(57)【要約】【課題】必要な箇所にのみ可撓性を設定し、測定結果の信頼性を向上させることができるとともに、取り扱いが容易であり、しかも低コストの電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供する。【解決手段】本発明に係る測定治具において、多数の端子１１、１２は、フレキシブル基板１０の一面１０１において、間隔ｐ１〜ｐ３を隔てて設けられている。板厚減少部１３は、間隔ｐ１〜ｐ３に設けられている。本発明に係る集合シートは、多数の測定治具要素１を有する。多数の測定治具要素１は、フレキシブル基板１０を共用し、且、フレキシブル基板１０から切り離し可能となっている。本発明に係る測定装置は、測定基板２と、測定治具１とを含む。測定基板２は、導体２１、２２を有している。測定治具１は、端子１１、１２が、導体２１、２２と電気的に導通されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル基板と、多数の端子と、板厚減少部とを含む電子デバイス用測定治具であって、
前記多数の端子は、前記フレキシブル基板の一面上において、間隔を隔てて設けられており、
前記板厚減少部は、前記間隔内に設けられている、測定治具。
【請求項２】
請求項１に記載された測定治具であって、
前記板厚減少部は、少なくとも前記フレキシブル基板の一面、又は、他面の何れかに開口部を有し、前記開口部から前記フレキシブル基板の厚み方向に向かって凹状に落ち込んでいる、測定治具。
【請求項３】
請求項２に記載された測定治具であって、
前記板厚減少部は、非貫通構造である、測定治具。
【請求項４】
請求項２に記載された測定治具であって、
前記板厚減少部は、貫通構造である、測定治具。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載された測定治具であって、
前記板厚減少部は、孔、又は、溝である、測定治具。
【請求項６】
多数の測定治具要素を有する集合シートであって、
前記測定治具要素のそれぞれは、請求項１乃至５の何れかに記載された測定治具でなり、
前記フレキシブル基板を共用し、且、前記フレキシブル基板から切り離し可能となっている、
集合シート。
【請求項７】
請求項６に記載された集合シートであって、
前記測定治具要素のそれぞれは、互いに異なる端子配列を有している、
集合シート。
【請求項８】
測定基板と、測定治具とを含む測定装置であって、
前記測定基板は、基板の一面上に導体を有しており、
前記測定治具は、請求項１乃至５の何れかに記載されたものでなり、前記端子が、前記導体と電気的に導通されている、
測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載された測定装置であって、さらに測定基板は、複数の導体と、弾性体とを含み、
前記複数の導体は、前記測定基板の一面上において、間隔を隔てて設けられており、
前記弾性体は、前記間隔において、前記測定基板の厚み方向に向かって凸状に設けられている、
測定装置。
【請求項１０】
請求項９に記載された測定装置であって、
前記弾性体は、前記測定基板の前記一面上において、前記フレキシブル基板の前記板厚減少部に対応する部分に配置されている、
測定装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載された測定装置であって、
前記弾性体は、ボール状体、棒状体、又は、リング状体のいずれかである、
測定装置。
【請求項１２】
請求項９乃至１１の何れかに記載された測定装置であって、さらに測定基板は、弾性体設置部を含み、
前記弾性体設置部は、前記測定基板の前記一面上に開口部を有し、前記開口部から測定基板の厚み方向に向かって凹状に落ち込んでおり、
前記弾性体は、前記弾性体設置部の内部に配置され、前記開口部から前記測定基板の厚み方向に向かって突出している、
測定装置。
【請求項１３】
請求項８乃至１２の何れかに記載された測定装置であって、さらに測定対象たる電子デバイスを有しており、
前記電子デバイスは、電極端子を有し、前記電極端子が、前記測定治具の端子を経由して、前記測定基板の前記導体と電気的に導通されている、
測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子デバイス用測定治具に関し、特に、高周波帯域で使用される電子デバイスの特性測定を行う際に用いられる測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電子デバイス用測定治具は、通常、基板の一面側に、電子デバイスの電極端子に接触する端子を備え、他面側に測定基板の導体に接触する端子を備える。測定にあたっては、測定基板の上に測定冶具を載置し、その上に電子デバイスを搭載する。これにより、電子デバイスの電極端子が、測定治具の端子を経由して、測定基板の導体に電気的に導通される。
【０００３】
ところで、電子デバイスに設けられている複数の電極端子において、それぞれの表面の位置に高低差が生じている場合、一方の電極端子が測定冶具の端子に接触した状態にあるのに、他方の電極端子は測定冶具の端子に接触できないことがある。この問題を解消する手段として、特許文献１及び２には、測定治具にフレキシブル基板を用いる技術が開示されている。この構成によると、測定治具に電子デバイスを搭載した状態で、電子デバイスに対して押し圧力を加えることにより、フレキシブル基板が、その可撓性に応じて湾曲変形し、電子デバイスの電極端子表面の高低差が吸収される。
【０００４】
しかし、従来の測定治具では、高低差をフレキシブル基板の構成素材による可撓性でのみ吸収しているため、接触性の向上には限界がある。例えば、測定治具において、導通に係る端子の接触性を高めるため、フレキシブル基板の可撓性を過度に増大させると、伸び変形が生じ易くなり、かえって接触不良を招くこととなる。
【０００５】
特に、近年、この種の電子デバイスは、高周波化の進展に伴って回路の集積度が高くなっており、端子形状も一層の微細化が図られているから、測定治具に伸び変形が生じると、両端子間で位置ズレが誘発され、接触不良が頻発し易いという特有の事情がある。
【０００６】
また、フレキシブル基板の可撓性を過度に増大させると、測定治具全体の機械的強度が低下するから、測定基板への搬送作業時や設置作業時などで治具の取り扱いが難しくなり、破損事故が生じやすくなる。
【特許文献１】U.S.P.6,703,851B1号明細書
【特許文献２】特開２００３−３３７１５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、測定結果の信頼性を向上させることができる電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することである。
【０００８】
本発明のもう１つの課題は、必要な箇所にのみ可撓性を設定することができる電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することである。
【０００９】
本発明の更にもう一つの課題は、取り扱いが容易である電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することである。
【００１０】
本発明の更にもう一つの課題は、低コストの電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決するため、本発明に係る測定治具は、フレキシブル基板と、多数の端子とを含む。多数の端子は、フレキシブル基板の一面上において、間隔を隔てて設けられており、板厚減少部は、その間隔内に設けられている。
【００１２】
上述したように、本発明に係る電子デバイス用測定治具は、フレキシブル基板の一面上に多数の端子を有しているから、測定対象物たる電子デバイスと、測定基板との電気的導通を中継する治具として用いることができる。
【００１３】
測定治具は、板厚減少部を有しているから、フレキシブル基板の板厚が板厚減少部を設けた部分で減少している。従って、板厚減少部を配置した部分にのみ可撓性を付与することができる。
【００１４】
しかも、測定治具は、板厚減少部の配置数、厚み減少寸法などを調節することにより、フレキシブル基板の材質を一定に保ったままで、可撓性の程度（湾曲変形率）を自在に設定することができる。
【００１５】
他方、測定治具は、板厚減少部を有しない部分では、フレキシブル基板が予め有している機械的強度が維持されることとなる。従って、測定治具において、ハンドリングに必要な程度の機械的強度を確保することが可能となり、取り扱いが容易になる。
【００１６】
上述した本発明に係る電子デバイス用測定治具は、測定基板と組み合わされて測定装置に用いられる。即ち、本発明に係る測定装置は、測定基板と、測定治具とを含む。測定基板は、導体を有している。測定治具は、端子が、導体と電気的に導通されている。
【００１７】
本発明に係る測定装置を用いて電子デバイスの特性を測定するには、測定端子に測定対象となる電子デバイスを搭載する。このとき、背景技術の欄で説明したように、電子デバイスに設けられている複数の電極端子の相互に高低差が生じている場合、一部の電極端子が測定冶具の端子に接触できないことがある。この問題に対し、従来技術に係る測定治具では、フレキシブル基板の材質を適宜選定して可撓性を向上させるとともに、特性測定時に押し圧力を加えてフレキシブル基板全体を湾曲させることにより、電子デバイスの電極端子と、測定冶具の他方端子とのコンタクトを図っていた。
【００１８】
これに対し、本発明に係る測定治具では、フレキシブル基板の一面上において、多数の端子の間隔内に板厚減少部を設けている。即ち、本発明に係る測定治具の構成では、板厚減少部の両側に端子が配置されているから、特性測定時に電子デバイスの電極端子に接触している測定治具の一方端子に押し圧力が加えられると、フレキシブル基板が板厚減少部の箇所で湾曲して、一方端子が高低差分だけ沈降することにより、非接触状態であった電子デバイスの電極端子と、測定冶具の他方端子とのコンタクトが図られる。従って、従来技術とは異なり、フレキシブル基板の材質を一定に保ったままで、測定治具の端子と、電子デバイスの電極端子との間のコンタクト性を確保し、測定基板を通じた測定結果の信頼性を向上させることができる。
【００１９】
しかも、測定治具は、板厚減少部を有しない部分では、フレキシブル基板が予め有している機械的強度が維持されている。従って、本発明に係る測定装置では、特性測定時の押し圧力に対する測定治具の過剰な湾曲変形が抑制され、位置ズレや、接触不良による測定結果の信頼性の低下を回避することができる。
【００２０】
本発明に係る電子デバイス用測定治具は、製造工程の中間製品である集合シートから分離して得られる。即ち、本発明に係る集合シートは、多数の測定治具要素を有する。測定治具要素のそれぞれは、上述した電子デバイス用測定治具の構成を全て有する。
【００２１】
多数の測定治具要素は、フレキシブル基板を共用しているから、製造コスト、運搬コスト、及び、製品管理コストを低減することができる。
【００２２】
多数の測定治具要素は、フレキシブル基板から切り離し可能となっているから、測定時に迅速に切り離して用いることができる。従って、測定作業の作業効率を向上させることができる。
【００２３】
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。添付図面は、単に、例示に過ぎない。
【発明の効果】
【００２４】
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
（１）測定結果の信頼性を向上させ得る電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することができる。
（２）必要な箇所にのみ可撓性を設定することができる電子デバイス用測定治具、電子デバイス用集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することができる。
（３）取り扱いが容易である電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することができる。
（４）低コストの電子デバイス用測定治具、その集合シート、及び、それらを用いた測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は本発明の一実施形態に係る電子デバイス用測定治具の平面図、図２は図１の２−２線に沿った断面図、図３は図２に示した測定治具の端部を拡大して示す図である。
【００２６】
図１乃至図３を参照すると、本発明の一実施形態に係る測定治具は、所謂シートコンタクターと呼ばれるものであって、フレキシブル基板１０と、第１の端子１１と、第２の端子１２と、板厚減少部１３とを含む。
【００２７】
フレキシブル基板１０は、テフロン（登録商標）など絶縁樹脂材料を主成分として板状（シート状）に形成されたものであって、少なくとも矢印ｄで示す厚み方向に湾曲する可撓性を有している。本願明細書において「可撓性」とは、外部の物理的圧力に応じて形状が変化する特性を意味するものであって、伸縮性や弾性などに換言することが可能である。
【００２８】
第１の端子１１は、アース端子であって、フレキシブル基板１０の一面１０１と、他面１０２とにそれぞれ設けられており、表面が電気金メッキ処理されていることが好ましい。一面１０１、及び、他面１０２の第１の端子１１は、スルーホール１０３を介して電気的に導通されている。
【００２９】
一面１０１に設けられている第１の端子１１は、その多数個が、予め測定対象となる電子デバイスのアース端子の配列パターン（図示しない）に対応した配列パターンで、板面の縦横に沿い、相互に間隔ｐ２を隔てて、マトリクス状に設けられている。図示実施例において、一面１０１に設けられている第１の端子１１は２．１ｍｍ×１．０ｍｍであり、間隔ｐ２は０．７ｍｍとなっている。なお、上述した第１の端子１１及び間隔ｐ２の寸法は、あくまでも例示であって、これに限定する趣旨ではない。他方、他面１０２に設けられている第１の端子１１は、予め測定基板の導体の配列パターン（図示しない）に対応した配列パターンで配列されている。
【００３０】
第２の端子１２は、ターミナル端子であって、フレキシブル基板１０の一面１０１と、他面１０２とにそれぞれ設けられており、表面が電気金メッキ処理されていることが好ましい。一面１０１、及び、他面１０２の第２の端子１２は、スルーホール１０３を介して電気的に導通されている。
【００３１】
一面１０１に設けられている第２の端子１２は、多数が、予め測定対象となる電子デバイスの端子配列パターン（図示しない）に対応した配列パターンで、板面の縦横に沿って、相互に間隔ｐ１を隔てて設けられている。図示実施例において、一面１０１に設けられている第２の端子１２は０．４ｍｍ×１．５５ｍｍであり、間隔ｐ１は０．４ｍｍとなっている。なお、上述した第２の端子１２および間隔ｐ１の寸法は、あくまでも例示であって、これに限定する趣旨ではない。
【００３２】
測定治具は、一面１０１において、第２の端子１２の一端を順々に一点鎖線で結んだ領域内が測定領域ａ１となっている。他方、他面１０２に設けられている第２の端子１２は、予め測定基板の導体パターン（図示しない）に対応した配列パターンで配列されている。
【００３３】
さらに、第２の端子１２は、少なくとも測定領域ａ１内において、第１の端子１１と、相互に間隔ｐ３を隔てて設けられている。図示実施例において、間隔ｐ３は、１．３５ｍｍとなっている。なお、上述した間隔ｐ３の寸法は、あくまでも例示であって、これに限定する趣旨ではない。
【００３４】
板厚減少部１３は、フレキシブル基板１０の一面１０１に想定される測定領域ａ１において、第１及び第２の端子１１、１２が向き合う部分に設けられている。図１乃至図３に示す板厚減少部１３は、フレキシブル基板１０を一面１０１から他面１０２に向かって厚み方向ｄに貫通する貫通孔であって、一面１０１と、他面１０２とのそれぞれに開口部を有している。図示実施例において、板厚減少部１３は内径０．３ｍｍの貫通孔となっている。なお、板厚減少部１３の寸法は、あくまでも例示であって、これに限定する趣旨ではない。
【００３５】
図１乃至図３を参照して説明した測定治具は、この種の測定治具が通常備えるべき基本的構成、即ち、フレキシブル基板１０と、第１及び第２の端子１１、１２を有するから、測定対象（電子デバイス）と、測定基板との電気的導通を中継する治具として用いることができる。
【００３６】
図示された測定冶具は、本発明の特徴の一つとしての板厚減少部１３を有する。板厚減少部１３は、第１及び第２の端子１１、１２が向き合う間隔ｐ３に設けられている。板厚減少部１３が貫通構造（貫通孔）である場合、フレキシブル基板１０は、板厚減少部１３を設けた部分で厚み寸法ｄ１０が消失しているから、板厚減少部１３を配置した部分でのみ局所的に可撓性が向上する。従って、本発明に係る測定治具では、板厚減少部１３の配置により、フレキシブル基板１０の必要な箇所のみに可撓性を付与することができる。
【００３７】
さらに、板厚減少部１３が貫通孔である場合、その配置箇所、配置数、孔径寸法などを適宜設定することにより、フレキシブル基板１０の可撓性の程度（湾曲変形率）を自在に設定し、測定治具の必要な箇所に必要なだけの可撓性を付与することができる。
【００３８】
もっとも、フレキシブル基板１０は、際限なく可撓性が確保されればいいと言うものではない。持ち運び作業や設置作業時のハンドリングの容易性などの観点から、一定の機械的強度が確保されなければならない。上記要請に対して、本発明の一実施形態に係る測定治具は、フレキシブル基板１０において、板厚減少部１３を有しない部分では機械的強度が損なわれることはなく、フレキシブル基板１０の厚み寸法ｄ１０や素材選定などにより予め設定されている機械的強度が維持されることとなる。従って、測定治具において、ハンドリングに必要な程度の機械的強度が確保されており、取り扱いが容易になる。
【００３９】
図４及び図５は、本発明の実施形態に係る測定治具の拡大断面図である。図４及び図５において、図１乃至図３に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００４０】
図４に示す測定治具の実施形態において、板厚減少部１３は、フレキシブル基板１０の一面１０１に開口部を有する有底孔である。より詳細に説明すると、板厚減少部１３は、フレキシブル基板１０の一面１０１において、第１及び第２の端子１１、１２が向かい合う部分（間隔ｐ３）に設けられており、フレキシブル基板１０の一面１０１から他面１０２に向かって、厚み方向ｄに落ち込む凹形状の内部空間を有している。ここで、内部空間の底面１３１から他面１０２までの間の薄肉部１３２の厚み寸法は、フレキシブル基板１０の厚み寸法ｄ１０よりも小さくなっている。
【００４１】
他方、図５に示す測定治具の実施形態において、板厚減少部１３は、フレキシブル基板１０の他面１０２に開口部を有する有底孔である。より詳細に説明すると、板厚減少部１３は、フレキシブル基板１０の他面１０２において、第１及び第２の端子１１、１２が向かい合う部分（間隔ｐ３）に相当する部分に設けられており、フレキシブル基板１０の他面１０２から一面１０１に向かって、厚み方向ｄに落ち込む凹形状の内部空間を有している。ここで、内部空間の底面１３１から一面１０１までの間の薄肉部１３２の厚み寸法は、フレキシブル基板１０の厚み寸法ｄ１０よりも小さくなっている。
【００４２】
上述したように、図４及び図５に示す測定治具の実施形態は、図１乃至図３に示した実施形態とは異なり、板厚減少部１３が貫通構造ではなく、有底構造となっている点に特徴がある。図４及び図５に示した構造によると、図１乃至図３を参照して説明した利点を全て有することができる。さらに、板厚減少部１３を貫通構造ではなく、有底構造とする構造によると、薄肉部１３２の厚み寸法を適宜調節することにより、可撓性の程度（湾曲変形率）を自在に設定し、測定治具の必要な箇所に必要なだけの可撓性を付与することができる。
【００４３】
図６は本発明の更にもう一つ実施形態に係る測定治具の平面図、図７は図６の７−７線に沿った断面について、一部を省略して示す拡大断面図である。図６及び図７において、図１乃至図５に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００４４】
図６及び図７に示す実施形態は、第２の端子１２が相互に向き合う間隔ｐ１に第２の板厚減少部１４が設けられていることと、この第２の板厚減少部１４がフレキシブル基板１０を貫通する溝状（スリット状）であることとの２点について、図１乃至図５に示した実施形態とは異なる特徴を有している。
【００４５】
図１乃至図５を参照して説明したように、本発明に係る測定治具の特徴の一つは、フレキシブル基板１０の板厚ｄ１０を局所的に減少させることにより、フレキシブル基板１０の必要な箇所にのみ可撓性を付与する点にある。具体的に、フレキシブル基板１０において可撓性が必要とされる箇所とは、第１、第２の端子１１、１２が向かい合う部分（間隔ｐ１〜ｐ３）である。
【００４６】
図６及び図７に示す実施形態において、第２の板厚減少部１４は、０．２ｍｍ×１．１ｍｍのスリット状の貫通孔となっており、間隔ｐ１（０．４ｍｍ）に配置されている。なお、上述した第２の板厚減少部１４の寸法は、あくまでも例示であって、これに限定する趣旨ではない。
【００４７】
図６及び図７に示すように、間隔ｐ１に第２の板厚減少部１４が配置されている構成によると、第２の板厚減少部１４の両側の第２の端子１２に対して、それぞれ接触する電子デバイスの電極端子表面に高低差のバラツキがある場合でも、特性測定時に隣接する第２の端子１２が同時に加圧されることにより、フレキシブル基板１０が、第２の板厚減少部１４の箇所で湾曲変形して、表面１２０が相対的に上下動し、高低差が吸収される。従って、第２の板厚減少部１４を、第２の端子１２が向かい合う間隔ｐ１に設ける構造によると、第２の端子１２の表面１２０を水平面位置に高さ調節することができる。
【００４８】
上述したように、第２の板厚減少部１４は、フレキシブル基板１０において可撓性が必要とされる箇所に設けられるものであるから、湾曲させたい部分が線状に連続して分布している場合、第２の板厚減少部１４が溝状（スリット状）とされているものである。第２の板厚減少部１４は、実質的に、図１乃至図５に示した孔状の板厚減少部１３を極狭ピッチで多数形成した構造と同じ効果を有するものである。
【００４９】
図６及び図７に示す実施例において、第２の板厚減少部１４は、フレキシブル基板１０を貫通する貫通構造であるが、図４及び図５を参照して説明した板厚減少部１３の有底構造の利点は、図６及び図７に示す実施例においても合致する。従って、第２の板厚減少部１４は、凹溝（有底スリット）であってもよい。
【００５０】
図１乃至図７を参照して説明した測定治具は、測定基板と組み合わされて、電子デバイスの特性測定に用いられる測定装置を構成する。次に、本発明に係る測定治具を用いた測定装置について説明する。図８は本発明の一実施形態に係る測定装置の一部を破断して示す側面図、図９は図８に示した測定装置の分解構造ついて一部を省略して示す斜視図である。図８及び図９において、図１乃至図７に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００５１】
図８を参照すると、本発明の一実施形態に係る測定装置は、測定治具１と、測定基板２とを含む。測定基板２は、ガラスエポキシ樹脂や、テフロン（登録商標）樹脂などの絶縁樹脂を主成分とするリジッド（硬質）基板であり、一面２０１に第１の端子１１と導通する第１の導体２１を有し、同じく、一面２０１に第２の端子１２と導通する第２の導体２２を有し、さらに、他面２０２に第３の導体２３を有している。
【００５２】
第１〜第３の導体２１〜２３は、相互に電気的に導通されて、測定回路を構成している。この測定回路が同軸ケーブル等（図示しない）を介して測定基板２の側端面に取り付けられているコネクタ２４に電気的に導通されており、さらにコネクタ２４が、電気特性を測定するための装置（図示しない測定装置）に同軸ケーブル等を介して導通されている。
【００５３】
測定治具１は、図１乃至図７を参照して説明したものでなり、第１及び第２の端子１１、１２が、それぞれ第１及び第２の導体２１、２２と向き合うように、測定基板２の一面２０１に搭載され、第１及び第２の端子１１、１２が、それぞれ第１及び第２の導体２１、２２と電気的に導通されている。
【００５４】
次に、図８及び図９を参照して説明した測定装置を用いて、電子デバイスの特性を測定する方法について、図１０乃至図１３を参照して説明する。図１０乃至図１３は、図８及び図９に示した測定装置を用いた測定工程を示す図である。図１０乃至図１３において、図１乃至図９に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００５５】
まず、図１０に示すように、測定対象となる電子デバイス３を、測定治具１に搭載する。電子デバイス３は、例えば高周波電子デバイス（ＲＦモジュール）であって、第１の電極端子３１と、第２の電極端子３２とを有している。測定治具１は、その第１及び第２の端子１１、１２の配列パターンが、測定対象となる電子デバイス３の第１及び第２の電極端子３１、３２の配列パターン（図示しない）に対応しているものを予め用意しておく。
【００５６】
測定治具１に対する電子デバイス３の搭載姿勢について、更に図１１を参照して説明する。図１１は、図１０に示した工程の一部を拡大して示す図であって、電子デバイス３は、測定治具１の一面１０１において、第２の電極端子３２が第２の端子１２上に搭載されており、第２の電極端子３２が、第２の端子１２を経由して、第２の導体２２に電気的に導通される。
【００５７】
他方、電子デバイス３の第１の電極端子３１は、測定治具１の一面１０１において、第１の端子１１と、間隔ｇ１１を隔てて向き合うようにして搭載されている。間隔ｇ１１は、第２の電極端子３２の電極端子厚みが、第１の電極端子３１の電極端子厚みより厚くなっていることにより、両端子の電極端子厚み差（表面の高低差）ｇ１０に応じて、第１の端子１１と、第１の電極端子３１との相対向面間に生じたものである。従って、図１１に示す工程では、隙間ｇ１１によって、第１の端子１１と、第１の電極端子３１とのコンタクト（電気的接続）が阻害されたままの状態となっている。
【００５８】
図１２及び図１３に示す工程は、図１０及び図１１に示す工程のあとの工程であって、測定装置は、測定治具１の一面１０１に電子デバイス３が搭載された状態で、図示しない加圧装置によって、電子デバイス３の搭載方向に押し圧力ｆ１を加えることにより、フレキシブル基板１０が、板厚減少部１３で湾曲変形し、電子デバイス３が隙間（ｇ１１）の分だけ押し込まれる。即ち、電子デバイス３に加えられる押し圧力ｆ１によって、第２の電極端子３２が第２の端子１２を押し下げることにより、第２の端子１２が第１の端子１１と略水平位置になるまで沈降し、高低差（ｇ１０）及び隙間（ｇ１１）が吸収され、非接触状態であった第１の電極端子３１と、第１の端子１１とのコンタクトが図られる。さらに、電子デバイス３に加えられる押し圧力ｆ１によって、電子デバイス３、測定治具１、及び、測定基板２のそれぞれにおいて対応する端子が電気的に導通され、コネクタ２４を介して導通されている測定装置によって、電子デバイス３の電気特性が測定される。
【００５９】
図８及び図９を参照して説明した測定装置、及び、この測定装置の使用方法について図１０乃至図１３を参照して説明したところによると、図１乃至図７を参照して説明した測定治具１の利点を全て有する測定装置を提供することができる。
【００６０】
例えば、測定治具１は、板厚減少部１３の配置によりフレキシブル基板１０の必要な箇所に、必要なだけの可撓性を確保することができる。フレキシブル基板１０において可撓性が必要とされる箇所とは、例えば、第１、第２の端子１１、１２が向かい合う部分（間隔ｐ３）である。間隔ｐ３に板厚減少部１３が配置されている構成によると、測定対象となる電子デバイス３の各端子の表面に高低差ｇ１０のバラツキがある場合でも、特性測定時に第１、第２の端子１１、１２が加圧されることにより、フレキシブル基板１０が板厚減少部１３の箇所で湾曲変形し、表面１１０、１２０が相対的に上下動して高低差ｇ１０が吸収される。従って、隙間ｇ１１を隔てて向かい合う第１の端子１１と、第１の電極端子３１との間のコンタクト性を確保し、測定結果の信頼性を向上させることができる。
【００６１】
図示は省略するが、上述した測定治具１と電子デバイス３との間の隙間ｇ１１は、第１の電極端子３１の電極端子厚みが、第２の電極端子３２の電極端子厚みより厚くなっている場合には、第２の端子１２と、第２の電極端子３２との相対向面間に生じる。このような間隔ｇ１１に対しても、測定治具１は、板厚減少部１３の箇所で湾曲変形することにより、第１及び第２の電極端子３１、３２の高低差ｇ１０を吸収することができる。従って、本発明の一実施形態に係る測定治具１の構成によると、複数の電極端子を有する電子デバイス３において、各電極端子間で生じる高低差ｇ１０を適宜吸収することができるから、接続に係る電極端子毎のコンタクト性を確保し、測定結果の信頼性を向上させることができる。
【００６２】
また同様に、第１の電極端子３１の間での電極端子厚みのバラツキによる高低差、第２の電極端子３２の間での電極端子厚みのバラツキによる高低差も、第１の端子１１間に、板厚肉薄部を設け、または、第２の端子１２間に板厚肉薄部を設けることにより、各高低差を吸収できるから、同様に接続に係る端子毎のコンタクト性を確保し、測定結果の信頼性を向上させることができる。
【００６３】
本発明の一実施形態に係る測定治具１を用いた場合の効果について、実験データである表１を参照して説明する。
【００６４】
表１は、２．４ＧＨｚ挿入損失について、１０Ｎの押し圧力で加圧して測定する実験を２０回繰返し、その繰返し測定差の平均と、測定バラツキの平均とを算出したものである。表１において、σは測定バラツキをあらわし、３σ／ａｖｇは測定バラツキの平均値をあらわしている。
【００６５】
実施例１は、図１乃至図１３（特に図６）を参照して説明した測定治具１であって、松下電工(株)製のガラス布基材フッ素樹脂銅張積層板（製品名Ｒ４７３７、公称厚さ０．２ｍｍ、絶縁層厚さ０．１６ｍｍ）を用いて作成し、さらに板厚減少部１３は、図６に示すような配置構成で、内径０．３ｍｍの貫通孔となっている。また第２の板厚減少部１４は、０．２ｍｍ×１．１ｍｍのスリット状の貫通孔となっている。第１の端子は、２．１ｍｍ×１．０ｍｍ、第２の端子は、０．４ｍｍ×１．５５ｍｍ、間隔ｐ１は０．４ｍｍ、間隔ｐ２は０．７ｍｍ、間隔ｐ３は、１．３５ｍｍとなっている。
【００６６】
これに対し、比較例１は、板厚減少部１３、及び、第２の板厚減少部１４が存在しない図６と同形状のものを用いている。
【００６７】
【表１】
2008249383.tif 000003
【００６８】
表１を参照すると、比較例１では、繰返し測定差（Ｒ）＝０．１１４ｄＢ、測定バラツキ（σ）＝０．０３０、測定バラツキの平均値（３σ／ａｖｇ）＝３．２３％という実験結果が得られた。
【００６９】
他方、実施例１では、繰返し測定差（Ｒ）＝０．０１０ｄＢとなり、比較例１に対して測定差が１０％以上も改善されており、且、測定バラツキも、σ＝０．００２、３σ／ａｖｇ＝０．２５％となり、比較例１に対して明確な改善効果が得られた。したがって、測定選別マージンを狭くすることができるとともに、さらに歩留り改善が見込める。
【００７０】
上述したように、測定治具１は、電子デバイス３の第１、第２の電極端子３１、３２の表面に高低差ｇ１０が生じており、この高低差ｇ１０で生じる隙間ｇ１１によって、第１、第２の電極端子３１、３２が測定治具上の端子１１、１２に接触できない場合に、板厚減少部１３を配置することで、湾曲位置を自在に設定し、隙間ｇ１１の原因となる高低差ｇ１０を吸収するものである。本発明の効果は、測定治具１の端子１１、１２の側で高低差ｇ１０があり、この高低差ｇ１０により電子デバイス３との相対向面間に隙間ｇ１１が生じている場合にも、この同様に得ることができる。
【００７１】
また、本発明に係る測定治具１では、高低差ｇ１０を板厚減少部１３における湾曲変形により吸収しており、フレキシブル基板１０の素材自体の可撓性でのみ吸収している訳ではない。従って、フレキシブル基板１０に対して、加圧時に伸び変形が生じない必要最低限度の機械的強度（剛性）を確保し、両端子の接触不良を回避することができる。
【００７２】
特に、近年、この種の電子デバイス３は、高周波化の進展に伴って回路の集積度が高くなっており、さらに端子自体も一層の微細化が図られ、端子配置も密になっているから、測定治具１に必要以上の伸び変形が生じると、両端子間で位置ズレが誘発され、接触不良が頻発し易いという特有の事情がある。これに対して、本発明の一実施形態に係る測定治具１では、フレキシブル基板１０に不必要な伸び変形は生じないから、導通に係る端子間の位置ズレを防止し、接触不良を回避することができる。
【００７３】
また、フレキシブル基板１０は必要最低限度の剛性（機械的強度）を有するから、測定基板２への搬送作業時や設置作業時などでハンドリング性が向上し、破損事故の発生を回避することができる。
【００７４】
図１４は、本発明のもう一つの実施形態に係る測定治具の平面図、図１５は図１４の１５−１５線に沿った断面図である。図１４及び図１５において、図１乃至図１３に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００７５】
図１４及び図１５に示す測定治具１は、第２の端子１２の端部に、測定対象を搭載するためのランド部１２１を有している点について、図１乃至図１３に示した実施形態とは異なる特徴を有している。以下、ランド部１２１に係る相違点を中心に説明する。
【００７６】
図１４及び図１５を参照すると、ランド部１２１は、第２の端子１２の表面１２０上から厚み方向ｄに突出する凸形状を有しており、ランド部１２１の突出面と、表面１２０との間に高低差（ｇ１１）が生じている。通常、第１の端子１１と、第２の端子１２とは同じ端子厚みで形成されており、表面１１０と、表面１２０とが略水平面を構成しているから、ランド部１２１の突出面は、第１の端子１１の表面１１０に対する関係でも高低差（ｇ１１）を生じている。図１４及び図１５に示す実施形態において、ランド部１２１の突出面と、表面１２０との間に高低差（ｇ１１）は、０．０５ｍｍとなっている。なお、上述した高低差ｇ１１の寸法は、あくまでも例示であって、これに限定する趣旨ではない。
【００７７】
図１４及び図１５に示した測定治具１の構造によると、図１乃至図１３を参照して説明した利点を全て有することができる。例えば、測定治具は、一面１０１において、隣接するランド部１２１を順々に一点鎖線で結んだ領域内が測定領域ａ１となっているから、測定対象を搭載するべき範囲がより明確化し、測定治具に対する測定対象の位置あわせ作業を迅速、且、容易に行うことができる。
【００７８】
また、第２の端子１２が、その端部に、表面１１０、１２０から突出するランド部１２１を有している構成によると、測定対象を搭載する際に、例えば、第１の端子１１の厚みバラツキ等による影響を受けにくく、搭載位置のズレをなくすることができ、測定対象を第２の端子１２（ランド部１２１）に接触させやすくすることもできる。
【００７９】
さらに、ランド部１２１の突出寸法を適宜調節することにより、第１の端子１１と第２の端子１２との間で生じる高低差（ｇ１０）を予め調節することができる。このようにランド部１２１は、高低差（ｇ１０）を調節するため、意図的に設けられるものであるから、例えば、予め第２の端子１２の端子厚みを第１の端子１１よりも厚く形成することにより、表面１１０と、表面１２０との間に高低差ｇ１０を生じさた場合には、必ずしもランド部１２１を設けなくともよい。
【００８０】
図１４及び図１５を参照して説明した測定治具は、測定基板と組み合わされて、電子デバイスの特性測定に用いられる測定装置を構成する。次に、図１４及び図１５に示した測定治具を用いた測定装置、及び、この測定装置の使用方法について、図１６乃至図１８を参照して説明する。
【００８１】
図１６は、本発明のもう一つの実施形態に係る測定装置の一部を破断して示す図である。図１６に示す測定装置は、図１４及び図１５を参照して説明した測定治具１を有する以外は、図８及び図９を参照して説明した測定装置と同一の基本的構成を有するから、詳細は省略する。
【００８２】
次に、図１６に示した測定装置を用いて、測定対象物たる電子デバイスの特性を測定する方法について図１７及び図１８を参照して説明する。図１７及び図１８は、図１６に示した測定装置を用いた測定工程の一部を拡大して示す図である。図１７及び図１８において、図１乃至図１６に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００８３】
図１７を参照すると、本発明の一実施形態に係る測定装置は、測定治具１と、測定基板２とを含み、さらに測定対象となる電子デバイス３が測定治具１に搭載されている。電子デバイス３は、例えば高周波電子デバイス（ＲＦモジュール）であって、第１の電極端子３１と、第２の電極端子３２を有し、第１の電極端子３１が、第１の端子１１と向き合うようにして、測定治具１の一面１０１に搭載され、第２の電極端子３２がランド部１２１上に搭載されている。電子デバイス３は、第２の端子１２上に搭載されており、さらに電子デバイス３の第２の電極端子３２が、ランド部１２１にコンタクトするように位置決めされている。電子デバイス３は、第２の電極端子３２が、第２の端子１２（ランド部１２１）を経由して、第２の導体２２に電気的に導通される。
【００８４】
他方、第１の端子１１と、第１の電極端子３１との間には、ランド部１２１の高低差ｇ１０に応じて隙間ｇ１１が生じており、この隙間ｇ１１によって第１の端子１１と、第１の電極端子３１とのコンタクトが阻害されている。
【００８５】
図１８に示す工程は、図１７に示す工程の後の工程であって、測定装置は、測定治具１の一面１０１に電子デバイス３が搭載された状態で、図示しない加圧装置によって、電子デバイス３の搭載方向に押し圧力ｆ１を加えることにより、フレキシブル基板１０が、板厚減少部１３で湾曲変形し、電子デバイス３が隙間（ｇ１１）の分だけ押し込まれ、第１の端子１１と、第２の電極端子３２とのコンタクトが図られる。即ち、第１の端子１１と、第１の電極端子３１との間の隙間ｇ１１は、電子デバイス３の沈み込み空間として用いられるもので、予め加圧時の電子デバイス３の沈み込み量（ストローク長）を想定して、ランド部１２１の突出距離が設定されている。
【００８６】
電子デバイス３の上側から加圧装置により圧力が加えられ、電子デバイス３、測定基板２、及び、測定基板２のそれぞれにおいて、対応する端子が相互に圧着することにより電気的に導通され、コネクタ２４を介して導通されている測定装置によって、電子デバイス３の電気特性が測定される。
【００８７】
図１６を参照して説明した測定装置、及び、この測定装置の使用方法について図１7乃至図１８を参照して説明したところによると、図１乃至図１５を参照して説明した測定治具１の利点を全て有する測定装置を提供することができる。例えば、測定治具１は、一面１０１において、隣接するランド部１２１を順々に一点鎖線ａ１で結んだ領域内が測定領域ａ１となっているから、電子デバイス３を搭載するべき範囲が明確化し、測定治具１に対して、電子デバイス３を位置あわせする作業を迅速、且、容易に行うことができる。
【００８８】
また、第２の端子１２が、その端部に、表面１１０、１２０から突出するランド部１２１を有している構成によると、電子デバイス３を搭載する際に、例えば、第１の端子１１の厚みバラツキ等による影響を受けにくく、搭載位置のズレをなくすることができ、電子デバイス３の第２の電極端子３２を、第２の端子１２（ランド部１２１）に接触させやすくすることもできる。
【００８９】
図１９は本発明の更にもう一つの実施形態に係る測定装置の一部を破断して示す図、図２０は図１９に示した測定装置の分解構造ついて一部を省略して示す斜視図である。図１９及び図２０において、図１乃至図１８に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００９０】
図１９及び図２０に示す測定装置の実施形態は、図１６乃至図１８に示した実施形態とは異なり、測定治具１に対面する測定基板２の一面２０１に弾性体２５が配置されている点に特徴がある。以下、詳細に説明すると、測定基板２は、複数の導体２１、２２と、弾性体２５と、弾性体設置部２６とを含む。
【００９１】
複数の導体２１、２２は、測定基板２の一面２０１において、間隔を隔てて設けられている。弾性体２５は、合成樹脂材料、プラスチックを主成分とするリング状体、又は、棒状体である。弾性体２５は、導体２１、２２が向かい合う間隔において、測定基板２の厚み方向ｄに向かって凸状に設けられている。
【００９２】
弾性体設置部２６は、測定基板２の一面２０１に開口部を有する凹溝であって、一面２０１から厚み方向ｄに向かって凹状に落ち込む内部空間を有しており、弾性体２５は、この内部空間に配置され、一面２０１から測定基板の厚み方向ｄに向かって突出している。
【００９３】
弾性体設置部２６は、第１及び第２の導体２１、２２の近傍であって、好ましくは板厚減少部１３に対応する部分に配置され、より好ましくは板厚減少部１３に向かい合う部分に配置されている。
【００９４】
次に、この測定装置を用いて、電子デバイス３の特性を測定する方法について図２１及び図２２を参照して説明する。図２１及び図２２は、図１９及び図２０に示した測定装置を用いた測定工程の一部を拡大して示す図である。図２１及び図２２において、図１乃至図２０に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【００９５】
図２１を参照すると、第２の端子１２上に電子デバイス３が搭載されており、この第２の電極端子３２が、ランド部１２１にコンタクトするように位置決めされている。電子デバイス３は、第２の電極端子３２が、第２の端子１２（ランド部１２１）を経由して、第２の導体２２に電気的に導通される。
【００９６】
第１の端子１１と、第２の電極端子３２との間には、ランド部１２１の高低差ｇ１０に応じて隙間ｇ１１が生じており、この隙間ｇ１１によって第１の端子１１と、第１の電極端子３１とのコンタクトが阻害されている。
【００９７】
弾性体２５は、弾性体設置部２６に配置された状態で、フレキシブル基板１０の他面１０２に対して、好ましくは押し圧力を加えてない程度に若干接触している。
【００９８】
図２２に示す工程は、図２１に示す工程の後の工程であって、測定装置は、測定治具１の一面１０１に電子デバイス３が搭載された状態で、図示しない加圧装置によって、電子デバイス３の搭載方向に押し圧力ｆ１を加えることにより、フレキシブル基板１０が、板厚減少部１３で湾曲変形し、電子デバイス３が隙間ｇ１１分押し込まれ、第１の端子１１と、第１の電極端子３１とのコンタクトが図られる。即ち、第１の端子１１と、第１の電極端子３１との間の隙間ｇ１１は、電子デバイス３の沈み込み空間（ストローク長）として用いられるもので、予め加圧時の電子デバイス３の沈み込み量を想定して、ランド部１２１の突出距離が設定されている。
【００９９】
この電子デバイス３の沈み込み量が、所定の範囲を超え、フレキシブル基板１０の他面１０２が測定基板３に衝突しようとしたとき、フレキシブル基板１０の他面１０２に弾性体２５からの押し圧力が加えられ、フレキシブル基板１０の過剰な撓みが、弾性体２５により規制される。
【０１００】
電子デバイス３の上側から加圧装置により圧力が加えられ、電子デバイス３、測定基板２、及び、測定基板２のそれぞれにおいて、対応する端子が相互に圧着することにより電気的に導通され、コネクタ２４を介して導通されている測定装置によって、電子デバイス３の電気特性が測定される。
【０１０１】
図１９乃至図２０を参照して説明した測定装置、及び、この測定装置の使用方法について図２１及び図２２を参照して説明したところによると、図１乃至図１８を参照して説明した測定治具１の利点を全て有する測定装置を提供することができるとともに、さらに、フレキシブル基板１０の過剰な撓みを、弾性体２５により規制し、測定結果の信頼性を向上させることができる。また、弾性体２５により、フレキシブル基板１０に押し圧力が加えられた場合の湾曲位置、湾曲率を自在に調節することができる。
【０１０２】
図１乃至図２２を参照して説明した測定治具は、製造工程の中間製品において、集合シートとして形成される。図２３は、本発明の一実施形態に係る集合シートの平面図である。図２３において、図１乃至図１８に示した構成部分と同一の構成部分には、同一の参照符号を付す。
【０１０３】
図２３に示した集合シートは、多数の測定治具要素１を有する。測定治具要素１のそれぞれは、図１乃至図２２を参照して説明した測定治具の構成を全て有する。多数の測定治具要素１は、フレキシブル基板１０を共用し、且、フレキシブル基板１０から切り離し線Ｃ１に沿って切り離し可能となっている。この構成によると、多数の測定治具要素１は、フレキシブル基板１０を共用しているから、製造コスト、運搬コスト、及び、製品管理コストを低減することができる。
【０１０４】
さらに、多数の測定治具要素１は、フレキシブル基板１０から切り離し線Ｃ１に沿って切り離し可能となっているから、測定時に迅速に切り離して用いることができる。従って、測定作業の効率を向上することができる。
【０１０５】
図２３に示した集合シートは、全ての測定治具要素１の端子が同じ配置パターンで表現されているが、必ずしもこれに限定されない。即ち、多数の測定治具要素１は、それぞれに異なる端子配列を有していてもよい。多数の測定治具要素１は、それぞれに異なる端子配列を有する構成によると、測定に係る電子デバイス３の電極端子の配置パターンに応じて、適当な治具を選択する作業を迅速に行うことができる。従って、利便性が向上する。
【０１０６】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種種の変形態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の一実施形態に係る電子デバイス用測定治具の平面図である。
【図２】図１の２−２線に沿った断面図である。
【図３】図２に示した測定治具の端部を拡大して示す図である。
【図４】本発明のもう一つ実施形態に係る測定治具の拡大断面図である。
【図５】本発明の更にもう一つ実施形態に係る測定治具の拡大断面図である。
【図６】本発明の更にもう一つ実施形態に係る測定治具の平面図である。
【図７】図６の７−７線に沿った断面について、一部を省略して示す拡大断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る測定装置の一部を破断して示す側面図である。
【図９】図８に示した測定装置の分解構造ついて一部を省略して示す斜視図である。
【図１０】図８及び図９に示した測定装置を用いた測定工程を示す図である。
【図１１】図１０に示した工程の一部を拡大して示す図である。
【図１２】図１０及び図１１に示した工程のあとの工程を示す図である。
【図１３】図１２に示した工程の一部を拡大して示す図である。
【図１４】本発明のもう一つの実施形態に係る測定治具の平面図である。
【図１５】図１４の１５−１５線に沿った断面図である。
【図１６】本発明のもう一つの実施形態に係る測定装置の一部を破断して示す図である。
【図１７】図１６に示した測定装置を用いた測定工程の一部を拡大して示す図である。
【図１８】図１７に示した工程のあとの工程を示す図である。
【図１９】本発明の更にもう一つの実施形態に係る測定装置の一部を破断して示す図である。
【図２０】図１９に示した測定装置の分解構造ついて一部を省略して示す斜視図である。
【図２１】図１９及び図２０に示した測定装置を用いた測定工程の一部を拡大して示す図である。
【図２２】図２１に示した工程のあとの工程を示す図である。
【図２３】本発明の一実施形態に係る集合シートの平面図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１                電子デバイス用測定治具（測定治具要素）
１０              フレキシブル基板
１１、１２        第１、第２の端子
２                測定基板
２１〜２３        第１〜第３の導体
３                電子デバイス
ｐ１〜ｐ３        間隔
【図１】
2008249383.tif 000004
【図２】
2008249383.tif 000005
【図３】
2008249383.tif 000006
【図４】
2008249383.tif 000007
【図５】
2008249383.tif 000008
【図６】
2008249383.tif 000009
【図７】
2008249383.tif 000010
【図８】
2008249383.tif 000011
【図９】
2008249383.tif 000012
【図１０】
2008249383.tif 000013
【図１１】
2008249383.tif 000014
【図１２】
2008249383.tif 000015
【図１３】
2008249383.tif 000016
【図１４】
2008249383.tif 000017
【図１５】
2008249383.tif 000018
【図１６】
2008249383.tif 000019
【図１７】
2008249383.tif 000020
【図１８】
2008249383.tif 000021
【図１９】
2008249383.tif 000022
【図２０】
2008249383.tif 000023
【図２１】
2008249383.tif 000024
【図２２】
2008249383.tif 000025
【図２３】
2008249383.tif 000026