(57)【要約】【課題】落下防止機能を備えた変換ボックスを実現する半導体テスタの変換ボックスを実現する。【解決手段】テストヘッドに搭載固定される変換ボックスにおいて、前記変換ボックスの一方の面に一方の面が接して設けられた嵌合ブロックと、この嵌合ブロックに設けられ前記テストヘッドのロックピンがロック時に挿入されるロック穴と、前記嵌合ブロックに設けられ前記ロックピンがロック時に前記ロック穴に挿入されているか否かを検出する検出センサとを具備したことを特徴とする半導体テスタの変換ボックスである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッドに搭載固定される変換ボックスにおいて、
前記変換ボックスの一方の面に一方の面が接して設けられた嵌合ブロックと、
この嵌合ブロックに設けられ前記テストヘッドのロックピンがロック時に挿入されるロック穴と、
前記嵌合ブロックに設けられ前記ロックピンがロック時に前記ロック穴に挿入されているか否かを検出する検出センサと
を具備したことを特徴とする半導体テスタの変換ボックス。
【請求項２】
前記検出センサは、前記ロックピンがロック時に前記ロック穴に挿入されていることを検出した場合にプローバに検出信号を出力すること
を特徴とする請求項１記載の半導体テスタの変換ボックス。
【請求項３】
前記検出センサは、近接センサが使用されていること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体テスタの変換ボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体テスタのテストヘッドに搭載する、落下防止機能付き変換ボックスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体テスタの変換ボックスに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【非特許文献１】横河電機株式会社発行、User’  Manual、「システム概説書」、ＮＯ，ＩＭ  ６６Ｍ０２Ａ０１、２００６年３月１日、１版、Ｐ４０〜４１、
【非特許文献２】横河電機株式会社発行、User’  Manual、「ベースユニット取り扱い上の注意」、ＮＯ，ＩＭ  ６６Ｍ０２Ａ１４、２００５年１１月１６日、１版、Ｐ１〜５、
【０００４】
半導体テスタの変換ボックス１は、図５に示す如く、テストヘッド２が（１）の状態において、テストヘッド２に搭載される。
プローバ３が、テストヘッド２に変換ボックス１が取り付けられたと認識すると、指令を出して、テストヘッド２を（１）→（２）→（３）の状態に回転させて、半導体テスタの動作が開始される。
【０００５】
図６は従来より一般に使用されている変換ボックスの従来例の構成説明図で、図７は図６の要部構成説明図で、従来の変換ボックスとテストヘッドの嵌合部分、図８は図６の動作説明図、図９は図６の動作説明図である。
【０００６】
１１は変換ボックス本体、１２は変換ボックス本体１１の下部に取り付けられた嵌合ブロックである。
嵌合ブロック１２には、テストヘッド２のロックピン１４が挿入される、ロック穴１３が設けられている。
【０００７】
ロックピン１４は、ロックピン１４に連結され、テストヘッド２に設けられたシリンダの動作により、嵌合ブロック１２のロック穴１３に挿入されることで、変換ボックス１とテストヘッド２との固定を行っている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
従来の変換ボックス１は、テストヘッド２に設けられ、ロックピン１４に連結されたシリンダが動作し、ロックピン１４が嵌合位置に到達したときに「テストヘッド２と変換ボックス１が確実に固定された」とプローバー３が認識し、プローバー３はテストヘッド２を１８０°回転させる。
【０００９】
その際、テストヘッド２に搭載されている変換ボックス１も同様に１８０°回転する。
しかし、図９のように、嵌合ブロック１２のロック穴１３に、ロックピン１４が挿入されていない状態でも、ロックピン１４が嵌合位置に到達していれば、プローバー３は、テストヘッド２及び変換ボックス１を、１８０°回転させるため、テストヘッド２から変換ボックス１は落下してしまう。
【００１０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、テストヘッドに変換ボックスが確実に固定されていないと、プローバーが回転動作を開始しない落下防止機能を備えた変換ボックスを実現する半導体テスタの変換ボックスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体テスタの変換ボックスにおいては、
テストヘッドに搭載固定される変換ボックスにおいて、前記変換ボックスの一方の面に一方の面が接して設けられた嵌合ブロックと、この嵌合ブロックに設けられ前記テストヘッドのロックピンがロック時に挿入されるロック穴と、前記嵌合ブロックに設けられ前記ロックピンがロック時に前記ロック穴に挿入されているか否かを検出する検出センサとを具備したことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２の半導体テスタの変換ボックスにおいては、請求項１記載の半導体テスタの変換ボックスにおいて、
前記検出センサは、前記ロックピンがロック時に前記ロック穴に挿入されていることを検出した場合にプローバに検出信号を出力することを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項３の半導体テスタの変換ボックスにおいては、請求項１又は請求項２記載の半導体テスタの変換ボックスにおいて、
前記検出センサは、近接センサが使用されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、次のような効果がある。
本発明の変換ボックスは、テストヘッドのロックピンに連結されたシリンダが動作し、ロックピンが嵌合位置に到達し、尚且つ、ロックピンが嵌合ブロックのロック穴に挿入され検出センサが動作したときに「テストヘッドと変換ボックスが確実に固定された」とプローバーは認識する。
【００１５】
このため、嵌合ブロックのロックに、ロックピンが挿入されていない状態では、プローバーは、テストヘッド及び変換ボックスの回転動作を開始しない。
本発明により、変換ボックスのテストヘッドからの落下を防ぐことができる半導体テスタの変換ボックスが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部斜視構成説明図、図２は図１の要部構成説明図、図３は図１の動作説明図、図４は図１の動作説明図である。
図において、図５，図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５，図６との相違部分のみ説明する。
【００１７】
図１，図２において、変換ボックス本体２１は、テストヘッドに搭載固定されている。
嵌合ブロック２２は、変換ボックス本体２１の一方の面に一方の面が接して設けられている。
ロック穴２３は、嵌合ブロック２２に設けられ、図３に示す如く、テストヘッド２のロックピン２４がロック時に挿入される。
【００１８】
検出センサ２５は、嵌合ブロック２２に設けられ、ロックピン２４がロック時に、ロック穴２３に挿入されているか否かを検出する。
検出センサ２５は、ロックピン２４がロック時に、ロック穴２３に挿入されていることを検出した場合には、プローバ３に検出信号を出力する。
この場合は、検出センサ２５は、近接センサが使用されている。
【００１９】
以上の構成において、変換ボックス本体２１をテストヘッド２に固定するには、テストヘッド２のロックピン２４に連結されたシリンダが動作し、ロックピン２４が嵌合位置に到達し、ロックピン２４が嵌合ブロック２２のロック穴２３に挿入される。
【００２０】
この時、検出センサ２５は、ロックピン２４がロック時に、ロック穴２３に挿入されているか否かを検出する。
検出センサ２５は、ロックピン２４がロック時に、ロック穴２３に挿入されていることを検出した場合には、プローバ３に検出信号を出力する。
【００２１】
この結果、変換ボックス本体２１は、テストヘッド２のロックピン２４に連結されたシリンダが動作し、ロックピン２４が嵌合位置に到達し、尚且つ、ロックピン２４が嵌合ブロック２２のロック穴２３に挿入され、検出センサ２５が動作したときに「テストヘッドと変換ボックスが確実に固定された」とプローバー３は認識する。
【００２２】
このため、図４に示す如く、嵌合ブロック２２のロック穴２３に、ロックピン２４が挿入されていない状態では、プローバー３は、テストヘッド２及び変換ボックス１の回転動作を開始しない。
本発明により、変換ボックス１のテストヘッド２からの落下を防ぐことができる半導体テスタの変換ボックスが得られる。
【００２３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部構成説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】図１の動作説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている変換ボックスの従来例の構成説明図である。
【図７】図６の要部構成説明図である。
【図８】図６の動作説明図である。
【図９】図６の動作説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１      変換ボックス
２      テストヘッド
３      プローバ
１１    変換ボックス本体
１２    嵌合ブロック
１３    ロック穴
１４    ロックピン
２１    変換ボックス本体
２２    嵌合ブロック
２３    ロック穴
２４    ロックピン
２５    検出センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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