(57)【要約】【課題】柔軟シート状部材を真空吸着して所定位置に保持する場合には、真空吸着により上記柔軟シート状部材に吸着痕が生じ、吸着力が高すぎると柔軟シート状部材に部分的な凹みや損傷をもたらせていた。本発明は、上記柔軟シート状部材を真空吸着する場合に、柔軟シート状部材に吸着痕や損傷をもたらすことを防止することを目的とする。【解決手段】真空吸着装置１の基台２は、柔軟シート状部材であるフレキシブル回路基板２０を載置する載置面４と、載置面４に露出して形成されフレキシブル回路基板２０を載置面４に真空吸引する吸引孔６と、吸引孔６に連通する連通路７と、連通路７内の気体を吸引するように外部の真空ポンプに接続する真空ポンプ接続口８とを備え、外部気体を取り入れるとともに連通路７に連通する外部気体取入口１１を有する。【選択図】図３
2008229767.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
柔軟シート状部材の真空吸着装置であって、
前記真空吸着装置が構成される基台を備え、
前記基台は、
前記柔軟シート状部材を所定位置に載置する載置面と、
前記載置面に露出して形成され、前記柔軟シート状部材を前記載置面に真空吸引する吸引孔と、
前記基台内に形成されて前記吸引孔に連通する連通路と、
前記連通路内の気体を吸引するように外部の真空ポンプに接続する真空ポンプ接続部と、
外部気体を取り入れるとともに、前記連通路に連通する外部気体取入部を有することを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記外部気体取入部は、前記吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側で前記基台の外部に連通した位置に配置されていることを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項３】
請求項１から請求項２のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記吸引孔は複数形成されており、前記連通路は前記吸引孔の全てに連通しており、前記外部気体取入部は、前記全ての吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側で前記基台の外部に連通した位置に配置されていることを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記外部気体取入部の流路断面面積は、前記真空ポンプ接続部の流路断面面積より小さいことを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記外部気体取入部による外部気体取入量を調整できる外部気体取入量調整手段を有することを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項６】
請求項５に記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記外部気体取入量調整手段は、前記外部気体取入部の流路断面面積を調整する弁であることを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項７】
請求項５に記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記外部気体取入量調整手段は、複数の外部気体取入部と前記複数の外部気体取入部と前記連通路とを連通する複数の流路が構成されており、前記複数の外部気体取入部または流路のいずれかを選択して外部気体取入れ量を調整する流路選択手段であることを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、
前記柔軟シート状部材は、フレキシブル回路基板であることを特徴とする柔軟シート状部材の真空吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、柔軟シート状部材の真空吸着装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に部品の加工や組立ての際に、当該部品を真空吸着手段にて吸着することは多く用いられている。
例えば、特許文献１では、液晶パネル、バックライトなどを用いて液晶モジュールの組立作業を行うにあたり、液晶パネルを所定位置に搬送するため真空吸着手段を用いて液晶パネルを吸着することが記載されている。この場合、液晶パネルが大型化し重量が増大すると液晶パネルには吸着痕が生じる問題点が存在することが指摘されている。このため、特許文献１では、真空吸着手段を用いることなく液晶パネルの隅部に設けられた切欠に液晶パネル保持手段の係合爪を挿入して液晶パネルを搬送するようにしている。
一方、フレキシブル回路基板等の柔軟シート状部材に電子部品を実装したり組立用搬送のために、上記柔軟シート状部材を所定位置に保持する真空吸着装置が多く用いられている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１０９９１号公報（〔０００７〕参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１は、真空吸着手段を用いることを放棄したので、真空吸着の際の上記吸着痕を防止する解決手段は何ら開示されていない。
他方、上記柔軟シート状部材を所定位置に保持するために上記柔軟シート状部材を真空吸着する場合には、上記柔軟シート状部材に吸着痕が生じ外観を悪化させてしまう危険性を有するとともに、吸着対象が柔軟シート状部材であるために吸着力が高すぎると柔軟シート状部材に部分的な凹みや損傷をもたらせてしまう。
【０００５】
本発明は、柔軟シート状部材を上記所定位置に保持するために上記柔軟シート状部材を真空吸着する場合に、柔軟シート状部材に吸着痕や損傷をもたらすことを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明実施態様１の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、柔軟シート状部材の真空吸着装置であって、前記真空吸着装置が構成される基台を備え、前記基台は、前記柔軟シート状部材を所定位置に載置する載置面と、前記載置面に露出して形成され、前記柔軟シート状部材を前記載置面に真空吸引する吸引孔と、前記基台内に形成されて前記吸引孔に連通する連通路と、前記連通路内の気体を吸引するように外部の真空ポンプに接続する真空ポンプ接続部と、外部気体を取り入れるとともに、前記連通路に連通する外部気体取入部を有することを特徴とする。
【０００７】
上記本発明実施態様１の構成によれば、真空吸着装置が構成される基台には、外部に連通し外部気体を取り入れる外部気体取入部を備えたので、載置面に載置され真空吸着する対象物が柔軟なシート状部材であっても、吸引孔により吸引する吸引力が緩和されることになり、柔軟シート状部材に吸着痕また損傷をもたらすことを防止することができる。
一般的に、製造または組立工場においては、種々の製品の製造や組立てを行うことが多く、真空吸着により種々の製品を所定位置に保持し、または次工程位置に搬送するものである。上記工場においては、種々の製品ごとに真空吸着を行うための専用真空ポンプを備えることは設備上負担がかかり、好ましくはない。そこで、当該工場では共用の真空ポンプを用いて種々の製品の真空吸着を行うことが多い。このため、種々の製品の真空吸着を可能とするためには、共用真空ポンプの吸着力を強くするように設定されている。したがって、上記柔軟シート状部材を真空吸着するに当っては、吸着力が強すぎてしまう傾向がある。
本発明は、上記柔軟シート状部材に対する強すぎる吸着力を緩和するために、外部気体を取り入れる外部気体取入部を設けるようにしたものである。
したがって、真空ポンプによる吸着力が強すぎる場合でも、前記外部気体取入部から外気が入り込むので、前記吸引孔により上記柔軟シート状部材を真空吸着する吸着力を緩和することが可能になる。
なお、上記気体および外気は、一般的には空気であるが、他の気体であってもよい。
【０００８】
本発明実施態様２の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様１に記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記外部気体取入部は、前記吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側で前記基台の外部に連通した位置に配置されていることを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、外部気体取入部の設置場所が、前記吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側とし、前記基台の外部に連通する場所としたので、前記吸引孔により上記柔軟シート状部材を真空吸着する吸着力が確実に緩和されるようになるものである。
【００１０】
本発明実施態様３の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様１から実施態様２のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記吸引孔は複数形成されており、前記連通路は前記吸引孔の全てに連通しており、前記外部気体取入部は、前記全ての吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側で前記基台の外部に連通した位置に配置されていることを特徴とする。
【００１１】
上記構成によれば、外部気体取入部の形成場所が、前記複数個の吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側であって前記基台の外部に連通する場所としたので、各々の吸引孔により上記柔軟シート状部材を真空吸着する吸着力が確実に緩和されるようになるものである。
なお、上記外部気体取入部は、上記実施態様２および実施態様３に限定されるものではない。すなわち、上記外部気体取入部は、前記一つのあるいは全ての吸引孔を間にして前記真空ポンプ接続部とは反対側位置となる気体流の上流側で前記基台の外部に連通した位置に配置されていることが必須ではなく、前記真空ポンプ接続部と前記一つのあるいは全てのまたは幾つかの吸引孔との間に配置されて前記基台の外部に連通するようにしてもよいものである。
【００１２】
本発明実施態様４の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様１から実施態様３のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記外部気体取入部の流路断面面積は、前記真空ポンプ接続部の流路断面面積より小さいことを特徴とする。
【００１３】
上記構成によれば、前記外部気体取入部の流路断面面積が、前記真空ポンプ接続部の流路断面面積より小さいことにより、真空ポンプの吸着力が吸引孔にも及ぶことになり、吸引孔で柔軟シート状部材を確実に吸着することが可能になる。
逆に前記外部気体取入部の流路断面面積が、前記真空ポンプ接続部の流路断面面積より大きい場合には、前記真空ポンプ接続部からの気体の吸引は、前記外部気体取入部からの外気を吸引するだけに使用されることになり、吸引孔で柔軟シート状部材を適度に吸着することができなくなる。
【００１４】
本発明実施態様５の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様１から実施態様４のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記外部気体取入部による外部気体取入量を調整できる外部気体取入量調整手段を有することを特徴とする。
【００１５】
上記構成によれば、外部気体取入量調整手段により前記外部気体取入部による外部気体取入量を調整できるので、前記真空ポンプ接続部の大きさや前記真空ポンプの吸引力が、当該柔軟シート状部材にとってふさわしくない場合でも、当該柔軟シート状部材にとって最適な吸引力とするように調整することができる。
【００１６】
本発明実施態様６の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様５に記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記外部気体取入量調整手段は、前記外部気体取入部の流路断面面積を調整する弁であることを特徴とする。
【００１７】
上記構成によれば、前記外部気体取入量調整手段は、前記外部気体取入部の流路断面面積を調整する弁を用いるようにしたので、前記外部気体取入量調整を容易に構成でき、また確実に調整できるものである。
【００１８】
本発明実施態様７の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様５に記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記外部気体取入量調整手段は、複数の外部気体取入部と前記複数の外部気体取入部と前記連通路とを連通する複数の流路が構成されており、前記複数の外部気体取入部または流路のいずれかを選択して外部気体取入れ量を調整する流路選択手段であることを特徴とする。
【００１９】
上記構成によれば、前記外部気体取入量調整手段は、前記外部気体取入部が複数と当該外部気体取入部と前記連通路とを連通する流路が複数個構成されており、前記複数個の組み合わせにおいて外部気体取入部または前記流路のうちどれかを選択して外部気体取入れ量を調整する流路選択手段を設け、前記流路を選択できるようにしたので、その流路の経路や位置を前記吸引孔および前記真空ポンプ接続部との関係から最適な流路を選択でき、柔軟シート状部材の真空吸着力を微妙に調整できるものである。
【００２０】
本発明実施態様８の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、実施態様１から実施態様７のうちいずれかに記載された柔軟シート状部材の真空吸着装置において、前記柔軟シート状部材は、フレキシブル回路基板であることを特徴とする。
【００２１】
上記構成によれば、フレキシブル回路基板に電子素子を実装する場合、あるいは次工程に搬送する場合等において、フレキシブル回路基板に損傷や変形を与えることなく上記実装作業や搬送作業が可能となるものである。
なお、柔軟シート状部材は、上記フレキシブル回路基板に限定されるものではなく、どのような柔軟性を有するシート状部材であってもよく、たとえばフレキシブル基板上に光電変換半導体を載置した太陽電池であってもよい。上記シート状部材は、薄板状のプラスチックやゴムあるいは紙質のものでもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
〔第１実施形態〕
図１は本発明の第１実施形態における真空吸着装置の平面図、図２は図１の正面図、図３は図１のＡ―Ａに示された位置、すなわち流路の中心線に沿った位置での主要部断面図である。
図１〜図３において、１は真空吸着装置を示しており、フレキシブル回路基板２０を吸着保持するものである。
【００２４】
真空吸着装置１において、２は、基台でありエンジニアリングプラスチックや黄銅、ステンレススチールなどの金属から構成されている。
３は、基台２の上面である。
４は、被吸着部品のフレキシブル回路基板２０を載置する載置面であり、フレキシブル回路基板２０が吸引された際に断面方向において位置決めする面である。
５は、上面３に構成された被吸着部品のフレキシブル回路基板２０を平面方向において案内する案内凹溝であり、フレキシブル回路基板２０の外形形状と同様の内形形状であって若干フレキシブル回路基板２０より大きく形成された溝状に形成されている。したがって、フレキシブル回路基板２０の平面位置を位置決めすることができる。
【００２５】
６は吸引孔であり、前記案内凹溝４の上面に露出して内方（図３における縦方向）に向けて形成されており、後述するようにフレキシブル回路基板２０を真空吸引するために用いられる。なお、吸引孔６は、図1においては３箇所（３個）に形成したが、その箇所数（数）は適宜選択すればよく、２箇所でも４箇所でもよく、あるいは１箇所でもよい。図１のように複数個所に設けると、フレキシブル回路基板２０がフレキシブルな薄板のため、載置面４上にフィットして載置されるものであり、好ましい。
７は、基台２の内方に設けられ、図３における横方向に形成され各々の吸引孔６に連通している連通路である。
【００２６】
８は、基台２の正面側側面９に形成された真空ポンプ接続部としての真空ポンプ接続口である。
この真空ポンプ接続口８は、真空吸着装置１の外部に配置された真空ポンプ（図示は省略）に連通している真空ポンプ接続チューブ１０が装着する部分である。前記真空ポンプ接続口８は、前記連通路７内の気体である空気を前記真空ポンプにより前記真空ポンプ接続チューブ１０を介して吸引するものである。
１１は、基台２の正面側側面９に形成された外部気体である外部空気を取り入れる外部気体取入部としての外部気体取入口である。
上記外部気体取入口１１は、前記連通路７に連通している。したがって、上記外部気体取入口１１から取り入れられた外部空気は、前記連通路７にも流れ込むことになる。
【００２７】
上記外部気体取入口１１は、前記吸引孔６を間にして前記真空ポンプ接続口８とは反対側位置に形成されており、その形成場所は取り入れられる外気空気における気体流の上流側に位置しているものである。図１のように上記吸引孔６が複数個形成されている場合は、上記外部気体取入口１１は全ての吸引孔６を間にして前記真空ポンプ接続口８とは反対側位置に配置されており、気体の流れからして好ましい。すなわち、前記真空ポンプ接続口８から真空ポンプにより真空吸着装置１内、すなわち基台２内の空気が吸引される際に、前記真空ポンプ接続口８からの吸引力が大きく前記各吸引孔６に作用する吸引力も大きくなる場合にも、前記吸引孔６よりも上記上流側の上記外部気体取入口１１から外気が導入されるので、その導入された外気が全ての吸引孔６の箇所を通過することから、全ての吸引孔６による吸引力を緩和することができる。よって、各吸引孔６における吸引力の緩和により、フレキシブル回路基板２０は吸引痕や部分的な凹みなどの損傷が生じることがなく、良好な状態で保持されるものである。
【００２８】
なお、吸引孔６が上記の様に１箇所形成されている場合、上記外部気体取入口１１の配置場所は、前記吸引孔６を間にして前記真空ポンプ接続口８とは反対側位置である上記気体流の上流側とする。
また、上記外部気体取入口１１は、前記一つのあるいは全ての吸引孔６を間にして前記真空ポンプ接続口８とは反対側位置となる気体流の上流側で前記基台２の外部に連通した位置に配置されていることが必須ではなく、前記真空ポンプ接続口８と前記一つのあるいは全てのまたは幾つかの吸引孔６との間に配置されて前記基台２の外部に連通するようにしてもよいものである。
【００２９】
ここで、前記外部気体取入部である外部気体取入口１１の流路１２、すなわち図１では外部気体取入口１１の内径の断面積は、前記真空ポンプ接続部である真空ポンプ接続チューブ１０の流路１３、すなわち図１では真空ポンプ接続チューブ１０の内径の断面面積より小さく形成されている。
したがって、前述の真空ポンプにより真空吸着装置１内、すなわち基台２内の空気を吸引する場合、外部気体取入口１１の流路１２から導入される外気の空気の導入流量は、真空ポンプ接続チューブ１０から真空引きされる空気の吸引流量より少なくなる。よって前記真空ポンプ接続チューブ１０から真空引きされる際に、前記全ての吸引孔６に吸引力が作用することになって、前記フレキシブル回路基板２０が前記載置面４に吸引保持されることになる。この際、前述したように外部気体取入口１１の流路１２から外気が導入されるようにしているので、吸引孔６による吸引力が強すぎることなく適宜緩和されるものである。
【００３０】
上記フレキシブル回路基板２０は、ポリイミド樹脂の薄板を基板とし、その表面にラミネートされた銅箔がエッチングされて所望の配線パターンが形成されているもので、上記基板の上に半導体素子やその他の回路部品が電気的導通状態のもとに実装されるものである。
【００３１】
以上のように構成された真空吸着装置１に、被吸着物であるフレキシブル回路基板２０が吸着される一例を説明する。
まず、真空吸着装置１は、稼動状態の外部真空ポンプに前記真空ポンプ接続チューブ１０が接続した状態となっており、真空ポンプにより、上記基台２内の流路内の空気は、真空ポンプ側に吸引された状態となっている。
この状態において、上記基台２の載置面４に上記配線パターンが形成されたフレキシブル回路基板２０が載置される。このフレキシブル回路基板２０は、上記載置面４が構成される案内凹溝５の中に挿入されるので平面位置が所定位置に定まった状態で、フレキシブル回路基板２０は前記吸引孔６により上記載置面４に吸引保持されることになる。この際、前記外部気体取入口１１が形成されていることにより、前記吸引孔６による吸引力が緩和され、フレキシブル回路基板２０は前記吸引孔６での吸引痕や損傷をこうむることがない。
【００３２】
しかる後、フレキシブル回路基板２０の所定導電パターン上に導電異方性接着材が塗布され、この導電異方性接着材の塗布箇所に例えば半導体素子の電極が当接し、加熱硬化させて上記導電パターンと電極とを導通接合させるものである。この導通接合の最中、フレキシブル回路基板２０は上記基台２の所定位置である載置面４上に保持され続けるものである。この後、真空吸着装置１における外部真空ポンプとの導通が解除されると、上記フレキシブル回路基板２０は搬送ロボットアームによりチャックされて、電子機器への組立て位置まで搬送されるものである。
【００３３】
〔第２実施形態〕
図４は、本発明の第２実施形態を示す真空吸着装置１０１の主要部断面図である。基本的には、図３とほぼ同様である。
この第２実施形態が第１実施形態と異なる内容は、被吸着部品が、電子腕時計のフレキシブルな太陽電池シート１１４であること、被吸着部品の平面方向の案内構造が溝ではなく基台２の上面３に植設した複数の案内ピン１１５であることである。その他は、第１実施形態と同様である。
【００３４】
上記太陽電池シート１１４は、フレキシブル樹脂シートに光発電半導体層を構成し、所定位置に電極パターンを被覆したものである。
この太陽電池シート１１４の複数個の案内孔を、前記案内ピン１１５に挿入すると、前述のように太陽電池シート１１４が吸着孔６を介して上記上面３に真空吸着され、平面方向位置と断面方向位置とが定まることになる。
しかるのち、上記太陽電池シート１１４の所定箇所に接着材を塗り、この接着材の上から、上記太陽電池シート１１４を補強しつつ時計モジュールに組み込むための薄板保持板１１６を覆う。この際、薄板保持板１１６も、複数個の案内孔が上記案内ピン１１５により平面位置が位置決められる。この後、加圧加熱により接着材を硬化させて、前記薄板保持板１１６を上記太陽電池シート１１４に固定するものである。こののち前述と同様に、真空吸着装置１は外部真空ポンプとの導通から解除されてから、上記太陽電池シート１１４および薄板保持板１１６は搬送ロボットアームにチャックされて、電子機器への組立て位置まで搬送されるものである。
【００３５】
したがって、上記太陽電池シート１１４は、真空吸着装置１の所定位置に吸引保持されて、前記薄板保持板１６が接合されるものであるが、その吸引保持において、上記太陽電池シート１１４は、前記外部気体取入口１１により吸着痕や損傷がなく、良好な吸着状態で上記保持されることができるものである。
【００３６】
〔第３実施形態〕
図５は、本発明の第３実施形態を示す真空吸着装置２０１の平面図で、図１に相当する平面図である。
この第３実施形態が第１実施形態と異なる内容は、前記外部気体取入口１２による外部気体取入量を調整できる外部気体取入量調整手段としての外部気体取入量調整弁を設けたことである。上記外部気体取入量調整弁は、具体的には、外部気体取入量調整ネジ２１７で、基台２の側壁に外部からねじ込まれてその先端が外部気体取入口１２に露出している。この外部気体取入量調整ネジ２１７のネジ込み量を加減することにより、前記外部気体取入口１２による外部気体取入量を調整する。その他は、第１実施形態と同様である。
【００３７】
なお、上記外部気体取入量調整弁および部気体取入量調整手段は、上記のようなネジに限定されるものではなく、調整バルブなど他の構造であってもよい。
〔変形例〕
上記外部気体取入量調整手段は、第３実施形態では外部気体取入量調整ネジ２１７を用いていたものであった。
変形例では、図示してはいないが、外部気体取入量調整手段として、前記外部気体取入部が複数と当該外部気体取入部と前記連通路とを連通する流路を前記外部気体取入部に対応させて複数個構成するとともに、前記外部気体取入部または前記流路のうちどれかを選択して外部気体取入れ量を調整する流路選択手段を設けるようにしたものである。
複数個の前記外部気体取入部を基台２の側壁に設け、各々の外部気体取入部と前記連通路とを連通する複数の流路を前記基台２内に形成する。
【００３８】
上記流路選択手段のうち前記外部気体取入部を選択する場合は、全ての外部気体取入部に開閉バルブを設置し、選択したい外部気体取入部の開閉バルブを開とし、非選択の外部気体取入部の開閉バルブを閉に操作すればよい。また上記流路選択手段のうち前記流路を選択する場合は、全ての流路の途中に開閉バルブを設置し、選択したい流路の開閉バルブを開とし、非選択の流路の開閉バルブを閉に操作すればよい。
なお、上記流路選択手段は上記手段に限定されるものではなく、前記外部気体取入部が複数と当該外部気体取入部と前記連通路とを連通する流路が対応して複数個構成されており、前記外部気体取入部または前記流路のうちどれかを選択して外部気体取入れ量を調整する流路選択手段であれば、どのような構造、手段であってもよい。
【００３９】
〔第４実施形態〕
図６は、本発明の第４実施形態を示す真空吸着装置３０１の主要部断面図である。基本的には、図３とほぼ同様である。
この第４実施形態が第１実施形態と異なる内容は、被吸着部品が、機能性柔軟製品（ＨＤＤに用いられるフィルター３０２）であること、被吸着部品の平面方向の案内構造として、上記フィルター３０２の下側に突出する突出部であるバイナリフィルター３０４の外周部３０４ａが上記案内凹溝５の内周壁５ａにより平面方向に位置決めされること、上記バイナリフィルター３０４の下面３０４ｂが上記案内凹溝５の上面５ｂに対し隙間を有するように構成されていること、上記フィルター３０２の上側にトップカバー３０５が配置され、上記トップカバー３０５が基台２の上面３に植設した複数の案内ピン３１５により平面方向に案内されることである。その他は、第１実施形態と同様である。
【００４０】
上記フィルター３０２を詳述すると、３０３はポリエチレンフィルムから構成されたフィルター基板であり、ＨＤＤ内に収納されるのにふさわしく所定外形形状に形成されている。
上記バイナリフィルター３０４は、上記フィルター基板３０３の下面に接合されており、上記フィルター基板３０３より小さな外形状に形成されている。このバイナリフィルター３０４は、内部にカーボンポリマーを含んでおり、コンタミネーション（汚染）を除去することができるものである。
上記トップカバー３０５は、その内面に上記フィルター基板３０３が接合固定されるようになるものである。
【００４１】
上記フィルター３０２が真空吸着装置３０１に保持される状況を説明する。
まず、フィルター基板３０３にバイナリフィルター３０４が接合された上記フィルター３０２が実施形態１のように真空引きされている状態の真空吸着装置３０１上にセットされる。そのセットは、上記フィルター３０２の下側に突出しているバイナリフィルター３０４が基台２の上面に構成された上記案内凹溝５に挿入される。この挿入時に、既に吸着が始まっているが、バイナリフィルター３０４が上記案内凹溝５と平面位置が正しく合っていない場合は、その正しく合っていない部分には断面方向に隙間が生じ、この隙間より空気が侵入されるため、ほとんど吸着力がフィルター基板３０３に加わることがなく、したがって特にバイナリフィルター３０４の下面を傷付ける事がない。これに対して、上記平面位置が正しく合った場合には、上記フィルター３０２に吸着力が働くようになり、バイナリフィルター３０４の平面方向が所定位置に位置決めされることになる。したがって上記フィルター３０２が真空吸着装置３０１に対して平面方向の所定位置に位置決めがなされることになる。
【００４２】
この場合、上記バイナリフィルター３０４は柔軟であるが、このバイナリフィルター３０４の下面３０４ｂが上記案内凹溝５の上面５ｂに対し隙間を有するように構成されているので、吸引孔６により真空吸引されてもバイナリフィルター３０４の下面３０４ｂが上記案内凹溝５の上面５ｂに当ることが無く、また前述のように外部気体取入口１１が設けられていることにより外部気体取入口の流路１２から外気が入り込むようになるので、真空ポンプ接続口の流路１３から真空吸着装置１内、すなわち基台２内の空気を吸引する場合、吸引孔６による吸引力が強すぎることなく適宜緩和されるものである。したがって、上記バイナリフィルター３０４が柔軟であるにもかかわらず、吸引孔６による吸引力によっても損傷や吸引痕が発生することが無く、良好な吸引力により上記フィルター３０２が真空吸着装置３０１の所定位置に保持されるものである。
【００４３】
上記のように上記フィルター３０２が真空吸着装置３０１の所定位置に保持されると、上方向からトップカバー３０５がセットされる。すなわち、上記フィルター３０２は、真空吸着装置３０１の上面側に固定された案内ピン３１５、３１５に対応して形成された案内孔に上記案内ピン３１５、３１５が挿入される。この案内ピン３１５、３１５の平面方向の位置は、上記案内凹溝５、特に内周壁５ａに対して平面方向の位置が定まるように取り付けられているので、トップカバー３０５は上記フィルター３０２に対し平面方向において所定位置に位置決めされることになる。なお、上記トップカバー３０５は、ＨＤＤの上部のフタに用いられる。
このように上記フィルター３０２が真空吸着装置３０１の所定位置に挿入されると、上記トップカバー３０５の内面または上記フィルター３０２の上面に塗布された接着材により両者が接合されるように加工されるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の柔軟シート状部材の真空吸着装置は、前述したようにフレキシブル回路基板やフレキシブル太陽電池などのフレキシブル部材を用いて、当該柔軟シート状部材を真空吸着する装置に適用される。
本発明の真空吸着装置により上記柔軟シート状部材を真空吸着するのは、たとえば、上記柔軟シート状部材を所定位置に位置決めして当該柔軟シート状部材に他部材を取り付けしあるいは当該柔軟シート状部材に表面処理や外形形状加工などの種々の加工を施す場合に適用され、あるいは上記柔軟シート状部材を組立てや加工装置の所定場所に搬送するために用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１実施形態における真空吸着装置の平面図。
【図２】図１の正面図。
【図３】図１のＡ―Ａ位置での主要部断面図。
【図４】本発明の第２実施形態を示す真空吸着装置の主要部断面図。
【図５】本発明の第３実施形態を示す真空吸着装置の平面図。
【図６】本発明の第４実施形態を示す真空吸着装置の平面図。
【符号の説明】
【００４６】
１、１０１、２０１、３０１：真空吸着装置、２：基台、３：上面、４：載置面、５：案内凹溝、５ａ：内周壁、５ｂ：上面、６：吸引孔、７：連通路、８：真空ポンプ接続口、９：正面側側面、１０：真空ポンプ接続チューブ、１１：外部気体取入口、１２：外部気体取入口の流路、１３：真空ポンプ接続口の流路、２０：フレキシブル回路基板、１１４：太陽電池シート、１１５、３１５：案内ピン、１１６：薄板保持板、２１７：外部気体取入量調整ネジ、３０２：フィルター、３０３：フィルター基板、３０４：バイナリフィルター、３０４ａ：外周部、３０４ｂ：下面、３０５：トップカバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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