(57)【要約】【課題】液滴を吐出して形成する多層膜の膜厚均一性を向上させた液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造システムを提供する。【解決手段】第一液滴吐出装置が、複数の第一格子点の各々に向けて第一液滴Ｄ１を吐出させ、Ｙ方向に隣接する第一格子点の間にスジ部Ａ１を有した対向電極Ｐ２を形成する。そして、第二液滴吐出装置が、Ｙ方向に隣接する第一格子点の間に規定された複数の第二格子点Ｋ２に向けて第二液滴Ｄ２を吐出させ、スジ部Ａ１上の領域の膜厚を相対的に薄くした配向膜を前記透明電極に積層する。【選択図】図８
2008175854.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と第一ノズルとを一方向に相対移動させ、前記一方向に延びる前記基板上の複数の
第一経路の各々に対して前記第一ノズルを走査させるとともに、前記第一ノズルから前記
複数の第一経路の各々に向けて透明電極材料を含む複数の第一液滴を吐出させ、前記第一
経路に沿って延びる凸部を有した透明電極を形成する工程と、
前記基板と第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、前記一方向に延びる前記基板上
の複数の第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させるとともに、前記第二ノズル
から前記複数の第二経路の各々に向けて配向膜材料を含む第二液滴を吐出させ、前記第二
経路に沿って延びる凹部を前記凸部の上に有して前記透明電極に積層された配向膜を形成
する工程と、を備えたこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法であって、
前記第一ノズルから前記複数の第一経路の各々に向けて前記第一液滴を吐出させ、隣接
する前記第一経路の間に前記凸部を有した前記透明電極を形成し、
前記基板と前記第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、隣接する前記第一経路の間
に規定された前記複数の第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させるとともに、
前記第二ノズルから前記複数の第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ、前記
第二経路上に前記凹部を有して前記透明電極に積層された前記配向膜を形成すること、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液晶表示装置の製造方法であって、
前記一方向と交差する他方向に配列された複数の前記第一ノズルと、前記基板とを、前
記一方向に相対移動させ、前記複数の第一経路の各々に向けて前記第一液滴を吐出させ、
前記他方向に配列された複数の前記第二ノズルと、前記基板とを、前記一方向に相対移
動させ、前記複数の第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させること、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
透明電極材料を含む第一液滴を吐出する第一ノズルと、
前記第一ノズルと基板とを一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に延びる前記基板
上の複数の第一経路の各々に対し前記第一ノズルを走査させる第一走査手段と、
前記第一ノズルと前記第一走査手段とを駆動し、前記複数の第一経路の各々に向けて前
記第一液滴を吐出させ、前記第一経路に沿って延びる凸部を有した透明電極を形成する第
一制御部と、を有した第一液滴吐出装置と、
配向膜材料を含む第二液滴を吐出する第二ノズルと、
前記第二ノズルと前記基板とを前記一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に延びる
前記基板上の複数の第二経路の各々に対し前記第二ノズルを走査させる第二走査手段と、
前記第二ノズルと前記第二走査手段とを駆動し、前記複数の第二経路の各々に向けて前
記第二液滴を吐出させ、前記第二経路に沿って延びる凹部を前記凸部の上に有して前記透
明電極に積層された配向膜を形成させる第二制御部と、を有した第二液滴吐出装置と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造システム。
【請求項５】
請求項４に記載の液晶表示装置の製造システムであって、
前記第一制御部は、
前記複数の第一経路の各々に向けて前記第一液滴を吐出させ、隣接する前記第一経路の
間に前記凸部を有した前記透明電極を形成し、
前記第二走査手段は、
隣接する前記第一経路の間に規定された前記複数の第二経路の各々に対して前記第二ノ
ズルを走査させ、
前記第二制御部は、
前記複数の第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ、前記第二経路上に前記凹
部を有して前記透明電極に積層された前記配向膜を形成すること、
を特徴とする液晶表示装置の製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造工程は、生産性の向上を図るため、各種の薄膜材料を液状体として
使用し、透明電極や配向膜などの多層膜を形成させる、いわゆる液相プロセスを採用して
いる。インクジェット法は、液状体を微小な液滴として吐出させるため、他の液相プロセ
ス（例えば、スピンコート法やロールコート法など）に比べ、より高い精度の下で薄膜を
形成させることができる。
【０００３】
インクジェット法は、液状体をノズルから吐出させるため、液状体の粘度を１０ｍＰａ
・ｓ以下にしなければならない。こうした低粘度の液状体は、液滴を乾燥させる際、吐出
領域の中央部と周辺部との間において、溶剤の蒸気圧に大きな差を来たす。すなわち、蒸
気圧の低い吐出領域の周辺部は、吐出領域の中央部に比べて、薄膜材料の濃度が高くなり
液状体の表面張力が高くなる。この結果、中央部に吐出された液状体が周辺部に流動し、
中央部の膜厚が周辺部の膜厚よりも薄くなってしまう。
【０００４】
特許文献１は、上記問題を解決するため、吐出ヘッドに複数のノズル列を設け、ノズル
列ごとに異なる濃度の配向膜材料を吐出させる。すなわち、吐出領域の中央部に高濃度の
配向膜材料を吐出させ、吐出領域の周辺部に低濃度の配向膜材料を吐出させる。これによ
って、配向膜材料の流動にともなう濃度分布を補償させることができ、配向膜の膜厚均一
性を向上させることができる。
【０００５】
特許文献２は、吐出領域に形成する導電膜の近傍に、導電膜と電気的に分離されたダミ
ー領域を設け、パターン形成材料を、吐出領域とダミー領域の双方に同じタイミングで吐
出させる。これによれば、ダミー領域に吐出されたパターン形成材料の乾燥によって、吐
出領域上における溶媒の蒸気圧を均一にさせることができ、吐出領域に吐出されたパター
ン形成材料を均一に乾燥させることができる。
【特許文献１】特開２００６−３５０６２号公報
【特許文献２】特開２００５−１３９８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、異なる濃度の配向膜形成液を用いる場合、配向膜形成液の供給系の複雑
化を招き、さらには、吐出領域のサイズや形状を変更するたびに、配向膜形成液の濃度、
吐出位置、吐出量など、各種の吐出条件を最適化させなければならない。また、吐出領域
の近傍にダミー領域を設ける場合、吐出領域のサイズに応じたダミー領域が必要となり、
このダミー領域のために基板のサイズを大きくさせなければならない。
【０００７】
これらの結果、特許文献１及び特許文献２に記載の技術は、インクジェット法の汎用性
を損い、膜厚の均一性を十分に改善し難いものであった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴を吐出し
て形成する多層膜の膜厚均一性を向上させた液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置の
製造システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板と第一ノズルとを一方向に相対移動させ、前
記一方向に延びる前記基板上の複数の第一経路の各々に対して前記第一ノズルを走査させ
るとともに、前記第一ノズルから前記複数の第一経路の各々に向けて透明電極材料を含む
複数の第一液滴を吐出させ、前記第一経路に沿って延びる凸部を有した透明電極を形成す
る工程と、前記基板と第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、前記一方向に延びる前
記基板上の複数の第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させるとともに、前記第
二ノズルから前記複数の第二経路の各々に向けて配向膜材料を含む第二液滴を吐出させ、
前記第二経路に沿って延びる凹部を前記凸部の上に有して前記透明電極に積層された前記
配向膜を形成する工程と、を備えた。
【０００９】
本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、透明電極の凸部と、配向膜の凹部とを、同
一方向に沿って形成させることができ、透明電極の膜厚段差を配向膜の膜厚段差によって
相殺させることができる。この結果、液滴を吐出して形成する多層膜の膜厚均一性を向上
させることができ、液晶表示装置の表示ムラを低減させることができる。
【００１０】
この液晶表示装置の製造方法は、前記第一ノズルから前記複数の第一経路の各々に向け
て前記第一液滴を吐出させ、隣接する前記第一経路の間に前記凸部を有した前記透明電極
を形成し、前記基板と前記第二ノズルとを前記一方向に相対移動させ、隣接する前記第一
経路の間に規定された前記複数の第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させると
ともに、前記第二ノズルから前記複数の第二経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ
、前記第二経路上に前記凹部を有して前記透明電極に積層された前記配向膜を形成しても
よい。
【００１１】
この液晶表示装置の製造方法によれば、第一経路に沿って着弾する第一液滴が、第一経
路の間に凸部を形成する。そして、隣接する第一経路の間に規定された第二経路、すなわ
ち凸部に沿って着弾する第二液滴が、第二経路上に沿って凹部を形成する。したがって、
透明電極が有する凸部の各々に対し、より確実に配向膜の凹部を対応させることができる
。この結果、液滴を吐出して形成する多層膜の膜厚均一性を、より確実に向上させること
ができる。
【００１２】
この液晶表示装置の製造方法は、前記一方向と交差する他方向に配列された複数の前記
第一ノズルと、前記基板とを、前記一方向に相対移動させ、前記複数の第一経路の各々に
向けて前記第一液滴を吐出させ、前記他方向に配列された複数の前記第二ノズルと、前記
基板とを、前記一方向に相対移動させ、前記複数の第二経路の各々に向けて前記第二液滴
を吐出させてもよい。
【００１３】
この液晶表示装置の製造方法によれば、複数の第一経路に対し、複数の第一液滴を同時
に着弾させることができる。また、複数の第二経路に対し、複数の第二液滴を同時に着弾
させることができる。したがって、第一経路に応じた透明電極と、第二経路に応じた配向
膜とを、より高い精度の下で形成させることができる。
【００１４】
本発明の液晶表示装置の製造システムは、透明電極材料を含む第一液滴を吐出する第一
ノズルと、前記第一ノズルと基板とを一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に延びる
前記基板上の複数の第一経路の各々に対し前記第一ノズルを走査させる第一走査手段と、
前記第一ノズルと前記第一走査手段とを駆動し、前記複数の第一経路の各々に向けて前記
第一液滴を吐出させ、前記第一経路に沿って延びる凸部を有した透明電極を形成する第一
制御部と、を有した第一液滴吐出装置と、配向膜材料を含む第二液滴を吐出する第二ノズ
ルと、前記第二ノズルと前記基板とを前記一方向に沿って相対移動させ、前記一方向に延
びる前記基板上の複数の第二経路の各々に対し前記第二ノズルを走査させる第二走査手段
と、前記第二ノズルと前記第二走査手段とを駆動し、前記複数の第二経路の各々に向けて
前記第二液滴を吐出させ、前記第二経路に沿って延びる凹部を前記凸部の上に有して前記
透明電極に積層された前記配向膜を形成させる第二制御部と、を有した第二液滴吐出装置
と、を備えた。
【００１５】
本発明の液晶表示装置の製造システムによれば、第一液滴吐出装置が、第一経路に沿う
凸部を有した透明電極を形成し、第二液滴吐出装置が、透明電極の凸部の上に第二経路に
沿う凹部を有した配向膜を形成する。したがって、透明電極の凸部と、配向膜の凹部とを
、同一方向に沿って形成させることができ、透明電極の膜厚段差を配向膜の膜厚段差によ
って相殺させることができる。この結果、液滴を吐出して形成する多層膜の膜厚均一性を
向上させることができ、液晶表示装置の表示ムラを低減させることができる。
【００１６】
この液晶表示装置の製造システムは、前記第一制御部が、前記複数の第一経路の各々に
向けて前記第一液滴を吐出させ、隣接する前記第一経路の間に前記凸部を有した前記透明
電極を形成し、前記第二走査手段が、隣接する前記第一経路の間に規定された前記複数の
第二経路の各々に対して前記第二ノズルを走査させ、前記第二制御部が、前記複数の第二
経路の各々に向けて前記第二液滴を吐出させ、前記第二経路上に前記凹部を有して前記透
明電極に積層された前記配向膜を形成してもよい。
【００１７】
この液晶表示装置の製造システムによれば、第一液滴吐出装置が、第一経路の間に凸部
を形成し、第二液滴吐出装置が、隣接する第一経路の間に規定された第二経路上、すなわ
ち凸部上に凹部を形成する。したがって、透明電極が有する凸部の各々に対し、より確実
に配向膜の凹部を対応させることができる。この結果、液滴を吐出して形成する多層膜の
膜厚均一性を、より確実に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図９に従って説明する。まず、液晶表示
装置１０について説明する。図１は、液晶表示装置１０を示す斜視図である。
図１において、液晶表示装置１０は、バックライト１１と液晶パネル１２とを有する。
バックライト１１は、ＬＥＤなどの光源１３から出射された光を液晶パネル１２の全面に
照射する。液晶パネル１２には、相対向する透明基板（素子基板１４と対向基板１５）が
備えられている。素子基板１４と対向基板１５は、四角枠状のシール材１６により貼り合
わされて、その間隙に液晶ＬＣを封入する。
【００１９】
素子基板１４の下面には、偏光板や位相差板などの光学基板１７が貼り合わされている
。光学基板１７は、所定の方向に透過軸を有し、バックライト１１からの光を液晶ＬＣに
向けて透過可能にする。
【００２０】
素子基板１４の上面（以下単に、素子形成面１４ａという。）には、一方向に延びる複
数の走査線Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に
配設される走査線駆動回路１８に接続されている。各走査線Ｌｘには、走査線駆動回路１
８からの走査信号が所定のタイミングで入力される。
【００２１】
素子形成面１４ａには、走査線Ｌｘと直交する方向に延びる複数のデータ線Ｌｙが配列
形成されている。各データ線Ｌｙは、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線
駆動回路１９に接続されている。各データ線Ｌｙには、データ線駆動回路１９からの表示
データに基づくデータ信号が所定のタイミングで入力される。
【００２２】
素子基板１４の素子形成面１４ａには、走査線Ｌｘとデータ線Ｌｙとによって区画形成
された複数の素子領域Ｓ１が形成されている。各素子領域Ｓ１には、それぞれＴＦＴから
なる図示しないスイッチング素子や光透過性の画素電極Ｐ１などが備えられている。
【００２３】
各画素電極Ｐ１の上側には、その全体にわたりラビング処理の施された配向膜２３が積
層されている。配向膜２３は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であっ
て、対応する画素電極Ｐ１の近傍で液晶ＬＣの配向状態を規制する。配向膜２３は、配向
膜材料（例えば、ポリイミドなどの配向性高分子）の分散した配向膜用インクを液滴にし
て各素子領域Ｓ１の上側全体に吐出し、複数の液滴からなる液状膜を乾燥させることによ
り形成される。
【００２４】
ここで、走査線Ｌｘの延びる方向をＸ方向とし、データ線Ｌｙの延びる方向をＹ方向と
いう。
図２は、素子基板１４側を上にした状態の対向基板１５を示す斜視図である。図３（ａ
）及び（ｂ）は、それぞれ対向基板１５の要部を示す平面図及び断面図である。
【００２５】
図２において、対向基板１５の下面（図１における上面）には、偏光板２４が配設され
ている。偏光板２４は、所定の方向に透過軸を有して液晶ＬＣからの光を透過可能にする
。対向基板１５の上面（図１における下面：以下単に、フィルタ形成面１５ａという。）
には、隔壁２５が形成されている。隔壁２５は、液晶ＬＣから出射される光を遮光する遮
光材料によって形成された薄膜であり、走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙと対向する格子状に
形成されている。隔壁２５は、素子基板１４の素子領域Ｓ１と対向するフィルタ形成面１
５ａの領域に、それぞれ隔壁２５によって囲まれたフィルタ領域Ｓ２を区画形成する。複
数のフィルタ領域Ｓ２の各々には、それぞれカラーフィルタＣＦが形成されている。カラ
ーフィルタＣＦは、液晶ＬＣから出射される光の中から特定波長の光を透過し、バックラ
イト１１からの光を有色の光に変換する。
【００２６】
図３において、隔壁２５及びカラーフィルタＣＦの上側には、共通するオーバーコート
層２６が積層されている。オーバーコート層２６は、液晶ＬＣから出射される光を透過す
る光透過性樹脂によって形成された薄膜であり、対向基板１５の表面全体を平坦にする。
【００２７】
オーバーコート層２６の上側には、光透過性の対向電極Ｐ２が積層されている。対向電
極Ｐ２は、走査線駆動回路１８に接続されて所定の共通電位を受ける。対向電極Ｐ２の膜
厚は、図３（ａ）においてグラデーションを付した領域が厚く、グラデーションを付して
いない領域が薄く形成されている。対向電極Ｐ２において膜厚の厚い領域は、Ｘ方向に沿
って連続する帯状に形成され、かつ、Ｙ方向に沿って所定の間隔ごとに形成されている。
ここで、対向電極Ｐ２の中で相対的に膜厚の厚い領域（凸部）をスジ部Ａ１とし、このス
ジ部Ａ１のＹ方向の形成ピッチを吐出ピッチＰｙという。
【００２８】
この対向電極Ｐ２は、透明電極材料（例えば、ＩＴＯからなる微粒子）の分散した対向
電極用インクを複数の液滴にしてオーバーコート層２６の全体に吐出し、複数の液滴から
なる液状膜を乾燥・焼成させて形成される。
【００２９】
対向電極Ｐ２の上側には、配向膜ＯＦが積層されている。配向膜ＯＦは、配向膜２３と
同じく、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、近傍に位置する液
晶分子の配向状態を規制する。この配向膜ＯＦは、対向基板１５の略全面において、対向
電極Ｐ２の膜厚分布と略逆の膜厚分布を呈する。すなわち、図３（ｂ）に示すように、配
向膜ＯＦの膜厚は、対向電極Ｐ２のスジ部Ａ１の上側において、相対的に薄く形成されて
いる、すなわちスジ部Ａ１に対応する凹部を有する。また、配向膜ＯＦの膜厚は、対向電
極Ｐ２のスジ部Ａ１の上側を除く領域において、相対的に厚く形成されている。これによ
って、配向膜ＯＦと対向電極Ｐ２との積算膜厚が、対向基板１５の略全体にわたり均一化
されている。そして、配向膜ＯＦと配向膜２３との間の間隔、いわゆるセルギャップが、
液晶パネル１２の略全体にわたり均一化されている。
【００３０】
この配向膜ＯＦは、配向性高分子の分散した配向膜用インクを液滴にして対向電極Ｐ２
の全体に吐出し、複数の液滴からなる液状膜を乾燥させて形成される。
走査線駆動回路１８は、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミン
グで選択し、各素子領域Ｓ１の制御素子をそれぞれ選択期間中だけオン状態にする。オン
状態のスイッチング素子は、表示データに基づくデータ信号をデータ線Ｌｙから受けて、
対応する画素電極Ｐ１にデータ信号を出力する。各画素電極Ｐ１は、それぞれ画素電極Ｐ
１と対向電極Ｐ２との間の電位差に基づいて、対応する液晶ＬＣの配向状態を変調し、光
学基板１７からの光の偏光状態を素子領域Ｓ１ごとに変調させる。
【００３１】
この際、セルギャップが均一化されているため、液晶ＬＣは、液晶パネル１２の全体に
わたり、その変調に偏倚を来たすことなく、データ信号に応じて変調する。変調された光
は、対応するカラーフィルタＣＦによって有色の光に変換されて、表示ムラの無いフルカ
ラーの画像を表示する。
【００３２】
次に、液晶表示装置１０の製造システムについて図４に従って説明する。図４は液晶表
示装置１０の製造システムを模式的に示す構成図である。
液晶表示装置１０の製造システム３０は、対向基板１５の搬入・搬出を行うストッカ３
１と、対向基板１５に対して各種の処理工程を行う対向基板製造ライン３２とを有する。
【００３３】
ストッカ３１は、任意の処理工程までの処理が行われた複数種類の対向基板１５をカセ
ット単位で保管する。ストッカ３１は、保管する対向基板１５をカセット単位で対向基板
製造ライン３２に搬入し、対向基板製造ライン３２から搬出される対向基板１５を空のカ
セットに収納して保管する。
【００３４】
なお、ストッカ３１は、素子基板１４を製造するための図示しない素子基板製造ライン
に素子基板１４を搬入し、素子基板製造ラインから搬出される素子基板１４を空のカセッ
トに収納して保管する。また、ストッカ３１は、素子基板１４と対向基板１５との間に液
晶ＬＣを封入し液晶パネルを製造するための図示しないパネル製造ラインに、素子基板１
４と対向基板１５とを搬入し、パネル製造ラインから搬出される液晶パネル１２を保管す
る。
【００３５】
対向基板製造ライン３２は、隔壁２５の形成工程を行う隔壁形成ライン３３、カラーフ
ィルタＣＦの形成工程を行うフィルタ形成ライン３４、オーバーコート層２６の形成工程
を行うオーバーコート層形成ライン３５を有する。また、対向基板製造ライン３２は、対
向電極Ｐ２の形成工程を行う対向電極形成ライン３６、配向膜ＯＦの形成工程を行う配向
膜形成ライン３７を有する。
【００３６】
隔壁形成ライン３３は、未処理状態の対向基板１５をストッカ３１から搬入して各種装
置に搬送するための搬送ライン３３Ｌを有する。隔壁形成ライン３３は、その搬送ライン
３３Ｌの途中に、例えば対向基板１５の表面を洗浄する洗浄装置３３Ａ、洗浄したフィル
タ形成面１５ａに対し遮光材料を含むアクリル系感光性樹脂を塗布する塗布装置３３Ｂを
有する。また、隔壁形成ライン３３は、搬送ライン３３Ｌの途中に、フィルタ形成面１５
ａに形成した塗布膜を露光・現像する露光装置３３Ｃ及び現像装置３３Ｄ、現像した塗布
膜を乾燥するベーキング装置３３Ｅを有する。
【００３７】
隔壁形成ライン３３は、ストッカ３１から搬入される対向基板１５に対し、洗浄装置３
３Ａを用いた洗浄工程、塗布装置３３Ｂを用いた塗布工程を実行する。また、隔壁形成ラ
イン３３は、露光装置３３Ｃを用いた露光工程、現像装置３３Ｄを用いた現像工程、ベー
キング装置３３Ｅを用いた乾燥工程を実行し、対向基板１５のフィルタ形成面１５ａに隔
壁２５を形成してストッカ３１に搬出する。
【００３８】
フィルタ形成ライン３４は、隔壁２５の形成された対向基板１５をストッカ３１から搬
入して各種装置に搬送するための搬送ライン３４Ｌを有する。フィルタ形成ライン３４は
、その搬送ライン３４Ｌの途中に、例えば対向基板１５の表面を洗浄する洗浄装置３４Ａ
、洗浄したフィルタ形成面１５ａに対し各色用の無機顔料や有機顔料などを分散させた感
光性樹脂を塗布する塗布装置３４Ｂを有する。また、フィルタ形成ライン３４は、搬送ラ
イン３４Ｌの途中に、フィルタ形成面１５ａに形成した塗布膜を露光・現像する露光装置
３４Ｃ及び現像装置３４Ｄ、現像したカラーフィルタＣＦを乾燥するベーキング装置３４
Ｅを有する。
【００３９】
フィルタ形成ライン３４は、ストッカ３１から搬入されて隔壁２５を有した対向基板１
５に対し、洗浄装置３４Ａを用いた洗浄工程、塗布装置３４Ｂを用いた塗布工程を実行す
る。また、フィルタ形成ライン３４は、露光装置３４Ｃを用いた露光工程、現像装置３４
Ｄを用いた現像工程、ベーキング装置３４Ｅを用いた乾燥工程を実行し、対向基板１５の
フィルタ形成面１５ａにカラーフィルタＣＦを形成してストッカ３１に搬出する。
【００４０】
オーバーコート層形成ライン３５は、カラーフィルタＣＦの形成された対向基板１５を
ストッカ３１から搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン３５Ｌを有する。オーバ
ーコート層形成ライン３５は、その搬送ライン３５Ｌの途中に、例えば対向基板１５の表
面を洗浄する洗浄装置３５Ａ、洗浄したカラーフィルタＣＦに対し無色透明の樹脂材料を
分散させた感光性樹脂を塗布する塗布装置３５Ｂを有する。また、オーバーコート層形成
ライン３５は、搬送ライン３５Ｌの途中に、カラーフィルタＣＦの上に形成した塗布膜を
露光・現像する露光装置３５Ｃ及び現像装置３５Ｄ、現像したオーバーコート層２６を乾
燥するベーキング装置３５Ｅを有する。
【００４１】
オーバーコート層形成ライン３５は、ストッカ３１から搬入されてカラーフィルタＣＦ
を有した対向基板１５に対し、洗浄装置３５Ａを用いた洗浄工程、塗布装置３５Ｂを用い
た塗布工程を実行する。また、オーバーコート層形成ライン３５は、露光装置３５Ｃを用
いた露光工程、現像装置３５Ｄを用いた現像工程、ベーキング装置３５Ｅを用いた乾燥工
程を実行し、カラーフィルタＣＦの上にオーバーコート層２６を形成してストッカ３１に
搬出する。
【００４２】
対向電極形成ライン３６は、オーバーコート層２６の形成された対向基板１５をストッ
カ３１から搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン３６Ｌを有する。対向電極形成
ライン３６は、その搬送ライン３６Ｌの途中に、例えばオーバーコート層２６の表面を洗
浄する洗浄装置３６Ａ、洗浄したオーバーコート層２６に対し対向電極用インクを吐出す
る第一液滴吐出装置３６Ｂ、吐出した対向電極用インクを乾燥して焼成するベーキング装
置３６Ｃを有する。
【００４３】
対向電極形成ライン３６は、ストッカ３１から搬入されてオーバーコート層２６を有し
た対向基板１５に対し、洗浄装置３６Ａを用いた洗浄工程、第一液滴吐出装置３６Ｂを用
いた液滴吐出工程を実行する。また、対向電極形成ライン３６は、ベーキング装置３６Ｃ
を用いた乾燥・焼成工程を実行し、オーバーコート層２６の上に対向電極Ｐ２を積層して
ストッカ３１に搬出する。
【００４４】
配向膜形成ライン３７は、対向電極Ｐ２の形成された対向基板１５をストッカ３１から
搬入して各種装置に搬送するための搬送ライン３７Ｌを有する。配向膜形成ライン３７は
、その搬送ライン３７Ｌの途中に、例えば対向電極Ｐ２の表面を洗浄する洗浄装置３７Ａ
、洗浄した対向電極Ｐ２に対し配向膜用インクを吐出する第二液滴吐出装置３７Ｂ、吐出
した対向電極用インクを乾燥して焼成するベーキング装置３７Ｃを有する。
【００４５】
配向膜形成ライン３７は、ストッカ３１から搬入されて対向電極Ｐ２を有した対向基板
１５に対し、洗浄装置３７Ａを用いた洗浄工程、第二液滴吐出装置３７Ｂを用いた液滴吐
出工程を実行する。また、配向膜形成ライン３７は、ベーキング装置３６Ｃを用いた乾燥
工程を実行し、対向電極Ｐ２の上に配向膜ＯＦを積層してストッカ３１に搬出する。
【００４６】
次に、上記第一液滴吐出装置３６Ｂついて、図５及び図６に従って説明する。図５は、
第一液滴吐出装置３６Ｂを示す斜視図である。なお、第二液滴吐出装置３７Ｂは、第一液
滴吐出装置３６Ｂと略同様の構成を有するため、第一液滴吐出装置３６Ｂと異なる点につ
いてのみ以下に説明する。
【００４７】
図５において、第一液滴吐出装置３６Ｂには、直方体形状に形成された基台４０が備え
られている。基台４０の上面には、その長手方向（Ｘ方向）に沿って延びる一対の案内溝
４０ａが形成されている。一対の案内溝４０ａには、基台４０に内設されたＸ軸モータの
出力軸に駆動連結される基板ステージ４１が取着されている。
【００４８】
基板ステージ４１は、対向電極Ｐ２を上側にした状態で対向基板１５を位置決め固定す
る。基板ステージ４１は、Ｘ軸モータが正転又は逆転するとき、案内溝４０ａに沿って所
定の速度でＸ方向又は反Ｘ方向に移動し、位置決め固定した対向基板１５をＸ方向又は反
Ｘ方向に走査（主走査）する。なお、本実施形態では、第一液滴吐出装置３６Ｂの基板ス
テージ４１が第一走査手段を構成し、第二液滴吐出装置３７Ｂの基板ステージ４１が第二
走査手段を構成する。
【００４９】
基台４０の上方には、門型に形成されたガイド部材４２が架設されている。ガイド部材
４２の上側には、インクタンク４２ａが配設されている。インクタンク４２ａは、各種の
インクＩｋ（対向電極用インクあるいは配向膜用インク）を収容し、所定の圧力に調整さ
れたインクＩｋを吐出ヘッドＨに向けて供給する。
【００５０】
ガイド部材４２には、Ｘ方向に延びる上下一対のガイドレール４２ｂが形成されている
。上下一対のガイドレール４２ｂには、ガイド部材４２に内設されたＹ軸モータの出力軸
に駆動連結されるキャリッジ４３が取着されている。キャリッジ４３の下側には、Ｙ方向
に延びる略直方体形状の吐出ヘッドＨが搭載されている。キャリッジ４３は、Ｙ軸モータ
が正転又は逆転するとき、ガイドレール４２ｂに沿ってＹ方向又は反Ｙ方向に移動し、搭
載する吐出ヘッドＨをＹ方向又は反Ｙ方向に走査（副走査）する。
【００５１】
図６は、吐出ヘッドＨを下方（対向基板１５）から見た図である。図７及び図８は、そ
れぞれ第一及び第二液滴吐出装置３６Ｂ，３７Ｂの吐出動作を示す図である。
図６において、吐出ヘッドＨの上側（基板ステージ４１側）には、ノズルプレート４４
が備えられている。ノズルプレート４４の上面には、対向基板１５と平行のノズル形成面
４４ａが形成され、そのノズル形成面４４ａには、ノズル形成面４４ａの法線方向に貫通
する複数のノズルＮがＹ方向に沿って等間隔に配列され、１列のノズル列を構成している
。ノズルＮの形成ピッチは、上記スジ部Ａ１の形成ピッチと同じく、吐出ピッチＰｙによ
って形成されている。
【００５２】
なお、本実施形態において、第一液滴吐出装置３６Ｂが有するノズルＮを第一ノズルと
し、第二液滴吐出装置３７Ｂが有するノズルＮを第二ノズルという。
吐出ヘッドＨの下側には、ヘッド基板４５が設けられ、そのヘッド基板４５の一側端に
は、入力端子４５ａが設けられている。入力端子４５ａには、吐出ヘッドＨを駆動するた
めの所定の駆動波形信号が入力される。
【００５３】
図７において、吐出ヘッドＨは、各ノズルＮの上側に、それぞれインクタンク４２ａに
連通するキャビティ４６を有している。各キャビティ４６は、それぞれインクタンク４２
ａが導出するインクＩｋを対応するノズルＮに供給する。各キャビティ４６の上側には、
上下方向に振動可能な振動板４７が貼り付けられて、対応するキャビティ４６の容積を拡
大・縮小可能にする。振動板４７の上側には、各ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設
されている。各圧電素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号を
受けるとき、上下方向に収縮・伸張し、対応する振動板４７を振動させる。キャビティ４
６は、対応する振動板４７が振動するとき、対応するノズルＮの内部のメニスカスを上下
方向に振動させ、所定重量のインクＩｋをノズルＮから液滴として吐出させる。吐出され
た液滴は、対向基板１５に向かって飛行して対向電極Ｐ２の上面に着弾する。
【００５４】
ここで、図７（ａ）に示すように、第一液滴吐出装置３６Ｂに搭載された吐出ヘッドＨ
を第一吐出ヘッドＨ１とし、第一吐出ヘッドＨ１から吐出される液滴を、第一液滴Ｄ１と
いう。また、図８（ａ）に示すように、第二液滴吐出装置３７Ｂに搭載された吐出ヘッド
Ｈをヘッド第二吐出ヘッドＨ２とし、第二吐出ヘッドＨ２から吐出される液滴を、第二液
滴Ｄ２という。
【００５５】
図７（ｂ）において、対向基板１５の上面、すなわちオーバーコート層２６の上面は、
一点鎖線で示す第一ドットパターン格子によって仮想分割されている。第一ドットパター
ン格子とは、Ｘ方向の吐出ピッチＰｘと、Ｙ方向の吐出ピッチＰｙとによって規定された
格子である。吐出ピッチＰｘは、第一液滴Ｄ１の吐出周波数と基板ステージ４１の走査速
度とに基づいて規定される値であって、Ｘ方向に沿って規定される第一液滴Ｄ１の最小の
吐出間隔である。第一液滴Ｄ１の吐出・非吐出は、この第一ドットパターン格子の格子点
（第一格子点Ｋ１）ごとに規定される。第一液滴Ｄ１を吐出するノズルＮは、第一格子点
Ｋ１の上方を通過するノズルＮに規定される。なお、本実施形態では、Ｘ方向に連続する
複数の第一格子点Ｋ１によって第一経路が構成される。
【００５６】
第一吐出ヘッドＨ１は、オーバーコート層２６がＸ方向に主走査されるとき、第一格子
点Ｋ１がノズルＮの直下に位置するたびに、各圧電素子ＰＺをそれぞれ駆動させて対応す
るノズルＮから第一液滴Ｄ１を吐出させる。吐出された各第一液滴Ｄ１は、それぞれ対応
する第一格子点Ｋ１の上に着弾してオーバーコート層２６の面方向に濡れ広がり、オーバ
ーコート層２６の反Ｘ方向に向かって第一液状膜ＬＰ２を形成する。
【００５７】
この際、各第一格子点Ｋ１に着弾した第一液滴Ｄ１は、それぞれ濡れ広がる際に、液滴
の中央部と周辺部との間において溶剤の蒸気圧に大きな差を来たし、中央部の液状体が周
辺部に流動することによって、周辺部の膜厚を中央部の膜厚よりも厚くする。周辺部の膜
厚を厚くする各第一液滴Ｄ１は、それぞれ反Ｘ方向に沿って順に合一し、Ｙ方向に隣接す
る第一格子点Ｋ１の略中央において、Ｘ方向に連続する膜厚の厚い領域、すなわちスジ部
Ａ１を形成する。
【００５８】
図８（ｂ）において、対向電極Ｐ２の上面、すなわち対向電極Ｐ２の上面は、一点鎖線
で示す第二ドットパターン格子によって仮想分割されている。第二ドットパターン格子と
は、第一ドットパターン格子と同じく、Ｘ方向の吐出ピッチＰｘと、Ｙ方向の吐出ピッチ
Ｐｙとによって規定された格子である。
【００５９】
第二ドットパターン格子の各格子点（第二格子点Ｋ２）は、それぞれ第一液滴Ｄ１の着
弾位置（第一格子点Ｋ１）からＹ方向に向かって吐出ピッチＰｙの半分の距離だけ変位し
た位置、すなわちスジ部Ａ１の直上に規定されている。第二液滴Ｄ２の吐出・非吐出は、
これら第二格子点Ｋ２ごとに規定される。第二液滴Ｄ２を吐出するノズルＮは、各第二格
子点Ｋ２の上方を通過するノズルＮ、すなわちスジ部Ａ１の直上を通過するノズルＮに規
定される。なお、本実施形態では、Ｘ方向に連続する複数の第二格子点Ｋ２によって、第
二経路が構成される。
【００６０】
第二吐出ヘッドＨ２は、対向電極Ｐ２がＸ方向に主走査されるとき、第二格子点Ｋ２が
ノズルＮの直下に位置するたびに、各圧電素子ＰＺをそれぞれ駆動させて対応するノズル
Ｎから第二液滴Ｄ２を吐出させる。吐出された各第二液滴Ｄ２は、それぞれ対向電極Ｐ２
の上に着弾して対向電極Ｐ２の面方向に濡れ広がり、対向電極Ｐ２の反Ｘ方向に向かって
第二液状膜ＬＯＦを形成する。
【００６１】
この際、各第二格子点Ｋ２に着弾した第二液滴Ｄ２は、それぞれ濡れ広がる際に、液滴
の中央部と周辺部との間において溶剤の蒸気圧に大きな差を来たし、中央部の液状体が周
辺部に流動することによって、周辺部の膜厚を中央部の膜厚よりも厚くする。周辺部の膜
厚を厚くした各第二液滴Ｄ２は、それぞれ反Ｘ方向に沿って順に合一し、Ｙ方向に隣接す
る第二格子点Ｋ２の略中央において、Ｘ方向に連続する膜厚の厚い領域を形成する。
【００６２】
すなわち、各第二液滴Ｄ２は、対向電極Ｐ２のスジ部Ａ１の上側において、相対的に薄
い膜厚からなる第二液状膜ＬＯＦを形成する。また、各第二液滴Ｄ２は、対向電極Ｐ２の
スジ部Ａ１の上側を除く領域において、相対的に厚い膜厚からなる第二液状膜ＬＯＦを形
成する。そして、各第二液滴Ｄ２は、それぞれ対向電極Ｐ２が有するスジ部Ａ１（図８（
ｂ）においてグラデーションを付した領域）の膜厚段差を相殺する第二液状膜ＬＯＦを形
成する。
【００６３】
次に、上記第一液滴吐出装置３６Ｂの電気的構成ついて図９に従って説明する。図９は
、第一液滴吐出装置３６Ｂの電気的構成を示すブロック回路図である。なお、第二液滴吐
出装置３７Ｂは、第一液滴吐出装置３６Ｂと略同様の電気的構成を有するため、第一液滴
吐出装置３６Ｂと異なる点についてのみ以下に説明する。
【００６４】
図９において、制御部５１には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどが備えられている。制御
部５１は、ＲＡＭやＲＯＭなどに格納された各種データ及び各種プログラムに従って、基
板ステージ４１及びキャリッジ４３を移動させるとともに、吐出ヘッドＨを駆動制御させ
る。なお、本実施形態では、第一液滴吐出装置３６Ｂの制御部５１が第一制御部を構成し
、第二液滴吐出装置３７Ｂの制御部５１が第二制御部を構成する。
【００６５】
制御部５１には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入出力装置５
２が接続されている。入出力装置５２は、例えばＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディス
ク、液晶ディスプレイなどを有した外部コンピュータである。入出力装置５２は、ＲＯＭ
又はハードディスクに記憶された制御プログラムに従って液滴吐出装置を駆動させるため
の各種の制御信号を制御部５１に出力する。制御部５１は、対向電極Ｐ２あるいは配向膜
ＯＦを描画するための描画データＩｐを入出力装置５２から受信する。
【００６６】
制御部５１は、入出力装置５２からの描画データＩｐをドットパターンデータＰＤに展
開して格納する。ここで、ドットパターンデータＰＤは、Ｘ方向の吐出ピッチＰｘとＹ方
向の吐出ピッチＰｙとからなるドットパターン格子、すなわち第一あるいは第二ドットパ
ターン格子を規定する。ドットパターンデータＰＤは、規定したドットパターン格子の各
格子点にそれぞれ各ビットの値（“０”あるいは“１”）を対応させるためのデータであ
って、各ビットの値に応じて、それぞれ圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定するもの
である。すなわち、ドットパターンデータＰＤは、対向基板１５が主走査されるとき、吐
出ピッチＰｘに応じた所定の吐出周波数ごとに圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定す
るものである。
【００６７】
制御部５１は、基板ステージ４１の１走査分に相当するドットパターンデータＰＤを展
開すると、ドットパターンデータＰＤを利用して所定の転送クロックに同期したシリアル
パターンデータＳＩを生成し、ヘッド駆動回路５８にシリアル転送する。シリアルパター
ンデータＳＩは、液滴の吐出・非吐出を規定するためのビットの値をノズルＮの数量分だ
け有し、吐出周期ごとに順次生成される。
【００６８】
制御部５１は、Ｘ軸モータ駆動回路５３に接続されて、Ｘ軸モータ駆動回路５３に対応
する駆動制御信号を出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５３は、制御部５１からの駆動制御信
号に応答してＸ軸モータＭＸを正転又は逆転させ、基板ステージ４１をＸ方向又は反Ｘ方
向に主走査する。
【００６９】
制御部５１は、Ｙ軸モータ駆動回路５４に接続されて、Ｙ軸モータ駆動回路５４に対応
する駆動制御信号を出力する。Ｙ軸モータ駆動回路５４は、制御部５１からの駆動制御信
号に応答してＹ軸モータＭＹを正転又は逆転させ、キャリッジ４３をＹ方向又は反Ｙ方向
に副走査する。
【００７０】
制御部５１は、Ｘ軸モータ回転検出器５５に接続されて、Ｘ軸モータ回転検出器５５か
ら検出信号を受ける。制御部５１は、Ｘ軸モータ回転検出器５５からの検出信号に基づい
て、基板ステージ４１の移動方向及び移動量、すなわち、対向基板１５の移動方向及び移
動量を演算する。制御部５１は、演算結果に基づいて、ドットパターン格子における各格
子点が対応するノズルＮの直下に位置するとき、吐出タイミング信号ＬＰを出力する。
【００７１】
制御部５１は、Ｙ軸モータ回転検出器５６に接続されて、Ｙ軸モータ回転検出器５６か
ら検出信号を受ける。制御部５１は、Ｙ軸モータ回転検出器５６からの検出信号に基づい
て、キャリッジ４３の移動方向及び移動量を演算する。制御部５１は、演算結果に基づい
て、各格子点が主走査される経路上に、各ノズルＮを配置させる。すなわち、第一液滴吐
出装置３６Ｂの制御部５１は、各第一格子点Ｋ１が主走査される経路上に、各ノズルＮを
配置させる。また、第二液滴吐出装置３７Ｂの制御部５１は、各第二格子点Ｋ２が主走査
される経路上に、各ノズルＮを配置させる。
【００７２】
制御部５１は、対向基板１５の端縁を検出する基板検出装置５７に接続されて、基板検
出装置５７から検出信号を受ける。制御部５１は、基板検出装置５７からの検出信号に基
づいて、対向基板１５の初期位置を演算する。
【００７３】
制御部５１は、ヘッド駆動回路５８に接続されて、ヘッド駆動回路５８にラッチ信号Ｌ
ＡＴと吐出タイミング信号ＬＰを入力する。また、制御部５１は、圧電素子ＰＺを駆動す
るための駆動波形信号ＣＯＭを吐出タイミング信号ＬＰに同期させてヘッド駆動回路５８
に入力する。
【００７４】
ヘッド駆動回路５８は、ラッチ信号ＬＡＴを受けるたびに、制御部５１からのシリアル
パターンデータＳＩをラッチしてシリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路５８は、
制御部５１からの吐出タイミング信号ＬＰを受けるとき、シリアル／パラレル変換したデ
ータに基づいて選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。
【００７５】
次に、液晶表示装置の製造システム３０を利用した液晶表示装置の製造方法について説
明する。
まず、図４に示すように、ストッカ３１は、未処理の対向基板１５を隔壁形成ライン３
３に搬送する。隔壁形成ライン３３は、対向基板１５に対して洗浄工程、塗布工程、露光
工程、現像装置、乾燥工程を順に実行し、対向基板１５のフィルタ形成面１５ａに隔壁２
５を形成する。
【００７６】
次いで、ストッカ３１は、隔壁２５を有した対向基板１５を、隔壁形成ライン３３から
フィルタ形成ライン３４に搬送する。フィルタ形成ライン３４は、隔壁２５を有した対向
基板１５に対して洗浄工程、塗布工程、露光工程、現像装置、乾燥工程を順に実行し、対
向基板１５のフィルタ形成面１５ａにカラーフィルタＣＦを形成する。
【００７７】
ストッカ３１は、カラーフィルタＣＦを有した対向基板１５を、フィルタ形成ライン３
４からオーバーコート層形成ライン３５に搬送する。オーバーコート層形成ライン３５は
、カラーフィルタＣＦを有した対向基板１５に対して洗浄工程、塗布工程、露光工程、現
像工程、乾燥工程を実行し、カラーフィルタＣＦの上にオーバーコート層２６を形成する
。
【００７８】
ストッカ３１は、オーバーコート層２６を有した対向基板１５を、オーバーコート層形
成ライン３５から対向電極形成ライン３６に搬送する。対向電極形成ライン３６は、オー
バーコート層２６を有した対向基板１５に対して洗浄工程を実行し、第一液滴吐出装置３
６Ｂに搬送する。
【００７９】
第一液滴吐出装置３６Ｂは、オーバーコート層２６を上側にした対向基板１５を基板ス
テージ４１に載置固定し、キャリッジ４３の反Ｘ方向に配置させる。次いで、第一液滴吐
出装置３６Ｂは、その入出力装置５２からの描画データＩｐを受信し、描画データＩｐを
ドットパターンデータＰＤに展開して格納する。また、第一液滴吐出装置３６Ｂは、その
Ｙ軸モータ駆動回路５４を介してＹ軸モータＭＹを駆動制御し、第一格子点Ｋ１の走査径
路上に各ノズルＮを配置させる、すなわち、キャリッジ４３を第一液状膜ＬＰ２用にセッ
トする。
【００８０】
第一液滴吐出装置３６Ｂは、キャリッジ４３をセットすると、そのＸ軸モータ駆動回路
５３を介してＸ軸モータＭＸを駆動制御して対向基板１５の主走査を開始する。第一液滴
吐出装置３６Ｂは、対向基板１５の主走査を開始すると、その基板検出装置５７及びＸ軸
モータ回転検出器５５からの検出信号に基づいて、第一格子点Ｋ１がノズルＮの直下に到
達したか否か判断する。
【００８１】
この間、第一液滴吐出装置３６Ｂは、１走査分に相当するドットパターンデータＰＤを
展開して転送クロックに同期したシリアルパターンデータＳＩを順次生成し、そのヘッド
駆動回路５８にシリアル転送する。また、第一液滴吐出装置３６Ｂは、シリアルパターン
データＳＩを転送するたびに、そのヘッド駆動回路５８に対してラッチ信号ＬＡＴを入力
し、ヘッド駆動回路５８にシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換させる
。そして、第一液滴吐出装置３６Ｂは、第一格子点Ｋ１がノズルＮの直下に到達するたび
に、そのヘッド駆動回路５８に対して吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭを入
力する。
【００８２】
第一液滴吐出装置３６Ｂは、吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭをヘッド駆
動回路５８に入力するたびに、ヘッド駆動回路５８を介し、シリアルパターンデータＳＩ
に基づいて選択される各圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。そして
、第一液滴吐出装置３６Ｂは、ドットパターンデータＰＤに基づいて選択されるノズルＮ
から対応する第一格子点Ｋ１に向けて一斉に第一液滴Ｄ１を吐出させ、スジ部Ａ１を有し
た第一液状膜ＬＰ２を形成する。
【００８３】
対向電極形成ライン３６は、第一液状膜ＬＰ２を有した対向基板１５に乾燥・焼成工程
を実行し、オーバーコート層２６の上に対向電極Ｐ２を積層してストッカ３１に搬出する
。
【００８４】
ストッカ３１は、対向電極Ｐ２を有した対向基板１５を、対向電極形成ライン３６から
配向膜形成ライン３７に搬送する。配向膜形成ライン３７は、対向電極Ｐ２を有した対向
基板１５に対して洗浄工程を実行し、第二液滴吐出装置３７Ｂに搬送する。
【００８５】
第二液滴吐出装置３７Ｂは、対向電極Ｐ２を上側にした対向基板１５を基板ステージ４
１に載置固定し、キャリッジ４３の反Ｘ方向に配置させる。次いで、第二液滴吐出装置３
７Ｂは、その入出力装置５２からの描画データＩｐを受信し、描画データＩｐをドットパ
ターンデータＰＤに展開して格納する。また、第二液滴吐出装置３７Ｂは、そのＹ軸モー
タ駆動回路５４を介してＹ軸モータＭＹを駆動制御し、第二格子点Ｋ２の走査径路上に各
ノズルＮを配置させる、すなわち、キャリッジ４３を第二液状膜ＬＯＦ用にセットする。
【００８６】
第二液滴吐出装置３７Ｂは、キャリッジ４３をセットすると、そのＸ軸モータ駆動回路
５３を介してＸ軸モータＭＸを駆動制御して対向基板１５の主走査を開始する。第二液滴
吐出装置３７Ｂは、対向基板１５の主走査を開始すると、その基板検出装置５７及びＸ軸
モータ回転検出器５５からの検出信号に基づいて、第二格子点Ｋ２がノズルＮの直下に到
達したか否か判断する。
【００８７】
この間、第二液滴吐出装置３７Ｂは、１走査分に相当するドットパターンデータＰＤを
展開して転送クロックに同期したシリアルパターンデータＳＩを順次生成し、そのヘッド
駆動回路５８にシリアル転送する。また、第二液滴吐出装置３７Ｂは、シリアルパターン
データＳＩを転送するたびに、そのヘッド駆動回路５８に対してラッチ信号ＬＡＴを入力
し、ヘッド駆動回路５８にシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換させる
。そして、第二液滴吐出装置３７Ｂは、第二格子点Ｋ２がノズルＮの直下に到達するたび
に、そのヘッド駆動回路５８に対して吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭを入
力する。
【００８８】
第二液滴吐出装置３７Ｂは、吐出タイミング信号ＬＰと駆動波形信号ＣＯＭをヘッド駆
動回路５８に入力するたびに、ヘッド駆動回路５８を介し、シリアルパターンデータＳＩ
に基づいて選択される各圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給する。そして
、第二液滴吐出装置３７Ｂは、ドットパターンデータＰＤに基づいて選択されるノズルＮ
から対応する第二格子点Ｋ２に向けて一斉に第二液滴Ｄ２を吐出させ、スジ部Ａ１の膜厚
段差を相殺した第二液状膜ＬＯＦを形成する。
【００８９】
配向膜形成ライン３７は、第二液状膜ＬＯＦを有した対向基板１５に乾燥工程を実行し
、対向電極Ｐ２の上に配向膜ＯＦを積層してストッカ３１に搬出する。
以後、ストッカ３１は、配向膜ＯＦを有する対向基板１５と、素子基板製造ラインから
搬出される素子基板１４とをパネル製造ラインに搬入し、素子基板１４と対向基板１５と
の間に液晶ＬＣを封入させて液晶パネル１２を製造する。
【００９０】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、第一液滴吐出装置３６Ｂが、複数の第一格子点Ｋ１の各
々に向けて第一液滴Ｄ１を吐出させ、Ｙ方向に隣接する第一格子点Ｋ１の間にスジ部Ａ１
を有した対向電極Ｐ２を形成する。そして、第二液滴吐出装置３７Ｂが、Ｙ方向に隣接す
る第一格子点Ｋ１の間に規定された複数の第二格子点Ｋ２に向けて第二液滴Ｄ２を吐出さ
せ、スジ部Ａ１上の領域の膜厚を相対的に薄くした配向膜ＯＦを形成する。
【００９１】
したがって、対向電極Ｐ２が有するスジ部Ａ１の各々に対し、配向膜ＯＦの凹部を対応
させることができる。この結果、対向電極Ｐ２と配向膜ＯＦとからなる多層膜の膜厚均一
性を向上させることができる。
【００９２】
（２）上記実施形態によれば、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮを有する第一吐出ヘ
ッドＨ１に対し、対向基板１５をＸ方向に主走査させ、複数の第一格子点Ｋ１の各々に向
けて複数の第一液滴Ｄ１を同時に吐出させた。また、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮ
を有する第二吐出ヘッドＨ２に対し、対向基板１５をＸ方向に主走査させ、複数の第二格
子点Ｋ２の各々に向けて複数の第二液滴Ｄ２を同時に吐出させた。
【００９３】
したがって、第一液滴Ｄ１及び第二液滴Ｄ２の着弾間隔をノズルＮの形成ピッチによっ
て規定させることができ、吐出ピッチＰｘと吐出ピッチＰｙとによって規定される複数の
第一格子点Ｋ１及び複数の第二格子点Ｋ２の各々に対し、より高い精度の下で、第一液滴
Ｄ１及び第二液滴Ｄ２を着弾させることができる。ひいては、第一格子点Ｋ１に応じた対
向電極Ｐ２と、第二格子点Ｋ２に応じた配向膜ＯＦとを、より高い精度の下で形成させる
ことができ、対向電極Ｐ２と配向膜ＯＦとからなる多層膜の膜厚均一性を、より確実に向
上させることができる。
【００９４】
（３）上記実施形態によれば、第一液滴吐出装置３６Ｂと第二液滴吐出装置３７Ｂとが
、それぞれ共通するＸ方向に沿って対向基板１５を主走査させる。したがって、第一液滴
吐出装置３６Ｂと第二液滴吐出装置３７ＢとをＸ方向に併設させることにより、搬送ライ
ン３６Ｌと搬送ライン３７Ｌとを連続的に構成させることができる。ひいては、液晶表示
装置の製造システムを、より簡単な構成にすることができる。
【００９５】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、Ｙ方向に隣接する第一格子点Ｋ１の間に第二格子点Ｋ２を設けた
。これに限らず、第一格子点Ｋ１と第二格子点Ｋ２とを同じ位置に設ける構成であっても
よい。すなわち、第一液滴Ｄ１と第二液滴Ｄ２とを、対向基板１５の法線方向から見て、
同じ位置に着弾させる構成であってもよい。
【００９６】
この構成によれば、例えば、配向膜用インクに対し、対向電極Ｐ２の表面が撥液性を有
する場合、着弾した第二液滴Ｄ２を第二格子点Ｋ２の領域に停滞させることができ、スジ
部Ａ１の間の領域を埋めるように、配向膜ＯＦを形成させることができる。
【００９７】
すなわち、第一格子点Ｋ１と第二格子点Ｋ２は、それぞれ対向電極Ｐ２が有する凸部の
上に、配向膜ＯＦの凹部を対応させる位置関係であればよい。
・上記実施形態では、走査手段を基板ステージ４１に具体化した。これに限らず、例え
ば、走査手段をキャリッジ４３、あるいは基板ステージ４１とキャリッジ４３の双方に具
体化してもよい。
【００９８】
・上記実施形態では、吐出ヘッドＨが１列だけノズル列を有する構成にした。これに限
らず、例えば吐出ヘッドＨが２列以上のノズル列を有する構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】液晶表示装置を示す斜視図。
【図２】対向基板を示す斜視図。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ対向基板を示す平面図と側断面図。
【図４】液晶表示装置の製造システムを示す図。
【図５】液滴吐出装置を示す斜視図。
【図６】吐出ヘッドを示す斜視図。
【図７】（ａ）は第一吐出ヘッドを示す要部断面図、（ｂ）は第一液滴の吐出動作を示す対向基板の平面図。
【図８】（ａ）は第二吐出ヘッドを示す要部断面図、（ｂ）は第二液滴の吐出動作を示す対向基板の平面図。
【図９】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【符号の説明】
【０１００】
Ｄ１…第一液滴、Ｄ２…第二液滴、Ｈ…吐出ヘッド、Ｎ…ノズル、ＯＦ…配向膜、Ｐ２…
透明電極としての対向電極、１０…液晶表示装置、１５…対向基板、３０…液晶表示装置
の製造システム、３６Ｂ…第一液滴吐出装置、３７Ｂ…第二液滴吐出装置、４１…走査手
段を構成する基板ステージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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