(57)【要約】      （修正有）【課題】  接合部の強度に優れ、空孔による悪影響が実質的に存在しない良好な接合状態を有する接合部を有する管状体を提供する。【解決手段】  管状部材（Ａ）と管状部材（Ｂ）とが接合した接合部を有する管状体であって、上記（Ａ）と上記（Ｂ）の少なくとも一方が、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管であり、上記積層管を構成する少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなり、上記管状体は、各層の厚みが式（１）〜（３）（１）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｉ２（２）  Ｔｏ１  ＜  Ｔｏ２（３）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｏ１（各式中、Ｔｉ１は、上記（Ａ）と上記（Ｂ）との接合面における最内層の厚みを表し、Ｔｉ２は、上記接合部以外の部分における最内層の厚みを表し、Ｔｏ１は、上記接合面における最内層以外の層の厚みの合計を表し、Ｔｏ２は、上記接合部以外の部分における最内層以外の層の厚みの合計を表す。）で表される関係を有する管状体。【選択図】  図１
2008014324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状部材（Ａ）と管状部材（Ｂ）とが接合した接合部を有する管状体であって、
前記管状部材（Ａ）と前記管状部材（Ｂ）の少なくとも一方が、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管であり、前記積層管を構成する少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなり、
前記管状体は、各層の厚みが式（１）〜（３）
（１）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｉ２
（２）  Ｔｏ１  ＜  Ｔｏ２
（３）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｏ１
（各式中、Ｔｉ１は、前記管状部材（Ａ）と前記管状部材（Ｂ）との接合面における最内層の厚みを表し、Ｔｉ２は、前記接合部以外の部分における最内層の厚みを表し、Ｔｏ１は、前記接合面における最内層以外の層の厚みの合計を表し、Ｔｏ２は、前記接合部以外の部分における最内層以外の層の厚みの合計を表す。）で表される関係を有するものである
ことを特徴とする管状体。
【請求項２】
接合部は、管内側の高さＴｂが式（４）で表される関係を有する請求項１記載の管状体。
（４）  −０．３×Ｔｔ２  ≦  Ｔｂ  ＜  ０．７  ×Ｔｔ２  
（式中、Ｔｔ２は、管状部材の接合部以外の部分における肉厚を表し、正の符号は管内側にビードが形成されていることを表し、負の符号は管内側にノッチが形成されていることを表す。）
【請求項３】
管状体は、各層の厚みが式（５）で表される関係を有するものである請求項１又は２記載の管状体。
（５）  ０  ≦  Ｔｏ１  ＜  ０．２  ×Ｔｉ１  
（式中、Ｔｏ１及びＴｉ１は、前記定義と同じ。）
【請求項４】
接合部は、Ｔｏ３＝０（Ｔｏ３は、接合部における外層厚みを表す。）である部分の面積が接合部の管外側表面の面積の３０％未満である請求項１、２又は３記載の管状体。
【請求項５】
管状部材（Ａ）及び管状部材（Ｂ）の両方が、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管である請求項１、２、３又は４記載の管状体。
【請求項６】
管状部材（Ａ）及び管状部材（Ｂ）は、一方が積層管であり、他方が溶融加工性含フッ素樹脂からなる単層管である請求項１、２、３又は４記載の管状体。
【請求項７】
単層管は、テトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体からなるものである請求項６記載の管状体。
【請求項８】
積層管は、最内層における溶融加工性樹脂と前記最内層上に設けられた層における溶融加工性樹脂との融点の差が１５℃以上であるものである請求項１、２、３、４、５、６又は７記載の管状体。
【請求項９】
積層管は、最内層における溶融加工性樹脂と前記最内層上に設けられた層における溶融加工性樹脂との融点の差が４０℃以上、８０℃未満であるものである請求項８記載の管状体。
【請求項１０】
積層管は、内層がテトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体であり、外層がクロロトリフルオロエチレン共重合体である２層からなるものである請求項１、２、３、４、５、６、７、８又は９記載の管状体。
【請求項１１】
２つの管状部材の各端面を加熱溶融させた後に溶着することよりなる管状部材の接合方法であって、
前記管状部材は、少なくとも一方が溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管であり、前記積層管を構成する少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなり、
前記積層管の端面は、前記加熱溶融を行う前に予め外周部の面取りを行ったものである
ことを特徴とする管状部材の接合方法。
【請求項１２】
積層管の端面は、更に内周部の面取りを行ったものである請求項１１記載の管状部材の接合方法。
【請求項１３】
２つの管状部材は、いずれも積層管である請求項１１又は１２記載の管状部材の接合方法。
【請求項１４】
２つの管状部材は、一方が積層管であり、他方が溶融加工性樹脂からなる単層管である請求項１１又は１２記載の管状部材の接合方法。
【請求項１５】
積層管は、最内層における溶融加工性樹脂と前記最内層上に設けられた層における溶融加工性樹脂との融点の差が１５℃以上であるものである請求項１１、１２、１３又は１４記載の管状部材の接合方法。
【請求項１６】
積層管は、最内層における溶融加工性樹脂と前記最内層上に設けられた層における溶融加工性樹脂との融点の差が４０℃以上、８０℃未満であるものである請求項１５記載の管状部材の接合方法。
【請求項１７】
積層管は、内層がテトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体であり、外層がクロロトリフルオロエチレン共重合体である２層からなるものである請求項１１、１２、１３、１４、１５又は１６記載の管状部材の接合方法。
【請求項１８】
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０記載の管状体を備えている
ことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項１９】
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９又は１０記載の管状体を備えている
ことを特徴とする半導体製造ラインへの薬液供給システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管状体及び管状部材の接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体産業、化学工業分野、食品分野、薬品分野等において、耐薬品性、耐熱性、高いクリーン性を示すので、フッ素樹脂、とりわけテトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体〔ＰＦＡ〕が装置や製造ラインに多く使用されている。
各種装置や製造ラインにおいて、フッ素樹脂等の熱可塑性樹脂成形品を接合する方法として、接合端面を加熱溶融した後に端面同士を所定の圧力で突き合せて溶着し冷却する方法、いわゆる突き合せ溶着方法が知られている。
【０００３】
突き合せ溶着方法としては、樹脂製管状部品を互いに対向させ、その対向する端面をそれぞれ加熱溶融した後、両樹脂製管状部品を相対的に近づけて溶着する方法が開示されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００４】
突き合せ溶着方法においては、溶着部内側のビード発生を抑制する手段として、管端部に沿って外周から内周へ傾斜させるよう形状加工を施し、溶接時に放射熱によって外周から内周へと低下する温度勾配を管端部に生じさせる方法（例えば、特許文献２参照）、端部溶融の際に、押し付け時に溶着部位の内部支持体を膨張させる方法（例えば、特許文献３参照）等が提案されている。
【０００５】
一方、近年、２層の溶融加工性含フッ素樹脂からなる積層管に対してもこのような突き合せ溶着を行うことが求められている。しかし、上述したような公知の方法は、単層構造の管状部材を接合する技術として提案されたものであり、積層管の溶着方法については一切言及されていない。
【特許文献１】特開平８−１６２２６４号公報
【特許文献２】特開平１−１１０１２８号公報
【特許文献３】特開平３−９２３３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、接合部の強度に優れ、空孔による悪影響が実質的に存在しない良好な接合状態を有する接合部を有する管状体、及び、上記管状体を得ることができる管状部材の接合方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、管状部材（Ａ）と管状部材（Ｂ）とが接合した接合部を有する管状体であって、上記管状部材（Ａ）と上記管状部材（Ｂ）の少なくとも一方が、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管であり、上記積層管を構成する少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなり、上記管状体は、各層の厚みが式（１）〜（３）
（１）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｉ２
（２）  Ｔｏ１  ＜  Ｔｏ２
（３）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｏ１
（各式中、Ｔｉ１は、上記管状部材（Ａ）と上記管状部材（Ｂ）との接合面における最内層の厚みを表し、Ｔｉ２は、上記接合部以外の部分における最内層の厚みを表し、Ｔｏ１は、上記接合面における最内層以外の層の厚みの合計を表し、Ｔｏ２は、上記接合部以外の部分における最内層以外の層の厚みの合計を表す。）で表される関係を有するものであることを特徴とする管状体である。
【０００８】
本発明は、２つの管状部材の各端面を加熱溶融させた後に溶着することよりなる管状部材の接合方法であって、上記管状部材は、少なくとも一方が溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管であり、上記積層管を構成する少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなり、上記各端面は、いずれも外周部の面取りを行ったものであることを特徴とする管状部材の接合方法である。
本発明は、上記本発明の管状体を備えていることを特徴とする半導体製造装置である。
本発明は、上記本発明の管状体を備えていることを特徴とする半導体製造ラインへの薬液供給システムである。
以下に本発明を詳細に説明する。
【０００９】
本発明の管状体は、管状部材（Ａ）と管状部材（Ｂ）とが接合した接合部を有するものである。本発明の管状体において、上記管状部材（Ａ）と上記管状部材（Ｂ）の少なくとも一方は、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管である。本発明の管状体は、管状部材（Ａ）及び管状部材（Ｂ）の両方が、上記積層管であるものであってもよいし、一方の管状部材が単層構造であるものであってもよい。上記積層管は、少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなるものである。上記溶融加工性樹脂及び上記溶融加工性樹脂については、後述する。
【００１０】
上記管状体は、各層の厚みが式（１）〜（３）で表される関係を有するものである。
（１）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｉ２
（２）  Ｔｏ１  ＜  Ｔｏ２
（３）  Ｔｉ１  ＞  Ｔｏ１
上記式（１）〜（３）において、Ｔｉ１は接合面における内層の厚みを表し、Ｔｉ２は接合部以外の部分における内層の厚みを表し、Ｔｏ１は接合面における最内層以外の層の厚みの合計を表し、Ｔｏ２は接合部以外の部分における最内層以外の層の厚みの合計を表す。
【００１１】
図１は、管状部材（Ａ）及び管状部材（Ｂ）の両方が積層管である場合の模式図であり、本発明の管状体の接合部の形状を模式的に示したものである。図１中、上記Ｔｉ１、Ｔｉ２、Ｔｏ１、Ｔｏ２の各パラメータが示されている。これらのパラメータは、積層管の接合部近傍を長手方向に切断し、その断面を光学顕微鏡やルーペ等によって観察することによって測定することができる。
【００１２】
本発明において、上記接合面とは、管状部材同士を接合させた時に接する面を意味し、上記接合部（溶着部ということもある。）とは、接合時に加熱融解した管状部材の端部に該当する部分全体を意味し、接合部以外の部分とは、接合時に加熱融解しなかった部分を意味する。なお、上記各厚みは、何れも軸方向に測定した値である。
【００１３】
本発明の管状体における接合部は、接合部以外の部分とは最内層と最内層以外の層の厚みの合計の比が相違しており、最内層の厚みの比が大きいものである。接合によって形成される接合面の空孔は、積層界面と断面が接する部分に主に生じるものであることから、このような積層界面と断面が接する部分をできるだけ積層管の外表面に近い位置のものとすることによって、空孔によって生じる接合部の不良をなくしたものである。
【００１４】
なお、積層管が３層以上である場合は、接合面の空孔は複数個生じうるものであるが、最内層と最内層以外の層の厚みの合計の比を上述した範囲のものとして、最内部の空孔を外表面に近い位置のものとすれば、その他の空孔も必然的に外表面に近いものとなるため、本発明においては上記パラメータを規定したものである。
【００１５】
図１は、理想的な接合状態である場合を表す模式図である。図１においては界面ノッチが表れており、接合部形状が対象軸を有するから、この対称軸が接合面であることが明確である。しかし、現実には使用する管の種類等によっては、非対称である場合もあるため、以下に接合面の判断基準をより具体的に説明する。
【００１６】
まず、断面の光学顕微鏡写真によって接合面が視覚的に明確に認識できる場合はこれによって接合面を判断する（判断基準１）。この場合は、接合面が曲線である場合も考えられるが、曲線に沿って長さを判断すればよい。
【００１７】
光学顕微鏡によって接合部界面が明確に判断できない場合は、以下の基準に基づいて接合面を判断し、これらの基準による接合面についての上記各パラメータを算出する。
【００１８】
まず、断面の光学顕微鏡写真において接合面は認識できないが、界面ノッチが明確に現れる場合がある（例えば、図2に示した接合部パターンＡや図３に示した接合部パターンＢの場合がこれに該当する）。ここで、界面ノッチとは、接合界面上に現れるビード頭部のくぼみのことである。管の内部及び外部の両側に界面ノッチが明確に現れた場合、これらを結んだ線を接合界面とする。（判断基準２）
【００１９】
上記判断基準２において、接合面は、上記接合パターンＡのように管の厚み方向に平行である場合もあれば、上記接合パターンＢのように管の厚み方向に対して斜めである場合もあるが、斜めであっても上記基準に基づいて接合界面を判断する。
【００２０】
接合面が視覚的に認識できず、かつ、内面、外面のうちいずれか一方又は両方において界面ノッチが明確に現れていない場合（例えば、図４に示した管外部に界面ノッチが現れていない場合がこれに該当する）、界面ノッチが現れていない面においては、ビードノッチ間の中間点を上述の界面ノッチとみなし、上記判断基準２と同様に接合面を判断する。なお、ビードノッチとは、接合部のビード両脇にある、ビードが立ち上がる基点のことである。（判断基準３）
【００２１】
本発明においては、上述した判断基準１〜３に基づいて、接合面を判断し、これによってＴｉ１、Ｔｏ１、Ｔｂを測定することができる。例えば、図５に示した接合部パターンＤのようにビードが一方に偏って形成された特殊な接合部パターンを有する場合であっても、内側外側のビードの幅をＬｂｉ、Ｌｂｏと規定して、このビード幅の中心線上でＴｉ１、Ｔｏ１、Ｔｂを測定することができる。すなわち、上記判断基準３に基づいて判断することができる。
【００２２】
また、接合部パターンＡのように、接合部に段差が生じた場合は、いずれの側によってＴｉ１、Ｔｏ１、Ｔｂを判断するかがポイントとなるが、原則としてＴｉ１がより大きい値となる側で測定を行い、Ｔｉ１が同一である場合はＴｏ１の値としてより大きい値を採用する。
【００２３】
更に、以下で説明するＴｂは、段差が生じている場合にはいずれを基準線とするかによって値が異なるが、よりＴｂが大きくなる面を基準面として測定する。
【００２４】
なお、接合部パターンＤ（図５）は、ビードが一方に偏って形成されるものであるが、このような接合部パターンは、異なった種類の管を接合したために管状部材（Ａ）と管状部材（Ｂ）とを構成する樹脂の粘度差が存在する場合に生じるものである。すなわち、積層管と射出成形等によって形成された継ぎ手等の単層管を溶着した場合、継ぎ手等に用いられる原料は一般にチューブ成形用原料に比べてＭＦＲが高く、すなわち粘度が低いので、より粘度の低い原料からなる継ぎ手等の方向にビードが偏ってしまうことによって形成される接合部パターンである。
【００２５】
突合せ接合によって得られた接合部を有する管状体は、図１に示すように、一般に接合部の管外側にビードを有するものである。接合状態によってはノッチを有する場合もある。上記接合部は、管内側はビードやノッチを有さないものであることが好ましく、管内側にビードを有する場合であっても、管内側の高さＴｂが下記式（４）で表される関係を有するものであることが好ましい。上記管内側の高さＴｂが、本範囲内にあれば、流動体移送材として使用しても、流動体の輸送において圧損やマイクロバブル発生等の支障が生じにくい。
（４）  −０．３×Ｔｔ２  ≦  Ｔｂ  ＜  ０．７  ×Ｔｔ２  
上記式（４）中、Ｔｔ２は、上記管状部材の接合部以外の部分における肉厚（即ち、Ｔｔ２＝Ｔｉ２＋Ｔｏ２）を表し、正の符号は管内側にビードが形成されていることを表し、負の符号は管内側にノッチが形成されていることを表す。
上記Ｔｂは、より好ましくは０．５×Ｔｔ２未満、更に好ましくは０．１×Ｔｔ２未満であり、上記範囲内であれば、−０．２×Ｔｔ２以上、更に好ましくは−０．１×Ｔｔ２以上であってもよい。
本明細書において、管内側の高さＴｂとは、接合部以外の部分における管内側表面を長手方向に延長した面から軸方向に測定したときの接合面における管内側の高さを意味する。
【００２６】
本発明の管状体は、各層の厚みが下記式（５）で表される関係を有することが好ましい。
（５）  ０  ≦  Ｔｏ１  ＜  ０．２×Ｔｉ１  
（式中、Ｔｏ１及びＴｉ１は、上記定義と同じ。）
上記各層の厚みが本範囲内にあれば、接合部に空孔がないか存在しても外部表面近傍に存在するため、空孔の影響が小さい。よって、長期間使用時の流動体の漏れや接合部の劣化等の問題が生じない。
【００２７】
上記観点から接合部の形状を限定したものであることから、本発明の管状体は、Ｔｏ１＝０、すなわち、接合部においては外層の厚みが０となっているものであってもよい。この場合は、積層界面と断面とが接する部分が管外側に露出していることから、ビード部の空孔が存在しない点で好ましいものである。
【００２８】
接合面においてＴｏ１＝０である場合、接合部はＴｏ３＝０（Ｔｏ３は、接合部における外層厚みを表す。）である部分の面積が接合部の管外側表面の面積の３０％未満であることが好ましい。Ｔｏ３＝０である部分は、外層が存在しない単層状態であるから、このような部分はできる限り少ないことが望ましく、上記管外側表面の面積の２０％未満、更に好ましくは上記管外側表面の面積の１０％未満であることがより好ましく、理想的には接合面においてのみＴｏ１＝０を満たし、その他の点では実質的にすべての点でＴｏ３＝０を満たさない状態であることが好ましい。
【００２９】
本発明の管状体は、上述のように、管状部材（Ａ）及び／又は管状部材（Ｂ）として、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有し、少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなる積層管を有するものである。ゆえに、上記管状体は、強度、耐薬品性、耐熱性等に優れている。
上記管状体は、更に、積層管を構成する溶融加工性含フッ素樹脂を適宜選択することにより、薬液低透過性とすることもできる。
【００３０】
上記積層管において、その層構成は上述の各層を有するものであれば特に限定されず、例えば、フッ素非含有溶融加工性樹脂からなる層と溶融加工性含フッ素樹脂からなる層との２層構造であってもよいし、フッ素非含有溶融加工性樹脂からなる層を２層有し溶融加工性含フッ素樹脂からなる層１層有する３層構造であってもよいし、フッ素非含有溶融加工性樹脂からなる層を１層有し溶融加工性含フッ素樹脂からなる層２層有する３層構造であってもよい。もちろん、溶融加工性含フッ素樹脂のみからなる積層管であってもよい。
上記積層管は、なかでも、最内層が溶融加工性含フッ素樹脂であるものが好ましい。
【００３１】
上記積層管において、各層の厚みは、接合面が上述の式（１）〜（３）で表される関係を有するものであれば特に限定されず、充分な可視光透過度を発揮する程度に適宜調整することができるが、接合部以外の部分において、管の肉厚（Ｔｔ２）に対する外層厚み比率が５〜５０％であることが好ましい。
上記接合部は、管の肉厚（Ｔｔ２）に対する長手方向長さの比率が、好ましくは０．６〜３．０、より好ましくは１．０〜１．９である。
【００３２】
本発明において、上記溶融加工性樹脂とは溶融加工性を有するポリマーであり、溶融加工性フッ素樹脂もフッ素非含有溶融加工性樹脂も包含するものである。
上記フッ素非含有溶融加工性樹脂としては、特に限定されず、ナイロン樹脂、アラミド樹脂等のポリアミド系樹脂；ポリオレフィン系樹脂；エチレン／ビニルアルコール共重合体からなる樹脂；ポリウレタン樹脂；ポリエステル樹脂；ポリイミド樹脂；ポリアミドイミド樹脂；ポリフェニレンオキサイド樹脂；ポリアセタール樹脂；ポリカーボネート樹脂；アクリル系樹脂；スチレン系樹脂；アクリロニトリル／ブタジエン／スチレン樹脂〔ＡＢＳ〕；塩化ビニル系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン樹脂〔ＰＥＥＫ〕；ポリスルホン樹脂；ポリエーテルスルホン樹脂〔ＰＥＳ〕；ポリエーテルイミド樹脂；ポリフェニレンスルフィド樹脂等が挙げられる。
本明細書において、溶融加工性とは、ＡＳＴＭ  Ｄ−１２３８及びＤ−２１１６に準拠して、結晶化融点より高い温度でメルトフローを測定できるポリマーの特性を意味する。
【００３３】
本発明において、上記溶融加工性含フッ素樹脂とは、溶融加工性を有し炭素原子に結合した水素原子の少なくとも一つがフッ素原子に置換されてなるポリマーである。
【００３４】
上記溶融加工性含フッ素樹脂としては、特に限定されず、例えば、テトラフルオロエチレン〔ＴＦＥ〕共重合体、クロロトリフルオロエチレン〔ＣＴＦＥ〕共重合体、フッ化ビニル重合体、ビニリデンフルオライド重合体等が挙げられるが、なかでも、耐蝕性と加工性の点で、ＴＦＥ共重合体であることが好ましく、ガスバリア性、薬液低透過性等の点で、ＣＴＦＥ共重合体であることが好ましい。
【００３５】
上記ＴＦＥ共重合体は、テトラフルオロエチレン〔ＴＦＥ〕と、ＴＦＥ以外のフルオロオレフィン及び／又はフッ素非含有エチレン性モノマーとを共重合して得られるものである。
【００３６】
上記ＴＦＥ以外のフルオロオレフィンとしては特に限定されず、例えば、ヘキサフルオロプロピレン〔ＨＦＰ〕、パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）〔ＰＡＶＥ〕、
【００３７】
【化１】
2008014324.tif 000003
【００３８】
等のパーフルオロエチレン性モノマー；ビニリデンフルオライド〔ＶｄＦ〕、トリフルオロエチレン、フッ化ビニル、トリフルオロプロピレン、ペンタフルオロプロピレン、テトラフルオロプロピレン、ヘキサフルオロイソブテン等の水素含有フルオロエチレン性モノマー等の塩素含有フルオロエチレン性モノマー等が挙げられる。
上記ＰＡＶＥとしては、得られる樹脂の耐クラック性やコストの面からパーフルオロ（プロピルビニルエーテル）、パーフルオロ（エチルビニルエーテル）、パーフルオロ（メチルビニルエーテル）等を好適に用いることができる。
上記ＴＦＥ以外のフルオロオレフィンは、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３９】
上記フッ素非含有エチレン性モノマーとしては、特に限定されず、例えば、エチレン〔Ｅｔ〕、プロピレン、ブテン、ペンテン等の炭素数２〜１０のα−オレフィンモノマー；メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、ヒドロキシブチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル等のアルキル基が炭素数１〜２０のアルキルビニルエーテル等が挙げられる。
上記フッ素非含有エチレン性モノマーは、１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４０】
上記ＴＦＥ共重合体としては、耐蝕性、耐薬品性に特に優れ、可視光透過度が高い点で、ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体〔ＰＦＡ〕、ＴＦＥ／ＨＦＰ共重合体〔ＦＥＰ〕、Ｅｔ／ＴＦＥ共重合体、又は、ＴＦＥ／ＶｄＦ共重合体であることが好ましく、耐熱性に優れる点で、ＰＦＡであることがより好ましい。
上述のＴＦＥ共重合体は、流動体移送管として使用する場合であっても、内部の流動体を汚染せず、雑菌が繁殖しにくい点で、積層管の内層として好ましく使用することができる。
【００４１】
上記ＣＴＦＥ共重合体は、２元共重合体であってもよいし３元以上の共重合体であってもよく、例えば、２元共重合体としては、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ共重合体、ＣＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体、ＣＴＦＥ／ＶｄＦ共重合体、ＣＴＦＥ／ＨＦＰ共重合体、ＣＴＦＥ／Ｅｔ共重合体等が挙げられ、３元以上の共重合体としては、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ／ＨＦＰ共重合体、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ／ＶｄＦ共重合体、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ／ＰＡＶＥ共重合体、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ／ＨＦＰ／ＰＡＶＥ共重合体、ＣＴＦＥ／ＴＦＥ／ＶｄＦ／ＰＡＶＥ共重合体等が挙げられるが、積層管の外層とする場合、少なくともクロロトリフルオロエチレン単位〔ＣＴＦＥ単位〕、テトラフルオロエチレン単位〔ＴＦＥ単位〕、並びに、ＣＴＦＥ及びＴＦＥと共重合可能な単量体〔α〕に由来する単量体〔α〕単位を構成要素とするものであることが好ましい。
【００４２】
本明細書において、上記「ＣＴＦＥ単位」及び「ＴＦＥ単位」は、ＣＴＦＥ共重合体の分子構造上、それぞれ、ＣＴＦＥに由来する部分〔−ＣＦＣｌ−ＣＦ２−〕、ＴＦＥに由来する部分〔−ＣＦ２−ＣＦ２−〕であり、上記「単量体〔α〕単位」は、同様に、ＣＴＦＥ共重合体の分子構造上、単量体〔α〕が付加してなる部分である。
【００４３】
上記単量体〔α〕としては、ＣＴＦＥ及びＴＦＥと共重合可能な単量体であれば特に限定されず、例えば、国際公開第２００５−１００４２０号パンフレットに記載の単量体が挙げられるが、なかでも、Ｅｔ、ＶｄＦ、ＰＡＶＥ、及び、一般式（Ｉ）ＣＸ３Ｘ４＝ＣＸ１（ＣＦ２）ｎＸ２（式中、Ｘ１、Ｘ３及びＸ４は、同一若しくは異なって、水素原子又はフッ素原子を表し、Ｘ２は、水素原子、フッ素原子又は塩素原子を表し、ｎは、１〜１０の整数を表す。）で表されるビニル単量体が好ましく、ＰＡＶＥがより好ましい。
【００４４】
上記ＣＴＦＥ共重合体は、好ましくは、上記単量体〔α〕単位が０．１〜１０モル％であり、ＣＴＦＥ単位及び上記ＴＦＥ単位が合計で９０〜９９．９モル％である。上記ＣＴＦＥ共重合体は、ＴＦＥを必須単量体とし、上記単量体〔α〕単位を本範囲内とすることにより、耐熱性、成形性、耐ストレスクラック性、ガスバリア性、耐薬品性、液体低透過性を向上することができる。
上記単量体〔α〕がＰＡＶＥである場合、上記単量体〔α〕単位のより好ましい下限は０．５モル％、より好ましい上限は５モル％、更に好ましい上限は３モル％である。
上記ＣＴＦＥ共重合体における各単量体単位の割合は、官能基含有エチレン性単量体単位の種類により１９Ｆ−ＮＭＲ分析、赤外分光光度計〔ＩＲ〕、元素分析、蛍光Ｘ線分析を適宜組み合わせて行うことにより得られる値である。
【００４５】
上記溶融加工性含フッ素樹脂は、耐薬品性の点で、−ＣＯＦ、−ＣＨ２ＯＨ、−ＣＯＮＨ２等の不安定末端が残存していないことが好ましい。
上記溶融加工性含フッ素樹脂は、層間接着性を向上させる目的で、国際公開第２００５−１００４２０号パンフレット記載の官能基含有エチレン性単量体を共単量体として重合したものであってもよい。
【００４６】
上記溶融加工性含フッ素樹脂は、融点が一般に２００〜３８０℃である。
本発明における積層管は、この融点範囲において、上記最内層における溶融加工性樹脂と上記最内層上に設けられた層における溶融加工性樹脂との融点の差が１５℃以上であるものであってもよいし、上記融点の差が４０℃以上、８０℃未満であるものであってもよい。
従来、本融点範囲のような各層の融点差が大きい積層管は、接合時に端部に加熱すると、融解状態が不均一になり接合部の肉厚を均一に保てない問題や、得られる管状体の接合部に空孔等の不良が生じる問題があったが、本発明の管状体は、融点差が大きい積層管を接合した接合部を有するものであるにも関わらず、これらの問題がない。
本明細書において、上記融点は、示差走査熱測定計（機器名ＲＤＣ２２０、セイコー電子社製）を用いて、昇温速度１０℃／分で昇温させたときに得られる融解熱曲線のピーク温度として求めたものである。
【００４７】
本発明において、積層管は、上述の溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有するものであればよいが、なかでも、溶融加工性含フッ素樹脂からなる層を２層有するものが好ましい。
上記積層管は、薬液低透過性、視認性等の点で、内層がＰＦＡであり外層が上記ＣＴＦＥ共重合体であるもの、内層がＰＦＡであり外層がＥＴＦＥであるもの等が好ましく、また、薬液低透過性、視認性、接着性等の点で、内層がＰＦＡであり外層が上記ＣＴＦＥ共重合体であるものがより好ましい。
【００４８】
本発明の管状体は、管状部材（Ａ）及び管状部材（Ｂ）の一方が単層構造の管状部材である場合、該単層構造の管状部材としては、溶融加工性含フッ素樹脂からなるものが好ましく、テトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体〔ＰＦＡ〕であることがより好ましい。上記単層管としては、射出成形等によって形成された継ぎ手を挙げることができる。
特に、積層管が内層がＰＦＡであり外層がＣＴＦＥ共重合体であるものである場合、単層構造の管状体は、ＰＦＡからなるものであることが好ましい。
【００４９】
上記積層管における溶融加工性含フッ素樹脂からなる層や単層管は、使用薬液に溶出しない限り着色剤等の添加剤を含むものであってもよい。
【００５０】
本発明の管状体は、上述したように、接合部の強度に優れている。
上記管状体は、例えば、接合部における管状部材（Ａ）と管状部材（Ｂ）との破裂圧力が、一般に２．０ＭＰａ以上、好ましくは２．５ＭＰａ以上とすることができる。上記管状体は、本破裂圧力が上記範囲内にあるので、接合部の強度に優れている。
上記破裂圧力は、Ｔ−３００Ｎ  ＴＥＳＴ  ＰＵＭＰ（キョーワ社製）を用いて、３０ｃｍ長さのサンプルに対し、２５℃の水を用いて０．１ＭＰａ／ｍｉｎの昇圧速度で継続的に加圧を行い、管が破裂した時の最大応力を測定したものである。
【００５１】
本発明の管状体は、接合部における薬液透過性を低くすることができ、例えば接合部における３５％塩酸透過係数［（ｇ・ｃｍ）／（ｃｍ２・秒）］を２．０以下にすることもできるし、１．０以下にすることもできる。
上記接合部における３５％塩酸透過係数は、国際公開第２００５−１００４２０号パンフレットに記載の方法で測定したものである。
【００５２】
本発明の管状体は、例えば、管状部材（Ａ）及び管状部材（Ｂ）の端面の外周部を面取りした後、突き合わせ溶着させることにより得ることができる。すなわち、本発明の管状体は、接合前の各管状部材の端部形状を予めコントロールした上で接合することによって得ることができるものである。
【００５３】
本発明の管状部材の接合方法は、２つの管状部材の各端面を加熱溶融させた後に溶着することよりなるものであり、上記積層管の端面は、上記加熱溶融を行う前に予め外周部の面取りを行ったものであるものである。
本発明の接合方法において、外周部の面取りを加熱溶融前に行うことにより、管外側に適度な大きさのビードがあり、管内側のビードが小さいか又は無く、接合部の強度が高い管状体を得ることができる。
【００５４】
上記外周部の面取りは、端部の外側表面を切削等の加工によって、端部がテーパー状になるようにして行うことができる。
上記外周部の面取りは、管状部材の端部における切削長さｘと管状部材の肉厚（Ｔｔ２）の比が、好ましくは０．２〜１．０、より好ましくは０．５〜０．８  となるよう行う。
本明細書において、上記切削長さｘとは、面取り後における端部の管外側から面取り前の端部まで距離を長手方向に測定した値である。
上記外周部の面取りは、図６に示すように端部の管内側が尖形となるよう切削してもよいし、図７に示すように端部の内層部分が尖形となるよう切削してもよい。
上記外周部の面取りは、内層部分が尖形となるよう切削する場合、管内側から軸方向に測定したテーパーの先端部分の高さα１が、好ましくは内層厚みＴｉ２の１０〜１００％、より好ましくは内層厚みＴｉ２の２０〜８０％となるよう行うことができる。
上記外周部の面取りは、切削角度θａ（°）が、０＜θａ＜７０となるよう行うことが好ましく、１５＜θａ＜６５であることがより好ましい。  
上記切削角度θａとは、図６及び図７に示すように、積層管軸方向と外周部切削面との角度を意味する。
【００５５】
本発明の接合方法において、上記積層管の端面は、更に内周部の面取りを行ったものであることが好ましい。上記接合方法において、外周部及び内周部の両方で面取りを行うと、管内側にビードがないか、又は、管内側の高さＴｂが上述の式（４）−０．３×Ｔｔ２≦Ｔｂ＜０．７×Ｔｔ２（Ｔｔ２は、上記定義と同じ。）の関係を満たすものとすることができる点で好ましい。
上記内周部の面取りは、端部の管内側を切削して、端面がテーパー状になるようにして行うことができる。
上記内周部の面取りは、管状部材の端部における切削長さｙと管状部材の肉厚Ｔｔ２の比が、好ましくは０．０５〜１．０、より好ましくは０．１〜０．８となるよう行う。
本明細書において、上記切削長さｙとは、面取り後における端部の管内側から面取り前の端部まで距離を長手方向に測定した値である。
上記内周部の面取りは、管内側から軸方向に測定したテーパーの先端部分の高さα２が、好ましくは内層厚みＴｉ２の１０〜１００％、より好ましくは内層厚みＴｉ２の２０〜８０％となるよう行うことができる（図８参照。）。
上記内周部の面取りは、切削角度θｂ（°）が、０＜θｂ＜４５となるよう行うことが好ましく、５＜θｂ＜３０であることがより好ましい。
上記切削角度θｂとは、図８に示すように、積層管軸方向と内周部切削面との角度を意味する。
【００５６】
本発明の接合方法において、外周部と内周部の両方を面取りする場合、上記切削角度θａ（°）が２０＜θａ＜７０であり且つ上記切削角度θｂ（°）が０＜θｂ＜３０であることが好ましく、上記切削角度θａ（°）が３０＜θａ＜６５であり且つ上記切削角度θｂ（°）が５＜θｂ＜２５であることがより好ましい。
【００５７】
本発明の接合方法において、加熱溶融は、使用する管状部材の種類に応じて条件を適宜選択して行うことができ、一般に端部を３２０〜４００℃の温度に加熱して行うことができる。
上記加熱溶融は、加熱時間３０〜１００秒で行うことが好ましい。
【００５８】
本発明の接合方法において、加熱溶融後における溶着は、使用する管状部材の種類に応じて適宜条件を設定することができ、特に限定されないが、押付け距離が一般に１．２〜３．５ｍｍであり、押付け速度が一般に４００〜３０００Ｈｚである。
本明細書において、上記押付け距離とは、次のように説明される距離である。
まず管状部材の加熱溶融前の段階で、チューブ端面どうしが密接するように溶着装置のクランプに固定する。この位置を原点とする。次にクランプの片方が水平方向に待避するように移動してできた端面間スペースの中心に加熱板がセットされ、管状部材の端面の加熱溶融を開始する。所定の加熱時間が経過した後に、先述の加熱板が管状部材の下方に待避する。その直後に速やかにクランプが原点方向に水平移動して溶融端面同士が押し付けられる。このとき、前述の原点位置を通り越して余分に押し付けることで確実に溶着部位が形成されるが、この原点を余分に通り越す距離を押し付け距離とする。
上記押付け速度は、各管状部材の端面を突き当てる際の速度を意味する。
【００５９】
上述したような特定の形状の接合部を得るためには、特に押し付け距離が極めて重要であり、端面の形状を考慮した上で、接合における押し付け距離を設定することによって、接合部の形状を制御することができる。
【００６０】
本発明の接合方法は、上述のように、管状部材を加熱溶融して溶着する前に予めその端部の外周部を面取りするものであるので、得られる管状体は、上述の本発明の管状体と同様に、接合部のビードが適度なサイズであり、接合部の強度が高い。また、本接合方法により得られる管状体は、上述の本発明の管状体と同様に、積層管側の接合部において内層厚みが大きく外層厚みが極めて薄いので、一般に空孔が生じていない。更に、上記接合方法は、管状部材として積層管同士を接合するものであっても、得られる管状体において、各積層管の外層及び内層の界面と接合面との界面Ｘを１点にすることができるので、空孔が生じない。
【００６１】
本発明の接合方法において、２つの管状部材のうち少なくとも一方は、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有する積層管であり、上記積層管を構成する少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなるものである。
上記積層管、溶融加工性樹脂及び溶融加工性含フッ素樹脂は、それぞれ本発明の管状体において説明したものと同様の構造、組成及び物性を有するものである。
上記接合方法における積層管は、融点範囲が上述の範囲内にある溶融加工性樹脂層を有することができ、内層における溶融加工性樹脂と外層における溶融加工性樹脂との融点の差が１５℃以上であるものであってもよいし、上記融点の差が４０℃以上、８０℃未満であるものであってもよい。
【００６２】
上記接合方法における積層管は、薬液低透過性、視認性等の点で、内層がＰＦＡであり、外層が上述のＣＴＦＥ共重合体であることが好ましい。
これらの樹脂を積層させた積層管は、ＰＦＡの融点は一般に３００℃程度、ＣＴＦＥ共重合体の融点は２５０℃程度であり各層の融点差が大きいので、端面を均一に加熱すると溶融状態が不均一となり、溶着しても溶着部位の肉厚が不均一となる、溶着界面に空孔が生じる等の問題がある。この問題を解消するため、外層を剥離してから溶着する方法も考えられるが、層間接着性が大きい積層管は、外層を剥離すること自体が困難であり、かつ剥離した部位において外層によるバリア性等の機能が損失したり機械強度が低下してしまう問題があった。このように、単層構造の管状部材同士の溶着では生じなかった問題が積層管の溶着において生じるが、適切な溶着方法は未だに見出されていなかった。
一方、本発明の管状体の接合方法は、各層の融点差が大きい積層管であっても、容易に溶着し、接合部の強度に優れた管状体を得ることができる。
即ち、本発明の接合方法では、積層管同士又は積層管と単層構造を有する管との溶着において、得られる接合部界面の大部分を最内層が占める構造となるよう各管の端面を切削する等して制御することにより強く安定した接合強度の管状部材を得ることができる。更に、本効果は、管の各層を構成する樹脂間の接着性や相溶性が乏しい組み合わせであっても、最内層を構成する材料種を統一し上記切削を行うことにより得ることができる。
【００６３】
本発明の接合方法において、一方の管状部材が上述の積層管であれば、他方の管状部材は、積層管であってもよいし、単層構造を有するものであってもよい。
上記他方の管状部材としての積層管は、溶融加工性樹脂からなる層を２層以上有し少なくとも１つの層が溶融加工性含フッ素樹脂からなるものであれば特に限定されず、上述の積層管であってもよい。上記接合方法において、２つの管状部材は同種の積層管であってもよい。
【００６４】
上記単層構造を有する管状部材としては、特に限定されないが、上述の溶融加工性含フッ素樹脂からなるものが好ましく、ＰＦＡからなるものがより好ましい。
【００６５】
本発明の管状体及び本発明の接合方法から得られる管状体（以下、これらの管状体を「本発明における管状体」と総称する。）は、例えば、各種流動体の移送部材として好適に使用することができる。
本発明における管状体は、半導体製造装置の部材、半導体製造ラインにおける薬液供給システム等、各種工業製品の製造装置や製造ラインにおけるチューブ又はホース、自動車燃料用チューブ若しくは自動車燃料用ホース等の燃料用チューブ又は燃料用ホース、溶剤用チューブ又は溶剤用ホース、塗料用チューブ又は塗料用ホース、自動車のラジエーターホースやブレーキホース、エアコンホース、飲食物用チューブ又は飲食物用ホース等として使用することができる。
上述の本発明の管状体を備えている半導体製造装置及び上述の本発明の管状体を備えている半導体製造ラインへの薬液供給システムもまた、本発明の１つである。
【発明の効果】
【００６６】
本発明の管状体は、上述の構成よりなるので、強度、耐薬品性、耐熱性等に優れており、接合部であっても強度に優れている。本発明の管状部材の接合方法は、接合部においても強度、耐薬品性、耐熱性に優れた管状体を得る方法として優れている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６７】
以下に実施例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
各実施例及び比較例における組成物の量は、特に断りがない場合は、質量基準である。
【００６８】
合成例１（積層管の作成）  
外層として国際公開第２００５−１００４２０号パンフレットの実施例１と同様の方法で作成したクロロトリフルオロエチレン〔ＣＴＦＥ〕共重合体を用い、内層としてテトラフルオロエチレン／パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体〔ＰＦＡ〕ペレット（商品名：ネオフロンＰＦＡ  ＡＰ２３１―ＳＨ、ダイキン工業社製）を用い、外層厚みを０．５ｍｍ、内層厚みを１．１ｍｍ、内径１５．９ｍｍとした以外は国際公開第２００５−１００４２０号パンフレットにおける積層チューブＡと同様の方法で積層管を作成した。
【００６９】
実施例１
合成例１の積層管２本を、それぞれ図９（パターンＡ）に示した形状となるよう端面を切削した後、ＰＦＡ溶着機（形式ＲＰＷＦ−１４１０、ジー・エヌ・エス社製）を用い、表１の溶着条件にて各端面を突き合わせ溶着させて、実施例１の管状体を作成した。
【００７０】
実施例２〜３
合成例１の積層管２本を、それぞれ図９（パターンＢ又はＣ）に示した形状となるよう端面を切削した後、ＰＦＡ溶着機（形式  ＲＰＷＦ−１４１０、ジー・エヌ・エス社製）を用い、表１の溶着条件にて各端面を突き合わせ溶着させて、実施例２〜３の管状体を作成した
【００７１】
比較例１
合成例１の積層管２本の各端面を切削せずに（図９、パターンＤ）、ＰＦＡ溶着機（形式  ＲＰＷＦ−１４１０、ジー・エヌ・エス社製）を用い、表１の溶着条件にて各端面を突き合わせ溶着させて、比較例１の管状体を作成した。
【００７２】
比較例２
合成例１の積層管２本を、図９（パターンＥ）に示した形状となるよう端面を切削した後、ＰＦＡ溶着機（形式  ＲＰＷＦ−１４１０、ジー・エヌ・エス社製）を用い、表１の溶着条件にて各端面を突き合わせ溶着させて、比較例２の管状体を作成した。
【００７３】
比較例３〜４
ＰＦＡペレット（商品名：ネオフロンＰＦＡ  ＡＰ２３１―ＳＨ、ダイキン工業社製）を原料として用いた単層管（比較例３）、又は、合成例１の積層管（比較例４）を溶着部の無い管状体として以下の試験に用いた。
【００７４】
試験例
各実施例及び各比較例の管状体について、それぞれ以下の評価を行った。
（１）接合部の観察
溶着部全周をズームルーペ（倍率５倍）を用いて観察し、空孔の数を確認した。更に、溶着部断面を顕微鏡（倍率５０倍）にて観察し、Ｔｉ１、Ｔｏ１、Ｔｂを算出した。また、Ｔｏ３＝０（Ｔｏ３は、接合部における外層厚みを表す。）である部分の面積の接合部の管外側表面の面積に対する比ωも算出した。これらの結果を表２に示す。
（２）接合管の破裂圧力
Ｔ−３００Ｎ  ＴＥＳＴ  ＰＵＭＰ（キョーワ社製）を用いて、３０ｃｍ長さのサンプルに対し、２５℃の水を用いて０．１ＭＰａ／ｍｉｎの昇圧速度で継続的に加圧を行い、管が破裂した時の最大応力を測定した。
（３）３５％塩酸透過係数
国際公開第２００５−１００４２０号パンフレット記載の「積層チューブＡ、Ｂの３５％塩酸透過係数」と同様にして行った。  
各評価結果を表１に示す。また、各管状体の接合部の形状を図１０〜１４に示した。
【００７５】
【表１】
2008014324.tif 000004
【００７６】
【表２】
2008014324.tif 000005
【００７７】
各実施例の管状体は、接合部に空孔が無いのに対し、各比較例の管状体は、接合部における空孔の個数が１０以上であった。更に、各実施例の管状体は、３５％塩酸透過係数Ａと３５％塩酸透過係数Ｂとの差が０．０５×１０−１３［（ｇ・ｃｍ）／（ｃｍ２・秒）］以下であるのに対し、各比較例の管状体は、塩酸透過係数Ａと３５％塩酸透過係数Ｂとの差が０．５×１０−１３［（ｇ・ｃｍ）／（ｃｍ２・秒）］程度であった。このことより、各実施例の管状体は、比較例１〜２の各管状体と異なり、長時間応力下で使用しても、使用前と同等の薬液低透過性を示すことが分かった。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明の管状体は、上述の構成よりなるので、半導体産業、化学工業分野、食品分野、薬品分野等において、装置、製造ラインとして使用することができる。本発明の管状部材の接合方法は、接合部においても強度、耐薬品性、耐熱性に優れた管状体を得る方法として優れている。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の管状体を表した模式図である。
【図２】本発明における積層管（接合部パターンＡ）の断面を表した模式図である。
【図３】本発明における積層管（接合部パターンＢ）の断面を表した模式図である。
【図４】本発明における積層管（接合部パターンＣ）の断面を表した模式図である。
【図５】本発明における積層管（接合部パターンＤ）の断面を表した模式図である。
【図６】本発明における積層管について、管内側から外周部の面取りした場合の端面を表した模式図である。
【図７】本発明における積層管について、端面の内層部分から外周部の面取りした場合の端面を表した模式図である。
【図８】本発明における積層管について、外周部及び内周部を面取りした場合の端面を表した模式図である。
【図９】各実施例及び各比較例における積層管の切削パターンを表した模式図である。
【図１０】実施例１の管状体における接合部の長手方向断面の光学顕微鏡写真である。
【図１１】実施例２の管状体における接合部の長手方向断面の光学顕微鏡写真である。
【図１２】実施例３の管状体における接合部の長手方向断面の光学顕微鏡写真である。
【図１３】比較例１の管状体における接合部の長手方向断面の光学顕微鏡写真である。
【図１４】比較例２の管状体における接合部の長手方向断面の光学顕微鏡写真である。
【図１】
2008014324.tif 000006
【図２】
2008014324.tif 000007
【図３】
2008014324.tif 000008
【図４】
2008014324.tif 000009
【図５】
2008014324.tif 000010
【図６】
2008014324.tif 000011
【図７】
2008014324.tif 000012
【図８】
2008014324.tif 000013
【図９】
2008014324.tif 000014
【図１０】
2008014324.tif 000015
【図１１】
2008014324.tif 000016
【図１２】
2008014324.tif 000017
【図１３】
2008014324.tif 000018
【図１４】
2008014324.tif 000019