(57)【要約】【課題】液晶パネルの欠陥を撮像装置を用いて検査する場合に、簡単な手段を用いて、液晶パネルの表面に付着したゴミの映像と、液晶パネルの欠陥の映像とを区別する。【解決手段】一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネル１４を第１検査部１０に配置して、液晶パネル１４の一方の側から照明光を照射して、他方の側から第１画像を撮影する。第１検査部１０から第２検査部１２へ液晶パネル１４を搬送する。その際、搬送途中の少なくともどこかで液晶パネル１４を水平面に対して傾斜させる。第２検査部１２に液晶パネル１４を配置して、傾斜した液晶パネル１４に気体を吹き付けてゴミを吹き飛ばす。第２検査部１２で液晶パネル１４の第２画像を取得する。第１画像における黒画面の中の輝点の位置と第２画像における輝点の位置とを比較して、液晶パネルの欠陥とゴミとを区別する。【選択図】図１
2008299021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の（ａ）から（ｅ）までの段階を備える液晶パネル検査方法。
（ａ）一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルを第１検査部に配置して、液晶パネルの一方の側から第１の照明側偏光板を介して照明光を照射して、液晶パネルの他方の側から第１の撮像側偏光板を介して液晶パネルの第１画像を撮影して、黒画面における輝点の位置を取得する第１画像取得段階。
（ｂ）前記第１検査部から第２検査部へ液晶パネルを搬送する搬送段階。
（ｃ）前記第２検査部に液晶パネルを配置して、液晶パネルの表面に気体を吹き付ける気体吹き付け段階。
（ｄ）前記第２検査部に配置された液晶パネルの一方の側から第２の照明側偏光板を介して照明光を照射して、液晶パネルの他方の側から第２の撮像側偏光板を介して液晶パネルの第２画像を撮影して、黒画面における輝点の位置を取得する第２画像取得段階。
（ｅ）前記第１画像における輝点の位置と前記第２画像における輝点の位置を比較して、二つの画像の輝点の位置が共通するような輝点が存在したときに液晶パネルに欠陥が存在すると判定する判定段階。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶パネル検査方法において、前記気体吹き付け段階では、液晶パネルを水平面に対して傾斜させた状態で液晶パネルの表面に気体を吹き付けることを特徴とする液晶パネル検査方法。
【請求項３】
次の（ａ）から（ｄ）までの段階を備える液晶パネル検査方法。
（ａ）一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルを第１検査部に配置して、液晶パネルの一方の側から第１の照明側偏光板を介して照明光を照射して、液晶パネルの他方の側から第１の撮像側偏光板を介して液晶パネルの第１画像を撮影して、黒画面における輝点の位置を取得する第１画像取得段階。
（ｂ）前記第１検査部から第２検査部へ液晶パネルを搬送する搬送段階。
（ｃ）前記第２検査部に配置された液晶パネルの一方の側から第２の照明側偏光板を介して照明光を照射して、液晶パネルの他方の側から第２の撮像側偏光板を介して液晶パネルの第２画像を撮影して、黒画面における輝点の位置を取得する第２画像取得段階。
（ｄ）前記第１画像における輝点の位置と前記第２画像における輝点の位置を比較して、二つの画像の輝点の位置が共通するような輝点が存在したときに液晶パネルに欠陥が存在すると判定する判定段階。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項に記載の液晶パネル検査方法において、前記搬送段階では、液晶パネルが搬送経路の少なくともどこかで水平面に対して傾斜する姿勢をとることを特徴とする液晶パネル検査方法。
【請求項５】
一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルを検査する検査装置であって、次の（ａ）から（ｅ）までを備える検査装置。
（ａ）液晶パネルを載せる第１検査ステージと、液晶パネルの一方の側に配置された第１照明装置と、液晶パネルと前記第１照明装置の間に配置された第１の照明側偏光板と、液晶パネルの他方の側に配置された第１撮像装置と、液晶パネルと前記第１撮像装置との間に配置された第１の撮像側偏光板と、前記第１撮像装置で撮影された第１画像の中から黒画面中の輝点の位置を認識する第１の位置認識手段とを備える第１検査部。
（ｂ）液晶パネルを載せる第２検査ステージと、液晶パネルの一方の側に配置された第２照明装置と、液晶パネルと前記第２照明装置の間に配置された第２の照明側偏光板と、液晶パネルの他方の側に配置された第２撮像装置と、液晶パネルと前記第２撮像装置との間に配置された第２の撮像側偏光板と、前記第２撮像装置で撮影された第２画像の中から黒画面中の輝点の位置を認識する第２の位置認識手段とを備える第２検査部。
（ｃ）前記第１検査部から前記第２検査部へ液晶パネルを搬送する搬送装置。
（ｄ）前記第２検査部に配置された液晶パネルの表面に気体を吹き付ける気体吹き付け装置。
（ｅ）前記第１画像における輝点の位置と前記第２画像における輝点の位置を比較して、二つの画像の輝点の位置が共通するような輝点が存在したときに液晶パネルに欠陥が存在すると判定する判定手段。
【請求項６】
請求項５に記載の液晶パネル検査装置において、前記気体吹き付け装置は、液晶パネルを水平面に対して傾斜させた状態で液晶パネルの表面に気体を吹き付けることを特徴とする液晶パネル検査装置。
【請求項７】
一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルを検査する検査装置であって、次の（ａ）から（ｄ）までを備える検査装置。
（ａ）液晶パネルを載せる第１検査ステージと、液晶パネルの一方の側に配置された第１照明装置と、液晶パネルと前記第１照明装置の間に配置された第１の照明側偏光板と、液晶パネルの他方の側に配置された第１撮像装置と、液晶パネルと前記第１撮像装置との間に配置された第１の撮像側偏光板と、前記第１撮像装置で撮影された第１画像の中から黒画面中の輝点の位置を認識する第１の位置認識手段とを備える第１検査部。
（ｂ）液晶パネルを載せる第２検査ステージと、液晶パネルの一方の側に配置された第２照明装置と、液晶パネルと前記第２照明装置の間に配置された第２の照明側偏光板と、液晶パネルの他方の側に配置された第２撮像装置と、液晶パネルと前記第２撮像装置との間に配置された第２の撮像側偏光板と、前記第２撮像装置で撮影された第２画像の中から黒画面中の輝点の位置を認識する第２の位置認識手段とを備える第２検査部。
（ｃ）前記第１検査部から前記第２検査部へ液晶パネルを搬送する搬送装置。
（ｄ）前記第１画像における輝点の位置と前記第２画像における輝点の位置を比較して、二つの画像の輝点の位置が共通するような輝点が存在したときに液晶パネルに欠陥が存在すると判定する判定手段。
【請求項８】
請求項５から７までのいずれか１項に記載の液晶パネル検査装置において、前記搬送装置では、液晶パネルが搬送経路の少なくともどこかで水平面に対して傾斜する姿勢をとることを特徴とする液晶パネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルをバックライトで照らして液晶パネルの内部の欠陥を撮像装置で観察するタイプの液晶パネル検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルをバックライトで照らして液晶パネルの内部のゴミなどの欠陥を撮像装置で観察するタイプの液晶パネル検査装置が知られている。このような検査装置で問題となるのが、液晶パネルの表面に付着したゴミを液晶パネルの内部欠陥であると誤認して、良品の液晶パネルを不良品と判定してしまうことである。液晶パネルの部品に関しては、このような誤認を防ぐ工夫を開示したものとして、次の特許文献１及び特許文献２が知られている。
【特許文献１】特開平１０−２４６７０５号公報
【特許文献２】特開平１０−１７６９９５号公報
【０００３】
特許文献１は液晶パネルのカラーフィルタの検査方法に関するものであり、カラーフィルタの欠陥と表面に付着したゴミとを区別できる。この検査方法では、カラーフィルタの一方の側に照明装置を配置して、この照明装置でカラーフィルタの一方の側を照らして、カラーフィルタの他方の側からＣＣＤカメラで透過光の画像を撮影している。この撮影画像に基づいて、カラーフィルタの突起欠陥と黒欠陥の位置情報を取得する（すなわち、明るい画像中の影の位置を取得する）。そのような欠陥が見つかったら、その欠陥が存在する位置に空気の吹き出し口をもってきて、圧搾空気を吹き付ける（エアーブロー）。これにより、カラーフィルタに強固に付着していない異物を吹き飛している。エアーブロー後に、再度、画像を撮影する。エアーブローの前後の画像間で差分処理を行って、適当な閾値で２値化処理を行うと、吹き飛んで無くなった異物を抽出できる。これにより、簡単に除去できる異物までも不良品と判定する問題を解決できる。
【０００４】
特許文献２は液晶パネルの透明ガラス基板の検査方法に関するものであり、ガラス基板の欠陥と表面に付着したゴミとを区別できる。この検査方法は４種類の検査部を用いるものであり、ガラス基板が４種類の検査部を順番に通過するようになっている。それぞれの検査部では、ガラス基板の一方の側に照明装置が配置されていて、他方の側に撮像装置が配置されている。第１の検査部と第４の検査部は直接透過法を用いて透過画像を撮影するものであり、第２検査部と第３検査部は間接透過法を用いて透過画像を撮影するものである。第３の検査部と第４の検査部の間にはイオン式の除塵器が配置されていて、ガラス基板がこの除塵器を通過すると、ガラス基板の表裏面に付着した埃が除去される。本件出願に関係する部分は、第１の検査部の撮影画像と第４の検査部の撮影画像とを比較するところである。第１の検査部の画像には、ガラス基板の「表傷」と「裏傷」と「泡」のほかに、表面に付着した「埃」が、いずれも暗情報として現れる。第４の検査部の画像では、埃は除塵されているので、ガラス基板の「表傷」と「裏傷」と「泡」だけが現れる。したがって、第１の検査部の画像と第４の検査部の画像を比較することにより、ガラス基板の「表傷」と「裏傷」と「泡」の位置や状態を正しく認識できる。この特許文献２では、表面のゴミを除去するのに、空気の吹き付けではなくて、除塵器を用いている。空気で埃を吹き飛ばすと埃が液晶ガラスに再付着する恐れがあるとしている。
【０００５】
上述の２件の公知技術は、液晶パネルを構成する部品（カラーフィルタまたはガラス基板）についての検査方法に関するものである。これに対して、液晶を挟んだ状態での液晶パネルについてその内部欠陥と表面のゴミとを区別できる検査方法を開示するものとして、次の特許文献３が知られている。
【特許文献３】特開２００７−８６５６３号公報
【０００６】
この特許文献３は、偏光板が無い状態の液晶パネルについて、検査装置に設けた１対の偏光板で液晶パネルを挟んで液晶パネルを検査するものである。この検査装置は、バックライトで照明したときの透過画像と傾斜照明で照明したときの透過画像とを比較することで、液晶パネルの内部ゴミと外部ゴミとを区別することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の特許文献１と特許文献２は、カラーフィルタまたはガラス基板について、それ自体の欠陥とその表面に付いたゴミとを区別することが可能である。しかしながら、このような技術を、一対の透明基板の間に液晶を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルの検査に適用すると、次の問題がある。特許文献１と特許文献２は、いずれも、カラーフィルタまたはガラス基板の表面に付着したゴミを、明るい画面の中の暗情報として検出している。しかし、明るい画面の中の暗情報は、暗い画面（黒画面）の中の輝点情報と比較して、確認しにくいものである。
【０００８】
また、特許文献１では、画像中に欠陥を見つけたら、その欠陥の位置に空気の吹き出し口をもってきて、欠陥の位置をめがけて、圧搾空気を集中的に吹き付けている。こうすることで、表面に付着したゴミを吹き飛ばしている。したがって、特許文献１は、空気の吹き出し口を欠陥位置までもってくるための技術的手段が必要になる。一方、特許文献２は、イオン式の除塵器を用いて、表面に付着したゴミを取り除いている。特許文献２によれば、気流式では埃を再付着させる恐れがあるとしている。この特許文献２の技術を実施するには、イオン式の除塵器を必要となる。
【０００９】
上述の特許文献３は、液晶パネルの内部ゴミと外部ゴミを区別するために、バックライトのほかに傾斜照明を必要としている。したがって、もっと簡便な構造のものが望まれている。
【００１０】
本発明の目的は、液晶パネルの欠陥を撮像装置を用いて検査する場合に、簡単な手段を用いて、かつ、黒画面の中の輝点情報としてゴミの映像を確認できるようにして、液晶パネルの表面に付着したゴミの映像と、液晶パネルの欠陥の映像とを区別できるようにした液晶パネル検査方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液晶パネル検査方法は、次の（ａ）から（ｅ）までの段階を備えている。（ａ）一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルを第１検査部に配置して、液晶パネルの一方の側から第１の照明側偏光板を介して照明光を照射して、液晶パネルの他方の側から第１の撮像側偏光板を介して液晶パネルの第１画像を撮影して、黒画面における輝点の位置を取得する第１画像取得段階。（ｂ）前記第１検査部から第２検査部へ液晶パネルを搬送する搬送段階。（ｃ）前記第２検査部に液晶パネルを配置して、液晶パネルの表面に気体を吹き付ける気体吹き付け段階。（ｄ）前記第２検査部に配置された液晶パネルの一方の側から第２の照明側偏光板を介して照明光を照射して、液晶パネルの他方の側から第２の撮像側偏光板を介して液晶パネルの第２画像を撮影して、黒画面における輝点の位置を取得する第２画像取得段階。（ｅ）前記第１画像における輝点の位置と前記第２画像における輝点の位置を比較して、二つの画像の輝点の位置が共通するような輝点が存在したときに液晶パネルに欠陥が存在すると判定する判定段階。
【００１２】
第１検査部と第２検査部の間の搬送途中において、搬送に伴う振動などの影響により液晶パネルの表面に付着したゴミが落下する可能性がある。さらには、第２検査部において液晶パネルの表面に気体を吹き付けることで、液晶パネルの表面に付着したゴミが落下する可能性がある。したがって、第１画像と第２画像を比較することで、黒画面中に現れる輝点が、ゴミに起因する輝点なのか、液晶パネルの欠陥に起因する輝点なのかを区別することができる。すなわち、二つの画像の輝点の位置が共通していないような輝点については、ゴミに起因する輝点であると判定し、共通しているときは液晶パネルに欠陥が存在すると判定する。このような検査方法を用いることで、良品を不良品であると誤認することを防ぐことができる。さらに、気体吹き付け段階において液晶パネルを傾斜させれば、ゴミが落下する確率が高まる。また、誤認率が多少増加することを覚悟するならば、気体吹き付け段階を省略することもできる。
【００１３】
搬送段階においては、液晶パネルを搬送経路の少なくともどこかで水平面に対して傾斜させることもできる。こうすると、搬送に伴う振動等で液晶パネルの表面に付着したゴミが落下する可能性が高まる。
【００１４】
また、本発明の液晶パネル検査装置は、一対の透明基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルであって偏光板が無い状態の液晶パネルを検査する検査装置であって、次の（ａ）から（ｅ）までを備えている。（ａ）液晶パネルを載せる第１検査ステージと、液晶パネルの一方の側に配置された第１照明装置と、液晶パネルと前記第１照明装置の間に配置された第１の照明側偏光板と、液晶パネルの他方の側に配置された第１撮像装置と、液晶パネルと前記第１撮像装置との間に配置された第１の撮像側偏光板と、前記第１撮像装置で撮影された第１画像の中から黒画面中の輝点の位置を認識する第１の位置認識手段とを備える第１検査部。（ｂ）液晶パネルを載せる第２検査ステージと、液晶パネルの一方の側に配置された第２照明装置と、液晶パネルと前記第２照明装置の間に配置された第２の照明側偏光板と、液晶パネルの他方の側に配置された第２撮像装置と、液晶パネルと前記第２撮像装置との間に配置された第２の撮像側偏光板と、前記第２撮像装置で撮影された第２画像の中から黒画面中の輝点の位置を認識する第２の位置認識手段とを備える第２検査部。（ｃ）前記第１検査部から前記第２検査部へ液晶パネルを搬送する搬送装置。（ｄ）前記第２検査部に配置された液晶パネルの表面に気体を吹き付ける気体吹き付け装置。（ｅ）前記第１画像における輝点の位置と前記第２画像における輝点の位置を比較して、二つの画像の輝点の位置が共通するような輝点が存在したときに液晶パネルに欠陥が存在すると判定する判定手段。
【００１５】
この液晶パネル検査装置においても、検査方法の発明と同様に、次のことができる。（ア）気体吹き付け段階において液晶パネルを傾斜させれば、ゴミが落下する確率が高まる。（イ）誤認率が多少増加することを覚悟するならば、気体吹き付け段階を省略することができる。（ウ）液晶パネルを搬送経路の少なくともどこかで水平面に対して傾斜させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は次の効果を奏する。（１）二つの画像取得段階の間に搬送段階を挟んで二つの画像を取得してこれらを比較する、という簡単な手法を用いるだけで、液晶パネルの表面に付着したゴミの映像と、液晶パネルの内部の欠陥とを区別できる。（２）黒画面の中の輝点を観測しているので、明るい画面の中の暗情報を観測するのに比べて、欠陥情報またはゴミ情報を確認しやすい。（３）第２検査部において液晶パネルの表面に気体を吹き付ければ、ゴミが落下する可能性が高まる。（４）液晶パネルを搬送経路の少なくともどこかで水平面に対して傾斜させれば、搬送途中でゴミが落下する可能性が高まる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図１は本発明の液晶パネル検査装置の一実施例の全体像の概略を示す斜視図である。この検査装置は、一対の透明なガラス基板の間に液晶層を挟んだ液晶パネルの欠陥を検査するためものである。検査対象の液晶パネルは偏光板を備えていないものである。この検査装置は第１検査部１０と第２検査部１２とそれらの間の搬送系を備えている。この検査装置における液晶パネル１４の動きを説明する。第１検査部１０において第１撮像装置３２で第１画像が撮影された液晶パネル１４は、搬送動作１６により第１回転テーブル１８に搬送される。第１回転テーブル１８で液晶パネル１４は水平面内で９０度回転させられてから、搬送動作２０によりロボット搬送部（図示せず）に受け渡される。ロボット搬送部は搬送系と収容カセット２３との間で液晶パネル１４を受け渡す働きをするものである。液晶パネル１４はロボット搬送部の搬送動作２２により第２回転テーブル２４に搬送される。第２回転テーブル２４に受け渡された液晶パネル１４は、ローラコンベア（図示せず）による搬送動作２６と、この搬送動作２６に垂直な方向への搬送動作２８により、傾斜装置（その傾斜動作を符号２９で示す）のところまで来る。液晶パネル１４は傾斜装置により水平面に対して傾斜させられる。傾斜姿勢になった液晶パネル１４は搬送動作３０により第２検査部１２に搬送される。第２検査部１２では第２撮像装置３４により液晶パネル１４の第２画像が撮影される。
【００１８】
図２は第１検査部の概略を示す正面断面図である。この第１検査部は第１検査ステージ３６を備えていて、この第１検査ステージ３６に液晶パネル１４を載せることができる。液晶パネル１４の下方には第１照明装置３８が配置されている。液晶パネル１４と第１照明装置３８の間には第１拡散板４０と第１の照明側偏光板４２が配置されている。第１の照明側偏光板４２は第１拡散板４０の上にある。液晶パネル１４の上方には第１撮像装置３２が配置されている。液晶パネル１４と第１撮像装置３２の間には第１の撮像側偏光板４４が配置されている。この実施例では，液晶パネル１４を二つの偏光板４２，４４で挟んだ構造によって、液晶パネルに電圧を印加しない状態（非点灯状態）において黒画面の状態になる。この「黒画面の状態」とは、背面側の照明装置からの光が，液晶パネルを二つの偏光板で挟んだ構造によって遮断されて、撮像装置に黒い画面として映る状態をいう。このような黒画面の状態になるように、液晶パネルの液晶層と二つの偏光板との間で所定の光学的な関係が設定されている。液晶パネルを非点灯状態にして、第１照明装置３８を用いて液晶パネル１４を下方から照明して、第１撮像装置３２で液晶パネル１４を撮影すると、その黒い画面上に、液晶パネルの欠陥または液晶パネルに付着したゴミが輝点として現れる。もしも液晶パネルに欠陥が無く、かつ、表面にゴミが付着していなければ、画面上には輝点は現れない。
【００１９】
第１撮像装置３２の出力は画像処理部４６で所定の閾値で２値化処理されて、輝点の有無と輝点の位置とが記録される。第１の画像処理部４６の処理結果は第１の表示部４８で表示することができる。
【００２０】
図３は第２検査部の概略を示す側面断面図である。この第２検査部は第２検査ステージ５０を備えていて、この第２検査ステージ５０に液晶パネル１４を載せることができる。第２検査ステージ５０の液晶パネル搭載面５２は水平面に対して角度θをなすように傾斜している。角度θは例えば約７０度である。この第２検査部は、液晶パネルを非点灯状態にしての欠陥検査のほかに、液晶パネルを点灯状態にしての画質検査が可能である。第２検査ステージ５０が傾斜しているので、作業者は液晶パネルの目視がしやすくなる。この第２検査部は、画質検査のために、液晶パネルに電圧を印加するためのプローブ装置６６も備えている。
【００２１】
液晶パネル１４の右側下方には第２照明装置５４が配置されている。液晶パネル１４と第２照明装置５４の間には第２拡散板５６と第２の照明側偏光板５８が配置されている。第２の照明側偏光板５８は第２拡散板５６の上にある。液晶パネル１４の左側上方には第２撮像装置３４が配置されている。液晶パネル１４と第２撮像装置３４の間には第２の撮像側偏光板６０が配置されている。第１検査部と同様に，液晶パネル１４を二つの偏光板５８，６０で挟んだ構造によって、液晶パネルに電圧を印加しない状態（非点灯状態）では黒画面の状態になる。すなわち、そのような黒画面の状態になるように、液晶パネルの液晶層と二つの偏光板との間で所定の光学的な関係が設定されている。液晶パネル１４を非点灯状態にして、第２照明装置３４を用いて液晶パネル１４を右側下方から照明して、第２撮像装置３４で液晶パネル１４を撮影すると、その画面上に、液晶パネルの欠陥または液晶パネルに付着したゴミが輝点として現れる。第２撮像装置３４は、第１検査部での第１画像装置と同様に、第２の画像処理部６８に接続され、第２の画像処理部６８は第２の表示部７０に接続されている。
【００２２】
図４は空気吹き付け装置を設置した状態の第２検査部の要部の斜視図である。上述の図３では空気吹き付け装置の図示は省略していたものである。図４において、液晶パネル１４の二つの長辺に沿って、その斜め上方に、二つの空気吹き付け機構７２が配置されている。斜め下方にも同様の二つの空気吹き付け機構（図示せず）が配置されている。これらの空気吹き付け機構７２が本発明における気体吹き付け装置に相当する。図４において、プローブ装置に付属する複数のプローブユニット８２が簡略的に示されている。これらのプローブユニット８２は、液晶パネル１４のひとつの長辺８４とひとつの短辺８６とに沿って並んでいる。
【００２３】
図６は空気吹き付け機構７２の斜視図である。この空気吹き付け機構７２は細長い本体７４を備えている。本体７４の長さは液晶パネルの長辺よりも長くなっている。この本体７４のひとつの面に多数の開口７６が形成されている。本体７４の端面には空気導入パイプ７８が接続されていて、この空気導入パイプに高圧空気を導入すると、開口７６から空気が吹き出すようになっている。なお、図示はしていないが、この空気吹き付け機構にはイオナイザが付属しており、イオン化された空気を液晶パネルに吹き付けることができる。
【００２４】
図４に戻って、水平面に対して角度θで傾斜した姿勢にある液晶パネル１４に対して、合計四つの空気吹き付け機構７２から空気８０を液晶パネル１４の表側の表面と裏側の表面に吹き付けることができる。これにより、液晶パネル１４の表面に付着しているゴミを吹き飛ばすことができる。液晶パネル１４が傾斜しているので、空気の流れによってゴミが液晶パネルから離れると、そのゴミは液晶パネルに再付着しにくい。
【００２５】
図５は第２検査部における空気吹き付け装置を横から見た側面図である。四つの空気吹き付け機構７２から空気８０が傾斜姿勢の液晶パネル１４に吹き付けられる様子が示されている。
【００２６】
次に、この検査装置の動作を説明する。図２の第１検査部において、第１撮像装置３２により液晶パネル１４の第１画像を取得する。その第１画像は、例えば、図７（Ａ）に示すように、黒い画面（図中のハッチング８７で黒い画面を代表している）の中に、３個の輝点８８，９０，９２が現れる。２値化処理した画像においては、輝点を「１」とし、輝点のないところを「０」としている。輝点は、液晶パネルの欠陥（例えば、２枚のガラス基板に挟まれた異物）に起因するものか、または、液晶パネルの表面に付着したゴミに起因するものである。図１において、この液晶パネル１４は搬送動作１６，２０，２２，２６，２８を経由して傾斜装置のところまでやってくる。液晶パネル１４は傾斜装置によって水平面に対して角度θだけ傾斜させられる。この角度θは、第２検査部１２の第２検査ステージの傾斜角度に等しい。このように傾斜姿勢にされた液晶パネル１４は搬送動作３０により第２検査部１２の第２検査ステージにセットされる。これらの一連の搬送動作に伴って、振動等により、液晶パネルの表面に付着していたゴミが落下する可能性がある。また、搬送途中で液晶パネルが傾斜姿勢になるので、ゴミはさらに落下しやすくなる。そして、第２検査部１２において、空気吹き付け装置を用いて傾斜姿勢の液晶パネルの表面に空気を吹き付けることで、液晶パネルの表面から滑り落ちずに残っていたゴミも吹き飛ばされる。
【００２７】
その後、第２検査部１２で第２画像を取得すると、例えば、図７（Ｂ）に示すように、黒い画面の中に、２個の輝点９２，９４が現れる。輝点９２は、図７（Ａ）の第１画像にも現れていたものである。図７（Ａ）の第１画像中に現れていた輝点８８，９０は、図７（Ｂ）の第２画像からは消えている。輝点８８，９０は液晶パネルの表面に付着していたゴミに起因するものと考えられ、これらのゴミは、液晶パネルの搬送により、または、液晶パネルへの空気の吹き付けにより、液晶パネルの表面から消えたものである。図７（Ｂ）の第２画像中には、新たな輝点９４が現れているが、これは、図７（Ａ）の第１画像中には無かったものであり、新たに液晶パネルの表面にゴミが付着したことを想定している。ただし、本発明の検査装置では、新たなゴミが付着する可能性はかなり低いものである。
【００２８】
図７（Ｂ）の第２画像を取得したら、図７（Ａ）の第１画像と図７（Ｂ）の第２画像とを比較する。具体的には、第１画像と第２画像の間で、各画素ごとに（すなわち、液晶パネルの同じ地点ごとに）、２値データのＡＮＤ演算を行う。これにより、図７（Ｃ）に示すように、第１画像と第２画像の両方で輝点となっている地点（輝点位置が共通する地点）だけが輝点９２として残る。第１画像と第２画像のどちらか一方の画像だけに現れている輝点８８，９０，９４は、液晶パネルの表面に付着したゴミに起因するものであり、ＡＮＤ演算により除かれる。
【００２９】
以上の処理により、液晶パネルの欠陥だけを抽出することができる。このようにして見つかった「欠陥のある液晶パネル」は、実際には、排除しきれない表面ゴミに起因しているもの（これは正常品である）も混じっている可能性があるが、それでも、本発明の検査装置を用いることで、本来は良品であるものを不良品であると判断する確率は格段に低くなる。
【００３０】
図８は液晶パネルに欠陥が無い場合の画像例である。図８（Ａ）は第１画像であり、輝点８８，９０が現れている。図８（Ｂ）は第２画像であり、輝点９４が現れている。図８（Ｃ）は第１画像と第２画像をＡＮＤ演算した画像である。輝点は見当たらない。この場合は、液晶パネルに欠陥は存在しない、と判定する。
【００３１】
図９は本発明の実施例における液晶パネル検査方法の手順を示すフローチャートである。これまでに説明してきた動作を簡潔にまとめている。これを説明すると、液晶パネルの第１画像を取得し（ステップＳ１）、液晶パネルが搬送経路の少なくともどこかで水平面に対して傾斜するように液晶パネルを搬送し（ステップＳ２）、傾斜姿勢の液晶パネルに空気を吹き付けて（ステップＳ３）、液晶パネルの第２画像を取得し（ステップＳ４）、第１画像と第２画像を比較する（ステップＳ５）ものである。第１画像の取得動作は図２に示す第１検査部で実施する。傾斜姿勢を含む状態での搬送動作は、図１の搬送動作１６，２０，２２，２６，２８，３０によって実施する。このうち、傾斜装置から第２検査部への搬送動作３０では、液晶パネルが傾斜した状態で搬送される。傾斜姿勢での空気の吹き付け動作は、図４に示す空気吹き付け機構７２を用いて実施する。第２画像の取得動作は図３に示す第２検査部で実施する。第１画像と第２画像の比較動作（画像間のＡＮＤ演算）は検査装置に付属するコンピュータが実施する。
【００３２】
本発明は上述の実施例に限定されず、次のような変更が可能である。
（１）上述の実施例は、第２検査部が傾斜していて、第２検査部では液晶パネルが水平面に対して傾斜しているが、第２検査部を第１検査部と同様に水平にすることもできる。この場合、液晶パネルは第１検査部から第２検査部への搬送段階において水平状態を保ったままである。このような搬送形態でも、搬送に伴う振動等によって液晶パネルの表面（特に、下を向いた裏側の表面）に付着していたゴミが落下する可能性があり、本発明の効果を奏することができる。
（２）不良の誤認率が多少増加することを覚悟すれば、空気吹き付け機構を省略することができる。その場合は、液晶パネルを搬送することにより液晶パネルの表面に付着したゴミが落下する、という効果だけが期待できる。
（３）上述の実施例では「黒画面の状態」を得るのに液晶パネルを非点灯状態にしているが、第１検査部または第２検査部において、あるいはその両方の検査部において、液晶パネルを点灯状態にして黒画面を得てもよい。黒画面が得られれば、液晶パネルと偏光板からなる光学系がどのようなものであっても構わないし、また、液晶パネルにどのような電気信号を印加しても構わない。
（４）上述の実施例では、液晶パネルに吹き付ける気体として空気を用いているが、乾燥窒素ガスなどのその他の気体を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の液晶パネル検査装置の一実施例の全体像の概略を示す斜視図である。
【図２】第１検査部の概略を示す正面断面図である。
【図３】第２検査部の概略を示す側面断面図である。
【図４】空気吹き付け装置を設置した状態の第２検査部の要部の斜視図である。
【図５】第２検査部における空気吹き付け装置を横から見た側面図である。
【図６】空気吹き付け機構の斜視図である。
【図７】画像例である。
【図８】別の画像例である。
【図９】本発明の液晶パネル検査方法の手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３４】
１０  第１検査部
１２  第２検査部
１４  液晶パネル
１６，２０，２２，２６，２８，３０  搬送動作
３２  第１撮像装置
３４  第２撮像装置
３６  第１検査ステージ
３８  第１照明装置
４０  第１拡散板
４２  第１の照明側偏光板
４４  第１の撮像側偏光板
４６  第１の画像処理部
４８  第１表示部
５０  第２検査ステージ
５２  液晶パネル搭載面
５４  第２照明装置
５６  第２拡散板
５８  第２の照明側偏光板
６０  第２の撮像側偏光板
６２  第２の画像処理部
６４  第２表示部
６８  第２の画像処理部
７０  第２表示部
７２  空気吹き付け機構
８０  空気
８８，９０  ゴミによる輝点
９２  欠陥による輝点
９４  新たなゴミによる輝点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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