(57)【要約】【課題】静圧スライド装置において、スライダの動作を良好に保ちつつ圧縮流体の消費効率を向上することができるようにする。【解決手段】スライド方向に沿って複数の絞り開口を有するスライドガイド２と、複数の絞り開口のそれぞれに対して圧縮流体を供給可能な圧縮流体供給源８と、スライドガイド２に沿って移動可能に設けられたスライダ３と、圧縮流体供給源８から圧縮流体を供給する絞り開口をスライダ３の移動位置に応じて複数の絞り開口から選択する流路切替部６とを備える構成とする。【選択図】図１
2008175296.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮流体を噴射する静圧発生部をスライド方向に沿って複数有するスライドガイドと、
前記複数の静圧発生部のそれぞれに対して圧縮流体を供給する圧縮流体供給部と、
前記スライドガイドに沿って移動可能に設けられたスライダと、
前記圧縮流体供給部から前記圧縮流体を供給する静圧発生部を、前記スライダの移動位置に応じて前記複数の静圧発生部から選択する静圧発生位置選択部とを備える静圧スライド装置。
【請求項２】
前記圧縮流体供給部は、前記複数の静圧発生部にそれぞれ独立に接続される圧縮流体流路を備え、
前記静圧発生位置選択部は、前記圧縮流体供給部から圧縮流体を流す前記圧縮流体流路を選択的に切り換えるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の静圧スライド装置。
【請求項３】
前記スライダの移動位置を検出する位置検出センサを備え、
前記静圧発生位置選択部は、前記位置検出センサの出力によって、前記圧縮流体を供給する静圧発生部を変更することを特徴とする請求項１または２に記載の静圧スライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮流体を用いた静圧スライド装置に関する。例えば、静圧流体軸受などに好適となる静圧スライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、静圧スライド装置として、軸部の表面に設けられた静圧発生部と、この静圧発生部に軸部内側の流路から圧縮流体を供給し、軸部に外嵌する円筒状のスライダを非接触支持するものが知られている。
例えば、特許文献１には、このような静圧スライド装置として、静圧発生部たる軸部を円筒状の多孔質体によって構成し、軸部の外周全体から噴出される絞り気体によって、軸部の外周側にわずかな間隙をおいて設けられたスライダを非接触に支持する静圧スライダ、および静圧スライダ用軸ユニットが記載されている。
【特許文献１】特開２００３−３１４５５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の静圧スライド装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、軸部を形成する多孔質体の外周全体から絞り気体を噴出するため、軸部上のどの位置でもスライダを非接触支持することができるものの、スライダが配置されていない軸部からも絞り気体が噴出する。そのため、例えば、スライダの移動ストロークが長い場合には、大量の絞り気体が大気に放出され、絞り気体が非効率に消費されてしまうという問題がある。
絞り気体の噴出口をスライダ側に設けることで、絞り気体の噴出位置をスライダの位置のみとすることも考えられるが、スライダに絞り気体を供給するためには、例えば、チューブ等で配管を行う必要がある。このような配管があると、スライダの移動ストロークをあまり大きくすることができない、あるいはスライダの移動速度を高速化できない、スライダ移動の精密位置決めができない、といった不都合が生じる可能性がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、スライダの動作を良好に保ちつつ圧縮流体の消費効率を向上することができる静圧スライド装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、静圧スライド装置において、圧縮流体を噴射する静圧発生部をスライド方向に沿って複数有するスライドガイドと、
前記複数の静圧発生部のそれぞれに対して圧縮流体を供給可能な圧縮流体供給部と、前記スライドガイドに沿って移動可能に設けられたスライダと、前記圧縮流体供給部から前記圧縮流体を供給する静圧発生部を、前記スライダの移動位置に応じて前記複数の静圧発生部から選択する静圧発生位置選択部とを備える構成とする。
この発明によれば、静圧発生位置選択部により、圧縮流体供給部から圧縮流体を供給する静圧発生部を、スライダの移動位置に応じて変更することができるので、スライダの位置近傍の静圧発生部のみから圧縮流体を供給し、スライダをスライドガイドに対して非接触保持することができる。その結果、スライドガイドのすべての静圧発生部から圧縮流体を供給する場合に比べて、圧縮流体の消費量を低減することができる。
【０００６】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の静圧スライド装置において、前記圧縮流体供給部は、前記複数の静圧発生部にそれぞれ独立に接続される圧縮流体流路を備え、前記静圧発生位置選択部は、前記圧縮流体供給部から圧縮流体を流す前記圧縮流体流路を選択的に切り換えるようにした構成とする。
この発明によれば、静圧発生位置選択部により圧縮流体流路を選択的に切り換えることによって、選択された圧縮流体流路に接続された静圧発生部のみに圧縮流体を供給することができる。
【０００７】
請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の静圧スライド装置において、前記スライダの移動位置を検出する位置検出センサを備え、前記静圧発生位置選択部は、前記位置検出センサの出力によって、前記圧縮流体を供給する静圧発生部を変更する構成とする。
この発明によれば、位置検出センサによって、スライダの移動位置を検出し、静圧発生位置選択部は、位置検出センサの出力によって圧縮流体を供給する静圧発生部を変更することができるので、スライダの移動位置の近傍のみの狭い範囲の静圧発生部のみに圧縮流体を供給しても、スライダを確実に非接触支持することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の静圧スライド装置によれば、スライドガイドに設けられた、スライダの位置近傍の静圧発生部のみから圧縮流体を供給することができるので、スライダの動作を良好に保ちつつ圧縮流体の消費効率を向上することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１０】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る静圧スライド装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る静圧スライド装置の概略構成を示す模式的な正面図である。図２は、図１におけるＡ視の側面図である。図３は、図２におけるＢ−ｂ、Ｃ−ｃ、Ｄ−ｄ線に沿う断面図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係る静圧スライド装置の流路切替部の構成ブロック図である。
【００１１】
本実施形態の静圧スライド装置１の概略構成は、図１〜３に示すように、スライドガイド２、スライダ３、圧縮流体供給源８（圧縮流体供給部）、および流路切替部６（静圧発生位置選択部）からなる。
本実施形態の静圧スライド装置１は、１軸方向移動可能な非接触軸受機構を構成するもので、他の部材、装置とともに用いることにより、種々の機構を構成することができるものである。
【００１２】
スライドガイド２は、外周側でスライダ３を非接触支持して、スライダ３の１軸方向の移動を案内する軸状のガイド部材である。スライドガイド２の断面形状は、スライダ３とスライド可能に嵌合できれば、適宜の断面形状、例えば、矩形状、多角形状、楕円状などの形状を採用することができる。本実施形態では、円断面を有し、外形が略円柱状とされた場合の例で説明する。
スライドガイド２の外周面をなす円筒状のガイド面２ａ上においては、周方向を３等分する位置に、軸方向にわたって複数の絞り開口が略一定ピッチＬで配列された絞り開口部２ｂ、２ｃ、２ｄが形成されている。
【００１３】
絞り開口部２ｂは、図１〜３において、スライドガイド２の図示上側のガイド面２ａに、軸方向の一端側（図３の図示左側）から、８つの絞り開口２ｂ１、２ｂ１、２ｂ２、２ｂ２、２ｂ３、２ｂ３、２ｂ４、２ｂ４が配列されてなる（図２、３参照）。
絞り開口部２ｃは、図２において絞り開口部２ｂをスライドガイド２の中心軸に対して図示反時計回りに１２０°回転したのと同様の構成を備えており、軸方向の一端側から８つの絞り開口２ｃ１、２ｃ１、２ｃ２、２ｃ２、２ｃ３、２ｃ３、２ｃ４、２ｃ４が配列されてなる（図２、３参照）。
絞り開口部２ｄは、図２において絞り開口部２ｂをスライドガイド２の中心軸に対して図示反時計回りに２４０°回転したのと同様の構成を備えており、軸方向の一端側から８つの絞り開口２ｄ１、２ｄ１、２ｄ２、２ｄ２、２ｄ３、２ｄ３、２ｄ４、２ｄ４が配列されてなる（図１〜３参照）。
これら各絞り開口は、図３に示すように、スライドガイド２の内部では、径方向に延びる管路を構成している。
【００１４】
一方、スライドガイド２の内部には、絞り開口部２ｂ（２ｃ、２ｄ）に対応して、軸方向の長さが異なる圧縮流体流路Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４が、長さの短い順にスライドガイド２の中心軸を通る平面に沿って、略平行に配列されている。そして、これら圧縮流体流路の軸方向他端側（図示右側）の端部において、各絞り開口からスライドガイド２の径方向に延びる管路がそれぞれ２本ずつ接続されている。
本実施形態では、添字ｉ（ｉ＝１，２，３，４）を用いると、各圧縮流体流路Ｐｉの端部には、絞り開口２ｂｉ、２ｂｉ（２ｃｉ、２ｃｉ、２ｄｉ、２ｄｉ）に接続する管路がそれぞれ接続されている。以下、簡単のため、添字が１〜４まで変わる４つの任意の符号Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４のそれぞれをＸｉと表記することにする。
本実施形態では、スライドガイド２は、圧縮流体が浸透しない中実体の金属や合成樹脂を用いており、これらの各圧縮流体流路と、各絞り開口から内部に向かう管路とは、スライドガイド２に掘られた穴として構成されている。
【００１５】
各圧縮流体流路Ｐｉの一端側には、それぞれ独立に圧縮流体を供給するための配管７が、それぞれ継手７ａを介して接続されている。すなわち、本実施形態では、１２本の配管７が設けられている。
【００１６】
また、スライドガイド２の外周部には、ガイド面２ａよりも内部側に、スライドガイド２の軸方向の位置を参照するための位置検出スケール５が設けられている。
位置検出スケール５は、後述する位置検出センサ４の種類に応じて、非接触状態で位置検出が可能なスケールあるいはリニアエンコーダを採用することができる。例えば、適宜ピッチの黒白ラインパターンからなる光学スケールや、適宜ピッチで磁極が交代する磁気スケール、適宜ピッチで凹凸が繰り返される機械的スケールなどを採用することができる。
【００１７】
スライダ３は、スライドガイド２に外嵌して軸方向に沿って移動する部材である。本実施形態では、幅Ｗで、側面視矩形状のブロック部材の中央部に、ガイド面２ａの径よりもわずかに大きな内径の孔部が設けられ、スライドガイド２の外周面に略沿う円筒状の内周面３ａが形成されている。
幅Ｗと、絞り開口の配置ピッチＬとは、スライダ３を非接触保持した状態で軸方向に円滑に移動できるように適宜設定することができる。本実施形態では、スライダ３の軸方向のどの位置に移動しても、スライダ内周面３ａの幅Ｗ内において、軸方向の異なる位置に少なくとも２つの絞り開口が対向するような寸法に設定されている。
【００１８】
また、位置検出スケール５に対向する位置のスライダ内周面３ａ近傍には、位置検出スケール５から、スライダ３の移動位置あるいは移動量を検出するための位置検出センサ４が設けられている。位置検出センサ４の検出出力は、本実施形態では流路切替部６に送出される。
位置検出センサ４としては、例えば、反射型光センサ、磁気センサ、静電容量センサなどの適宜の非接触型センサを採用することができる。
【００１９】
なお、スライダ３の外周部の形状は一例であって、静圧スライド装置１の用途に応じて種々の形状を備えることができる。また、スライダ３とともにスライドガイド２の軸方向に移動させる適宜の別部材が固定されていてもよい。また、スライダ３の外周部には、このような別部材を取り付けるために、例えば、ネジ穴などの適宜の取付部が形成されていてもよい。
また、本実施形態では、ガイド面２ａとスライダ内周面３ａとが円筒面からなるため、スライダ３の移動時に位置検出センサ４が位置検出スケール５に常に対向し、移動時にスライドガイド２の軸方向回りにスライダ３が回らないようにして使用するものとする。
例えば、スライダ３あるいはスライダ３に取り付けられる別部材が、不図示の外部機構によって軸方向回りに回り止めされるように使用する。
また、例えば、スライダ３あるいはスライダに取り付けられる別部材の重心をスライドガイド２の中心軸から偏心させ、重力の作用によって、スライダ３の姿勢を一定に保つことで、位置検出センサ４と位置検出スケール５とを対向させるようにしてもよい。
このような使用上の対応が困難な場合には、スライダ内周面３ａ、ガイド面２ａの軸直交断面の形状として、円形状以外の中心軸回りに回転しない形状、例えば矩形、多角形、楕円形、あるいは互いに嵌合する凹凸部などを円周上に備えた略円形などの形状を採用すればよい。
【００２０】
圧縮流体供給源８は、スライダ３をガイド面２ａ上で非接触支持するための静圧を形成するために、一定圧力の圧縮流体を、配管８ａを介して流路切替部６に供給するものである。圧縮流体としては、圧縮空気や適宜の圧縮ガスなどを採用することができる。
【００２１】
流路切替部６は、圧縮流体供給源８から配管８ａを介して供給された圧縮流体を、スライダ３の移動位置に応じて、予め設定された配管７に流路を切り換えて圧縮流体を選択的に供給するものであり、図４に示すように、配管８ａを複数（本実施形態では１２本）の配管７に分岐する流路分岐部６２、静圧発生位置算出部６０、および流路選択部６１からなる。
【００２２】
静圧発生位置算出部６０は、外部から入力されるスライドガイド２の軸方向におけるスライダ３の位置情報を含む位置検出信号２００に基づいて、静圧を発生させる位置を算出し、静圧を発生すべき位置に対応する絞り開口に通ずる圧縮流体流路を選択する流路選択信号２０１を流路選択部６１に送出するものである。
すなわち、静圧発生位置算出部６０は、スライダ３の位置情報から、スライダ３のスライダ内周面３ａが位置する範囲を求め、スライダ内周面３ａに対向する絞り開口を特定し、スライダ内周面３ａの軸方向の端部から最も近い位置の絞り開口までの距離を算出する。
そして、その時点でスライダ内周面３ａに対向している絞り開口と、スライダ３から所定距離範囲内に位置する絞り開口とに通ずる圧縮流体流路Ｐｉおよびそれに接続された配管７を求める。この所定距離は、バルブ６３を開放したときの圧縮流体の圧力伝搬速度やスライダ３の移動速度等を考慮して、スライダ３がその範囲移動すると予想される時刻までに、スライダ３を非接触支持するための十分な静圧が形成できるような距離に設定される。
そして、それぞれに対応する配管７に対応する流路選択信号２０１を発生する。
【００２３】
流路選択部６１は、流路選択信号２０１に応じて圧縮流体を供給する配管７を選択するものである。流路の選択は、流路分岐部６２で分岐された各配管７に設けられたバルブ６３を電磁的な開閉手段、あるいは油圧、空気圧などを用いた開閉手段によって、それぞれ独立に開閉させることによって行われる。
【００２４】
次に、本実施形態の静圧スライド装置１の作用について説明する。
本実施形態では、絞り開口部２ｂ、２ｃ、２ｄにおける各Ｐｉにそれぞれ絞り開口２ｂｉ、２ｂｉ、絞り開口２ｃｉ、２ｃｉ、絞り開口２ｄｉ、２ｄｉが設けられている。そして、流路選択部６１では、圧縮流体をすべての圧縮流体流路にそれぞれ独立に供給可能となっている。そして、スライダ内周面３ａに作用する静圧が径方向に均等になり、スライダ３のスライダ内周面３ａの中心軸をスライドガイド２の中心軸上に一致させてスライダ３を非接触保持できるように、絞り開口部２ｂ、２ｃ、２ｄの各圧縮流体流路Ｐｉは、添字ｉごとに一括して選択するようにしている。
そこで、以下では、絞り開口２ｂｉ、２ｂｉ、２ｃｉ、２ｃｉ、２ｄｉ、２ｄｉを、ｉの値に応じて、それぞれ、第１静圧発生部７１、第２静圧発生部７２、第３静圧発生部７３、第４静圧発生部７４と称することにする。
【００２５】
図３に示すように、スライダ３が第３静圧発生部７３にあるとすると、スライダ３の位置は、位置検出センサ４によって監視されており、スライダ３の位置情報が位置検出信号２００として、静圧発生位置算出部６０に伝達されている。
静圧発生位置算出部６０では、位置検出信号２００から、スライダ内周面３ａが第３静圧発生部７３の絞り開口をすべて覆う位置にあることを検知し、例えば、第４静圧発生部７４の図示左側の絞り開口２ｂ４、２ｃ４、２ｄ４が所定距離内にあることを検知する。
この場合、圧縮流体流路Ｐ３、Ｐ４に圧縮流体を供給するように、それぞれに接続されたバルブ６３を開放し、他のバルブ６３を閉止するような流路選択信号２０１を発生する。
流路選択部６１では、流路選択信号２０１を受けて、各圧縮流体流路Ｐ３、Ｐ４に接続される配管７に対応するバルブ６３を開放し、他のバルブ６３を閉止する制御を行う。これにより、第３静圧発生部７３および第４静圧発生部７４に圧縮流体が供給され、スライダ３の非接触支持が保たれる。
【００２６】
以上の制御が継続される結果、本実施形態では、スライダ内周面３ａに対向する位置の静圧発生部と、スライダ３に隣接する静圧発生部の一方または両方に圧縮流体が供給され、それ以外の静圧発生部には圧縮流体の供給が停止される。ここで、スライダ３から所定距離内に位置する静圧発生部に圧縮流体を供給するのは、スライダ３がその位置に移動したときに、スライダ３を非接触保持する静圧が発生するようにすることで、スライダ３の非接触保持の保持力を安定させ、スライダ３の移動を円滑にするためである。
【００２７】
このように、本実施形態では、圧縮流体が供給されるのは、スライダ３を直接非接触保持するための静圧発生部と、スライダ３に隣接する静圧発生部の一方または両方のみとなる。そのため、圧縮流体を効率的に供給し、無駄な消費を低減することができる。
【００２８】
次に、本実施形態の第１変形例について説明する。
図５は、本発明の第１の実施形態の第１変形例に係る静圧スライド装置における図２のＢ−ｂ、Ｃ−ｃ、Ｄ−ｄ断面に相当する断面図である。
【００２９】
本実施形態の静圧スライド装置１００は、上記第１の実施形態の静圧スライド装置１のスライドガイド２、各圧縮流体流路Ｐｉ、各絞り開口２ｂｉ、２ｃｉ、２ｄｉに代えて、それぞれ、スライドガイド２０、各圧縮流体流路Ｑｉ、各開口２０ｂｉ、２０ｃｉ、２０ｄｉを備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３０】
スライドガイド２０は、スライドガイド２と同様の略円柱状の外形状を有しているが、多孔質体によって構成されている点と、ガイド面２ａに相当するガイド面２０ａに絞り開口のような開口が形成されていない点が異なる。
スライドガイド２０に用いる多孔質体としては、圧縮流体を透過し、適宜の絞り効果が得られるような連続空孔を備える多孔質体であれば、どのような多孔質体でもよい。本実施形態では、一例として焼結金属を採用している。他の例としては、多孔質セラミックスや多孔質合成樹脂などを挙げることができる。
【００３１】
開口２０ｂｉ（２０ｃｉ、２０ｄｉ）は、スライドガイド２０の軸方向および周方向の位置が、上記第１の実施形態の絞り開口２ｂｉ（２ｃｉ、２ｄｉ）と略同様な位置に設けられ、スライドガイド２０の軸径方向の位置がガイド面２０ａから距離ｈの位置に設けられた開口である。図５の例では、開口２０ｂ１（２０ｃ１、２０ｄ１）は、圧縮流体流路Ｑ１の側面に直接設けられ、開口２０ｂｉ（２０ｃｉ、２０ｄｉ）（ｉ＝２，３，４）からは、スライドガイド２０の内部側に向かって圧縮流体を透過しない管部材が配置され、スライドガイド２０の軸径方向に延びる管路が形成されている。
【００３２】
各圧縮流体流路Ｑｉは、スライドガイド２０の内部に、上記第１の実施形態の圧縮流体流路Ｐｉと同様の長さ、位置関係に設けられ、圧縮流体を透過しない管部材により形成された管路である。そして、スライドガイド２０の一端側（図示左側）が継手７ａによってそれぞれ配管７に接続されている。また、圧縮流体流路Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４の他端側（図示右側）には、開口２０ｂｉ（２０ｃｉ、２０ｄｉ）（ｉ＝２，３，４）から径方向に延びる管路が接続され、継手７ａから各開口までのＬ字状の管路が形成されている。
【００３３】
本変形例によれば、圧縮流体流路Ｑｉを通して、圧縮流体が供給されると、圧縮流体は、スライドガイド２０内に漏れ出すことなく一定の圧力で搬送、供給されて、開口２０ｂｉ、２０ｃｉ、２０ｄｉに到達し、スライドガイド２０内の空孔によって絞られた状態で、ガイド面２０ａから噴射される。
すなわち、各開口とそれぞれの開口を覆うスライドガイド２０の層とによって、スライドガイド２０の軸方向にわたって複数の静圧発生部が構成されている。本変形例では、上記第１の実施形態と同様の第１静圧発生部７１、第２静圧発生部７２、第３静圧発生部７３、第４静圧発生部７４が形成される。
そして、流路切替部６によって、スライダ３の軸方向の位置に応じて、圧縮流体を供給する圧縮流体流路Ｑｉを切り換えることで、スライダ３の位置およびその近傍に、ガイド面２０ａから圧縮流体が噴射され、スライダ３をスライドガイド２に対して非接触保持し、軸方向に滑らかに移動させることができる。
ここで、スライドガイド２０の軸方向、周方向における開口２０ｂｉ、２０ｃｉ、２０ｄｉの位置は、絞り開口２ｂｉ、２ｃｉ、２ｄｉと同様なので、第１の実施形態と同様に、圧縮流体を効率的に供給し、無駄な消費を低減することができる。
【００３４】
本変形例では、スライドガイド２０を形成する多孔質体の空孔により絞りを形成するので、静圧発生部を軸方向の広い範囲に設ける場合に、各開口の大きさを広げることで、少ない管路で静圧発生部を形成することができる。そのため、スライドガイド２０の製作が容易となる。
【００３５】
次に、本実施形態の第２変形例について説明する。
図６は、本発明の第１の実施形態の第２変形例に係る静圧スライド装置の概略構成を示す模式的な正面視の部分断面図である。図７は、図６におけるＣ視の側面図である。図８は、図７におけるＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【００３６】
本変形例の静圧スライド装置１１０は、図６、７に示すように、上記第１の実施形態のスライドガイド２、スライダ３、各圧縮流体流路Ｐｉ、絞り開口２ｂｉ、２ｃｉ、２ｄｉ、位置検出センサ４に代えて、それぞれ、スライドガイド３０、スライダ３２、各圧縮流体流路Ｒｉ、絞り開口３０ｂｉ、３０ｃｉ、３０ｄｉ、位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂを備える。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３７】
スライドガイド３０は、位置検出スケール５を備えないため、ガイド面２ａのような位置検出スケール５を取り付ける溝形状のないガイド面３０ａを備えた略円柱状の部材である。また、各圧縮流体流路Ｐｉ、絞り開口２ｂｉ、２ｃｉ、２ｄｉに対応する各圧縮流体流路Ｒｉ、絞り開口３０ｂｉ、３０ｃｉ、３０ｄｉの位置関係が後述するように異なっている。
スライダ３２は、スライドガイド２から位置検出センサ４を削除したものである。
【００３８】
圧縮流体流路Ｒｉは、圧縮流体流路Ｐｉと同様な長さを有しているが、図７に示すように、スライドガイド３０のガイド面３０ａの近傍の同一円周上に図示反時計回りに等角度ピッチで、圧縮流体流路Ｒ１〜Ｒ４、Ｒ１〜Ｒ４、Ｒ１〜Ｒ４の１２本が配置されている。図示水平方向の右側に配置された圧縮流体流路Ｒ１から図示反時計回りに配置された圧縮流体流路Ｒ１〜Ｒ４は、ガイド面３０ａの周方向を３等分した第１領域３０ｂにおいて、スライドガイド３０の軸方向の第１静圧発生部７１、第２静圧発生部７２、第３静圧発生部７３、第４静圧発生部７４を形成するために圧縮流体を供給する流路群である。同様に、第１領域３０ｂの反時計回り側に隣接する第２領域３０ｃ、第１領域３０ｂ、第２領域３０ｃに夾まれる第３領域３０ｄにも、それぞれ圧縮流体流路Ｒ１〜Ｒ４が配置され、それぞれ４つの静圧発生部に圧縮流体を供給できるようになっている。
【００３９】
絞り開口３０ｂｉ、３０ｃｉ、３０ｄｉは、それぞれ、第１領域３０ｂ、第２領域３０ｃ、第３領域３０ｄのガイド面３０ａから、各圧縮流体流路Ｒｉの軸方向の他端側の端部にピッチＬで２本ずつ接続されたものである。これらの絞り開口は、スライドガイド３０の軸方向にピッチＬで隣接されている。このため、図６に示すように、例えば、絞り開口３０ｂｉは、スライドガイド３０の軸方向に隣接ピッチＬで配列されるとともに、スライドガイド３０の周方向には、３０°ピッチで２個ずつずらされて、螺旋状をなして配置されている。また、同一の軸直角断面上に配置された絞り開口３０ｂｉ、３０ｃｉ、３０ｄｉは、それぞれ周方向を３等分する位置に配置されている。
【００４０】
位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂは、被検出物までの距離を検知する非接触センサであり、本変形例では、スライドガイド３０の両端部の外周面上に略対向して設けられ、スライドガイド３０上を移動するスライダ３２の一端側の面３２ａ、他端側の面３２ｂまでの距離をそれぞれ計測できるようになっている。位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂの検出出力は、それぞれ流路切替部６に送出され、静圧発生位置算出部６０によって、必要なスライダ３２の位置情報に変換される。
位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂとしては、例えば、光学式の測距センサなどを採用することができる。
【００４１】
なお、本変形例では、スライダ３２の一端側および他端側の面３２ａ、３２ｂの位置をそれぞれ検出しているが、位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂのいずれか一方を削除して、面３２ａのみ、または面３２ｂのみの位置を検出するようにしてもよい。
【００４２】
このように、本変形例では、各圧縮流体流路Ｒｉをガイド面３０ａから径方向に等距離の位置に配置した状態で、上記第１の実施形態と同様に、スライドガイド３０の軸方向に沿って、４つの静圧発生部を構成することができる。
このため、上記第１の実施形態と同様に、位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂによって、スライドガイド３０の軸方向の位置を検出し、スライドガイド３０の位置に応じて、静圧発生部に選択的に圧縮流体を供給することで、圧縮流体を効率的に供給し、無駄な消費を低減することができる。
【００４３】
特に本変形例では、各圧縮流体流路Ｒｉが、スライドガイド３０のガイド面３０ａから一定深さの位置に周方向に配置されているため、圧縮流体流路Ｒｉから各絞り開口までの径方向の管路の長さが等しくなる。その結果、各絞り開口での圧力損失が一定になるという利点がある。
また、本変形例によれば、位置検出センサ３１Ａ、３１Ｂが、スライドガイド３０上に設けられているため、スライダ３２の移動に対する影響をより低減することができる。
【００４４】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る静圧スライド装置について説明する。
図９は、本発明の第２の実施形態に係る静圧スライド装置の概略構成を示す正面視の模式的な部分断面図である。図１０は、図９におけるＦ視の側面図である。
【００４５】
本実施形態の静圧スライド装置１２０は、図９、１０に示すように、上記第１の実施形態の静圧スライド装置１のスライドガイド２、スライダ３、流路切替部６に代えて、スライドガイド４０、スライダ４２、流量制御部８０を備え、さらに噴射スライダ４１を追加したものである。
【００４６】
スライドガイド４０は、スライドガイド２と同径、同長さで非磁性体から構成された円筒部材であり、厚さ方向に貫通する複数の開口４０ｂが設けられている。本実施形態では、開口４０ｂは、軸方向にピッチＬ、周方向に４５°ピッチで、合計６４個（＝８×８）が設けられている。スライドガイド４０の材質は、圧縮流体を透過させない非磁性金属やセラミックスや合成樹脂などからなる。
【００４７】
スライダ４２は、上記第１の実施形態の第２変形例のスライダ３２と同様の形状を備えた磁性体からなり、スライダ内周面３ａが、スライダ４２のガイド面４０ａに移動可能に嵌合されている。
【００４８】
噴射スライダ４１は、スライドガイド４０の内周面４０ｃよりわずかに小径の中空状の円柱部材である。噴射スライダ４１の円柱底面は、圧縮流体を透過させない金属または合成樹脂からなる壁体４１ｂ、４１ｂからなり、円筒部分が、スライドガイド２０と同様な多孔質体からなり、軸方向に幅ｗ（ただし、ｗ＞Ｗ）を有する絞り部４１ａによって構成されている。幅ｗの大きさを適宜の大きさとすることで、上記第１の実施形態と同様に、スライダ４２の移動に先だって、隣接する開口４０ｂから圧縮流体を噴射し、スライダ４２の移動を円滑にすることができる。
そして、本実施形態では、壁体４１ｂおよび絞り部４１ａの少なくともいずれかが着磁されており、磁性体であるスライダ４２と磁気的に吸引し合うようになっている。
これら壁体４１ｂ、４１ｂ、絞り部４１ａで囲まれた内部には、圧縮流体を流入させる空室であるチャンバ４１ｃが形成されている。スライドガイド４０の一端側（図示左側）の壁体４１ｂの中央には、配管８１と接続する継手７ａが設けられている。
【００４９】
配管８１は、軸方向に伸縮自在な螺旋状に巻回された可撓性の耐圧樹脂製配管を継手７ａ側に備えており、これにより配管８１は、スライドガイド４０の長さの範囲で噴射スライダ４１の移動に追従可能な長さを有し、噴射スライダ４１の移動に応じて伸縮可能とされている。
このため、継手７ａからチャンバ４１ｃに流入した圧縮流体は、絞り部４１ａから噴射スライダ４１の径方向外側に所定の圧力で噴出され、噴射スライダ４１をスライドガイド４０の内周面４０ｃに対して非接触保持され、スライドガイド４０の軸方向に移動自在となっている。
【００５０】
流量制御部８０は、圧縮流体供給源８から供給される圧縮流体の流量を調整して、配管８１を介して噴射スライダ４１に導くもので、これにより、絞り部４１ａから噴出される圧縮流体の圧力を一定に保つことができるようになっている。
【００５１】
本実施形態の静圧スライド装置１２０によれば、スライダ４２と噴射スライダ４１とは、磁力により、スライドガイド４０を介して対向されている。そして、圧縮流体供給源８から圧縮流体を供給すると、圧縮流体は、噴射スライダ４１のチャンバ４１ｃから、絞り部４１ａを通して、径方向外側に一定圧で噴射される。
このため、スライドガイド４０の内周面４０ｃに対して噴射スライダ４１が非接触保持されるとともに、絞り部４１ａが対向する開口４０ｂから圧縮流体が径方向外側にさらに噴出される。すなわち、スライダ４２のスライダ内周面３ａに対向する開口４０ｂから圧縮流体が噴射され、スライダ４２がガイド面４０ａに対して非接触保持される。
スライダ４２が軸方向に移動すると、噴射スライダ４１がスライダ４２に磁気的に吸引されて、スライダ４２に追従するように移動する。このため、圧縮流体は、噴射する開口４０ｂを変えて、スライダ４２およびその前後の範囲に噴射され続ける。
【００５２】
このように、本実施形態では、スライダ４２に磁気的に吸引されて噴射スライダ４１が移動することにより、圧縮流体を供給する静圧発生部である開口４０ｂが選択される。すなわち、噴射スライダ４１は、静圧発生位置選択部を構成している。
これにより、スライダ４２に対向する幅ｗの範囲内のみに圧縮流体を供給して、スライダ４２を非接触保持するので、圧縮流体を効率的に供給し、無駄な消費を低減することができる。
本実施形態では、静圧発生位置選択部が、スライダに追従して移動することで、静圧発生位置を選択するので、位置検出センサを省略することができる。
【００５３】
なお、上記第１の実施形態の説明では、静圧発生部が、スライドガイドの軸方向に隣接するピッチＬの開口のペアにより構成される例で説明したが、これは一例であって、１つの圧縮流体流路には、３つ以上の開口を設けてもよいし、必要な数の圧縮流体流路を設けることができれば、１つの圧縮流体流路に１つの開口のみを設ける構成としてもよい。
【００５４】
また、上記第１の実施形態の説明では、静圧発生部が、予め軸方向に４箇所設定され、それらから静圧発生部を選択するようにした例で説明したが、これは一例であり、静圧発生部は軸方向に何箇所設けてもよい。
【００５５】
また、上記第１の実施形態の説明では、位置検出センサにより、スライダの位置を検出して、圧縮流体を供給する静圧発生部を選択するようにしたが、スライダの位置に対応する位置検出信号またはそれに相当する情報が他の手段によって取得できる場合には、位置検出センサを省略してもよい。
例えば、スライダに設けられた他の部材の位置を検出して、位置検出信号を取得してもよい。また、スライダが、例えばリニアモータや１軸駆動機構などに固定されている場合には、これらのリニアモータや１軸駆動機構の駆動信号から、対応する位置情報を取得してもよい。
また、スライダが固定される他の部材の運動が、所定の周期運動などに限定されるなど、時間関数として知られている場合には、その時間関数に従って圧縮流体を供給する静圧発生部を変更する制御を行ってもよい。
【００５６】
また、上記の第２の実施形態の説明では、噴射スライダ４１が、スライダ４２に磁気的に吸引されることで、静圧発生位置が噴射スライダ４１とともに移動する例で説明したが、スライダ４２の軸方向位置に応じて、噴射スライダ４１を軸方向に移動する移動機構を設けることで、この移動機構と噴射スライダ４１とで、静圧発生位置選択部を構成してもよい。
この場合、噴射スライダ４１の絞り部４１ａの幅ｗを適宜の大きさに設定することにより、噴射スライダ４１の移動精度は、スライダ４２の移動精度よりも低減することができる。そのため、配管８１が接続されて移動精度が低下しても、確実にスライダ４２を非接触保持することが可能となる。
【００５７】
また、上記の各実施形態、各変形例に記載された構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施することができる。
例えば、上記第１の実施形態の第１変形例の多孔質体によるスライドガイドを用いる構成を、第２変形例に適用してもよい。また例えば、第２変形例の位置検出センサを第１の実施形態、第１変形例、第２の実施形態などに適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る静圧スライド装置の概略構成を示す模式的な正面図である。
【図２】図１におけるＡ視の側面図である。
【図３】図２におけるＢ−ｂ、Ｃ−ｃ、Ｄ−ｄ線に沿う断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る静圧スライド装置の流路切替部の構成ブロック図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の第１変形例に係る静圧スライド装置における図２のＢ−ｂ、Ｃ−ｃ、Ｄ−ｄ断面に相当する断面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の第２変形例に係る静圧スライド装置の概略構成を示す模式的な正面視の部分断面図である。
【図７】図６におけるＣ視の側面図である。
【図８】図７におけるＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態に係る静圧スライド装置の概略構成を示す正面視の模式的な部分断面図である。
【図１０】図９におけるＦ視の側面図である。
【符号の説明】
【００５９】
１、１００、１１０、１２０  静圧スライド装置
２、２０、３０、４０  スライドガイド
２ａ、２０ａ、３０ａ、４０ａ  ガイド面
２ｂ１、２ｂ２、２ｂ３、２ｂ４、２ｃ１、２ｃ２、２ｃ３、２ｃ４、２ｄ１、２ｄ２、２ｄ３、２ｄ４  絞り開口
３  スライダ
４  位置検出センサ
５  位置検出スケール
６  流路切替部
７、８１  配管
８  圧縮流体供給源
４０ｂ  開口（静圧発生部）
４１  噴射スライダ（静圧発生位置選択部）
４１ａ  絞り部
４１ｃ  チャンバ
６０  静圧発生位置算出部
６１  流路選択部
６２  流路分岐部
７１  第１静圧発生部
７２  第２静圧発生部
７３  第３静圧発生部
７４  第４静圧発生部
８０  流量制御部
２００  位置検出信号
２０１  流路選択信号
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４、Ｒ１、Ｒ２，Ｒ３、Ｒ４  圧縮流体流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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