(57)【要約】  【課題】マルチヘッドの描画装置へのラスターデータの転送時間や描画装置でのラスターデータの処理時間を短縮して、効率のよいＬＣＤパネル等の製造を可能にする。  【解決手段】ベクトル表記される設計データの構成要素を部品として扱い、部品のラスターデータと部品の位置を示すレイアウト情報とを持つことによりラスターデータを保持し、かつ、各記録ヘッド毎のラスターデータを作成する際に、部品とレイアウト情報を持った場合と、レイアウト情報に応じて部品を配列して合成した場合とのデータ量を推測し、その推測結果に応じて、ラスターデータを部品で作成するか合成したデータを作成するかを判別することにより、前記課題を解決する。【選択図】図２
2008225187.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に描画する画像をベクトル形式で表記してなる設計データをラスタライズして、前記基板への描画に対応する１面のラスターデータを作成し、この１面のラスターデータから、複数の記録ヘッドを有する描画装置の各記録ヘッドに対応する個別のラスターデータを作成するに際し、
前記設計データを構成する構成要素から、繰り返し記述される構成要素の少なくとも１種を抽出して、抽出した構成要素は１種につき１個のみをラスタライズして部品ラスターデータに変換し、かつ、前記設計データから抽出しなかった構成要素もラスタライズして部品ラスターデータに変換して、さらに、各構成要素の前記基板上における位置を示すレイアウト情報を作成することにより、前記１面のラスターデータを作成し、
前記１面のラスターデータから前記個別のラスターデータを作成する際に、対応する記録ヘッドによる描画領域に応じて、必要に応じて切り出した前記部品ラスターデータを、前記レイアウト情報に応じて配置して画像を合成した際のデータ量を演算する第１の演算と、対応する記録ヘッドによる描画領域に応じて、この描画領域に配置される構成要素の部品ラスターデータの合計のデータ量を演算する第２の演算を行い、
第１の演算および第２の演算によるデータ量の演算結果から、各記録ヘッド毎に、第１の演算および第２の演算のいずれかに対応する前記個別のラスターデータを作成することを特徴とするデータ作成方法。
【請求項２】
部品ラスターデータを圧縮し、前記第１の演算および第２の演算は、圧縮した部品ラスターデータで行なう請求項１に記載のデータ作成方法。
【請求項３】
基板に描画する画像をベクトル形式で表記してなる設計データをラスタライズして、前記基板への描画に対応する１面のラスターデータを作成し、この１面のラスターデータから、複数の記録ヘッドを有する描画装置の各記録ヘッドに対応する個別のラスターデータを作成するデータ作成装置であって、
基板に描画する画像をベクトル形式で表記してなる設計データから、繰り返し記述されている構成要素を少なくとも１種抽出し、前記抽出した構成要素については１種に付き１個の構成要素をラスタライズして部品ラスターデータとし、かつ、抽出しなかった構成要素もラスタライズして部品ラスターデータとし、さらに、各構成要素の前記基板上における位置を示すレイアウト情報を作成して、部品ラスターデータとレイアウト情報とからなる、前記基板への描画に対応する１面のラスターデータを作成する変換手段と、
前記描画装置の各記録ヘッドによる描画領域に応じて、必要に応じて切り出した前記部品ラスターデータを、前記レイアウト情報に応じて配置して画像を合成した際のデータ量を各記録ヘッド毎に演算する第１演算手段と、
前記描画装置の各記録ヘッドによる描画領域に応じて、この描画領域に配置される構成要素の部品ラスターデータの合計データ量を各記録ヘッド毎に演算する第２演算手段と、
第１演算手段および第２演算手段による演算結果に応じて、各記録ヘッド毎に、第１演算手段および第２演算手段のいずれかに対応する前記個別のラスターデータを作成するデータ作成手段とを有することを特徴とするデータ作成装置。
【請求項４】
前記変換手段が前記部品ラスターデータの圧縮を行ない、前記第１演算手段および第２演算手段は、圧縮状態の部品ラスターデータで演算を行なう請求項３に記載のデータ作成装置。
【請求項５】
前記データ作成手段は、第１演算手段によるデータ量から第２演算手段によるデータ量を減算して、その差が所定の閾値未満である場合には前記第１演算手段に対応する個別ラスターデータを作成し、その差が所定の閾値以上で有る場合には前記第２演算手段に対応する個別ラスターデータを作成する請求項３または４に記載のデータ作成装置。
【請求項６】
前記データ作成手段は、第１演算手段によるデータ量および第２演算手段によるデータ量から、それぞれのデータの前記描画装置への転送時間、および、前記描画装置でのデータの処理時間を算出して、合計し、合計時間が短い方の演算手段に対応して前記個別のラスターデータを作成する請求項３または４に記載のデータ作成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイやプリント配線板等を作成するために基板に描画する描画システムにおいて、描画装置へ転送するデータ量を低減して、転送時間を短縮し、これにより、生産性を向上できるデータ作成方法およびデータ作成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板等の製造工程において、プリント配線基板となる基板の露光を、画像データに応じて変調した記録光で行なうデジタルの露光装置が知られている。また、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルの製造においても、ＴＦＴ等を作成するための基板の露光を、画像データに応じて変調した記録光で行なうデジタルの露光装置が望まれている。
デジタル露光装置を用いたＬＣＤパネル等の製造においては、設計者が作成した設計データから、デジタル露光装置（以下、露光装置とする）での画像露光用の画像データ（以下、露光データとする）を作成するためのラスターデータを作成する必要がある。
【０００３】
このようなＬＣＤパネル等の製造においては、まず、ＣＡＤ(Computer Aided Design)等の設計ツールを用いて、ＬＣＤパネルなどの製造する製品の設計を行う。
ここで、デジタル露光装置での画像露光では、生産性を向上するために、１枚の基板で複数の製品を作製することが考えられる。
そのため、設計者は、露光対象となる基板のサイズ（シートサイズ）に応じて、設計した製品（製品のデータ）を、複数、割り付けて、露光装置で露光する画像に対応する設計データとする。例えば、Ｇ５（第５世代）の基板（１３００×１１００ｍｍ）を用いて１５インチのＬＣＤパネルを製造する際であれば、一例として、設計した１５インチのＬＣＤパネルのデータを４×４で１６個を基板に割り付けて、露光装置での画像露光に対応する設計データとする。
【０００４】
この設計ツールによる設計データは、例えば、ＧＤＩIIと呼ばれるデータフォーマットや、ＲＳ−２７４Ｘと呼ばれるデータフォーマットによるものであり、通常、ベクトルで記述されたデータ（ベクトル形式の画像データ）である。そのため露光装置での画像露光（描画）を可能にするために、ベクトルで記述されたデータをラスタライズ（ラスターデータ（ビットマップデータ）に変換）して、ラスターデータとして露光装置に転送する必要がある。
デジタル露光装置によって基板の露光を行なうシステムでは、設計データをラスタライズした後、必要に応じて、このラスターデータを圧縮して、露光装置に転送する。ラスターデータを受けた露光装置は、ラスターデータに、解凍や各種のデータ処理等の必要な処理を行なって、自身が有する露光ヘッド（露光光学系）による画像露光に対応する露光データを作成して、この露光データによって基板の露光を行なう。
【０００５】
当然のことであるが、画像露光を行なわれる基板が大型化すると、それに応じて、データ量が増加する。例えば、Ｇ８の基板を用いる場合であれば、２２００×２４００ｍｍサイズの基板に０．５μｍや０．２５μｍといった解像度で描画を行なう。そのため、ラスターデータのデータ量は、非常に膨大なものになる。
この膨大なデータ量のラスターデータの露光装置への転送は、非常に時間がかかり、これが生産効率を低下する一因となっている。
【０００６】
このような不都合を回避して、ラスターデータのデータ量を低減し、かつ、ラスターデータへの変換や圧縮を高速で行なうことが可能な方法として、設計データを構成する構成要素を、設計データ（基板に露光する画像）を構成する部品と見なし、設計データで繰り返し記述されている部品（すなわち、基板に複数個が露光される部品）に関しては、１個のみをラスターデータとして、各部品のラスターデータと、各部品の基板上における位置を示す情報であるレイアウト情報を保持することで、設計データに対応するすなわち基板に露光するビットマップデータを保持する方法が、特許文献１に開示されている。
この方法によれば、基板に複数露光する部品に関しては、ラスターデータを１個にすることができるので、基板に露光する画像のラスターデータの量を低減できる。
【０００７】
例えば、前述のＧ５（１３００×１１００ｍｍ）の基板に、１５インチのＬＣＤパネルを４×４で１６個を基板に割り付けて、ＬＣＤパネルを製造する場合であれば、ＬＣＤパネルを繰り返し記述される部品と見なして、１個の１５インチのＬＣＤパネルのラスターデータと、それ以外のＬＣＤパネルを囲む枠などの部品のラスターデータと、レイアウト情報とを持つことで、基板に露光する画像に対応するラスターデータを保持できるので、ラスターデータの量を大幅に低減することができる。
【０００８】
ところで、前述のような大きな基板に、高解像度の画像を露光可能な装置として、特許文献２に示されるように、デジタル・マイクロミラー・デバイス(ＤＭＤ(Digital Micromirror Device))等の空間光変調素子を用いる露光ユニットを、複数、配列（基板の走査方向と直交する方向に配列）してなる露光装置が知られている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２５４１９０号公報
【特許文献２】特開２００３−５７８３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述のように、露光装置で使用する基板のサイズは大型化しており、さらに、高解像度の露光を要求されるので、ラスターデータの量は、非常に膨大になってしまい、処理に時間がかかる。
そのため、このような複数の露光ヘッドを有する露光装置を用いるシステムでは、露光装置の負担を低減し、効率の良い露光を行って生産性を向上するために、ＣＡＤ等で設計した設計データをラスタライズした後、各露光ヘッドに対応してラスターデータを分割してサーバ等に記憶しておき、露光を行なう際に、記憶手段から露光装置（露光ヘッド）にラスターデータを転送することが考えられる。
【００１１】
ところが、このような複数の露光ヘッドを有する露光装置においては、基板のサイズが大型化し、また、画像が高解像度になると、やはり、記憶手段から露光装置へのラスターデータの転送に時間がかかり、前述の特許文献１に開示されるような、設計データの構成要素を部品として見なす技術を利用しても、十分なデータ量の低減効果を得ることができない場合がある。
【００１２】
本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決することにあり、ＣＡＤ等で設計した設計データを、複数の記録ヘッドを有する描画装置を用いて基板に描画することによって、ＬＣＤパネルやプリント配線板等を製造するシステムにおいて、描画装置に転送するデータ量を低減して、描画装置へのデータ転送時間を短縮化することができ、これにより、ＬＣＤパネル等の生産効率を向上することができるデータ作成方法およびデータ作成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明のデータ作成方法は、基板に描画する画像をベクトル形式で表記してなる設計データをラスタライズして、前記基板への描画に対応する１面のラスターデータを作成し、この１面のラスターデータから、複数の記録ヘッドを有する描画装置の各記録ヘッドに対応する個別のラスターデータを作成するに際し、前記設計データを構成する構成要素から、繰り返し記述される構成要素の少なくとも１種を抽出して、抽出した構成要素は１種につき１個のみをラスタライズして部品ラスターデータに変換し、かつ、前記設計データから抽出しなかった構成要素もラスタライズして部品ラスターデータに変換して、さらに、各構成要素の前記基板上における位置を示すレイアウト情報を作成することにより、前記１面のラスターデータを作成し、前記１面のラスターデータから前記個別のラスターデータを作成する際に、対応する記録ヘッドによる描画領域に応じて、必要に応じて切り出した前記部品ラスターデータを、前記レイアウト情報に応じて配置して画像を合成した際のデータ量を演算する第１の演算と、対応する記録ヘッドによる描画領域に応じて、この描画領域に配置される構成要素の部品ラスターデータの合計のデータ量を演算する第２の演算を行い、第１の演算および第２の演算によるデータ量の演算結果から、各記録ヘッド毎に、第１の演算および第２の演算のいずれかに対応する前記個別のラスターデータを作成することを特徴とするデータ作成方法を提供する。
【００１４】
このような本発明のデータ作成方法において、部品ラスターデータを圧縮し、前記第１の演算および第２の演算は、圧縮した部品ラスターデータで行なうのが好ましい。
【００１５】
また、本発明のデータ作成装置は、基板に描画する画像をベクトル形式で表記してなる設計データをラスタライズして、前記基板への描画に対応する１面のラスターデータを作成し、この１面のラスターデータから、複数の記録ヘッドを有する描画装置の各記録ヘッドに対応する個別のラスターデータを作成するデータ作成装置であって、基板に描画する画像をベクトル形式で表記してなる設計データから、繰り返し記述されている構成要素を少なくとも１種抽出し、前記抽出した構成要素については１種に付き１個の構成要素をラスタライズして部品ラスターデータとし、かつ、抽出しなかった構成要素もラスタライズして部品ラスターデータとし、さらに、各構成要素の前記基板上における位置を示すレイアウト情報を作成して、部品ラスターデータとレイアウト情報とからなる、前記基板への描画に対応する１面のラスターデータを作成する変換手段と、前記描画装置の各記録ヘッドによる描画領域に応じて、必要に応じて切り出した前記部品ラスターデータを、前記レイアウト情報に応じて配置して画像を合成した際のデータ量を各記録ヘッド毎に演算する第１演算手段と、前記描画装置の各記録ヘッドによる描画領域に応じて、この描画領域に配置される構成要素の部品ラスターデータの合計データ量を各記録ヘッド毎に演算する第２演算手段と、第１演算手段および第２演算手段による演算結果に応じて、各記録ヘッド毎に、第１演算手段および第２演算手段のいずれかに対応する前記個別のラスターデータを作成するデータ作成手段とを有することを特徴とするデータ作成装置を提供する。
【００１６】
このような本発明のデータ作成装置において、前記変換手段が前記部品ラスターデータの圧縮を行ない、前記第１演算手段および第２演算手段は、圧縮状態の部品ラスターデータで演算を行なうのが好ましい。
【００１７】
さらに、本発明のデータ作成方法およびデータ作成装置において、前記データ作成手段は、第１演算手段によるデータ量から第２演算手段によるデータ量を減算して、その差が所定の閾値未満である場合には前記第１演算手段に対応する個別ラスターデータを作成し、その差が所定の閾値以上である場合には前記第２演算手段に対応する個別ラスターデータを作成するのが好ましく、もしくは、前記データ作成手段は、第１演算手段によるデータ量および第２演算手段によるデータ量から、それぞれのデータの前記描画装置への転送時間、および、前記描画装置でのデータの処理時間を算出して、合計し、合計時間が短い方の演算手段に対応して前記個別のラスターデータを作成するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
上記構成を有する本発明は、ＣＡＤ等で設計したＬＣＤパネルなどの設計データを、複数の記録ヘッドを有する描画装置を用いて基板に描画する製造するシステムにおいて、設計データの構成要素を部品として扱って、複数記述される部品に関しては、１種につき１つのみをラスタライズすることにより、部品のラスターデータと部品の位置の情報であるレイアウト情報とを保持して基板に描画する１画像のラスターデータとすることで、ラスターデータのデータ量を低減すると共に、各露光ヘッドに転送するラスターデータについて、部品ラスターデータのまま転送する場合と、部品ラスターデータをレイアウト情報に応じて配置して合成したラスターデータとして転送する場合とのデータ量を比較して、データ量の少ない方を選択して各記録ヘッドに転送するラスターデータとする。
そのため、本発明によれば、ラスタデータの生成装置から描画装置に転送するデータ量を低減して、描画装置へのデータ転送時間を短縮化することができ、これにより、ＬＣＤパネルやプリント配線板などの生産効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明のデータ作成方法およびデータ作成装置について、添付の図面に示される好適実施例を基に、詳細に説明する。
【００２０】
図１に、本発明のデータ作成方法を実施する本発明のデータ作成装置を利用する露光システムの一例の概念図を示す。
【００２１】
図１に示す露光システム１０（以下、システム１０とする）は、ＬＣＤパネルの製造において、ＣＡＤ１２によって作成したＬＣＤパネルの設計データから、露光装置１４による基板の画像露光（描画）に対応する画像データ（露光データ）を作成するためのラスターデータを作成し、露光装置１４によって、このラスターデータを処理して露光データを作成して、基板Ｚ（被画像記録媒体）に画像露光を行なうものであり、前記ＣＡＤ１２および露光装置１４に加え、本発明のデータ作成装置１６を有して構成される。
また、システム１０において、露光装置１４は、一例として、６個の露光ヘッド５４を有するものであり、この６個の露光ヘッド５４によって、基板Ｚに１つ（１面）の画像を露光する。
【００２２】
なお、以下の説明では、ＬＣＤパネルの製造を例に本発明を説明するが、本発明は、これに限定はされず、ＣＰＵやＬＳＩや各種のメモリなどの各種の半導体デバイス、携帯電話用の集積回路、プリント配線板等の各種の製品の製造における、複数の記録ヘッドを有する描画装置（マルチヘッドの描画装置）に対応するラスターデータの生成に好適に利用可能である。
また、本発明が対応する描画装置の記録ヘッドの数は、図示例の６個に限定はされず、２〜５個であってもよく、あるいは、７個以上であってもよい。また、システム１０は、複数の描画装置を有してもよく、この際においては、各描画装置は、記録ヘッドの数が同じものでも、互いに異なるものでもよい。
【００２３】
ＣＡＤ１２は、ＬＣＤパネルやＬＳＩ等の設計に用いられる公知のＣＡＤ(computer-aided design)システムである。
図示例のシステム１０において、ＣＡＤ１２は、公知の設計ツール等を用いてＬＣＤパネルを設計して、設計したＬＣＤパネルのデータを、露光装置１４で露光する（設計したＬＣＤパネルの画像を露光する）基板のサイズに応じて、割り付け（レイアウト）して、露光装置１４における画像露光（描画）に対応する設計データを作成し、本発明のデータ作成装置１６に供給する。
【００２４】
例えば、露光装置１４でＧ５（第５世代）の基板（１３００×１１００ｍｍ）を用いて、１５インチ（３００×２４０ｍｍ）のＬＣＤパネルを製造する場合であれば、ＬＣＤパネルを設計して、前述のように、基板ＺとＬＣＤパネルとで長手および短手方向を一致して、縦横に４×４で計１６枚のＬＣＤパネル（そのデータ）を割り付けた設計データを作成すればよい。
【００２５】
ＣＡＤ１２で作成する設計データ、すなわち、本発明のデータ作成装置１６が扱う設計データには、特に限定は無く、例えば、ＧＤＩIIやＲＳ−２７４Ｘ等の公知のデータフォーマットによる半導体デバイスなどの設計データが全て利用可能である。設計データは、通常、ベクトルで記述されたデータ（ベクトル形式の画像データ）であるのは、前述のとおりである。
また、ＣＡＤ１２で作成する設計データ、すなわち、本発明のデータ作成装置１６が処理する設計データは、サイズが異なるＬＣＤパネルや、仕様の異なるＬＣＤパネル等の、複数種のＬＣＤパネル（製品）が含まれてもよい（記述されてもよい）。
【００２６】
データ作成装置１６は、ＣＡＤ１２が作成した設計データをラスタライズ（ラスターデータに変換）して、後に詳述する露光装置１４が有する６つの露光ヘッド５４（図４および図５参照）に応じてラスターデータを分割して、６つのラスターデータからなる基板Ｚに露光する１画像（１画面）のラスターデータを作成して記憶し、露光装置１４からのデータ転送要求に応じて、ラスターデータを転送する、本発明のデータ作成方法を実施する本発明のデータ作成装置である。
【００２７】
図示例において、データ作成装置１６は、図１に模式的に示すように、選択手段２０と、ＲＩＰ２２と、分割手段２４と、第１演算手段２６と、第２演算手段２８と、判別手段３０と、サーバ３２とを有して構成される。
本発明において、データ作成装置１６は、一例として、コンピュータやワークステーションを１台もしくは複数台用いて構成すればよく、また、図示した部位以外にも、データ作成装置１６を操作するためのマウスやキーボード、モニタ、データを取得／転送するためのインターフェイス、データを一時的に記憶するメモリなど、コンピュータなどが有する各種の部位を有してもよいのは、もちろんである。
【００２８】
図示例の露光システム１０は、ＣＡＤ１２が作成した設計データを構成する構成要素を部品として扱い、部品毎にラスタライズを行い、かつ、設計データに繰り返し記述される部品（すなわち基板Ｚに複数個が記録される部品）の１種以上に関しては１種につき１個のみラスタライズして、各部品のラスターデータ（部品ラスターデータ）と、画像を露光する基板Ｚ上における各部品の位置を示す情報であるレイアウト情報とを保持することで、基板Ｚの露光に対応するラスターデータを保持する、前記特許文献１に開示される技術を利用するものである（以下、便宜的に、この処理を「部品化」）とする。
選択手段２０は、ＣＡＤ１２から供給された設計データを解析して、繰り返し記述されている部品（構成要素）の１以上を選択し、また、選択しなかった構成要素については、どのように部品とするかを設定し、さらに、各部品のレイアウト情報を生成する。
【００２９】
例えば、図２に模式的に示すように、２×３で６個配列されたＬＣＤパネルＰと、各ＬＣＤパネルＰに対応する６個の第１アクセサリＡ１と、３個の第２アクセサリＡ２を有する画像（これらが記述された設計データ）であれば、一例として、繰り返し記述されている部品（構成要素）として、ＬＣＤパネルＰ、第１アクセサリＡ１、および、第２アクセサリＡ２を選択すればよい。
なお、アクセサリとは、位置決めのためのアライメントマーク（基準マーク）、プロセス状況確認のためのバーニア、ＬＣＤパネルＰに関する各種の情報などが記述されている構成要素の集合である。
【００３０】
なお、本発明においては、繰り返し記述される部品を全て選択するのには限定はされず、例えば、図２に示す例において、ＬＣＤパネルＰのみを繰り返し記述されている部品として選択してもよく、あるいは、ＬＣＤパネルＰと第１アクセサリＡ１のみを、繰り返し記述されている部品として選択してもよい。
また、繰り返し記述されているとして選択する部品は、ＬＣＤパネルやアクセサリに限定はされず、例えば、ＬＣＤパネルのピクセルなど、設計データにおいて繰り返し記述される構成要素、すなわち、１画像に複数個が露光される構成要素が、全て対象になる。
【００３１】
繰り返し記述されているとして選択する構成要素は、システム１０を操作するオペレータによる入力／指示に応じて選択してもよく、あるいは、予め設定した、あるいは、入力／指示に応じて設定した、構成要素のサイズや数（繰り返し記述数）に応じて、該当する構成要素を選択してもよい。
【００３２】
なお、選択手段２０は、繰り返し記述されているとして選択しなかった構成要素に関し得ては、全てを一括して１つの部品として扱ってもよく、あるいは、適宜設定した複数の構成要素を１つの部品として扱ってもよく、あるいは、個々の構成要素毎に部品として扱ってもよい。これらは、システム１０が製造する製品、繰り返し記述されているとして選択しなかった構成要素の数や大きさ（データ量）等に応じて、適宜、決定すればよい。
以下、便宜的に、繰り返し記述されているとして選択選択された構成要素（部品）を、「繰り返し部品」と称し、繰り返し記述されているとして選択されなかった構成要素を、「残部部品」と称する。
【００３３】
選択手段２０による部品（繰り返し部品および残部部品）の情報ならびにレイアウト情報、ならびに設計データは、次いで、ＲＩＰ２２に送られる。
ＲＩＰ２２は、公知のＲＩＰ(Raster Image Processor)と同様にして、ＣＡＤ１２による設計データ（ベクトルデータ）をラスタライズして、ラスターデータとする。ここで、ＲＩＰ２２は、選択手段２０によって設定された部品毎にラスタライズを行い、部品のラスターデータと、各部品のレイアウト情報を持つことにより、基板Ｚに露光する画像のラスターデータとする。
さらに、ＲＩＰ２２は、各部品のラスターデータを圧縮する。ラスターデータの圧縮方法には、特に限定はなく、ランレングス圧縮やＬＺＨ圧縮等の公知の圧縮方法を利用すればよい。
【００３４】
ここで、前述のように、ＲＩＰ２２は、繰り返し部品に関しては、１種類の部品について１個のみをラスタライズする。
例えば、前述の図２に示す設計データ（画像）において、ＬＣＤパネルＰ、第１アクセサリＡ１、および、第２アクセサリＡ２を繰り返し部品として選択した場合であれば、ＬＣＤパネルＰおよび第１アクセサリＡ１，および第２アクセサリＡ２は、共に、複数個が配列されるものの、その１個のみがラスタライズされる。
以降の説明を簡略化するために本例では残部部品が無いものとして、この場合には、１個のＬＣＤパネルＰのラスターデータ、１個の第１アクセサリＡ１のラスターデータ、および、１個の第２アクセサリＡ２のラスターデータと、６個のＬＣＤパネルＰの位置、６個の第１アクセサリＡ１の位置、および、３個の第２アクセサリＡ２の位置を示すレイアウトとを保持することで、基板Ｚに露光（描画（画像を記録））する画像のラスターデータを保持する。
【００３５】
なお、図２に示す設計データにおいて、ＬＣＤパネルＰ等を囲む枠など、残部部品が有る場合には、残部部品もラスタライズして、上記繰り返し部品のラスターデータに加え、残部部品のラスターデータも保持し、さらに、レイアウト情報は、残部部品の位置の情報も含む情報となる。
【００３６】
ＲＩＰ２２でラスタライズされた各部品のラスターデータ、および、レイアウト情報は、基板Ｚに露光する画像である前記ラスターデータを、後述する露光装置１４が有する６つの露光ヘッド５４（図４および図５参照）に応じて割り付けし、さらに、露光装置１４の個々の露光ヘッド５４に転送する６個のラスターデータを作成する、分割手段２４に供給される。
また、各部品のラスターデータおよびレイアウト情報は、第１演算手段２６および第２演算手段２８にも送られる。
【００３７】
第１演算手段２６は、露光装置１４の６つの露光ヘッド５４の個々に転送するラスターデータを、レイアウト情報に応じて部品を合成した１画像のラスターデータとした際におけるデータ量を推測するものである。
具体的には、必要に応じてレイアウト情報および対応する露光ヘッド５４の露光領域に応じて必要に応じて部品（そのラスターデータ）を切り出し、かつ、レイアウト情報に応じて部品を配置して画像を合成して、１画像のラスターデータとした際における、データ量を推測するものである。
【００３８】
一例として、図２に示す例において、一点鎖線で示す領域ａを露光ヘッド５４ａが、同領域ｂを露光ヘッド５４ｂが、……同領域ｆを露光ヘッド５４ｆが、それぞれ露光するとする。
また、第１アクセサリＡ１のラスターデータの量が５０ＭＢ、ＬＣＤパネルＰのラスターデータの量が１０００ＭＢとする（共に圧縮後のデータ量）。
【００３９】
この際において、露光ヘッド５４ａが露光する領域ａ（画像）には、ＬＣＤパネルＰの１／１０の面積が存在し、かつ、空白部の生データ量が１０００ＭＢで圧縮率が１／１０００であったとする。なお、説明を簡略にするために、ＬＣＤパネルＰは、全面的に圧縮率は均一であるとする（面積率＝データ量）。
図２に示すように、領域ａには、第１アクセサリＡ１が３個と、ＬＣＤパネルＰの１／１０が３個有るので、レイアウト情報および領域ａに応じてＬＣＤパネルＰを切り出し、かつ、レイアウト情報に応じて部品（ＬＣＤパネルＰの１／１０および第１アクセサリＡ１）を切り出して配置して画像を合成して、露光ヘッド５４ａが露光する画像のラスターデータとした場合には、データ量は、
５０ＭＢ×３＋１０００ＭＢ×（１／１０）×３＋１０００ＭＢ×（１／１０００）
＝４５１ＭＢ
となる。
【００４０】
また、露光ヘッド５４ｄが露光する領域ｄには、ＬＣＤパネルＰの２／３の面積が存在し、かつ、空白部の生データ量が５００ＭＢで圧縮率が１／１０００であったとする。
図２に示すように、領域ｄには、ＬＣＤパネルＰの２／３が３個有るので、レイアウト情報および領域ｄに応じてＬＣＤパネルＰを切り出し、かつ、レイアウト情報に応じて部品（ＬＣＤパネルＰの２／３）を配置して画像を合成して、露光ヘッド５４ｄが露光する画像のラスターデータとした場合には、データ量は、
１０００ＭＢ×（２／３）×３＋５００ＭＢ×（１／１０００）＝２０００．５ＢＭ
となる。
【００４１】
他方、第２演算手段２８は、露光装置１４の６つの露光ヘッド５４の個々に転送するラスターデータを、部品化したままのラスターデータとした際における、データ量を推測するものである。
具体的には、必要に応じてレイアウト情報および露光ヘッド５４の露光領域に応じて部品を切り出し、レイアウト情報に応じて、各露光ヘッド５４が露光する領域に存在する全種類の部品のデータ量を合計して、データ量を推測する。
【００４２】
先と同様に、露光ヘッド５４ａが露光する領域ａを例にすれば、領域ａ（その画像）には、第１アクセサリＡ１とＬＣＤパネルＰが存在する。
前述のように、第１アクセサリＡ１のラスターデータ量は５０ＭＢで、ＬＣＤパネルＰのラスターデータ量は１０００ＭＢであるので、部品化したままの状態の第１露光ヘッド５４ａに対応するデータ量は、
５０ＭＢ＋１０００ＭＢ＝１０５０ＭＢ
となる。
【００４３】
また、露光ヘッド５４ｄが露光する領域ｄであれば、この領域ｄには、ＬＣＤパネルＰのみが存在する。
従って、部品化したままの状態の露光ヘッド５４ｄに対応するデータ量は、
１０００ＭＢ＝１０００ＭＢ
となる。
【００４４】
なお、部品化したままのラスターデータデータ量の推測において、レイアウト情報は、ラスターデータに比して大幅にデータ量が小さいので、無視することができる。
【００４５】
第１演算手段２６および第２演算手段２８によるデータ量の推測結果は、共に、判別手段３０に供給される。
判別手段３０は、第１演算手段２６および第２演算手段２８によるラスターデータのデータ量の推測結果から、分割手段が作成する各露光ヘッド５４に転送するラスターデータが、第１演算手段２６に対応するレイアウト情報に応じて配列して画像を合成した１画像のラスターデータ（以下、便宜的に「合成データ」とする）の方が効率が良いか、第２演算手段に対応する部品化したラスターデータ（部品のラスターデータとレイアウト情報（以下、便宜的に「部品化データ」とする））の方が効率が良いかを判定し、その判定結果を、分割手段２４に提供するものである。
【００４６】
判別手段３０による、部品化データか合成データかの判定方法（選択方法）には、特に限定はなく、各種の方法が利用可能である。
一例として、単純にデータ量を比較し、データ量が少ないデータを選択する方法が例示される。あるいは、データ量で所定の減算を行なって、その結果が所定の閾値以上か否かに応じて、選択する方法も、好適である。
【００４７】
一例として、合成データから部品化データを減算して、その減算結果が所定の閾値、例えば、１００ＭＢ未満で有る場合には合成データを選択し、１００ＭＢ以上で有る場合には部品化データを選択する方法が例示される。すなわち、露光装置１４での合成を考慮すると、データ量が多少多くても、全体的には、処理効率は有利になる。なお、閾値は、露光装置１４へのデータの転送速度や露光装置１４でのデータ処理能力に応じて、適宜、設定すればよい。
前述の露光ヘッド５４ａに対応する領域ａであれば、第１演算手段２６が推測した合成データのデータ量は４５１ＭＢで、第２演算手段２８が推測した部品化データのデータ量は１０５０ＭＢである。従って、
４５１−１０５０＝−５９９ＭＢ＜１００ＭＢ
であるので、この場合には、判別手段３０は、露光ヘッド５４ａに転送する領域ａのデータは、合成データとするように分割手段２４に指示を出す。
【００４８】
他方、露光ヘッド５４ｄに対応する領域ｄの場合には、第１演算手段２６が推測した合成データのデータ量は２０００．５ＭＢで、第２演算手段２８が推測した部品化データのデータ量は１０００ＭＢである。従って、
２０００．５−１０００＝１０００．５ＭＢ＞１００ＭＢ
であるので、この場合には、判別手段３０は、露光ヘッド５４ｄに転送する領域ｄのラスターデータは、部品化データとするように分割手段２４に指示を出す。
【００４９】
すなわち、本発明においては、基板Ｚに露光する１つの画像において、各露光ヘッド５４毎に、部品化データおよび合成データのデータ形式が異なってもよい。
【００５０】
判別手段３０における、合成データか部品化データかの判定方法は、以上の例に限定はされない。別の例として、データ作成装置１６から露光装置１４へのデータ転送速度、および、露光装置での部品の画像合成に掛かる時間を推測して判定を行い、短時間で処理が可能なデータ形式を選択する方法も、好適に利用可能である。
【００５１】
一例として、データ作成装置１６から露光装置１４への転送レートが１０ＭＢ／ｓｅｃで、露光装置１４（後述する処理手段６８）での画像処理速度が３０ＭＢ／ｓｅｃであったとする。
【００５２】
同様に、露光ヘッド５４ａに対応する領域ａであれば、第１演算手段２６が推測した合成データのデータ量は４５１ＭＢで、第２演算手段２８が推測した部品化データのデータ量は１０５０ＭＢである。
【００５３】
合成データの場合には、既に、レイアウト情報に応じて部品が合成された１個の画像のラスターデータとなっている。従って、露光装置１４での合成処理は不要であるので、転送時間のみを考慮すればよい（合成時間は０）。従って、処理に掛かる時間は、
４５１ＭＢ÷１０ＭＢ／ｓｅｃ＋０＝４５．１ｓｅｃ
と推測できる。
これに対して、部品化データの場合には、露光装置１４において、転送時間に加え、レイアウト情報に応じて部品を配列して、画像を合成して、１個の画像のラスターデータとする必要が有る。従って、処理にかかる時間は、
１０５０ＭＢ÷１０ＭＢ／ｓｅｃ＋１０５０ＭＢ÷３０ＭＢ／ｓｅｃ＝１４０ｓｅｃ
と推測できる。
従って、この場合には、判別手段３０は、露光ヘッド５４ａに転送する領域ａのラスターデータは、合成データとするように分割手段２４に指示を出す。
【００５４】
これに対して、露光ヘッド５４ｄに対応する領域ｄの場合には、第１演算手段２６が推測した合成データのデータ量は２０００．５ＭＢで、第２演算手段２８が推測した部品化データのデータ量は１０００ＭＢである。
従って、合成データの場合には、処理にかかる時間は、
２０００．５ＭＢ÷１０ＭＢ／ｓｅｃ＋０＝２００．０５ｓｅｃ
と推測できる。
他方、部品化データの場合には、
１０００ＭＢ÷１０ＭＢ／ｓｅｃ＋１０００ＭＢ÷３０ＭＢ／ｓｅｃ＝１３０．３ｓｅｃ
と推測できる。
従って、この場合には、判別手段３０は、露光ヘッド５４ｄに転送する領域ｄのラスターデータは、合成データとするように分割手段２４に指示を出す。
【００５５】
なお、判別手段３０における処理時間の推測は、上記転送および処理レートに加え、データ作成装置１６のハードディスクやメモリの使用状況、ＣＰＵの稼働状況等を考慮して行なってもよい。
【００５６】
分割手段２４は、各露光ヘッド５４による露光領域等に応じてラスターデータを各露光ヘッドに割り付けし、さらに、各露光ヘッド５４毎に、露光装置１４に転送するためのラスターデータを作成して、サーバ３２に送る。ここで、分割手段２４は、判別手段３０による判定／選択結果に応じて、各露光ヘッド毎のラスターデータを作成する。
【００５７】
判別手段３０によって部品化データとする判定が出された場合には、分割手段２４は、各露光ヘッド５４毎に、レイアウト情報に応じて、露光ヘッド５４が露光する領域の部品を選択し、かつ、選択した部品（そのラスターデータ）とレイアウト情報とを対応付けして、両者を対応付けして露光装置１４に転送するためのラスターデータとする。
なお、レイアウト情報は、各露光ヘッド５４の露光領域）に対応して、個々の露光ヘッド５４毎に作り直してもよい。
【００５８】
他方、判別手段３０によって合成データとする判定が出された場合には、分割手段２４は、各露光ヘッド５４毎に、必要に応じてレイアウト情報および露光領域に応じて部品を切り出し、レイアウト情報に応じて部品（そのラスターデータ）を配置して、画像を合成して、この露光ヘッドが露光する１つの画像のラスターデータとする。
【００５９】
具体的には、前述のように、露光ヘッド５４ａに対応する領域ａの場合には、何れの判定方法でも、合成データを作成するように判別手段３０が判定している。
この判定に応じて、分割手段２４は、領域ａに関しては、レイアウト情報に応じてアクセサリＡ１のラスターデータを配列し、さらに、レイアウト情報および領域ａに応じて、ＬＣＤパネルＰのラスターデータの１／１０（図２中右側）の領域を切り出して配列して、各画像を合成し、３つのアクセサリＡ１、および、３つのＬＣＤパネルＰの１／１０が配列されたラスターデータ（合成データ）を作成して、露光ヘッド５４ａ用のラスターデータとする。
【００６０】
他方、露光ヘッド５４ｄに対応する領域ｄの場合には、何れの判定方法でも、部品化データを作成するように判別手段３０が判定している。
従って、分割手段２４は、領域ｄに関しては、ＬＣＤパネルＰのラスターデータと、レイアウト情報とを対応付けして、露光ヘッド５４ｄ用のラスターデータ（部品化データ）とする。
なお、分割手段２４は、各露光ヘッド用の部品化データにおいて、同じ部品のラスターデータが存在する場合には、１つの部品のラスターデータを各露光ヘッドで共用するように、部品化データを作成するのが好ましい。
【００６１】
分割手段２４は、このようにして、露光装置１４が有する６個の露光ヘッド５４に対応する６個のラスターデータを作成したら、６個のラスターデータを対応付けし、さらに、画像のＩＤ番号等の必要な情報を付して、基板Ｚに露光する画像のラスターデータとして、サーバ３２に転送する。
サーバ３２は、この基板Ｚに露光する画像のラスターデータを記憶する。なお、サーバ３２は、６分割されたラスターデータに加え、ＲＩＰ２２が作成した、基板Ｚに露光する画像の部品のラスターデータと、部品のレイアウト情報とからなるラスターデータを記憶してもよい。また、サーバ３２は、露光装置１４から転送要求が有った際に、要求されたラスターデータ（６分割されたラスターデータ）を露光装置１４に転送する。
【００６２】
本発明においては、設計データの構成要素の部品化を行い、繰り返し部品に関しては１個のみをラスターデータに変換することにより、ラスターデータのデータ量を低減し、データ転送時間の短縮して、生産効率の向上を図る。ここで、複数の露光ヘッドを有するマルチヘッドの露光装置の場合には、露光装置でのデータ処理の負担を低減し生産効率を向上するために、予め、各露光ヘッドに応じて分割したラスターデータを作成して、サーバ等に記憶しておくのが好ましい。しかしながら、先の説明からも明らかなように、マルチヘッドに対応して基板に露光するラスターデータを分割すると、個々の露光ヘッド単位で見ると、露光領域に存在する部品の面積率等によっては、部品化しても、十分なデータ量の低減効果が得られない場合も有る。
これに対して、本発明においては、露光ヘッド毎のラスターデータにおいて、部品化した場合（部品化データ）と、部品を合成した１画像のラスターデータ（合成データ）とで、どちらが効率の良い処理が可能であるかを推測し、露光ヘッド毎に効率が良いと推測したラスターデータを作成し、露光装置に転送する。従って、本発明によれば、サーバ等から露光装置へのデータ転送時間や、露光装置でのデータ処理時間を低減することができ、ＬＣＤパネルやプリント配線板等の生産性を、より生産性を向上することができる。
【００６３】
前述のように、サーバ３２は、露光装置１４からの転送要求に応じて、基板Ｚに露光する画像のラスターデータ（部品化データ／合成データ）を、露光装置１４に転送する。
図３に、露光装置１４の一例の概略構成の斜視図を示す。
【００６４】
図３に示す露光装置１４は、ＬＣＤパネル等の製造において、絶縁層、導電層、半導体層などの上にフォトレジスト層を形成してなる基板Ｚなど、各種の基板Ｚに配線パターン、フィルタパターン、ＴＦＴパターン等を露光して描画（画像を記録）する装置である。
なお、本発明において、画像を露光する（露光の対象となる）基板Ｚには、特に限定は無く、前述のような、ＬＣＤパネルやプリント配線板等の製造に用いられる、絶縁層や半導体層などの上にフォトレジスト層を形成してなる基板など、露光によって画像記録（描画）が可能な各種の基板が利用可能である。
【００６５】
図３に示すように、露光装置１４は、その長手方向がステージ移動方向（すなわち、後述する走査方向）を向くように配置され、吸着等によって基板Ｚを保持する矩形平板状の移動ステージ４０と、ステージ移動方向に延在するように配置され、移動ステージ４０をステージ移動方向に往復移動可能に支持する２本のガイド４２と、その上面にステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド４２が設置される厚い板状の設置台４４と、設置台４４を支持する４本の脚部４６と、設置台４４の中央部に移動ステージ４０の移動経路を跨ぐように設けられ、その端部の各々が設置台４４の両側面に固定される略Ｃ字状のゲート４８とを有する。
【００６６】
また、ゲート４８には、ゲート４８をステージ移動方向に挟んで、一方の側（走査方向の下流側）には露光スキャナ５２が固定される。露光スキャナ５２は、基板Ｚに、配線パターン等の所定のパターンを露光するためのものであり、移動ステージ４０の移動経路の上方に固定されている。
さらに露光スキャナ５２には、サーバ３２から基板Ｚに露光する画像のラスターデータを取得して、露光装置１４（後述する露光ヘッド５４）での画像露光（描画）に対応する画像データである露光データを作成するデータ処理部５０（以下、処理部５０とする）が接続される。
【００６７】
なお、基板Ｚには、基板Ｚに先に露光された画像（下層の画像）と、これから露光する画像との位置合わせを行なうための基準マークが形成されていてもよく、また、露光装置１４は、この基準マークを検出するカメラ（ＣＣＤカメラ等）や、カメラによって検出された基準マーク（その位置検出結果）に応じて、これから露光する画像を変倍／回転する画像処理手段等を有してもよい。
【００６８】
図示例において、露光スキャナ５２は、図４および図５（Ｂ）に模式的に示すように、２行３列の略マトリックス状に配列された６個の露光ヘッド５４（露光ヘッド５４ａ、露光ヘッド５４ｂ、……、露光ヘッド５４ｆ）を備えている。
前述のように、露光ヘッド５４ａは領域ａを、露光ヘッド５４ｂは領域ｂを、……、露光ヘッド５４ｆは領域ｆを、それぞれ露光する。
【００６９】
各露光ヘッド５４の内部には、図６に模式的に示すように、入射された光ビームを空間変調する空間光変調素子（ＳＬＭ）であるデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ(Digital Micromirror Device)）５６が設けられている。
ＤＭＤ５６は、マイクロミラー５８が直交する方向に２次元状に、多数、配列されたものであり、そのマイクロミラー５８の列方向が走査方向と所定の設定傾斜角度θをなすように取り付けられている。従って、各露光ヘッド５４による露光エリア６２は、走査方向に対して傾斜した矩形状のエリアとなる。
ステージ１４の移動に伴い、基板Ｚには露光ヘッド５４毎に帯状の露光済み領域６４が形成される。すなわち、露光ヘッド５４ａによる露光済み領域６４ａは図２における領域ａを、露光ヘッド５４ｂによる露光済み領域６４ｂは図２における領域ｂを、……、露光ヘッド５４ｆによる露光済み領域６４ｆは図２における領域ｆを、それぞれ露光する。
【００７０】
露光ヘッド５４の各々に設けられたＤＭＤ５６は、後述する処理部５０が作成した露光データに応じて、マイクロミラー５８単位でオン（ｏｎ）／オフ（ｏｆｆ）制御され、オン（もしくはオフ）状態のマイクロミラー５８で反射された記録光が、基板Ｚに入射して、基板Ｚを露光する。これにより、基板Ｚには、ＤＭＤ５６のマイクロミラー５８の像（ビームスポット）に対応したドットパターン（露光／非露光）が露光される。
なお、各露光ヘッド５４に記録光（光ビーム）を入射する光源については図示省略してあるが、たとえば、レーザ光源などを利用することができる。
【００７１】
前述した帯状の露光済み領域６４は、図６に示すマイクロミラー５８に対応した２次元配列されたドット（露光点）によって形成される。二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、高解像度化を図ることができる。
なお、傾斜角度の調整のバラツキによって、利用しないドットが存在する場合もあり、たとえば、図６では、斜線としたドットは利用しないドットとなり、このドットに対応するＤＭＤ５６におけるマイクロミラー５８は、常にオフ状態となる。
【００７２】
また、図２では、説明を簡略化するために領域ａ〜ｆは重ねずに示したが、図５（Ａ）および（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域６４のそれぞれが、隣接する露光済み領域６４と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド５４の各々は、その配列方向に所定間隔ずらして配置されている。
このため、たとえば、１行目の最も左側に位置する露光エリア６２ａ、露光エリア６２ａの右隣に位置する露光エリア６２ｂとの間の露光できない部分は、２行目の最も左側に位置する露光エリア６２ｂにより露光される。同様に、露光エリア６２ｂと、露光エリア６２ｂの右隣に位置する露光エリア６２ｄとの間の露光できない部分は、露光エリア６２ｃにより露光される。
【００７３】
露光ユニット５２には、処理部５０が接続されている。
前述のように、露光装置１４（露光ユニット５２）は、６個の露光ヘッド５４（５４ａ〜５４ｆ）を有し、サーバ３２に記憶されているラスターデータは、各露光ヘッド５４に対応する６分割された状態の画像データである。
図７に概念的に示すように、処理部５０には、個々の露光ヘッド５４に対応して、６個の処理手段６８（６８ａ〜６８ｆ）と、６個のメモリ７０（７０ａ〜７０ｆ）が配置される。処理手段６８は、サーバ３２から転送されたラスターデータに、所定の処理を行なって、露光ヘッド５４による画像露光に対応する露光データとしてメモリ７０に記憶する。
露光ヘッド５４は、対応するメモリ７０から露光データを読み出し、この露光データに応じてＤＭＤ５６を変調駆動（マイクロミラー５８をオン／オフ）する。
【００７４】
例えば、システム１０を管理する生産管理システムから露光装置１４に、「このＩＤ番号の画像の露光をする」旨の指示が出される。露光装置１４は、これに応じて、サーバ３２に、このＩＤ番号のラスターデータの転送を要求する。
転送要求を受けたサーバ３２は、このＩＤ番号のラスターデータを露光装置１４の処理部５０に転送する。前述のように、サーバ３２が記憶している、基板Ｚに露光する１画像のラスターデータは、露光装置１４の各露光ヘッド５４に対応した、６個のラスターデータ（６分割されたラスターデータ）からなるものである。サーバ３２は、この６個のラスターデータを並列（パラレル）で、対応する処理手段６８に送る。
【００７５】
処理手段６８は、ラスターデータが部品化データで有る場合には、まず、必要に応じて部品をレイアウト情報および露光領域に応じて切り出し、さらに、部品（そのラスターデータ）をレイアウト情報に応じて配列して合成し、自身が対応する露光ヘッド５４が露光する１画像のラスターデータとする。
また、処理手段６８は、ラスターデータに、解凍、露光ヘッド５４（ＤＭＤ５６）による画像露光に応じたマッピング等の所定の処理を行い、露光ヘッド５４による画像露光に対応する露光データを作成して、対応するメモリ７０に記憶させる。さらに、処理手段６８は、前記基準マークの撮影結果（位置検出結果）に応じて、画像の回転／拡縮（変倍）／変形などを行なってもよい。
【００７６】
露光装置１４においては、全ての露光ヘッド５４に対応するメモリが所定量以上の露光データを記憶した時点で、移動ステージ４０の移動を開始して、さらに、各露光ヘッド５４が、対応するメモリ７０から露光データの読み出しを開始して、移動ステージ４０すなわち基板Ｚが所定の位置に搬送された時点で、露光データに応じてＤＭＤ５６を変調／駆動して、基板Ｚの露光を開始し、以降は、露光データの作成が終了するまで、処理手段に露光データの作成と、基板Ｚの露光とを並行して行なう。
【００７７】
以上、本発明のデータ作成方法およびデータ作成装置について詳細に説明したが、本発明は、上記実施例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行なってもよいのは、もちろんである。
例えば、以上の例は、本発明を基板（感光材料）の露光によって描画を行なう露光装置に利用した例であるが、本発明は、これに限定はされず、インクジェットヘッドを用いて描画を行なうインクジェット記録装置、サーマルヘッドを用いて描画を行なう感熱記録装置など、複数の記録ヘッドを用いて描画を行なう描画装置を用いるシステムであれば、各種のシステムにおける描画装置に転送するラスターデータの作成に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明を利用する露光システムを概念的に示すブロック図である。
【図２】本発明を説明するための概念図である。
【図３】図１に示す露光システムの露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【図４】図３に示す露光装置の露光スキャナの略構成を示す斜視図である。
【図５】（Ａ）は、図４に示す露光スキャナの露光ヘッドによって基板に形成される露光済み領域の概念的に示す平面図であり、（Ｂ）は、各露光ヘッドによる露光エリアの配列を概念的に示す平面図である。
【図６】図３に示す露光装置の露光ヘッドにおけるＤＭＤの配置を示す平面模式図である。
【図７】図３に示す露光装置のデータ処理部を概念的に示すブロック図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０  （露光）システム
１２  ＣＡＤ
１４  露光装置
１６  データ作成装置
２０  選択手段
２２  ＲＩＰ
２４  分割手段
２６  第１演算手段
２８  第２演算手段
３０  判別手段
３２  サーバ
４０  移動ステージ
４２  ガイド
４４  設置台
４６  脚部
４８  ゲート
５２  露光スキャナ
５４  露光ヘッド
５６  ＤＭＤ
５８  マイクロミラー
６２  露光エリア
６４  露光済み領域
６８  処理手段
７０  メモリ
【図１】
2008225187.tif 000003
【図２】
2008225187.tif 000004
【図３】
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【図４】
2008225187.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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