(57)【要約】【課題】ヘッド付帯装置の加減速移動に伴う、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出精度の低下を防止することができる液滴吐出装置等を提供する。【解決手段】ワークＷに対し描画を行なう液滴吐出装置１において、ワークＷがセットされるワークステージ１０と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を主走査方向に移動させるヘッド移動手段２６と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に配管・配線接続されたヘッド付帯装置２７を搭載すると共に、配管・配線の接続状態を維持しつつ複数の機能液滴吐出ヘッド３０の移動に併せてヘッド付帯装置２７を主走査方向に移動させる付帯移動手段２８と、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８の駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、複数の機能液滴吐出ヘッド３０による主走査の開始に際し、ヘッド移動手段２６に対し付帯移動手段２８を先行させてスタートさせる。【選択図】図１
2008225248.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向に移動させながら機能液滴を吐出して、ワークに対し描画を行なう液滴吐出装置において、
ワークがセットされるワークステージと、
前記ワークステージの上方を副走査方向に延在するように配設され、前記複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含むヘッド付帯装置を搭載すると共に、前記配管・配線の物理的接続状態を維持しつつ前記複数の機能液滴吐出ヘッドの移動に併せて前記ヘッド付帯装置を主走査方向に移動させる付帯移動手段と、
前記ヘッド移動手段および前記付帯移動手段の駆動を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査の開始に際し、前記ヘッド移動手段に対し前記付帯移動手段を先行させてスタートさせることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記ヘッドユニットによる主走査の終了に際し、前記付帯移動手段に対し前記ヘッド移動手段を先行させて停止させることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査中、前記ヘッド移動手段と前記付帯移動手段とを同速で駆動することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記ヘッド移動手段は、一対の主スライダと、前記一対の主スライダ間に掛け渡され、前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した主ブリッジフレームと、を有し、
前記付帯移動手段は、一対の副スライダと、前記一対の副スライダ間に掛け渡され、前記ヘッド付帯装置を搭載した副ブリッジフレームと、を有し、
前記副ブリッジフレームと前記各副スライダとの間には、防振部材がそれぞれ介設されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ワークステージが、前記主走査方向に並べて固定的に配設された一対のもので構成され、
一対の前記ワークステージに対し、一方でワークに描画を行っている間に他方でワークの除給材を行う除給材手段、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
ワークの上方を副走査方向に延在するように配設され、搭載したインクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させながらワークに描画を行うヘッド移動手段と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含むヘッド付帯装置を搭載すると共に、前記配管・配線の物理的接続状態を維持しつつ前記複数の機能液滴吐出ヘッドの移動に併せて前記ヘッド付帯装置を主走査方向に移動させる付帯移動手段と、を備えた液滴吐出装置の制御方法であって、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査の開始に際し、前記ヘッド移動手段に対し前記付帯移動手段を先行させてスタートさせると共に、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査の終了に際し、前記付帯移動手段に対し前記ヘッド移動手段を先行させて停止させることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項９】
請求項７に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項８に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行なう液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置に組み込まれるヘッドユニットとして、ワークに対し、機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッドと、各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給系と、各機能液滴吐出ヘッドを駆動させるヘッド電装系と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このヘッドユニットを組み込んだ液滴吐出装置は、ヘッドユニットを副走査方向に移動させると共に、ワークを搭載するワークステージを主走査方向に移動させて、ワークに描画を行なうよう構成されている。
【特許文献１】特開２００３−１２７３９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記の構成において、液滴吐出装置は、ヘッドユニットに対し、ワークステージを主走査方向に移動させているが、これは、ヘッドユニットの総重量が重く（例えば、７ｋｇ程度）、加減速時において、主走査方向にスムーズに移動させることができないためである。この点において、生産性の配慮から、ワークステージに対し、ヘッドユニットを移動させようとする場合には、このヘッドユニットを、描画に必須の複数の機能液滴吐出ヘッドと、それ以外のもの（機能液供給系やヘッド電装系等）を搭載したヘッド付帯装置とに分け、複数の機能液滴吐出ヘッドとヘッド付帯装置との間を配管・配線接続し、複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させて、ワークに描画を行なうことが考えられている。このとき、複数の機能液滴吐出ヘッドの主走査中に、ヘッド付帯装置を加減速移動させてしまうと、ヘッド付帯装置の移動に伴う振動が、複数の機能液滴吐出ヘッドに伝達してしまい、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出精度が低下してしまう問題が考えられる。
【０００４】
本発明は、ヘッド付帯装置の加減速移動に伴う、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出精度の低下を防止することができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の制御方法、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを、主走査方向に移動させながら機能液滴を吐出して、ワークに対し描画を行なう液滴吐出装置において、ワークがセットされるワークステージと、ワークステージの上方を副走査方向に延在するように配設され、複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させるヘッド移動手段と、複数の機能液滴吐出ヘッドに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含むヘッド付帯装置を搭載すると共に、配管・配線の物理的接続状態を維持しつつ複数の機能液滴吐出ヘッドの移動に併せてヘッド付帯装置を主走査方向に移動させる付帯移動手段と、ヘッド移動手段および付帯移動手段の駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査の開始に際し、ヘッド移動手段に対し付帯移動手段を先行させてスタートさせることを特徴とする。
【０００６】
また、この場合、制御手段は、ヘッドユニットによる主走査の終了に際し、付帯移動手段に対しヘッド移動手段を先行させて停止させることが、好ましい。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置の制御方法は、ワークの上方を副走査方向に延在するように配設され、搭載したインクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを主走査方向に移動させながらワークに描画を行うヘッド移動手段と、複数の機能液滴吐出ヘッドに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含むヘッド付帯装置を搭載すると共に、配管・配線の物理的接続状態を維持しつつ複数の機能液滴吐出ヘッドの移動に併せてヘッド付帯装置を主走査方向に移動させる付帯移動手段と、を備えた液滴吐出装置の制御方法であって、複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査の開始に際し、ヘッド移動手段に対し付帯移動手段を先行させてスタートさせると共に、複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査の終了に際し、付帯移動手段に対しヘッド移動手段を先行させて停止させることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、描画処理の開始時において、付帯移動手段を先に駆動開始させた後、ヘッド移動手段を駆動開始させることで、ヘッド移動手段は、付帯移動手段のスタート時における振動の影響を、主走査中に受けることはない。同様に、描画処理の終了時において、ヘッド移動手段を先に駆動停止させた後、付帯移動手段を駆動停止させることで、ヘッド移動手段は、付帯移動手段の停止時おける振動の影響を、主走査中に受けることはない。これにより、ヘッド付帯装置の加減速移動に伴う、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出精度の低下を防止することができる。
【０００９】
この場合、制御手段は、複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査中、ヘッド移動手段と付帯移動手段とを同速で駆動することが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドによる主走査中において、付帯移動手段が加減速移動することが無いため、複数の機能液滴吐出ヘッドは振動による影響を受けることがなく、描画処理を良好に行なうことができる。
【００１１】
この場合、ヘッド移動手段は、一対の主スライダと、一対の主スライダ間に掛け渡され、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した主ブリッジフレームと、を有し、付帯移動手段は、一対の副スライダと、一対の副スライダ間に掛け渡され、ヘッド付帯装置を搭載した副ブリッジフレームと、を有し、副ブリッジフレームと各副スライダとの間には、防振部材がそれぞれ介設されていることが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、副ブリッジフレームに搭載されたヘッド付帯装置が移動により振動したとしても、この振動を防振部材が吸収するため、主ブリッジフレームに搭載された複数の機能液滴吐出ヘッドに、振動が伝わることが無い。これにより、振動による吐出精度の低下を更に抑制することができる。
【００１３】
この場合、ワークステージが、主走査方向に並べて固定的に配設された一対のもので構成され、一対のワークステージに対し、一方でワークに描画を行っている間に他方でワークの除給材を行う除給材手段、を更に備えたことが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、一方のワークの描画中に、他方のワークの除給材を行うことができるため、ワークへの描画処理におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００１５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１６】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display, ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display, ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００１８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００１９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のフラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を、複数の機能液滴吐出ヘッドに導入し、ワーク上に機能液による成膜部を形成して、カラーフィルタ等を製造するものである。
【００２１】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ワークＷに対し描画処理を行なう描画装置２と、描画装置２を内部に収容すると共に、クリーンルームを構成するチャンバ装置３と、チャンバ装置３の側壁に設けられた除給材開口（図示省略）を介して、ワークＷの除給材を行う除給材装置４と、で構成されている。
【００２２】
描画装置２は、石定盤上に配置されており、ワークＷがセットされると共に主走査方向に並べて配設された一対のワークステージ１０と、一対のワークステージ１０の間に配設され、複数の機能液滴吐出ヘッド３０の吐出性能を検査する吐出検査ユニット１１と、吐出検査ユニット１１と一対のワークステージ１０との間に配設されると共に、一対のワークステージ１０の主走査方向両外側に配設された４つのフラッシングユニット１２と、主走査方向の最外側に配設されたメンテナンスユニット１３と、これらを跨ぐように設けられ、Ｒ色・Ｇ色・Ｂ色の機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド３０を搭載した描画ユニット１４と、を備えており、図示しない制御コンピュータにより装置全体が統括制御されている。また、描画装置２には、描画後のワークＷの上方を主走査方向に移動して、Ｒ色・Ｇ色・Ｂ色の機能液の混色を検査する混色検査ユニット１５と、ワークＷの上部に配置され、ワークに形成されたアライメントマークを撮像する４つのアライメントカメラ１６（図２参照）と、ワークＷの除材時において、ワークＷの除電を行なう除電ユニット（図示省略）と、が更に設けられている。
【００２３】
図３に示すように、各ワークステージ１０は、ワークＷがセットされる吸着テーブル２０と、吸着テーブル２０をθ方向に回転させるθテーブル２１と、吸着テーブル２０を昇降させるＺ軸テーブル２２と、を有しており、θテーブル２１およびＺ軸テーブル２２は、制御コンピュータにより駆動制御されている。これにより、上記の各アライメントカメラ１６による撮像結果に基づいて、制御コンピュータによりθテーブル２１を回転させることで、セットされたワークＷのθ補正を行うと共に、Ｚ軸テーブル２２を上下に微小移動させて、セットされたワークＷの表面と機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面との距離（ワークギャップ）を微調整する。なお、詳細は後述するが、一対のワークステージ１０上にセットされたθ補正後の各ワークＷは、副走査方向に位置ずれしており、この場合、制御コンピュータは、一方のワークＷから他方のワークＷへ描画処理の移行時において、後述する複数のヘッドユニット２５を、位置ずれした分、副走査方向に移動させて位置補正した後、描画処理を行うよう制御する。
【００２４】
図１ないし図４に示すように、描画ユニット１４は、複数のヘッドユニット２５と、複数のヘッドユニット２５を搭載すると共に、搭載した複数のヘッドユニット２５を主走査方向および副走査方向に移動させるヘッド移動手段２６と、各ヘッドユニットに配管・配線接続された機能液供給系およびヘッド電装系を含む複数のヘッド付帯装置２７と、複数のヘッド付帯装置２７を主走査方向に移動させる付帯移動手段２８と、を有しており、制御コンピュータは、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８を制御して、複数のヘッドユニット２５の移動に伴って、複数のヘッド付帯装置２７が追従するよう移動させている。なお、詳細は後述するが、描画処理の開始時におけるヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８の駆動開始は、付帯移動手段２８が先行して移動した後、ヘッド移動手段２６が移動するよう構成され、また、駆動停止は、ヘッド移動手段２６が先行して停止した後、付帯移動手段２８が停止するよう構成されている。
【００２５】
各ヘッドユニット２５は、ワークＷに対し、機能液滴を吐出する複数の機能液滴吐出ヘッド３０と、複数の機能液滴吐出ヘッド３０を位置決めして装着するキャリッジプレートと、から構成されている。つまり、複数の機能液滴吐出ヘッド３０は、キャリッジプレートを介してヘッド移動手段２６に搭載されている。
【００２６】
ヘッド移動手段２６は、複数のヘッドユニット２５を主走査方向に移動させる主走査移動手段３５と、複数のヘッドユニット２５を主走査方向に直交する副走査方向に移動させる副走査移動手段３６と、を有しており、複数のヘッドユニット２５を主走査方向および副走査方向に移動自在に搭載している。
【００２７】
図４に示すように、主走査移動手段３５は、ガントリー構造となっており、一対のワークステージ１０を挟んで主走査方向に延在するように設けられた一対の主ガイドレール４０と、一対の主ガイドレール４０上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の主スライダ４１と、一対の主スライダ４１上に架設された主ブリッジフレーム４２と、を備えており、一対の主スライダ４１は、図示しないリニアモータを駆動源として、付帯移動手段２８に比して高精度に移動可能な構成となっている。なお、詳細は後述するが、主走査移動手段３５は、ワークＷの描画速度に比して、各ワークＷ間の移動速度が速くなるよう構成されている。
【００２８】
副走査移動手段３６は、主ブリッジフレーム４２に配設されており、各ヘッドユニット２５は、副走査移動手段３６を介して主ブリッジフレーム４２に搭載されている。これにより、複数のヘッドユニット２５は、副走査方向に移動可能な構成となっている。
【００２９】
各ヘッド付帯装置２７は、各機能液滴吐出ヘッド３０に機能液を供給するためのサブタンク等を含む機能液供給系と、各機能液滴吐出ヘッド３０に機能液滴を吐出するための吐出駆動波形を印加するためのヘッド基板等を含むヘッド電装系と、から構成されており、ヘッドユニット２５の重量に比して、重くなるよう構成されている。ヘッドユニット２５とヘッド付帯装置２７との間は、機能液供給チューブ４５により配管接続されていると共に、配線ケーブル４６により配線接続されており、複数の機能液滴吐出ヘッド３０に、機能液供給チューブ４５を介して機能液が供給されると共に、配線ケーブル４６を介して吐出駆動波形が印加されている。
【００３０】
付帯移動手段２８は、ヘッドユニット２５およびヘッド付帯装置２７間の配管・配線の物理的接続状態を維持する離間距離を保ちつつ、ヘッド移動手段２６に追従して移動するよう構成されている。付帯移動手段２８も、上記の主走査移動手段と同様にガントリー構造となっており、ヘッド移動手段２６の移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。このため、ヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８は、互いに干渉することなく移動することができる。付帯移動手段２８は、一方の主ガイドレール４０の副走査方向外側に配設されると共に他方の主ガイドレール４０の上部に給材用間隙４８を存して配設された一対の副ガイドレール５０と、一対の副ガイドレール上を主走査方向にスライド自在に移動する一対の副スライダ５１と、一対の副スライダ５１上に架設された副ブリッジフレーム５２と、を備えており、一対の副スライダ５１は、一対の主スライダ４１と同様のリニアモータを駆動源として、主走査方向に移動するよう構成されている。また、副ブリッジフレーム５２は、その両脚部にそれぞれ防振部材５５が介設されており、ヘッド付帯装置２７の移動に伴う振動を吸収している。
【００３１】
図３に示すように、吐出検査ユニット１１は、各機能液滴吐出ヘッド３０からの検査吐出を受けるよう副走査方向に帯状に延在する検査シート５７と、検査シート５７を吐出位置と撮像位置との間で昇降させるシート昇降機構（図示省略）と、検査シート５７に吐出・着弾した機能液滴を撮像する検査用カメラ５８と、撮像位置まで降下させた検査シート５７に検査用カメラ５８を臨ませ、これを副走査方向に移動させるカメラ移動機構（図示省略）と、を有している。そして、吐出検査ユニット１１による吐出性能の検査は、ワークＷへの描画処理に先立って行なわれるよう構成されている。
【００３２】
吐出検査ユニット１１により機能液滴吐出ヘッド３０の吐出性能を検査する場合、先ず、吐出位置に臨んだ検査シート５７に対し、その上方から各機能液滴吐出ヘッド３０により機能液滴を吐出して、検査シート５７に機能液滴を着弾させた後、シート昇降機構により、検査シート５７を撮像位置まで降下させる。撮像位置に臨んだ検査シート５７に対し、今度は、カメラ移動機構により、検査用カメラ５８を退避位置から主走査方向に移動させて、検査シート５７の直上位置に臨ませる。この後、検査用カメラ５８を副走査方向に移動させながら、検査シート５７に着弾した機能液滴を撮像し、この撮像結果から、各機能液滴吐出ヘッド３０の吐出状態を検査する。このとき、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド３０がある場合には、ヘッドユニット２５をメンテナンスユニット１３に臨ませて、吐出不良を解消し、再び吐出状態を検査する。そして、検査後は、検査シート５７の検査済み部分が巻き取られ、新たに繰り出された未描画部分に対して、同様に吐出検査が行われるようになっている。
【００３３】
各フラッシングユニット１２は、複数の機能液滴吐出ヘッド３０から捨て吐出される機能液滴を受けるものであり、複数の機能液滴吐出ヘッド３０は、ワークＷへの描画前に、各フラッシングユニット１２に捨て吐出を行って、機能液滴の吐出を安定させる。４つのフラッシングユニット１２は、一対のワークステージ１０間に配設された一対の中間部フラッシングユニット１２と、一対のワークステージ１０の主走査方向外側に配設された一対の端部フラッシングユニット１２と、から構成されている。このため、描画処理前にヘッドユニット２５から捨て吐出を行うことにより、吐出状態を安定させることができるため、適切にワークＷに描画を行うことが可能となる。また、吐出検査前にも、ヘッドユニット２５から捨て吐出を行うことで吐出状態を安定させることができるため、良好な吐出検査を行うことができる。
【００３４】
図４に示すように、メンテナンスユニット１３は、各機能液滴吐出ヘッド３０内で増粘した機能液を除去するための吸引を行うと共に、各機能液滴吐出ヘッド３０を保管するために各機能液滴吐出ヘッド３０にキャッピングする吸引装置６４と、吸引装置６４の副走査方向外側に配設され、機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面を副走査方向に移動して払拭するワイピング装置６５と、を備えている。メンテナンスユニット１３は、主走査方向の最外端に配置され、主走査方向に移動するヘッドユニット２５のホーム位置となっており、ホーム位置に臨んだヘッドユニット２５の直下にメンテナンスユニット１３が配置されている。
【００３５】
吸引装置６４は、複数のヘッドユニット２５に対応するよう複数の個別吸引ユニット６８からなっており、各機能液滴吐出ヘッド３０の吸引を行う場合、吸引装置６４は、メンテナンスユニット１３に臨んだ複数のヘッドユニット２５に対し、各個別吸引ユニット６８をそれぞれ上方に移動させて、個別にヘッドユニット２５の吸引を行うことが可能なよう構成されている。なお、各機能液滴吐出ヘッド３０に対し、キャッピングを行う場合は、全ての個別吸引ユニット６８を上方に移動させて、全ての機能液滴吐出ヘッド３０をキャッピングする。
【００３６】
ワイピング装置６５により、各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面をワイピングする場合は、ワイピング装置６５が副走査方向に移動可能となるよう吸引装置６４が下方に移動する。この後、ワイピング装置６５が、副走査方向に移動して、各機能液滴吐出ヘッド３０のノズル面をワイピングする。
【００３７】
混色検査ユニット１５は、一方の副ガイドレール５０の副走査方向外側に設けられ、主走査方向に延在する混色用ガイドレール７０と、混色用ガイドレール７０上を主走査方向に移動する混色用スライダ７１と、混色用スライダ７１上に立設された断面逆「Ｌ」字状の片持ちフレーム７２と、セットされたワークＷの上方に位置するよう片持ちフレーム７２に取り付けられた混色用カメラ７３と、を備えており、付帯移動手段２８が移動する移動軌跡の上方を移動するよう構成されている。混色検査ユニット１５は、描画後のワークＷの混色を検査すべく、混色用カメラ７３を主走査方向に移動させて、ワークＷの上方から撮像し、検査結果に基づいて、混色によるワークＷの良品・不良品を選別する。
【００３８】
除電ユニットは、除材時において、各ワークステージ１０上にセットされたワークＷを除電するものであり、軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線照射手段により、ワークＷに対し、軟Ｘ線を照射することで、ワークＷの除電を行っている。
【００３９】
除給材装置４は、ワークＷの除給材を行う単一の移載ロボット７５と、移載ロボット７５を主走査方向に移動させて、一対のワークステージ１０に交互に臨ませるロボット移動手段７６と、を有しており、制御コンピュータにより、移載ロボット７５およびロボット移動手段７６が制御されている。ロボット移動手段７６は、主走査方向に延在するよう配設された一対の移動レール７７と、移動レール７７上を主走査方向に移動する移動スライダ７８と、を有しており、移動スライダ７８上に移載ロボット７５が搭載されている。移載ロボット７５は、チャンバ装置に形成された除給材開口を介して、一方のワークＷの描画中に、他方のワークＷの除給材を行っている。
【００４０】
ここで、図５を参照して、液滴吐出装置１によるワークＷへの一連の描画処理について説明する。まず、一方のワークステージ１０にセットされたワークＷの描画中において（図５（ａ）参照）、除給材装置４により、他方のワークステージ１０にワークＷをセットすると共に（図５（ｂ）参照）、アライメントカメラ１６により、ワークＷに形成されたアライメントマークを撮像して、ワークＷのθ補正を行う（図５（ｃ）参照）。これにより、一方のワークＷの描画中に、他方のワークＷのθ補正を終了させておくことで、タイムロスなく次のワークＷの描画処理へ移行することができる。この場合、θ補正後の他方のワークＷは、描画中の一方のワークＷに対し、副走査方向に位置ずれした状態でセットされており、アライメントカメラ１６の撮像結果に基づいて、位置ずれ量が測定される。
【００４１】
そして、一方のワークＷの描画処理が終了間際になると、すなわち、一対のワークステージ１０間に向かって、複数のヘッドユニット２５の最終パス描画が行われると、この複数のヘッドユニット２５の描画動作に追従して、混色検査ユニット１５により描画後のワークＷの混色が検査される（図５（ｃ）参照）。この後、一方のワークＷの描画が終了すると、複数のヘッドユニット２５は、一方のワークＷから他方のワークＷへ描画処理を移行する（図５（ｄ）参照）。このとき、各ワークＷ間におけるヘッドユニット２５の移動速度は、ワークＷへの描画速度に比して高速となるよう、制御コンピュータにより主走査移動手段３５が制御される。これにより、安定的な吐出が不必要な非描画区間において、ヘッドユニット２５を高速に移動させることでタクトタイムを短縮することができる。また、制御コンピュータは、副走査移動手段３６を制御して、上記の位置ずれ量分、複数のヘッドユニット２５を副走査方向に移動させることで、ワークＷに対し、ヘッドユニット２５を適切に臨ませることができる。
【００４２】
次に、他方のワークＷの描画中において、描画後の一方のワークＷは、除電ユニットにより除電を行った後、除給材装置４により除材されると共に、新たなワークＷを一方のワークステージ１０上に給材する。
【００４３】
次に、描画開始時および終了時において、制御コンピュータにより移動制御されるヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８について説明する。上記したように、描画処理の開始時におけるヘッド移動手段２６および付帯移動手段２８の駆動開始は、付帯移動手段２８が先行して移動した後、ヘッド移動手段２６が移動するよう構成され、また、駆動停止は、ヘッド移動手段２６が先行して停止した後、付帯移動手段２８が停止するよう構成されている。
【００４４】
具体的に説明すると、ワークＷに対し、ヘッドユニット２５を往復動作させて描画処理を行う場合、ヘッド移動手段２６は、ヘッドユニット２５を、所定の描画速度まで加速させた後、当該描画速度を保ちつつ、ワークＷに描画処理を行い、ワークＷへの描画処理が終了すると、ヘッドユニット２５を減速させる。一方、付帯移動手段２８は、ヘッド移動手段２６の駆動よりも早く駆動する。そして、ヘッド付帯装置２７を、上記の描画速度まで加速させた後、ヘッドユニットによる描画中において、当該描画速度を保ちつつ、ヘッドユニット２５によるワークＷへの描画処理の終了に伴い、ヘッド付帯装置２７を減速させ、ヘッド移動手段２６が停止した後、付帯移動手段２８を停止させる。つまり、付帯移動手段２８は、ヘッドユニット２５の描画中において、ヘッドユニット２５の描画速度と同速となるよう、移動するよう構成されている。これにより、ヘッドユニット２５の描画中において、付帯移動手段２８が加減速移動することが無いため、ヘッドユニット２５は振動による影響を受けることがなく、描画処理を良好に行なうことができる。
【００４５】
以上の構成によれば、描画処理の開始時において、付帯移動手段２８を先に駆動開始させた後、ヘッド移動手段２６を駆動開始させることで、ヘッド移動手段２６は、付帯移動手段２８のスタート時における振動の影響を、描画中に受けることはない。同様に、描画処理の終了時において、ヘッド移動手段２６を先に駆動停止させた後、付帯移動手段２８を駆動停止させることで、ヘッド移動手段２６は、付帯移動手段２８の停止時おける振動の影響を、描画中に受けることはない。これにより、ヘッド付帯装置２７の加減速移動に伴う、複数の機能液滴吐出ヘッドの吐出精度の低下を防止することができる。
【００４６】
次に、本実施形態の液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００４７】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００４８】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド３０により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００４９】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００５０】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド３０によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド３０を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００５１】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００５２】
図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５３】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５５】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５６】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００５７】
実施形態の液滴吐出装置は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド３０で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド３０で行うことも可能である。
【００５８】
図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００５９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００６０】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６１】
図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００６２】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６３】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６４】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６５】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００６６】
次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００６７】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００６８】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００６９】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００７０】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００７１】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００７２】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７３】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７４】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７５】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００７６】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００７７】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００７８】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００７９】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００８０】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド３０を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００８１】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１の各ワークステージ１０に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００８２】
図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド３０から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８３】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８４】
そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８５】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００８６】
同様に、機能液滴吐出ヘッド３０を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８７】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００８８】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００８９】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００９０】
次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００９１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００９２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１の各ワークステージ１０に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド３０により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９５】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【００９６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド３０から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【００９７】
次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【００９８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【００９９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１００】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置を用いて形成することができる。
【０１０２】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１０３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の外観模式図である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出装置の上面模式図である。
【図３】副走査方向から見た液滴吐出装置の模式図である。
【図４】主走査方向から見た液滴吐出装置の模式図である。
【図５】液滴吐出装置の一連の描画処理における説明図である。
【図６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２１】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２２】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２３】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０５】
１…液滴吐出装置  ２…描画装置  ４…除給材装置  １０…ワークステージ  １１…吐出検査ユニット  １２…フラッシングユニット  １３…メンテナンスユニット  １５…混色検査ユニット  １６…アライメントカメラ  ３０…機能液滴吐出ヘッド  ３５…主走査移動手段  ３６…副走査移動手段  ７５…移載ロボット  ７６…ロボット移動手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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