(57)【要約】【課題】液状体の安定した吐出状態を実現するノズルの分類方法、液状体の吐出方法、これらの方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明のノズルの分類方法は、Ｎ個の不良ノズルの情報を参照して、不良ノズルのうちから正常ノズルＡを特定する第１の特定工程（ステップＳ１）と、液滴が吐出されない抜けノズルを特定する第２の特定工程（ステップＳ２）と、着弾位置ずれノズルを分類して曲がり変動ノズル、曲がり急増ノズル、定常曲がりノズルＡ，Ｂを特定する第３の特定工程（ステップＳ３〜ステップＳ６）と、上記正常ノズルＡ、上記抜けノズル、上記曲がり変動ノズル、上記曲がり急増ノズル、上記定常曲がりノズルＡ，Ｂを除いた不良ノズルを正常ノズルＢとする第４の特定工程（ステップＳ７）とを備えた。【選択図】図８
2008209439.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する複数のノズルについて、前記液滴の吐出状態に応じた分類を行うノズルの分類方法であって、
前記複数のノズルから前記液滴を被吐出物上に吐出し、前記液滴の着弾状態を観察して、少なくとも前記液滴が吐出されなかった吐出抜けの情報と前記液滴の着弾位置の情報とを入手するノズル検査工程と、
前記吐出抜けや着弾位置ずれが生じたノズルを少なくとも不良ノズルとしたＮ個の不良ノズルの情報を参照して、
不良とされた回数が１回の不良ノズルを正常ノズルＡとする第１の特定工程と、
前記吐出抜けとされた回数が２回以上の不良ノズルを抜けノズルとする第２の特定工程と、
前記着弾位置ずれとされた不良ノズルのうち、ずれ量が変動しているものを曲がり変動ノズルとし、ずれ方向およびずれ量が安定しているものを定常曲がりノズルとする第３の特定工程と、
前記Ｎ個の不良ノズルの情報から前記正常ノズルＡ、前記抜けノズル、前記曲がり変動ノズル、前記定常曲がりノズルを除いた残りの不良ノズルを正常ノズルＢとする第４の特定工程とを備えたことを特徴とするノズルの分類方法。
【請求項２】
前記ノズル検査工程は、少なくとも前記複数のノズルの機能回復を行うメンテナンス工程の後に実施され、複数回の前記メンテナンス工程ごとに前記ノズル検査工程を行うことにより前記Ｎ個の不良ノズルの情報を入手することを特徴とする請求項１に記載のノズルの分類方法。
【請求項３】
前記第２および第３並びに第４の特定工程では、前記Ｎ個の不良ノズルの情報のうち、時系列的に新しいｎ個の不良ノズルの情報を参照して、前記抜けノズル、前記曲がり変動ノズル、前記定常曲がりノズルを特定することを特徴とする請求項１または２に記載のノズルの分類方法。
【請求項４】
時系列的に新しい少なくとも２回の前記ノズル検査工程の実施結果から前記ｎ個の不良ノズルの情報を入手することを特徴とする請求項３に記載のノズルの分類方法。
【請求項５】
前記第３の特定工程では、前記ずれ量の標準偏差を前記着弾位置ずれのノズルごとに求め、前記標準偏差が所定の値よりも大きな前記着弾位置ずれのノズルを前記曲がり変動ノズルとすることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のノズルの分類方法。
【請求項６】
前記第３の特定工程では、特定された前記曲がり変動ノズルのうち、時間が経過するにつれて前記ずれ量が増加しているものを曲がり急増ノズルとして特定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のノズルの分類方法。
【請求項７】
対向配置された前記複数のノズルと前記被吐出物とを、前記複数のノズルからなるノズル列と交差する第１の方向に相対移動させて前記液滴を吐出する場合、
前記第３の特定工程では、特定された前記定常曲がりノズルについて、そのずれ方向を前記第１の方向と、前記第１の方向に直交する第２の方向とに分類することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のノズルの分類方法。
【請求項８】
基板と複数のノズルとの相対移動に同期して、前記基板上の複数の画素領域に前記複数のノズルから機能性材料を含む液状体を吐出して画素構成要素を形成する液状体の吐出方法であって、
前記相対移動において前記画素領域ごとに掛かるノズルについて、請求項１乃至７のいずれか一項に記載のノズルの分類方法を用いて分類した結果を反映させたノズルリストを生成するノズルリスト生成工程と、
前記相対移動において前記画素領域ごとに必要量の前記液状体を液滴として配置する第１配置情報を前記ノズルリストに基づいて補正した第２配置情報を生成する配置情報生成工程と、
前記第２配置情報に基づいて前記複数のノズルから前記画素領域ごとに前記液滴を吐出する吐出工程と、を備え、
前記配置情報生成工程では、前記正常ノズルＡおよび／または前記正常ノズルＢを選択して必要量の前記液状体を吐出するように前記第１配置情報を補正した前記第２配置情報を生成することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項９】
前記配置情報生成工程では、少なくとも前記抜けノズルおよび前記曲がり変動ノズル並びに前記曲がり急増ノズルを除いた他のノズルを選択して必要量の前記液状体を吐出するように前記第１配置情報を補正した前記第２配置情報を生成することを特徴とする請求項８に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１０】
前記第１配置情報は、前記液滴を吐出する前記ノズルごとのエネルギー発生手段の吐出タイミングの情報を含み、
前記配置情報生成工程では、前記他のノズルのうち、前記相対移動の方向に前記液滴の着弾位置ずれが生ずる前記定常曲がりノズルに対して、当該ノズルから吐出された前記液滴が対応する前記画素領域に着弾するように、当該ノズルの前記エネルギー発生手段の吐出タイミングを変えた前記第２配置情報を生成することを特徴とする請求項９に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１１】
基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む少なくとも３色の液状体を前記複数の画素領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の画素領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１３】
基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタを備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記カラーフィルタを請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子を備えた電気光学装置の製造方法であって、
前記有機ＥＬ素子を請求項１２に記載の有機ＥＬ素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のノズルから液状体を液滴として吐出する液滴吐出法において、複数のノズルを正常ノズルと不良ノズルとに分類するノズルの分類方法、この方法を用いた液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出法を用いた液状体の吐出方法としては、記録媒体に格納されたデータに基づき、機能液滴吐出ヘッドをワークに対して相対的に移動させながら当該機能液滴吐出ヘッドに列設された複数のノズルから機能液滴を選択的に吐出させることにより、ワーク上の１以上のチップ形成領域に描画を行う描画方法（描画システム）が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記描画方法では、記録媒体に格納された各ノズルの吐出パターンデータに基づき、ワークに対して機能液滴を吐出描画する。
【０００４】
上記吐出パターンデータは、少なくともワーク上のチップ形成領域の配置に関するチップ情報と、チップ形成領域における画素の配列に関する画素情報と、ワークに対する各ノズルの配置に関するノズル情報と、に基づいて生成される。
【０００５】
また、吐出された機能液滴の着弾位置を検出する方法としては、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出された液滴が被検査物に着弾して得られたドットの位置ずれを、簡単且つ迅速に検出することができるドットずれ検出方法およびドットずれ検出装置が知られている（特許文献２）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２７５６５０号公報
【特許文献２】特開２００６−１３０３８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ワーク上に機能性材料を含む液状体を液滴として吐出して機能性材料からなる膜パターンを形成する場合、ノズルから吐出された液滴を位置精度よくワーク上に着弾させる必要がある。それゆえに、上記ドットずれ検出方法を用いて、吐出状態が正常な所謂正常ノズルと、吐出抜けや着弾位置ずれなどが生ずる不良ノズルとを特定するのだが、液滴吐出ヘッドの機能回復を行うメンテナンスを実施すれば、ノズルの吐出状態が変化する。また、不良ノズルのデータには、被吐出物の表面にキズや異物が存在し、正常な検出が行われず不良ノズルと判断されたケースが含まれていることがあった。
【０００８】
これまでドットずれ検出方法で得られた各ノズルに対するデータを有効に活用して、上記描画方法に反映する方法が提案されていなかった。
【０００９】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、液状体の安定した吐出状態を実現するノズルの分類方法、液状体の吐出方法、これらの方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法、電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のノズルの分類方法は、液状体を液滴として吐出する複数のノズルについて、液滴の吐出状態に応じた分類を行うノズルの分類方法であって、複数のノズルから液滴を被吐出物上に吐出し、液滴の着弾状態を観察して、少なくとも液滴が吐出されなかった吐出抜けの情報と液滴の着弾位置の情報とを入手するノズル検査工程と、吐出抜けや着弾位置ずれが生じたノズルを少なくとも不良ノズルとしたＮ個の不良ノズルの情報を参照して、不良とされた回数が１回の不良ノズルを正常ノズルＡとする第１の特定工程と、吐出抜けとされた回数が２回以上の不良ノズルを抜けノズルとする第２の特定工程と、着弾位置ずれとされた不良ノズルのうち、ずれ量が変動しているものを曲がり変動ノズルとし、ずれ方向およびずれ量が安定しているものを定常曲がりノズルとする第３の特定工程と、Ｎ個の不良ノズルの情報から正常ノズルＡ、抜けノズル、曲がり変動ノズル、定常曲がりノズルを除いた残りの不良ノズルを正常ノズルＢとする第４の特定工程とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
この方法によれば、ノズル検査工程から得られたＮ個の不良ノズルの情報に基づいて、第１の特定工程では、不良とされた回数が１回の不良ノズルを正常ノズルＡとする。したがって、ノズル検査工程での検出ミスにより不良とされた確率を考慮して正常ノズルＡを特定することができる。第２の特定工程では、吐出抜けとされた回数が２回以上すなわち繰り返し吐出抜けが生ずるノズルを吐出抜けノズルとする。したがって、液状体の吐出に有効でないノズルを確実に特定することができる。第３の特定工程では、液滴の着弾位置が不安定な曲がり変動ノズルと着弾位置のずれ方向およびずれ量が安定している定常曲がりノズルとに区分して特定する。したがって、着弾位置ずれが生ずるノズルについて吐出状態に応じて対処する目安を付けることができる。第４の特定工程では、先の特定工程で特定された正常ノズルＡ、抜けノズル、曲がり変動ノズル、定常曲がりノズルを除いた残りの不良ノズルを正常ノズルＢとする。したがって、不良ノズルのうち確率的に吐出不良が発生し難い不良ノズルを特定することができる。すなわち、ノズル検査工程から得られた複数のノズルの吐出状態の情報から、ノズル検査工程での検出精度と吐出不良の発生状態を考慮し、適正に正常ノズルと不良ノズルとを分類することができる。ゆえに、少なくとも正常ノズルを用いて液状体を吐出すれば、安定した吐出状態を実現することができる。
【００１２】
上記ノズル検査工程は、少なくとも複数のノズルの機能回復を行うメンテナンス工程の後に実施され、複数回のメンテナンス工程ごとにノズル検査工程を行うことによりＮ個の不良ノズルの情報を入手することが好ましい。この方法によれば、メンテナンス工程の後にノズル検査工程を実施するので、メンテナンス工程による複数のノズルの機能回復状態を反映した不良ノズルの情報を入手することができる。すなわち、不良ノズルにおける吐出状態の安定性を推し量ることができる。
【００１３】
上記第２および第３並びに第４の特定工程では、Ｎ個の不良ノズルの情報のうち、時系列的に新しいｎ個の不良ノズルの情報を参照して、抜けノズル、曲がり変動ノズル、定常曲がりノズルを特定することを特徴とする。この方法によれば、複数のノズルの現在の吐出状態をより的確に反映して正常ノズルと不良ノズルとに分類することができる。
【００１４】
また、時系列的に新しい少なくとも２回のノズル検査工程の実施結果からｎ個の不良ノズルの情報を入手することを特徴とする。この方法によれば、さらに不良ノズルの吐出状態の安定性を考慮して正常ノズルと不良ノズルとに分類することができる。
【００１５】
上記第３の特定工程では、ずれ量の標準偏差を着弾位置ずれのノズルごとに求め、標準偏差が所定の値よりも大きな着弾位置ずれのノズルを曲がり変動ノズルとすることを特徴とする。この方法によれば、求められる液滴の着弾位置精度を考慮して所定の値を設定すれば、着弾位置ずれのノズルをむやみに不良ノズルとしない。すなわち、的確に着弾位置ずれのノズルを曲がり変動ノズルとして特定することができる。
【００１６】
また、上記第３の特定工程では、特定された曲がり変動ノズルのうち、時間が経過するにつれてずれ量が増加しているものを曲がり急増ノズルとして特定するとしてもよい。この方法によれば、将来的にずれ量がさらに増加して吐出不良となるおそれのあるノズルを特定することができる。
【００１７】
さらに、対向配置された複数のノズルと被吐出物とを、複数のノズルからなるノズル列と交差する第１の方向に相対移動させて前記液滴を吐出する場合、上記第３の特定工程では、特定された定常曲がりノズルについて、そのずれ方向を第１の方向と、第１の方向に直交する第２の方向とに分類することが好ましい。この方法によれば、複数のノズルと被吐出物との相対的な配置に対応して着弾位置がずれるノズルを定常曲がりノズルとして分類することができる。
【００１８】
本発明の液状体の吐出方法は、基板と複数のノズルとの相対移動に同期して、基板上の複数の画素領域に複数のノズルから機能性材料を含む液状体を吐出して画素構成要素を形成する液状体の吐出方法であって、相対移動において画素領域ごとに掛かるノズルについて、上記発明のノズルの分類方法を用いて分類した結果を反映させたノズルリストを生成するノズルリスト生成工程と、相対移動において画素領域ごとに必要量の液状体を液滴として配置する第１配置情報を上記ノズルリストに基づいて補正した第２配置情報を生成する配置情報生成工程と、上記第２配置情報に基づいて複数のノズルから画素領域ごとに液滴を吐出する吐出工程と、を備え、配置情報生成工程では、正常ノズルＡおよび／または正常ノズルＢを選択して必要量の液状体を吐出するように第１配置情報を補正した第２配置情報を生成することを特徴とする。
【００１９】
この方法によれば、適正に分類された正常ノズルＡおよび／または正常ノズルＢを選択して吐出するので、吐出抜けや着弾位置のずれを生じることが低減され、必要量の液状体を安定して画素領域ごとに付与することができる。
【００２０】
上記配置情報生成工程では、少なくとも抜けノズルおよび曲がり変動ノズル並びに曲がり急増ノズルを除いた他のノズルを選択して必要量の液状体を吐出するように第１配置情報を補正した第２配置情報を生成するとしてもよい。この方法によれば、少なくとも吐出抜けや着弾位置が不安定であることに起因する吐出不良を低減して、必要量の液状体を安定して画素領域ごとに付与することができる。
【００２１】
上記第１配置情報は、液滴を吐出するノズルごとのエネルギー発生手段の吐出タイミングの情報を含み、上記配置情報生成工程では、上記他のノズルのうち、相対移動の方向に液滴の着弾位置ずれが生ずる定常曲がりノズルに対して、当該ノズルから吐出された液滴が対応する画素領域に着弾するように、当該ノズルのエネルギー発生手段の吐出タイミングを変えた第２配置情報を生成するとしてもよい。この方法によれば、定常曲がりノズルの吐出タイミングを補正することにより、当該ノズルを有効に用いて液状体を吐出することができる。
【００２２】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記発明の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む少なくとも３色の液状体を複数の画素領域に吐出する吐出工程と、吐出された液状体を固化して、少なくとも３色の着色層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２３】
この方法によれば、正常ノズルと不良ノズルとが適正に分類され、補正された第２配置情報に基づいて画素領域ごとに必要量の液状体が付与される。したがって、色ムラが低減されカラーフィルタを歩留まりよく製造することができる。
【００２４】
本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記発明の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の画素領域に吐出する吐出工程と、吐出された液状体を固化して、発光層を形成する固化工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この方法によれば、正常ノズルと不良ノズルとが適正に分類され、補正された第２配置情報に基づいて画素領域ごとに必要量の液状体が付与される。したがって、吐出量のムラに起因する発光ムラや輝度ムラが低減され有機ＥＬ素子を歩留まりよく製造することができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも３色の着色層を有するカラーフィルタを備えた電気光学装置の製造方法であって、カラーフィルタを上記発明のカラーフィルタの製造方法を用いて製造することを特徴とする。この方法によれば、カラーフィルタの色ムラが低減され、安定した品質を有する電気光学装置を提供することができる。
【００２７】
本発明の他の電気光学装置の製造方法は、基板上に区画形成された複数の画素領域に少なくとも発光層を有する有機ＥＬ素子を備えた電気光学装置の製造方法であって、有機ＥＬ素子を上記発明の有機ＥＬ素子の製造方法を用いて製造することを特徴とする。この方法によれば、有機ＥＬ素子の発光ムラや輝度ムラが低減され、安定した品質を有する電気光学装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
（実施形態１）
本発明の実施形態は、基板上の複数の画素領域としての着色領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法を例に説明する。着色層は画素構成要素であり、複数のノズルから複数の画素領域に向けて機能性材料としての着色層形成材料を含む液状体を液滴として吐出して形成する。上記液状体を液滴として吐出する際には、次のような液滴吐出装置を用いた。
【００２９】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００３０】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構としてのθテーブル６を介して配設されたワークＷを載置するセットテーブル５とを備えている。移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する。セットテーブル５はワークＷを吸着固定可能であると共に、θテーブル６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。
【００３１】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する２つの移動台３２，３３とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。移動台３２がキャリッジ８をＹ軸方向に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００３２】
移動台３３には、カメラ１５が搭載されている。カメラ１５は、移動台３３によってＹ軸方向に移動して液滴吐出ヘッド５０から吐出されワークＷの表面に着弾した液滴の着弾状態を観察して撮像することができる。必要により被写体を照明する照明装置を移動台３３に備えてもよい。
【００３３】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されているが図示省略した。
【００３４】
図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は概略分解斜視図、同図（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応するエネルギー発生手段としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００３５】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有すると共に、このキャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７を有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。
【００３６】
液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００３７】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに駆動電圧パルスが印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動電圧パルスの印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動電圧パルスを制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００３８】
液滴吐出ヘッド５０におけるエネルギー発生手段は、圧電素子（ピエゾ素子）に限らない。振動板５８を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴Ｄとして吐出させる電気熱変換素子でもよい。
【００３９】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００４０】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４１】
各液滴吐出ヘッド５０は、ほぼ等しい間隔（およそ１４０μｍのノズルピッチ）で配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。ノズル５２の径はおよそ２０μｍである。１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ａの有効長とする。以降、ノズル列５２ａとは、１８０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００４２】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ａ（ノズル列１Ａとノズル列１Ｂ）が主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００４３】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ａは、１列に限らない。例えば、複数のノズル列５２ａを互いにずらして配設すれば実質的なノズルピッチが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することが可能となる。
【００４４】
次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。液滴吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。また、カメラ１５が接続された画像処理部４９を備えている。
【００４５】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、メンテナンス機構の各メンテ用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ（図示省略）とを備えている。
【００４６】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００４７】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ）の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等や画像処理部４９が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４８】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴Ｄとして吐出して描画を行う。この場合、Ｘ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００４９】
また、ＣＰＵ４１は、ヘッド移動機構３０を駆動して移動台３３をＹ軸方向に移動させ、搭載されたカメラ１５をワークＷと対向させる。そして、ワークＷの表面に着弾した液滴Ｄの状態を観察すると共に撮像する。ワークＷに対してカメラ１５を移動して観察する位置情報は、上位コンピュータ１１により生成され観察座標として予めＲＡＭ４３に入力されている。画像処理部４９はＰ−ＣＯＮ４４を介して上位コンピュータ１１と接続されている。上位コンピュータ１１は、カメラ１５が撮像し画像処理部４９によって変換された画像情報を表示部に表示することができ、オペレータは、液滴Ｄの着弾状態を確認することができる。
【００５０】
画像処理部４９は、撮像された液滴Ｄの着弾状態をビットマップデータに変換する。ＣＰＵ４１は、このビットマップデータから液滴Ｄの着弾位置ずれ量や着弾径を演算することができる。演算結果は、ＲＡＭ４３に書き込まれる。またほぼ同時にノズル情報として上位コンピュータ１１に送出され記憶部に格納される。ノズル５２が目詰まりを起こし、液滴Ｄが吐出されなかった場合も同様に画像認識され、ノズル情報として記憶部に格納される。
【００５１】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、液状体の吐出状態を示す上記ノズル情報に基づいて、基板上の画素領域ごとに必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。
【００５２】
＜ノズル検査工程＞
次に、上記液滴吐出装置１０を用いた本実施形態のノズル検査工程について説明する。図５（ａ）〜（ｄ）はノズル検査工程を説明するための概略平面図である。本実施形態のノズル検査工程では、被吐出物として検査用の記録紙１８を用いている。
【００５３】
図５（ａ）に示すように、液滴吐出装置１０のセットテーブル５（図１参照）に記録紙１８を載置する。各液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から同種（同色）の液状体の液滴ＤがＹ軸方向において仮想の直線上に着弾するように吐出する。具体的には、制御部４がヘッドユニット９とセットテーブル５とを相対移動させ、主走査方向（Ｘ軸方向）において、各ノズル列５２ａの吐出タイミングを変えることにより直線上に着弾させる。そして、カメラ１５を用いて記録紙１８上に着弾した液滴Ｄの着弾状態を観察する。例えば、赤色（Ｒ）の液状体８０Ｒを吐出するノズル列１Ａとノズル列１Ｂとから液滴Ｄを吐出して吐出状態に不具合がなければ、液滴Ｄは直線上に着弾する。また、液滴Ｄの吐出量が各ノズル５２においてほぼ同等ならば、着弾した各液滴Ｄの着弾径はほぼ同一となる。
【００５４】
図５（ｂ）に示すように、例えば、ノズル列１Ａのあるノズル５２が目詰まりしていれば、液滴Ｄが吐出されない。すなわち、記録紙１８上において隙間が空いて液滴Ｄが着弾するので、吐出抜けを検出することができる。
【００５５】
図５（ｃ）および（ｄ）に示すように、例えば、ノズル列１Ａとノズル列１Ｂとにおいて、主走査方向に飛行曲がりが生ずるノズル５２があれば、吐出された液滴Ｄが直線上からずれた位置に着弾する。すなわち、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の着弾位置ずれを検出することができる。また、着弾状態を撮像して画像処理することにより、ＣＰＵ４１がずれ量ΔＸ１，ΔＸ２，ΔＹ１，ΔＹ２を演算することができる。
【００５６】
当然のことながら着弾位置がＸ軸方向（主走査方向）に限らず斜めにずれることがある。よって、ずれ量は、Ｘ軸方向のずれ量とＹ軸方向のずれ量とに分けて算出される。また、飛行曲がりが生ずるノズル５２から吐出された液滴Ｄの着弾位置ずれは、液滴吐出ヘッド５０（複数のノズル５２）と被吐出物との相対移動の方向によってもずれ量が変化する。したがって、液滴吐出ヘッド５０が搭載されたヘッドユニット９に対して記録紙１８を主走査方向に往復させ、往動と復動とに分けて別の直線上に液滴Ｄが着弾するように吐出して着弾状態を観察する。
【００５７】
さらには、ノズル列１Ａ，１Ｂにおいて吐出量が過多なノズル５２があれば、着弾径が大きくなる。また、吐出量が過少なノズル５２があれば、着弾径が小さくなる。このような着弾状態を撮像して画像処理することにより、吐出量異常を検出することもできる。なお、着弾径が極小となった場合には吐出抜けと判断する。
【００５８】
このようなノズル検査工程は、液滴吐出ヘッド５０の機能回復を行うメンテナンス工程の後に実施する。これにより、メンテナンス後の液滴吐出ヘッド５０（複数のノズル５２）の吐出状態を示すノズル情報が入手され、上位コンピュータ１１の記憶部に格納・蓄積される。
【００５９】
また、被吐出物として記録紙１８を用いることにより、ガラス基板等を用いる場合に比べて、液滴Ｄが着弾する表面の界面張力の影響を受け難いので、比較的正確に着弾位置ずれや着弾径の情報を入手することができる。なお、被吐出物は、記録紙１８に限らず、液滴Ｄの吐出状態を正確に把握できるように表面処理されたガラス基板やフィルムを用いてもよい。
【００６０】
次に、本実施形態のカラーフィルタの製造方法について説明する。まず、カラーフィルタを備えた液晶表示装置について簡単に説明しておく。図６は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【００６１】
＜液晶表示装置およびその製造方法＞
図６に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置５００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル５２０と、液晶表示パネル５２０を照明する照明装置５１６とを備えている。液晶表示パネル５２０は、３色の着色層を有するカラーフィルタ５０５を具備する対向基板５０１と、画素電極５１０に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子５１１を有する素子基板５０８と、対向基板５０１と素子基板５０８とによって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル５２０の外面側となる対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板５１４と下偏光板５１５とが配設される。
【００６２】
対向基板５０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に複数の画素領域としての着色領域をマトリクス状に区画する隔壁部としてのバンク５０４と、区画された複数の着色領域にＲＧＢ３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを備えている。バンク５０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク５０２と、下層バンク５０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク５０３とにより構成されている。また対向基板５０１は、バンク５０４とバンク５０４によって区画された着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）５０６と、ＯＣ層５０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極５０７とを備えている。カラーフィルタ５０５は後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されている。
【００６３】
素子基板５０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜５０９を介してマトリクス状に形成された画素電極５１０と、画素電極５１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子５１１とを備えている。ＴＦＴ素子５１１の３端子のうち、画素電極５１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極５１０を囲むように格子状に配設された走査線５１２とデータ線５１３とに接続されている。
【００６４】
照明装置５１６は、光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル５２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００６５】
なお、液晶を挟む対向基板５０１と素子基板５０８の表面には、液晶の分子を所定の方向に配列させるための配向膜がそれぞれ形成されているが、図示省略した。また、上偏光板５１４と下偏光板５１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル５２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin  Film  Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【００６６】
上記液晶表示装置５００は、カラーフィルタ５０５を備えた対向基板５０１がマトリクス状に複数区画形成されたマザー基板と、同じく素子基板５０８がマトリクス状に複数区画形成された他のマザー基板とが液晶を挟んで接合された構造体を所定の位置で切断して取り出すことにより製造される。
【００６７】
＜カラーフィルタの製造方法＞
図７（ａ）〜（ｅ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。上記３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを有するカラーフィルタ５０５の製造方法は、対向基板５０１の表面にバンク５０４を形成する工程と、バンク５０４によって区画された着色領域Ａを表面処理する工程とを備えている。また、表面処理された着色領域Ａに着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を液滴Ｄとして吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを形成する固化工程としての成膜工程とを備えている。さらにバンク５０４と着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂとを覆うようにＯＣ層５０６を形成する工程と、ＯＣ層５０６を覆うようにＩＴＯからなる透明な対向電極５０７を形成する工程とを備えている。
【００６８】
バンク５０４を形成する工程では、図７（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク５０２を対向基板５０１上に形成する。下層バンク５０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク５０２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板５０１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により開口部５０２ａ（図６参照）に対応する部分以外の膜表面をレジストで覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部５０２ａを有する下層バンク５０２が形成される。
【００６９】
次に上層バンク５０３を下層バンク５０２の上に形成する。上層バンク５０３の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。上層バンク５０３の形成方法としては、例えば、下層バンク５０２が形成された対向基板５０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板５０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク５０３を形成する方法が挙げられる。これにより対向基板５０１上に複数の着色領域Ａをマトリクス状に区画するバンク５０４が形成される。そして表面処理工程へ進む。
【００７０】
表面処理工程では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク５０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そして、吐出工程へ進む。
【００７１】
吐出工程では、図７（ｂ）に示すように、表面処理された各着色領域Ａのそれぞれに、対応する液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして吐出する。液状体８０Ｒは赤色（Ｒ）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０Ｇは緑色（Ｇ）の着色層形成材料を含むものであり、液状体８０Ｂは青色（Ｂ）の着色層形成材料を含むものである。液滴吐出装置１０の各液滴吐出ヘッド５０に液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを充填する。そして、ヘッドユニット９とワークＷとを相対移動させる主走査に同期して各液滴吐出ヘッド５０から液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを着色領域Ａに向けて吐出する。液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂは、着色領域Ａの面積に応じて必要量が付与される。
【００７２】
次に成膜工程では、図７（ｃ）に示すように、吐出された液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを一括乾燥し、溶剤成分を除去して着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方法が望ましい。そして、ＯＣ層形成工程へ進む。
【００７３】
ＯＣ層形成工程では、図７（ｄ）に示すように、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂと上層バンク５０３とを覆うようにＯＣ層５０６を形成する。ＯＣ層５０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層５０６は、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成された対向基板５０１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる対向電極５０７を平担化するために設けられている。また、対向電極５０７との密着性を確保するために、ＯＣ層５０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。そして、透明電極形成工程へ進む。なお、着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂが形成された対向基板５０１の表面が比較的に平坦であれば、ＯＣ層５０６は必須ではない。
【００７４】
透明電極形成工程では、図７（ｅ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中で成膜して、ＯＣ層５０６を覆うように全面に対向電極５０７を形成する。
【００７５】
上記吐出工程では、液滴吐出装置１０を用いて、３種の異なる液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂをほぼ同時に吐出する。このような吐出方法においては、必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを対応する着色領域Ａに安定的に吐出することが求められる。例えば、ノズル５２の目詰まりや吐出される液滴Ｄの吐出量が変動すると着色領域Ａにおいて吐出ムラとなる。ノズル５２から吐出された液滴Ｄが飛行曲がりによって本来着弾すべき着色領域Ａに着弾せず、他の異なる液状体が付与されるべき着色領域Ａに着弾すると、異種の液状体同士が混じり合って所謂混色が発生する。これらの吐出不具合はカラーフィルタ５０５の製造における歩留りに影響する。また、液晶表示装置５００においては、吐出ムラや混色となった着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂを有する画素は色ムラなどの不良画素となる。よって、これらの吐出不具合の発生を極力防止しなくてはならない。
【００７６】
ヘッドユニット９には、同種（同色）の液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０が２個ずつ配置され、合計３６０個のノズル５２から同種の液滴Ｄが吐出される。液滴Ｄの吐出不具合が発生するごとに、メンテナンス機構によって各液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスを実施していたのでは、ワークＷの流動が停止してカラーフィルタ５０５の製造における生産性を向上させることが難しい。本発明の液状体の吐出方法は、このような課題を考慮してなされた。
【００７７】
＜ノズルの分類方法および液状体の吐出方法＞
次に、本実施形態のノズルの分類方法とこれを適用した液状体の吐出方法について説明する。図８はノズルの分類方法を示すフローチャート、図９は液状体の吐出方法を示すフローチャートである。
【００７８】
図８に示すように、本実施形態のノズルの分類方法は、正常ノズルＡを特定する第１の特定工程（ステップＳ１）と、液滴Ｄが吐出されない抜けノズルを特定する第２の特定工程（ステップＳ２）と、着弾位置ずれノズルを分類して特定する第３の特定工程（ステップＳ３〜ステップＳ６）と、正常ノズルＢを特定する第４の特定工程（ステップＳ７）とを備えている。
【００７９】
図８のステップＳ１（第１の特定工程）では、前述したノズル検査工程から得られたノズル情報を参照する。ノズル検査工程は、液滴吐出ヘッド５０のメンテナンス工程の後に実施されており、複数回に渡って実施されたノズル検査工程から得られたノズル情報が上位コンピュータ１１の記憶部に蓄積されている。この場合、上位コンピュータ１１に格納された表計算ソフト等を用いてノズル情報のデータを扱う。上位コンピュータ１１に接続された表示部（図示省略）で確認表示できるように、ノズル情報に含まれたＮ＝２５６個の不良ノズルのデータを参照した。データは、時系列的に上位コンピュータ１１の表示部に表示される。また、当然ながら、液滴吐出ヘッド５０を交換した場合には、交換以降のデータを参照する。
【００８０】
複数のノズル５２は、ヘッドユニット９に配置された複数の液滴吐出ヘッド５０ごとに予め管理番号が付与されている。不良ノズルのデータは、当該管理番号を確認することにより、ヘッドユニット９に搭載された複数（６個）の液滴吐出ヘッド５０のどれに該当するかが分かるようになっている。
【００８１】
２５６個の不良ノズルのデータを参照して、このうち１回だけ「吐出抜け」や「着弾位置ずれ」の不良とされた不良ノズルを正常ノズルＡとして特定する。この正常ノズルＡは、記録紙１８上の異物やキズによって誤って不良ノズルと判断されたケースを含む確率が高い。また、メンテナンス工程で容易に機能が回復したノズル５２と解釈することができる。すなわち、今後不良ノズルとなる可能性が低いノズル５２であると判断する。そして、特定された正常ノズルＡのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。そして、ステップＳ２へ進む。
【００８２】
図８のステップＳ２（第２の特定工程）では、２５６個の不良ノズルのデータのうち、時系列的に新しいｎ個のデータを参照する。参照するデータの個数は、ノズル検査工程の実施、液滴吐出装置１０の稼動日などを単位として決める方法が挙げられる。この場合、直近に行われた２回のノズル検査工程から得られたｎ個の不良ノズルのデータを参照した。そして、ｎ個の不良ノズルのデータのうち、「吐出抜け」の不良とされた回数が２回の不良ノズルを抜けノズルとして特定する。言い換えれば、ｎ個の不良ノズルのデータが２回以上のノズル検査工程から得られたならば、２回以上「吐出抜け」の不良とされた不良ノズルを抜けノズルとする。繰り返し「吐出抜け」とされた不良ノズルは、通常のメンテナンス工程を実施したのでは、機能回復が見込めないノズル５２と判断する。特定された抜けノズルのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。そして、ステップＳ３へ進む。
【００８３】
図８のステップＳ３（第３の特定工程）では、ｎ個の不良ノズルのデータを参照して、「着弾位置ずれ」の不良とされた不良ノズルのうち、ずれ量が変動している不良ノズルを曲がり変動ノズルとして特定する。具体的には、不良ノズルごとにずれ量の標準偏差（σ）を演算し、標準偏差（σ）が所定の値よりも大きな不良ノズルを曲がり変動ノズルとする。この場合、カラーフィルタ５０５の製造における精度を考慮して所定の値をσ＝１μｍとした。特定された曲がり変動ノズルのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。そして、ステップＳ４へ進む。
【００８４】
図８のステップＳ４（第３の特定工程）では、前ステップＳ３において特定された曲がり変動ノズルのうち、ずれ量が急増している曲がり変動ノズルを曲がり急増ノズルとして分類・特定する。具体的には、時間の経過に伴ってずれ量が増加しているものを指す。この場合、カラーフィルタ５０５の製造における精度を考慮し、時間軸を１日単位として、ずれ量の増加が１０μｍ／日以上となっているものを対象とした。特定された曲がり急増ノズルのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。そして、ステップＳ５へ進む。
【００８５】
図８のステップＳ５（第３の特定工程）では、ｎ個の不良ノズルのデータを参照して、「着弾位置ずれ」の不良とされた不良ノズルのうち、主走査方向のずれ量が安定している不良ノズルを定常曲がりノズルＡとして特定する。具体的には、カラーフィルタ５０５の製造における精度を考慮して主走査方向のずれ量が１５μｍ以上で安定している不良ノズルを対象とした。特定された定常曲がりノズルＡのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。そして、ステップＳ６へ進む。
【００８６】
図８のステップＳ６（第３の特定工程）では、ｎ個の不良ノズルのデータを参照して、「着弾位置ずれ」の不良とされた不良ノズルのうち、副走査方向のずれ量が安定している不良ノズルを定常曲がりノズルＢとして特定する。具体的には、カラーフィルタ５０５の製造における精度を考慮して副走査方向のずれ量が１０μｍ以上で安定している不良ノズルを対象とした。特定された定常曲がりノズルＢのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。そして、ステップＳ７へ進む。
【００８７】
図８のステップＳ７（第４の特定工程）では、ｎ個の不良ノズルのデータのうち、上記正常ノズルＡ、上記曲がり変動ノズル、上記曲がり急増ノズル、上記定常曲がりノズルＡ、上記定常曲がりノズルＢを除いた不良ノズルを正常ノズルＢとして特定する。特定された正常ノズルＢのデータに分類記号あるいは分類番号を付しておく。
【００８８】
以上のようなノズルの分類方法によれば、ノズル検査工程から得られたノズル情報を基に、一旦吐出不良が発生するとした不良ノズルであっても、実際の液状体の吐出に求められる精度や液滴Ｄの吐出安定性を考慮して、正常ノズルと不良ノズルとに分類することが可能である。また、ノズル検査工程での検出ミスを考慮して不良ノズルのうちの正常ノズルを特定することが可能である。さらには、分類結果における不良ノズルの特定状態（例えば、不良ノズルの数、吐出不良別の割合の変化など）から、液滴吐出ヘッド５０のメンテナンス時期や交換時期を適正に判断することが可能となる。
【００８９】
図９は、液状体の吐出方法を示すフローチャートである。本実施形態の液状体の吐出方法は、上記ノズルの分類方法により得られた分類結果を反映させたノズルリストを生成するノズルリスト生成工程（ステップＳ１１）と、主走査において着色領域Ａごとに必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして配置する第１配置情報を上記ノズルリストに基づいて補正した第２配置情報を生成する配置情報生成工程（ステップＳ１２）とを備えている。また、第２配置情報に基づいて液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から着色領域Ａごとに液滴Ｄを吐出する吐出工程（ステップＳ１３）とを備えている。
【００９０】
図１０（ａ）および（ｂ）は、第１配置情報に基づく液滴の配置の一例を示す概略平面図である。詳しくは、同図（ａ）は主走査における往動時の液滴の配置を示し、同図（ｂ）は主走査における復動時の液滴の配置を示す概略平面図である。図１１（ａ）は第１配置情報を示す表、同図（ｂ）はノズルリストを示す表、同図（ｃ）は第２配置情報を示す表である。図１２（ａ）および（ｂ）は、第２配置情報に基づく液滴の配置の一例を示す概略平面図である。
【００９１】
図１０（ａ）に示すように、例えば、ヘッドユニット９とマザー基板とを主走査方向（Ｘ軸方向）に相対移動させる間に液滴Ｄを吐出し、バンク５０４により区画された画素領域としての着色領域Ａに着弾させる。この場合、往動時には、赤色（Ｒ）の液状体８０Ｒを吐出するノズル列１ＡのノズルＮ１〜ノズルＮ３が掛かる着色領域Ａには、それぞれ３回の吐出を行って、９滴の液滴Ｄを着弾させた。ノズルＮ４〜Ｎ６においても同様である。また、図１２（ｂ）に示すように、復動時には、先に着弾した液滴Ｄの間に着弾するようにヘッドユニット９を副走査してノズル列１Ａの位置をずらし、着色領域Ａに掛かるノズルＮ１とノズルＮ２からそれぞれ３回吐出を行って、さらに６滴の液滴Ｄを着弾させた。これにより、着色領域Ａには２回の主走査を行って合計１５滴の液滴Ｄを着弾させた。他の異なる色（Ｇ，Ｂ）の着色領域Ａにおいても同様である。着色領域Ａに掛かるノズル５２の数は、当然ながら着色領域Ａの大きさとマザー基板上における配置、ノズル５２のノズルピッチやノズル列５２ａの着色領域Ａに対する相対位置によって異なる。
【００９２】
図１０（ａ）および（ｂ）は、液滴Ｄの配置を示すものであり、実際の着弾状態を示すものではない。言い換えれば、主走査の往動と復動とにおける着色領域Ａごとに掛かるノズル５２の配置を示すものである。図１１（ａ）の表は、その配置を示す第１配置情報であり、赤色（Ｒ）の液状体８０Ｒが付与される画素１Ｒには、主走査においてノズルＮ１〜Ｎ３が掛かる。同様に画素２Ｒには、ノズルＮ４〜Ｎ６が掛かる。走査１は往動を示し、走査２は復動を示している。第１配置情報には、ノズルＮ１〜Ｎ６のノズル選択（選択「１」、非選択「０」）、吐出回数、吐出タイミング（標準「１」）の情報が含まれている。このような配置情報は、ビットマップデータとして上位コンピュータ１１の記憶部に格納されている。
【００９３】
複数のノズル５２がすべて正常な吐出状態であれば、第１配置情報に基づいて液滴Ｄの吐出を行えばよい。しかし、実際には、前述したように正常ノズル、不良ノズルが含まれる。よって、正常ノズルおよび不良ノズルに対応した液滴Ｄの配置を見直すこと、すなわち補正が必要となる。本実施形態の液状体の吐出方法は、このような補正の方法を示すものである。
【００９４】
図９のステップＳ１１は、ノズルリスト生成工程である。ステップＳ１１では、主走査において、着色領域Ａごとに掛かるノズル５２について、上記ノズルの分類方法により得られた分類結果に基づいてノズルリストを生成する。例えば、図１１（ｂ）に示すように、画素１Ｒでは、ノズルＮ１が正常ノズル（分類番号９）、ノズルＮ２が抜けノズル（分類番号０）、ノズルＮ３が主走査方向の定常曲がりノズルＡ（分類番号３）である。画素２Ｒでは、ノズルＮ４とノズルＮ６が正常ノズル（分類番号９）、ノズルＮ５が曲がり変動ノズル（分類番号１）である。このノズルリストには、副走査方向の定常曲がりノズルＢが含まれていない。それは、同色の着色領域Ａが副走査方向に配列しているので、副走査方向に液滴Ｄの着弾位置ずれが生じても混色となる可能性が低い。ゆえに、この場合、定常曲がりノズルＢを考慮していない。
【００９５】
このようなノズルリストは、各画素（着色領域Ａ）に対応して生成され、上位コンピュータ１１の記憶部に格納される。そして、ステップＳ１２へ進む。
【００９６】
図９のステップＳ１２は、配置情報生成工程である。ステップＳ１２では、上記ノズルリストに基づいて第１配置情報を補正した第２配置情報を上位コンピュータ１１により生成する。
【００９７】
上位コンピュータ１１は、この場合、ノズルリストを参照して、着色領域Ａに掛かる少なくとも１つのノズル５２を選択せず、他のノズル５２を用いて必要量の液状体を液滴Ｄとして吐出するように第１配置情報を補正する。非選択とするノズル５２は、ノズルリストの分類番号０〜３に該当するノズル５２から選ばれる。また、図１１（ｂ）に示すように、画素１Ｒには、分類番号０〜３に該当するノズル５２が複数（２つ）ある。その場合には、分類番号が小さいノズル５２が非選択となる。すなわち、抜けノズルのノズルＮ２を非選択とし、正常ノズルのノズルＮ１と定常曲がりノズルのノズルＮ３とを選択する。ノズルＮ３に対して標準の吐出タイミングで吐出したのでは、液滴Ｄが主走査方向にずれて着弾するので、ずれ量とずれ方向に応じて吐出タイミングを変えた駆動波形をエネルギー発生手段としての振動子５９（図２参照）に印加する。これにより、ノズルＮ３から吐出された液滴Ｄが飛行曲がりにより本来の着弾位置からずれて着弾することを抑制（修正）する。このようなノズル選択と、吐出タイミングの修正がすべての画素（着色領域Ａ）に掛かるノズル５２に対して行われる。そして、ステップＳ１３へ進む。
【００９８】
図９のステップＳ１３は、吐出工程である。ステップＳ１３では、例えば、図１１（ｃ）に示した第２配置情報に基づいて、図１２（ａ）および（ｂ）に示すように液滴Ｄを吐出する。
【００９９】
図１２（ａ）に示すように、主走査の往動時には、画素１ＲではノズルＮ２が選択されず、ノズルＮ１とノズルＮ３から５回の吐出が行われる。着色領域Ａ内に５滴の液滴Ｄを配置する吐出タイミングを標準の「１」とし、着弾位置ずれが生ずるノズルＮ３は、ずれ量とずれ方向とを考慮して吐出開始位置が早いまたは遅い吐出タイミング「２」が補正により設定されている。同様に画素２ＲではノズルＮ５が選択されず、ノズルＮ４とノズルＮ６から５回の吐出が行われる。これにより画素１Ｒと画素２Ｒにはそれぞれ１０滴の液滴Ｄが着弾する。
【０１００】
図１２（ｂ）に示すように、主走査の復動時には、画素１Ｒでは、ノズルＮ１のみが選択され、５回の吐出が行われる。画素２Ｒでは、ノズルＮ４のみが選択され、５回の吐出が行われる。これにより、図１０（ｂ）に示した液滴Ｄの配置と同様に、各着色領域Ａにそれぞれ１５滴の液滴Ｄが配置される。すなわち、必要量の赤色の液状体８０Ｒが対応する着色領域Ａに付与される。他の緑色の液状体８０Ｇ、青色の液状体８０Ｂにおいても、同様に補正された第２配置情報に基づいて吐出が行われる。
【０１０１】
このような上記ノズルの分類方法を適用した液状体の吐出方法によれば、正常ノズルと不良ノズルとを適正に分類して、第１配置情報が補正され、補正後の第２配置情報に基づいて液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの吐出を行うので、必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを画素領域（着色領域Ａ）ごとに安定して付与することが可能である。
【０１０２】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記ノズルの分類方法では、Ｎ＝２５６個の不良ノズルのデータを参照して、吐出不良とされた回数が１回の不良ノズルを正常ノズルＡとする。また、２５６個の不良ノズルのデータのうち、時系列的に新しいｎ個の不良ノズルのデータを参照して、吐出抜けとされた回数が２回の不良ノズルを抜けノズルとする。また、ずれ量の標準偏差（σ）が１μｍ以上の不良ノズルを曲がり変動ノズルとする。ずれ量が少なくとも１０μｍ以上で安定している不良ノズルを定常曲がりノズルＡ，Ｂとする。そして、上記正常ノズルＡ、上記曲がり変動ノズル、上記定常曲がりノズルＡ，Ｂを除く不良ノズルを正常ノズルＢとする。したがって、カラーフィルタ５０５の製造における液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの吐出精度および吐出安定性、並びにノズル検査工程における検出ミスを考慮して、正常ノズルと不良ノズルとを適正に分類することができる。
【０１０３】
（２）上記ノズルの分類方法において、複数のノズル５２の吐出状態を示すノズル情報は、液滴吐出ヘッド５０のメンテナンス工程を実施した後に行われるノズル検査工程から得られる。したがって、通常のメンテナンス工程では、機能回復し難いまたは吐出状態が不安定な不良ノズルの情報を的確に入手することができる。
【０１０４】
（３）上記液状体の吐出方法は、主走査において画素（着色領域Ａ）ごとに掛かるノズル５２について、上記ノズルの分類方法により得られた分類結果を反映したノズルリストを生成する。また、このノズルリストに基づいて着色領域Ａごとに必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを液滴Ｄとして配置する第１配置情報を補正した第２配置情報を生成する。そして、吐出工程では、第２配置情報に基づいて着色領域Ａごとに液滴Ｄを吐出する。したがって、正常ノズルと不良ノズルとを適正に分類して、第１配置情報が補正された第２配置情報に基づいて液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂの吐出を行うので、必要量の液状体８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂを着色領域Ａごとに安定して付与することができる。ゆえに、「吐出抜け」による吐出ムラや「着弾位置ずれ」による混色を低減することができる。
【０１０５】
（４）上記カラーフィルタ５０５の製造方法は、上記液状体の吐出方法を用いているので、吐出ムラや混色を低減して、カラーフィルタ５０５を歩留りよく製造することができる。
【０１０６】
（５）上記液晶表示装置５００の製造方法において、上記カラーフィルタ５０５の製造方法を用いて対向基板５０１を製造しているので、吐出ムラや混色に起因する色ムラが低減された高い表示品質を有する液晶表示装置５００を製造することができる。
【０１０７】
（実施形態２）
次に、実施形態１の液状体の吐出方法とを適用した他の実施形態として、発光層を有する有機ＥＬ素子の製造方法について説明する。
【０１０８】
＜有機ＥＬ表示装置およびその製造方法＞
まず、有機ＥＬ素子を有する有機ＥＬ表示装置について簡単に説明する。図１３は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１３に示すように、有機ＥＬ表示装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが画素領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ表示装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【０１０９】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１１０】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の画素領域としての発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画する隔壁部６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。隔壁部６１８は、下層バンク６１８ａと発光層形成領域Ａを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、発光層形成領域Ａの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【０１１１】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１３ではこれらの図示を省略している。
【０１１２】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、上層バンク６１８ｂおよび発光層Ｌｕを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【０１１３】
有機ＥＬ表示装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。
【０１１４】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部の製造方法について図１４に基づいて説明する。図１４（ａ）〜（ｆ）は、発光素子部の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１４（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１１５】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に発光層形成領域Ａを区画するように上層バンク６１８ｂを形成する隔壁部形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する固化工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。
【０１１６】
電極（陽極）形成工程では、図１４（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そして隔壁部形成工程へ進む。
【０１１７】
隔壁部形成工程では、図１４（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層Ｌｕに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層Ｌｕが積層されても発光を阻害することはない。
【０１１８】
続いて、発光層形成領域Ａを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部６１８が形成される。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１９】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、隔壁部６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１２０】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１４（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図１の液滴吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて必要量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２１】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の表面処理工程へ進む。
【０１２２】
次の表面処理工程では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも発光層形成領域Ａの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そして発光層Ｌｕの吐出工程へ進む。
【０１２３】
発光層Ｌｕの吐出工程では、図１４（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。この場合、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、それ自体で色の識別が困難である。そこで、液滴Ｄの着弾状態をカメラ１５で観察する方法として、紫外線を放出する照明装置を用いる。これにより、着弾後の液滴Ｄが紫外線によって励起され発光するので、着弾状態を観察して撮像することが可能となる。ノズル検査工程で複数のノズル５２のノズル情報を入手し、上記ノズルの分類方法により得られた分類結果を反映したノズルリストを生成する。このノズルリストに基づいて補正された配置情報を用いて液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出を行う。よって、正常ノズルと不良ノズルとが適正に分類され、必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂがそれぞれ対応する発光層形成領域Ａに液滴Ｄとして吐出される。そして、固化工程へ進む。
【０１２４】
固化工程では、図１４（ｅ）に示すように、吐出された液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１２５】
陰極形成工程では、図１４（ｆ）に示すように、素子基板６０１の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１２６】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが対応する発光層形成領域Ａに付与され、成膜化後の膜厚がほぼ一定となった発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１２７】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、発光層Ｌｕの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて素子基板６０１の発光層形成領域Ａに、必要量の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして吐出される。したがって、成膜化後の膜厚がほぼ一定となった発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を歩留りよく製造することができる。
【０１２８】
（２）上記実施形態２の有機ＥＬ表示装置の製造方法において、上記発光素子部６０３の製造方法により製造された素子基板６０１を用いれば、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラ等が少なく、見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ表示装置６００を製造することができる。
【０１２９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１３０】
（変形例１）上記ノズルの分類方法において、分類対象となる不良ノズルは、抜けノズル、着弾位置ずれが生ずるノズルに限定されない。例えば、ノズル検査工程では、吐出量異常ノズルを検出可能であり、吐出量異常ノズルを分類基準を設けて不良ノズルまたは正常ノズルのいずれかに分類してもよい。これによれば、上記液状体の吐出方法において、吐出量が過多あるいは過少の吐出量異常ノズルを非選択とすることにより、吐出ムラを低減可能である。
【０１３１】
（変形例２）上記ノズルの分類方法において、第２および第３並びに第４の特定工程において、参照する不良ノズルのデータは、Ｎ個のデータのうちの時系列的に新しいｎ個に限定されない。例えば、２回のノズル検査工程から得られたデータしかないときは、すべてのデータを活用することが望ましい。
【０１３２】
（変形例３）上記ノズルの分類方法において、曲がり急増ノズルの特定は、必須ではない。少なくとも曲がり変動ノズルを特定することができれば、着弾位置ずれに起因する混色の影響を低減することができる。
【０１３３】
（変形例４）上記ノズルの分類方法において、ノズル情報を入手するノズル検査工程は、液滴吐出ヘッド５０の機能回復を行うメンテナンス工程の後に、複数回実施してもよい。これによれば、吐出状態が不安定な不良ノズルをより的確に検出することが可能である。
【０１３４】
（変形例５）上記ノズルの分類方法において、ノズル情報を入手するノズル検査工程は、必ずしも液滴吐出ヘッド５０の機能回復を行うメンテナンス工程の後に実施しなくてもよい。例えば、１日の作業開始時や、液滴吐出装置１０の休止後など液滴吐出装置１０の稼動状態を考慮して実施する。これによれば、ワークＷに対して液状体の吐出を行う前に、正常ノズルと不良ノズルの分類ができる。
【０１３５】
（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、第１配置情報を補正する方法は、これに限定されない。例えば、画素領域に掛かる正常ノズルが少なくとも１つあれば、分類番号０〜３に該当するすべての不良ノズルを非選択として、正常ノズルから必要量の液状体を吐出するように主走査の回数を増やしてもよい。
【０１３６】
（変形例７）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、液滴Ｄの着弾位置ずれを補正する方法は、該当するノズル５２の吐出タイミングを変える方法に限定されない。例えば、主走査方向における着弾位置ずれならば、ワークＷと複数のノズル５２との相対移動における吐出開始位置を補正してもよい。また、副走査方向における着弾位置ずれならば、副走査方向におけるヘッドユニット９の位置を補正する方法が挙げられる。
【０１３７】
（変形例８）上記実施形態１のカラーフィルタ５０５の製造方法および上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法において、着色領域Ａおよび発光層形成領域Ａの配置は、ストライプ方式に限定されない。デルタ方式や、モザイク方式の配置であっても、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用することができる。また、３色の着色層５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂに限定されず、ＲＧＢ３色に他色を加えた多色のカラーフィルタ５０５の製造方法においても適用可能である。
【０１３８】
（変形例９）上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に限定されない。例えば、図６の液晶表示装置５００や図１３の有機ＥＬ表示装置６００において、画素領域ごとに形成されるスイッチング素子の製造方法や画素電極の製造方法についても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３９】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）〜（ｄ）はノズル検査工程を説明するための概略平面図。
【図６】液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図７】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図８】ノズルの分類方法を示すフローチャート。
【図９】液状体の吐出方法を示すフローチャート。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は第１配置情報に基づく液滴の配置の一例を示す概略平面図。
【図１１】（ａ）は第１配置情報を示す表、（ｂ）はノズルリストを示す表、（ｃ）は第２配置情報を示す表。
【図１２】（ａ）および（ｂ）は第２配置情報に基づく液滴の配置の一例を示す概略平面図。
【図１３】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１４】（ａ）〜（ｆ）は発光素子部の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１４０】
１８…被吐出物としての記録紙、５２…ノズル、８０Ｒ，８０Ｇ，８０Ｂ…着色層形成材料を含む液状体、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、５００…電気光学装置としての液晶表示装置、５０１…基板としての対向基板、５０５…カラーフィルタ、５０５Ｒ，５０５Ｇ，５０５Ｂ…着色層、６００…電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置、６０１…基板としての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…画素領域としての着色領域あるいは発光層形成領域、Ｌｕ…発光層、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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