(57)【要約】【課題】収納溝内にチップ部品を装填してカバーテープで収納溝の開口部を閉塞して巻取り収納リールに巻き取る前に、チップ部品の状態を安定して検査できるテーピング装置を提供すること。【解決手段】チップ部品Ａの種類によっては同軸照明装置１１３とリング照明装置１１４とによる照明を調節して、下方から光を収納テープ３の収納溝３Ｂ内に装填されたチップ部品Ａにカバーテープ３Ｃ越しに照射して、その反射光をズームレンズ１１２を介して部品認識カメラ１１１が取り込み、チップ部品Ａの状態を撮像し、この撮像結果に基づき装填されたチップ部品Ａの状態、例えばチップ部品の有無、チップ部品Ａの欠けや傷等の破損状況等が検査される。【選択図】図１２
2008273555.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送り装置により送られるキャリアテープの各収納溝内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝の開口部を閉塞した後、巻取り収納リールに巻き取るテーピング装置において、前記収納溝内にチップ部品を装填して前記カバーテープで前記収納溝の開口部を閉塞して前記巻取り収納リールに巻き取る前に、装填されたチップ部品の状態を前記カバーテープ越しに下方から検査する検査装置を設けたことを特徴とするテーピング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送り装置により送られるキャリアテープの各収納溝内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝の開口部を閉塞した後、巻取り収納リールに巻き取るテーピング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種テーピング装置は、例えば特許文献１などに開示されている。そして、前記収納溝内にチップ部品を装填して前記カバーテープで前記収納溝の開口部を閉塞して巻取り収納リールに巻き取る前に、上方からカバーテープ越しにチップ部品の状態、例えばチップ部品の有無、破損状況などを部品認識カメラなどの検査装置で検査していた。
【特許文献１】特開２００３−８２８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、カバーテープの裏面はキャリアテープとの熱溶着を良好にするために、粗くザラザラさせて白濁しており、また収納溝に収納されたチップ部品と上方のカバーテープとの間に空間が形成されているので、カバーテープを介してチップ部品に当たった光もカバーテープとの間で乱反射を繰り返すために、チップ部品を斜めに照射したとき、テープの影がチップ部品の上面にできるために、安定した検査が行えなかった。
【０００４】
そこで本発明は、収納溝内にチップ部品を装填してカバーテープで収納溝の開口部を閉塞して巻取り収納リールに巻き取る前に、チップ部品の状態を安定して検査できるテーピング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため本発明は、送り装置により送られるキャリアテープの各収納溝内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納溝の開口部を閉塞した後、巻取り収納リールに巻き取るテーピング装置において、前記収納溝内にチップ部品を装填して前記カバーテープで前記収納溝の開口部を閉塞して前記巻取り収納リールに巻き取る前に、装填されたチップ部品の状態を前記カバーテープ越しに下方から検査する検査装置を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、収納溝内にチップ部品を装填してカバーテープで収納溝の開口部を閉塞して巻取り収納リールに巻き取る前に、チップ部品の状態を安定して検査できるテーピング装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明のテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１のテーピング装置の平面図、図２の同じく正面図、図３の右側面図に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１の側壁部に立設されたピン（図示せず）にキャリアテープ供給リール２が回転可能に係止されている。そして、当該テープ供給リール２に巻装されたキャリアテープ（テープ本体）３Ａの先端が当該キャリアテープ３Ａに適度なテンションを与えるためのプーリ４Ａ乃至４Ｄ、送りスプロケット５、５、キャリアテープ３Ａなどの搬送路を有する搬送レール７を介して巻取り収納リール９に固定されている。
【０００８】
１０はプーリ４Ｃと巻取り収納リール９との間に設けられた切断刃を有する切断装置で、常に同一箇所で収納テープ３を切断している。送り駆動モータ５Ａによる前記送りリール５、５の回転に合わせて順次キャリアテープ３Ａが所定量搬送されていく間で、キャリアテープ３Ａの収納溝３Ｂ内にチップ部品Ａが挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納溝３Ｂ上面の開口部をカバーテープ供給リール２０から供給されるカバーテープ３Ｃで被覆され、後述するように前記巻取り収納リール９に巻取られる。
【０００９】
尚、上述したように、所定間隔を存して収納溝３Ｂが設けられたキャリアテープ３Ａと、その上面に熱溶着されるカバーテープ（トップテープ）３Ｃとで収納テープ３が形成されるが、所定間隔で開設した送り孔（図示せず）に前記送りスプロケット５、５の歯が嵌合して搬送可能となる。このキャリアテープ３Ａ及びカバーテープ（トップテープ）３Ｃは合成樹脂材料で作製され、カバーテープ３Ａの裏面はキャリアテープ３Ａとの熱溶着を良好にするために接着剤が塗布されて粗くザラザラして白濁している。
【００１０】
そして、テーピング装置本体１に固定された固定板２１上にはＹ軸駆動モータ２２により駆動されてガイド２３に案内されてＹ方向に移動するＹテーブル２４が設けられ、このＹテーブル２４上にはＸ軸駆動モータ２５により駆動されてガイド２６に案内されてＸ方向に移動するＸテーブル２７が設けられ、このＸテーブル２７に送りリール５、５や搬送レール７等が設けられた取付板１９が固定される。従って、Ｘ軸駆動モータ２５及びＹ軸駆動モータ２２の駆動によりＸテーブル２７及びＹテーブル２４が移動することにより、取付板１９を介して前記搬送レール７及びこの搬送レール７に沿って移動するキャリアテープ３ＡなどがＸＹ方向に移動できる。
【００１１】
また、テーピング装置本体１の上にはＹ軸駆動モータ３０によりＹ方向に移動可能なＹテーブル３１が設けられ、更に該Ｙテーブル３１の上にはＸ軸駆動モータ３２によりＸ方向に移動可能なＸ移動体３３を介してチップ部品供給テーブル３４が設けられる。該供給テーブル３４上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ（以下、「チップ部品Ａ」という）に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とした状態で固定されており、このチップ部品Ａは裏面より突き上げピン（図示せず）により突き上げられながら、後述する吸着取出ノズル３６で吸着されて取出されるものである。
【００１２】
前記テーピング装置本体１に固定された上取付板３５には、チップ部品供給テーブル３４からチップ部品Ａを取出す吸着取出ノズル３６が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されてインデキシングカムユニット４０により間欠回転する第１の回転盤３７と、前記収納溝３Ｂにチップ部品Ａを装填する吸着装填ノズル３８が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されてインデキシングカムユニット４１により間欠回転する第２の回転盤３９とが設けられる。
【００１３】
しかも、前記第１及び第２の回転盤３７、３９は、個別の駆動モータ４０Ａ、４１Ａにより、インデキシングカムユニット４０、４１を介して個別に回転されるが、２つの回転盤３７、３９の各ノズル３６、３８を確実に対応させることにより、チップ部品Ａを確実に受け渡すことができる。また、両回転盤の回転半径を同一にすることにより、回転割出し精度（分解能）を同一にすることができる。
【００１４】
次に、部品取出機構４５について、図４に基づき詳述する。前記第１の回転盤３７の周縁部には吸着取出ノズル３６が所定間隔を存して、例えば８本配設されており、各反転装置４６により各吸着取出ノズル３６は上下反転可能に設けられる。即ち、反転駆動モータ４７の駆動によりカップリング４８を介して駆動軸４９が回転すると、駆動軸４９に固定された取付体５０も回転し、前記取出ノズル３６は上下反転される。また、前記取付体５０に設けられたガイド５１に沿ってガイド５２が上下動可能であるため、このガイド５２に固定されたノズル取付体５３に取付けられた取出ノズル３６は上下動可能となるが、前記取付体５０の上辺５０Ａとノズル取付体５３の下辺５３Ａとの間に張架されたスプリング５４により常時上方に付勢されているが、ストッパ５５が前記取付体５０の上辺５０Ａに係止されることにより上限は規制される。
【００１５】
また、前記吸着取出ノズル３６は、Ｚ軸駆動モータ５６の駆動によりガイド５７により上下動可能な作動体５８の作動部５８Ａがノズル取付体５３の頭部を押圧することにより下降することができ、例えばチップ部品供給テーブル３４上のチップ部品Ａを取出すことができる。
【００１６】
次に、部品装填機構６０について、図５に基づき詳述する。前記第２の回転盤３９の周縁部には吸着装填ノズル３８が所定間隔を存して、例えば８本配設されており、各回転装置６１により吸着装填ノズル３８が軸芯方向を中心として回転可能に設けられる。即ち、θ軸駆動モータ６２の駆動軸に設けられたプーリ６３と吸着装填ノズル３８の周囲に設けられたプーリ６４との間に伝達ベルト６５が張架され、吸着装填ノズル３８及び後述する中空円筒体７２はベアリング６６を介して前記第２の回転盤３９に回動可能に設けられる。
【００１７】
また、前記吸着装填ノズル３８は、Ｚ軸駆動モータ６７の駆動によりガイド６８により上下動可能な作動体６９の作動部６９Ａがノズル取付体７０の突部７０Ａに押圧することによりガイド７１に案内されて下降することができ、吸着保持しているチップ部品Ａを搬送レール７上のキャリアテープ３Ａの収納溝３Ｂ内に装填することができる。即ち、吸着装填ノズル３８は中空円筒体７２内で上下に移動可能であり、且つ中空円筒体７２と共にθ回転可能である。
【００１８】
ここで、図９に基づき、本テーピング装置の制御ブロック図について説明すると、１０１はテーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのＣＰＵ、１０２はチップ部品Ａの種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル３６毎の高さレベルデータ等を格納するＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）及び１０３はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ１０１は前記ＲＡＭ１０２に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ１０３に格納されたプログラムに従い、テーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ１０１は、駆動回路１０４及びインターフェース１０５を介して各駆動モータの駆動などを制御している。
【００１９】
また、１０６はインターフェース１０５を介して前記ＣＰＵ１０１に接続される認識処理装置で、各認識カメラにより撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置１０６にて行われ、ＣＰＵ１０１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ１０１は、各認識カメラに撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置１０６に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置１０６から受取るものである。
【００２０】
次に、図６及び図７に示すように、第１の回転盤３７の１２時に位置するステーションは、チップ部品供給テーブル３４から吸着取出ノズル３６がチップ部品Ａを吸着して取出す吸着取出ステーションである。この吸着取出ステーションでは、第１の回転盤３７の旋回移動中にチップ部品供給テーブル３４上の次に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ７３で撮像して当該チップ部品Ａの位置を認識処理装置１０６で認識処理し、ＣＰＵ１０１がこの取出すべきチップ部品Ａを移動してくる吸着取出ノズル３６の直下方位置に位置するよう前記Ｙ軸駆動モータ３０及びＸ軸駆動モータ３２を駆動させてチップ部品供給テーブル３４を移動させ、この吸着取出ステーションでチップ部品供給テーブル３４上のチップ部品ＡをＺ軸駆動モータ５６の駆動により前記吸着装填ノズル３８が下降して吸着して取出す。
【００２１】
次に、ＣＰＵ１０１により駆動回路１０４を介して駆動指令が駆動モータ４０Ａ及び４１Ａに発せられ、駆動モータ４０Ａ及び４１Ａの駆動によりインデキシングカムユニット４１により第２の回転盤３９が時計方向に間欠回転すると共にインデキシングカムユニット４０により第１の回転盤３７が反時計方向に同時に間欠回転する。この第１の回転盤３７の反時計方向に１間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置４６により吸着取出ノズル３６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させる反転ステーションであり、その次はこの反転されたチップ部品Ａの位置を部品認識カメラ７５により撮像して認識処理装置１０６で認識処理する認識ステーションである。
【００２２】
次は、反転装置４６により反転されて印字面を上面とし端子を有する面を下面としたチップ部品Ａ上に印字装置７６により印字する印字ステーションで、以下印字装置７６について図８に基づき説明する。取付板７７に固定されたＸ軸駆動モータ７８によりガイド７９を介してＸ方向に移動可能なＸテーブル８０が設けられ、更に該Ｘテーブル８０の上にはＹ軸駆動モータ８１によりガイド８２を介してＹ方向に移動可能なＹテーブル８３が設けられている。そして、Ｚ軸駆動モータ８４によりＹテーブル８３下面の固定板８５に設けられたガイド８６を介してＺ方向に移動するＺ移動体８７にインクジェット方式の印字ユニット８８が設けられる。
【００２３】
即ち、印字ユニット８８はＸＹ方向及びＺ方向に移動可能であり、前記認識ステーションでの認識処理装置１０６によるチップ部品Ａの位置認識結果に基づき、ＣＰＵ１０１がＸ軸駆動モータ７８及びＹ軸駆動モータ８１を制御して、前記認識ステーションからの前記第１の回転盤３７の旋回移動中にＸＹ方向の補正をした状態で、次の印字ステーションでＺ軸駆動モータ８４により下降した印字ユニット８８によりチップ部品Ａにシリアル番号等が印字される。
【００２４】
次のキュアステーションは、前記印字ユニット８８により印字されたインクを温風装置（図示せず）による温風により乾燥させるステーションである。
【００２５】
前記吸着取出ステーションを１番目として反時計方向に回転した６番目が受渡しステーションであり、前記反転装置４６により上下反転された吸着取出ノズル３６のチップ部品Ａを第２の回転盤３９の吸着装填ノズル３８に受け渡す。言い換えると、第２の回転盤３９の受継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第２の回転盤３９が回転して装填ステーション及びリカバリ装填ステーション（受継ぎステーションを１番目として６番目と７番目）において吸着装填ノズル３８が前記テープ３のキャリアテープ３Ａ上方に位置するように両回転盤３７、３９が配設される。
【００２６】
即ち、２本の吸着装填ノズル３８が前記テープ３のキャリアテープ３Ａ上方に位置するように第２の回転盤３９を配設すると、両回転盤３７、３９は８分割間欠回転するので、前記装填ステーションにおける第２の回転盤３９の中心と吸着装填ノズル３８と結んだラインとテープ３の走行ラインとで作る角度は６７．５度となり、第１の回転盤３７の受渡しステーションと第２の回転盤３９の受継ぎステーションとは２２．５度ずれて受継ぐように両回転盤３７、３９が配設されることとなる。
【００２７】
この第２の回転盤３９の受継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置（図示せず）によりチップ部品の特性を検査する第１検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値がＲＡＭ１０２に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査させる。ここで、所定範囲内になければ、ＣＰＵ１０１はキャリアテープ３Ａに装填せずに、後述する専用トレイ（図示せず）内に収納するように制御する。
【００２８】
この第１検査ステーションの次のステーションが、特性検査装置（図示せず）によりチップ部品の特性を検査する第２検査ステーションで、例えばチップ部品に電流が流れるかの導通検査をするステーションである。ここで、特性検査装置により電流が流れないものと検査されると、ＣＰＵ１０１はキャリアテープ３Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００２９】
次の認識ステーションには装填部品認識カメラ９３が配設され、吸着装填ノズル３８に吸着保持されたチップ部品Ａをこの装填部品認識カメラ９３で撮像して認識処理装置１０６により当該チップ部品Ａのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査（バンプが所定数あるか等）がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、ＣＰＵ１０１はキャリアテープ３Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００３０】
次の装填ステーションには、図２に示すように、搬送レール７上のキャリアテープ３Ａの収納溝３Ｂの位置認識のための装填位置認識カメラ９４が設けられ、第２の回転盤３９の旋回移動中に装填されるべき前記収納溝３Ｂを撮像し、認識処理装置１０６で位置認識する。
【００３１】
従って、装填部品認識カメラ９３によりチップ部品Ａを、また装填位置認識カメラ９４により収納溝３Ｂを撮像した後に、認識処理装置１０６により前記吸着装填ノズル３８に吸着保持されたチップ部品Ａの位置の認識処理及び当該収納溝３Ｂの位置の認識処理をし、その結果に基づいて、ＣＰＵ１０１がＸＹ方向については前記Ｙ軸駆動モータ２２及びＸ軸駆動モータ２５を補正制御し、またθ方向、即ち平面方向における角度についてはθ軸駆動モータ６２を補正制御する。
【００３２】
このため、収納溝３Ｂ内の適正位置に、Ｚ軸駆動モータ６７の駆動により下降する吸着装填ノズル３８によりチップ部品Ａを装填することができることとなる。
【００３３】
更に、次のリカバリ装填ステーションには印字検査カメラ９５が設けられ、第２の回転盤３９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝３Ｂ内のチップ部品Ａを撮像し、認識処理装置１０６で認識処理してテープ３に装填されたチップ部品Ａの印字の有無及び印字の向きを検査する。
【００３４】
そして、認識処理装置１０６による認識結果によりＣＰＵ１０１が不良と判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル３８がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納溝３Ｂよりチップ部品Ａを取出すと共にこのとき前記装填ステーションで装填しようとしていた吸着装填ノズル３８は装填せずに待機するように制御される。
【００３５】
そして、この状態でＣＰＵ１０１はキャリアテープ３Ａを移動させずに、第２の回転盤３９を間欠回転させて、前述の如く取出されて空となった収納溝３Ｂに次の吸着装填ノズル３８が保持していたチップ部品Ａを装填するように制御し、その次のステーションで不良チップ部品は図示しないＸＹ移動可能な専用トレイ内に収納される。
【００３６】
そして、部品装填機構６０によるキャリアテープ３Ａの収納溝３Ｂ内へチップ部品Ａが挿入された後、そしてテープ圧着機構９６によりキャリアテープ３Ａとカバーテープ３Ｃとが圧着されると共に熱溶着され、その後巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００３７】
即ち、吸着取出ステーションでチップ部品供給テーブル３４から第１の回転盤３７の吸着取出ノズル３６がチップ部品Ａを吸着して取出し、反転ステーションで前記反転装置４６により吸着取出ノズル３６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させ、受渡しステーションで前記反転装置４６により上下反転された吸着取出ノズル３６のチップ部品Ａを第２の回転盤３９の吸着装填ノズル３８に受け渡し、第２の回転盤３９が回転して装填ステーションで吸着装填ノズル３８が前記キャリアテープ３Ａの収納溝３Ｂ内へチップ部品Ａが挿入された後（図１０参照）、テープ圧着機構９６によりキャリアテープ３Ａとカバーテープ３Ｃとが圧着され、巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００３８】
前記収納溝３Ｂ内へのチップ部品Ａ挿入後に圧着されて、この圧着後の収納テープ３は送り駆動モータ５Ａの駆動による送りスプロケット５、５の回転により１ピッチ分送られることとなるが、このときＣＰＵ１０１は収納駆動モータ９Ａを正転させて巻取り収納リール９を回転させて収納テープ３を巻き取る。
【００３９】
そして、左のスプロケット５からプーリ４Ｂへ向かう間は、収納テープ３のキャリアテープ３Ａが上方に位置すると共にカバーテープ３Ｃは下方に位置することとなる。従って、図１１に示すように、この収納溝３Ｂ内にチップ部品Ａを装填してカバーテープ３Ｃで前記収納溝３Ｂの開口部を閉塞した収納テープ３を巻取り収納リール９に巻き取る前に、収納テープ３がほぼ水平状態にあって、装填されたチップ部品Ａの状態を下側に位置したカバーテープ３Ｃ越しに下方から検査装置１１０が検査する。
【００４０】
即ち、収納溝３Ｂ内に装填されてカバーテープ３Ｃ上にあるチップ部品Ａの状態、例えば収納溝３Ｂ内のチップ部品の有無、チップ部品Ａの欠けや傷等の破損状況、チップ部品Ａへの印字方向（収納溝３Ｂへの装填方向）等が検査装置１１０により検査されることとなる。この検査装置１１０は、図１２に示すように、部品認識カメラ１１１及びズームレンズ１１２、複数の光源１１３Ａを備えた同軸照明装置１１３、複数の光源１１４Ａを備えた中空円筒状のリング照明装置１１４から構成される。
【００４１】
従って、傷とか文字を検査し易い同軸照明装置１１３を使用して、但しチップ部品Ａの種類によっては同軸照明装置１１３とリング照明装置１１４とによる照明を調節して、光を収納テープ３の収納溝３Ｂ内に装填されたチップ部品Ａにカバーテープ３Ｃ越しに照射して、その反射光をズームレンズ１１２を介して部品認識カメラ１１１が取り込み、チップ部品Ａの状態を撮像する。そして、この撮像結果に基づいて、装填されたチップ部品Ａの状態を判断し、問題なく良好であればそのまま次のチップ部品Ａの検査を続行し、問題がある場合には直ちにテーピング装置の運転を停止する。そして、問題がある旨がわかるように、その収納テープ３の所定部位にマークを付してもよい。
【００４２】
従来は、上方からカバーテープ越しにチップ部品の状態を検査していたので、カバーテープの裏面はキャリアテープとの熱溶着を良好にするために粗くザラザラさせて白濁しており、またカバーテープを介してチップ部品に当たった光も該チップ部品とカバーテープとの間隙があるのでカバーテープとの間で乱反射を繰り返し、テープの影がチップ部品にでき、安定した検査が行えなかったが、検査装置１１０が装填されたチップ部品Ａの状態を下方に位置したカバーテープ３Ｃ越しに下方から検査するので、カバーテープの上にチップ部品が載り、カバーテープとチップ部品との間隙を僅かに抑え、上記乱反射、チップ部品表面でのテープの影の形成を極力回避でき、この結果、安定した検査が行えることとなる。
【００４３】
なお、本実施形態の収納テープ３はキャリアテープ３Ａ及びカバーテープ３Ｃが合成樹脂材料で作製されたエンボステープであったが、これに限らず、キャリアテープが紙製で、カバーテープ３Ｃが合成樹脂材料製の紙テープでも同様に適用できる。
【００４４】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】テーピング装置の平面図である。
【図２】テーピング装置の正面図である。
【図３】テーピング装置の右側面図である。
【図４】部品取出し機構を説明するための図である。
【図５】部品装填機構を説明するための図である。
【図６】第１及び第２の回転盤の停止状態の平面図である。
【図７】第１及び第２の回転盤の旋回移動中の平面図である。
【図８】印字機構の側面図である。
【図９】本テーピング装置の制御ブロック図である。
【図１０】搬送レールの縦断面図である。
【図１１】図２の要部拡大図である。
【図１２】検査装置の概念を表す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１                テーピング装置本体
３                収納テープ
３Ａ              キャリアテープ
３Ｂ              収納溝
９                巻取り収納リール
１０１            ＣＰＵ
１１０            検査装置
１１１            部品認識カメラ
【図１】
2008273555.tif 000003
【図２】
2008273555.tif 000004
【図３】
2008273555.tif 000005
【図４】
2008273555.tif 000006
【図５】
2008273555.tif 000007
【図６】
2008273555.tif 000008
【図７】
2008273555.tif 000009
【図８】
2008273555.tif 000010
【図９】
2008273555.tif 000011
【図１０】
2008273555.tif 000012
【図１１】
2008273555.tif 000013
【図１２】
2008273555.tif 000014