(57)【要約】  【課題】  エアロゾルデポジション装置において、膜形成速度を上げて成膜効率を維持するには、ノズルにエアロゾルを送る際、エアロゾル発生部から供給されるエアロゾル中の粉体濃度を高くすることが望ましい。  【解決手段】  エアロゾルデポジション装置１において、エアロゾル発生部２内に、第１の偏向板１０５と第２の偏向板１０６を設けることで、粉体１０４の収容空間１１０と第１分級空間１１１と第２分級空間１１２を構成し、エアロゾルの流通順と同様、収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２の順に、エアロゾル流れに対して垂直方向の断面積を大きくする。これにより、エアロゾル発生部２内で大粒径や凝集した粉体１０４を分級し、比較的小粒径の粉体１０４を含むエアロゾルをエアロゾル発生部２から供給させる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムの複合酸化物を含む粉体を収容し、ガスを導入して前記粉体のエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、リチウム二次電池電極用の基材に前記エアロゾルを噴霧させる成膜部とを有するエアロゾルデポジション装置であって、
前記エアロゾル発生部は、
密閉容器と、
前記密閉容器の内部を前記粉体の収容空間と複数の分級空間とに仕切り、前記収容空間と前記複数の分級空間における前記エアロゾルの流れに対して垂直方向の断面積が前記エアロゾルを流通させる順で大きくなるように設けられた複数の偏向板と、
前記収容空間に開口部分を有し、前記ガスを導入する導入部と、
前記分級空間に開口部分を有し、前記エアロゾルを導出する導出部とを備えたエアロゾルデポジション装置。
【請求項２】
前記偏向板が、前記エアロゾルの流れを上下に一回以上繰り返されるように設けられた、
請求項１に記載のエアロゾルデポジション装置。
【請求項３】
前記分級空間の底部に粉体回収機構が設けられた、
請求項１に記載のエアロゾルデポジション装置。
【請求項４】
前記収容空間の底部の形状が、丸型の凹状、円錐型の凹状、台形型の凹状のいずれかである、
請求項１に記載のエアロゾルデポジション装置。
【請求項５】
前記密閉容器を円筒形状の容器とし、前記密閉容器と中心を同じにする同心円形状に前記偏向板を設けた、
請求項１に記載のエアロゾルデポジション装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアロゾルを用いたリチウム二次電池用極板製造用のエアロゾルデポジション装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、非水電解質二次電池の高容量化のため、活物質粒子の粉体を分散させた気流（エアロゾル）を集電体基材に吹き付け、活物質粒子を衝突させた時の衝撃力で集電体基材表面に活物質粒子を接合させる、エアロゾルデポジション法を利用した電極の製造方法が注目されている。この製造方法は、常温での製造方法にもかかわらず、焼成方法により形成された膜と同等の機械的強度を有する膜を形成することができる。また、電極の容量に寄与しないバインダーおよび導電材を不要とすることができるので、体積あたりの容量が高い電極を得ることができる。
【０００３】
しかしながら、エアロゾルデポジション法は、衝撃力を利用して活物質粒子となる粉体を変形あるいは破砕させて基材表面に接合させるので、衝撃力を吸収しやすい大粒径の粉体や凝集した粉体を基材表面へ接合させることは難しい。従って、基材表面への接合性を向上させるには、粉体の粒径を一定に小さく揃えることが重要となる。
【０００４】
そこで、エアロゾル発生部で発生したエアロゾル中の大粒径の粉体や凝集した粉体が、粉体を噴霧するノズルへ流れ出ないように、エアロゾルをノズル側に導出する導出部の直下に遮蔽機構を設けることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、エアロゾル中の粒子を、遮蔽板上に吹き付けて大粒径の粒子を堆積させる方法や、ガス流れ方向を変化させて大粒径の粒子と分離する方法で分級し、特定の粒径未満の超微粒子のみを成膜する方法も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−１６６０７６号公報
【特許文献２】特開平１１−２１６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、遮蔽機構を設けた場合、噴霧すべき小粒径の粉体の一部も遮蔽される。また、遮蔽板上に吹き付ける方法や、ガス流れ方向を変化させる方法で粒子を分級する場合も、噴霧すべき小粒径の粉体の一部が遮蔽板上に堆積、あるいはエアロゾル発生部外へ排出される。
【０００７】
その結果、エアロゾル中の粉体濃度が低くなり、基材表面の膜形成速度が遅くなるので、成膜効率が低下する。特に、リチウムイオン電池の正極活物質材料として用いられるリチウム含有複合酸化物、例えばＬｉＮｉ０．８１Ｃｏ０．１５Ａｌ０．０４Ｏ２、ＬｉＮｉ０．３３Ｃｏ０．３３Ｍｎ０．３３Ｏ２などの粉体は、粉体同士が凝集しやすいので、成膜効率が低下する傾向が強くなる。
【０００８】
従って、従来の分級方法を用いたエアロゾルデポジション装置を用いてリチウム二次電池用の極板を製造する場合、成膜効率を維持するためには、粉体量を多くしてエアロゾル中の粉体濃度を高くする必要があるのだが、それに伴って、エアロゾル発生部のサイズが大きくなるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明のエアロゾルデポジション装置は、リチウムの複合酸化物を含む粉体を収容し、ガスを導入して粉体のエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、リチウム二次電池電極用の基材にエアロゾルを噴霧させる成膜部とを有するエアロゾルデポジション装置であって、エアロゾル発生部は、密閉容器と、密閉容器の内部を粉体の収容空間と複数の分級空間とに仕切り、収容空間と複数の分級空間におけるエアロゾルの流れに対して垂直方向の断面積がエアロゾルを流通させる順で大きくなるように設けられた複数の偏向板と、収容空間に開口部分を有してガスを導入する導入部と、分級空間に開口部分を有してエアロゾルを導出する導出部とで構成する。
【００１０】
本構成により、発生させたエアロゾル中の粉体を大粒径と小粒径に安定的に分級し、エアロゾル中の小粒径の粉体を効率的に成膜部に送ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のエアロゾルデポジション装置によれば、粉体量を増やすことなく、エアロゾル中の粉体濃度を一定に維持しながら、基材上への膜形成速度を速くして、成膜効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
〈エアロゾルデポジション装置１の構成〉
図１に、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１の概略図を示す。図１に示すように、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１は、粉体とガスからエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部２、エアロゾルにより基材７に膜８を形成する成膜部９、ガス供給源であるガスボンベ１０、エアロゾルを発生させるためのガスを供給するガス導入部１０２、およびエアロゾルを成膜部９に供給するためのガス導出部１０３で構成されている。
【００１４】
エアロゾル発生部２は、ガス導入部１０２によりガスボンベ１０と接続されている。また、エアロゾル発生部２は、ガス導出部１０３により成膜部９と接続されている。
【００１５】
成膜部９は、エアロゾル発生部２から供給されたエアロゾルにより基材７上に膜８を形成する成膜室３と、成膜室３内を減圧する真空ポンプ４で構成されている。また、成膜室３内には、ガス導出部１０３の先端部に接続されてエアロゾルを噴霧するノズル５と、基材７を保持する基材ホルダー６が設置されている。
【００１６】
〈エアロゾル発生部２の構成〉
図２に、本発明の実施の形態１におけるエアロゾル発生部２の縦断面図を示す。図３に、図２におけるＺ−Ｚ線断面図を示す。
【００１７】
図２および図３に示すように、円筒状のエアロゾル発生部２の内部には、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６が、エアロゾル発生部２の外壁１０１と中心を同じにする同心円形状に設置されている。
【００１８】
エアロゾル発生部２の内部空間は、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６により、中心部から順に収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２に仕切られている。
【００１９】
図３において、ＡおよびＢは、第１の偏向板１０５の内径および外径、ＣおよびＤは、第２の偏向板１０６の内径および外径、Ｅは、外壁１０１の内径を示し、Ａ２＜（Ｃ２−Ｂ２）＜（Ｅ２−Ｄ２）の関係を満たしている。すなわち、エアロゾルの流通順と同様、収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２の順に、エアロゾル流れに対して垂直方向の各断面積が大きくなるように、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６が配置されている。
【００２０】
ここで、「エアロゾル流れに対して垂直方向の断面積」とは、エアロゾル発生部２内でのエアロゾルが、収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２において、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６に沿って一定方向に流れていると仮定し、そのエアロゾルの流れ方向に対して垂直に位置する断面積を定義したものである。
【００２１】
また、第１の偏向板１０５の上端とエアロゾル発生部２の上面との間、および第２の偏向板１０６の下端とエアロゾル発生部２の底面との間には、エアロゾルを流通させるための開口部分が全周にそれぞれ設けられている。なお、本発明の実施の形態１では、第２の偏向板１０６の下端とエアロゾル発生部２の底面との間の開口部分の面積を、第２分級空間１１２のエアロゾル流れに対して垂直方向の断面積より大きな面積とした。
【００２２】
収容空間１１０の底部は、第１の偏向板１０５の下端部の厚みを、収容空間１１０の中心に向かって徐々に厚くすることにより形成された丸型の凹状であって、粉体１０４が収容空間１１０の底部中央に集まりやすい形状となっている。
【００２３】
収容空間１１０の内側には、粉体１０４にガスを直接吹き付けることができるように、ガス導入部１０２の先端部が、エアロゾル発生部２の上面中央を貫通して、粉体１０４の近傍に設けられている。また、第２分級空間１１２の内側には、発生させたエアロゾルを導出させるために、ガス導出部１０３の先端部が、エアロゾル発生部２上面の外縁近傍を貫通して設けられている。
【００２４】
エアロゾル発生部２の底面には、分級された大粒径や凝集した粉体を回収するために、粉体回収弁１０８を有する粉体回収管１０９が、第２の偏向板１０６の下端と対向して設けられている。
【００２５】
〈エアロゾルデポジション装置１の動作〉
本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１の動作を、図１および図２に基づき説明する。なお、本発明の実施の形態１では、エアロゾルを発生させるガスとしてアルゴンガスを使用した。
【００２６】
ガスボンベ１０のガスを、ガス導入部１０２より毎分数〜十数リットルの流量で、エアロゾル発生部２に導入する。導入されたガスにより、収容空間１１０の底部に収容された粉体１０４を巻き上げ、エアロゾルを発生させる。収容空間１１０で発生したエアロゾルは、第１の偏向板１０５の上端側開口部分から、第１分級空間１１１に向かって流れ出す。第１の偏向板１０５の上端側開口部分から流れ出たエアロゾルは、第２の偏向板１０６に沿ってエアロゾル発生部２の底部方向に流れ、第２の偏向板１０６の下端側開口部分を通って、第２分級空間１１２に流れ込む。第２分級空間１１２に流れ込んだエアロゾルは、外壁１０１に沿って第２分級空間１１２の上部方向に流れ、ガス導出部１０３から導出される。
【００２７】
上記一連のエアロゾルの流れの途中で、エアロゾル中の粉体１０４が分級される。大粒径や凝集した粉体１０４は、第２の偏向板１０６の下端側開口部分近傍に残り、小粒径の
粉体１０４がガス導出部１０３に送られる。
【００２８】
ガス導出部１０３から導出された、小粒径の粉体１０４を含むエアロゾルは、真空ポンプ４で減圧された成膜室３に導入され、ノズル５から基材ホルダー６に設置された基材７に向かって噴霧されることで、基材７上に膜８が形成される。
【００２９】
分級された大粒径や凝集した粉体１０４は、粉体回収弁１０８を開けることで粉体回収管１０９から回収する。
【００３０】
〈エアロゾルデポジション装置１の特徴と効果〉
本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１の特徴、およびその効果について、図面を参照しながら説明する。なお、図４〜図６は、本発明の実施の形態１におけるエアロゾル発生部２の変形例を示す縦断面図である。
【００３１】
従来のエアロゾルデポジション装置では、偏向板によりエアロゾルの流れを変化させて粉体を分級するが、速度を維持したままの粉体が偏向板に衝突するため、衝突時に偏向板に粉体が付着する、あるいは粉体が凝集する確率が高くなる。
【００３２】
しかしながら、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１は、エアロゾル発生部２の内部に、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６を設けることで、内部空間を収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２の３空間に仕切り、各空間のエアロゾル流れに対して垂直方向の断面積が、エアロゾルの流通順に大きくなるように構成したことを特徴とする。
【００３３】
上記構成により、収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２の順にエアロゾルを流すことで、各空間の断面積に反比例してエアロゾルの速度を順次低下させることができる。さらに、大粒径や凝集した粉体１０４は、空気抵抗により速度が低下するため、上記との相乗効果によりエアロゾルの速度をより効果的に低下させて、大粒径や凝集した粉体１０４を第１分級空間１１１と第２分級空間１１２で容易に分級することができる。
【００３４】
従って、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１によれば、従来よりも、粉体１０４同士の衝突確率を低下させて、粉体１０４の凝集体の発生を抑制することができる。その結果、エアロゾル中の粉体１０４を、大粒径と小粒径に安定的に分級して、小粒径の粉体１０４を効率的にノズル５に送ることができるので、基材７上への膜形成速度の高速化と、膜８と基材７との良好な接合性を実現するものとなる。
【００３５】
さらに、上記構成に加えて、エアロゾルの流れが上下に一回以上繰り返されるように、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６を配置することで、エアロゾルが下向きに流れる時に空気抵抗が大きい大粒径や凝集した粉体１０４は、エアロゾルの流れに乗れずに、エアロゾル発生部２内の第２の偏向板１０６の下端側開口部分近傍に残るため、分級効果をさらに向上させることができる。
【００３６】
なお、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６を設置する位置は、エアロゾル発生部２内でエアロゾルの流れを均一化する観点から、エアロゾル発生部２の外壁１０１と中心を同じにする同心円形状とすることが好ましいが、エアロゾルの流れを均一化できれば、他の配置構成でも問題はない。エアロゾル発生部２の大きさ、粉体１０４の物性や成膜性等を考慮して、望ましい分級性が得られる位置に、第１の偏向板１０５および第２の偏向板１０６を設置すればよい。
【００３７】
また、偏向板の枚数は、上記に限られることはなく、エアロゾル中の粉体１０４の分級性能を向上させるために増やしても構わない。偏向板で仕切られる空間の、エアロゾル流れに対して垂直方向の各断面積が、エアロゾル発生部２の内側から外側に向けて順次、大きくなる位置に各偏向板を設置すれば、本発明の実施の形態１で示す分級効果が得られる。
【００３８】
第２の偏向板１０６の下端に設けた開口部分の大きさは、開口面積によってエアロゾルの通過速度が変化するので、粉体１０４の分級性を考慮した上で、分級量を多くしたい場合は広く、分級量を少なくしたい場合は狭くすることを指針とし、適宜設定すればよい。
【００３９】
本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１では、エアロゾル発生部２の収容空間１１０の底部を丸型の凹状にし、ガス導入部１０２の先端部を粉体１０４の近傍に設けている。
【００４０】
上記構成により、収容空間１１０の底部中央に粉体１０４が集まりやすくなり、さらに、中央に集積した粉体１０４にガスを効果的に噴射することができるので、エアロゾルの発生効率を向上させ、エアロゾルの濃度をより一定に保つことができる。
【００４１】
なお、収容空間１１０の底部形状は上記に限られることはなく、図４に示す円錐型の凹状、図５に示す台形型の凹状にしても、同様の効果を得ることができる。また、エアロゾル発生部２の底面と第１の偏向板１０５の下端とが接する角度が９０度を超えるＶ字型の凹状にしても、粉体１０４を収容空間１１０の底部中央に集めることができる。さらに、エアロゾルの発生量を安定させるために、エアロゾル発生部２に超音波などの振動作用を加える構成を設けてもよい。
【００４２】
また、エアロゾル発生部２を円筒形状とすることで、エアロゾル発生部２内でのエアロゾルの流れ分布をより均一化して澱ませにくくすることができ、成膜室３に供給するエアロゾルの濃度をより一定に保つことができる。
【００４３】
なお、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１では、エアロゾル発生部２にガス導入部１０２を１つ設ける構成としたが、エアロゾル発生部２内で粉体１０４が容易に巻き上げられるように、ガス導入部１０２を複数設けてもよい。また、ガス導出部１０３を１つ設ける構成としたが、基材７上への膜形成時間を短縮して成膜効率を向上させるため、図６に示すように、ガス導出部１０３を複数設けてもよい。さらに、成膜室３内のガス導出部１０３の先端部につながるノズル５も複数化することで、基材７にエアロゾルをより均一に噴霧することができるので、さらなる成膜効率の向上を可能にすることは言うまでもない。
【００４４】
また、エアロゾル発生部２内におけるガス導入部１０２やガス導出部１０３の長さ、第１の偏向板１０５や第２の偏向板１０６の長さをそれぞれ変更可能とする可動機構を設けてもよい。
【００４５】
これにより、巻き上げることのできる粉体１０４の大きさ、ノズル５に供給できる粉体１０４の大きさ、粉体１０４の分級性を制御することができるので、様々な成膜条件に合わせて基材７上に容易に膜形成することができる。
【００４６】
また、ガス導入部１０２からのガスを間欠に供給することで、ノズル５から基材７へのエアロゾルの噴射を間欠にすることができる。
【００４７】
これにより、基材７に与える衝撃が緩和され、薄い金属箔等の基材７に膜８を形成する
際の皺や貫通孔の発生、および基材７の変形を抑制することができる。また、ガス導出部１０３等のエアロゾル配管やノズル５における粉体詰まりを少なくすることができるので、上記配管やノズル５の清掃回数も低減させることができ、エアロゾルデポジション装置１の稼働率の向上を可能にすることは言うまでもない。
【００４８】
また、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１では、エアロゾル発生部２の内部で分級した大粒径や凝集した粉体１０４を、粉体回収弁１０８を有する粉体回収管１０９から回収している。
【００４９】
これにより、エアロゾルの流れが閉塞することを防止することができるので、連続的なエアロゾルの発生による連続成膜を行うことができる。
【００５０】
なお、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１では、エアロゾル発生部２に粉体回収管１０９と粉体回収弁１０８をそれぞれ２つ設ける構成としたが、上記に限らず、それ以上の個数を設けることで、粉体１０４の回収効率を向上させることができる。また、粉体回収管１０９の形状をお椀型に構成することで、エアロゾル発生部２から、分級された大粒径や凝集した粉体１０４の取り出しを簡便にすることができる。
【００５１】
以上より、本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置１は、粉体同士が凝集しやすい、リチウムイオン電池の正極活物質材料として用いられるリチウム含有複合酸化物、例えばコバルト酸リチウムのなどの粉体を用いる装置において、最適な構成を有する装置である。
【実施例】
【００５２】
次に、本発明のエアロゾルデポジション装置１を用いて膜を形成した実施例、およびその比較例について、図面を参照しながら説明する。
【００５３】
（実施例１）
実施例１を、図１〜図３を参照しながら説明する。
【００５４】
エアロゾル発生部２として、内径が２００ｍｍ（図３におけるＥ）、容量が約１０リットルの、上部に開閉可能な上蓋を有するステンレス製（ＳＵＳ３０１）の直立円筒体状の密閉容器を用いた。
【００５５】
第１の偏向板１０５として、エアロゾル発生部２の外壁１０１と円中心を同じにした円筒体を用いて、エアロゾル発生部２の上蓋と第１の偏向板１０５の上端との隙間が１０ｍｍとなるように、エアロゾル発生部２の底面内側に設置した。また、第２の偏向板１０６として、エアロゾル発生部２の外壁１０１と円中心を同じにした円筒体を用いて、エアロゾル発生部２の底面と第２の偏向板１０６の下端との隙間が１００ｍｍとなるように、エアロゾル発生部２の上蓋内側に設置した。なお、第１の偏向板１０５と第２の偏向板１０６は、図３に示すＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ＥがＡ２＜（Ｃ２−Ｂ２）＜（Ｅ２−Ｄ２）の関係を満たされるように設置した。
【００５６】
ガス導入部１０２およびガス導出部１０３として、ステンレス製の内径３ｍｍの管を用いた。ガス導入部１０２は、エアロゾル発生部２の上蓋中央を貫通させて、収容空間１１０に開口するように配置した。ガス導出部１０３は、エアロゾル発生部２の上蓋外縁近傍を貫通させて、第２分級空間１１２に開口するように配置した。
【００５７】
エアロゾル発生部２の底面には、粉体回収弁１０８を有する粉体回収管１０９を、第２の偏向板１０６の下端と対向するように設置したが、その詳細な説明は省略する。
【００５８】
まず、エアロゾル発生部２の収容空間１１０に、粉体１０４としてのコバルト酸リチウム（日本化学工業（株）製、平均粒径１μｍ）を２００ｇ収容した。
【００５９】
次に、収容空間１１０内の粉体１０４に向かって、ガス導入部１０２からアルゴンガスを吹き付けて粉体１０４を巻き上げ、エアロゾルを発生させた。アルゴンガスの吹き付け条件は、圧力を０．３ＭＰａ、流量を１０リットル／分として、１０秒間の内の１秒間のみ流すことを繰り返す間欠方式とした。
【００６０】
発生させたエアロゾルを、ガス導出部１０３から成膜室３内のノズル５に供給し、基材ホルダー６に設置した厚み１５μｍのアルミ板である基材７に向かって噴霧させた。この時の成膜時間を１００分間とし、ノズル５と基材ホルダー６を移動させることで、基材７の２０ｍｍ×２０ｍｍの面積にコバルト酸リチウムの膜８を成膜した。また、成膜室３内の真空度が５０Ｐａとなるように真空ポンプ４を用いて減圧し、エアロゾル発生部２の圧力が８００００Ｐａとなるように圧力を調整した。
【００６１】
なお、成膜室３として使用した成膜用チャンバーには、市販の蒸着装置（（株）アルバック製、ＶＰＣ−４００）を改造したものを用いた。また、成膜室３内のガス導出部１０３の先端に接続するノズル５には、市販のノズル（スプレーイングシステムスジャパン（株）製、開口径０．４ｍｍ）を使用した。
【００６２】
（比較例１）
比較例１を、図７を参照しながら説明する。
【００６３】
図７は、比較例１で使用したエアロゾル発生部２０の縦断面図である。図７に示すように、エアロゾル発生部２０として、偏向板がなく、円錐部を有する凝集粒遮蔽コマ１０７（外径１５ｍｍ）と、１つのガス導出部１０３、および２つのガス導入部１０２を有するものを使用した。
【００６４】
具体的には、エアロゾル発生部２０では、凝集粒遮蔽コマ１０７を、円錐部を上方に向けてガス導出部１０３の直下となるように、エアロゾル発生部２０の底面に設置した。ガス導出部１０３はエアロゾル発生部２０の上蓋中央に、ガス導入部１０２はエアロゾル発生部２０の上蓋外縁近傍にそれぞれ貫通させて設けた。
【００６５】
また、比較例１では、エアロゾル発生部２０をふるい振とう機（（株）レッチェ製、ＡＳ４００）に設置して、偏心回転と同様な横方向の力を加えた。
【００６６】
その他の成膜に関する条件は、実施例１と同一とし、実施例１で用いた成膜室３を使用して成膜を行った。
【００６７】
（評価）
実施例１および比較例１で作成した基材７上の膜８の厚みを、それぞれマイクロメーターを用いて測定したところ、実施例１で作成した膜８の厚みは３０μｍ、比較例１で作成した膜８の厚みは１１μｍであった。重量と膜体積から計算した膜比重は、実施例１、比較例１ともに３ｇ／ｍｌ程度であり、大きな差は見られなかった。
【００６８】
以上の結果から、実施例１に用いたエアロゾル発生部２では、エアロゾル中の粉体濃度を一定に維持しながら、膜形成速度の向上を可能にすることがわかる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、リチウム二次電池の極板製造装置として用いられるエアロゾルデポジション装置について有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の実施の形態１におけるエアロゾルデポジション装置の概略図
【図２】図２におけるＺ−Ｚ線断面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるエアロゾル発生部の縦断面図
【図４】本発明の実施の形態１におけるエアロゾル発生部の変形例を示す縦断面図
【図５】本発明の実施の形態１におけるエアロゾル発生部の変形例を示す縦断面図
【図６】本発明の実施の形態１におけるエアロゾル発生部の変形例を示す縦断面図
【図７】比較例１におけるエアロゾル発生部の縦断面図
【符号の説明】
【００７１】
１  エアロゾルデポジション装置
２、２０  エアロゾル発生部
３  成膜室
４  真空ポンプ
５  ノズル
６  基材ホルダー
７  基材
８  膜
９  成膜部
１０  ガスボンベ
１０１  外壁
１０２  ガス導入部
１０３  ガス導出部
１０４  粉体
１０５  第１の偏向板
１０６  第２の偏向板
１０７  凝集粒遮蔽コマ
１０８  粉体回収弁
１０９  粉体回収管
１１０  収容空間
１１１  第１分級空間
１１２  第２分級空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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