(57)【要約】【課題】  回転機械の過渡的な運転状態の間、シーリング装置の回転部品と固定部品の間の接触力を最小限に維持するための装置および方法が必要である。【解決手段】  回転機械（１０）は、機械ロータ（１２）と、機械ステータ（１４）と、該機械ロータ（１２）と該機械ステータ（１４）の間に配置された流体シール（１６）とを含む。該流体シール（１６）は、流体シールステータ（１８）と、該流体シールロータ（２０）と、該流体シールステータ（１８）に連結されたアクティブ隙間制御機構（４４）とを含む。該流体シール（１６）は、該流体シールステータ（１８）と該流体シールロータ（２０）の間の隙間（２２）を制御するように構成される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械ロータ（１２）と；
機械ステータ（１４）と；
該機械ロータ（１２）と該機械ステータ（１４）の間に配置された流体シール（１６）であって、
流体シールステータ（１８）と、
流体シールロータ（２０）と、
該流体シールステータ（１８）に連結され、該流体シールステータ（１８）と該流体シールロータ（２０）の間の隙間（２２）を制御するように構成されたアクティブ隙間制御機構（４４）とを有する前記流体シール（１６）とからなる、
回転機械（１０）。
【請求項２】
該流体シールステータ（１８）が流体シールハウジング（２６）内に軸方向に移動するように構成されたステータ部材（２４）を有する、請求項１に記載の回転機械（１０）。
【請求項３】
該アクティブ隙間制御機構（４４）が、該流体シールハウジング（２６）に連結された少なくとも１つの電磁コイル（４６）と、該ステータ部材（２４）に連結された少なくとも１つの電磁プランジャ（４８）とを有しており、該少なくとも１つの電磁コイル（４６）と該少なくとも１つの電磁プランジャ（４８）が、該電磁コイル（４６）への電流の供給に応じて、該ステータ部材（２４）を該流体シールロータ（２０）に向かって、またはそこから離して付勢するように構成される、請求項２に記載の回転機械（１０）。
【請求項４】
該ステータ部材（２４）と該流体シールロータ（２０）の間の該隙間（２２）を制御するために、該電磁コイル（４６）内の電流の量を制御する制御装置（５４）をさらに有する、請求項３に記載の回転機械（１０）。
【請求項５】
該アクティブ隙間制御機構（４４）が該流体シールハウジング（２６）に連結された１つ以上の圧電装置（５６）を有し、該圧電装置（５６）への電圧の供給に応じて、該ステータ部材（２４）を該流体シールロータ（２０）に向かって、またはそこから離して付勢するように構成される、請求項２に記載の回転機械（１０）。
【請求項６】
該ステータ部材（２４）と該流体シールロータ（２０）の間の該隙間（２２）を制御するために、該圧電装置（５６）内の電圧の量を制御する制御装置（５４）をさらに有する、請求項５に記載の回転機械（１０）。
【請求項７】
該アクティブ隙間制御機構（４４）が該流体シールハウジング（２６）に連結された１つ以上の形状記憶合金装置（５６）を有し、該形状記憶合金装置（５６）への電流の供給に応じて、該ステータ部材（２４）を該流体シールロータ（２０）に向かって、またはそこから離して付勢するように構成される、請求項２に記載の回転機械（１０）。
【請求項８】
該アクティブ隙間制御機構（４４）が該流体シールロータ（２０）と該流体シールステータ（１８）の間の距離を検出するように構成された少なくとも１つのマイクロ電気機械センサ（５０）を有する、請求項２に記載の回転機械（１０）。
【請求項９】
機械ロータ（１２）と；機械ステータ（１４）と；該機械ロータ（１２）と該機械ステータ（１４）の間に配置され、流体シールステータ（１８）および該流体シールロータ（２０）を有する流体シール（１６）とからなる回転機械（１０）の運転方法であって、
該流体シールステータ（１８）と該流体シールロータ（２０）の間の隙間（２２）を介してシーリング流体の流れをアクティブに制御することを含む、方法。
【請求項１０】
アクティブ制御が、電磁装置、圧電装置、形状記憶合金装置、またはそれらの組み合わせを作動させて、該回転機械（１０）の低速運転中、該流体シールステータ（１８）を該流体シールロータ（２０）から離れるように付勢することを含む、請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は概して回転機械に関し、より詳細には、回転要素と固定要素の間の界面用のシーリング装置に関する。特定の態様では、シーリング装置は、回転軸とターボ圧縮機の周囲構造との間のメカニカルシーリング装置を含む。
【背景技術】
【０００２】
回転機械、例えばターボ圧縮機の性能と効率は、タービンエンジン内の回転要素と固定要素の間の隙間に依存している。例えば、回転軸と周囲の固定ハウジングとの間の隙間が狭い流路を形成して、回転機械の性能を低下させる可能性があるプロセス流体の漏れ流れが生じる。回転要素と固定要素の間の隙間が増大すると、漏れ流れが増加し、機械の効率が減少する。
【０００３】
ターボ圧縮機等の回転機械ではドライガスシールが使用されて、回転要素と固定要素の間のプロセスガスの漏れを密封する。ドライガスシールは基本的に機械的な端面シールであり、嵌合（回転）リングと第１（固定）リングで構成される。運転中、回転リングの溝が流体力を発生させて、固定リングを回転リングから分離させ、２つのリングの間に「運転隙間」を形成する。シーリングガスは、回転リングと固定リングの間を介して流れる。しかしながら、回転機械の休止および低速運転中は、回転リングと固定リングの間の隙間を介したシーリングガスの流れが減少する。回転リングと固定リングは互いに相互接触し、機械的摩擦、摩耗および過熱が生じる。
【０００４】
特定の例では、補助ポンプ等のアクチュエータ装置を使用して、回転リングと固定リングの間の隙間を開くための圧力を供給することによって、休止および低速運転状態中の接触を回避することができる。回転リングと固定リングの間の隙間を介したシーリングガスの流れが少ないと、シールの機械的部品の過熱が起こり、最終的にシール破損が生じる。回転リングと固定リングの間の隙間を介したシーリングガスの流れが多すぎると、シールガスの消費量が多くなり、機械の効率が低下する結果となる。
【特許文献１】米国特許第６，５２４，０５９Ｂ１号公報
【特許文献２】米国特許第６，８０２，６８９Ｂ２号公報
【特許文献３】米国公開特許第２００４／０２３２６２２Ａ１号公報
【特許文献４】国際公開特許第０２０８８５７８Ａ１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、回転機械の過渡的な運転状態の間、シーリング装置の回転部品と固定部品の間の接触力を最小限に維持するための装置および方法が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一例示的実施形態にしたがって、回転機械は、機械ロータと、機械ステータと、該機械ロータと該機械ステータの間に配置された流体シールとを含む。該流体シールは、流体シールステータと、流体シールロータと、該流体シールステータに連結され、該流体シールステータと該流体シールロータの間の隙間を制御するように構成された隙間制御機構とを含む。
【０００７】
本発明の別の例示的実施形態にしたがって、流体シーリング装置は、流体シールステータと、流体シールロータと、該流体シールステータに連結され、該流体シールステータと該流体シールロータの間の隙間を制御するように構成されたアクティブ隙間制御機構とを含む。
【０００８】
本発明の別の例示的実施形態にしたがって、回転機械の運転方法は、流体シールステータと流体シールロータの間の隙間をアクティブに制御することを含む。
【０００９】
本発明のこれらおよび他の特徴、態様および利点は、図面を通して同様の符号が同様の部品を表す添付図面を参照しながら以下の詳細な説明を読むと、より理解できるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下で詳細に記述するように、本発明の実施形態は、機械ロータと機械ステータの間に流体シールが配置される回転機械を提供する。例示的な流体シールは、流体シールステータと、流体シールロータと、該流体シールステータに連結されたアクティブ隙間制御機構とを含む。例示的な流体シールは、該流体シールステータと該流体シールロータの間の隙間を介したシーリング流体の流れを制御するように構成される。一例示的実施形態では、該アクティブ隙間制御機構は該流体シールステータに連結された複数の電磁装置を含む。別の例示的実施形態では、該アクティブ隙間制御機構は該流体シールステータに連結された、圧電装置または形状記憶合金装置等の電気機械装置を含む。本発明の例示的実施形態にしたがったアクティブ隙間制御機構は、回転機械のすべての運転状態の間、流体シールステータと流体シールロータの相互接触を防止するとともに、その間の隙間を円滑に維持する。本発明の特定の実施形態は、図１〜図９を全体的に参照して以下に記述する。
【００１１】
図１を参照すると、例示的な回転機械（ターボ圧縮機等）１０が本発明の例示的実施形態にしたがって示される。機械１０は、機械ステータ１４（場合によっては「ハウジング」と呼ばれる）内に配置された機械ロータ１２（圧縮機軸等）を含む。流体シール１６は機械ロータ１２と機械ステータ１４の間に配置され、機械ロータ１２と機械ステータ１４の間の流体の漏れを減少させるように構成される。一実施形態において、流体シールはプロセスガスの漏れを減少させるように構成されたドライガスシールである。説明を簡略化するために、ここでは多くの例がドライガスシールを参照しているが、この原則はより一般的な液体シールにも適用可能である。プロセスガスは、二酸化炭素、硫化水素、ブタン、メタン、エタン、プロパン、液化天然ガス、またはそれらの組み合わせ等のガスを含み得る。特定の実施形態では、機械ロータ１４の各端部に１つ、２つ以上のドライガスシール１６を使用してもよい。特定の他の実施形態では、インペラ（図示せず）に直接隣接して置かれた１つのドライガスシール１６を使用してもよい。ドライガスシール１６は、嵌合流体シールステータ１８（非回転リング）および流体シールロータ２０（回転リング）を含む。機械の運転中、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の溝（図示せず）は流体力を発生させて、流体シールステータ１８を流体シールロータ２０から分離させ、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間に「運転隙間」を形成する。なお、ここで示したターボ圧縮機は単に例示的実施形態であり、本発明の実施形態にしたがったドライガスシールは、シーリングガスの漏れを防止するためのシーリング配置を要する他の回転機械にも適用可能である。ドライガスシール１６の詳細および動作は、次からの図面に関してより詳細に説明する。
【００１２】
図２を参照すると、本発明の特定の例示的実施形態にしたがったドライガスシール１６の詳細図が示される。上述したように、ドライガスシール１６は、流体シールステータ１８と、流体シールロータ２０と、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２を含む。隙間２２は、例えば数マイクロメートル程度のものであり得る。流体シールステータ１８は、流体シールハウジング２６内に配置されたステータ部材２４を含む。流体シールロータ２０は、ロータハウジング３０内に配置されたロータ部材２８を含む。メカニカルシール３１（Ｏリングシール）は、ロータ部材２８とロータハウジング３０の間に置かれた台座３２上に設けられる。台座３２は、スプリング３４を介して流体シールハウジング２６に連結される。スプリング３４は、機械の非運転状態の間、ロータ部材２８に対してステータ部材２４を付勢する。
【００１３】
ドライガスシール１６の作動状態の間、シーリングガス（不活性ガス、例えば窒素）が流入路３６に入り、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２を介して流れ、流出路３８を介して出る。シーリングガスの流れが開力を発生させて、ロータ部材２４を流体シールハウジング２６内に軸方向に移動させるとともに、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２を維持する。シーリングガスの二次的な漏れは、ステータ部材２４と流体シールハウジング２６の間で発生する可能性がある。メカニカルシール３１は、ステータ部材２４と流体シールハウジング２６の間のシーリングガスの二次的な漏れを減少させるために設けられる。
【００１４】
機械の通常運転状態の間（すなわち、機械が、通常速度かつシーリングガスの供給圧力の基準値の下で運転している間）、一定の隙間２２が流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間で維持される。一定の隙間２２は、シーリングガス圧力によるステータ部材２４の一面４０にかかる開力と、スプリング３４によってステータ部材２４の他面４２にかかるスプリング力との間の力平衡によって維持される。機械の低速運転中、ステータ部材２４の面４２に作用するスプリング力は、面４０にかかる開力よりも大きくなる。その結果、ステータ部材２４がロータ部材２８に接触して、部品の機械的摩擦、過熱および摩耗が生じる。隙間２２を介して流れるシーリングガスが少ないと、相互接触する部品が過熱される。隙間２２を介して流れるシーリングガスが多すぎると、シーリングガスの消費量が増加する。例示した実施形態では、アクティブ隙間制御機構４４が流体シールステータ１８に連結されて、機械のすべての運転状態の間、流体シールロータ２０と流体シールステータ１８の間の隙間２２を円滑に維持する。
【００１５】
例示した実施形態では、アクティブ隙間制御機構４４は流体シールステータ１８に連結された電磁装置である。アクティブ隙間制御機構４４は、流体シールハウジング２６に連結された電磁コイル４６と、ステータ部材２４に連結された電磁プランジャ４８とを含む。電力が機構４４に供給されると、電磁コイル４６はプランジャ４８を引きつける磁力を発生する。機構４４の作動によって、ステータ部材２４がロータ部材２８から離れるように移動する。その結果、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２が増大し、ステータ１８とロータ２０の間の機械的接触が回避される。機構４４の電力が軽減または除去されると、ステータ部材２４がロータ部材２８に向かって移動する。
【００１６】
図３を参照すると、図２の態様にしたがったアクティブ隙間制御機構４４を有するドライガスシール１６が示される。一実施形態では、機構４４はさらに、ロータ部材２８とステータ部材２４の間の距離を検出するように構成されたマイクロ電気機械センサ５０を含む。いくつかの実施形態では、センサ５０は複数のセンサからなる。図３の実施形態では、電気機械センサ５０は流体シールステータ１８に取り付けられる。電源５２は電磁コイル４６に連結され、コイル４６に電力を供給するように構成される。制御装置５４は、マイクロ電気機械センサ５０からの出力信号に基づいて電源５２を作動させるように構成される。言い換えれば、制御装置５４は電源５２を作動させて電磁コイル４６の電流または電圧の量を制御して、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間を制御する。
【００１７】
一例では、ステータ部材２４とロータ部材２８の間の距離が第１限界値未満の場合、制御装置５４は電源５２を作動させて、コイル４６に電力を供給する。その結果、ステータ部材２４はロータ部材２８から離れるように付勢され、隙間２２が流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間で維持される。ステータ部材２４とロータ部材２８の間の距離が第２限界値（第１限界値と同じでも異なっていてもよい）よりも大きい場合、制御装置５４は電源５２を停止させて、コイル４６の電力を除去する。その結果、ステータ部材２４はロータ部材２８に向かって移動し、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２が減少する。図３に例示した実施形態では、隙間２２をアクティブに制御して、すなわち増大または減少させて、シーリングガスの漏れを制御する。隙間２２は、機械の要求に応じて、増大させて部品の冷却を向上させるか、または減少させてシーリングガスの漏れを防止することができる。
【００１８】
特定の実施形態では、制御装置５４はさらに、データベースと、制御装置コンピュータまたはプロセッサによって実行されるコンピュータプログラムとして実装されたアルゴリズムとを含み得る。データベースは、回転機械とドライガスシールに関する所定の情報を保存するように構成することができる。例えば、データベースは、機械の種類、機械速度、負荷、ドライガスシールの種類、シーリングガスの種類、シーリングガスの供給圧力、シーリングガスの所要量、流体シールロータと流体シールステータの間の隙間、冷却要求、電源の種類等に関する情報を保存することができる。データベースはまた、命令セット、マップ、ルックアップテーブル、変数等を含むこともできる。そのようなマップ、ルックアップテーブルおよび命令セットは、回転機械の特性を相互に関連付けるように機能して、流体シールステータと流体シールロータの間の隙間を制御する。データベースはまた、実際に検知・検出された回転機械とドライガスシールに関する情報を保存するように構成することもできる。アルゴリズムは、検知した回転機械とドライガスシールに関する情報の処理を円滑にすることができる。上述のパラメータのいずれも、時間に応じて選択的および／または動的に適応または変化させることができる。例えば、流体シールロータと流体シールステータの間の隙間は、機械の速度または負荷に応じて変化させることができる。別の例では、隙間は冷却要求に応じて変化させることができる。さらに別の例では、隙間はシーリングガスの消費量に応じて変化させることができる。同様に、いくつもの例を想定することができる。
【００１９】
図４を参照すると、本発明の例示的実施形態にしたがったアクティブ隙間制御機構４４を有するドライガスシール１６が示される。隙間制御機構４４は、流体シールハウジング２６に連結された複数の電磁コイル４６と、ステータ部材２４に連結された複数の電磁プランジャ４８とを含む。プランジャ４８は、コイル４６に対向するように構成することができる。
【００２０】
電力が機構４４に供給されると、電磁コイル４６はプランジャ４８を引きつける磁力を発生する。機構４４の作動によって、ステータ部材２４がロータ部材２８から離れるように移動する。その結果、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２が増大し、ステータ１８とロータ２０の間の機械的接触が回避される。
【００２１】
図５を参照すると、図４の態様にしたがったアクティブ隙間制御機構４４が示される。例示した実施形態では、複数の電磁コイル４６は流体シールハウジング２６に沿った１つ以上の半径方向位置に沿って配列される。同様に、複数の電磁プランジャ４８はステータ部材に沿った１つ以上の半径方向位置に沿って配列される。各プランジャ４８は、対応する電磁コイル４６に対向して置かれる。なお、ここでは、コイル４６とプランジャ４８のいくつもの配列パターンが想定される。
【００２２】
図６を参照すると、図２および図３の態様にしたがったアクティブ隙間制御機構４４が示される。前述したように、ステータ部材２４（図２および図３に示される）は流体シールハウジング２６内に設けられる。複数の電磁コイル４６は、流体シールハウジング２６の外周に等間隔に設けられる。複数の電磁プランジャ４８は、ステータ部材の外周に等間隔に設けられる。各プランジャ４８は、対応する電磁コイル４６に対向して置かれる。特定の他の例示的実施形態では、コイル４６とプランジャ４８は流体シールハウジング２６の外周に任意に離間配置される。
【００２３】
図７を参照すると、本発明の別の例示的実施形態にしたがったアクティブ隙間制御機構４４が示される。例示した実施形態では、アクティブ隙間制御機構４４は流体シールステータ１８に連結される。アクティブ隙間制御機構４４は、流体シールハウジング２６の周囲全体に巻き付けられた１つの電磁コイル４６を含む。電磁プランジャ４８はステータ部材２４に連結され、コイル４６に対向して置かれる。電力が機構４４に供給されると、電磁コイル４６はプランジャを引きつける磁力を発生する。機構４４の作動によって、ステータ部材２４がロータ部材から離れるように移動する。
【００２４】
図８は、図７の態様にしたがったアクティブ隙間制御機構４４の概略図である。アクティブ隙間制御機構４４は、流体シールハウジング２６の周囲全体に巻き付けられた１つの電磁コイル４６を含む。電磁プランジャ４８はステータ部材２４に連結され、コイル４６に対向して置かれる。
【００２５】
図９を参照すると、本発明の例示的実施形態にしたがったアクティブ隙間制御機構４４を有するドライガスシール１６が示される。実施形態では、機構４４は電気機械装置５６を含んでおり、流体シールハウジング２６に連結されるように示されている。代替的実施形態では、電気機械装置５６はステータ部材２４に連結される。一実施形態では、電気機械装置５６は圧電装置である。圧電装置５６は圧電性結晶を含み、装置５６への電流または電圧の供給に応じて寸法が変化する。１つの圧電装置５６が示されるが、他の例示的実施形態では複数の装置５６を使用してもよい。電流が機構４４に供給されると、ステータ部材２４をロータ部材２８から離すように、圧電装置５６がステータ部材２４を作動させる。その結果、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２が減少し、ステータ１８とロータ２０の間の機械的接触が回避される。
【００２６】
制御装置５４は電源５２を作動させて圧電装置５６内の電流または電圧の量を制御して、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間を制御する。図３に関して上述したのと同様な方法で、制御装置５４は選択的に電源５２を作動させて、圧電装置５６に電力を供給するとともに、ステータ部材２４をロータ部材２８から離れるように付勢し、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間に維持される隙間２２が増大する。制御装置５４は選択的に電源５２を停止させて、圧電装置５６の電力を除去するとともに、ステータ部材２４をロータ部材２８に向かって移動させる。特定の他の例示的実施形態では、隙間制御機構４４を作動させるのに制御装置５４とマイクロ電気機械センサ５０はなくてもよい。
【００２７】
別の例示的実施形態では、電気機械装置５６は形状記憶合金装置である。特定の実施形態では、形状記憶合金装置は複数のワイヤーを含んでおり、電流がワイヤーを通過すると動きが出る。ワイヤーは、銅とニッケルとアルミニウムの合金、銅と亜鉛とアルミニウムの合金、鉄とシリコンとマンガンの合金、またはニッケルとチタンと炭素の合金（ニチノール）を含み得る。ワイヤーが転移温度以下に冷却されると、ワイヤーはマルテンサイト相に変わり、変形可能になる。ワイヤーが転移温度以上に加熱されると、ワイヤーはオーステナイト相に変わって、ワイヤーの原形の復元が起こる。特定の例示的実施形態では、複数の形状記憶合金装置を使用してもよい。
【００２８】
電流が機構４４に供給されると、ステータ部材２４をロータ部材２８から離して移動させるように、形状記憶合金装置がステータ部材２４を作動させる。その結果、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間２２が増大し、ステータ１８とロータ２０の間の機械的接触が回避される。制御装置５４は電源５２を作動させて、形状記憶合金装置内の電流の量とそれに続いて温度を制御して、流体シールステータ１８と流体シールロータ２０の間の隙間を制御する。本発明の例示的実施形態にしたがったアクティブ隙間制御機構は、回転機械のすべての運転状態の間、流体シールステータと流体シールロータの相互接触を防止するとともに、その間の隙間を円滑に維持する。
【００２９】
本発明の特定の特徴のみがここで例示され、説明されたが、多くの修正および変更が当業者には考えられるであろう。したがって、添付の請求項は、本発明の真の精神に含まれるそのようなすべての修正および変更の保護を意図するものだと理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】回転機械の部分斜視図であり、本発明の例示的実施形態にしたがって流体シールを有するターボ圧縮機が例として示される。
【図２】本発明の例示的実施形態にしたがった電磁式のアクティブ隙間制御機構を有する流体シールの概略図である。
【図３】本発明の例示的実施形態にしたがった電磁式のアクティブ隙間制御機構を有する流体シールの概略図である。
【図４】本発明の例示的実施形態にしたがった電磁式のアクティブ隙間制御機構を有する流体シールの概略図である。
【図５】図４の態様にしたがって１つ以上の半径方向位置に沿って配列された複数の電磁装置を有するアクティブ隙間制御機構の概略図である。
【図６】図２および図３の態様にしたがって円周方向に沿って配列された複数の電磁装置を有するアクティブ隙間制御機構の概略図である。
【図７】本発明の例示的実施形態にしたがって１つの電磁コイルを備えた電磁装置を有するアクティブ隙間制御機構の概略図である。
【図８】図７の態様にしたがった電磁装置を有するアクティブ隙間制御機構の概略図である。
【図９】本発明の例示的実施形態にしたがった電磁式のアクティブ隙間制御機構を有する流体シールの概略図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０  回転機械
１２  機械ロータ
１４  機械ステータ
１６  流体シール
１８  流体シールステータ
２０  流体シールロータ
２２  隙間
２４  ステータ部材
２６  流体シールハウジング
２８  ロータ部材
３０  ロータハウジング
３１  メカニカルシール
３２  台座
３４  スプリング
３６  流入路
３８  流出路
４０  一面
４２  他面
４４  アクティブ隙間制御機構
４６  電磁コイル
４８  電磁プランジャ
５０  マイクロ電磁機械センサ
５２  電源
５４  制御装置
５６  電気機械装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008116049.tif 000009
【図８】
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【図９】
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