(57)【要約】【課題】回路基板に形成された配線パターンを正確、かつ安価に検査し得る検査装置を提供する。【解決手段】回路基板１に形成された配線パターン４を検査する検査装置１１であって、配線パターン４に直流電圧Ｖ１を印加する電圧印加部１３と、複数の電荷蓄積部および電荷蓄積部に蓄積された電荷を出力する電荷転送部を備えて配線パターン４上に非接触の状態で対向配置されると共に近接する配線パターン４の直流電圧Ｖ１に応じた電荷を各電荷蓄積部に蓄積可能に構成されたＣＣＤ１４と、ＣＣＤ１４から出力された各電荷蓄積部の蓄積された電荷の量に基づいて配線パターン４を検査する処理部１８とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板に形成された配線パターンを検査する検査装置であって、
前記配線パターンに所定の直流電圧を印加する電圧印加部と、
複数の電荷蓄積部および当該電荷蓄積部に蓄積された電荷を出力する電荷転送部を備えて前記配線パターン上に非接触の状態で対向配置されると共に近接する前記配線パターンの前記直流電圧に応じた電荷を当該各電荷蓄積部に蓄積可能に構成されたＣＣＤと、
前記ＣＣＤから出力された前記各電荷蓄積部の前記蓄積された電荷の量に基づいて前記配線パターンを検査する処理部とを備えている検査装置。
【請求項２】
前記ＣＣＤは、前記電荷蓄積部が１次元的に並設されたリニア型ＣＣＤで構成されている請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記ＣＣＤを移動可能に構成された移動機構を備えている請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記ＣＣＤは、前記電荷蓄積部が２次元的に並設されたエリア型ＣＣＤで構成されている請求項１記載の検査装置。
【請求項５】
回路基板に形成された配線パターンに所定の直流電圧を印加し、
複数の電荷蓄積部および当該電荷蓄積部に蓄積された電荷を出力する電荷転送部を備えたＣＣＤを前記配線パターン上に非接触の状態で対向配置させ、
近接する前記配線パターンの前記直流電圧に応じた電荷を前記ＣＣＤの前記各電荷蓄積部に蓄積させると共に前記電荷転送部を介して当該各電荷蓄積部に蓄積された前記電荷を出力させ、
前記出力された電荷の量に基づいて前記配線パターンを検査する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板に形成された配線パターンを検査可能な検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、特開２０００−５５９９１号公報に開示された検査装置（検査システム）が知られている。この検査装置は、微細な配線パターンが形成された回路基板を検査する検査装置であって、センサボード、マトリクスボード、発振器、コントローラおよびＣＲＴ装置を備えて構成されている。この場合、センサボードは、２次元状に等間隔で配設された多数のセンサ要素を有している。
【０００３】
この検査装置では、配線パターンの上空にセンサボードを非接触の状態で配置し、コントローラが、回路基板の検査対象となっている１つの配線パターンに発振器からの検査信号（交流成分を含む）をマトリクスボードを介して容量結合によって印加する。また、コントローラは、検査対象ではない配線パターンをマトリクスボードを介して接地する。この場合、検査信号が印加された配線パターンの端部から放射波が出力されて、この放射波は近接するセンサ要素に達する。各センサ要素は、配線パターンまでの距離に応じた大きさの出力信号をコントローラに出力する。コントローラは、各センサ要素からの出力信号をディジタルデータに変換してメモリに記憶すると共に、一例としてメモリに記憶したディジタルデータをその値に応じて輝度変調して、センサボードにおける各センサ要素の位置に対応させて２次元状にＣＲＴ装置に表示する。これにより、ユーザーは、ＣＲＴ装置をモニタすることにより、表示された輝度分布に基づいて配線パターンの状態（断線状態あるいは短絡状態）を判定することができる。
【特許文献１】特開２０００−５５９９１号公報（第４−７頁、第２，２２，２６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この検査装置では、交流成分を含む検査信号を検査対象の配線パターンに容量結合によって供給する構成のため、たとえ検査対象となっていない配線パターンを接地したとしても、検査対象となっていない配線パターンへの検査信号の回り込みが発生し易く、また浮遊容量の影響も受け易い。したがって、この検査装置には、正確な検査が困難であるという問題点が存在している。また、複数のセンサ要素を備えた専用のセンサボードを用意する必要があるため、装置コストが高価になるという問題点も存在している。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、回路基板に形成された配線パターンを正確、かつ安価に検査し得る検査装置および検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、回路基板に形成された配線パターンを検査する検査装置であって、前記配線パターンに所定の直流電圧を印加する電圧印加部と、複数の電荷蓄積部および当該電荷蓄積部に蓄積された電荷を出力する電荷転送部を備えて前記配線パターン上に非接触の状態で対向配置されると共に近接する前記配線パターンの前記直流電圧に応じた電荷を当該各電荷蓄積部に蓄積可能に構成されたＣＣＤと、前記ＣＣＤから出力された前記各電荷蓄積部の前記蓄積された電荷の量に基づいて前記配線パターンを検査する処理部とを備えている。
【０００７】
請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記ＣＣＤは、前記電荷蓄積部が１次元的に並設されたリニア型ＣＣＤで構成されている。
【０００８】
請求項３記載の検査装置は、請求項２記載の検査装置において、前記ＣＣＤを移動可能に構成された移動機構を備えている。
【０００９】
請求項４記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記ＣＣＤは、前記電荷蓄積部が２次元的に並設されたエリア型ＣＣＤで構成されている。
【００１０】
請求項５記載の検査方法は、回路基板に形成された配線パターンに所定の直流電圧を印加し、複数の電荷蓄積部および当該電荷蓄積部に蓄積された電荷を出力する電荷転送部を備えたＣＣＤを前記配線パターン上に非接触の状態で対向配置させ、近接する前記配線パターンの前記直流電圧に応じた電荷を前記ＣＣＤの前記各電荷蓄積部に蓄積させると共に前記電荷転送部を介して当該各電荷蓄積部に蓄積された前記電荷を出力させ、前記出力された電荷の量に基づいて前記配線パターンを検査する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の検査装置および請求項５記載の検査方法では、電圧印加部によって配線パターンに直流電圧を印加した状態において、処理部がＣＣＤから読み出した各電荷蓄積部に蓄積された電荷の量に基づいて配線パターンを検査する。したがって、この検査装置および検査方法によれば、容量結合を利用しない構成のため、結合容量の容量値変化に起因して検査が不安定になるという事態を確実に回避することができるため、正確な断線検査を実施することができる。また、ＣＣＤとして市販のＣＣＤを用いることができ、これにより、装置のコスト、ひいては検査コストを低コストに抑えつつ十分な精度での配線パターンの検査を実行することができる。
【００１２】
また、請求項２記載の検査装置によれば、ＣＣＤとしてリニア型ＣＣＤを用いたことにより、エリア型ＣＣＤを用いるのと比較して、より少ない種類の駆動信号でＣＣＤを駆動することができるため、駆動部ひいては装置全体を簡易に構成することができる。また、処理部において処理するディジタルデータの量が少ないため、例えば処理部を構成するＣＰＵとして安価なＣＰＵを用いることができる。したがって、この検査装置によれば、装置コスト、ひいては検査コストを一層低減することができる。
【００１３】
また、請求項３記載の検査装置によれば、ＣＣＤ（リニア型ＣＣＤ）を移動機構によって移動させる（スキャニングする）ようにしたことにより、移動機構が、配線パターンにおける電圧印加部によって直流電圧が印加されている側の反対側から印加されている側に向けて（配線パターンに沿った方向に向けて）ＣＣＤを移動させることで、各配線パターンについての断線検査を実施できると共に、断線が発生した配線パターンに対応した電荷蓄積部の電荷の量が、断線の発生していない配線パターンに対応した電荷蓄積部の電荷の量とほぼ同じになった時点でのＣＣＤの移動量に基づいて、断線が発生した配線パターンの断線部位の位置を特定することもできる。
【００１４】
また、請求項４記載の検査装置によれば、ＣＣＤとしてリニア型ＣＣＤを用いたことにより、ＣＣＤにおける各電荷蓄積部の二次元的な配置に対応した複数の方形領域の輝度が各方形領域に対応する電荷蓄積部の電荷の量に対応した輝度となる画像を表示部などに表示させることができる。したがって、この検査装置によれば、表示部に表示された画像を目視することにより、または、この画像についての表示データを用いた画像認識処理を実行することにより、各配線パターンについての断線検査を実施できると共に、断線が存在している配線パターンを特定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る検査装置および検査方法の最良の形態について説明する。なお、検査装置の検査対象体として、図１に示すように、半導体チップを搭載するための回路基板１を例に挙げて説明する。この場合、この回路基板１には、一例として、半導体チップの端子と接続される複数の電極２，２・・・が、半導体チップの端子と同じファインなピッチ（例えば０．２ｍｍ以下のピッチ）で直線的に２列形成されている。また、回路基板１には、電極２，２・・・を挟むようにして、外部接続用の電極３，３・・・が電極２，２・・・よりも広いピッチで電極２，２・・・と同数の２列に形成されている。さらに、回路基板１には、電極２と電極３とを一対一で接続する配線パターン４，４・・・が電極２と同数形成されている。
【００１６】
検査装置１１は、図１に示すように、複数のプローブ１２，１２・・・、電圧印加部１３、ＣＣＤ１４、駆動部１５、測定部１６、移動機構１７、処理部１８および表示部１９を備え、本発明に係る検査方法を実施して回路基板１の各配線パターン４の接続状態を検査可能に構成されている。
【００１７】
各プローブ１２，１２・・・は、検査位置に配設された回路基板１に対して移動機構１７によって同時に接離可能に構成されている。電圧印加部１３は、処理部１８の制御下で、すべてのプローブ１２に直流電圧Ｖ１を出力する。本例では、電圧印加部１３は、処理部１８から制御信号Ｓ１を入力しているときに直流電圧Ｖ１を出力する。なお、本発明における直流電圧Ｖ１とは、直流（極性だけでなく大きさも時間によって変化しない電流）または周波数の非常に低い（例えば１Ｈｚ以下）交流成分が重畳した直流をいうものとする。
【００１８】
ＣＣＤ（Charge Coupled Devices（電荷結合素子））１４は、図８に示すように、等ピッチまたはほぼ等しいピッチ（本例では等ピッチ）で一列（一次元的）に並設された複数（一例として７つ）の電荷蓄積部１４ａ、および各電荷蓄積部１４ａに蓄積された電荷を読み出す（出力する）ための電荷転送部１４ｂを備えて構成されている。また、ＣＣＤ１４は、検査位置に回路基板１が配設された状態において、回路基板１から若干離間し、かつ回路基板１と平行な状態に配置される。また、並設された複数の電荷蓄積部１４ａの全長は、並設された電極２の１列分の長さよりも長くなるように規定されている。この場合、ＣＣＤ１４の各電荷蓄積部１４ａには、各電荷蓄積部１４ａと近接する導体（本例では、電極２や配線パターン４）の直流電圧値に応じた電荷が蓄積されることが本願発明者の実験によって確認されている。また、ＣＣＤ１４は、駆動部１５から種々の駆動信号Ｓ２（例えば転送クロック）を入力して、すべての電荷蓄積部１４ａに蓄積された電荷を電荷転送部１４ｂを介して順番に出力する動作を所定の周期（後述するタイミング信号Ｓｔと同一周期）で繰り返すことにより、電圧信号Ｓｖを出力する。
【００１９】
本例では、ＣＣＤ１４として、市販のリニア型ＣＣＤ（一例としてＮＥＣ社製の「μＰＤ３７３４Ａ」）を用いている。この市販のリニア型ＣＣＤは、一般的にイメージセンサ（撮像素子）として構成されているため、電荷蓄積部１４ａおよび電荷転送部１４ｂの他に、光を受光すると共に受光した光を電荷の量に変換する光電変換部も備えている。しかしながら、この光電変換部が受光しない状態に維持することにより（例えば暗室などに検査装置１１を設置することにより）、市販のリニア型ＣＣＤにおいても、電極２または配線パターン４の直流電圧にのみ応じて電荷蓄積部１４ａに電荷を蓄積することができ、ＣＣＤ１４として用いることができる。また、近年の市販のリニア型ＣＣＤでは、電荷蓄積部１４ａの数が少なくとも５１２個以上あり、かつ各電荷蓄積部１４ａの間隔が各電極２のピッチよりも十分に狭いピッチ（上記μＰＤ３７３４Ａでは約１１μｍ）となっている。このため、入手が容易で、かつ安価な市販のリニア型ＣＣＤをＣＣＤ１４として用いることにより、検査装置１１のコスト上昇が抑制されて、しかも十分な検査精度が確保される。
【００２０】
駆動部１５は、ＣＣＤ１４を駆動するための駆動信号Ｓ２を生成してＣＣＤ１４に出力すると共に、ＣＣＤ１４のすべての電荷蓄積部１４ａに蓄積された電荷を読み出す１周期分を示すタイミング信号Ｓｔを生成して処理部１８に出力する。測定部１６は、Ａ／Ｄ変換器（図示せず）を備えて構成されて、ＣＣＤ１４から出力された電圧信号Ｓｖを所定のサンプリング周期でディジタルデータＤ１に変換する。また、測定部１６は、変換したディジタルデータＤ１を処理部１８に出力する。移動機構１７は、処理部１８の制御下で、具体的には処理部１８から出力される制御データＤ２の内容に基づいて、各プローブ１２，１２・・・を回路基板１に対して接離させると共に、図２に示すように、各電極２，２・・・の並び方向（同図における上下方向）と平行な状態にＣＣＤ１４を保持しつつ、１列に配設された各電極２，２・・・の手前側に規定された待機位置Ａと、各電極２，２・・・の直上に位置する検出位置Ｂとの間でＣＣＤ１４を平行移動させる。つまり、移動機構１７は、電荷蓄積部１４ａの並設方向と直交する方向（同図における矢印の方向であって配線パターンに沿った方向）に向けてＣＣＤ１４を移動させる。この場合、配線パターン４の延在方向が電荷蓄積部１４ａの並設方向と直交していないときには、移動機構１７が電荷蓄積部１４ａの並設方向と交差する方向であって配線パターンに沿った方向に向けてＣＣＤ１４を移動させることもできる。
【００２１】
処理部１８は、ＣＰＵおよびメモリ（いずれも図示せず）を備えて構成されている。また、処理部１８は、検査装置１１内の各構成要素に対する動作制御と、ディジタルデータＤ１に基づく各配線パターン４に対する検査処理とを実行する。この場合、メモリには、ＣＰＵの動作プログラムと、検査処理において用いる基準データＤｒとが予め記憶されている。表示部１９は、一例としてＬＣＤ（Liquid Crystal Display）を用いて構成されている。また、表示部１９は、処理部１８の制御下で、検査処理についての結果を表示する。
【００２２】
次に、検査装置１１の動作および検査方法について説明する。
【００２３】
まず、回路基板１を検査位置に配置して、検査装置１１の電源を投入する。これにより、駆動部１５が、駆動信号Ｓ２およびタイミング信号Ｓｔの生成を開始すると共に、生成した駆動信号Ｓ２のＣＣＤ１４への供給と、タイミング信号Ｓｔの処理部１８への供給とを開始する。駆動信号Ｓ２のＣＣＤ１４への供給により、ＣＣＤ１４は、電圧信号Ｓｖの生成を開始する。また、測定部１６は、ＣＣＤ１４から出力された電圧信号ＳｖのディジタルデータＤ１への変換を開始する。
【００２４】
次いで、処理部１８が、各プローブ１２を回路基板１に対して接近させる旨の制御データＤ２を移動機構１７に出力する。これに応じて移動機構１７は、各プローブ１２を回路基板１に対して接近させて、対応する電極３にそれぞれ接触させる。また、処理部１８は、ＣＣＤ１４を待機位置Ａに移動させる旨の制御データＤ２を移動機構１７に出力する。これに応じて移動機構１７は、図２において破線で示す待機位置ＡにＣＣＤ１４を移動させる。また、処理部１８は、制御信号Ｓ１を電圧印加部１３に対して出力して、直流電圧Ｖ１の生成を開始させる。これにより、電圧印加部１３で生成された直流電圧Ｖ１が各プローブ１２を介してすべての電極３に印加される。
【００２５】
続いて、処理部１８は検査処理を実行する。この検査処理では、処理部１８は、まず、タイミング信号Ｓｔに同期したディジタルデータＤ１の読み込み（入力）処理と、読み込んだディジタルデータＤ１とメモリに記憶されている基準データＤｒとの比較処理とを開始する。この場合、読み込み処理では、処理部１８は、タイミング信号Ｓｔの一周期分のディジタルデータＤ１を一単位として取得してメモリに記憶する。これにより、メモリには、ＣＣＤ１４のすべての電荷蓄積部１４ａから一回に出力されるそれぞれの電荷の量を示すデータがディジタルデータＤ１として記憶される。
【００２６】
次いで、処理部１８は、ＣＣＤ１４を待機位置Ａから検出位置Ｂまで移動させる旨の制御データＤ２を移動機構１７に出力する。これに応じて移動機構１７は、図２に示すように、ＣＣＤ１４を検出位置Ｂまで徐々に移動させて停止させる。これにより、ＣＣＤ１４は、一方の列（同図中の左側の列）の各電極２の直上に移動する。
【００２７】
この場合、各プローブ１２および各電極３を介して、電圧印加部１３から各配線パターン４に直流電圧Ｖ１が印加され、さらに各配線パターン４を介して各電極２にも直流電圧Ｖ１が印加された状態となっている。このため、ＣＣＤ１４に一列に並設された各電荷蓄積部１４ａに蓄積される電荷の量は、ＣＣＤ１４が各電極２に近づくに従って次第に増加するものの、直流電圧Ｖ１が印加されている電極２に近い電荷蓄積部１４ａほど大きくなり、遠い電荷蓄積部１４ａほど小さくなる。したがって、すべての電極２に直流電圧Ｖ１が印加されている状況下では、タイミング信号Ｓｔの１周期分のディジタルデータＤ１には、図３に示すように、各電極２の数と同数のピークが等間隔で現れる。また、この各ピークでのディジタルデータＤ１の値は、ＣＣＤ１４が電極２の先端部に達する若干手前において正常値範囲Ｒ１に含まれるようになり、その後、電極２の先端部に達した段階でほぼ最高になり、検出位置Ｂに移動するまでこの状態（正常値範囲Ｒ１に含まれ、かつ最高となる状態）が維持される。
【００２８】
一方、図２に示すように、一部の配線パターン４（同図では一例として下から２番目の配線パターン４）に断線が発生しているときには、この配線パターン４に接続されている電極２には直流電圧Ｖ１は印加されない。このため、ＣＣＤ１４が電極２の先端部に達した状態および検出位置Ｂに移動した状態でのディジタルデータＤ１では、図４に示すように、断線が発生している配線パターン４に接続されている電極２に対応するピーク（同図中の左から２番目のピーク）の値が、他のピークの値と比べて十分に低い値（異常値範囲Ｒ２に含まれる値）となる。このため、上記した正常値範囲Ｒ１と異常値範囲Ｒ２とを予め実験で求めて、各範囲Ｒ１，Ｒ２間の所定値を基準データＤｒとして予め設定しておくことにより、処理部１８は、比較処理を実行することで、配線パターン４に断線が発生しているか否かを正確に判別することができると共に、断線が発生している配線パターン４を特定することができる。
【００２９】
処理部１８は、ＣＣＤ１４が待機位置Ａから検出位置Ｂへ移動するまでの間、上記した読み込み処理と比較処理とを繰り返し実行すると共に、ＣＣＤ１４の検出位置Ｂへの移動が完了した時点での比較の結果、すなわち配線パターン４に断線が発生しているか否かの比較結果と、断線が発生しているときには、その配線パターン４を示す情報（何番目などの情報）とを表示部１９に表示させる。また、処理部１８は、制御信号Ｓ１の出力を停止し、かつ各プローブ１２を回路基板１から離反させる旨の制御データＤ２を移動機構１７に出力することにより、電圧印加部１３に対して直流電圧Ｖ１の出力を停止させると共に、各プローブ１２を回路基板１から離反させる。これにより、検査処理が完了する。なお、引き続き、もう一方側の配線パターン４に対する検査を行うときには、回路基板１の向きを１８０°変えて実行する。
【００３０】
このように、この検査装置１１および検査方法では、電圧印加部１３が配線パターン４に直流電圧Ｖ１を印加した状態において、処理部１８がＣＣＤ１４から読み出した電圧信号Ｓｖ（各電荷蓄積部１４ａに蓄積された電荷の量）に基づいて配線パターン４を断線検査する。したがって、この検査装置１１および検査方法によれば、容量結合を利用しない構成のため、結合容量の容量値変化に起因して検査が不安定になるという事態を確実に回避することができるため、正確な断線検査を実施することができる。また、ＣＣＤ１４として市販のＣＣＤを用いることができ、これにより、装置のコスト、ひいては検査コストを低コストに抑えつつ十分な精度での配線パターン４の検査を実行することができる。
【００３１】
また、この検査装置１１および検査方法によれば、ＣＣＤ１４としてリニア型ＣＣＤを用いたことにより、エリア型ＣＣＤを用いるのと比較して、より少ない種類の駆動信号Ｓ２でＣＣＤ１４を駆動することができるため、駆動部１５を簡易に構成することができる。また、処理部１８において処理するディジタルデータＤ１の量が少ないため、例えば処理部１８を構成するＣＰＵとして安価なＣＰＵを用いることができる。したがって、この検査装置１１および検査方法によれば、装置コスト、ひいては検査コストを一層低減することができる。
【００３２】
なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限定されず、適宜変更が可能である。例えば、上述した実施の形態では、ＣＣＤ１４を各電極２の直上に位置する検出位置Ｂまで移動して停止させる構成を採用したが、例えば、移動機構１７がＣＣＤ１４をさらに各電極３側に移動させつつ、処理部１８が上記の検査処理を実行する構成とすることもできる。この構成によれば、各電極２（配線パターン４における電圧印加部１３によって直流電圧Ｖ１が印加されている側の反対側）から各電極３（配線パターン４における電圧印加部１３によって直流電圧Ｖ１が印加されている側）に向けて延びる各配線パターン４をＣＣＤ１４でスキャニングすることにより、断線が発生した配線パターン４であっても、断線箇所から電極３寄りの部位に直流電圧Ｖ１が供給されているため、当初異常値範囲Ｒ２にあったディジタルデータＤ１における特定のピークの値（つまり特定の配線パターン４についての値）が基準データＤｒの値以上になった時点（または異常値範囲Ｒ２外となった時点、または正常値範囲Ｒ１内になった時点。つまり、正常な配線パターン４に対応するディジタルデータＤ１と同じ値になった時点）での待機位置ＡからのＣＣＤ１４の移動量を処理部１８が検出することにより、配線パターン４に発生した断線部位の位置を特定することができる。
【００３３】
また、上述した実施の形態では、ＣＣＤ１４としてリニア型ＣＣＤを用いた例を挙げて説明したが、図５に示す検査装置２１のように、ＣＣＤ１４に代えて市販のエリア型ＣＣＤを用いることもできる。以下、検査装置２１の説明において、検査装置１１と同一の構成については同一の符号を付して、重複する説明を省略する。
【００３４】
検査装置２１は、図５に示すように、複数のプローブ１２，１２・・・、電圧印加部１３、ＣＣＤ２４、駆動部１５、測定部１６、移動機構１７、処理部１８および表示部１９を備え、本発明に係る検査方法を実施して回路基板１の各配線パターン４の接続状態を検査可能に構成されている。
【００３５】
ＣＣＤ２４は、図９に示すように、マトリックス状（二次元的）に並設された複数の電荷蓄積部２４ａ、および各電荷蓄積部２４ａに蓄積された電荷を読み出すための電荷転送部２４ｂを備えて構成されている。また、ＣＣＤ２４は、検査位置に回路基板１が配設された状態において、回路基板１から若干離間し、かつ回路基板１と平行な状態に配置される。また、並設された複数の電荷蓄積部２４ａの全領域は、図６に示すように、並設された電極２の１列分、およびこれらに接続されたすべての配線パターン４における電極２側寄りの部分を含む大きさに設定されている。また、ＣＣＤ２４は、駆動部１５から種々の駆動信号Ｓ２を入力して、各電荷蓄積部２４ａに蓄積された電荷を電荷転送部２４ｂを介して順番に出力する動作を所定の周期（タイミング信号Ｓｔと同一周期）で繰り返すことにより、電圧信号Ｓｖを出力する。具体的には、ＣＣＤ２４の電荷蓄積部２４ａは、水平方向および垂直方向のそれぞれに複数並設されている。このため、ＣＣＤ２４では、電荷転送部２４ｂが、水平方向に一列に並設された複数の電荷蓄積部２４ａを一単位として、この一単位に含まれている電荷蓄積部２４ａに蓄積された電荷を順次読み出す動作を、垂直方向に列を順に変えながら行うことにより、タイミング信号Ｓｔの１周期で、すべての電荷蓄積部２４ａの電荷を読み出して電圧信号Ｓｖとして出力する。
【００３６】
ＣＣＤ２４としては、例えば市販のエリア型ＣＣＤ（一例としてＳＯＮＹ社製のイメージセンサ「ＩＣＸ４２３ＡＬ」）を用いることができる。このＣＣＤは、水平方向約９ｍｍ、垂直方向約６ｍｍのイメージサイズ中に、水平方向約８００個、垂直方向約６００個の電荷蓄積部２４ａ（画素）が配設されているため、各電荷蓄積部２４ａの間隔は各電極２のピッチよりも十分に狭い約１１μｍとなっている。また、この種のエリア型ＣＣＤは、入手が容易で、かつ安価である。したがって、この種の市販のエリア型ＣＣＤをＣＣＤ２４として用いることにより、検査装置２１のコストが抑制され、かつ十分な検査精度が確保される。
【００３７】
この検査装置２１では、処理部１８が、読み込み処理において、測定部１６から出力されるディジタルデータＤ１を読み込むと共に、メモリ内に予め確保された表示用の表示データ記憶領域内に、ＣＣＤ２４における各電荷蓄積部２４ａの二次元的な配置に対応させて順次記憶する。また、処理部１８は、タイミング信号Ｓｔの１周期分のディジタルデータＤ１の読み込みが完了する都度、表示データ記憶領域に記憶したディジタルデータＤ１を読み出すと共に、一例として、ディジタルデータＤ１の値が大きくなる程、輝度が低下する（濃くなる）表示データとして表示部１９に出力する。これにより、図７に示すように、ＣＣＤ２４における各電荷蓄積部２４ａの二次元的な配置に対応した複数の方形領域の輝度が各方形領域に対応する電荷蓄積部２４ａのディジタルデータＤ１の値の大きさに対応した輝度となる画像が、表示部１９に表示される。これにより、例えば、図６に示すように配線パターン４に発生した断線部分については、図７に示すように、同じ輝度（低い輝度）の画像が途中で途切れた画像として表示される。したがって、この検査装置２１によれば、表示部１９に表示された画像を目視することにより、各配線パターン４についての断線検査を実施できると共に、断線が存在している配線パターン４を特定することができる。また、リニア型ＣＣＤとは異なり、ＣＣＤを移動することなく（スキャンすることなく）、断線箇所の位置を特定することができる。さらには、図示はしないが、隣接する２本の配線パターン４に対応する同じ輝度の画像間に、ほぼ同じ輝度の画像が介在しているか（繋がっているか）否かに基づいて、この２本の配線パターン４間に発生する短絡についても検査することができる。なお、処理部１８が表示データを用いた画像認識処理を実行することにより、配線パターン４についての断線や短絡の発生の有無を自動検出する構成を採用することもできる。
【００３８】
また、この検査装置２１では、良品（配線パターン４に断線や短絡のない回路基板１）の画像をメモリに基準画像として予め記憶させておき、読み込み処理においてメモリに記憶した画像を基準画像と比較（パターンマッチング）することにより、配線パターン４における断線や短絡の発生の有無を検査することもできる。
【００３９】
また、上記の検査装置１１において、リニア型ＣＣＤのＣＣＤ１４で配線パターン４をスキャニングさせる構成について説明したが、この構成に加えて、処理部１８がスキャニングによって得られたディジタルデータＤ１をメモリに予め確保された表示データ記憶領域内に順次記憶する構成を採用することにより、ＣＣＤ２４を用いた検査装置２１と同じディジタルデータＤ１をメモリに記憶させることができる。したがって、この構成によれば、検査装置１１においても、装置コストを抑えつつ、検査装置２１と同様にして、図７に示す画像を表示部１９に表示させることができ、この画像に基づいて、断線および短絡の検査を実施することができる。
【００４０】
また、上述した実施の形態では、ＣＣＤ１４，２４として、図８，９に示す構成のＣＣＤ（インターライン方式のＣＣＤ）を用いているが、フルフレーム方式のＣＣＤやフレームトランスファー方式のＣＣＤなどの他の構成を備えたＣＣＤを用いることもできる。また、ＣＣＤ１４，２４として、光電変換部を備えた一般的な市販のイメージセンサを用いているが、光電変換部を有していないＣＣＤを用いてもよいのは勿論である。
【００４１】
また、上述した実施の形態では、検査処理の開始直前から終了直前までの間、電圧印加部１３から各配線パターン４に直流電圧Ｖ１を連続して印加する構成について説明したが、電圧印加部１３から各配線パターン４に直流電圧Ｖ１を間欠的に（パルス的であってもよいし三角波状であってもよい）に印加すると共に、測定部１６が直流電圧Ｖ１の印加のタイミングに同期してＣＣＤ１４，２４から出力される電圧信号ＳｖをディジタルデータＤ１に変換して出力する構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】回路基板１および検査装置１１の構成を示す構成図である。
【図２】ＣＣＤ１４と、電極２，３および配線パターン４との位置関係を示す回路基板１の平面図である。
【図３】配線パターン４に断線の発生していない状態でのタイミング信号Ｓｔの１周期分のディジタルデータＤ１の値を示す特性図である。
【図４】２番目の配線パターン４にのみ断線が発生している状態でのタイミング信号Ｓｔの１周期分のディジタルデータＤ１の値を示す特性図である。
【図５】検査装置２１の構成を示す構成図である。
【図６】ＣＣＤ２４と、電極２，３および配線パターン４との位置関係を示す回路基板１の平面図である。
【図７】検査装置２１の表示部１９に表示された検査結果を示す画像図（断線箇所を含む要部領域の画像図）である。
【図８】ＣＣＤ１４の構成図である。
【図９】ＣＣＤ２４の構成図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  回路基板
４  配線パターン
１１，２１  検査装置
１３  電圧印加部
１４，２４  ＣＣＤ
１４ａ，２４ａ  電荷蓄積部
１４ｂ，２４ｂ  電荷転送部
１７  移動機構
１８  処理部
Ｖ１  直流電圧
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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