(57)【要約】【課題】振動子に周波電圧信号等を印加するためにフレキシブルプリント基板を用いる上で、振動子の駆動振動に対する悪影響を抑制する。【解決手段】Ｘ軸振動子３２０ｘの第１の接続電極に接続される第１の接続端子３７１ｘを有する第１の接続部３７２ｘと、Ｘ軸振動子３２０ｘの第２の接続電極に接続される第２の接続端子３８１ｘを有する第２の接続部３８２ｘとを有し、これら第１および第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘが、それぞれ第１，第２の接続電極に接続された状態で、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節を含む直線または面に対して対称となる位置に配され、対称形状のＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘを備えることで、Ｘ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘを接続することによる影響を、振動の節を中心に偏りを生ずることなく均等に作用させ、振動の節に対して対称な振動を発生させることができるようにした。【選択図】        図７
2008220030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接続電極に所定の周波電圧信号が印加されることにより節を持つ振動を生ずる振動子と、
前記振動子を保持する固定部材と、
前記振動子の前記接続電極に電気的に接続され、該振動子に周波電圧信号を印加するためのフレキシブルプリント基板と、
を具備し、
前記振動子の前記接続電極は、前記振動の節を含む直線または面に対して対称に第１の接続電極および第２の接続電極に分割して形成され、
前記フレキシブルプリント基板は、前記第１の接続電極に接続される第１の接続端子を有する第１の接続部と、前記第２の接続電極に接続される第２の接続端子を有する第２の接続部とを有し、これら第１および第２の接続部は、それぞれ前記第１，第２の接続電極に接続された状態で、前記振動の節を含む直線または面に対して対称となる位置に配されることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記第１および第２の接続部は、それぞれ前記第１，第２の接続電極に接続された状態で、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称な外形形状を有することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記第１および第２の接続端子は、それぞれ前記第１，第２の接続電極に接続された状態で、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称なパターン形状を有することを特徴とする請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記フレキシブルプリント基板は、前記固定部材に取り付けるための固定部を有し、前記第１および第２の接続部は該固定部から延出して形成されており、
前記固定部は、前記固定部材に取り付けられた状態で、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称形状を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の駆動装置。
【請求項５】
前記固定部は、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称となる位置に配されて、前記固定部材に対し位置決めするための位置決め部を有することを特徴とする請求項４に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記振動子には少なくとも縦振動が生じるものであって、
前記フレキシブルプリント基板の前記第１，第２の接続部は、前記振動子に対して前記縦振動の振動方向に平行な面において前記接続電極に接続されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の駆動装置。
【請求項７】
撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、
所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に屈曲振動と縦振動を合成した楕円振動を生ずる第１の振動子と、
前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、
前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体と、
第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に屈曲振動と縦振動を合成した楕円振動を生ずる第２の振動子と、
前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する、前記撮像素子を撮影光軸上に保持した第２の移動体と、
前記第１および第２の振動子に生ずるそれぞれの縦振動の節に対して対称な位置でこれら第１，第２の振動子の接続電極に電気的に接続されて周波電圧信号を印加するための第１および第２のフレキシブルプリント基板と、
を具備することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子の楕円振動を利用して移動体を駆動して所定の方向に移動させる駆動装置および該駆動装置によりブレ補正するデジタルカメラ等の撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ブレ補正機能を備える撮像装置として、例えばカメラがある。カメラが備えるブレ補正機能としては、カメラピッチ方向のブレ振動とカメラヨー方向のブレ振動とを角速度センサ等のブレ検出手段を用いて検出し、検出されたブレ信号に基づいて、ブレを打ち消す方向に撮像光学系の一部若しくは撮像素子を撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向にそれぞれ独立にシフトさせることで、撮像素子の撮像面上での像のブレを補正する手ブレ補正機能が知られている。
【０００３】
このような手ブレ補正機能を実現する手ブレ補正機構においては、手ブレを補正するために撮影レンズの一部のレンズ、或いは撮像素子そのものを撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向に移動する駆動手段が用いられている。この駆動手段は、手ブレに追随して動作させるために高い応答性と、精密駆動（微小駆動）と、電源を切っても移動体の位置が保持される自己保持性が要求される。
【０００４】
このような要求に対して、特許文献１では、インパクトアクチュエータを用いた手ブレ補正機構が開示されている。また、特許文献２では、表面に楕円振動を発生する２つの振動子をロータに対して押圧させることで、振動子に対してロータを回転駆動させる振動波回転モータが開示されている。この振動波回転モータによる駆動機構では、振動子を構成する圧電体の側面にフレキシブルプリント基板が取り付けられ、振動子の一端から引き出されるように構成されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３１５４９号公報
【特許文献２】特開２００６−１５８０５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示されるインパクトアクチュエータを駆動機構として用いた手ブレ補正機構では、高い応答性と、精密駆動と、自己保持性は得られるが、慣性力を利用して駆動するため、小型で高い出力を得ることができないという問題がある。特に、カメラ等においてＣＣＤ等の撮像素子の前面に防塵フィルタ等が一体化されて、比較的大きくて重い撮像ユニットを駆動対象とする場合には不適となる。駆動力を上げるためには慣性質量を大きくする必要があり、駆動機構そのものが大きくなってしまう。また、摩擦力に打ち勝つ慣性力により駆動する原理から、摩擦滑りによるエネルギー損失が必ず生ずるものであり、効率をあまり高くすることができないという根本的な不具合もある。
【０００７】
一方、振動子の楕円振動を利用した、所謂振動波モータでは、効率が高く、大きな駆動力を得やすく、比較的大きくて重い撮像ユニット等の駆動に好適といえる。しかしながら、振動子の電気エネルギーを機械エネルギーに変換する効率を高くしないと、大きな駆動力を発生させるためには、振動子に入力する電力が大きくなり、デジタルカメラのような携帯型の電子機器に適用することができなかったり、効率の悪い分発熱が激しく、適用される機器の機能低下を招いたり、損傷を与える等の不具合を発生させる。
【０００８】
そこで、このような振動子の効率を高めるために、特許文献２に示されるように、振動子への給電にフレキシブルプリント基板を接続させるものが提案されている。給電にフレキシブルプリント基板を用いることにより、確実な接続ができるものの、振動子の一端からフレキシブルプリント基板が引き出されており、フレキシブルプリント基板の引き出された側の振動子の振動を少なからず阻害してしまう。振動子は、振動の節に対して対称な振動を発生させることが要求されるが、振動子の一端側の振動のみを阻害すると、発生する振動が非対称なものとなる。この結果、モータを構成し、所定の方向に移動体を駆動させる場合であれば、一方の駆動子に発生する楕円振動と他方の駆動子に発生する楕円振動の大きさが異なり、楕円振動の小さい側の駆動子は楕円振動の大きな側の駆動子に対してブレーキとなり、振動子の効率を低下させることになる。また、フレキシブルプリント基板による振動阻害を小さくすれば、前述の問題は解決し得るが、そのために、例えばフレキシブル基板の可撓性を高めればよいものの、給電用銅箔を薄くしたり、幅を狭くすると供給する電力が限られたり、高価なフレキシブルプリント基板となったりする。また、可撓性を高めるために引き出し部を長く構成することも考えられるが、このような構成すると駆動装置そのものが大きくなってしまう。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、振動子に周波電圧信号等を印加するためにフレキシブルプリント基板を用いる上で、振動子の駆動振動に対する悪影響を抑制することができる駆動装置および撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る駆動装置は、接続電極に所定の周波電圧信号が印加されることにより節を持つ振動を生ずる振動子と、前記振動子を保持する固定部材と、前記振動子の前記接続電極に電気的に接続され、該振動子に周波電圧信号を印加するためのフレキシブルプリント基板と、を具備し、前記振動子の前記接続電極は、前記振動の節を含む直線または面に対して対称に第１の接続電極および第２の接続電極に分割して形成され、前記フレキシブルプリント基板は、前記第１の接続電極に接続される第１の接続端子を有する第１の接続部と、前記第２の接続電極に接続される第２の接続端子を有する第２の接続部とを有し、これら第１および第２の接続部は、それぞれ前記第１，第２の接続電極に接続された状態で、前記振動の節を含む直線または面に対して対称となる位置に配されることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記第１および第２の接続部は、それぞれ前記第１，第２の接続電極に接続された状態で、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称な外形形状を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記第１および第２の接続端子は、それぞれ前記第１，第２の接続電極に接続された状態で、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称なパターン形状を有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記フレキシブルプリント基板は、前記固定部材に取り付けるための固定部を有し、前記第１および第２の接続部は該固定部から延出して形成されており、前記固定部は、前記固定部材に取り付けられた状態で、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称形状を有することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記固定部は、前記振動の節を含む直線または面を基準として対称となる位置に配されて、前記固定部材に対し位置決めするための位置決め部を有することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係る駆動装置は、上記発明において、前記振動子には少なくとも縦振動が生じるものであって、前記フレキシブルプリント基板の前記第１，第２の接続部は、前記振動子に対して前記縦振動の振動方向に平行な面において前記接続電極に接続されることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係る撮像装置は、撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に屈曲振動と縦振動を合成した楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体と、第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に屈曲振動と縦振動を合成した楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する、前記撮像素子を撮影光軸上に保持した第２の移動体と、前記第１および第２の振動子に生ずるそれぞれの縦振動の節に対して対称な位置でこれら第１，第２の振動子の接続電極に電気的に接続されて周波電圧信号を印加するための第１および第２のフレキシブルプリント基板と、を具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る駆動装置および撮像装置によれば、振動子の第１の接続電極に接続される第１の接続端子を有する第１の接続部と、振動子の第２の接続電極に接続される第２の接続端子を有する第２の接続部とを有し、これら第１および第２の接続部が、それぞれ第１，第２の接続電極に接続された状態で、振動子の振動の節を含む直線または面に対して対称となる位置に配されるフレキシブルプリント基板を備えるので、フレキシブルプリント基板を接続することによる影響を、振動の節を中心に偏りを生ずることなく均等に作用させることができ、よって、振動の節に対して対称な振動を発生させることができ、振動子の効率の低下を抑制することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る駆動装置および撮像装置を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。本実施の形態の撮像装置は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子を含む撮像ユニットの手ブレ補正を行うための駆動装置を搭載したものであり、ここでは、一例としてレンズ交換可能な一眼レフレックス式電子カメラ（デジタルカメラ）への適用例として説明する。なお、本発明は、実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。
【００１９】
まず、図１を参照して本実施の形態のカメラのシステム構成例について説明する。図１は、本実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。本実施の形態のカメラは、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット１０とによりシステム構成されている。
【００２０】
レンズユニット１０は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット１０の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｌｕｃｏｍ”と称する）５が行う。ボディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｂｕｃｏｍ”と称する）５０が行う。これらＬｕｃｏｍ５とＢｕｃｏｍ５０とは、ボディユニット１００にレンズユニット１０を装着した状態において通信コネクタ６を介して通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Ｌｕｃｏｍ５がＢｕｃｏｍ５０に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。
【００２１】
レンズユニット１０は、撮影レンズ１と絞り３を備える。撮影レンズ１は、レンズ駆動機構２内に設けられた図示しないＤＣモータによって駆動される。絞り３は、絞り駆動機構４内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌｕｃｏｍ５は、Ｂｕｃｏｍ５０の指令に基づいてこれら各モータを制御する。
【００２２】
ボディユニット１００内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、光学系としての一眼レフ方式の構成部材（ペンタプリズム１２、クイックリターンミラー１１、接眼レンズ１３、サブミラー１１ａ）と、撮影光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタ１５と、サブミラー１１ａからの反射光束を受けてデフォーカス量を検出するためのＡＦセンサユニット１６が設けられている。
【００２３】
また、ＡＦセンサユニット１６を駆動制御するＡＦセンサ駆動回路１７と、クイックリターンミラー１１を駆動制御するミラー駆動回路１８と、シャッタ１５の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１９と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路２０と、ペンタプリズム１２からの光束を検出する測光センサ２１ａに基づき測光処理を行う測光回路２１が設けられている。
【００２４】
撮影光軸上には、上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット３０が設けられている。撮像ユニット３０は、撮像素子であるＣＣＤ３１やその前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２、防塵フィルタ３３をユニットとして一体化してなるものである。防塵フィルタ３３の周縁部には、圧電素子３４が取り付けられている。圧電素子３４は、２つの電極を有しており、防塵フィルタ制御回路４８によって圧電素子３４を所定の周波数で振動させることで防塵フィルタ３３を振動させることで、フィルタ表面に付着した塵を除去し得るように構成されている。撮像ユニット３０に対しては、後述する手ブレ補正用の防振ユニットが付加されている。
【００２５】
また、本実施の形態のカメラシステムは、ＣＣＤ３１に接続したＣＣＤインターフェース回路２３と、液晶モニタ２４、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ２５、Ｆlash ＲＯＭ２６などを利用して画像処理する画像処理コントローラ２８とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。ここで、記録メディア２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してカメラ本体と通信可能かつ交換可能に装着される。そして、この記録メディア２７に撮影により得られた画像データが記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する、例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ２９がＢｕｃｏｍ５０からアクセス可能に設けられている。
【００２６】
Ｂｕｃｏｍ５０には、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ５１および動作表示用ＬＥＤ５１ａと、カメラ操作ＳＷ５２とが設けられている。カメラ操作ＳＷ５２は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷおよびパワーＳＷなど、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、電源としての電池５４と、電池５４の電圧を当該カメラシステムを構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路５３が設けられ、外部電源からジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路も設けられている。
【００２７】
上述のように構成されたカメラシステムの各部は、概略的には以下のように稼動する。まず、画像処理コントローラ２８は、Ｂｕｃｏｍ５０の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路２３を制御してＣＣＤ３１から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ２８でビデオ信号に変換され、液晶モニタ２４で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ２４の表示画像から、撮影した画像イメージを確認できる。
【００２８】
ＳＤＲＡＭ２５は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後、記録メディア２７に保管される。
【００２９】
ミラー駆動機構１８は、クイックリターンミラー１１をアップ位置とダウン位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー１１がダウン位置にある時、撮影レンズ１からの光束はＡＦセンサユニット１６側とペンタプリズム１２側へと分割されて導かれる。ＡＦセンサユニット１６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１７を介してＢｕｃｏｍ５０へ送信されて周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム１２を通過した光束の一部は測光回路２１内の測光センサ２１ａへ導かれ、ここで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。
【００３０】
次に、図２を参照してＣＣＤ３１を含む撮像ユニット３０について説明する。図２は、撮像ユニット３０の構成例を示す縦断側面図である。撮像ユニット３０は、撮影光学系を透過し自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ３１と、ＣＣＤ３１の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２と、この光学ＬＰＦ３２の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵フィルタ３３と、この防塵フィルタ３３の周縁部に配設されて防塵フィルタ３３に対して所定の振動を与えるための圧電素子３４とを備える。
【００３１】
ここで、ＣＣＤ３１のＣＣＤチップ３１ａは固定板３５上に配設されたフレキシブル基板３１ｂ上に直接実装され、フレキシブル基板３１ｂの両端から出た接続部３１ｃ，３１ｄが主回路基板３６に設けられたコネクタ３６ａ，３６ｂを介して主回路基板３６側と接続されている。また、ＣＣＤ３１が有する保護ガラス３１ｅは、スペーサ３１ｆを介してフレキシブル基板３１ｂ上に固着されている。
【００３２】
また、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材３７が配設されている。このフィルタ受け部材３７は、ＣＣＤ３１の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、かつ、光学ＬＰＦ３２の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間を略気密性が保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２とを気密的に覆うホルダ３８が配設されている。ホルダ３８は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口３８ａを有し、この開口３８ａの防塵フィルタ３３側の内周縁部には断面が略Ｌ字形状の段部３８ｂが形成され、開口３８ａに対してその後方側から光学ＬＰＦ３２およびＣＣＤ３１が配設されている。ここで、光学ＬＰＦ３２の前面側周縁部を段部３８ｂに対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ３２は段部３８ｂによって撮影光軸方向における位置規制がなされ、ホルダ３８の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。
【００３３】
一方、ホルダ３８の前面側の周縁部には、防塵フィルタ３３を光学ＬＰＦ３２の前面に所定間隔あけて保持するために段部３８ｂ周りで段部３８ｂよりも前面側に突出させた防塵フィルタ受け部３８ｃが全周に亘って形成されている。全体として円形ないしは多角形の板状に形成された防塵フィルタ３３は、板ばね等の弾性体によって形成されてねじ３９で防塵フィルタ受け部３８ｃに固定された押圧部材４０による押圧状態で防塵フィルタ受け部３８ｃに支持される。ここで、防塵フィルタ３３の背面側の外周縁部に配設された圧電素子３４部分には、防塵フィルタ受け部３８ｃとの間に環状のシール４１が介在され、気密状態が確保されている。撮像ユニット３０は、このようにしてＣＣＤ３１を搭載する所望の大きさに形成されたホルダ３８を備える気密構造に構成されている。
【００３４】
次に、本実施の形態のカメラの手ブレ補正機能について説明する。本実施の形態では、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で直交する第１の方向であるＸ軸方向および第２の方向であるＹ軸方向に撮像素子であるＣＣＤ３１を、ブレを補償するように変位移動させるものであり、手ブレ補正用の駆動装置を含む防振ユニットは、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子を駆動源として用い、撮像ユニット３０中のＣＣＤ３１を搭載したホルダ３８を移動対象物として構成される。
【００３５】
まず、本実施の形態の駆動装置で駆動源として用いる振動子の動作原理について説明する。図３は、振動子の動作原理を示す模式図である。振動子２００は、所定の大きさで矩形状に形成された圧電体２０１と、この圧電体２０１の片面側に片寄らせて中心対称に形成された一対の駆動電極２０２，２０３と、駆動電極２０２，２０３に対応する圧電体２０１の表面位置に設けられた駆動部としての駆動子２０４，２０５とを備える。なお、振動子２００は、圧電体２０１内において駆動子２０４，２０５とは反対側中央位置に、圧電体２０１に発生する電圧を検出することで振動状態を検出するためのフィードバック電極２０６を備える。駆動電極２０２に＋の電圧を印加すると、図３（ａ）に示すように、駆動電極２０２部分が伸びるように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は伸びるように変形しないので全体として円弧状に変形する。逆に、駆動電極２０２に−の電圧を印加すると、図３（ｃ）に示すように、駆動電極２０２部分が縮むように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は縮まないので全体として、図３（ａ）とは逆向きの円弧状に変形する。駆動電極２０３側でも同様である。
【００３６】
そこで、駆動子２０４，２０５の表面に楕円振動を発生させるには、圧電体２０１の分極された一方の駆動電極２０２に所定周波数の正弦波による周波電圧を印加するととともに、他方の駆動電極２０３に駆動電極２０２に印加する周波電圧の周波数と同じ周波数で位相のずれた正弦波による周波電圧を印加する。印加する周波電圧の周波数は、圧電体２０１の中央が屈曲振動の節となり、駆動子２０４，２０５部分が屈曲振動の腹となり、かつ、圧電体２０１の縦振動の節が屈曲振動の節と一致するような所定の数値に設定する。すると、印加する周波電圧の＋，−の変化に伴い、振動子２００は、図３（ｂ）に示す復元状態を含めて、図３（ａ）〜（ｃ）に示す屈曲振動を繰り返し、駆動子２０４，２０５の表面には楕円振動が発生する。よって、振動子２００の駆動子２０４，２０５側に駆動対象となる移動体を押圧接触させて配設することで、移動体は駆動子２０４，２０５の表面に生ずる楕円振動の向きに従い移動することとなる。
【００３７】
図４は、圧電体２０１のみを抽出して示す斜視図である。振動子２００に長手方向に伸縮する縦振動のみを発生させると縦振動の節は節面となる。節面は振幅を持たず、圧電体２０１は、長手方向の端面が最大の振幅となる。一方、振動子２００に屈曲振動のみを発生させると節は節線となる。節線は、節面上に存在し、振幅を持たず、圧電体２０１は、節線回りに回転振動をする。振動子２００は、このような屈曲振動と縦振動の合成により駆動子２０４，２０５に楕円振動を生ずるものである。圧電体２０１に生じる縦振動成分の振動方向は、図４中、Ａｔで示す矢印方向となっており、圧電体２０１の長手方向に沿った方向となっている。一方、圧電体２０１に生じる屈曲振動成分の振動方向は、図４中、Ａｋで示す矢印方向となっており、縦振動成分の振動方向Ａｔと直交している。このように、縦振動の振動方向と直交する振動方向を有する屈曲振動とが合成されて楕円振動が駆動子２０４，２０５に生じる。
【００３８】
この際、駆動電極２０２，２０３に印加する周波電圧の位相差を変えることで、駆動子２０４，２０５の表面に発生する楕円振動の形状を変えることが可能であり、これにより振動子２００に駆動されて移動する移動体の移動速度を変えることができる。例えば、周波電圧の位相差が０°であれば速度は０であるが、位相差を増やすと速度は次第に上がり、位相差９０°で最大速度となり、また、９０°を超えて位相差を大きくすると逆に速度は次第に下がり、位相差１８０°では再び速度０となる。位相差を負の値にすると、駆動子２０４，２０５に発生する楕円振動の回転方向が逆転し、移動体を逆方向に駆動することが可能となる。この場合も、位相差−９０°のときに最大速度となる。
【００３９】
つづいて、このような振動子を駆動源として用いる本実施の形態の防振ユニットについて図５〜図１３を参照して説明する。図５は、本実施の形態の防振ユニットの構成例を示す分解斜視図であり、図６は、図５に示す各部の形状を簡略化して示す防振ユニットの概略底面図であり、図７は、図６中のＸ軸駆動機構部を抽出して示す概略正面図であり、図８は、図７中のＡ−Ａ線断面図であり、図９は、図６中のＸ軸駆動機構部を抽出し拡大して示す概略底面図であり、図１０は、図９中のＢ−Ｂ線断面図であり、図１１は、図６中のＹ軸駆動機構部を抽出して示す概略正面図であり、図１２は、図１１中のＣ−Ｃ線断面図であり、図１３は、図１１中のＤ−Ｄ線断面図である。
【００４０】
まず、本実施の形態の防振ユニット３００は、光学ＬＰＦ３２、防塵フィルタ３３等ともにＣＣＤ３１を搭載したホルダ３８をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる最終的な移動対象物とするものであり、撮影光軸周りの開口３０１ａを囲む枠部３０１ｂを有する枠形状でホルダ３８をＹ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されたＸ枠３０１と、撮影光軸周りの開口３０２ａを囲む枠部３０２ｂを有する枠形状でＸ枠３０１をＸ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されて図示しないカメラ本体に固着されたフレーム（固定部材）３０２と、を備える。
【００４１】
そして、Ｘ枠３０１をフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるＸ軸駆動機構部３１０ｘと、ホルダ３８をＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させるＹ軸駆動機構３１０ｙとを備え、ホルダ３８をＸ枠３０１とともにフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるとともにＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させることにより、ホルダ３８に搭載されたＣＣＤ３１はＸＹ平面内でＸ軸方向およびＹ軸方向にブレを補償するように変位移動される。
【００４２】
ここで、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘの構成について説明する。Ｘ軸駆動機構部３１０ｘは、Ｘ軸振動子（第１の振動子）３２０ｘと、Ｘ枠３０１に一体に固定されてＸ枠３０１とともに駆動対象となる移動体（第１の移動体）３１１ｘを構成する摺動体３３０ｘと、Ｘ軸振動子３２０ｘを摺動体３３０ｘ側に付勢する押圧機構３４０ｘとを備える。
【００４３】
Ｘ軸振動子３２０ｘは、図３で説明した振動子２００の動作原理に従い、所定の周波電圧が印加されることにより楕円振動が発生する駆動子（駆動部）３２１ｘ，３２２ｘを矩形状の圧電体３２３ｘの片面に備える。Ｘ軸振動子３２０ｘは、圧電体３２３ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘと相反する側の中央位置に振動子ホルダ３２４ｘを有し、振動子ホルダ３２４ｘに形成された突起３２５ｘがフレーム３０２の溝３４２ｘ（第１の保持部）に嵌合することで、Ｘ軸振動子３２０ｘはＸ軸方向の移動が規制されるように位置決めされて保持されている。このような構成により駆動子３２１ｘ，３２２ｘに生じる楕円振動による駆動力がＸ軸方向に作用する。
【００４４】
また、摺動体３３０ｘは、軸受け３３１ｘ上に摺動板３３２ｘを固着してなる。軸受け３３１ｘは、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが押圧されて摺動板３３２ｘに接触する位置でＸ枠３０１の一部に対してビス等により一体となるように固定されている。なお、Ｘ枠３０１に対する摺動体３３０ｘの固定は、ビス止めに限らず、接着等であってもよく、固定方式は、特に問わない。ここで、摺動体３３０ｘは、図４からも明らかなように、所望の大きさに形成されたＸ枠３０１に比して小さな大きさ（Ｘ軸振動子３２０ｘ相当の大きさ）で形成されたものである。また、Ｘ枠３０１が剛性の低い樹脂材料やアルミニウム等により形成されているのに対して、摺動板３３２ｘは耐磨耗性を有して剛性の高いセラミックス等の材質で形成され、軸受け３３１ｘは、フェライト系のステンレス等の焼入れ可能な材質に焼入れをして剛性を高めたものである。
【００４５】
また、フレーム３０２は、フレーム３０２に形成された開口形状の取付部に配置されて摺動体３３０ｘの軸受け３３１ｘに対向するようにビス３０３ｘで固定された軸受け３０４ｘを備える。この軸受け３０４ｘには、図１０に示すように、Ｘ軸方向に沿わせたＶ溝３０５ｘが、磨耗防止用のＶ溝板３０６ｘを固着して形成されている。軸受け３３１ｘには、図１０に示すように、軸受け３０４ｘのＶ溝３０５ｘ（Ｖ溝板３０６ｘ）に対向するＶ溝３３４ｘが形成されている。軸受け３３１ｘは、フェライト系のステンレス等を焼入れした材質からなり、耐磨耗性に優れている。ここで、リテーナ３３５ｘで位置決めされた２個のボール３３６ｘ（転動体）をＶ溝３０５ｘ，３３４ｘ間に挟み込ませることにより、軸受け３０４ｘ，３３１ｘは、Ｘ軸方向に沿って１列に配列された２個のボール３３６ｘを有する構造とされている。２個のボール３３６ｘは、図６，図９等に示すように、駆動子３２１ｘ，３２２ｘ直下となる位置付近に位置決めされており、リテーナ３３５ｘによりＸ軸方向の移動が規制されている。なお、転動体としてはボールに限らず、ローラでもよい。
【００４６】
押圧機構３４０ｘは、スペーサ３４３ｘを介して一端がビス３４４ｘによりフレーム３０２に固定されてＸ軸振動子３２０ｘを保持する押圧板３４１ｘと、この押圧板３４１ｘの他端側をフレーム３０２に固定するビス３４５ｘ周りにスペーサ３４６ｘを介して配設されＸ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが摺動板３３２ｘに押圧接触するように押圧板３４１ｘを付勢する押圧ばね３４７ｘとを備える。押圧機構３４０ｘによる押圧力は、１５Ｎ（ニュートン）程度の非常に大きな力に設定されている。
【００４７】
なお、軸受け３３１ｘはボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置（図７〜図９に示すように、２つのボール３３６ｘから等距離で離れた位置）でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール３０７ｘが配設されている。このボール３０７ｘは、図８に示すように、ボール３０７ｘ近傍でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に係止させたばね３０８ｘによる付勢力で凹み内に挟持状態に維持され、フレーム３０２に対するＸ枠３０１の撮影光軸（Ｚ軸）方向の間隔を維持するように位置決めする。ここで、ばね３０８ｘの付勢力は、ボール３０７ｘの挟持状態を維持できればよく、押圧ばね３４７ｘの付勢力に比して数段弱く設定されている。これにより、Ｘ枠３０１と摺動体３３０ｘとからなる移動体３１１ｘは、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる３点支持で移動し得る構成とされている。また、図７に示すように、ボール３０７ｘをボール３３６ｘに対して、撮影光軸及び開口３０１ａを挟んで反対側に配することで、ボール３０７ｘとボール３３６ｘとの距離を離間することができるので、安定した３点支持構造とすることができる。このように本実施の形態によれば、３つのボールで、移動体３１１ｘの移動方向のガイドを行うとともに傾きをも規定することができ、安定した駆動が可能となる。
【００４８】
次に、Ｘ軸振動子３２０ｘと後述の振動子駆動回路３５４との間の電気的接続について説明する。本実施の形態では、Ｘ軸振動子３２０ｘに対する所定の周波電圧信号の給電やフィードバック電極２０６からの検出信号をモニタするためにＸ軸フレキシブルプリント基板（第１のフレキシブルプリント基板）３７０ｘを用いることを基本とする。
【００４９】
まず、Ｘ軸振動子３２０ｘ（振動子２００）側について図３（ｂ）を参照して説明する。Ｘ軸振動子３２０ｘの屈曲振動の振幅方向の上面（振動面）には、接続電極が、節面および節線に対して対称位置および対称形状で第１の接続電極２１０ｘと第２の接続電極２２０ｘとに分割して形成されている。ここで、第１の接続電極２１０ｘは、駆動電極２０２に電気的に接続された駆動用電極２１２ｘとグランド用電極２１１ｘと、フィードバック電極２０６に電気的に接続されたモニタ用電極２１３ｘとの電極群からなり、第２の接続電極２２０ｘは、駆動電極２０３に電気的に接続された駆動用電極２２２ｘとグランド用電極２２１ｘと、フィードバック電極２０６に電気的に接続されたモニタ用グランド電極２２３ｘとの電極群からなる。
【００５０】
このようにＸ軸振動子３２０ｘの第１，第２の接続電極２０ｘ，２２０ｘは、縦振動の振動方向に平行で、かつ、屈曲振動の振動方向に直交する面（図３において、振動子の上面）に形成されている。これは、第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘに接続されるフレキシブルプリント基板によるＸ軸振動子３２０ｘの振動を少なくするためである。
【００５１】
屈曲振動の振動方向に平行な面上（図３において、紙面と平行な面）に第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘを設け、これら第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘにフレキシブルプリント基板を接続すると、フレキシブルプリント基板が屈曲振動の振動方向と平行な面となってＸ軸振動子３２０ｘに取り付けられるため、Ｘ軸振動子３２０ｘの屈曲振動を大きく阻害してしまう。このような構成に比して、本実施の形態のように、第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘは、縦振動の振動方向に平行で、かつ、屈曲振動の振動方向に直交する面に形成することで、フレキシブルプリント基板による振動の阻害を低減することができる。
【００５２】
なお、同様の理由から、第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘは、縦振動の振動方向に垂直な面（図３において、振動子の左右端面）に設けてもよい。
【００５３】
一方、Ｘ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘは、図７に示すように、第１の接続電極２１０ｘに接続される第１の接続端子３７１ｘを有する第１の接続部３７２ｘと、第２の接続電極２２０ｘに接続される第２の接続端子３８１ｘを有する第２の接続部３８２ｘとが固定部３９０ｘから分岐させた接続腕として延出して形成された二又形状のものである。第１の接続端子３７１ｘは、第１の接続電極２１０ｘを構成するそれぞれの電極２１１ｘ，２１２ｘ，２１３ｘに接続されるグランド用接続端子３７３ｘ，駆動用接続端子３７４ｘ、モニタ用接続端子３７５ｘなる端子群からなり、第２の接続端子３８１ｘは、第２の接続電極２２０ｘを構成するそれぞれの電極２２１ｘ，２２２ｘ，２２３ｘに接続されるグランド用接続端子３８３ｘ，駆動用接続端子３８４ｘ、モニタ用接続端子３８５ｘなる端子群からなる。
【００５４】
ここで、Ｘ軸フレキシブル基板３７０ｘの第１の接続部３７２ｘおよび第２の接続部３８２ｘは、それぞれ第１，第２の接続端子３７１ｘ，３８１ｘが第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘに接続された状態で、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節線および節面に対して対称となる位置に配されるように形成されている。また、第１の接続部３７２ｘおよび第２の接続部３８２ｘは、形状的にも、それぞれ第１，第２の接続端子３７１ｘ，３８１ｘが第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘに接続された状態で、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節線および節面を基準として対称な外形形状をなすように形成されている。さらには、端子３７３ｘ，３７４ｘ，３７５ｘからなる第１の接続端子３７１ｘおよび端子３８３ｘ，３８４ｘ，３８５ｘからなる第２の接続端子３８１ｘは、それぞれ第１，第２の接続端子３７１ｘ，３８１ｘが第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘに接続された状態で、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節線および節面を基準として対称なパターン形状をなすように形成されている。
【００５５】
また、固定部３９０ｘは、Ｘ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘをフレーム３０２に取り付けるためのものであり、この固定部３９０ｘも、それぞれ第１，第２の接続端子３７１ｘ，３８１ｘが第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘに接続された状態で、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節線および節面を基準として対称な形状をなすように形成されている。ここで、固定部３９０ｘは、図１０に示すように、折り曲げ部３９１ｘに沿ってＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘを折り曲げることによりフレーム３０２に取り付けられるものであり、フレーム３０２に形成された一対の突起３０２ｘに折り曲げ状態で嵌合する一対の孔３９２ｘ，３９３ｘが位置決め部として形成されている。これら一対の孔３９２ｘ，３９３ｘも、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節線および節面を基準として対称となる位置に形成されている。なお、図１０に示すように折り曲げられた固定部３９０ｘは、両面粘着テープを介在させることにより、あるいは、表面側から粘着テープで押さえることにより、フレーム３０２に固定される。また、固定部３９０ｘには、それぞれの第１，第２の接続端子３７１ｘ，３８１ｘを振動子駆動回路３５４側と接続するための外部接続端子３９４ｘがパターン形成されている。
【００５６】
一方、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙも、基本構造はＸ軸駆動機構部３１０ｘと同様であり、同一または対応する部分には同一符号に添え字ｙを付して示し、説明も省略する。なお、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙは、フレーム３０２に代えてＸ枠３０１を固定部材とし、Ｘ枠３０１に代えてホルダ３８を移動対象とするものであり、ホルダ３８には一体に固定されてホルダ３８とともに駆動対象となる移動体（第２の移動体）３１１ｙを構成する摺動体３３０ｙを備える。なお、Ｙ軸フレキシブルプリント基板３２０ｙ側においては、図１１に示すように、一対の突起３０１ｘが同一面側に形成されており、固定部３９０ｙは折り曲げることなくＸ枠３０１に位置決め固定される。
【００５７】
また、本実施の形態の防振ユニット３００は、ボディユニット１００のＸ軸周りのブレ（ピッチ方向のブレ）を検出するＸ軸ジャイロ３５０ｘとボディユニット１００のＹ軸周りのブレ（ヨー方向のブレ）を検出するＹ軸ジャイロ３５０ｙとがフレーム３０２に配設されている。また、フレーム３０２に配設させたホール素子３５１とホール素子３５１に対向するようにホルダ３８の一部に配設させたマグネット３５２とからなる位置検出センサ３５３を備える。そして、これらＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙおよび位置検出センサ３５３からの信号に基づきＸ軸振動子３２０ｘ、Ｙ軸振動子３２０ｙに対する振動子駆動回路３５４を制御する防振制御回路３５５を備える。防振制御回路３５５は、Ｂｕｃｏｍ５０からの指示に従い制御動作を実行する。
【００５８】
次に、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの動作について説明する。Ｘ軸振動子３２０ｘに所定の周波電圧を印加して駆動子３２１ｘ，３２２ｘに楕円振動を発生させると、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが押圧機構３４０による強い付勢力で摺動板３３２ｘに押圧接触しているので、摺動体３３０ｘは駆動子３２１ｘ，３２２ｘの楕円振動の回転方向に駆動される。
【００５９】
この際、Ｘ軸振動子３２０ｘに加える押圧力は強いため、仮に、摺動体３３０ｘを構成する摺動板３３２ｘや軸受け３３１ｘの剛性が弱いと、図１４中に仮想線で示すように、付与する押圧力により摺動板３３２ｘや軸受け３３１ｘが撓んでしまい、駆動子３２１ｘ，３２２ｘと摺動板３３２ｘとが片当りして動作が不安定になったり、動作しなくなってしまう。
【００６０】
この点、本実施の形態では、摺動体３３０ｘを構成する摺動板３３２ｘおよび軸受け３３１ｘの剛性が高いため、駆動子３２１ｘ，３２２ｘと摺動板３３２ｘとの押圧接触状態が安定し、楕円振動に伴う駆動力が摺動板３３２ｘに確実に伝達され、高効率で楕円振動の回転方向に駆動することができる。この際、摺動板３３２ｘを有する摺動体３３０ｘ側はフレーム３０２に対して面接触ではなく、軸受け３３１ｘ，３０４ｘ部分でのボール３３６ｘによる転動方式で接触しているので、押圧力が強くても摺動体３３０ｘはフレーム３０２に対して摩擦の少ない状態で確実に移動することとなる。そして、軸受け３３１ｘ，３０４ｘは、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなるので、摺動体３３０ｘはＸ軸振動子３２０ｘによる駆動を受けた場合にＸ軸方向にのみ移動する。このように摺動体３３０ｘが移動すると、摺動体３３０ｘが固定されたＸ枠３０１も、摺動体３３０ｘと一体となってＸ軸方向に移動する。すなわち、Ｘ枠３３０ｘの移動方向も、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなる軸受け３３１ｘ，３０４ｘ同士の係合によりガイドされる。
【００６１】
また、Ｘ軸振動子３２０ｘは、駆動電極２０２，２０３にＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘを介して所定の周波電圧信号を印加することで駆動され、駆動中に得られるフィードバック電極２０６からの検出信号はＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘを介してモニタ信号として取り出される。この際、Ｘ軸振動子３２０ｘに対してＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘが接続されているため、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動に少なからず影響を及ぼすこととなる。ここで、本実施の形態では、Ｘ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘの第１，第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘが、それぞれ第１，第２の接続電極２１０ｘ，２２０ｘに接続された状態で、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動の節線および節面に対して対称となる位置に配されるので、Ｘ軸振動子３２０ｘに対してフレキシブルプリント基板３７０ｘを接続することによる影響を、振動の節（節線、節面）を中心として偏りを生ずることなく均等に作用させることができる。よって、振動の節に対して対称な振動を発生させることができ、Ｘ軸振動子３２０ｘの効率が低下することはない。
【００６２】
また、第１，第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘの外形形状も節に対して対称とし、第１，第２の接続端子３７１ｘ，３８１ｘのパターン形状も節に対して対称とし、固定部３９０ｘの形状も節に対して対称とし、さらには、位置決め用の孔３９２ｘ，３９３ｘの位置も節に対して対称とすることにより、Ｘ軸振動子３２０ｘに対してフレキシブルプリント基板３７０ｘを接続することによる影響を、振動の節を中心として偏りを生ずることなく、より一層均等に作用させることができるものとなる。さらには、第１，第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘがＸ軸振動子３２０ｘに対して振動の振幅方向の面（振動面）において接続されているので、振動に対する追従性がよく、この点でも振動阻害を軽減することができる。
【００６３】
なお、本実施の形態では、屈曲振動の節線が縦振動の節面上となるように振動子を振動させている。すなわち、屈曲振動の節の位置と縦振動の節の位置が一致している。よって、フレキシブルプリント基板の形状、接続端子、振動子の接続電極は、屈曲振動の節線および縦振動の節面に対して対称となるように設けている。しかしながら、屈曲振動と縦振動の節の位置がずれている場合は、屈曲振動と縦振動の節のどちらかに対して対称となるように構成すればよい。この場合、縦振動の節の位置（節面の位置）に対して対称となるように構成し、振動子の接続電極を縦振動の振動方向に平行で、かつ、屈曲振動の振動方向に垂直な面とすれば、フレキシブルプリント基板による振動子の振動の阻害を少なくすることができる。これは、フレキシブルプリント基板が取り付けられる面が、縦振動の振動方向に平行な面であるため、縦振動の節位置に対して対称とした方が、縦振動への影響が節位置に対して均等とすることができるためである。
【００６４】
このような動作において、軸受け３３１ｘはボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール３０７ｘが配設され、Ｘ枠３０１と摺動体３３０ｘとからなる移動体３１１ｘが、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる離れた位置での３点支持とされているので、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りの回転による煽りを生ずることなく安定してフレーム３０２上をＸ軸方向に移動する。よって、Ｘ軸振動子３２０ｘに対する強い押圧部分のガイド支持機構が、軸受け３３１ｘ，３０４ｘによるＸ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造で済み、小型化・構造単純化が可能となる。
【００６５】
Ｙ軸駆動機構３１０ｙも、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの場合と同様に動作する。
【００６６】
なお、本実施の形態では、第１，第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘが固定部３９０ｘにより一体化されたＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘを用いるようにしたが、第１，第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘが別個に形成された２枚のＸ軸フレキシブルプリント基板を用いるようにしてもよい。図１５は、この変形例を示す概略正面図であり、第１，第２の接続部３７２ｘ，３８２ｘを別個に有するＸ軸フレキシブルプリント基板３７０ｘａ，３７０ｘｂが用いられている。これに対応して、フレーム３０２には、位置決め用の突起が３０２ｘａ，３０２ｘｂとして形成され、固定部３９０ｘａ，３９０ｘｂにはそれぞれ位置決め部としての孔３９２ｘａ，３９３ｘａ，３９２ｘｂ，３９２ｘｂが形成されている。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】撮像ユニットの構成例を示す縦断側面図である。
【図３】振動子の動作原理を示す模式図である。
【図４】圧電体のみを抽出して示す斜視図である。
【図５】本実施の形態の防振ユニットの構成例を示す分解斜視図である。
【図６】図５に示す各部の形状を簡略化して示す防振ユニットの概略底面図である。
【図７】図６中のＸ軸駆動機構部を抽出して示す概略正面図である。
【図８】図７中のＡ−Ａ線断面図である。
【図９】図６中のＸ軸駆動機構部を抽出し拡大して示す概略底面図である。
【図１０】図９中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】図６中のＹ軸駆動機構部を抽出して示す概略正面図である。
【図１２】図１１中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１３】図１１中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１４】振動子に対する押圧力により撓みが生ずる様子を示す説明図である。
【図１５】変形例を示す概略正面図である。
【符号の説明】
【００６８】
３１  ＣＣＤ
２１０ｘ，２１０ｙ  第１の接続電極
２２０ｘ，２２０ｙ  第２の接続電極
３０１  Ｘ枠
３０２  フレーム
３１１ｘ，３１１ｙ  移動体
３２０ｘ  Ｘ軸振動子
３２０ｙ  Ｙ軸振動子
３２１ｘ，３２２ｘ  駆動子
３２１ｙ，３２２ｙ  駆動子
３７０ｘ，３７０ｙ  フレキシブルプリント基板
３７１ｘ，３７１ｙ  第１の接続端子
３７２ｘ，３７２ｙ  第１の接続部
３８１ｘ，３８１ｙ  第２の接続端子
３８２ｘ，３８２ｙ  第２の接続部
３９０ｘ，３９０ｙ  固定部
３９２ｘ，３９２ｙ，３９３ｘ，３９３ｙ  孔
【図１】
2008220030.tif 000003
【図２】
2008220030.tif 000004
【図３】
2008220030.tif 000005
【図４】
2008220030.tif 000006
【図５】
2008220030.tif 000007
【図６】
2008220030.tif 000008
【図７】
2008220030.tif 000009
【図８】
2008220030.tif 000010
【図９】
2008220030.tif 000011
【図１０】
2008220030.tif 000012
【図１１】
2008220030.tif 000013
【図１２】
2008220030.tif 000014
【図１３】
2008220030.tif 000015
【図１４】
2008220030.tif 000016
【図１５】
2008220030.tif 000017