(57)【要約】【課題】ライン型の蒸着源を用いた蒸着成膜において、成膜の進行状態によらずに蒸着源のライン方向における蒸着膜厚の分布をより均一にすることが可能な蒸着成膜装置および蒸着成膜方法を提供する。【解決手段】蒸着材料が充填されるライン状のルツボ１２と、ルツボ１２を加熱する熱源１４と、ルツボ１２の上方に配置されライン状に沿って複数の開口１１が設けられた天面板１３ａとを備えた蒸着源１０を有し、成膜対象となる基板を蒸着源１０の上方に対向配置した状態でライン状の延設方向と直交する方向に相対的に移動させて基板上に蒸着膜が成膜されるように構成された蒸着成膜装置において、ルツボ１２は、熱源１４での加熱によってルツボ１２から蒸着材料ｍを蒸発させる場合に、ルツボ１２内に充填された蒸着材料ｍがライン状の延設方向で均等に消費されるように、仕切り板１２ａによって仕切られている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料が充填されるライン状のルツボと、当該ルツボを加熱する熱源と、当該ルツボの上方に配置され前記ライン状に沿って複数の開口が設けられた天面板とを備えた蒸着源を有し、成膜対象となる基板を当該蒸着源の上方に対向配置した状態で前記ライン状の延設方向と略直交する方向に相対的に移動させて当該基板上に蒸着膜が成膜されるように構成された蒸着成膜装置において、
前記ルツボは、前記ライン状の略延設方向に不均等なピッチで設けられた仕切り板によって複数の部屋に仕切られている
ことを特徴とする蒸着成膜装置。
【請求項２】
請求項１記載の蒸着成膜装置において、
前記ルツボは、前記熱源での加熱によって当該ルツボから蒸着材料を蒸発させた場合に、当該ルツボ内に充填された蒸着材料が前記ライン状の延設方向で略均等に消費されるように、前記仕切り板によって仕切られている
ことを特徴とする蒸着成膜装置。
【請求項３】
請求項１記載の蒸着成膜装置において、
前記開口は、前記ライン状の延設方向に不均等なピッチで配列されている
ことを特徴とする蒸着成膜装置。
【請求項４】
請求項３記載の蒸着成膜装置において、
前記開口は、前記熱源での加熱による熱分布に基づいて、前記基板上に前記蒸着膜が略均一な膜厚で成膜されるように調整されたピッチで配列されている
ことを特徴とする蒸着成膜装置。
【請求項５】
請求項１記載の蒸着成膜装置において、
前記ルツボ内を仕切る仕切り板は、互いに非平行を成すように前記ライン状の延設方向に対して斜めに配置されている
ことを特徴とする蒸着成膜装置。
【請求項６】
請求項１記載の蒸着成膜装置において、
前記ルツボ内は、ハニカム構造に仕切られている
ことを特徴とする蒸着成膜装置。
【請求項７】
蒸着材料が充填されたライン状のルツボを加熱することにより、当該ルツボから蒸発させた蒸着材料を当該ルツボの上方に配置された天面板に前記ライン状に沿って設けられた複数の開口を通過させると共に、
前記天面板と対向する位置において前記ライン状の延設方向と略直交する方向に成膜対象となる基板を相対的に移動させることにより、当該基板上に蒸着膜を成膜する蒸着成膜方法において、
前記ルツボ内を前記ライン状の延設方向に仕切ることにより、当該ルツボ内に充填された蒸着材料を当該ライン状の延設方向に対してほぼ均等に消費させながら前記成膜を行う
ことを特徴とする蒸着成膜方法。
【請求項８】
請求項７記載の蒸着成膜方法において、
前記熱源での加熱による熱分布に基づいて、前記基板上に前記蒸着膜が略均一な膜厚で成膜されるように調整されたピッチで前記開口が配列されている
ことを特徴とする蒸着成膜方法。
【請求項９】
蒸着材料が充填されたライン状のルツボを加熱することにより、当該ルツボから蒸発させた蒸着材料を当該ルツボの上方に配置された天面板に前記ライン状に沿って設けられた複数の開口を通過させると共に、前記天面板と対向する位置において前記ライン状の延設方向と略直交する方向に成膜対象となる基板を相対的に移動させることにより、当該基板上に蒸着膜を成膜する工程を有する表示装置の製造方法において、
前記ルツボ内を前記ライン状の延設方向に仕切ることにより、当該ルツボ内に充填された蒸着材料を当該ライン状の延設方向に対して略均等に消費させながら前記成膜を行う
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９記載の表示装置の製造方法において、
前記成膜対象となる基板上には、前記蒸着膜を用いて構成された複数の有機電界発光素子を配列形成する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着成膜装置、蒸着成膜方法、および表示装置の製造方法に関し、特にはライン型の蒸着源を有する蒸着成膜装置、蒸着成膜方法、および表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、平面型の表示装置として、有機電界発光素子（有機ＥＬ素子）を配列してなる表示装置、いわゆる有機ＥＬディスプレイが注目を集めている。この有機ＥＬディスプレイは、バックライトが不要な自発光型のフラットパネルディスプレイであり、自発光型に特有の視野角の広いディスプレイを実現できるという利点を有する。また、必要な画素のみを点灯させればよいため消費電力の点でバックライト型（液晶ディスプレイ等）に比べて有利であるとともに、今後実用化が期待されている高精細度の高速のビデオ信号に対して十分な応答性能を具備すると考えられている。
【０００３】
このような有機ＥＬディスプレイに用いられる有機ＥＬ素子は、一般に、有機材料を上下から電極（陽極および陰極）で挟み込む構造を持つ。そして、有機材料からなる有機層に対して、陽極から正孔が、陰極から電子がそれぞれ注入され、その有機層にて正孔と電子が再結合して発光が生じるようになっている。このとき、有機ＥＬ素子では、１０Ｖ以下の駆動電圧で数百〜数万ｃｄ／ｍ2の輝度が得られる。また、有機材料（蛍光物質）を適宜選択することによって、所望する色彩の発光も得ることができる。これらのことから、有機ＥＬ素子は、マルチカラーまたはフルカラーの表示装置を構成するための発光素子として、非常に有望視されている。
【０００４】
ところで、有機ＥＬ素子における有機層を形成する有機材料は、耐水性が低く、ウエットプロセスを利用できない。そのため、有機層を形成する際には、真空薄膜成膜技術を利用した真空蒸着を行うのが一般的である。すなわち、有機層を形成するための有機ＥＬ素子用の蒸着成膜装置としては、真空チャンバ内に有機材料の蒸着源を備えたものが広く用いられている。
【０００５】
図１２に示すように、このような蒸着成膜装置２００は、ライン型の蒸着源２０１を備えている。この蒸着源２０１には、ライン状の延設方向ｘに並ぶ複数の開口１０２ａが設けられ、これらの開口２０１ａを介して有機材料などの蒸着材料ｍの蒸気が供給される構成となっている。そして、成膜対象物である基板Ｗを、ライン状の延設方向ｘと直交する方向ｙに移動させることによって、基板Ｗ上への蒸着膜（有機層）の成膜が行われる。
【０００６】
図１３（１）には、図１２におけるライン状の延設方向ｘについての蒸着源２０１の側面方向の断面図を示す。また、図１３（２）には、図１２における開口２０１ａ方向から見た蒸着源２０１の上面方向の断面図を示す。これらの図に示すように、蒸着源２０１は、蒸着材料ｍが充填されるルツボ２０３と、このルツボ２０３が出し入れ自在に収納される外箱２０５と、この外箱２０５を介してルツボ２０３を加熱するための熱源２０７とを備えている。
【０００７】
そして、このルツボ２０３における広口開口の上部に位置する外箱２０５の天面板２０５ａに、複数の開口２０１ａがライン状に配列された構成となっている。これらの開口２０１ａは、熱源２０７からの加熱による温度分布に基づいて、基板Ｗ上に成膜される蒸着膜の膜厚が均一化されるように調整された不均等なピッチｐ１で設けられている（下記特許文献１参照）。
【０００８】
またルツボ２０３内は、ルツボ２０３の強度を補強するとともに、蒸着材料ｍを均一に加熱することを目的とした仕切り板２０３ａによって、ライン状の延設方向ｘに沿って複数の部屋に分割されている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１５２４４１号公報（特に段落００３２参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述したような構成の蒸着成膜装置およびこれを用いた蒸着成膜方法では、不均等なピッチで配列された開口から蒸着材料が放出されることにより、成膜の進行にしたがって仕切り板で仕切られたルツボ内の各部屋における蒸着材料の消費量に差が生じる。これにより、各部屋における蒸着材料の充填量（充填高さ）が不均一になり、ルツボ内の温度分布が変化する。このような温度分布の変化は、ライン状の延設方向における蒸着膜の膜厚の分布にばらつきを生じさせる要因になる。
【００１１】
また、連続した複数回の蒸着成膜の繰り返しにおいて、ルツボ内に蒸着材料を補充する際には、最も速く蒸着材料が消費される部分に合わせて蒸着材料を補充しなければならず、補充頻度が高くなり手間が掛かる。つまり、長時間に及ぶ蒸着成膜を行った場合、各部屋における蒸着材料の消費量の違いにより最も早く蒸着材料が消費される部屋の材料が枯渇し、蒸着膜の膜厚の分布にバラツキを生じさせるのである。
【００１２】
以上のような問題を解消するためには、ライン状の延設方向における温度制御を確実に行うことにより蒸着速度制御を行うことで可能になる。しかしながら、このような制御は、制御系同士で相互干渉が起こることが多いため、安定な制御を行うことが極めて困難である。
【００１３】
そこで本発明は、ライン型の蒸着源を用いた蒸着成膜において、成膜の進行状態によらずに蒸着源のライン方向における蒸着膜厚の分布をより均一にすることが可能な蒸着成膜装置、蒸着成膜方法、さらにはこの蒸着成膜方法を適用することによって均一な特性の有機電界発光素子を面内に配列形成することが可能な表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
以上のような目的を達成するための本発明の蒸着成膜装置は、蒸着材料が充填されるライン状のルツボと、ルツボを加熱する熱源と、ルツボの上方に配置されライン状に沿って複数の開口が設けられた天面板とを備えた蒸着源を有しており、成膜対象となる基板を当該蒸着源の上方に対向配置した状態でライン状の延設方向と直交する方向に相対的に移動させて当該基板上に蒸着膜が成膜されるように構成されている。そして特に、ルツボは、ライン状の延設方向に不均等なピッチで設けられた仕切り板によって複数の部屋に仕切られていることを特徴としている。これらの仕切り板は、熱源での加熱によって当該ルツボ内に充填された蒸着材料が、ライン状の延設方向で均等に消費されるように設けられている。
【００１５】
また本発明の蒸着成膜方法は、例えば上述した蒸着成膜装置を用いた蒸着成膜方法であり、ルツボ内をライン状の延設方向に仕切ることにより、当該ルツボ内に充填された蒸着材料を当該ライン状の延設方向に対して均等に消費させながら成膜を行うことを特徴としている。また本発明は、このような蒸着成膜方法を適用した工程を行う表示装置の製造方法でもある。
【００１６】
以上のような蒸着成膜装置、蒸着成膜方法、および表示装置の製造方法によれば、成膜の進行状態によらずに蒸着材料の充填量（充填高さ）がライン状のルツボ内において均一に保たれる。このため、連続した複数回の蒸着成膜の繰り返しや長時間に及ぶ蒸着成膜におけるライン状の延設方向における蒸着材料の充填量の不均一に起因して、ライン状の延設方向における蒸着膜の膜厚にバラツキが発生することが防止され、ライン状の延方向において均一な膜厚の蒸着膜が得られる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように本発明によれば、ライン状の蒸着源を用いた蒸着成膜において、成膜の進行状態によらずにライン状の延設方向に均一な膜厚の蒸着膜を成膜することが可能である。またこの結果、均一な膜厚の蒸着膜を備えることにより特性の均一な有機電界発光素子を基板面内に配列形成することが可能で、これにより表示特性に優れた表示装置を得ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
＜蒸着成膜装置＞
図１は、本発明に係る蒸着成膜装置の概略構成例を示す模式図である。また、図２（１），図２（２）は、この蒸着成膜装置に設けられた本発明に係る蒸着源の構成例を示すそれぞれの方向の断面模式図である。尚、図１２を用いて説明した従来の構成と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を行う。
【００２０】
これらの図１および図２に示す蒸着成膜装置１は、例えば有機電界発光素子を用いた表示装置の製造において、例えばガラス基板などからなる基板Ｗ上に有機層を成膜するためのものである。このような蒸着成膜装置１は、図示しない真空チャンバ内に配設された有機材料（蒸着材料ｍ）の蒸着源１０と、その蒸着源１０と基板Ｗとの相対位置を可変させるための搬送手段（図示省略）とを備えている。
【００２１】
このうち蒸着源１０は、いわゆるライン型と呼ばれるもので、基板Ｗとの相対位置可変方向（図中矢印に示す方向ｙ）と略直交する方向ｘにライン状に一列に並ぶ複数の開口１１を有している。
【００２２】
図２（１）には、図１におけるライン状の延設方向ｘについての蒸着源１０の側面方向の断面図を示す。また、図２（２）には、図１における開口１１方向から見た蒸着源１０の上面方向の断面図を示す。
【００２３】
これらの図２（１），図２（２）に示すように、この蒸着源１０は、蒸着材料ｍが充填されるルツボ１２と、このルツボ１２が出し入れ自在に収納される外箱１３と、この外箱１３を介してルツボ１２を加熱するための熱源１４とを備えている。そして、ルツボ１２における広口開口の上部にあたる外箱１３の天面板１３ａに、開口１１がライン状に配列された構成となっている。
【００２４】
開口１１は、蒸着膜の膜厚分布がより均等になるような各ピッチｐ１でライン状に沿って配列されていることとする。このため、ここでは熱源１４での加熱によって生じるライン状の延設方向ｘの温度分布にしたがった不均等な各ピッチｐ１で、開口１１が配列されていることとし、例えば開口１１が並ぶ方向における端縁側において、間隔を狭くして配置されていても良い。尚、温度分布は、ルツボ１２内に均一の高さで蒸着材料ｍが充填されている場合の温度分布であることとする。
【００２５】
ルツボ１２は、その内部における蒸着材料ｍの充填部分が、主にルツボ１２の強度を補強するとともに、蒸着材料ｍを均等に加熱することを目的とした仕切り板１２ａによって、ライン状の延設方向ｘに沿って複数の部屋に分割されている。
【００２６】
以上のようなルツボ１２の材質としては、内部に充填される蒸着材料ｍとの反応性が小さい耐熱性材料の中から、熱伝導性が良好な材料が選択して用いられる。ここでは蒸着材料ｍとして有機材料が用いられるため、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）等を用いてルツボ１２が構成されていることとする。また、熱伝導性が良好なカーボン（Ｃ）素材の表面にＴａ（タンタル）やＭｏ（モリブデン）などのコーティングを施して用いても良い。
【００２７】
そして、特に本実施形態においては、ルツボ１２内部における仕切り板１２ａの配置状態に特徴がある。すなわち、仕切り板１２ａは、開口１１の配置状態に基づいて不均等な各ピッチｐ２で設けられる。特に、これらの仕切り板１２ａは、熱源での加熱によって当該ルツボから蒸着材料ｍを蒸発させる場合に、ルツボ１２内に充填された蒸着材料ｍがライン状の延設方向ｘで均等に消費されるように設けられていることが重要である。
【００２８】
このような仕切り板１２ａの配置状態は、上述したように熱源１４での加熱によって生じるライン状の延設方向ｘの温度分布にしたがった不均等な各ピッチｐ１で、開口１１が配列された状態での蒸着成膜を想定したシミュレーションによって設定される。
【００２９】
またこのように配置される仕切り板１２ａは、ルツボ１２の機械的強度の向上を目的として、例えば互いに非平行を成すようにライン状の延設方向に対して斜めに配置されていることが好ましい。
【００３０】
またこの他にも、ルツボ１２の機械的強度の向上を目的とした場合、例えば図３の上面方向の断面図に示すように、ハニカム構造でルツボ１２内が仕切られるように仕切り板１２ａを設けても良い。このような場合であっても、ルツボ１２内に充填された蒸着材料ｍがライン状の延設方向ｘで均等に消費されるように仕切り板１２ａが設けられていることが重要である。
【００３１】
以上のような仕切り板１２ａは、ルツボ１２内における蒸着材料ｍの加熱を効率的に行うことを考慮して、ルツボ１２と同一材料で一体に形成されていることが好ましい。
【００３２】
また、ルツボ１２の底面には脚部１２ｂが設けられ、これによってルツボ１２と外箱１３の床面１３ｂとの間に間隔が設けられた構成となっている。
【００３３】
これらの脚部１２ｂは、開口１１の位置等を考慮しつつ、蒸着膜の膜厚分布に影響を与えない程度の端の位置に設置することが望ましい。したがって、脚部１２ｂは、開口１１が配列されたライン状の延設方向ｘの両端側において、上方に開口１１が配置されていない位置に設けられることとする。
【００３４】
このように設けられた脚部１２ｂの材質は、ルツボ１２の本体と同じ材質で、熱伝導を考慮するとルツボ１２と一体になっている構造が望ましい。ただし、この脚部１２ｂからの熱伝導によるルツボ１２の加熱を期待しなくて良い場合には、脚部１２ｂは、ルツボ１２の本体と一体でなくても良く、また異なる材質で構成されていても良い。
【００３５】
尚、図示したように、ルツボ１２は、外箱１３の内壁に対しても間隔を設けて配置されていることが好ましい。これにより、ルツボ１２の加熱の大部分を輻射熱による加熱とすることができる。
【００３６】
外箱１３は、熱導電性が高い材料を用いて構成されることが好ましく、例えばカーボンからなる。そして、熱源１４は、例えば熱伝対および温度調整器により構成され温度制御されたヒータからなるものである。
【００３７】
以上のような構成により、蒸着源１０では、熱源１４によって外箱１３を加熱すると、これによって外箱１３内に収納されたルツボ１２が加熱され、このルツボ１２内に充填された有機材料（蒸着材料ｍ）が蒸発または昇華し、開口１１を通って飛散するようになっている。
【００３８】
また、搬送手段は、蒸着源１０に対向配置した状態の基板Ｗを、蒸着源１０におけるライン状の延設方向ｘと略直交する方向ｙに移動させることで、蒸着源１０と基板Ｗとの相対位置を可変させるようになっている。このとき、基板Ｗの移動は、真空中で行う必要がある。そのため、搬送手段としては、基板Ｗを搭載した台車をワイヤに接続し、そのワイヤを外部からサーボモータ等によって定速駆動して引っ張る、といったシンプルな方式を採用することが考えられる。ただし、脱ガスの対策等がなされていれば、周知技術であるボールネジやベルトコンベア等による搬送方式を用いても構わないことは勿論である。
【００３９】
＜蒸着成膜方法＞
以上のように構成された蒸着成膜装置１を用いた蒸着成膜方法を説明する。
【００４０】
先ず、仕切り板１２ａで仕切られたルツボ１２内の各部屋に、同一高さで蒸着材料ｍを充填する。次に蒸着材料ｍが充填されたルツボ１２を、真空チャンバ内に設置された外箱１３内に収納する。この際、外箱１３の開口１１の配列に対して、仕切り板１２ａで内部が仕切られたルツボ１２の配置状態が、上記シミュレーションと同一になるように、外箱１３に対するルツボ１２の収納方向を合わせる。
【００４１】
この状態で、成膜対象物となる基板Ｗをハンドリングロボットや搬送コンベア等によって真空チャンバ内に搬送する。そして、熱源１４によって、外箱１３を介してルツボ１２を加熱温度制御することにより、ルツボ１２内の蒸着材料ｍを蒸発させ、開口１１を介して蒸着源１０の上方に飛散させる。この状態において、搬送手段によって蒸着源１０における開口１１の上方において、ライン状の延設方向ｘと直交する方向ｙに基板Ｗを一定速度で移動させる。これにより、基板Ｗの下面には、蒸着材料ｍの薄膜が蒸着膜として形成されることになる。
【００４２】
またこの蒸着成膜においては、上述したようにルツボ１２内がライン状の延設方向ｘに仕切られていることにより、ルツボ１２内に充填された蒸着材料ｍをライン状の延設方向ｘに対して均等に消費させながら成膜が行われる。
【００４３】
＜表示装置の製造方法＞
次に、以上のような構成の蒸着成膜装置を用いた表示装置の製造方法として、基板上に複数の有機電界発光素子を配列形成してなる表示装置の製造を説明する。図４はここで作製する表示装置における３画素分の概略断面図である。
【００４４】
図４に示すように、先ずガラス基板などからなる装置用の基板Ｗ上に、下部電極として例えば陽極２１を形成する。この陽極２１は、例えば画素毎にパターン形成され、ここでの図示は省略した薄膜トランジスタを有する各画素回路に接続されていることとする。次に、陽極２１の周縁部を覆う状態で絶縁性パターン２２を形成し画素分離を行う。尚、画素回路については、以降に詳細に説明する。
【００４５】
その後、上記蒸着成膜装置を用いた成膜方法を適用することにより、例えば全画素に共通の有機層（蒸着膜）として、正孔注入層２３および正孔輸送層２４をこの順に蒸着成膜する。この場合、基板Ｗの搬送方向ｙの上手側から順に、正孔注入層２３を成膜するための正孔注入材料を蒸着材料として充填した蒸着源、正孔輸送層２４を成膜するための正孔輸送材料を蒸着材料として充填した蒸着源を配置する。これにより、正孔注入層２３および正孔輸送層２４を、連続して蒸着成膜する。尚、これらの正孔注入層２３および正孔輸送層２４の蒸着成膜は、一つの蒸着源のみが配設された蒸着成膜装置を用いて順次個別に行っても構わない。
【００４６】
次に、上記蒸着成膜装置を用いた成膜方法を適用することにより、正孔輸送層２４上における各画素に、赤色発光層２５ｇ、緑色発光層２５ｇ、および青色発光層２５ｂをパターン形成する。この場合、正孔輸送層２４までが成膜された基板Ｗと蒸着源との間に、例えば赤色発光層２５ｇを形成する部分を開口させたメタルマスクを配置する。そして、赤色発光層２５ｇを成膜するための赤色発光材料が蒸着材料として充填された蒸着源の上方において、基板Ｗとメタルマスクとを搬送方向ｙに一体に搬送した蒸着成膜を行う。緑色発光層２５ｇおよび青色発光層２５ｂのパターン形成も、順次同様に行う。
【００４７】
その後、上記蒸着成膜装置を用いた成膜方法を適用することにより、例えば全画素に共通の有機層（蒸着膜）として、電子輸送層２６を蒸着成膜する。
【００４８】
以上の後には、電子輸送層２６上に、全画素に共通の上部電極として、透明導電性材料を用いた陰極２７をスパッタ成膜する。
【００４９】
これにより、陽極２１と陰極２７との間に、正孔注入層２３〜電子輸送層２６までの有機層(蒸着膜）を挟持してなる各色の有機電界発光素子、すなわち赤色発光素子３１ｒ、緑色発光素子３１ｇ、および青色発光素子３１ｂを得る。またここでの図示は省略したが、さらに各有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂを覆う封止膜を形成し、接着剤を介して光透過性材料からなる封止基板を貼り合わせる。これにより、各色の有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂの発光が、各陽極２１に接続された各画素回路によって制御されるアクティブマトリックス型の表示装置３３を完成させる。またこの表示装置３３においては、有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂで発生させた発光光は、光透過性材料からなる陰極２７を介して封止基板側から取り出されるものとなる。
【００５０】
以上説明した実施形態によれば、ルツボ１２内をライン状の延設方向ｘに仕切ることによって、ルツボ１２内に充填された蒸着材料ｍをライン状の延設方向ｘに対して均等に消費させながら成膜を行う構成である。このため、ライン型の蒸着成膜装置を用いた蒸着成膜において、蒸着成膜の進行状態によらずに蒸着材料の充填量（充填高さ）をライン状のルツボ内において均一に保つことができる。
【００５１】
これにより、ライン状の延設方向ｘにおける蒸着材料ｍの充填量の不均一に起因して、ライン状の延設方向ｘにおける蒸着膜の膜厚にバラツキが発生することが防止され、面内均一な膜厚の蒸着膜を得ることが可能になる。この結果、基板Ｗ上に複数の有機電界発光素子を配列形成してなる表示装置３３の製造において、発光層２５ｒ，２５ｇ，２５ｂを含む有機膜を蒸着成膜する際に、基板Ｗの面内において均一な膜厚の有機膜を成膜することが可能になるため、特性の均一な有機電界発光素子を基板Ｗ面内に配列形成することが可能になる。これにより表示特性に優れた表示装置３３を得ることが可能になる。
【００５２】
また上述したようにライン状の延設方向ｘに対して蒸着材料ｍを均等に消費させながら成膜が行われるため、仕切り板１２ａで仕切られたルツボ１２内の各部屋において、ほぼ同時に蒸着材料ｍを補充する必要性が生じるようになる。この結果、繰り返しの蒸着成膜において、ルツボ１２内に蒸着材料ｍを補充する頻度が低くなり、メンテナンスが容易になる。
【００５３】
さらに、ルツボ１２内の仕切り板１２ａが、互いに非平行を成すようにライン状の延設方向ｘに対して斜めに配置されているか、またはルツボ１２内がハニカム構造に仕切られた構造としたことにより、ルツボ１２の強度が補強されて取り扱い時に変形等を起こし難い。このため、熱源１４で加熱された状態においての、ルツボ１２の変形に起因する局部的な温度の不均一の発生が抑えられる。これによってもライン状の延設方向ｘにおける蒸着膜の膜厚の均一化が達成される。
【００５４】
＜表示装置の概略構成＞
図５は、上記実施形態によって製造される表示装置３３の全体構成の一例を示す図であり、図５（Ａ）は概略構成図、図５（Ｂ）は画素回路の構成図である。ここでは、アクティブマトリックス方式の表示装置に本発明を適用した実施形態を説明する。
【００５５】
図５（Ａ）に示すように、この表示装置３３の支持基板である基板Ｗ上には、表示領域Ｗ-1とその周辺領域Ｗ-2とが設定されている。表示領域Ｗ-1は、複数の走査線４１と複数の信号線４３とが縦横に配線されており、それぞれの交差部に対応して１つの画素ａが設けられた画素アレイ部として構成されている。これらの各画素ａに、図４に示した有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂの何れかが設けられている。また周辺領域Ｗ-2には、走査線４１を走査駆動する走査線駆動回路ｂと、輝度情報に応じた映像信号（すなわち入力信号）を信号線４３に供給する信号線駆動回路ｃとが配置されている。
【００５６】
図５（Ｂ）に示すように、各画素ａに設けられる画素回路は、例えば有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂの何れか１つと、駆動トランジスタＴｒ１、書き込みトランジスタ（サンプリングトランジスタ）Ｔｒ２、および保持容量Ｃｓで構成されている。そして、走査線駆動回路ｂによる駆動によって、書き込みトランジスタＴｒ２を介して信号線４３から書き込まれた映像信号が保持容量Ｃｓに保持され、保持された信号量に応じた電流が駆動トランジスタＴｒ１から各有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂに供給され、この電流値に応じた輝度で有機電界発光素子３１ｒ，３１ｇ，３１ｂが発光する。
【００５７】
尚、以上のような画素回路の構成は、あくまでも一例であり、必要に応じて画素回路内に容量素子を設けたり、さらに複数のトランジスタを設けて画素回路を構成しても良い。また、周辺領域Ｗ-2には、画素回路の変更に応じて必要な駆動回路が追加される。
【００５８】
以上説明した本発明に係る表示装置は、図６に開示したような、封止された構成のモジュール形状のものをも含む。例えば、画素アレイ部である表示領域Ｗ-1を囲むようにシーリング部５１が設けられ、このシーリング部５１を接着剤として、透明なガラス等の対向部（封止基板５２）に貼り付けられ形成された表示モジュールが該当する。この透明な封止基板５２には、カラーフィルタ、保護膜、遮光膜等が設けられてもよい。尚、表示領域Ｗ-1が形成された表示モジュールとしての基板Ｗには、外部から表示領域Ｗ-1（画素アレイ部）への信号等を入出力するためのフレキシブルプリント基板５３が設けられていても良い。
【００５９】
＜適用例＞
以上説明した本発明に係る表示装置は、図７〜図１１に示す様々な電子機器、例えば、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置、ビデオカメラなど、電子機器に入力された映像信号、若しくは、電子機器内で生成した映像信号を、画像若しくは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。以下に、本発明が適用される電子機器の一例について説明する。
【００６０】
図７は、本発明が適用されるテレビを示す斜視図である。本適用例に係るテレビは、フロントパネル１０２やフィルターガラス１０３等から構成される映像表示画面部１０１を含み、その映像表示画面部１０１として本発明に係る表示装置を用いることにより作成される。 
【００６１】
図８は、本発明が適用されるデジタルカメラを示す図であり、（Ａ）は表側から見た斜視図、（Ｂ）は裏側から見た斜視図である。本適用例に係るデジタルカメラは、フラッシュ用の発光部１１１、表示部１１２、メニュースイッチ１１３、シャッターボタン１１４等を含み、その表示部１１２として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
【００６２】
図９は、本発明が適用されるノート型パーソナルコンピュータを示す斜視図である。本適用例に係るノート型パーソナルコンピュータは、本体１２１に、文字等を入力するとき操作されるキーボード１２２、画像を表示する表示部１２３等を含み、その表示部１２３として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。 
【００６３】
図１０は、本発明が適用されるビデオカメラを示す斜視図である。本適用例に係るビデオカメラは、本体部１３１、前方を向いた側面に被写体撮影用のレンズ１３２、撮影時のスタート／ストップスイッチ１３３、表示部１３４等を含み、その表示部１３４として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
【００６４】
図１１は、本発明が適用される携帯端末装置、例えば携帯電話機を示す図であり、（Ａ）は開いた状態での正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態での正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。本適用例に係る携帯電話機は、上側筐体１４１、下側筐体１４２、連結部（ここではヒンジ部）１４３、ディスプレイ１４４、サブディスプレイ１４５、ピクチャーライト１４６、カメラ１４７等を含み、そのディスプレイ１４４やサブディスプレイ１４５として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明に係る蒸着成膜装置の概略構成例を示す模式図である。
【図２】本発明に係る蒸着成膜装置に設けられた蒸着源の断面模式図である。
【図３】本発明に係る蒸着成膜装置の設けられた他の蒸着源の断面模式図である。
【図４】本発明の蒸着成膜装置を用いて作製される表示装置の概略構成例を示す模式図である。
【図５】実施形態の表示装置の回路構成の一例を示す図である。
【図６】本発明が適用される封止された構成のモジュール形状の表示装置を示す構成図である。
【図７】本発明が適用されるテレビを示す斜視図である。
【図８】本発明が適用されるデジタルカメラを示す図であり、（Ａ）は表側から見た斜視図、（Ｂ）は裏側から見た斜視図である。
【図９】本発明が適用されるノート型パーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【図１０】本発明が適用されるビデオカメラを示す斜視図である。
【図１１】本発明が適用される携帯端末装置、例えば携帯電話機を示す図であり、（Ａ）は開いた状態での正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態での正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。
【図１２】従来の蒸着成膜装置の構成を示す図である。
【図１３】従来の蒸着成膜装置の蒸着源の断面模式図である。
【符号の説明】
【００６６】
１…蒸着成膜装置、１０…蒸着源、１１…開口、１２…ルツボ、１２ａ…仕切り板、１３…外箱、１３ａ…天面板、１４…熱源、２３…正孔注入層（蒸着膜）、２４…正孔輸送層（蒸着膜）、２５ｒ…赤色発光層（蒸着膜）、２５ｇ…緑色発光層（蒸着膜）、２５ｂ…青色発光層（蒸着膜）、２６…電子輸送層、３１ｒ…赤色発光素子（有機電界発光素子）、３１ｇ…緑色発光素子（有機電界発光素子）、３１ｂ…青色発光素子（有機電界発光素子）、３３…表示装置、ｍ…蒸着材料、ｐ１…ピッチ(開口の）、ｐ２…ピッチ（仕切り板の）、Ｗ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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