(57)【要約】      （修正有）【課題】トナー層を高解像度、高精度で形成し得る液体現像剤を得る。【解決手段】熱可塑性樹脂微粒子被覆された核粒子表面に、電荷制御剤としてＶ族金属有機酸塩を含有するトナー粒子を含むことを特徴とする液体現像剤であって、Ｖ族金属有機酸塩に含まれる金属成分は、バナジウム、ニオブ、及びタンタルからなる群から選択される１種であり、有機塩成分は、オクチル酸、ナフテン酸、ネオデカン酸、オレイン酸、ラウリン酸及びステアリン酸等の炭素数６ないし３０である有機酸であり、前記熱可塑性樹脂微粒子は０．１ないし５μｍの平均粒径を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性溶媒と、
該電気絶縁性溶媒中に包含された、核粒子、該核粒子表面に設けられた熱可塑性樹脂微粒子被覆層、及び該熱可塑性樹脂微粒子被覆された核粒子表面に電荷制御剤として添加されたＶ族金属有機酸塩を含有するトナー粒子を含むことを特徴とする液体現像剤。
【請求項２】
前記Ｖ族金属有機酸塩に含まれる金属成分は、バナジウム、ニオブ、及びタンタルからなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１に記載の液体現像剤。
【請求項３】
前記Ｖ族金属有機酸塩の有機酸成分は、炭素数６ないし３０である有機酸であることを特徴とする請求項１または２に記載の液体現像剤。
【請求項４】
前記有機酸は、オクチル酸、ナフテン酸、ネオデカン酸、オレイン酸、ラウリン酸、及びステアリン酸からなる群から選択される少なくとも１種であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体現像剤。
【請求項５】
前記熱可塑性樹脂微粒子は、０．１ないし５μｍの平均粒径を有する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体現像剤。
【請求項６】
透明基板上に、複数の枠状またはストライプ状のパターンを有する遮光層を形成する工程と、
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体現像剤を、供給部材を介して像保持体の表面に供給し、該供給部材と像保持体との間に電界を形成して該像保持体表面に、ドット状またはストライプ状のパターン像を形成する現像工程と、
液体現像剤によるパターン像が形成された前記像保持体を、定位置に保持された、遮光層を有する透明基板に沿って転動させる転動工程と、
転動する前記像保持体と前記透明基板との間に電界を形成し、前記像保持体表面上のパターン像を前記透明基板へ転写し、該遮光層で区画された該基板上の各領域に、蛍光体層を形成する転写工程と、該蛍光体層上にメタルバック層を形成する工程とを含む前面基板の形成プロセスを具備することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記転写工程の前に、前記像保持体表面に形成された前記パターン像を乾燥させる乾燥工程をさらに有することを特徴とする請求項６に記載の表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記転写工程の前に、前記透明基板の表面を前記絶縁性液体によって濡らす濡らし工程をさらに有することを特徴とする請求項６または７に記載の表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記像保持体は、その表面に前記パターン像を形成するためのパターン状の電極層を有することを特徴とする請求項６ないし８のいずれか１項に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばプラズマディスプレイ、及びフィールド・エミッション・ディスプレイ等の表示装置の製造方法、それに使用される液体現像剤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基材の表面に微細なパターンを形成する技術として、フォトリソグラフィー技術が中心的な役割を果たしてきた。しかしながら、このフォトリソグラフィー技術は、その解像度やパフォーマンスをますます高まる反面、巨大で高額な製造設備を必要とし、製造コストも解像度に応じて高くなりつつある。
【０００３】
一方、半導体デバイスはもとより、画像表示装置などの製造分野においては、性能の改良とともに低価格化の要求が高まっている。しかしながら、上記フォトリソグラフィー技術では、このような要求を十分に満足できなくなってきている。
【０００４】
このような状況下で、デジタル印刷技術を用いたパターン形成技術が注目されている。例えばインクジェット技術は、装置の簡便さや非接触パターニングといった特徴を生かしたパターニング技術として実用化され始めている。しかしながら、高解像度化や高生産性には限界があった。
【０００５】
これに対し、液体トナーを用いた、電子写真技術等を含む電気泳動技術は、低価格、高解像度化、及び高生産性に関して、優れた可能性を有している。例えば、このような電気泳動技術を用いて、フラットパネルディスプレイ用の前面基板の蛍光体層を形成する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、蛍光体トナー用樹脂成分として、絶縁性溶媒に不溶又は膨潤する核部分と、絶縁性溶媒に膨潤又は溶解する外縁部分とからなる樹脂を使用している。
【０００６】
しかしながら、トナー粒子製造時に樹脂を完全に十分に溶解し得る良溶媒を使用する必要がある。このため、絶縁性溶媒以外の揮発性有機溶媒を使用しなければならない上に、ＳＰ値をコントロールした樹脂を設計しなければならず、本来のトナー特性である帯電性や、粘着性、凝集性などをコントロールすることが困難であり、材料選定の幅が非常に制限されていた。
【特許文献１】特開平９−２０２９９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、トナー層を高解像度、高精度で、容易に形成し得る液体現像剤、及びこの液体現像剤を用いた画像表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体現像剤は、電気絶縁性溶媒と、
該電気絶縁性溶媒中に包含された、核粒子、該核粒子表面に設けられた熱可塑性樹脂微粒子被覆層、及び該熱可塑性樹脂微粒子被覆された核粒子表面に電荷制御剤として添加されたＶ族金属有機酸塩を含有するトナー粒子とを含むことを特徴とする。
【０００９】
透明基板上に、複数の枠状またはストライプ状のパターンを有する遮光層を形成する工程と、
本発明の表示装置の製造方法は、電気絶縁性溶媒と、該電気絶縁性溶媒中に包含された、核粒子、該核粒子表面に設けられた熱可塑性樹脂微粒子被覆層、及び該熱可塑性樹脂微粒子被覆された核粒子表面に電荷制御剤として添加されたＶ族金属有機酸塩を含有するトナー粒子とを含む液体現像剤を、供給部材を介して像保持体の表面に供給し、該供給部材と像保持体との間に電界を形成して該像保持体表面に、ドット状またはストライプ状のパターン像を形成する現像工程と、
液体現像剤によるパターン像が形成された前記像保持体を、定位置に保持された、遮光層を有する透明基板に沿って転動させる転動工程と、
転動する前記像保持体と前記透明基板との間に電界を形成し、前記像保持体表面上のパターン像を前記透明基板へ転写し、該遮光層で区画された該基板上の各領域に、蛍光体層を形成する転写工程と、該蛍光体層上にメタルバック層を形成する工程とを含む前面基板の形成プロセスを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明を用いると、パターニング精度が向上し、トナー層を、高解像度、高精度で形成し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の液体現像剤は、電気絶縁性溶媒とトナー粒子とを含む。
【００１２】
このトナー粒子は、核粒子と、該核粒子上に熱可塑性樹脂微粒子を被覆させた被覆層と、被覆層が設けられた核粒子上に添加されたＶ族金属の有機酸金属塩とを含む。
【００１３】
図１に、本発明にかかる液体現像剤中のトナー粒子の構成を表す模式的な断面図を示す。
【００１４】
図示するように、このトナー粒子６０は、核粒子６１と、核粒子６１上に付着された樹脂微粒子６３による被覆層が形成されている。
【００１５】
ここで、被覆層は、トナー粒子表面の少なくとも一部を覆っているものとする。
【００１６】
トナー粒子表面には、電荷制御剤として、図示しないＶ族金属の有機酸金属塩が添加されている。
【００１７】
トナー粒子表面に添加された電荷制御剤は、この表面に吸着したり、あるいは表面の官能基に対して酸・塩基的な配位をとり得る。
【００１８】
また、液体現像剤において、熱可塑性樹脂微粒子被覆層表面に添加されて、吸着あるいは配位されているのは、電気絶縁性溶媒中に存在する電荷制御剤及びこの有機化合物の少なくとも一部である。残部の電荷制御剤及びこの有機化合物は、熱可塑性樹脂微粒子被覆層表面に作用することなく、電気絶縁性溶媒中に存在し得る。
【００１９】
本発明の液体現像剤は、帯電制御剤としてＶ族金属の有機酸金属塩を含むことにより、適度な導電性を有する。これにより、電気泳動を行った後、短時間で電流値が０に近くなり、電圧をかけ続けても、定常電流がほとんど流れない。このため、液体現像剤中に残留する電荷制御剤が移動することがなく、液体現像剤中に電荷制御剤の移動による対流が発生しないので、電着されたトナー層のパターニングに乱れが生じることがない。
【００２０】
このように、本発明の液体現像剤は、パターニング精度が良好である。このため、本発明を用いると、トナー層を高解像度、高精度で形成することができる。
【００２１】
本発明の液体現像剤を用いると平面型画像表示装置の蛍光体層やカラーフィルタ層を高解像度、高精度で形成できる。蛍光体層を形成する場合、核粒子として蛍光体を使用することができる。また、カラーフィルタを形成する場合には、核粒子として、無機顔料の着色剤等を使用することができる。
【００２２】
液体現像剤１００重量部に対し、トナー粒子と絶縁性溶媒の重量比は、２：９８ないし５０：５０であることが好ましい。
【００２３】
重量比が上記範囲外であると、所定の膜厚を得るために大量の溶媒を必要となったり、膜形成されるべきパターン以外にもトナー粒子が付着し、汚染の原因となったりする傾向がある。
【００２４】
また、核粒子に対し、電荷制御剤はトナー粒子に対し１重量部ないし５０重量部であることが好ましい。
【００２５】
熱可塑性樹脂微粒子の添加量は、核粒子に対し５体積％ないし２００体積％であることが好ましい。
【００２６】
熱可塑性樹脂微粒子の添加量が、核粒子に対し５体積％未満であると、付着する熱可塑性樹脂の量が少なすぎるため核粒子が露出する確立が高くなり、電荷制御剤の吸着性及びそれによるトナー粒子の帯電性をコントロールすることが困難になる傾向がある。また、２００体積％を超えると核粒子に対して熱可塑性樹脂が付着しきれなくなり、溶液中に遊離・凝集する傾向がある。この場合では電荷制御剤等を添加してトナー粒子に電荷を与えようとしても遊離した熱可塑性樹脂に吸着して、トナー粒子の帯電特性を阻害する傾向がある。これらの問題を加味し、さらに好ましくは熱可塑性樹脂微粒子の添加量は、核粒子に対して体積比率で１０体積％以上１５０体積％以下である。
【００２７】
また、Ｖ族金属有機酸塩がトナー粒子に対し１重量部未満であると、トナー電荷量が不十分なため電着膜が流れたり、膜形成されるべき部分以外にもトナー粒子が付着し汚染の原因となったりする傾向がある。また、５０重量部を超えると、現像液中のイオン成分量が過剰となり現像液全体の抵抗が低くなりすぎるためトナー粒子の電気泳動性が低下する傾向がある。
【００２８】
核粒子は、好ましくは、０．０１μｍないし１０μｍの平均粒径を有する。
【００２９】
０．０１μｍ未満であると、核粒子の分子間凝集が大きくなり、均一な分散が難しくなる傾向がある。このように平均粒径が小さく分散性の悪い核粒子（例えば数ｎｍの平均粒径を持つ微小顔料粒子などは）を用いる場合には、より大きな平均粒径を持つ樹脂などに担持させることができる。これにより、分散性を改善し適用することができる。また、１０μｍを超えると、核粒子を均一に攪拌することが困難となり、結果的に均一な樹脂層を形成することが困難となる傾向がある。
【００３０】
核粒子としては、例えば蛍光体粒子、無機顔料等の着色剤等があげられる。
【００３１】
本発明に使用可能な蛍光体としては、Ｙ２Ｏ３：Ｅｕ：ＹＶＯ４：Ｅｕ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、Ｙ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ３（ＰＯ４）２：Ｍｎ、（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ＋ＩｎＯ（以上赤色）、Ｚｎ２ＧｅＯ２：Ｍｎ、ＢａＡｌ１２Ｏ１９：Ｍｎ、Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、ＬａＰＯ４：Ｔｂ、ＺｎＳ：（Ｃｕ，Ａｌ）、ＺｎＳ：（Ａｕ，Ｃｕ，Ａｌ）、（ＺｎＣｄ）Ｓ：（Ｃｕ，Ａｌ）、Ｚｎ２ＳｉＯ４：（Ｍｎ，Ａｓ）、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｃｅ、Ｇｄ２Ｏ２Ｓ：Ｔｂ、Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２：Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ（以上緑色）、Ｓｒ５（ＰＯ４）３ＣＩ：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ１４Ｏ２３：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ１６Ｏ２７：Ｅｕ、ＺｎＳ：Ａｇ＋赤色顔料、Ｙ２ＳｉＯ３：Ｃｅ（以上青色）等が挙げられる。
【００３２】
本発明に使用可能な無機顔料の例としては、黄土色等の天然顔料、黄鉛、ジンクイエロー、バリウムイエロー、クロムオレンジ、モリブデンレッド、クロムグリーン等のクロム酸塩、紺青等のフェロシアン化合物、酸化チタン、チタンイエロー、チタン白、ベンガラ、黄色酸化鉄、酸化亜鉛、亜鉛フェライト、亜鉛華、鉄黒、コバルトブルー、酸化クロム、スピネルグリーン等の酸化物、カドミウムイエロー、カドミウムオレンジ、カドミウムレッド等の硫化物、硫酸バリウム等の硫酸塩、珪酸カルシウム、群青等の珪酸塩、ブロンズ、アルミニウム等の金属粉等が挙げられる。
【００３３】
本発明の電荷制御剤として添加しているＶ族金属の有機酸金属塩は、例えばオクチル酸バナジウム、オクチル酸ニオブ、オクチル酸タンタル、ナフテン酸バナジウム、ナフテン酸ニオブ、ナフテン酸タンタル、オレイン酸バナジウム、オレイン酸ニオブ、オレイン酸タンタル等が挙げられる。
【００３４】
本発明の液体現像剤に用いられる電気絶縁性溶媒は、好ましくは７０〜２５０℃の温度範囲に沸点を有し、１０９Ω・ｃｍ以上好ましくは１０１０ないし１０１７Ω・ｃｍの体積比抵抗と３未満の誘電率を有する。
【００３５】
このような電気絶縁性溶媒として、例えばｎ−ペンタン，ヘキサン，ヘプタン等の脂肪族炭化水素、シクロペンタン，シクロヘキサン等脂環族炭化水素，塩素化されたアルカン，フッ素化されたアルカン，クロロフルオロカーボン等のハロゲン化された炭化水素溶媒，シリコンオイル類及びこれら混合物等を使用することが出来る。好ましくは、Ｅｘｘｏｎ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ製  アイソパーＧ（登録商標），アイソパーＨ（登録商標），アイソパーＫ（登録商標），アイソパーＬ（登録商標），アイソパーＭ（登録商標）及びアイソパーＶ（登録商標）などの分枝型パラフィン溶媒混合物を使用することが出来る。
【００３６】
また本発明の液体現像剤に用いられる熱可塑性樹脂微粒子は、例えば懸濁従合法や乳化重合法に代表される重合方法を用いて製造され得る。
【００３７】
熱可塑性樹脂微粒子は、好ましくは０．１μｍ〜５μｍの平均粒子径を有する。
【００３８】
このような熱可塑性樹脂微粒子として、例えば乾燥された１次平均粒子径０．１μｍ〜５μｍ程度の粉末として得られるアクリル系微粒子などが利用できる。また微粒子状でなくとも、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ナイロン系樹脂等の熱可塑性樹脂を顆粒状、あるいはペレット状にしたもの、または微粉砕機などにより物理的に粉砕したものを使用することが出来る。
【００３９】
また、サンドグラインダなどのビーズミルや、ボールミルなどによって絶縁性溶媒中で微粒子化した後に使用することも出来る。
【００４０】
核粒子上に熱可塑性樹脂微粒子を設けるには、例えば核粒子及び熱可塑性樹脂微粒子を含む分散系を熱可塑性樹脂微粒子の軟化点以上温度で加熱撹拌する方法等があげられる。しかしながら、この核粒子として、親水性を有する蛍光体を使用すると、疎水性を有する熱可塑性樹脂微粒子を適用しても付着しにくい。このような場合には、核粒子を予めシランカップリング剤で表面処理し、このシランカップリング処理層が核粒子と熱可塑性樹脂微粒子とを親和させて、結合剤のように機能し、熱可塑性樹脂微粒子が核粒子上に付着させるか、もしくはワックス等を熱可塑性樹脂微粒子と一緒に核粒子に析出させることで該核粒子表面に熱可塑性樹脂微粒子を付着させることができる。
【００４１】
核粒子に均一な表面処理を行うシランカップリング剤の水溶液もしくは水−アルコール溶液、ｐＨ４程度の酢酸水溶液の濃度は０．０１重量％ないし５重量％であることが好ましい。
【００４２】
０．０１重量％未満であると、核粒子表面に十分なシランカップリング処理が行えず、熱可塑性樹脂微粒子の付着が不十分となる傾向があり、５重量％を超えると、シランカップリング剤が溶媒に溶解しきれないため、かえってシランカップリング処理にムラが発生してしまったり、凝集してしまう傾向がある。
【００４３】
本発明にかかる平面型画像表示装置の製造方法は、前面基板を形成するプロセスを含む。
【００４４】
この前面基板の形成プロセスは、
透明基板上に、格子状またはストライプのパターンを有する遮光層を形成する工程と、
本発明にかかる液体現像剤を、供給部材を介して像保持体の表面に供給し、供給部材と像保持体との間に電界を形成して像保持体表面に、ドットまたはストライプ状のパターン像を形成する現像工程と、
パターン像が形成された像保持体を、定位置に保持された、遮光層を有する透明基板に沿って転動させる転動工程と、
転動する像保持体と透明基板との間に電界を形成し、像保持体表面上のパターン像を透明基板へ転写し、遮光層で区画された透明基板上の各領域に、蛍光体層を形成する転写工程と、該蛍光体層上にメタルバック層を形成する工程とを含む。
【００４５】
この方法では、液体現像剤の組成及び濃度等を調整することにより、得られる表示装置の蛍光体層やカラーフィルタ層の膜厚を制御できる。
【００４６】
また、本発明の一実施態様においては、像保持体は、その表面にパターン像を形成するためのパターン状の電極層を有し得る。電極層の形状を変えることで、任意の形状に蛍光体層やカラーフィルタ層を簡便にかつ低コストにパターニングすることができる。
【００４７】
次に、図２ないし図１１を用いて、本発明に用いられる前面基板の形成プロセスの一例を説明する。
【００４８】
図２は、前面基板の形成プロセスに使用されるパターン形成装置の一例を表す外観図を示す。
【００４９】
図２に示すように、このパターン形成装置１０は、図中時計回り方向（矢印Ｒ方向）に回転するドラム素管（後述する）の周面に巻かれた原版１（像保持体）、この原版１の後述する高抵抗層に電荷を与えて帯電させる帯電器２、原版１に各色（ｒ：赤、ｇ：緑、ｂ：青）の液体現像剤を供給して現像する複数の現像装置３ｒ、３ｇ、３ｂ（以下、総称して現像装置３と称する場合もある）、現像によって原版１に付着した液体現像剤の溶媒成分をエアブローによって気化して乾燥させる乾燥器４（乾燥装置）、原版１に付着した現像剤粒子を転写してパターンを形成する被転写媒体となる透明基板としてのガラス板５を定位置で保持するステージ６（保持機構）、転写に先立ってガラス板５の表面に高抵抗もしくは絶縁性の溶媒を塗布する塗布装置７（濡らし装置）、転写を終えた原版１をクリーニングするクリーナ８、および原版１の電荷を除去する除電器９を有する。
【００５０】
各色の現像装置３ｒ、３ｇ、３ｂに収納される液体現像剤は、絶縁性溶媒中に帯電したトナー粒子が含まれたもので、この微粒子が電界で電気泳動することによって現像が行われる。このトナー粒子は、核粒子と、核粒子上に熱可塑性樹脂微粒子を被覆させた被覆層と、被覆層上に添加された電荷制御剤とを有し、その粒径は１ないし１０μｍである。核粒子としては、例えば平均粒径４（μｍ）程度の各色の蛍光体粒子、樹脂粒子の内部に各色の顔料微粒子を内包する構成、もしくは樹脂粒子の表面に各色の顔料微粒子を担持する構成などが実施可能である。
【００５１】
また、ｒ、ｇ、ｂの液体現像剤のうち少なくとも１つは、電気絶縁性溶媒と、電気絶縁性溶媒中に包含された、ＺｎＳ系蛍光体からなる核粒子、核粒子表面に設けられた熱可塑性樹脂微粒子の被覆層、及び該熱可塑性樹脂微粒子被覆された核粒子表面に電荷制御剤として添加されたＶ族金属有機酸塩を少なくとも１種含む金属化合物を含有するトナー粒子を含む。
【００５２】
図３（ａ）に平面図を示すように、原版１は、矩形の薄板状に形成されている。この原版１は、図３（ｂ）に断面図を示すように、厚さ０．０５（ｍｍ）ないし０．４（ｍｍ）、より好ましくは厚さ０．１（ｍｍ）ないし０．２（ｍｍ）の矩形の金属フィルム１２の表面に高抵抗層１３を形成して構成されている。金属フィルム１２は可撓性を有し、アルミニウム、ステンレス、チタン、アンバーなどの素材で構成可能であるほかに、ポリイミドやＰＥＴなどの表面に金属を蒸着したものなどでも良いが、転写パターンを高い位置精度で形成するためには、熱膨張や応力による伸びなどが生じにくい素材で構成することが望ましい。また、高抵抗層１３は、例えば、ポリイミド、アクリル、ポリエステル、ウレタン、エポキシ、テフロン（登録商標）、ナイロンなどの体積抵抗率が１０１０（Ωｃｍ）以上の材料（絶縁体を含む）により形成され、その膜厚は、１０（μｍ）〜４０（μｍ）、より好ましくは２０（μｍ）±５（μｍ）に形成されている。
【００５３】
また、原版１の高抵抗層１３の表面１３ａには、図４に部分的に拡大して示すような矩形の凹部１４ａを多数整列配置したドット状のパターン１４が形成されている。本実施の形態では、例えば平面型画像表示装置の前面基板に形成する蛍光体スクリーンを製造する凹版として、１色分の画素に相当する凹部１４ａだけを高抵抗層１３の表面１３ａから凹ませて形成し、図４中に破線で示す他の２色分の領域１４ｂには凹部を形成しないでスペースだけを確保してある。
【００５４】
図５には、１つの凹部１４ａを拡大した原版１の断面図を示してある。本実施の形態では、凹部１４ａの底には金属フィルム１２の表面１２ａが露出しており、この金属フィルム１２の露出した表面１２ａがこの発明のパターン状の電極層として機能する。凹部１４ａの深さは、高抵抗層１３の層厚に概ね相当する。凹部１４ａの底に露出した金属フィルム１２の表面１２ａ、および高抵抗層１３の表面１３ａを含む原版１の表面全体に、厚さ０．５（μｍ）ないし３（μｍ）程度の表面離型層をコーティングすれば、転写特性が向上しより好ましい特性が得られる。
【００５５】
図６には、上記構造のフィルム状の原版１をドラム素管３１に巻きつける様子を描いた概略断面図を示してある。ドラム素管３１の図中上部の切り込み部３１ａには、原版１の一端を固定するクランプ３２と他端を固定するクランプ３３が設けられている。原版１をドラム素管３１の周面上に巻き付ける場合、まず、原版１の一端をクランプ３２に固定し、その後、原版１を架張しつつその他端３４をクランプ３３で固定する。これにより、たるみ無く原版１をドラム素管３１周面の規定位置に巻き付けることができる。
【００５６】
図７は、このようにしてドラム素管３１に巻きつけられた原版１の高抵抗層１３の表面１３ａを帯電器４によって帯電する工程を説明するための部分構成図である。帯電器４は、周知のコロナ帯電器であり、コロナワイヤー４２とシールドケース４３で基本的に構成されているが、メッシュ状のグリッド４４を設けることで帯電の均一性を向上できる。例えば、原版１の金属フィルム１２とシールドケース４３を接地し、コロナワイヤー４２に不図示の電源装置によって＋５．５（ｋＶ）の電圧を印加し、更にグリッド４４に＋５００（Ｖ）の電圧を印加して原版１を図中矢印Ｒ方向に移動させると、高抵抗層１３の表面１３ａは略＋５００（Ｖ）に均一に帯電される。
【００５７】
同図に示した除電器９は、帯電器４とほぼ同様の構造であるが、コロナワイヤー４６に例えば実効電圧６（ｋＶ）、周波数５０（Ｈｚ）の交流電圧を印加すべく不図示の交流電源に接続し、シールドケース４７とグリッド４８を設置すると、帯電器４による帯電に先立って原版１の高抵抗層１３の表面１３ａを略０（Ｖ）となるよう除電することが可能で、高抵抗層１３の繰り返し帯電特性を安定化させることができる。
【００５８】
図８には、上記のように帯電された原版１に対する現像動作を説明するための図を示してある。現像時には、現像する色の現像器３を原板１に対向させて、その現像ローラ５１（供給部材）とスクイズローラ５２を原版１に近接させ、原版１に上述した液体現像剤を供給する。現像ローラ５１は、搬送される原版１の高抵抗層１３の表面１３ａに対して１００〜１５０（μｍ）程度のギャップを介してその周面が対向する位置に配置され、原版１の回転方向と同じ方向（図中反時計回り方向）に１．５倍ないし４倍程度の速度で回転する。
【００５９】
不図示の供給系によって現像ローラ５１周面に供給される液体現像剤５３は、絶縁性液体としての溶媒５４に現像剤粒子としての帯電したトナー粒子５５を分散させて構成されており、現像ローラ５１の回転に伴って原版１の周面に供給される。ここで、現像ローラ５１に図示しない電源装置によって例えば＋２５０（Ｖ）の電圧を印加すると、正に帯電しているトナー粒子５５は、接地電位の金属フィルム１２に向かって溶媒５４中を泳動し、原版１の凹部１４ａ内に集められる。このとき、高抵抗層１３の表面１３ａは、＋５００（Ｖ）程度に帯電されているので正帯電したトナー粒子５５は表面１３ａから反発されて付着しない。
【００６０】
このようにして原版１の凹部１４ａ内にトナー粒子５５が集められた後、トナー粒子５５の濃度が薄くなった液体現像剤５３が引き続いてスクイズローラ５２と原版１が対向するギャップに進入する。ここでは、ギャップ（絶縁層１３表面１３ａとスクイズローラ５２表面の間の距離）が３０（μｍ）ないし５０（μｍ）、スクイズローラの電位が＋２５０（Ｖ）で、スクイズローラ５２は原版１とは逆向きに原版１の速度の３倍から５倍程度の速度で移動するように設定されているため、現像をさらに促進しつつ、同時に原版１に付着している溶媒５６の一部を絞り取る効果を奏する。このようにして、原版１の凹部１４ａにトナーによるパターン５７が形成される。
【００６１】
ところで、ガラス板５上に３色の蛍光体のパターンを形成する場合、図９に示すように、まず、青色蛍光体粒子を含む液体現像剤を収納する現像器３ｂが原版１の直下に移動し、ここで図示しない昇降機構によって現像器３ｂが上昇して原版１に近接させる。この状態で、原板１が矢印Ｒ方向に回転して凹部１４ａによるパターンが現像される。青色パターンの現像が終了すると、現像器３ｂが下降して原版１から離間する。
【００６２】
この青色現像プロセスの間に、図示しない搬送装置によって予め搬送されてステージ６上に保持されているガラス板５のステージ６から離間した表面に沿って塗布装置７が図中の破線矢印Ｔ１方向に移動し、ガラス板５の表面に溶媒（絶縁性液体）が塗布される。この溶媒の役割と材料組成については後述する。
【００６３】
しかる後に、青色のパターンを周面に担持した原版１が回転しつつ図中の破線矢印に沿って移動（この動作を転動と称する）し、青色のパターン像がガラス板５の表面に転写される。転写の詳細についても後述する。青パターンの転写を終えた原版１は図中左方に平行移動し、現像時の初期位置に戻る。このとき、ガラス板５を保持したステージ６が下降して初期位置に戻る原版１との接触が避けられる。
【００６４】
次に、３色の現像器３ｒ、３ｇ、３ｂが図中左方に移動し、緑色の現像器３ｇが原版１の直下に位置するところで停止し、青色の現像のときと同様にして現像器３ｇの上昇、現像、下降が行われる。引き続いて、上記と同様の操作で緑パターンが原版１からガラス板５の表面に転写される。このとき、緑色のパターンのガラス板５表面上の転写位置は、上述した青色のパターンから１色分ずらされることは言うまでもない。
【００６５】
そして、上記の動作を赤色の現像についても繰り返し、ガラス板５の表面上に３色パターンを並べて転写して３色のパターン像をガラス板５の表面に形成する。このように、ガラス板５を定位置に保持して固定し、原版１をガラス板５に対して移動させることで、ガラス板５の往復移動が不要になり、大きな移動スペースの確保や装置の大型化を抑制できる。
【００６６】
図１０には、上述した原版１をガラス板５に沿って転動させるための転動機構の要部の構造を示してある。原版１を周面上に巻き付けたドラム素管３１の軸方向両端には、ピニオンと呼ばれる歯車７１が取り付けられている。原版１は、この歯車７１とモーター７２の駆動歯車７３のかみ合わせによって回転するとともに、ステージ６の両端に設置されている直線軌道のラック７４とピニオン（歯車７１）の噛み合わせによって図中右方向に並進する。このとき、ステージ６上に保持されたガラス板５の表面と原版１の表面との間に相対的なズレを生じることのないように、転動機構の各部の構造が設計されている。特許請求の範囲では、このように回転しながらガラス板５に沿って平行に移動する動作を転動と称している。
【００６７】
このようなラック・アンド・ピニオン機構によれば、駆動伝達用のアイドラが無いため、バックラッシュの無い高精度の回転・並進駆動を実現でき、ガラス板５上に例えば±５（μｍ）といった位置精度の高い高精細パターンを転写することが可能となる。
【００６８】
一方、ガラス板５（図１０では図示していない）は、図９に示すように、ステージ６の平らな接触面６ａに対して、その裏面５ｂ（原版１から離間した側の面）の略全面を面接させるようにステージ６上に配置される。その上、ガラス板５には、ステージ６を貫通して接触面６ａまで延びた吸気口７６に、接続パイプ７５から主パイプ７７を経由して不図示の真空ポンプを接続することによって、吸気口７６の接触面６ａに開口した図示しない吸着孔を介して負圧が作用され、ステージ６の接触面６ａ上に吸着される。この吸着機構によって、ガラス板５は、高い平面度を持った接触面６ａにその裏面５ｂの略全面を押圧させて密着され、平面性が高い状態でステージ６上に保持される。このように平らな接触面６ａにガラス板５を押し付けることにより、ガラス板５の歪み等をも矯正でき、後述する原版１との間の転写ギャップを高精度に維持できる。
【００６９】
図１１は、原版１からガラス板５にトナー粒子５５を転写する際の様子を説明する要部断面図である。図示しない遮光層を有するガラス板５の表面５ａには、例えば導電性高分子などで構成される導電層８１が塗布されており、この導電層８１の表面８１ａと原版１の高抵抗層１３の表面１３ａとは、ギャップｄ２を介して非接触状態に設置される。ｄ２は例えば１０（μｍ）ないし４０（μｍ）の範囲の値に設定される。高抵抗層１３の厚さが例えば２０（μｍ）の場合は、金属フィルム１２と導電層８１表面８１ａとの間の距離は、３０（μｍ）ないし６０（μｍ）となる。
【００７０】
この状態で、電源装置８２（転写装置）を介して導電層８１に例えばー５００（Ｖ）の電圧を印加すると、接地電位の金属フィルム１２との間に５００（Ｖ）の電位差が形成され、その電界によってトナー粒子５５が溶媒５４中を電気泳動して導電層８１の表面８１ａに転写される。このように、トナー粒子５５は非接触状態でも転写が可能なので、オフセット印刷やフレキソ印刷の場合のように、ブランケットやフレキソ版といった弾性体を介在させる必要がなく、常に位置精度の高い転写を実現することが可能となる。導電層８１は、トナー粒子５５の転写後、ガラス板５を図示しないベーク炉へ投入して焼成することで消失させる。このようにして、本発明にかかる表示装置の前面基板が得られる。
【００７１】
なお、上記のように、電界を用いてトナー粒子をガラス板５に転写する場合、転写ギャップに溶媒が存在してガラス板５側の導電層８１と原版１との間を濡らすことが必須条件となるため、転写に先立ってガラス板５の表面５ａを溶媒でプリウェットしておくことが有効である。プリウェット溶媒としては絶縁性もしくは高抵抗であれば良いが、液体現像剤に用いられている溶媒と同一の溶媒、もしくはこれに帯電制御剤などが添加されたものであればなお好適である。プリウェット溶媒は、図９を用いて説明したように、塗布装置７によって適切なタイミングで適当な塗布量でガラス板５の表面５ａ上に塗布される。
【００７２】
以上のように、上述した実施の形態によると、定位置に配置したガラス板５に対して原版１を転動させて現像したトナー粒子５５をガラス板５の表面５ａに転写するようにしたため、原版１を転動させる転動機構の構成を小型化でき、装置の設置スペースを小さくできる。また、上述した実施の形態によると、非接触状態で対向配置した原版１からガラス板５へ電界を用いてトナー粒子５５を転写するようにしたため、従来のようにフレキソ版を用いた転写方式と比較して、転写像の解像度を高めることができ、高精細なパターンを形成できる。
【００７３】
また、上述した実施の形態では、原版１の凹部１４ａに集めた（現像した）トナー粒子５５を乾燥器４からのエアブローによって一旦適度に乾燥させた後、ガラス板５の表面５ａを溶媒によって濡らして（プリウェットして）トナー粒子５５を転写するようにしたため、ガラス板５の表面５ａに転写されるトナー像の形状を安定させることができ、パターンの輪郭を鮮明にできる。
【００７４】
図１２にこのようにして得られた前面基板を模式的に表す断面図を示す。
【００７５】
図１２に示すように、得られた前面基板１１１は、透明基板５とその上にドット状に設けられた蛍光体層１１６と、蛍光体層１１６の周囲に格子状に設けられた遮光層１１７とを有する。
【００７６】
図１３は、本発明に係る表示装置としてのＦＥＤの一例を表す斜視図を示す。
【００７７】
また、図１４には、そのＡ−Ａ’断面図を示す。
【００７８】
図１３および図１４に示すように、このＦＥＤは、絶縁基板としてそれぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板１１１、および背面基板１１２を備え、これらの基板は１〜２ｍｍの隙間を置いて対向配置されている。そして、前面基板１１１および背面基板１１２は、矩形枠状の側壁１１３を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器１１０を構成している。
【００７９】
真空外囲器１１０の内部には、前面基板１１１および背面基板１１２に加わる大気圧荷重を支えるため、複数のスペーサ１１４が設けられている。スペーサ１１４としては、板状あるいは柱状のスペーサ等を用いることができる。
【００８０】
前面基板１１１の内面上には、画像表示面として、赤、緑、青の蛍光体層１１６とマトリクス状の遮光層１１７とを有した蛍光面１１５が形成されている。これらの蛍光体層１１６はストライプ状あるいはドット状に形成してもよい。この蛍光面１１５上には、アルミニウム膜等からなるメタルバック１２０が形成されている。さらに真空外囲器１１０の内部圧力を下げるためにゲッタ膜１２１を形成し、内部の不要ガスを吸着している。ゲッタ粉末に接着効果のある材料を混ぜて接着している。
【００８１】
背面基板１１２の内面上には、蛍光面１１５の蛍光体層１１６を励起する電子源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１１８が設けられている。これらの電子放出素子１１８は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１１８は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板１１２の内面には、電子放出素子１１８に電位を供給する多数本の配線１２１がマトリクス状に設けられ、その端部は真空外囲器１１０の外部に引出されている。
【００８２】
このようなＦＥＤでは、画像を表示する場合、蛍光面１１５およびメタルバック１２０にアノード電圧を印加して、電子放出素子１１８から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光面へ衝突させる。これにより、蛍光面１１５の蛍光体層１１６が励起されて発光し、カラー画像を表示する。
【００８３】
実施例
図１５に、本発明に使用し得る実験装置の一例を表す概略図を示す。
【００８４】
図示するように、この実験装置は、上下に分離可能な三つ口のセパラブルフラスコ３０と、中央の口に差し込まれた撹拌羽根を有する攪拌機１３６、攪拌機１３６を回転駆動させ、かつ中央の口を封止する防爆モータ１３２、中央の口の両側の口の一方に設けられ、ジムロート還流冷却器１３１、他の一方の口からセパラブルフラスコ１３０内部まで差し込まれた熱電対１３３、熱電対１３３に接続されたリレー温調ユニット１３４、及びリレー温調ユニット１３４に接続されたマントルヒータ１３５を有する。
【００８５】
この実験装置では、セパラブルフラスコ１３０の内容物を撹拌機１３６を用いて撹拌しながら、熱電対１３３で常に温度を計測し、計測された温度を基にリレー温調ユニット１３４にてマントルヒータ３５の加熱を制御し、内容物の温度を常に一定に保つことができる。内容物からの溶媒蒸気は、ジムロート還流冷却器１３１により冷却、凝縮させて再び下部の容器内に戻され、これにより、セパラブルフラスコ１３０内圧力の過度な上昇を防ぐことができる。
【００８６】
実施例１
１０００ｍｌビーカーに信越化学社製シランカップリング剤（ＫＢＭ−６０３）水溶液を７００ｇ作成し、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ系緑色発光蛍光体粒子（平均粒子径５．６μｍ、比重４．１）を５０ｇを投入し、２時間攪拌した。その後、濾過して乾燥炉で１２０℃、３時間乾燥させることによりシランカップリング処理を行った後、篩にかけた。
【００８７】
次に、５００ｍｌセパラブルフラスコに、沸点範囲が１９１〜２０５℃のエクソン化学社製  絶縁性炭化水素溶媒（アイソパーＬ）を１８０ｇを注ぎ、さらに比重１．０である綜研化学株式会社製  アクリル微粒子（ＭＰ４００９）２ｇとシランカップリング処理を行ったＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ系緑色発光蛍光体粒子１８ｇを投入し、温度コントローラとしてリレー温調ユニットを１００℃にセットして、攪拌機により加熱攪拌を行った。溶液温度が１００℃の状態で２時間攪拌を続け、その後１．５時間かけて室温（２５℃）まで冷却しながら攪拌を続けた。
【００８８】
このようにして得られた固形分濃度１０重量％の蛍光体粒子分散体に対し、帯電制御剤として、日本化学産業製  オクチル酸ニオブを２ｇ添加し、緑色発光蛍光体含有液体現像剤を得た。
【００８９】
また、比較として、電荷制御剤としてのオクチル酸ニオブの代わりにナフテン酸ジルコニウムを同じモル量添加したサンプルも作製した。
【００９０】
図１６に、電気泳動の電流値を測定するための装置の概要を示す。
【００９１】
図示するように、この装置９０には、シールド９９内に設置された一対のＩＴＯ透明電極基板９１，９２、一方のＩＴＯ透明電極基板９２に接続された配線に設けられたスイッチ９３、スイッチ９３を介して設けられた電源９４、もう一方のＩＴＯ透明電極基板９１に接続された増幅器９７，及び増幅器９７に接続されたオシロスコープ９６を有し、電源９４及びオシロスコープ９６には、さらに例えばパーソナルコンピュータ等のＣＰＵ１５が接続され、電源９４の制御及びオシロスコープ９６の制御を行っている。２枚のＩＴＯ透明電極基板９１，９２は、図示しないテフロン製スペーサを介して対向配置され、サンドイッチセルを構成している。
【００９２】
また、使用されるテフロン製スペーサは、例えば一辺が４０ｍｍの正方形で、中央に３０ｍｍ角の正方形の開孔が設けられ、その一辺から、開孔に通じる２つのパスを形成するようにスペーサの一部が除去されている。２つのパスの一方は、空気抜き穴として、もう一方は、液体現像剤の注入路として使用することができる。
【００９３】
上記装置を用い、サンドイッチセル内に液体現像剤９８を注入し、スイッチ９３を入れて、直流電圧４００Ｖを５秒間印加し、液体現像剤９８中のトナー粒子８９をＩＴＯ透明電極基板９１側に電気泳動させた後、スイッチを切った。また、このとき、オシロスコープ９６にて電気泳動の電流値を測定し、得られた測定データに基づいてＣＰＵ９５にてデータ処理を行い、電気泳動電流波形を求めた。
【００９４】
得られた液体現像剤に関する電気泳動電流波形を表すグラフを図１７に示す。
【００９５】
図中、グラフ１６１は、電荷制御剤としてオクチル酸ニオブ、グラフ１６２は電荷制御剤としてナフテン酸ジルコニウムを用いた場合のグラフを、各々示す。
【００９６】
グラフ１６１に示すように、オクチル酸ニオブを用いた液体現像剤では電圧を印加して約０．０１秒後には電流値がピークを示し、ある程度急激に低下した。ここで、トナー粒子がＩＴＯ透明電極基板上に電着されていることがわかる。その後、電流値は徐々に減少し、０．１秒後には、ほぼ０μＡまで低下し、定常電流が流れなかった。
【００９７】
このことから、これらの現像剤はすべて正極性に帯電しており、逆極性に帯電しているものは無いことが分かった。
【００９８】
また、その後、サンドイッチセルを分解し、ＩＴＯ透明電極基板１１表面上に得られた電着膜の様子を観察した。いずれの場合もグランド側のＩＴＯ電極９１に均一な蛍光体電着膜が形成されており、正極側のＩＴＯ電極９２にはなにも付着していなかった。このときの負極側の電着膜の厚みは平均で１１μｍであり、十分な厚さの電着膜が形成されていることがわかった。
【００９９】
また、蛍光体電着膜の電子線励起での輝度を測定したところ、スクリーン印刷で形成した蛍光膜と同程度となった。
【０１００】
一方、グラフ１６２に示すように、ナフテン酸ジルコニウムを用いた液体現像剤では電圧を印加して０．１秒以内に電流値がピークを示し、その後ある程度急激に低下した。ここで、トナー粒子がＩＴＯ透明電極基板１１上に電着されていることがわかる。その後、、電流値は徐々に減少し、０．３秒後には、約０．３３μＡ程度まで低下して定常電流となった。
【０１０１】
図１７に示した電流波形から、ナフテン酸ジルコニウムとオクチル酸ニオブのそれぞれを電荷制御剤として用いた液体現像剤を比較すると、オクチル酸ニオブを電荷制御剤として用いた液体現像剤では定常電流が流れない。
【０１０２】
パターン精度評価
上記実施例１で得られた緑色発光蛍光体含有液体現像剤を、図２と同様の構成を有する現像装置に３ｇに収容し、幅１４７μｍ×長さ２４７μｍの大きさのドットを多数整列配置したパターンを有する１０ｍｍ×１００ｍｍの大きさを有する原版を適用して、現像、乾燥、及び転写を行うことにより、１０ｍｍ×１０ｍｍの大きさを有する透明基板上に緑色発光蛍光体層を形成した。
【０１０３】
得られた各蛍光体層から無作為に３０箇所選択し、その幅を計測し、標準偏差を測定した。
【０１０４】
その結果、横幅平均１４９．８７μｍ、標準偏差１．４３という結果が得られた。
【０１０５】
同様に作製した電荷制御剤をオクチル酸ニオブからナフテン酸ジルコニウムに代えたサンプルでは、横幅平均１５１．７２μｍ、標準偏差１．６６という結果が得られた。
【０１０６】
これにより、本発明に係る液体現像剤を用いた方がパターニング精度が向上したことがわかった。
【０１０７】
これは、オクチル酸ニオブを電荷制御剤として用いた液体現像剤では、定常電流が流れず、溶媒の対流等の流体的な運動が少ないためと考えられる。溶媒の対流等の流体的な運動は、電着後のドット形状の乱れの一因になると考えられ、定常電流が流れないオクチル酸ニオブを用いると、横幅の平均値が所望の大きさに近づき、標準偏差も小さくなると考えられる。
【０１０８】
実施例２
帯電制御剤をオクチル酸タンタル２ｇに変更すること以外は実施例１と同様にして、緑色発光蛍光体含有液体現像剤を得た。
【０１０９】
また、比較として、電荷制御剤としてオクチル酸ニオブの代わりにナフテン酸Ｚｒを同じモル量添加したサンプルも作製した。
【０１１０】
得られた緑色発光蛍光体含有液体現像剤を用いて、電気泳動の電流値を測定した。
【０１１１】
このことから、これらの現像剤はすべて正極性に帯電しており、逆極性に帯電しているものは無いことが分かった。
【０１１２】
その後、サンドイッチセルを分解し、ＩＴＯ透明電極基板１１表面上に得られた電着膜の様子を観察した。いずれの場合もグランド側のＩＴＯ電極９１に均一な蛍光体電着膜が形成されており、正極側のＩＴＯ電極９２にはなにも付着していなかった。このときの負極側の電着膜の厚みは平均で１１μｍであり、十分な厚さの電着膜が形成されていることがわかった。
【０１１３】
蛍光体電着膜の電子線励起での輝度を測定したところ、スクリーン印刷で形成した蛍光膜と同程度となった。
【０１１４】
図１８に、電着実験時の電流波形を示す。
【０１１５】
図中、１７１は、電荷制御剤として、オクチル酸ニオブを用いた場合、１７２はナフテン酸ジルコニウムを用いた場合のグラフを示す。
【０１１６】
図１８に示した電流波形から、ナフテン酸ジルコニウムとオクチル酸ニオブのそれぞれを電荷制御剤として用いた液体現像剤を比較すると、オクチル酸ニオブを電荷制御剤として用いた液体現像剤では定常電流が流れない。これはトナー粒子の移動を伴う電流のみ流れ、バルクを通して電流が流れないことを意味している。
【０１１７】
上記緑色発光蛍光体含有液体現像剤を、実施例１と同様にして現像装置に適用し、緑色発光蛍光体層を形成した。
【０１１８】
得られた各蛍光体層について、実施例１と同様にして、その幅を計測し、標準偏差を測定した。
【０１１９】
その結果、オクチル酸タンタルを用いた液体現像剤については、横幅平均１５０．３５μｍ、標準偏差１．５３という結果が得られた。
【０１２０】
一方、ナフテン酸ジルコニウムを用いた液体現像剤については、横幅平均１５１．７２μｍ、標準偏差１．６６という結果が得られた。
【０１２１】
これにより、本発明に係る液体現像剤を用いた方がパターニング精度が向上したことがわかった。
【０１２２】
オクチル酸タンタルを電荷制御剤として用いた液体現像剤では、定常電流が流れないため、溶媒の対流等の流体的な運動が少ないと考えられる。溶媒の対流等の流体的な運動は、電着後のドット形状の乱れの一因になると考えられ、定常電流が流れないオクチル酸タンタルを用いると、横幅の平均値が所望の大きさに近づき、標準偏差も小さくなると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明にかかる液体現像剤中のトナー粒子の構成を表す模式的な断面図
【図２】前面基板の形成プロセスに使用されるパターン形成装置の一例を表す外観図
【図３】図２のパターン形成装置で使用する原版を示す平面図（ａ）、および断面図（ｂ）
【図４】図３の原版を部分的に拡大して示す部分拡大平面図
【図５】図３の原版の１つの凹部の構造を説明するための部分拡大斜視図
【図６】図３の原版をドラム素管に巻き付けた状態を示す概略図
【図７】図３の原版の高抵抗層の表面を帯電させるための構成を示す概略図
【図８】図３の原版に液体現像剤を供給してトナー粒子によるパターンを形成するための構成を示す概略図
【図９】図３の原版に形成したパターンをガラス板に転写するための構成を示す概略図
【図１０】図３の原版をガラス板に沿って転動させるための転動機構の要部の構成を示す概略図
【図１１】原版の凹部に集めたトナー粒子をガラス板に転写する動作を説明するための動作説明図
【図１２】本発明にかかる前面基板の一例を模式的に表す断面図
【図１３】本発明に係る表示装置としてのＦＥＤの一例を表す斜視図
【図１４】図１３のＡ−Ａ’断面図
【図１５】本発明に使用し得る実験装置の一例を表す概略図
【図１６】電気泳動の電流値を測定するための装置の概要を表す概略図
【図１７】本発明の液体現像剤に関する電気泳動電流波形を表すグラフ
【図１８】本発明の液体現像剤に関する電気泳動電流波形を表すグラフ
【符号の説明】
【０１２４】
１…原版、３ｒ、３ｇ、３ｂ…現像装置、４…乾燥器、５…ガラス板、６…ステージ、７…塗布装置、１０…パターン形成装置、１２…金属フィルム、１３…高抵抗層、１４ａ…凹部、６１…核粒子、６２…被覆層、６３…熱可塑性樹脂微粒子、６０…トナー粒子、１３１…ジムロート還流冷却器、１３２…防爆モータ、１３３…熱電対、１３４…リレー温調ユニット、１３５…マントルヒータ、１３６…攪拌機、１１０…真空外囲器、１１１…前面基板、１１２…背面基板、１１３…側壁、１１５…蛍光面、１１６…蛍光体層、１１７…遮光層、１１８…電子放出素子、１２０…メタルバック、１２１…ゲッタ層、２１１，２１２…ＩＴＯ電極、２１３…スペーサ、２１４…注入路、２１５…空気抜き穴
【図１】
2008249760.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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