(57)【要約】      （修正有）【課題】平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、平板状基材を、ベース基材の一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置で、搬送によりベース基材面へ傷が発生することを防止できる、平板状基材の搬送装置を提供する。【解決手段】複数のシャフトと、シャフトに固定されて、シャフトが回転することにより回転し、ベース基材の他方の面にて平板状基材を支持する複数の支持部とを備え、且つ、支持部は、シャフトに取り付けるためのローラ状の台座部と、台座部に固定され、その外周部に、全外周にわたり、外周部からシャフトに直交する方向に突出するように配された、複数の線状部材からなるブラシ状部とを、有するものであり、支持部は、ブラシ状部にて平板状基材を支持し、その回転にて平板状基材を搬送するものである。【選択図】図１
2008273687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、該平板状基材を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置であって、複数のシャフトと、シャフトに固定されて、シャフトが回転することにより回転し、ベース基材の他方の面にて平板状基材を支持する複数の支持部とを備え、且つ、前記支持部は、シャフトに取り付けるためのローラ状の台座部と、該台座部に固定され、その外周部に、全外周にわたり、該外周部からシャフトに直交する方向に突出するように配された、複数の線状部材からなるブラシ状部とを、有するものであり、前記支持部は、ブラシ状部にて平板状基材を支持し、その回転にて平板状基材を搬送するものであることを特徴とする平板状基材の搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の平板状基材の搬送装置であって、  搬送による前記平板状基材の蛇行を防止するための搬送ガイドを設置していることを特徴する平板状基材の搬送装置。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載の平板状基材の搬送装置であって、前記ブラシ状部は、前記台座部の外周部の全周にわたり、線状部材を束として台座部に植毛した状態で、複数、配設されていることを特徴とする平板状基材の搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１に記載の平板状基材の搬送装置であって、前記シャフトはステンレス金属棒からなり、前記台座部は塩化ビニルからなり、前記ブラシ状部の線状部材は、脂肪族骨格を含むポリアミドからなることを特徴とする平板状基材の搬送装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の平板状基材の搬送装置であって、前記平板状基材がディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいはその中間処理部材であることを特徴とする平板状基材の搬送装置。
【請求項６】
請求項５に記載の平板状基材の搬送装置であって、切断ラインおよびまたは該切断ラインに続く製造ラインに用いられることを特徴とする平板状基材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、該平板状基材を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置に関し、特に、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいはその中間処理部材を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいは該カラーフィルタ形成基板を作製するための中間処理部材等の平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した板状基材を搬送する方法の１つとして、ローラを用いたローラ搬送方式がある。  この方式は、図３に示すように、複数のシャフト２０に、それぞれ、１以上のローラ３７を固定し、該複数のシャフト２０を回転することにより、ローラ３７を回転させて、ローラ３７の上側に接して、搬送対象の板状基材８０を搬送するものである。（特開２００４−３３８８９３号公報参照）
そして、搬送する板状基材８０の裏面に傷がつかないように、ローラ３７の搬送する板状基材８０と接触する部位は、ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等の樹脂部材が用いられている。
しかし、このような、従来のローラ搬送方式の搬送装置においては、搬送する板状基材８０の裏面に傷がつかないように、ローラ３７の板状基材８０と接触する部位の樹脂素材を選択するも、接触する部位の異物の付着は防止することができず、特にガラスのような硬い異物の付着により、板状基材８０の裏面に傷が付くことを無くすことはできなかった。
【特許文献１】特開２００４−３３８８９３号公報
【０００３】
一方、近年では、液晶表示素子への、より高品位化要求は強く、これに伴い、液晶表示素子用のカラーフィルタ形成基板においても、表面品質の向上、特に異物との接触による基板損傷の極小化が必須となっている。
そして、搬送用のローラに付着し、埋め込まれた、硬い異物が、ガラス等の板状基材のベース基板の裏面に接触し、該裏面に発生する傷も大きな問題となってきた。
そしてまた、傷発生の原因となるローラに付着した異物を除去しようとすると、多大な時間が必要で、これが大きな生産ロスとなっていた。
また、作製する製品の品種により、有効エリアが異なることがあり、図４に示すように、有効エリア８１に合わせて、該有効エリア８１と接触しないようにローラ３７を配置する方法もあるが、この方法の場合、有効エリア８１が異なる毎に、搬送用のローラ３７の位置を変更する必要があり、これも、生産ロスとなっていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のように、近年、液晶表示素子への高品位化要求は強く、これに伴い、液晶表示素子用のカラーフィルタ形成基板において、特に、異物との接触による基板面の損傷の極小化が求められており、その作製工程におけるローラ搬送において、ローラに付着したガラス等の異物がその原因であるため、ローラに付着した異物の除去を行う第１の対応、あるいは、製品の有効エリアに合わせて搬送用ローラの位置を変更する第２の対応が採られていた。
しかし、これらの対応は、生産性の面で大きなロスが必須で、ローラに付着した異物による基板面への傷を十分に除去することはできず、この対応が求められていた。
本発明はこれに対応するもので、平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、該平板状基材を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置で、搬送によりベース基材面へ傷が発生することを防止でき、且つ、従来のように、生産性の面でロスがほとんどなく、あるいは、少なくできる、平板状基材の搬送装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の平板状基材の搬送装置は、平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、該平板状基材を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置であって、複数のシャフトと、シャフトに固定されて、シャフトが回転することにより回転し、ベース基材の他方の面にて平板状基材を支持する複数の支持部とを備え、且つ、前記支持部は、シャフトに取り付けるためのローラ状の台座部と、該台座部に固定され、その外周部に、全外周にわたり、該外周部からシャフトに直交する方向に突出するように配された、複数の線状部材からなるブラシ状部とを、有するものであり、前記支持部は、ブラシ状部にて平板状基材を支持し、その回転にて平板状基材を搬送するものであることを特徴とするものである。
そして、上記の平板状基材の搬送装置であって、搬送による前記平板状基材の蛇行を防止するための搬送ガイドを設置していることを特徴するものである。
そしてまた、上記いずれかの平板状基材の搬送装置であって、前記ブラシ状部は、前記台座部の外周部の全周にわたり、線状部材を束として台座部に植毛した状態で、複数、配設されていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかの平板状基材の搬送装置であって、前記シャフトはステンレス金属棒からなり、前記台座部は塩化ビニルからなり、前記ブラシ状部の線状部材は脂肪族骨格を含むポリアミドからなることを特徴とするのである。
尚、一般に脂肪族骨格を含むポリアミドをナイロン（Nylon ）と総称し、これは初めて合成されたポリアミドである６６ナイロン（ナイロン−６６とも言う）のデュポン社の商標に由来する。
特に、ヘキサメチレンジアミン（炭素数６）とアジピン酸（炭素数６）からの６６ナイロン（商品名）は、耐衝撃性、耐薬品性、耐油性、絶縁性、低温特性に優れ、表面硬度が大きく、また摩擦係数が小さく、自己潤滑性および自己消火性がある。
また、上記いずれかの平板状基材の搬送装置であって、前記平板状基材がディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいはその中間処理部材であることを特徴とするものであり、切断ラインおよびまたは該切断ラインに続く製造ラインに用いられることを特徴とするものである。
尚、ここで、中間処理部材とは、カラーフィルタ形成基板を作製するための処理途中のものや未処理のベース基材自体も含む。
【０００６】
（作用）
本発明の平板状基材の搬送装置は、このような構成としていることにより、平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、該平板状基材を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置で、搬送によりベース基材面へ傷が発生することを防止でき、且つ、従来のように、生産性の面でロスがほとんどなく、あるいは、少なくできる、平板状基材の搬送装置の提供を可能としている。
具体的には、複数のシャフトと、シャフトに固定されて、シャフトが回転することにより回転し、ベース基材の他方の面にて平板状基材を支持する複数の支持部とを備え、且つ、前記支持部は、シャフトに取り付けるためのローラ状の台座部と、該台座部に固定され、その外周部に、全外周にわたり、該外周部からシャフトに直交する方向に突出するように配された、複数の線状部材からなるブラシ状部とを、有するものであり、前記支持部は、ブラシ状部にて平板状基材を支持し、その回転にて平板状基材を搬送するものであることにより、これを達成している。
詳しくは、支持部は、ブラシ状部にて平板状基材を支持し、その回転にて平板状基材を搬送するものであることにより、ガラス等の異物が搬送装置の支持部に付着して固着しずらく、また、ブラシ状部の線状部材は、回転により、平板状基材のベース基板面と接触して変形し、離れて元に戻るという動作を行うため、この動作により異物が支持部に付着してもとれ易くしている。
結果として、支持部へのガラス等の異物の付着をほとんどなくし、搬送による平板状基材の傷発生を防止することを可能としている。
【０００７】
また、搬送による平板状基材の蛇行を防止するための搬送ガイドを設置している、請求項２の発明の形態とすることにより、確実に平板状基材の蛇行を防止できるものとしている。
【０００８】
また、ブラシ状部としては、台座部の外周部の全周にわたり、線状部材を束として台座部に植毛した状態で、複数、配設されている形態が挙げられる。
この形態の場合、線状部材の各１本を細くでき、且つ、平板状基材を支持し、支持部の回転により、平板状基材を搬送できるものとしている。
【０００９】
また、更に具体的には、前記シャフトはステンレス金属棒からなり、前記台座部は塩化ビニルからなり、前記ブラシ状部の線状部材は脂肪族骨格を含むポリアミドからなる形態が、実用レベルとして挙げられる。
特に、６６ナイロン（商品名）は、好ましい。
【００１０】
また、平板状基材が、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいはその中間処理部材である場合には、有効である。
特に、切断ラインおよびまたは該切断ラインに続く製造ラインに用いられる場合には、一層有効である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、上記のように、平板状のベース基材の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材として、該平板状基材を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置で、搬送によりベース基材面へ傷が発生することを防止でき、且つ、従来のように、生産性の面でロスがほとんどなく、あるいは、少なくできる、平板状基材の搬送装置の提供を可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明の平板状基材の搬送装置の実施の形態の１例の特徴部の概略図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ３の拡大図で、図２（ａ）は図１のＡ１−Ａ２における断面図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ１方向から見た線状部材を束にして植毛するための台座部の穴の配置を示した図で、図５は線状部材の束の植毛方法の１例を示した図である。  尚、図１（ａ）では、シャフトを制御して回転駆動する駆動部等を省略して、特徴部のみを示しており、また、図１においては、平板状基材を、便宜上、透明として示している。
また、図１（ａ）中の太矢印は搬送方向を示している。
図１〜図５中、１０、１０Ａ、１０Ｂは平板状基材の搬送装置、２０はシャフト、３０は支持部、３０ａ、３０ｂは（支持の）分割部、３１は台座部、３２はブラシ状部、３２Ａは線状部材の束、３２Ａａは線状部材、３２Ｂは平板、３３はネジ、３４は（シャフトへの）固定用穴部、３５は（植毛用の）穴、３７はローラ、４０は支持基材、４５はシャフト保持部、５１、５２はガイドレール、８０は平板状基材、８１は有効エリアである。      
【００１３】
本発明の平板状基材の搬送装置の１例を図１に基づいて説明する。
本例の平板状基材の搬送装置１０は、図１（ａ）に示すように、平板状のベース基材（図示していない）の一方の面に１以上の機能層を配した製品あるいは該製品を作製するための中間処理部材を搬送対象の平板状基材８０として、該平板状基材８０を、ベース基材の前記一方の面側を上にして、水平搬送する搬送装置で、複数のシャフト２０と、シャフト２０に固定されてシャフト２０が回転することにより回転し、平板状基材８０のベース基材の他方の面にて平板状基材８０を支持する複数の支持部３０とを備えている。
ここでは、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいはその中間処理部材を平板状基材８０としており、ベース基材をガラス基板とし、機能層を着色層、ＯＣ層、ＩＴＯ膜等として、平板状基材８０作製のための切断ラインおよびまたは該切断ラインに続く製造ラインに用いられる。
支持部３０は、シャフト２０に取り付けるためのローラ状の台座部３１と、該台座部３１に固定され、その外周部に、全外周にわたり、該外周部からシャフト２０の軸方向に直交する方向に突出するように配された、複数の線状部材からなるブラシ状部３２とを有し、ブラシ状部３２にて平板状基材８０を支持し、その回転にて平板状基材８０を搬送するものである。
そして、搬送による平板状基材８０の蛇行を防止するための搬送ガイド５１、５２を設置している。
このように、支持部３０は、ブラシ状部３２にて平板状基材８０を支持し、その回転にて平板状基材８０を搬送するものであることにより、ガラス等の異物が搬送装置の支持部３０に付着して固着しずらく、また、ブラシ状部３２の線状部材３２Ａａは、回転により、平板状基材のベース基板面と接触して変形し、離れて元に戻るという動作を行うため、この動作により異物が支持部３０に付着してもとれ易くしている。
図１（ｂ）に図１（ａ）のＡ３部の拡大図を示すように、ブラシ状部３２は、細い線状部材３２Ａａを束ねた線状部材の束を単位として台座部３１に植毛している。
また、搬送ガイド５１、５２を設置していることにより、確実に平板状基材の蛇行を防止できるものとしている。
このように、本例の平板状基材の搬送装置１０は、支持部３０へのガラス等の異物の付着をほとんどなくすことができ、これにより、搬送による平板状基材８０のベース基板の下側の傷発生を防止できるものとし、また、確実に平板状基材の蛇行を防止できるものとしている。
これによりまた、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板あるいはその中間処理部材を平板状基材８０とする場合には、図１（ａ）の太点線部にて示すように、１枚に複数、面付けしているのが普通であるが、本例の平板状基材の搬送装置１０は、面付けの有効エリア内にも支持部３０を配することができ、品種に対応した有効エリアのサイズや面付け状態に左右されないため、有効エリアのサイズや面付け状態に対応して支持部の位置を変える必要がなく、生産性の面でも優れている。
【００１４】
支持部３０は、図２（ａ）に示すように、本例では、分割部３０ａと分割部３０ｂとをネジ３３にてつなぎ固定し全体を形成している。
尚、ネジ３３としては、六角ネジ等の繰り返して、分離、つなぎが、容易にできるものが好ましいが、ネジ以外のものを用いた分離、つなぎ方式でも良い。
そして、台座部３１の外周部の全周にわたり、線状部材を束として（図１（ｂ）参照）台座部３１に植毛した状態で、複数、配設している。
尚、固定用穴３４は、シャフト２０へ固定するための穴である。
台座部３１は、ここでは、塩化ビニルからなるが、台座部３１の材質としては、台座部として機能が果せて、その作製が容易であれば塩化ビニルに限定はされない。
勿論、台座としての機能性を挙げることができれば、台座を複数の材質を用いた複合基材としても良い。
図２（ｂ）に示す穴３５は、線状部材を束として植毛するための穴で、台座部３１の外周部の全周にわたり、均一に、例えば、千鳥状に配置している。
線状部材を束３２Ａの外側先端は、図２（ａ）に示す一点鎖線のように、ほぼ同一円状に揃えてある。
尚、線状部材の束の植毛方式としては、例えば、図５に示すように、穴３５に平板３２Ｂを打ち込み、平板３２Ｂと穴３５の間隙に線状部材の束３２Ａを固定するように植毛方法（平線植毛とも言う）が挙げられる。
【００１５】
ブラシ状部３２の線状部材３２Ａａとして、ここでは、６６ナイロン（商品名）を用いており、例えば、０．１ｍｍΦ程度の太さの直線状のものが用いられる。
図２（ｂ）に示す穴３５としては、例えば、穴径２ｍｍ、深さ４ｍｍとしている。
また、シャフト２０としては、剛性のあるＳＵＳ３０４等の棒状のステンレス材が好ましく用いられるが、これに限定はされない。
シャフトの駆動は図示されていなし駆動部にて行われており、複数のシャフトの回転がそろうように、例えばタイミングベルトやギア等を用いて、工夫されている。
【００１６】
尚、上記実施の形態例は１例で、本発明はこれらに限定されるものではない。
平板状基材としては、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板やその中間処理部材に限定されない。
例えば、カラーフィルタ形成基板以外の、プラズマディスプレイパネル用の平板状基材や、大サイズフォトマスク用の平板状基材等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１（ａ）は本発明の平板状基材の搬送装置の実施の形態の１例の特徴部の概略図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ３の拡大図である。
【図２】図２（ａ）は図１のＡ１−Ａ２における断面図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ１方向から見た線状部材を束にして植毛するための台座部の穴の配置を示したものである。
【図３】従来の搬送装置を示した概略図である。
【図４】別の従来の搬送装置を示した概略図である。
【図５】線状部材の束の植毛方法の１例を示した図である。
【符号の説明】
【００１８】
１０、１０Ａ、１０Ｂ    平板状基材の搬送装置
２０                シャフト
３０                支持部
３０ａ、３０ｂ    （支持の）分割部
３１                台座部
３２                ブラシ状部
３２Ａ              線状部材の束
３２Ａａ            線状部材
３２Ｂ              平板
３３                ネジ
３４              （シャフトへの）固定用穴部
３５              （植毛用の）穴
３７                ローラ
４０                支持基材
４５                シャフト保持部
５１、５２          ガイドレール
８０                平板状基材
８１                有効エリア
【図１】
2008273687.tif 000003
【図２】
2008273687.tif 000004
【図３】
2008273687.tif 000005
【図４】
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【図５】
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