(57)【要約】【課題】滴下量にばらつきがなく、滴下数が少ない場合においても正確な総量の液状物質を滴下できる滴下装置、及び滴下方法を提供すること。【解決手段】液状物質を滴下した後に滴下口に残る液状物質の量を一定とすることとした。滴下口に残る液溜りの量を一定にする方法としては、滴下装置のプランジャーの下降速度を所定の値に設定する。これにより液状物質の滴下量を設定量にでき、滴下数が少ない場合であっても、正確な総量の液状物質を基板等に供給させることができる。また、滴下口に残る液状物質の量を検出し、かかる液溜りの量を一定とするという簡易な方法により、所望の量の液状物質を正確に滴下することができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め設定された量の液状物質を滴下口から滴下させる滴下装置であって、前記液状物質を滴下させた後前記滴下口に残る該液状物質の量を、所定の量にしたことを特徴とする液状物質の滴下装置。
【請求項２】
予め設定された量の液状物質を滴下口から滴下させる滴下装置であって、前記滴下装置から前記液状物質を複数滴滴下させたとき、該液状物質を滴下させた後前記滴下口に残る該液状物質の量を、前記複数の滴下にわたり一定の量としたことを特徴とする液状物質の滴下装置。
【請求項３】
前記滴下装置はプランジャーを具え、
該プランジャーの移動速度を、前記液状物質を滴下した後前記滴下口に残る液状物質の量が、一定となる値に設定したことを特徴とする請求項２に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項４】
前記プランジャーを駆動する駆動モータの回転速度を所定の値とし、前記液状物質を滴下した後前記滴下口に残る液状物質の量が、一定となるように前記プランジャーの移動速度を設定したことを特徴とする請求項３に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項５】
液状物質ごとの、滴下量と前記滴下口に残る液状物質の量を一定にするための前記プランジャーの移動速度との関係を表す設定テーブルを有し、滴下すべき液状物質の該設定テーブルを用いて前記プランジャーの移動速度を選択し、該選択されたプランジャー速度により前記液状物質を滴下した後前記滴下口に残る該液状物質の量を、一定にしたことを特徴とする請求項３または４に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項６】
滴下しようとする液状物質の種類を判別する判別手段を具え、該判別手段の判別に従って前記設定テーブルを呼び出すことを特徴とした請求項５に記載の液状物質の滴下装置。
【請求項７】
予め設定された量の液状物質を滴下口から順次滴下させる滴下方法において、前記液状物質を滴下した後に前記滴下口に残る該液状物質の量を計測し、計測により得た該液状物質の量を一定に保つことにより、前記滴下口から該液状物質を前記予め設定された量ずつ一定に滴下させることとした液状物質の滴下方法。
【請求項８】
前記滴下口を撮影機器で撮影し、前記液状物質を滴下した後に該滴下口に残る該液状物質の量を、前記撮影機器が撮影した画像から計測することとした請求項７に記載の液状物質の滴下方法。
【請求項９】
前記撮影機器が撮影した画像において、前記滴下口に垂れ下がった液状物質の側面形状を用いて該滴下口に残る液状物質の量を計測することとした請求項８に記載の液状物質の滴下方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶剤などの液状物質を所定量正確に滴下できる液状物質の滴下装置、及びその滴下方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造において、液晶剤を液滴にして基板上に滴下し、所定量の液晶剤を供給する滴下装置が知られている。例えば特許文献１には、液晶剤を電極基板上に滴下した後電極基板の重量を計測し、液晶剤が所定量滴下されたか否か判別する発明が記載されている。
【０００３】
従来大型の液晶表示パネルの製造では、このような滴下装置を用いて液晶剤を供給していたが、近年小型の液晶表示パネルの製造にも滴下装置を用いて液晶剤を供給するようになった。つまり、滴下装置を用いて基板上に１〜数滴の液晶剤を滴下させる必要が生じてきた。
【特許文献１】特開平６−１４８６５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、電極基板全体の重量を測定して、電極基板へ滴下する液晶剤の量を調整することは、電極基板の重量と必要とする液晶剤の重量の差が大きく困難であった。
【０００５】
また大型の液晶表示パネルにおいては、滴下点の数が数百ドットとなり、各ドットに対する液晶剤の滴下量のばらつきは、供給量の全体として見た場合にほとんど問題にならないが、液晶表示パネルが小型になり、基板上に滴下する滴下点の数が１〜２ドットの場合となると、各滴下の一滴ごとに含まれる液晶剤の量のばらつきが基板への供給量に直接影響を及ぼし、滴下ごとの量的なばらつきが大きくなると液晶剤の供給量が許容範囲を超えてしまうことがあった。
【０００６】
本発明は、滴下点の数が少ない場合においても、必要とする総量の液状物質を正確に滴下できる液状物質の滴下装置、及び液状物質の滴下方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するため、液状物質の滴下装置、及びその滴下方法を次のように構成した。
【０００８】
１、予め設定された量の液状物質を滴下口から滴下させる滴下装置であって、前記液状物質を滴下させた後前記滴下口に残る該液状物質の量を、所定の量にした。
【０００９】
２、予め設定された量の液状物質を滴下口から滴下させる滴下装置であって、前記滴下装置から前記液状物質を複数滴滴下させたとき、該液状物質を滴下させた後前記滴下口に残る該液状物質の量を、前記複数の滴下にわたり一定の量とした。
【００１０】
３、  ２に記載の液状物質の滴下装置において、前記滴下装置はプランジャーを具え、該プランジャーの移動速度を、前記液状物質を滴下した後前記滴下口に残る液状物質の量が、一定となる値に設定した。
【００１１】
４、  ３に記載の液状物質の滴下装置において、前記プランジャーを駆動する駆動モータの回転速度を所定の値とし、前記液状物質を滴下した後前記滴下口に残る液状物質の量が、一定となるように前記プランジャーの移動速度を設定した。
【００１２】
５、  ３または４に記載の液状物質の滴下装置において、液状物質ごとの、滴下量と前記滴下口に残る液状物質の量を一定にするための前記プランジャーの移動速度との関係を表す設定テーブルを有し、滴下すべき液状物質の該設定テーブルを用いて前記プランジャーの移動速度を選択し、該選択されたプランジャー速度により前記液状物質を滴下した後前記滴下口に残る該液状物質の量を、一定にした。
【００１３】
６、  ５に記載の液状物質の滴下装置において、滴下しようとする液状物質の種類を判別する判別手段を具え、該判別手段の判別に従って前記設定テーブルを呼び出すこととした。
【００１４】
７、  予め設定された量の液状物質を滴下口から順次滴下させる滴下方法において、前記液状物質を滴下した後に前記滴下口に残る該液状物質の量を計測し、計測により得た該液状物質の量を一定に保つことにより、前記滴下口から該液状物質を前記予め設定された量ずつ一定に滴下させることとした。
【００１５】
８、  ７に記載の液状物質の滴下方法において、前記滴下口を撮影機器で撮影し、前記液状物質を滴下した後に該滴下口に残る該液状物質の量を、前記撮影機器が撮影した画像から計測することとした。
【００１６】
９、  ８に記載の液状物質の滴下方法において、前記撮影機器が撮影した画像において、前記滴下口に垂れ下がった液状物質の側面形状を用いて該滴下口に残る液状物質の量を計測することとした。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる液状物質の滴下装置およびその滴下方法によれば、設定された量の液状物質を滴下口より安定して滴下できる。したがって、滴下点の数が少ない場合においても必要とする総量の液状物質を確実に滴下できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明にかかる滴下装置の一実施形態を図面を参照して説明する。
【００１９】
図１に、滴下装置１を示す。滴下装置１は、搬送装置２と、基板Ｗを載せる移動テーブル３と、液状物質としての液晶剤を滴下する滴下機構４と、液晶剤の計量に用いる計量容器５と、液晶剤を貯留する貯留容器６などから構成されている。
【００２０】
搬送装置２は、滴下機構４、計量容器５、貯留容器６を具え、水平方向（図面に対して垂直方向。）に移動自在に構成されている。また滴下機構４を、搬送装置２に対して上下方向に移動可能に設けてもよい。移動テーブル３は、水平方向に移動自在に構成され、基板Ｗを載せて、滴下機構４に対して相対移動する。
【００２１】
貯留容器６は、液晶剤を貯留する密閉構造の容器であり、気体供給装置（図示せず。）から延びるガス管７が接続してあり、気体供給装置から供給される窒素ガスにより容器内部が正圧に保持可能となっている。貯留容器６には送液管９が接続してあり、バルブ８を介して送液管９が計量容器５に延びている。送液管９は、計量容器５の壁面や底面等に接することなく計量容器５の内部に挿入されている。
【００２２】
計量容器５は、精密計量器１０に載せてあり、計量容器５に収容されている液晶剤の重量が計量容器５の重量とともに正確に計測可能となっている。計量容器５には、滴下機構４に延びる送液管１１の端部が挿入されている。送液管１１は、搬送装置２から延びる支持部１２に支持されており、その一端は滴下機構４に連結、固定されているが、他端は、計量容器５内に、送液管１１が計量容器５の壁面及び底壁等に一切接することなく、かつ計量容器５に収容されている液晶剤内にその開口端が常に浸されるように挿入されている。
【００２３】
滴下機構４を図２に示す。滴下機構４は、駆動モータ２０と、プランジャー機構２１と、カム２２と、プランジャー機構２１が組み付けられた回転部２３と、吐出部２４等から構成されている。
【００２４】
駆動モータ２０は、ステッピングモータなどからなり、回転軸２５が所定の回転数で回転する。カム２２は、枠体２６の上部に固定してあり、中心に回転軸２５が貫通する孔２７が形成してある。吐出部２４は、滴下口２８と吸引口２９を具え、枠体２６の下部に形成してある。滴下口２８は、所定の径と長さを有し、基板Ｗに向けて開口している。吸引口２９には、上述した送液管１１が接続されている。また吐出部２４の上面には、開口部３０及び３１が開口しており、滴下口２８と吸引口２９が吐出部２４内を通る通路を介してそれぞれの開口部３０と３１に連通している。なお、駆動モータ２０は、不図示の支持具に固定支持されている。
【００２５】
プランジャー機構２１は、ピストン３２と、シリンダ３３と、ばね３４などから構成されており、回転部２３に２箇所、駆動モータ２０の回転軸２５を中心として軸対称に設けられている。ピストン３２は、ばね３４で上方に付勢されており、上端がカム２２に常に接し、回転部２３が回転されるとカム２２のカム形状に沿ってシリンダ３３内を往復動する。
【００２６】
更にプランジャー機構２１は、回転部２３が所定の回転位置にくると、シリンダ３３が開口部３０と３１にそれぞれ連通するように配置されている。すなわち駆動モータ２０が作動して回転部２３が回転されると、プランジャー機構２１は、吸引口２９を通して送液管１１から液晶剤を吸引し、吸引した液晶剤を滴下口２８から滴下させる。
【００２７】
具体的にはプランジャー機構２１が開口部３１に接続しているときにカム２２によりピストン３２が上昇してプランジャー機構２１が拡張され、送液管１１を通して液晶剤が吸引される。液晶剤を吸引したプランジャー機構２１は、拡張状態を保持したまま回転し、開口部３０側へ移動する。そして、かかるプランジャー機構２１が開口部３０に連通すると、ピストン３２がカム２２により押圧され、滴下口２８から液晶剤が押し出される。このように、回転部２３が駆動モータ２０により１回転される毎に滴下口２８から、ピストン３２の移動量に応じた所定量の液晶剤が滴下される。
【００２８】
更に滴下装置１は、滴下口２８から滴下される液晶剤が常に一定量となるように、駆動モータ２０の回転速度が所定の速度に設定してある。つまり、駆動モータ２０をかかる回転速度で駆動させることにより、液晶剤を滴下した後に滴下口２８に残る液晶剤の量、つまり滴下口２８に付着する液晶剤の残量が一定となる速度でピストン３２が作動する。
【００２９】
滴下後に滴下口２８に付着する液晶剤の残量とは、液晶剤が滴下口２８から一滴滴下された後、液晶剤自身が有する表面張力や粘性等で滴下口２８の下面に付着し、滴下口２８に残る液晶剤の量である。液晶剤の残量を一定にするとは、液晶剤を滴下した毎に滴下口２８に付着する液晶剤の残量を一定の状態にすることである。尚、残量は０である必要はなく、表面張力等で滴下口２８の下面に液晶剤が垂れ下がり、液溜りがあっても、その液溜りの量が滴下毎に一定であればよい。
【００３０】
滴下装置１においては、プランジャーの移動量は一定であり、滴下装置１により滴下される液晶剤の量も、理論的には一定となる。しかしながら、実際には、図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、液晶剤を滴下した後に滴下口２８の下面に付着する液溜りＰの量には変化がある。図３の（ａ）は、液溜りＰがない状態を示し、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順で液溜りＰの量が増大している。したがって、図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、滴下する毎に液溜りＰの量が変化していると、滴下口２８から滴下される液晶剤の量も、この液溜りＰの量の変化によって変動が生じている。
【００３１】
更に本発明者らは、滴下口２８の下面に残る液溜りＰの量がある周期をもって変化している点に着目し、かつプランジャーの下降速度と液溜りＰの量の変動周期に関連性があることを確認した。そこでプランジャーの下降速度を調整し、液溜りＰの量の変動周期を非常に長くして液溜りＰの量をほとんど一定の状態にすれば、滴下された一滴ごとの液晶剤の量は、理論上の滴下量に等しくなり、個々にばらつきが発生しなくなると考えた。
【００３２】
このように滴下装置１は、液晶剤を滴下した後に滴下口２８に付着する液溜りＰの量を一定としたため、滴下口２８から滴下される一滴ずつの液晶剤の滴下量が全て設定量で一定となる。したがって、例えば携帯電話に用いられるような狭い画面の液晶表示パネル、例えば、液晶剤を各基板上に１〜２滴滴下するような場合においても、理論上の１滴あたりの滴下量に滴下数を乗じた値と実際に滴下された液晶剤の総量とが正確に対応し、必要とする総量の液晶剤を基板Ｗに正確に供給できる。これにより、狭い画面の液晶表示パネルであっても品質よく製造できる。
【００３３】
滴下口２８に付着する液溜りＰの量を一定にする方法としては、上述したように滴下装置１のプランジャー機構２１の下降速度を所定の値に設定する。すなわち、プランジャー機構２１では、液晶剤（液状物質）を所定量ずつ滴下させるプランジャーの移動量は一定であり変更できないが、プランジャーの移動速度は可変であり、駆動モータ２０の回転速度等を所定の数値に設定することにより、液溜りＰの量の変動の周期を長くし、滴下口２８からの滴下量を一定にできる。
【００３４】
尚本発明は、滴下機構４の構成、及び滴下装置１の全体構成などは上記例に限定するものではない。また、所定の回転速度とは、一定回転速度である必要はなく、その加減速、更に回転の停止がある場合にはその停止時間を含めた回転状態全体の速度をいい、カム２２の形状からも影響を受けるものである。
【００３５】
また、駆動モータ２０の回転速度を所定の回転速度とした場合でも、プランジャーの下降動を停止させる際の駆動モータ２０の減速加速度を調整することによっても、滴下口２８に付着する液溜りＰの量を増減させることができる。例えば、駆動モータ２０を緩やかに停止させるよりも急停止させたほうが、液溜りＰの量が少なくなることが確認されている。したがって、駆動モータ２０を停止させる際の減速加速度の調整によって液溜りＰの量を一定に調整するようにしてもよい。
【００３６】
したがって、プランジャーの下降速度もまた、速度のみならず、加減速の加速度も含むものである。更に、直接プランジャーにエアーシリンダ等の駆動機構（図示せず。）を設け、駆動機構により所定の下降速度でプランジャーを駆動させてもよい。
【００３７】
次に、上記滴下装置１を構成する方法について説明する。  
例えば、プランジャー機構２１を有する滴下機構４に、駆動モータ２０と計量容器５とを組み付け、滴下装置１を構成する。かかる構成であっても、駆動モータ２０を作動させ、プランジャー機構２１が作動すると、液晶剤が滴下口２８から滴下されるが、上述した理由により個々の滴下量にばらつきが生じると考えられる。そこで、図１に示すように滴下装置１に、撮影機器としてのカメラ３５を、滴下口２８を真横から撮影する位置に設置し、カメラ３５の出力線を制御装置３６に接続させる。
【００３８】
制御装置３６は、図４に示すように、カメラ３５が撮影した画像を処理し、滴下口２８に残る液晶剤（以下「液溜り」）Ｐの量を検出する残量検出手段３７と、残量検出手段３７が検出した液溜りＰの量から滴下毎の液溜りＰの量の変化を検出する変動検出手段３８と、変動検出手段３８が検出した液溜りＰの量の変動から駆動モータ２０の回転速度を算出するモータ制御手段３９と、記憶手段４０を具えている。またモータ制御手段３９には、モータドライバ４１が接続してある。
【００３９】
残量検出手段３７は、液晶剤が滴下された直後のタイミングに合わせてカメラ３５の撮像画像を取り込む。そして、液晶剤の付着がない状態の滴下口２８の画像（図３（ａ）に示す。）を基準画像とし、取り込んだ画像と基準画像の差から液溜りＰ部分の投影面積を算出し、その算出値に基づいて液溜りＰの量（体積）を求める。液溜りＰの量は計算で求めても、あるいは予め実験等で求め記憶手段４０に記憶させた、液溜りＰの投影面積と体積の関係を表す換算テーブルなどを用いて求めてもよい。
【００４０】
基準画像は、例えば予め撮影しておいた滴下口２８部分の画像を、記憶手段４０に記憶させておき、適宜呼び出し用いることとする。残量検出手段３７で求められた結果は、随時変動検出手段３８に送り出される。
【００４１】
尚液溜りＰの量は、滴下口２８の側方から撮影した形状から算出するのが好ましいが、これに限るものではない。また滴下した後、液晶剤の下端が滴下口２８の内部に位置する場合、滴下口２８から液晶剤の下端までの距離を計測してもよいが、滴下口２８より下部に液晶剤の下端が位置する状態、つまり液晶剤が垂れ下がっている状態で計測するのが好ましい。
【００４２】
変動検出手段３８は、残量検出手段３７から送られる、連続して行われた複数回の滴下においてその滴下毎に算出された液溜りＰの量から液溜りＰの量の変動、つまり液溜りＰの量が増加しているか、減少しているかを検出する。そして、液溜りＰの量が増加から減少、あるいは減少から増加に転じる転換点を求め、転換点と転換点の間に滴下された液晶剤の数を計測し、液溜りＰの量の変動周期を求め、その結果をモータ制御手段３９に送り出す。尚、液溜りＰの量が０になった時点を基準にして、液溜りＰの量の変動周期を求めてもよい。
【００４３】
モータ制御手段３９は、変動検出手段３８から液溜りＰの量の変動周期が入力されると、その周期が閾値を越えているか否かを判定する。そして、液溜りＰの量の周期が閾値以下、つまり周期が短い場合と判定された場合は、その周期を閾値以上とする指示をモータドライバ４１に送り出す。モータドライバ４１は、電源４２と駆動モータ２０の間に接続してあり、モータ制御手段３９からの指示に従い駆動モータ２０の回転を制御する。
【００４４】
ここで液溜りＰの量の変動周期を閾値以上とするモータドライバ４１への指示とは、例えば液状物質ごとに液溜りＰの量の周期性と駆動モータ２０の回転速度との関連性を予め求めておき、その関連に基づいて液溜りＰの量の変動周期が長くなる指示を行う。具体的には、滴下口２８から液滴を吐出させるべくプランジャー機構２１のプランジャーを下降させる際の駆動モータ２０の回転速度を上記関連性から算出した値だけ上昇させるといった指示を行う。
【００４５】
あるいは、周期が閾値以下となった場合に一律に駆動モータ２０の回転速度を予め設定した値だけ上昇させ、改めて液溜りＰの量の変動周期を算出し、駆動モータ２０の回転速度を上昇させたことにより周期が長くなるか否か判別し、その判別結果に基づいて周期が長くなるように指示を行ってもよい。
【００４６】
次に滴下装置１において、液溜りＰの量を一定にし、滴下口２８から設定量の液晶剤を滴下させる方法について説明する。  
駆動モータ２０が作動して、滴下装置１から液晶剤が滴下されると、滴下口２８をカメラ３５が撮影し、カメラ３５は撮影した画像を制御装置３６の残量検出手段３７に送る。残量検出手段３７は、カメラ３５が撮影した画像と基準画像とから、滴下口２８に付着している液溜りＰの量を算出する。
【００４７】
次に変動検出手段３８は、液溜りＰの量の変動周期を検出する。液溜りＰの量に周期的な変化があれば、モータドライバ４１に、その周期を長くする指示を送る。モータドライバ４１は、駆動モータ２０の回転速度を変更させて液溜りＰの量の変動周期を長くし、滴下口２８に付着する液溜りＰの量を一定にする。
【００４８】
このようにして滴下口２８に付着する液溜りＰの量が略一定の状態になったなら、そのときの駆動モータ２０の回転速度を、かかる駆動モータ２０の回転速度に設定する。これにより、滴下口２８から設定量の液晶剤が確実に滴下される滴下装置１が構成される。
【００４９】
このように構成した滴下装置１によれば、所定の滴下量に設定すれば、滴下装置１から液晶剤（液状物質）が常に設定された量で滴下されることから、設定された一滴あたりの滴下量に滴下数を乗じた値と、実際に滴下された液晶剤の総量が正確に対応し、滴下数が少ない場合においても、所定量の液晶剤を基板Ｗ上に確実に供給することができる。
【００５０】
更に、上記滴下方法によれば、滴下口２８に付着する液溜りＰの量を検出し、かかる液溜りＰの量を一定とするという簡易な方法により、滴下装置１による液晶剤の滴下量を設定量で一定にし、正確な総量の液晶剤を確実に基板等に供給することができる。また滴下口２８に付着する液溜りＰの量は、撮影機器等を用いて撮影した画像から容易に判定することができる。
【００５１】
尚上記例では、液晶剤の品種ごとにカメラ３５で液溜りＰの量を撮影して、液溜りＰの量が一定となるように設定したが、液晶剤ごとに、滴下量と液溜りＰの量を一定にするための駆動モータ２０の回転速度との関係を表す設定テーブルを予め用意し、滴下させようとする液晶剤に対応する設定テーブルを用いて、駆動モータ２０の回転速度、つまりプランジャーの下降速度を所定の数値に設定してもよい。これにより粘性、比重などが異なっている場合であっても、滴下口２８の液溜りＰの量を一定とし、正確に液晶剤を供給することができる。
【００５２】
また、貯留容器６を着脱自在に設け、この貯留容器６に、貯留容器６内に貯留された液晶剤の種類を識別するためのバーコードやＩＣタグなどの識別部材を設け、搬送装置２には識別部材の情報を読み取って判別する判別手段を設けておき、貯留容器６が搬送装置２上に設置されたときには、貯留容器６の識別部材の情報を判別手段で読み取り液晶剤の種類を判別した上で、設定テーブルを記憶手段４０から呼び出し、駆動モータ２０の回転速度などを調整してもよい。
【００５３】
また液状物質ごとに、滴下量が設定量で一定となるときの液溜りＰの量の滴下口２８での形状等を求めておき、かかる形状となるように駆動モータ２０の回転速度を所定の値に設定してもよい。これによれば、液溜りＰの量の周期性を求めることなく駆動モータ２０の回転速度を所定の速度に設定することができる。
【００５４】
また、カメラ３５による滴下口２８の撮影画像でなく、レーザ光を用いた測定手段や、液溜りＰを回収して滴下口２８に付着した液溜りＰの量を測定するようにしてもよい。また、駆動モータ２０の回転速度を変更するのでなく、カム２２のカム形状を変更させ、プランジャー機構２１の下降速度を所定の速度に変更させてもよい。また、本発明は液晶剤に限るものでなく、液状物質としては他の液体でもよい。
【００５５】
また、上記実施の形態において、滴下口２８に付着する液溜りＰの量を一定にする旨の説明をしたが、ここで一定とは、今回滴下している液晶剤の今回の滴下量において液溜りＰの量を所定の値で一定にすることであり、液晶剤の品種や液晶剤の滴下量が異なる場合には、そのときの液晶剤の品種、滴下量に応じた量で液溜りＰの量が一定となるように制御することはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明にかかる液状物質の滴下装置の一実施形態を示す構成図。
【図２】滴下機構を示す断面図。
【図３】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、滴下状態を示す図。
【図４】制御装置の構成を示す図。
【符号の説明】
【００５７】
１…滴下装置、４…滴下機構、２０…駆動モータ、２１…プランジャー機構、２２…カム、２８…滴下口、３５…カメラ、３６…制御装置、４１…モータドライバ、Ｗ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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