(57)【要約】【課題】測定精度と信頼性がともに高いフィルタ燃焼法を利用しながら、エンジン２００から排出されるＰＭの質量を従来に比べ飛躍的に短いサンプリング間隔で測定できる粒子状物質測定装置１００を提供する。【解決手段】  運転状態にあるエンジン２００からの排出ガスを導入可能に構成した少なくとも３本の通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３と、各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３にそれぞれ設けられて、通過した排出ガスに含まれる粒子状物質を捕集する捕集フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３と、各フィルタを、排出ガスが通過している捕集状態、捕集された粒子状物質が加熱されて気化乃至燃焼している加熱状態、冷却されている冷却状態の順にそれぞれ位相をずらせて遷移させる状態遷移機構６と、前記加熱状態にあるフィルタに連通し、前記粒子状物質が気化乃至燃焼して発生したガスを分析する分析部３と、を具備させた。【選択図】図２
2008157693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
運転状態にあるエンジンからの排出ガスを導入可能に構成した少なくとも２本の通過流路と、
前記各通過流路にそれぞれ設けられ、通過した排出ガスに含まれる粒子状物質を捕集する捕集フィルタと、
各フィルタを、排出ガスが通過している捕集状態、捕集された粒子状物質が加熱されて気化乃至燃焼している加熱状態、冷却されている冷却状態の順にそれぞれ位相をずらせて遷移させる状態遷移機構と、
前記加熱状態にあるフィルタに連通し、前記粒子状物質が気化乃至燃焼して発生したガスを分析する分析部と、を備えている粒子状物質測定装置。
【請求項２】
捕集フィルタに対し、加熱用ガスを吹き付けて前記加熱状態とするとともに、冷却用ガスを吹き付けて前記冷却状態とするように構成している請求項１記載の粒子状物質測定装置。
【請求項３】
加熱用ガスが通る加熱用ガス流路及び冷却用ガスが通る冷却用ガス流路をそれぞれ前記通過流路に接続するとともに、各流路にバルブを設け、前記状態遷移機構によるバルブ切替制御によって、前記通過流路に、排出ガス、加熱用ガス、冷却用ガスがそれぞれ流れるように構成している請求項２記載の粒子状物質測定装置。
【請求項４】
前記加熱用ガス流路が、排出ガスの流通方向からみて前記捕集フィルタより下流で通過流路に接続され、前記捕集フィルタの下流から前記加熱用ガスが吹き付けられるように構成している請求項３記載の粒子状物質測定装置。
【請求項５】
前記加熱用ガス流路と冷却用ガス流路との始端部分を共通化してそれらが途中から分岐するように構成するとともに、その分岐後の加熱用ガス流路の途中に加熱炉を設け、
前記始端部分から導入された共通のガスのうち、加熱用ガス流路を流れるものは加熱炉で高温化されて加熱用ガスとなり、冷却用ガス流路を流れるものは、そのままあるいは冷却されて冷却用ガスとなるように構成している請求項３、４又は５記載の粒子状物質測定装置。
【請求項６】
車両搭載型のものである請求項１乃至５いずれか記載の粒子状物質測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンの排出ガスに含まれる粒子状物質（以下、ＰＭ：Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ｍａｔｔｅｒｓとも言う）の質量等を測定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、エンジンからの排出物質の１つであるＰＭの質量測定方法として周知なものの１つにフィルタ質量法がある。フィルタ質量法は、エンジン排出ガスの流路上にフィルタを配置してＰＭを捕集し、その捕集したＰＭの質量を秤量する方法であり、特定の標準物質が事実上存在しないＰＭにおいて、その質量を直接測定できることから、測定の確実性、正確性を期待できるものとして知られている。
【０００３】
さらに近時では、このフィルタ質量法による測定結果に対して高い相関性を得られるフィルタ燃焼法と称される質量測定方法も開発されてきている。このフィルタ燃焼法は、捕集したＰＭを燃焼させ、そのガス濃度を分析することにより元々のＰＭの質量を算定する方法であり（特許文献１参照）、前記フィルタ質量法による秤量の限界を超えた微量なＰＭであっても測定できる他、フィルタ水分量の安定化が不要であることから、手間もかからず測定時間も比較的短くできるという利点がある。近時では、エンジン性能向上に伴ってＰＭ排出量が少なくなり、前述した天秤によるフィルタ質量法では精度確保が難しくなりつつあることから、このフィルタ燃焼法が有力な質量測定法として注目を浴びつつある。
【０００４】
一方で、エンジン性能の更なる向上や環境問題を鑑みて、路上等でのダイナミックな走行中でのＰＭ排出量の時系列変化を測定したいという要請がある。
【０００５】
しかしながら、これに対して、前記フィルタ質量法では、ＰＭの捕集後、フィルタを取り外して質量計測しなければならないことから、ＰＭ排出量の時系列変化をみることはほぼ不可能である。また、フィルタ燃焼法によっても、ＰＭの捕集後、燃焼させる工程が必要であり、一般的にはその燃焼行程も含めた測定時間として、約３０秒から数分を必要とするため、それ以上の時間分解能でＰＭ排出量の時系列変化をみることはできないうえ、燃焼中はＰＭを捕集できず、途切れ途切れのデータとなって、実用的には不十分である。
【特許文献１】特開２００６−１５３８９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、かかる課題に鑑みて行われたものであって、測定精度と信頼性がともに高いフィルタ燃焼法を利用しながら、エンジンから排出されるＰＭを途切れることなく捕集しつつ、その質量の時間変化を従来に比べ飛躍的に高い時間分解能で測定できるようにすることをその主たる所期課題としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち、本発明に係る粒子状物質測定装置は、運転状態にあるエンジンからの排出ガスを導入可能に構成した少なくとも２本の通過流路と、前記各通過流路にそれぞれ設けられて、通過した排出ガスに含まれる粒子状物質を捕集する捕集フィルタと、各フィルタを、排出ガスが通過している捕集状態、捕集された粒子状物質が加熱されて気化乃至燃焼している加熱状態、冷却されている冷却状態の順にそれぞれ位相をずらせて遷移させる状態遷移機構と、前記加熱状態にあるフィルタに連通し、前記粒子状物質が気化乃至燃焼して発生したガスを分析する分析部と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
短時間での加熱及び冷却を行うためには、捕集フィルタに対し、加熱用ガスを吹き付けて前記加熱状態とするとともに、冷却用ガスを吹き付けて前記冷却状態とするように構成しているものが好ましい。
【０００９】
状態遷移を好適に行うための具体的な流体回路構成としては、加熱用ガスが通る加熱用ガス流路及び冷却用ガスが通る冷却用ガス流路をそれぞれ前記通過流路に接続するとともに、各流路にバルブを設けたものが望ましい。このようなものであれば、前記状態遷移機構によるバルブ切替制御のみによって、前記通過流路に、排出ガス、加熱用ガス、冷却用ガスがそれぞれ流れるように構成することができる。
【００１０】
加熱状態にない捕集フィルタに対する、加熱用ガス流路からの熱影響をできるだけ低減するには、前記加熱用ガス流路が、排出ガスの流通方向からみて前記捕集フィルタより下流で通過流路に接続され、前記捕集フィルタの下流から前記加熱用ガスが吹き付けられるように構成しているものが好ましい。
【００１１】
流体回路構成を可及的に簡素化する具体的態様としては、前記加熱用ガス流路と冷却用ガス流路との始端部分を共通化してそれらが途中から分岐するように構成するとともに、その分岐後の加熱用ガス流路の途中に加熱炉を設け、前記始端部分から導入された共通のガスのうち、加熱用ガス流路を流れるものは加熱炉で高温化されて加熱用ガスとなり、冷却用ガス流路を流れるものは、そのままあるいは冷却されて冷却用ガスとなるように構成しているものを挙げることができる。
【００１２】
本発明を適用してその効果をより顕著にするには、車両搭載型のものにしておくことが望ましい。
【発明の効果】
【００１３】
このような構成の本発明によれば、従来、ＰＭ測定においてＰＭを捕集できずデッドタイムとなっていた加熱又は冷却状態において、他のフィルタでＰＭを捕集するようにしているので、途切れることなくＰＭを捕集することができ、しかも、各フィルタが次々と順に加熱状態、すなわちガス分析状態となるので、従来のように１つのフィルタで分析するのに比べ、測定間隔が実質的にフィルタの使用数分の１に短縮されて、測定時間分解能を飛躍的に向上させることができる。
【００１４】
また、フィルタ燃焼法を利用しているので、ＰＭの質量測定において、精度と信頼性を担保でき、しかも天秤法のように、フィルタの着脱や水分量の安定化、あるいは水分量安定化のための大型機器が必要ないので、車両搭載も可能である。そして車両搭載した場合は、前述したように、測定時間分解能を従来に比べ大きく向上できるので、路上実走行など、エンジンが動的に運転されている状況においてのＰＭ排出量の時間変化を連続測定に近い状態で測定でき、従来ではなし得なかった動的なエンジン状態の解析やそれによる性能向上などに寄与できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
この粒子状物質測定装置１００は、図１に示すように、内燃機関であるエンジン２００の排出ガス中に含まれるＰＭの質量を測定するものであり、エンジン２００の排気管２０１に接続されて、運転中のエンジン２００から排出される排出ガスの一部が、直接又は希釈ユニット３００により希釈されて導入される。
【００１７】
より具体的にこの粒子状物質測定装置１００の内部構造を説明すると、この粒子状物質測定装置１００は、図２に示すように、運転状態にあるエンジン２００からの排出ガスが導入される導入ポートＰＩ１と、その導入ポートＰＩ１から３分岐する通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３と、分岐した各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３にそれぞれ設けられたＰＭ捕集用の捕集フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３と、各フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３を、排出ガスが通過している捕集状態、捕集されたＰＭが加熱されて気化乃至燃焼している加熱状態、冷却されている冷却状態の順にそれぞれ位相をずらせて遷移させる状態遷移機構６と、前記加熱状態にあるフィルタに連通し、ＰＭが気化乃至燃焼して発生したガスを分析する分析部３と、を備えている。
【００１８】
捕集フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３は、ＰＭを燃焼させても自身が変化したりガスを発生したりしない耐熱性の高い、例えば石英などの材質で作られたものである。
【００１９】
次に、前記捕集状態、加熱状態、冷却状態をそれぞれ生成するための、通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３等を含む装置内流体回路構成について説明する。
【００２０】
まず、捕集状態を作り出すために必要な捕集状態生成回路から説明する。この回路は、前記排出ガス導入ポートＰＩ１と、その排出ガス導入ポートＰＩ１から３分岐する通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３と、各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３における捕集フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３の下流にそれぞれ設けた第１開閉バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３とからなる。さらに、バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３の下流において各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３は合流して１本の統合流路Ｌとなり、その統合流路Ｌが排気ポートＰＯに接続されている。この統合流路Ｌ上には、ベンチュリ管などの一定流量Qallを流す定流量器４とルーツブロワなどの吸引ポンプ５とが設けられて、排気ポートＰＯにいる。
【００２１】
このような構成において、いずれかの１つのバルブＶ１１（Ｖ１２、Ｖ１３）を開き、他のバルブＶ１２、Ｖ１３（（Ｖ１１、Ｖ１３）、（Ｖ１１、Ｖ１２））を閉じることによって、その開いたバルブＶ１１（Ｖ１２、Ｖ１３）が設けられている通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）のみに排出ガスが流れ込み、対応する捕集フィルタＦ１（Ｆ２、Ｆ３）が捕集状態となる。
【００２２】
加熱状態を作り出すために必要な加熱状態生成回路は、圧送されてくる加熱用ガスが流入する流入ポートＰＩ２と、その流入ポートＰＩ２から延出し途中で３分岐して、各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３の捕集フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３よりも下流であって第１開閉バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３よりも上流にそれぞれ接続される加熱用ガス流路Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３と、各加熱用ガス流路Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３上に設けられた加熱炉Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３と、その加熱炉Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３の手前、すなわち前記流入ポートＰＩ２側に設けられた第２開閉バルブＶ２１、Ｖ２２、Ｖ２３とからなる。さらに、分岐前の加熱用ガス流路Ｌ２上には、加熱用ガス流量制御手段１１を設けて、加熱用ガスの流量Q1を一定に制御している。前記加熱炉Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、その内部構造を図３に示すように、内部管路７１と、その周囲に巻き設けたヒータ７２と、さらにそのヒータ７２の周囲に設けた断熱材７３と、管路７１内に配設した複数の耐熱セラミックボール（例えばＳｉＣ球）７４とを備えているものである。そして前記ヒータ７２によって管路７１及びセラミックボール７４が所定温度にまで暖められることで、この加熱炉Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を通過する加熱用ガスが、管路７１及びセラミックボール７４から熱を与えられて、その温度が上昇する。
【００２３】
このような構成において、いずれか１つの第２開閉バルブＶ２１（Ｖ２２、Ｖ２３）のみを開くと、加熱炉Ｒ１（Ｒ２、Ｒ３）を通って加熱された加熱用ガスが、対応する通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）に流れ込み、排出ガスの流れ方向で言えば下流側から捕集フィルタＦ１（Ｆ２、Ｆ３）に吹き付けられる。そして、そこに捕集されているＰＭを気化乃至燃焼させる。その際に発生するガスは、加熱用ガスとともに、通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）を排出ガスの流れ方向とは逆向きに進行し、一部は、その通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）の途中から分岐する分析ガス流路Ｌ４１（Ｌ４２、Ｌ４３）を通って、ガス分析を行う分析部３に導かれる。残りはその通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）を排出ガスの流れ方向とは逆向きにさらに進行し、通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３が３分岐する分岐点で排出ガスと合流して他の通過流路Ｌ１２（Ｌ１３、Ｌ１１）に流れ込む。
【００２４】
なお、各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３から分岐する各ガス分析流路Ｌ４１、Ｌ４２、Ｌ４３上には、第４開閉バルブＶ４１、Ｖ４２、Ｖ４３が設けられているので、対応するバルブＶ４１（Ｖ４２、Ｖ４３）のみを開いて、発生した前記ガスを分析部３に導入可能にしておく必要がある。付言しておくと、ガス分析流路は１本に統合され、その統合されたガス分析流路Ｌ４上に、ドライヤ２、分析部３、分析ガスの流量Qmを制御する分析ガス流量制御装置４がこの順で配置されている。分析部３は、例えばＮＤＩＲなどを利用したものであり、発生したガスを測定して得られたＣＯ２及びＳＯ２の質量からＰＭの質量を算出するものである。
【００２５】
冷却状態を作り出すための冷却状態生成回路は、常温状態の冷却用ガスが導入されるガス流入ポートＰＩ２と、その流入ポートＰＩ２から延出し途中で３分岐して、各通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３の捕集フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３よりも下流であって第１開閉バルブＶ１１、Ｖ１２、Ｖ１３よりも上流にそれぞれ接続される冷却用ガス流路Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３と、各冷却用ガス流路Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３にそれぞれ設けられた第３開閉バルブＶ３１、Ｖ３２、Ｖ３３とからなるものである。また、分岐前の冷却用ガス流路Ｌ３上には、冷却用ガス流量制御手段１２を設けて、冷却用ガスの流量Q2を一定に制御させている。
【００２６】
このような構成において、いずれか１つの第３開閉バルブＶ３１（Ｖ３２、Ｖ３３）のみを開くと、冷却用ガスは、対応する通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）に流れ込み、捕集フィルタＦ１（Ｆ２、Ｆ３）に、排出ガスの流れ方向で言えば、下流側から吹き付けられる。このようにして捕集フィルタＦ１（Ｆ２、Ｆ３）を冷却した冷却用ガスは、その通過流路Ｌ１１（Ｌ１２、Ｌ１３）を排出ガスの流れ方向とは逆向きにさらに進行し、通過流路Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３の分岐点から排出ガスと合流して他の通過流路Ｌ１２（Ｌ１３、Ｌ１１）に流れ込む。
【００２７】
なお、流量制御手段１３は、本装置１００に流れ込む排出ガスの流量Ｑinの流量を制御するためのものである（定流量器に流れ込むガスの総流量は、Qin＋Q1+Q2+Q3-Qmであり、定流量器に流れるガスの流量はQallで一定、Q1、Q2、Qmも一定にすれば、Q3を制御することでQinを制御できる）。
【００２８】
ところで、以上に説明した加熱状態生成回路及び冷却状態生成回路の構成から明らかなように、この実施形態では、加熱用ガス流路Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３と冷却用ガス流路Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３との始端部分である流入ポートＰＩ２が共通化されており、加熱用ガスと冷却用ガスとは共通したガスを用いることができるようにしてある。そして流路が途中から分岐して、加熱用ガス流路Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３を流れるガスは加熱炉Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３で高温化されて加熱用ガスとなり、冷却用ガス流路Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３を流れるものは、そのまま冷却用ガスとなるように構成している。なお、これら加熱用ガス流路と冷却用ガス流路とを別個に設け、異なるガスを用いるようにしても構わない。
【００２９】
状態遷移機構６は、図２に示すように、例えば、ＣＰＵ、メモリ、入出力チャネルなどから構成された専用乃至汎用のいわゆるコンピュータであり、そのメモリに格納したプログラムにしたがってＣＰＵが動作してバルブ制御信号を出力し、前記流体回路における各バルブＶ１１〜Ｖ４３を開閉制御するものである。
【００３０】
具体的なバルブＶ１１〜Ｖ４３の開閉制御のタイミングチャートを図４、各状態を図５〜図７に示す。
【００３１】
まず図５に示すように、第１フィルタＦ１が捕集状態にあるときに、第２フィルタＦ２は加熱状態にあり、第３フィルタＦ３は冷却状態にある。そして次の状態遷移により、第１フィルタＦ１は加熱状態、第２フィルタＦ２は冷却状態、第３フィルタＦ３は捕集状態となる（図６参照）。さらにその次の状態遷移により、第１フィルタＦ１は冷却状態、第２フィルタＦ２は捕集状態、第３フィルタＦ３は加熱状態となる（図７参照）。そしてこのサイクルを繰り返す。しかして、各フィルタＦ１（Ｆ２、Ｆ３）に着目すれば、捕集状態、加熱状態、冷却状態の順に状態遷移し、一方で、フィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３毎の状態位相は互いにずれていおり、特に1つのフィルタが捕集状態を終えると、空き時間なく次のフィルタが捕集状態となる。
【００３２】
したがって、このような構成であれば、いずれかのフィルタＦ１（Ｆ２、Ｆ３）が常に捕集状態となっており、ＰＭの捕集もれがないうえ、３枚のフィルタＦ１、Ｆ２、Ｆ３が次々と加熱状態、すなわちガス分析状態となるので、従来のように１つのフィルタで分析するのに比べ、測定間隔を実質的に１／３に短縮することができ、その時間分解能を飛躍的に向上させることができる。
【００３３】
さらに言えば、この３つのフィルタを有した流体回路を基本構成として、複数の流体回路を並列に設け、各流体回路での位相をずらせることで、サンプリングタイムを１つのフィルタの場合の１／６（２つの流体回路の場合）、１／９（３つの流体回路の場合）・・・と言うぐあいに、さらに短縮することも可能である。
【００３４】
また、フィルタ燃焼法を基本的には利用しているので、ＰＭの質量測定において精度と信頼性を担保でき、しかも天秤法のように、フィルタの着脱や水分量の安定化、あるいは水分量安定化のための大型機器が必要ないので、車両搭載も可能である。
【００３５】
そして本装置１００を車両搭載した場合は、前述したように、測定の時間分解能を従来に比べ大幅に向上できるので、路上実走行など、エンジン２００が動的に運転されている状況においてのＰＭ排出量の時間変化を連続測定に近い状態で把握でき、従来ではなし得なかったエンジン２００の動的解析やそれによる性能向上などに寄与できる。
【００３６】
なお、本発明は、前記実施形態に限られるものではない。
【００３７】
例えば、通過流路を２本にし、２つのフィルタで構成することも可能である、その場合は、１つを捕集状態にし、他を加熱及び冷却状態にすればよい。この構成によれば、測定間隔を実質的に１／２に短縮することができる。また前記同様、この２つのフィルタを有した流体回路を基本構成として、複数の流体回路を並列に設け、各流体回路での位相をずらせることで、サンプリングタイムを１つのフィルタの場合の１／４（２つの流体回路の場合）、１／６（３つの流体回路の場合）・・・と言うぐあいに、さらに短縮することも可能である。
【００３８】
また、加熱状態、冷却状態の各期間長さは、捕集状態の期間長さに必ずしも合致させる必要はない。
【００３９】
さらに、例えば流体回路構成の変更は適宜可能であるし、加熱炉を用いず、フィルタを保持しているフィルタ保持室を加熱するようにしてもよい。状態遷移機構もコンピュータのみならず、シーケンサなど、他の電気制御機器を用いて構わない。
【００４０】
その他、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態における粒子状物質測定装置を含んだ全体計測システムを示す模式図。
【図２】同実施形態における粒子状物質測定装置の全体を示す流体回路図。
【図３】同実施形態における加熱炉等を示す縦断面図。
【図４】同実施形態におけるバルブ開閉タイミングを示すタイミングチャート。
【図５】同実施形態における粒子状物質測定装置の各状態を示す流体回路図。
【図６】同実施形態における粒子状物質測定装置の各状態を示す流体回路図。
【図７】同実施形態における粒子状物質測定装置の各状態を示す流体回路図。
【符号の説明】
【００４２】
１００・・・粒子状物質測定装置
２００・・・エンジン２００
３・・・分析部
６・・・状態遷移機構
Ｌ１１、Ｌ１２、Ｌ１３・・・通過流路
Ｌ２、Ｌ２１、Ｌ２２、Ｌ２３・・・加熱用ガス流路
Ｌ３、Ｌ３１、Ｌ３２、Ｌ３３・・・冷却用ガス流路
Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３・・・捕集フィルタ
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３・・・加熱炉
【図１】
2008157693.tif 000003
【図２】
2008157693.tif 000004
【図３】
2008157693.tif 000005
【図４】
2008157693.tif 000006
【図５】
2008157693.tif 000007
【図６】
2008157693.tif 000008
【図７】
2008157693.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月21日(2006.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記加熱用ガス流路と冷却用ガス流路との始端部分を共通化してそれらが途中から分岐するように構成するとともに、その分岐後の加熱用ガス流路の途中に加熱炉を設け、
前記始端部分から導入された共通のガスのうち、加熱用ガス流路を流れるものは加熱炉で高温化されて加熱用ガスとなり、冷却用ガス流路を流れるものは、そのままあるいは冷却されて冷却用ガスとなるように構成している請求項３又は４記載の粒子状物質測定装置。