(57)【要約】【課題】薄型軽量、かつ組立作業性がよく、量産性に向いた部品を用い、低コストで伝熱面積を有効に活用できるヒートシンクを提供する。【解決手段】作動液が封入され、熱源より放熱方向に所定の長さ延出されるヒートパイプ２と、そのヒートパイプ２の長手方向に沿って形成した山部３ｍと谷部３ｖとで連続した波状に形成されると共に、ヒートパイプ２を嵌合保持するための段部４を有する放熱フィン３とを備えたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動液が封入され、熱源より放熱方向に所定の長さ延出されるヒートパイプと、そのヒートパイプの長手方向に沿って形成した山部と谷部とで連続した波状に形成されると共に、上記ヒートパイプを嵌合保持するための段部を有する放熱フィンとを備えたことを特徴とするヒートシンク。
【請求項２】
上記段部は、上記放熱フィンの山部のそれぞれに上記ヒートパイプの両側に沿って切断されると共に、上記谷部方向に所定の高さを保持するように折り込んで形成された請求項１記載のヒートシンク。
【請求項３】
上記放熱フィンに形成される段部の最遠面端部が、上記折り込まれる山部を外方に展開させて外方に延出されると共に、上記ヒートパイプを保持するように形成された請求項１または２記載のヒートシンク。
【請求項４】
上記ヒートパイプは、横断面が楕円形、あるいは矩形などの扁平状に形成され、上記段部は、上記ヒートパイプの横断面形状に合わせて形成された請求項１〜３いずれかに記載のヒートシンク。
【請求項５】
上記放熱フィンに嵌合保持された上記ヒートパイプを覆うと共に、上記放熱フィン上に重ね合わせて接合される保持基板をさらに備えた請求項１〜４いずれかに記載のヒートシンク。
【請求項６】
上記山部を切削して上記段部を形成した請求項１、４、５いずれかに記載のヒートシンク。
【請求項７】
請求項１〜５いずれかに記載したヒートシンクの製造方法において、熱伝導性を有する帯状の板材に、その長手方向に沿って山部と谷部を形成して放熱フィンを形成し、上金型に、上記ヒートパイプと同形状の凸部材を形成し、下金型に、上記段部を形成するための段部形成部材を形成し、上記放熱フィンを上金型と下金型で上下から挟み、プレス加工して上記段部を形成し、その段部に上記ヒートパイプを嵌合保持することを特徴とするヒートシンクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の放熱部品として、薄型軽量で熱の高い移動性を有するヒートシンク及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ヒートシンクは、熱源から発生した熱を逃がして熱源の温度上昇を抑えるものであり、一般的には、アルミ板や銅板からなる放熱フィンに、作動液が封入されたヒートパイプを設けて構成される。
【０００３】
例えば、図１１（ａ）に示す従来のヒートシンク１１１ａは、横断面をコ字状に形成した複数個の単体（単独）放熱フィン１１２に、ヒートパイプ接合溝１１３をそれぞれ設け、これらヒートパイプ接合溝１１３にヒートパイプ１１４を接合している（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００４】
図１１（ｂ）に示す従来のヒートシンク１１１ｂは、板状に形成した複数枚の単体放熱フィン１１５に、ヒートパイプ接合穴１１６をそれぞれ設け、これらヒートパイプ接合穴１１６にヒートパイプ１１７を接合したものである。
【０００５】
【特許文献１】特許第３４１３１５１号公報
【特許文献２】特許第３４１３１５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のヒートシンク１１１ａ，１１１ｂは、いずれも単体のフィンによる組み合わせであり、組立のコストが高いという問題がある。
【０００７】
また、従来のヒートシンク１１１ａ，１１１ｂでは、単体放熱フィン１１２，１１５の厚みを薄くすると組立作業性が悪いという問題もある。
【０００８】
さらに、従来のヒートシンク１１１ａ，１１１ｂは、単体放熱フィン１１２，１１５にある程度のフィン厚みが必要となり、軽量化にも問題がある。
【０００９】
双方のヒートシンク１１１ａ，１１１ｂに共通する問題として、フィンの枚数分の組立に時間を要する、フィンの組立ピッチ管理をその都度行わなければならない、などがある。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、薄型軽量、かつ組立作業性がよく、量産性に向いた部品を用い、低コストで伝熱面積を有効に活用できるヒートシンク及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項１の発明は、作動液が封入され、熱源より放熱方向に所定の長さ延出されるヒートパイプと、そのヒートパイプの長手方向に沿って形成した山部と谷部とで連続した波状に形成されると共に、上記ヒートパイプを嵌合保持するための段部を有する放熱フィンとを備えたヒートシンクである。
【００１２】
請求項２の発明は、上記段部は、上記放熱フィンの山部のそれぞれに上記ヒートパイプの両側に沿って切断されると共に、上記谷部方向に所定の高さを保持するように折り込んで形成された請求項１記載のヒートシンクである。
【００１３】
請求項３の発明は、上記放熱フィンに形成される段部の最遠面端部が、上記折り込まれる山部を外方に展開させて外方に延出されると共に、上記ヒートパイプを保持するように形成された請求項１または２記載のヒートシンクである。
【００１４】
請求項４の発明は、上記ヒートパイプは、横断面が楕円形、あるいは矩形などの扁平状に形成され、上記段部は、上記ヒートパイプの横断面形状に合わせて形成された請求項１〜３いずれかに記載のヒートシンクである。
【００１５】
請求項５の発明は、上記放熱フィンに嵌合保持された上記ヒートパイプを覆うと共に、上記放熱フィン上に重ね合わせて接合される保持基板をさらに備えた請求項１〜４いずれかに記載のヒートシンクである。
【００１６】
請求項６の発明は、上記山部を切削して上記段部を形成した請求項１、４、５いずれかに記載のヒートシンクである。
【００１７】
請求項７の発明は、請求項１〜５いずれかに記載したヒートシンクの製造方法において、熱伝導性を有する帯状の板材に、その長手方向に沿って山部と谷部を形成して放熱フィンを形成し、上金型に、上記ヒートパイプと同形状の凸部材を形成し、下金型に、上記段部を形成するための段部形成部材を形成し、上記放熱フィンを上金型と下金型で上下から挟み、プレス加工して上記段部を形成し、その段部に上記ヒートパイプを嵌合保持するヒートシンクの製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、製造が簡単であり、低コストで伝熱面積が広いヒートシンクを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。
【００２０】
図１は、本発明の好適な第１の実施形態を示すヒートシンクの斜視図である。
【００２１】
図１に示すように、第１の実施形態に係るヒートシンク１は、作動液が封入されて熱源より放熱方向（図１では左斜め上から右斜め下に向かう方向）に所定長さ延出されるヒートパイプ２と、そのヒートパイプ２の長手方向に沿って波状（蛇腹状）に形成される一体の放熱フィン３とを備える。
【００２２】
ヒートパイプ２は、放熱性が高いＣｕなどの金属製の管内に、水やアルコールなどの作動液を封入しており、その作動液の蒸発・凝縮の相変化で熱を搬送する。作動液は減圧封入されているので、僅かな温度差で相変化し、熱は蒸気によって音速に近い速度で運ばれ、凝縮した作動液は、管内壁に設けたウィック（毛細管構造）の毛細管現象により管内で環流される。これにより、ヒートパイプ２は、熱を一端部（図１では左斜め上部）から他端部（図１では右斜め下部）に伝える。
【００２３】
ヒートパイプとしては、横断面が円形に限らず、楕円形、長方形などの扁平状に形成されたものを使用してもよい。本実施形態では、横断面が長方形のヒートパイプ２を用いた。
【００２４】
放熱フィン３は、放熱性が高いＡｌやＣｕなどの熱伝導性を有する帯状の１枚の板材からなる。本実施形態では、矩形状の山部（凸部）３ｍと矩形状の谷部（凹部）３ｖとが連続するように、全体を波状に形成した放熱フィン３を用いた。また、図１では、山部３ｍや谷部３ｖのピッチ（ヒートパイプ２の長手方向に沿う長さ）をほぼ等ピッチとした例を示した。
【００２５】
放熱フィン３の各山部３ｍの中央部には、ヒートパイプ２の外径とほぼ同じ内寸となるように、ヒートパイプ２を嵌合保持するための段部（ヒートパイプ接合溝）４が各山部３ｍとそれぞれ一体形成される。各段部４は、各山部３ｍより１段低く形成される。より詳細に言えば各段部４は、ヒートパイプ２を嵌合保持した際、ヒートパイプ２の幅広面（上面あるいは下面）と各山部３ｍの頂面が一致するように形成される。
【００２６】
各段部４は、各山部３ｍのそれぞれに、ヒートパイプ２の横断面形状に合わせ、ヒートパイプ２の両側２ｓ，２ｓに沿って切断されると共に、谷部３ｖ方向に所定の高さを保持するように折り込んで形成される。
【００２７】
より詳細には、これら段部４は、その最遠面端部（両端部）４ｅ，４ｅ（後述する図２（ｂ）に示した網掛け部分）が、折り込まれた各山部３ｍを外方（放熱方向、あるいは図１では左斜め上から右斜め下に向かう方向）に展開させて外方に延出されると共に、ヒートパイプ２を保持するように形成される。これにより、各段部４の両端部４ｅ，４ｅは、ヒートパイプ２の長手方向に突出してヒートパイプの幅広面と接する突出伝熱面４ｈを有するように形成される。すなわち、各段部４の両端部４ｅ，４ｅが、各段部４の外方に突出したフィン突出部４ｔである。
【００２８】
さらに、ヒートシンク２は、放熱フィン３の各段部４に嵌合保持されたヒートパイプ２を覆うと共に、放熱フィン３の各山部３ｍ上に重ね合わせて接合される保持基板（ベース）５を備える。保持基板５としては、軽量で放熱性が高いＡｌなどの金属製の基板（例えば、アルミ板）を用いるとよい。
【００２９】
本実施形態に係るヒートシンクのより詳細な製造方法は、図６〜図８を用いて後述するが、ここで、ヒートシンク２の製造方法を、図２（ａ）および図２（ｂ）を用いて簡単に説明する。
【００３０】
まず、熱伝導性を有するＡｌ薄板などの帯状の板材を用意する。この板材に折り曲げ加工などを施し、図２（ａ）に示すように、その長手方向に沿って山部３ｍと谷部３ｖを形成してプレ放熱フィン３ｐを形成する。
【００３１】
このプレ放熱フィン３ｐの各山部３ｍに段部４をそれぞれ形成するために、ヒートパイプ２（図１参照）とほぼ同形状の凸部材２１を用い、各山部３ｍに切り込みを入れてせん断加工を行うと共に、金型を用いて上から押しつぶす座屈加工を行う。
【００３２】
これにより、図２（ｂ）に示すように段部４と突出伝熱面４ｈを一括形成して放熱フィン３を形成する。段部４の突出伝熱面４ｈは、各山部３ｍを押しつぶす際、各山部３ｍの座屈する部位が横（ヒートパイプ２の長手方向）に広がることによって形成され、広い伝熱面積を確保できる。
【００３３】
その後、放熱フィン３の各段部４にヒートパイプ２を嵌合保持する。このとき、図１の下側に示すように、放熱フィン３からヒートパイプ２の一端部が他端部よりも長く突出するようにする。この突出したヒートパイプ２の一端部を覆うように、電気部品や光部品などの熱源が設けられる。
【００３４】
そして、放熱フィン３の各山部３ｍ上に保持基板５を重ね合わせて接合すると、図１の下側および図２（ｄ）に示したヒートシンク１が得られる。
【００３５】
第１の実施形態の作用を説明する。
【００３６】
ヒートシンク１では、熱源で発生した熱は、ヒートパイプ２の一端部から他端部へ向かって伝わる。ここで、熱源から遠く離れた部位での放熱を観察し、熱源から保持基板（アルミ板）５への熱伝達を無視し、ヒートパイプ２による熱伝達のみとして見た場合で説明する。
【００３７】
図２（ｃ）のように、ヒートシンク１は、ヒートパイプ２と放熱フィン３が直接接触している。このため、熱源で発生した熱が熱流ｈ２で示すようにヒートパイプ２から放熱フィン３に直に伝わり、熱伝達がよいことがわかる。もちろん、熱伝達経路としては、ヒートパイプ２から保持基板５を介しても放熱している（図２（ｅ））。
【００３８】
このように、ヒートシンク１は、波状に一体形成した放熱フィン３の各段部４に、ヒートパイプ２を嵌合保持しているので、従来のように単体フィンを複数組み合わせるものに比べ、放熱フィン３を連続して生産でき、組立時のフィンピッチ管理も不要である。したがって、ヒートシンク１は、組み立てやすく製造が簡単であり、量産性に適している。
【００３９】
また、ヒートシンク１は、軽量化のため放熱フィン３を薄板（例えば、厚さ約０．１ｍｍ）にしても、フィンが自立できる構造であるため、低コストで大量生産向きであり、十分な機械的強度を有する。
【００４０】
さらに、ヒートシンク１は、切除して段部を形成しない場合、放熱フィン３の段部４の底面４ｂ（図２（ｂ）に示した両網掛け部分に挟まれた白抜きの面）がヒートパイプ２と接する伝熱面となり、段部４の一部を伝熱面として有効活用できるため、主に放熱フィン３に放熱機能を持たせることができ、放熱性が高い。
【００４１】
しかもヒートシンク１は、段部４の両側には突出伝熱面４ｈが形成されるため、これがヒートパイプ２に接することで、ヒートパイプ２と放熱フィン３間の熱伝達が行われ、放熱しやすい構造となる。これにより、ヒートシンク１は、伝熱面積が従来よりも大幅に広くなり、より放熱性を高めることができる。
【００４２】
ヒートシンク１では、波状の放熱フィン３に形成した一直線上の段部４にヒートパイプ２を嵌め込んでいるので、組立時にヒートパイプ２自体がセルフジグ（治具）となり、組立後にヒートシンク１の骨組みの役目を果たす点からも、製造が簡単であり、機械的強度を高くできる。
【００４３】
ヒートシンク１は、波状に形成されるため、山部３ｍや谷部３ｖのピッチや、高さ、深さを（例えば、山部３ｍや谷部３ｖで区画形成された空間に空気が通ればピッチを小に、そうでなければピッチを大に）簡単に変えられる。これにより、山部３ｍや谷部３ｖが等ピッチの放熱フィン３を簡単かつ正確に製造でき、熱源や、これを備えた電気製品や光製品の種類に合わせて放熱フィンを変更できる。
【００４４】
このヒートシンク１は、特に、自然対流による熱源の冷却に適している。もちろん、ファンなどによる熱源の強制冷却に、ヒートシンク１を用いてもよい。
【００４５】
ヒートシンク１では、横断面が長方形などの扁平状に形成されたヒートパイプ２を用いているので、横断面が円形のものに比べれば、ヒートパイプ２自体が専有するスペースをより小さくでき、かつ放熱フィン３との接触面積を広くでき、放熱フィン３上に安定して保持できる。
【００４６】
ヒートシンク１は、さらに保持基板５を備えているため、放熱性をより高めることができ、放熱フィン３にヒートパイプ２をより強固に保持できる。
【００４７】
次に、第２の実施形態を説明する。
【００４８】
図３に示すように、第２の実施形態に係るヒートシンク３１は、図１のヒートシンク１を幅方向に複数個（図３では４個）配列し、平面視でほぼ正方形状となるようにしたものである。すなわちヒートシンク３１は、ヒートパイプ２、放熱フィン３、保持基板５を１セットとした基本構造を複数セット用意し、これらを並列に接合したものである。
【００４９】
ヒートシンク３１の一端部となる各保持基板５上には、各ヒートパイプ２の突出した一端部が埋め込まれる（挿入される）ように、熱源Ｈが設けられる。さらにヒートシンク３１では、各保持基板５上に設けた全放熱フィン３と熱源Ｈを覆うように、これら放熱フィン３と熱源Ｈ上に放熱性が高いＡｌなどの金属製の箔材３２を重ね合わせて接合した。
【００５０】
このヒートシンク３１は、例えば、液晶ディスプレイが備える液晶バックライトの裏面に設置されて使用される。液晶バックライトは、白色ＬＥＤ（発光ダイオード）アレイなどの光源を導光板の側部や上部に設けているため、この光源が上述した熱源Ｈとなる。
【００５１】
特に、白色ＬＥＤなどの半導体素子を用いた光源は、動作可能温度が限られており、冷却により液晶ディスプレイ内に熱がこもらないようにしなければならない。ヒートシンク３１を用いれば、液晶ディスプレイなどの比較的大きい冷却面積を有する電気製品や光製品において、薄型かつ軽量で熱源Ｈで発生した熱を放熱して熱源Ｈを冷却できる。
【００５２】
ヒートシンク３１では、箔材３２をさらに備えているため、熱源Ｈで発生した熱を各ヒートパイプ２、各放熱フィン３を介して箔材３２から放熱できるため、放熱性をより向上できる。
【００５３】
また、図４および図５（ａ）〜図５（ｅ）に示す第３の実施形態に係るヒートシンク４１のように、図３のヒートシンク３１で分割していた各放熱フィン３を一体にして大面積化した放熱フィン４３を形成すると共に、分割していた各保持基板５を一体にして大面積化した保持基板４５を形成してもよい。
【００５４】
ヒートシンク４１の熱の流れは、図５（ｆ）に示すように、熱源Ｈで発生した熱がアルミ板（保持基板４５）から放熱され、さらにフィン（放熱フィン４３）から放熱される。また、熱源Ｈで発生した熱は、各ヒートパイプ２を介してフィン（放熱フィン４３）から放熱されると共に、アルミ板（保持基板４５）の他端（アルミ板端）から放熱される。
【００５５】
ここで、ヒートシンク４１の製造方法の一例を図６〜図８を用いて、より詳細に説明する。
【００５６】
まず、図６に示すように、熱伝導性を有するＡｌ薄板などの帯状の幅広な（本実施形態では、幅約４００ｍｍ）板材６１を巻いたロール６２を用意する。このロール６２から板材６１を送り出し、送り出した板材６１をＮＣ−ロール６３で順次下流側に送り出す。さらに、板材６１を、ＮＣ−ロール６３の下流側の上下に設けた波形形成用ロール６４，６４間に通過させることで、板材６１の長手方向に沿って山部３ｍと谷部３ｖを形成する。その後、波状に形成した板材６１を、波形形成用ロール６４，６４の下流側の上下に設けたカッタ６５，６５で所定長さごとに切り離し、波状のプレ放熱フィン４３ｐを形成する。
【００５７】
次に、図７に示すように、あらかじめヒートパイプ２（図１参照）と同形状の凸部材７２を複数個形成した（あるいは設けた）上金型７１ｕと、段部４を形成するための段部形成部材７３を形成した下金型７１ｄとを用意する。これら上金型７１ｕと下金型７１ｄでプレ放熱フィン４３ｐを上下から挟む。このとき、下金型７１ｄにプレ放熱フィン４３ｐを載置した上で、上金型７１ｕを加圧して下金型７１ｄ上に重ね合わせるとよい。これにより、プレス加工（せん断加工＋座屈加工）して段部４と突出伝熱面４ｈを一括形成し、放熱フィン４３を形成する。
【００５８】
その後、図８に示すように、放熱フィン４３の各段部４にヒートパイプ２を嵌合保持する。保持基板４５上に両面テープや接着剤などの接着部材８２を設け、その上にヒートパイプ２を嵌合保持した放熱フィン４３を設ける。他方、放熱フィン４３の波状に合わせて溝８３を形成した組立用上金型８１ｕと、支持台となる組立用下金型８１ｄとを用意する。接着部材８２としては、より放熱性を高めるため、導電性を有する接着剤を用いるとよい。
【００５９】
そして、これら組立用上金型８１ｕと組立用下金型８１ｄで、保持基板４５、接着部材８２、ヒートパイプ２を嵌合保持した放熱フィン４３を上下から挟み、常温あるいは熱間によりプレス加圧すると、保持基板４５とヒートパイプ２を嵌合保持した放熱フィン４３とが接合され、図４に示したヒートシンク４１が得られる。
【００６０】
本実施形態に係るヒートシンクの製造方法によれば、図１に示した小面積を有するヒートシンク１だけでなく、図４に示したような大面積を有するヒートシンク４１も金型寸法通りに簡単に製造できる。
【００６１】
また、図９（ａ）に示す第４の実施形態のように、プレ放熱フィン４３ｐの山部３ｍ（斜線部分）を切削し、図９（ｂ）に示すような段部９４を形成した放熱フィン９３を用いてもよい。
【００６２】
図９（ｃ）に示すように、この放熱フィン９３を用いたヒートシンク９１では、図２（ｃ）と同じ条件として見た場合、熱源で発生した熱が熱流ｈ９のようにヒートパイプ２からアルミ板（保持基板４５）を介してフィン（放熱フィン９３）に伝わり、アルミ板（保持基板４５）とフィン（放熱フィン９３）の両方から放熱される（図９（ｅ））。このため、ヒートシンク９１は、図１のヒートシンク１に比べて熱伝達が若干劣るが、それ以外はほぼ同じ作用効果が得られ、十分な放熱性を有する。
【００６３】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示す第５の実施形態に係るヒートシンク１０１のように、熱源Ｈとヒートパイプ２を若干離し、熱源Ｈとヒートパイプ２を直接接合せず、保持基板４５を介して熱伝達する構造であってもよい。
【００６４】
ヒートシンク１０１の熱の流れは、図１０（ｃ）に示すように、熱源Ｈで発生した熱がアルミ板（保持基板４５）から放熱され、さらにフィン（放熱フィン４３）から放熱される。また、熱源Ｈで発生した熱は、各ヒートパイプ２を介してフィン（放熱フィン４３）から放熱されると共に、アルミ板（保持基板４５）の他端（アルミ板端）から放熱される。
【００６５】
ヒートシンク１０１は、図４および図５（ａ）〜図５（ｅ）のヒートシンク４１に比べると熱伝達が若干劣るが、ヒートパイプ２がある部位とない部位間における温度のばらつきが生じにくいという利点がある。
【００６６】
上記実施形態では、放熱フィンに形成する段部を縦断面で見て矩形状に形成した例で説明したが、単に凹んだ段部としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の好適な第１の実施形態を示すヒートシンクの斜視図である。
【図２】図２（ａ）は段部を形成する前の図１に示した放熱フィンの拡大斜視図、図２（ｂ）は段部を形成した放熱フィンの拡大斜視図、図２（ｃ）は図１に示したヒートシンクの部分縦断面おける熱の流れを示す図、図２（ｄ）はその平面図、図２（ｅ）はその熱の流れを説明する図である。
【図３】本発明の第２の実施形態を示すヒートシンクの斜視図である。
【図４】本発明の第３の実施形態を示すヒートシンクの斜視図である。
【図５】図５（ａ）は図４に示したヒートシンクを熱源側から見た図、図５（ｂ）はその側面図、図５（ｃ）はヒートパイプ他端側から見た図、図５（ｄ）は図５（ｂ）の拡大側面図、図５（ｅ）はその縦断面図、図５（ｆ）はその熱の流れを説明する図である。
【図６】図４に示したヒートシンクの製造方法の詳細な一例を示す概略図である。
【図７】図６に引き続いて行われる製造方法の一例を示す概略図である。
【図８】図７に引き続いて行われる製造方法の一例を示す概略図である。
【図９】図９（ａ）は本発明の第４の実施形態において、段部を形成する前の放熱フィンの拡大斜視図、図９（ｂ）は段部を形成した放熱フィンの拡大斜視図、図９（ｃ）は本発明の第４の実施形態において、ヒートシンクの部分縦断面おける熱の流れを示す図、図９（ｄ）はその平面図、図９（ｅ）はその熱の流れを説明する図である。
【図１０】図１０（ａ）は本発明の第５の実施形態を示すヒートシンクの側面図、図１０（ｂ）はその縦断面図、図１０（ｃ）はその熱の流れを説明する図である。
【図１１】図１１（ａ）は従来のヒートシンクの一例を示す縦断面図、図１１（ｂ）は従来のヒートシンクの別例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  ヒートシンク
２  ヒートパイプ
３  放熱フィン
３ｍ  山部
３ｖ  谷部
４  段部
５  保持基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008288369.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008288369.tif 000008
【図７】
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【図８】
2008288369.tif 000010
【図９】
2008288369.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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