(57)【要約】【課題】静電気を除去するためのガラス基板キャリア組立体を提供すること。【解決手段】ガラス基板キャリア組立体は棚と、複数のピックアップキャップとを備える。棚は電気的に接地され、バーと、２つのスタンドと、２つのブラケットとを有する。バーは２つの端部を有する。両スタンドはそれぞれバーの両端部に取り付けられこれらの端部から下方へ伸びており、電気的に接地され、導電性を有する。両ブラケットは導電性を有し、それぞれ両スタンドに取り付けられ、両スタンドからバーの下方を内方に垂直に伸び、互いに相対し、Ｔ形を呈し、端縁部と複数のタブとを有する。タブは導電性を有し、ブラケットの端縁部に取り付けられこの端面部から垂直に伸びる。ピックアップキャップは導電性を有し、タブに取り付けられている。静電気はピックアップキャップ、タブ、ブラケット及びスタンドを経て大地に至り、これにより静電気が棚から除去される。【選択図】図１
2008046238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的に接地されるように適合された、２つの端部を有するバーを備える可動棚と、
前記バーの両端部にそれぞれ取り付けられ該両端部から下方へ伸びる２つのスタンドであって導電性を有し、電気的に接地されるように適合され、それぞれが内面を有する２つのスタンドと、
導電性を有し、前記スタンドの内面にそれぞれ取り付けられ該内面から前記バーの下方へ内部に垂直に伸び、互いに相対し、またそれぞれが端部を有する２つのブラケットと、
導電性を有し、前記ブラケットの端部に取り付けられ該端部から垂直に伸びる複数のタブであってそれぞれ上面を有する複数のタブと、
前記タブに形成されこれを貫通する吸引穴と、
弾性を有しまた電導性を有し、前記タブの上面にそれぞれ取り付けられた複数のピックアップキャップであってそれぞれが少なくとも１つの貫通穴を有するピックアップキャップとを含む、ガラス基板キャリア組立体。
【請求項２】
各ピックアップキャップは炭素質材料を含む、請求項１に記載のキャリア組立体。
【請求項３】
各ピックアップキャップは黒鉛を含む、請求項１に記載のキャリア組立体。
【請求項４】
各ピックアップキャップは金属を含む、請求項１に記載のキャリア組立体。
【請求項５】
各タブはさらに該タブの上面に形成された窪みを有し、
各タブの前記吸引穴は前記タブの窪みに連通し、
前記ピックアップキャップはそれぞれ前記タブの窪みに据えられている、請求項１に記載のキャリア組立体。
【請求項６】
各ピックアップキャップは、さらに、リングからなる取付カラーであって対応するタブの窪み内に据えられ、上端部と該上端部から内方へ伸びる口とを有する取付カラーと、
中心穴と、外壁と、該外壁に形成され前記取付カラーの口と係合する環状の窪みとを有するシールと、
前記シールに抗して前記取付カラーに取り付けられたキャップであって対応するタブの吸引穴に対応しかつこれと連通する少なくとも１つの穴を有するキャップとを含む、請求項５に記載のキャリア組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板キャリア組立体に関し、特に静電気を除去するガラス基板キャリア組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）は薄く軽量でありまたガラス基板を有するため、次第にディスプレイ市場で優位を占めるようになってきた。液晶ディスプレイの生産方法は、フォトリソグラフィ法を用いることによりガラス基板上に薄膜トランジスタ及び回路を形成することを含む。フォトリソグラフィ法では、ガラス基板上にフォトレジストの層を均質に塗布し、次いで、現像処理を行う前にマスクから前記フォトレジスト層にパターンを移す。
【０００３】
ガラス基板にフォトレジストを塗布する近時の方法では、フォトレジストスピンコータ上にガラス基板を取り付け、所定量のフォトレジストを前記ガラス基板の上面の中心に供給する。最後に、遠心力を発生させるために前記フォトレジストスピンコータが高速で回転され、前記ガラス基板を回転させる。前記遠心力は、前記フォトレジストを前記ガラス基板の中心からその周縁へ半径方向に広げ、その結果フォトレジストが上面の全部を覆い、固まる。
【０００４】
塗布工程の後、前記ガラス基板の縁は、該ガラス基板の縁から放り投げられるフォトレジストが凝固することにより発生するぎざぎざを有することが多い。したがって、前記ガラス基板は、このきざぎざを除去するためにキャリア組立体によってフォトレジストスピンコータからばり取り装置に運ばれなければならない。前記キャリア組立体は棚と２つのブラケットとを含む。前記棚は水平に移動することができる。両ブラケットは前記棚から長手方向に突出し、互いに相対し、前記ブラケットに取り付けられた複数のピックアップキャップを有する。各部ラケットは管により真空ポンプに接続され、前記真空ポンプは、前記ピックアップキャップに対してガラス基板を保持するように前記ピックアップキャップに吸引力を生じさせる。前記ピックアップキャップに付与された吸引力は、前記ピックアップキャップに静電気を蓄積させる。
【０００５】
前記ガラス基板がばり取り装置に到着した後、前記ガラス基板が前記ピックアップキャップから取り外される。しかし、前記ピックアップキャップにより発生された静電気は、前記ガラス基板上の半導体要素及び回路を害しまた前記ガラス基板さえも害する１５−１６キロボルト（ＫＶ）である。
【０００６】
これらの欠点を解消するため、本発明は前記した問題を低減又は除去するガラス基板キャリア組立体を提供する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の主たる目的は、静電気を除去するためのガラス基板キャリア組立体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するため、ガラス基板キャリア組立体は棚と複数のピックアップキャップとを備える。前記棚は電気的に接地されており、バーと、２つのスタンドと、２つのブラケットとを含む。前記バーは２つの端部を有する。両スタンドはそれぞれ前記バーの両端部に取り付けられ、該端部から下方に伸びており、電気的に接地されまた導電性を有し、各スタンドは内面を有する。両ブラケットは導電性を有し、それぞれ、前記スタンドの内面に取り付けられ該内面から前記バーの下方へ内方に垂直に伸び、互いに相対し、また各ブラケットはＴ形を呈し、端部と複数のタブとを有する。前記タブは前記ブラケットの端部に取り付けられ、該端部から垂直に伸び、また導電性を有する。前記ピックアップキャップは導電性を有し、それぞれ、吸引穴の上方で前記タブに取り付けられている。静電気は前記ピックアップキャップ、前記タブ、前記ブラケット及び前記スタンドを経て大地に至り、その結果、静電気はこれが発生するときに前記棚から除去される。
【０００９】
本発明の他の目的、利点及び新規な特徴は、添付図面を参照しての次の詳細な説明から明らかとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１ないし図３を参照すると、本発明に係るキャリア組立体が、フォトレジストコータ８０とばり取り装置９０との間に据えられ、フォトレジストコータ８０とばり取り装置９０との間で前後に移動し、また棚１０と複数のピックアップキャップ２０とを含む。
【００１１】
棚１０は水平に移動し、大地に電気的に接続され、またバー１３と、２つのスタンド１５と、２つのブラケット１１とを含む。
【００１２】
バー１３は２つの端部を有する。
【００１３】
両スタンド１５は、それぞれ、バー１３の両端部に取り付けられ、該バーの両端部から下方へ伸び、導電性を有し、また電気的に接地され、各スタンド１５は内面を有する。
【００１４】
両ブラケット１１は導電性を有し、それぞれ、スタンド１５の前記内面に取り付けられ該内面からバー１３の下方を内方に垂直に伸び、互いに相対している。各ブラケット１１はＴ形をなし、端縁と複数のタブ１２とを有する。タブ１２は導電性を有し、ブラケット１１の前記端縁に取り付けられ、該端縁から垂直に伸びている。各タブ１２は上面と、窪み１２３と、吸引穴１２１とを有する。窪み１２３はタブ１２の前記上面に形成されている。吸引穴１２１はタブを貫通するように設けられ、窪み１２３と連通し、また吸引力が吸引穴１２１に発生するように管を介して真空ポンプに接続されている。
【００１５】
ピックアップキャップ２０は弾性を有し、また導電性を有し、それぞれ、吸引穴１２１を覆うようにタブ１２の前記上面に取り付けられ、またタブ１２の窪み１２３内に据えられている。各ピックアップキャップ２０は、弾力がありまた電気を通すように弾性材料と導電性材料との混合物からなるものとすることができ、少なくとも１つの貫通穴を有し、また取付カラー２１，シール２３及びキャップ２５を備える。前記弾性材料はゴムとすることができる。前記電導性材料は炭素質材料、黒鉛、金属等からなるものとすることができる。ピックアップキャップ２０は、単位面積当たり１０３−１０５オームの抵抗率を有する。前記貫通穴は、それぞれ、タブ１２の吸引穴１２１に対応する。吸引穴１２１及びピックアップキャップ２０を通過する空気により発生された静電気は、ピックアップキャップ２０、タブ１２、ブラケット１１、及び前記静電気が発生する棚１０から前記静電気が除去されるように電気的に接地されたスタンド１５を通過する。
【００１６】
取付カラー２１はスリーブからなり、タブ１２の窪み１２３内に据えられており、上端部とリップ（口）２１１とを有する。口２１１は前記上端部から半径方向内方に伸びる。
【００１７】
シール２３は円形穴と、外壁と、環状の凹所２３１とを有する。環状凹所２３１は前記外壁に形成され、取付カラー２１の口２１１に係合し、シール２３を取付カラー２１に保持する。
【００１８】
キャップ２５はシール２３に抗して取付カラー２１に堅く取り付けられ、少なくとも１つの穴２５１を有する。少なくとも１つの貫通穴２５１は、シール２３及び取付カラー２１の中央穴を介してタブ１２の吸引穴１２１に対応しかつこれと連通する。
【００１９】
前記キャリア組立体が前記ガラス基板を前記フォトレジストコータからばり取り装置９０に運ぶとき、ガラス基板は、前記真空ポンプからの吸引によりピックアップキャップ２０に確実に取り付けられる。前記ガラス基板がばり取り装置９０に到着した後、前記キャリア組立体から前記ガラス基板を取り外すために前記真空ポンプが停止される。静電気はピックアップキャップ２０と、タブ１２と、ブラケット１１と、電気的に接地されたスタンド１５とを通過するため、静電気はこれが発生されるときに棚１０から除去される。したがって、静電気は、前記ガラス基板上の半導体要素及び回路又は前記ガラス基板を害するように蓄積されず、これは前記ガラス基板の改善された品質及びコストの低減をもたらす。
【００２０】
本発明の構造及び作用の詳細と共にその多くの特徴及び利点を説明したが、その開示は例示に止まる。本発明の原理内において、特許請求の範囲に示された用語の広い一般的意味により表される範囲まで、変更が、特に部品の形状、寸法及び配列の事項について詳細になされる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】フォトレジストコータ装置及びばり取り装置を有する本発明に係るガラス基板キャリア組立体の斜視図である。
【図２】図１のガラス基板キャリア組立体のピックアップキャップの分解斜視図である。
【図３】図１のガラス基板キャリア組立体のピックアップキャップの断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０  棚
１１  ブラケット
１２  タブ
１３  バー
１５  スタンド
２０  ピックアップキャップ
８０  フォトレジストコータ
９０  ばり取り装置
【図１】
2008046238.tif 000003
【図２】
2008046238.tif 000004
【図３】
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