(57)【要約】【課題】  空気流量測定装置のセンシング部４の発熱抵抗体（流量測定素子）および感温抵抗体（温度補償抵抗体）等の汚損劣化または破損を防止することで、吸気通路２を流れる吸入空気量の検出精度を確保することを課題とする。【解決手段】  空気流量測定装置のセンサボディ３の内部に、バイパス流路１２とは別に空気の循環回流が生成されるサブバイパス流路１３を設けることで、バイパス流路１２に流入した吸入空気が連通口２９からサブバイパス流路１３に流入し難くなる。これによって、バイパス流路１２を流れる吸入空気中に含まれるダストが、サブバイパス流路１３内に設置されたセンシング部４に到達し難くなっている。したがって、センシング部４の発熱抵抗体および感温抵抗体等の汚損劣化または破損を防止できるので、センシング部４の発熱抵抗体における吸入空気量の検出精度を確保することができる。【選択図】  図１
2008249635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内燃機関に空気を供給する空気導入流路と、
（ｂ）この空気導入流路に連通する連通部を有し、この連通部に対して空気が循環回流し得る空気循環流路と、
（ｃ）この空気循環流路に設置された流量測定素子と
を備えた空気流量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の空気流量測定装置において、
前記連通部は、前記空気導入流路を流れる空気流方向に対して直交する方向で開口する連通口を有し、
前記連通口は、前記空気導入流路と前記空気循環流路とを区画する隔壁部に設けられていることを特徴とする空気流量測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の空気流量測定装置において、
前記隔壁部は、前記空気循環流路を循環回流する空気を前記連通口近傍に導くための第１ガイド、および前記連通部に循環回流した前記連通口近傍の空気を前記空気循環流路に戻すための第２ガイドを有していることを特徴とする空気流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発熱抵抗体等の流量測定素子によって内燃機関への吸入空気の流量を測定する空気流量測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、空気流量測定装置として、内燃機関の吸入空気の流量を測定するエアフロメータが公知である（例えば、特許文献１参照）。
このエアフロメータは、内燃機関の吸気通路内に配置されたバイパス流路内に、流量測定素子（発熱素子）と感温素子とを所定間隔で設置し、流量測定素子の発熱温度と感温素子の検出温度（吸気温度）との温度差を一定に保つように、流量測定素子の供給電流を制御し、その供給電流値によって吸入空気の流量を測定するようにしている。
【０００３】
［従来の技術の不具合］
ところで、内燃機関の吸気通路の最上流部には、エアクリーナが設けられているが、エアクリーナで捕捉できない細かい塵やフィルタ屑等のダスト（例えば数μｍ〜数百μｍ程度の微小粒径のダスト）が、吸入空気と共にエアフロメータ内に流入する可能性がある。  ダストの付着により流量測定素子が汚損すると、流量測定素子から吸入空気への熱伝達量（放熱量）が変化するため、流量測定素子へのダスト付着量の増加に伴ってエアフロメータの出力特性が経時的に変化して吸入空気の流量の測定誤差が大きくなってしまう。
また、粒径が数百μｍ程度のダストが流量測定素子に衝突した場合には、流量測定素子の破損を招く場合がある。したがって、エアフロメータのバイパス流路内に流入したダストが流量測定素子に付着したり、衝突したりすると、流量測定素子が汚損劣化または破損し、吸入空気の流量の検出精度が確保できなくなるという問題が生じている。
【特許文献１】特開平１１−１１８５５９号公報（第１−４頁、図１−図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、流量測定素子の汚損劣化または破損を防止することで、吸入空気の流量の検出精度を確保することのできる空気流量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明によれば、空気導入流路と空気循環流路とを連通する連通部において、空気導入流路を流れる空気流が空気循環流路内の空気と接触し、空気導入流路を流れる空気流によって空気循環流路内に、連通部に対して空気が循環回流し得る循環空気流が生成される。そして、空気循環流路に設置された流量測定素子によって、内燃機関に供給される空気の流量を測定する。
【０００６】
ここで、内燃機関に供給される空気、つまり空気導入流路を流れる空気中に含まれるダストは、空気循環流路内の空気が、連通部および流量測定素子に対して循環回流し得る構造としたため、空気循環流路に流入し難くなっている。
したがって、空気導入流路を流れる空気中に含まれるダストが流入し難い空気循環流路に流量測定素子を設置しているので、流量測定素子の汚損による機能低下（性能劣化）を防止することができる。また、吸入空気中に含まれるダストの流量測定素子への衝突による流量測定素子の破損を防止することができる。また、流量測定素子の汚損劣化または破損を防止することで、吸入空気の流量の検出精度を確保することができる。
【０００７】
請求項２に記載の発明によれば、連通部に、空気導入流路を流れる空気流方向に対して直交する方向で開口する連通口を設けている。この連通口は、空気導入流路と空気循環流路とを区画する隔壁部に設けられている。つまり、連通口は隔壁部で、空気導入流路と空気循環流路とを連通するように開口している。
請求項３に記載の発明によれば、空気導入流路と空気循環流路とを区画する隔壁部に、空気循環流路を循環回流する空気を連通口近傍に導くための第１ガイド、および連通部に循環回流した連通口近傍の空気を空気循環流路に戻すための第２ガイドを設けている。これによって、連通口近傍で空気循環流路を循環回流する空気と空気導入流路を流れる空気とが接触し易くなり、空気循環流路を循環回流する空気流が、空気導入流路を流れる空気流の流速と同じ流速またはある比率の流速で流れる。また、連通部に循環回流した連通口近傍の空気が空気循環流路に戻り易いので、空気導入流路を流れる空気中に含まれるダストが空気循環流路に流入し難くなっている。したがって、請求項１と同様な効果を得ることができる。
【０００８】
ここで、回路基板の表面に所定のパターンで形成された発熱抵抗体を、上記の流量測定素子として採用しても良い。この場合、発熱抵抗体は、この発熱抵抗体への供給電流量を制御する制御回路に接続されている。また、回路基板は、空気循環流路を循環回流する空気流方向に対して垂直な方向に設置されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明を実施するための最良の形態は、流量測定素子の汚損劣化または破損を防止することで、吸入空気の流量の検出精度を確保するという目的を、内燃機関に空気を供給する空気導入流路に連通する連通部に対して空気が循環回流し得る空気循環流路を設け、この空気循環流路に流量測定素子を設置することで実現した。
【実施例１】
【００１０】
［実施例１の構成］
図１ないし図３は本発明の実施例１を示したもので、図１はエンジンの吸気管（インテークパイプ）に対する空気流量測定装置の取付状態を示した図で、図２および図３は空気流量測定装置を示した図である。
【００１１】
本実施例の内燃機関の制御装置（エンジン制御システム）は、例えばガソリンエンジン等の内燃機関（エンジン）の燃焼室内に吸い込まれる吸入空気の流量（吸入空気流量、吸気量：以下吸入空気量と言う）を計測する空気流量測定装置（エアフロメータ）と、この空気流量測定装置で計測された吸入空気量に基づいて燃料噴射量を演算し、この燃料噴射量に応じてインジェクタの通電時間（開弁期間）を可変制御する燃料噴射装置と、インジェクタの通電時間を、点火装置および吸気制御装置等の各システムと関連して制御するエンジン制御ユニット（エンジン制御装置：以下ＥＣＵと呼ぶ）とを備えている。
【００１２】
本実施例の空気流量測定装置は、特に熱線として発熱抵抗体（流量測定素子）の放熱量に基づいて吸入空気量を計測する熱式エアフロメータ（熱線式流量計）として使用される。この空気流量測定装置は、エンジンの吸気管の内部、例えばエアクリーナのアウトレットパイプ（インテークパイプ）１またはスロットルボディに設置されている。
なお、空気流量測定装置の詳細は後述する。
【００１３】
燃料噴射装置とは、エンジンの各気筒毎の吸気ポート内に燃料を噴射供給するシステムのことである。この燃料噴射装置は、電動フューエルポンプによって燃料タンクから汲み上げた燃料を、エンジンの各気筒毎の吸気ポート内に最適なタイミングで噴射するインジェクタ等によって構成されている。
点火装置とは、エンジンの各気筒毎の燃焼室内の混合気がピストンの上昇に伴い圧縮された時に点火し、混合気を燃焼させるシステムのことである。この点火装置は、混合気に点火するための高電圧を発生させるイグニッションコイル、およびこのイグニッションコイルで発生した高電圧の電流により火花を飛ばして混合気に点火するスパークプラグ等によって構成されている。
なお、インジェクタおよびスパークプラグは、エンジンの各気筒毎に対応してシリンダヘッドに搭載されている。
【００１４】
吸気制御装置とは、エンジンの各気筒毎の燃焼室内に吸入空気を供給するための吸気通路２を開閉する吸気通路開閉装置のことで、特にスロットルバルブのバルブ角度（回転角度）に相当するスロットル開度に応じて、エンジンの各気筒毎の燃焼室内に吸い込まれる吸入空気量を制御するシステムのことである。この吸気制御装置、つまりスロットル開度制御装置は、エンジンの吸気管の途中に設置（インテークパイプ１よりも吸気流方向の下流側に気密的に接続）されたスロットルボディ、このスロットルボディの内部（スロットルボア）を流れる吸入空気量を可変するスロットルバルブ、およびこのスロットルバルブを駆動するアクチュエータ（電動モータ）等によって構成されている。
【００１５】
ここで、エアクリーナは、エンジンの吸気管の最上流部に設置されて、インレットダクト（外気導入ダクト）の上流端で開口した外気導入口より空気導入通路（吸気通路２）に導入される空気（外気）を濾過するフィルタエレメント（濾過エレメント）を有している。この濾過エレメントは、外気中に含まれる不純物（塵や埃、砂等のダスト）を捕捉して取り除くことで、硬質のダストがエンジンの燃焼室内に吸い込まれることによるエンジンの摺動部の摩耗を防止するエアフィルタである。そして、濾過エレメントは、エアクリーナケースの内部に収容保持されている。
【００１６】
エアクリーナケースには、濾過エレメントよりも吸気流方向の下流側にインテークパイプ１が設けられている。このインテークパイプ１の内部には、エアクリーナの濾過フィルタで濾過された清浄な外気（クリーンエア）を、スロットルボディ、サージタンク、インテークマニホールドおよびシリンダヘッドの吸気ポートを経由して、エンジンの燃焼室内に供給するための断面円形状の吸気通路２が形成されている。
吸気通路２とは、エアクリーナの外気導入口よりインレットダクトの内部に導入した外気を、エアクリーナの内部（濾過エレメント）、エアクリーナのインテークパイプ１の内部、スロットルボディの内部、サージタンクの内部、インテークマニホールドの内部、シリンダヘッドの内部（吸気ポート）を経由して、エンジンの各気筒毎の燃焼室に導入する吸気導入経路のことである。
ここで、本実施例の吸気通路２は、図１に示したように、メイン流路１１、バイパス流路１２およびサブバイパス流路１３等を有している。
【００１７】
本実施例の空気流量測定装置は、インテークパイプ１にプラグイン方式によって着脱自在に取り付けられている。この空気流量測定装置は、インテークパイプ１に組み付けられたセンサボディ（ハウジング、流量測定体）３と、シリコン基板（回路基板）の表面に発熱抵抗体および感温抵抗体が薄膜形成されたセンシング部４と、発熱抵抗体への供給電流量を制御する制御回路および発熱抵抗体の電気抵抗値（または発熱抵抗体に印加される電圧値）を増幅してＥＣＵへ出力する出力回路を内蔵する回路モジュール（制御モジュール）５とを備えている。
【００１８】
センサボディ３は、樹脂材料によって所定の形状に形成されており、インテークパイプ１の外部から、取付孔６を貫通してインテークパイプ１の内部に挿し込まれている。このセンサボディ３には、締結ネジ７等によってインテークパイプ１に締め付け固定されるフランジ部８が設けられている。そして、センサボディ３の内部には、インテークパイプ１の内部（吸気通路２）を流れる吸入空気の一部をメイン流路１１よりバイパスさせるバイパス流路１２、およびこのバイパス流路１２を流れる吸入空気流（吸気流）によって循環空気流が生成されるサブバイパス流路１３が形成されている。また、センサボディ３には、バイパス流路１２とサブバイパス流路１３とを区画する隔壁部１４と、サブバイパス流路１３を環状化させるためのブロック１５および角筒状の側壁部１６とが一体的に設けられている。
【００１９】
バイパス流路１２とは、エアクリーナの濾過エレメントで濾過された外気を、吸気通路２のメイン流路１１を迂回して、スロットルボディの内部、サージタンクの内部、インテークマニホールドの内部、シリンダヘッドの内部（吸気ポート）を経由して、エンジンの各気筒毎の燃焼室に導入する吸気導入経路のことである。つまり、バイパス流路１２とは、エンジンの燃焼室内に吸入空気を供給するための空気導入流路のことである。
このバイパス流路１２は、インテークパイプ１の中心軸線近傍に設けられて、吸気通路２のメイン流路１１を流れる吸気流方向（メイン流路１１を流れる吸入空気の平均的な流れの軸線方向）に対して平行な方向に真っ直ぐに延びる直線状流路である。
【００２０】
サブバイパス流路１３は、バイパス流路１２に連通する連通部９を有している。サブバイパス流路１３とは、センシング部４および連通部９に対して空気が循環回流し得る環状の空気循環流路のことである。つまり、サブバイパス流路１３とは、図示左右方向（水平方向）に延びる直線部２１から、循環空気流方向を直角に曲げる第１屈曲部２２→図示上下方向（天地方向）に延びる第１直線部２３→循環空気流方向を図示上下方向に対して傾斜させる第１傾斜部２４→連通部９→循環空気流方向を図示上下方向に対して傾斜させる第２傾斜部２５→図示上下方向（天地方向）に延びる第２直線部２６→循環空気流方向を直角に曲げる第２屈曲部２７を経由して、直線部２１に戻る環状の空気循環流路のことである。
【００２１】
サブバイパス流路１３の連通部９は、バイパス流路１２を流れる吸気流方向（バイパス流路１２を流れる吸入空気の平均的な流れの軸線方向）に対して直交する方向で開口する連通口２９を有している。この連通口２９は、隔壁部１４に設けられて、図示下方（例えば地方向）に向けて開口している。
ここで、センサボディ３の隔壁部１４には、サブバイパス流路１３を循環回流する循環空気を連通口近傍に導くためのテーパー状の第１ガイド３１、および連通部９に循環回流した連通口近傍の空気をサブバイパス流路１３に戻すためのテーパー状の第２ガイド３２が設けられている。
【００２２】
センシング部４は、連通口２９との間にブロック１５が介在し、バイパス流路１２を流れる吸入空気に含まれる微小粒径のダストが直接当たらない位置、つまりセンサボディ３の内部（サブバイパス流路１３の直線部２１）に設置されている。
このセンシング部４は、サブバイパス流路１３を循環回流する循環空気の平均的な流れの軸線方向に対して直交する方向に設置されたシリコン基板を有している。また、センシング部４は、シリコン基板の表面に、絶縁膜を介して所定のパターンで形成される発熱抵抗体および感温抵抗体（感温素子）を有している。
【００２３】
発熱抵抗体は、サブバイパス流路１３を流れる吸入空気量を測定するための熱式流量測定素子であって、配線部を介して、制御モジュール５に内蔵される制御回路に電気的に接続されている。また、感温抵抗体は、サブバイパス流路１３を流れる吸入空気の温度（吸気温度）を測定するための感温素子（温度補償抵抗体）であって、配線部を介して、制御回路に電気的に接続されている。
そして、発熱抵抗体および感温抵抗体は、絶縁膜の表面に白金等の感熱抵抗膜（薄膜）を真空蒸着法等により堆積（積層）された後、エッチング処理により不要な部分が除去されて、それぞれ所定のパターンで形成されている。
絶縁膜は、例えば窒化シリコン層であり、シリコン基板の表面にスパッタ法またはＣＶＤ法等により形成されている。
また、発熱抵抗体および感温抵抗体の表面は、例えば絶縁膜と同じく窒化シリコン層よりなる保護膜によって被覆されている。
【００２４】
制御モジュール５は、センサボディ３の図示上端部に配置されて、インテークパイプ１の取付孔６よりも外側に配置されている。この制御モジュール５は、内蔵された回路基板上に制御回路および出力回路を有している。
制御回路は、発熱抵抗体および感温抵抗体に電気的に接続されている。そして、制御回路は、発熱抵抗体の加熱温度と感温抵抗体で検出される吸気温度との温度偏差が一定値になるように、発熱抵抗体に供給する供給電流量（電流値、電力量）を制御している。つまり、制御回路は、発熱抵抗体を通電（電流）制御する通電制御回路である。
【００２５】
ここで、発熱抵抗体の加熱温度は、感温抵抗体の電気抵抗値に基づいて決定され、制御回路により周囲温度（感温抵抗体によって検出される吸気温度）に対してほぼ一定の温度差（ΔＴ）となるように通電制御される。具体的には、例えば発熱抵抗体のΔＴが２００℃に制御されている場合、周囲温度（吸気温度）が２０℃のとき、発熱抵抗体の温度が約２２０℃となるように通電制御され、また、周囲温度（吸気温度）が４０℃のとき、発熱抵抗体の温度が約２４０℃となるように通電制御されている。
【００２６】
出力回路は、発熱抵抗体から、発熱抵抗体周りを流れる循環空気に放熱された放熱量を電気信号としてＥＣＵに出力する。例えば発熱抵抗体および感温抵抗体は、ブリッジ回路の中に組み込まれ、発熱抵抗体周りを流れる循環空気流により発熱抵抗体の放熱量が変化しても常に一定の電気抵抗値（発熱温度、但し温度補償を伴う）を保つような電流制御を行い、この電流値を電圧変換して空気流量信号としてＥＣＵに出力する。
【００２７】
ここで、吸気制御装置（スロットルバルブを駆動する電動モータ）、燃料噴射装置（インジェクタ）、および点火装置（イグニッションコイル、スパークプラグ）は、ＥＣＵによって駆動（通電制御）されるように構成されている。
ＥＣＵには、制御処理や演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムまたは制御ロジックや各種データを保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）等の機能を含んで構成される周知のマイクロコンピュータが設けられている。
【００２８】
また、ＥＣＵは、制御モジュール５の出力回路より出力される電気信号（空気流量信号）を含む各種センサからセンサ信号が、Ａ／Ｄ変換器によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。そして、マイクロコンピュータでは、空気流量測定装置（熱式エアフロメータ）より出力される電気信号（空気流量信号）に基づいて、エンジンの各気筒の燃焼室内に吸入される吸入空気量や流速を計測（算出）する。
【００２９】
［実施例１の作用］
次に、本実施例の空気流量測定装置（熱式エアフロメータ）を備えたエンジン制御システムの作用を図１ないし図３に基づいて簡単に説明する。
【００３０】
ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、スロットルバルブを駆動する電動モータを通電制御すると共に、点火装置（イグニッションコイル、スパークプラグ等）および燃料噴射装置（電動フューエルポンプ、インジェクタ等）を駆動する。これにより、エンジンが運転される。
そして、エンジンの特定気筒が排気行程から、吸気バルブが開弁し、ピストンが下降する吸気行程に移行すると、ピストンの下降に従って当該気筒の燃焼室内の負圧（大気圧よりも低い圧力）が大きくなり、開弁している吸気ポートから混合気が吸い込まれる。
【００３１】
このとき、開弁している吸気ポートに連通する吸気通路２に吸入空気の流れが発生する。そして、吸気通路２に吸入空気の流れが発生すると、エアクリーナの濾過エレメントで濾過された清浄な吸入空気の一部が、空気流量測定装置におけるセンサボディ３のバイパス流路１２に流入する。
そして、センサボディ３の内部では、連通口２９を介して、バイパス流路１２とサブバイパス流路１３とが連通しているため、バイパス流路１２を流れる吸気流がサブバイパス流路１３の連通部９内の空気と接触し、バイパス流路１２を流れる吸気流の摩擦力によってサブバイパス流路１３の連通部９内の空気が第２傾斜部側に移動する。
これによって、サブバイパス流路１３内に、図１に矢印で示したように、センシング部４および連通部９に対して空気が循環回流し得る循環空気流が生成される。すなわち、サブバイパス流路１３の連通部９内の空気が、第２傾斜部２５→第２直線部２６→第２屈曲部２７→直線部２１→第１屈曲部２２→第１直線部２３→第１傾斜部２４を経由して連通部９に循環回流する。
【００３２】
そして、センサボディ３の内部（サブバイパス流路１３の直線部２１）に設置されたセンシング部４では、サブバイパス流路１３の直線部２１を循環回流する循環空気流の流速が大きくなると、発熱抵抗体の放熱量が増大するため、感温抵抗体で測定される吸気温度との温度偏差（ΔＴ）を一定値に保つため、制御モジュール５の制御回路から発熱抵抗体に供給する供給電流量が大きくなる。
逆に、サブバイパス流路１３の直線部２１を循環回流する循環空気流の流速が小さくなると、発熱抵抗体の放熱量が低減するため、制御モジュール５の制御回路から発熱抵抗体に供給する供給電流量が小さくなる。
【００３３】
この発熱抵抗体への供給電流量に応じて電気信号（空気流量信号）が、制御モジュール５の出力回路から外部のＥＣＵへ出力され、ＥＣＵに内蔵されたマイクロコンピュータによって、エンジンの各気筒の燃焼室内に導入される吸入空気量（吸気量）が測定（演算）される。そして、マイクロコンピュータは、空気流量測定装置で計測した吸入空気量（エンジンへの吸入空気量）とエンジン回転速度とから基本噴射時間を演算し、これに各種センサからのセンサ信号（例えばスロットル開度信号、エンジン冷却水温信号、エンジン吸気温信号等）の補正を加えて、総噴射時間（燃料噴射量）を演算する。そして、マイクロコンピュータは、燃料噴射量に応じてインジェクタの通電時間および噴射タイミングを制御する。
【００３４】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例の空気流量測定装置（熱式エアフロメータ）においては、センサボディ３がエアクリーナの濾過エレメントよりも吸気流方向の下流側の吸気通路２内に配置されているので、濾過エレメントを通り抜けた新規の吸入空気の一部が、バイパス流路１２の入口からセンサボディ３の内部（バイパス流路１２）に流入する。また、濾過エレメントで捕捉できなかった細かい塵やフィルタ屑等のダスト（例えば数μｍ〜数百μｍ程度の微小粒径のダスト）の一部も、バイパス流路１２に流入する吸入空気と一緒に空気流量測定装置のセンサボディ３の内部に流入する。
【００３５】
しかし、本実施例の空気流量測定装置においては、センサボディ３の内部に、バイパス流路１２とは別に、図示下方に向けて開口する連通口２９を介してバイパス流路１２と連通し、且つ空気の循環回流が生成される環状のサブバイパス流路１３を設けている。すなわち、センシング部４近傍の空気がサブバイパス流路１３内を循環回流し得る構造としたため、バイパス流路１２に流入した吸入空気が、連通口２９を介してサブバイパス流路１３に流入し難くなっている。
【００３６】
これによって、バイパス流路１２を流れる吸入空気中に含まれるダストの殆どは、連通口２９を介してサブバイパス流路１３に流入せず、すなわち、サブバイパス流路１３の直線部２１内に設置されたセンシング部４へ到達し難く、バイパス流路１２の出口から吸気通路２（メイン流路１１）内に流出する。
【００３７】
また、空気流量測定装置のセンサボディ３の内部空間を、バイパス流路１２とサブバイパス流路１３とに区画する隔壁部１４に、サブバイパス流路１３を循環回流する循環空気を連通口近傍に導くためのテーパー状の第１ガイド３１を設けたことにより、連通口近傍でサブバイパス流路１３を循環回流する循環空気とバイパス流路１２を流れる吸入空気とが摩擦接触し易くなり、サブバイパス流路１３を循環回流する循環空気流が、バイパス流路１２を流れる吸気流の流速と同じ流速またはある比率の流速で流れる。
【００３８】
これによって、連通口２９でバイパス流路１２と連通するサブバイパス流路１３を循環回流する循環空気流の流速に応じて変化する発熱抵抗体の放熱量も、バイパス流路１２の流速に対応した放熱量またはバイパス流路１２の流速に対してある比率の放熱量となり、発熱抵抗体への供給電流量（電流値）に応じて吸気通路２のメイン流路１１を流れる吸入空気量が測定可能となる。
【００３９】
また、バイパス流路１２とサブバイパス流路１３とに区画する隔壁部１４に、連通部９に循環回流した連通口近傍の空気をサブバイパス流路１３に戻すためのテーパー状の第２ガイド３２を設けたことにより、連通部９に循環回流した連通口近傍の循環空気がサブバイパス流路１３の第２傾斜部２５に戻り易い（流入し易い）ので、バイパス流路１２を流れる吸入空気中に含まれるダストが連通口２９からサブバイパス流路１３の第２傾斜部２５に流入し難くなっている。
【００４０】
したがって、本実施例の空気流量測定装置においては、バイパス流路１２を流れる空気中に含まれるダストが流入し難いサブバイパス流路１３の直線部２１に、シリコン基板の表面に発熱抵抗体および感温抵抗体を形成したセンシング部４を設置しているので、センシング部４の発熱抵抗体等へのダストの付着量を低減することができる。これにより、センシング部４の発熱抵抗体等が汚損し難くなり、発熱抵抗体から循環空気への熱伝達量（放熱量）の低下を抑えることができるので、制御モジュール５の出力回路の出力特性が経時的に変化し難く、吸入空気量の測定誤差が小さくなる。また、センシング部４の発熱抵抗体および感温抵抗体の汚損による機能低下（性能劣化）を防止することができる。
【００４１】
また、バイパス流路１２に流入した吸入空気中に含まれるダストがサブバイパス流路１３の直線部２１内に設置されたセンシング部４に到達し難くなっているので、例えば、粒径が数百μｍ程度のダストがセンシング部４に衝突することによる発熱抵抗体、感温抵抗体およびシリコン基板等の破損を防止することができる。
以上のように、本実施例の空気流量測定装置においては、センシング部４の発熱抵抗体等の汚損劣化または破損を防止することができるので、センシング部４の発熱抵抗体における吸入空気量の検出精度を確保することができる。
【００４２】
［変形例］
本実施例では、流量測定素子として、シリコン基板（回路基板）の表面に所定のパターンで形成される発熱抵抗体を用いたが、流量測定素子として、円筒状のボビン、このボビンの両端に挿入される一対のリードワイヤ、ボビンの外周に巻き付けられてリードワイヤに接続される抵抗線、この抵抗線およびリードワイヤを保護する保護膜等によって構成される発熱抵抗体を用いても良い。また、保護膜として、例えば酸化鉛を含有したガラスの塗布膜を高温焼成したものを用いても良い。
【００４３】
本実施例では、少なくとも１つ以上の発熱抵抗体および少なくとも１つ以上の温度補償抵抗体（感温抵抗体）を有するセンシング部４を、連通口２９より最も遠く、ブロック１５によってダストの侵入が妨げられるサブバイパス流路（空気循環流路）１３の直線部２１に設置しているが、センシング部４を、サブバイパス流路（空気循環流路）１３の連通部９を除く、第１屈曲部２２、第１直線部２３、第１傾斜部２４、第２傾斜部２５、第２直線部２６、第２屈曲部２７のいずれかに設置しても良い。また、サブバイパス流路（空気循環流路）１３を口の字状等の多角環状流路としても良く、円環状または楕円環状または長円環状の円環状流路としても良い。
また、連通口の開口方向は、図示上下方向（天地方向）の図示下方（地方向）だけでなく、天地方向に対して直交する水平方向あるいは天地方向に対して所定の傾斜角度だけ傾斜した方向であっても良い。
また、本実施例では、吸気通路２として、メイン流路１１、バイパス流路１２およびサブバイパス流路１３を設けているが、メイン流路を廃止して空気導入流路と空気循環流路のみを設けていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】インテークパイプに対する空気流量測定装置の取付状態を示した断面図である（実施例１）。
【図２】（ａ）、（ｂ）は空気流量測定装置を示した断面図、側面図である。
【図３】（ａ）は図２（ａ）のＡ−Ａ断面図で、（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ断面図で、（ｃ）は図２（ａ）のＣ−Ｃ断面図で、（ｄ）は図２（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  インテークパイプ（吸気管、エアクリーナのアウトレットパイプ、スロットルボディ）
２  吸気通路
３  センサボディ（ハウジング）
４  センシング部（センサ部）
５  制御モジュール（回路モジュール）
９  連通部
１１  メイン流路
１２  バイパス流路（空気導入流路）
１３  サブバイパス流路（空気循環流路）
１４  隔壁部
１５  ブロック
２９  連通口
３１  第１ガイド
３２  第２ガイド
【図１】
2008249635.tif 000003
【図２】
2008249635.tif 000004
【図３】
2008249635.tif 000005