(57)【要約】      （修正有）【課題】同一基板に形成された複数の圧電素子と温度検知素子を備え、かつ小型化、コストダウンしたアクチュエータを提供する。【解決手段】基板の表面に複数の変位素子が設けられ、該変位素子が各々独立して作動するアクチュエータ６と、前記基板に設けられた温度検知素子７と、該アクチュエータ６に接する導電性液体９が満たされる液体加圧室１１と、該液体加圧室１１に連通する液体吐出口とを具備し、前記基板に設けられた変位素子を変位させ、前記液体加圧室１１の容積を増減させるによって前記導電性液体９を前記液体吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記温度検知素子７が前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室１１に満たされる前記導電性液体９と、それらに挟まれた圧電体と、で構成されることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に複数の変位素子が設けられ、各変位素子が独立して作動するアクチュエータと、前記基板に設けられた温度検知素子と、該アクチュエータに接している、導電性液体が満たされる液体加圧室と、該液体加圧室に連通する液体吐出口とを具備し、前記基板に設けられた変位素子を変位させ、前記液体加圧室の容積を増減させることによって前記導電性液体を前記液体吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記温度検知素子が前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室に満たされる前記導電性液体と、それらに挟まれた圧電体とで構成されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記変位素子が、一対の電極と、該一対の電極に挟まれた圧電体からなり、該圧電体の主成分が、前記温度検知素子を構成する圧電体の主成分と略同一であることを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記アクチュエータ全体の厚みが１００μｍ以下であると共に、前記変位素子を構成する圧電体の厚みが３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１または２記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記導電性液体がインクであって、インクジェットヘッドとして用いられることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記温度検知素子を構成する前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室に満たされる前記導電性液体それぞれに電気的に接続された電荷検知装置を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに導電性液体を供給する液体タンクと、該液体吐出ヘッドに対して媒体を移動させる媒体搬送機構とを備え、媒体に液体を塗布することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料噴射用インジェクタ、インクジェットプリンタ用印刷ヘッド等に好適に用いることができる、液体吐出ヘッドおよびそれを用いた液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの普及やマルチメディアの発達に伴って、情報を記録媒体に出力する記録装置として、インクジェット方式の記録装置の利用が急速に拡大している。
【０００３】
かかるインクジェット方式の記録装置には、インクジェット記録用の印刷ヘッドが搭載されており、この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒーターを備え、ヒーターによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、インク流として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を圧電素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔よりインク流として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
図３（ａ）に従来のインクジェット方式を利用した記録装置に用いられる印刷ヘッドの一例を示す。インクジェット記録ヘッドは、複数の溝を並設してなり、上記溝をインク加圧室５５とすると共に、各溝を仕切る壁を隔壁５６とした流路部材５７と、圧電セラミックス板５１の一方の主面に共通電極５２を、他方の主面に個別電極５３を形成した圧電素子を有している。圧電素子の共通電極５２側を流路部材５７の開口部に接着する。なお、圧電素子の個別電極５３は、外部の駆動回路に電気的に接続されている。
【０００５】
そして、駆動回路より個別電極５３に電圧を印加し、インク流路５５を形成する圧電アクチュエータ６０の振動版５４を振動させることによりインクインク加圧室５５内のインクを加圧し、流路部材５７の底面に開口させたインク吐出孔５８よりインク滴を吐出するようになっている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
また、上記の圧電アクチュエータ６０をＸ、Ｙ方向それぞれに等間隔で多数並設したインクジェット記録ヘッドにすることにより、高速で、高精度のインクジェットプリンタを実現することが可能である。
【０００７】
また、従来、圧電アクチュエータでは５〜３０Ｖ程度の電圧で、１０ｋ〜３０ｋＨｚ程度の駆動する際に素子が自己発熱し、素子の圧電特性の温度依存性によって電圧−変位特性が変動し、所望の変位量が得られず、そのために、ＰｂＺｒＴｉＯ３系圧電磁器を用いた薄層圧電アクチュエータの変位バラツキを抑制することができないという問題があった。
【０００８】
このため、従来、基板の表面に複数の変位素子が設けられ、該変位素子が各々独立して作動するアクチュエータにおいて、前記基板の内部に温度検知素子が設けて作動中の温度変化の測定を行って変位バラツキを抑制する試みが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００９】
図２（ｂ）では共通電極１５２と電極１０２とそれらに挟まれた圧電体または誘電体１０３により温度検知素子１６１が構成されている。
【特許文献１】特開平１０−１５１７３９号公報
【特許文献２】特開２００４−８２５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献２に記載のアクチュエータは作動中の内部温度は測定できるものの、温度検知用の圧電セラミックス層および金属電極が必要となり、アクチュエータの製造工程の工数が増加し、コストが高くなるという問題、および、アクチュエータの構造が複雑になり、大型化するという問題があった。
【００１１】
従って、本発明は、同一基板に形成された複数の圧電素子と温度検知素子を備え、かつ小型化、コストダウンしたアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の液体吐出ヘッドは、基板の表面に複数の変位素子が設けられ、各変位素子が独立して作動するアクチュエータと、前記基板に設けられた温度検知素子と、該アクチュエータに接している、導電性液体が満たされる液体加圧室と、該液体加圧室に連通する液体吐出口とを具備し、前記基板に設けられた変位素子を変位させ、前記液体加圧室の容積を増減させることによって前記導電性液体を前記液体吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記温度検知素子が前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室に満たされる前記導電性液体と、それらに挟まれた圧電体とで構成されることを特徴とするものである。
【００１３】
前記変位素子が、一対の電極と、該一対の電極に挟まれた圧電体からなり、該圧電体の主成分が、前記温度検知素子を構成する圧電体の主成分と略同一であることが好ましい。
【００１４】
前記アクチュエータ全体の厚みが１００μｍ以下であると共に、前記変位素子を構成する圧電体の厚みが３０μｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
前記導電性液体がインクであって、インクジェットヘッドとして用いられることが好ましい。
【００１６】
前記温度検知素子を構成前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室に満たされる前記導電性液体それぞれに電気的に接続された電荷検知装置を備えることが好ましい。
【００１７】
本発明の液体吐出装置は、液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに導電性液体を供給する液体タンクと、該液体吐出ヘッドに対して媒体を移動させる媒体搬送機構とを備え、媒体に液体を塗布することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の液体吐出ヘッドは、基板の表面に複数の変位素子が設けられ、各変位素子が独立して作動するアクチュエータと、前記基板に設けられた温度検知素子と、該アクチュエータに接している、導電性液体が満たされる液体加圧室と、該液体加圧室に連通する液体吐出口とを具備し、前記基板に設けられた変位素子を変位させ、前記液体加圧室の容積を増減させることによって前記導電性液体を前記液体吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記温度検知素子が前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室に満たされる前記導電性液体と、それらに挟まれた圧電体と、で構成されることにより、前記基板の両面に金属電極を作製する必要がなく、基板が小型化できると共に、製造工程を簡略化できるので低コストに製造できる。
【００１９】
前記変位素子が、一対の電極と、該一対の電極に挟まれた圧電体からなり、該圧電体の主成分が、前記温度検知素子を構成する圧電体の主成分と略同一であることにより、プロセス面において工数を低減できるためコストダウン、工程簡略化が可能となる。
【００２０】
前記アクチュエータ全体の厚みが１００μｍ以下であると共に、前記変位素子を構成する圧電体の厚みが３０μｍ以下であることにより、液体吐出ヘッドの小型化が図ることができる
前記導電性液体がインクであって、インクジェットヘッドとして用いられることにより、前記基板の両面に金属電極を作製する必要がなく、基板が小型化できると共に、製造工程を簡略化できるので低コストに製造できる。
【００２１】
前記温度検知素子を構成する前記変位素子を構成する電極と、前記液体加圧室に満たされる前記導電性液体それぞれに電気的に接続された電荷検知装置を備えることにより、前記温度検知素子に生じる焦電荷を測定することができるので、静電容量の測定に比べて温度に対する感度が大きいため精度良く温度を検知でき通常高速駆動させると環境温度が高温になり、圧電アクチュエータの変位が大きくなるので必要以上の吐出性能が出るが所望の吐出性能を確保できるように制御回路を介して駆動回路にフィードバックできるため印加電圧を調整でき、必要以上の電圧は印加されないので安定して駆動できるため、長期的に吐出性能の安定性の高いヘッドを提供することができる。
【００２２】
また、本発明の液体吐出装置は、液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに導電性液体を供給する液体タンクと、該液体吐出ヘッドに対して媒体を移動させる媒体搬送機構とを備え、媒体に液体を塗布することにより、プロセス面において工数を低減できるためコストダウン、工程簡略化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明を、添付図を用いて説明する。
【００２４】
図１は、インクジェット記録ヘッドに用いられる液体吐出ヘッドの断面図と液体吐出ヘッドに電気的に接続される外部回路を模式的に示したものである。本発明の液体吐出ヘッド３は、支持体１の上に温度検知用板２４が接合されている。支持体１には複数の隔壁３０により仕切られた複数の液体加圧室１１が形成され、各液体加圧室１１の底部には液体吐出孔１２が形成されいる。
【００２５】
温度検知用板２４の表面には圧電セラミックス板２６を設け、温度検知用板２４と圧電セラミック板２６との間に共通電極２５を形成すると共に、圧電セラミックス板２６の表面に個別電極２７を設け、共通電極２５と個別電極２７とで圧電セラミック板４を狭持する。これらをまとめた、圧電アクチュエータ基板５という。
【００２６】
共通電極２５および個別電極２７は圧電アクチュエータ基板５上に複数設けられており、それぞれ外部の電子制御回路に独立して接続され、それぞれの電極間に駆動回路３によって電圧が印加されると、電圧が印加された共通電極２５と個別電極２７に挟持された部位が変位する。
【００２７】
本発明のアクチュエータをインクジェット用の印刷ヘッドに応用すれば、アクチェータ６を振動させることにより液体加圧室１１内のインクを加圧し、液体吐出孔１２よりインク滴を吐出することができる。
【００２８】
図１においては、上記温度検知素子７は、個別電極２７と対応する位置に配置され、変位素子の共通電極２５と、液体加圧室１１に満たされた導電性液体９と、それらに挟まれた圧電体である温度検知用板２４で構成されている。なお、ここでいう導電性液体とは、体積固有抵抗が１００Ω・ｃｍ以下の液体をいう。
【００２９】
温度検知子７は共通電極２５と電気的に接続されたグランド配線３２と支持体１に接続された配線１ｂ間の温度が検知できる。温度を検知する方法としては静電容量の温度依存性もしくは焦電荷の温度依存性より検知できる。図２に示すようにあらかじめ室温より温度を変化させて圧電体の特徴である温度変化したときに、電極表面に発生する電荷量を発生電荷測定装置で測定しておけば駆動時の焦電荷の変化より換算して温度を測定することができる。特に焦電型の温度検知素子は高感度であるので焦電荷を検知した方が好ましい。
【００３０】
圧電セラミック板２６はペロブスカイト型酸化物を主成分とし、Ａサイト構成元素としてＰｂを含有し、かつ、Ｂサイト構成元素としてＺｒ、Ｔｉを含有するものである。
【００３１】
さらに、副成分としてＰｂ（Ｚｎ１／３Ｓｂ２／３）Ｏ３およびＰｂ（Ｎｉ１／２Ｔｅ１／２）Ｏ３とを固溶してなるものである。
【００３２】
圧電セラミック板２６は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスなどが使用されるが、これに限定するものではなく、圧電性を有するものであればいずれでもよい。この圧電素子を構成するものとしては、圧電定数ｄ３１が高いものが望ましい。
【００３３】
特に、ペロブスカイト型酸化物のＡサイト構成元素として、さらにアルカリ土類元素を含有することが望ましい。アルカリ土類元素としてはＢａ、Ｓｒ、Ｃａなどがあり、特にＢａ、Ｓｒが高い変位を得られる点で好ましい。
【００３４】
具体的には、Ｐｂ１−ｘ―ｙＳｒｘＢａｙ（Ｚｒ１／３Ｓｂ２／３）ａ（Ｎｉ１／２Ｔｅ１／２）ｂＺｒ１−ａ−ｂ−ｃＴｉｃＯ３＋αｗｔ％Ｐｂ１／２ＮｂＯ３（０≧ｘ≧０．１４、０≧ｙ≧０．１４、０．０５≧ａ≧０．１、０．００２≧ｂ≧０．０１、０．４４≧ｃ≧０．５０、α＝０．１〜１．０）で表される組成圧電磁器組成物が望ましい。
【００３５】
本発明の圧電素子２６の厚さは、小型化および高い電圧を印加するという点から５μｍ〜２００μｍであることが好ましい。５μｍより薄いと、磁器の耐電圧強度が小さく使えない。２００μｍより厚いと変位が小さくなるため使えない。
【００３６】
また、圧電セラミック板２６はボイド率が１％以下であることが好ましい。ボイド率が１％より大きいとインクジェット印刷ヘッドとして用いる際、インクの染み込みによる、インク漏れの可能性があるので、好ましくない。また、磁器強度の面でも好ましくない。
【００３７】
共通電極２５、個別電極２７の材質としては、導電性を有するものならばいずれでも良く、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｌやそれらの合金などが用いられる。
【００３８】
また、電極厚みとしては、導電性を有しかつ変位を妨げない程度である必要があり、１〜５μｍのものが好ましい。
【００３９】
温度検知用板２４は、圧電セラミックス板２６と略同一の組成物、略同一形状の圧電セラミック板からなることが好ましい。圧電セラミック板でないと熱変化に伴う焦電荷が発生しなくなり、またできるだけ焦電性の大きい方が温度変化に対して感度がよくなるため、温度検知能力としては良好であるためである。また、誘電率を測定する場合、アクチュエータ以外の部分温度も測定することになるが、印刷休止中に、インクを吐出しないようにアクチュエータを駆動して、温度検知素子に生じる焦電荷を測定することにより、アクチュエータ部分の温度を測定することができる。この方法では、必要に応じて、全アクチュエータを駆動して、全アクチュエータの温度の平均を測定することもできるし、アクチュエータ１つを駆動して、駆動したアクチュエータの温度を測定することもできる。同一組成、形状である方が焼成時の収縮寸法を容易に制御できるためである。このような積層セラミックスからなる温度検知用板２４は、圧電セラミックス板２６の共通電極２５を共通として、他方の主面は液体加圧室１１に接しているので、液体加圧室１１に満たされた導電性液体9に接している。
【００４０】
また、温度検知用板２４の厚みは任意に設定でき、共通電極２５と導電性液体９の距離も任意に設定できるが、静電容量または焦電荷の温度依存性を顕著に検知するには厚みは薄い方がよいため３〜３０μｍ、特に５〜２０μｍであることが好ましい。
【００４１】
支持体１と圧電アクチュエータ６とは、例えば接着剤の層（図示せず）を介して接着して一体化することができる。支持体１の材質としては剛性の高い金属が好ましく、圧電セラミック板との熱膨張係数が近い材質が好ましい。特にＳＵＳ３１６、ＳＵＳ４３０、４２合金などが好ましい。接着剤としては、従来公知の種々の接着剤が挙げられるが、液体吐出ヘッドの耐熱性や、導電性液体９に対する耐性を向上することを考慮すると、熱硬化温度が１００〜２５０℃であるエポキシ樹脂系、フェノール樹脂系、ポリフェニレンエーテル樹脂系等の、熱硬化性の接着剤を使用するのが好ましい。これら接着剤の層を介して、支持体１と圧電アクチュエータ２とを積層して、接着剤の熱硬化温度まで加熱することによって、性液体吐出ヘッドが製造される。
【００４２】
以上のような液体吐出ヘッドの液体加圧室１１に導電性液体９を供給する液体タンクと、媒体に印刷するための媒体搬送機構を加えることにより液体吐出装置を構成できる。
【実施例】
【００４３】
（圧電アクチュエータの作製）
粒径０．５〜３．０μｍのチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電セラミック粉体に対して、アクリル系樹脂エマルションと、純水とを配合し、平均粒径１０ｍｍのナイロンボールと共に、ボールミルを用いて３０時間、混合してスラリーを調製した。
【００４４】
次に、このスラリーを用いて、引き上げ法によって、厚み３０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に、圧電セラミック層２４、２６のもとになる、厚み３５〜３７μｍのグリーンシートを形成した。
【００４５】
次に、このグリーンシートを、ＰＥＴフィルムと共に、縦５０ｍｍ×横５０ｍｍの正方形に裁断したものを２枚用意し、そのうち、温度検知用板２４のもとになる１枚のグリーンシートの、露出した表面のほぼ全面に、共通電極２５のもとになる金属ペーストを、スクリーン印刷法によって印刷した後、２枚のグリーンシートを、乾燥機を用いて、５０℃で２０分間、乾燥させた。なお、金属ペーストとしては、共に平均粒径が２〜４μｍである銀粉末とパラジウム粉末とを、重量比で７：３の割合で配合したものを用いた。また、圧電セラミック板２６のもとになる１枚のグリーンシートには、共通電極２５への配線のためのスルーホール２６ａをパンチング加工して形成した。
【００４６】
次に、乾燥させた２枚のグリーンシートからＰＥＴフィルムを剥離して、２枚のグリーンシートを、図１の順に位置合わせしながら重ね合わせた後、その厚み方向に５ＭＰａの圧力をかけながら、６０℃で６０秒間、保持して熱圧着させ、続いて、スルーホールに、上記と同じ金属ペーストを充てんして積層体を作製した。
【００４７】
次に、この積層体を、乾燥機中で、１００℃から昇温を開始して、毎時８℃の昇温速度で、２５時間かけて３００℃まで昇温させて脱脂した後、室温まで冷却した。そして、さらに焼成炉中で、ピーク温度１１００℃で２時間、焼成して、温度検知用板２４、共通電極２５、圧電セラミックス板２６の積層体を得た。温度検知用板層２４および圧電セラミックス板２６の厚みは、いずれも２０μｍであった。その際、前記積層体を部分安定化ＺｒＯ２のセッターの中に充填して密閉して焼成を行った。
【００４８】
次に、上記積層体のうち、圧電セラミックス板２６の、露出した表面に、スクリーン印刷法によって、前記と同じ金属ペーストを用いて、複数個の個別電極２７と、ランド電極２５ｂに対応するパターンを印刷し、ピーク温度８５０℃で３０分間かけて連続炉中を通過させることで、金属ペーストを焼き付けて、複数個の個別電極２７と、ランド電極２５ｂとを形成した後、積層体を、ダイシングソーを用いて周辺をカットして、外形を、縦３３ｍｍ×横１２ｍｍの長方形に揃えた。個別電極層２７のパターンは、２５４μｍピッチで１列あたり９０個の個別電極層２７を、上記長方形の長さ方向に沿って２列、配列した。以上のようにして、圧電アクチュエータ基板５を作成した。
【００４９】
（液体吐出ヘッドの製造）
厚み１００μｍのステンレス箔を、金型プレスを用いて打ち抜き加工して、長さ２ｍｍ×幅０．１８ｍｍの液体加圧室１１が、前記個別電極２７の形成ピッチに合わせて、９０個ずつ２列に配列された第１基板を作製した。また、厚み１００μｍのステンレス箔を、同じく金型プレスを用いて打ち抜き加工して、インクジェットプリンタのインク補給部から、各液体加圧室にインクを供給するための共通供給路と、液体加圧室１１と液体吐出孔１２とを繋ぐ流路とが、液体加圧室１１の配列に対応させて配列された第２基板を作製した。さらに、厚み４０μｍのステンレス箔をエッチング加工して、液体吐出孔１２が、液体加圧室１１の配列に対応させて配列された第３基板を作製した。
【００５０】
そして、上記第１〜第３基板を、接着剤を用いて貼り合わせて支持体１を作製し、この支持体１と、先に作成した圧電アクチュエータ基板５とを、接着剤を用いて貼り合わせた後、圧電アクチュエータ２の表面側において、各個別電極層２７のランド電極２７ｂと、ランド電極２５ａの表面に、それぞれ予備はんだ層５２、５３を形成した上に、駆動回路３に接続したフレキシブル基板の端子部を接合して、圧電インクジェットヘッドを製造した。
【００５１】
また、温度検知用となる共通電極２４と支持体１に接地された導線１ｂは圧電セラミック２４の焦電荷を検知できるよう焦電荷測定装置に電気的に接続した。このとき液体加圧室１１の内部には導電性のインクが封入されており、支持体１とは電気的に導通している。
【００５２】
得られたインクジェットヘッドに２０Ｖの直流電界を印加した結果、個々の変位素子は平均７０ｎｍの変位量が得られた。さらにこのアクチュエータに０〜２０Ｖの交流電界を周波数１０ｋＨｚで印加した結果、駆動回数１００万回までに温度検知素子により焦電荷を測定したところ、３．５ｐCの電荷が発生し、あらかじめ測定しておいた温度検知素子の発生電荷から変位素子の内部温度がΔＴで３０℃の温度上昇していることがわかった。その時の平均変位は１００ｎｍであった。
【００５３】
そこで、温度検知素子から発生電荷を検知して制御回路を介して駆動回路へ印加電圧を可変にしたところ変位量７０±３ｎｍと所望の変位量へ調整することができた。
【００５４】
上記温度検知素子を制御回路を介して駆動回路と継続して駆動回数１００億回までインクジェットヘッドを安定して駆動させることを確認し、長期信頼性を有していることを確認した。
【００５５】
なお、変位量の測定はレーザードップラー変位計によりヘッド溝部の中心部および周辺部７点を測定して算出した。
【００５６】
比較例：
実施例１と同様にして、インクジェットヘッドを作製し、得られたインクジェットヘッドに０〜２０Ｖの交流電界を周波数１０ｋＨｚで印加した結果、実施例同様、あらかじめ測定しておいた温度検知素子の発生電荷から変位素子の内部温度がΔＴで３０℃の温度上昇していることがわかった。ただし、駆動回路への印加電圧は可変せずに、駆動させたところ、そのときの平均変位は１００ｎｍであった。
【００５７】
そこで、上記温度検知素子を用いた制御を行なわずに駆動５０億回までインクジェットヘッドを駆動させた後、変位素子の変位を測定した結果、平均変位５３ｎｍとなり、変化率２５％で変位特性が低下していることを確認した。
【００５８】
本発明では、前記温度検知素子を構成する一対の電極の一方が前記変位素子を構成する電極であり、他方が前記導電性液体であるため、従来のように両面に金属電極を作製する工程がなくなり、小型化ができ、および製造工程おいてもコスト面でも簡略化できる。
【００５９】
また、前記変位素子が、一対の電極と、該電極に挟まれた圧電体からなり、該圧電体の主成分が、前記温度検知素子を構成する圧電体の主成分と略同一であることを特徴とする液体吐出ヘッドであるため、製造工程において同一プロセスで製造できるので量産性、コストの面で簡略化できる。
【００６０】
さらに、前記アクチュエータ全体の厚みが１００μｍ以下であると共に、前記変位素子を構成する圧電体の厚みが３０μｍ以下であることを特徴とする液体吐出ヘッドであるため、ヘッドとして特許文献１、２に比べて小型化が図ることができる。
【００６１】
さらに、前記温度検知素子は、温度検出手段として焦電荷を測定するため、高速応答性や高感度の評価が可能となるため、精度良く温度を検知でき、所望の吐出性能を確保できるように制御回路を介して駆動回路にフィードバックできるため印加電圧を調整でき、環境温度が変化しても安定して駆動できるため、長期的信頼性の高いヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドを示す概略断面図である。
【図２】本発明の温度検知素子の温度変化と発生電荷の関係を示す図である。
【図３】（ａ）従来の液体吐出ヘッドを示す概略断面図である。（ｂ）従来の温度検知素子内蔵液体吐出ヘッドを示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１・・・支持体
５・・・圧電アクチュエータ基板
６・・・アクチュエータ
７・・・温度検知素子
９・・・導電性液体
１１・・・液体加圧室
１２・・・液体吐出孔
２４・・・圧電セラミック板
２５・・・共通電極
２６・・・温度検知用板
２７・・・個別電極
３０・・・隔壁
【図１】
2008080622.tif 000003
【図２】
2008080622.tif 000004
【図３】
2008080622.tif 000005