(57)【要約】【課題】静電容量が大きい電解コンデンサを提供する。【解決手段】この固体電解コンデンサでは、エポキシ樹脂などを含む樹脂組成物からなる直方体状の外装体１の内部にコンデンサ素子１０が埋設されており、コンデンサ素子１０は、陽極１１と、陽極１１上に形成されたニオブ酸化物層１２と、ニオブ酸化物層１２上に形成された陰極１３とを備えている。陽極１１は、ニオブ粒子やニオブ合金粒子とともにリン化ニオブ粒子を焼結することにより形成された多孔質焼結体から構成されている。また、陽極１１中には、陽極リード１４の一部が埋設され、陽極１１から露出した陽極リード１４上には、陽極端子１５の一端が接続されている。また、陰極１３上には、第３導電層１６を介して陰極端子１７の一端が接続されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニオブ粒子およびニオブ合金粒子の少なくともいずれか一方と、リン化ニオブ粒子との多孔質焼結体からなる陽極と、
前記陽極上に形成されたニオブ酸化物層と、
前記ニオブ酸化物層上に形成された陰極とを備える、電解コンデンサ。
【請求項２】
前記陽極中の前記リン化ニオブ粒子の割合は、０．００４重量％〜０．２重量％の範囲である、請求項１に記載の電解コンデンサ。
【請求項３】
前記陽極中のリンの濃度は、１０ｐｐｍ〜５００ｐｐｍの範囲である、請求項１または２に記載の電解コンデンサ。
【請求項４】
前記陽極中のリンの濃度は、２０ｐｐｍ〜５０ｐｐｍの範囲である、請求項１または２に記載の電解コンデンサ。
【請求項５】
前記陽極、前記ニオブ酸化物層および前記陰極を覆う外装体を有する、請求項１〜４に記載の電解コンデンサ。
【請求項６】
ニオブ粒子およびニオブ合金粒子の少なくともいずれか一方と、リン化ニオブ粒子とを焼結することにより多孔質焼結体からなる陽極を形成する工程と、
前記陽極上にニオブ酸化物層を形成する工程と、
前記ニオブ酸化物層上に陰極を形成する工程とを備える、電解コンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電解コンデンサおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ニオブ酸化物を誘電体層として用いるニオブ固体電解コンデンサが知られている。ニオブ固体電解コンデンサでは、静電容量を大きくするために比表面積を大きくする必要があるので、ニオブ粉末の多孔質焼結体からなる陽極が利用されている。この陽極は、プレス成形されたニオブ粉末を真空中などで１０００℃以上に加熱して焼結することによって形成することができる。
【０００３】
しかしながら、上記の焼結が進みすぎると、ニオブ粉末同士の結合により、焼結体の内部でニオブ粒子間の空隙が減少し、比表面積を十分に大きくすることができないので、十分な静電容量が得られない。そこで、ニオブ粉末に対して、リンやホウ素を添加して焼結したり、ニオブ窒化物粉末、ニオブ炭化物粉末やニオブホウ化物粉末を混合して焼結したりする方法が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。
【特許文献１】特開２００１−３４５２３８号公報
【特許文献２】国際公開第００／０８６６２号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような方法でニオブ粒子の多孔質焼結体を形成し、これを陽極として用いた場合であっても、焼結速度の抑制は十分でなく、静電容量の大きいニオブ固体電解コンデンサを得ることが困難であった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、
この発明の１つの目的は、静電容量が大きい電解コンデンサを提供することである。
【０００６】
この発明のもう１つの目的は、静電容量が大きい電解コンデンサの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面による電解コンデンサは、ニオブ粒子およびニオブ合金粒子の少なくともいずれか一方と、リン化ニオブ粒子との多孔質焼結体からなる陽極と、陽極上に形成されたニオブ酸化物層と、ニオブ酸化物層上に形成された陰極とを備えている。なお、本発明における「リン化ニオブ粒子」とは、一リン化ニオブ（ＮｂＰ）、二リン化ニオブ（ＮｂＰ２）および一リン化三ニオブ（Ｎｂ３Ｐ）からなるグループより選択される少なくとも１つの粒子を含む。
【０００８】
この第１の局面による電解コンデンサ素子では、上記のように、陽極がニオブ粒子およびニオブ合金粒子の少なくともいずれか一方と、リン化ニオブ粒子との多孔質焼結体から構成されているので、焼結の際に焼結速度を容易に抑制することができる。これにより、ニオブ粒子やニオブ合金粒子の焼結が過度に進行することが抑制され、比表面積の大きい多孔質焼結体を得ることができる。その結果、静電容量が大きい電解コンデンサを容易に得ることができる。
【０００９】
上記第１の局面による電解コンデンサにおいて、好ましくは、陽極中のリン化ニオブ粒子の割合は、０．００４重量％〜０．２重量％の範囲である。
【００１０】
また、上記第１の局面による電解コンデンサにおいて、好ましくは、陽極中のリンの濃度は、１０ｐｐｍ〜５００ｐｐｍの範囲であり、さらに好ましくは、陽極中のリンの濃度は、２０ｐｐｍ〜５０ｐｐｍの範囲である。
【００１１】
陽極中のリン化ニオブ粒子の割合が少ない場合には、上記の焼結速度の抑制効果が少なく、陽極中のリン化ニオブ粒子の割合が多い場合には、粒子同士の結合が過度に抑制され、焼結体の強度が低下しやすくなるので、陽極中のリン化ニオブ粒子の割合およびリンの濃度は、それぞれ、上記範囲が好ましい。なお、上記のリン化ニオブ粒子の割合およびリンの濃度は、引出用のリードなどの重量は除外した焼結体中の重量比や原子重量比で規定され、例えば、高周波プラズマ分光分析（ＩＣＰ）により測定することができる。
【００１２】
上記第１の局面による電解コンデンサにおいて、好ましくは、陽極、ニオブ酸化物層および陰極を覆う外装体を有する。このように構成することにより、周囲の環境の影響を受けにくく、信頼性の高い電解コンデンサを得ることができる。
【００１３】
また、この発明の第２の局面による電解コンデンサの製造方法は、ニオブ粒子およびニオブ合金粒子の少なくともいずれか一方と、リン化ニオブ粒子とを焼結することにより多孔質焼結体からなる陽極を形成する工程と、陽極上にニオブ酸化物層を形成する工程と、ニオブ酸化物層上に陰極を形成する工程とを備える。
【００１４】
この第２の局面による電解コンデンサ素子の製造方法では、上記のように、陽極は、ニオブ粒子およびニオブ合金粒子の少なくともいずれか一方と、リン化ニオブ粒子とを焼結することにより形成されているので、その焼結の際に焼結速度を容易に抑制することができる。これにより、ニオブ粒子やニオブ合金粒子の焼結が過度に進行することが抑制され、比表面積の大きい多孔質焼結体を得ることができる。その結果、静電容量が大きい電解コンデンサを容易に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施の形態に基づいて説明するが、本発明は以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能なものである。
【００１６】
図１は、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの構造を説明するための断面図である。また、図２は、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの陽極の構造を説明するための要部断面図である。図１、図２を参照して、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの構造を説明する。
【００１７】
本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサでは、図１に示すように、エポキシ樹脂などを含む樹脂組成物からなる直方体状の外装体１の内部にコンデンサ素子１０が埋設されている。
【００１８】
コンデンサ素子１０は、陽極１１と、陽極１１上に形成されたニオブ酸化物層１２と、ニオブ酸化物層１２上に形成された陰極１３とを備えており、ニオブ酸化物層１２は、いわゆる誘電体層として機能する。
【００１９】
陽極１１は、ニオブ粒子やニオブ合金粒子とともにリン化ニオブ粒子を焼結することにより形成された多孔質焼結体から構成されており、図２に示すように、内部に多数の凹部を有している。また、陽極１１中には、ニオブなどからなる陽極リード１４の一部が埋設されており、陽極１１から露出した陽極リード１４上には、陽極端子１５の一端が接続されている。陽極端子１５の他端は、外装体１から露出している。
【００２０】
ニオブ酸化物層１２は、図２に示すように、陽極１１を構成する多孔質焼結体の表面に形成されており、多孔質焼結体の内部の凹部にも形成されている。
【００２１】
陰極１３は、ニオブ酸化物層１２上に形成されたポリピロール、ポリチオフェンまたはポリアニリンなどからなる導電性高分子層１３ａと、導電性高分子層１３ａ上に形成されたカーボン粒子を含む第１導電層１３ｂと、第１導電層１３ｂ上に形成された銀粒子を含む第２導電層１３ｃとを有している。導電性高分子層１３ａは、陽極１１の周囲を覆うように形成されているとともに、陽極１１を構成する多孔質焼結体の内部の凹部にも充填して形成されており、いわゆる電解質層として機能する。第１導電層１３ｂおよび第２導電層１３ｃは、導電性高分子層１３ａの周囲を覆うように形成されている。
【００２２】
陰極１３上には、銀粒子を含む第３導電層１６を介して陰極端子１７の一端が接続されており、陰極端子１７の他端は、外装体１から露出している。このように、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサが構成されている。
【００２３】
図３〜図５は、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの製造プロセスを説明するための断面図である。次に、上記のような構造を有する本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの製造方法について説明する。
【００２４】
まず、図３に示すように、ニオブ粒子やニオブ合金粒子とリン化ニオブ粒子との混合粒子を直方体状の成形体１１ａを形成する。このとき、陽極リード１４の一端を成形体１１ａ中に埋設しておく。そして、この成形体１１ａを真空中で焼結することにより、多孔質焼結体からなる陽極１１が形成される。
【００２５】
次に、図４および図２に示すように、この陽極１１を水溶液中で陽極酸化することにより、陽極１１の周囲を覆うニオブ酸化物層１２が形成される。ニオブ酸化物層１２は、陽極１１を構成する多孔質焼結体の内部の凹部にも形成される。
【００２６】
次に、図５および図２に示すように、重合などによりニオブ酸化物層１２上に導電性高分子層１３ａが形成される。このとき、導電性高分子層１３ａは、ニオブ酸化物層１２の周囲を覆うとともに、陽極１１の周囲および内部の凹部を埋めるように形成される。また、カーボン粒子を含むカーボンペーストを導電性高分子層１３ａの周囲を覆うように塗布、乾燥することにより、導電性高分子層１３ａ上にカーボン粒子を含む第１導電層１３ｂが形成される。さらに、銀粒子を含む銀ペーストを第１導電層１３ｂの周囲を覆うように塗布、乾燥することにより、第１導電層１３ｂ上に銀粒子を含む第２導電層１３ｃが形成される。これにより、ニオブ酸化物層１２上に導電性高分子層１３ａ、第１導電層１３ｂおよび第２導電層１３ｃからなる陰極１３が形成され、コンデンサ素子１０が作製される。
【００２７】
次に、図１に示すように、溶接により、陽極１１から露出した陽極リード１４上に陽極端子１５が接続される。また、銀粒子を含む銀ペーストを介して陰極１３と陰極端子１７とを密着させた状態で乾燥することにより、陰極１３と陰極端子１７との間に銀粒子を含む第３導電層１６が形成されるとともに、陰極１３と陰極端子１７とは第３導電層１６を介して接続される。最後に、陽極端子１５および陰極端子１７が接続されたコンデンサ素子１０をエポキシ樹脂など含む樹脂組成物で埋設し、この樹脂組成物を熱硬化することにより、コンデンサ素子１０を埋設する外装体１が形成される。このコンデンサ素子１０を外装体１で覆うモールド工程は、トランスファー成形などによって行うことができる。以上の方法により、本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサが作製される。
【００２８】
この実施形態による固体電解コンデンサでは、陽極１１は、ニオブ粒子やニオブ合金粒子とともにリン化ニオブ粒子を焼結することにより形成されているので、焼結の際に焼結速度を容易に抑制することができる。これにより、ニオブ粒子やニオブ合金粒子の焼結が過度に進行することが抑制され、比表面積の大きい多孔質焼結体を得ることができる。その結果、静電容量を大きくすることができる。
【００２９】
また、この固体電解コンデンサでは、陽極１１、ニオブ酸化物層１２および陰極１３を覆う外装体１を有するので、周囲の環境の影響を受けにくく、信頼性の高い固体電解コンデンサを得ることができる。
【００３０】
なお、上記実施形態では、陰極１３の一部にポリピロールなどからなる導電性高分子層１３ａを用いていたが、導電性高分子層１３ａに代えて二酸化マンガンなどの他の固体電解質を用いることもできる。
【００３１】
また、カーボン粒子を含む第１導電層１３ｂおよび銀粒子を含む第２導電層１３ｃについては、少なくともいずれか一方だけにするなど、適宜変更することができる。
【００３２】
また、本発明の第２実施形態としては、陰極の一部にアルミ電解コンデンサに用いられる一般的な電解液を用いた電解コンデンサを構成することもできる。この場合には、第１実施形態で用いた樹脂組成物からなる外装体１に代えてアルミニウムなどからなる筒状容器を外装体として用いることができる。
【００３３】
次に、第１実施形態に基づいて固体電解コンデンサを作製し、評価を行った。
【００３４】
（実験１）
実験１の固体電解コンデンサでは、約２μｍの平均粒径を有するニオブ（Ｎｂ）粒子と約２μｍの平均粒径を有する一リン化ニオブ（ＮｂＰ）粒子とを均一に混合したものを準備した。ＮｂＰ粒子の割合は、Ｎｂ粒子とＮｂＰ粒子の合計重量に対して約０．０２重量％とした。この混合粒子をプレス成形するとともに陽極リード１４の一部を埋設した成形体１１ａを約３×１０−３Ｐａの減圧下で、約１１００℃、約２０分間の加熱することで焼結を行った。これにより得られた多孔質焼結体を実験１の陽極１１として用いた。
【００３５】
なお、このとき作製した陽極１１に対して、陽極リード１４を取り除いた後、フッ酸水溶液に溶解し、高周波プラズマ分光分析（ＩＣＰ）により定量分析を行った。その結果、陽極１１には、ニオブおよびリンの総重量に対して、リンが約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、陽極１１の断面を電子エネルギー損失分光分析（ＥＥＬＳ）によりリンが存在する任意の３点の領域において定量分析を行った。その結果、これらの領域では、ニオブとリンとの存在比率（原子数比）は約１：１であり、ＮｂＰが存在していることがわかった。
【００３６】
また、ニオブ酸化物層１２は、陽極１１を約４５℃に保持した約０．１重量％のリン酸水溶液中において約２０Ｖの定電圧で約１０時間陽極酸化を行うことにより形成した。
【００３７】
また、導電性高分子層１３ａには、化学重合等で形成したポリピロールを用いた。また、外装体１は、エポキシ樹脂によりコンデンサ素子１０を埋設し、これを硬化することにより形成した。
【００３８】
（実験２）
実験２では、約０．０２重量％のＮｂＰ粒子の代わりに約０．０１２５重量％の二リン化ニオブ（ＮｂＰ２）粒子を用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００３９】
実験２においても、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験２の陽極１１には、ニオブおよびリンの総重量に対して、リンが約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、リンの存在領域では、ニオブとリンとの存在比率（原子数比）は約１：２であり、ＮｂＰ２が存在していることがわかった。
【００４０】
（実験３）
実験３では、約０．０２重量％のＮｂＰ粒子の代わりに約０．０５重量％の二リン化ニオブ（Ｎｂ３Ｐ）粒子を用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００４１】
実験３においても、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験３の陽極１１には、ニオブおよびリンの総重量に対して、リンが約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、リンの存在領域では、ニオブとリンとの存在比率（原子数比）は約３：１であり、Ｎｂ３Ｐが存在していることがわかった。
【００４２】
（実験４）
実験４では、約０．０２重量％のＮｂＰ粒子の代わりに約０．０１重量％のＮｂＰ粒子と約０．００６２５重量％のＮｂＰ２粒子とを用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００４３】
実験４においても、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験４の陽極１１には、ニオブおよびリンの総重量に対して、リンが約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、リンの存在領域では、ニオブとリンとの存在比率（原子数比）は約２：３であり、ＮｂＰとＮｂＰ２とが約１：１で存在していることがわかった。
【００４４】
（実験５）
実験５では、Ｎｂ粒子の代わりにアルミニウムを含むニオブ合金（Ｎｂ−Ａｌ）粒子を用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。なお、実験５で用いたＮｂ−Ａｌ粒子は、ニオブおよびアルミニウムの総重量に対して約０．５重量％のアルミニウムを含んでいた。
【００４５】
実験５においても、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験５の陽極１１には、ニオブ、アルミニウムおよびリンの総重量に対して、リンが約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、リンの存在領域では、ニオブとリンとの存在比率（原子数比）は約１：１であり、ＮｂＰが存在していることがわかった。
【００４６】
（実験６）
実験６では、まず、約２μｍの平均粒径を有するＮｂ粒子を窒素雰囲気中で約６００℃、約３０分間加熱することにより、窒素を含むニオブ（Ｎｂ−Ｎ）粒子を作製した。そして、このＮｂ−Ｐ粒子をＮｂ粒子とＮｂＰ粒子との混合粒子の代わりに用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００４７】
実験６においては、ＪＩＳ  Ｇ１２２８に準拠した熱伝導度法により陽極１１の定量測定を行った。すなわち、黒鉛るつぼ中に試料を挿入し、ヘリウム雰囲気下で約２５００℃に加熱した。そして、遊離した窒素を熱伝導検出器で定量した。その結果、実験６の陽極１１には、ニオブおよび窒素の総重量に対して、窒素が約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、陽極１１をＥＥＬＳで分析することにより、窒素が存在する領域と窒素の定量化とを行った。その結果、窒素はＮｂ粒子の内部には存在しておらず、Ｎｂ粒子の表面に存在していることを確認した。また、Ｎｂ粒子の表面では、ニオブと窒素との存在比率（原子数比）は約１：１であり、窒化ニオブ（ＮｂＮ）が存在していることがわかった。
【００４８】
（実験７）
実験７では、まず、約２μｍの平均粒径を有するＮｂ粒子をカーボンブラックと混合し、水素気流中で約１３００℃に加熱することにより、炭素を含むニオブ（Ｎｂ−Ｃ）粒子を作製した。そして、このＮｂ−Ｃ粒子をＮｂ粒子とＮｂＰ粒子との混合粒子の代わりに用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００４９】
実験７においては、赤外線吸収法により陽極１１の定量測定を行った。その結果、実験７の陽極１１には、ニオブおよび炭素の総重量に対して、炭素が約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、陽極１１をＥＥＬＳで分析することにより、炭素が存在する領域と炭素の定量化とを行った。その結果、炭素はＮｂ粒子の内部には存在しておらず、Ｎｂ粒子の表面に存在していることを確認した。また、Ｎｂ粒子の表面では、ニオブと炭素との存在比率（原子数比）は約１：１であり、炭化ニオブ（ＮｂＣ）が存在していることがわかった。
【００５０】
（実験８）
実験８では、まず、五塩化ニオブと三臭化ホウ素および水素の混合気体を約１５００℃で熱分解することにより、約２μｍの平均粒径を有するホウ素を含むニオブ（Ｎｂ−Ｂ）粒子を作製した。そして、このＮｂ−Ｂ粒子をＮｂ粒子とＮｂＰ粒子との混合粒子の代わりに用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００５１】
実験８においては、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験８の陽極１１には、ニオブおよびホウ素の総重量に対して、ホウ素が約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、陽極１１を２次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）で分析することにより、ホウ素が存在する領域とホウ素の定量化とを行った。その結果、ホウ素はＮｂ粒子の内部には存在しておらず、Ｎｂ粒子の表面に存在していることを確認した。また、Ｎｂ粒子の表面では、ニオブとホウ素との存在比率（原子数比）は約１：２であり、ホウ化ニオブ（ＮｂＢ２）が存在していることがわかった。
【００５２】
（実験９）
実験９では、Ｎｂ粒子とＮｂＰ粒子との混合粒子を用いる代わりに、Ｎｂ粒子に約８５重量％の濃度のリン酸水溶液を添加した以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。リン酸水溶液の添加量は、Ｎｂ粒子の総重量に対して、約１．９×１０−４重量％とした。
【００５３】
実験９においては、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験９の陽極１１には、ニオブおよびリンの総重量に対して、リンが約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、陽極１１をＥＥＬＳで分析することにより、リンが存在する領域とリンの定量化とを行った。その結果、リンは、ニオブ酸化物層１２の表面（陰極１３との界面）に偏在して存在しており、ＮｂＰなどのリン化ニオブは存在していないことがわかった。
【００５４】
（実験１０）
実験１０では、約０．０２重量％のＮｂＰ粒子の代わりに約０．００５重量％の粉末状のホウ素を用いる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００５５】
実験１０においては、実験１と同様に陽極１１の定量分析を行った。その結果、実験１０の陽極１１には、ニオブおよびホウ素の総重量に対して、ホウ素が約５０ｐｐｍ含有されていることを確認した。また、陽極１１を２次イオン質量分析（ＳＩＭＳ）で分析することにより、ホウ素はが存在する領域とホウ素の定量化とを行った。その結果、ホウ素は、ニオブ酸化物層１２の表面（陰極１３との界面）に偏在して存在しており、ＮｂＢ２などのホウ化ニオブは存在していないことがわかった。
【００５６】
（実験１１）
実験１１では、ＮｂＰ粒子を用いることなく、Ｎｂ粒子のみで多孔質焼結体を形成する以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサを作製した。
【００５７】
次に、上記各実験で作製した固体電解コンデンサに対して、約１２０ｋＨｚの周波数における静電容量をＬＣＲメータを用いて測定した。結果を表１に示す。
【００５８】
【表１】
2008010747.tif 000003
【００５９】
表１に示すように、実験１〜５の固体電解コンデンサは、他の固体電解コンデンサと比較して静電容量が増加していることがわかった。
【００６０】
（実験１２〜２２）
実験１２〜２２では、表２に示すように、ＮｂＰ粒子の混合比を約０．０２重量％に代えて、約０．００２重量％〜約０．２４重量％の範囲で変化させる以外は実験１と同様に、固体電解コンデンサをそれぞれ作製した。また、実験１と同様にＩＣＰにより陽極１１の定量分析を行うとともに、約１２０ｋＨｚの周波数における静電容量をＬＣＲメータを用いて測定した。それぞれの結果を表２に示す。なお、実験２２において、約０．２４重量％のＮｂＰ粒子を混合して作製した陽極１１では、多孔質焼結体の強度が十分でなかったので、上記実施形態の固体電解コンデンサを形成するのが困難であったので、静電容量の測定は行っていない。
【００６１】
【表２】
2008010747.tif 000004
【００６２】
表２に示すように、静電容量の測定ができた実験１２〜２１の固体電解コンデンサでは、いずれも実験６〜１１の固体電解コンデンサよりも静電容量が大きい。これらの結果より、実験１および実験１３〜２１の条件が好ましく、特に好ましいのは、実験１と実験１４、１５の条件であることがわかる。即ち、陽極１１中のＮｂ粒子とＮｂＰ粒子の混合比率は、約０．００４重量％〜約０．２重量％の範囲が好ましく、陽極１１中のリン濃度は、約１０ｐｐｍ〜約５００ｐｐｍの範囲が好ましく、約２０ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍの範囲がさらに好ましいことがわかった。
【００６３】
なお、上記実験５では、陽極１１の多孔質焼結体を作製するためにＮｂ−Ａｌ粒子を用いていたが、本発明はこれに限らず、他に、タンタルやチタンなどを含むニオブ合金粒子を用いることができる。また、ニオブ粒子とニオブ合金粒子との混合物に、リン化ニオブ粒子を添加して陽極１１の多孔質焼結体を作製してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの構造を説明するための断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの陽極の構造を説明するための要部断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの形成プロセスの第１工程を説明するための断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの形成プロセスの第２工程を説明するための断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態による固体電解コンデンサの形成プロセスの第３工程を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１      外装体
１０    コンデンサ素子
１１    陽極
１２    ニオブ酸化物層
１３    陰極
１３ａ  導電性高分子層
１３ｂ  第１導電層
１３ｃ  第２導電層
１４    陽極リード
１５    陽極端子
１６    第３導電層
１７    陰極端子
【図１】
2008010747.tif 000005
【図２】
2008010747.tif 000006
【図３】
2008010747.tif 000007
【図４】
2008010747.tif 000008
【図５】
2008010747.tif 000009