(57)【要約】【課題】金属状態検出装置の検出精度を向上させる。【解決手段】第一検出コイルＬ１及び第一コンデンサＣ１からなる第一共振回路２に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に第一共振回路２から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを所定期間の自由振動波カウント数にもとづいて測定し、第二検出コイルＬ２及び第二コンデンサＣ２からなる第二共振回路３に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に第二共振回路３から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを所定期間の自由振動波カウント数にもとづいて測定し、両共振回路２、３に係る自由振動波カウント数の差分を演算する。【選択図】図１
2008209387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置であって、
前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、
前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサと、
前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第一位相ズレ検出手段と、
前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第二位相ズレ検出手段と、
前記第一位相ズレ検出手段が検出した位相ズレと前記第二位相ズレ検出手段が検出した位相ズレの差分を検出する差分検出手段とを備え、
前記第一位相ズレ検出手段が、
前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二位相ズレ検出手段が、
前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記差分検出手段が、
前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算する
ことを特徴とする金属状態検出装置。
【請求項２】
第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置であって、
前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、
前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサと、
前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第一位相ズレ検出手段と、
前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第二位相ズレ検出手段と、
前記第一位相ズレ検出手段が検出した位相ズレと前記第二位相ズレ検出手段が検出した位相ズレの差分を検出する差分検出手段とを備え、
前記第一位相ズレ検出手段が、
前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二位相ズレ検出手段が、
前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記差分検出手段が、
前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算する
ことを特徴とする金属状態検出装置。
【請求項３】
前記第一共振回路に係る前記検出期間と前記第二共振回路に係る前記検出期間とを一致させたことを特徴とする請求項１又は２記載の金属状態検出装置。
【請求項４】
第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出方法であって、
前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、
前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサとを用い、
前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第一共振回路の位相ズレと前記第二共振回路の位相ズレとの差分を検出する検出方法であり、
前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算する
ことを特徴とする金属状態検出方法。
【請求項５】
第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出方法であって、
前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、
前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサとを用い、
前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第一共振回路の位相ズレと前記第二共振回路の位相ズレとの差分を検出する検出方法であり、
前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算する
ことを特徴とする金属状態検出方法。
【請求項６】
前記第一共振回路に係る前記検出期間と前記第二共振回路に係る前記検出期間とを一致させたことを特徴とする請求項４又は５記載の金属状態検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置及び金属状態検出方法に関し、特に、金属の応力、疲労、損傷、欠陥、材質、近接、変位、温度などの状態検出に適した金属状態検出装置及び金属状態検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置や金属状態検出方法が知られており、例えば、軸表面に生じる磁歪効果を利用して回転軸のトルクを検出する磁歪式トルクセンサがこれに該当する（例えば、特許文献１〜６参照）。磁歪効果とは、回転軸にトルクが作用したとき、軸表面に引張り方向（例えば、＋４５°方向）及び圧縮方向（例えば、−４５°方向）の歪みが発生するのに伴い、引張り方向では透磁率が増加する一方、圧縮方向では透磁率が減少するという磁気的な歪み現象であり、磁歪式トルクセンサは、軸表面において第一方向（例えば、＋４５°方向）の透磁率変化を検出すべく配置される第一検出コイルと、軸表面において第一方向と交差する第二方向（例えば、−４５°方向）の透磁率変化を検出すべく配置される第二検出コイルとを備えて構成されている。
【０００３】
また、金属表層の欠陥を検出する渦流探傷装置も二つの検出コイルを備えており、両検出コイル間に生じる差動電圧にもとづいて、欠陥の検出を行うようになっている（例えば、特許文献７、８参照）。このように、二つの検出コイルで検出を行い、その差分を求めるという検出方法は、透磁率、渦電流損などの磁気的な特性変化を利用する検出装置で広く用いられており、温度誤差や変位誤差をキャンセルする意味でも極めて有効な検出方法である。
【特許文献１】特開２００１−１３３３３７号公報
【特許文献２】特開平６−２２１９４０号公報
【特許文献３】特開平６−２７３２４７号公報
【特許文献４】特開平７−８３７６９号公報
【特許文献５】特開平１１−３７８６３号公報
【特許文献６】特開２００５−２０８００８号公報
【特許文献７】特開２００７−５７４００号公報
【特許文献８】特開２００７−１７３５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の金属状態検出装置では、ブリッジ回路などを用いて、第一検出コイルと第二検出コイルとの間に生じた僅かな差動電圧を検出し、この差動電圧をロックインアンプなどで増幅しているため、ノイズの影響を受けやすく、検出精度に限界があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の如き実情に鑑み、これらの課題を解決することを目的として創作された本発明の金属状態検出装置は、第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置であって、前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサと、前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第一位相ズレ検出手段と、前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第二位相ズレ検出手段と、前記第一位相ズレ検出手段が検出した位相ズレと前記第二位相ズレ検出手段が検出した位相ズレの差分を検出する差分検出手段とを備え、前記第一位相ズレ検出手段が、前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記第二位相ズレ検出手段が、前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記差分検出手段が、前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算することを特徴とする。
このようにすると、金属の状態を高精度に検出することができる。すなわち、上記のような共振回路から減衰状に出力される自由振動波においては、状態変化に応じた金属の磁気的な特性変化（透磁率変化など）が位相ズレとなって明確に現れ、しかも、自由振動波における位相ズレは、振動波の数だけ蓄積されるので、金属の状態変化を高精度に検出できる。また、第一共振回路の位相ズレと第二共振回路の位相ズレとの差分を検出するにあたり、各共振回路における自由振動波の位相ズレを、自由振動波カウント処理の合計カウント数として測定し、合計カウント数の差分を演算するようにしたので、ブリッジ回路などのアナログ回路を介さずに差分処理を行うことができる。その結果、ノイズの影響を低減し、検出精度をさらに向上させることが可能になる。
【０００６】
また、本発明の金属状態検出装置は、第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置であって、前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサと、前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第一位相ズレ検出手段と、前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出する第二位相ズレ検出手段と、前記第一位相ズレ検出手段が検出した位相ズレと前記第二位相ズレ検出手段が検出した位相ズレの差分を検出する差分検出手段とを備え、前記第一位相ズレ検出手段が、前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記第二位相ズレ検出手段が、前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記差分検出手段が、前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算することを特徴とする。
このようにすると、金属の状態を高精度に検出することができる。すなわち、上記のような共振回路から減衰状に出力される自由振動波においては、状態変化に応じた金属の磁気的な特性変化（透磁率変化など）が位相ズレとなって明確に現れ、しかも、自由振動波における位相ズレは、振動波の数だけ蓄積されるので、金属の状態変化を高精度に検出できる。また、第一共振回路の位相ズレと第二共振回路の位相ズレとの差分を検出するにあたり、各共振回路における自由振動波の位相ズレを、自由振動波カウント処理の合計カウント数として測定し、合計カウント数の差分を演算するようにしたので、ブリッジ回路などのアナログ回路を介さずに差分処理を行うことができる。しかも、一回の検出期間内において自由振動波カウント処理を繰り返すことにより、自由振動波の位相ズレを増幅させるので、検出精度をさらに向上させることできる。
【０００７】
また、本発明の金属状態検出装置は、前記第一共振回路に係る前記検出期間と前記第二共振回路に係る前記検出期間とを一致させたことを特徴とする。
このようにすると、両共振回路に係る検出期間のズレに起因する誤差の発生を抑えることができる。
【０００８】
また、本発明の金属状態検出方法は、第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出方法であって、前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサとを用い、前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、
前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、前記第一共振回路の位相ズレと前記第二共振回路の位相ズレとの差分を検出する検出方法であり、前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算することを特徴とする。
このようにすると、金属の状態を高精度に検出することができる。すなわち、上記のような共振回路から減衰状に出力される自由振動波においては、状態変化に応じた金属の磁気的な特性変化（透磁率変化など）が位相ズレとなって明確に現れ、しかも、自由振動波における位相ズレは、振動波の数だけ蓄積されるので、金属の状態変化を高精度に検出できる。また、第一共振回路の位相ズレと第二共振回路の位相ズレとの差分を検出するにあたり、各共振回路における自由振動波の位相ズレを、自由振動波カウント処理の合計カウント数として測定し、合計カウント数の差分を演算するようにしたので、ブリッジ回路などのアナログ回路を介さずに差分処理を行うことができる。その結果、ノイズの影響を低減し、検出精度をさらに向上させることが可能になる。
【０００９】
また、本発明の金属状態検出方法は、第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出方法であって、前記第一検出コイルに対して直列又は並列に接続される第一コンデンサと、前記第二検出コイルに対して直列又は並列に接続される第二コンデンサとを用い、前記第一検出コイル及び前記第一コンデンサからなる第一共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、前記第二検出コイル及び前記第二コンデンサからなる第二共振回路に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレを検出し、前記第一共振回路の位相ズレと前記第二共振回路の位相ズレとの差分を検出する検出方法であり、前記第一共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第一共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記第二共振回路に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に前記第二共振回路から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、該カウント数が所定数に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行い、該自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返し、複数の自由振動波カウント処理を含む所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、前記第一共振回路に係る自由振動波の合計カウント数と前記第二共振回路に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算することを特徴とする。
このようにすると、金属の状態を高精度に検出することができる。すなわち、上記のような共振回路から減衰状に出力される自由振動波においては、状態変化に応じた金属の磁気的な特性変化（透磁率変化など）が位相ズレとなって明確に現れ、しかも、自由振動波における位相ズレは、振動波の数だけ蓄積されるので、金属の状態変化を高精度に検出できる。また、第一共振回路の位相ズレと第二共振回路の位相ズレとの差分を検出するにあたり、各共振回路における自由振動波の位相ズレを、自由振動波カウント処理の合計カウント数として測定し、合計カウント数の差分を演算するようにしたので、ブリッジ回路などのアナログ回路を介さずに差分処理を行うことができる。しかも、一回の検出期間内において自由振動波カウント処理を繰り返すことにより、自由振動波の位相ズレを増幅させるので、検出精度をさらに向上させることできる。
【００１０】
また、本発明の金属状態検出方法は、前記第一共振回路に係る前記検出期間と前記第二共振回路に係る前記検出期間とを一致させたことを特徴とする。
このようにすると、両共振回路に係る検出期間のズレに起因する誤差の発生を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
［第一実施形態］
次に、本発明の第一実施形態について、図面に基づいて説明する。ただし、図面に示す波形には、実際の検出波形と、波形画像を合成したシミュレーション波形とが含まれる。
【００１２】
図１は、磁歪式トルクセンサの構成を示すブロック図である。この図に示される磁歪式トルクセンサ１は、軸表面に生じる磁歪効果を利用して回転軸Ｓのトルク（捻り応力）を検出する金属状態検出装置であり、第一共振回路２、第二共振回路３及び検出回路４を備えて構成されている。第一共振回路２は、軸表面において第一方向（例えば、＋４５°方向）の透磁率変化を検出すべく配置される第一検出コイルＬ１に、第一コンデンサＣ１を直列又は並列に接続して構成され、検出回路４から出力される駆動信号により駆動される。第二共振回路３は、軸表面において第二方向（例えば、−４５°方向）の透磁率変化を検出すべく配置される第二検出コイルＬ２に、第二コンデンサＣ２を直列又は並列に接続して構成され、検出回路４から出力される駆動信号により駆動される。本実施形態の検出コイルＬ１、Ｌ２は、フェライトなどのＵ字コア２ａ、３ａに巻かれたものであって、Ｕ字コア２ａ、３ａの両端を軸表面に近接させることにより、軸表面に第一方向及び第二方向の磁路を形成し、該磁路における透磁率変化を検出するが、他方式の磁歪式トルクセンサに用いられる８の字状、波形状、中空筒状などの検出コイルであってもよい。
【００１３】
検出回路４は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏ、比較器（コンパレータ）などが内蔵されたマイコン（１チップマイコン）４ａ〜４ｃを複数用いて構成され、ＲＯＭに書き込まれたプログラムに従って後述する検出処理を行う。なお、検出回路４は、一つのマイコンで構成したり、一又は複数のＩＣで構成することもできる。
【００１４】
検出回路４は、第一共振回路２に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に第一共振回路２から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレ成分にもとづいて、第一方向の透磁率変化を検出する第一方向透磁率検出手段（本発明の第一位相ズレ検出手段であり、本実施形態ではマイコン４ａに構成される。）と、第二共振回路３に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に第二共振回路３から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレ成分にもとづいて、第二方向の透磁率変化を検出する第二方向透磁率検出手段（本発明の第二位相ズレ検出手段であり、本実施形態ではマイコン４ｂに構成される。）と、第一方向透磁率検出手段が検出した透磁率（位相ズレ）と第二方向透磁率検出手段が検出した透磁率（位相ズレ）との差分にもとづいて、回転軸Ｓのトルクを検出するトルク検出手段（本発明の差分検出手段であり、本実施形態ではマイコン４ｃに構成される。）とを備えている。
【００１５】
このようにすると、磁歪式トルクセンサ１の検出精度を向上させることができる。つまり、上記のように構成された第一共振回路２や第二共振回路３から減衰状に出力される自由振動波においては、軸表面の透磁率変化が位相ズレとなって明確に現れ、しかも、自由振動波における位相ズレは、振動波の数だけ蓄積されるので、第一方向及び第二方向の透磁率変化を高精度に検出できるだけでなく、その差分から回転軸Ｓのトルクを高精度に検出することが可能になる。
【００１６】
また、第一方向透磁率検出手段及び第二方向透磁率検出手段は、共振回路２、３に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に共振回路２、３から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、トルク検出手段は、第一共振回路２に係る自由振動波の合計カウント数と第二共振回路３に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算するようになっている。このようにすると、第一共振回路２の位相ズレと第二共振回路３の位相ズレとの差分を検出するにあたり、ブリッジ回路などのアナログ回路を介さずに差分処理を行うことができるので、ノイズの影響を低減し、検出精度をさらに向上させることが可能になる。なお、自由振動波カウント処理では、自由振動波の１波を１としてカウントしてもよいし、自由振動波の半波を１としてカウントしてもよい。
【００１７】
また、第一方向透磁率検出手段及び第二方向透磁率検出手段は、自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を繰り返すことにより、自由振動波の位相ズレを増幅させるようになっている。このようにすると、回路構成を複雑にすることなく、自由振動波カウント処理の繰り返し回数を増やすだけで、自由振動波の位相ズレ成分を任意に増幅させることができるので、磁歪式トルクセンサ１の検出精度を飛躍的に向上させることができる。
【００１８】
自由振動波の合計カウント数を計数する所定の検出期間は、時間にもとづいて規定された期間とすることができ、この場合には、検出期間として任意の時間を設定することができる。例えば、検出期間を一定時間として検出を繰り返せば、一定の周期で検出値を得ることができる。
また、発生期間や発生回数が限定的な被検出事象（例えば、インパクトレンチの軸力検出）にあっては、被検出事象の発生期間や発生回数にもとづいて検出期間を規定するようにしてもよい。このようにすると、被検出事象の発生期間や発生回数に適合する検出期間を設定することができる。例えば、検出期間を被検出事象の発生期間に一致させれば、被検出事象の発生期間内に生じた位相ズレ成分の積分値を得ることができる。また、検出期間を被検出事象が所定回数発生する期間に一致させれば、被検出事象が所定回数発生する期間内に生じた位相ズレ成分の積分値を得ることができる。
【００１９】
次に、磁歪式トルクセンサ１の具体的な構成について説明する。
【００２０】
共振回路２、３は、検出コイルＬ１、Ｌ２にコンデンサＣ１、Ｃ２を並列に接続した並列共振回路であってもよいが、検出コイルＬ１、Ｌ２にコンデンサＣ１、Ｃ２を直列に接続した直列共振回路であることが好ましい。このようにすると、直列共振回路の作用によって、最大でソース電圧（例えば５Ｖ）のＱ倍（例えば８倍）の電圧を検出コイルＬ１、Ｌ２に印加できるので、共振回路２、３から振幅の大きい自由振動波を出力することができる。これにより、自由振動波カウント数を多くし、測定精度を更に高めることができるだけでなく、ノイズにも強いものとできる。しかも、振幅の大きい自由振動波は、増幅器を介さずに検出回路４に直接入力できるので、回路構成がよりシンプルになり、更なるコストダウンが可能になる。
【００２１】
なお、検出コイルＬ１、Ｌ２に印加される最大電圧ＶＬＭＡＸは、以下に示す式で求めることができる。ただし、ω０は共振角周波数、Ｌは検出コイルＬ１、Ｌ２のインダクタンス、Ｒは検出コイルＬ１、Ｌ２の抵抗、ＣはコンデンサＣ１、Ｃ２のキャパシタンス、ＶＳはソース電圧、Ｑは共振回路の良好度である。
【００２２】
【数１】
2008209387.tif 000003
【００２３】
検出回路４は、駆動パルス信号によって共振回路２、３を強制振動させるにあたり、複数の駆動パルス信号により共振回路２、３を強制振動させた後、駆動信号出力を停止させることができる。このようにすると、単発の駆動パルス信号で共振回路２、３を強制振動させる場合に比べ、強制振動波の振幅を大きくできる。特に、強制振動波の振幅が最大になるように所定の共振周波数で数発（例えば６発）の駆動パルス信号を出力すれば、駆動信号出力停止後に共振回路２、３から出力される自由振動波の振幅をより大きくし、測定精度を更に高めることが可能になる。
ちなみに、共振回路２、３を強制振動させる共振周波数ｆは、以下に示す式で求めることができる。
【００２４】
【数２】
2008209387.tif 000004
【００２５】
次に、自由振動波における位相ズレの蓄積作用（増幅作用）について、図２〜図１０を参照して説明する。
【００２６】
図２は、駆動パルス信号波形（ａ点）及び共振回路の振動波形（ｂ点）を示す説明図である。この図に示すように、検出回路４は、所定電圧（例えば５Ｖ）の駆動パルス信号を出力し、共振回路２、３を強制振動させる。このとき、所定の共振周波数で数発（例えば６発）の駆動パルス信号を出力することにより、検出コイルＬ１、Ｌ２に最大電圧（例えば４０Ｖ）を印加させることができる。そして、駆動パルス信号の出力を停止した後は、共振回路２、３から複数の自由振動波が減衰状に出力される。
【００２７】
図３は、十数個目の自由振動波を拡大した説明図、図４は、回転軸に大きなトルクを加えたときの位相ズレを示す説明図、図５は、回転軸に小さなトルクを加えたときの位相ズレを示す説明図である。これらの図に示すように、共振回路２、３から出力される自由振動波は、十数個目であっても検出に十分な振幅を保っている。ここで、回転軸Ｓにトルクを加えると、軸表面の透磁率変化に応じて、検出コイルＬ１、Ｌ２のインダクタンスが変化し、自由振動波に位相ズレが生じる。この自由振動波の位相ズレは、強制振動波に比べて明確に現れるだけでなく、自由振動波の個数分だけ蓄積されるので、低速なカウンタでも高精度に位相ズレを測定することが可能になる。また、図４及び図５に示すように、自由振動波の位相ズレは、回転軸Ｓに作用するトルクに比例して大きくなるので、自由振動波の位相ズレにもとづいて、回転軸Ｓに作用するトルクを高精度に測定することが可能になる。また、各共振回路２、３から出力される自由振動波の位相ズレは、磁歪効果にもとづいて背反方向に現れるので、その差分にもとづいて回転軸Ｓのトルク量及びトルク極性を検出できるだけでなく、温度誤差や変位誤差が相殺された検出値を得ることができる。
【００２８】
図６は、自由振動波形（ｂ点）と比較器出力（ｃ点）の関係を示す説明図、図７は、回転軸にトルクが加えられていないときの比較器出力を示す拡大図、図８は、回転軸に小さなトルクが加えられたときの比較器出力を示す説明図、図９は、回転軸に大きなトルクが加えられたときの比較器出力を示す説明図である。これらの図に示すように、共振回路２、３から出力される自由振動波は、十数個目であっても検出に十分な振幅を保っているので、比較器によって明確な矩形波に変換することができる。ここで、回転軸Ｓにトルクを加えると、比較器出力波形の位相が進む。図８及び図９から明らかなように、この位相ズレは、自由振動波の個数が増えるほど蓄積され、測定が容易になる。
【００２９】
次に、自由振動波カウント処理の繰り返しによる位相ズレの増幅作用（蓄積作用）について、図１０を参照して説明する。
【００３０】
図１０は、自由振動波カウント数を５、その繰り返し回数を１０とした場合における位相ズレの増幅作用を示す説明図である。この図に示す波形は、一回の検出処理における共振回路２、３の出力波形であって、２発の駆動パルス信号を出力して、共振回路２、３を強制振動させた後、共振回路２、３から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、カウント数が所定数５に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行うと共に、自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数５に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を１０回繰り返した場合の波形であり、上側の波形は、下側の波形よりも大きなトルクを回転軸Ｓに加えた場合を示している。この図から明らかなように、自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を所定回数繰り返すと、自由振動波の位相ズレが増幅される。これにより、回路構成を複雑にすることなく、自由振動波カウント処理の繰り返し回数を増やすだけで、位相ズレの測定精度を飛躍的に向上させることができる。
【００３１】
次に、自由振動波カウント数及びその繰り返し回数を変更した場合における位相ズレの増幅作用（蓄積作用）について、図１１及び図１２を参照して説明する。
【００３２】
図１１は、自由振動波カウント数を１、その繰り返し回数を１００とした場合における位相ズレの増幅作用（検出波形始端部を拡大）を示す説明図、図１２は、自由振動波カウント数を１、その繰り返し回数を１００とした場合における位相ズレの増幅作用（検出波形終端部を拡大）を示す説明図である。これらの図に示す波形は、一回の検出処理における共振回路２、３の出力波形であって、１発の駆動パルス信号を出力して、共振回路２、３を強制振動させた後、共振回路２、３から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、カウント数が所定数１に達したか否かを判断する自由振動波カウント処理を行うと共に、自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数１に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を１００回繰り返した場合の波形であり、上側の波形は、回転軸Ｓにトルクを加えない場合を示し、下側の波形は、回転軸Ｓにトルクを加えた場合を示している。これらの図から明らかなように、検出波形の始端部、つまり自由振動波カウント処理の繰り返し回数が少ない段階では、位相ズレがあまり増幅されていないが（図１１参照）、自由振動波カウント処理の繰り返し回数が多くなると、自由振動波の位相ズレが増幅され、その検出が容易になることがわかる（図１２参照）。
【００３３】
次に、検出回路４の具体的な検出処理手順について、図１３〜図１５を参照して説明する。
【００３４】
図１３は、検出回路における第一方向透磁率検出処理の処理手順を示すフローチャートである。この図に示す第一方向透磁率検出処理（第一方向透磁率検出手段、第一位相ズレ検出手段）は、検出回路４のマイコン４ａが行う検出処理であって、まず、比較器のＲＥＦ電圧を設定した後（Ｓ１１）、カウンタクリア処理（Ｓ１２）と、第一共振回路２に係る自由振動波カウント処理（Ｓ１３〜Ｓ１６）と、検出期間終了判定処理（Ｓ１７）と、検出信号出力処理（Ｓ１８）とからなる検出処理を繰り返し実行する。
【００３５】
カウンタクリア処理は、自由振動波の合計カウント数Ｇをカウントする合計カウンタＧと、検出期間を規定する時間Ｔを計時する時間計測カウンタｔとをクリアする処理である（Ｓ１２）。また、自由振動波カウント処理は、自由振動波カウンタｎをクリアした後（Ｓ１３）、第一共振回路２に対して所定数の駆動パルス信号を出力し（Ｓ１４）、第一共振回路２から減衰状に出力される自由振動波の数（今回カウント数ｎ及び合計カウント数Ｇ）をカウントすると共に（Ｓ１５）、カウント数ｎが所定数Ｎに達したか否かを判断する処理である（Ｓ１６）。そして、自由振動波カウント処理（Ｓ１３〜Ｓ１６）は、自由振動波のカウント数ｎが所定数Ｎに達したタイミングで繰り返し実行される。検出期間終了判定処理は、時間計測カウンタｔにもとづいて検出期間Ｔが終了したか否かを判定する処理であり（Ｓ１７）、この判定結果がＮＯの場合は、自由振動波カウント処理を継続し、判定結果がＹＥＳになったら、検出信号出力処理を実行させる。検出信号出力処理は、検出期間Ｔ内における自由振動波の合計カウント数Ｇ（第一方向透磁率検出値）を所定の検出信号形式に変換して出力する処理である（Ｓ１８）。
【００３６】
図１４は、検出回路における第二方向透磁率検出処理の処理手順を示すフローチャートである。この図に示す第二方向透磁率検出処理（第二方向透磁率検出手段、第二位相ズレ検出手段）は、検出回路４のマイコン４ｂが行う検出処理であって、まず、比較器のＲＥＦ電圧を設定した後（Ｓ２１）、カウンタクリア処理（Ｓ２２）と、第二共振回路３に係る自由振動波カウント処理（Ｓ２３〜Ｓ２６）と、検出期間終了判定処理（Ｓ２７）と、検出信号出力処理（Ｓ２８）とからなる検出処理を繰り返し実行する。
【００３７】
カウンタクリア処理は、自由振動波の合計カウント数Ｇをカウントする合計カウンタＧと、検出期間を規定する時間Ｔを計時する時間計測カウンタｔとをクリアする処理である（Ｓ２２）。また、自由振動波カウント処理は、自由振動波カウンタｎをクリアした後（Ｓ２３）、第二共振回路３に対して所定数の駆動パルス信号を出力し（Ｓ２４）、第二共振回路３から減衰状に出力される自由振動波の数（今回カウント数ｎ及び合計カウント数Ｇ）をカウントすると共に（Ｓ２５）、カウント数ｎが所定数Ｎに達したか否かを判断する処理である（Ｓ２６）。そして、自由振動波カウント処理（Ｓ２３〜Ｓ２６）は、自由振動波のカウント数ｎが所定数Ｎに達したタイミングで繰り返し実行される。検出期間終了判定処理は、時間計測カウンタｔにもとづいて検出期間Ｔが終了したか否かを判定する処理であり（Ｓ２７）、この判定結果がＮＯの場合は、自由振動波カウント処理を継続し、判定結果がＹＥＳになったら、検出信号出力処理を実行させる。検出信号出力処理は、検出期間Ｔ内における自由振動波の合計カウント数Ｇ（第二方向透磁率検出値）を所定の検出信号形式に変換して出力する処理である（Ｓ２８）。
【００３８】
図１５は、検出回路におけるトルク検出処理の処理手順を示すフローチャートである。この図に示すトルク検出処理（トルク検出手段、差分検出手段）は、検出回路４のマイコン４ｃが行う検出処理であって、まず、マイコン４ａ、４ｂから最新の透磁率検出信号を入力したか否かを判断する（Ｓ３１）。この判断結果がＹＥＳの場合は、第一方向透磁率検出値と第二方向透磁率検出値の差分を演算すると共に（Ｓ３２）、演算した差分（トルク検出値）を所定の検出信号形式に変換して出力する（Ｓ３３）。
【００３９】
叙述の如く構成された本実施形態によれば、軸表面に生じる磁歪効果を利用して回転軸Ｓのトルクを検出する磁歪式トルクセンサ１であって、軸表面において第一方向の透磁率変化を検出すべく配置される第一検出コイルＬ１と、軸表面において第一方向と交差する第二方向の透磁率変化を検出すべく配置される第二検出コイルＬ２と、第一検出コイルＬ１に対して直列又は並列に接続される第一コンデンサＣ１と、第二検出コイルＬ２に対して直列又は並列に接続される第二コンデンサＣ２と、第一検出コイルＬ１及び第一コンデンサＣ１からなる第一共振回路２に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に第一共振回路２から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレにもとづいて、第一方向の透磁率変化を検出する第一方向透磁率検出手段（マイコン４ａ）と、第二検出コイルＬ２及び第二コンデンサＣ２からなる第二共振回路３に対して駆動信号を出力し、該駆動信号の出力停止後に第二共振回路３から減衰状に出力される自由振動波の位相ズレにもとづいて、第二方向の透磁率変化を検出する第二方向透磁率検出手段（マイコン４ｂ）と、第一方向の透磁率と第二方向の透磁率との差分にもとづいて、回転軸Ｓのトルクを検出するトルク検出手段（マイコン４ｃ）とを備えるので、従来の磁歪式トルクセンサに比べ、回転軸Ｓのトルクを高精度に検出することができる。つまり、上記のように構成された第一共振回路２や第二共振回路３から減衰状に出力される自由振動波においては、軸表面の透磁率変化が位相ズレとなって明確に現れ、しかも、自由振動波における位相ズレは、振動波の数だけ蓄積されるので、第一方向及び第二方向の透磁率変化を高精度に検出できるだけでなく、その差分から回転軸Ｓのトルクを高精度に検出することが可能になる。
【００４０】
また、第一方向透磁率検出手段及び第二方向透磁率検出手段は、共振回路２、３に対して所定数の駆動信号を出力すると共に、駆動信号出力停止後に共振回路２、３から減衰状に出力される自由振動波の数をカウントし、所定の検出期間内における自由振動波の合計カウント数にもとづいて自由振動波の位相ズレを検出し、トルク検出手段は、第一共振回路２に係る自由振動波の合計カウント数と第二共振回路３に係る自由振動波の合計カウント数との差分を演算するので、ブリッジ回路などのアナログ回路を介さずに差分処理を行うことができ、その結果、ノイズの影響を低減し、検出精度をさらに向上させることが可能になる。
【００４１】
また、第一方向透磁率検出手段及び第二方向透磁率検出手段は、自由振動波カウント処理における自由振動波のカウント数が所定数に達したタイミングを基準として、自由振動波カウント処理を所定回数だけ繰り返すことにより、自由振動波の位相ズレ成分を増幅させるので、回路構成を複雑にすることなく、自由振動波カウント処理の繰り返し回数を増やすだけで、自由振動波の位相ズレ成分を任意に増幅させることができ、その結果、磁歪式トルクセンサ１の検出精度を飛躍的に向上させることが可能になる。
【００４２】
［第二実施形態］
次に、本発明の第二実施形態について、図１６〜図１８を参照して説明する。ただし、第一実施形態との差異は、検出回路４の処理内容のみであるため、金属状態検出装置（磁歪式トルクセンサ）の構成に係る図面及びその説明は、第一実施形態のものを援用する。
【００４３】
本発明の第二実施形態に係る磁歪式トルクセンサは、第一方向透磁率検出手段（第一位相ズレ検出手段）による自由振動波カウント処理の開始タイミングと、第二方向透磁率検出手段（第二位相ズレ検出手段）による自由振動波カウント処理の開始タイミングとを同期させる点が第一実施形態と相違している。このようにすると、両共振回路２、３に係る位相ズレ検出期間を一致させることができるので、位相ズレ検出期間のズレに起因する検出誤差の発生を抑制することができる。以下、第一方向透磁率検出処理、第二方向透磁率検出処理及びトルク検出処理における第一実施形態と第二実施形態の相違点について具体的に説明する。
【００４４】
図１６に示すように、第二実施形態の第一方向透磁率検出処理では、処理ステップＳ１２の前に、マイコン４ｃからの測定開始信号が入力されるまで処理を中断（初回は中断なし）するウエイト処理（Ｓ１０１）が追加されており、また、図１７に示すように、第二実施形態の第二方向透磁率検出処理では、処理ステップＳ２２の前に、マイコン４ｃからの測定開始信号が入力されるまで処理を中断（初回は中断なし）するウエイト処理（Ｓ１０２）が追加されており、さらに、図１８に示すように、第二実施形態のトルク検出処理では、処理ステップＳ３１の後に、マイコン４ａ、４ｂに対して測定開始信号を出力する処理（Ｓ１０３）が追加されている。これにより、第一方向透磁率検出処理による自由振動波カウント処理の開始タイミングと、第二方向透磁率検出処理による自由振動波カウント処理の開始タイミングとを同期させることができる。
【００４５】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されないことは勿論であって、第一検出コイルを用いて検出される検出値と、第二検出コイルを用いて検出される検出値との差分にもとづいて、金属の状態を検出する金属状態検出装置や金属状態検出方法であれば、トルクセンサ（捻り応力センサ）に限らず、圧縮応力、引張応力、変位、温度、材質、疲労、損傷、欠陥などの金属状態を検出する金属状態検出装置や金属状態検出方法に適用することができる。また、前記実施形態では、検出回路から出力される駆動信号で共振回路を直接駆動しているが、検出コイルとは別個に設けられる励磁コイルを介して、検出コイル（共振回路）を駆動させる金属状態検出装置にも好適に用いることができる。また、前記実施形態では、一回の検出処理（検出期間）において自由振動波カウント処理を繰り返すが、本発明は、一回の検出処理において自由振動波カウント処理を繰り返さない金属状態検出装置や金属状態検出方法としても実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】磁歪式トルクセンサの構成を示すブロック図である。
【図２】駆動パルス信号波形（ａ点）及び共振回路の振動波形（ｂ点）を示す説明図である。
【図３】十数個目の自由振動波を拡大した説明図である。
【図４】回転軸に大きなトルクを加えたときの位相ズレを示す説明図である。
【図５】回転軸に小さなトルクを加えたときの位相ズレを示す説明図である。
【図６】自由振動波形（ｂ点）と比較器出力（ｃ点）の関係を示す説明図である。
【図７】回転軸にトルクが加えられていないときの比較器出力を示す拡大図である。
【図８】回転軸に小さなトルクが加えられたときの比較器出力を示す説明図である。
【図９】回転軸に大きなトルクが加えられたときの比較器出力を示す説明図である。
【図１０】自由振動波カウント数を５、その繰り返し回数を１０とした場合における位相ズレの増幅作用を示す説明図である。
【図１１】自由振動波カウント数を１、その繰り返し回数を１００とした場合における位相ズレの増幅作用（検出波形始端部を拡大）を示す説明図である。
【図１２】自由振動波カウント数を１、その繰り返し回数を１００とした場合における位相ズレの増幅作用（検出波形終端部を拡大）を示す説明図である。
【図１３】検出回路における第一方向透磁率検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１４】検出回路における第二方向透磁率検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１５】検出回路におけるトルク検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１６】第二実施形態の検出回路における第一方向透磁率検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１７】第二実施形態の検出回路における第二方向透磁率検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【図１８】第二実施形態の検出回路におけるトルク検出処理の処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４７】
１    磁歪式トルクセンサ
２    第一共振回路
３    第二共振回路
４    検出回路
Ｌ１  第一検出コイル
Ｌ２  第二検出コイル
Ｃ１  第一コンデンサ
Ｃ２  第二コンデンサ
Ｓ    回転軸
【図１】
2008209387.tif 000005
【図２】
2008209387.tif 000006
【図３】
2008209387.tif 000007
【図４】
2008209387.tif 000008
【図５】
2008209387.tif 000009
【図６】
2008209387.tif 000010
【図７】
2008209387.tif 000011
【図８】
2008209387.tif 000012
【図９】
2008209387.tif 000013
【図１０】
2008209387.tif 000014
【図１１】
2008209387.tif 000015
【図１２】
2008209387.tif 000016
【図１３】
2008209387.tif 000017
【図１４】
2008209387.tif 000018
【図１５】
2008209387.tif 000019
【図１６】
2008209387.tif 000020
【図１７】
2008209387.tif 000021
【図１８】
2008209387.tif 000022