(57)【要約】【課題】振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上する輪郭振動片を実現する。【解決手段】輪郭振動片１０は、等方性材料からなる四角柱状の振動体２０と、振動体２０の対向する側面２２，２３それぞれに形成される第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１と、第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１に励振信号を入力し、側面２２，２３において平面的に対向する二つの励振電極４１，４２と、を備え、励振電極４１と励振電極４２及び第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１とが、平面視して振動体２０の中央部において所定の面積の交差領域Ｌを有し、振動体２０の長手方向中央部が、入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
等方性材料からなる四角柱状の振動体と、
前記振動体の側面に形成される圧電薄膜と、
前記圧電薄膜に励振信号を入力し、前記圧電薄膜を挟んで平面的に対向する二つの励振電極と、を備え、
前記二つの励振電極のうち一方の励振電極と他方の励振電極とが、平面視して前記振動体の長手方向中央部において所定の交差領域を有し、
前記振動体の長手方向中央部が、入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動することを特徴とする輪郭振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の輪郭振動片において、
前記圧電薄膜が、前記振動体の対向する二つの側面それぞれに設けられる第１圧電薄膜と第２圧電薄膜とからなり、
前記第１圧電薄膜と前記第２圧電薄膜とが少なくとも前記交差領域において交差するように配設され、
前記一方の励振電極が前記第１の圧電薄膜の表面に、前記他方の励振電極が前記第２の圧電薄膜の表面に設けられていることを特徴とする輪郭振動片。
【請求項３】
請求項１に記載の輪郭振動片において、
前記圧電薄膜が、前記振動体の対向する二つの側面のうちの一方の側面に、且つ、少なくとも前記交差領域の範囲に配設され、
前記圧電薄膜の表面に前記一方の励振電極が設けられるとともに、前記振動体の他方の側面に前記他方の励振電極が設けられていることを特徴とする輪郭振動片。
【請求項４】
請求項１に記載の輪郭振動片において、
前記振動体の対向する二つの側面のうちの一方の側面に、前記一方の励振電極が設けられ、
前記一方の励振電極の表面に、少なくとも前記交差領域の範囲に前記圧電薄膜が設けられるともに、前記圧電薄膜の表面に前記他方の励振電極が設けられていることを特徴とする輪郭振動片。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の輪郭振動片において
前記振動体が、長手方向中央部の輪郭振動領域と、長手方向端部の非振動領域と、を有していることを特徴とする輪郭振動片。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の輪郭振動片において、
前記一方の励振電極と前記他方の励振電極とが、前記振動体の長手方向端面それぞれに延在されていることを特徴とする輪郭振動片。
【請求項７】
等方性材料からなる柱状の振動体と、前記振動体の側面に形成される圧電薄膜と、
前記圧電薄膜に励振信号を入力する少なくとも二つの励振電極と、を備え、前記一対の励振電極のうちの一方の励振電極と他方の励振電極とが、平面視して前記振動体の中央部において所定の交差面積を有して交差され、前記振動体の長手方向中央部が入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動する輪郭振動片を、前記輪郭振動片の輪郭振動領域がパッケージの基台から離間された状態にて、前記振動体の長手方向端部において前記基台に固定されていることを特徴とする輪郭振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、輪郭振動片及び輪郭振動子に関する。詳しくは、柱状の振動体の中央部が輪郭振動をする輪郭振動片と、この輪郭振動片を搭載する輪郭振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯機器、情報通信機器、計測機器等の電子機器に用いられる高周波帯域の基準信号源としては、ＤＴカット振動子、ＧＴカット水晶振動子、ラーメモード振動子がよく知られている。
【０００３】
例えば、振動部と支持部とをエッチング法によって一体に形成された輪郭すべり水晶振動子において、支持部は振動部の対向する辺の中央部で屈曲部を介在して接続され、且つ、振動部の両端に設けられている輪郭すべり水晶振動子というものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、振動部と接続部と支持部とを備えて構成され、振動部の上下面には極性が異なる少なくとも一対の電極が設けられており、振動部と屈曲部を有する接続部と支持部とが粒子法またはエッチング法により一体に形成されている輪郭水晶振動子というものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、表面及び裏面に励振電極が形成され、振動の節点を端部に有する四角形状の振動体本体部と、節点から外側方向に延びる接続部と、この接続部を介して振動本体部を支持する端子電極部（支持部）とで一体に形成されており、前記接続部が節点から端子電極部に向けて長く伸びているラーメモードの水晶振動子も知られている（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
さらに、振動部と接続部と支持部とを備えて構成され、振動部の上面と下面に電極が配置される輪郭圧電結晶振動子において、振動部を囲むようにフレームを形成し、支持部のマウント部とフレームは接着されると同時に振動部とフレームとの間に段差を有する隙間を設けている輪郭圧電結晶振動子というものも知られている（例えば、特許文献４参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開平１−２４１２１０号公報（第３頁、図１，２）
【特許文献２】特開２００５−９４７２７号公報（第５頁、図１）
【特許文献３】特開２００４−２４２２５６号公報（第４頁、図１，２）
【特許文献４】特開２００３−１０１３６２号公報（第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した特許文献１や特許文献２では、振動部の輪郭部において振動変位が零となる節点部分に支持部を接続している。しかしながら、接続部の構造的な強度確保に必要な面積（断面積）を有する必要があることから節点以外の範囲にも接続領域を有することになり、振動を阻害（振動特性の劣化）してしまうという課題を有している。
【０００９】
このような課題を解決する方法として、特許文献２では接続部を延在してばね形状にすることを提案している。また、特許文献３では接続部をリング状に長く延在して、振動の阻害要因を低減することを提案している。このような特許文献２、特許文献３によれば、振動部の面積に対して接続部や支持部が大きくなることから小型化には不利な構造である。
【００１０】
さらに、特許文献４によれば、振動部を囲むようにフレームを形成し、支持部のマウント部とフレームは接着されると同時に振動部とフレームとの間に段差を有する隙間を設け、振動部をフレームから浮かせているため厚くなるという課題がある。また、振動部を囲むフレームの分だけ面積が大きくなる。
【００１１】
本発明の目的は、上述した課題を解決することを要旨とし、振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上する輪郭振動片と輪郭振動子を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の輪郭振動片は、等方性材料からなる四角柱状の振動体と、前記振動体の側面に形成される圧電薄膜と、前記圧電薄膜に励振信号を入力し、前記圧電薄膜を挟んで平面的に対向する二つの励振電極と、を備え、前記二つの励振電極のうち一方の励振電極と他方の励振電極とが、平面視して前記振動体の長手方向中央部において所定の交差領域を有し、前記振動体の長手方向中央部が、入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動することを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、振動体の長手方向中央部に設けられる励振電極の交差領域に振動のエネルギが集中することにより、振動体の長手方向中央部に輪郭振動が励起される。従って、振動体の両端面部はほとんど振動しないことから、振動体の両端面部を支持することによる振動への影響がなく、振動特性の劣化を低減することができる。
【００１４】
また、詳しくは後述する実施の形態にて説明するが、この輪郭振動は、入力される特定の周波数の励振信号に対応した固有の振動モードを有し、正確で安定した振動特性を得ることができる。
【００１５】
また、前記圧電薄膜が、前記振動体の対向する二つの側面それぞれに設けられる第１圧電薄膜と第２圧電薄膜とからなり、前記第１圧電薄膜と前記第２圧電薄膜とが少なくとも前記交差領域において交差するように配設され、前記一方の励振電極が前記第１の圧電薄膜の表面に、前記他方の励振電極が前記第２の圧電薄膜の表面に設けられていることが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、振動体を励振する圧電薄膜が、振動体の対向する側面の両方に設けられているため、振動体の長手方向中央部に振動エネルギを効率よく集中させ、振動効率を高めることができる。
【００１７】
また、前記圧電薄膜が、前記振動体の対向する二つの側面のうちの一方の側面に、且つ、少なくとも前記交差領域の範囲に配設され、前記圧電薄膜の表面に前記一方の励振電極が設けられるとともに、前記振動体の他方の側面に前記他方の励振電極が設けられていることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、圧電薄膜が振動体の一方の側面に設けられる構造であっても、振動体の中央部に振動エネルギをより効率よく集中させ、振動体の中央部において輪郭振動を励起することができる。
【００１９】
また、前記振動体の対向する二つの側面のうちの一方の側面に、前記一方の励振電極が設けられ、前記一方の励振電極の表面に、少なくとも前記交差領域の範囲に前記圧電薄膜が設けられるともに、前記圧電薄膜の表面に前記他方の励振電極が設けられていることが好ましい。
【００２０】
このような構造にすれば、上述した発明による構造と同様に、振動体の中央部において輪郭振動を励起することができる他、振動体の一方の側面に一方の励振電極と圧電薄膜と他方の励振薄膜を積層形成することから、製造し易いという効果を有する。
【００２１】
また、前記振動体が、長手方向中央部の輪郭振動領域と、長手方向端部の非振動領域と、を有していることが好ましい。
【００２２】
本発明では、振動体の長手方向中央部において輪郭振動が励起され、長手方向端面部では振動しない。詳しくは実施の形態にて説明するが、長手方向端面部にて振動体の固定、あるいは外部接続電極との接続を行うことで輪郭振動に影響を与えることなく固定することができる。
また、四角柱状の振動体の両端面部にて振動体を固定することにより、耐衝撃性を高めることができる。
【００２３】
さらに、前記一方の励振電極と前記他方の励振電極とが、前記振動体の長手方向端面それぞれに延在されていることが望ましい。
【００２４】
上述したように、振動体の長手方向端面は振動しない非振動領域であり、長手方向の両端面に各励振電極が延在されていることから、輪郭振動に影響を与えない両端面にて外部接続電極との接続を行うことができる。
【００２５】
また、本発明の輪郭振動子は、等方性材料からなる柱状の振動体と、前記振動体の側面に形成される圧電薄膜と、前記圧電薄膜に励振信号を入力する少なくとも二つの励振電極と、を備え、前記一対の励振電極のうちの一方の励振電極と他方の励振電極とが、平面視して前記振動体の中央部において所定の交差面積を有して交差され、前記振動体の長手方向中央部が入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動する輪郭振動片を、前記輪郭振動片の輪郭振動領域がパッケージの基台から離間された状態にて、前記振動体の長手方向端部において前記基台に固定されていることを特徴とする。
【００２６】
この発明によれば、輪郭振動が発生していない長手方向端面部において基台に固定しており、且つ、輪郭振動領域を基台から浮かしていることから、振動特性に影響を与えずに輪郭振動片をパッケージ内に固定し、小型で振動特性のよい輪郭振動子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１，２は実施形態１に係る輪郭振動片と輪郭振動のシミュレーション結果を示し、図３は実施形態２、図４は実施形態３に係る輪郭振動片、図５は、本発明による輪郭振動子を示している。なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
（実施形態１）
【００２８】
図１は、本発明の実施形態１に係る輪郭振動片を示す斜視図である。図１において、輪郭振動片１０は、四角柱状の振動体２０の対向する側面２２，２３それぞれに第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１と、励振電極４１，４２とを形成して構成されている。
【００２９】
振動体２０は、断面形状が四角形（例えば、正方形または長方形等を含む）の柱状部材であり、振動特性が等方性を有する材料からなる。等方性材料の代表例としてはＳｉＯ2，Ｓｉ、ガラス、ＡｌやＣｕ等の金属があるが、本実施形態では非導電性材料を用いた場合を例示している。本実施形態では、振動体２０は一例として、断面形状が一辺５００μｍの正方形、長さが５０００μｍとしている。この振動体２０の長手方向中央部（以降、単に中央部と表すことがある）側面に第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１とが形成されている。
【００３０】
第１圧電薄膜３０は、振動体２０の対向する一方の側面２２（以降、単に側面２２と表すことがある）に形成される。また、第２圧電薄膜３１は、側面２２に対向する他方の側面２３（以降、単に側面２３と表すことがある）に形成される。第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１の材質としては圧電性材料であれば特に限定されないが、ＰＺＴ（登録商標）、ＡｌＮ、ＺｎＯ等を採用することができる。
【００３１】
第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１とは、振動体２０中央部にて平面視して交差するように配設される。本実施形態では、第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１との交差領域Ｌは、振動体２０の全長の１／３に設定されている。また、第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１は、同じ材質、同じ厚さで形成されることが好ましい。
【００３２】
なお、図１では、第１圧電薄膜３０は交差領域Ｌから外側方向に一方の端部まで、第２圧電薄膜３１は交差領域Ｌから外側方向に他方の端部までの範囲に形成されているが、交差領域Ｌの範囲のみに形成してもよい。これら第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１の表面には、それぞれ一方の励振電極４１（以降、単に励振電極４１と表す）と、他方の励振電極４２（以降、単に励振電極４２と表す）が形成されている。
【００３３】
励振電極４１は第１圧電薄膜３０の表面に形成され、振動体２０の端面２１にまで延在されている。一方、励振電極４２は第２圧電薄膜３１の表面に形成され、振動体２０の端面２４にまで延在されている。端面２１に延在されている電極を引き出し電極４１ａ、端面２４に延在されている電極を引き出し電極４２ａとする。
【００３４】
続いて、本実施形態による輪郭振動片１０の振動シミュレーションの結果について説明する。ここでは、図１に示す形状の輪郭振動片１０ついて有限要素法により振動モードを解析した結果を示している。
図２は、振動体２０のシミュレーション結果を示す斜視図である。本実施形態では、第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１に入力される励振信号の周波数が１２．３ＭＨｚのとき、振動体２０が共振し、図２に表すような輪郭振動が励起される。この際、振動体２０の中央部Ｖ１に振動のエネルギが集中し最大振幅となる。本実施形態による輪郭振動の振動モードは、図２に表すように、振動体２０の対向する稜線が伸張及び収縮するように振動する。
【００３５】
そして、第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１あるいは励振電極４１，４２の交差領域Ｌ（図１、参照）が主たる輪郭振動領域である。この交差領域Ｌの両端部に振動の節点Ｓ１，Ｓ２が現れる。節点Ｓ１，Ｓ２から振動体２０の端部にかけても輪郭振動領域が存在するが、振動体２０の両端部Ｌ１，Ｌ２領域に至るまでに振動は減衰し、端部Ｌ１，Ｌ２及び端面２１，２４は振動していない非振動領域である。従って、この非振動領域において振動体２０を固定しても（図５も参照する）中央部の輪郭振動領域には影響を与えない。
【００３６】
従って、前述した実施形態１によれば、振動体２０の長手方向中央部に設けられる励振電極４１，４２の交差領域Ｌ（第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１の交差領域でもある）に振動のエネルギが集中することにより、振動体２０の長手方向中央部に輪郭振動が励起される。従って、振動体２０の両側の端部Ｌ１，Ｌ２と端面２１，２４を含む非振動領域はほとんど振動しないことから、上述した振動体２０の非振動領域を支持、固定することによる輪郭振動への影響がなく、振動特性の劣化を低減することができる。
また、この輪郭振動は、入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードを有し、正確で安定した振動特性を得ることができる。
【００３７】
また、振動体２０の対向する二つの側面２２，２３それぞれに第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１が設けられているために、振動体２０の中央部に振動エネルギをより効率よく集中させ、振動効率を高めることができる。
また、両端部にて振動体２０を固定することにより、耐衝撃性を高めることができる。
【００３８】
さらに、励振電極４１と励振電極４２とが、それぞれ振動体２０の端面２１，２４に延在されていることから、輪郭振動に影響を与えない両端面にて外部接続電極との接続を行うことができる。
（実施形態２）
【００３９】
続いて、本発明の実施形態２に係る輪郭振動片について図面を参照して説明する。実施形態２は、前述した実施形態１とは圧電薄膜及び励振電極の構成が異なることに特徴を有している。実施形態１と同じ機能部位には同じ符号を附して説明する。
図３は、実施形態２に係る輪郭振動片を示す斜視図である。図３において、輪郭振動片１０は、四角柱状の振動体２０の側面２２に圧電薄膜３０が形成され、圧電薄膜３０の表面に励振電極４１が形成され構成されている。一方、側面２２に対向する側面２３には励振電極４２が形成されている。
【００４０】
圧電薄膜３０は、振動体２０の側面２２の中央部近傍から端面２１に至る範囲に形成され、圧電薄膜３０の表面に形成される励振電極４１は振動体２０の端面２１にまで延在されている。一方、励振電極４２は振動体２０の側面２３の表面から振動体２０の端面２４にまで延在されている。端面２１に延在されている電極を引き出し電極４１ａ、端面２４に延在されている電極を引き出し電極４２ａとする。
【００４１】
圧電薄膜３０と励振電極４１とは、振動体２０の側面２２の表面において同じ平面形状を有しながら積層形成されている。励振電極４１（圧電薄膜３０）は、励振電極４２と振動体２０の中央部において平面視して交差するように配設されており、交差領域Ｌが形成される。交差領域Ｌは、中央部において振動体２０の全長の１／３に設定されている。
【００４２】
なお、図３では、圧電薄膜３０は交差領域Ｌから端面２１に至るまでの範囲に形成されているが、交差領域Ｌの範囲のみに形成してもよい。
【００４３】
上述した本実施形態のように構成された輪郭振動片１０は、実施形態１において示した振動モード（図２、参照）を有する輪郭振動を励起されることがシミュレーションによって確認できた。
【００４４】
従って、上述した実施形態２によれば、圧電薄膜３０が振動体２０の一方の側面２２だけに設けられる構造であっても、振動体２０の中央部に振動エネルギを集中させ、振動体２０の中央部において輪郭振動を励起することができる。
また、圧電薄膜が一方の側面２２にのみ形成しているので、前述した実施形態１（図１、参照）よりも製造工程を簡素化することができる。
（実施形態３）
【００４５】
続いて、本発明の実施形態３に係る輪郭振動片について図面を参照して説明する。実施形態３は、圧電薄膜と励振電極とが一方の側面にのみ形成していることに特徴を有している。実施形態２と同じ機構部位には同じ符号を附して説明する。
図４は、実施形態３に係る輪郭振動片を示す斜視図である。図４において、輪郭振動片１０は、四角柱状の振動体２０の側面２３に励振電極４１、励振電極４１の表面に圧電薄膜３０、圧電薄膜３０の表面に励振電極４２が形成され構成されている。
【００４６】
励振電極４１は、振動体２０の側面２３に中央部近傍から端面２１に至るまで形成されている。圧電薄膜３０は、この励振電極４１の表面に中央部近傍から端面２４に至るまで形成されている。つまり、圧電薄膜３０は、励振電極４１の表面と振動体２０の側面２３の表面にわたって形成される。そして、圧電薄膜３０の表面には励振電極４２が形成されている。
【００４７】
励振電極４１は振動体２０の端面２１にまで延在され、また、励振電極４２は端面２４にまで延在されている。これら端面２１，２４に延在されている電極は、それぞれ引き出し電極４１ａ，４２ａである。
【００４８】
圧電薄膜３０と励振電極４２とは、振動体２０の側面２３の表面において同じ平面形状を有しながら積層形成され、励振電極４１は、励振電極４２（圧電薄膜３０）と振動体２０の中央部において平面視して交差するように配設され交差領域Ｌが形成される。交差領域Ｌは、中央部において振動体２０の全長の１／３に設定されている。
【００４９】
なお、図４では、圧電薄膜３０は交差領域Ｌから端面２４に至るまでの範囲に形成されているが、交差領域Ｌの範囲のみに形成してもよい。
また、励振電極４１を振動体２０の側面２３の全体にわたって形成し、圧電薄膜３０を交差領域Ｌに相当する範囲に配設してもよい。この場合、励振電極４１と励振電極４２との間に絶縁層を形成するか、圧電薄膜３０が存在しない領域において、励振電極４１と励振電極４２とが平面的に離間するよう形成すればよい。
【００５０】
上述した本実施形態のように構成された輪郭振動片１０は、実施形態１において示した振動モード（図２、参照）を有する輪郭振動を励起することがシミュレーションによって確認できた。
【００５１】
従って、上述した実施形態３によれば、振動体２０のひとつの側面２３に、励振電極４１、圧電薄膜３０、励振電極４２を積層形成しているので、これらを一方向から順次形成すればよく製造し易いという効果を有する。
また、上述した実施形態２による構造と同様に、振動体の中央部において輪郭振動を励起することができる。
（輪郭振動子）
【００５２】
続いて、前述した実施形態１〜３による輪郭振動片をパッケージングした輪郭振動子について図面を参照して説明する。
図５は、輪郭振動子の構造を模式的に示す断面図である。図５において、輪郭振動子１は、基台５０と蓋体６０とからなるパッケージ内に輪郭振動片１０が収容されて構成されている。なお、輪郭振動片１０としては、前述した実施形態１〜３にて説明したもの総てについて応用可能であるが、図５では、実施形態１で示した輪郭振動片１０（図１、参照）を例示して説明する。
【００５３】
輪郭振動片１０は、基台５０と蓋体６０とから構成される空間内に装着される。基台５０の内側表面には凹部５１が穿設されており、この凹部５１の両端部に輪郭振動片１０の両端部が固定される。振動体２０が基台５０と接する範囲は、非振動領域としての端部Ｌ１，Ｌ２の範囲内である。
【００５４】
基台５０の表面には電気的に独立した接続電極８１，８２が形成されている。接続電極８１は基台５０の側面に形成される外部接続電極８３と接続され、接続電極８２は基台５０の他の側面に形成される外部接続電極８４と接続されている。
【００５５】
そして、振動体２０の端面２１，２４それぞれに設けられる引き出し電極４１ａ，４２ａがそれぞれ接続電極８１，８２に導電性接着剤７０にて接続されるとともに、輪郭振動片１０が基台５０に固定される。輪郭振動片１０の輪郭振動領域（図２、参照）は、基台５０の凹部５１によって浮いた状態となり、輪郭振動片を基台５０に固定しても輪郭振動には影響を与えない。
【００５６】
従って、上述した本発明による輪郭振動子１は、輪郭振動が発生していない長手方向端部の非振動領域において基台５０に固定しており、しかも輪郭振動領域を基台５０から浮かしていることから、振動特性に影響を与えずに輪郭振動片をパッケージ内に固定し、小型で振動特性のよい輪郭振動子を提供することができる。
【００５７】
なお、図５にて示した固定構造は、振動体２０の側面２３側を基台５０に載置する構造としているが、凹部５１を輪郭振動片１０の挿入可能な大きさとし、側面２３が凹部５１の底面に接触しないように輪郭振動片１０を凹部５１内に挿入して、引き出し電極４１ａ，４２ａと接続電極８１，８２それぞれを導電性接着剤７０を用いて固定する構造を採用することができる。
【００５８】
このようにすれば、輪郭振動片１０は、振動体２０の端面２１，２４において基台５０に固定されており、端面２１，２４は、最も振動しない領域であるため、パッケージングによる輪郭振動への影響をさらに抑制することができる。
また、輪郭振動子１をさらに薄型化することができる。
【００５９】
なお、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述した実施形態１〜実施形態３では、振動体２０の材質として非導電性材料を例示して説明したが、金属等の導電性材料を採用することができる。
【００６０】
輪郭振動片が実施形態１（図１、参照）のような構成では、引き出し電極４１ａ，４２ａと振動体２０との間に絶縁層を形成すればよく、実施形態２（図３、参照）のような構成では、引き出し電極４１ａと振動体の間に絶縁層を形成し、励振電極４２を振動体２０自体と考えることで実現できる。
【００６１】
さらに、実施形態３（図４、参照）のような構造では、引き出し電極４２ａと振動体２０の間に絶縁層を形成し、励振電極４１ａを振動体２０自体とすればよい。
【００６２】
従って、本実施形態によれば、振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上する輪郭振動片と輪郭振動子を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施形態１に係る輪郭振動片を示す斜視図。
【図２】本発明の実施形態１に係る振動体のシミュレーション結果を示す斜視図。
【図３】本発明の実施形態２に係る輪郭振動片を示す斜視図。
【図４】本発明の実施形態３に係る輪郭振動片を示す斜視図。
【図５】本発明の輪郭振動子の構造を模式的に示す断面図。
【符号の説明】
【００６４】
１０…輪郭振動片、２０…振動体、２１，２４…振動体の端面、２２，２３…振動体の側面、３０…第１圧電薄膜、３１…第２圧電薄膜、４１，４２…励振電極。
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図２】
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