(57)【要約】【課題】フレーム（天井フレーム）との間の気密性を確保し、かつフレーム（天井フレーム）に伝搬する振動を低減するファンフィルターユニットを備えたクリーンルームを提供する。【解決手段】クリーンルーム１０の躯体２２から懸架されたフレーム２６にファンフィルターユニット２８が取り付けられている。ファンフィルターユニット２８とフレーム２６の間には弾性体４６、５０が設けられ、ファンフィルターユニット２８とフレーム２６の間の気密性を確保する。また、ウェイト部材５２によって、ファンフィルターユニット２８に質量を付加する。よって、弾性体４６、５０により振動系の剛性が小さくなり、ウェイト部材５２により振動系の質量が大きくなるので、振動系の固有周期は大きくなる。これにより、ファンフィルターユニット２８からフレーム２６を介して躯体２２へ伝わる振動を低減することができる。【選択図】図３
2008121992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンが収納されたハウジングと、
前記ハウジングの開口を覆い前記ファンから吹き出させる空気を浄化するフィルターと、
を有するファンフィルターユニットが、躯体から懸架されたフレームに取り付けられているクリーンルームにおいて、
前記ファンフィルターユニットには、
前記ファンフィルターユニットと前記フレームとの間に設けられて、前記ファンフィルターユニットと前記フレームとの間の気密性を確保する弾性体と、
前記ファンフィルターユニットに質量を付加するウェイト部材と、
が設けられていることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記ウェイト部材は、前記ハウジング上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記ウェイト部材は、前記ハウジング上に設けられた突出部、又は前記ハウジングの外縁上部に嵌合される矩形の枠体であることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記ウェイト部材は、前記ハウジングに左右対称に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルーム。
【請求項５】
前記ウェイト部材は、前記ハウジングに分散して４つ以上配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファンフィルターユニットを備えたクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１２に示すように、半導体工場等のクリーンルーム２００の天井には、一般に、複数のファンフィルターユニット２１０が取り付けられている。
【０００３】
クリーンルーム２００上方の躯体２０２にはロッド２０４が固定され、このロッド２０４にシステム天井フレーム２０６が吊り下げられている。そして、このシステム天井フレーム２０６の上に気密パッキン材２０８を介してファンフィルターユニット２１０が載置されている。
【０００４】
システム天井フレーム２０６付近を拡大した断面図である図１３に示すように、気密パッキン材２０８は、ファンフィルターユニット２１０下部のフィルター部２１２のフィルター２１４を囲むフレーム材２１６の上下両面に設けられており、これによって、システム天井フレーム２０６とフィルター部２１２との間、及びファンフィルターユニット２１０上部のファンフィルターユニット本体２１８とフィルター部２１２との間の隙間を塞いで気密性を確保している。
【０００５】
ファンフィルターユニット２１０のファンの羽根２２０が回転すると、この加振力による振動がファンフィルターユニット本体２１８、気密パッキン材２０８、フレーム材２１６、気密パッキン材２０８、システム天井フレーム２０６、ロッド２０４の順に伝搬して躯体２０２に伝わり、さらに、壁や柱を伝わって床を振動させるので、クリーンルーム２００の床上に設置された機器の性能に悪影響を及ぼしてしまう。
【０００６】
また、通常、気密パッキン材２０８は気密性を確保するために、厚さが薄くて硬めのゴムを用いることが多く、十分な防振効果を期待できない。
【０００７】
特に、クリーンルームには微振動を嫌う半導体製造装置や検査装置等が置かれることが多いので、床に発生する振動が問題となる。また、ファンフィルターユニットが大型化すると加振力も大きくなるので、床上に設置された機器に与える影響も大きくなってしまう。
【０００８】
図１４に示すように、特許文献１のファンフィルターユニット２２２の取付け構造では、建屋構造物２２４にロッド２２６が溶接され、このロッド２２６にシステム天井フレーム２２８が吊り下げられている。そして、このシステム天井フレーム２２８の上に弾性体２３０を介してファンフィルターユニット２２２が載置されている。
【０００９】
よって、ファンフィルターユニット２２２から発生する振動が弾性体２３０に吸収され、クリーンルーム２３２の室内に設置されている装置に悪影響を与えることがない。また、弾性体２３０には空気Ｕの流通路２３４が形成されているので、クリーンルーム２３２の室内に滞留する空気等を室外へ排出することができる。
【００１０】
しかし、ファンフィルターユニット２２２が大型化した場合には、ファンフィルターユニット２２２から発生する振動も大きくなり、また、クリーンルーム２３２に半導体装置等を設置した場合には、クリーンルーム２３２の床に生じる微振動も問題になるので、弾性体２３０の防振効果だけでは不十分となることが懸念される。
【特許文献１】特開２００３−７４９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は係る事実を考慮し、フレーム（天井フレーム）との間の気密性を確保し、かつフレーム（天井フレーム）に伝搬する振動を低減するファンフィルターユニットを備えたクリーンルームを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載の発明は、ファンが収納されたハウジングと、前記ハウジングの開口を覆い前記ファンから吹き出させる空気を浄化するフィルターと、を有するファンフィルターユニットが、躯体から懸架されたフレームに取り付けられているクリーンルームにおいて、前記ファンフィルターユニットには、前記ファンフィルターユニットと前記フレームとの間に設けられて、前記ファンフィルターユニットと前記フレームとの間の気密性を確保する弾性体と、前記ファンフィルターユニットに質量を付加するウェイト部材と、が設けられていることを特徴としている。
【００１３】
請求項１に記載の発明では、ファンフィルターユニットが躯体から懸架されたフレームに取り付けられている。ファンフィルターユニットはハウジングを有し、ハウジングにはファンが収納されている。また、フィルターがハウジングの開口を覆っていて、ファンから吹き出させる空気を浄化する。
【００１４】
ファンフィルターユニットとフレームとの間には弾性体が設けられていて、ファンフィルターユニットとフレームとの間の気密性を確保する。また、ファンフィルターユニットにはウェイト部材が設けられていて、ファンフィルターユニットに質量を付加する。
【００１５】
よって、弾性体によりファンフィルターユニットとフレームとの間の気密性を確保することができる。
【００１６】
また、弾性体により振動系の剛性が小さくなり、ウェイト部材により振動系の質量が大きくなるので、振動系の固有周期が大きくなる。よって、ファンフィルターユニットからフレームを介して躯体へ伝わる振動を低減することができる。これにより、躯体から壁や柱を介して床に伝わる振動が低減されるので、床に発生する微振動を防ぐことができ、クリーンルームの床上に設置された機器の性能にファンフィルターユニットの振動が悪影響を与えることがなくなる。
【００１７】
また、ウェイト部材によって付加された質量により、ファンフィルターユニットが弾性体を押し潰す。これにより、弾性体に初期変形を与えて弾性体がズレ難くなり、密着性も高めることができるので、高い気密性を確保することができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明は、前記ウェイト部材は、前記ハウジング上に配置されていることを特徴としている。
【００１９】
請求項２に記載の発明では、ウェイト部材をハウジング上に配置するだけなので、ウェイト部材を設置するための特別な改造をファンフィルターユニットに施さなくてもよい。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、前記ウェイト部材は、前記ハウジング上に設けられた突出部、又は前記ハウジングの外縁上部に嵌合される矩形の枠体であることを特徴としている。
【００２１】
請求項３に記載の発明では、ウェイト部材は矩形の枠体であり、ハウジング上に設けられた突出部、又はハウジングの外縁上部に嵌合されている。
【００２２】
よって、ウェイト部材が、ハウジング上の突出部やハウジングの外縁上部に嵌合されているのでズレない。これにより、ウェイト部材をハウジングに置くだけで、ファンフィルターユニットにウェイト部材の質量を安定して付加することができる。
【００２３】
請求項４に記載の発明は、前記ウェイト部材は、前記ハウジングに左右対称に配置されていることを特徴としている。
【００２４】
請求項４に記載の発明では、ウェイト部材をハウジングに左右対称に配置することにより、ファンフィルターユニットの左右の水平バランスを崩さずに、ウェイト部材の質量をファンフィルターユニットに付加することができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明は、前記ウェイト部材は、前記ハウジングに分散して４つ以上配置されていることを特徴としている。
【００２６】
請求項５に記載の発明では、４つ以上のウェイト部材の配置の仕方によって、ファンフィルターユニットの質量バランスを調整することができるので、ファンフィルターユニットとフレームの間の気密性をより高めることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は上記構成としたので、フレーム（天井フレーム）との間の気密性を確保し、かつフレーム（天井フレーム）に伝搬する振動を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図面を参照しながら、本発明の実施形態に係るクリーンルームを説明する。
【００２９】
まず、本発明の第１の実施形態に係るクリーンルーム１０について説明する。
【００３０】
図１に示すように、クリーンゾーン１２の床部に通気可能なグレーチング１４が敷設され、グレーチング１４の下方にリターンチャンバー１６が構築されている。また、リターンチャンバー１６は、壁部に形成されたリターンスペース１８を通じてクリーンゾーン１２の天井部に構築されたサプライチャンバー２０と連通している。
【００３１】
サプライチャンバー２０の上方に位置する躯体２２にはロッド２４の上端部が固定され、ロッド２４によってフレームとしての天井フレーム２６が躯体２２から懸架されている。そして、この天井フレーム２６の上にファンフィルターユニット２８が取り付けられ、天井部に複数並べて配置されている。
【００３２】
図２の斜視図、図３の正面図に示すように、ファンフィルターユニット２８のハウジング３０は、箱状の上部ハウジング３２と枠状の下部ハウジング３４から構成されている。
【００３３】
上部ハウジング３２には羽根３６を有するファンが収納されている。上部ハウジング３２の上面には突出部３８が形成されており、この突出部３８の略中央にファンの吸気口４０が設けられている。
【００３４】
上部ハウジング３２の下面は開口しており、この開口を覆うように上部ハウジング３２の下面には、図３の天井フレーム２６付近の拡大断面図である図４に示すように、フィルターとなるＵＬＰＡフィルター（Ultra Low Penetration Air Filter「定格風量で粒径が０．１５μｍの粒子に対して９９．９９９５％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が２４５Ｐａ以下の性能を持つエアフィルター」）４２が設けられている。下部ハウジング３４はＵＬＰＡフィルター４２の側面を囲むフレーム材となっている。
【００３５】
上部ハウジング３２の縁部下面と下部ハウジング３４上面の間には気密パッキン４４が設けられている。気密パッキン４４は連続した枠状のゴム材であり、下部ハウジング３４上面の全周に沿って設けられているので、下部ハウジング３４上面と上部ハウジング３２の間の気密性を確保することができる。気密パッキン４４の断面は、上面に円弧を有する半円形状をしており、上部ハウジング３２によって押し潰されて密着し、気密性が上がる。
【００３６】
これらの構成により、ファンの羽根３６の回転により吸気口４０から吸い込んでファンから吹き出させる空気Ａは、ハウジング３０の開口を覆うＵＬＰＡフィルター４２によって浄化される。
【００３７】
また、下部ハウジング３４の下面には、気密パッキン４４の断面形状を上下逆にした気密パッキン４６が設けられている。気密パッキン４６にも気密パッキン４４と同じゴム材が用いられている。
【００３８】
天井フレーム２６下部の鍔部４８の上面には、平板状の防振ゴム５０が天井フレーム２６の長手方向に沿って設けられ、この防振ゴム５０の上に気密パッキン４６が設けられている。よって、ファンフィルターユニット２８は、防振ゴム５０及び気密パッキン４６を介して天井フレーム２６に支持されている。
【００３９】
すなわち、弾性体としての防振ゴム５０及び気密パッキン４６が、ファンフィルターユニット２８と天井フレーム２６との間に設けられて、ファンフィルターユニット２８と天井フレーム２６との間の気密性を確保している。
【００４０】
さらに、図２、図３示すように、上部ハウジング３２上にウェイト部材としての枠体５２が配置されている。
【００４１】
図５（Ａ）に示すように、ウェイト部材としての枠体５２は、４つの鋼製Ｌ型のアングル材５４Ａ〜５４Ｄの端部同士をボルト５６及びナット５８でつなぎ合わせて矩形にしたものである。
【００４２】
そして、図５（Ｂ）に示すように、枠体５２を上部ハウジング３２上に配置させて、ファンフィルターユニット２８に質量を付加する。
【００４３】
枠体５２の内側に形成される開口部は、突出部３８に枠体５２を嵌合したときに、アングル材５４Ａ〜５４Ｄの内側側面と突出部３８の側面の間に設けられた緩衝材としてのゴム製のパッキン６０が多少縮んで枠体５２をガタつかせない程度に、突出部３８の外形よりも少し大きくなっている。
【００４４】
アングル材５４Ａ〜５４Ｄの下面にもパッキン６０が設けられており、これによって枠体５２のガタつきやズレを防ぐことができる。
【００４５】
図５（Ａ）に示すように、突出部３８から配線６２が出ているときには、アングル材５４Ａの高さｈを他のアングル材５４Ｂ〜５４Ｄの高さよりも短くし、その分、アングル材５４Ａ下面のパッキン６０を厚くすれば、配線６２がアングル材５４Ａの下面に押されて潰れてしまうのを防ぐことができる。
【００４６】
次に、本発明の第１の実施形態に係るクリーンルーム１０の作用及び効果について説明する。
【００４７】
固有振動数ωの振動系に加振振動数Ｐの振動を入力した場合、振動数比Ｐ／ωに対する伝達率τは、図６のようになる。振動系の減衰定数は５％とした。縦軸は伝達率τ、横軸は振動数比Ｐ／ωである。
【００４８】
ここで、縦軸の伝達率τは、振動系に入力した振動の大きさに対して、振動系の外部に伝達された振動の大きさが何倍になるかを対数で示したものである。よって、伝達率τが小さいほど振動の減衰が大きい、すなわち振動が大きく低減されていることになる。
【００４９】
図６の符号６４に示すように、振動数比Ｐ／ωが１のときに伝達率τは最大になり、振動数比Ｐ／ωが１以上の領域では、振動数比Ｐ／ωが大きくなるほど伝達率τは小さくなる。よって、振動数比Ｐ／ωが１以上の領域において高い振動低減効果を得るためには、振動数比Ｐ／ωの値を大きく、すなわち固有振動数ωを小さくすればよい。
【００５０】
振動系の固有振動数をｆ、質量をｍ、剛性をｋとすれば、固有振動数ωは２πｆ、固有周期Ｔは１／ｆ＝２π√（ｍ／ｋ）なので、ω＝１／√（ｍ／ｋ）となる。よって、剛性ｋを小さくする、質量ｍを大きくする、又はこの両方を行えば振動を低減することができる。
【００５１】
第１の実施形態では、弾性体としての防振ゴム５０及び気密パッキン４６を設けることにより振動系の剛性ｋが小さくなり、ウェイト部材としての枠体５２を配置することによって質量ｍが大きくなる。よって、ファンフィルターユニット２８から天井フレーム２６を介して躯体２２へ伝わる振動を低減することができる。
【００５２】
これにより、躯体２２から壁や柱を介して床に伝わる振動が低減されるので、床に発生する微振動を防ぐことができ、クリーンルームの床上に設置された機器の性能にファンフィルターユニット２８の振動が悪影響を与えることがなくなる。
【００５３】
防振ゴム５０及び気密パッキン４６の厚さはより厚い方が柔らかくなるため振動低減の効果が高くなるが、厚くしすぎる（柔らかくしすぎる）と、ファンフィルターユニット２８本体の振動が大きくなりすぎて、不安定になることが考えられる。従って、防振ゴム５０及び気密パッキン４６の厚さには限度がある。
【００５４】
防振ゴム５０及び気密パッキン４６だけでも、ある程度の振動低減効果が得られるが、
しかし、ファンフィルターユニット２８が大型の場合には、クリーンルーム１０の床に発生する振動も大きくなり、また、クリーンルーム１０の床上に半導体製造装置等の嫌振機器を設置した場合には、クリーンルーム１０の床に生じる微振動も問題になるので、厚さの限られた防振ゴム５０及び気密パッキン４６の振動低減効果だけでは不十分となることが考えられる。
【００５５】
よって、枠体５２を防振ゴム５０及び気密パッキン４６と併用することにより、十分な振動低減効果を発揮させる。
【００５６】
枠体５２の質量もより大きい方が振動低減の効果が高くなるが、天井フレーム２６が許容する積載荷重によって、この質量にも限度がある。
【００５７】
よって、必要とする気密性、ファンフィルターユニット２８の性能、ファンフィルターユニット２８の取り付け構造、及び目標とする振動低減量等を考慮して、最適な防振ゴム５０及び気密パッキン４６の厚さと枠体５２の質量を設定する。
【００５８】
例えば、以下に示す（１）〜（５）の手順で設計及び施工を行えばよい。
（１）取り付けられるファンフィルターユニット２８の加振力から、嫌振機器が設置されるクリーンルーム１０の床に発生する振動の大きさを求める。
（２）嫌振機器の振動スペックを考慮して目標とする振動低減量を決め、振動系の固有振動数を設定する。
（３）設定した固有振動数になり、かつ気密性を確保できるように、防振ゴム５０及び気密パッキン４６の厚さと枠体５２の質量を決定する。
（４）（３）によって決定した厚さの防振ゴム５０及び気密パッキン４６をファンフィルターユニット２８と天井フレーム２６の間に設ける。
（５）（３）によって決定した質量の枠体５２を上部ハウジング上に配置する。
【００５９】
ファンフィルターユニット２８の天井フレーム２６への取り付けは、通常のファンフィルターユニットの取り付けと同様である。また、ファンフィルターユニットの仕様毎に防振仕様を標準化しておけば、手順（１）〜（３）は省略できる。
【００６０】
枠体５２の質量は、使用するアングル材５４Ａ〜５４Ｄの厚さや大きさを変えることによって調整すればよい。また、ウェイト部材は、ファンフィルターユニット２８に質量を付加できる部材であれば、アングル材以外の材料を用いても良い。
【００６１】
また、第１の実施形態では、防振ゴム５０及び気密パッキン４６によりファンフィルターユニット２８と天井フレーム２６との間の気密性を確保することができる。さらには、枠体５２の質量によりファンフィルターユニット２８が防振ゴム５０及び気密パッキン４６を押し潰す。これにより、防振ゴム５０及び気密パッキン４６に初期変形を与えて防振ゴム５０及び気密パッキン４６がズレ難くなり、密着性も高めることができるので、高い気密性を確保することができる。
【００６２】
また、ウェイト部材を上部ハウジング３２上に配置するだけなので、ウェイト部材を設置するための特別な改造をファンフィルターユニット２８に施さなくてもよい。
【００６３】
ウェイト部材は矩形の枠体５２であり、上部ハウジング３２上に設けられた突出部３８に嵌合されているので、ウェイト部材がズレない。これにより、ウェイト部材を上部ハウジング３２に固定せずに置くだけで、ファンフィルターユニット２８にウェイト部材の質量を安定して付加することができる。なお、図７に示すように、ウェイト部材を上部ハウジング３２の外縁上部に嵌合する枠体６６としてもよい。枠体６６と上部ハウジング３２の間には、ゴム製のパッキン６８が挟まれている。
【００６４】
なお、第１の実施形態では、気密パッキン４４、４６及び防振ゴム５０の材料をゴム材としたが、密着性及び気密性を確保できる弾性体であればよく、ポリウレタン等を用いてもよい。
【００６５】
また、気密パッキン４４、４６の断面は、気密性を確保できれば半円形状でなくてもよい。
【００６６】
また、緩衝材としてのパッキン６０、６８は、枠体５２、６６のガタつきやズレを防ぐ材料であればよく、ＥＰＤＭゴム、ポリウレタン等を用いることができる。
【００６７】
また、フィルターとしてＵＬＰＡフィルター４２を用いた例を示したが、空気を浄化するエアフィルターであればよく、ＨＥＰＡフィルター（High Efficiency Particulate Air Filter「０．１ｍレベルの粒子を除去できるフィルター」）等を用いてもよい。
【００６８】
次に、本発明の第２の実施形態に係るクリーンルーム７０について説明する。
【００６９】
第２の実施形態は、第１の実施形態の上部ハウジング３２上に左右対称にウェイト部材を配置したものである。したがって、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。
【００７０】
図８の斜視図に示すように、上部ハウジング３２上にウェイト部材としての鋼製Ｌ型のアングル材７２Ａ、７２Ｂが左右対称に配置されている。
【００７１】
図８（Ａ）に示すように、アングル材７２Ａ、７２Ｂの端部付近の側面には穴７４Ａ〜７４Ｄが形成されている。そして、穴７４Ａ、７４Ｂに長尺のボルト７６を貫通し、穴７４Ｃ、７４Ｄに長尺のボルト７８を貫通して、ナット８０、８２でそれぞれ締め付けて突出部３８の両側をアングル材７２Ａ、７２Ｂで挟み込んで固定する。そして、図８（Ｂ）に示すように、アングル材７２Ａ、７２Ｂを上部ハウジング３２上に配置させて、ファンフィルターユニット２８に質量を付加する
アングル材７２Ａ、７２Ｂの内側側面と突出部３８の側面の間と、アングル材７２Ａ、７２Ｂの下面には、緩衝材としてのゴム製のパッキン６０が設けられている。
【００７２】
次に、本発明の第２の実施形態に係るクリーンルーム７０の作用及び効果について説明する。
【００７３】
第２の実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得ることができ、また、アングル材７２Ａ、７２Ｂを上部ハウジング３２上に左右対称に配置することにより、ファンフィルターユニット２８の左右の水平バランスを崩さずに、ウェイト部材の質量をファンフィルターユニット２８に付与することができる。
【００７４】
なお、第２の実施形態では、ウェイト部材にアングル材７２Ａ、７２Ｂを用いた例を示したが、ファンフィルターユニット２８に質量を付加できる部材であれば、アングル材以外の材料を用いても良い。
【００７５】
また、突出部３８を挟み込むようにアングル材７２Ａ、７２Ｂを配置した例を示したが、上部ハウジング３２の外縁に嵌合するようにしてもよい。
【００７６】
また、上部ハウジング３２平面の長辺方向に渡ってアングル材７２Ａ、７２Ｂを配置したが、短辺方向に渡ってアングル材を左右対称に配置してもよい。
【００７７】
また、上部ハウジング３２の突出部３８の四周にアングル材を配置し、対向する各々のアングル材を図８（Ａ）と同様の方法でボルト接合し、上部ハウジング３２の突出部３８に固定してもよい。
【００７８】
次に、本発明の第３の実施形態に係るクリーンルーム８４について説明する。
【００７９】
第３の実施形態は、第１の実施形態の上部ハウジング３２上に４つのウェイト部材を分散して配置したものである。したがって、以下の説明において、第１の実施形態と同じ構成のものは、同符号を付すると共に、適宜省略して説明する。
【００８０】
図９（Ａ）の斜視図に示すように、上部ハウジング３２上の四隅には矩形の鉄板９１が配置されている。鉄板９１の下面には緩衝材としてのゴム板９３が設けられており、このゴム板９３の両面に貼り付けられた両面粘着テープによって、上部ハウジング３２上に鉄板９１が固定されている。
【００８１】
次に、本発明の第３の実施形態に係るクリーンルーム８４の作用及び効果について説明する。
【００８２】
第３の実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得ることができ、また、鉄板９１の配置の仕方によりファンフィルターユニット２８の質量バランスを調整することができるので、ファンフィルターユニット２８と天井フレーム２６の間の気密性をより高めることができる。
【００８３】
なお、第３の実施形態では、４つの鉄板９１を上部ハウジング３２上に配置した例を示したが、４つ以上の鉄板９１を上部ハウジング３２上の任意の位置に配置したものであればよく、例えば、図９（Ｂ）、（Ｃ）のようにしてもよい。また、鉄板９１を上部ハウジング３２の側面に貼り付けてもよい。
【００８４】
鉄板９１は、効果的に重量を付加できる密度の高い材料であれば鋼材でなくてもよく、
鉄板９１の大きさは、必要に応じて適宜決めればよい。
【００８５】
また、ゴム板９３は鉄板９１のガタつきを防ぐものであれば他の材料を用いてもよい。
【００８６】
また、第３の実施形態の変形例として、図１０の斜視図に示すような方法を用いてもよい。上部ハウジング３２上には、矩形の８つの穴９０が設けられたゴムシート８６が置かれている。ゴムシート８６の中央には突出部３８と嵌合する開口部８８が形成されている。
【００８７】
ファンフィルターユニット２８に質量を付加する際には、ゴムシート８６の任意の穴９０にウェイト部材としての鉄板９２を嵌め込んで上部ハウジング３２に配置する。穴９０の大きさは鉄板９２の外形よりも少し小さくなっている。鉄板９２は、最大で８枚を配置することができる。
【００８８】
図１０の方法において、ゴムシート８６は鉄板９２を保持するゲージの役割りをするものであれば他の材料を用いてもよい。ゴム材であれば、鉄板９２をガタつかせることなく保持できるので好ましい。
【００８９】
また、鉄板９２は、効果的に質量を付加できる密度の高い材料であれば鋼材でなくてもよく、鉄板９２の大きさ、数、及び配置等は、必要に応じて適宜決めればよい。
【００９０】
また、穴９０の大きさ、数、及び配置等は、必要に応じて適宜決めればよい。
【００９１】
なお、第１〜３の実施形態では、ウェイト部材５２、６６、７２Ａ、７２Ｂ、９１、９２により、ファンフィルターユニット２８に質量を付加した例を示したが、ハウジング設計時において弾性体の振動系の剛性との関係から、ハウジングのプレート厚さにより振動系の質量を調整してもよい。そして、このハウジングのプレートの質量調整に図１０の方法を用いてもよい。
【００９２】
また、天井フレーム２６が躯体２２から懸架された例を示したが、躯体に支持された天井下地部材から天井フレーム２６が懸架されていてもよく、その場合においても、第１〜３の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００９３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
（実施例）
表１は、第１の実施形態のファンフィルターユニット２８を実際のクリーンルームの天井フレーム２６に取り付けたときの振動低減率を示したものである。
【００９４】
【表１】
2008121992.tif 000003
縦９６４ｍｍ×横１４０４ｍｍ×高さ２０６ｍｍの寸法の上部ハウジング３２を有し、ファンの羽根３６の枚数が５枚のファンフィルターユニット２８を天井フレーム２６上に載置し、図１１に示すように、天井フレーム２６を吊るロッド２４の上方に位置する躯体２２上に設置された加速度センサ９４によって、躯体天井２２に伝播するファンフィルターユニット２８の振動を計測した。また、表１に示す比較例１及び実施例１〜５の全てのケースの計測においてファンの羽根３６の回転数は１０００ｒｐｍとした。
【００９５】
表１の振動低減率は、防振ゴム５０及び枠体５２が設けられていない比較例１の場合に加速度センサ９４が計測した振動の大きさを基準値として、実施例１〜５の各ケースで加速度センサ９４によって計測された振動の値がこの基準値の何倍になるかをｄＢで表示したものである。よって、マイナスの値が大きいものほど振動の低減効果が高いことになる。
【００９６】
実施例１は、防振ゴム５０を設けずに、ファンフィルターユニット２８の全重量（４０ｋｇ）の半分の重量（２０ｋｇ）の枠体５２を配置したケースである。
【００９７】
実施例２は、防振ゴム５０を設けずに、ファンフィルターユニット２８の全重量（４０ｋｇ）と等しい重量（４０ｋｇ）の枠体５２を配置したケースである。
【００９８】
実施例３は、防振ゴム５０を設けて、枠体５２を配置しないケースである。
【００９９】
実施例４は、防振ゴム５０を設けて、ファンフィルターユニット２８の全重量（４０ｋｇ）の半分の重量（２０ｋｇ）の枠体５２を配置したケースである。
【０１００】
実施例５は、防振ゴム５０を設けて、ファンフィルターユニット２８の全重量（４０ｋｇ）と等しい重量（４０ｋｇ）の枠体５２を配置したケースである。
【０１０１】
防振ゴム５０には、ＥＰＤＭゴムを用いた。
【０１０２】
表１の比較例１、実施例１、２の比較、又は実施例３〜５の比較により、ウェイト部材（枠体５２）の質量が大きいほど振動低減率のマイナスの値が大きくなっているので、振動低減効果が高いことがわかる。
【０１０３】
また、比較例１と実施例３、実施例１と実施例４、又は実施例２と実施例５を比較することにより、弾性体（防振ゴム５０）を設けた方が振動低減効果が高いことがわかる。
【０１０４】
実施例２に示されているように、防振ゴム５０を設けなくても４０ｋｇの枠体５２を配置すれば−４ｄＢ程度の低減効果（躯体天井２２に伝わる振動が、比較例１のときの振動の２／３程度の小さい振動になる）が得られる。
【０１０５】
そして、最も高い振動低減効果を発揮したのは実施例５であり、−１０ｄＢ程度の低減効果（躯体天井２２に伝わる振動が、比較例１のときの振動の１／３程度の小さい振動になる）が得られていることがわかる。実施例５で示された程度の低減効果が得られれば、躯体天井２２から壁や柱を介して床に伝わる振動も十分に低減されるので、床に発生する微振動を防ぐことができ、クリーンルーム１０の床上に設置された機器の性能にファンフィルターユニット２８の振動が悪影響を与えることがなくなる。
【０１０６】
なお、本実施例では、ファンの羽根３６の回転数を１０００ｒｐｍとしたが、羽根３６の回転数はファンフィルターユニットを取り付けるクリーンルームの仕様上の必要風量から決められる。しかし、第１の実施形態において説明した振動低減の原理からもわかるように、羽根３６が他の回転数で回転した場合においても、本実施例と同様の効果を得ることができる。
【０１０７】
よって、表１の測定結果より、本実施形態のファンフィルターユニットを用いれば、フレーム（天井フレーム）との間の気密性を確保し、かつフレーム（天井フレーム）に伝搬する振動を低減することができることがわかる。
【０１０８】
これまで述べたように、第１〜第３の実施形態を適用すれば、弾性体及びウェイト部材の作用により高い振動低減効果を得ることができ、さらには、従来のファンフィルターユニットのディテールを大きく変更しなくてよいので余分なコストが掛からない。また、従来と同じ取り付け方法でよいので施工が大きな負担になることがない。また、ファンフィルターユニットの大型化（風量の増大）を図ることができる。
【０１０９】
なお、ファンフィルターユニットから発生する振動は主に鉛直振動であるが、第１〜第３の実施形態は、鉛直振動はもちろんのこと、水平振動に対しても十分な振動低減効果を発揮することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の第１〜３の実施形態に係るクリーンルームを示す説明図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットを示す斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットの取り付け構造を示す正面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係るファンフィルターユニットの取り付け構造を示す拡大図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る枠体の配置状況を示す斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る振動数比に対する伝達率を示す線図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る枠体の変形例を示す斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係るウェイト部材の配置状況を示す斜視図である。
【図９】本発明の第３の実施形態に係るウェイト部材の配置状況を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係るウェイト部材の変形例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態に係るクリーンルームの振動低減効果を検証する測定方法を示す説明図である。
【図１２】従来のファンフィルターユニットを示す正面図である。
【図１３】従来のファンフィルターユニットの取り付け構造を示す拡大図である。
【図１４】従来のファンフィルターユニットを示す正面図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０  クリーンルーム
２２  躯体
２６  天井フレーム（フレーム）
２８  ファンフィルターユニット
３０  ハウジング
３６  羽根
３８  突出部
４２  ＵＬＰＡフィルター（フィルター）
４６  気密パッキン（弾性体）
５０  防振ゴム（弾性体）
５２  枠体（ウェイト部材）
６６  枠体（ウェイト部材）
７０  クリーンルーム
７２Ａ  アングル材（ウェイト部材）
７２Ｂ  アングル材（ウェイト部材）
８４  クリーンルーム
９１  鉄板（ウェイト部材）
９２  鉄板（ウェイト部材）
Ａ  空気
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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