(57)【要約】【課題】基板検査を行う際に、欠陥の位置を確実に特定できるようにする。【解決手段】基板検査装置１は、照明装置３から照明光をガラス基板Ｗに照射して観察者が目視で欠陥の有無を検査するように構成されており、ガラス基板Ｗの観察面に画像を投影可能なプロジェクタ１５が取り付けられている。プロジェクタ１５は、制御装置１２に接続されており、制御装置１２は、欠陥の位置を示すポインタを作成し、プロジェクタ１５から投影させる。また、ポインタの種類や大きさは、操作部２６によって選択できるようになっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に照明光を照射して目視で前記基板の外観検査を行う際に、欠陥位置を登録するために欠陥位置を指示する指示装置を備えた基板検査装置において、前記指示装置は、欠陥位置を示すポインタを作成する制御装置を有し、前記制御装置で作成したポインタを投影する投影装置を、前記ポインタを前記基板の観察面に投影可能な位置に配置したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記制御装置は、前記ポインタの位置を前記基板の欠陥の座標として取得する処理部と、欠陥の座標を登録する記憶装置とを有することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記ポインタの形状、大きさ、色を選択可能な操作部を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記投影装置を前記基板に対して相対的に移動させる移動機構を備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記制御装置は、検査を行う前記基板について他の基板検査装置で取得した欠陥の画像を取得し、前記投影装置を介して前記基板の観察面に重ね合わせて投影させるように構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のフラットパネルディスプレィ（ＦＰＤ）の基板等の検査に用いられる基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＦＰＤなどの製造工程においては、ガラス基板の外観を、観察者が目視で巨視的に観察する検査（マクロ検査）が行われており、この検査工程には、ガラス基板を回動自在に保持した状態で光を照射する基板検査装置が用いられている。
この種の基板検査装置は、ガラス基板を載置する基板ホルダと、ガラス基板を上方から照明する照明装置とを備え、目視でガラス基板上の欠陥を発見した場合には、欠陥の位置を読み取ってコンピュータに入力する（例えば、特許文献１参照）。ここで、欠陥の位置を読み取る際には、欠陥の位置を指示する必要がある。このような指示装置は、ガラス基板と平行に移動自在なスライド機構を有し、スライド機構には、細長のフレームをスライド機構と直交するように取り付け、このフレーム長手方向に沿って発光素子を複数配列したものがある（例えば、特許文献２参照）。欠陥位置を指示する際には、フレームを平行移動させた後に発光素子を順次点滅させて、欠陥を照らす。この指示装置では、欠陥の上方にある発光素子の位置が欠陥位置として取得される。
【特許文献１】特開２０００−３５３１９号公報
【特許文献２】国際公開第０３／００２９３４号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近年では、ＦＤＰが大型化するにつれてガラス基板も大型化しており、これに伴ってフレームをさらに長尺にしなければならず、フレームの撓みが問題となっていた。フレームが撓むと、欠陥の正確な位置を指示することが困難になるので、コンピュータに登録される欠陥位置の精度が低下してしまう。特に、大型のガラス基板は、斜めに保持してマクロ検査を行うことが多いので、このような場合には、フレームの撓みによる読み取り誤差が生じ易かった。さらに、細長で長尺のフレームを精度良く移動させることは困難であり、フレームを幅広にすると撓みは減少するが、目視によるマクロ観察の邪魔になるという問題があった。
また、従来の基板検査装置は、ゴミの付着や、断線などの小さい欠陥の位置登録を目的としており、基板表面に発生したムラのように、ある程度の範囲を有する欠陥の大きさや、位置を特定することができなった。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、基板検査を行う際に、欠陥の位置を確実に特定できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、基板に照明光を照射して目視で前記基板の外観検査を行う際に、欠陥位置を登録するために欠陥位置を指示する指示装置を備えた基板検査装置において、前記指示装置は、欠陥位置を示すポインタを作成する制御装置を有し、前記制御装置で作成したポインタを投影する投影装置を、前記ポインタを前記基板の観察面に投影可能な位置に配置したことを特徴とする基板検査装置とした。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、制御装置で作成したポインタを投影装置から投影させ、観察対象となる基板の表面に表示させることが可能になるので、複雑な移動機構などを用いずに欠陥位置を指示することが可能になる。特に、大型の基板を検査する場合であっても欠陥位置を精度良く確認することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、図面を参照して本発明の第１の実施の形態について詳細に説明する。
図１に示すように、基板検査装置１は、検査対象物であるガラス基板Ｗを収容可能な装置本体２を有し、装置本体２の上部には、照明装置３が取り付けられている。照明装置３は、照明光を発生させる光源４と、光源４からの照明光をガラス基板Ｗに照射する光学系５とから構成されている。光源４は、白色光源（例えば、ハロゲンランプ）と、特定波長の光を発光する光源（例えば、ナトリウムランプ）とを切り換えて使用できるように構成されることが好ましい。白色光を使用する場合には、カラーフィルタで照明光の色を変化できるようにしても良い。光学系５は、照明光をガラス基板Ｗに向けて反射する折り返しミラー６と、折り返しミラー６からガラス基板Ｗに至る光路上に配置されたフレネルレンズ７とから構成されている。しかしながら、光学系５の構成は、これに限定されるものではなく、例えば、フレネルレンズ７を２枚平行に配置したり、フレネルレンズ７の代わりに凸状の集光レンズを配置したりしても良い。また、検査対象物は、ガラス基板Ｗ以外の他の基板であっても良い。
【０００７】
装置本体２の下部には、基板ホルダ８が回動自在に取り付けられている。図１及び図２に示すように、基板ホルダ８は、装置本体２に基端部が回動自在に支持された一対のアーム９と、これらアーム９の先端部に挟まれるようにして固定されたホルダ本体１０とを有している。ホルダ本体１０は、矩形の枠体からなり、その表面にはガラス基板Ｗを載置する位置決めピン１０Ａ，１０Ｂや、ガラス基板Ｗを吸着する吸着パッド（不図示）が配設されている。アーム９の基端側の回動軸には、モータ１１が連結されており、制御装置１２の制御に基づいて、ガラス基板Ｗを搬入出する水平位置と、そこからホルダ本体１０を起き上がらせて、ガラス基板Ｗを装置本体２の前側に形成されている開口部１３に望ませる検査位置との間で、基板ホルダ８を回動させることができるようになっている。
【０００８】
ここで、装置本体２の開口部１３側の上部には、指示装置１４を構成するプロジェクタ１５が装置本体２の斜め後方に向かって取り付けられている。このプロジェクタ１５は、制御装置１２に接続されており、制御装置１２で作成された画像１６（図２参照）が検査位置にあるガラス基板Ｗの表面（観察面）に投影されるようになっている。制御装置１２は、ＣＰＵ（中央演算装置）などからなる処理部２１と、各種のデータを蓄積可能な記憶装置２２とを有し、装置本体２の開口部１３の下側に取り付けられた操作部２５，２６からの信号を受け取って各種の処理を行うように構成されている。なお、操作部２５は、基板検査装置１の全体を制御するための操作手段である。操作部２６は、指示装置１４を制御するための操作手段である。
【０００９】
制御装置１２の記憶装置２２には、基板検査装置１の制御に必要なデータの他に、プロジェクタ１５からガラス基板Ｗの表面に投影される画像を作成するためのデータとして、ポインタのデータが格納されている。図３から図６にポインタの具体例を示す。図３は、矢印ポインタ３０であり、矢印の先端で欠陥位置を示すものである。図４は、サークルポインタ３１であり、中抜きの円内に欠陥があることを示すものである。サークルポインタ３１では、欠陥を囲むように画像が投影されるので、欠陥の確認が容易になる。また、ある程度の広がりを有する欠陥の場合に、欠陥の大きさや中心位置を特定し易くなる。図５及び図６には、細長の欠陥や、面積の大きい欠陥を指示する際に使用されるエリアポインタ３２が図示されている。図５のエリアポインタ３２Ａは、横長の範囲に対応するポインタであり、例えば、横長のムラが生じていることを示すものである。図６のエリアポインタ３２Ｂは、エリアポインタ３２Ａが縦長になったものである。これらエリアポインタ３２を使用すると、広がりを持つ欠陥を特定し易くなる。
【００１０】
また、処理部２１は、基板検査装置１全体を制御するためのデータ処理を行う手段の他に、ポインタ３０，３１，３２の種類を切り換えたり、ポインタ３０，３１，３２のサイズを変更したり、投影位置を変更したりするポインタ制御手段３５と、基板ホルダ８の傾斜角度に応じて投影画像に台形補正を行う補正手段３６と、欠陥の座標や、大きさ、種類を登録する登録手段３７とに機能分割することができる。欠陥の座標は、例えば、矢印ポインタ３０では、矢印の先端位置の座標を取得する。サークルポインタ３１であれば、サークルの中心座標を欠陥の座標とする。エリアポインタ３２では、その範囲を示す座標が登録され、この情報は欠陥の大きさを示す情報となる。また、欠陥の座標には、エリアポインタ３２の重心位置の座標が取得される。
【００１１】
図７に一例を示すように、操作部２６は、ジョイスティック４０を有している。ジョイスティック４０は、後述するように、ポインタ３０，３１，３２の大きさを変化させる機能と、ポインタ３０，３１，３２の位置を動かす機能とが付与されている。また、ジョイスティック４０の頭部には、欠陥を記憶装置２２に登録させる登録ボタン４１が設けられている。さらに、ジョイスティック４０の左側には、ポインタ３０，３１，３２の大きさを変更するサイズ変更ボタン４２と、ポインタ３０，３１，３２を点滅表示させる点滅ボタン４３と、欠陥の大きさ及び種類を選択して登録するための欠陥情報ボタン４４とが配置されている。欠陥情報ボタン４４としては、欠陥の大きさを大、中、小に区分けするボタン４５や、欠陥の種類を短絡、断線、ゴミ付着、膜ムラなどのように区分けするボタン４６があげられる。また、ジョイスティック４０の右側には、ポインタ３０，３１，３２の種類を切り換えて投影させるポインタボタン４７として、矢印ボタン４７Ａ、サークルボタン４７Ｂ、エリアボタン４７Ｃが一列に設けられている。さらに、これらポインタボタン４７と平行に、ポインタ３０，３１，３２の色を変更する色ボタン４８、例えば、白色ボタン４８Ａ、緑色ボタン４８Ｂ、赤色ボタン４８Ｃ、青色ボタン４８Ｄが一列に設けられている。
【００１２】
次に、この実施の形態の作用について図１から図７を適宜参照して説明する。
まず、基板ホルダ８を水平位置に待機させた状態で、不図示の搬送ロボットからガラス基板Ｗが搬入される。ホルダ本体１０は、移動式の位置決めピン１０Ｂでガラス基板Ｗを押圧し、固定式の位置決めピン１０Ａに押し付けることで位置決めを行い、位置決め後には、ガラス基板Ｗを吸着保持する。この後に、制御装置１２がモータ１１を駆動させて、ガラス基板Ｗを垂直に近い姿勢となる検査位置まで斜めに起き上がらせる。さらに、照明装置３でガラス基板Ｗの表面を照明する。なお、ガラス基板Ｗの傾斜角度は、検査者がガラス基板Ｗの目視検査をし易い角度で、例えば、３０〜７０°、より好ましくは４５〜６０°とする。
【００１３】
観察者は、開口部１３越しにガラス基板Ｗの表面を観察し、欠陥や膜ムラの有無を検査する。この際に、必要に応じて操作部２５のジョイスティック又は微動スイッチを操作して基板ホルダ８を前後に例えば±１０°揺動させることにより、ガラス基板Ｗの欠陥を良好に検出することができる。
ガラス基板Ｗの全面に欠陥や膜ムラが発見されたときには、いずれかのポインタボタン４７を押してポインタ３０，３１，３２をガラス基板Ｗ上に表示させる。例えば、矢印ボタン４７Ａを押した場合には、矢印ポインタ３０が選択されたことを示す信号が操作部２６から制御装置１２に出力され、処理部２１が記憶装置２２から矢印ポインタ３０のデータを取り出してプロジェクタ１５から投影させる。この際に、基板ホルダ８の傾斜角度を予め取得できるので、傾斜しているガラス基板Ｗ上の点と、プロジェクタ１５から投影される画像の点とが全て一致するように台形補正をした画像データを作成し、この画像データに基づいて矢印ポインタ３０を投影させる。初期状態として、矢印ポインタ３０は、大きいサイズで表示することが好ましい。最初に大きい矢印ポインタ３０を表示させるのは、矢印ポインタ３０の位置を確認し易くなり、さらに矢印ポインタ３０を欠陥位置まで移動させ易いからである。
【００１４】
観察者は、矢印ポインタ３０の先端が欠陥を指すようにジョイスティック４０を操作する。ジョイスティック４０が操作された方向と操作量とが、制御装置１２に出力される。処理部２１は、操作方向と操作量とに基づいて矢印ポインタ３０の位置が移動した画像を作成し、プロジェクタ１５から投影させる。矢印ポインタ３０が欠陥位置を指したらジョイスティック４０の登録ボタン４１を押して欠陥位置を登録する。制御装置１２は、登録ボタン４１が操作されたタイミングで矢印ポインタ３０の先端座標を抽出し、これを欠陥の座標として記憶装置２２に登録する。このときの先端座標には、補正後の座標であって、ガラス基板Ｗ上の座標に相当する値が用いられる。また、この際に、欠陥情報ボタン４４を適宜操作すると、欠陥の大きさや、種類の情報が欠陥座標と関連付けて記憶装置２２に登録される。
【００１５】
なお、サイズ変更ボタン４２を押して矢印ポインタ３０のサイズを小さくしてから欠陥の座標を登録すると、欠陥の位置と矢印ポインタ３０の先端位置とを一致させ易いので、欠陥の座標をさらに精度良く登録することが可能になる。この実施の形態では、サイズ変更ボタン４２を押しながら、ジョイスティック４０を上側（奥側）に倒すと矢印ポインタ３０が大きくなり、ジョイスティック４０を下側（手前側）に倒すと矢印ポインタ３０が小さくなる。この際に、処理部２１は、矢印ポインタ３０の先端位置を基準としてサイズが変化するようにデータ処理を行う。
【００１６】
ここで、他のポインタ３１，３２を選択した場合にも同様の処理が行われる。サークルポインタ３１を選択した場合に、サークルポインタ３１の大きさは、中心点を基準にして変化するようにデータ処理される。また、エリアポインタ３２の場合には、サイズ変更ボタン４２を押した状態でジョイスティック４０を右に倒すとエリアポインタ３２が左右に長くなり、左に倒すと左右が短くなる。ジョイスティック４０を上（奥）に倒すとエリアポインタ３２が上下に長くなり、下（手前）に倒すと上下が短くなる。
【００１７】
ポインタ３０，３１，３２で欠陥の位置を指示する際に、欠陥に重なるようにポインタ３０，３１，３２が表示された場合や、ガラス基板Ｗや、照明光の種類によって、ポインタ３０，３１，３２が視認し難い場合には、点滅ボタン４３を押して、ポインタ３０，３１，３２を点滅させ、位置を特定し易くする。再度、点滅ボタン４３を押すと、ポインタ３０，３１，３２は点灯した状態に切り換わる。
また、照明光の種類によって、ポインタ３０，３１，３２が視認し難い場合には、色ボタン４８を押してポインタ３０，３１，３２の色を変化させる。例えば、光源４にナトリウムランプのオレンジ色の照明光を使用している場合には、緑色ボタン４８Ｂや、青色ボタン４８Ｄを選択すると、ポインタ３０，３１，３２を視認し易くなる。
【００１８】
ガラス基板Ｗ表面で、パターンが形成されている部分の欠陥の有無を調べ、欠陥を登録したら、基板ホルダ８を水平位置まで戻してから、ガラス基板Ｗを搬出する。記憶装置２２に登録された欠陥についての情報は、制御装置１２にネットワーク接続されたサーバに蓄積されたり、他の検査装置、例えば、顕微鏡を用いてガラス基板Ｗの拡大画像を取得することで外観検査を行うミクロ検査装置の制御装置に受け渡され、ミクロ検査を行うべき場所の指標として用いられる。
【００１９】
この実施の形態によれば、制御装置１２とプロジェクタ１５と操作部２６とから指示装置１４を構成し、ガラス基板Ｗをマクロ検査する際に、プロジェクタ１５で基板表面にポインタ３０，３１，３２を投影して、このポインタ３０，３１，３２を用いて欠陥の座標を登録するようにしたので、例えば、一辺が１０００ｍｍや２０００ｍｍを超える大型の基板であったり、傾斜させた基板であっても、簡単な構成で欠陥の座標を精度良く特定することが可能になる。
また、ガラス基板Ｗの状態や、欠陥の特性などに応じて、ポインタ３０，３１，３２の形状や、大きさ、色、点灯状態を切り換え可能にした。これによって、操作性が向上し、欠陥の座標を特定し易くなり、観察者の負担を低減することが可能になる。なお、ガラス基板Ｗの状態としては、レジスト膜をコートした状態のように膜ムラが発生し易い状態や、パーティクルが付着し易い状態などがあげられる。欠陥の特性としては、欠陥の大きさや、スジ状などの形状や、製品に及ぼす影響度などがあげられる。
さらに、プロジェクタ１５を上方に配置したので、プロジェクタ１５が影となって照明装置３からの照明光の光束が遮ることはない。このため、マクロ検査を中断することなく、かつ観察者の視線を変更することなく欠陥位置の指示を行うことができる。プロジェクタ１５を斜め上方に配置することによって、画像１６がガラス基板Ｗに対して斜めに投影されることになるが、プロジェクタ１５から投影される画像１６のデータを処理部２１で補正することで、ガラス基板Ｗ上の位置と、画像１６の各点の位置とを一致させているので、ガラス基板Ｗの検査対象領域の全面に画像１６を正しく投影することが可能になる。これによって、ポインタ３０，３１，３２で示す位置を正確に取得することが可能になる。
【００２０】
次に、図８を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。この実施の形態は、指示装置のプロジェクタと基板ホルダとの構成が異なるもので、その他の構成は、第１の実施の形態と同じである。
図８に示すように、基板ホルダ５０は、一対のアーム９を有し、これらアーム９には、ホルダ本体１０が移動機構によってスライド自在に取り付けられている。移動機構は、一方のアーム９の長手方向に沿って設けられた動作軸（ネジ軸）５１を有するボールネジ５２と、ネジ軸５１を回転駆動させるモータ（不図示）とを有し、ボールネジ５２のナット部５３にホルダ本体１０の一方の側部が固定されている。ホルダ本体１０の他方の側部には、ガイド５４が固定されており、このガイド５４は、他方のアーム９にその長手方向に沿って設けられたレール５５に摺動自在に係合させられている。
【００２１】
指示装置６０は、開口部１３の上部に敷設されたボールネジ６１を有し、ボールネジ６１の駆動軸（ネジ軸）６２はホルダ本体１０のスライド方向と直交する方向に延びている。この駆動軸６２は、モータ６３の回転軸に連結されており、ボールネジ６１のナット部６４には、小型のプロジェクタ６５が吊り下げられている。このプロジェクタ６５は、ガラス基板Ｗの全面よりも小さい領域に画像６６を投影可能な大きさを有する他は、第１の実施の形態のプロジェクタ１５と同じ構成を有しており、制御装置１２に接続されている。
【００２２】
ガラス基板Ｗのマクロ検査を行う際には、ガラス基板Ｗを吸着保持させた状態で基板ホルダ５０を垂直に近い姿勢まで回動させて観察者が観察し易いように、観察位置まで起き上がらせる。観察者は、プロジェクタ６５からの画像６６をガラス基板Ｗに対して投影させ、この画像６６を目視で確認した状態で、マクロ観察を行う場所にプロジェクタ６５の画像６６を相対的に移動させる。具体的には、ジョイスティック４０を左右に倒して、指示装置６０のボールネジ６１を駆動させ、ナット部６４に固定されているプロジェクタ６５を左右に移動させる。さらに、ジョイスティック４０を上下（手前側又は奥側）に倒して、基板ホルダ５０のボールネジ５２を駆動させ、ホルダ本体１０をアーム９に沿ってスライド移動させる。このようにして、検査対象部位にプロジェクタ６５の画像６６を移動させたら、第１の実施の形態と同様にしてポインタ３０，３１，３２を投影させて欠陥の検査と、欠陥の座標の登録とを行う。
【００２３】
この実施の形態によれば、基板ホルダ５０側と、指示装置６０側とのそれぞれにボールネジ５２，６１等からなる移動機構を設け、ガラス基板Ｗの位置とプロジェクタ６５とを相対的に移動自在に構成したので、小さいプロジェクタ６５で大型のガラス基板Ｗのマクロ検査を行うことが可能になり、装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。その他の効果は、第１の実施の形態と同様である。
【００２４】
次に、図９を参照して本発明の第３の実施の形態について説明する。この実施の形態は、他の基板検査装置で予め検査を行った結果を利用できるように構成したことを特徴とし、その他の構成は、第１の実施の形態と同じである。
図９に示すように、基板検査装置１の制御装置１２は、他の基板検査装置７０の制御装置７１にネットワーク７２で接続されている。他の基板検査装置７０としては、例えば、ライン状の照明光でガラス基板Ｗの表面をスキャンしてガラス基板Ｗの画像を取り込み、パターンマッチングなどの画像処理技術によって欠陥を抽出するオートマクロ検査装置があげられる。このような他の基板検査装置７０で得られる欠陥画像は、基板検査装置１の制御装置１２に取り込まれ、プロジェクタ１５からガラス基板Ｗに投影される。図９には、欠陥画像の一例が図示されている。この欠陥画像７３は、オートマクロ検査装置で作成された画像であり、四面取りされるＦＰＤの枠７４と、枠７４内で抽出された欠陥を示す欠陥ポイント７５，７６とからなる。
【００２５】
この基板検査装置１でマクロ検査を行う場合には、目視で観察し易いようにガラス基板Ｗを起き上がらせ、このガラス基板Ｗに重なり合うように欠陥画像７３を投影する。この場合には、必要に応じて補正手段３６が台形補正を行う。観察者は、欠陥ポイント７５，７６を中心にしてガラス基板Ｗのマクロ検査を目視で行い、第１の実施の形態と同様に欠陥の登録を適宜行う。登録時には、欠陥画像７３を消して、ポインタ３０，３１，３２のみを投影させるが、欠陥画像７３にポインタ３０，３１，３２を重ねて投影しても良い。このような切り換えを行う切換ボタンは、操作部２６（図７参照）に設けられる。
【００２６】
この実施の形態によれば、他の基板検査装置７０の検査結果を受け取ってガラス基板Ｗの表面に投影させることが可能になるので、他の基板検査装置７０の検査結果を参考にしながら目視によるマクロ検査が可能になる。したがって、基板検査に要する時間を短縮できると共に、検査精度を向上させることができる。他の効果は第１の実施の形態と同様である。ここにおいて、他の基板検査装置７０の検査結果は、ネットワーク７２を介さずに記録媒体を介して受け取るようにしても良い。
【００２７】
なお、本発明は前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、制御装置１２は、指示装置１４に専用の制御装置と、基板検査装置１の全体を制御する制御装置との２つの制御装置から構成されても良い。また、制御装置１２には、パーソナルコンピュータを使用することが可能である。操作部２６は、フットスイッチを用いて構成されても良く、操作部２５と一体に設けることもできる。さらに、ガラス基板Ｗの表面に画像を投影する際に、プロジェクタ１５において台形補正を行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板検査装置の構成を示す図である。
【図２】図１のＡ矢視図である。
【図３】ポインタの一例であって、矢印型のポインタを示す図である。
【図４】ポインタの一例であって、サークル型のポインタを示す図である。
【図５】ポインタの一例であって、横長のポインタを示す図である。
【図６】ポインタの一例であって、縦長のポインタを示す図である。
【図７】指示装置の操作部の一例を示す図である。
【図８】プロジェクタ及び基板ホルダのホルダ本体が移動自在に構成された基板検査装置の構成を示す図である。
【図９】他の基板検査装置からのデータを受け取り可能な基板検査装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      基板検査装置
３      照明装置
８，５０      基板ホルダ（ホルダ）
１２    制御装置
１４，６０    指示装置
１５，６５    プロジェクタ（投影装置）
２１    処理部
２２    記憶装置
２６    操作部
３０，３１，３２    ポインタ
５２，６１    ボールネジ（移動機構）
６３    モータ（移動機構）
７０    他の基板検査装置
Ｗ      ガラス基板（基板）
【図１】
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【図２】
2008014701.tif 000004
【図３】
2008014701.tif 000005
【図４】
2008014701.tif 000006
【図５】
2008014701.tif 000007
【図６】
2008014701.tif 000008
【図７】
2008014701.tif 000009
【図８】
2008014701.tif 000010
【図９】
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