(57)【要約】【課題】隔壁の高さを高くして放電空間を広くし、プラズマディスプレイパネルの発光効率を向上させる。【解決手段】前面側基板と背面側基板の対向間隙に放電ガスが封入され、片方の基板の内面上にガス封入空間を放電セル配列に区画する隔壁１８が配置されてなるプラズマディスプレイパネルにて、隔壁が上層隔壁１８ｂと下層隔壁１８ａからなり、上層隔壁１８ｂ及び下層隔壁１８ａをエッチングに対する耐性が互いに異なる隔壁材料で構成して、下層隔壁の形成時に上層隔壁に対して影響を及ぼすことなく、高い隔壁を形成し放電空間を広くできるようにする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面側基板と背面側基板の対向間隙に放電ガスが封入され、片方の基板の内面上にガス封入空間を放電セル配列に区画する隔壁が配置されてなるプラズマディスプレイパネルであって、
上記隔壁は、上層隔壁と下層隔壁からなり、上層隔壁及び下層隔壁はエッチングに対する耐性が互いに異なる隔壁材料で構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
上記上層隔壁は、上記下層隔壁を形成するエッチングに対して耐性を有する隔壁材料で構成されることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
上記上層隔壁がサンドブラストにより形成され、上記下層隔壁が化学エッチングで形成されてなることを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
上記上層隔壁が光透過層であり、上記下層隔壁が光反射層であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
上記上層隔壁が低融点ガラスで構成され、上記下層隔壁がアルミニウム又は銅で構成されることを特徴とする請求項４記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
上記前面側基板の内面上には面放電を発生する複数の電極とそれを覆う第１の誘電体層が設けられ、上記背面側基板上には上記面放電用の電極と交差する方向に配列されアドレス放電を発生する複数のアドレス電極とそれを覆う第２の誘電体層が設けられ、上記隔壁が上記第２の誘電体層上に設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
上記第２の誘電体層が光反射性を有することを特徴とする請求項６記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前面側基板と背面側基板の対向間隙に放電ガスが封入され、片方の基板の内面上にガス封入空間を放電セル配列に区画する隔壁が配置されてなるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
上記隔壁を形成するに際して、
上記片方の基板の内面上に形成されている誘電体層上に第１のエッチングに対して耐性を有する第１の隔壁材料膜を形成する工程と、
上記第１の隔壁材料膜上に第２のエッチングに対して耐性を有する第２の隔壁材料膜を形成する工程と、
上記第２の隔壁材料膜上にレジストパターンを形成する工程と、
上記レジストパターンをマスクとして上記第２の隔壁材料膜を第１のエッチングで加工し隔壁の上層を形成する工程と、
上記第１の隔壁材料膜を第２のエッチングで加工し隔壁の下層を形成する工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
上記第１のエッチングがサンドブラストであり、上記第２のエッチングが化学エッチングであることを特徴とする請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
上記第１及び第２のエッチングが、ともに化学エッチングであることを特徴とする請求項８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面型のディスプレイ装置として、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）を備えるプラズマディスプレイ装置が実用化され、表示データに応じて画面上の画素を発光させるようになっている。面放電型のプラズマディスプレイパネルにおいては、前面ガラス基板の内面に面放電用電極が複数形成され、その面放電用電極が誘電体層及び保護層に覆われている。背面ガラス基板の内面には、隔壁が形成されるとともに、３原色である赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）の蛍光体が隔壁の間に塗布された蛍光体層が形成されている。面放電型のプラズマディスプレイパネルは、この前面ガラス基板と背面ガラス基板とを封着し、内部に希ガスを封入した構造となっている。面放電型のプラズマディスプレイパネルは、面放電用電極間に所定電圧を印加すると隔壁により形成される放電空間内で放電が起こり、これにより発生した紫外線によって各蛍光体を励起発光させることによりカラー画像表示を行う。
【０００３】
プラズマディスプレイパネルにおける発光効率を向上させる方法として、放電空間を広くする方法がある。解像度等の画像品質を維持しつつ放電空間を広くするには隔壁の高さを高くしなければならないが、単純に隔壁の高さを高くすると、形状ムラや隔壁欠け、隔壁倒れなど強度的な問題が生じるおそれがある。
【０００４】
隔壁の高さを高くする方法として、隔壁を２層構造にすることが考えられる。隔壁を２層構造にしたものとしては、サンドブラスト法により隔壁を形成するプロセスにおいて、２層構造の隔壁の上層部をブラストレートの大きい材料で構成し、下層部をブラストレートの小さい材料で構成して、隔壁の破損を防止するものがある（特許文献１参照。）。また、２層構造の隔壁の上層を光透過層、下層を光反射層で構成し、発光効率の向上を図るものがある（特許文献２参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−６３８４９号公報
【特許文献２】特開２００２−２９８７４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載された方法では、上層部をブラストレートの大きい材料で構成しているため、ブラストレートの小さい材料で構成される下層部をサンドブラスト法で加工する際に、上層部も削れて細くなってしまうという問題がある。現在のサンドブラスト法のみによる加工では、形成できる隔壁の高さには限界がある。
本発明は、隔壁の高さを高くして放電空間を広くし、プラズマディスプレイパネルの発光効率を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のプラズマディスプレイパネルは、前面側基板と背面側基板の対向間隙に放電ガスが封入され、片方の基板の内面上にガス封入空間を放電セル配列に区画する隔壁が配置されてなるプラズマディスプレイパネルであって、上記隔壁は、上層隔壁と下層隔壁からなり、上層隔壁及び下層隔壁はエッチングに対する耐性が互いに異なる隔壁材料で構成されることを特徴とする。
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前面側基板と背面側基板の対向間隙に放電ガスが封入され、片方の基板の内面上にガス封入空間を放電セル配列に区画する隔壁が配置されてなるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、上記隔壁を形成するに際して、上記片方の基板の内面上に形成されている誘電体層上に第１のエッチングに対して耐性を有する第１の隔壁材料膜を形成する工程と、上記第１の隔壁材料膜上に第２のエッチングに対して耐性を有する第２の隔壁材料膜を形成する工程と、上記第２の隔壁材料膜上にレジストパターンを形成する工程と、上記レジストパターンをマスクとして上記第２の隔壁材料膜を第１のエッチングで加工し隔壁の上層を形成する工程と、上記第１の隔壁材料膜を第２のエッチングで加工し隔壁の下層を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、上層隔壁及び下層隔壁を構成する隔壁材料はエッチングに対する耐性が異なるので、下層隔壁の形成時に上層隔壁に対して影響を及ぼすことなく、良好な品質の高い隔壁を形成し放電空間を広くすることができる。これにより、プラズマディスプレイパネルの発光効率を向上させるができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの構成例を示す分解斜視図である。
前面ガラス基板１０上に、維持放電を行うＸ電極（維持電極）１１及びＹ電極（走査電極）１２が、平行かつ交互に配置され形成されている。その上には、低融点ガラス等からなる誘電体層１３が被着されている。さらにその上には、ＭｇＯ（酸化マグネシウム）保護層１４が被着されている。すなわち、前面ガラス基板１０に配置されたＸ電極１１及びＹ電極１２は、誘電体層１３に覆われており、さらにその表面が保護層１４に覆われている。
【００１１】
また、前面ガラス基板１０と対向して配置された背面ガラス基板１５上に、アドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂが、Ｘ電極１１及びＹ電極１２と直交する方向に（交差するように）形成される。アドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂの上には誘電体層１７が被着される。さらにその上には、蛍光体１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂが被着されている。アドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂの両側に列方向のセルを区分するための隔壁（リブ）１８が配置される。本実施形態において、隔壁１８は、下層隔壁１８ａと上層隔壁１８ｂからなる２層構造を有し、下層隔壁１８ａを形成する隔壁形成材料と、上層隔壁１８ｂを形成する隔壁形成材料は化学エッチングに対する耐性が異なる。
【００１２】
隔壁１８の内面（側壁）には、紫外線により励起されて赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の可視光を発光する蛍光体１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂが各色毎に配列、塗布されている。詳細には、アドレス電極１６Ｒの上方に赤色に発光する蛍光体層１９Ｒが形成され、アドレス電極１６Ｇの上方に緑色に発光する蛍光体層１９Ｇが形成され、アドレス電極１６Ｂの上方に青色に発光する蛍光体層１９Ｂが形成されている。言い換えれば、隔壁１８の内面に塗布されている赤色、緑色、青色の蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂに対応するようにしてアドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂが配置されている。
【００１３】
すなわち、背面ガラス基板１５に配置されたアドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂは、誘電体層１７に覆われており、アドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂの両側に下層部１８ａと上層部１８ｂからなり、放電セルを区画する隔壁１８が配置されている。アドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂ上の誘電体層１７の上面及び隔壁１８の側壁に、放電セルに対応して蛍光体層１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂが塗布されている。Ｘ電極１１及びＹ電極１２の間の放電によって蛍光体１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂを励起して各色が発光する。
【００１４】
前面ガラス基板１０と背面ガラス基板１５を、保護層１４と隔壁１８が接するように封着し、その内部（前面ガラス基板１０と背面ガラス基板１５との間の放電空間）にＮｅ−Ｘｅ等の放電ガスをおおよそ６６．４ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）の圧力で封入し、プラズマディスプレイパネルが構成される。
なお、列方向のセルを区分するための隔壁１８に加え、さらにアドレス電極１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂと交差する方向に行方向のセルを区分するための横隔壁を配置しても良い。
【００１５】
次に、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法について説明する。図２は、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を工程順に示す概略断面図であり、背面側基板についてのみ示している。
【００１６】
まず、図２（ａ）に示すように、背面ガラス基板１５上にアドレス電極材料膜２１を形成（成膜）する。さらに、アドレス電極材料膜２１上にレジスト膜を形成し、マスクを介して露光し現像することでアドレス電極を形成するためのレジストパターン２２を形成する。次に、レジストパターン２２をマスクとして、アドレス電極に対応する部位を除くアドレス電極材料膜２１を化学エッチングにより除去した後、レジスト膜を除去する。これにより、図２（ｂ）に示すように、背面ガラス基板１５上にアドレス電極１６が形成される。続いて、図２（ｃ）に示すように、アドレス電極１６を覆うようにアドレス電極１６上に誘電体層１７を形成する。
【００１７】
次に、図２（ｄ）に示すように、誘電体層１７上に下層隔壁を構成する下層隔壁形成材料を塗布して下層隔壁材料膜２３を形成し、図２（ｅ）に示すように、下層隔壁材料膜２３上に上層隔壁を構成する上層隔壁形成材料を塗布して上層隔壁材料膜２４を形成する。さらに、上層隔壁材料膜２４上にレジスト膜を形成し、マスクを介して露光し現像することで隔壁を形成するためのレジストパターン２５を形成する。
【００１８】
ここで、下層隔壁形成材料としては、シリカ（ＳｉＯ2）にアルミナを加えたものが用いられ、上層隔壁形成材料としては、低融点ガラス（酸化鉛ガラス（ＰｂＯ）と、構造体を強固にするためにアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ2）等の強固材料とを、エチルセルロース、有機バインダー、有機溶剤等からなる有機物質に分散材を加えて混合したもの）が用いられる。
【００１９】
次に、レジストパターン２５をマスクとして、サンドブラスト法により上層隔壁材料膜２４を隔壁形状にエッチング（切削）することにより、図２（ｆ）に示すように、下層隔壁材料膜２３上に上層隔壁１８ｂが形成される。続いて、上層隔壁１８ｂをマスクとして利用し、化学エッチングにより下層隔壁材料膜２３を隔壁形状にエッチングすることにより、図２（ｇ）に示すように、上層隔壁１８ｂの下に下層隔壁１８ａが形成される。なお、上層隔壁１８ｂは、下層隔壁形成材料とは化学エッチングに対する耐性が異なる材料で構成され、下層隔壁１８ａを形成する際の化学エッチングに対する耐性を有しているため、上層隔壁１８ｂは、化学エッチングの影響は受けない。また、誘電体層１７は、このエッチング時にエッチングのストッパー層として働き、アドレス電極、ガラス基板の表面を保護する。
【００２０】
以上のようにして下層隔壁１８ａと上層隔壁１８ｂからなる２層構造の隔壁１８を形成することで、隔壁１８の高さを、サンドブラスト法で形成可能な上層隔壁１８ｂの高さに下層隔壁１８ａの高さを加えた高さとすることができ、品質を損なうことなく従来よりも高い隔壁を形成して放電空間を広くすることができる。したがって、プラズマディスプレイパネルの発光効率を向上させるができる。
【００２１】
なお、一般に、隔壁を形成する際の切削速度は、サンドブラスト法の方が化学エッチングよりも大きいため、下層隔壁１８ａの高さは上層隔壁１８ｂの高さよりも低い方が望ましい。
【００２２】
また、上述した説明では、上層隔壁１８ｂはサンドブラスト法により形成し、下層隔壁１８ａは化学エッチングにより形成するようにしているが、上層隔壁１８ｂ及び下層隔壁１８ａの隔壁形成材料に化学エッチングに対する耐性が逆となる材料を用い、上層隔壁１８ｂ及び下層隔壁１８ａをともに化学エッチングにより形成するようにしても良い。
【００２３】
また、下層隔壁１８ａを加工する際に上層隔壁１８ｂに影響が及ばなければ良く、少なくとも上層隔壁１８ｂの隔壁形成材料が下層隔壁１８ａを形成する際のエッチングに対して耐性を有していれば良いが、上層隔壁１８ｂの加工時に下層隔壁１８ａが切削されないよう下層隔壁１８ａの隔壁形成材料が上層隔壁１８ｂを形成する際のエッチングに対して耐性を有していることが望ましい。
【００２４】
また、上述した説明では、上層隔壁形成材料として低融点ガラスを用い、下層隔壁形成材料としてシリカにアルミナを加えたものが用いた例を示しているが、隔壁形成材料はこれに限定されるものではない。
【００２５】
例えば、上層隔壁形成材料として低融点ガラスを用い、下層隔壁形成材料としてアルミニウム（Ａｌ）又は銅（Ｃｕ）を用いて隔壁を構成するようにしても良い。このように構成した場合には、上層隔壁１８ｂは光透過性を有する光透過層となり、下層隔壁１８ａは光を反射する光反射層となることで、図３（ｂ）に示すように蛍光体層１９で発光した光を反射させ、発光効率をさらに向上させることができる。
【００２６】
図３（ａ）、（ｂ）は、上層隔壁１８ｂが低融点ガラスで構成され、下層隔壁１８ａがアルミニウム又は銅で構成されたプラズマディスプレイパネルの表示光について説明するための図である。この図３（ａ）、（ｂ）において、図１に示した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図３（ａ）、（ｂ）は、プラズマディスプレイパネル１の内部で発生した光に対する隔壁１８の作用を示している。
【００２７】
プラズマディスプレイ１における発光は、放電によって生じた紫外線による赤色、緑色、青色の蛍光体の励起発光によって行われる。図３（ａ）に示すように、蛍光体から放射される光は、蛍光体の表層付近で発光して前面（前面ガラス基板側）に向かう光３１と、蛍光体の表層付近で発光して蛍光体層の裏側（背面ガラス基板１５側など）に向かう光３２に分けられる。
【００２８】
蛍光体層の裏側に向かう光３２は、下層隔壁１８ａによって反射される。すなわち、図３（ｂ）に示すように、下層隔壁１８ａによって反射されて前面に向かう光３２と、上層隔壁１８ｂを透過して下層隔壁１８ａによって反射されて前面に向かう光３４とが存在する。
【００２９】
また、誘電体層１７を酸化チタン等を含む誘電体で形成することで、誘電体層１７に光反射性を持たせ、蛍光体層の裏側に向かう光３２を誘電体層１７によって反射することも可能となる。この場合には、図３（ｂ）に示すように、誘電体層１７によって反射されて前面に向かう光３３も存在することとなる。
【００３０】
プラズマディスプレイパネル１の表示光は、図３（ｂ）に示すように、蛍光体の表層付近で発光し前面に向かう光３１、蛍光体層の裏側に進み、下層隔壁１８ａで反射されて前面に向かう光３２、上層隔壁１８ｂを透過して下層隔壁１８ａで反射されて前面に向かう光３４、及び誘電体層１７で反射されて前面に向かう光３３の総和で決まる。
なお、下層隔壁１８ａを光反射層とするための下層隔壁形成材料は、アルミニウム又は銅に限定されず、光反射性を有する材料であれば良い。
【００３１】
図４は、本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルを備えたプラズマディスプレイ装置の構成例を示す図である。本実施形態におけるプラズマディスプレイ装置は、プラズマディスプレイパネル１、Ｘ駆動回路２、スキャンドライバ３、Ｙ駆動回路４、アドレス駆動回路５、及び制御回路６を有する。
【００３２】
Ｘ駆動回路２は、維持放電を繰り返す回路からなり、複数のＸ電極（維持電極）Ｘ１、Ｘ２、…に所定の電圧を供給する。以下、Ｘ電極Ｘ１、Ｘ２、…の各々又はそれらの総称を、Ｘ電極Ｘｉといい、ｉは添え字を意味する。
【００３３】
スキャンドライバ３は、線順次走査して表示すべき行を選択する回路からなり、Ｙ駆動回路４は、維持放電を繰り返す回路からなる。スキャンドライバ３及びＹ駆動回路４は、複数のＹ電極（走査電極）Ｙ１、Ｙ２、…に所定の電圧を供給する。以下、Ｙ電極Ｙ１、Ｙ２、…の各々又はそれらの総称を、Ｙ電極Ｙｉといい、ｉは添え字を意味する。
【００３４】
アドレス駆動回路５は、表示すべき列を選択する回路からなり、複数のアドレス電極Ａ１、Ａ２、…に所定の電圧を供給する。以下、アドレス電極Ａ１、Ａ２、…の各々又はそれらの総称を、アドレス電極Ａｊといい、ｊは添え字を意味する。
【００３５】
制御回路６は、ＴＶチューナーやコンピュータ等の外部装置から入力される表示データ、クロック信号、水平同期信号、及び垂直同期信号などに基づいて制御信号を生成する。制御回路６は、生成した制御信号をＸ駆動回路２、スキャンドライバ３、Ｙ駆動回路４、及びアドレス駆動回路５に供給し、これら駆動回路２〜５を制御する。
【００３６】
Ｘ電極Ｘｉ、Ｙ電極Ｙｉ、及びアドレス電極Ａｊは、図１に示したＸ電極１１、Ｙ電極１２、アドレス電極１６（１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂ）にそれぞれ対応する。プラズマディスプレイパネル１では、Ｙ電極Ｙｉ及びＸ電極Ｘｉが水平方向に並列に延びる行を形成し、アドレス電極Ａｊが垂直方向に延びる列を形成する。Ｙ電極Ｙｉ及びＸ電極Ｘｉは、垂直方向に交互に配置されて表示ラインを構成する。すなわち、Ｙ電極Ｙｉ及びＸ電極Ｘｉは互いに平行に配置される。Ｙ電極Ｙｉ及びアドレス電極Ａｊは、ｉ行ｊ列の２次元行列を形成する。
【００３７】
セルＣｉｊは、Ｙ電極Ｙｉ及びアドレス電極Ａｊの交点並びにそれに対応して隣接するＸ電極Ｘｉにより形成される。このセルＣｉｊが赤色、緑色、青色のサブピクセルに対応し、３色のサブピクセルで１画素が構成される。パネル１は２次元配列された複数の画素の点灯により画像を表示する。スキャンドライバ３とアドレス駆動回路５によりどこのセルを点灯させるかを決め、Ｘ駆動回路２とＹ駆動回路４により繰り返し放電を行うことによって、プラズマディスプレイ装置での表示動作が行われる。
【００３８】
すなわち、スキャンドライバ３は、アドレス期間（アドレス過程）において、Ｙ電極Ｙｉに順次スキャンパルスを印加してＹ電極Ｙｉ（表示ライン）を選択し、アドレス駆動回路５に接続されたアドレス電極Ａｊと各Ｙ電極Ｙｉとの間でセルの点灯（発光）／非点灯（非発光）を選択するアドレス放電を生じさせる。また、Ｘ駆動回路２及びＹ駆動回路４は、サステイン期間（表示工程）において、アドレス放電により選択されたセルに対して各サブフィールドの重みに応じた数のサステイン放電を生じさせる。
【００３９】
本実施形態におけるプラズマディスプレイ装置の駆動方法について説明する。
図５は、本実施形態におけるプラズマディスプレイ装置の階調駆動シーケンスの一例を示す図である。本実施形態では、画像は、例えば６０フィールド／秒で形成される。１フィールドは、それぞれ所定の輝度の重みを有する複数のサブフィールドで構成し、各サブフィールドの組み合わせにより所望の階調表示を行うようになっている。
【００４０】
例えば、図５に示す例では、１フィールドは、２の巾乗の輝度重みを有する８個のサブフィールド（第１のサブフィールドＳＦ１、第２のサブフィールドＳＦ２、…、第８のサブフィールドＳＦ８）により形成される。第１〜第８のサブフィールドＳＦ１〜ＳＦ８は、維持放電の回数比が１：２：４：８：１６：３２：６４：１２８となっており、２５６階調の表示を行うことが可能である。なお、サブフィールドの数及び各サブフィールドの重みは様々な組み合わせが可能である。
【００４１】
また、各サブフィールドＳＦ１〜ＳＦ８は、表示画面を構成するすべてのセルの壁電荷を均一にするリセット期間（初期化過程）ＴＲ、点灯セルを選択するアドレス期間（アドレス過程）ＴＡ、及び選択されたセルを輝度（各サブフィールドの重み）に応じた回数だけ放電（点灯）させるサステイン（維持放電）期間（表示過程）ＴＳにより構成される。
リセット期間ＴＲでは、全表示ラインを構成するＸ電極Ｘｉ及びＹ電極Ｙｉに所定の電圧を印加して、すべてのセルＣｉｊにリセット放電を発生させて初期化を行う。
【００４２】
アドレス期間ＴＡでは、アドレス指定により各セルＣｉｊの発光又は非発光の選択を行う。アドレス期間ＴＡでは、Ｙ電極Ｙ１、Ｙ２、…に対してスキャンパルスを順次スキャンして印加し、そのスキャンパルスに対応してアドレスパルスを選択されたアドレス電極Ａｊに印加することにより発光すべきセルＣｉｊにアドレス放電を発生させる。具体的には、スキャンパルスに対応してアドレスパルスが生成されると、アドレス電極Ａｊ及びＹ電極Ｙｉ間にアドレス放電が起こり、それを種火としてＸ電極Ｘｉ及びＹ電極Ｙｉ間での放電が起こる。これにより、Ｘ電極Ｘｉに負電荷が蓄積されるとともにＹ電極Ｙｉに正電荷が蓄積され、その結果として当該選択セルには次のサステイン期間ＴＳにおいて行う維持放電が可能な量の壁電荷が形成される。
【００４３】
サステイン期間ＴＳでは、Ｘ電極Ｘｉ及びＹ電極Ｙｉ間に互いに逆相のサステインパルスが印加され、アドレス機関ＴＡにおいて選択されたセルのＸ電極Ｘｉ及びＹ電極Ｙｉ間で維持放電を行い、発光を行う。図５に示す各サブフィールドＳＦ１〜ＳＦ８では、Ｘ電極Ｘｉ及びＹ電極Ｙｉに印加されるサステインパルス数（各サブフィールドにおける発光回数）が異なる。したがって、各セルＣｉｊについて、サブフィールドＳＦ１〜ＳＦ８での発光又は非発光を適宜選択することにより階調値を決めることができる。
【００４４】
なお、上述した実施形態では、隔壁１８が２層構造を有する場合を一例として示しているが、これに限定されず、隔壁１８が複数の層からなる多層構造を有し、隔壁の上層部と下層部のエッチングに対する耐性が異なるものであっても良い。
また、本発明は、様々な形式のプラズマディスプレイ装置に適用することができ、例えば、パーソナルコンピュータやワークステーション等のディスプレイ装置、平面型の壁掛けテレビジョン、あるいは広告や情報等を表示するための装置として利用されるプラズマディスプレイ装置に対して幅広く適用可能である。
【００４５】
なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの構成例を示す分解斜視図である。
【図２】本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの製造方法を工程順に示す概略断面図である。
【図３】本実施形態におけるプラズマディスプレイパネルの表示光について説明するための図である。
【図４】本実施形態におけるプラズマディスプレイ装置の構成例を示す図である。
【図５】本実施形態におけるプラズマディスプレイ装置の階調駆動シーケンスの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  プラズマディスプレイパネル
２  Ｘ駆動回路
３  スキャンドライバ
４  Ｙ駆動回路
５  アドレス駆動回路
６  制御回路
１０  前面ガラス基板
１１  維持電極（Ｘ電極）
１２  走査電極（Ｙ電極）
１３、１７  誘電体層
１４  保護層
１５  背面ガラス基板
１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂ  アドレス電極
１８  隔壁
１８ａ  下層隔壁
１８ｂ  上層隔壁
１９Ｒ、１９Ｇ、１９Ｂ  蛍光体層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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