(57)【要約】【課題】  簡易な構成で、室内に設置され科学機材を用いることをできるドラフトチャンバーを提供しようとする。【解決手段】  従来のドラフトチャンバーにかわって、側部に外側から科学機器にアクセスするための主開口部を設けられた作業空間と下方に向いた上部開口部を持ち前記主開口部より上方に位置する上部空間と上方に向いた下部開口部を持ち前記主開口部より下方に位置する下部空間とを形成する主構造体と、前記主開口部を閉止および開放でき互いの間に隙間空間を形成する二重扉と、室内の雰囲気を前記作業空間に案内する第一案内機材と、前記作業空間の中から気体を排気する第一排気機材と、前記下部空間の中から気体を排気する第二排気機材と、を備えるものとした。【選択図】    図２
2008229474.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内に設置され科学機材を用いるためのドラフトチャンバーであって、
科学機器を収納可能な空間であって側部に外側から科学機器にアクセスするための開口部である主開口部を設けられた作業空間と下方に向いた開口部である上部開口部を持ち前記主開口部より上方に位置する上部空間と上方に向いた開口部である下部開口部を持ち前記主開口部より下方に位置する下部空間とを形成する主構造体と、
前記主開口部を閉止および開放でき互いの間に隙間空間を形成する二重扉と、
室内の雰囲気を前記作業空間に案内する第一案内機材と、
前記作業空間の中から気体を排気する第一排気機材と、
前記下部空間の中から気体を排気する第二排気機材と、
を備え、
前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に、前記上部開口部が前記隙間空間の上部に連通し、前記下部開口部が前記隙間空間の下部に連通する、
ことを特徴とするドラフトチャンバー。
【請求項２】
前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項３】
前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、
前記上部二重扉が前記上部領域を開放した際に前記上部二重扉の少なくとも一部が前記上部空間に収納され、
前記下部二重扉が前記下部領域を開放した際に前記下部二重扉の少なくとも一部が前記下部空間に収納される、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項４】
前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、
前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に前記上部開口部の縁に接触して気密を保持する上部シール部を有し、
前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に前記下部開口部の縁に接触して気密を保持する下部シール部を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項５】
前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、
前記主構造体が前記上部開口部の縁に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である上部突起部を有し、
前記上部二重扉が上側の辺に沿って位置し水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である上部シール部を有し、
前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に前記上部突起部の前記階段状形状と前記上部シール部の階段状形状とが嵌まり合う、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項６】
前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、
前記主構造体が前記下部開口部の縁に沿って位置し水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である下部突起部を有し、
前記下部二重扉が下側の辺に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である下部シール部を有し、
前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に前記下部突起部の前記階段状形状と前記下部シール部の前記階段状形状とが嵌まり合う、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項７】
前記主構造体が前記作業空間の下側に位置し科学機器を据え付けるための作業面と該作業面に連なり該作業面より下方に凹んだ窪みとを形成する作業床部材を有し、
前記第一排気機材が前記窪みの中の気体を排気する、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項８】
前記主構造体が前記作業空間の下側に位置し科学機器を据え付けるための作業面と該作業面に連なり該作業面より下方に凹んだ窪みとを形成する作業床部材を有し、
前記作業面が前記主開口部の最も低い箇所よりも低い位置にあり、
前記第一排気機材が前記窪みの中の気体を排気する、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項９】
前記主構造体が前記作業空間の下側に位置し科学機器を据え付けるための作業面と該作業面に連なり該作業面より下方に凹んだ窪みとを形成する作業床部材と該作業面から立ち上がり前記窪みを囲む仕切り板とを有し、
前記第一排気機材が前記窪みの中の気体を排気する、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項１０】
室内の雰囲気を前記上部空間に案内する第二案内機材を
備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項１１】
室内の雰囲気を前記上部空間に案内する第二案内機材を
備え、
前記第二案内機材または前記第二排気機材が、前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に前記隙間空間の圧力を前記作業空間の圧力よりも低く維持する様に設定される、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項１２】
前記第一案内機材が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する送風装置を有し、
前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力に応じて調整可能である、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項１３】
前記第一案内機材が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する送風装置を有し、
前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする様に制御される、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【請求項１４】
前記第一案内機材が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する送風装置を有し、
前記二重扉が前記主開口部を開放した際に前記送風装置の送気する圧力又は風量がゼロまたは一定値に固定される様に制御される、
ことを特徴とする請求項１に記載のドラフトチャンバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、室内に設置され科学機材を用いるためのドラフトチャンバーに係る。特に、内部に流れる気体の流路の構成に特徴のあるドラフトチャンバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
科学機材を用いるのに室内に設置されたドラフトチャンバーを用いる。
例えば、半導体の製造設備や検査設備において、クリーンルーム内に設置されるドラフトチャンバーが用いられる。
半導体用の基板を化学処理させるために、処理容器をドラフトチャンバー内に設置して、処理容器により基板を化学処理する。
化学処理する際に、処理容器からかならずしも人体に無害でないガス等がもれることがある。
一般的に、ドラフトチャンバーの内部の気圧を室内の気圧よりも低くして、さらに、気体の流れをドラフトチャンバーの内部につくる。そのため、室内の雰囲気が、ドラフトチャンバーの内部に流れ込む。
化学処理等を、高度なクリン度を保った雰囲気中で行いたい場合がある。
その様な場合、クリーンベンチとしての機能をもったドラフトチャンバーをクリーンルーム内に設置して用いる。この様な目的でもちいられるドラフトチャンバーをクリーンドラフトチャンバーとも呼称する。
【０００３】
クリーンルーム内の雰囲気は、ドラフトチャンバーの天井に設けられたフィルタを通過して、ドラフトチャンバーの内部に流れる。
しかし、クリーンルーム内の雰囲気が、ドラフトチャンバーに存在する隙間からもドラフトチャンバー内へ進入する。特に、ドラフトチャンバーに室内の雰囲気に連通する扉のついた開口部が設けられている場合、扉をあけると、室内の雰囲気がドラフトチャンバー内へ侵入する。
化学処理に要求されるクリーン度がクリーンルーム内のクリーン度よりも高い場合には、この様なドラフトチャンバーでは要求させるクリーン度を維持できなかった。
仮に、ドラフトチャンバーの内部の圧力を室内の圧力よりも高くすると、ドラフトチャンバー内のクリーン度を高く維持することが容易になるが、ドラフトチャンバー内の雰囲気が室内に漏れてしまうという不具合が想定される。
【０００４】
例えば、半導体や液晶の製造設備や検査設備において、基板処理装置が使用される。
基板処理装置は、基板を検査するために前処理をする装置である。例えば、基板は、半導体ウエハー、液晶基板等の基板である。半導体ウエハーは、シリコン、ガリウム、炭化ケイ素等のウエハーである。
基板処理査装置は、基板のコンタミネーションを防止するために、簡易で確実な機構が要求される。
また、一部の基板処理装置が、半導体ウエハーの表面に形成された酸化膜や窒化膜等の薄膜の中の、超微量金属元素（例えば、ナトリウム、カリウム、鉄等）の不純物の量を正確に測定する前処理に用いられる。この基板処理装置では、基板を正確に位置決めすることが、不純物の量を正確に測定するために重要である。
【０００５】
半導体ウエハーの表面の不純物を正確に測定する目的とその方法を簡単に説明する。
半導体ウエハーの表面に形成された酸化膜や窒化膜等の薄膜中に、不純物が含まれていいると、その不純物の量が微量であっても、半導体素子の電気的特性に大きな影響を与える。
従って、半導体素子の製造設備において、ウエハー表面から不純物の混入をできる限り抑制することが要請されている。
そのために、半導体ウエハーの表面に存在する不純物の量を正確に測定することが行われている。
最近、ウエハー表面に存在する不純物の量を測定するのに用いられていた二次イオン質量分析法やオージェ分光分析法や中性子放射化分析法に代わって、ふっ化物溶液を持ちいて、不純物の量を測定する。例えば、ふっ化物溶液はＨＦ（ふっ化水素）水溶液である。
シリコンウエハーの表面の酸化膜をＨＦ（ふっ化水素）水溶液で溶解する処理をおこなった後で、そのＨＦ（ふっ化水素）水溶液を捕集して、ＨＦ（ふっ化水素）水溶液中の不純物を分析することが行われる。捕集したＨＦ（ふっ化水素）水溶液の量が少なくすると、不純物の濃度が高くなり、測定精度が向上するという特徴を有する。
【０００６】
基板の酸化膜をＨＦ（ふっ化水素）水溶液で溶解する薄膜溶解法は、種々提唱されており、その代表的なものとして、気相分解法（ＶＰＤ）と液滴分解法（ＤＡＤＤ）がある。
気相分解法（ＶＰＤ）では、ＨＦ（ふっ化水素）水溶液の蒸気に基板を曝し、基板の酸化層を溶解する。
液滴分解法（ＤＡＤＤ）では、基板の表面にＨＦ（ふっ化水素）水溶液を滴下し、液滴により基板の酸化膜を溶解する。
その後で、基板の表面にＨＦ（ふっ化水素）水溶液またはＨＦ・Ｈ２О２混合水の液滴を滴下し、その液滴を基板の表面に付着したまま移動する。液滴に酸化膜の中の不純物が捕集される。その液滴中の不純物の量を計測することにより、基板表面の不純物の量を検査する。
【０００７】
クリーンルームに据え付けられたドラフトチャンバーの内部で、上記の気相分解法（ＶＰＤ）や液滴分解法（ＤＡＤＤ）を用いて、基板を処理する際には、ドラフトチャンバーの内部の気体をクリーンルームへ洩らさず、クリーンルーム内のクリーン度の低い雰囲気を直接にドラフトチャンバーへ入れないようにすることを要請される。
【０００８】
【特許文献１】特開平０２−２７２３５９号
【特許文献２】特開平０２−０２８５３３号
【特許文献３】特開平０８−２３３７０９号
【特許文献４】特開平０２−２２９４２８号
【特許文献５】特開２００１−２０５１１０号
【特許文献６】特開２００７−０３８０５０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、簡易な構成で、室内に設置され科学機材を用いることをできるドラフトチャンバーを提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明に係る室内に設置され科学機材を用いるためのドラフトチャンバーを、科学機器を収納可能な空間であって側部に外側から科学機器にアクセスするための開口である主開口部を設けられた作業空間と下方に向いた開口部である上部開口部を持ち前記主開口部より上方に位置する上部空間と上方に向いた開口部である下部開口部を持ち前記主開口部より下方に位置する下部空間とを形成する主構造体と、前記主開口部を閉止および開放でき互いの間に隙間空間を形成する二重扉と、室内の雰囲気を前記作業空間に案内する第一案内機材と、前記作業空間の中から気体を排気する第一排気機材と、前記下部空間の中から気体を排気する第二排気機材と、を備え、前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に、前記上部開口部が前記隙間空間の上部に連通し、前記下部開口部が前記隙間空間の下部に連通する、ものとした。
【００１１】
上記本発明の構成により、主構造体が、科学機器を収納可能な空間であって側部に外側から科学機器にアクセスするための主開口部を設けられた作業空間と下方に向いた上部開口部を持ち前記主開口部より上方に位置する上部空間と上方に向いた下部開口部を持ち前記主開口部より下方に位置する下部空間とを形成する。二重扉が、前記主開口部を閉止および開放でき、互いの間に隙間空間を形成する。第一案内機材が、室内の雰囲気を前記作業空間に案内する。第一排気機材が、前記作業空間の中から気体を排気する。第二排気機材が、前期下部空間の中から気体を排気する。前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に、前記上部開口部が前記隙間空間の上部に連通し、前記下部開口部が前記隙間空間の下部に連通する。
その結果、前記二重扉が前記主開口部を閉止すると、室内の雰囲気が前記作業空間に入り、その後排気される。また、前記隙間空間の気体が下部空間を経由して排気される。
前記二重扉が前記主開口部を開放すると、主開口部を通して科学機器にアクセスできる。
【００１２】
以下に、本発明の実施形態に係る複数のドラフトチャンバーを説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。
【００１３】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有する。
上記実施形態の構成により、前記二重扉が上下方向へ移動自在になった前記上部二重扉と前記下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放できる。
その結果、前記上部二重扉と前記下部二重扉とを上下移動させて、主開口部を閉止でき、主開口部の必要な領域のみを開放して、科学機器にアクセスできる。
【００１４】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、前記上部二重扉が前記上部領域を開放した際に前記上部二重扉の少なくとも一部が前記上部空間に収納され、前記下部二重扉が前記下部領域を開放した際に前記下部二重扉の少なくとも一部が前記下部空間に収納される。
上記実施形態の構成により、前記二重扉が上下方向へ移動自在になった前記上部二重扉と前記下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、
前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放できる。前記上部二重扉が前記上部領域を開放した際に前記上部二重扉の少なくとも一部が前記上部空間に収納され、前記下部二重扉が前記下部領域を開放した際に前記下部二重扉の少なくとも一部が前記下部空間に収納される。
その結果、前記上部二重扉と前記下部二重扉とを上下移動させて、主開口部を閉止でき、主開口部の必要な領域のみを開放して、科学機器にアクセスできる。また、前記上部二重扉と前記下部二重扉とが、前記上部空間と前記下部空間に収納されるので、ドラフトチャンバーをコンパクトにできる。
【００１５】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に前記上部開口部の縁に接触して気密を保持する上部シール部を有し、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に前記下部開口部の縁に接触して気密を保持する下部シール部を有する。
上記実施形態の構成により前記二重扉が上下方向へ移動自在になった前記上部二重扉と前記下部二重扉とで構成され、上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放できる。前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に、上部シール部が前記上部開口部の縁に接触して気密を保持する。前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に、下部シール部が前記下部開口部の縁に接触して気密を保持する。
その結果、二重扉が開口部を閉止した際に、隙間空間を流れる気体が上部開口部または下部開口部の縁から漏れるのを抑止できる。
【００１６】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、前記主構造体が前記上部開口部の縁に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である上部突起部を有し、前記上部二重扉が上側の辺に沿って位置し水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である上部シール部を有し、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に前記上部突起部の前記階段状形状と前記上部シール部の階段状形状とが嵌まり合う。
上記実施形態の構成により、前記二重扉が上下方向へ移動自在になった前記上部二重扉と前記下部二重扉とで構成され、上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放できる。前記主構造体の上部突起部が、前記上部開口部の縁に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である。前記上部二重扉の上部シール部が上側の辺に沿って位置し水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である。前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に前記上部突起部の前記階段状形状と前記上部シール部の階段状形状とが嵌まり合う。
その結果、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に、隙間空間を流れる気体が上部開口部の縁から漏れるのを抑止できる。
【００１７】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記二重扉が前記主開口部の上部の領域である上部領域を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になった上部二重扉と前記主開口部の残りの下部の領域である下部領域を閉止および開放でき上下方向に移動自在になった下部二重扉とを有し、前記主構造体が前記下部開口部の縁に沿って位置し水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である下部突起部を有し、前記下部二重扉が下側の辺に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である下部シール部を有し、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に前記下部突起部の前記階段状形状と前記下部シール部の前記階段状形状とが嵌まり合う。
上記実施形態の構成により、前記二重扉が上下方向へ移動自在になった前記上部二重扉と前記下部二重扉とで構成され、上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放できる。前記主構造体の下部突起部が前記下部開口部の縁に沿って位置し水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である。前記下部二重扉の下部シール部が下側の辺に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である。前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に前記下部突起部の前記階段状形状と前記下部シール部の前記階段状形状とが嵌まり合う。
その結果、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に、隙間空間を流れる気体が下部開口部の縁から漏れるのを抑止できる。
【００１８】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記主構造体が前記作業空間の下側に位置し科学機器を据え付けるための作業面と該作業面に連なり該作業面より下方に凹んだ窪みとを形成する作業床部材を有し、前記第一排気機材が前記窪みの中の気体を排気する。
上記実施形態の構成により、作業空間の下側が作業面と窪みとで形成され、前記作業面に連なり下方に凹んだ窪みの中から気体を排気する。
その結果、作業空間の中の気体が、作業面へ下がって窪みに入り、前記第一排気機材により排気される。
【００１９】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記主構造体が前記作業空間の下側に位置し科学機器を据え付けるための作業面と該作業面に連なり該作業面より下方に凹んだ窪みとを形成する作業床部材を有し、前記作業面が前記主開口部の最も低い箇所よりも低い位置にあり、前記第一排気機材が前記窪みの中の気体を排気する。
上記実施形態の構成により、作業空間の下側が前記主開口部より低い位置にある作業面と窪みとで形成され、前記作業面に連なり下方に凹んだ窪みの中から気体を排気する。
その結果、作業空間の中の気体が、作業面へ下がって窪みに入り、隙間空間から作業空間へ漏れた気体が作業面へ下がって窪みに入り、前記第一排気機材により排気される。
【００２０】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記主構造体が前記作業空間の下側に位置し科学機器を据え付けるための作業面と該作業面に連なり該作業面より下方に凹んだ窪みとを形成する作業床部材と該作業面から立ち上がり前記窪みを囲う仕切り板とを有し、前記第一排気機材が前記窪みの中の気体を排気する。
上記実施形態の構成により、作業空間の下側が前記開口部より低い位置にある作業面と窪みとで形成され、作業面から立ち上がる前記仕切り板が窪みを囲い、窪みから気体が前記第一排気機材により排気される。
その結果、作業空間の中の気体が、作業面へ下がって窪みに入り、前記第一排気機材により排気され、作業面に流された液体が、窪みに入らない。
【００２１】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、室内の雰囲気を前記上部空間に案内する第二案内機材を備える。
上記実施形態の構成により、室内の雰囲気を前記上部空間に案内する。
その結果、室内の雰囲気が、前記上部空間を経由して前記隙間空間に入り、その後下部空間を経由して排気される。
【００２２】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、室内の雰囲気を前記上部空間に案内する第二案内機材を備え、前記第二案内機材または前記第二排気機材が、前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に前記隙間空間の圧力を前記作業空間の圧力よりも低く維持する様に設定される。
上記実施形態の構成により、室内の雰囲気を前記上部空間に案内する。前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に前記隙間空間の圧力を前記作業空間の圧力よりも低く維持する。
その結果、室内の雰囲気が、前記上部空間を経由して前記隙間空間に入り、また作業空間の気体の一部が前記隙間空間に入り、その後下部空間を経由して排気される。
【００２３】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記第一案内機材が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する送風装置を有し、前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力に応じて調整可能である。
上記実施形態の構成により、送風装置が、室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する。前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力に応じて調整可能である。
その結果、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間へおくられ、送風装置の送気する圧力又は雨量を調整して、作業空間の圧力を調整できる。
【００２４】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記第一案内機材が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する送風装置を有し、前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする様に制御される。
上記実施形態の構成により、送風装置が、室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する。前記送風装置の送気する圧力又は風量が制御され、前記作業空間の圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする。
その結果、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間へおくられ、送風装置の送気する圧力又は雨量を調整して、室内の雰囲気と作業空間との差圧を所望の値に調整できる。
【００２５】
さらに、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーは、前記第一案内機材が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する送風装置を有し、前記二重扉が前記主開口部を開放した際に前記送風装置の送気する圧力又は風量がゼロまたは一定値に固定される様に制御される。
上記実施形態の構成により、送風装置が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気する。前記二重扉が前記主開口部を開放した際に前記送風装置の送気する圧力又は風量が一定値に固定される様に制御される。
その結果、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間へおくられ、開口部が開放された際に、室内の雰囲気が作業空間に入ったり、作業空間の気体が室内に出るのを可能な限り抑制できる、
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように本発明に係るドラフトチャンバーは、その構成により、以下の効果を有する。
作業空間の側部に主開口部を設け、主開口部より上方に前記上部空間を置き、前記上部開口部を下に向けて、主開口部より下方に前記下部空間を置き、前記下部開口部を上に向け、二重扉が主開口部を閉止および開放でき、二重扉が主開口部を閉止した際に、二重扉の間の隙間空間が前記上部空間と前記下部空間とに連通する様にし、室内の雰囲気を前記作業空間に案内し、前記作業空間の中から気体を排気し、前記下部空間の中から気体を排気する様にしたので、前記二重扉が前記主開口部を閉止すると、室内の雰囲気が前記作業空間に入り、その後排気される。また、前記隙間空間の気体が、下部空間を経由して排気される。前記二重扉が前記主開口部を開放すると、主開口部を通して科学機器にアクセスできる。
また、二重扉が上下方向に移動自在に案内される上部二重扉と下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放できる様にしたので、前記上部二重扉と前記下部二重扉とを個別に上下移動させて、主開口部を閉止でき、主開口部の必要な領域のみを開放して、科学機器にアクセスできる。
また、二重扉が上下方向に移動自在に案内される上部二重扉と下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放でき、前記上部二重扉の一部が上部空間に収納でき、前記下部二重扉の一部が前記下部空間に収納できる様にしたので、前記上部二重扉と前記下部二重扉とを上下移動させて、主開口部を閉止でき、主開口部の必要な領域のみを開放して、科学機器にアクセスできる。また、ドラフトチャンバーをコンパクトにできる。
また、二重扉が上下方向に移動自在に案内される上部二重扉と下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放でき、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止する際に上部開口部の縁との間を気密に保持し、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止する際に下部開口部の縁との間を気密に保持する様にしたので、二重扉が開口部を閉止した際に、隙間空間を流れる気体が上部開口部の縁または下部開口部の縁から漏れるのを抑制できる。
また、二重扉が上下方向に移動自在に案内される上部二重扉と下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放でき、前記上部開口部の縁に上側を階段状形状にして水平に突起した上部突起部を設け、前記上部二重扉に下側を階段状形状にして水平に突起した上部シール部を設け、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に前記上部突起部と前記上部シール部とが嵌まり合う様にしたので、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止した際に、隙間空間を流れる気体が上部開口部の縁から漏れるのを抑制できる。
また、二重扉が上下方向に移動自在に案内される上部二重扉と下部二重扉とで構成され、前記上部二重扉が前記上部領域を閉止および開放でき、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止および開放でき、前記下部開口部の縁に下側を階段状形状にして水平に突起した下部突起部を設け、前記下部二重扉に上側を階段状形状にして水平に突起した下部シール部を設け、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に前記下部突起部と前記下部シール部とが嵌まり合う様にしたので、前記下部二重扉が前記下部領域を閉止した際に、隙間空間を流れる気体が下部開口部の縁から漏れるのを抑制できる。
また、作業空間の下側が作業面と窪みとで形成され、前記作業面に連なり下方に凹んだ窪みの中から気体を排気する様にしたので、作業空間の中の気体が、作業面へ下がって窪みに入り、前記第一排気機材により排気される。
また、作業空間の下側が前記開口部より低い位置にある作業面と窪みとで形成され、前記作業面に連なり下方に凹んだ窪みの中から気体を排気する様にしたので、作業空間の中の気体が、作業面へ下がって窪みに入り、隙間空間から作業空間へ漏れた気体が作業面へ下がって窪みに入り、前記第一排気機材により排気される。
また、作業空間の下側が前記開口部より低い位置にある作業面と窪みとで形成され、作業面から立ち上がる仕切り板が窪みを囲い、窪みから気体を前記第一排気機材により排気される様にしたので、作業空間の中の気体が、作業面へ下がって窪みに入り、前記第一排気機材を経由して排気され、作業面に流された液体が、窪みに入らない。
また、室内の雰囲気を前記上部空間に案内する様にしたので、室内の雰囲気が、前記上部空間を経由して前記隙間空間に入り、その後下部空間を経由して排気される。
また、室内の雰囲気を前記上部空間に案内する様にし、前記第二案内機材または前記第二排気機材を設定し、前記二重扉が前記主開口部を閉止した際に前記隙間空間の圧力を前記作業空間の圧力よりも低く維持するので、室内の雰囲気が、前記上部空間を経由して前記隙間空間に入り、その後下部空間を経由して排気される。また、隙間空間から作業空間への気体の洩れを抑制できる。
また、送風装置が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気し、前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力に応じて調整可能である様にしたので、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間へおくられ、送風装置の送気する圧力又は風量を調整して、作業空間の圧力を調整できる。
また、送風装置が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気し、前記送風装置の送気する圧力又は風量が前記作業空間の圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする様に制御したので、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間へおくられ、送風装置の送気する圧力又は風量を調整して、室内の雰囲気と作業空間との差圧を所望の値に調整できる。
また、送風装置が室内の雰囲気を前記作業空間の上方から内部へ送気し、前記二重扉が前記主開口部を開放した際に前記送風装置の送気する圧力又は風量がゼロまたは一定値に固定される様に制御したので、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間へおくられ、開口部が開放された際に、室内の雰囲気と作業空間の気体の混ざるのを抑制できる、
従って、簡易な構造で測定精度をより向上させることのできるドラフトチャンバーを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
【００２８】
図１は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの正面図である。図２は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＡ−Ａ断面図である。図３は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＡ−Ａ断面図である。図４は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＢ−Ｂ断面図である。図５は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＢ−Ｂ断面図である。図６は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＣ−Ｃ断面図である。図７は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＤ−Ｄ断面図である。図８は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＥ−Ｅ断面図である。図９は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＦ−Ｆ断面図である。図１０は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＧ−Ｇ断面図である。図１１は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの部分断面図である。図１２は、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの部分断面図である。
ドラフトチャンバー１００は、室内に設置され科学機材を用いるためのものであって、主構造体１０と二重扉２０と二重扉吊り機材３０と第一案内機材４０と第一排気機材５０と第二案内機材６０と第二排気機材７０と排液機材８０とで構成される。
室内は、クリーンルーム内であってもよい。
科学機器５は、化学反応をともなう科学操作をするための機器であってもよい。
【００２９】
主構造体１０は、第一案内空間Ｊと作業空間Ｈと第二案内空間Ｒと上部空間Ｑ１と下部空間Ｑ２とを形成する構造体である。
作業空間Ｈは、科学機器を収納可能な空間であって主開口部Ｗを設けられた空間である。
主開口部Ｗは、側部に設けられた外側から科学機器にアクセスするための開口部である。
上部空間Ｑ１は、下方に向いた開口部である上部開口部Ｏ１を持ち主開口部Ｗより上方に位置する空間である。
例えば、上部空間Ｑ１は、主開口部Ｗの上方に位置する。
下部空間Ｑ２は、上方に向いた開口部である下部開口部Ｏ２を持ち主開口部Ｗより下方に位置する空間である。
例えば、下部空間Ｑ２は、主開口部Ｗの下方に位置する。
さらに、主構造体１０は、前方下部空間Ｑ３を形成してもよい。
例えば、前方下部空間Ｑ２は、下部空間Ｑ２に前方に位置する。
以下では、説明の便宜のために、主開口部Ｗのある側を前側とし、主開口部に向かって左手側を左側とし、主開口部に向かって右手側を右側として説明する。
【００３０】
第一案内空間Ｊは、室内の雰囲気を作業空間Ｈの上部に案内するための空間である。
室内の雰囲気と第一案内空間Ｊとは、後述する送風装置３２を介して連通される。
第一案内空間Ｊと作業空間Ｈとは、後述するフィルタ３１を介して連通される。
【００３１】
第二案内空間Ｒは、室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内するための空間である。
室内の雰囲気と第二案内空間Ｒとは、後述する第二後方案内穴６２を介して連通される。
第二案内空間Ｒと上部空間Ｑ１とは、後述する第二前方案内穴６１を介して連通される。
第二前方案内穴６１と第二後方案内穴６２とは、後述する吊りケーブル３５を前後方向へ案内する穴も兼ねている。
【００３２】
第一案内空間Ｊと第二案内空間Ｒとは、作業空間Ｈの上方に配置されてもよい。
２個の第二案内空間Ｒが第一案内空間Ｊの両側へ各々に配置されてもよい。
【００３３】
主構造体１０は、作業床部材１１と左右一対の側壁部材１２と奥壁部材１３と天井部材１４と前壁部材１５と仕切り板１６と二重扉案内部材１７と上部突起部１８ｕと下部突起部１８ｄと外周部材１９とで構成される。
作業床部材１１は、作業空間Ｈの下側に位置する。
側壁部材１２は、作業空間Ｈの左側と右側とに位置する。
奥壁部材１３は、作業空間Ｈの奥側に位置する。
天井部材１４は、作業空間Ｈの天側に位置する。
前壁部材１５は、作業空間Ｈの前側の主開口部Ｗを除く箇所に位置する。
作業床部材１１と左右一対の側壁部材１２と奥壁部材１３と天井部材１４と前壁部材１５とが一体となり、略６面体の立体形状を持ち前側に主開口部Ｗを備えた作業空間Ｈを形成する。
【００３４】
作業床部材１１が、作業空間Ｈの下側に位置する作業面Ｓと窪みＫとを形成する。
作業面Ｓは、科学機器を据え付けるための面である。
窪みＫは、作業面Ｓに連なり、作業面Ｓより下方に凹んだ部分である。例えば、窪みＫは略六面体の空間である。
仕切り板１６は、作業面Ｓから立ち上がり窪みＫを囲う部材である。
作業面Ｓが主開口部Ｗの最も低い箇所よりも低い位置にあってもよい。  
【００３５】
二重扉案内部材１７は、二重扉２０の前後方向の移動を拘束し、上下方向に移動自在に案内する部材である。
二重扉案内部材１７は、長手方向を上下方向に揃えた２個の板材を面を平行にして前後に並べたものである。２個の板材の隙間の寸法は、後述する扉部材の前後の面に滑動部材を固定した全体厚みよりも僅かに広い。後述する滑動部材２４が、二重扉案内部材１７の側面を滑る。
２個の二重扉案内部材１７が、主開口部Ｗの左側に前後方向に並べて設けられる。
２個の二重扉案内部材１７が、主開口部Ｗの右側に前後方向に並べて設けられる。
前方に位置する左右一対の二重扉案内部材１７が、後述する前方上部扉２１ｆと前方下部扉２２ｆを上下方向に移動自在に案内する。
後方に位置する左右一対の二重扉案内部材１７が、後述する後方上部扉２１ｂと後方下部扉２２ｂを上下方向に移動自在に案内する。
【００３６】
上部突起部１８ｕは、上部開口部Ｏ１の縁に沿って位置し水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である。
後述する上部二重扉２１が後述する上部領域Ｗ１を閉止した際に、上部突起部１８ｕの階段状形状と後述する上部シール部２６ｕの階段状形状とが嵌まり合う。
図１１、図１２は、上部突起部１８ｕが、水平に突起し、上側が２段の階段状形状を持ち、上部開口部Ｏ１の後方の縁に沿って固定されるのを示している。
階段状形状は、上から下に移るに従って幅寸法が２段階に増加し、上部開口部Ｏ１の縁から１段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成し、１段目から２段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成している。
【００３７】
下部突起部１８ｄは、下部開口部Ｑ２の縁に沿って位置し、水平方向に突起し下部を階段状形状にした部分である。
後述する下部二重扉２２が後述する下部領域Ｗ２を閉止した際に、下部突起部１８ｄの階段状形状と後述する下部シール部２６ｄの階段状形状とが嵌まり合う。
図１１、１２は、１つの下部突起部１８ｄが、下部空間Ｑ２の奥側の縁に設けられ、他の下部突起部１８ｄが、前方下部空間Ｑ３の奥側の縁に設けられるのを示している。下部突起部１８ｄが、水平に突起し、下側が２段の階段状形状を持ち、下部開口部Ｏ２の後方の縁に沿って固定されるのを示している。
階段状形状は、下から上に移るに従って幅寸法が２段階に増加し、下部縁開口部Ｏ２の縁から１段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成し、１段目から２段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成している。
【００３８】
外周部材１９は、主構造体１０の外周面を形成する板材であり、前部部材１９ａと上部部材１９ｂと左右一対の側部部材１９ｃと裏部部材１９ｄとで構成される。
前部部材１９ａが、主構造体１０の前部を主開口部Ｗを除いて覆う。
上部部材１９ｂが、主構造体１０の上部を覆う。
側部部材１９ｃが、主構造体１０の左右の側部を覆う。
裏部部材１９ｄが、主構造体１０の裏部を覆う。
【００３９】
二重扉２０は、主開口部Ｗを閉止および開放でき、互いの間に隙間空間Ｐを形成するものである。
二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に、上部開口部Ｏ１が隙間空間Ｐの上部に連通し、下部開口部Ｏ２が隙間空間Ｐの下部に連通する。
二重扉２０は、上部二重扉２１と下部二重扉２２とで構成されてもよい。
上部二重扉２１は、主開口部Ｗの上部の領域である上部領域Ｗ１を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になったものである。
下部二重扉２２は、主開口部Ｗの下部の領域である下部領域Ｗ２を閉止および開放でき上下方向へ移動自在になったものである。
【００４０】
上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を開放した際に、上部二重扉２１の少なくとも一部が上部空間Ｑ１に収納されてもよい。
下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を開放した際に、下部二重扉２２の少なくとも一部が下部空間Ｑ２に収納されてもよい。
【００４１】
上部二重扉２１は、前方上部扉２１ｆと後方上部扉２１ｂとで構成される。
前方上部扉２１ｆは、上部領域Ｗ１の前方に配される扉である。後方上部扉２１ｂは、上部領域Ｗ１の後方に配される扉である。前方上部扉２１ｆと後方上部扉２１ｂとが、上部領域Ｗ１を閉止及び開放できる。
前方上部扉２１ｆが上部領域Ｗ１を開放した際に、前方上部扉２１ｆの上部が上部空間Ｑ１に収納されてもよい。
後方上部扉２１ｂが上部領域Ｗ１を開放した際に、後方上部扉２１ｂの上部が上部空間Ｑ１に収納されてもよい。
図１２は、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を開放し、前方上部扉２１ｆの上部と後方上部扉２１ｂの上部とが上部空間Ｑ１に収納された状態を示している。
【００４２】
前方上部扉２１ｆは、扉本体２３と４個の滑動部材２４と４個の支持部材２５と２個のの中間シール部２７と上部ストッパ２９とで構成される。
扉本体２３は、上部領域Ｗ１より大きな面をもった略四辺形の板材である。扉本体２３は、透明の素材でできていてもよい。
滑動部材２４は、摩擦係数の小さな素材でできた長手部材であり、扉本体２３の左右の縁に沿って前面と裏面とに固定される。滑動部材２４は二重扉案内部材１７の面を滑って、扉本体２３が上下方向に移動できる。
支持部材２５は、扉本体２３を吊りケーブル３５で支持するための部材である。４個の支持部材２５が、扉本体２３の左右の縁の上部と下部とに固定される。吊りケーブル３５の一端が支持部材２５に連結される。
中間シール部２７は、前方上部扉２１ｆの下縁と前方下部扉２２ｆの上縁との隙間をシールするための長手部材である。２個の中間シール部２７が、前方上部扉２１ｆの下縁から一部を下方に突き出す様に前方上部扉２１ｆに固定される。
上部ストッパ２９は、前方上部扉２１ｆが上部領域Ｗ１を閉止した際に、主構造体と扉本体との隙間をシールする長手部材であり、扉本体２３の上縁に沿って表側に固定される。
【００４３】
後方上部扉２１ｂは、扉本体２３と４個の滑動部材２４と４個の支持部材２５と中間シール部２７と上部シール部２６ｕとで構成される。
扉本体２３と滑動部材２４と支持部材２５と中間シール部２７は、前方上部扉２１ｆのものと同じなので、説明を省略する。
上部シール部２６ｕは、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止した際に上部開口部Ｏ１の縁に接触して気密を保持する部分である。
上部シール部２６ｕは、後方上部扉２１ｂの上側の辺に沿って位置し、水平方向に突起し下側を階段状形状にした部分である。
例えば、上部シール部２６ｕは、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止したときに上部開口部Ｏ１の縁に対面する上側の辺に沿って位置し、水平方向に突起し下側を階段状にした部分であってもよい。
例えば、上部シール部２６ｕは、下側が２段の階段状になった長手部材でできており、扉本体２３の上の辺に沿って裏面に固定される。
図１１、１２は、上部シール部２６ｕが下側に２段の階段状形状を持ち、扉本体２３の上の縁に沿って裏側に固定されるのを示している。
階段状形状は、下から上に移るに従って幅寸法が２段階に増加し、扉本体２３の面から１段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成し、１段目から２段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成している。
図１１は、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止しており、後方上部扉２１ｂに固定された上部シール部２６ｕの階段状形状と上部開口部Ｏ１の裏側の縁に設けられた上部突起部１８ｕの階段状形状とが嵌め合っているのを示している。
図１２は、上部二重扉２１は上部領域Ｗ１を開放しており、後方上部扉２１ｂに固定された上部シール部２６ｕの階段状形状と上部開口部Ｏ１の裏側の縁に設けられた上部突起部１８ｕの階段状形状とが離れ、上部シール部２６ｕと上部空間Ｑ１の壁面との間に隙間があるのを示している。
【００４４】
下部二重扉２２は、前方下部扉２２ｆと後方下部扉２２ｂとで構成される。
前方下部扉２２ｆは、下部領域Ｗ２の前方に配される扉である。後方下部扉２２ｂは、下部領域Ｗ２の後方に配される扉である。前方下部扉２２ｆと後方下部扉２２ｂとが、下部領域Ｗ２を閉止及び開放できる。
前方下部扉２２ｆが下部領域Ｗ２を開放した際に、前方下部扉２２ｆの少なくとも下部が下部空間Ｑ２に収納されてもよい。
後方下部扉２２ｂが下部領域Ｗ２を開放した際に、後方下部扉２２ｂの少なくとも下部が下部空間Ｑ２に収納されてもよい。
または、後方下部扉２２ｂが下部領域Ｗ２を開放した際に、後方下部扉２２ｂの少なくとも下部が前方下部空間Ｑ３に収納されてもよい。
図１２は、前方下部扉２２ｆの下部が下部空間Ｑ２に収納され、後方下部扉２２ｂの下部が前方下部空間Ｑ３に収納されてているのを示している。
【００４５】
前方下部扉２２ｆは、扉本体２３と４個の滑動部材２４と４個の支持部材２５と下部シール部２６ｄと取っ手２８で構成される。
扉本体２３と滑動部材２４と支持部材２５とは、前方上部扉２１ｆのものと同じなので、説明を省略する。
下部シール部２６ｄは、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止した際に下部開口部Ｏ２の縁に接触して気密を保持する部分である。
下部シール部２６ｄは、下部開口部Ｏ２の下側の辺に沿って位置し、水平方向に突起し上側を階段状形状にした部分である。
例えば、下部シール部２６ｄは、前方下部扉２２ｆが下部領域Ｗ２を閉止したときに下部開口部Ｏ２の縁に対面する下側の辺に沿って位置し、水平方向に突起し上側を階段状にした部分であってもよい。
例えば、上部シール部２６ｕは、上側が２段の階段状形状になった長手部材でできており、扉本体２３の下の辺に沿って裏面に固定される。
図１１は、下部シール部２６ｄが上側が２段の階段状の形状を持ち、扉本体２３の下の縁に沿って裏側に固定されるのを示している。
階段状形状は、上から下に移るに従って幅寸法が２段階に増加し、扉本体２３の面から１段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成し、１段目から２段目に立ち上がる部分を傾斜面に形成している。
図１１は、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止し、前方下部扉２２ｆの下部シール部２６ｄの階段状形状と下部突起部１８ｂの階段状形状が嵌め合っているのを示している。
図１２は、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を開放し、前方下部扉２２ｆの下部シール部２６ｄの階段状形状と下部突起部１８ｂの階段状形状が離れ、下部シール部２６ｄと下部空間Ｑ２の壁部が離れているのをを示している。
取っ手２８は、作業員が前方下部扉２２ｆを上下方向に移動させるために手でつかめる部材であり、前方下部扉２２ｆの上部に固定される。
【００４６】
後方下部扉２２ｄは、扉本体２３と４個の滑動部材２４と４個の支持部材２５と下部シール部２６ｄと取っ手２８で構成される。
扉本体２３と４個の滑動部材２４と４個の支持部材２５と下部シール部２６ｄと取っ手２８は、前方下部扉２２ｄのものと同じなので、説明を省略する。
【００４７】
二重扉吊り機材３０は、二重扉２０を上下方向に移動自在に吊る機材である。
二重扉吊り機材３０は、左右一対の前方上部扉シーブ３１ｆと左右一対の後方上部扉シーブ３１ｂと左右一対の前方下部扉シーブ３２ｆと左右一対の後方下部扉シーブ３２ｂと左右一対のウエイト側前方上部扉シーブ３３ｆと左右一対のウエイト側後方上部扉シーブ３３ｂと左右一対のウエイト側前方下部扉シーブ３４ｆと左右一対のウエイト側後方下部扉シーブ３４ｂと８本の吊りケーブル３５と８個のカウンタウエイト３８で構成される。
【００４８】
左右一対の前方上部扉シーブ３１ｆは、前方上部扉２１ｆの支持部材２５の上方に回転自在に設けらる。
左右一対の後方上部扉シーブ３１ｂは、後方上部扉２１ｂの支持部材２５の上方に回転自在に設けられる。
左右一対の前方下部扉シーブ３２ｆは、前方下部扉２２ｆの支持部材２５の上方に回転自在に設けられる。
左右一対の後方下部扉シーブ３２ｂは、後方下部扉２２ｂの支持部材２５の上方に回転自在に設けられる。
図９は、前方上部扉シーブ３１ｆと後方上部扉シーブ３１ｂと前方下部扉シーブ３２ｆと後方下部扉シーブ３２ｂとが、後述する第二前方案内穴６１の近傍に設けられるのを示している。
図１０は、前方上部扉シーブ３１ｆと前方下部扉シーブ３２ｆとが、同軸に回転自在になったシーブであり、後方上部扉シーブ３１ｂと後方下部扉シーブ３２ｂとが、同軸に回転自在になったシーブであるのを示している。
また、後方上部扉シーブ３１ｂと後方下部扉シーブ３２ｂとが、２本の吊りケーブル３５を掛け渡される溝を設けられている。
【００４９】
左右一対のウエイト側前方上部扉シーブ３３ｆは、前方上部扉シーブ３１ｆの後方に回転自在に設けられる。
左右一対のウエイト側後方上部扉シーブ３３ｂは、前方上部扉シーブ３１ｆの後方に回転自在に設けられる。
左右一対のウエイト側前方下部扉シーブ３４ｆは、前方下部扉シーブ３２ｆの後方に回転自在に設けられる。
左右一対のウエイト側後方下部扉シーブ３４ｂは、前方下部扉シーブ３２ｆの後方に回転自在に設けられる。
図９は、ウエイト側前方上部扉シーブ３３ｆとウエイト側前方下部扉シーブ３４ｆとが、同軸に回転自在になり後述する第二後方案内穴６２の近傍に設けられるのを示している。さらに、ウエイト側後方上部扉シーブ３３ｂとウエイト側後方下部扉シーブ３４ｂとが、同軸に回転自在になり後述する第二後方案内穴６２の近傍に設けられるのを示している。
【００５０】
吊りケーブル３５は、二重扉を吊るケーブルである。  
吊りケーブル３５は、一端を二重扉に固定された支持部材に連結され、後述する第二前方案内穴６１を貫通し、後述する第二案内空間Ｒを通過し、後述する第二後方案内穴６２を貫通し、他端を後述するカウンタウエートに連結される。
図９は、吊りケーブルの付設の様子を示している。
左右一対の吊りケーブル３５が、一端を前方上部扉２１ｆの支持部材２５に連結され、前方上部扉シーブ３１ｆとウエイト側前方上部扉シーブ３３ｆとに巻きかけられ、他端をカウンタウエイト３８に連結される。
左右一対の吊りケーブル３５が、一端を後方上部扉２１ｂの支持部材２５に連結され、後方上部扉シーブ３１ｂとウエイト側後方上部扉シーブ３３ｂとに巻きかけられ、他端をカウンタウエイト３８に連結される。
左右一対の吊りケーブル３５が、一端を前方下部扉２２ｆの支持部材２５に連結され、前方下部扉シーブ３２ｂとウエイト側前方下部扉シーブ３４ｆとに巻きかけられ、他端をカウンタウエイト３８に連結される。
左右一対の吊りケーブル３５が、一端を後方下部扉２２ｂの支持部材２５に連結され、後方下部扉シーブ３２ｂとウエイト側後方下部扉シーブ３４ｂとに巻きかけられ、他端をカウンタウエイト３８に連結される。
【００５１】
カウンタウエイト３８は、二重窓の上下移動を容易にするために、二重窓２０の重量を相殺するためのウエイトである。
【００５２】
第一案内機材４０は、室内の雰囲気を作業空間Ｈに案内する機材である。
第一案内機材４０は、フィルタ４１と送風装置４２と第一案内空間Ｊとで構成される。フィルタ４１と送風装置４２とが、第一案内空間Ｊの中に格納されてもよい。
フィルタ４１は、通過する気体を清浄化する。
送風装置４２は、室内の雰囲気を作業空間の上方から内部へ送気する装置である。
送風装置４２が作動すると、室内の雰囲気を第一案内空間Ｊに送り込み、第一案内空間Ｊの圧力を上げる。
送風装置４２は、送気する圧力又は風量を制御できてもよい。
第一案内空間Ｊと作業空間Ｈとに生じた差圧が、第一案内空間Ｊの気体をフィルタ４１を通して作業空間Ｈへ送る。
送風装置の送気する圧力又は風量が作業空間の圧力に応じて調整可能であってもいよい。
また、送風装置４２の送気する圧力又は風量が作業空間の圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする様に制御されてもよい。指令値はゼロも含む。
また、二重扉が主開口部を開放した際に送風装置４２の送気する圧力又は風量がゼロまたは一定値に固定される様に制御されてもよい。
【００５３】
第一排気機材５０は、作業空間Ｈの中から気体を排気する機材である。
第一排気機材５０は、作業空間Ｈの下部から中の気体を排気する。
第一排気機材５０は、第一排気ダンパ５１と第一排気配管５２とで構成される。
第一排気配管５２は、作業空間Ｈと外部の負圧発生機器（図示せず）とを連通する。
第一排気ダンパ５１が、第一排気配管５２の途中に設けられる。第一排気ダンパ５１は、弁の開度を調整可能である。
第一排気機材５０は、窪みＫの中の気体を排気してもよい。
図８は、窪みＫが略６面体の空間であり、第一排気機材５０が、窪みＫの中の気体をの側面から排気する。
【００５４】
第二案内機材６０は、室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内する機材である。
例えば、第二案内機材６０は、第二前方案内穴６１と第二後方案内穴６２と第二案内空間Ｒとで構成される。
第二前方案内穴６１は、第二案内空間Ｒを上部空間Ｑ１に連通するために主構造体１０に設けられた穴である。
第二後方案内穴６２は、室内の雰囲気を第二案内空間Ｒに連通するために主構造体１０に設けられた穴である。
【００５５】
第二排気機材７０は、下部空間Ｑ２の中から気体を排気する機材である。
第二排気機器７０は、第二排気ダンパ７１と第二排気ダクト７２と第二排気配管７３とで構成されてもよい。
第二排気ダクト７２は、下部空間Ｑ２に開口を連通させるダクトである。
第二排気配管７３は、第二排気ダクトを外部の負圧発生機器（図示せず）を連通する配管である。
第二排気ダンパ７１は、第二排気配管に設けられる。第二排気ダンパ７１は、弁の開度を調整可能である。
第二案内機材６０または第二排気機材７０が、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に隙間空間Ｐの圧力を作業空間Ｈの圧力よりも低く維持する様に設定されてもよい。
また、第二案内機材６０または第二排気機材７０が、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に隙間空間Ｐの圧力を室内の圧力よりも低く維持する様に設定されてもよい。
第二案内機材６０または第二排気機材７０を設定するには、第二排気ダンパの開度を調整して行われ、または、第二前方案内穴６１と第二後方案内穴６２の大きさを調整して行われる。
【００５６】
排液機材８０は、作業面Ｓに流れる液体を排液するための機材である。
排液機材８０は、排液弁８１と排液配管８２とで構成されてもよい。
排水配管８２は、一端を作業床部材１１に設けられた排液穴に連通され、他端を外部の排水溝（図示せず）に連通される。
【００５７】
以下に、本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの作用を説明する。
室内がクリンルームであり、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に送風装置４２の送気する圧力又は風量が作業空間Ｈの圧力を室内の圧力との差圧をゼロとする様に制御され、重扉２０が主開口部Ｗを開放した際に送風装置４２の送気する圧力又は風量がゼロまたは一定値に固定される様に制御される様に、設定されている場合を例に、説明する。
第一案内機材４０が、クリンルームの気体を作業空間Ｈに上方から流し、第一排気機材５０が窪みＫから気体を排気し、第二案内機材６０が室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内し、第二排気機材７０が下部空間Ｄ２から気体を排気する場合を例にして、説明する。
【００５８】
最初に、二重扉が主開口部Ｗを閉止している状態を説明する。
ドラフトチャンバー１００をクリンルームに納める。
科学機材５が、作業面Ｓに搭載される。
二重扉２０が、主開口部Ｗを閉じる。
下部二重扉２２の上片が上部二重扉２１の中間シール部２７に嵌まり込む。
上部突起部１８ｕの階段状形状と上部シール部２６ｕの階段状形状とが嵌まりあう。上部突起部１８ｕの一段目の面が上部シール部２６ｕの二段目の面に当接する。上部突起部１８ｕの二段目の面が上部シール部２６ｕの一段目の面に当接する。
下部縁突起１８ｄと下部シール部２６ｄとは嵌まり合う。下部突起部１８ｄの一段目の面が下部シール部２６ｄの二段目の面に当接する。下部突起部１８ｄの二段目の面が下部シール部２６ｄの一段目の面に当接する。
従って、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止し、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止する。
【００５９】
クリンルームの雰囲気が、第一案内機材４０により、作業空間Ｈに上方から流れ込む。
フィルタ４１が、作業空間へ流れ込む気体の清浄度を向上させる。
作業空間Ｈの気体が、第一排気機材５０により、窪みＫから吸い出される。
クリーン度の高い気体が、作業空間Ｈを上から下へ流れ、窪みＫへ流れ込む。
【００６０】
クリーンルームの雰囲気が、第二後方案内穴６２を通過して第二案内空間Ｒへ流れ込む。気体が、第二案内空間Ｒから第二前方案内穴６１を通過して上部空間Ｑ１へ流れ込む。気体が、上部空間Ｑ１から隙間空間Ｐを通過して下部空間Ｑ２へ入る。気体が下部空間Ｑ２から第二排気ダクト７２を通過して第二排気配管７３に導かれて外部の負圧発生機器へ吸い出される。
第二排気ダンパ７１の開度を調整すると、隙間空間Ｐを流れる気体の速度または風量を調整できる。
【００６１】
送風装置４２の送気する圧力又は風量が作業空間Ｈの圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする様に制御される。
また、隙間空間Ｐの圧力を作業空間Ｐの圧力よりも低く維持する。
僅かの量の雰囲気が、室内から二重扉２０と主開口部Ｗとの隙間を通過して隙間空間Ｐに流れ込む。
さらに、僅かの量の気体が、作業空間Ｈから二重扉２０と主開口部Ｗとの隙間を通過して隙間空間Ｐに流れ込む。
その様にするので、クリンルームの雰囲気が直接に作業空間Ｈへ進入することを抑制できる。また、作業空間Ｈの気体がクリンルームの雰囲気へ混じるのを抑制できる。
【００６２】
次ぎに、二重扉２０が主開口部Ｗを開放した状態を説明する。
二重扉２０が、主開口部Ｗを開放する。
上部二重扉２１はたは下部二重扉２２が主開口部Ｗを開放したことを検知すると、送風装置の送気する圧力または風量の制御を停止し、一定の風量を送風する。
上部二重扉２１を上方へ移動させ、下部二重扉２２を下方へ移動させる。
作業員は、上部二重扉２１と下部二重扉２２との隙間から、科学機器を操作することができる。
洗浄液で作業面Ｓを洗浄すると、洗浄液は排液機材により排出される。洗浄液は、仕切り板１６に遮られて、窪みＫには入らない。
【００６３】
第一排気ダンパ５１と第二排気ダンパ７１を最適に調整することで、クリンルームの雰囲気が作業空間Ｈに直接に侵入する量を最小にでき、作業空間Ｈの気体が直接にクリンルームへ漏れる量を最小にすることをできる。
【００６４】
洗浄液で作業空間Ｈを洗浄すると、洗浄液は作業面Ｓに落ちて、排液機材８０により外部へ排出される。
【００６５】
上述の実施形態に係るクリードラフトを用いれば、以下の効果を発揮する。
作業空間Ｈの側部に主開口部Ｗを設け、主開口部Ｗの上方に上部空間Ｑ１を置き、上部開口部Ｏ１を下に向けて、主開口部Ｗの下方に下部空間Ｑ２を置き、下部開口部Ｏ２を上に向けて、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止および開放できる、さらに、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に、二重扉２０の間の隙間空間Ｐが上部空間Ｑ１と下部空間Ｑ２とに連通し、下部空間Ｑ２の中から気体を排気する様にし、室内の雰囲気を作業空間Ｈに案内して、作業空間Ｈの中から気体を排気する様にしたので、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止すると、室内の雰囲気が作業空間に入り、その後排気される。また、上部空間Ｑ１の気体が、隙間空間Ｐを通過して、下部空間Ｑ２を経由して排気される。二重扉２０が主開口部Ｗを開放すると、主開口部Ｗを通して科学機器５にアクセスできる。
また、二重扉２０が上下方向に移動自在に案内される上部二重扉２１と下部二重扉２２とで構成され、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止および開放でき、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止および開放できる様にしたので、上部二重扉２１と下部二重扉２２とを個別に上下移動させて、主開口部Ｗを開閉でき、また、主開口部Ｗの必要な領域のみを開放して、科学機器５にアクセスできる。
また、上部二重扉２０の一部が上部空間Ｑ１に収納でき、下部二重扉２２の一部が下部空間Ｑ２に収納できる様にしたので、上部二重扉２１と下部二重扉２２とを個別に上下移動させて、主開口部Ｗを開閉でき、主開口部Ｗの必要な領域のみを開放して、科学機器５にアクセスできる。また、ドラフトチャンバー１００をコンパクトにできる。
また、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止する際に上部開口部Ｏ１の縁との間を気密に保持し、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止する際に下部開口部Ｏ２の縁との間を気密に保持する様にしたので、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に、隙間空間Ｐを流れる気体が上部開口部Ｏ１の縁または下部開口部Ｏ２の縁から漏れるのを抑制できる。
また、上部開口部Ｏ１の縁に上側を階段状形状にして水平に突起した上部突起部１８ｕを設け、上部二重扉２１に下側を階段状形状にして水平に突起した上部シール部２６ｕを設け、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止した際に上部突起部１８ｕと上部シール部２６ｕとが嵌まり合う様にしたので、上部二重扉２１が上部領域Ｗ１を閉止した際に、隙間空間Ｐを流れる気体が上部開口部Ｏ１の縁から漏れるのを抑制できる。
また、下部開口部Ｏ２の縁に下側を階段状形状にして水平に突起した下部突起部１８ｄを設け、下部二重扉２２に上側を階段状形状にして水平に突起した下部シール部２６ｄを設け、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止した際に下部突起部１８ｄと下部シール部２６ｄとが嵌まり合う様にしたので、下部二重扉２２が下部領域Ｗ２を閉止した際に、隙間空間Ｐを流れる気体が下部開口部Ｏ２の縁から漏れるのを抑制できる。
また、作業空間Ｈの下側が作業面Ｓと窪みＫとで形成され、作業面Ｓに連なり下方に凹んだ窪みＫの中から気体を排気する様にしたので、作業空間Ｈの中の気体が、作業面Ｓへ下がって窪みに入り、第一排気機材５０により排気される。
また、作業空間Ｈの下側が主開口部Ｗより低い位置にある作業面Ｓと窪みＫとで形成され、作業面Ｓに連なり下方に凹んだ窪みＫの中から気体を排気する様にしたので、作業空間Ｈの中の気体が、作業面Ｓへ下がって窪みＫに入り、隙間空間Ｐから作業空間Ｈへ漏れた気体が作業面Ｓへ下がって窪みに入り、第一排気機材５０により排気される。
また、作業空間Ｈの下側が主開口部Ｗより低い位置にある作業面Ｓと窪みＫとで形成され、作業面Ｓから立ち上がる仕切り板１６が窪みＫを囲い、窪みＫから気体を第一排気機材５０により排気される様にしたので、作業空間Ｈの中の気体が、作業面Ｓへ下がって窪みＫに入り、第一排気機材５０を経由して排気され、作業面Ｓに流された液体が、窪みＫに入らない。
また、室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内する様にしたので、室内の雰囲気が、上部空間Ｑ１を経由して隙間空間Ｐに入り、その後に下部空間Ｑ２を経由して排気される。
また、室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内する様にし、第二案内機材６０または第二排気機材７０を設定し、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に隙間空間Ｐの圧力を作業空間Ｈの圧力よりも低く維持するので、室内の雰囲気が、上部空間Ｑ１を経由して隙間空間Ｐに入り、その後に下部空間Ｑ２を経由して排気される。
また、室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内する様にし、第二案内機材６０または第二排気機材７０を設定し、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に隙間空間Ｐの圧力を室内の圧力よりも低く維持するので、室内の雰囲気が、上部空間Ｑ１を経由して隙間空間Ｐに入り、その後に下部空間Ｑ２を経由して排気される。
また、室内の雰囲気を上部空間Ｑ１に案内する様にし、第二案内機材６０または第二排気機材７０を設定し、二重扉２０が主開口部Ｗを閉止した際に隙間空間Ｐの圧力を作業空間Ｈの圧力と室内の圧力よりも低く維持するので、室内の雰囲気が、上部空間Ｑ１を経由して隙間空間Ｐに入り、その後に下部空間Ｑ２を経由して排気される。
また、送風装置４２が室内の雰囲気を作業空間Ｈの上方から内部へ送気し、送風装置４２の送気する圧力又は風量が作業空間Ｈの圧力に応じて調整可能である様にしたので、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間Ｈへおくられ、送風装置４２の送気する圧力又は風量を調整して、室内の雰囲気と作業空間Ｈとの差圧を調整できる。
また、送風装置４２が室内の雰囲気を作業空間Ｈの上方から内部へ送気し、
送風装置４２の送気する圧力又は風量が作業空間Ｈの圧力と室内の圧力との差圧をゼロまたは所定の指令値にする様に制御したので、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間Ｈへおくられ、送風装置４２の送気する圧力又は風量を調整して、室内の雰囲気と作業空間Ｈとの差圧を所望の値に調整できる。
また、送風装置４２が室内の雰囲気を作業空間Ｈの上方から内部へ送気し、二重扉２０が主開口部Ｗを開放した際に送風装置４２の送気する圧力又は風量がゼロまたは一定値に固定される様に制御したので、室内の雰囲気が加圧されて上方から作業空間Ｈへおくられ、主開口部Ｗが開放された際に、室内の雰囲気と作業空間Ｈの気体の混ざるのを抑制できる。
【００６６】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＢ−Ｂ断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＢ−Ｂ断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＣ−Ｃ断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＤ−Ｄ断面図である。
【図８】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＥ−Ｅ断面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＦ−Ｆ断面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーのＧ−Ｇ断面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの部分断面図である。
【図１２】本発明の実施形態に係るドラフトチャンバーの部分断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
Ｗ    主開口部
Ｗ１  上部領域
Ｗ２  下部領域
Ｊ    第一案内空間  
Ｈ    作業空間
Ｋ    窪み
Ｐ    隙間空間
Ｑ１  上部空間
Ｑ２  下部空間
Ｑ３  前方下部空間
Ｏ１  上部開口部
Ｏ２  下部開口部
Ｒ    第二案内空間
Ｓ    作業面
５    科学機器
１０    主構造体
１１    作業床部材
１２    側壁部材
１３    奥壁部材
１４    天井部材
１５    前壁部材
１６    仕切り板
１７    二重扉案内機材
１８ｕ  上部突起部
１８ｄ  下部突起部
１９    外周部材
１９ａ  前部部材
１９ｂ  上部部材
１９ｃ  側部部材
１９ｄ  裏部部材
２０    二重扉
２１    上部二重扉
２１ｆ  前方上部扉
２１ｂ  後方上部扉
２２    下部二重扉
２２ｆ  前方下部扉
２２ｂ  後方下部扉
２３    扉本体
２４    滑動部材
２５    支持部材
２６ｕ  上部シール部
２６ｄ  下部シール部
２７    中間シール部
２８    取っ手
２９    上部ストッパ
３０    二重扉吊り機材
３１ｆ  前方上部扉シーブ
３１ｂ  後方上部扉シーブ
３２ｆ  前方下部扉シーブ
３２ｂ  後方下部扉シーブ
３３ｆ  ウエイト側前方上部扉シーブ
３３ｂ  ウエイト側後方上部扉シーブ
３４ｆ  ウエイト側前方下部扉シーブ
３４ｂ  ウエイト側後方下部扉シーブ
３５    吊りケーブル
３８    カウンタウエイト
４０    第一案内機材
４１    フィルタ
４２    送風装置
５０    第一排気機材
５１    第一排気ダンパ
５２    第一排気配管
６０    第二案内機材
６１    第二前方案内穴
６２    第二後方案内穴
７０    第二排気機材
７１    第二排気ダンパ
７２    第二排気ダクト
７３    第二排気配管
８０    排液機材
８１    排液弁
８２    排液配管
【図１】
2008229474.tif 000003
【図２】
2008229474.tif 000004
【図３】
2008229474.tif 000005
【図４】
2008229474.tif 000006
【図５】
2008229474.tif 000007
【図６】
2008229474.tif 000008
【図７】
2008229474.tif 000009
【図８】
2008229474.tif 000010
【図９】
2008229474.tif 000011
【図１０】
2008229474.tif 000012
【図１１】
2008229474.tif 000013
【図１２】
2008229474.tif 000014