(57)【要約】【課題】テストコマンドを不要にし、スキルがなくても効率よくテストプログラムを作成する。【解決手段】グラフィックエディタ部１２によって設定されたテスト波形、および測定ポイントは、波形情報としてコンパイラ部１３に送られ、該コンパイラ部１３によって波形情報が波形イメージ、およびテストプログラムに変換され、ピンカード波形イメージロード部１６によって各ピンカードのメモリにそれぞれローディングされる。ピンカードは、テストシステム制御部１７の制御により、ローディングされた波形イメージに基づいてテストを実行する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路装置の電気的特性を検査するテストシステムであって、
前記テストシステムの制御を司る制御手段と、
各種情報を入力する入力手段と、
前記半導体集積回路装置のピン毎に設けられ、前記ピンとの接続を行い、測定用プログラムに基づいてテストパターンを出力して前記半導体集積回路装置の電気的特性を検査するピンカードとを有し、
前記制御手段は、
前記入力手段により入力された波形情報を、前記半導体集積回路装置の電気的特性を測定する際に用いられる測定用プログラムに変換するプログラム設定制御部を備えたことを特徴とするテストシステム。
【請求項２】
請求項１記載のテストシステムにおいて、
前記プログラム設定制御部は、
前記入力手段により入力された波形情報を、波形グラフィック、およびテスト条件として設定するグラフィックエディタ部と、
前記グラフィックエディタ部が設定した波形グラフィック、およびテスト条件を、前記ピンカードがテストパターンを生成する際に用いられるピンカードプログラムに変換するコンパイラ部とを備え、
前記ピンカードは、
前記コンパイラ部に変換されたピンカードプログラムを格納するプログラムメモリと、
前記プログラムメモリに格納されたピンカードプログラムに基づいて各種のテストパターンを生成して出力するテストパターン生成部とを備えたことを特徴とするテストシステム。
【請求項３】
半導体集積回路装置の電気的特性を検査するテストシステムであって、
前記テストシステムの制御を司る制御手段と、
各種情報を入力する入力手段と、
前記半導体集積回路装置のピン毎に設けられ、前記ピンとの接続を行い、波形イメージに基づいてテストパターンを出力して前記半導体集積回路装置の電気的特性を検査するピンカードとを有し、
前記制御手段は、
前記入力手段により入力された波形情報を、前記半導体集積回路装置の電気的特性を測定する際に用いられる波形イメージに変換するプログラム設定制御部を備えたことを特徴とするテストシステム。
【請求項４】
請求項３記載のテストシステムにおいて、
前記プログラム設定制御部は、
前記入力手段により入力された波形情報を、波形グラフィック、およびテスト条件として設定するグラフィックエディタ部と、
前記グラフィックエディタ部が設定した波形グラフィック、およびテスト条件を、前記ピンカードがテストパターンを生成する際に用いられる波形イメージに変換するコンパイラ部とを備え、
前記ピンカードは、
前記コンパイラ部に変換された波形イメージを格納するプログラムメモリと、
前記プログラムメモリに格納された波形イメージに基づいて各種のテストパターンを生成して出力するテストパターン生成部とを備えたことを特徴とするテストシステム。
【請求項５】
請求項２または４記載のテストシステムにおいて、
前記グラフィックエディタ部が設定する波形情報は、
電圧やタイミング、波形形状、および測定ポイントを含むことを特徴とするテストシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路装置のテスト技術に関し、特に、半導体集積回路装置の電気的特性の測定を行うテストプログラムの生成に有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体集積回路装置などにおいては、品質を保証するためにテスタによって電気的特性の測定を行い、良品／不良品の選別を行っている。半導体集積回路装置のテスト行う際には、テスタにテストの内容と手順とを制御するテストプログラムを入力し、テスタが、そのテストプログラムに基づいて、テストパターンの入出力を行い、電気的特性の測定などを行っている。
【０００３】
テストプログラムは、各テスタ毎に用意されているテストコマンドを、テストシーケンス、被測定デバイスの信号印加条件、および測定条件などを考慮しながら、１ラインずつ入力している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記のようなテスタにおけるテストプログラムの生成技術では、次のような問題点があることが本発明者により見い出された。
【０００５】
前述したように、テストシーケンスを考慮しながらテストコマンドを入力して作成するために、実際に入力したテストシーケンスと、想像したテストシーケンス、あるいは被測定デバイスの信号印加条件、測定条件などとが異なってしまう場合があり、修正などに大きなコストや手間がかかってしまうという問題がある。
【０００６】
また、半導体集積回路装置の高性能化などに伴い、テストプラグラムが複雑で、かつ膨大となり、テストプログラムの間違いを発見することができない恐れも生じている。
【０００７】
さらに、多数のテストコマンドを覚えなければ、テストプログラムの作成ができないために、作業者に長い育成時間がかかってしまうという問題がある。テストコマンドは、テスタ毎に異なるため、テスタの機種が変わる毎に新たなテストコマンドを学習しなければならず、テスト効率が悪くなってしまうことになる。
【０００８】
本発明の目的は、テストコマンドを不要にし、スキルがなくても効率よくテストプログラムを作成することのできる技術を提供することにある。
【０００９】
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴については、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１１】
本発明は、半導体集積回路装置の電気的特性を検査するテストシステムであって、該テストシステムの制御を司る制御手段と、各種情報を入力する入力手段と、半導体集積回路装置のピン毎に設けられ、各々のピンとの接続を行い、測定用プログラムに基づいてテストパターンを出力して半導体集積回路装置の電気的特性を検査するピンカードとを有し、制御手段は、入力手段により入力された波形情報を、半導体集積回路装置の電気的特性を測定する際に用いられる測定用プログラムに変換するプログラム設定制御部を備えたものである。
【００１２】
また、本発明は、前記プログラム設定制御部が、入力手段により入力された波形情報を、波形グラフィック、およびテスト条件として設定するグラフィックエディタ部と、該グラフィックエディタ部が設定した波形グラフィック、およびテスト条件を、ピンカードがテストパターンを生成する際に用いられるピンカードプログラムに変換するコンパイラ部とを備え、ピンカードは、コンパイラ部に変換されたピンカードプログラムを格納するプログラムメモリと、プログラムメモリに格納されたピンカードプログラムに基づいて各種のテストパターンを生成して出力するテストパターン生成部とを備えたものである。
【００１３】
さらに、本願のその他の発明の概要を簡単に示す。
【００１４】
本発明は、半導体集積回路装置の電気的特性を検査するテストシステムであって、該テストシステムの制御を司る制御手段と、各種情報を入力する入力手段と、半導体集積回路装置のピン毎に設けられ、各々のピンとの接続を行い、波形イメージに基づいてテストパターンを出力して半導体集積回路装置の電気的特性を検査するピンカードとを有し、制御手段は、入力手段により入力された波形情報を、半導体集積回路装置の電気的特性を測定する際に用いられる波形イメージに変換するプログラム設定制御部を備えたものである。
【００１５】
また、本発明は、前記プログラム設定制御部が、入力手段により入力された波形情報を、波形グラフィック、およびテスト条件として設定するグラフィックエディタ部と、該グラフィックエディタ部が設定した波形グラフィック、およびテスト条件を、ピンカードがテストパターンを生成する際に用いられる波形イメージに変換するコンパイラ部とを備え、ピンカードは、コンパイラ部に変換された波形イメージを格納するプログラムメモリと、プログラムメモリに格納された波形イメージに基づいて各種のテストパターンを生成して出力するテストパターン生成部とを備えたものである。
【００１６】
さらに、本発明は、前記グラフィックエディタ部が設定する波形情報が、電圧やタイミング、波形形状、および測定ポイントを含むものである。
【発明の効果】
【００１７】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００１８】
（１）テストコマンドを不要にすることができるので、作業者のスキルや知識がなくとも、容易に、効率よくテストプログラムを作成することができる。
【００１９】
（２）また、テストパターンや測定ポイントなどを視覚的に確認することができるので、デバッグなどを容易に行うことができ、テストプログラムの開発期間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態によるテストシステムの構成例を示すブロック図、図２は、図１のテストシステムに設けられた情報処理装置のブロック図、図３は、図１のテストシステムに設けられたピンカードのブロック図、図４は、図１のテストシステムのモニタに表示される波形情報の入力画面の一例を示す説明図、図５は、図３のピンカードにローディングされる波形イメージの一例を示す説明図である。
【００２２】
本実施の形態１において、テストシステム１は、被測定デバイスとなる半導体集積回路装置の電気的特性を測定する装置である。
【００２３】
テストシステム１は、図１に示すように、情報処理装置２、タイマ３、およびピンカード４〜１１から構成されている。なお、テストシステム１は、たとえば、外部端子数が８ピンの被測定デバイスＤＵＴをテストするシステムとして例示する。
【００２４】
制御手段として機能する情報処理装置２は、たとえば、コンピュータなどからなり、該情報処理装置２には、マウスやキーボードなどの入力装置（入力手段）、および液晶ディスプレイなどの表示装置が接続されている。この情報処理装置２は、テストシステム１のすべての制御を司るとともに、テストパターンを数値やグラフィックを用いて作成する。
【００２５】
プログラム設定制御部の１つであるタイマ３は、時間のカウントを行い、ピンカード４〜１１のタイミング制御に用いられる波形を生成する。プログラム設定制御部として機能するピンカード４〜１１は、被測定デバイスＤＵＴの各ピン毎に設けられており、該ピンに接続を行い、テストパターンを出力して、被測定デバイスＤＵＴのテストを行う。
【００２６】
情報処理装置２は、図２に示すように、グラフィックエディタ部１２、コンパイラ部１３、プログラム保存部１４、テストプログラム制御部１５、ピンカード波形イメージロード部１６、ならびにテストシステム制御部１７から構成されている。
【００２７】
グラフィックエディタ部１２は、波形情報を設定する機能を有しており、この波形情報の設定は、マウスやキーボードなどの入力装置を操作することにより行われる。
【００２８】
波形情報は、電圧やタイミングの設定、テスト波形となる三角波や直線波、波形の立ち上がり／立ち下がりなどの設定、および測定ポイントの設定などの各種の情報からなる。
【００２９】
コンパイラ部１３は、グラフィックエディタ部１２において設定された波形情報を測定用プログラムとなる波形イメージ、およびテストプログラムに変換して作成する。プログラム保存部１４は、グラフィックエディタ部１２において設定された波形情報と、コンパイラ部１３で変換された波形イメージ、およびテストプログラムを保存し、テストプログラムを実行する際にテストプログラム制御部１５にローディングする。
【００３０】
また、波形情報、波形イメージ、テストプログラムが再編集される際には、プログラム保存部１４に保存されたこれらの情報がグラフィックエディタ部１２にローディングされる。
【００３１】
テストプログラム制御部１５は、プログラム保存部１４に保存された情報に基づいて、ピンカード波形イメージロード部１６、およびテストシステム制御部１７にそれぞれ制御命令を出力し、テストプログラムを制御し実行させる。
【００３２】
ピンカード波形イメージロード部１６は、プログラム保存部１４に保存されている波形イメージをテストシステム制御部１７の命令に従って、各ピンカード４〜１１にローディングする。テストシステム制御部１７は、テストプログラム制御部１５の命令に従って、テストシステム１のすべての制御を司る。
【００３３】
また、ピンカード４（〜１１）は、図３に示すように、プログラムメモリであるメモリ１８と、テストパターン生成部となるドライバ１９、デジタイザ２０、メジャー２１、ならびにスイッチ部２２とから構成されている。メモリ１８は、ピンカード波形イメージロード部１６からローディングされた波形イメージを保存する。
【００３４】
ドライバ１９は、メモリ１８に保存された波形イメージを増幅してテストパターンとして出力する。デジタイザ２０は、被測定デバイスＤＵＴから出力された正弦波成分などの電気的特性の測定を行う。メジャー２１は、被測定デバイスＤＵＴから出力されたＤＣ成分の電圧や電流などを測定する。
【００３５】
スイッチ部２２には、３つのスイッチが設けられており、これら３つのスイッチの一方の接続部には、ドライバ１９、デジタイザ２０、およびメジャー２１がそれぞれ接続されており、該３つのスイッチの他方の接続部には、被測定デバイスＤＵＴの任意のピンが接続されている。
【００３６】
スイッチ部２２は、テストシステム制御部１７から出力された制御信号に基づいて、被測定デバイスＤＵＴのピンとドライバ１９、デジタイザ２０、またはメジャー２１とを導通／非導通状態とする。
【００３７】
次に、本実施の形態におけるテストシステム１の作用について説明する。
【００３８】
まず、テストシステム１による波形情報の設定について説明する。
【００３９】
以下に述べる波形情報の設定は、テストシステム１のグラフィックエディタ部１２によって設定されるものである。
【００４０】
図４は、モニタに表示された波形情報の入力画面の一例を示す説明図である。モニタには、図４の左側に示すように、ツールウィンドウＴＷが表示され、図４の右側には、条件入力ウィンドウＣＷが表示される。
【００４１】
ツールウィンドウＴＷは、テスト波形の選択、および測定ポイントの設定をする際に用いられるツールが表示される。ツールウィンドウＴＷは、たとえば、上方から下方にかけて、テスト波形となる直線波アイコンｉ１、波形の立ち上がりアイコンｉ２、波形の立ち下がりアイコンｉ３、正弦波アイコンｉ４、三角波立ち上がりアイコンｉ５、三角波立ち下がりアイコンｉ６、自在曲線アイコンｉ７、および測定アイコンｉ８が表示される。
【００４２】
また、条件入力ウィンドウＣＷは、上方から下方にかけて、被測定デバイスＤＵＴの１ピンから８ピンまでのテスト波形の条件をそれぞれ入力するウィンドウＣＷ１〜ＣＷ８、およびタイマゲージウィンドウＣＷ９からなる。
【００４３】
直線波アイコンｉ１は、テスト波形として直線波を入力する際にマウスのクリックなどによって選択される。同様に、波形の立ち上がりアイコンｉ２は波形の立ち上がりを、波形の立ち下がりアイコンｉ３は波形の立ち下がりを、正弦波アイコンｉ４は正弦波を、三角波立ち上がりアイコンｉ５は三角波の立ち上がりを、三角波立ち下がりアイコンｉ６は三角波の立ち下がりを、そして自在曲線アイコンｉ７は自在曲線の波形をそれぞれ入力する際にマウスのクリックなどによって選択される。また、測定アイコンｉ８は、測定ポイントを設定する際にマウスのクリックなどによって選択される。
【００４４】
たとえば、ウィンドウＣＷ３に示すテスト波形を被測定デバイスＤＵＴの１ピンに入力するように設定する場合、まず、ツールウィンドウＴＷの直線波アイコンｉ１をマウスなどによって選択する。続いて、ウィンドウＣＷ１の任意の位置にマウスのポインタを位置させ、マウスの左ボタンを押しながら左から右にかけて該ポインタを移動させると直線波が表示される。
【００４５】
このとき、表示された直線波の上方には、電圧レベル表示ボックスＶＢ１が形成されるので、この電圧レベル表示ボックスＶＢ１をマウスでクリックし、キーボードなどによって電圧を入力すると、任意の電圧レベルの直線波となる。ここでは、’０Ｖ’と入力することで、Ｌｏ信号（基準電位ＶＳＳ）の直線波が形成される。
【００４６】
続いて、波形の立ち上がりアイコンｉ２をマウスによって選択し、直線波の端部にマウスのポインタを当てながらマウスをクリックすることにより、立ち上がり波形が表示される。
【００４７】
その後、同様に、直線波アイコンｉ１をマウスによって選択し、立ち上がり波形の端部にマウスのポインタを当てながらマウスをクリックし、マウスの左ボタンを押しながら左から右にかけて該ポインタを移動させると直線波が表示される。
【００４８】
これにより、表示された直線波の上方には、電圧レベル表示ボックスＶＢ２が形成されるので、この電圧レベル表示ボックスＶＢ２をマウスでクリックし、キーボードなどによって電圧を入力すると、任意の電圧レベルの直線波となる。ここでは、’３Ｖ’と入力する。
【００４９】
続いて、波形の立ち下がりアイコンｉ３をマウスによって選択し、直線波の端部にマウスのポインタを当てながらマウスをクリックすることにより、立ち下がり波形が表示される。
【００５０】
また、ウィンドウＣＷ３に示す測定ポイントＭ１の設定は、測定アイコンｉ８をマウスによって選択し、測定したいテスト波形の任意の位置にマウスのポインタを当てながらマウスをクリックすることによって設定が行われる。
【００５１】
これらテスト波形のレベルやタイミングの調整、および測定ポイントのタイミング調整などは、ウィンドウＣＷ１〜ＣＷ８のテスト波形として表示されたグラフィックの移動や形状変更などによって可能となる。
【００５２】
また、ウィンドウＣＷ５に示すように、正弦波アイコンｉ４などによって正弦波などが表示された場合には、正弦波の上方には、その波形の周波数とピークからピークまでの電圧レベルとの条件を入力する電圧レベル表示ボックスＶＢ４が表示されることになる。
【００５３】
このように、グラフィックエディタ部１２によって設定されたテスト波形、および測定ポイントは、波形情報としてコンパイラ部１３に送られ、該コンパイラ部１３によって波形情報が波形イメージ、およびテストプログラムに変換される。
【００５４】
そして、グラフィックエディタ部１２において設定された波形情報と、コンパイラ部１３に変換された波形イメージ、およびテストプログラムは、プログラム保存部１４に保存される。
【００５５】
また、プログラム保存部１４に保存されている波形イメージは、ピンカード波形イメージロード部１６によって各ピンカード４〜１１のメモリ１８にそれぞれローディングされる。
【００５６】
各ピンカード４〜１１のメモリ１８にそれぞれローディングされる波形イメージは、図５に示すように、グラフィックのテスト波形、ドライバ１９のＯＮ／ＯＦＦの制御、ならびに電流や電圧などの測定ポイントなどの情報から構成されている。
【００５７】
そして、ピンカード４〜１１は、テストシステム制御部１７の制御により、ローディングされた波形イメージに基づいてテストを実行する。
【００５８】
それにより、本実施の形態１によれば、テストコマンドを不要にすることができるので、作業者のスキルがなくとも、容易に、効率よくテストプログラムを作成することができる。
【００５９】
また、テストパターンや測定ポイントなどを視覚的に確認することができるので、デバッグなどを容易に行うことができ、テストプログラムの開発期間を短縮することができる。
【００６０】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２によるテストシステムに設けられた情報処理装置の一例を示すブロック図、図７は、本発明の実施の形態２によるテストシステムに設けられたピンカードの構成例を示すブロック図、図８は、図７のピンカードプログラムによるテストの制御例を示す説明図である。
【００６１】
本実施の形態２において、テストシステム１は、前記実施の形態１の図１と同様に、情報処理装置２、タイマ３、およびピンカード４〜１１から構成されている。情報処理装置２は、図６に示すように、グラフィックエディタ部１２、コンパイラ部１３、プログラム保存部１４、テストプログラム制御部１５、ピンカードプログラムロード部１６ａ、ならびにテストシステム制御部１７から構成されている。
【００６２】
グラフィックエディタ部１２は、波形情報を設定する機能を有している。コンパイラ部１３は、グラフィックエディタ部１２において設定された波形情報をピンカードプログラム、およびテストプログラムに変換する。
【００６３】
プログラム保存部１４は、グラフィックエディタ部１２に設定された波形情報と、コンパイラ部１３に変換されたピンカードプログラム、およびテストプログラムとを保存する。
【００６４】
テストプログラム制御部１５は、テストプログラムの内容に基づいて、ピンカードプログラムロード部１６ａ、およびテストシステム制御部１７に制御命令を送り、テストプログラムを実行させる。
【００６５】
また、ピンカード４（〜１１）は、図７に示すように、メモリ１８、デジタイザ２０、ならびにメジャー２１からなる前記実施の形態１と同様の構成に、スイッチ部２２ａ、プロセッサ２３、信号源２４、電源部２５がプログラム設定制御部として新たに設けられた構成となっている。
【００６６】
メモリ１８は、ピンカードプログラムロード部１６ａからローディングされた波形イメージを保存する。デジタイザ２０は、被測定デバイスＤＵＴから出力された正弦波成分などの電気的特性の測定を行う。メジャー２１は、被測定デバイスＤＵＴから出力されたＤＣ成分の電圧や電流などを測定する。
【００６７】
プロセッサ２３は、波形情報から生成されたピンカードプログラムに基づいてテスト波形の出力制御などを行う。信号源２４は、プロセッサ２３の制御によってテスト波形を生成して出力する。電源部２５は、テスト波形に用いられる各種電圧レベルの電源を生成する。
【００６８】
スイッチ部２２ａには、４つのスイッチが設けられており、これら４つのスイッチの一方の接続部には、デジタイザ２０、メジャー２１、信号源２４、および電源部２５がそれぞれ接続されており、それら４つのスイッチの他方の接続部には、被測定デバイスＤＵＴの任意のピンが接続されている。
【００６９】
スイッチ部２２ａは、テストシステム制御部１７から出力された制御信号に基づいて、被測定デバイスＤＵＴの任意のピンとデジタイザ２０、メジャー２１、信号源２４、または電源部２５とを導通／非導通状態とする。
【００７０】
次に、本実施の形態におけるテストシステム１の作用について説明する。
【００７１】
ここで、テストシステム１による波形情報の設定については、前記実施の形態１と同様であるので説明は省略する。
【００７２】
グラフィックエディタ部１２によって設定されたテスト波形と測定ポイントとは、波形情報としてコンパイラ部１３に送られ、該コンパイラ部１３によってその波形情報がピンカードプログラム、およびテストプログラムに変換される。
【００７３】
そして、グラフィックエディタ部１２において設定された波形情報と、コンパイラ部１３に変換された波形イメージ、およびテストプログラムは、プログラム保存部１４に保存される。
【００７４】
そして、プログラム保存部１４に保存されている波形情報は、ピンカードプログラムロード部１６ａによって各ピンカード４〜１１のメモリ１８にそれぞれローディングされ、テストプログラム制御部１５が、プログラム保存部１４に保存されたテストプログラムに基づいて、テストプログラムを実行する。
【００７５】
図８は、図４のウィンドウＣＷ７に示す被測定デバイスＤＵＴの７ピンに入力するテスト波形が変換されたピンカードプログラムによるプロセッサ２３の制御例を示す説明図である。
【００７６】
この場合、プロセッサ２３は、まず電源部２５を起動させ、続いて、１００μｓの間Ｌｏ信号（０Ｖ、基準電位ＶＳＳ）を出力させるように制御を行う。その後、４Ｖ程度のＨｉ信号を出力して１５０μｓ程度経過すると電流測定を行う。
【００７７】
電流測定後、４Ｖ程度のＨｉ信号を３５０μｓの間出力させた後、５Ｖ程度のＨｉ信号を出力し、２００μｓ程度経過した際に電流測定を行い、その電流測定が終了した後、５Ｖ程度のＨｉ信号を２００μｓ程度の間出力させた後、Ｌｏ信号を出力するという制御が行われる。
【００７８】
それにより、本実施の形態２においても、テストコマンドを不要にすることができるので、作業者のスキルがなくとも、容易に、効率よくテストプログラムを作成することができる。
【００７９】
また、テストパターンや測定ポイントなどを視覚的に確認することができるので、デバッグなどを容易に行うことができ、テストプログラムの開発期間を短縮することができる。
【００８０】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、半導体集積回路装置の電気的測定を行う際に用いられるテストプログラムの
生成技術に適している。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の実施の形態によるテストシステムの構成例を示すブロック図である。
【図２】図１のテストシステムに設けられた情報処理装置のブロック図である。
【図３】図１のテストシステムに設けられたピンカードのブロック図である。
【図４】図１のテストシステムのモニタに表示される波形情報の入力画面の一例を示す説明図である。
【図５】図３のピンカードにローディングされる波形イメージの一例を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態２によるテストシステムに設けられた情報処理装置の一例を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施の形態２によるテストシステムに設けられたピンカードの構成例を示すブロック図である。
【図８】図７のピンカードプログラムによるテストの制御例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８３】
１  テストシステム
２  情報処理装置
３  タイマ
４〜１１  ピンカード
１２  グラフィックエディタ部
１３  コンパイラ部
１４  プログラム保存部
１５  テストプログラム制御部
１６  ピンカード波形イメージロード部
１６ａ  ピンカードプログラムロード部
１７  テストシステム制御部
１８  メモリ
１９  ドライバ
２０  デジタイザ
２１  メジャー
２２  スイッチ部
２２ａ  スイッチ部
２３  プロセッサ
２４  信号源
２５  電源部
ＤＵＴ  被測定デバイス
ＴＷ  ツールウィンドウ
ＣＷ  条件入力ウィンドウ
ｉ１  直線波アイコン
ｉ２  波形の立ち上がりアイコン
ｉ３  波形の立ち下がりアイコン
ｉ４  正弦波アイコン
ｉ５  三角波立ち上がりアイコン
ｉ６  三角波立ち下がりアイコン
ｉ７  自在曲線アイコン
ｉ８  測定アイコン
ＣＷ１〜ＣＷ８  ウィンドウ
ＣＷ９  タイマゲージウィンドウ
ＶＢ１〜ＶＢ３  電圧レベル表示ボックス
Ｍ１  測定ポイント
【図１】
2008111697.tif 000003
【図２】
2008111697.tif 000004
【図３】
2008111697.tif 000005
【図４】
2008111697.tif 000006
【図５】
2008111697.tif 000007
【図６】
2008111697.tif 000008
【図７】
2008111697.tif 000009
【図８】
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