(57)【要約】【課題】基板表面にナノオーダーの微細な凹凸面の反射防止構造を有する光学素子用成形型を簡単な工程で作製する製造方法を実現する。【解決手段】基板２上に１層以上のエッチング転写層３を形成し、このエッチング転写層３上に半球状の微粒子生成用の薄膜４を形成し、熱反応、光反応、ガス反応のいずれか、またはそれらの複合反応を用いて、薄膜４に、その物質の凝集作用、分解作用、または核形成作用を生じさせて、半球状の島状微粒子５を複数、形成し、複数の島状微粒子５を保護マスクとしてエッチング転写層３及び前記基板２を反応ガスによって順次エッチングして、基板２の微細な表面に錐形状のパターンを形成して、基板２表面に微細な凹凸面（反射防止構造型面）１’を有する光学素子用成形型１を製造する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面に微細な凹凸面の反射防止構造を有する光学素子成形するための光学素子用成形型の製造方法であって、
前記基板上に１層以上のエッチング転写層を形成し、該エッチング転写層上に島状微粒子生成用の薄膜を形成し、
前記薄膜に、熱反応、光反応、化学反応のいずれか、またはそれらの複合反応を用いて、薄膜物質の凝集作用、分解作用、または核形成作用を生じさせて、島状微粒子を複数、形成し、
前記複数の島状微粒子を保護マスクとしてエッチング転写層及び前記基板を順次エッチングして、基板の微細な表面に凸状のパターンを形成することを特徴とする反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法。
【請求項２】
前記複数の島状微粒子は、それぞれの大きさはナノメータオーダであって、互いに対象とする光の波長以下の間隔を保ちながらランダムに配置されて成るナノパターンを形成する事を特徴とする請求項１記載の反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法。
【請求項３】
前記薄膜の材料は、銀、金、白金、若しくはパラジウムを主成分とする物質、又は、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ビスマス、テルルのいずれかの成分を主成分とする酸化物若しく窒化物であることを特徴とする請求項１又は２記載の反射防止構造を有する反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法。
【請求項４】
前記島状微粒子は、その平均粒径は５ｎｍ〜１０００ｎｍであり、複数の島状微粒子の平均間隔は、１０ｎｍ〜２０００ｎｍであることを特徴とする請求項１又は２記載の反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法。
【請求項５】
前記基板は、石英ガラス、樹脂、シリコン、窒化ガリウム、砒化ガリウム、インジウム燐、ニッケル、鉄、チタン、炭素、サファイヤ、又は窒化カーボンを主成分とする金属または非金属であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法。
【請求項６】
前記エッチング転写層は、酸化物、窒化物若しくは炭化物の１層、又は酸化物、窒化物及び炭化物のいずれかから成る多層で構成される事を特徴とする反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかの光学素子用成形型の製造方法によって製造されたことを特徴とする反射防止構造を有する光学素子用成形型。
【請求項８】
基板表面に微細な凹凸面のナノ構造を有し、ランダムに配置されて成るナノパターンを備えたことを特徴とする光学素子。
【請求項９】
前記ナノ構造体を有する光学素子の前記ナノパターンは、光源の波長以下の間隔を保たれている構成であることを特徴とする請求項８記載の光学素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射防止構造を有する発光素子、受光素子、反射防止コート等の光学素子用成形型、その製造方法および光学素子ある。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス等から成る光学素子において、表面反射による戻り光を減少させ且つ透過光を増加させるために表面処理が行われている。この表面処理の具体的な方法として、光学素子表面に微細且つ緻密な凹凸形状を形成する方法が知られている。
【０００３】
このように光学素子表面に周期的な凹凸形状を設けた場合、光は、光学素子表面を透過するときに回折し、透過光の直進成分が大幅に減少するが、光学素子表面に形成された凹凸形状のピッチが透過する光の波長よりも短い凹凸形状の短形としたときには、光は回折しないために、そのピッチや深さ等に対応する単一波長の光に対して有効な反射防止効果を得ることが出来る。
【０００４】
さらに、凹凸形状を短形とするのではなく、山と谷、すなわち光学素子材料側と大気側の体積比が連続的に変化するような、いわゆる錐形状（錐形状のパターン）とすることにより、広い波長域を有する光に対しても反射防止効果を得ることができることが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００５】
このような広波長域に対して反射防止する構造を実現するためには、波長以下の微細なパターンが必要とされるため、このような微細構造を作製するために、電子ビームリソグラフィー法を用いる方法が知られている。この方法は電子線レジストを塗布したのち、電子線を用いてパターニングを行い、反応性エッチングを用いて基板の加工（エッチング）を行う方法である。
【０００６】
また、有機物のコロイドを用いて、ナノ周期構造を作製し、反射防止構造を作製する事が出来る事が知られている（例えば、特許文献３参照）。有機物のコロイドを用いた作成方法は、溶液中に有機物のコロイドを混入させ、コロイドを基板表面に塗布し、コロイドビーズを基に、対象とする波長以下の微細構造を反応性エッチングにより構造物を作製し、反射防止構造を形成する方法である。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２７２５０５号公報
【特許文献２】特開２００６−２４３６３３号公報
【特許文献３】特開２００５−３３１８６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、電子線描画装置を用いて反射防止構造を作製する方法は、電子ビームを走査しパターニングをする必要があるために、描画スループットが極めて遅く、パターン形成に時間を要する。また、そのことから、大面積化した光学素子へ対応するためには、コストが高くなる問題が発生している。
【０００９】
また、有機コロイドを保護マスクとして反射防止構造を作製する方法は、高速に大面積の周期的なナノ構造物を形成する事が出来るが、有機コロイドを均一、大面積に、且つ単一の均一層を形成する事が難しい。
【００１０】
さらに、有機コロイドを保護マスクとして反射防止構造を作製する方法は、液体に分散した有機物の塗布が必要なことから、複雑な構造を持つ構造体に塗布した場合、塗布される有機物の膜厚にばらつきが発生してしまい、光学特性が落ちる問題がある。
【００１１】
本発明は、上記問題点を解決することを目的とするものであり、その課題とするところは、次のようなナノ構造体を有する光学素子用成形型、ナノ構造体用成形型、その製造方法および光学素子を実現する点である。
（１）本発明に係る光学素子用成形型は、大面積で且つ複雑な形状の構造体から成る光学素子の表面に、均一に安定してナノ構造体を有しより広い波長帯域で反射防止効果をもち、且つ入射角度依存性の小さい反射防止構造を有する光学素子を製造することができるものである。
（２）本発明に係る光学素子用成形型の製造方法は、少ない行程で、且つ生産性の高いドライプロセスのみで製造することができる方法である。
（３）本発明に係る光学素子は、基板表面に微細な凹凸面のナノ構造を有し、ランダムに配置されて成るナノパターンを備え、好ましくは、このナノパターンは、光源の波長以下の間隔を保たれている構成であるナノパターンを備えた光学素子である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記課題を解決するために、基板表面に微細な凹凸面の反射防止構造を有する光学素子成形するための光学素子用成形型の製造方法であって、前記基板上に１層以上のエッチング転写層を形成し、該エッチング転写層上に島状微粒子生成用の薄膜を形成し、  前記薄膜に、熱反応、光反応、化学反応のいずれか、またはそれらの複合反応を用いて、薄膜物質の凝集作用、分解作用、または核形成作用を生じさせて、島状微粒子を複数、形成し、前記複数の島状微粒子を保護マスクとしてエッチング転写層及び前記基板を順次エッチングして、基板の微細な表面に凸状のパターンを形成することを特徴とする反射防止構造を有する光学素子用成形型の製造方法を提供する。
【００１３】
前記複数の島状微粒子は、それぞれの大きさはナノメータオーダであって、互いに対象とする反射すべき光の波長以下の間隔を保ちながらランダムに配置されて成るナノパターンを形成することが好ましい。
【００１４】
前記薄膜の材料は、銀、金、白金、若しくはパラジウムを主成分とする物質、又は、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ビスマス、テルルのいずれかの成分を主成分とする酸化物若しくは窒化物であることを特徴とする請求項１又は２記載の反射防止構造を有する反射防止構造を有することが好ましい。
【００１５】
前記島状微粒子は、その平均粒径は５ｎｍ〜１０００ｎｍであり、複数の島状微粒子の平均間隔は、１０ｎｍ〜２０００ｎｍであることを特徴とする請求項１又は２記載の反射防止構造を有することが好ましい。
【００１６】
前記基板は、石英ガラス、樹脂、シリコン、窒化ガリウム、砒化ガリウム、インジウム燐、ニッケル、鉄、チタン、炭素、サファイヤ、又は窒化カーボンを主成分とする金属または非金属であることが好ましい。
【００１７】
前記エッチング転写層は、酸化物、窒化物若しくは炭化物の１層、又は酸化物、窒化物及び炭化物のいずれかから成る多層で構成されることが好ましい。
【００１８】
本発明は上記課題を解決するために、光学素子用成形型の製造方法によって製造された反射防止構造を有する光学素子用成形型を提供する。
【００１９】
本発明は上記課題を解決するために、基板表面に微細な凹凸面のナノ構造を有し、ランダムに配置されて成るナノパターンを備えたことを特徴とする光学素子を提供する。
【００２０】
前記ナノ構造体を有する光学素子の前記ナノパターンは、光源の波長以下の間隔を保たれている構成であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、次の効果が生じる。
（１）本発明に係る光学素子用成形型は、大面積で且つ複雑な自由曲面を持つ光学素子の表面に、均一に安定してナノ構造体を有しより広い波長帯域で反射防止効果をもち、且つ入射角度依存性の小さい反射防止構造を有する光学素子を製造することができる。
（２）本発明に係る光学素子用成形型の製造方法は、少ない行程で、且つ生産性の高いドライプロセスのみで製造することができる。
（３）本発明に係る光学素子は、基板表面に微細な凹凸面のナノ構造を有し、ランダムに配置されて成るナノパターンを備え、好ましくは、このナノパターンは、光源の波長以下の間隔を保たれている構成であるナノパターンを備えた光学素子である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明に係る光学素子用成形型、その製造方法および光学素子を実施するための最良の形態を実施例に基づいて図面を参照して、以下に説明する。
【００２３】
本発明は、反射防止効果を得るための微細な凹凸構造（反射防止構造）を表面に有する光学素子を成形するための光学素子用成形型及びその製造方法である。本発明に係る光学素子用成形型の製造方法の工程は、次のとおりである。
（１）基板上への薄膜の形成工程
基板上に複数のエッチング転写層を形成し、さらに、一括に薄膜を形成する。これらの形成工程は、真空ドライプロセスで行う。
【００２４】
（２）ナノパターンの形成
熱反応、光反応、ガス反応のいずれか、またはこれらの反応を２以上組み合わせた複合反応を用いて、上記薄膜に、薄膜物質の凝集作用、分解作用、または核形成を生じさせて、ナノメータオーダの微細な半球状の島状微粒子が、反射防止の対象とする光の波長以下の間隔でランダムに存在するナノパターンを形成する。
【００２５】
島状微粒子となる物質は、銀、金、白金、パラジウムのいずれかを主成分とする材料、又は、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ビスマス、テルルのいずれかを主成分とする酸化物材料若しくは窒化物、を用いることで、複数の島状微粒子の間隔が狭いナノパターンを形成する事が可能である。このとき、半球状の島状微粒子の平均粒径は５ｎｍ〜１０００ｎｍであり、隣接する島状微粒子の平均間隔は１０ｎｍ〜２０００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００２６】
（３）形成したナノパターンを用いて、即ち、島状微粒子を保護マスクとして、エッチング転写層をエッチングし、さらに、最終的に目的とする基板へのエッチングを行い、基板表面に微細な錐形状のナノ構造体を形成し、反射防止構造を有する光学素子用成形型を作製する。
【００２７】
この場合、島状物質と基板との間に、上記のとおり、複数層のエッチング転写層を設けているので、高アスペクト比の反射構造体を備えた光学素子を成形できる微細凹凸面（反射防止構造型面）を、光学素子用成形型の表面に、効率的に作製する事が可能である。
【００２８】
この光学素子用成形型を使用すれば、以下の実施例において説明するように、基板表面に微細な凹凸面のナノ構造を有し、ランダムに配置されて成るナノパターンを備え、好ましくは、このナノパターンは、光源の波長以下の間隔を保たれている構成であるナノパターンを備えた光学素子である。
【実施例１】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明に係る光学素子用成形型及びその製造方法の実施例１について詳細に説明する。図１は、本発明の実施例１に係る光学素子用成形型１を、反応性イオンエッチング法を用いて製造する製造方法の工程を説明する図である。
【００３０】
（１）成膜装置（図示しない。）を用いて、平面状の基板２の表面に１層以上から構成されるエッチング転写層３と島状微粒子作製の為の薄膜４を成膜する（図１（ａ））。本発明者らは、実証試験により、銀、金、白金、パラジウムを主成分とする物質は、基板２の表面に、反射防止対象である光の波長以下の間隔で、ランダムに島状微粒子５を形成する為の薄膜４の材料として、効果的であることを確認している。
【００３１】
（２）次に、凝集作用、核形成採用又は分解作用を用いて、波長以下の間隔で、ランダムに配置された島状微粒子５を作製する（図１（ｂ））。図２（ａ）及び（ｂ）は、基板２及びエッチング転写層３の上に形成された島状微粒子５を示す断面図及び平面図である。  
【００３２】
ところで、熱反応、光反応、ガス反応等をパラメータとすることにより、材料の凝集反応、核形成反応を制御して、島状微粒子５の平均粒径や間隔を制御することが可能である。また、本発明者らは、薄膜４の材料に不純物を添加することによって、島状微粒子５の平均粒径や間隔を制御可能な事を確認した。
【００３３】
また、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ビスマス、テルルのいずれかの成分を主成分とする酸化物を用いた場合は、熱、光、またはガス分解作用を用いることにより、島状微粒子５の平均粒径や間隔を制御することが可能である。
【００３４】
（３）次に、形成した島状微粒子５をマスキングとして、反応性ガス（例えば、ＣＦ４、ＣＨＦ３、ＣＨ4、ＣＦ6、Ｈ２、ＣＯ、ＮＨ３、Ｃｌ２、ＢＣｌ３）を用いて、エッチング転写層３のエッチングを行う（図１（ｃ））。ここで、エッチング転写層３は、島状微粒子５と同等の形状を維持し、エッチングされ、順次、次のエッチング転写層３又は基板２のためのマスキング層として機能する。
【００３５】
島状微粒子５を用いて、光学素子表面の反射防止構造を形成するための略錐形状の微細な凹凸面（反射防止構造型面）１’を基板２の表面に形成する際に、上記のとおり、エッチング転写層３を設けることにより、高アスペクト比構造の略錐形状の作製が可能である。エッチング転写層３の材料としては、たとえば、銀を主成分とする島状微粒子５をマスキング層とする場合は、炭素を主成分とする材料やシリコン、シリコン酸化物、シリコン窒化物などが有効である。
【００３６】
ここで、島状微粒子５の主成分を銀、エッチング転写層３を炭素、基板２を石英とした場合には、島状微粒子５とエッチング転写層３とのエッチング速度が「島状微粒子５のエッチング速度」＜＜「エッチング転写層３のエッチング速度」となるようなガス種をもちいた反応性エッチングをする。これにより、島状微粒子５がマスクキング効果を生じ、エッチング転写層３にパターンを形成する事が可能である。
【００３７】
次にエッチング転写層３と基板２とのエッチングの場合には、エッチング速度比が、「エッチング転写層３のエッチング速度」＜＜「基板２のエッチング速度」となるようなガス種を用いた反応性エッチングを行う。これにより、基板２の表面に、島状微粒子５をもとにマスキングした略錐形状の反射防止構造の作製が可能である。また、エッチング転写層３は単層である必要はなく、エッチングの為のプロセス設計により多層にしても、作製可能である。
【００３８】
第２層以降のエッチング転写層３にも、同様のプロセスを行い（図１（ｄ））、最終的には、基板２へのエッチングを行い、基板２表面に略錐形状の微細な凹凸面（反射防止構造型面）１’が形成された光学素子用成形型１を形成する（図１（ｆ））。
【００３９】
以上の製造方法を用いることにより、ドライプロセスのみで、基板２表面に反射防止対象である光の波長以下の間隔で、ランダムに略錐形状に形成された微細凹凸構造を有する事が可能である。これにより、複雑な形状を持つ光学レンズにおいても、容易に作製可能であり、且つ作製プロセスの簡単化が実現できる。
【００４０】
図３は、本発明者らが実施例１を実施して得られた島状微粒子５の代表的なＳＥＭ像（走査型電子顕微鏡像）を示す。これにより、基板２表面に反射防止対象である光の波長以下の間隔で、ランダムに島状微粒子５を形成できる事を確認した。また、このＳＥＭ像から、実施例１によって、有効的な薄膜４材料は、銀を主成分とする物質が効果的であることを確認した。
【００４１】
また、本発明者ら、実施例１の実証試験を通じて、熱反応、光反応、またはガス反応を制御することにより、これらの材料の凝集反応、核形成反応を制御が実現され、島状微粒子５の平均粒径や間隔を制御することが可能であることも確認した。また、これらの材料に不純物を添加することによって、島状微粒子５の平均粒径や間隔を制御可能な事を確認した。
【００４２】
さらに、島状微粒子５を形成する薄膜として、金、白金、パラジウム、タングステン、ビスマス、テルルのいずれかの成分を主成分とする酸化物を用いた場合にも、熱、光、またはガス分解作用を用いることにより、島状微粒子５の平均粒径や間隔を制御することが可能であることも確認した。
【００４３】
図４は、実施例１によって製造した光学素子用成形型１を用いて作製した光学素子用成形型１（光学素子そのものではない。）の反射特性のグラフである。即ち、図３に示した島状微粒子５をマスクキング層として用いて、図１に示すプロセスを用いて、シリコン基板２表面に略錐形状の微細凹凸面（反射防止構造型面）１’が形成された光学素子用成形型１の反射特性のグラフである。
【００４４】
このグラフから、本発明に係る光学素子用成形型１により、シリコン製の光学素子用成形型１の平面では５０％程度ある反射が、５％以下まで減少出来ることを確認した。このことから、本発明は、ドライプロセスのみで、基板２表面に略錐形状の微細な凹凸面（反射防止構造型面）１’を作製出来ることから、低コスト化と生産性に優れた手法であることを確認した。
【００４５】
また、基板２の材料として、石英、ガラス、ポリカーボネイトやPMMAなどの樹脂、窒化ガリウム、砒化ガリウム、インジウム燐、ニッケル、鉄、チタン、炭素、サファイヤ、窒化カーボンなどを用いても、同様の効果があることを確認した。
【実施例２】
【００４６】
図５は、本発明の実施例２に係る光学素子用成形型６の製造方法を、実施例１と同様に、反応性イオンエッチング法を用いて行う工程を説明する図である。この実施例２は、自由曲面を有する光学素子を成形する光学素子用成形型に関するものであり、基板７は自由曲面を有する点で異なるが、その製造方法は同じであるので、その説明は省略する。
【００４７】
この実施例２に係る製造方法で得られた光学素子用成形型６は、基板６表面に略錐形状の微細凹凸面（反射防止構造型面）７’が形成されており、反射特性についても実施例１と同様の効果が得られる。
【００４８】
（射出成形用型の製造方法及び光学素子の成形）
次に、図６に示す模式図を用いて、上記説明した反射防止構造を有する光学素子用成形型１から射出成形用型の製造方法を説明するとともに、この射出成型用型を用いる反射防止構造を有する光学素子量産方法の一例を説明する。
【００４９】
図６（ａ）は、本発明の実施例１で得られたシリコン製の光学素子用成形型１（石英ガラス製の光学素子用成形型１でもよい。）を示す。このシリコン製の光学素子用成形型１を用いて、図６（ｂ）に示すように、通常のニッケル電鋳処理を行うことによって、図６（ｃ）に示すような射出成形型８を作成する。
【００５０】
次に、この射出成形型８を用いて図６（ｄ）に示すように、射出成形型８を利用して、図６（ｅ）に示すような光学素子９を量産することができる。この光学素子９は、基板表面に微細な凹凸面のナノ構造を有し、ランダムに配置されて成るナノパターンを備え、好ましくは、このナノパターンは、光源の波長以下の間隔を保たれている構成であるナノパターンを備えた光学素子である。
【００５１】
具体的には、光学素子９ナノパターンは、島状であり、その平均径は５ｎｍ〜１０００ｎｍであり、隣接する島の平均間隔は１０ｎｍ〜２０００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００５２】
図７は、本発明の実施例２で得られた光学素子用成形型６（図７（ａ）参照）を用いた方法を説明する図である。この方法は、図６に示す方法と全く同じであり、通常のニッケル電鋳処理を行うことによって（図７（ｂ）参照）、射出成形型１０（図７（ｃ）参照）を作成する。
【００５３】
さらに、この射出成形型１０を用いて、に示すように、射出成形型を利用して光学素子を射出成形して（図７（ｄ）参照）、光学素子１１（図７（ｅ）参照）も量産可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、以上のような構成であるから、光学素子一般（例えば、プロジェクター用レンズ、光ピックアップ、ディスプレイ等）、発光素子一般（例えば、ＬＥＤ、レーザ等）、受光素子一般（フォトダイオード、太陽電池等）に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施例１を説明する図である。
【図２】本発明の実施例１を説明する図である
【図３】本発明の実施例１を説明する図である。
【図４】本発明の実施例１を説明する図である。
【図５】本発明の実施例２を説明する図である。
【図６】本発明の実施例１の光学素子用成形型を利用した射出成形型の製造及び光学素子の成形、並びに光学素子を説明する図である。
【図７】本発明の実施例２の光学素子用成形型を利用した射出成形型の製造及び光学素子の成形、並びに光学素子を説明する図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  光学素子用成形型
２  基板
３  エッチング転写層
４  島状微粒子作製の為の薄膜
５  島状微粒子
６  光学素子用成形型
７  基板
８  射出成形型
９  光学素子
１０  射出成形型
１１  光学素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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