(57)【要約】【課題】磁気ディスクの高密度化に対応して制御帯域の高い位置決め精度を可能とする。【解決手段】ヘッドスライダ１１を挟んだ一対の圧電素子１２の対角部に形成され、対角部の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部１４ａと制止部１４ｂとから一体的に構成された部材１４では、上面部１４ａが支持部材１３と接合され、一対の圧電素子１２の他方の一対の対角部に形成され、上面部１５ａと制止部１５ｂとから一体的に構成された部材１５では、さらに上面部１５ａが延伸され、一対の圧電素子１２とヘッドスライダ１１とが接合されて、電圧が印加された圧電素子１２によってヘッドスライダ１１が制御されるようになる。【選択図】図１
2008299952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の圧電素子が両側面にそれぞれ配置され、前記一対の圧電素子とともに支持部材に支持されるヘッドスライダにおいて、
前記一対の圧電素子の、前記ヘッドスライダを挟んだ一対の対角部に形成され、前記一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成され、前記上面部が前記支持部材と接合する一対の第１の部材と、
前記一対の圧電素子の他方の一対の対角部に形成され、前記上面部と前記制止部とから一体的に構成され、さらに前記上面部を延伸し、前記一対の圧電素子と前記ヘッドスライダとを接合する一対の第２の部材と、
を有することを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】
前記圧電素子は、ニッケル酸ニオブ酸鉛−チタン酸鉛−ジルコン酸鉛系セラミックスまたはチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスであることを特徴とする請求項１記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記第１の部材および前記第２の部材は、ＳＵＳ材またはプラスチックであることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記第１の部材および前記第２の部材が、さらに前記一対の圧電素子の下面を覆う下面部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記第１の部材および前記第２の部材が、さらに前記一対の圧電素子の他の側面を覆う側面部を有することを特徴とする請求項４記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
磁気ディスクと、ヘッド位置決め機構と、前記ヘッド位置決め機構の先端に取り付けられたサスペンションと、前記サスペンションの先端部に設置され、一対の圧電素子が両側面にそれぞれ配置され、前記一対の圧電素子とともに支持部材に支持されるヘッドスライダと、を備える磁気ディスク装置において、
前記一対の圧電素子の、前記ヘッドスライダを挟んだ一対の対角部に形成され、前記一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成され、前記上面部が前記支持部材と接合する一対の第１の部材と、
前記一対の圧電素子の他方の一対の対角部に形成され、前記上面部と前記制止部とから一体的に構成され、さらに前記上面部を延伸し、前記一対の圧電素子と前記ヘッドスライダとを接合する一対の第２の部材と、
を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はヘッドスライダおよびそれを用いた磁気ディスク装置に関し、特に、一対の圧電素子が両側面にそれぞれ配置され、一対の圧電素子とともに支持部材に支持されるヘッドスライダおよびそれを用いた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク装置は市場の拡大と高性能化にともなって、磁気記録の大容量化が益々重要となってきている。一般に磁気ディスク装置の大容量化は磁気ディスク１枚当たりの磁気記録容量を大きくすることで達成される。しかし、装置の小型化および精密化も考慮すると、磁気ディスクの直径を変えずに、磁気記録容量を大きくするためには、単位長さ当たりのトラック数（ＴＰＩ：Tracks Per Inch）を大きくする、つまり、トラックの幅を狭くして、磁気記録密度を向上させることが不可欠である。このため、トラック方向の磁気ヘッドの位置制御を高精度化させることが不可欠となり、高位置決め精度が可能なアクチュエータが望まれていた。
【０００３】
従来のヘッド位置決めは、ヘッドスライダを保持しているサスペンションが、アームを介し、アームの固定部にあるヘッド位置決め機構により行われていた。そして、従来の記録容量であれば、この方式でも十分カバーできる範囲にあった。しかし、既述の通り、磁気記録密度の高密度化を進めるにあたり、トラックの幅を狭くすると、従来の技術では、磁気ヘッドの位置決めを高精度に行うことができないため、磁気ヘッドの読み取りおよび書き込みに不良が発生する恐れがある。そのため、磁気ヘッドの位置決めを正確に行うためにヘッドスライダを直接移動させるアクチュエータをヘッドスライダとサスペンションとの間や、ヘッドスライダと同一平面（ヘッドスライダの側面部）に配置する方法（例えば、特許文献１参照）が考案されていた。これらのアクチュエータによって、ヘッド位置決め機構とは独立に、サスペンションの先端に取り付けられたヘッドスライダが制御されて、並進動作などをさせることが可能となった。
【特許文献１】特開２００４−１８８５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ヘッドスライダの側面部に配置されたアクチュエータによって、ヘッドスライダを並進移動させると、ヘッドスライダとサスペンションとの共振を励起させてしまい、制御帯域を向上させることが困難になるという問題があった。また、ヘッドスライダの側面部にモノモルフ型のアクチュエータが配置されると、アクチュエータの変形を適切に制御しなければ、ヘッドスライダの変位量の損失、ヘッドスライダの浮上量のばらつきなどが生じるという別の問題点もあった。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、磁気ディスクの高密度化に対応して制御帯域の高い位置決め精度を可能とするヘッドスライダおよびそれを用いた磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では上記課題を解決するために、一対の圧電素子１２が両側面にそれぞれ配置され、一対の圧電素子１２とともに支持部材１３に支持されるヘッドスライダ１１において、図１に示すように、一対の圧電素子１２の、ヘッドスライダ１１を挟んだ一対の対角部に形成され、一対の圧電素子１２の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部１４ａと制止部１４ｂとから一体的に構成され、上面部１４ａが支持部材１３と接合する一対の部材１４と、一対の圧電素子１２の他方の一対の対角部に形成され、上面部１５ａと制止部１５ｂとから一体的に構成され、さらに上面部１５ａを延伸し、一対の圧電素子１２とヘッドスライダ１１とを接合する一対の部材１５と、を有することを特徴とするヘッドスライダ１１が提供される。
【０００７】
このようなヘッドスライダによれば、ヘッドスライダを挟んだ一対の圧電素子の対角部に形成され、対角部の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成された部材では、上面部が支持部材と接合され、一対の圧電素子の他方の一対の対角部に形成され、上面部と制止部とから一体的に構成された部材では、さらに上面部が延伸され、一対の圧電素子とヘッドスライダとが接合されて、電圧が印加された圧電素子によってヘッドスライダが制御されるようになる。
【０００８】
また、本発明では上記課題を解決するために、磁気ディスクと、ヘッド位置決め機構と、前記ヘッド位置決め機構の先端に取り付けられたサスペンションと、前記サスペンションの先端部に設置され、一対の圧電素子が両側面にそれぞれ配置され、前記一対の圧電素子とともに支持部材に支持されるヘッドスライダと、を備える磁気ディスク装置において、前記一対の圧電素子の、前記ヘッドスライダを挟んだ一組の対角部に形成され、前記一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成され、前記上面部が前記支持部材と接合する一対の第１の部材と、前記一対の圧電素子の他方の一組の対角部に形成され、前記上面部と前記制止部とから一体的に構成され、さらに前記上面部を延伸し、前記一対の圧電素子と前記ヘッドスライダとを接合する一対の第２の部材と、を有することを特徴とする磁気ディスク装置が提供される。
【０００９】
このような磁気ディスク装置によれば、一対の圧電素子の、ヘッドスライダを挟んだ一組の対角部に、一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成され、上面部が支持部材と接合する一対の部材と、一対の圧電素子の他方の一対の対角部に、上面部と制止部とから一体的に構成され、さらに上面部が延伸され、一対の圧電素子とヘッドスライダとを接合する一対の部材と、が形成されるようになる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、一対の圧電素子の、ヘッドスライダを挟んだ一対の対角部に形成され、一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成される部材では、上面部が支持部材と接合し、一対の圧電素子の他の一対の対角部に形成され、上面部と制止部とから一体的に構成される部材では、さらに上面部を延伸し、一対の圧電素子とヘッドスライダとを接合して、電圧が印加された圧電素子がヘッドスライダを制御するようにした。これにより、広い制御帯域で高精度の位置決めを安定して行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されない。
まず、本発明の概要について図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は、本発明の概念図である。
図１は、ヘッドスライダ１１を支持する支持部材１３の先端部を拡大して示した先端要部１０である。なお、図１では、便宜上、ヘッドスライダ１１を支持部材１３に接合しようとしているところを示している。
【００１３】
この先端要部１０のヘッドスライダ１１は、両側面に圧電素子１２が配置されている。さらに、ヘッドスライダ１１を挟んだ圧電素子１２の対角部にて、圧電素子１２の上面の端部と、ヘッドスライダ１１と同一平面であって、圧電素子１２の側面とをそれぞれ覆う上面部１４ａと制止部１４ｂとから一体的に構成される部材１４が、そして、ヘッドスライダ１１を挟んだ圧電素子１２の他方の対角部に同様に圧電素子１２の上面の端部と、ヘッドスライダ１１と同一平面であって、圧電素子１２の側面とをそれぞれ覆う上面部１５ａと制止部１５ｂとから一体的に構成され、さらに上面部１５ａを延伸し、ヘッドスライダ１１と圧電素子１２とを接合する部材１５が形成されている。そして、このような構成を成すヘッドスライダ１１は、接着剤（不図示）などにより一対の部材１４の上面部１４ａと支持部材１３とが接合されて、支持される。
【００１４】
さらに、別の視点からの先端要部１０の構成について以下に説明する。
図２は、本発明の支持部材に支持されるヘッドスライダの断面模式図である。
ヘッドスライダ１１に対して、図１に示した切断線（Ａ）および切断線（Ｂ）での切断面について図２（Ａ）および図２（Ｂ）にそれぞれ示している。なお、図１では、ヘッドスライダ１１と支持部材１３とが接合しようとしているところを示したが、図２では、ヘッドスライダ１１と支持部材１３とが接合したものを切断したとする。
【００１５】
図２（Ａ）の断面模式図から、ヘッドスライダ１１と圧電素子１２とは接着剤１６により部材１５の上面部１５ａを介して接合されており、圧電素子１２と支持部材１３とは接着剤１６により部材１４の上面部１４ａを介して接合されていることがわかる。
【００１６】
また、図２（Ｂ）の断面模式図から、圧電素子１２に、上面部１４ａと制止部１４ｂとが一体的に形成された部材１４と、上面部１５ａと制止部１５ｂとが一体的に形成された部材１５とが接着剤１６を介して接合されており、圧電素子１２と支持部材１３とは接着剤１６により部材１４の上面部１４ａを介して接合されていることがわかる。
【００１７】
次に、このような構成をなすヘッドスライダ１１について、一対の圧電素子１２による制御原理について図面を参照して以下に説明する。
図３は、本発明のヘッドスライダの制御原理を示す平面模式図である。
【００１８】
図３は、本発明の一対の圧電素子１２が両側面に配置されたヘッドスライダ１１の平面模式図を示しており、図３（Ａ）が未制御時、図３（Ｂ）が制御時のヘッドスライダ１１をそれぞれ表している。なお、支持部材１３の記載は省略しているが、既述の通り、一対の部材１４の上面部１４ａが支持部材１３と接合している。
【００１９】
まず、図３（Ａ）に示すように、ヘッドスライダ１１の未制御時は、図１で既に説明したように、ヘッドスライダ１１の両側面に圧電素子１２が配置されて、ヘッドスライダ１１を挟んだ圧電素子１２の対角部に上面部１４ａと制止部１４ｂとから一体的に構成された部材１４が、ヘッドスライダ１１を挟んだ圧電素子１２の他方の対角部に、ヘッドスライダ１１と圧電素子１２とを接合する上面部１５ａと制止部１５ｂとから一体的に構成された部材１５がそれぞれ形成されている。そして、圧電素子１２に形成された一対の部材１４の上面部１４ａと支持部材１３とを接合することで構成される。
【００２０】
そして、この未制御時のヘッドスライダ１１の両側面に配置された圧電素子１２に電圧を印加する。
図３（Ｂ）に示すように、電圧が印加された圧電素子１２は変位が生じ収縮する。このとき圧電素子１２の端部は一対の部材１４の上面部１４ａにて支持部材１３と接合し固定されていて、一方、圧電素子１２の他方の端部は部材１５の上面部１５ａを介してヘッドスライダ１１と接合している。したがって、圧電素子１２の端部が固定されて、他方の端部が収縮すると、上面部１５ａを介してヘッドスライダ１１を、重心を中心として回転動作させることができる。
【００２１】
なお、圧電素子１２の変位を利用して、ヘッドスライダ１１を回転動作させると、圧電素子１２に上下のたわみが発生する。このたわみはヘッドスライダ１１の制御帯域の損失や浮上量のばらつきなどの原因となる。ところが、これまでの説明や、既出の図２などに示した通り、圧電素子１２の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部１４ａおよび制止部１４ｂ、上面部１５ａおよび制止部１５ｂから一体的に構成される部材１４と部材１５とが形成されている。この部材１４および部材１５の制止部１４ｂおよび制止部１５ｂにより、発生した変位による圧電素子１２の上下へのたわみを抑制させることができる。このため、圧電素子１２によってヘッドスライダ１１を安定して制御することができる。なお、この制止部１４ｂおよび制止部１５ｂの効果については後ほど実施の形態にて改めて説明する。
【００２２】
以上から、両側面に圧電素子１２が設置されたヘッドスライダ１１にて、ヘッドスライダ１１を挟んだ圧電素子１２の対角部に、上面部１４ａと制止部１４ｂとから一体的に構成される部材１４と、同様に上面部１５ａと制止部１５ｂとから一体的に構成され、さらに上面部１５ａが延伸されてヘッドスライダ１１と圧電素子１２とを接合する部材１５とをそれぞれ形成し、部材１４の上面部１４ａを介して支持部材１３と接合すると、電圧を印加された圧電素子１２の収縮によって、ヘッドスライダ１１を回転動作させることができるとともに、変位発生による圧電素子１２の上下へのたわみを抑制することが可能となる。したがって、広い制御帯域で高精度の位置決めを安定して行うことが可能となる。
【００２３】
次に本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図４は、本実施の形態における磁気ディスク装置の平面模式図である。
磁気ディスク装置５０は、図４に示すように、回転軸５２に接続された磁気ディスク５１と、電磁アクチュエータ５５と連動して、アーム軸５４を軸に円弧を描くように動作するアーム５３と、アーム５３に一体的に接続されたサスペンション２０と、サスペンション２０の先端部に設置されたヘッドスライダ２１とにより構成される。以下、各構成について説明する。
【００２４】
磁気ディスク５１は、記録表面に磁性体を塗布した円板状の記録媒体である。回転軸５２を軸に回転して、ヘッドスライダ２１に取り付けられた磁気ヘッド（不図示）によって、記録表面に磁気的に情報が記録または記録された情報が再生される。
【００２５】
回転軸５２は、接続された磁気ディスク５１を所定の速度で回転制御することができる。
アーム５３は、アルミ合金またはステンレスにて形成されていて、電磁アクチュエータ５５とサスペンション２０とに接続しており、アーム軸５４を軸に円弧を描くように動作する。
【００２６】
電磁アクチュエータ５５は、ロータリアクチュエータ（不図示）と接続されている。このロータリアクチュエータによって、ヘッドスライダ２１に取り付けられた磁気ヘッドから得られる位置情報を電磁アクチュエータ５５にフィードバックすることで、磁気ヘッドのトラック位置決めを行うことができる。
【００２７】
サスペンション２０は、先端部のジンバル（不図示）によって、ヘッドスライダ２１を支持するステンレス製の板ばねである。そして、サスペンション２０には、樹脂配線層により覆われた金属配線にて構成されるプリント配線基板（不図示）が接着されている。
【００２８】
ヘッドスライダ２１は、サスペンション２０の先端部のジンバルに支持されて、プリント配線基板と電気的に接続して、磁気ヘッドが取り付けられ、磁気ディスク５１と対向するように位置しており、磁気ディスク５１の記録表面上を数ｎｍから数十ｎｍの高さで浮上して滑走する。なお、ヘッドスライダ２１について、さらに以下に詳細な説明を加える。
【００２９】
図５は、本実施の形態におけるヘッドスライダの平面模式図および側面模式図である。
図５は、両側面に圧電アクチュエータ２２などが形成されたヘッドスライダ２１の平面（図５（Ａ））および側面（図５（Ｂ）、図５（Ｃ））の模式図である。なお、ヘッドスライダ２１の上面側（サスペンション２０側）を＋ｚ軸方向（紙面垂直方向）、一対の圧電アクチュエータ２２の垂直方向を＋ｘ軸方向（紙面に平行で上方向）、ｘ軸およびｚ軸に直角方向を＋ｙ軸方向（紙面に平行で右方向）とする。
【００３０】
図５（Ａ）の平面模式図（ｙ−ｘ平面）に示すように、ヘッドスライダ２１は両側面に圧電アクチュエータ２２が配置されている。さらに、ヘッドスライダ２１を挟んだ圧電アクチュエータ２２の対角部に、圧電アクチュエータ２２の上面の長手方向の端部と、ヘッドスライダ２１と同一平面である、圧電アクチュエータ２２の側面とをそれぞれ覆う上面部２３ａと制止部２３ｂとから一体的に構成される部材２３が、そして、ヘッドスライダ２１を挟んだ圧電アクチュエータ２２の他方の対角部に、同様に圧電アクチュエータ２２の上面の他方の端部と、ヘッドスライダ２１と同一平面である、圧電アクチュエータ２２の側面とをそれぞれ覆う上面部２４ａと制止部２４ｂとから一体的に構成され、さらに上面部２４ａを延伸し、ヘッドスライダ２１と圧電アクチュエータ２２とを接合する部材２４が形成されている。そして、このような構成を成すヘッドスライダ２１は、接着剤２６により部材２３の上面部２３ａとサスペンション２０のジンバルとが接合されて、支持される。
【００３１】
このようなヘッドスライダ２１の構成要素である圧電アクチュエータ２２は、例えば、圧電材料としてニッケル酸ニオブ酸鉛（ＰＮＮ）−チタン酸鉛（ＰＴ）−ジルコン酸鉛（ＰＺ）をベースとするセラミックスグリーンシート上に、電極材料として白金（Ｐｔ）を、例えば９層スクリーン印刷し、一枚一枚は厚み方向の分極が逆になるように交互に積層し固着する。その後、１０５０℃の大気中で焼成し、素子の幅で切断して、圧電アクチュエータ２２が得られる。そして、この圧電アクチュエータ２２のヘッドスライダ２１側にＳＵＳ板２５を取り付けた。なお、ここでは圧電材料として、ＰＮＮ−ＰＴ−ＰＺをベースとしたセラミックスを利用した場合を例にして説明したが、一般に知られているチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などを用いてもよい。また、電極材料としてＰｔを用いたが他の一般的に利用されている電極材料でもよい。
【００３２】
なお、ヘッドスライダ２１の各構成要素のサイズ等は、例えば以下の通りである。ヘッドスライダ２１は７００μｍ×８５０μｍ×２４０μｍ（縦×横×厚さ、以下同様）、圧電アクチュエータ２２は１５０μｍ×８５０μｍ×２４０μｍ、部材２３の上面部２３ａは１５０μｍ×１２０μｍ×２０μｍ、部材２４の上面部２４ａは５８０μｍ×１２０μｍ×２０μｍ、部材２３および部材２４の制止部２３ｂおよび制止部２４ｂは１５０μｍ×２４０μｍ×２０μｍ、ＳＵＳ板２５は２０μｍ×６８０μｍ×２４０μｍとする。
【００３３】
図５（Ｂ）は図５（Ａ）の平面模式図の側面模式図（ｚ−ｘ平面）であって、ヘッドスライダ２１は、部材２４の上面部２４ａと接着剤１６を介して接合されていることがわかる。
【００３４】
図５（Ｃ）は図５（Ａ）の平面模式図の側面模式図（ｙ−ｚ平面）であって、複数積層されて構成される圧電アクチュエータ２２が部材２３および部材２４と接着剤２６を介して接合されていることがわかる。
【００３５】
このような磁気ディスク装置５０は、電磁アクチュエータ５５による駆動によって、アーム５３を介して、サスペンション２０に設置されたヘッドスライダ２１を磁気ディスク５１の記録表面に対して接近または離間させて記録表面のサーボ情報を利用して、ヘッドスライダ２１の位置および浮上量の制御を行うことができる。そして、電磁アクチュエータ５５とは独立にヘッドスライダ２１を圧電アクチュエータ２２にて制御することができる。すなわち、両側面に圧電アクチュエータ２２が設置されたヘッドスライダ２１にて、ヘッドスライダ２１を挟んだ圧電アクチュエータ２２の対角部に、上面部２３ａと制止部２３ｂとから一体的に構成される部材２３と、同様に上面部２４ａと制止部２４ｂとから一体的に構成され、さらに上面部２４ａが延伸されてヘッドスライダ２１と圧電アクチュエータ２２とを接合する部材２４とをそれぞれ形成し、部材２３の上面部２３ａを介してジンバルと接合すると、電圧を印加された圧電アクチュエータ２２の収縮によって、上面部２４ａを介してヘッドスライダ２１を、重心を中心として回転動作させて制御する。
【００３６】
なお、ヘッドスライダ２１の回転動作に圧電アクチュエータ２２の変位を利用すると、圧電アクチュエータ２２に、ヘッドスライダ２１の制御帯域の損失や浮上量のばらつきなどの原因となる上下のたわみが発生するが、部材２３および部材２４の制止部２３ｂおよび制止部２４ｂにより、圧電アクチュエータ２２のたわみを低減させることができる。
【００３７】
次に、圧電アクチュエータ２２による制御の際のヘッドスライダ２１の変位や圧電アクチュエータ２２のたわみについて、部材２３および部材２４の制止部２３ｂおよび制止部２４ｂの有無に応じてシミュレーションを行った結果を参照して説明する。
【００３８】
図６、図７は、本実施の形態における圧電アクチュエータが配置されたヘッドスライダの制御時のシミュレーションの結果である。
図６、図７では、圧電アクチュエータ２２が配置されたヘッドスライダ２１の平面および側面の模式図についてそれぞれ示している。また、各図面のシミュレーション結果は、圧電アクチュエータ２２のたわみ量やヘッドスライダ２１の変位量を白黒の濃淡で表し、色が濃いほどたわみ量や変位量が大きいことを示す。なお、各図面において、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂが無い場合を“（Ａ）”に、有る場合を“（Ｂ）”にそれぞれ示しており、図５と同様に、ヘッドスライダ２１は上面方向をｚ軸方向、一対の圧電アクチュエータ２２の垂直方向をｘ軸方向、ｘ軸およびｚ軸に直角方向をｙ軸方向とする。
【００３９】
まず、図６に示す圧電アクチュエータ２２が配置されたヘッドスライダ２１（ｙ−ｘ平面）の制御時について説明する。
制止部２３ｂおよび制止部２４ｂが無い場合（図６（Ａ））、圧電アクチュエータ２２の収縮によって、上面部２４ａを介してヘッドスライダ２１が重心を中心として回転させられることから、ｘ軸の減少方向および、ｘ軸の増加方向に進むほど変位が生じており、この最大の変位量は１０４ｎｍであった。
【００４０】
一方、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂが有る場合（図６（Ｂ））は、図６（Ａ）と同様に変位が生じているが、図６（Ａ）よりも変位量が増加しており、最大の変位量は、図６（Ａ）と比較して約１０％増の１１７ｎｍであった。したがって、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂを設置することにより、ヘッドスライダ２１の変位量が向上したことがわかる。
【００４１】
次に、図７に示す圧電アクチュエータ２２が配置されたヘッドスライダ２１（ｙ−ｚ平面）の制御時について説明する。
制止部２３ｂおよび制止部２４ｂが無い場合（図７（Ａ））、ヘッドスライダ２１の回転動作に起因した圧電アクチュエータ２２は、ｙ軸の増加方向、およびｚ軸の増加方向に進むほど、大きなたわみが生じており、この最大のたわみ量はｙ軸方向に７４．５ｎｍ、ｚ軸方向に２４．７ｎｍであった。
【００４２】
一方、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂが有る場合（図７（Ｂ））は、図７（Ａ）と同様にたわみが生じているが、図７（Ａ）よりもたわみ量が低減しており、最大のたわみ量は、図７（Ａ）と比較してｙ軸方向に約４５％減の４０．５ｎｍ、ｚ軸方向に約９５％減の１．１３ｎｍであった。すなわち、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂを設置することで圧電アクチュエータ２２のｙ軸方向およびｚ軸方向へのたわみが抑制されていることがわかる。
【００４３】
また、図示していないが、図６、図７と同様に、圧電アクチュエータ２２が配置されたヘッドスライダ２１（ｘ−ｚ平面）の制御時についてもシミュレーションを行った。この結果によれば、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂが無い場合のヘッドスライダ２１のｚ軸方向の最大の変化量は３４６ｎｍであったのに対して、有る場合の最大の変位量は約４２％減の２４２ｎｍであった。なお、この結果は磁気ディスクの回転を考慮しておらず、実際にはヘッドスライダ２１が回転する磁気ディスク５１から空気ばねによって押し付けられて、わずかに浮上することを鑑みると、この結果ほどではないとしても、ヘッドスライダ２１のｚ軸方向への変位を減少させる効果を得られることがわかる。
【００４４】
したがって、制止部２３ｂおよび制止部２４ｂを設置することによって、圧電アクチュエータ２２のｚ軸方向およびｙ軸方向へのたわみが抑制されることによって、ヘッドスライダ２１の上下への変位が防止されて、制御帯域が向上することがわかる。
【００４５】
なお、部材２３および部材２４はＳＵＳ材またはプラスチックなどによって上面部２３ａおよび制止部２３ｂ、上面部２４ａおよび制止部２４ｂからそれぞれ一体的に構成される。もしくは、ＳＵＳ材やプラスチックを用いて別々に形成された上面部２３ａと制止部２３ｂとを接合させることで部材２３および部材２４を構成するようにしてもよい。また、次に部材の別の形状について説明する。
【００４６】
図８は、本実施の形態における部材の別の形状の斜視模式図である。
本実施の形態の部材２３および部材２４は断面がＬ字の形状の場合を例にあげて説明した。これと同様の効果を得ることができるその他の形状として、まず図８（Ａ）に示すように、部材３３および部材３４の断面がコ字の形状を成している場合について説明する。部材３３および部材３４では、これまでと同様に、上面部３３ａおよび制止部３３ｂ、上面部３４ａおよび制止部３４ｂを形成して、さらに、圧電アクチュエータ２２の下面を覆う下面部３３ｃおよび下面部３４ｃを新たに形成するようにしている。
【００４７】
また、図８（Ｂ）に示す部材４３および部材４４では、“キャップ型”の形状をなしており、すなわち、図８（Ａ）の部材３３および部材３４に対して、さらに圧電アクチュエータ２２の側面を覆う側面部３３ｄおよび側面部３４ｄを新たに形成するようにしている。
【００４８】
なお、図８（Ａ）および図８（Ｂ）ともに一体的に形成また別々に形成し接合するようにしてもよい。
以上から、両側面に圧電アクチュエータ２２が設置されたヘッドスライダ２１にて、ヘッドスライダ２１を挟んだ圧電アクチュエータ２２の対角部に、上面部２３ａと制止部２３ｂとから一体的に構成される部材２３と、同様に上面部２４ａと制止部２４ｂとから一体的に構成され、さらに上面部２４ａが延伸されてヘッドスライダ２１と圧電アクチュエータ２２とを接合する部材２４とをそれぞれ形成し、部材２３の上面部２３ａを介してサスペンション２０のジンバルと接合すると、電圧を印加された圧電アクチュエータ２２の収縮によって、ヘッドスライダ２１を回転動作させることができるとともに、変位発生による圧電アクチュエータ２２の上下へのたわみを低減することが可能となる。したがって、広い制御帯域で高精度の位置決めを安定して行うことが可能となる。
【００４９】
（付記１）  一対の圧電素子が両側面にそれぞれ配置され、前記一対の圧電素子とともに支持部材に支持されるヘッドスライダにおいて、
前記一対の圧電素子の、前記ヘッドスライダを挟んだ一対の対角部に形成され、前記一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成され、前記上面部が前記支持部材と接合する一対の第１の部材と、
前記一対の圧電素子の他方の一対の対角部に形成され、前記上面部と前記制止部とから一体的に構成され、さらに前記上面部を延伸し、前記一対の圧電素子と前記ヘッドスライダとを接合する一対の第２の部材と、
を有することを特徴とするヘッドスライダ。
【００５０】
（付記２）  前記圧電素子は、ニッケル酸ニオブ酸鉛−チタン酸鉛−ジルコン酸鉛系セラミックスまたはチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスであることを特徴とする付記１記載のヘッドスライダ。
【００５１】
（付記３）  前記第１の部材および前記第２の部材は、ＳＵＳ材またはプラスチックであることを特徴とする付記１又は２に記載のヘッドスライダ。
（付記４）  前記第１の部材および前記第２の部材は、別々に形成した前記上面部と前記制止部とを接合していることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載のヘッドスライダ。
【００５２】
（付記５）  前記第１の部材および前記第２の部材が、さらに前記一対の圧電素子の下面を覆う下面部を有することを特徴とする付記１乃至４記載のヘッドスライダ。
（付記６）  前記第１の部材および前記第２の部材が、さらに前記一対の圧電素子の他の側面を覆う側面部を有することを特徴とする付記５記載のヘッドスライダ。
【００５３】
（付記７）  磁気ディスクと、ヘッド位置決め機構と、前記ヘッド位置決め機構の先端に取り付けられたサスペンションと、前記サスペンションの先端部に設置され、一対の圧電素子が両側面にそれぞれ配置され、前記一対の圧電素子とともに支持部材に支持されるヘッドスライダと、を備える磁気ディスク装置において、
前記一対の圧電素子の、前記ヘッドスライダを挟んだ一対の対角部に形成され、前記一対の圧電素子の上面と側面とをそれぞれ覆う上面部と制止部とから一体的に構成され、前記上面部が前記支持部材と接合する一対の第１の部材と、
前記一対の圧電素子の他方の一対の対角部に形成され、前記上面部と前記制止部とから一体的に構成され、さらに前記上面部を延伸し、前記一対の圧電素子と前記ヘッドスライダとを接合する一対の第２の部材と、
を有することを特徴とする磁気ディスク装置。
【００５４】
（付記８）  前記圧電素子は、ニッケル酸ニオブ酸鉛−チタン酸鉛−ジルコン酸鉛系セラミックスまたはチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスであることを特徴とする付記７記載の磁気ディスク装置。
【００５５】
（付記９）  前記第１の部材および前記第２の部材は、ＳＵＳ材またはプラスチックであることを特徴とする付記７又は８に記載の磁気ディスク装置。
（付記１０）  前記第１の部材および前記第２の部材は、別々に形成した前記上面部と前記制止部とを接合していることを特徴とする付記７乃至９のいずれか１項に記載の磁気ディスク装置。
【００５６】
（付記１１）  前記第１の部材および前記第２の部材が、さらに前記一対の圧電素子の下面を覆う下面部を有することを特徴とする付記７乃至１０記載の磁気ディスク装置。
（付記１２）  前記第１の部材および前記第２の部材が、さらに前記一対の圧電素子の他の側面を覆う側面部を有することを特徴とする付記１１記載の磁気ディスク装置。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の概念図である。
【図２】本発明の支持部材に支持されるヘッドスライダの断面模式図である。
【図３】本発明のヘッドスライダの制御原理を示す平面模式図である。
【図４】本実施の形態における磁気ディスク装置の平面模式図である。
【図５】本実施の形態におけるヘッドスライダの平面模式図および側面模式図である。
【図６】本実施の形態における圧電アクチュエータが配置されたヘッドスライダの制御時のシミュレーションの結果（その１）である。
【図７】本実施の形態における圧電アクチュエータが配置されたヘッドスライダの制御時のシミュレーションの結果（その２）である。
【図８】本実施の形態における部材の別の形状の斜視模式図である。
【符号の説明】
【００５８】
１０  先端要部
１１  ヘッドスライダ
１２  圧電素子
１３  支持部材
１４，１５  部材
１４ａ，１５ａ  上面部
１４ｂ，１５ｂ  制止部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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