(57)【要約】【課題】ユーザが必要とする波形表示の傾向を知ることができる半導体試験装置、当該装置で用いられるデータ収集方法及びプログラムを提供する。【解決手段】半導体試験装置１は、ＤＵＴ４０の試験を行う試験装置本体１０と、試験装置本体１０によって行われた試験で得られた信号の波形を表示する信号波形表示装置２０とを備える。信号波形表示装置２０は、ユーザにより操作される操作部２５と、ユーザによる操作部２５の操作に応じて、表示部２５の表示内容を更新する表示制御部２３と、ユーザによる操作部２５による画面操作を監視し、画面操作が所定時間なされなかった場合に、表示部２４に表示されている波形に関する有効画面情報を有効画面情報蓄積部２６に蓄積する制御部２２とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスの試験を行う試験装置本体と、当該試験装置本体によって行われた試験で得られた信号の波形を表示する表示部とを備える半導体試験装置装置において、
ユーザにより操作される操作部と、
ユーザによる前記操作部の操作に応じて、前記表示部の表示内容を更新する表示制御部と、
ユーザによる前記操作部を用いた画面操作を監視し、前記画面操作が所定時間なされなかった場合に、前記表示部に表示されている前記波形に関する有効画面情報を蓄積部に蓄積する制御部と
を備えることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記有効画面情報は、前記表示部内における前記波形の表示位置、表示範囲、及び前記表示部に表示されている波形のもとになる信号に関する情報を含むことを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記表示部には、前記有効画面情報を前記蓄積部に蓄積するか否かを設定する登録ボタンが表示されており、
前記制御部は、前記登録ボタンが前記有効画面情報を蓄積する設定である場合にのみ前記有効画面情報を蓄積する
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記表示部には、前記蓄積部に蓄積された有効画面情報を保存するか否かを設定する保存ボタンが表示されており、
前記制御部は、前記保存ボタンが前記有効画面情報を保存する設定である場合に、前記有効画面情報蓄積部に蓄積された有効画面情報と、当該有効画面情報を得たときの波形のもとになった信号とを対応付けて保存部に保存することを特徴とする請求項２又は請求項３記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記表示部には、前記蓄積部に蓄積された内容、又は前記保存部に保存された内容を前記表示部に表示させる再生ボタンが表示されており、
前記制御部は、ユーザによる前記操作部の操作により前記再生ボタンが押下された場合に、前記蓄積部に蓄積された内容又は前記保存部に保存された内容を、前記表示制御部を制御して前記表示部に表示させる
ことを特徴とする請求項４記載の半導体試験装置。
【請求項６】
半導体デバイスの試験を行う試験装置本体から得られる信号の波形を表示部に表示し、前記表示部の表示に関するデータを収集するデータ収集方法であって、
ユーザの指示に応じて、前記表示部の表示内容を更新するステップと、
前記ユーザの指示による画面操作を監視するステップと、
前記ユーザによる画面操作が所定時間なかった場合に、前記表示部に表示されている前記波形に関する有効画面情報を蓄積するステップと
を含むことを特徴とするデータ収集方法。
【請求項７】
前記表示部には、前記有効画面情報を蓄積するか否かを設定する登録ボタンが表示されており、前記登録ボタンが前記有効画面情報を蓄積する設定である場合にのみ前記有効画面情報を蓄積することを特徴とする請求項６記載のデータ収集方法。
【請求項８】
コンピュータを、半導体デバイスの試験を行う試験装置本体から得られる信号の波形を表示部に表示させ、前記表示部の表示に関するデータを収集するデータ収集手段として機能させるデータ収集プログラムであって、
ユーザの指示に応じて、前記表示部の表示内容を更新する表示制御手段と、
前記ユーザの指示による画面操作を監視する監視手段と、
前記ユーザによる画面操作が所定時間なかった場合に、前記表示部に表示されている前記波形に関する有効画面情報を蓄積部に蓄積する制御手段と
して機能させることを特徴とするデータ収集プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスの試験を行う半導体試験装置、当該装置で用いられるデータ収集方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの試験においては、ユーザが半導体デバイスの試験状況を確認するために、半導体デバイスから出力される各種信号の波形を表示することが頻繁に行われる。このため、半導体デバイスを試験する半導体試験装置には、各種信号の波形を表示するための様々なアプリケーションが予め用意されている。例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display：液晶表示ディスプレイ）の駆動ドライバ等のアナログ信号を取り扱う半導体デバイスの試験に用いられる半導体試験装置においては、半導体デバイスの出力信号を所定のサンプリング周期でサンプリングして得られた出力電圧を、サンプリング順に表示するアプリケーションが用意されている。
【０００３】
図４は、従来の信号波形の表示例を示す図である。尚、図４においては、ＬＣＤの駆動ドライバから出力される電圧が鋸波状に変化する信号の信号波形ＷＦ１１を表示した例について図示している。図４に示す例において、ウィンドウＷ１０には、信号波形を表示する表示領域Ｒ１１と、ユーザが表示領域Ｒ１１の表示内容を変更するための各種の操作ボタンが設けられた操作領域Ｒ１２とが設けられている。
【０００４】
図４に示す通り、表示領域Ｒ１１内における紙面横方向はサンプリングの順番を示すサンプル番号が設定され、紙面縦方向は電圧が設定されており、信号波形ＷＦ１１は電圧の時間変化を示すものとして表示される。この表示領域Ｒ１１には、表示された信号波形ＷＦ１１を紙面横方向に平行移動（スクロール）させるためのスクロールバーＳＢ１１と、信号波形ＷＦ１１を紙面縦方向にスクロールさせるためのスクロールバーＳＢ１２とが設けられており、ユーザがスクロールバーＳＢ１１，ＳＢ１２を操作することにより、信号波形ＷＦ１１の所望の部位を表示領域Ｒ１１に表示させることができるようになっている。
【０００５】
操作領域Ｒ１２には、各種操作ボタンが設けられているが、例えばＸ方向（紙面横方向）の表示倍率を自動設定する操作ボタンＢ１１、信号波形ＷＦ１１をＸ方向に手動で拡大させる操作ボタンＢ１２、及び信号波形ＷＦ１１をＸ方向に手動で縮小させる操作ボタンＢ１１３が設けられている。また、Ｙ方向（紙面縦方向）の表示倍率を自動設定する操作ボタンＢ２１、信号波形ＷＦ１１をＹ方向に手動で拡大させる操作ボタンＢ２２、及び信号波形ＷＦ１１をＹ方向に手動で縮小させる操作ボタンＢ２３も設けられている。
【０００６】
ユーザが信号波形を表示させる場合には、まずアプリケーションを起動してウィンドウＷ１０を表示させ、その後に表示させるべき信号を特定する。これにより、ユーザが特定した信号の信号波形がウィンドウＷ１０の表示領域Ｒ１１に表示される。その後、ユーザが、スクロールバーＳＢ１１，ＳＢ１２、及び、各種操作ボタンＢ１１〜Ｂ１３，Ｂ２１〜Ｂ２３を操作して信号波形ＷＦ１１をスクロール又は拡大縮小させながら所望の部位の波形を表示させ、その確認を行う。尚、図４においては図示を省略しているが、パス／フェイルを判定する基準となる閾値を信号波形ＷＦ１１とともに表示させることも可能である。
【０００７】
尚、従来の半導体試験装置における信号波形の表示例については、例えば以下の非特許文献１を参照されたい。
【非特許文献１】「ＡＶｉＰＳユーザーズマニュアル」，横河電機株式会社，２００６年５月，第４版，ｐ．Ｃ１４．２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、半導体試験装置に設けられる上述したアプリケーションは、ユーザが必要な情報をいかに効率的に提供できるかが極めて重要になる。例えば、図４に示す表示例においては、ユーザがスクロールバーＳＢ１１，ＳＢ１２、及び、各種操作ボタンＢ１１〜Ｂ１３，Ｂ２１〜Ｂ２３等を操作することで信号波形ＷＦ１１の所望の部位を表示させることが可能であるが、所望の部位の表示が得られるまでの操作回数が多いと、その分だけ多くの時間が必要になって解析作業時間を長びかせる一因になる。かかる状況は、ユーザが必要な情報を効率的に得ているとは言い難く、アプリケーションに改善の余地があると考えられる。
【０００９】
アプリケーションの改善を行う場合には、アプリケーションに設けられた各種機能（例えば、上述した各種操作ボタン等）がユーザに対してどの程度の効用を与えているのかを評価する必要がある。ここで、例えばアプリケーションに設けられた各種機能の使用頻度（例えば、操作ボタンの操作回数）を測定することで機能の効用を評価する方法が考えられる。しかしながら、かかる方法では、各機能間の相対的な効用の大小を評価することができるかもしれないが、絶対的な効用の大きさを評価するのは困難である。
【００１０】
また、アプリケーションの設計段階においてユーザと面談を行ってユーザが必要とする波形表示を調査し、この調査結果に基づいてユーザが必要とする波形表示を簡単な操作で得られるようアプリケーションを開発することもできる。しかしながら、文字や言葉では表現しきれない部分があり、ユーザの真意とのずれが生じる可能性が大である。また、ユーザが必要とする機能はユーザ毎に異なり、例えばあるユーザにとっては特定の波形表示が極めて重要であるのに対し、別のユーザにとっては余り必要な波形表示ではないといったことがある。このため、各機能のユーザの立場からの優先度を推し量って、ほぼ全てのユーザが満足するようなアプリケーションを開発することは困難である。
【００１１】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ユーザが必要とする波形表示の傾向を知ることができる半導体試験装置、当該装置で用いられるデータ収集方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の半導体試験装置は、半導体デバイス（４０）の試験を行う試験装置本体（１０）と、当該試験装置本体によって行われた試験で得られた信号の波形を表示する表示部（２４）とを備える半導体試験装置装置（１）において、ユーザにより操作される操作部（２５）と、ユーザによる前記操作部の操作に応じて、前記表示部の表示内容を更新する表示制御部（２３）と、ユーザによる前記操作部を用いた画面操作を監視し、前記画面操作が所定時間なされなかった場合に、前記表示部に表示されている前記波形に関する有効画面情報を蓄積部（２６）に蓄積する制御部（２２）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、ユーザによる操作部を用いた画面操作が監視され、画面操作が所定時間なされなかった場合に、表示部に表示されている波形に関する有効画面情報が蓄積部に蓄積される。
また、本発明の半導体試験装置は、前記有効画面情報が、前記表示部内における前記波形の表示位置、表示範囲、及び前記表示部に表示されている波形のもとになる信号に関する情報を含むことを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記表示部には、前記有効画面情報を前記蓄積部に蓄積するか否かを設定する登録ボタン（Ｂ１、Ｂ２）が表示されており、前記制御部は、前記登録ボタンが前記有効画面情報を蓄積する設定である場合にのみ前記有効画面情報を蓄積することを特徴としている。
また、本発明の半導体試験装置は、前記表示部には、前記蓄積部に蓄積された有効画面情報を保存するか否かを設定する保存ボタン（Ｂ３、Ｂ４）が表示されており、前記制御部は、前記保存ボタンが前記有効画面情報を保存する設定である場合に、前記有効画面情報蓄積部に蓄積された有効画面情報と、当該有効画面情報を得たときの波形のもとになった信号とを対応付けて保存部に保存することを特徴としている。
更に、本発明の半導体試験装置は、前記表示部には、前記蓄積部に蓄積された内容、又は前記保存部に保存された内容を前記表示部に表示させる再生ボタン（Ｂ５）が表示されており、前記制御部は、ユーザによる前記操作部の操作により前記再生ボタンが押下された場合に、前記蓄積部に蓄積された内容又は前記保存部に保存された内容を、前記表示制御部を制御して前記表示部に表示させることを特徴としている。
本発明のデータ収集方法は、半導体デバイス（４０）の試験を行う試験装置本体（１０）から得られる信号の波形を表示部（２４）に表示し、前記表示部の表示に関するデータを収集するデータ収集方法であって、ユーザの指示に応じて、前記表示部の表示内容を更新するステップと、前記ユーザの指示による画面操作を監視するステップと、前記ユーザによる画面操作が所定時間なかった場合に、前記表示部に表示されている前記波形に関する有効画面情報を蓄積するステップとを含むことを特徴としている。
また、本発明のデータ収集法法は、前記表示部には、前記有効画面情報を蓄積するか否かを設定する登録ボタン（Ｂ１、Ｂ２）が表示されており、前記登録ボタンが前記有効画面情報を蓄積する設定である場合にのみ前記有効画面情報を蓄積することを特徴としている。
本発明のデータ収集プログラムは、コンピュータを、半導体デバイスの試験を行う試験装置本体（１０）から得られる信号の波形を表示部に表示させ、前記表示部の表示に関するデータを収集するデータ収集手段として機能させるデータ収集プログラムであって、ユーザの指示に応じて、前記表示部の表示内容を更新する表示制御手段（２３）と、前記ユーザの指示による画面操作を監視する監視手段（２２ａ）と、前記ユーザによる画面操作が所定時間なかった場合に、前記表示部に表示されている前記波形に関する有効画面情報を蓄積部（２６）に蓄積する制御手段（２２）として機能させることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ユーザによる画面操作を監視し、所定時間画面操作がなされなかった場合に、表示部に表示されている波形に関する有効画面情報を蓄積部に蓄積しているため、ユーザが必要とする波形表示の傾向を示すデータを収集することができる。これによりユーザが満足するアプリケーションを開発する上で貴重な情報を得ることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態による半導体試験装置、データ収集方法及びプログラムについて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による半導体試験装置の全体構成を示すブロックである。図１に示す通り、本実施形態の半導体試験装置１は、被試験デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）４０の試験を行う試験装置本体１０と、試験装置本体１０に接続された信号波形表示装置２０とを備える。尚、ＤＵＴ４０は、例えばＬＣＤの駆動ドライバ等のアナログ信号を取り扱う半導体デバイスである。
【００１５】
試験装置本体１０は、被試験デバイス４０に対して試験信号を印加するとともに、試験信号をＤＵＴ４０に印加して得られる信号を測定メモリ１１に記憶させる。尚、ＤＵＴ４０から出力される信号がアナログ信号である場合には、試験装置本体１０は、そのアナログ信号をＡ／Ｄ変換器（図示省略）でディジタル信号の測定データに変換した上で、測定メモリ１１に記憶させる。また、試験装置本体１０は、ＤＵＴ４０からの信号を単に測定メモリ１１に記憶するのみならず、ＤＵＴ４０から出力される信号と、予め設定された期待値とを比較してＤＵＴ４０のパス／フェイルの判定を行うことも可能である。
【００１６】
信号波形表示装置２０は、試験装置本体１０がＤＵＴ４０の試験を行って得た測定データの表示や各種解析を行うためのものである。具体的には、試験装置本体１０との間で通信を行って、ＤＵＴ４０の各ピンから時系列に出力されて試験装置本体１０の測定メモリ１１に記憶されている測定データを取得し、取得した測定データの信号波形を表示する。また、ユーザの指示に従って、表示した信号波形の表示を変更する。更に、信号波形表示装置２０は、単に信号波形の表示を行うのみならず、試験装置本体１０に制御信号を出力して試験装置本体１０の動作を制御するためにも用いられる。この信号波形表示装置２０は、ワークステーション又はパーソナルコンピュータにより実現することが望ましい。
【００１７】
図１に示す通り、信号波形表示装置２０は、測定データ蓄積部２１、制御部２２、表示制御部２３、表示部２４、操作部２５、有効画面情報蓄積部２６、及び保存部２７を備える。測定データ蓄積部２１は、試験装置本体１０との間で通信を行い、試験装置本体１０の測定メモリ１１に記憶されている測定データを取得する。この測定データ蓄積部２１は、例えばＤＲＡＭ（Dynamic Read Only Memory）等のメモリを備えており、試験装置本体１０から取得した信号を一時的に記憶する。
【００１８】
制御部２２は、信号波形表示装置２０の動作を統括的に制御する。具体的には、ユーザの指示に応じて測定データ蓄積部２１に蓄積された測定データの読み出し制御を行い、その表示を表示制御部２３に制御させる。また、制御部２２は、ユーザによる画面操作を監視する画面操作監視部２２ａを備えており、ユーザによる画面操作が一定時間（例えば、数秒程度）なかった場合に、そのときに表示部２４に表示されている波形に関する有効画面情報を取得して有効画面情報蓄積部２６に蓄積する。尚、かかる動作のモードを「登録モード」という。
【００１９】
ここで、有効画面情報とは、図２（ｂ）に示す通り、測定データの波形が表示される表示領域Ｒ１の起点（Ｘ起点、Ｙ起点）、表示領域Ｒ１の範囲（幅及び高さ）、描画アイテム、並び替え情報、及びデータ情報を含む情報である。図２は、有効画面情報を説明するための図である。いま、図１に示す表示部２４の表示領域Ｒ１に、図２（ａ）に示す階段状の信号波形ＷＦ１が表示されていたとする。
【００２０】
上記の表示領域Ｒ１の起点とは、図２（ａ）の位置Ｐ１であり、この位置Ｐ１のＸ方向（紙面横方向）の位置が起点Ｘであって、Ｙ方向（紙面縦方向）の位置が起点Ｙである。表示領域の範囲とは、信号波形ＷＦ１が表示されている矩形領域のＸ方向の幅及びＹ方向の高さである。描画アイテムとは、信号波形ＷＦ１とともに表示するアイテムをいい、例えばパス／フェイルを判定するための閾値ＴＨ１，ＴＨ２（図２（ａ）参照）を表示するか否かを示す情報である。尚、１つの信号波形ＷＦ１に対して異なる閾値が複数設定される場合もある。かかる場合には、上記描画アイテムとして、複数の閾値のうちの信号波形ＷＦ１とともに表示する閾値を特定する情報が設定される。
【００２１】
上記の並び替え情報とは、測定データに対して所定の演算を行って並び替えを行ったか否かを示す情報である。測定データのパス／フェイルの判定は、測定データそのものを用いるのではなく、測定データに対して所定の演算を行ったデータを用いて行う場合があるため、表示部２４に表示されたデータがかかる演算が行われたものであるか否かを示すためにかかる情報が有効画面情報の１つとして設けられている。データ情報とは、測定データ蓄積部２１に蓄積されている測定データのうち、表示領域に実際に表示されているデータを特定するための情報である。この情報としては、例えば表示領域に実際に表示されている測定データのサンプル番号を用いることができる。
【００２２】
また、制御部２２は、ユーザにより有効画面情報を保存する旨の指示がなされた場合に、有効画面情報蓄積部２６から有効画面情報を読み出すとともに、その有効画面情報に含まれるデータ情報に関する測定データを測定データ蓄積部２１から読み出し、これらを関連付けて保存部２７に記憶する。更に、制御部２２は、ユーザによって操作される操作部２５から出力される操作信号に応じて、表示部２４に表示されるカーソルＣを移動させ、また表示部２４に表示される各操作ボタンが操作された場合の表示制御を行う。表示制御部２３は、制御部２２の制御の下で、表示部２４の表示制御（ウィンドウの作成、ウィンドウの表示内容の更新等）を行う。
【００２３】
表示部２４は、例えばＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、液晶表示装置等の表示装置を備えており、表示制御部２２ａの制御に応じた表示を行う。具体的に、図１に示す通り、表示領域Ｒ１に測定データを表示するとともに、操作部２５の操作に応じて移動するカーソルＣを表示する。また、登録開始ボタンＢ１、登録終了ボタンＢ２、ファイル保存ボタンＢ３、ファイル読込ボタンＢ４、及び再生ボタンＢ５を表示する。尚、図１中の表示領域Ｒ１は、例えば図４に示すウィンドウＷ１０の表示領域Ｒ１１に相当する領域であり、上記の各種ボタンは、図４中の操作領域Ｒ１２に表示される。尚、本実施形態においても、図４に示すスクロールバーＳＢ１１，ＳＢ１２、及び、各種操作ボタンＢ１１〜Ｂ１３，Ｂ２１〜Ｂ２３が表示部２４に表示される。
【００２４】
ここで、登録開始ボタンＢ１は、上述した有効画面情報の有効画面情報蓄積部２６への蓄積を開始させるためのボタンであり、登録開始終了Ｂ２は、有効画面情報の有効画面情報蓄積部２６への蓄積を終了させるためのボタンである。また、ファイル保存ボタンＢ３は、有効画面情報蓄積部２６に蓄積された有効画面情報と、測定データ蓄積部２１に一時的に記憶された測定データとを対応付けて保存部２７に保存させるためのボタンであり、ファイル読込ボタンＢ４は、保存部２７に保存した有効画面情報等を読み出すためのボタンである。再生ボタンＢ５は、有効画面情報蓄積部２６に蓄積された有効画面情報、又は保存部２７に保存された有効画面情報等を順次読み出して、表示部２４に表示させるためのボタンである。
【００２５】
操作部２５は、ユーザによって操作され、信号波形表示装置２０に対してユーザの各種の指示を入力するためのものである。この操作部２５は、例えばキーボードやマウス等により実現される。有効画面情報蓄積部２６は、ＤＲＡＭ等のメモリを備えており、前述した有効画面情報を蓄積する。保存部２７は、例えばハードディスク等の外部記憶装置を備えており、有効画面情報及び測定データを対応付けて記憶する。
【００２６】
次に、ＤＵＴ４０から出力される信号を表示する場合の動作について説明する。まず、ＤＵＴ４０の試験が開始されると、試験装置本体１０から被試験デバイス４０に対して試験信号が出力され、この試験信号に対する応答としてＤＵＴ４０から所定の信号が出力される。このＤＵＴ４０からの信号は、試験装置本体１０に入力されて測定メモリ１１に記憶される。尚、ＤＵＴ４０からの信号がアナログ信号である場合には、試験装置本体１０は、そのアナログ信号をディジタル信号の測定データに変換した上で、測定メモリ１１に記憶する。
【００２７】
試験装置本体１０の測定メモリ１１に記憶されている測定データを表示させる場合には、ユーザは信号波形表示装置２０の操作部２５を操作して測定データを表示させる指示を行う。かかる指示がなされると、まず測定データ蓄積部２１が制御部２２の制御の下で試験装置本体１０との間で通信を行い、測定メモリ１１に記憶されている測定データを取得する。この測定データは、測定データ蓄積部２１に設けられたメモリに一時的に記憶される。次いで、制御部２２が、測定データ蓄積部２１に記憶されている測定データを読み出し、そのデータを表示制御部２３に出力して、測定データを表示部２４に表示させる。
【００２８】
図３は、本発明の一実施形態における信号波形の表示例を示す図である。制御部２２から測定データが出力されると、表示制御部２３は、図３（ａ）に示す通り、測定データの波形（信号波形）の全体を表示領域Ｒ１１に表示させる。かかる表示によってユーザはＤＵＴ４０から得られた信号の全体像を把握することができる。ここで、ユーザが操作部２５を操作してカーソルＣを登録開始ボタンＢ１の表示位置まで移動させてクリック等の操作を行うと、信号波形表示装置２０は、登録モードに移行する。
【００２９】
登録モードに移行すると、制御部２２の画面操作監視部２２ａによって、ユーザによる画面操作の有無が監視される。ここで、登録モードに移行してから一定の時間（例えば、数秒：以下、監視時間という）が経過する前にユーザが操作部２５を操作して図４に示すボタンＢ１２，Ｂ２２に相当する拡大ボタン（図１〜図３では図示省略）の表示位置にカーソルＣを移動させてそれぞれをクリックすると、図３（ｂ）に示す通り、測定データの波形の一部がＸ方向及びＹ方向に拡大されて表示領域Ｒ１に表示される。尚、波形を拡大表示すると、スクロールバーＳＢ１，ＳＢ２の大きさが変化する点に注意されたい。
【００３０】
次に、以上の操作を行ってから監視時間が経過する前に、ユーザが操作部２５を操作してスクロールバーＳＢ１をＸ方向にスクロールさせると、図３（ｃ）に示す通り、測定データの異なる部分が表示領域Ｒ１に表示される。更に、この操作を行ってから監視時間が経過する前に、ユーザが操作部２５を操作してＸ方向の拡大ボタンの表示位置にカーソルＣを移動させてクリックすると、図３（ｄ）に示す通り、測定データの波形がＸ方向に拡大されて表示領域Ｒ１に表示される。
【００３１】
次いで、Ｘ方向への拡大操作を行ってから監視時間が経過する前に、ユーザが操作部２５を操作してＹ方向の拡大ボタンの表示位置にカーソルＣを移動させてクリックすると、図３（ｅ）に示す通り、測定データの波形がＹ方向に拡大されて、図２（ａ）に示す階段状の信号波形ＷＦ１と同様の波形が表示領域Ｒ１に表示される。また、図３に示す例では、信号波形ＷＦ１とともに、パス／フェイルを判定するための閾値ＴＨ１，ＴＨ２が表示される。
【００３２】
以上の操作によって、必要とする階段状の波形が得られたため、ユーザがその表示内容を確認したとする。かかる確認が行われている間は、ユーザによって信号波形ＷＦ１のスクロール、拡大、縮小等の画面操作が行われずに監視時間が経過してしまうことが多い。監視時間の経過は画面操作監視部２２ａで監視され、これにより制御部２２は、表示制御部２３から有効画面情報（図２（ｂ）参照）を取得して有効画面情報蓄積部２６に蓄積する。以降、ユーザが画面操作を行ってから監視時間が経過する度に、そのときに表示部２４に表示されている信号波形に関する有効画面情報が有効画面情報蓄積部２６に蓄積される。
【００３３】
尚、登録モードに移行している間に、ユーザがユーザが操作部２５を操作して登録終了ボタンＢ２の表示位置にカーソルＣを移動させてクリックすると、登録モードが解除される。これにより、画面操作監視部２２ａの監視が解除され、ユーザがスクロール、拡大、縮小等の画面操作を一定時間行わない場合であっても有効画面情報が有効画面情報蓄積部２６に蓄積されることはない。
【００３４】
また、ユーザがユーザが操作部２５を操作してファイル保存ボタンＢ３の表示位置にカーソルＣを移動させてクリックすると、制御部２２は有効画面情報蓄積部２６から有効画面情報を読み出すとともに、その有効画面情報に含まれるデータ情報に関する測定データを測定データ蓄積部２１から読み出し、これらを関連付けて保存部２７に記憶する。登録モードでは有効画面情報が有効画面情報蓄積部２６に蓄積されるだけであったが、保存部２７に保存する場合には、有効画面情報と測定データとが関連付けて保存される。
【００３５】
また、ユーザがユーザが操作部２５を操作してファイル読込ボタンＢ４の表示位置にカーソルＣを移動させてクリックすると、制御部２２は保存部２７からユーザに指定されたファイル（有効画面情報及び測定データ）を読み出し、表示制御部２３にその表示をさせる。更に、ユーザがユーザが操作部２５を操作して再生ボタンＢ５の表示位置にカーソルＣを移動させてクリックすると、制御部２２は保存部２７に保存されたファイル（有効画面情報及び測定データ）を順次読み出し、その表示を順次表示制御部２３にさせる。
【００３６】
以上説明した通り、本実施形態によれば、画面操作監視部２２ａによってユーザによる画面操作を監視し、所定時間画面操作がなされなかった場合に、表示部２４に表示されている波形に関する有効画面情報を有効画面情報蓄積部に蓄積している。このため、ユーザが必要とする波形表示の傾向を知ることができ、これによりユーザが満足するアプリケーションを開発する上で貴重な情報を得ることができる。
【００３７】
以上、本発明の一実施形態による半導体試験装置及びデータ収集方法について説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態では、制御部２２等をハードウェアで実現する場合を例に挙げて説明したが、この制御部２２等をソフトウェアにより実現しても良い。つまり、制御部２２を実現するプログラムをコンピュータに実行させることにより実現しても良い。
【００３８】
このプログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭ又はＤＶＤ（登録商標）−ＲＯＭ等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されていてもよい。この記録媒体に記録されたプログラムをＣＤ−ＲＯＭドライブ又はＤＶＤ（登録商標）−ＲＯＭドライブ等のドライブ装置を用いて読み取れば、コンピュータにインストールすることができる。或いは、インターネット等のネットワークにコンピュータを接続し、プログラムをネットワークからコンピュータにダウンロード可能にしても良い。コンピュータにダウンロードされたプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体から読み取る場合と同様にコンピュータにインストールすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態による半導体試験装置の全体構成を示すブロックである。
【図２】有効画面情報を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施形態における信号波形の表示例を示す図である。
【図４】従来の信号波形の表示例を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１        半導体試験装置
１０      試験装置本体
２２      制御部
２２ａ    監視手段
２３      表示制御部
２４      表示部
２５      操作部
２６      有効画面情報蓄積部
４０      ＤＵＴ
Ｂ１      登録開始ボタン
Ｂ２      登録終了ボタン
Ｂ３      ファイル保存ボタン
Ｂ４      ファイル読込ボタン
Ｂ５      再生ボタン
【図１】
2008157828.tif 000003
【図２】
2008157828.tif 000004
【図３】
2008157828.tif 000005
【図４】
2008157828.tif 000006