(57)【要約】【課題】プローブに設けられた電気的に独立して機能する複数の接触部とピンとの導通を容易かつ安定して得られる検査用プローブ及び検査用治具を提供する。【解決手段】この検査用プローブ１１は、被検査基板６に立設されたピン７と独立した複数の接点で導通をとるためのものであり、ピン７の進入軌道Ｅ上に設けられ、ピン７の先端と当接して導通する中央当接体２３と、中央当接体２３と電気的に独立して機能するように進入軌道Ｅの周りに設けられ、弾性的に変位しつつピン７の側面に摺接して導通する複数の摺接片２２とを備えている。中央当接体２３は、摺接片２２間を押し広げた初期位置から、ピン７の先端によって進入軌道Ｅ下流側に変位されるのに伴って、押し広げていた摺接片２２を開放するとともに摺接片２２と離反する一方、ピン７が抜去されるのに伴ってコイルバネ２４の付勢力により前記初期位置に復帰する。【選択図】図１
2008111720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板に立設され、その被検査基板に設けられた配線パターンと電気的に接続されたピンと導通をとり、配線パターンの電気的特性に関する検査を行うための検査用プローブであって、
前記ピンの進入軌道上に設けられ、前記ピンの先端と当接して導通する当接部と、
前記当接部と電気的に独立して機能するように前記進入軌道の周りに設けられ、進入してきた前記ピンにより前記進入軌道から離れる方向に弾性的に変位されつつ、前記ピンの側面に摺接して導通する少なくとも１つの摺接片と、
を備えることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項２】
請求項１に記載の検査用プローブであって、
前記少なくとも１つの摺接片は、前記進入軌道の周りに周方向に間隔をあけて設けられた複数の摺接片であることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項３】
請求項２に記載の検査用プローブにおいて、
前記当接部が前記進入軌道に沿って変位可能となっており、
前記検査用プローブは、前記当接部を前記進入軌道上流側に向けて付勢する付勢手段をさらに備え、
前記当接部は、前記摺接片を前記進入軌道から離反する方向に押しやり前記摺接片間を押し広げた初期位置から、前記摺接片の間に進入してきた前記ピンの先端によって前記付勢手段の付勢力に抗して前記進入軌道下流側に変位されるのに伴って押し広げていた前記摺接片を開放するとともに前記摺接片から離反する一方、前記ピンが後退されるのに伴って前記付勢手段の付勢力により前記初期位置に復帰することを特徴とする検査用プローブ。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の検査用プローブにおいて、
前記少なくとも１つの摺接片及び前記当接部のいずれか一方は、前記ピンに対する電流供給を行う電流供給用接触子として用いられ、その他方は、前記ピンの電位を計測するための電位計測用接触子として用いられることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項５】
被検査基板に立設され、その被検査基板に設けられた配線パターンと電気的に接続されたピンと導通をとり、配線パターンの電気的特性に関する検査を行うための検査用プローブであって、
互いに電気的に独立して機能するように前記ピンの進入軌道の周り間隔をあけて設けられ、進入してきた前記ピンにより互いに離反する方向に弾性的に変位されつつ、前記ピンの側面に摺接して導通する複数の摺接片を備えることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項６】
請求項５に記載の検査用プローブにおいて、
前記進入軌道に沿って変位可能とされた絶縁体と、
前記絶縁体を前記進入軌道上流側に向けて付勢する付勢手段と、をさらに備え、
前記絶縁体は、前記摺接片を前記進入軌道から離反する方向に押しやり前記摺接片間を押し広げた初期位置から、前記摺接片の間に進入してきた前記ピンの先端によって前記付勢手段の付勢力に抗して前記進入軌道下流側に変位されるのに伴って押し広げていた前記摺接片を開放する一方、前記ピンが後退されるのに伴って前記付勢手段の付勢力により前記初期位置に復帰することを特徴とする検査用プローブ。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載の検査用プローブにおいて、
前記複数の摺接片のうちの少なくともいずれか１つは、前記ピンに対する電流供給を行う電流供給用接触子として用いられ、その残りは、前記ピンの電位を計測するための電位計測用接触子として用いられることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の検査用プローブにおいて、
前記摺接片は、その基端部から前記ピンに摺接する先端側にいくにしたがって前記進入軌道に徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が前記進入軌道上流側を向くように延設されていることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の検査用プローブにおいて、
前記ピンを受け入れる内部空洞を有する導電性の側面接触子本体をさらに備え、
前記摺接片は、前記側面接触子本体の前記内部空洞内に設けられ、前記側面接触子本体に結合されたその基端部から前記ピンに摺接する先端側にいくにしたがって前記進入軌道に徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が前記進入軌道下流側を向くように延設されていることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の検査用プローブと、
前記検査用プローブを保持する保持体と、
を備えることを特徴とする検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板に立設されたピンと導通をとるための検査用プローブ及び検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板検査手法として、電流供給用の接触子と電圧計測用の接触子の２つの接触子を設け、その２つの接触子を検査点に同時に接触させて配線パターンの検査を行う手法（いわゆる４接点法）がある（例えば、特許文献１）。この４接点法では、電流供給用接触子と電圧計測用接触子とを分離したことで、電圧計測用接触子と検査点との間に流れる電流が実質的に無視できる程度に抑えられるため、電圧計測用接触子と検査点との接触抵抗の影響を実質的に除外して、電圧計測用接触子が接触する２箇所の検査点間の電圧が正確に計測できるようになっている。
【特許文献１】特開２００４−１８４３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のような４接点法では、被検査基板に設けられたランド部等が検査点として設定されている場合には２接点タイプのプローブを容易に検査点に接触させて導通をとることが可能である。しかし、被検査基板に立設されたピンが検査点として設定されている場合には、如何にピンとプローブとの間で２接点での導通を得るかが課題となっている。
【０００４】
例えば、図１１に示すように、ピン１の先端に２つのプローブピン２，３を当接させて導通をとるようにしたものが提案されている。しかし、この提案技術では、ピン１の先端は当接可能な面積が小さいとともに、ピン１の垂直度合いのバタツキや、プローブピン２，３のブレ等のために、プローブピン２，３をピン１の先端に確実に当接させるのは困難であり、プローブピン２，３とピン１との接触状態も不安定になりやすい。それ故、プローブピン２，３とピン１との安定した導通が得られにくい。
【０００５】
そこで、本発明の解決すべき課題は、プローブに設けられた電気的に独立して機能する複数の接触部とピンとの導通を容易かつ安定して得られる検査用プローブ及び検査用治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明では、被検査基板に立設され、その被検査基板に設けられた配線パターンと電気的に接続されたピンと導通をとり、配線パターンの電気的特性に関する検査を行うための検査用プローブであって、前記ピンの進入軌道上に設けられ、前記ピンの先端と当接して導通する当接部と、前記当接部と電気的に独立して機能するように前記進入軌道の周りに設けられ、進入してきた前記ピンにより前記進入軌道から離れる方向に弾性的に変位されつつ、前記ピンの側面に摺接して導通する少なくとも１つの摺接片とを備える。
【０００７】
また、請求項２の発明では、請求項１の発明に係る検査用プローブであって、前記少なくとも１つの摺接片は、前記進入軌道の周りに周方向に間隔をあけて設けられた複数の摺接片である。
【０００８】
また、請求項３の発明では、請求項２の発明に係る検査用プローブにおいて、前記当接部が前記進入軌道に沿って変位可能となっており、前記検査用プローブは、前記当接部を前記進入軌道上流側に向けて付勢する付勢手段をさらに備え、前記当接部は、前記摺接片を前記進入軌道から離反する方向に押しやり前記摺接片間を押し広げた初期位置から、前記摺接片の間に進入してきた前記ピンの先端によって前記付勢手段の付勢力に抗して前記進入軌道下流側に変位されるのに伴って押し広げていた前記摺接片を開放するとともに前記摺接片から離反する一方、前記ピンが後退されるのに伴って前記付勢手段の付勢力により前記初期位置に復帰する。
【０００９】
また、請求項４の発明では、請求項１ないし請求項３のいずれかの発明に係る検査用プローブにおいて、前記少なくとも１つの摺接片及び前記当接部のいずれか一方は、前記ピンに対する電流供給を行う電流供給用接触子として用いられ、その他方は、前記ピンの電位を計測するための電位計測用接触子として用いられる。
【００１０】
また、請求項５の発明では、被検査基板に立設され、その被検査基板に設けられた配線パターンと電気的に接続されたピンと導通をとり、配線パターンの電気的特性に関する検査を行うための検査用プローブであって、互いに電気的に独立して機能するように前記ピンの進入軌道の周り間隔をあけて設けられ、進入してきた前記ピンにより互いに離反する方向に弾性的に変位されつつ、前記ピンの側面に摺接して導通する複数の摺接片を備える。
【００１１】
また、請求項６の発明では、請求項５の発明に係る検査用プローブにおいて、前記進入軌道に沿って変位可能とされた絶縁体と、前記絶縁体を前記進入軌道上流側に向けて付勢する付勢手段とをさらに備え、前記絶縁体は、前記摺接片を前記進入軌道から離反する方向に押しやり前記摺接片間を押し広げた初期位置から、前記摺接片の間に進入してきた前記ピンの先端によって前記付勢手段の付勢力に抗して前記進入軌道下流側に変位されるのに伴って押し広げていた前記摺接片を開放する一方、前記ピンが後退されるのに伴って前記付勢手段の付勢力により前記初期位置に復帰する。
【００１２】
また、請求項７の発明では、請求項５又は請求項６の発明に係る検査用プローブにおいて、前記複数の摺接片のうちの少なくともいずれか１つは、前記ピンに対する電流供給を行う電流供給用接触子として用いられ、その残りは、前記ピンの電位を計測するための電位計測用接触子として用いられる。
【００１３】
また、請求項８の発明では、請求項１ないし請求項７のいずれかの発明に係る検査用プローブにおいて、前記摺接片は、その基端部から前記ピンに摺接する先端側にいくにしたがって前記進入軌道に徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が前記進入軌道上流側を向くように延設されている。
【００１４】
また、請求項９の発明では、請求項１ないし請求項７のいずれかの発明に係る検査用プローブにおいて、前記ピンを受け入れる内部空洞を有する導電性の側面接触子本体をさらに備え、前記摺接片は、前記側面接触子本体の前記内部空洞内に設けられ、前記側面接触子本体に結合されたその基端部から前記ピンに摺接する先端側にいくにしたがって前記進入軌道に徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が前記進入軌道下流側を向くように延設されている。
【００１５】
また、請求項１０の発明では、請求項１ないし請求項９のいずれかの発明に係る検査用プローブと、前記検査用プローブを保持する保持体とを備える。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、ピンの進入に伴って、その進入軌道上に設けられた当接部がピンの先端と当接して導通するとともに、進入軌道の周りに設けられた少なくとも１つの摺接片がピンによって進入軌道から離れる方向に弾性的に変位されつつ、ピンの側面に摺接して導通するようになっている。それ故、前述の図１１の構成のように複数の接触子をピンの先端に接触させて導通をとる構成に比して、検査用プローブの電気的に独立した複数の接触部とピンとの導通を容易かつ安定して得ることができる。
【００１７】
また、摺接片がピンの側面に摺接したときに、摺接片とピンとの摺接面に存在する酸化膜や異物等が除去されるため、摺接片とピンとの安定した導通が得られる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、仮にピンの中心軸と検査用プローブの中心軸とにズレが生じている場合であっても、ピンに複数の摺接片が周囲から挟み込むようにして（あるいは囲い込むようにして）摺接することより、複数の摺接片が確実にピンに接触されるとともに、ピンの先端が当接部に導かれて当接されるようになっている。それ故、ピンと検査用プローブとの位置ズレや、ピン及び検査用プローブの垂直度合いのバラツキに対する許容範囲を拡大することができ、この点からも検査用プローブとピンとの導通を容易かつ安定して得ることができるようになっている。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、ピンが検査用プローブに進入する前の当接部が初期位置にある状態では、当接部が摺接片を進入軌道から離反する方向に押しやり摺接片間を押し広げているため、ピンを摺接片間に導くためのピンと検査用プローブとの位置ズレの許容範囲を拡大することができる。
【００２０】
また、当接部が、ピンの後退に伴って付勢手段の付勢力により初期位置に自律復帰するため、当接部を復帰させるための特別な作業や工程が必要ない。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、検査用プローブの電気的に独立して機能する摺接片と当接部とを用いて、検査点としてピンが設定された被検査基板に対するいわゆる４接点法による検査を安定して行うことができる。
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、ピンの進入に伴って、進入軌道の周りに設けられた複数の摺接片がピンによって進入軌道から離れる方向に弾性的に変位されつつ、ピンの側面に摺接して導通するようになっている。それ故、前述の図１１の構成のように複数の接触子をピンの先端に接触させて導通をとる構成に比して、検査用プローブの電気的に独立した複数の接触部とピンとの導通を容易かつ安定して得ることができる。
【００２３】
また、仮にピンの中心軸と検査用プローブの中心軸とにズレが生じている場合であっても、ピンに複数の摺接片が周囲から挟み込むようにして（あるいは囲い込むようにして）摺接することより、複数の摺接片が確実にピンに接触されるようになっている。それ故、ピンと検査用プローブとの位置ズレや、ピン及び検査用プローブの垂直度合いのバラツキに対する許容範囲を拡大することができ、この点からも検査用プローブとピンとの導通を容易かつ安定して得ることができるようになっている。
【００２４】
また、摺接片がピンの側面に摺接したときに、摺接片とピンとの摺接面に存在する酸化膜や異物等が除去されるため、摺接片とピンとの安定した導通が得られる。
【００２５】
請求項６に記載の発明によれば、ピンが検査用プローブに進入する前の絶縁体が初期位置にある状態では、絶縁体が摺接片を進入軌道から離反する方向に押しやり摺接片間を押し広げているため、ピンを摺接片間に導くためのピンと検査用プローブとの位置ズレの許容範囲を拡大することができる。
【００２６】
また、絶縁体が、ピンの後退に伴って付勢手段の付勢力により初期位置に自律復帰するため、絶縁体を復帰させるための特別な作業や工程が必要ない。
【００２７】
請求項７に記載の発明によれば、検査用プローブの電気的に独立して機能する複数の摺接片を用いて、検査点としてピンが設定された被検査基板に対するいわゆる４接点法による検査を安定して行うことができる。
【００２８】
請求項８に記載の発明によれば、摺接片の撓み弾性を有効に発揮させつつ、進入してきたピンの側面に摺接片を適度な押圧力で摺接させることができる。
【００２９】
請求項９に記載の発明によれば、摺接片の撓み弾性を有効に発揮させつつ、進入してきたピンの側面に摺接片を適度な押圧力で摺接させることができる。
【００３０】
また、摺接片を、その先端側が進入軌道下流側に向き、徐々に進入軌道に近接していくように設けたことにより、摺接片によりピンを適正な位置に案内する能力をより向上させることができ、ピンと検査用プローブとの位置ズレに対する許容範囲をさらに拡大することができる。
【００３１】
請求項１０に記載の発明によれば、検査用プローブの電気的に独立した複数の接触部とピンとの導通を容易かつ安定して得ることができる検査用治具を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る検査用プローブ及び被検査基板の構成を示す図であり、図２は図１の検査用プローブが備えられた検査用治具の側面図であり、図３（ａ）、図３（ｂ）及び図３（ｃ）は、図１の検査用プローブの側面図、平面図及び断面図（図３（ｂ）のＡ−Ａ線に沿った断面図）である。
【００３３】
まず、本実施形態に係る検査用プローブ１１に関する全体的な説明を行う。この検査用プローブ１１は、図１に示すように、被検査基板６に立設されたピン７と導通をとるために用いられる。ピン７は、被検査基板６に設けられた配線パターン（図示省略）と電気的に接続されており、検査用プローブ１１をピン７に導通さて、ピン７を介して配線パターンの電気的特性に関する検査が行われる。
【００３４】
より詳細には、この検査用プローブ１１は、電気的に独立して機能する複数の接触部が設けられ、ピン７との間で電流供給用の接触部と電圧計測用の接触部とを形成できるようになっており、いわゆる４接点法による検査に適した構成を有している。具体的には、検査用プローブ１１に設けられる後述する中央当接体２３と、４つの摺接片２２とのいずれか一方が電流供給用の接触部として機能し、他方が電圧計測用の接触部として機能するようになっている。
【００３５】
そして、このような検査用プローブ１１は、図２に示すように、被検査基板６に立設されたピン７の配置形態に対応した配置形態で保持体１２に立設され、保持体１２と共に検査用治具１３を構成している。そして、基板検査用治具１３を図示しない所定の駆動機構により被検査基板６に対して図１の矢印Ｄ１,Ｄ２で示す如く近接、離反させることにより、各検査用プローブ１１を対応するピン７に嵌合、嵌合解除させる。なお、各検査用プローブ１１には、電流供給用及び電圧計測用の複数（例えば、２つ）の導線１４が接続される。
【００３６】
次に、検査用プローブ１１の構成について詳細に説明する。この検査用プローブ１１は、図３（ａ）ないし図３（ｃ）に示すように、略筒形の側面接触子本体２１と、その側面接触子本体２１からピン７の進入軌道Ｅ上流側（図１の矢印Ｄ１の方向）に延設された少なくとも１つ（本実施形態では４つ）の摺接片２２と、摺接片２２により囲まれるようにして設けられた当接部としての中央当接体２３と、付勢手段としてのコイルバネ２４と、軸部材２５と、絶縁部材２６とを備えて構成されている。なお、本実施形態では４つの摺接片２２を設ける構成としたが、少なくとも１つ備えられておればよく、２つでも、３つでも４つ以上でも構わない。
【００３７】
側面接触子本体２１は、略筒形（例えば、円筒形）を有する金属製の部材であり、摺接片２２等の基台として機能している。この側面接触子本体２１内の中心部には軸部材２５が配置される。この軸部材２５は、金属等により形成されて導電性を有しており、中央当接体２３をピン７の進入軌道Ｅに沿って変位可能に支持する役割と、中央当接体２３と導線１４との間の導電路としての役割とを担っている。軸部材２５と側面接触子本体２１との間には樹脂等からなる絶縁材２６が介挿され、これによって軸部材２５と側面接触子本体２１とが電気的に絶縁されている。なお、ピン７の理想的な進入軌道Ｅは、この検査用プローブ１１の中心軸と一致するように設定されている。
【００３８】
摺接片２２は、略板バネ状の弾性を有する略片持ち梁状に形成され、進入軌道Ｅの周りに周方向に間隔をあけて（例えば、周方向において等間隔に）配置されている。そして、摺接片２２は、本体２１との結合部であるその基端部２２ａからピン７に摺接する先端側にいくにしたがって進入軌道Ｅに徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が進入軌道Ｅ上流側を向くように延設されている。また、摺接片２２のピン７を受け入れる先端部２２ｂは、ピン７の受け入れが容易なように進入軌道Ｅから離反する方向に湾曲されている。
【００３９】
このため、摺接片２２は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、挿入されたピン７により互いに離反する方向に弾性的に変位されつつ、ピン７の側面に摺接して導通するようになっている。
【００４０】
軸部材２５の先端部２５ａは摺接片２２の間に突き出すように配置され、中央当接体２３を支持している。中央当接体２３は、金属等の導電材料により形成され、進入軌道Ｅ下流側に開口する穴部２３ａを有している。そして、その穴部２３ａ内に軸部材２５の先端部２５ａが摺動可能な状態で挿入されることにより、中央当接体２３が軸部材２５によって進入軌道Ｅに沿って変位可能に支持されている。
【００４１】
コイルバネ２４は、軸部材２５の先端部２５ａに外挿されて中央当接体２３の進入軌道Ｅ下流側に配置されおり、中央当接体２３に対して進入軌道Ｅ上流側に付勢力を与えるようになっている。そして、中央当接体２３は、摺接片２２を進入軌道Ｅから離反する方向に押しやり摺接片２２間を押し広げた初期位置（図３（ａ）〜図３（ｃ）に示す位置）から、摺接片２２の間に挿入されたピン７の先端によってコイルバネ２４の付勢力に抗して進入軌道Ｅ下流側に変位されるのに伴って、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように押し広げていた摺接片２２を開放するとともに摺接片２２と離反する一方、ピン７が抜去されるのに伴ってコイルバネ２４の付勢力により前記初期位置に復帰する。
【００４２】
このような構成により、仮にピン７の中心軸と検査用プローブ１１の中心軸とにズレが生じている場合であっても、ピン７に摺接片２２が周囲から挟み込むようにして（あるいは囲い込むようにして）摺接することより、摺接片２２が確実にピン７に接触されるとともに、ピン７の先端が中央当接体２３に導かれて当接される。それ故、前述の図１１の構成のように複数の接触子をピンの先端に接触させて導通をとる構成に比して、検査用プローブ１１の電気的に独立した複数の接触部（中央当接体２３、摺接片２２）とピン７との導通を容易かつ安定して得ることができる。
【００４３】
また、ピン７に摺接片２２が周囲から挟み込むようにして（あるいは囲い込むようにして）摺接する構成のため、ピン７と検査用プローブ１１との位置ズレや、ピン７及び検査用プローブ１１の垂直度合いのバラツキに対する許容範囲を大きく設定することができる。
【００４４】
また、摺接片２２がピン７の側面に摺接したときに、摺接片２２とピン７との摺接面に存在する酸化膜や異物等が除去されるため、摺接片２２とピン７との安定した導通が得られる。
【００４５】
また、ピン７が検査用プローブ１１に挿入される前の中央当接体２３が前記初期位置にある状態では、中央当接体２３が摺接片２２を進入軌道Ｅから離反する方向に押しやり摺接片２２間を押し広げているため、ピン７を摺接片２２間に導くためのピン７と検査用プローブ１１との位置ズレの許容範囲がより拡大されるようになっている。
【００４６】
また、中央当接体２３が、ピン７の抜去に伴ってコイルバネ２４の付勢力により前記初期位置に自律復帰するため、中央当接体２３を復帰させるための特別な作業や工程が必要ない。
【００４７】
［第２実施形態］
図５（ａ）、図５（ｂ）及び図５（ｃ）は、本発明の第２実施形態に係る検査用プローブの側面図、平面図及び断面図（図５（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図）である。本実施形態に係る検査用プローブ１１Ａも、前述の第１実施形態に係る検査用プローブ１１とほぼ同様に、保持体１２に立設され、保持体１２とともに検査用治具１３を構成するようになっている。但し、この検査用プローブ１１Ａでは、中央当接体２３を設ける代わりに、４つの摺接片３２Ａ〜３２Ｄを２つずつの組み合わせで電気的に独立した構成とし、接触子３２Ａ〜３２Ｄにより電流供給用接触部と電圧計測用接触部と構成するようになっている。以下にその具体的な構成について説明する。
【００４８】
この検査用プローブ１１Ａは、図５（ａ）ないし図５（ｃ）に示すように、略筒形の側面接触子本体３１と、その側面接触子本体３１からピン７の進入軌道Ｅ上流側（図１の矢印Ｄ１の方向）に延設された複数（本実施形態では４つ）の摺接片３２Ａ〜３２Ｄ（これらを総称する場合は符号「３２」を用いる）と、摺接片３２Ａ〜３２Ｄにより囲まれるようにして設けられた絶縁体としての中央絶縁体３３と、付勢手段としてのコイルバネ３４と、ガイド筒部３５と、スペーサ部材３６とを備えて構成されている。なお、本実施形態では４つの摺接片３２を設ける構成としたが、少なくとも２つ備えられておればよく、３つでも、５つ以上でも構わない。
【００４９】
側面接触子本体３１は、互いに電気的に絶縁された金属製の２つの分割体３１Ａ,３１Ｂが略筒形（例えば、円筒形）の形態に組み合わされて構成され、摺接片３２等の基台として機能している。４つの摺接片３２Ａ〜３２Ｄのうちの摺接片３２Ａ,３２Ｂが分割体３１Ａに設けられ、摺接片３２Ｃ,３２Ｄが分割体３１Ｂに設けられており、これによって摺接片３２Ａ,３２Ｂと、摺接片３２Ｃ,３２Ｄとは電気的に独立して機能し得るようになっている。
【００５０】
この側面接触子本体２１内の中心部には、中央絶縁体３３を進入軌道Ｅに沿って変位可能に支持するためのガイド筒部３５が配置される。なお、このガイド筒部３５は、後述するスペーサ部材３６に筒形のものを用いた場合には、挿入部材３６をガイド筒部３５として兼用し、ガイド筒部３５を省略してもよい。
【００５１】
スペーサ部材３６は、側面接触子本体３１とガイド筒部３５との間に介挿され、ガイド筒部３５を側面接触子本体３１の中心部に保持する。挿入部材３６の材質は、樹脂等の絶縁材料が用いられる。なお、このスペーサ部材３６をベースとして用い、このスペーサ部材３６に側面接触子本体３１の分割体３１Ａ,３１Ｂを固着することにより、分割体３１Ａ,３１Ｂを略筒形に組み立てる構成としてもよい。
【００５２】
摺接片３２は、略板バネ状の弾性を有する略片持ち梁状に形成され、進入軌道Ｅの周りに周方向に間隔をあけて（例えば、周方向に等間隔に）配置されている。そして、摺接片３２は、本体３１との結合部であるその基端部３２ａからピン７に摺接する先端側にいくにしたがって進入軌道Ｅに徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が進入軌道Ｅ上流側を向くように延設されている。また、摺接片３２のピン７を受け入れる先端部３２ｂは、ピン７の受け入れが容易なように進入軌道Ｅから離反する方向に湾曲されている。
【００５３】
このため、摺接片３２Ａ〜３２Ｄは、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、挿入されたピン７により互いに離反する方向に弾性的に変位されつつ、ピン７の側面に摺接して導通するようになっている。このピン７が挿入された状態では、摺接片３２Ａ,３２Ｂと摺接片３２Ｃ,３２Ｄとは、電気的に独立して機能するようになっている。
【００５４】
中央絶縁体３３は、ポリプロピレン（PP）樹脂等の絶縁材料により形成され、ガイド筒部３５内に挿入可能な略棒状の形状を有している。そして、ガイド筒部３５内に挿入された中央絶縁体３３の進入軌道Ｅ下流側の部分がガイド筒部３５内で摺動することにより、中央絶縁体３３が進入軌道Ｅに沿って変位する。
【００５５】
コイルバネ３４は、中央絶縁体３３の進入軌道Ｅ下流側に位置するようにガイド筒部３５内に挿入されており、中央絶縁体３３に対して進入軌道Ｅ上流側に付勢力を与える。そして、中央絶縁体３３は、摺接片３２を進入軌道Ｅから離反する方向に押しやり摺接片３２間を押し広げた初期位置（図５（ａ）〜図５（ｃ）に示す位置）から、摺接片３２の間に挿入されたピン７の先端によってコイルバネ３４の付勢力に抗して進入軌道Ｅ下流側に変位されるのに伴って、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように押し広げていた摺接片３２を開放するとともに摺接片３２から離反する一方、ピン７が抜去されるのに伴ってコイルバネ３４の付勢力により前記初期位置に復帰する。
【００５６】
このような構成により、仮にピン７の中心軸と検査用プローブ１１Ａの中心軸とにズレが生じている場合であっても、ピン７に摺接片３２が周囲から挟み込むようにして（あるいは囲い込むようにして）摺接することより、摺接片３２が確実にピン７に接触されるとともに、ピン７の先端が中央絶縁体３３に導かれて当接される。それ故、前述の図１１の構成のように複数の接触子をピンの先端に接触させて導通をとる構成に比して、検査用プローブ１１Ａの電気的に独立した複数の接触部（摺接片３２Ａ,３２Ｂ、摺接片３２Ｃ,３２Ｄ）とピン７との導通を容易かつ安定して得ることができる。
【００５７】
また、ピン７に摺接片３２が周囲から挟み込むようにして（あるいは囲い込むようにして）摺接する構成のため、これに関連する前述の第１実施形態の構成とほぼ同様な効果（ピン７と検査用プローブ１１Ａとの位置ズレ等に対する許容範囲の拡大や、摺接面の異物除去等のワイピング効果）が得られる。
【００５８】
また、ピン７が検査用プローブ１１Ａに挿入される前の中央絶縁体３３が前記初期位置にある状態では、中央絶縁体３３が摺接片３２を進入軌道Ｅから離反する方向に押しやり摺接片３２間を押し広げているため、ピン７を摺接片３２間に導くためのピン７と検査用プローブ１１Ａとの位置ズレの許容範囲がより拡大されるようになっている。
【００５９】
また、中央絶縁体３３が、ピン７の抜去に伴ってコイルバネ３４の付勢力により前記初期位置に自律復帰するため、中央絶縁体３３を復帰させるための特別な作業や工程が必要ない。
【００６０】
［第３実施形態］
図７（ａ）、図７（ｂ）及び図７（ｃ）は、本発明の第３実施形態に係る検査用プローブの側面図、平面図及び断面図（図７（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図）である。本実施形態に係る検査用プローブ１１Ｂが前述の第１実施形態に係る検査用プローブ１１と実質的に異なる点は、摺接片２２Ａの延設方向とその関連部分の構成のみであり、互いに対応する部分には同一の参照符号を付し、説明の重複を回避する。
【００６１】
本実施形態に係る検査用プローブでは、図７（ａ）ないし図７（ｃ）に示すように、側面接触子本体２１Ａの進入軌道Ｅ上流側端部が伸延され、ピン７を受け入れる内部空洞部２１ａが形成されている。摺接片２２Ａは、側面接触子本体２１の内部空洞２１ａ内に設けられ、側面接触子本体２１Ａに結合されたその基端部２２ａからピン７に摺接する先端側にいくにしたがって進入軌道Ｅに徐々に近接していくように、かつ、前記先端側が進入軌道Ｅ下流側を向くように延設されている。より詳細には、摺接片２２Ａの基端部２２ａは、側面接触子本体２１Ａの開口部２１ｂよりもやや進入軌道Ｅ下流側に入った内壁面に接合されている。
【００６２】
これに関連して、中央当接体２３の前記初期位置についても、摺接片２２Ａのピン７と摺接する先端部２２ａ（ここでは進入軌道Ｅ下流側端部）間を押し広げる位置に設定されている。そして、中央当接体２３が、挿入されたピン７が当接され、ピン７の挿入に伴って前記初期位置から図８に示されるように進入軌道Ｅ下流側に押し込まれ、摺接片２２Ａから離反するようになっている。押し込まれた中央当接体２３は、ピン７の抜去に伴ってコイルバネ２４の付勢力により前記初期位置に自律復帰する。
【００６３】
このような構成により、本実施形態においても、前述の第１実施形態とほぼ同様な効果が得られるとともに、前記のように摺接片２２Ａを、その先端側が進入軌道Ｅ下流側に向き、徐々に進入軌道Ｅに近接していくように設けたことにより、次のような新たな効果が得られる。すなわち、摺接片２２Ａの実質的に全長を使って、ピン７を適正な位置に案内することができ、ピン７と検査用プローブ１１Ｂとの位置ズレに対する許容範囲をさらに拡大することができる。例えば、ピン７の摺接片２２Ａとの最初の摺接箇所が摺接片２２ａの基端部２２ａである場合にも、摺接片２２Ａに沿ってピン７を摺接片２２Ａ間の中央部に案内することができるため、ピン７が側面接触子本体２１Ａの開口部２１ｂに挿入されさえすれば、摺接片２２Ａによりピン７を検査用プローブ１１Ｂの内の適正な位置に案内することができる。
【００６４】
なお、本実施形態では摺接片２２Ａが２つに減らされているが、１つでも、３つ以上でも構わない。
【００６５】
［変形例］
前述の第３実施形態に係る図７（ｃ）に示す摺接片２２Ａでは、摺接片２２Ａの先端部２２ｂを略ストレートな形状としたが、この点に関する変形例として、図９に示すように、摺接片２２Ａの先端部２２ｂを進入軌道Ｅから離反する方向に湾曲させてもよい。このように、摺接片２２Ａの先端部２２ａを湾曲させた場合には、ピン７が抜去された際における中央当接体２３の摺接片２２Ａ間への進入を容易にすることができる。
【００６６】
また、前述の第２実施形態に係る検査用プローブ１１Ａにおいて、図７（ｃ）に示すように、側面接触子本体３１に内部空洞部２１ａを形成するとともに、摺接片３２Ａ〜３２Ｄを、その先端側が進入軌道Ｅ下流側に向き、徐々に進入軌道Ｅに近接していくように設けてもよい。
【００６７】
［適用例］
図１０は、第１ないし第３実施形態に係る検査プローブが用いられる基板検査装置の電気的構成を示す図である。この基板検査装置４１では、図１０に示すように、被検査基板４２に設けられた各検査点４３ａ,４３ｂに対して、電気的に独立して機能する２つの接触子４４ａ,４４ｂ,４５ａ,４５ｂが設けられており、４接点法による検査が可能となっている。それらの接触子４４ａ,４４ｂ,４５ａ,４５ｂは、信号路４６ａ,４６ｂ,４７ａ,４７ｂを介して検査部４８内の電流供給部４９及び電圧計測部５０に電気的に接続されており、信号路４６ａ,４６ｂ,４７ａ,４７ｂには、接触子４４ａ,４４ｂ,４５ａ,４５ｂと電流供給部４９及び電圧計測部５０との接続関係を切り替えるための複数のスイッチ５１ａ,５１ｂ,５２ａ,５２ｂが介装されている。
【００６８】
そして、接触子４４ａ,４４ｂを検査点４３ａに接触させるとともに、接触子４５ａ,４５ｂを検査点４３ｂに接触させる。このとき、接触子４４ａ,４５ａが電流供給用の接触子として機能し、接触子４４ｂ,４５ｂが電圧計測用の接触子として機能するようになっている。そして、電流供給部４９により接触子４４ａ,４５ａを介して検査点４３ａ,４３ｂ間に設けられた配線パターン５３に電流を供給しつつ、電圧計測部５０により接触子４４ｂ,４５ｂを介して検査点４３ａ,４３ｂ間の電位差を計測し、そのときの電流値と電位差値とに基づいて配線パターン５３の電気的特性（例えば、抵抗値の適否、断線又は短絡の有無等）が検査される。このような４接点法では、電圧計測用接触子４４ｂ,４５ｂと検査点４３ａ,４３ｂとの間に流れる電流が実質的に無視できる程度に抑えられるため、電圧計測用接触子４４ｂ,４５ｂと検査点４３ａ,４３ｂとの接触抵抗の影響を実質的に除外して、検査点４３ａ,４３ｂ間の電圧が正確に計測できるようになっている。
【００６９】
図１０に示す構成では、被検査基板４２の下面側の検査点４３ａとしてピンが設定されているため、これに接触される接触子４４ａ,４４ｂとして前述の各実施形態に係る検査用プローブ１１,１１Ａ,１１Ｂが用いられる。例えば、第１実施形態に係る検査用プローブ１１を用いた場合、摺接片２２と中央当接体２３とのいずれか一方が、電流計測用接触子４４ａとして用いられ、その他方が電圧計測用接触子４４ｂとして用いられる。また、第２実施形態に係る検査用プローブ１１Ａを用いた場合、摺接片３２Ａ,３２Ｂと摺接片３２Ｃ,３２Ｄとのいずれか一方が、電流計測用接触子４４ａとして用いられ、その他方が電圧計測用接触子４４ｂとして用いられる。また、第３実施形態に係る検査用プローブ１１Ｂを用いた場合、摺接片２２Ａと中央当接体２３とのいずれか一方が、電流計測用接触子４４ａとして用いられ、その他方が電圧計測用接触子４４ｂとして用いられる。なお、被検査基板４２の上面側の検査点４３ｂは通常のランド等が設定されているため、これに対応する接触子４５ａ,４５ｂには通常の２本ピンタイプのプローブを用いることができる。
【００７０】
このように、基板検査装置４１に第１ないし第３実施形態に係る検査用プローブ１１,１１Ａ,１１Ｂを用いることにより、検査点４３ａとしてピンが設定された被検査基板４２に対する検査を良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査用プローブ及び被検査基板の構成を示す図である。
【図２】図１の検査用プローブが備えられた検査用治具の側面図である。
【図３】図３（ａ）、図３（ｂ）及び図３（ｃ）は、図１の検査用プローブの側面図、平面図及び断面図（図３（ｂ）のＡ−Ａ線に沿った断面図）である。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、図１の検査用プローブにピンが挿入されるときの様子を示す断面図である。
【図５】図５（ａ）、図５（ｂ）及び図５（ｃ）は、本発明の第２実施形態に係る検査用プローブの側面図、平面図及び断面図（図５（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図）である。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）は、図５（ａ）ないし図５（ｃ）の検査用プローブにピンが挿入されるときの様子を示す断面図である。
【図７】図７（ａ）、図７（ｂ）及び図７（ｃ）は、本発明の第３実施形態に係る検査用プローブの側面図、平面図及び断面図（図７（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図）である。
【図８】図７（ａ）ないし図７（ｃ）の検査用プローブにピンが挿入されるときの様子を示す断面図である。
【図９】図７（ａ）ないし図７（ｃ）の検査用プローブの変形例を示す断面図である。
【図１０】第１ないし第３実施形態に係る検査プローブが用いられる基板検査装置の電気的構成を示す図である。
【図１１】従来のプローブの図である。
【符号の説明】
【００７２】
６  被検査基板、７  ピン、１１,１１Ａ,１１Ｂ  検査用プローブ、１３  検査用治具、１２  保持体、１４  導線、２１,２１Ａ  側面接触子本体、２１ａ  内部空洞部、２１ｂ  開口部、２２,２２Ａ  摺接片、２２ａ  基端部、２２ｂ  先端部、２３  中央当接体、２４  コイルスプリング、２５  軸部材、２６  絶縁部材、３１  側面接触子本体、３１Ａ,３１Ｂ  分割体、３２Ａ〜３２Ｄ  摺接片、３２ａ  基端部、３２ｂ  先端部、３３  中央絶縁体、３４  コイルスプリング、３５  ガイド筒部、３６  スペーサ部材、４１  基板検査装置、４２  被検査基板、４３ａ,４３ｂ  検査点、４４ａ,４４ｂ,４５ａ,４５ｂ  検査点、５３  配線パターン、Ｅ  進入軌道。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008111720.tif 000009
【図８】
2008111720.tif 000010
【図９】
2008111720.tif 000011
【図１０】
2008111720.tif 000012
【図１１】
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