(57)【要約】【課題】  第１及び第２の各平行リンク機構の連結部に設けられたベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力調整を容易にすることである。【解決手段】  第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ1 ，ＬＤ2 が中間リンク台Ｅで連結されて、当該中間リンク台Ｅを構成する上下一対の中間リンク板５が左右一対の中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3bで連結されて、当該中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3bに支持された左右一対の各プーリ体Ｐ1,Ｐ2 に互いに逆方向の第１及び第２の各ベルト体Ｖ1,Ｖ2 が部分巻回されて、中間リンク台Ｅにおいて第１平行リンク機構ＬＤ1 の正逆両方向の回動力を第２平行リンク機構ＬＤ2 に伝達させる構成の物品の直線搬送装置において、前記一対のプーリ体Ｐ1,Ｐ2 の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体Ｐ1a, Ｐ1bに対して前記一対のベルト体Ｖ1,Ｖ2 の一端部をそれぞれ固定した構成とする。【選択図】    図７
2008157329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
等長の一対の第１リンクの基端部が一対の第１連結軸を介して固定台に回動可能に連結されていると共に、前記一対の第１リンクの先端部が中間リンク台に固定された一対の中間連結軸に対して回動可能に連結された第１平行リンク機構と、
前記第１リンクと等長の一対の第２リンクの基端部が前記一対の中間連結軸に対して回動可能に連結されていると共に、当該一対の第１リンクの先端部が一対の第２連結軸を介して物品載置台に回動可能に連結された構成の第２平行リンク機構と、
前記中間リンク台において、第１及び第２の各平行リンク機構を構成する第１及び第２の各リンク間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なベルト伝動機構と、
前記固定台の部分において、第１平行リンク機構を構成する一対の第１リンクの一方を駆動回転させるための駆動手段と、を備え、
前記ベルト伝動機構は、前記一対の中間連結軸の外側に回動可能に支持された一対のプーリ体のうち一方のプーリ体は第１平行リンク機構を構成する一対の第１リンクの一方に一体に連結されていると共に、他方のプーリ体は第２平行リンク機構を構成する一対の第２リンクの一方に一体に連結され、一対のプーリ体の間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なように一対のベルト体が相上下して互いに逆方向に部分巻回されて、各ベルト体の両端部がそれぞれ各プーリ体に固定された構成であり、
前記駆動手段により第１平行リンク機構の一方の第１リンクを正逆両方向に駆動回転させることにより、前記ベルト伝動機構の部分において第１及び第２の各平行リンク機構を構成する特定の第１及び第２の各リンクの間において正逆両方向に駆動力を伝達することにより、第１及び第２の各平行リンク機構で構成される二等辺三角形の底辺の一端に配置された物品載置台を正逆両方向に直線状に移動させて、ウェハ等の物品を搬送する装置であって、
前記ベルト伝動機構を構成する一対のプーリ体の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体に対して前記一対のベルト体の一端部をそれぞれ固定することにより、一対のベルト体の張力を個別に調整可能にしたことを特徴とするウェハ等の物品の直線搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の２台の直線搬送装置が同一の固定台に、異なる空間でそれぞれリンク運動可能に装着されて、各直線搬送装置の第２平行リンク機構の先端部に装着された物品載置台は、当該物品を載せた状態で互いに干渉しない構成になっていて、２台の直線搬送装置を同時に作動可能にしたことを特徴とする物品の直線搬送装置。
【請求項３】
前記各分割プーリ体には、張力付与棒を挿入するための挿入孔が当該プーリ体の半径方向に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の物品の直線搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の物品の直線搬送装置においてベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力を調整する方法であって、
前記一対のプーリ体の各挿入孔に張力付与棒をそれぞれ挿入して、各張力付与棒の先端部を引張バネで連結して張力調整を行うことを特徴とする物品の直線搬送装置におけるベルト体の張力調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１及び第２の２つの平行リンク機構を連結して、ウェハ等の物品を直線搬送する装置、及び当該装置におけるベルト体の張力調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記した物品の直線搬送装置としては、特許文献１に記載のものが知られている。この物品の直線搬送装置の構成は、等長の一対の第１リンクの基端部が一対の第１連結軸を介して固定配置された固定台に回動可能に連結されていると共に、前記一対の第１リンクの先端部が中間リンク台に固定された一対の中間連結軸に対して回動可能に連結された第１平行リンク機構と、前記第１リンクと等長の一対の第２リンクの基端部が前記一対の中間連結軸に対して回動可能に連結されていると共に、当該一対の第１リンクの先端部が一対の第２連結軸を介して物品載置台に回動可能に連結された構成の第２平行リンク機構と、前記中間リンク台において、第１及び第２の各平行リンク機構を構成する第１及び第２の各リンク間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なベルト伝動機構と、前記固定台の部分において、第１平行リンク機構を構成する一対の第１リンクの一方を駆動回転させるための駆動手段とを備え、前記ベルト伝動機構は、前記一対の中間連結軸の外側に回動可能に支持された一対のプーリ体のうち一方のプーリ体は第１平行リンク機構を構成する一対の第１リンクの一方に一体に連結されていると共に、他方のプーリ体は第２平行リンク機構を構成する一対の第２リンクの一方に一体に連結され、一対のプーリ体の間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なように一対のベルト体が相上下して互いに逆方向に部分巻回されて、各ベルト体の両端部がそれぞれ各プーリ体に固定された構成であり、前記駆動手段により第１平行リンク機構の一方の第１リンクを正逆両方向に駆動回転させることにより、前記ベルト伝動機構の部分において第１及び第２の各平行リンク機構を構成する特定の第１及び第２の各リンクの間において正逆両方向に駆動力を伝達することにより、第１及び第２の各平行リンク機構で構成される二等辺三角形の底辺の一端部に配置された物品載置台を正逆両方向に直線状に移動させて、ウェハ等の物品を搬送する装置である。
【０００３】
ここで、ベルト伝動機構は、一対のプーリ体の間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なように一対のベルト体が相上下して互いに逆方向に部分巻回されて、各ベルト体の両端部がそれぞれ各連結体に固定された構成であるため、各ベルト体に張力を付与して各プーリ体に部分掛装させる場合において、プーリ体を所定方向に回動させて一方のベルト体に張力を付与すると、他方のベルト体は緩んで張力が小さくなる関係にある。このため、一対のベルト体の張力調整が難しいという問題があった。また、一対のベルト体の張力が適正でないと、物品載置台に支持されている被搬送物品に瞬間的に加速度が作用する等して、被搬送物品が所定位置からずれて、次工程での物品の移載に支障が生ずるという問題もあった。
【特許文献１】特開平４−３３１０９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記構成の物品の直線搬送装置において、第１及び第２の各平行リンク機構の連結部に設けられたベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力調整を容易にすることを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するための請求項１の発明は、等長の一対の第１リンクの基端部が一対の第１連結軸を介して固定台に回動可能に連結されていると共に、前記一対の第１リンクの先端部が中間リンク台に固定された一対の中間連結軸に対して回動可能に連結された第１平行リンク機構と、前記第１リンクと等長の一対の第２リンクの基端部が前記一対の中間連結軸に対して回動可能に連結されていると共に、当該一対の第１リンクの先端部が一対の第２連結軸を介して物品載置台に回動可能に連結された構成の第２平行リンク機構と、前記中間リンク台において、第１及び第２の各平行リンク機構を構成する第１及び第２の各リンク間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なベルト伝動機構と、前記固定台の部分において、第１平行リンク機構を構成する一対の第１リンクの一方を駆動回転させるための駆動手段とを備え、前記ベルト伝動機構は、前記一対の中間連結軸の外側に回動可能に支持された一対のプーリ体のうち一方のプーリ体は第１平行リンク機構を構成する一対の第１リンクの一方に一体に連結されていると共に、他方のプーリ体は第２平行リンク機構を構成する一対の第２リンクの一方に一体に連結され、一対のプーリ体の間において回動駆動力を正逆両方向に伝達可能なように一対のベルト体が相上下して互いに逆方向に部分巻回されて、各ベルト体の両端部がそれぞれ各プーリ体に固定された構成であり、前記駆動手段により第１平行リンク機構の一方の第１リンクを正逆両方向に駆動回転させることにより、前記ベルト伝動機構の部分において第１及び第２の各平行リンク機構を構成する特定の第１及び第２の各リンクの間において正逆両方向に駆動力を伝達することにより、第１及び第２の各平行リンク機構で構成される二等辺三角形の底辺の一端に配置された物品載置台を正逆両方向に直線状に移動させて、ウェハ等の物品を搬送する装置であって、前記ベルト伝動機構を構成する一対のプーリ体の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体に対して前記一対のベルト体の一端部をそれぞれ固定することにより、一対のベルト体の張力を個別に調整可能にしたことを特徴としている。
【０００６】
請求項１の発明によれば、ベルト伝動機構を構成する一対のプーリ体の一方が軸方向に沿って二分割され、各分割プーリ体に対して一対のベルト体の一端部をそれぞれ固定できるので、互いに逆方向に巻回された一対のベルト体の他端部を、それぞれ一体構造の回転体に対して軸方向にずれた位置にそれぞれ固定すると共に、当該一対のベルト体の一端部をそれぞれ各分割プーリ体に固定した状態で、当該各分割プーリ体をそれぞれ逆方向に回動させて各ベルト体に設定張力を付与し、この状態で、相上下する各分割プーリ体と、第１又は第２の各平行リンク機構のいずれか一方を構成する一対のリンクの一方の端部とを一体に連結する。このように、一対のベルト体の一端部を固定するプーリ体が軸方向に沿って二分割されていて、当該一対のベルト体の張力調整をそれぞれ個別に行えるので、当該張力調整が容易となる。
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の２台の直線搬送装置が同一の固定台に、異なる空間でそれぞれリンク運動可能に装着されて、各直線搬送装置の第２平行リンク機構の先端部に装着された物品載置台は、当該物品を載せた状態で互いに干渉しない構成になっていて、２台の直線搬送装置を同時に作動可能にしたことを特徴としている。
【０００８】
請求項２の発明によれば、同一構成の２台の直線搬送装置をそれぞれ異なる空間において干渉することなく同時に作動させられるので、物品の搬送能力が倍増する。
【０００９】
また、請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、各分割プーリ体には、張力付与棒を挿入するための挿入孔が当該分割プーリ体の半径方向に形成されていることを特徴としている。
【００１０】
請求項３の発明によれば、各分割プーリ体の挿入孔に張力付与棒を挿入すると、各分割プーリ体に容易にトルクを加えられて、ベルト体の張力調整の作業を容易に行える。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項３に記載の物品の直線搬送装置においてベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力を調整する方法であって、前記各分割プーリ体の各挿入孔にそれぞれ張力付与棒を挿入して、各張力付与棒の先端部を引張バネで連結して張力調整を行うことを特徴としている。
【００１２】
請求項４の発明によれば、各張力付与棒の先端部を連結する引張バネの強さに比例して、各ベルト体の張力が大きくなるので、バネ定数の異なる引張バネの選択により各ベルト体の張力の調整が可能になると共に、各ベルト体の張力を同一にでき、しかも一対のベルト体の張力により、一体構造の他方のプーリ体に作用する各回動力は、相殺されるため、当該他方のプーリ体の回動を阻止しておく必要がなくなる。このように、一対のベルト体の張力が調整された状態において、各分割プーリ体が静止しているため、各張力付与棒の先端部を引張バネで連結した状態で、相上下する各分割プーリ体と、第１又は第２の各平行リンク機構のいずれか一方を構成する一対のリンクの一方の端部との一体連結の作業が容易となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、上記した物品の直線搬送装置のベルト伝動機構を構成する一対のプーリ体の一方が軸方向に沿って二分割されているため、一対のプーリ体に対して互いに逆方向に部分巻回して、両端部を当該各プーリ体に固定する一対のベルト体の張力調整をそれぞれ個別に行えるので、当該張力調整が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、最良の実施形態を挙げて本発明について更に詳細に説明する。最初に、図１ないし図９を参照して、本発明に係る物品の直線搬送装置の全体構成について簡単に説明し、その後に、本発明に係る部分について詳細に説明する。図１は、平面視で第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ1 ，ＬＤ2 が重なった状態における本発明に係る物品の直線搬送装置の全体斜視図であり、図２は、同じく側面図であり、図３は、２基の直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 のうち一方のユニットＵ1 のみの概略平面図であり、図４ないし図６は、それぞれ図３のＸ1 −Ｘ1 線、Ｘ2 −Ｘ2 線、及びＸ3 −Ｘ3 線の各断面図であり、図７及び図８は、図６のＹ1 −Ｙ1 線、及びＹ2 −Ｙ2 線の各断面図であり、図９は、中間リンク台Ｅの分解斜視図である。図１及び図２に示されるように、本実施例の直線搬送装置は、基本構成が同一の２基の直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 を備えていて、各直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 は、固定台Ａの両側の各リンク作動空間Ｊ1 ，Ｊ2 における第１及び第２の各リンクＬ1a，Ｌ1b (Ｌ2a，Ｌ2b) の干渉、及び被搬送物である各ウェハ（物品）Ｗの干渉を避けてリンク運動を行って、いずれもウェハ（物品）Ｗを矢印Ｑの方向に向けて直線搬送する構成である。よって、以下の説明では、一方の直線搬送ユニットＵ1 についてのみ説明し、他方の直線搬送ユニットＵ2 については、同Ｕ1 と異なる部分についてのみ説明する。
【００１５】
直線搬送ユニットＵ1 は、第１平行リンク機構ＬＤ1 と第２平行リンク機構ＬＤ2 とがベルト伝動機構Ｄを介して連結された構成である。第１平行リンク機構ＬＤ1 は、等長の一対の第１リンクＬ1a, Ｌ1bの基端部が一対の第１連結軸Ｓ1a, Ｓ1bを介して固定台Ａに回動可能に連結され、前記一対の第１リンクＬ1a, Ｌ1bの先端部が中間リンク台Ｅの一対の中間連結軸Ｓ3a，Ｓ3bに回動可能に連結された構成である。第１連結軸Ｓ1aは、駆動軸Ｓ0 を兼用していて、当該駆動軸Ｓ0 （第１連結軸Ｓ1a）は軸受Ｂ1 を介して固定台Ａに回転可能に支持され、駆動軸Ｓ0 （第１連結軸Ｓ1a）と第１リンクＬ1aとは、楔体１、楔受け体２及びボルトＴ1 を介して一体に連結されている（図４参照）。第１連結軸Ｓ1bは、ボルトＴ2 を介して固定台Ａに固定されていて、第１リンクＬ1bの基端部は上下一対の軸受Ｂ2 を介して前記第１連結軸Ｓ1bに回動可能に連結されている（図５参照）。また、第２平行リンク機構ＬＤ2 は、等長の一対の第２リンクＬ2a, Ｌ2bの基端部が前記一対の中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3bに回動可能に連結され、一対の第２リンクＬ2a, Ｌ2bの先端部が、先端リンク板３の下面に固定された一対の第２連結軸Ｓ2a, Ｓ2bに対して上下一対の軸受Ｂ3 及び同Ｂ4 を介してそれぞれ回動可能に連結された構成である（図４及び図５参照）。先端リンク板３の上面にウェハ載置台Ｍ1 が設けられている。なお、第１リンクＬ1a, Ｌ1b、及び第２リンクＬ2a, Ｌ2bの長さは、Ｋ1 として図示してある。
【００１６】
次に、駆動軸Ｓ0 である第１連結軸Ｓ1aの駆動回動により第１平行リンク機構ＬＤ1 がリンク作動空間Ｊ1 において平行リンク運動を行うと、一対の第１リンクＬ1a, Ｌ1bは前記中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3bを中心に中間リンク台Ｅに対して回動するのを利用して、第２平行リンク機構ＬＤ2 を作動させるために当該中間リンク台Ｅに組み込まれたベルト伝動機構Ｄについて説明する。図６及び図９において、中間リンク台Ｅは、上下一対の中間リンク板５が左右一対の中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3b及びボルトＴ3 を介して連結されて、ベルト伝動機構Ｄが組み込まれた構成であって、左右一対の中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3bの間隔と、一対の第１連結軸Ｓ1a, Ｓ1bの間隔と、一対の第２連結軸Ｓ2a, Ｓ2bの間隔は、いずれもＫ2 であって等しい。第１平行リンク機構ＬＤ1 を構成する一対の第１リンクＬ1a, Ｌ1bは、いずれも中間リンク台Ｅの各中間連結軸Ｓ3a, Ｓ3bの下端部に回動可能に支持されている。
【００１７】
即ち、第１平行リンク機構ＬＤ1 の第１リンクＬ1bは、上下一対の軸受Ｂ5 を介して中間連結軸Ｓ3bに直接に回動可能に支持され、第１リンクＬ1aは、上下一対の軸受Ｂ6 を介して中間連結軸Ｓ3aに回動可能に支持された第１プーリ体Ｐ1 の下方に配置されて複数本のボルトＴ4 を介して前記第１プーリ体Ｐ1 に一体に連結されることにより、中間連結軸Ｓ3aに対して回動可能に支持されている。全く同様にして、第２平行リンク機構ＬＤ2 の第２リンクＬ2aは、上下一対の軸受Ｂ7 を介して中間連結軸Ｓ3aの上端部に直接に回動可能に支持され、第２リンクＬ2bは、上下一対の軸受Ｂ8 を介して中間連結軸Ｓ3bに回動可能に支持された第２プーリ体Ｐ2 の上方に配置されて複数本のボルトＴ5 を介して前記第２プーリ体Ｐ2 に一体に連結されることにより、中間連結軸Ｓ3bに対して回動可能に支持されている。
【００１８】
また、第１及び第２の各プーリ体Ｐ1 ，Ｐ2 は、いずれも円筒状であるが、第２プーリ体Ｐ2 が一体構造であるのに対して、第１プーリ体Ｐ1 は軸方向に沿って二分割された分割構造である点が異なる。第２プーリ体Ｐ2 は、第２平行リンク機構ＬＤ2 の第２リンクＬ2bの基端部に複数本のボルトＴ5 を介して一体に連結されているのに対して、二分割構造の第１プーリ体Ｐ1 は、中間リンク台Ｅの下方の中間リンク板５に形成された工具挿通孔６から挿通されたボルト回転工具７によって、回転させられる長いボルトＴ4 によって、各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bと第１平行リンク機構ＬＤ1 の第１リンクＬ1aの先端部とが一体に連結された構成となっている。
【００１９】
また、図６ないし図８に示されるように、第１プーリ体Ｐ1 を構成する各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bと第２プーリ体Ｐ2 には、互いに巻回方向が逆となるように第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 が巻回角度をほぼ１８０°としてそれぞれ部分巻回されて、各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の両端部は、第１プーリ体Ｐ1 の各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1b及び第２プーリ体Ｐ2 の各平面部８に複数本のボルトＴ6 を介して固定されている。このため、駆動軸Ｓ0 である第１連結軸Ｓ1aが所定方向に駆動回動して、第１平行リンク機構ＬＤ1 の第１リンクＬ1a，Ｌ1bと、第２平行リンク機構ＬＤ2 の第２リンクＬ2a，Ｌ2bとの交差角が小さくなるように変化する場合には、図７に示されるように上方の第２ベルト体Ｖ2 によって第１リンクＬ1a，Ｌ1bの回動駆動力が第２リンクＬ2a，Ｌ2bに伝達されて、第１リンクＬ1a，Ｌ1bが中間リンク台Ｅに対して平面視で反時計方向に回動することにより、第２リンクＬ2a，Ｌ2bとは中間リンク台Ｅに対して平面視で時計方向に回動させられる。逆に、第１平行リンク機構ＬＤ1 の第１リンクＬ1a，Ｌ1bと、第２平行リンク機構ＬＤ2 の第２リンクＬ2a，Ｌ2bとの交差角が大きくなるように変化する場合には、図８に示されるように、下方の第１ベルト体Ｖ1 によって第１リンクＬ1a，Ｌ1bの回動駆動力が第２リンクＬ2a，Ｌ2bに伝達される。
【００２０】
そして、一対の第１リンクＬ1a，Ｌ1bと一対の第２リンクＬ2a，Ｌ2bの各長さは等しいので、図１１ないし図１３において、一対の第１リンクＬ1a，Ｌ1bが一対の第２リンクＬ2a，Ｌ2bの右方に配置され、しかも一対の第１リンクＬ1a，Ｌ1bと一対の第２リンクＬ2a，Ｌ2bの交差角が最大の状態において、駆動軸Ｓ0 である第１連結軸Ｓ1aが平面視で時計方向に回動すると、常に二等辺三角形の底辺の一端に存在するウェハ載置台Ｍ1 は、左方から右方に向けて直線移動して、ウェハＷが直線搬送される。なお、ウェハＷの移載を終えたウェハ載置台Ｍ1 をウェハ取出し位置まで戻すには、駆動軸Ｓ0 である第１連結軸Ｓ1aを平面視で反時計方向に回動させて、一対の第１リンクＬ1a，Ｌ1bと一対の第２リンクＬ2a，Ｌ2bをウェハ搬送時と逆の運動を行なわせればよい。
【００２１】
上記のようにして、直線搬送ユニットＵ1 を構成する第１及び第２の平行リンク機構ＬＤ1 ，ＬＤ2 にリンク運動を行わせる際に、第２平行リンク機構ＬＤ2 の駆動力は、中間リンク台Ｅに組み込まれたベルト伝動機構Ｄを介して第１平行リンク機構ＬＤ1 から伝達される駆動力に依存している。このため、ベルト伝動機構Ｄを構成する第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力が大き過ぎる場合には、動力伝達がスムーズに行われなくて、極端な場合には、第１及び第２の平行リンク機構ＬＤ1 ，ＬＤ2 が作動不能となる。逆に、前記張力が小さ過ぎる場合には、第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 に「大きな弛み」が発生して、停止状態から作動させる場合に、短時間だけ不作動の状態があった後に急激に作動を開始する現象が発生して、被搬送物品であるウェハＷに対して大きな力が作用して、ウェハ載置台Ｍ1 に対してウェハＷが微動されて、当該ウェハＷの移載をスムーズに行えないか、或いは移載不能となる不具合が発生する。よって、第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力は適正な大きさにする必要がある。
【００２２】
このため、図６及び図９に示されるように、第１プーリ体Ｐ1 は、軸方向に沿って二分割された上下一対の分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bで構成されていて、一方（上方）の分割プーリ体Ｐ1bには、複数の雌螺子部１１が周方向に沿った一定間隔をおいて形成され、他方（下方）の分割プーリ体Ｐ1aには、周方向に沿って長孔状となった複数の貫通孔１２が前記分割プーリ体Ｐ1aの雌螺子部１１に対応した位置にそれぞれ形成されている。また、図７及び図８に示されるように、各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bの平面部８を基準にして、第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 が巻回されなくて、互いに反対の部分には、張力付与棒１３の先端部を挿通するための張力付与棒挿通孔１４ａ，１４ｂが半径方向に沿って形成されている。
【００２３】
そして、第１リンクＬ1aの先端部に周方向に沿って長孔状に形成された複数のボルト挿通孔１５（図９参照）に挿通したボルトＴ5 によって、上下の各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bと第１リンクＬ1aとを、当該第１リンクＬ1aに対して各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bとが回動可能な程度に仮連結しておく。この状態で、図７で２点鎖線で示されるように、上方の分割プーリ体Ｐ1bの張力付与棒挿通孔１４ｂに張力付与棒１３を挿通して、当該分割プーリ体Ｐ1bを平面視で反時計方向に回動するように回動力を加えて第１ベルト体Ｖ1 の張力を定めると同時に、図８で２点鎖線で示されるように、下方の分割プーリ体Ｐ1aの張力付与棒挿通孔１４ａに張力付与棒１３を挿通して、当該分割プーリ体Ｐ1aを平面視で時計方向に回動するように回動力を加えて第１ベルト体Ｖ1 の張力を定めて、中間リンク台Ｅの中間リンク板５に形成された工具挿通孔６に挿通された回転工具７によって前記ボルトＴ4 を締め付けると、前記第１リンクＬ1aに対して各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bが一体に連結されて、第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力が定められる。
【００２４】
このように、上記のようにして各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力を調整できるのは、第１リンクＬ1aの先端部に形成されたボルト挿通孔１５、及び分割プーリ体Ｐ1aに軸方向に形成された貫通孔１２が、いずれも周方向に沿って長孔状となっていて、第１リンクＬ1aに対する各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bの固定位置がいずれも周方向に沿って微調整可能になっているためである。なお、各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力を調整する際に、第２プーリ体Ｐ2 が回動しないように固定しておくことが必要であり、第２リンクＬ2a, Ｌ2bが回動しないように固定しておくか、或いは第２プーリ体Ｐ2 に周方向に沿ってずれた位置に半径方向に形成された一対の固定孔１６ａ，１６ｂのいずれか一方に棒体（図示せず）を挿入して、当該棒体を固定しておくかのいずれかを選択すればよい。
【００２５】
また、図１０に示されるように、各分割プーリ体Ｐ1a，Ｐ1bの張力付与棒挿通孔１４ａ，１４ｂにそれぞれ張力付与棒１３を挿通した状態において、引張バネ１７を他方の第２プーリ体Ｐ2 に巻き付けて、当該引張バネ１７の両端部をそれぞれ前記各張力付与棒１３の先端部に引っ掛けて、第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力調整を行うことも可能である。このように引張バネ１７を使用して各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力調整を行うと、当該引張バネ１７の強さ（バネ定数）によって、各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力が正確に定められると同時に、各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力が同一となり、しかも第２プーリ体Ｐ2 に作用する回動力は相殺されて、当該第２プーリ体Ｐ2 は、回動を阻止しなくても回動しなくなる利点がある。なお、引張バネ１７は、直線配置される部分にそれぞれバネ部１７ａが設けられ、第２プーリ体Ｐ2 に部分巻回される部分は、非バネ部１７ｂにすることが好ましい。
【００２６】
また、本実施例の直線搬送装置は、ウェハ載置台Ｍ1 ，Ｍ2 の構成のみが異なる２基の直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 を備えている。即ち、図１及び図２に示されるように、直線搬送ユニットＵ2 のウェハ載置台Ｍ2 は、側面視で長いコ字状になっていて、各直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 が一直線状になった状態において、他方の直線搬送ユニットＵ1 のウェハ載置台Ｍ1 の一部、及び当該ウェハ載置台Ｍ1 に載置したウェハＷをウェハ載置台Ｍ2 の内部に収容可能な構成になっている。このため、各直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 が異なるリンク作動空間Ｊ1 ，Ｊ2 で作動して、ウェハＷの搬送区間の中央部においても、各ウェハ載置台Ｍ1 ，Ｍ2 及び当該各ウェハ載置台Ｍ1 ，Ｍ2 に載置された各ウェハＷは、互いに干渉しなくなっているので、２台の直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 を異なるリンク作動空間Ｊ1 ，Ｊ2 において同時に作動することが可能となって、ウェハＷの搬送能力が倍増する。
【００２７】
また、一対のプーリ体Ｐ1 ，Ｐ2 のいずれか一方が軸方向に沿って二分割された構造であればよいので、第２プーリ体Ｐ2 を二分割してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】平面視で第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ1 ，ＬＤ2 が重なった状態における本発明に係る物品の直線搬送装置の全体斜視図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】２基の直線搬送ユニットＵ1 ，Ｕ2 のうち一方のユニットＵ1 のみの概略平面図である。
【図４】図３のＸ1 −Ｘ1 線断面図である。
【図５】図３のＸ2 −Ｘ2 線断面図である。
【図６】図３のＸ3 −Ｘ3 線断面図である。
【図７】図６のＹ1 −Ｙ1 線断面図である。
【図８】図６のＹ2 −Ｙ2 線断面図である。
【図９】中間リンク台Ｅの分解斜視図である。
【図１０】引張バネ１７を使用して第１及び第２の各ベルト体Ｖ1 ，Ｖ2 の張力調整を行っている状態の平面図である。
【図１１】直線搬送ユニットＵ1 の作動途中の斜視図である。
【図１２】直線搬送ユニットＵ1 の作動状態を示す平面図である。
【図１３】直線搬送ユニットＵ1 により物品が直線搬送されることを示す模式図である。
【符号の説明】
【００２９】
Ａ：固定台
Ｄ：ベルト伝動機構
Ｅ：中間リンク台
Ｊ1,Ｊ2 ：リンク作動空間
ＬＤ1 ：第１平行リンク機構
ＬＤ2 ：第２平行リンク機構
Ｌ1a，Ｌ1b：第１リンク
Ｌ2a，Ｌ2b：第２リンク
Ｍ1,Ｍ2 ：ウェハ載置台（物品載置台）
Ｐ1 ：第１プーリ体
Ｐ1a，Ｐ1b：分割プーリ体
Ｐ2 ：第２プーリ体
Ｑ：ウェハの搬送方向
Ｓ0 ：駆動軸
Ｓ1a，Ｓ1b：第１連結軸
Ｓ2a，Ｓ2b：第２連結軸
Ｓ3a，Ｓ3b：中間連結軸
Ｖ1 ：第１ベルト体
Ｖ2 ：第２ベルト体
Ｗ：ウェハ（物品）
１３：張力付与棒
１４a,１４b ：張力付与棒挿通孔
１７：引張バネ
【図１】
2008157329.tif 000003
【図２】
2008157329.tif 000004
【図３】
2008157329.tif 000005
【図４】
2008157329.tif 000006
【図５】
2008157329.tif 000007
【図６】
2008157329.tif 000008
【図７】
2008157329.tif 000009
【図８】
2008157329.tif 000010
【図９】
2008157329.tif 000011
【図１０】
2008157329.tif 000012
【図１１】
2008157329.tif 000013
【図１２】
2008157329.tif 000014
【図１３】
2008157329.tif 000015