(57)【要約】【課題】枚葉式フラットパネル洗浄システムの設計手直しを無くすため、仕様打ち合わせ時点で、主制御盤の大きさに関し、精度の高い寸法情報が得られる主制御盤設計システム、主制御盤設計方法及びそのプログラムを提供する。【解決手段】主制御盤の大きさを設計するための計算を行う複数の計算手段の計算処理と、計算処理結果を基に主制御盤の大きさを決定する決定手段の決定処理とを行う処理手段１０と、主制御盤の大きさを設計するための条件を入力するための入力手段１４と、処理手段１０が入力条件に基づいて計算処理を行うための、ファイルデータを記憶する記憶手段１２と、処理手段１０の処理結果を基に、主制御盤の大きさを表示する出力手段１６とを具備する。【選択図】      図１
2008234442.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉式洗浄装置の主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計システムであって、
前記主制御盤の大きさを決定するための計算を行う複数の計算手段の計算処理と、前記計算処理結果を基に前記主制御盤の大きさを決定する決定手段の決定処理とを行う処理手段と、
前記主制御盤の大きさを設計するための条件を入力するための入力手段と、
前記処理手段が前記入力条件に基づいて前記計算処理及び決定処理を行うための、ファイルデータを記憶する記憶手段と、
前記決定手段により決定された前記主制御盤の大きさを表示する出力手段とを有することを特徴とする主制御盤設計システム。
【請求項２】
前記主制御盤の大きさを設計するための計算を行う複数の計算手段は、
入力された洗浄用ブラシのサーボモータの条件を基に、前記サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するサーボシステム計算手段と、
入力されたバブルジェット（登録商標）洗浄用のバブルジェットポンプの条件を基に、前記バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するバブルジェットシステム計算手段と、
入力された乾燥用ヒータのヒータの条件を基に、前記ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するヒータシステム計算手段と、
入力された超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の条件を基に、前記超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する超音波システム計算手段と、
入力されたクリーンエア供給用のクリーンユニットの条件を基に、前記クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するクリーンシステム計算手段と、
入力された付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無を基に、前記付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する付属機器システム計算手段とを有することを特徴とする請求項１に記載の主制御盤設計システム。
【請求項３】
枚葉式洗浄装置の主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計方法であって、
洗浄用ブラシのサーボモータの入力条件を基に計算処理し、前記サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、
バブルジェット洗浄用のバブルジェットポンプの入力条件を基に計算処理し、前記バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、
乾燥用ヒータのヒータの入力条件を基に計算処理し、前記ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、
超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の入力条件を基に計算処理し、前記超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、
クリーンエア供給用のクリーンユニットの入力条件を基に計算処理し、前記クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、
付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無の入力条件を基に計算処理し、前記付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、
前記各決定結果を基に、前記主制御盤の大きさを決定し、
前記決定された主制御盤の大きさを表示することを特徴とする主制御盤設計方法。
【請求項４】
枚葉式洗浄装置の主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計プログラムであって、
入力された洗浄用ブラシのサーボモータの条件を基に、前記サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するサーボシステム計算ステップと、
入力されたバブルジェット洗浄用のバブルジェットポンプの条件を基に、前記バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するバブルジェットシステム計算ステップと、
入力された乾燥用ヒータのヒータの条件を基に、前記ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するヒータシステム計算ステップと、
入力された超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の条件を基に、前記超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する超音波システム計算ステップと、
入力されたクリーンエア供給用のクリーンユニットの条件を基に、前記クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するクリーンシステム計算ステップと、
入力された付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無を基に、前記付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する補助スペース付属機器システム計算ステップと、
前記各計算ステップの決定結果を基に前記主制御盤の大きさを決定する決定ステップとを有することを特徴とする主制御盤設計プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉式フラットパネル洗浄システムに係り、詳しくは、枚葉式フラットパネル洗浄システムの主制御盤の大きさを設計する主制御盤設計システム、主制御盤設計方法及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、枚葉式フラットパネル洗浄システムの概要を示すブロック図である。図７において、枚葉式フラットパネル洗浄システム２００は、主制御盤部４０、温水洗浄部５０、超音波バブルジェット（登録商標）洗浄部５５、ブラシ洗浄部６０、ヒータ乾燥部７０、及びクリーンエア乾燥部７５から構成されている。この構成は仕様により異なり、必ずしもこの構成に限定されるものではない。
【０００３】
主制御盤部４０は、メインコントローラ４１、常時使用部品群４２、第１部品群４３、第２部品群４４、第３部品群４５、蛍光灯４６、特殊ユニット４７、及び消火器４８を有している。温水洗浄部５０は、ユニットコントローラ５１、搬送モータ５２、ポンプ５３、及びヒータ５４を有している。超音波バブルジェット洗浄部５５は、ユニットコントローラ５６、搬送モータ５７、バブルジェット（ＢＪ）ポンプ５８、及び超音波洗浄液用超音波装置（ＵＳ）５９を有している。
【０００４】
ブラシ洗浄部６０は、ユニットコントローラ６１、搬送モータ６２、ブラシ上下動モータ６３、ブラシ回転モータ６４、及びポンプ６５を有している。ヒータ乾燥部７０は、ユニットコントローラ７１、搬送モータ７２、及びヒータ７３を有している。クリーンエア乾燥部７５は、ユニットコントローラ７６、搬送モータ７７、及びクリーンユニット７８を有している。これらの構成も仕様により異なり、必ずしもこの構成に限定されるものではない。
【０００５】
主制御盤部４０、各洗浄部５０、５５、６０、及び各乾燥部７０、７５は、互いに制御及び電源ケーブルで接続されている。メインコントローラ４１は、予め定められた洗浄プロセスに従って、電源に関連するの常時使用部品群４２、第１〜３部品群４３、４４、４５、及び特殊ユニット４７を制御し、電源ケーブルにより各部へ駆動電源を供給する。また各ユニットコントローラ５１、５６、６１、７１、７６へ、洗浄プロセスの制御信号を送信する。各ユニットコントローラ５１、５６、６１、７１、７６は、この制御信号をもとに、所定のプロセスに従って供給された駆動電源を操作することにより、各洗浄工程の処理が可能となる。
【０００６】
図８は、主制御盤部が主制御盤の筐体に収納された構成を示す主制御盤構成図である。図８ａは、自立片面タイプの主制御盤構成図である。図８ａにおいて、主制御盤の前面８０は、取っ手８１により両開きとなるドアとなっている。右側面８３には、主制御盤部４０が収納されている状態が破線で示されている。また、図示されていないが、自立片面タイプのハーフサイズ版で、取付タイプと呼ばれるものがある。
【０００７】
図８ｂは、自立両面タイプの主制御盤構成図である。図８ｂにおいて、主制御盤の前面８５は、取っ手８６により両開きとなるドアとなっており、背面も同じ構成となっている。右側面８７には、前面及び背面の両方向に主制御盤部４０が収納されている状態が破線で示されている。枚葉式フラットパネル洗浄システム２００の仕様の決定時点において、これら３種類のタイプのいずれかが、仕様に合わせて選択されている。
【０００８】
従来、枚葉式フラットパネル洗浄システムの主制御盤の設計においては、過去に設計された同様なシステムの主制御盤の大きさを基に仕様打ち合わせを行い、これを基に設計を行い、最終仕様を決定していた。ところが設計の過程において、レイアウト場所に適応しない大きさになる場合が発生し、何度か手直しをする必要が生じる場合があった。この事態を回避するため、仕様打ち合わせ時点で、少なくとも概略寸法であるとしても、精度の高い何らかの情報が得られることが求められていた。特許文献１には、制御盤に用いる電気部品固有の情報を有する部品データライブリと、制御盤のレイアウトに関する制約条件の情報を有する制約条件データライブラリに基づき、レイアウト処理部がレイアウト作業を実行する制御盤上の電気部品レイアウト作成装置及び作成方法についての記載がある。
【特許文献１】特開平１０−２５４９３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、枚葉式フラットパネル洗浄システムの設計手直しを無くすため、仕様打ち合わせ時点で、主制御盤の大きさに関し、精度の高い寸法情報が得られる主制御盤設計システム、主制御盤設計方法及びそのプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の主制御盤設計システムは、枚葉式洗浄装置の主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計システムであって、主制御盤の大きさを決定するための計算を行う複数の計算手段の計算処理と、計算処理結果を基に主制御盤の大きさを決定する決定手段の決定処理とを行う処理手段と、主制御盤の大きさを設計するための条件を入力するための入力手段と、処理手段が入力条件に基づいて計算処理及び決定処理を行うための、ファイルデータを記憶する記憶手段と、決定手段により決定された主制御盤の大きさを表示する出力手段とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の主制御盤設計システムの主制御盤の大きさを設計するための計算を行う複数の計算手段は、入力された洗浄用ブラシのサーボモータの条件を基に、サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するサーボシステム計算手段と、入力されたバブルジェット洗浄用のバブルジェットポンプの条件を基に、バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するバブルジェットシステム計算手段と、入力された乾燥用ヒータのヒータの条件を基に、ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するヒータシステム計算手段と、入力された超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の条件を基に、超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する超音波システム計算手段と、入力されたクリーンエア供給用のクリーンユニットの条件を基に、クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するクリーンシステム計算手段と、入力された付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無を基に、付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する付属機器システム計算手段とを有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の主制御盤設計方法は、枚葉式洗浄装置の主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計方法であって、洗浄用ブラシのサーボモータの入力条件を基に計算処理し、サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、バブルジェット洗浄用のバブルジェットポンプの入力条件を基に計算処理し、バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、乾燥用ヒータのヒータの入力条件を基に計算処理し、ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の入力条件を基に計算処理し、超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、クリーンエア供給用のクリーンユニットの入力条件を基に計算処理し、クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無の入力条件を基に計算処理し、付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定し、各決定結果を基に、主制御盤の大きさを決定し、決定された主制御盤の大きさを表示することを特徴とする。
【００１３】
本発明の主制御盤設計プログラムは、枚葉式洗浄装置の主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計プログラムであって、入力された洗浄用ブラシのサーボモータの条件を基に、サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するサーボシステム計算ステップと、入力されたバブルジェット洗浄用のバブルジェットポンプの条件を基に、バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するバブルジェットシステム計算ステップと、入力された乾燥用ヒータのヒータの条件を基に、ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するヒータシステム計算ステップと、入力された超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の条件を基に、超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する超音波システム計算ステップと、入力されたクリーンエア供給用のクリーンユニットの条件を基に、クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するクリーンシステム計算ステップと、入力された付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無を基に、付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する補助スペース付属機器システム計算ステップと、各計算ステップの決定結果を基に主制御盤の大きさを決定する決定ステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の主制御盤設計システム、主制御盤設計方法、及び主制御盤設計プログラムによれば、仕様打ち合わせ時点で主制御盤の大きさに関し精度の高い寸法情報が得られるため、枚葉式フラットパネル洗浄システムの設計の手直しを無くすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の主制御盤設計システムのシステム構成を示すブロック図である。図１において、枚葉式洗浄システムの主制御盤の大きさを決定する主制御盤設計システム１００は、主制御盤の大きさを設計するための計算を行う複数の計算手段の計算処理と、計算処理結果を基に主制御盤の大きさを決定する決定手段の決定処理とを行う処理手段１０と、主制御盤の大きさを設計するための条件を入力するための入力手段１４と、処理手段１０が入力条件に基づいて計算処理を行うための、ファイルデータを記憶する記憶手段１２と、処理手段１０の処理結果を基に、主制御盤の大きさを表示する出力手段１６とを有している。また、主制御盤設計システム１００は、特別の打合せ室に設定されていても良く、持ち運びできるポータブルタイプであっても良い。
【００１６】
処理手段１０は、入力手段１４に表示された入力フォーマットの各条件パラメータに対し入力が行われると、記憶手段１２にデータベース化されている複数の計算手段のファイルから、該当するファイルを読み出し、その計算手順に従って計算処理を実行する。次にその計算結果を基に、主制御盤の大きさを決定し、各電源部品の配置寸法を表示したレイアウト図を作成し、出力手段１６から出力する。
【００１７】
処理手段１０が実行する複数の計算手段は、それぞれ入力された洗浄用ブラシのサーボモータの条件を基に、サーボモータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するサーボシステム計算手段と、バブルジェット洗浄用のバブルジェットポンプの条件を基に、バブルジェットポンプが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するバブルジェットシステム計算手段と、乾燥用ヒータのヒータの条件を基に、ヒータが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するヒータシステム計算手段と、超音波洗浄液用及び、又は超音波洗浄液シャワー用の超音波装置の条件を基に、超音波装置が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する超音波システム計算手段と、クリーンエア供給用のクリーンユニットの条件を基に、クリーンユニットが必要とする電源部品の寸法と個数とを決定するクリーンシステム計算手段と、付属機器である蛍光灯、特殊インターフェース、及び消火器の有無を基に、それぞれの付属機器が必要とする電源部品の寸法と個数とを決定する付属機器システム計算手段とからなっている。
【００１８】
図２は、本願発明の主制御盤設計システムの入力手段を示す入力フォーマットである。図３は、本願発明の主制御盤設計方法を示すフローチャートである。図４は、部品群１〜３の部品を示す部品表である。この部品表は、部品群１〜３に該当する各駆動用機器等（負荷）に必要とされる電源部品（必要部品）とそのサイズ、及び入力パラメータを示した表で、ファイルとして記憶手段１２に蓄積されている。必要部品は、主に漏電遮断器、ノーヒューズ遮断器（以下ブレーカと記述）と、電磁接触器、電磁開閉器（以下マグネットと記述）であって、部品群１には、高さ１８０ｍｍを必要とする部品（主にブレーカ）、部品群２には、高さ２００ｍｍを必要とする部品（主にマグネット）、部品群３には、高さ２５０ｍｍを必要とする部品（主にマグネット、ソフトスタータ）に分類されている。常時使用部品群は、デフォルト化されて記憶手段１２に蓄積されている。
【００１９】
図５は、主制御盤の自立両面タイプと自立片面タイプの設計条件を示した一覧表である。いずれも６種類のタイプから成り、この一覧表もファイルとして記憶手段１２に蓄積されている。図６は、図２の入力結果を基に処理され、決定された自立片面両開きタイプのレイアウト図である。
【００２０】
図３Ａ，図３Ｂのフローチャートに従い、図２、図４、図５及び図６を説明する。図３Ａのステップ１１０において、主制御盤設計システム１００を立ち上げると、入力手段１４にスタートのボタンが表示され（記載されず）、このスタートをクリックすると、図２の入力フォーマットが表示される。ステップ１１２、１１４において、ブラシ上下、巾可変をサーボで行う場合、軸数、最大１４軸までを入力し、ブラシ回転モータをサーボで行う場合、軸数最大４軸までを入力する。この場合ブラシ上下、巾可変軸数１４、ブラシ回転軸数なし、が入力されると、図４の部品群１のサーボ１、２の必要部品に対応して、必要数の欄に各数値が計算処理されて入力される。ステップ１１６においては、電源電圧２００Ｖが入力されている。ステップ１１８において、モータの型式を示すＦＢＬ、ＢＸモータの電気総容量５０ＫＶＡが入力されると、ＦＢＬ（ＢＸ）の必要数の欄に算出された数値が入力される。
【００２１】
ステップ１２０において、システムで使用するＢＪポンプの数量を各容量ごとに入力し、ＢＪポンプユニットに制御盤が付き、マグネット、ソフトスタータを収納する場合は、右側のチェックボックスにチェックを入れる。この場合、ＢＪポンプ〜３．７ｋＷ未満ポンプ数１、３．７〜５．５ｋＷポンプ数２が入力されると、部品群１、２、３のＢＪ１、２の該当する必要部品に対応して、必要数の欄に各数値が処理されて入力される。ステップ１２４において、ＢＪポンプ以外で使用する循環ポンプの数量を入力する。この場合、その他のポンプ数３が入力されている。次にステップ１２６で、使用するヒータの総数量を入力する。ここではヒータ数０が入力されている。
【００２２】
ステップ１２８において、システムで使用するＵＳ及び、又はラインシャワー（ＬＳ、超音波洗浄液シャワー用超音波装置）の総数量を各容量ごとに入力し、ＵＳ、ＬＳの種別をチェックボックスにチェックを入れる。両方ある場合は、両方にチェックを入れる。この場合は、ＵＳ、ＬＳ〜２．０ｋＷ以下２、〜２．４ｋＷ以下２が入力されると、部品群１、２、３のＵＳ、ＬＳの該当する必要部品に対応して、必要数の欄に各数値が処理されて入力される。ステップ１３０、１３２、１３４、及び１３６において、クリーンユニットの有無、制御盤などの蛍光灯の有無、シーケンサに外部とのインターフェースユニットなどの特殊ユニットの必要有無、及び消火器の有無を選択する。この場合は、それぞれ、あり、なし、あり、なし、が入力されると、該当する部品群の必要部品に対応して、あり、なしが数値化され、必要数の欄に入力される。
【００２３】
ステップ１３８において、処理手段１０は、入力されたデータに応じて、記憶手段１２にデータベース化されている複数の計算手段のファイルから、該当するファイルを読み出し、その計算手順に従って計算処理を開始する。ステップ１４０において、主制御盤のタイプを選択する。この場合は、自立片面両開きタイプが選択されている。
【００２４】
自立片面両開きタイプが選択されると、フローはステップ１４６へ進み、ステップ１３８の計算処理結果に基づき、部品群の取り付け箇所の決定、各取り付け部品群の総巾の算出、許容巾との比較などの処理が行なわれ、６種類の中から対応するタイプが選択されて、記憶バッファに上書きされる。決定ボタンがクリックされると、ステップ１４８に進み、図６のレイアウト図をディスプレイに表示し、必要に応じハードコピーを出力して終了する（ステップ１５０）。また、図２の一時中断ボタンをクリックすると、入力フォーマットは隠れ、図４、５の図表等の裏データを参照する場合に使用される。サイズチェックがクリックされると、ブレーカとマグネット類のサイズが表示され、これを基に入力変更する場合は、やり直す、をクリックすると入力中のデータは初期値に戻り再入力が可能となる。
【００２５】
図６において示されるレイアウト図は、自立片面両開きタイプとして入力されたデータを基に、求める主制御盤は、図８ａに示される左右の扉部分を含め、それぞれ１８００×９５０大きさに収まることを示している。この大きさは、図５に示される片面２（２０００×２０００）のタイプに相当している。また、左の扉側２０は、ブレーカ２１、サーキットプロテクタ（ＣＰ）、ブレーカ×２、マグネットコンタクタ（ＭＣ）×２−２２、マグネット２３、ノイズフィルタ２４、ＡＣリアクタ２５、サーボアンプ２６、及びターミナルタイプのケーブルが接続される端子台２７が収納されるレイアウトとなっており、それぞれの配置と寸法が表示されている。
【００２６】
右側の扉３０は、トランス３１、レギュレータ３２、ボード３３、ノイズフィルタ端子台３４、プログラマブルコントローラ（ＰＬＣ）基本ベース３５、基板３６、ＰＬＣ増設ベース３７、端子台８、及びコネクタタイプのケーブルが接続されるコンタクタパネル３９が収納されるレイアウトとなっており、それぞれの配置と寸法が表示されている。
【００２７】
以上説明したように本発明の主制御盤設計システム、主制御盤設計方法、及び主制御盤設計プログラムによれば、仕様打合せの場において、仕様データを入力することにより、主制御盤の大きさに関する高い精度の寸法情報が得られるため、枚葉式フラットパネル洗浄システムの設計において発生する設計手直しのトラブルを無くすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の主制御盤設計システムのシステム構成を示すブロック図。
【図２】本願発明の主制御盤設計システムの入力手段を示す入力フォーマット。
【図３Ａ】本願発明の主制御盤設計方法を示すフローチャート。
【図３Ｂ】本願発明の主制御盤設計方法を示すフローチャート。
【図４】本願発明の主制御盤設計システムの部品群１〜３の部品を示す部品表。
【図５】本願発明の主制御盤設計システムの自立両面タイプと自立片面タイプの設計条件を示した一覧表。
【図６】本願発明の主制御盤設計システムの入力に基づく自立片面両開きタイプのレイアウト図。
【図７】枚葉式フラットパネル洗浄システムの概要を示すブロック図。
【図８】主制御盤部が主制御盤の筐体に収納された構成を示す主制御盤構成図。
【符号の説明】
【００２９】
１０  処理手段
１２  記憶手段
１４  入力手段
１６  出力手段
２０  左の扉側
２１  ブレーカ
２２  ＣＰ、ブレーカ×２、ＭＣ×２
２３  マグネット
２４  ノイズフィルタ
２５  ＡＣリアクタ
２６  サーボアンプ
２７  端子台
３０  右の扉側
３１  トランス
３２  レギュレータ
３３  ボード
３４  ノイズフィルタ端子台
３５  ＰＬＣ基本ベース
３６  基板
３７  ＰＬＣ増設ベース
３８  端子台
３９  コネクタパネル
４０  主制御盤部
４１  メインコントローラ
４２  常時使用部品群
４３  第１部品群
４４  第２部品群
４５  第３部品群
４６  蛍光灯
４７  特殊ユニット
４８  消火器
５０  温水洗浄部
５１  ユニットコントローラ
５２  搬送モータ
５３  ポンプ
５４  ヒータ
５５  超音波バブルジェット洗浄部
５６  ユニットコントローラ
５７  搬送モータ
５８  ＢＪポンプ
５９  ＵＳ
６０  ブラシ洗浄部
６１  ユニットコントローラ
６２  搬送モータ
６３  ブラシ上下動モータ
６４  ブラシ回転モータ
６５  ポンプ
７０  ヒータ乾燥部
７１  ユニットコントローラ
７２  搬送モータ
７３  ヒータ
７５  クリーンエア乾燥部
７６  ユニットコントローラ
７７  搬送モータ
７８  クリーンユニット７８
８０  主制御盤の前面
８１  取っ手
８３  右側面
８５  主制御盤の前面
８６  取っ手
８７  右側面
１００  主制御盤設計システム
２００  枚葉式フラットパネル洗浄システム
【図１】
2008234442.tif 000003
【図２】
2008234442.tif 000004
【図３Ａ】
2008234442.tif 000005
【図３Ｂ】
2008234442.tif 000006
【図４】
2008234442.tif 000007
【図５】
2008234442.tif 000008
【図６】
2008234442.tif 000009
【図７】
2008234442.tif 000010
【図８】
2008234442.tif 000011