(57)【要約】【課題】本発明は、供給路の配管や液状材料の設置の間違いを早急に発見することで、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる、液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明による液状体の供給方法は、複数種類の液状体のそれぞれを、液状体の貯留タンクから使用可能位置に供給するための給液管を接続する接続工程と、貯留タンクから給液管に液状体を送出し、少なくとも、液状体の種類を検出可能な検出位置まで液状体を送出する試送出工程と、検出位置において液状体の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた液状体が所定の液状体か否かを判定する液状体判定工程と、液状体判定工程の判定結果に基づいて、液状体を使用可能位置に送出する本送出工程と、を有する液状体の供給方法である。【選択図】図１８
2008080276.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数種類の液状体を個別に使用可能位置に供給する液状体の供給方法であって、
前記複数種類の液状体のそれぞれの液状体を、前記液状体の貯留タンクから前記使用可能位置に供給するための給液管を接続する接続工程と、
前記貯留タンクから前記給液管に前記液状体を送出し、少なくとも、前記液状体の種類を検出可能な検出位置まで前記液状体を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記液状体の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記液状体が所定の液状体か否かを判定する液状体判定工程と、
前記液状体判定工程の判定結果に基づいて、前記液状体を前記使用可能位置に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする液状体の供給方法。
【請求項２】
複数種類の液状体を個別に使用可能位置に供給する液状体の供給方法であって、
前記複数種類の液状体のそれぞれの液状体を前記使用可能位置に供給するために貯留する貯留タンクに、前記液状体を充填する充填工程と、
前記貯留タンクから前記使用可能位置に前記液状体を供給するための給液管に前記液状体を送出し、少なくとも、前記液状体の種類を検出可能な検出位置まで前記液状体を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記液状体の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記液状体が所定の液状体か否かを判定する液状体判定工程と、
前記液状体判定工程の判定結果に基づいて、前記液状体を前記使用可能位置に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする液状体の供給方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液状体の供給方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記貯留タンクの近傍に形成されていることを特徴とする液状体の供給方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の液状体の供給方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記使用可能位置の近傍に形成されていることを特徴とする液状体の供給方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の供給方法であって、
前記透明部分の前記液状体を透過する光の透過率を検出することによって、前記液状体の種類を検出することを特徴とする液状体の供給方法。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の供給方法であって、
前記透明部分の前記液状体から反射した光の波長分散を検出することによって、前記液状体の種類を検出することを特徴とする液状体の供給方法。
【請求項７】
デバイスを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記デバイスを形成するデバイスの製造方法であって、
前記機能液の貯留タンクから前記機能液を前記基材上に配置する配置部に、前記機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、
前記貯留タンクから前記給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項８】
デバイスを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記デバイスを形成するデバイスの製造方法であって、
前記機能液を前記基材上に配置する配置部に前記機能液を供給するために前記機能液を貯留する貯留タンクに、前記機能液を充填する充填工程と、
前記貯留タンクから前記配置部に前記機能液を供給するための給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項９】
請求項７又は８に記載のデバイスの製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記貯留タンクの近傍に形成されていることを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載のデバイスの製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記配置部の近傍に形成されていることを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のデバイスの製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液を透過する光の透過率を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載のデバイスの製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１３】
配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、
前記機能液の貯留タンクから前記機能液を前記基材上に配置する配置部に、前記機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、
前記貯留タンクから前記給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１４】
配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、
前記機能液を前記基材上に配置する配置部に前記機能液を供給するために前記機能液を貯留する貯留タンクに、前記機能液を充填する充填工程と、
前記貯留タンクから前記配置部に前記機能液を供給するための給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の配線基板の製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記貯留タンクの近傍に形成されていることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１６】
請求項１３又は１４に記載の配線基板の製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記配置部の近傍に形成されていることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１７】
請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液を透過する光の透過率を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１８】
請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項１９】
請求項１３乃至１８のいずれか一項に記載の配線基板の製造方法であって、
前記機能液は、配線を形成する導電性材料を含む機能液であることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項２０】
カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記カラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記機能液の貯留タンクから前記機能液を前記基材上に配置する配置部に、前記機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、
前記貯留タンクから前記給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２１】
カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記カラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、
前記機能液を前記基材上に配置する配置部に前記機能液を供給するために前記機能液を貯留する貯留タンクに、前記機能液を充填する充填工程と、
前記貯留タンクから前記配置部に前記機能液を供給するための給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２２】
請求項２０又は２１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記貯留タンクの近傍に形成されていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２３】
請求項２０又は２１に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記配置部の近傍に形成されていることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２４】
請求項２０乃至２３のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液を透過する光の透過率を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２５】
請求項２０乃至２３のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２６】
請求項２０乃至２５のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記機能液は、前記カラーフィルタの着色層を形成する着色層形成材料を含む機能液であることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２７】
有機ＥＬ装置を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記機能液の貯留タンクから前記機能液を前記基材上に配置する配置部に、前記機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、
前記貯留タンクから前記給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２８】
有機ＥＬ装置を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して前記有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記機能液を前記基材上に配置する配置部に前記機能液を供給するために前記機能液を貯留する貯留タンクに、前記機能液を充填する充填工程と、
前記貯留タンクから前記配置部に前記機能液を供給するための給液管に前記機能液を送出し、少なくとも、前記機能液の種類を検出可能な検出位置まで前記機能液を送出する試送出工程と、
前記検出位置において前記機能液の種類を検出する検出工程と、
前記検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた前記機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、
前記機能液判定工程の判定結果に基づいて、前記機能液を前記配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項２９】
請求項２７又は２８に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記貯留タンクの近傍に形成されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項３０】
請求項２７又は２８に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記検出位置は、前記給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、前記給液管の前記配置部の近傍に形成されていることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項３１】
請求項２７乃至３０のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液を透過する光の透過率を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項３２】
請求項２７乃至３０のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記透明部分の前記機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、前記機能液の種類を検出することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項３３】
請求項２７乃至３２のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記機能液は、前記有機ＥＬ装置の発光層を形成する発光層形成材料、又は正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液であることを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体使用可能位置に液状体を供給する液状体の供給方法、液状体を用いて実行するデバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、有機エレクトロルミネセンス（有機ＥＬ）装置の発光膜やカラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、機能膜の材料を含む液状材料を塗布し、当該液状材料を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。液状材料を所定の位置に所定の量だけ精度良く塗布する技術としてインクジェット法が用いられている。特許文献１には、インクジェット法を用いたフィルタの製造装置及び製造方法が開示されている。特許文献２には、インクジェット法を用いた電気回路の製造装置及び製造方法が開示されている。
【０００３】
また、カラー画像を表示するためには、例えば光の三原色である赤色、緑色、青色のフィルタを各画素ごとに形成する。赤色、緑色、青色のフィルタが形成された画素は、当該色の画素となる。当該赤色、緑色、青色の画素を各１画素以上含みカラー画像を構成する単位（以下、「絵素」と表記する）の中の赤色、緑色、青色の強さを色ごとに変えることによって絵素の色を作り出している。再現できる色域を拡大するために、赤色、緑色、青色のフィルタに加えて他の色のフィルタを形成した多色フィルタが用いられている。多色フィルタには、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色であるシアン（青緑）、マゼンダ（紫赤）、イエロー（黄色）のフィルタを設けた６色フィルタや、シアン（青緑）、マゼンダ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色補色フィルタなどがある。特許文献３には、様々な多色フィルタ及び多色フィルタを備える電気光学パネルが開示されている。このような多色フィルタを形成するインクジェット装置は、複数の液滴吐出ヘッドを備え、多種類の液状材料を略並行して吐出することで、効率良く多色フィルタを形成している。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２４８９２５号公報
【特許文献２】特開平１１−２７４６７１号公報
【特許文献３】特開２００２−２８６９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、液状材料を複数の液滴吐出ヘッドの中のその液状材料を供給するべき液滴吐出ヘッドに供給できるように、液状材料の供給路を配管することや、当該配管に適切な液状材料が供給されるように、液状材料を設置することが、多数の液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置において、多種類の液状材料を扱うことで非常に煩雑になっていた。作業が煩雑になることで、供給路の配管や液状材料の設置に間違いが発生しやすくなるという課題があった。また、供給路の配管や液状材料の設置に間違いが発生した場合には、実際に機能膜を形成することで作成されたフィルタなどにおいて確認するまで、間違いの発生が発見され難いという課題もあった。不適切な機能膜を形成して作成されたフィルタなどは、廃棄するため、無駄な生産費用が発生する。適切な生産を行うためには、液滴吐出ヘッドにまで誤って充填された液状材料を排出した後で、適切な液状材料を充填することが必要であり、生産効率の低下となる。特に、多種類の製品の製造に用いられる液滴吐出装置においては、製造する製品に対応して供給路の配管や液状材料の設置換えを行う必要があり、上記課題が発生する頻度が高くなっていた。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するものであり、供給路の配管や液状材料の設置の間違いを早急に発見することで、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる、液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による液状体の供給方法は、複数種類の液状体を個別に使用可能位置に供給する液状体の供給方法であって、複数種類の液状体のそれぞれの液状体を、液状体の貯留タンクから使用可能位置に供給するための給液管を接続する接続工程と、貯留タンクから給液管に液状体を送出し、少なくとも、液状体の種類を検出可能な検出位置まで液状体を送出する試送出工程と、検出位置において液状体の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた液状体が所定の液状体か否かを判定する液状体判定工程と、液状体判定工程の判定結果に基づいて、液状体を使用可能位置に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る液状体の供給方法によれば、検出工程において、試送出工程で検出位置まで送出されてきた液状体の種類を検出し、液状体判定工程において、検出された液状体が所定の液状体か否か、即ち当該検出位置を経由して供給されるべき液状体であって、当該検出位置で検出されるべき適切な液状体であるか否かが判定される。本送出工程においては、液状体判定工程の判定結果に基づいて、液状体を使用可能位置に送出する。勿論、検出された液状体が当該検出位置で検出されるべき適切な液状体であると判定された場合にのみ、液状体を使用可能位置に送出する。これにより、不適切な液状体が使用可能位置まで供給されることを抑制することができる。不適切な液状体を使用したり、使用可能位置まで供給された不適切な液状体を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【０００９】
本発明による液状体の供給方法は、複数種類の液状体を個別に使用可能位置に供給する液状体の供給方法であって、複数種類の液状体のそれぞれの液状体を、使用可能位置に供給するために貯留する貯留タンクに、液状体を充填する充填工程と、貯留タンクから使用可能位置に液状体を供給するための給液管に液状体を送出し、少なくとも、液状体の種類を検出可能な検出位置まで液状体を送出する試送出工程と、検出位置において液状体の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた液状体が所定の液状体か否かを判定する液状体判定工程と、液状体判定工程の判定結果に基づいて、液状体を使用可能位置に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る液状体の供給方法によれば、検出工程において、試送出工程で貯留タンクから検出位置まで送出されてきた液状体の種類を検出し、液状体判定工程において、検出された液状体が所定の液状体か否か、即ち、貯留タンクに充填された液状体が当該検出位置を経由して供給されるべき液状体であって、当該検出位置で検出されるべき適切な液状体であるか否かが判定される。本送出工程においては、液状体判定工程の判定結果に基づいて、液状体を使用可能位置に送出する。勿論、検出された液状体が当該検出位置で検出されるべき適切な液状体であると判定された場合にのみ、液状体を使用可能位置に送出する。これにより、貯留タンクに不適切な液状体が充填されたことによって不適切な液状体が使用可能位置まで供給されることを抑制することができる。不適切な液状体を使用したり、供給された不適切な液状体を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００１１】
本発明において、液状体の供給方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の貯留タンクの近傍に形成されていることが好ましい。
【００１２】
この液状体の供給方法によれば、貯留タンクの近傍で液状体が所定の液状体か否かを検出するため、検出のために液状体を送出する距離を短くすると共に、送出する液状体の量を少なくすることができる。
【００１３】
本発明において、液状体の供給方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の使用可能位置の近傍に形成されていることが好ましい。
【００１４】
この液状体の供給方法によれば、使用可能位置の近傍で液状体が所定の液状体か否かを検出するため、検出位置と使用可能位置との間で配管の交錯などの可能性は殆どない。従って、当該使用位置に供給される液状体が所定の液状体か否かを、検出位置と使用可能位置とが離れている場合に比べて、確実に検出することができる。
【００１５】
本発明において、液状体の供給方法は、透明部分の液状体を透過する光の透過率を検出することによって、液状体の種類を検出することが好ましい。
【００１６】
この液状体の供給方法によれば、仮送出された液状体の光の透過率を検出することによって、検出された透過率が適切な液状体の透過率と同等か比較することで、液状体が適切な液状体か否かを判定することができる。
【００１７】
本発明において、液状体の供給方法は、透明部分の液状体から反射した光の波長分散を検出することによって、液状体の種類を検出することが好ましい。
【００１８】
この液状体の供給方法によれば、仮送出された液状体の波長分散を検出することによって、液状体に含まれる元素を特定することが可能となることから、液状体に含まれる元素を特定することで、液状体が適切な液状体か否かを判定することができる。
【００１９】
本発明によるデバイスの製造方法は、デバイスを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してデバイスを形成するデバイスの製造方法であって、機能液の貯留タンクから機能液を基材上に配置する配置部に、機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、貯留タンクから給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００２０】
本発明に係るデバイスの製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切なデバイスが製造されたり、配置部まで供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００２１】
本発明によるデバイスの製造方法は、デバイスを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してデバイスを形成するデバイスの製造方法であって、機能液を基材上に配置する配置部に機能液を供給するために機能液を貯留する貯留タンクに、機能液を充填する充填工程と、貯留タンクから配置部に機能液を供給するための給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００２２】
本発明に係るデバイスの製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で貯留タンクから検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち、貯留タンクに充填された機能液が当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、貯留タンクに不適切な機能液が充填されたことによって不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切なデバイスが製造されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００２３】
本発明において、デバイスの製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の貯留タンクの近傍に形成されていることが好ましい。
【００２４】
このデバイスの製造方法によれば、貯留タンクの近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出のために機能液を送出する距離を短くすると共に、送出する機能液の量を少なくすることができる。
【００２５】
本発明において、デバイスの製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の配置部の近傍に形成されていることが好ましい。
【００２６】
このデバイスの製造方法によれば、配置部の近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出位置と配置部との間で配管の交錯などの可能性は殆どない。従って、当該配置部に供給される機能液が所定の機能液か否かを、検出位置と配置部とが離れている場合に比べて、より確実に検出することができる。
【００２７】
本発明において、デバイスの製造方法は、透明部分の機能液を透過する光の透過率を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００２８】
このデバイスの製造方法によれば、仮送出された機能液の光の透過率を検出することによって、検出された透過率が適切な機能液の透過率と同等か比較することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００２９】
本発明において、デバイスの製造方法は、透明部分の機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００３０】
このデバイスの製造方法によれば、仮送出された機能液の波長分散を検出することによって、機能液に含まれる元素を特定することが可能となることから、機能液に含まれる元素を特定することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００３１】
本発明による配線基板の製造方法は、配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、機能液の貯留タンクから機能液を基材上に配置する配置部に、機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、貯留タンクから給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００３２】
本発明に係る配線基板の製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な回路配線が形成されたり、配置部まで供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００３３】
本発明による配線基板の製造方法は、配線基板を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して配線基板を形成する配線基板の製造方法であって、機能液を基材上に配置する配置部に機能液を供給するために機能液を貯留する貯留タンクに、機能液を充填する充填工程と、貯留タンクから配置部に機能液を供給するための給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００３４】
本発明に係る配線基板の製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で貯留タンクから検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち、貯留タンクに充填された機能液が当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、貯留タンクに不適切な機能液が充填されたことによって不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な回路配線が形成されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００３５】
本発明において、配線基板の製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の貯留タンクの近傍に形成されていることが好ましい。
【００３６】
この配線基板の製造方法によれば、貯留タンクの近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出のために機能液を送出する距離を短くすると共に、送出する機能液の量を少なくすることができる。
【００３７】
本発明において、配線基板の製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の配置部の近傍に形成されていることが好ましい。
【００３８】
この配線基板の製造方法によれば、配置部の近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出位置と配置部との間で配管の交錯などの可能性は殆どない。従って、当該配置部に供給される機能液が所定の機能液か否かを、検出位置と配置部とが離れている場合に比べて、より確実に検出することができる。
【００３９】
本発明において、配線基板の製造方法は、透明部分の機能液を透過する光の透過率を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００４０】
この配線基板の製造方法によれば、仮送出された機能液の光の透過率を検出することによって、検出された透過率が適切な機能液の透過率と同等か比較することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００４１】
本発明において、配線基板の製造方法は、透明部分の機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００４２】
この配線基板の製造方法によれば、仮送出された機能液の波長分散を検出することによって、機能液に含まれる元素を特定することが可能となることから、機能液に含まれる元素を特定することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００４３】
本発明において、配線基板の製造方法は、機能液が、配線を形成する導電性材料を含む機能液であることが好ましい。
【００４４】
この配線基板の製造方法によれば、不適切な機能液が配線を形成する導電性材料を含む機能液として配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な回路配線が形成されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００４５】
本発明によるカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、機能液の貯留タンクから機能液を基材上に配置する配置部に、機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、貯留タンクから給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００４６】
本発明に係るカラーフィルタの製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切なフィルタ膜が形成されたり、配置部まで供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００４７】
本発明によるカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタを構成する材料を含む機能液を基材上に配置してカラーフィルタを形成するカラーフィルタの製造方法であって、機能液を基材上に配置する配置部に機能液を供給するために機能液を貯留する貯留タンクに、機能液を充填する充填工程と、貯留タンクから配置部に機能液を供給するための給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００４８】
本発明に係るカラーフィルタの製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で貯留タンクから検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち、貯留タンクに充填された機能液が当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、貯留タンクに不適切な機能液が充填されたことによって不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切なフィルタ膜が形成されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００４９】
本発明において、カラーフィルタの製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の貯留タンクの近傍に形成されていることが好ましい。
【００５０】
このカラーフィルタの製造方法によれば、貯留タンクの近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出することにより、検出のために機能液を送出する距離を短くすると共に、送出する機能液の量を少なくすることができる。
【００５１】
本発明において、カラーフィルタの製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の配置部の近傍に形成されていることが好ましい。
【００５２】
このカラーフィルタの製造方法によれば、配置部の近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出位置と配置部との間で配管の交錯などの可能性は殆どない。従って、当該配置部に供給される機能液が所定の機能液か否かを、検出位置と配置部とが離れている場合に比べて、より確実に検出することができる。
【００５３】
本発明において、カラーフィルタの製造方法は、透明部分の機能液を透過する光の透過率を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００５４】
このカラーフィルタの製造方法によれば、仮送出された機能液の光の透過率を検出することによって、検出された透過率が適切な機能液の透過率と同等か比較することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００５５】
本発明において、カラーフィルタの製造方法は、透明部分の機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００５６】
このカラーフィルタの製造方法によれば、仮送出された機能液の波長分散を検出することによって、機能液に含まれる元素を特定することが可能となることから、機能液に含まれる元素を特定することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００５７】
本発明において、カラーフィルタの製造方法は、機能液が、カラーフィルタの着色層を形成する着色層形成材料を含む機能液であることが好ましい。
【００５８】
このカラーフィルタの製造方法によれば、不適切な機能液が着色層を形成する着色層形成材料を含む機能液として配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な着色層が形成されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００５９】
本発明による有機ＥＬ装置（有機エレクトロルミネセンス装置）の製造方法は、有機ＥＬ装置を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、機能液の貯留タンクから機能液を基材上に配置する配置部に、機能液を供給するための給液管を接続する接続工程と、貯留タンクから給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００６０】
本発明に係る有機ＥＬ装置（有機エレクトロルミネセンス装置）の製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な機能膜が形成されたり、配置部まで供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００６１】
本発明による有機ＥＬ装置の製造方法は、有機ＥＬ装置を構成する材料を含む機能液を基材上に配置して有機ＥＬ装置を形成する有機ＥＬ装置の製造方法であって、機能液を基材上に配置する配置部に機能液を供給するために機能液を貯留する貯留タンクに、機能液を充填する充填工程と、貯留タンクから配置部に機能液を供給するための給液管に機能液を送出し、少なくとも、機能液の種類を検出可能な検出位置まで機能液を送出する試送出工程と、検出位置において機能液の種類を検出する検出工程と、検出工程における検出結果に基づいて、送出されてきた機能液が所定の機能液か否かを判定する機能液判定工程と、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する本送出工程と、を有することを特徴とする。
【００６２】
本発明に係る有機ＥＬ装置の製造方法によれば、検出工程において、試送出工程で貯留タンクから検出位置まで送出されてきた機能液の種類を検出し、機能液判定工程において、検出された機能液が所定の機能液か否か、即ち、貯留タンクに充填された機能液が当該検出位置を経由して供給されるべき機能液であって、当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であるか否かが判定される。本送出工程においては、機能液判定工程の判定結果に基づいて、機能液を配置部に送出する。勿論、検出された機能液が当該検出位置で検出されるべき適切な機能液であると判定された場合にのみ、機能液を配置部に送出する。これにより、貯留タンクに不適切な機能液が充填されたことによって不適切な機能液が配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な機能膜が形成されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【００６３】
本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の貯留タンクの近傍に形成されていることが好ましい。
【００６４】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、貯留タンクの近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出のために機能液を送出する距離を短くすると共に、送出する機能液の量を少なくすることができる。
【００６５】
本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、検出位置が、給液管の少なくとも一部に形成された透明部分であって、当該透明部分は、給液管の配置部の近傍に形成されていることが好ましい。
【００６６】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、配置部の近傍で機能液が所定の機能液か否かを検出するため、検出位置と配置部との間で配管の交錯などの可能性は殆どない。従って、当該配置部に供給される機能液が所定の機能液か否かを、検出位置と配置部とが離れている場合に比べて、より確実に検出することができる。
【００６７】
本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、透明部分の機能液を透過する光の透過率を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００６８】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、仮送出された機能液の光の透過率を検出することによって、検出された透過率が適切な機能液の透過率と同等か比較することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００６９】
本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、透明部分の機能液から反射した光の波長分散を検出することによって、機能液の種類を検出することが好ましい。
【００７０】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、仮送出された機能液の波長分散を検出することによって、機能液に含まれる元素を特定することが可能となることから、機能液に含まれる元素を特定することで、機能液が適切な機能液か否かを判定することができる。
【００７１】
本発明において、有機ＥＬ装置の製造方法は、機能液が、有機ＥＬ装置の発光層を形成する発光層形成材料、又は正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液であることが好ましい。
【００７２】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、不適切な機能液が、発光層を形成する発光層形成材料を含む機能液、又は正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成材料を含む機能液として配置部まで供給されることを抑制することができる。不適切な機能液を使用することで不適切な発光層又は正孔輸送層が形成されたり、供給された不適切な機能液を排出することが必要になったりすることを抑制して、無駄な生産費用の発生や、生産効率の低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７３】
以下、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、及び有機ＥＬ装置の製造方法の一実施形態について図面を参照して、説明する。本発明の実施形態は、デバイスの一例である配線基板を製造する工程、デバイスの一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板を製造する工程、及びデバイスの一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、機能膜を形成するために用いられる液状体の一例である機能液の供給方法を例に説明する。当該機能液の供給方法は、例えば、カラーフィルタ基板や、有機ＥＬ表示装置の製造に用いられる液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドに機能液を供給する供給方法として用いられる。
【００７４】
（第一の実施形態）
最初に、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、及びカラーフィルタの製造方法の一実施形態である第一の実施形態について、説明する。本実施形態は、デバイスの一例である液晶表示装置のカラーフィルタを製造する工程において、機能膜の一例である隔壁及び色要素を形成する工程で用いられる液滴吐出装置、及び当該液滴吐出装置における機能液の供給方法を例に説明する。
【００７５】
＜液滴吐出法＞
最初に、カラーフィルタなどの形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００７６】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度の高さ、及び液滴の制御性の良さの点から上記ピエゾ方式を用いる。
【００７７】
＜液滴吐出装置＞
次に、本発明の液状体の供給方法を用いて液滴吐出ヘッド２０（図２参照）に機能液を供給する液滴吐出装置１について説明する。最初に、液滴吐出装置１の構成の全般について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００７８】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体である機能液４０（図４参照）を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド機構部２と、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０を載置するワーク載置台３１を有するワーク機構部３と、液滴吐出ヘッド２０への機能液４０の供給を行う機能液供給部４と、液滴吐出ヘッド２０の保守を行うメンテナンス装置部５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００７９】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱２６で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する供給管４６（４６１，４６２，４６３）を有する機能液供給部４の機能液タンク４１などが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱２６の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００８０】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１（図３参照）と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２２と、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸走査機構２５と、を備えている。ヘッドユニット２１は、図示省略したヘッド回動機構２２ａ（図５参照）によって図１のθ方向に回動可能に、ヘッドキャリッジ２２に吊下げられるよう支持されている。Ｙ軸走査機構２５は、ヘッドキャリッジ２２のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４と、を備えている。ヘッドキャリッジ２２は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。ヘッドキャリッジ２２の上面には、中継タンク４３を有する機能液供給ユニット４７が取り付けられている。
【００８１】
これらの構成により、液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向に自在に移動することが可能である。図示されていないが、ヘッドキャリッジ２２からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合してＹ軸リニアモータ２４による駆動力を受けることにより、ヘッドキャリッジ２２がＹ軸ガイド２３に沿って任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。
【００８２】
ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ワーク３０を載置するワーク載置台３１と、ワーク載置台３１を支持するスライド台３１Ａと、スライド台３１ＡをＸ軸方向に移動させるＸ軸走査機構３５と、を備えている。ワーク載置台３１は、図示省略したワーク回動機構３１ａ（図５参照）によって図１のθ方向に回動可能にスライド台３１Ａの上に固定されて、支持されている。Ｘ軸走査機構３５は、スライド台３１ＡのＸ軸方向の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４とを備えている。スライド台３１Ａは、Ｘ軸ガイド３３に移動可能に取り付けられている。
【００８３】
これらの構成により、ワーク載置台３１に載置されたワーク３０は、Ｘ軸方向に自在に移動することが可能である。スライド台３１ＡからＸ軸リニアモータ３４側へ張り出している突起部が、Ｘ軸リニアモータ３４と係合してＸ軸リニアモータ３４による駆動力を受けることにより、スライド台３１ＡがＸ軸ガイド３３に沿って任意の位置に移動される。また、移動した位置に保持される。
【００８４】
このように、液滴吐出ヘッド２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液４０を液滴として吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。
【００８５】
メンテナンス装置部５は、メンテナンスユニットであるキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、及びフラッシングユニット５８を備えている。さらに、これらのメンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３とを備えている。また、廃液回収管４８及び廃液タンク４４と、廃液回収管４９及び廃液タンク４５とを有している。
【００８６】
メンテモータ５３が正逆回転することで、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。液滴吐出ヘッド２０のメンテナンスを実行するときは、実行するメンテナンスに対応するキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、又はフラッシングユニット５８が、液滴吐出ヘッド２０に対向できる位置に移動するように、メンテキャリッジ５１を移動させる。ヘッドキャリッジ２２がＹ軸ガイド２３に沿ってメンテナンスユニットの直上部に移動して、液滴吐出ヘッド２０は、メンテナンスユニットに臨む位置に移動される。
【００８７】
キャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、図３を参照して後述するヘッドユニット２１に固定された１２個の液滴吐出ヘッド２０（ヘッド本体７０Ａ）（図２参照）のそれぞれと密着してキャッピングする。キャッピングすることで、機能液４０が乾燥して液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル７２（図２参照）が詰まるなどの不具合が生ずることを抑制する。また、機能液４０の交換時などに、図示していない吸引ポンプにより、古い機能液４０を液滴吐出ヘッド２０から吸引して強制排出したり、強制吸引することで新しい機能液４０を供給路から液滴吐出ヘッド２０へ吸引したりする役目を果たす。ワイピングユニット５７は、機能液４０の連続吐出後やキャッピングの前に液滴吐出ヘッド２０のノズル形成プレート７１のノズル形成面７１ａに付着した機能液４０などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、液滴吐出ヘッド２０のノズル形成面７１ａを清浄な状態にする。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前、加工途中および加工後に、フラッシングとして液滴吐出ヘッド２０から吐出される機能液４０を受け、液滴吐出ヘッド２０の吐出状態を良好に維持する。
【００８８】
廃液回収管４８及び廃液タンク４４と廃液回収管４９及び廃液タンク４５とは、メンテナンス装置部５において、液滴吐出ヘッド２０の保守を行う際に液滴吐出ヘッド２０から吐出又は吸引された機能液４０を廃液として回収する。キャッピングユニット５６が吸引した機能液４０は、廃液回収管４８を介して廃液タンク４４に溜まり、廃液として回収される。フラッシングユニット５８が受けた機能液４０の液滴は、廃液回収管４９を介して廃液タンク４５に溜まり、廃液として回収される。
【００８９】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、液滴吐出ヘッド２０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことが可能である。
【００９０】
液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０（図４参照）の供給を行う機能液供給部４は、機能液を供給するための、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３を有する機能液供給ユニット４７と、これらのタンク間及び液滴吐出ヘッド２０を連通して機能液４０を機能液タンク４１から液滴吐出ヘッド２０へ供給する供給管４６と、を備えている。供給管４６は、無色透明な材質で形成されている。機能液タンク４１とサブタンク４２とを結合する供給管４６を供給管４６１、サブタンク４２と中継タンク４３とを結合する供給管４６を供給管４６２、中継タンク４３と液滴吐出ヘッド２０とを結合する供給管４６を供給管４６３と表記する。
【００９１】
また、機能液タンク４１又はサブタンク４２の内部圧力を、機能液タンク圧力管６４又はサブタンク圧力管６５を介して調整し、機能液４０を液滴吐出ヘッド２０へ供給するための圧力付与部６０とを備えている。さらに、供給管４６内を流動する機能液４０の種類を検出するための液検出器である第一液検出器１１と第二液検出器１２（図４参照）とを備えている。本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、６種類の機能液を並行して扱うことができる。機能液４０の供給については、図４を参照して詳細に後述する。
【００９２】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して液滴吐出ヘッド２０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図である。この液滴吐出ヘッド２０は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７６，７６を有する液体導入部７５と、液体導入部７５の側方に連なる２連のヘッド基板７７と、液体導入部７５に連なる２連のポンプ部７８と、ポンプ部７８に連なるノズル形成プレート７１とを備えている。液体導入部７５には、配管接続部材を介して供給管４６３が接続され、ヘッド基板７７には、一対のヘッドコネクタ７７Ａ，７７Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ７７Ａを介してフレキシブルフラットケーブルが接続される。一方、このポンプ部７８とノズル形成プレート７１とにより、方形のヘッド本体７０Ａが構成されている。
【００９３】
ポンプ部７８の基部側、すなわちヘッド本体７０Ａの基部側は、液体導入部７５を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７４が形成されている。このフランジ部７４には、液滴吐出ヘッド２０を副ヘッド保持部材８３（図３参照）に固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９が一対形成されている。副ヘッド保持部材８３を貫通してねじ孔７９に螺合したヘッド止めねじによって、液滴吐出ヘッド２０が副ヘッド保持部材８３に固定される（図３参照）。
【００９４】
ノズル形成プレート７１のノズル形成面７１ａには、ノズル形成プレート７１に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７２から成るノズル列７３が、２本形成されている。２本のノズル列７３は相互に平行に列設されており、各ノズル列７３は、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７２で構成されている。すなわち、ヘッド本体２０Ａのノズル形成面７１ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７３が対称に配設されている。
【００９５】
＜ヘッドユニット＞
次に、図３を参照してヘッドユニット２１の全体構成について説明する。図３は、ヘッドユニットの外観斜視図である。図３（ａ）は、ヘッドユニットを、取り付けられた液滴吐出ヘッドの液体導入部側から見た外観斜視図であり、（ｂ）は、ヘッドユニットを、取り付けられた液滴吐出ヘッドのノズルプレート側から見た外観斜視図である。図３に示すように、ヘッドユニット２１のユニットプレート８１には、主ヘッド保持部材８２及び副ヘッド保持部材８３を介して液滴吐出ヘッド２０が取り付けられている。主ヘッド保持部材８２及び副ヘッド保持部材８３は、液滴吐出ヘッド２０をユニットプレート８１に精度良く位置決めするとともに、ユニットプレート８１への着脱を容易にするためのものである。
【００９６】
１基のヘッドユニット２１は、１２個の液滴吐出ヘッド２０を備えている。１２個の液滴吐出ヘッド２０は、２列に配置されており、各列は、６個の液滴吐出ヘッド２０がＸ軸方向に対して若干傾いた直線状に配設されている。ユニットプレート８１には、一対の基準ピン８４，８４が固定されており、１２個の液滴吐出ヘッド２０はそれぞれ基準ピン８４に形成された基準マーク孔を基準として、適切な位置に位置決めされて固定されている。
【００９７】
ユニットプレート８１には、また、第一位置規制孔８１ａと、第二位置規制孔８１ｂと、４箇所のユニット固定孔８１ｃとが形成されている。第一位置規制孔８１ａ及び第二位置規制孔８１ｂは、ヘッドユニット２１をヘッドキャリッジ２２に取り付ける際の位置決め用として用いられる。４箇所のユニット固定孔８１ｃは、ヘッドユニット２１をヘッドキャリッジ２２に固定するねじが貫通する孔である。図３に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸と同一である。即ち、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、液滴吐出ヘッド２０に形成されたノズル列７３（図２参照）は、Ｙ軸方向に延在する構成になっている。
【００９８】
一端が中継タンク４３に結合された供給管４６３の液滴吐出ヘッド２０に結合する側は二股に分岐しており、分岐した二端のそれぞれが２連の接続針７６，７６のそれぞれと配管接続部材を介して接続されている。上記したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、６種類の機能液を並行して扱うことができる。１２個の液滴吐出ヘッド２０に６種類の機能液を供給するために、例えば、１個の中継タンク４３に２本の供給管４６３を結合して、１種類の機能液をそれぞれ２個の液滴吐出ヘッド２０に供給する。供給管４６３ａ、供給管４６３ｂ、供給管４６３ｃ、供給管４６３ｄ、供給管４６３ｅ、供給管４６３ｆは、それぞれ図示省略した中継タンク４３ａ、中継タンク４３ｂ、中継タンク４３ｃ、中継タンク４３ｄ、中継タンク４３ｅ、中継タンク４３ｆに結合されていることを示している。
【００９９】
＜機能液供給部＞
次に、機能液供給部４の構成について、図４を参照してより詳細に説明する。図４は、機能液供給部の構成を示す模式図である。上述したように、機能液供給部４は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３を有する機能液供給ユニット４７と、これらのタンク間及び液滴吐出ヘッド２０を連通して機能液４０を機能液タンク４１から液滴吐出ヘッド２０へ供給する供給管４６と、を備えている。また、圧力付与部６０と第一液検出器１１と第二液検出器１２とを備えている。圧力付与部６０と第一液検出器１１と第二液検出器１２と、機能液４０の流路を開閉するための複数のバルブ（図示省略）とは、図４に点線で示したように吐出装置制御部６と電気的に接続されている。機能液４０は、機能液タンク４１から供給管４６１を介してサブタンク４２へ至り、サブタンク４２から供給管４６２を介して中継タンク４３に至り、さらに、中継タンク４３から供給管４６３を経由して液滴吐出ヘッド２０へ供給される。
【０１００】
機能液タンク４１は液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給するための供給元であって、機能液を貯留する貯留部４１ａと貯留栓４１ｂとを有している。貯留栓４１ｂは、貯留部４１ａの開口に嵌合自在であって、嵌合することで、貯留部４１ａの内部を外部と遮断する。貯留栓４１ｂには、圧力付与部６０に結合されている機能液タンク圧力管６４の一端と、サブタンク４２に連通する供給管４６１の一端とが固定されている。貯留栓４１ｂが貯留部４１ａの開口に嵌合することで、機能液タンク圧力管６４の一端と、供給管４６１の一端とが貯留部４１ａに結合される。圧力付与部６０が機能液タンク圧力管６４を介して貯留部４１ａの内部の圧力を調整することで、供給管４６１を介して、機能液４０をサブタンク４２へ送出する。機能液タンク４１への機能液４０の補充や新たな機能液４０の充填は、貯留部４１ａに機能液４０を直接補充又は充填することで実行してもよいし、貯留部４１ａを機能液４０が充填された別の貯留部４１ａと交換することで実行してもよい。
【０１０１】
サブタンク４２は、サブタンク圧力管６５を介して圧力付与部６０と結合されており、供給管４６２、中継タンク４３、供給管４６３を介して液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給できるように、供給管４６２の一端が結合されている。サブタンク４２は、圧力付与部６０により、液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル７２における圧力が適切な水頭圧となるように圧力制御管理されており、液滴吐出ヘッド２０の駆動に応じて機能液４０を一定の圧力で供給する。これにより、吐出ノズル７２からの液だれが防止されると共に、機能液４０の吐出が設計上意図したものとなる。
【０１０２】
なお、サブタンク４２は、貯留する機能液４０の液面上にステンレスなどの金属板、フッ素系樹脂などのいわゆる落し蓋を設置し、液面とエアーとが直接接触する面積を減らすように構成することが好ましい。また、機能液タンク４１においても、サブタンク４２と同様のタンク構成として、サブタンク４２に機能液４０を供給する前に、機能液タンク４１での機能液４０とエアーとの接触を防止することが好ましい。これにより、機能液４０への気泡の混入、機能液４０の変質を抑制して、ほぼ防止することが可能である。
【０１０３】
サブタンク４２から送出された機能液４０は、供給管４６２を介して中継タンク４３に至り、中継タンク４３から複数の供給管４６３に分岐して、液滴吐出ヘッド２０へ供給される。中継タンク４３は、ヘッドキャリッジ２２の上面に取り付けられた機能液供給ユニット４７の中に配設されており、複数の供給管４６３が接続されている。本実施形態では、図３（ａ）に示したように、１個の中継タンク４３に接続された複数の供給管４６３の中の２本が液滴吐出ヘッド２０に結合されている。液滴吐出ヘッド２０に結合されていない供給管４６３については、図示省略したバルブを閉めて、液滴吐出ヘッド２０に結合されていない供給管４６３には、中継タンク４３から機能液４０が流入しないようにする。
【０１０４】
第一液検出器１１は発光素子１１ａ及び受光素子１１ｂを有し、発光素子１１ａから射出されて無色透明な材質で形成されている供給管４６１を透過した光を、受光素子１１ｂが受光するように、取り付けられている。第一液検出器１１は、発光及び受光する光が、貯留栓４１ｂの近傍で供給管４６１を透過するようにするために、貯留栓４１ｂの近傍に取り付けられている。第二液検出器１２は発光素子１２ａ及び受光素子１２ｂを有し、発光素子１２ａから射出されて無色透明な材質で形成されている供給管４６３を透過した光を、受光素子１２ｂが受光するように、取り付けられている。第二液検出器１２は、発光及び受光する光が、液滴吐出ヘッド２０の近傍で供給管４６３を透過するように、供給管４６３の分岐部の近傍に取り付けられている。
【０１０５】
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置９０を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置９０は、演算処理を行うホストコンピュータ９１と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置９３とを有し、インタフェイス９２を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置９３は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【０１０６】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス９７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）９４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）９５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）９６と、を有している。また、ヘッドドライバ２０ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、圧力ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５０ｄと、検出器インタフェイス９８と、を有している。これらは、データバス９９を介して互いに電気的に接続されている。
【０１０７】
インタフェイス９７は、制御装置９０とデータの授受を行い、ＣＰＵ９４は、各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ９６は、ＣＰＵ９４からの指令に従って、制御装置９０から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ９５は、ＣＰＵ９４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記録している。
【０１０８】
ヘッドドライバ２０ｄには、液滴吐出ヘッド２０が接続されており、ヘッドドライバ２０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド２０を駆動して、機能液４０の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｘ軸リニアモータ３４と、Ｙ軸リニアモータ２４と、ヘッド回動機構２２ａと、ワーク回動機構３１ａとが接続されている。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド２０とワーク３０とを相対移動させてワーク３０の任意の位置と液滴吐出ヘッド２０とを対向させ、ヘッドドライバ２０ｄと協働して、ワーク３０上の任意の位置に機能液４０の液滴を着弾させる。
【０１０９】
メンテナンスドライバ５０ｄには、キャッピングユニット５６と、ワイピングユニット５７と、フラッシングユニット５８と、メンテモータ５３とが接続されている。メンテナンスドライバ５０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従ってメンテモータ５３を駆動して、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、又はフラッシングユニット５８が、液滴吐出ヘッド２０に対向できる位置に移動するように、メンテキャリッジ５１を移動させる。また、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、又はフラッシングユニット５８を駆動して、液滴吐出ヘッド２０の保守作業を実行させる。
【０１１０】
圧力ドライバ６０ｄには、圧力付与部６０が接続されている。圧力ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ９４からの制御信号に従って圧力付与部６０を駆動して、液滴吐出ヘッド２０に機能液４０を供給する。検出器インタフェイス９８には、第一液検出器１１の発光素子１１ａ及び受光素子１１ｂと、第二液検出器１２の発光素子１２ａ及び受光素子１２ｂとが接続されている。検出器インタフェイス９８を介して伝達されるＣＰＵ９４からの制御信号に従って発光素子１１ａ又は発光素子１２ａが発光し、受光素子１１ｂ又は受光素子１２ｂの検出情報が検出器インタフェイス９８を介してＣＰＵ９４に伝達される。
【０１１１】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、本発明の液状体の供給方法を用いて製造されるデバイスの一例である液晶表示装置を構成する液晶表示パネルのカラーフィルタ基板、及びカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。最初に、液晶表示パネルについて説明する。図６は、液晶表示パネルの構造を示す概略図である。図６（ａ）は、液晶表示パネルについて、各構成要素とともにフィルタ基板側から見た平面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。
【０１１２】
図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１１０は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１０３及び画素電極１０６ｂを有する素子基板１０１と、対向電極１０６ａ及びカラーフィルタ１０５を有するカラーフィルタ基板１０２と、シール材１０４によって接着された素子基板１０１とカラーフィルタ基板１０２との隙間に充填された液晶１０８とを備えている。素子基板１０１はカラーフィルタ基板１０２より一回り大きく額縁状に張り出した状態となっている。
【０１１３】
素子基板１０１は、厚さおよそ１．２ｍｍの石英ガラス基板を用いており、その表面には画素を構成する画素電極１０６ｂと、３端子のうちの一つが画素電極１０６ｂに接続されたＴＦＴ素子１０３が形成されている。ＴＦＴ素子１０３の残りの２端子は、画素電極１０６ｂを囲んで互いに絶縁状態で格子状に配置されたデータ線（図示省略）と走査線（図示省略）とに接続されている。データ線は、ｙ軸方向に引き出されて端子部１１６においてデータ線駆動回路部１０９ａに接続されている。走査線は、ｘ軸方向に引き出され、左右の額縁領域に形成された２つの走査線駆動回路部１０９ｂに個々に接続されている。データ線駆動回路部１０９ａ及び走査線駆動回路部１０９ｂの入力側配線は、端子部１１６に沿って配列した実装端子１１１にそれぞれ接続されている。端子部１１６とは反対側の額縁領域には、２つの走査線駆動回路部１０９ｂを相互に繋ぐ配線１１２が設けられている。
【０１１４】
カラーフィルタ基板１０２は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板１０２ａを用いており、共通電極としての対向電極１０６ａが設けられている。対向電極１０６ａは、ガラス基板１０２ａの四隅に設けられた上下導通部１１４を介して素子基板１０１側に設けられた配線と導通しており、当該配線も端子部１１６に設けられた実装端子１１１に接続されている。また、カラーフィルタ基板１０２には、画素電極１０６ｂと対向する位置に色要素１５３（図８参照）が形成されたカラーフィルタ１０５が設けられている。
【０１１５】
液晶１０８に面する素子基板１０１の表面及びカラーフィルタ基板１０２の表面には、それぞれ配向膜１０７ｂ、配向膜１０７ａが形成されている。
【０１１６】
液晶表示パネル１１０は、外部駆動回路と電気的に繋がる中継基板が実装端子１１１に接続される。そして、外部駆動回路からの入力信号が各データ線駆動回路部１０９ａおよび走査線駆動回路部１０９ｂに入力されることにより、ＴＦＴ素子１０３が画素電極ごとにスイッチングされる。これにより、画素電極１０６ｂと対向電極１０６ａとの間に駆動電圧が印加されて表示が行われる。
【０１１７】
なお、図６では図示省略したが、液晶表示パネル１１０の表裏面には、それぞれ入出射する光を偏光する偏光板が設けられる。
【０１１８】
＜カラーフィルタ＞
次に、カラーフィルタ基板１０２に形成されているカラーフィルタ１０５及びカラーフィルタ１０５における色要素１５３の配列について説明する。図７（ａ）は、カラーフィルタの一実施形態の平面構造を模式的に示す模式図であり、図７（ｂ）は、複数のカラーフィルタが形成されたマザー基板の平面構造を模式的示す模式図である。
【０１１９】
カラーフィルタ１０５は、ガラス、プラスチック等の方形状の基板の表面に複数の色要素領域１５２（図８、図１２（ｅ）参照）をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該色要素領域１５２に色要素１５３を形成し、さらにその上に保護膜を積層することによって形成されている。なお、図７（ａ）は保護膜を取り除いた状態のカラーフィルタ１０５を平面的に示している。
【０１２０】
上記カラーフィルタ１０５が形成された方形状のカラーフィルタ基板１０２は、例えば、図７（ｂ）に示すような大面積のマザー基板１０２Ａから切り出される。より詳細には、まず、マザー基板１０２Ａ内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１０５ａのそれぞれの表面にカラーフィルタ１０５の１個分のパターンを形成し、さらにそれらのカラーフィルタ形成領域１０５ａの周りに切断用の溝を形成する。さらに、それらの溝に沿ってマザー基板１０２Ａを切断することにより、カラーフィルタ１０５が形成された方形状のカラーフィルタ基板１０２が形成される。
【０１２１】
＜色要素の配列＞
次に、色要素１５３の配列について説明する。色要素１５３は、隔壁１５６によって区画された例えば方形状の色要素領域１５２を色材で埋めることによって形成される。隔壁１５６は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成されており、隔壁１５６によって区画形成された色要素領域１５２は、ドット・マトリクス状に並んでいる。図８は、色要素の配列例を示す平面図である。図８（ａ）は、４色フィルタの配列例を示しており、図８（ｂ）及び（ｃ）は、６色フィルタの配列例を示している。色要素１５３の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、マトリクスの縦列が全て同色の色要素１５３になる配列である。モザイク配列は、横方向の各行ごとに色要素１５３一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの色要素１５３が３色となる配列である。そして、デルタ配列は、色要素１５３の配置を段違いにすることで、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つの色要素１５３が異なる色となる配列である。
【０１２２】
図８（ａ）に示した４色フィルタにおいて、色要素１５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｗ（無色透明）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｗ（無色透明）の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｗを各１個づつ含む色要素１５３の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ１５４」と表記する。）を形成している。１個の絵素フィルタ１５４内の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｗのいずれか１つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁１５６はブラックマトリクスとして作用する。図８（ａ）に示した４色フィルタにおいては、それらの絵素フィルタ１５４がストライプ配列で配列されている。
【０１２３】
図８（ｂ）に示した６色フィルタにおいて、色要素１５３は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｃ（シアン又は青緑色）、Ｍ（マゼンダ又は紫赤色）、Ｙ（イエロー又は黄色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣合って形成されたＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙを各１個ずつ含む色要素１５３の組で、一つの絵素に対応する絵素フィルタ１５７を形成している。光の三原色であるＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）が、図８の横方向に一列に配置されており、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の補色であるＣ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）がそれぞれ補色の関係にある色と、図８の縦方向で隣接するように配置されている。１個の絵素フィルタ１５７内の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙのいずれか１つ又はそれらの組合せに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。図８（ｂ）に示した６色フィルタにおいては、それらの絵素フィルタ１５７がストライプ配列されている。図８（ｃ）に示した６色フィルタにおいては、それらの絵素フィルタ１５７が、モザイク配列で配列されている。
【０１２４】
図８（ｂ）又は（ｃ）に示した６色フィルタにおいて、光の三原色であるＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の補色であるＣ（シアン）、Ｍ（マゼンダ）、Ｙ（イエロー）の色要素１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙの面積は、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂの面積より小さくなっている。これは、色要素によって光の透過率が異なるために、同じ光源であっても出力光の明るさが異なることを、色要素１５３の面積で補正するためである。１個の色要素１５３の大きさは、例えば、３０μｍ×１００μｍ、又は３０μｍ×６０μｍと３０μｍ×２０μｍである。また、色要素１５３の間の間隔、いわゆるエレメント間ピッチは、例えば、４５μｍである。
【０１２５】
＜カラーフィルタ基板の製造方法＞
次に、カラーフィルタ基板の製造工程について図９乃至図１２を参照して説明する。図９はカラーフィルタ基板の製造工程を示すフローチャートであり、図１０は隔壁を形成する工程を示すフローチャートであり、図１１は色要素を形成する工程（色要素形成工程）を示すフローチャートである。図１２（ａ）〜（ｇ）はカラーフィルタ基板の製造過程を示す模式断面図である。
【０１２６】
図９に示したように、本実施形態のカラーフィルタ基板１０２の製造方法は、図１２（ａ）に示したガラス基板１８１（マザー基板１０２Ａ：図７参照）の表面が撥液性を有するように表面処理する撥液化処理工程（ステップＳ１）と、ガラス基板１８１の撥液化処理された表面における隔壁１５６を形成する領域に対応する部分を、親液性を有するように表面処理する親液化処理工程（ステップＳ２）とを備えている。また、ガラス基板１８１上に複数の色要素領域１５２を区画するように隔壁部を形成する工程（ステップＳ３）と、複数の色要素領域１５２に異なる色要素形成材料を含む機能液４０を吐出して複数種の色要素１５３を形成する色要素形成工程（ステップＳ６）を備えている。
【０１２７】
図９のステップＳ１は、撥液化処理工程である。ステップＳ１では、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板１８１の表面に薄膜１８６を形成して撥液性を付与する。薄膜１８６の形成方法としては、撥液性を有する材料としてＦＡＳ（フッ化アルキルシラン）またはＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラン）を用いて、ほぼ単分子膜からなる薄膜１８６を形成する。より詳細には、ガラス基板１８１の表面に自己組織化膜を形成する方法等を採用できる。
【０１２８】
自己組織化膜形成法では、ガラス基板１８１の表面に、有機分子膜などからなる自己組織化膜を形成する。有機分子膜は、ガラス基板１８１に結合可能な官能基と、その反対側に表面性を改質する（表面エネルギーを制御する）撥液基としての官能基と、これらの官能基を結ぶ炭素の直鎖或は一部分岐した炭素鎖とを備えており、ガラス基板１８１に結合して自己組織化して分子膜、例えば単分子膜を形成する。
【０１２９】
ここで、自己組織化膜とは、ガラス基板１８１の下地層等の構成原子と反応可能な結合性官能基とそれ以外の直鎖分子とからなり、直鎖分子の相互作用により極めて高い配向性を有する化合物を、配向させて形成された膜である。この自己組織化膜は、単分子を配向させて形成されているので、極めて膜厚を薄くすることができ、しかも、分子レベルで均一な膜となる。すなわち、膜の表面に同じ分子が位置するため、膜の表面に、均一であってしかも優れた撥液性を付与することができる。
【０１３０】
上記した高い配向性を有する化合物として、例えばフルオロアルキルシランを用いることにより、膜の表面にフルオロアルキル基が位置するように各化合物が配向されて自己組織化膜が形成され、膜の表面に均一な撥液性が付与される。自己組織化膜を形成する化合物としては、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリエトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロデシルトリクロロシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリエトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリメトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２テトラヒドロオクチルトリクロロシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン等のフルオロアルキルシラン（以下、「ＦＡＳ」と表記する。）を例示できる。これらの化合物は、単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。ＦＡＳを用いることにより、ガラス基板１８１との密着性と、表面の良好な撥液性とを得ることができる。
【０１３１】
ＦＡＳは、一般的に構造式ＲｎＳｉＸ（４−ｎ）で表される。ここでｎは１以上３以下の整数を表し、Ｘはメトキシ基、エトキシ基、ハロゲン原子などの加水分解基である。またＲはフルオロアルキル基であり、（ＣＦ3）（ＣＦ2）ｘ（ＣＨ2）ｙの（ここでｘは０以上１０以下の整数を、ｙは０以上４以下の整数を表す）構造を持ち、複数個のＲ又はＸがＳｉに結合している場合には、Ｒ又はＸはそれぞれすべて同じでもよく、異なっていてもよい。Ｘで表される加水分解基は、加水分解によりシラノールを形成して、ガラス基板１８１の下地のヒドロキシル基と反応してシロキサン結合でガラス基板１８１と結合する。一方、Ｒで表されるフルオロアルキル基は、表面に（ＣＦ2）等のフルオロ基を有するため、ガラス基板１８１の下地表面を濡れ難い（表面エネルギーが低い）表面に改質する。
【０１３２】
有機分子膜などからなる自己組織化膜は、上記の原料化合物とガラス基板１８１とを同一の密閉容器中に入れておき、室温で２〜３日程度の間放置することによりガラス基板１８１上に形成される。また、密閉容器全体を１００℃に保持することにより、３時間程度でガラス基板１８１上に形成される。これらは気相からの形成法であるが、液相からも自己組織化膜を形成できる。例えば、原料化合物を含む溶液中にガラス基板１８１を浸積し、洗浄、乾燥することでガラス基板１８１上に自己組織化膜が形成される。なお、自己組織化膜を形成する前に、ガラス基板１８１表面に紫外光を照射したり、溶媒により洗浄したりして、ガラス基板１８１表面の前処理を施すことが望ましい。
【０１３３】
図９のステップＳ２は、親液化処理工程である。ステップＳ２では、図１２（ｂ）に示すように、撥液化処理された表面１８６ａにレーザ光を照射して親液性を付与する。レーザ光が照射された部位では、シロキサン結合が切れて水酸基と結合した状態となり、親液性が付与される。この場合、レーザ照射する範囲は、図１２（ｃ）に示すように、隔壁１５６を形成する領域１８６ｂである。
【０１３４】
なお、照射するレーザ光としては、発熱を生じさせる波長帯域を有するものが望ましく、例えば、赤外域（０．７〜１０μｍ）に波長帯域を有するものが好適である。このようなレーザ光源として、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ（１．０６４μｍ）、ＣＯ2レーザ（１０．６μｍ）などを用いることができる。そして、これらのレーザ光源と、レーザ光源に対して少なくともＸ，Ｙ方向に相対移動可能なテーブルとを、備えたレーザ照射装置により、テーブルにガラス基板１８１を載置して領域１８６ｂを描画するようにレーザ光を照射して親液化処理を行う。
【０１３５】
また、ＦＡＳなどからなる薄膜１８６を親液化処理する方法としては、親液化する領域１８６ｂ以外をマスクで覆い、ＵＶ（紫外光）を照射する方法も採用することができる。
【０１３６】
図９のステップＳ３は、隔壁部形成工程である。ステップＳ３では、図１２（ｄ）に示すように、上述した液滴吐出装置１（図１参照）を用いて、隔壁１５６を形成する。液滴吐出ヘッド２０（図２参照）から隔壁部形成材料を含む機能液４０を吐出して隔壁１５６を形成する。上述したように、液滴吐出装置１が備える液滴吐出ヘッド２０（図２参照）は、液状体を液滴として吐出ノズルから吐出可能であり、液状体として隔壁部形成材料を含む機能液４０である隔壁材料液１５６ａを吐出して隔壁１５６を形成する。
【０１３７】
隔壁１５６を形成する工程について、図１０を参照してより詳細に説明する。図１０は隔壁を形成する工程を示すフローチャートである。図１０のステップＳ２１では、中継タンク４３（図４参照）から液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０を送る供給管４６３（図３（ａ）又は図４参照）を接続する。勿論、６個の中継タンク４３と１２個の液滴吐出ヘッド２０との接続の仕方を既存の状態から変更する必要がない場合は、ステップＳ２１は省略する。ステップＳ２１が、給液管を接続する接続工程に相当する。次に、ステップＳ２２では、隔壁材料液１５６ａを充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続する。ステップＳ２２が、給液管を接続する接続工程又は液状体又は機能液を充填する充填工程に相当する。
【０１３８】
次に、ステップＳ２３では、隔壁材料液１５６ａを、少なくとも供給管４６１の第一液検出器１１が臨む位置まで、例えばサブタンク４２まで送出する第一仮送出を実行する。隔壁材料液１５６ａの送出をサブタンク４２までにとどめるためには、例えば、サブタンク４２と供給管４６２との間のバルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行う。バルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行うことで、必要な部分以外に隔壁材料液１５６ａが送出されることを抑制する。ステップＳ２３が、試送出工程に相当する。
【０１３９】
次に、ステップＳ２４では、第一液検出器１１を用いて、隔壁材料液１５６ａの種類を検出する。より詳細には、供給管４６１に送出されてきた液状体、即ち、隔壁材料液１５６ａが充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することが正しく実行されていれば隔壁材料液１５６ａであるべき液状体に、発光素子１１ａから光を照射し、受光素子１１ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。ステップＳ２４が、検出工程に相当する。
【０１４０】
次に、ステップＳ２５では、隔壁材料液が設定どおりの隔壁材料液１５６ａであるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ２４で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき隔壁材料液１５６ａの光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ２５が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０１４１】
測定した光の透過率が供給されるべき隔壁材料液１５６ａの光の透過率と合致しなかった（ステップＳ２５でＮＯ）場合には、ステップＳ２６に進む。ステップＳ２６では、供給管４６１及びサブタンク４２に供給された隔壁材料液（供給されるべき隔壁材料液１５６ａとは異なると判定された液状体）を排出する。また、隔壁材料液が排出された供給管４６１及びサブタンク４２を洗浄する。次に、ステップＳ２７では、改めて、隔壁材料液１５６ａを充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続し直す。ステップＳ２７の次にはステップＳ２３に進み、ステップＳ２３からステップＳ２５を繰返す。なお、上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、ステップＳ２１からステップＳ２７の各ステップは、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組ごとに、それぞれ実行する。
【０１４２】
測定した光の透過率が供給されるべき隔壁材料液１５６ａの光の透過率と合致した（ステップＳ２５でＹＥＳ）場合には、ステップＳ２８に進む。ステップＳ２８では、供給管４６１及びサブタンク４２より先まで隔壁材料液１５６ａを送出して、液滴吐出ヘッド２０から吐出可能な状態にする。ステップＳ２８が、本送出工程に相当する。液滴吐出ヘッド２０が、使用可能位置又は配置部に相当する。
【０１４３】
次に、ステップＳ２９では、隔壁材料液１５６ａの液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、隔壁１５６を形成する領域１８６ｂに順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、隔壁材料液１５６ａを液滴として吐出し着弾させて濡れ広げる。勿論、ステップＳ２９の隔壁材料液１５６ａの液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ２８の隔壁材料液１５６ａを送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する隔壁材料液１５６ａを液滴吐出ヘッド２０に供給する。そして、着弾して濡れ広がった隔壁材料液１５６ａを乾燥させることで、隔壁１５６を形成する。
【０１４４】
この場合、隔壁１５６の所定の高さは、例えば、およそ１．５μｍである。１回の吐出及び乾燥で隔壁１５６の所定の高さが得られない場合には、ステップＳ２９の工程を繰返すことによって、隔壁材料液１５６ａを乾燥させた膜を積層させて、所定の高さの隔壁１５６を形成する。なお、隔壁材料液１５６ａとしては、隔壁形成材料としてフェノール系樹脂等を含んだ溶液を用いることができる。所定の高さの隔壁１５６を形成して、隔壁１５６を形成する工程（図９のステップＳ３の隔壁部形成工程）を終了する。
【０１４５】
次に、図９のステップＳ４では、形成した隔壁１５６を焼成処理する。次に、ステップＳ５では、図１２（ｅ）に示すように、隔壁１５６が形成されたガラス基板１８１に残存する薄膜１８６（撥液膜）を除去する工程を行う。薄膜１８６は、ＦＡＳなどからなる単分子膜であり、およそ３００℃にガラス基板１８１を加熱することにより昇華させて除去することが可能である。また、除去後のガラス基板１８１の表面１８１ａを親液化処理することも可能である。なお、加熱以外の薄膜１８６の除去方法としては、ＵＶ照射やＯ2プラズマ処理等を採用することができる。ガラス基板１８１全体を加熱することで、ステップＳ４とステップＳ５とを同時に実行することもできる。ステップＳ５を終了して、図１２（ｅ）に示すように、色要素領域１５２が形成される。
【０１４６】
次のステップＳ６は、色要素形成工程である。ステップＳ６では、上述した液滴吐出装置１（図１参照）を用いて、色要素１５３を形成する。図１２（ｆ）に示すように、隔壁１５６によって区画形成された複数の色要素領域１５２のそれぞれに、色要素形成材料を含む色要素材料液１５３ａを、液滴吐出装置１の液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出し、乾燥させることによって、色要素１５３を形成する。この場合、乾燥後の色要素１５３の膜厚が隔壁１５６の高さ（およそ１．５μｍ）とほぼ同じになるように色要素材料液１５３ａの吐出回数を各色要素領域１５２ごとに調整して吐出する。勿論、異なる色の各色要素１５３が形成される各色要素領域１５２に対して異なる色要素材料を含む色要素材料液１５３ａを吐出する。例えば、上述した６色フィルタ（図８（ｂ）又は（ｃ）参照）であれば、異なる色の各色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙが形成されるべき各色要素領域１５２に対応して、異なる色要素材料を含む６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれを液滴吐出ヘッド２０から吐出する。後述するように、各色要素領域１５２に配置された色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれを乾燥させることで、色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙをそれぞれ形成する。
【０１４７】
色要素１５３を形成する工程について、図１１を参照してより詳細に説明する。図１１は色要素を形成する工程を示すフローチャートである。図１１のステップＳ３１では、中継タンク４３（図４参照）から液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０を送る供給管４６３（図３（ａ）又は図４参照）を接続する。例えば、６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれが貯留される中継タンク４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｍ，４３Ｙにそれぞれ接続された供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂ，４６３Ｃ，４６３Ｍ，４６３Ｙを、それぞれ、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａを吐出するべき液滴吐出ヘッド２０に接続する。勿論、６個の中継タンク４３と１２個の液滴吐出ヘッド２０との接続の仕方を既存の状態から変更する必要がない場合は、ステップＳ３１は省略する。ステップＳ３１が、給液管を接続する接続工程に相当する。
【０１４８】
次に、ステップＳ３２では、６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれが充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に、６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれを充填した貯留部４１ａを、それぞれ接続する。ステップＳ３２が、給液管を接続する接続工程又は液状体又は機能液を充填する充填工程に相当する。
【０１４９】
次に、ステップＳ３３では、色要素材料液１５３ａを、少なくとも供給管４６１の第一液検出器１１が臨む位置まで、例えばサブタンク４２まで送出する第一仮送出を実行する。色要素材料液１５３ａの送出をサブタンク４２までにとどめるためには、例えば、サブタンク４２と供給管４６２との間のバルブを予め閉めた状態で、第一仮送出を実行する。ステップＳ３３が、試送出工程に相当する。
【０１５０】
次に、ステップＳ３４では、第一液検出器１１を用いて、色要素材料液１５３ａの種類を検出する。より詳細には、供給管４６１に送出されてきた液状体に、発光素子１１ａから光を照射し、受光素子１１ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。当該液状体は、色要素材料液１５３ａが充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することが正しく実行されていれば、例えば色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかであるべき液状体である。ステップＳ３４が、検出工程に相当する。
【０１５１】
次に、ステップＳ３５では、色要素材料液１５３ａが設定どおりの色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかであるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ３４で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかの光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ３５が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０１５２】
測定した光の透過率が供給されるべき色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかの光の透過率と合致しなかった（ステップＳ３５でＮＯ）場合には、ステップＳ３６に進む。ステップＳ３６では、供給管４６１及びサブタンク４２に供給された色要素材料液（供給されるべき色要素材料液１５３ａとは異なると判定された液状体）を排出する。また、色要素材料液が排出された供給管４６１及びサブタンク４２を洗浄する。
【０１５３】
次に、ステップＳ３７では、貯留部４１ａの接続を修正する。即ち、改めて、色要素材料液１５３ａを充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続し直す。ステップＳ３７の次にはステップＳ３３に進み、ステップＳ３３からステップＳ３５を繰返す。なお、上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、ステップＳ３１からステップＳ３７の各ステップは、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組ごとに、それぞれ実行する。
【０１５４】
測定した光の透過率が供給されるべき色要素材料液１５３ａの光の透過率と合致した（ステップＳ３５でＹＥＳ）場合には、ステップＳ３８に進む。ステップＳ３８では、色要素材料液１５３ａを、少なくとも供給管４６３の第二液検出器１２が臨む位置まで、例えば液滴吐出ヘッド２０の手前まで送出する第二仮送出を実行する。色要素材料液１５３ａの送出を液滴吐出ヘッド２０の手前までにとどめるためには、例えば、圧力付与部６０により、サブタンク４２における色要素材料液１５３ａを送出する圧力を調整する。ステップＳ３８が、試送出工程に相当する。
【０１５５】
次に、ステップＳ３９では、第二液検出器１２を用いて、色要素材料液１５３ａの種類を検出する。より詳細には、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかを吐出するべき液滴吐出ヘッド２０に接続された供給管４６３に送出されてきた液状体に、発光素子１２ａから光を照射し、受光素子１２ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。当該供給管４６３に送出されてきた液状体は、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかであるべき液状体である。ステップＳ３９が、検出工程に相当する。
【０１５６】
次に、ステップＳ４０では、色要素材料液１５３ａが設定どおりの色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかであるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ３９で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかの光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ４０が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０１５７】
測定した光の透過率が供給されるべき色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかの光の透過率と合致しなかった（ステップＳ４０でＮＯ）場合には、ステップＳ４１に進む。ステップＳ４１では、液滴吐出ヘッド２０の手前までに供給された色要素材料液（供給されるべき色要素材料液１５３ａとは異なると判定された液状体）を排出する。また、色要素材料液が排出された供給管４６１、サブタンク４２、供給管４６２、中継タンク４３、及び供給管４６３を洗浄する。
【０１５８】
次に、ステップＳ４２では、供給管４６３の接続を修正する。即ち、改めて、６種の色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのそれぞれが貯留される中継タンク４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｍ，４３Ｙにそれぞれ接続された供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂ，４６３Ｃ，４６３Ｍ，４６３Ｙを、それぞれ、色要素材料液１５３Ｒａ，１５３Ｇａ，１５３Ｂａ，１５３Ｃａ，１５３Ｍａ，１５３Ｙａのいずれかを吐出するべき液滴吐出ヘッド２０に接続する。ステップＳ４２の次にはステップＳ３８に進み、ステップＳ３８からステップＳ４０を繰返す。上述したように、液滴吐出装置１は１２個の液滴吐出ヘッド２０を備えており、ステップＳ３８からステップＳ４２の各ステップは、１２個の液滴吐出ヘッド２０に接続された供給管４６３毎にそれぞれ実行する。
【０１５９】
測定した光の透過率が供給されるべき色要素材料液１５３ａの光の透過率と合致した（ステップＳ４０でＹＥＳ）場合には、ステップＳ４３に進む。ステップＳ４３では、液滴吐出ヘッド２０まで色要素材料液１５３ａを送出して、液滴吐出ヘッド２０から吐出可能な状態にする。ステップＳ４３が、本送出工程に相当する。液滴吐出ヘッド２０が、使用可能位置又は配置部に相当する。
【０１６０】
次に、ステップＳ４４では、色要素材料液１５３ａの液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、色要素領域１５２に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、色要素材料液１５３ａを液滴として吐出して、色要素領域１５２に着弾させる。色要素領域１５２に所定の量の色要素材料液１５３ａを着弾させて、色要素１５３を形成する工程（図９のステップＳ６の色要素形成工程）を終了する。なお、色要素材料液１５３ａは、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴として吐出された瞬間から乾燥を開始するが、色要素材料液１５３ａの溶媒の沸点などを調節することで、例えば、着弾して濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。
【０１６１】
次に、図９のステップＳ７では、色要素領域１５２に向けて吐出され、色要素領域１５２内に配置された色要素材料液１５３ａを、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、仮固化若しくは仮硬化する。
【０１６２】
次に、ステップＳ８では、上記のようにして構成されたカラーフィルタ基板１０２を検査し、不良の有無を判定する。この検査は、例えば、肉眼若しくは顕微鏡等で、上記隔壁１５６及び色要素１５３を観察する。この場合、カラーフィルタ基板１０２を撮影し、その撮影画像に基づいて自動的に検査を行ってもよい。ここで、色要素１５３の欠陥とは、色要素１５３が欠如している場合（いわゆるドット抜け）や、色要素１５３が形成されているが、色要素領域１５２内に配置された色要素材料液１５３ａの量（体積）が多すぎたり少なすぎたりして不適切である場合や、色要素１５３が形成されているが、塵埃等の異物が混入していたり付着していたりする場合などである。
【０１６３】
この検査によって、色要素１５３に欠陥が見つかった場合（ステップＳ８でＮＯ）には、カラーフィルタ基板の製造工程を終了する。欠陥が見つかったカラーフィルタ基板１０２は、別工程の基体再生工程に移行させる。
【０１６４】
上記検査において表示素材に欠陥が発見されなかった場合（ステップＳ８でＹＥＳ）には、ステップＳ９に進む。ステップＳ９では、仮焼成された色要素１５３をベーク（焼成）処理して、色要素１５３を完全に固化若しくは硬化させる。例えば、２００℃程度の温度で焼成処理を行い、カラーフィルタ基板１０２の各色要素１５３Ｒ，１５３Ｇ，１５３Ｂ，１５３Ｃ，１５３Ｍ，１５３Ｙを完全に固化若しくは硬化させる。この焼成処理の温度は色要素材料液１５３ａの組成等によって適宜に決定できる。また、特に高温に加熱することなく、単に通常とは異なる雰囲気（窒素ガス中や乾燥空気中等）などで乾燥若しくはエージングさせるだけでもよい。最後に、ステップＳ１０では、図１２（ｇ）に示すように、色要素１５３の上に透明な保護層１８７を形成し、カラーフィルタ基板の製造工程を終了する。
【０１６５】
以下、第一の実施形態の効果を記載する。第一の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ステップＳ２４又はステップＳ３４において、第一液検出器１１を用いて、送出されてきた隔壁材料液１５６ａ又は色要素材料液１５３ａの光の透過率を測定し、ステップＳ２５又はステップＳ３５において、検出結果に基づいて適切な隔壁材料液１５６ａ又は色要素材料液１５３ａであるか否かを判定し、適切でない場合は、貯留部４１ａの接続をやり直す。これにより、貯留部４１ａに不適切な隔壁材料液１５６ａ又は色要素材料液１５３ａが充填されたこと、或は、適切でない隔壁材料液１５６ａ又は色要素材料液１５３ａが充填された貯留部４１ａが接続されたことによって、不適切な隔壁材料液１５６ａ又は色要素材料液１５３ａが液滴吐出ヘッド２０まで供給されることを抑制することができる。
【０１６６】
（２）ステップＳ３９において、第二液検出器１２を用いて、送出されてきた色要素材料液１５３ａの光の透過率を測定し、ステップＳ４０において、検出結果に基づいて適切な色要素材料液１５３ａであるか否かを判定し、適切でない場合は、供給管４６３の接続をやり直す。これにより、中継タンク４３と液滴吐出ヘッド２０を結ぶ供給管４６３の接続が適切でないことに起因して不適切な色要素材料液１５３ａが液滴吐出ヘッド２０まで供給されることを抑制することができる。
【０１６７】
（３）第一液検出器１１を機能液タンク４１の近傍に設けることで、ステップＳ２３又はステップＳ３３の第一仮送出における隔壁材料液１５６ａ又は色要素材料液１５３ａの送出量を少なくすることができる。
【０１６８】
（４）第二液検出器１２を液滴吐出ヘッド２０の近傍の供給管４６３に設けることで、個々の液滴吐出ヘッド２０について適切な色要素材料液１５３ａが送出されるように配管がなされているかを検証することができる。
【０１６９】
（第二の実施形態）
次に、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、及び有機ＥＬ発光素子の製造方法の一実施形態である第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、デバイスの一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、機能膜の一例である発光層及び正孔輸送層を形成する工程で用いられる機能液の供給方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。
【０１７０】
＜有機ＥＬ表示装置の構成＞
最初に、有機ＥＬ表示装置の構成について、図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は、有機ＥＬ表示装置の平面構成を示す概略図である。図１３（ａ）は、有機ＥＬ表示装置を示す概略正面図であり、図１３（ｂ），（ｃ）は、有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図である。図１３（ａ）に示すように、本実施形態の有機ＥＬ表示装置２００は、発光素子である複数の有機ＥＬ素子２０７を有する素子基板２０１と、封止基板２０９とを備えている。有機ＥＬ素子２０７はいわゆるカラー素子であり、有機ＥＬ表示装置２００は、赤色素子２０７Ｒ（赤色系）、緑色素子２０７Ｇ（緑色系）、青色素子２０７Ｂ（青色系）の３色の有機ＥＬ素子２０７を有している。有機ＥＬ素子２０７は表示領域２０６に配置されており、当該表示領域２０６に画像が表示される。
【０１７１】
素子基板２０１上の３色の有機ＥＬ素子２０７は、図１３（ｂ），（ｃ）に示すように、例えば、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成されたバンク２１５によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状の領域に発光層２１７（図１４参照）などを形成することによって形成される。例えば、有機ＥＬ素子２０７を構成する正孔輸送層２１６（図１４参照）や発光層２１７の材料を含む機能液をバンク２１５によって区画された領域に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、正孔輸送層２１６や発光層２１７を形成する。
【０１７２】
素子基板２０１は、各有機ＥＬ素子２０７に対応した位置に、駆動素子としての複数のスイッチング素子２１２（図１４参照）を備えている。スイッチング素子２１２は、例えば、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子である。また、封止基板２０９よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、スイッチング素子２１２を駆動する２つの走査線駆動回路部２０３と１つのデータ線駆動回路部２０４が設けられている。素子基板２０１の端子部２０１ａには、これらの走査線駆動回路部２０３、又はデータ線駆動回路部２０４と外部駆動回路とを接続するためのフレキシブルな中継基板２０８が実装されている。これらの走査線駆動回路部２０３、及びデータ線駆動回路部２０４は、例えば、予め素子基板２０１の表面に低温ポリシリコンの半導体層を形成して構成する。
【０１７３】
有機ＥＬ素子２０７の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列等が知られている。ストライプ配列は、図１３（ｂ）に示したように、マトリクスの縦列が総て同色の有機ＥＬ素子２０７になる配列である。モザイク配列は、図１３（ｃ）に示したように、横方向の各行ごとに有機ＥＬ素子２０７一つ分だけ色をずらした配列で、３色有機ＥＬ表示装置の場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つの有機ＥＬ素子２０７が３色となる配列である。そして、図示省略したデルタ配列は、有機ＥＬ素子２０７の配置を段違いにし、３色有機ＥＬ表示装置の場合、任意の隣接する３つの有機ＥＬ素子２０７が異なる色となる配列である。
【０１７４】
図１４は、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図である。図１４に示すように、素子基板２０１は、ガラス基板２１０と、ガラス基板２１０の一方の表面上に形成された複数のスイッチング素子２１２と、スイッチング素子２１２を覆うように形成された絶縁層２１１と、絶縁層２１１上に形成されており、導通層２１４ａを介してスイッチング素子２１２と導通している複数の画素電極２１４と、複数の画素電極２１４の間に形成されたバンク２１５と、を有する。さらに、バンク２１５によって区画された領域（以降、「画素領域２２１」と表記する。）の画素電極２１４上に形成された正孔輸送層２１６と、正孔輸送層２１６上に積層して形成された発光層２１７と、発光層２１７およびバンク２１５を覆うように設けられた対向電極２１８と、を有する。有機ＥＬ表示装置２００は、素子基板２０１の対向電極２１８に対向して封止基板２０９が配置され、対向電極２１８と封止基板２０９との間に不活性ガス２２０が封入されている。バンク２１５によって区画された領域の画素電極２１４上に形成された正孔輸送層２１６、発光層２１７、対向電極２１８が、有機ＥＬ素子２０７に該当する。
【０１７５】
画素領域２２１に、赤色、緑色、青色の光をそれぞれ発光する、赤色発光層２１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層２１７Ｇ（緑色系）、青色発光層２１７Ｂ（青色系）を形成することで、赤色素子２０７Ｒ、緑色素子２０７Ｇ、青色素子２０７Ｂを形成する。赤色素子２０７Ｒ、緑色素子２０７Ｇ、青色素子２０７Ｂを各１個ずつ含む有機ＥＬ素子２０７の組で、画像を構成する最小単位である絵素を形成している。１絵素内の赤色素子２０７Ｒ、緑色素子２０７Ｇ、青色素子２０７Ｂのいずれか１つ又はそれらの組合せを選択的に発光させることにより、フルカラー表示を行う。
【０１７６】
＜有機ＥＬ素子の製造＞
次に、有機ＥＬ表示装置２００の素子基板２０１における有機ＥＬ素子２０７を構成する正孔輸送層２１６及び発光層２１７の形成工程について図１５乃至１８を参照して説明する。図１５は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャートであり、図１６（ａ）〜（ｅ）は素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図である。図１７は正孔輸送層材料液を配置する工程を示すフローチャートであり、図１８は発光層材料液を配置する工程を示すフローチャートである。
【０１７７】
図１５のステップＳ５１では、図１６（ａ）に示すように、スイッチング素子２１２と、絶縁層２１１と、導通層２１４ａと、画素電極２１４とが形成されたガラス基板２１０の表面に、バンク２１５を形成する。バンク２１５は、例えば、ガラス基板２１０の表面にバンク２１５の材料を含む機能液を塗布し、乾燥させてバンク膜を形成し、フォトエッチングなどで画素領域２２１などの部分を取り除くことによって、形成する。次に、ステップＳ５２では、バンク２１５が形成されたガラス基板２１０を洗浄する。
【０１７８】
次に、ステップＳ５３では、バンク２１５が形成され洗浄されたガラス基板２１０を、配置された機能液が馴染み易くなるように、表面処理する。バンク２１５に囲まれた画素領域２２１の底部と、バンク２１５の側面とが、正孔輸送層２１６の材料を含む機能液である正孔輸送層材料液５６０に対して親液性となるように処理し、バンク２１５の頂部は正孔輸送層材料液５６０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、画素領域２２１に充填されるべく配置された正孔輸送層材料液５６０が画素領域２２１に馴染み易くなると共に、画素領域２２１から溢れ出し難くなる。
【０１７９】
次に、ステップＳ５４では、正孔輸送層材料液５６０を配置する。図１６（ｂ）に示すように、バンク２１５によって形成された複数の画素領域２２１のそれぞれに正孔輸送層２１６の材料を含む正孔輸送層材料液５６０を液滴吐出ヘッド２０から液滴５６０ａとして吐出し、画素領域２２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する。
【０１８０】
正孔輸送層２１６を形成するために画素領域２２１に正孔輸送層材料液５６０を配置する工程について、図１７を参照してより詳細に説明する。図１７は、正孔輸送層材料液を配置する工程を示すフローチャートである。図１７のステップＳ６１では、中継タンク４３（図４参照）から液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０を送る供給管４６３（図３（ａ）又は図４参照）を接続する。勿論、６個の中継タンク４３と１２個の液滴吐出ヘッド２０との接続の仕方を既存の状態から変更する必要がない場合は、ステップＳ６１は省略する。ステップＳ６１が、給液管を接続する接続工程に相当する。次に、ステップＳ６２では、正孔輸送層材料液５６０を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続する。ステップＳ６２が、給液管を接続する接続工程又は液状体又は機能液を充填する充填工程に相当する。
【０１８１】
次に、ステップＳ６３では、正孔輸送層材料液５６０を、少なくとも供給管４６１の第一液検出器１１が臨む位置まで、例えばサブタンク４２まで送出する第一仮送出を実行する。正孔輸送層材料液５６０の送出をサブタンク４２までにとどめるためには、例えば、サブタンク４２と供給管４６２との間のバルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行う。バルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行うことで、必要な部分以外に正孔輸送層材料液５６０が送出されることを抑制する。ステップＳ６３が、試送出工程に相当する。
【０１８２】
次に、ステップＳ６４では、第一液検出器１１を用いて、正孔輸送層材料液５６０の種類を検出する。より詳細には、供給管４６１に送出されてきた液状体、即ち、正孔輸送層材料液５６０が充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することが正しく実行されていれば正孔輸送層材料液５６０であるべき液状体に、発光素子１１ａから光を照射し、受光素子１１ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。ステップＳ６４が、検出工程に相当する。
【０１８３】
次に、ステップＳ６５では、正孔輸送層材料液５６０が設定どおりの正孔輸送層材料液５６０であるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ６４で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき正孔輸送層材料液５６０の光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ６５が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０１８４】
測定した光の透過率が供給されるべき正孔輸送層材料液５６０の光の透過率と合致しなかった（ステップＳ６５でＮＯ）場合には、ステップＳ６６に進む。ステップＳ６６では、供給管４６１及びサブタンク４２に供給された正孔輸送層材料液（供給されるべき正孔輸送層材料液５６０とは異なると判定された液状体）を排出する。また、正孔輸送層材料液が排出された供給管４６１及びサブタンク４２を洗浄する。次に、ステップＳ６７では、改めて、正孔輸送層材料液５６０を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続し直す。ステップＳ６７の次にはステップＳ６３に進み、ステップＳ６３からステップＳ６５を繰返す。なお、上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、ステップＳ６１からステップＳ６７の各ステップは、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組ごとに、それぞれ実行する。
【０１８５】
ステップＳ６４で測定した光の透過率が供給されるべき正孔輸送層材料液５６０の光の透過率と合致した（ステップＳ６５でＹＥＳ）場合には、ステップＳ６８に進む。ステップＳ６８では、供給管４６１及びサブタンク４２より先まで正孔輸送層材料液５６０を送出して、液滴吐出ヘッド２０から正孔輸送層材料液５６０を吐出可能な状態にする。ステップＳ６８が、本送出工程に相当する。液滴吐出ヘッド２０が、使用可能位置又は配置部に相当する。
【０１８６】
次に、ステップＳ６９では、正孔輸送層材料液５６０の液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、正孔輸送層２１６を形成する画素領域２２１に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、液滴吐出ヘッド２０から正孔輸送層材料液５６０を液滴５６０ａとして吐出して、画素領域２２１に着弾させる。勿論、ステップＳ６９の正孔輸送層材料液５６０の液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ６８の正孔輸送層材料液５６０を送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する正孔輸送層材料液５６０を液滴吐出ヘッド２０に供給する。画素領域２２１に所定の量の正孔輸送層材料液５６０を着弾させて、正孔輸送層材料液５６０を配置する工程（図１５のステップＳ５４の正孔輸送層材料液配置工程）を終了する。
【０１８７】
次に、図１５のステップＳ５５では、画素領域２２１に正孔輸送層材料液５６０が配置されたガラス基板２１０を減圧環境に投入し、正孔輸送層材料液５６０を乾燥させて、正孔輸送層２１６を形成する。なお、正孔輸送層材料液５６０は、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴５６０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、正孔輸送層材料液５６０の溶媒の沸点などを調節することで、着弾して濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ５５を終了して、図１６（ｃ）に示すように、正孔輸送層２１６が形成される。
【０１８８】
次に、ステップＳ５６では、発光層材料液５７０を配置する。図１６（ｄ）に示したように、正孔輸送層２１６が形成された複数の画素領域２２１のそれぞれに発光層２１７の材料を含む発光層材料液５７０を液滴吐出ヘッド２０から液滴５７０ａとして吐出し、画素領域２２１の正孔輸送層２１６の上に発光層材料液５７０を配置する。勿論、異なる色の各発光層２１７が形成される各画素領域２２１に対しては、異なる発光層材料を含む発光層材料液５７０を吐出する。例えば、上述した３色の発光層によるカラー表示（図１３参照）であれば、赤色、緑色、青色の光をそれぞれ発光する、赤色発光層２１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層２１７Ｇ（緑色系）、青色発光層２１７Ｂ（青色系）をそれぞれ形成するべき画素領域２２１に向けて、それぞれの発光層２１７の材料を含む発光層材料液５７０を液滴吐出ヘッド２０から吐出する。
【０１８９】
なお、正孔輸送層材料液５６０が画素領域２２１に馴染み易くなると共に画素領域２２１から溢れ出し難くなるようにステップＳ５３で実行した表面処理が、発光層材料液５７０については有効でない場合には、ステップＳ５６を実行する前に、ステップＳ５３で実行した処理と同様の表面処理を実行する。勿論、この場合に実行する処理は、発光層材料液５７０が画素領域２２１に馴染み易くなると共に画素領域２２１から溢れ出し難くなるようにする表面処理である。
【０１９０】
発光層２１７を形成するために画素領域２２１に発光層材料液５７０を配置する工程について、図１８を参照してより詳細に説明する。図１８は、発光層材料液を配置する工程を示すフローチャートである。図１８のステップＳ８１では、中継タンク４３（図４参照）から液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０を送る供給管４６３（図３（ａ）又は図４参照）を接続する。例えば、３種の発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれが貯留される中継タンク４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂにそれぞれ接続された供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂを、それぞれ、発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂを吐出するべき液滴吐出ヘッド２０に接続する。勿論、６個の中継タンク４３と１２個の液滴吐出ヘッド２０との接続の仕方を既存の状態から変更する必要がない場合は、ステップＳ８１は省略する。ステップＳ８１が、給液管を接続する接続工程に相当する。
【０１９１】
次に、ステップＳ８２では、３種の発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれが充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に、３種の発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれを充填した貯留部４１ａを、それぞれ接続する。ステップＳ８２が、給液管を接続する接続工程又は液状体又は機能液を充填する充填工程に相当する。
【０１９２】
次に、ステップＳ８３では、発光層材料液５７０を、少なくとも供給管４６１の第一液検出器１１が臨む位置まで、例えばサブタンク４２まで送出する第一仮送出を実行する。発光層材料液５７０の送出をサブタンク４２までにとどめるためには、例えば、サブタンク４２と供給管４６２との間のバルブを予め閉めた状態で、第一仮送出を実行する。ステップＳ８３が、試送出工程に相当する。
【０１９３】
次に、ステップＳ８４では、第一液検出器１１を用いて、発光層材料液５７０の種類を検出する。より詳細には、供給管４６１に送出されてきた液状体に、発光素子１１ａから光を照射し、受光素子１１ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。当該液状体は、発光層材料液５７０が充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することが正しく実行されていれば、例えば発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのいずれかであるべき液状体である。ステップＳ８４が、検出工程に相当する。
【０１９４】
次に、ステップＳ８５では、発光層材料液５７０が設定どおりの発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂであるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ８４で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂの光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ８５が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０１９５】
測定した光の透過率が供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂの光の透過率と合致しなかった（ステップＳ８５でＮＯ）場合には、ステップＳ８６に進む。ステップＳ８６では、供給管４６１及びサブタンク４２に供給された発光層材料液（供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂとは異なると判定された液状体）を排出する。また、液状体が排出された供給管４６１及びサブタンク４２を洗浄する。
【０１９６】
次に、ステップＳ８７では、貯留部４１ａの接続を修正する。即ち、改めて、発光層材料液５７０を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続し直す。ステップＳ８７の次にはステップＳ８３に進み、ステップＳ８３からステップＳ８５を繰返す。なお、上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、ステップＳ８１からステップＳ８７の各ステップは、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組ごとに、それぞれ実行する。
【０１９７】
測定した光の透過率が供給されるべき発光層材料液５７０の光の透過率と合致した（ステップＳ８５でＹＥＳ）場合には、ステップＳ８８に進む。ステップＳ８８では、発光層材料液５７０を、少なくとも供給管４６３の第二液検出器１２が臨む位置まで、例えば液滴吐出ヘッド２０の手前まで送出する第二仮送出を実行する。発光層材料液５７０の送出を液滴吐出ヘッド２０の手前までにとどめるためには、例えば、圧力付与部６０により、サブタンク４２における発光層材料液５７０を送出する圧力を調整する。ステップＳ８８が、試送出工程に相当する。
【０１９８】
次に、ステップＳ８９では、第二液検出器１２を用いて、発光層材料液５７０の種類を検出する。より詳細には、発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを吐出するべき液滴吐出ヘッド２０に接続された供給管４６３に送出されてきた発光層材料液５７０に、発光素子１２ａから光を照射し、受光素子１２ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。当該供給管４６３に送出されてきた発光層材料液５７０は、発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂのいずれかであるべき発光層材料液５７０である。ステップＳ８９が、検出工程に相当する。
【０１９９】
次に、ステップＳ９０では、発光層材料液５７０が設定どおりの発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂであるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ８９で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂの光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ９０が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０２００】
測定した光の透過率が供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂの光の透過率と合致しなかった（ステップＳ９０でＮＯ）場合には、ステップＳ９１に進む。ステップＳ９１では、液滴吐出ヘッド２０の手前まで供給された発光層材料液５７０（供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂとは異なると判定された液状体）を排出する。また、液状体が排出された供給管４６１、サブタンク４２、供給管４６２、中継タンク４３、及び供給管４６３を洗浄する。
【０２０１】
次に、ステップＳ９２では、供給管４６３の接続を修正する。即ち、改めて、３種の発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂのそれぞれが貯留される中継タンク４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂにそれぞれ接続された供給管４６３Ｒ，４６３Ｇ，４６３Ｂを、それぞれ、発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを吐出するべき液滴吐出ヘッド２０に接続する。ステップＳ９２の次にはステップＳ８８に進み、ステップＳ８８からステップＳ９０を繰返す。上述したように、液滴吐出装置１は１２個の液滴吐出ヘッド２０を備えており、ステップＳ８８からステップＳ９２の各ステップは、１２個の液滴吐出ヘッド２０に接続された供給管４６３毎にそれぞれ実行する。
【０２０２】
測定した光の透過率が供給されるべき発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂの光の透過率と合致した（ステップＳ９０でＹＥＳ）場合には、ステップＳ９３に進む。ステップＳ９３では、液滴吐出ヘッド２０まで発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを送出して、液滴吐出ヘッド２０から吐出可能な状態にする。ステップＳ９３が、本送出工程に相当する。液滴吐出ヘッド２０が、使用可能位置又は配置部に相当する。
【０２０３】
次に、ステップＳ９４では、発光層材料液５７０Ｒ，５７０Ｇ，５７０Ｂの液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、画素領域２２１に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、液滴吐出ヘッド２０から発光層材料液５７０を液滴５７０ａとして吐出して、画素領域２２１に着弾させる。勿論、ステップＳ９４の発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、及び発光層材料液５７０Ｂの液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ９３の発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを液滴吐出ヘッド２０に供給する。発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂをそれぞれ配置するべきそれぞれの画素領域２２１に、所定の量の発光層材料液５７０Ｒ、発光層材料液５７０Ｇ、又は発光層材料液５７０Ｂを着弾させて、発光層材料液５７０を配置する工程（図１５のステップＳ５６の発光層材料液配置工程）を終了する。
【０２０４】
次に、図１５のステップＳ５７では、画素領域２２１に発光層材料液５７０が配置されたガラス基板２１０を減圧環境に投入し、発光層材料液５７０を乾燥させて、発光層２１７を形成する。なお、発光層材料液５７０は、厳密には、液滴吐出ヘッド２０から液滴５７０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、発光層材料液５７０の溶媒の沸点などを調節することで、着弾して濡れ広がったところで流動しない程度に固まるようにすることができる。ステップＳ５７を終了して、図１６（ｅ）に示すように、発光層２１７が形成される。
【０２０５】
図１６（ｅ）に示すように、発光層２１７を形成して、正孔輸送層２１６及び発光層２１７の形成工程を終了する。さらに、対向電極２１８を形成する工程を実行して、素子基板２０１を形成する。さらに、封止基板２０９を取付け、上述した中継基板２０８等を実装して、有機ＥＬ表示装置２００を形成する。
【０２０６】
以下、第二の実施形態の効果を記載する。第二の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ステップＳ６４又はステップＳ８４において、第一液検出器１１を用いて、送出されてきた正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０の光の透過率を測定し、ステップＳ６５又はステップＳ８５において、検出結果に基づいて適切な正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０であるか否かを判定し、適切でない場合は、貯留部４１ａの接続をやり直す。これにより、貯留部４１ａに不適切な正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０が充填されたこと、或は、適切でない正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０が充填された貯留部４１ａが接続されたことによって、不適切な正孔輸送層材料液５６０又は発光層材料液５７０が液滴吐出ヘッド２０まで供給されることを抑制することができる。
【０２０７】
（２）ステップＳ８９において、第二液検出器１２を用いて、送出されてきた発光層材料液５７０の光の透過率を測定し、ステップＳ９０において、検出結果に基づいて適切な発光層材料液５７０であるか否かを判定し、適切でない場合は、供給管４６３の接続をやり直す。これにより、中継タンク４３と液滴吐出ヘッド２０を結ぶ供給管４６３の接続が適切でないことに起因して不適切な発光層材料液５７０が液滴吐出ヘッド２０まで供給されることを抑制することができる。
【０２０８】
（第三の実施形態）
次に、本発明に係る液状体の供給方法、デバイスの製造方法、及び配線基板の製造方法の一実施形態である第三の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、デバイスの一例である配線基板を製造する工程において、機能膜の一例である回路配線層を形成する工程で用いられる機能液の供給方法を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。
【０２０９】
＜配線基板の構成＞
最初に、配線基板の構成について、図１９を参照して説明する。図１９は配線基板を示す概略平面図である。図１９に示すように、配線基板３００は、半導体装置（ＩＣ）を平面実装する回路基板であり、ＩＣの入出力電極（バンプ）に対応して配置された導電性材料からなる配線としての入力配線３０１及び出力配線３０３と、絶縁膜３０７とにより構成されている。絶縁膜３０７は、二点鎖線で示した外形３０６の内側であって、二点鎖線で示した実装領域３０５以外の部分に形成されており、入力端子部３０２及び出力端子部３０４を避けると共に、実装領域３０５の内側に入力配線３０１と出力配線３０３のそれぞれの一部が露出するように複数の入力配線３０１及び出力配線３０３を覆っている。配線基板３００は、マザー基板３００Ａ上にマトリクス状に形成され、マザー基板３００Ａを分割することにより取り出される。マザー基板３００Ａは、絶縁基板としてリジットなガラス基板、セラミック基板、ガラスエポキシ樹脂基板の他、フレキシブルな樹脂基板を用いることができる。分割方法としては、スクライブ、ダイシング、レーザーカット、プレス等がマザー基板３００Ａの材料に応じて選択される。
【０２１０】
本実施形態では、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置１を用いた液滴吐出法により、導電性材料からなる入力配線３０１及び出力配線３０３や絶縁性材料からなる絶縁膜３０７を形成する。液滴吐出法を用いることで、各材料の無駄を省いて配線や絶縁膜を形成することができる。また、フォトリソグラフィ法に比べてパターン形成するための露光用マスクや現像、エッチングなどの工程を必要としないので、マザー基板３００Ａのサイズによらず工程を簡略化することができる。
【０２１１】
＜配線基板の製造＞
次に、配線基板３００の入力配線３０１、出力配線３０３、及び絶縁膜３０７の形成工程について図２０を参照して説明する。図２０は、配線基板の入力配線、出力配線、及び絶縁膜の形成工程を示すフローチャートである。
【０２１２】
図２０のステップＳ１０１では、入力配線３０１及び出力配線３０３を形成するために導電材料液を吐出する液滴吐出装置１において、中継タンク４３（図４参照）から液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０を送る供給管４６３（図３（ａ）又は図４参照）を接続する。勿論、６個の中継タンク４３と１２個の液滴吐出ヘッド２０との接続の仕方を既存の状態から変更する必要がない場合は、ステップＳ１０１は省略する。ステップＳ１０１が、給液管を接続する接続工程に相当する。次に、ステップＳ１０２では、導電材料液を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続する。ステップＳ１０２が、給液管を接続する接続工程又は液状体又は機能液を充填する充填工程に相当する。
【０２１３】
導電材料液に含まれる導電性材料としては、例えば金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド２０の吐出ノズル７２（図２参照）に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【０２１４】
分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。
【０２１５】
上記導電性微粒子の分散液の表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えると吐出ノズル７２の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、マザー基板３００Ａとの接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液のマザー基板３００Ａへの濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。
【０２１６】
上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合には吐出ノズル７２周辺部が機能液の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、吐出ノズル７２のノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。
【０２１７】
次に、ステップＳ１０３では、導電材料液を、少なくとも供給管４６１の第一液検出器１１が臨む位置まで、例えばサブタンク４２まで送出する第一仮送出を実行する。導電材料液の送出をサブタンク４２までにとどめるためには、例えば、サブタンク４２と供給管４６２との間のバルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行う。バルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行うことで、必要な部分以外に導電材料液が送出されることを抑制する。ステップＳ１０３が、試送出工程に相当する。
【０２１８】
次に、ステップＳ１０４では、第一液検出器１１を用いて、導電材料液の種類を検出する。より詳細には、供給管４６１に送出されてきた液状体、即ち、導電材料液が充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することが正しく実行されていれば導電材料液であるべき液状体に、発光素子１１ａから光を照射し、受光素子１１ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。ステップＳ１０４が、検出工程に相当する。
【０２１９】
次に、ステップＳ１０５では、導電材料液が設定どおりの導電材料液であるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ１０４で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき導電材料液の光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ１０５が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０２２０】
測定した光の透過率が供給されるべき導電材料液の光の透過率と合致しなかった（ステップＳ１０５でＮＯ）場合には、ステップＳ１０６に進む。ステップＳ１０６では、供給管４６１及びサブタンク４２に供給された導電材料液（供給されるべき導電材料液とは異なると判定された液状体）を排出する。また、導電材料液が排出された供給管４６１及びサブタンク４２を洗浄する。
【０２２１】
次に、ステップＳ１０７では、改めて、導電材料液を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続し直す。ステップＳ１０７の次にはステップＳ１０３に進み、ステップＳ１０３からステップＳ１０５を繰返す。なお、上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、ステップＳ１０１からステップＳ１０７の各ステップは、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組ごとに、それぞれ実行する。
【０２２２】
ステップＳ１０４で測定した光の透過率が供給されるべき導電材料液の光の透過率と合致した（ステップＳ１０５でＹＥＳ）場合には、ステップＳ１０８に進む。ステップＳ１０８では、供給管４６１及びサブタンク４２より先まで導電材料液を送出して、液滴吐出ヘッド２０から導電材料液を吐出可能な状態にする。ステップＳ１０８が、本送出工程に相当する。液滴吐出ヘッド２０が、使用可能位置又は配置部に相当する。
【０２２３】
次に、ステップＳ１０９では、導電材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、マザー基板３００Ａ上の入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、液滴吐出ヘッド２０から導電材料液を液滴として吐出して、入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域に着弾させる。勿論、ステップＳ１０９の導電材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ１０８の導電材料液を送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する導電材料液を液滴吐出ヘッド２０に供給する。マザー基板３００Ａ上の入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域の全域に所定の量の導電材料液を着弾させて、導電材料液を吐出する工程を終了する。
【０２２４】
次にステップＳ１１０では、入力配線３０１又は出力配線３０３を形成するべき領域に着弾した導電材料液を乾燥・焼成することにより固化させて、入力配線３０１及び出力配線３０３を形成する。乾燥・焼成方法は、乾燥炉内にマザー基板３００Ａを放置して所定の温度で乾燥・焼成するバッチ方式や乾燥炉内を通過させるインライン方式が挙げられる。熱源としては、ヒータや赤外線ランプなどが挙げられる。
【０２２５】
次に、ステップＳ２０１では、絶縁膜３０７を形成するために絶縁材料液を吐出する液滴吐出装置１において、中継タンク４３（図４参照）から液滴吐出ヘッド２０へ機能液４０を送る供給管４６３（図３（ａ）又は図４参照）を接続する。勿論、６個の中継タンク４３と１２個の液滴吐出ヘッド２０との接続の仕方を既存の状態から変更する必要がない場合は、ステップＳ２０１は省略する。ステップＳ２０１が、給液管を接続する接続工程に相当する。次に、ステップＳ２０２では、絶縁材料液を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続する。ステップＳ２０２が、給液管を接続する接続工程又は液状体又は機能液を充填する充填工程に相当する。
【０２２６】
絶縁材料液に含まれる絶縁性材料としては、例えば、絶縁性を有するエポキシ樹脂、ウレタン樹脂等の高分子材料を用いることができる。溶媒としては、例えば、上記材料を溶解可能な炭化水素系溶媒が挙げられる。当該絶縁材料液の物性は、上述した導電材料液の場合と同様に液滴吐出法に対応して調整する。
【０２２７】
次に、ステップＳ２０３では、絶縁材料液を、少なくとも供給管４６１の第一液検出器１１が臨む位置まで、例えばサブタンク４２まで送出する第一仮送出を実行する。絶縁材料液の送出をサブタンク４２までにとどめるためには、例えば、サブタンク４２と供給管４６２との間のバルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行う。バルブを予め閉めた状態で第一仮送出を行うことで、必要な部分以外に絶縁材料液が送出されることを抑制する。ステップＳ２０３が、試送出工程に相当する。
【０２２８】
次に、ステップＳ２０４では、第一液検出器１１を用いて、絶縁材料液の種類を検出する。より詳細には、供給管４６１に送出されてきた液状体、即ち、絶縁材料液が充填された貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することが正しく実行されていれば所定の絶縁材料液であるべき液状体に、発光素子１１ａから光を照射し、受光素子１１ｂによって、液状体を透過した透過光を受光することで、当該液状体の光の透過率を測定する。ステップＳ２０４が、検出工程に相当する。
【０２２９】
次に、ステップＳ２０５では、絶縁材料液が設定どおりの絶縁材料液であるか否かを判定する。より詳細には、ステップＳ２０４で測定した光の透過率が、予め測定しておいた供給されるべき絶縁材料液の光の透過率と合致するか否かを判定する。ステップＳ２０５が、液状体判定工程又は機能液判定工程に相当する。
【０２３０】
測定した光の透過率が供給されるべき絶縁材料液の光の透過率と合致しなかった（ステップＳ２０５でＮＯ）場合には、ステップＳ２０６に進む。ステップＳ２０６では、供給管４６１及びサブタンク４２に供給された絶縁材料液（供給されるべき絶縁材料液とは異なると判定された液状体）を排出する。また、絶縁材料液が排出された供給管４６１及びサブタンク４２を洗浄する。
【０２３１】
次に、ステップＳ２０７では、改めて、絶縁材料液を充填した貯留部４１ａに貯留栓４１ｂを結合することで、液滴吐出装置１の機能液供給部４に貯留部４１ａを接続し直す。ステップＳ２０７の次にはステップＳ２０３に進み、ステップＳ２０３からステップＳ２０５を繰返す。なお、上述したように、本実施形態の液滴吐出装置１は、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組を６組備えており、ステップＳ２０１からステップＳ２０７の各ステップは、機能液タンク４１と、サブタンク４２と、中継タンク４３との組ごとに、それぞれ実行する。
【０２３２】
ステップＳ２０４で測定した光の透過率が供給されるべき絶縁材料液の光の透過率と合致した（ステップＳ２０５でＹＥＳ）場合には、ステップＳ２０８に進む。ステップＳ２０８では、供給管４６１及びサブタンク４２より先まで絶縁材料液を送出して、液滴吐出ヘッド２０から絶縁材料液を吐出可能な状態にする。ステップＳ２０８が、本送出工程に相当する。液滴吐出ヘッド２０が、使用可能位置又は配置部に相当する。
【０２３３】
次に、ステップＳ２０９では、絶縁材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出を実行する。より具体的には、マザー基板３００Ａ上の絶縁膜３０７を形成する領域に順次液滴吐出ヘッド２０が対向するように位置決めし、液滴吐出ヘッド２０から絶縁材料液を液滴として吐出して、絶縁膜３０７を形成する領域に着弾させる。勿論、ステップＳ２０９の絶縁材料液の液滴吐出ヘッド２０からの吐出に並行して、ステップＳ２０８の絶縁材料液を送出する工程を実行して、液滴吐出ヘッド２０から吐出する絶縁材料液を液滴吐出ヘッド２０に供給する。マザー基板３００Ａ上の絶縁膜３０７を形成するべき領域の全域に所定の量の絶縁材料液を着弾させて、絶縁材料液を配置する工程を終了する。
【０２３４】
次にステップＳ２１０では、絶縁膜３０７を形成するべき領域に着弾した絶縁材料液を乾燥することにより固化させて、絶縁膜３０７を形成する。乾燥方法は、乾燥炉内にマザー基板３００Ａを放置して所定の温度で乾燥するバッチ方式や乾燥炉内を通過させるインライン方式が挙げられる。熱源としては、ヒータや赤外線ランプなどが挙げられる。なお、絶縁性材料として感光性樹脂材料を用いることも可能である。その場合は、着弾した機能液に紫外線等を照射することにより固化させる。
【０２３５】
入力配線３０１と出力配線３０３及び絶縁膜３０７が形成されたマザー基板３００Ａを所定の形状に分割することにより、配線基板３００が形成される。
【０２３６】
以下、第三の実施形態の効果を記載する。第三の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ステップＳ１０４又はステップＳ２０４において、第一液検出器１１を用いて、送出されてきた導電材料液又は絶縁材料液の光の透過率を測定し、ステップＳ１０５又はステップＳ２０５において、検出結果に基づいて適切な導電材料液又は絶縁材料液であるか否かを判定し、適切でない場合は、貯留部４１ａの接続をやり直す。これにより、貯留部４１ａに不適切な導電材料液又は絶縁材料液が充填されたこと、或は、適切でない導電材料液又は絶縁材料液が充填された貯留部４１ａが接続されたことによって、不適切な導電材料液又は絶縁材料液が液滴吐出ヘッド２０まで供給されることを抑制することができる。
【０２３７】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、前記実施形態に限らない。本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０２３８】
（変形例１）前記実施形態においては、第一液検出器１１及び第二液検出器１２を設けて２個所で機能液を検出していたが、液検出器を２個所に設けることは必須ではない。どちらか一方にのみ設けてもよい。
【０２３９】
（変形例２）前記実施形態においては、第一液検出器１１を機能液タンク４１の近傍に、第二液検出器１２を液滴吐出ヘッド２０の近傍に設けたが、検出器を貯留タンク又は液滴吐出ヘッドの近傍に設けることは必須ではない。供給管の他の部分に設けてもよい。
【０２４０】
（変形例３）前記実施形態においては、供給管４６は光を透過する透明な材料で形成されていたが、供給管の全体が透明材料で形成されることは必須ではない。検出器が臨む部分のみを透明な材料で形成する構成であってもよい。或は、供給管の途中に、供給管とは別の検出用の管を接続する構成であってもよい。
【０２４１】
（変形例４）前記実施形態においては、供給管４６に臨んで第一液検出器１１及び第二液検出器１２を設けたが、液検出器で供給管内の機能液を検出することは必須ではない。サブタンク４２、中継タンク４３、又は機能液タンク４１などのタンク内の機能液を検出する構成であってもよい。
【０２４２】
（変形例５）前記実施形態においては、圧力付与部６０を設けて、機能液に圧力をかけることで機能液を送出すると共に、液滴吐出ヘッド２０における機能液の状態を適切に保っていたが、圧力をかけて給液することは必須ではない。サブタンク４２などの高さを調整することで機能液を供給するタンク側の液面の高さを調整することで給液する構成及び方法であってもよい。
【０２４３】
（変形例６）前記第一の実施形態においては、液晶表示装置のカラーフィルタについて説明したが、本発明を用いて好適に製造できるカラーフィルタは、液晶表示装置のカラーフィルタに限らない。本発明のカラーフィルタの製造方法を用いることで、無色の光を発光する発光層と組合わせてカラー有機ＥＬ装置を形成する、有機ＥＬ装置用のカラーフィルタも好適に製造することができる。
【０２４４】
（変形例７）前記第三の実施形態においては、配線基板を製造する工程ついて説明したが、本発明を用いて好適に製造できる金属配線は、配線基板の配線に限らない。本発明の配線基板の製造方法を用いることで、スイチイング素子のデータ線及び走査線や、回路配線や、これらを互いに絶縁する絶縁膜などを好適に形成して、これらを有する液晶表示装置の素子基板や、有機ＥＬ装置の素子基板なども好適に製造することができる。
【０２４５】
（変形例８）前記実施形態においては、導電材料液などの機能液を透過した透過光の透過率を測定することで機能液の種類を検出していたが、機能液の種類を検出するために透過率を測定することは必須ではない。例えば、電子線を照射して、励起された信号の中から任意の波長を選別して計測する、波長分散型の検出器などを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０２４６】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドをノズル形成プレート側から見た外観斜視図。
【図３】ヘッドユニットの外観斜視図。
【図４】機能液供給部の構成を示す模式図。
【図５】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図６】（ａ）液晶表示パネルをフィルタ基板側から見た平面図。（ｂ）図６（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図。
【図７】（ａ）カラーフィルタの平面構造を模式的に示す模式図。（ｂ）複数のカラーフィルタが形成されたマザー基板の平面構造を模式的示す模式図。
【図８】（ａ）４色フィルタの配列例を示す平面図。（ｂ）６色フィルタの配列例を示す平面図。（ｃ）６色フィルタの配列例を示す平面図。
【図９】カラーフィルタ基板の製造工程を示すフローチャート。
【図１０】隔壁を形成する工程を示すフローチャート。
【図１１】色要素を形成する工程を示すフローチャート。
【図１２】カラーフィルタ基板の製造過程を示す模式断面図。
【図１３】（ａ）有機ＥＬ表示装置を示す概略正面図。（ｂ）有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図。（ｃ）有機ＥＬ素子の配列例を示す平面図。
【図１４】有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図。
【図１５】素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示すフローチャート。
【図１６】素子基板の正孔輸送層及び発光層の形成工程を示す模式断面図。
【図１７】正孔輸送層材料液を配置する工程を示すフローチャート。
【図１８】発光層材料液を配置する工程を示すフローチャート。
【図１９】配線基板を示す概略平面図。
【図２０】配線基板の入力配線、出力配線、及び絶縁膜の形成工程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０２４７】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、４…機能液供給部、１１…第一液検出器、１２…第二液検出器、２０…液滴吐出ヘッド、４１…機能液タンク、４１ａ…貯留部、４１ｂ…貯留栓、４２…サブタンク、４３…中継タンク、４６…供給管、６０…圧力付与部、１０２…カラーフィルタ基板、１０５…カラーフィルタ、１１０…液晶表示パネル、１５２…色要素領域、１５３…色要素、１５３ａ…色要素材料液、１５６…隔壁、１５６ａ…隔壁材料液、２００…有機ＥＬ表示装置、２０７…有機ＥＬ素子、２１５…バンク、２１６…正孔輸送層、２１７…発光層、２１７Ｂ…青色発光層、２１７Ｇ…緑色発光層、２１７Ｒ…赤色発光層、２２１…画素領域、３００…配線基板、３０１…入力配線、３０３…出力配線、３０７…絶縁膜、４６１，４６２，４６３…供給管、４６３ａ，４６３ｂ，４６３ｃ，４６３ｄ，４６３ｅ，４６３ｆ…供給管、５６０…正孔輸送層材料液、５７０…発光層材料液。
【図１】
2008080276.tif 000003
【図２】
2008080276.tif 000004
【図３】
2008080276.tif 000005
【図４】
2008080276.tif 000006
【図５】
2008080276.tif 000007
【図６】
2008080276.tif 000008
【図７】
2008080276.tif 000009
【図８】
2008080276.tif 000010
【図９】
2008080276.tif 000011
【図１０】
2008080276.tif 000012
【図１１】
2008080276.tif 000013
【図１２】
2008080276.tif 000014
【図１３】
2008080276.tif 000015
【図１４】
2008080276.tif 000016
【図１５】
2008080276.tif 000017
【図１６】
2008080276.tif 000018
【図１７】
2008080276.tif 000019
【図１８】
2008080276.tif 000020
【図１９】
2008080276.tif 000021
【図２０】
2008080276.tif 000022