(57)【要約】【課題】  セラミックス電子部品（以下電子部品）を１６００℃付近の高温度域で長期間焼成した場合、電子部品の形状変化が少なく焼成する事が出来るアルミナ−ムライト質焼成用道具材を提供し、セラミックス電子部品自身の形状変化を抑制することにより歩留りを向上させること。【解決手段】  ０．０１〜１０重量％の酸化亜鉛原料を外配で添加する事により、道具材の焼結性を向上させ、道具材自身が１６００℃付近の高温度域での形状変化を少なくする事により、焼成対象物である電子部品の形状変化を抑制する事を要旨とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学成分がアルミナ７０〜９９重量％、シリカ３０〜１重量％からなる、アルミナ−ムライト質電子部品焼成用道具材において、製造時に外配で０．０１〜１０重量％の酸化亜鉛原料を添加して得られる道具材。
【請求項２】
化学成分がアルミナ７０〜９９重量％、シリカ３０〜１重量％からなる、アルミナ−ムライト質電子部品焼成用道具材において、製造時に外配で０．０１〜１０重量％の酸化亜鉛原料を添加して得られる道具材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【技術分野】
【０００１】本発明は、誘電体、積層コンデンサ、セラミックコンデンサ、圧電素子、サーミスタ等の電子部品を焼成する際に用いる、アルミナ−ムライト質のセッター、棚板、匣鉢等の電子部品焼成用道具材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】電子部品焼成用道具材は、一般的に耐熱性や機械的強度が必要とされているが、近年、被焼成物であるセラミックス電子部品の歩留りに悪影響を与える電子部品自身の形状の変化を少なくする事が要求されている。【０００３】電子部品の焼成時に起こる形状変化は、道具材が反ることが一因である。【０００４】道具材が反る事に関して、一般的に道具材の密度が高いほど反り難い傾向にある。道具材で高密度の物は気孔が少なく、気孔を少なくする方法の一つには、焼結性を向上させる方法がある。そこで添加物を少量使用する事により緻密な焼結体を得、低気孔の道具材を作る事を目的とする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】本発明は、電子部品の焼成時に、焼成用道具材を反り難くする事により、電子部品自身の形状変化を抑制し、歩留りを向上させること。
【課題を解決するための手段】
【０００６】上記目的を達成する為にアルミナ−ムライト質焼成用道具材を製造する際に少量の酸化亜鉛を添加することにより緻密な焼結体を得、反り特性を向上させる。【０００７】アルミナ−ムライト質焼成用道具材の製造時に使用するアルミナ原料は、電融アルミナ、焼結アルミナで、いずれも純度が９８．５〜９９．９％重量％、粒度は２０００〜１μｍ程度である事が望ましい。純度が９８．５重量％未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が２０００μｍより大きい場合は被焼成物を傷つける場合がある。【０００８】使用するシリカ原料は、電融シリカで純度が９９．０〜９９．５重量％、粒度は１０００〜１μｍであることが望ましい。アルミナ原料同様、純度が９９．０重量％未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が１０００μｍより場合は被焼成物を傷つける場合がある。【０００９】使用するムライト原料は、電融ムライトで、化学成分はアルミナ成分が７０重量％以上でシリカ成分が２０〜３０重量％であり、粒度は１０００〜１μｍである事が望ましい。アルミナ、シリカ成分の合計量が９９．０重量％未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が１０００μｍより大きい場合は被焼成物を傷つける場合がある。【００１０】  添加物として使用する酸化亜鉛原料は、純度が９０．０〜９９．９重量％であることが望ましく、粒度は１５〜１μｍが望ましく、添加量は外配で０．０１〜１０重量％が望ましい。【００１１】上記粒度及び添加量以外の場合は、良好な焼結性が得らないか、または低融点化合物を作り特性の向上は認められない場合がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】以下に本発明の実施例を示し、本発明の特徴とするところを一層明確にする。【００１３】（実施例１〜７）
電融アルミナ、焼結アルミナ、シリカ粉、電融ムライトそれぞれの原料をアルミナ：シリカ比が（７０〜９９）：（３０〜１）に成るように調合し、混合する。混合時に外配で０．０１〜１０重量％の酸化亜鉛を添加し、バインダーとしてデキストリンを使用して混練した後、坏土を２６０×１７３ｍｍの金型に入れ、２．２ｔ／ｃｍ２の圧力を加えて乾式プレス成形した。これにより縦２６０ｍｍ、幅１７３ｍｍ、厚み７ｍｍの成形体を得た。この成形体をトンネル炉にて最高温度１７３０℃にて合計１０２時間の条件で焼成し、試料を作製した。【００１４】（比較例１）
実施例１と同一の方法で添加物を使用しないものを比較例として作製した。【００１５】（比較評価１）
実施例１〜７及び比較例１の試料について、各試料をそれぞれ６ｍｍの厚さに研磨し、所定荷重を掛けて、電気炉にて１６００℃の温度で５時間保持し試料の反り量を試験した。その結果を表１に示す。【００１６】
【表１】
2008201658.tif 000002
【００３２】表からも明らかなように実施例１〜７の試料の反り難さは比較例１の試料に比べて反り量が少ない事が判る。
【発明の効果】
【００３３】以上述べたように、本発明によれば、アルミナ−ムライト質焼成用道具材において、製造時に０．０１〜１０．０重量％の酸化亜鉛原料を外配で添加する事により、使用中の反り量が少ない製品を製造する事ができる。本発明のアルミナ−ムライト質焼成用道具材を用いることによって、電子部品自身の形状変化を抑制し、歩留りを向上させることができる。
【図１】
2008201658.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月24日(2007.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【技術分野】
【０００１】本発明は、誘電体、積層コンデンサ、セラミックコンデンサ、圧電素子、サーミスタ等の電子部品を焼成する際に用いる、アルミナ−ムライト質のセッター、棚板、匣鉢等の電子部品焼成用道具材及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】電子部品焼成用道具材は、一般的に耐熱性や機械的強度が必要とされているが、近年、被焼成物であるセラミックス電子部品の歩留りに悪影響を与える電子部品自身の形状の変化を少なくする事が要求されている。【０００３】電子部品の焼成時に起こる形状変化は、道具材が反ることが一因である。【０００４】道具材が反る事に関して、一般的に道具材の密度が高いほど反り難い傾向にある。道具材で高密度の物は気孔が少なく、気孔を少なくする方法の一つには、焼結性を向上させる方法がある。そこで添加物を少量使用する事により緻密な焼結体を得、低気孔の道具材を作る事を目的とする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】本発明は、電子部品の焼成時に、焼成用道具材を反り難くする事により、電子部品自身の形状変化を抑制し、歩留りを向上させること。
【課題を解決するための手段】
【０００６】上記目的を達成する為にアルミナ−ムライト質焼成用道具材を製造する際に少量の酸化亜鉛を添加することにより緻密な焼結体を得、反り特性を向上させる。【０００７】アルミナ−ムライト質焼成用道具材の製造時に使用するアルミナ原料は、電融アルミナ、焼結アルミナで、いずれも純度が９８．５〜９９．９％重量％、粒度は２０００〜１μｍ程度である事が望ましい。純度が９８．５重量％未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が２０００μｍより大きい場合は被焼成物を傷つける場合がある。【０００８】使用するシリカ原料は、電融シリカで純度が９９．０〜９９．５重量％、粒度は１０００〜１μｍであることが望ましい。アルミナ原料同様、純度が９９．０重量％未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が１０００μｍより場合は被焼成物を傷つける場合がある。【０００９】使用するムライト原料は、電融ムライトで、化学成分はアルミナ成分が７０重量％以上でシリカ成分が２０〜３０重量％であり、粒度は１０００〜１μｍである事が望ましい。アルミナ、シリカ成分の合計量が９９．０重量％未満の場合は被焼成物との反応があり、粒度が１０００μｍより大きい場合は被焼成物を傷つける場合がある。【００１０】  添加物として使用する酸化亜鉛原料は、純度が９０．０〜９９．９重量％であることが望ましく、粒度は１５〜１μｍが望ましく、添加量は外配で０．０１〜１０重量％が望ましい。【００１１】上記粒度及び添加量以外の場合は、良好な焼結性が得らないか、または低融点化合物を作り特性の向上は認められない場合がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】以下に本発明の実施例を示し、本発明の特徴とするところを一層明確にする。【００１３】（実施例１〜７）
電融アルミナ、焼結アルミナ、シリカ粉、電融ムライトそれぞれの原料をアルミナ：シリカ比が（７０〜９９）：（３０〜１）に成るように調合し、混合する。混合時に外配で０．０１〜１０重量％の酸化亜鉛を添加し、バインダーとしてデキストリンを使用して混練した後、坏土を２６０×１７３ｍｍの金型に入れ、２．２ｔ／ｃｍ２の圧力を加えて乾式プレス成形した。これにより縦２６０ｍｍ、幅１７３ｍｍ、厚み７ｍｍの成形体を得た。この成形体をトンネル炉にて最高温度１７３０℃にて合計１０２時間の条件で焼成し、試料を作製した。【００１４】（比較例１）
実施例１と同一の方法で添加物を使用しないものを比較例として作製した。【００１５】（比較評価１）
実施例１〜７及び比較例１の試料について、各試料をそれぞれ６ｍｍの厚さに研磨し、所定荷重を掛けて、電気炉にて１６００℃の温度で５時間保持し試料の反り量を試験した。その結果を表１に示す。【００１６】
【表１】
2008201658.tif 000004
・見掛比重、かさ比重、見掛気孔率：測定方法はＪＩＳ  Ｒ２２０５−７４に順ずる。
・反り量：最高温度１６００℃で５時間保持し、試料に４点曲げ試験法の支持で荷重をのせ荷重は２．４ｋｇ／ｃｍ２にて行った。（図１参照）【００３２】表からも明らかなように実施例１〜７の試料の反り難さは比較例１の試料に比べて反り量が少ない事が判る。
【発明の効果】
【００３３】以上述べたように、本発明によれば、アルミナ−ムライト質焼成用道具材において、製造時に０．０１〜１０．０重量％の酸化亜鉛原料を外配で添加する事により、使用中の反り量が少ない製品を製造する事ができる。本発明のアルミナ−ムライト質焼成用道具材を用いることによって、電子部品自身の形状変化を抑制し、歩留りを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】４点曲げ試験法の概略図である。
【符号の説明】
１  荷重
２  試料（サイズ：２６０×１７３×６ｍｍ）
３  支点
2008201658.tif 000005