(57)【要約】【課題】各信号線に一括コンタクトされる液晶表示パネルについて、コンタクトの安定性を損なうことなく液晶表示パネルに形成される検査用領域を小さくできる液晶表示パネル、検査装置、および検査方法の提供。【解決手段】液晶パネルの構成としてＲＧＢの各ソース線２３を１本おきに交互に、ソース線２３に交差する第１、第２ライン２６１，２６２の位置で絶縁皮膜することにより偶奇２相千鳥配列の検査用パッド２７を形成する。この液晶パネルの画素セル間の縮退検査では、ライン状の第１、第２コンタクト部を介して奇数列の画素セル（奇数画素セル回路網）をオン状態に駆動した際と、偶数列の画素セル（奇数画素セル回路網）をオン状態に駆動した際とにおいて、オン状態の回路網の電流を測定して良品時電流との差分を求め、その差分に基づいて各回路網間で電流リークが生じているか否かを検出する。【選択図】図８
2008065152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像表示領域を構成する各画素セルに列毎に設けられて一定の順序で繰り返し配置される複数種類のソース線と、前記各画素セルに行毎に設けられる複数のゲート線とを有し、前記画像表示領域の外側に前記各ソース線が引出された検査用領域としての引出部において前記各ソース線が互いに略平行とされたアクティブマトリックス方式の液晶表示パネルであって、
検査時ではない通常表示時に当該液晶表示パネルを駆動する駆動ドライバは、当該液晶表示パネルの検査後に前記引出部に実装され、
前記引出部には、前記ソース線の引出方向と交差する方向に沿って、互いに略平行な第１ラインおよび第２ラインがそれぞれ規定され、
前記第１ラインに沿って、偶数列の前記各ソース線が絶縁被膜されることにより奇数列の前記各ソース線に信号入力可能な検査用端子列が形成され、
前記第２ラインに沿って、奇数列の前記各ソース線が絶縁被膜されることにより偶数列の前記各ソース線に信号入力可能な検査用端子列が形成され、
前記第１ラインにおける前記検査用端子列に接続される第１コンタクト部と前記第２ラインにおける前記検査用端子列に接続される第２コンタクト部とを有する検査装置により、
前記第１コンタクト部を介して奇数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際に前記第１コンタクト部および奇数列の前記ソース線を含む奇数列回路網に流れる電流と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークが検査され、
前記第２コンタクト部を介して偶数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際に前記第２コンタクト部および偶数列の前記ソース線を含む偶数列回路網に流れる電流と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークが検査される
ことを特徴とする液晶表示パネル。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶表示パネルの特性検査にあたり、前記引出部に接続される検査装置であって、
前記第１、第２コンタクト部と、
前記第１、第２コンタクト部をそれぞれ介して前記各ソース線に奇数列毎および偶数列毎に所定のハイレベル電圧またはこのハイレベル電圧よりも低いローレベル電圧を印加する第１ソース駆動部および第２ソース駆動部と、
前記ゲート線に所定電圧を印加するゲート駆動部と、
前記第１コンタクト部および奇数列の前記各ソース線を含む奇数列回路網に流れる電流を測定する第１電流測定部と、
前記第２コンタクト部および偶数列の前記各ソース線を含む偶数列回路網に流れる電流を測定する第２電流測定部と、
前記第１、第２ソース駆動部および前記ゲート駆動部を制御することにより、
奇数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際における前記第１電流測定部の測定値と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークを検査し、
偶数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際における前記第２電流測定部の測定値と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークを検査する検査制御部と、を備える
ことを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の検査装置において、
前記画素セルがオン状態に駆動されるゲート時間は、検査時ではない前記液晶表示パネルの通常表示時における交流信号の半周期よりも長い時間とされている
ことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検査装置において、
前記検査制御部は、前記画素セルに電荷が静電容量に応じて蓄えられるチャージ時間よりも前記ゲート時間を越えない範囲で長い待機時間を計数する計時部を有し、前記ゲート駆動部が電圧印加信号を出力した時から前記待機時間の経過後に、前記第１、第２電流測定部による電流測定を行う
ことを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれかに記載の検査装置において、
前記液晶表示パネルの前記画像表示領域を照明する照明装置を備え、
前記検査制御部は、前記第１電流測定部または前記第２電流測定部による電流測定を行う際に前記照明装置の照明を消灯する照明制御部を有する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項１に記載の液晶表示パネルの特性検査を行う検査方法であって、
奇数列の前記各画素セルをオン状態に駆動して前記画素セル間の電流リークを検査する第１検査工程と、
偶数列の前記各画素セルをオン状態に駆動して前記画素セル間の電流リークを検査する第２検査工程とを備え、
前記第１検査工程は、
奇数列の前記各画素セルが互いに繋がれた奇数列回路網を形成して奇数列の前記各画素セルをオン状態に駆動する画素セル駆動工程と、
前記奇数回路網に流れる電流を測定する電流測定工程と、
前記電流測定工程で測定された電流と所定の良品時電流との差分を求めこの差分に基づいて前記画素セル間の電流リークを検出する電流リーク検出工程とを有し、
前記第２検査工程は、
偶数列の前記各画素セルが互いに繋がれた偶数列回路網を形成して偶数列の前記各画素セルをオン状態に駆動する画素セル駆動工程と、
前記偶数回路網に流れる電流を測定する電流測定工程と、
前記電流測定工程で測定された電流と所定の良品時電流との差分を求めこの差分に基づいて前記画素セル間の電流リークを検出する電流リーク検出工程とを有する
ことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル、検査装置、および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルの特性を検査する各種の検査方法が提案されている（例えば特許文献１〜３）。
特許文献１では、液晶パネルにＲＧＢ検査用マルチプレクサー回路が形成されており、これによって検査装置による液晶パネルの配線へのコンタクト数を削減できる。
【０００３】
また、特許文献２では、液晶パネルにおいて、ＲＧＢの順序で繰り返し配置される各ソース線（データ線）を１本おきに２本連続して被覆する絶縁膜がソース線の配線方向にソース線の１ピッチずつずらして形成されている。このようにＲＧＢ３相の千鳥開口による検査用領域が液晶パネルに形成されているので、この３相の千鳥開口とされたＲＧＢ３列の検査用端子列にそれぞれライン状のコンタクト部（ショートバー）を当接することにより、ＲＧＢ毎に各ソース線に一括してコンタクト可能となる。画素数が多い高精細な液晶パネルでは、このようにＲＧＢ毎に一括してコンタクトすることで、コンタクト数を削減できる。
この液晶パネルの検査に際しては、ＲＧＢ毎に各画素セルを点灯させて画像表示領域の表示色を切換え、表示状態の目視によって表示ムラなどを検査することが可能である。
【０００４】
特許文献３では、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）液晶パネルにおけるＴＦＴアレイのセル毎にコンタクトして電圧印加し、各セルの保持電圧を読み出すことにより、ＴＦＴの欠陥を検査している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３２８３９７号公報
【特許文献２】特開平７−５４８１号公報
【特許文献３】特開２００２−５５１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、カラー液晶表示パネルの一層の小型化および高精細化が進んでおり、これに伴って、液晶パネルにおける検査用領域の大きさが問題化している。
ここで、特許文献１のように液晶パネル内にマルチプレクサー回路などの検査用回路を形成する構成では、この検査用回路の領域の分、液晶パネルが大型化してしまう。また、小型のアモルファスシリコンを用いたαＴＦＴパネルにこのようなマルチプレクサー回路などを形成しても、回路インピーダンスが高く、十分な検査精度を得ることが難しい。
【０００７】
また、特許文献２のように液晶パネルにＲＧＢ３相の千鳥開口の検査用端子を形成する構成では、液晶パネルに形成される検査用領域の大きさを特許文献１における液晶パネルの検査用領域の大きさよりは小さくできるが、コンタクトの安定性を考慮すると、千鳥開口および検査プローブのコンタクト部を小さくすることには限界がある。
【０００８】
そして、特許文献３のようにＴＦＴアレイの各セルに直接コンタクトする構成では、液晶パネルの検査用領域を小さくできるが、各セル毎にコンタクトすることは小型で細密化された液晶パネルでは難しい。つまり、画素数に応じてコンタクト数が膨大となる。
【０００９】
以上により、高精細かつ小型の液晶表示パネルに関しては、特許文献２のように各ソース線に一括してコンタクトする構成が好ましいと考えられるが、液晶パネルの小型化が進み、画像表示領域の大きさに比較してこの３相の検査用領域の大きさを無視できなくなっている。このような３相の構成の場合、検査用端子を単に小さくするとコンタクトの信頼性に欠けるおそれがある。
【００１０】
本発明の目的は、各信号線に一括コンタクトされる液晶表示パネルについて、コンタクトの安定性を損なうことなく液晶表示パネルに形成される検査用領域を小さくできる液晶表示パネル、検査装置、および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液晶表示パネルは、画像表示領域を構成する各画素セルに列毎に設けられて一定の順序で繰り返し配置される複数種類のソース線と、前記各画素セルに行毎に設けられる複数のゲート線とを有し、前記画像表示領域の外側に前記各ソース線が引出された検査用領域としての引出部において前記各ソース線が互いに略平行とされたアクティブマトリックス方式の液晶表示パネルであって、検査時ではない通常表示時に当該液晶表示パネルを駆動する駆動ドライバは、当該液晶表示パネルの検査後に前記引出部に実装され、
前記引出部には、前記ソース線の引出方向と交差する方向に沿って、互いに略平行な第１ラインおよび第２ラインがそれぞれ規定され、前記第１ラインに沿って、偶数列の前記各ソース線が絶縁被膜されることにより奇数列の前記各ソース線に信号入力可能な検査用端子列が形成され、前記第２ラインに沿って、奇数列の前記各ソース線が絶縁被膜されることにより偶数列の前記各ソース線に信号入力可能な検査用端子列が形成され、前記第１ラインにおける前記検査用端子列に接続される第１コンタクト部と前記第２ラインにおける前記検査用端子列に接続される第２コンタクト部とを有する検査装置により、前記第１コンタクト部を介して奇数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際に前記第１コンタクト部および奇数列の前記ソース線を含む奇数列回路網に流れる電流と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークが検査され、前記第２コンタクト部を介して偶数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際に前記第２コンタクト部および偶数列の前記ソース線を含む偶数列回路網に流れる電流と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークが検査されることを特徴とする。
【００１２】
本発明の検査装置は、前述の液晶表示パネルの特性検査にあたり、前記引出部に接続される検査装置であって、前記第１、第２コンタクト部と、前記第１、第２コンタクト部をそれぞれ介して前記各ソース線に奇数列毎および偶数列毎に所定のハイレベル電圧またはこのハイレベル電圧よりも低いローレベル電圧を印加する第１ソース駆動部および第２ソース駆動部と、前記ゲート線に所定電圧を印加するゲート駆動部と、前記第１コンタクト部および奇数列の前記各ソース線を含む奇数列回路網に流れる電流を測定する第１電流測定部と、前記第２コンタクト部および偶数列の前記各ソース線を含む偶数列回路網に流れる電流を測定する第２電流測定部と、前記第１、第２ソース駆動部および前記ゲート駆動部を制御することにより、奇数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際における前記第１電流測定部の測定値と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークを検査し、偶数列の前記各画素セルがオン状態に駆動された際における前記第２電流測定部の測定値と所定の良品時電流との差分に基づいて、前記画素セル間の電流リークを検査する検査制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明の検査方法は、前述の液晶表示パネルの特性検査を行う検査方法であって、奇数列の前記各画素セルをオン状態に駆動して前記画素セル間の電流リークを検査する第１検査工程と、偶数列の前記各画素セルをオン状態に駆動して前記画素セル間の電流リークを検査する第２検査工程とを備え、前記第１検査工程は、奇数列の前記各画素セルが互いに繋がれた奇数列回路網を形成して奇数列の前記各画素セルをオン状態に駆動する画素セル駆動工程と、前記奇数回路網に流れる電流を測定する電流測定工程と、前記電流測定工程で測定された電流と所定の良品時電流との差分を求めこの差分に基づいて前記画素セル間の電流リークを検出する電流リーク検出工程とを有し、前記第２検査工程は、偶数列の前記各画素セルが互いに繋がれた偶数列回路網を形成して偶数列の前記各画素セルをオン状態に駆動する画素セル駆動工程と、前記偶数回路網に流れる電流を測定する電流測定工程と、前記電流測定工程で測定された電流と所定の良品時電流との差分を求めこの差分に基づいて前記画素セル間の電流リークを検出する電流リーク検出工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
これらの各発明では、液晶表示パネルの各ソース線の引出部に規定された第１、第２ラインに沿って偶奇２相の千鳥配置の検査用端子列が構成されるとともに、この２相の検査用端子列毎に電圧を印加して各画素セルを奇数列および偶数列毎にオン状態に駆動した際に奇数列回路網または偶数列回路網にそれぞれ流れる電流に基づいて画素セル間の縮退不良（ショート）が検査される。
本発明の液晶パネルは、ソース線やゲート線の引出部に検査装置のプローブを接続して検査した後、この引出部に駆動ドライバＩＣ（Integrated Circuit）をＣＯＧ（Chip On Glass）などの態様で実装することが可能であり、これによって液晶パネルの小型化が図られる。このような液晶表示パネルの前記構成により、検査用領域を小さくできるとともに、この液晶表示パネルの前記検査によって画素セル間の縮退不良を検査可能となる。
【００１５】
液晶表示パネルの構成として、一定の順序で繰り返し配置されるＲＧＢなど複数種類のソース線が１本おきに交互に、第１、第２ラインの位置でそれぞれ絶縁皮膜されることによって偶奇２相の千鳥開口が形成され、第１、第２ラインに沿って千鳥状に配列された検査用端子列が形成される。
この第１、第２ラインに沿って検査用端子列が配置された引出部が液晶表示パネルの検査用領域となるので、ＲＧＢ３相等の千鳥開口を形成する場合と比べて、コンタクトの安定性を損なうことなく、検査用領域のソース線に沿った方向における寸法を小さくできる。
【００１６】
つまり、３相配列の各検査用端子を単に小さくして検査用領域を小さくした場合はコンタクトの信頼性に欠けるおそれがあるが、２相配列であるから、ソース線に沿った方向において各検査用端子の長さをコンタクトが安定する程度の大きさにしつつ、検査用領域を小さくできる。これにより、コンタクトの安定性を損なうことなく、小型の液晶表示パネルの画像表示領域と比べても、検査用領域を十分小さくできる。勿論、ＲＧＢ３相配列から偶奇２相配列としたことにより、各検査用端子の大きさがＲＧＢ３相の場合と同じ場合は検査用領域のソース線に沿った方向における大きさを略２／３にでき、パネルの小型化に貢献できる。検査用端子の大きさはコンタクトが安定するように適宜決めることができる。
【００１７】
なお、検査用端子列が第１、第２ラインに沿って並ぶ構成により、直線状のコンタクト部を有する簡易な構成の検査プローブによって複数のソース線を一括して検査することが可能となるとともに、１つ１つのソース線に対して検査プローブを位置合わせすることを不要にできる。
【００１８】
ここで、従来のＲＧＢ３相の検査用端子列を有する液晶表示パネルの検査では、ＲＧＢの色毎に各画素セルを点灯させ、欠陥部に生じる表示コントラストおよび色差に基づいて目視検査を行っていたが、本発明の偶奇２相の検査用端子列を有する液晶表示パネルの検査の場合、第１ライン、第２ラインそれぞれにおける各検査用端子が接続された画素セルの色が単一ではないため、第１、第２コンタクト部により奇数列の画素セルをオン状態に駆動した際と、偶数列の画素セルをオン状態に駆動した際とにおける画像表示領域の表示色は、良品時であってもＲＧＢの中間色（グレー）となる。
【００１９】
このため、偶奇の画素セル間に縮退不良が生じている際の欠陥部とその周りの部分との色差、コントラストが小さく、目視検査やカメラおよび画像処理装置を用いた機械検査のいずれの場合も不良判定が困難となる。そこで、本発明では、目視等に頼らず電流測定に基づいて画素セル間の縮退不良を自動判定することを実現した。
つまり、奇数列回路網と偶数列回路網との一方から他方への電流リークを良品時電流との比較により検出することによって、偶奇の画素セル間の縮退不良を検査できる。これにより、検査の自動化を促進でき、欠陥検出を安定的にかつ確実に行うことができる。
なお、ＲＧＢ３相に限らず、４相やそれ以上の種類の画素セルを有する液晶表示パネルでも、本発明の検査装置および検査方法によれば、偶奇２相の検査用端子列によって画素セル間の縮退不良を検査でき、検査用領域を省スペース化できる。
【００２０】
各ソース線に信号入力可能な検査用端子としては、絶縁皮膜されないソース線自体で構成したり、ソース線の位置に絶縁膜の厚み以上の高さで突設されるスルーホールであったりしてよい。検査用端子をスルーホールとした場合は、絶縁膜の厚みによる導通不良を防止でき、また、液晶表示パネルの基板表面にうねり等が発生して不均一であるような場合でも、コンタクトの安定性を確保できる。
【００２１】
以上により、小型で高精細の液晶表示パネルであっても、コンタクトの安定性が損なわれずに検査用領域を小さくできるとともに、電流測定により画素セル間の縮退不良を検出できるので、細密化が進む液晶表示パネルの量産に大きく貢献できる。
【００２２】
本発明の検査装置では、前記画素セルがオン状態に駆動されるゲート時間は、検査時ではない前記液晶表示パネルの通常表示時における交流信号の半周期よりも長い時間とされていることが好ましい。
【００２３】
ここで、表示品位の低下やクロストークを防止するために、各画素セルには、交流かつ隣接する画素セル間で極性が異なる表示フレーム信号等が駆動信号として印加される。
この発明によれば、通常表示時よりもゲート時間が長く、画素セルに静電容量に応じて電荷が蓄えられた後に電流測定を行うことが可能となるので、画素セルにチャージされた跡に画素セル間の不良箇所で生じる電流リークを確実に検出可能となる。
【００２４】
本発明の検査装置では、前記検査制御部は、前記画素セルに電荷が静電容量に応じて蓄えられるチャージ時間よりも前記ゲート時間を越えない範囲で長い待機時間を計数する計時部を有し、前記ゲート駆動部が電圧印加信号を出力した時から前記待機時間の経過後に、前記第１、第２電流測定部による電流測定を行うことが好ましい。
【００２５】
この発明によれば、ゲートのオン時から待機時間の経過後に電流測定を行うため、電流測定と画素セルの駆動とを同期させることができる。このため、画素セルに電荷が蓄えられている最中に測定された電流に基づく誤検査を防止でき、欠陥検出精度を高めることができる。
【００２６】
本発明の検査装置では、前記液晶表示パネルの前記画像表示領域を照明する照明装置を備え、前記検査制御部は、前記第１電流測定部または前記第２電流測定部による電流測定を行う際に前記照明装置の照明を消灯する照明制御部を有することが好ましい。
【００２７】
この発明によれば、照明装置の消灯により、各画素セルに設けられた有機薄膜トランジスタ等に光リーク電流が生じないので、この光リーク電流のために画素セル間の電流リーク有りと誤判定されることを防止でき、欠陥検出精度を高めることができる。
つまり、本発明の検査では、電流測定により画素セル間の縮退不良を検出するので、目視検査が不要となり、検査時に照明を点灯することを不要にできる。これにより、検査に要する電力を削減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
本発明の液晶表示パネルおよびこの液晶表示パネルを検査対象とする検査装置について図１〜図１２を参照して説明する。
【００２９】
［１．検査装置の構成］
図１は、検査装置１０に液晶パネル２０を接続した状態を模式的に示す。
検査装置１０は、液晶パネル２０に接続される略板状のコンタクトプローブ１１と、検査時に液晶パネル２０を駆動する検査用駆動装置１２と、検査時に液晶パネル２０の画像表示領域を照明する照明装置としての検査用バックライト１３とを備えている。
【００３０】
バックライト１３は、検査用駆動装置１２により駆動制御され、白色ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）により構成されている。バックライト１３の前面には、液晶パネル２０を均一に照明するための図示しないフィルタ等が設けられている。
【００３１】
コンタクトプローブ１１は、液晶パネル２０の画素電極が形成される背面側のガラス基板２０Ａ（図２）の一端側に接続される。このコンタクトプローブ１１を介して検査用駆動装置１２から液晶パネル２０に検査信号が入力される。
なお、コンタクトプローブ１１は、本実施形態では２つのコンタクトプローブ１１Ａ，１１Ｂに分かれており、図２には一方のコンタクトプローブ１１Ａを示した。
図２は、コンタクトプローブ１１Ａおよび液晶パネル２０の部分斜視図である。図３は、コンタクトプローブ１１Ａの裏面側、すなわち液晶パネル２０に対向する側を示す平面図である。
【００３２】
コンタクトプローブ１１Ａは、ポリイミド製やポリエステル製などの可撓性を有する矩形状のフレキシブル基板（ＦＰＣ；Flexible Printed Circuit）１１０と、この基板１１０の一方の面に設けられ検査用駆動装置１２に接続される第１配線部１１１および第２配線部１１２（図３）と、基板１１０の他方の面に設けられるバネ部材１１３（図２）とを備えている。
なお、コンタクトプローブ１１Ａは、図示しない押圧手段により検査装置１０内に押圧保持された状態で、液晶パネル２０に接続される。この押圧手段は、例えば雄ネジおよび雌ネジにより構成される。ここで、バネ部材１１３が設けられずに押圧手段によって基板１１０が直接押圧されていてもよい。
【００３３】
第１、第２配線部１１１，１１２は、図３に示すように、基板１１０の隣合う二辺に沿って互いに平行にＬ字状に形成されている。これらの第１、第２配線部１１１，１１２の一辺側には、ライン状の第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃがそれぞれ設けられている。
第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃは、例えばニッケルを使用した導電性の弾性部材であり（バンプともいう）、第１、第２配線部１１１，１１２に突設されている。
【００３４】
バネ部材１１３は、図２に示すように金属薄板の折り曲げにより形成され、図示しない押圧手段によって基板２０Ａの平面に向かって押圧されており、この押圧力Ｆによって基板１１０の平面に圧接されている。なお、押圧手段として設けられた図示しない複数のネジ等により、バネ部材１１３は複数箇所で押圧されている。
また、バネ部材１１３には複数のスリット１１３Ａが所定ピッチで形成されている。
このようなバネ部材１１３が設けられることにより、第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃの液晶パネル２０への接続がより安定的となっている。
【００３５】
図４は、もう１つのコンタクトプローブ１１Ｂの裏面側を示す平面図である。
コンタクトプローブ１１Ｂも、コンタクトプローブ１１Ａと同様に、矩形状のフレキシブル基板（ＦＰＣ；Flexible Printed Circuit）１１０と、バネ部材１１３（図２）とを備え、検査装置１０内に押圧保持された状態で液晶パネル２０に接続される。
このコンタクトプローブ１１Ｂの配線部は、互いに隣接するＬ字状の配線部１１５，１１６により構成されている。各配線部１１５，１１６の一端側直線部にはそれぞれ、ライン状のコンタクト部１１５Ｃ，１１６Ｃが突設されている。
【００３６】
図５は、検査用駆動装置１２（図１）の構成ブロック図である。検査用駆動装置１２は、液晶パネル２０のソース線に電圧を印加する第１ソース駆動部１２１および第２ソース駆動部１２２と、液晶パネル２０のゲート線に電圧を印加するゲート駆動部１２３と、第１コンタクト部１１１Ｃを含んで形成される奇数列回路網を流れる電流を測定する第１電流測定部１２４と、第２コンタクト部１１１Ｃを含んで形成される偶数列回路網を流れる電流を測定する第２電流測定部１２５と、液晶パネル２０およびバックライト１３を駆動制御して液晶パネル２０の欠陥を検出する検査制御部１２６と、データ記憶部１２７とを備えている。
検査用駆動装置１２は前述したコンタクトプローブ１１Ａの配線部１１１，１１２とコンタクトプローブ１１Ｂの配線部１１５，１１６とを通じて、第１コンタクト部１１１Ｃ、第２コンタクト部１１２Ｃ、コンタクト部１１５Ｃ、およびコンタクト部１１６Ｃにそれぞれ接続される。
【００３７】
第１ソース駆動部１２１は、第１コンタクト部１１１Ｃを介して奇数列の各ソース線２３に電圧信号を印加する。また、第２ソース駆動部１２２は、第２コンタクト部１１２Ｃを介して偶数列の各ソース線２３に電圧信号を印加する。
そして、ゲート駆動部１２３は、コンタクト部１１５Ｃ，１１６Ｃをそれぞれ介して奇数行のゲート線２４と偶数行のゲート線２４とに所定の電圧信号を印加する。
データ記憶部１２７には、後述する画素セル間電流リーク欠陥検査に用いられる良品時の電流値などが保存されている。
【００３８】
検査制御部１２６は、タイマー等からなる計時部１２６Ａと、バックライト１３を制御する照明制御部１２６Ｂと、第１、第２電流測定部１２４，１２５でそれぞれ測定された電流と良品時電流との差分を計算する電流差分取得部１２６Ｃとを有している。
【００３９】
このような検査装置１０によってバックライト１３および液晶パネル２０が駆動制御され、バックライト１３からの透過光による液晶パネル２０の表示画像が目視検査されるほか、液晶パネル２０を駆動した際に配線に流れる電流に基づいて液晶パネル２０の表示特性が検査される。これについては後述する。
【００４０】
［２．液晶パネルの構成］
本実施形態の液晶パネル２０は、例えば携帯電話などの小型電子機器における表示装置として利用される高精細で小型のものとなっている。液晶パネル２０の画像表示領域における各画素は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色のカラーフィルタと、カラーフィルタの各色に対応する３つの画素電極とを有して構成されている。換言すれば、各画素はカラーフィルタの３色のうちいずれかに対応する３つの画素セルにより構成され、各画素セルにはそれぞれ画素電極が配置されている。
【００４１】
液晶パネル２０は、図示を省略するが、２枚のガラス基板間に液晶が封入されて形成され、画素電極やＴＦＴ等が形成されたガラス基板と、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる透明なコモン電極（共通電極）が略全面に形成されたガラス基板とを備えている。また、各ガラス基板の外側にはそれぞれ、偏光板が積層されている。
【００４２】
図６は、画素電極が形成される基板２０Ａの平面模式図である。また、図７は、基板２０Ａにおける回路構成を示す図である。
基板２０Ａには矩形状の画像表示領域２８が規定され、画像表示領域２８を構成する各画素セルが基板２０Ａの横方向においてＲ，Ｇ，Ｂの順序で繰り返し配列されている。
【００４３】
基板２０Ａには、図７に示すように画素電極２１と、アモルファスシリコンによるスイッチング素子としてのＴＦＴ２２とがそれぞれ配設されている。すなわち、本実施形態の液晶パネル２０は、ＴＦＴアクティブマトリックス方式とされている。
【００４４】
各画素電極２１には、液晶パネル２０の縦方向（列方向）に沿ってソース線２３が配線され、液晶パネル２０の横方向（行方向）にはゲート線２４が配線されている。すなわち、同じ列の画素電極２１同士はソース線２３により導通され、同じ行の画素電極２１同士はゲート線２４により導通されている。
【００４５】
なお、以降では、対応する画素セルの色に応じて、各ソース線２３を図８のように赤色ソース線２３Ｒ、緑色ソース線２３Ｇ、青色ソース線２３Ｂと称することもある。
【００４６】
これらのソース線２３およびゲート線２４は、液晶パネル２０の画像表示領域２８から液晶パネル２０の一方の短辺側に引出されている。
すなわち、図６のように、各ソース線２３が引き出された引出部２５と、各ゲート線２４が引き出された引出部２９１，２９２とが液晶パネル２０の短辺側に配置されている。これらの引出部２５，２９１，２９２において、各ソース線２３や各ゲート線２４の線同士は互いに平行とされている。各引出部２５，２９１，２９２は、液晶パネル２０の検査用領域とされている。
【００４７】
なお、ゲート線２４は、奇数行目、偶数行目に応じて、液晶パネル２０の横方向に沿って互いに反対方向に引き出されたのち、ソース線２３と略同様に縦方向に沿って基板２０Ａの一方の短辺側に引き出されている。奇数行のゲート線２４の引出部２９１と偶数行のゲート線２４の引出部２９２とは隣接位置に形成されている。
このようなソース線２３の引出部２５と、ゲート線２４の引出部２９１，２９２とには、検査装置１０による液晶パネル２０の検査後、ＩＣやＬＳＩである駆動ドライバ（図示せず）のＣＯＧ実装が行われる。引出部２５等に形成される検査用端子は、駆動ドライバの実装後は使用不可となる。
【００４８】
図８は、図６の部分拡大図であり、各ソース線２３の引出部２５（図６）を模式的に示した。
赤色ソース線２３Ｒ、緑色ソース線２３Ｇ、および青色ソース線２３ＢはＲ，Ｇ，Ｂの順序で繰り返し配置されている。
なお、引出部２５における各ソース線２３Ｒ，２３Ｇ，２３Ｂの線間隔は、例えば約１０μｍ〜約４０μｍであり、図示よりも実際は非常に細密となっている。以降の図においても、見易くするため、ソース線２３のピッチが実際よりも大きいが、本発明を理解するうえで問題ない。
【００４９】
ここで、引出部２５には、図８に示すように、ソース線２３の引出し方向とは直交する２本の検査用端子ライン、すなわち、第１ライン２６１、および第２ライン２６２がそれぞれ規定され、これらの各ライン２６１，２６２は互いに平行とされている。これらの第１、第２ライン２６１，２６２を含む領域には、絶縁膜２６０が形成されている。
【００５０】
第１ライン２６１上では、奇数列の各ソース線２３の位置にそれぞれ、絶縁膜２６０の外部に露出するスルーホール構造の検査用パッド２７が形成されている。一方、第２ライン２６２上では、偶数列の各ソース線２３の位置にそれぞれ、スルーホール構造の検査用パッド２７が形成されている。
すなわち、各検査用パッド２７は、第１、第２ライン２６１，２６２それぞれにおいて、各ソース線２３の１つおきに交互に形成され、偶奇２相の千鳥配置の検査用端子列を構成している。本実施形態における各ソース線２３の並びでは、第１ライン２６１にはＲ，Ｂ，Ｇ，Ｒ，Ｂ，Ｇ・・・にそれぞれ対応する検査用パッド２７が形成され、第２ライン２６２にはＧ，Ｒ，Ｂ，Ｇ，Ｒ，Ｂ・・・にそれぞれ対応する検査用パッド２７が形成されている。
これらの第１、第２ライン２６１，２６２に沿って配列された各検査用パッド２７には、前述したコンタクトプローブ１１Ａ（図２）の第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃがそれぞれ接続される。
【００５１】
ここで、検査用パッド２７の偶奇２相の千鳥配列により、従来のＲＧＢ３相の千鳥配列の場合よりも検査用パッド２７のサイズを大きくできる。図１５は、図８の引出部２５と同じ縦横寸法の引出部２５´に検査用パッド２７ＸをＲＧＢ３相で配列した例を示す。
これら図８、図１５における検査用パッド２７，２７Ｘの寸法の一例を挙げると、検査用パッド２７Ｘの長さが０．２ｍｍ、これに対して検査用パッド２７の長さは０．３９ｍｍである。このように検査用パッドを略２倍の長さにできるので、コンタクトの安定性が大幅に向上する。
【００５２】
検査用領域としての引出部２５の短辺寸法Ｌは液晶パネル２０を小型化するために十分に短く設定されているため、図１５のように３相千鳥により検査用パッド２７Ｘを配置すると、検査用パッド２７Ｘの長さが短くなって、コンタクトの安定性に影響する場合があるが、図８の２相配置によればその心配はない。
【００５３】
図９に、検査用パッド２７におけるスルーホール構造を示した。図９は、第１ライン２６１における基板２０Ａの断面を示し、奇数列のソース線２３の上に、ニッケルなどを使用した電鋳によってスルーホール２７１が立設されている。これと略同様に、第２ライン２６２では偶数列のソース線２３にスルーホール２７１が立設されている。
【００５４】
一方、液晶パネル２０の各ゲート線２４には、図４に示したコンタクトプローブ１１Ｂが接続される。すなわち、奇数行のゲート線２４の引出部２９１にはコンタクトプローブ１１Ｂのコンタクト部１１５Ｃが接続され、偶数行のゲート線２４の引出部２９２にはコンタクトプローブ１１Ｂのコンタクト部１１６Ｃが接続される。
【００５５】
なお、本実施形態では、奇数行、偶数行毎にゲート線２４の引出部２９１，２９２が形成されているので、これら引出部２９１，２９２に検査用パッドなどは設けられていない。検査時に際して、コンタクトプローブ１１Ｂのコンタクト部１１５Ｃと引出部２９１における各ゲート線２４に載せ、コンタクトプローブ１１Ｂのコンタクト部１１６Ｃと引出部２９２における各ゲート線２４に載せるだけでよいので、引出部２９１，２９２の大きさを引出部２５よりも更にコンパクトにすることが可能である。
【００５６】
［３．液晶パネルの製造フロー］
図１０は、液晶パネル製品の製造工程を示す。まず、基板間に液晶が封入されたパネルの両側に偏光板を積層する液晶パネル組立工程Ｓ１を実施した後、この液晶パネル２０の表示特性の検査工程Ｓ２を実施する。このパネル検査工程Ｓ２では、検査装置１０により、輝点欠陥検査、画素セル間リーク欠陥検査などを実施する。
【００５７】
輝点欠陥検査では、全画素セルの液晶分子を光を遮蔽するように配向させて画像表示領域２８を全黒状態とし、照明制御部１２６Ｂによりバックライト１３を点灯させた際の表示画面における明るい輝点欠陥などを目視などで判定する。本実施形態の液晶パネル２０は、液晶が電圧非印加時に光透過率が最大となるノーマリホワイトであり、この輝点欠陥検査では、検査制御部１２６により、第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃを通じて全画素セルをオン状態に駆動して光透過率を最小とする。輝点欠陥は、ソース線２３やゲート線２４の断線などによって生じる。
なお、ノーマリブラックの場合は、画像表示領域２８を全白状態として、表示画面に暗い点がある場合に欠陥有りと判定すればよい。
画素セル間リーク欠陥検査については後述する。
【００５８】
上記の検査工程Ｓ２で良品と判断された液晶パネル２０には、駆動ドライバおよびバックライトを取り付けて（Ｓ３）、液晶パネルモジュールとする。この液晶パネルモジュールに対する検査を実施することにより（Ｓ４）、製造が完了する。
【００５９】
［４．画素セル間リーク欠陥検査］
次に、検査装置１０による液晶パネル２０の画素セル間リーク欠陥検査について図１１、図１２を参照して説明する。
コンタクトプローブ１１Ａ（図３）が液晶パネル２０の引出部２５に接続され、コンタクトプローブ１１Ｂ（図４）が液晶パネル２０の引出部２９１，２９２に接続されることにより、図１１のように、第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃ、コンタクト部１１５Ｃ，１１６Ｃ、各ソース線２３、および各ゲート線２４を含んだ検査時駆動回路３０が構成される。
【００６０】
ここで、第１コンタクト部１１１Ｃと奇数列の各ソース線２３とを含む奇数列回路網３１が形成され、この奇数列回路網３１の各ソース線２３には、図１１にＶｓ１で示した第１ソース駆動部１２１（図５）により、同じ電圧印加信号が一括して入力される。
また、第２コンタクト部１１２Ｃと偶数列の各ソース線２３とを含んだ偶数列回路網３２が形成され、この偶数列回路網３２の各ソース線２３には、図１１にＶｓ２で示した第２ソース駆動部１２２（図５）により、同じ電圧印加信号が一括して入力される。
そして、コンタクト部１１５Ｃと奇数列の各ゲート線２４とを含んだ奇数行回路網３３が形成され、さらにコンタクト部１１６Ｃと偶数列の各ゲート線２４とを含んだ偶数行回路網３４が形成されており、各ゲート線２４には、図１１にＶｇ１およびＶｇ２で示したゲート駆動部１２３（図５）によってこれら回路網３３，３４毎に、所定の電圧印加信号が一括して入力される。
なお、図１１にＩｓ１、Ｉｓ２と示したのはそれぞれ、第１、第２電流測定部１２４，１２５である。
【００６１】
図１２は、検査制御部１２６により制御される画素セル間リーク欠陥検査のタイミングチャートである。なお、図１２は、奇数列の画素セルをオン状態に駆動した際に検出可能な画素セル間電流リーク第１検査工程について示す。この第１検査工程とともに、第１検査工程と同様の手法で偶数列の画素セルをオン状態に駆動した際に検出可能な画素セル間電流リーク第２検査工程を実施することにより、全画素セルの奇数列および偶数列の間の縮退不良を検出できる。
【００６２】
Ｖｓ１は、第１ソース駆動部１２１が第１コンタクト部１１１Ｃを介して奇数列のソース線２３に入力する電圧印加信号を示し、Ｖｓ２は、第２ソース駆動部１２２が第２コンタクト部１１２Ｃを介して偶数列のソース線２３に入力する電圧印加信号である。
また、Ｖｇ１は、ゲート駆動部１２３がコンタクト部１１５Ｃを介して奇数行のゲート線２４に出力する電圧印加信号である。
【００６３】
すなわち、Ｖｓ１信号がハイレベルとなり、かつ所定電圧のＶｇ１信号が印加されたタイミングＴ０に、回路網３１，３３を通じて奇数列の各画素電極２１に設けられたＴＦＴ２２のスイッチがオンとなり、奇数列の各画素セルがオン状態に駆動される（画素セル駆動工程）。
ここで、Ｖｇ１がオンとなるゲート時間Ｔｇは、液晶パネル２０の通常表示モードにおける交流駆動信号の半周期が数ｍＳとすると、その１０倍以上と長く設定されている。なお、本工程においても、液晶パネル２０の通常表示モードにおける表示フレーム信号と同様、隣合う奇数列の画素セルと偶数列の画素セルとに極性が異なる電圧信号が印加されており、Ｖｓ１がハイレベル（プラス電圧）のときＶｓ２はローレベル（マイナス電圧）となっている。
【００６４】
タイミングＴ０でゲートがオンされると、奇数列の画素セルに静電容量に応じて電荷が蓄えられ、その際に第１電流測定部１２４で測定される電流Ｉｓ１は、図１２のようになる。すなわち、画素セルに電荷がチャージされることにより、画素電極２１とコモン電極との間で電圧が印加される。
このように奇数列の各画素セルがオン状態に駆動されると、回路網３１，３３を流れる電流レベルはチャージ前のレベルに復帰する筈だが、図１２に、画素セル間に縮退不良がある場合に第１電流測定部１２４で測定される電流Ｉｓ１βを良品時の電流Ｉｓ１αと対比して示した。この良品時電流Ｉｓ１αは、データ記憶部１２７に予め保存されているデータである。
【００６５】
すなわち、図１１のように、３列目と４列目の画素セル間に縮退不良（ショート）Ｓがある場合、３列目の画素セルから４列目の画素セルへの電流リークが生じるので、良品時の電流Ｉｓ１αのレベルと比べて電流Ｉｓ１βのレベルの方が高くなる（Ｉｓ１_leak参照）。
このことに基づいて、検査制御部１２６は、Ｖｓ１がオンとされたタイミングＴ０から所定の待機時間Ｔ１経過後に、第１電流測定部１２４による電流測定を行い、測定された電流Ｉｓ１βと良品時電流Ｉｓ１αとの差分に基づいて画素セル間の電流リークを検出する。
【００６６】
具体的に、計時部１２６ＡによりタイミングＴ０から待機時間Ｔ１が計時され、待機時間Ｔ１経過時、電流差分取得部１２６Ｃから第１電流測定部１２４に検査判定信号を送信して奇数列回路網３１を流れる電流を測定する（電流測定工程）。なお、待機時間Ｔ１は、各画素セルに電荷が蓄えられるチャージ時間Ｔｃに応じて設定されている。ゲート時間Ｔｇを長くしているので、この待機時間Ｔ１を画素セルのチャージが確実に行われるように十分に長く設定できる。
【００６７】
そして、電流差分取得部１２６Ｃは、データ記憶部１２７から読み出した良品時電流と第１電流測定部１２４の測定値との差分ｌｓｔ１＿leakを求め、このｌｓｔ１＿leakが所定の閾値以上であるときは、画素セル間の電流リーク欠陥有りと判定する（電流リーク判定工程）。
【００６８】
このような画素セル間電流リーク欠陥検査が行われる際は、検査制御部１２６の照明制御部１２６Ｂにより、バックライト１３が消灯される。これは、図１２のように、バックライト１３の照明光によってＴＦＴ２２に、画素セル間の電流リークには起因しない光リーク電流が生じることから、画素セル間電流リークを正確に判定するために消灯される。本実施形態ではタイミングＴ０から待機時間Ｔ１経過前にバックライト１３を消灯しているが（バックライト消灯工程）、少なくとも検査判定信号が出力され電流測定が行われる際に消灯されていればよく、また、タイミングＴ０以前に消灯されても良い。
【００６９】
以上の奇数列画素セルをオン状態に駆動した際の第１検査工程に対して、第２検査工程では、偶数列画素セルをオン状態に駆動する。すなわち、図１２におけるＶｓ１とＶｓ２との信号波形は逆となる。なお、Ｖｇ２のゲート時間ＴｇはＶｇ１と同様である。
そして、Ｖｓ２がオンの際にＶｇ２がオンとなるタイミングＴ０から待機時間Ｔ１経過後、第２電流測定部１２５による偶数列回路網３２（図１１）の電流測定を行い、この測定値と良品時電流との差分を求め、この差分が所定閾値以上であれば画素セル間の電流リーク欠陥有りと判定する。電流測定を行う際は、バックライト１３は消灯される。
【００７０】
［５．本実施形態による効果］
以上説明した本実施形態によれば、次の効果を奏することができる。
（１）液晶パネル２０の構成として、ＲＧＢの各ソース線２３を１本おきに交互に、ソース線２３に交差する第１、第２ライン２６１，２６２の位置で絶縁皮膜することにより偶奇２相の千鳥開口を形成でき、第１、第２ライン２６１，２６２に沿った２相千鳥配列の検査用パッド２７を形成できる。これにより、ＲＧＢ３相等の千鳥開口を形成する場合と比べて、コンタクトの安定性を損なうことなく、ソース線２３に沿った方向における検査用領域（引出部２５）の寸法を小さくできる。そして細密化が進む液晶パネル２０の量産に大きく貢献できる。
【００７１】
（２）また、第１、第２コンタクト部１１１Ｃ，１１２Ｃを介して、奇数列の画素セルをオン状態に駆動した際と、偶数列の画素セルをオン状態に駆動した際とにおける画像表示領域２８の表示色は、良品時であってもＲＧＢの中間色（グレー）となるため、仮に目視や画像処理で画素セル間の縮退不良を検出しようとすれば、欠陥部とその周りの部分との色差、コントラストが小さく、不良判定が困難となる。これに対して検査装置１０は、目視等に頼らず電流測定に基づいて画素セル間の縮退不良を自動判定するものであり、これによって検査の自動化を促進でき、欠陥検出を安定的にかつ確実に行うことができる。
【００７２】
（３）検査用パッド２７をスルーホール構造としたので、絶縁膜２６０の厚みによって導通不良を招くおそれがなく、また、液晶パネル２０の基板表面にうねり等が発生して不均一であるような場合でも、コンタクトの安定性を確保できる。
【００７３】
（４）検査時のゲート時間Ｔｇは通常表示モードにおけるゲート時間よりも長いため、画素セルに静電容量に応じて電荷が蓄えられた後に電流測定を行うことが可能となる。これにより、画素セルにチャージされた跡に画素セル間の不良箇所で生じる電流リークを確実に検出可能となる。
【００７４】
（５）ゲートがオンとなったタイミングＴ０から待機時間Ｔ１経過後に電流測定を行うため、電流測定と画素セル駆動とを同期させることができる。このため、画素セルに電荷が蓄えられている最中に測定された電流に基づく誤検査を防止でき、欠陥検出精度を高めることができる。
【００７５】
（６）電流測定時にはバックライト１３が消灯されるので、各画素セルに設けられたＴＦＴ２２に照明光による光リーク電流が生じず、この光リーク電流のために画素セルの電流リーク有りと誤判定されることを防止できる。つまり、画素セル間電流リーク検査では電流測定により縮退不良を検出するので、目視検査が不要となり、縮退不良の検査時に照明を点灯することを不要にできる。
【００７６】
〔本発明の変形例〕
以上の各実施形態において、本発明を具体的に説明したが、本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形、改良が可能である。
【００７７】
本発明の変形例を図１３および図１４に示す。これら図１３、図１４は、前記実施形態の図６、図８とそれぞれ対比可能な図である。すなわち、図１４のように、検査用パッド２７Ｙの長さを図８の検査用パッド２７よりも短くすることで、検査用領域としての引出部２５Ｙの短辺方向の寸法Ｌ´も図６の引出部２５の長さＬより短くなる。これにより、小型の液晶パネルにおける画像表示領域２８（図１３）に比較しても検査用領域をより十分に小さくできる。引出部２５Ｙの長さＬ´のが短い分、図１４のように、液晶パネルの基板２０Ａのサイズを図６の場合よりも小型化できる。
【００７８】
なお、前記実施形態等では小型の情報電子機器に組み込まれる液晶パネルを示したが、これに限らず、プロジェクタ、リアプロジェクションテレビ、パーソナルコンピュータ等の各種電子機器に組み込まれる液晶パネルに本発明の液晶パネルの構成を適用し、この液晶パネルを本発明の検査装置および検査方法により検査できる。
【００７９】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】検査装置の構成外略図。
【図２】液晶パネルおよびコンタクトプローブの斜視図。
【図３】ソース線用のコンタクトプローブを示す平面図。
【図４】ゲート線用のコンタクトプローブを示す平面図。
【図５】検査用駆動装置の構成ブロック図。
【図６】液晶パネル基板の平面図。
【図７】ＴＦＴアレイを示す回路図。
【図８】図６の部分拡大図。
【図９】液晶パネルのソース線引出部における側断面図。
【図１０】液晶パネル製品の製造工程を示すフロー図。
【図１１】画素セル間電流リーク検査時における駆動回路を示す回路図。
【図１２】画素セル間電流リーク検査のタイミングチャート。
【図１３】本発明の変形例であり、液晶パネル基板の平面図。
【図１４】図１３の部分拡大図。
【図１５】従来のＲＧＢ３相千鳥配列を示す。
【符号の説明】
【００８１】
１０・・・検査装置、１３・・・バックライト（照明手段）、２０・・・液晶パネル（液晶表示パネル）、２１・・・画素電極、２３・・・ソース線、２４・・・ゲート線、２５，２５Ｙ・・・引出部（検査用領域）、２７，２７Ｙ・・・検査用パッド（検査用端子）、２８・・・画像表示領域、３１・・・奇数列回路網、３２・・・偶数列回路網、１１１Ｃ・・・第１コンタクト部、１１２Ｃ・・・第２コンタクト部、１２１・・・第１ソース駆動部、１２２・・・第２ソース駆動部、１２３・・・ゲート駆動部、１２４・・・第１電流測定部、１２５・・・第２電流測定部、１２６・・・検査制御部、１２６Ａ・・・計時部、１２６Ｂ・・・照明制御部、１２６Ｃ・・・電流差分取得部、２６０・・・絶縁膜、２６１・・・第１ライン、２６２・・・第２ライン、Ｉｓ１・・・電流、Ｉｓ１α・・・良品時電流、Ｉｓ１β・・・測定電流、Ｌ，Ｌ´・・・短辺寸法、ｌｓｔ１＿leak・・・差分、Ｓ、縮退不良、Ｔ１・・・待機時間、Ｔｃ・・・チャージ時間、Ｔｇ・・・ゲート時間。
【図１】
2008065152.tif 000003
【図２】
2008065152.tif 000004
【図３】
2008065152.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2008065152.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2008065152.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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