(57)【要約】【課題】金属細線の溶断電流を測定するための治具、特に半導体素子と基板との接合に使用される所定長さのＡｕ細線の溶断電流を測定するための治具を提供する。【解決手段】基台１と、基台に固定して取付けられている平面９を有する固定具２と、前記固定具２に対して近づけたり遠ざけたり摺動させることのできる平面１０を有する摺動具３とからなり、固定具２の平面９には金属線固定ボルト４および押さえ平板１１を設け、一方、摺動具３の平面１０には金属線固定ボルト５および押さえ平板１２を設け、前記固定具２の平面９の端部および摺動具３の平面１０の端部にそれぞれ金属細線６に通電するための端子１７、１８が設けられている金属細線の溶断電流測定治具であって、固定具２の平面９は摺動具側に向かって上るように傾斜しており、一方、摺動具３の平面１０は固定具に向かって上るように傾斜している。【選択図】図３
2008209191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、基台に固定して取付けられている平面を有する固定具と、前記固定具に対して近づけたり遠ざけたり摺動させることのできる平面を有する摺動具とからなり、固定具の平面には金属線固定ボルトおよび押さえ平板を設け、一方、摺動具の平面には金属線固定ボルトおよび押さえ平板を設け、前記固定具の平面の端部および摺動具の平面の端部にそれぞれ金属細線に通電するための端子が設けられていることを特徴とする金属細線の溶断電流測定治具。
【請求項２】
前記固定具の平面は摺動具側に向かって上るように傾斜している傾斜平面であり、一方、摺動具の平面は固定具に向かって上るように傾斜している傾斜平面であることを特徴とする請求項１記載の金属細線の溶断電流測定治具。
【請求項３】
前記摺動具の横に、摺動具の摺動方向に平行にスケールが取付けられていることを特徴とする請求項１または２記載の金属細線の溶断電流測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、金属細線の溶断電流を測定するための治具に関するものであり、特に半導体素子と基板との接合に使用される所定の長さのＡｕ細線の溶断電流を測定するための治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、線材などの溶断電流を測定する装置として線材の両端を固定し、この固定した線材に電流を流し、線材が溶断した電流値を溶断電流として測定する装置が知られている（特許文献１など参照）。しかし、溶断電流測定装置は溶接ワイヤなどの太い径の線材の溶断電流を測定する装置に関するものであり、半導体装置のボンディングワイヤなどＡｕ細線の溶断電流を測定する装置は知られていない。
【特許文献１】特開２０００−６１６８７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
半導体素子と基板との接合に使用されるＡｕ細線などのボンディングワイヤは半導体装置の小型化とコスト低減のためにますます細径となり、一方で半導体装置の性能を高めるためにＡｕ細線に流される電流値が増加する傾向にある。さらに、前記半導体素子と基板との接合に使用されるＡｕ細線はその使用環境が多様化していることからそれに対応するためにＡｕ細線の成分組成が変化しており、Ａｕ細線の線径も変化している。そのために、半導体装置の製造に使用されるＡｕ細線の溶断電流は一定ではなく、このＡｕ細線はどの程度の電流が流れると溶断するかという問い合わせが頻繁に来るようになってきた。また、半導体装置に何らかの理由により過剰な電流が流れることがあり、この過剰な電流が流れると半導体素子と基板とを接合するＡｕ細線が発熱して溶断することがある。したがって、Ａｕ細線の線径や種類ごとに溶断電流値を知っておく必要がある。
この発明は、半導体素子と基板との接合に使用されるＡｕ細線などボンディングワイヤが溶断する電流値を簡単に測定できる治具を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者らは、かかる目的に沿うべく所定の長さを有するＡｕ細線が溶断する電流値を簡単に測定できる溶断電流測定治具を開発した。図１および図２はこの発明の溶断電流測定治具の側面図である。図３は図２に示されるこの発明の溶断電流測定治具２０の斜視図である。図１〜３において、１は基台であり、基台１に固定して固定具２が取付けられている。さらに、基台１に取付けられている固定具２に対して近づけたり遠ざけたりスライドすることのできる摺動具３が設けられている。この摺動具３の裏側に突起（図示せず）が設けられており、この突起が基台１の表面に形成されている摺動溝１９に摺動可能に嵌合させておき、固定具２に対して摺動具３を近づけたり遠ざけたりスライドすることのできるようになっている。さらに基台１に設けられた摺動具３の横に該摺動具３に平行にスケール１３が取付けられている。このスケール１３は基台１にボルトまたはねじにより固定しても良く、また接着剤材で基体１に貼り付けても良い。このスケール１３により固定具２の先端エッジ１４と摺動具３の先端エッジ１５との間の距離を測定するためのものである。
【０００５】
前記固定具２の平面９にはＡｕ細線６を固定するためのワッシャー付き金属線固定ボルト４が設けられており、さらに前記摺動具３の平面１０にもＡｕ細線６を固定するためのワッシャー付き金属線固定ボルト５が設けられている。摺動具３には摺動具３のスライド方向に貫通細長溝７が設けられており、この貫通細長溝７に固定ねじ８が挿入されており、固定ねじ８の一端は基台１に螺入して設けられている。この固定ねじ８を緩めて摺動具３を貫通細長溝７方向に移動し、所望の位置に到達した時点で先に緩めてある固定ねじ８を締めることにより摺動具３が基台１に固定される。さらに固定具２の平面９にはリード線を電源Ｅに接続するためのターミナル１７が設けられており、摺動具３にもリード線を電源Ｅに接続するためのターミナル１８が設けられている。
【０００６】
固定具２および摺動具３に取付けられたＡｕ細線６に軽いねじれなどの癖などがあると、図４に示されるようにＡｕ細線６が浮き上がって、固定具２のワッシャー付き金属線固定ボルト４で固定されたＡｕ細線６は固定具２の先端エッジ１４よりもワッシャー付き金属線固定ボルト４またはワッシャー付き金属線固定ボルト４に近い部分の平面に接触することがあり、一方、摺動具３のワッシャー付き金属線固定ボルト５で固定されたＡｕ細線６は摺動具３の先端エッジ１５よりもワッシャー付き金属線固定ボルト５またはワッシャー付き金属線固定ボルト５に近い部分の平面に接触することがある。かかる状態でＡｕ細線６が固定具２および摺動具３に接触すると、溶断電流を測定するためのＡｕ細線６の長さにばらつきが生じ、そのためにＡｕ細線６の正確な長さと溶断電流値を測定することができない。
【０００７】
これを防止するために、この発明では、ワッシャー付き金属線固定ボルト４の下に押さえ平板１１の先端エッジ２１と固定具２の先端エッジ１４を一致させることができる押さえ平板１１を設け、さらにワッシャー付き金属線固定ボルト５の下に押さえ平板１２の先端エッジ２２と摺動具３の先端エッジ１５を一致させることができる押さえ平板１２を設け、押さえ平板１１と固定具２の平面９とによりＡｕ細線６の一端を挟みワッシャー付き金属線固定ボルト４を締めることによりＡｕ細線６を固定具２に固定し、一方、押さえ平板１２と摺動具３の平面１０とによりＡｕ細線６の他端を挟みワッシャー付き金属線固定ボルト５を締めることによりＡｕ細線６を固定具２に固定し、浮き上がったＡｕ細線６を押さえ平板１１により押し付けて先端エッジ１４に接触させ、一方、浮き上がったＡｕ細線６を押さえ平板１２により押し付けて先端エッジ１５に接触させ、Ａｕ細線６の長さを正確にスケール１３により読み取ることができるようにしている。
【０００８】
前記固定具２および摺動具３にそれぞれ設けられている平面９、１０は、図１の側面図に示されるように、水平面であっても良いが、図２の側面図に示されるように、この固定具２に設けられている平面９は摺動具３の方向に向かって上りの傾斜を有しており、一方、摺動具３に設けられている平面１０は固定具３の方向に向かって上りの傾斜を有していることが一層好ましい。この場合、前記固定具２は摺動具３に相対する面部分が最も厚くなっており、さらに摺動具３は固定具２に相対する面部分の厚さが最も厚くなるようになっている。
固定具２および摺動具３の平面を傾斜平面とすると、Ａｕ細線６は確実に固定具２および摺動具３の先端エッジ１４、１５に接触するようになることから、先端エッジ１４と先端エッジ１５の間のＡｕ細線の長さを正確にスケール１３により読み取ることができるようになり、それによって正確な溶断電流値を測定することができる。固定具２の平面９の傾斜角度および摺動具３の平面１０の傾斜角度は２０°以下の範囲内にあることが好ましい。
【０００９】
この発明は主としてＡｕ細線の溶断電流を測定する治具に関するものであるが、Ａｕ細線に限定されるものではなく、その他の金属の細線の溶断電流を測定することができる。したがって、この発明は、
（１）基台と、基台に固定して取付けられている平面を有する固定具と、前記固定具に対して近づけたり遠ざけたり摺動させることのできる平面を有する摺動具とからなり、固定具の平面には金属線固定ボルトおよび押さえ平板を設け、一方、摺動具の平面には金属線固定ボルトおよび押さえ平板を設け、前記固定具の平面の端部および摺動具の平面の端部にそれぞれ金属細線に通電するための端子が設けられている金属細線の溶断電流測定治具、
（２）前記固定具の平面は摺動具側に向かって上るように傾斜している傾斜平面であり、一方、摺動具の平面は固定具に向かって上るように傾斜している傾斜平面である前記（１）記載の金属細線の溶断電流測定治具、
（３）前記摺動具の横に、摺動具の摺動方向に平行にスケールが取付けられている前記（１）または（２）記載の金属細線の溶断電流測定治具、に特徴を有するものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の金属細線の溶断電流測定治具によると、金属細線の溶断電流を簡単にかつ正確の測定することができ、半導体装置産業に優れた効果をもたらすものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
この発明のＡｕ細線の溶断電流測定治具１０を用いて所定の長さを有するＡｕ細線６の溶断電流を測定するには、まず、この固定ねじ８を緩めて摺動具３を貫通細長溝７方向にスケール１３を見ながら摺動具３の先端エッジ１５が固定具２の先端エッジ１４に対して所定の距離となるように移動し、所望の距離に到達したのち固定ねじ８を締めることにより摺動具３を基台１に固定する。次に、Ａｕ細線６の一端をワッシャー付き金属線固定ボルト５の下に設けられている押さえ平板１２と固定具２の平面９の間に挟み、ワッシャー付き金属線固定ボルト４を締めることによりＡｕ細線６を固定具２に固定し、さらに押さえ平板１２と摺動具３の平面１０の間にＡｕ細線６の他端を挟みワッシャー付き金属線固定ボルト５を締めることによりＡｕ細線６を摺動具３に固定する。
次に、ターミナル１７、１８を電源Ｅに接続し、溶断電流測定治具２０に固定されたＡｕ細線に電流計１６を見ながら溶断するまで電流を流し、Ａｕ細線６が溶断したときの電流値を測定してそのＡｕ細線の溶断電流値を求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明の金属細線の溶断電流測定治具の側面図である。
【図２】この発明の金属細線の溶断電流測定治具の側面図である。
【図３】図２のこの発明の金属細線の溶断電流測定治具の斜視図である。
【図４】固定具および摺動具に押さえ板を設けた理由を説明するための側面説明図である。
【符号の説明】
【００１３】
１：基台、２：固定具、３：摺動具、４：ワッシャー付き金属線固定ボルト、５：ワッシャー付き金属線固定ボルト、６：Ａｕ細線、７：貫通細長溝、８：固定ねじ、９：平面、１０：平面、１１：押さえ平板、１２：押さえ平板、１３：スケール、１４：先端エッジ、１５：先端エッジ、１６：電流計、１７：ターミナル、１８：ターミナル、１９：摺動溝、２０：溶断電流測定治具
【図１】
2008209191.tif 000003
【図２】
2008209191.tif 000004
【図３】
2008209191.tif 000005
【図４】
2008209191.tif 000006