(57)【要約】【課題】輸送効率と輸送後の組み立て効率を高くする。【解決手段】装置外装部は、液晶基板の検査装置の装置本体の周囲を囲って外部から気密に仕切るための側面フレームを備えている。側面フレームは分離可能な２つのフレームユニット１１、１２を備える。フレームユニット１１、１２は短側フレーム１３とその両側の長側フレーム１４とで平面視コの字形状に形成する。短側フレーム１３と両側の長側フレーム１４をつなぐヒンジ部１９を有する。更に短側フレーム部の横フレーム１３Ａ、１３Ｂを二分割してヒンジ部１５で折り曲げ可能に連結している。輸送時には各フレームユニットに分離し、ヒンジ部１５、１９で屏風形状に折り畳み、面状にする。組み立て時には二つの面を広げることで自立状態になる。【選択図】図２
2008014707.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板の検査装置または製造装置の本体の周囲を囲って外部から仕切るための周壁部を備えている装置外装部において、
前記周壁部は分離可能なフレームユニットを備え、
該フレームユニットは複数の面を有していて隣り合う二つの前記面をつなぐ折り曲げ部材で折り畳み可能であり、前記二つの面を開いた状態で自立することを特徴とする装置外装部。
【請求項２】
前記周壁部は複数のフレームユニットを分離可能に連結して構成されている請求項１に記載の装置外装部。
【請求項３】
前記フレームユニットは平面視略コの字形状を有していて、二つの角部にそれぞれ設けた第一及び第二の前記折り曲げ部材と、該第一及び第二の折り曲げ部材をつなぐ二つの面の間に設けた第三の折り曲げ部材とを備えていて、該第三の折り曲げ部材で山折りと谷折りの一方に折ると共に前記第一及び第二の連結部で他方に折って折り畳むようにした請求項１または２に記載の装置外装部。
【請求項４】
前記第三の折り曲げ部材には、前記第一及び第二の折り曲げ部材をつなぐ二つの面を同一平面状に広げた際に当該二つの面の連結を補強する補強部を設けてなる請求項３に記載の装置外装部。
【請求項５】
前記フレームユニットは平面視略Ｌ字形状を有していて、角部に前記折り曲げ部材を設けていることを特徴とする請求項１または２に記載の装置外装部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイに用いられるガラス基板（以下、液晶基板という）等の検査を行う検査装置や液晶基板の製造装置の本体を囲って、外部からゴミ等の異物や光等が侵入するの防いで保護する装置外装部に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶基板等の大型基板の欠陥を検査する検査装置が知られている。この検査装置は、液晶基板の表面に照明光を照射し、その反射光の光学的変化を観察して液晶基板表面のキズや汚れ、ダストの付着等の欠陥を検出するマクロ観察と、マクロ観察で検出された欠陥を拡大して観察するミクロ観察を行う。
このような検査装置では、液晶基板を正確に検査できる状態に維持するために、検査装置の周囲から装置内部に光が侵入したり、ゴミや埃等の異物が侵入するのを防ぐ必要がある。また検査装置は液晶基板を自動検査するため、更には安全のために人が不用意に侵入したりしないようにする必要がある。そのため、検査装置の本体の外周側には装置本体を閉鎖空間内に囲って保持するために装置外装部が設けられている。
【０００３】
検査装置の装置外装部は、例えば装置本体を収容するために略直方体形状または箱形状を有しており、例えば円筒や角筒等の中空のパイプ材等からなるフレーム材で枠部を形成すると共に、フレーム材の枠部をパネル等で覆って装置本体を囲う形態を備えている。検査装置は、その輸送に際して、装置本体を装置外装部内に収容して装置外装部に結合させた状態、即ち完成品の状態でトラックやコンテナ等の輸送手段に積載して製造工場からユーザの事業所まで運搬していた。
ところで、近年、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの大型化に伴い、検査装置も大型化が進んできている。そのため、検査装置の輸送に際して、装置本体を装置外装部内に収容した状態でトラックやコンテナ等の輸送手段に積載する場合、最大積載容積を超えてしまうために、専用の大型輸送手段を用意しなければならず、輸送コストが大幅に増大するという問題があった。
【０００４】
このような問題に対処するために、装置本体と装置外装部を分離して別々に輸送している。この場合、検査装置については、例えば特許文献１に開示されているように、検査装置の上部に取り付けられるマクロ検査用照明装置について、光源ユニットを光学ユニットから取り外し可能に構成し、更に光学ユニットを検査装置上に折り畳み可能に構成することで、検査装置の嵩高を低く抑えて輸送時の占有スペースの減少を図っている。
一方、装置外装部については、一般的に複数ユニットに分割する方法と各面を単位にした複数分割方法とが採用され、いずれかの方法で輸送されていた。
【特許文献１】特開平１０−１９５５３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された手段は、検査装置の嵩高を低減することはできるが、装置外装部については上述した２つの方法を越える有効な輸送方法は提案されていなかった。
しかも、上述した装置外装部の分割方法についていえば、複数ユニットに分割する場合では、各ユニットが平面視で略コの字状に分割形成されているために、トラック等に積載する際に各ユニットのコの字型の内部空間が空の状態で占有するため、輸送効率が悪かった。一方、面単位に分割して輸送する場合には輸送効率は高いが、輸送先で設置組み立てする際に、各面を構成するフレームを起立保持させながら組み付けるため、多くの作業工数と作業人員が必要になる。そのため、装置外装部の設置組み立て時の立ち上げ作業の効率が低下し、顧客先での設置組み立ての日数が長くなるという不具合が生じる。
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みて、輸送効率と輸送後の組み立て効率を高くできるようにした装置外装部を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による装置外装部は、液晶基板の検査装置または製造装置の本体の周囲を囲って外部から仕切るための周壁部を備えている装置外装部において、周壁部は分離可能なフレームユニットを備えていて、該フレームユニットは複数の面を有していて隣り合う二つの前記面をつなぐ折り曲げ部材で折り畳み可能であり、前記二つの面を開いた状態で自立することを特徴とする。
本発明によれば、装置外装部の輸送や保管等に際しては、装置外装部をフレームユニットに分離して、フレームユニットを折り曲げ部材で折り畳むことで略面状に重ねることができるために輸送時等の占有面積を小さくでき、そして設置組み立てに際してはフレームユニットの少なくとも二つの面を折り曲げ部材で開くことで自立状態にできるから、その後はフレームユニットを支える必要がなく、作業人数と組み立て工数を低減できる。
なお、本発明では、フレームユニットは１つでもよいし、複数設けてもよい。またフレームユニットの各面はパネルを別体とした枠体としてもよいし、パネルを取り付けた枠体であってもよく、いずれの場合も本発明に含まれる。また、装置外装部をフレームユニットと面との組み合わせで構成してもよい。
【０００８】
また、周壁部は複数のフレームユニットを分離可能に連結して構成されているのが好ましい。この場合には、作業人数と組み立て工数を更に低減できる。
また、フレームユニットは平面視略コの字形状を有していて、二つの角部にそれぞれ設けた第一及び第二の折り曲げ部材と、当該第一及び第二の折り曲げ部材をつなぐ二つの面の間に設けた第三の折り曲げ部材とを備えていて、該第三の折り曲げ部材を山折りと谷折りの一方に折ると共に第一及び第二の折り曲げ部材を他方に折って折り畳むようにしてもよい。
この場合には、フレームユニットは４面またはそれ以上の屏風形状または蛇腹形状となり、折り畳み時の占有体積が一層小さい上に組み立てが容易で自立性を確保できる。
【０００９】
また、第三の折り曲げ部材には、第一及び第二の折り曲げ部材をつなぐ二つの面を同一面状に広げた際に当該二つの面の連結を補強する補強部を設けていることが好ましい。
これによって、フレームユニットを組み立てた際に第三の折り曲げ部材を挟んで同一面状をなす２面の組み立て強度が高くなる。
また、フレームユニットは平面視略Ｌ字形状を有していて、角部に折り曲げ部材を設けていてもよい。
この場合には、平面視略Ｌ字形状のフレームユニットを２面または３面以上で構成して角部の折り曲げ部材で折り畳むことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による装置外装部によれば、装置外装部の輸送や保管等に際しては、装置外装部をフレームユニットに分離して略面状に折り畳むことで占有体積を小さく設定できて輸送コストや保管コスト等を低減できる。また、設置組み立てに際しては、フレームユニットを自立状態にできてフレームユニットを支える必要がなく、作業人数と組み立て工数を低減でき、短期間で組み立てできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態による装置外装部について添付図面により説明する。
図１乃至図７は第一の実施の形態を示すものであり、図１は装置外装部の概略斜視図、図２はフレームユニットの斜視図、図３は図１のＰ部拡大図であって短側フレーム部のヒンジ部と補強部の要部平面図、図４は図１のＱ部拡大図であって短側フレーム部と長側フレーム部を連結する部分の要部斜視図、図５は図１のＲ部拡大図であって二つのフレームユニットの連結構造を示す図、図６はフレームユニットの第一折り畳み工程、図７は折り畳み完了状態を示す図である。
図１に示す検査装置１は、液晶基板の欠陥等を検査するための装置本体２とその外側に配設されていて装置本体２を収容して囲う装置外装部３とを備えている。装置本体２内には図示しないステージや駆動部等が設けられている。
装置外装部３は概略直方体形状をなしており、互いに対向する底面４及び上面５、一対の短側面６，７、一対の長側面８，９とで構成されている。装置外装部３の各面４〜９は図では例えば丸穴や角穴等のパイプ材からなる略四角形枠形状のフレームのみで示すが、各フレームにはパネルやパネル開閉検知センサ等の付帯物も含まれている。この装置外装部３の一対の短側面６，７及び長側面８，９からなる側面フレーム１０（周壁部）は、図１及び図２に示すように、平面視略コの字形状をなす二つのフレームユニット１１、１２が分離可能に連結されて構成されている。
【００１２】
フレームユニット１１は図２に示すように短側面６を構成する短側フレーム部１３（第一フレーム）と、その両側に連結されていて各長側面７の略半分でそれぞれ構成する一対の長側フレーム部１４、１４（第二フレーム）とで構成されている。短側フレーム部１３の水平方向に延びるパイプ状の上下の横フレーム１３Ａ、１３Ｂはそれぞれその長手方向中央部で二分割されてフレーム片１３ａ、１３ｂとされている。しかも横フレーム１３Ａにおいて、分割されたフレーム片１３ａ、１３ｂの端部はヒンジ部１５によって軸線Ｌ回りに折り曲げ可能に連結されている。横フレーム１３Ｂにおいても同様の構成を備えている。
図３は横フレーム１３Ａ、１３Ｂの各ヒンジ部１５の拡大図（Ｐ部拡大図）であり、ヒンジ部１５は軸１５ａとその両側でフレーム片１３ａ、１３ｂに固定した固定板１５ｂ、１５ｂとで構成されている。ヒンジ部１５は軸１５ａ（軸線Ｌ）回りにフレーム片１３ａ、１３ｂを折り曲げ可能としている。そして、一方のフレーム片１３ａの端部付近には補強部１６が連結され、この補強部１６は他方のフレーム片１３ｂに重なる位置まで延びている。フレーム片１３ａ、１３ｂは各端部が当接して同一直線状になった組み立て状態で背面を補強部１６によって支えられる。この状態で補強部１６と他方のフレーム片１３ｂは締結ボルト１７で連結されている。
【００１３】
また、図２及び図４において、短側フレーム部１３の両側に位置する垂直方向の縦フレーム１３Ｃ、１３Ｄは、その上下端部でヒンジ部１９、１９によって長側フレーム部１４の横フレーム１４Ａ、１４Ｂと回転可能に連結されている。しかも短側フレーム部１３の縦フレーム１３Ｃ、１３Ｄに対して横フレーム１３Ａ、１３Ｂがそれぞれブラケット２０によって上下方向に略直角に固定されている。
同様に短側フレーム部１３の縦フレーム１３Ｃ、１３Ｄと長側フレーム部１４の横フレーム１４Ａ、１４Ｂとはそれぞれブラケット２０によって上下方向に略直角に固定されている。これによって、横フレーム１４Ａ、１４Ｂと横フレーム１３Ａ、１３Ｂとが水平方向に略直角に固定される。ブラケット２０で固定することによって組み立て時に上下方向及び水平方向の各開き角度を直角に再現することができると共に、組み立て後に、外乱等によって各フレームの角度がずれたりするのを防ぐことができる。また、折り畳み時には各ブラケット２０を取り外すことで短側フレーム部１３と長側フレーム部１４を折り畳んで重ねることができる。
なお、長側フレーム部１４には横フレーム１４Ａ、１４Ｂの他端に連結フレーム１４Ｃが縦方向に連結され、更に連結フレーム１４Ｃと短側フレーム１３Ｃの間に補強フレーム１４Ｄが連結されている。
【００１４】
一方のフレームユニット１１は上述の構成を有しており、他方のフレームユニット１２も一方のフレームユニット１１と同様の構成を有しており、同様の部分に同一の符号を用いて説明を省略する。
そして、図１に示す装置外装部３では、二つのフレームユニット１１、１２が略線対称に連結されて略直方体形状を構成している。そして、二つのフレームユニット１１、１２の連結フレーム１４Ｃ、１４Ｃは、図５に示すように連結ボルト２２等の連結具によって連結されている。
【００１５】
本実施の形態による装置外装部３は上述の構成を有しており、次に運搬等のための折り畳み方法について図に沿って説明する。
先ず図１に示す検査装置１において、装置本体２を装置外装部３から取り外す。そして、装置外装部３の二つのフレームユニット１１、１２の連結フレーム１４Ｃ、１４Ｃを、各連結ボルト２２を外すことで分離する。分離された一方のフレームユニット１１（１２）は図２に示す状態になる。次にフレームユニット１１の短側フレーム部１３の横フレーム１３Ａ、１３Ｂから、各補強部１６における締結ボルト１７を外す。
そして、フレームユニット１１の短側フレーム部１３をヒンジ部１５で二つ折りするよう折り曲げ（山折り）、二分割された横フレーム１３Ａ、１３Ｂの各フレーム部１３ａ，１３ｂをそれぞれ長側フレーム１４、１４間に進入させて背中合わせに当接させると、図６に示すように略Ｔ字形状に畳まれる。更に、短側フレーム部１３の縦フレーム１３Ｃ、１３Ｄと長側フレーム部１４の横フレーム１４Ａ、１４Ｂとを固定するブラケット２０、２０を取り外した後、両側の一対の長側フレーム部１４、１４をヒンジ部１９、１９で折り畳んで（谷折り）二つ折りされた短側フレーム部１３を挟み込む。
これによって、図７に示すように、二つ折りした短側フレーム部１３と一対の長側フレーム部１４、１４とが４重の面状に折り重ねられた状態になる。他方のフレームユニット１２も同様の手順で折り畳む。なお、底面４と上面５は側面フレーム１０とは別個に分離するものとする。
このようにして装置外装部３のフレームユニット１１、１２を平面状に折り畳まれた２つの部材に畳むことができるので、輸送に際してスペースを取ることなくトラック等の輸送手段の小さなスペースに積載できる。
【００１６】
また、折り畳んだ二つのフレームユニット１１、１２を輸送先で組み立てるには、上述の折り畳み手順と逆の操作を行えばよい。その際、図７に示す折り畳み状態のフレームユニット１１、１２を立てて、一対の長側フレーム部１４、１４を短側フレーム部１３に対して少し広げることでフレームユニット１１、１２は自立状態になる（図６参照）。その後は、フレームユニット１１、１２を作業員が倒れないように支える必要がなく、少ない人数で組み立て作業を行える。
そして、二つ折りした短側フレーム部１３を平面状に広げることで、図２に示す略コの字状に組み立てることができる。この状態で、ブラケット２０によって縦フレーム１３Ｃ、１３Ｄと横フレーム１３Ａ、１３Ｂ、縦フレーム１３Ｃ、１３Ｄと横フレーム１４Ａ、１４Ｂをそれぞれ固定状態に支持する。
このようにして広げた二つのフレームユニット１１，１２を向かい合わせに当接させ、互いに当接する連結フレーム１４Ｃ，１４Ｃに連結ボルト２２を螺合することで、装置外装部１３の組み立てを完了できる。そして、短側フレーム部１３の各横フレーム１３Ａ、１３Ｂの各補強部１６と他方のフレーム片１３ｂを締結ボルト１７で固定させる。なお、これに前後して底面４と上面５のパネルを組み立てることになる。
なお、補強部１６は、二つのフレームユニット１１，１２を連結した際、連結フレーム１４Ｃ、１４Ｃの連結部において互いに当接する横フレーム１４Ａ、１４Ａ（１４Ｂ、１４Ｂ）にも設けてもよい。
【００１７】
上述のように本実施の形態によれば、装置外装部３の輸送や保管等に際しては、装置外装部３をフレームユニット１１、１２に分離して各４重の面状に折り畳むことで、占有体積を小さく設定できて輸送コストや保管コスト等を低減できる。また、設置組み立てに際して、折り畳んだフレームユニット１１、１２を広げるだけで自立状態にできて、その後はフレームユニット１１、１２を支える必要がなく組み立て作業が容易であり、作業人数と組み立て工数を低減でき、短期間で組み立てできて組み立てコストを低減できる。
【００１８】
次に本発明の他の実施の形態や変形例について説明する、上述の実施の形態と同一または同様の部分、部材には同一の符号を用いて説明を省略する。
第二の実施の形態について図８、図９により説明する。
図８は第二の実施の形態による装置外装部３０の平面視による模式図である。図中、装置外装部３０の周壁部は第一の実施の形態による装置外装部３の一対の短側面６，７、一対の長側面８，９からなる側面フレーム１０を有している。この側面フレーム１０は、図に示すように平面視略Ｌ字形状の一対のフレームユニット３１、３２に分割可能に連結されて構成されている。両フレームユニット３１、３２は平面視で略四角形枠形状の二つの対角線を結ぶ交点に対して回転対称に形成されている。
フレームユニット３１はそれぞれ丸穴または角穴のパイプで四角形枠形状をなす短側フレーム部１３と長側フレーム部１４とからなり、短側フレーム部１３の縦フレーム１３Ｃと横フレーム１４Ａ、１４Ｂとがヒンジ部１９、１９とブラケット２０、…によって折り畳み可能に連結されている。しかも、長側フレーム部１４は各横フレーム１４Ａ、１４Ｂがその長手方向中央部で二分割され、それぞれヒンジ部３３、３３によって折り曲げ可能に連結されている。しかも横フレーム１４Ａ、１４Ｂの自由端部は縦フレーム１４Ｅによって連結されている。他方のフレームユニット３２についても同一の構成を備えている。
両フレームユニット３１、３２は、一方のフレームユニット３１（３２）の短側フレーム部１３の縦フレーム１３Ｄと他方のフレームユニット３２（３１）の長側フレーム部１４の縦フレーム１４Ｅとが、連結ボルト等の連結具（図示せず）によって分離可能に連結されている。
【００１９】
本実施の形態による装置外装部３０は上述の構成を有しているから、装置外装部３０の輸送等のための折り畳み作業に際して、両フレームユニット３１、３２の縦フレーム１３Ｄと縦フレーム１４Ｅとの連結ボルトを外してそれぞれ略Ｌ字状の一対のフレームユニット３１、３２に分離する（図８参照）。そしてヒンジ部１９回りに短側フレーム部１３と長側フレーム部１４を重ねるように折り畳み、ついで、長側フレーム部１４についてヒンジ部３３で短側フレーム部１３とは反対側に二つ折りに折り畳むと短側フレーム部１３を含めて三重に折り畳まれたことになる（図９参照）。
このようにして、一対のフレームユニット３１、３２をそれぞれ略面状に折り畳むことができ、トラック等で搬送する際に占有スペースを小さくできる。
また輸送先で折り畳んだ二つのフレームユニット３１、３２を組み立てるには、上述の折り畳み手順と逆の操作を行えばよい。その際、図９に示す三重折りの折り畳み状態から、二つ折りされた長側フレーム部１４をヒンジ部３３回りに広げるか、短側フレーム部１３を長側フレーム部１４に対してヒンジ部１９回りに広げるかの少なくともいずれかの作業を行うことで、自立状態になる。
【００２０】
そのため、フレームユニット３１、３２を作業員が支える必要がなく、少ない人数で組み立て作業を行える。そして略Ｌ字形状に広げた二つのフレームユニット３１，３２を、連結ボルトで互いに当接させた縦フレーム１３Ｄと縦フレーム１４Ｅを螺合して連結することで、装置外装部３０の側面フレーム１０の組み立てを完了できる。
上述のように本実施の形態によれば、第一の実施の形態と同様の効果を奏する。
【００２１】
また、図１０及び図１１は第三の実施の形態であり、図１０に示す装置外装部４０は、第二の実施形態と同様に、その側面フレーム１０は一対の短側面６，７と一対の長側面８，９とで構成されている。この側面フレーム１０は、図に示すように平面視略Ｌ字形状の一対のフレームユニット４１、４２で構成されている。各フレームユニット４１、４２は、それぞれ丸穴または角穴のパイプで四角形枠形状をなす短側フレーム部１３と長側フレーム部１４とからなる。本実施の形態では、各フレームユニット４１、４２は長側フレーム部１４の長さが短側フレーム部１３の長さとほぼ同一であるため、長側フレーム部１４はヒンジ部で二つ折りする構成を有していない。
そのため、各フレームユニット４１、４２は、図１１に示すようにヒンジ部１９で長側フレーム１４と短側フレーム１３を二つ折りする構造とされている。
上述した第三の実施の形態による装置外装部４０でも、上述の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００２２】
また、図１２は第一の実施の形態による装置外装部３における、横フレーム１３Ａ、１３Ｂをそれぞれ二分割した各横フレーム片１３ａ、１３ｂを折り畳み可能に接続するヒンジ部１５の補強部１６の変形例である。
例えば、ヒンジ部１５は第一の実施の形態と同様に軸部１５ａとその両側に設けた固定板１５ｂ、１５ｂで構成され、固定板１５ｂ、１５ｂはパイプ状の各横フレーム片１３ａ、１３ｂに連結されて折り曲げ可能となっている。そして、一方の横フレーム片１３ａ内には棒状の補強軸４４が他方のフレーム片１３ｂ内に進退可能に収容されている。一方の横フレーム片１３ａには長手方向に沿ってスライド孔４５が穿孔され、その両端はパイプ状の各横フレーム片１３ａの周方向に延びる係止孔４５ａ、４５ｂが形成されている。
そして補強軸４４の後端部には操作ピン４４ａが起立してスライド孔４５から外部に突出しており、操作ピン４４ａを操作することで、補強軸４４を他方の横フレーム片１３ｂに対して進退可能とされている。
そして、二つの横フレーム片１３ａ、１３ｂが一直線状に組み立てられた状態では、操作ピン４４ａをスライド孔４５に沿って前進させて先端側の係止孔４５ｂに係止させると、補強軸４４は二つの横フレーム片１３ａ及び１３ｂ内にまたがり、直線状の横フレーム片１３ａ、１３ｂの強度を補強させる。また、二つの横フレーム片１３ａ、１３ｂを折り畳む場合には、これに先だって操作ピン４４ａを後端側の係止孔４５ａまで後退させて係止する。すると、補強軸４４は他方の横フレーム片１３ｂから外れ、二つの横フレーム片１３ａ、１３ｂはヒンジ部１５で折り畳み可能になる。
【００２３】
なお、上述の各実施の形態では、装置外装部３，３０，４０について、平面視四角形枠形状をなす側面フレーム１０を二つのフレームユニットに分割して、それぞれを二つ折りまたは三折りに畳むように構成したが、本発明はこのような構成に限定されない。例えば側面フレーム１０を三つ以上のフレームユニットに分割してもよく、また各フレームユニットは四重折り以上に折り畳み可能としてもよい。要するに側面フレームを分割したフレームユニットが折り畳み時には面状に重ねて折り畳まれ、組み立て時には少なくとも二つのフレームを開くことで自立状態になればよい。
第一実施形態において、ヒンジ部１９は第一、第二の折り曲げ部材を構成し、ヒンジ部１５は第三の折り曲げ部材を構成する。
また、折り曲げ部材としてヒンジ部１５、１９、３３を用いたが、これに限定されることなく、板状のバネ部材やゴム部材等折り曲げ可能な各種の部材を採用できる。
【００２４】
なお、上述の各実施の形態は装置外装部３，３０，４０について、側面フレームは必ずしも平面視四角形形状でなくてもよく、平面視で三角形や五角形以上の枠体構造であってもよい。
また、上述の各実施の形態は液晶基板の検査装置１に適用する装置外装部３、３０，４０について説明したが、本発明は検査装置に限定されることなく、液晶基板の製造装置についても装置本体の外側を囲って仕切る装置外装部として使用できる。或いは外部環境に対して光や異物の侵入を防ぐために気密性や密封性を要求される大型等の他の各種検査装置や製造装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第一の実施の形態による装置外装部の概略斜視図である。
【図２】側面フレームを二分割した一方のフレームユニットの斜視図である。
【図３】図１に示すＰ部の拡大図である。
【図４】図１に示すＱ部の拡大図である。
【図５】図１に示すＲ部の拡大図である。
【図６】フレームユニットの第一折り畳み工程である。
【図７】フレームユニットの折り畳み完了状態を示す図である。
【図８】第二の実施の形態による側面フレームの概略平面図である。
【図９】第二の実施の形態におけるフレームユニットの折り畳み状態を示す平面図である。
【図１０】第三の実施の形態による側面フレームの概略平面図である。
【図１１】図１０に示すフレームユニットの折り畳み状態を示す平面図である。
【図１２】第一の実施の形態による補強部の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  検査装置
２  装置本体（本体）
３  装置外装部
１０  側面フレーム（周壁部）  
１１、１２、３１、３２  フレームユニット  
１３  短側フレーム部（第一フレーム部）
１３Ａ、１３Ｂ  横フレーム
１３ａ、１３ｂ  フレーム片
１３Ｃ、１３Ｄ  縦フレーム
１４  長側フレーム部（第二フレーム部）
１４Ａ、１４Ｂ  横フレーム
１４Ｃ  連結フレーム
１５、１９、３３  ヒンジ部（折り曲げ部材）
１６  補強部
２０  ブラケット
２２  連結ボルト（連結部）
【図１】
2008014707.tif 000003
【図２】
2008014707.tif 000004
【図３】
2008014707.tif 000005
【図４】
2008014707.tif 000006
【図５】
2008014707.tif 000007
【図６】
2008014707.tif 000008
【図７】
2008014707.tif 000009
【図８】
2008014707.tif 000010
【図９】
2008014707.tif 000011
【図１０】
2008014707.tif 000012
【図１１】
2008014707.tif 000013
【図１２】
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