(57)【要約】【課題】コードホイールからなる移動体であっても平均化効果を高めることができる。【解決手段】移動体１４は、所定の配列ピッチＰで円周方向に配列された略(１/２)Ｐ幅の複数のスリット１５Ａ,１５Ｂ,…,１５Ｆを有している。これに対し、受光部１６は直線方向に配列され、受光部１６を構成するフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐのうち、中央部に位置するフォトダイオード１６Ｅ〜１６Ｌの長さを「Ｌ」とし、端部に位置するフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｄ,１６Ｍ〜１６Ｐの長さを「Ｌ'(＜Ｌ)」とする。こうすることにより、端部に位置するフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｄ,１６Ｍ〜１６Ｐにおいて、ノイズ成分となる光によって照射される領域の割合が減少し、信号成分となる光で照射されない領域の割合も減少し、生成される電気信号のＳ/Ｎ比の悪化および平均化効果を改善することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光領域と遮光領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
上記移動体に向けて光を出射する発光部と、
上記発光部から出射されて上記移動体の透光領域を透過した光を受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する受光部と
を備え、
上記受光部は、
上記透光領域とこの透光領域に隣接する上記遮光領域とに対向して配置されると共に、上記移動体のほぼ移動方向にアレイ状に配列された複数のフォトダイオードを有し、
上記アレイ状の端部に配置されたフォトダイオードにおける配列方向に直交する方向への長さは、上記アレイ状の中央部に配置されたフォトダイオードにおける上記配列方向に直交する方向への長さに比べて短くなっている
ことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項２】
反射領域と非反射領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
上記移動体に向けて光を出射する発光部と、
上記発光部から出射されて上記移動体の反射領域で反射された光を受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する受光部と
を備え、
上記受光部は、
上記移動体に対して上記発光部と同じ側に、上記反射領域とこの反射領域に隣接する上記非反射領域とに対向して配置されると共に、上記移動体のほぼ移動方向にアレイ状に配列された複数のフォトダイオードを有し、
上記アレイ状の端部に配置されたフォトダイオードにおける配列方向に直交する方向への長さは、上記アレイ状の中央部に配置されたフォトダイオードにおける上記配列方向に直交する方向への長さに比べて短くなっている
ことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項３】
請求項１あるいは請求項２に記載の光電式エンコーダにおいて、
上記長さの異なる複数のフォトダイオードは、上記発光部の光軸中心に対して対称に配置されている
ことを特徴とする光電式エンコーダ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載の光電式エンコーダを用いて、上記移動体の位置,移動速度および移動方向を含む変位情報を検出する
ことを特徴とする変位検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光電式エンコーダ、および、光電式エンコーダを用いて移動体の位置,移動速度,移動方向等の変位情報を検出する変位検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特定の経路に沿って移動する物体の位置および動きを検出する装置として、一定間隔でスリットが穿設されている移動体を発光部と受光部との間の光路を遮断するように移動させる透過型光電式エンコーダが開発されている。
【０００３】
従来から、直線変位や角度変位等の精密な測定には、上記透過型光電式エンコーダが利用されている。この透過型光電式エンコーダは、発光部と、遮光領域と透光領域とが交互に形成された移動体(リニアスケールやコードホイール)と、上記移動体に対して上記発光部とは反対側に配置された受光部と、によって構成されている。尚、上記受光部は、例えば４つの受光素子(例えばフォトダイオード)を含んで構成されている。
【０００４】
以下、上記透過型光電式エンコーダの動作を簡単に説明する。上記発光部は、上記受光部に向けて光を照射する。そうすると、上記発光部からの光が上記移動体の透光領域を通過して、光の強弱が正弦波状に変化すると共に、互いに位相が異なる４つの光信号が生成される。そして、上記各光信号は各位相に対応する受光素子によって受光されて光電変換され、発生した電気信号を利用して移動体の位置,移動速度および移動方向等の変位情報が検出されるのである。
【０００５】
ここで、上記位相が異なる４つの光信号とは、Ａ＋相(０度)の光信号、Ａ＋相よりも９０度だけ位相がずれたＢ＋相(９０度)の光信号、Ａ＋相よりも１８０度だけ位相がずれたＡ−相(１８０度)の光信号、および、Ａ＋相よりも２７０度だけ位相がずれたＢ−相(２７０度)の光信号のことである。
【０００６】
上記Ａ＋相の光信号の他にＢ＋相の光信号を用いるのは、先に検出されるのがＡ＋相かＢ＋相かによって移動体の移動の方向を判断するためである。また、Ａ＋相の光信号やＢ＋相の光信号の以外に、これらの光信号を反転させたＡ−相の光信号やＢ−相の光信号を用いるのは、（１）Ａ＋相の光信号やＢ＋相の光信号に含まれる直流成分の除去、（２）光信号の信頼性の確保、（３）高速追従性の確保、のためである。
【０００７】
位相の異なる複数の光信号に対応した数の受光素子があれば、原理的に測定が可能ではある。したがって、位相の異なる４つの光信号を生成する場合には、例えば特公平３‐７６４２８号公報(特許文献１)に開示されているように、受光素子は４つあればよい。
【０００８】
また、例えば特許第３２０３６４３号公報(特許文献２)に開示されているように、発光部と、反射領域と非反射領域とが交互に形成された移動体と、この移動体に対して上記発光部と同じ側に配置された受光部と、によって構成される反射型光電式エンコーダが開発されている。この反射型光電式エンコーダの信号形成原理は、上記透過型光電式エンコーダの信号形成原理と同じであるので、以下、上記透過型光電式エンコーダによって説明を進めることにする。
【０００９】
ところで、上記発光部の光強度分布や上記移動体の透光領域における汚れ等が原因となって、上記受光部への入射光量にばらつきが生じる場合がある。その場合、上記受光部が４つの受光素子で構成されていれば、各位相の光信号は夫々１つの受光素子でしか検出されないので、上記入射光量のバラツキの影響を受け易い。
【００１０】
そこで、上記受光素子を、上記移動体の移動方向に沿って複数のセットをアレイ状に配列させることが一般的である。こうすることによって、各位相の光信号が検出される場所が広い範囲に分散されるため、上記入射光量のバラツキの影響を小さくできる。以下、このことを「平均化効果」と言う。
【００１１】
図５は、上記移動体がリニアスケールである場合において、従来の光電式エンコーダにおける信号形成用のフォトダイオードと上記移動体のスリット(透光領域)との位置関係を示す図である。この光電式エンコーダにおける移動体１は、所定の配列ピッチＰで幅方向(移動方向)に配列された複数のスリット(透光領域)２Ａ,２Ｂ,…,２Ｆを有している。このスリット２Ａ,２Ｂ,…,２Ｆは、夫々略(１/２)Ｐの幅を有している。
【００１２】
そして、上記移動体１の一側(図５において紙面の手前側)には発光部(図示せず)が配置されている。また、上記発光部に対向するように、移動体１の他側(図５において紙面の向う側)には受光部３が配置されている。
【００１３】
この受光部３は、図５から分かるように、配列ピッチ(１/４)Ｐで上記スリットの配列方向と同じ方向に配列された長さＬのフォトダイオード３Ａ〜３Ｐで構成されている。そして、各フォトダイオード３Ａ〜３Ｐは、夫々略(１/４)Ｐの幅を有している。
【００１４】
上述したように、４つのフォトダイオードを１セットとして４セット配列することによって、平均化効果を得ることができるのである。
【００１５】
ところで、上記平均化効果を高めることは、測定精度を向上させるために重要である。しかしながら、近年の移動体(コードホイール)の小型化や光軸半径の小径化によって、受光素子アレイの端部における程Ｓ/Ｎ比が悪化している。
【００１６】
図６は、上記移動体がコードホイールの場合において、従来の光電式エンコーダにおける信号形成用のフォトダイオードと上記移動体のスリット(透光領域)との位置関係を示す図である。この光電式エンコーダにおける移動体４は、発光部(図示せず)の光軸中心の軌跡６において所定の配列ピッチＰで移動体４の回転中心を中心とする円周方向(移動体４の移動方向)に配列された複数のスリット５Ａ,５Ｂ,…,５Ｆを有している。このスリット５Ａ,５Ｂ,…,５Ｆは、上記発光部の光軸中心の軌跡６において夫々略(１/２)Ｐの幅を有している。
【００１７】
これに対して、受光部７を構成するフォトダイオード７Ａ〜７Ｐは直線方向に配列されている。尚、フォトダイオード７Ａ〜７Ｐの配列ピッチは(１/４)Ｐであり、長さはＬであり、幅は略(１/４)Ｐである。
【００１８】
このように、上記フォトダイオード７Ａ〜７Ｐの配列方向が直線方向であるのに対し、スリット５Ａ〜５Ｆの配列方向は円周方向である。そのため、フォトダイオードアレイの端部に位置するフォトダイオード程、スリット５Ａ〜５Ｆを透過した光の位相と当該フォトダイオードの位相との不整合度が増大することになる。
【００１９】
上記位相の不整合度について、図６に示す状態でのスリット５Ｂを例に挙げ、図７によって説明する。スリット５Ｂを通過した光はフォトダイオード７Ａ,７Ｂを照射しなけばならないが、実際にはフォトダイオード７Ａ,７Ｂとフォトダイオード７Ｃの領域７Ｃ'とを照射している。この場合、領域７Ｃ'で受光された光は、フォトダイオード７Ｃで光電変換されて発生する電気信号におけるノイズ成分となる。また、フォトダイオード７Ａ,７Ｂにおいては、光によって照射されていない領域７Ａ',７Ｂ'が存在するので、受光量が減少し、フォトダイオード７Ａ,７Ｂで光電変換されて発生する電気信号の振幅が減少することになる。
【００２０】
図８は、図６に示すフォトダイオード７Ａ〜７Ｐにおいて、ノイズ成分となる光が照射されてしまう領域８に斜線を付したものである。図８から分かるように、フォトダイオードアレイの端部に位置するフォトダイオードほど斜線領域８の面積が増加し、光電変換されて発生する電気信号のＳ/Ｎ比が悪化するという問題が生ずる。
【特許文献１】特公平３‐７６４２８号公報
【特許文献２】特許第３２０３６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
そこで、この発明の課題は、コードホイールからなる移動体であっても平均化効果を高めることが可能な光電式エンコーダ、および、それを用いた変位検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するため、この発明の光電式エンコーダは、
透光領域と遮光領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
上記移動体に向けて光を出射する発光部と、
上記発光部から出射されて上記移動体の透光領域を透過した光を受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する受光部と
を備え、
上記受光部は、
上記透光領域とこの透光領域に隣接する上記遮光領域とに対向して配置されると共に、上記移動体のほぼ移動方向にアレイ状に配列された複数のフォトダイオードを有し、
上記アレイ状の端部に配置されたフォトダイオードにおける配列方向に直交する方向への長さは、上記アレイ状の中央部に配置されたフォトダイオードにおける上記配列方向に直交する方向への長さに比べて短くなっている
ことを特徴としている。
【００２３】
上記構成によれば、上記移動体がコードホールである場合に、上記透光領域および上記遮光領域の配列方向と上記フォトダイオードの配列方向とに大きなずれが発生するフォトダイオードアレイの端部において、上記透光領域および上記遮光領域の位置と上記フォトダイオードの位置とが大きくずれる上記フォトダイオードの先端部を削除して、フォトダイオードの長さを短くしている。したがって、ある注目フォトダイオードにおいて、他のフォトダイオードを照射すべき光によって照射される領域の割合が減少し、当該注目フォトダイオードによって生成される電気信号のＳ/Ｎ比が向上される。また、当該注目フォトダイオードを照射すべき光によって照射されない領域の割合が減少し、当該注目フォトダイオードの受光量が向上される。すなわち、従来の光電式エンコーダの場合よりも平均化効果を高めることができるのである。
【００２４】
さらに、上記移動体がリニアスケールである場合には、上記透光領域および上記遮光領域の配列方向と上記フォトダイオードの配列方向とは同じであるため、従来の光電式エンコーダの場合と同様に、平均化効果を得ることができる。
【００２５】
ここで、上記「移動体のほぼ移動方向」とは、上記移動体がリニアスケールである場合には「上記移動体の移動方向」を意味し、上記移動体がコードホールである場合には「上記移動体の移動方向を表す円弧に接する直線の方向」を意味する。
【００２６】
また、この発明の光電式エンコーダは、
反射領域と非反射領域とが移動方向に交互に形成された移動体と、
上記移動体に向けて光を出射する発光部と、
上記発光部から出射されて上記移動体の反射領域で反射された光を受光して、上記移動体の移動情報を表す移動情報信号を出力する受光部と
を備え、
上記受光部は、
上記移動体に対して上記発光部と同じ側に、上記反射領域とこの反射領域に隣接する上記非反射領域とに対向して配置されると共に、上記移動体のほぼ移動方向にアレイ状に配列された複数のフォトダイオードを有し、
上記アレイ状の端部に配置されたフォトダイオードにおける配列方向に直交する方向への長さは、上記アレイ状の中央部に配置されたフォトダイオードにおける上記配列方向に直交する方向への長さに比べて短くなっている
ことを特徴としている。
【００２７】
上記構成によれば、上記移動体がコードホールである場合に、上記反射領域および上記非反射領域の配列方向と上記フォトダイオードの配列方向とに大きなずれが発生するフォトダイオードアレイの端部において、上記反射領域および上記非反射領域の位置と上記フォトダイオードの位置とが大きくずれる上記フォトダイオードの先端部を削除して、フォトダイオードの長さを短くしている。したがって、ある注目フォトダイオードにおいて、他のフォトダイオードを照射すべき光によって照射される領域の割合が減少し、当該注目フォトダイオードによって生成される電気信号のＳ/Ｎ比が向上される。また、当該注目フォトダイオードを照射すべき光によって照射されない領域の割合が減少し、当該注目フォトダイオードの受光量が向上される。すなわち、従来の光電式エンコーダの場合よりも平均化効果を高めることができるのである。
【００２８】
さらに、上記移動体がリニアスケールである場合には、上記反射領域および上記非反射領域の配列方向と上記フォトダイオードの配列方向とは同じであるため、従来の光電式エンコーダの場合と同様に、平均化効果を得ることができる。
【００２９】
ここで、上記「移動体のほぼ移動方向」とは、上記移動体がリニアスケールである場合には「上記移動体の移動方向」を意味し、上記移動体がコードホールである場合には「上記移動体の移動方向を表す円弧に接する直線の方向」を意味する。
【００３０】
また、１実施の形態の光電式エンコーダでは、
上記長さの異なる複数のフォトダイオードは、上記発光部の光軸中心に対して対称に配置されている。
【００３１】
この実施の形態によれば、位相の異なる４つの光信号、つまりＡ＋相(０度)の光信号、Ａ＋相より９０度だけ位相がずれたＢ＋相(９０度)の光信号、Ａ＋相より１８０度だけ位相がずれたＡ−相(１８０度)の光信号、および、Ａ＋相より２７０度だけ位相がずれたＢ−相(２７０度)間における電気信号の振幅のバランスを確保することができる。
【００３２】
また、この発明の変位検出装置は、
上記光電式エンコーダを用いて、上記移動体の位置,移動速度および移動方向を含む変位情報を検出する
ことを特徴としている。
【００３３】
上記構成によれば、移動体がコードホールの場合であっても、フォトダイオードによって生成される電気信号のＳ/Ｎ比を向上させ、フォトダイオードの受光量を向上させて、平均化効果を高めることができる光電式エンコーダを用いている。したがって、移動体の位置,移動速度および移動方向等の変位情報をより精度良く検出することができ、伝達特性の優れた信頼性の高い変位検出を行うことができる。
【発明の効果】
【００３４】
以上より明らかなように、この発明の光電式エンコーダは、透過型光電式エンコーダおよび反射型光電式エンコーダにおいて、移動体がコードホールである場合に、フォトダイオードアレイの端部において、光の照射位置とフォトダイオードの位置とが大きくずれる上記フォトダイオードの先端部を削除して、フォトダイオードの長さを短くしている。したがって、従来の光電式エンコーダに比して、フォトダイオードによって生成される電気信号のＳ/Ｎ比を向上させ、フォトダイオードの受光量を向上させて、平均化効果を高めることができる。
【００３５】
また、この発明の変位検出装置は、移動体がコードホールの場合であっても、Ｓ/Ｎ比を向上させ、平均化効果を高めることができる光電式エンコーダを用いたので、移動体の位置,移動速度および移動方向等の変位情報をより精度良く検出することができる。すなわち、伝達特性の優れた信頼性の高い変位検出を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３７】
・第１実施の形態
図１は、移動体がリニアスケールの場合の光電式エンコーダにおける信号形成用のフォトダイオードと移動体(リニアスケール)のスリットとの位置関係を示す図である。
【００３８】
図１において、移動体１１は、図５に示す従来の光電式エンコーダの場合と同様に、所定の配列ピッチＰで幅方向(移動方向)に配列された略(１/２)Ｐ幅の複数のスリット(透光領域)１２Ａ〜１２Ｆを有している。
【００３９】
これに対し、受光部１３は、上記透光領域であるスリット１２Ｂ〜１２Ｅとこのスリット１２Ｂ〜１２Ｅに隣接する遮光領域とに対向して配置されると共に、スリットの配列方向と同じ方向に配列されたフォトダイオード１３Ａ〜１３Ｐで構成されている。そして、図５に示す従来の光電式エンコーダの場合とは異なり、受光部１３を構成するフォトダイオード１３Ａ〜１３Ｐのうち、中央部に位置するフォトダイオード１３Ｅ〜１３Ｌの長さを「Ｌ」とする一方、端部に位置するフォトダイオード１３Ａ〜１３Ｄ,１３Ｍ〜１３Ｐの長さを「Ｌ'(＜Ｌ)」としている。尚、フォトダイオード１３Ａ〜１３Ｐの配列ピッチは(１/４)Ｐであり、幅は略(１/４)Ｐである。
【００４０】
図１に示す光電式エンコーダは、その移動体１１がリニアスケールであるので、図５に示す従来の光電式エンコーダの場合と同様に、平均化効果を得ることができる。
【００４１】
・第２実施の形態
図２は、移動体がコードホイールの場合の光電式エンコーダにおける信号形成用のフォトダイオードと移動体(コードホイール)のスリットとの位置関係を示す図である。
【００４２】
図２において、移動体１４は、図６に示す従来の光電式エンコーダの場合と同様に、発光部(図示せず)の光軸中心の軌跡において所定の配列ピッチＰで円周方向(移動体１４の移動方向)に配列された複数のスリット(透光領域)１５Ａ〜１５Ｆを有している。尚、各スリット１５Ａ〜１５Ｆの幅は、上記発光部の光軸中心の軌跡において略(１/２)Ｐである。
【００４３】
これに対し、受光部１６は、上記透光領域であるスリット１５Ｂ〜１５Ｅとこの１５Ｂ〜１５Ｅに隣接する遮光領域とに対向して配置されると共に、上記発光部の光軸中心の軌跡に接する直線の方向に配列されたフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐで構成されている。そして、図１に示す上記第１実施の形態における光電式エンコーダの場合と同様に、受光部１６を構成するフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐのうち、中央部に位置するフォトダイオード１６Ｅ〜１６Ｌの長さを「Ｌ」とする一方、端部に位置するフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｄ,１６Ｍ〜１６Ｐの長さを「Ｌ'(＜Ｌ)」としている。尚、フォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐの配列ピッチは(１/４)Ｐであり、幅は略(１/４)Ｐである。
【００４４】
以下、上記スリット１５Ａ,１５Ｂ,…,１５Ｆを透過した光の位相と各フォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐの位相との不整合度について、図２に示す状態でのスリット１５Ｂを例に挙げ、図３によって説明する。スリット１５Ｂを通過した光はフォトダイオード１６Ａ,１６Ｂを照射しなけばならないが、実際にはフォトダイオード１６Ａ,１６Ｂとフォトダイオード１６Ｃの領域１６Ｃ'とを照射している。しかしながら、「(領域１６Ｃ'の面積)÷(フォトダイオード１６Ｃの面積)」の値は、図７に示す従来の光電式エンコーダの場合における「(領域７Ｃ'の面積)÷(フォトダイオード７Ｃの面積)」の値よりも小さくなっていることは明らかである。したがって、フォトダイオード１６Ｃで光電変換されて発生する電気信号におけるノイズ成分の混入率が、図６に示す従来の光電式エンコーダの場合よりも改善されていることが分かる。
【００４５】
また、上記フォトダイオード１６Ａ,１６Ｂにおいては、光によって照射されていない領域１６Ａ',１６Ｂ'が存在する。しかしながら、「(領域１６Ａ'の面積)÷(フォトダイオード１６Ａの面積)」の値は、図７に示す従来の光電式エンコーダの場合における「(領域７Ａ'の面積)÷(フォトダイオード７Ａの面積)」の値よりも小さくなっていることは明らかである。フォトダイオード１６Ｂの場合も同様である。したがって、フォトダイオード１６Ａ,１６Ｂにおける受光量の減少率が、図６に示す従来の光電式エンコーダの場合よりも改善されていることが分かる。
【００４６】
図４は、図２に示すフォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐにおいて、ノイズ成分となる光によって照射される領域１７に斜線を付したものである。図８に示す従来の光電式エンコーダの場合における斜線領域８と比較して明らかなように、フォトダイオードアレイの端部に位置するフォトダイオードほど斜線領域１７の面積が顕著に低減しており、光電変換されて発生する電気信号のＳ/Ｎ比の悪化および平均化効果を改善することができるのである。
【００４７】
また、位相の異なる４つの光信号のうち、Ａ＋相(０度)の光信号はフォトダイオード１６Ａ,１６Ｅ,１６Ｉ,１６Ｍで、Ｂ＋相(９０度)の光信号はフォトダイオード１６Ｂ,１６Ｆ,１６Ｊ,１６Ｎで、Ａ−相(１８０度)の光信号はフォトダイオード１６Ｃ,１６Ｇ,１６Ｋ,１６Ｏで、Ｂ−相(２７０度)の光信号はフォトダイオード１６Ｄ,１６Ｈ,１６Ｌ,１６Ｐで、夫々受光される。したがって、夫々の位相の光信号を受光する４つのフォトダイオードの受光面積の合計値が同一になるように、各フォトダイオード１６Ａ〜１６Ｐの長さ「Ｌ」,「Ｌ'」を予め設定することによって、各位相間における電気信号の振幅のバランスを確保することができる。このことは、上記第１実施の形態における移動体１１がリニアスケールである場合も同様である。
【００４８】
そして、上述の場合における各フォトダイオード１３Ａ〜１３Ｐ,１６Ａ〜１６Ｐにおける長さ「Ｌ」,「Ｌ'」の設定は、上記発光部の光軸中心に対して対称になるように設定すればよい。
【００４９】
以上のごとく、上記第２実施の形態によれば、上記コードホイールからなる移動体１４であっても、受光部１６によって生成される電気信号のＳ/Ｎ比および平均化効果を、従来の光電式エンコーダよりも向上することができる。したがって、上記第２実施の形態における光電式エンコーダを用いて変位検出装置を構成すれば、移動体の位置,移動速度および移動方向等の変位情報をより精度良く検出することができ、伝達特性の優れた信頼性の高い変位検出を行うことができるのである。
【００５０】
尚、上記各実施の形態においては、上記受光部１３,１６を構成するフォトダイオード１３Ａ〜１３Ｐ,１６Ａ〜１６Ｐの長さを「Ｌ」と「Ｌ'」との２段階に設定している。しかしながら、この発明は２段階に限定されるものではなく、３段階以上に設定しても差し支えない。
【００５１】
また、上記各実施の形態においては、配列ピッチ(１/４)Ｐで配列された４つのフォトダイオードを４組用いているが、上記組数は４組に限定されるものではなく、配列ピッチも(１/４)Ｐに限定されるものでない。要は、複数組を配列されたフォトダイオードにおいて、適宜、受光部１３,１６の端部に位置するフォトダイオード長を中央部に位置するフォトダイオード長より短くすることによって、上述した効果を奏することができるのである。
【００５２】
また、上記各実施の形態においては、説明を明確にするために、上記発光部と受光部１３,１６との間に移動体１１,１４が存在する透過型光電式エンコーダについて説明を行っている。しかしながら、この発明は、上記透過型光電式エンコーダに限定されるものではなく、発光部と受光部とが移動体に対して同じ側に配置された反射型光電式エンコーダにも適用されることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】この発明の光電式エンコーダにおけるフォトダイオードと移動体(リニアスケール)のスリットとの位置関係を示す図である。
【図２】図１とは異なる光電式エンコーダにおけるフォトダイオードと移動体(コードホイール)のスリットとの位置関係を示す図である。
【図３】図２におけるスリットを透過した光の位相とフォトダイオードの位相との不整合度の説明図である。
【図４】図２に示すフォトダイオードにおいてノイズ成分となる光が照射される領域を示す図である。
【図５】移動体がリニアスケールである従来の光電式エンコーダにおけるフォトダイオードと上記移動体のスリットとの位置関係を示す図である。
【図６】移動体がコードホイールである従来の光電式エンコーダにおけるフォトダイオードと上記移動体のスリットとの位置関係を示す図である。
【図７】図６におけるスリットを透過した光の位相とフォトダイオードの位相との不整合度の説明図である。
【図８】図６に示すフォトダイオードにおいてノイズ成分となる光が照射される領域を示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１,１４…移動体、
１２Ａ〜１２Ｆ,１５Ａ〜１５Ｆ…スリット、
１３,１６…受光部、
１３Ａ〜１３Ｐ,１６Ａ〜１６Ｐ…フォトダイオード、
１７…ノイズ成分となる光によって照射される領域。
【図１】
2008014806.tif 000003
【図２】
2008014806.tif 000004
【図３】
2008014806.tif 000005
【図４】
2008014806.tif 000006
【図５】
2008014806.tif 000007
【図６】
2008014806.tif 000008
【図７】
2008014806.tif 000009
【図８】
2008014806.tif 000010