(57)【要約】 【課題】単動形エアシリンダにおけるピストンの動作位置を、簡単な位置決め制御機構によって任意に変更あるいは調整できるようにする。【解決手段】単動形の主シリンダ２の圧力室１１とエア源１５とを結ぶエア流路１６中に、通電量に応じたエア圧力を出力する電磁操作式の自動圧力調整弁４を接続し、コントローラ５を、主シリンダ２のピストン１０の位置と復帰ばね１２の付勢力との関係、及び圧力室１１に供給されるエア圧力と該エア圧力によりピストン１０に作用する作用力との関係から、該ピストン１０の位置とエア圧力との関係を得るように構成し、該コントローラ５にピストン１０の動作目標位置が入力されると、該コントローラ５が、その目標位置に応じたエア圧力が出力されるように上記自動圧力調整弁４の通電量を制御して該ピストン１０を目標位置に移動させると共に、その位置に停止させるように動作する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピストンの両側に圧力室と復帰ばねとを有し、上記圧力室に供給されるエア圧力と上記復帰ばねの付勢力とによって該ピストンが往復駆動される単動形の主シリンダ、エア源を備えたエア供給部、該エア供給部と上記主シリンダの圧力室との間に介在する圧力調整装置、該圧力調整装置を電気的に制御するコントローラを有し、
上記圧力調整装置は、通電量に応じたエア圧力を出力する電磁操作式の自動圧力調整弁からなり、
上記コントローラは、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有すると共に、上記ピストンの位置と復帰ばねの付勢力との関係、及び圧力室に供給されるエア圧力と該エア圧力によりピストンに作用する作用力との関係から、該ピストンの位置とエア圧力との関係を得るように構成されていて、上記入力手段でピストンの動作目標位置が入力されると、該コントローラが、その目標位置に応じたエア圧力が出力されるように上記自動圧力調整弁の通電量を制御して該ピストンを目標位置に移動させると共に、その位置に停止させるように動作する、
ことを特徴とする単動形シリンダの位置決め制御機構。
【請求項２】
上記圧力調整装置と主シリンダの圧力室とを結ぶエア流路中に２ポート式の停止用電磁弁が接続され、該電磁弁は、上記コントローラによりオン・オフ制御され、上記ピストンの移動時にはオンとなって上記エア流路を導通させ、上記ピストンの停止時にはオフとなって上記圧力室にエアを封じ込めるように動作することを特徴とする請求項１に記載の位置決め制御機構。
【請求項３】
上記主シリンダが、ピストンの動作位置を測定して位置信号を上記コントローラにフィードバックする測長センサを備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決め制御機構。
【請求項４】
ピストンの両側に圧力室と復帰ばねとを有し、上記圧力室に供給されるエア圧力と上記復帰ばねの付勢力とによって該ピストンが往復駆動される単動形の主シリンダ、エア源を備えたエア供給部、該エア供給部と上記主シリンダの圧力室との間に介在する圧力調整装置、該圧力調整装置を電気的に制御するコントローラを有し、
上記圧力調整装置は、上記エア供給部と圧力室とを結ぶエア流路中に接続されて該エア流路を通断する２ポート式の供給用電磁弁、上記圧力室と大気とを通断する２ポート式の排気用電磁弁、及び、上記圧力室内のエア圧力を検出する圧力センサを有し、
上記コントローラは、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有すると共に、上記ピストンの位置と復帰ばねの付勢力との関係、及び圧力室に供給されるエア圧力と該エア圧力によりピストンに作用する作用力との関係から、該ピストンの位置とエア圧力との関係を得るように構成されていて、上記入力手段でピストンの動作目標位置が入力されると、該コントローラが、上記圧力センサで検出される圧力室内のエア圧力がピストンの目標位置に応じた大きさになるように上記供給用電磁弁及び排気用電磁弁をオン・オフ制御して圧力室内のエア圧力を調整することにより、該ピストンを目標位置に移動させると共にその位置に停止させるように動作する、
ことを特徴とする単動形シリンダの位置決め制御機構。
【請求項５】
上記圧力調整装置に対して主シリンダと並列に接続された単動式の従シリンダを有し、この従シリンダが、上記コントローラにより、該圧力調整装置を介して主シリンダと同期的に位置決め制御されるように構成されていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の位置決め制御機構。
【請求項６】
上記圧力調整装置と従シリンダの圧力室とを結ぶエア流路中に２ポート式の停止用電磁弁が接続され、該停止用電磁弁は、上記コントローラによって上記主シリンダに接続された停止用電磁弁と同期的に制御されることを特徴とする請求項２に従属する請求項５に記載の位置決め制御機構。
【請求項７】
上記主シリンダが、ピストンの動作位置を測定して位置信号を上記コントローラにフィードバックする測長センサを備えていることを特徴とする請求項５又は６に記載の位置決め制御機構。
【請求項８】
上記エア供給部が、エア圧力を設定圧に保つためのレギュレータを有することを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の位置決め制御機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの搬送やチャックあるいは加工等に使用されるエアシリンダの動作位置を任意に位置決め制御することが可能な位置決め制御機構に関するものであり、換言すれば、ワークに対する力の作用点の位置を任意に変更あるいは調整することが可能なエアシリンダの位置決め制御機構に関するものであって、特に、単動形エアシリンダのための制御機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ワークの搬送やチャックあるいは加工等の作業に使用されるアクチュエータは、エアや液圧あるいは電気などのエネルギーによって動作する。このうち電気エネルギーを利用する電動式アクチュエータは、動作位置を自由に変更あるいは調整できるという点で勝れているが、構造が複雑で、直線的動作を得る構成のものではその構造がより複雑である。また、大きな作用力を得ようとすると大型化と大電力化とが避けられず、一定の停止位置を維持させる場合には、その間電力を供給し続けなければならないため、省エネルギーの面での損失も大きい。更に、ロッド等を介して負荷に作用力が加わった場合、アクチュエータの動力伝達部が直接衝撃を受けて機械的損失を招きやすいだけでなく、負荷に対しても過剰な反発力を与えるおそれがある。
【０００３】
一方、エアを利用するアクチュエータとしては、エアシリンダが良く知られている。このエアシリンダは、圧縮エアのエネルギーを直線運動に変換するもので、ピストンの両側の圧力室に交互にエアを供給することによって該ピストンを往復移動させる複動形エアシリンダと、ピストンの片側の圧力室に給排されるエアと反対側に設置されたばねの付勢力とによってピストンを往復移動させる単動形シリンダとがある。何れのタイプも、上記電動式アクチュエータに比べて手軽に直線運動が得られるため、各種作業工程に広く利用されている。
【０００４】
ところが、上記エアシリンダは、通常、ピストンの動作ストロークが機械的に決められていて、ストッパ等で規定される前進端の位置と後退端の位置との間を往復動作するように構成されており、上記動作ストローク（動作位置）を変更あるいは調整するのは困難である。特に、動作ストロークを任意に変更あるいは調整するのは難しい。このため、作業内容に応じて異なる動作ストロークを持つシリンダを使い分けるのが一般的である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、単動形エアシリンダにおけるピストンの動作位置を、圧力調整装置を用いた簡単な位置決め制御機構により、作業内容に応じて任意に変更あるいは調整できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の位置決め制御機構は、ピストンの両側に圧力室と復帰ばねとを有し、上記圧力室に供給されるエア圧力と上記復帰ばねの付勢力とによって該ピストンが往復駆動される単動形の主シリンダ、エア源を備えたエア供給部、該エア供給部と上記主シリンダの圧力室との間に介在する圧力調整装置、該圧力調整装置を電気的に制御するコントローラを有している。
上記圧力調整装置は、通電量に応じたエア圧力を出力する電磁操作式の自動圧力調整弁からなっている。
また、上記コントローラは、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有すると共に、上記ピストンの位置と復帰ばねの付勢力との関係、及び圧力室に供給されるエア圧力と該エア圧力によりピストンに作用する作用力との関係から、該ピストンの位置とエア圧力との関係を得るように構成されていて、上記入力手段でピストンの動作目標位置が入力されると、該コントローラが、その目標位置に応じたエア圧力が出力されるように上記自動圧力調整弁の通電量を制御して該ピストンを目標位置に移動させると共に、その位置に停止させるように動作するものである。
【０００７】
本発明において好ましくは、上記圧力調整装置と主シリンダの圧力室とを結ぶエア流路中に２ポート式の停止用電磁弁が接続され、該電磁弁は、上記コントローラによりオン・オフ制御され、上記ピストンの移動時にはオンとなって上記エア流路を導通させ、上記ピストンの停止時にはオフとなって上記圧力室にエアを封じ込めるように動作することである。
本発明においては、上記主シリンダが、ピストンの動作位置を測定して位置信号を上記コントローラにフィードバックする測長センサを備えていても良い。
【０００８】
本発明の別の位置決め制御機構においては、上記圧力調整装置が、上記エア供給部と圧力室とを結ぶエア流路中に接続されて該エア流路を通断する２ポート式の供給用電磁弁、上記圧力室と大気とを通断する２ポート式の排気用電磁弁、及び、上記圧力室内のエア圧力を検出する圧力センサを有し、また、上記コントローラが、上記ピストンの動作目標位置を入力するための入力手段を有すると共に、上記ピストンの位置と復帰ばねの付勢力との関係、及び圧力室に供給されるエア圧力と該エア圧力によりピストンに作用する作用力との関係から、該ピストンの位置とエア圧力との関係を得るように構成されていて、上記入力手段でピストンの動作目標位置が入力されると、該コントローラが、上記圧力センサで検出される圧力室内のエア圧力がピストンの目標位置に応じた大きさになるように上記供給用電磁弁及び排気用電磁弁をオン・オフ制御して圧力室内のエア圧力を調整することにより、該ピストンを目標位置に移動させると共にその位置に停止させるように動作するものである。
【０００９】
本発明においては、上記圧力調整装置に対して主シリンダと並列に接続された単動式の従シリンダを有し、この従シリンダが、上記コントローラにより、該圧力調整装置を介して主シリンダと同期的に位置決め制御されるように構成されていても良い。
この場合、上記圧力調整装置と従シリンダの圧力室とを結ぶエア流路中に２ポート式の停止用電磁弁が接続され、該停止用電磁弁は、上記コントローラによって上記主シリンダに接続された停止用電磁弁と同期的に制御されるようになっていても良い。
上記エア供給部には、エア圧力を設定圧に保つためのレギュレータを設けることもできる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、圧力調整装置とコントローラとからなる簡単な位置決め制御機構を使用して、単動形エアシリンダにおけるピストンの動作位置を、機械的な調整等を一切行うことなく、作業内容に応じて任意に変更あるいは調整することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１には、本発明に係る単動形エアシリンダの位置決め制御機構の第１実施形態が、記号によって示されている。この第１実施形態の位置決め制御機構１Ａにおいて、２は単動形のエアシリンダからなる主シリンダ、３は該主シリンダ２に圧力エアを供給するためのエア供給部、４は該エア供給部３と上記主シリンダ２との間に介在する圧力調整装置、５は該圧力調整装置４を電気的に制御するコントローラを示している。
【００１２】
上記主シリンダ２は、ピストン１０の片側に圧力室１１を有し、反対側に復帰ばね１２を有するもので、上記圧力室１１に供給される圧力エアの作用力と上記復帰ばね１２の付勢力とによって上記ピストン１０が、該主シリンダ２の内部を直線的に往復駆動されるようになっている。上記ピストン１０の一側には作業用ロッド１３が連結され、このロッド１３が該主シリンダ２の先端から外部に延出し、ワークに当接することによって該ワークに搬送やチャックあるいは加工等のための作用力を及ぼす。
【００１３】
上記エア供給部３は、圧力エアを供給するエア源１５と、該エア源１５と上記主シリンダ２の圧力室１１とを結ぶエア流路１６中に順次接続されたドレン排出付フィルタ１７、オイルミストセパレータ１８、エア圧力を設定圧に保つためのレギュレータ１９を備えている。
【００１４】
上記圧力調整装置４は、通電量に応じたエア圧力を出力する電磁操作式の自動圧力調整弁からなるもので、この自動圧力調整弁は、２ポート式の電磁比例制御弁４ａと、パイロット作動形減圧弁４ｂとを組み合わせた構成を有している。従って、以下の説明においては、自動圧力調整弁も符号「４」で表示するものとする。
【００１５】
上記コントローラ５は、上記ピストン１０の動作目標位置を入力するための入力手段６を有している。また、該コントローラ５には、上記ピストン１０の位置と復帰ばね１２の付勢力との関係、及び上記圧力室１１に供給されるエア圧力とピストン１０に作用する作用力との関係が、予め数値化あるいは数式化されて記憶され、これらの関係から、エア圧力とピストン１０の位置との関係が求められるようになっている。そして、上記入力手段６によって該コントローラ５にピストン１０の動作目標位置が入力されると、このコントローラ５が、上記エア圧力とピストン１０の位置との関係から、目標位置に応じたエア圧力を算出し、その圧力のエアが出力されるように上記自動圧力調整弁４の通電量を制御する。
【００１６】
上記自動圧力調整弁４から出力されたエアは、上記主シリンダ２の圧力室１１に流入してピストン１０に作用し、該ピストン１０を目標位置まで変位させる。そして、該ピストン１０が目標位置に到達すると、上記エアによる作用力と復帰ばね１２の付勢力とが均衡するため、上記ピストン１０はその位置に停止すると共に、停止状態に保持されることになる。
【００１７】
上記ピストン１０の動作目標位置が前進端と後退端の２つの位置である場合、上記コントローラ５は、これら２つの目標位置に対応する高低２つのエア圧力を算出し、それらの圧力に応じて上記自動圧力調整弁４の通電量を制御することにより、該ピストン１０をこれら２つの目標位置の間で往復動させる。
その場合、上記ピストン１０が後退端から前進端まで移動する前進行程においては、上記自動圧力調整弁４への通電量が増大して該調整弁から高圧のエアが出力され、この高圧のエアの作用によって上記ピストン１０は、復帰ばね１２を圧縮しながら前進し、目標位置に到達してエアによる作用力と復帰ばね１２の付勢力とが均衡すると、その位置に停止する。
また、上記ピストン１０が上記前進端から後退端まで移動する後退行程においては、上記自動圧力調整弁４への通電量が減少して該調整弁からの出力圧が低下するため、上記ピストン１０は、復帰ばね１２の付勢力に押されて後退し、後退端に到達してエアによる作用力と復帰ばね１２の付勢力とが均衡すると、その位置に停止する。
【００１８】
上記エア流路１６には、可変絞り弁２０ａと逆止弁２０ｂとを並列に接続して構成されたスピードコントローラ２０が接続されている。このスピードコントローラ２０は、上記圧力室１１に流入又は該圧力室１１から流出するエアの流量を可変絞り弁２０ａで制限することにより、上記ピストン１０の動作速度を調整するものであるが、必ずしも設ける必要のないものである。
【００１９】
かくして上記位置決め制御装置によれば、圧力調整装置４とコントローラ５とからなる簡単な位置決め制御機構を使用して、単動形のエアシリンダにおけるピストン１０の動作位置を、機械的な調整等を一切行うことなく、作業内容に応じて任意に変更あるいは調整することが可能である。
【００２０】
図２には本発明に係る位置決め制御機構の第２実施形態が示されている。この第２実施形態の位置決め制御機構１Ｂは、上記第１実施形態の位置決め制御機構１Ａに比べ、圧力調整装置４と主シリンダ２とを結ぶエア流路１６に、該流路を通断する２ポート式の停止用電磁弁２３が接続されている点で相違している。
上記停止用電磁弁２３はコントローラ５に電気的に接続され、このコントローラ５でオン・オフ制御されるようになっており、上記ピストン１０の前進行程時及び後退行程時にはオンに切り換えられて上記エア流路１６を連通状態にし、上記ピストン１０が前進端又は後退端の位置に停止すると、図２に示すようにオフに切り換えられて上記エア流路１６を遮断し、主シリンダ２の圧力室１１内にエアを封じ込めるものである。これにより、主シリンダ２の停止位置への保持がより安定的に行われることになる。
なお、第２実施形態の上記以外の構成は実質的に第１実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第２実施形態と同じ符号を付してその構成及び作用の説明は省略する。
【００２１】
図３には本発明に係る位置決め制御機構の第３実施形態が示されている。この第３実施形態の位置決め制御機構１Ｃが上記第２実施形態の位置決め制御機構１Ｂと異なる点は、主シリンダ２が、ピストン１０の動作位置を検出するための測長センサ２５を備えているという点である。
上記測長センサ２５は、ピストン１０に取り付けられて該ピストン１０と一緒に変位する測長ロッド２６の変位を検出することにより、上記ピストン１０の動作位置を全ストロークにわたり測定するもので、コントローラ５に電気接続されていて、測定信号が該コントローラ５にフィードバックされるようになっている。
【００２２】
上記測長センサ２５による測長ロッド２６の変位の測定は、該測長ロッド１４に付した目盛を磁気的又は電気的あるいは光学的に読み取ることによって行われるものであるが、このような測長ロッド１４を用いる方法に限定される訳ではなく、その他の測定方法を用いることもできる。
上記測長センサ２５からコントローラ５にフィードバックされた測定信号は、上記ピストン１０の動作位置の確認や、位置決め制御に関連する他の制御機器の制御等に使用される。あるいは、上記自動圧力調整弁４の制御に用いることもできる。この測長センサ２５による測定位置情報を併用して自動圧力調整弁４を制御することにより、位置決め精度をより高めることができる。
【００２３】
図４には本発明に係る位置決め制御機構の第４実施形態が示されている。この第４実施形態の位置決め制御機構１Ｄは、圧力調整装置４の構成が上記第１実施形態の位置決め制御機構１Ａと異なっている。即ち、この第４実施形態の圧力調整装置４は、エア供給部３と圧力室１１とを結ぶエア流路１６中に接続されて該流路を通断する２ポート式の供給用電磁弁２８と、上記圧力室１１と大気とを通断する２ポート式の排気用電磁弁２９と、上記圧力室１１内のエア圧力を検出する圧力センサ３０とによって構成され、これらの電磁弁２８，２９と圧力センサ３０とが、コントローラ５に電気的に接続されている。
【００２４】
上記コントローラ５は、ピストン１０の動作目標位置を入力するための入力手段６を有していること、及び、上記ピストン１０の位置と復帰ばね１２の付勢力との関係、及び上記圧力室１１に供給されるエア圧力とピストン１０に作用する作用力との関係から、エア圧力とピストン１０の位置との関係を求めるように構成されていることについては、上記第１実施形態の場合と同じである。しかし、第１実施形態と異なる点は、上記圧力センサ３０で検出される圧力室１１内のエア圧力がピストン１０の動作目標位置に応じた圧力になるように、上記供給用電磁弁２８及び排気用電磁弁２９をオン・オフ制御して圧力室１１内のエア圧力を調整し、それによって該ピストン１０を目標位置に移動させると共に、その位置に停止させるように動作する点である。
【００２５】
即ち、上記入力手段６によってピストン１０の前進端及び後退端の位置が目標位置として入力されると、これらの２位置間をピストン１０が往復駆動されるが、該ピストン１０の前進行程においては、上記コントローラ５により、上記供給用電磁弁２８がオンにされて主シリンダ２の圧力室１１がエア供給部３に連通されると共に、上記排気用電磁弁２９がオフにされて該圧力室１１が大気から遮断される。これにより、上記圧力室１１にエア供給部３からエアが供給され、上記ピストン１０及びロッド１３は復帰ばね１２を圧縮しながら前進する。
上記圧力室１１内のエア圧力の変化は上記圧力センサ３０によって常時測定され、そのエア圧力が動作目標位置に対応する圧力になると、上記供給用電磁弁２８がコントローラ５によってオフに切り換えられ、上記圧力室１１内にエアが封じ込められる。これによって上記ピストン１０が、その位置に停止すると共に、停止状態に保持される。
【００２６】
また、上記ピストン１０が上記前進端から後退する後退行程においては、上記供給用電磁弁２８がオフにされると共に排気用電磁弁２９がオンにされ、上記圧力室１１が大気に開放されるため、上記ピストン１０及びロッド１３は復帰ばね１２の付勢力で後退する。そして、上記圧力室１１内のエア圧力が力が後退端の位置に対応する圧力になると、上記排気用電磁弁２９がコントローラ５によってオフに切り換えられ、上記圧力室１１内にエアが封じ込められる。これによって上記ピストン１０は、その位置に停止すると共に、停止状態に保持される。
なお、この第４実施形態の上記以外の構成は実質的に第１実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第１実施形態と同じ符号を付してその構成及び作用の説明は省略する。
【００２７】
図５には本発明に係る位置決め制御機構の第５実施形態が示されている。この第５実施形態の位置決め制御機構１Ｅは、上記第２実施形態の位置決め制御機構１Ｂにおいて、圧力調整装置４とコントローラ５とに対し、主シリンダ２及び停止用電磁弁２３と並列に、１組以上の従シリンダ２ａ及び停止用電磁弁２３ａを接続した構成を有するものである。これらの従シリンダ２ａ及び停止用電磁弁２３ａは、上記主シリンダ２及び停止用電磁弁２３と同じ構成を有するものである。
なお、この第５実施形態の上記以外の構成は実質的に第２実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第２実施形態と同じ符号を付してその構成及び作用の説明は省略する。
この第５実施形態においては、上記コントローラ５と１つの圧力調整装置４とにより、上記従シリンダ２ａ及び停止用電磁弁２３ａが、主シリンダ２及び停止用電磁弁２３に倣って同期的に位置決め制御される。しかし、この第５実施例において、上記各停止用電磁弁２３，２３ａは省略することも可能である。
【００２８】
図６には本発明に係る位置決め制御機構の第６実施形態が示されている。この第６実施形態の位置決め制御機構１Ｆは、上記第３実施形態の位置決め制御機構１Ｃにおいて、圧力調整装置４とコントローラ５とに対し、主シリンダ２及び停止用電磁弁２３と並列に、１組以上の従シリンダ２ａ及び停止用電磁弁２３ａを接続した構成を有するものである。
上記従シリンダ２ａは、測長センサ２５及び測長ロッド２６を具備しない点を除けば、上記主シリンダ２と同じ構成を有するものである。
この第６実施形態の上記以外の構成は実質的に第３実施形態と同じであるから、それらの主要な同一構成部分に第３実施形態と同じ符号を付してその構成の説明は省略する。
この第６実施形態においても、上記コントローラ５と１つの圧力調整装置４とにより、上記従シリンダ２ａ及び停止用電磁弁２３ａが、主シリンダ２及び停止用電磁弁２３に倣って同期的に位置決め制御される。しかし、この第６実施例において、上記各停止用電磁弁２３，２３ａは省略することも可能である。
【００２９】
上記各実施形態において、上記停止用電磁弁２３、供給用電磁弁２８、排気用電磁弁２９は、それぞれ主シリンダ２や従シリンダ２ａと別の位置に設置しても良いが、対応する主シリンダ２又は従シリンダ２ａにそれぞれ搭載しても良い。また、コントローラ５を主シリンダ２に組み付けることもできる。さらに、上記スピードコントローラ２０設ける場合には、それを対応する主シリンダ２又は従シリンダ２ａに組み付けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る位置決め制御機構の第１実施形態を示す接続図である。
【図２】本発明に係る位置決め制御機構の第２実施形態を示す接続図である。
【図３】本発明に係る位置決め制御機構の第３実施形態を示す接続図である。
【図４】本発明に係る位置決め制御機構の第４実施形態を示す接続図である。
【図５】本発明に係る位置決め制御機構の第５実施形態を示す接続図である。
【図６】本発明に係る位置決め制御機構の第６実施形態を示す接続図である。
【符号の説明】
【００３１】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ，１Ｆ      位置決め制御機構
２      主シリンダ
２ａ      従シリンダ
３      エア供給部
４      圧力調整装置（自動圧力調整弁）
５      コントローラ
６      入力手段
１０      ピストン
１１      圧力室
１２      復帰ばね
１５      エア源
１６      エア流路
１９      レギュレータ
２３，２３ａ      停止用電磁弁
２５      測長センサ
２８      供給用電磁弁
２９      排気用電磁弁
３０      圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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