(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単且つ確実に開口部を開閉することができるとともに、装置全体を小さくするゲートバルブを提供する。【解決手段】仕切壁とほぼ垂直な内壁面を有する側壁に支持されて、仕切壁に沿って進退移動するシャフト部材２１と、シャフト部材２１の先端部に設けられるスライダ部材２２と、スライダ部材２２に相対移動可能に支持されて、開口部の開閉を行うシャッタ部材２３と、シャッタ部材２３がシャフト部材２１から受ける力を用いて、シャッタ部材２３を開口部の開口方向に沿って移動させる移動変換機構と、を備え、シャフト部材２１の進行移動により、スライダ部材２２が内壁面に押圧固定された後に、シャッタ部材２３がシャフト部材２１から押圧力を受けて、移動変換機構により開口部に向かう方向に移動して、開口部を閉じることを特徴とする。移動変換機構が傾斜面であってもよい。【選択図】図２
2008116016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
仕切壁に設けられた開口部の開閉を行うゲートバルブであって、
前記仕切壁とほぼ垂直な内壁面を有する側壁に支持されて、前記仕切壁に沿って進退移動するシャフト部材と、
前記シャフト部材の先端部に設けられて、前記シャフト部材の進行移動により、前記内壁面に押圧固定されるスライダ部材と、
前記スライダ部材に相対移動可能に支持されるとともに、前記シャフト部材の進退移動により力を受けて、前記開口部の開閉を行うシャッタ部材と、
前記シャッタ部材が前記シャフト部材から受ける力を用いて、前記シャッタ部材を前記開口部の開口方向に沿って移動させる移動変換機構と、を備え、
前記シャフト部材の進行移動により、前記スライダ部材が前記内壁面に押圧固定された後に、前記シャッタ部材が前記シャフト部材から押圧力を受けて、前記移動変換機構により前記開口部に向かう方向に移動して、前記開口部を閉じることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】
前記移動変換機構が、前記スライダ部材の上面に設けられた傾斜面であることを特徴とする請求項１記載のゲートバルブ。
【請求項３】
前記シャッタ部材が前記転動体を有するものであり、
前記転動体が、前記傾斜面に乗り上げたときに前記シャッタ部材が前記開口部を閉じることを特徴とする請求項２記載のゲートバルブ。
【請求項４】
前記シャッタ部材を前記スライダ部材側に位置させる付勢力を付与するとともに、前記シャッタ部材の移動を規制するガイド機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のゲートバルブ。
【請求項５】
前記シャッタ部材が、前記シャフト部材の先端部に、前記ゲートの開口方向に回動可能に設けられていることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のゲートバルブ。
【請求項６】
前記スライダ部材が、前記シャフト部材の中心軸周りに回転可能に設けられるとともに、
前記スライダ部材の先端面が、前記側壁の曲面とほぼ同一の曲面を有することを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載のゲートバルブ。
【請求項７】
前記仕切壁が真空容器内の空間を二分するものであることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６記載のゲートバルブ。
【請求項８】
前記真空容器が、電子顕微鏡の鏡筒であり、
前記仕切壁が電子銃を収容する電子銃室とその電子銃から射出された電子線を収束させる電子線制御機構を収容する制御機構室と、を仕切るものであることを特徴とする請求項７記載のゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば容器又は配管等を２つの空間に仕切る仕切壁に設けられた開口部の開閉を行うゲートバルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡等の真空容器を有する装置では、その真空容器内を２つの空間に仕切るために、リンク機構を用いたゲートバルブが用いられている。
【０００３】
このようなゲートバルブとしては、例えば特許文献１に示すように、容器内の仕切壁に形成された開口部（ゲート）を弁体によって開閉するものであり、弁体と、その弁体をリンク機構を介して保持する基体と、この基体が一端に連結されて、前記基体を移動させるシャフト部材とを備えている。弁体は、開口部を気密に封止するためにＯリングを備えている。
【０００４】
そして、シャフト部材を進行移動させると、弁体が、真空容器の内壁又は真空容器内に別に設けられたストッパに接触して、弁体のシャフト部材の進行方向への移動が制限される。そして、リンク機構により、弁体は開口部の方向に移動して、開口部を気密に封止する。
【０００５】
しかしながら、上記構造では、Ｏリングが潰れる程度に弁体を開口部に押圧する必要があるところ、Ｏリングが潰れる前に、シャフト部材が、開口部と反対の方向に逃げてしまい気密封止ができないという問題がある。
【０００６】
近年、この問題を解決するため、特許文献２に示すように、真空容器の壁面に雌ねじ孔を設け、その雌ねじ孔にシャフト部材の雄ねじ部を螺合させて、基体を真空容器の壁面に固定するゲートバルブが考えられている。
【０００７】
しかしながら、真空容器の壁面に雌ねじ孔やストッパを設けると、ゲートバルブの構造が複雑になってしまうという問題がある。また、雌ねじ孔等の固定手段を設けるためには、真空容器の壁面を厚くする必要があり、ストッパを設けるためには、真空容器内にそれらの設置空間を設ける必要がある等、真空装置全体の小型化を妨げる要因ともなっている。
【特許文献１】特開２００１−３２４０３２号公報
【特許文献２】特開２００６−２００７０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、簡単且つ確実に開口部を開閉することができるとともに、装置全体の小型化を可能とするゲートバルブを提供することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち本発明に係るゲートバルブは、仕切壁に設けられた開口部の開閉を行うゲートバルブであって、前記仕切壁とほぼ垂直な内壁面を有する側壁に支持されて、前記仕切壁に沿って進退移動するシャフト部材と、前記シャフト部材の先端部に設けられて、前記シャフト部材の進行移動により、前記内壁面に押圧固定されるスライダ部材と、前記スライダ部材に相対移動可能に支持されるとともに、前記シャフト部材の進退移動により力を受けて、前記開口部の開閉を行うシャッタ部材と、前記シャッタ部材が前記シャフト部材から受ける力を用いて、前記シャッタ部材を前記開口部の開口方向に沿って移動させる移動変換機構と、を備え、前記シャフト部材の進行移動により、前記スライダ部材が前記内壁面に押圧固定された後に、前記シャッタ部材が前記シャフト部材から押圧力を受けて、前記移動変換機構により前記開口部に向かう方向に移動して、前記開口部を閉じることを特徴とするものである。
【００１０】
このようなものであれば、スライダ部材が内壁面に押圧固定された後に、シャッタ部材がスライダ部材に対して相対移動して開口部を閉成するので、スライダ部材の開口部から離れる方向への逃げを防止することができ、簡単且つ確実に開口部を閉成することができる。
【００１１】
また、内壁面をそのまま利用しているので、ゲートバルブが設置される例えば配管や容器等を簡素化、小型化することができ、それらを用いている装置全体の小型化に寄与することができる。さらに、配管や容器等に処理を施す必要がないため、取付方向に自由度を持たせることができ、使用する場所又は形状に影響を与えることがない。その上、ゲートバルブの取付を容易にすることができる。
【００１２】
移動変換機構の具体的な実施の形態として、その構造を簡素化するためには、前記移動変換機構が、前記スライダ部材の上面に設けられた傾斜面であることが望ましい。
【００１３】
ここで「傾斜面」とは、後方側から前方側に向かって（シャフト部材の進行方向に）上り勾配を有する面をいう。
【００１４】
シャッタ部材がスライダ部材に対して移動しやすくするためには、シャッタ部材とスライダ部材との間に転動体をさらに備えていることが望ましい。
【００１５】
シャッタ部材がスライダ部材に対して移動しやすくするとともに、閉成を確実にするためには、前記シャッタ部材が前記転動体を有するものであり、前記転動体が前記傾斜面に乗り上げたときに、前記シャッタ部材が前記開口部を閉じることが望ましい。
【００１６】
スライダ部材に対するシャッタ部材の左右方向のずれを防止して、開口部の閉成を確実に行い、さらに開口部の開成を容易に行うためには、前記シャッタ部材を前記スライダ部材側に位置させる付勢力を付与するとともに、前記シャッタ部材の移動を規制するガイド機構をさらに備えていることが望ましい。
【００１７】
さらに、開口部の閉成を確実に行うためには、前記シャッタ部材が、前記シャフト部材の先端部に、前記開口部の開口方向に回動可能に設けられていることが望ましい。
【００１８】
スライダ部材の先端面が内壁面に接触するときにスライダ部材が最も安定する状態に回転して、内壁面にがた無く押圧固定されるためには、前記スライダ部材が、前記シャフト部材の中心軸周りに回転可能に設けられるとともに、前記スライダ部材の先端面が、前記側壁の曲面とほぼ同一の曲面を有することが望ましい。
【００１９】
仕切壁の具体的な実施の態様としては、前記仕切壁が真空容器内の空間を二分するものであり、より具体的には、電子顕微鏡の鏡筒内の空間を二分して、電子銃を収容する電子銃室とその電子線を収束させる電子線制御機構を収容する制御機構室とを仕切るものであることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
このように構成した本発明によれば、簡単且つ確実にゲートを開閉することができるとともに、装置全体の小型化を可能とするゲートバルブを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に本発明のゲートバルブを用いた電子顕微鏡（ＳＥＭ）の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２２】
本実施形態に係る電子顕微鏡１は、図１の模式的構成図に示すように、電子銃１１と、電子銃１１から射出された電子線ＥＢを試料Ｗの所定部位に収束させるレンズ機構及び電子線ＥＢを走査させるための走査機構等からなる電子線制御機構１２と、電子銃１１及び電子線制御機構１２を内部に有する鏡筒１３と、鏡筒１３の下端部に設けられ、前記電子銃１１からの電子線ＥＢが照射される試料Ｗを収容する試料収容室１４と、試料Ｗへの電子線ＥＢ照射により発生した２次電子等を検出する検出装置１５と、検出装置１５からの検出信号に基づき試料Ｗ上の電子線ＥＢの２次元走査に同期して試料像を表示等する情報処理装置１６と、を備えている。
【００２３】
そして、鏡筒１３は、その内部を電子銃１１を収容する電子銃室１３Ａと、電子線制御機構１２を収容する制御機構室１３Ｂと、に２分する仕切壁１３１を有している。仕切壁１３１は、電子銃室１３Ａと制御機構室１３Ｂとを連通する開口部１３１ａを備えている。なお、電子銃室１３Ａは、真空排気機構１７Ａにより超高真空（１０−５Ｐａ以下の高真空）にされており、制御機構室１３Ｂは、真空排気機構１７Ｂにより高真空にされている。
【００２４】
そして、本実施形態に係る電子顕微鏡１は、前記開口部１３１ａの開閉を行うゲートバルブ２を備えている。
【００２５】
ゲートバルブ２は、図１及び図２に示すように、仕切壁１３１とほぼ垂直な内壁面１３２ａを有する鏡筒１３の側壁１３２に貫通して支持されるシャフト部材２１と、シャフト部材２１の先端部に設けられるスライダ部材２２と、スライダ部材２２に相対移動可能に支持されるとともに、開口部１３１ａの開閉を行うシャッタ部材２３と、を備えている。なお、図２においては、仕切壁１３１及び側壁１３２は図示していない。以下、各部材２１、２２、２３について説明する。
【００２６】
シャフト部材２１は、図１及び図２に示すように、鏡筒１３の側壁１３２における仕切壁１３１下側に固定されるシャフト本体２１１と、そのシャフト本体２１１の後端部に設けられるツマミ２１２と、シャフト本体２１１に支持されて、前記ツマミ２１２が回転させることにより、軸方向に進退移動するロッド２１３と、を備えている。
【００２７】
シャフト本体２１１は、ツマミ２１２の回転運動をロッド２１３の進退移動に変換するものである。
【００２８】
ロッド２１３は、先端部に小径部２１３１を有し、その小径部２１３１に、スプリング２４及び後述するスライダ部材２２の後壁２２２が、この順番で外嵌される。また、小径部２１３１の軸方向の長さは、スライダ部材２２が取り付けられた状態において、その先端部分がスライダ部材２２の後壁２２２から前方に突出する程度にしている（図２等参照）。その突出した先端部分には、後述するシャッタ部材２３が連結される連結部である取付孔２１３２が設けられている。この取付孔２１３２は、シャッタ部材２３を上下動可能とするため、軸方向に垂直な長孔である。
【００２９】
また、ロッド２１３の小径部２１３１の先端部分においてシャッタ部材２３が連結される部分は、軸方向から見た断面が概略菱形形状をなす。これにより、ロッド２１３の回転運動をシャッタ部材２３に伝達させにくいようにしている。
【００３０】
スライダ部材２２は、図２に示すように、シャフト部材２１の先端部に設けられて、シャフト部材２１の進行移動により、鏡筒１３の内壁面１３２ａに押圧固定されるものである。
【００３１】
具体的には、スライダ部材２２は、図３に示すように、前壁２２１、後壁２２２及び底壁２２３を有する箱形形状をなし、その前壁２２１の先端面は、鏡筒１３の内壁面１３２ａの曲面と同一の曲面を有する。より詳細には、先端面において、その中央部分は、平面部２２１ａであり、両側部分は、鏡筒内壁面１３２ａの曲面と同一の曲率半径を有する曲面部２２１ｂである。この両側部分の曲面部２２１ｂにそれぞれ接するように描いた円が、鏡筒内壁面１３２ａと内接するようにしている。
【００３２】
スライダ部材２２の後壁２２２には、前記ロッド２１３の小径部２１３１がスライド可能、かつロッド２１３の中心軸周りに回転可能に挿通される挿通孔２２２ａが設けられている。
【００３３】
また、その底壁２２３の上面（シャッタ部材２３が載置される面）は、後方側から前方側に上り勾配を有する傾斜面２２３ａと、この傾斜面２２３ａの前方（ロッド２１３の進行方向側）に形成された前方平面２２３ｂと、その傾斜面２２３ａの後方（ロッド２１３の後退方向側）に形成された後方平面２２３ｃとからなる。このとき、傾斜面２２３ａが移動変換機構として機能する。この移動変換機構により、シャッタ部材２３は、ロッド２１３から前後方向に受ける力により、開口部１３１ａの開口方向（上下方向）に沿って移動することが可能となる。
【００３４】
シャッタ部材２３は、図２に示すように、スライダ部材２２内で上下移動して開口部１３１ａの開閉を行うものであり、スライダ部材２２に支持される。
【００３５】
具体的にシャッタ部材２３は、図４に示すように、概略直方体形状であり、その下側前方部分を切り欠くことにより断面Ｌ字形状をなすものである。またシャッタ部材２３は、その後端部に、シャフト部材２１のロッド２１３の先端部が連結される取付凹部２３１が設けられている。そして、連結ピン３によって、前記ロッド２１３の先端部に回転可能に取り付けられる。
【００３６】
また、シャッタ部材２３は、その上面にシール部材であるＯリング２８を取り付けるための環状溝２３２を有し、この環状溝２３２の内側周面は、例えば図５に示すように、Ｏリング２８が外れないように開口側に行くに従って断面径が大きくなるように形成されている。
【００３７】
シャッタ部材２３の下面は、前記スライダ部材２２の前方平面２２３ｂに接触するとともに、後方平面２２３ｃに接触する（図５等参照）。このように構成しているので、後述するローラ２５が傾斜面２２３ａに差し掛かるまでは、水平状態を保ったまま安定してスライダ部材２２上をスライドすることができる。
【００３８】
また、図５に示すように、シャッタ部材２３の切り欠いた部分下面の後方には、スライダ部材２２上での移動を円滑に行うために転動体であるローラ２５が取り付けられている。このようにシャッタ部材２３がローラ２５を備えているので、シャッタ部材２３が、スライダ部材２２上、特に移動変換機構である傾斜面２２３ａ上を円滑に移動することが可能となる。
【００３９】
さらに、本実施形態に係るゲートバルブ２は、ガイド機構２６を備えている。
【００４０】
ガイド機構２６は、図４及び図６に示すように、シャッタ部材２３をスライダ部材２２側に位置させる付勢力を付与するとともに、シャッタ部材２３の移動を規制するものであり、具体的には、トーションバネ２６１と、そのトーションバネ２６１をスライダ部材２２に固定する固定ピン２６２と、シャッタ部材２３に設けられた前記トーションバネ２６１が引っ掛けられて付勢力を受ける作用ピン２６３と、からなる。
【００４１】
トーションバネ２６１は、シャッタ部材２３の両側面に接触するように設けられ、本実施形態では例えば板バネを用いている。
【００４２】
固定ピン２６２は、スライダ部材２２の後壁２２２の両側面に設けられ、トーションバネ２６１を後壁２２２に固定するとともに、シャッタ部材２３に力を与えるための支点として機能する。
【００４３】
作用ピン２６３は、シャッタ部材２３の両側面に設けられて、トーションバネ２６１を保持するとともに、トーションバネ２６１から弾性押圧力を受ける。また、トーションバネ２６１が外れないように、トーションバネ２６１と接触する部分にＲ加工を施している。
【００４４】
このようなガイド機構２６によれば、トーションバネ２６１が、作用ピン２６３に引っ掛けられた状態において、トーションバネ２６１がシャッタ部材２３を両側から挟み込み、シャッタ部材２３がスライダ部材２２に対して左右方向にずれないようにすることができる。
【００４５】
さらに本実施形態に係る電子顕微鏡１は、スライダ部材２２の移動を案内して補助する案内補助機構２７を備えている。この案内補助機構２７は、仕切壁１３１の下方に仕切壁１３１にほぼ水平となるように側壁１３に設けられ、スライダ部材２２の下面に接触する支持壁である。この案内補助機構２７により、シャッタ部材２３が開口部１３１ａを閉成するときに受ける反力により、スライダ部材２２が下方に移動することを一層防止することができる。
【００４６】
次に、このように構成したゲートバルブ２の組み立て方法について説明する。
【００４７】
まず、シャフト部材２１のロッド２１３の小径部２１３１にスプリング２４を外嵌させて、スライダ部材２２の後壁２２２に設けられた挿通孔２２２ａにそのロッド２１３の先端部を挿入する。このとき、小径部２１３１に連なった大径部２１３３とスライダ部材２２の後端面との間にスプリング２４が挟まれる構造となる（図５等参照）。
【００４８】
そして、その挿通孔２２２ａから前方に突出した小径部２１３１の先端部分に、シャッタ部材の取付凹部２３１を係合させて、連結ピン３を用いて連結させる。
【００４９】
次に、ガイド機構２６を構成するトーションバネ２６１を固定ピン２６２を用いてスライダ部材２２の後壁２２２の両側面に固定する。また、シャッタ部材２３の両側面に作用ピン２６３を取り付け、トーションバネ２６１を引っ掛ける。このようにして、ゲートバルブ２が組み立てられる（図４参照）。なお、トーションバネ２６１をスライダ部材２２に取り付ける手順、シャッタ部材２３に作用ピン２６３を取り付ける手順は上記に限定されず、例えば、シャフト部材２１にスライダ部材２２を外嵌させる前、シャフト部材２１にシャッタ部材２３を連結させる前に、行うようにしても良い。
【００５０】
次にこのように構成したゲートバルブ２の動作を、図５、図７、図８を参照して説明する。
【００５１】
まず、ゲートバルブ２の閉成動作について説明する。図５は、開口部１３１ａが開いている状態を示す図である。この状態から、シャフト部材２１のツマミ２１２を一方向に回転させることにより、ロッド２１３が進行方向に移動する。そうすると、スライダ部材２２及びシャッタ部材２３が支持壁２７上を仕切壁１３１に沿って開口部１３１ａに向かって移動する。
【００５２】
そして、図７に示すように、スライダ部材２２が、前記シャフト部材２１が設けられている側壁１３２に対向する内壁面１３２ａに当接する。その後、ロッド２１３の進行により、スプリング２４が圧縮されるとともに、ロッド２１３に連結されたシャッタ部材２３が、スライダ部材２２上を進行方向に移動する。この際、スライダ部材２２は、スプリング２４から受ける弾性付勢力により、内壁面１３２ａに押圧固定される。
【００５３】
このとき、ローラ２５が傾斜面２２３ａに到達するまでは、シャッタ部材２３の下面は、スライダ部材２２の前方平面２２３ｂ及び後方平面２２３ｃにそれぞれ接触して、シャッタ部材２３は水平状態を保ちながら移動する。ローラ２５が傾斜面２２３ａを上る最中は、ロッド２１３に設けた取付孔２１３２が縦長の長孔であるので、シャッタ部材２３の水平状態が保たれる。
【００５４】
そして、ローラ２５が、傾斜面２２３ａを上り、傾斜面２２３ａの上端に連続した前方平面２２３ｂに到達したときに、図８に示すように、シャッタ部材２３上面のＯリング２８が潰れて、開口部１３１ａを気密に閉成する。
【００５５】
次に、ゲートバルブ２の開成動作について説明する。図８に示す閉成状態から、シャフト部材２１のツマミ２１２を上記閉成動作における回転と逆回転させることにより、ロッド２１３が後退方向に移動する。そうすると、スライダ部材２２は、スプリング２４から受ける弾性付勢力により内壁面１３２ａに押圧されたままで、シャッタ部材２３のみが移動する。このとき、ロッド２１３は、後退方向に移動するが、シャッタ部材２３は、傾斜面２２３ａにより、上下方向に開口部１３１ａから離れる（図７参照）。その後、ロッド２１３が所定距離後退すると、スライダ部材２２が後退方向に移動する。このようにして、図５に示すように、開口部１３１ａが開成される。
【００５６】
このように構成した本実施形態に係る電子顕微鏡１によれば、スライダ部材２２が内壁面１３２ａに押圧固定された後に、シャッタ部材２３がスライダ部材２２に対して相対移動して開口部１３１ａを閉成するので、スライダ部材２２の下方への逃げを防止することができ、簡単且つ確実に開口部１３１ａを閉成することができる。
【００５７】
また、内壁面１３２ａをそのまま利用しているので、ゲートバルブ２が設置される鏡筒１３を簡素化、小型化することができ、電子顕微鏡１全体の小型化に寄与することができる。さらに、鏡筒１３の内部に処理を施す必要がないため、取付方向に自由度を持たせることができ、使用する場所又は形状に影響を与えることがない。その上、ゲートバルブ２の取り付けを容易にすることができる。
【００５８】
＜その他の変形実施形態＞
【００５９】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、前記実施形態では、仕切壁１３１が１つの容器内に設けられたものであるが、図９に示すように、ゲートバルブユニットとしても良い。つまり、２つの容器又は配管間に介在して設けられ、それら容器又は配管を連通させ連通路として機能するものであり、仕切壁と、その仕切壁に垂直な内壁面を有する側壁を有するケーシングと、本発明に係るゲートバルブとを一体にして構成したものであっても良い。
【００６０】
前記実施形態では、仕切壁１３１の下側にゲートバルブ２を設けるようにしているが、仕切壁１３１の上側に設けるようにしても良い。
【００６１】
さらに、前記実施形態では、移動変換機構が、スライダ部材２２上面に設けた傾斜面２２３ａであったが、これに限定されない。例えば、スライダ部材２２上にくさび形状をなす部材を設けても良いし、シャッタ部材２３に設けるようにしても良い。
【００６２】
また、前記実施形態では、スライダ部材２２が内壁面１３２ａに押圧固定されるまで、スライダ部材２２とシャッタ部材２３とが一体的に移動して互いに相対移動しないものであったが、独立に移動するようにしても良い。つまり、シャフト部材２１の進行移動により、スライダ部材２２が内壁面１３２ａに押圧固定されるまでに、スライダ部材２２とシャッタ部材２３とが互いに相対移動するようにしても良い。
【００６３】
前記実施形態では、シャッタ部材２３が転動体であるローラ２５を備えたものであったが、シャッタ部材２３がスライダ部材２２に対して移動し易くするためには、シャッタ部材２３とスライダ部材２２との間に転動体２５を介在させていれば良く、スライダ部材２２に転動体２５を設けるようにしても良い。
【００６４】
また、前記実施形態のシャッタ部材は、その先端面が平面部と曲面部とを有するものであったが、曲面部のみを有するものであっても良い。
【００６５】
さらに、前記実施形態は、本発明のゲートバルブ２を電子顕微鏡１に用いた場合を示したが、流体を流通させる配管に設けられた開口部１３１ａや、真空容器以外の容器に設けられた開口部１３１ａの開閉に用いることもできる。
【００６６】
その上、前記実施形態の電子顕微鏡は、走査電子顕微鏡であったが、その他にも透過電子顕微鏡に用いることもできるし、カソードルミネッセンス測定装置と組み合わせたものであっても良い。
【００６７】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施形態に係る電子顕微鏡を示す模式的構成図。
【図２】同実施形態におけるゲートバルブの断面図。
【図３】同実施形態におけるゲートバルブのスライダ部材を示す斜視図。
【図４】同実施形態におけるゲートバルブのスライダ部材及びシャッタ部材を主として示す斜視図。
【図５】同実施形態において、開口部が開成状態のときのゲートバルブを示す断面図。
【図６】同実施形態におけるゲートバルブのスライダ部材及びシャッタ部材を主として示す側面図。
【図７】同実施形態において、スライダ部材が内壁面に当接した状態のときのゲートバルブを示す断面図。
【図８】同実施形態において、開口部が閉成状態のときのゲートバルブを示す断面図。
【図９】その他の変形実施形態に係るゲートバルブユニットを示す図。
【符号の説明】
【００６９】
１      ・・・電子顕微鏡
１１    ・・・電子銃
ＥＢ    ・・・電子線
１２    ・・・電子線制御機構
１３    ・・・鏡筒
１３Ａ  ・・・電子銃室
１３Ｂ  ・・・制御機構室
１３１  ・・・仕切壁
１３１ａ・・・開口部
１３２ａ・・・内壁面
１３２  ・・・側壁
２      ・・・ゲートバルブ
２１    ・・・シャフト部材
２２    ・・・スライダ部材
２２３ａ・・・傾斜面（移動変換機構）
２３    ・・・シャッタ部材
２４    ・・・スプリング
２５    ・・・転動体（ローラ）
２６    ・・・ガイド機構
２７    ・・・案内補助機構
２８    ・・・シール部材（Ｏリング）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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