(57)【要約】【課題】一定方向に搬送される帯状のフィルムに付着した洗浄液の液切り及び乾燥を行うことができる洗浄液切り乾燥装置を提供する。【解決手段】洗浄槽７０Ａから感光ウエブ１８が搬出される位置に、周面の一部が洗浄液７１に浸漬され感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の親水性液絞りローラ２０２を配設する。親水性液絞りローラ２０２の下流側に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の空中液絞りローラ２３０を配設し、空中液絞りローラ２３０の下流側に温風乾燥装置２４０を配設する。温風乾燥装置２４０は、感光ウエブ１８をガイドする３本の搬送ガイドローラ２４６の上流側と下流側に、スリット状の噴出ノズルから感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風を噴出する温風噴出器２４８、２５０を備えており、温風噴出器２４８、２５０及び搬送ガイドローラ２４６の周囲がフード２４２で覆われている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に搬送される帯状のフィルムを洗浄液で洗浄した後、前記フィルムの洗浄液切り及び乾燥を行う洗浄液切り乾燥装置であって、
前記洗浄液で満たされた洗浄槽の液面に周面の一部が浸漬するように配置され、前記フィルムを挟んで回転する１対のスポンジ状の親水性液絞りローラと、
前記親水性液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側の空気中に配置され、前記フィルムを挟んで回転する１対のスポンジ状の空中液絞りローラと、
前記空中液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側に、前記フィルムの両面に乾燥温風を噴き出す噴出口を備え、前記噴出口の周囲がフードで覆われた温風乾燥装置と、
を有ることを特徴とする洗浄液切り乾燥装置。
【請求項２】
前記温風乾燥装置は、前記フィルムをガイドする搬送ガイドローラを備え、前記搬送ガイドローラが前記噴出口とともに前記フードで覆われていることを特徴とする請求項１に記載の洗浄液切り乾燥装置。
【請求項３】
前記親水性液絞りローラは、ポリビニルアルコール又はポリビニルアルコールの部分フォルマール化物で構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄液切り乾燥装置。
【請求項４】
前記空中液絞りローラは、疎水性ローラからなることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置。
【請求項５】
前記親水性液絞りローラ又は前記空中液絞りローラは、前記フィルムを挟持する１対の円筒体と、前記円筒体を軸受を介して回転可能に支持する２つの軸体と、前記２つの軸体を背面側から押圧して前記円筒体の挟持部の圧力を調整する圧力調整部材と、を有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置。
【請求項６】
前記フードに前記フィルムが搬入される搬入口と、前記フィルムが搬出される搬出口を備え、前記搬入口から排出される温風で前記空中液絞りローラを乾燥させることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置。
【請求項７】
前記親水性液絞りローラの挟持部より回転方向上流側に、新鮮な洗浄液を吹き付ける吹付手段が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置。
【請求項８】
帯状のフィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面に電解めっき浴よりめっき被膜を形成する電解めっき浴槽と、
前記電解めっき浴槽の下流側で前記フィルムを洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽の下流側に請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置と、
を有することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項９】
帯状のフィルムを一定方向に搬送して洗浄液で洗浄した後、前記フィルムの洗浄液切り及び乾燥を行う洗浄液切り乾燥方法であって、
前記洗浄液が満たされた洗浄槽の液面より前記フィルムが搬出される位置で、１対のスポンジ状の親水性液絞りローラで前記フィルムを挟んで前記フィルムに付着した前記洗浄液を絞る第１の液絞り工程と、
前記親水性液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側の空気中で、１対のスポンジ状の空中液絞りローラで前記フィルムを挟んで前記フィルムに付着した前記洗浄液を絞る第２の液絞り工程と、
前記空中液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側で、フードで覆われた内部で前記フィルムの両面に乾燥温風を噴出して前記フィルムを乾燥させる温風乾燥工程と、
を有することを特徴とする洗浄液切り乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一定方向に搬送される帯状長尺のフィルムを洗浄液で洗浄した後、フィルムに付着した洗浄液の液切り及び乾燥を行う洗浄液切り乾燥装置、めっき被膜付きフィルムの製造装置、及び洗浄液切り乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、めっき処理装置では、連続して搬送される処理品に付着した洗浄液を乾燥するための装置が用いられている。この装置として、例えば、特許文献１や特許文献２に示されるように、複数の気体噴出ノズルから乾燥エアーを吹き付けて処理品表面に付着した液体を除去する装置が開示されている。
【０００３】
また、特許文献３に示されるように、複数の気体噴き出し穴が螺旋状に穿設された円筒形噴出器を回転させて圧縮空気を吹き付けて、フィルム状の処理品の表面に付着した洗浄液を除去排出する装置が開示されている。
【０００４】
また、図４に示される装置では、めっき処理したフィルム状の処理品３２０をアルカリ水系水洗槽３００、第１水洗槽３０２、第２水洗槽３０４、純水洗浄槽３０６の順に搬送する。純水洗浄槽３０６から空中に出た部分に１対の液切りローラ３０８を配設し、その液切りローラ３０８の下流側に、通気性と適度な弾力性を有する１対の洗浄用ローラ３１２とバックアップローラ３１４とからなる純水洗浄装置３１０を配設する。バックアップローラ３１４は、回転させながら給水を行う機能、洗浄用ローラ３１２は真空吸水機能を備えており、洗浄用ローラ３１２の間に処理品３２０を通過させ、温風乾燥装置３１６によって処理品３２０の乾燥を行っている（例えば特許文献４を参照）。
【特許文献１】実公昭６２−４６１３７号公報
【特許文献２】特開平６−２８５４４０号公報
【特許文献３】特開２００３−１１０２２８号公報
【特許文献４】特開平９−３１４０８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１及び特許文献２においては、気体噴出ノズルから乾燥エアーを処理品表面に吹き付けたときに、処理品表面から除去された液体が飛散し、処理品に再付着してムラが生じ、長時間の生産においては、飛散した液体が沈積し、未乾燥状態となることがある。
【０００６】
特許文献３においては、複数の気体噴き出し穴を螺旋状に穿設配列した円筒形噴出器を回転させ、処理品に付着した液体を処理品の搬送方向と交差する方向に排出させると共に、付着した液体が飛散しないように円筒形噴出器を覆うフードを配置している。しかし、この装置では、気体噴き出し穴から噴き出された気体によって、処理品表面の巨視的な液が除去されるのみで、極薄膜状に付着している液体は除去されず、完全な乾燥状態を得ることが困難である。
【０００７】
図４においては、純水洗浄槽３０６を出た後にスポンジ状の液切りローラ３０８を設置しているが、この液切りローラ３０８を長時間使用していると、液切りローラ３０８が汚れると共に、液切りローラ３０８に洗浄液体が蓄積され、液切りの効果が低下してしまう。また、液切りローラ３０８の後工程に、真空吸水機能を有する洗浄用ローラ３１２と、給水機能を有するバックアップローラ３１４を回転させながら処理品３２０を搬送し、その後、温風乾燥装置３１６で乾燥を行っている。この温風乾燥装置３１６の詳細構造は示されていないが、単に、エアーノズル等で乾燥エアーを吹き付けるのみでは、処理品３２０の表面を次工程に影響を及ぼさない程度に乾燥することは困難である。また、バックアップローラ３１４及び洗浄用ローラ３１２に給水及び吸水しながら処理品３２０の搬送による動力のみで洗浄用ローラ３１２とバックアップローラ３１４とを回転させているので、処理品３２０の表面に擦り傷が発生しやすくなる。また、このような洗浄用ローラ３１２及びバックアップローラ３１４を配置した２重構造では、フィルム状の処理品３２０を均一に段ムラなく搬送するのは困難である。
【０００８】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、フィルムを安定して搬送しながらフィルム表面に付着した液体を除去及び乾燥させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明に係る洗浄液切り乾燥装置は、一定方向に搬送される帯状のフィルムを洗浄液で洗浄した後、前記フィルムの洗浄液切り及び乾燥を行う洗浄液切り乾燥装置であって、前記洗浄液で満たされた洗浄槽の液面に周面の一部が浸漬するように配置され、前記フィルムを挟んで回転する１対のスポンジ状の親水性液絞りローラと、前記親水性液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側の空気中に配置され、前記フィルムを挟んで回転する１対のスポンジ状の空中液絞りローラと、前記空中液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側に、前記フィルムの両面に乾燥温風を噴き出す噴出口を備え、前記噴出口の周囲がフードで覆われた温風乾燥装置と、を有ることを特徴としている。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、洗浄槽の洗浄液の液面に周面の一部が浸漬するように１対のスポンジ状の親水性液絞りローラが配置されており、親水性液絞りローラがフィルムを挟んで回転することにより、フィルムに付着した洗浄液が絞られる。親水性液絞りローラは、周面の一部が洗浄液に浸漬されているため、親水性液絞りローラの周面が濡れた状態となり、汚れが蓄積しにくい。このため、フィルム表面への汚れの付着やフィルム表面の傷の発生が抑制される。また、フィルムの搬送方向下流側の空気中に１対のスポンジ状の空中液絞りローラが配置されており、空中液絞りローラがフィルムを挟んで回転することにより、フィルムに付着した洗浄液がさらに絞られる。その後、フィルムが温風乾燥装置に搬送され、噴出口から乾燥温風がフィルムの両面に噴出されることにより、フィルムが乾燥される。温風乾燥装置は、噴出口の周囲がフードで覆われており、温風によってフィルムから除去された洗浄液がフードの外側に飛散してフィルムに再付着することが抑制される。これによって、フィルムの乾燥が不十分となることを抑制することが可能となる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の洗浄液切り乾燥装置において、前記温風乾燥装置は、前記フィルムをガイドする搬送ガイドローラを備え、前記搬送ガイドローラが前記噴出口とともに前記フードで覆われていることを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、温風乾燥装置は、フィルムをガイドする搬送ガイドローラが噴出口とともにフードで覆われているので、フィルムが安定して搬送されると共に、乾燥温風によって洗浄液がフードの外側に飛散してフィルムに再付着することが抑制される。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の洗浄液切り乾燥装置において、前記親水性液絞りローラは、ポリビニルアルコール又はポリビニルアルコールの部分フォルマール化物で構成されていることを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、親水性液絞りローラは、ポリビニルアルコール又はポリビニルアルコールの部分フォルマール化物で構成され、周面の一部が洗浄液に浸漬されているので、親水性液絞りローラの周面が洗浄液で濡れた状態となり、汚れが付着することが抑制される。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置において、前記空中液絞りローラは、疎水性ローラからなることを特徴としている。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、空中液絞りローラは、疎水性ローラからなり、空中液絞りローラの表面に洗浄液が付着することが抑制される。このため、空中液絞りローラからフィルム表面に洗浄液が付着することが抑制され、液絞りが不十分となることが抑制される。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置において、前記親水性液絞りローラ又は前記空中液絞りローラは、前記フィルムを挟持する１対の円筒体と、前記円筒体を軸受を介して回転可能に支持する２つの軸体と、前記２つの軸体を背面側から押圧して前記円筒体の挟持部の圧力を調整する圧力調整部材と、を有することを特徴としている。
【００１８】
請求項５に記載の発明によれば、１対の円筒体にフィルムが挟持されており、フィルムの搬送に伴って、軸体に設けられた軸受を介して円筒体が回転する。その際、圧力調整部材によって２つの軸体が背面側から押圧され、円筒体の挟持部の圧力が調整される。このため、円筒体の挟持部の圧力が足りずにフィルムの液絞りが不十分となることが抑制される。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置において、前記フードに前記フィルムが搬入される搬入口と、前記フィルムが搬出される搬出口を備え、前記搬入口から排出される温風で前記空中液絞りローラを乾燥させることを特徴としている。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、フードにフィルムの搬入口が設けられており、搬入口から排出される温風で空中液絞りローラを乾燥させる。これによって、空中液絞りローラに洗浄液が蓄積されることを抑制することが可能となる。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項６までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置において、前記親水性液絞りローラの挟持部より回転方向上流側に、新鮮な洗浄液を吹き付ける吹付手段が設けられていることを特徴としている。
【００２２】
請求項７に記載の発明によれば、親水性液絞りローラの挟持部より回転方向上流側に、吹付手段から新鮮な洗浄液が吹き付けられるので、親水性液絞りローラの周面の汚れが除去される。このため、フィルムに汚れが付着することが抑制される。
【００２３】
請求項８に記載の発明に係るめっき被膜付きフィルムの製造装置は、帯状のフィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面に電解めっき浴よりめっき被膜を形成する電解めっき浴槽と、前記電解めっき浴槽の下流側で前記フィルムを洗浄する洗浄槽と、前記洗浄槽の下流側に請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の洗浄液切り乾燥装置と、を有することを特徴としている。
【００２４】
請求項８に記載の発明によれば、電解めっき浴槽によって帯状のフィルムの導電面にめっき被膜が形成された後、電解めっき浴槽の下流側でフィルムが洗浄槽で洗浄される。洗浄槽の下流側で洗浄液切り乾燥装置によってフィルムに付着した洗浄液の除去及び乾燥が行われる。このため、フィルムの乾燥が不十分となることが抑制される。
【００２５】
請求項９に記載の発明に係る洗浄液切り乾燥方法は、帯状のフィルムを一定方向に搬送して洗浄液で洗浄した後、前記フィルムの洗浄液切り及び乾燥を行う洗浄液切り乾燥方法であって、前記洗浄液が満たされた洗浄槽の液面より前記フィルムが搬出される位置で、１対のスポンジ状の親水性液絞りローラで前記フィルムを挟んで前記フィルムに付着した前記洗浄液を絞る第１の液絞り工程と、前記親水性液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側の空気中で、１対のスポンジ状の空中液絞りローラで前記フィルムを挟んで前記フィルムに付着した前記洗浄液を絞る第２の液絞り工程と、前記空中液絞りローラより前記フィルムの搬送方向下流側で、フードで覆われた内部で前記フィルムの両面に乾燥温風を噴出して前記フィルムを乾燥させる温風乾燥工程と、を有することを特徴としている。
【００２６】
請求項９に記載の発明によれば、洗浄槽の洗浄液の液面よりフィルムが搬出される位置で、１対のスポンジ状の親水性液絞りローラでフィルムを挟むことにより、フィルムに付着した洗浄液が絞られる。さらに、親水性液絞りローラより下流側の空気中で、１対のスポンジ状の空中液絞りローラでフィルムを挟むことにより、フィルムに付着した洗浄液がさらに絞られる。その後、フードで覆われた内部でフィルムの両面に乾燥温風を噴出することにより、フィルムを乾燥させる。これによって、洗浄槽の下流側で洗浄液切り乾燥装置によってフィルムに付着した洗浄液の除去及び乾燥が行われ、フィルムの乾燥が不十分となることが抑制される。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は、上記のように構成したので、フィルムを安定して搬送しながらフィルム表面に付着した洗浄液を除去してフィルムを十分に乾燥することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態に係る洗浄液切り乾燥装置２００Ａが搭載されためっき被膜付きフィルムの製造装置１０を示す概略構成図である。
【００３０】
このめっき被膜付きフィルムの製造装置１０は、図１に示すように、露光装置１２、現像装置１４、電解めっき装置１６、後処理装置１７及び巻取装置１９から構成されている。
【００３１】
まず、露光装置１２について説明する。露光装置１２は、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた帯状の長尺幅広フィルムからなる光透過性感光ウエブ１８を搬送しながら、所望の細線状パターン（例えば、格子状、ハニカム状などのパターン）露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ１８の銀塩含有層の露光部にはパターン化された細線状の金属銀部が形成される。
【００３２】
露光装置１２には、光透過性感光ウエブ１８の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対２０が設けられており、これらの搬送ローラ対２０は、駆動ローラとニップローラとから構成される。
【００３３】
露光装置１２には、搬送方向の最上流部に供給部が設けられている。供給部には、ローラ状に巻かれた長尺幅広の光透過性感光ウエブ１８を収納するマガジン２２がセットされる。光透過性感光ウエブ１８には、光透過性感光ウエブ１８を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ２２Ａが設けられている。
【００３４】
そして、供給部からの搬送方向下流側は、露光ユニット２４が設けられている。この露光ユニット２４により、光透過性感光ウエブ１８に露光が行われる。露光ユニット２４は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。この走査露光ユニットとしては、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザー又は半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源（ＳＨＧ）等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく適用することができ、さらにＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２レーザー等を用いた走査露光方式も適用することができる。
【００３５】
また、走査露光ユニットをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源（ＳＨＧ）を適用することが好ましい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、半導体レーザーを適用することが好ましい。
【００３６】
走査露光ユニットのレーザー光源としては、具体的には、波長４３０〜４６０ｎｍの青色半導体レーザー（２００１年３月の第４８回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表）、半導体レーザー（発振波長約１０６０ｎｍ）を導波路状の反転ドメイン構造を有するＬｉＮｂＯ3のＳＨＧ結晶により波長変換して取り出した約５３０ｎｍの緑色レーザー、波長約６８５ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６７３８ＭＧ）、波長約６５０ｎｍの赤色半導体レーザー（日立タイプＮｏ．ＨＬ６５０１ＭＧ）などが好ましく適用でききる。
【００３７】
なお、露光装置１２は、上記構成に限られず、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。
【００３８】
次に、現像装置１４について説明する。現像装置１４は、露光装置１２の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された光透過性感光ウエブ１８を現像・定着・洗浄を行う装置である。
【００３９】
現像装置１４には、搬送方向の上流側から順に、現像槽２６、漂白定着槽２８、及び水洗槽３０が設けられており、水洗槽３０は、第１水洗槽３０Ａ、第２水洗槽３０Ｂ、第３水洗槽３０Ｃ、及び第４水洗槽３０Ｄからなる。現像槽２６には、例えば、現像液２６Ｌが所定量貯蔵され、漂白定着槽２８には、漂白定着液２８Ｌが所定量貯蔵され、第１水洗槽３０Ａ〜第４水洗槽３０Ｄには、洗浄液３０Ｌが所定量貯蔵されている。各処理槽２６〜３０内のローラとガイドによって感光ウエブ１８が各処理槽２６〜３０の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽２６の最上流側には、駆動ローラ３２Ａと従動ローラ３２Ｂとを備えた搬入ローラ対３２が配置されており、この搬入ローラ対３２は、露光装置１２から搬出される感光ウエブ１８を現像液２６Ｌ内に案内している。
【００４０】
ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液２６Ｌ、漂白定着液２８Ｌ、洗浄液３０Ｌもこれらに準じて適宜適用することができる。例えば、現像液２６Ｌとしては、特に限定しないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、例えば、富士フィルム社製のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社製のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２などの現像液、又はそのキットに含まれる現像液、また、Ｄ−８５などのリス現像液を用いることができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。
【００４１】
また、現像液２６Ｌには、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾールなどの含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。
【００４２】
なお、現像装置１４では、各処理槽２６〜３０の液内を通過した感光ウエブ１８は、乾燥させず現像装置１４から排出されるようになっている。
【００４３】
次に、電解めっき装置１６について説明する。電解めっき装置１６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性微粒子を担持させめっき（導電性金属部）を形成する装置である。
【００４４】
電解めっき装置１６には、感光ウエブ１８の搬送方向上流側に、水洗槽３０を通過した後の感光ウエブ１８の水分を除去する水分除去装置４０Ａが配設されている。水分除去装置４０Ａには、感光ウエブ１８の両側にエアーナイフ装置４２、４４が配置されており、感光ウエブ１８の両側からエアーナイフを吹き付けることで、感光ウエブ１８に付着した水分を除去する。
【００４５】
水分除去装置４０Ａを通過した感光ウエブ１８は、感光ウエブ１８の金属銀部に接触しながら給電を行うカソード給電ローラ５０Ａに搬送される。感光ウエブ１８を挟んでカソード給電ローラ５０Ａと対向する位置には、感光ウエブ１８の金属銀部をカソード給電ローラ５０Ａに押圧して接触させる弾性ローラ５２Ａが配設されている。この弾性ローラ５２Ａは、回転可能に支持された芯金の外周面にゴムなどからなる弾性体層を備えている。弾性体層としてウレタンゴムなどが用いられる。弾性ローラ５２Ａを構成する芯金の両端部には、芯金の回転を阻害しないようにバネ材５４が装着されており、バネ材５４の上部に取り付けられた重り５５によって、感光ウエブ１８をカソード給電ローラ５０Ａに押圧する押圧力が調整されるようになっている。弾性ローラ５２Ａを押圧することで、感光ウエブ１８とカソード給電ローラ５０Ａとを密着させることができる。
【００４６】
カソード給電ローラ５０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、めっき液６１で満たされためっき槽６０Ａが配置されている。めっき槽６０Ａのめっき液６１中には液中ローラ６２Ａが設けられており、液中ローラ６２Ａの周面に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。この工程では、カソード給電ローラ５０Ａに接触させた感光ウエブ１８の金属銀部をめっき槽６０Ａのめっき液６１中で液中ローラ６２Ａにより搬送する。銅ボールを積層充填したケース６４Ａをアノード電極にして、カソード電極をカソード給電ローラ５０Ａとして、直流電源（図示省略）により給電し、感光ウエブ１８に層状のめっき被膜を形成する。本実施形態では、直流電源（図示省略）により、カソード給電ローラ５０Ａからアノード電極であるケース６４Ａへ給電し、感光ウエブ１８に、０．２〜１０Ａ／ｄｍ2の電流密度となるようにしてめっき被膜を形成する。
【００４７】
ここで、電解めっき処理として、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。本実施形態では、めっき液６１として、電解銅めっき浴液が適用されている。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。
【００４８】
なお、めっき槽６０Ａの下部には循環パイプ６７が連結されており、循環パイプ６７にポンプ６８とフィルター６９と複数の開閉弁６５が配設されている。めっき槽６０Ａ内のめっき液６１は、ポンプ６８により循環パイプ６７に供給され、フィルター６９を通すことでめっき液６１中の異物が除去され、めっき槽６０Ａ内に戻される構成となっている。
【００４９】
図２に示すように、めっき槽６０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８を案内する支持ローラ５８が配設され、さらにその搬送方向下流側に、洗浄液７１で満たされた洗浄槽７０Ａが配設されている。この洗浄槽７０Ａ内には液中ローラ７２Ａが配置され、液中ローラ７２Ａに感光ウエブ１８が巻き掛けられている。
【００５０】
洗浄槽７０Ａの側部には仕切板７４が設けられ、この仕切板７４とほぼ平行に洗浄液７１の液面を規定するためのオーバーフロー堰７６が設けられている。オーバーフロー堰７６と対向する位置には、側壁７８がほぼ平行に設けられている。仕切板７４の上端部は、オーバーフロー堰７６の上端部よりも高く形成され、仕切板７４と洗浄槽７０Ａの底部との間に洗浄液７１を流す流出口８０が配設されている。仕切板７４とオーバーフロー堰７６との間には、流出口８０と連通して連通路８１が形成されている。また、オーバーフロー堰７６と側壁７８との間には、洗浄液７１を排出する排出路８２が形成されている。これにより、洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１は、下部の流出口８０を通って連通路８１を流れ、オーバーフロー堰７６の上端部からオーバーフローして排出路８２へ排出される。排出路８２へ排出された洗浄液７１は、排出パイプ８３を通って排出されるようになっている。
【００５１】
また、洗浄槽７０Ａの内部には、液中ローラ７２Ａに巻き掛けられた感光ウエブ１８の上流側と下流側に、感光ウエブ１８の表裏に対向して複数の長尺パイプ８６、８７が幅方向にほぼ平行に配設されている。長尺パイプ８６、８７には、感光ウエブ１８と対向する位置に複数のノズル（図示省略）が形成されており、感光ウエブ１８の表裏に洗浄液を噴出するようになっている。洗浄槽７０Ａの底部には、洗浄液７１を流す流出パイプ８８が接続されており、流出パイプ８８は２本の供給パイプ９０に分岐されている。２本の供給パイプ９０はそれぞれ分岐して長尺パイプ８６、８７に接続されている。流出パイプ８８には、ポンプ９２が配設されており、供給パイプ９０にはそれぞれ開閉弁９４が設けられている。ポンプ９２が駆動されると、洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１が流出パイプ８８を通って供給パイプ９０に導入され、複数の長尺パイプ８６、８７に供給される。そして、複数の長尺パイプ８６、８７から感光ウエブ１８の表裏に洗浄液が噴出されるようになっている。本例では、洗浄液７１として、純水が用いられているが、これに限定されず、感光ウエブ１８を洗浄できる液体であれば他の液体を用いることもできる。
【００５２】
洗浄槽７０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、感光ウエブ１８の洗浄液切り及び乾燥を行う洗浄液切り乾燥装置２００Ａが設けられている。この洗浄液切り乾燥装置２００Ａは、洗浄槽７０Ａの洗浄液７１の液面から感光ウエブ１８が搬出される位置に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の親水性液絞りローラ２０２を備えている。さらに、洗浄液切り乾燥装置２００Ａは、親水性液絞りローラ２０２より感光ウエブ１８の搬送方向下流側の空気中に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の空中液絞りローラ２３０と、親水性液絞りローラ２０２より感光ウエブ１８の搬送方向下流側に、感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風を噴出する温風乾燥装置２４０とを備えている。
【００５３】
親水性液絞りローラ２０２は、図２及び図３に示すように、軸体２０４の周囲に親水性のスポンジ層２０６を備えており、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。このスポンジ層２０６は、洗浄液７１に周面の一部が浸漬するように配置されている。本例では、親水性液絞りローラ２０２は、直径の０．１〜０．４、望ましくは、０．２〜０．３の部分を洗浄液中に浸漬している。
【００５４】
図３に示すように、親水性液絞りローラ２０２の両側にはフレーム２１０が設けられており、フレーム２１０に固着された支持部材２１２には、２本の軸体２０４をそれぞれ支持する凹部２１２Ａが形成されている。なお、図３では親水性液絞りローラ２０２の軸方向の一方のみを表示し、他方は同じであるので省略している。支持部材２１２の２つの凹部２１２Ａの外側（両側）に形成されたネジ孔に圧力調整ネジ２１４が螺合されており、圧力調整ネジ２１４の先端部がそれぞれの軸体２０４に接触している。
【００５５】
２本の軸体２０４には、それぞれ軸受２１６を介して回転する円筒体２１８が設けられている。軸体２０４と円筒体２１８との間には、隙間２１９が形成されている。円筒体２１８の中央部は縮径しており、その縮径部に円筒状のスポンジ層２０６が設けられている。スポンジ層２０６は、弾力性と吸水性に優れた親水性の発泡性樹脂で形成されており、例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）又はポリビニルアルコールの部分フォルマール化物（ＰＶＦ）などが用いられている。
【００５６】
また、軸体２０４には、円筒体２１８の両端部に、円筒体２１８の軸方向の移動（ウォーク）を規制する板状のストッパ２２０が固定支持されている。
【００５７】
図２に示すように、親水性液絞りローラ２０２の下部には、新鮮な洗浄液を親水性液絞りローラ２０２に下方斜め方向から噴出する２本の長尺パイプ９６が配設されている。長尺パイプ９６には、それぞれ供給パイプ９８が接続されており、供給パイプ９８から新鮮な洗浄液が供給される構成となっている。
【００５８】
このような親水性液絞りローラ２０２では、軸体２０４が支持部材２１２に支持されており、軸体２０４に設けられた軸受２１６を介して円筒体２１８が回転することで、スポンジ層２０６が回転する。そのとき、軸体２０４と円筒体２１８との間に隙間２１９が形成されているので、円筒体２１８をスムーズに回転させることができる。親水性液絞りローラ２０２の間に感光ウエブ１８が挟まれており、感光ウエブ１８の搬送に伴って親水性液絞りローラ２０２が従動回転する。また、支持部材２１２に螺合された２本の圧力調整ネジ２１４の螺合位置を調整することで、親水性液絞りローラ２０２の軸体２０４間の押し付け圧が調整される。本例では、２本の親水性液絞りローラ２０２間のニップ圧（挟持部の圧力）を、２〜３０Ｎ、望ましくは５〜１５Ｎとなるように調整している。
【００５９】
図２に示すように、空中液絞りローラ２３０は、軸体２０４の周囲に疎水性のスポンジ層２３２を備えたものであり、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。この空中液絞りローラ２３０は、図３に示す親水性液絞りローラ２０２のスポンジ層２０６を、弾力性と吸水性に優れた疎水性のスポンジ層２３２に代えたもので、他の構成は同じである。スポンジ層２３２の材質は疎水性的な樹脂が選択され、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリウレタン（ＰＵ）、ポリプロピレン（ＰＰ）などが望ましい。
【００６０】
図２に示されるように、温風乾燥装置２４０は、箱状のフード２４２の下部に、感光ウエブ１８が搬入される搬入口２４３と、感光ウエブ１８が搬出される搬出口２４４とを備えている。フード２４２内の上方部には、感光ウエブ１８をガイドする３本の搬送ガイドローラ２４６が千鳥状に配置されており、３本の搬送ガイドローラ２４６に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。最も上流側の搬送ガイドローラ２４６は、液中ローラ７２Ａの上方部に位置をずらして配置されており、下部の液中ローラ７２Ａに巻き掛けられた感光ウエブ１８が上部の搬送ガイドローラ２４６に巻き掛けられた状態で搬送されるようになっている。搬送ガイドローラ２４６は、ＳＵＳからなる軸芯に導電性のゴム層を形成したものであり、感光ウエブ１８の両面が搬送ガイドローラ２４６に接触する構成となっている。ＳＵＳなどの金属表面が感光ウエブ１８に接触すると、感光ウエブ１８の表面に液滴が残存した場合に液滴が感光ウエブ１８に転移し、しみ状の汚れとなるが、搬送ガイドローラ２４６のゴム層が感光ウエブ１８に接触することで、このようなしみ状の汚れを防止できる。
【００６１】
３本の搬送ガイドローラ２４６の上流側と下流側には、感光ウエブ１８の表裏に対向する位置に乾燥温風を噴出する温風噴出器２４８、２５０が配設されている。温風噴出器２４８、２５０には、感光ウエブ１８側に複数のスリット状の噴出ノズル２４９が幅方向に複数設けられており、温風噴出器２４８、２５０には、乾燥温風を送る供給パイプ２５２がそれぞれ接続されている。
【００６２】
上記構成の洗浄液切り乾燥装置２００Ａでは、洗浄槽７０Ａの感光ウエブ１８の搬出位置に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の親水性液絞りローラ２０２が配設されており、感光ウエブ１８の搬送に伴って親水性液絞りローラ２０２が従動回転する。親水性液絞りローラ２０２に感光ウエブ１８が挟まれて搬送されることにより、感光ウエブ１８に付着した洗浄液が絞られる。その際、スポンジ層２０６の周面の一部が洗浄液７１に浸漬されており、スポンジ層２０６は親水性であるため、スポンジ層２０６の周面が常に濡れた状態となる。このため、親水性液絞りローラ２０２に汚れが付着しにくく、感光ウエブ１８に汚れが付着することが抑制されると共に、感光ウエブ１８の表面に傷が発生することが抑制される。また、供給パイプ９８から親水性液絞りローラ２０２の斜め下方方向へ新鮮な洗浄液が噴出されているので、親水性液絞りローラ２０２の汚れが除去される。
【００６３】
また、図３に示すように、支持部材２１２に螺合された２本の圧力調整ネジ２１４によって２本の親水性液絞りローラ２０２のニップ圧（挟持部の圧力）が調整され、感光ウエブ１８の液絞りが不十分となることが抑制される。
【００６４】
次いで、感光ウエブ１８は、２本の空中液絞りローラ２３０のニップ部（挟持部）に搬送され、親水性液絞りローラ２０２に感光ウエブ１８が挟まれて搬送されることにより、感光ウエブ１８に付着した洗浄液が更に絞られる。その際、スポンジ層２３２が疎水性であるため、空中液絞りローラ２３０の周面に洗浄液が付着しにくく、感光ウエブ１８に洗浄液が付着することが抑制される。
【００６５】
次いで、感光ウエブ１８は、搬送ガイドローラ２４６にガイドされながら温風乾燥装置２４０へ搬送される。温風乾燥装置２４０のフード２４２内では、搬入側に配置された温風噴出器２４８と、搬出側に配置された温風噴出器２５０により、感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風が噴出されており、感光ウエブ１８が乾燥温風によって十分に乾燥される。噴出された乾燥温風は、フード２４２の下部に配置された搬入口２４３と搬出口２４４から外部に排出される。
【００６６】
温風乾燥装置２４０では、温風噴出器２４８、２５０、感光ウエブ１８及び搬送ガイドローラ２４６がフード２４２で覆われているので、感光ウエブ１８の表裏に乾燥温風を噴出したときに、感光ウエブ１８から除去された洗浄液がフード２４２の外部に飛散して感光ウエブ１８に再付着することが防止される。このため、感光ウエブ１８のムラなどの発生が抑制される。また、搬入口２４３から排出された温風は、下部の空中液絞りローラ２３０に吹き当たるので、空中液絞りローラ２３０に吸収された洗浄液が蒸発する。このため、空中液絞りローラ２３０に洗浄液が蓄積されるのを抑制できる。
【００６７】
このような洗浄液切り乾燥装置２００Ａでは、少量のエネルギーで、短時間で、長尺広幅の感光ウエブ１８を連続的に効率よく確実に液切り及び乾燥させることができる。このため、めっき時の洗浄乾燥作業等の負担が大幅に低減し、生産効率の向上を図ることができ、安価に製品を提供できる。
【００６８】
図１では図示を省略するが、電解めっき装置１６では、カソード給電ローラ５０Ａと、めっき槽６０Ａと、洗浄槽７０Ａと、洗浄液切り乾燥装置２００Ａを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では１ユニット）、上記のような工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚みの銅めっきが形成される。
【００６９】
さらに、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、ニッケルめっきを施すためのカソード給電ローラ５０Ｂと、めっき槽６０Ｂと、洗浄槽７０Ｂと、洗浄液切り乾燥装置２００Ｂとを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では１ユニット）、上記と同様の工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８に所定の厚みのニッケルめっきが形成される。
【００７０】
次いで、図１に示すように、めっきが施された感光ウエブ１８は、フィルム張力を検出できるローラ１２５を介して、めっき液を除去する洗浄液１１５（水）の入った水洗部１１４、めっき被膜を保護する防錆処理液１１７の入った防錆処理部１１６を経て、過剰な防錆処理液を除去する洗浄液１１９（水）の入った水洗部１１８に搬送される。さらに、めっきが施された感光ウエブ１８は、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部１２０を経て、速度調整部１２１を経て、バランスローラ部１２２を経て、張力調整された後、アキュムレータ１２３を通してロール状フィルム１２４Ａとする。このようにして、感光ウエブ１８の細線状金属銀部にめっき（導電性金属部）が形成される。このような工程により、めっき被膜付きフィルムを得ることができる。
【００７１】
実質的なフィルム搬送張力は、５Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。実際に張力を５Ｎ／ｍ未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。
【００７２】
なお、電解めっき装置１６のめっき槽の数は、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）に応じて２セット以上増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）を容易に得ることができる。
【００７３】
次に、感光ウエブ１８について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ１８は、例えば、光透過性支持体上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺幅広フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは０．１〜１０μｍであり、さらに好ましくは０．３〜３μｍである。
【００７４】
これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。
【００７５】
特に、感光ウエブ１８（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。
【００７６】
一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。
【００７７】
これらの中でも、透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、支持体としてのプラスチックフィルムは、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）に通常適用されるポリエチレンテレフタレートフィルムやセルロールトリアセテートフィルム、また、その他、ポリイミドフィルムであることが好ましい。特に、ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが最も好ましい。
【００７８】
また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましく、さらに好ましくは８５〜１００％であり、特に好ましくは９０〜１００％である。
【００７９】
感光ウエブ１８の幅は、例えば、５０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。
【００８０】
また、感光ウエブ１８には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。
【００８１】
露光及び現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与するために、上述の電解めっき装置１６によって、金属銀部に導電性金属粒子を担持させる電解めっき処理を行う。すなわち、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた光透過性感光ウエブ１８を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成する。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような光透過性感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性粒子が担持され、これが導電性金属部となる。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。
【００８２】
なお、上記実施形態の洗浄液切り乾燥装置は、フィルム上の金属銀部に電解めっきを施すめっき被膜付きフィルムの製造装置に適用するものであるが、これに限定するものではない。例えば、フィルムに、通常の電気めっき、無電解めっきを行うとき、又はプリント配線板の液切り乾燥に適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の一実施形態におけるめっき被膜付きフィルムの製造装置を示す概略縦断面図である。
【図２】図１に示す製造装置で用いられる洗浄槽及び洗浄液切り乾燥装置を示す概略構成図である。
【図３】図２に示す親水性液絞りローラを示す断面図である。
【図４】従来のフィルム状の処理品を乾燥する装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００８４】
１０   めっき被膜付きフィルム製造装置
１６   電解めっき装置
１８   感光ウエブ（フィルム）
５０Ａ カソード給電ローラ
５０Ｂ カソード給電ローラ
６０Ａ めっき槽
６０Ｂ めっき槽
６１   めっき液
７０Ａ 洗浄槽
７０Ｂ 洗浄槽
７１   洗浄液
９６   長尺パイプ（吹付手段）
２００Ａ      洗浄液切り乾燥装置
２００Ｂ      洗浄液切り乾燥装置
２０２ 親水性液絞りローラ
２０４ 軸体
２０６ スポンジ層
２１４ 圧力調整ネジ（圧力調整部材）
２１６ 軸受
２１８ 円筒体
２３０ 空中液絞りローラ
２３２ スポンジ層
２４０ 温風乾燥装置
２４２ フード
２４３ 搬入口
２４４ 搬出口
２４６ 搬送ガイドローラ
２４８ 温風噴出器
２４９ 噴出ノズル
２５０ 温風噴出器
【図１】
2008080270.tif 000003
【図２】
2008080270.tif 000004
【図３】
2008080270.tif 000005
【図４】
2008080270.tif 000006