(57)【要約】【課題】結露が発生する環境下においても、動作不良を起こすことのない駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置１は、超音波アクチュエータ２を制御する制御装置７を備えている。制御装置７は、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動の共振周波数及び屈曲振動の共振周波数の近傍の周波数で圧電素子ユニット４０を振動させることで超音波アクチュエータ２に駆動力を出力させる通常運転状態と、圧電素子ユニット４０の厚み方向への縦振動の共振周波数近傍の周波数で圧電素子ユニット４０を振動させることで圧電素子４１を加熱する加熱状態とを切り替える。【選択図】図１
2008301698.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を用いた振動型アクチュエータを備えた駆動装置であって、
所定の周波数で前記圧電素子を振動させることで前記振動型アクチュエータに駆動力を出力させる通常運転状態と、該通常運転状態における周波数と異なる周波数で前記圧電素子を振動させることで該圧電素子を加熱する加熱状態とを切り替えて前記振動型アクチュエータを制御する制御部をさらに備える駆動装置。
【請求項２】
前記圧電素子の温度に関する値を検出する温度検出手段をさらに備え、
前記制御部は、前記加熱状態において、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、前記圧電素子を所定の温度以下の範囲で加熱する請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記通常運転状態において、前記振動型アクチュエータを所定の振動モードで振動させることで駆動力を出力させる一方、
前記加熱状態において、前記振動型アクチュエータを前記通常運転状態とは異なる、駆動力を出力させない振動モードで振動させることによって前記圧電素子を加熱する請求項１に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記振動型アクチュエータは、長手方向と、短手方向と、該長手方向及び短手方向に直交する厚み方向を有する形状をしており、
前記制御部は、
前記通常運転状態において、前記振動型アクチュエータに前記長手方向の縦振動と前記短手方向の屈曲振動とを行わせることで駆動力を出力させる一方、
前記加熱状態において、前記振動型アクチュエータに前記厚み方向の縦振動を行わせることによって駆動力を出力させることなく前記圧電素子を加熱する請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記振動型アクチュエータに発生する結露を検出する結露検出手段をさらに備え、
前記制御部は、前記結露検出手段で結露の発生が検出されているときに、前記加熱状態になる請求項１乃至４の何れか１つに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記制御部は、起動時に加熱状態になる請求項１乃至５の何れか１つに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記制御部は、前回の動作から所定時間内に再起動されたときには、前記通常運転状態になる請求項６に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を用いた振動型アクチュエータを備えた駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子を用いた振動型アクチュエータを備えた駆動装置は、従来から知られており（特許文献１参照）、現在、超音波モータや微小ステップで移動する装置などで利用されている。
【０００３】
かかる振動型アクチュエータは、固定体と、該固定体に対して相対的に移動可能に配置された可動体の間に配置される。詳しくは、振動型アクチュエータは、固定体及び可動体のうちの一方に固定され、該振動型アクチュエータにおける駆動力を出力する部分（例えば、その駆動子）が固定体及び可動体のうちの他方（以下、被接触体ともいう）に接触した状態で配設されている。この状態で、駆動装置が振動型アクチュエータの圧電素子に電界を加えると、該圧電素子がその圧電特性により変位して、振動型アクチュエータに振動（例えば、縦振動及び屈曲振動）を発生させる。その結果、振動型アクチュエータと被接触体との間の摩擦力を介して可動体が所定の方向に駆動される。
【特許文献１】特開２００４−３０４９６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、振動型アクチュエータが発生させる駆動力を摩擦力を介して被接触体に伝達させる構成においては、振動型アクチュエータと被接触体との接触面に水の分子膜が形成されると、摩擦力が低減して振動型アクチュエータの変位が被接触体に伝達し難く、最悪の場合には、スリップを起こして可動体が移動しない虞もある。
【０００５】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、結露が発生する環境下においても、動作不良を起こすことのない駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、振動型アクチュエータを通常運転時とは異なり且つ圧電素子が加熱する周波数で駆動することによって結露を除去するようにしたものである。
【０００７】
具体的には、本発明は、圧電素子を用いた振動型アクチュエータを備えた駆動装置が対象である。そして、所定の周波数で前記圧電素子を振動させることで前記振動型アクチュエータに駆動力を出力させる通常運転状態と、該所定の周波数と異なる周波数で前記圧電素子を振動させることで該圧電素子を加熱させる加熱状態とを切り替えて前記振動型アクチュエータを制御する制御部をさらに備えるものとする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、制御部が加熱状態においては、通常運転状態時とは異なる周波数で圧電素子を振動させることで該圧電素子を加熱させることによって、超音波アクチュエータに発生した結露を圧電素子の自己発熱を利用して解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
《発明の実施形態１》
本発明の実施形態１に係る駆動装置１は、図１、２に示すように、ステージ１１と、超音波アクチュエータ２と、該超音波アクチュエータ２を駆動制御する制御装置７と、該超音波アクチュエータ２の温度を検出する温度センサ８１と、該超音波アクチュエータ２における結露の発生を検出する結露センサ８２と、ステージ１１の現在位置を検出する位置検出センサ８３とを備えている。
【００１１】
ステージ１１は、互いに平行な状態で固定体としての基台（図示省略）上に固定されたレール１２，１２に摺動可能に取り付けられている。つまり、ステージ１１は、レール１２，１２が延びる方向に沿って移動可能に構成されている（これらレール１２，１２の延びる方向がステージ１１の可動方向に相当する）。このステージ１１は、平面視略方形の板状部材である。そして、前記超音波アクチュエータ２は、このステージ１１の裏面（レール１２，１２が設けられている側の面）に後述する駆動子４９，４９が接触するように配設されている。
【００１２】
前記超音波アクチュエータ２は、図３に示すように、振動を発生させるアクチュエータ本体４と、該アクチュエータ本体４の駆動力をステージ１１に伝達させる駆動子４９，４９と、該アクチュエータ本体４を収容するケース５と、アクチュエータ本体４とケース５との間に介設されてアクチュエータ本体４を弾性的に支持する支持ゴム６１，６１と、アクチュエータ本体４を前記ステージ１１に付勢するための付勢ゴム６２とを備えている。この超音波アクチュエータ２が振動型アクチュエータを構成する。
【００１３】
前記アクチュエータ本体４は、圧電素子ユニット４０で構成されている。
【００１４】
前記圧電素子ユニット４０は、略長方形状の互いに対向する一対の主面と、この主面と直交して該主面の長手方向に延びる、互いに対向する一対の長辺側面と、これら主面及び長辺側面の両方と直交して該主面の短手方向に延びる、互いに対向する一対の短辺側面とを有する略直方体状をしている。
【００１５】
この圧電素子ユニット４０は、図４に示すように、５つの圧電体層（圧電素子）４１，４１，…と４つの内部電極層４２，４４，４３，４４とを交互に積層して構成される。内部電極層４２，４４，４３，４４は、積層方向に圧電体層４１を介して交互に配された、第１給電電極層４２と共通電極層４４と第２給電電極層４３と共通電極層４４とで構成される。これら第１給電電極層４２、第２給電電極層４３及び共通電極層４４，４４のそれぞれは、各圧電体層４１の主面上に印刷されている。
【００１６】
前記各圧電体層４１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛などのセラミック材料からなる絶縁体層であって、前記圧電素子ユニット４０と同様に、一対の主面と、一対の長辺側面と、一対の短辺側面とを有する略直方体状をしている。また、各圧電体層４１には、その長辺側面のうち一方の長辺側面の長手方向中央部に外部電極４５ａが、一方の短辺側面の短手方向中央部に外部電極４６ａが、他方の短辺側面の短手方向中央部に外部電極４７ａがそれぞれ形成されている。
【００１７】
前記各共通電極層４４は、圧電体層４１の主面の略全面に亘って設けられた略長方形状をしている。また、各共通電極層４４の一方の長辺部には、その長手方向中央部から圧電体層４１の前記外部電極４５ａまで延びる引出電極４４ａが形成されている。
【００１８】
前記第１給電電極層４２は、図５に示すように、圧電体層４１の主面をその長手方向及び短手方向にそれぞれ２等分してなる４つの領域のうち該主面の対角線方向に位置する２対の領域のうち一方の対の領域にそれぞれ形成された一対の第１電極４２ａ，４２ｂと、これら第１電極４２ａ，４２ｂを連結して導通させる導通電極４２ｃとを有する。各第１電極４２ａ（４２ｂ）は略矩形状の電極であり、積層方向に見て共通電極層４４と重なっている。つまり、各第１電極４２ａ（４２ｂ）は、圧電体層４１を挟んで共通電極層４４と対向している。また、第１電極４２ａ，４２ｂのうちの一方の第１電極４２ａには、圧電体層４１の前記外部電極４６ａまで延びる引出電極４２ｄが設けられている。
【００１９】
前記第２給電電極層４３は、圧電体層４１の主面の対角線方向に位置する前記２対の領域のうち他方の対の領域にそれぞれ形成された一対の第２電極４３ａ，４３ｂと、これら第２電極４３ａ，４３ｂを連結して導通させる導通電極４３ｃとを有する。前記他方の対の領域のうち積層方向に見て前記第１電極４２ａの前記短手方向且つ前記第１電極４２ｂの前記長手方向に隣接する領域に設けられる電極が第２電極４３ａであり、第１電極４２ａの該長手方向且つ第１電極４２ｂの該短手方向に隣接する領域に設けられる電極が第２電極４３ｂである。各第２電極４３ａ（４３ｂ）は略矩形状の電極であり、積層方向に見て共通電極層４４と重なっている。つまり、各第２電極４３ａ（４３ｂ）は、圧電体層４１を挟んで共通電極層４４と対向している。また、第２電極４３ａ，４３ｂのうちの一方の第２電極４３ｂには、圧電体層４１の前記外部電極４７ａまで延びる引出電極４３ｄが設けられている。
【００２０】
これら圧電体層４１，４１，…と内部電極層４２，４４，４３，４４とを交互に積層することで構成された圧電素子ユニット４０においては、その一方の長辺側面の前記長手方向中央部に、各圧電体層４１の外部電極４５ａが積層方向に並んで一まとまりの外部電極４５が形成されている。この外部電極４５には、前記共通電極層４４，４４に形成された引出電極４４ａ，４４ａが電気的に接続されている。同様に、圧電素子ユニット４０の一方の短辺側面の前記短手方向中央部には、各圧電体層４１の外部電極４６ａが積層方向に並んで一まとまりの外部電極４６が形成されている。この外部電極４６には、前記第１給電電極層４２の引出電極４２ｄが電気的に接続されている。また、圧電素子ユニット４０の他方の短辺側面の前記短手方向中央部には、各圧電体層４１の外部電極４７ａが積層方向に並んで一まとまりの外部電極４７が形成されている。この外部電極４７には、前記第２給電電極層４３の引出電極４３ｄが電気的に接続されている。
【００２１】
そして、圧電素子ユニット４０の長辺側面のうち他方の長辺側面、即ち、前記外部電極４５ａが設けられていない側の長辺側面には、前記駆動子４９，４９が前記長手方向に互いに間隔を空けて設けられている。駆動子４９，４９は、該長手方向において、該長辺側面の全長の３０〜３５％距離だけその長手方向両端部から内側に入った位置に配設されている。この位置は、後述する圧電素子ユニット４０の屈曲振動の２次モードの腹の位置であって、振動が最も大きくなる位置である。これら駆動子４９，４９は、少なくともステージ１１との接触部分が円周側面に形成された柱状部材（詳しくは、断面半円形状の柱状部材と断面矩形の柱状部材とを結合した形状）であって、セラミック等の硬質部材で形成されている。また、これら駆動子４９，４９は、その長手方向が圧電素子ユニット４０の厚み方向を向いており、各駆動子４９の長手方向中心部が圧電素子ユニット４０の厚み方向中心部に一致するように配設されている。
【００２２】
前記外部電極４５をグランドに接続し、前記外部電極４６に所定周波数の交流電圧を、前記外部電極４７に該交流電圧と位相が９０°ずれた交流電圧を印加することによって、圧電体層４１の主面の対角線方向に位置する一方の対の第１電極４２ａ，４２ｂと、他方の対の第２電極４３ａ，４３ｂとに互いに位相が９０°ずれた交流電圧が印加され、圧電素子ユニット４０、即ち、アクチュエータ本体４には、その長手方向への縦振動（いわゆる、伸縮振動）とその短手方向への屈曲振動（いわゆる、横振動）とが誘起される。
【００２３】
縦振動の共振周波数及び屈曲振動の共振周波数はそれぞれ、アクチュエータ本体４、即ち、圧電素子ユニット４０の材料、形状等により決定される。さらに、両共振周波数は、アクチュエータ本体４を支持する力及び支持する部分によっても影響を受ける。これらを考慮して、両共振周波数を略一致させ、その近傍の周波数の交流電圧を位相を９０°ずらした状態で外部電極４６，４７のそれぞれに印加する。例えば、縦振動の１次モード（図６参照）の共振周波数と屈曲振動の２次モード（図７参照）の共振周波数とが一致するように圧電素子ユニット４０の形状等を設計して、該共振周波数近傍の交流電圧を前述の如く、位相を９０°ずらして印加することによって、圧電素子ユニット４０には、縦振動の１次モードと屈曲振動の２次モードとが調和的に誘起され、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す形状の変化を順番に起こす。
【００２４】
その結果、圧電素子ユニット４０に設けられた各駆動子４９が該圧電素子ユニット４０の主面と平行な平面、即ち、長手方向と短手方向とを含む平面（図８における紙面と平行な面）内で略楕円運動、即ち、周回運動を行う。
【００２５】
前記ケース５は、樹脂製であって、前記圧電素子ユニット４０に対応した略直方体状の概略箱形状をしている。このケース５は、前記圧電素子ユニット４０の主面と平行で且つ略長方形状の主壁部５１と、該主壁部５１の前記長手方向の一側（図３における左側）に位置する短辺部に設けられた第１短辺壁部５２と、該主壁部５１の該長手方向の他側（図３における右側）に位置する短辺部に設けられた第２短辺壁部５３と、該主壁部５１の前記短手方向の一側（図３における下側）に位置する長辺部に設けられた長辺壁部５４とを有している。つまり、ケース５は、主壁部５１に対向する側及び該主壁部５１の該短手方向の他側（図３における上側）に位置する長辺部（圧電素子ユニット４０の駆動子４９，４９が設けられた長辺側面に対応する部分）には壁部が設けられておらず、圧電素子ユニット４０の積層方向（主壁部５１の法線方向）の一側及び該短手方向の他側に開口した形状となっている。
【００２６】
このように構成されたケース５内に前記アクチュエータ本体４が収容されている。アクチュエータ本体４は、圧電素子ユニット４０の一方の主面が主壁部５１と対向し且つ圧電素子ユニット４０の一方の長辺側面（前記外部電極４５が設けられている側の長辺側面）が長辺壁部５４と対向するようにしてケース５内に収容されている。このとき、駆動子４９，４９はケース５から前記短手方向の他側に突出している。また、圧電素子ユニット４０の一方の短辺側面とケース５の第１短辺壁部５２との間および圧電素子ユニット４０の他方の短辺側面とケース５の第２短辺壁部５３との間にはそれぞれ支持ゴム６１，６１が介設されている。この圧電素子ユニット４０の両短辺側面は縦振動の腹の部分であるが、支持ゴム６１，６１は弾性体であるため、圧電素子ユニット４０の縦振動を阻害することなく、該圧電素子ユニット４０を支持することができる。これら支持ゴム６１，６１は、アクチュエータ本体４並びに第１及び第２短辺壁部５２，５３だけでなく、主壁部５１の内側表面とも当接している。また、圧電素子ユニット４０の一方の長辺側面とケース５の長辺壁部５４との間には付勢ゴム６２が介設されている。この付勢ゴム６２は、アクチュエータ本体４及び長辺壁部５４だけでなく、主壁部５１の内側表面とも当接している。
【００２７】
そして、主壁部５１の内側表面における、前記支持ゴム６１，６１及び付勢ゴム６２が当接する部分には電極５１ａ（付勢ゴム６２と当接する電極のみ図示）が設けられているこれらの電極は、主壁部５１の外側表面に設けられた端子電極（図示省略）にそれぞれ導通している。
【００２８】
前記各支持ゴム６１は、シリコーンゴムに金属粒子を混入した導電性ゴムで構成され、略直方体状をしている。これら支持ゴム６１，６１は、アクチュエータ本体４をその長手方向に付勢した状態で弾性的に支持する。それと共に、支持ゴム６１，６１は、圧電素子ユニット４０の外部電極４６，４７と主壁部５１の内側表面の短辺部に設けられ且つ前記端子電極と導通する電極とを導通させている。
【００２９】
また、前記付勢ゴム６２も、支持ゴム６１と同様に、シリコーンゴムに金属粒子を混入した導電性ゴムで構成され、略直方体状をしている。この付勢ゴム６２は、アクチュエータ本体４をその短手方向（即ち、短手方向が付勢方向に相当する）に付勢するためのものである。それと共に、付勢ゴム６２は、圧電素子ユニット４０の外部電極４５と主壁部５１の電極５１ａとを導通させている。
【００３０】
つまり、ケース５の外側表面に設けられた前記端子電極に給電することによって、圧電素子ユニット４０に給電することができる。
【００３１】
このように構成された超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９がステージ１１の下面と当接するように配設されると共に、ケース５が基台（図示省略）に固定される。詳しくは、超音波アクチュエータ２は、圧電素子ユニット４０の短手方向がステージ１１の下面に直交すると共に、圧電素子ユニット４０の長手方向がステージ１１の下面と平行で且つレール１２，１２と平行になるように配置される。さらに換言すれば、超音波アクチュエータ２は、圧電素子ユニット４０の屈曲振動の方向がステージ１１の下面と直交すると共に、圧電素子ユニット４０の縦振動の方向がレール１２，１２と平行な方向を向くように配置される。
【００３２】
このとき、前記付勢ゴム６２が圧縮変形しており、この付勢ゴム６２の弾性力によって駆動子４９，４９がステージ１１に付勢されている。超音波アクチュエータ２のステージ１１への付勢力は、付勢ゴム６２の弾性力によって決まる。
【００３３】
前記温度センサ８１は、前記超音波アクチュエータ２の近傍において基台に取り付けられていて、該超音波アクチュエータ２の温度（詳しくは、超音波アクチュエータ２の近傍の温度）を測定している。この温度センサ８１が温度検出手段を構成する。
【００３４】
前記結露センサ８２は、温度センサ８１と同様に、超音波アクチュエータ２の近傍において基台に取り付けられていて、該超音波アクチュエータ２（詳しくは、超音波アクチュエータ２の近傍）に結露が発生したかどうかを検出する。この結露センサ８２が結露検出手段を構成する。
【００３５】
前記位置検出センサ８３は、ステージ１１の現在位置を検出している。
【００３６】
前記制御装置７は、図９に示すように、マイクロコンピュータ７１と、周波数発生部７２と、駆動回路７３とを有している。
【００３７】
前記マイクロコンピュータ７１は、外部からの動作指令、温度センサ８１からの検出信号、結露センサ８２からの検出信号及び位置検出センサ８３からの検出信号を受けて、周波数発生部７２及び駆動回路７３へ制御信号を出力する。詳しくは、マイクロコンピュータ７１は、外部からの動作指令、温度センサ８１からの検出信号、結露センサ８２からの検出信号及び位置検出センサ８３からの検出信号を受けて、超音波アクチュエータ２に印加する２相の交流電圧の周波数及び電圧値及び位相差を決定し、決定した周波数に応じた制御信号を周波数発生部７２へ出力すると共に、決定した電圧値及び位相差に応じた制御信号を駆動回路７３へ出力する。尚、マイクロコンピュータ７１による、２相の交流電圧の周波数及び電圧値及び位相差の決定については後述する。
【００３８】
前記周波数発生部７２は、前記マイクロコンピュータ７１からの制御信号を受けて、マイクロコンピュータ７１で決定された周波数の電気信号を発生させ、駆動回路７３へ出力する。
【００３９】
前記駆動回路７３は、前記マイクロコンピュータ７１からの制御信号を受けて、前記周波数発生部７２から入力される電気信号を、マイクロコンピュータ７１で決定された電圧値まで増幅すると共に、マイクロコンピュータ７１で決定された位相差を持った２相の交流電圧として超音波アクチュエータ２へ出力する。
【００４０】
ここで、制御装置７の制御内容についてさらに詳しく説明する。
【００４１】
制御装置７（詳しくは、マイクロコンピュータ７１）は、ステージ１１を移動させるべく超音波アクチュエータ２を通常どおり作動させる通常運転モード（通常運転状態）と、圧電素子ユニット４０を加熱させて超音波アクチュエータ２に発生した結露を除去する加熱モード（加熱状態）とを切り替えて、超音波アクチュエータ２を駆動制御している。詳しくは、制御装置７は、結露センサ８２の検出信号を受けて超音波アクチュエータ２への結露の発生を判定し、結露が発生していないと判定した場合には通常運転モードとなる一方、結露が発生していると判定した場合には加熱モードとなる。
【００４２】
前記通常運転モードでは、前述の如く、圧電素子ユニット４０に縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させて、駆動子４９，４９を図８に示すような周回運動させることで、ステージ１１を移動させる。具体的には、マイクロコンピュータ７１は、位置検出センサ８３の検出結果から算出されるステージ１１の現在位置と動作指令とから、超音波アクチュエータ２に印加する２相の交流電圧の周波数、電圧値及び位相差を決定する。例えば、マイクロコンピュータ７１は、通常運転モードにおいては、交流電圧の周波数を圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動と屈曲振動との共通の共振周波数よりも少し高い周波数に設定すると共に、２相の交流電圧の位相差をステージ１１の可動方向に応じて９０°又は−９０°に設定する。そして、マイクロコンピュータ７１は、ステージ１１の現在位置と動作指令とからステージ１１の目標位置までの距離に応じて交流電圧の電圧値を設定する。尚、電圧値に限られず、ステージ１１の目標位置までの距離に応じて周波数や位相差を変更してもよい。
【００４３】
ここで、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動と屈曲振動との共通の共振周波数よりも少し高い周波数を採用しているのは、共振周波数で圧電素子ユニット４０を振動させると、振動の振幅は大きくなるが、圧電素子ユニット４０のインピーダンスが極端に低下して過大な電流が流れ、異常な発熱を起こし、熱的な破壊をきたす虞があるためである。そのため、通常運転モードでは、共振周波数から少しずれた周波数で動作させている。
【００４４】
つまり、共振時における圧電素子ユニット４０の電気的な等価回路は、図１０に示すように、圧電素子ユニット４０の通常時の静電容量Ｃ０に、等価インダクタンスＬ１と等価容量Ｃ１と共振抵抗Ｒ１とが並列で接続された形となる。そして、共振時には等価インダクタンスＬ１と等価容量Ｃ１とで共振を起こし、共振抵抗Ｒ１のみで決定される抵抗負荷のみになる。一般的にはＣ０は数１０ｎＦであって、共振時のＲ１の値は数Ω程度である。そのために数１０ｋＨｚ〜数１００ｋＨｚで誘電体を駆動する場合、共振時に過大な電流が流れることになる。
【００４５】
例えば、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動の１次モードの共振周波数と屈曲振動の２次モードの共振周波数が一致するように構成された圧電素子ユニット４０の場合、インピーダンスの周波数特性は、図１１に示すように、共通する長手方向への縦振動の１次モードの共振周波数と屈曲振動の２次モードの共振周波数においてインピーダンスが極端に低下すると共に、該共振周波数よりも少し高い周波数（反共振周波数）においてインピーダンスが極端に上昇している。また、他の振動モードの共振周波数においてもインピーダンスがこのように急激に変化する。例えば、圧電素子ユニット４０の厚み方向（積層方向）への縦振動の１次モードの共振周波数においてもインピーダンスが急激に変化している。尚、他の振動モードの共振周波数におけるインピーダンスの変化は図示を省略している。
【００４６】
その結果、圧電素子ユニット４０に流れる通電電流は、図１２に示すように、共通する圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動の１次モードの共振周波数と屈曲振動の２次モードの共振周波数において急激に増大する。尚、圧電素子ユニット４０の厚み方向への縦振動の共振周波数においても通電電流が急激に増大している。
【００４７】
そのため、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動と屈曲振動との共通の共振周波数よりも少し高い周波数の交流電圧で超音波アクチュエータ２を作動させることによって、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動と屈曲振動とを調和的に発生させると共に、圧電素子ユニット４０の発熱を抑え且つ消費電力も抑えることができる。
【００４８】
次に、このような通常運転モードで制御される超音波アクチュエータ２によるステージ１１の駆動について説明する。
【００４９】
アクチュエータ本体４が、前述の如く、縦振動と屈曲振動との合成振動を行うと、駆動子４９，４９は圧電素子ユニット４０の長手方向と短手方向とを含む平面内において略楕円運動を行う。こうすることで、駆動子４９，４９は、ステージ１１との当接及び離間を周期的に繰り返しながら、摩擦力によってステージ１１を圧電素子ユニット４０の長手方向へ移動させる。
【００５０】
詳しくは、圧電素子ユニット４０が長手方向（縦振動の振動方向）に伸張するとき、一方（例えば、図１３の左側）の駆動子４９は、図１３（ｂ）に示すように、短手方向（屈曲振動の振動方向）においてステージ１１側の領域を変位するため、ステージ１１との間の摩擦力が増大し、この摩擦力によってステージ１１を該長手方向における該一方の駆動子４９が変位する側（図１３の左側）へ移動させる。このとき、他方（図１３の右側）の駆動子４９は、該長手方向において一方の駆動子４９とは逆向きに変位するが、該短手方向において反ステージ１１側（ステージ１１から離れる側）の領域を変位するため、ステージ１１との摩擦力が減少した状態か又はステージ１１から離れて摩擦力が作用しない状態であるため、ステージ１１の移動にはほとんど影響を与えない。
【００５１】
一方、圧電素子ユニット４０が長手方向に収縮するときは、他方（図１３の右側）の駆動子４９は、図１３（ｃ）に示すように、短手方向においてステージ１１側の領域を変位するため、ステージ１１との間の摩擦力が増大し、この摩擦力によってステージ１１を該長手方向における該他方の駆動子４９が変位する側（図１３の左側）へ移動させる。このとき、一方（図１３の左側）の駆動子４９は、該長手方向において他方の駆動子４９とは逆向きに変位するが、該短手方向において反ステージ１１側の領域を変位するため、ステージ１１との摩擦力が減少した状態か又はステージ１１から離れて摩擦力が作用しない状態であるため、ステージ１１の移動にはほとんど影響を与えない。この移動方向は、前述した、圧電素子ユニット４０の伸張時における一方の駆動子４９によるステージ１１の移動方向と同じである。
【００５２】
こうして、２つの駆動子４９，４９は、位相が１８０°ずれた状態で交互にステージ１１を所定の一方向（図１３の左側）へ移動させる。尚、前記交流電圧を位相を−９０°ずらした状態で外部電極４６，４７に印加することによって、駆動子４９，４９が出力する駆動力を逆向きにすることができ、ステージ１１を他方向（図１３の右側）へ移動させることができる。
【００５３】
尚、ステージ１１の移動量は、外部電極４６，４７に給電する交流電圧の電圧値、周波数及び給電時間の少なくとも１つを調整する、又は外部電極４６と外部電極４７とに給電する各交流電圧の位相のずれを９０°以外の値に変更する等によって調整することができる。
【００５４】
また、超音波アクチュエータ２は、前述の如く、ステージ１１に対して付勢された状態で配設されているため、ステージ１１の駆動を行っていない状態においては、その付勢力によってステージ１１の状態を保持している。つまり、ステージ１１の状態を保持するための機構を別途設ける必要がなく、ステージ１１を駆動させるための超音波アクチュエータ２でステージ１１の保持も行うことができる（以下、この機能を自己保持機能という）。
【００５５】
つまり、このような超音波アクチュエータ２は、比較的低速度で高トルクを生むことができると共に、非動作時には静止摩擦力で変位を自己保持することができる。
【００５６】
一方、前記加熱モードでは、圧電素子ユニット４０をその厚み方向（積層方向）への縦振動の共振周波数で振動させる。この厚み方向への縦振動の共振周波数が長手方向への縦振動と屈曲振動との共振周波数とは異なるように圧電素子ユニット４０の形状等を設計することによって、圧電素子ユニット４０に厚み方向への縦振動の共振周波数の交流電圧を印加することで、圧電素子ユニット４０を厚み方向へ共振させて、長手方向への縦振動と屈曲振動とは無視できる程度の非常に小さなものとすることができる。
【００５７】
詳しくは、マイクロコンピュータ７１は、加熱モードにおいては、交流電圧の周波数を圧電素子ユニット４０の厚み方向への縦振動の１次モードの共振周波数に設定し、２相の交流電圧の位相を同位相に設定し、交流電圧の電圧値は所定値に設定する。つまり、制御装置７は、該厚み方向への縦振動の共振周波数の２相の交流電圧を同位相で超音波アクチュエータ２に出力する。
【００５８】
すると、圧電素子ユニット４０は、その厚み方向に膨張、収縮を繰り返す。このとき、駆動子４９，４９は、該厚み方向において、その中心部が圧電素子ユニット４０の厚み方向中心部と一致しているため、該駆動子４９，４９自体は該厚み方向へ振動変位せず、厚み方向への膨張、収縮のみを行う。さらに、この各駆動子４９の厚み方向への膨張、収縮は、駆動子４９の中心部を中心として厚み方向に対称である。つまり、駆動子４９，４９は、ステージ１１の可動方向（即ち、圧電素子ユニット４０の長手方向）に駆動力を出力しないだけでなく、圧電素子ユニット４０の厚み方向へも駆動力を出力しない。
【００５９】
ここで、圧電素子ユニット４０を共振周波数で振動させると、前述の如く、振動の振幅は大きくなるが、圧電素子ユニット４０のインピーダンスが極端に低下して過大な電流が流れて該圧電素子ユニット４０が過熱（即ち、加熱）される。加熱モードは、この圧電素子ユニット４０の加熱を利用して超音波アクチュエータ２に発生した結露を解消するものである。つまり、圧電素子ユニット４０を共振周波数で振動させることによって、圧電素子ユニット４０の温度、ひいては、超音波アクチュエータ２の温度を上昇させて、該超音波アクチュエータ２に発生した結露を除去することができる。
【００６０】
つまり、加熱モードにおいては、超音波アクチュエータ２は、ステージ１１に駆動力を出力しない振動モード（即ち、圧電素子ユニット４０の厚み方向への縦振動の１次モード）で共振し、そのときに圧電素子ユニット４０が発する熱によって該超音波アクチュエータ２の結露を除去する。
【００６１】
ただし、この圧電素子ユニット４０の加熱は、圧電素子ユニット４０が所定の第１温度以下の範囲内で行われる。具体的には、制御装置７は、温度センサ８１の検出信号を受けて、該検出信号から算出される圧電素子ユニット４０の温度が所定の第１温度に達すると圧電素子ユニット４０への通電を停止して、圧電素子ユニット４０の加熱を停止する。その後、圧電素子ユニット４０の温度が該第１温度よりも低い第２温度まで低下すると圧電素子ユニット４０への通電を再開する。こうして、圧電素子ユニット４０は、第２温度以上且つ第１温度以下の温度範囲で加熱される。尚、圧電素子ユニット４０の温度が所定の第１温度に達したときには、圧電素子ユニット４０への通電を停止するのではなく、交流電圧の電圧値若しくは電流値、又は周波数を変更して加熱を抑制する構成であってもよい。前記第１温度は、圧電素子ユニット４０の圧電体層４１の分極が劣化しない程度の温度に設定されることが好ましい。
【００６２】
この加熱モードは、結露センサ８２の検出信号に基づいて、超音波アクチュエータ２に発生していた結露が解消されるまで続けられる。つまり、制御装置７は、結露センサ８２の検出信号に基づいて、結露が除去されたと判定したときには、加熱モードから通常運転モードに切り替える。
【００６３】
したがって、実施形態１によれば、制御装置７は、超音波アクチュエータ２に結露が発生していないときには通常運転モードで超音波アクチュエータ２を作動させてステージ１１を移動させる一方、超音波アクチュエータ２に結露が発生しているときには加熱モードで超音波アクチュエータ２を加熱して結露を除去させることによって、結露が発生する環境下においても、超音波アクチュエータ２の結露を解消して、該超音波アクチュエータ２の動作不良を防止することができる。
【００６４】
このとき、駆動装置１は、圧電素子ユニット４０の自己の発熱によって結露を除去しているため、結露を除去するための機構を別途設ける必要がなく、駆動装置１の大型化、複雑化及びコスト増大を防止することができる。
【００６５】
また、制御装置７は、加熱モード中に、圧電素子ユニット４０の温度を監視しながら該圧電素子ユニット４０の温度を所定の温度範囲内に制御することによって、圧電素子ユニット４０の破損を防止することができる。
【００６６】
さらに、本実施形態１では、加熱モード中において、圧電素子ユニット４０がその厚み方向への縦振動の１次モードの共振周波数で加熱を行うことによって、該圧電素子ユニット４０は、ステージ１１の可動方向である圧電素子ユニット４０の長手方向へはほとんど振動せず、その厚み方向へ振動するため、ステージ１１の状態にほとんど影響を与えることなく、即ち、ステージ１１の状態を保持したまま、加熱を行うことができる。さらに、圧電素子ユニット４０の厚み方向への縦振動を１次モードにすると共に、該厚み方向において各駆動子４９の中心部と圧電素子ユニット４０の中心部が一致させることによって、各駆動子４９自体は該厚み方向に変位せず、該中心部を中心に伸び縮みするだけとなるため、該伸び縮みによる駆動子４９とステージ１１との間の摩擦力を該厚み方向において相殺することができ、ステージ１１に摩擦力を介した力が作用することを防止することができる。
【００６７】
尚、各駆動子４９を球状体で構成してステージ１１との接触状態を点接触にすると共に、該駆動子４９を圧電素子ユニット４０の厚み方向中心部に配設することによって、圧電素子ユニット４０を厚み方向への縦振動の１次モードで振動させたときには、各駆動子４９とステージ１１との接触点は変位しないため、厚み方向について摩擦力を介した力を生じさせず、ステージ１１に何ら力を作用させることなく圧電素子ユニット４０の加熱を行うことができる。
【００６８】
また、後述する実施形態２のように、加熱モードにおいて駆動子４９をステージ１１に駆動力を作用させない振動モードで振動させる構成もあるが、特に本実施形態１のように、複数の駆動子４９，４９がステージ１１に接触している構成においては、各駆動子４９のステージ１１との接触状態の違いやアクチュエータ本体４への設置誤差等によって、若干ではあるが、ステージ１１へ駆動力が作用してしまう虞もある。しかし、本実施形態では、加熱モード中における圧電素子ユニット４０の振動方向がステージ１１の可動方向と直交する圧電素子ユニット４０の厚み方向であるため、駆動子４９ごとのステージ１１との接触状態の差や圧電素子ユニット４０への設置誤差等を無視することができる。
【００６９】
《発明の実施形態２》
次に、本発明の実施形態２に係る駆動装置について説明する。
【００７０】
この実施形態２に係る駆動装置は、実施形態１に係る駆動装置１と同様の構成をしており、その制御方法、詳しくは、加熱モードにおける制御方法が異なる。
【００７１】
詳しくは、制御装置７は、加熱モードにおいて、圧電素子ユニット４０に印加する交流電圧の周波数を、圧電素子ユニット４０の厚み方向への縦振動の共振周波数ではなく、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動１次モードの共振周波数（本実施形態では屈曲振動２次モードの共振周波数と同じである）に設定する。そして、外部電極４６，４７に該交流電圧を印加するときの位相を互いに９０°ずらすのではなく、外部電極４６，４７に該交流電圧を同位相で印加する。これにより、該圧電素子ユニット４０における各電極に対応する４つの領域が同時に伸縮するため、実質的に該圧電素子ユニット４０には図６に示すような長手方向への縦振動のみが誘起される。
【００７２】
ここで、駆動子４９，４９は、圧電素子ユニット４０の長手方向への縦振動の節となる長手方向中心部を通りステージ１１に直交する直線に対して線対称に設けられているため、圧電素子ユニット４０が長手方向へ１次モードの縦振動を行うと、該長手方向中心部を中心に長手方向へ対称に振動する。その結果、駆動子４９，４９の振動によってステージ１１に作用する摩擦力は互いに相殺され、駆動子４９，４９はステージ１１に対して駆動力を出力しないことになる。こうすることで、自己保持機能を維持したまま、超音波アクチュエータ２を加熱することができる。その他、圧電素子ユニット４０の温度制御等は、実施形態１と同様である。
【００７３】
また、通常運転モードも、実施形態１と同様である。
【００７４】
したがって、実施形態２によれば、制御装置７は、超音波アクチュエータ２に結露が発生していないときには通常運転モードで超音波アクチュエータ２を作動させてステージ１１を移動させる一方、超音波アクチュエータ２に結露が発生しているときには加熱モードで超音波アクチュエータ２を加熱して結露を除去させることによって、結露が発生する環境下においても、超音波アクチュエータ２の結露を解消して、該超音波アクチュエータ２の動作不良を防止することができる。
【００７５】
さらに、本実施形態２では、加熱モード中において、第１給電電極層４２と第２給電電極層４３とに同電圧且つ同位相の交流電圧を印加することによって、駆動子４９，４９がそれらを結ぶ線分の中点を通り、ステージ１１の可動方向に直交する直線に対して線対称に振動するため、両駆動子４９，４９がステージ１１に与える駆動力が互いに相殺し、全体としてはステージ１１の状態にほとんど影響を与えることなく、即ち、ステージ１１の状態を保持したまま、加熱を行うことができる。
【００７６】
その他、実施形態１と同様の作用・効果を奏することができる。
【００７７】
《発明の実施形態３》
続いて、本発明の実施形態３に係る駆動装置について説明する。
【００７８】
この実施形態３に係る駆動装置は、実施形態１に係る駆動装置１と同様の構成をしており、その制御方法、詳しくは、通常運転モードと加熱モードとの切り替え方法が異なる。
【００７９】
詳しくは、本実施形態３では、駆動装置１の電源が入れられたとき、即ち、起動時には必ず加熱モードに設定される。つまり、超音波アクチュエータ２の作動中（起動後しばらく経過した後）は、圧電素子ユニット４０の発熱により該超音波アクチュエータ２の温度が上がっているため、結露が発生する可能性は低い。逆に、起動前は雰囲気温度よりも超音波アクチュエータ２の温度の方が結露が発生する程度に低い場合もあり得るため、駆動装置１の起動時には、結露の発生の有無にかかわらず、加熱モードによって超音波アクチュエータ２を加熱する。こうすることによって、起動時に発生している結露によって超音波アクチュエータ２が動作不良を起こすことを確実に防止することができる。
【００８０】
尚、駆動装置１がタイマを備えるように構成して、超音波アクチュエータ２が前回作動してから所定時間以内の起動である場合には、加熱モードとはせずに、通常運転モードとするように構成してもよい。つまり、超音波アクチュエータ２が前回作動してから所定時間以内であれば、超音波アクチュエータ２の温度がまだ高いため、結露が発生する可能性が低いからである。
【００８１】
また、このように起動時に加熱モードに設定する実施形態３では、前記結露センサ８２を設ける必要はない。ただし、結露センサ８２を設ける構成であってもよい。すなわち、結露センサ８２を設けて、超音波アクチュエータ２に作動中に結露が発生する場合には、該結露センサ８２が結露の発生を検出して加熱モードに切り替えるように構成してもよい。こうすることで、駆動装置１の起動時に限られず、作動中であっても結露の発生に起因する超音波アクチュエータ２の動作不良を確実に防止することができる。
【００８２】
《その他の実施形態》
本発明は、実施形態１〜３について、以下のような構成としてもよい。
【００８３】
すなわち、前記実施形態では、超音波アクチュエータ２を、アクチュエータ本体４に長手方向への縦振動の１次モードと屈曲振動の２次モードとを調和的に発生させるように構成したが、これに限られるものではない。これ以外の振動又はモードを発生させるものであってもよく、アクチュエータ本体４を振動させて駆動子４９，４９とステージ１１との間の摩擦力を介して駆動力を出力する振動型アクチュエータであれば任意の構成を採用することができる。
【００８４】
また、超音波アクチュエータ２は、前記の構成に限られるものではない。例えば、前記支持ゴム６１，６１及び付勢ゴム６２を介して圧電素子ユニット４０に給電する構成ではなく、リード線を圧電素子ユニット４０に接続して給電する構成でもよい。また、圧電素子ユニット４０の振動のノード部（節の部分）を非弾性部材で支持する構成であってもよい。さらには、図１４に示すように、圧電素子ユニット４０の一方の短辺側面に１つの駆動子４９が設けられた超音波アクチュエータ２０２を採用してもよい。かかる構成であっても、圧電素子ユニット４０が長手方向への縦振動の１次モードと屈曲振動の２次モードとの合成振動を行うことによって駆動子４９が周回運動を行い、ステージ１１との間の摩擦力を介して、該ステージ１１を所定の可動方向（短手方向と平行な方向）へ移動させることができる。さらにまた、アクチュエータ本体４は圧電素子ユニット４０で構成されているが、金属などの基板に圧電素子を貼り付けた構成や、金属などで共振器を形成し、圧電素子を挟み込んだ構成であってもよい。この場合、圧電素子を含んで構成された共振器がアクチュエータ本体を構成する。
【００８５】
さらに、前記実施形態では、加熱モード中に自己保持機能を維持するように構成しているが、これに限られるものではない。つまり、通常運転モードでは、共通する、長手方向への縦振動の１次モードの共振周波数と屈曲振動の２次モードの共振周波数よりも少しずらした周波数の交流電圧を圧電素子ユニット４０に印加する一方、加熱モードでは、該共振周波数により近い周波数の交流電圧を圧電素子ユニット４０に印加するように構成してもよい。また、加熱モードでは、２つの駆動電圧の位相を実質的に１８０度異ならせて圧電素子ユニット４０に縦振動だけを起こさせるようにしてもよい。すなわち、本発明は前記実施形態における振動モードに限定されるものではなく、ステージ１１の駆動方向への移動に影響を与えることなく圧電素子が加熱される構成であれば、任意の構成を採用することができる。
【００８６】
尚、自己保持機能を維持しない場合であっても、通常運転モードでは、圧電素子ユニット４０の発熱を抑えながら駆動子４９，４９に周回運動をさせてステージ１１を駆動することができる一方、加熱モードでは、駆動子４９，４９を周回運動させつつ圧電素子ユニット４０を加熱させて結露を除去することができる。つまり、加熱モード中は、始めはステージ１１が駆動されないか又は本来の速度以下で移動し、不安定な動作が続いた後、結露が解消すると、本来の速度で正常に動作し始める。すなわち、加熱モード中も、不安定ながらステージ１１が移動するが、圧電素子ユニット４０の自己発熱によって結露を解消することができる。
【００８７】
また、自己保持機能を維持したまま圧電素子ユニット４０の加熱を行うべく、実施形態１では圧電素子ユニット４０をその厚み方向への縦振動の共振させ、実施形態２では圧電素子ユニット４０をその長手方向へ縦振動のみの共振をさせているが、これに限られるものではない。すなわち、圧電素子ユニット４０の振動は３次元的に発生するため、ステージ１１を１次元的に移動させる場合、即ち、超音波アクチュエータ２からの駆動力が所定の１軸方向へ１次元的に出力される場合には、他の２軸方向へ圧電素子ユニット４０を振動させればよく、ステージ１１を２次元的に移動させる場合、即ち、超音波アクチュエータ２からの駆動力が所定の２軸方向へ２次元的に出力される場合又は１軸方向へ１次元的に駆動力を出力する超音波アクチュエータを２つ組み合わせる場合には、他の１軸方向へ圧電素子ユニット４０を振動させればよい。こうすることで、自己保持機能を維持したまま、圧電素子ユニット４０の加熱を行って結露を除去することができる。
【００８８】
さらに、前記実施形態では、超音波アクチュエータ２を基台に固定すると共に、駆動子４９，４９を移動可能なステージ１１に当接させて、該超音波アクチュエータ２を作動させることで該ステージ１１を駆動させているが、図１５に示すように、超音波アクチュエータ２をステージに固定する構成としてもよい。詳しくは、駆動装置３０１は、互いに平行な状態で基台に固定されたレール１３，１３と、該レール１３，１３に摺動自在に取り付けられたステージ１４と、超音波アクチュエータ２とを備えている。該レール１３，１３のうちの一方のレール１３には、該レール１３に固定された当接部材１３ａが設けられている。一方、ステージ１４には、アクチュエータ取付部１４ａが設けられている。そして、超音波アクチュエータ２は、駆動子４９，４９が該レール１３の当接部材１３ａに当接する状態で、該ステージ１４のアクチュエータ取付部１４ａにケース５が取り付けられている。この状態で、超音波アクチュエータ２を作動させると、駆動子４９，４９は当接部材１３ａに対して駆動力を出力するが、該当接部材１３ａは固定されているため、超音波アクチュエータ２自体が当接部材１３ａに対して相対的にレール１３，１３の長手方向に振動する。その結果、アクチュエータ取付部１４ａを介してケース５と連結されたステージ１４がレール１３，１３の長手方向に駆動される。
【００８９】
また、前記実施形態では、結露センサ８２によって超音波アクチュエータ２に結露が発生したか否かを検出しているが、これに限られるものではない。例えば、結露センサの代わりに湿度センサを設け、該湿度センサと前記温度センサ８１との検出結果に基づいて結露の発生の有無を検出してもよい。かかる場合、湿度センサと温度センサとで結露検出手段を構成する。
【００９０】
尚、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
以上説明したように、本発明は、圧電素子を用いた振動型アクチュエータを備えた駆動装置において、摩擦駆動する駆動界面の性能向上について有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の実施形態１に係る駆動装置の概略構成を示す概略正面図である。
【図２】駆動装置の斜視図である。
【図３】超音波アクチュエータの斜視図である。
【図４】圧電素子ユニットの分解斜視図である。
【図５】アクチュエータ本体の概略構成を示す概略正面図である。
【図６】アクチュエータ本体の長手方向への縦振動の１次モードによる変位を示す概念図である。
【図７】アクチュエータ本体の屈曲振動の２次モードによる変位を示す概念図である。
【図８】アクチュエータ本体の動作を示す概念図である。
【図９】制御装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】圧電素子の等価回路図である。
【図１１】アクチュエータ本体の駆動周波数とインピーダンスとの関係を示すグラフである。
【図１２】アクチュエータ本体の駆動周波数と通電電流との関係を示すグラフである。
【図１３】超音波アクチュエータによるステージの駆動を説明するための概念図であって、（ａ）は駆動前の状態、（ｂ）はアクチュエータ本体が長手方向に伸張することで一方の駆動子によってステージを駆動する状態、（ｃ）はアクチュエータ本体が長手方向に収縮することで他方の駆動子によってステージを駆動する状態を示す。
【図１４】その他の実施形態に係る超音波アクチュエータの斜視図である。
【図１５】その他の実施形態に係る駆動装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００９３】
１      駆動装置
２      超音波アクチュエータ（振動型アクチュエータ）
７      制御装置（制御部）
８１    温度センサ（温度検出手段）
８２    結露センサ（結露検出手段）
【図１】
2008301698.tif 000003
【図２】
2008301698.tif 000004
【図３】
2008301698.tif 000005
【図４】
2008301698.tif 000006
【図５】
2008301698.tif 000007
【図６】
2008301698.tif 000008
【図７】
2008301698.tif 000009
【図８】
2008301698.tif 000010
【図９】
2008301698.tif 000011
【図１０】
2008301698.tif 000012
【図１１】
2008301698.tif 000013
【図１２】
2008301698.tif 000014
【図１３】
2008301698.tif 000015
【図１４】
2008301698.tif 000016
【図１５】
2008301698.tif 000017