４０】
台座部２は、台座２０と、支持台２１と、スピンドル支持軸２２と、モータ支持部２３とを備える。台座２０は、装置全体を支える台座である。図１の破断線１０１，１０２内側の断面図に示すように、スピンドル４５を回転中心３７で回転可能に軸支するために、台座２０から支持台２１を介して中空の支持軸２２を固定し、その内部にスピンドル４５と軸受を挿入している。また、モータ支持部２３は、モータ５０を固定している。
【００４１】
なお、回転する保持具３へエアを供給するため、外部のエアポンプまたは工場内のエア吐出口から配管の引き回す必要がある。その引き回し方法として、例えば、スピンドル４５内部と台座部２の支持軸２２との間で自在継ぎ手（回転継ぎ手）を使うことができる。この方法では、保持具３の配管を、スピンドル４５の外周面４５１からスピンドル４５内部へ入れて、自在継ぎ手（例えば、図１に示すように、ゴムリング４５２と、支持軸２２の内周の溝であるエアポケット２２２を用いる。）を介して、エア配管を支持軸２２のエア注入口２２１に引き出す。これにより、保持具３が回転してもエア注入口２２１から保持具３にエアを供給できる。また、別の引き回し方法としては、チェーンを連ねて形成したケーブル保持具を使ってもよい。ノッチを検出するためには、保持具３を３６０度を超えて回転させる必要がないことから、自在継ぎ手を使用しなくても、エア配管を保持具３まで引き回すことができる。
【００４２】
制御盤９０は、制御部９と、各種の動作の操作入力を受け付ける操作部９０１と、動作状況を表示する液晶表示部９０２と、モータ５０等に流す電流を駆動する電流駆動部９０３を備えている。制御部９は、ＣＰＵと、ＣＰＵで計算した結果を一時記憶するＲＡＭと、制御情報を記憶するＲＯＭとを備え、保持具３のエアの吐出、チャック４４の可動部の開閉、モータ５０の電流駆動を制御する。また、制御部９のＲＯＭは、検出ルーチン９１、再保持ルーチン９２、ワーク受け渡しルーチン９３を実行するための制御プログラムを記憶している。
【００４３】
検出ルーチン９１は、ベルヌーイ円盤３０によりウェハ１００を近接隔離した状態に保持すると共に、クランパ４１〜４３がウェハ１００に当接し、スピンドル４５を回転させて、ノッチを検出する工程を含む。
【００４４】
再保持ルーチン９２は、ノッチがクランパ４１〜４３と重なって隠れてしまい、センサ部６がノッチの溝から光を検出できなかった場合に実行される。再保持ルーチン９２は、クランパ４１〜４３を一旦、ウェハ１００から退避した状態で、所定時間、ベルヌーイ円盤３０から吐出される旋回流によりウェハ１００を回転させ、ノッチとクランパ４１〜４３との重なりを解消する。その後、再保持ルーチン９２は、クランパ１００がウェハに当接した状態にする。制御部９は、再保持ルーチン９２の後、再度検出ルーチン９１の実行を指示する。
ワーク受け渡しルーチン９３は、搬送装置との間で、ウェハ１００を受け渡す搬入工程と搬出工程を含む。
【００４５】
図２に示すように、保持具３のベルヌーイ円盤３０には、エア吐出口を有する複数のヘッド３１〜３６を、ベルヌーイ円盤３０の外周寄りの位置に備えている。
【００４６】
また、クランパ４１〜４３は、ウェハ１００の外周を略等分割した位置に配置されている。クランパ７５〜７７は、ウェハ１００をウェハ位置合わせ装置１に搬入する搬送装置（後述する図６の搬送装置７に相当）のハンドのクランパである。図２には、クランパ７５〜７７が搬入時に到来する位置を表している。図２に示すように、搬送装置のクランパも、クランパ４１〜４３と同様、ウェハ１００の外周を略等分割した位置に配置する。クランパ４１〜４３とクランパ７５〜７７との干渉を防ぐため、これらのクランパは、互いに位相をずらして配置されている。
【００４７】
図３は、クランパ４１の受部の実施例を図２のＡ−Ａ断面で表している。図３（Ａ）のクランパ４１Ａの実施例では、ウェハ１００の下面を支持する４１０２と、ウェハ１００の外周方向に当接する面４１０１を備えている。このように２面で押さえることにより、ウェハ１００への当接を安定させることができる。また、図３（Ｂ）のクランパ４１Ｂの実施例のように、さらにウェハ１００の上部を押さえる、押さえ４１０３を備える構成も可能である。また、図３（Ｃ）のように、ウェハ１００の面に対して傾斜したテーパ面４１０４、４１０５で押さえるようにしてもよい。
【００４８】
なお、以上で説明した図３では、クランパ４１を例にとって説明したが、他のクランパ４２、４３も同様の形状とする。
【００４９】
図４（Ａ）、（Ｂ）はヘッド３１の構成を示す斜視図で、図４（Ａ）は斜め下方から、図４（Ｂ）は斜め上方からの斜視図である。図４（Ｃ）、（Ｄ）はヘッド３１の断面図で、図４（Ｃ）は図４（Ａ）のＣ−Ｃ断面図、図４（Ｄ）は図４（Ａ）のＤ−Ｄ断面図である。図４のヘッド３１は、ヘッド３１〜３６の構成例を代表して表している。ヘッド３１は、以下のとおり、ウェハ１００を単に近接隔離して保持させる構成ではなく、ヘッド３１から旋回流を発生させる構成であり、再保持ルーチン９２で、クランパ４１〜４３をウェハ１００から退避した状態で、ウェハ１００を回転させるのに好適である。
【００５０】
ヘッド３１は、内周面が円周状の凹部８３と、その凹部８３の開口側に形成した、ウェハ１００と対向する平坦状端面８２Ｂと、供給流体を凹部８３の内周面に臨む吐出口８４から凹部８３内へその凹部８３の内周方向に沿って吐出させる流体通路８５と、を備えている。
【００５１】
流体通路８５は、旋回流形成体８２の閉端面８２Ａに設けた流体導入口８６から、閉端面８２Ａに対して垂直に穿設され、さらに水平に穿設されて、凹部８３の内周面に臨む吐出口８４に達している。すなわち、流体通路８５は、流体導入口８６と吐出口８４とを連通し、供給流体を吐出口８４から凹部８３内へその周方向に沿って吐出させている。この供給流体により、凹部８３内部には旋回流が発生する。
【００５２】
流体導入口８６、流体通路８５および吐出口８４は、２組設けられ、その２組の各吐出口８４から吐出される流体（ここでは空気）は、周方向に沿って同一方向に吐出され、相互に旋回流を強め合う。
【００５３】
また、凹部８３の開口縁は面取りにより傾斜面８３Ａが形成されてラッパ状に拡径しており、凹部８３で発生した旋回流が、この傾斜面８３Ａによって凹部８３から速やかに流出できる。
【００５４】
上記構成のヘッド３１において、エアポンプ等の空気供給装置から流体導入口８６へ空気が供給される。その空気は、流体通路８５を介して吐出口８４から凹部８３内へ吹き込まれる。この吹き込まれた空気は、凹部８３の内部空間で旋回流となって整流され、その後凹部８３から流出する。その際、旋回流形成体８２の平坦状端面８２Ａに対向する適当な位置にウェハ１００が配されていると、凹部８３への外部からの大気圧供給が制限される。この状態で吐出口８４から凹部８３内へ吹き込まれた空気は、エントレインメント効果（粘性流体の誘引現象）と遠心力により次第に単位面積当りの空気分子の密度が小さくなり、凹部８３内の旋回流中心部の圧力が低下し負圧が発生する。この結果、ウェハ１００は周囲の大気圧によって押圧されて平坦状端面８２Ａ側に吸引される。一方、平坦状端面８２Ａとウェハ１００の距離が近づくと凹部８３内からの排出空気が制限される。これにより、吐出口８４から吹き込まれる空気の流速が遅くなるため凹部８３内の旋回流中心部の圧力は上昇する。この結果、ウェハ１００は凹部８３内の圧力に押し戻され、平坦状端面８２Ａから離れ、ウェハ１００の質量と吸引力がバランスする点で保たれる。また、平坦状端面８２Ａとウェハ１００の間に介在する空気膜によりウェハ１００は安定し近接隔離して保持させることになる。
【００５５】
このように、凹部８３内の周方向に沿って空気を噴出させ、旋回流を発生させるようにしたので、平坦状端面８２Ｂとウェハ１００との間の負圧による吸引力は、強力になる。また、ヘッド３１〜３６の旋回流路８５の旋回方向を合わせることで、ヘッド３１〜３６全体でウェハ１００を回転させることができる。これにより、図１で説明した再保持ルーチン９２で、クランパ４１〜４３をウェハ１００から退避した状態で、ウェハ１００を回転させることができる。
【００５６】
なお、上記の図４の説明では、流体導入口８６、流体通路８５および吐出口８４を２組設けるようにしたが、１組のみでもよいし、また３組以上設けるようにしてもよい。
また、流体導入口８６を個別に設けるようにしたが、この流体導入口８６を共通とし、そこから枝分かれして流体通路８５および吐出口８４を設けるようにしてもよい。
また、流体通路８５を垂直経路と水平経路との組み合わせで形成するようにしたが、このような経路に限定されることはなく、流体通路８５は、流体導入口８６から凹部８３の周方向に沿って空気を吹き出すように形成すればよい。
また、旋回流によるウェハ１００の回転速度を調整するには、ヘッド３１〜３６の旋回流路８５の旋回方向をヘッド３１〜３６のうちいずれかを逆にすればよい。ヘッド３１それぞれの旋回流によりウェハ１００に生じる回転モーメントが相殺されるので、ウェハ１００の回転速度を調整できる。また、ヘッド３１〜３６を備えるベルヌーイ円盤３０へ供給する流量を変化させるだけでもウェハ１００の回転速度を調整できる。
【００５７】
また、図４で示した構成に限らず、ヘッド３１〜３６単体で旋回流を吐出する構成であれば、クランパ４１〜４３をウェハ１００から退避した状態で、旋回流を吐出することによりウェハ１００を回転させることができ、再保持ルーチン９２を実行することができる。これらの旋回流を発生させるヘッドによれば、再保持ルーチン９２で、エア量を細かく制御しなくとも、一定のエアを吐出するだけでウェハ１００を回転させることができる。例えば、ウェハ１００を回転させるためにエアの吐出の制御をする必要がない。
【００５８】
さらに、図４で示した構成は、単に検出ルーチン９１を実行するために、ウェハ１００をベルヌーイ効果により近接隔離して浮かせて保持するだけの目的であれば必須ではない。
【００５９】
図５は、搬送装置７がウェハ位置合わせ装置のベルヌーイ円盤３０上のウェハに近接した状態を図１と同じ方向から見た側面図で表している。ただし、ベルヌーイ円盤３０より下、アーム７００の左側を省略している。また、クランパ４１〜４３を図２のＡ−Ａ、Ｂ１−Ｂ１、Ｂ２−Ｂ２の各断面で表している。
【００６０】
搬送装置７は、アーム７００と、ハンド７０と、搬送制御部７９を備える。
アーム７００は、ハンド７０を移動させるものであり、例えば多間接ロボットで構成する。図５のアーム７００は、多間接ロボット等のアームの先端を示している。
ハンド７０は、ハンド後端７１と、ハンド先端７２と、ハンド先端７２に格納したヘッド７３１〜７３６と、ウェハ１００に当接するクランパ７５〜７７と、クランパ７５〜７７を開閉するチャック７８を備える。
【００６１】
ハンド後端７１は、アーム７００に固定され、チャック７８を内蔵している。また、チャック７８の電気配線、ヘッド７３１〜７３６のエア配管をアーム７００に通している。
【００６２】
ハンド先端７２は、ベルヌーイ円盤３０を略、上下反転した構造となっており、ヘッド７３１〜７３６を格納する。
【００６３】
ヘッド７３１〜７３６は、ベルヌーイ円盤３０と対向する搬送ヘッド取付面７３０に取り付けられている。ヘッド７３１〜７３６は、ベルヌーイ効果により、ウェハ１００を保持具３から近接隔離して懸垂保持する。このベルヌーイ効果によれば、ウェハ１００よりヘッド７３１〜７３６が上にあっても、ヘッド７３１〜７３６の下にウェハ１００を非接触で保持することができる。
【００６４】
なお、この搬送装置７のヘッドとしては、必ずしも図４で示したような旋回流を吐出する構成とする必要がない。搬送装置７のハンド先端７２は、エア吐出によるベルヌーイ効果で近接隔離できればよい。または、ベルヌーイ効果を利用しないものでも良く、例えば、ウェハ１００を真空吸着してハンド７０がウェハ１００と接触して搬送するものでも良い。
【００６５】
クランパ７５〜７７は、クランパ４１〜４３と同様、ウェハ１００に当接し、またはウェハ１００から退避する移動クランパを有する。また、クランパ７５〜７７がウェハ１００に当接する部分のそれぞれの形状を、図３で示したクランパを上下反転した構成とする。また、クランパ７５〜７７は、チャック７８の可動部に固定されている。
チャック７８は、ハンド後端７１に設けられた電磁チャックであり、クランパ７５〜７７を開閉する。
【００６６】
搬送制御部７９は、制御盤９０と同様の構成の制御盤に格納されている。搬送制御部７９は、アーム７００の移動動作、ヘッド７３１〜７３６に送るエアの吐出量、チャック７８の開閉等を制御し、ウェハ１００の搬送時には、ウェハ位置合わせ装置１の制御部９と、制御情報を通信する。搬送制御部７９は、制御部９から制御情報を受信する。例えば、スピンドル４５の回転動作、ヘッド３１〜３６に送るエアの吐出、チャック７８の開閉等について、制御部９が指示信号を出力したかどうか、および、センサ部６の状態等を受信する。また、搬送制御部７９は、搬送制御部７９が指示信号を出力したかどうかを制御部９に送信する。
【００６７】
図６のフロー図は、ワーク受け渡し工程のうち搬送装置からウェハ位置合わせ装置へ搬入する搬入工程である。この工程は、図１で説明したワーク受け渡しルーチン９３で実行する工程に相当する。
ＳＴ１で、搬送制御部７９は、ウェハ１００を保持したアーム７００をウェハ位置合わせ装置１に近接させ、ウェハ１００がセンサ部６の下になるようにハンド先端７２を挿入させる。
ＳＴ２で、制御部９は、ハンド先端７２の移動が完了した旨の信号を搬送制御部７９から受け、ベルヌーイ円盤３０のヘッド３１〜３６からエアの吐出を開始させる。
【００６８】
ＳＴ３では、ＳＴ２に遅れて、または略同じタイミングで、制御部９がチャック４４の可動部を閉じるよう指示して、クランパ４１〜４３がウェハ１００に当接する（クランプ状態）。
ＳＴ４で、搬送制御部７９は、ＳＴ３の完了の信号を制御部９から受けて、搬送装置７のチャック７８の可動部を開くよう指示し、クランパ７５〜７７がウェハ１００から退避した状態にする（アンクランプ状態）。
ＳＴ５で、ＳＴ４と並行して、搬送装置７のヘッド７３１〜７３６のエアの吐出を停止する。その後、ＳＴ６で、搬送装置７のアーム７００を退避させる。
【００６９】
以上のとおり、搬送装置７は、ヘッド７３１〜７３６を下向きにした状態でウェハ１００を近接隔離して搬送できるので、ウェハ１００を反転したり、ウェハ１００を上昇させる必要がない。したがって、ウェハ１００の受け渡しのための構成を簡易にすることができる。
【００７０】
図７のフロー図は、ウェハ位置合わせ装置１がノッチを検出する工程である。この工程は、図６で示した動作の次に続けて行う工程である。図７のＳＴ１１〜ＳＴ１４は、制御部９の検出ルーチン９１に相当し、ＳＴ１４〜ＳＴ１９は、制御部９の再保持ルーチン９２に相当する。
【００７１】
ＳＴ１１で、制御部９は、センサ部６の動作をオンにする。即ち、発光素子６０からレーザ光を発すると共に、センサ６１の受光を開始する。
ＳＴ１２で、モータ５０のモータを回転させ、スピンドル４５、クランパ４１〜４３、ベルヌーイ円盤３０の回転を開始する。
ＳＴ１３で、制御部９は、センサ部６がノッチを検出したかどうか判断する。ＳＴ１４で、制御部９は、スピンドル４５が１周回転したかどうか判断する。制御部９が、センサ部６からの信号がノッチを検出していない状態であると判断し（ＳＴ１３のＮＯ）、かつ、回転が１周に到達していない（ＳＴ１４のＮＯ）限り、ＳＴ１２でモータ５０の回転を継続する。制御部９が、センサ部６から受ける信号がノッチを検出した状態であると判断した場合（ＳＴ１３のＹＥＳ）、ＳＴ１５でスピンドル４５の回転を停止し、図７のフローは終了する。
【００７２】
ＳＴ１５で、スピンドル４５が１周回転したと判断した場合（ＳＴ１４のＹＥＳ）には、ＳＴ１６に移動する。ウェハ１００の外周のいずれかにノッチが刻まれているから、通常は、スピンドル４５が１周回転すれば、ＳＴ１１〜ＳＴ１３の検出処理で、センサ６１は、ノッチを検出できるはずである。しかし、ノッチがクランパ４１〜４３に隠れる位置でクランパ４１〜４３がウェハ１００に当接した場合には、センサ６１は、発光素子６０の光を検出できず、１周回転してもノッチを検出できない。そこで、以下のＳＴ１６〜ＳＴ１９を行う。
【００７３】
ＳＴ１６で、制御部９は、ウェハ位置合わせ装置１のチャック４４の可動部を一旦、開いて、クランパ４１〜４３がウェハ１００から退避した状態にする（アンクランプ状態）。
ＳＴ１７で、制御部９は、ウェハ位置合わせ装置１のヘッド３１〜３６のエア吐出を開始する。ヘッド３１〜３６は吐出口に旋回流形成体８２が設けられているから、ヘッド３１〜３６のエア吐出を開始すると、ウェハ１００が回転する。
ＳＴ１８で、制御部９は、所定時間経過したかどうか判断し、所定時間するまで待機する。ＳＴ１７、ＳＴ１８により、ノッチがクランパ４１〜４３のいずれかと重なっていた状態を解消できる。この所定時間は、この状態を解消できる所定の回転量、回転させるのに必要な時間、例えば１〜３秒程度とする。なお、この所定の回転量は、この状態を解消できる量であれば良く、厳密に一定量である必要はない。
ＳＴ１９で、制御部９は、再度、ウェハ位置合わせ装置１のチャック４４の可動部を閉じて、クランパ４１〜４３がウェハ１００に当接している状態にする（クランプ状態）。その後、ＳＴ１２に戻って、ＳＴ１２からＳＴ１４をやり直す。ＳＴ１２からＳＴ１４の処理をやり直しても、センサ６１がノッチを検出ができない場合には、再度ＳＴ１５〜ＳＴ１８の処理を行う。
【００７４】
次に、図８のフロー図は、ウェハ位置合わせ装置から搬送装置に搬出するワーク受け渡し処理であり、図７のノッチ・オリフラ検出処理を終了した場合に行う処理である。図８のフローを実行する前提として、搬送制御部７９は、制御部９からこの検出処理の終了の信号を受けているものとする。
【００７５】
ＳＴ２１で、搬送制御部７９は、ウェハ１００を保持していない空のアーム７００を、クランパ７５〜７７が退避した状態で、ウェハ１００の上面からウェハ位置合わせ装置１に近接させ、ハンド先端７２をセンサ部６の下に挿入させる。
ＳＴ２２で、搬送制御部７９は、ハンド７のヘッド７３１〜７３６からエア吐出を開始させる。
ＳＴ２３では、ＳＴ２２に遅れて、またはＳＴ２２と同じタイミングで、搬送制御部７９が搬送装置７のチャック７８の可動部を閉じるよう指示して、クランパ７５〜７７がウェハ１００に当接する（クランプ状態）。
ＳＴ２４で、制御部９は、ＳＴ２２、ＳＴ２３の完了の信号を搬送制御部７９から受けて、ウェハ位置合わせ装置１のチャック４４の可動部を開くよう指示し、クランパ４１〜４３がウェハ１００から退避する（アンクランプ状態）。
ＳＴ２５で、ＳＴ２４と並行して、制御部９は、ウェハ位置合わせ装置１のヘッド３１〜３６のエア吐出を停止させる。
ＳＴ２６で、搬送制御部７９は、制御部９からＳＴ２５のエア吐出を停止した旨の信号を受けると、ウェハ１００を保持した搬送装置７のアーム７００を退避させる。
【００７６】
以上の実施形態について補足する。
以上の実施形態は、ノッチの検出に限らず、オリフラ等、ウェハの面方位を検出するためにウェハに刻まれた被検出体の検出および位置決めに適用できる。
また、ヘッド（３１〜３６）は、６つに限らない。ウェハ１００を浮かし、エアの吐出によりウェハ１００を回転することができれば、ヘッド（３１〜３６）の数は、６以上でも、６以下でもよい。ベルヌーイ円盤３０の中央に設けても良い。搬送装置７のヘッド７３１〜７３６も同様である。
【００７７】
また、チャック４４は、クランパ４１〜４３すべてを半径方向に動かすものとしたが、そのうちの一部のクランパのみを動かし、その他のクランパを固定としても良い。クランパの数は、３つに限らない。クランパの接点の数は２箇所以上必要であるが、クランパの接点が３箇所以上あるとウェハ１００に当接した状態が安定する。クランパの数は、４つ以上でも良い。また、ここで説明したこのクランパ４１〜４３の説明は、クランパ７５〜７７にも当てはまる。ただし、ウェハ位置合わせ装置１側のクランパ４１〜４３については、この数が多いと、ノッチと重なる可能性が多くなり、再保持ルーチン９２を行う回数が増える。
また、クランパ４１〜４３等の別の構成として、ウェハ１００に当接して所定の中心位置に保つものであればクランパ４１〜４３、クランパ支持部４１１、４２１、４３１、チャック４４に限らずどのようなでも良い。チャック４４の動力は、電磁的方法でなくとも、エア、油圧でもよい。搬送装置７も同様である。
【００７８】
また、図１とは別のスピンドル４５の軸支方法としてスピンドル４５を中空にして、その中に台座部２に固定した軸と軸受を備える構成でも良い。
【００７９】
また、発光素子６０、センサ６１は、ウェハ１００に光を通して、ノッチを検出できれば良く、発光素子６０、センサ６１間にウェハ１００を挟む位置関係にあればよい。例えば、図１の発光素子６０を下側、センサ６１を上側に配置しても良い。
【００８０】
また、以上では、スピンドル回転機構５とスピンドル４５を用いて説明したが、保持具３とヘッド３１〜３６を回転させることができ、かつ、これらが回転しても保持具３にエアを供給できる構成であれば、どのようなものでも良い。例えば、ベルト５３を介さず、チャック４４を直接モータで回転させる構成でも良い。この場合、エアの配管方法については、例えば、モータを中空にしてエアの配管を通し、自在継ぎ手を用いてポンプに接続することにより行うことができる。
【００８１】
また、図７で示したＳＴ１７について、ウェハ位置合わせ装置１は、ウェハ１００を持ち替えたり、昇降したりする必要がない。したがって、搬送装置７のハンド先端７２を退避せず、ハンド先端７２をベルヌーイ円板１００上方に停留したまま、図８のフローで示したノッチの位置決めを行なってもよい。このように停留したまま検出工程を行うためには、ウェハ位置合わせ装置のクランパ４１〜４３が回転するときに、クランパ７５〜７７がクランパ４１〜４３との干渉を防ぐ必要がある。この干渉を防ぐ方法としては、例えば以下の方法がある。
（Ａ１）１つには、ハンド７０をベルヌーイ円盤３０から離れる方向１０５（図５参照。）へ数ミリ程度上昇させる方法がある。これにより、クランパ４１〜４３と干渉を避けることができる。なお、前記ウェハ１００を保持していない状態で、方向１０５へ移動したときに、センサ部７とハンド先端７２が干渉がないようにする。具体的には、方向１０５へ移動したときに、センサ部７と干渉がない位置にクランパ７５〜７７の支持部を設ける。
【００８２】
（Ａ２）また、クランパのストロークを大きくとって、ウェハ位置合わせ装置のクランパ４１〜４３の外側に、ハンドのクランパ７５〜７７を退避させることができる。これによりクランパ４１〜４３との干渉を防ぐことができる。
（Ｂ）その他の方法としては、搬送装置のハンド７０がウェハを吸着する構成にすることができる。そして、ウェハ位置合わせ装置のクランパ４１〜４３と干渉がないよう、ハンド先端７２の吸着面がクランパ４１〜４３の内側で保持面側に突き出した形状にする方法がある。
【００８３】
さらに、搬送装置７のヘッド７５〜７７を図５で示した旋回流を発生させる構成にして、ヘッド７５〜７７が図６のＳＴ１６のウェハ１００の回転動作を行うようにしてもよい。この場合には、ウェハ位置合わせ装置１側のヘッド３１〜３６を、図５で示した旋回流を発生させる構成にする必要はない。
また、以上では、ウェハ位置合わせ装置１がウェハ１００の下側、搬送装置７がウェハ１００の上側とした位置関係の構成を説明したが、保持具３と、ハンド先端７２とが、このウェハの面の互いに逆側の面からこのウェハを取り合ってウェハ１００の授受を行うのであれば、保持具３はいずれの方向を向いていても良い。例えば、図４で示した保持具３とハンド先端７２の位置関係は上下逆でもよい。また、ウェハ１００を立てた向きで、ハンド先端７２、保持具がウェハ１００を挟み込む方向から、ウェハ１００を授受しても良い。
また、制御盤９０１の液晶表示部９０２は、必須ではなく、制御盤９０としては、少なくとも制御部９、電流駆動部９０２があればよい。電源オンと同時に所定の検出ルーチン９１、再保持ルーチン９２、ワーク受け渡しルーチン９３を実行するのであれば、操作部９０１も不要である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】ウェハ位置合わせ装置の側面図である。
【図２】ウェハ位置合わせ装置の平面図である。
【図３】クランパの形状の実施例を表す図である。
【図４】ウェハ位置合わせ装置のヘッドの構造例を表す図である。
【図５】搬送装置がウェハ位置合わせ装置のベルヌーイ円盤上のウェハに近接した状態を表す図である。
【図６】ワーク受け渡し工程（搬送装置→ウェハ位置合わせ装置）のフロー図である。
【図７】検出工程のフロー図である。
【図８】ワーク受け渡し工程（ウェハ位置合わせ装置→搬送装置）のフロー図である。
【符号の説明】
【００８５】
１−ウェハ位置合わせ装置、  １００−ウェハ、  ２−台座部、
３−保持具、  ３０−ベルヌーイ円盤、  ３０１−支持台、
３１〜３６−ヘッド、  ３７−回転中心、
４１〜４３−クランパ、  ４１１、４２１、４３１−クランパ支持部、
４１０１、４１０２−面、  ４１０３−押さえ、  ４１０４、４１０５−テーパ面、
４４−チャック、  ４５−スピンドル、  ５−スピンドル回転機構、
５０−モータ、  ５１、５２−プーリ、  ５３−ベルト、  ５４−回転中心、
６−センサ部、  ６０−発光素子、  ６１−センサ、
７−搬送装置、  ７０−ハンド、  ７００−アーム、
７１−ハンド後端、  ７２−ハンド先端、  ７３０−搬送ヘッド取付面、
７３１〜７３６−ヘッド、
７５〜７７−クランパ、  ７８−チャック、  ７９−搬送制御部、
８２−旋回流形成体、  ８２Ａ−平坦面、  ８２Ｂ−平坦状端面、  ８３−凹部、
８４−吐出口、  ８５−流体通路、  ８６−流体導入口、  ９−制御部、
９０−制御盤、  ９１−検出ルーチン、  ９２−再保持ルーチン、
９３−ワーク受け渡しルーチン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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