(57)【要約】【課題】半導体モジュールを構成する各半導体スイッチ素子に流れる電流を同一にすることによって、信頼性の高い半導体モジュールを提供する。【解決手段】ベース板６上に正極側電極パターン３ａ、３ｂを介してＩＧＢＴ２ａ、２ｂが載置され、正極側外部端子８と正極側電極パターン３ａ、３ｂは正極側配線導体１０，１０ａ、１０ｂを介して接続されるとともに、負極側外部端子９と負極側電極パターン４ａ、４ｂは負極側配線導体１１、１１ａ、１１ｂを介して接続され、ＩＧＢＴ２ａとＩＧＢＴ２ｂは対称面７に関して対称になるように配置されたものにおいて、負極側配線導体１１ｂの長さが負極側配線導体１１ａの長さよりも大きくなるように構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース板上に正極側電極パターンを介して第１の半導体スイッチ素子群と第２の半導体スイッチ素子群とが載置され、
正極側外部端子と上記正極側電極パターンとは正極側配線導体を介して接続されるとともに、負極側外部端子と上記第１及び第２の半導体スイッチ素子群とは負極側配線導体を介して接続され、
上記第１の半導体スイッチ素子群は上記ベース板に設定された対称線に関して上記第２の半導体スイッチ素子群と略対称になるよう配置されるとともに、上記正極側外部端子は上記対称線に関して上記負極側外部端子に対し略対称になるよう配置され、
上記負極側配線導体は上記第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の負極側配線導体と上記第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐し、上記対称線に対して上記負極側外部端子と同じ側に位置する第２の負極側配線導体とを有し、
上記第２の負極側配線導体の自己インダクタンスが上記第１の負極側配線導体の自己インダクタンスよりも大きくなるように構成したことを特徴とする半導体モジュール。
【請求項２】
ベース板上に負極側電極パターンを介して第１の半導体スイッチ素子群と第２の半導体スイッチ素子群とが載置され、
負極側外部端子と上記負極側電極パターンとは負極側配線導体を介して接続されるとともに、正極側外部端子と上記第１及び第２の半導体スイッチ素子群とは正極側配線導体を介して接続され、
上記第１の半導体スイッチ素子群は上記ベース板に設定された対称線に関して上記第２の半導体スイッチ素子群と略対称になるよう配置されるとともに、上記正極側外部端子は上記対称線に関して上記負極側外部端子に対し略対称になるよう配置され、
上記負極側配線導体は上記第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の負極側配線導体と上記第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐し、上記対称線に対して上記負極側外部端子と同じ側に位置する第２の負極側配線導体とを有し、
上記第２の負極側配線導体の自己インダクタンスが上記第１の負極側配線導体の自己インダクタンスよりも大きくなるように構成したことを特徴とする半導体モジュール。
【請求項３】
上記第２の負極側配線導体の長さが、上記第１の負極側配線導体の長さよりも長いことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体モジュール。
【請求項４】
上記第２の負極側配線導体の幅が、上記第１の負極側配線導体の幅よりも小さいことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体モジュール。
【請求項５】
上記正極側配線導体は上記第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の正極側配線導体と上記第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第２の正極側配線導体とを有し、
上記第２の負極側配線導体と上記第２の正極側配線導体との間隔が、上記第１の負極側配線導体と上記第１の正極側配線導体との間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ＩＧＢＴ（ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  ｇａｔｅ  ｂｉｐｏｌａｒ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）等の複数の半導体スイッチ素子からなる半導体モジュールに関するものであり、特に半導体モジュールの配線構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の半導体スイッチ素子が並列に接続された半導体モジュールにおいては、各半導体スイッチ素子の配線インダクタンス（自己インダクタンスと相互インダクタンスの総和)が異なると各半導体スイッチ素子に流れる電流が不均一となり、半導体モジュールの信頼性が低下するという問題があった。
【０００３】
このような問題点を解決するための従来技術として、各半導体スイッチ素子につながっている正極側主回路配線と負極側主回路配線の分岐部から各半導体スイッチ素子までの距離を同じにして、各半導体スイッチ素子に流れる電流のバランスをとる構造がある。（特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１２５８５６号公報（図３，図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＩＧＢＴなどゲートとエミッタ間に電圧を印加することにより、電流を通電させ、あるいは遮断させるための半導体スイッチ素子においては、各ＩＧＢＴの負極側の主回路配線のインダクタンスが同一でない場合、各ＩＧＢＴにおけるゲートとエミッタ間にかかる電圧が相違するようになり、従って各ＩＧＢＴを流れる電流が同一ではなくなる。
【０００６】
従来技術において、負極側主回路配線の分岐部から各半導体スイッチ素子までの距離を等しくして、それぞれの自己インダクタンスを等しくなるように構成しても、負極側主回路配線の分岐部から各半導体スイッチ素子までの配線と、他の主回路配線、例えば正極側主回路配線や負極側外部端子から負極側主回路配線の分岐部までの配線との間の相互インダクタンスが、各半導体スイッチ素子によって異なる場合があり、このような場合各半導体スイッチ素子に流れる電流を同一にすることはできなかった。
【０００７】
各半導体スイッチ素子に流れる電流が相違し、特定の半導体スイッチ素子に電流が集中すると、その半導体スイッチ素子の温度が上昇し、熱サイクルに対する半導体モジュールの寿命や短絡耐量を低下させてしまうというような問題があった。
【０００８】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、各半導体スイッチ素子に流れる電流を同一にし、信頼性の高い半導体モジュールを得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る半導体モジュールは、ベース板上に正極側電極パターンを介して第１の半導体スイッチ素子群と第２の半導体スイッチ素子群とが載置され、正極側外部端子と正極側電極パターンとは正極側配線導体を介して接続されるとともに、負極側外部端子と第１及び第２の半導体スイッチ素子群とは負極側配線導体を介して接続され、第１の半導体スイッチ素子群はベース板に設定された対称線に関して第２の半導体スイッチ素子群と略対称になるよう配置されるとともに、正極側外部端子は対称線に関して負極側外部端子に対し略対称になるよう配置され、負極側配線導体は第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の負極側配線導体と第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐し、対称線に対して負極側外部端子と同じ側に位置する第２の負極側配線導体とを有し、第２の負極側配線導体の自己インダクタンスが第１の負極側配線導体の自己インダクタンスよりも大きくなるように構成したしたものである。
【００１０】
また、この発明に係る半導体モジュールは、ベース板上に負極側電極パターンを介して第１の半導体スイッチ素子群と第２の半導体スイッチ素子群とが載置され、負極側外部端子と負極側電極パターンとは負極側配線導体を介して接続されるとともに、正極側外部端子と上記第１及び第２の半導体スイッチ素子群とは正極側配線導体を介して接続され、第１の半導体スイッチ素子群はベース板に設定された対称線に関して第２の半導体スイッチ素子群と略対称になるよう配置されるとともに、正極側外部端子は対称線に関して負極側外部端子に対し略対称になるよう配置され、負極側配線導体は第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の負極側配線導体と第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐し、対称線に対して負極側外部端子と同じ側に位置する第２の負極側配線導体とを有し、第２の負極側配線導体の自己インダクタンスが第１の負極側配線導体の自己インダクタンスよりも大きくなるように構成したものである。
【発明の効果】
【００１１】
この発明に係る半導体モジュールによれば、ベース板上に正極側電極パターンを介して第１の半導体スイッチ素子群と第２の半導体スイッチ素子群とが載置され、正極側外部端子と正極側電極パターンとは正極側配線導体を介して接続されるとともに、負極側外部端子と第１及び第２の半導体スイッチ素子群とは負極側配線導体を介して接続され、第１の半導体スイッチ素子群はベース板に設定された対称線に関して第２の半導体スイッチ素子群と略対称になるよう配置されるとともに、正極側外部端子は対称線に関して負極側外部端子に対し略対称になるよう配置され、負極側配線導体は第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の負極側配線導体と第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐し、対称線に対して負極側外部端子と同じ側に位置する第２の負極側配線導体とを有し、第２の負極側配線導体の自己インダクタンスが第１の負極側配線導体の自己インダクタンスよりも大きくなるように構成したので、各半導体スイッチ素子に流れる電流を同一にし、信頼性の高い半導体モジュールを得ることができる。
【００１２】
また、この発明に係る半導体モジュールによれば、ベース板上に負極側電極パターンを介して第１の半導体スイッチ素子群と第２の半導体スイッチ素子群とが載置され、負極側外部端子と負極側電極パターンとは負極側配線導体を介して接続されるとともに、正極側外部端子と上記第１及び第２の半導体スイッチ素子群とは正極側配線導体を介して接続され、第１の半導体スイッチ素子群はベース板に設定された対称線に関して第２の半導体スイッチ素子群と略対称になるよう配置されるとともに、正極側外部端子は対称線に関して負極側外部端子に対し略対称になるよう配置され、負極側配線導体は第１の半導体スイッチ素子群側へ分岐する第１の負極側配線導体と第２の半導体スイッチ素子群側へ分岐し、対称線に対して負極側外部端子と同じ側に位置する第２の負極側配線導体とを有し、第２の負極側配線導体の自己インダクタンスが第１の負極側配線導体の自己インダクタンスよりも大きくなるように構成したので、各半導体スイッチ素子に流れる電流を同一にし、信頼性の高い半導体モジュールを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
実施の形態１．
以下この発明の一実施形態を図に基づいて説明する。図１はこの発明の実施の形態１による半導体モジュール１の内部配線構造を示す斜視図、図２は同じく平面図である。複数の半導体スイッチ素子であるＩＧＢＴ２ａ，２ｂは正極側電極パターン３ａ，３ｂ上に載置されるとともに、各ＩＧＢＴ２ａ，２ｂの正極側電極であるコレクタ電極と正極側電極パターン３ａ，３ｂははんだ等により接続されている。
【００１４】
正極側電極パターン３ａ，３ｂと負極側電極パターン４ａ，４ｂは絶縁層５ａ，５ｂ上に配置されるとともに、正極側電極パターン３ａ，３ｂと負極側電極パターン４ａ，４ｂとの間には一定の絶縁距離が設けられている。
【００１５】
負極側電極パターン４ａ，４ｂとＩＧＢＴ２ａ，２ｂの負極側電極であるエミッタ電極はボンディングワイヤ１２ａ，１２ｂによって接続される。ＩＧＢＴ２ａ，２ｂ、正極側電極パターン３ａ，３ｂ、負極側電極パターン４ａ，４ｂ、絶縁層５ａ，５ｂはベース板６上に載置されるとともに、更にはＩＧＢＴ２ａとＩＧＢＴ２ｂはベース板６上に設置された所定の対称線に対し垂直な面７（以下対称面と呼ぶ）に関して略対称になるように配置される。そして正極側電極パターン３ａと３ｂ、負極側電極パターン４ａと４ｂ、及び絶縁層５ａと５ｂの関係も上記対称面に関して略対称となる位置関係にある。尚図１においては、対称線がベース板６の中央軸線と一致するように示されているが、対称線は中央軸線である必要はなく、ベース板６上に設置された任意の直線でよい。
【００１６】
また、正極側外部端子８と負極側外部端子９も対称面７に対して略対称になるように配置される。正極側外部端子８と正極側電極パターン３ａ，３ｂは正極側配線導体１０，１０ａ，１０ｂを介して接続され、負極側外部端子９と負極側電極パターン４ａ，４ｂは負極側配線導体１１，１１ａ，１１ｂを介して接続される。図３は正極側配線導体１０，１０ａ、１０ｂを示す斜視図、図４は負極側配線導体１１，１１ａ、１１ｂを示す斜視図である。
【００１７】
正極側配線導体１０は、対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に位置し、ＩＧＢＴ２ａ側へ分岐する第１の正極側配線導体１０ａと、対称面７に関して負極側外部端子９と同じ側に位置し、ＩＧＢＴ２ｂ側に分岐する第２の正極側配線導体１０ｂの２方向に分岐する。
【００１８】
同様に負極側配線導体１１は、対称面７に位置する分岐点１３で、対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に位置し、ＩＧＢＴ２ａ側に分岐する第１の負極側配線導体１１ａと、負極側外部端子９と同じ側に位置し、ＩＧＢＴ２ｂ側に分岐する第２の負極側配線導体１１ｂの２方向に分岐する。
【００１９】
第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスが第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスより大きくなるように、第２の負極側配線導体１１ｂの長さは、第１の負極側配線導体１１ａの長さより大きくなるように構成される。又半導体モジュール１には、図示していないがＩＧＢＴ２ａ，２ｂのゲートを制御するための制御用配線が設けられている。
【００２０】
図２において、正極側電極パターン３ａ，３ｂからＩＧＢＴ２ａ，２ｂ内を流れた電流は、ＩＧＢＴ２ａ，２ｂに設けられたエミッタ電極からボンディングワイヤ１２ａ，１２ｂ、負極側電極パターン４ａ，４ｂ、負極側配線導体１１ａ，１１ｂ，１１を介して負極側外部端子９に至る。
【００２１】
そして各導体を交流が流れるので、発生する磁束が時間変化し、それらが自己インダクタンス及び相互インダクタンスの発生原因となる。尚各導体を流れる電流の大きさは、抵抗とインダクタンスの大きさによって決定されるが、高周波の電流が流れるので、インダクタンス値が抵抗値よりもはるかに大きく、抵抗値による影響は無視できるものである。
【００２２】
矢印Ａで示される第２の負極側配線導体１１ｂを流れる電流の向きは、矢印Ｂで示される第２の正極側配線導体１０ｂを流れる電流の向き、及び矢印Ｃで示される負極側配線導体１１を流れる電流の向きとは逆方向であるので、矢印Ａで示される電流によって発生する磁束は、矢印Ｂ及び矢印Ｃで示される電流によって発生する磁束によって減少させられることとなる。
【００２３】
一方矢印Ｄで示される第１の負極側配線導体１１ａを流れる電流に関しては、矢印Ｅで示される第１の正極側配線導体１０ａを流れる電流の向きと、矢印Ｆで示される正極側配線導体１０を流れる電流の向きが逆であるので、この部分で磁束は相殺される方向に働くが、矢印Ｆの電流は矢印Ｅの電流より大きいので、矢印Ｆの電流による磁束のほうが大きく、従って第１の負極側配線導体１１ａ部分においては、矢印Ｄの電流によって発生する磁束に矢印Ｆの電流によって発生する磁束が加算されることとなる。
【００２４】
このため、矢印Ａで示される部分における第２の負極側配線導体１１ｂで発生する相互インダクタンスは、第２の負極側配線導体１１ｂ全体の配線インダクタンス（自己インダクタンスと相互インダクタンスの総和、以下同じ)を小さくする。一方、矢印Ｄで示される部分における第１の負極側配線導体１１ａで発生する相互インダクタンスは、第１の負極側配線導体１１ａ全体の配線インダクタンスを大きくする。
【００２５】
また、第１の負極側配線導体１１ａと第２の負極側配線導体１１ｂを対称面７に関して略対称の形状にした場合、負極側外部端子９から負極側配線導体１１及び第２の負極側配線導体１１ｂを介して負極側電極パターン４ｂに至るまでの最短距離が、負極側外部端子９から負極側配線導体１１及び第１の負極側配線導体１１ａを介して負極側電極パターン４ａに至るまでの最短距離より短くなり、自己インダクタンスも小さくなる。
【００２６】
そこで以上の点を考慮し、本発明においては、第２の負極側配線導体１１ｂにおいて、第１の負極側配線導体１１ａより長くなる部分１１ｂ１を設けるように構成したものである。このように構成することにより、第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスが第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスより大きくなり、第１の負極側配線導体１１ａ及び第２の負極側配線導体１１ｂの矢印部分Ａ、Ｄにおいて発生した相互インダクタンスの差を相殺することができる。
【００２７】
これにより負極側外部端子９から対称面７に関して負極側外部端子９と同じ側にあるＩＧＢＴ２ｂまでに至る配線インダクタンスと、負極側外部端子９から対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側にあるＩＧＢＴ２ａまでに至る配線インダクタンスとのバランスをとることができ、対称面７に関して略対称に配置されたＩＧＢＴ２ａ，２ｂに流れる電流を同一にすることができる。
【００２８】
また、第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスを変化させるだけでなく、ボンディングワイヤ１２ｂ及び負極側電極パターン４ｂの自己インダクタンスを、ボンディングワイヤ１２ａ及び負極側電極パターン４ａの自己インダクタンスより大きくすることにより、第１の負極側配線導体１１ａ及び第２の負極側配線導体１１ｂの矢印部分Ａ、Ｄにおいて発生した相互インダクタンスの差を相殺することもできる。
【００２９】
これにより、負極側外部端子９から対称面７に関して負極側外部端子９と同じ側にあるＩＧＢＴ２ｂまでに至る配線インダクタンスと、負極側外部端子９から対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側にあるＩＧＢＴ２ａまでに至る配線インダクタンスとのバランスをとることができる。
【００３０】
次に上記実施の形態の場合に１１b１の長さを具体的にどのような値に設定するかについて以下説明する。図５に示すような細線に電流が流れた場合の相互インダクタンスＭは（1)式のように示される。
M=μ0・l・{ln（2・l/D)−1}/（2・π)  ・・・（1)
また、図６に示すような長さLe、幅w、厚さtを有する自己インダクタンスLは(2)式のように示される。
L=μ0・Le・[ln{2・Le/(w＋t)}＋0.5]/(2・π)  ・・・(2)
【００３１】
次に図７に示すように、第１の負極側配線導体１１ａを流れる電流Ｄと正極側配線導体１０を流れる電流Ｆとの間の相互インダクタンスＭ１及び第２の負極側配線導体１１ｂを流れる電流Ａと負極側配線導体１１を流れる電流Ｃとの間の相互インダクタンスＭ２は、(1)式より、
M1=μ0・l・{ln(2・l/D1)−1}/(2・π)
M2=μ0・l・{ln(2・l/D2)−1}/(2・π)  ・・・(4)
となる。
【００３２】
尚電流Ｅと電流Ｂは大きさが同じで、しかも電流Ｄ及び電流Ａに対し向きが逆であるので、相互インダクタンスの差は相殺されることとなり、考慮する必要はない。又第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスをL1、第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスをL2とすると、図８に示すように、１１ａ側の配線インダクタンスは、L1＋M1、１１ｂ側の配線インダクタンスはL2−M2となる。
【００３３】
１１ｂ側配線のうち、１１ａ側配線より長い部分１１ｂ1の自己インダクタンスをL3とすると、L2−M2=L1＋L3−M2となる。
１１ａ側の配線インダクタンスと１１ｂ側の配線インダクタンスを同じにするためには、L1＋M1=L1＋L3−M2とする必要があり、従ってL3=M1＋M2とする必要がある。
【００３４】
(4)式より、
L3=μ0・l・{ln(2・l/D1)−1}/(2・π)＋μ0・l・{ln(2・l/D2)−1}/(2・π)
=μ0・l・[{ln(2・l/D1)−1}＋{ln(2・l/D2)−1}]/(2・π)  ・・・(5)
また、(2)式より、
L3=μ0・Le・[ln{2・Le/(w＋t)}＋0.5]/(2・π)  ・・・(6)
(5)，(6)式より、
μ0・l・[{ln(2・l/D1)−1}＋{ln(2・l/D2)−1}]/(2・π)=
μ0・Le・[ln{2・Le/(w＋t)}＋0.5]/(2・π)
Le・[ln{2・Le/(w＋t)}＋0.5}]=l・[{ln(2・l/D1)−1}＋{ln(2・l/D2)−1}]となるように１１b１の形態を決定すればよい。
ここで例えば、w=8[mm]，t=1[mm]，l=25[mm]，D1=10[mm]，D2=15[mm]の場合、
Le=13.0[mm]となる。
【００３５】
実施の形態２．
図９はこの発明の実施の形態２による半導体モジュールの内部配線構造を示す斜視図、図１０は配線導体を取り除いた状態を示す平面図である。対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に２個のＩＧＢＴ２ａ１及びＩＧＢＴ２ａ２が設けられるとともに、負極側外部端子９と同じ側に２個のＩＧＢＴ２ｂ１及びＩＧＢＴ２ｂ２が配置される。
【００３６】
実施の形態１の場合と同様第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスが第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスより大きくなるように、第２の負極側配線導体１１ｂの長さは第１の負極側配線導体１１ａの長さより長くなるように構成される。即ち図９に示すように、第２の負極側配線導体１１ｂの先端部を折り曲げて構成することにより、第２の負極側配線導体１１ｂの長さを第１の負極側配線導体１１ａの長さより長くなるようにしたものである。
【００３７】
また、図１０で示すように、第１の負極側配線導体１１ａと負極側電極パターン４ａとの接続点２１ａは、ＩＧＢＴ２ａ１とＩＧＢＴ２ａ２から等しい距離に配置されるとともに、第２の負極側配線導体１１ｂと負極側電極パターン４ｂの接続点２１ｂもＩＧＢＴ２ｂ１とＩＧＢＴ２ｂ２から等しい距離に配置される。これにより各ＩＧＢＴに至るまでの自己インダクタンスが等しくなるので、流れる電流も等しくなる。
【００３８】
以上のように構成することにより、実施の形態１の場合と同様、負極側外部端子９からＩＧＢＴ２ｂまでの配線インダクタンスと、負極側外部端子９からＩＧＢＴ２ａまでの配線インダクタンスを同じにすることができ、対称面７に対し対称に配置されたＩＧＢＴ２ａとＩＧＢＴ２ｂに流れる電流を同じにすることができる。本実施形態においては、さらにＩＧＢＴ２ａ１とＩＧＢＴ２ａ２に流れる電流を同じにするとともに、ＩＧＢＴ２ｂ１とＩＧＢＴ２ｂ２に流れる電流を同じにすることができる。
【００３９】
次に上記のように形成した第２の負極側配線導体１１ｂの長さを具体的にどのように設定するかについて以下説明する。
図１１に示すように、導体を折り返し構造とした場合、自己インダクタンスＬは
L=μ0・Le・d/wとなる。
従って図８に示したL3は
L3=μ0・Le・d/w  ・・・(7)となる。
【００４０】
(5)，(7)式より、
μ0・l・[{ln(2・l/D1)−1}＋{ln(2・l/D2)−1}]/(2・π)=μ0・Le・d/w
Le・d/w=l・[{ln(2・l/D1)−1}＋{ln(2・l/D2)−1}]/(2・π)
Le=w・l・[{ln(2・l/D1)−1}＋{ln(2・l/D2)−1}]/(2・π・d)
ここで例えば、w=8[mm]，d=3[mm]，l=25[mm]，D1=10[mm]，D2=15[mm]の場合、
Le=8.6[mm]となる。
【００４１】
実施の形態３．
図１２はこの発明の実施の形態３による半導体モジュールの内部配線構造を示す斜視図、図１３は同じく平面図である。負極側配線導体１１は、分岐点１３において、対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に位置する第１の負極側配線導体１１ａと、負極側外部端子９と同じ側に位置する第２の負極側配線導体１１ｂとの２方向に分岐する。
【００４２】
そして第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスが第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスより大きくなるように、第２の負極側配線導体１１ｂの導体幅は第１の負極側配線導体１１ａの導体幅より小さくなるように構成される。
【００４３】
図１３において、正極側電極パターン３ａ，３ｂからＩＧＢＴ２ａ，２ｂ内を流れた電流は、ＩＧＢＴ２ａ，２ｂに設けられたエミッタ電極からボンディングワイヤ１２ａ，１２ｂ、負極側電極パターン４ａ，４ｂ、負極側配線導体１１ａ，１１ｂ，１１を介して負極側外部端子９に至る。
【００４４】
矢印Ａで示される第２の負極側配線導体１１ｂを流れる電流の向きは、矢印Ｂで示される第２の正極側配線導体１０ｂを流れる電流の向き、及び矢印Ｃで示される負極側配線導体１１を流れる電流の向きとは逆方向であり、互いの磁束を相殺する方向に流れる。
【００４５】
一方矢印Ｄで示される第１の負極側配線導体１１ａを流れる電流に関しては、矢印Ｅで示される第１の正極側配線導体１０ａを流れる電流の向きと、矢印Ｆで示される正極側配線導体１０を流れる電流の向きが逆であるので、この部分で磁束は相殺される方向に働くが、矢印Ｆの電流は矢印Ｅより大きいので、矢印Ｆの電流による磁束のほうが大きく、従って第１の負極側配線導体１１ａ部分の磁束は増える方向に働く。
【００４６】
このため、矢印Ａで示される部分における第２の負極側配線導体１１ｂで発生する相互インダクタンスは、第２の負極側配線導体１１ｂ全体の配線インダクタンスを小さくする。一方、矢印Ｄで示される部分における第１の負極側配線導体１１ａで発生する相互インダクタンスは、第１の負極側配線導体１１ａ全体の配線インダクタンスを大きくする。
【００４７】
また、第１の負極側配線導体１１ａと第２の負極側配線導体１１ｂを対称面７に関して略対称の形状にした場合、負極側外部端子９から負極側配線導体１１及び第２の負極側配線導体１１ｂを介して負極側電極パターン４ｂに至るまでの最短距離が、負極側外部端子９から負極側配線導体１１及び第１の負極側配線導体１１ａを介して負極側電極パターン４ａに至るまでの最短距離より短くなり、自己インダクタンスも小さくなる。
【００４８】
そこで以上の点を考慮し、本実施形態においては、第２の負極側配線導体１１ｂの導体幅が第１の負極側配線導体１１ａの導体幅より小さくなるようにして、第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスを第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスよりも大きくなるようにする。
【００４９】
このように構成することにより、第２の負極側配線導体１１ｂの自己インダクタンスが第１の負極側配線導体１１ａの自己インダクタンスより大きくなり、第１の負極側配線導体１１ａ及び第２の負極側配線導体１１ｂの矢印部分Ａ、Ｄにおいて発生した相互インダクタンスの差を相殺することができる。
【００５０】
これにより負極側外部端子９から対称面７に関して負極側外部端子９と同じ側にあるＩＧＢＴ２ｂまでに至る配線インダクタンスと、負極側外部端子９から対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側にあるＩＧＢＴ２ａまでに至る配線インダクタンスとのバランスをとることができ、対称面７に関して略対称に配置されたＩＧＢＴ２ａ，２ｂに流れる電流を同一にすることができる。
【００５１】
次に上記のように形成した導体の幅を具体的にどのような値に設定するかについて以下説明する。第１の負極側配線導体１１ａの導体幅をw1、第２の負極側配線導体１１ｂの導体幅をw2としたとき、(2)式より
L1=μ0・Le・[ln{2・Le/(w1＋t)}＋0.5]/(2・π)，
L2=μ0・Le・[ln{2・Le/(w2＋t)}＋0.5]/(2・π)
図８に示すように、L1＋M1=L2−M2であるから
μ0・Le・[ln{2・Le/(w1＋t)}＋0.5]/(2・π)＋μ0・l・{ln(2・l/D1)−1}/(2・π)=
μ0・Le・[ln{2・Le/(w2＋t)}＋0.5]/(2・π)−μ0・l・{ln(2・l/D2)−1}/(2・π)
【００５２】
Le・[ln{2・Le/(w1＋t)}＋0.5]＋l・{ln(2・l/D1)−1}=
Le・[ln{2・Le/(w2＋t)}＋0.5]−l・{ln(2・l/D2)−1}
Le・[ln{2・Le/(w1＋t)}−ln{2・Le/(w2＋t)}]=
−l・{ln(2・l/D1)−1＋ln(2・l/D2)−1}
Le・ln{(w2＋t)/(w1＋t)}=−l・[ln{4・l^2/(D1・D2)}−2]
(w2＋t)/(w1＋t)=exp(−l・[ln{4・l^2/(D1・D2)}−2]/Le)
w2=(w1＋t)・exp(−l・[ln{4・l^2/(D1・D2)}−2]/Le)−t
ここで例えば、Le=40[mm]，t=1[mm]，l=25[mm]，D1=10[mm]，D2=15[mm]，
w1=10[mm]の場合、
w2=5.6[mm]となる。
【００５３】
実施の形態４．
図１４はこの発明の実施の形態４による半導体モジュールの内部配線構造を示す斜視図、図１５は平面図、図１６は図１５におけるＧ−Ｇ線断面図、図１７は図１５におけるＨ−Ｈ線断面図、図１８は正極側配線導体１０，１０ａ，１０ｂを示す斜視図、図１９は負極側配線導体１１，１１ａ，１１ｂを示す斜視図である。
【００５４】
図において、正極側配線導体１０は、対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に位置する第１の正極側配線導体１０ａと、負極側外部端子９と同じ側に位置する第２の正極側配線導体１０ｂの２方向に分岐する。
【００５５】
同様に、負極側配線導体１１は、分岐点１３において、対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に位置する第１の負極側配線導体１１ａと、負極側外部端子９と同じ側に位置する第２の負極側配線導体１１ｂの２方向に分岐する。
【００５６】
第１の負極側配線導体１１ａと第２の負極側配線導体１１ｂは対称面７に関して略対称になるように配置される。正極側配線導体１０，１０ａ，１０ｂと負極側配線導体１１，１１ａ，１１ｂは、一定の絶縁距離を隔てて配置されるとともに、正極側配線導体１０，１０ａ，１０ｂに流れる電流の向きは負極側配線導体１１，１１ａ，１１ｂに流れる電流の向きと逆である。
【００５７】
また、図１６、図１７に示すように、第２の正極側配線導体１０ｂと第２の負極側配線導体１１ｂの間に発生する相互インダクタンスが第１の正極側配線導体１０ａと第１の負極側配線導体１１ａの間に発生する相互インダクタンスより小さくなるように、第２の正極側配線導体１０ｂと第２の負極側配線導体１１ｂの間の距離は第１の正極側配線導体１０ａと第１の負極側配線導体１１ａの間の距離より大きく構成される。
【００５８】
図１５において、正極側電極パターン３ａ、３ｂからＩＧＢＴ２ａ，２ｂに流れた電流は、ＩＧＢＴ２ａ，２ｂに設けられたエミッタ電極からボンディングワイヤ１２ａ，１２ｂ、負極側電極パターン４ａ，４ｂ、負極側配線導体１１ａ，１１ｂ，１１を介して負極側外部端子９に至る。
【００５９】
矢印Ａで示される第２の負極側配線導体１１ｂを流れる電流の向きは、矢印Ｃで示される負極側配線導体１１を流れる電流の向きとは逆方向であり、互いの磁束を相殺する方向に流れる。一方矢印Ｄで示される第１の負極側配線導体１１ａを流れる電流の向きは、矢印Ｆで示される正極側配線導体１０の向きとは同方向である。
【００６０】
このため、矢印Ａで示される部分における第２の負極側配線導体１１ｂで発生する相互インダクタンスは、第２の負極側配線導体１１ｂ全体の配線インダクタンスを小さくする。一方、矢印Ｄで示される部分における第１の負極側配線導体１１ａで発生する相互インダクタンスは、第１の負極側配線導体１１ａ全体の配線インダクタンスを大きくする。
【００６１】
また、負極側外部端子９から負極側配線導体１１及び第２の負極側配線導体１１ｂを介して負極側電極パターン４ｂに至るまでの最短距離が、負極側外部端子９から負極側配線導体１１及び第１の負極側配線導体１１ａを介して負極側電極パターン４ａに至るまでの最短距離より短くなるので、自己インダクタンスも小さくなる。
【００６２】
一方、図１６、図１７に示すように、第１の正極側配線導体１０ａを流れる電流の向きは第１の負極側配線導体１１ａを流れる電流の向きとは逆方向であり、更に第２の正極側配線導体１０ｂを流れる電流の向きは、第２の負極側配線導体１１ｂを流れる電流の向きとは逆方向であるので、それぞれ互いの磁束を相殺する方向に電流が流れることとなる。
【００６３】
従って両者の間に発生する相互インダクタンスは、配線インダクタンス全体の値を小さくする方向に働く。このため、本実施形態においては、図１６、図１７に示すように、第２の正極側配線導体１０ｂと第２の負極側配線導体１１ｂ間の距離を第１の正極側配線導体１０ａと第１の負極側配線導体１１ａ間の距離より大きくすることにより、第２の正極側配線導体１０ｂと第２の負極側配線導体１１ｂの間に発生する相互インダクタンスを第１の正極側配線導体１０ａと第１の負極側配線導体１１ａの間に発生する相互インダクタンスより小さくするものである。
【００６４】
これにより第１の負極側配線導体１１ａ及び第２の負極側配線導体１１ｂの矢印部分Ａ、Ｄにおいて発生した相互インダクタンスの差を相殺することができるとともに、負極側外部端子９から負極側電極パターン４ａに至るまでの自己インダクタンスと、負極側外部端子９から負極側電極パターン４ｂに至るまでの自己インダクタンスとの差を相殺することができる。
【００６５】
これにより負極側外部端子９から対称面７に関して負極側外部端子９と同じ側に位置するＩＧＢＴ２ｂまでに至る配線インダクタンスと、負極側外部端子９から対称面７に関して正極側外部端子８と同じ側に位置するＩＧＢＴ２ｂまでに至る配線インダクタンスとのバランスをとることができ、対称面７に関して略対称に配置されたＩＧＢＴ２ａ，２ｂに流れる電流を同一にすることができる。
【００６６】
上記のように本実施形態によれば、第２の負極側配線導体１１ｂと第２の正極側配線導体１０ｂとの間隔が、第１の負極側配線導体１１ａと第１の正極側配線導体１０ａとの間隔よりも大きくなるようにしたものである。
【００６７】
次に第２の正極側配線導体１０ｂと第２の負極側配線導体１１ｂの間の距離ｄ2及び第１の正極側配線導体１０ａと第１の負極側配線導体１１ａの間の距離ｄ1を具体的にどのような値に設定するかについて以下説明する。
【００６８】
第１の負極側配線導体１１ａ側における第１の正極側配線導体１０ａとの相互インダクタンスも含めた自己インダクタンスをＬ1、第２の負極側配線導体１１ｂ側における第２の正極側配線導体１０ｂとの相互インダクタンスも含めた自己インダクタンスをＬ2とすると、図１１に示したモデルにより、L1=μ0・Le・d1/w，  L2=μ0・Le・d2/wとなる。
【００６９】
図８に示すように、L1＋M1=L2−M2であるから、
μ0・Le・d1/w＋μ0・l・{ln(2・l/D1)−1}/(2・π)
=μ0・Le・d2/w−μ0・l・{ln(2・l/D2)−1}/(2・π)
Le・(d1−d2)/w=−l・{ln(2・l/D1)＋ln(2・l/D2)−2}/(2・π)
Le・(d1−d2)/w=−l・[ln{4・l^2/(D1・D2)}−2]/(2・π)
d2−d1=w・l・[ln{(4・l^2/(D1・D2)}−2]/(2・π・Le)
ここで例えば、Le=40[mm]，l=25[mm]，w=8[mm]，D1=10[mm]，D2=15[mm]の場合、
d2−d1=0.65[mm]  となる。
【００７０】
尚上記実施の形態１〜４において、正極と負極とを逆になるように構成しても良い。即ち正極側電極パターン３ａ、３ｂ、正極側外部端子８，正極側配線導体１０を負極になるよう構成するとともに、負極側電極パターン４ａ、４ｂ、負極側外部端子９，負極側配線導体１１を正極になるよう構成して、電流の向きが逆になるように構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】この発明の実施の形態１による半導体モジュールを示す斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１による半導体モジュールを示す平面図である。
【図３】正極側配線導体を示す斜視図である。
【図４】負極側配線導体を示す斜視図である。
【図５】配線状態を示す側面図である。
【図６】導体を示す斜視図である。
【図７】配線状態を示す概念図である。
【図８】配線状態を示す概念図である。
【図９】この発明の実施の形態２による半導体モジュールを示す斜視図である。
【図１０】この発明の実施の形態２による半導体モジュールを示す平面図である。
【図１１】導体を示す斜視図である。
【図１２】この発明の実施の形態３による半導体モジュールを示す斜視図である。
【図１３】この発明の実施の形態３による半導体モジュールを示す平面図である。
【図１４】この発明の実施の形態４による半導体モジュールを示す斜視図である。
【図１５】この発明の実施の形態４による半導体モジュールを示す平面図である。
【図１６】図１５におけるＧ―Ｇ線断面図である。
【図１７】図１５におけるＨ―Ｈ線断面図である。
【図１８】正極側配線導体を示す斜視図である。
【図１９】負極側配線導体を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  半導体モジュール、３ａ，３ｂ  正極側電極パターン、６  ベース板、
８  正極側外部端子、９  負極側外部端子、１０，１０ａ，１０ｂ  正極側配線導体、
１１，１１ａ，１１ｂ  負極側配線導体。
【図１】
2008091809.tif 000003
【図２】
2008091809.tif 000004
【図３】
2008091809.tif 000005
【図４】
2008091809.tif 000006
【図５】
2008091809.tif 000007
【図６】
2008091809.tif 000008
【図７】
2008091809.tif 000009
【図８】
2008091809.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2008091809.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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