(57)【要約】【課題】搬送方向に直交する方向に沿ってむらなく均一な圧力でシート状物に液体を噴射することができる噴射装置を提供する。【解決手段】噴射装置２０は、搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物Ｗに液体を噴射する装置である。噴射装置は、搬送方向に直交する方向に沿い等間隔Ｐを空けて一直線上に並べられた複数のノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆを有するノズル列２１，２２を備えている。隣り合うノズル本体の配置間隔は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合における、一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域の前記搬送方向に直交する方向に沿った長さの半分以下である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、
搬送方向に直交する方向に沿い等間隔を空けて一直線上に並べられた複数のノズル本体を有するノズル列を備え、
隣り合うノズル本体の配置間隔は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合における、一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域の前記搬送方向に直交する方向に沿った長さの半分以下である
ことを特徴とする噴射装置。
【請求項２】
一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合に、円形状を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の噴射装置。
【請求項３】
搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、
搬送方向に直交する方向に沿い等間隔を空けて一直線上に並べられた複数のノズル本体を有するノズル列を備え、
一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合に、円形状を有する
ことを特徴とする噴射装置。
【請求項４】
前記搬送方向に沿って離間して配置された少なくとも二つの前記ノズル列を備え、
搬送方向上流側のノズル列から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域は、搬送方向下流側のノズル列から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域と、前記搬送方向に直交する方向における任意の位置において、搬送方向に沿って重なり合う
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の噴射装置。
【請求項５】
前記搬送方向上流側のノズル列におけるノズル本体の配置ピッチと、前記搬送方向下流側のノズル列におけるノズル本体の配置ピッチと、は同一であり、
前記搬送方向上流側のノズル列のノズル本体の配置位置と、前記搬送方向下流側のノズル列のノズル本体の配置位置と、は前記搬送方向に直交する方向において、ノズル本体の配置ピッチの半分だけずれている
ことを特徴とする請求項４に記載の噴射装置。
【請求項６】
前記搬送方向に直交する方向に沿って移動可能にノズル列を支持する支持部材をさらに備えた
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の噴射装置。
【請求項７】
搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、
搬送方向に直交する方向に沿って延びるスリットを液体噴射口として有するノズル本体を備え、
前記スリットは、前記搬送方向に直交する方向に沿ったシート状物の長さよりも長い
ことを特徴とする噴射装置。
【請求項８】
搬送方向に沿って離間して配置された少なくとも二つの前記ノズル本体を備え、
搬送方向上流側のノズル本体から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域は、搬送方向下流側のノズル本体から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域と、前記搬送方向に直交する方向における任意の位置において、搬送方向に沿って重なり合う
ことを特徴とする請求項７に記載の噴射装置。
【請求項９】
前記搬送方向に直交する方向に沿って移動可能に前記ノズル本体を支持する支持部材をさらに備えた
ことを特徴とする請求項７または８に記載の噴射装置。
【請求項１０】
前記支持部材は、各ノズル本体に連通する中空部を形成された中空部材を有し、前記中空部材の中空部に前記液体が供給されるようになっている
ことを特徴とする請求項６または９に記載の噴射装置。
【請求項１１】
前記シート状物は感光性樹脂層を有する光学素子用基板であり、
パターン露光された前記感光性樹脂層を現像処理した後に、前記光学素子用基板を洗浄するために用いられる
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の噴射装置。
【請求項１２】
搬送方向に沿ってシート状物を搬送しながら、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載された噴射装置から噴射される液体によってシート状物を洗浄する工程を備えた
ことを特徴とするシート状物の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置にかかり、とりわけ、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に液体を噴射することができる噴射装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、搬送方向に沿ってシート状物を搬送しながら、噴射装置から噴射される液体によってシート状物を洗浄する洗浄方法に係り、とりわけ、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物を洗浄することができるシート状物の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
近年、パーソナルコンピュータ、特に携帯用パーソナルコンピュータの普及に伴い、カラー液晶表示装置の需要が増大する傾向にある。このカラー液晶表示装置には、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の三原色の画素と、これを仕切るブラックマトリックス（隔壁）と、を有するカラーフィルタ（光学素子）が設けられている。そして、カラーフィルタのそれぞれの画素に対応する液晶をシャッターとして動作させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂの画素を光が透過して映像がカラー表示されるようになっている。
【０００４】
また、カラーフィルタと同様な構成を有する光学素子として、エレクトロルミネッサンス素子（ＥＬ素子）がある。エレクトロルミネッサンス素子は、画素が塗り分けられていない点においてカラーフィルタと異なる。エレクトロルミネッサンス素子についても、今後、需要が大幅に増大すると予想されている。
【０００５】
このようなカラーフィルタやエレクロルミネッサンス素子等の光学素子を製造する場合、通常、フォトリソグラフィー技術を用いた処理、つまり感光性樹脂層を有した基板に対するパターン露光および現像処理が行われる。そして次に、現像処理を施された基板に対し、現像液や現像残渣の除去等を目的とした洗浄処理が施される。特許文献１には、ライン状に配置された複数のノズル本体から、搬送される基板に向けて液体を高圧で噴射することにより、基板を洗浄する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−３２２９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１において、ノズル本体から噴射された液体の基板Ｗ上での噴射領域は楕円形状となっている。また、このようなノズル本体は、図１０に示すように、通常、回転可能に支持されている。したがって、図１０に示すように、ノズル本体４１からの液体の噴射が、搬送方向に直交する横断方向に沿って不均一となることもある。この場合、ローラー１２で搬送される基板Ｗの一部分に対して液体が噴射されず、この部分が洗浄されなくなってしまう。また、横断方向に沿った一部分において、液体の基板Ｗに対する衝突圧力が高くなる。このため、基板Ｗ上に搬送方向に沿った噴射跡が生じてしまうことがある。このような噴射跡は光学素子の品質を著しく低下させ、例えば基板をカラー液晶表示装置に用いた場合には噴射跡が表示装置に表示されてしまうという不具合が生じる。また、液体の基板Ｗに対する衝突圧力が高くなると、感光性樹脂層に形成されたパターンを破壊してしまうことすらある。とりわけ、昨今においては、パターンが非常に微細複雑化して、破壊されやすくなっている。その一方で、すべてのノズル本体の向きを都度確かめるのは、非常に煩雑である。
【０００７】
また、このような不具合は、光学素子の製造装置および製造方法において特有な問題点ではない。搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置、並びに、このような噴射装置を用いて搬送されるシート状物を洗浄する洗浄方法においても、広く共通する問題点である。
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、とりわけ、搬送方向に直交する方向に沿ってむらなく均一な圧力でシート状物に液体を噴射することができる噴射装置を提供することを目的とする。また、本発明は、搬送方向に沿ってシート状物を搬送しながら、噴射装置から噴射される液体によってシート状物を洗浄する洗浄方法であって、とりわけ、搬送方向に直交する方向に沿ってむらなく均一にシート状物を洗浄することができるシート状物の洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による第１の噴射装置は、搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、搬送方向に直交する方向に沿い等間隔を空けて一直線上に並べられた複数のノズル本体を有するノズル列を備え、隣り合うノズル本体の配置間隔は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合における、一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域の前記搬送方向に直交する方向に沿った長さの半分以下であることを特徴とする。
【００１０】
本発明による第１の噴射装置によれば、各ノズル本体から噴射される液体がシート状物上において大きな領域で重なり合う。したがって、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に液体を噴射することができる。
【００１１】
本発明による第１の噴射装置において、一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合に、円形状を有するようにしてもよい。このような噴射装置によれば、ノズル本体の向きに起因した噴射量および噴射圧力の変動を防止することができる。これにより、搬送方向に直交する方向に沿ってより略均一にシート状物に液体を噴射することができる。
【００１２】
本発明による第２の噴射装置は、搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、搬送方向に直交する方向に沿い等間隔を空けて一直線上に並べられた複数のノズル本体を有するノズル列を備え、一つのノズル本体から噴射される液体のシート状物上での噴射領域は、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合に、円形状を有するようにしてもよい。
【００１３】
本発明による第２の噴射装置によれば、ノズル本体の向きに起因した噴射量および噴射圧力の変動を防止することができる。したがって、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に液体を噴射することができる。
【００１４】
本発明による第１および第２の噴射装置が、前記搬送方向に沿って離間して配置された少なくとも二つの前記ノズル列を備え、搬送方向上流側のノズル列から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域は、搬送方向下流側のノズル列から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域と、前記搬送方向に直交する方向における任意の位置において、搬送方向に沿って重なり合うようにしてもよい。このよう噴射装置において、前記搬送方向上流側のノズル列におけるノズル本体の配置ピッチと、前記搬送方向下流側のノズル列におけるノズル本体の配置ピッチと、は同一であり、前記搬送方向上流側のノズル列のノズル本体の配置位置と、前記搬送方向下流側のノズル列のノズル本体の配置位置と、は前記搬送方向に直交する方向において、ノズル本体の配置ピッチの半分だけずれているようにしてもよい。このような噴射装置によれば、搬送方向に直交する方向に沿ってさらに均一にシート状物に液体を噴射することができる。
【００１５】
本発明による第１および第２の噴射装置が、前記搬送方向に直交する方向に沿って移動可能にノズル列を支持する支持部材をさらに備えるようにしてもよい。このような噴射装置によれば、ノズル本体自体を搬送方向に直交する方向に沿って移動させることができる。このため、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に液体を噴射することができる。また、搬送方向に直交する方向に沿って液体が噴射されない領域が発生してしまうことを防止することができる。このような装置において、前記支持部材は、各ノズル本体に連通する中空部を形成された中空部材を有し、前記中空部材の中空部に前記液体が供給されるようになっているようにしてもよい。
【００１６】
本発明による第３の液体噴射装置は、搬送方向に沿って搬送されてくるシート状物に液体を噴射する噴射装置であって、搬送方向に直交する方向に沿って延びるスリットを液体噴射口として有するノズル本体を備え、前記スリットは、前記搬送方向に直交する方向に沿ったシート状物の長さよりも長くしてもよい。
【００１７】
本発明による第３に噴射装置によれば、搬送方向に直交する方向に沿ったシート状物上の全領域に渡って、液体を噴射することができる。したがって、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に液体を噴射することができる。
【００１８】
本発明による第３の噴射装置が、搬送方向に沿って離間して配置された少なくとも二つの前記ノズル本体を備え、搬送方向上流側のノズル本体から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域は、搬送方向下流側のノズル本体から噴射されるシート状物上での液体の噴射領域と、前記搬送方向に直交する方向における任意の位置において、搬送方向に沿って重なり合うようにしてもよい。
【００１９】
本発明による第３の噴射装置が、前記搬送方向に直交する方向に沿って移動可能に前記ノズル本体を支持する支持部材をさらに備えるようにしてもよい。このような噴射装置によれば、ノズル本体自体を搬送方向に直交する方向に沿って移動させることができる。このため、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に液体を噴射することができる。また、搬送方向に直交する方向に沿って液体が噴射されない領域が発生してしまうことを防止することができる。このような噴射装置において、前記支持部材は、各ノズル本体に連通する中空部を形成された中空部材を有し、前記中空部材の中空部に前記液体が供給されるようになっているようにしてもよい。
【００２０】
本発明による第１乃至第３の噴射装置において、前記シート状物は感光性樹脂層を有する光学素子用基板であり、パターン露光された前記感光性樹脂層を現像処理した後に、前記光学素子用基板を洗浄するために用いられるようにしてもよい。
【００２１】
本発明によるシート状物の洗浄方法は、搬送方向に沿ってシート状物を搬送しながら、上述したいずれかの噴射装置から噴射される液体によってシート状物を洗浄する工程を備えたことを特徴とする。
【００２２】
本発明によるシート状物の洗浄方法によれば、搬送方向に直交する方向に沿って略均一にシート状物に噴射装置から液体を噴射することができる。したがって、シート状物を略均一に洗浄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の第１および第２の実施の形態について説明する。なお、以下の実施の形態においては、カラーフィルタやエレクトロルミネッサンス素子等の光学素子用基板（シート状物）をいわゆるフォトリソグラフィー法にて作製する際に当該シート状物を現像プロセスの後に高圧水洗するための装置に、本発明による噴射装置を適用した例を説明する。
【００２４】
＜第１の実施の形態＞
まず、図１乃至図７を参照して、本発明による噴射装置およびシート状物の洗浄方法の第１の実施の形態を説明する。ここで、図１は噴射装置が組み込まれ得る基板処理ラインの一例を示す上面図であり、図２は噴射装置を示す正面図であり、図３は図２に示された噴射装置を示す側面図である。
【００２５】
図１に示された基板処理ライン１０は、ガラス等からなる光学素子用の基板Ｗをローラー１２で搬送方向に沿って搬送しながら、当該基板Ｗに対して処理を施していくようになっている。この基板処理ライン１０は、上流側から順に配置された、現像エリア１０ａと、第１置換水洗エリア１０ｂと、第２置換水洗エリア１０ｃと、高圧水洗エリア１０ｄと、を有している。基板Ｗは、現像エリア１０ａに搬送されてくる前に、表面に感光性樹脂層を形成されるとともに、形成された感光性樹脂層はパターン露光される。
【００２６】
そして、現像エリア１０ａでは、基板Ｗが現像液に浸される。これにより、感光性樹脂層がパターニングされる。次に、第１置換水洗エリア１０ｂでは、例えばアクアナイフを用い、搬送方向に直交する横断方向に沿って直線状に洗浄水（純水）を基板Ｗに対して供給する。その後、第２置換水洗エリア１０ｃでは、例えばノズルを用い、搬送される基板Ｗの全面にいきわたるように洗浄水（純水）を供給する。これらの第１置換水洗エリア１０ｂおよび第２置換水洗エリア１０ｃにおいて、基板Ｗ上の現像液が洗浄水によって置換される。次に、基板Ｗは高圧水洗エリア１０ｄに持ち込まれ、液体噴射装置２０によって、高圧水洗されることになる。
【００２７】
次に、噴射装置２０の構成について詳述する。
【００２８】
図２および図３に示すように、噴射装置２０は、搬送方向に沿って搬送されてくる基板Ｗに液体を噴射する装置であり、搬送方向に直交する横断方向に沿って移動可能な二つの支持部材２４，２５と、各支持部材２４，２５にそれぞれ支持されたノズル列２１，２２と、を備えている。図３に示すように、二つの支持部材２４，２５は、搬送方向に沿って離間して配置されている。
【００２９】
図２に示すように、各ノズル列２１，２２は、横断方向に沿い一定ピッチＰを空けて一直線上に並べられたノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆをそれぞれ有している。ノズル本体の配置ピッチＰは、例えば３０ｍｍ程度となっている。各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆは、支持部材２４，２５に取り付けられている。本実施の形態において、支持部材２４，２５は各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆに連通する中空部２４ａ，２５ａを形成された中空部材からなっている。各支持部材２４，２５は、連結管２７を介して洗浄液源２６に接続されている。そして、支持部材２４，２５をなす中空部材の中空部２４ａ，２５ａに、この洗浄液源２６から洗浄液（純水）が供給されるようになっている。
【００３０】
ここで図４には、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆから噴射された液体が、他のノズル本体から噴射される液体との干渉を生じないとした場合に、基板Ｗ上で噴射されるようになる領域を示している。図４から明らかなように、本実施の形態において、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆは液体を楕円錐状に噴射する。この結果、一つのノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆからの噴射領域Ａ２１ａ〜Ａ２１ｆ，Ａ２２ａ〜Ａ２２ｆは基板Ｗ上において略楕円形状を有するようになる。また、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆは、支持部材２４，２５に対して回転可能となっている。したがって、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆから噴射される液体の噴射領域Ａ２１ａ〜Ａ２１ｆ，Ａ２２ａ〜Ａ２２ｆは、楕円の長軸が横断方向に対して種々の角度をなすように、調整され得る。
【００３１】
ところで、図４に示すように、本実施の形態において、隣り合うノズル本体の配置間隔Ｐは、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合における、一つのノズル本体から噴射される液体の基板Ｗ上での噴射領域の横断方向に沿った長さｌの半分以下となっている。言い換えると、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が生じないとした場合に、隣り合う二つのノズル本体の一方から噴射された液体の基板Ｗ上での噴射領域と他方から噴射された液体の基板Ｗ上での噴射領域とが重なり合うようになる範囲の横断方向に沿った長さｌｏよりも、隣り合うノズル本体の配置間隔Ｐは小さくなっている。
【００３２】
なお、図４に示すように、搬送方向上流側のノズル列２１に含まれるノズル本体２１ａ〜２１ｆの配置ピッチＰと、搬送方向下流側のノズル列２２に含まれるノズル本体２２ａ〜２２ｆの配置ピッチＰと、は同一となっている。ただし、搬送方向上流側のノズル列２１のノズル本体２１ａ〜２１ｆの配置位置と、搬送方向下流側のノズル列２２のノズル本体２２ａ〜２２ｆの配置ピッチと、は横断方向において、ノズル本体の配置ピッチＰの半分（Ｐ／２）だけずれている。
【００３３】
搬送方向上流側のノズル列２１に含まれる各ノズル本体２１ａ〜２１ｆは、図２に示すように、横断方向おいては真下に向けて液体を噴射し、一方、図３に示すように、搬送方向においては下流側に向けて斜めに液体を噴射する。また、搬送方向下流側のノズル列２２に含まれる各ノズル本体２２ａ〜２２ｆは、図２に示すように、横断方向おいては真下に向けて液体を噴射し、一方、図３に示すように、搬送方向においては上流側に向けて斜めに液体を噴射する。そして、図４に示すように、搬送方向上流側のノズル列２１から噴射される基板Ｗ上での液体の噴射領域Ａ２１ａ〜Ａ２１ｆが、搬送方向下流側のノズル列２２から噴射される基板Ｗ上での液体の噴射領域Ａ２２ａ〜Ａ２２ｆと、横断方向における任意の位置において搬送方向に沿って重なり合うよう、各支持部材２４，２５の配置位置および各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆの噴射方向が決定されている。
【００３４】
このような構成からなる噴射装置２０を用いて基板Ｗを高圧洗浄する場合の作用について説明する。
【００３５】
まず、噴射装置２０の下方へ、基板Ｗを搬送する。このとき、噴射装置２０は、基板Ｗの搬送路に向けて液体を高圧で噴射している。支持部材２４，２５の中空部２４ａ，２５ａ内における液体の圧力は、例えば０．０１ＭＰａ以上２０ＭＰａ以下、好ましくは１ＭＰａ以上５ＭＰａ以下となっている。そして、基板Ｗは、噴射装置２０から高圧の液体を噴射されて洗浄される。
【００３６】
上述したように、本実施の形態において、隣り合うノズル本体の配置間隔Ｐは、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が無い場合における、一つのノズル本体から噴射される液体の基材Ｗ上での噴射領域の横断方向に沿った長さの半分以下となっている。すなわち、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆから噴射される液体は横断方向に沿って広い範囲で重なり合うようになる。したがって、横断方向に沿ってむらなく均一な圧力で基材Ｗに液体を噴射することができる。とりわけ、本実施の形態によれば、他のノズル本体から噴射される液体との干渉が生じないとした場合に、隣り合う三つのノズル本体からそれぞれ噴射された液体の基板Ｗ上での三つの噴射領域がその一部において重なり合うようになる（例えば、図４の斜線領域）。したがって、例えば、図５および図６に示すように、一つのノズル本体２１ｄの噴射向きがずれたとしても、あるいは、一つのノズル本体２１ｂが目詰まりを起こしたとしても、当該異常の発生したノズル本体の両隣に配置されたノズル本体２１ｃ，２１ｅまたはノズル本体２１ａ，２１ｃが正常に機能していれば、基板Ｗ上において液体が噴射されない領域は形成されない。つまり、基板Ｗは幅方向に沿った全域に渡って、噴射装置１０からの液体によって高圧洗浄され得る。
【００３７】
また、本実施の形態においては、横断方向に沿って支持部材２４，２５が移動可能となっている。そして、基材Ｗに向けて液体を噴射している際に支持部材２４，２５を横断方向に移動させることにより、横断方向に沿ってさらにむらなく均一な圧力で基材Ｗに液体を噴射することができる。また、横断方向に沿って液体が噴射されない領域が基材Ｗ上に発生してしまうことを防止することができる。
【００３８】
さらに、本実施の形態によれば、搬送方向上流側のノズル列２１から噴射される基材Ｗ上での液体の噴射領域Ａ２１ａ〜Ａ２１ｆは、搬送方向下流側のノズル列２２から噴射される基材Ｗ上での液体の噴射領域Ａ２２ａ〜Ａ２２ｆと、横断方向における任意の位置において、搬送方向に沿って重なり合うようになっている。したがって、横断方向に沿ってさらにむらなく均一な圧力で基板Ｗに液体を噴射することができる。
【００３９】
さらに、本実施の形態によれば、搬送方向上流側のノズル列２１におけるノズル本体２１ａ〜２１ｆの配置ピッチＰと、搬送方向下流側のノズル列２２におけるノズル本体２２ａ〜２２ｆの配置ピッチＰと、は同一であり、搬送方向上流側のノズル列２１のノズル本体２１ａ〜２１ｆの配置位置と、搬送方向下流側のノズル列２２のノズル本体２２ａ〜２２ｆの配置位置と、は横断方向においてノズル本体の配置ピッチＰの半分だけずれている。したがって、搬送方向上流側のノズル列２１から噴射される液体の基板Ｗ上での噴射領域Ａ２１ａ〜Ａ２１ｆと、搬送方向下流側のノズル列２２から噴射される液体の基板Ｗ上での噴射領域Ａ２２ａ〜Ａ２２ｆと、が搬送方向に沿って補い合うようにして重なり合う。このため、横断方向に沿ってさらにむらなく均一な圧力で基板Ｗに液体を噴射することができる。
【００４０】
以上のように、本実施の形態における噴射装置２０を用いた洗浄方法によれば、搬送方向に直交する方向に沿ってむらなく均一な圧力で基板Ｗに噴射装置から液体を噴射することができる。したがって、基板Ｗをむらなく均一に洗浄することができる。このため、感光性樹脂層に形成されたパターンを破壊してしまうことを防止することができ、また、搬送方向に沿った噴射跡が基板Ｗ上に生じてしまうことも防止することができる。
【００４１】
なお、上述した第１の実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。
【００４２】
例えば、上述した実施の形態において、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆは液体を楕円錐状に噴射し、この結果、一つのノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆからの噴射領域は基板Ｗ上において楕円形状を有するようになる例を示しが、これに限られない一例として、図７に示すように、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆは液体を円錐状に噴射し、一つのノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆからの噴射領域が基板Ｗ上において略円形状を有するようにしてもよい。このような変形例によれば、ノズル本体が支持部材２４，２５に対して回転したとしても、基板Ｗ上における液体の噴射領域は変化しない。したがって、安定してむらなく均一な圧力で基板Ｗに液体を噴射することができる。なお、図７は、図４に対応する図であって、各ノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆから噴射された液体が、他のノズル本体から噴射される液体との干渉を生じないとした場合に、基板Ｗ上で噴射されるようになる領域Ａ２１ａ〜Ａ２１ｆ，Ａ２２ａ〜Ａ２２ｆを示している。
【００４３】
また、上述した実施の形態においては、支持部材２４，２５およびノズル列２１，２２が二つずつ設けられる例を示したが、これに限られない。支持部材およびノズル列が一つずつしか設けられていなくてもよい。また、支持部材およびノズル列がそれぞれ三つ以上設けられるようにしてもよい。さらに、一つの支持部材に対して二つ以上のノズル列が設けられるようにしてもよい。
【００４４】
さらに、上述した実施の形態において、各ノズル列２１，２２が六つのノズル本体２１ａ〜２１ｆ，２２ａ〜２２ｆを有するようにした例を示したが、これに限られない。各ノズル列が五つ以下のノズル本体を有するようにしてもよいし、七つ以上のノズル本体を有するようにしてもよい。
【００４５】
＜第２の実施の形態＞
次に、図８および図９を参照して、本発明による噴射装置およびシート状物の洗浄方法の第２の実施の形態を説明する。ここで、図８は、図２に対応する図であって、噴射装置を示す正面図である。一方、図９は、図４に対応する図であって、各ノズル本体３１，３２から噴射された液体が、他のノズル本体から噴射される液体との干渉を生じないとした場合に、基板Ｗ上で噴射されるようになる領域Ａ３１，Ａ３２を示している。
【００４６】
なお、第２の実施の形態は、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と、ノズル本体の構成が異なり、他は略同一となっている。図８および図９において、図１乃至図７に示す実施の形態と同一部分には同一符号を付すとともに、重複する詳細な説明は省略する。
【００４７】
図８および図９に示すように、本実施の形態における噴射装置３０は、搬送方向に直交する横断方向に沿って延びるスリット３１ａ，３２ａを液体噴射口として有するノズル本体３１，３２を備えている。ノズル本体３１，３２は、第１の実施の形態と同様に、中空部２４ａ，２５ａを有する支持部材２４，２５に支持されている。また、本実施の形態においても第１の実施の形態と同様に、支持部材２４，２５は搬送方向に沿って離間して配置されている。この支持部材２４，２５は横断方向に沿って移動可能となっている。
【００４８】
図８に示すように、スリット３１ａ，３２ａは、横断方向に沿った基板Ｗの長さよりも長くなっている。したがって、本実施の形態によれば、搬送方向に直交する方向に沿った基材Ｗ上の全領域に渡って、液体を噴射することができる。このため、横断方向に沿ってむらなく均一な圧力で基材Ｗに液体を噴射することができる。
【００４９】
また、搬送方向上流側のノズル本体３１は、図８に示すように、横断方向おいては略真下に向けて液体を噴射し、一方、第１の実施の形態と同様に（図３参照）、搬送方向においては下流側に向けて斜めに液体を噴射する。また、搬送方向下流側のノズル本体３２は、図８に示すように、横断方向おいては真下に向けて液体を噴射し、一方、第１の実施の形態と同様に（図３参照）、搬送方向においては上流側に向けて斜めに液体を噴射する。そして、図９に示すように、搬送方向上流側のノズル本体３１から噴射される基板Ｗ上での液体の噴射領域Ａ３１が、搬送方向下流側のノズル列２２から噴射される基板Ｗ上での液体の噴射領域Ａ３２と、横断方向における任意の位置において搬送方向に沿って重なり合うよう、各支持部材２４，２５の配置位置および各ノズル本体３１，３２の噴射方向が決定されている。したがって、むらなく均一な圧力で基材Ｗに液体を噴射することができる。
【００５０】
以上のように、本実施の形態における噴射装置３０を用いた洗浄方法によれば、搬送方向に直交する方向に沿ってむらなく均一な圧力で基板Ｗに噴射装置から液体を噴射することができる。したがって、基板Ｗをむらなく均一に洗浄することができる。このため、感光性樹脂層に形成されたパターンを破壊してしまうことを防止することができ、また、搬送方向に沿った噴射跡が基板Ｗ上に生じてしまうことも防止することができる。
【００５１】
なお、上述した第２の実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。
【００５２】
例えば、上述した実施の形態においては、支持部材２４，２５およびノズル本体３１，３２が二つずつ設けられる例を示したが、これに限られない。支持部材およびノズル本体が一つずつしか設けられていなくてもよい。また、支持部材およびノズル本体がそれぞれ三つ以上設けられるようにしてもよい。さらに、一つの支持部材に対して二つ以上のノズル本体が設けられるようにしてもよい。
【００５３】
また、上述した第１の実施の形態および第２の実施の形態において、噴射装置２０，３０を、光学素子用基板Ｗの高圧洗浄に適用した例を示したが、これに限られず、シート状物の洗浄に適用することができ、さらには、シート状物の洗浄以外の処理に対しても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１は、本発明による噴射装置が組み込まれ得る基板処理ラインの一例を示す上面図である。
【図２】図２は、本発明による噴射装置の第１の実施の形態を示す正面図である。
【図３】図３は、図２に示された噴射装置を示す側面図である。
【図４】図４は、図２に示された噴射装置によって噴射された液体の基板上での噴射領域を示す上面図である。
【図５】図５は、図２に対応する図であって、図２に示された噴射装置の作用を説明するために図である。
【図６】図６は、図４に対応する図であって、図２に示された噴射装置の図４に示された状態における作用を説明するための図である。
【図７】図７は、図４に対応する図であって、噴射装置によって噴射された液体の基板上での噴射領域の他の例を示す上面図である。
【図８】図８は、図２に対応する図であって、本発明による噴射装置の第２の実施の形態を示す正面図である。
【図９】図９は、図４に対応する図であって、図８に示された噴射装置によって噴射された液体の基板上での噴射領域を示す上面図である。
【図１０】図１０は、従来の噴射装置を示す正面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  基板処理ライン
１２  ローラー
２０  噴射装置
２１  ノズル列
２２  ノズル列
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ  ノズル本体
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ  ノズル本体
２４  支持部材
２５  支持部材
２４ａ  中空部
２５ａ  中空部
３０  噴射装置
３１  ノズル本体
３２  ノズル本体
３１ａ  スリット
３２ａ  スリット
４１  ノズル本体
Ａ２１ａ，Ａ２１ｂ，Ａ２１ｃ，Ａ２１ｄ  噴射領域
Ａ２２ａ，Ａ２２ｂ，Ａ２２ｃ，Ａ２２ｄ  噴射領域
Ａ３１，Ａ３２  噴射領域
Ｐ  ピッチ
Ｗ  基板（シート状物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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