(57)【要約】      （修正有）【課題】ワーク上の基準マーク位置がずれていてもラインアウトせず、処理効率の低下しにくい露光装置のアライメント方法および露光装置を得る。【解決手段】カメラ１８で撮影した基準マークの画像データを基に基準マークの重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出したのち、搬送システムによってＸ方向ズレ量分だけ、基板Ｐを露光ステージ４０上に置き直すことで重心位置ズレ量（Ｘ）を補正し、図３（Ｂ）に示すように露光システムに搭載されたθ回転ステージ機構４１によりθｚズレ量分だけ露光ステージ４０を回転させ、重心位置ズレ量（θｚ）を補正する。最後にＹ方向ズレ量の分だけカメラ１８による基準マークの撮影タイミングを変更（進める／遅らせる）し、再度カメラ１８にて基準マークを撮影する。【選択図】図３
2008083520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光システムのアライメント方法であって、
前記露光装置に設けられたカメラで前記基準マークを撮影する工程と、
前記カメラで撮影された前記基準マークの画像データから前記露光ステージ上の前記ワークの位置を算出する工程と、
前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出する工程と、
前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置き直す工程と、
前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正する工程と、
を含むことを特徴とする露光装置のアライメント方法。
【請求項２】
表面に基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光装置に移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光器のアライメント方法であって、
前記基準マークを撮影する前記露光装置に設けられたカメラとの位置関係が既知である、前記搬送システム内に設けられたプリ撮影カメラで前記基準マークを撮影する工程と、
前記プリ撮影カメラで撮影された前記基準マークの画像データから移動前の前記ワークの位置を算出する工程と、
前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出する工程と、
前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置く工程と、
前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正する工程と、
を含むことを特徴とする露光装置のアライメント方法。
【請求項３】
前記プリ撮影カメラの視野は前記カメラより大きいことを特徴とする請求項２に記載の露光装置のアライメント方法。
【請求項４】
２枚目以降のワーク露光において、１枚目の前記ワーク位置ズレ量あるいは撮影済みワークの位置ズレ量の平均値に応じて前記露光ステージ上に前記ワークを搬送することを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の露光装置のアライメント方法。
【請求項５】
基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置であって、
前記露光装置に設けられ前記基準マークを撮影するカメラを備え、
前記カメラで撮影された前記基準マークの画像データから前記露光ステージ上の前記ワークの位置を算出し、
前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出し、
前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置き直し、
前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正することを特徴とする露光装置。
【請求項６】
表面に基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光装置に移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置であって、
前記基準マークを撮影する前記露光装置に設けられたカメラとの位置関係が既知である、前記基準マークを撮影するプリ撮影カメラを前記搬送システム内に備え、
前記プリ撮影カメラで撮影された前記基準マークの画像データから移動前の前記ワークの位置を算出し、
前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出し、
前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置き、
前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正することを特徴とする露光装置。
【請求項７】
前記プリ撮影カメラの視野は前記カメラより大きいことを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
２枚目以降のワーク露光において、１枚目の前記ワーク位置ズレ量あるいは撮影済みワークの位置ズレ量の平均値に応じて前記露光ステージ上に前記ワークを搬送することを特徴とする請求項４乃至７の何れか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
基準マークをもつワークをステージで搬送しつつ前記ワークの露光面に露光を行う露光システムのアライメント方法であって、
前記基準マークがアライメント用カメラの視野内に入るように前記カメラに対する前記ワークの位置決めを行う工程と、
前記アライメント用カメラで前記基準マークを撮像する工程と、
を含むことを特徴とするアライメント方法。
【請求項１０】
前記アライメント用カメラに対する前記基準マークの位置を計測する工程を更に含み、
前記位置決めを行う工程では、前記基準マークの位置に基づいて、前記ステージに対する前記ワークの位置決め及び前記アライメント用カメラに対する前記ステージの位置決めの少なくとも一方を行うことを特徴とする請求項９に記載のアライメント方法。
【請求項１１】
前記ワークに対する前記基準マークの位置を計測する工程を更に含み、
前記位置決めを行う工程では、前記基準マークの位置に基づいて、前記ステージに対する前記ワークの位置決めを行うことを特徴とする請求項９に記載のアライメント方法。
【請求項１２】
前記基準マークの位置に基づいて、前記アライメント用カメラによる前記基準マークの撮像タイミングを補正する工程を更に含むことを特徴とする請求項１０または１１に記載のアライメント方法。
【請求項１３】
前記基準マークを撮像する工程では、前記アライメント用カメラに対して前記ワークが動いている状態で撮像を行うことを特徴とする請求項９乃至１２の何れか１項に記載のアライメント方法。
【請求項１４】
請求項９乃至１３の何れか１項に記載のアライメント方法を用いてアライメント計測を行う工程と、
前記アライメント計測の結果に基づいて補正した位置に露光を行う露光工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプリント配線基板を効率よく露光ステージにセットできる露光装置およびアライメント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばプリント配線基板（以下「ワーク」又は「基板材料」）等に配線パターンを形成する画像形成装置としてのレーザー露光装置が知られている。このレーザー露光装置には、画像露光の対象となるプリント配線基板を載置する（ロードする）ステージが備えられ、そのステージを所定の搬送経路に沿って移動させるようになっている。
【０００３】
すなわち、プリント配線基板はステージの上面に位置決め載置され、ステージの上面に設けられた多数の孔部からエアーが吸引されることによって、そのステージ上に吸着・保持される。プリント配線基板がステージ上に吸着・保持されたら、そのステージは、所定の速度で副走査方向へ移動し、所定の測定位置において、そのプリント配線基板に設けられた位置合わせ孔（以下「アライメントマーク」という）がＣＣＤカメラ等によって撮像される。そして、その撮像によって得られたプリント配線基板の位置に合わせて、描画座標系中の描画対象領域を座標変換することにより、画像情報に対するアライメント処理が実行される。
【０００４】
アライメント処理の実行後に所定の露光位置において、画像情報に基づいて変調されたレーザー等の光ビームによって、ステージ上のプリント配線基板はその上面に形成された感光性塗膜が走査、露光処理される。これにより、プリント配線基板上の所定の領域（描画領域）に、画像情報に基づく（配線パターンに対応する）画像（潜像）が形成される。
【０００５】
画像（潜像）が形成されたプリント配線基板は、ステージが初期位置に復帰移動した後、そのステージ上から取り出され（アンロードされ）、プリント配線基板が取り除かれたステージは、次のプリント配線基板を露光する工程に移行する。
【０００６】
このとき、基板上の露光位置検出用の基準マーク位置が装置に指示された想定位置からずれている場合には、基準マークが正しく認識されずマーク検出不良となってラインアウトされるために、生産ラインの直行率が劣化してしまう。
【０００７】
基準マークが想定位置からずれる原因は、（１）基準マーク位置の基板端面からのバラツキ、（２）前工程における熱履歴によるワークの基材の変形などが考えられる。これに対して基準マークズレ量を検出して補正量を算出し、次回の検出手段の指定の移動量に反映させて、検出手段を移動することで対応する構成が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００８】
しかし特許文献１に記載の方法では露光を行うたびに毎回検出手段を移動させる必要があるため、移動後の検出手段の位置を保証する機能が必要となる上に、検出手段移動のタクト時間が毎回発生する。
【０００９】
特許文献２に記載の方法においても同様にマーク検出手段を移動するため、同じ欠点がある。さらに、基板位置決め手段がステージ上に配置されているためタクトが劣化する上に、ステージ上での端面付き当てによる位置決めは、物理的接触である突き当てによって生じる基板端面または突き当て部材からの発塵につながり、露光システム性能を劣化させる欠点がある。
【００１０】
加えて、位置決め部材を移動させるためのアクチュエーターが発熱源となり、基準マーク位置検出後のパターン描画中の基板温度変化により、マーク位置に対する描画位置精度劣化につながる欠点がある。
【特許文献１】特開平１１−１４３０８６号公報
【特許文献２】特開２００４−８５６６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記事実を考慮し、ワーク上の基準マーク位置がずれていてもラインアウトせず、処理効率の低下しにくい露光装置のアライメント方法および露光装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１に記載のアライメント方法は、基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光システムのアライメント方法であって、前記露光装置に設けられたカメラで前記基準マークを撮影する工程と、前記カメラで撮影された前記基準マークの画像データから前記露光ステージ上の前記ワークの位置を算出する工程と、前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出する工程と、前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置き直す工程と、前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
上記の発明によれば、カメラ視野に一部かかる位置にあれば基準マークの読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板を減らすことで直行率を向上させることができる。
【００１４】
請求項２に記載のアライメント方法は、表面に基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光装置に移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光器のアライメント方法であって、前記基準マークを撮影する前記露光装置に設けられたカメラとの位置関係が既知である、前記搬送システム内に設けられたプリ撮影カメラで前記基準マークを撮影する工程と、前記プリ撮影カメラで撮影された前記基準マークの画像データから移動前の前記ワークの位置を算出する工程と、前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出する工程と、前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置く工程と、前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１５】
上記の発明によれば、カメラ視野に一部かかる位置にあれば基準マークの読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板を減らすことで直行率を向上させることができ、かつ露光システムでの再計測が低減でき、タクト劣化を抑制できる。
【００１６】
請求項３に記載のアライメント方法は、前記プリ撮影カメラの視野は前記カメラより大きいことを特徴とする。
【００１７】
上記の発明によれば、対応可能な基板上のマーク位置ズレ許容値を広げられる。
【００１８】
請求項４に記載のアライメント方法は、２枚目以降のワーク露光において、１枚目の前記ワーク位置ズレ量あるいは撮影済みワークの位置ズレ量の平均値に応じて前記露光ステージ上に前記ワークを搬送することを特徴とする。
【００１９】
上記の発明によれば、ワークの位置ズレ量の再計測が不要となり、タクト劣化を抑制できる。
【００２０】
請求項５に記載の露光装置は、基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光システムへ移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置であって、前記露光装置に設けられ前記基準マークを撮影するカメラを備え、前記カメラで撮影された前記基準マークの画像データから前記露光ステージ上の前記ワークの位置を算出し、前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出し、前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置き直し、前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正することを特徴とする。
【００２１】
上記の発明によれば、カメラ視野に一部かかる位置にあれば基準マークの読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板を減らすことで直行率を向上させることができる。
【００２２】
請求項６に記載の露光装置は、表面に基準マークをもつワークを搬送システムにて露光ステージ上に搬送・固定し露光装置に移動させ、前記ワークの露光面に露光を行う露光装置であって、前記基準マークを撮影する前記露光装置に設けられたカメラとの位置関係が既知である、前記基準マークを撮影するプリ撮影カメラを前記搬送システム内に備え、前記プリ撮影カメラで撮影された前記基準マークの画像データから移動前の前記ワークの位置を算出し、前記画像データから前記ワークの搬送方向および移動方向の位置ズレと回転方向の角度ズレを算出し、前記搬送方向の位置ズレは前記搬送システムにて、前記回転方向の角度ズレは前記露光ステージを回転させる回転ステージ機構にて補正し前記ワークを前記露光ステージ上に置き、前記移動方向の位置ズレを撮像タイミングにて補正することを特徴とする。
【００２３】
上記の発明によれば、カメラ視野に一部かかる位置にあれば基準マークの読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板を減らすことで直行率を向上させることができ、かつ露光システムでの再計測が低減でき、タクト劣化を抑制できる。
【００２４】
請求項７に記載の露光装置は、前記プリ撮影カメラの視野は前記カメラより大きいことを特徴とする。
【００２５】
上記の発明によれば、対応可能な基板上のマーク位置ズレ許容値を広げられる。
【００２６】
請求項８に記載の露光装置は、２枚目以降のワーク露光において、１枚目の前記ワーク位置ズレ量あるいは撮影済みワークの位置ズレ量の平均値に応じて前記露光ステージ上に前記ワークを搬送することを特徴とする。
【００２７】
上記の発明によれば、ワークの位置ズレ量の再計測が不要となり、タクト劣化を抑制できる。
【００２８】
請求項９に記載のアライメント方法は、基準マークをもつワークをステージで搬送しつつ前記ワークの露光面に露光を行う露光システムのアライメント方法であって、前記基準マークがアライメント用カメラの視野内に入るように前記アライメント用カメラに対する前記ワークの位置決めを行う工程と、前記アライメント用カメラで前記基準マークを撮像する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２９】
上記の発明によれば、ワークの位置決めによってワークの基準マークがアライメント用カメラの視野内に入るので、マーク検出不良としてラインから外されるワークを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００３０】
請求項１０に記載のアライメント方法は、前記アライメント用カメラに対する前記基準マークの位置を計測する工程を更に含み、前記位置決めを行う工程では、前記基準マークの位置に基づいて、前記ステージに対する前記ワークの位置決め及び前記アライメント用カメラに対する前記ステージの位置決めの少なくとも一方を行うことを特徴とする。
【００３１】
上記の発明によれば、ワークまたはステージの位置決めによってワークの基準マークがアライメント用カメラの視野内に入るので、マーク検出不良としてラインから外されるワークを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００３２】
請求項１１に記載のアライメント方法は、前記ワークに対する前記基準マークの位置を計測する工程を更に含み、前記位置決めを行う工程では、前記基準マークの位置に基づいて、前記ステージに対する前記ワークの位置決めを行うことを特徴とする。
【００３３】
上記の発明によれば、ワークの位置決めによってワークの基準マークがアライメント用カメラの視野内に入るので、マーク検出不良としてラインから外されるワークを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００３４】
請求項１２に記載のアライメント方法は、前記基準マークの位置に基づいて、前記アライメント用カメラによる前記基準マークの撮像タイミングを補正する工程を更に含むことを特徴とする。
【００３５】
上記の発明によれば、基準マークの撮像タイミングを補正することによってワークの基準マークがアライメント用カメラの視野内に入るので、マーク検出不良としてラインから外されるワークを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００３６】
請求項１３に記載のアライメント方法は、前記基準マークを撮像する工程では、前記アライメント用カメラに対して前記ワークが動いている状態で撮像を行うことを特徴とする。
【００３７】
上記の発明によれば、基準マーク撮像のためワークを停止させる必要がなく、タクト劣化を抑制できる。
【００３８】
請求項１４に記載のアライメント方法は、請求項９乃至１３の何れか１項に記載のアライメント方法を用いてアライメント計測を行う工程と、前記アライメント計測の結果に基づいて補正した位置に露光を行う露光工程と、を含むことを特徴とする。
【００３９】
上記の発明によれば、アライメント用カメラの視野に一部かかる位置にあれば基準マークの読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板を減らすことで直行率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００４０】
以上のように、本発明によればワーク上の基準マーク位置がずれていてもラインアウトせず、処理効率の低下しにくい露光装置のアライメント方法および露光装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明の最良な実施の形態について、図面に示す実施例を基に詳細に説明する。
【００４２】
＜全体構成＞
図１には本発明に係る露光装置が示されている。
【００４３】
露光装置１０は大別して搬送システム１２と露光システム１４から構成されており、搬送システム１２は露光対象ワークである基板Ｐが供給されるＩＮコンベア２０Ａ、基板Ｐを露光システム１４に搬送するＡＣハンド３０、露光後の基板Ｐが排出されるＯＵＴコンベア２０Ｂからなる。
【００４４】
露光システム１４はＩＮコンベア２０ＡからＡＣハンド３０にて搬送された基板Ｐが固定される露光ステージ４０、露光ステージ４０上の基板Ｐに走査露光を行う露光器１６からなる。
【００４５】
基板ＰはＡＣハンド３０に把持され、露光ステージ４０上の規定位置に置かれた後、固定される。露光ステージ４０はレール１５上を走査方向（図中Ｙ方向）に移動し、露光器１６のカメラ１８にて基板Ｐ上に設けられた検知マーク４２の読み取りにより、基板Ｐの位置検出を行う。
【００４６】
すなわち図１（Ｂ)に示すように、基板Ｐ上には複数箇所に検知マーク４２が設けられ、露光ステージ４０上に固定された基板ＰのＸ方向／Ｙ方向位置、および傾きを検出することができる。このとき、検知マーク４２のうち少なくとも１つが他の３つと異なる位置に設けられることで基板Ｐの裏表をカメラ１８で検知するようにしてもよい。
【００４７】
得られた基板Ｐの位置データに従い、後述するように必要に応じて露光ステージ４０上の基板Ｐの位置を補正した後に図示しない露光ヘッドにて基板Ｐに走査露光を行う。走査露光後の基板ＰはＡＣハンド３０に把持され、ＯＵＴコンベア２０Ｂに排出される。
【００４８】
しかし、上記の検知マーク４２が所定の位置から大きく外れている基板Ｐの場合、カメラ１８による読み取りが困難となり、基板Ｐの位置検出を行うことができないのでマーク検出不良としてその基板Ｐはラインから外されることになる。このため、生産ラインにおける基板Ｐの直行率が低下するという問題がある。
【００４９】
＜位置検出と補正１＞
図２には本発明に係る露光器のカメラ視野と検知マークの関係が示されている。
【００５０】
図２（Ａ）に示すように、基準マーク４２が所定の位置にあれば基準マーク位置４２Ａとしてカメラ１８の視野１８Ａに収まっており、読み取りに支障はないので以降の工程に進むことができる。
【００５１】
これに対して、視野１８Ａに基準マーク４２が全く入っていない場合は基板Ｐの位置検出をカメラ１８で行うことができないので、その基板Ｐはマーク検出不良としてラインから外される。
【００５２】
さらに上記２パターンの何れとも異なる場合として、カメラ１８で撮影した基準マーク４２の一部だけがカメラ１８の視野１８Ａ内に入っている場合が考えられる。従来はこの場合でも基板Ｐの位置検出をカメラ１８で行うことができないとして、この基板Ｐはマーク検出不良としてラインから外されていた。このため結果として生産ラインにおける基板Ｐの直行率が低下していた。
【００５３】
図３には本発明の第１実施形態に係る露光装置が示されている。
【００５４】
本実施形態では上記のようにカメラ１８で撮影した基準マーク４２の一部だけがカメラ１８の視野１８Ａ内に入っている場合でも、この撮影データを基に基準マーク重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出し、基板Ｐを露光ステージ４０上に置き直すことでカメラ１８による基準マーク４２の読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板Ｐを減らすことで直行率を向上させる。
【００５５】
具体的には、図３に示すように先ず基板Ｐを乗せた露光ステージ４０を露光システム１４に移動させ、露光器１６側に設けられたカメラ１８で、基板Ｐ上の基準マーク４２を撮影する。カメラ１８で撮影した基準マーク４２の一部でもカメラ１８の視野内に入っていれば、この画像データを基に基準マーク４２の重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出する。
【００５６】
ここでいう重心位置ズレ量とは複数の基準マーク４２（図中では４箇所）の位置データから、複数の基準マーク４２の重心４２Ｇ’の位置を算出し、且つ正規位置４２Ｇからのズレ量を搬送システム１２による搬送方向ズレ量（図中Ｘ）、露光システム１４による露光の際の移動方向ズレ量（図中Ｙ）、垂直方向（図中Ｚ）を軸とした回転方向の角度ズレ量を指す。
【００５７】
重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出したのち、搬送システム１２によってＸ方向ズレ量分だけ、基板Ｐを露光ステージ４０上に置き直すことで重心位置ズレ量（Ｘ）を補正し、図３（Ｂ）に示すように露光システム１４に搭載されたθ回転ステージ機構４１によりθｚズレ量分だけ露光ステージ４０を回転させ、重心位置ズレ量（θｚ）を補正する。
【００５８】
最後にＹ方向ズレ量の分だけカメラ１８による基準マーク４２の撮影タイミングを変更（進める／遅らせる）し、再度カメラ１８にて基準マーク４２を撮影する。
【００５９】
上記の方法、すなわち基板Ｐを露光ステージ４０上に一旦置き直すことで重心位置ズレ量（Ｘ）を、露光ステージ４０をＺ軸回りに回転させることで重心位置ズレ量（θｚ）を、撮影タイミングを変更することで重心位置ズレ量（Ｙ）をそれぞれ補正し、再度カメラ１８で撮影すれば基準マーク４２をカメラ１８の視野１８Ａに納めることができる。
【００６０】
これにより基準マーク４２の読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板Ｐを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００６１】
さらに、上記の方法では基板Ｐの重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）の補正について、露光ステージ４０をＸ方向に移動させるアクチュエータを別途設ける必要がないので、装置全体のコストダウンを図ることができる。加えてアクチュエータから発する熱を削減することもできる。
【００６２】
また２枚目以降の基板Ｐについて、１枚目の重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）または以降の複数枚の基板Ｐにおける重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）の平均値を反映させて、基板Ｐの位置決めおよびカメラ１８による計測を行うようにすれば再計測が不要となり、基板Ｐを新たに露光するたびにカメラ１８による基準マーク４２の読み取り不可のためマーク検出不良として基板Ｐがラインから外されることがなく、直行率の向上と共に工程時間の短縮をも可能にすることができる。これは同一のジョブ／ロットにおいては基板Ｐ上の基準マーク４２は同じ方向にずれる傾向があるため、マーク位置ずれ量の履歴から次の基板Ｐ上の基準マーク４２位置が予測できるためである。
【００６３】
＜位置検出と補正２＞
図４には本発明の第２実施形態に係る搬送システム、露光システムとそれぞれに設けられたカメラが示されている。
【００６４】
図４に示すように、基板Ｐの基準マーク４２を撮影するために露光システム１４に設けられたカメラ１８とは別に、搬送システム１２のＩＮコンベア２０Ａにプリ撮影用カメラ５０を設け、このプリ撮影用カメラ５０にて基準マーク４２を撮影する。カメラ５０はカメラ１８との位置関係が既知であり、このプリ撮影用カメラ５０にて撮影された基準マーク４２のデータを基に基板Ｐの位置を補正することができる。
【００６５】
前述のように第１実施形態ではカメラ１８で撮影した基準マーク４２の一部だけがカメラ１８の視野１８Ａ内に入っている場合でも、この撮影データを基に基準マーク重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出し、基板Ｐを露光ステージ４０上に置き直すことでカメラ１８による基準マーク４２の読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板Ｐを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００６６】
本実施形態では、更にカメラ１８まで基板Ｐが搬送される前にＩＮコンベア２０Ａにてプリ撮影用カメラ５０による基準マーク４２の撮影を行い、ＡＣハンド３０で露光ステージ４０に搬送／固定される際には基準マーク４２の重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出、重心位置ズレ量（Ｘ、θｚ）の補正が行われ、露光ステージ４０が露光システム１４に搬送される時にはカメラ１８で基板Ｐ上の基準マーク４２を確実に撮影可能とする。
【００６７】
具体的には、図５（Ｂ）に示すように先ず基板ＰをＩＮコンベア２０ＡからＡＣハンド３０で露光ステージ４０に搬送／固定されるまでの間にプリ撮影用カメラ５０にて基板Ｐ上の基準マーク４２を撮影する。すなわち図５（Ｂ）のようにプリ撮影用カメラ５０の視野５０Ａは図中Ｘ方向に基準マーク４２を撮影する。プリ撮影用カメラ５０は前述のようにカメラ１８との位置関係が既知であるため、撮影で得られた画像データから基準マーク４２の重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出することができる。
【００６８】
次にこの画像データを基に基準マーク４２の重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出する。重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出したのち、ＡＣハンド３０によって基板ＰをＸ方向ズレ量分だけ補正した位置に露光ステージ４０上に置くことで重心位置ズレ量（Ｘ）を補正し、図５（Ｃ）に示すように露光システム１４に搭載されたθ回転ステージ機構４１によりθｚズレ量分だけ露光ステージ４０を回転させ、重心位置ズレ量（θｚ）を補正する。
【００６９】
最後にＹ方向ズレ量の分だけカメラ１８による基準マーク４２の撮影タイミングを変更（進める／遅らせる）し、カメラ１８にて基準マーク４２を撮影する。このときは図５（Ｂ）に示すようにカメラ１８の視野１８Ａは図中Ｙ方向に基準マーク４２を撮影する。
【００７０】
本実施形態においては、露光ステージ４０に搬送される前の基板Ｐ上に設けられた基準マーク４２の位置をプリ撮影用カメラ５０で撮影、重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出することができるので、基板Ｐを露光システム１４に搬送する際にはカメラ１８で撮影した基準マーク４２の一部だけがカメラ１８の視野１８Ａ内に入ることがないように基板Ｐの位置をあらかじめ補正しておくことができる。
【００７１】
このためＩＮコンベア２０Ａに搬送された時点で基準マーク４２の一部だけがカメラ１８の視野１８Ａ内に入る位置にある場合でも、露光ステージ４０に搬送された時点でカメラ１８による基準マーク４２の読み取りが可能となるように位置を補正し、マーク検出不良としてラインから外される基板Ｐを減らすことで直行率を向上させることができる。
【００７２】
また第１実施形態と同様、２枚目以降の基板Ｐについて、１枚目の重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）または以降の複数枚の基板Ｐにおける重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）の平均値を反映させて、基板Ｐの位置決めおよびカメラ１８による計測を行うようにすれば、露光システム１４での基板処理動作中に、次に処理する基板Ｐの基準マーク４２の計測を確実に実施できるため、直行率の向上と共に工程時間の短縮をも可能にすることができる。
【００７３】
＜カメラ視野＞
図２（Ｂ）には本発明の第３実施形態に係るカメラの視野が示されている。
【００７４】
図５に示すような、基板Ｐの基準マーク４２を撮影するために露光システム１４に設けられたカメラ１８とは別に、搬送システム１２のＩＮコンベア２０Ａにプリ撮影用カメラ５０を設け、このプリ撮影用カメラ５０にて基準マーク４２を撮影する構成において、プリ撮影用カメラ５０の視野５０Ａを露光システム１４のカメラ１８の視野１８Ａよりも大きいものとすることで、対応可能な基準マーク４２の位置ズレ許容値を広げることができる。
【００７５】
すなわち図２（Ｂ）のように視野５０Ａを視野１８Ａよりも大きく設定しておくことで、基準マーク４２Ｃのように視野１８Ａでは全く入らない位置にある場合でも視野５０では一部だけ入る場合が考えられる。
【００７６】
視野１８Ａと視野５０Ａとが同じ大きさであれば基準マーク４２Ｂのように一部でも視野１８Ａ／５０Ａにかかる位置にある基準マーク４２以外はマーク検出不良としてラインから外される。しかし視野５０Ａを視野１８Ａよりも大きくすることで、基準マーク４２Ｃのように視野１８Ａでは全く入らない位置にある場合でも、視野５０では一部だけ入る場合は第２実施形態に記載の方法でプリ撮影用カメラ５０で撮影、重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出することができるので、基板Ｐを露光システム１４に搬送する際にはカメラ１８で撮影した基準マーク４２の一部だけがカメラ１８の視野１８Ａ内に入ることがないように基板Ｐの位置をあらかじめ補正しておくことができる。
【００７７】
これにより基準マーク４２がカメラ１８の視野１８Ａ内に入っていない場合でも、プリ撮影用カメラ５０の視野５０Ａに基準マーク４２が一部でも入っていれば、プリ撮影用カメラ５０での撮影データを基に基準マーク重心位置ズレ量（Ｘ、Ｙ、θｚ）を算出し、基板Ｐを露光ステージ４０上に置き直すことでカメラ１８による基準マーク４２の読み取りを可能とし、マーク検出不良としてラインから外される基板Ｐを減らすことで直行率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明に係る露光装置を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る露光装置のカメラ視野と基準マーク位置を示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る露光装置を示す斜視図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る露光装置のカメラ位置を示す平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る露光装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７９】
Ｐ      基板
１０    露光装置
１２    搬送システム
１４    露光システム
１６    露光器
１８    カメラ
１８    視野
２０Ａ  ＩＮコンベア
３０    ＡＣハンド
４０    露光ステージ
４１    θ回転ステージ機構
４２    基準マーク
５０    プリ撮影用カメラ
５０Ａ  視野
【図１】
2008083520.tif 000003
【図２】
2008083520.tif 000004
【図３】
2008083520.tif 000005
【図４】
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【図５】
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