(57)【要約】【課題】プラズマプロセスに高周波エネルギを供給する高周波電力発生器３，４を生成されるドライブ制御信号Ｃ，Ｄを使用してドライブ制御するための方法においてプラズマチャンバの種々様々な電極のできるだけフレキシブルな電力供給を可能にする。【解決手段】パルス信号Ｅ，Ｆが生成され、かつそれぞれ１つのドライブ制御信号Ｃ，Ｄおよびパルス信号Ｅ，Ｆを使用してそれぞれの高周波電力発生器によりパルス化された高周波エネルギ信号Ｇ，Ｈが生成される。【選択図】図１
2008117777.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマプロセスに高周波電力を供給する少なくとも２つの高周波電力発生器（３，４）を生成される少なくとも２つのドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）を使用してドライブ制御するための方法において、
少なくとも１つのパルス信号（Ｅ，Ｆ）が生成され、かつそれぞれ１つのドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）およびパルス信号（Ｅ，Ｆ）を使用してそれぞれの高周波エネルギ電力発生器（３，４）によりパルス化された高周波電力信号（Ｇ，Ｈ）が生成される
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
それぞれの高周波エネルギゼネレータ（３，４）に対してパルス信号（Ｅ，Ｆ）が生成される
請求項１記載の方法。
【請求項３】
１つまたは複数のパルス信号（Ｅ，Ｆ）のパルス周波数および／または衝撃係数および／または位相位置が調整設定される
請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
異なっている高周波電力発生器（３，４）に割り当てられているパルス信号（Ｅ，Ｆ）の位相位置および／または周波数関係を調整設定する
請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
パルス周波数が同一の高周波電力発生器（３，４）に割り当てられているドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）の周波数より小さい
請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
パルス周波数が同一の高周波電力発生器（３，４）に割り当てられているドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）の周波数に同期または非同期に調整設定される
請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
それぞれの高周波電力発生器（３，４）に対してドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）が生成される
請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
ドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）および／またはパルス信号（Ｅ，Ｆ）がそれぞれ関数発生器（１３，１４；２３，２４）、殊にデジタル関数発生器を使用して有利にはデジタルデジタル正弦波状信号発生器を使用して生成される
請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
ドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）の位相関係および／または周波数関係は相互に調整設定される
請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
少なくとも２つのドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）および／またはパルス信号（Ｅ，Ｆ）は異なった周波数を有している
請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
ドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）および／またはパルス信号（Ｅ，Ｆ）の調整設定は高周波電力発生器ドライブ制御装置（２）の少なくとも１つのディジタルインタフェース（２０）を介して行う
請求項１から１０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】
ドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）および／またはパルス信号（Ｅ，Ｆ）の調整設定はプログラミング可能な論理モジュール、例えばＦＰＧＡまたはプロセッサをを介して行われる
請求項１から１０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
ドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）の周波数は１ＭＨｚ〜６ＭＨｚの整数倍、例えば３．３９ＭＨｚの整数倍として選定される
請求項１から１２までのいずれか１項記載の方法
【請求項１４】
ディジタル周波数発生器（１３，14；２３，２４）は共通のクロック周波数によってドライブ制御される
請求項１から１３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１５】
高周波エネルギを供給する高周波電力発生器（３，４）を備えた少なくとも２つのプラズマプロセスをドライブ制御するための高周波電力発生器ドライブ制御装置（２）であって、該ドライブ制御装置（２）が少なくとも１つのドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）を生成するための少なくとも１つのドライブ制御信号生成装置（１０，１１）を有している形式のものにおいて、
それぞれ１つのパルス信号を生成するための少なくとも２つのパルス信号生成装置（２１，２２）が設けられておりまたは少なくとも２つのドライブ制御信号生成装置（１０，１１）および少なくとも１つのパルス信号生成装置（２１，２２）が設けられている
ことを特徴とする高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項１６】
パルス信号生成装置（２１，２２）はドライブ制御装置（２）に配置されている
請求項１５記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項１７】
ドライブ制御信号生成装置（１０，１１）および／またはパルス信号生成装置（２１，２２）はそれぞれ、殊にディジタル関数発生器（１３，１４；２３．２４）、殊に正弦波状信号発生器を有している
請求項１５または１６記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項１８】
関数発生器（１３，１４；２３．２４））はダイレクトディジタルシンセサイザＤＤＳとして構成されている
請求項１から１７までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項１９】
ドライブ制御信号生成装置（１０，１１）および／またはパルス信号生成装置（２１，２２）はディジタル関数発生器（１３，１４；２３．２４）に後置接続されてるフィルタ装置（１５，１６；２５，２６）を有している
請求項１５から１８までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２０】
ドライブ制御信号生成装置（１０，１１）および／またはパルス信号生成装置（２１，２２）はディジタル関数発生器（17，27；28．２４）に後置接続されてるフィルタ装置（１５，１６；２５，２６）はそれぞれのドライブ制御信号（Ｃ，Ｄ）またはパルス信号（Ｅ，Ｆ）を生成する比較器（１７，１８；２７，２８）を有している
請求項１５から１９までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２１】
プロセッサ（１２）はドライブ制御信号生成装置（１０，１１）および／またはパルス信号生成装置（２１，２２）をドライブ制御するように設定されている
請求項１５から２０までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２２】
プロセッサ（１２）は１つまたは複数のパルス信号（Ｅ，Ｆ）を生成する
請求項１５から２１までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２３】
ドライブ制御および／またはパルス信号生成装置（１０，１１；２１，２２）および／またはプロセッサ（１２）に接続されている、クロック信号を生成するための発振器（１９）が設けられている
請求項１５から２２までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２４】
少なくとも１つのインタフェース（２０）、例えばシリアルインタフェースおよび／またはユーザインタフェースが設けられている
請求項１５から２３までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２５】
プログラミング可能な論理モジュール（４０）が設けられている
請求項１５から２４までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置。
【請求項２６】
少なくとも２つの高周波電力発生器（３，４）を備えており、該高周波電力発生器は請求項１５から２５までのいずれか１項記載の高周波電力発生器ドライブ制御装置（２）によってドライブ制御されることを特徴とする高周波プラズマ励起装置（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つのドライブ制御信号が生成される、プラズマプロセスに高周波電力（ＨＦエネルギーもしくはＨＦパワー）を供給する少なくとも２つの高周波電力発生器のドライブ制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波プラズマプロセスは例えばエッチング、コーティングおよびアッシングに用いられる。これまでこのようなプロセスでは比較的小さい面積の処理が行われてきた。しかしプラズマプロセスにおいて、ますます大きくなっていく面積の処理、例えば半導体産業における大面積のウェハまたは大画面フラットパネルディスプレイなどの処理が行われるようでなければならない。これまでは処理すべき面全体にわたって均一なプラズマを形成することは比較的簡単であったが、最近ではコーティングすべき面またはエッチングすべき面の寸法はプラズマの励起信号またはその高調波の波長領域に達している。このためプラズマに波が生じ、均一なプラズマ処理が著しく困難になっている。
【０００３】
この問題に対処するために、異なる周波数または同一の周波数で駆動される複数の高周波プラズマ発生器を使用することが知られている。例えば米国特許第５６９８０６２号明細書からは、低電圧源および分周器を備えた高周波電力発生器駆動制御装置が知られている。分周器を介して、高周波電力発生器と見なすことのできる２つの高周波増幅器が駆動制御される。各増幅器はプラズマプロセスの種々の位置へ高周波エネルギを供給する。
【０００４】
米国特許第５８２４６０６号明細書からも、２つのエネルギ高周波ジェネレータを同一の周波数で駆動制御し、これら２つの高周波電力発生器を介してプラズマプロセスの種々の位置へ高周波エネルギを供給することが公知である。位相シフタを介して、高周波電力発生器から出力される信号の位相位置が相互に調整設定される。
【０００５】
米国特許６６７３７２４Ｂ２号には、ＤＣ給電部および第１の信号形状変調器を用いた第１の信号発生器において第１の電極に対する第１の信号が生成されかつ高周波電力発生器および第２の信号形状変調器を用いた第２の信号発生器において第２の電極に対する第２の信号が生成される装置が記載されている。
【０００６】
フラットパネルディスプレイＦＰＤの製造技術においては、プラズマをＭＦ領域（＝１０ｋＨｚ〜１ＭＨｚ）で励起することが試みられている。このために別の電極対の直接近傍に複数の電極対が配置される。それぞれの電極対にはＭＦ発生器から給電される。各ＭＦ発生器は同期して動作してはおらず、必ずしも同一の周波数で駆動されない。このため２つの隣接する電極対の間に高い電圧およびビートが発生する。こうした高い電圧は隣接する電極対の間にきわめて望ましくないアークを発生させることがある。ゆえにそれぞれの発生器を同期し、個々の発生器の位相を調整設定することができると有利である。
【特許文献１】米国特許第５６９８０６２号
【特許文献２】米国特許第５８２４６０６号
【特許文献３】米国特許第６６７３７２４Ｂ２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、プラズマチャンバの種々様々な電極のできるだけフレキシブルな電力供給を可能にする方法および装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題は本発明によれば、冒頭に述べた形式の方法を特別簡単かつ驚くべき形式および仕方で次のようにして解決される。少なくとも１つのパルス信号が生成され、かつその都度１つのドライブ制御信号およびパルス信号を使用してそれぞれの高周波電力発生器によりパルス化された高周波電力信号が生成される。これにより、それぞれ１つの電力発生器に接続されている種々異なっている電極をほぼ任意に調整設定可能な電力信号によって給電することが可能である。例えば１つまたは複数のスイッチングする、高周波電力発生器のエレメントをスイッチングするドライブ制御信号を介して、例えば高周波電力発生器から送出される高周波電力信号の信号形状および／または周波数を調整設定することができる。パルス信号により高周波電力信号をパルス化することができる。このことは例えば、ドライブ制御信号を既にパルス化する、いわばパルス信号に依存してオンオフすることによって実現することができる。パルス化された高周波電力信号のパルス特性はパルス信号によって調整設定することができる。これによりユーザの手に、沢山のパラメータを渡して、プラズマプロセスに供給されるエネルギに影響が及ぼされる。基本的に、すべての高周波電力発生器に対して同じドライブ制御信号を生成しかつ高周波電力発生器に対して種々異なっているパルス信号を生成することが考えられる。他方において、それぞれの高周波電力発生器に対して個有のドライブ制御信号を生成しかつすべての高周波電力発生器に対して同じパルス信号を使用することも考えられる。
【０００９】
本発明の方法の特別有利な変形形態において、それぞれの高周波電力発生器に対して１つのパルス信号を生成することができる。これにより、それぞれの高周波電力発生器の出力側において種々異なっているパルス化された高周波電力信号を生成することはできる。
【００１０】
１つまたは複数のパルス信号のパルス周波数および／または衝撃係数および／または位相位置を調整設定すれば、パルス化された高周波電力信号の生成を一層フレキシブルにすることができる。こうしてプラズマプロセスにおいて電力もしくはエネルギに影響を及ぼす沢山の可能性が生じる。その際衝撃係数は０〜１００％の領域に調整設定することができる。
【００１１】
種々異なっている高周波電力発生器に配属されているパルス信号の位相位置および／または周波数関係を調整設定すれば、特別有利である。これにより、プラズマプロセスに最適でありかつ調整されている電力供給を種々異なっている電極を介して行うことができる。これにより、必要の場合にはパルス信号を同期することも可能になる。例えば同一の周波数を有するが、位相はそれぞれ相互にずれているパルス信号を生成することができる。例えばこれらは同相、逆相または相互に任意の位相であってよい。また少なくとも２つのパルス信号が異なる周波数を有するように構成してもよい。このとき周波数は任意に選定することもできるし、相互に所定の数学的関係を有するように選定することもできる。
【００１２】
パルス周波数が同一の高周波電力発生器に割り当てられているドライブ制御信号の周波数より小さいという特徴を有する形態もある。例えばパルス周波数は１Ｈｚ〜１ＭＨｚの領域にかつドライブ制御信号の周波数は１０ｋＨｚ〜３００ＭＨｚの領域に選択することができる。
【００１３】
更に、パルス周波数が同一の高周波電力発生器に割り当てられているドライブ制御信号の周波数と同期または非同期に調整設定されるようにすることができる。例えばパルス信号およびドライブ制御信号は、ドライブ制御信号がドライブ制御信号の完全な周期の始めまたは終わりにだけパルス化されるように相互に調整することができる。例えば、パルス信号の上昇および／または下降側縁がドライブ制御信号の零点通過の際にのみ発生するように設定することができる。
【００１４】
それぞれの高周波電力発生器に対して１つのドライブ制御信号が生成されるようにすれば特別有利である。これによりプラズマプロセスにおいて特別フレキシブルなエネルギ供給を行うことができる。
【００１５】
本願発明の方法の変形形態において、ドライブ制御信号および／またはパルス信号がそれぞれ関数発生器、殊にデジタル関数発生器、有利にはデジタル正弦波状信号発生器を使用して生成されるようにすることができる。相互に独立して調整設定可能なディジタル関数発生器を使用することにより、ドライブ制御信号を生成する際にほぼ任意のドライブ制御信号および／またはパルス信号を生成することができる。特に個々のドライブ制御信号および／またはパルス信号の周波数および位相位置並びに種々異なっているドライブ制御信号および／またはパルス信号の種々の関係は相互に調整設定される。これによりプラズマプロセスにおいて高周波エネルギの供給を所望通り調整設定および変化させることができる。こうして、種々の高周波電力発生器に対するドライブ制御信号および／またはパルス信号の適切なコンビネーションが形成可能となり、大面積のコーティングプロセスまたは大面積のエッチングプロセスにおいてもプラズマを均一化することができる。なお本発明において高周波とは１０ｋＨｚ〜３００ＭＨｚの領域の周波数であると理解されたい。
【００１６】
或る有利な実施形態では、ドライブ制御信号の位相関係および／または周波数関係が相互に調整設定される。この場合、適用分野に応じて種々のシナリオを考えることができる。例えば同一の周波数および相互にシフトされた位相を有するドライブ制御信号を生成することができる。これにより例えば２つの電極間の電圧差を調整設定することができる。こうした場合、出力側における高周波電力発生器のインピーダンス、予め定めたＤＣ電圧の出力エネルギー、アーク特性およびプラズマのイオンエネルギーが影響を受ける。
【００１７】
また少なくとも２つのドライブ制御信号および／またはパルス信号が異なる周波数を有するように構成してもよい。このとき周波数は任意に選定することもできるし、相互に所定の数学的関係を有するように選定することもできる。例えば各周波数は基本周波数の複数倍に選定することができる。つまりドライブ制御信号の同期が可能である。
【００１８】
ドライブ制御信号および／またはパルス信号の調整設定は有利には、高周波電力発生器ドライブ制御装置の少なくとも１つのデジタルインタフェースを介して行うことができる。その際、複数の関数発生器が唯一のインタフェースによって影響を与えられるように設定することができる。また各関数発生器に対して１つずつインタフェースを設けて勿論よい。
【００１９】
有利には、ドライブ制御信号および／またはパルス信号の調整設定はプログラミング可能な論理モジュール、例えばＦＰＧＡまたはプロセッサを介して行われる。
【００２０】
ドライブ制御信号の周波数が１ＭＨｚ〜６ＭＨｚの領域の固定周波数の整数倍、例えば３．３９ＭＨｚの整数倍に選定されていると、本発明をエッチングプロセスに使用する際に特別有利である。周波数３．３９ＭＨｚに係数４を乗算することにより、産業、化学および医療に対する有利な周波数、いわゆるＩＳＭ（Industrial, Scientific and Medical）周波数１３．５６ＭＨｚが得られ、係数８を乗算することによりＩＳＭ周波数２７．１２ＭＨｚが得られる。ここで本発明の方法によれば、一方のドライブ制御信号をＩＳＭ周波数で生成し、他方のドライブ制御信号を周波数３．３９ＭＨｚの別の倍数として生成することができる。有利には、クロック周波数を特に有利なＩＳＭ周波数１３．５６ＭＨｚの整数倍とし、その場合に特別有利なＩＳＭ周波数を特に簡単に調整設定することができる。
【００２１】
有利には、ディジタル周波数発生器は共通のクロック周波数によってドライブ制御される。この手段により、２つのドライブ制御信号の周波数および位相関係を相互に特に簡単に調整設定可能である。また関数発生器をドライブ制御するプロセッサにも共通のクロック周波数が供給されるので、プロセッサから関数発生器へのデータの同期転送も保証されている。
【００２２】
本発明の枠内において更に、少なくとも２つのプラズマプロセスに高周波電力を供給する高周波電力発生器をドライブ制御するための高周波電力発生器ドライブ制御装置もあり、その場合ドライブ制御装置は少なくとも１つのドライブ制御信号を生成するための少なくとも１つのドライブ制御信号生成装置を有しておりかつそれぞれ１つのパルス信号を生成するための少なくとも２つのパルス信号生成装置が設けられておりまたは少なくとも２つのドライブ制御信号生成装置および少なくとも１つのパルス信号生成装置が設けられている。これによりプラズマの均質性をほぼ任意に調整設定することができる。
【００２３】
１つまたは複数のパルス信号生成装置をドライブ制御装置に配置すれば、高度な集積度が実現される。
【００２４】
有利な実施形態において、ドライブ制御信号生成装置および／またはパルス信号生成装置がそれぞれ殊にデジタルの関数発生器、殊に正弦波状信号発生器を有しているように設定することができる。この形式の配置構成により多岐にわたるドライブ制御信号を生成することができる。殊に個々のドライブ制御信号の位相位置および周波数を任意に調整設定することができる。したがって高周波電力発生器ひいてはプラズマプロセスを制御する多数の形態が可能になる。特に有利なのは同型の４つのディジタル関数発生器が統合されたAnalogDevices社のＡＤ９９５９である。
【００２５】
特に有利には、関数発生器はダイレクトディジタルシンセサイザＤＤＳ（Direct Digital Synthesizer）として構成される。ＤＤＳにより特に段状正弦波信号を生成することができる。この場合、位相位置は実質的にランダムに調整設定することができる。周波数も同様にＤＤＳの能力に応じて広範囲に調整設定することができる。
【００２６】
特に有利には、ドライブ制御信号生成装置および／またはパルス信号生成装置はディジタル関数発生器の後方に接続されているフィルタ装置を有する。ディジタル関数発生器の出力信号は段状信号であり、特に有利には段状正弦波形を有している。この信号がフィルタ回路へ供給されると曲線が平滑化され、アナログの正弦波信号が形成される。このような正弦波信号により所定の高周波電力発生器をドライブ制御することができる。
【００２７】
比較的新規な高周波電力発生器に対するドライブ制御信号またはパルス信号を生成するために、ドライブ制御信号生成装置および／またはパルス信号生成装置が各ドライブ制御信号またはパルス信号を生成する比較器を有していると都合が良い。比較器により例えば、平滑化された正弦波信号から矩形信号が得られ、これを用いて高周波電力発生器をドライブ制御することができる。この場合、関数発生器そのものに比較器を設け、ディジタル正弦波信号をまずフィルタ回路へ出力してそこで平滑化し、得られた信号を再び関数発生器へ、厳密にはそこの比較器へ供給するように構成してもよい。
【００２８】
特に有利には、プロセッサはドライブ制御信号および／またはパルス信号生成装置をドライブ制御するために設けられる。これにより信号形成装置の関数発生器を所望通りにプログラミングすることができる。プロセッサは１つまたは複数のインタフェースを介して制御可能および／またはプログラミング可能であるとよい。プロセッサ（同一のまたは別のプロセッサ）は、それがパルス信号を生成するようにすることで、パルス信号生成装置の構成部分であってもよい。
【００２９】
また、クロック信号を生成する発振器を設け、これを信号生成装置および／またはプロセッサに接続すれば、同期可能となる。
【００３０】
本発明の別の有利な実施形態では、少なくとも１つのインタフェース、例えばディジタルインタフェースおよび／またはユーザインタフェース（操作パネル）が設けられる。これにより殊に、プロセッサを介して関数発生器にアクセスできるようになる。こうして例えば、周波数または位相は予め定めた範囲内でユーザにより変更可能となる。また、このようなインタフェースを用いると、ドライブ制御信号および／またはパルス信号、特にその周波数および位相位置を自動制御することもできる。少なくとも２つの信号生成装置を１つのインタフェースによって調整することができる。その場合には２つの信号生成装置のそれぞれを調整することもできるし、周波数と位相とを独立に、または相互に依存して調整設定することもできる。
【００３１】
高周波電力発生器ドライブ制御装置は、プロセッサに加えてまたはこれに代えて、インタフェースおよび／または信号形成装置に接続されているプログラミング可能なディジタル論理モジュール、殊にＦＰＧＡを有していてもよい。ここでディジタル論理モジュールはプロセッサとして実現することもできる。殊にプロセッサに少なくとも１つのパルス信号および少なくとも１つのドライブ制御信号が供給されるようにするとよい。この場合論理モジュールが信号を同期することができる。
【００３２】
本発明は更に、上述の高周波電力発生器ドライブ制御装置によりドライブ制御されるようになっている少なくとも２つの高周波電力発生器を備えた高周波プラズマ励起装置を本願している。ここでの高周波プラズマ励起装置は例えばフラットパネルディスプレイ製造において周波数３．３９ＭＨｚおよびその複数倍で使用されるようなものであってよい。またここでの高周波プラズマ励起装置は周波数１０ｋＨｚ〜１ＭＨｚの領域のコーティング装置であってもよい。この装置では相互に直接近傍に複数の電極対が配置されている。ここでは隣接する各発生器の出力信号が同期され、その位相位置が相互に調整設定される。
【００３３】
本発明の更に別の特徴ならびに利点は、本発明にとって重要な詳細を描いた図面を参照した本発明の実施例に関する説明、並びに特許請求の範囲に示されている。個々の特徴は各々それ自体単独で実現してもよいし、あるいは本発明の変形実施例において複数の特徴を任意に組み合わせて実現してもよい。
【実施例】
【００３４】
図面には本発明の有利な実施例が描かれており、以下ではそれらの図面を参照しながら本発明の実施例について詳しく説明する。
【００３５】
図１には高周波プラズマ励起装置１が示されており、この高周波プラズマ励起装置は後に詳述する高周波電力発生器ドライブ制御装置２を有する。高周波電力発生器ドライブ制御装置は、この実施例では、第１の高周波電力発生器および第２の高周波電力発生器４に対する２つのドライブ制御信号Ｃ，Ｄおよび２つのパルス信号Ｅ，Ｆを生成する。これらの信号を使用して高周波エネルギゼネレータ３，４はその出力側にパルス化されたエネルギ信号Ｇ，Ｈを生成する。これらは例えば図６ａ、６ｂに示されている。
【００３６】
パルス信号Ｅ，Ｆは、図７ａに示されているように、ドライブ制御信号Ｃ，Ｄと同期されていてよい。つまり、基本周波数（ドライブ制御信号）の位相位置はパルス信号の位相位置に関連して固定的に調整設定されている。すなわち位相関係は同じにとどまっている。
【００３７】
図７のｂには、ドライブ制御信号Ｃおよびパルス信号Ｅが同期している、すなわち位相関係が変化している別の可能な例が示されている。
【００３８】
パルス化された高周波エネルギ信号Ｇ，Ｈは整合回路網５，６を介してプラズマチャンバ７の電極３２，３３に供給される。ここで２つの高周波エネルギゼネレータ３，４を介して高周波エネルギを供給することによりプラズマプロセスが実施される。
【００３９】
図２ａには高周波電力発生器ドライブ制御装置２が示されている。この装置はドライブ制御信号を生成する２つのドライブ制御信号生成装置１０，１１を含む。プロセッサ１２を介してドライブ制御信号生成装置１０，１１に対し、どのようなタイプのドライブ制御信号を生成すべきかが設定される。殊にドライブ制御信号の周波数および位相が予め定められる。この設定に基づいて、ディジタル関数発生器１３，１４が信号、例えば信号Ａ（図３，信号Ａは図２ａ〜２ｃの位置Ａの信号に相応する）によって示されているような信号を生成する。信号Ａはディジタルに生成されるので、段状信号となる。この信号は平滑化を行うフィルタ回路１５，１６へ供給され、ここから例えば図３の正弦波状信号Ｂが生成される。この信号Ｂは比較器１７，１８へ供給され、ここで図３の矩形信号Ｃが生成される。
【００４０】
高周波電力発生器ドライブ制御装置２は実施例において更に、パルス信号を生成するための２つのパルス信号生成装置２１，２２を有している。プロセッサ１２を介してパルス信号生成装置21，22に対し、どのようなタイプのパルス信号を生成すべきかが設定される。殊にパルス信号の周波数および位相が予め定められる。この設定に基づいてデジタル関数発生器２３，２４において信号が生成される。この信号は平滑化を行うフィルタ装置２５もしくは２６へ供給され、ここから例えば正弦波状信号が生成される。この信号は比較器２７，２８へ供給され、ここで矩形信号が生成される。
【００４１】
高周波電力発生器ドライブ制御装置２はさらに、共通のクロックを予め定める発振器１９を有している。殊に発振器１９はクロックを、実施例ではいわゆるＤＤＳとして実現されているデジタル関数発生器１３，１４；２３，２４、およびプロセッサ１２に供給する。ドライブ制御信号およびパルス信号の生成に影響を及ぼすことができるように、インタフェース２０を設けることができる。図２にはそのうちの１つだけが図示されている。例えばユーザに、ドライブ制御信号およびパルス信号の位相位置および／または周波数を調整設定するもしくは調整し直す可能性が与えられるようにすることができる。その際プロセッサ１２においてインタフェース２０を介して入力される信号を０〜５Ｖの領域において０〜３６０°の領域における位相にマッピングすることができる。しかし予め定めた電圧領域を領域１０ｋＨｚ〜３００ＭＨｚの周波数にまたは例えば３．３９ＭＨｚの基本周波数と乗算される乗数の領域にマッピングすることも考えられる。択一的に、予め定めた電圧領域を、例えば２７．１２ＮＨｚの予め定めた基本周波数を除算する除数にマッピングすることができる。
【００４２】
図２ｂには図２ａとは異なって、別個のパルス信号生成装置が設けられている。パルス信号生成装置の機能を果たすのは、パルス信号Ｅ，Ｆを直接生成するプロセッサ１２（マイクロプロセッサ）である。
【００４３】
図２ｃの実施例において更に、ＦＰＧＡとして実現されているプログラミング可能な論理モジュール４０が設けられている。ここには、プロセッサ１２により生成されたパルス信号も、ドライブ制御信号Ｃ，Ｄも供給される。論理モジュール４０によりパルス信号はドライブ制御信号Ｃ，Ｄと同期されるので、同期されたパルス信号Ｅ，Ｆは論理モジュール４０の出力側に現れる。
【００４４】
図４のａ〜ｃにはドライブ制御信号Ｃ，Ｄの種々の特性経過が示されている。図４ａでは、信号Ｃ，Ｄは相互に同期されており、ドライブ制御信号Ｃはドライブ制御信号Ｄに比べて２倍の周波数を有する。
【００４５】
図４のｂでは、信号Ｃ，Ｄは図４のａと同じ周波数関係であり、つまり信号Ｃの周波数が信号Ｄの周波数の２倍である関係を有するが、信号Ｄは信号Ｃに対して位相シフトされている。
【００４６】
図４のｃでは、信号Ｃ，Ｄは異なる周波数およびずれた位相関係を有する。殊に信号Ｄは信号Ｃの周波数とは異なる周波数を有している。さらに信号Ｃ；Ｄのどちらも他方の信号Ｄ；Ｃの整数倍にはなっていない。
【００４７】
図５のａ〜ｄにおいて例として、図２の個所Ｅ，Ｆに現れるようなパルス信号Ｅ，Ｆが示されている。ここで断っておくが、図５ａ，５ｂのパルス信号Ｅ，Ｆはオーバラップし、一方図５ｃの信号Ｅの下降側縁と図５ｄの信号の上昇側縁との間には隙間があるので、これらの信号はオーバラップしていない。
【００４８】
以上、本発明を２つの高周波電力発生器および２つのドライブ制御信号Ｃ，Ｄ並びに２つのパルス信号Ｅ，Ｆに則して説明した。高周波電力発生器ドライブ制御装置２を２つより多くのドライブ制御信号生成装置１０，１１および２つより多くのパルス信号生成装置２１，２２で構成して、周波数および位相に関して種々様々な関係を相互に有していることができる相応に多くのドライブ制御信号Ｃ，Ｄおよびパルス信号Ｅ，Ｆが生成されるようにすることも勿論できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】高周波プラズマ励起装置の概略図
【図２ａ】高周波電力発生器ドライブ制御装置の第１実施例のブロック線図
【図２ｂ】高周波電力発生器ドライブ制御装置の第２実施例のブロック線図
【図２ｃ】高周波電力発生器ドライブ制御装置の第３実施例のブロック線図
【図３】図２ａ〜ｃの個所Ａ，Ｂ，Ｃでの信号の特性曲線図
【図４】ドライブ制御信号の可能な組み合わせの一例を示す図
【図５】パルス信号の一例を示す図
【図６】パルス化された高周波信号の別の信号経過を示す線図
【図７】パルス信号に同期されたドライブ制御信号を示す線図（ａ）およびパルス信号に非同期であるドライブ制御信号を示す線図（ｂ）
【符号の説明】
【００５０】
１  プラズマ励起装置、  ２  高周波電力発生器ドライブ制御装置、  ３，４  高周波電力発生器、  ５，６  整合回路網、  ７  プラズマチャンバ、  １０，１１  ドライブ制御信号生成装置、  １２  プロセッサ、  １３，１４，２３，２４  デジタル関数発生器、  １５，１６，２５，２６  フィルタ装置、  １７，１７，２７，２８  比較器、  １９  発振器、  ２１，２２  パルス信号生成装置、  ４０  論理モジュール、  Ｃ，Ｄ  ドライブ制御信号、  Ｅ，Ｆ  パルス信号、  Ｇ，Ｈ  パルス化された高周波電力もしくはエネルギ信号
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図２ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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