(57)【要約】【課題】半導体デバイスを搬送するハンドラにおいて、検査効率の向上を図ることができると同時に、安全性も確保することができるハンドラを提供する。【解決手段】本発明のハンドラ１００は、半導体デバイス１を半導体検査装置の検査部と接触させて測定を行なう測定部１４０と、半導体デバイス１を搬送する搬送部１２０と、未検査の半導体デバイス１と検査済良品の半導体デバイス１や検査済不良品の半導体デバイス１を収納するトレイ部１１０を備え、未検トレイ１１０の最後の半導体デバイス１を取った後、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動を禁止しかつ測定部１４０内のみで搬送部１２０を稼動させて測定を継続させるよう構成し、検査を効率的に実施することができる。【選択図】図１
2008134109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、シフト部と測定部間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項２】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、シフト部と測定部間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項３】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項４】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、検査済の半導体デバイスを一時的に蓄える検査済バッファ部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて、検査済の半導体デバイスを検査済バッファ部に一時的に蓄えながら測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項５】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、検査済の半導体デバイスを一時的に蓄える検査済バッファ部と、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項６】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、未検査トレイから取り出した未検査の半導体デバイスを一時的に蓄える未検査バッファ部と、検査済の半導体デバイスを一時的に蓄える検査済バッファ部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスがシフト部に向けて搬送されたことを検出した際、または、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、未検査バッファ部とシフト部と測定部との間、および測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項７】
トレイ部に良品トレイと不良品トレイとが載置されたことを検知するトレイ検知センサーを設け、トレイ部に良品トレイと不良品トレイとが載置されたことを前記トレイ検知センサーにより検知した場合には、制御部により、搬送部のトレイ部に対する稼動禁止を解除して、検査済バッファ部に一時的に蓄えていた良品半導体デバイスまたは不良品半導体デバイスを良品トレイか不良品トレイに移動させるように制御することを特徴とする請求項４または５に記載のハンドラ。
【請求項８】
トレイ部に、未検査トレイ、良品トレイ、不良品トレイが載置されたことを検知するトレイ検知センサーをそれぞれ設け、最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際には、未検査トレイの交換開始を検知し、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際には、良品トレイか不良品トレイの交換開始を検知し、搬送部のトレイ部内での稼動を禁止した後、新規の未検査トレイ、または新規の良品トレイあるいは不良品トレイがトレイ部に載置されたことを前記トレイ検知センサーにより検知して、搬送部のトレイ部内での稼動禁止を解除することを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載のハンドラ。
【請求項９】
ハンドラ内に異物が進入したことを検知する異物検知手段を設け、異物の進入を検知すると、ハンドラの動作を停止させる安全モードを制御部に設け、最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際、または、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際には、前記安全モードによる異物検知動作を一時的に解除し、搬送部のトレイ部内での稼動を禁止するように制御することを特徴とする請求項１〜８の何れか１項に記載のハンドラ。
【請求項１０】
トレイ検知センサーとして無線通信タグを用いることを特徴とする請求項９記載のハンドラ。
【請求項１１】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイが載せられる第１トレイ部と、検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとが載せられる第２トレイ部と、第１トレイ部と測定部との間および第２トレイ部と測定部との間で半導体デバイスを搬送する搬送部と、最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後の第１トレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続させるとともに、検査済の半導体デバイスを測定部から第２トレイ部への搬送を継続させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【請求項１２】
半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイが載せられる第１トレイ部と、検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとが載せられる第２トレイ部と、第１トレイ部と測定部との間および第２トレイ部と測定部との間で半導体デバイスを搬送する搬送部と、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後の第２トレイ部内での搬送部の稼動を禁止し、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続させるとともに、検査済の半導体デバイスを一時的に測定部から第１トレイ部の空きスペースへ搬送し、その後、第２トレイ部の不良品トレイまたは良品トレイの交換が終了したことを検知した際に、第１トレイ部の空きスペースへ搬送した検査済の半導体デバイスを第２トレイ部の不良品トレイまたは良品トレイに搬送させる制御部とを備えたことを特徴とするハンドラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスを、その良品と不良品との判別検査を行うために検査用の測定部に搬送して検査した後、その検査結果により良品トレイか不良品トレイへの搬送を行うハンドラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体関連技術の進歩とともに、半導体デバイスも複雑化、多ピン化傾向となっており、半導体デバイスの良品と不良品との判別検査を行う検査時間も増加傾向にある。一方、半導体デバイスを組込んだ装置のセット価格の大幅な下落に伴い、半導体デバイスの価格も年々大きく下がっている。このような状況から半導体デバイスの検査においても、検査コストを下げるために生産性の向上が強く求められている。
【０００３】
このように半導体デバイスを判別検査用の測定部に搬送するとともに接触させて検査した後、その検査結果に応じて良品トレイか不良品トレイに振り分けて搬送する構造のハンドラは、例えば、特許文献１などにも開示されているように、既に知られている。
【０００４】
従来の半導体デバイスのハンドラの一例を図１０に示し、図１１に示すフローチャートを参照しながら従来のハンドラ５００の基本動作を説明する。
ハンドラ５００は、まだ検査を行っていない半導体デバイス１を収納する未検査トレイ５１１と検査を行って良品の半導体デバイス１を収納する良品トレイ５１２と検査を行って不良品の半導体デバイス１を収納する不良品トレイ５１３とを有するトレイ部５１０と、半導体デバイス１を搬送する搬送部５２０と、半導体デバイス１に対してコンタクト部５４１でコンタクトして測定（検査）する測定部５４０と、図示しない制御部とを備えている。
【０００５】
ここで、搬送部５２０は、半導体デバイス１を載置可能な移動テーブル５２４をＸ方向（図６における紙面の横方向）に移動自在に支持し、Ｙ方向（図６における紙面の縦方向）に沿って移動自在の主搬送部５２１と、半導体デバイス１を吸着可能で昇降自在のトレイ部側吸着ノズル５２３をＹ方向に移動自在に支持し、Ｘ方向に沿って移動自在のトレイ部側搬送部５２２と、測定部側吸着ノズル５３１をその先端部に有し、回転軸心Ｏを中心として回転自在とされ、搬送部５２０で搬送された半導体デバイス１が受け渡される測定用コンタクトアーム５３０とから構成されている。
【０００６】
なお、主搬送部５２１の移動テーブル５２４は、Ｘ方向に関して、トレイ部５１０の各トレイ５１１〜５１３に対応する領域から、測定用コンタクトアーム５３０に対応する領域まで移動自在に配設されている。一方、トレイ部側吸着ノズル５２３が設けられているトレイ部側搬送部５２２は、Ｘ方向に関して、トレイ部５１０の各トレイ５１１〜５１３に対応する位置範囲のみ移動可能に配設されている。
【０００７】
この半導体デバイスのハンドラ５００の基本動作を、図１１に示すフローチャートを参照しながら説明する。半導体デバイス１の検査に際して、まず、トレイ部５１０の未検査トレイ５１１に収納されている未検査の半導体デバイス１を、トレイ部側搬送部５２２のトレイ部側吸着ノズル５２３によりピックアップして（ステップＳ１０１）移動テーブル５２４上に載せ、主搬送部５２１により移動テーブル５２４を測定部５４０側における、測定用コンタクトアーム５３０の測定部側吸着ノズル５３１の移動軌跡位置まで搬送する（ステップＳ１０２）。次に、移動テーブル５２４上の未検査の半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム５３０に設けられた測定部側吸着ノズル５３１で吸着してピックアップし（ステップＳ１０３）、測定用コンタクトアーム５３０を回転させ、コンタクト部５４１に移動させて検査を開始する（ステップＳ１０４）。この後、検査が終了すると、測定用コンタクトアーム５３０を回転させて、検査済の半導体デバイス１を、待機している移動テーブル５２４に受け渡す（ステップＳ１０５）。次に、移動テーブル５２４をトレイ部５１０側に移動させ、さらにトレイ部側吸着ノズル５２３により、トレイ部５１０側に移動されてきた移動テーブル５２４から検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、つまり、それが良品と判定された場合には良品トレイ５１２に収納し、また、それが不良品と判定された場合には不良品トレイ５１３に収納する（ステップＳ１０６）。
【０００８】
このようにして、トレイ部５１０にある未検査トレイ５１１の未検査の半導体デバイス１を順々に測定部５４０に送り込んで検査し、検査済の半導体デバイス１をトレイ部５１０側に搬送して良品は良品トレイ５１２に、また不良品は不良品トレイ５１３に振り分け、このような動作を、未検査トレイ５１１の未検査の半導体デバイス１がなくなるまで繰り返す。そして、トレイ部５１０にある未検査トレイ５１１の全ての未検査の半導体デバイス１が測定部５４０側に搬送されて無くなった時点で、ハンドラ５００を停止させて、この空になった未検査トレイ５１１と、次の未検査の半導体デバイス１が載せられた新しい未検査トレイ５１１とを交換する。また、測定部５４０で検査された最後の半導体デバイス１が良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３に振り分けられて収納された場合（もしくは、良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３が満杯になった場合）にも、ハンドラ５００を停止させて、良品トレイ５１２および不良品トレイ５１３を新しいものに交換する。
【０００９】
しかし、このような構成では、未検査の半導体デバイス１を移動テーブル５２４により搬送して測定用コンタクトアーム５３０側に受け渡した後、検査が終了して、検査済みの半導体デバイス１が測定用コンタクトアーム５３０の測定部側吸着ノズル５３１により、移動テーブル５２４に戻されるまで、移動テーブル５２４はその位置で待機していなければならず、その結果、１つの半導体デバイス当たりの所要時間が極めて多くなり、生産性が極めて悪くなり、検査コストが割高となってしまう。
【００１０】
これに対処するものとして、本発明者らは、図１２に示すように、半導体デバイス１を移動テーブル５２４から測定用コンタクトアーム５３０に受け渡す箇所に、半導体デバイス１を一時的に蓄えておくシフト部５５０を設けることを考え出した。なお、シフト部５５０は、図１２において実線で示すように、測定用コンタクトアーム５３０の移動軌跡位置から、図１２において仮想線で示すように、前記移動軌跡位置や移動テーブル５２４の移動可能領域から外れた位置まで、Ｙ方向に沿って出退自在に配設している。また、このシフト部５５０の上方を跨った姿勢で、シフト部５５０が設けられているＸ方向に関する範囲内で移動自在のシフト部側搬送部５５１を配設し、このシフト部側搬送部５５１は、半導体デバイス１を吸着可能で昇降自在のシフト部側吸着ノズル５５３をＹ方向に移動自在に支持している。
【００１１】
なお、この例では、さらに検査コストを下げて生産性を向上させるべく、図１２に示すように、４つの半導体デバイス１をシフト部５５０に蓄えることが可能に構成している。また、測定部５４０に２つのコンタクト部５４１を設け、並行して測定可能に構成しているとともに、測定用コンタクトアーム５３０としても中心点０から１８０度反対の方向に両側に延びるものを用い、各場所に、２つずつ測定部側吸着ノズル５３１を設けている。そして、２つの半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム５３０の測定部側吸着ノズル５３１によって、シフト部５５０から同時に測定部５４０のコンタクト部５４１に搬送したり、測定部５４０のコンタクト部５４１からシフト部５５０に同時に受け渡したりできるよう構成している。
【００１２】
この半導体デバイスのハンドラ６００の動作を、図１３に示すフローチャートを参照しながら説明する。半導体デバイス１の検査に際して、まず、トレイ部５１０の未検査トレイ５１１に収納されている未検査の半導体デバイス１を、トレイ部側搬送部５２２のトレイ部側吸着ノズル５２３によりピックアップして（ステップＳ１１１）移動テーブル５２４上に載せ、主搬送部５２１により移動テーブル５２４をシフト部５５０近傍まで搬送し、シフト部側吸着ノズル５５３によって、移動テーブル５２４上の未検査の半導体デバイス１を吸着してシフト部５５０に載せかえる（ステップＳ１１２）。さらに、シフト部５５０上の未検査の半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム５３０の測定部側吸着ノズル５３１で吸着してピックアップし（ステップＳ１１３）、測定用コンタクトアーム５３０を回転させ、コンタクト部５４１に移動させて検査を開始する（ステップＳ１１４）。
【００１３】
この後、検査が終了すると、測定用コンタクトアーム５３０を回転させて、検査済の半導体デバイス１を、シフト部５５０に受け渡す（ステップＳ１１５）。次に、シフト部５５０に載せられた検査済の半導体デバイス１を、シフト部側吸着ノズル５６１によって、移動テーブル５２４上に載せかえ、さらに、移動テーブル５２４をトレイ部５１０側に移動させ、さらにトレイ部側吸着ノズル５２３により、トレイ部５１０側に移動されてきた移動テーブル５２４から検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、つまり、それが良品と判定された場合には良品トレイ５１２に収納し、また、それが不良品と判定された場合には不良品トレイ５１３に収納する（ステップＳ１１６）。
【００１４】
なお、測定部５４０で半導体デバイス１を検査している際に、並行して、次に検査する半導体デバイス１を、予め未検査トレイ５１１から移動テーブル５２４上に載せ、さらにシフト部５５０に搬送しておき、また、検査済の半導体デバイス１を、シフト部５５０から移動テーブル５２４に載せかえ、さらに、良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３に収納する。これにより、測定部５４０での検査動作と、移動テーブル５２４による搬送動作とを並行して行えるので、１つの半導体デバイス当たりの所要時間を短くすることができて、生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。
【００１５】
上記のようにして、トレイ部５１０にある未検査トレイ５１１の未検査の半導体デバイス１を順々に検査をしていき、検査済の半導体デバイス１を良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３に振り分け、このような動作を、未検査トレイ５１１の未検査の半導体デバイス１がなくなるまで繰り返す。なお、この場合に、制御部においては、随時、トレイ部５１０の未検査トレイ５１１の在庫数を管理しており、半導体デバイス１が良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３に振り分けられて収納された際には、図１３におけるステップＳ１１７に示すように、この際の半導体デバイス１が、未検査トレイ５１１に収納されていた最後の半導体デバイス１であるかどうか確認され、最後の半導体デバイス１でない場合には、上記動作を繰り返す一方、最後の半導体デバイス１である場合には、ステップＳ１１８に進んで、ハンドラ６００を停止させ、係員が、トレイ部５１０の各トレイ５１１〜５１３を回収して、新たなトレイ５１１〜５１３をセットし直す。
【特許文献１】特開平６−２５８３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかし、上記したハンドラ６００によっても、最後の半導体デバイス１が良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３に収納されてから、次の新たなトレイ５１１〜５１３をセットし直すまでは、ハンドラ６００全体が完全に停止されているため、これに起因する検査効率の低下を招いていた。
【００１７】
すなわち、未検査トレイ５１１から最後の半導体デバイス１が取り出された時点で、未検査トレイ５１１を交換すれば、まだ検査が終了していない段階でも、検査を継続して行うことができて、検査の中断につながるハンドラ６００の停止期間を短くすることができて、検査効率を向上できる可能性がある。
【００１８】
しかしながら、この場合には、係員が未検査トレイ５１１を交換している際でも、検査済半導体デバイス１を良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３に戻すために、移動テーブル５２４が設けられている主搬送部５２１が移動したり、トレイ部側吸着ノズル５２３が設けられているトレイ部側搬送部５２２が移動したりすることがあり、係員の安全性が十分には保つことができなくなるおそれがある。また、良品トレイ５１２または不良品トレイ５１３を係員が交換する際でも、次の未検査トレイ５１１の半導体デバイス１の検査が行われ、この検査済みの半導体デバイス１のためや、未検査トレイ５１１に対する搬送動作が行われて、係員の安全性が十分には保つことができなくなるおそれがある。
【００１９】
本発明は上記課題を解決するもので、検査効率の向上を図ることができると同時に、安全性も確保することができるハンドラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記の課題を解決するために、本発明の請求項１に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、シフト部と測定部間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の請求項２に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、トレイ部とシフト部と検査部との間で半導体デバイスを搬送する搬送部と、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、シフト部と測定部間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
これらの構成により、シフト部を設けることにより、１つの半導体デバイス当たりの検査の所要時間を短くすることができながら、係員などが未検査トレイの交換作業を行う際には、トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。
【００２３】
また、本発明の請求項３に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、トレイ部と測定部との間で半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２４】
この構成によっても、係員などが未検査トレイの交換作業を行う際には、トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。
また、本発明の請求項４に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、検査済の半導体デバイスを一時的に蓄える検査済バッファ部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて、検査済の半導体デバイスを検査済バッファ部に一時的に蓄えながら測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によっても、係員などが未検査トレイの交換作業を行う際には、トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。また、未検査トレイの最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出されて、この後、係員により未検査トレイを交換する際でも、トレイ部内での搬送部の稼動を禁止させる一方で、検査済の半導体デバイスを検査済バッファ部に一時的に蓄えながら測定を継続させることができ、これにより半導体検査装置の生産性をさらに向上させることができる。
【００２６】
また、本発明の請求項５に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを載置自在に有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、検査済の半導体デバイスを一時的に蓄える検査済バッファ部と、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、良品トレイや不良品トレイの交換を行っている際でも、検査済の半導体デバイスをシフト部だけでなく、検査済バッファ部に収納しながら検査動作を行うことができて、さらに生産性を向上させ、検査コストを低減させることができ、しかも、係員などが良品トレイや不良品トレイの交換作業を行う際には、トレイ部内での稼動が禁止されるので、係員の安全性を保つことができる。
【００２８】
また、本発明の請求項６に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、半導体デバイスを搬送する搬送部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイと検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとを有するトレイ部と、未検査の半導体デバイスおよび検査済の半導体デバイスを一時的に蓄えるシフト部と、未検査トレイから取り出した未検査の半導体デバイスを一時的に蓄える未検査バッファ部と、検査済の半導体デバイスを一時的に蓄える検査済バッファ部と、未検査トレイの最後の半導体デバイスがシフト部に向けて搬送されたことを検出した際、または、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後のトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、未検査バッファ部とシフト部と測定部との間、および測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて測定を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００２９】
この構成によっても、係員などが未検査トレイの交換作業を行う際には、トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。また、未検査トレイの最後の半導体デバイスがシフト部に向けて搬送されたことを検出し、未検査トレイを交換する際や、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納されたり、良品トレイか不良品トレイが満杯になったりして、良品トレイや不良品トレイを交換する際でもトレイ部内での搬送部の稼動を禁止させる一方で、未検査バッファ部とシフト部と測定部との間で搬送部を稼動させて未検査バッファ部から測定部に未検査の半導体デバイスを送り込み、かつ、測定部とシフト部と検査済バッファ部との間で搬送部を稼動させて検査済の半導体デバイスを測定部から検査済バッファ部に送り出しながら測定を継続させることができ、これにより半導体検査装置の生産性を一層向上させることができる。
【００３０】
また、本発明の請求項７に記載のハンドラは、請求項４または５に記載のハンドラにおいて、トレイ部に良品トレイと不良品トレイとが載置されたことを検知するトレイ検知センサーを設け、トレイ部に良品トレイと不良品トレイとが載置されたことを前記トレイ検知センサーにより検知した場合には、制御部により、搬送部のトレイ部に対する稼動禁止を解除して、検査済バッファ部に一時的に蓄えていた良品半導体デバイスまたは不良品半導体デバイスを良品トレイか不良品トレイに移動させるように制御することを特徴とする。
【００３１】
この構成により、良品トレイや不良品トレイを交換してトレイ部に載置すると、これがトレイ検知センサーにより検知されて、搬送部のトレイ部に対する稼動禁止が自動的に解除され、検査済バッファ部に一時的に蓄えていた良品半導体デバイスまたは不良品半導体デバイスが良品トレイか不良品トレイに移動されて、良好に測定を継続させることができ、これにより半導体検査装置の生産性を向上させることができる。
【００３２】
また、本発明の請求項８に記載のハンドラは、トレイ部に、未検査トレイ、良品トレイ、不良品トレイが載置されたことを検知するトレイ検知センサーをそれぞれ設け、最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際には、未検査トレイの交換開始を検知し、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際には、良品トレイか不良品トレイの交換開始を検知し、搬送部のトレイ部内での稼動を禁止した後、新規の未検査トレイ、または新規の良品トレイあるいは不良品トレイがトレイ部に載置されたことを前記トレイ検知センサーにより検知して、搬送部のトレイ部内での稼動禁止を解除することを特徴とする。
【００３３】
この構成により、新規の未検査トレイ、または新規の良品トレイあるいは不良品トレイがトレイ部に載置されて、トレイの交換が終了すると、搬送部のトレイ部内での稼動禁止が自動的に解除され、検査動作および搬送動作が良好に再開される。
【００３４】
また、本発明の請求項９に記載のハンドラは、請求項７または８に記載のハンドラにおいて、トレイ検知センサーとして無線通信タグを用いることを特徴とする。
また、本発明の請求項１０に記載のハンドラは、請求項１記載のハンドラにおいて、ハンドラ内に異物が進入したことを検知する異物検知手段を設け、異物の進入を検知すると、ハンドラの動作を停止させる安全モードを制御部に設け、最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際、または、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際には、前記安全モードによる異物検知動作を一時的に解除し、搬送部のトレイ部内での稼動を禁止するように制御することを特徴とする。
【００３５】
この構成により、ハンドラ内に異物が進入した場合には、ハンドラの動作が停止されるので安全性が向上する。
また、本発明の請求項１１に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイが載せられる第１トレイ部と、検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとが載せられる第２トレイ部と、第１トレイ部と測定部との間および第２トレイ部と測定部との間で半導体デバイスを搬送する搬送部と、最後の半導体デバイスが未検査トレイから取り出された際に、この後の第１トレイ部内での搬送部の稼動を禁止させ、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続させるとともに、検査済の半導体デバイスを測定部から第２トレイ部への搬送を継続させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００３６】
この構成によっても、係員などが未検査トレイの交換作業を行う際には、第１トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。
また、本発明の請求項１２に記載のハンドラは、半導体デバイスを半導体検査装置の検査部と接触させて測定する測定部と、未検査の半導体デバイスを収納する未検査トレイが載せられる第１トレイ部と、検査済不良品の半導体デバイスを収納する不良品トレイと検査済良品の半導体デバイスを収納する良品トレイとが載せられる第２トレイ部と、第１トレイ部と測定部との間および第２トレイ部と測定部との間で半導体デバイスを搬送する搬送部と、良品トレイか不良品トレイに最後の半導体デバイスが収納された際、または、良品トレイか不良品トレイが満杯になった際に、この後の第２トレイ部内での搬送部の稼動を禁止し、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続させるとともに、検査済の半導体デバイスを一時的に測定部から第１トレイ部の空きスペースへ搬送し、その後、第２トレイ部の不良品トレイまたは良品トレイの交換が終了したことを検知した際に、第１トレイ部の空きスペースへ搬送した検査済の半導体デバイスを第２トレイ部の不良品トレイまたは良品トレイに搬送させる制御部とを備えたことを特徴とする。
【００３７】
この構成によれば、良品トレイか不良品トレイを交換する際には、この後の第２トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されているので、前記交換を安全に行うことができる。また、この際に、測定部で搬送部を稼動させて測定を継続されるとともに、第１トレイ部の空きスペースを利用しながら一時的に蓄え、その後、第２トレイ部の不良品トレイまたは良品トレイの交換が終了したことを検知した際に、第１トレイ部の空きスペースへ搬送した検査済の半導体デバイスを第２トレイ部の不良品トレイまたは良品トレイに搬送されるので、良好に測定を継続させることができて、半導体検査装置の生産性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００３８】
以上のように本発明によれば、搬送部の稼動範囲に制限を加えることにより、検査中もハンドラの動作を停止させることなく、トレイ部の未検査トレイ、良品トレイ、不良品トレイの入れ替えを良好に実施することができ、検査効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施の形態に係るハンドラについて、図面を参照しながら具体的に説明する。
（実施の形態１）
最初に、本発明の第１の実施の形態に係るハンドラの構成について、図１、図２を用いて説明する。
【００４０】
図１に示すように、ハンドラ１００は、半導体デバイス１を半導体検査装置の検査部と接触させて測定するコンタクト部１４１を有する測定部１４０と、まだ検査していない未検査の半導体デバイス１を収納する未検査トレイ１１１と検査して不良品と判定された検査済不良品の半導体デバイス１を収納する不良品トレイ１１３と検査して不良品と判定された検査済良品の半導体デバイス１を収納する良品トレイ１１２とを載置（設置）自在に有するトレイ部１１０と、未検査の半導体デバイス１および検査済の半導体デバイス１を一時的に蓄えるシフト部１５０と、トレイ部１１０とシフト部１５０と測定部１４０との間で半導体デバイス１を搬送する搬送部１２０と、未検査トレイ１１１の最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動を禁止させ、シフト部１５０と測定部１４０間で搬送部１２０を稼動させて測定を継続させる制御部１７０とを備えている。
【００４１】
搬送部１２０は、半導体デバイス１を載置して搬送する移動テーブル１２４を有し、トレイ部１１０が設けられている領域（図１を示す紙面（表示面）における左寄りの領域）と、シフト部や測定部が設けられている領域（図１を示す紙面（表示面）における右寄りの領域）との間で半導体デバイス１を搬送する主搬送部１２１と、半導体デバイス１を吸着するトレイ部側吸着ノズル１２３を有し、半導体デバイス１をトレイ部１１０と主搬送部１２１の移動テーブル１２４との間で搬送するトレイ部側搬送部１２２と、半導体デバイス１を吸着するシフト部側吸着ノズル１６１を有し、半導体デバイス１を主搬送部１２１の移動テーブル１２４とシフト部１５０との間で搬送するシフト部側搬送部１６０と、半導体デバイス１を吸着する測定部側吸着ノズル１３１を有し、半導体デバイス１をシフト部１５０と測定部１４０との間で搬送する測定用コンタクトアーム１３０とから構成されている。なお、シフト部１５０は、測定用コンタクトアーム１３０の移動軌跡位置から、図１において仮想線で示すように、前記移動軌跡位置や移動テーブル１２４の移動可能領域から外れた位置まで、Ｙ方向に沿って出退自在に配設されている。
【００４２】
ここで、主搬送部１２１は、半導体デバイス１を載置可能な移動テーブル１２４をＸ方向（図１を示す紙面（表示面）における横方向）に移動自在に支持しており、この移動テーブル１２４を移動自在に支持する支持アーム部分（図１において簡略的に実線で示している部分）がＹ方向（図１を示す紙面（表示面）における縦方向）に移動自在に配設されている。トレイ部側搬送部１２２は、半導体デバイス１を吸着可能で昇降自在のトレイ部側吸着ノズル１２３をＹ方向に移動自在に支持しており、トレイ部側吸着ノズル１２３を移動自在に支持する支持アーム部分（図１において簡略的に実線で示している部分）がＸ方向に沿って移動自在に配設されている。シフト部側搬送部１６０は、半導体デバイス１を吸着可能で昇降自在のシフト部側吸着ノズル１６１をＹ方向に移動自在に支持しており、このシフト部側吸着ノズル１６１を移動自在に支持する支持アーム部分（図１において簡略的に実線で示している部分）がＸ方向に沿って移動自在に配設されている。測定用コンタクトアーム１３０は、回転軸心Ｏを中心として回転自在に配設されているとともに１８０度反対の方向に両側に延びる姿勢で配設され、その両端部に、測定部側吸着ノズル１３１が周方向に横並びに２つずつ設けられている。
【００４３】
また、この実施の形態では、移動テーブル１２４は、半導体デバイス１を１つずつ搬送するよう構成されているが、生産性を向上させるべく、４つの半導体デバイス１をシフト部１５０に蓄えることが可能に構成している。また、測定部１４０には、半導体検査装置の検査部と接触させて測定する２つのコンタクト部１４１を設け、各コンタクト部１４１で並行して測定可能に構成している。また、２つの半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム１３０の測定部側吸着ノズル１３１によって、シフト部１５０から同時に測定部１４０のコンタクト部１４１に搬送したり、測定部１４０のコンタクト部１４１からシフト部１５０に同時に受け渡したりできるよう構成している。
【００４４】
なお、主搬送部１２１の移動テーブル１２４は、Ｘ方向に関して、トレイ部１１０の各トレイ１１１〜１１３に対応する領域から、測定用コンタクトアーム１３０に対応する領域まで移動自在に配設されている。一方、トレイ部側吸着ノズル１２３が設けられているトレイ部側搬送部１２２は、Ｘ方向に関して、トレイ部１１０の各トレイ１１１〜１１３に対応する位置範囲のみ移動可能に配設されている。また、シフト部側吸着ノズル１６１が設けられているシフト部側搬送部１６０は、Ｘ方向に関して、シフト部１５０が設けられている範囲のみ移動可能に配設されている。
【００４５】
また特に本実施の形態の制御部１７０は、後述するように、未検査トレイ１１１の最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動を禁止させ、シフト部１５０と測定部１４０間のみで搬送部１２０を稼動させて測定を継続させる制御を行う。
【００４６】
次にこの半導体デバイス１のハンドラ１００の制御動作を、図２に示すフローチャートを参照しながら説明する。半導体デバイス１の検査に際して、まず、トレイ部１１０の未検査トレイ１１１に収納されている未検査の半導体デバイス１を、トレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３によりピックアップして（ステップＳ１１）、主搬送部１２１の移動テーブル１２４上に載せ、主搬送部１２１により移動テーブル１２４をシフト部１５０近傍まで搬送した後、シフト部側吸着ノズル１５３によって、移動テーブル１２４上の未検査の半導体デバイス１を吸着してシフト部１５０に載せかえる（ステップＳ１３）。
【００４７】
ここで、未検査の半導体デバイス１をトレイ部側搬送部１２２からピックアップした際に、未検査トレイ１１１からピックアップした未検査の半導体デバイス１が、未検査トレイ１１１における最後の半導体デバイス１かどうか確認する（ステップＳ１２、なお、制御部１７０では、随時、ピックアップした半導体デバイス１の数をカウントすることで未検査トレイ１１１における半導体デバイス１の残数を認識しており、半導体デバイス１をピックアップした際に未検査トレイ１１１の残数が０であり、したがって、ピックアップした半導体デバイス１が最後の半導体デバイス１かどうかを判断することができるよう構成されている）。そして、未検査トレイ１１１において、最後の半導体デバイス１ではないと判断した場合は、その半導体デバイス１を上述のように、移動テーブル１２４からシフト部１５０に載せかえた後（ステップＳ１３）に、シフト部１５０上の未検査の半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム１３０の測定部側吸着ノズル１３１で吸着してピックアップし（ステップＳ１４）、測定用コンタクトアーム１３０を回転させ、コンタクト部５４１に移動させて検査を開始する（ステップＳ１５）。なお、この検査により、半導体デバイス１が良品であるか、不良品であるかが判定される。
【００４８】
この後、検査が終了すると、測定用コンタクトアーム１３０を回転させて、検査済の半導体デバイス１を、シフト部１５０に受け渡す（ステップＳ１６）。次に、シフト部１５０に載せられた検査済の半導体デバイス１を、シフト部側吸着ノズル１６１によって、移動テーブル１２４上に載せかえ、さらに、移動テーブル１２４をトレイ部１１０側に移動させ、トレイ部側吸着ノズル１２３により、トレイ部１１０側に移動されてきた移動テーブル１２４から検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、つまり、それが良品と判定された場合には良品トレイ１１２に収納し、また、それが不良品と判定された場合には不良品トレイ１１３に収納する（ステップＳ１７）。
【００４９】
一方、ステップＳ１２において、未検査トレイ１１１からピックアップした未検査の半導体デバイス１が、最後の半導体デバイス１であった場合には、ステップＳ１２から、ステップＳ１８、Ｓ１９に進み、半導体デバイス１を移動テーブル１２４からシフト部１５０に載せかえた後に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動動作を禁止させ、シフト部１５０と測定部１４０間のみで搬送部１２０を稼動させる。具体的には、主搬送部１２１において、移動テーブル１２４がトレイ部１１０側には移動されないように制御し、また、トレイ部側搬送部１２２が、未検査トレイ１１１上で移動しないように制御する。好ましくは、トレイ部側搬送部１２２を、未検査トレイ１１１から離れた側（例えば、不良品トレイ１１３側の端部）に退避させる。この際、例えば、制御部１７０により、未検査トレイ１１１において未検査の半導体デバイス１がなくなったことを警報を鳴らす（または、表示する）等により係員に通知し（ステップＳ２０）、係員に対して未検査トレイ１１１の交換を促す。
【００５０】
なおこの後、測定部１４０での測定動作を継続して行う。すなわち、シフト部１５０上の未検査の半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム１３０の測定部側吸着ノズル１３１で吸着してピックアップし（ステップＳ２１）、測定用コンタクトアーム１３０を回転させ、コンタクト部１４１に移動させて検査する（ステップＳ２２）。この検査により、半導体デバイス１が良品であるか、不良品であるかが判定される。
【００５１】
この後、検査が終了すると、測定用コンタクトアーム１３０を回転させて、検査済の半導体デバイス１を、シフト部１５０に収納スペースがある場合には、シフト部１５０に受け渡す（ステップＳ２３、Ｓ２４）。
【００５２】
次に、未検査トレイ１１１の交換が終了したかどうかを確認し（ステップＳ２５）、まだ交換が終了していない場合には、未検査トレイ１１１の交換が終了するまで待機する。ここで、例えば、係員により未検査トレイ１１１が交換されると、係員によって、未検査トレイ１１１の交換が終了したことを、所定の操作などが行われるなどして入力され、制御部１７０がこの状態を認識できるように構成されている。
【００５３】
次に、未検査トレイ１１１の交換が終了したかどうかを確認し（ステップＳ２５）、まだ交換が終了していない場合には、ステップＳ２６に進み、シフト部１５０に未検査の半導体デバイス１が残っているかどうかを確認する。そして、シフト部１５０に未検査の半導体デバイス１が残っている場合には、その半導体デバイス１をコンタクト部１４１に移動させて検査する動作（ステップＳ２２）を繰り返す。
【００５４】
この後、ステップＳ２３においてシフト部１５０に収納スペースがない場合や、ステップＳ２５において、未検査トレイ１１１の交換が終了していない場合には、未検査トレイ１１１の交換が終了するまで待機する。ここで、例えば、係員により未検査トレイ１１１が交換されると、係員によって、未検査トレイ１１１の交換が終了したことを、所定の操作などが行われるなどして入力され、制御部１７０がこの状態を認識できるように構成されている。
【００５５】
未検査トレイ１１１の交換が終了したことを認識した場合には、搬送部１２０によるトレイ部１１０への搬送を再開する（ステップＳ２６）。すなわち、主搬送部１２１において、移動テーブル１２４がトレイ部１１０側に移動することを許可し、また、トレイ部側搬送部１２２が、未検査トレイ１１１上で移動することも許可する。したがって、シフト部１５０に載せられた検査済の半導体デバイス１を、シフト部側吸着ノズル１６１によって移動テーブル１２４上に載せかえ、さらに、移動テーブル１２４をトレイ部１１０側に移動させた後、トレイ部側吸着ノズル１２３により検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とに振り分けて収納する（ステップＳ２７）。
【００５６】
この構成により、未検査トレイ１１１の交換を行っている際でも、未検査の半導体デバイス１を、測定部１４０で測定し、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０に収納すること（動作を並行して行うこと）ができて、生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。しかも、係員などが未検査トレイ１１１の交換作業を行う際には、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。
【００５７】
（実施の形態２）
上記実施の形態１と同様なハンドラ１００の各構成要素を備えた構成において、制御部１７０により、トレイ部１１０の良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３への半導体デバイス１を管理しておき、トレイ部１１０の良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際にも同様の制御動作（トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動の禁止）を行うことで、同様の作用効果を得ることができる。
【００５８】
すなわち、トレイ部１１０の良品トレイ１１２および不良品トレイ１１３に半導体デバイス１が収納された際に、その半導体デバイス１が最後の半導体デバイス１であるかどうかを確認し、最後の半導体デバイス１であった場合には、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動（トレイ部側搬送部１２２や主搬送部１２１の稼動動作）を禁止させ、シフト部１５０と測定部１４０間のみで搬送部１２０（測定用コンタクトアーム１３０）を稼動させて（必要に応じて、シフト部側搬送部１６０を稼動させてもよい）、測定を継続させる制御を行う。
【００５９】
この構成において、良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３を新たなトレイに交換しているときも、測定用コンタクトアーム１３０を駆動して未検査の半導体デバイス１（例えば、新たに交換された未検査トレイ１１１から供給される半導体デバイス１）をシフト部１５０からピックアップして測定部１４０に移動して検査を継続して行い、検査終了後は、さらに測定用コンタクトアーム１３０を回転させて検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０に収納する。この検査（測定）動作はトレイ部側搬送部１２２や主搬送部１２１が稼動していなくても可能である。この後、良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３の交換を終了して、搬送部１２０であるシフト部側搬送部１６０、主搬送部１２１およびトレイ部側搬送部１２２によりトレイ部１１０への搬送を再開させて、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０から検査結果に応じてトレイ部１１０の良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３に収納する。
【００６０】
この構成により、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換を行っている際でも、未検査の半導体デバイス１を、測定部１４０で測定し、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０に収納すること（動作を並行して行うこと）ができて、生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。しかも、係員などが未検査トレイ１１１の交換作業を行う際には、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。
【００６１】
なお、この実施の形態では、トレイ部１１０の良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際に、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動の禁止を行って、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換を安全に行う場合を述べたが、これに限るものではなく、トレイ部１１０の良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３に検査済の半導体デバイス１が満杯になった際に、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動の禁止を行って、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換を安全に行うよう構成してもよく、同様の作用効果を得ることができる。
【００６２】
（実施の形態３）
図３に示すように、この実施の形態に係るハンドラ１０１では、シフト部１５０およびシフト部側搬送部１６０が設けられておらず、主搬送部１２１の移動テーブル１２４で搬送された未検査の半導体デバイス１が測定用コンタクトアーム１３０の測定部側吸着ノズル１３１で吸着されて測定部１４０で測定され、その後、検査済の半導体デバイス１が測定用コンタクトアーム１３０から主搬送部１２１の移動テーブル１２４に渡されるよう構成されている。また、この実施の形態では、最も簡略化された構成のものを示し、測定部１４０には１つのコンタクト部１４１が設けられ、また、測定用コンタクトアーム１３０は一方向に延びるアームの先端部に１つだけ測定部側吸着ノズル１３１が設けられている場合を図示しているが、これに限るものではない。なお、図１に示すハンドラ１００の構成要素と同様な機能のものには同符号を付してその説明は省略する。
【００６３】
そして、このハンドラ１０１においても、制御部１７１は、未検査トレイ１１１の最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動を禁止させる一方、トレイ部１１０外での稼動動作、すなわち、測定用コンタクトアーム１３０の回転動作および検査済の半導体デバイス１の測定用コンタクトアーム１３０から主搬送部１２１の移動テーブル１２４への受渡動作については稼動させて測定を継続させるよう制御する構成とされている。
【００６４】
したがって、このように、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動を禁止させている状態で、未検査トレイ１１１を未検査半導体デバイス１が収納されている新たなトレイに交換を行う。これにより、未検査トレイ１１１を新たなトレイに交換しているときも搬送部１２０の測定用コンタクトアーム１３０は測定部１４０に移動して検査を続けることが可能となり、この結果、ハンドラ１０１の動作を全く停止させる場合と比較して、生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。しかも、係員などが未検査トレイ１１１の交換作業を行う際には、トレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。
【００６５】
ただし、検査終了後の搬送部１２０（主搬送部１２１やトレイ部側搬送部１２２）は未検査トレイ１１１の交換が終わるまでトレイ部１１０への移動はできないので動作は一時停止となる。
【００６６】
また、この実施の形態においても、トレイ部１１０の良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際やトレイが満杯になった際にも同様の制御動作を行うことで、同様の作用効果を得ることができる。
【００６７】
（実施の形態４）
この実施の形態４に係るハンドラ１０２は、上記実施の形態１と同様なハンドラ１００の各構成要素に加えて、検査済の半導体デバイス１を一時的に蓄える検査済バッファ部１８０を備えている。そして、このハンドラ１０２に設けられている制御部１７２は、未検査トレイ１１１の最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動（詳しくは、主搬送部１２１のトレイ部１１０側への移動動作やトレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３のトレイ部１１０側への移動動作）を禁止させ、測定部１４０とシフト部１５０と検査済バッファ部１８０との間で搬送部１２０（詳しくは、前記移動動作（主搬送部１２１のトレイ部１１０側への移動動作やトレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３のトレイ部１１０側への移動動作）以外の動作）を稼動させて、検査済の半導体デバイス１を検査済バッファ部１８０に一時的に蓄えながら測定を継続させるよう構成されている。
【００６８】
この構成においては、上記第１の実施の形態に係るハンドラ１００の制御動作とほぼ同様の制御動作を行うことができるとともに、さらに、図５におけるステップＳ２４’に示すように、検査済みの半導体デバイス１を、シフト部１５０を介して、検査済バッファ部１８０に収容させるよう制御され、検査済バッファ部１８０の収納スペースがなくなった場合にはシフト部１５０に収納されるようになっている。なお、この際、測定用コンタクトアーム１３０およびシフト部側搬送部１６０、主搬送部１２１、トレイ部側搬送部１２２が稼動されるが、主搬送部１２１やトレイ部側搬送部１２２のトレイ部１１０内やその近傍箇所への搬送動作は規制される。
【００６９】
また、未検査トレイ１１１の交換が終了したことを認識した場合には、搬送部１２０によるトレイ部１１０への搬送を再開し（ステップＳ２７）、検査済バッファ部１８０に載せられた検査済の半導体デバイス１を、トレイ部側搬送部１２２により、良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とに振り分けて収納したり、シフト部１５０に載せられた検査済の半導体デバイス１を、シフト部側吸着ノズル１６１によって移動テーブル１２４上に載せかえ、さらに、移動テーブル１２４をトレイ部１１０側に移動させた後、トレイ部側吸着ノズル１２３により検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とに振り分けて収納したり（ステップＳ２８’）する。
【００７０】
この構成によれば、検査済みの半導体デバイス１を検査済バッファ部１８０の収納スペースにも収納することができ、また、検査済バッファ部１８０に載せられた検査済の半導体デバイス１は、トレイ部側搬送部１２２により、良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とに迅速に振り分けて収納できるため、さらに、生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。
【００７１】
また、この実施の形態においても、トレイ部１１０の良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際にも実施の形態２と概略的に同様の制御動作を行うことが好適である。
【００７２】
すなわち、トレイ部１１０の良品トレイ１１２および不良品トレイ１１３に半導体デバイス１が収納された際に、その半導体デバイス１が最後の半導体デバイス１であるかどうかを確認し、最後の半導体デバイス１であった場合には、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動（トレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３のトレイ部１１０側への稼動動作）を禁止させた状態で、シフト部１５０と測定部１４０との間と、シフト部１５０と検査済バッファ部１８０との間で搬送部１２０（測定用コンタクトアーム１３０、シフト部側搬送部１６０）を稼動させて、測定を継続させる制御を行う。
【００７３】
この構成により、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換を行っている際でも、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０だけでなく、検査済バッファ部１８０に収納すること（動作を並行して行うこと）ができて、さらに生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。しかも、係員が良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３のの交換作業を行う際には、トレイ部１１０内でのトレイ部側吸着ノズル１２３の稼動が禁止されるので、係員の安全性を保つことができる。
【００７４】
なお、トレイ部１１０の良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際に代えて、トレイが満杯になった際に同様の制御動作を行うことで、同様の作用効果を得ることができる。
【００７５】
（実施の形態５）
この実施の形態５に係るハンドラ１０３は、上記実施の形態１と同様なハンドラ１００の各構成要素に加えて、検査済の半導体デバイス１を一時的に蓄える検査済バッファ部１８０と、未検査の半導体デバイス１を一時的に蓄える未検査バッファ部１８１とを備えている。そして、このハンドラ１０３に設けられている制御部１７３は、未検査トレイ１１１の最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動（詳しくは、主搬送部１２１のトレイ部１１０側への移動動作やトレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３のトレイ部１１０側への移動動作）を禁止させ、測定部１４０とシフト部１５０と検査済バッファ部１８０との間で搬送部１２０（詳しくは、前記移動動作（主搬送部１２１のトレイ部１１０側への移動動作やトレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３のトレイ部１１０側への移動動作）以外の動作）を稼動させて、検査済の半導体デバイス１を検査済バッファ部１８０に一時的に蓄えながら測定を継続させるよう構成されている。
【００７６】
なお、この実施の形態では、トレイ部側搬送部１２２におけるトレイ部側吸着ノズル１２３以外の移動フレームなどの部分は、係員等の人が通らない領域（例えば、人が通過するよりも上方の領域など）において移動自在に配設されていることが望ましく、トレイ部側搬送部１２２におけるトレイ部側吸着ノズル１２３以外の移動フレームを支持する部分などが、トレイ部１１０近傍で移動する際でも、安全性を保てるよう構成する。
【００７７】
このハンドラ１０３の制御動作を、図７に示すフローチャートを参照しながら説明する。半導体デバイス１の検査に際して、まず、トレイ部１１０の未検査トレイ１１１に収納されている未検査の半導体デバイス１を、トレイ部側搬送部１２２のトレイ部側吸着ノズル１２３によりピックアップして（ステップＳ３１）、未検査バッファ部１８１に一時的に収納する（ステップＳ３２）。
【００７８】
ここで、未検査の半導体デバイス１をトレイ部側搬送部１２２からピックアップした際に、未検査トレイ１１１からピックアップした未検査の半導体デバイス１が、未検査トレイ１１１における最後の半導体デバイス１かどうか確認する（ステップＳ３３）。そして、未検査トレイ１１１において、最後の半導体デバイス１ではないと判断した場合は、測定部１４０において、測定中であるかどうかが判定され（ステップＳ３４）、測定中であった際には、未検査バッファ部１８１が満杯となったかどうかが確認され（ステップＳ３５）、満杯でない場合には、ステップＳ３１に戻って、未検査バッファ部１８１が満杯になるまで、未検査の半導体デバイス１が補充される。
【００７９】
ステップＳ３４において測定中でなかった場合や、ステップＳ３５において未検査バッファ部１８１が満杯となっていた場合には、ステップＳ３６に進んで、未検査の半導体デバイス１を未検査バッファ部１８１からシフト部１５０に移動して載せかえた後（ステップＳ３６）に、シフト部１５０上の未検査の半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム１３０の測定部側吸着ノズル１３１で吸着してピックアップし（ステップＳ３７）、測定用コンタクトアーム１３０を回転させ、コンタクト部１４１に移動させて検査を開始する（ステップＳ３８）。なお、この検査により、半導体デバイス１が良品であるか、不良品であるかが判定される。
【００８０】
この後、検査が終了すると、測定用コンタクトアーム１３０を回転させて、検査済の半導体デバイス１を、シフト部１５０に受け渡す（ステップＳ３９）。次に、シフト部１５０に載せられた検査済の半導体デバイス１を、シフト部側吸着ノズル１６１によって、移動テーブル１２４上に載せかえ、さらに、移動テーブル１２４をトレイ部１１０側に移動させ、トレイ部側吸着ノズル１２３により、トレイ部１１０側に移動されてきた移動テーブル１２４から検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、つまり、それが良品と判定された場合には良品トレイ１１２に収納し、また、それが不良品と判定された場合には不良品トレイ１１３に収納する（ステップＳ４０）。
【００８１】
一方、ステップＳ３３（未検査の半導体デバイス１を未検査バッファ部１８１に一時的に収納した状態でその半導体デバイス１が最後の半導体デバイス１であるかどうか判定する段階）において、未検査トレイ１１１の最後の半導体デバイス１であった場合には、ステップＳ３３から、ステップＳ４１、Ｓ４２に進み、半導体デバイス１を未検査バッファ部１８１からシフト部１５０に載せかえた後に、この後のトレイ部１１０内での搬送部１２０の稼動動作を禁止させ、シフト部１５０と測定部１４０と、未検査バッファ部１８１、検査済バッファ部１８０との間のみで搬送部１２０を稼動させる。具体的には、主搬送部１２１において、移動テーブル１２４がトレイ部１１０側には移動されないように制御し、また、トレイ部側搬送部１２２が、未検査トレイ１１１上で移動しないように制御する。この際、例えば、制御部１７０により、未検査トレイ１１１において未検査の半導体デバイス１がなくなったことを警報を鳴らす（または、表示する）等により係員に通知し（ステップＳ４３）、係員に対して未検査トレイ１１１の交換を促す。
【００８２】
なおこの後、測定部１４０での測定動作を継続して行う。すなわち、シフト部１５０上の未検査の半導体デバイス１を、測定用コンタクトアーム１３０の測定部側吸着ノズル１３１で吸着してピックアップし（ステップＳ４４）、測定用コンタクトアーム１３０を回転させ、コンタクト部１４１に移動させて検査する（ステップＳ４５）。この検査により、半導体デバイス１が良品であるか、不良品であるかが判定される。
【００８３】
この後、検査が終了すると、測定用コンタクトアーム１３０を回転させて、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０に受け渡し（ステップＳ４６）、さらに、この検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０から検査済バッファ部１８０に受け渡す（ステップＳ４７）。
【００８４】
次に、未検査トレイ１１１の交換が終了したかどうかを確認し（ステップＳ４８）、まだ交換が終了していない場合には、未検査バッファ部１８１に未検査の半導体デバイス１が残っているかどうかを確認し（ステップＳ４９）、未検査の半導体デバイス１がある場合には、ステップＳ４４に戻って、未検査バッファ部１８１に残っている半導体デバイス１を測定用コンタクトアーム１３０によりコンタクト部１４１に移動させて検査し、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０を介して検査済バッファ部１８０に受け渡す作業（ステップＳ４４〜Ｓ４７）を行う。
【００８５】
未検査トレイ１１１の交換が終了せず、未検査バッファ部１８１における未検査の半導体デバイス１がなくなった場合は、未検査トレイ１１１の交換が終了するまで待機する。ここで、上記の場合と同様に、例えば、係員により未検査トレイ１１１が交換されると、係員によって、未検査トレイ１１１の交換が終了したことを、所定の操作などが行われるなどして入力され、制御部１７０がこの状態を認識できるように構成されている。
【００８６】
未検査トレイ１１１の交換が終了したことを認識した場合には、搬送部１２０によるトレイ部１１０への搬送を再開する（ステップＳ５０）。すなわち、トレイ部側搬送部１２２が、未検査トレイ１１１上で移動することも許可する。したがって、検査済バッファ部１８０に載せられた検査済の半導体デバイス１をトレイ部側吸着ノズル１２３により検査済の半導体デバイス１を検査結果に応じて、良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とに振り分けて収納する（ステップＳ５１）。
【００８７】
この構成によれば、検査済みの半導体デバイス１を検査済バッファ部１８０の収納スペースにも収納することができるだけでなく、未検査の半導体デバイス１を未検査バッファ部１８１にも収納することができるので、未検査トレイ１１１の交換を行っている際でも、未検査バッファ部１８１に収納した未検査の半導体デバイス１を順次測定部１４０で測定して検査し、検査済の半導体デバイス１を検査済バッファ部１８０の収納スペースに収納することができ、また、検査済バッファ部１８０に載せられた検査済の半導体デバイス１は、トレイ部側搬送部１２２により、良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とに迅速に振り分けて収納できるため、さらに、生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。
【００８８】
また、この実施の形態においても、トレイ部１１０の良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際やトレイが満杯になった際にも実施の形態４と概略的に同様の制御動作を行うことが好適であり、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換を行っている際でも、検査済の半導体デバイス１をシフト部１５０だけでなく、検査済バッファ部１８０に収納すること（動作を並行して行うこと）ができて、さらに生産性を向上させ、検査コストを低減させることができる。しかも、係員が良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換作業を行う際には、トレイ部１１０内でのトレイ部側吸着ノズル１２３の稼動が禁止されるので、係員の安全性を保つことができる。
【００８９】
（実施の形態６）
図８に示すように、この実施の形態６に係るハンドラ１０４は、上記実施の形態５と同様なハンドラ１０３の各構成要素を備えていることに加えて、ハンドラ１０４のトレイ部１１０に良品トレイ１１２が設置されたことを検知する良品トレイ設置センサ１９１と、トレイ部１１０に不良品トレイ１１３が設置されたことを検知する不良品トレイ設置センサ１９２と、トレイ部１１０に未検査トレイ１１１が設置されたことを検知する未検査トレイ設置センサ１９３とが設けられている。なお、例えば、未検査トレイ１１１、良品トレイ１１２、不良品トレイ１１３にそれぞれが識別できる無線通信タグを取り付けて、未検査トレイ１１１、良品トレイ１１２、不良品トレイ１１３が載置されたことを検知するように構成すればよく、１つのトレイ設置センサにより各トレイの載置状態を確認できるよう構成してもよい（図示せず）。
【００９０】
そして、このハンドラ１０４に設けられた制御部１７４は、トレイ部１１０に良品トレイ１１２と不良品トレイ１１３とが載置されたことを前記良品トレイ設置センサ１９１と不良品トレイ設置センサ１９２とにより検知した場合には、制御部１７４により、搬送部１２０のトレイ部１１０に対する稼動禁止を自動的に解除して、検査済バッファ部１８０に一時的に蓄えていた良品の半導体デバイス１を良品トレイ１１２に移動させたり、不良品の半導体デバイス１を不良品トレイ１１３に移動させたりするように制御するよう構成されている。
【００９１】
また、未検査トレイ１１１の交換のために、この未検査トレイ１１１が係員などによりトレイ部１１０から取り出された際には、この状態を未検査トレイ設置センサ１９３により検知して制御部１７４に通知し、また、同様に、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３が係員などによりトレイ部１１０から取り出された際には、この状態を良品トレイ設置センサ１９１や不良品トレイ設置センサ１９２により検知して制御部１７４に通知するようになっており、これらの情報を入力した際には制御部１７４は、搬送部１２０のトレイ部１１０への侵入が禁止されていることを確認可能に構成されている。
【００９２】
また、この後に、未検査トレイ１１１の交換が終了して新しい未検査トレイ１１１が係員などによりトレイ部１１０に載置された際や、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３の交換が終了して新しい良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３が載置された際などに、この状態が未検査トレイ設置センサ１９３（または良品トレイ設置センサ１９１や不良品トレイ設置センサ１９２）により検知されて、上記の搬送部１２０のトレイ部１１０への侵入禁止を解除するように構成されている。
【００９３】
この構成により、良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３を交換してトレイ部１１０に載置すると、これが良品トレイ設置センサ１９１や不良品トレイ設置センサ１９２により検知されて、搬送部１２０のトレイ部１１０に対する稼動禁止が自動的に解除され、検査済バッファ部１８０に一時的に蓄えていた良品または不良品の半導体デバイス１が良品トレイ１１２や不良品トレイ１１３に移動されて、良好に測定を継続させることができ、これにより半導体検査装置の生産性をさらに向上させることができる。
【００９４】
また、未検査トレイ１１１が交換されてトレイ部１１０に未検査トレイ１１１が設置されたことが検知されると、搬送部１２０のトレイ部１１０に対する稼動禁止が自動的に解除されるので、未検査の半導体デバイス１の検査が自動的に開始されて、これによっても半導体検査装置の生産性をさらに向上させることができる。
【００９５】
（実施の形態７）
図９に示すように、この実施の形態６に係るハンドラ１０５は、上記実施の形態５と同様なハンドラ１０３の各構成要素を備えていることに加えて、ハンドラ１０５のトレイ部１１０内に係員の手やその他のものなどの異物が進入したことを検知する異物検知手段としての異物確認用センサ（この実施の形態では例えば、発光部と受光部とを設けて、これらの間が異物で遮光されると、異物の侵入として検知する。）１９０を設け、トレイ部１１０内への異物の進入を検知すると、ハンドラ１０４の動作を停止させる安全モードの制御プログラムを制御部１７５に設けている。
【００９６】
なお、トレイ部１１０の未検査トレイ１１１や、良品トレイ１１２、不良品トレイ１１３を係員などが交換する際に支障をきたさないように、最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際、または、良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１が収納された際、または、良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３が満杯になった際には、前記安全モードによる異物検知動作を一時的に解除するとともに、搬送部のトレイ部１１０内での稼動を禁止するように制御部１７５で制御する。
【００９７】
これによれば、各トレイの交換時以外の時に、トレイ部１１０内へ異物が進入した際には、この状況が異物確認用センサ１９０により検知されて、ハンドラ１０４の動作が停止されるので、係員やハンドラ１０４内での安全性がより向上する。また、異物が侵入することによりハンドラ１０３の設備の破損、故障が発生する可能性があるが、この構成によれば、このような不具合の発生を防止することが可能となる。
【００９８】
なお、上記の実施の形態では、ハンドラ１０４のトレイ部１１０内への異物の進入を検知するよう構成した場合を述べたが、ハンドラ１０４の他の場所（例えば、検査済バッファ部１８０や未検査バッファ部１８１）への異物の進入を検知した際に、ハンドラ１０４の動作を停止させる安全モードを設けるよう構成してもよい。
【００９９】
（実施の形態８）
上記実施の形態１〜７においては、トレイ部１１０において、何れの未検査トレイ１１１、良品トレイ１１２、不良品トレイ１１３を交換する際にも搬送部１２０のトレイ部１１０内全体への稼動を禁止するように構成したが、これに限るものではなく、トレイ部１１０を、未検査の半導体デバイス１を収納する未検査トレイ１１１が載せられる第１トレイ部と、検査済不良品の半導体デバイス１を収納する不良品トレイ１１３と検査済良品の半導体デバイス１を収納する良品トレイ１１２とが載せられる第２トレイ部とに物理的または仮想的（例えば、制御部で位置データから領域を仮想的に認識するように構成する）に分割し、制御部により、最後の半導体デバイス１が未検査トレイ１１１から取り出された際に、この後の第１トレイ部内での搬送部１２０の稼動を禁止させ、測定部１４０で搬送部１２０を稼動させて測定を継続させるとともに、検査済の半導体デバイス１を測定部１４０から第２トレイ部への搬送を継続させるよう構成してもよい。
【０１００】
すなわち、例えば実施の形態１に記載するハンドラ１００において未検査トレイ１０２の最後の半導体デバイス１を取った後、未検査トレイ１１１上での搬送部１２０の稼動を禁止しかつ測定部１４０内のみで搬送部１２０を稼動させて測定を継続させ、測定の結果に応じて良品、不良品を収納する良品トレイ１１２または不良品１１３に製品を収納する。
【０１０１】
この構成によっても、係員などが未検査トレイ１１１の交換作業を行う際には、第１トレイ部内での搬送部の稼動が禁止されるので、係員の安全性を良好に保つことができる。また、第１トレイ部内での搬送部の稼動は禁止されるが、第２トレイ部内での搬送部の稼動は継続できるので、上記実施の形態よりも生産性を向上させることができる。なお、この構成は、他の実施の形態に対しても同様に適用可能である。
（実施の形態９）
上記実施の形態１に記載するハンドラ１００において、良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３に最後の半導体デバイス１を置いた後、良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３内での搬送部１２０の稼動を禁止し、かつ未検査トレイ１１１および測定部１４０のみで搬送部１２０を稼動させ、検査済の半導体デバイス１を未検査トレイ１１１の空スペースに収納するように構成する。そして、良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３に新たなトレイが設置された後に、搬送部１２０の稼動が良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３が設けられている領域まで行われることが復帰されると、未検査トレイ１１１の空スペースに収納された良品または不良品の半導体デバイス１を良品トレイ１１２または不良品トレイ１１３４に移動ように制御部で制御する。
【０１０２】
この構成によれば、良品トレイ１１２か不良品トレイ１１３を交換する際には、この後の第２トレイ部内での搬送部１２０の稼動が禁止されているので、前記交換を安全に行うことができる。また、この際に、測定部１４０で搬送部１２０（測定用コンタクトアーム１３０）を稼動させて測定を継続されるとともに、第１トレイ部の空きスペースを利用しながら一時的に蓄え、その後、第２トレイ部の不良品トレイ１１３または良品トレイ１１２の交換が終了したことを検知した際に、第１トレイ部の空きスペースへ搬送した検査済の半導体デバイス１を第２トレイ部の不良品トレイ１１３または良品トレイ１１２に搬送されるので、良好に測定を継続させることができて、半導体検査装置の生産性を向上させることができる。
【０１０３】
また、何れの実施の形態においても、未検査トレイ１１１や良品トレイ１１２、不良品トレイ１１３を係員などの人が行う場合を述べたが、これに限るものではなく、これらのトレイが、コンベア装置などにより自動的に送られる場合でも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
本発明のハンドラは、ハンドラを用いて検査する際に、未検査半導体デバイスを収納する未検査トレイ、良品半導体デバイスを収納する良品トレイ、不良品半導体デバイスを収納する不良品トレイを半導体デバイスの検査中でも入れ換えが可能になることから検査効率を向上することができ、検査装置の稼働率向上に有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】本発明の実施の形態１、２、８、９に係るハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図２】同ハンドラの制御動作を示すフローチャート
【図３】本発明の実施の形態３に係るハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図４】本発明の実施の形態４に係るハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図５】同ハンドラの制御動作を示すフローチャート
【図６】本発明の実施の形態５に係るハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図７】同ハンドラの制御動作を示すフローチャート
【図８】本発明の実施の形態６に係るハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図９】本発明の実施の形態７に係るハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図１０】従来のハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図１１】同従来のハンドラの制御動作を示すフローチャート
【図１２】従来の他のハンドラの構成を概略的に示す平面図
【図１３】同従来の他のハンドラの制御動作を示すフローチャート
【符号の説明】
【０１０６】
１      半導体デバイス
１００〜１０５    ハンドラ
１１０    トレイ部
１１１    未検査トレイ
１１２    良品トレイ
１１３    不良品トレイ
１２０    搬送部
１２１    主搬送部
１２２    トレイ部側搬送部
１２３    トレイ部側吸着ノズル
１２４    移動テーブル
１３０    測定用コンタクトアーム
１３１    測定部側吸着ノズル
１４０    測定部
１４１    コンタクト部
１５０    シフト部
１６０    シフト部側搬送部
１６１    シフト部側吸着ノズル
１７０〜１７５    制御部
１８０    検査済バッファ部
１８１    未検査バッファ部
１９１    良品トレイ設置センサ
１９２    不良品トレイ設置センサ
１９３    未検査トレイ設置センサ
１９４    異物確認用センサ
【図１】
2008134109.tif 000003
【図２】
2008134109.tif 000004
【図３】
2008134109.tif 000005
【図４】
2008134109.tif 000006
【図５】
2008134109.tif 000007
【図６】
2008134109.tif 000008
【図７】
2008134109.tif 000009
【図８】
2008134109.tif 000010
【図９】
2008134109.tif 000011
【図１０】
2008134109.tif 000012
【図１１】
2008134109.tif 000013
【図１２】
2008134109.tif 000014
【図１３】
2008134109.tif 000015