(57)【要約】【課題】プリント基板を遠隔で目視検査する場合、効率よく検査でき、しかも、低コストでシステムを導入できるようにする。【解決手段】プリント基板４を撮影する第二カメラ３１５を備えた装置本体３１と、当該装置本体３１と分離され、プリント基板４の画像取得を指示する入力部３２１やディスプレイ３２０を備えたレビュー機３２を備え、自動検査装置２で不良と判定されたプリント基板４を目視検査する目視検査装置３において、自動検査装置２で不良と判定されたプリント基板４の不良詳細情報をレビュー機３２に送信し、その一覧をディスプレイ３２０に表示させる。そして、不良箇所の画像をディスプレイ３２０に表示させて、目視による良否判定を受け付ける一方、その画像で判定できない場合は、その不良箇所における画像を新たに第二カメラ３１５で取得し、新たな画像に基づいて目視による良否の判定を受け付ける。【選択図】図７
2008111687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の画像を取得する画像取得部を備えた装置本体と、当該装置本体と分離して設けられ、検査対象物の画像取得を指示する入力部および、ディスプレイを備えたレビュー機とを備え、自動検査装置で取得された画像をもとに基準データと比較することによって不良と判定された検査対象物を目視で検査する目視検査装置において、前記レビュー機に、
自動検査装置で不良と判定された検査対象物の不良箇所の画像と位置情報を含む不良詳細情報を格納しておく記憶部と、
当該記憶部に格納されている不良詳細情報の一覧を前記ディスプレイに表示し、当該表示された不良詳細情報の中から一の不良箇所の選択を受け付ける選択受付手段と、
当該選択された不良箇所の画像を前記記憶部から読み出してディスプレイに表示させ、目視による良否判定を受け付ける第一の良否判定手段と、
前記目視による良否判定ができなかった場合、前記受け付けた不良箇所の新たな画像を取得するための指示情報を装置本体に送信する画像取得指示手段と、
当該画像取得指示手段に基づいて前記装置本体の画像取得部で新たに取得された不良箇所の画像をディスプレイに表示させ、当該表示された新たな画像に基づいて目視による良否の判定を受け付ける第二の良否判定手段とを備えたことを特徴とする目視検査装置。
【請求項２】
前記装置本体とレビュー機とが、インターネットを介して接続されるものである請求項１に記載の目視検査装置。
【請求項３】
前記自動検査装置とレビュー機に接続可能なサーバーコンピューターを設けておき、当該サーバーコンピューターに自動検査装置で取得された画像と位置情報を含む不良詳細情報を格納するとともに、レビュー機側からサーバーコンピューターに格納された不良詳細情報を取得するようにした請求項１に記載の目視検査装置。
【請求項４】
検査対象物の画像を取得する画像取得部を備えた装置本体と、当該装置本体と分離して設けられ、検査対象物の画像取得を指示する入力部および、ディスプレイを備えたレビュー機とを備え、自動検査装置で取得された画像をもとに基準データと比較することによって不良と判定された検査対象物を目視で検査する目視検査装置において、前記レビュー機に、
自動検査装置で不良と判定された検査対象物の不良箇所の画像と位置情報を含む不良詳細情報を格納するステップと、
当該記憶部に格納されている不良詳細情報の一覧を前記ディスプレイに表示させ、当該表示された不良詳細情報の中から一の不良箇所の選択を受け付けるステップと、
当該選択された不良箇所の画像を前記記憶部から読み出してディスプレイに表示させ、目視による良否判定を受け付けるステップと、
前記目視による良否判定ができなかった場合、前記受け付けた不良箇所の新たな画像を取得するための指示情報を装置本体に送信するステップと、
当該指示に基づいて前記画像取得部で新たに取得された不良箇所の画像をディスプレイに表示させ、当該表示された新たな画像に基づいて目視による良否の判定を受け付けるステップとを実行させるようにしたコンピュータープログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板や実装基板、液晶パネルなどを始めとする種々の検査対象物を目視で検査できるようにした目視検査装置に関するものであり、より詳しくは、遠隔操作によって検査対象物を目視検査できるようにした装置およびそのレビュー機で用いられるプログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント基板の表面に形成されたパッドや配線パターン、シルク、レジストなどは自動検査装置によって自動で検査され、そこで、不良と判定されたプリント基板については、その後、目視によって検査が行われる。
【０００３】
この目視による検査では、従来、拡大鏡を用いて検査を行うのが一般的であったが（特許文献２）、近年では、プリント基板の微細化に伴い、カメラを用いた目視検査が行われるようになってきている。例えば、下記の特許文献１には、プリント基板の画像を取得するカメラと、そのカメラで撮影された画像を拡大して表示するディスプレイを備えた目視検査装置が提案されており、また、この特許文献１以外にも、同様に、検査対象物の画像を取得するカメラやディスプレイを備えた目視検査装置が数多く提案されている（特許文献２、３など）。このような装置を用いれば、不良箇所の画像を拡大させて表示することができるばかりでなく、また、そのディスプレイに目視検査のために必要な種々の情報を同時に表示させることができるというメリットがある。
【０００４】
しかしながら、このようにカメラやディスプレイを用いたとしても、結局は人間の目で目視判断しなければならないために、検査者がその目視検査装置の前に常駐していなければならない。このため、検査者が不在の場合は目視による最終的な検査を行うことができないといった問題がある。
【０００５】
かかる問題を解決するために、特許文献４には、遠方に検査者が存在する場合であっても目視検査を行えるようにしたシステムが提案されている。この特許文献４には、プリント基板の画像を取得するカメラと、そのカメラに対して遠方に設置されたディスプレイとを通信回線を用いて接続し、遠方のディスプレイにプリント基板の拡大画像を表示させて目視による検査を行えるようにしたものである。このようなシステムによれば、検査者が遠隔地に存在する場合であっても、そこで検査対象物の画像を拡大表示させて目視検査を行うことができ、時間や場所に拘束されることなく目視検査を行うことができるようになる。
【特許文献１】特開２００２−９５００号公報
【特許文献２】特開２００１−１９６７９８号公報
【特許文献３】特開平９−１５１６２号公報
【特許文献４】特開平５−１２９３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述のように遠隔から目視検査を行えるようにした場合であっても、次のような問題を生ずる。まず、第一の問題は、遠隔にディスプレイを設けることによる遅延動作の問題である。例えば、カメラとディスプレイをそれぞれ外国にまたがって設置するような場合、不良箇所の座標位置やその拡大率などを指示したとしたとしても、カメラ側へはその信号が送れて送信されてしまい、指示した位置とは異なる位置の画像を取得したり、指示した拡大率とは違う拡大率の画像を取得したりする可能性がある。また、仮に、指示された座標位置や拡大率の画像を取得したとしても、詳細な検査を行うために高解像度の画像を取得する場合は、その画像をディスプレイ側に送信するために時間がかかり、効率よく検査を行うことができない。
【０００７】
第二の問題はコストの問題である。通常、装置本体とディスプレイとを専用回線で結ぶと膨大なコストがかかり、また、ディスプレイ側の端末を汎用性のない専用のディスプレイで構成すると更にコストが高くつく。また、このようなディスプレイを専用のものとすると、ディスプレイを設置した場所以外では目視検査を行うことができないといった問題を生ずる。
【０００８】
そこで、本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、検査対象物を遠隔で目視検査する場合において、効率よく目視検査を行えるようにするとともに、システムの導入を低コストで実現できるようにした目視検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明は上記課題を解決するために、検査対象物の画像を取得する画像取得部を備えた装置本体と、当該装置本体と分離して設けられ、検査対象物の画像取得を指示する入力部および、ディスプレイを備えたレビュー機とを備えてなり、自動検査装置で取得された画像をもとに基準データと比較することによって不良と判定された検査対象物を目視で検査する目視検査装置において、前記レビュー機に、自動検査装置で不良と判定された検査対象物の不良箇所の画像と位置情報を含む不良詳細情報を格納しておく記憶部と、当該記憶部に格納されている不良詳細情報の一覧を前記ディスプレイに表示し、当該表示された不良詳細情報の中から一の不良箇所の選択を受け付ける選択受付手段と、当該選択された不良箇所の画像を前記記憶部から読み出してディスプレイに表示させ、目視による良否判定を受け付ける第一の良否判定手段と、前記目視による良否判定ができなかった場合、前記受け付けた不良箇所の新たな画像を取得するための指示情報を装置本体に送信する画像取得指示手段と、当該画像取得指示手段に基づいて前記装置本体の画像取得部で新たに取得された不良箇所の画像をディスプレイに表示させ、当該表示された新たな画像に基づいて目視による良否の判定を受け付ける第二の良否判定手段とを備えるようにしたものである。
【００１０】
このように構成すれば、自動検査装置で取得された不良詳細情報をあらかじめレビュー機に送信しておき、その記憶部に格納された不良詳細情報を読み出して表示させるので、目視検査の都度、新たに不良箇所の画像を取得して再検査する場合のように遅延動作が問題となるようなことはない。また、記憶部から読み出した画像に基づいて目視検査できないような場合には、その不良箇所の画像を新たに取得して目視検査を行えるようにするので、画像の取得のための通信回数を減らすことで、効率よく、しかも、必要な場合に正確な目視検査を行うことができるようになる。
【００１１】
また、このような発明において、装置本体とレビュー機をインターネットを介して接続する。
【００１２】
このようにすれば、インターネットに接続できる環境であれば、どのような場所であっても目視検査を行うことができるようになり、例えば、外国のような離れた場所に装置本体が設置されるような場合であって、どのような場所からもレビュー機で目視検査を行うことができるようになる。
【００１３】
さらには、サーバーコンピューターを自動検査装置とレビュー機に対して接続可能に設けておき、自動検査装置で取得された不良詳細情報をサーバーコンピューターに格納させ、そして、レビュー機からそのサーバーコンピューターに格納された不良詳細情報を読み出せるようにしておく。
【００１４】
このように構成すれば、自動検査装置の電源がＯＦＦにされた場合であっても、サーバーコンピューターにアクセスすることによって不良詳細情報を取得することができ、常時自動検査装置の電源をＯＮの状態にしておく必要がなくなる。これにより、自動検査装置と目視検査装置のそれぞれの稼働時間帯に影響されることなく、自由な時間に自動検査と目視検査とを独立して行うことができ、例えば、自動検査装置と目視検査装置のレビュー機の設置されている場所に時差が存在するような場合であっても、それぞれの業務時間中に自動検査や目視検査を行うことができるようになる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、自動検査装置で取得された不良詳細情報をあらかじめレビュー機に送信しておき、記憶部に格納された不良詳細情報を読み出して表示させるようにしたので、目視検査の都度、新たに不良箇所の画像を取得して再検査する場合のように遅延動作が問題となるようなことがなくなる。また、記憶部から読み出した画像に基づいて目視検査できないような場合は、その不良箇所の画像を新たに取得して目視検査を行うので、画像の取得のための通信回数を減らすことで、効率よく、しかも、必要な場合に正確な目視検査を行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態における目視検査装置３を含む外観検査システム１について図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態における外観検査システム１の概略構成図を示したものであり、図２は、その外観検査システム１を構成する自動検査装置２と目視検査装置３の機能ブロック図である。
【００１７】
この実施の形態における外観検査システム１は、自動で検査対象物を検査する自動検査装置２と、人間による目視によって検査対象物を検査するための目視検査装置３と、サーバーコンピューター６を備えてなるもので、目視検査装置３を構成する装置本体３１とレビュー機３２を分離して設けるようにしたものであり、特徴的に、その目視検査装置３を構成する装置本体３１とレビュー機３２をインターネット５を介して接続し、自動検査装置２で検査した際に得られた検査対象物の不良箇所の位置情報や画像を含む不良詳細情報をサーバーコンピューター６に格納して、その情報からレビュー機３２で目視検査できるようにしたものである。以下、本実施の形態における外観検査システム１の詳細について説明する。なお、本実施の形態において、検査対象物としてプリント基板４を挙げて説明し、また、自動検査装置２や目視検査装置３においては、その表面に形成されたパッドや配線パターン、レジスト、シルクなどを検査する場合について説明するが、検査対象物としてはこれらに限定されるものではなく、例えば、実装基板や液晶基板の形成状態を検査する場合にも適用することができ、あるいは、文字や絵柄などの印刷状態を検査する場合に適用することもできる。
【００１８】
本実施の形態における自動検査装置２は、上述のように、プリント基板４の表面に形成されたパッドや配線パターン、レジスト、シルクなどの形成状態を自動で検査できるようにしたもので、プリント基板４の表面に光を照射する発光部２４０と、その発光部２４０から照射された光のうちプリント基板４で反射した光の画像を取得する第一カメラ２４１と、その第一カメラ２４１によって取得されたプリント基板４の画像からパッドや配線パターンなどの形成状態を判定する判定部２５を備えている。
【００１９】
この自動検査装置２の概要について説明すると、この自動検査装置２は、検査対象となるプリント基板４を集積するスタッカ２０や、そのスタッカ２０に集積されたプリント基板４を最上部から一枚ずつピックアップするピックアップ機構２１を備え、スタッカ２０の最上部からピックアップされたプリント基板４をステージ２２上に載置する。このステージ２２上にプリント基板４を載置する場合、図３に示すように、ステージ２２のコーナー部分に互いに直交する２枚の側壁２２０を設けておき、ステージ２２の下方から爪２２１を立設させた状態でプリント基板４の側辺を押し当てることでコーナー部分にプリント基板４を位置決めする。そして、このようにプリント基板４を位置決めした状態でステージ２２を移動機構２３を介して水平方向に移動させ、その途中で発光部２４０と第一カメラ２４１の下方を通過させることによってプリント基板４の画像を撮影する。そのとき撮影された画像は、画像処理部によってパッドや配線パターン、レジスト、シルクなどの輝度領域に分離され、判定部２５によってこれらの画像毎にパッドや配線パターン、レジスト、シルクなど形成の良否が判定される。そして、パッドや配線パターンなどに不良箇所が存在していると判定された場合、その不良箇所の画像と不良箇所の存在する座標位置を記憶部２６に格納し、すべての領域の検査が終わった段階で不良箇所が存在していると判定されたプリント基板４については不良品用集積部２７に集積する。一方、不良箇所が全く存在しないと判定されたプリント基板４についてはその近傍に設けられた図示しない良品用集積部に集積していく。
【００２０】
この判定部２５では、例えば、一定の輝度幅で抽出された画像を微小ブロック毎に分解し、その微小ブロック内で輝度−画素数からなるヒストグラムを生成する。そして、その微小ブロック内において、あらかじめ記憶部２６に格納させておいた上限閾値と下限閾値の範囲内に所定輝度の画素数が含まれるか否かを判定する。そして、その所定輝度の画素数が上限閾値および下限閾値内に存在しない場合、その微小ブロックが不良であると判定して、そのプリント基板４に対して識別番号を割り当て、不良箇所を特定するための座標位置とその位置の画像を記憶部２６に格納させていく。図４に、その記憶部２６に格納された不良箇所のデータの概要を示す。図４において、「識別番号」は、不良箇所が存在すると判定されたプリント基板４のシリアル番号であり、不良品用集積部２７に下から順に集積されているプリント基板４の番号と一致するものである。また、不良箇所の「座標位置」は、例えば、ステージ２２上に載置されたプリント基板４のコーナー部分を原点とした場合における（Ｘ，Ｙ）座標の位置を示している。また、「距離ｄ」は、不良箇所が隣接して複数存在している場合において、その中心位置から最も外側までの画素数を示したものであり、後に目視検査でマーキングＭを施す際に用いられるものである。また、「不良箇所の画像」は、自動検査装置２の第一カメラ２４１で撮影された画像である。この画像は、第一カメラ２４１で撮影されたそのままの画像であってもよく、あるいは、画像処理によって所定の輝度幅毎に分離された画像であってもよい。また、これらのいずれか一方の画像だけでなく、撮影されたままの画像と所定輝度幅毎の画像の両方を記憶部２６に格納しておき、後で目視検査する際に、それぞれの画像を切り替えて不良箇所の良否を判定できるようにしてもよい。このように両方の画像を格納しておけば、画像処理された後の画像から目視判断できないような場合であっても、撮影された状態の画像から目視判断を行うことができ、一方、画像処理された後の画像を表示させた場合には、目視判断の際に不要な輝度の画素を消去して検査することができるようになる。これらの情報は通信部２８を介してサーバーコンピューター６に送信される。
【００２１】
次に、目視検査装置３の構成について説明する。この目視検査装置３は、自動検査装置２によって不良と判定されたプリント基板４を目視検査できるようにしたもので、第二カメラ３１５を搭載した装置本体３１と、この第二カメラ３１５で撮影された画像を表示させるレビュー機３２とを備える。これらの装置本体３１とレビュー機３２は、通信部３１８、３２３を介してそれぞれインターネット５に接続可能に設けられ、プロバイダーなどを介してどのような場所でも自由にサーバーコンピューター６に接続できるようになっている。
【００２２】
この目視検査装置３のうち装置本体３１は、自動検査装置２の近傍に設けられるもので、自動検査装置２によって不良と判定されたプリント基板４の画像を取得できるよう構成される。この装置本体３１について詳細に説明すると、この装置本体３１は、自動検査装置２と同様に、不良と判定されたプリント基板４を集積するスタッカ３１０と、そのスタッカ３１０に集積されたプリント基板４を最上部から一枚ずつピックアップするピックアップ機構３１１と、そのピックアップされたプリント基板４を位置決めした状態で載置するステージ３１２を備える。また、そのステージ３１２を移動させて発光部３１４や第二カメラ３１５の下方を通過させる移動機構３１３や、その第二カメラ３１５によって撮影された画像をレビュー機３２に送信する通信部３１８、レビュー機３２による目視判断の結果、不良と判定されたプリント基板４を回収する不良品用集積部３１６や良品と判定されたプリント基板４を回収する図示しない良品用集積部を備えている。これらのスタッカ３１０、ピックアップ機構３１１、ステージ３１２、移動機構３１３、不良品用集積部３１６及び良品用集積部は、それぞれ自動検査装置２と同様の構成が採用される。また、この装置本体３１は、自動検査装置２で取得されたプリント基板４の不良詳細情報をサーバーコンピューター６から読み取れるように構成されており、自動検査装置２によって不良と判定されたプリント基板４の画像や不良箇所の座標位置、不良原因などの不良詳細情報をサーバーコンピューター６から読み取ることによって、これらの情報を記憶部３１７に格納させておく。なお、この装置本体３１は、専用回線によって自動検査装置２と接続してもよく、もしくは、自動検査装置２によって取得されたプリント基板４の不良詳細情報をＦＤやＣＤ、ＭＤなどの記憶媒体に格納して、これらを読み取れるようにしてもよい。
【００２３】
一方、レビュー機３２は、ディスプレイ３２０や入力部３２１などを備えてなるもので、汎用のパーソナルコンピューターにコンピュータープログラムをインストールすることによって動作する。もちろん、このレビュー機３２は、専用のコンピューターによって構成することも可能であり、あるいは、携帯電話やＰＤＡなどの携帯端末などによって構成することもできる。このレビュー機３２は、自動検査装置２や目視検査装置３の装置本体３１、サーバーコンピューター６と通信部３２３を介して接続され、サーバーコンピューター６に送信された不良詳細情報を取得し、これらの情報を記憶部３２２に格納する。これらの不良詳細情報の取得は、目視検査が行われるに先立って行われ、例えば、自動検査装置２の自動検査中、あるいは、レビュー機のソフトウェアが立ち上げられるのと同時に行われる。そして、これらの不良詳細情報を記憶部３２２に格納した後、ディスプレイ３２０に各プリント基板４の不良詳細情報の一覧を表示させる。
【００２４】
このディスプレイ３２０には、自動検査装置２で撮影された画像や、装置本体３１の第二カメラ３１５で撮影された画像が表示される。具体的には、このディスプレイ３２０には、図５に示すように、同一画面上に、自動検査装置２によって取得された画像を表示するための第一の表示領域３４１と、装置本体３１の第二カメラ３１５によって撮影された画像を表示する第二の表示領域３４２と、基準となるプリント基板４の同じ位置における画像を表示する第三の表示領域３４３とが設けられ、さらに、このディスプレイ３２０には、自動検査装置２によって不良と判定された不良箇所のリストを表示する第四の表示領域３４４が設けられる。この第四の表示領域３４４には、自動検査装置２で不良と判定されたプリント基板４の識別番号や、その識別番号に対応する不良箇所のリストが上下方向に並べられ、リスト内において一の不良箇所が選択されることによって、その不良箇所の画像を第一の表示領域３４１に表示させる。
【００２５】
これらの表示を行う場合において、第一の表示領域３４１に画像を表示する際には、リストで選択された不良箇所に丸いマーキングＭを施し、これによって不良箇所を容易に特定できるようにする。このマーキングＭを施す場合、例えば、所定画素数よりも小さな不良領域については既定の半径を有する大きさのマーキングＭを施し、一方、所定画素数よりも大きな不良領域については、距離ｄの半径を有するマーキングＭを施す。また、このマーキングＭは、特定のキーが押下されることによって点滅あるいは消滅できるように設定されており、これによりマーキングＭによって隠された部分の画像を目視できるようにしている。なお、このマーキングＭについては、円形のマークだけでなく、例えば、不良と判定された箇所の輝度や色を変えるようにすることもできる。
【００２６】
この第一の表示領域３４１に不良箇所の画像を表示させた状態で、検査者が所定のキー（例えば、ＨＯＭＥキー）を押下した場合、第二カメラ３１５によって撮影された不良箇所の画像を第二の表示領域３４２に表示させる。このとき、目視検査装置３は、選択された不良箇所の座標位置を読み取り、その読み取られた座標位置にステージ３１２を移動させるか、あるいは、第二カメラ３１５を移動させることによって不良箇所の画像を撮影する。この実施の形態では、第二カメラ３１５によって撮影された画像をそのまま第二の表示領域３４２に表示させるようにしているが、このとき、第一の表示画面で表示された同じ位置にマーキングＭを施すようにしてもよい。この場合も同様に、そのマーキングＭを点滅あるいは消去可能にしておき、マーキングＭが目視検査に邪魔にならないようにしておくとよい。
【００２７】
一方、第三の表示領域３４３には、基準となるプリント基板４における同じ座標の画像を表示させる。これは、第一の表示領域３４１に表示されている画像が正規の状態とどの程度異なっているかを判定させるようにするためである。この基準となるプリント基板４の画像は、自動検査装置２の記憶部２６や装置本体３１の記憶部３１７にあらかじめ格納されている基準データを取得することによってディスプレイ３２０に表示される。
【００２８】
第二の表示領域３４２に画像を表示させる場合、ステージ３１２上への位置決め状態によって画像がずれている可能性がある。このため、例えば、第一の表示領域３４１に表示された画像との相関をとることなどによって画像の位置合わせを行い、第二の表示領域３４２に表示された画像をシフトさせて表示させるようにしてもよい。
【００２９】
入力部３２１は、マウスやキーボードなどによって構成されるもので、第二カメラ３１５での撮影を指示するとともに、第二の表示領域３４２に表示された画像に基づく目視検査の結果を受け付ける。この目視検査の結果については、あらかじめキーボードのファンクションキーに判定結果を割り当てておき、例えば、Ｆ１キーが押下された場合には「正常」であるとし、Ｆ２キーが押下された場合は「不良」であると設定する。そして、Ｆ１キーが押下された場合は、目視検査装置３に記憶された不良箇所などの情報を消去する。
【００３０】
次に、このように構成された外観検査システム１における自動検査と目視検査を用いた検査処理の流れについて、図６や図７のフローチャートを用いて説明する。
【００３１】
まず、検査対象となるプリント基板４を検査する場合、自動検査装置２のスタッカ２０にプリント基板４を集積し、そのスタッカ２０からプリント基板４をピックアップしてステージ２２上に位置決めした状態で載置する。そして、そのステージ２２を移動させることによってプリント基板４の画像を第一カメラ２４１で撮影し（ステップＳ１）、その撮影された画像を、所定の輝度の閾値を用いてパッドや配線パターン、レジスト、シルクなどに分離した後、パッドや配線パターン、レジスト、シルクなどの輝度領域毎の画像を微小ブロックに区切って輝度のヒストグラムを生成する。そして、記憶部２６に格納させておいた所定輝度幅内の画素数と比較することによって該微小ブロックにおける形成状態を判定する（ステップＳ２）。このとき、例えば、微小ブロックに区切られたヒストグラムの所定輝度範囲内における画素数が下限閾値よりも少ない場合は「パッドに欠けを生じている」と判定し、また、所定輝度範囲内における画素数が上限閾値よりも多い場合は「パッドに膨らみを生じている」と判定する。そして、この判定によって不良箇所が存在していると判定された場合は、そのプリント基板４に対してシリアル番号を付与していくとともに、そのシリアル番号に対して不良箇所の座標位置と不良箇所の画像などの不良詳細情報を記憶させる。また、不良箇所が隣接して複数存在する場合には、その中心位置と最も外側における不良箇所の座標位置までの距離ｄも記憶させる（ステップＳ３）。以下、シルクやレジストなどについても同様の検査を行い、不良箇所の存在するおそれのあるプリント基板４については、順次、不良品用集積部２７に集積していき（ステップＳ４）、最後に、不良と判定されたプリント基板４の不良詳細情報をサーバーコンピューター６に格納する（ステップＳ５）。
【００３２】
次に、不良と判定されたプリント基板４について目視判断する場合、目視検査装置３の装置本体３１は、自動検査装置２の通信部２８を介して、その自動検査装置２の記憶部２６に格納された不良詳細情報、もしくは、サーバーコンピューター６に格納された不良詳細情報を読み取り（ステップＴ１）、その情報を自己の記憶部３１７に格納させる（ステップＴ２）。また、装置本体３１の記憶部３１７へ格納させるのと同時、もしくは、レビュー機３２が立ち上げられるのと同時に、サーバーコンピューター６の不良詳細情報をレビュー機３２の記憶部３２２に格納させる（ステップＵ１、ステップＵ２）。そして、このレビュー機３２の記憶部３２２に格納された不良詳細情報から最初のシリアル番号、すなわち、最初のプリント基板４の不良詳細情報を読み出し（ステップＵ３）、不良箇所のリストを第四の表示領域３４４にリスト表示させて（ステップＵ４）、検査者によってリストの選択を受け付ける。そして、検査者によって、入力部３２１のマウスなどを使っていずれか一つの不良箇所が選択されると（ステップＵ５）、この選択された不良箇所の画像であって自動検査装置２で取得された画像を第一の表示領域３４１に表示させる。また、同時に、第三の表示領域３４３にも同じ領域の基準画像を表示させ（ステップＵ６）、検査者による目視判断の入力を受け付けられるようにする。ここで、検査者が第一の表示領域３４１に表示された画像に基づいて目視検査を行うことができた場合は、ＨＯＭＥキーを受け付けることなく（ステップＵ７）、Ｆ１（正常）やＦ２（不良）などのキーの入力を受け付け（ステップＵ１０）、その結果をインターネットを介して装置本体３１に送信し（ステップＵ１１）、プリント基板４を良品用集積部に回収する（ステップＴ３、Ｔ６、Ｔ７）。一方、検査者が第一の表示領域３４１に表示された自動検査装置２からの画像に基づいて目視検査することができない場合は、ＨＯＭＥキーなどの特定のキー入力を受け付け（ステップＵ７）、不良箇所における座標位置を記憶部３２２から読み出して装置本体３１にインターネット５を介して送信し（ステップＵ８）、装置本体３１のステージ３１２を移動させる（ステップＴ３）。そして、第二カメラ３１５によってその不良箇所の座標における画像を撮影し（ステップＴ４）、これをレビュー機３２に送信することによって（ステップＴ５）、第二の表示領域３４２に表示させる（ステップＵ９）。同様に、この第二の表示領域３４２に表示された画像に基づいて、Ｆ１（目視判断ＯＫ）やＦ２（目視判断ＮＧ）の入力を受け付け（ステップＵ１０）、これを装置本体３１に送信するとともに（ステップＵ１１、Ｔ６）、その判定結果に応じて分別回収する（ステップＴ７）。
【００３３】
このように上記実施の形態によれば、自動検査装置２に接続された装置本体３１とレビュー機３２とをインターネット５を介して接続し、自動検査装置２で不良と判定された検査対象物の不良詳細情報をレビュー機３２に送信して目視による良否判断を受け付けるようにしたので、自動検査装置２によって不良と判定された箇所のみを再検査するだけでよく、全領域について初めから検査することなく迅速に検査を行うことができる。しかも、自動検査装置２で取得された画像や不良箇所などの不良詳細情報をあらかじめレビュー機３２に送信しておくことによって、ディスプレイ３２０に不良箇所の画像をいち早く表示させることができるため、新たに画像を取得して表示させる場合に比べて、格段に早く画像を表示させることができるようになる。また、自動検査装置２で取得された画像からは目視判断できないような場合には、その不良箇所を示す情報を装置本体３１に送信し、目視検査装置３の装置本体３１の第二カメラ３１５を用いて再度画像を取得するようにしたので、画像取得の回数を減らすことができ、目視検査の効率化を図ることができるようになる。
【００３４】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。
【００３５】
例えば、上記実施の形態において、目視検査装置３の装置本体３１としてスタッカ３１０やピックアップ機構３１１などを設ける構成にしているが、このような構成を用いることなく、手動によって一枚ずつプリント基板４をステージ３１２に載置させるようにすることもできる。
【００３６】
また、上記実施の形態において、目視検査装置３の装置本体３１には第二カメラ３１５を設けるようにしているが、この第二カメラ３１５としては、自動検査装置２の第一カメラ２４１よりも高解像度のカメラを用いるようにしてもよく、また、その台数も多くするようにしてもよい。第二カメラ３１５の台数を多くする場合は、例えば、カメラの角度やプリント基板４までの距離を変えるなどして複数の位置に設置すると、より種々の角度からの画像を取得することができ、正確な目視検査を行うことができるようになる。
【００３７】
また、上記実施の形態では、レビュー機３２から不良箇所を選択し、その不良箇所に対応した座標位置の画像を第二カメラ３１５で取得するようにしているが、このように画像取得の位置を固定するのではなく、レビュー機３２の入力部３２１に設けられた矢印キーなどによって画像取得の位置をシフトさせ、あるいは、拡大率などを変更させるようにしてもよい。
【００３８】
さらに、上記実施の形態では、自動検査装置２と目視検査装置３の装置本体３１とを別体に構成しているが、基本的構成が共通していることから、自動検査装置２を本体装置として使用するようにしてもよい。この場合、不良と判定されたプリント基板４を不良品用集積部２７から回収し、これを再度、スタッカ２０に集積する。そして、当該自動検査装置２をインターネット５に接続して、その記憶部２６に記憶されていた不良詳細情報をレビュー機３２に送信し、同様に、ディスプレイ３２０に表示された画像に基づく目視検査や第一カメラ２４１を用いた画像の再取得を行う。
【００３９】
加えて、上記実施の形態では、プリント基板４の良否判定を行う方法について述べているが、必ずしもこのような方法に限定されるものではなく、種々の方法で判定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態における外観検査装置の概略図
【図２】同形態における機能ブロック図
【図３】同形態におけるステージを示す斜視図
【図４】同形態における自動検査装置及び目視検査装置の記憶部に格納されたデータを示す図
【図５】同形態における目視検査装置の画面構成例を示す図
【図６】同形態における外観検査装置の装置本体の動作状態を示すフローチャート
【図７】同形態における外観検査装置のレビュー機の動作状態を示すフローチャート
【符号の説明】
【００４１】
１・・・外観検査システム
２・・・自動検査装置
２０・・・スタッカ
２１・・・ピックアップ機構
２２・・・ステージ
２２０・・・側壁
２２１・・・爪
２３・・・移動機構
２４０・・・発光部
２４１・・・第一カメラ
２５・・・判定部
２６・・・記憶部
２７・・・不良品用集積部
２８・・・通信部
３・・・目視検査装置
３１・・・装置本体
３１０・・・スタッカ
３１１・・・ピックアップ機構
３１２・・・ステージ
３１３・・・移動機構
３１４・・・発光部
３１５・・・第二カメラ
３１６・・・不良品用集積部
３１７・・・記憶部
３１８・・・通信部
３２・・・レビュー機
３２０・・・ディスプレイ
３２１・・・入力部
３２２・・・記憶部
３２３・・・通信部
３４１・・・第一の表示領域
３４２・・・第二の表示領域
３４３・・・第三の表示領域
３４４・・・第四の表示領域
４・・・プリント基板
５・・・インターネット
６・・・サーバーコンピューター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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