(57)【要約】【課題】音源部と受波素子との間の監視空間における超音波の減衰量に基づいて火災の有無を判別する構成において、ＳＮ比を向上させた火災感知器を提供する。【解決手段】超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部と、音源部１から送波された疎密波の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部とを備える。音源部１は第１周波数の第１の超音波Ａを送波する第１音源ＳＰ１と、第１周波数よりも固定周波数だけ高い第２周波数の第２の超音波Ｂを送波する第２音源ＳＰ２とを有する。制御部は、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との両方から監視空間に超音波Ａ，Ｂを同時に送波させることにより、監視空間において第１の超音波Ａと第２の超音波Ｂとを互いに干渉させて固定周波数の疎密波であるビート波Ｃを生じさせる。受波素子３は固定周波数に感度を有し、ビート波Ｃの音圧を検出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を送波可能な音源部と、音源部を制御する制御部と、音源部から送波された疎密波の音圧を検出する受波素子と、受波素子の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部とを備え、信号処理部は、受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部と受波素子との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段と、煙濃度推定手段にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段とを有し、音源部は、前記受波素子が感度を有する固定周波数よりも高い第１周波数の第１の超音波を送波する第１音源と、第１周波数よりも前記固定周波数だけ高い第２周波数の第２の超音波を送波する第２音源とを有し、制御部は、第１音源と第２音源との両方から監視空間に超音波を同時に送波させるように音源部を制御することで、監視空間において第１の超音波と第２の超音波とを互いに干渉させて前記固定周波数の疎密波であるビート波を生じさせ、受波素子は前記ビート波の音圧を検出することを特徴とする火災感知器。
【請求項２】
前記第１音源と前記第２音源とは周波数の異なる複数種の超音波をそれぞれから送波可能であって、前記信号処理部は、前記監視空間に存在する浮遊粒子の種別および煙濃度に応じた前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量との関係データを記憶した記憶手段と、前記音源部から送波された各周波数の超音波ごとの前記受波素子の出力と記憶手段に記憶されている関係データとを用いて前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定する粒子種別推定手段とを有し、前記煙濃度推定手段は、粒子種別推定手段にて推定された粒子が煙粒子のときに特定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて前記監視空間の煙濃度を推定することを特徴とする請求項１記載の火災感知器。
【請求項３】
前記記憶手段は、前記関係データとして前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量を基準値で除した減衰率との関係データを記憶していることを特徴とする請求項２記載の火災感知器。
【請求項４】
前記第１音源と前記第２音源とはそれぞれ前記複数種の超音波を送波可能な単一の音波発生素子からなり、前記制御部は各音波発生素子からそれぞれ複数種の超音波が順次送波されるように前記音源部を制御することを特徴とする請求項２または請求項３記載の火災感知器。
【請求項５】
前記音源部は、発熱体部への通電に伴う発熱体部の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項６】
前記音源部は、ベース基板の一表面側に前記発熱体部が形成されるとともに、ベース基板の前記一表面側で前記発熱体部とベース基板との間に設けられて前記発熱体部とベース基板とを熱絶縁する多孔質層からなる熱絶縁層を有してなることを特徴とする請求項５記載の火災感知器。
【請求項７】
前記音源部から送波され前記受波素子で受波される超音波の伝搬経路上には、筒状に形成され前記第１音源と前記第２音源との両方からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める筒体が配設されていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項８】
前記第１音源と前記受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され前記第１音源からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める第１の筒体が設けられ、前記第２音源と前記受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され前記第２音源からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める第２の筒体が設けられており、第１および第２の筒体はそれぞれの放射側端面から放射される超音波を前記受波素子の手前で互いに干渉させるように配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項９】
前記第１音源および前記第２音源の一方と前記受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され前記一方からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める筒体が設けられており、筒体は放射側端面から放射される超音波を、前記第１音源および前記第２音源の他方から送波される超音波と前記受波素子の手前で干渉させるように配置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の火災感知器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、火災感知器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、火災時などに発生する煙を感知する火災感知器として、散乱光式煙感知器（たとえば特許文献１参照）や、減光式煙感知器（たとえば特許文献２参照）が知られている。ここにおいて、散乱光式煙感知器は、発光ダイオード素子よりなる投光素子から監視空間に照射された光の煙粒子による散乱光をフォトダイオードよりなる受光素子で受光するように構成されたものであり、監視空間に煙粒子が存在すれば散乱光が生じることによって受光素子での受光量が増大するから、受光素子での受光量の増加量に基づいて煙粒子の存否を検知できる。一方、減光式煙感知器は、投光素子から照射された光を受光素子により直接受光するように構成されたものであり、投光素子と受光素子との間の監視空間に煙粒子が存在すれば受光素子の受光量が減少するから、受光素子での受光量の減光量に基づいて煙粒子の存否を検知できる。
【０００３】
ところで、散乱光式煙感知器は、迷光対策としてラビリンス体を設ける必要があるので、空気の流れが少ない場合には、火災発生時に監視空間へ煙粒子が侵入するまでの時間が長くなり、応答性に問題があった。また、減光式煙感知器においては、火災が発生していないにもかかわらずバックグランド光の影響で発報してしまう（非火災報が発生してしまう）ことがあるという問題があった。また、分離型の減光式煙感知器は、投光素子と受光素子との光軸を高精度に軸合わせする必要があり、施工に手間がかかるという問題があった。
【特許文献１】特開２００１−３４８６２号公報
【特許文献２】特開昭６１−３３５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した光電式の火災感知器の問題点を解決するために、本願出願人は、超音波を用いて煙の存否を検知する火災感知器を提案している（図２参照）。
【０００５】
この火災感知器は、超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部２と、音源部１から送波された超音波の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判別する信号処理部４とを備える。信号処理部４は、受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部１と受波素子３との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段４１と、推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段４２とを有する。すなわち、監視空間に煙粒子が入り込むと音源部１からの超音波は受波素子３に到達するまでに音圧が低下し、受波素子３の出力の減衰量は監視空間の煙濃度に略比例して増加するので、この減衰量に基づき煙濃度を推定することで、火災の有無を判断することができる。
【０００６】
この超音波式の火災感知器では、光電式の火災感知器で問題となるバックグランド光の影響をなくすことができ、散乱光式煙感知器に必要なラビリンス体を不要とすることができて火災発生時に監視空間へ煙粒子が拡散しやすくなるから、散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、また、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になる。
【０００７】
ところで、上述した超音波式の火災感知器においては、煙濃度の変化量に対する受波素子３の出力の変化量は比較的小さく、ＳＮ比が小さいという問題がある。そこで、音源部１から送波させる超音波の周波数を高くすることが考えられる。超音波の周波数を高くすれば、監視空間の煙濃度が一定でも超音波の音圧の低下量が大きくなり、ＳＮ比の改善につながる。
【０００８】
しかし、一般的な受波素子３（マイクロホン）は高い周波数（たとえば、２００ｋＨｚ）の超音波には対応しておらず、超音波の周波数が高くなるほど感度が低下するので、音源部１から送波させる超音波の周波数を高くしても、受波素子３の感度が低下することにより、結局ＳＮ比は改善されない。
【０００９】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであって、音源部と受波素子との間の監視空間における超音波の減衰量に基づいて火災の有無を判別する構成において、ＳＮ比を向上させた火災感知器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明では、超音波を送波可能な音源部と、音源部を制御する制御部と、音源部から送波された疎密波の音圧を検出する受波素子と、受波素子の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部とを備え、信号処理部は、受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部と受波素子との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段と、煙濃度推定手段にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段とを有し、音源部は、前記受波素子が感度を有する固定周波数よりも高い第１周波数の第１の超音波を送波する第１音源と、第１周波数よりも前記固定周波数だけ高い第２周波数の第２の超音波を送波する第２音源とを有し、制御部は、第１音源と第２音源との両方から監視空間に超音波を同時に送波させるように音源部を制御することで、監視空間において第１の超音波と第２の超音波とを互いに干渉させて前記固定周波数の疎密波であるビート波を生じさせ、受波素子は前記ビート波の音圧を検出することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、音源部は、受波素子が感度を有する固定周波数よりも高い第１周波数の第１の超音波を送波する第１音源と、第１周波数よりも前記固定周波数だけ高い第２周波数の第２の超音波を送波する第２音源とを有し、制御部が、第１音源と第２音源との両方から監視空間に超音波を同時に送波させるように音源部を制御することで、監視空間において第１の超音波と第２の超音波とを互いに干渉させて前記固定周波数の疎密波であるビート波を生じさせ、受波素子において前記ビート波の音圧を検出するので、音源部から送波される第１および第２の各超音波の周波数を比較的高く設定しながらも、受波素子で受波するビート波の周波数を比較的低くすることができる。すなわち、音源部から送波させる超音波の周波数を高くすることで監視空間の浮遊粒子による超音波の減衰率を向上させつつ、受波素子で受波させる疎密波の周波数を低くすることにより受波素子の感度を向上させることができ、結果的にＳＮ比が向上するという利点がある。
【００１２】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記第１音源と前記第２音源とが周波数の異なる複数種の超音波をそれぞれから送波可能であって、前記信号処理部が、前記監視空間に存在する浮遊粒子の種別および煙濃度に応じた前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量との関係データを記憶した記憶手段と、前記音源部から送波された各周波数の超音波ごとの前記受波素子の出力と記憶手段に記憶されている関係データとを用いて前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定する粒子種別推定手段とを有し、前記煙濃度推定手段が、粒子種別推定手段にて推定された粒子が煙粒子のときに特定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて前記監視空間の煙濃度を推定することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、信号処理部では、粒子種別推定手段において、音源部から送波された各周波数の超音波ごとの受波素子の出力と記憶手段に記憶されている関係データとを用いて監視空間に浮遊している粒子の種別を推定し、粒子種別推定手段にて推定された粒子が煙粒子のときに、煙濃度推定手段において、特定周波数の超音波に対する受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて監視空間の煙濃度を推定するので、粒子種別識別手段において監視空間に浮遊している粒子の種別を推定することで、たとえば煙粒子と湯気とを識別可能となるから、散乱光式煙感知器および減光式煙感知器に比べて湯気に起因した非火災報を低減することが可能となり、台所や浴室での使用にも適する。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記記憶手段は、前記関係データとして前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量を基準値で除した減衰率との関係データを記憶していることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、前記音源部の出力周波数に応じて前記受波素子の出力の基準値が変動する場合でも、前記音源部の出力周波数と基準値の変動の影響が除去された減衰率との関係データを用いることにより、基準値の変動の影響を受けずに前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定することができる。
【００１６】
請求項４の発明は、請求項２または請求項３の発明において、前記第１音源と前記第２音源とがそれぞれ前記複数種の超音波を送波可能な単一の音波発生素子からなり、前記制御部が各音波発生素子からそれぞれ複数種の超音波が順次送波されるように前記音源部を制御することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、第１音源と第２音源とのそれぞれに各種の超音波を送波可能な音波発生素子を複数個備える場合に比べて、音源部の小型化、低コスト化が可能となる。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明において、前記音源部が、発熱体部への通電に伴う発熱体部の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生するものであることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、音源部は平坦な周波数特性を有しており、発生させる超音波の周波数を広範囲にわたって変化させることができる。
【００２０】
請求項６の発明は、請求項５の発明において、前記音源部が、ベース基板の一表面側に前記発熱体部が形成されるとともに、ベース基板の前記一表面側で前記発熱体部とベース基板との間に設けられて前記発熱体部とベース基板とを熱絶縁する多孔質層からなる熱絶縁層を有してなることを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、熱絶縁層が多孔質層からなるので、熱絶縁層が非多孔質層からなる場合に比べて、熱絶縁層の断熱性が向上して発熱体部への入力電圧に対する超音波の音圧の比が高くなり、低消費電力化を図ることができる。
【００２２】
請求項７の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかの発明において、前記音源部から送波され前記受波素子で受波される超音波の伝搬経路上には、筒状に形成され前記第１音源と前記第２音源との両方からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める筒体が配設されていることを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、筒状に形成され第１音源と第２音源との両方からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める筒体が、音源部から送波され受波素子で受波される超音波の伝搬経路上に配設されているので、音源部からの超音波は筒体内を通ることで拡散が抑制され、音源部と受波素子との間における超音波の拡散による音圧の低下を抑制することができる。したがって、煙濃度の変化量に対する受波素子の出力の変化量が比較的大きくなり、ＳＮ比が向上する。
【００２４】
請求項８の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかの発明において、前記第１音源と前記受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され前記第１音源からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める第１の筒体が設けられ、前記第２音源と前記受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され前記第２音源からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める第２の筒体が設けられており、第１および第２の筒体がそれぞれの放射側端面から放射される超音波を前記受波素子の手前で互いに干渉させるように配置されていることを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され第１音源からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める第１の筒体が第１音源と受波素子との間に設けられ、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され第２音源からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める第２の筒体が第２音源と受波素子との間に設けられているので、第１音源および第２音源からの各超音波は第１および第２の各筒体内を通ることで拡散が抑制され、音源部と受波素子との間における超音波の拡散による音圧の低下を抑制することができる。しかも、第１および第２の筒体の外側でビート波を生じさせるので、受波素子で受波するビート波の周波数が低い場合にも、各筒体の内周面の粘性抵抗が原因でビート波が減衰してしまうことはない。したがって、煙濃度の変化に対する受波素子の出力の変化量が大きくなり、ＳＮ比が向上する。
【００２６】
請求項９の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかの発明において、前記第１音源および前記第２音源の一方と前記受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され前記一方からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める筒体が設けられており、筒体が放射側端面から放射される超音波を、前記第１音源および前記第２音源の他方から送波される超音波と前記受波素子の手前で干渉させるように配置されていることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、第１音源および第２音源の一方と受波素子との間には、長手方向の一端面が放射側端面として開口した筒状に形成され一方からの超音波を内部空間に通すことで当該超音波の拡散範囲を狭める筒体が設けられているので、前記一方からの超音波は筒体内を通ることで拡散が抑制され、音源部と受波素子との間における超音波の拡散による音圧の低下を抑制することができる。また、第１音源および第２音源の他方から送波される超音波については、筒体を設けたことによる制限を受けることなく周波数を設定することができるので、第１周波数と第２周波数との差に相当する固定周波数を自由に設定することができる。つまり、受波素子での受波感度の高い周波数に、ビート波の周波数を合わせることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明は、音源部から送波させる第１および第２の各超音波の周波数の高くすることで監視空間の浮遊粒子による超音波の減衰率を向上させつつ、受波素子で受波させるビート波の周波数を低くすることにより受波素子の感度を向上させることができ、結果的にＳＮ比が向上するという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
（実施形態１）
本実施形態の火災感知器は、図２に示すように、超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部２と、音源部１から送波された疎密波（後述するビート波）の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部４とを備えている。ここにおいて、音源部１と受波素子３とは、図３に示すように、円盤状のプリント基板からなる回路基板５の一表面側において互いに離間して対向配置されており、回路基板５に制御部２および信号処理部４が設けられている。受波素子３の周辺には、音源部１以外で発生した疎密波が受波素子３に入射するのを阻止する遮音板からなる遮音壁６が設けられている。また、回路基板５の上記一表面には、音源部１から送波された超音波の反射を防止する吸音層（図示せず）が設けられているので、音源部１から送波された超音波が回路基板５で反射して受波素子３に入射するのを防止することができて、反射波の干渉を防止することができ、特に、音源部１から送波させる超音波として連続波を用いる場合に有効である。
【００３０】
本実施形態では、音源部１として、後述のように空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生させる音波発生素子を用いることで、圧電素子に比べて残響時間が短い超音波を送波するようにし、且つ、受波素子３として共振特性のＱ値が圧電素子に比べて十分に小さく受波信号に含まれる残響成分の発生期間が短い静電容量型のマイクロホンを用いている。
【００３１】
ここにおいて、音源部１は、図４に示すように、単結晶のｐ形のシリコン基板からなるベース基板１１の一表面（図４における上面）側に多孔質シリコン層からなる熱絶縁層（断熱層）１２が形成され、熱絶縁層１２の表面側に発熱体部として金属薄膜からなる発熱体層１３が形成され、ベース基板１１の上記一表面側に発熱体層１３と電気的に接続された一対のパッド１４，１４が形成されている。なお、ベース基板１１の平面形状は矩形状であって、熱絶縁層１２、発熱体層１３それぞれの平面形状も矩形状に形成してある。また、ベース基板１１の上記一表面側において熱絶縁層１２が形成されていない部分の表面にはシリコン酸化膜からなる絶縁膜（図示せず）が形成されている。
【００３２】
上述の音源部１では、発熱体層１３の両端のパッド１４，１４間に通電して発熱体層１３に急激な温度変化を生じさせると、発熱体層１３に接触している空気（媒質）に急激な温度変化（熱衝撃）が生じる（つまり、発熱体層１３に接触している空気に熱衝撃が与えられる）。したがって、発熱体層１３に接触している空気は、発熱体層１３の温度上昇時には膨張し発熱体層１３の温度下降時には収縮するから、発熱体層１３への通電を適宜に制御することによって空気中を伝搬する超音波を発生させることができる。要するに、音源部１を構成する音波発生素子は、発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の急激な温度変化を媒質の膨張収縮に変換することにより媒質を伝搬する超音波を発生する。
【００３３】
上述の音源部１は、ベース基板１１としてｐ形のシリコン基板を用いており、熱絶縁層１２を多孔度が略６０〜略７０％の多孔質シリコン層からなる多孔質層により構成しているので、ベース基板１１として用いるシリコン基板の一部をフッ化水素水溶液とエタノールとの混合液からなる電解液中で陽極酸化処理することにより熱絶縁層１２となる多孔質シリコン層を形成することができる（ここで、陽極酸化処理により形成された多孔質シリコン層は、結晶粒径がナノメータオーダの微結晶シリコンからなるナノ結晶シリコンを多数含んでいる）。多孔質シリコン層は、多孔度が高くなるにつれて熱伝導率および熱容量が小さくなるので、熱絶縁層１２の熱伝導率および熱容量をベース基板１１の熱伝導率および熱容量に比べて小さくし、熱絶縁層１２の熱伝導率と熱容量との積をベース基板１１の熱伝導率と熱容量との積に比べて十分に小さくすることにより、発熱体層１３の温度変化を空気に効率よく伝達することができ発熱体層１３と空気との間で効率的な熱交換が起こり、且つ、ベース基板１１が熱絶縁層１２からの熱を効率よく受け取って熱絶縁層１２の熱を逃がすことができて発熱体層１３からの熱が熱絶縁層１２に蓄積されるのを防止することができる。なお、熱伝導率が１４８Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が１．６３×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）の単結晶のシリコン基板を陽極酸化して形成される多孔度が６０％の多孔質シリコン層は、熱伝導率が１Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．７×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）であることが知られている。本実施形態では、熱絶縁層１２を多孔度が略７０％の多孔質シリコン層により構成してあり、熱絶縁層１２の熱伝導率が０．１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．５×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）となっている。
【００３４】
発熱体層１３は、高融点金属の一種であるタングステンにより形成してあるが、発熱体層１３の材料はタングステンに限らず、たとえば、タンタル、モリブデン、イリジウム、アルミニウムなどを採用してもよい。また、上述の音源部１では、ベース基板１１の厚さを３００〜７００μｍ、熱絶縁層１２の厚さを１〜１０μｍ、発熱体層１３の厚さを２０〜１００ｎｍ、各パッド１４の厚さを０．５μｍとしてあるが、これらの厚さは一例であって特に限定するものではない。また、ベース基板１１の材料としてＳｉを採用しているが、ベース基板１１の材料はＳｉに限らず、たとえば、Ｇｅ、ＳｉＣ、ＧａＰ、ＧａＡｓ、ＩｎＰなどの陽極酸化処理による多孔質化が可能な他の半導体材料でもよく、いずれの場合にも、ベース基板１１の一部を多孔質化することで形成した多孔質層を熱絶縁層１２とすることができる。
【００３５】
上述のように音源部１は、一対のパッド１４，１４を介した発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の温度変化に伴って超音波を発生するものであり、発熱体層１３へ与える駆動電圧波形あるいは駆動電流波形からなる駆動入力波形をたとえば周波数がｆ１の正弦波波形とした場合、理想的には、発熱体層１３で生じる温度振動の周波数が駆動入力波形の周波数ｆ１の２倍の周波数ｆ２となり、駆動入力波形ｆ１の略２倍の周波数の超音波を発生させることができる。すなわち、上述の音源部１は、圧電素子のように機械的振動により超音波を発生する場合に比べて、平坦な周波数特性を有しており、発生させる超音波の周波数を広範囲にわたって変化させることができる。また、上述の音源部１では、たとえば正弦波波形の半周期の孤立波を駆動入力波形として一対のパッド１４，１４間へ与えることによって、残響の少ない略１周期の単パルス状の超音波を発生させることも可能である。また、音源部１は、熱絶縁層１２が多孔質層により構成されているので、熱絶縁層１２が非多孔質層（たとえば、ＳｉＯ２膜など）からなる場合に比べて、熱絶縁層１２の断熱性が向上して超音波発生効率が高くなり、低消費電力化を図れる。
【００３６】
音源部１を制御する制御部２は、図示していないが、音源部１に駆動入力波形を与えて音源部１を駆動する駆動回路と、当該駆動回路を制御するマイクロコンピュータからなる制御回路とで構成されている。
【００３７】
また、上述の受波素子３を構成する静電容量型のマイクロホンは、図５に示すように、シリコン基板に厚み方向に貫通する窓孔３１ａを設けることで形成された矩形枠状のフレーム３１と、フレーム３１の一表面側においてフレーム３１の対向する２つの辺に跨る形で配置されるカンチレバー型の受圧部３２とを備えている。ここにおいて、フレーム３１の一表面側には熱酸化膜３５と熱酸化膜３５を覆うシリコン酸化膜３６とシリコン酸化膜３６を覆うシリコン窒化膜３７とが形成されており、受圧部３２の一端部がシリコン窒化膜３７を介してフレーム３１に支持され、他端部が上記シリコン基板の厚み方向においてシリコン窒化膜３７に対向している。また、シリコン窒化膜３７における受圧部３２の他端部との対向面に金属薄膜（たとえば、クロム膜など）からなる固定電極３３ａが形成され、受圧部３２の他端部におけるシリコン窒化膜３７との対向面とは反対側に金属薄膜（たとえば、クロム膜など）からなる可動電極３３ｂが形成されている。なお、フレーム３１の他表面にはシリコン窒化膜３８が形成されている。また、受圧部３２は、上記各シリコン窒化膜３７，３８とは別工程で形成されるシリコン窒化膜により構成されている。
【００３８】
図５に示した構成の静電容量型のマイクロホンからなる受波素子３では、固定電極３３ａと可動電極３３ｂとを電極とするコンデンサが形成されるから、受圧部３２が疎密波の圧力を受けることにより固定電極３３ａと可動電極３３ｂとの間の距離が変化し、固定電極３３ａと可動電極３３ｂとの間の静電容量が変化する。したがって、固定電極３３ａおよび可動電極３３ｂに設けたパッド（図示せず）間に直流バイアス電圧を印加しておけば、パッドの間には疎密波の音圧に応じて微小な電圧変化が生じるから、疎密波の音圧を電気信号に変換することができる。
【００３９】
ところで、信号処理部４は、受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部１と受波素子３との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段４１と、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段４２と、音源部１が超音波を送波してから当該超音波に相当する疎密波が受波素子３に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求める音速検出手段４３と、音速検出手段４３で求めた音速に基づいて上記監視空間の温度を推定する温度推定手段４４と、温度推定手段４４で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断する熱式判断手段４５とを有している。信号処理部４は、マイクロコンピュータにより構成されており、上記各手段４１〜４５は、上記マイクロコンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現されている。また、信号処理部４は、受波素子３の出力信号をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器などが設けられている。
【００４０】
煙濃度推定手段４１は、音源部１からの疎密波の音圧を検出する受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて煙濃度を推定するものであるが、音源部１から送波される超音波の周波数が一定であれば、上記減衰量は上記監視空間の煙濃度に略比例して増加するので、あらかじめ測定した煙濃度と減衰量との関係データに基づいて煙濃度と減衰量との関係式を求めて記憶しておけば、上記関係式を用いて減衰量から煙濃度を推定することができる。また、煙式判断手段４２は、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度が上記閾値未満の場合には「火災無し」と判断する一方で、上記閾値以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。ここで、制御部２は、煙式判断手段４２からの火災感知信号を受信すると、音源部１から可聴域の音波からなる警報音が発生するように音源部１への駆動入力波形を制御する。したがって、音源部１から警報音を発生させることができるので、警報音を出力するスピーカなどを別途に設ける必要がなく、火災感知器全体の小型化および低コスト化が可能となる。
【００４１】
また、音速検出手段４３は、音源部１と受波素子３との間の距離と上記時間差とを用いて音速を求める。また、温度推定手段４４は、周知の大気中の音速と絶対温度との関係式を利用して音速から上記監視空間の温度を推定する。熱式判断手段４５は、温度推定手段４４にて推定された温度が上記規定温度未満の場合には「火災無し」と判断する一方で、上記規定温度以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。ここで、制御部２は、熱式判断手段４５からの火災感知信号を受信した場合にも、音源部１から可聴域の音波からなる警報音が発生するように音源部１への駆動入力波形を制御する。なお、音速検出手段４３は、煙濃度を推定するために音源部１から送波させる超音波とは別に、所定周波数の疎密波を定期的に送波させ当該疎密波が受波素子３に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求めるようにしてもよいし、煙濃度を推定するために音源部１から送波させる超音波を用いて音速を求めるようにしてもよい。
【００４２】
ところで、音源部１から送波される超音波の周波数を高くすれば、監視空間の煙濃度が一定でも超音波の音圧の低下量が大きくなり、ＳＮ比の改善につながるので、本実施形態では、音源部１から送波させる超音波の周波数を比較的高く設定してある。ただし、一般的な受波素子３は高い周波数（たとえば、２００ｋＨｚ）の超音波には対応しておらず、超音波の周波数が高くなるほど感度が低下するという問題があるので、本実施形態では以下の構成を採用することによりこの問題を解決している。
【００４３】
すなわち、本実施形態の音源部１は、図１（ａ）に示すように第１周波数の超音波（以下、第１の超音波ともいう）を送波する第１音源ＳＰ１と、図１（ｂ）に示すように第１周波数よりも高い第２周波数の超音波（以下、第２の超音波ともいう）を送波する第２音源ＳＰ２とを有している。第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２はいずれも受波素子３に対向する形で同一面に並設される。ここで、第２周波数は第１周波数よりも所定の固定周波数だけ高く設定されており、固定周波数は少なくとも第１周波数よりも低く設定されている。さらに、制御部２は、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との両方から監視空間に超音波を同時に送波させるように第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２を制御する。これより、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との各々から送波された超音波は、監視空間の媒質（空気）の非線形性によって互いに干渉し、図１（ｃ）のように両超音波の周波数の差に相当する周波数（固定周波数）を有した疎密波であるビート波を発生する。なお、図１中の「Ａ」，「Ｂ」はそれぞれ第１の超音波、第２の超音波を表し、「Ｃ」はビート波を表している。つまり、監視空間においては、第１の超音波（図１（ａ）の「Ａ」）と第２の超音波（図１（ｂ）の「Ｂ」）とが１次波として入射されると、第２周波数と第１周波数との差である固定周波数のビート波（図１（ｃ）の「Ｃ」）が２次波として発生する。
【００４４】
一方、受波素子３としては上述した固定周波数の疎密波に対して十分な感度を有するものを採用しており、受波素子３は、第１音源ＳＰ１や第２音源ＳＰ２の各々から送波された超音波そのものの音圧を検出するのではなく、上記ビート波の音圧を検出する。したがって、本実施形態の構成によれば、音源部１から送波させる第１および第２の各超音波の周波数（つまり第１周波数、第２周波数）を比較的高く設定しながらも、受波素子で受波するビート波の周波数（つまり固定周波数）を低く設定することができる。
【００４５】
以下に、本実施形態の具体例を挙げる。音速ｃが３４０ｍ／ｓ、音源部１と受波素子３との間の距離Ｌが３４ｍｍのとき、第１音源ＳＰ１から送波させる第１の超音波の周波数を２００ｋＨｚに設定し、第２音源ＳＰ２から送波させる第２の超音波の周波数を２２０ｋＨｚに設定する。ここで、制御部２はたとえば１００周期程度ずつの超音波を第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２からそれぞれ連続的に送波させるように音源部１を制御する。この場合、監視空間においては、第１周波数（＝２００ｋＨｚ）と第２周波数（＝２２０ｋＨｚ）との差である固定周波数（＝２０ｋＨｚ）のビート波が発生する。したがって、受波素子３においては２０ｋＨｚの疎密波の音圧を検出することになり、一般的な受波素子３（上述した静電容量型のマイクロホンに限らず、たとえばエレクトレットコンデンサマイクなども含む）でも十分な感度で音圧の検出が可能である。ここにおいて、音源部１から送波される超音波は２００ｋＨｚおよび２２０ｋＨｚであるから、監視空間に煙粒子があれば２００ｋＨｚ相当の周波数の超音波と同等の音圧低下が生じ、受波素子３の出力の減衰量は比較的大きくなる。
【００４６】
なお、本実施形態では、煙式判断手段４２や熱式判断手段４５から出力される火災感知器信号を制御部２へ出力するようにしているが、制御部２に限らず、たとえば、外部の通報装置へ出力するようにしてもよい。
【００４７】
また、本実施形態では、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２とを同一面に並べて音源部１を構成し、音源部１と監視空間を介して対向する形で受波素子３を配置した例を示したが、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２とを監視空間を介して互いに対向させる形で配置し、監視空間における第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との対向方向の中央部に受波素子３を配置するようにしてもよい。
【００４８】
以上説明した本実施形態の火災感知器では、煙濃度推定手段４１において、受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部１と受波素子３との間の監視空間の煙濃度を推定し、煙式判断手段４２において、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断するので、散乱光式煙感知器や減光式煙感知器のような光電式の火災感知器で問題となるバックグランド光の影響をなくすことができ、散乱光式煙感知器に必要なラビリンス体を不要とすることができて火災発生時に監視空間へ煙粒子が拡散しやすくなるから、散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、さらに、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になる。
【００４９】
また、本実施形態では、音源部１が第１周波数の超音波を送波する第１音源ＳＰ１と、第２周波数の超音波を送波する第２音源ＳＰ２とを有し、制御部２が第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との両方から監視空間に超音波を同時に送波させるように音源部１を制御することでビート波を生じさせ、受波素子３が前記ビート波の音圧を検出するようにしたので、音源部１から送波される各超音波の周波数（つまり第１周波数および第２周波数）を比較的高く設定しながらも、受波素子３で受波するビート波の周波数（つまり固定周波数）を比較的低く設定することができる。したがって、音源部１から送波される各超音波の周波数を比較的高くすることで監視空間の煙粒子による超音波の音圧の低下量を増加させつつ、受波素子３で受波する疎密波の周波数を低くすることで一般的な受波素子３でも十分な感度で音圧を検出することができ、結果的にＳＮ比が向上するという利点がある。
【００５０】
さらに、本実施形態の火災感知器では、音速検出手段４３において、音源部１が超音波を送波してから疎密波が受波素子３に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求め、温度推定手段４４において、音速検出手段４３で求めた音速に基づいて上記監視空間の温度を推定し、熱式判断手段４５において、温度推定手段４４で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断するので、別途に温度検出素子を用いることなく火災発生時の温度上昇によっても火災を感知することが可能となり、火災をより確実に感知することが可能になる。
【００５１】
（実施形態２）
本実施形態の火災感知器は、基本構成が実施形態１と略同じであり、図６に示すように筒状に形成された筒体７を音源部１と受波素子３との間に配設した点が実施形態１の火災感知器と相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００５２】
筒体７は、長手方向の両端面が閉塞された直管状の角筒であって、図６に示すように長手方向の一端面（図６における左端面）に音源部１（つまり第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２）が配置されるとともに、他端面（図６における右端面）に受波素子３が配置されており、内部空間を通して音源部１からの超音波を伝搬させる。この筒体７を設けたことにより、音源部１から送波される超音波は、筒体７の内部空間を通ることで拡散が抑制され、したがって音源部１と受波素子３との間における超音波の拡散による音圧の低下を抑制することができる。なお、この構成では筒体７内が監視空間となるので、たとえば筒体７の長手方向に沿う側面には内部に煙等を案内する孔（図示せず）が形成される。
【００５３】
さらに、本実施形態では、筒体７は長手方向の両端面が閉じられた周知の音響管と同様に、固有の共振周波数を有する。つまり、筒体７の長手方向の寸法をＬとするときに、Ｌ＝（ｎ／２）×λの関係（ただし、ｎは自然数）を満たす波長λに対応する周波数ｆ（波の伝搬速度をｃとしてｆ＝ｃ／λで表される）が筒体７の共振周波数となる。したがって、Ｌ＝（ｎ／２）×λの関係を満たす超音波の連続波が長手方向の端面から筒体７内に入射すると、当該超音波の少なくとも一部が筒体７の長手方向の両端面で反射を繰り返すことにより、反射波と音源部１からの直接波とが重なって共振し、筒体７の内部において前記超音波の音圧が増大する。そこで、本実施形態は制御部２において、筒体７に固有の前記共振周波数の超音波を第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２から送波させるように音源部１を制御することにより、筒体７内で共振を生じさせ音源部１からの超音波の音圧を増大させるようにしてある。この場合、筒体７内で共振を生じさせるために、Ｌ／λを超える複数周期（以下、ｍ周期という）の超音波を音源部１から送波させる必要があるので、制御部２は、ｍ（＞Ｌ／λ）周期の超音波の連続波を音源部１から送波させるように音源部１を制御する。言い換えると、音源部１から超音波を連続して送波させる送波時間ｔｐ（つまりｔｐ＝ｍ×λ／ｃ）が、筒体７の長手方向の両端間を超音波が伝搬するのに要する伝搬時間ｔｓ（つまりｔｓ＝Ｌ／ｃ）よりも大きくなる（つまりｔｐ＞ｔｓ）ように制御部２で音源部１を制御する。受波素子３は、筒体７内で共振が発生して超音波の音圧が飽和したタイミングでビート波の音圧を検出する。通常、音源部１からの超音波の送波が終了した時点で超音波の音圧が飽和するので、一例として音源部１からの超音波の送波を終了するのと同時に受波素子３においてビート波の音圧を検出することが考えられる。
【００５４】
以下に、本実施形態の具体例を挙げる。音速ｃが３４０ｍ／ｓ、筒体７の長手方向の寸法Ｌが３４ｍｍのとき、Ｌ＝（ｎ／２）×λの関係を満たすには、第１音源ＳＰ１から送波させる第１の超音波の周波数（＝ｃ／λ）を２００ｋＨｚ（ｎ＝４０）に設定し、第２音源ＳＰ２から送波させる第２の超音波の周波数を２２０ｋＨｚ（ｎ＝４４）に設定すればよい。ここで、上述したようにｍ（＞Ｌ／λ）周期の超音波の連続波を音源部１から送波させるように音源部１を制御する必要があるので、制御部２はたとえば１００周期程度ずつの超音波を第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２からそれぞれ連続的に送波させるように音源部１を制御する。この場合、監視空間においては、第１周波数（＝２００ｋＨｚ）と第２周波数（＝２２０ｋＨｚ）との差である固定周波数（＝２０ｋＨｚ）のビート波が発生する。したがって、受波素子３においては２０ｋＨｚの疎密波の音圧を検出することになり、一般的な受波素子３でも十分な感度で音圧の検出が可能である。ここにおいて、音源部１から送波される超音波は２００ｋＨｚおよび２２０ｋＨｚであるから、監視空間に煙粒子があれば２００ｋＨｚ相当の周波数の超音波と同等の音圧低下が生じ、受波素子３の出力の減衰量は比較的大きくなる。
【００５５】
なお、本実施形態では、筒体７の長手方向の一端面に第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２とを並べて配置し、筒体７の長手方向の他端面に受波素子３を配置した例を示したが、図７に示すように第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２とを筒体７の長手方向の各端面にそれぞれ配置し、筒体７の長手方向に沿う側面における中央部に受波素子３を配置するようにしてもよい。
【００５６】
以上説明した本実施形態の火災感知器では、音源部１と受波素子３との間の超音波の伝搬経路に筒体７を設けたことにより、音源部１から送波される超音波は、筒体７の内部空間を通ることで拡散が抑制され、音源部１と受波素子３との間における超音波の拡散による音圧の低下を抑制することができるので、監視空間中に煙粒子がない状態において受波素子３で受波されるビート波の音圧を高く維持でき、煙濃度の変化量に対する受波素子３の出力の変化量が比較的大きくなり、その結果、ＳＮ比が向上するという効果がある。
【００５７】
また、本実施形態では、筒体７内で共振を生じさせ音源部１からの超音波の音圧を増大させているので、音源部１と受波素子３との間における音圧の低下をより一層抑制することができ、煙濃度の変化量に対する受波素子３の出力の変化量が大きくなってＳＮ比が一層向上する。しかも、共振により筒体７の長手方向の端面で反射を繰り返す超音波においては、実効的な送波距離が反射の回数に応じて延長され、実質、超音波は筒体７の長手方向の寸法Ｌの数倍の送波距離を経て受波素子３に到達する。このことも煙濃度の変化量に対する受波素子３の出力の変化量の増大に寄与しており、非共振の単パルス状の超音波が受波素子３で受波される場合に比較して超音波の減衰量は数倍に増大する。
【００５８】
なお、その他の構成および機能は実施形態１と同様である。
【００５９】
（実施形態３）
本実施形態の火災感知器は、基本構成が実施形態２と略同じであり、筒体の構成が実施形態２の火災感知器と相違する。なお、実施形態２と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００６０】
本実施形態では筒体として、図８に示すように長手方向の一端面が放射側端面７１ａとして開口し長手方向の他端面が第１音源ＳＰ１で覆われた第１の筒体７１と、長手方向の一端面が放射側端面（図示せず）として開口し長手方向の他端面が第２音源ＳＰ２で覆われた第２の筒体７２とを用いている。両筒体７１，７２はそれぞれの放射側端面７１ａ（開口面）を受波素子３に向け、両放射側端面７１ａから放射される超音波が受波素子３の手前（受波素子３と放射側端面７１ａとの間）で互いに干渉するようにＶ字状に配置されている。これにより、第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２からそれぞれ送波される超音波は、各筒体７１，７２を通して放射側端面７１ａから放射され、受波素子３の手前で互いに交差することで媒質（空気）の非線形性によって互いに干渉してビート波を生じる。
【００６１】
また、本実施形態では各筒体７１，７２の長手方向の一端面が開口しているので、各筒体７１，７２はそれぞれ長手方向の一端面が閉じられた周知の音響管と同様に、固有の共振周波数を有する。つまり、筒体７１，７２の長手方向の寸法をＬとするときに、Ｌ＝（１／４＋ｎ／２）×λの関係（ただし、ｎ＝０，１，２，３，…）を満たす波長λに対応する周波数ｆ（＝ｃ／λ）が筒体７１，７２の共振周波数となる。したがって、Ｌ＝（１／４＋ｎ／２）×λの関係を満たす超音波の連続波が長手方向の端面から筒体７１，７２内に入射すると、当該超音波の少なくとも一部が筒体７１，７２の長手方向の両端面で反射を繰り返すことにより、反射波と音源部１からの直接波とが重なって共振し、筒体７１，７２の内部において前記超音波の音圧が増大する。そこで、制御部２において、筒体７１，７２に固有の前記共振周波数の超音波が第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２から送波されるように音源部１を制御すれば、筒体７１，７２内で共振を生じさせ音源部１からの超音波の音圧を増大させることができる。この場合、筒体７１，７２内で共振を生じさせるために、制御部２は、ｍ（＞Ｌ／λ）周期の超音波の連続波を音源部１から送波させるように音源部１を制御する。言い換えると、音源部１から超音波を連続して送波させる送波時間ｔｐ（＝ｍ×λ／ｃ）が、筒体７１，７２の長手方向の両端間を超音波が伝搬するのに要する伝搬時間ｔｓ（＝Ｌ／ｃ）よりも大きくなる（つまりｔｐ＞ｔｓ）ように制御部２で音源部１を制御する。なお、一方の端面を開口端とする場合、周知のように開口端よりも僅かΔＬだけ外側に、超音波の音圧の節（つまり空気の移動速度の腹）が生じるので、共振周波数を求める際に用いる長さＬを上記ΔＬだけ補正（開口端の補正）すれば、より正確な共振周波数を求めることができる。
【００６２】
以下に、本実施形態の具体例を挙げる。音速ｃが３４０ｍ／ｓ、各筒体７１，７２の長手方向の寸法Ｌが３４ｍｍのとき、Ｌ＝（１／４＋ｎ／２）×λの関係を満たすには、第１音源ＳＰ１から送波させる第１の超音波の周波数を２０２．５ｋＨｚ（ｎ＝４０）に設定し、第２音源ＳＰ２から送波させる第２の超音波の周波数を２２２．５ｋＨｚ（ｎ＝４４）に設定すればよい。ここで、上述したようにｍ（＞Ｌ／λ）周期の超音波の連続波を音源部１から送波させるように音源部１を制御する必要があるので、制御部２はたとえば１００周期程度ずつの超音波を第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２からそれぞれ連続的に送波させるように音源部１を制御する。この場合、監視空間においては、第１周波数（＝２０２．５ｋＨｚ）と第２周波数（＝２２２．５ｋＨｚ）との差である固定周波数（＝２０ｋＨｚ）のビート波が発生する。したがって、受波素子３においては２０ｋＨｚの疎密波の音圧を検出することになり、一般的な受波素子３でも十分な感度で音圧の検出が可能である。ここにおいて、音源部１から送波される超音波は２０２．５ｋＨｚおよび２２２．５ｋＨｚであるから、監視空間に煙粒子があれば２００ｋＨｚ相当の周波数の超音波と同等の音圧低下が生じ、受波素子３の出力の減衰量は比較的大きくなる。
【００６３】
以上説明した本実施形態の構成によれば、第１および第２の各筒体７１，７２の外側でビート波を生じさせるので、受波素子３で受波するビート波の周波数が低い場合にも、各筒体７１，７２の内周面の粘性抵抗が原因でビート波が減衰してしまうことはない。すなわち、筒体７１,７２の断面積（管径）が小さい場合には、疎密波が筒体７１，７２中を通る際に筒体７１，７２の内周面の粘性抵抗により、ある周波数以下の疎密波の音圧が低下することがあるが、本実施形態の構成では、筒体７１，７２内を通る疎密波においては音圧が低下しないように高い周波数（つまり第１周波数および第２周波数）に設定することができる。したがって、煙濃度の変化に対する受波素子３の出力の変化量が大きくなり、ＳＮ比が向上する。
【００６４】
また、本実施形態では第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２とのそれぞれに筒体７１，７２を設ける例を示したが、図９に示すように第１音源ＳＰ１からの超音波を通す第１の筒体７１のみを設けるようにし、当該筒体７１の放射側端面７１ａから放射される超音波と第２音源ＳＰ２から送波される超音波とを、受波素子３の手前で干渉させるようにしてもよい。図９の例では、第１の筒体７１の放射側端面７１ａと受波素子３との間に向けて、側方から第２音源ＳＰ２が超音波を放射するように、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２と筒体７１と受波素子３とが配置されている。この構成では、第２音源ＳＰ２から送波される超音波については、筒体７１を設けたことによる制限を受けることなく周波数を設定することができるので、第１周波数と第２周波数との差に相当する固定周波数を自由に設定することができる。つまり、受波素子３での受波感度が最も高い周波数に、ビート波の周波数を合わせることができる。
【００６５】
以下に図９の構成における具体例を挙げる。音速ｃが３４０ｍ／ｓ、筒体７１の長手方向の寸法Ｌが３４ｍｍのとき、Ｌ＝（１／４＋ｎ／２）×λの関係を満たすには、第１音源ＳＰ１から送波させる第１の超音波の周波数を２０２．５ｋＨｚ（ｎ＝４０）に設定すればよい。一方、第２音源ＳＰ２から送波させる第２の超音波の周波数においては、筒体７１の共振周波数に合わせる必要はないので、受波素子３における感度の周波数特性に基づいて設定することが望ましい。つまり、受波素子３の感度がたとえば１２ｋＨｚの疎密波に対して最大となる場合、第２周波数を第１周波数（＝２０２．５ｋＨｚ）よりも１２ｋＨｚ高い２１４．５ｋＨｚに設定することが望ましい。この場合、監視空間においては、第１周波数（＝２０２．５ｋＨｚ）と第２周波数（＝２１４．５ｋＨｚ）との差である固定周波数（＝１２ｋＨｚ）のビート波が発生する。したがって、受波素子３においては１２ｋＨｚの疎密波の音圧を検出することになり、感度が最大となる周波数で動作させることができる。
【００６６】
なお、図９の構成で第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との関係は逆であってもよい。その他の構成および機能は実施形態２と同様である。
【００６７】
（実施形態４）
本実施形態の火災感知器は、基本構成が実施形態１と略同じであり、図１０に示すように制御部２および信号処理部４の構成が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００６８】
ところで、本願発明者らは、音源部１と受波素子３との間の監視空間の浮遊粒子の種別に応じて図１１に示すように音源部１の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係が異なるという知見を得た。ここで、監視空間に浮遊粒子が存在しない状態で受波素子３にて受波される音圧（以下、基準音圧という）をＩ０、減光式煙濃度計（減光式煙感知器）での評価でｘ％／ｍとなる濃度の浮遊粒子が監視空間に存在する状態で受波素子３にて受波される音圧をＩｘとしたときに、（Ｉ０−Ｉｘ）／Ｉ０で表される値を音圧の減衰率と定義し、特にｘ＝１のときの減衰率を単位減衰率と定義する。ここにおいて、基準音圧Ｉ０と音圧Ｉｘとは、監視空間における浮遊粒子の有無を除いては同一の条件で検出されるものとする。図１１中の「イ」は浮遊粒子が黒煙の煙粒子である場合の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す近似曲線（黒丸が測定データ）、「ロ」は浮遊粒子が白煙の煙粒子である場合の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す近似曲線（黒四角が測定データ）、「ハ」は浮遊粒子が湯気の粒子である場合の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す近似曲線（黒三角が測定データ）であり、ここに示す単位減衰率は、音源部１と受波素子３との間の距離を３０ｃｍに設定したときの各出力周波数ごとのデータである。また、図１１における右端の各データは、出力周波数が８２ｋＨｚのときのデータであり、出力周波数が８２ｋＨｚのときのデータを１として各出力周波数の単位減衰率を規格化した結果を図１２に示す。要するに、図１２は、横軸が出力周波数、縦軸が相対的単位減衰率となっている。また、白煙の煙粒子のサイズは８００ｎｍ程度、黒煙の煙粒子のサイズは２００ｎｍ程度、湯気の粒子のサイズは数μｍ〜２０μｍ程度である。
【００６９】
上述の知見に基づいて、本実施形態では、制御部２が、音源部１から周波数の異なる複数種の超音波が順次送波されるように音源部１を制御するようにし、信号処理部４は、少なくとも受波素子３の基準出力（基準音圧に対する受波素子３の出力）、上記監視空間に存在する浮遊粒子の種別および浮遊粒子濃度に応じた音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の相対的単位減衰率との関係データ（上述の図１２より抽出されるデータ）、煙粒子に関して特定周波数（たとえば、８２ｋＨｚ）における単位減衰率（上述の図１１より抽出されるデータ）を記憶した記憶手段４８と、音源部１から送波された各周波数の超音波ごとの受波素子３の出力と記憶手段４８に記憶されている関係データとを用いて上記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定する粒子種別推定手段４６と、粒子種別推定手段４６にて推定された粒子が煙粒子のときに特定周波数（たとえば、８２ｋＨｚ）の超音波に対する受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて上記監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段４７と、煙濃度推定手段４７にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段４２とを有するようにしてある。
【００７０】
以下に、本実施形態の火災感知器の動作例を図１３のフローチャートを参照して説明する。まず、音源部１から複数種の超音波を順次送波させ各超音波に対する受波素子３の出力を信号処理部４で計測する（ステップＳ１１）。粒子種別推定手段４６は、各出力周波数ごとに受波素子３の出力と記憶手段４８に記憶されている基準出力とから音圧の減衰率を求め（ステップＳ１２）、出力周波数が８２ｋＨｚでの音圧の減衰率に対する２０ｋＨｚでの音圧の減衰率の比を算出する（ステップＳ１３）。記憶手段４８には、音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の相対的単位減衰率との上記関係データとして、出力周波数が８２ｋＨｚでの相対的単位減衰率に対する２０ｋＨｚでの相対的単位減衰率の比（図１２の場合、白煙が０、黒煙が０．２、湯気が０．５となる）が記憶されており、粒子種別推定手段４６は、算出した減衰率の比を記憶手段４８に記憶されている関係データと比較し、関係データの中で減衰率の比が最も近い種別の粒子を監視空間に浮遊している粒子と推定する（ステップＳ１４）。ここで、推定された粒子が煙粒子であれば煙濃度推定手段４７での処理に移行する（ステップＳ１５）。ここにおいて、白煙の場合には図１４に示すように減光式煙濃度計で計測される煙濃度と音圧の減衰率との関係は直線で示すことのできるデータであり、他の粒子においても同様であるから、煙濃度推定手段４７は、推定された粒子種別について特定周波数（たとえば、８２ｋＨｚ）の超音波に対する受波素子３の出力の減衰率の記憶手段４８に記憶されている単位減衰率に対する比を算出し、その比の値がｙの場合に監視空間の煙濃度が減光式煙濃度計での評価における煙濃度ｙ％／ｍに相当すると推定する（ステップＳ１６）。煙式判断手段４２は、ステップＳ１６で推定された煙濃度と所定の閾値（たとえば、減光式煙濃度計での評価で１０％／ｍとなる煙濃度）とを比較し、推定された煙濃度が上記閾値未満の場合には「火災無し」と判断する一方で、上記閾値以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。
【００７１】
上述の例では、粒子種別推定手段４６は出力周波数が８２ｋＨｚのときの減衰率と２０ｋＨｚのときの減衰率とを用いているが、これらの出力周波数の組み合わせに限定するものではなく、異なる組み合わせの出力周波数を用いてもよい。さらに、より多くの出力周波数に対する減衰率を用いてもよく、その場合は粒子種別の推定の確度を向上させることができる。また、本実施形態では、煙濃度推定手段４７が特定周波数として１周波数を対象としているが、特定周波数として複数の周波数を対象とし、各特定周波数ごとに推定した煙濃度の平均値を求めるようにしてもよく、この場合、煙濃度の推定の確度が向上する。なお、信号処理部４は、マイクロコンピュータにより構成されており、粒子種別推定手段４６、煙濃度推定手段４７、煙式判断手段４２は、上記マイクロコンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現されている。また、信号処理部４は、受波素子３の出力信号をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器などが設けられている。
【００７２】
また、本実施形態では第１音源ＳＰ１から送波させる第１の超音波について、周波数の異なる複数種の超音波が順次送波されるように音源部１を制御するようにしており、第１音源ＳＰ１からの第１の超音波と第２音源ＳＰ２からの第２の超音波との相対的な関係は不変としている。すなわち、第２音源ＳＰ２からは、常に第１周波数の第１の超音波よりも固定周波数だけ高い第２周波数の超音波が送波されるように制御部２で音源部１を制御する。言い換えれば、制御部２は、第１の超音波と第１の超音波よりも固定周波数だけ高い第２の超音波との複数種の組み合わせを、音源部１から順次送波させるように音源部１を制御する。
【００７３】
本実施形態では、第１音源ＳＰ１、第２音源ＳＰ２のそれぞれに実施形態１にて説明した音波発生素子を１つずつ用いており、上述の制御部２は、第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２へ与える駆動入力波形の周波数を順次変化させることにより、第１音源ＳＰ１および第２音源ＳＰ２の各々から周波数の異なる複数種の超音波を順次送波させる。ここにおいて、制御部２は、第１音源ＳＰ１から送波させる超音波の周波数を所定の周波数範囲（たとえば、２０ｋＨｚ〜８２ｋＨｚ）の下限周波数（たとえば、２０ｋＨｚ）から上限周波数（たとえば、８２ｋＨｚ）まで変化させる。このとき、第１音源ＳＰ１からの超音波よりも固定周波数（たとえば、１２ｋＨｚ）だけ高い周波数（たとえば、３２ｋＨｚ〜９４ｋＨｚ）が第２音源ＳＰ２から送波されるように、第２音源ＳＰ２からの超音波の周波数を下限周波数（たとえば、３２ｋＨｚ）から上限周波数（たとえば、９４ｋＨｚ）まで変化させる。なお、本実施形態では、第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との各々から周波数の異なる４種類の超音波が順次送波されるように制御部２が音源部１を制御するように構成してあるが、音源部１から送波させる超音波の周波数は４種類に限らず複数種類であればよく、たとえば、２種類とすれば、３種類以上の超音波を順次送波させる場合に比べて、制御部２および信号処理部４の負担を軽減できるとともに制御部２および信号処理部４の簡略化を図れる。本実施形態では、上述のように第１音源ＳＰ１、第２音源ＳＰ２の各々に実施形態１にて説明した音波発生素子を用いることで、順次送波する超音波をそれぞれ周波数の異なる超音波とすることができるので、第１音源ＳＰ１、第２音源ＳＰ２の各々に共振周波数の異なる複数の圧電素子を用いて各圧電素子から連続波の超音波を送波させる場合に比べて低コスト化を図れる。
【００７４】
なお、本実施形態では、音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の相対的単位減衰率との関係データを記憶手段４８に記憶した例を示したが、そもそも監視空間に存在する浮遊粒子の種別に応じて音源部１の出力周波数ごとに変化するのは受波素子３の出力の基準値からの減衰量（Ｉ０−Ｉｘ）であるから、記憶手段４８に記憶する上記関係データは、音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の基準値からの減衰量との関係を示すデータであればよく、上述の相対的単位減衰率に代えて、たとえば、受波素子３の出力の基準値からの減衰量や、受波素子３の出力の基準値からの減衰量を基準値（Ｉ０）で除しただけの減衰率、あるいは単位減衰率を採用した関係データを記憶手段４８に記憶するようにしてもよい。
【００７５】
以上説明した本実施形態の火災感知器では、粒子種別推定手段４６において、音源部１から送波された各周波数の超音波ごとの受波素子３の出力と記憶手段４８に記憶されている関係データとを用いて上記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定し、粒子種別推定手段４６にて推定された粒子が煙粒子のときに、煙濃度推定手段４７において、特定周波数の超音波に対する受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて上記監視空間の煙濃度を推定し、煙式判断手段４２において、煙濃度推定手段４７にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断するので、散乱光式煙感知器や減光式煙感知器のような光電式の火災感知器で問題となるバックグランド光の影響をなくすことができ、散乱光式煙感知器に必要なラビリンス体を不要とすることができて散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、また、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になる。しかも、粒子種別推定手段４６において上記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定することで煙粒子と湯気とを識別可能となるから、散乱光式煙感知器および減光式煙感知器に比べて湯気に起因した非火災報を低減することが可能となり、台所や浴室での使用にも適する。また、粒子種別推定手段４６において白煙の煙粒子と黒煙の煙粒子とを識別可能となるから、火災の性状の識別に役立てることも可能となる。また、火災感知器を設置している室内の掃除や天井裏の電気工事などの際に浮遊する粉塵と煙粒子との識別も可能になるから、粉塵などに起因した非火災報を低減することも可能となる。
【００７６】
ところで、本実施形態では第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２との各々を単一の音波発生素子により構成し、制御部２が音源部１へ与える駆動入力波形の周波数を順次変化させることにより、音源部１から周波数の異なる複数種の超音波を順次送波させるようにしているが、互いに出力周波数の異なる複数の音波発生素子で第１音源ＳＰ１と第２音源ＳＰ２とをそれぞれ構成してもよい。この場合には、各音波発生素子として圧電素子のように機械的振動により超音波を発生する素子を用い、各音波発生素子をそれぞれの共振周波数で駆動することにより、音源部１から送波される超音波の音圧を高めてＳＮ比の向上に寄与することができる。また、音源部１を構成する音波発生素子を受波素子３に兼用することも考えられ、この場合、音波発生素子から送波される超音波を当該音波発生素子に向けて反射する反射面が必要であるものの、素子数の低減による低コスト化を図ることができる。
【００７７】
なお、その他の構成および機能は実施形態１と同様であり、たとえば本実施形態の火災感知器においても、図２に示した実施形態１と同様、信号処理部４に、音速検出手段４３、温度推定手段４４、熱式判断手段４５を設けてもよい。また、実施形態２、３と同様に、筒体を設けて音圧の低下を抑制してもよい。
【００７８】
ところで、上記各実施形態では、音源部１と制御部２と受波素子３と信号処理部４とを１枚の回路基板５に設けて図示しない器体内に収納してあるが、音源部１と制御部２とを備えた音源側ユニットと、受波素子３と信号処理部４とを備えた受波側ユニットとを別体として互いに対向配置する分離型の火災報知機を構成するようにしてもよい。この場合、筒体は音源側ユニットと受波側ユニットとの少なくとも一方に設けられるか、あるいは音源側ユニットおよび受波側ユニットとは別に設けられる。また、音源部１は上述の図３に示した構成の音波発生素子に限らず、たとえば、アルミニウム製の薄板を発熱体部として当該発熱体部への通電に伴う発熱体部の急激な温度変化による熱衝撃によって超音波を発生させるものでもよい。
【００７９】
さらにまた、信号処理部４は、定期的に、所定周波数（たとえば、上述の特定周波数と同じ８２ｋＨｚ）の超音波に対する受波素子３の出力に基づいて、音源部１の出力変動や受波素子３の感度変動がキャンセルされるように制御部２による音源部１の制御条件と受波素子３の出力の信号処理条件との少なくとも一方を変更するようにすれば、音源部１の出力変動や受波素子３の感度変動を定期的にキャンセルすることが可能となり、長期的な信頼性が高くなる。
【００８０】
また、上記各実施形態において、制御部２が、音源部１から防虫効果のある周波数の超音波を送波させるようにすれば、上記監視空間に虫が侵入するのを防止することができ、虫に起因した非火災報を低減できる。ここで、制御部２は、煙濃度を推定するために音源部１から送波させる周波数の超音波とは別に、防虫効果のある周波数の超音波を定期的に送波させるようにしてもよいし、煙濃度を推定するために音源部１から送波する超音波の周波数を防虫効果のある周波数に設定するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施形態１の動作説明図である。
【図２】同上の構成を示すブロック図である。
【図３】同上の要部を示し、（ａ）は概略下面図、（ｂ）は概略側面図である。
【図４】同上に用いる音波発生素子を示す概略断面図である。
【図５】同上に用いる受波素子を示し、（ａ）は一部破断した概略斜面図、（ｂ）は概略断面図である。
【図６】本発明の実施形態２の要部を示す概略下面図である。
【図７】同上の他の例を示す概略下面図である。
【図８】本発明の実施形態３の要部を示す概略斜視図である。
【図９】同上の他の例を示す概略斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態４の構成を示すブロック図である。
【図１１】同上の音源部の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す説明図である。
【図１２】同上の音源部の出力周波数と相対的単位減衰率との関係を示す説明図である。
【図１３】同上の動作例を示すフローチャートである。
【図１４】同上の煙濃度と特定周波数の超音波の減衰率との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８２】
１  音源部
２  制御部
３  受波素子
４  信号処理部
７  筒体
１１  ベース基板
１２  熱絶縁層
１３  発熱体層（発熱体部）
４１  煙濃度推定手段
４２  煙式判断手段
４６  粒子種別推定手段
４７  煙濃度推定手段
４８  記憶手段
７１  第１の筒体
７１ａ  放射側端面
７２  第２の筒体
Ａ  第１の超音波
Ｂ  第２の超音波
Ｃ  ビート波
ＳＰ１  第１音源
ＳＰ２  第２音源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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