(57)【要約】【課題】温度変動によるクラウン変化を抑制可能な磁気ヘッドスライダ及びその製造方法を得る。【解決手段】記録再生素子を一体に組み込んだスライダ本体を備え、このスライダ本体は、記録媒体に対向する媒体対向面にクラウンが与えられ、この媒体対向面とは反対側のスライダ背面が長手方向両端部で樹脂接着剤を介してサスペンション上に接着された磁気ヘッドスライダにおいて、スライダ背面に、スライダ本体の熱膨張係数よりも熱膨張係数の小さい材料からなる熱変形抑制膜を全面的に形成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録再生素子を一体に組み込んだスライダ本体を備え、このスライダ本体は、記録媒体に対向する媒体対向面にクラウンが与えられ、この媒体対向面とは反対側のスライダ背面が長手方向両端部で樹脂接着剤を介してサスペンション上に接着された磁気ヘッドスライダにおいて、
前記スライダ背面には、該スライダ本体の熱膨張係数よりも熱膨張係数の小さい材料からなる熱変形抑制膜が全面的に形成されていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記熱変形抑制膜の熱膨張係数は、前記スライダ本体の熱膨張係数の１／１０以下である磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
請求項１記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記スライダ本体はＡｌＴｉＣにより形成され、前記熱変形抑制膜はＳｉＯ2により形成されている磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
基板上に多数の記録再生素子を薄膜形成した後、各記録再生素子毎に前記基板を切断して多数のスライダ本体を得る工程と、
このスライダ本体の媒体対向面にクラウンを与える工程と、
このクラウンを与えたスライダ本体に対して個別に、前記媒体対向面とは反対側の面に、該スライダ本体の熱膨張係数よりも熱膨張係数の小さい材料からなる熱変形抑制膜を形成する工程と、
この熱変形抑制膜をサスペンション側に向けた状態で前記スライダ本体の長手方向両端部を、樹脂接着剤を介して、前記サスペンションに接着する工程と、
を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の磁気ヘッドスライダの製造方法において、前記熱変形抑制膜は、前記スライダ本体の熱膨張係数の１／１０以下の熱膨張係数を有する材料で形成する磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項６】
請求項４または５記載の磁気ヘッドスライダの製造方法において、前記スライダ本体となる基板はＡｌＴｉＣ基板であり、前記熱変形抑制膜はＳｉＯ2により形成する磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項７】
請求項４ないし６のいずれか一項に記載の磁気ヘッドスライダの製造方法において、前記スライダ本体にクラウンを与えた後に、磁気ヘッドスライダの環境温度を変動させて前記スライダ本体の長手方向両端部の熱変形量を測定する工程を有し、この測定結果に基づき前記長手方向両端部の熱変形量を打ち消す作用をする膜厚で前記熱変形抑制膜を形成する磁気ヘッドスライダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クラウンを有する磁気ヘッドスライダ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置（ＨＤＤ）に用いられる浮上式の磁気ヘッドスライダは、記録媒体上を一定高さで浮上させて記録再生動作するもので、可撓性を有する金属薄板からなるサスペンションと、このサスペンションにより支持されたスライダ本体と、このスライダ本体の一端面上に薄膜形成した記録再生素子とを備えている。スライダ本体は、記録媒体に対向する媒体対向面とは反対側のスライダ背面が樹脂接着剤を介してサスペンション上に接着されており、このサスペンションとスライダ背面を接着する樹脂接着剤は、スライダ本体の長手方向の両端部に部分的に塗布されている。
【０００３】
スライダ本体には、記録媒体との摺動摩擦や吸着を低減する手段として、媒体対向面にクラウンが与えられている。このクラウンは、スライダ本体に媒体対向面を形成するためのＡＢＳ加工やスライダ背面への研磨加工により形成されることが多いが、特許文献１には、スライダ本体の動作温度よりも高い温度のもとでスライダ背面（平坦面）にスライダ本体の熱膨張率と異なる熱膨張率の薄膜を形成し、この薄膜とスライダ本体の熱膨張係数の違いを利用して媒体対向面にクラウン形状を与える技術が開示されている。
【特許文献１】特開平０８−１０６７４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、このようなクラウン形状を有する磁気ヘッドスライダでは、温度変動に応じてクラウンが変化し、記録媒体表面からの浮上量が安定しないことが問題であった。
【０００５】
本発明は、上述の従来課題に鑑みてなされたもので、温度変動によるクラウン変化を抑制可能な磁気ヘッドスライダ及びその製造方法を得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、温度変動によるクラウン変化の原因が、スライダ背面−サスペンション間に介在する樹脂接着剤の熱変形にあることを見出して完成されたものである。環境温度が上昇すると、スライダ本体の樹脂接着剤に接する長手方向両端部が該樹脂接着剤の熱膨張を受けて中央部よりも大きく膨張するため、クラウンは温度上昇前に比べて小さくなり、スライダ浮上量も小さくなる。一方、環境温度が下降すると、スライダ本体の樹脂接着剤の熱収縮を受けて長手方向両端部が中央部よりも大きく縮むため、クラウンは温度下降前に比べて大きくなり、スライダ浮上量も大きくなる。クラウン及びスライダ浮上量は、広い温度範囲で一定であることが望ましい。そこで、本発明は、樹脂接着剤の熱膨張によりスライダ本体の長手方向両端部が中央部よりも大きく膨張するときは該中央部を突出させる方向にスライダ本体を反らせ、スライダ本体の長手方向両端部が中央部よりも大きく収縮するときは該中央部を窪ませる方向にスライダ本体を反らせる作用をする熱変形抑制膜によって、温度変動によるクラウン変化を抑制することを提案する。
【０００７】
すなわち、本発明は、記録再生素子を一体に組み込んだスライダ本体を備え、このスライダ本体は、記録媒体に対向する媒体対向面にクラウンが与えられ、この媒体対向面とは反対側のスライダ背面が長手方向両端部で樹脂接着剤を介してサスペンション上に接着された磁気ヘッドスライダにおいて、スライダ背面には、該スライダ本体の熱膨張係数よりも熱膨張係数の小さい材料からなる熱変形抑制膜が全面的に形成されていることを特徴としている。熱変形抑制膜は、熱膨張係数の差からスライダ本体よりも変形しづらいため、温度上昇したときにスライダ本体が膨張しようとするのを抑えて該スライダ本体を長手方向中央部が突出する方向に反らせ、樹脂接着剤の熱膨張による長手方向両端部の変形を打ち消す作用をし、また、温度下降したときにスライダ本体が収縮しようとするのを抑えて該スライダ本体を長手方向中央部が窪む方向に反らせ、樹脂接着剤の熱収縮による長手方向両端部の変形を打ち消す作用をする。この熱変形抑制膜を備えることで、温度変動によるクラウン変化は抑制される。
【０００８】
具体的に、熱変形抑制膜の熱膨張係数は、スライダ本体の熱膨張係数の１／１０以下であることが好ましい。熱変形抑制膜とスライダ本体の熱膨張係数の差が大きいほど、樹脂接着剤の熱変形によるスライダ本体の長手方向両端部の変形を打ち消すのに必要な熱変形抑制膜の膜厚が小さくなる。スライダ本体はＡｌＴｉＣにより形成し、熱変形抑制膜はＳｉＯ2により形成することができる。
【０００９】
また本発明は、製造方法の態様によれば、基板上に多数の記録再生素子を薄膜形成した後、各記録再生素子毎に前記基板を切断して多数のスライダ本体を得る工程と、このスライダ本体の媒体対向面にクラウンを与える工程と、このクラウンを与えたスライダ本体に対して個別に、媒体対向面とは反対側の面に、該スライダ本体の熱膨張係数よりも熱膨張係数の小さい材料からなる熱変形抑制膜を形成する工程と、この熱変形抑制膜をサスペンション側に向けた状態でスライダ本体の長手方向両端部を、樹脂接着剤を介して、サスペンションに接着する工程とを有することを特徴としている。
【００１０】
上記製造方法において、熱変形抑制膜は、スライダ本体の熱膨張係数の１／１０以下の熱膨張係数を有する材料で形成することが好ましい。例えばスライダ本体となる基板をＡｌＴｉＣ基板とする場合、熱変形抑制膜はＳｉＯ2により形成することができる。
【００１１】
上記製造方法では、スライダ本体にクラウンを与えた後に、磁気ヘッドスライダの環境温度を変動させてスライダ本体の長手方向両端部の熱変形量を測定する工程を有することが好ましい。この場合には、測定結果に基づき、スライダ本体の長手方向両端部の熱変形量を打ち消す作用をする膜厚で熱変形抑制膜を形成することができ、温度変動によるクラウン変化を高い精度で抑制可能である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、スライダ背面に形成した熱変形抑制膜が、樹脂接着剤の熱膨張によりスライダ本体の長手方向両端部が中央部よりも大きく膨張するときは該中央部を突出させる方向にスライダ本体を反らせ、スライダ本体の長手方向両端部が中央部よりも大きく収縮するときは該中央部を窪ませる方向にスライダ本体を反らせることにより、樹脂接着剤の熱変形によるスライダ本体の長手方向両端部の変形分を打ち消す作用をするので、温度変動によるクラウン変化を抑制可能な磁気ヘッドスライダ及びその製造方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態による磁気ヘッドスライダの概略構成を示す断面図である。磁気ヘッドスライダ１は、記録媒体表面に発生する空気流によって該記録媒体上を一定高さで浮上して記録再生動作する浮上スライダであり、記録再生素子１０を一体に組み込んだスライダ本体１１を備えている。
【００１４】
スライダ本体１１は、セラミック材料（一般的にＡｌＴｉＣ）により略直方形状に形成されていて、記録媒体に対向する媒体対向面Ｆとは反対側のスライダ背面Ｂが樹脂接着剤１４によりサスペンション１２に接着されている。このスライダ本体１１には、ピコスライダ（長さ１．２５ｍｍ、幅１．００ｍｍ、厚さ０．３０ｍｍ、質量１．５ｇ）またはフェムトスライダ（長さ０．８５ｍｍ、幅０．７０ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍ、質量０．５ｇ）を用いることができる。サスペンション１２は、可撓性を有する金属薄板、一般的にステンレス薄板で形成されている。樹脂接着剤１４は、ウレタンアクリレート樹脂などを主体とする樹脂材料からなり、４００×１０-6［Ｋ-1］程度の熱膨張係数を有する。この樹脂接着剤１４は、スライダ背面Ｂの長手方向両端部に部分的に設けられている。
【００１５】
磁気ヘッドスライダ１（記録再生素子１０及びスライダ本体１１）の媒体対向面Ｆは、例えば研磨加工により、長手方向両端部よりも長手方向中央部が記録媒体側に突出する楕円形放物面形状とされていて、クラウン（この楕円形放物面形状の長手方向の最大高さ）δ１が長手方向中央部で与えられている。この媒体対向面Ｆには、記録再生素子１０の磁気抵抗効果素子とインダクティブ素子が露出し、反対側のスライダ背面Ｂには記録再生素子１０の保護膜が露出している。詳細には図示されていないが、スライダ背面Ｂには、浮上力を生じさせるためのレール加工等も施されている。
【００１６】
上記構成の磁気ヘッドスライダ１において、スライダ背面Ｂ（レール加工及び記録再生素子１０の保護膜を含む）には、スライダ本体１１の熱膨張係数よりも熱膨張係数の小さい材料、本実施形態ではＳｉＯ2からなる熱変形抑制膜１３が全面的に形成されている。熱変形抑制膜１３は、スライダ本体１１との熱膨張係数の差を利用して媒体対向面Ｆを凸方向または凹方向に反らせ、磁気ヘッドスライダ１の環境温度変動によるクラウン変化を抑制する機能を有している。この熱変形抑制膜１３は、図１では誇張して描いてあるが、実際には１〜５μｍ程度の膜厚で形成されている。
【００１７】
図２及び図３は、磁気ヘッドスライダ１の使用環境温度が変動したときの媒体対向面形状を示す模式断面図である。図２は磁気ヘッドスライダ１の使用環境温度が上昇した場合を、図３は磁気ヘッドスライダ１の使用環境温度が下降した場合を示している。図２及び図３において、（ａ）は温度変化前の媒体対向面形状を、（ｂ）は温度変化後の媒体対向面形状を、（ｃ）は熱変形抑制膜１３が形成されていない場合の温度変化後の媒体対向面形状をそれぞれ示している。
【００１８】
磁気ヘッドスライダ１の使用環境温度が上昇すると、スライダ本体１１（記録再生素子１０の保護膜も含む）、熱変形抑制膜１３及び樹脂接着剤１４はすべて膨張する。このとき、スライダ本体１１は、その長手方向両端部で樹脂接着剤１４に接しているため、この樹脂接着剤１４の熱膨張の影響を受ける長手方向両端部が長手方向中央部よりも大きく膨張する。一方、熱変形抑制膜１３は、スライダ本体１１に比べて熱膨張量が少ないため、温度上昇によりスライダ本体１１が膨張しようとするのを抑える方向に作用する。すると、スライダ本体１１と熱変形抑制膜１３の熱膨張量の違いから、スライダ本体１１の長手方向中央部を記録媒体側にさらに突出させる方向へ媒体対向面Ｆが反りかえる（図２（ｂ）参照）。これによってスライダ本体１１の長手方向中央部の高さが上がり、樹脂接着剤１４の熱膨張の影響により上がった長手方向両端部の高さ分は打ち消され（相殺され）、結果として、温度上昇前と同等または同等に近いクラウンδ１が得られる。なお、熱変形抑制膜１３の作用がない場合には、図２（ｃ）に破線で示されるようにスライダ本体１１の長手方向両端部が同方向中央部よりも大きく膨張し、温度上昇前のクラウンδ１よりも小さいクラウンδ２となってしまう。
【００１９】
逆に磁気ヘッドスライダ１の使用環境温度が下降すると、スライダ本体１１（記録再生素子１０の保護膜も含む）、熱変形抑制膜１３及び樹脂接着剤１４はすべて収縮する。このとき、スライダ本体１１は、その長手方向両端部で樹脂接着剤１４に接しているため、この樹脂接着剤１４の熱収縮の影響を受ける長手方向両端部が長手方向中央部よりも大きく縮む。一方、熱変形抑制膜１３は、スライダ本体１１に比べて収縮量が少ないため、温度下降によりスライダ本体１１が縮もうとするのを抑える方向に作用する。すると、スライダ本体１１と熱変形抑制膜１３の熱収縮量の違いから、スライダ本体１１の長手方向中央部が記録媒体から離れる方向へ媒体対向面Ｆが反りかえる（図３（ｂ）参照）。これによってスライダ本体１１の長手方向中央部の高さが下がり、樹脂接着剤１４の熱膨張の影響により下がった長手方向両端部の高さ分は打ち消され（相殺され）、結果として、温度下降前と同等または同等に近いクラウンδ１が得られる。なお、熱変形抑制膜１３の作用がない場合には、図３（ｃ）に破線で示されるようにスライダ本体１１の長手方向両端部が同方向中央部よりも大きく縮み、温度下降前のクラウンδ１よりも大きいクラウンδ３となってしまう。
【００２０】
このように磁気ヘッドスライダ１の使用環境温度が変動した場合には、スライダ本体１１と熱変形抑制膜１３の熱膨張量の違いから、自動的に、媒体対向面Ｆが長手方向中央部を記録媒体側へ突出させる方向または記録媒体から離間する方向に反り、温度変動によるクラウン変化が抑制される。
【００２１】
温度変動による媒体対向面Ｆの反り量は、スライダ本体１１のサイズ（縦寸法、横寸法、厚さ）、熱変形抑制膜１３の膜厚、及び、スライダ本体１１と熱変形抑制膜１３の熱膨張係数の差によって決定する。スライダ本体１１のサイズを一定とした場合、スライダ背面Ｂに形成する熱変形抑制膜１３が厚いほど、また、スライダ本体１１と熱変形抑制膜１３の熱膨張係数の差が大きいほど、温度変動による媒体対向面Ｆの反り量は大きくなる（図４〜図１１参照）。
【００２２】
表１に、スライダ背面Ｂに露出する記録再生素子１０の保護膜（Ａｌ2Ｏ3）、スライダ本体１１（ＡｌＴｉＣ）及び熱変形抑制膜１３（ＳｉＯ2）の熱膨張係数をまとめて示す。
【００２３】
［表１］
熱膨張係数［Ｋ-1］
Ａｌ2Ｏ3          ７．１×１０-6
ＡｌＴｉＣ        ７．１×１０-6
ＳｉＯ2           ０．６×１０-6
【００２４】
表１からも明らかなように、熱変形抑制膜１３の熱膨張係数は、スライダ本体１１及び記録再生素子１０の保護膜の熱膨張係数よりも小さく、それらの１／１０倍以下となっている。このようにスライダ本体１１と熱変形抑制膜１３の熱膨張係数の差を１／１０倍以下まで大きくすれば、クラウン変化を抑制するために必要な熱変形抑制膜１３の膜厚を薄くすることができ、上記磁気ヘッドスライダ１において熱変形抑制膜１３を１〜５μｍ程度の薄い膜厚で形成しても、温度変動によるクラウン変化を抑制する効果が得られる。
【００２５】
次に、磁気ヘッドスライダ１の製造方法について説明する。
【００２６】
先ず最初に、ＡｌＴｉＣ基板上に多数の記録再生素子を薄膜形成し、各記録再生素子毎に基板を切断して多数のスライダ本体１１を得る。スライダ本体１１は、ピコスライダまたはフェムトスライダとする。
【００２７】
次に、各スライダ本体１１の媒体対向面Ｆまたはスライダ背面Ｂに研磨加工を施し、媒体対向面Ｆにクラウンを与える。研磨加工により媒体対向面にクラウンを与える方法は従来公知である。
【００２８】
続いて、クラウンを形成した後の多数のスライダ本体１１の中から任意に１つまたは若干のスライダ本体１１を選択し、選択した各スライダ本体１１の長手方向両端部を樹脂接着剤１４によりサスペンション１２にそれぞれ接着固定し、試験用の磁気ヘッドスライダを形成する。試験用の磁気ヘッドスライダを形成したら、該磁気ヘッドスライダの使用環境温度を常温から高温に、または常温から低温に変動させて、この温度変動によるクラウン変化を測定する。すなわち、媒体対向面Ｆの長手方向両端部の熱変形量を測定する。本実施形態では常温２５℃、高温７０℃、低温０℃としている。そして、測定結果に基づいて、スライダ本体１１の長手方向両端部の熱変形量を打ち消すために必要なスライダ本体１１の長手方向中央部の反り量と、この反り量を与える熱変形抑制膜の膜厚とを算出する。
【００２９】
そして、クラウンを形成した多数のスライダ本体１１に対して個別に、媒体対向面Ｆとは反対側のスライダ背面Ｂに、スライダ本体１１の熱膨張係数よりも熱膨張係数が小さい材料からなる熱変形抑制膜１３を上記算出した膜厚で形成する。
【００３０】
熱変形抑制膜１３の形成後は、各スライダ本体１１をサスペンション１２に接着固定する。このとき、スライダ本体１１は、熱変形抑制膜１３をサスペンション１２側に対向させた状態で、長手方向両端部に塗布した樹脂接着剤１４を介してサスペンション１２に接着する。
【００３１】
以上により、図１の磁気ヘッドスライダ１が完成する。
【００３２】
図４〜図７は、上述の本実施形態において、スライダ本体１１をピコスライダとした場合の熱変形抑制膜１３とクラウンとの関係を示すグラフである。図４は、環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜１３の膜厚（１μｍ、２μｍ、３μｍ、４μｍ、５μｍ）毎に示すグラフであり、図５は環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。また図６は、環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜１３の膜厚（１μｍ、２μｍ、３μｍ、４μｍ、５μｍ）毎に示すグラフであり、図７は環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。クラウン変化量は、温度変動前のクラウンを基準（０ｎｍ）とする。
【００３３】
環境温度が上昇した場合には、図４及び図５から明らかなように、スライダ本体１１の長手方向中央部が同方向両端部よりも記録媒体に近づく方向に大きく反ること、及び、熱変形抑制膜１３の膜厚が大きいものほどスライダ本体１１の長手方向中央部の反り量が大きくなり、クラウンも大きくなることが確認できる。一方、環境温度が下降した場合には、図６及び図７から明らかなように、スライダ本体１１の長手方向中央部が同方向両端部よりも記録媒体から離れる方向に大きく反ること、及び、熱変形抑制膜１３の膜厚が大きいものほどスライダ本体１１の長手方向中央部の反り量が大きくなり、クラウンは小さくなることが確認できる。
【００３４】
図８〜図１１は、上述の本実施形態において、スライダ本体１１をフェムトスライダとした場合の熱変形抑制膜１３とクラウンとの関係を示すグラフである。図８は、環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜１３の膜厚（１μｍ、２μｍ、３μｍ、４μｍ、５μｍ）毎に示すグラフであり、図９は環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。また図１０は、環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜１３の膜厚（１μｍ、２μｍ、３μｍ、４μｍ、５μｍ）毎に示すグラフであり、図１１は環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。クラウン変化量は、温度変動前のクラウンを基準（０ｎｍ）とする。
【００３５】
環境温度が上昇した場合には、図８及び図９から明らかなように、スライダ本体１１の長手方向中央部が同方向両端部よりも記録媒体に近づく方向に大きく反ること、及び、熱変形抑制膜１３の膜厚が大きいものほどスライダ本体１１の長手方向中央部の反り量が大きくなり、クラウンも大きくなることが確認できる。一方、環境温度が下降した場合には、図１０及び図１１から明らかなように、スライダ本体１１の長手方向中央部が同方向両端部よりも記録媒体から離れる方向に大きく反ること、及び、熱変形抑制膜１３の膜厚が大きいものほどスライダ本体１１の長手方向中央部の反り量が大きくなり、クラウンは小さくなることが確認できる。
【００３６】
以上の図４〜図７と図８〜図１１を比較して明らかなように、スライダ本体１１がピコスライダであってもフェムトスライダであっても、熱変形抑制膜１３の作用によって、温度変動によるクラウン変化を同様に抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態による磁気ヘッドスライダの概略構成を示す断面図である。
【図２】同磁気ヘッドスライダの使用環境温度が上昇したときの媒体対向面形状を示す模式断面図であり、（ａ）温度上昇前、（ｂ）温度上昇後、（ｃ）熱変形抑制膜がない場合の温度上昇後をそれぞれ示している。
【図３】同磁気ヘッドスライダの使用環境温度が下降したときの媒体対向面形状を示す模式断面図であり、（ａ）温度下降前、（ｂ）温度下降後、（ｃ）熱変形抑制膜がない場合の温度下降後をそれぞれ示している。
【図４】ピコスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜の膜厚毎に示すグラフである。
【図５】ピコスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。
【図６】ピコスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜の膜厚毎に示すグラフである。
【図７】ピコスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。
【図８】フェムトスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜の膜厚毎に示すグラフである。
【図９】フェムトスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から高温７０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。
【図１０】フェムトスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときの媒体対向面形状を熱変形抑制膜の膜厚毎に示すグラフである。
【図１１】フェムトスライダにおいて、環境温度を常温２５℃から低温０℃に変動させたときのクラウン変化量と熱変形抑制膜１３の膜厚との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３８】
１  磁気ヘッドスライダ
１０  記録再生素子
１１  スライダ本体
１２  サスペンション
１３  熱変形抑制膜
１４  樹脂接着剤
Ｂ  スライダ背面
Ｆ  媒体対向面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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