(57)【要約】      （修正有）【課題】大電力ミリ波伝送系では、特に立ち入り禁止区域や人間が近づけない狭い場所や高所にある伝送機器が複数混在している伝送系の異常個所を的確に異常診断する装置が存在していない。【解決手段】高周波ビーム反射板１他、温度センサー９、加速度センサー１０、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から大電力ミリ波伝送系の異常診断装置を構成する。高周波ビーム反射板で、熱に変換された高周波電力を温度センサーで測定し、測定温度に対して予め決められた関係から高周波電力を見出す。正常伝送時の損失と異常伝送時の損失を比較、加えて異常振動波信号の最速受信波動と最大受信波動を選別し、異常伝送損失箇所と合致することで、伝送系における異常を診断する。異常機器の選別や場所を特定する装置、発振管出力電力の異常変化や伝送系内の異常を監視する装置に、機器保護用インターロック信号の出力を装備した。【選択図】図１
2008157626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、伝送系を構成する複数ベンド部の反射板で損失するモード変換損失や表面抵抗を熱として計測、その高周波損失の定常状態と異常状態の損失比率から異常診断することを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項２】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、伝送系を構成する導波管と被測定物に対して予め決められた位置関係に設置した複数の加速度センサーから異常振動波を計測、それらの最速受信波動順位1〜3と最大受信波動順位1〜3から異常診断することを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項３】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、伝送系機器である複数の高周波ビーム反射板から得られる異常高周波損失と伝送系各所から得られる異常振動波から、一致する異常箇所を判定して異常診断することを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項４】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、偏波、モードの異なる高周波伝送系の伝送効率が定常的に判定できることを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項５】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、ミリ波伝送系には不可欠なベンド部に付属する反射板を利用することで、規格のベンドの利用が可能で、計測のための反射板の追加や規定の伝送系機器構成を変更する必要がないことを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項６】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、閾値を超えた異常振動波信号により、機器保護のためのインターロック信号が出力され、発振管の発振が停止されることを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項７】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、特に放射線管理区域等の立ち入り禁止区域や人間が近づけない狭い場所や高所また、複雑で多くの高周波機器で構成された伝送距離の長い伝送路においても異常箇所を特定できることを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項８】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、高周波ビーム反射板に熱伝達に優れたシート状の電気ヒーターを付属して、入力された電力から温度上昇の変換係数を個々に随時較正することで、熱容量の異なるそれぞれの各ベンド部の高周波損失が算出できることを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【請求項９】
高周波ビーム反射板、温度センサー、加速度センサー、電気ヒーター、信号選別制御器、異常出力制御表示器、計測演算制御表示器から構成され、高周波ビーム反射板を断熱構造にして、さらに形状、材料を統一することで、高精度の高周波損失測定が可能とすることを特徴とする大電力ミリ波伝送系の異常診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、核融合装置の高周波加熱装置に係わり、特に大電力ミリ伝送系の異常診断装置に関する。
【０００２】
特に、本発明は、核融合装置において、発振管で精製された高周波がプラズマに到達する真空容器までの高周波伝送路における異常現象を的確にとらえ、異常と異常箇所をすばやく検知できる高周波伝送路の異常診断装置である。又、本装置は、数10〜100ｍの長い伝送系路で発生する異常診断に威力を発揮するもので、放射線管理区域や高電圧立ち入り禁止区域、人間が近づけない狭い場所や高所等での異常と発生場所の同定が可能であり、さらに高周波発振管から生成されたミリ波がプラズマに入射されるまでの高周波の伝送効率、あるいは特定の伝送系間における伝送効率が定常に判定できる異常診断装置である。
【背景技術】
【０００３】
高周波加熱装置では、高温プラズマに大電力高周波を入射して、効率良く核融合反応が発生する1億度以上の超高温に加熱するひとつの目的がある。発振管や増幅器で生成されたMW級の高周波は、プラズマに到達するまでに高周波伝送路である導波管と各種の高周波コンポーネントを通過し、その中にはMW級の高周波ビームの方向を変化させる金属製の反射板が各所にあることや、導波管外へ高周波を漏らさずに、導波管内を真空排気するため、導波管を細密加工して0.5mm程の無数の溝により排気口を設けている特殊な導波管、偏波角や楕円度を調整する偏波変換器、高周波を低損失で通して、トリチウム等の不純物を真空的に遮断する真空窓や開状態では高周波を低損失で伝送して、閉止状態では真空遮断する高周波真空ゲートバルブ、高周波ビームの進行方向を任意（0°,90°）に方向転換する導波管切換器等の機器が複数組み合わされている。これらの場所では、構成機器の耐電圧劣化や突発的な異常、たとえば真空度上昇による放電等での機器の損傷等の不具合が発生することがある。小さな異常を察知できずにいると、さらに放電で生じたアーク痕や突起により、放電が増殖され、また新たな放電に発展して、機器の破損にまで発展する可能性がある。
【０００４】
従来の装置では、以下の方式（１）、（２）及び（３）で高周波伝送路の異常発見が行われていた。
【０００５】
（１）伝送路の90°ベンド部の反射板に高周波の漏れる小さな穴を開けて、これから漏れ出る高周波の進行方向電力と逆方向電力を計測することにより、高周波伝送路の異常を検出する方式。
【０００６】
（２）高周波コンポーネントの中から、特に放電が発生すると大きな異常事象に発展する恐れのある機器を選定して、放電光を検出するセンサーを設置して異常を検出する方式。
【０００７】
（３）伝送路内の真空度を計測して、異常に変化した真空度により検出する方式。
【０００８】
なお、高周波電力測定装置において、導波管内を伝搬する高周波を検出部の誘電体に通過させ、そこで熱に変換された高周波電力を測定することが行われているが（特許文献１）、導波管内の異常機器の選別やその場所を特定することまでは行われていない。又、大電力ミリ波伝送系における各種コンポーネントである導波管、反射板等の損失やその原理等が記述されている論文が発表されている（非特許文献１，２，３及び４）。
【特許文献１】特開２００６−１３２９６０号公報
【非特許文献１】Manfred Thumm, Walter Kasparek; Recent advanced technology in electron cyclotron heating systems. Fusion Engineering and Design 26 (1995)291-317
【非特許文献２】J.P.Crenn; Optical propagation of the HE11 mode and Gaussian beams in hollow circular waveguides. International Journal of Infrared and Millimeter Waves, vol.14, No.10, 1993
【非特許文献３】J.L.Doane, C.P.Moeller; HE11 mitre bends and gaps in a circular corrugated waveguide. INT. J. ELECTRONICS, 1994, vol.77, No.4, 489-509
【非特許文献４】I. A. Gorelov et al ; Calorimetric  Power  Measurements  of  the  DIII-D  Gyrotron  System, Bull. Am  Phys. Soc. 46, p.302(2001)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記背景技術（１）の課題は
1）  高周波の偏波の変化や不要モードにより電力量が変化するため、異常現象を的確に捕らえにくい。
【００１０】
2）  穴より漏れ出た微小高周波を検波するため検波器を使用する。したがって検波器固有の性能に左右される。100GHz帯の検波器は、経年変化や環境条件に影響されやすく、レベル変動が生じやすい。
【００１１】
上記背景技術（２）の課題は
1）  受光ダイオード等にて光を感知し、ある光量レベルで信号を出力する光量検出方式が一般的であるが、感度を上げるとバックグラウンド環境の光量変化で誤動作を起こすため、感度の調整が難しい。
【００１２】
2）伝送路内の一部で発生した異常発光が、数箇所に設置したセンサーの複数に反応し、異常個所の同定が難しい。
【００１３】
3）  光ファイバーで発光した光を伝送し、制御受光器で受光し、光量を電気信号に変換して機器インターロック信号を発生させたり、感度調整に必要な発光源の設置や制御器に感度調整機構が必要であるため、システムを構成する機器の製作費が高価になる。
【００１４】
4）  異常発光以外の正常な発光源、たとえば核融合実験装置ではプラズマ等の光で検出され、異常発光あるいは正常発光かの判別が難しい場合がある。
【００１５】
上記背景技術（３）の課題は
１）反応が遅く、検知された時には異常現象が進行してしまう可能性がある。
【００１６】
２）伝送路に高周波を伝送すると、直接高周波ビームが接する反射板や導波管内壁からガス放出があり、異常による真空度上昇か、あるいは伝送経路内からのガス放出かの判別が難しい場合が多い。
【００１７】
３）真空排気装置の不具合やガス放出の大きな高周波機器の設置や長期間の大気開放作業等で、伝送系内からの放出ガスが増加し、定常状態より真空度が上昇、さらに高周波伝送により増大することがあり、異常現象を的確に捕らえにくい場合が多い。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、発振管から出力された高周波が、正常であれば、発振管側からプラズマ側に向けて、ある一定の割合（伝送路である導波管での抵抗損失や伝送路に設置された高周波機器での損失）で減少し続けるが、異常が発生すると、これらの比率が変化する現象をとらえて、異常診断を行う装置である。また、伝送系の適切な位置に加速度センサーを装着し、放電等で発生する数箇所の異常振動波の最大波および最速受信波を選別して診断するため、さらに異常の検出精度と異常個所の同定精度を高める効果がある装置である。
【００１９】
即ち、本発明は、高周波伝送系に設置する、高周波ビーム反射板、温度センサー（熱電対）、加速度センサー（圧電素子）、反射板に設けられた熱変換を容易にする電気ヒーター、信号選別制御器、計測演算表示器、異常出力制御表示器から構成される大電力ミリ波伝送系の異常診断装置であって、伝送系に高周波機器の一つとして設置されている高周波ビーム反射板で熱に変換された高周波電力を温度センサーで測定し、測定温度に対して予め決められた関係から高周波電力を見出し、正常伝送時の電力損失と異常伝送時の電力損失を比較して異常診断を行って異常機器の選別及び／又は場所を判定し、加えて伝送系に高周波機器の一つとして設置されている加速度センサーから計測される異常振動波信号より最速受信波動と最大受信波動を選択して異常診断を行って異常機器の選別及び／又は場所を判定し、温度センサーによる異常伝送電力損失箇所と照合することで、両診断の一致する異常に基づいて伝送系に設置された異常機器の選別及び／又は場所を特定する装置である。また、伝送路の伝送損失が定常的に判定でき、発振管から出力された電力の異常変化や伝送系内の異常を監視、また機器保護用インターロック信号の出力を装備した大電力ミリ波伝送系異常診断装置である。
【００２０】
上記最速受信波又は最大受信波は、伝送系の任意の場所に取り付けた加速度センサー（ここでは14箇所、図２及び３参照）からの信号で、最も早い時間に検知された信号を最速受信波動（ｔ min）、最も大きい信号を最大受信波動（E max）である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の高周波加熱装置における大電力ミリ波伝送系の異常診断装置は、伝送系を構成する、高周波コンポーネントのひとつである、ベンドや整合器の高周波ビーム反射板から得られる高周波損失による温度情報と加速度センサー（圧電素子）から得られる異常振動波により、伝送系の伝送効率や、異常場所の同定ができる特徴を有する。以下に特徴的な効果を示す。
【００２２】
（1）閾値を超えた異常振動波信号により、機器保護のためのインターロック信号が出力され、発振管の発振が停止される。
【００２３】
（2）正常伝送時の高周波電力損失と異常伝送時の高周波電力損失を比較、加えて異常振動波信号の最速受信波動と最大受信波動を選別、異常伝送による高周波電力損失箇所と合致することで、伝送系における異常個所を判定できる。
【００２４】
（3）偏波、モードの異なる高周波伝送系の伝送効率が定常的に判定できる。
【００２５】
（4）ミリ波伝送系には不可欠なベンドに付属する反射板を利用することで、各種のベンドの利用が可能で、計測のための機器の追加や規定の伝送系機器構成を変更する必要がない。
【００２６】
（5）特に立ち入り禁止区域や人間が近づけない狭い場所や高所でも異常診断ができる。
【００２７】
（6）複雑で多くの高周波機器で構成された伝送距離の長い伝送路において効果を発揮する。
【００２８】
（7）高周波ビーム反射板を断熱構造にして、さらに形状、材料を統一することで、高精度の高周波損失測定が可能である。
【００２９】
（8）高周波ビーム反射板に熱伝達に優れたシート状の電気ヒーターを付属して変換係数較正することで、比熱容量の異なるそれぞれの各ベンド部の高周波損失が算出できる。
【００３０】
上記変換係数較正とはつぎの意味である。本異常診断装置では高周波コンポーネントのひとつであるベンド部の反射板や整合器反射板を使って、高周波ビームによる発熱を計測して異常診断するため、発生した熱から高周波損失を算出する変換係数が重要である。この反射板は導波管や他の固定持具と接続されており、伝送系各所に設置されている反射板の熱容量はそれぞれ異なるため、それぞれ全ての反射板部の較正が必要となる。そこで、本発明の装置では各反射板に伝達電力が明確なシート状の電気ヒーターを付属することで、通電した電圧と電流から反射板に供給した電力が判り、この時反射板の上昇温度を測定することで、供給電力と上昇温度の関係が判り、この変換係数の較正値により、高周波が反射板を通過した時の温度上昇から高周波損失の演算を行う。この高周波損失の演算に必要な操作が変換係数較正である。
【００３１】
また、ベンド等で一定の構造や形状、材質の反射板の使用が可能であれば、断熱構造にすることで各ベンドでの温度差が高周波損失に比例する。このように反射板を統一することにより高周波損失計測精度が向上する利点がある。ただし、MW級の大電力伝送で時間が長い場合には、断熱構造では反射板の発熱が大きくなる場合があり、除熱構造が余儀なくされ、反射板を含めたベンドと導波管、固定持具を一体でそれぞれの場所で比熱較正して各部の損失を算出する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
核融合実験装置における代表的なミリ波帯高周波加熱装置では、発振器からプラズマを生成する真空容器まで約50〜100ｍ、伝送電力は約1MW、1〜30秒程度、伝送系のコンポーネント数は1系統に約20程度で構成される。導波管の直径は約3〜6ｃｍで真空排気（10-3Pa以下）され、伝送路での放電等の異常を軽減する処置がされている。高周波加熱装置における大電力ミリ波伝送系の高周波損失は約50ｍで約１０〜２０%以下を目標に設計されており、導波管直径が約3ｃｍベンドでの高周波損失は約１％の損失が生じる。
【００３３】
ここで、本異常診断装置に求められる最良の形態は、高周波損失を検出する高周波ビーム反射板と異常振動波を検出する加速度センサーを長い伝送系内にバランス良く配置することであるが、不バランスの配置であっても所定の性能を維持するため、各部の異常振動波から最大受信波動順位1〜3および最速受信波動順位1〜3を選別して、各部の反射板で損失した高周波電力を演算し、正常状態の損失と比較することで異常個所を同定できる異常診断装置である。
【実施例】
【００３４】
本発明の実施例を図1、図2、図3により説明する。図１は、大電力ミリ波高周波加熱装置の代表的な伝送系に異常診断装置を実装した実施例を示す。主構成要素は、図１に示される高周波ビーム反射板１〜６、各反射板における高周波損失を計測する熱電対９a〜9ｆ、異常振動波を検出する圧電素子10a〜10ｑ、図３に示される異常振動波を増幅、補正して最速受信波動と最大受信波動を選別する信号選別制御器25、インターロック信号出力と異常位置の判定表示をする異常出力制御表示器26、及び反射板の温度変化を高周波損失量に変換して、正常時と異常時の損失変化を比較表示する計測演算制御表示器27から構成される。大電力ミリ波の伝送系には、高周波ビームの方向を変換するための反射板が数多く使用されており、本実施例では伝送系設備の6個の反射板を使用した異常診断装置を示した。
【００３５】
高周波を伝送する通路には、数多くの高周波機器が配置されており、発振管11から出力された大電力ミリ波は、発振管の真空窓12を介して、高周波分布を整形して伝送系導波管に対応した高周波電界分布に整合する整合器14（平面反射板と凹面反射板2枚で構成）、そして真空導波管13a〜13g（内壁は損失を低減するためコルゲート状に加工されたものが一般的）に伝送される。ベンド15ａ〜15dには、反射板のみのものと、進行波、反射波を計測する方向性結合器付ベンドや真空窓のアーク放電光を検出する光ファイバーを内包したベンドがあり、偏波角や楕円度を調整する偏波変換器が接続されている。
【００３６】
また、伝送系は、導波管内を高真空に排気するための真空排気用特殊導波管16、反射板を可動させて高周波ビームを水平/垂直方向に方向転換できる導波管切換器17、伝送される高周波電力を測定するカロリーメーター型電力測定器18、核融合装置からのトリチウム等を真空的に遮断するトーラス真空窓19、高周波伝送路を核融合真空容器と高気密で真空遮断し、また開状態では高周波伝送損失を極力低下する構造を有する高周波真空ゲートバルブ20等の高周波機器から構成され、それぞれ特殊な機能を持つため、熱変形や真空度上昇等の異常で耐電力性能の劣化そして放電を誘発する異常を発生することが多い。
【００３７】
異常の検出は、伝送系に設置された反射板の高周波損失と伝送系の規定された位置に配置された圧電素子からの異常振動波を解析して実施される。図２，３より異常の発生が懸念される被測定物と異常検知用加速度センサー（放電等の微細な異常振動を検出する圧電素子1〜14）の位置関係は、被測定物及びその前後の導波管に等間隔（図2の1）に配置する。測定点の材質や質量等による伝達振動誤差を軽減するために、加速度センサーの配置場所は被測定物から同構造の導波管の外表面が適する。図３の異常振動波1〜14は絶縁増幅器、遅延補正器、レベル補正器を介して、信号選別制御器２５により、最も信号レベルの大きい順位1〜3（E max:１〜３）、最も速く受信した信号順位1〜3（t min:1〜３）が選択される。なお、図２には、異常診断用検出器、その配置例、及びその配置箇所における発振管出力電力（Ｐ０）に対する伝送効率（Ｐａ〜ｆ）が示されている。
【００３８】
また、圧電素子１〜４からの異常振動波に基づく保護インターロック信号はOR回路、閾値設定回路を通して出力される。各部（圧電素子１〜１４の位置）の振動波は、異常のない定常状態で基準信号を与え、絶縁増幅器、遅延補正器、レベル補正器により調整され、信号選別制御器２５への入力信号を統一する。
【００３９】
また、被測定物として高周波反射板付の異なった数種類のベンドを想定して、それぞれに高周波損失による発熱を熱電対a〜fにより検出する。可能であれば反射板のみ熱絶縁し、同形状、同材質で統一した反射板の使用が可能であれば、より較正が容易で精度の高い高周波損失測定が可能になる。しかし、現実にはそれぞれの用途に適合したベンドに組み入れた反射板を使用している装置が一般であり、本異常診断装置では、既設の装置を改造なしに使用できる異常診断機能を有する装置とした。高周波ビーム反射板で、熱に変換された高周波電力を温度計で測定し、測定温度に対して予め決められた関係から高周波電力を見出し、正常伝送時の損失と異常伝送時の損失を比較、加えて異常振動波信号の最速受信波動と最大受信波動を選別、異常伝送損失箇所と合致することで、伝送系における異常を診断、また異常機器の選別や場所を特定する。反射板での高周波損失を算出するために、伝達電力が明確なシート状の電気ヒーターを用い較正を実施する。
【００４０】
次式により、各反射板の各時間変化における熱容量Ｃi、単位時間当りの反射板の温度変化   dTi  /dt と熱伝達係数αi  を評価する。（i : 各部の反射板 a,b,c…f）
【００４１】
【数１】
2008157626.tif 000003
【００４２】
電気ヒーターでの較正結果をもとに、データー演算器で各反射板部での高周波損失P iを評価する。また、反射板が熱絶縁されたものは、αi( T i - T∞ i  )の項が削除され、単純な較正により評価できる。
【００４３】
【数２】
2008157626.tif 000004
【００４４】
被測定物1〜6点における伝送効率は、発振電力P0とa〜ｆ点での損失電力の比Pi  /  P0で求めることができる。伝送系内のいずれかの場所で放電等の異常が生じると、異常個所では高周波損失が増大し、異常個所以降の伝送路は定常状態より伝送電力が減少する状態が生じるため、異常個所の判定ができる。判定基準は、発振電力が安定して一定の場合は、正常状態（Pi0）と異常状態（Pi）の各反射板（a〜ｆ）での損失比Pi  /  Pi0  、正常状態と異常状態の発振電力が異なる場合は発振電力(P00,P0)で補正した損失比 
【数３】
2008157626.tif 000005
より異常が発生した位置を判定し、異常振動波選別結果と合致した場所の表示を行う。
【００４５】
本高周波加熱装置におけるミリ波伝送系の異常診断装置は、異常の発生確率の高い伝送系機器とその前後の導波管に圧電素子を装着して、異常振動波を検出、各部の異常振動波から最大受信波動および最速受信波動を選別する。加えて、伝送系の高周波ミラーで損失する高周波電力を計測して、正常状態の損失と異常状態の損失を比較することで異常個所を同定する。さらに、本装置では伝送路の伝送効率が定常的に判定でき、大電力ミリ波の発振異常や伝送系内の異常を監視また、機器保護用インターロック信号の出力を装備した装置である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の大電力ミリ波伝送系の異常診断装置は、核融合装置、大型加速器装置、大電力ミリ波を利用した産業、導波管と高周波ビーム反射板が設置された伝送系で構成された高周波伝送設備において使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】は本発明の一実施例の大電力ミリ波高周波加熱装置の伝送系と異常診断装置である。
【図２】は本発明の一実施例の異常診断用検出器とその配置例図である。
【図３】は本発明の一実施例の異常診断装置の異常診断機能概要図である。
【符号の説明】
【００４８】
1・・・高周波ビーム反射板1
2・・・高周波ビーム反射板2
3・・・高周波ビーム反射板3
4・・・高周波ビーム反射板4
5・・・高周波ビーム反射板5
6・・・高周波ビーム反射板6
7・・・高周波ビーム反射板7
8・・・高周波ビーム反射板8
9a〜9ｆ・・・熱電対
10a〜10q・・・圧電素子  
11・・・発振管
12・・・発振管真空窓
13a〜13g・・・導波管
14・・・整合器
15a〜15ｄ・・・90°ベンド
16・・・真空排気用導波管
17・・・導波管切替器
18・・・電力測定器   
19・・・トーラス真空窓
20・・・高周波真空ゲートバルブ
21・・・プラズマ生成用真空容器     
22・・・プラズマ
23・・・高周波ビーム
24・・・真空排気装置
25・・・信号選別制御器
26・・・異常出力制御表示器
27・・・計測演算制御表示器
【図１】
2008157626.tif 000006
【図２】
2008157626.tif 000007
【図３】
2008157626.tif 000008