(57)【要約】【課題】単一の吸入ポートと単一の吐出ポートを有する４バルブダイヤフラムポンプにおいて、振動と騒音を低減する。【解決手段】振動するダイヤフラムの上下に一対のポンプ室を形成し、一対のポンプ室と単一の吸入ポートとを結ぶ一対の吸入側流路にそれぞれ、該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、一対のポンプ室と単一の吐出ポートとを結ぶ一対の吐出側流路にそれぞれ該吐出ポートから該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設けたダイヤフラムポンプにおいて、上記単一の吸入ポートを一対の吸入側流路に分岐させる分岐部に、該一対の吸入側流路の一方の圧力変動が他方に及ぼされるのを抑制する分離整流部材を設け、上記単一の吐出ポートを一対の吐出側流路に分岐させる分岐部に、該一対の吐出側流路の一方の圧力変動が他方に及ぼされるのを抑制する分離整流部材を設ける。【選択図】図４
2008014195.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動するダイヤフラムの上下に一対のポンプ室を形成し、
上記一対のポンプ室と単一の吸入ポートとを結ぶ一対の吸入側流路にそれぞれ、該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、
上記一対のポンプ室と単一の吐出ポートとを結ぶ一対の吐出側流路にそれぞれ該吐出ポートから該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設けたダイヤフラムポンプにおいて、
上記単一の吸入ポートを一対の吸入側流路に分岐させる分岐部に、該一対の吸入側流路の一方の圧力変動が他方に及ぼされるのを抑制する分離整流部材を設け、
上記単一の吐出ポートを一対の吐出側流路に分岐させる分岐部に、該一対の吐出側流路の一方の圧力変動が他方に及ぼされるのを抑制する分離整流部材を設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記一対の吸入側流路は、単一の吸入ポートとの分岐部において直線状をしていて、その直線状部と単一の吸入ポートとは直交しており、該吸入ポートの軸線上に、分離整流部材が設けられているダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
請求項１または２記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記一対の吐出側流路は、単一の吐出ポートとの分岐部において直線状をしていて、その直線状部と単一の吐出ポートとは直交しており、該吐出ポートの軸線上に、分離整流部材が設けられているダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記分離整流部材は、吸入ポートと吐出ポートの全長に渡って形成されているダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムポンプに関し、特に４バルブダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムによってポンプ室（可変容積室）を形成し、このポンプ室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（ポンプ室への流体流を許す吸入側逆止弁とポンプ室からの流体流を許す吐出側逆止弁）を設けている。ダイヤフラムを振動させるとポンプ室の容積が変化し、容積が拡大する行程では吸入側逆止弁が開き、容積が縮小する行程では吐出側逆止弁が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。ダイヤフラムは、ゴム、圧電振動子等の弾性（振動）可能な材料から構成される。
【０００３】
本出願人は、このようなダイヤフラムポンプでの脈動の周期を問題とし、ダイヤフラムの正逆の両方の変形（振動）でポンプ作用が得られるようにすることで、脈動の周期を半分とした４バルブダイヤフラムポンプを提案した（特許文献４）。この４バルブダイヤフラムポンプは、振動するダイヤフラムの上下に一対のポンプ室を形成し、一対のポンプ室と単一の吸入ポートとを結ぶ一対の吸入側流路にそれぞれ、該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、一対のポンプ室と単一の吐出ポートとを結ぶ一対の吐出側流路にそれぞれ該吐出ポートから該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設けたものである。
【０００４】
この４バルブダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムの正逆の変形でそれぞれポンプ作用が得られることから、一方のみの変形でポンプ作用を得る従来ポンプに比べて、能力が倍になる。
【特許文献１】特公平７-１０３８５１号公報
【特許文献２】特開平１１-３２５６５５号公報
【特許文献３】特開２００５-３０２１３号公報
【特許文献４】特開２００５-３３７０６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、新たに、振動と騒音が問題点として指摘されるに至った。例えばパソコンの冷却源としてダイヤフラムポンプを用いる場合には、僅かな振動と騒音でも、ユーザーに不快感を与えてしまうため好ましくない。
【０００６】
本発明は従って、単一の吸入ポートと単一の吐出ポートを有する４バルブダイヤフラムポンプにおいて、振動と騒音を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、振動と騒音の原因を追及した結果、４バルブダイヤフラムポンプでは、単一の吸入ポート（吐出ポート）に一対の吸入側流路（一対の吐出側流路）が接続され、一方の吸入側流路（一方の吐出側流路）が正圧のとき他方の吸入側流路（他方の吐出側流路）は負圧になり、この正圧と負圧が圧電振動子の振動に応じて交互に切り替わることから、吸入ポート（吐出ポート）内に乱流が生じ、この乱流が振動と騒音の原因であるとの結論に達して本発明に至ったものである。
【０００８】
すなわち、本発明は、振動するダイヤフラムの上下に一対のポンプ室を形成し、上記一対のポンプ室と単一の吸入ポートとを結ぶ一対の吸入側流路にそれぞれ、該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、上記一対のポンプ室と単一の吐出ポートとを結ぶ一対の吐出側流路にそれぞれ該吐出ポートから該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設けたダイヤフラムポンプにおいて、上記単一の吸入ポートを一対の吸入側流路に分岐させる分岐部に、該一対の吸入側流路の一方の圧力変動が他方に及ぼされるのを抑制する分離整流部材を設け、上記単一の吐出ポートを一対の吐出側流路に分岐させる分岐部に、該一対の吐出側流路の一方の圧力変動が他方に及ぼされるのを抑制する分離整流部材を設けたことを特徴としている。
【０００９】
一対の吸入側流路は、単一の吸入ポートとの分岐部において直線状をしていて、その直線状部と単一の吸入ポートとは直交しており、該吸入ポートの軸線上に、分離整流部材が設けられていることが好ましい。また、一対の吐出側流路は、単一の吐出ポートとの分岐部において直線状をしていて、その直線状部と単一の吐出ポートとは直交しており、該吐出ポートの軸線上に、分離整流部材が設けられていることが好ましい。
【００１０】
分離整流部材は、吸入ポートと吐出ポートの全長に渡って形成されていることが好ましい。分離整流部材を分岐部から吸入ポート及び吐出ポートまで延出させることで、吸入ポート内及び吐出ポート内の乱流をより効果的に抑えることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、単一の吸入ポートと単一の吐出ポートを有する４バルブダイヤフラムポンプにおいて、振動と騒音を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図示実施形態は、本出願人が特開２００５-３３７０６８号で原理を提案した４バルブダイヤフラムポンプに本発明を適用したものである。この４バルブダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムによって該ダイヤフラムの上下に一対のポンプ室を形成する一方、単一の吸入ポートと、単一の吐出ポートを設け、一対のポンプ室と吸入ポートとの間にそれぞれ該吸入ポートから該一対のポンプ室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、一対のポンプ室と吐出ポートとの間にそれぞれ該一対のポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設けている。
【００１３】
図１ないし図８は、本発明の一実施形態を示している。本ダイヤフラムポンプは、中心部の圧電振動子（ダイヤフラム）１０を挟着するアッパハウジング２０Ｕと、ロアハウジング２０Ｌを有している。
【００１４】
アッパハウジング２０Ｕとロアハウジング２０Ｌは、樹脂材料の成形品からなるもので、ロアハウジング２０Ｌ側に完全筒体からなる互いに平行をなす吸入ポート２１と吐出ポート２２が突設されている。アッパハウジング２０Ｕとロアハウジング２０Ｌは、この吸入ポート２１と吐出ポート２２周りの構造を除き、基本的には対称形状をなしている。まず、共通（対称）構造を説明すると、アッパハウジング２０Ｕ（ロアハウジング２０Ｌ）には、図１、図４、図５に示すように、その内面（圧電振動子１０側の面を内面、その反対側を外面とする）に、ポンプ室形成凹部２３Ｕ（２３Ｌ）が形成されており、外面に、外面が開放された吸入流路凹部２４Ｕ（２４Ｌ）と吐出流路凹部（凹部）２５Ｕ（２５Ｌ）が形成されている。ポンプ室形成凹部２３Ｕ（２３Ｌ）の外周には変形Ｏリング保持溝２３Ｕ１（２３Ｌ１）が形成されている。
【００１５】
吸入流路凹部２４Ｕ（２４Ｌ）は、アッパハウジング２０Ｕ（ロアハウジング２０Ｌ）の外側から中心部に向かって延びており、その中心側端部に、ポンプ室形成凹部２３Ｕ（２３Ｌ）に連通する流路穴２６Ｕ（２６Ｌ）が穿設されている。吐出流路凹部２５Ｕ（２５Ｌ）は、この吸入流路凹部２４Ｕ（２４Ｌ）とほぼ平行に延びており、その中心側端部に、ポンプ室形成凹部２３Ｕ（２３Ｌ）に連通する流路穴２７Ｕ（２７Ｌ）が穿設されている。そして、流路穴２６Ｕ（２６Ｌ）には、吸入側アンブレラ（逆止弁）２８Ｕ（２８Ｌ）が装着され、流路穴２７Ｕ（２７Ｌ）には、吐出側アンブレラ（逆止弁）２９Ｕ（２９Ｌ）が装着されている。
【００１６】
アッパハウジング２０Ｕ（ロアハウジング２０Ｌ）の吸入流路凹部２４Ｕ（２４Ｌ）及び吐出流路凹部２５Ｕ（２５Ｌ）は、蓋プレート４２（図１）により液密に閉塞されて吸入流路と吐出流路を構成する。蓋プレート４２は、吸入流路凹部２４Ｕ（２４Ｌ）及び吐出流路凹部２５Ｕ（２５Ｌ）に共通の合成樹脂材料の成形品からなる部材である。
【００１７】
吸入流路凹部２４Ｕ内には、該吸入流路凹部２４Ｕの形状に沿わせて外側から順に、浅段部２４Ｕ１、深溝部２４Ｕ２及び中心中高部（内側受け壁）２４Ｕ３が閉曲線で形成されている。浅段部２４Ｕ１と深溝部２４Ｕ２の間には、Ｏリングガイドテーパ部２４Ｕ４が形成されている。一方、蓋プレート４２には、浅段部２４Ｕ１と深溝部２４Ｕ２に対応させて、外周薄板部４２ａと挿入突条部４２ｂが閉曲線で形成されており、挿入突条部４２ｂの外周側には、Ｏリング保持凹部４２ｃが形成されている。挿入突条部４２ｂの内周面は、中心中高部２４Ｕ３に当接する。
【００１８】
Ｏリング保持凹部４２ｃにはＯリング４３が保持され、深溝部２４Ｕ２の壁と挿入突条部４２ｂとの間に保持されて圧縮されて液密を保持する。このＯリング４３の反発力は、挿入突条部４２ｂを内方へ変形させようとするが、中心中高部（内側受け壁）２４Ｕ３は、挿入突条部４２ｂの内側端部に当接して、該挿入突条部４２ｂの変形を防ぐ。蓋プレート４２は、その外周薄板部４２ａと浅段部２４Ｕ１との接触部分において、レーザ溶着、超音波溶着等の適宜手段で接合される。
【００１９】
ロアハウジング２０Ｌには、吸入ポート２１、吐出ポート２２にそれぞれ連通し、吸入流路凹部２４Ｌ、吐出流路凹部２５Ｌの外側端部に連通する連通穴３１、３２（図２、図４、図５）が穿設されている。アッパハウジング２０Ｕには、この連通穴３１と３２の位置に合致させて、吸入流路凹部２４Ｕと吐出流路凹部２５Ｕの外側端部に連通する連通穴３３と３４（図３、図４、図５）が穿設されている。
【００２０】
また、アッパハウジング２０Ｕには、図４、図５、図６に示すように、連通穴３３と３４と同軸に突出する互いに平行をなす筒状突部３５と３６が形成されている。一方、ロアハウジング２０Ｌには、連通穴３１と３２と同軸に、この筒状突部３５と３６を受け入れる嵌合穴部３７と３８が形成されている。筒状突部３５と嵌合穴部３７（筒状突部３６と嵌合穴部３８）は同一構造である。図６に最もよく示されるように、筒状突部３５（３６）は、先端部から順に、小径定径部３５ａ（３６ａ）、拡径テーパ軸部３５ｂ（３６ｂ）及び大径定径部３５ｃ（３６ｃ）を有している。一方、嵌合穴部３７（３８）は、奥部から順に、小径定径穴３７ａ（３８ａ）、段付拡径テーパ穴部３７ｂ（３８ｂ）及び大径定径穴部３７ｃ（３８ｃ）を有している。筒状突部３５（３６）の拡径テーパ軸部３５ｂ（３６ｂ）と、嵌合穴部３７（３８）の段付拡径テーパ穴部３７ｂ（３８ｂ）との間には、Ｏリング３９が圧縮保持される。
【００２１】
上記連通穴３１と３３（連通穴３２と３４）は、筒状突部３５（３６）、嵌合穴部３７（３８）及びＯリング３９を介して相互に液密に接続される、一対の吸入側流路（一対の吐出側流路）を構成する。一対の吸入側流路（一対の吐出側流路）は、吸入ポート２１（吐出ポート２２）に対して直交する位置関係で接続された直線状流路であり、この吸入ポート２１（吐出ポート２２）から一対の吸入側流路（一対の吐出側流路）への分岐部に位置させて、吸入ポート２１（吐出ポート２２）内の乱流を防止する分離整流部材(分離整流止)５０（図１〜図６）が設けられている。分離整流部材５０は、吸入ポート２１（吐出ポート２２）の軸線Ｘ上に配置され、連通穴３１（３２）に当接する半円形筒状部５０ａと、一対の吸入側流路（一対の吐出側流路）を局所的に狭める一対のテーパー面５０ｂとを有している。一対のテーパー面５０ｂは、吸入ポート２１（吐出ポート２２）の軸線Ｘに関して対称形状をなし、該軸線Ｘ上で流路を最も狭め、連通穴３１（３３）側に向かって流路を広げるように傾斜している。よって、分離整流部材５０の軸線方向の寸法は、軸線Ｘ上で最大値ＷMAXとなる。この分離整流部材５０を設けることで、吸入側流路（吐出側流路）の一方の圧力変動が他方に及ぼされること、すなわち、吸入側流路（吐出側流路）の一方の流体流が他方へ流れ込むこと（逆流）を抑制でき、吸入ポート２１（吐出ポート２２）内での乱流が阻止される。
【００２２】
圧電振動子１０は、アッパハウジング２０Ｕ（ロアハウジング２０Ｌ）の変形Ｏリング保持溝２３Ｕ１（２３Ｌ１）にそれぞれ変形Ｏリング４１を挿入した状態で、両ハウジングの間に挟着保持される。圧電振動子１０は、バイモルフ型の圧電振動子から構成されており、厚さ方向中央部のシムと、このシムの表裏に積層した圧電体との間に交番電界を与えると振動する。このような圧電振動子１０は周知であり、本発明の要旨に関係がないので、給電構造を含めてこれ以上の説明は省略する。
【００２３】
上記構成の本ダイヤフラムポンプは、図７に示すように、圧電振動子１０とアッパハウジング２０Ｕのポンプ室形成凹部２３Ｕとの間に形成される室をポンプ室Ａ、圧電振動子１０とロアハウジング２０Ｌのポンプ室形成凹部２３Ｌとの間に形成される室をポンプ室Ｂとすると、次のように作動する。すなわち、圧電振動子１０を正逆に弾性変形（振動）させると、ポンプ室ＡとＢのいずれか一方の容積が増大し他方の容積が減少する。ポンプ室Ａの容積が増大する（ポンプ室Ｂの容積が減少する）行程では、吸入側アンブレラ２８Ｕが開いて吸入ポート２１からポンプ室Ａ内に流体が流入し、ポンプ室Ｂ内の流体が吐出側アンブレラ２９Ｌを開いて吐出ポート２２に流出する（図７（Ｂ）参照）。逆にポンプ室Ａの容積が減少する（ポンプ室Ｂの容積が増大する）行程では、吸入側アンブレラ２８Ｌが開いて吸入ポート２１からポンプ室Ｂ内に流体が流入し、ポンプ室Ａ内の流体が吐出側アンブレラ２９Ｕを開いて吐出ポート２２に流出する（図７（Ａ）参照）。従って、吐出ポート２２における脈動の周期を短くする（圧電振動子１０の上下の一方のみにポンプ室が形成される場合に比して半分にする）ことができる。
【００２４】
圧電振動子１０の振動によりポンプ室Ａの容積が増大する行程とポンプ室Ａの容積が減少する行程が切り替わると、吸入ポート２１からポンプ室Ａに流体を送る一方の吸入側流路内の圧力と吸入ポート２１からポンプ室Ｂに流体を送る他方の吸入側流路内の圧力が互いに変動し、流体の流入方向が切り替わる際に、一対の吸入側流路に設けた分離整流部材５０が、一方の吸入側流路に送られた流体が他方の吸入側流路に流れ込まないように、また、他方の吸入側流路に送られた流体が一方の吸入側流路に流れ込まないように整流し、一対の吸入側流路及び吸入ポート２１での乱流を阻止する。同時に、ポンプ室Ａ内の流体を吐出する一方の吐出側流路内の圧力とポンプ室Ｂ内の流体を吐出する他方の吐出側流路内の圧力も互いに変動して流体の流出方向が切り替わるが、その際には、一対の吐出側流路に設けた分離整流部材５０が、一方の吐出側流路から流出された流体が他方の吐出側流路に流れ込まないように、また、他方の吐出側流路から流出された流体が一方の吐出側流路に流れ込まないように清流し、一対の吐出側流路及び吐出ポート２２での乱流を阻止する。このように吸入ポート２１及び吐出ポート２２内の乱流が阻止されることで、振動と騒音が低減する。
【００２５】
図１のダイヤフラムポンプに分離整流部材５０を設けた場合（本実施例）と設けていない場合（比較例）において、ポンプ作動時の振動の大きさを測定した結果、比較例における振動の大きさは０．３１Ｇであるのに対し、本実施例における振動の大きさは、０．１７Ｇであって、比較例よりも約４５％改善することが判明した。なお、振動の大きさは吸入ポート２１及び吐出ポート２２近傍に加速度ピックアップを装着して測定した値である。本実施例と比較例は、分離整流部材５０を具備するか否か以外の構成は同一であり、一対の吸入側流路及び一対の吐出側流路の径（連通穴３１〜３４の径）を３ｍｍ、分離整流部材５０の軸線方向の最大寸法ＷMAXを１．８ｍｍとしてある。
【００２６】
図８は、上記本実施例と比較例におけるポンプ流量比［％］と騒音レベル［ｄＢ］を比較して示すグラフである。図８において、ポンプ流量比は比較例におけるポンプ流量を基準値（１００％）としたときの比で示され、騒音レベルは比較例における騒音の大きさを基準値（０ｄＢ）としたときの比で示されている。ポンプ流量及び騒音の大きさは、電圧７５Ｖｒｍｓ、周波数５０Ｈｚ、無負荷（０ｋＰａ）でダイヤフラムポンプを駆動させた状態で測定した値である。図８から明らかなように本実施例によれば、分離整流部材５０を設けていない比較例よりも騒音レベルが９．４ｄＢ低減され、且つ、ポンプ流量比は比較例の９５％であるから損失は少なく抑えられる。
【００２７】
図９は、比較例における騒音の大きさを基準値（０ｄＢ）としたときの本実施例における騒音の大きさを、ダイヤフラムポンプの駆動周波数を変化させて測定した結果を示すグラフである。騒音は、各周波数（４０、５０、６０Ｈｚ）において、電圧７５Ｖｒｍｓ、無負荷（０ｋＰａ）でダイヤフラムポンプを駆動させた状態で測定した値である。図９から明らかなように本実施例によれば、分離整流部材５０を設けていない比較例よりも騒音が低減され、さらに、ダイヤフラムポンプの駆動周波数が高くなるほど、比較例よりも騒音が低減される傾向が顕著である。
【００２８】
図１０〜図１２は、分離整流部材の別の形状例を示している。この別実施形態による分離整流部材１５０は、平板状をなし、吸入ポート２１（吐出ポート２２）の軸線Ｘ上に、該吸入ポート２１（吐出ポート２２）の全長に渡って設けられている。分離整流部材１５０の厚みｄは、流路を極端に狭めない程度、例えば吸入ポート２１（吐出ポート２２）の流路径の１／４以上であればよく、より具体的には約０．５ｍｍ程度である。４バルブダイヤフラムの吸入ポート２１（吐出ポート２２）では、一方の吸入側流路（吐出側流路）への流体流と他方の吸入側流路（吐出側流路）への流体流が同時に起こることはないので（交互に切り替えられるので）、分離整流部材１５０によって吸入ポート２１（吐出ポート２２）を上下方向に区切ってしまっても別段問題にならない。この分離整流部材１５０によっても、吸入側流路（吐出側流路）の一方の圧力変動が他方に及ぼされること、すなわち、吸入側流路（吐出側流路）の一方の流体流が他方へ流れ込むこと（逆流）を抑制でき、吸入ポート２１（吐出ポート２２）内での乱流が阻止される。これにより、振動と騒音が低減された４バルブダイヤフラムポンプが得られる。
【００２９】
図１３及び図１４は、分離整流部材のさらに別の形状例を示している。図１３は、図１〜図６に示す分離整流部材５０と同一形状をなし、該分離整流部材５０の軸線方向の最大寸法ＷMAXを流路半径（連通穴３１〜３４の半径）に合致させて形成した分離整流部材２５０であり、図１４は、三角形状の断面を有する平板で形成された分離整流部材３５０である。いずれの実施形態でも、吸入側流路（吐出側流路）の一方の流体流が他方へ流れ込むこと（逆流）を抑制でき、振動と騒音が低減された４バルブダイヤフラムポンプが得られる。
【００３０】
以上の各実施形態では、分離整流部材５０（１５０、２５０、３５０）をロアハウジング２０Ｌとは別部材で設けているが、分離整流部材５０（１５０、２５０、３５０）はロアハウジング２０Ｌと一体に形成して設けてもよい。
【００３１】
本発明は、吸入ポート２１と一対の吸入側流路及び吐出ポート２２と一対の吐出側流路による流路構造を対象とするものであり、ハウジングの全体構造、アンブレラ（逆止弁）、圧電振動子等の形成態様は一例を示すに過ぎない。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明によるダイヤフラムポンプの一実施形態を示す分解状態の斜視図である。
【図２】図１の分離整流部材を設けた状態のロアハウジングの内面図である。
【図３】図１の分離整流部材を設けた状態のアッパハウジングの外面図である。
【図４】組立状態における図２及び図３のIV-IV線に沿う断面図である。
【図５】同V-V線に沿う断面図である。
【図６】接続管路部分の分解断面斜視図である。
【図７】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明を適用する４バルブダイヤフラムポンプのダイヤフラムの異なる振動方向での概念図である。
【図８】比較例におけるポンプ流量及び騒音レベルを基準値とし、本実施例と比較例におけるポンプ流量比［％］と騒音レベル［ｄＢ］を比較して示すグラフである。
【図９】比較例における騒音の大きさを基準値としたときの本実施例における騒音の大きさを、ダイヤフラムポンプの駆動周波数を変化させて測定した結果を示すグラフである。
【図１０】一対の吸入側流路に設けた、図１〜図６とは別の実施形態による分離整流部材を示す断面図である。
【図１１】一対の吐出側流路に設けた、図１〜図６とは別の実施形態による分離整流部材を示す断面図である。
【図１２】図１０及び図１１の分離整流部材を設けた状態のロアハウジングの内面図である。
【図１３】さらに別の実施形態による分離整流部材であって、（Ａ）一対の吸入側流路に設けた分離整流部材を示す断面図、（Ｂ）同分離整流部材を設けた状態のロアハウジングの内面図である。
【図１４】一対の吐出側流路に設けた、さらに別の実施形態による分離整流部材を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０  圧電振動子（ダイヤフラム）
２０Ｕ  アッパハウジング
２０Ｌ  ロアハウジング
２１  吸入ポート
２２  吐出ポート
２３Ｕ  ２３Ｌ  ポンプ室形成凹部
２４Ｕ  ２４Ｌ  吸入流路凹部
２５Ｕ  ２５Ｌ  吐出流路凹部
２４Ｕ１  浅段部
２４Ｕ２  深溝部
２４Ｕ３  中心中高部（内側受け壁）
２４Ｕ４  Ｏリングガイドテーパ部
２６Ｕ  ２６Ｌ  流路穴
２７Ｕ  ２７Ｌ  流路穴
２８Ｕ  ２８Ｌ  吸入側アンブレラ
２９Ｕ  ２９Ｌ  吐出側アンブレラ
３１  ３２  連通穴（ロアハウジング側）
３３  ３４  連通穴（アッパハウジング側）
３５  ３６  筒状突部
３５ａ  ３６ａ  小径定径部
３５ｂ  ３６ｂ  拡径テーパ軸部
３５ｃ  ３６ｃ  大径定径部
３７  ３８  嵌合穴部
３７ａ  ３８ａ  小径定径穴
３７ｂ  ３８ｂ  段付拡径テーパ穴部
３７ｃ  ３８ｃ  大径定径穴部
３９  Ｏリング
４１  変形Ｏリング
５０  分離整流部材
５０ａ  半円形筒状部
５０ｂ  テーパー面
１５０  分離整流部材
２５０  分離整流部材
２５０ａ  半円形筒状部
２５０ｂ  テーパー面
３５０  分離整流部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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