(57)【要約】【課題】被冷却物と、これを冷却する多段サーモ・モジュールはＸ線検出器の一部を構成している。横方向の力には機械的に耐力が小さいとされている多段サーモ・モジュールについて、移送中の振動・衝撃が及ぼす影響が少なく、損傷し難く、劣化の原因を生起しないようなＸ線検出器の梱包器を提供する。【解決手段】被冷却物４０は、Ｘ線検出素子４１と、ＦＥＴ４２と、これらを多段サーモ・モジュール４３に固定するマウント部分および電気配線等で構成されている。被冷却物４０とその下方に配設される多段サーモ・モジュール４３の中心軸（中心線Ａ、Ａ´で示す軸）の方向が、鉛直方向になるようにＸ線検出器４を支持する支持枠１２と支持枠１１が梱包箱１０に装填されている。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被冷却物とそれを冷却する多段サーモ・モジュールを備えたＸ線検出器に対して、前記被冷却物とその下方に配設される多段サーモ・モジュールの中心軸が重力の方向と同一に支持する支持枠を水平に置かれる梱包箱に装填したことを特徴とするＸ線検出器の梱包器。
【請求項２】
支持枠が複数個の分割体で構成されていることを特徴とする請求項１記載のＸ線検出器の梱包器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被冷却物とこれを冷却する多段サーモ・モジュールを備える分析装置の検出器の梱包に関し、特には被冷却物とこれを冷却する多段サーモ・モジュールを備えるエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置のＸ線検出器の梱包に関する。
【背景技術】
【０００２】
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の概要について説明する。図２は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の構成の一部を示す図である。Ｘ線管１で発生したＸ線は、測定室３内に載置された試料２に照射される。試料２からは色々の蛍光Ｘ線が発生し、これをＸ線検出器４で検出する。Ｘ線検出器４の出力は、データ処理されて、定性分析、定量分析が行われる。Ｘ線検出器４は、Ｘ線を検出し電荷を生成するＸ線検出素子４１と、電荷を電圧に変換するプリアンプ４４と、その入力段に配設されるＦＥＴ４２と、被冷却物４０を冷却する多段サーモ・モジュール４３と、真空容器４５と、真空容器４５を真空に保持するイオンポンプ４６等で構成される。
【０００３】
被冷却物４０は、Ｘ線検出素子４１と、ＦＥＴ４２と、これらを多段サーモ・モジュール４３に固定するマウント部分および電気配線（図示しない）で構成され、周囲温度の影響が少ない真空容器４５内に配設されている。マウント部分は効果的に冷却できるように通常金属で構成され、被冷却物４０の重量は例えば約０．５Ｎ程度である。
【０００４】
Ｘ線検出素子４１は、半導体例えばシリコンリチウムで構成され、ＦＥＴ４２と共に熱雑音を抑えるために冷却して使用される。熱雑音は冷却温度の上昇と共に増大し、エネルギー分解能は熱雑音の増加と共に低下する。一般に蛍光Ｘ線分析においては、エネルギー分解能は１５０ｅＶ以下であることが求められている。この要求を満たすには、−８０℃以下に冷却する必要がある（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
例えば液体窒素による冷却では、冷却温度は液体窒素温度（−１９６℃）あるが、ペルチェ素子を用いた場合、多段式サーモ・モジュールを構成することにより冷却の最低到達温度は−１００℃程度となる。
【０００６】
図３は、多段式サーモ・モジュールの概要を示す図である。図３で、多段サーモ・モジュール４３は、数十から百個以上のペルチェ素子５０をセラミック板５１の間に挟んで構成される１段モジュールをピラミッド式に複数重ねて形成される。この最上段と最下段の温度差は１００℃程度で大きいが、吸熱量は小さい。ペルチェ素子５０とセラミック板５１が特殊なはんだ材で接着され形成される多段サーモ・モジュール４３は、縦方向の力にはある程度耐えることができるが、横方向の力には機械的に耐力が小さいとされている。
【０００７】
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置は、図２に示すように、試料２が上方に配置され遮蔽された測定室３に載置されるため、Ｘ線管１とＸ線検出器４は下方に所定の角度例えば鉛直方向に対して４５度の角度で配設される。したがって、図４に示すように、多段サーモ・モジュール４３の横方向には、被冷却物４０の重量約０．５Ｎの４５度成分である約０．３５Ｎが作用する。しかし、Ｘ線検出器４が装置に組み込まれている場合は、移送時に生じる振動がなく多段サーモ・モジュール４３の横方向に作用する力は約０．３５Ｎだけであり、多段サーモ・モジュール４３はこれに十分耐えることができる。
【０００８】
通常、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の移送時、Ｘ線検出器４は取り外して専用の梱包箱に格納される。従来、この梱包箱は、最も小形になるように設計されるか、Ｘ線検出器４の梱包箱への格納方向と設置方向が同一になるように設計される。
【０００９】
図５は、従来のＸ線検出器の梱包器を示す図である。図５において、被冷却物４０は、Ｘ線検出素子４１と、ＦＥＴ４２と、これらを多段サーモ・モジュール４３に固定するマウント部分および電気配線（図示しない）で構成されている。被冷却物４０とその下方に配設されている多段サーモ・モジュール４３の中心軸（中心線Ａ、Ａ´で示す軸）の方向が、鉛直方向に対して４５度になるようにＸ線検出器４を支持する支持枠６２と支持枠６１が梱包箱６０に装填されている。この梱包器では図４に示すように、多段サーモ・モジュール４３の横方向に約０．３５Ｎの力が作用しており、この力に移送中の主に路面の段差等で生ずる鉛直方向の振動・衝撃による力の４５度成分が加わり、この影響で多段サーモ・モジュール４３を損傷したり、劣化の原因を生起する可能性がある。
【特許文献１】特開２００５−３０８６３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
被冷却物４０と、これを冷却する多段サーモ・モジュール４３はＸ線検出器４の一部を構成している。横方向の力には機械的に耐力が小さいとされている多段サーモ・モジュール４３について、移送中の振動・衝撃が及ぼす影響が少なく、損傷し難く、劣化の原因を生起しないようなＸ線検出器４の梱包器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
被冷却物とそれを冷却する多段サーモ・モジュールを備えたＸ線検出器に対して、前記被冷却物とその下方に配設される多段サーモ・モジュールの中心軸が重力の方向と同一に支持する支持枠を水平に置かれる梱包箱に装填する梱包器。
【００１２】
支持枠が複数個の分割体で構成されている梱包器。
【発明の効果】
【００１３】
被冷却物とその下方に配設される多段サーモ・モジュールは、その中心軸の方向が重力の方向と同一になるように梱包箱に格納されているため、横方向の力には機械的に耐力が小さいとされる多段サーモ・モジュールに作用する重力の横方向の成分は、静止時にはゼロとなる。また、移送中の多段サーモ・モジュールの場合も、移送中の主に路面の段差等で生ずる鉛直方向の振動・衝撃による力の横方向の成分はゼロであり、損傷および劣化の原因を生起する可能性は少ない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
Ｘ線検出器は、適切なクッションで覆いがたつきのない状態で梱包箱に格納する。
【００１５】
梱包箱の外表面には、「割れ物注意」、「横積み不可」、「転倒不可」の表示をする。
【実施例】
【００１６】
以下、本発明の実施例について図１を参照して説明する。図１は、本発明のＸ線検出器の梱包器を示す図である。図１において、被冷却物４０は、Ｘ線検出素子４１と、ＦＥＴ４２と、これらを多段サーモ・モジュール４３に固定するマウント部分および電気配線（図示しない）で構成されている。被冷却物４０とその下方に配設される多段サーモ・モジュール４３の中心軸（中心線Ａ、Ａ´で示す軸）の方向が、鉛直方向になるようにＸ線検出器４を支持する支持枠１２と支持枠１１が梱包箱１０に装填されている。
【００１７】
本発明は以上の構成であるから、被冷却物４０とその下方に配設されている多段サーモ・モジュール４３は、その中心軸（中心線Ａ、Ａ´で示す軸）の方向が重力の方向と同一になるように梱包箱１０に格納されているため、横方向の力には機械的に耐力が小さいとされる多段サーモ・モジュール４３に作用する重力の横方向の成分は、静止時にはゼロとなる。また、移送中の多段サーモ・モジュール４３の場合も、移送中の主に路面の段差等で生ずる鉛直方向の振動・衝撃による力の横方向の成分はゼロであり、損傷および劣化の原因が生起する可能性が少なくなる。
【００１８】
図１に示す実施例においては、被冷却物４０が上方になるようにＸ線検出器４が配置され、梱包箱１０に格納されているが、上下を逆にして、被冷却物４０が下方になるようにＸ線検出器４が配置され、梱包箱１０に格納されても本発明は適用可能であり梱包器は図示例に限定されない。また支持枠の形状、個数も図示例や２個に限定されず３個ないし４個の組合せとすることができる。
【００１９】
また、実施例では支持枠１１が上方に支持枠１２が下方に装填されているが、上方の支持枠１１を削除しＸ線検出器４を帯等で支持枠１２に固定し、支持枠１２をボルト等で梱包箱１０の底に固定しても本発明は適用可能である。また支持枠１２の形状、個数も図示例や１個に限定されず複数個の組合せとすることができる。このように梱包器は種々の構成とすることができ、本発明はこれら変形例を包含する。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明は、被冷却物とこれを冷却する多段サーモ・モジュールを備える分析装置の検出器の梱包に関し、特には被冷却物とこれを冷却する多段サーモ・モジュールを備えるエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置のＸ線検出器の梱包に関する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のＸ線検出器の梱包器を示す図である。
【図２】エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置の構成の一部を示す図である。
【図３】多段式サーモ・モジュールの概要を示す図である。
【図４】多段式サーモ・モジュールに作用する力の概要を示す図である。
【図５】従来のＸ線検出器の梱包器を示す図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  Ｘ線管
２  試料
３  測定室
４  Ｘ線検出器
１０  梱包箱
１１  支持枠
１２  支持枠
４０  被冷却物
４１  Ｘ線検出素子
４２  ＦＥＴ
４３  多段サーモ・モジュール
４４  プリアンプ
４５  真空容器
４６  イオンポンプ
５０  ペルチェ素子
５１  セラミック板
６０  梱包箱
６１  支持枠
６２  支持枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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