(57)【要約】【課題】除電器およびファンフィルタユニットが別部品として設置されるため、クリーンルームに設置する際に設置不良等によりエアーリークするという課題をがある。【解決手段】除電器９はファンフィルタユニット１２に一体化されているため、クリーンルームなどに設置する際、ファンフィルタユニット１２を設置するのみで良く、後から別部材にて除電器を設置することが不要となり、小型化省スペース化することができ、また、除電器９はファンフィルタユニット１２を製造する段階でシーリングにより封止を施してエアーリークのないことを確認しており、クリーンルーム設置現場でのシーリングによる封止作業やエアーリークを確認するためのスキャンテストなど不要にすることができ省施工化することができる効果のあるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。【選択図】図１
2008288008.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは複数個に分割され、分割されたフィルタ間に除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項２】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは前記チャンバに対して幅方向に隙間を設けてあり、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項３】
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタはプリーツ状に折り加工されており、前記プリーツは前記フィルタ厚みに対して最大厚みで折り加工されている部分と厚み方向に対して隙間を設けて折り加工されている部分をそれぞれ複数個有し、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項４】
前記除電器は前記フィルタ下面と略同一面に配置されることを特徴とする請求１乃至３いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項５】
前記フィルタの導電性部材はアースされていることを特徴とする請求１乃至４いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項６】
前記ファンユニットと前記除電器の電源制御部を共用化することを特徴とする請求１乃至５いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項７】
前記ファンユニットの出力により前記除電器のイオン放出量を自動的に制御することを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
【請求項８】
前記除電器のイオン放出量により前記ファンユニットの出力を自動的に制御することを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載のファンフィルタユニット一体型除電器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなど製造工場のクリーンルーム等において用いられる静電気除去用のクリーンルーム用除電器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の除電器は、バー型の除電器であり、複数の針状電極に正負の高電圧を印加し、コロナ放電により正負のイオンを発生させる。ファンフィルタユニットの下流ダウンフロー型のクリーンルームにおいて、バー型の除電器が天井に所定間隔で配置されたファンフィルタユニットの吹出し側に配置され、ファンフィルタユニットのダウンフローによりイオン化された空気を除電対象物まで運び、静電気除去を行なう。その固定方法は別部材にて固定されている。（例えば、特許文献１参照）この方式について図面とともに説明する。
【０００３】
図３において、バー型の除電器の例で、除電器１０１およびファンフィルタユニット１０２を天井に取付けるときは、除電器１０１の保持部材１０３の溝１０４に支持板１０５を嵌合させて、支持棒１０６を天井に取付け、除電器１０１を吊下するとともに、除電器１０１の支持部１０７にファンフィルタユニット１０２に取付けた固定具１０８により支持し、ファンフィルタユニット１０２を除電器１０１に隣接させて配置されるものである。
【特許文献１】実開平５−４８２９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述した従来の除電器は、除電器およびファンフィルタユニットが別部品として設置されるため、クリーンルームに設置する際に設置不良等によりエアーリークするという課題を有している。
【０００５】
また、除電器から発生するイオンはファンフィルタユニットから吹出されるダウンフローによりターゲットまで運ばれるため、除電器から発生するイオン量とファンフィルタユニットの風量のバランスが崩れることによる除電能力の低下という課題を有しており、最適に制御することによる除電スピードの向上が要求されているとともに、設置されるクリーンルームのスペース減少が進み、省施工化、小型軽量化省スペース化が要求されている。
【０００６】
本発明はこのような従来の課題を解決するものであり、エアーリークを防止することができ、また、除電能力の低下を防止し、省施工化、小型化省スペース化することができる効果のあるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルタユニット一体型除電器は上記目的を達成するために、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは複数個に分割され、分割されたフィルタ間に除電器を挟み込んだことを特徴とするものである。
【０００８】
この手段により、ファンフィルタユニットと除電器が一体構造とすることができ、設置不良によりエアーリークするという課題を解決できるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【０００９】
また、他の手段は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは前記チャンバに対して幅方向に隙間を設けてあり、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするものである。
【００１０】
この手段により、ファンフィルタユニットと除電器が一体構造とすることができ、設置不良によりエアーリークするという課題を解決できるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【００１１】
また、他の手段は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタはプリーツ状に折り加工されており、前記プリーツは前記フィルタ厚みに対して最大厚みで折り加工されている部分と厚み方向に対して隙間を設けて折り加工されている部分をそれぞれ複数個有し、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするものである。
【００１２】
この手段により、ファンフィルタユニットと除電器が一体構造とすることができ、設置不良によりエアーリークするという課題を解決できるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【００１３】
また、他の手段は、前記除電器は前記フィルタ下面と略同一面に配置されることを特徴とするものである。
【００１４】
この手段により、除電器がファンフィルタユニットのフィルタ面よりも内部に収納することができ、小型軽量化省スペース化できるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【００１５】
また、他の手段は、前記フィルタの導電性部材はアースされていることを特徴とするものである。
【００１６】
この手段により、フィルタ導電部の帯電を防止することができ、除電能力の低下を防止することができるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【００１７】
また、他の手段は、前記ファンユニットと前記除電器の電源制御部を共用化することを特徴とするものである。
【００１８】
この手段により、除電器およびファンフィルタユニットの電源制御部品の共用化することができ、小型軽量化省スペース化できるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【００１９】
また、他の手段は、前記ファンユニットの出力により前記除電器のイオン放出量を自動的に制御することを特徴とするものである。
【００２０】
この手段により、ファンユニットから出力される風量に最適なイオン放出量をコントロールすることができ、除電能力を向上することができるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【００２１】
また、他の手段は、前記除電器のイオン放出量により前記ファンユニットの出力を自動的に制御することを特徴とするものである。
【００２２】
この手段により、除電器から放出されるイオン量に最適なファンユニットからの出力風量をコントロールすることができ、除電能力を向上することができるファンフィルタユニット一体型除電器が得られる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、エアーリークを防止できるという効果のあるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。また、除電能力の低下を防止し、小型軽量化省スペース化することができる効果のあるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは複数個に分割され、分割されたフィルタ間に除電器を挟み込んだことを特徴とするものであり、除電器がファンフィルタユニットに予め一体的に組み込まれており、取付け用の別部材や現場でのシーリング作業が不要となり、エアーリークが防止できる作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項２記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは前記チャンバに対して幅方向に隙間を設けてあり、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするものであり、除電器がファンフィルタユニットに予め一体的に組み込まれており、取付け用の別部材や現場でのシーリング作業が不要となり、エアーリークが防止できる作用を有する。
【００２６】
本発明の請求項３記載の発明は、箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタはプリーツ状に折り加工されており、前記プリーツは前記フィルタ厚みに対して最大厚みで折り加工されている部分と厚み方向に対して隙間を設けて折り加工されている部分をそれぞれ複数個有し、前記隙間には除電器を挟み込んだことを特徴とするものであり、除電器がファンフィルタユニットに予め一体的に組み込まれており、取付け用の別部材や現場でのシーリング作業が不要となり、エアーリークが防止できる作用を有する。
【００２７】
本発明の請求項４記載の発明は、前記除電器は前記フィルタ下面と略同一面に配置されることを特徴とするものであり、除電器がファンフィルタユニットのフィルタ面よりも内部に収納されており、薄型化ができる作用を有する。
【００２８】
本発明の請求項５記載の発明は、前記フィルタの導電性部材はアースされていることを特徴とするものであり、フィルタ導電部の帯電を防止しする作用を有する。
【００２９】
本発明の請求項６記載の発明は、前記ファンユニットと前記除電器の電源制御部を共用化することを特徴とするものであり、除電器およびファンフィルタユニットの電源制御部品の共用化することができるという作用を有する。
【００３０】
本発明の請求項７記載の発明は、前記ファンユニットの出力により前記除電器のイオン放出量を自動的に制御することを特徴とするものであり、ファンユニットから出力される風量に最適なイオン放出量をコントロールすることができる作用を有する。
【００３１】
本発明の請求項８記載の発明は、前記除電器のイオン放出量により前記ファンユニットの出力を自動的に制御することを特徴とするものであり、除電器から放出されるイオン量に最適なファンユニットからの出力風量をコントロールすることができる作用を有する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３２】
（実施の形態１）
本発明の第１の実施の形態を図１を用いて説明する。
【００３３】
図１に示すように、ターボ型ファン１とモータ２からなるファンユニット３は箱形状のチャンバ４に内蔵されている。フィルタはファンユニット３の下流側であるチャンバ４の下面側に設置され、ファンユニット３により吸込口６から吸い込まれた空気７を清浄空気８として排出する。フィルタは左右に二分割されており、導電性であるアルミ材で構成されたフィルタ枠はそれぞれアースされており、分割されたフィルタ５ａ、５ｂの間に挟みこまれる形でバー型の除電器９が配置されている。除電器９はチャンバ４に締結部材であるネジ等により固定されており、フィルタ５ａ、５ｂおよび除電器９の隙間にはエアーリークを防止するためのシーリング剤であるシリコン１０により封止されている。ファンユニット３の運転制御電源１１は、チャンバ４内に内蔵され、除電器９と共有化されておりファンフィルタユニット１２を構成している。
【００３４】
上記構成において、ファンユニット３を運転することにより吸込口６より空気が吸込まれ、チャンバ４内に送り込まれる。そのファンユニット３から吹出された気流はフィルタ５ａ、５ｂを通過して排出される。除電器９はファンユニット３を運転すると同時に針状電極１３に正負の高電圧が印加され、正負のイオン（図示せず）を放射状に放出する。放出されたイオンはフィルタから排出された空気の流れによって除電対象物まで運ばれ、除電対象物の静電気を除去し除電を行なう。このとき、除電器９から放出される正負のイオン量はファンユニット３からフィルタ５ａ、５ｂを介して排出される出力風量により可変され、除電対象物に到達するイオン量を最適に制御している。
【００３５】
このような本発明の実施の形態１によれば、除電器９はファンフィルタユニット１２に一体化されているため、クリーンルームなどに設置する際、ファンフィルタユニット１２を設置するのみで良く、後から別部材にて除電器を設置することが不要となり、小型化省スペース化することができ、また、除電器９はファンフィルタユニット１２を製造する段階でシーリングにより封止を施してエアーリークのないことを確認しており、クリーンルーム設置現場でのシーリングによる封止作業やエアーリークを確認するためのスキャンテストなど不要にすることができ省施工化することができるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。
【００３６】
また、除電器９より放出された正負のイオンはファンフィルタユニット１２から排出されるダウンフローのより除電対象物まで運ばれるため、イオンの放出量とファンフィルタユニット１２の風量を最適に制御することにより、放出されたイオンがより多く除電対象物まで運ばれるため、除電スピードの向上ができ、除電効率が向上することができるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態１では、フィルタを二分割してその間に除電器９を挟み込んだ構造としたが、フィルタをチャンバ４に対して幅方向に小さくし、その間の片側、両側もしくは四方に除電器９を配置しても良く、また、ドーナツ型の除電器９を配置しても良く、その作用効果に差異を生じない。
【００３８】
（実施の形態２）
本発明の第２の実施の形態を図２を用いて説明する。なお、実施の形態１の構成と同一部分には同一番号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
図２に示すように、フィルタ５はフィルタ５の最大厚みで折り加工されている最大プリーツ部１４ａと厚み方向に隙間を設けて折り加工されている最小プリーツ部１４ｂからなり、最小プリーツ部１４ｂの隙間に除電器９を挟み込み、フィルタ５の枠材に締結部材であるネジ等により締結支持されている。
【００４０】
上記構成において、ファンユニット３を運転することにより吸込口６より空気が吸込まれ、チャンバ４内に送り込まれる。そのファンユニット３から吹出された気流はフィルタ５を通過して排出される。除電器９はファンユニット３を運転すると同時に針状電極１３に正負の高電圧が印加され、正負のイオン（図示せず）を放射状に放出する。放出されたイオンはフィルタから排出された空気の流れによって除電対象物まで運ばれ、除電対象物の静電気を除去し除電を行なう。このとき、ファンユニットからフィルタ５を介して排出される出力風量は除電器９から放出される正負のイオン量により可変され、除電対象物に到達するイオン量を最適に制御している。
【００４１】
このような本発明の実施の形態２によれば、除電器９はファンユニット３に一体化されているため、ファンユニット３をチャンバ４の下流側に設置取付けするだけで、ファンフィルタユニット１２を構成することができ、クリーンルームなどに設置する際、ファンフィルタユニット１２を設置するのみで良く、後から別部材にて除電器を設置することが不要となり、小型化省スペース化することができ、また、フィルタ５は分割されることなく連続して折り加工されているため、エアーリークを防止するためのシーリングにより封止を施す必要がなく低コスト化が図れ、クリーンルーム設置現場でのシーリングによる封止作業やエアーリークを確認するためのスキャンテストなど不要にすることができ省施工化することができるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。
【００４２】
また、除電器９より放出された正負のイオンはファンフィルタユニット１２から排出されるダウンフローのより除電対象物まで運ばれるため、イオンの放出量とファンフィルタユニット１２の風量を最適に制御することにより、放出されたイオンがより多く除電対象物まで運ばれるため、除電スピードの向上ができ、除電効率が向上することができるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明のファンフィルタユニット一体型除電器は、除電器が分割されたフィルタ間に挟み込まれているため、小型化省スペース化が図れ、現場施工での不良によるエアーリークを防止できる効果を有し、クリーンルーム内の環境向上させる用途として有用である。
【００４４】
また、本発明のファンフィルタユニット一体型除電器は、イオンの放出量とファンフィルタユニットの風量を最適に制御することにより、放出されたイオンがより多く除電対象物まで運ばれるため、除電スピードの向上することができる効果を有し、クリーンルーム内の除電効率の向上を提供する用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルタユニット一体型除電器を示す断面図
【図２】本発明の実施の形態２のファンフィルタユニット一体型除電器を示す断面図
【図３】従来のクリーンルーム用除電器を示す断面図
【符号の説明】
【００４６】
１      ターボ型ファン
２      モータ
３      ファンユニット
４      チャンバ
５      フィルタ
５ａ    フィルタ
５ｂ    フィルタ
６      吸込口
７      空気
８      清浄空気
９      除電器
１０    シリコン
１１    運転制御電源
１２    ファンフィルタユニット
１３    針状電極
１４ａ  最大プリーツ部
１４ｂ  最小プリーツ部
【図１】
2008288008.tif 000003
【図２】
2008288008.tif 000004
【図３】
2008288008.tif 000005