(57)【要約】【課題】精密マスク蒸着やホトリソ工程の工程を減らした効率の良い有機発光表示装置【解決手段】基板１０上に配置された青色発光部（Ｂ）、緑色発光部(Ｇ)及び赤色発光部(Ｒ)の厚さを、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）として、緑色発光部(Ｇ)及び赤色発光部(Ｒ)の成膜工程を共通化する。また、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の下部電極１と有機発光層４の間の電子注入層２と電子輸送層３の成膜工程を共通化する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に配置された青色発光部、緑色発光部及び赤色発光部と、前記各発光部における有機発光層と、前記有機発光層を発光させるための上部電極及び下部電極を有し、前記上部電極及び下部電極のいずれか一方が透明電極であり、他方は反射電極である有機発光表示装置において、
前記各発光部のうち少なくとも２つの発光部の厚さが同じであることを特徴とする有機発光表示装置
【請求項２】
前記２つの発光部が緑色発光部と赤色発光部であり、
前記各発光部の厚さの関係が、青色発光部＜緑色発光部＝赤色発光部であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項３】
前記２つの発光部が青色発光部と緑色発光部であり、
前記各発光部の厚さの関係が、青色発光部＝緑色発光部＜赤色発光部であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項４】
前記２つの発光部が青色発光部と赤色発光部であり、
前記各発光部の厚さの関係が、青色発光部＝赤色発光部＜緑色発光部であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項５】
前記２つの発光部における透明電極と有機発光層との間の膜厚が同じであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項６】
前記２つの発光部における反射電極と有機発光層との間の膜厚が同じであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項７】
前記透明電極と有機発光層との間の膜厚が、各発光部で同じであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項８】
前記反射電極と有機発光層との間の膜厚が、各発光部で同じであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項９】
前記上部電極が透明電極であり、前記下部電極が反射電極であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１０】
前記上部電極が反射電極であり、前記下部電極が透明電極であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１１】
前記透明電極と有機発光層との間の膜が、上部電極を陽極とし、下部電極を陰極とした場合に、正孔輸送層であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１２】
前記透明電極と有機発光層との間の膜が、上部電極を陰極とし、下部電極を陽極とした場合に、電子輸送層であることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１３】
前記透明電極と有機発光層との間の膜厚が、青色発光部より緑色発光部及び赤色発光部で厚く、膜の電子移動度が、青色発光部より緑色発光部及び赤色発光部で高いことを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１４】
前記青色発光部が隣り合うように、各発光部を順次配置することを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１５】
前記透明電極上にパッシベーション層を有しており、前記有機発光層からパッシベーション膜までの距離が各発光部で同じであることを特徴とする請求項１に記載の有機発光表示装置
【請求項１６】
基板上に配置された青色発光部、緑色発光部及び赤色発光部と、前記各発光部における有機発光層と、前記有機発光層を発光させるための上部電極及び下部電極を有し、前記上部電極及び下部電極のいずれか一方が透明電極であり、他方は反射電極である有機発光表示装置の製造方法において、
前記緑色発光部及び赤色発光部における上部電極と有機発光層との間に同じ膜を成膜する工程を有し、前記緑色発光部及び赤色発光部の厚さを同じとすることを特徴とする有機発光表示装置の製造方法
【請求項１７】
前記各発光部における下部電極と有機発光層との間に同じ膜を成膜する工程を有することを特徴とする請求項１６に記載の有機発光表示装置の製造方法
【請求項１８】
前記緑色発光部及び赤色発光部における上部電極と有機発光層との間に同じ膜を成膜する工程は、前記各発光部における上部電極と有機発光層との間に同じ膜を成膜する工程の後であることを特徴とする請求項１６に記載の有機発光表示装置の製造方法
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光表示装置及びその製造方法に係り、特に、カラー有機発光表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、有機発光表示装置が次世代平面型表示装置として注目されている。この有機発光表示装置は、自発光、広視野角、高速応答特性といった優れた特性を有する。
【０００３】
通常の有機発光素子の構造は、ガラス基板上に、ＩＴＯ等の透明電極と、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層等からなる有機層と、低仕事関数の反射電極とが順次形成されて構成され、発光光は透明電極を透過して、ガラス基板の下側から取出している。
【０００４】
この有機発光素子の各層の膜厚は、それぞれ数十ないし数百ｎｍ程度であり、光干渉効果の影響を受ける。その干渉効果を利用し、青色、緑色、赤色の各々の発光効率を高めている。
【０００５】
例えば、ＩＴＯの膜厚を、青色、緑色、赤色の各々で変更し、各色の発光効率を高めることが、下記特許文献１に開示されている。また、同一機能を有するいずれかの有機層を発光色に対応して異なる膜厚とすることにより、各色の発光効率を高めることが、下記特許文献２に開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１４２２７７号公報
【特許文献２】特開２０００−３２３２７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１のような構造とすると、確かに、各色の発光効率を高効率とすることができるが、そのためには、製造プロセスの工程数を増やすことになる。すなわち、ＩＴＯの膜厚を、各色で変更するためには、ＩＴＯ成膜工程を２回追加し、ＩＴＯのホトリソグラフィによるパターニング工程を２回追加することになる。そのため、安価で製造することができない。
【０００７】
上記特許文献２のような構造としても、確かに、各色の発光効率を高効率とすることができるが、そのためには、少なくとも２回の成膜工程を追加する必要がある。この２回の成膜工程は、各成膜工程において、各色の発光部だけに正確に成膜する必要がある。真空蒸着法で成膜する場合には、精密な精度で作成されたマスクを用いて精密な位置合わせを行い、成膜する必要がある。このような２回に亘る成膜プロセスは、精密なマスクを基板の画素部の近くに密着する必要があるため、画素の表示不良の原因となる。
【０００８】
また、精密なマスクをアライメントするには、蒸着時間以外のアライメント時間が必要となり、作業時間が長くなる。
【０００９】
本発明の目的は、青色、緑色、赤色の発光効率を低下させることなく、かつ、製造プロセスを簡略化した有機発光表示装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために、基板上に配置された青色発光部、緑色発光部及び赤色発光部のうち、少なくとも２つの発光部の厚さが同じであることを特徴とする。また、各発光部における反射電極と有機発光層との間の膜厚が同じであることを特徴とする。
【００１１】
ここで、厚さや膜厚が同じというのは、成膜工程の成膜精度以内で同じということである。具体的には、膜厚誤差±７％以下の範囲をいう。
【発明の効果】
【００１２】
以上、本発明によると、２つの発光部（緑色発光部と赤色発光部）を同じ構成としても、これらの発光効率を低下させることがない。また、同じ構成であるために、精密なマスク蒸着などのプロセス増加を抑制することができる。
【００１３】
また、本発明を用いれば、効率の良い薄型自発光表示装置を簡便に実現可能であり、テレビや各種情報端末等の表示装置に利用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る有機発光表示装置及びその製造方法の実施例について、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は本実施例の有機発光表示装置の青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）からなる画素部の断面図である。この画素部は透明絶縁基板１０上にマトリクス状に配置されている。また、青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）は、夫々ストライプ状に形成され、夫々、青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）、赤色発光部の順番で並んだ構造となっている。
【００１６】
図１において、下部電極１、電子注入層２、電子輸送層３、有機発光層４、正孔輸送層５、バッファ層６、上部電極７の順に透明絶縁基板１０上に配置され、上部電極７を透明電極とし、下部電極１を反射電極として、この上部電極７側から有機発光層４の発光光を取出すトップエミッション型の有機発光表示装置であって、下部電極１を陰極とし、上部電極７を陽極とする。なお、下部電極１を透明電極とし、上部電極７を反射電極として、下部電極１側から有機発光層４の発光光を取出すボトムエミッション型の有機発光表示装置としてもよい。
【００１７】
本実施例では、正孔輸送層５の膜厚が、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）で同じであり、青色発光部（Ｂ）で異なることを特徴とする。
【００１８】
以下、各電極及び各層について説明する。
【００１９】
下部電極１は、ＥＢ蒸着により成膜したＡｌ（アルミニウム）である。電極のパターン形成はシャドウマスクを用い、膜厚は、青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）のいずれも１００ｎｍとした。
【００２０】
下部電極１に用いられる陰極材料は、電子の注入効率を高める仕事関数の小さな導電膜が望ましい。具体的には、アルミニウム・ネオジウム合金、マグネシウム・銀合金、アルミニウム・リチウム合金、アルミニウム・カルシウム合金、アルミニウム・マグネシウム合金、金属カルシウム、セリウム化合物等が挙げられるが、これらの材料に限定されるわけではない。
【００２１】
また、ＩＴＯ、ＩＺＯ等の導電性酸化物や、Ａｇ、Ｃｒなどの仕事関数の大きい金属であっても電子注入層２に電子供与性ドーパントを有するドーピング注入層を用いることにより、電子注入を行うことができる。このＩＴＯやＩＺＯ等の透明導電性酸化物を用いた場合には、その下にアルミニウム、銀、クロム、モリブデン及びその合金等の反射性金属を置くことにより、その上部に光を効率よく取り出せるようになる。
【００２２】
電子注入層２は、陰極とした下部電極１から電子輸送層３への電子注入効率を向上させるために用いる。ここでは、真空蒸着法により、膜厚１０ｎｍのトリス（８−キノリノール）アルミニウムとＬｉの１：１の共蒸着膜を用いた。青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）のいずれも同じ膜厚として、一括してマスク蒸着により形成した。
【００２３】
電子注入層２に用いられる材料は、ＬｉＦ、ＣｓＦ、ＢａＦや電子供与性ドーパントと電子輸送性材料が共存する他の材料でもよい。
【００２４】
電子供与性ドーパントは、具体的には、リチウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、マグネシウム、アルミニウム、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、希土類金属化合物、アルカリ金属イオンを含有する有機金属錯体、アルカリ土類金属イオンを含有する有機金属錯体、希土類金属イオンを含有する有機金属錯体、テトラシアノキノジメタン誘導体、クロラニル誘導体、ブロマニル誘導体、ジクロロジシアノキノン誘導体、ナフトキノン誘導体等が望ましい。また、もちろんこれらの材料に限られるわけではなく、また、これらの材料を２種以上併用しても差し支えない。
【００２５】
電子注入層２のホスト材料としては、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、亜鉛ベンゾチアゾール錯体が望ましい。また、もちろんこれらの材料に限られるわけではなく、また、これらの材料を２種以上併用しても差し支えない。
【００２６】
電子輸送層３は、電子を輸送し、発光層へ注入する役割を有する。そのため、電子移動度が高いことが望ましい。ここでは、真空蒸着法により形成した、膜厚１０ｎｍのトリス（８−キノリノール）アルミニウム膜を用いた。青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）のいずれも同じ膜厚として、一括してマスク蒸着により形成した。
【００２７】
電子輸送層３の材料としては、上記のものに限定されず、具体的には、オキサジアゾール誘導体、シロール誘導体、亜鉛ベンゾチアゾール錯体でもよい。また、もちろんこれらの材料に限られるわけではく、また、これらの材料を２種以上併用しても差し支えない。
【００２８】
有機発光層４は、注入された正孔と電子が再結合し、材料固有の波長で発光する層である。ここでは、青色発光部（Ｂ）の有機発光層としては、ジスチリルアリーレン誘導体（ＤＰＶＢｉ）蒸着膜を４０ｎｍ形成した。
【００２９】
緑色発光部（Ｇ）の有機発光層としては、二元同時真空蒸着法にて、膜厚４０ｎｍのトリス（８−キノリノール）アルミニウム（Ａｌｑ）とキナクリドン（Ｑｃ）の共蒸着膜を形成した。蒸着速度を４０：１に制御して蒸着した。
【００３０】
赤色発光部（Ｒ）の有機発光層としては、膜厚４０ｎｍのトリス（８−キノリノール）アルミニウムと４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（パラ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ）の共蒸着膜を形成した。蒸着速度を１００：２に制御して蒸着した。
【００３１】
有機発光層４のパターン形成は、精密な精度で作製されたシャドウマスクを用いた精密マスク蒸着で行った。
【００３２】
有機発光層４の材料としては、上記のものに限定されない。例えば、ホスト材料としては、ジスチリルアリーレン誘導体（ＤＰＶＢｉ）、骨格にベンゼン環を有するシロール誘導体（２ＰＳＰ）、トリフェニルアミン構造を両端に有するオキソジアゾール誘導体（ＥＭ２）、フェナンスレン基を有するべリノン誘導体（Ｐ１）、トリフェニルアミン構造を両端に有するオリゴチオフェン誘導体（ＢＭＡ−３Ｔ）、べリレン誘導体（ｔＢｕ−ＰＴＣ）、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、ポリバラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリバラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、カルバゾール誘導体などが望ましい。また、もちろんこれらの材料に限られるわけではなく、また、これらの材料を２種以上併用しても差し支えない。
【００３３】
また、ドーバント材料としては、キナクリドン、クマリン６、ナイルレッド、ルプレン、４−（ジシアノメチレン）−２−メチル−６−（パラ−ジメチルアミノスチリル）−４Ｈ−ピラン（ＤＣＭ）、ジカルバゾール誘導体、イリジウム錯体、白金錯体が望ましい。また、もちろんこれらの材料に限られるわけではなく、また、これらの材料を２種以上併用しても差し支えない。
【００３４】
正孔輸送層５は、正孔を輸送し、発光層へ注入する役割を有する。そのため、正孔移動度が高いことが望ましい。また、化学的に安定であることが望ましい。また、ガラス転移温度が高いことが望ましい。ここでは、４，４’−ビス［Ｎ−（１−ナフチル）−Ｎ−フェニルアミノ］ビフェニル（α−ＮＰＤ）を真空蒸着法で成膜して用いた。
【００３５】
青色発光部（Ｂ）では膜厚を３０ｎｍとした。緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）では膜厚を６５ｎｍとした。精密マスクを用いた精密マスク蒸着法により、青色発光部（Ｂ）のみと緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）に分けて、２回の精密マスク蒸着により形成した。
【００３６】
正孔輸送層５の材料は、α−ＮＰＤに限られるわけではなく、Ｎ，Ｎ’−ビス（３一メチルフェニル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−［１，１’−ビフェニル］−４，４’ジアミン（ＴＰＤ）、４，４’，４”−トリ（Ｎ−カルバゾリル）トリフェニルアミン（ＴＣＴＡ）、１，３，５−トリス［Ｎ−（４−ジフェニルアミノフェニル）フェニルアミノ］ベンゼン（ｐ−ＤＰＡ−ＴＤＡＢ）でもよい。また、もちろんこれらの材料に限られるわけではなく、その他のトリフェニルアミン誘導体でもよい。また、これらの材料を２種以上併用しても差し支えない。
【００３７】
バッファ層６は、上部電極７を形成する際に、正孔輸送層５に与えるダメージを軽減するためと正孔輸送層５に正孔を注入するために形成する層である。ここでは、酸化バナジウムをＥＢ蒸着により成膜した。バッファ層６のパターン形成はシャドウマスクを用い、膜厚は、青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）で同一とし、一括して形成し、１５ｎｍとした。
【００３８】
バッファ層６の材料は、上記のものに限定されず、酸化モリブデン、酸化タングステンなどの酸化物でもよい。酸化物でも成膜時の酸素分圧が低くなるものが好ましい。また、銅フタロシアニンなどの有機材料でも上部電極形成時のダメージを緩和できるものであれば適用可能である。
【００３９】
上部電極７は、スパッタリング法で形成した膜厚６０ｎｍのＩＺＯ膜とした。青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）ともいずれも同じ膜厚とし、一括して形成した。
【００４０】
上部電極７は、光透過性の高い電極であればよく、ＩＺＯ以外でもＩＴＯ、ＺｎＯなどの透明電極やＣｒ等の薄膜電極でもよい。また、ＩＺＯやＩＴＯなどの抵抗の高い電極を用いる場合には、Ａｌ等の電極を補助電極として部分的に形成してもよい。そうすることにより、上部電極７の抵抗による電圧低下による輝度むらを抑制することができる。
【００４１】
〔比較例１〕
本比較例１の有機発光素子は、実施例１の有機発光素子ように、赤色発光部（Ｒ）の正孔輸送層５が緑色発光部（Ｇ）と同じではなく、実施例１の正孔輸送層５の膜厚６５ｎｍを１００ｎｍとした点が、実施例１と異なる。そのため、本比較例１においては、正孔輸送層の膜厚は、青色発光部で４０ｎｍ、緑色発光部で６５ｎｍ、赤色発光部で１００ｎｍとなるため、これら青色発光部、緑色発光部、赤色発光部を、夫々精密マスク蒸着を用いて成膜した。
【００４２】
実施例１の青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）を点灯させ、白色発光させた。同様に、比較例１も白色発光させた。白色発光の色度座標は（ＣＩＥｘ、ＣＩＥｙ）＝（０．３０、０．３１）である。この色度の白色の１００ｃｄ／ｍ2での電力効率を測定したところ、実施例１の効率は、比較例１の効率に対して、１．０５倍であった。したがって、実施例１のように、精密マスク蒸着の回数を減らしても効率の良い有機発光表示装置を得ることができる。
【００４３】
本実施例においては、電子注入層２、電子輸送層３、バッファ層６を共通化して、正孔輸送層５の膜厚を、青色発光部（Ｂ）では３０ｎｍとし、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）では６５ｎｍとした。すなわち、青色発光部（Ｂ）の厚さを２６５ｎｍとし、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の厚さを３００ｎｍとして、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さの関係を、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）とした。
【００４４】
この構造以外でも、図２に示すように、電子注入層２、正孔輸送層５、バッファ層６を共通化し、電子輸送層３の膜厚を、青色発光部（Ｂ）で３０ｎｍ、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）で６５ｎｍとすることにより、同等の効果を得ることができる。なお、正孔輸送層５の膜厚は１０ｎｍとする。この場合でも、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さの関係は、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）となる。
【実施例２】
【００４５】
図３は、本実施例の画素部の断面図である。図３において、下部電極１１を陽極とし、上部電極１７を陰極とした。この場合、下部電極１１、正孔注入層１２、正孔輸送層１３、有機発光層１４、電子輸送層１５、電子注入層１６、上部電極１７の順に透明絶縁基板１０上に積層される。下部電極１１がＡｌとＩＴＯの積層構造であること以外は実施例１と同じ材料を用いている。
【００４６】
下部電極１１の膜厚は１００ｎｍ、正孔注入層１２の膜厚は各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）共通で２０ｎｍ、正孔輸送層１３の膜厚も共通で２０ｎｍである。有機発光層１４の膜厚は各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）共通で４０ｎｍである。電子輸送層１５の膜厚は、青色発光部（Ｂ）で１０ｎｍ、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）で２５ｎｍとした。電子注入層１６の膜厚は各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）共通で１０ｎｍ、上部電極１７の膜厚は６０ｎｍである。
【００４７】
有機発光層１４は各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）夫々精密マスク蒸着で形成した。電子注入層１６は青色発光部（Ｂ）のみと緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）を夫々精密マスク蒸着で形成した。
【００４８】
〔比較例２〕
本比較例２の有機発光素子は、実施例２における赤色発光部（Ｒ）の電子輸送層１７の膜厚を２５ｎｍから６５ｎｍとした点が異なる。そのため、本比較例２においては、電子輸送層の膜厚は、青色発光部で１０ｎｍ、緑色発光部で２５ｎｍ、赤色発光部で６５ｎｍとなるため、これら青色発光部、緑色発光部、赤色発光部を夫々精密マスク蒸着を用いて成膜した。
【００４９】
実施例２の青色発光部（Ｂ）、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）を点灯させ、白色発光させた。同様に、比較例２も白色発光させた。白色発光の色度座標は（ＣＩＥｘ、ＣＩＥｙ）＝（０．３０、０．３１）である。この色度の白色の１００ｃｄ／ｍ２での電力効率を測定したところ、実施例２の効率は、比較例２の効率に対して、１．０倍であった。したがって、実施例２のように、精密マスク蒸着の回数を減らしても効率が低下しない有機発光表示装置を得ることができる。
【００５０】
本実施例においては、正孔注入層１２、正孔輸送層１３、電子注入層１６を共通化して、電子輸送層１５の膜厚を、青色発光部（Ｂ）では１０ｎｍとし、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）では２５ｎｍとした。すなわち、青色発光部（Ｂ）の厚さを２６０ｎｍとし、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の厚さを２７６ｎｍとして、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さの関係を、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）とした。
【００５１】
この構造以外でも、図４に示すように、正孔注入層１２、電子輸送層１５、電子注入層１６を共通化し、正孔輸送層１３の膜厚を、青色発光部（Ｂ）で１０ｎｍ、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）で２５ｎｍとすることにより、同等の効果を得ることができる。なお、電子輸送層１５の膜厚は２０ｎｍとする。この場合でも、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さの関係は、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）となる。
【実施例３】
【００５２】
本実施例では、下記の製造工程以外は図１に示す実施例１と同じである。本実施例においては、正孔輸送層５の形成を以下のような手順で行った。まず、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）に共通する同じ正孔輸送層を真空蒸着法で膜厚を３０ｎｍとして形成した。次に、精密マスク蒸着法により、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）に同じ正孔輸送層材料を膜厚３５ｎｍとして蒸着した。その結果、青色発光部（Ｂ）の膜厚は３０ｎｍとなり、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の膜厚は、６５ｎｍとなる。このような成膜により、実施例１の場合と比べて、精密マスク蒸着を１回減らして同じ構造の有機発光素子を形成することができる。
【実施例４】
【００５３】
図５は、本実施例の画素部の断面図である。本実施例では、下記の点を除いて、実施例１と同じである。まず、上部電極７の上に第１パッシベーション膜８、第２パッシベーション膜９を順次形成した。第１パッシベーション膜は、膜厚２００ｎｍのＳｉＯｘとした。第２パッシベーション膜は、膜厚３００ｎｍのＳｉＮｘとした。この第１、第２のパッシベーション膜を形成することで、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）における有機発光層４からの各色の発光を共振させて取り出すことができる。
【００５４】
その他の層の膜厚は、実施例１の青色発光部（Ｂ）の厚さと同じにした。すなわち、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）で、正孔輸送層５の膜厚を同じとし、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さを同じとした。本実施例の効率を実施例１と同様に測定した結果、本実施例と比較例１との効率の比は１．０であった。
【実施例５】
【００５５】
本実施例は、下記の点を除いて、図３に示す実施例２と同じである。本実施例において、電子輸送層１５の材料を、青色発光部（Ｂ）と、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）とで別の材料とした。すなわち、青色発光部（Ｂ）の電子輸送材料は、トリス（８−キノリノール）アルミニウムとした。また、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の電子輸送材料は、シロール誘導体とした。
【００５６】
このトリス（８−キノリノール）アルミニウムの電子移動度は１×１０-5ｃｍ2／Ｖ程度である。一方、シロール誘導体の電子移動度は２×１０-4ｃｍ2／Ｖであり、１０倍以上大きい。このシロール誘導体を緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の電子輸送材料に用いることにより、青色発光部（Ｂ）に対して、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の駆動電圧が大きく上がることがない。これにより、電源電圧を全体として下げることができ、低消費電力となる。
【実施例６】
【００５７】
図６は、本発明に係る有機発光装置の副画素のレイアウト図であって、本実施例では下記の点を除いては、実施例１と同じである。図６において、縦方向には、同じ色の発光部（副画素）が夫々並んでいる。横方向には、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、Ｂ（青）、Ｇ（緑）、Ｒ（赤）、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）・・・・と発光部が並んでいる。
【００５８】
このように発光部を配置することにより、緑色発光部（Ｇ）及び赤色発光部（Ｒ）の正孔輸送層５を形成する精密マスクの金属部を副画素２つ分の幅とすることができる。従来では、１色ずつ蒸着するので精密マスクの金属部は副画素１つ分の幅となり、本実施例と比べて１／２の幅となってしまう。そのため、精密マスクの製造精度が低くなる課題があった。しかし、本実施例のように副画素をレイアウトすることにより、精密マスクの製造精度を高くすることができ、高精細な表示装置でも製造することが可能となる。
【実施例７】
【００５９】
図７は、本実施例の画素部の断面図であって、図１に示す実施例１とは、次の点で異なり、他の構成は同じである。実施例１においては、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さの関係を、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）としたが、本実施例においては、青色発光部（Ｂ）＝緑色発光部（Ｇ）＜赤色発光部（Ｒ）とした。このようにしても実施例１と同等の効果が得られる。
【実施例８】
【００６０】
図８は、本実施例の画素部の断面図であって、図１に示す実施例１とは、次の点で異なり、他の構成は同じである。実施例１においては、各発光部（Ｂ，Ｇ，Ｒ）の厚さの関係を、青色発光部（Ｂ）＜緑色発光部（Ｇ）＝赤色発光部（Ｒ）としたが、本実施例においては、青色発光部（Ｂ）＝赤色発光部（Ｒ）＜緑色発光部（Ｇ）とした。このようにしても実施例１と同等の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】実施例１の画素部の断面図
【図２】実施例１の画素部の断面図
【図３】実施例２の画素部の断面図
【図４】実施例２の画素部の断面図
【図５】実施例４の画素部の断面図
【図６】実施例６の副画素のレイアウト図
【図７】実施例７の画素部の断面図
【図８】実施例８の画素部の断面図
【符号の説明】
【００６２】
１…下部電極、２…電子注入層、３…電子輸送層、４…有機発光層、５…正孔輸送層、６…バッファ層、７…上部電極、８…第１パッシベーション膜、９…第２パッシベーション膜、１０…透明絶縁基板、１１…下部電極、１２…正孔注入層、１３…正孔輸送層、１４…有機発光層、１５…電子輸送層、１６…電子注入層、１７…上部電極、２５…電子輸送層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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