(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーニングローラをテーブル上のワークの表面に接触させる場合、ワークに接触することによるテーブル上でのワークのズレや剥がれを、防止する。【解決手段】描画テーブル１３の表面に形成された多数の吸引口は、吸引管Ｖを通じて、夫々に対応した吸引ポンプＰ１、Ｐ２、Ｐ３によって吸引される。吸引管Ｖ内の真空度は、圧力センサＳ１、Ｓ２、Ｓ３によって検知される。描画テーブル駆動モータ１８は、描画テーブル１３を、待機位置から描画位置を通り過ぎた位置まで往復移動させる。クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３は、クリーニングローラを、ハンドラーと描画光学系との間において描画テーブル１３に対して上下させる。制御部６は、真空度が所定値を越えた場合、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３に対して、クリーニングローラを降下させて描画テーブル１３に接触させ、その状態で、描画テーブルを移動させる。【選択図】図５
2008298870.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画データに基づいて変調された光線によってワークの表面に描画データに対応したパターンを描画するダイレクト露光方式の描画装置において、
描画データに基づいて変調された光線によって像の描画を行う描画光学装置と、
その表面に吸引口が形成された描画テーブルと、
前記描画テーブルを、待機位置と、前記描画光学装置によって像の描画が行われる位置との間で往復移動させる描画テーブル移動機構と、
吸引管を通じて前記描画テーブルの各吸引口と連通し、当該吸引管を通じて前記吸引口から吸引を行う吸引ポンプと、
前記吸引管内の真空度を検知する圧力センサと、
待機位置にある前記描画テーブル上における前記ワークの載置位置と前記描画光学装置との間において、前記描画テーブルの表面と平行且つ当該描画テーブルの移動方向と直交する方向に回転軸を向けてクリーニングローラを回転自在に保持するとともに、前記描画テーブルの表面に接触する位置と当該描画テーブルから離反した位置との間で移動させるクリーニングユニットと、
前記圧力センサによって検知された真空度が所定の閾値以上となった場合にのみ、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させ、その状態のまま、前記描画テーブル移動機構に対して前記描画テーブルを前記待機位置から前記描画光学装置による像の描画がなされる位置まで移動させる制御部と
を備えたことを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記待機位置にある前記描画テーブルの表面に対向して配置され、前記ワークを着脱自在に保持するハンドラーと、
前記ハンドラーと前記描画テーブルとを、前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置と、前記ワークが前記描画テーブルから離反する位置との間で、相対的に移動させる離接機構とを
更に備え、
前記制御部は、前記描画テーブルが前記待機位置にある場合にのみ、前記離接機構を制御することによって前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置に前記ハンドラー及び前記描画テーブルを相対移動させ、前記ハンドラーが前記ワークを開放した時にのみ、前記吸引ポンプを作動させる
ことを特徴とする請求項１記載の描画装置。
【請求項３】
前記離接機構は、前記ハンドラーを前記待機位置にある描画テーブルの表面に対して接近させ、または、離反させる
ことを特徴とする請求項２記載の描画装置。
【請求項４】
前記描画テーブルの表面には多数の吸引口が形成されており、これら多数の吸引口が複数のグループにグループされており、個々のグループ毎に、同じグループに属する吸引口が当該グループ専用の吸引ポンプによって吸引され、
前記圧力センサは、各吸引ポンプに連通される吸引管毎に夫々設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子回路基板、液晶素子要ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス素子基板等の表面に感光材料層が形成されてなる平面基材（ワーク）の当該表面に、パターンを描画して露光させるダイレクト露光方式の描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子回路基板（プリント回路基板）は、例えば、携帯電話，各種モバイル，パーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載されるが、これらの電子機器の小型化に伴い、基板上に形成される回路パターンにおける解像度，接続用ランド径，ビア径等についても、微細に構成される様、要求される傾向にある。
【０００３】
それらの要求に応えるには、従来のコンタクト方式の露光装置を用いる場合には、予め描画対象パターンと等倍のマスクを予め用意し、しかも、かかるマスクを正常に管理・維持しなければならない。また、露光中においても、マスク及びワークを相互に平行且つ夫々平面状に保持するとともに、マスクに照射する光束をその全域において平行光束に保たねばならない。そのため、コンタクト方式による露光は、手間が掛かり、しかも、回路パターンの微細化には不利であった。
【０００４】
そこで、近年では、回路パターンをイメージ化した描画データに基づいて変調されたレーザ光によってワーク表面上を走査するか、若しくは、描画データに基づいてＤＭＤ（Digital Micro mirror Device）等の光空間変調素子が形成したイメージの像をワーク表面上に投影することによってワーク表面上に回路パターンを描画するダイレクト露光方式が、普及している。ダイレクト露光方式の場合には、回路パターンを描画データとして有しているためにマスクの製造・維持管理のような手間が不要であり、要求される各種パターンに容易に対応できるからである。
【０００５】
もっとも、ダイレクト露光方式の場合にも、大量のワークに対して画一的に露光を行うべく、ワークの表面が平面状に保たれることを前提として設計されるので、回路パターンの像が平面状の像面に結像されるように、描画光学系を構成するレンズ群の像面湾曲が高度に補正され、この像面がテーブル上に搭載されたワークの表面と合致するように、ピント調整される必要がある。このような条件が満たされると、ワークの表面上に高精細な回路パターンの像が形成され、大量のワークに対する露光が可能となるのである。
【０００６】
そして、かかるダイレクト露光方式においても、やはり、平面状の表面を有するテーブル上に、ワークが密着されることによって、ワークの表面が平面状に保持されるとともに、その表面が清浄に保たれなければならない。このように、テーブル上にワークを密着させる手段，及び、ワークの表面を清浄に保つ手段としては、従来のコンタクト方式の露光装置に用いられていたものを、流用することが考えられる。例えば、下記特許文献１〜４には、コンタクト方式の露光装置において用いられていたこれら手段の例が開示されている。
【０００７】
まず、本出願人による特許出願に係る公開特許公報である特許文献１には、ワークを搭載するテーブルの表面に多数の吸引口が穿たれており、テーブルの背面に設置した真空吸着装置によってこれらの吸引口から吸引を行うことによって、ワークをテーブル表面上に真空吸着する手段が記載されている。しかしながら、特許文献１記載の構造でも、ワークの反りや皺を除いた状態でテーブルに接触させるには、枠を用いてワーク全体がテーブル表面に密着するようにワークをテーブルに押圧しなければならず、装置が大掛かりになったり、作業者の手による作業に頼らざるを得ないという問題が生じ得る。しかも、かかる作業が適切に行われないと、描画テーブルから浮き上がった部分に描画される回路パターンがピンぼけになるという問題が生じる他、全ての吸引口がテーブル内部において連通しているためにワークによって塞がれなかった吸引口から大気が侵入することによって全ての吸引口内部の真空度が上がらず（気圧が下がらず）、十分な吸着力を得ることができず、描画中にワークが描画テーブルから脱落したり、位置がずれてしまうという問題が生じうる。
【０００８】
次に、やはり本出願人による特許出願に係る公開特許公報である特許文献２には、上述したような真空吸着手段については積極的に開示していないが、クリーニングローラをマスクの表面上に接触させて転がすことによって当該マスクの表面に付着した塵等を除去する手段が開示されている。しかしながら、特許文献２には、ワークの表面に付着した塵を除去する仕組みについては開示されていないので、これをワークに流用しようにも、いかなる機構により如何なるタイミングにて除塵を行うべきかが不明である。
【０００９】
これに対して、特許文献３には、基板が搬入部から露光部へ移動する際に、露光部の直前において、第１クリーニングヘッドの粘着ローラが基板上を転がることにより、基板表面に付着した塵を除塵することが記載されている。しかしながら、特許文献３にも、上述したような真空吸着手段について積極的に開示していないので、テーブル（プラテン）によるワーク（基板）の吸着とクリーニングローラ（粘着ローラ）との動作の相関が不明である。そのため、吸着が十分でないワーク（基板）がクリーニングローラ（粘着ローラ）によってテーブル（プラテン）から剥がされたり、位置をずらされてしまう問題が生じうる。
【００１０】
同様に、特許文献４には、基板が基板位置出しステージから基板露光ステージへ移動する際に、基板露光ステージの直前において、除塵手段を構成するローラが基板表面に接触して転がることにより、基板表面に付着した塵を除塵することが記載されている。しかしながら、特許文献４にも、上述したような真空吸着手段について積極的に開示していないので、テーブル（第１支持部）によるワーク（基板）の吸着とクリーニングローラとの動作の相関が不明である。そのため、吸着が十分でないワーク（基板）がクリーニングローラによってテーブル（第１支持部）から剥がされたり、位置をずらされてしまう問題が生じうる。
【特許文献１】特開２００１−２０９１９２号公報
【特許文献２】特開２００３−１４９７９１号公報
【特許文献３】特開２００７−２５４３６号公報
【特許文献４】特許第２８４７８０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで、本願発明は、ダイレクト露光方式の描画装置であって、ワークの表面の塵を除塵すると同時に、ワークを平面状に伸ばしてテーブルに密着させるために、クリーニングローラをテーブル上のワークの表面に接触させる場合において、クリーニングローラをワークに接触することによるテーブル上でのワークのズレや剥がれが生じることのない描画装置を、提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために案出された本発明の描画装置は、描画データに基づいて変調された光線によってワークの表面に描画データに対応したパターンを描画するダイレクト露光方式の描画装置において、描画データに基づいて変調された光線によって像の描画を行う描画光学装置と、その表面に吸引口が形成された描画テーブルと、前記描画テーブルを、待機位置と、前記描画光学装置によって像の描画が行われる位置との間で往復移動させる描画テーブル移動機構と、吸引管を通じて前記描画テーブルの各吸引口と連通し、当該吸引管を通じて前記吸引口から吸引を行う吸引ポンプと、前記吸引管内の真空度を検知する圧力センサと、待機位置にある前記描画テーブル上における前記ワークの載置位置と前記描画光学装置との間において、前記描画テーブルの表面と平行且つ当該描画テーブルの移動方向と直交する方向に回転軸を向けてクリーニングローラを回転自在に保持するとともに、前記描画テーブルの表面に接触する位置と当該描画テーブルから離反した位置との間で移動させるクリーニングユニットと、前記圧力センサによって検知された真空度が所定の閾値以上となった場合にのみ、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させ、その状態のまま、前記描画テーブル移動機構に対して前記描画テーブルを前記待機位置から前記描画光学装置による像の描画がなされる位置まで移動させる制御部とを、備えたことを特徴とする。
【００１３】
このように構成された描画装置において、ワークが描画テーブルの表面に完全に密着していない場合であっても、ある程度密着しているならば、吸引管内の真空度が高くなるので、制御部は、圧力センサが検知した真空度が所定の閾値を越えた場合には、ある程度ワークが描画テーブルの表面に密着しているとみなして、クリーニングユニットに対してクリーニングローラを移動させて描画テーブルに接触させ、この状態において、描画テーブルを描画光学装置による像の描画がなされる位置まで移動させる。この移動の途中において、クリーニングローラは、ワークの表面を転がり、このワークの表面に付着していた塵を除塵するとともに、ワークを描画テーブルの表面に押圧することによって、このワークを伸ばして描画テーブルに密着させる。その結果、吸引口によるワークの真空密着が完全になるのである。このとき、上述したように、クリーニングローラを転がす前の状態においてもある程度ワークが描画テーブルの表面に密着していることが保証されているので、クリーニングローラを転がすことによって、ワークがめくれたり、ワークがずれることがない。
【００１４】
本願発明において、前記待機位置にある前記描画テーブルの表面に対向して配置され、前記ワークを着脱自在に保持するハンドラーと、前記ハンドラーと前記描画テーブルとを、前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置と、前記ワークが前記描画テーブルから離反する位置との間で相対的に移動させる離接機構を、更に設けても良い。この場合、離接機構は、ハンドラーの位置を移動させずに描画テーブルを移動させることによって両者を相対的に離接させても良いし、描画テーブルの位置を移動させずにハンドラーを移動させることによって両者を相対的に離接させても良い。何れの場合においても、制御部は、描画テーブルが待機位置にある場合にのみ、離接機構を制御することによって前記ワークが前記描画テーブルの表面に接触する位置へ前記ハンドラー及び前記描画テーブルを相対移動させ、前記ハンドラーが前記ワークを開放した時にのみ、前記吸引ポンプを作動させるようにすることが望ましい。
【００１５】
なお、描画テーブルの表面は水平に保たれていることが、ワークの脱落を防止する上で望ましいが、例えば、描画テーブルの表面が垂直に立てられていても、本願発明の目的は達成可能である。
【００１６】
描画テーブルの表面には吸引口が単独で設けられていても本願発明の目的は達成できるが、本願発明が最も有効に機能するのは、複数の吸引口が共通の吸引ポンプによって吸引される場合である。この場合には、ワークによって塞がれる吸引口の数に応じて、圧力センサによって検知される真空度の値が漸次変化するからである。さらに、同じ描画テーブルに様々なサイズのワークを搭載する可能性がある場合には、描画テーブルの上面の全面にわたって分散配置された多数の吸引口を一つの吸引ポンプによって吸引する構成であると、小さいサイズのワークを描画テーブルに搭載したときにワークによって塞がれない吸引口の数が多くなりすぎて、真空度が十分に上昇しない。そこで、そのような場合には、多数の吸引口を複数のグループにグループ化し、各グループ毎に専用の吸引ポンプによって吸引することが望ましい。この場合、ある吸引口のグループに連通する圧力センサによって検出された真空度は上限値を示しているが、他の吸引口のグループに連通する圧力センサによって検出された真空度は下限値を示すといったように、各圧力センサ相互間で条件成就の有無が競合する場合がありえる。その場合には、少なくとも一つの圧力センサによって検知された真空度が所定の閾値以上となった場合に、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させる，予め定められた数の圧力センサによって検知された真空度が全て所定の閾値以上となった場合に、前記クリーニングユニットに対して前記クリーニングローラを前記描画テーブルに接触する位置へ移動させる，等の、適用を行えば良い。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように構成された本発明による描画装置によると、ワークの表面の塵を除塵すると同時に、ワークを平面状に伸ばしてテーブル上に密着させるために、クリーニングローラをテーブル上のワークの表面に接触させる場合において、クリーニングローラをワークに接触することによるテーブル上でのワークのズレや剥がれが生じることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
＜システム構成＞
本実施形態による描画装置は、単体では、ダイレクト露光方式によって基板の表面に回路パターンを描画することにより、その回路パターン通りに基板に塗布された感光材料を硬化させるものである。この基板の表面における感光材料層の下には、金属薄膜層が形成されているので、露光後の基板をフォトレジスト液に浸けることにより、描画された回路パターン通りの回路配線を基板表面上に形成することができる。
【００１９】
かかる基板には、その表裏に夫々回路配線が形成されることが殆どであるので、本実施形態による描画装置は、実際には、基板の両面に対して夫々露光を行うための露光システムに組み込まれて使用されることが多い。図１は、このような露光システムの平面レイアウトを示す図であり、図中の２，４が、夫々、本実施形態による描画装置（基板の表面に対する露光用の第１描画装置２，同基板の裏面に対する露光用の第２描画装置４）に該当する。
【００２０】
なお、図１における１は、作業者若しくは図示せぬロボットが未描画の基板（以下、「ワークＷ」という）を、第１描画装置２を構成する後述するハンドラーに拾い上げさせるために載置するステージ（基板投入部）である。また、第１描画装置２を挟んで基板投入部１の反対側にある反転部３は、第１描画装置２を構成する後述するハンドラーから渡された基板を裏返して第２描画装置４の後述するハンドラーに渡す装置である。また、第２描画装置４を挟んで反転部３の反対側にある排出部５は、第２描画装置４の後述するハンドラーが描画済みのワークＷを置くためのステージであり、この排出部５上に置かれた露光済みのワークＷを、作業者若しくは図示せぬロボットが取り出して、次の工程に移動させるのである。
【００２１】
ここで、図１を用いて、簡単に各描画装置２，４の概略構造を説明する（但し、両描画装置２，４は、相互に全く同じ構造を有しているので、以下では、第描画装置２によって代表させて、その説明を行う）。先ず、図１では図示が省略されているが、基板投入部１と反転部３とを結ぶ直線上には、上述したハンドラーを吊り下げて移動させるリニアスライダが、敷設されている（図３参照）。そして、基板投入部１と反転部３との間における当該図示せぬリニアスライダの直下には、描画前及び描画後において、描画テーブル１３が待機する。この描画テーブル１３は、詳細構造を後述する真空吸着機構によりその表面に基板を吸着することができ、この基板を搭載したまま、上記図示せぬリニアスライダに直交する方向へ移動することにより、ハンドラー下方の位置から描画光学装置１１の下に入り込む。この描画光学装置１１は、公知のレーザ走査光学系や光空間変調素子を経路に組み込んだ描画光学系と、上記描画テーブル１３によって描画光学系下方に運ばれるワークＷの四隅に描かれたアライメント取り用のマーキングを撮影するためのカメラ９，９を備えている。図１において、待機位置にある描画テーブル１３と描画光学装置１１との間には、描画テーブル１３によって、ワークＷが描画光学装置１１の下方に移動されていく際に、基板の表面の除塵を行うためのクリーニングユニット１２が、設けられている。
＜描画装置の機械構成＞
以下、各描画装置２の構成を、具体的に説明する。先ず、図２は、図１にその平面レイアウトを示す描画システムから第１描画装置２のみを抜き出して、その外観を示す斜視図である。但し、この図２おいても、ハンドラー及びリニアスライダの図示は、省略されている。次に、図３は、図２におけるII−II線に沿った断面（描画テーブル１３を通り、且つ、描画テーブル１３の移動方向及び鉛直方向に夫々平行な断面）を、矢印Ｘ方向から見た縦断面図である。但し、この図３においては、描画光学装置１１の図示は省略されている。また、図４は、図３における矢印IV側からクリーニングユニット１２を見た状態を示す図である。但し、この図４においては、当該クリーニングユニット１２を吊り下げているビーム１４（図３参照），リニアスライダ，ハンドラー１５，描画テーブル１３の駆動機構及び基台（描画装置２を構成する各装置を載置するフレーム（図２及び図３参照））１０の図示を省略している。更に、図２においては、クリーニングユニット１２の側面はカバーによって覆われているが、図３及び図４においては、クリーニングユニット１２の内部構造を描くために、かかるカバーの図示を省略している。
【００２２】
これら各図に示されているように、描画装置２の基台１０上には、上述したハンドラー１５の移動方向（リニアスライダの敷設方向）に直交する方向に、一対のレール１６が互いに平行に施設されている。描画テーブル１３の下面には、これらのレールに係合する車輪ないしスライダが設けられているので、この描画テーブル１３は、これらのレール１６に沿って移動することができる。また、基台１０上におけるこれらレール１６の間には、これらレール１６と平行に、ボールネジ１７が回転自在に軸支されており、同じく基台１０上に設置された描画テーブル駆動モータ１８により回転駆動される。また、描画テーブル１３の下面には、ボールネジ１７と螺合するボールナット１９が固定されている。従って、ボールネジ１７が描画テーブル駆動モータ１８によってボールネジ１７が回転すると、その回転方向に応じた向きに、描画テーブル１３が移動し、ハンドラー１５の直下にある待機位置と、描画光学装置（描画光学系）１１の直下である当該描画光学装置１１による描画がなされる位置との間で、移動することができる。これら各レール１６，ボールネジ１７，描画テーブル駆動モータ１８及びボールナット１９が、描画テーブル移動機構に相当する。
【００２３】
この描画テーブル１３は、レール１６と平行な側面を有する扁平な箱状形状を有しており、その表面を構成する天板２７には、図５に示すように、多数の吸引口２７ａが、貫通形成されている。これら各吸引口２７ａは、天板２７の表面に複数設定された各区画毎に、グループ化されている。この区画は、例えば、同心の円環状の複数区画，若しくは、同心の矩形状の複数区画とすることができる。そして、図５に示すように、天板２７ａの裏面には、各グループに属する吸引口２７ａ同士を連通させる溝２８ａが形成された樋状の連通部材２８が、外部から気密に固着されている。そして、各連通部材２８の溝２８ａは、吸引管Ｖを通じて、夫々に専用に設けられた吸引ポンプＰ１〜Ｐ３により吸引力が供給され、その内部の空気が吸引される。
【００２４】
これら各連通部材２８と吸引ポンプＰ１〜Ｐ３とを夫々接続する吸引管Ｖは、その途中で分岐して、個別の圧力センサＳ１〜Ｓ３に接続されている。これら圧力センサＳ１〜Ｓ３は、吸引管Ｖを通じて連通する溝２８ａ及び各吸引口２７ａの内部空間の真空度を検知するセンサである。従って、各グループに属する全吸引口２７ａが全て塞がれると、圧力センサＳ１〜Ｓ３によって検出される真空度は吸引ポンプＰ１〜Ｐ３の定格値まで上昇するが、一部の吸引口２７ａが塞がれていないと検出される真空度はその分だけ下がり、全ての吸引口２７ａが開放していると検出される真空度は大気圧とさほど違わない値となる。
【００２５】
なお、各グループに属する全吸引口２７ａは、一つの連通部材２８によって相互に連通されていても良いが、複数の連通部材２８によって幾つかの小グループ毎に連通されるとともに吸引管Ｖによって相互に連通されても良い。要は、各グループを構成する全吸引口２７ａが一つの吸引ポンプＰによって吸引されれば良いのである。
【００２６】
図３に戻り、上述したビーム１４は、図示せぬ支柱によって基台１０に対して固定されている。そして、このビーム１４の先端下面には、ハンドラー１５の移動方向（図３の紙面に直交する方向）に長軸を向け且つ下方に開いた箱状形状を有するリニアスライダ用のフレーム２０が、固定されている。このフレーム２０の内部における長手方向に対向した壁面間には、一対のレール２１，２１及び図示せぬサーボモータ（ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８，図５参照）により回転駆動されるボールネジ２３が、図３の紙面に直交する方向に向けて、互いに平行に掛け渡されている。これらレール２１，２１上には、ボールネジ２３に螺合している扁平な箱状のスライダ２４が、スライド自在に搭載されている。これらレール２１，２１，ボールネジ２３，ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８及びスライダ２４が、リニアスライダを構成する。そして、このスライダ２４の下面四隅に、ハンドラーを吊り下げるための支柱２５が夫々固定されている。従って、ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８がボールネジ２３を任意の方向に回転させることにより、ハンドラー１５を、リニアスライドの敷設方向に沿って任意の向きに移動させることができる。
【００２７】
次に、ハンドラー１５は、鉛直方向を向けてその中心に設けられた軸１５ａを、その下面から進退させる電動シリンダ，油圧シリンダ，若しくはそれらの代替品であるシリンダ（ハンドラー上下移動駆動用シリンダ）１５ｂと、その軸１５ａの先端に固定された吸着部１５ｃとから、構成されている。この吸着部１５ｃは、各側面を描画テーブル１３と平行に配置した扁平な箱形形状を有しており、その四隅には、下方に開口した吸盤状の基板吸着パッド２６が設けられている。これら各基板吸着パッド２６は、別途設けられた吸引ポンプＰ４（図５参照）により吸引力を供給されてその内部の空気が吸引される。従って、各基板吸着パッド２６の開口を対象物（ワークＷ）の平面によって塞いだ状態で、吸引ポンプＰ４を作動させると、各基板吸着パッド２６は当該対象物を吸着して保持することができ、シリンダ１５ｂ（離接機構に相当）の動作により、当該対象物を持ち上げることができる。更に、リニアスライダの動作により、当該対象物を移動させることができる。
【００２８】
なお、ハンドラー１５の側面には、ハンドラー１５，フレーム２０及びビーム１４の形状に沿って逆Ｌ字状に折り曲げられた第１位置検出片２９が、取り付けられている。この第１位置検出片２９の先端には、リニアスライドのレール２１と平行にビーム１４に形成されたスリット１４ａを通ってビーム１４の内部空間に差し込まれた短冊状の第２位置検出片３０が取り付けられている。この第２位置検出片３０は、上述したように、ハンドラー１５が移動すると、これと一体に、上記スリット内を移動していく。そして、ビーム１４内部における、ハンドラー１５が待機位置にある描画テーブル１３の直上（描画テーブル１３の表面に対向する位置）に位置した際に第２位置検出片３０を検出できる位置に、フォトセンサ３１が取り付けられている。従って、このフォトセンサ３１が第２位置検出片３０を検知した際におけるハンドラー１５の位置が、即ち、待機位置にある描画テーブル１３の直上であることになる。なお、かかるフォトセンサは、他に、基板投入部１又は排出部５に対応した位置，及び反転部３に対応した位置にも、別途設けられている。
【００２９】
次に、クリーニングユニット１２の構造を詳細に説明する。即ち、このクリーニングユニット１２は、ビーム１４の下面に取り付けられたクリーニングユニット位置修正用テーブル３２と、このクリーニングユニット位置修正用テーブル３２を構成する水平移動板３６の下面においてハンドラー１５の移動方向及び鉛直方向に夫々平行に固定された垂下板３７と、この垂下板３７における描画光学装置１１側の面に鉛直方向に敷設された一対のレール３８と、各レール３８に対して夫々スライドのみ可能に係合された二個一組（計４個）のスライダ３９と、その背面に各スライダ３９が固定されることにより垂下板３７と平行にスライド自在に設けられたスライド板４０と、このスライド板４０における描画光学装置１１側の面において水平方向に向けて固定された水平板４１と、当該水平板４１の角度を保持するために当該水平板４１における各側縁とスライド板４０との間に夫々固定された一対の三角形の補強リブ５０と、水平移動板３６の下面に固定されているとともに水平板４１の高さを調整するクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４２と、スライド板４０の上縁に固定されているとともに垂下板３７に開けられた二箇所の切り欠き３７ａを夫々貫通して配置されている二枚の作動板４４と、垂下板３７におけるハンドラー１５側の面における各切り欠き３７ａの下方に固定されて夫々上記作動板４４の下降を規制する二つのカウンターバランス４５と、水平板の下面に設けられたメンテナンス用テーブル４６と、このメンテナンス用テーブル４６を構成する水平移動板４７の両側縁から垂直に垂下するように固定された一対の軸受板４８と、両軸受け板の間において描画テーブル１３の表面と平行且つ当該描画テーブル１３の移動方向と直交する方向に回転軸を向けて回転自在に保持されたクリーニングローラ４９及び補助ローラ５０と、一方の軸受板４８における外側面に対してステー５１ａを介して固定されているとともに、クラッチ５１ａを通じてクリーニングローラ４９の回転軸に直結されたクリーニングローラ駆動モータ５１とから、構成されている。
【００３０】
クリーニングユニット位置修正用テーブル３２は、ビーム１４の下面に対して水平方向に向けて固定されたベース板３３と、上述した水平移動板３６と、当該水平移動板３６の上面上において相互に平行に固定された一対のレール３５，３５と、上記ベース板３３の下面において上記各レール３５，３５をハンドラー１５の移動方向と平行（即ち、リニアスライドのレール２１と平行）に、且つ、当該方向へスライドのみ可能に吊り下げる二個一組（形４個）のスライダ３４と、ベース板３３に対する水平移動板３６の相対位置を任意の位置にて保持するための周知のブレーキ５２とから、構成されている。このクリーニングユニット位置修正用テーブル３２は、描画テーブル１３に対するクリーニングローラ４９の相対位置（クリーニングローラ４９の軸方向における相対位置）を調整して保持するために用いられる。
【００３１】
また、垂下板３７に設けられた一対のレール３８，３８に対して各スライダ３９がスライドとすると、このスライダ３９に固定されたスライド板４０とともに、このスライド板４０に固定された水平板４１等の部材が、一体に上下動する。水平移動板３６の下面に固定されたクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂと同様に、鉛直方向を向けてその中心に設けられた軸４３ａを、その下面から進退させる電動シリンダ，油圧シリンダ，若しくはそれらの代替品であり、その軸４３ａの先端が水平板４１に係合している。従って、このクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が軸４３ａを繰り出すことにより、スライド板４０に対して一体となっているクリーニングローラ４９等の部材の全体が降下し、逆に、軸４３ａを繰り込むことによって、それらの部材の全体が上昇する。
【００３２】
以上説明したクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３の動作により、スライド板４０の上縁に対して固定された各作動板４４も、垂下板３７に開けられた切り欠き３７ａ内を上昇及び下降する。垂下板３７に固定された各カウンターバランス４５は、スライド板４０と一体に上下動する各部材全体の重量と等しい弾発力にてピストン４５ａを突出させる油圧ダンパー，エアダンパー等である。従って、このカウンターバランス４５は、ピストンを鉛直方向の上向きに突出させてその先端で各作動板４４を突き上げるように固定されているので、スライド板４１及び作動板４４に掛かる重量とその弾発力が釣り合っている。そのため、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が作動していなくても、クリーニングローラ４５の高さが保たれ、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が僅かの力で軸４３ａを繰り込むことにより、クリーニングローラ４５を上昇させることができる。また、カウンターバランス４５の内部構造により、ピストン４５ａを外部の力により進退させると抵抗が生じるので、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が軸４３ａを繰り出しても、一挙にクリーニングローラ４５が下降してしまって描画テーブル１３に衝突してしまうことがない。
【００３３】
また、メンテナンス用テーブル４６は、クリーニングユニット位置修正用テーブル３２とほぼ同じ構成を有している。但し、メンテナンス用テーブル４６に備えられているロックピン５３は、クリーニングユニット位置修正用テーブル３２に備えられているブレーキ５２とは異なり、ベース板に対する水平移動板４７の相対位置を任意の位置で保持する機能は有しておらず、水平移動板４７を図４における最も右側に移動させた位置（使用状態）において固定するのみである。何故ならば、このメンテナンス用テーブル４６は、各ローラ４９，５０をメンテナンスするために、水平移動板４７以下の部材を引き出すために設けられた機構だからである。
【００３４】
このクリーニングローラ４９は、上述したクリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３が水平板４１を押し下げることにより、待機位置にある描画テーブル１３の表面におけるワークＷの載置位置と描画光学装置１１との間に降下して、当該描画テーブル１３の表面に接触する。このクリーニングローラ４９の外周面は粘着性を有するので、その状態において描画テーブル１３の移動に同期してクリーニングローラ駆動モータ５１によって回転駆動されると、描画テーブル１３上に固定されたワークＷの表面を転がることにより、このワークＷの表面に付着した塵をその外周面に付着させることができる。
【００３５】
また、補助ローラ５０は、クリーニングローラ４９の表面よりも粘着性の高い外周面を有するローラである。従って、この補助ローラ５０がクリーニングローラ４９に接触することにより、クリーニングローラ４９の外周面に付着した塵を補助ローラ５０の外周面  に転写することができる。この補助ローラ５０は、例えば、ローラ体の外周面に粘着面を外側に向けて粘着テープを巻回した構造を有するものとすることができる。この場合、上述したメンテナンス用テーブル４６を用いたメンテナンスには、補助ローラ５０の表面から使用済みの粘着テープ一周分を剥ぎ取る作業が含まれることとなる。
＜描画装置の制御系の構成＞
次に、以上のような機械構成を有する描画装置における各部の動作を制御するための制御系の構成を、説明する。図５に示すように、上述した各圧力センサＳ１〜Ｓ３，各吸引ポンプＰ１〜Ｐ４，描画テーブル駆動モータ１８，クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３，ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ，ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８及びクリーニングローラ駆動モータ５１は、シーケンサー若しくはプログラムに従って動作するマイコンや各種ドライバ回路から構成される制御部６に接続されている。そして、各圧力センサＳ１〜Ｓ３は、検知した真空度を制御部６に入力し、制御部６は、図６のフローチャートに従った処理を実行することにより、各吸引ポンプＰ１〜Ｐ４，描画テーブル駆動モータ１８，クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３，ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ，ハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８及びクリーニングローラ駆動モータ５１に対して駆動電流及び制御信号を供給して、それらの動作を制御する。
【００３６】
なお、この制御部６には、更に、描画光学装置１１を構成する描画エンジン７にも接続されており、この描画エンジン７に対して、カメラ９による撮影準備の完了及び描画の準備完了を通知する。この描画エンジン７は、カメラ９によって撮影したワーク表面の画像からマーキングの位置を検知し、検知したマーキングの位置に従って、別途入力された回路パターンの描画データに対するアライメント調整（画像の位置及び向きの調整）を行い、描画光学系としてレーザ走査光学系が組み込まれているものを用いている場合には、アライメント調整後の描画データに従って図示せぬ光源からの描画光をＯＮ／ＯＦＦ変調するとともに、図示せぬ描画光学系を構成するポリゴンミラーを回転させる。また、描画光学系にＤＭＤ等の光空間変調素子が組み込まれているものを用いている場合には、図示せぬ光源から描画光を射出させるとともに、アライメント調整後の描画データに従って当該光空間変調素子を作動させる。以上により、描画エンジン７は、描画光学系の下方を通過する描画テーブル１３上のワークＷの表面に、回路パターンを描画するのである。
【００３７】
以下、図６のフローチャートを参照して、この制御部６による制御内容を、詳細に説明する。この図６のフローチャートに示す制御は、制御部６に対して、前段のステージ（第１描画装置２の場合には基板投入部１，第２描画装置４の場合には反転部３）での作業の完了が、図示せぬ入力手段によって入力されることにより、スタートする。スタート後最初のＳ０１では、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することにより、ハンドラー５を前段のステージへ移動させ、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ及び吸引ポンプＰ４を動作させることにより、前段のステージ上に置かれているワークＷを吸着させ、再度ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ及びハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８を制御することにより、ワークＷを吸着しているハンドラー５を描画テーブル１３上に移動させる。
【００３８】
次のＳ０２では、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することによってハンドラー１５を降下させ、描画テーブル１３上に載置する。
【００３９】
次のＳ０３では、制御部６は、各吸引ポンプＰ１〜Ｐ３を動作させて、描画テーブル１３の天板２７に形成された多数の吸引口２７ａから夫々吸引を行い、ワークＷの吸着を試みさせる。これとともに、制御部６は、吸引ポンプＰ４の動作を停止させることにより、ハンドラー５の各基板吸着パッド２６によるワークＷの吸着を解除する。
【００４０】
次のＳ０４では、制御部６は、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することによって吸着部１５ｃを上昇させる。
【００４１】
次のＳ０５では、制御部６は、各圧力センサＳ１〜Ｓ３が入力している真空度の検出値を監視し、全ての圧力センサＳ１〜Ｓ３によって検知された真空度が５００ｍｍＨｇ以上となるのを待つ。そして、全ての圧力センサＳ１〜Ｓ３によって検知された真空度が５００ｍｍＨｇ以上となると、制御部６は、処理をＳ０６へ進める。なお、描画テーブル１３の上面の面積に比してワークＷの面積が狭い場合には、或るグループに属する全ての吸引口２７ａがワークＷによって塞がれない場合があり、かかる場合には、そのグループに対応した圧力センサＳによって検出される真空度が５００ｍｍＨｇ以上に上昇しないことがありえる。そのため、Ｓ０５での条件を緩和し、例えば、全ての圧力センサＳのうちの所定個数の圧力センサＳによって検出された真空度が５００ｍｍＨｇ以上となった場合にＳ０５の条件が満たされると、みなしても良い。また、Ｓ０５のチェックを開始した後所定時間が経過してもＳ０５の条件が満たされない場合には、制御部６、ワークＷに皺が生じている等の理由に因りワークＷが正常に載置されていないと判断して、アラームを発しても良い。この場合、アラームを認識した作業者が、手作業にて、ワークＷを引き延ばしたり上から押圧する等の矯正を行うことになる。
【００４２】
Ｓ０６では、制御部６は、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３を制御することにより、クリーニングユニット１２におけるスライド板４０以下の部材を降下させ、クリーニングローラ４９を、描画テーブル１３の表面上に接触させる。
【００４３】
続いて、制御部６は、次のＳ０７において、描画エンジン７に対して撮影準備完了を通知し、次のＳ０８において、クリーニングローラ駆動モータ５１を制御することによりクリーニングローラ４９を同期回転させつつ、描画テーブル駆動モータ１８を制御することにより、描画テーブル１３を走査光学装置１１側の端点に向けて前進させる。すると、Ｓ０７での通知を受けた描画エンジン７は、カメラ９を動作させて、撮影された動画を取り込み、マーキングの位置検出行う。そして、描画テーブル１３の移動途中において、描画エンジン７がカメラ９から入力された動画中に各マーキングを検出すると、それらの位置（即ち、ワークＷの位置及び傾き）を割り出して、描画データのアライメントを行う。また、描画テーブル１３の移動を通じて、クリーニングローラ４９が、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３から一定の押圧を受けつつワークＷの表面全域を転がるので、当該ワークＷの表面に付着している塵を除塵することができるとともに、ワークＷの裏面全域が、描画テーブル１３の上面に密着し、各吸引口２７ａによる真空吸着が完全となる（即ち、各センサＳ１〜Ｓ３によって検知される真空度が各吸引ポンプＰ１〜Ｐ３の定格値以上となる）。
【００４４】
描画テーブル１３の移動完了後に実行されるＳ０９では、制御部６は、クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ４３を制御することにより、クリーニングユニット１２におけるスライド板４０以下の部材を上昇させ、クリーニングローラ４９を、描画テーブル１３から離反させる。
【００４５】
続いて、制御部６は、次のＳ１０において、描画エンジン７に対して描画準備完了を通知し、次のＳ１１において、描画テーブル駆動モータ１８を制御することにより、描画テーブル１３をハンドラ１５側の端点に向けて後退させる。すると、Ｓ１０での通知を受けた描画エンジン７は、図示せぬ描画光学系中のポリゴンミラーを回転させるとともに、描画テーブル１３の移動に同期してアライメント済みの描画データに基づいてレーザ光をＯＮ／ＯＦＦ変調する（描画光学系としてレーザ走査光学系が組み込まれたものが用いられた場合）。若しくは、描画テーブル１３の移動前に、光空間変調素子を作動させることにより（描画光学系として光空間変調素子が組み込まれたものが用いられた場合）、ワークＷ上に回路パターンを描画してから、描画テーブル１３を移動させる。以上により、ワークＷ状に回路パターンが描画される。
【００４６】
描画テーブル１３の移動完了後に実行されるＳ１２では、制御部６は、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂを制御することにより、吸着部１５ｃを降下させることによって各基板吸着パッド２６をワークＷの表面に接触させる。これとともに、制御部６は、吸引ポンプＰ４を動作させることにより、各基板吸着パッド２６をワークＷに吸着させる。
【００４７】
次のＳ１３では、制御部６は、各吸引ポンプＰ１〜Ｐ３の動作を停止させることにより、ワークＷの描画テーブル１３からの離脱を可能とした上で、ハンドラー上下移動駆動用シリンダ１５ｂ及びハンドラー水平移動駆動用サーボモータ８を制御することにより、ワークＷを吸着しているハンドラー５を次段のステージ（第１描画装置２の場合には反転部３，第２描画装置４の場合には排出部５）へ移動させる。その後、ワークＷを次段のステージに載置すると、ハンドラーＷは、ワークＷの吸着を解除して、描画テーブル１３上の原点に復帰する。
＜実施形態による効果＞
以上のように構成され且つ動作する本実施形態の描画装置によれば、描画テーブル１３の天板２７に形成された多数の吸引口２７ａは、描画テーブル１３の上面に区切られた各区画毎にグループ化され、各グループ毎に、専用の吸引ポンプＰによって吸引される。従って、全ての吸引口２７ａが同時にワークＷによって塞がれていなくても、個々のグループ毎に、同じグループに属する全ての吸引口２７ａによって塞がれていれば、そのグループに属する吸引口２７ａに連通するポンプＰの定格真空度（例えば６５０ｍｍＨｇ）にて、ワークＷが描画テーブル１３の上面に真空吸着される。
【００４８】
なお、同じグループに属する吸引口２７ａのうちある程度の数の吸引口２７ａが塞がれていれば、全ての吸引口２７ａが塞がれているのでなくても、ある程度の真空度での真空吸着がなされる。このような場合としては、例えば、ワークＷに皺が生じていたり、波打っている場合である。そこで、本実施形態では、Ｓ０５において、各グループの吸引口２７ａに掛かる真空度が何れも５００ｍｍＨｇ以上となっている場合（上述したように、この条件の緩和は可能）には、完全ではないにしても、ワークＷの描画テーブル１３に対する一応の真空吸着がなされているものとみなして、ハンドラー１５の吸着部１５ｃをワークＷから離反（上昇）させるとともに、クリーニングローラ４９を下降させて、描画テーブル１３の表面に接触させる。この状態で、描画テーブル１３が水平方向に移動されるので、相対的に、クリーニングローラ４９がワークＷの表面上を転がされる。それにより、ワークＷの表面に付着していた塵がクリーニングローラ４９の外周面の粘着質によって除塵されるとともに、ワークＷの皺や湾曲が伸ばされて、描画テーブル１３の表面に密着される。これにより、各吸引ポンプの定格真空度による完全な真空吸着が実現されるのである。
【００４９】
この際、上述のように、各吸引口に掛かる真空度が５００ｍｍＨｇ以上となっているために、ある程度の強度でワークが描画テーブル１３に吸着されていることが保証されているので、クリーニングローラ４９の転動によってワークＷがめくれたり、描画テーブル１３上における位置や向きがずれることはない。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態である描画装置が組み込まれた露光システムの平面レイアウト図
【図２】描画装置の斜視図
【図３】図２におけるII−II線に沿った縦断面を矢印Ｘ方向から見た状態を示す部分縦断面図
【図４】図３における矢印IV方向からクリーニングユニットを見た状態を示す側面図
【図５】描画装置の制御系を示すブロック図
【図６】制御部によって実行される制御処理の内容を示すフローチャート
【符号の説明】
【００５１】
２        第１描画装置
４        第２描画装置
６        制御部
７        描画エンジン
１０        基台
１１        描画光学装置
１２        クリーニングユニット
１３        描画テーブル
１５        ハンドラー
１５ｂ      ハンドラー上下移動駆動用シリンダ
１５ｃ      吸着部
１６        レール
１７        ボールネジ
１８        描画テーブル駆動モータ
２６        基板吸着パッド
３７        垂下板
４０        スライド板
４１        水平板
４３        クリーニングユニット上下移動駆動用シリンダ
４８        軸受板
４９        クリーニングローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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