(57)【要約】【課題】ウエハプローバと称される様な半導体ウエハの性能試験等に使用される試験装置で使用される恒温機器用配管を改良するものであり、断熱効果に優れ、且つ装置内で動かし易い恒温機器用配管の開発を課題とする。【解決手段】恒温機器用配管２０は、ワイヤー（長尺状可撓性部材）２５を中心とし、配管保持部材２６を介してワイヤー２５の両端に往き側配管２１と戻り側配管２２が平行に固定され、さらにワイヤー２５に断熱材保持部材２７が取付けられ、断熱材保持部材２７に断熱材片２８が取り付けられた構造となっている。断熱材片２８の内面と、往き側配管２１との間には環状の空隙５１がある。【選択図】図４
2008180376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を所定の温度にする恒温機器に対し、前記恒温機器が設置された装置内に配されて熱媒体の供給及び／又は排出を行う恒温機器用配管において、前記恒温機器に熱媒体を供給及び／又は排出する可撓性を備えた配管と、断熱材保持部材及び断熱材を有し、断熱材保持部材は固定部と断熱材支持部とを備え、断熱材保持部材の固定部は前記配管に対して直接的又は間接的に固定され、断熱材支持部は前記配管の近傍に位置し、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて配管の周囲を包囲すると共に断熱材と配管との間に空隙が形成されていることを特徴とする恒温機器用配管。
【請求項２】
さらに配管位置決め部材を有し、配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備え、断熱材保持部材の固定部は長尺状可撓性部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の恒温機器用配管。
【請求項３】
複数の配管保持部材によって配管が長尺状可撓性部材に固定され、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されていることを特徴とする請求項２に記載の恒温機器用配管。
【請求項４】
熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を所定の温度にする恒温機器に対し、前記恒温機器が設置された装置内に配されて熱媒体の供給及び／又は排出を行う恒温機器用配管において、前記恒温機器に熱媒体を供給する可撓性を備えた往き側配管と、前記恒温機器から排出された熱媒体が流れる可撓性を備えた戻り側配管と、配管位置決め部材と、断熱材保持部材及び断熱材を有し、断熱材保持部材は固定部と断熱材支持部とを備え、断熱材保持部材の固定部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかに対して直接的又は間接的に固定され、往き側配管及び戻り側配管は配管位置決め部材によって略平行に固定され、断熱材支持部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの近傍に位置し、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの周囲を包囲すると共に断熱材と往き側配管又は戻り側配管との間に空隙が形成されていることを特徴とする恒温機器用配管。
【請求項５】
配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備え、断熱材保持部材の固定部は長尺状可撓性部材に取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載の恒温機器用配管。
【請求項６】
複数の配管保持部材によって往き側配管及び／又は戻り側配管が長尺状可撓性部材に固定され、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されていることを特徴とする請求項５に記載の恒温機器用配管。
【請求項７】
熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を所定の温度にする恒温機器に対し、前記恒温機器が設置された装置内に配されて熱媒体の供給及び／又は排出を行う恒温機器用配管において、前記恒温機器に熱媒体を供給する可撓性を備えた往き側配管と、前記恒温機器から排出された熱媒体が流れる可撓性を備えた戻り側配管と、配管位置決め部材と、断熱材保持部材及び断熱材を有し、さらに配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備え、往き側配管及び戻り側配管は配管位置決め部材によって長尺状可撓性部材に対して略平行に固定され、断熱材保持部材は固定部と断熱材支持部とを備え、断熱材保持部材の固定部が前記長尺状可撓性部材に取り付けられ、断熱材支持部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの近傍に位置し、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの周囲を包囲すると共に断熱材と往き側配管又は戻り側配管との間に空隙が形成されていることを特徴とする恒温機器用配管。
【請求項８】
複数の配管保持部材によって往き側配管及び／又は戻り側配管が長尺状可撓性部材に固定され、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されていることを特徴とする請求項７に記載の恒温機器用配管。
【請求項９】
恒温機器と、恒温機器が設置される筐体を備え、筐体内において請求項１乃至８のいずれか１項に記載の恒温機器用配管が恒温機器に接続されていることを特徴とする試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばウエハプローバと称される様な半導体ウエハの性能試験等に使用される試験装置に関するものである。また本発明は、前記した試験装置内において、恒温機器に対して熱媒体を供給する恒温機器用配管に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やパソコン等に代表される電子機器が広く普及している。これらの電子機器は、近年、多様な用途や多様な環境で使用される。そのため電子機器そのものや、これらの部品たる集積回路等が環境から受ける影響を試験する必要がある。
これらの電子部品等を高温環境や低温環境に晒す試験装置としては、特許文献１に開示された構造のものが知られている。
特許文献１に開示された試験装置は、ウエハプローバと称される装置であり、サーマルプレートや高低温チャックと称される恒温機器を備え、当該恒温機器に半導体ウエハを載置または固定して試験を行うものである。
【０００３】
サーマルプレートや高低温チャックと称される恒温機器は、被試験物を載置又は固定する物品載置面を持つ。多くの場合、恒温機器には電気ヒータが取り付けられている。また恒温機器の内部にはキャビティが形成されている。試験装置の内部には、キャビティに熱媒体を供給するための恒温機器用配管が施されている。キャビティには恒温機器用配管を介して所定の温度の熱媒体が流される。また恒温機器用配管からの放熱や吸熱を防止するために配管には断熱材が取り付けられている。
そして電気ヒータの制御と、キャビティ内へ熱媒体を流す動作を併用し、物品載置面の温度を所望の温度に維持する。例えば物品載置面の温度を低温にしたい場合は、恒温機器用配管を介してキャビティに低温の熱媒体を流す。
【０００４】
またウエハプローバと称される装置では、恒温機器がＸＹテーブルに載置されており、恒温機器を所定の位置に移動する構成となっている。
そのため恒温機器用配管は恒温機器の移動に追従する必要があり、フレキシブル性を備えたチューブや管が使用されている。
またウエハプローバでは装置内において恒温機器用配管が円滑に追従するための工夫が成されている。例えば特許文献１に開示された試験装置では、バネで恒温機器用配管にテンションを与えて配管のバランスを調節する構成が開示されている。
【特許文献１】ＤＥ  １９５  ４０  １０３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ウエハプローバ等の試験装置では、前記した様に、恒温機器用配管からの放熱や吸熱を防止するために配管には断熱材が取り付けられている。
しかしながら、従来技術の恒温機器用配管は、断熱効果が十分であるとは言えない。
即ちウエハプローバ等の試験装置では、電子回路が構成された半導体ウエハに、マイナス６５度（摂氏）近辺の冷熱負荷を掛ける。そのため恒温機器のキャビティには、それ以下の温度の冷媒（熱媒体）が供給される。
この様に、恒温機器のキャビティに供給される冷媒の温度は、大気の温度と相当にかけ離れている。そのため恒温機器用配管には、より厳重な断熱処理が必要であり、従来の構成では不十分である。
【０００６】
また前記した様に、ウエハプローバには恒温機器が移動するタイプのものがあり、恒温機器用配管は恒温機器に追従して移動しなければならない。しかしながら、恒温機器用配管の断熱層を厚くすると、恒温機器用配管を動かしにくくなってしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は、従来技術の上記した問題点に注目し、断熱効果に優れ、且つ装置内で動かし易い恒温機器用配管の開発を課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記した課題を解決するための請求項１に記載の発明は、熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を所定の温度にする恒温機器に対し、前記恒温機器が設置された装置内に配されて熱媒体の供給及び／又は排出を行う恒温機器用配管において、前記恒温機器に熱媒体を供給及び／又は排出する可撓性を備えた配管と、断熱材保持部材及び断熱材を有し、断熱材保持部材は固定部と断熱材支持部とを備え、断熱材保持部材の固定部は前記配管に対して直接的又は間接的に固定され、断熱材支持部は前記配管の近傍に位置し、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて配管の周囲を包囲すると共に断熱材と配管との間に空隙が形成されていることを特徴とする恒温機器用配管である。
【０００９】
恒温機器の構成としては、内部にキャビティを備え、キャビティ内に熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を調節するものが知られている。
本発明の恒温機器用配管では、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて配管の周囲を包囲すると共に断熱材と配管との間に空隙が形成されている。
そのため本発明の恒温機器用配管は、配管の断熱効果が高い。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、さらに配管位置決め部材を有し、配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備え、断熱材保持部材の固定部は長尺状可撓性部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の恒温機器用配管である。
【００１１】
本発明の恒温機器用配管は、さらに配管位置決め部材を有しており、当該配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備えている。そして、断熱材保持部材の固定部が長尺状可撓性部材に取り付けられている。従って断熱材支持部は長尺状可撓性部材を介することにより、配管と互いに一定の位置関係を維持し、断熱材支持部は配管の近傍に位置している。そして本発明の恒温機器用配管では、断熱材は断熱材支持部に取り付けられている。従って断熱材は、断熱材支持部及び長尺状可撓性部材を介して一定の位置関係を維持し、配管と断熱材の間に形成された空隙は、配管が多少曲げられても維持される。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、複数の配管保持部材によって配管が長尺状可撓性部材に固定され、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されていることを特徴とする請求項２に記載の恒温機器用配管である。
【００１３】
本発明の恒温機器用配管では、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されている。そのため断熱材は分断された部位で折れ曲がり易い。従って本発明の恒温機器用配管は、曲げやすく、動かしやすい。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を所定の温度にする恒温機器に対し、前記恒温機器が設置された装置内に配されて熱媒体の供給及び／又は排出を行う恒温機器用配管において、前記恒温機器に熱媒体を供給する可撓性を備えた往き側配管と、前記恒温機器から排出された熱媒体が流れる可撓性を備えた戻り側配管と、配管位置決め部材と、断熱材保持部材及び断熱材を有し、断熱材保持部材は固定部と断熱材支持部とを備え、断熱材保持部材の固定部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかに対して直接的又は間接的に固定され、往き側配管及び戻り側配管は配管位置決め部材によって略平行に固定され、断熱材支持部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの近傍に位置し、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの周囲を包囲すると共に断熱材と往き側配管又は戻り側配管との間に空隙が形成されていることを特徴とする恒温機器用配管である。
【００１５】
本発明の恒温機器用配管は往き側配管及び戻り側配管を備えており、往き側配管及び戻り側配管が略平行に固定されている。そのため本発明によると配管のまとまりが良く、扱いやすい。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備え、断熱材保持部材の固定部は長尺状可撓性部材に取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載の恒温機器用配管である。
【００１７】
本発明の恒温機器用配管では、断熱材保持部材の固定部が前記長尺状可撓性部材に取り付けられている。従って断熱材支持部は長尺状可撓性部材を介することにより、往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかと互いに一定の位置関係を維持し、断熱材支持部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの近傍に位置している。
そして本発明の恒温機器用配管では、断熱材は断熱材支持部に取り付けられている。従って断熱材は、断熱材支持部及び長尺状可撓性部材を介して一定の位置関係を維持し、配管と断熱材の間に形成された空隙は、配管が多少曲げられても維持される。
また本発明の恒温機器用配管では、往き側配管と戻り側配管が、長尺状可撓性部材を介して一体化されているから、まとまりが良く、移動させやすい。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、複数の配管保持部材によって往き側配管及び／又は戻り側配管が長尺状可撓性部材に固定され、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されていることを特徴とする請求項５に記載の恒温機器用配管である。
【００１９】
本発明の恒温機器用配管では、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されている。そのため断熱材は分断された部位で折れ曲がり易い。従って本発明の恒温機器用配管は、曲げやすく、動かしやすい。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、熱媒体を導入して特定の温度調節面の温度を所定の温度にする恒温機器に対し、前記恒温機器が設置された装置内に配されて熱媒体の供給及び／又は排出を行う恒温機器用配管において、前記恒温機器に熱媒体を供給する可撓性を備えた往き側配管と、前記恒温機器から排出された熱媒体が流れる可撓性を備えた戻り側配管と、配管位置決め部材と、断熱材保持部材及び断熱材を有し、さらに配管位置決め部材は長尺状可撓性部材と配管保持部材を備え、往き側配管及び戻り側配管は配管位置決め部材によって長尺状可撓性部材に対して略平行に固定され、断熱材保持部材は固定部と断熱材支持部とを備え、断熱材保持部材の固定部が前記長尺状可撓性部材に取り付けられ、断熱材支持部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの近傍に位置し、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの周囲を包囲すると共に断熱材と往き側配管又は戻り側配管との間に空隙が形成されていることを特徴とする恒温機器用配管である。
【００２１】
本発明の恒温機器用配管では、断熱材は断熱材支持部に取り付けられて往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの周囲を包囲すると共に断熱材と往き側配管又は戻り側配管との間に空隙が形成されている。
そのため本発明の恒温機器用配管は、配管の断熱効果が高い。また本発明の恒温機器用配管では、前記した配管と断熱材の間の空隙が配管を移動させても維持される。
即ち本発明の恒温機器用配管では、配管位置決め部材を有し、往き側配管及び戻り側配管が長尺状可撓性部材に対して略平行に固定されている。そのため往き側配管及び戻り側配管はいずれも長尺状可撓性部材に対して一定の位置関係にある。
また本発明の恒温機器用配管では、断熱材保持部材の固定部が長尺状可撓性部材に取り付けられている。従って断熱材支持部は長尺状可撓性部材を介することにより、往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかと一定の位置関係を維持し、断熱材支持部は往き側配管又は戻り側配管の少なくともいずれかの近傍に位置している。
そして本発明の恒温機器用配管では、断熱材は断熱材支持部に取り付けられている。従って断熱材は、断熱材支持部及び長尺状可撓性部材を介して一定の位置関係を維持し、配管と断熱材の間に形成された空隙は、配管が多少曲げられても維持される。
また本発明の恒温機器用配管では、往き側配管と戻り側配管が、長尺状可撓性部材を介して一体化されているから、まとまりが良く、移動させやすい。
【００２２】
請求項８に記載の発明は、複数の配管保持部材によって往き側配管及び／又は戻り側配管が長尺状可撓性部材に固定され、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されていることを特徴とする請求項７に記載の恒温機器用配管である。
【００２３】
本発明の恒温機器用配管では、断熱材は前記配管保持部材の部位で分断されている。そのため断熱材は分断された部位で折れ曲がり易い。従って本発明の恒温機器用配管は、曲げやすく、動かしやすい。
【００２４】
請求項９に記載の発明は、恒温機器と、恒温機器が設置される筐体を備え、筐体内において請求項１乃至８のいずれか１項に記載の恒温機器用配管が恒温機器に接続されていることを特徴とする試験装置である。
【００２５】
本発明の試験装置は、恒温機器用配管からの放熱や吸熱が少なく、所望の温度を維持した熱媒を恒温機器に供給することができる。そのため、恒温機器用配管は使用可能な温度領域が広い。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の恒温機器用配管は、放熱や吸熱が少なく、所望の温度を維持した熱媒を恒温機器に供給することができる効果がある。そのため本発明の恒温機器用配管を採用した試験装置は、使用可能な温度領域が広く、基本性能が高いものとなる。
【００２７】
本発明の試験装置によれば、広い温度領域において試験を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下さらに本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態の試験装置の斜視図である。図２は、図１の試験装置で採用されている恒温機器用配管の正面図である。図３は、図２の恒温機器用配管の平面図である。図４は、図２の恒温機器用配管の断面斜視図である。図５は、図２の恒温機器用配管の内部構造を示す一部破断斜視図である。図６は配管保持部材の斜視図である。図７（ａ）は、断熱材保持部材の正面図であり、（ｂ）は側面図である。図８は、図２のＡ−Ａ断面図である。図９は、図２のＢ−Ｂ断面図である。図１０は、図２のＣ−Ｃ断面図である。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態の試験装置１を示す。実施形態の試験装置１は、具体的にはウエハプローバと称される装置であり、筐体２内にサーマルプレートや高低温チャックと称される恒温機器３を備えている。
恒温機器３は、全体形状が円柱形をしている。そしてその頂面が被試験物を載置する物品載置面５であり、物品載置面５が所望の温度に調節される。即ち恒温機器３には図示しない電気ヒータが取り付けられており、さらに内部に図示しないキャビティが設けられている。そして電気ヒータを制御すると共にキャビティ内に冷却された空気（熱媒体）を循環させて物品載置面５を温度調節する。
また恒温機器３には図示しない真空配管が施されており、真空力によって被試験物を物品載置面５に保持する機能を備えている。
【００３０】
恒温機器３は、Ｘ−Ｙテーブル１３に載置されており、図示しないモータによってＸ−Ｙ方向に移動可能である。
【００３１】
本実施形態の試験装置１は、外部に設けられた冷媒供給装置８から冷却空気の供給を受けて恒温機器３に冷却空気を導入するものである。試験装置１と冷媒供給装置８とは渡り配管１０，１１で配管接続されている。一方の渡り配管１０は、冷媒供給装置８で作られた冷却空気を筐体２内に供給するものであり、他方の渡り配管１１は、筐体２から冷媒供給装置８にキャビティから排出された空気を戻すものである。
また試験装置１の筐体２内には、恒温機器用配管２０がある。恒温機器用配管２０は、後記する様に往き側配管２１と戻り側配管２２が一体化されたものである。
前記した渡り配管１０は筐体２内において恒温機器用配管２０の往き側配管２１に接続され、渡り配管１１は筐体２内において恒温機器用配管２０の戻り側配管２２に接続されている。
【００３２】
そして冷媒供給装置８で作られた冷却空気は、渡り配管１０を流れて筐体２内に入り、さらに恒温機器用配管２０の往き側配管２１を通って恒温機器３のキャビティに入る。またキャビティを出た空気は、恒温機器用配管２０の戻り側配管２２を通って筐体２の外に運ばれ、さらに渡り配管１１を経て冷媒供給装置８に戻る。
【００３３】
以上、本実施形態の試験装置１の概略構成について説明したが、本試験装置１は特徴的な恒温機器用配管２０を採用している。以下、恒温機器用配管２０について説明する。
図２で示すように本実施形態で採用する恒温機器用配管２０は、往き側配管２１、戻り側配管２２と、配管位置決め部材２４と、断熱材保持部材２７及び断熱材片２８によって構成されている。また前記した配管位置決め部材２４は、ワイヤー（長尺状可撓性部材）２５と、配管保持部材２６とによって構成されている。
上記した部材の中で、往き側配管２１、戻り側配管２２及びワイヤー（長尺状可撓性部材）２５の個数はそれぞれ一本である。
これに対して配管保持部材２６と、断熱材保持部材２７及び断熱材片２８はいずれも多数である。
【００３４】
往き側配管２１は可撓性を有するチューブである。往き側配管２１は低温の空気が流れるものであるから、相当の低温下においても弾性を失わない素材で作られたチューブが選定されている。
【００３５】
戻り側配管２２についても可撓性を有するチューブである。戻り側配管２２についても相当の低温下においても弾性を失わない素材で作られたチューブを使用することが望ましい。
【００３６】
ワイヤー２５には一定間隔ごとに配管保持部材取付け孔と、断熱材保持部材取付け孔とが設けられている（いずれも図示せず）。
【００３７】
配管保持部材２６は、図６の様に、二つの保持部材片３１，３２が一組となって構成されている。
一方の保持部材片３１は、金属又は樹脂によって作られたものであり、二つの配管保持部３５，３６が設けられている。配管保持部３５，３６は、具体的には半円形の凹部である。
配管保持部３５，３６の間の位置には、ワイヤー保持部３８が設けられている。
さらに保持部材片３１には、両側面を貫通する孔４０が設けられている。
【００３８】
他方の保持部材片３２は、前記した保持部材片３１と対称形であり、同様に配管保持部３５，３６とワイヤー保持部３８が設けられている。ただし前記した保持部材片３１では、両側面を貫通する孔４０が設けられていたのに対し、他方の保持部材片３２では同一の位置にネジ孔４３が形成されている。
【００３９】
断熱材保持部材２７は、ステンレススチール等の帯材を曲げ加工して作られたものであり、図７に示すように二枚の板部が対向して配された固定部４５と、固定部４５と連続し、環状に構成された断熱材支持部４６を有している。ここで断熱材支持部４６の形状は円形であり、この内径は、前記した往き配管２１の外径よりも相当に大きい。具体的には、断熱材支持部４６の内径は、往き配管２１の外径よりも２〜１０ｍｍ程度大きい。
断熱材保持部材２７の固定部４５には、両板部を貫く一対の貫通非ネジ孔４７が設けられている。
【００４０】
断熱材片２８は、公知のグラスウールや発泡樹脂等で作られたものである。断熱材片２８は、マット状のものを巻き付けたものであっても良く、予め断面「Ｃ」字状に成形されたものであってもよい。
断熱材片２８の長さＬ（図３）は比較的短いものであり、配管保持部材２６同士の間の距離と略等しい。
【００４１】
次に、恒温機器用配管２０を構成する各部材同士の関係について説明する。
本実施形態の恒温機器用配管２０は、ワイヤー（長尺状可撓性部材）２５を中心とし、配管保持部材２６を介してワイヤー２５の両側（図では上下）に往き側配管２１と戻り側配管２２が平行に固定され、さらにワイヤー２５に断熱材保持部材２７が取付けられ、断熱材保持部材２７に断熱材片２８が取り付けられた構造となっている。
即ちワイヤー２５には図１，３に示すように、複数の配管保持部材２６が所定の間隔で取り付けられている。配管保持部材２６は、各保持部材片３１，３２のワイヤー保持部３８同士の間でワイヤー２５を挟み、さらにワイヤー保持部３８に設けられた貫通孔４０及びネジ孔４３と、ワイヤー２５に設けられた配管保持部材取付け孔にネジ４８を挿通してワイヤー２５を固定している。
【００４２】
そして図８のように配管保持部材２６の保持部材片３１，３２同士で形成される一方の円形の空隙３４で往き側配管２１が挟まれている。さらに保持部材片３１，３２同士で形成される他方の円形の空隙３９で戻り側配管２２が挟まれている。
【００４３】
次に断熱材保持部材２７の取付け構造について説明する。断熱材保持部材２７は、固定部４５の間にワイヤー２５が挟まれ、ネジ５０によって断熱材保持部材２７がワイヤー２５に固定されている。
また断熱材保持部材２７の環状の断熱材支持部４６は、図４，５に示すように往き側配管２１の近傍にあり、往き側配管２１を包囲している。言い換えれば、断熱材支持部４６の中心に往き側配管２１がある。そして前記した様に、断熱材支持部４６の内径は、往き側配管２１の外径よりも大きいから、図４，５に示すように往き側配管２１と断熱材支持部４６の間には隙間４９がある。
【００４４】
そして断熱材片２８は、断熱材支持部４６の外側に設けられている。即ち断熱材片２８は断熱材支持部４６の外側にある。従って断熱材片２８の内面と、往き側配管２１との間には環状の空隙５１がある。
当該空隙５１は、配管保持部材２６の部位を除いて往き側配管２１の全域に存在する。
断熱材片２８の長さＬは、前記した様に配管保持部材２６同士の間の距離と略等しく、断熱材片２８が配管保持部材２６同士の間に収まる様になっている。ただし断熱材片２８の両端は冷気が洩れないように閉塞されている。
【００４５】
恒温機器用配管２０は、基端部が筐体２に固定されており、図示しない連通配管を介して恒温機器用配管２０の基端部に渡り配管１０，１１が接続されている。また恒温機器用配管２０の先端側は恒温機器３のキャビティに接続されている。なお前記した様に恒温機器用配管２０の基端部は筐体２に固定され、恒温機器用配管２０の先端側は恒温機器３に取り付けられているが、その中間部はフリーである。
【００４６】
そして恒温機器用配管２０の往き側配管２１を低温の空気が通過して恒温機器３のキャビティに低温の空気が供給される。キャビティを出た空気は、恒温機器用配管２０の戻り側配管２２を経由して排出される。
ここで本発明の恒温機器用配管２０では、低温の空気が通過する往き側配管２１に断熱材片２８が取り付けられている。さらに本実施形態では、往き側配管２１と断熱材片２８との間に環状の空隙５１がある。また各断熱材片２８の両端は閉塞されているから、空隙５１に閉じ込められた空気は外に逃げない。従って往き側配管２１を取り巻く環状の空隙５１は、保温空気層として機能する。そのため本実施形態の恒温機器用配管２０では、往き側配管２１は保温空気層と断熱材片２８の双方によって外部と熱的に遮蔽され、往き側配管２１を流れる空気の冷熱が逃げにくい。
【００４７】
またＸ−Ｙテーブル１３を動作させた際の状況を考えると、Ｘ−Ｙテーブル１３に載置された恒温機器３の移動に伴い、恒温機器用配管２０が移動し、恒温機器用配管２０の折れ曲がり具合が変化するが、この間においても、断熱層たる環状の空隙５１は維持される。
即ち本実施形態の恒温機器用配管２０では、往き側配管２１が配管保持部材２６によってワイヤー２５に対して平行に固定されているから、恒温機器用配管２０の姿勢が変化しても、往き側配管２１はワイヤー２５に対して一定の位置を維持している。
また断熱材保持部材２７の固定部４５がワイヤー２５に取り付けられている。従って断熱材保持部材２７の断熱材支持部４６はワイヤー２５を介して往き側配管２１と一定の位置関係を維持し、断熱材支持部４６と往き側配管２１との位置関係は、恒温機器用配管２０の姿勢が変化しても崩れない。
【００４８】
そのため恒温機器用配管２０が移動し、恒温機器用配管２０の折れ曲がり具合が変化しても、断熱材支持部４６と往き側配管２１との位置関係には変化なく、断熱層たる環状の空隙５１は維持される。
従って恒温機器用配管２０が移動しても、断熱効果は変わらず、往き側配管２１から冷熱が放散されることはない。
【００４９】
また本実施形態の恒温機器用配管２０では、往き側配管２１と戻り側配管２２が、ワイヤー２５を介して一体化されているから、まとまりが良く、移動させやすい。
【００５０】
加えて、本実施形態で採用されている断熱材は、複数の独立した断熱材片２８によって構成されている。言い換えると、本実施形態で採用されている断熱材は、配管保持部材２６の部位で分断されている。そのため本発明で採用する断熱材は、配管保持部材２６の近傍で容易に折れ曲がる。そのため配管位置決め部材２４を「Ｕ」字状に曲げたり「Ｓ」字状に曲げたり、あるいはサーペンティン状に複雑に曲げることができる。
【００５１】
さらにワイヤー２５は、ある程度の弾性を持つから、恒温機器用配管２０が移動し、恒温機器用配管２０の折れ曲がり具合が変化しても、恒温機器用配管２０の曲げ部分は一定の曲率を維持し、恒温機器用配管２０がキンクすることはない。
そのため恒温機器３が移動しても、恒温機器用配管２０は円滑に追従する。
【００５２】
次に本発明の変形例について説明する。
以上説明した実施形態では、断熱材保持部材２７は円環状の断熱材支持部４６を備え、断熱材支持部４６によって往き側配管２１を完全に包囲する構成を例示した。しかしながら、本発明は、この構成に限定するものではなく、各種の変形例が考えられる。
図１１は、本発明の変形例の恒温機器用配管であって、図９と同様の位置における断面図である。図１２は、本発明の他の変形例の恒温機器用配管であって、図９と同様の位置における断面図である。
【００５３】
即ち、断熱材支持部４６は、必ずしも円状でなくともよく、更には環状であることも必須ではない。例えば図１１に示す断熱材保持部材６０の様に突出状の断熱材支持部６１を持ち、断熱材支持部６１の突端部分で断熱材片２８を支持するものであってもよい。図１１に示す断熱材保持部材６０は、「Ｙ」状であるが、「Ｔ」状であったり、「Ｃ」状であってもよい。
【００５４】
また上記した実施形態では、いずれも断熱材支持部６１の外側に断熱材片２８が設けられていたが、図１２に示す様に、断熱材保持部材６２の内側に断熱材片２８が支持されていてもよい。
【００５５】
上記した実施形態では、長尺状可撓性部材の例としてワイヤーを例示したが、線状や帯状の長尺状可撓性部材を採用することもできる。
【００５６】
また上記した実施形態では、配管保持部材２６が略均等に配置された例を図示したが、配管保持部材２６の配列は任意であり、当然に配管保持部材２６同士の間に挟まれる断熱材片２８の長さも任意である。
図１３は、本発明のさらに他の実施例の平面図である。例えば図１３に示す様に、配管保持部材２６の間隔を不均一にしてもよい。具体的には、恒温機器用配管２０の中で、曲げられるべき部位の配管保持部材２６の間隔を縮め、直線的にレイアウトしたい部位では配管保持部材２６の間隔を長くする。その結果、配管保持部材２６の間隔が短い部位は、小さい曲率半径となり、配管保持部材２６の間隔が長い部位は、大きな曲率半径となる。
【００５７】
また上記した実施形態では、長尺状可撓性部材としてワイヤーを採用したが、ワイヤーに代わって帯状の部材を使用することもできる。帯は、縦方向の断面二次モーメントと横方向の断面二次モーメントが極端に相違する。帯は、一方に対して曲げやすいが、幅方向に対しては曲げにくい性質を持つ。帯状の長尺状可撓性部材を幅方向に立てると、水平面上で曲げやすく、垂直面上には曲がりにくい。従って恒温機器用配管の動作は、一つの平面上の動作に規制される。
【００５８】
また上記した実施形態では、断熱材保持部材の固定部をワイヤー等の長尺状可撓性部材を介して配管に間接的に固定した例を示したが、断熱材保持部材の固定部を直接的に配管に固定してもよい。
図１４乃至図１８は、断熱材保持部材を配管に直接的に固定した例を示すものである。即ち図１４は、本発明のさらに他の実施形態における恒温機器用配管の一部断面斜視図である。図１５は、図１４の恒温機器用配管のＡ−Ａ断面図である。図１６は、本発明のさらに他の実施形態における恒温機器用配管の一部断面斜視図である。図１７は、図１６の恒温機器用配管のＡ−Ａ断面図である。図１８は、本発明のさらに他の実施形態における恒温機器用配管の一部断面斜視図である。
【００５９】
図１４に示す恒温機器用配管は、往き側配管７０と、断熱材保持部材７１及び断熱材片７２によって構成されている。本実施形態では、断熱材保持部材７１は中央に円孔が設けられた円板である。そして中央の円孔に往き側配管７０が挿通されている。本実施形態では、中央の円孔が固定部として機能し、円板の周部が断熱材支持部として機能する。
即ち断熱材片７２は、断熱材保持部材７１の外側に設けられている。そして断熱材片７２の内面と、往き側配管７０との間には環状の空隙７３がある。
【００６０】
図１４，１５に示した実施形態では、断熱材保持部材７１として円板形状のものを例示したが、円板形状に限定されるものではなく、往き側配管７０に固定される固定部と、断熱材を保持する部位を備えれば足る。例えば図１６，１７に示すように環状の固定部７４と、ピン状の断熱材支持部７５を備え、ピンの先端で断熱材片７２を支持するものであってもよい。
【００６１】
また図１８に示す断熱材保持部材８０の様に二枚の板体で往き側配管７０を挟んで往き側配管７０に固定されるものであってもよい。
【００６２】
上記の実施形態では、断熱材保持部材及び断熱材を往き側配管のみに設けているが、戻り側配管のみに設けてもよいし、往き側配管と戻り側配管の両方に設けてもよい。
【００６３】
また、上記の実施形態では熱媒体は冷媒であるが、熱媒体が加熱用媒体であってもよいことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態の試験装置の斜視図である。
【図２】図１の試験装置で採用されている恒温機器用配管の正面図である。
【図３】図２の恒温機器用配管の平面図である。
【図４】図２の恒温機器用配管の断面斜視図である。
【図５】図２の恒温機器用配管の内部構造を示す一部破断斜視図である。
【図６】配管保持部材の斜視図である。
【図７】（ａ）は断熱材保持部材の正面図であり、（ｂ）はその側面図である。
【図８】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図９】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】図２のＣ−Ｃ断面図である。
【図１１】本発明の変形例の恒温機器用配管であって、図９と同様の位置における断面図である。
【図１２】本発明の他の変形例の恒温機器用配管であって、図９と同様の位置における断面図である。
【図１３】本発明のさらに他の実施例の平面図である。
【図１４】本発明のさらに他の実施形態における恒温機器用配管の一部断面斜視図である。
【図１５】図１４の恒温機器用配管のＡ−Ａ断面図である。
【図１６】本発明のさらに他の実施形態における恒温機器用配管の一部断面斜視図である。
【図１７】図１６の恒温機器用配管のＡ−Ａ断面図である。
【図１８】本発明のさらに他の実施形態における恒温機器用配管の一部断面斜視図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  試験装置
２  筺体
３  恒温機器
２０  恒温機器用配管
２１，７０  往き側配管
２２  戻り側配管
２４  配管位置決め部材
２５  ワイヤー（長尺状可撓性部材）
２６  配管保持部材
２７，６０，６２，７１，８０  断熱材保持部材
２８，７２  断熱材片
３５  往き側配管保持部
３６  戻り側配管保持部
３８  ワイヤー保持部（長尺状可撓性部材保持部）
４５，７４  固定部
４６，６１，７５  断熱材支持部
５１，７３  空隙
【図１】
2008180376.tif 000003
【図２】
2008180376.tif 000004
【図３】
2008180376.tif 000005
【図４】
2008180376.tif 000006
【図５】
2008180376.tif 000007
【図６】
2008180376.tif 000008
【図７】
2008180376.tif 000009
【図８】
2008180376.tif 000010
【図９】
2008180376.tif 000011
【図１０】
2008180376.tif 000012
【図１１】
2008180376.tif 000013
【図１２】
2008180376.tif 000014
【図１３】
2008180376.tif 000015
【図１４】
2008180376.tif 000016
【図１５】
2008180376.tif 000017
【図１６】
2008180376.tif 000018
【図１７】
2008180376.tif 000019
【図１８】
2008180376.tif 000020