(57)【要約】【課題】検査ユニット２０の検査に伴う損耗を抑制する。【解決手段】検査ユニット２０は、基板部材２２と、検査時に複数の検査パッド１９にそれぞれ接触するように、基板部材２２に設けられた素子領域２４に突出して形成された複数の検査素子３１と、基板部材２２における素子領域２４の外側に突出して形成されたダミー検査素子４１とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の検査パッドが形成された基板を含む装置を検査するための検査ユニットであって、
基板部材と、
検査時に上記複数の検査パッドにそれぞれ接触するように、上記基板部材に設けられた素子領域に突出して形成された複数の検査素子と、
上記基板部材における上記素子領域の外側に突出して形成されたダミー検査素子とを備えている
ことを特徴とする検査ユニット。
【請求項２】
請求項１において、
上記基板には、上記複数の検査パッドが形成された検査パッド領域の外側において、検査時に上記検査素子が上記検査パッドに接触した状態で上記ダミー検査素子に接触するダミー検査パッドが形成されている
ことを特徴とする検査ユニット。
【請求項３】
請求項１において、
上記基板部材は、フレキシブルプリント基板により構成されている
ことを特徴とする検査ユニット。
【請求項４】
請求項１において、
上記基板を含む装置及び上記基板部材の少なくとも一方は、可撓性を有している
ことを特徴とする検査ユニット。
【請求項５】
請求項１において、
上記ダミー検査素子は、上記基板部材から上記検査素子と同じ高さで突出している
ことを特徴とする検査ユニット。
【請求項６】
請求項２において、
上記基板には、寿命検出用パッドが上記ダミー検査パッドの周囲に形成され、
上記基板部材には、寿命検査用素子が、上記ダミー検査パッドと上記ダミー検査素子とが接触した状態で上記寿命検出用パッドに対向するように形成されている
ことを特徴とする検査ユニット。
【請求項７】
第１基板と、該第１基板に対向して配置された第２基板と、上記第１基板及び上記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備えた表示装置であって、
上記第１基板は、上記表示媒体層を制御するための回路部が形成された表示領域と、上記表示領域の外側に設けられ、上記回路部に接続された複数の検査パッドが形成された検査パッド領域とを有し、
上記第１基板における上記検査パッド領域の外側には、上記回路部に接続されていないダミー検査パッドが形成されている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項８】
請求項７において、
基板部材に突出して形成されると共に上記複数の検査パッドにそれぞれ接触する複数の検査素子を有する検査ユニットによって検査されるように構成されている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項９】
請求項８において、
上記検査ユニットは、検査時に上記ダミー検査パッドに接触するダミー検査素子を備えている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１０】
請求項７において、
上記ダミー検査パッドは、上記第１基板上で上記検査パッドよりも高く突出している
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１１】
請求項７において、
上記ダミー検査パッドは、樹脂によって構成されている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１２】
請求項８において、
上記基板部材は、フレキシブルプリント基板により構成されている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１３】
請求項８において、
上記基板を含む装置及び上記基板部材の少なくとも一方は、可撓性を有している
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１４】
請求項９において、
上記検査ユニットには、寿命検出用素子が上記ダミー検査素子の周囲に形成され、
上記第１基板には、寿命検出用パッドが、上記ダミー検査素子と上記ダミー検査パッドとが接触した状態で上記寿命検出用素子に対向するように形成されている
ことを特徴とする表示装置。
【請求項１５】
第１基板と、該第１基板に対向して配置された第２基板と、上記第１基板及び上記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備え、上記表示媒体層を制御するための回路部が上記第１基板の表示領域に形成された表示装置を製造する方法であって、
上記回路部に接続された複数の検査パッドを上記表示領域の外側の検査パッド領域に形成する検査パッド形成工程と、
基板部材上に複数の検査素子が突出して形成された検査ユニットによって、上記第１基板を含む装置を検査する検査工程とを包含し、
上記検査工程では、上記検査パッド領域の外側においてスペーサ部を上記第１基板と上記基板部材との間に介在させた状態で、上記検査素子と上記検査パッドとを接触させる
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項１５において、
上記スペーサ部の高さは、上記検査素子の高さと上記検査パッドの高さの合計よりも高い
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１７】
請求項１５において、
上記回路部に接続されないダミー検査パッドを、上記第１基板における上記検査パッド領域の外側に形成するダミー検査パッド形成工程を有し、
上記検査工程では、上記検査ユニットに形成されたダミー検査素子と、該ダミー検査素子に接触させた上記ダミー検査パッドとによって上記スペーサ部を形成する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１８】
請求項１７において、
上記ダミー検査パッドは、上記第１基板上で上記検査パッドよりも高く突出している
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１７において、
上記ダミー検査パッドは、樹脂によって構成されている
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２０】
請求項１５において、
上記基板部材は、フレキシブルプリント基板により構成されている
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２１】
請求項１５において、
上記基板を含む装置及び上記基板部材の少なくとも一方は、可撓性を有している
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２２】
請求項１７において、
上記検査ユニットには、寿命検出用素子が上記ダミー検査素子の周囲に形成されており、
上記第１基板に対し、寿命検出用パッドを、上記ダミー検査素子と上記ダミー検査パッドとが接触した状態で上記寿命検出用素子に対向するように形成する寿命検出用パッド形成工程を包含し、
上記検出工程では、上記寿命検出用パッドと上記寿命検出用素子とが接触するか否かによって上記検査ユニットの寿命を検出する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査ユニット、表示装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、より高品位な画像を表示できる表示パネルが強く要望されている。しかしながら、表示の高詳細化に伴って、例えば配線の断線等による表示不良（表示欠損を含む）の発生を完全に防止することは難しくなっている。そこで、表示不良を検出するために、表示パネルの製造工程において検査工程が行われている（例えば、特許文献１等参照）。
【０００３】
この検査工程について液晶表示装置を例に挙げて説明する。液晶表示装置は、複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）がマトリクス状に配置されたＴＦＴ基板と、このＴＦＴ基板に対向して配置されると共に共通電極やカラーフィルタ等が形成された対向基板とを備え、ＴＦＴ基板と対向基板との間に液晶層がシール材によって封入されている。
【０００４】
ＴＦＴ基板には、ＩＣチップ等が実装される実装領域が対向基板に重ならない領域に設けられている。実装領域には、各ＴＦＴに接続されているゲート配線及びソース配線等から複数の引き出し配線が引き出されていて、その途中又は端部に端子であるパッドがそれぞれ形成されている。
【０００５】
拡大断面図である図８に示すように、ＴＦＴ基板１０１の実装領域１０２には、例えばＩＣチップ等のバンプが電気的に接続される複数のパッド（図示省略）と、表示不良を検査するための複数の検査パッド１０３とがそれぞれ所定の間隔で形成されている。隣り合う検査パッド１０３同士の間隔は、例えば３０μｍ程度の微細なピッチになっている。
【０００６】
一方、検査ユニットに含まれる検査用プローブ１０４は、例えばＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）により形成されると共に複数の検査素子１０５を備えている。そうして、検査用プローブ１０４をＴＦＴ基板１０１に近付けて、各検査素子１０５を各検査パッド１０３にそれぞれ接触させる。このとき、ゴム板等の弾性部材を介して検査用プローブ１０４の背面側（つまり検査素子１０５とは反対側）の表面を押圧することによって、検査素子１０５と検査パッド１０３とを圧力を加えた状態で接触させる。そのことにより、表示不良の有無が検査される。
【特許文献１】特開平４−５８１３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
検査用プローブに加えられた応力は、複数の検査素子が形成されている素子領域の中央領域では、複数の検査素子に分散して均等に加えられる。その結果、検査素子には、ＴＦＴ基板の検査パッドに対向する方向に真っ直ぐに応力が加わる。
【０００８】
一方、素子領域の端部領域では加えられた応力が均等に分散され難いために、検査素子には、上記検査パッドに対向する方向とは異なる方向に応力が加わり易い。その結果、素子領域の端部領域において検査素子が変形や摩耗によって損耗し、確実に検査することが難しくなるという問題がある。
【０００９】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検査ユニットの検査に伴う損耗を抑制しようとすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明に係る検査ユニットは、複数の検査パッドが形成された基板を含む装置を検査するための検査ユニットであって、基板部材と、検査時に上記複数の検査パッドにそれぞれ接触するように、上記基板部材に設けられた素子領域に突出して形成された複数の検査素子と、上記基板部材における上記素子領域の外側に突出して形成されたダミー検査素子とを備えている。
【００１１】
上記基板には、上記複数の検査パッドが形成された検査パッド領域の外側において、検査時に上記検査素子が上記検査パッドに接触した状態で上記ダミー検査素子に接触するダミー検査パッドが形成されていることが好ましい。
【００１２】
上記基板部材は、フレキシブルプリント基板により構成されていてもよい。
【００１３】
上記基板を含む装置及び上記基板部材の少なくとも一方は、可撓性を有していてもよい。
【００１４】
上記ダミー検査素子は、上記基板部材から上記検査素子と同じ高さで突出していることが好ましい。
【００１５】
上記基板には、寿命検出用パッドが上記ダミー検査パッドの周囲に形成され、上記基板部材には、寿命検査用素子が、上記ダミー検査パッドと上記ダミー検査素子とが接触した状態で上記寿命検出用パッドに対向するように形成されていることが好ましい。
【００１６】
また、本発明に係る表示装置は、第１基板と、該第１基板に対向して配置された第２基板と、上記第１基板及び上記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備えた表示装置であって、上記第１基板は、上記表示媒体層を制御するための回路部が形成された表示領域と、上記表示領域の外側に設けられ、上記回路部に接続された複数の検査パッドが形成された検査パッド領域とを有し、上記第１基板における上記検査パッド領域の外側には、上記回路部に接続されていないダミー検査パッドが形成されている。
【００１７】
基板部材に突出して形成されると共に上記複数の検査パッドにそれぞれ接触する複数の検査素子を有する検査ユニットによって検査されるように構成されていることが好ましい。
【００１８】
上記検査ユニットは、検査時に上記ダミー検査パッドに接触するダミー検査素子を備えていることが好ましい。
【００１９】
上記ダミー検査パッドは、上記第１基板上で上記検査パッドよりも高く突出していることが好ましい。
【００２０】
上記ダミー検査パッドは、樹脂によって構成されていることが好ましい。
【００２１】
上記基板部材は、フレキシブルプリント基板により構成されていてもよい。
【００２２】
上記基板を含む装置及び上記基板部材の少なくとも一方は、可撓性を有していてもよい。
【００２３】
上記検査ユニットには、寿命検出用素子が上記ダミー検査素子の周囲に形成され、上記第１基板には、寿命検出用パッドが、上記ダミー検査素子と上記ダミー検査パッドとが接触した状態で上記寿命検出用素子に対向するように形成されていることが好ましい。
【００２４】
また、本発明に係る表示装置の製造方法は、第１基板と、該第１基板に対向して配置された第２基板と、上記第１基板及び上記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備え、上記表示媒体層を制御するための回路部が上記第１基板の表示領域に形成された表示装置を製造する方法であって、上記回路部に接続された複数の検査パッドを上記表示領域の外側の検査パッド領域に形成する検査パッド形成工程と、基板部材上に複数の検査素子が突出して形成された検査ユニットによって、上記第１基板を含む装置を検査する検査工程とを包含し、上記検査工程では、上記検査パッド領域の外側においてスペーサ部を上記第１基板と上記基板部材との間に介在させた状態で、上記検査素子と上記検査パッドとを接触させる。
【００２５】
上記スペーサ部の高さは、上記検査素子の高さと上記検査パッドの高さの合計よりも高いことが好ましい。
【００２６】
上記回路部に接続されないダミー検査パッドを、上記第１基板における上記検査パッド領域の外側に形成するダミー検査パッド形成工程を有し、上記検査工程では、上記検査ユニットに形成されたダミー検査素子と、該ダミー検査素子に接触させた上記ダミー検査パッドとによって上記スペーサ部を形成することが好ましい。
【００２７】
上記ダミー検査パッドは、上記第１基板上で上記検査パッドよりも高く突出していることが好ましい。
【００２８】
上記ダミー検査パッドは、樹脂によって構成されていることが好ましい。
【００２９】
上記基板部材は、フレキシブルプリント基板により構成されていてもよい。
【００３０】
上記基板を含む装置及び上記基板部材の少なくとも一方は、可撓性を有していてもよい。
【００３１】
上記検査ユニットには、寿命検出用素子が上記ダミー検査素子の周囲に形成されており、上記第１基板に対し、寿命検出用パッドを、上記ダミー検査素子と上記ダミー検査パッドとが接触した状態で上記寿命検出用素子に対向するように形成する寿命検出用パッド形成工程を包含し、上記検出工程では、上記寿命検出用パッドと上記寿命検出用素子とが接触するか否かによって上記検査ユニットの寿命を検出するようにしてもよい。
【００３２】
−作用−
次に、本発明の作用について説明する。
【００３３】
複数の検査パッドが形成された基板を含む装置を検査する場合には、検査ユニットを基板に近付けて、検査ユニットの各検査素子を基板の各検査パッドに接触させる。そのとき、検査ユニットにおける素子領域の中央では、加えられた応力が隣り合う検査素子同士の間で分散されるため、検査素子には基板部材と基板とが対向する方向に真っ直ぐに均一な応力が加わる。
【００３４】
一方、素子領域の端部では、素子領域の検査素子と、その外側のダミー検査素子とによって応力が分散される。すなわち、素子領域の端部における検査素子に対しても、ダミー検査素子が素子領域の外側において突出して形成されているので、基板部材と基板とが対向する方向に真っ直ぐに均一な応力が加わることとなる。その結果、素子領域の端部において検査素子の変形や摩耗による損耗を抑制して、検査を確実に行うことが可能になる。
【００３５】
さらに、検査パッド領域の外側にダミー検査パッドを形成した場合には、検査時において、検査素子を検査パッドに接触させた状態で、ダミー検査素子がダミー検査パッドに接触する。
【００３６】
基板部材がフレキシブルプリント基板により構成されている場合には、素子領域で各検査素子に加わる応力を均一化することが可能になる。また、基板を含む装置及び基板部材の少なくとも一方が可撓性を有する場合にも同様に、各検査素子に加わる応力が均一化される。
【００３７】
また、ダミー検査素子が基板部材から検査素子と同じ高さで突出していれば、ダミー検査素子を検査素子と同じ工程によって容易に形成することが可能になる。
【００３８】
さらに、寿命検出用パッドをダミー検査パッドの周囲に形成すると共に、寿命検査用素子を、ダミー検査パッドとダミー検査素子とが接触した状態で寿命検出用パッドに対向するように基板部材に形成すれば、寿命検出用素子と寿命検出用パッドとが接触したか否かによって、検査ユニットの寿命が検出される。
【００３９】
すなわち、検査ユニットの寿命がまだ残っている場合には、ダミー検査素子の損耗が少ないため、そのダミー検査素子とダミー検査パッドとが接触した状態で、寿命検出用素子と寿命検出用パッドとは互いに対向して接触しない。一方、検査ユニットの寿命が尽きた場合には、ダミー検査素子の損耗が大きいため、そのダミー検査素子とダミー検査パッドとが接触した状態で、寿命検出用素子と寿命検出用パッドとは互いに接触することとなる。そのことにより、検査ユニットの寿命を検出することが可能となる。
【００４０】
また、表示装置の第１基板における検査パッド領域の外側に、ダミー検査パッドが形成されていると、検査ユニットを検査パッドに接触させた際に、検査パッド領域の端部においても、検査ユニットに加わる応力をダミー検査パッドによって分散させることが可能となる。その結果、検査ユニットの損耗を抑制して、検査を確実に行うことが可能となる。
【００４１】
検査ユニットが複数の検査素子を有する場合には、検査時に、各検査素子が各検査パッドに接触する。さらに、検査ユニットがダミー検査素子を有していれば、検査時に、そのダミー検査素子を上記ダミー検査パッドに接触させることが可能になる。特に、ダミー検査パッドが検査パッドよりも高く突出していれば、検査パッド領域の端部における検査パッドや、検査ユニットの検査素子の損耗をより抑制することが可能になる点で好ましい。
【００４２】
検査ユニットが寿命検出用素子を有する一方、第１基板が寿命検出用パッドを有していれば、上記と同様に、寿命検出用素子と寿命検出用パッドとが接触したか否かによって、検査ユニットの寿命が検出される。
【００４３】
また、表示装置を製造する場合には、まず検査パッド形成工程において、複数の検査パッドを表示領域の外側の検査パッド領域に形成する。続いて、検査工程では、検査ユニットによって第１基板を含む装置を検査する。この検査工程では、検査パッド領域の外側において、スペーサ部を第１基板と、検査ユニットの基板部材との間に介在させた状態で、検査素子と検査パッドとを接触させる。
【００４４】
すなわち、検査パッド領域では検査パッドと検査素子とが互いに接触して第１基板を含む装置が検査される。一方、検査パッド領域の外側では、検査ユニットの基板部材と第１基板との間にスペーサ部が介在することから、検査パッド領域の端部において各検査素子に加わる応力を均一化させることが可能となる。その結果、検査素子の損耗が抑制されるため、第１基板を含む装置を確実に検査して表示装置を製造することが可能になる。
【００４５】
スペーサ部の高さは、検査素子の損耗を抑制する観点から、検査素子の高さと検査パッドの高さとの合計よりも高いことが好ましい。
【００４６】
表示装置の製造方法において、検査パッド領域の外側にダミー検査パッドを形成する工程を行うと共に、上記検査工程において、上記ダミー検査パッドとダミー検査素子とを互いに接触させることにより、スペーサ部を構成することが可能である。特に、ダミー検査パッドが検査パッドよりも高く突出していれば、検査パッド領域の端部における検査パッドや、検査ユニットの検査素子をより抑制できる点で好ましい。
【００４７】
さらに、表示装置の製造方法において寿命検出用パッド形成工程を行う場合には、第１基板に寿命検出用パッドを形成する。すなわち、寿命検出用パッドを、ダミー検査素子とダミー検査パッドとが接触した状態で寿命検出用素子に対向するように形成する。そうして、上記検出工程において、寿命検出用パッドと寿命検出用素子とが接触するか否かによって検査ユニットの寿命が検出される。
【発明の効果】
【００４８】
本発明によれば、検査ユニットの基板部材における素子領域の外側にダミー検査素子を突出して形成するようにしたので、素子領域の端部においても素子領域の中央と同様に、各検査素子に均一な応力を真っ直ぐに加えることができ、素子領域の端部における検査素子の損耗を抑制して、検査を確実に行うことができる。また、検査素子の損耗が抑制されることから、検査ユニットの寿命を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００５０】
《発明の実施形態１》
図１〜図３は、本発明の実施形態１を示している。図２は、液晶表示装置１の外観を模式的に示す平面図である。図１は、液晶表示装置１の実装領域１０を拡大して示す平面図である。図３は、液晶表示装置１及び検査ユニット２０を拡大して示す断面図である。
【００５１】
本実施形態１では、表示装置の一例として液晶表示装置１について説明する。液晶表示装置１は、図２に示すように、ＴＦＴ基板１１を構成する第１基板であるガラス基板２１と、ガラス基板２１に対向して配置された対向基板１２を構成するガラス基板２６と、上記ガラス基板２１及びガラス基板２６の間に設けられた表示媒体層である液晶層（図示省略）とを備えている。ＴＦＴ基板１１は、ガラス基板２１に複数の薄膜がパターン形成されることにより構成されている。また、対向基板１２についても同様に、ガラス基板２６に複数の薄膜がパターン形成されることにより構成されている。
【００５２】
対向基板１２のガラス基板２６には、図示を省略するが、例えばカラーフィルタ、共通電極及びブラックマトリクス等が形成されている。
【００５３】
一方、ＴＦＴ基板１１は、いわゆるアクティブマトリクス基板に構成されている。ＴＦＴ基板１１のガラス基板２１は、図２に示すように、液晶層を制御するための回路部１３が形成された表示領域１４と、回路部１３を駆動制御するための例えばＩＣチップ等が実装される実装領域１０とを有している。表示領域１４は、表示に寄与する領域であって、ＴＦＴ基板１１と対向基板１２とが重なった矩形状の領域に形成されている。一方、対向基板１２はＴＦＴ基板１１よりも小さく形成されており、図２に示すように、ガラス基板２１における対向基板１２に重なっていない帯状の領域には、上記実装領域１０が形成されている。また、対向基板１２のガラス基板２６に重なる領域であって、上記表示領域１４の周囲には矩形枠状の額縁領域１５が形成されている。この額縁領域１５は表示に寄与しない。
【００５４】
ＴＦＴ基板１１には、図示を省略するが、表示の単位領域である複数の画素がマトリクス状に配置されている。ＴＦＴ基板１１のガラス基板２１には、複数のゲート配線（図示省略）が互いに平行に延びて形成されている。また、ＴＦＴ基板１１には、複数のソース配線（図示省略）が互いに平行に形成されており、上記ゲート配線と直交するように形成されている。そのことにより、ＴＦＴ基板１１には、ゲート配線及びソース配線からなる配線が格子状にパターン形成されている。
【００５５】
上記各画素は、上記ゲート配線とソース配線とによって区画される矩形状の領域により形成されている。各画素には、液晶層を駆動するための画素電極（図示省略）が形成されている。画素電極は、画素の略中央に配置され、矩形状に形成されている。
【００５６】
さらに、各画素には、図示を省略するが、画素電極をスイッチング駆動するスイッチング素子であるＴＦＴ（Thin-Film Transistor：薄膜トランジスタ）がそれぞれ形成されている。ＴＦＴは、上記ゲート配線に接続されたゲート電極と、上記ソース配線に接続されたソース電極と、上記画素電極に接続されたドレイン電極とを備えている。そうして、走査電圧がゲート配線を介してゲート電極に印加された状態で、信号電圧がソース配線からソース電極及びドレイン電極を介して画素電極へ供給されるようになっている。すなわち、上記回路部１３は、これらのＴＦＴ、ゲート配線、ソース配線及び画素電極等によって構成されている。
【００５７】
また、回路部１３におけるゲート配線及びソース配線の端部には引き出し配線１６が接続され、額縁領域１５を介して実装領域１０へ引き出されている。すなわち、図１に拡大して示すように、実装領域１０には、例えば複数の引き出し配線１６が互いに平行に形成されている。各引き出し配線１６には、ＩＣチップ等が実装された際にその電極端子であるバンプ等が接触して電気的に接続されるパッド１８が形成されている。パッド１８は、金属材料により形成されると共に、図１８に示すように例えば千鳥状に２列配置されている。
【００５８】
さらに、各引き出し配線１６の先端側には、検査のための検査パッド１９がそれぞれ形成されている。これら検査パッド１９も、上記パッド１８と同様に、金属材料により形成されると共に例えば千鳥状に２列配置されている。すなわち、ＴＦＴ基板１１のガラス基板２１は、図１に示すように、表示領域１４の外側に設けられ、回路部１３に接続された複数の検査パッド１９が形成された検査パッド領域２３とを有している。つまり、上記複数のパッド１８は、検査パッド領域２３と表示領域１４との間の領域に形成されることとなる。尚、各パッド１８及び検査パッド１９は、それぞれ例えば六角形状に形成されている。
【００５９】
そして、図１及び図３に示すように、ガラス基板２１の実装領域１０における検査パッド領域２３の外側には、回路部１３に接続されていないダミー検査パッド２９が形成されている。ダミー検査パッド２９は、検査パッド１９の配列方向（つまり、引き出し配線１６と交差する方向）に並ぶように複数配置されることが好ましい。
【００６０】
ダミー検査パッド２９は、図１に示すように、ＴＦＴ基板１１の表面の法線方向から見て、例えば検査パッド１９と同じ六角形状に形成されている。一方、図３に示すように、ダミー検査パッド２９は、ガラス基板２１上で検査パッド１９よりも高く突出している。また、ダミー検査パッド２９は、金属材料により構成されている検査パッド１９とは異なり、例えばＴＦＴ基板１１に形成される絶縁膜と同じ樹脂によって構成することが好ましい。
【００６１】
液晶表示装置１は、図３に示すように、検査ユニット２０によって検査されるように構成されている。検査ユニット２０は、上記複数の検査パッド１９が形成されたガラス基板２１を含む装置を検査するためのものであって、本実施形態１では液晶表示装置１を点灯させてその表示不良の有無を検査するようになっている。
【００６２】
検査ユニット２０は、基板部材２２と、基板部材２２に形成された複数の検査素子３１及びダミー検査素子４１とを備えている。さらに、図示を省略するが、検査ユニット２０は、検査素子３１から回路部１３へ検査信号を供給する信号供給部を有している。
【００６３】
基板部材２２は、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ：flexible printed circuit）により構成されている。そのことにより、検査ユニット２０は全体として可撓性を有するようになっている。
【００６４】
複数の検査素子３１は、検査時に上記複数の検査パッド１９にそれぞれ接触するように、基板部材２２に設けられた素子領域２４に突出して形成されている。つまり、素子領域２４は、検査時にガラス基板２１の検査パッド領域２３に対向する領域になっている。また、複数の検査素子３１は、金属材料によって形成されると共に、各検査パッド１９に対応するように例えば千鳥状に配列されている。
【００６５】
ダミー検査素子４１は、基板部材２２における素子領域２４の外側に突出して形成されている。すなわち、ダミー検査素子４１は、図３に示すように、上記ダミー検査パッド２９に対応して例えば２つ設けられており、検査時に、検査素子３１が検査パッド１９に接触した状態でそれぞれダミー検査パッド２９に接触するようになっている。ダミー検査素子４１は、例えば上記検査素子３１と同じ金属材料によって形成され、基板部材２２から検査素子３１と同じ高さで突出している。
【００６６】
液晶表示装置１は、例えば透過型の液晶表示装置に構成される。そうして、実装領域１０に実装されたＩＣチップ等によって駆動制御され、ＴＦＴ基板１１の対向基板１２とは反対側に配置されたバックライトユニットからの光を選択的に透過させて、所望の表示を行うようになっている。
【００６７】
−製造方法−
次に、上記液晶表示装置１の製造方法について説明する。
【００６８】
本実施形態１では、ＴＦＴ基板１１及び対向基板１２をそれぞれ製造した後に、これらを貼り合わせて液晶表示装置１を製造する。そうして、駆動回路であるＩＣドライバ等を実装する前に、液晶表示装置１の検査工程を行う。そうして、表示不良の有無を検出した後に、表示不良がない液晶表示装置１に上記ＩＣドライバ等を実装する。
【００６９】
ＴＦＴ基板１１を製造する工程には、検査パッド形成工程が含まれる。すなわち、ガラス基板２１の表示領域１４に、回路部１３（つまり、ＴＦＴ、ゲート配線及びソース配線等）を形成すると共に、額縁領域１５及び実装領域１０に引き出し配線１６を形成する。検査パッド形成工程では、図１に示すように、回路部１３に接続された複数の検査パッド１９を検査パッド領域２３に形成する。
【００７０】
検査パッド１９は、上記引き出し配線１６や複数のパッド１８等と同時に、フォトリソグラフィ等によってパターン形成することが可能である。これらパッド１８及び検査パッド１９は、上述のように例えば千鳥状に配置させる。
【００７１】
また、ＴＦＴ基板１１を製造する工程には、ダミー検査パッド形成工程が含まれる。すなわち、ダミー検査パッド形成工程では、実装領域１０における検査パッド領域２３の外側に、回路部１３に接続されないダミー検査パッド２９を形成する。ダミー検査パッド２９は、上記表示領域１４の回路部１３に含まれる絶縁膜と同じ工程で形成される。言い換えれば、ダミー検査パッド形成工程は、回路部１３の絶縁膜を形成する工程と同時に行われる。
【００７２】
一方、検査ユニット２０に対しても、素子領域２４の外側において上記ダミー検査パッド２９に対応するようにダミー検査素子４１を形成しておく。ダミー検査素子４１は、検査ユニットを製造する工程において検査素子３１と同時に形成する。尚、ダミー検査素子４１は、検査素子３１と別個独立に異なる材料によって形成することも可能である。
【００７３】
その後、検査工程を行い、液晶表示装置１を検査ユニット２０によって検査する。検査工程では、検査パッド領域２３の外側においてスペーサ部３０をガラス基板２１と基板部材２２との間に介在させた状態で、検査素子３１と検査パッド１９とを接触させて検査を行う。
【００７４】
すなわち、このとき、ゴム板等の弾性部材を介して検査ユニット２０の背面側（つまり検査素子３１とは反対側）の表面を押圧することによって、検査素子３１と検査パッド１９とを圧力を加えた状態で互いに接触させる。そうして、回路部１３に検査信号を供給して、液晶表示装置を点灯させることにより検査を行う。
【００７５】
スペーサ部３０は、互いに接触したダミー検査素子４１とダミー検査パッド２９とにより構成される。図３に示すように、ダミー検査パッド２９の高さは、検査パッド１９の高さよりも高くなっていると共に、ダミー検査素子４１の高さは検査素子３１の高さと同じであることから、スペーサ部３０の高さは、検査素子３１の高さと検査パッド１９の高さの合計よりも高くなっている。このとき、検査ユニット２０の基板部材２２がフレキシブルプリント基板により構成されているために、検査ユニット２０は素子領域２４の外側で湾曲する。
【００７６】
−実施形態１の効果−
したがって、この実施形態１によると、素子領域２４の外側にダミー検査素子４１を形成すると共に、検査パッド領域２３の外側にダミー検査パッド２９を形成するようにしたので、検査時にダミー検査素子４１とダミー検査パッド２９とを互いに接触させてスペーサ部３０を形成することができる。すなわち、検査時に検査素子３１と検査パッド１９とを互いに接触させた状態で、素子領域２４及び検査パッド領域２３の外側において、スペーサ部３０を検査ユニット２０の基板部材２２とガラス基板２１との間に介在させて形成することができる。
【００７７】
すなわち、検査ユニット２０をガラス基板２１に押し付けるように加わる応力を、素子領域２４及び検査パッド領域２３の外側におけるスペーサ部３０によって分散させることができるため、素子領域２４の端部においても素子領域２４の中央と同様に、各検査素子３１に均一な応力を真っ直ぐに加えることができ、素子領域２４の端部における検査素子３１の変形や摩耗による損耗を抑制して、液晶表示装置１の検査を確実に行うことができる。さらに、検査素子３１の損耗を抑制できることから、検査ユニット２０の寿命を向上させることができる。
【００７８】
さらに、基板部材２２をフレキシブルプリント基板によって構成したので、素子領域２４で各検査素子３１に加わる応力をより均一化させることが可能になる。
【００７９】
また、ダミー検査素子４１を基板部材２２から検査素子３１と同じ高さで突出するように形成したので、ダミー検査素子４１を検査素子３１と同じ工程によって容易に形成することができる。つまり、ダミー検査素子４１を形成するための余計なプロセスを増加させないようにすることができる。
【００８０】
加えて、ダミー検査パッド２９を検査パッド１９よりも高く突出させるようにしたので、ダミー検査素子４１を容易に形成しつつ、スペーサ部３０の高さを上記検査素子３１及び検査パッド１９の高さの合計よりも大きくして、素子領域２４の外側へ応力を確実に分散させることができる。すなわち、検査ユニット２０の検査素子３１の損耗をより抑制することができる。
【００８１】
さらに、ダミー検査パッド２９を樹脂によって形成したので、ＴＦＴ基板１１を製造するときに、その回路部１３に含まれる絶縁膜と同じ材料で同じ工程において形成することができる。つまり、余計なプロセスを増加させることなく、ダミー検査パッド２９を形成することができる。
【００８２】
《発明の実施形態２》
図４〜図７は、本発明の実施形態２を示している。図４は、液晶表示装置１の実装領域１０を拡大して示す平面図である。図５は、液晶表示装置１及び検査ユニット２０を拡大して示す断面図である。図６及び図７は、スペーサ部３０を拡大して示す断面図である。尚、以降の各実施形態では、図１〜図３と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８３】
本実施形態２は、上記実施形態１においてさらに検査ユニット２０の寿命を検出できるように構成したものである。
【００８４】
すなわち、本実施形態２においても、図４に示すように、ガラス基板２１には複数のダミー検査パッド２９が所定の間隔で形成されている。そして、ガラス基板２１には、寿命検出用パッド３３がダミー検査パッド２９の周囲に形成されている。寿命検出用パッド３３は、図４に示すように、例えば２つのダミー検査パッド２９の間に挟まれるように配置されている。つまり、寿命検出用パッド３３及びダミー検査パッド２９は、一列に並んで配置されている。また、寿命検出用パッド３３は、検査パッド１９と同じ金属材料によって形成されると共に、ガラス基板２１上に同じ高さで形成されている。
【００８５】
一方、検査ユニット２０の基板部材２２には、図５に示すように、複数のダミー検査素子４１が上記実施形態１と同様に形成されている。そのダミー検査素子４１の周囲には、寿命検出用素子３４が基板部材２２上に突出して形成されている。
【００８６】
ダミー検査素子４１はダミー検査パッド２９に対応して配置されると共に、寿命検出用素子３４は寿命検出用パッド３３に対応して配置されている。したがって、寿命検出用素子３４は２つのダミー検査素子４１の間に配置されていて、これら寿命検出用素子３４及びダミー検査素子４１は一列に並んで配置されている。
【００８７】
そうして、寿命検出用素子３４は、図６に拡大して示すように、ダミー検査パッド２９とダミー検査素子４１とが接触した状態で、寿命検出用パッド３３に接触せずに対向するように形成されている。言い換えれば、寿命検出用パッド３３は、ダミー検査素子４１とダミー検査パッド２９とが接触した状態で、寿命検出用素子３４に対向するように形成されている。
【００８８】
上記寿命検出用パッド３３と寿命検出用素子３４とは、図示省略の寿命検出部に電気的に接続されている。そうして、図７に拡大して示すように、ダミー検査素子４１が損耗して検査ユニット２０の寿命が尽きた際に、寿命検出用パッド３３と寿命検出用素子３４とが互いに接触するようになっている。その結果、これら寿命検出用パッド３３と寿命検出用素子３４との導通状態が上記寿命検出部によって検出されるようになっている。
【００８９】
−製造方法−
次に、本実施形態２の液晶表示装置１の製造方法について説明する。
【００９０】
本実施形態２においても、上記実施形態１と同様に、ＴＦＴ基板１１及び対向基板１２をそれぞれ製造した後に、これらを貼り合わせて液晶表示装置１を製造し、Ｃドライバ等を実装する前に液晶表示装置１の検査工程を行う。検査工程では、検査ユニット２０の寿命の検出も行う。
【００９１】
すなわち、ＴＦＴ基板１１を製造する工程において、上記実施形態１と同様に検査パッド形成工程及びダミー検査パッド形成工程を行うことに加え、本実施形態２では寿命検出用パッド形成工程を行う。
【００９２】
寿命検出用パッド形成工程では、ガラス基板２１に対し、寿命検出用パッド３３を、ダミー検査素子４１とダミー検査パッド２９とが接触した状態で寿命検出用素子３４に対向するように形成する。寿命検出用パッド３３は、検査パッド１９と同じ工程で形成する。そうして、寿命検出用パッド３３を例えば２つのダミー検査パッド２９によって挟まれるように配置させる。
【００９３】
一方、検査ユニット２０に対しても、素子領域の外側において上記ダミー検査パッド２９に対応するようにダミー検査素子４１を形成すると共に、上記寿命検出用パッド３３に対応するように寿命検出用素子３４を形成しておく。これら寿命検出用素子３４及びダミー検査素子４１は、検査ユニットを製造する工程において検査素子３１と同時に形成する。
【００９４】
その後、検査工程を行い、液晶表示装置１を検査ユニット２０によって検査する。検査工程では、上記実施形態１と同様に、検査素子３１と検査パッド１９とを接触させて検査を行う。このとき、図６に示すように、素子領域２４及び検査パッド領域２３の外側では、ダミー検査素子４１とダミー検査パッド２９とが互いに接触する。そうして、検査ユニット２０に加えられた応力は素子領域２４における各検査素子３１だけでなく、ダミー検査素子４１においても分散されて均一化される。
【００９５】
この検査工程では、寿命検出用パッド３３と寿命検出用素子３４とが接触するか否かによって検査ユニット２０の寿命を検出する。
【００９６】
すなわち、検査ユニット２０の寿命がまだ残っている場合には、図６に示すように、ダミー検査素子４１の損耗が少ないため、そのダミー検査素子４１とダミー検査パッド２９とが接触してスペーサ部３０が構成された状態で、寿命検出用素子３４と寿命検出用パッド３３とは互いに対向して接触しない。したがって、これら寿命検出用素子３４と寿命検出用パッド３３との間で導通が無いため、寿命検出部（図示省略）において検査ユニット２０の寿命は未だ残っていると検出される。
【００９７】
ところで、検査ユニット２０が検査に繰り返し使用されると、図７に示すように、ダミー検査素子４１が損耗して、検査ユニット２０が寿命に達してしまう。その結果、ダミー検査素子４１の高さ（基板部材２２からの突出長さ）が小さくなるために、検査ユニット２０の寿命検出用素子３４が、ガラス基板２１の寿命検出用パッド３３に接触することとなる。
【００９８】
そのことにより、検査ユニット２０の寿命が尽きた場合には、図７に示すように、ダミー検査素子４１の損耗が大きいため、そのダミー検査素子とダミー検査パッドとが接触した状態で、寿命検出用素子と寿命検出用パッドとは互いに接触することとなる。そのことにより、検査ユニットの寿命を検出することが可能となる。寿命検出用素子３４と寿命検出用パッド３３とが互いに導通して、寿命検出部において検査ユニット２０の寿命が尽きたと検出される。
【００９９】
検査ユニット２０の寿命が尽きたことが検出された場合には、新たな検査ユニット２０によって、液晶表示装置１の検査が再度行われる。
【０１００】
−実施形態２の効果−
したがって、この実施形態２によると、ダミー検査素子４１及びダミー検査パッド２９を設けるようにしたので、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。そのことに加え、寿命検出用素子３４と寿命検出用パッド３３とが互いに接触したか否かによって、検査ユニット２０の寿命を検出することができる。
【０１０１】
すなわち、素子領域２４の端部における検査素子３１の損耗を抑制できることに加え、検査ユニット２０の寿命を確実に検出することができる。したがって、適切な時期に新しい検査ユニット２０に交換して、液晶表示装置１を正確に検査できるようになる。
【０１０２】
さらに、寿命検出用素子３４は検査素子３１と同じ工程で形成することができると共に、寿命検出用パッド３３は検査パッド１９と同じ工程で形成することができる。すなわち、新たなプロセスを増加させることなく、寿命検出用パッド３３及び寿命検出用素子３４を形成することができる。
【０１０３】
《その他の実施形態》
上記実施形態１及び２では、基板部材２２をフレキシブルプリント基板によって構成し、検査ユニット２０が可撓性を有するようにしたが、本発明はこれに限定されず、検査対象である基板を含む装置及び基板部材２２の少なくとも一方が可撓性を有していればよい。したがって、例えば、ＴＦＴ基板１１がガラス基板２１ではなくて、例えば可撓性を有するプラスチック基板によって構成されていてもよい。さらに、この場合、検査ユニット２０の基板部材２２が比較的硬い材料によって構成されていてもよい。
【０１０４】
そのことにより、上記ダミー検査パッド２９及びダミー検査素子４１からなるスペーサ部３０の高さが、検査パッド１９及び検査素子３１の高さの合計よりも高い場合であっても、これら検査パッド１９及び検査素子３１を互いに接触させた状態で、ダミー検査パッド２９及びダミー検査素子４１を容易に接触させることができ、各検査素子３１に加わる応力を適切に分散させることができる。
【０１０５】
また、上記実施形態１では、スペーサ部３０をダミー検査パッド２９とダミー検査素子４１とにより構成したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、スペーサ部３０を、ダミー検査パッド２９及びダミー検査素子４１の少なくとも一方によって構成するようにしてもよい。このことにより、検査ユニット２０に加えられた応力を、基板部材２２とガラス基板２１との間に介在させたダミー検査パッド２９又はダミー検査素子４１によって分散させて、各検査素子３１の損耗を抑制し、検査を確実に行うことが可能となる。
【０１０６】
また、上記実施形態１及び２では、ＴＦＴ基板１１及び対向基板１２を互いに貼り合わせた後の点灯検査について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、検査ユニット２０を、対向基板１２に貼り合わせる前のＴＦＴ基板１１を検査するように構成することも可能である。この場合、検査ユニット２０によって、検査信号を回路部１３へ供給した後に、回路部１３から出力信号を検知して回路部１３の不良状態（例えばゲート配線等の断線等）を検出することができる。
【０１０７】
また、上記実施形態１及び２では、液晶表示装置を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限らず、例えば有機ＥＬ表示装置等の他の表示装置や、配線や素子が形成された基板を有する装置についても同様に適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０８】
以上説明したように、本発明は、検査ユニット、表示装置及びその製造方法について有用であり、特に、検査ユニットの検査に伴う損耗を抑制する場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】図１は、実施形態１における液晶表示装置の実装領域を拡大して示す平面図である。
【図２】図２は、液晶表示装置の外観を模式的に示す平面図である。
【図３】図３は、液晶表示装置及び検査ユニットを拡大して示す断面図である。
【図４】図４は、実施形態２における液晶表示装置の実装領域を拡大して示す平面図である。
【図５】図５は、液晶表示装置及び検査ユニットを拡大して示す断面図である。
【図６】図６は、スペーサ部を拡大して示す断面図である。
【図７】図７は、スペーサ部を拡大して示す断面図である。
【図８】図８は、従来の液晶表示装置及び検査ユニットを拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１      液晶表示装置
１０      実装領域
１１      ＴＦＴ基板
１２      対向基板
１３      回路部
１４      表示領域
１５      額縁領域
１６      引き出し配線
１８      パッド
１９      検査パッド
２０      検査ユニット
２１      ガラス基板
２２      基板部材
２３      検査パッド領域
２４      素子領域
２９      ダミー検査パッド
３０      スペーサ部
３１      検査素子
３３      寿命検出用パッド
３４      寿命検出用素子
４１      ダミー検査素子
【図１】
2008134073.tif 000003
【図２】
2008134073.tif 000004
【図３】
2008134073.tif 000005
【図４】
2008134073.tif 000006
【図５】
2008134073.tif 000007
【図６】
2008134073.tif 000008
【図７】
2008134073.tif 000009
【図８】
2008134073.tif 000010