(57)【要約】【課題】切替え弁の長寿命化を可能にすることによって、稼働率の向上、メンテナンス作業時間の低減、消耗部品コストの低減等を可能にする加工装置を提供する。【解決手段】砥粒を含む加工水５を加圧することにより高圧加工水６を生成し、該高圧加工水６を噴射することにより対象物８を加工する加工装置に、各々加工水５を貯留するタンクＴ１〜Ｔ４と、タンクＴ１〜Ｔ４に各々貯留されている加工水５を加圧するポンプ４と、ポンプ４とタンクＴ１〜Ｔ４とを各々つなぐポンプ系配管Ｐ１〜Ｐ４と、ポンプ系配管Ｐ１〜Ｐ４において設けられた切替え弁Ｖ１〜Ｖ４と、タンクＴ１〜Ｔ４に各々接続されたノズル系配管Ｊ１〜Ｊ４と、ノズル系配管Ｊ１〜Ｊ４に各々接続されたノズルＮ１〜Ｎ４とを備える。切替え弁Ｖ１〜Ｖ４は、タンクＴ１，Ｔ２に各々つながるノズルＮ１，Ｎ２から高圧加工水６が噴射されるように、ポンプ系配管Ｐ１，Ｐ２を開にする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のタンクに各々貯留され砥粒を含む加工水を加圧することによって高圧加工水を生成し、該高圧加工水を噴射することによって対象物を加工する加工装置であって、
前記複数のタンクに各々貯留されている前記加工水を加圧するポンプと、
前記ポンプと前記複数のタンクとを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管と、
前記複数のポンプ系配管において設けられた１又は複数の切替え弁と、
前記複数のタンクに各々接続された複数のノズル系配管と、
前記複数のノズル系配管に各々接続された複数のノズルとを備えるとともに、
前記１又は複数の切替え弁は、前記複数のタンクのうち１つのタンクにつながる１つのノズルから前記高圧加工水が噴射されるように、前記１つのタンクに接続された１つのポンプ系配管を開にすることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
複数のタンクに各々貯留され砥粒を含む加工水を加圧することによって高圧加工水を生成し、該高圧加工水を噴射することによって対象物を加工する加工装置であって、
前記複数のタンクに各々貯留されている前記加工水を加圧するポンプと、
前記ポンプと前記複数のタンクとを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管と、
前記複数のポンプ系配管において設けられた１又は複数の切替え弁と、
前記複数のタンクに各々接続された複数のノズル系配管と、
前記複数のノズル系配管に各々接続された複数のノズルとを備えるとともに、
前記１又は複数の切替え弁は、前記複数のタンクのうち２つ以上のタンクに各々つながる２つ以上のノズルから前記高圧加工水が噴射されるように、前記２つ以上のタンクに各々接続された２つ以上のポンプ系配管を開にすることを特徴とする加工装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の加工装置において、
前記複数のタンクに各々貯留されている加工水の重量を測定する複数の重量センサと、
前記複数のタンクの各々において測定された前記加工水の重量に応じて前記高圧加工水を噴射する１つ又は２つ以上のノズルを選択する制御部とを備えるとともに、
前記制御部は前記１つ又は２つ以上のノズルに各々つながるポンプ系配管を開にするように前記１又は複数の切替え弁を制御することを特徴とする加工装置。
【請求項４】
複数のタンクに各々貯留され砥粒を含む加工水をポンプを使用して加圧することによって高圧加工水を生成し、該高圧加工水を噴射することによって対象物を加工する加工方法であって、
前記ポンプと前記複数のタンクとを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管のうち１つのポンプ系配管が開になるように切り替える工程と、
前記１つのポンプ系配管に接続された１つのタンクに貯留されている加工水を加圧する工程と、
前記１つのタンクに貯留されている加工水から生成された前記高圧加工水を前記１つのタンクにつながる１つのノズルから噴射する工程とを備えるとともに、
前記１つのノズルは前記複数のタンクに各々つながる複数のノズルのうちの１つであることを特徴とする加工方法。
【請求項５】
複数のタンクに各々貯留され砥粒を含む加工水をポンプを使用して加圧することによって高圧加工水を生成し、該高圧加工水を噴射することによって対象物を加工する加工方法であって、
前記ポンプと前記複数のタンクとを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管のうち２つ以上のポンプ系配管が開になるように切り替える工程と、
前記２つ以上のポンプ系配管に接続された２つ以上のタンクに貯留されている加工水を加圧する工程と、
前記２つ以上のタンクに貯留されている加工水から生成された前記高圧加工水を前記２つ以上のタンクに各々つながる２つ以上のノズルから噴射する工程とを備えるとともに、
前記２つ以上のノズルは前記複数のタンクに各々つながる複数のノズルのうちの２つ以上であることを特徴とする加工方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の加工方法において、
前記複数のタンクに各々貯留されている加工水の重量を測定する工程と、
前記複数のタンクの各々において測定された前記加工水の重量に応じて前記高圧加工水を噴射する１つ又は２つ以上のノズルを選択する工程とを備えるとともに、
前記切り替える工程では前記１つ又は２つ以上のノズルに各々つながるポンプ系配管を開にすることを特徴とする加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、砥粒（研磨材）を含む高圧の加工水を使用した加工装置及び加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の、砥粒を含む高圧の加工水を使用した加工装置及び加工方法を説明する。ここでは、加工のうち、砥粒を含む高圧の加工水を対象物に噴射してその対象物を切断する、いわゆるアブレイシブウォータジェットによる切断を例に挙げて説明する。この切断においては、シリカ、ガーネット、ダイヤモンド等の微細な砥粒が混入された加工水が使用される。そして、加工水貯留タンクに収容された加工水は、加圧手段によって加圧されることにより、送出配管と電磁切替え弁とを経由してノズルに導入され、高圧の加工水からなるウォータージェットとして噴射される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２３０９２１号公報（第５−第７頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の技術によれば、砥粒を含む高圧の加工水が電磁切替え弁の内部を通過し、その電磁切替え弁を使用して、加工水を噴射する動作の開始と終了とを行っている。これによって、砥粒を含む高圧の加工水が電磁切替え弁を経由することになる。したがって、電磁切替え弁を構成する部材が摩耗するので、電磁切替え弁の寿命が短いという問題がある。そして、このことに起因して、加工装置において、稼働率の低下、メンテナンス作業時間の増加、消耗部品コストの増加等の問題が発生している。
【０００５】
本発明は、砥粒を含む高圧の加工水（高圧加工水）を噴射する加工装置であって、稼働率の向上、メンテナンス作業時間の低減、消耗部品コストの低減等を可能にする加工装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の課題を解決するために、本発明に係る加工装置は、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留され砥粒を含む加工水（５）を加圧することによって高圧加工水（６）を生成し、該高圧加工水（６）を噴射することによって対象物（８）を加工する加工装置であって、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留されている加工水（５）を加圧するポンプ（４）と、ポンプ（４）と複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）とを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）と、複数のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）において設けられた１又は複数の切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）と、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々接続された複数のノズル系配管（Ｊ１〜Ｊ４）と、複数のノズル系配管（Ｊ１〜Ｊ４）に各々接続された複数のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）とを備えるとともに、１又は複数の切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）は、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）のうち１つのタンク（Ｔ１）につながる１つのノズル（Ｎ１）から高圧加工水（６）が噴射されるように、１つのタンク（Ｔ１）に接続された１つのポンプ系配管（Ｐ１）を開にすることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明に係る加工装置は、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留され砥粒を含む加工水（５）を加圧することによって高圧加工水（６）を生成し、該高圧加工水（６）を噴射することによって対象物（８）を加工する加工装置であって、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留されている加工水（５）を加圧するポンプ（４）と、ポンプ（４）と複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）とを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）と、複数のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）において設けられた１又は複数の切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）と、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々接続された複数のノズル系配管（Ｊ１〜Ｊ４）と、複数のノズル系配管（Ｊ１〜Ｊ４）に各々接続された複数のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）とを備えるとともに、１又は複数の切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）は、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）のうち２つ以上のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々つながる２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）から高圧加工水（６）が噴射されるように、２つ以上のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々接続された２つ以上のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）を開にすることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係る加工装置は、上述の加工装置において、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留されている加工水（５）の重量を測定する複数の重量センサ（Ｓ１〜Ｓ４）と、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）の各々において測定された加工水（５）の重量に応じて高圧加工水（６）を噴射する１つ又は２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）を選択する制御部（９）とを備えるとともに、制御部（９）は１つ又は２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）に各々つながるポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）を開にするように１又は複数の切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）を制御することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る加工方法は、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留され砥粒を含む加工水（５）をポンプ（４）を使用して加圧することによって高圧加工水（６）を生成し、該高圧加工水（６）を噴射することによって対象物（８）を加工する加工方法であって、ポンプ（４）と複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）とを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）のうち１つのポンプ系配管（Ｐ１）が開になるように切り替える工程と、１つのポンプ系配管（Ｐ１）に接続された１つのタンク（Ｔ１）に貯留されている加工水（５）を加圧する工程と、１つのタンク（Ｔ１）に貯留されている加工水（５）から生成された高圧加工水（６）を１つのタンク（Ｔ１）につながる１つのノズル（Ｎ１）から噴射する工程とを備えるとともに、１つのノズル（Ｎ１）は複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々つながる複数のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）のうちの１つであることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る加工方法は、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留され砥粒を含む加工水（５）をポンプ（４）を使用して加圧することによって高圧加工水（６）を生成し、該高圧加工水（６）を噴射することによって対象物（８）を加工する加工方法であって、ポンプ（４）と複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）とを各々つなぐようにして設けられた複数のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）のうち２つ以上のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）が開になるように切り替える工程と、２つ以上のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）に接続された２つ以上のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に貯留されている加工水（５）を加圧する工程と、２つ以上のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に貯留されている加工水（５）から生成された高圧加工水（６）を２つ以上のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々つながる２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）から噴射する工程とを備えるとともに、２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）は複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々つながる複数のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）のうちの２つ以上であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る加工方法は、上述の加工方法において、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留されている加工水（５）の重量を測定する工程と、複数のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）の各々において測定された加工水（５）の重量に応じて高圧加工水（６）を噴射する１つ又は２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）を選択する工程とを備えるとともに、切り替える工程では１つ又は２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）に各々つながるポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）を開にすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、砥粒を含む加工水（５）が加圧されることによって生成された高圧加工水（６）は、切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）を通過しない。このことにより、切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）を構成する部材の摩耗が大幅に低減されるので、切替え弁（ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４）の長寿命化が可能になる。したがって、加工装置において、稼働率の低下、メンテナンス作業時間の増加、消耗部品コストの増加等の問題が抑制される。
【００１３】
また、本発明によれば、２つ以上のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々つながる２つ以上のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）から高圧加工水（６）が噴射される。このことにより、加工効率が大幅に向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
砥粒を含む加工水（５）を加圧することによって高圧加工水（６）を生成し、該高圧加工水（６）を噴射することにより対象物（８）を加工する加工装置に、各々加工水（５）を貯留する４個のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）と、４個のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々貯留されている加工水（５）を加圧するポンプ（４）と、ポンプ（４）と４個のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）とを各々つなぐようにして設けられた４個のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）と、４個のポンプ系配管（Ｐ１〜Ｐ４）において設けられた４個の切替え弁（Ｖ１〜Ｖ４）と、４個のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）に各々接続された４個のノズル系配管（Ｊ１〜Ｊ４）と、４個のノズル系配管（Ｊ１〜Ｊ４）に各々接続された４個のノズル（Ｎ１〜Ｎ４）とを備える。４個の切替え弁（Ｖ１〜Ｖ４）は、４個のタンク（Ｔ１〜Ｔ４）のうち２つのタンク（Ｔ１，Ｔ２）に各々つながる２つのノズル（Ｎ１，Ｎ２）から高圧加工水（６）が噴射されるように、２つのタンク（Ｔ１，Ｔ２）に各々接続された２つのポンプ系配管（Ｐ１，Ｐ２）を開にする。
【実施例１】
【００１５】
本発明に係る加工装置の実施例１を、図１を参照して説明する。図１は、本実施例に係る加工装置の構成とその動作とを概略的に示す配管系統図である。なお、以下の説明において使用するいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。また、水源用のタンクと砥粒を含む加工水を貯留するタンクとについては、断面図のようにして示されている。また、以下の各実施例では、回路基板に実装された半導体チップ等を一括して樹脂封止して封止体を形成し、その後に直交する格子状の切断線に沿ってこの封止体を切断する場合について説明する。この場合には、切断された１個の格子に相当する部分が、最終製品である電子部品（パッケージ）になる。
【００１６】
図１に示されている加工装置には、水源１が設けられている。水源１には、砥粒を含まない水であって加圧用の水２が貯留されている。水源１には、水供給系配管３を介して高圧ポンプ４と切替え弁ＶＳとが順次接続されている。切替え弁ＶＳには、それぞれ２本のポンプ系配管Ｐ１，Ｐ２を介して２個のタンクＴ１，Ｔ２が接続されている。２個のタンクＴ１，Ｔ２は、いずれも砥粒を含む加工水５によって満たされている。タンクＴ１，Ｔ２には、それぞれノズル系配管Ｊ１，Ｊ２が接続されている。ノズル系配管Ｊ１，Ｊ２の先端には、それぞれノズルＮ１，Ｎ２が接続されている。そして、ノズルＮ１，Ｎ２の先端からは、それぞれ高圧加工水６が噴射されることが可能になっている。
【００１７】
ノズルＮ１，Ｎ２の下方には、それらのノズルＮ１，Ｎ２に相対向してステージ７が設けられている。ステージ７の上面には、加工対象である封止体８が、吸着や粘着等の手段によって固定されている。ノズルＮ１，Ｎ２は、それぞれ独立して、又は一体的に、図１に示されたＸＹ（水平）方向・Ｚ（垂直）方向のいずれにも移動でき、かつ、高精度に位置決めできるように構成されている。
【００１８】
タンクＴ１，Ｔ２は、いずれも砥粒を含む加工水５によって実質的に満たされている。ここで、タンクＴ１，Ｔ２が「実質的に満たされている」とは、わずかな気泡や空間がタンクＴ１，Ｔ２の内部に残っている場合をも含むことを意味する。タンクＴ１，Ｔ２の内部において、それぞれ、ポンプ系配管Ｐ１，Ｐ２の先端は下底の近くに位置しており、ノズル系配管Ｊ１，Ｊ２の先端は上底の近くに位置している。タンクＴ１，Ｔ２の外底部には、それぞれロードセル等からなる重量センサＳ１，Ｓ２が取り付けられている。
【００１９】
図１の加工装置には、制御部９が設けられている。制御部９は、高圧ポンプ４、切替え弁ＶＳ等を必要に応じて制御する制御手段である。制御部９には、重量センサＳ１，Ｓ２からデータを受け取るための配線と、高圧ポンプ４及び切替え弁ＶＳに対してそれぞれ制御信号を送出するための配線とが、接続されている。図１においては、これらの配線は細い破線の矢印で仮想的に示されている。なお、データ及び制御信号の授受は無線によって行われてもよい。
【００２０】
以下、図１の加工装置を使用して対象物である封止体８を切断する方法を説明する。ここでは、１個のノズルとしてノズルＮ１から高圧加工水６を噴射する場合について説明する。切断加工の開始前においては、砥粒を含む加工水５によってタンクＴ１，Ｔ２が実質的に満たされている状態になっている。また、切断加工の開始前においては、加工水５に対するその加工水５に含まれる砥粒の比率（以下場合によっては「比率」という。）が所定の値になっている。ここで、切断加工における比率は一定の範囲内にあることが好ましい。その理由は、比率が高いほど切断効率が向上するので好ましい反面、比率が上限を超えた場合にはタンクＴ１，Ｔ２内で砥粒を撹拌して均一に分布させることが困難になるからである。
【００２１】
まず、ポンプ系配管Ｐ１，Ｐ２がいずれも閉になっている状態の下で、制御部９が高圧ポンプ４に制御信号を送出する。これにより、高圧ポンプ４は、水源１から供給される加圧用の水２を加圧することによって高圧化された加圧水を生成し、その加圧水を切替え弁ＶＳに供給する。その後に、制御部９が送出した制御信号によって切替え弁ＶＳを作動させる。図１に示された場合には、切替え弁ＶＳは、ポンプ系配管Ｐ１を開にするように作動する。
【００２２】
次に、ポンプ系配管Ｐ１を経由して、高圧化された加圧水をタンクＴ１に供給（注入）する。これにより、タンクＴ１の内部において砥粒を含む加工水５を撹拌する。加えて、高圧化された加圧水をタンクＴ１に注入することによって、タンクＴ１の内部からノズル系配管Ｊ１に、加圧された加工水５、言い換えれば高圧加工水６を送出する。これによって、ノズル系配管Ｊ１を経由してノズルＮ１から高圧加工水６を噴射する。そして、砥粒を含む高圧加工水６を封止体８に向かって高速で噴射することによって、封止体８を切断する。ここで、封止体８は直交する格子状の切断線を有している。したがって、ノズルＮ１をＸＹ方向に適当に移動させることによって、封止体８を切断することができる。これにより、封止体８が個片化されてパッケージが完成する。
【００２３】
以上説明したように、本実施例によれば、砥粒を含まない加圧用の水２が切替え弁ＶＳを通過する。その一方、砥粒を含む高圧加工水６が切替え弁ＶＳを通過することはない。これにより、切替え弁ＶＳを構成する部材の摩耗が大幅に低減されるので、切替え弁ＶＳの長寿命化が可能になる。したがって、加工装置において、稼働率の低下、メンテナンス作業時間の増加、消耗部品コストの増加等の問題が抑制される。
【００２４】
ここで、重量センサＳ１，Ｓ２と制御部９との動作を説明する。重量センサＳ１，Ｓ２は、タンクＴ１，Ｔ２に貯留されている加工水５の重量を検出して、重量のデータを制御部９に送出する。タンクＴ１，Ｔ２の重量及び容量と砥粒の比重とは既知なので、加工水５の重量がわかればその加工水５に含まれる砥粒の比率を算出することができる。
【００２５】
ところで、図１の状態で切断加工を繰り返していくと、タンクＴ１においては、砥粒が流出していくので比率が徐々に低下する。そして、この比率が小さくなりすぎると、切断効率が著しく低下するので好ましくない。そこで、制御部９は、加工水５の重量を随時算出して、重量が規定値を下回った場合には、タンクＴ１内の加工水５に含まれる砥粒の比率が低くなりすぎたと判断する。そして、制御部９は、制御信号を送出して切替え弁ＶＳを作動させ、ポンプ系配管Ｐ１を閉にするとともにポンプ系配管Ｐ２を開にする。これにより、適正な砥粒の比率を常に有する加工水５を使用して、封止体８を切断することができる。また、ポンプ系配管Ｐ１を閉にした後に、タンクＴ１に砥粒を補充することができる。
【実施例２】
【００２６】
本発明に係る加工装置の実施例２を、図２を参照して説明する。図２は、本実施例に係る加工装置の構成とその動作とを概略的に示す配管系統図である。なお、以下の説明において使用するいずれの図においても、図１に示された構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付して説明を省略する。本実施例の特徴は、２個のノズルＮ１，Ｎ２が１個ずつ動作するだけでなく、２個同時に動作することもできるということである。ここで、ノズルＮ１，Ｎ２が「動作する」とは、ノズルＮ１，Ｎ２から高圧加工水６を噴射することを意味する。
【００２７】
図２に示された加工装置には、図１に示された切替え弁ＶＳに代えて、ポンプ系配管Ｐ１，Ｐ２のそれぞれに切替え弁Ｖ１，Ｖ２が設けられている。切替え弁Ｖ１，Ｖ２は、制御部９からそれぞれ受け取った制御信号に応じて、互いに独立してポンプ系配管Ｐ１，Ｐ２を開閉することができる。
【００２８】
図２に示された加工装置によれば、実施例１の場合と同様に、加工装置において、稼働率の低下、メンテナンス作業時間の増加、消耗部品コストの増加等の問題が抑制される。また、次のような動作が可能になる。それは、切替え弁Ｖ１，Ｖ２をともに開にすることによって、ノズルＮ１，Ｎ２から同時に高圧加工水６を噴射するという動作である。これにより、切断加工の効率が大幅に向上する。
【００２９】
また、ノズルＮ１，Ｎ２がそれぞれ独立して移動でき、かつ、高精度に位置決めできるように構成することもできる。この構成によれば、ノズルＮ１，Ｎ２がそれぞれ独立して移動することによって、互いに異なる形状の切断線に沿って封止体８を切断することができる。したがって、様々な切断線に応じた適切な切断加工が可能になる。
【実施例３】
【００３０】
本発明に係る加工装置の実施例３を、図３と図４とを参照して説明する。図３は、本実施例に係る加工装置の構成とその動作とを概略的に示す配管系統図である。図４は、図３の加工装置の別の動作を概略的に示す配管系統図である。本実施例の特徴は、４個のノズルが設けられていること、及び、それら４個のノズルが１個ずつ動作するだけでなく２個〜４個同時に動作することもできるということである。
【００３１】
図３と図４とに示された加工装置において、タンクＴ１〜Ｔ４内の加工水５を加圧して高圧加工水６を噴射するまでの系が、次の部材から構成されている。それは、４本のポンプ系配管Ｐ１〜Ｐ４と、４個の切替え弁Ｖ１〜Ｖ４と、４個のタンクＴ１〜Ｔ４と、４個の重量センサＳ１〜Ｓ４と、４本のノズル系配管Ｊ１〜Ｊ４と、４個のノズルＮ１〜Ｎ４とである。ここで、切替え弁Ｖ１〜Ｖ４は、制御部９からそれぞれ受け取った制御信号に応じて、互いに独立してポンプ系配管Ｐ１〜Ｐ４を開閉することができる。また、重量センサＳ１〜Ｓ４と制御部９との動作は、実施例１の場合と同様である。
【００３２】
図３と図４とに示された加工装置によれば、切替え弁Ｖ１〜Ｖ４を適当に操作することによって、次のような動作が可能になる。それは、第１に、ノズルＮ１〜Ｎ４のうち、１個のノズルが高圧加工水６を噴射する動作である。第２に、図３に示されているように、ノズルＮ１〜Ｎ４のうち、２個のノズル（図３ではノズルＮ１，Ｎ２）が同時に高圧加工水６を噴射する動作である。また、同時に動作するノズルの数を３個にすることも可能である。第３に、図４に示されているように、全てのノズル、すなわち４個のノズルＮ１〜Ｎ４が同時に高圧加工水６を噴射する動作である。
【００３３】
以上説明したように、本実施例によれば、次の効果が得られる。第１に、実施例１の場合と同様に、加工装置において、稼働率の低下、メンテナンス作業時間の増加、消耗部品コストの増加等の問題が抑制される。第２に、図３に示すように、２個のノズルＮ１，Ｎ２からなるノズル群を同時に使用し、砥粒の比率が低下すれば、２個のノズルＮ３，Ｎ４からなる別のノズル群を使用することができる。これにより、実施例２の場合と同様に、切断加工の効率が大幅に向上する。第３に、ノズルＮ１〜Ｎ４のうち３個〜４個のノズルを同時に動作させることによって、切断加工の効率がいっそう大幅に向上する。
【００３４】
なお、本実施例においても、実施例２の場合と同様に、ノズルＮ１〜Ｎ４がそれぞれ独立して移動でき、かつ、高精度に位置決めできるように構成することもできる。この構成によれば、ノズルＮ１〜Ｎ４がそれぞれ独立して移動することによって、互いに異なる形状の切断線に沿って封止体８を切断することができる。したがって、様々な切断線に応じた適切な切断加工が可能になる。
【００３５】
また、ポンプ系配管Ｐ１〜Ｐ４のそれぞれに切替え弁Ｖ１〜Ｖ４が設けられていることとした。これに代えて、実施例１において使用した切替え弁ＶＳと同様の切替え弁を使用してもよい。この場合には、１個の切替え弁が、ポンプ系配管Ｐ１〜Ｐ４のうちの４本を同時に閉にするように動作し、かつ、１本〜４本を同時に開にするように動作する。
【００３６】
なお、ここまで説明した各実施例においては、複数のタンクＴ１〜Ｔ４の内部に砥粒を含む加工水５が貯留され、高圧化された加圧水によってその加工水５を加圧することとした。これに限らず、複数のタンクの内部をそれぞれ分離板（ｉｓｏｌａｔｏｒ）によって２室に分け、２室のそれぞれに砥粒を含む加工水と加圧用の水とを貯留してもよい。この場合には、加圧用の水が分離板を介して加工水を加圧する。言い換えれば、本発明でいう「タンクに貯留された加工水５」は、タンクにおける分離板によって分離された一室に貯留された加工水を含むものである。
【００３７】
また、各実施例によれば、砥粒を含む加工水５がタンクＴ１〜Ｔ４の内部に貯留され、その加工水５に高圧を加えて高圧加工水６を生成し、その高圧加工水６をノズルＮ１〜Ｎ４から噴射することとした。加工水５に高圧を加えるための配管系としては、図１〜図４に示された構成以外の構成を採用してもよい。それらの構成においても、砥粒を含む高圧加工水が流動する配管系ではなく、砥粒を含まない水であって加圧用の水が流動する配管系に切替え弁を設けることによって、本発明が適用される。
【００３８】
また、回路基板に実装された半導体チップ等を一括して樹脂封止して封止体を形成し、直交する格子状の切断線に沿ってこの封止体を切断する場合について説明した。これに限らず、本発明は、他の対象物を切断する場合にも適用され得る。また、切断の目的としては、製品を完成させること以外に、不要物を廃棄するために解体する目的で本発明を適用してもよい。
【００３９】
また、切断の対象物である封止体８において、切断線は直交する格子状でもよく、直交していなくてもよい。更に、上述した実施例では、切断線が線分（直線の一部分）である場合を説明した。これに限らず、切断線に折れ線（複数の線分がつながっている線）を含む場合にも、本発明が適用される。そして、切断線に曲線を含む場合にも、本発明が適用される。これらにより、折れ線・曲線からなる切断線に沿って切断することができる加工装置を提供することができる。
【００４０】
また、加工として切断について説明した。切断以外の加工として、止め穴又は貫通穴の穴あけ、切削、研磨、ピーニングによる表面改質等の加工にも、本発明が適用される。
【００４１】
また、砥粒を含む水には、何らかの目的で他の物質が含まれていてもよい。他の物質とは、例えば、洗浄剤等が挙げられる。
【００４２】
また、本発明は、上述の各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】図１は、本発明の実施例１に係る加工装置の構成とその動作とを概略的に示す配管系統図である。
【図２】図２は、本発明の実施例２に係る加工装置の構成とその動作とを概略的に示す配管系統図である。
【図３】図３は、本発明の実施例３に係る加工装置の構成とその動作とを概略的に示す配管系統図である。
【図４】図４は、図３の加工装置の別の動作を概略的に示す配管系統図である。
【符号の説明】
【００４４】
１    水源
２    加圧用の水
３    水供給系配管
４    高圧ポンプ（ポンプ）
５    加工水
６    高圧加工水
７    ステージ
８    封止体（対象物）
９    制御部
Ｊ１〜Ｊ４    ノズル系配管
Ｎ１〜Ｎ４    ノズル
Ｐ１〜Ｐ４    ポンプ系配管
Ｓ１〜Ｓ４    重量センサ
Ｔ１〜Ｔ４    タンク
ＶＳ，Ｖ１〜Ｖ４  切替え弁
【図１】
2008229795.tif 000003
【図２】
2008229795.tif 000004
【図３】
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【図４】
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