(57)【要約】      （修正有）【課題】歩留まりの向上を図ることが可能なマルチチャンネルヘッド等を提供する。【解決手段】マルチチャンネルヘッドは、少なくとも一つのヘッドチップ３を有する。ヘッドチップは、複数の素子５、７を有すると共に、少なくとも一つの貼り合わせ面Ｃを有し、ヘッドチップにおける貼り合わせ面の一方側には少なくとも一つの素子が設けられると共に、貼り合わせ面の他方側にも少なくとも一つの素子が設けられている。【選択図】図２
2008123596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つのヘッドチップを有するマルチチャンネルヘッドであって、
前記ヘッドチップは、複数の素子を有すると共に、少なくとも一つの貼り合わせ面を有し、
前記ヘッドチップにおける前記貼り合わせ面の一方側には少なくとも一つの素子が設けられると共に、該貼り合わせ面の他方側にも少なくとも一つの素子が設けられている
マルチチャンネルヘッド。
【請求項２】
前記ヘッドチップにおいて、前記貼り合わせ面の一方側には、前記複数の素子のうちの複数の読取素子のみが配置され、前記貼り合わせ面の他方側には、前記複数の素子のうちの複数の書込素子のみが配置されている
請求項１に記載のマルチチャンネルヘッド。
【請求項３】
前記ヘッドチップにおいて、前記複数の素子のうちの複数の書込素子は、ヘッドシフト方向に並べられると共に、磁気媒体に対する相対的走行方向がずれた千鳥状に配置されており、
請求項１又は２に記載のマルチチャンネルヘッド。
【請求項４】
前記ヘッドチップは、前記貼り合わせ面を複数有する請求項１乃至３の何れか一項に記載のマルチチャンネルヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載のマルチチャンネルヘッドと、
前記マルチチャンネルヘッドに対向する磁気媒体と、
前記磁気媒体及び前記マルチチャンネルヘッドを相対的に移動させる駆動システムと
を備えた磁気媒体装置。
【請求項６】
少なくとも一つのヘッドチップを有するマルチチャンネルヘッドの製造方法であって、
それぞれが、少なくとも一つの素子を有する積層体を複数用意し、
前記複数の積層体を貼り合わせて前記一つのヘッドチップを作製する
マルチチャンネルヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記複数の積層体は、少なくとも一つの前記書込素子を含む書込素子ブロック及び少なくとも一つの前記読取素子を含む読取素子ブロックであり、
前記複数の書込素子及び前記複数の読取素子を、異なるウエハにて成膜し、
それぞれ対応する前記ウエハから、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックを獲得し、
前記書込素子ブロックと前記読取素子ブロックとを貼り合わせる
請求項６に記載のマルチチャンネルヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記貼り合わせの位置決めは、前記素子ブロックに相互に係合可能な凹凸を設け、係合状態を検出することによって行う、請求項６又は７に記載のマルチチャンネルヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記貼り合わせの位置決めは、前記素子ブロックの相互接続部の電気抵抗値の変化を検出することによって行う、請求項６又は７に記載のマルチチャンネルヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記貼り合わせの位置決めは、前記素子ブロックのそれぞれにコンデンサとして機能するコンデンサ構成電極を設け、キャパシタンス値の変化を検出することによって行う、請求項６又は７に記載のマルチチャンネルヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記貼り合わせの位置決めは、前記素子ブロックの一方にコイルを設けると共に、他方に磁場発生部を設け、インダクタンス値の変化を検出することによって行う、請求項６又は７に記載のマルチチャンネルヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記貼り合わせの位置決めは、前記素子ブロックの一方に磁気抵抗効果素子を設けると共に、他方に磁場発生部を設け、磁気抵抗効果によって行う、請求項６又は７に記載のマルチチャンネルヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の書込素子と複数の読取素子とを具備するマルチチャンネルヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、コンピュータ分野においては、データのバックアップ装置としてリニアテープに対して磁気情報の記録・読取を行うデータストレージ装置がある。特許文献１には、そのようなデータストレージ装置に用いられているマルチチャンネルヘッドの一例が示されている。
【０００３】
かかるマルチチャンネルヘッドにおいては、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って複数の書込素子及び読取素子が並べて配置されている。より詳細には、一つの書込素子と一つの読取素子とで一つのエレメントを構成しており、そのようなエレメントが、リニアテープの走行方向と直交する方向に沿って並ぶように、複数設けられている。
【特許文献１】特開２００５−２７６２６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このようなマルチチャンネルヘッドにおいては、複数の書込素子及び読取素子を具備するため、例えばハードディスク装置の読み書きを行うような、書込素子及び読取素子を一つずつ備える通常の磁気ヘッドと比べて、歩留まりが著しく低下する。
【０００５】
すなわち、例えば書込素子そのものの歩留まりがＸ（０＜Ｘ＜１）であるとした場合、通常の磁気ヘッドにおいては、書込素子でみた歩留まりは、Ｘそのものとなる。しかしながら、例えばｎ個の書込素子を備えたマルチチャンネルヘッドにおいては、書込素子でみた歩留まりは、Ｘのｎ乗となり、大きく低下することとなる。さらに、読取素子でも同様なことが当てはまるため、マルチチャンネルヘッド全体では、通常の磁気ヘッドと比べて、歩留まりの著しい低下が生じる。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、歩留まりの向上を図ることが可能なマルチチャンネルヘッドの製造方法等を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するため、本発明は、少なくとも一つのヘッドチップを有するマルチチャンネルヘッドであって、前記ヘッドチップは、複数の素子を有すると共に、少なくとも一つの貼り合わせ面を有し、前記ヘッドチップにおける前記貼り合わせ面の一方側には少なくとも一つの素子が設けられると共に、該貼り合わせ面の他方側にも少なくとも一つの素子が設けられている。
【０００８】
なお、本発明におけるヘッドチップとは、後述するヘッドのシフト方向に複数の素子が並んでおり、磁気媒体に対する少なくとも一つの相対的走行方向の配列でみて複数の素子のうちの書込素子及び読取素子の少なくとも一方が一つのみ配置されているものをいう。なお、特許請求の範囲における読取素子には、サーボ情報を読み取るサーボ読出素子は含まれない。
【０００９】
前記ヘッドチップにおいて、前記貼り合わせ面の一方側には、前記複数の素子のうちの複数の読取素子のみが配置され、前記貼り合わせ面の他方側には、前記複数の素子のうちの複数の書込素子のみが配置されていてもよい。
【００１０】
前記ヘッドチップにおいて、前記複数の素子のうちの複数の書込素子は、ヘッドシフト方向に並べられると共に、磁気媒体に対する相対的走行方向がずれた千鳥状に配置されていてもよい。
【００１１】
前記ヘッドチップは、前記貼り合わせ面を複数有していてもよい。
【００１２】
本発明の磁気媒体装置は、上述したマルチチャンネルヘッドと、前記マルチチャンネルヘッドに対向する磁気媒体と、前記磁気媒体及び前記マルチチャンネルヘッドを相対的に移動させる駆動システムとを備える。
【００１３】
同目的を達成するための本発明に係る製造方法は、少なくとも一つのヘッドチップを有するマルチチャンネルヘッドの製造方法であって、それぞれが、少なくとも一つの素子を有する積層体を複数用意し、前記複数の積層体を貼り合わせて前記一つのヘッドチップを作製する。
【００１４】
前記複数の積層体は、少なくとも一つの前記書込素子を含む書込素子ブロック及び少なくとも一つの前記読取素子を含む読取素子ブロックであり、前記複数の書込素子及び前記複数の読取素子を、異なるウエハにて成膜し、それぞれ対応する前記ウエハから、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックを獲得し、
前記書込素子ブロックと前記読取素子ブロックとを貼り合わせるようにしてもよい。
【００１５】
前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックに相互に係合可能な凹凸を設け、係合状態を検出することによって行うようにしてもよい。
【００１６】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックの相互接続部の電気抵抗値の変化を検出することによって行うようにしてもよい。
【００１７】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックのそれぞれにコンデンサとして機能するコンデンサ構成電極を設け、キャパシタンス値の変化を検出することによって行うようにしてもよい。
【００１８】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックの一方にコイルを設けると共に、他方に磁場発生部を設け、インダクタンス値の変化を検出することによって行うようにしてもよい。
【００１９】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックの一方に磁気抵抗効果素子を設けると共に、他方に磁場発生部を設け、磁気抵抗効果によって行うようにしてもよい。
【００２０】
本発明は、具体例として、複数の書込素子と複数の読取素子とを有するマルチチャンネルヘッドの製造方法であって、前記複数の書込素子及び前記複数の読取素子を、異なるウエハにて成膜し、それぞれ対応する前記ウエハから、少なくとも一つの前記書込素子を含む書込素子ブロック及び少なくとも一つの前記読取素子を含む読取素子ブロックを獲得し、前記書込素子ブロックと前記読取素子ブロックとを貼り合わせることを特徴とする。
【００２１】
前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックに相互に係合可能な凹凸を設け、係合状態を検出することによって行うようにしてもよい。
【００２２】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックの相互接続部の電気抵抗値の変化を検出することによって行うようにしてもよい。
【００２３】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックのそれぞれにコンデンサとして機能するコンデンサ構成電極を設け、キャパシタンス値の変化を検出することによって行うようにしてもよい。
【００２４】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックの一方にコイルを設けると共に、他方に磁場発生部を設け、インダクタンス値の変化を検出することによって行うようにしてもよい。
【００２５】
あるいは、前記貼り合わせの位置決めは、前記書込素子ブロック及び前記読取素子ブロックの一方に磁気抵抗効果素子を設けると共に、他方に磁場発生部を設け、磁気抵抗効果によって行うようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、マルチチャンネルヘッドの製造に関し、歩留まりの向上を図ることができる。
【００２７】
なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明に係る実施の形態を、添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。また、本明細書及び特許請求の範囲における上下方向は積層方向に沿う方向であり、積層がより先行する側を下側、積層が後続される側を上側として表現している。
【００２９】
本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドは、コンピュータのデータのバックアップを行うＬＴＯ（Linear Tape-Open）規格などの磁気テープ記憶装置において、磁気媒体であるリニアテープに対して磁気情報の記録・読取を行う磁気ヘッドとして適用されうる。
【００３０】
まず、マルチチャンネルヘッドを用いた磁気媒体装置について説明する。図１０の（ａ）は、磁気媒体装置の主要部の構成を示し、図１０の（ｂ）は、マルチチャンネルヘッド近傍を拡大して示す。
【００３１】
磁気媒体装置１０１は、マルチチャンネルヘッド１と、マルチチャンネルヘッドに対向する磁気媒体１０３と、リニアテープなどの磁気媒体１０３及びマルチチャンネルヘッド１を相対的に移動させる駆動システム１０５とを備えている。さらに、駆動システム１０５は、単一リールのテープカートリッジ１０７と、テープカートリッジ１０７から引き出された磁気媒体１０３を一時的に巻き取るテイクアップリール１０９とを有する。磁気媒体１０３は、具体的には、磁気テープであり、マルチチャンネルヘッド１は、磁気媒体１０３の往復走行方向Ｔに対して垂直のシフト方向（トラック幅方向）Ｓに往復移動可能に設けられている。
【００３２】
なお、周知のように、ＬＴＯでは、１／２インチ幅の磁気媒体１０３への書込み及び読出しが行われる。このためのマルチチャンネルヘッド１は、複数個の書込素子及び読取素子と２個のサーボ読出素子とを備えている。
【００３３】
図１に、本実施の形態に係るマルチチャンネルヘッドを示す。マルチチャンネルヘッド１は、２枚の帯状ヘッドチップ３を対称的に貼り合わせて構成されている。ヘッドチップ３のそれぞれには、複数の書込素子５と、複数の読取素子７とが設けられている。なお、本発明におけるヘッドチップとは、後述するヘッドのシフト方向Ｓに複数の素子が並んでおり、磁気媒体に対する少なくとも一つの相対的走行方向Ｔの配列でみて複数の素子のうちの書込素子及び読取素子の少なくとも一方が一つのみ配置されているものをいう。
【００３４】
より詳細には、一つの書込素子５及び一つの読取素子７によって一つの素子エレメント９が構成されており、ヘッドチップ３のそれぞれに、本実施の形態では、例として１６個の素子エレメント９が配置されている。素子エレメント９は、トラック幅方向Ｘ、すなわち後述するマルチチャンネルヘッド１のシフト方向Ｓであって、リニアテープ１１の走行方向Ｔ（積層方向Ｙ）とほぼ直交する方向に並べて配置されている。また、各ヘッドチップ３におけるヘッドのシフト方向Ｓでいう両端には、構成的には本来の読取素子７と同様であるサーボ読出素子１０が設けられている。
【００３５】
続いて、図２に基づいて、ヘッドチップの要部について説明する。図２は、ヘッドチップにおける素子エレメントの一部（２つ分）を拡大し、媒体（リニアテープ）対向面側から示した端面図である。
【００３６】
ヘッドチップ３は、書込素子５側と、読取素子７側とをそれぞれ個別に積層しておき、それぞれウエハから切り出した後に貼り合わせることで得られる。図２には、書込素子５及び読取素子７の間に位置する貼り合わせ面Ｃを二点鎖線で示す。また、図２の符号Ｓ１、Ｓ２はそれぞれ、基板１１、１２からの積層工程の進行方向を示している。基板１１の積層方向Ｓ１の上方には、複数の書込素子５がトラック幅方向Ｘに並べて配置されている。一方、貼り合わせ面Ｃを挟んで、基板１２の積層方向Ｓ２の上方には、複数の読取素子７がトラック幅方向Ｘに並べて配置されている。すなわち、貼り合わせ面Ｃの一方側には、複数の読取素子７のみが配置され、他方側には、複数の書込素子５のみが配置されている。
【００３７】
図２に示されるように、書込素子５は、下部ポール部１３ａを含む下部ヨーク１３と、上部ポール部１５ａを含む上部ヨーク１５と、コイル１７と、ギャップ膜１９とを有している。読取素子７は、磁気抵抗効果膜であり、例えばＧＭＲやＴＭＲなどとして構成されている。読取素子７の積層方向Ｙの上下には、上部磁気シールド２１及び下部磁気シールド２３が設けられている。
【００３８】
次に、このような構成に係るマルチチャンネルヘッド１の製造方法について説明する。本製造方法は、これまでのように一つのウエハ上で、書込素子から読取素子までを連続的に成膜し、その後にヘッドチップとしてウエハから切り出すのではなく、次のような過程を介してヘッドチップ３を得る。なお、成膜プロセスやパターン形成プロセスそれ自体は、周知の態様で行うことができ、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
まず、図３に示されるように、第１のウエハ４１上に、複数の書込素子５を含む書込素子ブロック４５を多数、成膜して構成し、周知の態様で切り出し、積層体として、多数の帯状の書込素子ブロック４５を得る。また、それとは別に、第２のウエハ４２上に、複数の読取素子７を含む読取素子ブロック４７を多数、成膜して構成し、周知の態様で切り出し、積層体として、多数の帯状の読取素子ブロック４７を得る。
【００４０】
次に、上述のように個別に切り出された書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７を、図４に示されるように、書込素子５と読取素子７とが対面するような関係で、貼り合わせる。これによって、図５に示されるように、貼り合わせ面Ｃを挟んで対応する書込素子５と読取素子７とが並んだ、ヘッドチップ３が得られる。さらに、そのようにして得られた一対のヘッドチップ３が、前述したように、対称的に貼り合わされて、マルチチャンネルヘッド１が製作される。
【００４１】
以上に説明した本実施の形態によれば、マルチチャンネルヘッドそのものの製品としての構成は変更することなく、ウエハ上での集積を書込素子と読取素子とで分けて行うことにより、通常の磁気ヘッドと比べると不利な、マルチチャンネルヘッドの歩留まりを向上させることができる。
【００４２】
すなわち、通常は、書込素子及び読取素子を積層方向に並ぶように連続して成膜していた。そのため、完成したマルチチャンネルヘッドにおいて、書込素子及び読取素子の何れか一方にのみ欠陥があり、他方には欠陥がない場合であっても、マルチチャンネルヘッド全体が不良となる。一方、上述した本実施の形態であれば、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の少なくとも一方が成膜を完了しウエハから切り出された後に相互に貼り合わされる関係にあるため、切り出し後、貼り合わせ前に、不良のチェックを行うことができ、貼り合わされヘッドチップ３として完成した後に、その書込素子５及び読取素子７の何れかに不良があるという事態を回避することができる。
【００４３】
また、一つのヘッドチップを構成する複数の積層体それぞれでみると、各積層体に関する積層量が減少できるため、製造リードタイムを短縮することが可能となる。特に、積層体を、書込素子のみ有する書込素子ブロックと、読取素子のみ有する読取素子ブロックとに分けると、同種の素子を別個に併行して成膜するだけでよいため、さらに製造リードタイムの短縮に寄与することができる。
【００４４】
次に、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の貼り合わせ時の位置決めの手法について、幾つかの態様を例示する。まず、第１の例として、図６に示されるように、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の一方に、相互に係合可能な凹凸を構成する凸部５１を設け、他方に凹部５３を設け、凸部５１及び凹部５３の係合状態を検出することによって位置決めするようにしてもよい。なお、図６の図示例では、読取素子ブロック４７に凸部５１を設けている。このような位置決め手法によれば、凸部５１及び凹部５３の係合という物理的な状態をもって判断できるため、より確実な位置決めを実現することができる。また、凹凸の形成は、成膜工程、マスク工程、エッチング工程、平坦化工程などの周知の工程を適宜組み合わせることにより実施できる。
【００４５】
あるいは、第２の例として、図７の（ａ）に示されるように、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７のそれぞれにおいて両者の相互接続部に、位置決め用パッド６１、６３を設け、位置決め用パッド６１、６３間の電気抵抗値の変化を検出することによって位置決めするようにしてもよい。すなわち、導体層からなる位置決め用パッド６１、６３間に電圧を印加し、当該パッド間の電気抵抗値を検出する。位置決め用パッド６１、６３間の当接領域が最も大きい状態、図示例では位置決め用パッド６１、６３が重なった状態のときに、電気抵抗値は最小値をとることとなり、それをもって書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の所望の位置決めを行うことができる。
【００４６】
なお、電気抵抗値の変化をもって書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の相対位置関係を特定できるような態様であれば、位置決め用パッド６１、６３の大きさ、形態、数、配列などは特に限定されるものではなく、適宜、選択することができる。
【００４７】
あるいは、第３の例として、図７の（ｂ）に示されるように、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７のそれぞれにコンデンサとして機能するコンデンサ構成電極７１、７３を設け、両者の間で生じるキャパシタンス値の変化を検出することによって位置決めするようにしてもよい。
【００４８】
あるいは、第４の例として、図８に示されるように、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の一方に、コイル８１を設けると共に、他方に磁場発生部８３を設け、両者によるインダクタンス値の変化を検出することによって位置決めするようにしてもよい。なお、図８の図示例では、読取素子ブロック４７に磁場発生部８３を設けている。また、磁場発生部８３の具体的な構成は、特に限定されるものではなく、例えば図８の（ａ）のように磁性材料層や磁石を用いてもよく、図８の（ｂ）のように電磁石を用いてもよい。
【００４９】
また、第５の例として、図９に示されるように、書込素子ブロック４５及び読取素子ブロック４７の一方に、磁気抵抗効果素子９１を設けると共に、他方に磁場発生部８３を設け、磁気抵抗効果を検出することによって位置決めするようにしてもよい。
【００５０】
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。
【００５１】
すなわち、本発明に係るヘッドチップとしては、磁気媒体に対する少なくとも一つの相対的走行方向の配列でみて複数の素子のうちの書込素子及び読取素子の少なくとも一方が一つのみ配置されていればよい。また、ヘッドチップは、少なくとも一つの貼り合わせ面を有していればよい。さらに、貼り合わせ面の一方側には少なくとも一つの素子が設けられていると共に、他方側にも少なくとも一つの素子が設けられていればよい。従って、次のような形態がさらに考えられる。
【００５２】
ヘッドチップは、図１１に示したように、貼り合わせ面Ｃを一つ有し、その一方側に書込素子５のみが配置され、他方側に読取素子７のみが配置され、全ての相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子及び読取素子の双方が一つのみ配置されており、さらに、複数の書込素子は、相対的走行方向Ｔがずれた千鳥状に配置されているように構成されていてもよい。かかる態様においても、前述した実施の形態と同様な効果を奏し、加えて、書込素子が相対的走行方向に千鳥状にずれているため書込素子間を短縮し狭ピッチ化を図ることができる利点もある（図１２〜図１８でも同様）。
【００５３】
また、図１２に示すように、ヘッドチップは、貼り合わせ面Ｃを一つ有し、全ての相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子５及び読取素子７の双方が一つのみ配置されているように構成されていてもよい。また、相対的走行方向Ｔの配列でみて、貼り合わせ面Ｃの一方側には、書込素子５のみが配置されている列と、素子が配列されていない列とを有し、他方側には、読取素子７のみが配置されている列と、書込素子５及び読取素子７の双方が配置されている列とを有する。
【００５４】
また、図１３に示すように、ヘッドチップは、貼り合わせ面Ｃを一つ有し、全ての相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子５及び読取素子７の双方が一つのみ配置されているように構成されている。また、相対的走行方向Ｔの配列でみて、書込素子５及び読取素子７の双方が、貼り合わせ面Ｃの一方側か他方側にまとめて配置されている。
【００５５】
また、図１４に示すように、ヘッドチップは、貼り合わせ面Ｃを一つ有し、全ての相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子５は一つ、読取素子７は複数（図示例では二つ）配置されているように構成されていてもよい。また、相対的走行方向Ｔの配列でみて、貼り合わせ面Ｃの一方側に書込素子５及び読取素子７の双方が配置され他方側に読取素子７のみが配列されている列と、貼り合わせ面Ｃの一方側に読取素子７のみが配列され他方側に書込素子５及び読取素子７の双方が配置されている列とを有する。
【００５６】
なお、相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子５が複数、読取素子７が一つ配置されている態様として実施することもでき、さらに、相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子５が一つ、読取素子７が複数設けられた列と、書込素子５が複数、読取素子７が一つ設けられた列とが混合された態様として実施することもできる。
【００５７】
また、図１５に示すように、ヘッドチップは、全ての相対的走行方向Ｔの列でみて書込素子５と読取素子７との数が同一である態様に限定されるものではない。よって、図１５に示す例では、相対的走行方向Ｔの配列でみて書込素子５が一つ、読取素子７が複数（図示例では二つ）設けられた列と、書込素子５及び読取素子７の双方が複数（図示例では二つ）設けられた列とが混合されている。この場合にも、少なくとも一つ（図示例では一列おき）の相対的走行方向Ｔの配列では、複数の素子のうちの書込素子及び読取素子の少なくとも一方（図示例では書込素子５）が一つのみ配置されている。また、相対的走行方向Ｔの配列でみて、貼り合わせ面Ｃの一方側に書込素子５及び読取素子７の双方が配置され他方側に読取素子７のみが配列されている列と、貼り合わせ面Ｃの一方側及び他方側の双方に書込素子５及び読取素子７の双方が配置されている列とを有する。図１４に示す例と比べ、書込素子間に別フォーマットの書込素子を配置することもできる。
【００５８】
また、図１６〜図１８に示すように、ヘッドチップは、貼り合わせ面Ｃを複数（図１６の図示例では二つ、図１７及び図１８の図示例では三つ）有している態様であってもよい。この場合にも、少なくとも一つ（図示例では全ての列）の相対的走行方向Ｔの配列では、複数の素子のうちの書込素子５が一つのみ配置されている。
【００５９】
さらに、本発明に係るマルチチャンネルヘッドは、複数の書込素子と複数の読取素子とを有することには限定されず、複数の書込素子のみからなる態様、あるいは、複数の読取素子のみからなる態様であってもよい。また、上述した実施の形態では書込素子ブロック及び読取素子ブロックを別ウエハにより得ていたが、本発明はこれに限定されるものではなく、同一ウエハより得るようにしてもよい。
【００６０】
また、本発明は、マルチチャネルのいかなるテープドライブ、ディスクドライブ、ドラムドライブにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係るマルチチャンネルヘッドを示す図である。
【図２】ヘッドチップにおける素子エレメントの部分拡大図であって、媒体対向面における端面図である。
【図３】異なるウエハを用い書込素子及び読取素子の集積を分けて行うことを説明する図である。
【図４】書込素子ブロック及び読取素子ブロックの貼り合わせを示す図である。
【図５】書込素子ブロック及び読取素子ブロックを貼り合わせてヘッドチップが構成されている状態を示す図である。
【図６】書込素子ブロック及び読取素子ブロックの貼り合わせ時の位置決め手法として凹凸を用いた例を示す図である。
【図７】書込素子ブロック及び読取素子ブロックの貼り合わせ時の位置決め手法として電気的な特性を用いた例を示す図である。
【図８】書込素子ブロック及び読取素子ブロックの貼り合わせ時の位置決め手法としてコイルを用いた例を示す図である。
【図９】書込素子ブロック及び読取素子ブロックの貼り合わせ時の位置決め手法として磁気抵抗効果素子を用いた例を示す図である。
【図１０】（ａ）は、磁気媒体装置の主要部の構成を示し図であり、図１０の（ｂ）は、マルチチャンネルヘッド近傍を拡大して示す図である。
【図１１】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１２】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１３】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１４】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１５】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１６】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１７】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【図１８】ヘッドチップの改変形態を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１                      マルチチャンネルヘッド
３                      ヘッドチップ
５                      書込素子
７                      読取素子
４１                    第１のウエハ
４２                    第２のウエハ
４５                    書込素子ブロック
４７                    読取素子ブロック
１０１                  磁気媒体装置
１０３                  磁気媒体
１０５                  駆動システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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