(57)【要約】【課題】より低温の処理で製造できる、耐酸化性が向上したC/Cコンポジットを提供する。【解決手段】炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材の表面の一部または全部に炭化チタン含浸層を有する複合材料。炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材に金属チタンと炭素源を含むコーティング液を塗布し、次いで、コーティング液を塗布した基材に高周波誘導加熱を施して、上記複合材料を得る、複合材料の製造方法。【選択図】図6
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材の表面の一部または全部に炭化チタン含浸層を有する複合材料。
【請求項２】
炭化チタン含浸層の厚みが１μｍ〜１０ｍｍの範囲である請求項１に記載の複合材料。
【請求項３】
炭化チタン含浸層は、非傾斜構造を有する請求項１または２に記載の複合材料。
【請求項４】
炭化チタン含浸層は、酸化チタンを含有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の複合材料。
【請求項５】
炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材に金属チタンと炭素源を含むコーティング液を塗布し、次いで、コーティング液を塗布した基材に高周波誘導加熱を施して、請求項１〜４のいずれか１項に記載の複合材料を得る、複合材料の製造方法。
【請求項６】
コーティング液に含まれる金属チタンが、金属チタン粉末である請求項５に記載の製造方法。
【請求項７】
金属チタン粉末は、平均粒子径が１００μｍ〜２ｍｍの範囲である請求項５または６に記載の製造方法。
【請求項８】
炭素源は、炭化水素化合物である請求項５〜７のいずれか１項に記載の製造方法。
【請求項９】
炭化水素化合物は、ポリビニルアルコールである請求項８に記載の製造方法。
【請求項１０】
高周波誘導加熱温度が１５５０〜１６５０℃である請求項５〜９のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭化チタン含浸炭素繊維強化炭素複合材料及び高周波誘導加熱を用いる前記複合材料の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
C/Cコンポジットは軽量性と機械的強度、不活性雰囲気における耐熱性に優れた高性能材料である。そのため自動車・航空機の構造材や産業用ロボットなどさまざまな分野での利用が期待されている。しかし、C/Cコンポジットは、高温大気中での耐酸化性の低さが問題である。
【０００３】
炭素材料に、高温耐酸化性能を付与する方法として炭素繊維強化炭素複合材 （以下Ｃ／Ｃと呼ぶ）の表面を炭化物等でセラミックス化する方法（あるいは、さらにその上にガラス等によるコーティングをおこなう方法）は良く知られており、米国のスペースシャトルの耐熱・耐酸化材料の製造法としても採用されている。しかし、この方法で十分な耐酸化性能を有するＣ／Ｃを得るためには、当該表層ＳｉＣの層厚を大きくした上で、当該表層ＳｉＣに多量のガラス等を含浸／固定化して、酸素等の母材Ｃ／Ｃの損傷を引き起こすガス成分等の拡散を防止することが必要であった。そのため基材となるＣ／Ｃの大きい強度低下が発生するので、Ｃ／Ｃの厚みを大きくすることが必要となり、Ｃ／Ｃの特徴である軽量性が犠牲となっていた。
【０００４】
そこで、耐酸化性能、特に高速気流等の高速高温な外力の繰り返し負荷に対して強い耐酸化性能を有する炭素繊維強化炭素複合材料の提供が望まれ、炭素繊維強化炭素複合材料 （Ｃ／Ｃ）の表面に気相化学蒸着法によって緻密な耐酸化性能を有する被覆層（ＣＶＤ層）を有し、さらにその表面に無定形材料によるオーバーコート層を有する炭素繊維強化炭素 複合材料において、該ＣＶＤ層が表面に凹凸を有するＣＶＤ層であることを特徴とする炭素繊維強化炭素複合材料が提案されている（特許文献１） 。
【０００５】
また、軽量かつ高強度で高速回転性に優れ、ジェットエンジンやガスタービンのような高速で回転する機械の回転軸を支持する軸受として好適に使用し得る転動装置を提供することを目的として、転動体を保持する保持器を、密度が３．５ｇ／ｃｍ3以下であって焼成後に溶融金属 を含浸された炭素繊維強化炭素複合材料から形成することが提案されている（特許文献２）。
【０００６】
特許文献２には、炭素繊維強化炭素複合材料に溶融金属を加圧などして含浸する場合、炭素繊維強化炭素複合材料を溶融金属の融点よりも１００℃〜２５０℃高い温度で予め予熱し、その後、溶融金属の融点よりも５０℃〜２５０℃高い温度で溶融金属を炭素繊維強化炭素 複合材料に加圧含浸すると、溶融金属が炭素繊維強化炭素複合材料中に十分に含浸されるので好ましい、と記載されている。
【０００７】
さらに、宇宙航空用等の超耐熱複合材料に好適な素材を提供することを目的として、金属蒸気と炭素繊維強化炭素複合材とを該複合材の表面で反応させ、該複合材表面に金属炭化物層を形成する、表面被覆炭素繊維強化炭素複合材の製造方法が提案されている（特許文献３）。この方法によれば、炭素繊維強化炭素複合材と金属炭化物層との界面に剥離がなく、しかも、亀裂がない金属炭化物層を炭素繊維強化炭素複合材の表面に形成することができる、と記載されている。
【０００８】
特許文献3に記載の方法では、金属蒸気とC／C複合材との反応により金属炭化物層が形成されるが、この被覆層表面は、完全に金属炭化物となり、一方、被覆層内部は、金属炭化物と炭素との複合物が形成される。この複合物中の金属炭化物と炭素との割合は、C／C複合材の表面から内部にむけて炭素が徐々に増加し、いわゆる傾斜機能構造を形成するものである。
【特許文献１】特開平８−２３９２８５号公報
【特許文献２】特開２００２−３２７７５４号公報
【特許文献３】特開平５−１２４１４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に記載のCVD法による成膜処理は、長時間を要することから材料が高コストとなるため航空宇宙分野など限られた用途で使用されるに留まっている。
【００１０】
また、特許文献２に記載の金属を含浸された炭素繊維強化炭素複合材料は、炭素繊維強化炭素複合材料を溶融金属の融点よりも１００℃〜２５０℃高い温度で予め予熱し、その後、溶融金属の融点よりも５０℃〜２５０℃高い温度で溶融金属を炭素繊維強化炭素複合材料に加圧含浸することで製造されるが、非常に高温での処理が必要である。
【００１１】
特許文献３に記載の金属炭化物表面被覆炭素繊維強化炭素複合材は、優れた耐酸化性を有するものである。しかし、その製造には、炭化物の原料となる金属を蒸気として、炭素繊維強化炭素複合材と反応させる必要がある。炭化チタンの場合、チタンの融点は１６７５℃であり、特許文献３の実施例２では、炭化チタン表面被覆炭素繊維強化炭素複合材の製造に、１８５０℃の温度を要している。
【００１２】
そこで本発明の目的は、より低温の処理で製造できる、耐酸化性が向上したC/Cコンポジットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは、高周波誘導加熱法を用いることで、金属チタンの融点よりも低い加熱温度であっても炭化チタン表面含浸層を有する炭素・金属系複合材料を製造できることを見いだし、さらに、この複合材料が優れた耐酸化性を有することを見いだして、本発明を完成させた。
【００１４】
上記課題を解決する本発明は以下の通である。
［１］炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材の表面の一部または全部に炭化チタン含浸層を有する複合材料。
［２］炭化チタン含浸層の厚みが１μｍ〜１０ｍｍの範囲である［１］に記載の複合材料。
［３］炭化チタン含浸層は、非傾斜構造を有する［１］または［２］に記載の複合材料。
［４］炭化チタン含浸層は、酸化チタンを含有する［１］〜［３］のいずれかに記載の複合材料。
［５］炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材に金属チタンと炭素源を含むコーティング液を塗布し、次いで、コーティング液を塗布した基材に高周波誘導加熱を施して、［１］〜［４］のいずれかに記載の複合材料を得る、複合材料の製造方法。
［６］コーティング液に含まれる金属チタンが、金属チタン粉末である［５］に記載の製造方法。
［７］金属チタン粉末は、平均粒子径が１００μｍ〜２ｍｍの範囲である［５］または［６］に記載の製造方法。
［８］炭素源は、炭化水素化合物である［５］〜［７］のいずれかに記載の製造方法。
［９］炭化水素化合物は、ポリビニルアルコールである［８］に記載の製造方法。
［１０］高周波誘導加熱温度が１５５０〜１６５０℃である［５］〜［９］のいずれかに記載の製造方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、優れた耐酸化性を有する、炭化チタン表面含浸層を有する炭素・金属系複合材料を提供することができる。さらに本発明によれば、上記炭素・金属系複合材料を、高周波誘導加熱法を用いることで、金属チタンの融点よりも低い加熱温度で、かつ短時間に製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
［炭素・金属系複合材料］
本発明は、炭素・金属系複合材料に関し、炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材の表面の一部または全部に炭化チタン含浸層を有する複合材料である。
【００１７】
基材として用いる炭素繊維強化炭素複合材（以下Ｃ／Ｃと略記する）は、炭素繊維を強化繊維とし、炭素をマトリックスとする複合材料である。炭素繊維としては、ピッチ系、ポリアクリロニトリル系およびレーヨン系等が挙げられるが、ピッチ系が最も好ましい。またこれらのうち二種以上を組み合わせて使用することもできる。マトリックス炭素はその製造方法により様々な性質を持つ。有機物の熱分解によるものとしては、大別して二種類あり、一つは熱硬化性樹脂の熱分解によるものであり、具体的にはフェノール樹脂、フラン樹脂などの熱分解によるものが挙げられる。もう一つは熱可塑性樹脂の熱分解によるものであり、具体的には石油系ピッチ、石炭系ピッチなどの熱分解によるものが挙げられる。さらに気相析出によるものも有効で、具体的にはメタン、プロパン、ブタン、四塩化炭素、ベンゼンなどの気相析出によるものがあげられる。このように本発明を構成する繊維強化複合材料 のマトリックスとしては、多くの種類を挙げることができるが、いずれも有効であり、以上に挙げたマトリックスは単独はもちろん、二種類以上のマトリックスを組み合わせて用いた繊維強化複合材料であっても、本発明の効果を妨げるものではない。
【００１８】
本発明の炭素・金属系複合材料は、基材の表面の一部または全部に炭化チタン含浸層を有する。炭化チタン含浸層の厚みは、１μｍ〜１０ｍｍの範囲であることが、優れた耐酸化性を有するという観点から好ましい。炭化チタン含浸層の厚みは、好ましくは１０μｍ〜１ｍｍの範囲であり、より好ましくは１００μｍ〜５００μｍの範囲である。
【００１９】
炭化チタン含浸層は、Ｃ／Ｃの表面にＴｉＣが含浸した層であり、実質的に、非傾斜構造を有する。本発明の炭素・金属系複合材料は、後述のように、Ｃ／Ｃの表面に設けた金属チタンと炭素源を含むコーティング膜を高周波誘導加熱することで、形成するものであり、ＴｉＣは、主に、金属チタンと炭素源との反応により生成し、このＴｉＣがＣ／Ｃの細孔に含浸して、炭化チタン含浸層は形成される。金属チタンの一部は、Ｃ／Ｃの炭素とも反応する可能性はあるが、炭素源と反応しＴｉＣとなるものが実質的には優位であり、そのため、炭化チタン含浸層は、実質的に、非傾斜構造を有するものである。
【００２０】
炭化チタン含浸層が、非傾斜構造を有するということは、Ｃ／Ｃが本来有する構造を実質的に破壊せずに、炭化チタン含浸層が形成されていることを意味し、本発明によれば、Ｃ／Ｃの優れた特性と炭化チタン含浸層による耐酸化性の向上という２つの利点を併せ持つ材料が提供される。炭化チタン含浸層が、非傾斜構造を有することは、炭化チタン含浸層の断面をＥＰＭＡで観察することで、確認できる。
【００２１】
本発明の炭素・金属系複合材料の炭化チタン含浸層は、製造上の理由で酸化チタンを含有することがある。本発明の炭素・金属系複合材料の炭化チタン含浸層が、炭化チタンのみからなるか、微量または少量の酸化チタンを含有するかは、ＸＰＳの測定により、確認できる。但し、酸化チタンの含有は、炭化チタンの特性を損なわない範囲にすることが適当である。
【００２２】
［複合材料の製造方法］
本発明は、上記本発明の炭素・金属系複合材料の製造方法を包含する。この製造方法は、炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）からなる基材に金属チタンを含むコーティング液を塗布し、次いで、コーティング液を塗布した基材を高周波誘導加熱して、本発明の複合材料を得る方法である。
【００２３】
基材として用いる炭素繊維強化炭素複合材（Ｃ／Ｃ）は前述の通である。基材の金属チタン含浸層を形成したい部分に金属チタンを含むコーティング液を塗布する。基材の全表面にコーティング液を塗布する場合、コーティング液に基材を浸漬しても良い。コーティング液の塗布量は、コーティング液に含まれる金属チタンの量（濃度）と形成したい金属チタン含浸層の厚みを考慮して適宜決定出来る。
【００２４】
金属チタンを含むコーティング液は、具体的には、金属チタン粉末と炭素源を含むものである。金属チタン粉末は、誘導加熱によりＣ／Ｃが有する間隙に含浸し易い等の観点から、平均粒子径が１００μｍ〜２ｍｍの範囲の微粉末を用いることが好ましい。金属チタン粉末の平均粒子径は、好ましい２００〜８００μｍの範囲、より好ましくは４００〜６００μｍの範囲である。
【００２５】
金属チタンを含むコーティング液に含まれる炭素源は、炭化チタン含浸層を形成する目的で用いる。金属チタンを高温でＣ／Ｃに含浸させると、Ｃ／Ｃと金属チタンの界面で炭素とチタンが反応してＴｉＣが生成するが、金属チタンを含むコーティング液に炭素源を含めることで、大部分の金属チタンは炭素源と反応してＴｉＣを形成する。
【００２６】
炭素源は、例えば、炭化水素化合物であることができるが、例えば、活性炭等であることもできる。但し、活性炭等の粒状物を用いる場合には、Ｃ／Ｃの細孔への拡散の容易さを考慮して、平均粒子径は、金属チタン粒子と同様の範囲とすることが適当である。炭化水素化合物としては、常温で液体または流動体であるものが、コーティング液とする観点から好ましい。炭化水素化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール等を用いることができる。コーティング液の溶媒は、上述の金属チタン粉末及び炭素源を均一に分散または溶解できるものであれば特に制限なく使用出来る。溶媒として炭化水素化合物を用いることもでき、その場合、溶媒と炭素源として兼用することもできるか。炭素源の種類とその使用量は、金属チタンが優先的に炭素源と反応してＴｉＣの含浸層を形成できること等を考慮して適宜決定できる。
【００２７】
コーティング液を塗布した基材を高周波誘導加熱する。金属チタン（Ti）の融点は、1668 ℃である。本発明の方法では、高周波誘導加熱温度を、金属チタン（Ti）の融点より低い、例えば、１５５０〜１６５０℃とすることで、炭化チタン含浸層を形成することができる。これは表面に塗布したTiが誘導加熱により直接加熱され、融点以上の温度に到達しているためであると推察される。勿論、金属チタン（Ti）の融点より高い温度に設定することもできる。
【００２８】
高周波誘導加熱は、コーティング液を塗布した基材を反応用の容器、例えば、炭素製のケース（本体と蓋からなり、ケース内を略密閉状態にできる。但し、内圧をリークする機構を有することが安全上、好ましい。）に収納し、その外側から高周波誘導することで行うことができる。加熱温度は、例えば、反応用の容器の外壁を赤外線放射温度計で測定することで求めることができる。
【００２９】
高周波誘導加熱の時間は、例えば、１分間〜１時間とすることができる。但し、加熱の時間は、コーティング液の組成、塗布量、Ｃ／Ｃの種類等を考慮して、適宜決定できる。
【００３０】
本発明の製造方法では、上記コーティング液の塗布と高周波誘導加熱を２回以上繰り返し行うこともできる。コーティング液の塗布と高周波誘導加熱を２回以上繰り返し行うことで、炭化チタン含浸層の厚みを増すこともできる。
【実施例】
【００３１】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
【００３２】
［実験方法］
高周波誘導加熱装置
図1に実験に用いた装置のチャンバー部の概略図を示す。コイルの内側にカーボンケースを置いた状態でコイルに高周波の交流を流すと電磁誘導によりケースに誘導電流が生じ、この電流とケースとの間のジュール熱によりケースが直接加熱され、効率的に昇温させることができる。
【００３３】
金属試料の含浸
炭化物を形成しやすいことが知られているSi、Ti、Mo、Wの粉末をC/Cコンポジット（以下、基材）表面に1 mmol/cm2添着し、誘導加熱装置を用いて含浸処理を行った。粉末の添着は、粉末に5 wt%-PVA溶液とn-ブタノールを加えたスラリーとし、これを塗付して乾燥させることで行った。処理は、初圧を0.5気圧としたAr置換雰囲気下で行った。処理時間は10 minとし、リーク弁を用いて処理温度での圧力が1気圧を超えることのないように調整した。
【００３４】
また、SiおよびTiの二成分系金属含浸試料による耐酸化性の向上も試みた。第二成分の添加量を10 wt%とし、1昼夜の混合後、単成分系と同様の添着法・処理法で基材に含浸させた。
【００３５】
金属酸化物試料の含浸
W、Moについて、金属に比べて融点がずっと低い酸化物を用いた含浸処理を行った。またMoO3、WO3と同様に炭化物を形成しやすく、酸化物とすることで融点が低下する金属であるVの酸化物V2O5の含浸処理もあわせて行った。添着量、添着方法及び含浸処理時間は金属の場合と同様である。処理温度はMoO3、V2O5では900 ℃、WO3では1500 ℃とした。
【００３６】
耐酸化性の評価
未処理の基材と含浸処理により調製した試料の耐酸化性は、マッフル炉を用いた大気中の高温加熱酸化を行い評価した。温度は500 ℃および600 ℃とし、5時間ごとに重量を測定しながら50時間の酸化を行い、重量残存率の推移から耐酸化性を評価した。
【００３７】
処理条件の検討
各種含浸試料の強制酸化実験の結果をもとに、耐酸化性の最も向上したTiについて条件を変更した含浸処理を行った。処理温度、処理時間、添着量、処理回数を変更し処理条件が試料に与える影響を検証した。
【００３８】
C/Cコンポジットの特性
TG-DTAで温度に対する重量推移を検証したところ、500〜600 ℃の範囲で重量減少が始まることが確認された。大気雰囲気での加熱酸化の結果、図2 に示したように550 ℃では重量の減少は微小であるが600 ℃では急激に重量が減少した。この結果を踏まえて、本実験では耐酸化性の目標温度を600 ℃に設定した。
【００３９】
金属含浸試料
1500 ℃処理でのSiと1600 ℃処理でのTiの含浸が確認されたが、Mo、Wは本実験での処理条件では溶融に至らなかった。
Si、Tiを含浸させた試料について、SEMで表面を観察した結果、Siを用いた試料の表面は粒子が付着している状態がほとんどであったのに対し、Tiを用いた試料では図3のように焼結体状の滑らかな表面が得られることがわかった。また断面を観察したところ、どちらの試料でも表層付近の炭素繊維間の空隙に金属が見られ、表面細孔からの金属の含浸が確認された。特にTiを含浸させた試料では図4のように表層付近の空隙をTiが充填していることが明らかとなった。
【００４０】
またSi、Tiを含浸させた試料をXRDで分析したところ、どちらの試料でも基材と炭化物のピークのみが検出された(図5)。金属のピークが確認できなかったことから、溶融した金属は反応性が高く、ほぼ全量がバインダーに含まれる炭素か炭素繊維と反応したと考えられる。これはSiC及びTiCの標準生成自由エネルギーが負の値をとることに沿った結果である。
【００４１】
図6に600 ℃の酸化雰囲気における基材および含浸試料の重量推移を示す。両試料の耐酸化性が基材に比べて向上しているのは明らかである。また、SiはAlやTiと二成分系にすることで耐酸化性が向上した。しかしTiではSiやAlとの二成分系により耐酸化性は低下した。
単成分、二成分系を合わせて比較した結果、Tiを含浸させた試料で耐酸化性の向上が最も向上することが分かった。これは炭素繊維とTi融液との接触界面での耐酸化性物質TiCの形成と、表面付近の空隙の充填されることによる試料内部への酸素供給経路の遮断に起因するものである。
【００４２】
金属酸化物含浸試料
酸化物の含浸処理の結果、900 ℃で処理したV2O5、MoO3で良好な含浸が得られた。これは酸化物が還元される前に、それぞれの酸化物の融点に到達したためであると考えられる。XRDでの分析の結果、どちらの試料を用いた場合でも、含浸された酸化物は炭化物を形成していることが確認された。
しかし、図7に示したように試料の耐酸化性は未処理のＣ/Ｃコンポジットと比べて著しく低下し、500 ℃の加熱酸化にも耐えられなくなった。これは含浸処理で得られた炭化物の耐酸化性が低く、試験雰囲気で容易に酸化物へと戻り、炭素繊維表面に生じた酸化物が酸化触媒として作用するためであると考えられる。
WO3を用いた試料でも、誘導加熱装置による1500 ℃での処理により炭化物が得られた。表面が耐酸化性物質に改質されており、またその表面が酸化されても生じる酸化物の酸化触媒作用が小さいため、500 ℃での耐酸化性は向上した。
しかし600℃、50時間の酸化試験での重量推移は未処理と変わらず、TiやSiを上回る耐酸化性を得ることはできなかった。
【００４３】
以上より、C/Cコンポジットの耐酸化性の向上にはTiを含浸させて、TiC含浸層を形成することが最も効果的であることが分かった。そこで、含浸条件を変更した試料を調製し、その影響を検討した。
【００４４】
Ti含浸の考察と処理条件による相違
本研究ではTiの融点(1668 ℃)より低い処理温度（1600 ℃）で含浸を行うことができた。これは表面に塗付したTiが誘導加熱により直接加熱され、融点以上の温度に到達しているためであると推察される。
図8に示したEPMAの結果から含浸したTiの分布に傾斜的な変化は見られなかった。これは表面の細孔から含浸され、隙間を通ってきたTi融液が炭素繊維束の層によってTi融液がせき止められたためであると考えられる。
また表面の結合状態をXPSにより分析した結果、図9に示すように表面はTiCが主成分となっていることが確認された。
【００４５】
設定処理温度の変更を試みた結果、1550 ℃でもTiが良好に溶融含浸されることが確認された。しかし、含浸される深さは1600 ℃に比べ浅くなり、含浸性は低下した。
添着量（Tiの含浸量）を変更したところ、Tiの添着量の増大に比例して含浸される深さも増大した。一方、添着量を等しくした試料の処理時間を変更した場合では、含浸深さに変化は見られなかった。
これらの結果から、高温の処理によりTiの含浸性が増し、含浸される深さは時間によらず、Tiの添着量に影響されることが明らかとなった。
さらに、処理回数を増加させることで耐酸化性が向上することがわかった。これは１回目の処理でTiCに改質された表面上にTiC層が構築され、耐酸化性を有する被覆層の厚みが増すためであると考えられる。
【００４６】
C/CコンポジットにTiを含浸させ複合材料化することで、試料表面をTiCに改質し、600 ℃における耐酸化性を向上させることに成功した。この処理は、高周波誘導加熱装置を用いることで、Tiの融点以下の処理温度で行うことができることを見出した。また「室温の状態から処理温度までの昇温」と「含浸」を合わせた一連の処理時間を30分以下とする「処理の短時間化」を実現した。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明の複合材料は、自動車・航空機の構造材や産業用ロボットなどさまざまな分野での利用が期待されている。特に、本発明の複合材料は、優れた耐酸化性を有することから、その用途が広がることも期待される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】実施例の実験に用いた装置のチャンバー部の概略図を示す。
【図２】TG-DTAで、大気雰囲気での温度に対するC/Cコンポジットの重量推移を検証した結果を示す。
【図３】SiまたはTiを含浸させた試料のSEM表面観察結果を示す。
【図４】SiまたはTiを含浸させた試料のSEM断面観察結果を示す。
【図５】SiまたはTiを含浸させた試料のXRD分析結果を示す。
【図６】600 ℃の酸化雰囲気における基材およびSiまたはTi含浸試料の重量推移を示す。
【図７】500 ℃の酸化雰囲気における基材および酸化物含浸試料の重量推移を示す。
【図８】Ti含浸試料のEPMAの結果を示す。
【図９】Ti含浸試料の表面の結合状態をXPSにより分析した結果を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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