(57)【要約】【課題】検査用プローブの滑らかな動きを確保するとともに、探針部の接触による電気抵抗の不安定性を防止することにより、検査結果である電気信号の安定性を確保する検査装置を提供する。【解決手段】被測定物５１に接触する探針部１ａを有するプローブ１と、該プローブ１を第１案内部５において摺動自在に保持する案内部支持体３と、前記プローブと連結された連結部材２と、該連結部材２と連結されたケーブル４と、を有し、前記プローブ１を介して被測定物５１の電気的特性値を計測することにより前記被測定物５１の電気的特性の検査をおこなう検査装置１００であって、前記案内部支持体３に設けられた第２案内部７において摺動自在に保持されている摺動部材８をさらに有し、該摺動部材が前記連結部材と連結されていることを特徴とする検査装置１００。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物（５１）に接触する探針部（１ａ）を有するプローブ（１）と、
該プローブ（１）を第１案内部（５）において摺動自在に保持する案内部支持体（３）と、
前記プローブと連結された連結部材（２）と、
該連結部材（２）と連結されたケーブル（４）と、を有し、
前記プローブ（１）を介して前記被測定物（５１）の電気的特性値を計測することにより前記被測定物（５１）の電気的特性の検査をおこなう検査装置（１００）であって、
前記案内部支持体（３）に設けられた第２案内部（７）において摺動自在に保持されている摺動部材（８）をさらに有し、該摺動部材が前記連結部材と連結されていることを特徴とする検査装置（１００）。
【請求項２】
二つの前記プローブ（１）が近接して並行に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、電気部品等の電気的導通や実装部品の性能等を検査する電気的測定をおこなう検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品の端子から電気信号を取り出し、配線の断線や短絡、周波数特性試験等の電気的な測定をおこなうために、ピン接触型の検査用プローブを備えた検査装置がある。この検査用プローブの一例を、図３、図４に示す。
【０００３】
図３は従来の検査装置９００の概観図である。検査装置９００は、主として、本体部５０とプローブ検査部９０と制御装置（図示せず）とを有する。本体部５０は、被検査物５１を載置する被検査物保持体５２と、被検査物５１を押圧固定する押圧固定手段５５と、押圧固定手段５５が取付けられた支持ボード部５４と、支持ボード部５４に取付けられ検査用プローブ１をＸＹ軸方向に２次元的に移動させる駆動部５３と、から成る。プローブ検査部９０は、二つの検査用プローブ１と、プローブ１を付勢するバネ６と、プローブ１を摺動可能に保持し案内する案内スリーブ５と、案内スリーブ５を支持する案内部支持体９３と、検査用プローブ１とケーブル４を連結する連結部材９２と、から成る。制御装置（図示せず）は、公知のごとくケーブル４と接続された電源部、計測部、演算部、記憶部、駆動部５３へ指令を出力する出力部等から成る。
【０００４】
被検査物５１は、例えばオルタネータ用の端板であり、ダイオードが複数個内蔵されている。被検査物５１は、検査台５２の上に載置され、押圧固定手段５５により押圧固定されている。そして、ダイオードの端子５１ａは外部に露出しており、この端子５１ａに検査用プローブ１の探針部１ａが接触して電気的検査を実施する。こうして、プローブ１を介して被測定物５１の電気的特性値を計測することにより、被測定物５１の電気的特性の検査をおこなうことが可能となる。
【０００５】
図４は、図３の検査装置をＸ方向から視た図であり、従来の検査装置のプローブ部９０の概観図である。図４に示すように、検査用プローブ１は、被測定物５１からの電気信号を取り出す尖鋭な探針部１ａと、検査用プローブ軸部１ｂと、雄ねじ部１ｃとから成る。５は、プローブ１を摺動可能に案内する案内スリーブ、６は検査用プローブ１を付勢するバネである。検査用プローブ軸部１ｂと案内スリーブ５の内周面５ａとの間にはわずかな隙間が存在する。ケーブル４は、大電流用であり、１００Ａを流すことも可能な仕様であり、太い外径（例えば１２ｍｍ）を有する。ケーブル４は、内臓された銅線４ａと、銅線４ａを被覆する被覆部４ｂと、端子４ｃとから成る。
【０００６】
検査用プローブ１を用いて検査をおこなう際には、駆動部５３により、プローブ部９０全体が被測定物５１に向かって移動され、探針部１ａが被測定物に接触する。探針部１ａが被測定物に接触した後も、さらに所定距離だけ、案内部支持体９３は、被測定物５１に向かって移動を続けた後、停止する。こうして、探針部１ａに加わる力は、基本的にバネ６の付勢力となる。
【０００７】
この後、探針部１ａから、連結部材９１、及びケーブル４を介した電流経路を通して被測定物からの電気信号が取り出される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の検査用プローブ１は、検査をおこなう際に案内部支持体９３を被測定物５１に向かって移動させることにより探針部１ａを被測定物に接触させ、さらに強く押圧させるためにバネ６を圧縮しつつ案内部支持体９３を被測定物側に移動させる。このとき、検査用プローブ軸部１ｂが、ケーブル４の張力によりこじられ相手側の案内スリーブ５に片寄った当接をする。そして、検査用プローブ１の滑らかな動きが阻害されることがある。
【０００９】
また、探針部１ａがこじられて、探針部１ａが案内スリーブ５の内周面５ａにおいて片寄った当接をして摺動することにより、探針部１ａの被測定物５１への接触圧力Ｃが小さくなる。すなわち、探針部１ａに加わる力であるバネ６の付勢力が、内周面２ａにおける片寄った当接による摩擦力により吸収されて、接触圧力Ｃが小さくなるのである。これにより、探針部１ａの接触による電気抵抗が変動して不安定となることにより、検査結果である電気信号の安定性に欠けるという問題があった。
【００１０】
検査用プローブ軸部１ｂが、ケーブル４の張力によりこじられ相手側の案内スリーブ２に片寄った当接をする原因を、図４を参照しながら説明する。被測定物５１の被測定箇所５１ａが２箇所あり、これらが近接している場合、図４に示すように、二つの前記プローブ１が近接して配置される。さらに、被測定物５１に高電流を流して電気的特性値を計測する場合、ケーブル４の径を太くする必要がある。この場合、ケーブル４同士の干渉を避けるため、検査用プローブ軸中心線に対して、ケーブル４の中心線をオフセットｙだけ偏移するように、検査用プローブ１とケーブル４を配置せざるを得なくなる。
【００１１】
そして、ケーブルが通常より太いため、ケーブル４の蛇行等により発生する張力は、通常のケーブルよりも大きい。ケーブルが通常より太いこととオフセットが大きいこととの相乗効果により、検査用プローブ軸部１ｂが、軸直角方向に大きなモーメントを受けることがある。このモーメントが、検査用プローブ軸部１ｂが相手側の案内スリーブ５の内周面５ａに対して片寄った当接をする原因となる。
【００１２】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、検査用プローブの滑らかな動きを確保するとともに、探針部の接触による電気抵抗の不安定性を防止することにより、検査結果である電気信号の安定性を確保する検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、前記課題を解決するための手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載の検査装置を提供する。
請求項１に記載の発明によれば、検査装置は、案内部支持体に設けられた第２案内部に摺動自在に保持されている摺動部材を有し、該摺動部材が連結部材と連結されていることを特徴とする。この摺動部材が、ケーブルの蛇行等により発生する張力を起因とするモーメントを受けることとなる。これにより、プローブが受けるモーメントは大幅に低減される。よって、このプローブが受けるモーメントに起因する検査用プローブの滑らかでない動きを防止できるとともに、探針部接触による電気抵抗の不安定性を防止することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、検査装置は、二つの前記プローブが近接して並行に配置されていることを特徴とする。この場合、検査用プローブに対して、ケーブル４をオフセットせざるを得なくなる。このオフセットに起因するモーメントが、検査用プローブの滑らかでない動きや探針部接触による電気抵抗の不安定性を誘発する。すなわち、上記配置状態においては、特に請求項１に係る発明による作用効果が顕著に発揮される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、全図において同一の部材は同一の付番または符号を付している。図１は、本発明に係る検査装置の概観図である。本発明の一実施形態の検査装置１００は、案内部支持体３、プローブ検査部１０以外は従来の検査装置９００と同じである。このため、案内部支持体３、プローブ検査部１０以外の部材やその基本作動等については、従来の検査装置９００に関する記述を参照とすることにより説明を省略する。
【００１６】
図１において、プローブ検査部１０は、二つの検査用プローブ１と、プローブ１を付勢するバネ６と、プローブ１を摺動可能に保持し案内する第１案内スリーブ５と、摺動部材８と、摺動部材８を摺動可能に保持し案内する第２案内スリーブ７と、第１案内スリーブ５および第２案内スリーブ７を支持する案内部支持体３と、検査用プローブ１とケーブル４を連結しさらに摺動部材８とも連結する連結部材２と、から成る。制御装置（図示せず）は、公知のごとくケーブル４と接続された電源部、ケーブル４を流れる電流やプローブに掛かる電圧等を計測する計測部、演算部、記憶部、駆動部５３へ指令を出力する出力部等から成る。
【００１７】
図２は、図１の検査装置をＸ方向から視た図であり、本発明に係る検査装置のプローブ部１０の概観図である。図２に示すように、検査用プローブ１は、被測定物５１からの電気信号を取り出す尖鋭な探針部１ａと、検査用プローブ軸部１ｂと、雄ねじ部１ｃとから成る。
【００１８】
案内部支持体３は、第１案内スリーブ５を支持する他に、摺動部材８を案内する第２案内スリーブ７も支持する。プローブ１は、連結部材２に対してナット１１により締結されている。そして、ケーブル４は、連結部材２に対してナット１２により締結されている。こうして、連結部材２は、検査用プローブ１とケーブル４を連結している。同時に、連結部材２は、ケーブル４と反対側の検査用プローブ１側において、摺動部材８をナット１３により締結している。
【００１９】
検査用プローブ１を用いて検査をおこなう際には、プローブ部１０全体が被測定物５１に向かって移動され、探針部１ａが被測定物に接触する。探針部１ａが被測定物に接触した後も、さらに所定距離だけ、案内部支持体３は、被測定物５１に向かって移動を続けた後、停止する。こうして、探針部１ａに加わる力は、基本的にバネ６の付勢力となる。
【００２０】
摺動部材８の外径は、検査用プローブ軸１ｂの外径よりも十分大きく、第２案内スリーブ７の全長、すなわち案内長Ｌ２は、第１案内スリーブ５の全長Ｌ１よりも十分大きくなっている。このような形状となっているため、ケーブル４の張力によるモーメントは、主として第２案内スリーブ７と摺動部材８が負担することとなる。このため、検査用プローブ軸１ｂおよび第１案内スリーブ５に掛かるモーメントは、大幅に低減される。
【００２１】
さらに、摺動部材８の軸中心線とケーブル４の中心線とのオフセットＹは、極力少ないほうが望ましく、ゼロがベストである。Ｙがゼロの場合には、理論上、摺動部材８に掛かるモーメントは無くなる。さらに、第２案内スリーブ７と摺動部材８との径方向隙間Ｃ２を十分小さくし、検査用プローブ軸１ｂと第１案内スリーブ５との径方向隙間Ｃ１を、Ｃ２よりも所定値以上大きくすることにより、検査用プローブ軸１ｂにケーブル４の張力によるモーメントが全く掛からなくなる。
【００２２】
以上のように、検査用プローブの滑らかな動きを確保するとともに、探針部の接触による電気抵抗の不安定性を防止することにより、検査結果である電気信号の安定性を確保する検査装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る検査装置の概観図である。
【図２】本発明に係る検査装置のプローブ部の概観図である。
【図３】従来の検査装置の概観図である。
【図４】従来の検査装置のプローブ部の概観図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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