(57)【要約】【課題】安価で組立て易く駆動停止時の液漏れを防止可能なマイクロポンプを提供する。【解決手段】マイクロポンプ１００は、振動板２１０と、吸入吐出側ケース２００と、吐出口３２０を有する吐出側弁座４００および吸入口３１０を有する吸入側弁座３３０と、吸入口３１０を閉塞または開放可能に配置されて振動板２１０と吸入側弁座３３０との間に挟まれた吸入側逆止弁５００と、吐出口３２０を閉塞または開放可能に配置されて吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４００との間に挟まれた吐出側逆止弁６００とを備え、吸入側弁座３３０の吸入側逆止弁５００側の面と吐出側弁座４００の吐出側逆止弁６００側の面は、それぞれ、吸入側逆止弁５００または吐出側逆止弁６００の中央部側で凹み、吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００が弾性変形することによって、吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００の周辺部に密着するように形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を形成する第一の壁部と、
前記流路に液体を吐出する吐出口、および、流路に液体を吸入する吸入口の少なくとも一方の出入口を有する第二の壁部と、
前記出入口を閉塞または開放可能に配置され、かつ、前記第一の壁部と前記第二の壁部との間に挟まれた弁体とを備え、
前記第二の壁部の前記弁体側の面は、前記弁体の中央部側で凹み、前記弁体が弾性変形することによって、前記弁体の周辺部に密着するように形成されている、マイクロポンプ。
【請求項２】
前記第一の壁部に対向する前記第二の壁部が凹面を形成している、請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項３】
前記第二の壁部の凹面は、球面状に形成されている、請求項２に記載のマイクロポンプ。
【請求項４】
前記第二の壁部の凹面は、すり鉢状に形成されている、請求項２に記載のマイクロポンプ。
【請求項５】
前記弁体は、前記第一の壁部に接触するための突起を有する、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項６】
前記弁体は、薄膜状である、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項７】
前記弁体は、前記第一の壁部および／または前記第二の壁部と前記弁体との位置関係を決めるための位置決め部を有する、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項８】
前記第一の壁部は、前記第一の壁部と前記弁体との位置関係を決めるための位置決め部を有する、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項９】
前記第二の壁部は、前記第二の壁部と前記弁体との位置関係を決めるための位置決め部を有する、請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項１０】
前記第一の壁部は、凸部を有し、前記弁体は、前記第一の壁部の前記凸部と前記第二の壁部との間に挟まれている、請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のマイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的にはマイクロポンプに関し、特定的には微小な流量を吐出するマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、冷却装置のような分野でマイクロポンプを使用する場合は、マイクロポンプは、ある程度の流量を確保するように設計される。マイクロポンプを駆動する振動板に用いられる圧電素子のサイズとしては、一般に、直径２０ｍｍ程度以上のものが多く用いられている。電源としては、多くの場合、商用交流電源が使用されている。このようなマイクロポンプの実際の商品の例では、マイクロポンプは、６０Ｈｚ駆動で、１分間あたり３６ｍＬ（ミリリットル）程度（交流電圧の一周期当たり１０μＬ（マイクロリットル）程度）の流量を持つことになる。このようなマイクロポンプは各分野で使用されているが、医療や芳香の分野等において微量な薬品を扱う場合には、管理すべき流量はさらに少なくなり、１μＬ単位の流量を制御することが要求される。そのため、マイクロポンプの停止時において、液漏れのないことが重要である。
【０００３】
図１７は、従来のマイクロポンプの一例として、マイクロポンプの全体の断面を示す図である。
【０００４】
図１７に示すように、従来のマイクロポンプ９００は、圧電素子９２３に交流電圧を印加することによって、圧電素子９２３に接着されてポンプ室９２０の底面を形成している振動板９２１を振動させ、ポンプ室９２０内の容積を変化させる。ポンプ室９２０は、ケース９３０の凹部内に形成され、吸入側逆止弁９４０を介して流体が吸入され、吐出側逆止弁９５０を介して流体が吐出される空間である。吸入側逆止弁９４０と、吐出側逆止弁９５０は、開いた傘のような形状である傘型弁である。吸入側逆止弁９４０の頭部９４１と吐出側逆止弁９５０の頭部９５１は扁平な形状であり、吸入側逆止弁９４０の脚部９４２と吐出側逆止弁９５０の脚部９５２は、球状に形成されて、ポンプ室９２０を構成するケース９３０から、それぞれの弁が抜け落ちないように支えている。吸入側逆止弁９４０の頭部９４１の頂部９４３と振動板９２１との間、吐出側逆止弁９５０の頭部９５１の頂部９５３と吐出管９１０を形成する壁面との間には、空間が設けられている。マイクロポンプ９００の液タンク９０１内に貯留されている液体９０２は、振動板９２１の振動によってポンプ室９２０の容積が増大して、吸入側逆止弁９４０と吸入口９３１との間に隙間ができると、吸入口９３１を通ってポンプ室９２０の内部に流入する。また、ポンプ室９２０内に流入した液体は、振動板９２１の振動によってポンプ室９２０の容積が減少して、吐出側逆止弁９５０と吐出口９３２との間に隙間ができると、吐出口９３２を通ってポンプ室９２０の内部から吐出管９１０に流出し、吐出端９１１を通って外部に放出される。
【０００５】
しかしながら、マイクロポンプ９００においては、傘型弁が穴を軽く塞いでいるのみであるため、圧電素子が振動を停止してポンプが駆動停止しているときに、吸入側から圧力が加われば、容易に液が出てしまう。
【０００６】
図１８は、特開２０００―２７４３７３号公報（特許文献１）に記載の小型ポンプの弁と、小型ポンプの全体の断面を示す図である。
【０００７】
図１８（Ａ）と（Ｂ）に示すように、特開２０００―２７４３７３号公報（特許文献１）に記載の小型ポンプ９０１に用いられる吐出側逆止弁９６０（図１８（Ｂ））と従来の逆止弁９５０（図１８（Ａ））は、どちらも開いた傘のような形状をしている傘型弁であるが、逆止弁９６０においては、傘部９６１の上面と軸部９６２とのなす角度αが、吸込側逆止弁９４０（図１８（Ｃ））において傘部９４１と軸部９４２とのなす角度よりも小さく、傘部９６１の厚みが傘部９４１の厚みよりも大きい。このようにすることによって、傘型弁の底面において、軸側よりも周辺部が下がった形状にして、この傘型弁の周辺部分を弁座部分に押し付けるように構成されている。このようにして、弁を開くのに力が必要なようにして漏れを防止している。小型ポンプ９０１のその他の構成は、マイクロポンプ９００と同様である。
【０００８】
図１９は、特開２０００−２７４３７４号公報（特許文献２）に記載の小型ポンプの断面を示す図である。
【０００９】
図１９に示すように、小型ポンプ９０２においては、吸入側逆止弁９４０と吐出側逆止弁９６０に加えて、吐出側逆止弁９６０よりも吐出端９１１側にさらに遮断弁９７０を備えることによって、漏れを防止している。小型ポンプ９０２のその他の構成は、マイクロポンプ９００と同様である。
【特許文献１】特開２０００―２７４３７３号公報
【特許文献２】特開２０００−２７４３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来のマイクロポンプ９００や、特開２０００―２７４３７３号公報（特許文献１）と特開２０００−２７４３７４号公報（特許文献２）の小型ポンプに用いられている傘型弁は、弁の頭部の反対側である脚部の先端を球状等にして穴にはめ込む形であるので、成型後、弁を金型から取り出すのが困難である。また、弁をポンプに取り付ける際に、丸い突起部を穴にはめ込むのに力が必要である。
【００１１】
また、特開２０００−２７４３７４号公報（特許文献２）に記載の小型ポンプでは、弁の数が増えることによって、構造が複雑化、大型化し、ポンプを組み立てにくくなったり、コストが上昇したりする等の課題がある。
【００１２】
そこで、この発明の目的は、安価で組み立てやすく、駆動停止時の液漏れを防止することが可能なマイクロポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明に従ったマイクロポンプは、流路を形成する第一の壁部と、流路に液体を吐出する吐出口、および、流路に液体を吸入する吸入口の少なくとも一方の出入口を有する第二の壁部と、出入口を閉塞または開放可能に配置され、かつ、第一の壁部と第二の壁部との間に挟まれた弁体とを備え、第二の壁部の弁体側の面は、弁体の中央部側で凹み、弁体が弾性変形することによって、弁体の周辺部に密着するように形成されている。
【００１４】
弁体が弾性変形することによって弁体の周辺部に第二の壁部の弁体側の面が密着するように、弁体を第一の壁部と第二の壁部とで挟んで配置することによって、弁体の遮蔽力を高くすることができる。
【００１５】
また、弁体を第一の壁部と第二の壁部とで挟んで配置することによって、弁体を保持するために従来設けられていた、弁体の先端の丸い突起が不要になり、例えば、先端の平らな弁や薄膜状の弁のような、作製しやすい弁体を用いることができる。
【００１６】
このようにすることにより、安価で組み立てやすく、駆動停止時の液漏れを防止することが可能なマイクロポンプを提供することができる。
【００１７】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、第一の壁部に対向する第二の壁部が凹面を形成していることが好ましい。
【００１８】
このようにすることにより、弁体の中央部側で凹んだ第二の壁部を作製しやすくなる。
【００１９】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、第二の壁部の凹面は、球面状に形成されていることが好ましい。
【００２０】
このようにすることにより、第二の壁部が弁体の周辺部に密着しやすくなる。
【００２１】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、第二の壁部の凹面は、すり鉢状に形成されていることが好ましい。
【００２２】
このようにすることにより、第二の壁部に凹面を形成することが非常に容易になる。
【００２３】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、弁体は、第一の壁部に接触するための突起を有することが好ましい。
【００２４】
このようにすることにより、弁体を第一の壁部と第二の壁部との間に容易に挟んで保持することができる。また、例えば第一の壁部が振動板である場合に、振動板の振動を妨げずに、弁体を弾性変形させることができる。
【００２５】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、弁体は、薄膜状であることが好ましい。
【００２６】
このようにすることにより、金型を必要とせずに弁体を作製することができる。
【００２７】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、弁体は、第一の壁部および／または第二の壁部と弁体との位置関係を決めるための位置決め部を有することが好ましい。
【００２８】
このようにすることにより、弁体の位置を容易に決めて固定することができる。
【００２９】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、第一の壁部は、第一の壁部と弁体との位置関係を決めるための位置決め部を有することが好ましい。
【００３０】
このようにすることにより、弁体の位置を容易に決めて固定することができる。
【００３１】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、第二の壁部は、第二の壁部と弁体との位置関係を決めるための位置決め部を有することが好ましい。
【００３２】
このようにすることにより、弁体の位置を容易に決めて固定することができる。
【００３３】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、第一の壁部は、凸部を有し、弁体は、第一の壁部の凸部と第二の壁部との間に挟まれていることが好ましい。
【００３４】
このようにすることにより、弁体に突起が形成されていない場合にも、弁体を第一の壁部と第二の壁部との間に容易に挟んで保持することができる。
【発明の効果】
【００３５】
以上のように、この発明によれば、安価で組み立てやすく、駆動停止時の液漏れを防止することが可能なマイクロポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３７】
（第１実施形態）
図１は、この発明の第１実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【００３８】
図１に示すように、マイクロポンプ１００は、液タンク１０１と、流路としてのポンプ室１１０と、外部からポンプ室１１０に液体を吸入するための吸入口３１０と、吸入口３１０において液体の流れを調節するための弁体として吸入側逆止弁５００と、ポンプ室１１０の内部からポンプ室１１０の外部の流路としての吐出管２０２に液体を吐出する吐出口３２０と、吐出口３２０において液体の流れを調節するための弁体として吐出側逆止弁６００と、第一の壁部として、ポンプ室１１０の容積を変化させるための振動板２１０とを備え、吸入側逆止弁５００は、頭部５０１に形成された突起として頂部５０３が振動板２１０に接触するようにポンプ室１１０に組み込まれている。
【００３９】
吸入側逆止弁５００を介して液体が吸入され、吐出側逆止弁６００を介して液体が吐出されるまでの空間がポンプ室１１０であり、吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００は、それぞれ、第二の壁部としてのハウジング３００に形成された吸入側弁座３３０と吐出側弁座４００に取り付けられている。ポンプ室１１０の底面は振動板２１０によって形成されている。振動板２１０の端部は、ハウジング３００と振動板側ケース２１２との間に挿入されて固定されている。振動板２１０の下面には、圧電素子２１１が接着されている。圧電素子２１１の下部には、空間が設けられ、圧電素子２１１は上下に振動することができる。ハウジング３００の上部には、吸入吐出側ケース２００が取り付けられており、吸入吐出側ケース２００の内部に吐出管２０２が形成されている。ハウジング３００と吸入吐出側ケース２００との間には８の字Ｏリング１０３が配置されて密閉され、ハウジング３００と振動板側ケース２１２との間にはＯリング１０４が配置されて密閉されている。
【００４０】
吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００は、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部と相対的に断面積が小さい脚部を有し、開いた傘のような形状をしている。
【００４１】
吸入側逆止弁５００は、扁平な頭部５０１を下に向け、位置決め部として棒状の脚部５０２を上に向けて、脚部５０２がハウジング３００に取り付けられていることによってポンプ室１１０に組み込まれている。脚部５０２は、先端がほぼ平らであり、ハウジング３００に形成された吸入側弁座３３０の位置決め部として凹部３３２に受容されて保持されている。吸入側逆止弁５００の頭部５０１の突起として頂部５０３は、頭部５０１から突出して形成された突起であり、振動板２１０に接している。
【００４２】
吐出側逆止弁６００は、扁平な頭部６０１を上に向け、位置決め部として棒状の脚部６０２を下に向けて、脚部６０２がハウジング３００に取り付けられていることによって、ポンプ室１１０に組み込まれている。脚部６０２は、先端がほぼ平らであり、ハウジング３００に形成された吐出側弁座４００の位置決め部として凹部４０２に受容されて保持されている。吐出側逆止弁６００の頭部６０１は、頂部６０３が、吐出管２０２の壁部を形成する第一の壁部としての吸入吐出側ケース２００の内壁に形成された凸部として突起２０１に接している。この実施の形態では、例えば、吸入側逆止弁５００の直径は５ｍｍ、圧電素子２１１の長さは１７ｍｍとする。
【００４３】
ポンプ室１１０の上部には、液タンク１０１が配置されており、液タンク１０１の内部には液体１０２が貯留されている。液タンク１０１の下部と吸入吐出側ケース２００の上部は開口部１０５によって連結されており、液体１０２は開口部１０５を通って吸入口３１０に入る。
【００４４】
圧電素子２１１に交流電圧を印加することによって、交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子２１１が振動する。この圧電素子２１１の振動と連動して、圧電素子２１１に接着されている振動板２１０が振動し、ポンプ室１１０の容積を変化させる。振動板２１０が上下どちらにも変位していないときには、吸入側逆止弁５００の頭部５０１が吸入口３１０を閉じ、吐出側逆止弁６００の頭部６０１が吐出口３２０を閉じている。
【００４５】
図２は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁（Ａ）と、突起（Ｂ）と、吐出側弁座の上面（Ｃ）を示す図である。
【００４６】
図２の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６００は、扁平な頭部６０１と棒状の脚部６０２を有し、頂部６０３を含む頭部６０１の上面は平らである。
【００４７】
図２の（Ｂ）に示すように、吐出管２０２（図１）の壁部を形成する吸入吐出側ケース２００（図１）の内壁に形成された突起２０１は、円柱状の部分と円錐台状の部分とを有し、円柱の下面と円錐台の上面を互いに接合した形状である。突起２０１の円錐台状の部分においては、円柱と接合している上面の径が相対的に大きく、下面の径が相対的に小さい。吐出側逆止弁６００がマイクロポンプに組み込まれると、突起２０１の下面が吐出側逆止弁６００の頂部６０３を押圧する。
【００４８】
図２の（Ｃ）に示すように、吐出側弁座４００には、吐出側逆止弁６００の脚部６０２を受容するための凹部４０２と、凹部４０２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。
【００４９】
図３は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図３の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図３の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【００５０】
図３の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６００は、扁平な頭部６０１と棒状の脚部６０２を有し、頂部６０３を含む頭部６０１の上面は平らである。吐出側弁座４００は、ハウジング３００内に形成されており、吐出側逆止弁６００の脚部６０２を受容するための凹部４０２を有する。吐出側弁座４００の上面には、吐出側逆止弁６００の頭部６０１の下面が接するための凹面４０１が形成されている。凹面４０１は、吐出側逆止弁６００の脚部６０２を受容するための凹部４０２側で凹んだすり鉢の内面のような傾斜に形成されている。
【００５１】
図３の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６００の脚部６０２が吐出側弁座４００の凹部４０２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６００が吐出側弁座４００に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６００の頂部６０３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６００を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６００の頭部６０１が弾性変形し、頭部６０１においては、吐出側弁座４００の上面に形成された凹面４０１に沿って、吐出管２０２の突起２０１側に凹面が形成され、吐出側弁座４００側に脚部６０２を中心にして凸面が形成されて、頭部６０１の周辺部は、吐出側弁座４００に密着する。
【００５２】
この実施形態のマイクロポンプ１００においては、吸入側弁座３３０も吐出側弁座４００と同様に、ハウジング３００内に形成されており、吸入側逆止弁５００の脚部５０２を受容するための凹部３３２を有する（図１）。吸入側弁座３３０の下面には、吸入側逆止弁５００の頭部５０１の上面が接するための凹面３３１が形成されている。凹面３３１は、吸入側逆止弁５００の脚部５０２を受容するための凹部３３２側で凹んだすり鉢の内面のような傾斜に形成されている。吸入側弁座３３０には、吸入側逆止弁５００の脚部５０２を受容するための凹部３３２を取り囲むようにして複数の吸入口３１０が形成されている。また、吸入側逆止弁５００は、扁平な頭部５０１と棒状の脚部５０２を有し、頭部５０１の上面の頂部５０３は突出した突起状に形成されている。吸入側逆止弁５００の脚部５０２が吸入側弁座３３０の凹部３３２に下方から挿入されて、吸入側逆止弁５００が吸入側弁座３３０に組み込まれる。また、振動板２１０が、吸入側逆止弁５００の頂部５０３を下方から押圧するようにして、吸入側逆止弁５００を固定している。このようにすることにより、吸入側逆止弁５００の頭部５０１が弾性変形し、頭部５０１においては、吸入側弁座３３０の下面に形成された凹面３３１に沿って、振動板２１０側に頂部５０３を中心にして凹面が形成され、吸入側弁座３３０側に脚部５０２を中心にして凸面が形成されて、頭部５０１の周辺部は、吸入側弁座３３０に密着する。
【００５３】
図４は、この発明の一つの実施の形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
【００５４】
まず、図４（Ａ）は、ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００５５】
図４（Ａ）に示すように、振動板２１０が下方向に変位すると、ポンプ室１１０の容積が大きくなる。ポンプ室１１０の容積が大きくなると、吸入側逆止弁５００の頭部５０１と吸入口３１０との間に隙間ができて、液タンク１０１に溜められている液体１０２（図１）がポンプ室１１０内に流入する。このとき、吐出側逆止弁６００の頭部６０１によって吐出口３２０はふさがれており、ポンプ室１１０内に流入した液体が吐出口３２０から流出することはない。
【００５６】
次に、図４（Ｂ）は、ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００５７】
図４（Ｂ）に示すように、振動板２１０が上方向に変位すると、ポンプ室１１０の容積が小さくなる。ポンプ室１１０の容積が小さくなると、吸入側逆止弁５００の頭部５０１と吸入口３１０との間の隙間がふさがれて、液タンク１０１からポンプ室１１０には液体が流入しない。一方、吐出側逆止弁６００と吐出口３２０との間に隙間ができて、ポンプ室１１０内の液体が吐出口３２０から吐出管２０２に流出し、吐出端２０３を通って外部に吐出される。
【００５８】
マイクロポンプ１００は、図１に示すように振動板２１０の変位がない状態と、図４（Ａ）に示すようにポンプ室１１０の容積を大きくする方向に振動板２１０が変位している状態と、図４（Ｂ）に示すようにポンプ室１１０の容積を小さくする方向に振動板２１０が変位している状態と、を繰り返すことによって、液タンク１０１内の液体１０２をポンプ室１１０内に吸入し、外部に吐出する。
【００５９】
このように、マイクロポンプ１００は、ポンプ室１１０を形成する振動板２１０と、吐出管２０２を形成する吸入吐出側ケース２００と、吐出管２０２に液体を吐出する吐出口３２０を有する吐出側弁座４００、および、ポンプ室１１０に液体を吸入する吸入口３１０を有する吸入側弁座３３０と、吸入口３１０を閉塞または開放可能に配置され、かつ、振動板２１０と吸入側弁座３３０との間に挟まれた吸入側逆止弁５００と、吐出口３２０を閉塞または開放可能に配置され、かつ、吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４００との間に挟まれた吐出側逆止弁６００とを備え、吐出側弁座４００の吐出側逆止弁６００側の面は、吐出側逆止弁６００の中央部側で凹み、吐出側逆止弁６００が弾性変形することによって、吐出側逆止弁６００の周辺部に密着するように形成されている。吸入側弁座３３０の吸入側逆止弁５００側の面は、吸入側逆止弁５００の中央部側で凹み、吸入側逆止弁５００が弾性変形することによって、吸入側逆止弁５００の周辺部に密着するように形成されている。
【００６０】
吐出側逆止弁６００が弾性変形することによって吐出側逆止弁６００の周辺部に吐出側弁座４００の吐出側逆止弁６００側の面が密着するように、吐出側逆止弁６００を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４００とで挟んで配置することによって、吐出側逆止弁６００の遮蔽力を高くすることができる。また、吸入側逆止弁５００が弾性変形することによって吸入側逆止弁５００の周辺部に吸入側弁座３３０の吸入側逆止弁５００側の面が密着するように、吸入側逆止弁５００を振動板２１０と吸入側弁座３３０とで挟んで配置することによって、吸入側逆止弁５００の遮蔽力を高くすることができる。
【００６１】
また、吸入側逆止弁５００を振動板２１０と吸入側弁座３３０とで挟んで配置し、吐出側逆止弁６００を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４００とで挟んで配置することによって、吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００を保持するために従来設けられていた、弁の先端の丸い突起（図１７の吸入側逆止弁９４０の脚部９４２と吐出側逆止弁９５０の脚部９５２の先端の丸い突起）が不要になり、例えば、先端の平らな弁や薄膜状の弁のような、製作しやすい吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００を用いることができる。
【００６２】
このようにすることにより、安価で組み立てやすく、駆動停止時の液漏れを防止することが可能なマイクロポンプ１００を提供することができる。
【００６３】
また、マイクロポンプ１００においては、振動板２１０に対向する吸入側弁座３３０の下面が凹面３３１を形成し、吸入吐出側ケース２００に対向する吐出側弁座４００の上面が凹面４０１を形成している。
【００６４】
このようにすることにより、吸入側逆止弁５００の中央部側で凹んだ吸入側弁座３３０と、吐出側逆止弁６００の中央部側で凹んだ吐出側弁座４００を作製しやすくなる。
【００６５】
また、吸入側弁座の凹面３３１と吐出側弁座の凹面４０１は、すり鉢状に形成されている。
【００６６】
このようにすることにより、吸入側弁座３３０と吐出側弁座４００に、それぞれ凹面３３１と凹面４０１を形成することが非常に容易になる。なお、上記の実施の形態では吸入側弁座の凹面３３１と吐出側弁座の凹面４０１の両方がすり鉢状に形成されているが、吸入側弁座の凹面３３１と吐出側弁座の凹面４０１のいずれか一方のみがすり鉢状に形成されていてもよい。
【００６７】
また、マイクロポンプ１００においては、吸入側逆止弁５００は、振動板２１０に接触するための頂部５０３を有する。
【００６８】
このようにすることにより、振動板２１０の振動を妨げることなく、吸入側逆止弁５００を弾性変形させることができる。
【００６９】
また、マイクロポンプ１００においては、吸入側逆止弁５００は、吸入側弁座３３０と吸入側逆止弁５００との位置関係を決めるための脚部５０２を有し、吸入側弁座３３０は、吸入側弁座３３０と吸入側逆止弁５００との位置関係を決めるための凹部３３２を有し、吐出側逆止弁６００は、吐出側弁座４００と吐出側逆止弁６００との位置関係を決めるための脚部６０２を有し、吐出側弁座４００は、吐出側弁座４００と吐出側逆止弁６００との位置関係を決めるための凹部４０２を有する。
【００７０】
このようにすることにより、吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００の位置を容易に決めて固定することができる。
【００７１】
また、マイクロポンプ１００においては、吸入吐出側ケース２００は、突起２０１を有し、吐出側逆止弁６００は、吸入吐出側ケース２００の突起２０１と吐出側弁座４００との間に挟まれている。
【００７２】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６００の頂部６０３に突起が形成されていない場合にも、吐出側逆止弁６００を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４００との間に容易に挟んで保持することができる。
【００７３】
なお、遮蔽力の高い吸入側逆止弁５００をマイクロポンプ１００に用いる場合、マイクロポンプ１００の駆動時に生じるポンプ室１１０の内部と外部との圧力差を大きくする必要がある。そこで、吸入側逆止弁５００を振動板２１０と吸入側弁座３３０で挟んで配置することによって、ポンプ室１１０の容積を小さくして、マイクロポンプ１００の駆動時に生じるポンプ室１１０の内部と外部との圧力差を大きくすることができる。従って、遮蔽力の高い吸入側逆止弁５００でも吸入口３１０を開放することができるので、遮蔽力の高い吸入側逆止弁５００をマイクロポンプ１００に備えることができる。
【００７４】
（第２実施形態）
図５は、この発明の第２実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図５の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図５の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【００７５】
図５の（Ａ）に示すように、第２実施形態の吐出側逆止弁６１０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００と同様に、扁平な頭部６１１と棒状の脚部６１２を有し、頂部６１３を含む頭部６１１の上面は平らである。吐出側弁座４１０は、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２を受容するための凹部４１２を有する。吐出側弁座４１０の上面には、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１の下面が接するための凹面４１１が形成されている。凹面４１１は、球の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４１０には、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２を受容するための凹部４１２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。
【００７６】
図５の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２が吐出側弁座４１０の凹部４１２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６１０が吐出側弁座４１０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６１０の頂部６１３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６１０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１が弾性変形し、頭部６１１においては吐出側弁座４１０の上面に形成された凹面４１１に沿って、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４１０側に脚部６１２を中心にして凸面が形成されて、頭部６１１の周辺部が吐出側弁座４１０に密着する。
【００７７】
このように、マイクロポンプ１００においては、吸入吐出側ケース２００に対向する吐出側弁座４１０が球面状の凹面４１１を形成している。このようにすることにより、吐出側弁座４１０が吐出側逆止弁６１０の周辺部に密着しやすくなる。
【００７８】
吐出側逆止弁６１０は、図５の（Ｂ）に示すように、頭部６１１の下面が吐出側弁座４１０の凹面４１１に接するように、突起２０１に押圧されてもよい。また、吐出側逆止弁６１０の押さえ量を少なくして、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１の下面の周辺部は吐出側弁座４１０に密着するが、頭部６１１の下面の全体が吐出側弁座４１０の凹面４１１に接しないように押圧されてもよい。
【００７９】
図６は、この発明の第２実施形態として、吐出側逆止弁の押さえ量が少ないときのマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図６の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図６の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【００８０】
図６の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６１０と吐出側弁座４１０は、それぞれ、図５の（Ａ）に示す吐出側逆止弁６１０と吐出側弁座４１０と同様の形状である。
【００８１】
図６の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２が吐出側弁座４１０の凹部４１２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６１０が吐出側弁座４１０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６１０の頂部６１３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６１０を固定している。突起２０１は、吐出側逆止弁６１０を押圧しているが、吐出側逆止弁６１０の下面において吐出側逆止弁６１０の中央部側は吐出側弁座４１０の凹面４１１には接していない。このようにすることにより、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１が弾性変形し、頭部６１１においては、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４１０側に脚部６１２を中心にして凸面が形成され、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１の下面の周辺部は、吐出側弁座４１０の凹面４１１に密着している。
【００８２】
このように、吐出側逆止弁６１０は、頭部６１１の周辺部が吐出側弁座４１０と密着していれば、中央部側の脚部６１２に近い部分では頭部６１１の下面が吐出側弁座４１０に接していなくてもよい。
【００８３】
第２実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【００８４】
（第３実施形態）
図７は、この発明の第３実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図７の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図７の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【００８５】
図７の（Ａ）に示すように、第３実施形態の吐出側逆止弁６１０は、扁平な頭部６１１と棒状の脚部６１２を有し、頭部６１１の上面は平らで、頭部６１１の中央部には、吸入吐出側ケース２００の内壁に接触するための突起として突出した頂部６１３ａを有する。
【００８６】
図７の（Ｂ）に示すように、第３実施形態の吐出側弁座４１０は、ハウジング内に形成されており、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２を受容するための凹部４１２を有する。吐出側弁座４１０の上面には、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１の下面が接するための凹面４１１が形成されている。凹面４１１は、第２実施形態の吐出側弁座４１０と同様に、球面状に形成されている。吐出側弁座４１０には、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２を受容するための凹部４１２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６１０の頂部６１３ａを上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６１０を固定している。突起２０１は、吐出側逆止弁６１０を押圧しているが、吐出側逆止弁６１０の下面において吐出側逆止弁６１０の中央部側は吐出側弁座４１０の凹面４１１には接していない。このようにすることにより、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１が弾性変形し、頭部６１１においては、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４１０側に脚部６１２を中心にして凸面が形成され、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１の下面の周辺部は、吐出側弁座４１０の凹面４１１に密着している。
【００８７】
このように、吐出側逆止弁６１０は、頭部６１１の周辺部が吐出側弁座４１０と密着していれば、中央部側の脚部６１２に近い部分では頭部６１１の下面が吐出側弁座４１０に接していなくてもよい。
【００８８】
また、このように、第３実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６１０は、吐出管２０２の突起２０１に接触するための頂部６１３ａを有する。
【００８９】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６１０を突起２０１と吐出側弁座４１０との間に容易に挟んで保持することができる。
【００９０】
第３実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【００９１】
（第４実施形態）
図８は、この発明の第４実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図８の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図８の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【００９２】
図８の（Ａ）に示すように、第４実施形態の吐出側逆止弁６２０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００と同様に、扁平な頭部６２１と棒状の脚部６２２を有し、頂部６２３を含む頭部６２１の上面は平らである。吐出側弁座４２０は、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２を受容するための凹部４２２を有し、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２を受容するための凹部４２２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。また、吐出側弁座４２０には、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２を受容するための凹部４２２を中心として、吐出口３２０の内側と外側との間に段差ｈが形成されて、吐出側弁座４２０が吐出側逆止弁６２０の中央部側で凹んでいる。
【００９３】
図８の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２が吐出側弁座４２０の凹部４２２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６２０が吐出側弁座４２０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６２０の頂部６２３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６２０を固定している。吐出側逆止弁６２０の頭部６２１は、吐出側弁座４２０の上面に形成された段差ｈによって、頭部６２１の周辺部が中央部よりも高くなる。このようにすることにより、吐出側逆止弁６２０の頭部６２１が弾性変形し、頭部６２１においては、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４２０側に脚部６２２を中心にして凸面が形成されて、頭部６２１の周辺部が吐出側弁座４２０に密着する。
【００９４】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６２０が弾性変形することによって吐出側逆止弁６２０の周辺部に吐出側弁座４２０の吐出側逆止弁６２０側の面が密着するように、吐出側逆止弁６２０を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４２０とで挟んで配置することによって、吐出側逆止弁６２０の遮蔽力を高くすることができる。
【００９５】
また、吐出側逆止弁６２０を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４２０とで挟んで配置することによって、吐出側逆止弁６２０を保持するために従来設けられていた、弁の先端の丸い突起（図１７の吐出側逆止弁９５０の脚部９５２の先端の丸い突起）が不要になり、例えば、先端の平らな弁や薄膜状の弁のような、製作しやすい吐出側逆止弁６２０を用いることができる。
【００９６】
このようにすることにより、安価で組み立てやすく、駆動停止時の液漏れを防止することが可能なマイクロポンプ１００を提供することができる。
【００９７】
第４実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【００９８】
（第５実施形態）
図９は、この発明の第５実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図９の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図９の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【００９９】
図９の（Ａ）に示すように、第５実施形態の吐出側逆止弁６３０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００と同様に、扁平な頭部６３１と棒状の脚部６３２を有し、頂部６３３を含む頭部６３１の上面は平らである。吐出側弁座４３０は、吐出側逆止弁６３０の脚部６３２を受容するための凹部４３２を有し、吐出側逆止弁６３０の脚部６３２を受容するための凹部４３２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出側弁座４３０の上面には、吐出側逆止弁６３０の頭部６３１の周辺部の下面が接するための突起４３１が形成されている。言い換えれば、吐出側弁座４３０の上面は、突起４３１に対して吐出側逆止弁６３０の中央部側で凹んでいる。
【０１００】
図９の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６３０の脚部６３２が吐出側弁座４３０の凹部４３２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６３０が吐出側弁座４３０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６３０の頂部６３３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６３０を固定している。吐出側逆止弁６３０の頭部６３１は、吐出側弁座４３０の上面に形成された突起４３１によって、頭部６３１の周辺部が中央部よりも高くなる。このようにすることにより、吐出側逆止弁６３０の頭部６３１が弾性変形し、頭部６３１においては、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４３０側に脚部６３２を中心にして凸面が形成されて、頭部６３１の周辺部が吐出側弁座４３０に密着する。
【０１０１】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６３０が弾性変形することによって吐出側逆止弁６３０の周辺部に吐出側弁座４３０の吐出側逆止弁６３０側の面が密着するように、吐出側逆止弁６３０を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４３０とで挟んで配置することによって、吐出側逆止弁６３０の遮蔽力を高くすることができる。
【０１０２】
また、吐出側逆止弁６３０を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４３０とで挟んで配置することによって、吐出側逆止弁６３０を保持するために従来設けられていた、弁の先端の丸い突起（図１７の吐出側逆止弁９５０の脚部９５２の先端の丸い突起）が不要になり、例えば、先端の平らな弁や薄膜状の弁のような、製作しやすい吐出側逆止弁６３０を用いることができる。
【０１０３】
このようにすることにより、安価で組み立てやすく、駆動停止時の液漏れを防止することが可能なマイクロポンプ１００を提供することができる。
【０１０４】
第５実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１０５】
（第６実施形態）
図１０は、この発明の第６実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図１０の（Ａ）は、吐出側逆止弁の全体を示し、図１０の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【０１０６】
図１０の（Ａ）に示すように、第６実施形態の吐出側逆止弁６４０は、扁平な頭部６４１と棒状の脚部６４２を有し、頭部６４１の上面は平らで、頭部６４１の中央部には、吸入吐出側ケース２００の内壁に接触するための突起として突出した頂部６４３を有する。
【０１０７】
図１０の（Ｂ）に示すように、第６実施形態の吐出側弁座４４０は、ハウジング内に形成されており、吐出側逆止弁６４０の脚部６４２を受容するための凹部４４２を有する。吐出側弁座４４０の上面には、吐出側逆止弁６４０の頭部６４１の下面が接するための凹面４４１が形成されている。凹面４４１は、第１実施形態の吐出側弁座４００と同様に、すり鉢の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４４０には、吐出側逆止弁６４０の脚部６４２を受容するための凹部４４２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６４０の頂部６４３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６４０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６４０の頭部６４１が弾性変形し、頭部６４１においては、吐出側弁座４４０の上面に形成された凹面４４１に沿って、吐出管２０２の内壁側に頂部６４３を中心とした凹面が形成され、吐出側弁座４４０側に脚部６４２を中心とした凸面が形成されて、頭部６４１の周辺部が吐出側弁座４４０に密着する。
【０１０８】
このように、第６実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６４０は、吐出管２０２の突起２０１に接触するための頂部６４３を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６４０を吐出管２０２の内壁と吐出側弁座４４０との間に容易に挟んで保持することができる。
【０１０９】
第６実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１１０】
（第７実施形態）
図１１は、この発明の第７実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図１１の（Ａ）は、吐出側逆止弁の全体を示し、図１１の（Ｂ）は、吐出側逆止弁がハウジングに組み込まれた状態を示す。
【０１１１】
図１１の（Ａ）に示すように、第７実施形態の吐出側逆止弁６５０は、扁平な本体部６５１を有し、本体部６５１の上面は平らで、本体部６５１の中央部には突出した突起として頂部６５３を有する。吐出側逆止弁６５０は、脚部を有しない。
【０１１２】
図１１の（Ｂ）に示すように、第７実施形態の吐出側弁座４５０は、ハウジング内に形成されている。吐出側弁座４５０の上面には、吐出側逆止弁６５０の本体部６５１の下面が接するための凹面４５１が形成されている。凹面４５１は、第１実施形態の吐出側弁座４００の凹面４０１と同様に、すり鉢の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４５０には、吐出側逆止弁６５０の中央部が接する部分を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６５０の頂部６５３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６５０を固定している。突起２０１の下端には、位置決め部として凹部２０５が形成されている。吐出側逆止弁６５０の頂部６５３は凹部２０５に嵌合して、吐出側逆止弁６５０と吸入吐出側ケース２００との位置関係が決められる。このようにすることにより、吐出側逆止弁６５０の本体部６５１が弾性変形し、本体部６５１においては、吐出側弁座４５０の上面に形成された凹面４５１に沿って、吐出管２０２の内壁側に頂部６５３を中心として凹面が形成され、吐出側弁座４５０側に凸面が形成されて、本体部６５１の周辺部が吐出側弁座４５０に密着する。
【０１１３】
このように、第７実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６５０は、吐出管２０２の突起２０１に接触するための頂部６５３を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６５０を吐出管２０２の内壁と吐出側弁座４５０との間に容易に挟んで保持することができる。
【０１１４】
また、第７実施形態のマイクロポンプにおいては、吸入吐出側ケース２００は、吸入吐出側ケース２００と吐出側逆止弁６５０との位置関係を決めるための凹部２０５を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６５０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１１５】
第７実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１１６】
（第８実施形態）
図１２は、この発明の第８実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図１２の（Ａ）は、吐出側逆止弁の全体を示し、図１２の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてハウジングに組み込まれた状態を示す。
【０１１７】
図１２の（Ａ）に示すように、第８実施形態の吐出側逆止弁６６０は、扁平な頭部６６１と棒状の脚部６６２を有し、頭部６６１の上面は、中央部から周辺部に向かって降下する斜面を形成し、頭部６６１の中央部には突出した突起として頂部６６３を有する。このように、周辺部が薄い弁を用いることによって、遮蔽力を小さくすることができる。
【０１１８】
図１２の（Ｂ）に示すように、第８実施形態の吐出側弁座４６０は、ハウジング内に形成されており、吐出側逆止弁６６０の脚部６６２を受容するための凹部４６２を有する。吐出側弁座４６０の上面には、吐出側逆止弁６６０の頭部６６１の下面が接するための凹面４６１が形成されている。凹面４６１は、第１実施形態の吐出側弁座４００と同様に、すり鉢の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４６０には、吐出側逆止弁６６０の脚部６６２を受容するための凹部４６２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６６０の頂部６６３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６６０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６６０の頭部６６１が弾性変形し、頭部６６１においては、吐出側弁座４６０の上面に形成された凹面４６１に沿って、吐出管２０２の内壁側に頂部６６３を中心にして凹面が形成され、吐出側弁座４６０側に脚部６６２を中心にして凸面が形成され、頭部６６１の周辺部が吐出側弁座４６０に密着する。
【０１１９】
このように、第８実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６６０は、吐出管２０２の突起２０１に接触するための頂部６６３を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６６０を吐出管２０２の内壁と吐出側弁座４６０との間に容易に挟んで保持することができる。
【０１２０】
第８実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１２１】
（第９実施形態）
図１３は、この発明の第９実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図１３の（Ａ）は、吐出側逆止弁の全体を示し、図１３の（Ｂ）は、吐出側逆止弁がハウジングに組み込まれた状態を示す。
【０１２２】
図１３の（Ａ）に示すように、第９実施形態の吐出側逆止弁６７０は、扁平な本体部６７１を有し、本体部６７１は平らな薄膜状としてゴムシートで形成されており、本体部６７１の中央部の下面には、位置決め部として凹部６７４を有する。
【０１２３】
図１３の（Ｂ）に示すように、第９実施形態の吐出側弁座４７０は、ハウジング内に形成されており、吐出側逆止弁６７０の凹部６７４に嵌合するための位置決め部として凸部４７２を有する。吐出側弁座４７０の上面には、吐出側逆止弁６７０の本体部６７１の下面が接するための凹面４７１が凸部４７２を中心にして形成されている。凹面４７１は、第１実施形態の吐出側弁座４００と同様に、すり鉢の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４７０には、吐出側逆止弁６７０の中央部が接する部分を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６７０の凹部６７４を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６７０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６７０の本体部６７１が弾性変形し、本体部６７１においては、吐出側弁座４７０の上面に形成された凹面４７１に沿って、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４７０側に凹部６７４を中心にして凸面が形成され、本体部６７１の周辺部が吐出側弁座４７０に密着する。
【０１２４】
このように、第９実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６７０は、薄膜状である。このようにすることにより、金型を必要とせずに吐出側逆止弁６７０を作製することができる。
【０１２５】
また、第９実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６７０は、吐出側弁座４７０と吐出側逆止弁６７０との位置関係を決めるための凹部６７４を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６７０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１２６】
また、第９実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４７０は、吐出側弁座４７０と吐出側逆止弁６７０との位置関係を決めるための凸部４７２を有する。
【０１２７】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６７０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１２８】
第９実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１２９】
（第１０実施形態）
図１４は、この発明の第１０実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図１４の（Ａ）は、吐出側逆止弁の全体を示し、図１４の（Ｂ）は、吐出側逆止弁がハウジングに組み込まれた状態を示す。
【０１３０】
図１４の（Ａ）に示すように、第１０実施形態の吐出側逆止弁６８０は、扁平な本体部６８１を有し、本体部６８１は平らな薄膜状としてゴムシートで形成されており、本体部６８１の中央部には、位置決め部として穴６８４を有する。
【０１３１】
図１４の（Ｂ）に示すように、第１０実施形態の吐出側弁座４８０は、ハウジング内に形成されており、吐出側弁座４８０の上面には、吐出側逆止弁６８０の本体部６８１の下面が接するための凹面４８１が形成されている。凹面４８１は、第１実施形態の吐出側弁座４００と同様に、すり鉢の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４８０には、吐出側逆止弁６８０の中央部が接する部分を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１は、吐出側逆止弁６８０の穴６８４に嵌合するための位置決め部として凸部２０４を有する。突起２０１は、吐出側逆止弁６８０を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６８０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６８０の本体部６８１が弾性変形し、本体部６８１においては、吐出側弁座４８０の上面に形成された凹面４８１に沿って、吐出管２０２の内壁側に穴６８４を中心にして凹面が形成され、吐出側弁座４８０側に穴６８４を中心にして凸面が形成されて、本体部６８１の周辺部が吐出側弁座４８０に密着する。
【０１３２】
このように、第１０実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６８０は、薄膜状である。このようにすることにより、金型を必要とせずに吐出側逆止弁６８０を作製することができる。
【０１３３】
また、第１０実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６８０は、吐出側弁座４８０と吐出側逆止弁６８０との位置関係を決めるための穴６８４を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６８０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１３４】
また、第１０実施形態のマイクロポンプにおいては、吸入吐出側ケース２００は、吸入吐出側ケース２００と吐出側逆止弁６８０との位置関係を決めるための凸部２０４を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６８０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１３５】
第１０実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１３６】
（第１１実施形態）
図１５は、この発明の第１１実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と、吐出側弁座と、吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図１５の（Ａ）は、吐出側逆止弁の全体を示し、図１５の（Ｂ）は、吐出側弁座の全体を示し、図１５の（Ｃ）は、吐出側逆止弁がハウジングに組み込まれた状態を示す。
【０１３７】
図１５の（Ａ）に示すように、第１１実施形態の吐出側逆止弁６９０は、平らな薄膜状としてゴムシートで形成されており、吐出側逆止弁６９０上には、突起や凹部、穴などが形成されていない。
【０１３８】
図１５の（Ｂ）に示すように、第１１実施形態の吐出側弁座４９０の上面には、吐出側逆止弁６９０の下面が接するための凹面４９１が形成されている。凹面４９１は、第１実施形態の吐出側弁座４００と同様に、すり鉢の内面のような傾斜に形成されている。凹面４９１の中央部には、吐出側逆止弁６９０の位置決め手段として凸部４９４が形成されている。
【０１３９】
図１５の（Ｃ）に示すように、第１１実施形態の吐出側弁座４９０は、ハウジング内に形成されており、吐出側弁座４９０には、吐出側逆止弁６９０の中央部を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出管２０２の内壁に形成された突起２０１は、吐出側逆止弁６９０の位置を決めるための位置決め部として凸部２０４を下端に有する。突起２０１が、吐出側逆止弁６９０の頂部６９３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６９０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６９０が弾性変形し、吐出側弁座４９０の上面に形成された凹面４９１に沿って、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４９０側に凸面が形成されて、吐出側逆止弁６９０の周辺部が吐出側弁座４９０に密着する。
【０１４０】
このように、第１１実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側逆止弁６９０は、薄膜状である。このようにすることにより、金型を必要とせずに吐出側逆止弁６９０を作製することができる。
【０１４１】
また、第１１実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４９０は、吐出側弁座４９０と吐出側逆止弁６９０との位置関係を決めるための凸部４９４を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６９０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１４２】
また、第１１実施形態のマイクロポンプにおいては、吸入吐出側ケース２００は、吸入吐出側ケース２００と吐出側逆止弁６９０との位置関係を決めるための凸部２０４を有する。このようにすることにより、吐出側逆止弁６９０の位置を容易に決めて固定することができる。
【０１４３】
第１１実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１４４】
（第１２実施形態）
図１６は、この発明の第１２実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁（Ａ）と、突起（Ｂ）と、吐出側弁座（Ｃ）と、吐出側逆止弁の周辺の断面（Ｄ）を示す図である。
【０１４５】
図１６の（Ａ）に示すように、第１２実施形態の吐出側逆止弁８１０は、薄膜状として長方形のシートで形成されている。
【０１４６】
図１６の（Ｂ）に示すように、第１２実施形態マイクロポンプは、吐出管の内壁に形成されて吐出側逆止弁８１０を押圧するための突起８０２を二つ有する。二つの突起８０２は、どちらも直方体の形状をしている。直方体状の突起８０２の下面が吐出側逆止弁８１０の上面を上から押圧する。
【０１４７】
図１６の（Ｃ）と（Ｄ）に示すように、第１２実施形態の吐出側弁座８２０は、ハウジング内に形成されている。吐出側弁座８２０の上面には、吐出側逆止弁８１０の下面が接するための凹面８２２が形成されている。吐出側弁座８２０には、吐出側逆止弁８１０が載せられたときに吐出側逆止弁８１０の中央部の下に当たる部分に、一つの吐出口８２１が形成されている。吸入吐出側ケース８０１内の吐出管の内壁に形成された突起８０２が、吐出側逆止弁８１０の中央部より端部側を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁８１０を固定する。このようにすることにより、吐出側逆止弁８１０が弾性変形し、吐出側弁座８２０の上面に形成された凹面８２２に沿って、吐出管の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座８２０側に凸面が形成されて、吐出側逆止弁８１０の周辺部が吐出側弁座８２０に密着する。
【０１４８】
第１２実施形態のマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態のマイクロポンプ１００と同様である。
【０１４９】
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明の第一の実施の形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【図２】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁（Ａ）と、突起（Ｂ）と、吐出側弁座の上面（Ｃ）を示す図である。
【図３】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図４】ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図（Ａ）と、ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図（Ｂ）である。
【図５】この発明の第２実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図６】この発明の第２実施形態として、吐出側逆止弁の押さえ量が少ないときのマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図７】この発明の第３実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図８】この発明の第４実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図９】この発明の第５実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１０】この発明の第６実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１１】この発明の第７実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１２】この発明の第８実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１３】この発明の第９実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１４】この発明の第１０実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１５】この発明の第１１実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と、吐出側弁座と、吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１６】この発明の第１２実施形態として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁（Ａ）と、突起（Ｂ）と、吐出側弁座（Ｃ）と、吐出側逆止弁の周辺の断面（Ｄ）を示す図である。
【図１７】従来のマイクロポンプの一例として、マイクロポンプの全体の断面を示す図である。
【図１８】従来の小型ポンプの弁と、小型ポンプの全体の断面を示す図である。
【図１９】従来の小型ポンプの全体の断面を示す図である。
【符号の説明】
【０１５１】
１００，８００：マイクロポンプ、１１０：ポンプ室、２００，８０１：吸入吐出側ケース、２０１：突起、２０２：吐出管、２０４，４９４：凸部、２０５：凹部、２１０：振動板、３００：ハウジング、３１０：吸入口、３２０：吐出口、３３０：吸入側弁座、３３１：凹面、４００，４１０，４２０，４３０，４４０，４５０，４６０，４７０，４８０，４９０，８２０：吐出側弁座、４０１，４１１，４４１，４５１，４６１，４７１，４８１，４９１，８２２：凹面、５００：吸入側逆止弁、６００，６１０，６２０，６３０，６４０，６５０，６６０，６７０，６８０，６９０，８１０：吐出側逆止弁、３３３，６１３ａ，６４３，６５３，６６３：頂部、６７４：凹部、６８４：穴。
【図１】
2008180171.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2008180171.tif 000007
【図６】
2008180171.tif 000008
【図７】
2008180171.tif 000009
【図８】
2008180171.tif 000010
【図９】
2008180171.tif 000011
【図１０】
2008180171.tif 000012
【図１１】
2008180171.tif 000013
【図１２】
2008180171.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
2008180171.tif 000016
【図１５】
2008180171.tif 000017
【図１６】
2008180171.tif 000018
【図１７】
2008180171.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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