(57)【要約】【課題】本願発明の目的は、ディフューザ壁の円滑な移動を可能にするとともに装置の小型化を図ることにある。【解決手段】遠心圧縮機の運転中、可動ディフューザ壁１７は図１の初期設定位置に配置され、通常の流体圧縮作用が行われる。遠心圧縮機の低流量時には、アクチュエータ２８が作動し、可動ディフューザ壁１７は図５の角度θだけ時計方向に回動される。これに伴い可動カム２５の接触位置が変わり、可動ディフューザ壁１７は内周側に設けた環状の可撓性部材１８の撓みによって固定ディフューザ壁１１側へ平行移動する。可撓性部材１８はシール機能を果たすため、可動ディフューザ壁１７の移動方向に沿う摺動面にシールを設ける必要がなく、小さな駆動力で円滑かつ迅速に移動される。可動ディフューザ壁１７の移動はディフューザ１０の通路をインペラ４から供給される流量に見合うように制御し、低流量時でもディフューザ効果を十分に得ることができる。【選択図】図１
2008095678.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングに支持された回転軸にインペラが固定され、前記インペラの周囲にディフューザが配置され、前記ディフューザを挟んで配設された一対のディフューザ壁の少なくとも一方を他方のディフューザ壁に接近離間できる可動ディフューザ壁として前記回転軸の長手方向に移動可能に構成した遠心圧縮機において、
前記可動ディフューザ壁はその内周側に配設された前記回転軸の長手方向に移動不能な支持体に環状の可撓性部材を介して取り付けられたことを特徴とする遠心圧縮機。
【請求項２】
前記可撓性部材はダイヤフラムで構成したことを特徴とする請求項１に記載の遠心圧縮機。
【請求項３】
前記支持体はシール機能付軸受を介して前記ケーシングに回転可能に取り付けられた支持板で構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の遠心圧縮機。
【請求項４】
前記可動ディフューザ壁を前記回転軸の長手方向に移動する構成は、前記可動ディフューザ壁の背面に設けた複数の斜面形の可動カムと、前記ケーシングに前記可動カムと接触するように設けた複数の斜面形の固定カムと、前記可動ディフューザ壁を回転方向に駆動するアクチュエータとからなることを特徴とする請求項３に記載の遠心圧縮機。
【請求項５】
前記支持体は前記ケーシングの一部で構成されたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の遠心圧縮機。
【請求項６】
前記可動ディフューザ壁を前記回転軸の長手方向に移動する構成は、前記可動ディフューザ壁の背面に設けた複数の斜面形の被動カムと、前記ケーシングに回転可能に設けた回転板と、前記回転板に設けた前記被動カムに接触する複数の斜面形の駆動カムと、前記回転板を回転方向に駆動するアクチュエータとからなることを特徴とする請求項１、請求項２及び請求項５のいずれか１項に記載の遠心圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、インペラの外周に配置されたディフューザを形成するディフューザ壁を移動可能に構成した遠心圧縮機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
遠心圧縮機においては、低流量から高流量に至る広い範囲にわたってディフューザ効果が充分得られるように、流量に応じてディフューザ壁を移動し、ディフューザの通路幅を適切な状態に制御する技術が公知である。
【０００３】
例えば、特許文献１には以下の構成を有する遠心圧縮機が開示されている。即ち、平行壁ディフューザ３４の一方の壁部３４ａを有するディフューザリング３７は第２段インペラ１７ｂの周囲に同心円をなすように配置され、ケーシング２５にシール（図面に記載されているが符号は記載されていない）を介して支持されている。ディフューザリング３７は周方向に回動可能かつ第２段インペラ１７ｂの軸方向に移動可能であり、その外周面には第２段インペラ１７ｂの軸方向に対して斜めに溝３７ａが形成されている。ディフューザリング３７の溝３７ａにはケーシング２５に設けた突起部４０がはめ込まれる。一方、駆動部３９によって長さ方向に駆動される軸体３８がディフューザリング３７に軸支されている。従って、駆動部３９によって軸体３８が長さ方向に駆動されると、ディフューザリング３７は斜めの溝３７ａが突起部４０に嵌合しているため、ケーシング２５の支持面上を周方向に回動しながら第２段インペラ１７ｂの軸方向に摺動し、平行壁ディフューザ３４の通路幅を縮小する。
【０００４】
特許文献２では次の構成を有する遠心圧縮機が開示されている。即ち、ディフューザ部２６を画成する一対の壁部２７、２８のうち、一方の壁部２７の支持面２７ａに移動壁部２９が３個のボール３１を介して支持されている。移動壁部２９は電気的に作動するアクチュエータ３３によってロッド３３ａを介してインペラ２１の軸方向に移動可能である。また、壁部２７の対向面２７ｂと移動壁部２９の背面２９ａの間に弾性体からなるシール部材３２が介在され、インペラ２１により加速された空気がスクロール部３０にショートパスしないようにしている。なお、シール部材３２は移動壁部２９の移動方向に伸縮自在である。従って、前記のように移動壁部２９と支持面２７ａとの間にボール３１を介装するとともにシール部材３２を支持面２７ａ以外に設けることにより、移動壁部２９の移動時の摩擦を解消し、移動を円滑化することができると説明している。
【特許文献１】特開２００２−４８０９８号
【特許文献２】特開平４−４７１９９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１で代表されるように、ディフューザリング３７がケーシング２５の支持面上を摺動する構成では、第２段インペラ１７ｂで加速された空気がディフューザリング３７の摺動部から漏洩しないように、その摺動面に必ずシールを設ける必要がある。このため、大きな摺動抵抗が生じてディフューザリング３７の円滑な移動ができないという問題がある。このような問題を解消するためには、ディフューザリング３７の駆動力を増大する必要があるが、それにより駆動機構が大型化せざるを得ないという新たな問題が生じる。
【０００６】
特許文献２に開示された発明は、摺動抵抗を無くすために、ディフューザ部２６を画成する一対の壁部２７、２８の間に移動壁部２９を配置し、シール部材３２は移動壁部２９の摺動部に設けずに壁部２７と移動壁部２９との間の間隙に設けた構成を採用している。しかし、この間隙は遠心圧縮機が大型化しないように極めて狭く構成せざるを得ない。このため、シール部材３２を壁部２７と移動壁部２９の双方に取り付ける方法は接着手段に頼るしかないが、狭い間隙での接着作業は容易ではなく、シール部材３２の組み付け作業が極めて困難であるという問題があり、実用化が難しい。また、間隙をシール部材３２の組み付け作業が容易となるように大きくすると、装置自体が大型化してしまう。
【０００７】
本願発明の目的は、ディフューザ壁の円滑な移動を可能にするとともに装置の小型化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の本願発明は、ケーシングに支持された回転軸にインペラが固定され、前記インペラの周囲にディフューザが配置され、前記ディフューザを挟んで配設された一対のディフューザ壁の少なくとも一方を他方のディフューザ壁に接近離間できる可動ディフューザ壁として前記回転軸の長手方向に移動可能に構成した遠心圧縮機において、
前記可動ディフューザ壁はその内周側に配設された前記回転軸の長手方向に移動不能な支持体に環状の可撓性部材を介して取り付けられたことを特徴とする。
【０００９】
請求項１記載の本願発明によれば、可動ディフューザ壁の内周側に設けられた環状の可撓性部材がシール機能を果たすため、可動ディフューザの移動方向に沿う摺動面にシールを設ける必要がなくなり、小さな駆動力でも前記可動ディフューザ壁の迅速な移動が可能である。また、必要な駆動力が小さくなることで駆動部が小型化でき、前記ディフューザ周りの構成が簡略化され、遠心圧縮機の大型化を抑制することができる。さらに、支持体と可動ディフューザ壁との間に介在される環状の可撓性部材は従来技術のシール部材のような組付けの困難性を生じず、インペラ背面の隙間を大きくする必要がなくなるので、遠心圧縮機の大型化を抑制することができる。
【００１０】
請求項２に記載の本願発明は、前記可撓性部材をダイヤフラムで構成したことを特徴とするため、前記一方のディフューザ壁を前記支持体に連結する構成を簡単なものにすることができる。
【００１１】
請求項３に記載の本願発明は、前記支持体はシール機能付軸受を介して前記ケーシングに回転可能に取り付けられた支持板で構成したことを特徴とするため、前記可動ディフューザ壁の前記回転軸の長手方向への移動は前記可動ディフューザ壁自体の回転を利用して構成することが可能となり、駆動部の構成を簡単なものにすることができる。
【００１２】
請求項４に記載の本願発明は、前記可動ディフューザ壁を前記回転軸の長手方向に移動する構成は、前記可動ディフューザ壁の背面に設けた複数の斜面形の可動カムと、前記ケーシングに前記可動カムと接触するように設けた複数の斜面形の固定カムと、前記可動ディフューザ壁を回転方向に駆動するアクチュエータとからなることを特徴とするため、斜面を有する可動カムと固定カムの組み合わせにより前記ディフューザ壁を移動することができ、駆動部の構成を簡単なものにすることができる。
【００１３】
請求項５に記載の本願発明は、前記支持体は前記ケーシングの一部で構成されたことを特徴とするため、前記支持体を回転可能に設けた支持板で構成する場合に比して部品点数を削減することができる。
【００１４】
請求項６に記載の本願発明は、前記可動ディフューザ壁を前記回転軸の長手方向に移動する構成は、前記可動ディフューザ壁の背面に設けた複数の斜面形の被動カムと、前記ケーシングに回転可能に設けた回転板と、前記回転板に設けた前記被動カムに接触する複数の斜面形の駆動カムと、前記回転板を回転方向に駆動するアクチュエータとからなることを特徴とするため、前記可動ディフューザ壁を前記回転軸の長手方向にのみ移動する構成とすることができ、前記可動ディフューザ壁に回転機能を持たせる必要がないため、前記インペラによる流体供給量の変化に対する前記可動ディフューザ壁の移動の追従性を向上させる。また、前記可動ディフューザ壁を移動するための構成を全てケーシング側に設けるため、全体の設計及び組み付けが容易になる。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明は、簡単な構成によりディフューザ壁の移動を円滑にすることができ、ディフューザの通路幅の制御を確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態を図１〜図６に基づいて説明する。
本願発明の遠心圧縮機のケーシングは、第１の実施形態では第１ケーシング１と第２ケーシング２を接合することによって構成されている。第１ケーシング１の半径方向に延びるケーシング壁３には、インペラ４を固定した回転軸５がシール機能付軸受６を介して回転可能に支持される。
【００１７】
第２ケーシング２はインペラ４を収容する漏斗状の空間７の前方（図１の左側）に、平行な流路８及び漏斗状に拡径する吸入口９を備えている。また、インペラ４の外周にディフューザ１０が配置される。ディフューザ１０の通路を形成する固定ディフューザ壁１１は第２ケーシング２の一部で形成され、その背面は第２ケーシング２の内周壁との間にボリュート１２を形成している。なお、ボリュート１２は図示しない吐出口に連続している。従って、インペラ４の回転により吸入口９から吸い込まれた流体はインペラ４の遠心力によって半径方向外周に配置されたディフューザ１０側へ圧縮供給される。
【００１８】
一方、第１ケーシング１内には、インペラ４の後方（図１の右側）に環状の内周空間１３と内周空間１３よりも回転軸５の長手方向に幅の広い外周空間１４が形成されている。内周空間１３には、環状の支持板１５が配置され、支持板１５はシール機能付軸受１６を介してケーシング壁３に回転可能にかつ回転軸５の長手方向には移動不能に支持されている。
【００１９】
外周空間１４には、ディフューザ１０を挟んで固定ディフューザ壁１１と対向するように環状の可動ディフューザ壁１７が配置されている。可動ディフューザ壁１７はその内周面をダイヤフラムで構成した環状の可撓性部材１８を介して支持板１５に支持されている。
【００２０】
具体的には、可撓性部材１８は図３に示したように、中央が貫通したドーナツ状に形成され、半径方向には所定の剛性を有しながら、半径方向と直角の方向には変形可能な柔軟性のある材料で形成されている。可撓性部材１８はその内周縁１８ａを支持板１５に形成した環状の取付溝１９に配置するとともに外周縁１８ｂを可動ディフューザ壁１７に形成した環状の取付溝２０に配置する。それぞれの取付溝１９、２０には環状の固定板２１、２２を嵌合してねじ２３、２４によって固定し、支持板１５、可撓性部材１８及び可動ディフューザ壁１７を一体化した構造とする。従って、可動ディフューザ壁１７は支持板１５及び可撓性部材１８とともに周方向に回転可能となり、さらに可撓性部材１８によって回転軸５の長手方向に移動変位が可能となる。
【００２１】
可動ディフューザ壁１７は図２及び図６に示すように、その背面に４個の斜面形を有する可動カム２５が固定されている。可動カム２５は可動ディフューザ壁１７と同心となるように円弧状に形成され、そのカム面は図２で見て時計方向（図６の上方向）に向け低くなる傾斜面で形成されている。
【００２２】
第１ケーシング１のケーシング壁３側には、円弧状に形成された斜面形の固定カム２６が可動カム２５と対応する位置に４個所配設されている。固定カム２６のカム面は可動カム２５と逆になるように、図２で見て反時計方向（図６の下方向）に低くなる傾斜面で形成されている。また、可動カム２５と固定カム２６とは常時接触する位置に配設されている。本実施形態では、可動カム２５はディフューザ１０の流体圧力により固定カム２６側に押圧されているが、例えばスプリング等を利用して接触状態を維持するようにしても良い。
【００２３】
可動ディフューザ壁１７の背面には、さらに連結ピン２７が突設されている。連結ピン２７の長さは可動ディフューザ壁１７が回転軸５の長手方向に移動する距離よりも長く形成されている。また連結ピン２７は、第１ケーシングに取り付けられたアクチュエータ２８の作動部材２９に連結した連結部材３０と回転可能かつ連結ピン２７の長手方向に摺動可能に連結されている。従って、アクチュエータ２８が作動し、作動部材２９を図２の左方向に引き込むと、連結部材３０及び連結ピン２７を介して可動ディフューザ壁１７が図２の時計方向に所定量回動される。
【００２４】
なお、本実施形態におけるアクチュエータ２８は詳細を図示していないが、流体シリンダーによって形成されており、アクチュエータ２８と図示していないボリュート１２の吐出口側とを連結し、インペラ４からの流体供給量の変化に伴う吐出口側の流量変化に応じて、吐出側の流量と作動部材２９の突出量が反比例するような特性で流体シリンダーが動作するように構成されている。しかし、本願発明においてはアクチュエータ２８がどのような種類であっても問題は無く、例えばソレノイド等を用いたアクチュエータにより所定の低流量の時期に電気的に作動するように構成することも可能である。
【００２５】
以上のように構成した第１の実施形態の作用について以下に説明する。
遠心圧縮機の通常運転中は、比較的の流量が大きく、アクチュエータ２８が非作動状態にあるので、連結ピン２７は図２の位置にある。このため、可動カム２５と固定カム２６は図６（ａ）の接触状態にあり、可動ディフューザ壁１７は図１の初期設定位置に配置され、通常の流体圧縮作用が行われる。
【００２６】
遠心圧縮機の起動時や減速時等の低流量時には作動部材２９が没入し、連結部材３０が連結ピン２７を図２の左方へ引くため、可動ディフューザ壁１７は図５のように角度θだけ時計方向に回動される。可動ディフューザ壁１７の回動に伴い可動カム２５は図６（ｂ）のように固定カム２６の斜面を仮想線位置から実線位置まで移動するため、可動ディフューザ壁１７は仮想線位置から実線位置へ距離Ｌだけ移動する。
【００２７】
即ち、図４に示すように、可動ディフューザ壁１７は可撓性部材１８の撓みによって固定ディフューザ壁１１側へ平行移動する。可動ディフューザ壁１７は固定ディフューザ壁１１側へ移動する方向に関しては摺動部を全く有しない構成であるため、小さな駆動力であっても円滑かつ迅速に移動される。可動ディフューザ壁１７の移動はディフューザ１０の通路幅を縮める結果、ディフューザ１０はインペラ４から供給される流量に見合った通路幅に制御されることになり、低流量時においてもディフューザ効果が十分に得られ、効率の良い流体圧縮作用を行うことができる。なお、アクチュエータ２８による可動ディフューザ壁１７の移動量はインペラ４による流体供給量に応じて種々調整される。
【００２８】
前記した本願発明の第１の実施形態は、以下の作用効果が得られる。
（１）可動ディフューザ壁１７は可撓性部材１８によって支持されているため、可動ディフューザ壁１７の内周側に設けられた環状の可撓性部材１８がシール機能を果たし、可動ディフューザ壁１７の移動方向に沿う摺動面にシールを設ける必要がなくなり、小さな駆動力であっても確実に移動させることができ、ディフューザ１０の通路幅の迅速な制御を行うことができる。さらに、支持板１５と可動ディフューザ壁１７との間に介在される環状の可撓性部材１８は、固定板２１，２２により比較的大きな取付面積で支持板１５及び可動ディフューザ壁１７に組付けることができるので、従来技術のシール部材のような組付けの困難性を生じない。
（２）可動ディフューザ壁１７を支持する可撓性部材１８はシール機能付軸受１６を介して第１ケーシング１のケーシング壁３に取り付けられた支持板１５に支承されているため、可動ディフューザ壁１７の回動に際して、支持板１５との間で摺動抵抗を受けることがない。
（３）可動ディフューザ壁１７、可撓性部材１８及び支持板１５は一体化された環状体を形成するため、ディフューザ１０を密閉状態にすることができ、インペラ４からディフューザ１０へ供給された直後の流体が内周空間１３や外周空間１４に漏洩したり、可動ディフューザ壁１７の外周面と第１ケーシング１の内周面との間の隙間から漏れる高圧流体がディフューザ１０との間で循環することが無いので、ディフューザ１０における増圧機能を設定通りに行わせることができる。
（４）可動ディフューザ壁１７を可撓性部材１８によって支持するのみであるため、部品点数が減少し、ディフューザ１０周りの構成を簡単化することができるので、遠心圧縮機の小型化に寄与することができる。
（５）可動ディフューザ壁１７の回動と斜面形の可動カム２５及び固定カム２６を利用して可動ディフューザ壁１７を回転軸５の長手方向に移動する構成であるため、駆動機構を簡略化でき、しいては遠心圧縮機の小型化に寄与することができる。
【００２９】
（第２の実施形態）
図７〜図１０に示した第２の実施形態は第１の実施形態における可動ディフューザ壁１７を回転軸５の長手方向に移動する構成を変更したもので、他の遠心圧縮機の構成は第１の実施形態と同一である。従って、第１の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００３０】
図７に示すように、本願発明のケーシングを構成する第１ケーシング１のケーシング壁３にはディフューザ１０と対応する位置に環状空間３１が形成されている。環状空間３１内には固定ディフューザ壁１１と対向して可動ディフューザ壁１７が配置されている。可動ディフューザ壁１７は環状の可撓性部材３２を介してケーシング壁３に、また環状の可撓性部材３２ａを介して第１ケーシング１の外周壁に取り付けられている。具体的には、可撓性部材３２の内周縁がケーシング壁３に形成した環状の取付溝３３に同じく環状の固定板３４によって挟着され、図示しないねじによって固定されるとともに外周縁が可動ディフューザ壁１７に形成された環状の取付溝３５に環状の固定板３６によって挟着され、図示しないねじによって固定される。また、可撓性部材３２ａはその内周縁が取付溝３５と固定板３６との間に挟着され、外周縁が第１ケーシング１の外周壁と第２ケーシング２の外周壁との接合部に挟着されている。可撓性部材３２及び可撓性部材３２ａは半径方向において所定の剛性を有しながら、半径方向と直角の方向に変形可能な柔軟性のある材料で形成されている。従って、可動ディフューザ壁１７は可撓性部材３２及び可撓性部材３２ａの介在によって回転軸５の長手方向に移動可能な状態で第１ケーシング１に支承される。また、可撓性部材３２及び可撓性部材３２ａの存在はディフューザ１０と環状空間３１との間の流体の流通を遮断する。
【００３１】
可動ディフューザ壁１７の背面には被動カム３７が固定されている。図８に示すように、被動カム３７は円弧状に形成され、４ヶ所に配設されている。また、被動カム３７のカム面は図１０に示されるように上方向（図８の反時計方向）に高くなる傾斜面で形成されている。
【００３２】
一方、環状空間３１内には可動ディフューザ壁１７の背面に対向して環状の回転板３８がシール機能付軸受３９を介してケーシング壁３に回転可能に取り付けられている。なお、回転板３８はその背面（図７の右方）とケーシング壁３の側面との間に若干の隙間を空けて配設されており、密着による回転抵抗の発生を防止している。回転板３８の前面（図７の左方）には可動ディフューザ壁１７の各被動カム３７と対向する位置に円弧状の駆動カム４０が固定されている。駆動カム４０のカム面は被動カム３７と逆に、図１０の上方（図８の反時計方向）に向けて低くなる傾斜面で構成されている。被動カム３７は可動ディフューザ壁１７がディフューザ１０内の流体圧力を受けるため、駆動カム４０と常時接触した状態にある。
【００３３】
回転板３８の一部には連結ピン４１が環状空間３１内に突出するように固定されている。連結ピン４１は図８に示されるように、アクチュエータ４２によって作動される連結部材４４の先端と回転可能に連結されている。従って、アクチュエータ４２が作動すると、作動部材４３及び連結部材４４が図８の右方に突出し、連結ピン４１を介して回転板３８は反時計方向に回転される。
【００３４】
以上のように構成した第２の実施形態の作用について以下に説明する。
遠心圧縮機の通常運転中は、比較的の流量が大きく、アクチュエータ４２が非作動状態にあるので、連結ピン４１は図８の位置にある。このため、被動カム３７と駆動カム４０は図１０（ａ）の接触状態にあり、可動ディフューザ壁１７は図７の初期設定位置に配置され、通常の流体圧縮作用が行われる。
【００３５】
遠心圧縮機の起動時や減速時等の低流量時にはアクチュエータ４２の作動により作動部材４３が突出するので、連結部材４４が連結ピン４１を図８の右方へ押すため、回転板３８は反時計方向に回動される。回転板３８の回動に伴い駆動カム４０は図１０（ｂ）のように、被動カム３７の斜面を仮想線位置から実線位置まで移動するため、可動ディフューザ壁１７は仮想線位置から実線位置へ距離Ｌだけ移動する。
【００３６】
即ち、図９に示すように、可動ディフューザ壁１７は可撓性部材３２の撓みによって固定ディフューザ壁１１側へ平行移動する。可動ディフューザ壁１７は固定ディフューザ壁１１側へ移動する方向に関しては摺動部を全く有さず、しかも回転軸５の長手方向に変位するだけの構成であるため、小さな駆動力であっても安定した状態で円滑かつ迅速に移動される。可動ディフューザ壁１７の移動はディフューザ１０の通路幅を縮める結果、ディフューザ１０はインペラ４から供給される流量に見合った通路幅に制御され、低流量時においてもディフューザ効果が十分に得られ、効率の良い流体圧縮作用を行うことができる。なお、アクチュエータ４２による可動ディフューザ壁１７の移動量はインペラ４による流体供給量に応じて種々調整される。
【００３７】
前記した本願発明の第２の実施形態は、以下の作用効果が得られる。
（１）可動ディフューザ壁１７を前記回転軸の長手方向にのみ移動する構成であるため、インペラ４による流体供給量の変化に対する可動ディフューザ壁１７の移動の追従性が良い。
（２）可動ディフューザ壁１７を回転させるための構成が不要となり、第１の実施形態に比して部品点数の削減を図ることができる。
（３）可動ディフューザ壁１７を回転軸５の長手方向に移動するための構成を全てケーシング側に設けることができるため、全体の設計及び組み付けが容易になり、また遠心圧縮機の小型化を図ることができる。
【００３８】
本願発明は、前記第１及び第２の実施形態の構成に限定されるものではなく本願発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能であり、次のように実施することができる。
【００３９】
（１）可撓性部材１８は、第１の実施形態のようにダイヤフラムで構成したものに限らず、回転軸５の長手方向に撓むことのできる環状の薄板であればよく、その材質等に特に限定されるものでない。
（２）一対の可動カム２５及び固定カム２６又は駆動カム４０及び被動カム３７は最低３箇所以上の複数箇所に配設することができる。
（３）可動ディフューザ壁１７を移動するための駆動手段は可動カム２５又は駆動カム４０と固定カム２６又は被動カム３７の組み合わせに限らず、例えば可動ディフューザ壁１７と第１ケーシング１の一方に螺旋溝を形成し、他方に螺旋溝と嵌合するピンを設ける構成とすることができる。
（４）可動ディフューザ壁１７を移動するための駆動手段は、カムを使用することなく、アクチュエータで可動ディフューザ壁１７を直接押して回転軸５の長手方向に移動するように構成することができる。この実施形態では可動ディフューザ壁１７を支持する可撓性部材１８を第２の実施形態と同様に第１ケーシング１に直接取り付けることができ、第１の実施形態における支持板１５が不要となるので、部品点数が減少し、遠心圧縮機の小型化に寄与することができる。
（５）可動ディフューザ壁１７及び可動ディフューザ壁１７の移動機構は固定ディフューザ壁１１の位置と置き換えても実施可能である。なお、この実施形態ではボリュート１２を形成する部材を可動ディフューザ壁と別に設ける必要がある。
（６）インペラ４、ディフューザ１０及びボリュート１２を含む流体圧縮機構を回転軸５の長手方向に複数段併設するようにした遠心圧縮機においても本願発明を実施することができる。
（７）ディフューザ１０を挟んで配置した固定ディフューザ壁１１及び可動ディフューザ壁１７の双方を回転軸５の長手方向に移動可能な構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１の実施形態を示す遠心圧縮機の断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】第１の実施形態の要部を示す拡大図である。
【図４】図１に対応する遠心圧縮機の作動状態を示す断面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】（ａ）第１の実施形態の通常運転時における作用説明図である。（ｂ）第１の実施形態の低流量時おける作用説明図である。
【図７】第２の実施形態を示す遠心圧縮機の断面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線断面図である。
【図９】図７に対応する遠心圧縮機の作動状態を示す部分拡大図である。
【図１０】（ａ）第２の実施形態の通常運転時における作用説明図である。（ｂ）第２の実施形態の低流量時おける作用説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    第１ケーシング
２    第２ケーシング
４    インペラ
５    回転軸
９    吸入口
１０  ディフューザ
１１  固定ディフューザ壁
１２  ボリュート
１５  回転支持板
１７  可動ディフューザ壁
１８、３２、３２ａ  可撓性部材
２１、２２、３４、３６  固定板
２５  可動カム
２６  固定カム
２７  連結ピン
２８、４２  アクチュエータ
３７  被動カム
４０  駆動カム
【図１】
2008095678.tif 000003
【図２】
2008095678.tif 000004
【図３】
2008095678.tif 000005
【図４】
2008095678.tif 000006
【図５】
2008095678.tif 000007
【図６】
2008095678.tif 000008
【図７】
2008095678.tif 000009
【図８】
2008095678.tif 000010
【図９】
2008095678.tif 000011
【図１０】
2008095678.tif 000012