(57)【要約】【課題】複数の波長を有する入力光線を調節し、前記複数の波長から所望する波長を選択して１つの出力光線に組み合わせるための光学システムを提供する。【解決手段】光学システム２００は、第１のビームスプリッタ（ＢＳ）・スタック１０７と、複数のフィルタ１１５の配列と、第２のＢＳ・スタックとを備える。第１のＢＳ・スタック１０７は、前記入力光線を受光して、第１の出力光線を生成するかつ第１の内部光線を第２のＢＳに提供するように構成された第１のＢＳ１１０（１）、第１の隣接するＢＳから内部光線を受光して、第ｉ（ｉ＝２，…，ｎ−１）の出力光線を生成し、第ｉの内部光線を第２の隣接するＢＳに提供するように各々構成されたｎ−２個のＢＳ１１０（２），（３）、及び隣接するＢＳから内部光線を受光して、最後の出力光線を生成するように構成された最後のＢＳ１１０（４）を含む。【選択図】図２
2008065329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の波長を有する入力光線を調節し、前記複数の波長から所望する波長を選択して１つの出力光線に組み合わせるための光学システムであって、
前記入力光線を受光して、第１の出力光線を生成するかつ及び第１の内部光線を第２のビームスプリッタに提供するように構成された第１のビームスプリッタ、
第１の隣接するビームスプリッタから内部光線を受光して、第ｉ（ｉ＝２，…，ｎ−１）の出力光線を生成し、前記第ｉ（ｉ＝２，…，ｎ−１）の内部光線を第２の隣接するビームスプリッタに提供するように各々構成されたｎ−２個のビームスプリッタ、及び
隣接するビームスプリッタから内部光線を受光して、最後の出力光線を生成するように構成された最後のビームスプリッタを含む第１のビームスプリッタ・スタックと、
前記出力光線の対応する１つの光線を受光し、選択された単一波長光線を通過させるように各々構成されたフィルタを含むフィルタ配列と、
前記単一波長光線の対応する１つの光線を受光するように各々構成されたビームスプリッタを含み、前記単一波長光線を選択された波長を有する実質的に１つの光線に組み合わせるように構成された第２のビームスプリッタ・スタックとを備えるシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、
前記第１及び第２のビームスプリッタ・スタックの前記各ビームスプリッタは、非偏光キューブビームスプリッタ、偏光キューブビームスプリッタ、広帯域誘電体表面被覆偏光ビームスプリッタ、単一レーザー光線非偏光前面ビームスプリッタ、薄膜ビームスプリッタ、及び中性密度ビームスプリッタから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【請求項３】
請求項１に記載のシステムであって、
前記各フィルタは、単一波長帯域通過フィルタ、複数波長帯域通過フィルタ、単一波長帯域遮断フィルタ、複数波長帯域遮断フィルタ、及びオパーク遮断フィルタから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【請求項４】
請求項１に記載のシステムであって、
前記第１及び第２のビームスプリッタ・スタックの前記各ビームスプリッタの少なくとも１つは、前記入力光線の光パワーを保存するためのミラーを備えることを特徴とするシステム。
【請求項５】
請求項４に記載のシステムであって、
前記第１又は第２のビームスプリッタ・スタックの前記ビームスプリッタの全ては、前記入力光線の光パワーを保存するためのミラーを備えることを特徴とするシステム。
【請求項６】
請求項４に記載のシステムであって、
前記ミラーは、金属前面ミラー、広帯域誘電体前面ミラー、及び狭線幅誘電体前面ミラーから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【請求項７】
複数の波長を有する入力光線を調節し、前記複数の波長から所望する波長を選択して１つの光線に組み合わせるための光学システムであって、
前記入力光線を受光し、前記光線を、波長及び回折次数によって分けられる個別の光線に分離するように構成された回折格子と、
前記個別の光線の内の所定の光線の経路上に配置され、所望する波長の光線を選択するフィルタと、
前記フィルタで選択された各光線を受光し、前記各光線を当該光線システムの外部の焦点に集束及び集光させるように構成された集束ミラーとを備えるシステム。
【請求項８】
請求項７に記載のシステムであって、
前記回折格子がブレーズド回折格子であることを特徴とするシステム。
【請求項９】
請求項７に記載のシステムであって、
前記フィルタは、単一波長帯域通過フィルタ、複数波長帯域通過フィルタ、単一波長帯域遮断フィルタ、複数波長帯域遮断フィルタ、及びオパーク遮断フィルタから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【請求項１０】
請求項７に記載のシステムであって、
前記フィルタは、選択された波長の光線を遮断することを特徴とするシステム。
【請求項１１】
請求項７に記載のシステムであって、
前記フィルタは、選択された波長の光線を通過させることを特徴とするシステム。
【請求項１２】
請求項７に記載のシステムであって、
前記集束ミラーは、回折次数が１次の光線群の経路上に配置されることを特徴とするシステム。
【請求項１３】
複数の波長を有する入力光線を調節し、前記複数の波長から所望する波長を選択して１つの光線に組み合わせるための光学システムであって、
当該光学システムの外部から前記入力光線を受光し、前記光線を、波長及び回折次数によって分けられる個別の光線に分離するように構成された回折格子と、
前記個別の光線の内の所定の光線の経路上に配置され、所望する波長の光線を選択するフィルタと、
前記フィルタで選択された各光線を受光し、前記各光線を当該光線システムの外部に導くように構成された平面ミラーとを備えるシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記回折格子がブレーズド回折格子であることを特徴とするシステム。
【請求項１５】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記フィルタは、単一波長帯域通過フィルタ、複数波長帯域通過フィルタ、単一波長帯域遮断フィルタ、複数波長帯域遮断フィルタ、及びオパーク遮断フィルタから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【請求項１６】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記フィルタは、選択された波長の光線を遮断することを特徴とするシステム。
【請求項１７】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記フィルタは、選択された波長の光線を通過させることを特徴とするシステム。
【請求項１８】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記平面ミラーは、回折次数が１次の光線群の経路上に配置されることを特徴とするシステム。
【請求項１９】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記平面ミラーの配列は、前記選択された各光線を集光及び集束させることを特徴とするシステム。
【請求項２０】
請求項１３に記載のシステムであって、
前記平面ミラーの配列は、前記選択された各光線を平行にすることを特徴とするシステム。
【請求項２１】
請求項２０に記載のシステムであって、
前記選択された各光線を受光し前記各光線を選択された波長を有する１つの光線に組み合わせるように構成された複数のビームスプリッタをさらに備えることを特徴とするシステム。
【請求項２２】
請求項２１に記載のシステムであって、
前記ビームスプリッタは、非偏光キューブビームスプリッタ、偏光キューブビームスプリッタ、広帯域誘電体表面被覆偏光ビームスプリッタ、単一レーザー光線非偏光前面ビームスプリッタ、薄膜ビームスプリッタ、及び中性密度ビームスプリッタから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【請求項２３】
請求項２１に記載のシステムであって、
前記ビームスプリッタは、前記選択された各光線の光パワーを保存するためのミラーを備えることを特徴とするシステム。
【請求項２４】
請求項２３に記載のシステムであって、
前記ミラーは、金属前面ミラー、広帯域誘電体前面ミラー、及び狭線幅誘電体前面ミラーから成る群より選択されることを特徴とするシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に、光線に関し、特に、複数の波長を有するレーザー光線及び連続的スペクトル光源に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
物質に関する情報を得るために、様々な光学技術が使用される。そのような技術の１つとしてラマン分光法がある。ラマン分光法では、分析される物質の表面にレーザー光線を入射させる。光線の大部分は、前記表面から弾性的に散乱される（レイリー散乱と呼ばれる）。しかしながら、光線の一部は前記表面近傍で前記物質と相互作用し、前記物質における振動の、回転の、及び／又は他の低周波モードの励起によって、非弾性的に散乱される。このような振動状態の周波数を検出することにより、前記物質の分子構造及び性質の情報を得ることができる。非弾性散乱光線の周波数は、入射光線に対して、下の周波数又は上の周波数にシフトする。下の周波数へのシフトは、入射光子による物質モードの励起に対応しており、ストーク・ラマンと呼ばれる。上の周波数へのシフトは、入射光子と、すでに励起された物質モードとの相互作用に対応しており、アンチストーク・ラマンと呼ばれる。シフトの量は、励起波長とは無関係である。また、ストーク及びアンチストーク線は、同じ大きさの量で励磁信号から離れている。
【０００３】
分光法を用いた物質の分析に使用することができる様々なレーザー及び他の光源が、複数のスペクトル線を生成することが知られている。このことは、好適に利用することができる。例えば、多くの半導体電子デバイスは、様々な組成及び構造からなる多数の半導体材料層から構成されている。多くの場合、これらの層はラマン活性であり、励起波長に対してのストーク及びアンチストーク線の波長シフトの大きさは、各層の化学成分の化学量論及び結晶特性に依存する。
【０００４】
光学分野では周知であるが、半導体材料の屈折率は分散的なので、異なる調査周波数は、異なる侵入深さ（前記材料全体の内部への侵入深さ）を有する。侵入深さは、作成された材料の様々な層の深さに相当する場合が多い。したがって、複数の励起波長を有するレーザー光線の使用は、前記材料のラマン散乱性を様々な深さで調べることができる。そのため、レーザー光線の侵入深さの範囲内で、物質の様々な深さの層における性質及び化学量論に関する情報をラマン分光法によって得るために、複数の励起レーザー光線を同時に提供できるシステムが望ましい。
【０００５】
また、他の用途も想定される。例えば、生体学的試料を含有する液体サンプルでは、励起波長の選択は、蛍光性の生成（生物学的物質の調査を意味する）に影響を及ぼす。
【０００６】
これに関して生じる問題の１つは、所望する波長の組み合わせを選択して、それ以外の波長を除外又は排除し、選択した波長の光線を１つの光線（材料の性質を光学的に調査するための光線）に組み合わせるための手段である。例えば、アルゴンイオンレーザーは１３以上のレーザー光線を有し、それら光線の全ては出力に対して幅広く変化する。
【０００７】
図１は、様々な光源（例えば、レーザー光源、複数の波長のレーザー光源、又は連続的スペクトル光源）で生成された様々な波長の選択及び組み合わせを行うための、従来の手段を示す概略図である。これらの光源は、同一のレーザー光線を生成する同一の光源である、又は波長のスペクトルを生成する異なる光源である。この方法では、光源群は、各々が複数の波長のレーザー出力又は連続的スペクトルを有する複数の光線１０５を生成する。複数の光線１０５は、帯域通過フィルタ群１１５（その集団をスタックと呼ぶ）に入射する。単一波長の光線は、通過する波長を制限する各フィルタ１１５を通過する。いくつかの光線は、その後、ビームスプリッタ１１０のスタック、又はビーム分割と相互に作用する部分ミラーを通り、それらによって複数の光線を１つの光線１２５に組み合わせる。組み合わせられた光線は、ビームスプリッタのスタックから出て行く。ミラー１２０は、そのままでは損失する光エネルギの一部を回復させるように配置される。しかしこれは、ビームエネルギーの損失、電力消費、及びコストの高いレーザー装置が重複しているという視点からすれば、非常に非効率的なシステムである。さらに、複数の個々の光源から又は他の光源からの光線を組み合わせるための光学的配列は、コストのかかる正確な位置合わせが必要とされる。
【０００８】
そのため、複数の波長を有する光線を生成する光源の数を最小にすること、並びに、所望する波長の選択及び選択された波長からの１つの光線の生成をエネルギーの損失を最小限に抑えて容易に行うことが求められている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様では、光線調節システムは、１つ又はそれ以上の光源（多波長又は連続的スペクトル光源）から生成された光線の波長を分離するための分離手段を備える。分離手段は、組み合わせて作用する複数のビームスプリッタ及び複数のフィルタの集合、回折格子、又は位相ホログラムなどであり得る。分離手段の作用は、透過、反射、又はその組み合わせである。波長を要望どおりに分離、生成、組み合わせる又は遮断するために、様々な波長フィルタ、ノッチフィルター及びビーム遮断器を用いることができる。また、光線の方向を変えるのに、ミラーを用いることができる。分離された光線は、１つの平行光線として組み合わせられる、又は一点に集中するように導かれる。
【００１０】
本発明の一態様では、１つ又は複数のレーザー光源及び／又は連続的スペクトル光源で生成された、複数の光線を含む単一の共線光線として作成された平行レーザー光線は、ビームスプリッタのスタックの一部である１つのビームスプリッタに入射される。ビームスプリッタのスタックは、入射された光線を、ビームスプリッタの数と同数の複数の光線に分ける。ビームスプリッタは、連続的に積層される。好ましくは、ビームスプリッタは、光線のずれが最小化されるように、物理的に接触して連続的に積層される。スタックの外部に導出された各光線は、選択された波長を中心とする狭い範囲の光線のみを通過させ、他は遮断するように設計されたフィルタを通過する。フィルタは、伝達させるために選択される波長を変更するために、例えばフィルタホイールを使用して、機械的に交換することができる。また、スタックから導出された各光線の一部は、提供される波長を制限するために、完全に遮断される。第２のビームスプリッタ・スタックは、本質的に鏡面構造であり、単一波長となった各光線を受光する。そして、第２のビームスプリッタ・スタックは、相互的に作用し、受光した全ての光線を１つの光線に組み合わせる。組み合わされた光線は、光線調節システムから出射される。各波長の光線のエネルギー供給効率を向上させるために、複数のミラーがいくつかのビームスプリッタの裏面に配置される。
【００１１】
本発明の他の実施形態では、単一又は少なくとも２つのレーザー光源、及び／又は連続スペクトラム光源で生成された複数の波長を有する光線は、回折格子に導かれる。回折格子は、前記光線の様々な波長成分を、波長に応じて、格子表面の法線に対して及び回折次数がゼロ次の（反射された）に対して様々な角度の、様々な回折次数に分離する。この実施形態では、遮断フィルタは、特定の回折次数の経路に配置され、不要な波長を遮断する。他の波長は、遮断されずに、当該光学システム内を進行する。選択された光線群は、凹面（集束）ミラーに入射する。前記ミラーに入射された光線は、各々ビーム径において及び互いに分ける特定の波長の各光線の向こう側の焦点に集光される。
【００１２】
本発明の別の実施形態では、単一又は少なくとも２つのレーザー光源、及び／又は連続スペクトラム光源で生成された複数の波長を有する光線は、回折格子に導かれる。回折格子は、前記光線の様々な波長成分を、波長に応じて、格子表面の法線に対して及び回折次数がゼロ次の（反射された）に対して様々な角度の、様々な回折次数に分離する。この実施形態では、遮断フィルタは、特定の回折次数の経路に配置され、不要な波長を遮断する。他の波長は、物理的に遮断されずに、当該光学システム内を進行する。選択された光線群は、特定の波長の各光線を遮断及び反射するように配置され、各々が選択された光線を共通ポイントに集光する平面ミラー群に入射される。前記光線は、平行のままで、しかし互いに空間的に分離された状態で入射される。
【００１３】
本発明のさらなる別の実施形態では、前述の実施形態の平面ミラーは、各々特定の波長を有する各光線を、互いに平行な状態で、ビームスプリッタ群に導く。前記ビームスプリッタは、上述したように、ビームコンバイナ（beam combiner）として作用し、単一の平行光線を生成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に説明するシステム及び技術は、従来の分光システムよりも、より柔軟性のある分光を可能にする。
【００１５】
光学分光システムは、多くの場合、複数の波長を、個別又は同時に任意の所望する組み合わせで選択する必要がある。ラマン分光法では、例えばアルゴンイオンレーザーを使用するのが一般的であり、複数の有用な波長（例えば、４５７．９ｎｍ、４８８．０ｎｍ、５１４．５ｎｍなど）を生成する。特定の物質では、特に生体学的試料では、蛍光発光が短波長光の照明によって悪化するので、長波長のレーザー光線（すなわち、赤外線寄りの光線）が好ましい。そのため、１つ又は複数のレーザー光源から波長を選択する簡便な手段が求められている。
【００１６】
ここで説明する分光における柔軟性を向上させたシステム及び技術は、光学ビームの分割又は分離、フィルタ処理、及び再複合（組み合わせる）の構造を含んでいる。その結果、複数の波長の光線は、多波長分光用途のために、別々の波長に迅速に分けられ、ダウン選択され、再複合される。
【００１７】
図２は、一実施形態に係る光線調節システム２００を示す。光線調節システム２００には、複数の波長λ１，λ２，λ３，λ４，λ５，…，λｎを有する光線１０５が入射する。前記複数の波長は、１つ又は複数のレーザー光源からのレーザー光線、レーザー光源からのプラズマ線、又はレーザー光源以外からのスペクトル線から生じる。光線１０５は、第１のスタック１０７又はビームスプリッタ１１０の連続構造（垂直に積層されたのが図示されている）に入射し、各ビームスプリッタ１１０において２つの成分に分割される。ビームスプリッタとしては、様々な種類のものを使用することができる。例えば、ビームスプリッタとしては、非偏光キューブビームスプリッタ、偏光キューブビームスプリッタ、広帯域誘電体表面被覆偏光ビームスプリッタ（broadband dielectric surface coated polarizing beam splitters）、単一レーザー光線非偏光前面ビームスプリッタ（single laser line non-polarizing front surface beam splitters）、薄膜ビームスプリッタ、及び中性密度ビームスプリッタを使用することができる。光線１０５の一部が、第１のビームスプリッタ１１０（１）を通過して、波長λ１の光線のみを通過させるフィルタ１１５（１）へ伝達される。光線１０５の残りの部分は、第１のビームスプリッタ１１０（１）で略直角に反射され、スタック１０７の第２のビームスプリッタ１１０（２）へ導かれる。第２のビームスプリッタ１１０（２）は、第１のビームスプリッタ１１０（１）と同様に、入射した光線を２つに分割する。第２のビームスプリッタ１１０（２）では、光線の一部が、波長λ２の光線のみを通過させる第２のフィルタ１１５（２）に向かって反射される。光線の残りの部分は、第２のビームスプリッタ１１０（２）を通過する。第２のビームスプリッタ１１０（２）を通過した光線は、第３のビームスプリッタ１１０（３）へ導かれる。
【００１８】
第３のビームスプリッタ１１０（３）は、第１及び第２のビームスプリッタ１１０（１），１１０（２）と同様に、入射した光線を２つに分割し、一方の光線を第３のフィルタ１１５（３）へ導き、他方の光線をスタック１０７の次のビームスプリッタ１１０（４）へ導く。以下、同様である。このプロセスは、有用な用途のために、残りの光線に十分なエネルギが残っている間は繰り返される。１００％反射するミラーが、複数のビームスプリッタ１１０に面した位置に配置され、光線を反射して光線調節システム２００内へ戻す。ミラーとしては、様々な種類のものを使用することができる。例えば、ミラーとしては、金属前面ミラー、広帯域誘電体前面ミラー、及び狭線幅誘電体前面ミラーを使用することができる。ミラー１２０間の複数の反射、並びに、各ビームスプリッタ１１０で行われる反射及び透過によって、そのままでは損失する光エネルギの一部を回復させることができる。このことにより、全体的な光学効率が向上する。ビームスプリッタ１１０、フィルタ１１５、及びミラー１２０の配置の組み合わせについて詳細に説明すると、選択された波長の光線のみが光線調節システム２００から出射される。そして、ミラー２００で反射されて光線調整システム２００に戻された光は、最終的に光線調整システム２００から出射される光線と複合されるか、減衰して消失するか、異なる波長のフィルタ１１５によって選択的に遮断される。
【００１９】
各フィルタ１１５を通過する光線は、そのフィルタによって特定された波長に限定される。図２に示す実施形態では、各フィルタ１１５は、光線調節システム２００に入ってきた複数の波長の内から、単一の波長のみを通過させている。しかし、複数の波長を通過させるフィルタも当該技術分野では周知であり、本発明で使用することができる。フィルタとしては、様々な種類のものを使用することができる。例えば、フィルタとしては、単一波長帯域通過フィルタ、複数波長帯域通過フィルタ、単一波長帯域遮断フィルタ、複数波長帯域遮断フィルタ、及びオパーク遮断フィルタを使用することができる。各フィルタ１１５を通過した光線は、複数のビームスプリッタ１１０を組み合わせた第２のスタック１０９に入る。第２のスタック１０９内では、各フィルタ１１５を通過した各光線を複合させる（組み合わせる）プロセスが行われる。選択された波長の光線から成る複合された光線２１０は、所望する用途又はシステムで使用するために、光線調節システム２００から出射される。
【００２０】
図３は、他の実施形態に係る光線調節システム３００を示す。複数の波長λ１，λ２，λ３，λ４，λ５，…，λｎを有する光線１０５が、光線調節システム３００の回折格子３１０に入射する。回折格子３１０では、光線１０５を、波長に従って、様々な回折次数及び様々な回折角度の様々な波長成分λ１，…，λｎに分離する。そして、ある次数の回折光線は、一般的に、さらなるフィルタ処理のために選択される。回折次数がゼロ次及び他の全ての回折次数に含まれている光線は廃棄されるが、回折格子は、必要に応じて、光学システムの効率を向上させるためにブレーズ（blazed）することができる。フィルタ１１５は、分離された波長の光線が光線調節システム３００をさらに通過して進むことを防止するために、例えばオパーク遮断フィルタなどの遮断フィルタから構成することができる。したがって、例として、図３では、回折次数ｍ＝−１の波長λ１，…，λｎに分離された光線（全部は図示しない）は、フィルタ１１５が波長λ２及びλｎの光線を遮断し、残りの波長（λ１及びλ３）の光線を通過させる経路へ導かれる。残りの波長（λ１及びλ３）を有する通過した光線は、軸外し集束ミラー３２０に入射される。軸外し集束ミラー３２０は、光線を、全ての光線が集光される集点３３０へ導く。例えば、光線を空間の他のポイントに集束及び集光させるなどの他の目的のために、他の形態のミラー３２０を用いることもできる。回折次数ｍ＝０及びｍ＝１の、様々な波長λ１，…，λｎに分離された光線は、集束ミラー３２０から遠くへ反射され、使用されない。
【００２１】
図４は、別の実施形態に係る光線調節システム４００を示す。複数の波長λ１，λ２，λ３，λ４，λ５，…，λｎを有する光線１０５、光線調節システム４００の回折格子３１０に入射する。回折格子３１０では、前述した光線調節システム３００と同様に、光線１０５を、スペクトル波長及び回折次数に従って分離する。そして、選択された回折次数の波長は、各フィルタ１１５の性質に応じてフィルタ処理又は遮断される。残りの波長の通過した光線は、複数のミラー４４０の配列に入射される。ミラー４４０は、前記通過した各光線（それぞれが異なる選択された波長を有する）を、光線調節システム４００の出口へ導く。ミラー４４０の配列は、各光線が光線調節システム４００の外部に位置する一点に集光されるように配置される。しかし、光線は、集束されずに、集合点において一点に集まって重なるだけである。各ミラー４４０が凹面ミラーである場合は、ミラー４４０のために特定された焦点距離で、焦点合わせが行われる。
【００２２】
図５は、さらなる別の実施形態に係る光線調節システム５００を示す。光線調節システム５００は、以下の点を除いては、光線調節システム４００と同様である。ミラー５４０の配列は、選択された波長の光線を平行にして、スタック１０９に導くように配置されている。スタック１０９は、図２の実施形態に示したような、ビームスプリッタ１１０の組み合わせである。したがって、図４の光線調節システム４００で説明した方法によって選択された波長を有する光線は、ミラー５４０によって平行にされた後、スタック１０９へ入射される。そして、スタック１０９に入射された光線は、図２の光線調節システム２００で説明した方法によって、スタック１０９のビームスプリッタ１１０により１つの出力光線５５０に複合される。その結果、所望する波長（λ１及びλ３）の略平行な単一の光線が得られる。
【００２３】
本発明では、集束、導く、集光などの様々な目的で、選択、複合（組み合わせる）、及び異なる波長の出力光線を出力などの所望する作用を行うために、他の実施形態を互換的に使用することもできる。
【００２４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想の範囲から逸脱しない範囲内で様々な変更及び変形が可能である。上記の説明は、複数の波長を有する光線を調節するための構造であって、不連続又は連続的な光線を受光して、フィルタ及び／又は回折格子によって特定の波長を選択し、その選択された波長の光線を出力光線として複合させる（組み合わせる）構造を示したものである。上述した実施形態の様々な構成要素は、互いに置き換えることができる。例えば、図５のビームスプリッタのスタック１０９を、図３の光線調節システム３００に使用することもできる。その場合は、集束ミラー３２０の代わりに、選択された光線を平行にするミラーを使用する。従って、本発明の範囲は、特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】１つ又はそれ以上のレーザー光源及び／又は連続スペクトル光源で生成された様々な波長の選択及び組み合わせを行うための、従来の手段を示す概略図である。
【図２】一実施形態に係る光線調節システム２００を示す概略図である。
【図３】他の実施形態に係る光線調節システム３００を示す概略図である。
【図４】別の実施形態に係る光線調節システム４００を示す概略図である。
【図５】さらなる別の実施形態に係る光線調節システム５００を示す概略図である。
【図１】
2008065329.tif 000003
【図２】
2008065329.tif 000004
【図３】
2008065329.tif 000005
【図４】
2008065329.tif 000006
【図５】
2008065329.tif 000007