(57)【要約】【課題】複数の塗布針と複数の容器を一度に容易に搬送することが可能な搬送台を提供する。【解決手段】この搬送台は、搬送台ブロック１と塗布針ホルダ固定板２を備える。固定板２は、４つの塗布針ホルダ４を保持するための４つのマグネットＭ４を含む。搬送台ブロック１は、固定板２を保持するための２つのマグネットＭ２と、４つのインク容器５を保持するための４つのマグネットＭ１とを含む。したがって、４本の塗布針３と４つのインク容器５を一度に容易に搬送できる。【選択図】図１
2008080231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ複数の液状材料を塗布するための複数の塗布針と、それぞれ前記複数の液状材料を収容する複数の容器とを備え、前記複数の液状材料のうちのいずれかの液状材料を基板上の微細領域に塗布する液状材料塗布装置において、前記複数の塗布針および前記複数の容器を搬送するための搬送台であって、
それぞれ前記複数の塗布針を保持するための複数の第１磁石と、
それぞれ前記複数の容器を保持するための複数の第２磁石とを備えたことを特徴とする、搬送台。
【請求項２】
前記複数の塗布針はそれぞれ複数の塗布針ホルダに立設され、
前記複数の塗布針ホルダにはそれぞれ複数の第３磁石が固定され、
前記複数の第３磁石がそれぞれ前記複数の第１磁石に吸着されて前記複数の塗布針が前記搬送台に保持され、
前記複数の容器にはそれぞれ複数のインク容器固定ピンが設けられ、
前記複数のインク容器固定ピンがそれぞれ前記複数の第２磁石に吸着されて前記複数の容器が前記搬送台に保持されることを特徴とする、請求項１に記載の搬送台。
【請求項３】
前記複数の塗布針を保護するための保護壁を備えたことを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の搬送台。
【請求項４】
前記複数の第２磁石が固定された搬送台ブロックと、
前記搬送台ブロックに着脱可能に設けられ、前記複数の第１磁石が固定された塗布針ホルダ固定板とを備えたことを特徴とする、請求項１から請求項３までのいずれかに記載の搬送台。
【請求項５】
前記搬送台ブロックに第４磁石が固定され、
前記塗布針ホルダ固定板に第５磁石が固定され、
前記第５磁石が前記第４磁石に吸着されて前記塗布針ホルダ固定板が前記搬送台ブロックに保持されることを特徴とする、請求項４に記載の搬送台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は搬送台に関し、特に、基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための複数の塗布針と複数の容器を搬送するための搬送台に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の大型化、高精細化に伴い画素数も増大し、ＬＣＤを無欠陥で製造することは困難となり、欠陥の発生確率も増加してきている。このような状況下において歩留まり向上のために、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を修正する欠陥修正装置が生産ラインに不可欠となってきている。
【０００３】
図１２（ａ）〜（ｃ）は、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を示す図である。図１２（ａ）〜（ｃ）において、カラーフィルタは、透明基板と、その表面に形成されたブラックマトリクス５１と呼ばれる格子状のパターンと、複数組のＲ（赤色）画素５２、Ｇ（緑色）画素５３、およびＢ（青色）画素５４とを含む。カラーフィルタの製造工程においては、図１２（ａ）に示すように画素やブラックマトリクス５１の色が抜けてしまった白欠陥５５や、図１２（ｂ）に示すように隣の画素と色が混色したり、ブラックマトリクス５１が画素にはみ出してしまった黒欠陥５６や、図１２（ｃ）に示すように画素に異物が付着した異物欠陥５７などが発生する。
【０００４】
白欠陥５５を修正する方法としては、インク塗布機構により、白欠陥５５が存在する画素と同色のインクを塗布針の先端部に付着させ、塗布針の先端部に付着したインクを白欠陥５５に塗布して修正する方法がある。また、黒欠陥５６や異物欠陥５７を修正する方法としては、欠陥部分をレーザカットして矩形の白欠陥５５を形成した後、インク塗布機構により、塗布針の先端部に付着したインクをその白欠陥５５に塗布して修正する方法がある。
【０００５】
図１３は、従来のインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。図１３において、このインク塗布機構は、インク塗布用の塗布針６１と、塗布針６１を垂直駆動させるための塗布針駆動シリンダ６２とを含む。塗布針６１は、塗布針ホルダ６４および固定ベース６５を介して塗布針駆動シリンダ６２の駆動軸６３の先端部に設けられる。
【０００６】
また、このインク塗布機構は、水平に設けられた回転テーブル６６を含み、回転テーブル６６上には円周方向に複数のインクタンク６７〜７０が順次配置され、さらに、回転テーブル６６上には洗浄装置７１とエアパージ装置７２とが設けられる。回転テーブル６６の中心には回転軸７３が立設されている。また、回転テーブル６６には、インク塗布時に塗布針６１を通過させるための切欠部７４が形成されている。インクタンク６７〜７０には、それぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）および黒のインクが適宜注入されている。洗浄装置７１は、塗布針６１に付着したインクを除去するためのものであり、エアパージ装置７２は塗布針６１に付着した洗浄液を吹き飛ばすためのものである。
【０００７】
さらに、このインク塗布機構は、回転テーブル６６の回転軸７３を回転させるためのインデックス用モータ７５を含み、さらに回転軸７３とともに回転するインデックス板７６と、インデックス板７６を介して回転テーブル６６の回転位置を検出するためのインデックス用センサ７７と、インデックス板７６を介して回転テーブル６６の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ７８とが設けられる。モータ７５はセンサ７７，７８の出力に基づいて制御され、回転テーブル６６を回転させて切欠部７４、インクタンク６７〜７０、洗浄装置７１およびエアパージ装置７２のうちいずれかを塗布針６１の下方に位置させる。
【０００８】
次に、このインク塗布機構の動作について説明する。まず、図示しない位置決め装置により、カラーフィルタ基板の欠陥部の上方の所定位置に塗布針６１の先端が位置決めされる。次いで、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、所望のインクタンク（たとえば６７）が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１の先端部にインクが付着される。
【０００９】
次いで、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、切欠部７４が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１の先端部に付着したインクがカラーフィルタ基板の欠陥部に塗布される。
【００１０】
塗布針６１の洗浄時は、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、洗浄装置７１が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１に付着したインクが洗浄される。次いで、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、エアパージ装置７２が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１に付着した洗浄液が吹き飛ばされる。
【００１１】
また、図１４（ａ）は洗浄装置７１の平面図であり、図１４（ｂ）は洗浄装置７１の断面図である。図１４（ａ）（ｂ）において、洗浄装置７１は、洗浄液８１を貯える洗浄容器８２と、洗浄容器８２の蓋８３と、洗浄容器８２内の洗浄液８１を撹拌して洗浄効果を高める撹拌ペラ８４と、撹拌ペラ８４を回転駆動させるモータ８５とを備える。蓋８３には小孔が開口されている。塗布針６１は、小孔を介して洗浄液８１に浸されて洗浄される（たとえば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−２３６９３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、従来のインク塗布機構では、塗布針６１が１本しか設けられていないので、塗布するインクの色が変わる度に塗布針６１を洗浄する必要があり、この洗浄時間により修正タクトが長くなると言う問題があった。
【００１３】
この対策として、４色のインクに対応して４組の塗布針６１およびインクタンクを設け、塗布するインクの色を変えるときの塗布針６１の洗浄工程を無くすとともに、インク塗布機構から洗浄装置７１およびエアパージ装置７２を除去してインク塗布機構の小型化を図る方法が考えられる。
【００１４】
しかし、この方法でも、塗布針６１を定期的に洗浄あるいは交換し、インクタンクのインクを補充あるいは交換する必要がある。この場合に、塗布針とインクタンクを個別に修正装置から作業台へ、また、作業台から欠陥修正装置へ搬送する方法では、搬送作業が繁雑になり時間が掛かるとともに、搬送途中で落下させて塗布針やインクタンクを損傷させてしまう可能性がある。
【００１５】
それゆえに、この発明の主たる目的は、複数の塗布針と複数の容器を一度に容易に搬送することが可能な搬送台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明に係る搬送台は、それぞれ複数の液状材料を塗布するための複数の塗布針と、それぞれ複数の液状材料を収容する複数の容器とを備え、複数の液状材料のうちのいずれかの液状材料を基板上の微細領域に塗布する液状材料塗布装置において、複数の塗布針および複数の容器を搬送するための搬送台であって、それぞれ複数の塗布針を保持するための複数の第１磁石と、それぞれ複数の容器を保持するための複数の第２磁石とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
好ましくは、複数の塗布針はそれぞれ複数の塗布針ホルダに立設され、複数の塗布針ホルダにはそれぞれ複数の第３磁石が固定され、複数の第３磁石がそれぞれ複数の第１磁石に吸着されて複数の塗布針が搬送台に保持され、複数の容器にはそれぞれ複数のインク容器固定ピンが設けられ、複数のインク容器固定ピンがそれぞれ複数の第２磁石に吸着されて複数の容器が搬送台に保持される。
【００１８】
また好ましくは、複数の塗布針を保護するための保護壁を備える。
また好ましくは、複数の第２磁石が固定された搬送台ブロックと、搬送台ブロックに着脱可能に設けられ、複数の第１磁石が固定された塗布針ホルダ固定板とを備える。
【００１９】
また好ましくは、搬送台ブロックに第４磁石が固定され、塗布針ホルダ固定板に第５磁石が固定され、第５磁石が第４磁石に吸着されて塗布針ホルダ固定板が搬送台ブロックに保持される。
【発明の効果】
【００２０】
この発明に係る搬送台では、それぞれ複数の塗布針を保持するための複数の第１磁石と、それぞれ複数の容器を保持するための複数の第２磁石とが設けられる。したがって、複数の塗布針と複数の容器を一度に搬送することができる。また、塗布針と容器の各々を磁石で保持するので、容易に着脱することができ、また、搬送途中で落下させる可能性も低い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１（ａ）は、この発明の一実施の形態による搬送台の構成および使用方法を示す平面図であり、図１（ｂ）はその正面図であり、図１（ｃ）はその側面図である。図１（ａ）〜（ｃ）において、この搬送台は、搬送台ブロック１と塗布針ホルダ固定板２を備える。塗布針ホルダ固定板２は、搬送台ブロック１の表面に着脱自在に保持される。
【００２２】
塗布針３は、平板上の塗布針ホルダ４の一角に垂直に立設されている。４つの塗布針ホルダ４は、塗布針ホルダ固定板２に着脱自在に保持される。インク容器５には長方形の保持部６が設けられ、保持部６にはインク容器固定ピン７が固定されている。４つのインク容器５は、保持部６およびインク容器固定ピン７を介して搬送台ブロック１の表面に着脱自在に保持される。
【００２３】
図２（ａ）は搬送台ブロック１の構成を示す平面図であり、図２（ｂ）はその正面図であり、図２（ｃ）はその側面図である。図２（ａ）〜（ｃ）において、搬送台ブロック１の表面の１辺に沿ってインク容器逃げ溝１０が形成され、インク容器逃げ溝１０に沿って４つのインク容器位置決めピン１１が所定のピッチで立設され、各インク容器位置決めピン１１とインク容器逃げ溝１０との間にインク容器固定用マグネットＭ１がその表面を露出させた状態で埋設され、溝１０を挟んで各マグネットＭ１に対向してインク容器位置決めピン１２が立設されている。
【００２４】
図１（ａ）（ｂ）に示すように、インク容器５の保持部６の両端面にはピン１１，１２と略同径の溝６ａが形成されている。保持部６の両端の溝６ａにインク容器位置決めピン１１，１２を挿通させるようにして保持部６をピン１１，１２間に挿入すると、保持部６の裏面に露出したインク容器固定ピン７がマグネットＭ１に吸着されるとともに、インク容器５の底はインク容器逃げ溝１０に挿入される。このようにして、各インク容器５は搬送台に保持される。
【００２５】
また、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、搬送台ブロック１表面のインク容器逃げ溝１０と反対側の１辺に沿って、塗布針３の長さよりも深い塗布針収納溝１３が形成されている。塗布針収納溝１３と搬送台ブロック１表面の１辺との間の部分は、塗布針３を保護する塗布針ガード（保護壁）１４となる。塗布針ガード１４には、塗布針３を着脱し易くするための複数（図では２つ）の切欠部が形成されている。
【００２６】
また、塗布針収納溝１３の塗布針ガード１４と反対側には、溝１３に沿って塗布針ホルダ固定板固定部１５が凹設されている。塗布針ホルダ固定板固定部１５は、塗布針ホルダ固定板２の幅および厚さ分だけ搬送台ブロック１の表面を削り取った形状を有し、固定板２の長辺側の端面が当接される端面Ｅ１と、固定板２の短辺側の端面が当接される端面Ｅ２とを有する。また、塗布針ホルダ固定板固定部１５の底面には、２つの塗布針ホルダ固定板固定用マグネットＭ２がそれらの表面を露出させた状態で埋設されている。
【００２７】
図３（ａ）は塗布針ホルダ４の構成を示す図であり、図３（ｂ）は塗布針ホルダ固定板２の構成を示す平面図であり、図３（ｃ）は４つの塗布針ホルダ４を保持した塗布針ホルダ固定板２を示す平面図であり、図３（ｄ）は図３（ｃ）の正面図であり、図３（ｅ）は図３（ｃ）の下面図である。
【００２８】
図３（ａ）に示すように、塗布針３は塗布針ホルダ４の表面の一角に垂直に立設され、塗布針ホルダ４の表面には塗布針ホルダ用マグネットＭ３がその表面を露出させた状態で埋設されている。
【００２９】
また図３（ｂ）に示すように、塗布針ホルダ固定板２の表面の長辺に沿って３つの塗布針ホルダ固定部１６〜１８が所定の間隔で凹設されている。塗布針ホルダ固定部１６〜１８の各々は、塗布針ホルダ４の厚さ分だけ固定板２の表面を削り取った形状を有し、塗布針ホルダ４の表面が当接される底面と、塗布針ホルダ４の短辺側の端面が当接される端面Ｅ３と、塗布針ホルダ４の長辺側の端面が当接される端面Ｅ４とが形成される。塗布針ホルダ固定部１６，１８には塗布針ホルダ固定用マグネットＭ４が１つずつ表面を露出させた状態で埋設され、塗布針ホルダ固定１７には２つの塗布針ホルダ固定用マグネットＭ４がそれらの表面を露出させた状態で埋設されている。
【００３０】
図３（ｃ）（ｄ）に示すように、塗布針ホルダ固定部１６，１８には塗布針ホルダ４が１つずつ保持され、塗布針ホルダ固定部１７には２つの塗布針ホルダ４が保持される。各塗布針ホルダ４は、その表面に埋設された塗布針ホルダ用マグネットＭ３と、対応の塗布針ホルダ固定部に埋設された塗布針ホルダ固定用マグネットＭ４との吸着力により、塗布針ホルダ固定板４に固定される。
【００３１】
このとき図４に示すように、塗布針ホルダ用マグネットＭ３の中心と塗布針ホルダ固定用マグネットＭ４の中心が所定距離だけずれるように構成されている。これにより、図４の矢印の方向に、マグネットＭ３，Ｍ４間の求心力Ｆ１が働き、塗布針ホルダ４は、塗布針ホルダ固定板２の２つの端面Ｅ３，Ｅ４に押圧される状態で固定される。
【００３２】
ここで、マグネットＭ３，Ｍ４の求心力について説明する。図５(ａ）〜（ｄ）に示すように、マグネットＭ３のＮ極とマグネットＭ４のＳ極が磁気吸引力によって引き合う程度の距離までマグネットＭ３とＭ４を近付けると、マグネットＭ３のＮ極から出た磁束はマグネットＭ４のＳ極に真っ直ぐに向かう。また、引き伸ばしたゴム糸に縮まろうとする力があるように、磁束にも縮まろうとする力が働く。この力により、互いに中心がずれたマグネットＭ３，Ｍ４は、互いの中心が一致する位置に移動しようとする。この力は、求心力と呼ばれる。
【００３３】
図３（ｅ）に戻って、塗布針ホルダ固定板２の裏面には、２つの塗布針ホルダ固定板固定用マグネットＭ５がそれらの表面を露出させた状態で埋設される。塗布針ホルダ固定板４は、その裏面に埋設された塗布針ホルダ固定板固定用マグネットＭ５と、搬送台ブロック１の表面に埋設された塗布針ホルダ固定板固定用マグネットＭ２との吸着力により、搬送台ブロック１に固定される。
【００３４】
このとき図６に示すように、マグネットＭ２の中心とマグネットＭ５の中心が所定距離だけずれるように構成されている。これにより、図６の矢印の方向に、マグネットＭ２，Ｍ５間の求心力Ｆ２が働き、塗布針ホルダ固定板２は搬送台ブロック１の２つの端面Ｅ１，Ｅ２に押圧される状態で固定される。
【００３５】
塗布針ホルダ４を、塗布針ホルダ固定板２を介して搬送台ブロック１に固定するようにしたのは、塗布針３を塗布針洗浄機構（図示せず）で洗浄する際に、４本一括で搬送台から塗布針洗浄機構に移載することを可能にするためである。これにより、洗浄する際の塗布針移載時間の短縮も可能となる。
【００３６】
このように、本実施の形態によれば、４つの塗布針ホルダ４と４つのインク容器５を搬送台に搭載し、一度に搬送することができる。したがって、塗布針３とインク容器５の交換時の搬送の繁雑さが解消され、作業効率が向上する。また、塗布針ホルダ４とインク容器５は、搬送台にマグネットで固定されているので、搬送途中の振動で落下することも無い。また、搬送台には塗布針ガード１４が設けられているので、搬送途中に塗布針３の先端をぶつけて破損することも無い。
【００３７】
なお、この実施の形態では、４つの塗布針ホルダ４と４つのインク容器５を一括して搬送したが、これらの数は４つに限定するものでは無く、４つよりも少なくても多くても良い。
【００３８】
図７（ａ）〜（ｃ）は、この実施の形態の変更例による搬送台の構成および使用方法を示す図であって、図１（ａ）〜（ｃ）と対比される図である。また、図８（ａ）〜（ｃ）は、搬送台ブロックの構成を示す図であって、図２（ａ）〜（ｃ）と対比される図である。
【００３９】
図７（ａ）〜（ｃ）および図８（ａ）〜（ｃ）を参照して、この搬送台が上記実施の形態の搬送台と異なる点は、塗布針ホルダ固定板２が除去され、塗布針ホルダ固定部１６〜１８が塗布針収納溝１３に沿って搬送台ブロック１の表面に直接形成されている点である。４つの塗布針ホルダ４は、搬送台ブロック１の表面に直接搭載される。この変更例でも、実施の形態と同じ効果が得られる。
【００４０】
図９は、Ｒ，Ｇ，Ｂおよび黒用の４本の塗布針３を備えた欠陥修正装置の要部を示す図である。図９において、この欠陥修正装置は、光学鏡筒２０および対物レンズ２１を含む観察光学系２２を備える。観察光学系２２はＺ軸テーブル２３に搭載されている。修正対象の液晶カラーフィルタ基板２４は、対物レンズ２１に対向してＸＹテーブル（図示せず）に搭載される。ＸＹテーブルによって基板２４をＸＹ方向（水平方向）に移動させ、Ｚ軸テーブル２３によって観察光学系２２をＺ軸方向（垂直方向）に移動させることにより、基板２４表面の任意の位置に対物レンズ２１の焦点を合わせて拡大して観察することが可能となっている。
【００４１】
Ｚ軸テーブル２３には、インク塗布機構２５も搭載されている。インク塗布機構２５は、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂおよび黒用の４つの塗布ユニット２６〜２９を備え、塗布ユニット２６，２７はＸ１テーブル３０に搭載され、塗布ユニット２８，２９はＸ２テーブル３１に搭載され、図９に示すように、テーブル３０，３１はＺ軸テーブル３２に搭載され、Ｚ軸テーブル３２はＹ軸テーブル３３に搭載されている。
【００４２】
塗布を行なうために選択された塗布針３を、Ｙ軸テーブル３３によって、塗布針３が塗布を行なう欠陥位置のＹ方向位置と同じ位置に来るように移動させ、次いでＺ軸テーブル３２によって、選択された塗布針３を含む塗布ユニット２６〜２９のいずれかを対物レンズ２１の下に挿入できるように垂直方向に下降させ、さらに、塗布針３が塗布を行なう欠陥位置のＸ方向位置と同じ位置に来るように、選択された塗布針３を含む塗布ユニット２６〜２９のいずれかを搭載するＸ１テーブル３０またはＸ２テーブル３１を対物レンズ２１の方向に移動させることにより、対物レンズ２１と基板２４の間に挿入することが可能となっている。
【００４３】
塗布ユニット２６は、図１０（ａ）（ｂ）に示すように、２本のアーム４０，４１を含む。アーム４０の先端には塗布針ホルダ４が取り付けられ、アーム４１の先端にはインク容器５が取り付けられ、塗布針３はインク容器５に挿入されている。
【００４４】
図１１に示すように、インク容器５の底には孔５ａが開口され、インク４３が注入されている。孔５ａは、インク４３が流出しないような小さな寸法に設定されている。インク容器５の側部には保持部６が設けられており、保持部６にはインク容器５をアーム４１の先端部に磁石（図示せず）を介して固定するためのインク容器固定ピン７が設けられている。インク容器５の開口部は蓋４５で閉じられており、蓋４５には孔４５ａが開口されている。
【００４５】
塗布針３は、先端部３ａ側の小径部３ｂと、塗布針ホルダ４に固着される大径部３ｃからなる段付形状を有し、小径部３ｂの直径はインク容器５の孔５ａの直径よりも若干小さく設定され、大径部３ｃの直径は蓋４５の孔４５ａの直径よりも若干小さく設定されている。
【００４６】
図１０（ａ）（ｂ）に戻って、アーム４１の基端部はスライド機構４６によってアーム４０の中央部に上下動可能に支持され、アーム４０の基端部はスライド機構４７によって支持台４８に上下動可能に支持されている。支持台４８の下端には、アーム４０，４１の下方への移動を制限するストッパ４９が設けられ、支持台４８にはアーム４０の基端部の下端を上下動させるシリンダ５０が搭載されている。
【００４７】
次に、この欠陥修正装置の動作について説明する。待機時は、シリンダ５０によってアーム４０が上限位置に保持され、アーム４１はアーム４０にぶら下がった状態になっている。このときアーム４０，４１間の上下方向の距離は最大になっており、図１１に示すように、塗布針３の先端部３ａはインク４３に浸漬されている。
【００４８】
観察光学系２２によって基板２４に欠陥を見つけた場合は、その欠陥を修正するために必要なインク４３を選択する。選択したインク４３がたとえば塗布ユニット２６のインク容器５に注入されているとすると、テーブル３０〜３３を制御して塗布ユニット２６の塗布針３を対物レンズ２１と基板２４上の欠陥との間に挿入する。
【００４９】
次いで、塗布ユニット２６のシリンダ５０によってアーム４０，４１を下限位置まで下降させる。このとき、アーム４１がアーム４０よりも先にストッパ４９に接触し、アーム４０，４１間の上下方向の距離が最小になり、塗布針３の先端部３ａがインク容器５の孔５ａを貫通してインク容器５の底から突出し、さらにＺ軸テーブル３２を垂直方向に下降させると塗布針３の先端部３ａが欠陥に接触する。インク容器５の底から突出した塗布針３の先端部３ａにはインク４３が付着しており、そのインク４３が欠陥に塗布されて欠陥が修正される。Ｚ軸テーブル３２を垂直方向に上昇させ、シリンダ５０によってアーム４０，４１を上限位置まで上昇させると、図１１で示したように、塗布針３の先端部３ａはインク容器５内に収容され、欠陥の修正は終了する。
【００５０】
このようなインク塗布機構２５では、従来のように塗布するインク４３の色を変える度に塗布針３を洗浄する必要はないが、インク容器５内のインク４３が不足または劣化した場合は、塗布針ホルダ４およびインク容器５を取り外し、塗布針３およびインク容器５を洗浄し、インク４３を補充または交換する必要がある。このとき、塗布針洗浄とインク補充・交換を行なう作業台を準備しておき、塗布針３とインク容器５を欠陥修正装置から作業台へ搬送し、作業後には逆に、塗布針３とインク容器５を作業台から欠陥修正装置へ搬送する必要が生じる。しかし、４本の塗布針３と４つのインク容器５を作業者が同時に搬送することはできず、複数回に分けて搬送する必要があり、作業が繁雑になり時間が掛かるという課題がある。本願発明の搬送台は、このような問題を解決し、上述のように４本の塗布針３と４つのインク容器５を一括して容易に搬送することができる。
【００５１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の一実施の形態による搬送台の構成および使用方法を示す図である。
【図２】図１に示した搬送台ブロックの構成を示す図である。
【図３】図１に示した塗布針ホルダ固定板の構成および使用方法を示す図である。
【図４】図３に示したマグネットＭ３，Ｍ４間の求心力を示す図である。
【図５】図４に示した求心力を説明するための図である。
【図６】図２および図３に示したマグネットＭ２，Ｍ５間の求心力を示す図である。
【図７】実施の形態の変更例を示す図である。
【図８】図７に示した搬送台ブロックの構成を示す図である。
【図９】図１に示した４本の塗布針を使用する欠陥修正装置の要部を示す図である。
【図１０】図９に示した塗布ユニットの構成を示す図である。
【図１１】図１０に示したインク容器の構成を示す断面図である。
【図１２】液晶カラーフィルタ基板に発生する欠陥を示す図である。
【図１３】図１２に示した白欠陥を修正するインク塗布機構の構成を示す図である。
【図１４】図１３に示した洗浄装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  搬送台ブロック、２  塗布針ホルダ固定板、３，６１  塗布針、３ａ  先端部、３ｂ  小径部、３ｃ  大径部、４  塗布針ホルダ、５  インク容器、５ａ  孔、６  保持部、６ａ  溝、７  インク容器固定ピン、１０  インク容器逃げ溝、１１，１２  インク容器位置決めピン、１３  塗布針収納溝、１４  塗布針ガード、１５  塗布針ホルダ固定板固定部、１６〜１８  塗布針ホルダ固定部、Ｍ１〜Ｍ５  マグネット、Ｅ１〜Ｅ４  端面、２０  光学鏡筒、２１  対物レンズ、２２  観察光学系、２３，３２  Ｚ軸テーブル、２４  液晶カラーフィルタ基板、２５  インク塗布機構、２６〜２９  塗布ユニット、３０  Ｘ１テーブル、３１  Ｘ２テーブル、３３  Ｙ軸テーブル、４０，４１  アーム、４３  インク、４５  蓋、４５ａ  孔、４６，４７  スライド機構、４８  支持台、４９  ストッパ、５０  シリンダ、５１  ブラックマトリクス、５２  Ｒ画素、５３  Ｇ画素、５４  Ｂ画素、５５  白欠陥、５６  黒欠陥、５７  異物欠陥、６２  塗布針駆動シリンダ、６３  駆動軸、６４  塗布針ホルダ、６５  固定ベース、６６  回転テーブル、６７〜７０  インクタンク、７１  洗浄装置、７２  エアパージ装置、７３  回転軸、７４  切欠部、７５  モータ、７６  インデックス板、７７  インデックス用センサ、７８  原点復帰用センサ、８１  洗浄液、８２  洗浄容器、８３  蓋、８４  撹拌ペラ、８５  モータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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