(57)【要約】【課題】シール部材の交換作業が容易にできる漏洩検査装置およびその装置の漏洩検査方法を実現する。【解決手段】ガス供給手段７１に通ずる供給室２３と、ガス検知機８１に通ずる測定室３３とを有し、被検査対象部品１０を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材２０、３０を備え、供給室２３にヘリウムガスを供給させて測定室３３のガスをガス検知機８１によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品１０の漏れ検査を行う漏洩検査装置において、被検査対象部品１０の一方の側と他方の側とをシールするシール部材６０が設けられ、ワーク収容部材２０、３０は、漏洩検査を行う検査場所に着脱可能に構成され、かつ漏洩検査を行う検査場所以外の組付け場所に移動してシール部材６０を付け替えるように構成された。これにより、シール部材の交換作業が容易にできる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の側にガス供給手段（７１）に通ずる供給室（２３）と、他方の側にガス検知機（８１）に通ずる測定室（３３）とを有し、被検査対象部品（１０）を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材（２０、３０）を備え、前記供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて前記測定室（３３）のガスを前記ガス検知機（８１）によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品（１０）の漏れ検査を行う漏洩検査装置において、
前記被検査対象部品（１０）の一方の側と他方の側とをシールするシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が設けられ、
前記ワーク収容部材（２０、３０）は、漏洩検査を行う検査場所に着脱可能に構成され、かつ漏洩検査を行う検査場所以外の組付け場所に移動して前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を付け替えるように構成されたことを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項２】
前記ワーク収容部材（２０、３０）は、分割面の間に前記被検査対象部品（１０）を収容するように上型と下型との２分割に形成され、かつ漏洩検査を行う検査場所と前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を付け替える組付け場所との少なくとも２箇所に配置されるように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の漏洩検査装置。
【請求項３】
前記ワーク収容部材（２０、３０）は、互いの分割面に位置決め手段（２５、３５）が配設されていることを特徴とする請求項２に記載の漏洩検査装置。
【請求項４】
前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）は、前記ワーク収容部材（２０、３０）のそれぞれに収容できるように形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の漏洩検査装置。
【請求項５】
前記ワーク収容部材（２０、３０）は、少なくとも下型のワーク収容部材（２０）が漏洩検査を行う検査場所に着脱可能に構成されたことを特徴とする請求項２に記載の漏洩検査装置。
【請求項６】
前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）は、前記被検査対象部品（１０）に装着した後に、前記ワーク収容部材（２０、３０）に収容できるように形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の漏洩検査装置。
【請求項７】
一方の側にガス供給手段（７１）に通ずる供給室（２３）と、他方の側にガス検知機（８１）に通ずる測定室（３３）とを有し、被検査対象部品（１０）を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材（２０、３０）を備え、前記供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて前記測定室（３３）のガスを前記ガス検知機（８１）によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品（１０）の漏れ検査を行う漏洩検査装置において、
前記被検査対象部品（１０）の一方の側と他方の側とをシールするシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が設けられ、
前記ワーク収容部材（２０、３０）は、漏洩検査を行う検査場所に配置するように構成され、かつ前記漏洩検査を行う検査場所以外の組付け場所で、前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が装着された前記被検査対象部品（１０）を分割面の間に収容するように上型と下型との２分割に形成されていることを特徴とする漏洩検査装置。
【請求項８】
前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）は、必要に応じて新品もしくは再生品に付け替えることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の漏洩検査装置。
【請求項９】
一方の側にガス供給手段（７１）に通ずる供給室（２３）と、他方の側にガス検知機（８１）に通ずる測定室（３３）とを有し、被検査対象部品（１０）を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材（２０、３０）を備え、前記供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて前記測定室（３３）のガスを前記ガス検知機（８１）によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品（１０）の漏洩検査を行う漏洩検査装置の漏洩検査方法において、
前記ワーク収容部材（２０、３０）に、前記被検査対象部品（１０）および一方の側と他方の側とをシールするシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を装着する取り付け工程と、
前記被検査対象部品（１０）と前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）とが装着された前記ワーク収容部材（２０、３０）を漏洩検査装置に移動して、前記供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて、前記測定室（３３）のガスを前記ガス検知機（８１）によってヘリウムガスの有無を測定して前記被検査対象部品（１０）の漏洩を判定する漏洩検査工程とを有し、
前記取り付け工程および前記漏洩検査工程は、並行して実行することを特徴とする漏洩検査装置の漏洩検査方法。
【請求項１０】
前記取り付け工程は、必要に応じて前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を新品もしくは再生品に付け替えることを特徴とする請求項９に記載の漏洩検査装置の漏洩検査方法。
【請求項１１】
取り外された前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）のヘリウムガスによる汚染を取り除いて再生する再生工程を有し、
前記取り付け工程は、前記再生工程で再生された前記シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）に付け替えることを特徴とする請求項１０に記載の漏洩検査装置の漏洩検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘリウムガスを用いて被検査対象部品の微細な漏洩を検査する漏洩検査装置およびその装置の漏洩検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の漏洩検査装置として、例えば、図１５に示すような漏洩検査装置が用いられている。この検査装置は、被検査対象部品２１０の一方の側を囲った測定室２３０と被検査対象部品２１０の他方の側を囲った供給室２４０とを有して、測定室２３０と供給室２４０との間に被検査対象部品２１０を収容するワーク収容部材２５０、２６０と、供給室２４０内にヘリウムガスを供給するガス供給手段２７０と、測定室２３０に接続されて、この測定室２３０内のガスを真空引きするとともにヘリウムガスの有無を検出するガス検知機２８０とを備えている。
【０００３】
ワーク収容部材２５０、２６０は、上型と下型とに分割されており、それぞれの分割面には、被検査対象部品２１０の外周をシールするためのゴム製の弾性体からなるシール部材２２０が嵌め合わされている。そして、このような構成の検査装置で漏洩検査を行う場合には、上型のワーク収容部材２６０を上昇させて分割面を開く。
【０００４】
下型のワーク収容部材２５０に嵌め合わされたシール部材２２０の上に被検査対象部品２１０を配置する。そして、上型のワーク収容部材２６０を下降させて分割面を閉じる。これにより、被検査対象部品２１０は、上下のシール部材２２０の間に挟まれるようにワーク収容部材２５０、２６０に収容される。つまり、被検査対象部品２１０の外周が上下のシール部材２２０によってシールされることになる。
【０００５】
そして、ガス供給手段２７０によって供給室２４０内にヘリウムガスを供給して、測定室２２０室内のガスをガス検知機２８０で検出するようにしている。例えば、被検査対象部品２１０に不良があれば、供給室２４０内に供給されたヘリウムガスが測定室２２０に漏洩しているためガス検知機２８０でヘリウムガス有りと検出される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記検査装置のようにゴム製のシール部材２２０を使用すると、ゴムはヘリウムガスの透過性があるため曝されているうちにヘリウムガスが吸着されて汚染することになる。
【０００７】
特に、被検査対象部品２１０とシール部材２２０とのシール代が少なかったり、シール代部分にバリなどの密着性を阻害する要因がある場合には、シール部材２２０と被検査対象部品２１０との間の隙間を濃い濃度のヘリウムガスが通過して測定室２３０側に面する部分のシール部材２２０に直接あたるため、シール部材２２０が汚染してしまう。この汚染は透過性の少ないＮＢＲなどをゴム材料として選んでも避けることはできない。
【０００８】
この種の微細な漏洩を検出する漏洩検査装置では、シール部材２２０がヘリウムガスで汚染した状態であると、被検査対象部品２１０の漏れよりも、シール部材２２０の汚染から放出されるヘリウムガスによって、誤判定を引き起こすという問題がある。
【０００９】
また、シール部材２２０が汚染されて漏洩検査ができなくなると、シール部材２２０を交換する必要がある。ところが、上記検査装置では、限られた作業空間、即ち、上型のワーク収容部材２６０が上方に上昇したときに、上下のシール部材２２０の交換を行わなければならない。
【００１０】
特に、上型のワーク収容部材２６０のシール部材２２０は、ワーク収容部材２６０が上から被さるように嵌め合わされているため、上型の分割面を覗き込んで行うため交換作業が困難である。また、シール部材２２０の交換作業中は漏洩検査が中断されることで、一定時間に検査できる部品の個数が減少する問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の第１目的は、シール部材の交換作業が容易にできる漏洩検査装置およびその装置の漏洩検査方法を提供することにある。また、第２の目的は、シール部材の交換中にも漏れ検査ができる漏洩検査装置およびその装置の漏洩検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１ないし請求項１１に記載の技術的手段を採用する。すなわち、請求項１に記載の発明では、一方の側にガス供給手段（７１）に通ずる供給室（２３）と、他方の側にガス検知機（８１）に通ずる測定室（３３）とを有し、被検査対象部品（１０）を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材（２０、３０）を備え、供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて測定室（３３）のガスをガス検知機（８１）によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品（１０）の漏れ検査を行う漏洩検査装置において、
被検査対象部品（１０）の一方の側と他方の側とをシールするシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が設けられ、ワーク収容部材（２０、３０）は、漏洩検査を行う検査場所に着脱可能に構成され、かつ漏洩検査を行う検査場所以外の組付け場所に移動してシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を付け替えるように構成されたことを特徴としている。
【００１３】
この発明によれば、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替えが検査場所以外の作業のし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の交換作業が容易にできる。
【００１４】
請求項２に記載の発明では、ワーク収容部材（２０、３０）は、分割面の間に被検査対象部品（１０）を収容するように上型と下型との２分割に形成され、かつ漏洩検査を行う検査場所とシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を付け替える組付け場所との少なくとも２箇所に配置されるように構成されたことを特徴としている。
【００１５】
この発明によれば、少なくとも２箇所にワーク収容部材（２０、３０）が配置されることで、漏洩検査工程とシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替え工程とが並行して行うことができる。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替え中でも検査場所で漏洩検査ができる。また、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００１６】
請求項３に記載の発明では、ワーク収容部材（２０、３０）は、互いの分割面に位置決め手段（２５、３５）が配設されていることを特徴としている。この発明によれば、
この発明によれば、被検査対象部品（１０）およびシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を所定の装着位置に容易にかつ確実に装着できる。また、確実に被検査対象部品（１０）の周囲を容易に密封することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明では、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）は、ワーク収容部材（２０、３０）のそれぞれに収容できるように形成したことを特徴としている。この発明によれば、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が上型のワーク収容部材（３０）に嵌め合わされていても、作業のし易い組付け場所で行うことができることで、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の交換作業が容易にできる。
【００１８】
請求項５に記載の発明では、ワーク収容部材（２０、３０）は、少なくとも下型のワーク収容部材（２０）が漏洩検査を行う検査場所に着脱可能に構成されたことを特徴としている。この発明によれば、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を下型のワーク収容部材（２０）に装着するように形成することで、下型のワーク収容部材（２０）を少なくとも２箇所に配置すれば良い。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替え中でも検査場所で漏洩検査ができる。また、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００１９】
請求項６に記載の発明では、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）は、被検査対象部品（１０）に装着した後に、ワーク収容部材（２０、３０）に収容できるように形成したことを特徴としている。この発明によれば、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替えが検査場所以外の作業のし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の交換作業が容易にできる。
【００２０】
請求項７に記載の発明では、一方の側にガス供給手段（７１）に通ずる供給室（２３）と、他方の側にガス検知機（８１）に通ずる測定室（３３）とを有し、被検査対象部品（１０）を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材（２０、３０）を備え、供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて測定室（３３）のガスをガス検知機（８１）によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品（１０）の漏れ検査を行う漏洩検査装置において、
被検査対象部品（１０）の一方の側と他方の側とをシールするシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が設けられ、ワーク収容部材（２０、３０）は、漏洩検査を行う検査場所に配置するように構成され、かつ漏洩検査を行う検査場所以外の組付け場所で、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が装着された被検査対象部品（１０）を分割面の間に収容するように上型と下型との２分割に形成されていることを特徴としている。
【００２１】
この発明によれば、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替えが検査場所以外の作業のし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の交換作業が容易にできる。
【００２２】
また、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）が被検査対象部品（１０）に装着することで、漏洩検査工程とシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替え工程とが並行して行うことができる。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替え中でも検査場所で漏洩検査ができる。また、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００２３】
請求項８に記載の発明では、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）は、必要に応じて新品もしくは再生品に付け替えることを特徴としている。この発明によれば、ヘリウムガスの汚染による誤判定の低減が図れることで、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００２４】
請求項９に記載の発明では、一方の側にガス供給手段（７１）に通ずる供給室（２３）と、他方の側にガス検知機（８１）に通ずる測定室（３３）とを有し、被検査対象部品（１０）を一方の側と他方の側とをシールさせて収容するワーク収容部材（２０、３０）を備え、供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて測定室（３３）のガスをガス検知機（８１）によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品（１０）の漏洩検査を行う漏洩検査装置の漏洩検査方法において、
ワーク収容部材（２０、３０）に、被検査対象部品（１０）および一方の側と他方の側とをシールするシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を装着する取り付け工程と、
被検査対象部品（１０）とシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）とが装着されたワーク収容部材（２０、３０）を漏洩検査装置に移動して、供給室（２３）にヘリウムガスを供給させて、測定室（３３）のガスをガス検知機（８１）によってヘリウムガスの有無を測定して被検査対象部品（１０）の漏洩を判定する漏洩検査工程とを有し、取り付け工程および漏洩検査工程は、並行して実行することを特徴としている。
【００２５】
この発明によれば、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の付け替えが検査場所以外の作業のし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）の交換作業が容易にできる。また、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００２６】
請求項１０に記載の発明では、取り付け工程は、必要に応じてシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を新品もしくは再生品に付け替えることを特徴としている。この発明によれば、ヘリウムガスの汚染による誤判定の低減が図れることで、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００２７】
請求項１１に記載の発明では、取り外されたシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）のヘリウムガスによる汚染を取り除いて再生する再生工程を有し、取り付け工程は、再生工程で再生されたシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）に付け替えることを特徴としている。
【００２８】
この発明によれば、ヘリウムガスに汚染されないシール部材（６０、６０ａ、６０ｂ）を常にワーク収容部材（２０、３０）に装着することができる。これにより、誤判定を引き起こす原因をなくすことができる。従って、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００２９】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
（第１実施形態）
以下、第１実施形態における漏洩検査装置１００を図１ないし図７に基づいて説明する。図１は本実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。図２はワーク収容部材２０、３０の全体構成を示す分解断面図である。図３（ａ）は被検査対象部品１０の全体構成を示す正面図、（ｂ）は（ａ）に示す被検査対象部品１０の平面図である。
【００３１】
まず、被検査対象部品１０は、図３（ａ）および図３（ｂ）に示すように、金属製からなり、略矩形状の金属製からなる板状の本体部１１に、樹脂材１２を介して金属製の端子１３が一体的に成形されている。例えば、被検査対象部品１０は、電池の蓋として用いられている。
【００３２】
被検査対象部品１０は、本体部１１と端子１３とを樹脂材１２を介して一体成形されたものであって、本体部１１と樹脂材１２およびおよび樹脂材１２と端子１３との接触部分が密封状態で塞がれた部分であって、この樹脂材１２を介して一方の側と他方の側とに気体の漏れがあってはならない部分である。
【００３３】
本実施形態の漏洩検査装置１００は、被検査対象部品１０における本体部１１と樹脂材１２および樹脂材１２と端子１３との接触部分からの漏れの有無を検出する装置である。被検査対象部品１０の一方の側に検査ガスとして、ヘリウムガスを供給させて、上記接触部分から被検査対象部品１０の他方の側に漏れるヘリウムガスの有無を検出する検査装置である。
【００３４】
本実施形態の漏洩検査装置１００は、図１に示すように、ワーク収容部材２０、３０、保持部材４０、５０、ガス供給手段７１、およびガス検知機８１などを備えて構成されている。ワーク収容部材２０、３０は、被検査対象部品１０と、その被検査対象部品１０の周囲をシールするためのシール部材６０とを装着するための検査治具である。
【００３５】
ワーク収容部材２０、３０は、保持部材４０、５０に着脱可能に構成されている。つまり、別の組付け場所でシール部材６０と被検査対象部品１０とをワーク収容部材２０、３０に装着した後に、シール部材６０と被検査対象部品１０とが装着されたワーク収容部材２０、３０を漏洩検査装置１００に組み付けて漏洩検査を行うように構成されている。
【００３６】
従って、このワーク収容部材２０、３０は同じ形状のものが複数個用意されており、漏洩検査を行うときには、漏洩検査を行ったワーク収容部材２０、３０とシール部材６０と被検査対象部品１０とが装着されたワーク収容部材２０、３０との少なくとも２個を用意して、これらワーク収容部材２０、３０を入れ替えるようになっている。
【００３７】
これによれば、漏洩検査装置１００で漏洩検査を行っているときに、もう一つのワーク収容部材２０、３０にシール部材６０と被検査対象部品１０とを装着することが並行してできる。
【００３８】
ワーク収容部材２０、３０は、図２に示すように、金属製（他の材質であっても良い。）からなり、下型と上型との２分割に分かれて形成されている。下型のワーク収容部材２０には、ヘリウムガスを充填するための空間である供給室２３が形成されている。この供給室２３は、連通孔２４、連通通路４２、第１接続部７５を介して供給用配管７０に通ずるようになっている。
【００３９】
上型のワーク収容部材３０には、供給室２３から漏れたヘリウムガスを貯えるための空間である測定室３３が形成されている。この測定室３３は、連通孔３４、連通通路５２、第２接続部８５を介して検出側配管８０に通ずるようになっている。下型のワーク収容部材２０と上型のワーク収容部材３０との分割面に被検査対象部品１０とシール部材６０とが装着されることで、供給室２３と測定室３３とが区画される。
【００４０】
また、下型と上型との互いの分割面には、被検査対象部品１０の外周縁を配置するための第１溝部２１、３１と、シール部材６０を配置するための第２溝部２２、３２とが形成されている。第２溝部２２の外方には、円筒状のピン２５が配設され、このピン３５に対応する位置にピン２５を嵌合する位置決め孔３５が設けられている。
【００４１】
ピン２５と位置決め孔３５とは、下型のワーク収容部材２０に上型のワーク収容部材３０を重ねたときの位置決めを行うための位置決め手段である。また、第２溝部２２、３２に配置されるシール部材６０は、ゴム製の弾性体からなり、略四角形状の断面でリング状に形成されている。
【００４２】
第２溝部２２、３２は、第１溝部２１、３１よりも外周側に形成され、その形状はシール部材６０の断面形状に応じた凹状の断面でリング状に形成されている。第２溝部２２、３２は、シール部材６０が嵌め合う形状に形成されている。ここでは、第２溝部２２、３２にそれぞれのシール部材６０を嵌めた後に、下型のワーク収容部材２０に被検査対象部品１０を配置し、その上方に上型のワーク収容部材３０を重ね合わせる。
【００４３】
下型のワーク収容部材２０に上型のワーク収容部材３０が重ね合わせた後は、図示しない締結部材によって固定するようになっている。これにより、二つのシール部材６０の間に、被検査対象部品１０の外周縁が挟まれることで被検査対象部品１０の周囲をシールできる。
【００４４】
保持部材４０、５０は、図１に示すように、被検査対象部品１０の漏洩検査を行う検査場所に配置された検査用の治具であって、この検査場所に移動されたワーク収容部材２０、３０を保持する。そして、保持部材４０、５０は、ワーク収容部材２０、３０を保持した後に、供給室２３にヘリウムガスを供給させて測定室３３のガスをガス検知機８１によって、ヘリウムガスの有無を検出することで被検査対象部品１０の漏洩検査を行うように構成されている。
【００４５】
保持部材４０、５０は、金属製からなり、下型のワーク収容部材２０を保持する下型の保持部材４０と、上型のワーク収容部材３０を保持する上型の保持部材５０とに分けられて構成されている。上型の保持部材５０は、検査を行うときに、図１中に示す矢印方向に可動させて上型の保持部材５０に重ね合わされ、検査が終了したときに、締結部材を外して元の位置に戻るように構成されている。
【００４６】
下型の保持部材４０には、一端が供給室２３に通じ、他端が供給用配管７０に通ずる連通通路４２が形成されている。その連通通路４２の一端には凹状の溝部４１が形成されている。この凹状の溝部４１には、連通通路４２と外部とをシールするためのＯリング６３が嵌め合わされている。
【００４７】
上型の保持部材５０には、一端が測定室３３に通じ、他端が検出用配管８０に通ずる連通通路５２が形成されている。その連通通路５２の一端には凹状の溝部５１が形成されている。この凹状の溝部５１には、連通通路４２と外部とをシールするためのＯリング６３が嵌め合わされている。
【００４８】
ここで、特に、下型の保持部材４０に設けたＯリング６３においても、ヘリウムガスに曝されるが、シール面積を小さく形成することができるので影響が少ない。また、被検査対象部品１０に接するシールでないので、濃度の濃いヘリウムガスに直接曝されることがない。従って、シール部材６０のように頻繁に交換する必要はない。
【００４９】
また、ここでは、Ｏリング６３を下型の保持部材４０および上型の保持部材５０の重ね面に配設するように構成したが、Ｏリング６３をワーク収容部材２０、３０側の重ね面に配設しても良い。
【００５０】
検査場所に設置される下型の保持部材４０には、レール４５を収納するレール収納溝４４が形成されている。レール４５は、ワーク収容部材２０、３０を被検査対象部品１０の取り付け場所から検査場所まで移動させるための移動手段であり、取り付け場所から検査場所まで繋がっている。レール４５の先端側はレール収納溝４４上に配置されるとともに、レール４５の先端側がレール収納溝４４に収納されるようになっている。
【００５１】
つまり、レール４５上をワーク収容部材２０、３０が取り付け場所から検査場所に移動されると、保持部材４０、５０の間にワーク収容部材２０、３０が配置される。その後、レール４５の先端側はレール収納溝４４に図示しない収納機構によって収納される。
【００５２】
言い換えると、レール４５はワーク収容部材２０、３０を移動するときには、レール４５の先端側と取り付け場所に延びるレール４５と繋がっている。そして、レール収納溝４４に収納したときにはレール４５の先端側が離れるようになっている。従って、レール４５の先端側は、下型の保持部材４０と下型のワーク収容部材２０との間に挟まれている。
【００５３】
また、収納機構は、エアシリンダによる機構を用いても良いし、レール４５をバネで支持しておいて、そのバネを押し込む機構であっても良い。このような構成により、下型のワーク収容部材２０の下面と下型の保持部材４０の上面とが重なり合うことができる。
【００５４】
そのために、下型の保持部材４０に形成される連通通路４２の一端は、ワーク収容部材２０、３０が検査場所に移動させたときに、下型のワーク収容部材２０に形成された連通孔２４に通ずるように形成されている。また、上型の保持部材５０に形成される連通通路５２の一端は、ワーク収容部材２０、３０が検査場所に移動させたときに、上型のワーク収容部材３０に形成された連通孔３４に通ずるように形成されている。
【００５５】
下型の保持部材４０に形成された連通通路４２の他端には第１接続部７５が設けられ、上型の保持部材５０に形成された連通通路５２の他端には第２接続部８５が設けられている。第１接続部７５は、供給用配管７０および切替弁７１ａ、７２ａ、７３ａを介してガス供給手段７１、第１真空ポンプ７２、第１大気開放口７３などに連通接続されている。
【００５６】
検査場所では、供給室２３が連通孔２４、連通通路４２、供給用配管７０などを介してガス供給手段７１、第１真空ポンプ７２、第１大気開放口７３などに連通接続される。ここで、図１中に示す符号７０ａは分岐管である。
【００５７】
第２接続部８５は、検出用配管８０および切替弁８１ａ、８２ａ、８３ａを介してガス検知機８１、第２真空ポンプ８２、第２大気開放口８３などに連通接続されている。検査場所では、測定室３３が連通孔３４、連通通路５２、検出用配管８０などを介してガス検知機８１、第２真空ポンプ８２、第２大気開放口８３などに連通接続される。ここで、図１中に示す符号８０ａは分岐管である。
【００５８】
ガス供給手段７１は、ヘリウムガスボンベで構成され、供給用配管７０に設けた切替弁７１ａを開くことで供給室２３内にヘリウムガスを供給する装置である。ガス供給手段７１を作動させたときには、ガスボンベの圧力が図示しない圧力制御弁で所定の圧力に調整されて供給室２３に加圧される。
【００５９】
第１真空ポンプ７２は、ガス供給手段７１が作動される前に作動させて供給室２３内の空気を真空にする装置である。第１真空ポンプ７２は、供給用配管７０に設けた切替弁７２ａを開いたときに、作動するようにしている。
【００６０】
第１大気開放口７３は、供給用配管７０に設けた切替弁７３ａを開くことで供給室２３内の圧力を大気に開放する装置である。第１大気開放口７３は漏洩検査終了後に開口するように作動させて、供給室２３内で加圧されたヘリウムガスを外部に排気する装置である。
【００６１】
第１大気開放口７３は、排気するヘリウムガスの影響を受けないようにするため、漏洩検査装置１００を設置した工場外に設けられている。なお、第１大気開放口７３から排気しても供給室２３には、大気圧のヘリウムガスが残ってしまう。これを排気するために、第１真空ポンプ７２で真空引きした後、第１大気開放口７３を通して大気圧まで復帰させる。
【００６２】
第１真空ポンプ７２の排気も工場外に排気される。また、検査場所のヘリウムガスを十分除去するには、第１大気開放口７３と別の大気取入れ口を設けて、ここから大気圧に復帰させても良い。
【００６３】
一方、ガス検知機８１は、検出用配管８０に設けた切替弁８１ａを開くことで、測定室３３のガスを引き込んで、そのガス中にヘリウムガスが存在するか否かを検知する装置である。このガス検知機８１は、例えば、ヘリウムリークディテクタであり、質量分析によってヘリウムガスを検知するもので、図示しない分析管と分子ポンプとロータリポンプとを具備している。
【００６４】
第２真空ポンプ８２は、ガス検知機８１が作動される前に作動させて測定室３３内の空気を真空にする装置である。第２真空ポンプ８２は、検出用配管８０に設けた切替弁８２ａを開いたときに、作動するようにしている。第２大気開放口８３は検出用配管８０に設けた切替弁８３ａを開くことで測定室３３内の圧力を大気に開放する装置である。
【００６５】
以上の構成による漏洩検査装置１００の漏洩検査方法を図４ないし図７に基づいて説明する。図４は漏洩検査装置１００における漏洩検査方法の工程の流れを示すブロック図である。図５（ａ）乃至（ｄ）は取り付け工程から漏洩検査工程に至る形態を示す説明図である。図６はワーク収容部材２０、３０の漏洩検査装置への配置形態の流れを示す説明図である。図７（ａ）乃至（ｄ）は漏洩検査終了から付け替え工程に至る形態を示す説明図である。
【００６６】
本実施形態の漏洩検査装置１００は、図４に示す漏洩検査方法の工程に応じてそれぞれの工程が連続的に行えるように構成されている。ワーク収容部材２０、３０を、例えば、複数個コンベアに載せて次々と次の工程に送り込むように構成している。
【００６７】
漏洩検査方法の工程は、図４に示すように、ワーク収容部材２０、３０に被検査対象部品１０を装着する取り付け工程と、被検査対象部品１０の漏洩検査を行う漏洩検査工程と、漏洩検査工程を終えてワーク収容部材２０、３０から被検査対象部品１０を取り外す取り外し工程と、シール部材６０を付け替える付け替え工程とがある。
【００６８】
付け替え工程は、取り外し工程で被検査対象部品１０が取り外されたワーク収容部材２０、３０を取り付け工程に戻す途中に備えている。つまり、必要に応じてシール部材６０を付け替えるようにしている。
【００６９】
また、取り付け工程と漏洩検査工程との間には、ワーク収容部材２０、３０を検査場所に移動させる搬送工程を備えている。さらに、漏洩検査工程と取り外す工程との間には、ワーク収容部材２０、３０を検査場所外に移動させる搬送工程を備えている。
【００７０】
つまり、供給室２３にヘリウムガスが供給される検査場所以外の組付け場所で、被検査対象部品１０と、必要に応じてシール部材６０との取り付け、取り外しを行うように構成されている。
【００７１】
ここで、取り付け工程、取り外す工程および付け替え工程は、漏洩検査工程を終えたワーク収容部材２０、３０を検査場所から検査場所外に移動させて、同一の組付け場所で、ひとつのワーク収容部材２０、３０を用意して取り外す工程から取り付け工程を行うように構成しても良い。これによれば、取り外すことから取り付ける工程を行うワーク収容部材２０、３０と、この間に漏洩検査装置に組み込まれたワーク収容部材２０、３０とで、少なくとも２箇所にワーク収容部材２０、３０を配置することができる。
【００７２】
以下、漏洩検査方法の工程を図５乃至図７に基づいて説明する。取り付け工程は、図５（ａ）に示すように、ワーク収容部材２０、３０に形成されたそれぞれの第２溝部２２、３２にシール部材６０を装着する。
【００７３】
そして、下型のワーク収容部材２０のシール部材６０の上面に被検査対象部品１０を載せる。これにより、被検査対象部品１０の外周縁の下面が全周に渡ってシール部材６０に当接する。そして、下型のワーク収容部材２０の上に上型のワーク収容部材３０を載せて重ね合わせる。このときに、ピン２５に位置決め孔３５を嵌め合わせることで上型のワーク収容部材３０と下型のワーク収容部材２０とが所定の固定位置に配置される。
【００７４】
そして、図示しない締結部材で上下のワーク収容部材２０、３０を固定する。これにより、被検査対象部品１０の外周縁が二つのシール部材６０によって押し付けられる。つまり、被検査対象部品１０の外周が二つのシール部材６０によって密閉され、被検査対象部品１０の上面と下面が遮断されることになる。これにより、供給室２３と測定室３３とが被検査対象部品１０とシール部材６０によって区画される。
【００７５】
次に、検査場所に移動させる搬送工程は、まず、漏洩検査されたワーク収容部材２０、３０を検査場所から検査場所外に移動させる。そして、被検査対象部品１０が装着されたワーク収容部材２０、３０を、図５（ｂ）および図６に示すように、レール４５上に配置する。
【００７６】
そして、レール４５上に配置されたワーク収容部材２０、３０を、図５（ｃ）および図６に示すように、レール４５上を滑らせて検査場所に移動させる。ここで、図６中に示す符号４６は、円柱状に形成されたピンであって、このピン４６にワーク収容部材２０、３０を当てると良い。これにより、ワーク収容部材２０、３０が所定の位置に配置される。
【００７７】
そして、図示しない収納機構によりレール４５の先端側をレール収納溝４４に収納させる。これにより、下型のワーク収容部材２０の下面と下型の保持部材４０の上面とが重なり合うことで、下型の保持部材４０に形成された連通通路４２の一端と下型のワーク収容部材２０に形成された連通孔２４とが連通接続される。また、連通孔２４および連通通路４２がＯリング６３によって外部と密閉されるとともに、供給室２３が供給用配管７０に連通接続される。
【００７８】
次に、漏洩検査工程では、上型の保持部材５０を、図５（ｄ）に示すように、上型のワーク収容部材３０の上面に可動させて上型の保持部材５０と上型のワーク収容部材３０とを重ねあわせる。これにより、上型の保持部材５０に形成された連通通路５２の一端と上型のワーク収容部材３０に形成された連通孔３４とが連通接続される。さらに、連通孔３４および連通通路５２がＯリング６３によって外部と密閉されるとともに、測定室３３が検出用配管８０に連通接続される。
【００７９】
この状態で漏洩検査を次の手順で行う。まず、真空ポンプ７２、８２およびガス検知機８１は、漏洩検査の仕掛り時に作動させて、検査終了後に停止させるようにしている。従って、漏洩検査を行うときは、切替弁７２ａを開いて第１真空ポンプ７２に連通させるとともに、切替弁８２ａを開いて第２真空ポンプ８２に連通させる。これにより、供給室２３内および測定室３３内の空気が真空引きされて真空状態となる。
【００８０】
そして、それぞれの真空ポンプ７２、８２に設けられた図示しない圧力計により、供給室２３内および測定室内の圧力が所定の圧力に達したときに、それぞれの切替弁７２ａ、８２ａを閉じる。
【００８１】
そして、切替弁７１ａを開いてガス供給手段７１を開弁するとともに、切替弁８１ａを開いてガス検知機８１に連通させる。これにより、ガスボンベのヘリウムガスが供給室２３内に供給される。また、測定室３３内のガスがガス検知機８１内に吸込まれる。
【００８２】
このときに、被検査対象部品１０に微細な隙間があると供給室２３内のヘリウムガスが測定室３３内に漏れ出してガス検知機８１によってヘリウムガスの漏れ有りと検出される。つまり、被検査対象部品１０を不良品と判定できる。ここで、被検査対象部品１０に微細な隙間がなければ供給室２３内のヘリウムガスが測定室３３内に漏れ出すことがないのでガス検知機８１によってヘリウムガスの漏れなしと検出される。つまり、被検査対象部品１０を良品と判定できる。
【００８３】
そして、ガス検知機８１の検出終了後、切替弁７１ａ、８１ａを閉じる。そして、切替弁７３ａを開いて第１大気開放口７３を開口するとともに、切替弁８３ａを開いて第２大気開放口８３を開口させる。これにより、第１大気開放口７３からヘリウムガスが工場外に排気されるとともに供給室２３内に大気が置換される。また、第２大気開放口８３が開口されることで供給室２３内に大気が置換される。
【００８４】
そして、図７（ａ）に示すように、上型の保持部材５０を、上方に稼動させて元の位置に戻す。また、図示しない収納機構によりレール４５の先端側を元の位置のレール収納溝４４上に戻す。これにより、供給室２３が供給用配管７０との連通接続が解除されるとともに、測定室３３が検出用配管８０との連通接続が解除される。
【００８５】
そして、ワーク収容部材２０、３０を、図７（ｂ）に示すように、レール４５上を滑らせて検査場所から取り外し場所に移動させる。そして、図７（ｃ）に示すように、ワーク収容部材２０、３０をレール４５上からコンベアに配置させて取り外し工程を行う。ここでは、上型のワーク収容部材３０と下型のワーク収容部材２０との固定を外して上型のワーク収容部材３０を取り除く。
【００８６】
そして、取り除いた上型のワーク収容部材３０は、測定室３３の開口側が上向きとなるように、下型のワーク収容部材２０と並べてコンベアに配置させる。そして、下型のワーク収容部材２０から被検査対象部品１０を測定結果に応じて不良品と良品とに分けて取り外す。
【００８７】
そして、被検査対象部品１０が取り外されたワーク収容部材２０、３０は付け替え工程に移動させる。この付け替え工程では、図７（ｄ）に示すように、第２溝部２２、３２に装着されたシール部材６０を必要に応じて新品のシール部材６０に付け替える。
【００８８】
つまり、上述した漏洩検査において、シール部材６０がヘリウムガスに曝されることでヘリウムガスに汚染されてしまう。特に、下型のワーク収容部材２０に装着したシール部材６０はヘリウムガスによる汚染が大きくなる。ところで、ワーク収容部材２０、３０に装着されたシール部材６０の汚染の度合いを直接検知するのは困難であるため、上述した漏洩検査の測定結果に応じて付け替えるようにしている。
【００８９】
例えば、ガス検知機８１で検出された測定値が或るレベルを超えたときにはシール部材６０を付け替えるようにしても良い。また、これに限らず、検査回数に応じてシール部材６０を付け替えるようにしても良い。そして、付け替え工程が終了した後に、ワーク収容部材２０、３０を取り付け工程に戻して次の被検査対象部品１０を装着する。
【００９０】
以上の第１実施形態による漏洩検査装置によれば、シール部材６０の取り付け、取り外しを、漏洩検査を行う検査場所以外の交換作業がし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材６０の交換作業が容易にできる。
【００９１】
また、ワーク収容部材２０、３０は、漏洩検査を行う検査場所と被検査対象部品１０およびシール部材６０を付け替える組付け場所との少なくとも２箇所に配置されるように構成されている。これにより、漏洩検査工程と被検査対象部品１０およびシール部材６０の付け替えが並行して行うことができる。従って、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００９２】
上型のワーク収容部材３０と下型のワーク収容部材２０との分割面には、ピン２５と位置決め孔３５からなる位置決め手段が設けられていることにより、被検査対象部品１０およびシール部材６０を所定の装着位置に容易にかつ確実に装着できる。また、確実に被検査対象部品１０の周囲を容易に密封することができる。
【００９３】
また、取り付け工程は、必要に応じてシール部材６０を新品に付け替えることにより、ヘリウムガスの汚染による誤判定の低減が図れることで、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００９４】
（第２実施形態）
以上の第１実施形態による付け替え工程では、ワーク収容部材２０、３０に装着されたシール部材６０を必要に応じて新品に付け替えるように構成したが、シール部材６０を再生品に付け替えるように構成しても良い。
【００９５】
本実施形態の漏洩検査方法の工程では、付け替え工程と並列に再生工程を備えている。つまり、付け替え工程で取り外したシール部材６０を再生する工程を備えている。例えば、真空層内で汚染されたシール部材６０を加熱すると、ヘリウムガスによる汚染を取り除くことができる。
【００９６】
従って、本実施形態では、付け替え工程で取り外したシール部材６０を真空層内で加熱させて再生する。そして、再生されたシール部材６０をワーク収容部材２０、３０に装着して取り付け工程に送るように構成すれば良い。
【００９７】
以上のような構成によれば、取り外し工程を終えた後に、付け替え工程で毎回連続的に再生されたシール部材６０に付け替えることができる。これにより、ヘリウムガスに汚染されないシール部材６０を常にワーク収容部材２０、３０に装着することができる。これにより、誤判定を引き起こす原因をなくすことができる。従って、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【００９８】
（第３実施形態）
以上の実施形態では、ワーク収容部材２０、３０に形成された第２溝部２２、３２にシール部材６０を装着するように構成したが、被検査対象部品１０に直接シール部材６０を装着し、その装着された被検査対象部品１０をワーク収容部材２０、３０の分割面に装着するように構成しても良い。
【００９９】
図９は第３実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。図１０は被検査対象部品１０に装着するシール部材６０の全体構成を示す縦断面図である。シール部材６０は、図１０に示すように、被検査対象部品１０の本体部１１の外周を覆うように形成される。
【０１００】
ワーク収容部材２０、３０は、図９に示すように、それらの分割面にシール部材６０が装着された被検査対象部品１０を装着するように構成している。互いの分割面にシール部材６０を配置するための溝部２２、３２が形成されている。
【０１０１】
ここで、上型のワーク収容部材３０は、漏洩検査を行う検査場所に配置された検査用の治具であって、この検査場所に移動された下型のワーク収容部材２０を保持するように構成されている。言い換えると、下型のワーク収容部材２０が保持部材４０に着脱可能に構成されている。
【０１０２】
これにより、別の組付け場所でシール部材６０が装着された被検査対象部品１０を下型のワーク収容部材２０に装着した後に、下型のワーク収容部材２０を漏洩検査装置１００に組み付けて漏洩検査を行うことができる。
【０１０３】
従って、上型のワーク収容部材３０は、下型のワーク収容部材２０を保持した後に、供給室２３にヘリウムガスを供給させて測定室３３のガスを吸込むとともにヘリウムガスの有無を検出することで漏洩検査を行うようになっている。
【０１０４】
つまり、上型のワーク収容部材３０には、測定室３３が連通孔３４、第２接続部８５を介して検出側配管８０に連通接続されている。従って、本実施形態の上型のワーク収容部材３０は、第１実施形態で説明した上型の保持部材５０の機能を含んでいる。これにより、本実施形態では保持部材５０を不要とすることができる。
【０１０５】
一方、下型のワーク収容部材２０は、同じ形状のものが少なくとも２個または複数個用意されて、この検査場所に移動したときに、図示しない収納機構により下型の保持部材４０の上面に下型のワーク収容部材２０の下面とが重ね合わされるようにしている。また、漏洩検査方法において、取り付け工程、取り外し工程、では、下型のワーク収容部材２０のみが各工程の組付け場所に移動するようになっている。
【０１０６】
取り付け工程では、被検査対象部品１０にシール部材６０を装着させた後に、下型のワーク収容部材２０の溝部２２にシール部材６０を置いて被検査対象部品１０を配置する。また、取り外し工程では、下型のワーク収容部材２０から被検査対象部品１０を取り外す。そして、シール部材６０を被検査対象部品１０から取り外す。
【０１０７】
そして、漏洩検査工程では、被検査対象部品１０が装着された下型のワーク収容部材２０を検査場所に移動させた後に、下型の保持部材４０の上面に下型のワーク収容部材２０の下面とを重ねあわせる。そして、下型のワーク収容部材２０の上に上型のワーク収容部材３０を重ね合わせて下型のワーク収容部材２０に上型のワーク収容部材３０を固定させる。その後、漏洩検査を行う。
【０１０８】
以上の構成によれば、シール部材６０の取り付け、取り外しを、漏洩検査を行う検査場所以外の交換作業がし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材６０の交換作業が容易にできる。
【０１０９】
また、下型のワーク収容部材２０は、漏洩検査を行う検査場所と被検査対象部品１０およびシール部材６０を付け替える組付け場所との少なくとも２箇所に配置されるように構成されている。これにより、漏洩検査工程と被検査対象部品１０およびシール部材６０の付け替えが並行して行うことができる。従って、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【０１１０】
（第４実施形態）
本実施形態では、ワーク収容部材２０、３０を検査場所に配置するように構成された漏洩検査装置１００である。従って、検査場所以外の取り付け場所でシール部材６０を被検査対象部品１０に装着した状態で、検査場所に移動させてワーク収容部材２０、３０内に装着させるようになっている。
【０１１１】
図１１は第４実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。本実施形態の漏洩検査装置１００は、図１１に示すように、ワーク収容部材２０、３０のそれぞれは、被検査対象部品１０の漏洩検査を行う検査場所に配置された検査用の治具である。上型のワーク収容部材３０と下型のワーク収容部材２０とから構成される。
【０１１２】
下型のワーク収容部材２０は、供給室２３が連通孔２４、第１接続部７５を介して供給側配管７０に通ずるように構成される。また、上型のワーク収容部材３０は、測定室３３が連通孔３４、第２接続部８５を介して検出側配管８０に通ずるように構成される。ワーク収容部材２０、３０は、それらの分割面にシール部材６０が装着された被検査対象部品１０を装着するように構成している。互いの分割面にシール部材６０を配置するための溝部２２、３２が形成されている。
【０１１３】
一方、シール部材６０は、上記第３実施形態と同じように、被検査対象部品１０の本体部１１の外周を覆うように形成されている。これにより、別の組付け場所でシール部材６０が装着された被検査対象部品１０を、検査場所に移動させて下型のワーク収容部材２０に装着できる。その後に、上型のワーク収容部材３０を下方に可動させて下型のワーク収容部材２０の上面に重ね合わせることで、被検査対象部品１０の漏洩検査を行うことができる。
【０１１４】
また、漏洩検査終了後は、上型のワーク収容部材３０を上方に可動させて元の位置に戻した後に、下型のワーク収容部材２０に装着された被検査対象部品１０を取り外すことができる。従って、漏洩検査方法において、シール部材６０の取り付け工程、取り外し工程では、シール部材６０が装着された被検査対象部品１０を別の場所に移動させて、シール部材６０の付け替えができる。
【０１１５】
ここで、シール部材６０が装着された被検査対象部品１０を下型のワーク収容部材２０に装着作業および取り外し作業は、手動もしくは図示しないロボット装置によって行っても良い。
【０１１６】
以上の構成によれば、シール部材６０の取り付け、取り外しを、漏洩検査を行う検査場所以外の交換作業がし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材６０の交換作業が容易にできる。
【０１１７】
また、シール部材６０が被検査対象部品１０に装着することで、漏洩検査工程とシール部材６０の付け替え工程とが並行して行うことができる。これにより、シール部材６０の付け替え中でも検査場所で漏洩検査ができる。また、トータルの検査時間の短縮が図れる。
【０１１８】
本実施形態では、保持部材４０、５０をなくすことができるため漏洩検査装置１００の構造を簡素にできる。また、ワーク収容部材２０、３０を複数個設けなくても良いので低コストの漏洩検査装置１００を提供できる。さらに、保持部材４０、５０に設けられるＯリング６３を不要とすることができる。
【０１１９】
（第５実施形態）
以上の実施形態では、被検査対象部品１０として、２本の端子１３を有する電池の蓋を用いたが、この電池の蓋には、内部に液を注入された注液口が形成された蓋もある。例えば、図１２に示すように、本体部１１に貫通孔１４ａを有する樹脂材１４を一体的に成形している。
【０１２０】
このような形状の被検査対象部品１０では、本体部１１と樹脂材１４との接触部分が密封状態で塞がれた部分であって、この樹脂材１４を介して一方の側と他方の側とに気体の漏れがあってはならない部分である。さらに、貫通孔１４ａを塞ぐために別のシール部材６０ａが必要となる。
【０１２１】
そこで、本実施形態では、ワーク収容部材２０、３０を、図１３に示すように、分割面の間に被検査対象部品１０を収容したときに、貫通孔１４ａの両端面がシール部材６０ａで密封できるように構成されている。例えば、供給室２３および測定室３３内に内部に突き出す凹状のシール保持部材６２が設けられる。そして、その凹状のシール保持部材６２を覆うような形状のシール部材６０ａが設けられる。
【０１２２】
シール部材６０ａは、ゴム製からなり適宜の厚みを有する。シール保持部材６２は、ボルト６１により供給室２３および測定室３３の内壁に配設される。ここで、シール保持部材６２の突き出し高さは、シール保持部材６２の外周に設けられたシール部材６０ａが貫通孔１４ａを塞ぐように調節されて形成される。
【０１２３】
つまり、シール保持部材６２のそれぞれにシール部材６０ａを装着した後に、被検査対象部品１０を配置し、その上面に上型のワーク収容部材３０を重ね合わせて固定したときに、樹脂材１４の貫通孔１４ａがシール部材６０ａで塞ぐことができるようになっている。
【０１２４】
ここで、シール部材６０ａは、被検査対象部品１０の外周をシールするシール部材６０とともに取り付け、取り外し、付け替えが行えるようにしている。なお、本実施形態では、保持部材４０、５０に形成される連通通路４２、５２を２個形成されている。これによれば、連通通路４２、５２のそれぞれを、別の機器に接続させて利用することができる。
【０１２５】
連通通路４２の一方を第１真空ポンプ７２に連通接続し、もう一方を、例えば、乾燥空気供給機あるには窒素ガス供給機に連通接続して、供給室２３に乾燥空気や窒素ガスを供給することで、供給室２３に残されたヘリウムガスの洗い流すことができる。
【０１２６】
以上のような構成によれば、被検査対象部品１０が注液口が形成された蓋であっても、注液口を塞ぐためのシール部材６０ａを設けることで、他のシール部材６０と同じように、シール部材６０の取り付け、取り外しを、漏洩検査を行う検査場所以外の交換作業がし易い組付け場所で行うことができる。これにより、シール部材６０の交換作業が容易にできる。
【０１２７】
また、供給室２３の空間を小さくなるように形成したことで、供給室２３に供給するヘリウムガスの消費量の低減が図れる。
【０１２８】
（第６実施形態）
以上の第５実施形態では、シール部材６０ａをワーク収容部材２０、３０に装着するように構成したが、これに限らず、図１４に示すように、シール部材６０ｂで貫通孔１４ａを塞いでも良い。
【０１２９】
この場合には、貫通孔１４ａを密栓するようにシール部材６０ｂを形成し、かつ供給室２３側から抜き差しできるようにシール部材６０ｂを形成している。これにより、漏洩検査のときに、供給室２３側が測定室３３よりも加圧されるためシール部材６０ｂが貫通孔１４ａから容易に外れることはない。
【０１３０】
また、以上のような形状のシール部材６０ｂであれば、ワーク収容部材２０、３０の供給室２３および測定室３３を簡素な形状に形成できる。
【０１３１】
（他の実施形態）
以上の実施形態では、下型のワーク収容部材２０に供給室２３を形成し、上型のワーク収容部材３０に測定室３３を形成したが、これに限らず、供給室２３と測定室３３とを逆に形成しても良い。
【０１３２】
また、以上の実施形態では、漏洩検査装置１００を被検査対象部品１０として、電池の蓋を用いて漏洩検査を行うように構成したが、電池の蓋の他に、例えば、水晶振動子やリレーなど微細な洩れを被検査対象部品１０の上下を挟んで検査するためのものであれば良い。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】第１実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。
【図２】第１実施形態におけるワーク収容部材２０、３０の全体構成を示す分解断面図である。
【図３】第１実施形態における（ａ）は被検査対象部品１０の全体構成を示す正面図、（ｂ）は（ａ）に示す被検査対象部品１０の平面図である。
【図４】第１実施形態における漏洩検査装置１００における漏洩検査方法の工程の流れを示すブロック図である。
【図５】第１実施形態における（ａ）乃至（ｄ）は取り付け工程から漏洩検査工程に至る形態を示す説明図である。
【図６】第１実施形態におけるワーク収容部材２０、３０の漏洩検査装置への配置形態の流れを示す説明図である。
【図７】第１実施形態における（ａ）乃至（ｄ）は漏洩検査終了から付け替え工程に至る形態を示す説明図である。
【図８】第２実施形態における漏洩検査装置１００における漏洩検査方法の工程の流れを示すブロック図である。
【図９】第３実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。
【図１０】第３実施形態における被検査対象部品１０に装着するシール部材６０の構成を示す縦断面図である。
【図１１】第４実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。
【図１２】第５実施形態における被検査対象部品１０の全体構成を示す正面図である。
【図１３】第５実施形態における漏洩検査装置１００の全体構成を示す模式図である。
【図１４】第６実施形態における被検査対象部品１０およびシール部材６０ｂの概略構成を示す正面図である。
【図１５】従来技術における漏洩検査装置の概略構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【０１３４】
１０…被検査対象部品
２０…下型のワーク収容部材、ワーク収容部材
２３…供給室
２５…ピン（位置決め手段）
３０…上型のワーク収容部材、ワーク収容部材
３３…測定室
３５…位置決め孔（位置決め手段）
６０、６０ａ、６０ｂ…シール部材
７１…ガス供給手段
８１…ガス検知機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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