(57)【要約】【課題】  ビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつレーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法を提供する。【解決手段】  発振段レーザ１０で発振し、増幅段レーザ２０を通過した注入光Ｌａのポインティングと、増幅段レーザ２０単体で発振した増幅段光Ｌｂのポインティングとが重なるように、注入光Ｌａの光軸Ａを調整することを特徴とする。【選択図】図１
2008288321.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極の放電によって発振段チャンバ内のレーザガスを励起し、レーザ光を発振する発振段レーザと、電極の放電によってレーザガスを励起し、レーザ光を発振可能な増幅段チャンバ並びに前記発振段レーザの発振した注入光及び前記増幅段チャンバの発振した増幅段光を共振させる共振器を有する増幅段レーザと、前記発振段レーザから発振され、前記増幅段レーザを通過した注入光のポインティングと前記増幅段レーザ単体が発振する増幅段光のポインティングとを重ねるように前記注入光の光軸を調整する調整手段と、を備えたことを特徴とするレーザ光軸調整装置。
【請求項２】
前記発振段レーザ及び前記増幅段レーザのポインティングを計測可能な計測器と、前記計測器の計測値に応じて前記調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のレーザ光軸調整装置。
【請求項３】
前記調整手段は、調整ミラーからなり、前記制御手段は、前記調整ミラーの角度を制御することを特徴とする請求項２に記載のレーザ光軸調整装置。
【請求項４】
発振段レーザで発振された注入光を増幅段レーザで増幅して出力するレーザ装置の光軸調整方法において、発振段レーザで発振し、増幅段レーザを通過した注入光のポインティングと、増幅段レーザ単体で発振した増幅段光のポインティングとが重なるように、前記注入光の光軸を調整することを特徴とするレーザ装置の光軸調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、空間コヒーレンスが低い露光用２ステージレーザ装置におけるレーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、発振段レーザと、この発振段レーザから放出されるレーザ光を増幅する増幅段レーザとからなり、高安定性、高出力効率及び細い線幅を実現したいわゆるＭＯＰＯ方式の２ステージレーザ装置がある
（特許文献１参照）。
【特許文献１】特再表２００４−０９５６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
露光用エキシマレーザ装置は、高スループット化に伴い、さらに高出力化を要求されている。そのため、近年の露光用エキシマレーザ装置は、発振段と増幅段のツインチャンバを形成するＭＯＰＯ方式２ステージ型が主流となっている。エキシマレーザ装置は、２ステージ型になったことにより、従来よりも装置の構成が複雑化し、光軸のアライメント方法も単純ではなくなっている。
【０００４】
特に、ビームダイバージェンス（発散角）は、光軸の状態に影響を受けやすいため、その調整方法が重要になっている。ビームダイバージェンスとは、ビームの広がりをあらわす物理量であり、図３（ａ）で示される角度θに相当する。レーザ光Ｌのビームダイバージェンスは、露光機の入口や途中の光学系でビームがけられてしまうことを防ぐために、規定値以下になるように設計、及び、調整される必要があり、平行光に近いこと、つまりビームダイバージェンスが小さいことが望ましい。
【０００５】
図３（ｂ）は、ビームダイバージェンスの測定方法を示すものである。ビームダイバージェンスは、レーザ光Ｌをレンズ４１で集光し、焦点位置Ｆに配置したセンサ４２により光軸からのずれを計測することで測定される。
【０００６】
図４は、ＭＯＰＯ方式２ステージ型露光用レーザ装置の概略図である。ＭＯＰＯ方式２ステージ型露光用レーザ装置１において、発振段レーザ１０の狭帯域化モジュール１１、発振段チャンバ１２及び発振段出力ミラー１３で発振された注入光Ｌａは、増幅段注入ミラー２１から増幅段レーザ２０内に注入される。このとき、増幅段注入ミラー２１の反射コートにより、一部が増幅段レーザ２０内側へ透過する。残りは増幅段レーザ２０外側へ反射して戻り光となるが、この戻り光は、増幅段注入ミラー２１の角度により、他の部品と関係しないように設定されている。
【０００７】
２ステージ型露光用レーザ装置１では、発振段レーザ１０による注入光Ｌａの外に、増幅段レーザ２０のもつ増幅段光Ｌｂが存在する。
【０００８】
これらの発振段レーザ１０による注入光Ｌａの光軸Ａと増幅段レーザ２０のもつ光軸Ｂが、センサ４２に入力する際に、僅かでも異なると、それぞれの光軸Ａ，Ｂによりビームダイバージェンスθが大きくなる。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するものであって、ビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつ露光用レーザ装置におけるレーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
そのために本発明は、電極の放電によって発振段チャンバ内のレーザガスを励起し、レーザ光を発振する発振段レーザと、電極の放電によってレーザガスを励起し、レーザ光を発振可能な増幅段チャンバ並びに前記発振段レーザの発振した注入光及び前記増幅段チャンバの発振した増幅段光を共振させる共振器を有する増幅段レーザと、前記発振段レーザから発振され、前記増幅段レーザを通過した注入光のポインティングと前記増幅段レーザ単体が発振する増幅段光のポインティングとを重ねるように前記注入光の光軸を調整する調整手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、前記発振段レーザ及び前記増幅段レーザのポインティングを計測可能な計測器と、前記計測器の計測値に応じて前記調整手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、前記調整手段は、調整ミラーからなり、前記制御手段は、前記調整ミラーの角度を制御することを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明のレーザ装置の光軸調整方法は、発振段レーザで発振された注入光を増幅段レーザで増幅して出力するレーザ装置の光軸調整方法において、発振段レーザで発振し、増幅段レーザを通過した注入光のポインティングと、増幅段レーザ単体で発振した増幅段光のポインティングとが重なるように、前記注入光の光軸を調整することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、注入光のポインティングと増幅段光のポインティングとが重なるように注入光の光軸を調整するので、簡単な構造又は方法で、ビームダイバージェンスを最小にすることができ、ビームダイバージェンスの悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態における露光用レーザ装置１を示す。
【００１６】
本実施形態の露光用レーザ装置１は、ＭＯＰＯ（Master Oscillator Power Oscillator）方式２ステージ型露光用レーザ装置であって、発振段レーザ１０と、発振段レーザ１０で発振されたレーザ光Ｌを増幅して出力する増幅段レーザ２０と、を備える。
【００１７】
発振段レーザ１０は、例えば、拡大プリズムや回折格子等によって構成され、リアミラーとしても機能する狭帯域化モジュール１１と、充填されたレーザガスを放電電極により励起する発振段チャンバ１２と、狭帯域化モジュール１１内の図示しないリアミラーとしても機能する回折格子と共振器を構成するフロントミラー１３と、を有する。
【００１８】
増幅段レーザ２０は、リング型の共振器を用いるものであって、発振段レーザ１０で発振された注入光Ｌａを入力する入力側ミラー２１と、充填されたレーザガスを放電電極により励起する増幅段チャンバ２２と、入力側ミラー２１と共振器を構成する出力側ミラー２３及び反射ミラー２４と、を有する。リング型共振器の全ての反射面は平面からなる。そのため、増幅段チャンバ２２内で励起された注入光Ｌａは、このリング型共振器内を回りながら増幅され、利得領域を埋めることが可能となり、部分反射する出力側ミラー２３から出力される。
【００１９】
そして、本実施形態の露光用レーザ装置１におけるレーザ光軸調整装置は、発振段レーザ１０と増幅段レーザ２０との間に、調整手段３０を備える。本実施形態では、調整手段３０は、第１調整ミラー３１及び第２調整ミラー３２で構成される。
【００２０】
このような構造の露光用レーザ装置１では、まず、発振段チャンバ１２において励起された注入光Ｌａが、狭帯域化モジュール１１で狭帯域化され、狭帯域化モジュール１１内の図示しないリアミラーとしても機能する回折格子とフロントミラー１３とで共振され、発振段レーザ１０から出力される。次に、注入光Ｌａは、調整手段３０の第１調整ミラー３１及び第２調整ミラー３２で反射され、増幅段レーザ２０の入力側ミラー２１に入力する。
【００２１】
ここで、入力側ミラー２１に入力した注入光Ｌａの光軸Ａと、増幅段レーザ２０単体で励起される増幅段光Ｌｂの光軸Ｂとが重なれば、何ら問題はなく、注入光Ｌａ及び増幅段光Ｌｂは出力される。
【００２２】
しかしながら、注入光Ｌａの光軸Ａと、増幅段レーザ２０単体で励起される増幅段光Ｌｂの光軸Ｂとがズレが生じており、重ならない場合は、注入光Ｌａの出力の他に、光軸のずれた増幅段光Ｌｂが出力され、このズレにより、ビームダイバージェンスが大きくなる。
【００２３】
次に、露光用レーザ装置１のレーザ光軸調整方法について説明する。本実施形態のレーザ光軸調整装置では、注入光Ｌａ及び増幅段光Ｌｂのポインティングを計測するためのポインティング計測器４０に増幅段レーザ２０からの出力を入射させる。ポインティング計測器４０は、レンズ４１及びレンズ４１の焦点位置に配置されたセンサ４２を有し、注入光Ｌａ及び増幅段光Ｌｂをレンズで集光し、センサ４２にてポインティングを計測する。計測したポインティングの値は、制御手段５０に入力され、制御手段５０により調整手段３０を制御することで、露光用レーザ装置１の調整が実行される。
【００２４】
ここで、ポインティングとは、光の進行方向をあらわす物理量であり、一般にビームダイバージェンスの重心や半値全幅ＦＷＨＭ（Full Width at Half Maximum）、１０％全幅ＦＷ１０％（Full Width at 10%）等の方法で表される。
【００２５】
まず、増幅段レーザ２０を単体で発振させて、増幅段光Ｌｂのポインティングを計測する。次に、注入光Ｌａのポインティングを計測する。ここで、注入光Ｌａの光軸Ａと、増幅段レーザ２０単体で励起される増幅段光Ｌｂの光軸Ｂとが重なっている場合、露光用レーザ装置１の調整を終了する。
【００２６】
注入光Ｌａの光軸Ａと、増幅段レーザ２０単体で励起される増幅段光Ｌｂの光軸Ｂとが重なっていない場合、第２調整ミラー３２の角度を調整する。その際、注入光Ｌａの入射位置が増幅段チャンバ２２の所定の位置からずれて、増幅できない場合、第１調整ミラー３１の角度を調整し、注入光Ｌａの入射位置を修正する。その後、再び、第２調整ミラー３２の角度を調整する。
【００２７】
図２は、露光用レーザ装置１の調整前後のダイバージェンスの関係を示すものである。一点鎖線が発振段レーザ１０のダイバージェンスＤ１０、点線が増幅段レーザ２０のダイバージェンスＤ２０、実線がレーザ装置１のダイバージェンスＤ１である。
【００２８】
注入光Ｌａと増幅段光Ｌｂとの光軸Ａ，Ｂがずれている場合、図２（ｂ）に示すように、露光用レーザ装置１全体のダイバージェンスＤ１の幅が太くなる。露光用レーザ装置１全体のダイバージェンスＤ１は、図２（ａ）に示すように、注入光Ｌａと増幅段光Ｌｂとの光軸が一致している場合、最小となる。
【００２９】
このように、注入光Ｌａのポインティングと増幅段光のポインティングとが重なるように注入光Ｌａの光軸Ａを調整するので、簡単な構造又は方法で、ビームダイバージェンスＤ１を最小にすることができ、ビームダイバージェンスＤ１の悪化を改善し、安定なレーザ性能をもつことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本実施形態の露光用レーザ装置を示す図である。
【図２】本実施形態の露光用レーザ装置の調整前後のダイバージェンスの関係を示す図である。
【図３】ビームダイバージェンスを示す図である。
【図４】従来の一般的な露光用レーザ装置を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１…露光用レーザ装置、１０…発振段レーザ、１１…狭帯域化モジュール、１２…発振段チャンバ、１３…フロントミラー、２０…増幅段レーザ、２１…入力側ミラー、２２…増幅段チャンバ、２３…出力側ミラー、２４…反射ミラー、３０…調整手段、３１…第１調整ミラー、３２…第２調整ミラー、４０…ポインティング計測器、４１…レンズ、４２…センサ
【図１】
2008288321.tif 000003
【図２】
2008288321.tif 000004
【図３】
2008288321.tif 000005
【図４】
2008288321.tif 000006