(57)【要約】【課題】複数の被加熱物が収納されたマガジンをそのまま熱処理することができ、複数の熱処理工程を並行して実行可能な熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置３０は、略直方体形状のラック３０ａと、ラック３０ａ内に出し入れ可能に収納された７台の加熱装置１０と、これらの加熱装置１０の熱処理工程をそれぞれ独立して制御する制御装置３２と、を備えている。各加熱装置１０は、被加熱物が収納されたマガジンを出し入れ可能に収容して熱処理するためのマガジン室を有している。各加熱装置１０の上方には、それぞれの熱処理装置１０の稼働状態を示すためのパイロットランプ３３ａ，３３ｂを備えた表示パネル３３が配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱物が収納されたマガジンを出し入れ可能に収容して熱処理するマガジン室を有する複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置の熱処理工程をそれぞれ独立して制御する制御装置と、を備えたことを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
前記加熱装置が、断熱性を有する壁体で形成された箱体状の外部炉体内に対向配置された複数の加熱用側壁と、被加熱物が収納されたマガジンを収容するため前記加熱用側壁の間に設けられたマガジン室と、前記マガジン室の背面側に配置された加熱用背壁と、前記加熱用側壁および前記加熱用背壁に設けられた発熱手段と、前記マガジン室の正面側の前記加熱用側壁から離れた位置に開閉可能に配置された扉体と、を備えたことを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記制御装置が少なくとも昇温速度、加熱温度、加熱時間および熱処理雰囲気を制御するものであることを特徴とする請求項１または２記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部品であるガラス基板、半導体リードフレームなどの金属基板あるいは樹脂基板などの熱処理に使用される熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部品であるガラス基板の熱処理を行う場合、従来、加熱気体循環方式のクリーンオーブンが使用されている（例えば、特許文献１参照。）。このクリーンオーブンは、被加熱物である複数のガラス基板を恒温槽内に多段状に配列して収容し、送風ファンによって恒温槽内を循環する加熱気体で被加熱物を加熱することにより熱処理を行う。
【０００３】
前述した加熱気体循環方式のクリーンオーブンの場合、ガラス基板などの被加熱物を多段状に収容することができるので、スペース効率が高い反面、恒温槽内の温度分布を均一化することが困難である。また、送風ファンで加熱気体を撹拌して循環させるので、恒温槽内のクリーン度が悪化する可能性が高い。さらに、リードフレームなどの軽量部材を熱処理する場合、循環対流する加熱気体の風圧によって被加熱物が所定の位置から移動することがある。
【０００４】
そこで、遠赤外線を両面から放射する機能を備えた遠赤外線パネルヒータからなる複数の棚状ヒータが炉体内に多段状に配置され、これらの棚状ヒータの間に形成される空間分をそれぞれ加熱領域とした加熱炉が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
しかしながら、特許文献２記載の多段加熱炉の場合、両面加熱式の遠赤外線パネルヒータを利用した多数の棚状ヒータが配置されているため、これらの棚状ヒータの間に形成される空間部をそれぞれ効率的に加熱することができる点では優れている。しかしながら、この多段加熱炉を使用して実際に熱処理を行う場合、棚状ヒータの間に形成される多数の空間部に被加熱物を一つずつ収容したり、取り出したりしなければならないので、これらの作業に多大な労力と時間を要している。
【０００６】
また、半導体リードフレームなどの基板類は、近年、その複数個をマガジンに収容した状態で取り扱う方式が主流となっているため、熱処理工程においても、マガジンとともに加熱領域内に入れたり、出したりすることが可能な加熱装置の需要が高まっている。そこで、被加熱物が収納されたマガジンをそのまま収容して熱処理することのできる回転式加熱炉が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−５６１４１号公報
【特許文献２】特開２００１−３１７８７２号公報
【特許文献３】特開平１１−３３０１０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献３記載の回転式加熱炉は、被加熱物が収納されたマガジンをそのまま収容可能な複数の加熱室と、マガジン出入口を介してマガジンを加熱室内に出し入れするマガジン搬送手段と、を備えているため、熱処理を連続的に行うことができる点では優れている。
【０００９】
しかしながら、マガジンに収納された被加熱物に施す熱処理工程（昇温速度、加熱温度、加熱時間あるいは冷却速度など）が、それぞれのマガジンによって異なる場合、連続的な熱処理を行うことは極めて困難となる。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、マガジンに収納された被加熱物をそのままの状態で熱処理することが可能であって、複数の熱処理工程を並行して実行することができる熱処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の熱処理装置は、被加熱物が収納されたマガジンを出し入れ可能に収容して熱処理するマガジン室を有する複数の加熱装置と、複数の前記加熱装置の熱処理工程をそれぞれ独立して制御する制御装置と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
このような構成とすれば、被加熱物が収納された複数のマガジンをそれぞれ熱処理装置のマガジン室に収容し、複数の加熱装置の熱処理工程を制御装置でそれぞれ独立して制御しながら各熱処理装置内の被加熱物に対して熱処理を施すことができる。従って、複数のマガジンに収納された被加熱物をそのままの状態で熱処理することが可能であり、熱処理条件の異なる複数の熱処理工程を並行して実行することもできる。
【００１３】
ここで、前記加熱装置が、断熱性を有する壁体で形成された箱体状の外部炉体内に対向配置された複数の加熱用側壁と、被加熱物が収納されたマガジンを収容するため前記加熱用側壁の間に設けられたマガジン室と、前記マガジン室の背面側に配置された加熱用背壁と、前記加熱用側壁および前記加熱用背壁に設けられた発熱手段と、前記マガジン室の正面側の前記加熱用側壁から離れた位置に開閉可能に配置された扉体と、を備えることが望ましい。
【００１４】
このような構成とすれば、複数の被加熱物が収納されたマガジンをそのままの状態でマガジン室に装入し、マガジン室の正面を扉体で閉じた後、発熱手段で加熱用側壁および加熱用背壁を発熱させることにより、マガジンに収容された被加熱物を熱処理することができる。そして、熱処理終了後、扉体を開けば、マガジンに収容された被加熱物をそのままの状態でマガジン室から取り出すことができる。マガジン室は、複数の加熱用側壁および加熱用背壁により少なくとも三方向から加熱され、且つ、断熱性を有する壁体で囲まれた箱体状の外部炉体内に位置して、温度分布の均一性に優れているため、マガジン内の被加熱物に均等な熱処理を施すことができる。
【００１５】
一方、前記制御装置が少なくとも昇温速度、加熱温度、加熱時間および熱処理雰囲気を制御するものであることが望ましい。このような構成とすれば、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部品であるガラス基板、半導体リードフレームなどの金属基板あるいは樹脂基板などの熱処理工程において必要とされる様々な熱処理条件を満たすことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、複数の被加熱物が収納されたマガジンをそのまま熱処理することができ、複数の熱処理工程を並行して実行可能な熱処理装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態である熱処理装置を示す正面図、図２は図１に示す熱処理装置の構成を示すブロック図である。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態の熱処理装置３０は、略直方体形状のラック３０ａと、ラック３０ａ内に出し入れ可能に収納された７台の加熱装置１０と、これらの加熱装置１０の熱処理工程をそれぞれ独立して制御する制御装置３２と、を備えている。各加熱装置１０は、後述する図７等に示すように、被加熱物が収納されたマガジン２３を出し入れ可能に収容して熱処理するマガジン室１３を有している。各加熱装置１０の上方にはそれぞれパイロットランプ３３ａ，３３ｂを備えた表示パネル３３が配置されている。本実施形態の熱処理装置３０は、７台の加熱装置１０を備えているが、これに限定するものではなく、その台数は増減可能である。
【００１９】
図２に示すように、制御装置３２から配線された信号線３２ｘはコネクタ３２ａを介して各加熱装置１０のコネクタ１６ａに接続されている。また、制御装置３２から配線された信号線３２ｙはガス供給装置５０、排気装置６０及び真空ポンプ７０に接続されている。ガス供給装置５０と各加熱装置１０とは配管ｘ１〜ｘ７を介して接続され、排気装置６０と各加熱装置１０とは配管ｙ１〜ｙ７を介して接続され、真空ポンプ７０と各加熱装置１０とは配管ｚ１〜ｚ７を介して接続されている。制御装置３２は、各加熱装置１０の熱処理工程における昇温速度、加熱温度、加熱時間及び熱処理雰囲気等をそれぞれ独立して制御することができる。また、制御装置３２に組み込まれているプログラムを変更することにより、加熱装置１０に装入される被加熱物に応じた熱処理工程を加熱装置１０ごとに設定することができる。
【００２０】
各加熱装置１０の上方にある表示パネル３３はそれぞれ各加熱装置１０の稼働状態を示すためのものである。表示パネル３３のパイロットランプ３３ａ，３３ｂが両方とも消灯しているときは加熱装置１０は休止状態にあり、パイロットランプ３３ａが両方とも点灯しているときは収容された被加熱物を熱処理している状態にあり、パイロットランプ３３ｂのみが点灯しているときは被加熱物の熱処理は終わっているが被加熱物が収容された状態にあり、パイロットランプ３３ａのみが点灯しているときは被加熱物を収容可能な待機状態にあることを示している。
【００２１】
次に、図３〜図９に基づいて熱処理装置３０を構成する加熱装置１０の構造、機能等について説明する。図３は加熱装置を示す一部切欠正面図、図４は図３に示す加熱装置の平面図、図５は図３に示す加熱装置の側面図、図６は図３に示す加熱装置の背面図、図７は図３におけるＡ−Ａ線断面図、図８は図３におけるＢ−Ｂ線断面図、図９は図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【００２２】
図３〜図９に示すように、加熱装置１０においては、断熱性を有する壁体（背壁１１ａ、底壁１１ｂ、側壁１１ｃおよび天壁１１ｄ）で形成された箱体状の外部炉体１１内に二つの加熱用側壁１２が対向配置され、その間にマガジン室１３が設けられ、マガジン室１３の背面側には加熱用背壁１４が配置されている。加熱用側壁１２および加熱用背壁１４にはそれぞれ発熱手段であるプレートヒータ１２ｈ，１４ｈおよび遮熱板２５，３１が設けられている。そして、マガジン室１３の正面側の加熱用側壁１２の端面から離れた位置に扉体１５が開閉可能に配置されている。
【００２３】
扉体１５は複数の支軸１５ａを中心に回動可能に軸支され、扉体１５を閉止状態に保つためロック機構付きの開閉レバー１５ｂを備えている。背壁１１ａ、底壁１１ｂ、側壁１１ｃ，天壁１１ｄおよび扉体１５はそれぞれ隙間を隔てて互いに平行に配置された複数の板材１１ｐ，１５ｐによって形成されている。扉体１５の正面には、多数の貫通孔１５ｃを有する板状の保護カバー１５ｄが扉体１５と平行に隙間を隔てて取り付けられている。
【００２４】
外部炉体１１は前後方向に長い直方体形状であり、その底壁１１ｂの下面には、隙間を隔てて支持板１７が取り付けられている。外部炉体１１の背面には、１本の給気管１８、２本の排気管１９および２本の気体流路４９がそれぞれ背壁１１ａを貫通した状態で配管されている。加熱用側壁１２および加熱用背壁１４の上下に天板２０、底板２１が取り付けられ、底板２１の下面と外部炉体１１の底壁１１ｂ上面との間に隙間を設けるために複数のスペーサ２２が配置されている。このように、マガジン室１３は、二つの加熱用側壁１２と、加熱用背壁１４と、天板２０と、底板２１とによって、正面を除く５面が包囲され、外部炉体１１の背壁１１ａ、底壁１１ｂ、側壁１１ｃおよび天壁１１ｄから離れた状態で外部炉体１１内に配置されている。
【００２５】
図５，図６に示すように、背壁１１ａには、給気管１８と、２本の排気管１９および２本の気体流路４９が、それぞれの開口端を背壁１１ａから突出させた状態で配管されている。背壁１１ａの下方には、プレートヒータ１２ｈ，１４ｈへの給電、電気信号の授受などを行うためのコネクタ１６ａを有する制御部１６が設けられている。１台の加熱装置１０の給気管１８及び気体流路４９が図２に示すガス供給装置５０の配管ｘ１〜ｘ７のいずれかに接続され、排気管１９が図２に示す排気装置６０の配管ｙ１〜ｙ７のいずれかに接続されている。また、マガジン室１３内を真空にして熱処理する場合は、給気管１８が図２に示す真空ポンプ７０の配管ｚ１〜ｚ７のいずれかに接続される。
【００２６】
図２に示すように、各種熱処理工程（昇温速度、加熱温度、加熱時間および熱処理雰囲気等）を設定する制御装置３２から配線された信号線３２ｘのコネクタ３２ａに加熱装置１０のコネクタ１６ａを接続するとともに、ガス供給装置５０、排気装置６０及び真空ポンプ７０等と接続すれば、制御装置３２に予め入力されたプログラムに沿って自動的に熱処理を行うことができる。
【００２７】
図７，図８に示すように、給気管１８は背壁１１ａを貫通して加熱用背壁１４の背面に接続され、２本の排気管１９はそれぞれ外部炉体１１内に連通している。２本の気体流路４９はいずれも背壁１１ａを貫通して外部炉体１１内に挿入され、外部炉体１１内面と加熱用側壁１２外面との隙間にコ字状をなすように配管され、その先端は背壁１１ａに固定されるとともに閉止部材４９ｓによって閉塞されている。２本の気体流路４９にはそれぞれ加熱用側壁１２に向かって冷却用気体を吹き出すための多数の吹出孔４９ａが設けられている。
【００２８】
また、図７，図８に示すように、加熱用背壁１４の背面側には、マガジン室１３へ気体を供給するための気体供給手段である給気管１８が接続され、マガジン室１３に供給された気体の排出経路となる複数の排気管１９が外部炉体１１の背壁１１ａを貫通して配管されている。加熱用背壁１４は、互いに平行配置された内壁１４ａ、中間壁１４ｂおよび外壁１４ｃで構成されている。外壁１４ｃと中間壁１４ｂとの間に第一気体拡散室２７が形成され、中間壁１４ｂと内壁１４ａとの間に第二気体拡散室２８が形成されている。
【００２９】
一方、マガジン室１３内の底板２１上面には左右一対のレール２４ｂが設けられ、これらのレール２４ｂに、マガジン２３を載置するための支持部材２４ａがスライド可能に取り付けられている。支持部材２４ａは、マガジン２３が載置される部分が貫通領域２４ｃとなった枠体形状であり、先端部に開設された長円形の把持孔２４ｄに手指を掛けて前後に操作することにより、レール２４ｂに沿ってスライドさせることができる。マガジン室１３内の底板２１の中央部分にはストッパ２１ａが突設され、加熱用背壁１４付近の加熱用側壁１２寄りの部分には円柱状のストッパ２１ｂが立設されている。
【００３０】
支持部材２４ａの把持孔２４ｄに手指を掛けて引き出すと、その後縁部に垂下状に設けられた当接部２４ｅがストッパ２１ａに接触してそれ以上引き出せないように係止され、支持部材２４ａを押し込むとその後縁部がストッパ２１ｂに接触してその位置に係止される。従って、扉体１５を開いた状態で支持部材２４ａを引き出し、その上面にマガジン２３を載置した後、支持部材２４ａがストッパ２１ｂに接触するまで押し込めば、マガジン２３はマガジン室１３内の所定位置に収容される。
【００３１】
次に、図１０〜図１４に基づいて加熱装置１０を構成する加熱用背壁１４の構造、機能などについて説明する。図１０は加熱用背壁を示す斜視図、図１１は図１０に示す加熱用背壁の正面図、図１２は図１１におけるＤ−Ｄ線断面図、図１３は図１２におけるＥ−Ｅ線断面図、図１４は図１２におけるＦ−Ｆ線断面図である。
【００３２】
図１０〜図１４に示すように、加熱用背壁１４は、互いに平行配置された内壁１４ａ、中間壁１４ｂおよび外壁１４ｃと、外壁１４ｃの背面側に付設されたプレートヒータ１４ｈおよび遮熱板３１と、を備えている。図１１に示すように、内壁１４ａには、内径２ｍｍ程度の気体供給孔１４ｙが１０ｍｍ程度の間隔で縦方向に１６個、横方向に７個、合計１１２個開設されている。また、図１３に示すように、中間壁１４ｂには、内径４ｍｍ程度の貫通孔１４ｘが２０ｍｍ程度の間隔で縦方向に８個、横方向に４個、合計２８個開設されている。さらに、図１４に示すように、外壁１４ｃの中央部には内径１５〜２０ｍｍ程度の貫通孔である気体導入口１４ｄが１個開設され、この気体導入口１４ｄに給気管１８が接続されている。
【００３３】
図１２，図１３に示すように、外壁１４ｃの気体導入口１４ｄと対向する中間壁１４ｂの中央部分には貫通孔１４ｘは開設されていない。これは、気体導入口１４ｄから出た気体が第一気体拡散室２７内で拡散することなく、直接、第二気体拡散室２８内へ流入するのを回避するためである。本実施形態においては、中間壁１４ｂにある複数の貫通孔１４ｘの開口面積の総和と、内壁１４ａにある複数の気体供給孔１４ｙの開口面積の総和とが、ほぼ等しくなるように設定しているが、貫通孔１４ｘ、気体供給孔１４ｙおよび気体導入口１４ｄの内径や個数はこれらに限定するものではない。
【００３４】
加熱用背壁１４において、外部から供給される気体は、給気管１８を経由し、気体導入口１４ｄを通過して第一気体拡散室２７内へ導入され、外壁１４ｃ背面に付設されたプレートヒータ１４ｈで間接的に加熱される。このため、プレートヒータ１４ｈから気体へ不純物が混入することがない。また、第一気体拡散室２７内で加熱された気体は、第一気体拡散室２７内で拡散された後、中間壁１４ｂの複数の貫通孔１４ｘを通過して第二気体拡散室２８内へ流入し、第二気体拡散室２８内で再び拡散された後、内壁１４ａに開設された複数の気体供給孔１４ｙから放出される。このため、加熱された気体をマガジン室１３内の広い範囲に均等に吹き出すことができる。
【００３５】
また、発熱手段であるプレートヒータ１４ｈは第一気体拡散室２７を構成する外壁１４ｃの背面に付設されているため、プレートヒータ１４ｈへ給電するための電気配線も簡素であり、メンテナンスも容易である。また、プレートヒータ１４ｈは、外壁１４ｃの背面における気体導入口１４ｄの周辺にも付設されているため、第一気体拡散室２７内へ導入直後の気体が存在する気体導入口１４ｄ周辺を集中的に加熱することが可能であり、加熱効率も良好である。
【００３６】
さらに、外壁１４ｃの気体導入口１４ｄと、内壁１４ａの複数の気体供給孔１４ｙとの間に、複数の貫通孔１４ｘを有する中間壁１４ｂを設けている。従って、第一気体拡散室２７内において、気体導入口１４ｄから内壁１４ａの気体供給孔１４ｙに向かって流動する気体は、中間壁１４ｂの複数の貫通孔１４ｘを通過することによって複数の領域に分散され、気体を均一に加熱することができる。なお、中間壁１４ｂを省略して一つの気体拡散室のみを設けた構造、あるいは２以上の中間壁を設けた構造とすることもできる。
【００３７】
加熱装置１０を用いて熱処理を行う場合、前述したように、扉体１５を開いて保持部材２４ａを引き出し、被加熱物を収容したマガジン２３をそのままの状態で支持部材２４ａ上に載置した後、支持部材２４ａを押し込めば、マガジン２３はマガジン室１３内の所定位置に収容される。この後、扉体１５を閉じ、プレートヒータ１２ｈ，１４ｈに通電すれば、加熱用側壁１２および加熱用背壁１４が発熱し、マガジン室１３内のマガジン２３に収容された被加熱物を加熱することができる。マガジン室１３は、断熱性を有する箱体状の外部炉体１１内に配置され、二つの加熱用側壁１２および加熱用背壁１４によって３方向から加熱されるため、温度分布の均一性に優れている。
【００３８】
このとき、加熱用背壁１４に配管された給気管１８へ外部から気体を供給すれば、前述したように、給気管１８から気体導入口１４ｄを経て第一気体拡散室２７へ流入した気体はその内部で加熱されながら拡散した後、中間壁１４ｂの複数の貫通孔１４ｘをそれぞれ通過して第二気体拡散室２８内へ流入し、その内部で再び加熱されながら拡散した後、所定温度の高温気体となって内壁１４ａの複数の気体供給孔１４ｙからマガジン室１３内へ流入する。
【００３９】
マガジン室１３内へ流入した高温気体は、マガジン室１３内を背面側から正面側へ流動した後、図５で示した、マガジン室１３の正面と扉体１５との隙間を通過してマガジン室１３の外部へ流出する。そして、外部炉体１１とマガジン室１３（天板２０、底板２１および加熱用側壁１２）との隙間を流動して、加熱用背壁１４の背面側まで到達した後、２本の排気管１９を通過して加熱装置１０の外部へ排出される。この場合、排気管１９に排気装置６０（図２参照）を連結すれば強制的に排気を行うことができる。
【００４０】
このように、プレートヒータ１４ｈで加熱されている加熱用背壁１４内の第一気体拡散室２７および第二気体拡散室２８を通過することによって均一加熱された高温気体がマガジン室１３内へ供給されるため、マガジン室１３内の温度分布の均一性を保つことができる。また、加熱手段であるプレートヒータ１４ｈを加熱用背壁１４の背面部に設けたことにより、プレートヒータ１４ｈでした加熱用背壁１４全体で気体が加熱されるため、気体を均一加熱することができる。
【００４１】
さらに、加熱用背壁１４から供給される加熱気体は、マガジン室１３内を循環した後、外部炉体１１に設けられた排気管１９から排出されるため、クリーン度の安定性にも優れており、マガジン２３内の被加熱物が汚損されることもない。なお、マガジン室１３に供給する気体としては窒素が好適であるが、これに限定するものではない。
【００４２】
加熱装置１０においては、排気経路である排気管１９を外部炉体１１の背壁１１ａに設けているため、マガジン室１３の正面と扉体１５との隙間からマガジン室１３外へ流出した気体は、外部炉体１１とマガジン室１３（天板２０、底板２１および加熱用側壁１２）との隙間を通過して加熱用背壁１４の背面側へ流入した後、排気管１９から排出される。従って、加熱用背壁１４からマガジン室１３へ供給された気体はマガジン室１３の内部および外部を流動した後、排気管１９から排出される結果、均一な温度分布を得ることができる。
【００４３】
加熱装置１０の外部炉体１１を形成する壁体（背壁１１ａ、底壁１１ｂ、側壁１１ｃ、天壁１１ｄ）および扉体１５はそれぞれ隙間を隔てて互いに平行に配置された複数の板材１１ｐ，１５ｐによって形成されているため、優れた断熱性を発揮し、外部炉体１１内に配置されたマガジン室１３内の温度分布を均一に保つ上で有効である。
【００４４】
加熱処理が終了すると、加熱用背壁１４のプレートヒータ１４ｈへの給電を停止し、給気管１８を通じてマガジン室１３へ気体を供給することにより、マガジン室１３内を冷却することもできる。従って、必要に応じて、マガジン２３内の被加熱物を急冷したり、その冷却時間を任意に設定したりすることができる。このため、冷却工程の多様化あるいは冷却時間の短縮による作業工程の効率化を図ることができる。被加熱物が所定温度まで低下したら、扉体１５を開いて支持部材２４ａを引き出せば、マガジン室１３からマガジン２３とともに被加熱物を取り出すことができる。
【００４５】
加熱装置１０は、マガジン２３をマガジン室１３へ出したり、入れたりする際に使用する部材として、マガジン２３を載置した状態でマガジン室１３に出し入れ可能な支持部材２４ａを備えている。このため、加熱物を収容したマガジン２３のマガジン室１３への出し入れが容易であり、作業性に優れている。
【００４６】
また、ストッパ２１ｂの位置やレール２４ｂの間隔を変えることにより、マガジン室１３内におけるマガジン２３の収容領域を変更可能であるため、被加熱物の種類やサイズあるいは熱処理条件などが変更になった場合、マガジン２３の収容領域を変更して対応することができ、汎用性も優れている。
【００４７】
加熱装置１０においては、プレートヒータ１２ｈ，１４ｈへの給電を停止した後、給気管１８からマガジン室１３へ冷却用気体を供給することにより、マガジン２３とともに被加熱物を冷却することができるが、その他の冷却手段として、多数の吹出孔４９ａを有する気体流路４９を設けている。従って、気体流路４９を介して導入した冷却用気体を吹出孔４９ａから外部炉体１１内へ吹き出せば、マガジン室１３内の被加熱物をさらに急速に冷却することができる。
【００４８】
その他の前記冷却手段として、冷却用流体が流動可能な管状体（図示せず）を気体流路４９と同様に外部炉体１１内に配管し、外部から供給した冷却用媒体を前記管状体内に通過させるようにすることもできる。このようにすれば、マガジン室１３内の被加熱物に冷却用気体などを接触させることなく冷却することができるため、冷却用気体などによる悪影響を回避することができる。
【００４９】
また、外部炉体１１内の気体を排出するための真空ポンプ７０を給気管１８に接続すれば、熱処理中に発生する、被加熱物に有害なガスなどを外部へ排出することができる。この場合、外部炉体１１内を真空化して、マガジン室１３内の被加熱物を真空雰囲気で熱処理することもできるため、気体による悪影響を受けない熱処理を行うことができる。
【００５０】
図１，図２に示すように、複数の加熱装置１０及び制御装置３２等を用いて熱処理装置３０を形成すれば、被加熱物が収納された複数のマガジン２３をそれぞれ複数の熱処理装置１０のマガジン室１３に収容し、各加熱装置１０の熱処理工程を制御装置３２でそれぞれ独立して制御しながら各加熱装置１０内の被加熱物に対して熱処理を施すことができる。このため、複数のマガジン２３に収納された被加熱物をそのままの状態で熱処理することが可能である。また、被加熱物の種類により熱処理条件が異なっていても、熱処理装置３０を用いることにより、複数の熱処理工程を並行して実行することができる。
【００５１】
従って、熱処理装置３０は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部品であるガラス基板、半導体リードフレームなどの金属基板あるいは樹脂基板などの熱処理工程において必要とされる様々な熱処理条件を満たすことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明の熱処理装置は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部材であるガラス基板あるいは半導体リードフレームなどの金属基板や樹脂基板などの熱処理工程において広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態である熱処理装置を示す正面図である。
【図２】図１に示す熱処理装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図１に示す熱処理装置を構成する加熱装置の一部切欠正面図である。
【図４】図３に示す加熱装置の平面図である。
【図５】図３に示す加熱装置の側面図である。
【図６】図３に示す加熱装置の背面図である。
【図７】図３におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図８】図３におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】図３に示す加熱装置を構成する加熱用背壁の斜視図である。
【図１１】図１０に示す加熱用背壁の正面図である。
【図１２】図１１におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図１３】図１２におけるＥ−Ｅ線断面図である。
【図１４】図１２におけるＦ−Ｆ線断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０  加熱装置
１１  外部炉体
１１ａ  背壁
１１ｂ  底壁
１１ｃ  側壁
１１ｄ  天壁
１１ｐ，１５ｐ  板材
１２  加熱用側壁
１２ｈ，１４ｈ  プレートヒータ
１３  マガジン室
１４  加熱用背壁
１４ａ  内壁
１４ｂ  中間壁
１４ｃ  外壁
１４ｄ  気体導入口
１４ｘ，１５ｃ  貫通孔
１４ｙ  気体供給孔
１５  扉体
１５ａ  支軸
１５ｂ  開閉レバー
１５ｄ  保護カバー
１６  制御部
１６ａ，３２ａ  コネクタ
１７  支持板
１８  給気管
１９  排気管
２０  天板
２１  底板
２１ａ，２１ｂ  ストッパ
２２  スペーサ
２３  マガジン
２４ａ  支持部材
２４ｂ  レール
２４ｃ  貫通領域
２４ｄ  把持孔
２４ｅ  当接部
２５，３１  遮熱板
２７  第一気体拡散室
２８  第二気体拡散室
３０  熱処理装置
３０ａ  ラック
３２  制御装置
３２ｘ，３２ｙ  信号線
３３  表示パネル
３３ａ，３３ｂ  パイロットランプ
４９  気体流路
４９ａ  吹出孔
４９ｓ  閉止部材
５０  ガス供給装置
６０  排気装置
７０  真空ポンプ
ｘ１〜ｘ７，ｙ１〜ｙ７，ｚ１〜ｚ７  配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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