(57)【要約】【課題】チップ状態での検査工程で発生するコストを低減する。【解決手段】テスタ基板に固定されるコンタクトブロックと、複数の載置区画にそれぞれ検査対象チップを位置決めするための凸部を有し、前記コンタクトブロックに載置されるトレイと、前記コンタクトブロックに保持され前記テスタ基板と前記検査対象チップとを接続するプローブであって、前記検査対象チップが載置された前記トレイが前記コンタクトブロックに固定されると、前記載置区画毎に載置されている複数の前記検査対象チップの端子に接触する複数のプローブと、を備える検査用チップソケット。【選択図】図１
2008046094.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタ基板に固定されるコンタクトブロックと、
複数の載置区画にそれぞれ検査対象チップを位置決めするための凸部を有し、前記コンタクトブロックに載置されるトレイと、
前記コンタクトブロックに保持され前記テスタ基板と前記検査対象チップとを接続するプローブであって、前記検査対象チップが載置された前記トレイが前記コンタクトブロックに固定されると、前記載置区画毎に載置されている複数の前記検査対象チップの端子に接触する複数のプローブと、
を備える検査用チップソケット。
【請求項２】
前記トレイには位置決め孔が形成されており、
前記コンタクトブロックには前記位置決め孔に挿入されるガイドロッドが設けられている、
請求項１に記載の検査用チップソケット。
【請求項３】
前記トレイに載置された前記検査対象チップに被さるとともに前記トレイを前記コンタクトブロックに固定するカバーをさらに備え、
前記トレイには前記プローブが挿入される通孔が前記載置区画ごとに形成されており、
前記コンタクトブロックは、前記プローブが固定されているベースと、前記プローブが貫通し前記トレイが載置されるテーブルと、前記ベースから離れた位置に前記テーブルを支持するバネと、を有し、
前記カバーは、前記テーブルを前記ベース側に押し込んだ状態で前記ベースに結合し、
前記プローブは、前記カバーが前記ベースに結合すると、前記通孔から露出している前記検査対象チップの端子に接触する、
請求項１又は２に記載の検査用チップソケット。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査用チップソケットが固定される検査システムであって、
前記コンタクトブロックに載置される前記検査対象チップとしての磁気センサチップに備わる信号処理回路を検査するための前記テスタ基板と、
複数の前記検査対象チップの検査結果を前記載置区画毎に示す検査結果データを前記テスタ基板を介して取得するデータ取得手段と、
を備える検査システム。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査用チップソケットが固定される検査システムであって、
前記テスタ基板と、
前記トレイの識別データを前記トレイから読み取るための読み取り手段と、
複数の前記検査対象チップの検査結果を前記載置区画毎に示す検査結果データを前記テスタ基板を介して取得するデータ取得手段と、
前記検査結果データを前記識別データに関連づけて出力する出力手段と、
を備える検査システム。
【請求項６】
請求項５に記載の検査システムを用いたチップ検査方法であって、
複数の前記載置区画にそれぞれ前記検査対象チップを載置し、
前記読み取り手段に前記識別データを読み取らせ、
前記検査対象チップが載置された前記トレイを前記コンタクトブロックに固定した状態で前記データ取得手段に前記検査結果データを取得させ、
前記出力手段に前記検査結果データを前記識別データに関連づけて出力させ、
前記トレイを前記コンタクトブロックから取り外し、
前記出力手段から出力された前記識別データのうち前記コンタクトブロックから取り外された特定の前記トレイである対象トレイに表示されている前記識別データに関連づけられている前記検査結果データに基づいて、前記対象トレイに載置された複数の前記検査対象チップから良品の前記検査対象チップを選別する、
ことを含むチップ検査方法。
【請求項７】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査用チップソケットの前記トレイとしての検査用チップトレイであって、
前記検査対象チップの高さより高く複数の前記載置区画にそれぞれ前記検査対象チップを位置決めするための前記凸部を上面に有し、前記凸部が嵌る凹部を下面に有する積み重ね可能な板状である、
検査用チップトレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検査用チップソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パッケージされた半導体集積回路などのチップの検査工程において、検査システムのテスタ基板と検査対象チップとを接続するためのコネクタとして検査用チップソケットが利用されている。検査対象チップの仕様に応じて製造される従来の検査用チップソケットは、１個の検査対象チップの端子と、検査回路が実装されているテスタ基板の端子とを接続するものであり、検査用チップソケットに装着される検査対象チップの個数は１個に限定されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、テスタ基板上で挿抜機を使って検査対象チップを検査用チップソケットに挿入したり検査用チップソケットから検査対象チップを脱去することはできない。このため、検査用チップソケットを用いたチップ状態の検査工程において検査対象チップを検査用チップソケットに１つ１つ脱着する手作業が検査コストの増大を招いている。
【０００４】
さらに、テスタ基板の大きさに制約があり、検査用チップソケットは検査対象チップに比べて相当大きいため、１つのテスタ基板に複数の検査用チップソケットを装着できる検査システムであっても、１度に検査できるチップの個数は少ない。このこともチップ状態での検査のコストの増大を招いている。
【０００５】
本発明はこれらの問題を解決するために創作されたものであって、チップ状態での検査工程で発生するコストを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）上記目的を達成するための検査用チップソケットは、テスタ基板に固定されるコンタクトブロックと、複数の載置区画にそれぞれ検査対象チップを位置決めするための凸部を有し、前記コンタクトブロックに載置されるトレイと、前記コンタクトブロックに保持され前記テスタ基板と前記検査対象チップとを接続するプローブであって、前記検査対象チップが載置された前記トレイが前記コンタクトブロックに載置されると、前記載置区画毎に載置されている複数の前記検査対象チップの端子に接触する複数のプローブと、を備える。
【０００７】
この検査用チップソケットによると、コンタクトブロックからトレイを取り外した状態において、１つのトレイの複数の載置区画に複数の検査対象チップを載置したりトレイから複数の検査対象チップを取り外すことができるため、検査対象チップをトレイに載置したりトレイから検査対象チップを取り外す工程を挿抜機を用いて自動化することができる。さらに１つのコンタクトブロックに複数の検査対象チップを固定することができるため、テスタ基板に対して密に検査対象チップを配列した状態で複数の検査対象チップを検査することができる。したがって、この検査用チップソケットは、チップ状態での検査工程で発生するコストを低減することができる。
【０００８】
（２）上記目的を達成するための検査用チップソケットにおいて、前記トレイには位置決め孔が形成され、前記コンタクトブロックには前記位置決め孔に挿入されるガイドロッドが設けられていてもよい。
【０００９】
この場合、位置決め孔にガイドロッドが挿入されるようにトレイをガイドブロックに載置することによりコンタクトブロック上でトレイを位置決めすることができる。
【００１０】
（３）上記目的を達成するための検査用チップソケットにおいて、前記トレイに載置された検査対象チップに被さるとともに前記トレイを前記コンタクトブロックに固定するカバーをさらに備え、前記トレイには前記プローブが挿入される通孔が前記載置区画ごとに形成されており、前記コンタクトブロックは、前記プローブが固定されているベースと、前記プローブが貫通し前記トレイが載置されるテーブルと、前記ベースから離れた位置に前記テーブルを支持するバネと、を有し、前記カバーは、前記テーブルを前記ベース側に押し込んだ状態で前記ベースに結合し、前記プローブは、前記カバーが前記ベースに結合すると、前記通孔から露出している前記検査対象チップの端子に接触してもよい。
【００１１】
（４）上記目的を達成するための検査システムは、上記いずれかの検査チップソケットが固定される検査システムであって、前記コンタクトブロックに載置される前記検査対象チップとしての磁気センサチップに備わる信号処理回路を検査するための前記テスタ基板と、複数の前記検査対象チップの検査結果を前記載置区画毎に示す検査結果データを前記テスタ基板を介して取得するデータ取得手段と、を備える。
【００１２】
この検査システムによると、磁気センサチップに備わる信号処理回路の検査コストを低減することができる。
【００１３】
（５）上記目的を達成するための検査システムは、上記いずれかの検査チップソケットが固定される検査システムであって、前記テスタ基板と、前記トレイの識別データを前記トレイから読み取るための読み取り手段と、複数の検査対象チップの検査結果を前記載置区画ごとに示す検査結果データを前記テスタ基板を介して取得するデータ取得手段と、前記検査結果データを前記識別データに関連づけて出力する出力手段と、を備える。
【００１４】
この検査システムによると、検査システムから出力される検査対象チップ毎の検査結果データをトレイの識別データに関連づけて管理できる。したがって、この検査システムによると、そのように管理される検査結果データを用いて挿抜機を制御することにより、検査対象チップの良品選別を自動化することができる。また複数の検査システムから出力される検査結果データをトレイの識別データに関連づけて管理できるため、複数の検査システム間において検査対象チップを移動させるときに複数の検査対象チップをトレイに載置した状態で取り扱うことができる。このためこの検査システムによると、チップ状態での検査工程で発生するコストをさらに低減することができる。
【００１５】
（６）上記目的を達成するためのチップ検査方法は、上記（５）の検査システムを用いたチップ検査方法であって、複数の前記載置区画にそれぞれ検査対象チップを載置し、前記読み取り手段に前記識別データを読み取らせ、前記検査対象チップが載置された前記トレイを前記コンタクトブロックに固定した状態で前記データ取得手段に前記検査結果データを取得させ、前記出力手段に前記検査結果データと前記識別データとを関連づけて出力させ、前記トレイを前記コンタクトブロックから取り外し、前記出力手段から出力された前記識別データのうち前記コンタクトブロックから取り外された特定の前記トレイである対象トレイに表示されている前記識別データに関連づけられている前記検査結果データに基づいて、前記対象トレイに載置された複数の前記検査対象チップから良品の前記検査対象チップを選別する、ことを含む。
【００１６】
このチップ検査方法によると、識別データに関連づけられた検査対象チップ毎の検査結果データを用いて挿抜機を制御することにより検査対象チップの良品選別を自動化することができる。
【００１７】
（７）上記目的を達成するための検査チップトレイは、上記いずれかの検査チップソケットの前記トレイとしての検査用チップトレイであって、前記検査対象チップの高さより高く複数の前記載置区画にそれぞれ前記検査対象チップを位置決めするための前記凸部を上面に有し、前記凸部が嵌る凹部を下面に有する積み重ね可能な板状である。
【００１８】
この検査チップトレイは、それぞれに検査対象チップを載置した複数の検査チップトレイを積み重ねた状態で取り扱うことができるため、多数の検査対象チップをまとめて取り扱うことができる。したがってこの検査チップトレイによると、チップ状態での検査工程で発生するコストをさらに低減することができる。
【００１９】
尚、請求項に記載された動作の順序は、技術的な阻害要因がない限りにおいて記載順に限定されず、同時に実行されても良いし、記載順の逆順に実行されても良いし、連続した順序で実行されなくても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
（検査用チップソケット）
図１は本発明による検査用チップソケットの一実施形態を示す図である。
図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃに示すように、検査用チップソケット１はコンタクトブロック１６、トレイ１１、カバー１２などからなる。コンタクトブロック１６はテスタ基板２８に固定される。検査対象チップ２０が載置されるトレイ１１はコンタクトブロック１６に載置され、カバー１２がコンタクトブロック１６に結合することによって、コンタクトブロック１６とカバー１２とに挟まれた状態でコンタクトブロック１６に固定される。
【００２１】
以下、検査用チップソケット１を構成する各部品について詳細に説明する。
１．トレイ
図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃに示すように、トレイ１１は板状であり、例えば射出成形された樹脂からなる。トレイ１１にはそれぞれに検査対象チップを１つ載置するための複数の載置区画２９がある。トレイ１１あたりの載置区画２９の数は任意であるが、載置区画２９の数が多いほど一度に検査可能な検査対象チップの数が増大する。
【００２２】
載置区画２９は凸部３０に囲まれた凹部として区画されている。載置区画２９の形状は検査対象チップがちょうど嵌る形状に設計されている。換言すれば、凸部３０によって検査対象チップは載置区画２９に位置決めされる。載置区画２９に検査対象チップを位置決めする凸部は、例えば載置区画ごとに設けられる柱や壁として構成されても良い。
【００２３】
トレイ１１の凸部３０が形成されている面を表面とすると、裏面には周囲を壁で囲まれた凹部３４が形成されている。凹部３４は凸部３０が緩く嵌り、凹部３４を囲む壁部端面全周が下段のトレイ１１の上面に接する形状に設計されている。このようにトレイ１１の表裏に対応する凹凸を形成し、載置区画２９に検査対象チップを載置した状態で凸部３０の上面から検査対象チップが突出しないように凸部の高さを設計することにより（すなわち凸部３０の高さを検査対象チップの高さより高く設計することにより）、検査対象チップを載置した状態でトレイ１１を積み重ねて取り扱うことができる。また裏面の凹部３４の深さ（Ｄ）よりも表面の凸部３０の高さ（Ｈ）を小さく設計することにより、トレイ１１を縁に隙間がないように重ねることができるようになり、その結果、載置区画２９に載置され凹部３４内に収まっている検査対象チップへの塵埃の付着を防止することができる。また、複数のトレイ１１を積み重ねて取り扱う場合には、最上段のトレイ１１に検査対象チップを載置しなければ、最上段のトレイ１１は埃よけのカバーとして機能する。
載置区画２９を形成している凹部の底面には後述するプローブが貫通する通孔３３が形成されている。
【００２４】
２．コンタクトブロック
図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃに示すように、コンタクトブロック１６は、ベース上２２、ベース下２３、テーブル２７等から構成されている。ベース下２３とベース上２２とは複数のねじ２８によって結合され、通孔１７に挿入される図示しないねじによってテスタ基板に固定される。テーブル２７はねじ２５によってベース上２２に拘束され、ベース上２２とテーブル２７の間に設けられた複数のバネ２６によってベース上２２から離れた位置に支持されている。
【００２５】
ガイドロッド１３は、ベース下２３に固定されベース上２２とテーブル２７とを貫きコンタクトブロック１６の上下から突出している。ガイドロッド１３は、ベース下２３とベース上２２とテーブル２７とを位置合わせするとともに、テスタ基板に対してコンタクトブロック１６を位置決めし、テーブル２７に載置されるトレイをコンタクトブロック１６に対して位置決めする機能を有する。
【００２６】
３．カバー
図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃに示すように、カバー１２はコンタクトブロック１６とともにトレイ１１を挟み、トレイ１１に載置されている複数の検査対象チップ２０全てに被さる。カバー１２にはガイドロッド１３が挿入される通孔１０が形成されている。カバー１２は、ガイドロッド１３が通孔１０に挿入された状態で２つのツメ１４によってコンタクトブロック１６に掛け止められる。２つのツメ１４はそれぞれシャフト１８によってカバー１２に保持され、ツメ１４の先端部が互いに接近する方向にツメ１４はバネ２１によって押されている。ツメ１４の先端部がベース上２２の凸部に掛かると、バネ２１の弾性力によってカバー１２とコンタクトブロック１６とが結合される。ツメ１４の先端部をベース上２２の凸部から外すと、コンタクトブロック１６からカバー１２が解放され、トレイ１１をコンタクトブロック１６から取り外せる状態になる。
【００２７】
４．プローブ
図１Ｃ、図１Ｄおよび図３Ｃに示すように、複数のプローブ２４がコンタクトブロック１６によって保持されている。具体的には次の通りである。ベース下２３、ベース上２２、テーブル２７にはそれぞれプローブ２４が挿入される通孔が形成されている。ベース下２３に形成されている通孔は下部が上部よりも小径である。テーブル２７に形成されている通孔は上部が下部よりも小径である。プローブ２４は両端が先細りしている棒状であるため、ベース下２３とテーブル２７とにそれぞれ形成されている通孔の内壁面の段部に掛け止められた状態でコンタクトブロック１６に保持される。
【００２８】
図１Ｄに示すように、プローブ２４は、本体１９と、本体１９に挿入され図示しないバネによって本体１９から突出する方向に押されているコンタクトピン２５とを備えている。テスタ基板２８に固定されていないコンタクトブロック１６のテーブル２７に空のトレイ１１が載置された状態でカバー１２がコンタクトブロック１６に結合されると、テーブル２７がトレイ１１によってベース上２２側に押し込まれ、トレイ１１の載置区画２９の底面とコンタクトブロック１６の底面とからそれぞれプローブ２４が突出する。コンタクトブロック１６がテスタ基板２８に固定されており、トレイ１１の載置区画２９に検査対象チップ２０が載置されている場合には、コンタクトピン２５が本体１９に押し込まれた状態で、プローブ２４の両端が検査対象チップ２０の端子とテスタ基板２８の端子とに接触するため、検査対象チップ２０とテスタ基板２８とが電気的に接続される。
【００２９】
（検査システム）
図４は本発明による検査システムの一実施形態を示す図である。
検査システム２は、テスタ基板２８、制御部３６、バーコードリーダ４０、メモリコントローラ３８等からなる。テスタ基板２８は制御部３６から出力される制御信号に応じた検査信号を生成し、プローブ２４を介して検査信号を検査対象チップに入力するためのプリント配線基板である。またテスタ基板２８は検査対象チップ毎に出力される出力信号に基づいて検査対象チップの検査結果を載置区画毎に示す検査結果データを生成し、制御部３６に出力する。データ取得手段としての制御部３６は、コンピュータとして構成され、テスタ基板２８を介して検査対象チップに検査信号を入力し検査結果データを取得する。バーコードリーダ４０は、トレイ１１を識別するためのバーコードからトレイ１１の識別データとしてのトレイＩＤを読み取る。トレイ１１を識別するためのバーコードは例えばバーコードラベル３９をトレイ１１に貼付することによりトレイ１１に表示される。トレイ１１を識別するための識別データはバーコードの他、磁気データとしてトレイ１１に格納することもできる。制御部３６は、トレイ１１毎に、バーコードリーダ４０から取得したトレイＩＤとテスタ基板２８から取得した検査結果データとを関連づけ、メモリコントローラ３８を介してトレイＩＤと検査結果データとをリムーバブルメモリ４１に出力する。
【００３０】
（検査方法）
図５は本発明による検査方法の一実施形態を示す図である。図５に示す検査方法は、磁気センサ、温度センサ、マルチプレクサ、ＡＤ変換回路、ＤＡ変換回路などを備えた磁気センサチップを検査対象チップとしてチップ状態で検査する方法である。
【００３１】
はじめに検査対象チップとしての磁気センサチップが多数搭載された移送用トレイから磁気センサチップが挿抜機によって１つ取り出され、取り出された磁気センサチップが検査用チップソケット１のトレイ１１の載置区画２９に載置される処理が繰り返される（ステップＳ１０１）。トレイ１１を単独で取り扱うことができ、トレイ１１には複数の磁気センサチップを載置することができるため、挿抜機を用いてトレイ１１に複数の磁気センサチップを載置する工程を自動化することができる。
【００３２】
全ての載置区画に磁気センサチップが載置されたトレイ１１は順次積み重ねられ、積み重ねられた複数のトレイ１１がまとめて磁気テストシステムに移送される（Ｓ１０２）。このとき、図２Ｄに示す凸部３０が凹部３４に嵌るため、崩すことなく多数のトレイ１１を積み重ねることができる。また、トレイ１１を積み重ねると、載置区画２９に載置された磁気センサチップはその上下のトレイ１１によって閉じこめられるため、トレイ１１の移送中に磁気センサチップが脱落することもないし、トレイ１１の移送中に塵埃などで汚染されることもない。
【００３３】
次に磁気センサシステムにおいて、トレイ１１毎に、トレイＩＤが読み取られ（ステップＳ１０２）、トレイ１１に載置されている複数の磁気センサチップに対する磁気センサ検査が一度に実施される（ステップＳ１０３）。
【００３４】
磁気センサ検査システムは上述した検査システム２に磁場発生装置を設けたシステムである。磁場発生装置は検査用チップソケット１が固定される区域に磁気センサチップを検査するための磁場を発生させる。検査用チップソケット１はトレイ１１上の小さな領域に複数の磁気センサを保持できるため、本実施形態によると磁場発生装置の出力を低減することができる。磁気センサ検査システムにおいては、トレイ１１が取り外された状態で検査用チップソケット１がテスタ基板２８にねじで固定されている。
【００３５】
作業者は２つのツメ１４をつまんでカバー１２をコンタクトブロック１６から取り外し、テーブル２７から突出しているガイドロッド１３が通孔３１に挿入されるようにトレイ１１をテーブル２７に載置する。この状態で作業者がカバー１２をトレイ１１に被せ、ツメ１４をコンタクトブロック１６に掛け止めると、トレイ１１がガイドロッド１３によって位置決めされた状態でコンタクトブロック１６に固定される。トレイ１１の上に磁気センサチップを配列できる個数は、テスタ基板２８の上にコンタクトブロック１６を配列できる個数に比べて多いため、本実施形態によると一度に検査可能な磁気センサチップの数を増大させることができる。
【００３６】
検査用チップソケット１が装着されている区域に磁場発生装置が磁場を発生させると、トレイ１１に載置されている複数の磁気センサチップのそれぞれから出力信号がテスタ基板２８に出力される。テスタ基板２８は複数の磁気センサチップから入力される出力信号に応じた磁気センサ検査結果データを生成し、磁気センサ検査結果データを制御部３６に出力する。
【００３７】
次に、制御部３６はバーコードリーダ４０から取得したトレイＩＤにテスタ基板２８から取得した磁気センサ検査結果データを関連づけ、メモリコントローラ３８を介してリムーバブルメモリ４１に磁気センサ検査結果データを出力する（ステップＳ１０４）。
【００３８】
１つのトレイ１１に載置されている磁気センサチップについて磁気センサ検査が完了すると、検査用チップソケット１からトレイ１１が取り外され、検査用チップソケット１から順次取り外される複数のトレイ１１は積み重ねられた状態でＬＳＩ検査システムへ移送される（ステップＳ１０５）。
【００３９】
次にＬＳＩ検査システムにおいて、トレイ１１毎に、バーコードリーダ４０によってトレイＩＤが読み取られ（ステップＳ１０６）、トレイ１１に載置されている複数の磁気センサチップに対するＬＳＩ検査が一度に実施される（ステップＳ１０７）。
【００４０】
ＬＳＩ検査システムは磁気センサチップに設けられている、マルチプレクサ、ＡＤ変換回路、ＤＡ変換回路等を構成している信号処理回路としてのＬＳＩを検査するために設計された上述の検査システム２である。ＬＳＩ検査システムにおいて、トレイ１１をコンタクトブロック１６に固定し、検査信号を磁気センサチップに入力すると、トレイ１１に載置されている複数の磁気センサチップのそれぞれから出力信号がテスタ基板２８に出力される。テスタ基板２８は複数の磁気センサチップから入力される出力信号に応じたＬＳＩ検査結果データを生成し、ＬＳＩ検査結果データを制御部３６に出力する。
【００４１】
次に、制御部３６はバーコードリーダ４０から取得したトレイＩＤとテスタ基板２８から取得したＬＳＩ検査結果データとを関連づけ、メモリコントローラ３８を介してリムーバブルメモリ４１に出力する（ステップＳ１０８）。
【００４２】
図６は、磁気センサ検査とＬＳＩ検査とが終了した時点でリムーバブルメモリ４１に記録されているデータの一例を示す図である。磁気センサ検査システムとＬＳＩ検査システムとは、例えば、挿抜機で利用可能なデータベースのレコードを生成したり編集することにより、磁気センサ検査結果データとＬＳＩ検査結果データとを図６に示すようにトレイＩＤと区画ＩＤとに関連づけてリムーバブルメモリ４１に記録する。区画ＩＤはトレイ１１の載置区画２９毎に固有であり、トレイＩＤはトレイ１１毎に固有である。
【００４３】
１つのトレイ１１に載置されている磁気センサチップについてＬＳＩ検査が完了すると、検査用チップソケット１からトレイ１１が取り外され、検査用チップソケット１から順次取り外された複数のトレイ１１は積み重ねられた状態で挿抜機へ移送される（ステップＳ１０９）。
【００４４】
挿抜機にはリムーバブルメモリ４１に記録されている複数のトレイ１１に対応する磁気センサ検査結果データとＬＳＩ検査結果データとが入力される（ステップＳ１１０）。
【００４５】
挿抜機は、トレイ１１からトレイＩＤを読み取るためのバーコードリーダとチップを移送するためのロボットアームとリムーバブルメモリ４１から磁気センサ検査結果データとＬＳＩ検査結果データとをトレイ１１毎、載置区画２９毎に取得する制御部とを備えている。
【００４６】
挿抜機の制御部は、トレイ１１から読み取ったトレイＩＤに対応する磁気センサ検査結果データとＬＳＩ検査結果データとを１つの区画ＩＤについて取得する。挿抜機の制御部は、取得した磁気センサ検査結果データとＬＳＩ検査結果データとがいずれも合格（図６では「１」を合格値として例示）である場合、その区画ＩＤに対応する載置区画２９に載置されている磁気センサチップを良品として判定する。良品判定された磁気センサチップは制御部によって制御されるロボットアームによってトレイ１１から良品トレイに移送される。不良品判定された磁気センサチップはロボットアームによってトレイ１１から不良品トレイに移送される。その結果、良品の磁気センサチップが選別される（ステップＳ１１１）。
【００４７】
このように本実施形態によると、トレイ１１を単独で取り扱うことができ、トレイ１１には複数の磁気センサチップを載置することができるため、挿抜機を用いてトレイ１１から磁気センサチップを抜去して選別する工程を自動化することができる。また２つの検査システムから出力される検査結果データを磁気センサチップ毎にトレイＩＤに関連づけて管理できるため、そのように管理される検査結果データを用いて挿抜機を制御することにより、検査対象チップとしての磁気センサチップの良品選別を自動化することができる。また２つの検査システムから出力される検査結果データを磁気センサチップ毎にトレイＩＤに関連づけて管理できるため、２つの検査システム間において検査対象チップを移動させるときに複数の検査対象チップをトレイ１１に載置した状態で取り扱うことができる。さらにトレイ１１を積み重ねた状態で取り扱うことができるため、多数の検査対象チップをまとめて取り扱うことができる。したがって、以上説明した検査方法によると、磁気センサチップの検査工程で発生するコストを低減することができる。
【００４８】
尚、本発明は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば検査システム間や検査システムと挿抜機との間における検査結果データの転送はリムーバブルメモリ４１の代わりに通信回線や紙を用いて行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】（１Ａ）は平面図。（１Ｂ）は（１Ａ）に示すＢ−Ｂ線の一部切り欠き断面図。（１Ｃ）、（１Ｄ）は（１Ｂ）の部分拡大図。
【図２】（２Ａ）は平面図。（２Ｂ）、（２Ｃ）は側面図。（２Ｄ）は（２Ｃ）に示すＤ部の拡大図。
【図３】（３Ａ）は平面図。（３Ｂ）は（３Ａ）に示すＢ−Ｂ線の一部切り欠き断面図。（３Ｃ）は（３Ｂ）に示すＣ部の拡大図。
【図４】ブロック図。
【図５】フローチャート。
【図６】データ構造図。
【符号の説明】
【００５０】
１：検査用チップソケット、２：検査システム、１０：通孔、１１：トレイ、１２：カバー、１３：ガイドロッド、１４：ツメ、１６：コンタクトブロック、１７：通孔、２０：検査対象チップ、２１：バネ、２２：ベース上、２３：ベース下、２３：ベース下、２４：プローブ、２５：コンタクトピン、２６：バネ、２７：テーブル、２８：テスタ基板、２９：載置区画、３０：凸部、３１：通孔、３３：通孔、３４：凹部、３６：制御部、３８：メモリコントローラ、３９：バーコードラベル、４０：バーコードリーダ、４１：リムーバブルメモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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