(57)【要約】【課題】電子デバイスの特性を連続的に検査する際、導電性ステージを故障以外で取り替えることなく使用でき、測定値のバラツキを抑制し、精度の良い検査を行い、電子デバイス製造の歩留を向上させる電子デバイス検査装置又は電子デバイス検査方法を提供する。【解決手段】導電性ステージ１３と電気特性測定機１８が電気的に接続されており、電子デバイス１４を導電性ステージ１３に載置し、裏面電極１６と導電性ステージ１３の表面を接触させ、電気特性測定機１８のニードル１７と表面電極１５を接触させ、電子デバイス１４に通電して、電子デバイス１４の電気特性を測定する工程を含み、電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を連続して行う際、該工程を所定回数行った後、導電性ステージ１３に付着した異物をクリーニング手段１１により除去するクリーニング工程を行うことを特徴とする電子デバイス検査方法及び電子デバイス検査装置１。【選択図】図１
2008180661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査するための電子デバイス検査装置であって、少なくとも、
前記電子デバイスを載置し、且つ前記電子デバイスの裏面電極と電気的に接続するための導電性ステージと、
該導電性ステージと電気的に接続され、且つ前記電子デバイスの表面電極と電気的に接続させるためのニードルを有する前記電子デバイスの電気特性を測定するための電気特性測定機とを具備する電子デバイス検査装置において、
前記導電性ステージの表面に付着した異物を除去するためのクリーニング手段を具備するものであることを特徴とする電子デバイス検査装置。
【請求項２】
前記クリーニング手段は、多孔質スポンジに有機溶剤を含ませたものであることを特徴とする請求項１に記載の電子デバイス検査装置。
【請求項３】
前記電子デバイスがＬＥＤである場合、前記電子デバイス検査装置は、前記ＬＥＤの発光量を測定するための発光量測定機と、前記ＬＥＤの発光波長を測定するための発光波長測定機を具備するものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電子デバイス検査装置。
【請求項４】
表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査するための電子デバイス検査方法であって、少なくとも、
前記電子デバイスを載置するための導電性ステージと、前記電子デバイスの電気特性を測定するための電気特性測定機が電気的に接続されており、
前記電子デバイスを前記導電性ステージに載置し、
前記電子デバイスの裏面電極と前記導電性ステージの表面を接触させ、
前記電気特性測定機の有するニードルと前記電子デバイスの表面電極を接触させ、
前記電子デバイスに通電することによって、前記電子デバイスの電気特性を測定する工程を含み、
前記電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を連続して行う際、
前記電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を所定回数行った後に、前記導電性ステージの表面に付着した異物をクリーニング手段により除去するクリーニング工程を行うことを特徴とする電子デバイス検査方法。
【請求項５】
前記所定回数を１０回以下とすることを特徴とする請求項４に記載の電子デバイス検査方法。
【請求項６】
前記クリーニング工程の際、前記クリーニング手段として、多孔質スポンジに有機溶剤を含ませたものを使用することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の電子デバイス検査方法。
【請求項７】
前記電子デバイスがＬＥＤである場合、該ＬＥＤの電気特性を測定する工程と同時に、前記ＬＥＤの発光量を発光量測定機により測定する工程と、前記ＬＥＤの発光波長を発光波長測定機により測定する工程を行うことを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれか１項に記載の電子デバイス検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面電極と裏面電極を有する電子デバイス等、特にはＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ：発光ダイオード）の特性を連続的に検査するための電子デバイス検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子デバイスの電気特性等を連続的に検査する方法として、一般的には電子デバイスを実際にパッケージに実装してから検査することが多い。しかし、実装された電子デバイスの電気特性が不良の場合や、例えばＬＥＤの発光量が基準値に達していなかった場合、そのような電子デバイス製品は不良品と判断されるため、パッケージングコストが無駄になっていた。そこで、パッケージングコストを抑えるために、電子デバイスを実装する前に、電子デバイスの電気特性等を検査し、良否を選別することがある（特許文献１参照）。
【０００３】
一般的な電子デバイスでも前記のような問題は発生するが、特にＬＥＤの場合、光の出力（発光量）、発光波長、順方向電圧等によりＬＥＤを予めランク別に分けたり、合否判定を行い、最も当てはまる用途にＬＥＤを振り分けることにより材料起因の無駄を最小限に抑える方法を採っている。この作業をソーティングと言い、その作業を行う自動機をソーターと呼んでいる。
【０００４】
このようなソーターにおいて、ＬＥＤ等の電子デバイスの特性を測定し、評価するには、電子デバイス検査装置により、電子デバイスにある一定の電流を流すために必要な順方向電圧Ｖｆや、ｐｎ接合に逆方向の電圧をかけた場合に流れる逆方向電流Ｉｒ等を測定するために、電子デバイスの電極に電流を印加する必要がある。
【０００５】
図６は種々の位置に電極を有する電子デバイスに電流を印加する時の説明図であり、図６（Ａ）は電子デバイスの電極が全て電子デバイスの片面（表面）に出ている場合と、図６（Ｂ）は電子デバイスの電極が表面と裏面の相対する位置に電極が出ている場合である。このように、電子デバイスの電極の位置によって、様々な電流の印加の方法がある。
【０００６】
具体的に説明すると、図６（Ａ）のように電子デバイス４ａの片面に２つの電極５ａが出ている場合は、特性を検査する電子デバイス４ａを電極５ａが上になるようにステージ３ａに載置し、電気特性測定機８ａと電極５ａを電気的に接続するための針７ａ（以下、ニードルと呼ぶ）を２つの電極５ａに接触させ、電流を印加する。
【０００７】
一方、図６（Ｂ）のように電子デバイス４ｂが表面電極５ｂと裏面電極６ｂを有する場合は、特性を検査する電子デバイス４ｂを載置するステージ３ｂを導電性物質からなるものとしておく。これにより、電子デバイス４ｂの表面電極５ｂが上になるように導電性ステージ３ｂに載置した際、裏面電極６ｂが導電性ステージ３ｂと電気的に接続される。そして、電気特性測定機８ｂと導電性ステージ３ｂ、及び電気特性測定機８ｂから出ているニードル７ｂと電子デバイス４ｂの表面電極５ｂがそれぞれ接触することによって、電子デバイス４ｂの電気特性を測定することができる。
【０００８】
上記のように電子デバイスの電気特性等を測定するにあたって、図６（Ａ）のように電極が片面に出ている場合は、電気特性は電極とニードルの接触抵抗のみに影響されるので、電気特性を測定するにあたっては測定値のバラツキが比較的少なく、精度良く測定できるが、図６（Ｂ）のように電極が電子デバイスの相対する面（つまり、両面）に出ている場合では、導電性ステージと電子デバイスの接触抵抗も考慮する必要がある。
【０００９】
図４は、図６（Ｂ）のタイプの電子デバイスとしてサイズが約２５０μｍのＬＥＤに対し、電気特性を測定した結果を示す図であり、図４（Ａ）は一定の電流（２０ｍＡ）を流すために必要な順方向電圧Ｖｆと測定回数（測定チップ個数）の関係を示し、図４（Ｂ）は順方向の電圧（２Ｖ）をかけた場合に流れる順方向電流Ｉｆと測定回数（測定チップ個数）の関係を示す。電子デバイスの製造状態にもよるが、１０回程度から順方向電圧Ｖｆや順方向電流Ｉｆの値がバラツキ始め、１００回測定時には非常に大きなバラツキが発生している。
【００１０】
このような測定値のバラツキの問題に対する現状の対応策としては、ソーターの一部である電子デバイス検査装置における電子デバイスの測定タイミングから、バラツキを解消するための処置に許される時間が０．５秒程度と非常に短く、又電流や電圧の測定値がバラツク原因もはっきりしなかったことから、専ら電子デバイスの測定値が大きくバラツキ始める前に、ステージを取り替えるといった方法や、ステージの表面状態を梨地とする等の方策しか採られていなかった。
【００１１】
しかし、ステージの表面状態を梨地とした場合、測定値が大きくバラツクまでの測定回数が少し多くなるだけであり、導電性ステージと電子デバイスの裏面電極との接触面積が小さく、結局はある程度の回数電子デバイスを測定したら、導電性ステージを取り替える必要があり、電子デバイスの検査工程として時間がかかる。さらに、ステージ取替え直後に測定した電子デバイスの特性が基準値を満たしていても、同じ電子デバイスをステージ取替えからある程度測定回数を重ねた導電性ステージで再び電気特性を測定して見ると、その測定値が異常値を示す場合があり、従って、測定回数が多くなると、基準値を満たしている良品の電子デバイスであっても不良品と判断されることがあり、電子デバイス製造における歩留が良くなかった。
【００１２】
【特許文献１】特開平８−１２５２２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
そこで、本発明は上記の問題を解決するためになされたものであって、表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査する際、導電性ステージを故障以外で取り替えることなく使用でき、電子デバイスの測定値にバラツキが生じることを抑制し、精度の良い検査を行うことによって、電子デバイスの検査工程にかかる時間を短縮し、さらに、電子デバイス製造における歩留を向上させることができる電子デバイス検査装置又は電子デバイス検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明は、表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査するための電子デバイス検査装置であって、少なくとも、
前記電子デバイスを載置し、且つ前記電子デバイスの裏面電極と電気的に接続するための導電性ステージと、
該導電性ステージと電気的に接続され、且つ前記電子デバイスの表面電極と電気的に接続させるためのニードルを有する前記電子デバイスの電気特性を測定するための電気特性測定機とを具備する電子デバイス検査装置において、
前記導電性ステージの表面に付着した異物を除去するためのクリーニング手段を具備するものであることを特徴とする電子デバイス検査装置を提供する（請求項１）。
【００１５】
また、本発明は、表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査するための電子デバイス検査方法であって、少なくとも、
前記電子デバイスを載置するための導電性ステージと、前記電子デバイスの電気特性を測定するための電気特性測定機が電気的に接続されており、
前記電子デバイスを前記導電性ステージに載置し、
前記電子デバイスの裏面電極と前記導電性ステージの表面を接触させ、
前記電気特性測定機の有するニードルと前記電子デバイスの表面電極を接触させ、
前記電子デバイスに通電することによって、前記電子デバイスの電気特性を測定する工程を含み、
前記電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を連続して行う際、
前記電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を所定回数行った後に、前記導電性ステージの表面に付着した異物をクリーニング手段により除去するクリーニング工程を行うことを特徴とする電子デバイス検査方法を提供する（請求項４）。
【００１６】
このように、表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査するための電子デバイス検査装置、又は電子デバイス検査方法において、電子デバイス検査装置としては、導電性ステージの表面に付着した異物を除去するためのクリーニング手段を具備し、電子デバイス検査方法としては、電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を連続して行う際、電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を所定回数行った後に、導電性ステージの表面に付着した異物をクリーニング手段により除去するクリーニング工程を行うことにより、導電性ステージの表面に付着した異物を除去することができる。
【００１７】
これにより、連続的に測定しても、電子デバイスの裏面電極と導電性ステージの表面との接触が良好となるため、電子デバイスを何回測定しても、その測定値に大きなバラツキの発生を抑制でき、精度の良い検査を行うことができ、電子デバイス製造における歩留を向上させることができる。さらに、測定値の大きなバラツキを抑制できることにより、導電性ステージの故障以外で導電性ステージを取り替える必要がなく、電子デバイスの検査工程にかかる時間を短縮できる。
【００１８】
また本発明は、電子デバイス検査方法において、前記所定回数を１０回以下とすることが好ましい（請求項５）。
このように、クリーニング工程を行うまでの電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程の所定回数を１０回以下とすることにより、さらに測定値のバラツキを抑制することができる。
【００１９】
そして、前記クリーニング手段は、多孔質スポンジに有機溶剤を含ませたものであることが好ましく（請求項２）、前記クリーニング工程の際、前記クリーニング手段として、多孔質スポンジに有機溶剤を含ませたものを使用することが好ましい（請求項６）。
このように、多孔質スポンジに有機溶剤を含ませたクリーニング手段を用いることによって、多孔質スポンジは有機溶剤を多く含むことができ、導電性ステージの表面にアクリル系の異物が付着していたとしても、有機溶剤により異物を溶かすことができ、多孔質スポンジにより異物を絡め取り、簡単な手段で導電性ステージの表面に付着している異物を除去することができる。
【００２０】
さらに本発明は、前記電子デバイスがＬＥＤである場合、前記電子デバイス検査装置は、前記ＬＥＤの発光量を測定するための発光量測定機と、前記ＬＥＤの発光波長を測定するための発光波長測定機を具備するものとすることができ（請求項３）、前記電子デバイスがＬＥＤである場合、該ＬＥＤの電気特性を測定する工程と同時に、前記ＬＥＤの発光量を発光量測定機により測定する工程と、前記ＬＥＤの発光波長を発光波長測定機により測定する工程を行うことができる（請求項７）。
このように、電子デバイスがＬＥＤである場合、ＬＥＤの電気特性を測定すると同時に、発光量測定機によりＬＥＤの発光量と、発光波長測定機によりＬＥＤの発光波長を測定することにより、ＬＥＤの電気特性と、発光量、発光波長を同時に測定できるので、電子デバイスの検査工程にかかる時間を短縮できる。
【００２１】
さらに、ＬＥＤに関しては、工程間で搬送する際サイズが小さいので粘着剤で保持して搬送する必要があり、しかも、電気特性、発光量、発光波長等を実装前に測定し、特性別に分類しておく必要があるため、くり返し測定しても測定値のバラツキが抑制できる本発明は、ＬＥＤにとって特に有効な電子デバイス検査装置、及び電子デバイス検査方法となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に従う電子デバイス検査装置及び電子デバイス検査方法であれば、導電性ステージを故障以外で取り替えることなく使用でき、電子デバイスの測定値にバラツキが生じることを抑制できる。そして、精度の良い検査を行うことができるので、電子デバイスの検査工程にかかる時間が短縮でき、電子デバイス製造における歩留を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
従来、図６（Ｂ）のような電子デバイス、特にはＬＥＤの両面に電極が出ている場合、図４のように電子デバイスの電気特性等の測定回数が増えれば増えるほど、その測定値、電気特性に関して言えば順方向電圧Ｖｆと順方向電流Ｉｆの値が異常な値を示すものが多くなるという問題があった。
【００２４】
そこで、本発明者は、その原因を突き止めるため、測定値の異常が発生している導電性ステージの表面を観察し、導電性ステージに付着している異物が、電子デバイスの製造過程で使用される粘着剤や、フォトリソグラフィー工程において薬液によるエッチングに使用される感光剤（レジスト）等であることが判明した。このような異物は、電子デバイスの製造過程で電子デバイスの裏面に付着していることがよくある。
【００２５】
例えば、サイズが約２５０μｍという非常に小さな電子デバイスの場合、電極パターンが印刷されたウエーハから、ダイシングにより個々の電子デバイスに切り分けられた後は、図５のような保持手段に電子デバイスをくっつけて、小さい電子デバイスを工程間で搬送することがある。図５は電子デバイスの製造工程間で電子デバイスを保持し搬送するための保持手段の概略図である。搬送用の保持手段２１は保持リング２２に電子デバイス４を接着するための粘着剤２３（一般的にはアクリル系の粘着剤）が塗布された粘着シート２４が張られている。この粘着シート２４に電子デバイス４を接着させた場合、少なからずとも電子デバイスの裏面６（粘着シートと接着された面）には、粘着剤２３が付着することになる。
【００２６】
このような電子デバイスの裏面に付着した粘着剤等の異物は、１個の電子デバイスを測定するにあたっては電気特性の測定を阻害するに至らないが、異物の状態に応じて数十個、ないしは数百個の単位で測定するにつれ、導電性ステージに蓄積し、それにより、表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの電気特性の測定値が徐々にバラツキ始め、正しい測定が不可能な状態に陥ることが解析結果から明らかとなった。
【００２７】
そこで、本発明者は、電子デバイスを多数繰り返し測定しても、故障以外で導電性ステージを取り替えることなく、１個の電子デバイスを検査し次の電子デバイスを検査するまでのわずかな時間に、自動的に導電性ステージをクリーニング手段により物理的に摩擦して異物を除去し、異物による測定値のバラツキが発生しない測定回数毎に、このクリーニング工程を行うことによって、電子デバイスの測定値のバラツキを抑制し、電子デバイスの検査精度を高め、このような安定した検査により電子デバイス製造における歩留の向上が図れることを想到し、本発明を完成させた。以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２８】
図１は本発明の電子デバイス検査装置の一例を示す概略図である。この電子デバイス検査装置１は、表面電極１５と裏面電極１６を有する電子デバイス１４を載置し、且つ電子デバイス１４の裏面電極１６と電気的に接続するための導電性ステージ１３と、該導電性ステージ１３と電気的に接続され、且つ電子デバイス１４の表面電極１５と電気的に接続させるためのニードル１７を有する電子デバイス１４の電気特性を測定するための電気特性測定機１８とを具備する。そして、導電性ステージ１３の表面に付着した異物を除去するためのクリーニング手段１１を具備する。
【００２９】
このように、表面電極１５と裏面電極１６を有する電子デバイス１４の特性を連続的に検査するための電子デバイス検査装置１が、導電性ステージ１３の表面に付着した異物を除去するためのクリーニング手段１１を具備することにより、電子デバイスの測定回数が多くなり、測定値に大きなバラツキが生じ始めた導電性ステージを取り替えることなく、１個の電子デバイスの検査終了から次の電子デバイスの検査開始までの約０．５秒というわずかな時間に、自動的に導電性ステージをクリーニング手段で物理的に摩擦して異物を除去することができる。
【００３０】
これにより、電子デバイスの裏面電極と導電性ステージの表面との接触が良好となるため、電子デバイスを何個測定しても、その測定値に大きなバラツキが生じることを抑制でき、精度の良い検査を行うことができる。また、電子デバイス製造における歩留を向上させることができる。
【００３１】
ちなみに、導電性ステージ１３の電子デバイス１４が載置される中央には、電子デバイス１４の大きさより小さい貫通孔２７が開けてあり、導電性ステージ１３に電子デバイス１４を保持するための真空吸着機能が付いている。これにより、小さくて薄い電子デバイスであっても、しっかりと導電性ステージ１３上に固定することができる。
【００３２】
このとき、クリーニング手段１１は、多孔質のスポンジ１２に有機溶剤を含ませたものが好ましい。クリーニング手段１１はこのような簡単な構成となっているが、多孔質スポンジはアルコール等の有機溶剤を多く含むことができ、導電性ステージの表面にアクリル系の異物が付着していたとしても、有機溶剤により異物を溶かすことができ、多孔質スポンジにより異物を絡め取り、簡単な手段で導電性ステージの表面に付着している異物を除去することができる。
【００３３】
そして、具体的にクリーニング手段１１は、ステンレス棒の先端に海綿状の材質であるベルクリン等を使用した多孔質のスポンジ１２が付いており、モーター（不図示）で回転させることが可能となっている。また、その動作は、１個の電子デバイスの検査終了から次の電子デバイスの検査開始までの時間に、導電性ステージに０．３〜０．５秒接触させ、クリーニング手段が回転する機構となっている。このクリーニング手段の動作は、外部の制御部により制御されており、電子デバイスが１個検査し終わる毎に１回クリーニングを行うこともできるし、１０個毎に１回クリーニングするように設定することもでき、測定値に大きなバラツキが発生しない程度の周期に設定できる。
【００３４】
また、電子デバイス１４がＬＥＤである場合、電子デバイス検査装置１は、ＬＥＤ１４の発光量を測定するための発光量測定機１９と、ＬＥＤ１４の発光波長を測定するための発光波長測定機２０を具備するものとすることができる。
このように、電子デバイスがＬＥＤである場合、電子デバイス検査装置１が電気特性測定機１８と並んで、発光量測定機１９及び発光波長測定機２０を具備するものであれば、電気特性測定機１８からニードル１７と導電性ステージ１３を介して電気的に接続されているＬＥＤ１４に通電した際、ＬＥＤ１４が発光するので、その電気特性、発光量、及び発光波長を同時に測定でき、電子デバイスの検査工程にかかる時間を短縮できる。
【００３５】
そして、発光量測定機１９はディテクター２５を具備しており、このディテクター２５によりＬＥＤの発光量を感知することができる。また、発光波長測定機２０はスペクトルアナライザー２６を具備しており、このスペクトルアナライザー２６によりＬＥＤの発光波長を感知することができる。
【００３６】
このような本発明の電子デバイス検査装置１に電子デバイス１４を載置し、電子デバイスを検査する本発明の方法を図２、図３を参照しながら以下に説明する。
図２は本発明に係る電子デバイス検査装置の周辺システムを示す概略図であり、図３は本発明に係る電子デバイス検査装置を使用し、電子デバイスを検査する本発明の方法を説明するための図である。
【００３７】
まず、図５のような電子デバイス搬送用の保持手段２１に保持された電子デバイス１４が電子デバイス検査工程の前の工程からローディングユニット２に搬送される。ローディングユニット２にセットされた電子デバイス１４は、ロッド２８により粘着シート２４の下方から持ち上げられ、電子デバイス１４を導電性ステージ１３に載置するためのコレット２９に真空吸着され、保持手段２１の粘着シート２４から剥がされる。
【００３８】
次に、真空吸着により電子デバイス１４を保持しているコレット２９が導電性ステージ１３の上まで移動し、真空吸着を解除することによって、電子デバイス１４は、本発明の電子デバイス検査装置１の導電性ステージ１３上に載置される。このとき、導電性ステージ１３上に載置された電子デバイス１４は、導電性ステージ１３の貫通孔２７から真空吸着され、導電性ステージ１３に固定される。導電性ステージ１３は、上記のように、電子デバイスの電気特性を測定するための電気特性測定機１８と接続されているため、導電性ステージ１３の表面と電子デバイス１４の裏面電極１６が接触するだけで、電気特性測定機１８と電気的に接続されることになる。
【００３９】
そして、電気特性測定機１８の有するニードル１７と電子デバイス１４の表面電極１５を接触させ、電気特性測定機１８から電子デバイス１４に、ニードル１７と導電性ステージ１３を介して通電する。これにより、電子デバイス１４の電気特性を測定することができる。
【００４０】
測定が終了した電子デバイスは、分類ユニット３に搬送される。分類ユニット３には、測定が終了した電子デバイス１４を電子デバイス検査装置１から搬送するためのコレット３０と、電子デバイス１４をその測定値に基づいて分類されている保持手段α、β、γが用意されている。
【００４１】
そして、電子デバイスの載置から電気特性を測定する一連の工程が連続して行われることにより、次々に電子デバイスを連続的に検査することができる。電子デバイスの載置から電気特性を測定する一連の工程を、電子デバイスの測定値に大きなバラツキが出ない所定回数行った後には、電子デバイス検査装置１が具備するクリーニング手段１１により、導電性ステージ１３の表面に付着した異物を除去するクリーニング工程を行う。
【００４２】
このように、表面電極と裏面電極を有する電子デバイスの特性を連続的に検査するための電子デバイス検査方法において、電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を連続して行う際、電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程を所定回数行った後に、導電性ステージの表面に付着した異物をクリーニング手段により除去するクリーニング工程を行うことにより、導電性ステージの表面に蓄積した異物を除去することができる。
【００４３】
これにより、電子デバイスの裏面電極と導電性ステージの表面との接触が良好となるため、電子デバイスを繰り返し多数個測定しても、その測定値に大きなバラツキが生じることを抑制でき、精度の良い検査を行うことができ、電子デバイス製造における歩留を向上させることができる。さらに、測定値の大きなバラツキを抑制できるので、導電性ステージの故障以外で導電性ステージを取り替える必要がなく、電子デバイスの検査工程にかかる時間を短縮できる。
【００４４】
特に、本発明において、電子デバイスの測定値に大きなバラツキが出ない所定回数は、１０回以下とすることが好ましく、より好ましくは、１回、つまり毎回クリーニング工程をすることが好ましい。図４で説明したように、電子デバイス検査装置１による電子デバイスの測定個数つまり測定回数が１０回程度からは、導電性ステージ１３上に異物が蓄積し、導電性ステージ１３と電子デバイス１４の裏面電極１６の接触が悪くなり、順方向電圧Ｖｆや順方向電流Ｉｆの値にバラツキが生じ始め、１００回測定時には非常に大きなバラツキが発生してしまうので、電子デバイスの載置から電気特性を測定する工程の所定回数を１０回以下とすることにより、さらに測定値のバラツキを抑制することができる。
【００４５】
そして、クリーニング工程の際、クリーニング手段１１として、多孔質スポンジ１２に有機溶剤を含ませたものを使用することが好ましい。このように、多孔質スポンジ１２にエタノール等の有機溶剤を含ませたクリーニング手段１１を用いることによって、多孔質スポンジ１２は有機溶剤を多く含むことができ、電子デバイス１４の裏面電極１６に付着したアクリル系の粘着剤が導電性ステージ１３の表面に異物として付着し、蓄積しても、有機溶剤により異物を溶かすことができ、多孔質スポンジにより異物を絡め取り、簡単な手段で導電性ステージの表面に付着している異物を除去することができる。
【００４６】
ここで、電子デバイスがＬＥＤである場合、該ＬＥＤ１４の電気特性を測定する工程と同時に、ＬＥＤ１４の発光量をディテクター２５を介して発光量測定機１９により測定する工程と、ＬＥＤ１４の発光波長をスペクトルアナライザー２６を介して発光波長測定機２０により測定する工程を行うことができる。
このように、電子デバイスがＬＥＤである場合、ＬＥＤの電気特性を測定すると同時に、発光量測定機と発光波長測定機により、ＬＥＤの発光量と発光波長を測定することにより、ＬＥＤの電気特性、発光量、及び発光波長を同時に測定できるので、電子デバイスの検査工程にかかる時間を短縮できる。
このような、電子デバイスの検査の動作は、全てコンピュータ等の制御部１０により制御されている。
【実施例】
【００４７】
以下、本発明の実施例をあげてさらに具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例）
図１のような電子デバイス検査装置１を用いて、図３で説明するような本発明の電子デバイス検査方法を実施し、ＬＥＤの電気特性を測定した。
ここで、電子デバイスとしては比較的特性の安定しているＧａＰ  ＹＧ  ＬＥＤを使用した。クリーニング手段はステンレス製の棒の先端に、ベルクリンの多孔質スポンジを取り付け、多孔質スポンジに有機溶剤としてエタノールを染み込ませた。また、クリーニング手段で導電性ステージの表面に付着した異物を除去する際のクリーニング手段の回転数は約２００ｒｐｍとし、導電性ステージをクリーニングする時間を０．４秒とした。
また、クリーニング工程を行う周期としては、初めの２０回の測定はＬＥＤを１０個測定する毎に１回クリーニング工程を行い、２１回目以降はＬＥＤの測定後、毎回クリーニング工程を行った。
【００４８】
（比較例）
比較のため、連続的にＬＥＤを検査する図１のような電子デバイス検査装置からクリーニング手段を取り外し、ＬＥＤの電気特性を測定後、導電性ステージの異物を除去するクリーニング工程を、全く行わない以外は、実施例と同じ検査装置、同じウエーハから製造され、同じ粘着シートに接着されたＬＥＤチップを使用し、同じ方法で、ＬＥＤの電気特性を測定した。
【００４９】
実施例、及び比較例で得られたＬＥＤの電気特性の測定値を図８、図９に示す。図８は、実施例及び比較例によってＬＥＤの順方向電圧値Ｖｆの推移を測定した結果を示す図である。そして、図９は、実施例及び比較例によってＬＥＤの順方向電流値Ｉｆの推移を測定した結果を示す図である。
【００５０】
図８の順方向電圧値Ｖｆの推移において、実施例では、クリーニングからＬＥＤの測定回数が１０回以内であれば、測定値に大きな異常点は見られない。測定回数が１１−２０回においては、順方向電圧Ｖｆのバラツキが最大で０．０２Ｖ程度あり、標準偏差σｎ−１で０．００８Ｖ程度が測定された。測定回数が２１回目以降は、ＬＥＤの測定後、毎回、導電性ステージの異物を除去したので、実際のＬＥＤ製造における順方向電圧値Ｖｆの推移と考えられる緩やかな値の変化は見られるものの、ＬＥＤの測定後半で、顕著なバラツキは見られず、順方向電圧Ｖｆの標準偏差σｎ−１で０．００５Ｖ程度であった。
【００５１】
これに対し、比較例では、１５回程度までは比較的安定な推移をしているが、ＬＥＤの測定回数が２０回付近から徐々にデータがバラツキ始め、３０回以上では異常点が頻発している。また、異常点以外の測定値も徐々に変化していることがわかる。
【００５２】
実施例と、比較例のＬＥＤの電気特性に関して、順方向電圧Ｖｆの測定値を比較してみると、測定回数が２１−３０回の場合、実施例の標準偏差σｎ−１は約０．００２Ｖであり、比較例の標準偏差σｎ−１は約０．０２４Ｖである。この結果から、標準偏差σｎ−１について言えば、実施例は、比較例より約１／１０もバラツキを抑えられていることがわかる。
【００５３】
図９の順方向電流値Ｉｆの推移においても、実施例と比較例を比較すると、測定回数を重ねる毎に、その標準偏差の値が開いていき、実施例のほうが比較例より約３倍から１０倍ものバラツキを抑えられていることがわかる。
この結果より、本発明の電子デバイス検査装置は、検査装置が原因でＬＥＤの振り分け作業の精度が良くなかったという従来の問題を劇的に改善することができることがわかる。この特徴は、測定回数が多ければ多いほど顕著に現れてくる。
【００５４】
また、実施例と、比較例において、電子デバイス検査装置においてＬＥＤを５０回測定した導電性ステージの表面を光学顕微鏡にて撮影した。図７は測定５０回後の導電性ステージの表面を光学顕微鏡で撮影した画像であり、図７（Ａ）は実施例、図７（Ｂ）は比較例である。このように、比較例では導電性ステージの表面に粘着剤の異物が多数蓄積し付着しているが、実施例では異物と思われるものは全く観測されなかった。
【００５５】
尚、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の電子デバイス検査装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明に係る電子デバイス検査装置の周辺システムを示す概略図である。
【図３】本発明に係る電子デバイス検査装置を使用し、電子デバイスを検査する本発明の方法を説明するための図である。
【図４】図６（Ｂ）のタイプのＬＥＤに対し、電気特性を測定した結果を示す図であり、（Ａ）は一定の電流（２０ｍＡ）を流すために必要な順方向電圧Ｖｆと測定回数の関係、（Ｂ）は順方向の電圧（２Ｖ）をかけた場合に流れる順方向電流Ｉｆと測定回数の関係を示す図である。
【図５】電子デバイスの製造工程間で電子デバイスを保持し搬送するための保持手段の概略図である。
【図６】種々の位置に電極を有する電子デバイスに電流を印加する時の説明図であり、（Ａ）は電子デバイスの電極が全て電子デバイスの片面に出ている場合、（Ｂ）は電子デバイスの電極が表面と裏面の相対する位置に電極が出ている場合を示す図である。
【図７】測定５０回後の導電性ステージの表面を光学顕微鏡で撮影した画像であり、図７（Ａ）は実施例、図７（Ｂ）は比較例を示す図である。
【図８】実施例及び比較例によってＬＥＤの順方向電圧値Ｖｆの推移を測定した結果を示す図である。
【図９】実施例及び比較例によってＬＥＤの順方向電流値Ｉｆの推移を測定した結果を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…電子デバイス検査装置、    １１…クリーニング手段、
１２…多孔質スポンジ、    １３…導電性ステージ、
１４…電子デバイス（ＬＥＤ）、    １５…表面電極、
１６…裏面電極、    １７…ニードル、
１８…電気特性測定機、    １９…発光量測定機、
２０…発光波長測定機、    ２５…ディテクター、
２６…スペクトルアナライザー、    ２７…貫通孔。
【図１】
2008180661.tif 000003
【図２】
2008180661.tif 000004
【図３】
2008180661.tif 000005
【図４】
2008180661.tif 000006
【図５】
2008180661.tif 000007
【図６】
2008180661.tif 000008
【図７】
2008180661.tif 000009
【図８】
2008180661.tif 000010
【図９】
2008180661.tif 000011