(57)【要約】【課題】塗布対象物上の液滴を短時間で検査することができ、さらに、液滴の着弾異常に起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる液滴噴射装置を提供する。【解決手段】液滴噴射装置において、液滴を噴射するための複数のノズル７ａ及びそれらのノズル７ａにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、それらの圧電素子に印加する駆動電圧の設定値に基づく各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、塗布対象物に複数のノズル７ａから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッド７と、塗布対象物に対して相対移動し、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部１９と、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の主滴に付随する付随滴の発生を検出し、検出した付随滴の発生を回避するように駆動電圧の設定値を修正する手段とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するための複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、前記複数の圧電素子に印加する駆動電圧の設定値に基づく前記複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、塗布対象物に前記複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、
前記塗布対象物に対して相対移動し、前記塗布対象物上の前記液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部と、
撮像した前記複数の検査領域の画像に基づいて、前記液滴の主滴に付随する付随滴の発生を検出し、検出した前記付随滴の発生を回避するように前記駆動電圧の設定値を修正する手段と、
を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
液滴を噴射するための複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、前記複数の圧電素子に印加する駆動電圧の印加タイミングの設定値に基づく前記複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、塗布対象物に前記複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、
前記塗布対象物に対して相対移動し、前記塗布対象物上の前記液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部と、
撮像した前記複数の検査領域の画像に基づいて、前記液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した前記液滴の着弾位置ずれを回避するように前記駆動電圧の印加タイミングの設定値を修正する手段と、
を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項３】
液滴を噴射するための複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、塗布対象物に対して噴射を行う噴射位置の設定値に基づく噴射位置から、前記複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、前記塗布対象物に前記複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、
前記塗布対象物に対して相対移動し、前記塗布対象物上の前記液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部と、
撮像した前記複数の検査領域の画像に基づいて、前記液滴の着弾異常を検出し、検出した前記液滴の着弾異常を回避するように前記噴射位置の設定値を修正する手段と、
を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項４】
液滴を噴射するための複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、前記複数の圧電素子に印加する駆動電圧の設定値に基づく前記複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、前記複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドにより、塗布対象物に前記液滴を塗布するステップと、
前記塗布対象物に対して相対移動する撮像部により、前記塗布対象物上の前記液滴を含む複数の検査領域を順次撮像するステップと、
撮像した前記複数の検査領域の画像に基づいて、前記液滴の主滴に付随する付随滴の発生を検出し、検出した前記付随滴の発生を回避するように前記駆動電圧の設定値を修正するステップと、
修正した前記駆動電圧の設定値に基づいて、前記液滴噴射ヘッドにより塗布体を製造するステップと、
を有することを特徴とする塗布体の製造方法。
【請求項５】
液滴を噴射するための複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、前記複数の圧電素子に印加する駆動電圧の印加タイミングの設定値に基づく前記複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、前記複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドにより、塗布対象物に前記液滴を塗布するステップと、
前記塗布対象物に対して相対移動する撮像部により、前記塗布対象物上の前記液滴を含む複数の検査領域を順次撮像するステップと、
撮像した前記複数の検査領域の画像に基づいて、前記液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した前記液滴の着弾位置ずれを回避するように前記駆動電圧の印加タイミングの設定値を修正するステップと、
修正した前記駆動電圧の印加タイミングの設定値に基づいて、前記液滴噴射ヘッドにより塗布体を製造するステップと、
を有することを特徴とする塗布体の製造方法。
【請求項６】
液滴を噴射するための複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、塗布対象物に対して噴射を行う噴射位置の設定値に基づく噴射位置から、前記複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、前記複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドにより、前記塗布対象物に前記液滴を塗布するステップと、
前記塗布対象物に対して相対移動する撮像部により、前記塗布対象物上の前記液滴を含む複数の検査領域を順次撮像するステップと、
撮像した前記複数の検査領域の画像に基づいて、前記液滴の着弾異常を検出し、検出した前記液滴の着弾異常を回避するように前記噴射位置の設定値を修正するステップと、
修正した前記噴射位置の設定値に基づいて、前記液滴噴射ヘッドにより塗布体を製造するステップと、
を有することを特徴とする塗布体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物に複数の液滴を噴射して塗布する液滴噴射装置及び塗布体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴噴射装置は、通常、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置、プラズマ表示装置及び電気泳動表示装置等の様々な表示装置を製造するために用いられている。この液滴噴射装置は、塗布対象物に向けて複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドを備えており、その液滴噴射ヘッドにより塗布対象物に複数の液滴を着弾させ、所定パターンのドット列を形成し、様々な塗布体を製造する。
【０００３】
このような液滴噴射装置では、塗布対象物上の液滴の着弾位置が所望の着弾位置からずれるような着弾異常（着弾位置ずれ）が発生することがある。また、液滴噴射装置では、液滴の主滴に付随する付随滴、すなわち主滴よりも小さくて速度が遅い微少なサテライトが噴射され、所定のパターン形状以外の領域に着弾するような着弾異常（付随滴の発生）が発生することがある。これらの着弾異常は、塗布体の製造不良の要因となっている。なお、サテライトの発生を検出する技術としては、液滴噴射ヘッドに印加する印加電圧を順次変化させ、それに応じて複数のノズル毎に飛翔中の液滴を順次撮像し、サテライトの発生を検出する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−２０５３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述の技術では、複数のノズル毎に液滴を順次噴射して、飛翔中の液滴を順次撮像するため、検査時間が長くなってしまう。また、前述の技術では、飛翔中の液滴を撮像するため、塗布対象物上の液滴の着弾位置を求めることは困難である。このため、液滴の着弾位置の補正を行うことが難しく、塗布体の製造不良が発生してしまう。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、塗布対象物上の液滴を短時間で検査することができ、さらに、液滴の着弾異常に起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる液滴噴射装置及び塗布体の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴噴射装置において、液滴を噴射するための複数のノズル及び複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、複数の圧電素子に印加する駆動電圧の設定値に基づく複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、塗布対象物に複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、塗布対象物に対して相対移動し、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部と、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の主滴に付随する付随滴の発生を検出し、検出した付随滴の発生を回避するように駆動電圧の設定値を修正する手段とを備えることである。
【０００７】
本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、液滴噴射装置において、液滴を噴射するための複数のノズル及び複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、複数の圧電素子に印加する駆動電圧の印加タイミングの設定値に基づく複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、塗布対象物に複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、塗布対象物に対して相対移動し、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部と、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した液滴の着弾位置ずれを回避するように駆動電圧の印加タイミングの設定値を修正する手段とを備えることである。
【０００８】
本発明の実施の形態に係る第３の特徴は、液滴噴射装置において、液滴を噴射するための複数のノズル及び複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、塗布対象物に対して噴射を行う噴射位置の設定値に基づく噴射位置から、複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、塗布対象物に複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドと、塗布対象物に対して相対移動し、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する撮像部と、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の着弾異常を検出し、検出した液滴の着弾異常を回避するように噴射位置の設定値を修正する手段とを備えることである。
【０００９】
本発明の実施の形態に係る第４の特徴は、塗布体の製造方法において、液滴を噴射するための複数のノズル及び複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、複数の圧電素子に印加する駆動電圧の設定値に基づく複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドにより、塗布対象物に液滴を塗布するステップと、塗布対象物に対して相対移動する撮像部により、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像するステップと、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の主滴に付随する付随滴の発生を検出し、検出した付随滴の発生を回避するように駆動電圧の設定値を修正するステップと、修正した駆動電圧の設定値に基づいて、液滴噴射ヘッドにより塗布体を製造するステップとを有することである。
【００１０】
本発明の実施の形態に係る第５の特徴は、塗布体の製造方法において、液滴を噴射するための複数のノズル及び複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、複数の圧電素子に印加する駆動電圧の印加タイミングの設定値に基づく複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドにより、塗布対象物に液滴を塗布するステップと、塗布対象物に対して相対移動する撮像部により、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像するステップと、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した液滴の着弾位置ずれを回避するように駆動電圧の印加タイミングの設定値を修正するステップと、修正した駆動電圧の印加タイミングの設定値に基づいて、液滴噴射ヘッドにより塗布体を製造するステップとを有することである。
【００１１】
本発明の実施の形態に係る第６の特徴は、塗布体の製造方法において、液滴を噴射するための複数のノズル及び複数のノズルにそれぞれ対応する複数の圧電素子を有し、塗布対象物に対して噴射を行う噴射位置の設定値に基づく噴射位置から、複数の圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、複数のノズルから液滴をそれぞれ噴射する液滴噴射ヘッドにより、塗布対象物に液滴を塗布するステップと、塗布対象物に対して相対移動する撮像部により、塗布対象物上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像するステップと、撮像した複数の検査領域の画像に基づいて、液滴の着弾異常を検出し、検出した液滴の着弾異常を回避するように噴射位置の設定値を修正するステップと、修正した噴射位置の設定値に基づいて、液滴噴射ヘッドにより塗布体を製造するステップとを有することである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、塗布対象物上の液滴を短時間で検査することができ、さらに、液滴の着弾異常に起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１に示すように、本発明の実施の形態に係る液滴噴射装置１は、液体であるインクを液滴として塗布対象物の基板２に塗布するためのインク塗布ボックス３と、インク塗布ボックス３にインクを供給するインク供給ボックス４とを備えている。これらのインク塗布ボックス３及びインク供給ボックス４は、互いに隣接させて架台５の上面に設けられている。
【００１５】
インク塗布ボックス３の内部には、基板２を保持してＹ軸方向に移動させる基板移動機構６と、液滴を噴射する液滴噴射ヘッド７をそれぞれ有する複数のインクジェットヘッドユニット８と、それらのインクジェットヘッドユニット８を一体にＸ軸方向に移動させるユニット移動機構９と、各液滴噴射ヘッド７を清掃するヘッドメンテナンスユニット１０と、インクを収容する複数のインクバッファタンク１１とが設けられている。
【００１６】
基板移動機構６は、Ｙ軸方向ガイド板１２、Ｙ軸方向移動テーブル１３及び基板保持テーブル１４により構成されている。これらのＹ軸方向ガイド板１２、Ｙ軸方向移動テーブル１３及び基板保持テーブル１４は平板状に形成されており、積層されて設けられている。
【００１７】
Ｙ軸方向ガイド板１２は、架台５の上面に固定されて設けられている。このＹ軸方向ガイド板１２の上面には、複数のガイド溝１２ａがＹ軸方向に沿って設けられている。これらのガイド溝１２ａが、Ｙ軸方向にＹ軸方向移動テーブル１３を案内する。
【００１８】
Ｙ軸方向移動テーブル１３は、各ガイド溝１２ａにそれぞれ係合する複数の突起部（図示せず）を下面に有しており、Ｙ軸方向ガイド板１２の上面にＹ軸方向に移動可能に設けられている。このようなＹ軸方向移動テーブル１３は、送りネジや駆動モータ等を用いた送り機構（図示せず）により各ガイド溝１２ａに沿ってＹ軸方向に移動する。
【００１９】
基板保持テーブル１４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３の上面に固定されて設けられている。この基板保持テーブル１４は、基板２を吸着する吸着機構（図示せず）を備えており、その吸着機構により上面に基板２を固定して保持する。なお、吸着機構としては、例えばエアー吸着機構等を用いる。
【００２０】
ユニット移動機構９は、架台５の上面に立設された一対の支柱１５と、それらの支柱１５の上端部間に連結されてＸ軸方向に延出するＸ軸方向ガイド板１６と、そのＸ軸方向ガイド板１６にＸ軸方向に移動可能に設けられ各インクジェットヘッドユニット８を支持するベース板１７とを具備している。
【００２１】
一対の支柱１５は、Ｘ軸方向においてＹ軸方向ガイド板１２を挟むように設けられている。また、Ｘ軸方向ガイド板１６の前面には、ガイド溝１６ａがＸ軸方向に沿って設けられている。このガイド溝１６ａが、Ｘ軸方向にベース板１７を案内する。ベース板１７は、ガイド溝１６ａに係合する突起部（図示せず）を背面に有しており、Ｘ軸方向ガイド板１６にＸ軸方向に移動可能に設けられている。このベース板１７は、送りネジ等を用いた送り機構（図示せず）によりガイド溝１６ａに沿ってＸ軸方向に移動する。このようなベース板１７の前面には、３つのインクジェットヘッドユニット８が取付けられている。
【００２２】
各インクジェットヘッドユニット８は、図２に示すように、複数の液滴を噴射する液滴噴射ヘッド７と、ベース板１７に設けられ液滴噴射ヘッド７を移動可能に支持する支持機構１８と、基板２上の液滴を含む検査領域を撮像する撮像部１９とをそれぞれ備えている。
【００２３】
液滴噴射ヘッド７は、液滴を噴射するための複数のノズル７ａを有するノズルプレート７ｂ及び各ノズル７ａにそれぞれ対応させて設けられた複数の圧電素子（図示せず）等を具備している。各ノズル７ａは、ノズルプレート７ｂに所定のピッチで一直線上に設けられている。例えば、ノズル７ａの数は６４、１２８及び２５６等の数十個から数百個程度であり、ノズル７ａの直径は数μｍから数十μｍ程度であり、ノズル７ａのピッチ（間隔）は数十μｍから数百μｍ程度である。このような液滴噴射ヘッド７は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて、各ノズル７ａから液滴（インク滴）を基板２に向けて噴射し、基板２の表面に所定のドットパターンを形成する。なお、圧電素子に印加する駆動電圧を調整することにより、液滴の主滴に付随する付随滴（サテライト）の発生を抑えることが可能である。
【００２４】
支持機構１８は、ベース板１７に固定して設けられている。この支持機構１８は、基板２の着弾面に対して垂直方向、すなわちＺ軸方向に液滴噴射ヘッド７を移動させるＺ軸方向移動機構１８ａと、液滴噴射ヘッド７をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構１８ｂと、液滴噴射ヘッド７をθ方向に回転させるθ方向回転機構１８ｃとを具備している。これにより、液滴噴射ヘッド７は、Ｚ軸方向及びＹ軸方向に移動可能であり、θ軸方向に回転可能である。ここで、Ｚ軸方向は、液滴噴射ヘッド７が基板２に対して接離する方向であり、Ｙ軸方向は、基板２の移動方向であり、θ方向は、基板２の着弾面に平行な平行面内での液滴噴射ヘッド７の回転方向である。
【００２５】
撮像部１９は、図３に示すように、光を出射する光源１９ａと、その光源１９ａからの
光を用いて液滴を含む検査領域を撮像するための撮像ヘッド１９ｂとを備えている。これらの光源１９ａ及び撮像ヘッド１９ｂは、光を導く光ファイバ１９ｃにより接続されている。
【００２６】
光源１９ａは、架台５の内部に設けられている。この光源１９ａから出射された光は、光ファイバ１９ｃにより撮像ヘッド１９ｂに案内されて供給される。なお、光源１９ａとしては、例えば、メタルハライドランプやナトリウムランプ等を用いる。
【００２７】
撮像ヘッド１９ｂは、光源１９ａから光ファイバ１９ｃを介して入射した光を撮像対象に導いて撮像を行うための撮像光学系２０と、入射した光を電気信号に変換する光電変換部２１とを内蔵している。この撮像ヘッド１９ｂは、支持機構１８により支持されており（図２参照）、液滴噴射ヘッド７と共にＸ軸方向に移動し、基板２上の液滴を含む各検査領域を撮像する。ここで、検査領域は、例えば、数百μｍ×数百μｍ程度（例えば、５００μｍ×５００μｍ程度）の撮像領域である。
【００２８】
撮像光学系２０は、光源１９ａから光ファイバ１９ｃを介して入射した光を撮像対象に向けて反射するビームスプリッタ２０ａと、反射した光を集光して撮像対象に照射する対物レンズ２０ｂと、撮像対象からの反射光を光電変換部２１に結像する結像レンズ２０ｃとを具備している。なお、ビームスプリッタ２０ａとしては、例えば、ハーフミラー等を用いる。
【００２９】
光電変換部２１は、格子状に配設された複数の受光素子（図示せず）を有しており、入射した光を電気信号に変換する。この光電変換部２１は、電子シャッター機能を有している。なお、光電変換部２１としては、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ等を用いる。
【００３０】
このような撮像部１９は、光源１９ａから光を出射し、その光を用いて撮像対象となる基板２上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する。光源１９ａから出射された光は、光ファイバ１９ｃを通過し、ビームスプリッタ２０ａにより反射され、対物レンズ２０ｂにより集光されて撮像対象に照射される。次いで、撮像対象からの反射光は、ビームスプリッタ２０ａを透過し、結像レンズ２０ｃにより光電変換部２１に結像され、その光電変換部２１により電気信号に変換される。このようにして、基板２上の液滴を含む検査領域が撮像される。
【００３１】
図１に示すように、ヘッドメンテナンスユニット１０は、各インクジェットヘッドユニット８の移動方向の延長線上であってＹ軸方向ガイド板１２から離反させ、架台５の上面に設けられている。このヘッドメンテナンスユニット１０は、各インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７を清掃する。なお、ヘッドメンテナンスユニット１０は、各インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７がヘッドメンテナンスユニット１０に対向する待機位置に停止した状態で、各液滴噴射ヘッド７を自動的に清掃する。
【００３２】
インクバッファタンク１１は、架台５の上面に設けられており、その内部に貯留したインクの液面と液滴噴射ヘッド７のノズル面との水頭差（水頭圧）を利用し、ノズル先端のインクの液面（メニスカス）を調整する。これにより、インクの漏れ出しや吐出不良が防止されている。
【００３３】
インク供給ボックス４の内部には、インクをそれぞれ収容する複数のインクタンク２２が着脱可能に設けられている。これらのインクタンク２２は、供給パイプ２３によりインクバッファタンク１１を介してそれぞれ液滴噴射ヘッド７に接続されている。すなわち、液滴噴射ヘッド７は、インクタンク２２からインクバッファタンク１１を介してインクの供給を受ける。ここで、インクとしては、水性インク、油性インク及び紫外線硬化インク等の各種のインクを用いる。例えば、油性インクは、顔料、溶剤（インク溶剤）、分散剤、添加剤及び界面活性剤等の各種の成分により構成されている。
【００３４】
架台５の内部には、液滴噴射装置１の各部を制御するための制御装置２４が設けられている。この制御装置２４は、各部を集中的に制御するＣＰＵ等の制御部と、液滴を噴射するための液滴噴射条件及び各種のプログラム等を記憶する記憶部と、操作者により操作される操作部と（いずれも図示せず）を備えている。制御装置２４は、液滴噴射条件及び各種のプログラムに基づいて、Ｙ軸方向移動テーブル１３の移動制御、ベース板１７の移動制御、Ｚ軸方向移動機構１８ａの駆動制御、Ｙ軸方向移動機構１８ｂの駆動制御及びθ方向回転機構１８ｃの駆動制御等を行い、さらに、各インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７の駆動制御も行う。
【００３５】
ここで、液滴噴射条件は、各液滴噴射ヘッド７の液滴噴射動作に関する条件である。この液滴噴射条件は、各液滴噴射ヘッド７毎の圧電素子の駆動電圧の設定値、各液滴噴射ヘッド７の圧電素子毎の印加タイミング（ノズル７ａ毎の噴射タイミング）の設定値及び各液滴噴射ヘッド７の噴射位置（Ｚ軸方向の停止位置、Ｙ軸方向の停止位置及びθ方向の停止位置）の設定値等により構成されている。なお、θ方向の停止位置は、基板２に対する液滴噴射ヘッド７の基準位置から何度回動しているかを示す停止角度で設定されている。
【００３６】
このような制御装置２４は、図４に示すように、各インクジェットヘッドユニット８の撮像部１９の駆動制御も行う。この制御装置２４には、液滴噴射ヘッド７及び撮像部１９、すなわちベース板１７を移動させるための駆動源となるＸ軸方向モータ２５が位置検出部２６を介して電気的に接続されている。
【００３７】
Ｘ軸方向モータ２５は、Ｘ軸方向にベース板１７を移動させるための駆動源である。このＸ軸方向モータ２５としては、例えば、ステッピングモータ等を用いる。なお、撮像部１９が撮像動作を行う場合のベース板１７の移動速度は、例えば、１０ｍｍ／ｓ程度である。
【００３８】
位置検出部２６は、撮像部１９の現在位置を順次検出し、その位置情報を制御装置２４に入力する検出部である。この位置検出部２６としては、例えば、エンコーダ等を用いる。このエンコーダは、例えば、Ｘ軸方向モータ２５が１回転する毎にパルス信号（位置信号）を出力するロータリエンコーダである。したがって、撮像部１９の現在位置は、位置検出部２６のパルス信号に基づいて検出される。
【００３９】
また、制御装置２４には、撮像部１９に撮像タイミング及び露光時間を指示する撮像指示部２４ａと、撮像部１９により撮像された各検査領域の画像を格納する格納部２４ｂと、格納部２４ｂに格納された各検査領域の画像に基づいて液滴噴射条件を補正する補正部２４ｃとが内蔵されている。
【００４０】
撮像指示部２４ａは、撮像タイミング及び露光時間を指示する撮像指示信号を生成し、位置検出部２６から入力された位置情報に応じて、その撮像指示信号を撮像部１９に供給する信号供給部である。撮像タイミングは、撮像ヘッド１９ｂの搬送速度に応じて設定され、露光時間（シャッタースピード等）は、所望する撮像に必要な露光量に基づき、撮像ヘッド１９ｂの搬送速度に応じて設定される。なお、撮像部１９は、その撮像指示信号に基づいて、基板２上の液滴を含む複数の検査領域を順次撮像する。
【００４１】
格納部２４ｂは、撮像部１９により撮像された各検査領域の画像を順次保存する保存部である。これらの検査領域の画像は、補正部２４ｃにより取り出されて用いられる。この格納部２４ｂとしては、例えば、ハードディスクやフラッシュメモリ等を用いる。
【００４２】
補正部２４ｃは、格納部２４ｂに格納された各検査領域の画像を画像処理し、液滴の着弾異常を検出し、検出した液滴の着弾異常、例えば付随滴の発生や着弾位置ずれを回避する補正を行う。すなわち、補正部２４ｃは、画像処理後の各検査領域の画像に基づいて、液滴より小さくその主滴に付随する付随滴（サテライト）の発生を検出し、検出した付随滴の発生を回避するように液滴噴射条件を修正する。例えば、補正部２４ｃは、付随滴の発生を検出した場合、液滴噴射ヘッド７の各圧電素子に印加する駆動電圧の設定値を修正する。あるいは、補正部２４ｃは、液滴噴射ヘッド７の噴射位置の設定値、すなわち液滴噴射ヘッド７のＺ軸方向の停止位置の設定値を修正する。
【００４３】
また、補正部２４ｃは、画像処理後の各検査領域の画像に基づいて、液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した着弾位置ずれを回避するように液滴噴射条件を修正する。例えば、補正部２４ｃは、検出した各液滴の着弾位置が個別に所望の着弾位置よりＹ軸方向にシフトしていた場合、液滴噴射ヘッド７の圧電素子毎の印加タイミングの設定値を修正する。また、補正部２４ｃは、検出した液滴の着弾ピッチが所望の着弾ピッチと異なっていた場合、液滴の着弾ピッチが変化するように液滴噴射ヘッド７の噴射位置の設定値、すなわち液滴噴射ヘッド７のθ方向の停止位置の設定値を修正する。加えて、補正部２４ｃは、検出した各液滴の着弾位置が全体的に所望の着弾位置よりＹ軸方向にシフトしていた場合、液滴噴射ヘッド７の噴射位置の設定値、すなわち液滴噴射ヘッド７のＹ軸方向の停止位置の設定値を修正する。
【００４４】
次に、このような液滴噴射装置１が行う液滴塗布動作について説明する。この液滴塗布動作は、液滴検査動作を含んでいる。なお、液滴検査動作は、液滴噴射装置１の立上げ時に行われたり、あるいは、定期的に例えば８時間毎に行われたりする。
【００４５】
図５に示すように、制御装置２４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３、ベース板１７及び各インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７を駆動制御し、基板保持テーブル１４上の基板２に対して検査用に複数の液滴を噴射する（ステップＳ１）。このとき、基板保持テーブル１４には、検査用の基板２が載置されている。
【００４６】
詳述すると、制御装置２４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３及びベース板１７を駆動制御し、各インクジェットヘッドユニット８を待機位置から基板２に対向する位置まで移動させ、加えて、液滴噴射条件に基づいて支持機構１８を駆動制御し、図６に示すように、各液滴噴射ヘッド７をθ方向に回転させて所定角度で停止させる。この角度により液滴の着弾ピッチが決定される。次いで、制御装置２４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３を駆動制御し、加えて、液滴噴射条件に基づいて各液滴噴射ヘッド７を駆動制御し、それらの液滴噴射ヘッド７により基板２に向けて複数の液滴を噴射する。このとき、各液滴噴射ヘッド７は、Ｙ軸方向に移動する基板２に各液滴を着弾させ、ドット列を順次、図６に示すように、例えば３列だけそれぞれ形成する。
【００４７】
次いで、制御装置２４は、ベース板１７及び各撮像部１９を駆動制御し、各撮像部１９をＸ軸方向に移動させながら、基板２上の液滴を含む複数の検査領域Ｒ（図６参照）を順次撮像する（ステップＳ２）。
【００４８】
詳述すると、制御装置２４は、ベース板１７を駆動制御し、各撮像部１９をＸ軸方向、すなわち各液滴が並ぶ直線上を移動させながら、撮像指示部２４ａによる撮像指示信号によって各撮像部１９を駆動制御し、基板２上の液滴を含む各検査領域Ｒを順次撮像し、その後、撮像した各検査領域Ｒの画像を格納部２４ｂに順次保存する。
【００４９】
その後、制御装置２４は、補正部２４ｃにより、撮像した各検査領域Ｒの画像に基づいて、液滴噴射条件に対して液滴の着弾異常を回避する補正を行う（ステップＳ３）。ここで、着弾異常としては、付随滴の発生や液滴の着弾位置ずれ（例えば、液滴の着弾ピッチずれ、及び各液滴の個別又は全体的な着弾位置ずれ）等が挙げられる。
【００５０】
詳述すると、制御装置２４は、補正部２４ｃにより、格納部２４ｂに格納された各検査領域Ｒの画像を画像処理し、液滴の主滴に付随する付随滴の有無を検出し、付随滴が有ると検出した場合、液滴噴射条件に対して付随滴の発生を回避する補正を行う。ここで、補正部２４ｃは、３列のドット列毎に同じノズル７ａに関する付随滴の有無を検出する。これにより、付随滴の発生を確実に検出することが可能になるので、検査精度を向上させることができる。例えば、補正部２４ｃは、付随滴が有ると検出した場合、液滴噴射ヘッド７の各圧電素子に印加する駆動電圧の設定値を修正し、あるいは、液滴噴射ヘッド７のＺ軸方向の停止位置の設定値を修正する。
【００５１】
なお、補正部２４ｃは、各検査領域Ｒの画像を２値化処理し、各液滴（主滴）を示す黒領域の間に、付随滴を示す黒点が有るか否かを判断する。黒点が有ると判断した場合には、付随滴が有ると検出し、黒点が無いと判断した場合には、付随滴が無いと検出する。あるいは、補正部２４ｃは、各検査領域Ｒの画像を２値化処理し、各液滴（主滴又は付随滴）の面積を算出し、それらの面積が所定値より小さいか否かを判断する。算出した面積が所定値より小さいと判断した場合、付随滴が有ると検出し、算出した面積が所定値より大きいと判断した場合、付随滴が無いと検出する。
【００５２】
また、制御装置２４は、補正部２４ｃにより、格納部２４ｂに格納された各検査領域Ｒの画像を画像処理し、液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した液滴の着弾位置ずれに基づいて、液滴噴射条件に対して液滴の着弾位置ずれを回避する補正を行う。ここで、補正部２４ｃは、３列のドット列毎に同じノズル７ａが噴射した液滴の着弾位置を検出し、それらの着弾位置を平均し、その平均後の着弾位置を用いる。これにより、補正精度を向上させることができる。
【００５３】
例えば、補正部２４ｃは、検出した各液滴の着弾位置が個別にＹ軸方向にシフトしていた場合、液滴噴射ヘッド７の圧電素子毎の印加タイミングの設定値を修正し、また、検出した液滴の着弾ピッチが所望の着弾ピッチと異なっていた場合、液滴噴射ヘッド７のθ方向の停止位置の設定値を修正し、さらに、検出した各液滴の着弾位置が全体的に所望の着弾位置よりＹ軸方向にシフトしていた場合、液滴噴射ヘッド７のＹ軸方向の停止位置の設定値を修正する。
【００５４】
このようにして、液滴噴射条件に対する補正が行われる。これにより、その後の塗布体の製造では、補正した液滴噴射条件に基づいて、各液滴噴射ヘッド７による液滴噴射動作が実行される。なお、制御装置２４は、検査用の基板２の取り外しを可能にするため、各インクジェットヘッドユニット８を基板２に対向する位置から待機位置まで移動させる。その後、基板保持テーブル１４には、製造用の基板２が検査用の基板２に換えて載置される。
【００５５】
次に、制御装置２４は、補正後の液滴噴射条件に基づいて、各インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７を駆動制御し、それらの液滴噴射ヘッド７により塗布体を製造する（ステップＳ４）。すなわち、制御装置２４は、各液滴噴射ヘッド７に液滴噴射動作をそれぞれ実行させ、基板２に複数の液滴を着弾させて、所定パターンのドット列を形成し、塗布体を製造する。なお、塗布体が完成すると、基板保持テーブル１４には、次の製造用の基板２が塗布体に換えて載置される。
【００５６】
詳述すると、制御装置２４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３及びベース板１７を駆動制御し、各インクジェットヘッドユニット８を待機位置から基板２に対向する位置まで移動させ、加えて、補正後の液滴噴射条件に基づいて支持機構１８を駆動制御し、各インクジェットヘッドユニット８の液滴噴射ヘッド７をθ方向に回転させて所定角度で停止させる。次いで、制御装置２４は、Ｙ軸方向移動テーブル１３及びベース板１７を駆動制御し、加えて、補正後の液滴噴射条件に基づいて各液滴噴射ヘッド７を駆動制御し、それらの液滴噴射ヘッド７により基板２に向けて複数の液滴を噴射する。このとき、各液滴噴射ヘッド７は、Ｙ軸方向に移動する基板２に各液滴を着弾させ、所定のパターンのドット列を順次形成し、塗布体を製造する。
【００５７】
最後に、制御装置２４は、操作者により操作部の終了ボタンが押下されたか否かを判断し（ステップＳ５）、所定数の塗布体の製造完了に待機する（ステップＳ５のＮＯ）。所定数の塗布体の製造が完了すると、操作者は終了ボタンを押下する。終了ボタンが押下されたと判断した場合には（ステップＳ５のＹＥＳ）、処理を終了する。
【００５８】
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、基板２に対して相対移動する撮像部１９により基板２上の液滴を含む各検査領域Ｒを順次撮像し、撮像した各検査領域Ｒの画像に基づいて、液滴噴射条件に対して液滴の着弾異常を回避する補正を行うことによって、全ノズル７ａから一度に液滴を噴射して着弾後の液滴を順次撮像することが可能になり、ノズル７ａ毎に液滴を噴射して飛翔中の液滴を撮像する必要がなくなるので、基板２上の液滴の着弾異常を短時間で検査することができ、さらに、液滴噴射条件が補正され、その後の液滴噴射動作は補正後の液滴噴射条件に基づいて行われるので、液滴の着弾異常に起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる。
【００５９】
特に、撮像した各検査領域Ｒの画像に基づいて、液滴の主滴に付随する付随滴の発生を検出し、検出した付随滴の発生を回避するように駆動電圧の設定値を修正することによって、液滴の着弾異常である付随滴の発生に起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる。
【００６０】
さらに、撮像した各検査領域Ｒの画像に基づいて、液滴の着弾位置ずれを検出し、検出した液滴の着弾位置ずれを回避するように駆動電圧の印加タイミングの設定値を修正することによって、液滴の着弾異常である液滴の着弾位置ずれに起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる。
【００６１】
加えて、撮像した各検査領域Ｒの画像に基づいて、液滴の着弾異常を検出し、検出した液滴の着弾異常を回避するように噴射位置の設定値を修正することによって、液滴の着弾異常である付随滴の発生や液滴の着弾ピッチずれ等に起因する塗布体の製造不良の発生を抑えることができる。
【００６２】
また、撮像部１９が基板２に対して相対移動しながら各検査領域Ｒを順次撮像することから、撮像部１９を順次停止させて撮像を行う場合に比べ、より検査時間を短縮することができる。
【００６３】
（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
【００６４】
例えば、前述の実施の形態においては、基板２に対して撮像部１９を移動させながら、基板２上の液滴を含む各検査領域Ｒを順次撮像しているが、これに限るものではなく、例えば、撮像部１９の移動及び停止を繰り返し、その停止状態で各検査領域Ｒを順次撮像するようにしてもよい。
【００６５】
また、前述の実施の形態においては、基板２に対して撮像部１９を移動させるようにしているが、これに限るものではなく、例えば、撮像部１９に対して基板２を移動させるようにしてもよく、撮像部１９と基板２とを相対移動させるようにすればよい。
【００６６】
また、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の一形態に係る液滴噴射装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す液滴噴射装置が備えるインクジェットヘッドユニットの概略構成を示す側面図である。
【図３】図２に示すインクジェットヘッドユニットが備える撮像部の概略構成を示す模式図である。
【図４】図２に示すインクジェットヘッドユニットが備える撮像部の駆動制御を説明するためのブロック図である。
【図５】図１に示す液滴噴射装置が行う液滴塗布動作の流れを示すフローチャートである。
【図６】図５に示す液滴塗布動作が含む液滴検査動作に応じて噴射された基板上の液滴を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１…液滴噴射装置、２…塗布対象物（基板）、７…液滴噴射ヘッド、１９…撮像部、２４ｃ…修正する手段（補正部）、Ｒ…検査領域、Ｓ１…ステップ、Ｓ２…ステップ、Ｓ３…ステップ、Ｓ４…ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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