(57)【要約】【課題】  小型ながら複数本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる塗布ノズルおよび該ノズルの製造方法を提供する。【解決手段】  シート部材８２に設けられた複数の吐出孔８２２とノズル本体８１に設けられた複数の貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるとともに、各貫通孔８１１に塗布液を選択的に送給可能となっている。このため、１つの塗布ノズル８から複数本の塗布液が連続的に吐出可能となっている。また、貫通孔８１１および吐出孔８２２のペアが複数、しかも互いに独立して設けられているため、塗布液を複数の吐出孔８２２から選択的に吐出させることができる。したがって、塗布ノズルの大型化を抑えつつ３本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。【選択図】  図７
2008006334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる位置に複数の吐出孔が設けられ、各吐出孔の吐出口が基板の表面を臨むように該基板に対向配置される樹脂材料製の第１シート部材と、
前記複数の吐出孔に対して１対１の対応関係を有し且つ前記吐出孔よりも大きな内径を有する、貫通孔が複数個形成されたノズル本体とを備え、
前記複数の吐出孔の各々がそれに対応する前記貫通孔と連通され、前記複数の貫通孔の各々に塗布液が送給されると、該貫通孔に連通する前記吐出孔の前記吐出口から前記基板に向けて前記塗布液を吐出することを特徴とする塗布ノズル。
【請求項２】
請求項１記載の塗布ノズルの製造方法であって、
前記第１シート部材と同一材料で構成された前記ノズル本体を準備するノズル本体準備工程と、
前記第１シート部材と同一材料で構成された第２シート部材を準備するシート部材準備工程と、
前記複数の貫通孔が開口された前記ノズル本体の両主面のうち前記塗布液の供給側と反対側の主面を第１被接着面とし、前記第２シート部材の両主面のうち前記第１被接着面に対向する主面を第２被接着面とし、前記第１被接着面と前記第２被接着面に表面処理を施し、前記第１被接着面と前記第２被接着面とを相互に対向配置した後に、前記ノズル本体と前記第２シート部材とを熱融着させて接着する接着工程と、
前記複数の貫通孔の各々について、該貫通孔と連通する孔を前記吐出孔として前記第２シート部材に設けて前記第１シート部材を形成する孔形成工程と
を備えたことを特徴とする塗布ノズルの製造方法。
【請求項３】
前記接着工程は、前記第１被接着面と前記第２被接着面とを直接当接させながら前記ノズル本体と前記第２シート部材とを熱融着させる請求項２記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項４】
前記接着工程は、前記第１被接着面と前記第２被接着面に表面処理を施した後で且つ前記第１被接着面と前記第２被接着面とを相互に対向配置する前に、前記第１被接着面および前記第２被接着面の少なくとも一方面に接着剤を塗布し、しかも、前記熱融着により前記接着剤を硬化させて前記ノズル本体と前記第２シート部材とを接着する請求項２記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項５】
前記第２シート部材、前記接着剤および前記ノズル本体は同一の樹脂材料で構成されている請求項４記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項６】
前記第２シート部材、前記接着剤および前記ノズル本体はポリイミド系樹脂材料で構成されている請求項５記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項７】
前記孔形成工程は、前記レーザ光を前記貫通孔を介して前記シート部材に照射して前記吐出孔を形成する工程である請求項４ないし６のいずれかに記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項８】
前記孔形成工程の前または後に、前記レーザ光を前記貫通孔内に付着する接着剤に照射して該接着剤を取り除く請求項７記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項９】
請求項１記載の塗布ノズルの製造方法であって、
前記樹脂材料と同一材料で構成された前記ノズル本体を準備するノズル本体準備工程と、
前記第１シート部材を準備するシート部材準備工程と、
前記複数の貫通孔が開口された前記ノズル本体の両主面のうち前記塗布液の供給側と反対側の主面を第１被接着面とし、前記第１シート部材の両主面のうち前記第１被接着面に対向する主面を第２被接着面とし、前記第１被接着面と前記第２被接着面に表面処理を施し、前記第１被接着面と前記第２被接着面とを相互に当接させた後に、前記ノズル本体と前記第１シート部材とを熱融着させて接着する接着工程と
を備えたことを特徴とする塗布ノズルの製造方法。
【請求項１０】
前記表面処理は、前記第１被接着面と前記第２被接着面を活性化する表面活性化処理である請求項２ないし９のいずれかに記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項１１】
前記表面処理は、プラズマ処理またはコロナ処理である請求項１０記載の塗布ノズルの製造方法。
【請求項１２】
前記ノズル本体準備工程は、前記樹脂材料製の薄板部材を複数枚準備する工程と、前記複数の薄板部材を積層させた際に互いに対向する前記複数の薄板部材の主面に表面処理を施す工程と、前記表面処理を受けた前記複数の薄板部材を積層した後に熱融着により前記複数の薄板部材を相互に接着して前記ノズル本体を形成する工程とを有している請求項２ないし１１のいずれかに記載の塗布ノズルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の吐出孔から塗布液を基板に向けて吐出する塗布ノズルおよび該ノズルの製造方法に関するものである。ここでは、基板としては、例えば有機ＥＬ表示器、液晶表示器およびプラズマディスプレイなどのＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられる基板、ならびに半導体基板などの各種基板（以下、単に「基板」という）が含まれる。
【背景技術】
【０００２】
従来より基板に塗布液を塗布する装置として次のようなものがある。例えば特許文献１に記載の装置は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）材料を含む溶液を塗布液として塗布ノズルから吐出させながらノズル移動機構部によりノズルを移動させて塗布液を基板上の微小領域に塗布している。このノズルは、その先端部が開口されたノズル本体を備えている。そして、このノズル本体の内部にスペーサ、フィルタ、スペーサおよびシート部材がこの順序で挿入され、ノズル先端部においてシート部材が基板の表面と対向している。また、このシート部材の中央部にはオリフィスが吐出孔として穿設されている。このため、ノズルに塗布液を圧送することでノズル先端部に設けられた吐出孔から塗布液が連続的に吐出され、基板表面に対して塗布液が液柱状に供給される。そこで、上記装置では、塗布液の連続吐出を継続させつつ、基板上に形成された微小な溝（例えば溝の幅寸法が１００μｍ以下）に沿ってノズルをほぼ直線的に移動させ、これによって基板表面に塗布液をストライプ状に塗布している。
【０００３】
また、塗布液を連続的に吐出する塗布ノズルを３本設けた装置が特許文献２に記載されている。この装置では、３本の塗布ノズルがノズルホルダに保持されており、該ノズルホルダに接続されたノズル移動機構が往復移動するように構成されている。また、各塗布ノズルはフィルタおよび流量計を介してポンプと接続されている。このため、３つのポンプから選択したポンプを作動させると、選択作動ポンプに接続された塗布ノズルから基板に向けて塗布液が吐出される。このように各塗布ノズルから塗布液を選択的に基板に向けて吐出可能となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−７４０７６号公報（図１）
【特許文献２】特開２００２−７５６４０号公報（図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記装置では、塗布ノズルが往復移動して基板全面に塗布液を塗布する。したがって、塗布動作に要する時間を短縮するためには、例えば特許文献２に記載されているように複数の塗布ノズルを配置して塗布効率を向上させる必要がある。しかしながら、従来装置では各塗布ノズルから吐出される液柱状の塗布液は単一であるため、効率向上のためには塗布ノズルの配列本数を増やす必要がある。そのため、配列本数の増大にしたがってノズルホルダも大型化する。そして、ノズルホルダの大型化にともなって装置の大型化を招いてしまうという問題が生じる。
【０００６】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、小型ながら複数本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる塗布ノズルおよび該ノズルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明にかかる塗布ノズルは、上記目的を達成するため、互いに異なる位置に複数の吐出孔が設けられ、各吐出孔の吐出口が基板の表面を臨むように該基板に対向配置される樹脂材料製の第１シート部材と、複数の吐出孔に対して１対１の対応関係を有し且つ吐出孔よりも大きな内径を有する、貫通孔が複数個形成されたノズル本体とを備え、複数の吐出孔の各々がそれに対応する貫通孔と連通され、複数の貫通孔の各々に塗布液が送給されると、該貫通孔に連通する吐出孔の吐出口から基板に向けて塗布液を吐出することを特徴としている。
【０００８】
このように構成された発明では、第１シート部材に設けられた複数の吐出孔とノズル本体に設けられた複数の貫通孔とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されている。このため、複数の貫通孔の各々に塗布液が送給されると、該貫通孔に連通する吐出孔の吐出口から基板に向けて塗布液が吐出される。このように１つの塗布ノズルから複数本の塗布液が連続的に吐出可能となっている。また、貫通孔および吐出孔のペアが複数組存在しており、しかも互いに独立して設けられている。そして、複数の貫通孔のうち一の貫通孔に対して選択的に塗布液を送給すると、その選択貫通孔およびこれに連通する吐出孔を介して塗布液が基板に向けて吐出される。したがって、塗布ノズルの大型化を抑えつつ複数本の塗布液が互いに独立して基板表面に向けて吐出される。
【０００９】
また、このように構成された塗布ノズルを製造するにあたって最も問題となるのが、複数の吐出孔と複数の貫通孔とを１対１の対応関係で且つ相互に連通させる点である。ここで、吐出孔と貫通孔との対応関係を確立させるために、例えばシート部材とノズル本体とを接着させることが考えられるが、シート部材がノズル本体に接着された際にシート部材にシワが発生すると、吐出口が設定位置に形成されないことがある。そして、吐出口の輪郭部がシワに重なると、吐出口の輪郭形状が設計形状と異なってしまい、その結果、塗布液の吐出方向が変動し、着弾精度が低下したり、塗布液の流量が変動することがあった。また、接着不良が発生してシート部材がノズル本体から剥がれてしまうと、吐出口の向きが設計方向から異なるものとなってしまい、上記と同様の問題が発生しまうこともあった。そこで、本発明にかかる塗布ノズルの製造方法はこれらの課題を解消するために以下のように構成している。
【００１０】
この発明にかかる塗布ノズルの製造方法は、第１シート部材と同一材料で構成されたノズル本体を準備するノズル本体準備工程と、第１シート部材と同一材料で構成された第２シート部材を準備するシート部材準備工程と、複数の貫通孔が開口されたノズル本体の両主面のうち塗布液の供給側と反対側の主面を第１被接着面とし、第２シート部材の両主面のうち第１被接着面に対向する主面を第２被接着面とし、第１被接着面と第２被接着面に表面処理を施し、第１被接着面と第２被接着面とを相互に対向配置した後に、ノズル本体と第２シート部材とを熱融着させて接着する接着工程と、複数の貫通孔の各々について、該貫通孔と連通する孔を吐出孔として第２シート部材に設けて第１シート部材を形成する孔形成工程とを備えている。
【００１１】
このように構成された発明では、ノズル本体と第２シート部材が同一樹脂材料で構成されている。そして、ノズル本体の第１被接着面と第２シート部材の第２被接着面とはそれぞれ表面処理を受けた上で相互に対向配置される。さらに、ノズル本体と第２シート部材とが熱融着されて接着された後、第２シート部材に複数の吐出孔が設けられて第１シート部材が形成される。このように表面処理を受けた第１被接着面と第２被接着面とを介してノズル本体とシート部材とが接着されるため、シート部材がノズル本体から剥がれるのを効果的に防止することができる。しかも、両者は同一の樹脂材料で構成されており、熱収縮率は相互に一致またはほぼ一致する。したがって、熱融着によりシート部材をノズル本体に接着した際に、シート部材にシワが発生するのを抑制することができる。
【００１２】
ここで、第１被接着面と第２被接着面とを直接当接させてノズル本体と第２シート部材を熱融着させてもよく、これによりノズル本体と第２シート部材とが一体化されてシート部材をノズル本体に強固に固定することができ、シート部材の剥がれが防止される。
【００１３】
また、第１被接着面と第２被接着面に表面処理を施した後で且つ第１被接着面と第２被接着面とを相互に対向配置する前に、第１被接着面および第２被接着面の少なくとも一方面に接着剤を塗布した後、熱融着により接着剤を硬化させてノズル本体と第２シート部材とを接着してもよい。このように予め表面処理が施された面に接着剤が塗布された状態でノズル本体と第２シート部材とが相互に接着されるため、シート部材の剥がれを効果的に防止することができる。なお、このように接着剤を用いる場合には、シート部材、接着剤およびノズル本体は同一の樹脂材料で構成するのが望ましい。この場合、シート部材、接着剤およびノズル本体の熱収縮率は相互に一致またはほぼ一致する。したがって、シート部材にシワが発生するのを抑制することができる。ここで、「樹脂材料」としては、例えばポリイミド系樹脂材料を用いることができる。
【００１４】
また、レーザ光を貫通孔を介して第２シート部材に照射して吐出孔を形成することができる。このように貫通孔側より吐出孔を形成すると、貫通孔に対する吐出孔の位置決め精度を高め、吐出孔と貫通孔とを確実に連通させることができる。
【００１５】
また、接着剤を用いてノズル本体と第２シート部材とを接着した場合、貫通孔内に接着剤が残存してしまうことがある。この場合には、孔形成工程の前または後に、レーザ光を貫通孔内に付着する接着剤に照射して該接着剤を取り除くのが望ましい。これによって複数の貫通孔について、その内部空間を予め設定した形状や大きさに整えることができ、各吐出孔から吐出される塗布液を安定して吐出させることができる。
【００１６】
また、上記発明では、（貫通孔が形成されていない）第２シート部材をノズル本体に接着させた後で吐出孔を形成しているが、すでに吐出孔が形成されている第１シート部材を準備しておき、この第１シート部材をノズル本体に接着してもよい。この場合にも、上記発明と同様に、表面処理を利用するのが望ましい。例えば第１シート部材の両主面のうち第１被接着面に対向する主面（第２被接着面）と、第１被接着面とに表面処理を施し、第１被接着面と第２被接着面とを相互に当接させた後に、ノズル本体と第１シート部材とを熱融着させて接着してもよい。これにより上記発明（塗布ノズルの製造方法）と同様に、小型ながら複数本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。
【００１７】
また、上記「表面処理」としては、第１被接着面と第２被接着面を活性化する表面活性化処理が含まれる。この表面活性化処理により被接着面に活性基を構成させて接着力を向上させることができる。また、表面活性化処理は被接着面を親水処理化して接着剤の濡れ性を向上させてシート部材とノズル本体との接着をより良好に行うことができる。その「表面活性化処理」にはプラズマ処理およびコロナ処理が含まれている。また、接着剤の濡れ性を向上させる表面処理としてはサンドブラストやプライマー処理を用いてもよい。
【００１８】
さらに、ノズル本体準備工程を、樹脂材料製の薄板部材を複数枚準備する工程と、複数の薄板部材を積層させた際に互いに対向する複数の薄板部材の主面に表面処理を施す工程と、表面処理を受けた複数の薄板部材を積層した後に熱融着により複数の薄板部材を相互に接着してノズル本体を形成する工程とで構成してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、この発明によれば、第１シート部材に設けられた複数の吐出孔とノズル本体に設けられた複数の貫通孔とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されており、複数の貫通孔の各々に塗布液が送給されると、該貫通孔に連通する吐出孔の吐出口から基板に向けて塗布液が吐出される。したがって、小型ながら複数本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、この発明にかかる製造方法の一実施形態により製造された塗布ノズルを装備する基板処理装置を示す図である。この基板処理装置は、基板１上に形成された溝１１に液体状の有機層（正孔輸送層や有機ＥＬ層）を形成するための材料を含む塗布液（以下、単に「塗布液」という）を塗布する基板処理装置である。
【００２１】
この基板処理装置では、基板１を載置するテーブル２が設けられている。このテーブル２はＹ方向にスライド自在で、しかも垂直軸Ｚに対してθ方向に回動自在となっている。また、テーブル２にはテーブル移動機構２１が接続されており、装置全体を制御する制御部３からの動作指令に応じてテーブル移動機構２１が作動することでテーブル２をＹ方向に移動させたり、θ方向に回転させてテーブル２上の基板１を位置決めすることができる。
【００２２】
また、このテーブル２の上方には、１個の多孔タイプの塗布ノズル８が配設されている。このノズル８はノズルホルダ５に保持されており、該ノズルホルダ５に接続されたノズル移動機構６１が制御部３からの動作指令に応じて作動することでノズル８をＸ方向に往復移動可能となっている。したがって、ノズル８を基板１上の溝１１に対向させた状態でノズル８をＸ方向に移動させると、ノズル８は溝１１に沿って移動することとなる。
【００２３】
この塗布ノズル８は後で詳述するように複数の吐出孔を有し、各吐出孔から塗布液を選択的に基板１に向けて吐出可能となっている。また、各吐出孔はノズル本体の貫通孔と連通され、さらに貫通孔に取り付けられた継手を介して塗布液の供給源たる液供給部６２と配管接続されている。そして、この液供給部６２から塗布液の供給先を選択しながら塗布液を選択貫通孔に送給すると、その選択貫通孔に連通する吐出孔から基板１に向けて塗布液が連続的に吐出される。こうしてノズル８から塗布液を吐出させると、ノズル８からの塗布液はまっすぐ下方に吐出され、基板１に供給される。したがって、ノズル８が溝１１と対向している場合には、ノズル８から吐出される塗布液を溝１１に塗布することができる。
【００２４】
＜第１実施形態＞
次に、上記装置に装備された塗布ノズル８の第１実施形態にかかる構成および製造方法について図面を参照しつつ詳述する。
【００２５】
図２は図１の基板処理装置に組み込まれた塗布ノズルを示す図で、同図（ａ）は分解組立図であり、同図（ｂ）は塗布ノズルの断面図であり、同図（ｃ）は塗布ノズルの底面図である。この実施形態は、いわゆる多孔タイプの塗布ノズル８の製造方法に関するものであり、該ノズル８からは３本の塗布液が選択的に吐出可能となっている。以下、この第１実施形態にかかる塗布ノズルの製造方法を図２を参照しつつ詳述してノズル構成についても同時に説明する。
【００２６】
このノズル８はノズル本体８１、シート部材８２およびノズルケース８３を備えている。このノズル本体８１は、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン （ＰＥＥＫ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などの樹脂材料やステンレス鋼などの金属材料により直方体形状に仕上げられている。また、塗布液の吐出ピッチ（隣接して吐出される塗布液の間隔）で３つの貫通孔８１１が予め形成されている。各貫通孔８１１は吐出孔よりも大きな内径を有し、しかも各貫通孔８１１の内周面には後で説明する継手（本体）の外周面に形成された雄ネジ部と螺合可能な雌ネジ部８１２が設けられている。なお、このように構成されたノズル本体８１は予め機械的に加工されている（ノズル本体準備工程）。
【００２７】
シート部材８２は、同図に示すように、例えばポリイミド（ＰＩ）シート、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）シート、ポリプロピレン（ＰＰ）シート、ポリエチレン（ＰＥ）シート、液晶ポリエステル（ＬＣＰ）シートなどの樹脂材料製により構成されるものである。そして、３つの吐出孔８２２が、塗布液の吐出ピッチだけ相互に離間して配置されるように、該シート部材８２に形成される。これによって、シート部材８２の両主面のうち基板１と対向する対向面８２１において、各吐出孔８２２の一方端が開口して３つの吐出口が形成される。また、このシート部材８２の平面形状はノズル本体８１の底面と同一形状となっている。このシート部材８２の一方主面８２１が基板１と対向配置され、その対向面８２１の反対側の面上にノズル本体８１の底面が当接すると、３つの吐出孔８２２に対して１対１の対応関係で３つの貫通孔８１１が位置決めされる。この状態で貫通孔８１１から吐出孔８２２に塗布液が流通し、さらに吐出孔８２２の吐出口から塗布液が吐出可能となる。このように、本実施形態ではシート部材８２が本発明の「第１シート部材」に相当しており、このシート部材８２とノズル本体８１と相互に当接して吐出孔８２２と貫通孔８１１との位置関係が規定される。したがって、ノズル周辺温度により両者の位置関係が変動するのを防止する観点から、ノズル本体８１とシート部材８２の線膨張率を同一あるいはほぼ同一に設定するのが望ましく、ノズル本体８１とシート部材８２とを同一樹脂材料で構成するのがさらに望ましい。例えばノズル本体８１をポリイミド系樹脂、例えばベスペル（デュポン社の登録商標）で構成する一方、シート部材８２をポリイミドフィルム（宇部興産株式会社製の商品名「ユービレックス」）で構成することができる。このように両者をポリイミド（ＰＩ）系樹脂材料で構成することで貫通孔８１１と吐出孔８２２との位置ずれを防止して高精度で、かつ安定した塗布液の吐出を行うことができる。
【００２８】
ここで、液供給部６２から供給される塗布液を各吐出孔８２２から独立して吐出させるために、各貫通孔８１１に対してファイナルフィルタ８４、継手（フェルール）８５、継手（本体）８６とがこの順序で挿入可能となっている。つまり、ファイナルフィルタ８４は貫通孔８１１に挿入されて吐出孔８２２の直上位置に位置する。このため、吐出孔８２２から吐出される前に塗布液中に存在するパーティクルや再凝集した溶質成分が確実に除去される。また、ファイナルフィルタ８４に続いて継手（フェルール）８５および継手（本体）８６とがこの順序で貫通孔８１１に挿入されるとともに、液供給部６２から延びる配管（チューブ）８７が継手（本体）８６に挿入される。この挿入時に継手（本体）８６の外周面に設けられた雄ネジ部８６１は雌ネジ部８１２に螺合して継手（本体）８６はノズル本体８１にしっかり固定される。これにより、吐出孔８２２ごとに塗布液を独立して基板に向けて吐出可能となっている。すなわち、液供給部６２から特定の配管８７を介して塗布液を圧送すると、その配管８７に接続された継手（本体）８６および継手（フェルール）８５を介してファイナルフィルタ８４に送られてフィルタリングされた後、吐出孔８２２から吐出される。
【００２９】
また、この実施形態では、ノズル本体８１とシート部材８２とを一体的に保持するために、ノズルケース８３が設けられている。このノズルケース８３は凹形状を有しており、その内部空間８３１においてシート部材８２およびノズル本体８１をこの順序で収容可能となっている。また、各吐出孔８２２から吐出された塗布液を基板１に導くために、３つの貫通孔８３２がノズルケース８３の底面部に上記吐出ピッチで設けられている。
【００３０】
以上のように、この第１実施形態によれば、シート部材８２に設けられた複数の吐出孔８２２とノズル本体８１に設けられた複数の貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるとともに、各貫通孔８１１に塗布液を選択的に送給可能となっている。このため、１つの塗布ノズル８から複数本（この実施形態では３本）の塗布液が連続的に吐出可能となっている。また、貫通孔８１１および吐出孔８２２のペアが複数組存在し、しかも互いに独立して設けられているため、塗布液を複数の吐出孔８２２から選択的に吐出させることができる。したがって、塗布ノズル８の大型化を抑えつつ３本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。
【００３１】
ここで、シート部材８２を準備するにあたって、後述するノズル本体準備工程、シート部材準備工程、接着工程や孔形成工程を適宜組み合わせてもよいが、次のような点に留意するのが望ましい。すなわち、シート部材８２を構成する材料として上記した樹脂材料製の市販シートを用いることができる。つまり、これらのシート状の樹脂シートに対して機械加工やレーザ加工を施して吐出孔８２２を形成することによって上記シート部材８２を準備することができる。しかしながら、市販の樹脂シートからシート部材８２を形成した場合、次のような理由により吐出口の形状が予め設計した形状と異なってしまうことがあった。すなわち、市場に流通している樹脂シートは樹脂材料の押出成型により製造されることが多く、成型性や巻取性などを考慮してジルコニアやシリコン等のフィラーが樹脂材料に分散されている。そのため、シート表面に存在していたフィラーが抜け落ちてシート表面にクレータ状の欠損が存在することがある。また、成型された樹脂シートを巻き取る際にシート表面に巻取傷が生じたり、搬送時に表面傷が付与されてしまうことがある。したがって、これらの要因により樹脂シートの表面は必ずしも平坦であるとはいえない。このような表面状態を有する樹脂シートに吐出孔８２２を形成した際に、基板１と対向する対向面８２１に存在する傷や欠損などに吐出口の輪郭部が重なると、吐出口の輪郭形状が設計形状と異なってしまい、その結果、塗布液の吐出方向が変動してしまうことがあった。例えば吐出口の輪郭部が表面傷と重なる位置では、吐出口から吐出しようとする塗布液は表面傷側に引っ張られてしまい、着弾精度を低下させてしまう。また、塗布液の流量も変動することも報告されている。そこで、シート部材８２については、次のような態様で準備するのが望ましい。
【００３２】
図３はシート部材の準備工程の一例を示す模式図である。まず、シート部材８２０を準備する（シート準備工程）。シート部材８２０は市販のものを採用することができる。しかしながら、これらのシート部材８２０は樹脂材料の押出成型により製造されることが多く、成型性や巻取性などを考慮してジルコニアやシリコン等のフィラーが樹脂材料に分散されている。そのため、シート部材８２０の表面に欠損が存在することがある。また、シート部材８２０の表面に巻取傷や表面傷が存在することもある。
【００３３】
そこで、吐出孔を形成する（孔形成工程）前に、シート部材８２０の両主面のうち基板１と対向する対向面８２１から所定深さの表面領域（図３中の符号８２３）を研磨除去して該対向面８２１を平坦化している（対向面の研磨工程）。こうして、対向面８２１が平坦化されたシート部材８２０Ａが得られる。なお、この研磨処理としては、従来より周知の技術を用いることができる。例えば、研磨剤を含有したスラリー液を用いた化学的機械的研磨（ＣＭＰ）により対向面８２１を研磨して優れた平坦性を確保することができる。この研磨処理によって、対向面８２１の表層部８２３が除去されてシート準備工程時点にシート部材８２０の対向面８２１に存在していた欠損や傷は消失する。
【００３４】
この研磨工程に続いて、レーザ加工や機械可能によりシート部材８２０Ａに対して貫通孔を吐出孔８２２として形成し、３つの吐出孔８２２が直線状に並んだシート部材８２が得られる（孔形成工程）。このようにシート部材８２では、対向面８２１から傷や欠損を除去した状態で吐出孔８２２が形成され、対向面８２１に吐出口８２４が開口される。その結果、吐出口８２４は常に吐出孔８２２に対応した輪郭形状を有する。例えば、この実施形態では断面形状が円形の吐出孔８２２を形成しており、吐出口８２４も円形となっている。
【００３５】
このように、樹脂製のシート部材８２０の両主面のうち基板１と対向する対向面８２１をＣＭＰ法により研磨しているので、対向面８２１に存在していた欠損や傷が確実に除去される。そして、こうして対向面８２１が優れた平坦性に仕上げられた、シート部材８２０Ａに対して吐出孔８２２が形成される。したがって、吐出口８２４は常に吐出孔８２２に対応した輪郭形状を有し、所望塗布液吐出を行うことができる。つまり、シート部材８２０の対向面８２１に欠損や傷などが存在していたとしても、ノズル８を構成するシート部材８２の吐出口８２４から吐出される塗布液は傷などの影響を受けず、設計通りに仕上げられた吐出口８２４から基板１に向けて吐出される。その結果、ノズル８は各吐出孔８２２から塗布液を高精度で、かつ安定して吐出することができる。
【００３６】
図４はシート部材の準備工程の他の例を示す模式図である。このシート部材準備工程が上記シート部材準備工程と大きく相違する点は、シート部材８２０Ａの提供方法である。すなわち、図３のシート部材準備工程では市販の樹脂シート（シート部材８２０）に対して研磨工程を施してシート部材８２０Ａを形成しているのに対し、このシート部材準備工程ではいわゆるスピンコート法によりシート部材８２０Ａを形成している。このシート部材準備工程では、図４に示すようように、スピンテーブル１００を回転させながらスピンテーブル１００の上面に液体の樹脂材料、例えば熱硬化性のポリイミドを供給する。このスピンテーブル１００上に供給されたポリイミド樹脂は遠心力を受けて水平方向に広がり薄膜が形成される。そして、ポリイミド薄膜に対して熱を与えると、熱硬化してシート部材８２０Ａが形成される（シート部材形成工程）。このシート部材準備工程では、こうして形成されたシート部材８２０Ａをスピンテーブル１００から剥がした後、図３のシート部材準備工程と同様に、孔形成工程を実行してシート部材８２を得ている。
【００３７】
このようにスピンコート法によりシート部材８２０Ａを形成しているので、フィラーを樹脂材料に混入させる必要がない。また、シート部材形成工程に続いて孔形成工程を実行している。したがって、シート部材に欠損や傷などが発生することはなく、研磨工程が不要となり、製造工程を簡素化することができる。また、対向面８２１に欠損や傷が存在していないシート部材８２０Ａを用いてノズル８に組み込む完成品（シート部材８２）を製造しているため、上記と同様の作用効果、つまり吐出孔８２２から塗布液を高精度で、かつ安定して吐出することができる塗布ノズル８を製造することができる。さらに、スピンコート法を用いているため、シート部材８２０Ａの厚みを高精度に制御することができる。したがって、シート部材形成工程の段階でノズル８に組み込む完成品（シート部材８２）に対応した厚みでシート部材８２０Ａを形成することができる。
【００３８】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では、ノズルケース８３によりノズル本体８１およびシート部材８２を保持しているが、図５に示すようにノズル本体８１とシート部材８２とを接着して一体化してもよい。このように構成した第２実施形態では、ノズルケース８３は不要となる。以下、第２実施形態にかかる塗布ノズルの製造方法について図５を参照しつつ説明する。
【００３９】
図５は本発明にかかる塗布ノズルの第２実施形態を示す模式図であり、同図（ａ）は分解組立図であり、同図（ｂ）は塗布ノズルの断面図であり、同図（ｃ）は塗布ノズルの底面図である。また、図６は図５の塗布ノズルの製造方法を示す模式図である。この第２実施形態ではノズル８はノズル本体８１およびシート部材８２で構成されている。ノズル本体８１およびシート部材８２の構成は第１実施形態と同一であるため、ここでは、それらの構成説明は省略してノズル８の製造方法について説明する。
【００４０】
ノズル８の製造にあたっては、ノズル本体８１を準備する（ノズル本体準備工程）とともに、シート部材８２を形成する（シート部材形成工程）。このシート部材形成工程では、第１実施形態で説明した製造方法によりシート部材８２を形成してノズル本体８１の底面と同一形状を有するシート部材８２が得られる。
【００４１】
次に、吐出孔８２２と貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるように、ノズル本体８１とシート部材８２とを接着させる（接着工程）。この第２実施形態における接着工程では、表面処理と熱融着処理とがこの順序で実行される。すなわち、ノズル本体８１の両主面のうち塗布液の供給側（図５及び図６の上方側）と反対側の主面８１３を第１被接着面とし、シート部材８２の両主面のうち第１被接着面８１３に対向する主面８２５を第２被接着面とし、第１被接着面８１３と第２被接着面８２５に表面処理を施す。この「表面処理」は次に説明する熱融着を良好に行うための前処理であり、被接着面８１３、８２５に対する表面活性化処理がこれに含まれる。さらに具体的に説明すると、ノズル本体８１およびシート部材８２をともにポリイミド（ＰＩ）系樹脂で構成するとともに、表面活性化処理としてプラズマ処理を被接着面８１３、８２５に施して表面を活性状態にする。例えばプラズマ処理により（−Ｏ−基）、（＝ＣＯ基）、（−ＣＯＯＨ基）などを被接着面８１３、８２５に構成させることができる。
【００４２】
こうして表面処理が完了すると、吐出孔８２２と貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるようにノズル本体８１とシート部材８２を位置決めしながら、第１被接着面８１３と第２被接着面８２５とを直接当接させる。そして、ノズル本体８１とシート部材８２との当接部分を熱融着させる（熱融着処理）。これにより、ノズル本体８１とシート部材８２とが強固に接着される。なお、このように優れた接着強度が得られる理由はプラズマ処理により発生した（−Ｏ−基）等の活性基同士の結合によるものと考えられる。また、ノズル本体８１とシート部材８２の界面は接着工程により消失するものの、その接着部分は母材部分と異なる原子配列を有しており、組織が異なっていると考えられる。
【００４３】
上記のようにしてノズル本体８１とシート部材８２との接着が完了すると、第１実施形態と同様に、各貫通孔８１１に対してファイナルフィルタ８４、継手（フェルール）８５、継手（本体）８６をこの順序で挿入してノズル８を完成させる（図５（ｂ）および（ｃ）参照）。
【００４４】
以上のように、この第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、シート部材８２に設けられた複数の吐出孔８２２とノズル本体８１に設けられた複数の貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるとともに、各貫通孔８１１に塗布液を選択的に送給可能となっている。その結果、塗布ノズル８の大型化を抑えつつ３本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。
【００４５】
また、ノズル本体８１とシート部材８２を接着するためにプラズマ処理を利用しているため、次のような作用効果が得られる。上記のように吐出孔８２２と貫通孔８１１との対応関係を確立させるために、シート部材８２とノズル本体８１とを接着させる場合、その接着工程においてシート部材８２にシワが発生したり、接着されたシート部材８２がノズル本体８１から剥がれると、上記した問題（着弾精度の低下、塗布液の流量変動など）が発生することがある。これに対し、本実施形態では、ノズル本体８１とシート部材８２が同一樹脂材料で構成されている。そして、ノズル本体８１の第１被接着面８１３とシート部材８２の第２被接着面８２５に対してプラズマ処理を施した後、両者を直接当接させながらノズル本体８１とシート部材８２を熱融着させている。そのため、ノズル本体８１とシート部材８２を強固に接着することができ、シート部材８２がノズル本体８１から剥がれるのを効果的に防止することができる。しかも、両者は同一の樹脂材料で構成されており、熱収縮率は相互に一致またはほぼ一致する。したがって、熱融着によりシート部材８２をノズル本体８１に接着した際に、シート部材８２にシワが発生するのを抑制することができる。よって、優れた着弾精度で、しかも安定した流量で塗布液を基板に向けて吐出することができる塗布ノズル８を得ることができる。
【００４６】
＜第３実施形態＞
また、上記第２実施形態では既に吐出孔８２２が設けられたシート部材８２をノズル本体８１に接着しているが、図７に示すように、吐出孔８２２を接着工程の完了後に形成してもよい。以下、図７を参照しつつ第３実施形態について説明する。
【００４７】
図７は本発明にかかる塗布ノズルの第３実施形態を示す模式図である。この第３実施形態では、雌ネジ部８１２を有する３つの貫通孔８１１が形成されたノズル本体８１を準備する（ノズル本体準備工程）。また、本発明の「第２シート部材」に相当するシート部材８２０Ａを準備する。このシート部材８２０Ａは市販の樹脂シートを用いてもよいが、図３や図４に示す製造方法により形成されたシート部材を用いるのが望ましい。また、この実施形態では、ノズル本体８１およびシート部材８２をともにポリイミド（ＰＩ）系樹脂で構成している。
【００４８】
こうしてノズル本体８１およびシート部材８２０Ａの準備が完了すると、接着工程および孔形成工程を実行する。この第３実施形態における接着工程では、表面処理と熱融着処理とがこの順序で実行される。すなわち、ノズル本体８１の第１被接着面８１３に表面処理としてプラズマ処理を施す。また、シート部材８２０Ａの両主面のうち第１被接着面８１３に対向する主面８２５を第２被接着面とし、この第２被接着面８２５に表面処理としてプラズマ処理を施す。これによって、第２実施形態と同様に、（−Ｏ−基）、（＝ＣＯ基）、（−ＣＯＯＨ基）などの活性基が被接着面８１３、８２５に構成される。そして、表面処理が完了すると、第１被接着面８１３と第２被接着面８２５を直接当接させながら、ノズル本体８１とシート部材８２０Ａとの当接部分を熱融着させる（熱融着処理）。これにより、ノズル本体８１とシート部材８２０Ａとが強固に接着される。
【００４９】
次に、レーザ光Ｌを用いてシート部材８２０Ａに吐出孔８２２を形成する（孔形成工程）。この実施形態では、レーザ光Ｌを各貫通孔８１１を介してシート部材８２０Ａに照射して吐出孔８２２を形成しているため、貫通孔８１１に対する吐出孔８２２の位置決め精度を高め、吐出孔８２２と貫通孔８１１とを確実に連通させることができる。
【００５０】
上記のようにしてシート部材８２０Ａへの吐出孔８２２の形成が完了して本発明の「第１シート部材」に相当するシート部材８２が形成されると、第１実施形態と同様に、各貫通孔８１１に対してファイナルフィルタ８４、継手（フェルール）８５、継手（本体）８６をこの順序で挿入してノズル８を完成させる。
【００５１】
以上のように、第３実施形態においても、第１実施形態と同様にシート部材８２に設けられた複数の吐出孔８２２とノズル本体８１に設けられた複数の貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるとともに、各貫通孔８１１に塗布液を選択的に送給可能となっている。その結果、塗布ノズル８の大型化を抑えつつ３本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。
【００５２】
また、第３実施形態はプラズマ処理を利用して接着工程を実行しているため、第２実施形態と同様の作用効果が得られる。すなわち、シート部材８２にシワが発生したり、シート部材８２がノズル本体８１から剥がれるのを効果的に防止する。その結果、優れた着弾精度で、しかも安定した流量で塗布液を基板に向けて吐出することができる塗布ノズル８を得ることができる。
【００５３】
＜第４実施形態＞
上記第３実施形態ではプラズマ処理された第１被接着面８１３と第２被接着面８２５を直接当接させてノズル本体８１とシート部材８２０Ａとを相互に接着させているが、さらに接着剤を介在させて接着してもよい。以下、図８を参照しつつ第４実施形態について説明する。なお、同図では、ノズル本体準備工程およびシート部材準備工程の図示は省略されている。
【００５４】
図８は本発明にかかる塗布ノズルの第４実施形態を示す模式図である。この第４実施形態が第３実施形態と大きく相違する点は、接着剤を用いてノズル本体８１とシート部材８２０Ａとを接着している点である。すなわち、この実施形態では、ノズル本体８１およびシート部材８２０Ａの準備が完了すると、以下の接着工程が実行される。
【００５５】
この第４実施形態における接着工程では、第３実施形態と同様に、ノズル本体８１の第１被接着面８１３と、シート部材８２０Ａの第２被接着面８２５に表面処理としてプラズマ処理を施す。これによって、（−Ｏ−基）、（＝ＣＯ基）、（−ＣＯＯＨ基）などの活性基が被接着面８１３、８２５に構成される。そして、これに続いて、シート部材８２０Ａの被接着面８２５に接着剤８８を塗布した後、第１被接着面８１３と第２被接着面８２５を互いに対向配置しながら、ノズル本体８１とシート部材８２０Ａで接着剤８８を挟み込んだ状態で熱融着させる（熱融着処理）。これにより、ノズル本体８１とシート部材８２０Ａとが接着剤８８により強固に接着される。なお、この実施形態では、被接着面８２５に接着剤８８を塗布しているが、被接着面８１３に接着剤８８を塗布してもよい。あるいは、両被接着面８１３、８２５に接着剤８８を塗布してもよい。
【００５６】
ここで、注目すべきは、接着剤８８をノズル本体８１とシート部材８２０Ａの構成材料と一致させている点である。この実施形態では、ノズル本体８１をポリイミド系樹脂、例えばベスペル（デュポン社の登録商標）で構成する一方、シート部材８２をポリイミドフィルム（宇部興産株式会社製の商品名「ユービレックス」）で構成しているが、接着剤８８としてポリイミド（ＰＩ）系接着剤を用いている。このポリイミド（ＰＩ）系接着剤としては、宇部興産株式会社製の「Ｕ−ワニス（商品名）」や東レ株式会社製の「セミコファイン（商品名）」などを用いることができる。これらのポリイミド（ＰＩ）系接着剤はポリイミド全躯体溶液であり、シート部材８２０Ａの被接着面８２５にＰＩ接着剤８８としてスピン塗布（図４参照）やディップ塗布可能となっている。しかも、この実施形態では、ＰＩ接着剤８８の塗布前に、被接着面８２５に対してプラズマ処理を施しているため、ＰＩ接着剤８８の濡れ性を高めて被接着面全面に均一塗布される。そして、上記のようにノズル本体８１とシート部材８２０Ａで接着剤８８を挟み込んだ状態で熱融着処理を実行することで被接着面８１３、８２５を含めてイミド化反応が進行しながら熱硬化する。その結果、ノズル本体８１とシート部材８２０Ａとが強固に接着される。
【００５７】
しかも、ＰＩ接着剤８８はノズル本体８１とシート部材８２０Ａと同一樹脂材料であり、熱収縮率もほぼ一致している。そのため、次のような作用効果が得られる。ここで、比較例を例示して該作用効果について説明する。その比較例として、ノズル本体８１とシート部材８２０Ａを宇部興産株式会社製の商品名「ユービレックス」で構成する一方、これと異なる樹脂材料で構成された接着剤、例えばテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）で構成された接着剤を用いてノズル本体８１とシート部材８２０Ａを接着した。こうして製造されたノズルを観察したところ、シート部材８２０Ａにシワが発生するのが確認された。また、ノズル本体８１をベスペル（デュポン社の登録商標）で構成するとともにシート部材８２０Ａを東レ・デュポン株式会社製の商品名「カプトン」で構成する一方、これらと異なる樹脂材料ＰＦＡで構成された接着剤を用いてノズル本体８１とシート部材８２０Ａを接着すると、シート部材８２０Ａが反ってノズル本体８１から剥がれるのが確認された。これに対し、ノズル本体８１と、接着剤８８と、シート部材８２０Ａを同一樹脂材料で構成した場合には、これらの不具合（シワ発生や剥がれなど）は発生せず、良好に接着された。この種たる理由は同一樹脂材料で構成したことにより熱収縮率が同一あるいはほぼ同一となっているためと考えられる。
【００５８】
接着工程が完了すると、第３実施形態と同様に、レーザ光Ｌを用いてシート部材８２０Ａに吐出孔８２２を形成する（孔形成工程）。これによって、シート部材８２０Ａへの吐出孔８２２の形成が完了して本発明の「第１シート部材」に相当するシート部材８２が形成される。また、これに続いて、各貫通孔８１１に対してファイナルフィルタ８４、継手（フェルール）８５、継手（本体）８６をこの順序で挿入してノズル８を完成させる。
【００５９】
以上のように、この第４実施形態においても、第１実施形態と同様にシート部材８２に設けられた複数の吐出孔８２２とノズル本体８１に設けられた複数の貫通孔８１１とが１対１の対応関係で且つ相互に連通されるとともに、各貫通孔８１１に塗布液を選択的に送給可能となっている。その結果、塗布ノズル８の大型化を抑えつつ３本の塗布液を互いに独立して基板表面に向けて吐出することができる。
【００６０】
また、ノズル本体８１、接着剤８８およびシート部材８２をともに同一樹脂材料で構成しているので、シート部材８２へのシワ発生やシート部材８２の剥がれなどを発生させることなく、シート部材８２をノズル本体８１に強固に接着することができる。その結果、優れた着弾精度で、しかも安定した流量で塗布液を基板に向けて吐出することができる塗布ノズル８を得ることができる。
【００６１】
さらに、上記第４実施形態では、ノズル本体８１、接着剤８８およびシート部材８２をともにポリイミド（ＰＩ）系樹脂材料で構成しているので、次の作用効果も有している。図８の最下段に示すように、孔形成工程を実行することにより接着剤層およびシート部材層を上下に貫通して吐出孔８２２が形成される。このため、吐出孔８２２の内壁面において接着剤８８が露出し、塗布液がその露出面と接触する。上記した比較例（接着剤８８としてＰＦＡを用いた例）では、ＰＦＡ製の接着剤８８を用いているため、吐出孔８２２においてＰＦＡ露出面が存在することとなる。ＰＦＡは従来より周知のように水との接触角は約１００゜であり、塗布液の吐出流れを低減させる方向に作用している。これに対し、本実施形態ではポリイミド（ＰＩ）系樹脂材料の接着剤を用いている。このＰＩの水との接触角は約７０゜であり、ＰＦＡよりも小さな値を有している。このため、ポリイミド（ＰＩ）系樹脂材料の接着剤８８を用いた実施形態によれば、比較例に比べて塗布液を吐出流れを良好なものとすることができる。
【００６２】
なお、接着剤８８の種類としては、上記第４実施形態に限定されるものではなく、ノズル本体８１およびシート部材８２（８２０Ａ）と同一樹脂材料のものを採用することができる。例えば、上記のようにノズル本体８１およびシート部材８２をポリイミド（ＰＩ）系樹脂材料（上記したベスペル（デュポン社の登録商標）、商品名「カプトン」、商品名「ユービレックス」など）で構成した場合には、接着剤８８を上記した商品名「Ｕ−ワニス」や商品名「セミコファイン」以外にポリイミドを主成分とする感光材料、例えば東レ株式会社製の高耐熱性ポリイミドコーティング剤「フォトニース（商品名）」を用いることができる。
【００６３】
＜その他＞
ところで、上記第４実施形態では、接着剤８８を使用しているため、例えば図９（ａ）に示すように、接着剤８８の一部が貫通孔８１１内に残余することがある。この場合、吐出孔８２２を形成する前にレーザ光Ｌを貫通孔８１１内を走査させて残余物８８１をアブレーション（蒸散）して除去することができる。そして、アブレーション後に孔形成工程を実行してもよい（同図（ｂ））。もちろん、孔形成工程後にアブレーション処理を実行してもよい。このように、貫通孔８１１に残余した接着剤８８１を取り除くことにより貫通孔８１１および吐出孔８２２を介して塗布液を円滑に吐出することができ、塗布液の流量安定化を図ることができる。
【００６４】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記第実施形態では、直方体形状に仕上げられた樹脂材料製のノズル本体８１を用いているが、例えば図１０に示すように複数枚（同図では３枚）の樹脂製薄板部材８１４を貼り合わさせてノズル本体８１を構成してもよい（ノズル本体準備工程）。この場合、樹脂製薄板部材８１４としては、例えば東レ・デュポン株式会社製の商品名「カプトン」で構成することができる。そして、薄板部材８１４を積層させた際に互いに対向する薄板部材８１４の主面８１５にプラズマ処理を施した後、薄板部材８１４を積層し、さらに熱融着処理により３枚の薄板部材８１４を相互に接着してノズル本体８１を形成することができる。そして、該ノズル本体８１に対して機械加工処理を施して貫通孔８１１および雌ネジ部８１２が設けられる。
【００６５】
また、上記実施形態では、表面処理の表面活性化処理としてプラズマ処理を実行しているが、コロナ処理を実行してもよい。また、第４実施形態ではプラズマ処理を実行して接着剤８８の濡れ性を高めているが、濡れ性を高める観点からすれば、表面処理として上記したコロナ処理以外に、サンドブラストやプライマー処理などを実行してもよい。
【００６６】
また、上記実施形態では、１枚のシート部材に対して吐出孔を３個設けた多孔ノズルについて説明したが、１枚のシート部材に対する吐出孔の形成個数および配列はこれに限定されるものではなく、複数の吐出孔８２２を任意の配列で設けることができる。
【００６７】
また、上記第３および第４実施形態では、レーザ加工により吐出孔８２２を形成しているが、機械加工により吐出孔を形成してもよいことは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
この発明は、有機ＥＬ表示器、液晶表示器およびプラズマディスプレイなどのＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられる基板、ならびに半導体基板などの各種基板に対して吐出孔から塗布液を吐出する塗布ノズル全般に対して適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】この発明にかかる製造方法の一実施形態により製造された塗布ノズルを装備する基板処理装置を示す図である。
【図２】図１の基板処理装置に組み込まれた塗布ノズルを示す図である。
【図３】シート部材の準備工程の一例を示す模式図である。
【図４】シート部材の準備工程の他の例を示す模式図である。
【図５】本発明にかかる塗布ノズルの第２実施形態を示す模式図である。
【図６】図５の塗布ノズルの製造方法を示す模式図である。
【図７】本発明にかかる塗布ノズルの第３実施形態を示す模式図である。
【図８】本発明にかかる塗布ノズルの第４実施形態を示す模式図である。
【図９】本発明にかかる塗布ノズルの他の実施形態を示す模式図である。
【図１０】本発明にかかる塗布ノズルの別の実施形態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００７０】
１…基板
８…塗布ノズル
８１…ノズル本体
８２…第１シート部材
８８…接着剤
８１１…貫通孔
８１３…第１被接着面
８１４…薄板部材
８１５…（薄板部材の）主面
８２０Ａ…第２シート部材
８２２…吐出孔
８２４…吐出口
８２５…第２被接着面
【図１】
2008006334.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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