(57)【要約】【課題】厚みが薄く、少ないケーブル数で、構造材の接触を検知する接触検出器を提供することを目的とする。【解決手段】一方の構造材４ａに、厚みが薄い複数の薄膜抵抗２１を直列に接続した薄膜抵抗群２を設置し、他方の構造材４ｂに、厚みが薄く、互いに電気的に接続されていない複数の薄膜短絡電極３１を、薄膜抵抗２１に対向して設置し、構造材４ａ，４ｂの少なくとも一部が接触した場合は、接触した箇所の薄膜抵抗２１が、対向している薄膜短絡電極３１によって、短絡されることを特徴とする。【選択図】図１
2008123918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造材の接触の有無を検出する接触検出器であって、
一方の構造材に、厚みが薄い複数の抵抗を直列に接続した抵抗群を設置し、
他方の構造材に、厚みが薄く、互いに電気的に接続されていない複数の電極を、前記抵抗に対向して設置し、
前記構造材の少なくとも一部が接触した場合は、接触した箇所の前記抵抗が、対向している前記電極によって、短絡されることを特徴とする接触検出器。
【請求項２】
前記抵抗および前記電極の少なくとも一方は、シール状の絶縁フィルム上に設置され、前記構造材に貼付されることを特徴とする請求項１に記載の接触検出器。
【請求項３】
前記抵抗群を、前記絶縁フィルム上に設置した場合において、前記絶縁フィルムが露出している部分を、輝面性の高い物質で覆ったことを特徴とする請求項２に記載の接触検出器。
【請求項４】
それぞれの前記抵抗の抵抗値は、異なる値を有することを特徴とする請求項１に記載の接触検出器。
【請求項５】
前記接触検出器において、実測した合成抵抗値である実測抵抗値は、短絡している前記抵抗の数と位置とに一対一で対応することを特徴とする請求項４に記載の接触検出器。
【請求項６】
前記抵抗の抵抗値は、２を除く素数であることを特徴とする請求項５に記載の接触検出器。
【請求項７】
前記抵抗間の抵抗値比は、任意の数の累乗であることを特徴とする請求項５に記載の接触検出器。
【請求項８】
前記任意の数とは、２であることを特徴とする請求項７に記載の接触検出器。
【請求項９】
一方の構造材に、厚みが薄い複数の抵抗を直列に接続した抵抗群を設置し、他方の構造材に、厚みが薄く、互いに電気的に接続されていない複数の電極を、前記抵抗に対向して設置し、前記構造材の少なくとも一部が接触した場合は、接触した箇所の前記抵抗が、対向している前記電極によって、短絡される接触検出器と接続し、前記接触検出器において、実測した合成抵抗値である実測抵抗値を測定することによって、前記構造材の接触の有無を判定する接触検出装置であって、
短絡が生じていないときの前記接触検出器内の前記抵抗の抵抗値を加算した値である合成抵抗値を記憶する記憶部と、
前記実測抵抗値を測定する抵抗測定部と、
前記記憶部の合成抵抗値と、前記実測抵抗値とを比較することによって、前記構造材の接触が生じているか否かを判定する接触判定部と、
を有することを特徴とする接触検出装置。
【請求項１０】
前記記憶部は、各前記抵抗の抵抗値、およびこの抵抗値を有する前記抵抗の前記接触検出器内における位置を対応させた表である抵抗値−抵抗位置対応情報をさらに記憶し
前記接触判定部によって、前記構造材の接触が生じていると判定された場合、前記合成抵抗値から前記実測抵抗値を減算した値を算出し、この値を基に、前記記憶部の抵抗値−抵抗位置対応情報を参照することによって、短絡が生じている前記抵抗の位置を特定し、この位置を表示部に表示させる位置特定部をさらに有することを特徴とする請求項９に記載の接触検出装置。
【請求項１１】
外槽と、内槽との間を真空にすることによって、外部からの熱侵入を防ぐ真空断熱槽であって、
前記外槽の内側側面に、厚みが薄い複数の抵抗を直列に接続した抵抗群を設置し、
前記内槽の外側側面に、厚みが薄く、互いに電気的に接続されていない複数の電極を、前記抵抗に対向して設置し、
前記外槽および前記内槽の少なくとも一部が接触した場合は、接触した箇所の前記抵抗が、対向している前記電極によって、短絡されることを特徴とする真空断熱槽。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造材の接触の有無、および接触位置を判定する接触検出器、接触検出装置および真空断熱槽の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
設計上非接触であるべき２つの構造材の接触検出方法として、２枚の金属電極を絶縁状態で対向させておき、構造材の接触にこの対向電極が加圧されて接触したときの電極間の短絡（スイッチオフ状態→オン状態への遷移）を検知するマットスイッチが提示されている（例えば、特許文献１参照）。この技術は、２枚の金属帯状電極からなるテープスイッチ複数本を床敷きマット内に配列しておき、２本以上のテープスイッチ電極が同時に短絡した場合に、人間がマットを踏んでテープスイッチを加圧したと判断して警報信号を発するものである。
【特許文献１】実開平５−９７０２４号公報（請求項１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、外槽および内槽の間を真空にすることで、外部からの熱侵入を防ぐ真空断熱槽において、製造時のミス、真空引きや冷媒注液などの操作で発生する構造材の変形、あるいは移動時や災害などによる外部からの衝撃などで外槽と内槽が接触してしまうことがある。このように外槽と内槽とが接触してしまうと、断熱性が損なわれてしまうため、好ましくない。しかしながら、外槽と内槽が接触しているか否かは、外部からは容易に判定できない上、完成した真空断熱槽を分解して、外槽と内槽の接触を確認することも不可能である。
このような事情から、外槽と内槽との間のような厚さの薄い隙間に、接触検出器を配置して、外槽と内槽との接触を検知する要望が高まっていた。このような要望は、真空断熱槽だけではなく、他の分野においても同様の要望が高まっている。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のマットスイッチを、このような真空断熱槽における外槽と内槽との間のような厚さの薄い隙間に設置することは、以下に記載する理由から不可能である。
まず、第１に、当該マットスイッチは、床敷きマット内に接触検出器を設置することを前提としているため、接触検出器に厚みがあることである。すなわち、特許文献１に記載のマットスイッチは、特許文献１中に明確な記載がないが、２枚の電極の誤動作接触を防止するため電極間隔を十分に確保する必要があるため、接触検出器の厚みは、ある程度大きくなっているものと推察される。しかしながら、前記した真空断熱槽において外槽と内槽との間が狭く、隙間の厚みが薄い場合には、このような接触検出器を設置することは不可能であるという問題がある。また、外槽と内槽との間が比較的広く、このような接触検出器が設置可能な真空断熱槽の場合においても、接触検出器の厚みに相当する分だけ構造材の熱的な接触が早まってしまうという問題がある。
【０００５】
そして第２に、特許文献１に記載のマットスイッチでは、常温環境に接触検出器を設置することを前提としているため、２枚の電極からなるテープスイッチの全てに対して２本１組からなるケーブルを結線している。しかしながら、真空断熱槽のような低温環境下に接触検出器を設置する場合にはケーブル経由で断熱槽内に侵入する熱量を考慮する必要があり、ケーブルの本数が多いと熱侵入量も大きくなるという問題がある。また、接触検出器の設置作業の観点から考えても、ケーブル配線が多ければ作業量は増大する、という問題がある。
【０００６】
このような背景に鑑みて本発明がなされたのであり、本発明は、厚みが薄く、少ないケーブル数で、構造材の接触を検知することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明の接触検出器は、一方の構造材に、厚みが薄い複数の抵抗を直列に接続した抵抗群を設置し、他方の構造材に、厚みが薄く、互いに電気的に接続されていない複数の電極を、抵抗に対向して設置し、構造材の少なくとも一部が接触した場合は、接触した箇所の抵抗が、対向している電極によって、短絡されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、厚みが薄く、少ないケーブル数で、構造材の接触を検知することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、本発明を実施するための最良の形態（「実施形態」という）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１０】
（基本形）
図１は、本実施形態に係る接触検出器を示す図であり、（ａ）は、接触検出器の斜視図であり、（ｂ）は、薄膜抵抗群および短絡電極群の平面図である。
図１（ａ）に示すように、接触検出器１は、例えば真空断熱槽の外槽または内槽を構成している構造材４（４ａ，４ｂ）上に、薄膜抵抗群２（抵抗群）および短絡電極群３が、互いに距離をおいた状態で対向している。
そして、図１（ｂ）に示すように、薄膜抵抗群２は、薄い絶縁フィルム２３上に複数の薄膜電極２２（２２ａ〜２２ｅ）と、各薄膜電極２２を接続している薄膜抵抗２１（２１ａ〜２１ｄ：抵抗）および各薄膜電極２２と、２本のケーブル２４（２４ａ，２４ｂ）とを有してなる。
薄膜抵抗群２では、複数の薄膜抵抗２１（２１ａ〜２１ｄ）が、薄膜電極２２（符号２２ａ〜２２ｅ）を介して直列に接続されている。そして、薄膜抵抗群２の両端には、電源や抵抗計測器などに接続されたり、他の薄膜抵抗群２と接続したりするケーブル２４（２４ａ，２４ｂ）が接続されてなる。
【００１１】
また、短絡電極群３は、薄い絶縁フィルム３２上に複数の薄膜短絡電極３１（３１ａ〜３１ｄ：電極）が貼付されてなる。
各薄膜短絡電極３１ａ〜３１ｄと、各薄膜抵抗２１ａ〜２１ｄの位置関係は、各薄膜短絡電極３１ａ〜３１ｄが、破線矩形３１ａ’〜３１ｄ’上に配置される関係となる。
ここで、薄膜抵抗２１と、薄膜電極２２と、薄膜短絡電極３１との１組をユニットと記載することとする。例えば、図１（ｂ）において薄膜抵抗２１ａ、薄膜電極２２ａ、薄膜電極２２ｂの画面向かって左側の電極および薄膜短絡電極３１ａで、１つのユニットを構成している。
【００１２】
絶縁フィルム２３、３２にはポリイミドフィルムやテフロン（登録商標）テープを使用することが望ましい。また、薄膜電極２２および薄膜短絡電極３１にはアルミニウムや銅やステンレスの蒸着膜または箔（ホイル）を使用することが望ましい。さらに、薄膜抵抗２１にはＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウム酸化物とスズ酸化物の混合物）や酸化チタンの蒸着膜または蒸着箔、ケーブル２４にはテフロン（登録商標）被覆の銅線など極低温に耐えうる材料を選定して製作すれば極低温環境下でも安定して使用可能である。また、これらの材料は非磁性、または微弱な磁性体であるため、真空断熱槽内に設置した超電導機器が高磁場を発生するような環境でも使用可能である。
【００１３】
このように構成する部品を、薄膜抵抗２１、薄膜電極２２および薄膜短絡電極３１とすることにより、厚みを薄くすることができ、例えば真空断熱槽の外槽と内槽との間のような隙間に設置することが可能となる。
さらに、各薄膜抵抗２１を直列に接続したことにより、必要とするケーブル２４の本数が、入力および出力の計２本で構成することが可能となった。
このようにケーブル２４の本数を少なくしたことにより、ケーブル２４からの発熱の影響を少なくすることが可能となり、さらにケーブル２４の配線作業量を軽減することが可能となった。
なお、本実施形態では、接触検出器１のユニットの数を４つとしたが、これに限らず１つ以上であれば、いくつにしてもよい。
【００１４】
次に、図１を参照しつつ、図２に沿って本実施形態に係る接触検出器１の回路動作を説明する。
図２は、本実施形態に係る接触検出器の等価回路を示す図である。
抵抗Ｒ０は、接触検出器１の内部抵抗を示し、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ薄膜抵抗２１ａ〜２１ｄに相当する。そして、ＳＷ１〜ＳＷ４は、それぞれ薄膜短絡電極３１ａ〜３１ｄに相当する。
そして、接触検出器１には、接触検出器１に電圧を供給する直流電源２０１と、接触検出器１において、実測した合成抵抗値である実測抵抗値（図２のＡ−Ｂ間の抵抗値）を測定する抵抗値測定器２０２が備えられている。抵抗値測定器２０２は、電流計を備えており、電源電圧と、電流計から得られた電流値とから、実測抵抗値を算出する。
通常の状態（すなわち、構造材４ａおよび構造材４ｂが互いに非接触の状態）では、各薄膜電極２２ａ〜２２ｅと、各薄膜短絡電極３１ａ〜３１ｄとは、互いに接触していない。すなわち、図２のＳＷ１〜ＳＷ４は、それぞれ開放となっている。従って、Ａ−Ｂ間の合成抵抗値Ｒａｌｌは、
Ｒａｌｌ＝Ｒ０＋Ｒ１＋Ｒ２＋Ｒ３＋Ｒ４・・・（１）
となる。
【００１５】
次に、図３および図４を参照して、構造材４ａおよび構造材４ｂが接触状態となったときの接触検出器１の動作を説明する。
図３は、構造材が変形した状態を示す図であり、図４は、図３の状態の等価回路を示す図である。
真空引きや冷媒注液などの操作、あるいは災害や事故などの外部衝撃により構造材４ｂが、図３に示すように変形したとする。
その結果、図３に示すように、薄膜電極２２ｂ、２２ｃと、薄膜短絡電極３１ｂとが接触した状態となったとする。この状態を等価回路で表すと、図４に示すようにＳＷ２が閉じた状態となり、Ｒ２（薄膜抵抗２１ｂに相当）が短絡された状態となる。
すると、Ａ−Ｂ間の抵抗値（実測抵抗値）Ｒａｌｌ’は、式（１）に示すＲａｌｌからＲ２の値を減算した
Ｒａｌｌ’＝Ｒ０＋Ｒ１＋Ｒ３＋Ｒ４・・・（２）
となる。
【００１６】
このように、構造材４が変形することにより、薄膜電極２２と、薄膜短絡電極３１とが接触した結果、接触した薄膜電極２２と、薄膜短絡電極３１との間の薄膜抵抗２１が短絡する。そして、実測抵抗値が変化することによって接触を検知することが可能となる。
【００１７】
なお、各薄膜抵抗２１の抵抗値は、同一ではなく異なっていることが好ましい。より具体的には、各抵抗値は、２の累乗の値をもつことが望ましい。
図２を参照して、説明すると、例えば薄膜抵抗２１ａの抵抗値Ｒ１をＲ０×２１（Ω）とし、薄膜抵抗２１ｂの抵抗値Ｒ２をＲ０×２２（Ω）とし、薄膜抵抗２１ｃの抵抗値Ｒ３をＲ０×２３（Ω）とし、薄膜抵抗２１ｄの抵抗値Ｒ４をＲ０×２４（Ω）とするなどである。
【００１８】
このようにＲ１〜Ｒ４の抵抗値比を２の累乗とすることで、２進数を１０進数に変換するときと同様の手法を用いることにより、両端抵抗の単一測定値だけで任意のＳＷ１〜ＳＷ４のオン・オフ状態を判定することができる。すなわち、短絡された薄膜抵抗２１の位置および数と、実測抵抗値Ｒａｌｌ’の値が一対一で対応するため、実測抵抗値Ｒａｌｌ’の値を測定することにより接触が生じている薄膜短絡電極３１の位置および数を特定することが可能となる。
本実施形態では、抵抗値Ｒ１〜Ｒ４の抵抗比を、２の累乗としたが、これに限らず２以外の数の累乗としてもよい。各薄膜抵抗２１の抵抗値が全て異なり、１つ以上の任意の抵抗を組み合わせた合成抵抗値が、異なる任意の薄膜抵抗２１を組み合わせた合成抵抗値と等しくならないようにすれば、薄膜抵抗群２の実測抵抗値Ｒａｌｌ’を測定するだけで、薄膜短絡電極３１の接触・非接触を独立して判定できる。累乗以外の抵抗値比の例としては、２を除く素数の一部を使用することなどが考えられる。
【００１９】
（熱輻射の抑制）
次に、図５を参照して、本実施形態の別の例として熱輻射の問題に対応した接触検出器５の説明をする。
図５は、熱輻射に対応した接触検出器の平面図である。
図１と同様の要素に関しては、同一の符号を付して説明を省略する。
真空断熱層の内外では温度差があり、熱輻射が生じると、真空断熱槽の内外の温度差が減少してしまうため好ましくない。このような熱輻射を抑制するため、構造材表面を金属輝面（鏡面）とする場合が多い。これに対し、有機物質などから成る絶縁材は、輻射エネルギーが大きい赤外領域における熱吸収量が多く、熱輻射量を増大させてしまうという問題がある。
特許文献１の例では、温度差のほとんどない環境に接触検出器を設置することを前提にしているため、接触検出器の表面状態が熱輻射に与える影響については考慮しておらず、接触検出器の表面には絶縁材を使用している。このため特許文献１の技術を、真空断熱槽など温度差の大きい構造材に用いると、熱輻射を増大させてしまうことになってしまう。
【００２０】
そこで、本実施形態では、接触検出器５表面の大部分を金属輝面とし、接触検出器５を設置した構造材間の熱輻射の増加を抑制するものとした。
接触検出器５の表面に絶縁フィルム２３（図１参照）が露出していると、前記した理由により温度差を有する構造材間での輻射熱量が増大してしまうので、図５に示すように、電極間の絶縁に最小限必要となる部分を除いて、接触検出器５表面を金属輝面で覆う構成としている。
具体的には、薄膜抵抗群６の薄膜電極６２（６２ａ〜６２ｅ）は、図１に示す薄膜電極２２よりも幅を広くし、図５に示すようなパターンの繰り返し配置によって、絶縁フィルム６３の表面の一部を覆う構成とした。さらに、薄膜抵抗２１（２１ａ〜２１ｂ）上に絶縁フィルム６５（６５ａ〜６５ｄ）を貼付し、さらに絶縁フィルム６３の露出している面の上に金属膜６６（輝面性の高い物質）を貼付した構造とすることで、薄膜抵抗群６の輝面性を向上させている。
短絡電極群７の薄膜短絡電極７１（７１ａ〜７１ｄ）は、図１に示す薄膜短絡電極３１より幅を広くした矩形とし、この薄膜短絡電極７１の繰り返し配置として、絶縁フィルム７２の表面を覆う構造としている。このように輝面性の高い薄膜短絡電極７１で、絶縁フィルム７２の表面を覆うことで、短絡電極群７の輝面性を向上させている。
なお、この実施形態において薄膜抵抗群６は、絶縁フィルム６３と、薄膜電極６２または薄膜抵抗２１と、絶縁フィルム６５と、金属膜６６との計４層構造となるが、それでも厚みを薄くすることは可能であり、構造材同士が接触検出器５を介して接触をすることはない。
【００２１】
このような構成とすることで、厚みが薄い状態としたまま、接触検出器５の大部分を鏡面化することが可能となり、熱輻射の増大を防止することができる。
【００２２】
図６は、本実施形態に係る接触検出器の他の例を示す図である。
図６において、図５と同様の要素に関しては、同一の符号を付して説明を省略する。
図６に示す接触検出器８では、図５に示す接触検出器５の薄膜電極６２および薄膜短絡電極７１を図６に示すように櫛状の形状とすることで、熱輻射の増大を抑えつつ、絶縁フィルム９３上の薄膜電極９２（９２ａ〜９２ｄ）および絶縁フィルム１０２上の薄膜短絡電極１０１（１０１ａ〜１０１ｄ）の幅を広くすることで、図５に示す接触検出器５より、構造材上における広い領域の接触を検知できるようにしたものである。
【００２３】
（真空断熱槽）
次に、図７〜図１１を参照して、本実施形態に係る接触検出器５を適用した真空断熱槽３００について説明する。
なお、図７〜図１１において、使用する接触検出器は、図５に示す接触検出器５であるとするが、他の接触検出器を使用してもよい。
図７は、本実施形態に係る接触検出器を適用した真空断熱槽の外観図である。
真空断熱槽３００は、第１槽３０１と、第２槽３０２と、この第１槽３０１および第２槽３０２とを接続している二重管３０３とからなる。
図７〜図８では、この二重管３０３に対し、図５に示す接触検出器５が適用された例を示す。なお、図５の符号３０４は、図５におけるケーブル２４と、図９を参照して後記する接触検出装置４００とを接続するコネクタである。
【００２４】
図８は、図７の二重管における接触検出器の設置位置を示す図であり、（ａ）は、図７におけるＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）は、（ａ）におけるＢ方向からみた二重管内部を示した図であり、（ｃ）は、（ａ）におけるＣ方向からみた二重管内部を示した図である。
図８に示すように、二重管３０３は、外管３０３ａと内管３０３ｂとから構成され、外管３０３ａと内管３０３ｂとの間は真空となっている。外管３０３ａの内側には、薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄが設置され、内管３０３ｂの外側には、短絡電極群７Ａ〜７Ｄが設置されている。
二重管３０３の水平方向を、０°−１８０°とすると、図７（ａ）に示すように接触検出器は、０°，９０°，１８０°，２７０°の位置に設置されている。各接触検出器は、薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄと、短絡電極群７Ａ〜７Ｄとが対向するように設置されている。各薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄは、ケーブル２４Ａ〜２４Ｅによって接続されている。
このように、ケーブル２４Ａ〜２４Ｅによって接続される薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄを室温側の構造材（外管３０３ａ）に設置し、ケーブルを持たず、熱的に隔離可能な短絡電極群７Ａ〜７Ｂを低温側の構造材（内管３０３ｂ）に設置することで、ケーブルから発生する熱が低温側の構造材（内管３０３ｂ）への侵入を防止することが可能となる。
次に、図７（ｂ）および（ｃ）を参照して、ケーブル２４Ａ〜２４Ｅの接続方法を説明する。二重管３０３において、第１槽３０１（図７参照）に近い側を３０１側、第２槽３０２（図７参照）に近い側を３０２側とする。
なお、薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄは、それぞれ４つのユニットを有し、薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄ内のすべての薄膜抵抗の抵抗値（すなわち、１６個の薄膜抵抗の抵抗値）は、すべて２の累乗に比例した異なる値を有するものとする。
【００２５】
コネクタ３０４に接続されたケーブル２４Ａは、まず、薄膜抵抗群６Ａの３０１側に接続される。次に、薄膜抵抗群６Ａの３０２側に接続されたケーブル２４Ｂは、薄膜抵抗群６Ｂの３０２側に接続される。そして、薄膜抵抗群６Ｂの３０１側に接続されたケーブル２４Ｃは、薄膜抵抗群６Ｃの３０１側に接続される。さらに、薄膜抵抗群６Ｃの３０２側に接続されたケーブル２４Ｄは、薄膜抵抗群６Ｄの３０２側に接続される。そして、薄膜抵抗群６Ｄの３０１側に接続されたケーブル２４Ｅは、コネクタ３０４に接続される。
このように３０１側と、３０２側とで交互に薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄを接続することにより、薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄ中のすべての薄膜抵抗を直列に接続することが可能となる。
【００２６】
予め図７のように、接触検出器を設置しておくことにより、ユーザはコネクタ３０４にケーブルを接続するだけで、容易に接触検出器に電源や、接触検出装置を接続することができる。
【００２７】
（接触検出装置）
図９は、本実施形態に係る接触検出装置の構成を示すブロック図である。
接触検出装置４００は、処理部４０１、記憶部４０２、入力部４０３および表示部４０４を有してなる。
記憶部４０２には、短絡が生じていないときの接触検出器内のすべての薄膜抵抗の抵抗値を加算した値である合成抵抗値と、各薄膜抵抗の抵抗値、およびこの抵抗値を有する薄膜抵抗の接触検出器内の位置とを対応させた表である薄膜抵抗値−薄膜抵抗位置対応表（薄膜抵抗値−薄膜抵抗位置対応情報）とを記憶している。
【００２８】
処理部４０１は、抵抗測定部４０５、接触判定部４０６および位置特定部４０７を有してなる。
抵抗測定部４０５は、コネクタ３０４（図７参照）に接続されている接触検出器の合成抵抗を実測することによって、実測抵抗値を測定する機能を有する。なお、抵抗測定部４０５は、図２の直流電源２０１と抵抗値測定器２０２とに相当する。
接触判定部４０６は、記憶部４０２の合成抵抗値と、抵抗測定部４０５によって実測された実測抵抗値とを比較することによって、接触が生じているか否かを判定する機能を有する。
位置特定部４０７は、接触判定部４０６によって、接触が生じていると判定された場合、合成抵抗値から実測抵抗値を減算した値を算出し、この値を基に、記憶部４０２の薄膜抵抗値−薄膜抵抗位置対応表を参照して、接触によって短絡が生じている薄膜抵抗の位置を特定し、この位置を表示部４０４に表示させる。
処理部４０１、および処理部４０１を構成する抵抗測定部４０５と、接触判定部４０６と、位置特定部４０７とは、例えば図示しないＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置に記憶されたプログラムが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などによって実行されることによって具現化する。
【００２９】
次に、図８および図９を参照しつつ、図１０に沿って接触検出装置４００による接触検出方法について説明する。
図１０は、本実施形態に係る接触検出装置の接触検出方法の処理の流れを示す図である。
抵抗測定部４０５は、ケーブルを介してコネクタ３０４（図７参照）と接続してある。そして、接触検出装置４００の操作者は、マウス・キーボード等からなる入力部４０３を介して、抵抗計測の際の印加電圧や測定周期（時間間隔）を設定し（Ｓ１０１）、記憶部４０２に記憶させる。測定周期は、真空引きや冷媒注液などの操作中であるか否か、定期検査の期間中であるか否かによって異なるが、例えば冷媒注液の操作中であれば１時間くらいのスパンとなる。
【００３０】
図示しないタイマによって、現在の時刻が、ステップＳ１０１で設定した測定周期と一致したと判定されたとき、抵抗測定部４０５は、この設定に従い、薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄ内のすべての薄膜抵抗の合成抵抗値を実測することによって実測抵抗値を測定する（Ｓ１０２）。
次に、接触判定部４０６が、記憶部４０２に記憶している薄膜抵抗群６Ａ〜６Ｄに設置した薄膜抵抗の合成抵抗値（Ｒａｌｌ＝Ｒ０＋Ｒ１＋Ｒ２＋…＋Ｒ１６）と、実測測定値とを比較し、この２つの値が同値であるか否かを判定する（Ｓ１０３）。
実測抵抗値が、合成抵抗値と等しい場合（Ｓ１０３→Ｙｅｓ）、接触判定部４０６は、接触検出器に接触が発生していないと判定し、表示部４０４に「接触なし」という旨の判定結果を表示させ（Ｓ１０４）、ステップＳ１０２の処理へ戻る。
実測抵抗値と、合成抵抗置とが同値ではない場合（Ｓ１０３→Ｎｏ）、位置特定部４０７は、合成抵抗値から、実測抵抗値を減算した値を算出する（Ｓ１０５）。ステップＳ１０４で算出した値が、接触を生じている箇所に対応する薄膜抵抗の抵抗値となる。
次に、位置特定部４０７は、記憶部４０２の薄膜抵抗値−薄膜抵抗位置対応表を参照して、短絡を生じている薄膜抵抗の位置を特定する（Ｓ１０６）。
そして、位置特定部４０７は、ステップＳ１０５で特定した薄膜抵抗の位置を表示部４０４に表示させる（Ｓ１０７）。
【００３１】
なお、本実施形態では、ステップＳ１０３で、接触判定部４０６は、合成抵抗値と、実測抵抗値とが同値であるか否かを判定したが、これに限らず、例えば、合成抵抗値と実測抵抗値とが同値であるか、同値でなければ、どちらの値が大きいかを判定を判定してもよい。合成抵抗値が、実測抵抗値より大きければ、接触を生じていると判定する。実測抵抗値が、合成抵抗値より大きければ、ケーブルの断線などが生じていると判定し、表示部４０４にその旨を表示させてもよい。
【００３２】
また、本実施形態では、ステップＳ１０１で設定した測定周期に従ってステップＳ１０２〜ステップＳ１０６の処理が行われるとしたが、これに限らず、例えば冷媒の現象速度が著しく早くなったときなど、接触が生じていないか否かを検出したい場合は、手動でステップＳ１０２〜ステップＳ１０６を行う旨を指示し、この指示に従って、接触検出装置４００が、ステップＳ１０２〜ステップＳ１０６の処理を行ってもよい。
【００３３】
図１１は、図１０のステップＳ１０６において表示部に表示される接触位置表示画面の画面例を示す図である。
接触位置表示画面５００は、接触警告表示エリア５０１と、接触位置表示エリア５０２〜５０６とから構成される。
接触警告表示エリア５０１は、接触検出装置４００によって接触箇所が検出されたときに、警告を表示するエリアである。
接触位置表示エリア５０２は、図８（ａ）における二重管３０３の断面が模式図の形で表示され、接触を生じている接触検出器の位置が強調表示される。図１１の画面例では、９０°の位置にある接触検出器（符号５０８：図８の薄膜抵抗群６Ｂおよび短絡電極群７Ｂに相当）と、２７０°の位置にある接触検出器（符号５０９：図８の薄膜抵抗群６Ｄおよび短絡電極群７Ｄに相当）との、少なくとも一部に接触が生じているとして、これらの接触検出器に相当する箇所が強調表示されている。
【００３４】
接触位置表示エリア５０３は、０°の位置に存在している接触検出器（図８の薄膜抵抗群６Ａおよび短絡電極群７Ａに相当）が表示され、各ユニットが破線の矩形で表現されている。
接触位置表示エリア５０４には、９０°の位置に存在している接触検出器（図８の薄膜抵抗群６Ｂおよび短絡電極群７Ｂに相当）が表示され、接触位置表示エリア５０５は、１８０°の位置に存在している接触検出器（図８の薄膜抵抗群６Ｃおよび短絡電極群７Ｃ）が表示され、接触位置表示エリア５０６は、２７０°の位置に存在している接触検出器（図８の薄膜抵抗群６Ｄおよび短絡電極群７Ｄに相当）が、接触位置表示エリア５０３と同様の表示方法で表示されている。
図１１の例では、９０°の位置にある接触検出器の符号５０９に相当するユニットと、２７０°の位置にある接触検出器の符号５１０に相当するユニットとに、接触が生じているとして、これらのユニットが強調表示されている。
【００３５】
このように、各薄膜抵抗値を異なる値とし、さらに各薄膜抵抗の抵抗値の比を２の累乗としたことで、少ないケーブル数で接触位置の詳細な位置情報を得ることが可能となった。
【００３６】
次に、図１２〜図１８を参照して、本実施形態の接触検出器を真空断熱槽に適用した他の例を示す。
図１２は、本実施形態に係る真空断熱槽の側断面の模式図である。
なお、図１２〜図１８で用いる接触検出器は、広い検出領域を有する図６に示す接触検出器８とする。
真空断熱槽６００は、外槽６０１、内槽６０２、トップフランジ６０３などから構成され、内槽６０２内に液体冷媒を貯留した状態で超電導機器６０４を稼動させる。外槽６０１および内槽６０２は、接合部６１１によって接続されている。超電導機器６０４は、吊り棒６０６でトップフランジ６０３に吊り下げられており、液面計６０５などの付帯機器も備えている。
【００３７】
そして、真空断熱槽６００の外槽６０１の内側側面には、薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｈが設置され、内槽６０２の外側側面には、短絡電極群１０Ａ〜１０Ｈが設置されている。また、内槽６０２の内側側面には、液面計６０５と対向する形で、薄膜抵抗群９Ｚが設置されている。
そして、真空断熱槽６００の内槽６０２の底面外側には、短絡電極群１０Ｉ〜１０Ｔが設置されている。
さらに、真空断熱槽６００の外槽６０１の底面内側には、薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔが、短絡電極群１０Ｉ〜１０Ｔのそれぞれと対向する形で設置されている。
そして、薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｈは、コネクタ６０７またはコネクタ６０８と接続し、薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔは、コネクタ６０９と接続し、薄膜抵抗群９Ｚは、コネクタ６１０と接続している。
【００３８】
図１３は、本実施形態に係る真空断熱槽の水平断面の模式図であり、（ａ）は、図１２のＡ−Ａ断面の模式図であり、（ｂ）は、Ｂ−Ｂ断面の模式図であり、（ｃ）は、Ｃ−Ｃ断面の模式図である。
なお、図１３（ａ）において吊り棒６０６は、省略してある。
図１３（ａ）に示すように真空断熱槽６００の外槽６０１の内側側面には、薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｈが周方向に設置されている。そして、各薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｈと対向する形で、短絡電極群１０Ａ〜１０Ｈが、真空断熱槽６００の内槽６０２の外側側面に設置されている。このうち、例えば薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｄは、コネクタ６０７（図１２参照）に接続され、薄膜抵抗群９Ｅ〜９Ｈは、コネクタ６０８（図１２参照）に接続されている。薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｄは、図示しないケーブルによって、図８と同様の形で接続される。そして、例えば薄膜抵抗群９Ａ，９Ｄからのケーブルが、コネクタ６０７（図１２参照）と接続される。このような接続を行うことにより、薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｄ内のすべての薄膜抵抗は、直列に接続される形となっている。
同様に、薄膜抵抗群９Ｅ〜９Ｈ内のすべての薄膜抵抗が、直列に接続され、例えば薄膜抵抗群９Ｅ，９Ｈからのケーブルは、コネクタ６０８（図１２参照）に接続される。
【００３９】
さらに、液面計６０５と対向して薄膜抵抗群９Ｚが設置されている。液面計６０５は、通常金属で構成されるため、液面計６０５が、薄膜抵抗群９Ｚに対する短絡電極群の機能を有している。薄膜抵抗群９Ｚに関しては、図１６を参照して後記する。なお、液面計６０５の設置位置は内槽６０２の内部であるが、冷媒を貯留する箇所であるため、熱輻射量はもともと大きくない。従って薄膜抵抗群９Ｚを設置することが可能である。
【００４０】
内槽６０２の底面内側には、図１３（ｂ）に示すような配置で、短絡電極群１０Ｉ〜１０Ｔが設置されている。
そして、外槽６０１の底面外側には、図１３（ｃ）に示すような配置で、薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔが設置されている。各薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔは、図１３（ｂ）に示す各短絡電極群１０Ｉ〜１０Ｔに対向して設置されている。各薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔは、各薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔのすべての薄膜抵抗が直列となるよう、ケーブル２４によって接続されている。
【００４１】
図１４は、本実施形態に係る接触検出装置の構成を示すブロック図である。
なお、図１４において、図９の接触検出装置４００と同様の要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
図１４に示す接触検出装置４００ａが、図９の接触検出装置４００と異なる点は、配線切換手段４０８が処理部４０１と接続され、図１２に示す各コネクタ６０７〜６１０への切換えが可能となっている点である。
このような構成とすることにより、ユーザは、点検を行いたい箇所に設置してある接触検出器への切り換えを容易に行うことができる。
なお、図１２に示す各コネクタ６０７〜６１０から取得した情報を基に、接触箇所を特定する方法は、図１０において説明した方法と同様であるので、説明を省略することとする。
【００４２】
ここで、図１２、図１３および図１４を参照して、真空断熱槽６００の製造工程および検査方法について説明する。
外槽６０１が製作できた段階で、外槽６０１の内側側面に薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｈを設置する。まず、薄膜抵抗群９Ａ〜９Ｄを、薄膜抵抗が直列になるようケーブルで配線し、全体の両端をコネクタ６０７に結線する。そして、薄膜抵抗群９Ｅ〜９Ｈも同様に配線し、両端をコネクタ６０８に結線する。外槽６０１の底面内側には薄膜抵抗群９Ｉ〜９Ｔを、設置、配線し、配線の両端をコネクタ６０９に結線する。また、内槽６０２が製作できた段階で内槽６０２の外側側面に短絡電極群１０Ａ〜１０Ｈ、内槽６０２の底面外側に短絡電極群１０Ｉ〜１０Ｔを設置する。
【００４３】
これらの接触検出器を設置した状態で、外槽６０１と内槽６０２を接合部６１１で接合する。接合が完了した段階の、常温常圧状態でコネクタ６０７〜６０９と接触検出装置４００ａをケーブルで接続し、接触検出装置４００ａの配線切換手段４０８で、接続しているコネクタ６０７〜６０９を切り換えつつ、外槽６０１と内槽６０２との接触の有無、および接触があればその接触位置を判定する。もし、接触があれば、接合部６１１の位置で、一旦、外槽６０１と内槽６０２とを解体し、検出された接触位置を参考にしながら、接触が再発しないように修理し、再接合する。逆に、常温常圧で接触が無いことが確認できれば、次に、外槽６０１と内槽６０２との間の真空槽を真空状態にし、再び接触検出装置４００ａとコネクタ６０７〜６０９を接続し、耐圧試験を行う。外槽６０１、内槽６０２、あるいは接合部６１１の強度が十分でない場合には、外槽６０１と内槽６０２との接触が発生する場合がある。もし、耐圧試験中に外槽６０１と内槽６０２との接触が発生した場合には接触位置を参照しながら解体修理する。逆に、接触が発生しない場合には次の工程に進む。
【００４４】
次の工程では、内槽６０２の内側側面で、液面計６０５が接触する可能性のある場所に薄膜抵抗群９Ｚを設置し、ケーブルを配線してコネクタ６１０に結線する。さらに、超電導機器６０４、および吊り棒６０６が吊り下げられた状態のトップフランジ６０３で蓋をする。トップフランジ６０６を吊り込んだ状態で図示しない注液管から低温冷媒を注入し、内槽６０２内の機器が十分に冷却され、外槽６０１および内槽６０２が熱収縮した状態で、再び接触検出装置４００ａを、コネクタ６０７〜６１０に接続し、接触検出装置４００ａの配線切換手段４０８でコネクタ６０７〜６１０を切り換えつつ、外槽６０１と内槽６０２との接触の有無を判定する（低温試験）。もし、低温試験で接触が発生した場合、常温に戻して解体すると接触箇所が非接触に復帰し、接触箇所が判らなくなってしまう可能性がある。そこで、接触検出装置４００ａによる検出結果を活用し、低温状態での接触位置を記録しておく必要がある。また、低温試験で接触がなくても、超電導機器６０４を稼動させたときに発生する電磁力で外槽６０１および内槽６０２が変形し、接触が発生することがある。電磁力による変形の場合も、電磁力がなくなっている常温での解体検査のときには、接触箇所が非接触に復帰している可能性がある。そのため、電磁力がかかっている状態で、接触検出装置４００ａをコネクタ６０７〜６１０に接続して、接触検出装置４００ａの配線切換手段４０８でコネクタ６０７〜６１０を切り換えつつ、接触の検出を行う。外槽６０１と内槽６０２との接触の有無、および接触が生じていた場合は、その接触位置を検出し、検出した接触位置を記録しておく必要がある。
【００４５】
製造後の試験に合格した後は、真空断熱層に接触検出器、ケーブル、コネクタ６０７〜６１０を設置したままの状態で、真空断熱槽６００を稼動場所に搬送し、稼動する。稼動中に、例えば、冷媒液面低下の速度が著しく大きくなるなどの異常が発生した場合には、外槽６０１と内槽６０２との熱接触や接合部６１１の劣化、真空度の低下など複数の原因が考えられる。このような場合に、接触検出装置４００ａを稼動場所まで搬送し、接触検出装置４００ａをコネクタ６０７〜６１０に接続し、接触の検出を行うと、原因候補のうちで熱接触が発生しているかどうかを確実に判定できる。
【００４６】
図１５は、真空断熱槽の底面における接触位置表示画面の画面例を示す図である。
接触位置表示画面７００は、接触警告表示エリア７０１と、接触位置表示エリア７０２〜７０４とを有してなる。
接触警告表示エリア７０１は、接触検出装置４００ａによって接触箇所が検出されたときに、警告を表示するエリアである。
接触位置表示エリア７０２は、図１３（ｃ）に相当する真空断面層の断面が模式図の形で表示され、接触を生じている接触検出器の位置が強調表示される。図１５の画面例では、符号７０５の位置にある接触検出器（図１３（ｂ）の短絡電極群１０Ｑおよび図１３（ｃ）の薄膜抵抗群９Ｑに相当）の少なくとも一部に接触が生じているとして、この接触検出器に相当する箇所（符号７０５）が強調表示されている。
【００４７】
接触位置表示エリア７０３は、図１３（ｃ）において側面側に存在している各接触検出器（図１３（ｃ）の符号９Ｉ〜９Ｌおよび符号９Ｑ〜９Ｔに相当）が表示され、各ユニットが破線の矩形で表現されている。図１５の例では、接触位置表示エリア７０３の符号７０６の位置にある接触検出器（図１３（ｂ）の短絡電極群１０Ｑおよび図１３（ｃ）の薄膜抵抗群９Ｑに相当）における底面側の強調表示されているユニット（符号７０７，７０８）において、接触が生じていることを示している。
同様に、接触位置表示エリア７０４は、図１３（ｃ）において底面側に存在している各接触検出器（図１３（ｃ）の符号９Ｍ〜９Ｐに相当）の各ユニットが破線の矩形で表現されている。
接触位置表示エリア７０２と、接触位置表示エリア７０３とにおける対応する接触検出器は、破線矢印にて対応付けられている。そして、接触位置表示エリア７０２と、接触位置表示エリア７０４とにおける対応する接触検出器は、実線矢印にて対応付けられている。
【００４８】
次に、図１２を参照しつつ、図１６および図１７に沿って、図１２における薄膜抵抗群９Ｚの回路動作について説明する。
図１６は、図１２において液面計と、これに対向している薄膜抵抗群で構成される接触検出器の等価回路図である。
なお、図１６において図２と同様の要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
ここでは、前記したように液面計６０５は金属製の管なので、この液面計６０５を薄膜抵抗群９Ｚに対する短絡電極群としている。
図１６の回路図が図２の回路図と異なる点は、ＳＷ１〜ＳＷ４が個別のスイッチではなく、一体化していることである。これは、液面計６０５を短絡電極群と見なした場合、短絡電極群を構成する各薄膜短絡抵同士が絶縁されていない単一導体となるためである。抗
なお、液面計６０５は、金属製であり、剛体に近い物質であるため、例えばＳＷ１と、ＳＷ３とが接触したら、ＳＷ２も接触しているものとみなす。
【００４９】
図１７は、液面計と、薄膜抵抗群とから構成される接触検出器における接触位置表示画面の例を示す図である。
接触位置表示画面８００は、接触警告表示エリア８０１と、対象となる接触検出器の真空断熱槽における位置を示すエリア８０２と、接触位置表示エリア８０３とを有してなる。
接触警告表示エリア８０１は、接触検出装置４００ａ（図１４参照）によって接触箇所が検出されたときに、警告を表示するエリアである。
接触位置表示エリア８０３は、図１２の薄膜抵抗群９Ｚにおけるユニットの位置が破線矩形で表現され、液面計６０５（図１２参照）と接触している箇所が強調表示される。
図１７の例では、符号８０３ａ，８０３ｂ，８０３ｃに相当するユニットの位置において、液面計６０５（図１２参照）との接触が生じていることを示す。
【００５０】
図１８は、本実施形態における真空断熱槽の他の例を示す図である。
図１８示す例では、真空断熱槽９００は、トップフランジ９０３を備え、さらに真空断熱槽９００の外槽９０１と内槽９０２の間に断熱材９０４が設置されている。
断熱材９０４は、表面がアルミで形状可変の弾性断熱材（インシュレータ）である。
そして、図１８では、外槽９０１の内側側面および内槽９０２の外側側面に、図６に示す薄膜抵抗群９が設置され、断熱材９０４の表面には図６に示す短絡電極群１０が設置されている。このように図１、図５および図６における接触検出器１，５，８は、薄い絶縁フィルム２３，３２，６３，６２，９３，１０２上に構成され、可変可能なシール状であるため、弾性のある部材表面に貼付することが可能である。
【００５１】
（効果）
ここで、図１を参照して本実施形態の接触検出器１の効果について説明する。
本実施形態によれば、薄膜抵抗２１を直列に接続し、これと距離を置いて設置された薄膜短絡電極３１を、２つの構造材４ａ，４ｂの少なくとも一部が接触した場合は、接触した箇所の薄膜抵抗２１が、対向している薄膜短絡電極３１によって、短絡される構造としたことで、厚みを薄くし、さらにケーブル数を減少させて、熱侵入量を減少させた接触検出器１を提供することが可能となった。
【００５２】
さらに、薄膜抵抗２１および薄膜短絡電極３１は、シール状の絶縁フィルム２３，３２上に設置され、この絶縁フィルム２３，３２を、構造材４ａ，４ｂに貼付する構造としたことによって、硬い素材だけでなく、弾性断熱材のようなやわらかい素材にも容易に設置することが可能となった。
【００５３】
また、それぞれの薄膜抵抗２１の抵抗値は、すべて異なる値を有し、接触検出器１において、実測した合成抵抗値である実測抵抗値は、短絡している薄膜抵抗２１の数と位置とに一対一で対応することとしたことにより、ケーブル数を減少させつつ、接触が生じている詳細な位置を検出することが可能となった。
【００５４】
そして、図５に示してある接触検出器５によれば、薄膜抵抗群６が設置されている絶縁フィルム６５で、この絶縁フィルム６５が露出している部分を、輝面性の高い物質（金属膜６６）で覆った構造としたことにより、熱輻射の抑制を可能にした。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施形態に係る接触検出器を示す図であり、（ａ）は、接触検出器の斜視図であり、（ｂ）は、薄膜抵抗群および短絡電極群の平面図である。
【図２】本実施形態に係る接触検出器の等価回路を示す図である。
【図３】構造材が変形した状態を示す図である。
【図４】図３の状態の等価回路を示す図である。
【図５】熱輻射に対応した接触検出器の平面図である。
【図６】本実施形態に係る接触検出器の他の例を示す図である。
【図７】本実施形態に係る接触検出器を適用した真空断熱槽の外観図である。
【図８】図７の二重管における接触検出器の設置位置を示す図であり、（ａ）は、図７におけるＡ−Ａ断面図であり、（ｂ）は、（ａ）におけるＢ方向からみた二重管内部を示した図であり、（ｃ）は、（ａ）におけるＣ方向からみた二重管内部を示した図である。
【図９】本実施形態に係る接触検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】本実施形態に係る接触検出装置の接触検出方法の処理の流れを示す図である。
【図１１】図１０のステップＳ１０６において表示部に表示される接触位置表示画面の画面例を示す図である。
【図１２】本実施形態に係る真空断熱槽の側断面の模式図である。
【図１３】本実施形態に係る真空断熱槽の水平断面の模式図であり、（ａ）は、図１１のＡ−Ａ断面の模式図であり、（ｂ）は、Ｂ−Ｂ断面の模式図であり、（ｃ）は、Ｃ−Ｃ断面の模式図である。
【図１４】本実施形態に係る接触検出装置の構成を示すブロック図である。
【図１５】真空断熱槽の底面における接触位置表示画面の画面例を示す図である。
【図１６】図１２において液面計と、これに対向している薄膜抵抗群で構成される接触検出器の等価回路図である。
【図１７】液面計と、薄膜抵抗群とから構成される接触検出器における接触位置表示画面の例を示す図である。
【図１８】本実施形態における真空断熱槽の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，５，８  接触検出器
２，６，６Ａ〜６Ｄ，９，９Ａ〜９Ｔ，９Ｚ  薄膜抵抗群（抵抗群）
３，７，７Ａ〜７Ｄ，１０，１０Ａ〜１０Ｔ  短絡電極群
４，４ａ，４ｂ  構造材
２１，２１ａ〜２１ｄ  薄膜抵抗（抵抗）
２２，２２ａ〜２２ｂ，６２，６２ａ〜６２ｄ，９２，９２ａ〜９２ｄ  薄膜電極
２３，３２，６３，６５，７２，９３，１０２  絶縁フィルム
２４，２４Ａ〜２４Ｅ  ケーブル
３１，３１ａ〜３１ｄ，７１，７１ａ〜７１ｄ，１０１，１０１ａ〜１０１ｄ  薄膜短絡電極（電極）
６６    金属膜
３００，６００，９００  真空断熱槽
３０１  第１槽
３０２  第２槽
３０３  二重管
３０３ａ  外管
３０３ｂ  内管
３０４，６０７〜６１０  コネクタ
４００，４００ａ  接触検出装置
４０１  処理部
４０２  記憶部
４０３  入力部
４０４  表示部
４０５  抵抗測定部
４０６  接触判定部
４０７  位置特定部
４０８  配線切換手段
６０１，９０１  外槽
６０２，９０２  内槽
６１１  接合部
９０４  断熱材
【図１】
2008123918.tif 000003
【図２】
2008123918.tif 000004
【図３】
2008123918.tif 000005
【図４】
2008123918.tif 000006
【図５】
2008123918.tif 000007
【図６】
2008123918.tif 000008
【図７】
2008123918.tif 000009
【図８】
2008123918.tif 000010
【図９】
2008123918.tif 000011
【図１０】
2008123918.tif 000012
【図１１】
2008123918.tif 000013
【図１２】
2008123918.tif 000014
【図１３】
2008123918.tif 000015
【図１４】
2008123918.tif 000016
【図１５】
2008123918.tif 000017
【図１６】
2008123918.tif 000018
【図１７】
2008123918.tif 000019
【図１８】
2008123918.tif 000020