(57)【要約】【課題】ノズルプレートの外力に対する剛性を高めた液体噴射ヘッドとする。【解決手段】リザーバ１をなすインク室１５に対応するノズルプレート２０の面に矩形板状の補強部材３５を接着により固定し、補強部材３５を流路形成基板１０のインク室１５の壁面に接触させ、広い面積に亘り流路形成基板１０との接着部が存在しないノズルプレート２０であっても、外力に対する剛性を高めて変形による剥がれをなくす。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生室及び流体流路が形成された流路形成基板と、
流路形成基板の一方面側上に接合すると共に流体流路に対向する部位に貫通孔が形成された接合基板と、
流路形成基板の他方面側に設けられて、複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
流体流路の圧力発生室側とは反対側の壁部に設けられた補強部材と
を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
補強部材は、流体流路の壁面に接触し、壁面に接触する部位から接合基板の開口部の壁面に接触して延びる延設部を備えている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
補強部材は、流体流路の圧力発生室側とは反対側の壁部を貫通し、当該補強部材上に接合基板が貼り付けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
補強部材は、流路形成基板の厚さよりも厚くされている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の液体噴射ヘッドにおいて、
補強部材は、流体流路の幅広部に対向する壁部に接触している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の液体噴射ヘッドにおいて、
流路形成基板には複数の圧力発生室が並設され、それぞれの圧力発生室は共通の流体流路につながり、圧力発生室と流体流路との間は流路幅の一部が狭くなる連通路でそれぞれ連通している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかの液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体流路から圧力発生室に供給された液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、ノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板上に設けられた圧電素子の変位によりノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
従来のインクジェット式記録ヘッドは、流路形成基板の圧力発生室に圧力を付与するための圧力変換素子等が備えられ、流路形成基板の下面にはインク滴が吐出されるノズルを有するノズルプレートが接合（接着）されている。また、流路形成基板の圧力発生室にはインク流路が連通して設けられ、ノズルプレートの反対側の圧力発生室は接合基板により封止されている。そして、インク流路に対応する接合基板には開口部が設けられ、開口部にはインク流路を封止するための可撓性を有する封止膜部材（シート）が接着されている。
【０００４】
接合基板の開口部及び流路形成基板のインク流路の部位で構成されるリザーバ部の下面はノズルプレートが接合され、リザーバ部の上面は封止膜部材（シート）で覆われた状態になっている。インクジェット式記録ヘッドは、ノズルプレートのノズルの保護やインク流路のクリーニングのために、印刷時以外はゴム製のキャップがノズルプレートに押し付けられてノズルが覆われるようにされている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２１５０３号公報（図１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、リザーバ部のノズルプレートは広い面積に亘り流路形成基板との接着部が存在しないので、長期の使用等でノズルプレートの接着力が弱まると、キャップの押し付けの際の外力によりノズルプレートが変形して剥がれを引き起こす虞があった。ノズルプレートを厚くしてノズルプレート自体の剛性を高めることも考えられるが、ノズルプレートを厚くした場合にはノズルの形成が困難になってしまう。
【０００７】
尚、このような状況は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、ノズルプレートに外力が働いてもノズルプレートに変形が生じることがない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するための本発明の第１の態様は、圧力発生室及び流体流路が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側上に接合すると共に流体流路に対向する部位に貫通孔が形成された接合基板と、流路形成基板の他方面側に設けられて、複数のノズルが形成されたノズルプレートと、流体流路の圧力発生室側とは反対側の壁部に設けられた補強部材とを備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第１の態様では、補強部材が流体流路の壁部に接触しているので、ノズルプレートの外力に対する剛性を高めることができ、広い面積に亘り流路形成基板との接着部が存在しないノズルプレートであっても、キャップ等が押し付けられることによる外力が働いて変形が生じることがない。
尚、リザーバのインク供給路側に段差部を形成した従来技術（例えば、特開２００１−１２１６９０号公報等）が開示されているが、段差部を形成した類似技術の目的はリザーバに流れ込んだインクの流れをスムーズにするもので、ノズルプレートに働く外力によりノズルプレートの変形を防止することは意図されていないし、そもそも従来技術の段差部と本願発明の補強部材の配置が異なる。
【００１０】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の液体噴射ヘッドにおいて、補強部材は、流体流路の壁面に接触し、壁面に接触する部位から接合基板の開口部の壁面に接触して延びる延設部を備えていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第２の態様では、補強部材には、接合基板の開口部の壁面に接触する延設部が備えられているので、ノズルプレートに働く外力が接合基板の壁面に分散され、ノズルプレートの外力に対する剛性を更に高めることができる。
【００１１】
本発明の第３の態様は、第１の態様に記載の液体噴射ヘッドにおいて、補強部材は、流体流路の圧力発生室側とは反対側の壁部を貫通し、当該補強部材上に接合基板が貼り付けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第３の態様では、流路形成基板の流体流路の壁部の一部が補強部材で構成されることで、ノズルプレートの外力に対する剛性を高めることができる。
【００１２】
本発明の第４の態様は、第３の態様に記載の液体噴射ヘッドにおいて、補強部材は、流路形成基板の厚さよりも厚くされていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第４の態様では、補強部材が流路形成基板の厚さよりも厚くされているので、ノズルプレートの外力に対する剛性を有効に高めることができる。
【００１３】
本発明の第５の態様は、第１〜４のいずれかの態様に記載の液体噴射ヘッドにおいて、補強部材は、流体流路の幅広部に対向する壁部に接触していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第５の態様では、補強部材が流体流路の幅広部に対向する壁部に設けられているので、ノズルプレートの外力に対する剛性を確実に高めることができる。
【００１４】
本発明の第６の態様は、第１〜５のいずれかの態様に記載の液体噴射ヘッドにおいて、流路形成基板には複数の圧力発生室が並設され、それぞれの圧力発生室は共通の流体流路につながり、圧力発生室と流体流路との間は流路幅の一部が狭くなる連通路でそれぞれ連通していることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
第６の態様では、流路幅の一部が狭くなる連通路を備えて更に接着面積を確保し難いノズルプレートであっても外力に対する剛性を高めることができる。
【００１５】
上記目的を達成するための本発明の第７の態様は、第１〜６のいずれかの態様の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置にある。
第７の態様では、ノズルプレートの外力に対する剛性を高めることができる液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置とすることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置は、ノズルプレートに外力が働いてもノズルプレートに変形が生じることがない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１には本発明の第１実施形態例に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッドの分解斜視状態、図２には本発明の第１実施形態例に係る液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッドの概略平面視、図３には図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視、図４には流路形成基板のリザーバの部位の概略平面視を示してある。
【００１８】
図に示すように、インクジェット式記録ヘッドを構成する流路形成基板１０は、本実施形態では結晶面方位が（１１０）であるシリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１０には隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２が幅方向（図２中上下方向）に並設して形成されている。
【００１９】
流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側（図２、図３中右側）には圧力発生室１２に連通するインク供給路１３及び連通路１４がそれぞれ形成され、インク供給路１３及び連通路１４は隔壁１１によって区画されている。インク供給路１３は圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されている。インク供給路１３を挟んで圧力発生室１２と反対側の流路形成基板１０には各連通路１４に連通する流体流路としてのインク室１５が設けられ、インク室１５は後述する接合基板３０のリザーバ部３２と連通して各圧力発生室１２の共通のリザーバ１の一部とされている。
【００２０】
インク供給路１３は圧力発生室１２よりも狭い断面積となるように形成されているため、インク室１５から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗が一定に保持されている。例えば、本実施形態では、インク供給路１３はリザーバ１と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されている。
【００２１】
尚、本実施形態では、流路の幅を隔壁１１の片側から絞ることでインク供給路１３を形成したが、流路の幅を隔壁１１の両側から絞ることでインク供給路を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、流路形成基板１０の厚さ方向から流路断面積を絞ることでインク供給路を形成してもよい。
【００２２】
流路形成基板１０の開口面側（図１、図３中下面側）にはノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着され、ノズルプレート２０にはノズル開口２１が穿設されている。ノズルプレート２０のノズル開口２１は、各圧力発生室１２のインク供給路１３と反対側の端部近傍にそれぞれ対応して形成されている。ノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼等からなっている。
【００２３】
流路形成基板１０の開口面とは反対側（図１、図３中上面側）には弾性膜５０が設けられ、弾性膜５０の上には、厚さが例えば、約０．２μｍの下電極膜６０と、厚さが例えば、約０．５〜３μｍの圧電体層７０と、厚さが例えば、約０．１μｍの上電極膜８０とが積層形成されて圧電素子３００を構成している。圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、パターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。
【００２４】
本実施形態では、下電極膜６０は圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動ＩＣや配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。圧電素子３００の個別電極である上電極膜８０の長手方向一端部近傍にはリード電極９０が接続され、リード電極９０は、所定の幅で流路形成基板１０の端部近傍まで引き出されている。
【００２５】
圧電素子３００が形成された流路形成基板１０の一方面側上には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保した空間が形成された圧電素子保持部３１を有する接合基板３０が接合され、圧電素子３００はこの圧電素子保持部３１内に配置されているが密封されていても密封されていなくても良い。また、流路形成基板１０のインク室１５に対向する接合基板３０の領域にはリザーバ部３２となる貫通孔が備えられ、リザーバ部３２は接合基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されている。つまり、インク室１５に対応する部位の接合基板３０には開口部３３が形成された状態になっている。接合基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成してある。上記では、接合基板３０が、圧電素子保持部３１を有すると共に、リザーバ部３２となる貫通孔の開口部３３を封止膜４１で覆われた一つの部材として説明したが、圧電素子保持部３１を有する基板とリザーバ部３２となる貫通孔の開口部を封止膜４１で覆われた基板とを別部材とし、この後者の基板を「接合基板」として扱ってもよい。また、「流路形成基板１０の一方面側上」という表現は、流路形成基板１０の直接接合されている形態に限定されずに、流路形成基板１０と接合基板３０との間に他の部材を介在させても良いことまでを含む。
【００２６】
圧電素子保持部３１に対応する接合基板３０の上面には配線部材としての駆動ＩＣ１００が設けられ、駆動ＩＣ１００はリード電極９０に電気的に接続されて圧電素子３００を駆動する。接合基板３０上にはリザーバ部３２を覆い開口部３３の周縁に封止膜部材としての封止膜４１が接着剤により接着されている。封止膜４１は固定板４２により周囲が接合基板３０上に固定されている。
【００２７】
封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、封止膜４１によってリザーバ部３２の一方面（図３中上面）が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例えば、厚さが３０μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成されている。固定板４２のリザーバ部３２に対向する領域は開口部４３とされ、リザーバ部３２の一方面（図３中上面）は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２８】
一方、リザーバ１をなすインク室１５に対応するノズルプレート２０の面には矩形板状の補強部材３５が接着により固定され、補強部材３５は流路形成基板１０のインク室１５の壁面に接触して固定されている。そして、図４に示すように、流路形成基板１０のインク室１５は、圧力発生室１２の列設方向の端部近傍に存在する幅狭部と列設方向の略中央部の幅広部とを有し、補強部材３５は、その幅広部に対向する壁面に接触している。より具体的には、補強部材３５はその幅広部において複数の圧力発生室１２に対向するように幅広部のほぼ全長に亘って設けられている。
【００２９】
補強部材３５がインク室１５の壁面に接触してノズルプレート２０に設けられているので、広い面積に亘り流路形成基板１０との接着部が存在しないノズルプレート２０であっても、外力に対する剛性を高めることができる。また、補強部材３５は流路形成基板１０のインク室１５の壁面の全長に接触しているので、外力に対する剛性を確実に高めることができる。
【００３０】
例えば、ノズルプレート２０のノズル開口２１の保護やインク流路のクリーニングのために、図３に示すように、印刷時以外はゴム製のキャップ３６がノズルプレート２０に押し付けられてノズル開口２１が覆われるようにされている。キャップ３６は弾性部材であるゴム製であるため、ノズルプレート２０の部位では図中上側（矢印で示してある）に付勢力が生じて外力が働く。特に、圧力発生室１２よりも狭い断面積となるインク供給路１３を備えているので、連通路１４を支点にして変形が生じやすいが、本実施形態例のノズルプレート２０は補強部材３５により外力に対する剛性が高められているので、ノズルプレート２０が変形することがなく、接着力が弱まった際にも剥がれを引き起こすことがない。
【００３１】
上述した本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ１からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１００からの信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、圧電素子３００を撓み変形させることによって、各圧力発生室１２内の圧力を高めてノズル開口２１からインク滴を吐出させる。
【００３２】
本発明の第２〜第４実施形態例を説明する。図５には本発明の第２実施形態例に係るインクジェット式記録ヘッドの断面視、図６には本発明の第３実施形態例に係るインクジェット式記録ヘッドの断面視、図７には図６中の流路形成基板のリザーバの部位の概略平面視、図８には本発明の第４実施形態例に係るインクジェット式記録ヘッドの断面視を示してある。第２〜第４実施形態例は、第１実施形態例に対して補強部材の構成が異なるものであり、図５、図６、図８は第１実施形態例の図３に相当する状況で、図７は第１実施形態例の図４に相当する状況である。このため、第１実施形態例と同一部材には同一符号を付してあり、インクジェット式記録ヘッドの全体の構成は省略してある。
【００３３】
図５に基づいて第２実施形態例を説明する。
【００３４】
リザーバ１をなすインク室１５に対応するノズルプレート２０の面には断面Ｌ字形のアングル材形状の補強部材５１の一方の矩形部５２の面が接着して固定され、補強部材５１の他方の矩形部５３が流路形成基板１０のインク室１５の壁面から接合基板３０の開口部３３（リザーバ部３２）の壁面に接触している。つまり、補強部材５１は、インク室１５の壁面に接触する一方の矩形部５２と、矩形部５２から開口部３３の壁面に接触して接合基板３０側に延びる延設部としての他方の矩形部５３とから構成されている。
【００３５】
第２実施形態例のインクジェット式記録ヘッドでは、補強部材５１には流路形成基板１０のインク室１５の壁面から接合基板３０の開口部３３（リザーバ部３２）の壁面に接触する矩形部５３が備えられている。また、インク室１５は、圧力発生室１２の列設方向の端部近傍に存在する幅狭部と列設方向の略中央部の幅広部とを有し、この矩形部５２と矩形部５３とを備えた補強部材５１も第１実施形態と同様に、補強部材５１はその幅広部において複数の圧力発生室１２に対向するように幅広部のほぼ全長に亘って設けられている。よって、ノズルプレート２０に働く外力が接合基板３０の壁面に分散され、広い面積に亘り流路形成基板１０との接着部が存在しないノズルプレート２０であっても、ノズルプレート２０の外力に対する剛性を更に高めることができる。
【００３６】
図６、図７に基づいて第３実施形態例を説明する。
【００３７】
リザーバ１をなすインク室１５に対応するノズルプレート２０の面には矩形板状の補強部材５５が接着により固定され、補強部材５５は圧力発生室１２の反対側における流路形成基板１０のインク室１５の壁部を貫通し、上面に接合基板３０（弾性膜５０）が貼り付けられている。そして、図７に示すように、補強部材５５は流路形成基板１０のインク室１５の幅広部に対向する壁部の全長にわたり壁部を貫通するように設けられている。そしてこの幅広部の補強部材５５上に接合基板３０が接合されている。
【００３８】
第３実施形態例のインクジェット式記録ヘッドでは、流路形成基板１０のインク室１５の壁部の一部が補強部材５５で構成されるので、広い面積に亘り流路形成基板１０との接着部が存在しないノズルプレート２０であっても、外力に対する剛性を高めることができる。
【００３９】
図８に基づいて第４実施形態例を説明する。
【００４０】
リザーバ１をなすインク室１５に対応するノズルプレート２０の面には矩形板状の補強部材５７が接着により固定され、補強部材５７は圧力発生室１２の反対側における流路形成基板１０のインク室１５の壁部を貫通し、上面に接合基板３０（弾性膜５０）が貼り付けられている。そして、補強部材５７は、圧力発生室１２を構成する流路形成基板１０の厚さよりも厚くされている。インク室１５は、圧力発生室１２の列設方向の端部近傍に存在する幅狭部と列設方向の略中央部の幅広部とを有し、補強部材５１も第１実施形態と同様に、補強部材５７はその幅広部において複数の圧力発生室１２に対向するように幅広部のほぼ全長に亘って設けられている。
【００４１】
第４実施形態例のインクジェット式記録ヘッドでは、流路形成基板１０のインク室１５の壁部の一部が流路形成基板１０の厚さよりも厚い補強部材５７で構成されている。そして、インク室１５は、圧力発生室１２の列設方向の端部近傍に存在する幅狭部と列設方向の略中央部の幅広部とを有し、補強部材５７も第１実施形態と同様に、補強部材５７はその幅広部において複数の圧力発生室１２に対向するように幅広部のほぼ全長に亘って設けられている。よって、広い面積に亘り流路形成基板１０との接着部が存在しないノズルプレート２０であっても、外力に対する剛性を有効に高めることができる。
【００４２】
第２〜第４実施形態例のインクジェット式記録ヘッドは、第１実施形態例のインクジェット式記録ヘッドと同様に、吸引等のためのキャップに押されても、ノズルプレート２０が変形することがなく、接着力が弱まった際にも剥がれを引き起こすことがない。
【００４３】
上述した記録ヘッドは、液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置に搭載される。図９に基づいてインクジェット式記録装置の概略を説明する。
【００４４】
図に示すように、記録ヘッド本体を有する記録ヘッド８Ａ、８Ｂには、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ、２Ｂが着脱可能に設けられ、記録ヘッド８Ａ、８Ｂはキャリッジ３に搭載される。装置本体４にはキャリッジ軸５が取り付けられ、記録ヘッド８Ａ、８Ｂが搭載されたキャリッジ３はキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。駆動モータ６の駆動力が複数の歯車（図示省略）およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達され、記録ヘッド８Ａ、８Ｂが搭載されたキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン９が設けられ、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン９上を搬送される。
【００４５】
上述した実施形態では、液体噴射ヘッドとしてインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般に適用することができる。例えば、液体噴射ヘッドとして、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの概略平面図である。
【図３】図２中のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢視図である。
【図４】流路形成基板のリザーバの部位の概略平面図である。
【図５】第２実施形態例の要部断面図である。
【図６】第３実施形態例の要部断面図である。
【図７】第３実施形態例の概略平面図である。
【図８】第４実施形態例の要部断面図である。
【図９】記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４７】
８Ａ、８Ｂ  記録ヘッド、１０  流路形成基板、  ３０  接合基板、  ３５、５１、５５、５７  補強部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2008080742.tif 000009
【図８】
2008080742.tif 000010
【図９】
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