(57)【要約】【課題】簡単かつ確実な方法で大きさの異なる領域の接着性とパターン寸法の制御性を両立させ、隔壁のはがれをなくしてクロストークをおこすことがない、表示品質の高い画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】隔壁３４は画像表示領域１２に形成した画像表示領域隔壁と非画像表示領域１３に形成した非画像表示領域隔壁とを有し、画像表示領域隔壁と非画像表示領域隔壁がデータ電極３２と平行な複数の縦隔壁３４ｂと、縦隔壁３４ｂに交差する複数の横隔壁３４ａとを備え、非画像表示領域隔壁の最外端に位置する最外端部縦隔壁３４ｃが、画像表示領域隔壁の縦隔壁３４ｅの底部の幅よりも広い底部を有する第１縦隔壁部３８と、第１縦隔壁部３８上に形成した第２縦隔壁部３９との２層構成とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示電極対を有する前面板と、データ電極および隔壁を有する背面板とを前記表示電極対と前記データ電極とが交差するように対向配置して画像表示領域とその画像表示領域の外側に非画像表示領域とを形成したプラズマディスプレイパネルであって、
前記隔壁は前記画像表示領域に形成した画像表示領域隔壁と前記非画像表示領域に形成した非画像表示領域隔壁とを有し、前記画像表示領域隔壁と前記非画像表示領域隔壁が前記データ電極と平行な複数の縦隔壁と、前記縦隔壁に交差する複数の横隔壁とを備え、前記非画像表示領域隔壁の最外端に位置する最外端部縦隔壁が、前記画像表示領域隔壁の縦隔壁の底部の幅よりも広い底部を有する第１縦隔壁部と、前記第１縦隔壁部上に形成した第２縦隔壁部との２層構成であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記非画像表示領域隔壁のうちの少なくとも複数の縦隔壁が前記最外端部縦隔壁と同一形状であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
ガラス基板上に表示電極対を有する前面板と、基板上にデータ電極と前記データ電極に平行な縦隔壁と前記縦隔壁に交差する横隔壁とよりなる隔壁とを有する背面板とを備えたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記隔壁を形成するステップが、前記基板上に第１層目の第１隔壁材料層を塗布形成する第１隔壁材料層形成ステップと、前記第１隔壁材料層を前記横隔壁に対応する横隔壁開口部と前記横隔壁開口部の最外端に前記横隔壁開口部と交差して設けた所定幅の最外端部縦隔壁開口部とを有する第１フォトマスクを介して露光する第１露光ステップと、露光された前記第１隔壁材料層に第２層目の第２隔壁材料層を塗布形成する第２隔壁材料層形成ステップと、前記第２隔壁材料層の上から前記最外端部縦隔壁開口部の所定幅よりも狭く前記縦隔壁に対応する縦隔壁開口部を有する第２フォトマスクを介して露光する第２露光ステップとを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記第１露光ステップは前記第１フォトマスクを前記横隔壁の延伸方向にずらして少なくとも２回露光することを特徴とする請求項３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、壁掛けテレビや大型モニターなどに用いられるプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と略記する）は、互いに平行に配置された表示電極対を有する前面板と、互いに平行に配置されたデータ電極を有する背面板とを対向配置した構成である。そして、表示電極対とデータ電極とが交差する位置に画像を表示する多数の放電セルが形成されている。また前面板と背面板とは、それらの外周部を封着部材で封着され、内部にはキセノン（Ｘｅ）を含む放電ガスが封入されている。
【０００３】
背面板にはデータ電極を覆うように誘電体層が設けられ、さらにその上に隔壁が設けられている。この隔壁はデータ電極に平行な縦隔壁と、データ電極に直角な横隔壁とで井桁状に形成されている。そして、この井桁状の隔壁がそれぞれの放電セルを区画するとともに、背面板と前面板との間隔があらかじめ決められた所定の距離となるように支持している。
【０００４】
また、近年の画素の微細化に伴い、放電セルを構成する隔壁も微細に高精度で形成する必要から隔壁をフォトリソグラフィ法で形成されるようになってきた。すなわち背面板上に感光性材料を塗布し、フォトマスクを用いて露光し現像した後、焼成して形成している。しかしながら隔壁の焼成時には収縮を伴うため、特に隔壁の高さと幅との比が大きくなると、隔壁の端部が収縮応力により捲れ上がってしまう事があった。隔壁の端部が捲れ上がると、前面板と背面板との間に必要以上の隙間が生じ、漏れ電流の回り込みであるクロストークを起こす。
【０００５】
このような問題に対し、隔壁の端部の底部幅を端部以外の底部幅より大きく形成して隔壁の端部の接着性を向上させる方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−１９１３７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、フォトリソグラフィ法では異なる底部幅などの大きさが異なる領域を１回の露光で形成することが難しい。すなわち、領域の大きさごとに最適な露光量があり、小さな領域に露光量を合わせると、大きな領域は露光不足となり接着性が弱くなり、大きな領域に露光量を合わせると、小さな領域はネガ型感光性材料であれば太くなりすぎて、必要なパターン幅を形成できない。
【０００７】
そこで特許文献１では、フォトマスクの光透過率を領域の大きさにより選択的に調整する、あるいはフォトマスクの上または下に光透過率を変えられる材料を設置する方法が提案されている。
【０００８】
しかし、フォトマスクの光透過率を選択的に調整するには、フォトマスクに形成する光を遮光するクロム（Ｃｒ）の濃度を段階的に変える必要がある。そして、クロム濃度を変えた場合、またフォトマスクに光透過率を変える材料を付加した場合、光透過率と接着性、パターン寸法の関係を確認しなければならず、容易に１回の露光で大きさの異なる領域を適正に形成することは難しかった。
【０００９】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、簡単かつ確実な方法で大きさの異なる領域の接着性とパターン寸法の制御性を両立させ、隔壁のはがれをなくしてクロストークをおこすことがない、表示品質の高い画像表示が可能なＰＤＰおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明のＰＤＰは、表示電極対を有する前面板と、データ電極および隔壁を有する背面板とを表示電極対とデータ電極とが交差するように対向配置して画像表示領域とその画像表示領域の外側に非画像表示領域とを形成したプラズマディスプレイパネルであって、隔壁は画像表示領域に形成した画像表示領域隔壁と非画像表示領域に形成した非画像表示領域隔壁とを有し、画像表示領域隔壁と非画像表示領域隔壁がデータ電極と平行な複数の縦隔壁と、縦隔壁に交差する複数の横隔壁とを備え、非画像表示領域隔壁の最外端に位置する最外端部縦隔壁が、画像表示領域隔壁の縦隔壁の底部の幅よりも広い底部を有する第１縦隔壁部と、第１縦隔壁部上に形成した第２縦隔壁部との２層構成としている。
【００１１】
このようなＰＤＰとすると最外端部縦隔壁の底部の幅は、画像表示領域の縦隔壁の底部の幅より広いため、接着性が強くなりはがれにくくなる。縦隔壁と横隔壁を有する井桁状の隔壁では、最外端部縦隔壁は横隔壁からの収縮応力のバランスの問題からはがれやすくなり、前面板と背面板とを封着接合するときに、前面板と背面板の間に隙間が生じやすくなるが、本発明によれば前面板と背面板との間の隙間の発生を抑制し、放電のクロストーク発生を抑制することができる。
【００１２】
さらに、非画像表示領域隔壁のうちの少なくとも複数の縦隔壁が最外端部縦隔壁と同一形状であることが望ましい。このように非画像表示領域の複数の縦隔壁を、上述の形状とすれば、最外端部縦隔壁に隣接する縦隔壁の接着性が強くなって最外端部縦隔壁に及ぼす収縮応力が小さくなるため、より最外端部縦隔壁ははがれにくくなる。
【００１３】
また本発明は、ガラス基板上に表示電極対を有する前面板と、基板上にデータ電極とデータ電極に平行な縦隔壁と縦隔壁に交差する横隔壁とよりなる隔壁とを有する背面板とを備えたＰＤＰの製造方法であって、隔壁を形成するステップが、基板上に第１層目の第１隔壁材料層を塗布形成する第１隔壁材料層形成ステップと、第１隔壁材料層を横隔壁に対応する横隔壁開口部と横隔壁開口部の最外端に横隔壁開口部と交差して設けた所定幅の最外端部縦隔壁開口部とを有する第１フォトマスクを介して露光する第１露光ステップと、露光された第１隔壁材料層に第２層目の第２隔壁材料層を塗布形成する第２隔壁材料層形成ステップと、第２隔壁材料層の上から最外端部縦隔壁開口部の所定幅よりも狭く縦隔壁に対応する縦隔壁開口部を有する第２フォトマスクを介して露光する第２露光ステップとを含んでいる。
【００１４】
このようなＰＤＰの製造方法とすると、第１露光ステップで横隔壁を最適な露光量で露光するとともに最外端部縦隔壁の下層部を露光し、第２露光ステップで縦隔壁を最適な露光量で露光するとともに最外端部縦隔壁の上層部を露光する。そのため、横隔壁、縦隔壁とも最適な露光量で露光し、底部幅の大きい最外端部縦隔壁を有する隔壁を実現することができ、隔壁形状として高精度な隔壁を実現できる。
【００１５】
さらに、第１露光ステップは第１フォトマスクを横隔壁の延伸方向にずらして少なくとも２回露光することが望ましい。このような方法によれば、第１フォトマスク上の異物の影響を排除することができるとともに、両側の最外端部隔壁の露光を確実に行うことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、縦隔壁、横隔壁とも寸法通り形成できるとともに、縦隔壁のうちの両端の最外端部縦隔壁の接着性も強くなるため、最外端部縦隔壁がはがれることもなくクロストークをおこすことのない、表示品質の高い画像表示が可能なＰＤＰとその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態のＰＤＰについて図面を用いて説明する。
【００１８】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態のＰＤＰの平面図で、ＰＤＰ１０の内部を示すために、前面板２０の一部を破断した図である。ＰＤＰ１０は、前面板２０と背面板３０とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着部材１１によって封着接合されている。またＰＤＰ１０は、その中央部に画像を表示する画像表示領域１２と、画像表示領域１２の外側に非画像表示領域１３とを有している。
【００１９】
ここで背面板３０には、横隔壁３４ａと縦隔壁３４ｂとが交差した井桁状の隔壁３４が備えられている。この隔壁３４は、画像表示領域１２に形成した画像表示領域隔壁４８と、非画像表示領域１３に形成した非画像表示領域隔壁４９とを有している。そして、非画像表示領域隔壁４９の最外端に位置する最外端部縦隔壁３４ｃおよび最外端部縦隔壁３４ｃに隣接する縦隔壁３４ｄの底部の幅は、画像表示領域隔壁４８の縦隔壁３４ｅの底部の幅より広く形成している。
【００２０】
図２は、本発明の実施の形態のＰＤＰの構造を示す分解斜視図で、図１のＰＤＰ１０の画像表示領域１２を示している。
【００２１】
前面板２０の前面ガラス基板２１上には、走査電極２２および維持電極２３よりなる一対の帯状の表示電極対２４と、ブラックストライプ（遮光層）２５とが互いに平行に、それぞれ複数列配置されている。前面ガラス基板２１上には、表示電極対２４と、ブラックストライプ２５とを覆うようにコンデンサとしての働きをする誘電体層２６が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護層２７が形成されている。
【００２２】
また、背面板３０の背面ガラス基板３１上には、前面板２０の走査電極２２、および維持電極２３と直交する方向に、複数の帯状のデータ電極３２が互いに平行に配置され、これを下地誘電体層３３が被覆している。
【００２３】
ここでデータ電極３２は、表示電極対２４との間に放電セル３７を形成するように設けられている。すなわち、データ電極３２と表示電極対２４とが交差する箇所が、それぞれ放電セル３７となる。
【００２４】
そして、データ電極３２間の下地誘電体層３３上には、放電セル３７を形成する所定の高さの隔壁３４が形成されている。隔壁３４は、横隔壁３４ａとデータ電極３２に平行な縦隔壁３４ｂとが交差した井桁状であり、横隔壁３４ａの高さは、縦隔壁３４ｂの高さより高さが低い。また、隔壁３４間の溝にデータ電極３２毎に、紫外線によって赤色、青色、および緑色にそれぞれ発光する蛍光体層３５が、順次塗布して形成され、これらの赤色、青色、緑色の蛍光体層３５を有する放電セル３７が、カラー表示のための画素になる。
【００２５】
このように横隔壁３４ａの高さを、縦隔壁３４ｂの高さより低くしているのは、前面板２０と背面板３０との間に僅かな隙間を設けるようにして、放電ガスの封入を均一にするためである。また、縦隔壁３４ｂの高さを高くしているのは、赤色、青色、および緑色の異なる色相のクロストークを生じさせないためである。
【００２６】
ここで走査電極２２と維持電極２３は、それぞれ酸化インジウム（ＩＴＯ）や、酸化スズ（ＳｎＯ２）などからなる透明電極と、透明電極上に形成されたバス電極とにより構成されている。バス電極は透明電極の長手方向に導電性を付与する目的として用いられ、銀（Ａｇ）材料を主成分とする導電性材料によって形成されている。
【００２７】
次に縦隔壁３４ｂの両端付近の形状について、さらに詳しく説明する。図３（ａ）は図１のＡ部拡大図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００２８】
図３に示すように、縦隔壁３４ｂのうちの両端の縦隔壁である最外端部縦隔壁３４ｃ、および最外端部縦隔壁３４ｃに隣接する縦隔壁３４ｄの底部の幅は、画像表示領域１２の縦隔壁３４ｅの底部の幅より広く形成している。そして、最外端部縦隔壁３４ｃおよび最外端部縦隔壁３４ｃに隣接する縦隔壁３４ｄは、画像表示領域の縦隔壁３４ｅの底部の幅より広い第１縦隔壁部３８に、第１縦隔壁部３８より幅の狭い第２縦隔壁部３９を積層した形状である。
【００２９】
このような形状のＰＤＰとすると最外端部縦隔壁３４ｃおよび最外端部縦隔壁３４ｃに隣接する縦隔壁３４ｄの底部の幅は、画像表示領域１２の縦隔壁３４ｅの底部の幅より広く形成しているため、接着性が強くなり、はがれにくくなる。井桁状の隔壁３４では、最外端部縦隔壁３４ｃは横隔壁３４ａからの収縮応力のバランスの問題からはがれやすくなるが、上述の形状にすることで、はがれにくくなるため、前面板２０と背面板３０との間に不必要な隙間を開けることもないので、クロストークをおこすこともない。
【００３０】
次に、図２を用いてＰＤＰ１０の製造方法について説明する。
【００３１】
まず、前面ガラス基板２１上に、走査電極２２および維持電極２３を構成する透明電極が、フォトリソグラフィ法などを用いてパターニングして形成される。そして、ブラックストライプ２５、および透明電極上にバス電極となるそれぞれのペースト層が、フォトリソグラフィ法、スクリーン印刷などで形成される。ここでバス電極の材料は、導電性黒色粒子、あるいは銀（Ａｇ）材料を含むペーストであり、ブラックストライプ２５の材料も、黒色顔料を含むペーストである。
【００３２】
次に、バス電極、およびブラックストライプ２５となるそれぞれのペースト層を覆うように、誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して、誘電体層２６となる誘電体ペースト層を形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することによって塗布された誘電体ペースト表面が、レベリングされて平坦な表面になる。その後、バス電極のペースト層、ブラックストライプ２５のペースト層、誘電体ペースト層を一括して焼成する工程により、走査電極２２、維持電極２３、ブラックストライプ２５、および誘電体層２６が形成される。ここで、誘電体ペーストは、粉末の誘電体ガラスフリット、バインダおよび溶剤を含む塗料である。
【００３３】
次に、誘電体層２６上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層２７を、真空蒸着法により形成する。以上の工程により、前面ガラス基板２１上に所定の構成部材が形成されて前面板２０が完成する。
【００３４】
背面板３０は、次のようにして形成される。まず、背面ガラス基板３１上に、銀（Ａｇ）材料を含むペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フォトリソグラフィ法を用いてパターニングする方法などにより、データ電極３２用の構成物となる材料層を形成する。そして、その材料層を所望の温度で焼成してデータ電極３２を形成する。
【００３５】
次に、データ電極３２が形成された背面ガラス基板３１上に、ダイコート法などによりデータ電極３２を覆うように誘電体ペーストを塗布して、誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより、下地誘電体層３３を形成する。なお、誘電体ペーストは、粉末の誘電体ガラスフリットと、バインダ、および溶剤を含んだ塗料である。
【００３６】
次に、下地誘電体層３３上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布し、所定の形状にパターニングして隔壁材料層を形成し、その後、焼成することにより、隔壁３４を例えば横隔壁３４ａを１００μｍ、縦隔壁３４ｂを１２０μｍの高さに形成する。ここで、下地誘電体層３３上に塗布した隔壁用ペーストを、フォトリソグラフィ法によりパターニングする。
【００３７】
次に、隣接する隔壁３４間の下地誘電体層３３上、および隔壁３４の側面に、蛍光体材料を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成することにより、蛍光体層３５が形成される。以上の工程により、背面ガラス基板３１上に所定の構成部材が形成されて、背面板３０が完成する。
【００３８】
このようにして、所定の構成部材を備えた前面板２０と背面板３０とを、表示電極対２４とデータ電極３２とが交差するように対向配置して、その周囲を封着部材で封着し、放電セル３７内にネオン（Ｎｅ）、キセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスを封入することでＰＤＰ１０が完成する。
【００３９】
ここで隔壁３４の形成方法について、図４〜図６を用いてさらに詳しく説明する。図４（ａ）は本発明の実施の形態のＰＤＰの隔壁形成用の第１フォトマスクの平面図、図４（ｂ）は同ＰＤＰの隔壁形成用の第２フォトマスクの平面図、図５は、本発明の実施の形態のＰＤＰの隔壁の形成を説明する工程断面図、図６は図５の第１露光ステップの説明図である。上述したように、隔壁３４は感光性材料の隔壁用ペーストを、フォトリソグラフィ法によりパターニングして形成するが、本発明の実施の形態ではネガ型の感光性材料を用いた場合で説明する。
【００４０】
図４（ａ）に示すように第１フォトマスク５０は、複数の横隔壁となる横隔壁開口部５２および横隔壁の両端の縦隔壁である最外端部縦隔壁３４ｃとなる最外端部縦隔壁開口部５３を備えている。また図４（ｂ）に示すように第２フォトマスク５１は、複数の縦隔壁となる縦隔壁開口部５４を備えている。ここで、縦隔壁となる縦隔壁開口部５４の幅Ｌａは、最外端部縦隔壁３４ｃとなる最外端部縦隔壁開口部５３の幅Ｌｂより狭くしている。
【００４１】
次に、隔壁３４の形成手順について説明する。図５に示すように、背面ガラス基板３１のデータ電極３２を覆う用に形成された下地誘電体層３３上に、隔壁の材料となる感光性材料を塗布する。感光性材料としては、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）などの骨材、低融点ガラス粉末、酸化物フィラー粉末などからなるガラスフリットおよび感光性バインダを主剤として構成される感光性ペーストである。そして、感光性材料を横隔壁３４ａとなる高さまでダイコート法などにより塗布、乾燥して第１層目の第１隔壁材料層４０を形成する（第１隔壁材料層形成ステップ：Ｓ１）。
【００４２】
次に、第１隔壁材料層４０に、図４（ａ）に示す第１フォトマスク５０を介して、例えば紫外光により露光する。さらに、第１フォトマスク５０を横隔壁３４ａの延伸方向にずらして再度、露光し、最外端部縦隔壁３４ｃの第１縦隔壁部の光硬化部４２、４３および横隔壁の光硬化部４４を形成する（第１露光ステップ：Ｓ２）。
【００４３】
次に、第１フォトマスク５０を介して露光された第１隔壁材料層４０の上に、第１隔壁材料層形成ステップと同じ感光性材料を縦隔壁３４ｂとなる高さまでダイコート法などにより塗布、乾燥して第２層目の第２隔壁材料層４１を形成する（第２隔壁材料層形成ステップ：Ｓ３）。
【００４４】
次に、第２隔壁材料層４１に、図４（ｂ）に示す第２フォトマスク５１を介して、紫外光により露光し、最外端部縦隔壁３４ｃの第２縦隔壁部の光硬化部４５、４６および縦隔壁の光硬化部４７を形成する（第２露光ステップ：Ｓ４）。
【００４５】
その後、アルカリ現像液（モノエタノールアミン、水酸化ナトリウム）などの所定の現像剤にて現像を行った後、感光性材料のうち露光により光硬化していない部分を除去することで、所定の井桁状の隔壁３４の形状を得る（現像ステップ：Ｓ５）。
【００４６】
そして、５００℃〜６００℃の温度で６０分といった所定の条件で焼成することで井桁状の隔壁３４の形成が完了する（焼成ステップ：Ｓ６）。
【００４７】
図６は、第１フォトマスク５０を介して第１隔壁材料層４０を平面視した図で、第１フォトマスク５０の端部のみを示している。上述の第１露光ステップにおいて、１回目の露光時の第１フォトマスク５０は、破線で示す位置である。そして図６の矢印で示す横隔壁の延伸方向に第１フォトマスク５０を実線で示す位置にずらし、２回目の露光を行う。
【００４８】
このようなＰＤＰの製造方法とすると、第１隔壁材料層形成ステップで横隔壁３４ａを最適な露光量で露光するとともに最外端部縦隔壁３４ｃの第１縦隔壁部を露光する。また、第２隔壁材料層形成ステップで縦隔壁３４ｂを最適な露光量で露光するとともに最外端部縦隔壁３４ｃの第２縦隔壁部を露光する。そのため、横隔壁３４ａ、縦隔壁３４ｂとも最適な露光量で露光するため、必要なパターン寸法とすることができる。さらに最外端部縦隔壁３４ｃは、第１隔壁材料層形成ステップと第２隔壁材料層形成ステップで少なくとも２回露光されるため、感光性材料の光硬化がより確実になるため接着性が強くなる。
【００４９】
また第１フォトマスク５０をずらして２回露光すれば、図６に示すように第１フォトマスク５０に異物５５がのっていたとしても、２回目の露光時には異物５５の位置もずれるためパターンの欠けが生じるという事もなくなり、歩留まりも向上する。
【００５０】
なお、本発明の実施の形態ではネガ型の感光性材料で説明したが、ポジ型の感光性材料を用いればフォトマスクの光透過部が逆になるだけで、同様に隔壁を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明のＰＤＰは、クロストークをおこすことのない表示品質の高い画像表示を行えるので、表示デバイスなどの分野に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態のＰＤＰの平面図
【図２】同ＰＤＰの構造を示す分解斜視図
【図３】（ａ）図１のＡ部拡大図（ｂ）図３（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態のＰＤＰの隔壁形成用の第１フォトマスクの平面図（ｂ）同ＰＤＰの隔壁形成用の第２フォトマスクの平面図
【図５】同ＰＤＰの隔壁の形成を説明する工程断面図
【図６】図５の第１露光ステップの説明図
【符号の説明】
【００５３】
１０    ＰＤＰ
１１    封着部材
１２    画像表示領域
１３    非画像表示領域
２０    前面板
２１    前面ガラス基板
２２    走査電極
２３    維持電極
２４    表示電極対
２５    ブラックストライプ（遮光層）
２６    誘電体層
２７    保護層
３０    背面板
３１    背面ガラス基板
３２    データ電極
３３    下地誘電体層
３４    隔壁
３４ａ    横隔壁
３４ｂ    縦隔壁
３４ｃ    最外端部縦隔壁
３４ｄ    最外端部縦隔壁に隣接する縦隔壁
３４ｅ    画像表示領域の縦隔壁
３５    蛍光体層
３７    放電セル
３８    第１縦隔壁部
３９    第２縦隔壁部
４０    第１隔壁材料層
４１    第２隔壁材料層
４２，４３    第１縦隔壁部の光硬化部
４４    横隔壁の光硬化部
４５，４６    第２縦隔壁部の光硬化部
４７    縦隔壁の光硬化部
４８    画像表示領域隔壁
４９    非画像表示領域隔壁
５０    第１フォトマスク
５１    第２フォトマスク
５２    横隔壁開口部
５３    最外端部縦隔壁開口部
５４    縦隔壁開口部
５５    異物
【図１】
2008123937.tif 000003
【図２】
2008123937.tif 000004
【図３】
2008123937.tif 000005
【図４】
2008123937.tif 000006
【図５】
2008123937.tif 000007
【図６】
2008123937.tif 000008