(57)【要約】【課題】５０ｍ／秒以上の高速流延における流延ビードの安定化を図る。【解決手段】ポリマーと溶媒とを含んだドープ１２を調製する。ドープ１２を流延ダイ２５から流延ビード１２ａとして走行（回転）する流延ドラム２７上に吐出して、流延膜１３を形成する。流延ダイ２５に対し流延ドラム２７の回転方向上流側、下流側に第１及び第２仕切り板５３，５４を設ける。剥離ローラ２９の上流側に第３仕切り板５５を設ける。第２仕切り板５４及び第３仕切り板５５により区画される乾燥室５８に、乾燥風循環装置６９から乾燥風を供給する。流延ドラム２７の両側端面に近接する位置に、サイドラビリンスシール部７５を設ける。第１〜第３仕切り板５３〜５５の各ラビリンスシール部６０，６２，６４と、サイドラビリンスシール部７５とにより、高速流延を行うために乾燥風の風量を増加させた場合でも、流延室５７への乾燥風の進入が抑えられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内で連続回転する流延ドラムの周面上に、ポリマーと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして吐出させて流延膜を形成し、前記流延膜が自己支持性を有した後に前記流延ドラムから剥ぎ取りローラにより湿潤フィルムとして剥ぎ取り乾燥させてフィルムを得る溶液製膜設備において、
前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第１仕切り部材、及び前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向下流側で前記流延ダイに略平行に設けられる第２仕切り部材を有し、前記流延ダイを囲むように前記ケーシングに形成される第１室と、
前記剥ぎ取りローラに対し流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第３仕切り部材及び前記第２仕切り部材により区画され前記ケーシング内に形成される第２室と、
前記第２室に設けられ、乾燥風を循環させる乾燥風循環装置とを有することを特徴とする溶液製膜設備。
【請求項２】
前記第１室は、前記第１及び第２仕切り部材の間で前記流延ダイの回転方向に沿って配置されるサイド遮風部材を有することを特徴とする請求項１記載の溶液製膜設備。
【請求項３】
前記流延ドラムの両側端面に近接して設けられ、前記流延ドラムの両側端面を介し前記第２室の乾燥風の前記第１室への進入を阻止するサイドラビリンスシール部と、
前記サイドラビリンスシール部の間隙を調節する間隙調節部とを有することを特徴とする請求項１または２記載の溶液製膜設備。
【請求項４】
前記サイドラビリンスシール部からの吹き出し風速を５ｍ／秒以下にすることを特徴とする請求項３記載の溶液製膜設備。
【請求項５】
前記第２仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で前記第２仕切り部材にラビリンスシール部を有し、
前記第２仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を５ｍ／秒以下にすることを特徴とする請求項４記載の溶液製膜設備。
【請求項６】
前記第１及び第３仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で前記各仕切り部材にラビリンスシール部を有し、
前記第１及び第３仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を１０ｍ／秒以下にすることを特徴とする請求項５記載の溶液製膜設備。
【請求項７】
ケーシング内で連続回転する流延ドラムの周面上に、ポリマーと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして吐出させて流延膜を形成し、前記流延膜が自己支持性を有した後に前記流延ドラムから剥ぎ取りローラにより湿潤フィルムとして剥ぎ取り乾燥させてフィルムを得る溶液製膜方法において、
前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第１仕切り部材、及び前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向下流側で前記流延ダイに略平行に設けられる第２仕切り部材により、前記流延ダイを囲むように前記ケーシング内に第１室を形成し、
前記剥ぎ取りローラに対し流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第３仕切り部材及び前記第２仕切り部材により前記ケーシング内に第２室を形成し、
前記第２室に乾燥風循環装置により乾燥風を供給して循環させることを特徴とする溶液製膜方法。
【請求項８】
前記第１室は、前記第１仕切り部材、前記第２仕切り部材、及び前記第１仕切り部材と第２仕切り部材の間で前記流延ドラムの回転方向に沿って配置されるサイド遮風部材により形成されることを特徴とする請求項７記載の溶液製膜方法。
【請求項９】
前記流延ドラムの両側端面に近接して設けられるサイドラビリンスシール部により、前記流延ドラムの両側端面を介し前記第２室の乾燥風の前記第１室への進入による吹き出し風速を５ｍ／秒以下に抑えることを特徴とする請求項７または８記載の溶液製膜方法。
【請求項１０】
前記第２仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で前記第２仕切り部材の先端にラビリンスシール部を有し、
前記第２仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を５ｍ／秒以下にすることを特徴とする請求項９記載の溶液製膜方法。
【請求項１１】
前記第１及び第３仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で各仕切り部材の先端にラビリンスシール部を有し、前記第１及び第３仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を１０ｍ／秒以下にすることを特徴とする請求項１０記載の溶液製膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリマーフィルムを製造する溶液製膜設備及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ポリマーフィルム（以下、フィルムと称する）は、優れた光透過性や柔軟性および軽量薄膜化が可能であるなどの特長から光学機能性フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、強靭性や低複屈折率であることから、写真感光用フィルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置の構成部材である偏光板の保護フィルムまたは光学補償フィルムなどに用いられている。
【０００３】
このようなフィルムは、通常は溶液製膜方法により製造されている（例えば特許文献１参照）。溶液製膜方法は、溶融製膜方法などの他の製造方法と比較して、光学的性質などの物性がより優れたフィルムを製造することができる。溶液製膜方法では、各種混合溶媒にポリマーを溶解した高分子溶液（以下、ドープと称する）を、流延ダイから流延ドラム上に吐出・流延して流延膜を形成する。そして、流延膜が流延上で自己支持性を有するものとなった後に、流延膜を流延ドラムから湿潤フィルムとして剥ぎ取り、乾燥させた後にフィルムとして巻き取る。
【０００４】
溶液製膜法を用いる製膜設備では、流延膜から蒸発する人体に有害な溶媒ガスが外部に漏れないように、流延ドラム及び流延ダイをケーシング内に収容している。ケーシング内には、流延ダイの流延ドラムの回転方向上流側に第１ラビリンスシール部が設けられ、流延ダイの流延ドラムの回転方向下流側に第２ラビリンスシール部が設けられている（例えば特許文献２参照）。これにより、ケーシング内は、流延ダイを含む流延室と、ドラム周面に形成された流延膜を搬送中に乾燥させる乾燥室とに区画される。
【０００５】
乾燥室内には、乾燥風を導入するための乾燥風供給ダクトなどが設けられている。乾燥風供給ダクトより乾燥室内に導入された乾燥風は、乾燥室内を通って排気口や乾燥風排気ダクトより排気される。これにより、乾燥室内の溶媒ガスの濃度は低く保たれて、流延膜の乾燥が促進される。従って、製膜速度の高速化を図る場合には、乾燥室内に導入する乾燥風量は増加される。
【特許文献１】特開昭６２−１１５０３５号公報
【特許文献２】特開２００２−１０３３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、液晶ディスプレイや液晶テレビなどの急速な発展により、これらディスプレイなどに用いられる光学フィルムの需要が急増している。従って、生産性を向上するために、製膜速度を上げる要請がある。しかしながら、単に製膜速度を上げると、流延ビードが不安定になり、得られるフィルムの面状品質が低下したり、甚だしい場合には湿潤フィルムが切断し製造中断・再立ち上げにより生産性が低下したりする問題がある。
【０００７】
このため、流延ビードの安定化を図るべく、流延ダイのドープ吐出口のクリアランスを中央部ほど狭く形成し、流延ビードの側縁部の厚みを相対的に上げて流延していた。しかしながら、流延ビードの側縁部を厚くする場合には、厚くなった分だけ乾燥効率が低下したり、冷却によるゲル化が遅くなったりして、剥ぎ取りに見合ったゲル強度が得られず、流延ドラム上に剥げ残りが発生することもある。この場合にもフィルムの面状品質の低下や湿潤フィルムの切断につながり、改善が望まれていた。
【０００８】
本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、高速流延における流延ビードの安定化を図るようにした溶液製膜設備及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記問題を解決するため、本発明は、ケーシング内で連続回転する流延ドラムの周面上に、ポリマーと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして吐出させて流延膜を形成し、前記流延膜が自己支持性を有した後に前記流延ドラムから剥ぎ取りローラにより湿潤フィルムとして剥ぎ取り乾燥させてフィルムを得る溶液製膜設備において、前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第１仕切り部材、及び前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向下流側で前記流延ダイに略平行に設けられる第２仕切り部材を有し、前記流延ダイを囲むように前記ケーシングに形成される第１室と、前記剥ぎ取りローラに対し流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第３仕切り部材及び前記第２仕切り部材により区画され前記ケーシング内に形成される第２室と、前記第２室に設けられ、乾燥風を循環させる乾燥風循環装置とを有することを特徴とする。
【００１０】
前記第１室は、前記第１及び第２仕切り部材の間で前記流延ダイの回転方向に沿って配置されるサイド遮風部材を有することが好ましい。また、前記流延ドラムの両側端面に近接して設けられ、前記流延ドラムの両側端面を介し前記第２室の乾燥風の前記第１室への進入を阻止するサイドラビリンスシール部と、前記サイドラビリンスシール部の間隙を調節する間隙調節部とを有することが好ましい。
【００１１】
前記サイドラビリンスシール部からの吹き出し風速を５ｍ／秒以下にすることが好ましい。また、前記第２仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で前記第２仕切り部材にラビリンスシール部を有し、前記第２仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を５ｍ／秒以下にすることが好ましい。
【００１２】
前記第１及び第３仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で前記各仕切り部材にラビリンスシール部を有し、前記第１及び第３仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を１０ｍ／秒以下にすることが好ましい。
【００１３】
上記問題を解決するため、本発明は、ケーシング内で連続回転する流延ドラムの周面上に、ポリマーと溶媒とを含むドープを流延ダイから流延ビードとして吐出させて流延膜を形成し、前記流延膜が自己支持性を有した後に前記流延ドラムから剥ぎ取りローラにより湿潤フィルムとして剥ぎ取り乾燥させてフィルムを得る溶液製膜方法において、前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第１仕切り部材、及び前記流延ダイに対して流延ドラム回転方向下流側で前記流延ダイに略平行に設けられる第２仕切り部材により、前記流延ダイを囲むように前記ケーシング内に第１室を形成し、前記剥ぎ取りローラに対し流延ドラム回転方向上流側で、流延ダイに略平行に設けられる第３仕切り部材及び前記第２仕切り部材により前記ケーシング内に第２室を形成し、前記第２室に乾燥風循環装置により乾燥風を供給して循環させることを特徴とする。
【００１４】
前記第１室は、前記第１仕切り部材、前記第２仕切り部材、及び前記第１仕切り部材と第２仕切り部材の間で前記流延ドラムの回転方向に沿って配置されるサイド遮風部材により形成されることが好ましい。また、前記流延ドラムの両側端面に近接して設けられるサイドラビリンスシール部により、前記流延ドラムの両側端面を介し前記第２室の乾燥風の前記第１室への進入による吹き出し風速を５ｍ／秒以下に抑えることが好ましい。
【００１５】
前記第２仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で前記第２仕切り部材の先端にラビリンスシール部を有し、前記第２仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を５ｍ／秒以下にすることが好ましい。また、前記第１及び第３仕切り部材と前記流延ドラムの周面との間で各仕切り部材の先端にラビリンスシール部を有し、前記第１及び第３仕切り部材のラビリンスシール部からの吹き出し風速を１０ｍ／秒以下にすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、ケーシング内で第１仕切り部材及び第２仕切り部材により流延ダイを囲むように区画された第１室を形成するとともに、第２及び第３仕切り部材により区画された第２室を形成して、第２室内で乾燥風を循環させるようにしたので、製膜速度（流延ドラムの回転速度）の増加に伴い第２室に導入される乾燥風量が増えたとしても、第１〜第３仕切り部材によって第２室から第１室内への乾燥風の進入を抑えることができる。その結果、流延ビードに直接あたる乾燥風量が抑制される。さらに、流延ビード付近の溶媒ガスの露点を上げることができるので、流延ビードからの溶媒ガスの蒸発を抑えることができる。これにより、高速流延時においても流延ビードの乱れや面状品質の悪化が抑えられて流延ビードが安定するので、厚みムラや面状悪化のないフィルムを製造することができる。
【００１７】
また、サイド遮風部材を前記上流側及び下流側仕切り部材の間で流延ダイの回転方向に沿って配置するようにしたので、同様に第１室内への乾燥風の進入を抑えることができる。
【００１８】
また、流延ドラムの両側面端にサイドラビリンスシール部を近接させつつ、両者の間隙を調節可能にしたので、流延ドラムの両側端面を介した乾燥風の第１室への進入を抑えることができる。さらに、サイドラビリンスシール部からの吹出し風速を５ｍ／秒以下にしたので、同様に流延ドラムの両側端面を介した乾燥風の第１室への進入を抑えることができる。
【００１９】
また、第２仕切り部材のラビリンスシール部からの吹出し風速を５ｍ／秒以下にしたので、同様に第１室内への乾燥風の進入を抑えることができる。
【００２０】
また、第１及び第３仕切り部材のラビリンスシール部からの吹出し風速を１０ｍ／秒以下にしたので、同様に第１室内への乾燥風の進入を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明はここに挙げる実施形態に限定されるものではない。
【００２２】
図１に示すように、フィルム製造設備１０は、配管を介して接続されたドープ製造設備１１より供給されるドープ１２を走行（回転）する流延ドラム上に流延して流延膜１３を形成し、この流延膜１３を流延ドラム２７から剥ぎ取って乾燥させることによりフィルム１４を形成する。このフィルム製造設備１０は、大別して、流延装置１６と、渡り部１７と、テンター装置１８と、乾燥室２１と、冷却室２２と、巻取室２３とから構成されている。
【００２３】
ドープ１２は、溶液製膜でフィルムとすることが可能なポリマーを溶媒に溶解または分散して得られるポリマー溶液、ポリマー分散液である。本実施形態では、ポリマーとしてセルロースアシレートが用いられ、溶媒としてメチレンクラロイドを主成分とする有機溶剤が用いられるが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各種ポリマー・溶媒を用いてよい。ドープ１２には、可塑剤等の各種添加剤も添加され、セルロースアシレートや可塑剤などの乾燥後固体となる成分の重量比率は、１８〜３５ｗｔ％である。また、溶媒には、メチレンクラロイド以外の有機溶剤としてメタノール、ブタノール等があり、全溶媒中重量比１３〜２５％程度混入される。
【００２４】
流延装置１６は、ケーシング１６ａと、ドープ製造設備１１より供給されるドープ１２を吐出する流延ダイ（エクスクルージョンダイ）２５と、流延ドラム（キャスティングドラム）２７と、流延ドラム２７から流延膜１３を剥ぎ取る剥離ローラ２９と、ケーシング１６ａ内の温度を調節する温調設備３１と、流延ダイ２５に対し流延ドラム回転方向上流側（以下、単に上流側という）に配置された減圧チャンバ３３とから構成される。なお、以下の説明では、流延ドラム回転方向下流側を単に下流側という。
【００２５】
流延ダイ２５の先端にはドープ１２を吐出するスリット状の吐出口が備えられており、この吐出口の下方には流延ドラム２７が配置されている。流延ダイ２５より吐出されたドープ１２は、流延ドラム２７のドラム周面上に流延される。流延ダイ２５の材質は、電解質水溶液やメチレンクロライドやメタノールなどの混合液に対する高い耐腐食性や低い熱膨張率などを有する素材（例えばＳＵＳ３１６などの鋼材）から形成される。
【００２６】
円柱形状に形成される流延ドラム２７は、図示しない駆動装置により回転軸２７ａを中心に回転される。これにより、流延ドラム２７は、そのドラム周面が所定の走行方向に所定速度（１０〜３００ｍ／分）で回転する。ドラム周面は、クロムメッキ処理が施され、十分な耐腐食性と強度を有する。なお、流延ドラム２７の寸法や材質等は特に限定されるものではないが、ドープ１２の流延幅に対して１．１〜２．０倍程度の幅を有するものが好ましく、さらに、耐腐食性や高強度性を有する材質が好ましい。
【００２７】
流延ドラム２７及びその回転軸２７ａには、図示しない伝熱媒体循環装置にて所望の温度に保持されている伝熱媒体が通過する流路が形成されている。これにより、ドラム周面の温度が所望の温度、例えば１０℃以下に保たれる。また、平面性に優れる流延膜１３を形成するために、ドラム周面はできる限り研磨されていることが好ましい。
【００２８】
流延ダイ２５からドープ１２が流延ビード１２ａ（図２参照）として吐出されると、ドラム周面上に流延膜１３が形成される。この流延膜１３は、流延ドラム２７の回転によって走行方向に所定の走行速度で搬送される。この際に温調設備３１は、流延室５７の内部温度が略一定となるように調整する。なお、この温調設備３１は、後に説明する乾燥風循環装置６９で代用してもよく、この場合には温調設備３１は省略してもよい。
【００２９】
減圧チャンバ３３は、吸引管を介して吸引装置３４に吸引されることで、流延ビード１２ａの背面側を負圧にする。これにより、流延ドラム２７上への流延ビード１２ａの着地位置がふらつくことなく固定される。この減圧チャンバ３３は、本実施形態では−２０００Ｐａ〜−４００Ｐａの範囲で減圧する。流延ドラム２７上での乾燥・冷却により自己支持性を備えた流延膜１３は、剥離ローラ２９によって流延ドラム２７から剥ぎ取られて、湿潤フィルム３５となる。この湿潤フィルム３５は、パスローラ３７（図２参照）を介して渡り部１７に搬送される。パスローラ３７は、本実施形態では表面材質がテフロン（登録商標）で形成されている。
【００３０】
渡り部１７には、湿潤フィルム３５を支持搬送する複数の搬送ローラと、搬送中の湿潤フィルム３５に乾燥風を吹き付ける送風装置３９とが配置されている。テンター装置１８は、湿潤フィルム３５の両側端部をテンタークリップ（図示省略）で把持しつつ乾燥させる。また、テンター装置１８は、その内部で湿潤フィルム３５を乾燥させながら、幅方向に延伸させる。これにより、湿潤フィルム３５は、乾燥が進行した状態でフィルム１４として、耳切装置４１に送られる。
【００３１】
耳切装置４１は、フィルム１４の側端部（耳部）を切り取る。耳部が切り取られたフィルム１４は、乾燥室２１に送られる。また、切り取られた耳切り屑（耳屑フィルム）は、クラッシャ４２により細かく切断処理されて再生チップとなる。この再生チップは、ドープ１２の原料として再利用される。
【００３２】
乾燥室２１には、多数のパスローラ４４が備えられている。これらパスローラ４４は、フィルム１４を掛け渡し、フィルム１４の両面をまんべんなく乾燥させる。なお、乾燥中にフィルム１４から溶媒ガスが発生する。この溶媒ガスは、乾燥室２１の外側に設けられた吸着回収装置４５により吸着回収される。乾燥されたフィルム１４は、冷却室２２へと案内されて、略室温まで冷却される。
【００３３】
冷却室２２の下流側には、フィルム１４に帯電した静電気を除電する強制除電装置４７（除電バー）が設けられている。また、強制除電装置４７の下流側には、フィルム１４の両縁にエンボス加工のナーリングを付与するナーリング付与ローラ４８が設けられている。
【００３４】
静電気の除電処理、及びナーリングの付与処理が施されたフィルム１４は、巻取室２３内の巻取ローラ５０により巻き取られる。また、巻取室２３内には、フィルム巻き取りの際にフィルム１４を押さえるプレスローラ５１が、巻取ローラ５０の外周に設けられている。
【００３５】
図２〜図４に示すように、ケーシング１６ａの内部は、第１〜第３仕切り板（仕切り部材）５３〜５５及びサイド遮風板（サイド遮風部材）５６により３つのエリアに区画されている。具体的には、流延ダイ２５及び減圧チャンバ３３を含む流延室５７（第１室）と、この流延室５７で形成された流延膜１３を乾燥させる乾燥室５８と、剥離ローラ２９及び湿潤フィルム３５の送出口１６ｂを含む剥離室５９とからから構成される３つのエリアである。
【００３６】
サイド遮風板５６は、流延ダイ２５を間に挟み込むように、流延ダイ２５の側方から第３仕切り板５５の間で流延ドラム２７の回転方向に沿って配置されている。サイド遮風板５６は、流延室５７の側方から進入する乾燥風等の風量を抑制する。また、サイド遮風板５６は、乾燥室５８の両側を仕切っており、流延膜１３から蒸発する溶媒ガスの乾燥室５８外への漏れを抑えている。
【００３７】
流延室５７は、流延ダイ２５及び減圧チャンバ３３の上流側に配置された第１仕切り板５３と、流延ダイ２５の下流側に配置された第２仕切り板５４と、サイド遮風板５６とにより流延ダイ２５を囲むように形成される。第１仕切り板５３は、流延ダイ２５（流延ドラム２７の軸芯方向）に対し平行で、その両側がケーシング１６ａの側板に接している。また、第１仕切り板５３の先端部には、第１ラビリンスシール部６０が設けられている。
【００３８】
第１ラビリンスシール部６０（第２及び第３ラビリンスシール部６２，６４も同様）には、流延ダイ２５に対して平行な長板状のフィンが複数形成されている。第１ラビリンスシール部６０により、流延室５７の上流側からの乾燥風等が流延室５７内に進入することが抑制される。また、第１ラビリンスシール部６０とドラム周面との間のクリアランスは調節可能である。
【００３９】
第２仕切り板５４は、その両側がサイド遮風板５６に接するように設けられている。この第２仕切り板５４の先端部には、第２ラビリンスシール部６２が設けられており、この第２ラビリンスシール部６２により流延室５７の下流側からの乾燥風等が流延室５７内に進入することが抑制される。また、第２ラビリンスシール部６２もドラム周面との間のクリアランスが調節可能である。
【００４０】
乾燥室５８は、第２仕切り板５４と、剥離ローラ２９の上流側に配置された第３仕切り板５５と、サイド遮風板５６とにより形成される。第３仕切り板５５は、流延ダイ２５に対して平行で、その両側がケーシング１６ａの側板に接するように設けられている。第３仕切り板５５の先端部には、ドラム周面との間のクリアランスが調節可能な第３ラビリンスシール部６４が設けられており、この第３ラビリンスシール部６４により乾燥風等が剥離室５９内に進入することが抑制される。
【００４１】
また、乾燥室５８内で第３仕切り板５３の近くには乾燥風供給ダクト６７が設けられ、第２仕切り板５４の近くには乾燥風排気ダクト６８が設けられている（図２参照）。これら両ダクト６７，６８には、乾燥風循環装置６９が接続されている。
【００４２】
乾燥風循環装置６９は、乾燥風供給ダクト６７より乾燥室５８内に乾燥風を導入する。乾燥室５８内に導入された乾燥風は、乾燥室５８内を通って乾燥風排気ダクト６８から再び乾燥風循環装置６９に戻る。この際に、乾燥室５８内で流延膜１３から蒸発した溶媒ガスも乾燥風とともに乾燥風循環装置６９に送られる。乾燥風循環装置６９は、乾燥風に含まれる溶媒ガスを回収する回収機能を有しており、溶媒ガス成分が除去された乾燥風は再び乾燥風供給ダクト６７より乾燥室５８内に導入される。
【００４３】
このように、乾燥風循環装置６９により乾燥風を乾燥風供給ダクト６７と乾燥風排気ダクト６８との間で循環させることで、乾燥室５８内の溶媒ガスの濃度は低く保たれ、流延膜１３の乾燥が促進される。上述したように高速製膜を行う場合には、乾燥室５８内に導入する乾燥風量を製膜速度（ドラム回転速度）の高速化に応じて増加させる。ドラム回転速度に応じた乾燥風量は、予め実験等を行うことで決定される。
【００４４】
剥離室５９は、第１仕切り板５３及び第３仕切り板５５により形成され、流延装置１６からのフィルム出口となる。第３ラビリンスシール部６４により、乾燥室５８内に導入された乾燥風が剥離室５９内に進入することが抑制されるので、剥離室５９を介して乾燥風等が流延室５７内に進入することも抑制される。また、乾燥室５８内で発生した溶媒ガスが乾燥風と共に剥離室５９内に入り込んで、送出口１６ｂより外部に漏れることも抑制される。なお、送出口１６ｂにはエアカーテン（図示せず）等が必要に応じて形成されており、溶媒ガスの外部への漏れを防止している。また、流延装置１６、テンター装置１８、乾燥室２１、冷却室２２、巻取室２３は建屋内に配置され、建屋外へ溶媒ガスが漏れないようにされている。
【００４５】
次に、図３〜図５を用いて、サイドラビリンスシール部７５について説明を行う。上述したように、製膜速度の高速化に伴い乾燥室５８内に導入される乾燥風量が増加すると、乾燥室５８内が流延室５７内よりもかなり圧力が高くなる。その結果、乾燥室５８や剥離室５９より、乾燥風が流延ドラム２７の両側端面（以下、両ドラム側端面という）から回り込んで流延室５７内に進入する。そこで、両ドラム側端面を介した乾燥風の流延室５７への進入をサイドラビリンスシール部７５により抑える。
【００４６】
サイドラビリンスシール部７５は、両ドラム側端面に近接する位置に配置されており、テフロン（登録商標）材等でドラム側端面の周縁部に沿う略リング状に形成されている。サイドラビリンスシール部７５は、外径は流延ドラム２７の直径とほぼ同じ大きさに形成され、内径は回転軸２７ａの直径よりも十分に大きく形成されている。また、サイドラビリンスシール部７５の流延ドラム２７に対向する側（以下、単にドラム側という）の面には、同心円状に複数のラビリンス溝７５ａ（図５参照）が形成されている。
【００４７】
図４及び図５において、ケーシング１６ａの内壁面（側板）には、サイドラビリンスシール部７５の中空部に嵌合する略円筒状のシール保持部７７が形成されている。このシール保持部７７により、サイドラビリンスシール部７５はその中心を流延ドラム２７（回転軸２７ａ）の中心に合わせた状態で流延ドラム２７の軸芯方向に位置調節可能に保持される。なお、サイドラビリンスシール部７５を位置調節可能に保持できれば、シール保持部７７の形状・数は特に限定されない。
【００４８】
間隙調節機構７８は、ケーシング１６ａの外側に複数設けられており、例えばモータ、送りネジ部、雌ネジ部、スライド軸等から構成されている。送りネジ部をモータで回転し、この送りネジ部に係合する雌ネジ部を介してスライド軸をスライド移動することで、スライド軸に固定されたサイドラビリンスシール部７５をドラム軸芯方向に位置調節する。これにより、サイドラビリンスシール部７５とドラム側端面との間のクリアランス（間隙）ＣＬｓ（図５参照）を任意に調節することができる。このようにサイドラビリンスシール部７５を両ドラム側端面に近接させることで、ラビリンス溝７５ａにより乾燥風の両ドラム側端面からの回り込みによる漏れ風量が抑制される。
【００４９】
なお、間隙調節機構７８としては、上記構成のもの以外にもサイドラビリンスシール部７５の位置調節が可能であれば各種機構を用いてよい。また、本実施形態では、間隙調節機構７８は、ケーシング１６ａの外側に設けられているが、ケーシング１６ａの内側に設けてもよい。
【００５０】
クリアランスＣＬｓを調節することで、このクリアランスＣＬｓから流延室５７側に吹き出す乾燥風等の吹き出し速度Ｖｓを調節することができる。クリアランスＣＬｓを大きくする程、サイドラビリンスシール部７５によるシール効果が弱くなるため、吹出し風速Ｖ１が大きくなり、両ドラム側端面を介し流延室５７に進入する乾燥風量が大きくなる。逆に、クリアランスＣＬｓを小さくするほどサイドラビリンスシール部７５によるシール効果が強くなるため、吹出し風速Ｖｓが小さくなり、両ドラム側端面を介し流延室５７に進入する乾燥風量が小さくなる。
【００５１】
クリアランスＣＬｓは、吹出し風速Ｖ１が５ｍ／ｓｅｃ以下、より好ましくは２ｍ／ｓｅｃ以下となるように調節される。例えば、流延ドラム２７の回転速度と、乾燥室５８内に導入される乾燥風量と、クリアランスＣＬｓと、吹出し風速Ｖ１とを対応させたデータテーブルを予め実験を行って求めておき、このデータテーブルに従って回転速度及び乾燥風量に応じたクリアランスＣＬｓを調節すればよい（下記のクリアランスＣＬ１〜ＣＬ３も同様）。
【００５２】
また、流延室５７に進入する乾燥風量を抑えるため、第１〜第３ラビリンスシール部６０，６２，６４とドラム周面とのクリアランスＣＬ１〜ＣＬ３も調節される。以下、各クリアランスＣＬ１〜ＣＬ３の調節機構について、図６に示すクリアランスＣＬ２の調節機構を例に挙げて説明を行う。
【００５３】
第２仕切り板５４の先端部には、図示しないガイド溝等を介して支持ブラケット８１が位置調節可能に保持されている。支持ブラケット８１の一端には、第２ラビリンスシール部６２が固定され、他端には第２仕切り板５４上に設けられた間隙調節機構８２が接続されている。
【００５４】
間隙調節機構８２は、基本的には上述の間隙調節機構７８と同様に、例えばモータ、送りネジ部、雌ネジ部、スライド軸等から構成されており、支持ブラケット８１及び第２ラビリンスシール部６２を一体に移動することにより、クリアランスＣＬ２を調節することができる。なお、モータを用いることなく、送りネジ部を手動で回してクリアランスＣＬ２を調節してもよい。
【００５５】
本実施形態では、クリアランスＣＬ２から流延室５７内に吹き出す乾燥風等の吹出し風速Ｖ２が５ｍ／ｓｅｃ以下、より好ましくは３ｍ／ｓｅｃ以下となるようにクリアランスＣＬ２が調節されている。
【００５６】
クリアランスＣＬ１，ＣＬ３も同様の調節機構で調節される。そして、クリアランスＣＬ１から流延室５７内に吹き出す乾燥風等（同伴風を含む）の吹き出し速度Ｖ１と、クリアランスＣＬ３から剥離室５９内に吹き出す乾燥風等の吹き出し速度Ｖ３とが、それぞれ１０ｍ／ｓｅｃ以下、より好ましくは５ｍ／ｓｅｃ以下となるように、クリアランスＣＬ１，ＣＬ３が調節されている。
【００５７】
このように各クリアランスＣＬｓ，ＣＬ１〜ＣＬ３からの乾燥風等の吹き出し風速を調節することで、流延室５７に進入する乾燥風量が抑えられる。これにより、流延ビード１２ａに直接あたる乾燥風量が抑制される。また、流延室５７内、つまり、流延ビード１２ａ付近の溶媒ガスの濃度（露点）を上げることができるので、流延ビード１２ａからの溶媒ガスの蒸発を抑えることができる。その結果、流延ビード１２ａの乱れや面状品質の悪化が抑えられ、流延ビード１２ａが安定する。なお、溶媒ガスの露点は、流延ビード１２ａから１００ｍｍ〜２００ｍｍ範囲内が−１５℃〜０℃となるように調節される。
【００５８】
次に、フィルム製造設備１０（図１参照）によりフィルム１４を製造する方法の一例を説明する。フィルム製造設備１０の運転が開始されると、流延ドラム２７が所定の回転速度、例えば５０ｍ／分以上で回転される。この際に、ドラム周面温度は伝熱媒体循環装置（図示せず）により１０℃以下に保たれる。また、乾燥風循環装置６９（図２参照）が作動して、流延ドラム２７の回転速度（製膜速度）に応じた風量の乾燥風が乾燥風供給ダクト６７と乾燥風排気ダクト６８との間で循環される。
【００５９】
次いで、ドープ製造設備１１から流延ダイ２５に向けてドープ１２が供給されると、流延ダイ２５からドープ１２が流延ビード１２ａとして吐出されて、ドラム周面上に流延膜１３が形成される。この際に、吸引装置３４が作動して減圧チャンバ３３により流延ビード１２ａの背面側が−２０００Ｐａ〜−４００Ｐａの範囲で減圧される。
【００６０】
流延時において、本実施形態では流延ドラム２７の両ドラム側端面にサイドラビリンスシール部７５を近接させるとともに、吹き出し風速Ｖｓが５ｍ／ｓｅｃ以下（好ましくは２ｍ／ｓｅｃ以下）となるようにクリアランスＣＬｓを調節することで、流延ドラム２７の両ドラム側端面を介した乾燥風の流延室５７への進入が抑えられる。
【００６１】
さらに、本実施形態では、第１〜第３仕切り板５３〜５５と、第１〜第３ラビリンスシール部６０、６２、６４と、サイド遮風板５６とにより、ケーシング１６ａ内を流延室５７、乾燥室５８、剥離室５９に区画しつつ、吹き出し風速Ｖ２が５ｍ／ｓｅｃ以下（好ましくは３ｍ／ｓｅｃ以下）、吹き出し風速Ｖ１，Ｖ３が１０ｍ／ｓｅｃ以下（好ましくは５ｍ／ｓｅｃ以下）になるように各クリアランスＣＬ１〜ＣＬ３を調節している。これにより、乾燥風の流延室５７への進入が抑えられる。
【００６２】
以上のように、流延ドラム２７の回転速度（製膜速度）の増加に応じて乾燥室５８内に導入される乾燥風量が増加しても乾燥風の流延室５７への進入が抑えられることで、流延ビード１２ａに直接あたる乾燥風量を抑制しつつ、流延ビード１２ａから１００ｍｍ〜２００ｍｍ範囲内のガス露点を上げることができる。これにより、特に流延ドラム２７を例えば１００ｍ／分以上の高速回転で高速製膜を行う場合において、流延ビード１２ａの乱れや面状品質の悪化が抑えられ、流延ビード１２ａを安定させることができる。さらに、流延ビード１２ａに直接あたる乾燥風量を抑制することができるので、特に薄手のフィルムを製造する場合に流延ビード１２ａを安定させる効果が得られる。このように流延ビード１２ａが安定化されることで、フィルム１４の厚みムラの発生や面状の悪化が抑えられる。
【００６３】
ドラム周面上に形成された流延膜１３は乾燥室５８を通過する際に冷却によりゲル化され、また乾燥も進行する。そして自己支持性を有した後に剥離ローラ２９により流延ドラム２７から剥ぎ取られて湿潤フィルム３５が得られる。
【００６４】
湿潤フィルム３５は、パスローラ３７を介して渡り部１７に搬送される。なお、剥離後の湿潤フィルム３５は、流延ドラム２７による搬送時の１．０３〜１．２０倍の速度で搬送される。湿潤フィルム３５は、渡り部１７及びテンター装置１８で乾燥されて、フィルム１４として耳切装置４１に搬送される。フィルム１４は、耳切装置４１で耳部が切断された後、乾燥室２１に搬送される。
【００６５】
フィルム１４は、乾燥室２１内で乾燥された後、冷却室２２へと案内されて略室温まで冷却される。次いで、フィルム１４は、強制除電装置４７及びナーリング付与ローラ４８により除電処理・ナーリング付与処理が施された後、巻取室２３内の巻取ローラ５０により巻き取られる。
【００６６】
なお、上記実施形態では、サイドラビリンスシール部７５が略リング形状に形成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、流延ドラム２７の両ドラム側端面を介した乾燥風の流延室５７への進入を抑制可能な形状であればその形状は特に限定はされない。
【００６７】
また、上記実施形態では、サイドラビリンスシール部７５のドラム側の面にラビリンス溝７５ａが形成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、流延ドラム２７の両ドラム側端面に同心円状のラビンス溝を形成してもよい。
【００６８】
なお、上記実施形態では、サイドラビリンスシール部８５がシール保持部７７に位置調節可能に取り付けられている場合を例に挙げて説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図７〜図９に示す流延装置８０のように、サイドラビリンスシール部８５を流延ドラム２７に位置変更可能に取り付けるようにしてもよい。なお、上記実施形態で説明した部材と同じ機能を有する部材については、同一符号を付してその説明を省略する。
【００６９】
サイドラビリンスシール部８５は、上述のサイドラビリンスシール部７５と同様に、略リング形状に形成されている。流延ドラム２７の両ドラム側端面には、サイドラビリンスシール部８５の中空部に嵌合する略円筒状のシール保持部８８が形成されており、サイドラビリンスシール部８５は、ドラム軸芯方向に位置調節可能である。このサイドラビンスシール部８５には、流延ドラム側とは反対側の面に複数のラビリンス溝８５ａ（図８及び図９参照）が形成されている。
【００７０】
また、サイドラビリンスシール部８５には、挿通穴８９が形成されている（図８及び図９参照）。各挿通穴８９にはそれぞれボルト９０が挿通され、各ボルト９０は、サイドラビリンスシール部８５を間に挟んだ状態でシール保持部８８の周面に形成されたボルト穴９１に螺合される。なお、各挿通穴８９は、流延ダイ２５に平行な方向にボルト９０の径よりも長く延びている。また、各挿通穴８９のシール外周面側の開口部８９ａは、ボルト９０の頭部が収納可能な大きさに形成されている。なお、本実施形態では、サイドラビリンスシール部８５に挿通穴８９が４つしか形成されていないが、３つ以下或いは５つ以上形成されていてもよい。
【００７１】
各ボルト９０を緩めることで、サイドラビリンスシール部８５をシール保持部８８に沿って位置調節することができる。これにより、サイドラビリンスシール部８５とケーシング１６ａとのクリアランスＣＬｓＡを調節することができる。つまり、挿通穴８９、ボルト９０、ボルト穴９１より本発明の間隙調節部を構成している。クリアランスＣＬｓＡは、流延室５７側に吹き出す乾燥風等の吹き出し風速ＶｓＡが５ｍ／ｓｅｃ以下、より好ましくは２ｍ／ｓｅｃ以下となるように調節される。クリアランスＣＬｓＡの調節が完了したら、各ボルト９０を締めることでサイドラビリンスシール部８５がシール保持部８８に固定される。
【００７２】
このように、サイドラビリンスシール部８５をシール保持部８８（流延ドラム２７）に位置調節可能に取り付けた場合においても、上記実施形態と同様に、流延ドラム２７の両ドラム側端面を介した乾燥風の流延室５７への進入が抑えられる。この場合には、サイドラビリンスシール部８５にラビリンス溝８５ａを形成する代わりに、ケーシング１６ａの内壁面にラビリンス溝を形成してもよい。
【００７３】
また、上記実施形態では、間隙調節機構７８（図５参照）を用いてサイドラビリンスシール部７５を位置調節するようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図１０に示すように、上述の挿通穴８９をサイドラビリンスシール部７５に形成すると共に、シール保持部７７に上述のボルト穴９１を形成して、ボルト９０を緩めてクリアランスを調整し、調整後にボルト９０を締めて固定する。
【００７４】
以下、本発明について行った実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例及び比較例に限定されるものではない。
【実施例】
【００７５】
フィルム製造に用いるドープ１２は、セルロースアシレート及び微量の可塑剤からなる溶質を、メチレンクラロイド、メタノール、及びブタノールの混合溶液からなる溶媒に溶解したものを用いた。ドープ１２中の溶質比率は、２２．０〜２３．０ｗｔ％となるように調製した。溶媒の組成（メチレンクラロイド：メタノール：ブタノール）は、８０〜９５ｗｔ％：７〜２０ｗｔ％：０〜３ｗｔ％に調製した。
【００７６】
次いで、図１に示すドープ製造設備１０を用いてフィルム１４の製造を行った。ドープ製造設備１１から適量のドープ１２を流延ダイ２５に送り、流延ダイ２５の吐出口からドープ１２を流延ビード１２ａとして回転する流延ドラム２７上に吐出させて、流延ドラム２７の周面に流延膜１３を形成した。ドープ１２（流延ビード１２ａ）の吐出量は、乾燥後のフィルム１４の膜厚が８０μｍとなるように調整した。また、減圧チャンバ３３により、流延ビード１２ａの背面側を−２０００〜−４００Ｐａで減圧した。
【００７７】
流延ダイ２５として、吐出口の長さが１９００ｍｍ、吐出口の幅（スリット幅）が１ｍｍのものを用いた。また、流延ダイ２５の吐出口とドラム周面とのクリアランスを５ｍｍに調整した。流延ドラム２７として、幅が２２８０ｍｍのものを用いた。また、流延ドラム２７の回転速度は５０ｍ／分以上とし、ドラム周面温度は０℃以下にした。更に、乾燥風循環装置６９を作動して、流延ドラム２７の回転速度（製膜速度）に応じた風量の乾燥風を乾燥室５８内に導入した。
【００７８】
流延膜１３が自己支持性を有するものとなった後、剥離ローラ２９により流延ドラム２７から剥ぎ取って湿潤フィルム３５を形成し、パスローラ３７を介して湿潤フィルム３５を渡り部１７に向けて搬送した。剥離点以降のフィルム搬送速度を流延ドラム２７の走行速度の１．０３〜１．２０倍に設定し、パスローラ３７の表面温度は２０℃以下に保たれるようにした。
【００７９】
湿潤フィルム３５は、パスローラ３７を介して渡り部１７に搬送した。なお、剥離後の湿潤フィルム３５は、流延ドラム２７による搬送時の１．０３〜１．２０倍の速度で搬送した。湿潤フィルム３５を、渡り部１７及びテンター装置１８で乾燥し、乾燥されたフィルム１４を耳切装置４１で耳切りした。次いで、フィルム１４を乾燥室２１内で乾燥し、冷却室２２で略室温まで冷却し、さらに強制除電装置４７及びナーリング付与ローラ４８により除電処理・ナーリング付与処理を施した後、巻取室２３内の巻取ローラ５０により巻き取った。
【００８０】
［実施例１〜１１］
下記表１に示すように、「実施例１」では上記条件で製膜を行った際に、サイドラビリンスシール部７５のクリアランスＣＬｓ（図５参照）からの乾燥風等の吹出し風速Ｖｓが５ｍ／ｓｅｃとなり、第２ラビリンスシール部６２のクリアランスＣＬ２から流延ビード１２ａ側への乾燥風等の吹出し風速Ｖ２が３ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。また、第１ラビリンスシール部６０、第３ラビリンスシール部６４からの乾燥風等の吹出し風速Ｖ１，Ｖ３が５ｍ／ｓｅｃ以下となるように、それぞれＣＬ１、ＣＬ３の大きさを調節した。
【００８１】
各吹出し風速の測定は、アネモマスター（日本カノマックス株式会社製）を用いて測定した。
【００８２】
「実施例２〜７」では、基本的に「実施例１」と同じ条件で製膜を行った。ただし、「実施例２」では、吹出し風速Ｖｓが３ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が１ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。「実施例３」では、吹出し風速Ｖｓが１ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が５ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。「実施例４」では、吹出し風速Ｖｓ，Ｖ２がそれぞれ１ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。
【００８３】
「実施例５」では、吹出し風速Ｖｓが５ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が５ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。「実施例６」では、吹出し風速Ｖｓが２ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が３ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。「実施例７」では、吹出し風速Ｖｓが３ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が４ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。
【００８４】
「実施例８」では、基本的には「実施例４」と同じ条件で製膜を行ったが、第１ラビリンスシール部６０のクリアランスＣＬ１からの乾燥風等の吹出し風速Ｖ１が６ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬ１の大きさを調節した。同様に「実施例９」では、吹出し風速Ｖ１が１０ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬ１の大きさを調節した。
【００８５】
「実施例１０」では、基本的には「実施例４」と同じ条件で製膜を行ったが、第３ラビリンスシール部６４のクリアランスＣＬ３からの吹出し風速Ｖ３が６ｍ／ｓｅｃとなるように、ＣＬ３の大きさを調節した。同様に「実施例１１」では、吹出し風速Ｖ３が１０ｍ／ｓｅｃとなるようにＣＬ３の大きさを調節した。
【００８６】
［比較例１〜１１］
下記表２に示すように、「比較例１〜６」では、基本的には「実施例１」と同じ条件で製膜を行ったが、吹出し風速Ｖｓ，Ｖ２のいずれか一方が５ｍ／ｓｅｃを超えるようにした。「比較例１」では、吹出し風速Ｖｓが７ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が３ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。「比較例２」では、吹出し風速Ｖｓが５ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が７ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。
【００８７】
「比較例３」では、サイドラビリンスシール部７５を設置しない、或いは流延ドラム２７から十分に遠ざけることで吹出し風速Ｖｓが２０ｍ／ｓｅｃになるようにした。また、吹出し風速Ｖ２が１ｍ／ｓｅｃになるようにＣＬ２の大きさを調節した。「比較例４」では、吹出し風速Ｖｓが１ｍ／ｓｅｃになるようにＣＬｓの大きさを調節した。また、第２ラビリンスシール部６２を設置しない、或いは流延ドラム２７から十分に遠ざけることで吹出し風速Ｖ２が２０ｍ／ｓｅｃになるようにした。「比較例５」では、吹出し風速Ｖｓが６ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が５ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。「比較例６」では、吹出し風速Ｖｓが５ｍ／ｓｅｃ、吹出し風速Ｖ２が６ｍ／ｓｅｃとなるように、それぞれＣＬｓ、ＣＬ２の大きさを調節した。
【００８８】
「比較例７」では、吹出し風速Ｖ１，Ｖ２は共に３ｍ／ｓｅｃであるが、第１ラビリンスシール部６０、第３ラビリンスシール部６４のクリアランスＣＬ１、ＣＬ３からの吹出し風速Ｖ１，Ｖ３がそれぞれ１２ｍ／ｓｅｃ、６ｍ／ｓｅｃとなるように、クリアランスＣＬ１、ＣＬ３の大きさを調節した。
【００８９】
「比較例８」では、基本的には「実施例４」と同じ条件で製膜を行ったが、吹出し風速Ｖ１が１１ｍ／ｓｅｃとなるように、第１ラビリンスシール部６０のクリアランスＣＬ１の大きさを調節した。同様に「比較例９」では、第１ラビリンスシール部６０を設置しない、或いは流延ドラム２７から十分に遠ざけることで吹出し風速Ｖ１が２０ｍ／ｓｅｃになるようにした。「比較例１０」では、基本的には「実施例４」と同じ条件で製膜を行ったが、吹出し風速Ｖ３が１１ｍ／ｓｅｃとなるように、第３ラビリンスシール部６４のクリアランスＣＬ３の大きさを調節した。同様に「比較例１１」では、第３ラビリンスシール部６４を設置しない、或いは流延ドラム２７から十分に遠ざけることで吹出し風速Ｖ３が２０ｍ／ｓｅｃになるようにした。
【００９０】
上述の実施例１〜１１、及び比較例１〜１１について、「ビード安定性」の評価を行った。「ビード安定性」の評価として流延ドラム２７の周面に接地する直前の流延ビード１２ａの揺れ幅を、流延ドラム２７の側面側から目視で評価した。
【００９１】
具体的には、流延ビード１２ａの揺れ幅が０．５ｍｍ未満のときは「◎」、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満のときは「○」、１．０ｍｍ以上１０．０ｍｍ未満のときは「×」、１０．０ｍｍ以上のときは「××」とする４段階で評価した。
【００９２】
【表１】
2008273179.tif 000003
【００９３】
【表２】
2008273179.tif 000004
【００９４】
上記表１及び表２に示すように、クリアランスＣＬｓ、ＣＬ２からの吹出し風速Ｖｓ，Ｖ２をそれぞれ５ｍ／ｓｅｃ以下に抑えるとともに、クリアランスＣＬ１，ＣＬ３からの吹出し風速をそれぞれ１０ｍ／ｓｅｃ以下に抑えることで、流延ビード１２ａが安定することが確認された。さらに、クリアランスＣＬｓ、ＣＬ１〜ＣＬ３からの吹出し風速Ｖｓ，Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３をそれぞれ２ｍ／ｓｅｃ、５ｍ／ｓｅｃ、３ｍ／ｓｅｃ、５ｍ／ｓｅｃ以下とすることで、流延ビード１２ａがより安定することが確認された。
【００９５】
また、流延ビード１２ａから横方向（サイド遮風板５６に向かう方向：図３参照）に１５０ｍｍにずれた位置における溶媒ガスの露点をＯＰＴＩＣＡ（米国ゼネラルイースタン社製）で測定した結果、比較例１〜１１のガス露点が−１５℃以下になるのに対して、実施例１〜１１のガス露点は−１５℃〜０℃の範囲内になることが確認された。つまり、溶媒ガスの露点が上がることで、流延ビード１２ａからの溶媒ガスの蒸発が抑えられ、流延ビード１２ａが安定することが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】フィルム製造設備の概略図である。
【図２】流延装置の断面図である。
【図３】流延装置の斜視図である。
【図４】図２中のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】サイドラビリンスシール部の拡大図である。
【図６】第２仕切り板、第２ラビリンスシール部の側面拡大図である。
【図７】サイドラビリンスシール部が流延ドラムに取り付けられた他の実施形態の流延装置の断面図である。
【図８】図７のサイドラビリンスシール部の斜視図である。
【図９】図７のサイドラビリンスシール部の拡大図である。
【図１０】ボルトで位置調節可能に固定された他の実施形態のサイドラビリンスシール部の拡大図である。
【符号の説明】
【００９７】
１０  フィルム製造設備
１２  ドープ
１３  流延膜
１４  フィルム
１６，８０  流延装置
２５  流延ダイ
２７  流延ドラム
２９  剥離ローラ
３３  減圧チャンバ
５３  第１仕切り板
５４  第２仕切り板
５５  第３仕切り板
５６  サイド遮風板
５７  流延室
５８  乾燥室
５９  剥離室
６０  第１ラビリンスシール部
６２  第２ラビリンスシール部
６４  第３ラビリンスシール部
６７  乾燥風供給ダクト
６８  乾燥風排気ダクト
６９  乾燥風循環装置
７５，８５  サイドラビリンスシール部
７８  間隙調節機構
【図１】
2008273179.tif 000005
【図２】
2008273179.tif 000006
【図３】
2008273179.tif 000007
【図４】
2008273179.tif 000008
【図５】
2008273179.tif 000009
【図６】
2008273179.tif 000010
【図７】
2008273179.tif 000011
【図８】
2008273179.tif 000012
【図９】
2008273179.tif 000013
【図１０】
2008273179.tif 000014