(57)【要約】【課題】ＴＣＰテープを並列に複数配列して試験を行うことにより試験効率の向上を実現したＴＣＰ用ハンドラを提供する。【解決手段】ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００は、スプロケット１０４により長手方向に対して並列に複数配列されたＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを順々に搬送し、各テープ１０３間で互いに並列に並んだそれぞれのＤＵＴ１０３ａに対して同時に試験を行う。このため、１列のＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを順々に搬送して試験を行う場合と比較して、その搬送距離を同じとしても同時に試験を行う個数が増加し、その結果、試験効率を大幅に向上することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験対象が長手方向に配列されたテープ材をその長手方向に対して並列に複数配列した状態で、これら複数のテープ材を共に長手方向に繰り出しながら所定個数分の被試験対象の長さずつ順々に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による搬送に伴い、前記複数配列されたテープ材とともに被試験対象が所定位置に到達する毎に、各テープ材につき所定個数ずつ被試験対象を試験する試験手段とを備えたことを特徴とするテストハンドラ装置。
【請求項２】
テープ材の長手方向及び幅方向にそれぞれ配列して設けられた複数の被試験対象を前記テープ材とともにその長手方向に繰り出し、所定個数分の被試験対象の長さずつ順々に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による搬送に伴い、前記テープ材とともに被試験対象が所定位置に到達する毎に所定個数ずつ被試験対象を試験する試験手段とを備えたことを特徴とするテストハンドラ装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のテストハンドラ装置において、
前記搬送手段は、
前記テープ材が巻き取られたリールを複数に重ね合わせて保持する保持機構と、
前記保持機構に保持された複数のリールからそれぞれ前記テープ材を繰り出し、これら複数の前記テープ材を共に所定位置を通じて長手方向に搬送する搬送機構とを有することを特徴とするテストハンドラ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メモリデバイスやＩＣデバイス等の半導体デバイスが複数配列されたＴＣＰ／ＣＯＦ等のテープ材を、順々に搬送して試験を行うテストハンドラ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、メモリデバイスやＩＣデバイス等の半導体デバイスである被試験対象（以下、ＤＵＴと称する。）が１列に並んで設けられたＴＣＰ（Tape Carrier Package）／ＣＯＦ（Chip On Film）テープに対して試験を行うテストハンドラ装置では、テープの長手方向の側辺に沿って一定間隔で開けられたスプロケット孔に噛み合ったスプロケットが回転することにより、長手方向に各ＤＵＴの長さ分ずつテープとともにＤＵＴを順々に搬送している。この順々に搬送されたＤＵＴは、所定位置でテープに対向して設けられたＩＣテスタにより個々に試験される。
【０００３】
以下の特許文献１に記載されたテストハンドラ装置では、ＴＣＰ／ＣＯＦテープを長手方向に順次間欠走行させ、ＴＣＰテープが停止した状態において走行経路の途中に設けられた測定部をテープの表面に直行する方向に移動させることにより、各ＤＵＴをテスタ本体に接続されたプローブカードに順次接続して試験を行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００３−２８７５６０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の特許文献１に記載されたテストハンドラ装置では、テープをＤＵＴ１個分ずつ間欠送りし、測定部に対向する位置で１個ずつ試験を行っている。このため、例えばテープ上に数千個程度のＤＵＴが配列されている場合、これらに対して１個ずつ試験を行っていくと、全てのＤＵＴの試験が終了するまでに膨大な時間がかかる。
【０００５】
この点、テストヘッドを多ピン化することで、例えば長手方向に隣接する２個分のＤＵＴを同時に試験することも可能である。ただし、この場合はテープをＤＵＴの２個分ずつ順次間欠送りするだけであり、１個分ずつ間欠送りする場合と比較して単純に２倍の距離を搬送しているだけであるから、時間あたりのスループット（試験を実行できる個数）をそれほど大きく向上させることはできない。
【０００６】
そこで本発明は、試験効率の向上を実現したテストハンドラ装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上のような課題を達成するために、本発明に係るテストハンドラ装置は、複数の被試験対象が長手方向に配列されたテープ材をその長手方向に対して並列に複数配列した状態で、これら複数のテープ材を共に長手方向に繰り出しながら所定個数分の被試験対象の長さずつ順々に搬送する搬送手段と、前記搬送手段による搬送に伴い、前記複数配列されたテープ材とともに被試験対象が所定位置に到達する毎に、各テープ材につき所定個数ずつ被試験対象を試験する試験手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
このような構成により、搬送手段により所定個数分の被試験対象の長さを順々に搬送移動させて、複数配列されたテープ材上に並列に並んだそれぞれの被試験対象に対して試験を行うことができる。なお所定個数は、１個以上の任意の個数とすることができる。例えば搬送時の距離を最小の１個分としても、並列に並んだテープ材上の隣接する複数個分の被試験対象に対して同時に試験を行うことができるので、従来と比較して単位時間あたりのスループットが増加（ｎ列でｎ倍）し、大幅な時間短縮を図って試験効率の向上を実現することができる。
【０００９】
また、本発明に係る他のテストハンドラ装置は、テープ材の長手方向及び幅方向にそれぞれ配列して設けられた複数の被試験対象を前記テープ材とともにその長手方向に繰り出し、所定個数分の被試験対象の長さずつ順々に搬送する搬送手段と、前記搬送手段による搬送に伴い、前記テープ材とともに被試験対象が所定位置に到達する毎に所定個数ずつ被試験対象を試験する試験手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
上記の構成であれば、搬送手段により所定個数分の被試験対象の長さだけ順々にテープ材を搬送しつつ、その幅方向に並んだ複数の被試験対象に対して同時に試験を行うことができる。例えば搬送時の距離を最小の１個分としても、並列に並んだ複数個分の被試験対象に対して同時に試験を行うことができるので、従来と比較して単位時間あたりのスループットが増加（幅方向にｎ個の被試験対象を並べた場合はｎ倍）し、大幅な時間短縮を図って試験効率の向上を実現することができる。
【００１１】
また本発明のテストハンドラ装置において、前記搬送手段は、前記テープ材が巻き取られたリールを複数に重ね合わせて保持する保持機構と、前記保持機構に保持された複数のリールからそれぞれ前記テープ材を繰り出し、これら複数の前記テープ材を共に所定位置を通じて長手方向に搬送する搬送機構とを有するものであってもよい。
【００１２】
この種のテストハンドラ装置では、長尺なテープ材を小さいスペースに効率よく収容し、そのハンドリングを容易にするため、テープ材をリールに巻き取っておく手法が一般的である。この場合、テープ材はリールから繰り出されて長手方向に搬送されるが、このときリールを複数に重ね合わせて保持することで、複数本のテープ材を並列に並べた状態で同時に搬送することが可能になる。なお、リール１巻あたりのテープ材には、被試験対象が１列で配列されている場合のみならず、複数列に配列されている場合も含まれる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るテストハンドラ装置によれば、テープ材の搬送距離が同じであっても、並行するテープ材の本数や、テープ材１本あたりの幅方向でみた被試験対象の配列数に比例して容易に試験効率の向上を実現できるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
〔第１の実施の形態〕
以下、本発明の一実施形態（第１の実施の形態とする）について図面を用いて詳細に説明する。
【００１５】
図１は、第１の実施の形態におけるＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００の全体構成を示す説明図である。特に図１中（Ａ）はＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００の概要を示し、また図１１中（Ｂ）は、互いに並行して搬送されるＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３の様子を概略的に示すものである。
【００１６】
ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００は、供給リール１０１から長尺なＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を繰り出し、これをＩＣテスタ１０６に向けて搬送することができる。供給リール１０１には、複数の被試験対象（以下、ＤＵＴと称する。）１０３ａが１列に配列されたＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３が巻き取られている。なおＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３は、ここで扱う試験工程よりも先の製造工程を通じて製造されている。
【００１７】
ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００には、複数巻（ここでは２巻）の供給リール１０１が前後方向に重ね合わせるようにして保持されている。ここで図２は、図１中のＩＩ−ＩＩ線に沿う供給リール１０１の保持機構の部分を示す断面図である。図２に示されているように、供給リール１０１は軸受け１０１ａから水平方向に延びた軸１０１ｂに通されており、この軸１０１ｂに沿って前後方向に重ね合わせるようにして保持されている。各供給リール１０１の周方向にＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３が巻き取られているので、図示のように２巻の供給リール１０１が前後に並んだ状態では、２本のＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３がその長手方向に対して並列に配列されることになる。
【００１８】
また、各供給リール１０１は固定部１０１ｃにより軸１０１ｂに通された位置で固定され、各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａは、隣り合うＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３間で互いに並列方向に並ぶような位置関係にある。この状態でＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００は、スプロケット１０４の回転に伴って各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を共に長手方向へ順次繰り出して搬送する。
【００１９】
またＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００は、供給リール１０１と組になる収容リール１０２を備えている。収容リール１０２は、ＩＣテスタ１０６によって試験が行われた後、スプロケット１０４により搬送される各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を巻き取って収容する。特に図示していないが、収容リール１０２についても供給リール１０１と同様の保持機構によって保持されている。
【００２０】
ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３は、例えば、３５ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍ等の所定幅のフィルムを用いたテープ材に複数のＤＵＴ１０３ａが配列されたものとして構成されている。各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３には、長手方向の側辺に沿って一定間隔でスプロケット孔１０３ｂが開けられている。
【００２１】
ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００はスプロケット１０４を備えており、このスプロケット１０４は、供給リール１０１から供給された複数のＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を共に長手方向にＤＵＴ１０３ａの１個分の長さずつ順々に繰り出して同時に搬送する。なおスプロケット１０４は、ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３の搬送経路上でみて、コンタクトプッシャ１０５を挟んだ前後の２箇所に配置されている。各スプロケット１０４は、円筒状の周面に形成された突起（歯）がスプロケット孔１０３ｂに噛み合って、図１中（Ｂ）に示すように、各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを互いに並んだ状態に保持したまま同時に搬送する機能を有する。
【００２２】
またスプロケット１０４は、各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３をＤＵＴ１０３ａの１個分の長さ毎に順々に搬送しつつ、図３に示すように、コンタクトプッシャ１０５より下方の所定位置（テスト位置）にＤＵＴ１０３ａを一旦停止させるように間欠的な動作を行う。
【００２３】
コンタクトプッシャ１０５は、その下向の位置で一旦停止されたＤＵＴ１０３ａをＩＣテスタ１０６に対して相対的に位置決めし、さらにＤＵＴ１０３ａをＩＣテスタ１０６に押し付ける動作を行う。ＩＣテスタ１０６には、各ＤＵＴ１０３ａの配線パターンに合わせてコンタクトプローブが設けられており、コンタクトプッシャ１０５による押し付けに伴い、各ＤＵＴ１０３ａの配線パターンがそれぞれ対応するコンタクトプローブと接触し、試験可能な状態になる。
【００２４】
続いて、第１の実施の形態におけるＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００の動作について説明する。上記のようにスプロケット１０４の動作に伴い、各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａは互いに並んだ状態を保ったまま同時に搬送され、コンタクトプッシャ１０５より下方のテスト位置に決まった個数ずつ順々に停止する。
【００２５】
ＤＵＴ１０３ａが停止する毎に、図示しない画像処理装置によりテスト位置のＤＵＴ１０３ａを撮像した画像に基づく位置調整が行われ、コンタクトプローブに相対する位置決めが行われる。この状態でコンタクトプッシャ１０５は、並列に並んだＤＵＴ１０３ａを同時に下方に押し付け、ＩＣテスタ１０６に接続させる。ＩＣテスタ１０６は、並列に並んだ複数のＤＵＴ１０３ａに対して同時に試験信号の出力や出力信号の比較、判定等の処理を行って試験を実行する。
【００２６】
このように、第１の実施の形態におけるＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ１００では、スプロケット１０４により長手方向に対して並列に複数配列されたＴＣＰテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを順々に搬送させ、各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３間で互いに並列に並んだそれぞれのＤＵＴ１０３ａに対して同時に試験を行う。このため、１列のＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを順々に搬送して試験を行っていた従来技術と比較して、搬送時の距離をＤＵＴ１０３ａの１個分の長さとしながらも、そのスループットを２倍に増加させることができ、それによって試験時間全体を大幅に短縮して試験効率の向上を実現することができる。
【００２７】
図４は、スプロケット１０４により搬送を開始した時点から試験が終了してコンタクトプッシャ１０５が下方への押し付けを解除する時点までの１回分の試験時間を一例として示した図である。１列のＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３をＤＵＴ１０３ａの１個分の長さ毎に順々に搬送していた従来技術においては、ＩＣテスタ１０６がテストを実行する時間を除いた１回分の試験時間を０．９ｓとすると、４０００個のＤＵＴ１０３ａに対して試験を行う全体の試験時間は３６００ｓとなっていたが、第１の実施の形態におけるＴＣＰ用ハンドラ１００では、１回分で試験を行う個数が並列に２個となり、同じ４０００個に対して必要な試験時間は１８００ｓとなる。したがって、従来のように１列で４０００個を試験した場合に要する３６００ｓでは、単純に２倍の８０００個のスループットを実現できることになる。
【００２８】
なお、単に１回あたりの搬送距離を２倍にして、１列のＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３をＤＵＴ１０３ａの２個分の長さ毎に順々に搬送して試験を行った場合は、全体の試験時間は２０００ｓに縮まるものの、第１の実施の形態に比較するとスループットの向上は小さい。
【００２９】
なお上述の実施の形態においては、スプロケット１０４により各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを１個分の長さ毎に順々に搬送させて試験を行ったが、各ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３上のＤＵＴ１０３ａを２個分又は３個分以上の長さ毎に順々に搬送して試験を行っても良い。この場合、より一層時間が短縮され、さらなる試験効率の向上を実現することができる。
【００３０】
また、上述の実施の形態において、ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３はその長手方向に対して並列に３列以上配列されていても良い。
【００３１】
〔第２の実施の形態〕
次に第２の実施の形態について説明する。上述した第１の実施の形態において、複数のＤＵＴ１０３ａが長手方向に１列に配列されたＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を２本並列に配列して供給リール１０１に巻回して試験を行ったが、第２の実施の形態では、図５に示すように、予めＤＵＴ１０３ａが長手方向及び幅方向にそれぞれ２列（又はそれより多く）配列されたＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を供給リール１０１に巻回して試験を行う。
【００３２】
この場合も、ＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３で互いに並列に並んだそれぞれのＤＵＴ１０３ａに対して同時に試験を行い、搬送距離をＤＵＴ１０３ａの１個分の長さとしながらスループットを２倍に増加させることができ、それによって試験時間全体を大幅に短縮して試験効率の向上を実現することができる。
【００３３】
さらに第２の実施の形態で挙げたＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３について、これを並列に複数本並べて搬送することにより、１回の試験でより多数のＤＵＴ１０３ａを試験することができ、さらなるスループットの向上を図ることができる。
【００３４】
第１及び第２の実施の形態では、ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラを一例として、試験で取り扱う対象にＴＣＰ／ＣＯＦテープ１０３を挙げているが、これら以外にも、何らかの長尺なテープ材に複数のＤＵＴが配列されているものであれば、全て本発明のテストハンドラ装置の取り扱い対象とすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】第１実施形態のＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラの構成を示す説明図である。
【図２】図１中、ＩＩ−ＩＩ線に沿うリール保持機構の部分的な断面図である。
【図３】ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラのコンタクトプッシャ周辺の構成を示す説明図である。
【図４】ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラのテスト１回分の試験時間を示す説明図である。
【図５】第２の実施形態についてＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラのコンタクトプッシャ周辺の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１００    ＴＣＰ／ＣＯＦ用ハンドラ
１０１    供給リール（搬送手段）
１０２    収容リール（搬送手段）
１０３    ＴＣＰ／ＣＯＦテープ（テープ材）
１０３ａ  ＤＵＴ（被試験対象）
１０４    スプロケット（搬送手段）
１０５    コンタクトプッシャ（試験手段）
１０６    ＩＣテスタ（試験手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008134075.tif 000006
【図５】
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