(57)【要約】【課題】本発明は、ＭＥＭＳミラーのフレームへの取付作業を容易に行うことができる光走査装置を提供することを主たる課題とする。【解決手段】光走査装置は、光を出射する光源と、光源を支持するフレームと、回転振動することで、光源から出射された光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラーと、振動ミラーを保持する振動ミラー保持部材（ミラーパッケージ２２）と、振動ミラーの回転振動軸ＲＡと直交する主走査方向へ延び、かつ、振動ミラー保持部材よりも長く形成される長尺状の梁状部材５０と、振動ミラー保持部材を梁状部材５０に固定させる第１固定部材６０と、主走査方向に移動可能な状態で、梁状部材５０をフレームに固定させる第２固定部材７０と、梁状部材５０の端部を押圧して梁状部材５０の主走査方向における位置を調整する調整部材（調整ネジ８０）と、を備える。【選択図】図６
2008298950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を出射する光源と、
前記光源を支持するフレームと、
回転振動することで、前記光源から出射された光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラーと、
振動ミラーを保持する振動ミラー保持部材と、
前記振動ミラーの回転振動軸と直交する主走査方向へ延び、かつ、前記振動ミラー保持部材よりも長く形成される長尺状の梁状部材と、
前記振動ミラー保持部材を前記梁状部材に固定させる第１固定部材と、
前記主走査方向に移動可能な状態で、前記梁状部材を前記フレームに固定させる第２固定部材と、
前記梁状部材の端部を押圧して前記梁状部材の前記主走査方向における位置を調整する調整部材と、
を備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記調整部材は、前記主走査方向とは異なる一方向に沿って進退可能に構成されて、前記梁状部材の一端に配設され、
前記梁状部材は、前記調整部材に接触し、かつ、前記一方向に対して傾斜する被押圧面を有し、
前記梁状部材の他端には、前記梁状部材を一端側に押圧する第１弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項３】
前記一方向は、前記振動ミラーの回転振動軸方向であることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項４】
前記一方向は、前記振動ミラーの回転振動軸方向に対して傾斜する方向であるとともに、
前記被押圧面は、前記回転振動軸方向に平行であることを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
【請求項５】
前記調整部材は、偏心カムであることを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
【請求項６】
前記調整部材は、ネジであることを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれか1項に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記第２固定部材によって、前記梁状部材における１次固有振動の節となる２個所が前記フレームに固定されることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項８】
前記第２固定部材は、第２弾性部材を利用して前記梁状部材を挟持することを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項９】
前記第２固定部材は、
前記振動ミラーの回転振動軸方向においてずれる第１突起および第２突起と、前記第２弾性部材との間で前記梁状部材を挟持するとともに、
前記第１突起および前記第２突起に対して前記振動ミラーを挟んだ反対側に位置する第３突起と、前記第２弾性部材との間で前記梁状部材を挟持することを特徴とする請求項８に記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記第１突起および前記第２突起の少なくとも一方が、前記第２弾性部材の押圧力の方向に沿って進退可能に構成されることを特徴とする請求項９に記載の光走査装置。
【請求項１１】
前記第３突起が、前記第２弾性部材の押圧力の方向に沿って進退可能に構成されることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の光走査装置。
【請求項１２】
前記第２固定部材は、さらに、前記梁状部材を前記フレームに対して押し付けて固定させる上下押さえ部を有することを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項１３】
前記梁状部材に、
前記振動ミラーの回転振動軸を前記第１突起、第２突起および第３突起で規定される面内に位置させる凹部を設けたことを特徴とする請求項９〜請求項１２のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項１４】
前記第１固定部材に、前記振動ミラーへ入射する光および前記振動ミラーで反射された光が通る孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項１３のいずれか１項に記載の光走査装置。
【請求項１５】
前記梁状部材に、前記振動ミラーへ入射する光および前記振動ミラーで反射された光が通る孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項１３のいずれか１項に記載の光走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳミラー等の振動ミラーを備えた光走査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、画像形成装置として、帯電された感光ドラムに対して光走査装置によって光ビームを走査することで、感光ドラム上に静電潜像を形成し、その静電潜像に現像剤を供給することにより形成される現像剤像を用紙に転写することで、用紙に所定の画像を形成するものが知られている。
【０００３】
このような画像形成装置に設けられる光走査装置においては、従来、回転振動するＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical  Systems）ミラーを用いて走査を行うものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１９８５００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ＭＥＭＳミラーは非常に小さいものなので、取り扱いが難しく、例えば複数のリブが形成されたフレーム内に直接取り付けるには、非常に困難となる場合があった。また、ＭＥＭＳミラーは、高周波で回転振動するため、周囲の部品を通して騒音が発生するおそれがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、ＭＥＭＳミラー等の非常に小さな振動ミラーのフレームへの取付作業を容易に行うことができる光走査装置を提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明に係る光走査装置は、光を出射する光源と、前記光源を支持するフレームと、回転振動することで、前記光源から出射された光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラーと、振動ミラーを保持する振動ミラー保持部材と、前記振動ミラーの回転振動軸と直交する主走査方向へ延び、かつ、前記振動ミラー保持部材よりも長く形成される長尺状の梁状部材と、前記振動ミラー保持部材を前記梁状部材に固定させる第１固定部材と、前記主走査方向に移動可能な状態で、前記梁状部材を前記フレームに固定させる第２固定部材と、前記梁状部材の端部を押圧して前記梁状部材の前記主走査方向における位置を調整する調整部材と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、振動ミラーが振動ミラー保持部材を介して振動ミラーよりも大きな梁状部材に取り付けられるので、振動ミラーよりも取り扱い易い梁状部材をフレームに固定させるだけで、振動ミラーが簡単にフレームに取り付けられることとなる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、梁状部材をフレームに固定させるだけで、振動ミラーがフレームに取り付けられることとなるので、振動ミラーのフレームへの取付作業を容易にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。参照する図面において、図１は本発明の一実施形態に係る光走査装置を示す斜視図であり、図２は光走査装置の各構成部品と光のルートを示す概略図である。最初に、図１および図２を参照して光走査装置１の全体構造について簡単に説明する。
【００１１】
［光走査装置１］
図１に示すように、光走査装置１は、光源ユニット１０と、第１ミラーＭ１と、振動ミラーユニット２０と、第１走査レンズ３０と、第２走査レンズＬと、第２ミラーＭ２と、これらを支持するフレーム４０と、フレーム４０の下側に配設される第３ミラーＭ３（図２参照）とを主に備えて構成されている。
【００１２】
［光源ユニット１０］
図２に示すように、光源ユニット１０は、レーザダイオード１１と、カップリングレンズ１２と、絞り部材１３と、シリンドリカルレンズ１４とを備えて構成されている。そして、レーザダイオード１１から出射されたレーザビームは、カップリングレンズ１２、絞り部材１３およびシリンドリカルレンズ１４を通った後、第１ミラーＭ１で反射され、振動ミラーユニット２０に向かって照射される。
【００１３】
［振動ミラーユニット２０］
振動ミラーユニット２０は、その内部に、所定範囲で回転振動することで、第１ミラーＭ１側から出射されてくる光の反射方向を変化させて走査を行う振動ミラー２１を備えて構成されている。そして、この振動ミラー２１で反射された光は、第１走査レンズ３０および第２走査レンズＬを通った後、第２ミラーＭ２および第３ミラーＭ３で反射されて、光走査装置１外へ出射される。なお、光走査装置１外へ出射された光は、複写機やレーザプリンタ等の画像形成装置内の感光体（感光ドラム等）に投射されることで、感光体上の静電潜像の形成に寄与する。
【００１４】
次に、振動ミラーユニット２０の詳細について説明する。参照する図面において、図３は振動ミラーユニットを示す分解斜視図であり、図４はミラーパッケージを示す拡大斜視図である。また、図５は梁状部材を後側から見た状態を示す拡大斜視図（ａ）と、上面図（ｂ）であり、図６は組み立てられた状態の振動ミラーユニットを前側から見た状態示す斜視図（ａ）と、正面図（ｂ）である。図７は、調整ネジを緩めた際の梁状部材の動きを示す正面図（ａ）と、調整ネジを締め付けた際の梁状部材の動きを示す正面図（ｂ）である。なお、以下の説明における前後、左右、上下の方向については、図１に示す方向を基準とする。
【００１５】
図３に示すように、振動ミラーユニット２０は、振動ミラー保持部材の一例としてのミラーパッケージ２２と、長尺状の梁状部材５０と、ミラーパッケージ２２を梁状部材５０に固定させる第１固定部材６０と、梁状部材５０をフレーム４０に固定させる第２固定部材７０と、調整部材の一例としての調整ネジ８０を主に備えて構成されている。
【００１６】
ミラーパッケージ２２は、図４に示すように、中空の矩形のケース状に形成されており、その内部で振動ミラー２１を保持している。具体的に、振動ミラー２１は、この振動ミラー２１よりも一回り大きな開口を有する板状の支持体（図示せず）に軸部を介して一体に形成されることでＭＥＭＳミラーを構成している。そして、このＭＥＭＳミラーの支持体がミラーパッケージ２２に固定されることで、振動ミラー２１がミラーパッケージ２２に対して揺動自在となっている。
【００１７】
また、ミラーパッケージ２２には、その前壁２２ａに振動ミラー２１を露出させるための開口部２２ｂが形成されている。
【００１８】
図３に示すように、梁状部材５０は、長尺状の部材であり、振動ミラー２１の回転振動軸ＲＡ（図４参照）と直交する方向へ延び、かつ、ミラーパッケージ２２よりも長く形成されている。梁状部材５０とミラーパッケージ２２の上下方向の長さ（回転振動軸ＲＡ方向の長さ）は、ほぼ同一である。また、図５（ａ）に示すように、梁状部材５０の後側の中央部５１には、ミラーパッケージ２２を支持する一対の支持用突起５１ａが上下方向に並んで設けられている。
【００１９】
また、一対の支持用突起５１ａの間には、ミラーパッケージ２２の開口部２２ｂに対応する孔５１ｂが形成されている。これにより、梁状部材５０の前側から入射されてくる光が孔５１ｂを通ってミラーパッケージ２２内の振動ミラー２１に投射され、この振動ミラー２１で反射された光が孔５１ｂを通って梁状部材５０の前方に出射される。
【００２０】
また、梁状部材５０の中央部５１は、その両側の被支持部５２よりも前方へ膨出するように形成されており、これにより、梁状部材５０の後側に凹部５３が形成されるようになっている。そして、凹部５３の深さは、図５（ｂ）に示すように、振動ミラー２１の回転振動軸ＲＡが被支持部５２の後面５２ａの面内に位置するような深さで形成されている。言い換えると、後述する第１ネジＮ１の先端Ｎ１１、球状突起７１ｅおよび第２ネジＮ２の先端Ｎ２１（図６参照）で規定される面内に、振動ミラー２１の回転振動軸ＲＡが位置するように、凹部５３の深さが設定されている。これにより、煽り角の調整を容易に行うことができる。
【００２１】
また、梁状部材５０の左側の端縁には、調整ネジ８０と接触し、かつ、調整ネジ８０の進退方向に対して傾斜する被押圧面の一例としての傾斜面５４が形成されている。具体的に、この傾斜面５４は、左方向に向かうにつれて徐々に下方へ傾斜しており、これにより、調整ネジ８０を下方に締め込むと、この調整ネジ８０が傾斜面５４を介して梁状部材５０を右方向に押圧するようになっている。
【００２２】
さらに、梁状部材５０の各被支持部５２の下端には、それぞれ後述する支持ブロック７１の支持片７１ｂ（図３参照）と係合する係合溝５５が形成されている。この係合溝５５は、支持ブロック７１の支持片７１ｂよりも大きな幅で形成されており、これにより、梁状部材５０が係合溝５５の幅の範囲内において左右方向（主操作方向）に移動可能となっている。また、梁状部材５０の各被支持部５２の内縁側には、後述する第１固定部材６０のアーム部６２が挿入され、係合爪部６３と係合する係合孔５６が形成されている。
【００２３】
図３に示すように、第１固定部材６０は、ミラーパッケージ２２を梁状部材５０に固定させるものであり、弾性変形可能な板材を適宜屈曲することで形成されている。具体的に、第１固定部材６０は、ミラーパッケージ２２の後面を支持する支持壁部６１と、支持壁部６１の左右両端から前方へ折り曲げられた一対のアーム部６２と、各アーム部６２の先端から左右方向外側へ折り曲げられた係合爪部６３とを備えている。支持壁部６１には、その中央部に左右方向に延びる長孔６１ａが形成されるとともに、この長孔６１ａの左右両側に前方へ突出する一対の凸部６１ｂが形成されている。
【００２４】
ここで、長孔６１ａは、本実施形態では特に使用しないが、例えば、本実施形態におけるミラーパッケージ２２の向きを前後逆に配置した場合には、ミラーパッケージ２２内の振動ミラー２１へ入射する光および振動ミラー２１で反射された光が通る孔として利用することができる。また、振動ミラー２１を両面ミラーとして利用することも可能である。
【００２５】
そして、このように構成される第１固定部材６０の一対のアーム部６２を左右方向内側に多少撓ませた状態で梁状部材５０の各係合孔５６に挿入させていき、係合爪部６３を梁状部材５０の前面に引っ掛けることによって、この第１固定部材６０によってミラーパッケージ２２が梁状部材５０に固定される。詳しくは、ミラーパッケージ２２は、第１固定部材６０の一対の凸部６１ｂと、梁状部材５０の一対の支持用突起５１ａ（図５参照）とによって支持されることとなる。
【００２６】
第２固定部材７０は、梁状部材５０を主に下側から支持する支持ブロック７１と、支持ブロック７１との間で梁状部材５０を挟持する板ばね７２とを備えて構成されている。
【００２７】
支持ブロック７１は、フレーム４０（図１参照）の底壁に沿って形成される基部７１ａと、梁状部材５０の下端を支持する一対の支持片７１ｂ，７１ｂと、梁状部材５０の後面を支持する一対の支持柱７１ｃ，７１ｄとを備えて構成されている。なお、本実施形態では、支持ブロック７１をフレーム４０に対して別体に構成しているが、本発明はこれに限定されず、支持ブロック７１をフレーム４０に一体に形成してもよい。ただし、この場合は、フレーム４０に梁状部材５０を固定させる第２固定部材７０は、板ばね７２のみで構成される。これに対し、本実施形態のように第２固定部材７０を支持ブロック７１と板ばね７２で構成する場合には、梁状部材５０は支持ブロック７１を介してフレーム４０に固定されることとなる。
【００２８】
基部７１ａは、左右方向に沿って延びる矩形の板状に形成されている。
支持片７１ｂは、基部７１ａの両端側の前部から上方に向けて突出するように形成されている。そして、各支持片７１ｂの中央部の間隔（ピッチ）は、図６（ｂ）に示すように、梁状部材５０の１次固有振動の各節Ｆ１の間隔と同じ大きさに設定されている。
【００２９】
支持柱７１ｃ，７１ｄは、各支持片７１ｂの後側に形成されており、各支持片７１ｂよりも高くなるように形成されている。右側の支持柱７１ｃには、前方へ突出する第１突起の一例としての球状突起７１ｅが形成されるとともに、この球状突起７１ｅと上下方向（回転振動軸ＲＡ方向；図４参照）にずれた位置に前後方向へ貫通して形成される貫通孔７１ｆが形成されている。そして、この貫通孔７１ｆには、後側から第１ネジＮ１が進退自在に螺合されており、この第１ネジＮ１の先端Ｎ１１が、支持柱７１ｃの前面７１ｇから前方へ進退自在に突出することで、第２突起の一例として機能するようになっている。また、このように前方へ突出する第１ネジＮ１の先端Ｎ１１と球状突起７１ｅは、図６（ｂ）に示すように、右側の支持片７１ｂと上下方向において一直線状に並ぶように配設されている。
【００３０】
左側の支持柱７１ｄには、前後方向へ貫通する貫通孔７１ｈが形成されている。そして、この貫通孔７１ｈには、後側から第２ネジＮ２が進退自在に螺合されており、この第２ネジＮ２の先端Ｎ２１が、支持柱７１ｄの前面７１ｊから前方へ進退自在に突出することで、第３突起の一例として機能するようになっている。また、このように前方へ突出する第２ネジＮ２の先端Ｎ２１は、図６（ｂ）に示すように、左側の支持片７１ｂと上下方向において一直線状に並ぶように配設されている。
【００３１】
そして、前記した球状突起７１ｅ、第１ネジＮ１の先端Ｎ１１および第２ネジＮ２の先端Ｎ２１によって梁状部材５０が３点支持される。また、このように３点支持される梁状部材５０は、第１ネジＮ１または第２ネジＮ２を適宜回転させて、その先端Ｎ１１，Ｎ２１を適宜進退させることで、その煽り角が調整され、ひいては、振動ミラー２１の煽り角（反射角）が調整されるようになっている。詳しくは、第１ネジＮ１を適宜回転させることで、球状突起７１ｅと第２ネジＮ２の先端Ｎ２１とを結ぶ線を中心にして、梁状部材５０および振動ミラー２１が回動する。また、第２ネジＮ２を適宜回転させることで、球状突起７１ｅと第１ネジＮ１の先端Ｎ１１とを結ぶ線を中心にして、梁状部材５０および振動ミラー２１が回動する。
【００３２】
板ばね７２は、基部７２ａと、第２弾性部材の一例としての前後押さえ部７２ｂと、上下押さえ部７２ｃと、第１弾性部材の一例としての位置調整用ばね部７２ｄとを備えて構成されている。
基部７２ａは、左右方向に延びる矩形の板状に形成されており、その適所に、板ばね７２を支持ブロック７１またはフレーム４０の適所に固定するための取付孔７２ｅが形成されている。
【００３３】
前後押さえ部７２ｂは、基部７２ａの両端側に一対形成されており、基部７２ａの前端から前方に延びた後、上方、前方、下方といった順で折り曲げられることで、その先端が前後方向に弾性変形可能となっている。そして、右側の前後押さえ部７２ｂは、前記した球状突起７１ｅおよび第１ネジＮ１の先端Ｎ１１との間で梁状部材５０を挟持し、左側の前後押さえ部７２ｂは、前記した第２ネジＮ２の先端Ｎ２１との間で梁状部材５０を挟持する（図６（ａ）参照）。
【００３４】
上下押さえ部７２ｃは、基部７２ａの中央付近に形成されており、基部７２ａの前端から前方に延びた後、上方、前方といった順で折り曲げられることで、その先端が上下方向に弾性変形可能となっている。上下押さえ部７２ｃの先端部には、下方へ突出する凸部７２ｆが形成されている。そして、上下押さえ部７２ｃは、その凸部７２ｆで梁状部材５０を前記した一対の支持片７１ｂ，７１ｂに対し、ひいては支持片７１ｂ，７１ｂを介してフレーム４０に対して押し付けて固定させる（図６（ａ）参照）。
【００３５】
位置調整用ばね部７２ｄは、基部７２ａの右端に形成されており、その右端から左下方向に延びた後、前方に向かって延びるように形成されることで、梁状部材５０を常時左方に押圧する。
【００３６】
以上のように構成される第２固定部材７０は、左右方向（主走査方向）に移動可能な状態で、梁状部材５０をフレーム４０に支持ブロック７１を介して固定させる。また、第２固定部材７０の一対の前後押さえ部７２ｂ，７２ｂによって、梁状部材５０における１次固有振動の節Ｆ１（図６（ｂ）参照）となる２個所が支持ブロック７１を介してフレーム４０に固定される。
【００３７】
調整ネジ８０は、支持ブロック７１またはフレーム４０の適所に形成される図示せぬネジ穴に螺合されることで、梁状部材５０の主走査方向（長手方向）とは異なる方向、本実施形態では上下方向（回転振動軸ＲＡ方向）に沿って進退可能に構成されている。そして、この調整ネジ８０は、支持ブロック７１等に螺合された状態において、その鍔部８１が梁状部材５０の傾斜面５４と接触する。そのため、調整ネジ８０を例えば図６（ｂ）に示す状態から緩めて上方へ移動させると、図７（ａ）に示すように、調整ネジ８０の鍔部８１による梁状部材５０の支持が徐々に解除されることで、位置調整用ばね部７２ｄの復帰力により梁状部材５０が左方に移動する。また、調整ネジ８０を図６（ｂ）に示す状態から締め付けて下方へ移動させると、図７（ｂ）に示すように、調整ネジ８０の鍔部８１によって梁状部材５０が位置調整用ばね部７２ｄの付勢力に抗して右方に押圧されて移動する。以上により、梁状部材５０の主走査方向（長手方向）における位置が調整ネジ８０および位置調整用ばね部７２ｄによって調整可能となっている。
【００３８】
次に、フレーム４０に対する振動ミラー２１の取付方法について説明する。
まず、図４に示すように、振動ミラー２１をミラーパッケージ２２内に固定する。続いて、このミラーパッケージ２２を、図５（ａ）に示す梁状部材５０の凹部５３内にセットした後、第１固定部材６０でミラーパッケージ２２を梁状部材５０に固定させる。
【００３９】
次に、図３に示す支持ブロック７１をフレーム４０に固定した後、支持ブロック７１の支持片７１ｂ上に梁状部材５０をセットする。その後、第２固定部材７０を支持ブロック７１またはフレーム４０に固定することで、第２固定部材７０によって梁状部材５０を支持ブロック７１に固定させる。
【００４０】
そして、調整ネジ８０をフレーム４０等に捩じ込んでいき、図７（ａ）および（ｂ）に示すように梁状部材５０の主走査方向における位置を調整して、図６（ｂ）に示すように、梁状部材５０の１次固有振動の節Ｆ１を第１ネジＮ１の先端Ｎ１１、球状突起７１ｅおよび第２ネジＮ２の先端Ｎ２１にそれぞれ合わせる。なお、節Ｆ１，Ｆ１には、予め塗料や切り欠き等で印を付けておくのが望ましい。
【００４１】
その後は、図６（ａ）に示すように、適宜、第１ネジＮ１または第２ネジＮ２を調整することで、梁状部材５０の煽り角、ひいては振動ミラー２１の煽り角を調整する。以上により、振動ミラー２１が適正な位置・角度でフレーム４０に取り付けられることとなる。
【００４２】
以上によれば、本実施形態において以下のような効果を得ることができる。
振動ミラー２１がミラーパッケージ２２を介して振動ミラー２１よりも大きくて取り扱い易い梁状部材５０に取り付けられるので、振動ミラー２１のフレーム４０への取付作業を容易にすることができる。また、振動ミラー２１の位置や角度の調整も、取り扱い易い梁状部材５０を動かせば達成されるので、その調整作業も容易となる。
【００４３】
調整ネジ８０と位置調整用ばね部７２ｄとによって、梁状部材５０を主操作方向に自由に移動することができるので、振動ミラー２１の主操作方向における位置調整を容易に行うことができる。
調整ネジ８０の進退方向を振動ミラー２１の回転振動軸ＲＡに沿った方向としたので、本実施形態のように回転振動軸ＲＡがフレーム４０の底面に直交するように梁状部材５０が配置される場合には、調整ネジ８０を操作するためのドライバー等の工具をフレーム４０の底面に直交する方向からフレーム４０内に差し込むことができる。そのため、工具や工具を持つ手がフレーム４０と接触することがなく、調整ネジ８０の調整を容易に行うことができる。
【００４４】
第２固定部材７０によって梁状部材５０における１次固有振動の節Ｆ１，Ｆ１がフレーム４０（詳しくは、フレーム４０に固定される支持ブロック７１）に固定されるので、振動ミラー２１の回転振動に伴って振動する梁状部材５０から発生する騒音を良好に抑えることができる。
第２固定部材７０が板ばね７２を含んで構成されるので、梁状部材５０の位置調整を容易に行うことができる。
【００４５】
梁状部材５０を３点支持する突起のうちの２つが、前後に進退自在な第１ネジＮ１の先端Ｎ１１および第２ネジＮ２の先端Ｎ２１で構成されているので、第１ネジＮ１または第２ネジＮ２を回転することで簡単に梁状部材５０（振動ミラー２１）の煽り角を調整することができる。
【００４６】
上下押さえ部７２ｃで梁状部材５０の上下方向の移動を押さえたので、振動ミラー２１の上下方向の位置を安定させることができる。
梁状部材５０に形成した凹部５３によって、振動ミラー２１の回転振動軸ＲＡが梁状部材５０の後面５２ａの面内に位置するので、第１ネジＮ１または第２ネジＮ２を操作して梁状部材５０の後面５２ａの煽り角を調整すると、この後面５２ａと同じ角度で振動ミラー２１の煽り角も調整されることとなる。すなわち、後面５２ａの面から外れた位置に回転振動軸ＲＡが位置する場合には、調整前後の後面５２ａの角度差と、調整前後の振動ミラー２１の角度差に誤差が生じるが、後面５２ａの面内に回転振動軸ＲＡを位置させることで、このような問題が解消される。
【００４７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、以下に例示するように様々な形態で利用できる。
前記実施形態では、第１弾性部材および第２弾性部材として板ばね状の位置調整用ばね部７２ｄおよび前後押さえ部７２ｂを採用したが、本発明はこれに限定されず、コイルスプリングなどであってもよい。
【００４８】
前記実施形態では、調整ネジ８０の進退方向を振動ミラー２１の回転振動軸ＲＡに沿った方向とし、この調整ネジ８０と接触する梁状部材５０の被押圧面を回転振動軸ＲＡに対して傾斜する傾斜面５４としたが、本発明はこれに限定されず、調整部材の進退方向に対して被押圧面が傾斜していればよい。例えば、図８に示すように、調整ネジ８０の進退方向を回転振動軸ＲＡに対して傾斜する方向とし、梁状部材５０の左側の端面を回転振動軸ＲＡ（上下方向）に対して平行に形成してもよい。この場合であっても、調整ネジ８０と位置調整用ばね部７２ｄとによって、梁状部材５０を主操作方向に位置決めすることができる。また、この構造の場合、梁状部材５０の両端を平行に揃えることができるので、長尺状の板材を切断して複数の梁状部材５０の材料を取り出す場合における板材の歩留まりを向上させることができる。
【００４９】
前記実施形態では、調整部材として調整ネジ８０を採用したが、本発明はこれに限定されず、図９に示すように、偏心カム９０を採用してもよい。この場合であっても、偏心カム９０と位置調整用ばね部７２ｄとによって、梁状部材５０を主操作方向に位置決めすることができる。また、この構造の場合、図８の構造と同様に、梁状部材５０の両端を平行に揃えることができるので、梁状部材５０の原料となる板材の歩留まりを向上させることができる。
【００５０】
前記実施形態では、調整ネジ８０の進退方向に対して傾斜する傾斜面５４に調整ネジ８０を接触させることで梁状部材５０を主操作方向に移動可能としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図８のような梁状部材５０の上下方向に沿う端面に対して直交する方向に進退するようにネジを設けてもよい。
【００５１】
前記実施形態では、第１弾性部材の一例である位置調整用ばね部７２ｄを第２固定部材７０を構成する板ばね７２と一体に形成したが、本発明はこれに限定されず、別体であってもよい。
前記実施形態では、第１突起として進退不能な球状突起７１ｅを採用したが、本発明はこれに限定されず、進退自在なネジで構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施形態に係る光走査装置を示す斜視図である。
【図２】光走査装置の各構成部品と光のルートを示す概略図である。
【図３】振動ミラーユニットを示す分解斜視図である。
【図４】ミラーパッケージを示す拡大斜視図である。
【図５】梁状部材を後側から見た状態を示す拡大斜視図（ａ）と、上面図（ｂ）である。
【図６】組み立てられた状態の振動ミラーユニットを前側から見た状態示す斜視図（ａ）と、正面図（ｂ）である。
【図７】調整ネジを緩めた際の梁状部材の動きを示す正面図（ａ）と、調整ネジを締め付けた際の梁状部材の動きを示す正面図（ｂ）である。
【図８】調整ネジの進退方向を回転振動軸に対して斜めにした形態を示す斜視図である。
【図９】調整部材として偏心カムを採用した形態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１      光走査装置
１０    光源ユニット
２０    振動ミラーユニット
２１    振動ミラー
２２    ミラーパッケージ
４０    フレーム
５０    梁状部材
５１ｂ  孔
５３    凹部
５４    傾斜面
６０    第１固定部材
６１ａ  長孔
７０    第２固定部材
７１ｅ  球状突起
７２ｂ  前後押さえ部
７２ｃ  上下押さえ部
７２ｄ  位置調整ばね部
８０    調整ネジ
８１    鍔部
９０    偏心カム
Ｆ１    節
Ｎ１    第１ネジ
Ｎ２    第２ネジ
Ｎ１１  先端
Ｎ２１  先端
ＲＡ    回転振動軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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