(57)【要約】【課題】構成部品の過熱による発煙時に初期段階で当該電子線照射装置を自動停止させることにより、安全性を向上させるようにした電子線照射装置用発煙検出装置を提供する。【解決手段】本発明の電子線照射装置用煙検出装置は、排気配管１の所定位置に排気配管１と直交する方向にそれぞれ設けられた分岐菅２−１，２−２と、分岐菅２−１，２−２の開放端部にそれぞれ設けられた透明樹脂製の覗き窓３と、覗き窓３の一方の外周近傍に設けられた発光部４ａおよび覗き窓３の他方の外周近傍に設けられた受光部４ｂより成る光量センサ４と、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量が、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙時に対応する停止設定値以下になったとき、自動停止信号を前記電子線照射装置に出力して自動停止させるアンプユニット５とを具備して成る。【選択図】図１
2008157689.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管を介して検出して当該電子線照射装置を自動停止させる電子線照射装置用煙検出装置であって、
前記排気配管の所定位置に該排気配管と直交する方向にそれぞれ設けられた分岐菅と、
前記分岐菅の開放端部にそれぞれ設けられた透明樹脂製の覗き窓と、
前記覗き窓の一方の外周近傍に設けられた発光部および前記覗き窓の他方の外周近傍に設けられた受光部より成る光量センサと、
前記発光部から出射して前記排気配管内を通過して前記受光部で受光される前記光量センサの検出光量が停止設定値以下になったとき、自動停止信号を前記電子線照射装置に出力するアンプユニットと、
を具備して成ることを特徴とする電子線照射装置用煙検出装置。
【請求項２】
前記光量センサの検出光量が前記停止設定値よりも大きい値に設定した警報設定値以下になったとき、所定の警報発生装置を作動させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の電子線照射装置用煙検出装置。
【請求項３】
前記光量センサはレーザーセンサであることを特徴とする請求項１または２に記載の電子線照射装置用煙検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管を介して検出して当該電子線照射装置を自動停止させる電子線照射装置用煙検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子線照射装置の従来例としては、電子を放出するフィラメントと、電子を加速する加速電極とを真空容器のネック部に設け、コーン部の前面に金属薄膜を設け、加速電極と金属薄膜との間の真空容器の外側に電子銃を偏向する偏向コイルを設け、フィラメントと加速電極との間に配置した制御電極に印加する制御電圧を変化させることにより、電子線照射装置から照射される電子線の強度や照射量を調整し得るように構成したもの（例えば、特許文献１、特許文献２参照）がある。
【０００３】
【特許文献１】特開平１−１４６９２９号公報
【特許文献２】特開平１−１６２１９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来例の電子線照射装置には、電子線照射に伴い発生するオゾンを装置外部に排出するための排気配管は設けられているが、電子線照射装置の構成部品の過熱に起因して電子線照射装置の内部から発煙した場合にその発煙を検出する発煙検出装置は設けられていない。そのため、電子線照射装置の構成部品が過熱して電子線照射装置の内部から発煙したときに作業者がその発煙に気付いた場合には電子線照射装置を手動停止させることができるが、作業者がその発煙に気付かなかった場合には過大な熱負荷によって電子線照射装置が異常停止するおそれがあり、異常停止時には当該電子線照射装置が熱的なダメージを受けてしまう。
【０００５】
本発明は、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙時には初期段階で当該電子線照射装置を自動停止させることにより、安全性を向上させるようにした電子線照射装置用発煙検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の電子線照射装置用発煙検出装置は、電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管を介して検出して当該電子線照射装置を自動停止させる電子線照射装置用煙検出装置であって、前記排気配管の所定位置に該排気配管と直交する方向にそれぞれ設けられた分岐菅と、前記分岐菅の開放端部にそれぞれ設けられた透明樹脂製の覗き窓と、前記覗き窓の一方の外周近傍に設けられた発光部および前記覗き窓の他方の外周近傍に設けられた受光部より成る光量センサと、前記発光部から出射して前記排気配管内を通過して前記受光部で受光される前記光量センサの検出光量が停止設定値以下になったとき、自動停止信号を前記電子線照射装置に出力するアンプユニットと、を具備して成ることを特徴とする。
【０００７】
上記本発明において、前記光量センサの検出光量が前記停止設定値よりも大きい値に設定した警報設定値以下になったとき、所定の警報発生装置を作動させるようにすることが、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙の進行が予測される発煙直後に警報を発して、作業者に電子線照射装置の手動停止の措置を促す上で好ましい。
上記本発明において、前記光量センサはレーザーセンサであることが、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙を高精度で検出する上で好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の電子線照射装置用発煙検出装置によれば、排気配管の所定位置には該排気配管と直交する方向に分岐菅がそれぞれ設けられており、分岐菅の開放端部には透明樹脂製の覗き窓がそれぞれ設けられており、前記覗き窓の一方の外周近傍には光量センサの発光部が設けられるとともに前記覗き窓の他方の外周近傍には光量センサの受光部が設けられており、前記発光部から出射して前記排気配管内を通過して前記受光部で受光される前記光量センサの検出光量が停止設定値以下になったとき、アンプユニットが前記電子線照射装置に自動停止信号を出力するから、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙時には、電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管を介して検出して初期段階で当該電子線照射装置を自動停止させることができるので、当該電子線照射装置が熱的なダメージを受けることが防止される。したがって、安全性を向上させるようにした電子線照射装置用発煙検出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき詳細に説明する。
【００１０】
図１は本発明の電子線照射装置用発煙検出装置の第１実施形態の構成を例示する図である。本実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置は、電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管を介して検出して当該電子線照射装置を自動停止させる機能を有しており、図１に示すように、電子線照射装置（ここでは図示せず）にオゾンを排出するために設けられた排気配管１と、排気配管１の所定位置（図示例では中間部）に、排気配管１と直交する方向にそれぞれ設けられた分岐菅２−１，２−２と、分岐菅２−１，２−２の開放端部にそれぞれ設けられた透明樹脂製（例えばアクリル樹脂製）の覗き窓３と、図示下側の覗き窓３の外周近傍に設けられた発光部４ａおよび図示上側の覗き窓３の外周近傍に設けられた受光部４ｂより成る光量センサ４と、発光部４ａおよび受光部４ｂに電気的に接続され、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量が停止設定値以下になったとき、自動停止信号を前記電子線照射装置に出力するアンプユニット５とを具備して成る。上記光量センサ４としては、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙を高精度で検出するために、レーザーセンサを用いることが好ましい。なお、上記アンプユニット５には電源６が接続されている。
【００１１】
次に、本実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置の作用を説明する。
電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙が発生していないとき（正常時）には、オゾンを含む排気が排気配管１を図１に矢印で示す排気流れ方向（図示左方向）に排出されるので、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量は、正常光量（大きい光量）になっている。
【００１２】
電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙が発生したとき（発煙時）には、オゾンおよび煙を含む排気が排気配管１を図１に矢印で示す排気流れ方向（図示左方向）に排出されるので、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量は、正常光量よりも著しく減少した光量（発煙時光量）になる。そこで、本実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置では、発煙発生の初期段階に相当する停止設定値を予め設定しておき、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量が停止設定値以下になったときにアンプユニット５から当該電子線照射装置に自動停止信号を出力するように構成している。
これにより、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙が発生した場合であっても、電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管１を介して検出して、発煙の初期段階（すなわち、当該構成部品から発煙しているが発火にまでは至らない時点）で当該電子線照射装置を自動停止させることができるので、異常停止時のように当該電子線照射装置が熱的なダメージを受けることを確実に防止することができる。したがって、安全性を向上させるようにした電子線照射装置用発煙検出装置を提供することができる。
【００１３】
図２は本発明の電子線照射装置用発煙検出装置の第２実施形態の構成を例示する図である。本実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置は、上記第１実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置に対して、アンプユニット５から出力される警報信号に対応して警報を発する警報発生装置７を追加する変更を加えたものであり、それ以外の部分は上記第１実施形態と同様に構成する。なお、警報発生装置７は、電子線照射装置用発煙検出装置の所定の位置（例えば電子線照射装置の近傍）に設ければよい。
【００１４】
次に、本実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置の作用を説明する。
電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙が発生していないとき（正常時）には、オゾンを含む排気が排気配管１を図１に矢印で示す排気流れ方向（図示左方向）に排出されるので、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量は、正常光量（大きい光量）になっている。
【００１５】
電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙が発生したとき（発煙時）には、オゾンおよび煙を含む排気が排気配管１を図１に矢印で示す排気流れ方向（図示左方向）に排出されるので、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量は、正常光量よりも著しく減少した光量（発煙時光量）になる。そこで、本実施形態の電子線照射装置用発煙検出装置では、発煙発生直後に相当する警告設定値を予め設定しておき（この警告設定値は停止設定値よりも大きい値に設定する）、発光部４ａから出射して排気配管１内を通過して受光部４ｂで受光される光量センサ４の検出光量が警告設定値以下になったときにアンプユニット５から警報発生装置７に警告信号を出力して警報発生装置７を作動させるように構成している。
これにより、電子線照射装置の構成部品の過熱による発煙が発生した場合であっても、電子線照射装置の内部からの発煙を排気配管１を介して検出して、発煙直後（すなわち、当該構成部品の発煙自体はほとんど進行していないが、そのまま放置すると発煙の進行が予測される状況のとき）に警報を発して、作業者に電子線照射装置の手動停止の措置を促すことができるので、上記第１実施形態における「電子線照射装置の自動停止」よりもさらに早期の段階で発煙対策を講じ得るようになり、異常停止時のように当該電子線照射装置が熱的なダメージを受けることをさらに確実に防止することができる。したがって、安全性を向上させるようにした電子線照射装置用発煙検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の電子線照射装置用発煙検出装置の第１実施形態の構成を例示する図である。
【図２】本発明の電子線照射装置用発煙検出装置の第２実施形態の構成を例示する図である。
【符号の説明】
【００１７】
１  排気配管
２−１，２−２  分岐菅
３  覗き窓
４  光量センサ
４ａ  発光部
４ｂ  受光部
５  アンプユニット
６  電源
７  警報発生装置
【図１】
2008157689.tif 000003
【図２】
2008157689.tif 000004