(57)【要約】【課題】レンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上を図ることのできるチルトステージを提供する。【解決手段】ベースとなる基台と、基台に対し支点部を介して組み付けられた傾斜台と、基台と傾斜台を近接させる方向に付勢する付勢部材と、基台に対する傾斜台の角度を調整する調整ネジと、を有するチルトステージにおいて、基台と傾斜台の調整後の位置関係を固定する固定部を設けたチルトステージとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースとなる基台と、該基台に対し支点部を介して組み付けられた傾斜台と、前記基台と前記傾斜台を近接させる方向に付勢する付勢部材と、該基台に対する前記傾斜台の角度を調整する調整ネジと、を有するチルトステージにおいて、
前記基台と前記傾斜台の調整後の位置関係を固定する固定部を設けたことを特徴とするチルトステージ。
【請求項２】
前記固定部を複数箇所に設けたことを特徴とする請求項１に記載のチルトステージ。
【請求項３】
前記固定部は、前記基台と前記傾斜台を繋ぐ板材を有し、前記板材を前記基台及び前記傾斜台に固定することで、前記基台と前記傾斜台の位置関係を固定することを特徴とする請求項１又は２に記載のチルトステージ。
【請求項４】
前記板材は前記基台及び前記傾斜台の少なくとも一方を弾性体を介して押圧固定されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のチルトステージ。
【請求項５】
前記固定部は、前記調整ネジに螺合する雌ネジ部材であることを特徴とする請求項１又は２に記載のチルトステージ。
【請求項６】
前記基台と前記傾斜台は矩形状であり、前記支点部は前記矩形状の頂点近傍に配置され、前記固定部は前記支点部の配置された頂点と対向する頂点を形成する２つの辺にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のチルトステージ。
【請求項７】
前記基台と前記傾斜台は矩形状であり、前記支点部は前記矩形状の一辺の中央部に配置され、前記固定部は前記支点部の配置された辺と隣り合う２つの辺にそれぞれ設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のチルトステージ。
【請求項８】
前記基台と前記傾斜台は矩形状であり、前記支点部は前記矩形状の一辺の中央部に配置され、前記固定部は前記支点部の配置された辺に対向する辺に設けたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のチルトステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はチルトステージ、特に干渉計を用いて被検レンズを測定する際の位置決めに好適なチルトステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、干渉計を用いて被検レンズを測定する際に、被検レンズを保持し位置決め等の調整をおこなうためのチルトステージが知られている。
【０００３】
このようなチルトステージとして、ボールと傾斜部材を接触させておき、傾斜部材を移動させることでボールの高さを変化させて、傾斜台の角度を調整するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１７０９５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１のチルトステージでは、レンズの取り外し操作や、長時間の微振動等による経時変化により、調整した角度がごくわずかであるが、ずれてしまう問題がある。この秒単位の角度ずれは、干渉計を用いて被検レンズを測定する際の測定精度を低下させる為、再調整を必要とし、測定効率の低下を引き起こすものである。
【０００５】
本発明は上記問題に鑑み、レンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上を図ることのできるチルトステージを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的は、下記に記載する発明により達成される。
【０００７】
１．ベースとなる基台と、該基台に対し支点部を介して組み付けられた傾斜台と、前記基台と前記傾斜台を近接させる方向に付勢する付勢部材と、該基台に対する前記傾斜台の角度を調整する調整ネジと、を有するチルトステージにおいて、前記基台と前記傾斜台の調整後の位置関係を固定する固定部を設けたことを特徴とするチルトステージ。
【０００８】
２．前記固定部を複数箇所に設けたことを特徴とする１に記載のチルトステージ。
【０００９】
３．前記固定部は、前記基台と前記傾斜台を繋ぐ板材を有し、前記板材を前記基台及び前記傾斜台に固定することで、前記基台と前記傾斜台の位置関係を固定することを特徴とする１又は２に記載のチルトステージ。
【００１０】
４．前記板材は前記基台及び前記傾斜台の少なくとも一方を弾性体を介して押圧固定されていることを特徴とする１〜３のいずれかに記載のチルトステージ。
【００１１】
５．前記固定部は、前記調整ネジに螺合する雌ネジ部材であることを特徴とする１又は２に記載のチルトステージ。
【００１２】
６．前記基台と前記傾斜台は矩形状であり、前記支点部は前記矩形状の頂点近傍に配置され、前記固定部は前記支点部の配置された頂点と対向する頂点を形成する２つの辺にそれぞれ設けられていることを特徴とする１〜５のいずれかに記載のチルトステージ。
【００１３】
７．前記基台と前記傾斜台は矩形状であり、前記支点部は前記矩形状の一辺の中央部に配置され、前記固定部は前記支点部の配置された辺と隣り合う２つの辺にそれぞれ設けたことを特徴とする１〜５のいずれかに記載のチルトステージ。
【００１４】
８．前記基台と前記傾斜台は矩形状であり、前記支点部は前記矩形状の一辺の中央部に配置され、前記固定部は前記支点部の配置された辺に対向する辺に設けたことを特徴とする１〜５のいずれかに記載のチルトステージ。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、レンズの取り外し操作や経時による変化を防止でき、測定精度の向上を図ることのできるチルトステージを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１７】
図１は、本実施の形態に係るチルトステージ１の斜視図である。
【００１８】
同図に示すチルトステージ１において、１１は矩形状の基台、１２は傾斜台、１３は調整ネジである。基台１１及び傾斜台１２の中央部には、被検体であるレンズ等が取り付けられる穴部が形成されている。
【００１９】
図２は、本実施の形態に係るチルトステージ１の一例を示す図である。同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示すＡ−Ａ線で切断した断面図、同図（ｃ）は固定部の側面図、同図（ｄ）は同図（ａ）に示すＢ−Ｂ線で切断した断面図である。
【００２０】
同図（ｂ）に示すように、矩形状の基台１１と傾斜台１２は、付勢部材である板バネ２１及びコイルバネ２２により、基台１１と傾斜台１２を近接させる方向に付勢されている。また、矩形状の基台１１と傾斜台１２の一つの頂点近傍に、先端が球状のボールスクリュー２３が配置されており、傾斜台１２に当接している。これにより、傾斜台１２は、当接しているボールスクリュー２３の先端２３ｓを支点部として、基台１１に対し傾斜することができるようになっている。
【００２１】
なお、本例では、板バネ２１及びコイルバネ２２により基台１１と傾斜台１２を近接させる方向に付勢しているが、これに限るものでなく、板バネのみ或いはコイルバネのみで付勢するよう構成したものでもよい。
【００２２】
２つの調整ネジ１３は、ボールスクリュー２３の配置された頂点と対向する頂点を形成する２つの辺にそれぞれ配置されている。２つの調整ネジ１３は、傾斜台１２と螺合し、球状に形成された先端１３ｓが基台１１に当接している。調整ネジ１３を回転させることで、基台１１と傾斜台１２の距離が変化し、ボールスクリュー２３の先端２３ｓを支点として、基台１１と傾斜台１２のなす角度を変化させることができる。
【００２３】
更に、支点部であるボールスクリュー２３の配置された１つの頂点と対向する頂点を形成する２つの辺の側面部には、同図（ｃ）、（ｄ）に示す固定部が２箇所に設けられている。
【００２４】
固定部は、固定板３１、固定ネジ３２、座金３３で構成されている。固定板３１は、基台１１にネジ３４で固定されており、固定ネジ３２のネジ部が貫通する孔が長孔に形成されている。固定ネジ３２をネジ込むことで、固定板３１と傾斜台１２の相対位置関係を、座金３３を介して固定するようになっている。
【００２５】
この２つの固定部により、２つの調整ネジ１３で調整された、基台１１に対する傾斜台１２の相対角度を固定できるようになっている。
【００２６】
図３は、固定部の固定ネジ３２周辺の拡大断面図である。
【００２７】
同図に示すように、固定板３１と傾斜台１２の間には座金３３が配置されている。この座金３３には、穴の周辺に弾性体であるゴム部材３３ｇが形成されている。ゴム部材３３ｇは、調整ネジ３２のねじ込みにより、固定板３１と傾斜台１２の間で押圧されて変形し、その摩擦力で固定板３１と傾斜台１２を固定、即ち、基台１１と傾斜台１２の調整後の傾斜状態を固定する。
【００２８】
なお、この座金３３は、金属の座金に弾性体であるゴム部材３３ｇをインサート成形により一体化して形成してもよいし、別部品で構成してもよい。また、ゴム部材３３ｇ単体を用いてもよい。
【００２９】
このように、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係を固定する固定部を設けることにより、レンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上したチルトステージを提供することが可能となる。
【００３０】
更に、固定部を、支点部であるボールスクリュー２３の配置された頂点と対向する頂点を形成する２つの辺の側面部の複数箇所に設けることで、支点部と一方の固定部を繋ぐ線に直交する方向を他方の固定部により固定することができ、より固定が堅固なものとなり、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係をより長期にわたり安定して維持させることができる。
【００３１】
加えて、板材である固定板３１により基台１１と傾斜台１２を固定し、基台１１及び傾斜台１２の少なくとも一方を弾性体であるゴム部材を介して押圧固定することにより、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係をより長期にわたり安定して維持させることができる。
【００３２】
図４は、本実施の形態に係るチルトステージ１の他の例を示す図である。同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示すＡ−Ａ線で切断した断面図である。同図は、説明の重複を避けるため、同機能部材には同符号を付与し、図２に示すチルトステージ１と異なる部分についてのみ説明する。
【００３３】
同図に示すチルトステージ１は、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係を固定する固定部として、調整ネジ１３に螺合する雌ネジ部材３５を傾斜台１２と基台１１の間の傾斜台１２側に配置したものである。
【００３４】
同図（ｂ）に示すように、２つの調整ネジ１３は、傾斜台１２及び雌ネジ部材３５と螺合し、球状に形成された先端１３ｓが基台１１に当接している。雌ネジ部材３５と傾斜台１２が離れた状態で、調整ネジ１３を回転させることで、基台１１と傾斜台１２の距離を変化させ、ボールスクリュー２３の先端２３ｓを支点として、基台１１と傾斜台１２のなす角度を変化させ、調整することができる。この後、調整ネジ１３を回転させずに、雌ネジ部材３５を回転させて傾斜台１２側に締め込み、調整ネジ１３をロックさせる。即ち、雌ネジ部材３５により調整ネジ１３を回転不能とし固定することで、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係を固定するものである。
【００３５】
図５は、図４に示すチルトステージ１の変形例を示す図である。
【００３６】
同図に示すチルトステージ１は、雌ネジ部材３５を調整ネジ１３の頭部と傾斜台１２の間で螺合させたものである。この場合も同様に調整ネジを回転させることで基台１１と傾斜台１２のなす角度を変化させ、調整し、調整ネジ１３を回転させずに、雌ネジ部材３５を回転させて傾斜台１２側に締め込み、調整ネジ１３をロックさせる。このような構成でも、調整ネジ１３を回転不能とでき、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係を固定することができる。
【００３７】
このように、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係を固定する固定部として、雌ネジ部材３５を調整ネジ１３に螺合させ、傾斜台１２側に締め込むことで、調整ネジ１３を回転不能とし、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係を固定してもよい。これにより、レンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上したチルトステージを提供することが可能となる。
【００３８】
更に、調整ネジ１３のそれぞれに雌ネジ部材３５を設け、複数箇所で固定するよう構成することにより、支点部と一方の固定部を繋ぐ線に直交する方向を他方の固定部により固定することができ、より固定が堅固となり、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係をより長期にわたり安定して維持させることができる。
【００３９】
図６は、本実施の形態に係るチルトステージ１のその他の例を示す図である。同図（ａ）は正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）に示すＡ−Ａ線で切断した断面図である。同図は、説明の重複を避けるため、同機能部材には同符号を付与し、図２に示すチルトステージ１と異なる部分についてのみ説明する。
【００４０】
同図に示すチルトステージ１は図示の如く、矩形状の基台１１と傾斜台１２の一辺の中央部に支点部であるボールスクリュー２３を配置し、２つの調整ネジ１３をボールスクリュー２３が配置された辺に対向する辺側に配置したものである。
【００４１】
固定部の構成は、図２（ｃ）、（ｄ）に示す物と同様であり、支点部であるボールスクリュー２３の配置された辺と隣り合う２つの辺にそれぞれ設けられている。
【００４２】
このような構成でも、同様にレンズの取り外し操作や経時による微小な変化を防止でき、測定精度の向上したチルトステージを提供することができる。
【００４３】
更に、固定部を、支点部であるボールスクリュー２３の配置された辺と隣り合う２つの辺にそれぞれ設けることで、支点部と一方の固定部を繋ぐ線に直交する方向を他方の固定部により固定することができ、より固定が堅固なものとなり、基台１１と傾斜台１２の調整後の位置関係をより長期にわたり安定して維持させることができる。
【００４４】
なお、図６において、板材で構成された固定部を、支点部であるボールスクリュー２３の配置された辺に対向する辺に設けるようにしてもよい。また、図４、図５に示すような調整ネジ１３に螺合する雌ネジ部材を用いた固定部としてもよい。このように構成しても、上記と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
また、上記で説明したチルトステージ１の調整ネジ１３と傾斜台１２の螺合部で、調整ネジ１３のネジ部を側方から与圧するボールプランジャー等を設けてもよい。このようにすることで、調整ネジ１３の調整時には適度なフリクションを付与でき、調整し易く、更に調整後の振動によるゆるみに対し、上記の固定部との併用で、より角度安定性のよいチルトステージとすることができる。
【００４６】
なお、チルトステージを構成する、基台及び傾斜台を矩形状のもので説明したが、これに限るものでなく、その他の多角形であってもよいのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施の形態に係るチルトステージの斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るチルトステージの一例を示す図である。
【図３】固定部の固定ネジ周辺の拡大断面図である。
【図４】本実施の形態に係るチルトステージの他の例を示す図である。
【図５】図４に示すチルトステージ１の変形例を示す図である。
【図６】本実施の形態に係るチルトステージ１のその他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  チルトステージ
１１  基台
１２  傾斜台
１３  調整ネジ
２１  板バネ
２２  コイルバネ
２３  ボールスクリュー
３１  固定板
３２  固定ネジ
３３  座金
３３ｇ  ゴム部材
３４  ネジ
３５  雌ネジ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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