(57)【要約】【課題】ピンカードの脱着作業が容易な半導体試験装置を実現する。【解決手段】内部にピンカードが収納され上部にインターフェース装置が設けられているテストヘッドを含む半導体試験装置において、前記ピンカードの挿抜を前記テストヘッドの側面から行えるようにしたことを特徴とする。【選択図】図１
2008209145.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にピンカードが収納され上部にインターフェース装置が設けられているテストヘッドを含む半導体試験装置において、
前記ピンカードの挿抜を前記テストヘッドの側面から行えるようにしたこと
を特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内に鉛直方向に配置されたこと
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内の中央部に鉛直方向に配置されたこと
を特徴とする請求項２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記電気的接続切離し手段は、電気コネクタが使用されたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の半導体試験装置。
【請求項６】
前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続が切り離された後に前記インターフェース装置を前記テストヘッドの上方に保持する保持装置
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れかに記載の半導体試験装置。
【請求項７】
前記保持装置は、ピストン・シリンダー装置が使用されたこと
を特徴とする請求項６記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピンカードの脱着作業が容易な半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１３７０５８号公報
【特許文献２】特開２００３−２８３１７０号公報
【０００４】
図４は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
図において、１はテストヘッド、２はテストヘッド１に設けられたバックボード、３はテストヘッド１に設けられバックボード２に接続されるピンカードである。
４はテストヘッドの筐体１の上面に設けられたインターフェース装置である。
ピンカード３は、図５に示す如く、インターフェース装置４をテストヘッド１の上面から取り外して、テストヘッド１の上面から挿入される。
【０００５】
５はピンカード３とインターフェース装置４とを接続するピンカード・インターフェース接続装置で、この場合は、ピンカード３に設けられたピンカードコネクタ５１とインターフェース装置４に設けられたインターフェースコネクタ５２とよりなる。
【０００６】
ピンカード３とインターフェース装置４とは、図５に示す如く、インターフェース装置４を上方に取り外すことによって、ピンカードコネクタ５１とインターフェースコネクタ５２とが、分離されることにより電気的に切り離される。
【０００７】
以上の構成において、テストヘッド１に、ピンカード３を挿入する際には、インターフェース装置４を取り外し、インターフェース装置４と同方向から挿入し、テストヘッド１内のバックボード２に接続される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような装置においては、以下の間題点がある。
ピンカード３は、インターフェース装置４と同方向からテストヘッド１に挿入する必要がある。
【０００９】
このとき、インターフェース装置４は重量物であるため、安全作業のためにも、完全にテストヘッド１の上部空間から外す必要がある。
また、インターフェース装置４は、床面積がテストヘッド１と同程度であるために、取り外す手間と置き場所を必要とする。
【００１０】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、テストヘッド内のピンカードを、インターフェース装置を完全に取り外すことなく交換できる半導体試験装置を提供することにある。
即ち、ピンカードの脱着作業が容易な半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の半導体試験装置においては、
内部にピンカードが収納され上部にインターフェース装置が設けられているテストヘッドを含む半導体試験装置において、前記ピンカードの挿抜を前記テストヘッドの側面から行えるようにしたことを特徴とする。
【００１２】
本発明の請求項２の半導体試験装置においては、請求項１記載の半導体試験装置において、
前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内に鉛直方向に配置されたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の請求項３の半導体試験装置においては、請求項２記載の半導体試験装置において、
前記ピンカードが取り付けられるバックボードは前記テストヘッド内の中央部に鉛直方向に配置されたことを特徴とする。
【００１４】
本発明の請求項４の半導体試験装置においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段を具備したことを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項５の半導体試験装置においては、請求項１乃至請求項４の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記電気的接続切離し手段は、電気コネクタが使用されたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項６の半導体試験装置においては、請求項１乃至請求項５の何れかに記載の半導体試験装置において、
前記ピンカードと前記インターフェース装置との電気的接続が切り離された後に前記インターフェース装置を前記テストヘッドの上方に保持する保持装置を具備したことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項７の半導体試験装置においては、請求項７記載の半導体試験装置において、
前記保持装置は、ピストン・シリンダー装置が使用されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
ピンカードは、テストヘッドの側方から水平方向に挿入配置されたので、重量物であるインターフェース装置をテストヘッド上部空間から移動する必要がないため、安全かつ別に置き場所を必要としない半導体試験装置が得られる。
【００１９】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
ピンカードが取り付けられるバックボードは、テストヘッド内に鉛直方向に配置されたので、ピンカードはテストヘッドに水平方向に挿入し、引続き水平方向に挿入して、バックボードに挿入すれば良く、バックボード挿入の手応えが確認できて、ピンカードとバックボードの接続が容易に確認できる半導体試験装置が得られる。
【００２０】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
ピンカードが取り付けられるバックボードは、テストヘッド内の中央部に鉛直方向に配置されたので、ピンカードがテストヘッド両側から挿入できてピンカードの挿入が容易な半導体試験装置が得られる。
【００２１】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
ピンカードとインターフェース装置との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段が設けられたので、ピンカードのテストヘッドからの取付け取外し時に電気的に安全が確保できる半導体試験装置が得られる。
【００２２】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
電気的接続切離し手段は、電気コネクタが使用されたので、電気コネクタ接続は安価に構成でき、安価な半導体試験装置が得られる。
【００２３】
本発明の請求項６によれば、次のような効果がある。
ピンカードとインターフェース装置との電気的接続が切り離された後に前記インターフェース装置をテストヘッドの上方に保持する保持装置が設けられたので、電気的安全が確保されると共に、インターフェース装置を取り外す手間と置き場所を必要としない半導体試験装置が得られる。
【００２４】
本発明の請求項７によれば、次のような効果がある。
保持装置は、ピストン・シリンダー装置が使用されたので、簡潔な構成が得られ、安価な半導体試験装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の側面図、図３は図１の動作説明図である。
図において、図４と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図４との相違部分のみ説明する。
【００２６】
図１において、ピンカード１１は、それぞれテストヘッド１２に水平方向から挿入配置されている。
ピンカード１１が取り付けられるバックボード１３は、テストヘッド１２内に鉛直方向に配置されている。
この場合は、ピンカード１１が取り付けられるバックボード１３は、テストヘッド１２内の中央部に鉛直方向に配置されている。
【００２７】
具体的には、ピンカード１１は、例えば、パソコンのスロット形状のように、バックボード１３に対して垂直、かつ各ピンカード１１が平行になるよう配置する。
電気的接続切離し手段１４は、ピンカード１１とインターフェース装置４との電気的接続を切り離す。
この場合は、電気的接続切離し手段１４は、電気コネクタが使用されている。
【００２８】
具体的には、ピンカード１１に設けられたピンカードコネクタ１４１とインターフェース装置４に設けられたインターフェースコネクタ１４２とよりなる。
保持装置１５は、ピンカード１１とインターフェース装置４との電気的接続が切り離された後に、インターフェース装置４をテストヘッド１２の上方に保持する。
具体的には、この場合は、保持装置１５は、空気圧のピストン・シリンダー装置が使用されている。
【００２９】
以上の構成において、テストヘッド１２内のバックボード１３の位置を、中央垂直方向に配置し、ピンカード１１をテストヘッド１２に対し、水平方向から挿入する。
電気的接続切離し手段１４は、ピンカードコネクタ１４１とインターフェースコネクタ１４２とを切り離すだけとする。
図３に示す如く、保持装置１５により、インターフェース装置４はテストヘッド１２の上方にテストヘッド１２よりわずか離して配置したままで、ピンカード１１の交換を行う。
【００３０】
この結果、ピンカード１１は、テストヘッド１２の側方から水平方向に挿入配置されたので、重量物であるインターフェース装置４をテストヘッド１２の上部空間から移動する必要がないため、安全且つ別に置き場所を必要としない半導体試験装置が得られる。
【００３１】
ピンカード１１が取り付けられるバックボード１３は、テストヘッド１２内に鉛直方向に配置されたので、ピンカード１１はテストヘッド１２に水平方向に挿入し、引続き水平方向に挿入して、バックボード１３に挿入すれば良く、バックボード１３への挿入の手応えが確認できて、ピンカード１１とバックボード１３の接続が容易に確認できる半導体試験装置が得られる。
【００３２】
ピンカード１１が取り付けられるバックボード１３は、テストヘッド１２内の中央部に鉛直方向に配置されたので、ピンカード１１がテストヘッド１２の両側から挿入できてピンカードの挿入が容易な半導体試験装置が得られる。
【００３３】
ピンカード１１とインターフェース装置４との電気的接続を切り離す電気的接続切離し手段１４が設けられたので、ピンカード１１のテストヘッド１２からの取付け取外し時に電気的に安全が確保できる半導体試験装置が得られる。
【００３４】
電気的接続切離し手段１４は、電気コネクタ１４１、１４２が使用されたので、電気コネクタ接続は安価に構成でき、安価な半導体試験装置が得られる。
【００３５】
ピンカード１１とインターフェース装置４との電気的接続が切り離された後に、インターフェース装置４をテストヘッド１２の上方に保持する保持装置１５が設けられたので、電気的安全が確保されると共に、インターフェース装置４を取り外す手間と置き場所を必要としない半導体試験装置が得られる。
【００３６】
保持装置１５は、ピストン・シリンダー装置が使用されたので、簡潔な構成が得られ、安価な半導体試験装置が得られる。
【００３７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図５】図４の動作説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１      テストヘッド
２      バックボード
３      ピンカード
４      インターフェース装置
５      ピンカード・インターフェース接続装置
５１    ピンカードコネクタ
５２    インターフェースコネクタ
１１    ピンカード
１２    テストヘッド
１３    バックボード
１４    電気的接続切離し手段
１４１  ピンカードコネクタ
１４２  インターフェースコネクタ
１５    保持装置
【図１】
2008209145.tif 000003
【図２】
2008209145.tif 000004
【図３】
2008209145.tif 000005
【図４】
2008209145.tif 000006
【図５】
2008209145.tif 000007