(57)【要約】【課題】  搬送テーブルの大きな推力と、高精度の位置決めを両立させる。【解決手段】  搬送テーブルに設けた駆動モータ６の出力軸６ａに、踏面７ａがフラットな小径の出力ローラ７を取り付ける。上下方向の動力伝達軸８の上部に、踏面９ａがフラットな大径の中間ローラ９を取り付けて、出力ローラ７に接触させる。動力伝達軸８の下部に、大径の駆動ローラ１０を取り付けて、ローラクラウンを有する踏面１０ａを、スライドバー２に接触させる。駆動モータ６の回転を、出力ローラ７と中間ローラ９の径の比に応じて減速させた後、駆動ローラ１０へ伝えることで、位置決め分解能を向上させる。出力ローラ７と中間ローラ９の間は、フラットな踏面７ａ，９ａ同士を接触させることで大きな接触面積を確保させ、駆動ローラ１０とスライドバー２の間は、駆動ローラ１０を大径とすることで、大きな接触面積を確保させる。【選択図】図１
2008229748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に出力ローラを取り付け、且つ該出力ローラに、上記出力軸と平行な動力伝達軸に取り付けた中間ローラを接触させ、更に、上記動力伝達軸に、スライドバーに接触させる駆動ローラを取り付けてなる構成を有することを特徴とする摩擦駆動搬送装置の駆動機構。
【請求項２】
駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に出力ローラを取り付け、且つ該出力ローラと、上記出力軸と平行な動力伝達軸に取り付けた中間ローラとの間に、２つの中間ローラを上記出力軸と平行な軸に取り付けて一体としてなるものを配置して、該２つの中間ローラを上記出力ローラと上記中間ローラに接触させるようにし、更に、上記動力伝達軸に、スライドバーに接触させる駆動ローラを取り付けてなる構成を有することを特徴とする摩擦駆動搬送装置の駆動機構。
【請求項３】
中間ローラが取り付けてある動力伝達軸に取り付けた駆動ローラと、スライドバーのいずれか一方又は双方にクラウニングを施すようにした請求項１又は２記載の摩擦駆動搬送装置の駆動機構。
【請求項４】
駆動モータの出力軸に取り付けた出力ローラと、中間ローラの径を、上記駆動モータより出力ローラ、中間ローラを経た後、動力伝達軸を介して駆動ローラへ伝えられる回転駆動力によって該駆動ローラが回転させられるときの回転数が、上記出力ローラの回転に対して減速または増速された回転数となるように設定した請求項１、２又は３記載の摩擦駆動搬送装置の駆動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送テーブルに設けた駆動ローラを固定部側に設けたバーに圧接させながら回転駆動させることにより、上記駆動ローラとバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、上記駆動ローラと一緒に上記搬送テーブルをバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、工作機械等において、ワークの搬送テーブルやその他の移動体を、該機械の固定部に対して移動させるための駆動機構としては、送りねじと、該送りねじに噛合（螺着）するナットと、上記送りねじを駆動するサーボモータの如き駆動モータを備えて、上記送りねじを駆動モータにより正逆転駆動させることで、上記ナットに取り付けた移動体を、上記送りねじの軸心方向に沿って移動させる形式の送り機構が広く採用されている。
【０００３】
ところで、半導体関連の製造、検査等の精密な位置決めを行う精密機械では、搬送テーブル等の移動体を該機械の固定部に対して移動させるときに、移動体の精密な位置決め、たとえば、μｍオーダー以下の精度での位置決めを行うことが要求されることがある。
【０００４】
しかし、上記サーボモータと送りねじとナットとからなる送り機構は、送りねじの回転慣性が大きいために応答速度が遅く、又、バックラッシュの発生が避けられない等の構造上の問題があることから、上記したような移動体の精密な位置決めが要求される工作機械用の駆動機構として採用することは困難である。
【０００５】
そのため、上記のような精密機械における移動体を移動させると共に該移動体の精密な位置決めを行うことができるようにするための駆動機構として、移動体の移動方向に延びるレール状のバー（被駆動軸）と、上記バーを挟むように配設して該バーに対し両側から所要の与圧を印加した状態で圧接できるようにしてなる駆動ローラ及びバックアップローラ（押付ローラ）とを、機械の固定部と、移動体とに振り分けて取り付け、更に、上記駆動ローラに、駆動モータの出力軸を接続してなる構成を具備した摩擦駆動機構が考えられてきている。かかる摩擦駆動機構によれば、上記駆動モータにより上記駆動ローラを正逆転駆動させることにより、上記所要の与圧で押し付けられている駆動ローラと上記バーとの接触面に生じる摩擦を利用して、該駆動ローラとバーとを、バーの長手方向沿って相対移動させて、該バーと一体に上記移動体を、上記機械の固定部に対して直動させることができるとされている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００６】
ところが、上記従来提案されている摩擦駆動機構では、移動体の移動時の真直性を、機械の固定部に配設してある直進ガイドの長手方向形状の直線性によって担保させたり、上記バー（被駆動軸）自体の長手方向形状の直線性によって担保させるようにしてあるため、上記移動体について、移動方向に直角の方向の位置決めを正確に行うには、上記直進ガイドやバー（被駆動軸）に、撓みのない非常に高い精度が要求される。そのために、長ストローク化を図る場合には、上記直進ガイドやバー（被駆動軸）を撓みのない状態で長尺化する必要が生じるが、このように長尺の部材を撓みのない状態で精度よく製作するのは困難であると共に、製作コストが嵩むという問題もある。したがって、上記従来提案されている摩擦駆動機構は、移動体の真直性を確保しながら長ストローク化を図ることが難しいという問題が生じていた。
【０００７】
そこで、本出願人は、以前の出願（特願２００６−２５７７６０号）において、移動体となる搬送テーブルの真直性を確保しながら長ストローク化を図ることが可能な摩擦駆動搬送装置として、図３及び図４に示す如き摩擦駆動搬送装置を提案している。
【０００８】
すなわち、図３及び図４に示した摩擦駆動搬送装置は、搬送テーブル１の移動方向に延びるスライドバー２を設け、且つ上記搬送テーブル１に、上記スライドバー２の一側面に接触させる一側面側ローラ３と、該一側面側ローラ３に対するテーブル移動方向の前後両側位置で上記スライドバー２の他側面に接触させる複数の他側面側ローラ４と、上記一側面側ローラ３及び他側面側ローラ４のすべて、又は、いずれかをテーブル移動方向と直角の方向に個別に変位させるための変位機構５と、上記一側面側及び他側面側の各ローラ３，４のうちのいずれか１つのローラ３にたわみ継手を介して連結して該ローラ３を駆動ローラ３として回転駆動させるための駆動モータ６とを設けた構成としてある。
【０００９】
以上の構成としてある摩擦駆動搬送装置によれば、上記変位機構５により上記駆動ローラ３及び他の各ローラ４を上記スライドバー２の両側面に押し当てた状態にて、上記駆動モータ６の正逆転駆動により上記駆動ローラ３を回転駆動させることで、上記駆動ローラ３と上記スライドバー２との接触面に作用する摩擦を利用して、上記搬送テーブル１を上記スライドバー２の長手方向に移動させることできるようにしてある。
【００１０】
しかも、上記各変位機構５により、駆動ローラ３と他の各ローラ４のすべてについて、搬送テーブル１に対する相対的な位置を、該搬送テーブル１の進行方向に直角の方向に変位させることにより、上記搬送テーブル１のスライドバー２に対する位置をシフトさせることができるようにしてある。更には、上記スライドバー２の他側面に接触させている各他側面側ローラ４を、対応する各変位機構５により、搬送テーブル１自体の向きから所要角度ずれた方向に沿って並ぶように配置させることで、該各他側面側ローラ４を他側面に接触させるようにしてあるスライドバー２の軸線方向を基準として、上記搬送テーブル１自体の向きを回転させることができるようにしてある。
【００１１】
したがって、上記スライドバー２に撓み等が生じていても、上記搬送テーブル１の位置を本来のテーブル移動方向上の位置に一致するよう補正できると共に、搬送テーブル１自体の向きを、本来のテーブル移動方向に一致するよう角度補正できることから、上記搬送テーブル１の精密な位置決めが必要とされる場合であっても、上記スライドバー２に、撓みのない非常に高い精度が要求されることがないようにして、スライドバー２の長尺化を容易にすることで、上記搬送テーブル１の真直性を確保した状態での長ストローク化が実現可能となるようにしてある。
【００１２】
ところで、摩擦駆動機構における移動体、たとえば、上記摩擦駆動搬送装置における搬送テーブル１を移動させるための推力Ｆ［Ｎ］は、トラクション係数μと、駆動ローラ３をスライドバー２へ押し付ける押付与圧Ｐ［Ｎ］の積（Ｆ＝μ・Ｐ）によって与えられる。
【００１３】
上記トラクション係数μは、駆動ローラ３とスライドバー２の材質によって定まる値である。したがって、上記搬送テーブル１を移動させる推力Ｆを高めるには、押付与圧Ｐを増加させるようにすればよく、この押付与圧Ｐを増加させるためには、駆動ローラ３とスライドバー２との接触面圧を高めるか、又は、駆動ローラ３とスライドバー２との接触面積を増大させることが考えられる。
【００１４】
しかし、上記駆動ローラ３とスライドバー２との接触面圧が過大になると、該駆動ローラ３とスライドバー２の接触部に異常摩耗等の問題が生じる虞があるため、該接触面圧には自ずから上限値が定められる。
【００１５】
一方、上記駆動ローラ３とスライドバー２との接触面積を大きくするには、駆動ローラ３の径を大きくして周方向の接触面積を拡大するか、又は、駆動ローラ３とスライドバー２の接触幅を大きくすればよいと考えられる。
【００１６】
しかし、移動体である上記搬送テーブル１側に設けてある駆動ローラ３は、上記スライドバー２に対して相対移動するものであるため、製作上の誤差等に起因して、上記駆動ローラ３の軸心方向が、搬送テーブル１と共に上記スライドバー２の長手方向と直角の方向に多少傾いたとしても、該駆動ローラ３がスライドバー２に対して片当りを生じないようにするために、図５に示す如く、駆動ローラ３の踏面３ａにクラウニングを施して、ローラクラウンを設けることが一般に行われている。図５における符号６ａは駆動モータ６の出力軸である。
【００１７】
又、図示してないが、スライドバー２における上記駆動ローラ３との接触面にクラウンを設けたり、上記駆動ローラ３の踏面３ａにローラクラウンを設け、且つスライドバー２における駆動ローラ３との接触面に、上記ローラクラウンの湾曲率よりも大きな曲率の凹面加工を施すことも行われている。
【００１８】
このために、実際には、上記駆動ローラ３の踏面３ａにおけるスライドバー２との接触幅を拡大させることは困難である。したがって、上記駆動ローラ３の踏面３ａにおけるスライドバー２との接触面積を大きくするには、駆動ローラ３の径を大きくする必要が生じる。
【００１９】
なお、上記駆動モータ６の出力軸６ａに取り付けてある駆動ローラ３は、摩擦駆動機構の構造上、その径が小さければ小さいほど、駆動モータ６の出力軸６ａの回転量（回転角度）に対する駆動ローラ３とスライドバー２の相対移動量、すなわち、搬送テーブル１の移動量を小さく設定できるため、該搬送テーブル１の位置決め分解能を向上させることができて、搬送テーブル１の移動方向の位置決め精度を向上させることができる。
【００２０】
【特許文献１】特公平１−４１４６８号公報
【特許文献２】特開平５−１４３１５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
ところが、従来考えられている摩擦駆動搬送装置や摩擦駆動機構では、駆動モータ６の出力軸６ａに対して同軸に駆動ローラ３を取り付けて、上記駆動モータ６の回転駆動力により上記駆動ローラ３を直接回転駆動させるようにしてあるため、搬送テーブル１の位置決めの高精度化を狙って上記駆動ローラ３の径を小さく設定すると、該小径の駆動ローラ３では、スライドバー２との接触面積が小さく制限されてしまうため、搬送テーブル１に小さな推力Ｆしか与えることができないというのが実状である。
【００２２】
一方、上記駆動モータ６の出力軸６ａに同軸に取り付けてある駆動ローラ３の径を大きくすれば、該駆動ローラ３の踏面３ａにローラクラウンが設けてあるとしても、スライドバー２との接触面積を増加させることができて、搬送テーブル１の推力Ｆを大きなものとすることが可能であるが、この場合には、上記駆動モータ６の出力軸６ａの回転量（回転角度）に対する搬送テーブル１の移動量が大きくなるため、搬送テーブル１の高精度の位置決めを図ることが困難になってしまう。
【００２３】
したがって、従来の摩擦駆動搬送装置では、搬送テーブル１の推力Ｆを大きくすることと、搬送テーブル１の高い位置決め分解能による位置決めの高精度化とを両立させることは難しいというのが実状である。
【００２４】
そこで、本発明は、摩擦駆動搬送装置における搬送テーブルの推力の向上と、搬送テーブルの位置決め分解能の向上による位置決めの高精度化とをいずれも高いレベルでバランスさせることができる摩擦駆動搬送装置の駆動機構を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に出力ローラを取り付け、且つ該出力ローラに、上記出力軸と平行な動力伝達軸に取り付けた中間ローラを接触させ、更に、上記動力伝達軸に、スライドバーに接触させる駆動ローラを取り付けてなる構成とする。
【００２６】
又、請求項２に対応して、駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に出力ローラを取り付け、且つ該出力ローラと、上記出力軸と平行な動力伝達軸に取り付けた中間ローラとの間に、２つの中間ローラを上記出力軸と平行な軸に取り付けて一体としてなるものを配置して、該２つの中間ローラを上記出力ローラと上記中間ローラに接触させるようにし、更に、上記動力伝達軸に、スライドバーに接触させる駆動ローラを取り付けてなる構成とする。
【００２７】
更に、上記各構成において、中間ローラが取り付けてある動力伝達軸に取り付けた駆動ローラと、スライドバーのいずれか一方又は双方にクラウニングを施すようにした構成とする。
【００２８】
更に又、上記各構成において、駆動モータの出力軸に取り付けた出力ローラと、中間ローラの径を、上記駆動モータより出力ローラ、中間ローラを経た後、動力伝達軸を介して駆動ローラへ伝えられる回転駆動力によって該駆動ローラが回転させられるときの回転数が、上記出力ローラの回転に対して減速または増速された回転数となるように設定した構成とする。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に出力ローラを取り付け、且つ該出力ローラに、上記出力軸と平行な動力伝達軸に取り付けた中間ローラを接触させ、更に、上記動力伝達軸に、スライドバーに接触させる駆動ローラを取り付けて上記駆動モータの回転量に対する搬送テーブルの移動量を小さく設定できるようにしてなる構成としてあるので、該搬送テーブルの位置決めの分解能の向上化を図ることができて、搬送テーブルの位置決め精度を高いものとすることができる。更に、上記出力ローラと中間ローラ同士の間で大きな力を伝えることができ、又、上記駆動ローラとスライドバーとの間で大きな力を伝えることができるため、上記搬送テーブルの推力を大きくすることができる。したがって、従来の摩擦駆動搬送装置では困難とされていた、搬送テーブルの推力を大きくすることと、搬送テーブルの高い位置決め分解能による位置決めの高精度化とを、高いレベルでバランスさせることが可能になる。
（２）駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に出力ローラを取り付け、且つ該出力ローラと、上記出力軸と平行な動力伝達軸に取り付けた中間ローラとの間に、２つの中間ローラを上記出力軸と平行な軸に取り付けて一体としてなるものを配置して、該２つの中間ローラを上記出力ローラと上記中間ローラに接触させるようにし、更に、上記動力伝達軸に、スライドバーに接触させる駆動ローラを取り付けてなる構成とすることにより、上記（１）と同様の効果に加えて、上記出力ローラから駆動ローラに至る変速比を、上記各中間ローラの径の設定により自在に変化させることができる。よって、摩擦駆動搬送装置の駆動機構の小型化を図るのに有利なものとすることができる。 
（３）中間ローラが取り付けてある動力伝達軸に取り付けた駆動ローラと、スライドバーのいずれか一方又は双方にクラウニングを施すようにした構成とすることにより、上記駆動ローラとスライドバーの片当りを未然に防止することが可能となる。 
（４）駆動モータの出力軸に取り付けた出力ローラと、中間ローラの径を、上記駆動モータより出力ローラ、中間ローラを経た後、動力伝達軸を介して駆動ローラへ伝えられる回転駆動力によって該駆動ローラが回転させられるときの回転数が、上記出力ローラの回転に対して減速または増速された回転数となるように設定した構成とすることにより、上記駆動モータの出力軸の回転量に対する搬送テーブルの移動量を自在に設定できることから、該搬送テーブルの位置決めの分解能の更なる向上化を図ることが可能になり、搬送テーブルの位置決め精度を更に高めることも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００３１】
図１（イ）（ロ）は本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構の実施の一形態を示すもので、図３及び図４に示したものと同様に、搬送テーブル１の移動方向に延びるスライドバー２を設け、且つ上記搬送テーブル１側に、上記スライドバー２の一側面に所要の押付与圧で押し付けることができるようにしてある駆動ローラ３と、該駆動ローラ３を駆動するための駆動モータ６とを備えてなる構成において、上記搬送テーブル１に下向きに取り付けてある駆動モータ６の出力軸６ａに、所要の幅寸法を有し且つ幅方向にフラットな踏面７ａ、すなわち、ローラクラウンを有しない踏面７ａを備えた小径の出力ローラ７を、同軸上配置で一体に取り付ける。
【００３２】
上記出力ローラ７の側方位置には、該出力ローラ７よりもやや高い位置から、上記スライドバー２よりもやや低い位置まで上下方向に延びる動力伝達軸８を配置して、図示しない支持部材により上記出力ローラ７との相対変位を阻止した状態で回転自在に支持させる。更に、上記動力伝達軸８の上部における上記出力ローラ７と対応する高さ位置には、所要の幅寸法を有し且つ幅方向にフラットな（踏面にローラクラウンを有しない）踏面９ａを備えた大径の中間ローラ９を一体に取り付けて、該中間ローラ９の踏面９ａを、上記出力ローラ７の踏面７ａに押し付けた状態で接触させるようにする。
【００３３】
更に又、上記動力伝達軸８の下部における上記スライドバー２と対応する高さ位置には、踏面１０ａの幅寸法を上記スライドバー２の側面の幅寸法と対応する寸法とし、且つ該踏面１０ａに所要の湾曲率のローラクラウンを設けてなる大径の駆動ローラ１０を一体に取り付けて、該駆動ローラ１０の踏面１０ａを、上記スライドバー２の側面に接触させるようにする。
【００３４】
なお、上記駆動ローラ１０には、図示しない変位機構、たとえば、図３及び図４に示した変位機構と同様に、駆動ローラ１０を搬送テーブル１の移動方向と直角の方向に変位させるための変位機構を連結してなる構成として、該駆動ローラ１０を、所要の押付与圧を付与した状態で上記スライドバー２に対して接触させることができるようにしてあるものとする。この場合、上記動力伝達軸８における上記中間ローラ９の取付位置と、駆動ローラ１０の取付位置との間となる上下方向中間部に、たとえば図示しないたわみ継手を介装して設けることで、上記出力ローラ７の踏面７ａに対して上記中間ローラ９の踏面９ａを押し付けた状態で、該出力ローラ７と中間ローラ９との相対位置の変化を防止すると共に、上記駆動ローラ１０の搬送テーブル１の移動方向と直角の方向への変位を許容できるようにすればよい。あるいは、上記出力ローラ７の踏面７ａに対して上記中間ローラ９の踏面９ａを押し付けた状態で、上記出力ローラ７の軸心位置を回転中心として、上記中間ローラ９と動力伝達軸８と駆動ローラ１０を一体に、上記スライドバー２と近接、離反する方向へ回動変位できるようにすることで、上記出力ローラ７の踏面７ａに対して上記中間ローラ９の踏面９ａを押し付けた状態を保持したまま、上記駆動ローラ１０の搬送テーブル１の移動方向と直角の方向とほぼ一致するスライドバー２に対する近接、離反方向への変位を許容できるようにしてもよい。
【００３５】
なお、図示してないが、図３及び図４に示したものと同様に、上記駆動ローラ１０に対する搬送テーブル１の移動方向の前後両側位置でスライドバー２の他側面側に接触させるローラと、該ローラを個別に搬送テーブル１の移動方向と直角の方向に変位させるための変位機構を備えてなる構成としてあるものとする。
【００３６】
以上の構成としてある摩擦駆動搬送装置の駆動ローラ駆動機構における駆動モータ６の出力軸６ａの正逆転駆動により該出力軸６ａの同軸上に一体に取り付けてある出力ローラ７を回転駆動させると、該出力ローラ７と上記中間ローラ９の踏面７ａと９ａ同士の接触部に作用する摩擦により、該中間ローラ９が回転駆動させられる。
【００３７】
この際、上記出力ローラ７と中間ローラ９は、共にローラクラウンを有しないフラットな踏面７ａ，９ａを備えているため、該出力ローラ７の踏面７ａと、中間ローラ９の踏面９ａは、いずれか幅寸法の小さい方のローラ（図では中間ローラ９）の幅方向の全長に亘り接触させることができるため、上記出力ローラ７の踏面７ａと、中間ローラ９の踏面９ａの接触する幅寸法を拡大することで、容易に該各ローラ７，９の踏面７ａ，９ａ同士の接触面積を拡大させることができる。したがって、上記出力ローラ７を小径に設定してあるとしても、該出力ローラ７から、上記中間ローラ９へ、摩擦駆動によって大きな回転駆動力が伝達されるようになる。
【００３８】
又、上記出力ローラ７が小径としてある一方、上記中間ローラ９は大径としてあるため、上記出力ローラ７より上記中間ローラ９へ回転駆動力が伝えられるときには、出力ローラ７の径寸法と、中間ローラ９の径寸法の比の値に反比例して回転数が減速される。したがって、上記出力ローラ７の回転量（回転角度）に対し、上記中間ローラ９の回転量（回転角度）が小さくなる。
【００３９】
その後、上記のようにして中間ローラ９が回転駆動させられると、動力伝達軸８を介して駆動ローラ１０も一体に回転駆動させられることから、該駆動ローラ１０の踏面１０ａと、上記スライドバー２との接触面に作用する摩擦を利用して、上記駆動ローラ１０と上記スライドバー２が相対的に移動させられ、その反力を推力Ｆとして、上記搬送テーブル１が、上記スライドバー２の長手方向に移動させられるようになる。
【００４０】
この際、上記駆動ローラ１０は大径としてあるため、踏面１０ａにローラクラウンが設けてあるとしても、該駆動ローラ１０の踏面１０ａと上記スライドバー２の接触面積を大きく設定できるため、該駆動ローラ１０より上記スライドバー２へ、上記搬送テーブル１の推力Ｆとして大きな力を伝えることができるようになる。
【００４１】
しかも、上記駆動ローラ１０は、上記中間ローラ９と動力伝達軸８を介して一体に連結されているため、該駆動ローラ１０の回転数は、上述したように出力ローラ７の回転数に対して減速された状態で回転駆動される上記中間ローラ９の回転数と等しくなる。よって、上記出力ローラ７の回転量（回転角度）に対し、駆動ローラ１０の回転量（回転角度）も小さくなることから、該駆動ローラ１０の回転量（回転角度）と等しい上記駆動モータ６の出力軸６ａの回転量（回転角度）に対する上記駆動ローラ１０とスライドバー２の相対移動量、すなわち、搬送テーブル１の移動量が小さく設定されるようになる。
【００４２】
なお、上記駆動モータ６の出力軸６ａに取り付けてある出力ローラ７と、中間ローラ９は、互いの相対変位を防止した状態で、搬送テーブル１側に一緒に保持させることができるようにしてあるため、該出力ローラ７の軸心方向と、中間ローラ９を取り付けてある動力伝達軸８の軸心方向は、常に平行に保持することが容易である。したがって、上記出力ローラ７と中間ローラ９に片当りが発生する虞はない。
【００４３】
又、上記駆動ローラ１０の踏面１０ａには、ローラクラウンが設けてあるため、上記スライドバー２に対して上記搬送テーブル１が相対移動する際に、たとえ、上記駆動ローラ１０が取り付けてある上記動力伝達軸８の軸心方向が、上記搬送テーブル１と一緒にスライドバー２と直角の方向へ傾くようになっても、上記駆動ローラ１０は、スライドバー２に片当りする虞はない。
【００４４】
このように、本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構によれば、駆動モータ６の回転量（回転角度）に対する上記搬送テーブル１の移動量を小さく設定できるため、該搬送テーブル１の位置決めの分解能を高く設定できて、搬送テーブル１の位置決め精度を高いものとすることができる。
【００４５】
しかも、上述したように出力ローラ７と中間ローラ９との間では、該各ローラ７，９の踏面７ａ，９ａ同士の接触する幅寸法を大きくすることで、大きな回転駆動力を伝えることができるようにしてあると共に、駆動ローラ１０とスライドバー２との間では、上記駆動ローラ１０を大径に設定することで、大きな力を伝えることができるようにしてあるため、上記搬送テーブルの推力Ｆを大きくすることができる。
【００４６】
したがって、従来の摩擦駆動搬送装置では困難とされていた、駆動ローラ１０を大径に設定して搬送テーブル１の推力Ｆを大きくすることと、搬送テーブル１の高い位置決め分解能による位置決めの高精度化とを、いずれも高いレベルでバランスさせることが可能になる。
【００４７】
上記においては、中間ローラ９を１つとして、駆動モータ６の出力軸６ａの回転数の減速を、該出力軸６ａに取り付けた出力ローラ７と、上記中間ローラ９との間で一段階で行うようにした場合について示したが、たとえば、図２に示すように、駆動モータ６の出力軸６ａに取り付けた出力ローラ７と、駆動ローラ１０に同軸に取り付けた中間ローラ９との間に、幅方向にフラットな踏面を有する径の異なる中間ローラ１１，１２を動力伝達軸１３で一体に連結したものを介装するようにして、減速を二段で行う等、一般に知られた減速機と同様の複数段の減速を行うようにしてもよい。このようにすれば、径の小さい中間ローラ１２の組み合わせによって大きな減速比を得ることができるため、本発明の摩擦駆動搬送装置のローラ駆動機構の小型化を図ることが可能になる。
【００４８】
なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、駆動モータ６の出力軸６ａに取り付けてある出力ローラ７、中間ローラ９、駆動ローラ１０の径は自在に設定してよく、したがって、上記駆動モータ６の出力軸６ａの回転数と、駆動ローラ１０の回転数との減速比は、任意に設定してよい。
【００４９】
スライドバー２における上記駆動ローラ１０との接触面にクラウンを設けた形式や、上記駆動ローラ１０の踏面１０ａにローラクラウンを設け、且つスライドバー２における駆動ローラ１０との接触面に、上記ローラクラウンの湾曲率よりも大きな曲率の凹面加工を施してなる形式の摩擦駆動搬送装置にも適用できること、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構の実施の一形態を示すもので、（イ）は概略側面図、（ロ）（イ）のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図２】本発明の実施の他の形態を示す概略側面図である。
【図３】本出願人が提案している摩擦駆動搬送装置を示す概略切断平面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ方向矢視図である。
【図５】摩擦駆動に用いられる駆動ローラの部分を拡大して示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  搬送テーブル
２  スライドバー
３  駆動ローラ
６  駆動モータ
６ａ  出力軸
７  出力ローラ
７ａ  踏面
８  動力伝達軸
９  中間ローラ
９ａ  踏面
１１  中間ローラ
１２  中間ローラ
１３  動力伝達軸
【図１】
2008229748.tif 000003
【図２】
2008229748.tif 000004
【図３】
2008229748.tif 000005
【図４】
2008229748.tif 000006
【図５】
2008229748.tif 000007