(57)【要約】【課題】モアレの発生が抑制される撮像倍率を設定するとともに、表示デバイスの全領域において撮像条件を等しくする。【解決手段】検査装置１は、撮像距離を変更しつつ、表示デバイス６を複数回撮像する撮像装置３と、第１および第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出する分解能評価値算出部１６と、算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った最適撮像距離を第１および第２注目撮像素子配列に関して算出するとともに、第１および第２注目撮像素子配列の最適撮像距離の差と、第１および第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス６上の位置の間の距離と、から撮像装置３の光軸に対する表示デバイス６の傾きを算出する補正値算出部１９とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に配列した絵素を有する表示デバイスを、当該絵素の配列方向に沿って配列する撮像素子を有する撮像手段によって撮像し、得られた撮像画像を解析することにより当該表示デバイスの良否を判定する検査装置であって、
上記撮像手段と上記表示デバイスとの間の撮像距離を変更しながら、上記表示デバイスを複数回撮像するよう上記撮像手段を制御する撮像制御手段と、
上記表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、上記絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列のうち、注目する撮像素子の配列である第１注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出するとともに、上記第１注目撮像素子配列に平行な第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出する評価値算出手段と、
上記評価値算出手段によって算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離を上記第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する評価値比較手段と、
上記第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と上記第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差と、上記第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と上記第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離と、から上記撮像手段の光軸に対する当該表示デバイスの傾きを算出する傾き算出手段とを備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
上記撮像手段の撮像倍率を、ｐ個の上記絵素をｑ個の上記撮像素子によって撮像する倍率と表現した場合、上記所定の間隔は、ｑ／ｐの自然数倍数のうち、最も小さい整数に、上記表示デバイスの画素を構成する絵素の数をかけた数であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の検査装置の上記各手段としてコンピュータを機能させるための検査プログラム。
【請求項４】
請求項３に記載の検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項５】
一定方向に配列した絵素を有する表示デバイスを、当該絵素の配列方向に沿って配列する撮像素子を有する撮像手段によって撮像し、得られた撮像画像を解析することにより当該表示デバイスの良否を判定する検査装置における検査方法であって、
上記撮像手段と上記表示デバイスとの間の撮像距離を変更しながら、上記表示デバイスを複数回撮像しつつ、撮像するごとに、上記表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、上記絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列のうち、注目する撮像素子の配列である第１注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を算出するとともに、上記第１注目撮像素子配列に平行な第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を算出する評価値算出工程と、
上記評価値算出工程において算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離を上記第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する評価値比較工程と、
上記第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と上記第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差と、上記第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と上記第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離と、から上記撮像手段の光軸に対する当該表示デバイスの傾きを算出する傾き算出工程とを含むことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルなどの表示デバイスの製造工程における表示デバイスの検査方法および検査装置に関するものであり、特に、モアレの発生が少ない撮像条件で表示デバイスを撮像するための検査方法および検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルなどの表示デバイスは、その製造工程の後半において点灯され、その良否が検査される。この検査には、点灯された表示デバイスを作業者の目視により検査する目視検査と、点灯された表示デバイスをラインセンサやエリアセンサのようなカメラで撮像して得られた信号を処理する自動検査とがある。
【０００３】
しかし、目視検査の場合、見逃しや個人差による判定のばらつきがある。さらに表示デバイスは近年、高精細化しており、表示画素（Ｒ、Ｇ、Ｂの３つの絵素を１つの単位としたもの）の数が何百万画素のオーダーになっているため、目視によって見つけた欠陥位置および欠陥種類を正確に記録し、欠陥の修正やプロセス改善のためのフィードバック情報とすることは難しい。なお、上記絵素は、一般にその横サイズと縦サイズとの比が１：３程度である。
【０００４】
一方、自動検査の場合、カメラを用いて対象となる表示デバイスを撮像するため、検出したい欠陥に応じた撮像倍率（表示デバイスの表示画素数と撮像素子の素子数との比を指し、表示デバイスの１画素を撮像素子の素子数３×３にて撮像する状態を撮像倍率３と称す）となるように撮像条件を設定する必要がある。さらに表示デバイスの全領域で同じ条件で検査を行うために、全領域で撮像条件、すなわち撮像倍率を等しくする必要がある。
【０００５】
しかし、一般に撮像倍率の設定は、スケールやそれを保持する治具等の機構が必要であり、また設定時期は、装置導入時や製造工程のメンテナンス時などに限られるために、経時変化や工程要因変動による撮像倍率のズレや新規機種の登録などに即座に対応できないという問題がある。
【０００６】
また検査精度の観点から見ると、液晶テレビに用いられるような大型の表示デバイスの製造工程においては、タクト（１つの製品を製造するために要する時間）の制限が厳しいことから、高解像度で検査することが困難であり、撮像倍率を３や６程度に合わせるマクロ検査が主流となっている。撮像倍率３の場合、撮像分解能は画素の横サイズとなり、撮像倍率６の場合、撮像分解能は画素の横サイズの１／２となる。
【０００７】
このような倍率では、以下のような問題が発生する。液晶パネルのような表示デバイスでは、ＲＧＢといった絵素が規則的に配置された構造をしている。この絵素は、ガラス基板上にＲＧＢのフィルターを規則正しく配置したものであるが、各フィルターの隙間には、光が漏れないように遮光するためのブラック・マトリックス（以下ＢＭ）が配置されている。このような表示デバイスをカメラにて撮像する場合、表示デバイス内の規則的に配置された表示絵素を、カメラの規則的に配置された撮像素子で標本化することにより撮像画像データを得る。このとき、表示絵素、および撮像素子がいずれも規則的な格子パターンとなっているため、両パターンの空間周波数の差分に応じた周波数成分が生じて、モアレとして発生することになる。輝点や黒点のような絵素欠陥や線欠陥を検出する場合には、このモアレがノイズ成分となり、検査精度を低下させる。
【０００８】
そのため、一般的にモアレ成分を抑制し、検査精度の向上を図るために、撮像倍率の設定精度を精密に設定し、表示画素ｐ個に対する撮像素子の数を表示デバイスの全領域で正確に整数倍率にすることが求められる。しかし、製造工程においてそのような正確な設定を行い、それを保持するのは困難である。そのため、上記の問題に対して、これまで様々な方法が提案されている。
【０００９】
特許文献１に記載の発明では、表示絵素ｓ個の領域に対して撮像素子ｔ個の領域が対応するように配置した上で、撮像素子ピッチのｎ分の１の変位量だけ変位させながら撮像し、各状態での検出値を総合的に見て検出値の大きいものを採用することにより、モアレの影響を低減した検出値を得ている。
【００１０】
特許文献２に記載の発明では、画像表示装置の画面をカメラでとらえ、画面の映像信号の解析を行い、解析結果に基づいてカメラの焦点距離を、モアレ成分を最小とする距離に自動的に合わせている。
【００１１】
なお、カメラのレンズの光軸と撮像対象の合焦点面との角度を制御する技術は、例えば、特許文献３に開示されている。
【特許文献１】特開平７−８３７９９号公報（１９９５年３月３１日公開）
【特許文献２】特開平４−３３９４８９号公報（１９９２年１１月２６日公開）
【特許文献３】特開平７−１４２３４６号公報（１９９５年６月２日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところが、上記従来技術では、以下の問題が発生する。
【００１３】
特許文献１に記載の発明では、表示絵素とセンサの画素との好ましい対応関係（画素間相対位置）を変更する構成が記載されているのみで、自動的に好ましい撮像倍率を設定する構成は記載されていない。また、特許文献１に記載の発明には、レンズの光軸と合焦点面との角度を補正する手段が備わっていない。
【００１４】
また、特許文献２に記載の発明では、表示デバイスを撮像した撮像データを解析した結果に基づいてカメラの焦点距離を、モアレ成分を最小とする距離に自動的に合わせるものであるが、表示デバイスまたはカメラが傾いている場合、一定領域のモアレ成分を最小とする条件に設定することは可能であるが、全領域において設定することはできない。また、焦点距離をモアレ成分を最小とする距離に合わせるということは、カメラの焦点を合焦位置からずらすということであり、欠陥検出感度は著しく低下する。
【００１５】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、その目的は製造工程における検査装置において、製造ラインを止めることなく、モアレ成分が少なくなるように撮像手段の撮像倍率の設定を自動で行うとともに、撮像手段の光軸に対する表示デバイスの傾きを補正することにより、表示デバイスの全領域において撮像条件を等しくする検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る検査装置は、上記の課題を解決するために、一定方向に配列した絵素を有する表示デバイスを、当該絵素の配列方向に沿って配列する撮像素子を有する撮像手段によって撮像し、得られた撮像画像を解析することにより当該表示デバイスの良否を判定する検査装置であって、上記撮像手段と上記表示デバイスとの間の撮像距離を変更しながら、上記表示デバイスを複数回撮像するよう上記撮像手段を制御する撮像制御手段と、上記表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、上記絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列のうち、注目する撮像素子の配列である第１注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出するとともに、上記第１注目撮像素子配列に平行な第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出する評価値算出手段と、上記評価値算出手段によって算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離を上記第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する評価値比較手段と、上記第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と上記第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差と、上記第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と上記第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離と、から上記撮像手段の光軸に対する当該表示デバイスの傾きを算出する傾き算出手段とを備えることを特徴としている。
【００１７】
本発明に係る検査方法は、上記の課題を解決するために、一定方向に配列した絵素を有する表示デバイスを、当該絵素の配列方向に沿って配列する撮像素子を有する撮像手段によって撮像し、得られた撮像画像を解析することにより当該表示デバイスの良否を判定する検査装置における検査方法であって、上記撮像手段と上記表示デバイスとの間の撮像距離を変更しながら、上記表示デバイスを複数回撮像しつつ、撮像するごとに、上記表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、上記絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列のうち、注目する撮像素子の配列である第１注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を算出するとともに、上記第１注目撮像素子配列に平行な第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を算出する評価値算出工程と、上記評価値算出工程において算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離を上記第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する評価値比較工程と、上記第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と上記第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差と、上記第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と上記第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離と、から上記撮像手段の光軸に対する当該表示デバイスの傾きを算出する傾き算出工程とを含むことを特徴としている。
【００１８】
上記の構成によれば、撮像制御手段の制御下にある撮像手段によって、撮像距離が変更されながら表示デバイスの撮像が複数回行われる。評価値算出手段は、第１および第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を、注目撮像素子配列ごと、および、複数回の撮像によって得られた複数の撮像画像ごとに算出する。
【００１９】
ここで、注目撮像素子配列とは、表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列である。この撮像素子配列のうち、或る注目する撮像素子配列を第１注目撮像素子配列と称し、この第１注目撮像素子配列に平行な別の撮像素子配列を第２注目撮像素子配列と称している。なお、注目撮像素子配列の数は、少なくとも２あればよく、３以上であってもよい。
【００２０】
そして、評価値比較手段は、評価値算出手段によって算出された評価値のうち、最もばらつきの少ない最適評価値を求めるとともに、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離である最適撮像距離を第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する。
【００２１】
そして、傾き算出手段は、第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差（以下、第１距離と称する）と、第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離（以下、第２距離と称する）と、から上記撮像手段の光軸に対する表示デバイスの傾きを算出する。
【００２２】
第１距離は、換言すれば、撮像手段の光軸に平行な座標軸の方向における、第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離である。この第１距離と上記第２距離とが求まれば、ｓｉｎを利用した幾何学的計算により撮像手段の光軸に対する表示デバイスの傾きを算出することができる。そして、この傾きが求まれば、撮像手段の光軸に対する表示デバイスの傾きを補正できる。
【００２３】
よって、以上の構成により、撮像画像含まれるモアレ成分の量が少なくなる最適な撮像距離を設定できるとともに、撮像手段の光軸に対する表示デバイスの傾きを補正することにより、表示デバイスの全領域において撮像条件を等しくすることができる。
【００２４】
また、上記撮像手段の撮像倍率を、ｐ個の上記絵素をｑ個の上記撮像素子によって撮像する倍率と表現した場合、上記所定の間隔は、ｑ／ｐの自然数倍数のうち、最も小さい整数に、上記表示デバイスの画素を構成する絵素の数をかけた数であることが好ましい。
【００２５】
上記の構成によれば、撮像素子ｑ個と絵素ｐ個との比が最も小さな整数となるという理想的な撮像倍率における最適な画素値抽出が行われる。それゆえ、理想的な撮像倍率に近づくように撮像距離を変更することができる。
【００２６】
また、上記検査装置の上記各手段としてコンピュータを機能させるための検査プログラムおよび当該検査プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も本発明の技術的範囲に含まれる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係る検査装置は、以上のように、撮像手段と表示デバイスとの間の撮像距離を変更しながら、上記表示デバイスを複数回撮像するよう上記撮像手段を制御する撮像制御手段と、上記表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列のうち、注目する撮像素子の配列である第１注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出するとともに、上記第１注目撮像素子配列に平行な第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を撮像画像ごとに算出する評価値算出手段と、上記評価値算出手段によって算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離を上記第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する評価値比較手段と、上記第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と上記第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差と、上記第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と上記第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離と、から上記撮像手段の光軸に対する当該表示デバイスの傾きを算出する傾き算出手段とを備える構成である。
【００２８】
本発明に係る検査方法は、以上のように、撮像手段と表示デバイスとの間の撮像距離を変更しながら、上記表示デバイスを複数回撮像しつつ、撮像するごとに、上記表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子の配列であって、絵素の配列方向に沿う方向に配列する撮像素子の配列のうち、注目する撮像素子の配列である第１注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を算出するとともに、上記第１注目撮像素子配列に平行な第２注目撮像素子配列に含まれる撮像素子から出力される画素値を所定の間隔で抽出し、抽出された画素値のばらつきを示す評価値を算出する評価値算出工程と、上記評価値算出工程において算出された評価値のうち、最もばらつき度合いが小さい最適評価値を特定し、当該最適評価値を算出するに至った撮像距離である最適撮像距離を上記第１および第２注目撮像素子配列に関して算出する評価値比較工程と、上記第１注目撮像素子配列の最適撮像距離と上記第２注目撮像素子配列の最適撮像距離との差と、上記第１注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置と上記第２注目撮像素子配列に対応する表示デバイス上の位置との間の距離と、から上記撮像手段の光軸に対する当該表示デバイスの傾きを算出する傾き算出工程とを含む構成である。
【００２９】
それゆえ、モアレの発生が抑制されるように撮像手段の撮像倍率を設定できるとともに、撮像手段の光軸に対する表示デバイスの傾きを補正することにより、表示デバイスの全領域において撮像条件を等しくすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の実施の一形態について図１〜図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００３１】
（検査装置１の構成）
図２は、本実施形態に係る検査装置１の構成の一例を示す概略図である。図２に示すように、検査装置１は、角度・撮像距離調整機構２、撮像装置３、焦点距離を制御するフォーカス調整機構４、レンズ５、検査対象となる表示デバイス６と接続するコンタクト部７、照明８、表示デバイス６を載置するステージ９、表示デバイス６に駆動信号を与える点灯回路１０、および制御装置１１を備えている。
【００３２】
角度・撮像距離調整機構２は、撮像装置３と表示デバイス６との間の撮像距離を調整するとともに、レンズ５の光軸と合焦点面との角度（以下、あおり角と称する）を制御する。この角度・撮像距離調整機構２は、撮像距離調整機構２ａおよび角度調整機構２ｂを備えているが、その詳細については後述する。
【００３３】
撮像装置３は、表示デバイス６を撮像するためのものであり、マトリクス状に配置された複数の撮像素子を有している。撮像装置３としては、素子の種類別では、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）カメラ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）カメラを挙げることができる。また、撮像種類別では、エリアセンサカメラ、ラインセンサカメラを挙げることができる。
【００３４】
制御装置１１は、検査装置１を制御するものである。図１は制御装置１１の構成を示す機能ブロック図である。図１に示すように、制御装置１１は、撮像距離調整部１２、角度調整部１３、撮像装置制御部１４（撮像制御手段）、回転ずれ補正部１５、分解能評価値算出部１６（評価値算出手段）、補正値算出部１９（評価値比較手段、傾き算出手段）および検査部２０を備えている。
【００３５】
撮像距離調整部１２は、角度・撮像距離調整機構２の撮像距離調整機構２ａを制御することにより、撮像装置３の撮像距離を調整する。
【００３６】
角度調整部１３は、角度・撮像距離調整機構２の角度調整機構２ｂを制御することにより、撮像装置３のあおり角を調整する。
【００３７】
撮像装置制御部１４は、撮像装置３の動作を制御する。例えば、撮像装置制御部１４は、フォーカス調整機構４を介して撮像装置３のフォーカスを制御する。また、撮像装置制御部１４は、撮像装置３によって取得された、表示デバイス６の撮像画像（撮像データ）を受信し、当該撮像画像を分解能評価値算出部１６へ出力する。
【００３８】
回転ずれ補正部１５は、ステージ９を制御することにより、表示デバイス６の、光軸を中心とする回転ずれの補正を行う。この補正方法は既知の方法でかまわない。例えば、表示デバイス６の外枠や特定の点灯パターンを撮像装置３にて撮像し、取得された画像から撮像装置３の撮像範囲における表示デバイス６の位置（角度）を算出し、回転ずれの補正を行えばよい。
【００３９】
分解能評価値算出部１６は、表示デバイス６を撮像した撮像画像を解析することにより、当該撮像画像の撮像分解能を評価するための分解能評価値を算出する。換言すれば、この分解能評価値は、表示デバイス６の絵素と、撮像装置３の撮像素子との位置関係を評価するための評価値である。撮像分解能は、撮像距離に依存して変化するため、分解能評価値算出部１６は、撮像距離が適切であるかどうかを評価するための評価値を算出するものであるとも言える。この分解能評価値算出部１６は、出力信号抽出部１７および演算部１８を備えている。
【００４０】
出力信号抽出部１７は、撮像装置制御部１４から出力された、表示デバイス６の撮像画像を受信し、当該撮像画像を形成する特定の撮像素子配列（注目撮像素子配列）（以下、撮像素子配列Ａｍｎ（ｍ＝０、１、２・・・）（ｎ＝０、１、２、・・・）と称する）が出力する画素値を所定の間隔で抽出する。
【００４１】
ここで、撮像素子配列とは、後述する表示デバイス６の水平絵素配列方向または垂直絵素配列方向の絵素配列を撮像した撮像素子の配列である。ひとつの撮像画像は、複数の絵素配列に対応する撮像素子配列Ａによって形成されており、これらの撮像素子配列にそれぞれ付された番号がｍの値で表されている。また、上記ｎの値は、撮像距離の変更回数である。
【００４２】
後述するように、表示デバイス６が有する絵素の配列と、撮像装置３が有する撮像素子の配列とが略平行になるように、表示デバイス６と撮像装置３との相対位置が調節された後に表示デバイス６の撮像が行われるため、撮像素子配列Ａは、或る絵素配列の少なくとも一部を撮像した撮像素子の配列である。
【００４３】
また、上記所定の間隔は、ひとつの画素が３つの絵素によって構成されている場合、かつ、表示デバイス６の絵素ｐ個を撮像素子ｑ個によって撮像する場合、ｑ／ｐ×３×ｓ（ｓは自然数）の値（以下、間隔評価値と称する）が最も小さい整数となる値である。換言すれば、撮像装置３の撮像倍率を、ｐ個の絵素をｑ個の撮像素子によって撮像する倍率と表現した場合、上記所定の間隔は、ｑ／ｐの自然数倍数のうち、最も小さい整数に、表示デバイス６の画素を構成する絵素の数をかけた数である。
【００４４】
例えば、ｐ＝１、ｑ＝１の場合、ｓ＝１の時に間隔評価値が最も小さい整数３となるため、抽出する間隔を３とする。また、ｐ＝１、ｑ＝１．５の場合、ｓ＝２の時が最も小さい整数９になるため、抽出する間隔を９とする。
【００４５】
上記ｐおよびｑの値は、出力信号抽出部１７が有するメモリに格納されていてもよいし、制御装置１１が備える入力部（不図示）からユーザによって入力されてもよい。また、上記ｐおよびｑの値ではなく、間隔評価値そのものが格納または入力されてもよい。
【００４６】
出力信号抽出部１７における画素値の抽出に関しては、後に詳説する。
【００４７】
演算部１８は、出力信号抽出部１７から出力された画素値の集合から分解能評価値Ｂｍｎ（ｎ＝０、１、２、・・・）を算出する。上記ｎは、撮像距離の変更回数である。この分解能評価値Ｂｍｎの算出方法については後述する。
【００４８】
分解能評価値算出部１６は、撮像素子配列Ａｍｎに対して最初の分解能評価値Ｂｍ０を算出すると、所定の距離だけ撮像距離を変更し、２回目の分解能評価値Ｂｍ１を算出する。このとき、分解能評価値算出部１６は、撮像装置３が有する特定の撮像素子と表示デバイス６との間の距離である撮像距離Ｃｍｎを算出する。このような処理を、所定の撮像距離の範囲内で複数回行った後、分解能評価値算出部１６は、算出された複数の分解能評価値Ｂｍｎとそれに対応する撮像距離Ｃｍｎとを補正値算出部１９へ出力する。なお、上記所定の距離および撮像距離Ｃｍｎの算出方法に関しては後述する。
【００４９】
補正値算出部１９は、分解能評価値算出部１６から出力された複数の分解能評価値Ｂｍｎとそれに対応する撮像距離Ｃｍｎとを用いて最適な撮像距離およびあおり角度を算出する。これらの算出方法については後述する。
【００５０】
検査部２０は、表示デバイス６の撮像データを解析することにより、当該表示デバイス６の良否を判定する。検査部２０における検査方法は、特に限定されず、公知の検査方法の中から適当なものを選択すればよい。
【００５１】
（角度・撮像距離調整機構２の構成）
図３は、撮像距離およびあおり角を調整する角度・撮像距離調整機構２の実施の一形態について示したものである。図３（ａ）は、表示デバイス６、撮像装置３、角度・撮像距離調整機構２を側方（図３においてＹ軸方向）から見たものであり、図３（ｂ）は、それらを上方（図３においてＸ軸方向）から見たものである。
【００５２】
図３（ａ）および（ｂ）は、表示デバイス６が、レンズ５の光軸に対して直交せず、当該光軸に対して傾いている状態を示している。撮像装置３と表示デバイス６との間の撮像距離とは、レンズ５の先端と表示デバイス６とを結ぶ光軸の中心線の距離とする。なお、上記撮像距離を、撮像装置３の撮像素子面から表示デバイス６までの距離としてもよい。
【００５３】
図３（ａ）に示すように、角度・撮像距離調整機構２は、撮像距離調整機構２ａおよび角度調整機構２ｂを備えている。撮像距離調整機構２ａにより、撮像装置３と表示デバイス６との間の撮像距離（図３においてＺ軸方向の距離）が調整される。また、角度調整機構２ｂにより表示デバイス６の、レンズ５の光軸に対する傾きが調整される。
【００５４】
なお、図２（ａ）では光軸に対する表示デバイス６の上部、下部の傾き（上下のあおり）を示しているが、それと垂直な方向の傾き（表示デバイス左右のあおり）を調整してもよい。また、角度調整機構２ｂは、図２（ｂ）に示すように表示デバイス６側に設けられてもよい。
【００５５】
（表示デバイス６の構成）
次に、検査装置１の検査対象となる表示デバイス６（被検査体）の構成について、図４を参照しつつ説明する。図４は、表示デバイス６の構成を示す概略図である。
【００５６】
表示デバイス６は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の絵素６ａ〜６ｃがマトリクス状に配置されたカラーフィルターである。図４に示すように、複数の矩形はそれぞれ絵素を示しており、Ｒ絵素６ａ、Ｇ絵素６ｂ、Ｂ絵素６ｃの繰返し配列がフィルター上に一列に形成されている。このような絵素の配列の方向を絵素配列方向と称する。この絵素配列方向には、絵素の短辺に平行な水平絵素配列方向（図４において矢印２１の方向）と、絵素の短辺に垂直な水平絵素配列方向（図４において矢印２２の方向）とが存在する。
【００５７】
そして、水平絵素配列方向における絵素と絵素との距離を絵素ピッチと称する。より正確には、絵素ピッチは、水平絵素配列方向に対して垂直な、絵素の中心線２３と、当該絵素の隣の絵素の上記中心線２４との間の距離である。各絵素の間には、光吸収性の膜であるＢＭが露出している。
【００５８】
このような表示デバイス６を撮像する場合に、絵素配列方向と、撮像装置３が有する撮像素子の配列方向とが平行（光軸を中心として回転ズレがない状態）になるように、撮像装置３を配置する。図４において、格子２５は各撮像素子の撮像範囲を示している。各撮像素子の撮像範囲は略正方形であり、この正方形の一辺の長さを撮像分解能と称する。図４において、撮像分解能は、絵素ピッチよりもわずかに小さいものになっている。
【００５９】
（撮像素子の出力信号の例）
次に、表示デバイス６を撮像した場合に、得られる撮像素子の出力信号の例を、図５を参照しつつ説明する。同図（ａ）は、撮像分解能が絵素ピッチよりも１．５％小さい場合に得られる撮像素子の出力信号を示し、同図（ｂ）は撮像分解能が絵素ピッチよりも２１．５％小さい場合に得られる撮像素子の出力信号を示している。また、同図（ｃ）は、撮像分解能が絵素ピッチと等しい（撮像倍率３）場合に得られる撮像素子の出力信号を示している。図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）共に表示デバイス６の水平絵素配列方向の撮像素子の出力信号を１ライン分表示したものである（例えば図４の丸枠）。
【００６０】
図５（ａ）に示すように、撮像分解能が絵素ピッチに近くなるような分解能で撮像した場合には、モアレは低周波成分として発生する。反対に、図５（ｂ）に示すように、撮像分解能と絵素ピッチとの差が大きくなるような分解能で撮像した場合には、モアレは高周波成分として発生する。一方、図５（ｃ）に示すように、撮像分解能と絵素ピッチとが等しくなるような分解能で撮像した場合には、モアレは発生しないことが分かる。このように撮像装置３の分解能に依存して、モアレの発生パターンは変化する。このようなモアレにより、表示デバイス６の欠陥を正確に検出することが妨げられる。
【００６１】
（分解能評価値の算出方法）
次に、分解能評価値算出部１６における分解能評価値Ｂｍｎの算出方法について、図６を用いて説明する。図６は、分解能評価値算出部１６における分解能評価値の算出方法を説明するための図である。図６（ａ）は、ＲＧＢの絵素配列を有する表示デバイス６を撮像装置３にて撮像した撮像素子配列のうち、撮像画像の中央に対応する、水平方向の撮像素子配列Ａｍｎ（中間部水平ライン）（第１注目撮像素子配列）を示している。この撮像素子配列Ａｍｎに関して、画素値（輝度値）のプロファイルを算出すると図６（ｂ）のようになったとする。図６（ｂ）は、撮像素子配列Ａｍｎに含まれる画素の輝度値を示すグラフである。
【００６２】
図６（ｂ）に示す状態は、撮像倍率が正確に整数倍率になっていない状態であり、３つのモアレ成分（周波数成分）が生じていることが分かる。ここで、撮像倍率が整数倍率になっている状態とは、水平絵素配列方向または垂直絵素配列方向に関して、表示デバイス６の表示画素ｐ個に対して、撮像装置３の撮像素子がｑ個割当てられている状態であり、ｐおよびｑが正の整数である状態である。換言すれば、撮像倍率が整数倍率になっている状態とは、ｐ個の表示画素をｑ個の撮像素子で撮像する状態である。
【００６３】
これに対して、図６（ｃ）に示す状態が、撮像倍率が正確に整数倍率（倍率＝３）になっている状態（撮像分解能と絵素ピッチとが等しくなるような分解能で撮像されている状態）である。設定した撮像倍率が３（表示画素１個に３個の撮像素子を割当てる）であるとすると、表示絵素横サイズ（水平絵素配列方向における絵素の幅）に１個の撮像素子を割当てる状態となる。従って、ｑ／ｐ＝３／１＝３ごとに撮像素子の出力値（撮像データの画素値）を用いる。例えば、図６（ｂ）の丸枠で示す周波数成分（プロファイル）を用いればよい。
【００６４】
よって、上記の場合、出力信号抽出部１７において、撮像データを形成する特定の撮像素子配列Ａｍｎ（ｍ＝０、１、２・・・）が有する画素値を、３つごとに抽出する。
【００６５】
なお、図６（ｂ）の状態では、３画素ごとに抽出された撮像素子配列のプロファイルは３つ存在するが、撮像分解能の評価に用いるのは１つでよい。すなわち、出力信号抽出部１７は、撮像データに含まれる複数の周波数成分のうち、少なくとも１つを抽出すればよい。
【００６６】
次に、出力信号抽出部１７によって抽出された画素値の集合を用いて、演算部１８は、分解能評価値Ｂｍｎを算出する。分解能評価値は、例えば、撮像素子配列Ａｍｎが撮像した、隣り合う絵素の画素値の差分の絶対値の総和である。すなわち、分解能評価値Ｂｍｎの算出に用いられる評価式は、撮像素子配列Ａｍｎに含まれる各撮像素子の番号をｉ（ｉ＝０、１、２、…）とすると、以下の（１）〜（３）式として表すことができる。
Ｂｍｎ（０）＝Σ｜Ａ３（ｉ＋１）ｎ−Ａ３ｉｎ｜            ・・・（１）
Ｂｍｎ（１）＝Σ｜Ａ３（ｉ＋１＋１）ｎ−Ａ３（ｉ＋１）ｎ｜・・・（２）
Ｂｍｎ（２）＝Σ｜Ａ３（ｉ＋２＋１）ｎ−Ａ３（ｉ＋２）ｎ｜・・・（３）
演算部１８は、上記（１）〜（３）式のうちの少なくとも１つを用いて分解能評価値を算出すればよい。なお、上記（１）〜（３）式は、撮像データを形成する特定の撮像素子配列Ａｍｎが有する画素値を、３つごとに抽出する場合に用いる式であり、抽出する画素値の間隔に合わせて、上記式を適宜変更すればよい。
【００６７】
また、単に輝度のばらつきを評価するために、分散や標準偏差を評価値としてもよい。
【００６８】
これらの評価式を用いた場合、図６（ｃ）に示す状態では、最小値Ｂｍｎ＝０となる。
【００６９】
ここで、仮に撮像倍率が６であるとすると、表示画素１個に６個の撮像素子を割当てる状態となる。従って、ｑ／ｐ＝６／１＝６つごとに撮像素子配列の出力値を用いる。
【００７０】
さらに撮像倍率を非整数倍に合わせることも可能である。例えば、撮像倍率を４．５に設定したいとすると、表示画素１個に４．５個の撮像素子を割当てる状態、つまり表示画素２個に９個の撮像素子を割当てる状態となる。従って、９つごとに撮像素子配列の値を用いる。
【００７１】
（撮像距離およびあおり角の補正方法）
次に、分解能評価値算出部１６における分解能評価値Ｂｍｎのより具体的な算出方法および補正値算出部１９における、あおり角の算出方法について説明する。図７は、あおり角の算出方法を説明するための図である。図７（ａ）は、表示デバイス６の、撮像装置３の光軸に対する傾きを示す図である。以下では、図７（ａ）に示すように、撮像装置３（レンズ５）の光軸に対して表示デバイス６が直交せずに傾いている場合、より正確には、表示デバイス６の上部が撮像装置３から遠ざかっており、表示デバイス６の下部が撮像装置３に近づいている場合について説明する。
【００７２】
図７（ｂ）は、表示デバイス６の撮像画像における上部水平ライン（第２注目撮像素子配列）および中間部水平ライン（第１注目撮像素子配列）を示す図である。この場合、分解能評価値算出部１６は、図７（ｂ）に示すように、表示デバイス６の上部と下部との中間に位置する中間部に対応する水平方向の撮像素子配列Ａ０ｎ（中間部水平ライン）と、上部に対応する水平方向の撮像素子配列Ａ１ｎ（上部水平ライン）について、撮像距離を変更しながら分解能評価値Ｂ０ｎ、Ｂ１ｎを算出する。また同時にその時の撮像距離Ｃ０ｎ、Ｃ１ｎも算出する。分解能評価値算出部１６は、このような処理を所定の範囲内の撮像距離について実行する。
【００７３】
撮像距離Ｃｍｎの測定方法として、例えば、特許文献３に記載の方法を用いることができるが、その他の方法を用いてもよい。
【００７４】
なお、どのような間隔で撮像距離を変化させるのかについては、特に限定されない。また、上記所定の範囲とは、分解能評価値Ｂｍｎが最小となる撮像分解能で撮像できる撮像距離が少なくとも１つ含まれる範囲であればよく、実際に検査装置１を動作させることによって適当な範囲を設定すればよい。
【００７５】
上記操作を所定の範囲内で実行し終わると、図７（ｃ）に示すようなグラフを得ることができる。図７（ｃ）は、上部水平ラインおよび中間部水平ラインについて撮像距離Ｃｍｎと分解能評価値Ｂｍｎとの関係を示すグラフである。すなわち、上部水平ライン、中間部水平ラインのそれぞれについての撮像距離Ｃｍｎと分解能評価値Ｂｍｎとの関係が明らかになる。図７（ｃ）において、中間部水平ラインの分解能評価値が最小（最良）となる時の撮像距離を撮像距離Ｃ０ｓとし、上部水平ラインの分解能評価値が最小となる時の撮像距離をＣ１ｔと称している。
【００７６】
図７（ｄ）は、あおり角を算出する方法を説明するための図である。この時の補正すべきあおり角θは、図７（ｄ）に示すように、撮像素子配列Ａ０ｎに対応する表示デバイス６上の位置と撮像素子配列Ａ１ｎに対応する表示デバイス６上の位置との間の距離Ｄ０１と、撮像距離Ｃ１ｔと撮像距離Ｃ０ｓとの差（Ｃ１ｔ−Ｃ０ｓ）とから、
ｓｉｎθ＝（Ｃ１ｔ−Ｃ０ｓ）／Ｄ０１・・・（４）
として算出することができる。補正値算出部１９は、上記（４）式を用いてあおり角を算出する。
【００７７】
なお、上記距離Ｄ０１は初期設定値である。第ｎ撮像素子配列（ｎは正の整数）に対応する表示デバイス６上の位置をそれぞれ予め設定しておけばよい。この設定は、表示デバイス６の外枠に予め印を付けておく、または、表示デバイス６の画面の四隅等にマーカーを点灯させる等によって実現すればよい。
【００７８】
補正値算出部１９によって算出されたあおり角は、角度調整部１３を介して角度調整機構２ｂへ出力され、角度調整機構２ｂは、当該あおり角に基づいて表示デバイス６の光軸に対する傾きを補正する。
【００７９】
また、補正値算出部１９は、中間部水平ラインの分解能評価値が最小となる時の撮像距離Ｃ０ｓを最適な撮像距離（最適撮像距離）であると判定し、当該撮像距離Ｃ０ｓを撮像距離調整部１２を介して撮像距離調整機構２ａへ出力する。
【００８０】
なお、中間部水平ラインの分解能評価値が最小となる時の撮像距離を最適撮像距離とする必要は必ずしもなく、あおり角を算出するための基点となる水平ライン（角θを形成する角の頂点を含む水平ライン）の分解能評価値が最小となる時の撮像距離を最適撮像距離とすればよい。
【００８１】
（検査装置１における処理の大まかな流れ）
次に、検査装置１における処理の大まかな流れの一例について図８を参照しつつ説明する。図８は、検査装置１における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【００８２】
まず、予め入力されている表示デバイス６の設計データと、設定したい撮像条件のデータとに基づいて、制御装置１１は、撮像装置３の撮像位置、角度およびフォーカス状態を初期状態に設定する（Ｓ１）。
【００８３】
次に、回転ずれ補正部１５は、表示デバイス６の、光軸を中心とする回転ずれの補正を行う（Ｓ２）。
【００８４】
回転ずれの補正が完了すると、分解能評価値算出部１６および補正値算出部１９によって、検査を行うための最適撮像距離の設定値およびあおり角が算出される（Ｓ３）。
【００８５】
そして、算出されたあおり角に基づいて、角度調整部１３は、角度調整機構２ｂを介して表示デバイス６のあおり角を補正するとともに、撮像距離調整部１２は、撮像距離調整機構２ａを解して最適撮像距離を設定する（Ｓ４）。
【００８６】
その後、制御装置１１は、撮像装置３を介して表示デバイス６の撮像データを取得し、当該撮像データを検査部２０にて解析し、表示デバイス６の良否を判定する（Ｓ５）。この判定結果は、表示部（不図示）等を介してユーザに報知される。
【００８７】
（最適撮像距離およびあおり角補正値を算出するための処理の流れ）
次に、最適撮像距離およびあおり角を算出するための処理の流れの一例について、図９を参照しつつ説明する。図９は、最適撮像距離およびあおり角を算出するための処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【００８８】
まず、撮像装置制御部１４は、撮像装置３を介して表示デバイス６の撮像画像を取得し（Ｓ３１）、当該撮像画像を分解能評価値算出部１６の出力信号抽出部１７へ出力する。
【００８９】
上記撮像画像を受け取ると、出力信号抽出部１７は、当該撮像画像を形成する特定の撮像素子配列Ａｍｎ（ｍ＝０、１、２・・・）（ｎ＝０、１、２、・・・）から出力される画素値（撮像素子の出力信号の値）を、所定の間隔で（例えば、３つごとに）抽出する（Ｓ３２）。出力信号抽出部１７は、この抽出を複数の撮像素子配列に対して行う。出力信号抽出部１７は、抽出した画素値の集合を演算部１８へ出力する。
【００９０】
演算部１８は、出力信号抽出部１７によって抽出された画素値の集合および上記（１）〜（３）式の少なくとも１つを用いて、各撮像素子配列Ａｍｎに対応する分解能評価値Ｂｍｎを算出する（Ｓ３３）（評価値算出工程）。演算部１８は、算出した分解能評価値Ｂｍｎを分解能評価値算出部１６が備える一時記憶メモリ（不図示）に格納する。
【００９１】
分解能評価値算出部１６は、演算部１８が分解能評価値Ｂｍｎの算出を終えると、その時の撮像距離Ｃｍｎを算出する（Ｓ３４）。算出された撮像距離Ｃｍｎは、対応する分解能評価値Ｂｍｎとともに上記一時記憶メモリに格納される。
【００９２】
その後、分解能評価値算出部１６は、撮像装置制御部１４を介して、所定の距離だけ撮像距離を変更し（Ｓ３５）、上述の処理を繰り返す（Ｓ３１に戻る）。
【００９３】
分解能評価値算出部１６は、所定の範囲全体において上述の処理を繰り返すと（Ｓ３６にてＹＥＳ）、上記一時記憶メモリに格納された分解能評価値Ｂｍｎと撮像距離Ｃｍｎとのペアの集合を補正値算出部１９へ出力する。
【００９４】
補正値算出部１９は、分解能評価値算出部１６から出力された、分解能評価値Ｂｍｎと撮像距離Ｃｍｎとのペアの集合から、上述したように最適撮像距離を算出する（評価値比較工程）とともに、表示デバイス６のあおり角を算出する（Ｓ３７）（傾き算出工程）。
【００９５】
補正値算出部１９は、算出したあおり角を角度調整部１３へ出力し、算出した最適撮像距離を撮像距離調整部１２へ出力する。
【００９６】
（検査装置１の効果）
以上のように、検査装置１によれば、特別なスケール等を用いることなく、撮像装置３を適切な撮像倍率に設定することができるため、モアレによる影響を排除した、精度の高い検査を行うことができる。このとき、製造ラインを止める必要がなく、スケールを用いる必要がないという利点も得られる。
【００９７】
また、レンズ５の光軸と表時デバイス６の合焦点面とのあおり角の補正を容易に行うことができ、表示デバイス６の全領域にて撮像条件を等しくすることができる。それゆえ、表示デバイス６の全領域に対して精度の高い検査を行うことができる。
【００９８】
（変更例）
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００９９】
また、上述した検査装置１の各ブロック、特に制御装置１１は、ハードウェアロジックによって構成してもよいし、次のようにＣＰＵを用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１００】
すなわち、検査装置１、特に制御装置１１は、各機能を実現する制御プログラムの命令を実行するＣＰＵ（central processing unit）、上記プログラムを格納したＲＯＭ（read only memory）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（random access memory）、上記プログラムおよび各種データを格納するメモリ等の記憶装置（記録媒体）などを備えている。そして、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウェアである検査装置１（特に制御装置１１）の制御プログラム（検査プログラム）のプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、上記検査装置１（特に制御装置１１）に供給し、そのコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【０１０１】
上記記録媒体としては、例えば、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【０１０２】
また、検査装置１（特に制御装置１１）を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。この通信ネットワークとしては、特に限定されず、例えば、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（virtual private network）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、例えば、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された、搬送波に埋め込まれたコンピュータデータ信号の形態でも実現され得る。
【０１０３】
なお、本発明は、以下のようにも表現できる。すなわち、本発明の表示デバイスの検査方法は、表示デバイスの表示画面を撮像素子を具備したカメラにて撮像し、得られた撮像データにて表示デバイスの良否判定をする検査方法において、カメラと表示デバイス間の撮像距離の設定と、レンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を自動で行い、互いに約分できない正の整数ｐ、ｑについて、表示画素ｐ個に対応する撮像素子ｑ個との関係を表示デバイスの全領域で自動で所望の関係に設定する方法であって、撮像距離を制御する工程と、レンズの光軸と合焦点面との角度を制御する工程と、撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する工程と、前記複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の撮像距離ごとの分解能評価値のうち最良値の時の撮像距離と、前記複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の表示デバイス上における距離関係とから、カメラの撮像距離設定、及びレンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を行う工程とを含むものである。
【０１０４】
また、前記撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する工程は、表示デバイスの表示画素の配列の水平方向、または垂直方向に対して、それに対応する撮像素子配列の検出値のうち、表示画素の各ｐ個に対してｑ×ｑ個の撮像素子を割当てる撮像条件設定の時、ｑ／ｐが整数の場合、撮像素子配列におけるｑ／ｐごとの撮像素子の検出値を用いて分解能評価値を算出することを条件とすることが好ましい。ただし、ｐ、ｑは正の整数とする。
【０１０５】
また、前記撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する工程は、表示デバイスの表示絵素の配列の水平方向、または垂直方向に対して、それに対応する撮像素子配列の検出値のうち、表示画素の各ｐ個に対して、ｑ個の撮像素子を割当てる撮像条件設定の時、ｑ／ｐが非整数の場合、撮像素子配列におけるｑごとの撮像素子の検出値を用いて分解能評価値を算出することを条件とすることが好ましい。ただし、ｐ、ｑは正の整数とする。
【０１０６】
また、前記撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する工程は、前記条件に当てはまる撮像素子配列の検出値のばらつき度合いを評価し、前記条件に当てはまる撮像素子配列の検出値のばらつき度合いが小さくなるほど良い評価式を用いることを条件とし、複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列ごとに分解能評価値と撮像距離を算出することが好ましい。
【０１０７】
また、前記複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の撮像距離ごとの分解能評価値のうち最良値の時の撮像距離と、複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の表示デバイス上における距離関係とから、カメラの撮像距離設定、及びレンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を行う工程は、複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列のうち、任意の１つの撮像素子配列に対して分解能評価値が最良値の時の撮像距離を撮像距離に設定する工程と、任意の１つの撮像素子配列と複数の水平方向、又は垂直方向の撮像素子配列の表示デバイス上における距離関係と、それぞれの分解能評価値が最良値の時の撮像距離の距離関係からレンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を行う工程を含むことが好ましい。
【０１０８】
本発明の表示デバイスの検査装置は、表示デバイスの表示画面を撮像素子を具備したカメラにて撮像し、得られた撮像データにて表示デバイスの良否判定をする検査装置において、カメラと表示デバイス間の撮像距離の設定と、レンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を自動で行ない、互いに約分できない正の整数ｐ、ｑについて、表示画素ｐ個に対応する撮像素子ｑ個との関係を表示デバイスの全領域で自動で所望の関係に設定する装置であって、撮像距離を制御する手段と、レンズの光軸と合焦点面との角度を制御する手段と、撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する手段と、前記複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の撮像距離ごとの分解能評価値のうち最良値の時の撮像距離と、前記複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の表示デバイス上における距離関係とから、カメラの撮像距離設定、及びレンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を行う手段とを備えるものである。
【０１０９】
また、前記撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する手段は、表示デバイスの表示画素の配列の水平方向、または垂直方向に対して、それに対応する撮像素子配列の検出値のうち、表示画素の各ｐ個に対してｑ×ｑ個の撮像素子を割当てる撮像条件設定の時、ｑ／ｐが整数の場合、撮像素子配列におけるｑ／ｐごとの撮像素子の検出値を用いて分解能評価値を算出することを条件とすることが好ましい。
【０１１０】
また、前記撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する手段は、表示デバイスの表示絵素の配列の水平方向、または垂直方向に対して、それに対応する撮像素子配列の検出値のうち、表示画素の各ｐ個に対して、ｑ個の撮像素子を割当てる撮像条件設定の時、ｑ／ｐが非整数の場合、撮像素子配列におけるｑごとの撮像素子の検出値を用いて分解能評価値を算出することを条件とすることが好ましい。
【０１１１】
また、前記撮像距離を変更しながら撮像データの複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列から分解能評価値を算出する手段は、前記条件に当てはまる撮像素子配列の検出値のばらつき度合いを評価し、前記条件に当てはまる撮像素子配列の検出値のばらつき度合いが小さくなるほど良い評価式を用いることを条件とし、複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列ごとに分解能評価値と撮像距離を算出することが好ましい。
【０１１２】
また、前記複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の撮像距離ごとの分解能評価値のうち最良値の時の撮像距離と、複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列の表示デバイス上における距離関係とから、カメラの撮像距離設定、及びレンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を行う手段は、複数の水平方向、または垂直方向の撮像素子配列のうち、任意の１つの撮像素子配列に対して分解能評価値が最良値の時の撮像距離を撮像距離に設定する手段と、任意の１つの撮像素子配列と複数の水平方向、又は垂直方向の撮像素子配列の表示デバイス上における距離関係と、それぞれの分解能評価値が最良値の時の撮像距離の距離関係からレンズの光軸と合焦点面との角度（あおり）補正を行う手段とからなることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【０１１３】
液晶パネルなどの表示デバイスの検査工程において、モアレの影響を受けにくく、検査精度の高い検査装置として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置が備える制御装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る検査装置の構成を示す概略図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る検査装置が備える角度・撮像距離調整機構の構成を示す図であり、（ａ）は、角度・撮像距離調整機構を側方から見た図であり、（ｂ）は、上方から見た図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る検査装置の検査対象である表示デバイスの構成を示す概略図である。
【図５】表示デバイスを撮像した場合に、得られる撮像素子の出力信号の例を示すものであり、（ａ）は、撮像分解能が絵素ピッチよりも１．５％小さい場合に得られる撮像素子の出力信号を示す図であり、（ｂ）は撮像分解能が絵素ピッチよりも２１．５％小さい場合に得られる撮像素子の出力信号を示す図であり、（ｃ）は、撮像分解能が絵素ピッチと等しい場合に得られる撮像素子の出力信号を示す図である。
【図６】分解能評価値Ｂｍｎの算出方法を説明するための図であり、（ａ）は、表示デバイスの撮像画像を撮像した撮像素子配列のうち、撮像画像の中央に対応する、水平方向の撮像素子配列Ａｍｎを示す図であり、（ｂ）は、撮像倍率が整数倍率になっていない場合の、撮像素子配列Ａｍｎに含まれる画素の輝度値を示すグラフであり、（ｃ）は、撮像倍率が正確に整数倍率になっている場合の、撮像素子配列Ａｍｎに含まれる画素の輝度値を示すグラフである。
【図７】あおり角に関する補正値の算出方法を説明するための図であり、（ａ）は、表示デバイスの、撮像装置の光軸に対する傾きを示す図であり、（ｂ）は、表示デバイスの撮像画像における上部水平ライン及び中間部水平ラインを示す図であり、（ｃ）は、上部水平ライン及び中間部水平ラインについて撮像距離Ｃｍｎと分解能評価値Ｂｍｎとの関係を示すグラフであり、（ｄ）は、あおり角を算出する方法を説明するための図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る検査装置における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図９】最適撮像距離及びあおり角を算出するための処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【０１１５】
１    検査装置
３    撮像装置（撮像手段）
６    表示デバイス
６ａ  絵素
６ｂ  絵素
６ｃ  絵素
１４  撮像装置制御部（撮像制御手段）
１６  分解能評価値算出部（評価値算出手段）
１９  補正値算出部（評価値比較手段、傾き算出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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