(57)【要約】【課題】改行走査によって異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を連続的にしたパターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供する。【解決手段】先行吐出ヘッドの主走査によって、先行ノズルＮＦが先行経路ＲＦを描き、後続吐出ヘッドの改行走査によって、後続ノズルＮＬが後続経路ＲＬを描く。先行経路ＲＦと後続経路ＲＬとが重畳する重畳経路ＲＯにおいて、先行吐出ヘッドは、先行ノズルＮＦの中から複数の先行選択ノズルＮＦｓを選択して先行液滴を吐出する。また、後続吐出ヘッドは、先行選択ノズルＮＦｓの走査経路上に位置しない後続ノズルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして選択して後続液滴を吐出させる。【選択図】図６
2008229528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と基板とを主走査方向に沿って複数回
にわたり相対移動させるとともに前記ノズルから前記基板に向けて液滴を吐出させて前記
基板にパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に相対移動させるたびに、先行のノズル群
の一側と後続のノズル群の他側とを前記主走査方向から見て重なり合うように前記ノズル
群と前記基板とを副走査方向に沿って相対移動させるとともに、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択して前
記先行ノズルの各々に液滴を吐出させ、
前記後続のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルの間に位置する
複数の後続ノズルを選択して前記後続ノズルの各々に液滴を吐出させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載のパターン形成方法であって、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から前記一方向に沿って所定の間隔
ごとに複数の先行ノズルを選択して前記先行ノズルの各々に液滴を吐出させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のパターン形成方法であって、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択し、前
記先行ノズルの各々に先行の液滴を吐出させ、
前記後続のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルに対応する複数
の後続ノズルを選択し、前記主走査方向に沿って着弾する前記先行の液滴の間に向けて、
対応する前記後続ノズルから後続の液滴を吐出させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載のパターン形成方法であって、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
先行ノズルの中で最も前記後続のノズル群の側に選択する先行ノズルの位置を前記一方向
に沿って変位させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項５】
一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と基板とを主走査方向に沿って複数回
にわたり相対移動させるとともに前記ノズルから前記基板に向けて液滴を吐出させて前記
基板にパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に相対移動させるたびに、先行のノズル群
の一側と後続のノズル群の他側とを前記主走査方向から見て重なり合うように前記ノズル
群と前記基板とを副走査方向に沿って相対移動させるとともに、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択し、前
記先行ノズルの各々に先行の液滴を吐出させ、
前記後続のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルに対応する複数
の後続ノズルを選択し、前記主走査方向に沿って着弾する前記先行の液滴の間に向けて、
対応する前記後続ノズルから後続の液滴を吐出させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項６】
請求項５に記載のパターン形成方法であって、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択し、前
記先行ノズルの各々に前記主走査方向に沿って所定の間隔で先行の液滴を吐出させること
、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項７】
請求項５又は６に記載のパターン形成方法であって、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から前記一方向に連続する複数の先
行ノズルを選択し、前記先行ノズルの各々に前記主走査方向に沿って所定の間隔で先行の
液滴を吐出させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１つに記載のパターン形成方法であって、
前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記
先行ノズルの中で最も前記後続のノズル群の側に選択する先行ノズルの位置を前記一方向
に沿って変位させること、
を特徴とするパターン形成方法。
【請求項９】
一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と、
前記ノズル群と基板とを主走査方向および副走査方向に相対移動する移動手段と、
前記移動手段を駆動して前記ノズル群と前記基板とを複数回にわたり前記主走査方向に
相対移動させ、前記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるたび
に、先行のノズル群の一側と後続のノズル群の他側とが前記主走査方向から見て重なり合
うように副走査方向に相対移動させる制御手段と、を備えた液滴吐出装置であって、
前記制御手段は、
前記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択
する先行選択データを生成し、前記先行選択データに基づいて前記先行ノズルの各々から
液滴を吐出させ、
前記先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルの間に位
置する複数の後続ノズルを選択する後続選択データを生成し、前記後続選択データに基づ
いて前記後続ノズルの各々から液滴を吐出させること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と、
前記ノズル群と基板とを主走査方向および副走査方向に相対移動する移動手段と、
前記移動手段を駆動して前記ノズル群と前記基板とを複数回にわたり前記主走査方向に
相対移動させ、前記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるたび
に、先行のノズル群の一側と後続のノズル群の他側とが前記主走査方向から見て重なり合
うように副走査方向に相対移動させる制御手段と、を備えた液滴吐出装置であって、
前記制御手段は、
前記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択
する先行選択データを生成し、前記先行選択データに基づいて前記先行ノズルの各々から
先行の液滴を吐出させ、
前記後続のノズル群が前記先行の液滴の間に対向するときに前記先行のノズル群と重な
り合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルに対応する複数の後続ノズルを選択す
る後続選択データを生成し、前記後続選択データに基づいて前記後続ノズルの各々から前
記先行の液滴の間に向けて後続の液滴を吐出させること、
を特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
基板の一側面に配向膜を備えた電気光学装置であって、
前記配向膜が請求項９又は１０に記載の液滴吐出装置によって形成されたこと特徴とす
る電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン形成方法、液滴吐出装置、及び電気光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置においては、液晶分子の配向方向を規定するために、配向処理の施された
配向膜を利用する。この配向膜の製造方法としては、生産性の向上と製造コストの低減を
図るために、液滴吐出装置を用いるインクジェット法が鋭意開発されている。
【０００３】
液滴吐出装置は、配向膜材料を含む液状体を液滴として吐出するノズルと、複数のノズ
ルを有して基板に対して相対移動する吐出ヘッドとを有し、吐出ヘッドと基板とを主走査
方向に沿って相対移動させながら選択するノズルに液滴を吐出させる。そして、配向膜材
料を含む液状膜を基板の主走査方向に沿って順に描画し、この液状膜を乾燥させることに
よって配向膜を形成する。
【０００４】
液滴吐出装置では、配向膜のサイズが吐出ヘッドの走査幅より大きくなると、主走査方
向と交差する副走査方向に沿って基板と吐出ヘッドとを相対移動させ、吐出ヘッドと基板
とを再び主走査方向に沿って相対移動させる、すなわち、吐出ヘッドを改行走査させる。
この改行走査においては、先行の走査によって吐出される液滴が、後続の走査によって吐
出される液滴よりも早く乾燥し始める。この結果、後続の走査領域に着弾する液状体の一
部が先行の走査領域に流動し、走査経路の境界において主走査方向に連続する筋状の膜厚
段差（以下単に、スジムラという。）を形成してしまう。
【０００５】
そこで、インクジェット法においては、配向膜の膜厚均一性を向上させるために、従来
から、上記のスジムラを解消させる提案がなされている。特許文献１は、基板の表面から
所定の距離だけ離間するローラを、基板の表面に形成された塗布膜の全面にわたって押し
当て、ローラの物理的な力により塗布膜の膜厚を較正させる。
【特許文献１】特開２００３−２８４９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、膜厚を較正するためのローラが塗布膜の全体にわたっ
て押し当てられるため、塗布膜を構成する液状体の殆どがローラの表面に付着して取り除
かれる。この結果、特許文献１に開示される技術を液滴吐出装置に適用する場合には、配
向膜材料の使用量の増加を招き、インクジェット法の利点である原材料の低減を達成させ
難くする。
【０００７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、改行走査によ
って異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を連続的にしたパターン形成方法、
液滴吐出装置、及び電気光学装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のパターン形成方法は、一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と基板
とを主走査方向に沿って複数回にわたり相対移動させるとともに前記ノズルから前記基板
に向けて液滴を吐出させて前記基板にパターンを形成するパターン形成方法であって、前
記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に相対移動させるたびに、先行のノズル群の一
側と後続のノズル群の他側とを前記主走査方向から見て重なり合うように前記ノズル群と
前記基板とを副走査方向に沿って相対移動させるとともに、前記先行のノズル群と前記基
板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記後続のノズル群と重なり合う前
記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択して前記先行ノズルの各々に液滴を吐
出させ、前記後続のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき
、前記先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルの間に位
置する複数の後続ノズルを選択して前記後続ノズルの各々に液滴を吐出させる。
【０００９】
本発明のパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続
走査によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミング
で形成する膜パターンを副走査方向に繰り返させることができる。したがって、改行走査
によって異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を分散させることができ、膜パ
ターンの全体として連続的に形成させることができる。
【００１０】
このパターン形成方法は、前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って
相対移動させるとき、前記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から前記
一方向に沿って所定の間隔ごとに複数の先行ノズルを選択して前記先行ノズルの各々に液
滴を吐出させる構成でもよい。
【００１１】
このパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミングで形
成される膜パターンを副走査方向に沿って所定の間隔ごとに規則的に繰り返させることが
できる。この結果、液滴を吐出して形成する膜パターンを、より確実に連続的に形成させ
ることができる。
【００１２】
このパターン形成方法は、前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って
相対移動させるとき、前記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数
の先行ノズルを選択し、前記先行ノズルの各々に先行の液滴を吐出させ、前記後続のノズ
ル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記先行のノズル群と
重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルに対応する複数の後続ノズルを選
択し、前記主走査方向に沿って着弾する前記先行の液滴の間に向けて、対応する前記後続
ノズルから後続の液滴を吐出させる構成であってもよい。
【００１３】
このパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミングで形
成される膜パターンを、さらに主走査方向に繰り返させることができる。したがって、異
なるタイミングで形成される膜パターンの境界を、さらに分散させることができ、膜パタ
ーンの全体として、より連続的に形成させることができる。
【００１４】
このパターン形成方法は、前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って
相対移動させるとき、前記先行ノズルの中で最も前記後続のノズル群の側に選択する先行
ノズルの位置を前記一方向に沿って変位させる構成であってもよい。
【００１５】
このパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミングで形
成される膜パターンの境界を、一方向と交差する方向であって、かつ、主走査方向と交差
する方向に繰り返し配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成され
る膜パターンの境界を、さらに分散させることができ、膜パターンの全体として、さらに
連続的に形成させることができる。
【００１６】
本発明のパターン形成方法は、一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と基板
とを主走査方向に沿って複数回にわたり相対移動させるとともに前記ノズルから前記基板
に向けて液滴を吐出させて前記基板にパターンを形成するパターン形成方法であって、前
記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に相対移動させるたびに、先行のノズル群の一
側と後続のノズル群の他側とを前記主走査方向から見て重なり合うように前記ノズル群と
前記基板とを副走査方向に沿って相対移動させるとともに、前記先行のノズル群と前記基
板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるとき、前記後続のノズル群と重なり合う前
記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択し、前記先行ノズルの各々に先行の液
滴を吐出させ、前記後続のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させ
るとき、前記先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルに
対応する複数の後続ノズルを選択し、前記主走査方向に沿って着弾する前記先行の液滴の
間に向けて、対応する前記後続ノズルから後続の液滴を吐出させる。
【００１７】
本発明のパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続
走査によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミング
で形成される膜パターンを主走査方向に繰り返し配置させることができる。したがって、
異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を分散させることができ、膜パターンの
全体として連続的に形成させることができる。
【００１８】
このパターン形成方法は、前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って
相対移動させるとき、前記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数
の先行ノズルを選択し、前記先行ノズルの各々に前記主走査方向に沿って所定の間隔で先
行の液滴を吐出させる構成であってもよい。
【００１９】
このパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミングで形
成される膜パターンを主走査方向に沿って所定の間隔ごとに規則的に繰り返し配置させる
ことができる。この結果、液滴を吐出して形成する膜パターンを、より連続的に形成させ
ることができる。
【００２０】
このパターン形成方法は、前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って
相対移動させるとき、前記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から前記
一方向に連続する複数の先行ノズルを選択し、前記先行ノズルの各々に前記主走査方向に
沿って所定の間隔で先行の液滴を吐出させる構成であってもよい。
【００２１】
このパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミングで形
成されて、かつ、一方向に連続するパターンを主走査方向に繰り返し配置させることがで
きる。したがって、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を副走査方向と主走
査方向の双方に沿って分散させることができ、膜パターンの全体として、さらに連続的に
形成させることができる。
【００２２】
このパターン形成方法は、前記先行のノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って
相対移動させるとき、前記先行ノズルの中で最も前記後続のノズル群の側に選択する先行
ノズルの位置を前記一方向に沿って変位させる構成であってもよい。
【００２３】
このパターン形成方法によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、異なるタイミングで形
成される膜パターンの境界を、一方向と交差する方向であって、かつ、主走査方向と交差
する方向に繰り返し配置させることができる。したがって、異なるタイミングで形成され
る膜パターンの境界を分散させることができ、膜パターンの全体として、さらに連続的に
形成させることができる。
【００２４】
本発明の液滴吐出装置は、一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と、前記ノ
ズル群と基板とを主走査方向および副走査方向に相対移動する移動手段と、前記移動手段
を駆動して前記ノズル群と前記基板とを複数回にわたり前記主走査方向に相対移動させ、
前記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるたびに、先行のノズ
ル群の一側と後続のノズル群の他側とが前記主走査方向から見て重なり合うように副走査
方向に相対移動させる制御手段と、を備えた液滴吐出装置であって、前記制御手段は、前
記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択する
先行選択データを生成し、前記先行選択データに基づいて前記先行ノズルの各々から液滴
を吐出させ、前記先行のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズ
ルの間に位置する複数の後続ノズルを選択する後続選択データを生成し、前記後続選択デ
ータに基づいて前記後続ノズルの各々から液滴を吐出させる。
【００２５】
本発明の液滴吐出装置によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、制御手段は、異なるタ
イミングで形成される膜パターンを一方向に繰り繰り返させることができる。したがって
、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を分散させることができ、膜パターン
の全体として連続的に形成させることである。
【００２６】
本発明の液滴吐出装置は、一方向に配列した複数のノズルからなるノズル群と、前記ノ
ズル群と基板とを主走査方向および副走査方向に相対移動する移動手段と、前記移動手段
を駆動して前記ノズル群と前記基板とを複数回にわたり前記主走査方向に相対移動させ、
前記ノズル群と前記基板とを前記主走査方向に沿って相対移動させるたびに、先行のノズ
ル群の一側と後続のノズル群の他側とが前記主走査方向から見て重なり合うように副走査
方向に相対移動させる制御手段と、を備えた液滴吐出装置であって、前記制御手段は、前
記後続のノズル群と重なり合う前記先行のノズル群の中から複数の先行ノズルを選択する
先行選択データを生成し、前記先行選択データに基づいて前記先行ノズルの各々から先行
の液滴を吐出させ、前記後続のノズル群が前記先行の液滴の間に対向するときに前記先行
のノズル群と重なり合う前記後続のノズル群の中から前記先行ノズルに対応する複数の後
続ノズルを選択する後続選択データを生成し、前記後続選択データに基づいて前記後続ノ
ズルの各々から前記先行の液滴の間に向けて後続の液滴を吐出させる。
【００２７】
本発明の液滴吐出装置によれば、先行走査によって形成される膜パターンと、後続走査
によって形成される膜パターンとが互いに接合する領域において、制御手段は、異なるタ
イミングで形成される膜パターンを主走査方向に繰り返させることができる。したがって
、異なるタイミングで形成される膜パターンの境界を分散させることができ、膜パターン
の全体として連続的に形成させることである。
【００２８】
本発明の電気光学装置は、基板の一側面に配向膜を備えた電気光学装置であって、前記
配向膜が上記液滴吐出装置によって形成される。
本発明の電気光学装置によれば、配向膜の全体としてスジムラを軽減させた電気光学装
置を提供させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
（第一実施形態）
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図８に従って説明する。図１は、液滴吐
出装置１０を示す斜視図である。
【００３０】
図１において、液滴吐出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有する。基台
１１の上面には、基台１１に設けられるステージモータの出力軸に駆動連結されるステー
ジ１２が取着されている。ステージ１２は、基板Ｓを載置して位置決め固定し、ステージ
モータが正転又は逆転するとき、基台１１の長軸方向に沿って所定の速度で往復移動して
基板Ｓを走査させる。
【００３１】
ここで、図１の右下から左上に向かう方向を＋Ｘ方向（主走査方向）とし、＋Ｘ方向の
反対方向、すなわち、図１の左上から右下に向かう方向を−Ｘ方向という。また、ステー
ジ１２が、この＋Ｘ方向に沿って基板Ｓを走査する動作を、「主走査」という。なお、基
板Ｓとしては、例えば、液晶表示装置に利用される平面板状あるいは円盤状のガラス基板
や半導体装置に利用される円盤状のシリコン基板を用いることができる。
【００３２】
基台１１の上側には、門型に形成されたガイド部材１３が基台１１を跨ぐように架設さ
れ、そのガイド部材１３の上側には、インクＩｋを貯留するインクタンク１４が搭載され
ている。インクタンク１４は、貯留する液状体としてのインクＩｋを所定の圧力で導出可
能にする。インクＩｋとしては、例えば、ポリイミドなどの配向性高分子を薄膜成分とし
て含む配向膜インク、あるいは、ノボラック系樹脂などの感光性樹脂を薄膜成分として含
むレジスト膜インクなどを用いることができる。
【００３３】
ガイド部材１３の下側には、ガイド部材１３に設けられるキャリッジモータの出力軸に
駆動連結されるキャリッジ１５が取着され、そのキャリッジ１５の下側には、吐出ヘッド
１６が搭載されている。キャリッジ１５は、キャリッジモータが正転又は逆転するとき、
基台１１の短軸方向に沿って往復移動して吐出ヘッド１６を走査させる。
【００３４】
ここで、図１の右上から左下に向かう方向を＋Ｙ方向（副走査方向）とし、＋Ｙ方向の
反対方向、すなわち、図１の左下から右上に向かう方向を−Ｙ方向という。キャリッジ１
５が、この−Ｙ方向に沿って吐出ヘッド１６を走査し、吐出ヘッド１６から見て、基板Ｓ
を相対的に＋Ｙ方向に走査する動作を、「副走査」という。
【００３５】
基台１１の左側には、メンテナンス機構１７が配設されている。メンテナンス機構１７
は、吐出ヘッド１６の吐出状態を安定させるため、吐出ヘッド１６に対してクリーニング
やフラッシングを行う際に利用される。
【００３６】
図２は、吐出ヘッド１６をステージ１２から見た斜視図であり、図３は、図２のＡ−Ａ
断面図である。図４および図５は、それぞれ吐出ヘッド１６の走査経路を模式的に示す平
面図である。なお、図４および図５においては、吐出ヘッド１６の走査経路を説明する便
宜上、ノズルＮの数量を簡略化している。
【００３７】
図２において、吐出ヘッド１６の上側（図１の下側）には、ノズルプレート１８が備え
られている。ノズルプレート１８の上面には、基板Ｓと平行のノズル形成面１８ａが形成
されている。そのノズル形成面１８ａには、ノズル形成面１８ａの法線方向に貫通する１
８０個のノズルＮが副走査方向に沿って等間隔に配列されて、１列のノズル列ＮＲを構成
している。
【００３８】
ここで、ノズル列ＮＲの副走査方向の幅をノズル列幅Ｗとし、ノズルＮの形成ピッチを
ノズルピッチＷＮという。
吐出ヘッド１６の下側（図１の上側）には、ヘッド基板２１が設けられ、そのヘッド基
板２１の一側端には、入力端子２１ａが設けられている。入力端子２１ａには、吐出ヘッ
ド１６を駆動するための所定の駆動波形信号が入力される。
【００３９】
図３において、各ノズルＮの上側には、それぞれインクタンク１４に連通するキャビテ
ィ２２が形成されている。各キャビティ２２は、それぞれインクタンク１４が導出するイ
ンクＩｋを貯留し対応するノズルＮに供給する。各キャビティ２２の上側には、上下方向
に振動可能な振動板２３が貼り付けられて、対応するキャビティ２２の容積を拡大及び縮
小可能にする。振動板２３の上側には、それぞれ圧電素子ＰＺが配設されている。各圧電
素子ＰＺは、それぞれ圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号が入力されるとき、上
下方向に収縮及び伸張して対応する振動板２３を振動させる。
【００４０】
各キャビティ２２は、それぞれ対応する振動板２３が振動するとき、対応するノズルＮ
のメニスカスを上下方向に振動させて、駆動波形信号に応じた所定の重量のインクＩｋを
、対応するノズルＮから液滴Ｄとして吐出させる。吐出される各液滴Ｄは、それぞれ基板
Ｓに向かって飛行し、ノズルＮと相対向する表面Ｓａに着弾する。着弾後の各液滴Ｄは、
それぞれ表面Ｓａの上において濡れ広がり合一した液状膜ＦＬを形成する。表面Ｓａの全
体にわたって描かれる液状膜ＦＬは、所定の乾燥処理によってその溶媒又は分散媒を蒸発
させて薄膜を形成する。
【００４１】
図４において、ノズル列ＮＲは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき、基板Ｓに対
して相対移動し、基板Ｓの表面Ｓａ上においては、ノズル列幅Ｗを有して主走査方向に延
びる帯状の走査経路（以下単に、先行経路ＲＦという。）を描く。ここで、先行経路ＲＦ
を描くときの吐出ヘッド１６を先行吐出ヘッド１６Ｆとし、先行吐出ヘッド１６Ｆが有す
るノズルＮを先行ノズルＮＦという。また、先行ノズルＮＦが吐出する液滴Ｄを先行液滴
ＤＦとし、先行吐出ヘッド１６Ｆが形成する液状膜ＦＬを先行液状膜ＦＬＦという。
【００４２】
図５において、ノズル列ＮＲは、ステージ１２が基板Ｓを副走査して再び基板Ｓを主走
査するとき、すなわち、基板Ｓを改行走査するとき、先行経路ＲＦの−Ｙ方向の端部と主
走査方向の略全幅にわたって重なり合う走査経路（以下単に、後続経路ＲＬという。）を
描く。ここで、後続経路ＲＬを描くときの吐出ヘッド１６を後続吐出ヘッド１６Ｌとし、
後続吐出ヘッド１６Ｌが有するノズルＮを後続ノズルＮＬという。また、後続ノズルＮＬ
が吐出する液滴Ｄを後続液滴ＤＬとし、後続吐出ヘッド１６Ｌが形成する液状膜ＦＬを後
続液状膜ＦＬＬという。
【００４３】
各先行ノズルＮＦと各後続ノズルＮＬとは、ステージ１２が基板Ｓを主走査および改行
走査するとき、主走査方向から見て連続的に等間隔に配列されて、基板Ｓの副走査方向の
全幅にわたってノズルＮの解像度を均一にさせる。そして、先行経路ＲＦと後続経路ＲＬ
が重なり合う領域においては、先行ノズルＮＦと後続ノズルＮＬとが、基板Ｓから見て、
同じ経路上を移動する。
【００４４】
ここで、先行吐出ヘッド１６Ｆのノズル列ＮＲと、後続吐出ヘッド１６Ｌのノズル列Ｎ
Ｒとが重なる幅を重畳幅ＷＯとし、先行経路ＲＦと後続経路ＲＬとが重なり合う経路を重
畳経路ＲＯという。また、ノズル列幅Ｗに対する重畳幅ＷＯの割合を「重畳率」とする。
本発明の液滴吐出装置１０においては、液状膜ＦＬのスジムラを軽減させるため、この重
畳率を５％〜４０％にすることが好ましい。重畳率が５％よりも小さくなると、先行ノズ
ルＮＦによって形成される先行液状膜ＦＬＦと、後続ノズルＮＬによって形成される後続
液状膜ＦＬＬとの間にスジムラが形成され始める。また、重畳率が４０％よりも大きくな
ると、副走査の走査量が小さくなり、改行走査の回数を大幅に増大させなければならなく
なる。
【００４５】
図６は、重畳経路ＲＯに規定される液滴Ｄの吐出位置と、吐出位置の各々に対応付けら
れるノズルＮとを模式的に示す図（以下単に、ドットパターンという。）である。
なお、図６の左側が先行経路ＲＦに対応し、右側が後続経路ＲＬに対応し、中央が重畳
経路ＲＯに対応する。また、図６においは、描画時に選択するノズルＮを実線で示し、描
画時に選択しないノズルＮを破線で示す。また、描画時に選択する先行ノズルＮＦを、先
行選択ノズルＮＦｓとしてグラデーションを付し、描画時に選択する後続ノズルＮＬを、
後続選択ノズルＮＬｓとして白抜きで示す。
【００４６】
図６において、基板Ｓの表面Ｓａは、一点鎖線で示すドットパターン格子によって仮想
分割されている。ドットパターン格子とは、主走査方向における液滴Ｄの主吐出ピッチＰ
ｘと、副走査方向における液滴Ｄの副吐出ピッチＰｙとによって規定される格子である。
液滴Ｄの吐出・非吐出は、このドットパターン格子の格子点Ｐごとに選択される。本実施
形態において、四角の枠（以下単に、吐出枠Ｆという。）によって囲まれる格子点Ｐには
、液滴Ｄの吐出が選択され、囲まれていない格子点Ｐには、非吐出が選択される。例えば
、最も−Ｘ方向の各格子点Ｐは、それぞれ液滴Ｄの非吐出が選択され、その他の格子点Ｐ
は、全て液滴Ｄの吐出が選択される。
【００４７】
各吐出枠Ｆには、それぞれ対応する格子点Ｐの直上を通過するノズルＮが、液滴Ｄを吐
出するためのノズルＮとして選択される。本実施形態において、グラデーションを付され
た吐出枠Ｆには、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして先行ノズルＮＦが選択され、白
抜きの吐出枠Ｆには、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして後続ノズルＮＬが選択され
る。
【００４８】
すなわち、重畳経路ＲＯを除く先行経路ＲＦの各吐出枠Ｆには、それぞれ液滴Ｄを吐出
するためのノズルＮとして先行選択ノズルＮＦｓが選択される。重畳経路ＲＯを除く後続
経路ＲＬの各吐出枠Ｆには、それぞれ液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして後続選択ノ
ズルＮＬｓが選択される。
【００４９】
また、重畳経路ＲＯの各吐出枠Ｆには、それぞれ液滴Ｄを吐出するノズルＮとして先行
ノズルＮＦと後続ノズルＮＬのいずれか一方が選択される。詳述すると、重畳経路ＲＯの
各吐出枠Ｆには、それぞれ副走査方向に沿って１列おきに、先行選択ノズルＮＦｓと後続
選択ノズルＮＬｓとが交互に選択される。
【００５０】
そして、先行吐出ヘッド１６Ｆは、ステージ１２が基板Ｓを主走査するとき、重畳経路
ＲＯを除く先行経路ＲＦにおいて、全ての先行ノズルＮＦを先行選択ノズルＮＦｓとして
選択し、各先行選択ノズルＮＦｓにそれぞれ先行液滴ＤＦを吐出させる。重畳経路ＲＯを
除く先行経路ＲＦに吐出される先行液滴ＤＦは、対応する経路の全体にわたり先行液状膜
ＦＬＦを描画する。
【００５１】
また、先行吐出ヘッド１６Ｆは、重畳経路ＲＯに対応する先行ノズルＮＦの中から１つ
おきに先行選択ノズルＮＦｓを選択し、各先行選択ノズルＮＦｓにそれぞれ先行液滴ＤＦ
を吐出させる。重畳経路ＲＯで吐出される先行液滴ＤＦは、主走査方向に沿って延びるラ
イン状の多数の先行液状膜ＦＬＦを副走査方向に沿って等間隔に形成する。
【００５２】
一方、後続吐出ヘッド１６Ｌは、ステージ１２が基板Ｓを改行走査するとき、重畳経路
ＲＯを除く後続経路ＲＬにおいて、全ての後続ノズルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして
選択し、各後続選択ノズルＮＬｓにそれぞれ後続液滴ＤＬを吐出させる。重畳経路ＲＯを
除く後続経路ＲＬに吐出される後続液滴ＤＬは、対応する経路の全体にわたり後続液状膜
ＦＬＬを描画する。
【００５３】
また、後続吐出ヘッド１６Ｌは、重畳経路ＲＯに対応する後続ノズルＮＬの中から先行
選択ノズルＮＦｓの走査経路上に位置しない後続ノズルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとし
て選択し、各後続選択ノズルＮＬｓにそれぞれ後続液滴ＤＬを吐出させる。重畳経路ＲＯ
で吐出される後続液滴ＤＬは、先行液滴ＤＦの間を補填するように表面Ｓａに着弾し、主
走査方向に沿って延びるライン状の多数の後続液状膜ＦＬＬを形成する。
【００５４】
この際、先行液滴ＤＦは、吐出ヘッド１６の改行動作の分だけ後続液滴ＤＬよりも吐出
タイミングが早くなり、先行液状膜ＦＬＦは、後続液状膜ＦＬＬよりも早く乾燥を開始す
る。先行液状膜ＦＬＦは、乾燥状態が進行する分だけ後続液状膜ＦＬＬのインクＩｋを隣
接する先行液状膜ＦＬＦに向けて流動させ、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの境
界に膜厚の段差（スジムラ）を形成させる。重畳経路ＲＯに着弾する先行液滴ＤＦと後続
液滴ＤＬは、このスジムラを副吐出ピッチＰｙごとの微細なスジムラとして規則正しく分
散させ、重畳経路ＲＯの全体に一様な縦縞模様を描く。これによって、重畳経路ＲＯの液
状膜ＦＬは、基板Ｓの全体から見て、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間の境界
をぼかして連続的にさせ、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間のスジムラを軽減
させる。
【００５５】
次に、上記液滴吐出装置１０の電気的構成を図７および図８に従って説明する。図７は
、液滴吐出装置１０の電気的構成を示すブロック回路図であり、図８は、ヘッド駆動回路
の電気的構成を示すブロック回路図である。
【００５６】
図８において、制御手段を構成する制御装置３０は、液滴吐出装置１０に各種の処理動
作を実行させるものである。制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１と、ＣＰＵなどからなる制
御部３２と、ＤＲＡＭ及びＳＲＡＭを含み各種のデータを格納するＲＡＭ３３と、各種制
御プログラムを格納するＲＯＭ３４とを有する。また、制御装置３０は、クロック信号を
生成する発振回路３５と、圧電素子ＰＺを駆動するための駆動波形信号を生成する駆動波
形生成回路３６と、各種の信号を送信する内部Ｉ／Ｆ３８とを有する。
【００５７】
制御装置３０は、外部Ｉ／Ｆ３１を介して、入出力装置３７に接続されている。また、
制御装置３０は、内部Ｉ／Ｆ３８を介して、ステージ１２やキャリッジ１５を走査するた
めのモータ駆動回路３９に接続されている。また、制御装置３０は、内部Ｉ／Ｆ３８を介
して、吐出ヘッド１６を駆動制御するためのヘッド駆動回路４０に接続されている。
【００５８】
入出力装置３７は、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、液晶ディスプ
レイなどを有した外部コンピュータである。入出力装置３７は、ＲＯＭまたはハードディ
スクに記憶された制御プログラムに従って液滴吐出装置１０を駆動させるための各種の制
御信号を外部Ｉ／Ｆ３１に出力する。外部Ｉ／Ｆ３１は、入出力装置３７から描画データ
Ｉｐを受信する。
【００５９】
描画データＩｐとは、表面Ｓａに対する先行経路ＲＦおよび後続経路ＲＬの位置に関す
るデータ、ステージ１２の走査速度に関するデータ、ドットパターン格子の各格子点Ｐに
対し液滴Ｄの吐出・非吐出を規定するデータなど、液滴Ｄを吐出させるための各種のデー
タである。
【００６０】
ＲＡＭ３３は、受信バッファ、中間バッファ、出力バッファとして利用される。ＲＯＭ
３４は、制御部３２が実行する各種の制御ルーチンと、その制御ルーチンを実行するため
の各種のデータとを格納する。
【００６１】
発振回路３５は、各種のデータや各種の駆動信号を同期させるためのクロック信号を生
成する。発振回路３５は、例えば、各種のデータをシリアル転送するときに用いる転送ク
ロックＣＬＫを生成する。発振回路３５は、シリアル転送される各種のデータをパラレル
変換時するときに用いるラッチ信号ＬＡＴを、液滴Ｄの吐出周期ごとに生成する。
【００６２】
駆動波形生成回路３６は、各種の駆動波形信号ＣＯＭを生成するための波形データを所
定のアドレスに対応させて格納する。駆動波形生成回路３６は、制御部３２が読み出す波
形データを吐出周期のクロック信号ごとにラッチしてアナログ信号に変換し、そのアナロ
グ信号を増幅して駆動波形信号ＣＯＭを生成する。
【００６３】
制御部３２は、外部Ｉ／Ｆ３１が受信した入出力装置３７からの描画データＩｐをＲＡ
Ｍ３３に一時的に格納して中間コードに変換する。制御部３２は、ＲＡＭ３３に格納する
中間コードデータを読み出してドットパターンデータを生成する。ドットパターンデータ
とは、ドットパターン格子の格子点Ｐの各々に関して液滴Ｄを吐出させるか否かを対応付
けるデータである。
【００６４】
制御部３２は、１回の主走査分あるいは改行走査分に相当するドットパターンデータを
生成すると、ドットパターンデータを用いて転送クロックＣＬＫに同期したシリアルデー
タを生成し、内部Ｉ／Ｆ３８を介して、そのシリアルデータをヘッド駆動回路４０にシリ
アル転送する。
【００６５】
ここで、ドットパターンデータを用いて生成されるシリアルデータを、シリアルパター
ンデータＳＩという。シリアルパターンデータＳＩは、液滴Ｄの吐出・非吐出を規定する
ためのビットの値をノズルＮの数量、すなわち１８０個分だけ有するデータであって、吐
出周期ごとに順次生成される。
【００６６】
制御部３２は、内部Ｉ／Ｆ３８を介してモータ駆動回路３９に接続されて、モータ駆動
回路３９に対応する駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路３９は、制御部３２からの
駆動制御信号に応答し、内部Ｉ／Ｆ３８を介してステージ１２とキャリッジ１５を移動さ
せる、すなわち、モータ駆動回路３９は、制御部３２からの主走査に関する駆動制御信号
に応答して基板Ｓを主走査させ、制御部３２からの改行走査に関する駆動制御信号に応答
して基板Ｓを改行走査させる。
【００６７】
次に、ヘッド駆動回路４０について以下に説明する。図８において、ヘッド駆動回路４
０は、シフトレジスタ４１と、ラッチ４２と、レベルシフタ４３と、アナログスイッチ４
４とを有する。
【００６８】
シフトレジスタ４１は、制御装置３０がシリアルパターンデータＳＩをシリアル転送す
るとき、シリアルパターンデータＳＩを転送クロックＣＬＫによって順次シフトさせて１
８０ビットのシリアルパターンデータＳＩを格納する。ラッチ４２は、制御装置３０がラ
ッチ信号ＬＡＴを入力するとき、シフトレジスタ４１に格納されるシリアルパターンデー
タＳＩをラッチしてシリアル／パラレル変換し、パラレルパターンデータＰＩとしてレベ
ルシフタ４３に出力する。
【００６９】
レベルシフタ４３は、ラッチ４２がパラレルパターンデータＰＩを出力するとき、パラ
レルパターンデータＰＩをアナログスイッチ素子の駆動電圧レベルに昇圧して、各圧電素
子ＰＺに対応する１８０個の開閉信号を生成する。
【００７０】
アナログスイッチ４４は、各圧電素子ＰＺに対応する１８０個のスイッチ素子を有して
いる。各スイッチ素子は、それぞれレベルシフタ４３が出力する開閉信号を受けて開閉す
る。各スイッチ素子の入力端には、それぞれ制御装置３０からの駆動波形信号ＣＯＭが入
力され、各スイッチ素子の出力端には、それぞれ対応する圧電素子ＰＺが接続されている
。各スイッチ素子は、それぞれレベルシフタ４３が“Ｈ”レベルの開閉信号を出力すると
き、対応する圧電素子ＰＺに駆動波形信号ＣＯＭを出力する。逆に、各スイッチ素子は、
それぞれレベルシフタ４３が“Ｌ”レベルの開閉信号を出力するとき、駆動波形信号ＣＯ
Ｍの出力を停止させる。これによって、制御装置３０は、ドットパターンデータに応じた
液滴Ｄの吐出処理を実行させる。
【００７１】
すなわち、制御装置３０は、ステージ１２に基板Ｓを主走査させて、各先行ノズルＮＦ
に先行経路ＲＦの各格子点Ｐ上を通過させる。この間、制御装置３０は、重畳経路ＲＯを
除く先行経路ＲＦにおいて、全ての先行ノズルＮＦを先行選択ノズルＮＦｓとして選択さ
せ、重畳経路ＲＯにおいて、先行ノズルＮＦの中から１つおきに先行選択ノズルＮＦｓを
選択させる。そして、制御装置３０は、先行選択ノズルＮＦｓに対応する圧電素子ＰＺに
それぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給し、各先行選択ノズルＮＦｓから対応する格子点Ｐに
向けて先行液滴ＤＦを吐出させる。これによって、制御装置３０は、重畳経路ＲＯを除く
先行経路ＲＦにおいて、その全体にわたり先行液状膜ＦＬＦを描画させ、重畳経路ＲＯに
おいて、その主走査方向の略全幅にわたって延びるライン状の多数の先行液状膜ＦＬＦを
等間隔に描画させる。
【００７２】
また、制御装置３０は、ステージ１２に基板Ｓを改行走査させて、各後続ノズルＮＬに
後続経路ＲＬの各格子点Ｐ上を通過させる。この間、制御装置３０は、重畳経路ＲＯを除
いた後続経路ＲＬにおいて、全ての後続ノズルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして選択さ
せ、重畳経路ＲＯにおいて、先行選択ノズルＮＦｓの走査経路上に位置しない後続ノズル
ＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして選択させる。そして、制御装置３０は、後続選択ノズ
ルＮＬｓに対応する圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動波形信号ＣＯＭを供給し、各後続選択ノ
ズルＮＬｓから対応する格子点Ｐに向けて後続液滴ＤＬを吐出させる。これによって、制
御装置３０は、重畳経路ＲＯを除いた後続経路ＲＬにおいて、その全体にわたり後続液状
膜ＦＬＬを描画させ、重畳経路ＲＯにおいて、その主走査方向の略全幅にわたって延びる
ライン状の多数の後続液状膜ＦＬＬを描画させる。
【００７３】
次に、液滴吐出装置１０を用いた薄膜の形成方法について以下に説明する。
まず、図１に示すように、基板Ｓが、その表面Ｓａを上側にしてステージ１２に載置さ
れる。このとき、ステージ１２は、基板Ｓをキャリッジ１５の−Ｘ方向に配置する。この
状態から、入出力装置３７は、描画データＩｐを制御装置３０に入力する。
【００７４】
制御装置３０は、モータ駆動回路３９を介してキャリッジ１５を副走査し、基板Ｓが主
走査されるときに吐出ヘッド１６が先行経路ＲＦ上を通過するようにキャリッジ１５を配
置する。制御装置３０は、キャリッジ１５を配置するとモータ駆動回路３９を介して基板
Ｓの主走査を開始する。
【００７５】
制御装置３０は、入出力装置３７から入力された描画データＩｐをドットパターンデー
タに展開する。この際、制御装置３０は、重畳経路ＲＯを除く先行経路ＲＦの各格子点Ｐ
に対し、全ての先行ノズルＮＦを先行選択ノズルＮＦｓとして選択させ、かつ、重畳経路
ＲＯの各格子点Ｐに対し、先行ノズルＮＦの中から１つおきに先行選択ノズルＮＦｓを選
択させる先行選択データとしてのドットパターンデータを生成する。
【００７６】
制御装置３０は、１回の主走査分に相当するドットパターンデータを展開すると、ドッ
トパターンデータを用いてシリアルパターンデータＳＩを生成し、シリアルパターンデー
タＳＩを転送クロックＣＬＫに同期させてヘッド駆動回路４０にシリアル転送する。
【００７７】
そして、制御装置３０は、各格子点Ｐがそれぞれ先行ノズルＮＦの直下に到達するたび
に、ヘッド駆動回路４０を介してシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換
し、各スイッチ素子を開閉するための開閉信号を生成する。また、制御装置３０は、各格
子点Ｐがそれぞれ先行ノズルＮＦの直下に到達するたびに、ラッチ信号ＬＡＴとラッチ信
号ＬＡＴに同期する駆動波形信号ＣＯＭとを出力する。
【００７８】
すなわち、制御装置３０は、重畳経路ＲＯを除く先行経路ＲＦにおいて、全ての先行ノ
ズルＮＦを先行選択ノズルＮＦｓとして選択させ、吐出周期ごとに、各先行選択ノズルＮ
Ｆｓにそれぞれ先行液滴ＤＦを吐出させる。これによって、制御装置３０は、重畳経路Ｒ
Ｏを除く先行経路ＲＦの全体にわたり先行液状膜ＦＬＦを描画させる。また、制御装置３
０は、重畳経路ＲＯにおいて、先行ノズルＮＦの中から１つおきに先行選択ノズルＮＦｓ
を選択させ、吐出周期ごとに、各先行選択ノズルＮＦｓにそれぞれ先行液滴ＤＦを吐出さ
せる。これによって、制御装置３０は、重畳経路ＲＯにおいて、その主走査方向の略全幅
にわたって延びるライン状の多数の先行液状膜ＦＬＦを等間隔に描画させる。
【００７９】
次いで、制御装置３０は、１回の改行走査分に相当する後続選択データとしてのドット
パターンデータを展開すると、ドットパターンデータを用いてシリアルパターンデータＳ
Ｉを生成し、シリアルパターンデータＳＩを転送クロックＣＬＫに同期させてヘッド駆動
回路４０にシリアル転送する。
【００８０】
そして、制御装置３０は、各格子点Ｐがそれぞれ後続ノズルＮＬの直下に到達するたび
に、ヘッド駆動回路４０を介してシリアルパターンデータＳＩをシリアル／パラレル変換
し、各スイッチ素子を開閉するための開閉信号を生成する。また、制御装置３０は、各格
子点Ｐがそれぞれ後続ノズルＮＬの直下に到達するたびに、ラッチ信号ＬＡＴとラッチ信
号ＬＡＴに同期する駆動波形信号ＣＯＭとを出力する。
【００８１】
すなわち、制御装置３０は、重畳経路ＲＯを除く後続経路ＲＬにおいて、全ての後続ノ
ズルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして選択させ、吐出周期ごとに、各後続選択ノズルＮ
Ｌｓにそれぞれ後続液滴ＤＬを吐出させる。これによって、制御装置３０は、重畳経路Ｒ
Ｏを除く後続経路ＲＬの全体にわたり後続液状膜ＦＬＬを描画させる。また、制御装置３
０は、重畳経路ＲＯにおいて、先行選択ノズルＮＦｓの走査経路上に位置しない後続ノズ
ルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして選択させ、吐出周期ごとに、各後続選択ノズルＮＬ
ｓにそれぞれ後続液滴ＤＬを吐出させる。そして、制御装置３０は、重畳経路ＲＯにおい
て、その主走査方向の略全幅にわたって延びるライン状の多数の先行液状膜ＦＬＦを等間
隔に描画させ、先行液状膜ＦＬＦの間に後続液滴ＤＬを補填させる。
【００８２】
これによって、制御装置３０は、重畳経路ＲＯの液状膜ＦＬに対して、副吐出ピッチＰ
ｙごとの微細なスジムラを与えることができ、液状膜ＦＬの全体にわたり、先行液状膜Ｆ
ＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間のスジムラを軽減させることができる。そして、液状膜Ｆ
Ｌに所定の乾燥処理を施し、液状膜ＦＬの溶媒または分散媒を蒸発させることによって、
均一な膜厚を呈する薄膜を形成できる。
【００８３】
次に、上記のように構成した第一実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態においては、先行吐出ヘッド１６Ｆの主走査によって、先行ノズル
ＮＦが先行経路ＲＦを描き、後続吐出ヘッド１６Ｌの改行走査によって、後続ノズルＮＬ
が後続経路ＲＬを描く。先行経路ＲＦと後続経路ＲＬとが重畳する重畳経路ＲＯにおいて
、先行吐出ヘッド１６Ｆは、先行ノズルＮＦの中から複数の先行選択ノズルＮＦｓを選択
して先行液滴ＤＦを吐出する。また、後続吐出ヘッド１６Ｌは、先行選択ノズルＮＦｓの
走査経路上に位置しない後続ノズルＮＬを後続選択ノズルＮＬｓとして選択して後続液滴
ＤＬを吐出させる。
【００８４】
したがって、改行走査のたびに形成される重畳経路ＲＯにおいては、先行走査による先
行液状膜ＦＬＦと後続走査による後続液状膜ＦＬＬとを副走査方向に繰り返させることが
できる。この結果、異なるタイミングで形成される液状膜ＦＬの境界を重畳経路ＲＯにお
いて分散させることができ、液状膜ＦＬの全体として連続的に形成させることができる。
ひいては、液状膜ＦＬからなる薄膜の膜厚均一性を向上させることができる。
【００８５】
（２）上記実施形態においては、先行吐出ヘッド１６Ｆは、先行ノズルＮＦの中から１
つおきに先行選択ノズルＮＦｓを選択して先行液滴ＤＦを吐出する。したがって、改行走
査のたびに形成される重畳経路ＲＯにおいては、先行走査による先行液状膜ＦＬＦと後続
走査による後続液状膜ＦＬＬとを副走査方向に沿って副吐出ピッチＰｙごとに規則的に繰
り返させることができる。この結果、液状膜ＦＬを、より確実に連続的に形成させること
ができ、液状膜ＦＬからなる薄膜の膜厚均一性を向上させることができる。
【００８６】
（第二実施形態）
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図９に従って説明する。第二実施形態は、第
一実施形態のドットパターンを変更したものである。そのため、以下では、その変更点に
ついて詳細に説明する。
【００８７】
図９は、第二実施形態におけるトッドパターンを示す図であり、図６と同じく、図９の
左側が先行経路ＲＦに対応し、右側が後続経路ＲＬに対応し、中央が重畳経路ＲＯに対応
する。また、各経路ＲＦ，ＲＬ，ＲＯ上を通過するノズルＮのなかで、液状膜ＦＬの描画
時に選択するノズルＮを実線で示し、描画時に選択しないノズルＮを破線で示す。また、
描画時に選択する先行ノズルＮＦを、先行選択ノズルＮＦｓとしてグラデーションを付し
、描画時に選択する後続ノズルＮＬを、後続選択ノズルＮＬｓとして白抜きで示す。さら
に、吐出枠Ｆで囲む各格子点Ｐを、液滴Ｄの吐出が選択される格子点Ｐとする。
【００８８】
図９において、各吐出枠Ｆには、それぞれ対応する格子点Ｐの直上を通過するノズルＮ
が、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして選択される。本実施形態において、グラデー
ションを付された吐出枠Ｆには、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして先行ノズルＮＦ
が選択され、白抜きの吐出枠Ｆには、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして後続ノズル
ＮＬが選択される。
【００８９】
すなわち、重畳経路ＲＯの各吐出枠Ｆには、それぞれ液滴Ｄを吐出するノズルＮとして
先行ノズルＮＦと後続ノズルＮＬのいずれか一方が選択される。詳述すると、重畳経路Ｒ
Ｏの左側の各吐出枠Ｆには、先行選択ノズルＮＦｓが主走査方向に沿って連続的に選択さ
れる列と、先行選択ノズルＮＦｓが主走査方向に沿って１つおきに選択される列とが、副
走査方向に沿って交互に配列される。また、重畳経路ＲＯの右側の各吐出枠Ｆには、後続
選択ノズルＮＬｓが主走査方向に沿って連続的に選択される列と、後続選択ノズルＮＬｓ
が主走査方向に沿って１つおきに選択される列とが、副走査方向に沿って交互に配列され
る。
【００９０】
制御装置３０は、図９に示すドットパターンに対応するドットパターンデータと、該ド
ットパターンデータに対応するシリアルパターンデータＳＩとを生成し、ヘッド駆動回路
４０を介して先行液滴と後続液滴とを選択的に吐出させる。そして、制御装置３０は、重
畳経路ＲＯの左側において、先行液滴ＤＦを地にした後続液滴ＤＬのブロック・チェック
（市松模様）を描き、さらに、重畳経路ＲＯの右側において、後続液滴ＤＬを地にした先
行液滴ＤＦのブロック・チェックを描く。
【００９１】
この構成によれば、先行液滴ＤＦを地にした後続液滴ＤＬのブロック・チェックを先行
経路ＲＦから連続的に描くことができ、後続液滴ＤＬを地にした先行液滴ＤＦのブロック
・チェックを後続経路ＲＬから連続的に描くことができる。そして、重畳経路ＲＯの副走
査方向の略中央で、先行液滴ＤＦを地にした後続液滴ＤＬのブロック・チェックと、後続
液滴ＤＬを地にした先行液滴ＤＦのブロック・チェックとを連結させることができる。
【００９２】
したがって、重畳経路ＲＯで描画する液状膜ＦＬが、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜Ｆ
ＬＬとの間の境界を、主走査方向および副走査方向に沿う微小なスジムラにさせる。この
結果、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間の境界を、さらに連続的に形成させる
ことができる。
【００９３】
（第三実施形態）
以下、本発明を具体化した第三実施形態を図１０に従って説明する。第三実施形態は、
第一実施形態のドットパターンを変更したものである。そのため、以下では、その変更点
について詳細に説明する。
【００９４】
図１０は、第三実施形態におけるトッドパターンを示す図であり、図６と同じく、図９
の左側が先行経路ＲＦに対応し、右側が後続経路ＲＬに対応し、中央が重畳経路ＲＯに対
応する。また、各経路ＲＦ，ＲＬ，ＲＯ上を通過するノズルＮのなかで、液状膜ＦＬの描
画時に選択するノズルＮを実線で示し、描画時に選択しないノズルＮを破線で示す。また
、描画時に選択する先行ノズルＮＦを、先行選択ノズルＮＦｓとしてグラデーションを付
し、描画時に選択する後続ノズルＮＬを、後続選択ノズルＮＬｓとして白抜きで示す。さ
らに、吐出枠Ｆで囲む各格子点Ｐを、液滴Ｄの吐出が選択される格子点Ｐとする。
【００９５】
図１０において、各吐出枠Ｆには、それぞれ対応する格子点Ｐの直上を通過するノズル
Ｎが、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして選択される。本実施形態において、グラデ
ーションを付された吐出枠Ｆには、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして先行ノズルＮ
Ｆが選択され、白抜きの吐出枠Ｆには、液滴Ｄを吐出するためのノズルＮとして後続ノズ
ルＮＬが選択される。
【００９６】
すなわち、重畳経路ＲＯの各吐出枠Ｆには、それぞれ液滴Ｄを吐出するノズルＮとして
先行ノズルＮＦと後続ノズルＮＬのいずれか一方が選択される。詳述すると、重畳経路Ｒ
Ｏの左側の各吐出枠Ｆには、先行選択ノズルＮＦｓが副走査方向に沿って連続的に選択さ
れている。また、重畳経路ＲＯの右側の各吐出枠Ｆには、後続選択ノズルＮＬｓが副走査
方向に沿って連続的に選択されている。しかも、先行選択ノズルＮＦｓが選択される吐出
枠Ｆと、後続選択ノズルＮＬｓが選択される吐出枠Ｆとの境界は、主吐出ピッチＰｘごと
に副吐出ピッチＰｙだけ周期的に変位し、主走査方向に連続する鋸歯状の軌跡を描く。
【００９７】
制御装置３０は、図１０に示すドットパターンに対応するドットパターンデータと、該
ドットパターンデータに対応するシリアルパターンデータＳＩとを生成し、ヘッド駆動回
路４０を介して先行液滴ＤＦと後続液滴ＤＬとを選択的に吐出させる。そして、制御装置
３０は、重畳経路ＲＯの左側に吐出する先行液滴ＤＦと、重畳経路ＲＯの右側に吐出する
後続液滴ＤＬとの境界を、主走査方向に連続する鋸歯状に描画する。
【００９８】
この構成によれば、重畳経路ＲＯに形成される液状膜ＦＬによって、先行液状膜ＦＬＦ
と後続液状膜ＦＬＬとの間の境界を、主走査方向に沿う鋸歯状の微小なスジムラ、すなわ
ち主走査方向と交差する方向であって、かつ、副走査方向と交差する方向の微小なスジム
ラによって形成させることができる。この結果、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬと
の間の境界を、さらに連続的に形成させることができる。
【００９９】
（第四実施形態）
次に、本発明の液晶表示装置を図１１および図１２に従って説明する。図１１は、電気
光学装置としての液晶表示装置を示す斜視図であり、図１２は、対向基板５２を示す斜視
図である。
【０１００】
図１１において、液晶表示装置５０は、相対向する素子基板５１と対向基板５２を有し
、素子基板５１と対向基板５２は、四角枠状のシール材５３により貼り合わされて、その
間隙に液晶ＬＣを封入している。素子基板５１の下面には、偏光板や位相差板などの光学
基板５４が貼り合わされている。光学基板５４は、所定の方向に透過軸を有し、バックラ
イトなどからの光を液晶ＬＣに向けて透過可能にする。
【０１０１】
素子基板５１の上面（以下単に、素子形成面５１ａと言う。）には、複数の素子領域５
５が区画形成されて、各素子領域５５には、それぞれＴＦＴからなる図示しないスイッチ
ング素子や光透過性の画素電極５６などが形成されている。
【０１０２】
各画素電極５６の上側には、素子形成面５１ａの全面にわたる配向膜ＯＦ１が積層され
ている。配向膜ＯＦ１は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、
対応する画素電極５６の近傍で液晶ＬＣの配向方向を規定する。配向膜ＯＦ１は、配向膜
材料（例えば、ポリイミドなどの配向性高分子）の分散したインクＩｋを上記液滴吐出装
置１０に供給して各素子領域５５の上側全体に吐出させ、着弾した複数の液滴Ｄからなる
液状膜ＦＬを乾燥させることにより形成される。
【０１０３】
図１２は、素子基板５１の側を上にした状態の対向基板５２を示す斜視図である。図１
２において、対向基板５２の下面（図１２における上面）には、偏光板５７が配設されて
いる。偏光板５７は、所定の方向に透過軸を有して液晶ＬＣからの光を透過可能にする。
対向基板５２の上面（図１１における下面：以下単に、フィルタ形成面５２ａと言う。）
には、ブラックマトリックスＢＭが形成されている。ブラックマトリックスＢＭは、液晶
ＬＣから出射される光を遮光する遮光材料によって形成された薄膜であり、画素電極５６
と対向する領域を囲う格子状に形成されている。フィルタ形成面５２ａには、ブラックマ
トリックスＢＭによって囲まれる領域に、それぞれカラーフィルタＣＦが形成されている
。カラーフィルタＣＦは、液晶ＬＣから出射される光の中から特定波長の光を透過し、液
晶ＬＣからの光を有色の光に変換して出射する。
【０１０４】
ブラックマトリックスＢＭおよびカラーフィルタＣＦの上側には、共通するオーバーコ
ート層ＯＣが積層されている。オーバーコート層ＯＣは、液晶ＬＣから出射される光を透
過する光透過性樹脂によって形成された薄膜であり、対向基板５２の表面全体を平坦にす
る。オーバーコート層ＯＣは、光透過性樹脂の分散したインクＩｋを上記液滴吐出装置１
０に供給して対向基板５２の全体に吐出させ、着弾した複数の液滴Ｄからなる液状膜ＦＬ
を乾燥させることにより形成される。
【０１０５】
オーバーコート層ＯＣの上側には、光透過性の対向電極５８が積層されている。対向電
極５８は、所定の共通電位を受けて、各画素電極５６と対向電極５８との間の電位差を形
成し、対応する液晶ＬＣの配向状態を変調する。これにより、光学基板５４から出射され
た光の偏光状態を素子領域５５ごとに変調させる。
【０１０６】
対向電極５８の上側には、配向膜ＯＦ２が積層されている。配向膜ＯＦ２は、配向膜Ｏ
Ｆ２と同じく、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、近傍に位置
する液晶分子の配向状態を規定する。配向膜ＯＦ２は、配向性高分子の分散したインクを
上記液滴吐出装置１０に供給して対向電極５８の全体に吐出させ、着弾した複数の液滴か
らなる液状膜を乾燥させることにより形成される。
【０１０７】
これによれば、配向膜ＯＦ１，ＯＦ２、および、オーバーコート層ＯＣに関して、その
膜厚の均一性を向上させることができる。ひいては、液晶表示装置５０の生産性を向上さ
せることができる。
【０１０８】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第一実施形態においては、副走査方向に沿って１つおきに先行選択ノズルＮＦｓ
を選択する。これに限らず、例えば、副走査方向に沿って２つ以上の先行ノズルＮＦごと
に先行選択ノズルＮＦｓを選択する構成にしてもよく、さらには、非周期的に先行選択ノ
ズルＮＦｓを選択する構成にしてもよい。
【０１０９】
・上記第二実施形態においては、主走査方向に沿って主吐出ピッチＰｘごとに、先行選
択ノズルＮＦｓと後続選択ノズルＮＬｓとを交互に選択する。これに限らず、例えば、主
走査方向に沿って主吐出ピッチＰｘの整数倍ごとに先行選択ノズルＮＦｓを選択する構成
にしてもよく、さらには、先行選択ノズルＮＦｓと後続選択ノズルＮＬｓとを、非周期的
に交互に選択する構成にしてもよい。
【０１１０】
・上記第三実施形態においては、副走査方向に連続する先行選択ノズルＮＦｓと、副走
査方向に連続する後続選択ノズルＮＬｓとによって、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬ
Ｌとの境界を、主走査方向に沿う鋸歯状に描画する。これに限らず、例えば、図１３に示
すように、重畳経路ＲＯの左側に吐出する先行液滴ＤＦと、重畳経路ＲＯの右側に吐出す
る後続液滴ＤＬとの境界を、主走査方向に連続する鋸歯状に構成し、さらに各鋸歯を副走
査方向に延びる櫛歯によって形成する構成にしてもよい。
【０１１１】
この構成によれば、重畳経路ＲＯにおける微細なスジムラの形成方向が、副走査方向を
含む多方向に分散される。したがって、重畳経路ＲＯに形成する液状膜ＦＬによって、先
行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間の境界を、さらに連続的にさせることができる
。なお、この際、制御装置３０は、図１３のドットパターンに対応するドットパターンデ
ータと、該ドットパターンデータに対応するシリアルパターンデータＳＩとを生成し、ヘ
ッド駆動回路４０を介して先行液滴ＤＦと後続液滴ＤＬとを選択的に吐出させる。
【０１１２】
・さらには、図１４に示すように、図１３における各櫛歯を、図６に示す縦縞模様によ
って分断させる構成にしてもよい。
この構成によれば、重畳経路ＲＯにおけるスジムラの形成方向が、主走査方向と副走査
方向を含む多方向に分散される。したがって、重畳経路ＲＯに形成する液状膜ＦＬによっ
て、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間の境界を連続的にさせることができる。
よって、先行液状膜ＦＬＦと後続液状膜ＦＬＬとの間のスジムラを、より確実に解消させ
ることができる。なお、この際、制御装置３０は、図１４のドットパターンに対応するド
ットパターンデータと、該ドットパターンデータに対応するシリアルパターンデータＳＩ
とを生成し、ヘッド駆動回路４０を介して先行液滴ＤＦと後続液滴ＤＬとを選択的に吐出
させる。
【０１１３】
・上記実施形態においては、制御部３２が描画データＩｐを用いてドットパターンデー
タを生成する。これに限らず、例えば、入出力装置３７が描画データＩｐを用いてドット
パターンデータを生成し、入出力装置３７がドットパターンデータを制御装置３０に入力
する構成にしてもよい。
【０１１４】
・上記実施形態においては、液滴Ｄを吐出させるためのアクチュエータを圧電素子ＰＺ
に具体化する。これに限らず、例えば、アクチュエータを抵抗加熱素子に具体化してもよ
く、所定の駆動波形信号ＣＯＭを受けて駆動波形信号ＣＯＭに応じた重量の液滴Ｄを吐出
させるものであればよい。
【０１１５】
・上記実施形態においては、吐出ヘッド１６が１８０個のノズルＮを１列だけ備える構
成にした。これに限らず、例えば、吐出ヘッド１６が１８０個のノズルＮを２列以上備え
る構成にしてもよく、さらには、ノズル列ＮＲのノズル数を１８０個よりも多い数量に具
体化してもよい。
【０１１６】
・上記実施形態においては、電気光学装置を液晶表示装置５０に具体化し、液滴Ｄによ
って配向膜ＯＦ１，ＯＦ２、および、オーバーコート層ＯＣを製造する。これに限らず、
例えば、液滴ＤによってカラーフィルタＣＦや対向電極５８を製造する構成にしてもよい
。さらには、電気光学装置をエレクトロルミネッセンス表示装置として具体化し、発光素
子形成材料を含む液滴Ｄによって発光素子を製造する構成にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本発明を具体化した液滴吐出装置を示す斜視図。
【図２】基板から見た吐出ヘッドを示す斜視図。
【図３】吐出ヘッドの内部を示す側断面図。
【図４】吐出ヘッドの経路を示す平面図。
【図５】吐出ヘッドの経路を示す平面図。
【図６】吐出位置とノズルとの位置関係を模式的に示す平面図。
【図７】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【図８】ヘッド駆動回路の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【図９】第二実施形態の吐出位置とノズルとの位置関係を模式的に示す平面図。
【図１０】第三実施形態の吐出位置とノズルとの位置関係を模式的に示す平面図。
【図１１】第四実施形態の液晶表示装置を示す斜視図。
【図１２】同じく、対向基板を示す斜視図。
【図１３】変更例の吐出位置とノズルとの位置関係を模式的に示す平面図。
【図１４】変更例の吐出位置とノズルとの位置関係を模式的に示す平面図。
【符号の説明】
【０１１８】
Ｄ…液滴、ＦＬ…液状膜、ＦＬＦ…先行液状膜、ＦＬＬ…後続液状膜、Ｎ…ノズル、Ｎ
Ｆ…先行ノズル、ＮＬ…後続ノズル、ＮＲ…ノズル群としてのノズル列、ＯＣ…パターン
を構成するオーバーコート層、ＯＦ１，ＯＦ２…パターンを構成する配向膜、Ｓ…基板、
１０…液滴吐出装置、１２…移動手段を構成するステージ、１５…移動手段を構成するキ
ャリッジ、１６…吐出ヘッド、１６Ｆ…先行吐出ヘッド、１６Ｌ…後続吐出ヘッド、３０
…制御手段を構成する制御装置、４０…制御手段を構成するヘッド駆動回路、５０…電気
光学装置としての液晶表示装置。
【図１】
2008229528.tif 000003
【図２】
2008229528.tif 000004
【図３】
2008229528.tif 000005
【図４】
2008229528.tif 000006
【図５】
2008229528.tif 000007
【図６】
2008229528.tif 000008
【図７】
2008229528.tif 000009
【図８】
2008229528.tif 000010
【図９】
2008229528.tif 000011
【図１０】
2008229528.tif 000012
【図１１】
2008229528.tif 000013
【図１２】
2008229528.tif 000014
【図１３】
2008229528.tif 000015
【図１４】
2008229528.tif 000016