(57)【要約】【課題】基板間の隙間等の乾燥残渣を抑制することができる表示パネルの乾燥処理装置及び表示パネルの洗浄・乾燥方法を提供すること。【解決手段】本発明にかかる表示パネルの乾燥処理装置は、第１基板１０と第２基板２０とをシール材３０を介在させて重ね合わせた液晶表示パネル１００の配線群２７を乾燥させるものである。そして、液晶表示パネル１００の第１基板１０側から第２基板２０に向けて、吹き出し口から第１基板１０と第２基板２０との隙間に気体を噴射させる隙間部用エアーナイフ８０と、隙間部用エアーナイフ８０を保持する保持機構７１とを有するものである。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第２基板上の一辺側に形成された端子部と、前記端子部に形成された配線群と、前記端子部を露出させるように前記第２基板上にシール材を介して接着された第１基板とを有する表示パネルにおける前記配線群を乾燥させる表示パネルの乾燥処理装置であって、
前記表示パネルの前記第１基板側から前記第２基板に向けて、吹き出し口から前記第１基板と前記第２基板との隙間に気体を噴射させる隙間部用エアー噴射ノズルと、
前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持する保持機構とを有することを特徴とする表示パネルの乾燥処理装置。
【請求項２】
前記保持機構は、前記第１基板の前記第２基板とは反対側から見た上面視において、前記隙間部用エアー噴射ノズルの前記吹き出し口を前記第１基板の端面に対し傾斜させ、前記第１基板の端面に向けて、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射するように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持し、前記隙間部用エアー噴射ノズルの吹き出し口と前記第１基板の端面とのなす角が０度より大きく１０度以下となるように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持する請求項１に記載の表示パネルの乾燥処理装置。
【請求項３】
前記保持機構は、前記第２基板の表面に対する前記隙間部用エアー噴射ノズルの噴射角度が２５〜３５度となるように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持する請求項１又は２に記載の表示パネルの乾燥処理装置。
【請求項４】
前記保持機構は、前記第２基板の表面から前記隙間部用エアー噴射ノズルの先端下辺までの距離が０．１〜０．６ｍｍとなるように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持する請求項１乃至３のいずれかに記載の表示パネルの乾燥処理装置。
【請求項５】
前記隙間部用エアー噴射ノズルは、気体の流路となり、前記吹き出し口に向けて幅が狭くなる帯状の溝を内部に有する請求項１乃至４のいずれかに記載の表示パネルの乾燥処理装置。
【請求項６】
第２基板上の一辺側に形成された端子部と、前記端子部に形成された配線群と、前記端子部を露出させるように前記第２基板上にシール材を介して接着された第１基板とを有する表示パネルの洗浄・乾燥方法において、
前記配線群に対して、ウェット洗浄を行う工程と、
前記第１基板の前記第２基板とは反対側から見た上面視において、隙間部用エアー噴射ノズルの吹き出し口を前記第１基板の端面に対し傾斜させ、前記第１基板の端面に向けて前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射して、ウェット洗浄された前記配線群及び前記第１基板と前記第２基板との隙間部を乾燥させる工程とを有する表示パネルの洗浄・乾燥方法。
【請求項７】
前記乾燥させる工程では、前記第１基板の前記第２基板とは反対側から見た上面視において、前記隙間部用エアー噴射ノズルの吹き出し口と前記第１基板の端面とのなす角を０度より大きく１０度以下にして、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射させる請求項６に記載の表示パネルの洗浄・乾燥方法。
【請求項８】
前記乾燥させる工程では、前記第２基板の表面に対する前記隙間部用エアー噴射ノズルの噴射角度を２５〜３５度にして、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射させる請求項６又は７に記載の表示パネルの洗浄・乾燥方法。
【請求項９】
前記乾燥させる工程では、前記第２基板表面から前記隙間部用エアー噴射ノズルの先端下辺までの距離を０．１〜０．６ｍｍにして、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射させる請求項６乃至８のいずれかに記載の表示パネルの洗浄・乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの乾燥処理装置及び表示パネルの洗浄・乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、ガラスなどからなる一対の基板と、両基板間に挟持された液晶とを備える。ここで、各基板の互いに対向する面には、液晶を駆動するための電極パターンがそれぞれ形成されている。また、一対の基板のうち、一方の基板は、他方の基板よりも平面寸法が大きく形成されおり、突出するように配置される。この突出した突出領域には、両基板上に形成された電極に電気的に接続される複数の端子が形成されている。これらの端子には、ＦＰＣあるいはドライバＩＣなどの電子部品を実装される。このドライバＩＣは、外部から入力される表示信号等に基づいて、画像の表示に必要な各種の制御信号、走査電圧及び表示電圧等を出力し、液晶表示パネルを駆動させる。
【０００３】
液晶表示パネルの端子に電子部品を実装する際に、液晶表示パネルの端子上に、液晶表示パネルに不要な液晶材料や異物が残っていると、半導体素子等の接続不良や、配線間ショート等を生じて、誤作動を起こす場合がある。このため、液晶表示パネルの端子に電子部品を実装する前に、液晶表示パネルに付着した液晶材料や塵埃等を除去するための洗浄を行う。このような洗浄方法としては、例えば蒸気洗浄等のウェット洗浄を用いることができる。蒸気洗浄では、ノズルから端子に向けて高温の水蒸気を吹き付けて、端子に付着した異物等を除去する。このような洗浄は、偏光板等が貼付された液晶表示パネルの端子に対して行われる。偏光板は、高温・高湿下における耐久性が乏しい。このため、偏光板付近に蒸気洗浄時に発生する高温の水蒸気が存在すると、偏光板の偏光性能が急激に低下する。そこで、蒸気洗浄の際、端子部以外の領域を遮蔽板によって遮蔽し、偏光板への水分の浸入を防いでいる。また、偏光板側に水蒸気が回り込むことを防ぐために、遮蔽板と液晶表示パネルとは、密に接触させることが好ましい。
【０００４】
このように、端子を蒸気洗浄した後、端子を自然乾燥させる。蒸気洗浄は、高温の蒸気を吹き付けるため、突出領域が熱くなっている。このため、突出領域の熱によって、蒸気洗浄の際に付着した水滴は、蒸発し、速やかに乾燥される。しかし、液晶表示パネルの突出領域近傍の両基板間の隙間では、水滴が蒸発しきれず、完全に乾燥させることができなかった。
【０００５】
一方、他の乾燥方法としては、例えばエアー噴射ノズル（エアーナイフ）を用いる方法が挙げられる（特許文献１参照）。エアーナイフは、被乾燥物に付着している水滴等を噴射気体で吹き飛ばし急速乾燥させるものである。しかし、エアーナイフは、ガラス基板等の平面を有する物に対して効果があったが、液晶表示パネルの突出領域近傍の両基板間の隙間等、複雑形状の部分に対しては、十分に水分を除去することができなかった。例えば、蒸気洗浄を行う場合、設備の構造上、遮蔽板とエアーナイフが接触してしまい、従来から用いられるエアーナイフを両基板間の隙間近傍に設置できない等の問題を有していた。このため、両基板間の隙間にエアーを確実に送ることができず、端子部を完全に乾燥させることができなかった。
【特許文献１】特開２０００−１０５０７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記の問題を鑑みるためになされたものであり、表示パネルの基板間の隙間等の乾燥残渣を抑制することができる表示パネルの乾燥処理装置及び表示パネルの洗浄・乾燥方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる表示パネルの乾燥処理装置は、第２基板上の一辺側に形成された端子部と、前記端子部に形成された配線群と、前記端子部を露出させるように前記第２基板上にシール材を介して接着された第１基板とを有する表示パネルにおける前記配線群を乾燥させる表示パネルの乾燥処理装置であって、前記表示パネルの前記第１基板側から前記第２基板に向けて、吹き出し口から前記第１基板と前記第２基板との隙間に気体を噴射させる隙間部用エアー噴射ノズルと、前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持する保持機構とを有するものである。これにより、表示パネルの基板間の隙間等の乾燥残渣を抑制することができる。
【０００８】
また、上記の表示パネルの乾燥処理装置であって、前記保持機構は、前記第１基板の前記第２基板とは反対側から見た上面視において、前記隙間部用エアー噴射ノズルの前記吹き出し口を前記第１基板の端面に対し傾斜させ、前記第１基板の端面に向けて、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射するように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持し、前記隙間部用エアー噴射ノズルの吹き出し口と前記第１基板の端面とのなす角が０度より大きく１０度以下となるように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持してもよい。これにより、突出領域の広域に亘って、水滴が飛散することが抑制される。
【０００９】
そして、上記の表示パネルの乾燥処理装置であって、前記保持機構は、前記第２基板の表面に対する前記隙間部用エアー噴射ノズルの噴射角度が２５〜３５度となるように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持してもよい。これにより、第１基板と第２基板との隙間にも気体が届くようになる。
【００１０】
さらに、上記の表示パネルの乾燥処理装置であって、前記保持機構は、前記第２基板の表面から前記隙間部用エアー噴射ノズルの先端下辺までの距離が０．１〜０．６ｍｍとなるように前記隙間部用エアー噴射ノズルを保持してもよい。
【００１１】
上記の表示パネルの乾燥処理装置であって、前記隙間部用エアー噴射ノズルは、気体の流路となり、前記吹き出し口に向けて幅が狭くなる帯状の溝を内部に有するのが好ましい。これにより、噴射気体の焦点距離を長くすることができる。
【００１２】
また、本発明にかかる表示パネルの洗浄・乾燥方法は、第２基板上の一辺側に形成された端子部と、前記端子部に形成された配線群と、前記端子部を露出させるように前記第２基板上にシール材を介して接着された第１基板とを有する表示パネルの洗浄・乾燥方法において、前記配線群に対して、ウェット洗浄を行う工程と、前記第１基板の前記第２基板とは反対側から見た上面視において、隙間部用エアー噴射ノズルの吹き出し口を前記第１基板の端面に対し傾斜させ、前記第１基板の端面に向けて前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射して、ウェット洗浄された前記配線群及び前記第１基板と前記第２基板との隙間部を乾燥させる工程とを有する方法である。これにより、表示パネルの基板間の隙間等の乾燥残渣を抑制することができる。
【００１３】
また、上記の表示パネルの洗浄・乾燥方法は、前記乾燥させる工程では、前記第１基板の前記第２基板とは反対側から見た上面視において、前記隙間部用エアー噴射ノズルの吹き出し口と前記第１基板の端面とのなす角を０度より大きく１０度以下にして、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射させてもよい。これにより、突出領域の広域に亘って、水滴が飛散することが抑制される。
【００１４】
そして、上記の表示パネルの洗浄・乾燥方法であって、前記乾燥させる工程では、前記第２基板の表面に対する前記隙間部用エアー噴射ノズルの噴射角度を２５〜３５度にして、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射させてもよい。これにより、第１基板と第２基板との隙間にも気体が届くようになる。
【００１５】
さらに、上記の表示パネルの洗浄・乾燥方法であって、前記乾燥させる工程では、前記第２基板表面から前記隙間部用エアー噴射ノズルの先端下辺までの距離を０．１〜０．６ｍｍにして、前記隙間部用エアー噴射ノズルから気体を噴射させてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、表示パネルの基板間の隙間等の乾燥残渣を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
実施の形態．
まず、表示装置について説明する。ここでは、一例として液晶表示装置について図１を用いて説明する。図１は、液晶表示装置３００の構成を示す断面模式図である。また、図２は、液晶表示装置３００に用いられる液晶表示パネル１００の構成を示す平面模式図である。本実施の形態においては、液晶表示パネル１００の一例として、ＳＴＮ型のパッシブマトリクス方式の液晶表示パネルについて説明する。
【００１８】
図１に示すように、液晶表示装置３００は、表示パネルとしての液晶表示パネル１００、バックライトユニット２００を備えている。液晶表示パネル１００は、入力される表示信号に基づいて画像表示を行う。バックライトユニット２００は、液晶表示パネル１００の反視認側に配置されており、液晶表示パネル１００の背面側から光を照射する。
【００１９】
図１及び図２に示すように、液晶表示パネル１００は、第１基板１０、第２基板２０、シール材３０、液晶３１、スペーサ３２、第１電極１１、配向膜３３、第２電極２１、偏光板３４を備えている。図１に示すように、液晶表示パネル１００は、第１基板１０と、第１基板１０に対向配置される第２基板２０と、両基板を接着するシール材３０との間の空間に液晶３１を封入した構成を有している。両基板の間は、スペーサ３２によって、所定の間隔となるように維持されている。第１基板１０及び第２基板２０としては、例えば、光透過性のあるガラス、ポリカーボネート、アクリル樹脂などの絶縁性基板が用いられる。ここでは、第１基板１０の基板厚を０．７ｍｍ、第２基板２０の基板厚を０．７ｍｍとする。
【００２０】
また、液晶表示パネル１００を構成する第１基板１０、第２基板２０のうち、第２基板２０は、第１基板１０よりも平面寸法が大きく形成されている。従って、第２基板２０は、第１基板１０から突出するようにシール材３０を介在させて重ねあわされている。液晶表示パネル１００の第２基板２０が第１基板１０から突出して露出する端子部（以下、突出領域と称する）５１には、第１基板１０及び第２基板２０上に形成された電極へ表示信号などを伝送する配線やドライバＩＣ４０と接続されるＩＣ接続端子（不図示）、ＦＰＣ２６と接続される外部接続端子（不図示）等が形成されている。
【００２１】
図２に示すように、第１基板１０には、垂直方向に形成された複数の第１電極１１と、それぞれの第１電極１１に接続された第１引回し配線１２が形成されている。第１電極１１及び第１引回し配線１２としては、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電性薄膜から形成される。第１引回し配線１２は表示領域５０の下端から延設され、端部には第１トランスファーパッド１３が形成されている。第１トランスファーパッド１３は、後述する第２基板２０に形成される第２トランスファーパッド２３と接続される。
【００２２】
一方、第２基板２０には、水平方向に形成された複数の第２電極２１と、それぞれの第２電極２１と接続された第２引回し配線２２が形成されている。第２引回し配線２２は表示領域５０の右端又は左端から第２基板２０の下側まで延設されている。第２引回し配線２２の端部には、ドライバＩＣ４０と接続するためのＩＣ接続端子（不図示）が形成されている。第２電極２１としては、例えば、ＩＴＯなどの透明導電性薄膜から形成される。また、第２引回し配線２２は、配線抵抗を極力小さくするために、ＩＴＯなどの透明導電膜とＡｌからなる低抵抗金属膜の積層構造としてもよい。垂直方向に形成される第１電極１１と、水平方向に形成される第２電極２１の交差する箇所が、画素３５となる。表示領域５０は、マトリクス状に配置された複数の画素３５から構成される。
【００２３】
また、第２基板２０には、第１基板１０の第１トランスファーパッド１３に接続するための第２トランスファーパッド２３が形成されている。第２トランスファーパッド２３は、第１基板１０と第２基板２０とを対向配置したときに、第１トランスファーパッド１３に対向するように形成されている。また、第２トランスファーパッド２３から第２基板２０の下側に延在するように、補助配線２４が形成されている。補助配線２４としては、第１引回し配線１２と同一のＩＴＯなどの透明導電膜を用いることができる。
【００２４】
補助配線２４の端部には、ドライバＩＣ４０と接続するためのＩＣ接続端子（不図示）が形成されている。また、補助配線２４及び第２引回し配線２２の端部に形成されたＩＣ接続端子には、紫外線硬化型や熱硬化型の異方性導電接着材（不図示）を介してドライバＩＣ４０が接続される。ドライバＩＣ４０は、ＣＯＧ（Chip On Glass）方式によって第２基板２０上に直接に設けられている。
【００２５】
液晶表示パネル１００は、外部から入力される表示信号等に基づいて、画像の表示に必要な各種の制御信号、走査電圧及び表示電圧等を出力するドライバＩＣ４０によって駆動される。なお、ドライバＩＣ４０を実装したフレキシブル基板（FPC; Flexible Printed Circuit）を液晶表示パネル１００に接続する場合もある。
【００２６】
また、突出領域５１には、複数の外部接続配線２５が形成されている。外部接続配線２５の一端には、ＩＣ接続端子（不図示）が形成されている。このＩＣ接続端子には、上述した異方性導電接着材を介してドライバＩＣ４０が接続される。また、外部接続配線２５の他端には、それぞれ外部接続端子（不図示）が形成されている。外部接続端子は、ＩＴＯなどの透明導電膜で形成されている。図２に示すように、外部接続端子には、ＦＰＣ２６が異方性導電接着材（不図示）を介して接続される。すなわち、ＦＰＣ２６は、第２基板２０のドライバＩＣ４０が設けられた一辺側に接着される。このように、突出領域５１には、外部接続配線２５、ＩＣ接続端子、外部接続端子等の種々の端子又は配線が形成されている。以下、突出領域５１に形成されたこれらの配線又は端子を配線群２７とする。なお、ここでの配線群２７には、シール材３０より外側にて、突出領域５１に向けて形成された配線又は端子を含むものとする。
【００２７】
なお、ＦＰＣ２６には、図示しない制御回路等が実装されている。制御回路には、ドライバＩＣ４０に表示信号、各種の制御信号などを供給するコントローラや、電源電圧、基準電圧などを供給する電源回路などが設けられる。従って、制御回路などが、ＦＰＣ２６を介して第２基板２０と接続される。制御回路等から出力される表示信号や各種の制御信号は、外部接続端子、外部接続配線２５を介してドライバＩＣ４０に入力される。ドライバＩＣ４０は、入力される表示信号や制御信号に基づいて、表示領域の各電極に所定のタイミングで電圧を供給する。
【００２８】
図１に示すように、第１基板１０において、上述した各電極及び配線等の上には配向膜３３が形成されている。一方、第２基板２０の第１基板１０に対向する面には、カラーフィルタ（不図示）、第２電極２１、配向膜３３が順次積層形成されている。また、第１基板１０及び第２基板２０の外側の面にはそれぞれ、偏光板３４が貼着されている。
【００２９】
液晶表示パネル１００の背面には、バックライトユニット２００が備えられている。液晶表示パネル１００の反視認側から当該液晶表示パネル１００に対して光を照射する。バックライトユニット２００としては、例えば、光源、導光板、反射シート、拡散シート、プリズムシート、反射偏光シートなどを備えた一般的な構成のものを用いることができる。
【００３０】
ここで、上述の液晶表示装置３００の動作について説明する。各第１電極１１には、ドライバＩＣ４０から表示電圧が供給される。一方、各第２電極２１には、ドライバＩＣ４０から走査電圧が供給される。第１電極１１と第２電極２１の電位差に応じて、各画素を構成する第１電極１１と第２電極２１との間の液晶の配列が変化する。これにより、バックライトユニット２００からの光の透過率が変化して、表示を行うことができる。
【００３１】
次に、表示パネルの乾燥処理装置について図３を用いて説明する。図３は、乾燥処理装置の構成を示す概略図である。本実施の形態にかかる乾燥処理装置は、上記の液晶表示パネル１００の隙間部を乾燥させることができる。ここで、隙間部とは、突出領域５１付近の第１基板１０の端部と第２基板２０との間に形成されている。第１基板１０の端部は、シール材３０から突出領域５１側に若干突出している。すなわち、第１基板１０端部が庇のようになっている。これにより、シール材３０の外側では第１基板１０端部と第２基板２０との間に空間が形成される。この空間が隙間部であり、数μｍ程度の大きさである。すなわち、シール材３０の厚さは、数μｍ程度である。
【００３２】
乾燥処理装置は、乾燥槽７０、隙間部用エアー噴出ノズル（以下、隙間部用エアーナイフと称する）８０、及び保持機構７１を備える。乾燥槽７０は、搬入口７２及び搬出口７３を有し、洗浄された液晶表示パネル１００をコロ等のパネル搬送機構７５により搬入・搬出することができる。さらに、乾燥槽７０は、排気口７４を有し、隙間部用エアーナイフ８０によって吹き飛ばされた洗浄液（例えば水）を排水することができる。隙間部用エアーナイフ８０は、加圧された気体を吹き出し口から噴射させて水滴等の液体を吹き飛ばして乾燥させる。ここでは、第１基板１０側から第２基板２０に向けて、隙間部用エアーナイフ８０の吹き出し口から第１基板１０と第２基板２０との隙間に気体を噴射させる。なお、隙間部用エアーナイフ８０の詳細については、後述する。
【００３３】
保持機構７１は、隙間部用エアーナイフ８０を所定の状態になるように保持する。具体的には、第１基板１０の第２基板２０とは反対側から見た上面視において、隙間部用エアーナイフ８０の吹き出し口を、被乾燥物である液晶表示パネル１００の第１基板１０の端面に対し傾斜させ、第１基板１０の端面に向けて、隙間部用エアーナイフ８０から気体が噴射されるようにする。すなわち、隙間部用エアーナイフ８０の吹き出し口形成面の長辺を液晶表示パネル１００の第１基板１０の端面から傾斜させて気体が噴射されるようにする。なお、ここでの第１基板１０の端面とは、突出領域５１側の第１基板１０の側面のことである。
【００３４】
本実施の形態では、後述する図８に示すように、第１基板１０の第２基板２０とは反対側から見た上面視において、隙間部用エアーナイフ８０の中心線に対し直交する吹き出し口８２の先端面と、第１基板１０の端面とのなす角βが０度より大きく１０度以下になるように保持する。このように、保持機構７１によって、隙間部用エアーナイフ８０を保持することにより、隙間部にも気体が届くようになる。なお、保持機構７１によって、第１基板１０の端面ではなくシール材３０に向けて、隙間部用エアーナイフ８０から気体が噴射されるように保持してもよいが、上記のようにシール材３０の厚さが数μｍと非常に小さいため、結果的には、第１基板１０の端面に向けて気体が噴射されることになる。本実施の形態にかかる乾燥処理装置は、以上のように構成される。
【００３５】
次に、隙間部用エアーナイフ８０について図４及び図５を用いて説明する。図４は、隙間部用エアーナイフ８０の構成を示す上面模式図である。図５は、隙間部用エアーナイフ８０の構成を示す側面模式図である。
【００３６】
隙間部用エアーナイフ８０は、先端部が先細り形状を有する。ここでは、側面視及び上面視において、隙間部用エアーナイフ８０は、台形形状を有する。すなわち、後端から先端にかけて、徐々に細くなっている。従来と比較して、先端部を先細り形状にしたことにより、設置上の制限が少なくなる。これにより、乾燥させる箇所が複雑な構成を有する場合でも、その近傍に隙間部用エアーナイフ８０を設置することができる。これにより、気体の使用量を低減することができ、コストを低く抑えることができる。
【００３７】
隙間部用エアーナイフ８０は、供給口８１と吹き出し口８２とを有する。供給口８１は隙間部用エアーナイフ８０の後端に配置され、吹き出し口８２は隙間部用エアーナイフ８０の先端に配置される。供給口８１には、図示しない供給管が接続され、空気、乾燥空気、その他の気体等が供給される。そして、隙間部用エアーナイフ８０内に供給された気体を吹き出し口８２から噴射する。また、吹き出し口８２はスリット状（帯状）の開口になっており、局所的に気体を噴射することができる。
【００３８】
さらに、図４に示されるように、隙間部用エアーナイフ８０内部には、複数の長焦点用溝８３が形成されているのが好ましい。長焦点用溝８３は、気体の流路となり、吹き出し口８２に向けて幅が狭くなる帯状の溝である。図４においては、供給口８１が設けられた後端から吹き出し口８２が設けられた先端まで、直線状に４本の長焦点用溝８３が設けられている。このような長焦点用溝８３が気体の流路となり、気体の流動が制御される。具体的には、供給口８１から供給された気体が、長焦点用溝８３に沿って流動し、それぞれの長焦点用溝８３の方向に沿って吹き出し口８２から噴射する。これにより、吹き出し口８２から噴出される気体の焦点距離が長くなる。すなわち、吹き出し口８２近傍のみならず、吹き出し口８２からある程度離間した場所まで気体を噴射することができる。
【００３９】
ここで、気体の焦点距離とは、吹き出し口８２から、帯状になったそれぞれの長焦点用溝８３をその延長方向に伸ばしたときに交差する点（焦点）までの距離のことである。なお、長焦点にすることができれば、長焦点用溝８３に限らず、例えば整流板を形成してもよい。また、それぞれの長焦点用溝８３を吹き出し口８２に向けて幅が狭くなるように形成したため、吹き出し口８２から噴射される気体の勢いが増す。これにより、高い圧力の気体を局所的に噴射することができ、隙間部にも気体が届くようになる。隙間部用エアーナイフ８０は以上のように構成される。
【００４０】
上記のような乾燥処理装置及び隙間部用エアーナイフ８０により、従来、乾燥できなかった隙間部の配線群２７まで乾燥させることができ、乾燥残渣を低減することができる。そして、配線群２７の乾燥ムラを抑制することができる。これにより、ＩＴＯ等によって形成される配線群２７の腐食（電蝕）を抑制することができ、表示特性が良好となる。
【００４１】
次に、表示パネルの洗浄・乾燥方法について図６を用いて説明する。ここでは、一例として、上記の液晶表示装置３００の液晶表示パネル１００の洗浄・乾燥方法について説明する。図６は、液晶表示パネル１００の洗浄・乾燥方法の工程、及びその前後の工程を説明するフローチャート図である。
【００４２】
まず、図２に示されるように、基板１０、２０上に透明導電膜を成膜し、当該透明導電膜をパターニングする。これにより、第１基板１０に第１電極１１等、第２基板２０に第２電極２１等が形成される（ステップＳ１）。
【００４３】
そして、第１基板１０の電極形成面と第２基板２０の電極形成面とを対向配置させ、シール材３０により貼り合せる。ここでは、第２基板２０上の一辺側に形成された突出領域５１を露出させるように、シール材３０を介して、第１基板１０と第２基板２０とを接着させる。その後、各基板間に液晶３１を封入して、液晶セルを形成する。そして、液晶セルの外面に偏光板３４を貼り付けて液晶表示パネル１００を形成する（ステップＳ２）。
【００４４】
液晶表示パネル１００は、図２に示されるように、第２基板２０が第１基板１０から突出し、この突出領域５１に向けて、種々の端子・配線（配線群２７）が形成されている。この配線群２７に、ドライバＩＣ４０、ＦＰＣ２６等の電子部品を実装する前に、配線群２７の洗浄を行う（ステップＳ３）。これは、液晶表示パネル１００に不要な液晶材料や異物が残っていると、半導体素子等の接続不良や、配線間ショート等を生じて、誤作動を起こす場合があるためである。洗浄方法としては、ウェット洗浄を用いることができる。本実施の形態では、蒸気洗浄によって配線群２７を洗浄する。
【００４５】
このような洗浄は、偏光板３４等が貼付された液晶表示パネル１００の配線群２７に対して行われる。偏光板３４は、高温・高湿下における耐久性が乏しい。このため、偏光板３４は、高温・高湿環境下では劣化し、偏光性能が急激に低下する。従って、上記のような洗浄方法を用いる場合、配線群２７以外の領域を遮蔽板によって遮蔽し、水分の浸入を防ぐ必要がある。
【００４６】
後述する図７及び図９に記載されている遮蔽板９０は、例えば矩形の板状になっており、液晶表示パネル１００の基板１０、２０に対して垂直に配置される。遮蔽板９０は、配線群２７と配線群２７以外の領域を区切るように配置される。すなわち、第１基板１０の突出領域５１の端辺近傍に、当該端辺に対して平行に配置される。また、遮蔽板９０は、配線群２７に吹き付けられた高温の水蒸気が偏光板３４側に回り込まないように、下端に弾性ゴムが取り付けられており、液晶表示パネル１００に対して密に接触されている。そして、遮蔽板９０が上記のように配置された状態で、配線群２７に向けてノズルから高温の水蒸気を吹き付ける。これにより、液晶表示パネル１００の配線群２７に付着した液晶材料や塵埃等を除去される。
【００４７】
次に、洗浄を行った配線群２７を乾燥させる。まず、突出領域５１の乾燥を行う（ステップＳ４）。ここでの乾燥方法としては、蒸気洗浄の際に、吹き付けられた高温の温風で加熱された第２基板２０によって、水分蒸発を促進して自然乾燥させる方法がある。乾燥方法は、これに限らず、エアーナイフによって水分を吹き飛ばすことにより乾燥させてもよい。なお、ここで用いられるエアーナイフは、図４及び図５に示された隙間部用エアーナイフ８０に限らず、従来一般的に用いられるエアーナイフ（以下、広域用エアーナイフとする）を用いることができる。この広域用エアーナイフを、第１基板１０の突出領域５１側の端辺に沿って、突出領域５１の一端から他端に向けて、移動させることにより順次水切り乾燥させる。これにより、突出領域５１の略全面を乾燥させることができる。
【００４８】
次に、隙間部の乾燥を行う（ステップＳ５）。ステップＳ５の乾燥では、突出領域５１の略全面を乾燥させることができるが、隙間部の乾燥が不十分である。これは、自然乾燥させる方法では、隙間部まで水分蒸発させることができないためである。一方、広域用エアーナイフの場合、遮蔽板９０と干渉してしまい、隙間部の近傍に広域用エアーナイフを設置することができない。さらに、隙間部において、エアーナイフから噴射される気体の入り口が非常に狭い。このため、広域用エアーナイフからの噴射気体は、隙間部まで届かず、隙間部の水滴は除去されない。すなわち、隙間部に形成された配線群２７には、乾燥ムラが生じる。ここで、本実施の形態では、上記の隙間部用エアーナイフ８０が備えられた乾燥処理装置を用いる。図７は、隙間部５２を乾燥させる様子を示す断面模式図である。図８は、隙間部５２を乾燥させる様子を示す上面模式図である。図９は、隙間部５２を乾燥させる様子を示す斜視模式図である。なお、図７〜図９において、液晶表示パネル１００の詳細な構成については図示を省略する。
【００４９】
まず、隙間部用エアーナイフ８０を保持機構７１によって所定の状態に保持する。具体的には、図７に示されるように、突出領域５１、すなわち第２基板２０表面から隙間部用エアーナイフ８０の先端下辺までの距離を０．１〜０．６ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍとする。すなわち、突出領域５１から０．１〜０．６ｍｍ上方に隙間部用エアーナイフ８０の先端下辺を合わせる。また、第２基板２０の表面、すなわち第２基板２０の配線群２７が形成された面に対する隙間部用エアーナイフ８０の縦断面の中心線を基準とする噴射角度αを２５〜３５度とする。すなわち、第２基板２０の表面と気体の噴射方向のなす角を２５〜３５度とする。噴射角度αが低いと、隙間部用エアーナイフ８０が配線群２７に接触することがあるので好ましくない。反対に、噴射角度αが高いと、隙間部５２に噴射気体が入らなくなる。また、図８に示されるように、隙間部用エアーナイフ８０の中心線と直交する先端面（吹き出し口８２形成面）において、長辺方向の一端を第１基板１０端面に近づける。すなわち、隙間部用エアーナイフ８０の吹き出し口８２の先端面を第１基板１０端面から傾斜させる。具体的には、隙間部用エアーナイフ８０の進行方向と反対方向における、隙間部用エアーナイフ８０の先端面の端部を第１基板１０端面に近づける。これにより、上面視において、隙間部用エアーナイフ８０は、進行方向側に角度が開いた状態になる。ここでは、上面視において、隙間部用エアーナイフ８０の中心線に対し直交する吹き出し口８２の先端面と、第１基板１０の端面とのなす角βが約０度より大きく１０度以下になるように保持する。
【００５０】
このように、一定の傾斜をつけた状態で保持機構７１によって位置を保持し、第１基板１０の端面に沿って隙間部用エアーナイフ８０を移動させる。図７〜図９においては、隙間部用エアーナイフ８０を中抜き矢印方向に第１基板１０の端面に沿って移動させる。これにより、吹き出し口８２と端面との距離が一定になったまま、隙間部用エアーナイフ８０が移動する。そして、隙間部５２の一端から他端に向けて、気体が噴射される。上記のように、隙間部用エアーナイフ８０は、長焦点用溝８３を有するため、噴射気体の焦点距離が広域用エアーナイフよりも長い。そして、高い気体圧で気体を噴射させるため、隙間部５２内にも、気体が届くようになる。従って、シール材３０の側面まで気体が届くようになる。
【００５１】
また、図８に示されるように、進行方向側に角度が開いた状態で、気体を噴出させる。これにより、進行方向側に水滴９１等が飛散する。ここでは、角度βを０度より大きく１０度以下と鋭角にしているため、突出領域５１の広域に亘って、水滴９１が飛散することが抑制される。このように、一定の傾斜をつけた状態で気体を噴出するため、隙間部５２内の水滴９１は、液晶表示パネル１００内部に押し込まれず、外側に向けて押し出される。そして、隙間部用エアーナイフ８０を隙間部５２の一端から他端に向けて中抜き矢印方向に移動させることにより、水滴９１も一端から他端に向けて移動する。すなわち、図８において、矢印方向に水が送り出される。そして、隙間部用エアーナイフ８０によって、隙間部５２の他端側に移動した水滴９１は、液晶表示パネル１００外に吹き飛ばされる。なお、ここでの角度α及び角度βは、略一定にするのが好ましい。これにより、隙間部用エアーナイフ８０からの噴出気体による水滴９１に対する衝撃力も略一定に保つことができる。このような工程により、突出領域５１及び隙間部５２に形成された配線群２７を乾燥されることができる。
【００５２】
また、ステップＳ４の突出領域５１の乾燥で広域用エアーナイフを用いた場合、一定の間隔保って、広域用エアーナイフと隙間部用エアーナイフ８０とを配置させ、これらのエアーナイフを並行して移動させてもよい。この場合、広域用エアーナイフを進行方向前方側、隙間部用エアーナイフ８０を進行方向後方側に配置させる。そして、広域用エアーナイフによって乾燥させた突出領域５１に隣接する隙間部５２から順次隙間部用エアーナイフ８０によって乾燥させる。このように乾燥させることにより、ステップＳ４の突出領域５１の乾燥とステップＳ５の隙間部５２の乾燥とを略同時に進行させることができ、処理時間を短縮させる。ここで、広域用エアーナイフ及び隙間部用エアーナイフ８０に供給される気体は、乾燥した空気、浮遊異物の少ないクリーンな気体が好ましい。
【００５３】
次に、乾燥させた配線群２７の端子にドライバＩＣ４０及びＦＰＣ２６を実装する（ステップＳ６）。その後、バックライトユニット２００等を配置することにより、液晶表示装置３００が製造される。
【００５４】
上記のような液晶表示パネル１００の洗浄・乾燥方法により、製造される液晶表示装置３００の隙間部５２も含め、乾燥残渣を低減することができ、配線群２７の乾燥ムラを抑制することができる。これにより、ＩＴＯ等によって形成される配線群２７の腐食（電蝕）を抑制することができ、液晶表示装置３００の表示特性が良好となる。
【００５５】
なお、上記のような表示パネルの乾燥処理装置及び表示パネルの洗浄・乾燥方法は、他の表示装置に用いることができる。また、蒸気洗浄に限らず、スプレー洗浄等の他のウェット洗浄に対しても用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】実施の形態にかかる液晶表示装置の構成を示す断面模式図である。
【図２】実施の形態にかかる液晶表示パネルの構成を示す平面模式図である。
【図３】実施の形態にかかる乾燥処理装置の構成を示す概略図である。
【図４】実施の形態にかかる隙間部用エアーナイフの構成を示す上面模式図である。
【図５】実施の形態にかかる隙間部用エアーナイフの構成を示す側面模式図である。
【図６】実施の形態にかかる液晶表示パネルの洗浄・乾燥方法の工程、及びその前後の工程を説明するフローチャート図である。
【図７】実施の形態にかかる隙間部を乾燥させる様子を示す断面模式図である。
【図８】実施の形態にかかる隙間部を乾燥させる様子を示す上面模式図である。
【図９】実施の形態にかかる隙間部を乾燥させる様子を示す斜視模式図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  第１基板、１１  第１電極、１２  第１引回し配線、
１３  第１トランスファーパッド、２０  第２基板、２１  第２電極、
２２  第２引回し配線、２３  第２トランスファーパッド、２４  補助配線、
２５  外部接続配線、２６  ＦＰＣ、２７  配線群、３０  シール材、
３１  液晶、３２  スペーサ、３３  配向膜、３４  偏光板、３５  画素、
４０  ドライバＩＣ、５０  表示領域、５１  突出領域、５２  隙間部、
７０  乾燥槽、７１  保持機構、７２  搬入口、７３  搬出口、７４  排気口、
７５  パネル搬送機構、８０  隙間部用エアー噴射ノズル（隙間部用エアーナイフ）、
８１  供給口、８２  吹き出し口、８３  長焦点用溝、９０  遮蔽板、
９１  水滴、１００  液晶表示パネル、２００  バックライトユニット、
３００  液晶表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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