(57)【要約】【課題】複数種類の欠陥検出処理を順次行うような場合、欠陥の分類処理を容易かつ適切に行う。【解決手段】第１の欠陥検出処理によって撮影データの各位置に対する欠陥検出を行うとともに第１の欠陥検出処理により欠陥として検出された撮影データにおける位置を取得するステップＳ１と、第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された撮影データにおける位置の値を、第１の欠陥検出処理により欠陥として検出されない値で更新するステップＳ２とを有し、第Ｎの欠陥検出処理を行う際は、更新済み撮影データにおける各位置に対する欠陥検出を当該第Ｎの欠陥検出処理によって行うとともに第Ｎの欠陥検出処理により欠陥として検出された更新済み撮影データの位置を取得するステップＳ４と、第Ｎの欠陥検出処理により欠陥として検出された更新済み撮影データの位置の値を、第Ｎの欠陥検出処理により欠陥として検出されない値で更新するステップＳ５とを有する。【選択図】図５
2008116380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
欠陥検出領域を撮影して得られた撮影データに基づいて複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で実行することによって、前記複数種類の各欠陥検出処理に対応する欠陥を検出する欠陥検出方法であって、
前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番が１番目に設定された欠陥検出処理を第１の欠陥検出処理としたとき、当該第１の欠陥検出処理によって前記撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、
前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置を取得するステップと、
前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップと、
を有し、
前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番がＮ番目（Ｎは２以上の整数）に設定された欠陥検出処理を第Ｎの欠陥検出処理としたとき、前記第Ｎの欠陥検出処理によって、当該第Ｎの欠陥検出処理よりも前の順番の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された前記更新済み撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、
前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データの位置を取得するステップと、
前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データにおける位置の値を、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップと、
を有することを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥検出方法において、
前記複数種類の欠陥検出処理は、当該複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データによって行い、前記欠陥検出用演算データは、前記撮影データにおける注目位置の値と当該注目位置周辺の値との隔たりを示す値と、前記複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に対応して設定された閾値とを比較する計算式であることを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項３】
請求項２に記載の欠陥検出方法において、
前記複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に対応して設定された欠陥検出用演算データから、当該欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値の取り得る範囲を取得可能な計算式を更新値設定用演算データとして求め、前記欠陥として検出されない値は、前記更新値設定用演算データによって取得した前記欠陥として検出されない値の取り得る範囲のうち、前記撮影データが取り得る範囲内の値に設定されることを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項４】
請求項３に記載の欠陥検出方法において、
前記欠陥として検出されない値の取り得る範囲のうち、前記撮影データが取り得る範囲内の値として、
前記欠陥として検出された値に最も近い値、前記欠陥として検出された値に最も遠い値、前記最も近い値と最も遠い値との平均値のいずれかを採用することを特徴する欠陥検出方法。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれかに記載の欠陥検出方法において、
前記複数種類の欠陥検出処理以外の新たな欠陥検出処理を追加する際は、前記複数種類の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新した更新済み撮影データから、
前記新たな欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データにおいて用いる閾値を設定することを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項６】
請求項５に記載の欠陥検出方法において、
前記新たな欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データにおいて用いる閾値は、前記新たな欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データに基づいて得られる注目位置の値と当該注目位置周辺の値との隔たりを示す値に基づいて設定されることを特徴とする欠陥検出方法。
【請求項７】
欠陥検出領域を撮影して得られた撮影データに基づいて複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で実行することによって、前記複数種類の各欠陥検出処理に対応する欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番が１番目に設定された欠陥検出処理を第１の欠陥検出処理としたとき、当該第１の欠陥検出処理によって前記撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うとともに、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置を取得する機能と、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番がＮ番目（Ｎは２以上の整数）に設定された欠陥検出処理を第Ｎの欠陥検出処理としたとき、当該第Ｎの欠陥検出処理によって、当該第Ｎの欠陥検出処理よりも前の順番の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された更新済み撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うとともに、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データの位置を取得する機能とを有する欠陥検出処理部と、
前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成する機能と、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データにおける位置の値を、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成する機能とを有する撮影データ更新部と、
を有することを特徴とする欠陥検出装置。
【請求項８】
欠陥検出領域を撮影して得られた撮影データに基づいて複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で実行することによって、前記複数種類の各欠陥検出処理に対応する欠陥を検出する処理を欠陥検出装置に実行させるための欠陥検出プログラムであって、
前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番が１番目に設定された欠陥検出処理を第１の欠陥検出処理としたとき、当該第１の欠陥検出処理によって前記撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、
前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置を取得するステップと、
前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップと、
を有し、
前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番がＮ番目（Ｎは２以上の整数）に設定された欠陥検出処理を第Ｎの欠陥検出処理としたとき、当該第Ｎの欠陥検出処理によって、当該第Ｎの欠陥検出処理よりも前の順番の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された前記更新済み撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、
前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データの位置を取得するステップと、
前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データにおける位置の値を、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップと、
を有することを特徴とする欠陥検出プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置などに用いられる欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハや液晶パネルなどの外観にゴミ、キズ、シミなどの欠陥が存在するかどうかを発見する外観検査は、生産プロセスにおいて極めて重要である。この外観検査は、検査員の習熟度に大きく依存するため、外観検査の検査水準を一定に保つことや、検査時間を短縮することは容易なことではない。
【０００３】
このような課題を解決するために、検査領域をＣＣＤカメラで撮影することで得られる撮影データから各種欠陥を自動検出する外観検査装置が開発されている。外観検査装置は、検査員の行う外観検査の一部あるいはすべてを代行し、生産プロセスの品質向上や工程時間短縮に多大な効果をあげている。
【０００４】
このような外観検査装置においては、外観検査に熟練した検査員と同水準の「欠陥を検出する能力」に加えて、「各種欠陥を分類する能力」が必要とされる。
このうち、「各種欠陥を分類する能力」については、最近になって特に重要視されてきた。なぜならば、外観検査で発見される各欠陥の出現頻度が生産プロセスの改善点を発見したり、製造する製品の改良設計を行ったりする際の重要な指標となるからである。「各種欠陥を分類する能力」の向上は、外観検査能力の向上にとどまらず製品設計・製品製造の高度化を実現する際に必要となる。
【０００５】
「各種欠陥を分類する能力」を外観検査装置で実現するために、発見した欠陥に対する特徴抽出処理で得られる特徴量を利用して欠陥の分類を行う方法や、各種欠陥に最適な欠陥検出処理を行い、その処理ごとに欠陥であるとされた位置あるいは領域を分類する方法が今までに提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００６】
特許文献１に開示された技術（第１従来技術という）は、検査領域を撮影して得られた撮影データから、ノイズ領域(ゴミによるノイズ、電気的ノイズ)を抽出し、ノイズの面積に基づいてノイズの種類を判定する。そして、撮影データから除去したいノイズ(ゴミによるノイズ)については、そのノイズの周囲画素の代表値(平均値、中央値、最頻値)で穴埋めする。
【０００７】
また、特許文献２に開示された技術（第２従来技術という）は、欠陥であると思われる欠陥候補を抽出し、その欠陥候補を欠陥の致命性、欠陥の種類で分類し、分類された情報を表示する。
【０００８】
また、特許文献３に開示された技術（第３従来技術という）は、異常部を検出した後に、「異常部の中心座標と異常要素の組み合わせ」情報を取得し、取得した情報と予め用意されたリファレンスとなる「欠陥部及び／又は非欠陥部の中心座標と異常要素の組み合わせ」情報とを比較することを判定基準とする。
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−２９２３１１号公報
【特許文献２】特開２００１−３３１７８４号公報
【特許文献３】特開２００３−２７００８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、第１従来技術は、除去したいノイズを穴埋めするための代表値を決定する際に利用する周囲位置にも欠陥(ノイズ)が存在する場合に、算出される代表値が周囲位置の欠陥(ノイズ)の影響を受けてしまうという問題が存在する。代表値が適正に決定されないと、複数種類の欠陥検出処理を順次行うような場合、ある種類の欠陥のための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題もある。
【００１１】
また、第２従来技術及び第３従来技術においては、種々様々な欠陥・欠陥候補を分類するための参照情報をデータベース化する必要があるが、このようなデータベースを作成することは困難である。また、比較処理を行う際においても、様々な状況を考慮しようとすると比較処理が複雑なものとなり、分類処理に多くの演算量と時間を要するという問題がある。また、これら第２及び第３従来技術においては、複数種類の欠陥検出処理を順次行う場合、ある種類の欠陥のための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題については特に考慮されていない。このため、これら第２及び第３従来技術においても、複数種類の欠陥検出処理を順次行うような場合、ある種類の欠陥のための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題がある。
【００１２】
本発明は、上記の問題を解決し、複数種類の欠陥検出処理を順次行うような場合、ある種類の欠陥を検出するための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題を低減し、複数種類の欠陥を種類ごとに安定して検出可能とすることにより、欠陥の分類処理を容易かつ適切に行うことのできる欠陥検出方法、欠陥検出装置及び欠陥検出プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
（１）本発明の欠陥検出方法は、欠陥検出領域を撮影して得られた撮影データに基づいて複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で実行することによって、前記複数種類の各欠陥検出処理に対応する欠陥を検出する欠陥検出方法であって、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番が１番目に設定された欠陥検出処理を第１の欠陥検出処理としたとき、当該第１の欠陥検出処理によって前記撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置を取得するステップと、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップとを有し、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番がＮ番目（Ｎは２以上の整数）に設定された欠陥検出処理を第Ｎの欠陥検出処理としたとき、当該第Ｎの欠陥検出処理によって、当該第Ｎの欠陥検出処理よりも前の順番の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された前記更新済み撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データの位置を取得するステップと、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データにおける位置の値を、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップとを有することを特徴とする。
【００１４】
本発明の欠陥検出方法は、具体的には、処理の順番が第１番目に設定された第１の欠陥検出処理については、撮影データにおける各位置の欠陥検出を行い、処理の順番が第２番目に設定された第２の欠陥検出処理については、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新した更新済み撮影データに対して第２の欠陥検出処理を行うというように、処理の順番が第２番目以降に設定された欠陥検出処理については、前回までに生成された更新済み撮影データを用いて当該欠陥検出処理を行う。
【００１５】
このような本発明の欠陥検出方法によれば、複数種類の欠陥検出処理を順次行うような場合、ある種類の欠陥のための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題を低減し、複数種類の欠陥を種類ごとに安定して検出可能とすることにより、欠陥の分類処理を容易かつ適切に行うことができる。
【００１６】
（２）前記（１）に記載の欠陥検出方法においては、前記複数種類の欠陥検出処理は、前記複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データによって行い、前記欠陥検出用演算データは、前記撮影データにおける注目位置の値と当該注目位置周辺の値との隔たりを示す値と、前記複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に対応して設定された閾値とを比較する計算式であることが好ましい。
【００１７】
このように、複数種類の欠陥検出処理を行う際に、各欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データを用いて各欠陥検出処理を行うことにより、欠陥の種類に適した欠陥検出を行うことができ、複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に応じた欠陥を適切に検出することができる。
【００１８】
（３）前記（２）に記載の欠陥検出方法においては、前記複数種類の欠陥検出処理の各欠陥検出処理に対応して設定された欠陥検出用演算データから、当該欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値の取り得る範囲を取得可能な計算式を更新値設定用演算データとして求め、前記欠陥として検出されない値は、前記更新値設定用演算データによって取得した前記欠陥として検出されない値の取り得る範囲のうち、前記撮影データが取り得る範囲内の値に設定されることが好ましい。
【００１９】
これは、撮影データにおける注目する位置（注目位置）の値が欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値の取り得る範囲内であれば、前記欠陥検出用演算データによって当該注目位置は欠陥として検出されないということを示している。したがって、撮影データにおける注目位置の値について、欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値の範囲内のうち、撮影データの取り得る値の範囲内の値に設定することで、当該欠陥検出処理においては、当該注目位置は欠陥として検出されることがなくなる。
【００２０】
（４）前記（３）に記載の欠陥検出方法においては、前記欠陥として検出されない値の取り得る範囲のうち、前記撮影データが取り得る範囲内の値として、前記欠陥として検出された値に最も近い値、前記欠陥として検出された値に最も遠い値、前記最も近い値と最も遠い値との平均値のいずれかを採用することが好ましい。
これにより、前記欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値を適切、かつ、容易に設定することができる。
【００２１】
（５）前記（２）〜（４）のいずれかに記載の欠陥検出方法においては、前記複数種類の欠陥検出処理以外の新たな欠陥検出処理を追加する際は、前記複数種類の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新した更新済み撮影データから、前記新たな欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データにおいて用いる閾値を設定することが好ましい。
【００２２】
これは、新たな欠陥検出処理を追加する場合であり、このような場合は、それまでに行われた複数種類の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された更新済み撮影データを用いて、新たな欠陥検出処理を行うための欠陥検出用演算データにおいて用いる閾値を設定する。これにより、新たな欠陥検出処理を追加した場合であっても、追加した欠陥検出処理を適切に行うことができる。
【００２３】
（６）前記（５）に記載の欠陥検出方法においては、前記新たな欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データにおいて用いる閾値は、前記新たな欠陥検出処理に対応した欠陥検出用演算データに基づいて得られる注目位置の値と当該注目位置周辺の値との隔たりを示す値に基づいて設定されることが好ましい。
これにより、新たに追加した欠陥検出処理において用いる閾値を容易かつ適切に設定することができる。
【００２４】
（７）本発明の欠陥検出装置は、欠陥検出領域を撮影して得られた撮影データに基づいて複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で実行することによって、前記複数種類の各欠陥検出処理に対応する欠陥を検出する欠陥検出装置であって、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番が１番目に設定された欠陥検出処理を第１の欠陥検出処理としたとき、当該第１の欠陥検出処理によって前記撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うとともに、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置を取得する機能と、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番がＮ番目（Ｎは２以上の整数）に設定された欠陥検出処理を第Ｎの欠陥検出処理としたとき、当該第Ｎの欠陥検出処理によって、当該第Ｎの欠陥検出処理よりも前の順番の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された更新済み撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うとともに、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データの位置を取得する機能とを有する欠陥検出処理部と、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成する機能と、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データにおける位置の値を、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成する機能とを有する撮影データ更新部とを有することを特徴とする。
【００２５】
本発明の欠陥検出装置においても前記（１）に記載の欠陥検出方法と同様の効果を得ることができる。なお、本発明の欠陥検出装置においても、（２）〜（６）に記載の欠陥検出方法の特徴を有することが好ましい。
【００２６】
（８）本発明の欠陥検出プログラムは、欠陥検出領域を撮影して得られた撮影データに基づいて複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で実行することによって、前記複数種類の各欠陥検出処理に対応する欠陥を検出する処理を欠陥検出装置に実行させるための欠陥検出プログラムであって、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番が１番目に設定された欠陥検出処理を第１の欠陥検出処理としたとき、当該第１の欠陥検出処理によって前記撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置を取得するステップと、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記撮影データにおける位置の値を、前記第１の欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップとを有し、前記複数種類の欠陥検出処理のうち、処理の順番がＮ番目（Ｎは２以上の整数）に設定された欠陥検出処理を第Ｎの欠陥検出処理としたとき、当該第Ｎの欠陥検出処理によって、当該第Ｎの欠陥検出処理よりも前の順番の欠陥検出処理では欠陥が検出されないように更新された前記更新済み撮影データにおける各位置の欠陥検出を行うステップと、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データの位置を取得するステップと、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出された前記更新済み撮影データにおける位置の値を、前記第Ｎの欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新して更新済み撮影データを生成するステップとを有することを特徴とする。
【００２７】
本発明の欠陥検出プログラムにおいても前記（１）に記載の欠陥検出方法と同様の効果を得ることができる。なお、本発明の欠陥検出プログラムにおいても、（２）〜（６）に
記載の欠陥検出方法の特徴を有することが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００２９】
本発明の実施形態では、被検査対象となる領域を撮像した撮像データに対して、複数種類の欠陥のそれぞれに適した欠陥検出処理を所定の順番で次々に適用して行くことによって複数種類の欠陥を検出する。
【００３０】
このような複数種類の欠陥を検出するために、複数種類の欠陥のそれぞれに適した欠陥検出処理を行う。この欠陥検出処理は、各欠陥検出処理に対応して設定された欠陥検出用演算データを用いることによって撮影データの各位置に対する欠陥検出を行い、欠陥として検出された前記撮影データの位置を取得する。なお、位置というのは、ある１つの画素のように１つの点である場合と所定の広がりを有した領域である場合の両方を意味しているものとする。
【００３１】
そして、欠陥検出処理によって欠陥として検出された撮影データの位置の値を、当該欠陥検出処理によって欠陥として検出されない値で更新する処理を行う。これにより、複数種類の欠陥検出処理を所定の順番で順次行うような場合、ある種類の欠陥のための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題を低減し、複数種類の欠陥を種類ごとに安定して検出することができ、それによって、欠陥の分類処理を容易かつ適切に可能とする。なお、欠陥とは、異物欠陥、シミ欠陥、ムラ欠陥、キズ欠陥、黒点欠陥、白点欠陥、穴欠陥などを挙げることができる。
【００３２】
[実施形態１]
まず、検査対象となる製品などの外観検査を行うために所定の検査領域を撮影して得られた撮影データから、複数種類の欠陥として欠陥Ａとこの欠陥Ａとは異なる種類の欠陥Ｂを検出する処理について説明する。実施形態１に係る欠陥検出方法においては、欠陥Ａを検出する欠陥検出処理を欠陥Ａ検出処理、欠陥Ｂを検出する欠陥検出処理を欠陥Ｂ検出処理と呼ぶことにする。なお、実施形態１に係る欠陥検出方法においては、処理の順番は欠陥Ａ検出処理を第１番目、欠陥Ｂ検出処理を第２番目としている。
【００３３】
図１は欠陥Ａを検出する欠陥Ａ検出処理を説明する図である。図１（ａ）は検査対象となる製品などの外観検査を行うために所定の検査領域を撮影して得られた撮影データを示す図であり、この撮影データに基づいて、まずは、欠陥Ａ検出処理を行う。欠陥Ａ検出処理は欠陥Ａ検出用演算データ（下記（１）式参照）によって欠陥Ａを検出する。
【数１】
2008116380.tif 000003
上記（１）式において、ΦＡは欠陥Ａであるか否かを判定する際の閾値であり、ここでは、ΦＡ＝１９２と設定されているものとする。そして、撮影データにおける各位置において、（１）式を満たす場合には、その位置は欠陥Ａであるとする。
【００３４】
なお、図１において、マトリクス状に配置された各マス目は、撮影データにおけるある１つの位置を表し、各位置を左端からｘ軸方向にｉ＝０，１，２，３，・・・で表し、上端からｙ軸方向にｊ＝０，１，２，３，・・・で表すものとする。これは、後に説明する図２、図３及び図８〜図１２においても同様である。
また、（１）式におけるΦは、各位置（ｉ＝０，１，２，・・・，ｊ＝０，１，２，・・・）における値（０〜２５５の範囲のとする）を表す。なお、（１）式及び以降に示す
各式において、Φｉ，ｊは、注目する位置（注目位置という）の値であるとする。
【００３５】
ここで、図１に示す撮影データの各位置ｉ，ｊにおいて、ｉ＝１，ｊ＝１の位置のみが（１）式を満たす。すなわち、ｉ＝１，ｊ＝１の位置について（１）式の左辺を計算すると、（１）式の左辺は「（２５５×８／８）−３２＝２２３」と求められ、求められた「２２３」は、閾値（ΦＡ＝１９２）よりも大きいので、ｉ＝１，ｊ＝１の位置は欠陥Ａとして検出される。図１に示す撮影データの各位置において、（１）式を計算した結果、欠陥Ａとして検出されるのは、ｉ＝１，ｊ＝１の位置のみである。
【００３６】
なお、（１）式の左辺から求められる値は、注目位置の値と当該注目位置周辺の値との隔たりの大きさを示すものであり、求められる数値が大きいほど、注目位置の値は当該注目位置周辺の値と隔たりが大きいことになる。これは、後に説明する（４）式においても同様である。
【００３７】
このように、撮影データにおいて欠陥Ａとして検出された位置が特定されると、その位置を取得するとともに保持する。そして、当該位置の値を欠陥Ａ検出処理で欠陥Ａとして検出されない値で更新する処理を行う。
【００３８】
ここで、欠陥Ａを有する位置の値を、欠陥Ａ検出処理で欠陥Ａとして検出されない値で更新する処理について説明する。
下記（２）式は、（１）式の不等号を逆にした計算式であって、（２）式を満たせば位置ｉ，ｊは欠陥Ａとして検出されないことを示している。
【数２】
2008116380.tif 000004
ここで、（２）式を下記（３）式のように変形することにより、撮影データの位置ｉ，ｊがどのような値をとれば欠陥Ａ検出処理において欠陥Ａとして検出されないかを求めることができる。すなわち、（３）式によって欠陥Ａ検出処理において注目位置の値が欠陥Ａとして検出されない値の取り得る範囲を求めることができる。
【数３】
2008116380.tif 000005
（３）式から、Φｉ，ｊ≧６３であれば、欠陥Ａ検出処理によって欠陥として検出されない。したがって、図１（ｂ）に示すように、ｉ＝１，ｊ＝１の位置の値Φｉ，ｊを「Φｉ，ｊ≧６３」とすればよい。ここで、撮影データの各位置の値Φの取り得る範囲を、「０≦Φ≦２５５」とすれば、欠陥Ａとして検出された値Φｉ，ｊは「６３≦Φｉ，ｊ≦２５５」の範囲のいずれかの値で更新することによって、欠陥Ａ検出処理によって欠陥Ａとして検出されないこととなる。
【００３９】
このように、（３）式によって得られた欠陥Ａとして検出されない値の取り得る範囲によって、欠陥Ａ検出処理によって欠陥として検出されない値を設定することができる。すなわち、当該欠陥Ａ検出処理によって欠陥として検出された位置を、当該欠陥Ａ検出処理によって欠陥として判定されない値に更新するための値を（３）式によって設定することができる。したがって、以下では、（３）式を欠陥Ａ更新値設定用演算データと呼ぶことにする。
【００４０】
この欠陥Ａ更新値設定用演算データにより、欠陥Ａとして検出されない値の取り得る範囲は「Φｉ，ｊ≧６３」と求めることができるので、欠陥Ａとして検出された位置の値を
「６３≦Φｉ，ｊ≦２５５」のいずれかの値で更新することによって、欠陥Ａ検出処理においては欠陥Ａとして検出されないこととなる。
【００４１】
ここで、当該欠陥Ａ検出処理によって欠陥として判定されない値、すなわち、「６３≦Φｉ，ｊ≦２５５」のいずれかの値として、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ）、撮影データで得られた値に最も遠い値（Φｆａｒ）、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ）の３つの値のうちのいずれかを用いることが好ましい。
【００４２】
この場合、撮影データで得られた値（欠陥Ａとして検出された位置ｉ＝１，ｊ＝１における値）は、図１（ａ）に示すように「３２」であるので、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ）はΦＮｅａｒ＝６３、撮影データで得られた値に最も遠い値（Φｆａｒ）はΦｆａｒ＝２５５、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ）はΦａｖｅ＝１５９である。
ここでは、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ＝１５９）を用いた例について説明する。
【００４３】
なお、各種の欠陥検出処理を行ったとき、当該欠陥検出処理において欠陥として検出された位置の値を更新する際、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ）を用いて更新する方法を第１の更新方法、撮影データで得られた値に最も遠い値（Φｆａｒ）を用いて更新する方法を第２の更新方法、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ）を用いて更新する方法を第３の更新方法と呼ぶことにする。
【００４４】
図２は第３の更新方法を用いて撮影データを更新した場合を示す図である。図２に示すように、欠陥Ａとして検出されたｉ＝１，ｊ＝１の位置の値が「１５９」に更新されている。このように、撮影データに対して欠陥Ａ検出処理を行い、検出された欠陥Ａの位置については、欠陥Ａ検出処理によって欠陥Ａとして判定されない値で更新する。
【００４５】
次に、欠陥Ａとは種類の異なる欠陥Ｂを検出する欠陥Ｂ検出処理を説明する。欠陥Ｂ検出処理は、前回の欠陥Ａ検出処理において欠陥Ａとして検出されない値で更新された更新済み撮影データ（図２参照）に対して、欠陥Ｂ検出用演算データ（（４）式参照）を用いて欠陥検出を行い、検出された欠陥Ｂの位置については、欠陥Ｂ更新値設定用演算データによって欠陥Ｂとして検出されない値で更新する。
【００４６】
図３は更新済み撮影データに基づく欠陥Ｂ検出処理を説明する図である。図３（ａ）は欠陥Ａ検出処理において更新された更新済み撮影データであり、これは図２と同じものである。図３（ａ）に示す更新済み撮影データについて欠陥Ｂ検出処理を行う。
【００４７】
欠陥Ｂ検出処理は、下記(４)式として示す欠陥Ｂ検出用演算データを用いて欠陥Ｂの検出を行う。すなわち、（４）式を満たす場合には、注目位置は欠陥Ｂとして検出する。なお、欠陥Ｂ検出処理においては、欠陥Ｂであるか否かの判定を行うための閾値ΦＢは、ΦＢ＝９６と設定されているものとする。
【数４】
2008116380.tif 000006
【００４８】
図３（ａ）に示す撮影データにおいて「３２」の値を有する「ｉ＝３，ｊ＝２」、「ｉ
＝２，ｊ＝３」、「ｉ＝３，ｊ＝３」、「ｉ＝４，ｊ＝３」、「ｉ＝３，ｊ＝４」の各位置について、（４）式の左辺を計算すると、「ｉ＝３，ｊ＝２」、「ｉ＝２，ｊ＝３」、「ｉ＝４，ｊ＝３」、「ｉ＝３，ｊ＝４」の各位置では、それぞれ「１５３．２」と求められ、ｉ＝３，ｊ＝３の位置では、「１１１．５」と求められる。したがって、これらの各位置においては、それぞれの値Φｉ，ｊは、Φｉ，ｊ＞ΦＢはであるので、いずれも欠陥Ｂとして検出される。
【００４９】
このように、更新済み撮影データにおいて欠陥Ｂを有する位置が特定されると、その位置の値を、欠陥Ｂ検出用演算データによって欠陥Ｂとして判定されない値で更新する処理を行う。
【００５０】
ここで、欠陥Ｂを有する位置の値を、欠陥Ｂ検出用演算データによって欠陥Ｂとして検出されない値で更新する処理について説明する。
下記（５）式は、（４）式の不等号を逆にした計算式であって、（５）式を満たせば位置ｉ．ｊは欠陥Ｂとして検出されないことを示している。
【数５】
2008116380.tif 000007
ここで、（５）式を下記（６）式のように変形することにより、撮影データの位置ｉ，ｊがどのような値をとれば欠陥Ｂ検出処理において、欠陥Ｂとして検出されないかを求めることができる。すなわち、（６）式によって欠陥Ｂ検出処理において注目位置の値が欠陥Ｂとして検出されない値の取り得る範囲を求めることができる。
【数６】
2008116380.tif 000008
（６）式から、「ｉ＝３，ｊ＝２」、「ｉ＝２，ｊ＝３」、「ｉ＝４，ｊ＝３」、「ｉ＝３，ｊ＝４」の各位置については、Φｉ，ｊ≧８９．２であれば、欠陥Ｂ検出処理においては、欠陥Ｂとして判定されない。同様に、「ｉ＝３，ｊ＝３」の位置については、Φｉ，ｊ≧４７．５であれば、欠陥Ｂ検出処理においては、欠陥Ｂとして判定されない。
【００５１】
ここで、欠陥Ａ検出処理の場合と同様、第１の更新方法、第２の更新方法、第３の更新方法のいずれかを用いて、更新済み撮影データにおいて欠陥Ｂとして検出された位置の値を更新すればよいが、ここでも、第３の更新方法、すなわち、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ）を用いるものとする。
【００５２】
図３（ｂ）は第３の更新方法を用いて更新済み撮影データをさらに更新した場合を示す図である。
図３（ｂ）に示すように、欠陥Ｂとして検出された「ｉ＝３，ｊ＝２」、「ｉ＝２，ｊ＝３」、「ｉ＝４，ｊ＝３」、「ｉ＝３，ｊ＝４」の各位置においては、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ＝８９．２）と最も遠い値（Φｆａｒ＝２５５）との平均値（Φａｖｅ）は、Φａｖｅ＝１７２．１と求められ、これら各位置の値は「１７２」に更新されている。同様に、欠陥Ｂとして検出されたｉ＝３，ｊ＝３の位置においては、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ＝４７．５）と最も遠い値（Φｆａｒ＝２５５）との平均値（Φａｖｅ）は、Φａｖｅ＝１５１．２５と求められ、ｉ＝３，
ｊ＝３の位置の値は「１５１」に更新されている。
【００５３】
以上説明したように、実施形態１に係る欠陥検出方法は、まずは、欠陥Ａを検出するための欠陥Ａ検出処理を行う。この欠陥Ａ検出処理は、欠陥Ａ検出用演算データによって欠陥Ａの検出を行うとともに、検出された欠陥Ａの位置を取得して保持する。そして、撮影データ中の欠陥Ａの位置については、欠陥Ａ検出処理から得られる欠陥Ａとして判定されない値で更新する。
【００５４】
次に、欠陥Ａとは種類の異なる欠陥Ｂについては、欠陥Ａとして判定されない値で更新されている更新済み撮影データに対して、欠陥Ｂを検出するための欠陥Ｂ検出処理を行う。この欠陥Ｂ検出処理は、欠陥Ｂ検出用演算データによって欠陥Ｂの検出を行うとともに、検出された欠陥Ｂの位置を取得して保持する。そして、更新済み撮影データ中の欠陥Ｂの位置については、欠陥Ｂ検出処理から得られる欠陥Ｂとして判定されない値で更新する。
【００５５】
以上のように、種類の異なる複数の欠陥を検出するための複数種類の欠陥検出処理（欠陥Ａ検出処理、欠陥Ｂ検出処理）を所定の順番で実行することによって、複数種類の欠陥検出処理を順次行うような場合、ある種類の欠陥のための欠陥検出処理が他の種類の欠陥を検出してしまう問題を低減し、複数種類の欠陥を種類ごとに安定して検出可能とすることにより、欠陥の分類処理を容易かつ適切に行うことができる。
【００５６】
図４は実施形態１に係る欠陥検出方法を実現するための欠陥検出装置の構成を示す図である。図４に示す欠陥検出装置の構成要素としては、複数種類の欠陥検出処理（実施形態１においては欠陥Ａ検出処理及び欠陥Ｂ検出処理）を実行する欠陥検出処理部１１０と、撮影データＤ１０を更新する撮影データ更新部１２０とを有している。
【００５７】
また、実施形態１に係る欠陥検出方法を実現するために必要なデータとしては、撮影データＤ１０、更新済み撮影データＤ２０、欠陥検出処理用データＤ３０、欠陥位置用データＤ４０を有している。
【００５８】
欠陥検出処理用データＤ３０は、複数種類の欠陥（欠陥Ａ、欠陥Ｂ、・・・）を検出するための欠陥検出用演算データ（欠陥Ａ検出用演算データＤ３１ａ、欠陥Ｂ検出用演算データＤ３１ｂ、・・・）と、更新値を設定するための更新値設定用演算データ（欠陥Ａ更新値設定用演算データＤ３２ａ、欠陥Ｂ更新値設定用演算データＤ３２ｂ、・・・）とを有している。
【００５９】
また、欠陥位置用データＤ４０は、検出された欠陥（欠陥Ａ、欠陥Ｂ、・・・）の位置に対応した各欠陥位置データ（欠陥Ａ位置データＤ４１ａ、欠陥Ｂ位置データ４１ｂ、・・・）と、各種の処理の実行が終了したか否かを示す状態フラグＤ４２を有している。
【００６０】
状態フラグＤ４２は、欠陥Ａ検出用演算データＤ３１ａ及び欠陥Ｂ検出用演算データＤ３１ｂ・・・による各欠陥検出処理を撮影データ又は更新済み撮影データに対して実行したことを示す欠陥検出処理終了済みフラグ（図示せず）と、欠陥Ａ更新値設定用演算データＤ３２ａ及び欠陥Ｂ更新値設定用演算データＤ３２ｂ・・・による撮影データ又は更新済み撮影データに対する更新処理を実行したことを示す更新処理終了済みフラグ（図示せず）とを有している。
【００６１】
図５は実施形態１に係る欠陥検出方法の全体的な処理手順を示すフローチャートである。図５において、まずは、処理の順番が初回（１番目）に設定された欠陥検出処理を行う（ステップＳ１）。初回の欠陥検出処理は、前述の例では、欠陥Ａを検出するための欠陥
Ａ検出処理であるので、ステップＳ１では、撮影データＤ１０と欠陥検出処理用データＤ３０のうちの欠陥Ａ検出用演算データＤ３１ａ（（１）式参照）とに基づいて初回の欠陥Ａ検出処理を実行し、欠陥Ａ検出処理によって欠陥Ａとして検出された欠陥位置データを欠陥位置用データＤ４０における欠陥Ａ位置データＤ４１ａとして保持する。そして、欠陥Ａ検出処理が実行済みであることを示すために状態フラグＤ４２の欠陥検出処理終了済みフラグを更新する。
【００６２】
続いて、撮影データＤ１０と欠陥検出処理用データＤ３０のうちの欠陥Ａ更新値設定用演算データＤ３２ａ（（３）式参照）と欠陥位置用データＤ４０における欠陥Ａ位置データＤ４１ａとに基づいて更新値を設定し、初回の撮影データ更新処理を行う。そして、欠陥Ａについての撮影データに対する更新処理が実行済みであることを示すために状態フラグＤ４２の更新処理終了済みフラグを更新する。（ステップＳ２）
【００６３】
そして、位置検出用データＤ４０の状態フラグＤ４２を参照することにより、欠陥検出処理をすべて実行したか否かを判定し(ステップＳ３)、すべて終了していれば、欠陥検出処理は終了であるが、すべて終了していなければ、Ｎ番目（Ｎは２以上の整数）の欠陥検出処理を行う（ステップＳ３）。ここでは、Ｎ＝２（２番目と）して設定された欠陥Ｂ検出処理を行う。
【００６４】
欠陥Ｂ検出処理としては、更新済み撮影データＤ２０と欠陥検出処理用データＤ３０のうちの欠陥Ｂ検出用演算データＤ３１ｂ（（４）式参照）とに基づいてＮ番目の欠陥検出処理すなわち欠陥Ｂ検出処理を実行し（ステップＳ４）、欠陥Ｂ検出処理によって欠陥として検出された欠陥位置データを欠陥位置用データＤ４０における欠陥Ｂ位置データＤ４１ｂとして保持する。そして、欠陥Ｂ検出処理が実行済みであることを示すために状態フラグＤ４２の欠陥検出処理終了済みフラグを更新する。
【００６５】
続いて、更新済み撮影データＤ２０と欠陥検出処理用データＤ３０のうちの欠陥Ｂ更新値設定用演算データＤ３２ｂ（（６）式参照）と欠陥位置用データＤ４０における欠陥Ｂ位置データＤ４１ｂとに基づいて更新値を設定し、Ｎ番目（２番目）の撮影データ更新処理を行う。そして、欠陥Ｂについての撮影データに対する更新処理が実行済みであることを示すために状態フラグＤ４２の更新処理終了済みフラグを更新する。（ステップＳ５）。以上の処理手順をすべての欠陥検出処理が終了するまで繰り返し行う。
【００６６】
図６は図５における欠陥検出処理（ステップＳ１又はステップＳ４の処理）を詳細に説明する図である。
図６において、まずは、撮影データ又は更新済み撮影データを取得する（ステップＳ１１）。そして、欠陥位置用データＤ４０における状態フラグＤ４２から、検出すべき欠陥（欠陥Ａ，Ｂ，・・・）のうち、“欠陥検出処理を未実行”かつ“欠陥更新処理を未実行”の欠陥を特定し（ステップＳ１２）、特定した欠陥に対応する欠陥検出用演算データ（欠陥Ａ検出用演算データ３１ａ、欠陥Ｂ検出用演算データ３１ｂ、・・・）を欠陥検出処理用データＤ３０から取得する（ステップＳ１３）。取得した欠陥検出用演算データに基づき、欠陥検出処理を実行する（ステップＳ１４）。
【００６７】
そして、欠陥検出処理によって欠陥として検出された欠陥の位置を欠陥位置用データＤ４０における欠陥位置データ（欠陥Ａ位置データＤ４１ａ、欠陥Ｂ位置データＤ４１ｂなど）として保持する(ステップＳ１５)。そして、欠陥検出処理を実行した欠陥について、欠陥位置用データＤ４０の状態フラグＤ４２を“欠陥検出処理を実行”とする（ステップＳ１６）。
【００６８】
図７は図５における欠陥更新処理（ステップＳ２又はステップＳ５の処理）を詳細に説
明する図である。図７において、まずは、撮影データＤ１０又は更新済み撮影データＤ２０を取得する（ステップＳ２１）。そして、欠陥位置用データＤ４０における状態フラグＤ４２から、“欠陥検出処理を実行”かつ“欠陥更新処理を未実行”の欠陥を特定し（ステップＳ２２）、特定した欠陥に対応する更新値設定用演算データ（欠陥Ａ更新値設定用演算データ３２ａ、欠陥Ｂ更新値設定用演算データ３２ｂ、・・・）を欠陥検出処理用データＤ３０から取得する（ステップＳ２３）。取得した更新値設定用演算データに基づき、撮影データＤ１０又は更新済み撮影データＤ２０を更新する（ステップＳ２４）。そして、欠陥更新処理を実行した欠陥について、欠陥位置用データＤ４０における状態フラグＤ４２を“欠陥更新処理を実行”とする（ステップＳ２５）。
【００６９】
ところで、上述したような各種の欠陥（欠陥Ａ，Ｂなど）に対する欠陥検出処理を行ったとき、当該欠陥検出処理において欠陥として検出された位置の値を、当該欠陥検出処理において欠陥として検出されない値で更新する際、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ）を用いて更新する方法（第１の更新方法）、撮影データで得られた値に最も遠い値（Φｆａｒ）を用いて更新する方法（第２の更新方法）、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ）を用いて更新する方法（第３の更新方法）のうち、第３の更新方法を用いた例について説明したが、これらの第１から第３の更新方法のいずれをも用いることができる。
【００７０】
図８から図１１は欠陥検出処理において欠陥として検出された位置の値を更新する際、第１から第３の更新方法をそれぞれ適用して欠陥更新処理を行った場合を説明する図である。
【００７１】
なお、図８から図１１は前述した欠陥Ａ検出処理を行った場合において欠陥Ａとして検出された位置の値を更新する例について説明するものであるが、その後に行われる欠陥検出処理（欠陥Ｂ検出処理）の欠陥内容などは前述の例と異なった例が示されている。
【００７２】
図８は撮影データに対する欠陥Ａ検出処理を行った場合を示す図である。図８（ａ）は撮影データであり、図８（ｂ）は図８（ａ）の撮影データの各位置について、欠陥Ａ検出処理を行うための欠陥Ａ検出用演算データ（（１）式参照）の左辺を計算して得られた値を示すものである。
【００７３】
図８の例では、欠陥Ａ検出処理を実行することにより、設定されている閾値（ΦＡ＝１９２）よりも大きな値を有する位置として、「ｉ＝１，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝１，ｊ＝４」が得られる。すなわち、「ｉ＝１，ｊ＝１」の位置における値は「２２３」、「ｉ＝４，ｊ＝１」の位置及び「ｉ＝４，ｊ＝１」の位置における値はそれぞれ「１９５」であり、これらは、欠陥Ａとして検出されることとなる。
【００７４】
図９は図８（ｂ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第１の更新方法を適用した場合を説明する図である。第１の更新方法は、前述したように、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ＝６３）で更新するものである。なお、図９（ａ）は図８（ｂ）と同じものであり、図９（ａ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第１の更新方法を適用すると、撮影データにおける「ｉ＝１，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝１，ｊ＝４」の位置の値は、それぞれ「６３」に更新され、図９（ｂ）に示すような更新済み撮影データが得られる。
【００７５】
図１０は図８（ｂ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第２の更新方法を適用した場合を説明する図である。第２の更新方法は、前述したように、撮影データで得られた値に最も遠い値（Φｆａｒ＝２５５）で更新するものである。なお、図１０（ａ）は図８（ｂ）と同じものであり、図１０（ａ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第２の更新
方法を適用すると、撮影データにおける「ｉ＝１，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝１，ｊ＝４」の位置の値は、それぞれ「２５５」に更新され、図１０（ｂ）に示すような更新済み撮影データが得られる。
【００７６】
図１１は図８（ｂ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第３の更新方法を適用した場合を説明する図である。第３の更新方法は、前述したように、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ＝６３）と最も遠い値（Φｆａｒ＝２５５）との平均値（Φａｖｅ＝１５９）を用いて更新するものである。なお、図１１（ａ）は図８（ｂ）と同じものであり、図１１（ａ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第３の更新方法を適用すると、撮影データにおける「ｉ＝１，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝１，ｊ＝４」の位置の値は、それぞれ「１５９」に更新され、図１１（ｂ）に示すような更新済み撮影データが得られる。
【００７７】
ここで、第１から第３の更新方法を適用することによって更新された結果をそれぞれ比較してみる。
まず、第１の更新方法を適用した場合の更新済み撮影データ（図９（ｂ）参照）においては、欠陥Ａであるとされた位置の値は、撮影データ（図８（ａ）参照）とあまり大きく変化していない。このため、撮影データ（図８（ａ）参照）における図示の中央付近の右上の位置（ｉ＝４，ｊ＝１）から左下の位置（ｉ＝１，ｊ＝４）まで斜め方向に存在するスジ状の欠陥（欠陥Ａ検出処理とは異なった欠陥検出処理により検出されるべき欠陥とする）の情報は、明確に保持されることになる。
【００７８】
このように、第１の更新方法を適用して更新すると、撮影データにおいて欠陥Ａ検出処理とは異なった欠陥検出処理により検出されるべき欠陥情報の劣化を抑制できる。その一方で、欠陥Ａであるとされた位置の撮影データの値による影響も若干ではあるが残るために、欠陥Ａの位置の撮影データの値が以後の欠陥検出処理に影響する可能性もある。
【００７９】
また、第２の更新方法を適用した場合の更新済み撮影データ（図１０（ｂ）参照）は、欠陥Ａであるとされた位置の撮影データの値が大きく変化することになる。これによって、撮影データ中の欠陥Ａの影響は完全に取り除かれる。
【００８０】
このように、第２の更新方法を適用して更新すると、検出された欠陥が除去された更新済み撮影データを得ることができる。その一方で、欠陥Ａ検出処理とは異なった欠陥検出処理により検出されるべき欠陥情報を劣化させてしまう可能性がある。すなわち、図１０（ｂ）からもわかるように、撮影データにおける図示の中央付近の右上から左下に斜方向に存在するスジ状の欠陥（欠陥Ａ検出処理とは異なった欠陥検出処理により検出されるべき欠陥とする）の情報を大きく変えてしまっている。
【００８１】
また、第３の更新方法を適用した場合の更新済み撮影データ（図１１（ｂ）参照）は、欠陥Ａ検出処理とは異なった欠陥検出処理により検出されるべき欠陥情報の劣化を抑制し、かつ、欠陥Ａの影響をより小さくすることができることが図１１（ｂ）からも確認できる。
【００８２】
[実施形態２]
実施形態１では、複数種類の欠陥検出処理として、欠陥Ａ検出処理によって欠陥Ａを検出し、その後、欠陥Ｂ検出処理によって欠陥Ｂを検出する例について説明したが、さらに、新たな欠陥（欠陥Ｃとする）を検出するための欠陥検出処理（欠陥Ｃ検出処理という）を追加したい場合もある。
【００８３】
このように、それまでに行われた欠陥検出処理（欠陥Ａ検出処理及び欠陥Ｂ検出処理）
に対し、新たな欠陥検出処理として欠陥Ｃ検出処理を追加する場合には、欠陥Ａ検出処理及び欠陥Ｂ検出処理を行うことによって得られる欠陥Ａ及び欠陥Ｂの位置を、欠陥Ａ検出処理及び欠陥Ｂ検出処理から得られる欠陥Ａ及び欠陥Ｂとは判定されない値で更新した更新済み撮影データから、欠陥Ｃ検出処理において用いる閾値ΦＣを決定する。
【００８４】
図１２は欠陥Ｃを検出するための欠陥Ｃ検出処理において用いる閾値ΦＣの決定方法について説明する図である。
図１２（ａ）は欠陥Ｃ検出処理を行うべき撮影データである。図１２（ａ）に示す撮影データには「３２」の値と「１６０」の値を有する位置が存在する。欠陥Ｃ検出処理では、「１６０」の値を有する位置を欠陥Ｃとして検出する。
【００８５】
図１２（ｂ）は図１２（ａ）の撮影データに対し、欠陥Ｃ検出処理が実行されることにより、欠陥Ｃ検出処理によって欠陥として検出された値を、欠陥Ｃ検出処理によって欠陥として検出されない値に更新した更新済み撮影データである。この図１２（ｂ）は、欠陥Ａ検出処理及び欠陥Ｂ検出処理を行うことによって、欠陥Ａ検出処理及び欠陥Ｂ検出処理においてそれぞれ欠陥Ａ及び欠陥Ｂとして検出された値を、それぞれ欠陥Ａ及び欠陥Ｂとして検出されない値に更新した更新済み撮影データであるとする。
【００８６】
なお、図１２（ｂ）においては欠陥Ａ検出処理により欠陥Ａ検出処理において欠陥として検出された位置（ｉ＝１，ｊ＝１）の値は「１５９」に更新されているが、欠陥Ｂ検出処理については説明の簡単化のため図示を省略してある。この図１２（ｂ）に示す更新済み撮影データを用いて欠陥Ｃ検出処理において用いる閾値ΦＣを決定する。
【００８７】
下記（７）式は欠陥Ｃ検出処理において欠陥Ｃを検出するための計算式（欠陥Ｃ検出用演算データ）であり、縦方向の線を検出する計算式として用いられる計算式である。
【数７】
2008116380.tif 000009
【００８８】
図１２（ａ）における各位置について（７）式の左辺を計算すると、各位置における値は図１２（ｃ）のように求められる。
【００８９】
ここでは、図１２（ａ）の撮影データにおける欠陥Ｃを有する位置、すなわち「１６０」の値を有する位置（「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝２」、「ｉ＝４，ｊ＝３」の位置）を検出しようとしている。これら「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝２」、「ｉ＝４，ｊ＝３」の各位置の値は、図１２（ｃ）によれば、「ｉ＝４，ｊ＝１」及び「ｉ＝４，ｊ＝３」の位置ではそれぞれ「６３」、「ｉ＝４，ｊ＝２」の位置では「９５」である。また、撮影データが取り得る値の範囲は、前述したように、０≦Φ≦２５５である。
【００９０】
これら「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝２」、「ｉ＝４，ｊ＝３」の各位置の値と、撮影データが取り得る値の範囲と、さらに、「ｉ＝４，ｊ＝１」、「ｉ＝４，ｊ＝２」、「ｉ＝４，ｊ＝３」以外の位置の値とから、閾値ΦＣを決定することができる。この場合、ΦＣ＞６２と決定することができる。このように決定された閾値ΦＣを用いることにより、欠陥Ｃ検出処理における欠陥Ｃを適切に検出することできる。
【００９１】
以上説明したように、実施形態２に示す処理を行うことによって、所定の種類の欠陥検出処理を行ったあと、新たな欠陥を検出するための欠陥検出処理を追加する場合においても、新たに追加する欠陥検出処理において用いる閾値ΦＣを決定することができ、新たに追加する欠陥検出処理によって検出すべき欠陥を適切に検出することができる。
【００９２】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、各欠陥検出処理（欠陥Ａ検出処理、欠陥Ｂ検出処理、欠陥Ｃ検出処理など）に対応した欠陥検出用演算データ（欠陥Ａ検出用演算データ、欠陥Ｂ検出用演算データ、欠陥Ｃ検出用演算データ）としては、前述の（１）、（４）、（７）式に示すような計算式を用いたが、これらは一つの例であって、他の計算式を用いることも可能である。
【００９３】
また、更新済み撮影データを生成する際、前述の例では、当該欠陥検出処理によって欠陥として判定されない値として、撮影データで得られた値に最も近い値（ΦＮｅａｒ）、撮影データで得られた値に最も遠い値（Φｆａｒ）、撮影データで得られた値に最も近い値と最も遠い値との平均値（Φａｖｅ）の３つの値のうちのいずれかを用いる例を示したが、これに限られるものではなく、例えば（３）式や（６）式で求められる欠陥として検出されない値の取り得る範囲内で、撮影データの取り得る範囲内の適当な値を用いることが可能である。
【００９４】
また、本発明は製品の外観検査などに利用できることは勿論、それ以外にも例えば、画像修復処理や画像強調処理などにも利用することができる。
【００９５】
また、前述の各実施形態において説明した欠陥検出を行うための処理を図４に示す欠陥検出処理装置に実行させるためのプログラとしての欠陥検出プログラムを作成することが可能であり、また、作成した欠陥検出プログラムを各種の記録媒体に記録させておくことも可能である。したがって、本発明は、これら欠陥検出プログラムとその欠陥検出プログラムを記録した記録媒体をも含むものである。また、欠陥検出プログラムはネットワークから取得するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】欠陥Ａを検出する欠陥Ａ検出処理を説明する図。
【図２】第３の更新方法を用いて撮影データを更新した場合を示す図。
【図３】更新済み撮影データに基づく欠陥Ｂ検出処理を説明する図。
【図４】実施形態１に係る欠陥検出方法を実現するための欠陥検出装置の構成を示す図。
【図５】実施形態１に係る欠陥検出方法の全体的な処理手順を示すフローチャート。
【図６】図５における欠陥検出処理（ステップＳ１又はステップＳ４の処理）を詳細に説明する図。
【図７】図５における欠陥更新処理（ステップＳ２又はステップＳ５の処理）を詳細に説明する図。
【図８】撮影データに対する欠陥Ａ検出処理を行った場合を示す図。
【図９】図８（ｂ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第１の更新方法を適用した場合を説明する図。
【図１０】図８（ｂ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第２の更新方法を適用した場合を説明する図。
【図１１】図８（ｂ）に示す欠陥Ａ検出処理の結果に対して、第３の更新方法を適用した場合を説明する図。
【図１２】欠陥Ｃを検出するための欠陥Ｃ検出処理において用いる閾値ΦＣの決定方法について説明する図。
【符号の説明】
【００９７】
１１０・・・欠陥検出処理部、１２０・・・撮影データ更新部、Ｄ１０・・・撮影データ、Ｄ２０・・・更新済み撮影データ、Ｄ３０・・・欠陥検出処理用データ、Ｄ３１ａ・
・・欠陥Ａ検出用演算データ、Ｄ３１ｂ・・・欠陥Ｂ検出用演算データ、Ｄ３２ａ・・・欠陥Ａ更新値設定用演算データ、Ｄ３２ｂ・・・欠陥Ｂ更新値設定用演算データ、Ｄ４０・・・位置検出用データ、Ｄ４１ａ・・・欠陥Ａ位置データ、Ｄ４１ｂ・・・欠陥Ｂ位置データ、Ｄ４２・・・状態フラグ
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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