(57)【要約】【課題】使用する部材数を増やすことなく、作動液を収納した状態で、接合することができ、被冷却素子が取り付けられる板状部材の面の平坦性を維持することができる、放熱性能に優れた圧接接合式ヒートパイプを提供する。【解決手段】２枚のコンテナ材の外周部を気密に圧接して形成された外周圧接部と、コンテナ材の外周圧接部の内側に形成された貫通孔と、貫通孔の周辺を気密に囲うように圧接して形成された貫通孔周辺圧接部と、外周圧接部および貫通孔周辺圧接部によって形成された、内部にウイック材と作動液を包含する気密な空洞部を備えたコンテナとを備えた圧接接合式ヒートパイプ。【選択図】図１
2008298409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フランジ形状の略平坦な外周部と、前記外周部と段差を有する略平坦な中央部と、前記外周部と前記中央部を連結する側壁部と、前記側壁部の近傍で略平坦な周辺部を備えた貫通孔とを備えた２枚のコンテナ材を対向配置し、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合させて形成された密閉空洞部を備えたコンテナと、
前記空洞部内に配置された作動液とを備えた圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項２】
２枚のコンテナ材の外周部を気密に圧接して形成された外周圧接部と、
前記コンテナ材の前記外周圧接部の内側に形成された貫通孔と、
前記貫通孔の周辺を気密に囲うように圧接して形成された貫通孔周辺圧接部と、
前記外周圧接部および前記貫通孔周辺圧接部によって形成された、内部に作動液を包含する気密な空洞部を備えたコンテナとを備えた圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項３】
２枚の前記コンテナ材の一方のコンテナ材の前記中央部の一部が、他方のコンテナ材の前記中央部の方向に押し下げられて形成された先端が曲面状の複数の窪み部を備えている、請求項１または２に記載の圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項４】
前記窪み部が、前記２枚のコンテナ材の対向配置した外周部と前記貫通孔周辺部を圧接したときに、前記２枚のコンテナ材の前記中央部の変形を防止することができる、前記側壁部の近傍の所定位置に設けられている、請求項３に記載の圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項５】
前記コンテナ材に形成された前記窪み部は、前記外周部の接合面および前記貫通孔周辺部の接合面よりも前記他方コンテナ材に向かって釣鐘状に深く形成されている、請求項３または４に記載の圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項６】
前記貫通孔周辺部が前記コンテナの４隅に形成され、前記窪み部が隣接する前記貫通孔周辺部の間に形成されている、請求項３から５の何れか１項に記載の圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項７】
前記外周部の接合面と前記貫通孔周辺部の接合面が概ね同一面に位置している、請求項６に記載の圧接接合式ヒートパイプ。
【請求項８】
フランジ形状の略平坦な外周部と、前記外周部と段差を有する略平坦な中央部と、前記外周部と前記中央部を連結する側壁部と、前記側壁部の近傍で略平坦な周辺部を備えた貫通孔とを備えた２枚のコンテナ材を調製し、
このように調製した２枚の前記コンテナ材を対向配置し、
対向配置した前記２枚のコンテナ材の内部に作動液とを導入した状態で、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合させて密閉空洞部を備えたコンテナを形成する、圧接接合式ヒートパイプの製造方法。
【請求項９】
前記外周部の前記接合面と前記貫通孔周辺部の前記接合面が概ね同一面に位置するように、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接する、請求項８に記載の圧接接合式ヒートパイプの製造方法。
【請求項１０】
前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により同時に接合させる、請求項８または９に記載の圧接接合式ヒートパイプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電気・電子部品、例えば半導体チップ等の高発熱量の被冷却素子等を冷却するのに適した圧接接合式ヒートパイプに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコンのＣＰＵ、レーザ発光ダイオード、パワートランジスタ等の電気・電子機器に搭載されている半導体素子等の電子部品は、その使用によって発熱が生じ、その冷却が必要になっている。冷却を要する半導体素子等の電子部品を冷却する方法として、例えば機器にファンを取り付けて、機器筐体内の空気の温度を下げる方法や、被冷却素子に冷却体を取り付けることによって、その被冷却素子を直接的に冷却する方法等が知られている。被冷却素子に取り付ける冷却体として、例えば銅材やアルミニウム材などの伝熱性に優れた材料の板材や、或いは板型ヒートパイプ等が適用されることが多い。
【０００３】
ヒートパイプの内部には作動流体の流路となる空間が設けられ、その空間に収容された作動流体が、蒸発、凝縮等の相変化や移動をすることによって、熱の移動が行われる。即ち、ヒートパイプの吸熱側において、ヒートパイプを構成する容器の材質中を熱伝導して伝わってきた被冷却部品が発する熱により、作動流体が蒸発し、その蒸気がヒートパイプの放熱側に移動する。放熱側においては、作動流体の蒸気は冷却され再び液相状態に戻る。このように液相状態に戻った作動流体は再び吸熱側に移動（還流）する。このような作動流体の相変態や移動によって熱の移動が行われる。冷却効率を高めるためには、被冷却素子が取り付けられる面の平坦性が維持されることが必要である。
【０００４】
周囲を圧接にて接合するヒートパイプは、ロウ付けなどで接合するヒートパイプと異なり接合部材を用いないですむ。また、常温での接合が可能なので作動液を内部に保持した状態で圧接することができ、ロウ付けでは不可能であったコンテナ形成と作動液封入の各工程を同一工程にすることができる。つまり、省部材化、省工程化の点で低コストのヒートパイプが実現でき、圧接接合は特に板型ヒートパイプの作製方法として注目されている。
【０００５】
ヒートパイプやヒートパイプを用いたヒートシンクを素子に取り付ける方法として、ヒートパイプの密閉性を損なわないようにヒートシンクに取り付け孔を設けて、取り付け孔を介して素子が搭載されている基板等にヒートシンクをネジ止めする方法が一般的に知られている。
【０００６】
板型ヒートパイプの密閉性を損なわないように取り付け孔を設ける方法として、ロウ付け等で密閉する、ロウ材などの接合部材を用いる方法（例えば、特開２００４−１０８６２０号公報参照）、ヒートパイプの外側に枠を取り付けて、枠に取り付け孔を設ける方法（例えば、特開平１１−１０１５８４号公報参照）が知られている。
【０００７】
図５は従来のロウ材を接合部材として用いて、板型ヒートパイプの密閉性を損なわないように取り付け孔を設ける方法を説明する図である。図５（ａ）はヒートパイプの平面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ断面図、図５（ｃ）は図５（ｂ）のＢの部分拡大断面図である。図５（ａ）から図５（ｃ）に示すように、外周部１０３および四隅に貫通孔１０６を備えた２枚のコンテナ材１０１、１０２を対向配置し、先ず貫通孔周辺部１０７にロウ材等の接合部材１０９を用いて高温で接合する。次いで、コンテナ内部に作動液、ウイック材を収納して、コンテナの外周部１０３を圧接によって接合する。
【特許文献１】特開２００４−１０８６２０号公報
【特許文献２】特開平１１−１０１５８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
圧接接合式のヒートパイプで、図５（ａ）から図５（ｃ）に示すように、貫通孔の周辺部を接合部材で密閉させる場合には、ロウ材等の接合部材を高温で処理して接合する必要がある。即ち、コンテナ材を対向配置して作動液を内部に収納した状態では、高温処理によって極度に高い蒸気圧になるので、コンテナが破損してしまう。外周部の圧接は作動液が空洞部に収納された状態で真空圧接される。従って、貫通孔の周辺部の接合と、コンテナ外周部の圧接接合とを別々に行わなければならない。
【０００９】
上述したように、貫通孔の周辺部の接合に別に接合部材を用いなければならない。更に、コンテナの外周部を圧接する工程の外に、ロウ材等の接合部材を高温で処理する工程が増えてしまいコストが高くなるという問題点があった。
取り付け孔用の外枠を設ける場合も、外枠部材が増え、コストが高くなるという問題点があった。
【００１０】
従って、この発明の目的は、取り付け用貫通孔を備えた板状部材の外周部を圧接接合するヒートパイプにおいて、使用する部材数を増やすことなく、作動液を収納した状態で、接合することができ、被冷却素子が取り付けられる板状部材の面の平坦性を維持することができる、放熱性能に優れた圧接接合式ヒートパイプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者は従来の問題点を解決するため、鋭意研究を重ねた。その結果、コンテナを形成する２枚の板状部材に、それぞれフランジ形状の略平坦な外周部と、外周部と概ね同一水平面で、略平坦な周辺部を備えた貫通孔を準備して、外周部と貫通孔周辺部を同時に圧接によって接合すると、作動液がコンテナ内に収納された状態で、高温処理を伴うことなく、気密な空洞部を有するコンテナを得ることができることが判明した。この発明は上述した研究結果に基づいてなされたものである。
【００１２】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第１の態様は、フランジ形状の略平坦な外周部と、前記外周部と段差を有する略平坦な中央部と、前記外周部と前記中央部を連結する側壁部と、前記側壁部の近傍で略平坦な周辺部を備えた貫通孔とを備えた２枚のコンテナ材を対向配置し、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合させて形成された密閉空洞部を備えたコンテナと、
前記空洞部内に配置された作動液とを備えた圧接接合式ヒートパイプである。
【００１３】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第２の態様は、２枚のコンテナ材の外周部を気密に圧接して形成された外周圧接部と、
前記コンテナ材の前記外周圧接部の内側に形成された貫通孔と、
前記貫通孔の周辺を気密に囲うように圧接して形成された貫通孔周辺圧接部と、
前記外周圧接部および前記貫通孔周辺圧接部によって形成された、内部にウイック材と作動液を包含する気密な空洞部を備えたコンテナとを備えた圧接接合式ヒートパイプである。
【００１４】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第３の態様は、２枚の前記コンテナ材の一方のコンテナ材の前記中央部の一部が、他方のコンテナ材の前記中央部の方向に押し下げられて形成された先端が曲面状の複数の窪み部を備えている圧接接合式ヒートパイプである。
【００１５】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第４の態様は、前記窪み部が、前記２枚のコンテナ材の対向配置した外周部と前記貫通孔周辺部を圧接したときに、前記２枚のコンテナ材の前記中央部の変形を防止することができる、前記側壁部の近傍の所定位置に設けられている圧接接合式ヒートパイプである。
【００１６】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第５の態様は、前記コンテナ材に形成された前記窪み部は、前記外周部の接合面および前記貫通孔周辺部の接合面よりも前記他方コンテナ材に向かって釣鐘状に深く形成されている圧接接合式ヒートパイプである。
【００１７】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第６の態様は、前記貫通孔周辺部が前記コンテナの４隅に形成され、前記窪み部が隣接する前記貫通孔周辺部の間に形成されている圧接接合式ヒートパイプである。
【００１８】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの第７の態様は、前記外周部の前記接合面と前記貫通孔周辺部の前記接合面が概ね同一面に位置している圧接接合式ヒートパイプである。
【００１９】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの製造方法の第１の態様は、フランジ形状の略平坦な外周部と、前記外周部と段差を有する略平坦な中央部と、前記外周部と前記中央部を連結する側壁部と、前記側壁部の近傍で略平坦な周辺部を備えた貫通孔とを備えた２枚のコンテナ材を調製し、
このように調製した２枚の前記コンテナ材を対向配置し、
対向配置した前記前記２枚のコンテナ材の内部に作動液とを導入した状態で、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合させて密閉空洞部を備えたコンテナを形成する、圧接接合式ヒートパイプの製造方法である。
【００２０】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの製造方法の第２の態様は、前記外周部の前記接合面と前記貫通孔周辺部の前記接合面が概ね同一面に位置するように、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接する圧接接合式ヒートパイプの製造方法である。
【００２１】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの製造方法の第３の態様は、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により同時に接合させる圧接接合式ヒートパイプの製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
この発明の圧接接合式ヒートパイプによると、２枚のコンテナ材のそれぞれに形成された取り付け用貫通孔の周辺部および外周部を圧接接合するので、使用する部材数を増やすことなく、作動液を収納した状態で、高温処理を伴うことなく接合して、気密な空洞部を有するコンテナを得ることができる。
更に、対向配置される一方のコンテナ材に、中央部から他方のコンテナ材の中央部の方向に押し下げられ、かつ、先端が曲面状の複数の窪み部を備えているので、２つのコンテナ材が対向配置されて、外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合しても、中央部に変形が生じないので平坦性が維持できる。
【００２３】
更に、上述した先端が曲面状の窪み部がコンテナの側壁部の近傍に設けられ、外周面の接合面よりも対向するコンテナ材に向かって深く形成されていると、中央部の変形がより効果的に防止することができ、被冷却素子が取り付けられる板状部材の面の平坦性を維持することができ、放熱性能に優れている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
この発明の圧接接合式ヒートパイプを、図面を参照しながら説明する。
この発明の圧接接合式ヒートパイプの１つの態様は、フランジ形状の略平坦な外周部と、前記外周部と段差を有する略平坦な中央部と、前記外周部と前記中央部を連結する側壁部と、前記側壁部の近傍で前記外周部と概ね同一水平面で略平坦な周辺部を備えた貫通孔とを備えた２枚のコンテナ材を対向配置し、前記外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合させて形成された密閉空洞部を備えたコンテナと、
前記空洞部内に配置されたウイック材と作動液とを備えた圧接接合式ヒートパイプである。
【００２５】
図１（a）は、この発明の圧接接合式ヒートパイプの１つの態様を説明する、貫通孔が形成されたコンテナ材の平面図である。図１（ｂ）は図１（a）のＡ−Ａ断面図である。図１（ｃ）は圧接によって接合された外周部および貫通孔周辺部を示す部分断面拡大図である。
【００２６】
図１（a）に示すように、四周に形成されたフランジ形状の略平坦な外周部３、外周部に囲まれた略平坦な中央部５、段差のある外周部３と中央部５を連結する側壁部４、および、側壁部４の近傍で例えば外周部３と概ね同一水平面で略平坦な周辺部７を備えた貫通孔６を有する２つのコンテナ材１、２が内部に密閉空洞部を有するように対向配置される。この態様では、貫通孔６および貫通孔周辺部７は、コンテナ材の４隅に設けられている。
【００２７】
図１（ｂ）は圧接前のコンテナ材１のＡ−Ａ断面図である。図１（ｂ）に示すように、コンテナは同じ厚さの板材で形成され、フランジ形状の略平坦な外周部３、側壁部４、概ね平坦な中央部５、貫通孔周辺部７、貫通孔を備えている。フランジ形状の略平坦な外周部３および貫通孔周辺部７は概ね同一水平面上に位置している。外周部３と中央部５、および、貫通孔周辺部７と中央部５とは、それぞれ段差を備え、側壁部４、周壁部８によって接続されている。
【００２８】
図１（ｃ）は圧接によって接合された外周部および貫通孔周辺部を示す部分断面拡大図である。上述したように同一厚さの２つのコンテナ材１、２が空洞部を形成するように対向配置されて、フランジ形状の外周部３および貫通孔周辺部７が例えば同時に圧接されて、図１（ｃ）に示すように、外周部３および貫通孔周辺部７の厚さが薄くなって圧接接合されている。このように圧接された外周部を外周圧接部、圧接された貫通孔周辺部を貫通孔周辺圧接部という。即ち、中央部５は殆ど変化することなく、最初の形状および板厚の状態のまま維持されて、外周部３、貫通孔周辺部７のみに垂直方向の力が加わり圧接されている。この圧接によって、コンテナの周辺部および貫通孔の周辺部が水平方向に延伸して接合され、空洞部の気密性が維持されている。
【００２９】
外周部および貫通孔周辺部の圧接は、２枚のコンテナを内部に空洞部が形成されるように対向配置し、ウイック材および作動液を導入した状態で、外周部および貫通孔周辺部に同時に荷重をかけて真空中で圧接する。即ち、圧接に際して高温で処理する必要がないので、作動液を導入したままで圧接が可能である。このようにして、外周圧接部および貫通孔周辺圧接部が形成される。
【００３０】
この発明の圧接接合式ヒートパイプの１つの態様においては、２枚のコンテナ材の一方のコンテナ材の中央部の一部が、他方のコンテナ材の中央部の方向に押し下げられて形成された先端が曲面状の複数の窪み部を備えている。窪み部を設けることによって、外周部および貫通孔周辺部を圧接により接合しても、中央部に変形が生じないので平坦性が維持できる。
【００３１】
図２は、圧接によって接合された外周部および貫通孔周辺部、並びに、一方のコンテナ材に窪み部を備えた圧接接合式ヒートパイプを説明する図である。
図２（a）は、隣接する貫通孔の間に窪み部が形成された圧接接合式ヒートパイプの平面図である。図２（ｂ）は図２（a）のＡ−Ａ断面図である。
図２（a）に示すように、一方のコンテナ材２には、側壁部４の近傍で、隣接する貫通孔の間に先端が曲面状の複数の窪み部９を備えている。窪み部９は他方のコンテナ材１の中央部の方向に押し下げられている。
【００３２】
図２（ｂ）は図２（a）のＡ−Ａ断面図である。図２（ｂ）に示すように、同一厚さの２つのコンテナ材１、２が空洞部を形成するように対向配置されて、フランジ形状の外周部３および貫通孔周辺部７が同時に圧接されて、外周部３および貫通孔周辺部７の厚さが薄くなって圧接接合されている。コンテナの四隅に形成された貫通孔の間には、概ね等間隔で、一方のコンテナ材の中央部から他方のコンテナ材の中央部の方向に押し下げられ、かつ、先端が曲面状の複数の窪み部が形成されている。
【００３３】
窪み部９は先端を曲面、好ましくは回転対称な曲面になるように形成し、エンボス加工時にコンテナ面にかかる応力を分散させるようにする。その結果、先端での破断を防止することができる。更に、窪み部は、先端部と根元部とが概ね同じ大きさではなく、先端部を根元部よりも細くなるように形成することが好ましく、これによって、根元部の変形量（角度）を小さくすることができ、根元部での破断を防止することができる。
窪み部の曲面の形状は特に限定されないが、窪み部にかかる応力を均等に分散させるため、また成形の容易さを考慮すると、回転対称な形状、より好ましくは、球面がよい。
【００３４】
更に、図２（ｂ）に示すように、一方のコンテナ材２に形成された窪み部９は、外周部３および貫通孔周辺部７の接合面よりも他方のコンテナ材１に向かって深く形成されている。即ち、一方のコンテナ材２の一部が、他方のコンテナ材に向かって形成された窪み部の曲面の先端部は、他方のコンテナ材の中央部に接触することなく、外周部の接合面よりも深く押し下げられて形成されている。
【００３５】
なお、図示しないが、コンテナ内の発熱部品に近い部分に伝熱ブロック、ウイック材、ウイック材をコンテナ内表面に保持する保持部材を適宜備えてもよい。更に、外表面に受熱板等の突起物を取り付けてもよい。圧接後の貫通孔周辺部は、圧接によって延伸して貫通孔が小さくなる場合があるが、その際には必要に応じて機械加工等によって追加加工を施しても良い。
【００３６】
図３はこの発明の圧接接合式ヒートパイプを使用したヒートシンクの１つの態様を説明する斜視図である。図３に示すように、外周部３および貫通孔周辺部７を備えた２枚のコンテナ材１、２を対向配置し、内部に作動液およびウイックを収納した状態で、外周部３および貫通孔周辺部７を同時に圧接して接合した圧接接合式ヒートパイプ１０の一方のコンテナ材１の表面に熱伝導性に優れた複数の薄板フィン１１からなる放熱フィンを接合する。
【００３７】
他方のコンテナ材の表面には例えば受熱板を接合してもよい。上述した圧接接合式ヒートパイプ１０は、図２を参照して説明した複数の窪み部９を備えていてもよい。複数の窪み部を備えることによって、コンテナの表面の平坦性を維持することができる。
【００３８】
図４は、図３を参照してヒートシンクを、基板上に搭載された発熱素子に実装する状態を説明する図である。
図４（ａ）に示すように、外周部３および貫通孔周辺部７が圧接によって接合された圧接接合式ヒートパイプ１０の貫通孔６にバネ部材１３を介してネジ部材１２が挿入される。図４（ｂ）はバネ部材を介してネジ部材が貫通孔に挿入された状態を説明する断面図である。図４（ｂ）に示すように、作動液が収納されたコンテナの圧接された貫通孔周辺部７にバネ部材１３が支持され、バネ部材１３の弾性を利用して、ネジ部材１２が圧接接合式ヒートパイプ１０を所定の部材に固定する。
【００３９】
図４（ｃ）は、ヒートシンクが基板上に搭載された発熱素子に実装された状態を示す断面図である。図４（ｃ）に示すように、基板１４に搭載されたＣＰＵ等の発熱素子１５に圧接接合式ヒートパイプの下側のコンテナ材が熱的に接続された状態で、図４（ｂ）を参照して説明したように、作動液が収納されたコンテナの圧接された貫通孔周辺部７にバネ部材１３が支持され、バネ部材１３の弾性を利用して、ネジ部材１２が圧接接合式ヒートパイプ１０を基板１４に固定する。ネジ部材の肩部１７が基板に形成された孔部の周辺部に固定される。必要により、発熱素子１５と圧接接合式ヒートパイプ１０の下側のコンテナ材との間に、受熱板材１６を挿入してもよい。
【００４０】
なお、２つのコンテナ材１、２を対向配置して形成される空洞部の概ね中央に、両方のコンテナ材１、２に熱的に接続されて発熱素子の熱を放熱フィン部が接合されるコンテナ材２に直接移動する伝熱ブロックを配置してもよい。
【００４１】
伝熱ブロックは、好ましくは、発熱素子と同じか、または、発熱素子の断面積よりも少し広い面積をカバーするように配置する。伝熱ブロックは、例えば、Ｃ１０２０材を使用して、圧接前に高温の還元雰囲気中で焼きなましておくと、外周部を圧接するときに、対向配置される２つのコンテナ材の内壁面によって強く挟まれて、コンテナ材の中央部を変形させることなく、伝熱ブロック自体がわずかに変形してコンテナ材の内壁と密着する。
【００４２】
更に、コンテナ材１、２の内壁面に沿ってそれぞれウイック材を配置してもよい。コンテナ材１の内壁面に沿って配置されたウイック材は、窪み部９の先端部によって固定される。更に、コンテナ材１の内壁面およびコンテナ材２の内壁面に沿ってそれぞれ配置されたウイック材を、ウイック保持部材によって固定してもよい。ウイック保持部材は、例えば銅製のメッシュを折り曲げて形成し、コンテナの内部の空洞部における蒸気の流れを完全に妨げないものが好ましい。
【００４３】
このように、ウイック保持部材を配置することによって、ウイック材が安定してコンテナの内壁面に保持され、コンテナ内壁面とウイック部材との間での毛管力が活用できるようになる。毛管力が増すことによって、トップヒートモードにおいても、より安定して作動するヒートパイプが得られる。
次に実施例によって具体的に説明する。
【実施例１】
【００４４】
図１（ｂ）に示すように、外形が縦９１ｍｍ×横９１ｍｍ×高さ２．３ｍｍからなり、中央部、側壁部、および、側壁部の四周のフランジ形状の外周部を備えたＣ１１００製のコンテナ材を２枚準備した。フランジ形状の外周部の内側には、外形Φ７ｍｍでフランジ形状の外周部の面まで押し下げるように絞って形成された４個のエンボス部（即ち、貫通孔周辺部および周壁部を備えている）が形成されている。各エンボス部の概ね平坦な貫通孔周辺部には、Φ４．４ｍｍの貫通孔が穿孔されている。
【００４５】
このように準備された２つのコンテナ材の外周部および貫通孔周辺部の表面を機械的に研磨して酸化膜を除去した状態で、２枚のコンテナ材を、内部に空洞部ができるようにつき合わせ、内部に還元処理されて表面の濡れ性が高められたＣ１０２０製のメッシュ材と作動液としての純水を入れた状態で、図１（ｃ）に示すように、外周部と貫通孔周辺部とを同時に荷重をかけて真空中で圧接して圧接接合式ヒートパイプを形成した。
【実施例２】
【００４６】
図１（ｂ）に示すような、外形が縦９１ｍｍ×横９１ｍｍ×高さ２．３ｍｍからなり、中央部、側壁部、および、側壁部の四周のフランジ形状の外周部を備えたＣ１１００製のコンテナ材を２枚準備した。１枚のコンテナ材には、フランジ形状の外周部の内側に、外形Φ７ｍｍでフランジ形状の外周部の面まで押し下げるように絞って形成された４個のエンボス部を備え、各エンボス部の概ね平坦な貫通孔周辺部に、Φ４．４ｍｍの貫通孔が穿孔されている。他の１枚のコンテナ材には、更に、図２（ｂ）に示すように、２つのエンボス部の間に断面が釣鐘状に絞って形成された４つの窪み部を備えている。窪み部は、外周部および貫通孔周辺部の接合面よりも反対側に深く押し下げられて形成されている。
【００４７】
このように準備された２つのコンテナ材の外周部および貫通孔周辺部の表面を機械的に研磨して酸化膜を除去した状態で、２枚のコンテナ材を、内部に空洞部ができるようにつき合わせ、内部に還元処理されて表面の濡れ性が高められたＣ１０２０製のメッシュ材と作動液としての純水を入れた状態で、図２（ｂ）に示すように、外周部と貫通孔周辺部とを同時に荷重をかけて真空中で圧接して圧接接合式ヒートパイプを形成した。
【実施例３】
【００４８】
実施例２で使用したコンテナ材のうち、釣鐘状の絞りがない方のコンテナ材に、ニッケルめっきを施したアルミニウム製の放熱フィンを半田付けし、他方のコンテナ材の表面に受熱板を半田付けた。２枚のコンテナ材を対向配置して、Ｃ１０２０製の伝熱ブロック材およびメッシュ材、更に作動液としての純水をコンテナ内部に入れた状態で、外周部と貫通孔周辺部とを同時に荷重をかけて真空中で圧接して圧接接合式ヒートパイプを備えたヒートシンクを形成した。
放熱フィンの材質としてアルミニウム製のフィンを用いた。フィンの接合に際して、フィンピッチの制御、コンテナ材およびフィン材を極力軟化させないために、低融点のＳｎＢｉ半田を用いた。
【実施例４】
【００４９】
実施例３で説明した圧接接合式ヒートパイプを備えたヒートシンクを、図４（ａ）から（ｃ）に示すように、貫通孔６にバネ部材１３を介してネジ部材１２を挿入し、貫通孔周辺部７にバネ部材１３が支持され、バネ部材１３の弾性を利用して、ネジ部材１２がヒートシンクを基板１４に固定した。即ち、４個の貫通孔のそれぞれにコイルスプリングのバネ部材を貫通孔周辺部の上に置き、ネジ部材の頭部と貫通孔周辺部でバネ部材を圧縮してヒートシンクに荷重を加えた。発熱素子の中心に重心がくるように貫通孔の位置およびバネ部材の荷重を設計した。ネジの締め付け量をコントロールすることによってバネ部材の圧縮量、即ち、荷重を調整した。ネジ部には、おねじ部とおねじ部よりも太い径の肩部を設け、肩部が基板に触れるところまでネジ部材を締め付けることによってバネの圧縮量を調整した。ネジ部材に溝を設けて、溝に止め輪を嵌めた。
【００５０】
上述したように、この発明の圧接接合式ヒートパイプによると、２枚のコンテナ材のそれぞれに形成された取り付け用貫通孔の周辺部および外周部を圧接接合するので、使用する部材数を増やすことなく、作動液を収納した状態で、高温処理を伴うことなく接合して、気密な空洞部を有するコンテナを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１（a）は、この発明の圧接接合式ヒートパイプの１つの態様を説明する、貫通孔が形成されたコンテナ材の平面図である。図１（ｂ）は図１（a）のＡ−Ａ断面図である。図１（ｃ）は圧接によって接合された外周部および貫通孔周辺部を示す部分断面拡大図である。
【図２】図２は、圧接によって接合された外周部および貫通孔周辺部、並びに、一方のコンテナ材に窪み部を備えた圧接接合式ヒートパイプを説明する図である。図２（a）は、隣接する貫通孔の間に窪み部が形成された圧接接合式ヒートパイプの平面図である。図２（ｂ）は図２（a）のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図３はこの発明の圧接接合式ヒートパイプを使用したヒートシンクの１つの態様を説明する斜視図である。
【図４】図４は、図３を参照してヒートシンクを、基板上に搭載された発熱素子に実装する状態を説明する図である。
【図５】図５は従来のロウ材を接合部材として用いて、板型ヒートパイプの密閉性を損なわないように取り付け孔を設ける方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  コンテナ材
２  コンテナ材
３  外周部（外周圧接部）
４  側壁部
５  中央部
６  貫通孔
７  貫通孔周辺部
８  周壁部
９  窪み部
１０  ヒートパイプ
１１  フィン部
１２  ネジ部材
１３  バネ部材
１４  基板
１５  発熱素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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