(57)【要約】【課題】  プリント基板に複数列対向配置して形成された複数の配線パターンを、精度良く検査を行うことができる基板検査装置の提供。【解決手段】  複数の単位基板が点対称となるように配列されるシート基板において、導通接触する接触子を複数備える検査治具を単位基板毎に導通接触させて、該シート基板を検査する基板検査装置であって、シート基板を保持するとともに所定の検査位置まで搬送する搬送手段と、検査のための電力を供給する供給手段と、電気的信号を検出する検出手段と、電力と電気的信号から電気的特性を算出し、該電気的特性を基に該配線パターンの良否を判定する判定手段と、検査対象の配線パターンとなるように選出するために、供給手段と検出手段を検査治具の接触子と導通接続させる選出手段と、検査治具を保持して移動させる移動手段を有し、移動手段は、検査治具と選出手段を一体的に回転移動させることができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の配線パターンを有する複数の単位基板が点対称となるように二つ一組として配列されるシート基板において、該単位基板の配線パターン上に設定される検査点に対して導通接触する接触子を複数備える検査治具を単位基板毎に導通接触させて、該単位基板の検査対象となる配線パターンの電気的特性を検出して、該シート基板を検査する基板検査装置であって、
前記シート基板を保持するとともに、所定の検査位置まで搬送する搬送手段と、
前記検査対象となる配線パターンから電気的特性を検出するための電気的信号を検出する電力を供給する供給手段と、
前記電気的信号を検出する検出手段と、
前記電力と前記電気的信号から前記検査対象の配線パターンの電気的特性を算出し、該電気的特性を基に該配線パターンの良否を判定する判定手段と、
単位基板に形成される複数の配線パターンから検査対象の配線パターンとなるように選出するために、前記供給手段と前記検出手段を前記検査治具の接触子と導通接続させる選出手段と、
前記検査治具を前記単位基板の配線パターン上の検査点に導通接触させるために、前記検査治具を保持して移動させる移動手段を有し、
前記移動手段は、点対称に配置される一組の単位基板を検査することができるように、前記検査治具と前記選出手段を一体的に回転移動させることができることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記基板検査装置は、前記シート基板を該基板検査装置に投入する載置位置が設けられ、
前記搬送手段は、前記検査位置と前記載置位置を結ぶ直線上を移動することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記シート基板の単位基板がマトリクス状に配列される場合において、
前記基板検査装置は、前記直線方向と直角の列に配置される単位基板毎に検査が行われることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記移動手段は、前記シート基板の表面に対して直角方向に移動するとともに、前記検査位置と前記載置位置を結ぶ直線に対して直角方向に移動することを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記選出手段は、前記検査治具が有する前記接触子に夫々導通接続する接続端子を有し、
前記接続端子が、前記供給手段の電気的に上流側及び下流側と前記検出手段の電気的に上流側及び下流側のいずれかと導通接続するように切替部を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記基板検査装置は、
前記載置位置において、前記シート基板を真空吸着して載置する載置台を有し、
前記搬送手段は、前記載置台に載置されたシート基板の端部を把持するとともに該シート基板の外側方向に引張状態に保持する把持部を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置に関し、より詳しくは、プリント基板に複数列対向配置して形成された複数の配線パターンを、精度良く検査を行うことができる基板検査装置に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の配線パターンを有する基板は、導通検査や絶縁検査を行うことによって、各配線パターンの良不良の検査が行われている。
配線パターンに対して導通や絶縁検査が行われる場合には、配線パターン上に予め複数の検査点が設定され、これら検査点に針状の接触子（プローブ）が導通接触される。そして、これらの接触子を介して配線パターンに電圧を印加したり電流を供給したり、配線パターンから電気的信号を検出することによって、その導通状態や絶縁状態を検査している。
【０００３】
上記の如き検査では、複数の検査点に複数の接触子を導通接触させる必要があるため、複数の接触子を有する検査治具が用いられており、この検査治具を精度良く基板に押圧することが重要とされている。
【０００４】
また一方で、一枚のシートに複数の単位基板が形成されるシート状のプリント基板も多種多様に製造されている。このようなシート状のプリント基板（シート基板）では、複数形成される単位基板毎に、単位基板に対応する検査治具を用いて検査される。
特に、シート基板に形成される単位基板は、材料歩留まりの問題に勘案して二つの単位基板を点対称に配置して形成されることが行われる。このように形成されたシート基板では、点対称に配置された複数の単位基板を効率良く検査するために、種々の検査装置が提供されている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、所定の回転方向に回転して配置される検査治具を作成して、検査治具又は検査基板を回転させて検査する技術が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２１８６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このようなシート基板の検査を行う場合には、点対称に配置される基板に対して効率良く且つ精度良く検査治具を接触させる必要がある。このため、検査治具を精度良く移動制御させる必要があった。
また、近年、単位基板の配線パターンの微細化が進み、導通・絶縁検査を行うための電気的信号を、僅かな誤差なく正確に把握する必要が生じている。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、点対称に配置される複数の単位基板が形成されるシート基板において、効率良く且つ精度良く検査治具を接触させることができるとともに電気的信号を正確に把握することができる基板検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、複数の配線パターンを有する複数の単位基板が点対称となるように二つ一組として配列されるシート基板において、該単位基板の配線パターン上に設定される検査点に対して導通接触する接触子を複数備える検査治具を単位基板毎に導通接触させて、該単位基板の検査対象となる配線パターンの電気的特性を検出して、該シート基板を検査する基板検査装置であって、前記シート基板を保持するとともに、所定の検査位置まで搬送する搬送手段と、前記検査対象となる配線パターンから電気的特性を検出するための電気的信号を検出する電力を供給する供給手段と、前記電気的信号を検出する検出手段と、前記電力と前記電気的信号から前記検査対象の配線パターンの電気的特性を算出し、該電気的特性を基に該配線パターンの良否を判定する判定手段と、単位基板に形成される複数の配線パターンから検査対象の配線パターンとなるように選出するために、前記供給手段と前記検出手段を前記検査治具の接触子と導通接続させる選出手段と、前記検査治具を前記単位基板の配線パターン上の検査点に導通接触させるために、前記検査治具を保持して移動させる移動手段を有し、前記移動手段は、点対称に配置される一組の単位基板を検査することができるように、前記検査治具と前記選出手段を一体的に回転移動させることができることを特徴とする基板検査装置を提供する。
請求項２記載の発明は、前記基板検査装置は、前記シート基板を該基板検査装置に投入する載置位置が設けられ、前記搬送手段は、前記検査位置と前記載置位置を結ぶ直線上を移動することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
請求項３記載の発明は、前記シート基板の単位基板がマトリクス状に配列される場合において、前記基板検査装置は、前記直線方向と直角の列に配置される単位基板毎に検査が行われることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置を提供する。
請求項４記載の発明は、前記移動手段は、前記シート基板の表面に対して直角方向に移動するとともに、前記検査位置と前記載置位置を結ぶ直線に対して直角方向に移動することを特徴とする請求項２記載の基板検査装置を提供する。
請求項５記載の発明は、前記選出手段は、前記検査治具が有する前記接触子に夫々導通接続する接続端子を有し、前記接続端子が、前記供給手段の電気的に上流側及び下流側と前記検出手段の電気的に上流側及び下流側のいずれかと導通接続するように切替部を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
請求項６記載の発明は、前記基板検査装置は、前記載置位置において、前記シート基板を真空吸着して載置する載置台を有し、前記搬送手段は、前記載置台に載置されたシート基板の端部を把持するとともに該シート基板の外側方向に引張状態に保持する把持部を有することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、複数の配線パターンを有する複数の単位基板が点対称となるように二つ一組として配列されるシート基板において、該単位基板の配線パターン上に設定される検査点に対して導通接触する接触子を複数備える検査治具を単位基板毎に導通接触させて、該単位基板の検査対象となる配線パターンの電気的特性を検出して、該シート基板を検査する基板検査装置において、単位基板に形成される複数の配線パターンから検査対象の配線パターンとなるように選出するための選出手段と、検査対象の単位基板に導通接触する接触子を有する検査治具とを、移動手段によって、点対称に配置される一組の単位基板を検査することができるように、検査治具と選出手段を一体的に回転移動させることができる。このため、検査治具と選出手段の接続のためのケーブルを必要とすることなく、検査治具と一体的に選出手段が移動することになり、ケーブルによるノイズや伝送路による浮遊容量をキャンセルして電気的信号の送受信を行うことができ、精度の高い基板検査装置を提供することができる。また、基板検査装置がケーブルレスとなるので、交流信号を用いる場合の電気的信号の減衰を防止することができる。
またさらに、ケーブルによるノイズを防止できるので、高絶縁が可能となり配線パターン間の絶縁検査を行う場合の判定閾値を高くすることができる。
請求項２記載の発明は、基板検査装置が、前記シート基板を該基板検査装置に投入する載置位置が設けられ、搬送手段が検査位置と載置位置を結ぶ直線上を移動するので、搬送手段の移動の効率を向上させることができる。
請求項３記載の発明は、記シート基板の単位基板がマトリクス状に配列される場合には、基板検査装置が、直線方向と直角の列に配置される単位基板毎に検査が行われるので、点対称に配置される複数の単位基板を、直角方向の列毎に検査を実施することになるので、効率良く検査を行うことができる。
この場合、直角方向の列に配置される所定の方向に配置される単位基板と所定方向と180度回転した位置に配置される単位基板が配置され、同一方向に配置された単位基板を検査した後、回転方向に配置された単位基板を列毎に検査することになる。
請求項４記載の発明によれば、移動手段が、シート基板の表面に対して直角方向に移動するとともに、検査位置と載置位置を結ぶ直線に対して直角方向に移動するので、搬送手段と移動手段が平面視において直交する方向に移動することになる。このため、搬送手段と移動手段が一つの直線上を移動することになり、所望の単位基板に検査治具を導通接触させる場合に、搬送手段と移動手段を制御することが容易となる。
請求項５記載の発明によれば、選出手段は、前記検査治具が有する前記接触子に夫々導通接続する接続端子を有し、接続端子が、供給手段の電気的に上流側及び下流側と検出手段の電気的に上流側及び下流側のいずれかと導通接続するように切替部を有するので、夫々の上流側や下流側との接続により効率良く制御することが可能となる。
請求項６記載の発明によれば、基板検査装置が、載置位置において、前記シート基板を真空吸着して載置する載置台を有し、搬送手段が、前記載置台に載置されたシート基板の端部を把持するとともに該シート基板の外側方向に引張状態に保持する把持部を有するので、シート基板を確実に把持して搬送させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
まず、本発明にかかる基板検査装置が検査を好適に行うことができる検査対象基板について説明する。
図１は、本発明にかかる基板検査装置が検査を実施するための検査対象となるシート基板の一実施形態を示す平面図である。
本発明の基板検査装置が検査対象とするシート基板１は、例えば、フレキシブルプリント基板が該当する。このシート基板１には、複数の単位基板１１が形成されている。
このようなシート基板１には、歩留まりを勘案して、シート基板１からできるだけ多数の単位基板１１を形成することができるように、図１で示される如く、点対称となるように二つの単位基板が配置される。例えば、図１では、単位基板Ａが形成配置されるとともに、中心Ｃを基準として点対称の位置に単位基板Ｂが配置されている。
このように二つの単位基板を点対称配置して、シート基板１を有効利用している。
尚、図１で示されるシート基板１には、単位基板１１が二十四個形成されるとともに、点対称となる組が十二個示されており、その組が縦四個、横三個が配置されている。この図１に示されるシート基板１の単位基板１１の数やその配列は特に限定されるものではない。
【００１１】
本発明の基板検査装置で用いられる検査治具について説明する。尚、検査治具自体は、従来公知の技術であるので詳細な説明は省略する。
検査治具は、複数の接触子と、これら接触子を保持する保持体と、接触子と導通接触する電極部を有してなる。
この接触子は、針状又は棒状に形成される導電性且つ可撓性を有する部材であり、その一端は単位基板１１の配線パターン上に設定される検査点に導通接触し、他端は電極部に導通接触する。
保持体は、所定の検査点へ接触子の一端を案内する案内孔を有するとともに、所定の電極部へ接触子の他端を案内する案内孔を有している。この保持体が有する夫々の案内孔は接触子毎に形成されている。
電極部は、接触子の他端と導通接触するとともに、後述する選出手段と導通接続されている。この電極部は接触子と選出手段を電気的に接続する。
【００１２】
本発明にかかる基板検査装置２について説明する。図２は、本発明にかかる基板検査装置の概略構成図を示し、図３は、本発明にかかる基板検査装置の内部を示す側面図である。
基板検査装置２は、搬送手段２１、供給手段２２、検出手段２３、判定手段２４、制御手段２５、移動手段２６、選出手段２７、記憶手段２８、表示手段２９を有してなる。
図２に示される回路基板ＣＢは、４つの配線パターンＰ１〜Ｐ４を有している。この回路基板ＣＢが有する配線パターンは、設計される回路基板ＣＢに応じてその数及び形状が適宜設定される。
尚、図２の回路基板ＣＢでは、一の字状の配線パターンＰ１と、Ｔの字状の配線パターンＰ２と、十の字状の配線パターンＰ３とＰ４が示されている。
図２では、各配線パターンＰ１〜Ｐ４に電気的に接触する4本の接触子（コンタクトプローブ）ＣＰが示されている。
この接触子ＣＰは、詳細は後述するが、検査治具に複数備えられてなり、基板検査装置２と回路基板ＣＢを電気的に導通可能に接続する。また、この接触子ＣＰの配置位置や配置本数は、回路基板ＣＢに形成される配線パターンに応じて適宜設定されることになる。
尚、図２の実施形態では、後述する上流側及び下流側電流供給端子と上流側及び下流側電圧検出端子とを1本の接触子ＣＰで、配線パターン上に設けられる所定検査位置に導通可能に接触させているが、電流供給端子と電圧検出端子の夫々を別々の2本のコンタクトプローブＣＰで所定検査位置に導通可能に接触させてもよい。
基板検査装置２は、図２で示される概略図において、接触子ＣＰと接続される接続端子Ｔから左側に示される各構成が、基板検査装置２の内部となる。
【００１３】
供給手段２２は、検査対象となる配線パターンと他の配線パターンとの間（以下、検査対象間）に、電気的信号を検出するための所定の電力を供給する。
この供給手段２２は、例えば、カレント・コントローラー（Current Controller）を用いることができるが特に限定されるものではなく、検査対象間に所定の電力を供給することができるものであれば全て用いることができる。
なお、カレント・コントローラーを用いる場合には、カレント・コントローラーである供給手段２２により、所定の配線パターンに電流を供給して、検査対象間に所定の電圧を印加することになる。
この供給手段２が印加することになる電圧は、上記の説明の如き200〜250Vに設定される。
【００１４】
電圧検出手段２２１は、検査対象間の電圧を検出する。この電圧検査手段２２１は、例えば、電圧計を用いることができるが特に限定されるものではなく、検査対象間の電圧を検出することができるものであればよい。
この電圧検出手段２２１が検出する電圧値と、供給手段２２により供給される電流値や後述する検出手段２３の検出する電流値とを用いることによって、検査対象間の抵抗値を算出することができる。さらに、この抵抗値を用いることによって、検査対象間の電気的特性を検査することができる。
尚、この電圧検出手段２２１が検出する電圧値によって、供給手段２２の動作の制御を行うように設定することもできる。
【００１５】
検出手段２３は、検査対象間の電流を検出する。この検出手段２３は、例えば、電流計を用いることができるが特に限定されるものではなく、検査対象間に流れる電流値を検出することができればよい。
尚、供給手段２２により供給される電流値を決定することもできるが、この検出手段２３を用いることによって、検査対象間の電流値を電気的な下流側で検出することができる。
【００１６】
電流供給端子８は、検査対象間の電流を供給するために、各配線パターンＰと接触子ＣＰを介して接続される。
この電流供給端子８は、供給手段２２の上流側（正極側）と配線パターンを接続する上流側電流供給端子８１と、供給手段２２の下流側（負極側）又は電流検出手段４と配線パターンＰとを接続する下流側電流供給端子８２を有している。
図２で示される如く、この電流供給端子８の上流側電流供給端子８１及び下流側電流供給端子８２は、夫々の配線パターンＰに対して設けられている。
これらの上流側電流供給端子８１と下流側電流供給端子８２は、夫々に選出手段２７における切替部（スイッチ素子）ＳＷを有しており、この選出手段２７の切替部ＳＷのON/OFF動作により、接続状態／未接続状態が設定されることになる。
この電流供給端子８は、静電気放電（electro-static discharge）保護用の抵抗が配置されることが好ましい。
【００１７】
電圧検出端子９は、検査対象間の電圧を検出するために、各配線パターンＰと接触子ＣＰを介して接続される。
この電圧検出端子９は、電圧検出手段２２１の上流側（正極側）と配線パターンＰを接続する上流側電圧検出端子９１と、電圧検出手段２２１の下流側（負極側）と配線パターンＰを接続する下流側電圧検出端子９２を有してなる。
図１で示される如く、この電圧検出端子９の上流側電圧検出端子９１及び下流側電圧検出端子９２は、夫々の配線パターンＰに対して設けられている。
これらの上流側電圧検出端子９１と下流側電圧検出端子９２は、電流供給端子８と同様、夫々に選出手段２７の切替部ＳＷを有しており、この選出手段２７の切替部ＳＷのON/OFF動作により、接続状態／未接続状態が設定されることになる。
【００１８】
電流供給端子８と電圧検出端子９は、図２で示される如く、配線パターンＰに導通接触する一本の接触子ＣＰに対して、4つの端子が配置されることになるとともに、各端子のON/OFF制御を行う4つの切替部ＳＷが備えられることになる。
尚、図２では、上流側電流供給端子８１の動作を制御する切替部を符号ＳＷ１とし、上流側電圧検出端子９１の動作を制御する切替部を符号ＳＷ２とし、下流側電流供給端子９２の動作を制御する切替部を符号ＳＷ３とし、下流側電圧検出端子８２の動作を制御する切替部を符号ＳＷ４として示している。
【００１９】
選出手段２７は、単位基板に形成される複数の配線パターンから検査対象の配線パターンとなるように選出するために、供給手段２２と検出手段２３を検査治具の接触子（接続端子Ｔ）と導通接続させる。
この選出手段２７は、上記した各接触子ＣＰに導通接続される複数の切替部ＳＷから構成されている。この選出手段２７は、後述する制御手段２５からの動作信号を受けることによりON/OFFの動作が制御されることになる。
【００２０】
電圧検出手段２２１、検出手段２３が検出する電圧値や電流値は、判定手段２４へ、経過時間情報が付与されて（時系列的な情報として）送信される。この判定手段２４は、供給手段２２が供給する電力（電圧値）と、検出手段２３が検出する電気的信号（電流値）から検査対象の配線パターンの電気的特性を算出し、この電気的特性を基に該配線パターンの良否を判定する。
この判定手段２４が行う判定は、予め後述する記憶手段２８に判定閾値が設定され、その閾値との大小比較によって、配線パターンの導通検査における良否や配線パターン間の絶縁検査における良否を判定する。
【００２１】
記憶手段２８は、回路基板ＣＢの配線パターンＰに関する情報、この配線パターンＰの検査点に関する情報、検出される検出値の情報が記憶される。
この記憶手段２８に導通・絶縁検査に必要な情報が格納され、これらの情報を用いることによって、導通・絶縁検査が行われることになるとともに、検出される各検出値が格納される。
尚、この記憶手段２８に検査対象となる配線パターンの順番が記憶され、この順番に沿って後述する制御手段２５が選出手段２７の動作を制御する。
【００２２】
制御手段２５は、回路基板ＣＢの複数の配線パターンＰから検査対象となる配線パターンＰを選出し、検査対象の配線パターンＰを特定する。この制御手段２５が検査対象の配線パターンＰを特定することにより、順次、導通・絶縁検査が行われる配線パターンが選出されることになる。
この制御手段２５が行う検査対象の配線パターンの選出方法は、予め記憶手段２８に検査対象となる配線パターンの順番が設定され、この順番に従って検査対象の配線パターンが選出される方法を例示することができる。この選出方法は、上記の如き方法を採用することもできるが、検査対象となる配線パターンが順序良く選出される方法であれば特に限定されない。
この制御手段２５が行う具体的な配線パターンの選出は、選出手段２７を用いることにより実施される。例えば、選出手段２７の各切替部ＳＷのON/OFF制御を行うことにより、検査対象となる配線パターンを選出することができる。
図２の実施形態の基板検査装置２では、検査対象となる配線パターンが供給手段２２と接続されるための上流側電流供給端子８１と接続されるように、切替部ＳＷがONされることになる。また同時に、上流側電圧検出手段９１とこの配線パターンが接続されるように切替部ＳＷがONされる。
【００２３】
例えば、導通検査が行われる場合、図２で示される実施形態では、配線パターンＰ１を検査対象とする場合、制御手段２５が、配線パターンＰ１に接続する上流側電流供給端子８１と上流側電圧検出端子９１を選出するとともに、配線パターンＰ１の他端に接触する接触子（図示せず）に接続される下流側電流供給端子（図示せず）と下流側電圧検出端子（図示せず）を選出し、これら端子８１、９１の切替部ＳＷ１と切替部ＳＷ２と、と図示しない端子（他端の接触子に接続される端子）の二つの切替部ＳＷをONさせるように促す信号が送信される。
【００２４】
例えば、絶縁検査が行われる場合、図２で示される実施形態では、配線パターンＰ１を検査対象とする場合、制御手段２５が、配線パターンＰ１に接続する上流側電流供給端子８１と上流側電圧検出端子９１を選出し、これら端子８１、９１の切替部ＳＷ１と切替部ＳＷ２をONさせるように促す信号を送信する。この信号を選出手段２７が受信することにより、切替部ＳＷ１と切替部ＳＷ２が動作することになる。
また、この場合、検査対象の配線パターン以外の配線パターン（残りの配線パターン）に対応する切替部ＳＷ４がONされるように促す信号が送信される。
上記の説明の如く、制御手段２５によって、回路基板ＣＢの複数の配線パターンＰから検査対象となる配線パターンＰが選択され、導通検査又は絶縁検査が行われることになる。
【００２５】
表示手段２９は、導通・絶縁検査の状態を表示する。この表示手段２９は、スパークの発見が表示されることになる。
【００２６】
次に、図３を参照して、基板検査装置２の機械的構造を説明する。
この図３で示される基板検査装置２では、左手側に載置位置Ａが設けられており、右手側に検査位置Ｂが設けられている。
この基板検査装置２では、載置位置Ａにおいて、シート基板１を基板検査装置１の内部に投入する。この載置位置Ａには、開閉可能な扉３１が設けられている。
図３で示される扉３１の下方には、シート基板１を載置する載置台３２が配置されている。この載置台３２は、シート基板１を載置する板状部３２ａを有しており、この板状部は厚み方向に貫通する貫通孔（図示せず）が複数形成されている。この貫通孔は、真空ポンプ（図示せず）のような吸引装置に接続され、この貫通孔から真空吸着して、載置されるシート基板１を板状部３２ａに固着することができる。
【００２７】
この板状部３２ａには、シート基板１を載置する場合に位置合わせを行うための位置決め手段（図示せず）を有していることが好ましい。この位置決め手段は、例えば、シート基板１の隣り合う二つの辺を夫々位置決めして固定するピンなどの固定部材を用いることができる。このように、シート基板１の少なくとも一つの角部を位置決めすることにより、シート基板１の位置決めを行うことができる。
【００２８】
載置台３２は、板状部３２ａを昇降させることができる昇降部３２ｂを有している。この昇降部３２ｂを有することによって、使用時において、シート基板１を基板検査装置２内部に装着準備する場合には、載置台３２の板状部３２ａが上部に位置し、板状部３２ａにシート基板１が載置されて搬送手段２１がシート基板１を把持して搬送する場合には、板状部３２ａが下部に移動させることができる。
このように板状部３２ａを昇降させることによって、シート基板１を容易に載置させることができるとともに、搬送手段２１が搬送する際の阻害要因となることを防止することができる。
【００２９】
搬送手段２１は、載置位置Ａから検査位置Ｂへまた、検査位置Ｂから載置位置Ａへ、シート基板１を搬送する。
この搬送手段２１は、載置台３１に載置されたシート基板１の端部を把持するとともにシート基板１の外側方向に引張状態に保持する把持部（図示せず）を有する。
この把持部は、シート基板１を確実に把持するために、シート基板１の四つの端部をシート基板１の厚み方向に挟持する四つの挟持機構を有している。また、把持部がシート基板１を挟持すると、この挟持機構は、シート基板１を引張状態に保持するために、各挟持機構がシート基板１の外側方向に所定の距離だけ移動する。
尚、この所定の距離は、シート基板１を引張状態に保持して、可能な限り平面（面一）状態となるように保持することができれば特に限定されるものではない。
この搬送手段２１の四つの挟持機構は、載置位置Ａと検査位置Ｂを直線的に結ぶレール上を、シート基板１を引張状態に保持して移動することになる。
このため、シート基板１を搬送中及び検査中において、常に引張状態にして維持する。
【００３０】
この搬送手段２１は、図１に示される如きシート基板１を搬送する際には、図１に示される矢印方向と搬送手段２１が移動する移動方向が同一の場合、各行（ａ、ｂ、ｃ、ｄ行）に沿って移動される。
一つの行（例えば、ａ行）に配列される複数の単位基板１１を検査した後に、搬送手段２１が一つの行分シート基板１を搬送させて、次の行（例えば、ｂ行）に配列される複数の単位基板１１を検査することができるように、シート基板１を搬送する。
なお、このような場合、詳細は後述するが、ａ行に配置される単位基板１１の検査手順としては、同一方向に向く三つの単位基板Ａが検査された後、点対称に配置される三つの単位基板Ｂを検査する。また、単位基板Ａ単位基板Ｂと交互に単位基板１１を検査することもできる。
この検査手順は、シート基板１の行辺りの検査時間を短縮することができる方法を用いることができ、移動手段２６の回転速度や移動速度に因る。
【００３１】
移動手段２６は、検査治具５と選出手段２７を保持し、さらに、検査治具５の各接触子を単位基板１１の各検査点に接触させることができるように移動させるとともに検査治具５と選出手段２７を一体的に回転移動させる。図３で示される基板検査装置２では、搬送手段２１を挟んで、上下に二つの移動手段２６が配置されている。
この場合、シート基板１の単位基板１１の表面に配置される配線パターンを検査する検査治具５と、裏面に配置される配線パターンを検査する検査治具５が示されている。尚、これら二つの検査治具５を用いて表面と裏面に夫々端部を有する配線パターンを検査することもできる。
【００３２】
この移動手段２６は、平面視において、搬送手段２１と直角方向へ移動するように設けられる。搬送手段２１と移動手段２６が直交方向に夫々移動するよう設けられることによって、シート基板１を直交方向（ｘ−ｙ方向）に自由に移動させることができる。
尚、搬送手段２１と移動手段２６ともに、夫々ｘ−ｙ方向に自由に移動するように設けることもできるが、基板検査装置２を小型化するためにも、搬送手段２１と移動手段２６が直交する一方向の移動機構を備えることが好ましい。
【００３３】
この移動手段２６は、保持部２６１と、回転部２６２と、移動機構２６３と、選出手段２７を備えてなる。図４は、図３で示される移動手段の拡大図である。
保持部２６１は、検査治具５を保持する保持機構である。この保持部２６１の保持機構は、選出手段２７と導通接続するように検査治具５を保持することができれば特に限定されるものではなく、上記の如く、検査治具５と選出手段２７が一体的な移動を行うことができるように確実に保持する必要がある。
【００３４】
回転部２６２は、検査治具５と選出手段２７を、図４で示されるＷ軸を中心軸とする回転を可能とする。この回転部２６２は、モータなどの回転駆動する機構を用いることができる。
この回転部２６２は、少なくとも点対称な単位基板Ａ，Ｂを検査するために、検査治具５と選出手段２７を回転させるために、180度回転することができる必要がある。
【００３５】
移動機構２６３は、上記の如き移動手段２６の搬送手段２１に対して直交方向に移動するための機構である。この移動機構２６３は、上記の如く、搬送手段２１の移動方向に対して直交方向に移動することができるように設けられる。
以上が本発明にかかる基板検査装置２の構成の説明である。
【００３６】
次に本発明にかかる基板検査装置２の動作を説明する。
図５は、基板検査装置の動作を説明するための概略説明図であり、（ａ）は概略平面図であり、（ｂ）は概略正面図である。
まず、図１に示される如きシート基板１を準備し、このシート基板１の単位基板１１の表面と裏面の検査を実行することのできる検査治具５を夫々準備する。
シート基板１と検査治具５が準備されると、検査治具５を基板検査装置２の保持部２６１に保持させる。
【００３７】
次に、シート基板１の検査を行う。
シート基板１を基板検査装置２の扉３１を開き、載置位置Ａの載置台３２の板状部３２ａの上にシート基板１の位置合わせを行いながら載置する。
このとき、載置台３２の板状部３２ａはシート基板１を固定するために真空吸着が行われている。
シート基板１が固定されると、搬送手段２１の四つの把持部２１１が夫々シート基板１の四隅を挟持する。このとき、把持部２１１は、シート基板１の外側方向に向かって適宜移動する。
把持部２１１がシート基板１の四隅を夫々挟持すると載置台３２が下降し、搬送手段２１がシート基板１を載置位置Ａから検査位置Ｂへ搬送する。
【００３８】
シート基板１が検査位置Ｂへ搬送されると、移動手段２６がシート基板１に近接する。このとき、移動手段２６には、シート基板１やシート基板１上の単位基板１１の位置検出を行うための撮影装置６（アライメントカメラ）が設けられているので、この撮影装置６が位置検出を行うとともに、その位置補正を行う。尚、図５（ａ）で示される撮影装置６から延びる一点鎖線は撮影装置６の撮影軸を示す。
【００３９】
位置補正が行われると、移動手段２６は検査を実施するために所定の単位基板１１に検査治具５を接触させる。尚、この場合、上側の検査治具５と下側の検査治具５は、夫々の移動手段２６により、夫々独自に位置補正されて、所定の検査点に接触子が導通接触するように移動する。
図１で示される如きシート基板１を検査する場合には、例えば、ａ行の左側に配置される単位基板Ａの検査を実施するために、単位基板１１の検査点に検査治具５の接触子が導通接触させるように、検査治具５を移動手段２１が移動させる。
【００４０】
検査治具５が移動手段２１により導通接触して、導通・絶縁検査が実行される。このとき、検査治具５と選出手段２７がケーブルレスで導通接続されているので、検査のための電気的信号を効率良く送受信することができ、検査精度を向上させることができる。
ａ行の左側単位基板Ａの検査が終了すると、検査治具５が単位基板１１から離間され、ａ行真ん中に配置される単位基板Ａ（中央の単位基板Ａ）の検査が行われる。この単位基板Ａの検査も同様に実施され、次に右側単位基板Ａの検査が実施される。
【００４１】
ａ行の単位基板Ａが検査終了すると、次に、単位基板Ａの点対称の位置に配置されるａ行の単位基板Ｂが検査されることになる。このとき、単位基板Ｂを検査することができるように、まず、移動手段２６が検査治具５と選出手段２７を、180度の回転移動を行う。
このように移動手段２６により回転移動を行うことによって、単位基板Ｂに検査治具５を導通接触しやすくなる。
検査治具５が回転移動されると、単位基板Ａの検査手順と同様に、単位基板Ｂが一つずつ検査される。ａ行の単位基板Ｂが全て検査されると、搬送手段２１はシート基板１を一行分だけ搬送し、次に、ｂ行の単位基板１１が検査されることになる。この場合は、単位基板Ｂから単位基板Ａへ検査が行われる。
このように、シート基板１に形成される単位基板１１全ての検査終了するまで繰り返し行われる。
以上が本発明にかかる基板検査装置の動作の説明である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明にかかる基板検査装置が検査を実施するための検査対象となるシート基板の一実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明にかかる基板検査装置を用いる場合の一実施形態の概略構成図である。
【図３】本発明にかかる一実施形態基板検査装置の内部を示す側面図である。
【図４】図３で示される移動手段の概略拡大図である。
【図５】基板検査装置の動作を説明するための概略説明図であり、（ａ）は概略平面図であり、（ｂ）は概略正面図である。尚、図中の矢印は、各機構の動作方向を示し、シート基板と載置台は点線で示す。
【符号の説明】
【００４３】
１・・・・シート基板
２・・・・基板検査装置
２１・・・搬送手段
２２・・・供給手段
２３・・・検出手段
２４・・・判定手段
２５・・・制御手段
２６・・・移動手段
２７・・・選出手段
ＳＷ・・・切替部
ＣＰ・・・接触子
【図１】
2008175595.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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