(57)【要約】【課題】容器内部に存在する気泡を、容器外部へと追い出すことができるめっき装置を提供する。【解決手段】容器３は、下側にめっき液流通孔３２１を有し、上側にメッシュ部材３１を有し、めっき液１１中に浸漬される。被めっき物５１は、容器３の内部に収容される。流動手段７１は、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２を生じさせる。メディア５２は、容器３の内部に収容され、比重が、めっき液１１の比重よりも大きく、かつ、被めっき物５１の比重よりも小さい。【選択図】図２
2008248272.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器と、流動手段と、被めっき物と、メディアとを含むめっき装置であって、
前記容器は、下側にめっき液流通孔を有し、上側にメッシュ部材を有し、めっき液中に浸漬され、
前記流動手段は、前記容器の内部で、少なくとも、前記めっき液流通孔から前記メッシュ部材へと至るめっき液流を生じさせ、
前記被めっき物及び前記メディアは、前記容器の内部に収容され、前記メディアは、比重が、前記めっき液の比重よりも大きく、かつ、前記被めっき物の比重よりも小さい、
めっき装置。
【請求項２】
請求項１に記載されためっき装置であって、
前記被めっき物は、比重が、前記めっき液の比重の２．６倍〜４．３倍であり、
前記メディアは、比重が、前記めっき液の比重の１．１倍〜２．５倍である、
めっき装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載されためっき装置であって、前記メディアは、電気絶縁物からなる、めっき装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載されためっき装置であって、前記流動手段は、前記容器の内部で、前記メッシュ部材から前記めっき液流通孔へと至るめっき液流を生じさせる、めっき装置。
【請求項５】
請求項４に記載されためっき装置であって、
前記流動手段は、第１の流動手段と、第２の流動手段とを含み、
前記第１の流動手段は、前記容器の内部で、前記めっき液流通孔から前記メッシュ部材へと至るめっき液流を生じさせ、
前記第２の流動手段は、前記容器の内部で、前記メッシュ部材から前記めっき液流通孔へと至るめっき液流を生じさせる、
めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップコンデンサなどの電子部品にめっきを施すための装置として、メッシュ構造を持つバレル容器に、被めっき物たる電子部品と、通電用のメディアとを入れ、バレル容器を、めっき液中に浸漬させた状態で回転させながらめっきを行なうバレルめっき装置が知られている。このようなバレル装置では、めっきの進行につれてバレル容器の内部に気泡が発生する。バレル容器内部の気泡を残しておくと、電子部品の電極部分に気泡が付着してめっき膜の形成が妨げられるという問題が生じる。また、電子部品が気泡を介してバレル容器の内面に付着し、めっきが行なわれないという問題も生じる。特に、近年は、電子部品の小型化に合わせてバレル容器のメッシュの目が細かくなっているので、気泡を追い出すことが、益々難しくなっている。
【０００３】
これらの問題点を解決するための手段として、特許文献１は、ポッドの上側及び下側に一対の篩部材を設け、このポッドをめっき槽の内部に配置した状態で、一方の篩部材からめっき液を流出させるといった技術を開示している。篩部材からめっき液を流出させると、ポッドの内部にめっき液流が発生するので、このめっき液流によって被めっき物近傍に存在する気泡が除去されると考えたものである。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された発明では、ポッドの上側に設けられた篩部材に、気泡が溜まる傾向があり、気泡を完全には除去できないことがわかった。
【０００５】
また、特許文献２は、バレル容器の内外をつなぐ吸入パイプによって、バレル容器の内部に溜まった気泡を吸入し、バレル容器の外部に排出する技術を開示している。しかし、電子部品が小型化されるにつれて発生する多くの微小な気泡が、バレル容器の内部に付着すると、吸入パイプでめっき液の流動を生じたとしても、取り除くのが困難である。また、吸入パイプを用いた吸引では、バレル容器内部の特定位置に存在する気泡しか除去することができない。
【特許文献１】特開２００７−５６３６１号公報
【特許文献２】特開２００５−３２５４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、容器内部に存在する気泡を、容器外部へと追い出すことができるめっき装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するため、本発明に係るめっき装置は、容器と、被めっき物と、流動手段と、メディアとを含む。
【０００８】
前記容器は、下側にめっき液流通孔を有し、上側にメッシュ部材を有し、めっき液中に浸漬される。前記流動手段は、前記容器の内部で、少なくとも、前記めっき液流通孔から前記メッシュ部材へと至るめっき液流を生じさせる。前記被めっき物及び前記メディアは、前記容器の内部に収容される。前記メディアは、比重が、前記めっき液の比重よりも大きく、かつ、前記被めっき物の比重よりも小さい。
【０００９】
上述した本発明に係るめっき装置では、容器がめっき液中に浸漬され、この容器の内部に被めっき物が収容されるから、容器の内部で被めっき物にめっきを施すといった基本的な作用を得ることができる。
【００１０】
更に、流動手段が、容器の内部で、めっき液流通孔からメッシュ部材へと至るめっき液流を生じさせるから、めっき液流によって被めっき物を舞い上げるとともに、被めっき物近傍の気泡を押し流し、被めっき物から気泡を取り去ることができる。
【００１１】
ただ、被めっき物から気泡を取り去ったとしても、気泡が、依然として、容器の内部に在ることは変わりない。容器の内部で、気泡は、それ自身の浮力を受けて上昇するので、容器の上側に設けられたメッシュ部材に溜まる傾向がある。
【００１２】
そこで、本発明では、メディアを利用して、気泡を容器の外部へと追い出す。すなわち、メディアが容器の内部に収容され、メディアの比重は、めっき液の比重よりも大きく、かつ、被めっき物の比重よりも小さい。かかる構成によれば、流動手段を駆動し、容器の内部で、めっき液流通孔からメッシュ部材へと至るめっき液流を生じさせたとき、めっき液流によって、被めっき物よりも先にメディアを舞い上がらせ、メッシュ部材に衝突させることができる。このようにメディアをメッシュ部材に衝突させることにより、メッシュ部材に付着した気泡を容器の外部へと追い出すことができる。
【００１３】
しかも、被めっき物よりも先にメディアを舞い上がらせることにより、被めっき物とメッシュ部材との間にメディアを介在させ、あるいは被めっき物がメッシュ部材に到達する前にメッシュ部材へと至るめっき液の流れを弱めるか止めてしまうことにより、被めっき物が直接にメッシュ部材に衝突するのを防止することができる。従って、被めっき物がメッシュ部材との衝突によって損傷を受ける恐れはない。
【発明の効果】
【００１４】
以上述べたように、本発明によれば、容器内部に存在する気泡を、容器外部へと追い出すことができるめっき装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は本発明に係るめっき装置の一実施形態を示す断面図である。図示されためっき装置は、めっき槽１と、容器３と、流動手段７１と、被めっき物５１と、メディア５２とを含む。
【００１６】
めっき槽１は、めっき液１１を貯留する役目を担う。めっき槽１は、樹脂などの絶縁材料によって直方体形状に形成され、上部が開口した有底容器である。めっき槽１の内部は、めっき液１１によって満たされている。更に、めっき槽１の底を貫通するように棒状のカソード２２が設けられている。
【００１７】
カソード２２がめっき槽１の底から延出する部分には、アノード２１が設けられている。アノード２１は、孔２１０を有するリング状の電極であって、孔２１０にカソード２２を貫通させた態様で設けられている。カソード２２及びアノード２１には、図示しない直流電圧印加手段（直流電源または整流器）によって電圧が印加される。
【００１８】
容器３は、めっき槽１の内部において、めっき液１１中に浸漬された状態で配置される。容器３は、被めっき物５１及びメディア５２を収容する役割を担う。容器３は、その内部でめっき液１１の流れを生じさせやすいように、上下方向に延びた筒状体となっており、容器３の下側にはめっき液流通孔３２１が設けられ、容器３の上側にはメッシュ部材３１が設けられている。図示実施形態の場合、めっき液流通孔３２１は、容器３の下側に設けられたメッシュ部材３２の網目によって構成されている。容器３は、めっき槽１の内部で、メッシュ部材３２を介してカソード２２に固定されている。
【００１９】
容器３の上側及び下側に設けられたメッシュ部材３１及び３２は、その網目から被めっき物５１及びメディア５２が実質的に通過しないように構成されている。例えば、メッシュ部材３１、３２の網目を個々の被めっき物５１及びメディア５２よりも小さく構成したり、網を複数積層することで被めっき物５１及びメディア５２が通過できないように構成したりしてもよい。また、メッシュ部材３１、３２として、シート状部材や板状部材にレーザ加工などによって微細孔を形成して同様の機能を果たす部材を用いてもよい。
【００２０】
流動手段７１は、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液１１の流れを生じさせる役割、及び、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液１１の流れを生じさせる役割を担う。
【００２１】
図示実施形態の場合、上記２つの役割を担うため、流動手段７１は、その内部に容器３を収容できるシリンダから構成されている。シリンダの形状は、円筒形とは限らず、容器３の形状に応じて任意に変更することができる。シリンダでなる流動手段７１は、上端が閉じ、下端が開いており、下端がめっき槽１の内部で、めっき液１１に没入されている。流動手段７１の内部には、容器３がめっき液１１中に浸漬できる程度に、めっき液１１が満たされる。
【００２２】
シリンダでなる流動手段７１は、図示しない上下動手段によって上昇または下降させることが可能である。後述するように、容器３を一定の位置に固定し、流動手段７１を上昇または下降させることにより、容器３の内部に、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液１１の流れ、または、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液１１の流れを生じさせることができる。
【００２３】
被めっき物５１は、めっき膜形成の対象となる物であり、チップコンデンサ、チップバリスタ、チップインダクタ、チップビーズなどのチップ状電子部品を用いることができる。
【００２４】
本発明に係るめっき装置の重要な特徴は、容器１の内部に、被めっき物５１とともにメディア５２を収納し、メディア５２の比重Ｗｃを、めっき液１１の比重Ｗａよりも大きく、かつ、被めっき物５１の比重Ｗｂよりも小さく設定したことにある。
【００２５】
被めっき物５１の比重Ｗｂとは、被めっき物５１が、同一の比重を有する単一種の被めっき物からなるときにのみ定められるものではなく、被めっき物５１が、比重の異なる複数種の材料から構成されていたとしても、被めっき物５１を集合体として見たときの見かけ上の比重として定めることができる。同様にして、メディア５２の比重Ｗｃも、メディア５２が、比重の異なる複数種の材料から構成されていたとしても、メディア５２を集合体として見たときの見かけ上の比重として定めることができる。
【００２６】
また、メディア５２の形状については、容器３の内部でメディア５２をメッシュ部材３１に衝突させることにより、衝突力をメッシュ部材３１に及ぼすことができる形状であればよく、任意の形状を選択することができる。図示実施形態では、メディア５２の形状として、被めっき物５１の寸法よりもやや小さい程度の球形を採用している。
【００２７】
バレルめっきにおいて、メディアとは、一般に、被めっき物間の電気伝導性を媒介するものとして観念される。本発明において「メディア」とは、上述した本来の意味を含んでいることもあるが、必ずしも、そのような意味に限定されるものではなく、電気絶縁物からなり、被めっき物間の電気伝導性を媒介するものでなくてもよい。
【００２８】
次に、図１のめっき装置を用いためっき方法を、図２及び図３に基づいて説明する。このめっき方法は、図２に示したステップ及び図３に示したステップを含む。
【００２９】
まず、図２に示したステップでは、アノード２１及びカソード２２に電圧を印加せず、被めっき物５１に対して通電を行なわない。シリンダでなる流動手段７１を、矢印Ａ１に示すように上昇させると、流動手段７１の内部で、めっき液１１を引き上げるような負圧Ｐ２が発生する。このため、めっき液１１が、矢印Ｆ１に示すように、流動手段７１の下端から流動手段７１の内部に流入するので、容器３の内部では、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２が発生する。このめっき液流Ｆ２によって被めっき物５１を、矢印Ａ２に示すように舞い上げるとともに、被めっき物５１の近傍に存在する気泡５３を押し流し、被めっき物５１から気泡５３を取り去ることができる。
【００３０】
ただ、被めっき物５１から気泡５３を取り去ったとしても、気泡５３が、依然として、容器３の内部に在ることは変わりない。容器３の内部で、気泡５３は、それ自身の浮力を受けて上昇するので、容器３の上側に設けられたメッシュ部材３１に溜まる傾向がある（図２を参照）。めっき液流Ｆ２により容器３から外部に排出される気泡５３もあるが、被めっき物５１が小型となりメッシュ部材の開口が小さくなると全ての気泡５３をめっき液流Ｆ２だけで排出することは困難である。
【００３１】
この問題点を解決することが、本発明の中心的課題であり、課題達成手段として、本発明に係るめっき装置では、図１を参照して説明したように、容器１の内部に、被めっき物５１とともにメディア５２を収納し、メディア５２の比重を、めっき液１１の比重よりも大きく、かつ、被めっき物５１の比重よりも小さく設定してある。
【００３２】
かかる構成によれば、図２に示すように、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２によって、矢印Ａ３に示すように、被めっき物５１よりも先にメディア５２を舞い上がらせ、メッシュ部材３１に衝突させることができる。このようにメディア５２をメッシュ部材３１に衝突させることにより、メッシュ部材３１に付着した気泡５３、特に、メッシュ部材３１に付着した微小な気泡５３をも追い出すことができる。容器３から追い出された気泡５３は、それ自身の浮力を受けて、矢印Ａ４に示すように、更に上方へと移動し、容器３から離れていく。
【００３３】
しかも、矢印Ａ３に示すように、被めっき物５１よりも先にメディア５２を舞い上がらせることにより、被めっき物５１とメッシュ部材３１との間にメディア５２を介在させ、被めっき物５１が直接にメッシュ部材３１に衝突するのを防止することができる。従って、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２が強くても、被めっき物５１がメッシュ部材３１との衝突によって損傷を受ける恐れはないので、強めのめっき液流Ｆ２によって、メディア５２に十分な衝突エネルギーを与え、容器３から確実に気泡５３を排除することができる。あるいは被めっき物５１がメッシュ部材３１に到達する前に流動手段７１を停止させて、メッシュ部材３１へと至るめっき液１１の流れを弱めるか止めてしまうことにより、メディア５２は十分な衝突エネルギーでメッシュ部材３１にぶつかり容器３から気泡５３を排除するものの、被めっき物５１はメッシュ部材３１に接触させないことが可能である。
【００３４】
図２に示した舞い上げステップの後、図３に示した沈降ステップを行なう。図３に示した沈降ステップにおいて、シリンダでなる流動手段７１を、矢印Ａ５に示すように下降させると、流動手段７１の内部で、めっき液１１を押し下げるような正圧Ｐ２が発生する。このため、めっき液１１が、矢印Ｆ３に示すように、メッシュ部材３１を介して容器３の内部に流入するので、容器３の内部では、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流Ｆ４が発生する。このめっき液流Ｆ４によって、被めっき物５１及びメディア５２を、矢印Ａ６及びＡ７に示すように沈降させ、容器３の下側に設けられたメッシュ部材３２上に堆積させることができる。そして、この状態で、アノード２１及びカソード２２に所定の電圧を印加し、カソード２２から被めっき物５１に通電することにより、めっき処理を行う。
【００３５】
本発明において、メディア５２の比重を、被めっき物５１の比重よりも小さく設定してあることは上述した通りである。言い換えれば、被めっき物５１の比重がメディア５２の比重よりも大きい。かかる構成によれば、矢印Ａ６に示すように、メディア５２よりも先に被めっき物５１を沈降させることにより、被めっき物５１を、メディア５２とは分離された状態で堆積させることができる。従って、被めっき物５１への通電を、効率良く行なうことができる。メディア５２は、被めっき物５１の上に、被めっき物５１から分離された状態で堆積するため、通電を妨げることはない。
【００３６】
この後、図２に示した舞い上げステップ及び図３に示した沈降ステップを含むサイクルを、繰り返すことにより、めっきを繰り返し行い、被めっき物５１上のめっき膜を成長させていく。
【００３７】
また、メディア５２の比重を、被めっき物５１の比重よりも小さく設定してあることは、図３に示した沈降ステップにおいて、めっき液１１中でメディア５２を沈降させ、衝突エネルギーを得るのに必要な移動距離を稼ぐのにも役立つ。すなわち、図３に示した沈降ステップで、メディア５２を、十分な移動距離だけ沈降させることができ、その結果、図２に示した舞い上げステップで、メディア５２を、十分な移動距離だけ舞い上げることにより、メッシュ部材３１に十分な衝突エネルギーを与えることができる。十分な衝突エネルギーは、メッシュ部材３１に付着した気泡を容器３の外部へと追い出すのに役立つ。
【００３８】
次に、下記の表１を参照し、被めっき物及びメディアについて比重の好ましい範囲を説明する。
【００３９】
【表１】
2008248272.tif 000003
【００４０】
上記表１には、めっき液、被めっき物及びメディアについて、それらの比重、及び、めっき液の比重を基準とした比率が示されている。
【００４１】
まず、被めっき物の比重を、図２に示した舞い上げステップの観点から検討したところ、被めっき物の比重を、めっき液の比重の２．６倍から４．３倍の範囲に設定することが好ましいとわかった。被めっき物の比重がめっき液の比重の４．３倍を超えると、めっき液流によって被めっき物を十分に舞い上げることができない可能性がある。また、被めっき物の比重がめっき液の比重の２．６倍未満であると、舞い上げられた被めっき物が、気泡を介してメッシュ部材に付着する可能性がある。
【００４２】
次に、被めっき物の比重を、図３に示した沈降ステップの観点から検討しても、被めっき物の比重を上記範囲に設定することが好ましいとわかった。被めっき物の比重がめっき液の比重の４．３倍を超えると、被めっき物を沈降させ、堆積させた後、図２に示した舞い上げステップで、被めっき物を再び舞い上げることが難しくなる可能性がある。また、被めっき物の比重がめっき液の比重の２．６倍未満であると、被めっき物の沈降が遅くなり、メディアの後になる可能性がある。
【００４３】
次に、メディアの比重を、図２に示した舞い上げステップの観点から検討したところ、メディアの比重を、めっき液の比重の１．１倍から２．５倍の範囲に設定することが好ましいとわかった。メディアの比重がめっき液の比重の２．５倍を超えると、メディアを舞い上げるのが遅くなり、被めっき物の後になる可能性がある。また、メディアの比重がめっき液の比重の１．１倍未満であると、舞い上げられたメディアがメッシュ部材に衝突しても質量が小さいのでメッシュ部材に付着する気泡を容器の外部に排出するために必要な衝突エネルギーを与えられない可能性がある。
【００４４】
最後に、メディアの比重を、図３に示した沈降ステップの観点から検討しても、メディアの比重を上記範囲に設定することが好ましいとわかった。メディアの比重がめっき液の比重の２．５倍を超えると、メディアの沈降が早くなり、被めっき物の先になる可能性がある。また、また、メディアの比重がめっき液の比重の１．１倍未満であると、メディアを十分には沈降させることができず、衝突エネルギーを得るのに必要なメディアの移動距離を稼ぐことができない可能性がある。
【００４５】
次に、メディアを構成するための材料について述べると、メディアは、電気絶縁材料から構成することが好ましい。メディアを電気絶縁材料から構成すれば、めっきを繰り返し行なっても、メディアにメッキ膜が付着することを回避し、メディアの比重が大きくなることを防止できる。従って、めっきを繰り返している間にも、メディアの比重が被めっき物の比重よりも小さいという関係を保つことができるので、気泡を確実に容器の外部に排除することができる。
【００４６】
また、メディアを電気絶縁材料から構成すれば、メディアに通電することがないので、被めっき物への通電効率が向上する。これにより、被めっき物に付着されるめっき膜の膜厚を増大させることができる。
【００４７】
メディアを構成するための電気絶縁材料の例としては、ガラス、塩化ビニル、四フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）などが挙げられる。これらの材料によれば、メディアの比重を、上述した好ましい範囲、すなわち、めっき液の比重の１．１倍〜２．５倍の範囲に設定することも容易である。更に、メディアを中空構造とし気体を内包する空洞の大きさを変更してメディアの見かけ上の比重を好ましい値に調整することも可能である。
【００４８】
図４は本発明に係るめっき装置の別の実施形態を示す断面図である。図示において、先の図１に示された構成部分と同一性ある構成部分には同一の参照符号を付し、説明を省略することがある。図４に示されためっき装置において、容器３がシリンダ７２の内部に収容され、カソード２２を介して一定の位置に固定されることは、先の図１に示されためっき装置と同様である。
【００４９】
図１に示されためっき装置との対比において、図４に示されためっき装置では、流動手段（７３、７４）が、第１の流動手段７３及び第１の流動手段７４を含んで構成されている。第１の流動手段７３は、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流を生じさせる役割を担う。その役割を担うため、図示の第１の流動手段７３は、管路４１、及び、その管路４１に設けられたポンプ４２とを含んで構成されている。管路４１は、シリンダ７２とめっき槽１１とを接続しており、管路４１の一端４１１が、シリンダ７２の内部であって容器３のメッシュ部材３１の上方に配置され、他端４１２が、めっき槽１の内部であってシリンダ７２の外部に配置されている。
【００５０】
第２の流動手段７４は、容器３の内部で、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流を生じさせる役割を担う。第２の流動手段７４が、管路４３、及び、その管路４３に設けられたポンプ４４とを含んで構成されている点は、第１の流動手段７３と同様である。また、管路４３が、シリンダ７２とめっき槽１１とを接続しており、管路４３の一端４３１が、シリンダ７２の内部であって容器３のメッシュ部材３１の上方に配置され、他端４３２が、めっき槽１の内部であってシリンダ７２の外部に配置されている点も同様である。
【００５１】
第１の流動手段７３を駆動するには、めっき液１１を、管路４１を通して矢印Ａ６の向きに流すように、ポンプ４２を作動させればよい。これにより、めっき液１１を、シリンダ７２から管路４１を経由してめっき槽１へと循環させ、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２を生じさせることができる。
【００５２】
これとは逆に、第２の流動手段７４を駆動するには、めっき液１１を、管路４３を通して矢印Ａ７の向きに循環させるように、ポンプ４４を作動させればよい。これにより、めっき液１１を、めっき槽１から管路４３を経由してシリンダ７２へと循環させ、容器３の内部で、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流Ｆ４を生じさせることができる。
【００５３】
図４のめっき装置を用いた場合でも、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２、及び、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流Ｆ４を生じさせることができるから、図２及び図３を参照して説明しためっき方法と基本的には同様のめっき方法を実行することができる。
【００５４】
図５は本発明に係るめっき装置の更に別の実施形態を示す断面図である。図示において、先の図１に示された構成部分と同一性ある構成部分には同一の参照符号を付し、説明を省略することがある。図５に示されためっき装置において、容器３がシリンダ７２の内部に収容され、カソード２２を介して一定の位置に固定されることは、先の図１に示されためっき装置と同様である。
【００５５】
図１に示されためっき装置との対比において、図５に示されためっき装置では、流動手段７５が、管路４５及びスクリュー４６を含んで構成されている。管路４５は、シリンダ７２とめっき槽１１とを接続しており、管路４５の一端４５１が、シリンダ７２の内部であって容器３のメッシュ部材３１の上方に配置され、他端４５２が、めっき槽１の内部であってシリンダ７２の外部に配置されている。
【００５６】
更に、めっき槽１の底を貫通するようにシャフト４６１が設けられており、カソード２２は、このシャフト４６１の先端に設けられている。
【００５７】
スクリュー４６は、シャフト４６１に取り付けられ、シリンダ７２の内部に位置している。スクリュー４６は、シャフト４６１を介して回転駆動される。
【００５８】
スクリュー４６を、シリンダ７１内のめっき液１１が上方向に流動するように回転駆動することにより、めっき液１１を、矢印Ａ８に示すように、シリンダ７２から管路４５を経由してめっき槽１へと循環させ、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２を生じさせることができる。
【００５９】
また、スクリュー４６を、シリンダ７１内のめっき液１１が下方向に流動するように回転させることにより、めっき液１１を、矢印Ａ９に示すように、めっき槽１から管路４５を経由してシリンダ７２へと循環させ、容器３の内部で、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流Ｆ４を生じさせることができる。
【００６０】
図５のめっき装置を用いた場合でも、容器３の内部で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流Ｆ２、及び、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流Ｆ４を生じさせることができるから、図２及び図３を参照して説明しためっき方法と基本的には同様のめっき方法を実行することができる。
【００６１】
また、上述した各実施形態では、容器３を一定の位置に固定した状態で、めっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流、または、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流を生じさせているが、本発明は、これに限定されることはない。例えば、シリンダを設けず、静止しためっき液１１中で容器３そのものを上昇または下降させても、容器３の内部でめっき液流通孔３２１からメッシュ部材３１へと至るめっき液流、または、メッシュ部材３１からめっき液流通孔３２１へと至るめっき液流を生じさせることができるから、図２及び図３を参照して説明しためっき方法と基本的には同様の作用効果を得ることができる。
【００６２】
また、上述した各実施形態では、電気めっき法を採用しているが、本発明は、電気めっき法に限定されることはなく、無電解めっき法にも適用可能である。
【００６３】
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明に係るめっき装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１のめっき装置を用いためっき方法を説明するための図である。
【図３】図１のめっき装置を用いためっき方法を説明するためのもう一つの図である。
【図４】本発明に係るめっき装置の別の実施形態を示す断面図である。
【図５】本発明に係るめっき装置の更に別の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１                    めっき槽
３                    容器
１１                  めっき液
５１                  被めっき物
５２                  メディア
７１                  流動手段
【図１】
2008248272.tif 000004
【図２】
2008248272.tif 000005
【図３】
2008248272.tif 000006
【図４】
2008248272.tif 000007
【図５】
2008248272.tif 000008