(57)【要約】【課題】ＭＥＭＳジャイロスコープのモータ軸に沿った加速度を求めるシステムおよび方法を提供すること。【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープのモータ軸に沿った加速度を求めるシステムおよび方法は、プロセッサを含む。プロセッサは、ＭＥＭＳジャイロスコープのモータピックアップからの瞬時電圧から、正弦波を除去するためのノッチフィルタを含む。メモリバスは、プロセッサ可読メモリに記憶されたデータへのランダムアクセスを可能にする。メモリバスと連動するプロセッサ可読メモリは、データを含むプロセッサ可読メモリへのアクセスを可能にする。データは、残存瞬時電圧に含まれる少なくとも１つの瞬時電圧を、モータ軸に沿ったプルーフマスの加速度に関係付けるモデルを含む。プロセッサに対する命令は、モデル中の少なくとも１つの瞬時電圧を残存瞬時電圧と比較するルーチンを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＥＭＳジャイロスコープのモータ軸に沿った加速度を求めるシステムであって、
プロセッサであって、
ＭＥＭＳジャイロスコープのモータピックアップからの瞬時電圧から、正弦波を除去するためのノッチフィルタと、
プロセッサ可読メモリ内に記憶されたデータへのランダムアクセスのためのメモリバスとを有するプロセッサと、
前記メモリバスと連動するプロセッサ可読メモリであって、
残存瞬時電圧中の少なくとも１つの瞬時電圧を、前記モータ軸に沿ったプルーフマスの加速度に関係付けるモデルと、
前記モデル中の前記少なくとも１つの瞬時電圧を、前記残存瞬時電圧と比較するように前記プロセッサに命令するためのルーチンを含む、前記プロセッサに対する命令とを含むデータを含むプロセッサ可読メモリと
を備えるシステム。
【請求項２】
前記ノッチフィルタが、受動素子フィルタ、能動素子フィルタ、またはフーリエ変換構成要素のうちの１つを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記プロセッサが、ルックアップエンジンを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記モデルが、残存瞬時電圧をプルーフマスの変位に関係付ける変換を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
ＭＥＭＳジャイロスコープのモータ軸に沿った加速度を求める方法であって、
モータピックオフ瞬時電圧を受け取るステップと、
残存信号を発生するために、前記瞬時電圧からプルーフマス発振をフィルタリングするステップと、
前記残存信号を、瞬時電圧を前記モータ軸に沿ったプルーフマスの変位に関係付けるモデルと比較するステップと、
前記プルーフマスの前記変位に基づいて加速度を導出するステップと
を含む方法。
【請求項６】
前記フィルタリングするステップが、前記モータピックオフ瞬時電圧をノッチフィルタに通過させるステップを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記ノッチフィルタが、受動素子フィルタである、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ノッチフィルタが、能動素子フィルタである、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記フィルタリングするステップがディジタル信号処理を含み、前記ディジタル信号処理がフーリエ変換を含む、請求項５に記載の方法。
【請求項１０】
前記残存信号を比較するステップが、ルックアップエンジンを活動化するステップを含む、請求項５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
慣性航法システムは通常、回転の角速度を監視するのに角速度ジャイロスコープを用い、直線加速度を監視するのに直線加速度計を用いるので、慣性航法システムは、６個のセンサ、すなわち各基準軸用に１つずつ、３個のジャイロスコープと３個の直線加速度計を含む。
【０００２】
この基本構成に対する改善が、なされてきている。Ｄｕｎｎに付与された「Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃ  Ｇｙｒｏｓｃｏｐｅｓ／Ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ  Ｗｉｔｈ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｉｒｃｕｉｔｓ」いう名称の米国特許第５，３１３，８３５号には、多軸ジャイロスコープ、単軸ジャイロスコープ、および３軸加速度計を含む慣性航法システムが開示されている。しかし、ユニットが含むセンサは少ないにも関わらず、多軸センサの複雑さが増することによりユニットの寸法が大きくなる。
【特許文献１】米国特許第５，３１３，８３５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
慣性航法システム用に必要なセンサを数を減らし、したがってシステムの寸法およびコストを低減するために、角速度と直線加速度の両方を監視することができるデバイスが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の好ましい実施形態は、ＭＥＭＳジャイロスコープのモータ軸に沿った加速度を求めるシステムおよび方法を実現することにより上記のすべて要求を満たし、プロセッサを含む。プロセッサは、ＭＥＭＳジャイロスコープのモータピックアップからの瞬時電圧から正弦波を除去するための、ノッチフィルタを含む。メモリバスは、プロセッサ可読メモリに記憶されたデータへのランダムアクセスを可能する。プロセッサ可読メモリは、メモリバスと連動して、データを含むプロセッサ可読メモリへのアクセスを可能にする。データは、残存瞬時電圧中の少なくとも１つの瞬時電圧を、モータ軸に沿ったプルーフマスの加速度に関係付けるモデルを含む。プロセッサへの命令は、モデル中の少なくとも１つの瞬時電圧を、残存瞬時電圧と比較するルーチンを含む。
【０００５】
次の図面を参照して、本発明の好ましい実施形態および代替実施形態について以下に詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
概要としては、ＭＥＭＳジャイロスコープのモータ軸に沿った加速度を求めるシステムおよび方法は、プロセッサを含む。図１は、例示的実施形態によるデュアルモード動作用に構成された、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ジャイロスコープ１００の平面図である。実施形態においてデュアルモードとは、軸の周りの回転加速度と、ジャイロスコープの「モータ軸」として知られる第２の直交軸に沿った直線加速度の両方を検出する能力を指す。図１はＭＥＭＳジャイロスコープ１００を音叉ジャイロスコープとして示しているが、図１の例示的実施形態は、角速度検出ジャイロスコープなどの、回転を検出するのにコリオリ加速度を用いるＭＥＭＳジャイロスコープを用いることができ、限定されない。非限定的な実施例として、基板はＭＥＭＳジャイロスコープ１００を形成し、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂ、複数の支持ビーム１０４、少なくとも１つのクロスビーム１０６ａ、１０６ｂ、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂ、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂ、少なくとも１つの検出プレート１１２ａ、１１２ｂ、および少なくとも１つのアンカー１１４ａ、１１４ｂを含む。
【０００７】
少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂは、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の微小電気機械加工（微細加工）の過程で形成される任意の質量でよい。一実施形態では、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂは、シリコンの板である。微細加工技法に適合する、他の材料を用いてもよい。図１は２個のプルーフマスを示しているが、１つまたは複数のプルーフマスを使用することができる。
【０００８】
少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂは、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂと、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂのほぼ間に配置される。少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂは、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂと、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂの両方に向かって延びる複数のくし状電極を含む。図１では少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂは、１０個の電極を有するが、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂ上の電極の数は、１０個より多くても少なくてもよい。
【０００９】
少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂは、複数の支持ビーム１０４によって、少なくとも１つの検出プレート１１２ａ、１１２ｂの上に支持される。図１では８個の支持ビーム１０４が示されているが、用いられる支持ビームの数は、８個より多くても少なくてもよい。複数の支持ビーム１０４は、シリコンウェハから微細加工される。複数の支持ビーム１０４は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂが、駆動平面（Ｘ軸）および検出平面（Ｙ軸）内で動くことを可能にする、ばねとして働く。（軸の情報については図１を参照されたい。）
複数の支持ビーム１０４は、少なくとも１つのクロスビーム１０６ａ、１０６ｂに接続することができる。少なくとも１つのクロスビーム１０６ａ、１０６ｂは、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００に対する支持をもたらす少なくとも１つのアンカー１１４ａ、１１４ｂに接続することができる。少なくとも１つのアンカー１１４ａ、１１４ｂは、下にある基板に接続される。図１では２個のアンカー１１４ａ、１１４ｂが示されているが、アンカーの数は、２個より多くても少なくてもよい。少なくとも１つのアンカー１１４ａ、１１４ｂは、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００に支持をもたらす任意の方法で、少なくとも１つのクロスビーム１０６ａ、１０６ｂに沿って配置することができる。
【００１０】
少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂは、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂに向かって延びる複数のくし状電極を含むことができる。図１で示される少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂは、４個の電極を有するが、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂ上の電極の数は、４個より多くても少なくてもよい。少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂ上の電極の数は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂ上の電極の数によって決定することができる。
【００１１】
少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの複数のくし状電極は、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａを形成する電極と互いに入り込む。少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの電極、または少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂを形成する電極に反対の電荷が置かれると、結果としての構造は、少なくとも１つのキャパシタの構造となる。ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の寸法は小さいので、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａを形成する電極と互いに入り込んだ、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの複数のくし状電極の間のクーロン力が主要となり、適切に荷電されると、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂを駆動することが可能になる。
【００１２】
駆動電子回路（図１に示されない）は、駆動発振周波数で、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂに適切に電荷を供給する。少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂに、駆動発振周波数で交番する電荷を供給することにより、駆動電子回路は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂと少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂの互いに入り込んだ複数のくし状電極によって形成されるキャパシタの荷電に応答して、固有または共振周波数で振動する音叉を模した形で、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂをモータ駆動軸（Ｘ軸）に沿って振動させる。
【００１３】
少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂは、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂに向かって延びる複数のくし状電極を含む。図１で示される少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂは、４個の電極を有するが、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂの電極の数は、４個より多くても少なくてもよい。一般に、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂ上の電極の数は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂ上の電極の数に対応する。
【００１４】
少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂと少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂの互いに入り込んだ複数のくし状電極は、上述の、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂと、少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂを形成する電極と同様にして、キャパシタを形成する。少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂと少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂのくし状電極上の電荷の相互作用により、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００が、駆動平面（Ｘ軸）内での運動を検出することが可能になる。
【００１５】
少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂ上に置かれた電荷は、静電力を用いて少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂを励振する。電荷は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの電圧に対して相対的に少なくとも１つのモータ駆動コーム１０８ａ、１０８ｂに電圧を印加することによって置かれる。少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂは、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂ上の電極の電流信号を監視することにより、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの励振または発振を監視する。少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂは、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂに近付いたり離れたりする、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの物理的運動によって印加される静電力に応答した電流を受ける。
【００１６】
ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の通常の動作では、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂは、プロセッサ（図１に示されない）に正弦波信号を供給し、プロセッサは、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの共振周波数からの偏差を示すために、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の動作周波数を求める。少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂが、共振周波数と一致させるには速すぎてまたは遅すぎて発振し始めた場合は、プロセッサ（図１に示されない）は駆動電子回路（図１に示されない）へ適切に信号を送り、それに応答して駆動電子回路（図１に示されない）は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂが再び共振周波数で振動するように、駆動発振周波数を調整する。通常、駆動波形を調整するのに、プロセッサの代替として閉ループ制御が使用される。
【００１７】
Ｘ軸（図１に示す）に沿った加速度は、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂがプロセッサ（図示せず）に供給する正弦波電圧中に、追加のバイアスを生じることになる。追加のバイアスは、Ｘ軸に沿った直線加速度に関係し、したがってその加速度の測定値として有用である。少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂからプロセッサに供給された信号から、共振周波数での正弦波電圧を減じることにより、残存信号は、Ｘ軸に沿った直線加速度を示す電圧をプロセッサに供給する。
【００１８】
直線加速度を検出するためにモータバイアス信号を用いるＭＥＭＳジャイロスコープ１００は、ｘ軸、ｙ軸、またはｚ軸の任意の１つに沿った加速度を検出するように設計することができる。選択された軸に沿った加速度に対して同様な指標が存在することになるので、本開示は現在の構成に限定されない。
【００１９】
ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の残りの部分を参照すると、少なくとも１つの検出プレート１１２ａ、１１２ｂは、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂと共に検出キャパシタを形成する。少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂが駆動平面（Ｘ軸）に沿って振動しているときに、入力平面（Ｚ軸）の周りにＭＥＭＳジャイロスコープ１００に角速度が印加されると、検出平面（Ｙ軸）内でコリオリの力を検出することができる。少なくとも１つの検出プレート１１２ａ、１１２ｂの検出キャパシタは、検出平面（Ｙ軸）内の運動を検出するのに用いられる電圧をもたらす。ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の出力は、容量の変化に比例した信号を含む。少なくとも１つの検出プレート１１２ａ、１１２ｂは、検出電子回路（図１に示されない）に適切に接続される。検出電子回路は、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂが、少なくとも１つの検出プレート１１２ａ、１１２ｂに向かってまたはその反対方向に移動するのに従う、容量の変化を示す信号を受け取る。
【００２０】
上述のように、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂからプロセッサに供給された信号から、少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂの共振周波数で駆動された動きから生じる正弦波電圧を減じることにより、残存信号は、Ｘ軸に沿った直線加速度を示す電圧をプロセッサに供給する。図２を参照すると、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００（図１）のモデル１５０は、横軸１５６にプロットされた、Ｘ軸（図１）に沿った少なくとも１つのプルーフマス１０２ａ、１０２ｂ（図１）の変位の関数として、縦軸１５３にプロットされた直線加速度を示す電圧Ｖ↓ｏ↓ｕ↓ｔの関係を示し、この電圧は、少なくとも１つのモータピックオフ・コーム１１０ａ、１１０ｂ（図１）に生じたものである。スケールファクタは、実際の関数１６２の線形な関係への外挿に基づいている。直線１５９として表される線形な関係は、一般にスケールファクタと呼ばれる傾きｍと、一般にバイアスとして知られるオフセットｂを有する。実験的調査によって各ＭＥＭＳジャイロスコープ１００における関係は明らかになり、あるいはオプションとして一般的モデルを採用することもできる。
【００２１】
図３を参照すると、モータピックオフでの検出された電圧に基づいてＭＥＭＳジャイロスコープの軸方向加速度を分離する方法２００は、ブロック２０１で開始され、プロセッサはモータピックオフから信号を受け取る。
【００２２】
ブロック２０４で、信号は、少なくとも１つのプルーフマスの駆動された動きに関連する正弦波電圧を除去するように処理される。共振周波数でのプルーフマスの動きは、プルーフマスへのコリオリの力を測定するのに必要である。プルーフマスの規則的な反復運動は、モータピックオフにおいて検出され、モータピックオフから受け取られる信号は、規則的な反復運動を示す電圧を含む。少なくとも１つのプルーフマスの動きは、近似的に知られた周波数と振幅の単一の正弦波として現れるので、受け取った信号から正弦波を除去するために、共振周波数を抑圧するように選択された構成のノッチフィルタを使用することができる。別の実施形態では、ディジタル信号処理により、アナログフィルタよりも少ない位相シフトで正弦波を除去する。正弦波を分離し除去するのに、フーリエ解析も有効である。モータ軸内の質量の駆動周波数は、モータ軸と直交する軸内のＭＥＭＳジャイロスコープの動きの周波数より高くなるように選ばれるので、正弦波と加速度によって誘起された電圧との関係は、技術的に分離するのが容易になる。ブロック２０４で、プロセッサは信号から正弦波を除去する。
【００２３】
ブロック２０７で、残存信号はモデル１６２（図２）と比較される。モータピックオフで検出された電圧と比較することにより、Ｘ軸（図１）に沿ったプルーフマスの変位を求めることが可能になる。変位は、変位と加速度の間で容易に変換することが可能な形で、加速度に関係する。一実施形態では、モデルとの比較により、加速度を示す値を直接取り出すことが可能になる。
【００２４】
ブロック２１０では、モデルおよび検出された電圧に基づいて、加速度を示す値が取り出される。検出された電圧の値は、プルーフマスの変位の値と、対応する、プルーフマスをそのように変位させるのに必要なＸ軸（図１）に沿った対応する加速度の値を確定するために用いられる。
【００２５】
図４を参照すると、ＭＥＭＳジャイロスコープのモータピックオフで検出された電圧を分離するためのシステムは、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００、プロセッサ３０３、およびプロセッサ可読メモリ３０６を含む。プロセッサ可読メモリ３０６上には、モータピックオフで検出された電圧から、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００に対して相対的なＸ軸に沿った直線加速度を分離するのを容易にするための、プロセッサへの命令がある。Ｘ軸に沿った加速度の検出は、回転加速度の同時検出には干渉しないので、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００はデュアルモードセンサとして活用される。
【００２６】
オプションとしてプロセッサ３０３は、単一のプロセッサ、またはプロセッサアセンブリとすることができる。一実施形態では、プロセッサ３０３は、検出プレート１１２ａ、１１２ｂ（図１）で検出された異なる電圧に基づいて角加速度を分離するのに用いられるのと同じプロセッサである。
【００２７】
動作時は、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００は、プロセッサ３０３にモータピックオフ信号を供給する。プロセッサの入力端に信号が存在するとき、プロセッサは、プロセッサ可読メモリ３０６に記憶された命令に従って、信号処理を開始する。アナログでの一実施形態では、プロセッサ３０３は、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００内のプルーフマスの共振周波数運動を示す信号を除去するための、ノッチフィルタ３０９を含む。ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の共振周波数運動は、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００の寸法の関数であるので、プロセッサ３０３は、共振周波数運動によって発生された電圧を抑圧するように、容易に選択することができる。
【００２８】
プロセッサ３０３がプロセッサ可読メモリ３０６に記憶された命令を実行すると、ノッチフィルタ３０９は正弦波を除去する。ノッチフィルタは、モータピックオフからの信号中の正弦波成分を導出し、プルーフマスの振動の固有または共振周波数に最も近い正弦波を適切に抑圧するように構成することができる。ノッチフィルタ３０９は、残存信号を発生する。
【００２９】
プロセッサ３０３はまた、プロセッサ３０３とプロセッサ可読メモリ３０６の間を動作的に連動させるためのメモリバス３１２を含む。メモリバス３１２は、プロセッサ３０３の動作に従って、プロセッサ可読メモリ３０６上に記憶されたデータを取り出す。
【００３０】
残存信号は、残存信号中の瞬時電圧値に対応する変位の値を求めるために、プロセッサ可読メモリ３０６上に記憶された数値モデルと比較される。ルックアップエンジン３１５は、残存信号がノッチフィルタから出るのに従って、プロセッサ可読メモリ３０６に記憶されたモデルと残存信号の比較を容易にする。分離した後、オプションとして直線加速度を得るために、変位と加速度の関係（これもプロセッサ可読メモリ上に記憶される）を任意に分離することができる。
【００３１】
本発明のこの非限定的な実施例について説明したが、変位と加速度の間の１対１の対応、および瞬時電圧と変位の間の１対１の対応を考えれば、一実施形態では、電圧を加速度に直接、関係付けて、プロセッサ可読メモリ３０６内のルックアップテーブルに記憶させることができる。そのような一実施形態では、Ｘ軸（図１）に沿ったプルーフマスの共振周波数での並進変位を表す正弦波を除去すると、瞬時電圧値は、出力用にプロセッサ内で、Ｘ軸に沿った直線加速度を示す値を発生する。
【００３２】
本発明を説明するために、ＭＥＭＳ音叉ジャイロスコープを用いたが、本発明はまた、角速度検出ジャイロスコープなど、回転を検出するのにコリオリ加速度を用いる他のＭＥＭＳジャイロスコープにも適用される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施形態により形成された微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ジャイロスコープの平面図である。
【図２】プルーフマスの変位に対する、ＭＥＭＳジャイロスコープ・モータピックアップの線形応答の図式モデルを示す図である。
【図３】モータピックアップから加速度を導出する方法の流れ図である。
【図４】ＭＥＭＳジャイロスコープのモータピックアップから加速度を導出するシステムのブロック図である。
【符号の説明】
【００３４】
１００  ＭＥＭＳジャイロスコープ
１０２ａ、１０２ｂ  プルーフマス
１０４  支持ビーム
１０６ａ、１０６ｂ  クロスビーム
１０８ａ、１０８ｂ  モータ駆動コーム
１１０ａ、１１０ｂ  モータピックオフ・コーム
１１２ａ、１１２ｂ  検出プレート
１１４ａ、１１４ｂ  アンカー
１５０  モデル
１５３  縦軸
１５６  横軸
１５９  直線
１６２  実際の関数
２００  方法
２０１、２０４、２０７、２１０  ブロック
３０３  プロセッサ
３０６  プロセッサ可読メモリ
３０９  ノッチフィルタ
３１２  メモリバス
３１５  ルックアップエンジン
【図１】
2008134243.tif 000003
【図２】
2008134243.tif 000004
【図３】
2008134243.tif 000005
【図４】
2008134243.tif 000006
【外国語明細書】
2008134243000001.pdf