(57)【要約】【課題】テーブルのような各種の作用要素を移動させる機能を有する駆動機構において、作用要素の取付け精度を低下させることなく、作用要素に姿勢変化が生じるのを防止する。【解決手段】ガイドレール２０ａと、ガイドレール２０ａに係合して摺動する摺動体２１ａとガイドレール２０ａに沿って摺動体２１ａを移動させる駆動部と摺動体２１ａに固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構において、摺動体２１ａと作用要素との間に、摺動体２１ａに固定される摺動体固定部２７０と、作用要素に固定される作用要素固定部２７１と、摺動体固定部２７０の姿勢変化に対応して摺動体２１ａの移動方向に対して垂直な方向または水平な方向に湾曲して姿勢変化を吸収する吸収部２７２とを有する姿勢変化吸収体２７ａを介在させる。【選択図】図３
2008229811.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールと、該ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、該ガイドレールに沿って該摺動体を移動させる駆動部と、該摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構であって、
該摺動体と該作用要素との間に介在する姿勢変化吸収体を備え、
該姿勢変化吸収体は、該摺動体に固定される摺動体固定部と、該作用要素に固定される作用要素固定部と、該摺動体の移動方向をＸ軸方向とし該Ｘ軸方向に対して水平な方向に直交する方向をＹ軸方向とし該Ｘ軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をＺ軸方向とした場合に該摺動体固定部の姿勢変化に対応して該Ｘ軸方向、該Ｙ軸方向または該Ｚ軸方向に湾曲して該姿勢変化を吸収する吸収部と
から構成される駆動機構。
【請求項２】
前記ガイドレールは、平行に配設された第一のガイドレールと第二のガイドレールとから構成され、
前記摺動体は、該第一のガイドレールに係合する第一の摺動体及び第二の摺動体と、該第二のガイドレールに係合する第三の摺動体及び第四の摺動体とを有し、
前記姿勢変化吸収体は、該第一の摺動体に固定される第一の姿勢変化吸収体と、該第二の摺動体に固定される第二の姿勢変化吸収体と、該第三の摺動体に固定される第三の姿勢変化吸収体と、該第四の摺動体に固定される第四の姿勢変化吸収体とから構成され、
前記作用要素は、該第一の摺動体、該第二の摺動体、該第三の摺動体及び該第四の摺動体の各作用要素固定部に固定される
請求項１に記載の駆動機構。
【請求項３】
前記姿勢変化吸収体は、ロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で形成される
請求項１または２に記載の駆動機構。
【請求項４】
前記姿勢変化吸収体は、前記摺動体固定部の前記Ｘ軸方向の両端部から前記Ｚ軸方向に起立する両端壁部と、該摺動体固定部の該Ｘ軸方向の中間部から該Ｚ軸方向に起立する中間壁部とを備え、前記吸収部及び前記作用要素固定部は、該両端壁部と該中間壁部との間を該Ｘ軸方向に架設して形成される
請求項１、２または３に記載の駆動機構。
【請求項５】
ガイドレールと、該ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、該ガイドレールに沿って該摺動体を移動させる駆動部と、該摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた駆動機構において、該摺動体と該作用要素との間に介在して該摺動体の姿勢変化を吸収する姿勢変化吸収体であって、
該摺動体に固定される摺動体固定部と、該作用要素に固定される作用要素固定部と、該摺動体の移動方向をＸ軸方向とし該Ｘ軸方向に対して水平な方向に直交する方向をＹ軸方向とし該Ｘ軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をＺ軸方向とした場合に該摺動体固定部の姿勢変化に対応して該摺動体の移動方向に対して該Ｘ軸方向、該Ｙ軸方向または該Ｚ軸方向に湾曲して該姿勢変化を吸収する吸収部と
から構成される姿勢変化吸収体。
【請求項６】
ロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で構成される
請求項５に記載の姿勢変化吸収体。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれかに記載の駆動機構を備えた加工装置であって、
前記作用要素は、被加工物を保持するチャックテーブルであり、
該チャックテーブルに保持された被加工物に対して作用する加工工具を備えた
加工装置。
【請求項８】
前記加工工具は切削ブレードである
請求項７に記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の作用要素を移動させる機能を有する駆動機構、それに用いられる姿勢変化吸収体及びその駆動機構を備えた加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが分割予定ラインによって区画されて形成されたウェーハは、高速回転する切削ブレードを用いて分割予定ラインを縦横に切削することによって個々のデバイスに分割される。かかる切削には、例えば図９に示す切削装置１００が用いられる（特許文献１参照）。
【０００３】
この切削装置１００は、ウェーハＷを保持するチャックテーブル７と、チャックテーブル７に保持されたウェーハＷに作用して切削を行う切削手段８とを有している。チャックテーブル７は、駆動源７０の内部のパルスモータに連結されて所望角度回転可能となっている。駆動源７０は摺動体７１に固定されており、摺動体７１は、切削送り手段７２によって駆動されてＸ軸方向に移動可能となっている。切削送り手段７２は、Ｘ軸方向に配設された送りネジ軸７２０と、送りネジ軸７２０の一端に連結されたサーボモータ７２１と、送りネジ軸７２０と平行に配設された一対のガイドレール７２２とから構成され、送りネジ軸７２０には摺動体７１の下部に備えた送りナット（図示せず）が螺合している。送りネジ軸７２０は、サーボモータ７２１に駆動されて回動し、それに伴って摺動体７１がガイドレール７２２にガイドされてＸ軸方向に移動し、チャックテーブル７も同方向に移動する構成となっている。
【０００４】
図９に示すように、切削手段８は、ハウジング８０によって回転可能に支持されたスピンドル８１の先端に切削ブレード８２が装着されて構成されており、切削手段８は、切り込み送り手段８３によって駆動されてＺ軸方向に移動可能であると共に、割り出し送り手段８４によって駆動されてＹ軸方向に移動可能となっている。
【０００５】
ハウジング８０の側部には、ウェーハの切削すべき領域を検出するアライメント手段８５が配設されている。アライメント手段８５には撮像部８５０を備えており、撮像部８５０によって取得したウェーハの画像に基づいて切削すべき分割予定ラインを検出する。
【０００６】
ダイシング対象のウェーハＷは、テープＴを介してフレームＦと一体となった状態でチャックテーブル７に保持される。そして、切削送り手段７２によって駆動されてチャックテーブル７がＸ軸方向に移動することによりウェーハＷが撮像部８５０の直下まで移動し、ウェーハＷの表面が撮像されて切削すべき分割予定ラインが検出され、その分割予定ラインと切削ブレード８２とのＹ軸方向の位置合わせがなされる。かかる位置合わせがなされた状態で、チャックテーブル７がＸ軸方向に移動すると共に切削ブレード８２が高速回転しながら切削手段８が下降して検出された分割予定ラインに切り込むことにより、その分割予定ラインが切削される。また、隣接する分割予定ラインの間隔ずつ切削手段８をインデックス送りしながら切削を行うことにより、同方向の分割予定ラインが切断され、更にチャックテーブル７を９０度回転させてから同様の切削を行うと、個々のチップに分割される。
【０００７】
しかし、例えばウェーハＷの厚さが１００μｍ以下であるような場合や、ウェーハＷがダイアタッチフィルムと称されるダイボンディング用の粘着フィルムが裏面に貼着されたものである場合は、ダイシングによって形成された個々のデバイスの周縁部に比較的多くのチッピングが生じてデバイスの品質を低下させるという問題がある。
【０００８】
これは、チャックテーブル７が加工送りされる際に、摺動体７１が姿勢変化し、その姿勢変化がチャックテーブルに伝達されてウェーハが振動することに起因している。
【０００９】
そこで、かかる問題を解決するために、天然ゴムや合成ゴム等で製作された弾性体を摺動体のテーブル取付け面に配設することにより、摺動体の姿勢変化に起因するテーブルの姿勢変化を低減する技術が提案されている（例えば特許文献２参照）。
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−２９４９１３号公報
【特許文献２】特開２００６−１１２４５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献２に記載された構造では、単にテーブルと摺動体との間に弾性体を挟んだ構造であるため、以下の問題が生じ、精度の高さが要求される駆動機構には使用することができない。
【００１２】
（１）テーブルを摺動体に取り付ける際に、複数ある取付けボルトの締め付けトルクのバラツキにより弾性体の変形量にもバラツキが生じるため、テーブルの取付け精度を確保することができない。
（２）摺動体に対するテーブルの取付け剛性が極端に低下するため、テーブルの負荷荷重の変化により弾性体の変形量が変化し、テーブルの取付け精度が変化する。
（３）摺動体に対するテーブルの取付け剛性が極端に低下するため、慣性力によってテーブルの加減速時に発生する負荷により弾性体の変形量が変化するため、テーブルの取付け精度の変化や揺れが生じる。
（４）天然ゴムや合成ゴム等によって形成された弾性体に、時間の経過と共に圧縮永久歪が生じるため、摺動体に対するテーブルの取付け精度が時間の経過とともに変化する。
【００１３】
このように、テーブルのような各種の作用要素を移動させる機能を有する駆動機構においては、作用要素の姿勢変化及び取付け精度に対する対策が充分ではない。そこで、本発明が解決しようとする課題は、作用要素の取付け精度を低下させることなく、作用要素に姿勢変化が生じるのを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
第一の発明は、ガイドレールと、ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、ガイドレールに沿って摺動体を移動させる駆動部と、摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構に関するもので、摺動体と作用要素との間に介在する姿勢変化吸収体を備え、姿勢変化吸収体は、摺動体に固定される摺動体固定部と、作用要素に固定される作用要素固定部と、摺動体の移動方向をＸ軸方向としＸ軸方向に対して水平な方向に直交する方向をＹ軸方向としＸ軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をＺ軸方向とした場合に摺動体固定部の姿勢変化に対応してＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に湾曲して該姿勢変化を吸収する吸収部とから構成される。
【００１５】
ガイドレールが、平行に配設された第一のガイドレールと第二のガイドレールとから構成され、摺動体が、第一のガイドレールに係合する第一の摺動体及び第二の摺動体と、第二のガイドレールに係合する第三の摺動体及び第四の摺動体とを有し、姿勢変化吸収体が、第一の摺動体に固定される第一の姿勢変化吸収体と、第二の摺動体に固定される第二の姿勢変化吸収体と、第三の摺動体に固定される第三の姿勢変化吸収体と、第四の摺動体に固定される第四の姿勢変化吸収体とから構成され、作用要素が、第一の摺動体、第二の摺動体、第三の摺動体及び第四の摺動体の各作用要素固定部に固定される構成が一例として挙げられる。
【００１６】
姿勢変化吸収体は、ロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で形成されることが望ましい。
【００１７】
姿勢変化吸収体は、摺動体固定部のＸ軸方向の両端部からＺ軸方向に起立する両端壁部と、摺動体固定部のＸ軸方向の中間部からＺ軸方向に起立する中間壁部とを備え、吸収部及び作用要素固定部は、両端壁部と中間壁部との間をＸ軸方向に架設して形成されることが望ましい。
【００１８】
第二の発明は、ガイドレールと、ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、ガイドレールに沿って摺動体を移動させる駆動部と、摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた駆動機構において、摺動体と作用要素との間に介在して摺動体の姿勢変化を吸収する姿勢変化吸収体に関するもので、摺動体に固定される摺動体固定部と、作用要素に固定される作用要素固定部と、摺動体の移動方向をＸ軸方向としＸ軸方向に対して水平な方向に直交する方向をＹ軸方向としＸ軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をＺ軸方向とした場合に摺動体固定部の姿勢変化に対応して摺動体の移動方向に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に湾曲して姿勢変化を吸収する吸収部とから構成される。
【００１９】
この姿勢変化吸収体は、ロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で構成されることが望ましい。
【００２０】
第三の発明は、上記の駆動機構を備えた加工装置に関するもので、作用要素は、被加工物を保持するチャックテーブルであり、チャックテーブルに保持された被加工物に対して作用する加工工具を備えたものである。加工工具としては、例えば切削ブレードがあるが、これには限定されない。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、摺動体と作用要素との間に姿勢変化吸収体を介在させ、姿勢変化吸収体は、摺動体に固定される摺動体固定部と、作用要素に固定される作用要素固定部と、摺動体の移動方向をＸ軸方向としＸ軸方向に対して水平な方向に直交する方向をＹ軸方向としＸ軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をＺ軸方向とした場合に摺動体固定部の姿勢変化に対応してＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に湾曲して姿勢変化を吸収する吸収部とから構成されるため、慣性力による歪みやツマズキ等に起因する摺動体の姿勢変化が吸収部によって吸収され、作用要素固定部に伝達されない。したがって、作用要素固定部に固定された作用要素が姿勢変化するのを防止することができる。
【００２２】
姿勢変化吸収体がロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で構成されると、姿勢変化を吸収すると共に、経年変化もないことから摺動体に対する作用要素の取付け精度も高くすることができ、また、作用要素に対する加重の影響も受けない。
【００２３】
姿勢変化吸収体が、摺動体固定部のＸ軸方向の両端部からＺ軸方向に起立する両端壁部と、摺動体固定部のＸ軸方向の中間部からＺ軸方向に起立する中間壁部とを備え、吸収部及び作用要素固定部が両端壁部と中間壁部との間をＸ軸方向に架設して形成されると、吸収部は、摺動体のＺ軸方向の姿勢変化に対応してＺ軸方向に変形し、摺動体のＸＹ平面方向の姿勢変化に対応してＸＹ平面方向に変形することにより、Ｚ軸方向及びＸＹ平面方向の姿勢変化を吸収することができる。
【００２４】
上記の駆動機構を備え、作用要素が被加工物を保持するチャックテーブルであり、チャックテーブルに保持された被加工物に対して作用する加工工具を備えた加工装置では、チャックテーブルに保持された被加工物の姿勢が安定するため、加工精度が高くなる。加工工具が切削ブレードである場合は、ウェーハ等の被加工物にチッピングが生じにくくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１に示す切削装置１は、加工装置の一種であり、各種の被加工物を切削する装置であり、少なくとも、被加工物を保持するチャックテーブル２３を移動させるための機能を有する駆動機構２を備えている。
【００２６】
駆動機構２は、Ｘ軸方向に平行に配設された第一のガイドレール２０ａ及び第二のガイドレール２０ｂと、第一のガイドレール２０ａに係合して摺動可能な第一の摺動体２１ａ及び第二の摺動体２１ｂと、第二のガイドレール２０ｂに係合して摺動可能な第三の摺動体２１ｃ（図２で図示）及び第四の摺動体２１ｄと、ガイドレール２０に沿って摺動体２１を移動させる駆動部２２と、摺動体２１に固定される作用要素であるチャックテーブル２３とから構成される。ここで、Ｘ軸方向とは、各摺動体２１ａ〜２１ｄの移動方向である。
【００２７】
駆動部２２は、ガイドレール２０と平行に配設された送りネジ軸２４と、送りネジ軸２４の一端に連結されて送りネジ軸２４を回転させる駆動源２５と、送りネジ軸２４の自由端部を回転可能に支持する端末支持部２６と、送りネジ軸２４に螺合し摺動体２１を介して作用要素であるチャックテーブル２３に連結される送りナット（図示せず）とを備えている。駆動源２５によって駆動されて送りネジ軸２４が回動することにより送りナットに連結された摺動体２１がガイドレール２０にガイドされてＸ軸方向に移動し、これに伴い摺動体２１に固定されたチャックテーブル２３もＸ軸方向に移動する構成となっている。
【００２８】
チャックテーブル２３の移動経路の上方には、チャックテーブル２３に保持された被加工物に切削加工を施す切削手段３が配設されている。切削手段３は、ハウジング３０によって回転可能に支持されたスピンドル３１の先端に加工工具である切削ブレード３２が装着されて構成されており、切削手段３は、切り込み送り手段４によって駆動されてＺ軸方向に移動可能であると共に、割り出し送り手段５によって駆動されてＹ軸方向に移動可能となっており、チャックテーブル２３の移動方向に直交する方向に移動可能となっている。ここで、Ｙ軸方向とは、Ｘ軸方向に対して水平な方向に直交する方向であり、Ｚ軸方向とは、Ｘ軸方向に対して垂直な方向に直交する方向である。
【００２９】
ハウジング３０の側部には、ウェーハの切削すべき領域を検出するアライメント手段６が固定されている。アライメント手段６には撮像部６０を備えており、アライメント手段６は、撮像部６０によって取得したウェーハの画像に基づいて切削すべき分割予定ラインを検出する機能を有する。
【００３０】
切り込み送り手段４は、壁部４０の一方の面においてＺ軸方向に配設された送りネジ軸４１と、送りネジ軸４１の一端に連結され送りネジ軸４１を回動させる駆動源４２と、送りネジ軸４１の他端の自由端部を回動可能に支持する端末支持部４３と、送りネジ軸４１と平行に配設されたガイドレール４４と、送りネジ軸４１に螺合する送りナット（図示せず）と連結されガイドレール４４に係合して摺動可能な摺動体４５とから構成され、駆動源４２に駆動されて摺動体４５がガイドレール４４にガイドされてＺ軸方向に移動し、これに伴い摺動体４４に支持された切削手段３がＺ軸方向に昇降する構成となっている。
【００３１】
割り出し送り手段５は、Ｙ軸方向に配設された送りネジ軸５０と、送りネジ軸５０の一端に連結され送りネジ軸５０を回動させる駆動源５１と、送りネジ軸５０の他端の自由端部を回動可能に支持する端末支持部（図示せず）と、送りネジ軸５０と平行に配設されたガイドレール５２と、送りネジ軸５０に螺合する送りナット（図示せず）と連結されガイドレール５２に係合して摺動可能な摺動体５３とから構成され、駆動源５１に駆動されて摺動体５３がガイドレール５２にガイドされてＹ軸方向に移動し、これに伴い摺動体５３と一体に形成された壁部４０及び切削手段３がＹ軸方向に移動する構成となっている。
【００３２】
図２に示すように、チャックテーブル２３は、被加工物を保持する保持部２３０と、パルスモータによって保持部２３０を所望角度回転駆動する回転駆動部２３１と、回転駆動部２３１を支持すると共に摺動体２１に固定される被固定部２３２とから構成される。被固定部２３２には、第一のボルト２８を貫通させるための貫通孔２３２ａが表裏面を貫通して複数形成されている。
【００３３】
図２に示すように、被固定部２３２は、第一の姿勢変化吸収体２７ａ、第二の姿勢変化吸収体２７ｂ、第三の姿勢変化吸収体２７ｃ及び第四の姿勢変化吸収体２７ｄを介在させて第一の摺動体２１ａ、第二の摺動体２１ｂ、第三の摺動体２１ｃ、第四の摺動体２１ｄに固定される。各摺動体２１ａ〜２１ｄには、第二のボルト２９を螺着させるためのネジ穴２１０が形成されている。
【００３４】
図３に示すように、個々の姿勢変化吸収体２７ａ（２７ｂ、２７ｃ、２７ｄ）は、個々の摺動体２１ａ（２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ）に固定される部位である摺動体固定部２７０と、作用要素であるチャックテーブル２３に固定される部位である作用要素固定部２７１と、摺動体固定部２７０の姿勢変化に対応してＸ軸方向、Ｙ軸方向またはＺ軸方向に湾曲することによりその姿勢変化を吸収する吸収部２７２とを備えている。
【００３５】
摺動体固定部２７０には第二のボルト２９を貫通させるための貫通孔２７０ａが表裏面を貫通して複数（図示の例では4箇所に）形成されている。また、作用要素固定部２７１は、吸収部２７２より上方に突出して形成されており、作用要素固定部２７１には、図２に示した第一のボルト２８を螺着するためのネジ穴２７１ａが図示の例では4箇所に形成されている。姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄは、例えばロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で形成されている。
【００３６】
図４及び図５に示すように、各姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄには、チャックテーブル２３の移動方向、すなわち各摺動体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの摺動方向（Ｘ軸方向）に対して直交する水平方向（Ｙ軸方向）に貫通する２つの水平貫通孔２７３が形成されており、図４に示すように、各水平貫通孔２７３の上部に吸収部２７２が形成されている。また、図３、図５及び図６に示すように、各姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄには、垂直方向に貫通する垂直貫通孔２７４が形成されている。図示の例における垂直貫通孔２７４は、チャックテーブル２３の進行方向に長尺な長孔であり、図６に示すように、垂直貫通孔２７４の側部に吸収部２７２が形成されている。
【００３７】
図示の各姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄには、摺動体固定部２７０のＸ軸方向の両端部からＺ軸方向に起立する両端壁部２７６と、摺動体固定部２７０のＸ軸方向の中間部からＺ軸方向に起立する中間壁部２７７とを備え、吸収部２７２及び作用要素固定部２７１は、両端壁部２７６と中間壁部２７７との間をＸ軸方向に架設して形成されている。吸収部２７２は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とＺ軸方向とに同時に撓むことが可能となっており、これによって摺動体２１ａ〜２１ｄのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の混合した姿勢変化を吸収することが可能となっている。
【００３８】
図１を参照してウェーハＷを切削する際の動作について説明すると、ダイシング対象のウェーハＷは、テープＴを介してフレームＦと一体となった状態でチャックテーブル２３に保持される。そして、駆動機構２の機能によりチャックテーブル２３がＸ軸方向に移動することによりウェーハＷが撮像部６０の直下まで移動し、ウェーハＷの表面が撮像されて切削すべき分割予定ラインが検出され、その分割予定ラインと切削ブレード３２とのＹ軸方向の位置合わせがなされる。
【００３９】
かかる位置合わせがなされた状態で、チャックテーブル２３がＸ軸方向に移動すると共に切削ブレード３２が高速回転しながら切削手段３が下降し、検出された分割予定ラインに切削ブレード３２が作用して切り込むことにより、その分割予定ラインが切削される。また、隣接する分割予定ラインの間隔ずつ切削手段３をＹ軸方向に割り出し送りしながらチャックテーブル２３を同様に移動させて順次切削していく。更に、チャックテーブル２３を９０度回転させてから同様の切削を行うと、すべての分割予定ラインが分離されて個々のチップに分割される。
【００４０】
このようにして駆動機構２の機能によりチャックテーブル２３がＸ軸方向の移動を繰り返す間に、第一のガイドレール２０ａ及び第二のガイドレール２０ｂを摺動する各摺動体２１ａ〜２１ｄには、例えば、摺動体２１ａ〜２１ｄの移動方向に対して縦方向（Ｚ軸方向）に姿勢変化するピッチング、摺動体２１ａ〜２１ｄの移動方向に対して移動軸方向（Ｘ軸方向、図１の例では送りネジ軸２４の軸心）を中心として回転方向に姿勢変化するローリング、摺動体２１ａ〜２１ｄの移動方向に対して横方向（ＸＹ平面方向）に姿勢変化するヨーイングといった各種の姿勢変化が生じうる。
【００４１】
しかし、各摺動体２１ａ〜２１ｄとチャックテーブル２３との間に介在する各姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄは、摺動体２１ａ〜２１ｄの姿勢変化に対して吸収部２７２が弾性変形することによりその姿勢変化を吸収するため、作用要素固定部２７１に姿勢変化が生じることはなく、その姿勢変化がチャックテーブル２３に伝達されない。したがって、チャックテーブル２３に保持されたウェーハの姿勢が変化することもないため、ウェーハの切り溝の側壁（ダイシング後はデバイスの周縁部）にチッピングが生じにくくなる。
【００４２】
例えば図７に誇張して示すように、第一の摺動体２１ａにＺ軸方向の姿勢変化（数μｍ程度）が生じると、第一の姿勢変化吸収体２７ａの摺動体固定部２７０は第一の姿勢変化吸収体２７ａと共に図示のように姿勢を変えるが、そのとき、吸収部２７２がＺ軸方向に撓むため、作用要素固定部２７１の姿勢は変化せず、元の姿勢を維持している。したがって、作用要素固定部２７１に固定された作用要素であるチャックテーブル２３の姿勢が変化することがなく、チャックテーブル２３に保持されたウェーハの切削にも影響しないため、ウェーハの分割予定ラインを正確に切断することができると共に、ウェーハの切り溝の両側部（デバイスの周縁部）にチッピングが生じない。姿勢変化吸収体２７ａの支点２７５が２つの水平貫通孔２７３の中間にあると、より効果的に姿勢変化を吸収することができる。
【００４３】
また、例えば図８に誇張して示すように、第二の摺動体２１ｂがその進行方向のＸ軸方向に対して水平に直交するＹ軸方向に姿勢変化すると、第二の姿勢変化吸収体２７ｂでは、第二の摺動体２１ｂに固定される摺動体固定部２７０も第二の摺動体２１ｂと同方向に姿勢を変えるが、このとき、図示のように吸収部２７２がＹ軸方向に撓むため、作用要素固定部２７１は元の姿勢を維持している。したがって、作用要素固定部２７１に固定されたチャックテーブル２３にも姿勢変化は生じないため、ウェーハの分割予定ラインを正確に切断することができると共に、ウェーハの切り溝の両側部にチッピングが生じない。
【００４４】
更に、図７に示したようなＺ軸方向の姿勢変化と図８に示したようなＹ軸方向の姿勢変化とが同時に生じた場合でも、吸収部２７２では、両方の姿勢変化に対応した変形が同時に行われる。
【００４５】
姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄが、ロックウェル硬度Ｒ４０以上の金属または樹脂で形成されていると、姿勢変化を吸収できると共に、チャックテーブル２３の取付精度も維持することができ、更には、切削時におけるチャックテーブル２３に対する加重の影響も受けない。
【００４６】
各姿勢変化吸収体２７ａ〜２７ｄとしては、例えば弾性変形可能な合金を用いることで、吸収部２７２が垂直方向及び水平方向に変形することができる。使用可能な合金としては、複合型、強磁性型、転位型、双晶型などがある。複合型としては、例えばFe-C-Si、Al-Zn、強磁性型としては、例えばNi、Fe-Cr、Fe-Cr-Al、Fe-Cr-Al-Mn、Fe-Al-Si、Fe-Cr-Si-Al、Fe-Cr-Mo、Co-Ni、転位型としては、例えばMg、Mg-Zr、Mg2Ni、Mg-Cu-Mn、Fe-Ni-Mn、Fe-Mn-Cr、双晶型としては、Mn-Cu、Cu-Mn-Al、Cu-Mn-Al-Sn、Cu-Al-Ni、Cu-Zn-Al、Ni-Ti、Mn-Cu-Ni-Fe等がある。
【００４７】
上記の例では、切削装置について説明したが、加工装置としては、その他にレーザー加工装置等もある。その場合の加工工具はレーザー光の照射ヘッドとなる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明が適用される切削装置の一例を示す斜視図である。
【図２】摺動体に対するチャックテーブルの取付機構を示す分解斜視図である。
【図３】ガイドレール、摺動体及び姿勢変化吸収体を示す分解斜視図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図３のＣ−Ｃ線断面図である。
【図７】摺動体の姿勢変化時の姿勢変化吸収体の変形の第一の例を略示的に示す断面図である。
【図８】摺動体の姿勢変化時の姿勢変化吸収体の変形の第二の例を略示的に示す平面図である。
【図９】従来の切削装置の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１：切削装置
２：駆動機構
２０ａ：第一のガイドレール  ２０ｂ：第二のガイドレール
２１ａ：第一の摺動体  ２１ｂ：第二の摺動体  ２１ｃ：第三の摺動体
２１ｄ：第四の摺動体  ２２：駆動部
２３：チャックテーブル（作用要素）
２３０：保持部  ２３１：回転駆動部  ２３２：被固定部
２４：送りネジ軸  ２５：駆動源  ２６：端末支持部
２７ａ：第一の姿勢変化吸収体  ２７ｂ：第二の姿勢変化吸収体
２７ｃ：第三の姿勢変化吸収体  ２７ｄ：第四の姿勢変化吸収体
２７０：摺動体固定部  ２７１：作用要素固定部  ２７２：姿勢変化吸収体
２７３：水平貫通孔  ２７４：垂直貫通孔  ２７５：支点
２７６：両端壁部  ２７７：中間壁部
２８：第一のボルト  ２９：第二のボルト
３：切削手段
３０：ハウジング  ３１：スピンドル  ３２：切削ブレード
４：切り込み送り手段
４０：壁部  ４１：送りネジ軸  ４２：駆動源  ４３：端末支持部  ４４：ガイドレール
４５：摺動体
５：割り出し送り手段
５０：送りネジ軸  ５１：駆動源  ５２：ガイドレール  ５３：摺動体
６：アライメント手段  ６０：撮像部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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