(57)【要約】【課題】  搬送テーブルの高速移動と、位置決め分解能の高い低速移動を実施できるようにする。【解決手段】  駆動モータ８の出力軸８ａに、小径の中間ローラ１１と、スライドバー２の一側面に接触、離反可能な大径の高速移動用駆動ローラ１０とを同軸に取り付ける。中間ローラ１１よりも大径の減速ローラ１４を、中間ローラ１１に対して接触、離反可能に設け、減速ローラ１４に上端部を取り付けた動力伝達軸１５の下端部に、スライドバー２の他側面に接触、離反可能な小径の低速移動用駆動ローラ１３を取り付ける。駆動モータ８の回転数と同じ回転数で回転駆動される高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２に接触させる状態と、中間ローラ１１と減速ローラ１４との径の比に反比例して減速された回転数で回転駆動される低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２に接触させる状態とを切り替えて搬送テーブル１の移動を行わせる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に、中間ローラと、上記スライドバーに接触、離反可能な高速移動用駆動ローラとを同軸に取り付け、更に、上記中間ローラよりも大径の減速ローラを、該中間ローラに対して接触可能に設けると共に、該減速ローラに、上記スライドバーに接触、離反可能な低速移動用駆動ローラを同軸に取り付けた構成を有することを特徴とする摩擦駆動搬送装置の駆動機構。
【請求項２】
高速移動用駆動ローラの径に比して、低速移動用駆動ローラの径を小径とするようにした請求項１記載の摩擦駆動搬送装置の駆動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送テーブルに設けた駆動ローラを固定部側に設けたバーに圧接させながら回転駆動させることにより、上記駆動ローラとバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、上記駆動ローラと一緒に上記搬送テーブルをバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、工作機械等において、ワークの搬送テーブルやその他の移動体を、該機械の固定部に対して移動させるための駆動機構としては、送りねじと、該送りねじに噛合（螺着）するナットと、上記送りねじを駆動するサーボモータの如き駆動モータを備えて、上記送りねじを駆動モータにより正逆転駆動させることで、上記ナットに取り付けた移動体を、上記送りねじの軸心方向に沿って移動させる形式の送り機構が広く採用されている。
【０００３】
ところで、半導体関連の製造、検査等の精密な位置決めを行う精密機械では、搬送テーブル等の移動体を該機械の固定部に対して移動させるときに、移動体の精密な位置決め、たとえば、μｍオーダー以下の精度での位置決めを行うことが要求されることがある。
【０００４】
しかし、上記サーボモータと送りねじとナットとからなる送り機構は、送りねじの回転慣性が大きいために応答速度が遅く、又、バックラッシュの発生が避けられない等の構造上の問題があることから、上記したような移動体の精密な位置決めが要求される工作機械用の駆動機構として採用することは困難である。
【０００５】
そのため、上記のような精密機械における移動体を移動させると共に該移動体の精密な位置決めを行うことができるようにするための駆動機構として、移動体の移動方向に延びるレール状のバー（被駆動軸）と、上記バーを挟むように配設して該バーに対し両側から所要の与圧を印加した状態で圧接できるようにしてなる駆動ローラ及びバックアップローラ（押付ローラ）とを、機械の固定部と、移動体とに振り分けて取り付け、更に、上記駆動ローラに、駆動モータの出力軸を接続してなる構成を具備した摩擦駆動機構が考えられてきている。かかる摩擦駆動機構によれば、上記駆動モータにより上記駆動ローラを正逆転駆動させることにより、上記所要の与圧で押し付けられている駆動ローラと上記バーとの接触面に生じる摩擦を利用して、該駆動ローラとバーとを、バーの長手方向沿って相対移動させて、該バーと一体に上記移動体を、上記機械の固定部に対して直動させることができるとされている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００６】
ところが、上記従来提案されている摩擦駆動機構では、移動体の移動時の真直性を、機械の固定部に配設してある直進ガイドの長手方向形状の直線性によって担保させたり、上記バー（被駆動軸）自体の長手方向形状の直線性によって担保させるようにしてあるため、上記移動体について、移動方向に直角な方向の位置決めを正確に行うには、上記直進ガイドやバー（被駆動軸）に、撓みのない非常に高い精度が要求される。そのために、長ストローク化を図る場合には、上記直進ガイドやバー（被駆動軸）を撓みのない状態で長尺化する必要が生じるが、このように長尺の部材を撓みのない状態で精度よく製作するのは困難であると共に、製作コストが嵩むという問題もある。したがって、上記従来提案されている摩擦駆動機構は、移動体の真直性を確保しながら長ストローク化を図ることが難しいという問題が生じていた。
【０００７】
そこで、本出願人は、以前の出願（特願２００６−２５７７６０号）において、移動体となる搬送テーブルの真直性を確保しながら長ストローク化を図ることが可能な摩擦駆動搬送装置として、図３及び図４に示す如き摩擦駆動搬送装置を提案している。
【０００８】
すなわち、図３及び図４に示した摩擦駆動搬送装置は、搬送テーブル１の移動方向に延びるスライドバー２を設け、且つ上記搬送テーブル１に、上記スライドバー２の一側面に接触させる一側面側ローラ３と、該一側面側ローラ３に対するテーブル移動方向の前後両側位置で上記スライドバー２の他側面に接触させる複数の他側面側ローラ４と、上記一側面側ローラ３及び他側面側ローラ４のすべて、又は、いずれかをテーブル移動方向と直角の方向に個別に変位させるための変位機構としてのピエゾアクチュエータ５，６，７と、上記一側面側及び他側面側の各ローラ３，４のうちのいずれか１つのローラ３にたわみ継手９を介して連結して該ローラ３を駆動ローラ３として回転駆動させるための駆動モータ８とを設けた構成としてある。
【０００９】
以上の構成としてある摩擦駆動搬送装置によれば、上記ピエゾアクチュエータ５，６，７により上記駆動ローラ３及び他の各ローラ４を上記スライドバー２の両側面に押し当てた状態にて、上記駆動モータ３の正逆転駆動により上記駆動ローラ３を回転駆動させることで、上記駆動ローラ３と上記スライドバー２との接触面に作用する摩擦を利用して、上記搬送テーブル１を上記スライドバー２の長手方向に移動させることできるようにしてある。
【００１０】
しかも、上記各変位機構としてのピエゾアクチュエータ５，６，７により、駆動ローラ３と他の各ローラ４のすべてについて、搬送テーブル１に対する相対的な位置を、該搬送テーブル１の進行方向に直角な方向に変位させることにより、上記搬送テーブル１のスライドバー２に対する位置をシフトさせることができるようにしてある。
【００１１】
したがって、上記スライドバー２に撓み等が生じていても、上記搬送テーブル１の位置を本来のテーブル移動方向上の位置に一致するよう補正できることから、上記搬送テーブル１の精密な位置決めが必要とされる場合であっても、上記スライドバー２に、撓みのない非常に高い精度が要求されることがないようにして、スライドバー２の長尺化を容易にすることで、上記搬送テーブル１の真直性を確保した状態での長ストローク化が実現可能となるようにしてある。
【００１２】
ところで、摩擦駆動機構における移動体、たとえば、上記摩擦駆動搬送装置における搬送テーブル１を移動させるための推力Ｆ［Ｎ］は、トラクション係数μと、駆動ローラ３をスライドバー２へ押し付ける押付与圧Ｐ［Ｎ］の積（Ｆ＝μ・Ｐ）によって与えられる。
【００１３】
上記トラクション係数μは、駆動ローラ３とスライドバー２の材質によって定まる値である。したがって、上記搬送テーブル１を移動させる推力Ｆを高めるには、押付与圧Ｐを増加させるようにすればよく、この押付与圧Ｐを増加させるためには、駆動ローラ３とスライドバー２との接触面圧を高めるか、又は、駆動ローラ３とスライドバー２との接触面積を増大させることが考えられる。
【００１４】
しかし、上記駆動ローラ３とスライドバー２との接触面圧が過大になると、該駆動ローラ３とスライドバー２の接触部に異常摩耗等の問題が生じる虞があるため、該接触面圧には自ずから上限値が定められる。
【００１５】
したがって、搬送テーブル１の移動速度を高めるために、搬送テーブル１の推力Ｆを大きくするには、駆動ローラ３の径を大きくして、踏面の周方向の湾曲を緩やかにすることによって該駆動ローラ３とスライドバー２との接触面積を大きくすることが有効である。
【００１６】
ところで、上記駆動モータ８に取り付けてある駆動ローラ３は、摩擦駆動機構の構造上、その径が小さければ小さいほど、駆動モータ８の出力軸の回転量（回転角度）に対する駆動ローラ３とスライドバー２との相対移動量、すなわち、搬送テーブル１の移動量を小さく設定できるため、該搬送テーブル１の位置決め分解能を向上させることができて、搬送テーブル１の移動方向の位置決め精度を向上させることが可能になる。
【００１７】
【特許文献１】特公平１−４１４６８号公報
【特許文献２】特開平５−１４３１５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
ところが、従来考えられている摩擦駆動搬送装置では、駆動モータ８の出力軸に対して同軸に駆動ローラ３を取り付けて、駆動モータ８の回転により、上記駆動ローラ３を直接回転駆動させるようにしてあるため、駆動ローラ３を、スライドバー２との接触面積が大きな大径のローラとした高出力仕様の駆動機構を採用するか、又は、駆動ローラ３を、搬送テーブル１の位置決め分解能を高めることが可能な小径のローラとした高精度位置決め仕様の駆動機構を採用するかのいずれかを、摩擦駆動搬送装置の使用目的等に応じて択一的に選択する必要が生じていた。
【００１９】
そこで、本発明者等は、搬送テーブルによる被搬送物の高速搬送と、搬送テーブルの高精度の位置決めを共に実施可能な摩擦駆動搬送装置の駆動機構についての更なる工夫、研究を重ねた結果、本発明をなした。
【００２０】
したがって、本発明の目的とするところは、搬送テーブルの高速移動と、搬送テーブルの位置決めの高精度化を両立することが可能な摩擦駆動搬送装置の駆動機構を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に、中間ローラと、上記スライドバーに接触、離反可能な高速移動用駆動ローラとを同軸に取り付け、更に、上記中間ローラよりも大径の減速ローラを、該中間ローラに対して接触可能に設けると共に、該減速ローラに、上記スライドバーに接触、離反可能な低速移動用駆動ローラを同軸に取り付けた構成とする。
【００２２】
又、上記構成において、高速移動用駆動ローラの径に比して、低速移動用駆動ローラの径を小径とするようにした構成とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動ローラ駆動機構によれば、以下のような優れた効果を発揮する。 
（１）駆動ローラをスライドバーに圧接させながら回転駆動させ、上記駆動ローラとスライドバーとの接触面に生じる摩擦を利用して、搬送テーブルを上記スライドバーの長手方向に移動させることができるようにしてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構において、駆動モータの出力軸に、中間ローラと、上記スライドバーに接触、離反可能な高速移動用駆動ローラとを同軸に取り付け、更に、上記中間ローラよりも大径の減速ローラを、該中間ローラに対して接触可能に設けると共に、該減速ローラに、上記スライドバーに接触、離反可能な低速移動用駆動ローラを同軸に取り付けた構成としてあるので、上記高速移動用駆動ローラをスライドバーに接触させた状態で駆動モータを正逆転駆動することにより、搬送テーブルの高速移動用駆動ローラによる高速移動を行わせることができる。又、中間ローラと減速ローラを接触させ、且つ低速移動用駆動ローラをスライドバーに接触させた状態で、駆動モータを正逆転駆動すると、上記中間ローラと減速ローラとの径の比に応じた減速比で減速された回転数で上記低速移動用駆動ローラを回転駆動できるため、該低速移動用駆動ローラによる搬送テーブルの低速移動を行わせることができる。したがって、搬送テーブルの高速移動と、搬送テーブルの低速移動による位置決めの高精度化を共に実現することができる。 
（２）高速移動用駆動ローラの径に比して、低速移動用駆動ローラの径を小径とするようにした構成とすることにより、高速移動用駆動ローラによる高速移動時の移動速度と、低速移動用駆動ローラによる位置決めの高精度化が可能な低速移動時の移動速度の差をより大きくできることから、搬送テーブルの高速移動と、搬送テーブルの低速移動による位置決めの高精度化をより確実なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００２５】
図１及び図２は本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構の実施の一形態を示すもので、図３及び図４に示したものと同様に、搬送テーブル１の移動方向に延びるスライドバー２を設け、且つ上記搬送テーブル１側に、上記スライドバー２の一側面に接触させるための駆動ローラ３と、該駆動ローラ３をテーブル移動方向と直角の方向に変位させるための変位機構としてのピエゾアクチュエータ５と、上記駆動ローラ３を駆動するための駆動モータ８とを備えてなる構成において、上記スライドバー２の一側に配置してある駆動ローラを、大径の高速移動用駆動ローラ１０とする。上記搬送テーブル１に下向きに取り付けてある駆動モータ８の出力軸と、上記高速移動用駆動ローラ１０との間には、同軸上に配置した小径の動力伝達用の中間ローラ１１を介装させて取り付け、更に、該中間ローラ１１をテーブル移動方向と直角の方向に変位させるための変位機構としての中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２を搬送テーブル１側に備える。
【００２６】
上記スライドバー２を挟んで上記高速移動用駆動ローラ１０と対向するスライドバー  の他側位置には、該スライドバー２の他側面に接触させるための小径の低速移動用駆動ローラ１３を配置し、且つ該低速移動用駆動ローラ１３の上方における上記中間ローラ１１と対応する高さ位置に、該中間ローラ１１と接触させるための大径の減速ローラ１４を同軸上に配置して、該減速ローラ１４と上記低速移動用駆動ローラ１３とを、上記減速ローラ１４のやや上方位置から低速移動用駆動ローラ１３のやや下方位置まで上下方向に延びる動力伝達軸１５の上部と下部にそれぞれ一体に取り付ける。上記動力伝達軸１５の上端部及び下端部は、上記減速ローラ１４の上側に配置した水平部１７ａと低速移動用駆動ローラ１３の下側に配置した水平部１７ｂの反スライドレール２側端部同士を、減速ローラ１４と低速移動用駆動ローラ１３の反スライドレール２側を通して上下方向に配置してある連結部１７ｃで連結してなるハウジング部材１７の上下の水平部１７ａ，１７ｂに、軸受１８を介してそれぞれ回転自在に保持させるようにしてある。更に、該ハウジング部材１７を、変位機構としての減速部用ピエゾアクチュエータ１９によりテーブル移動方向と直角の方向に変位可能とした状態で、搬送テーブル１に備えてなる構成とする。
【００２７】
更に、上記高速移動用駆動ローラ１０のテーブル移動方向の前後両側位置と、低速移動用駆動ローラ１３のテーブル移動方向の前後両側位置にて、上記スライドバー２の一側面と他側面にそれぞれ接触させるためのバックアップローラ２０を、搬送テーブル１に備えるようにする。これにより、高速移動用駆動ローラ１０をテーブル移動方向と直角の方向に変位させるためのピエゾアクチュエータ（以下、高速部用ピエゾアクチュエータという）５により、該高速移動用駆動ローラ１０を所要の与圧でスライドバー２の一側面に押し付けた状態とし、且つ上記減速部用ピエゾアクチュエータ１９により、上記ハウジング部材１７と一体に低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２より離反させる方向へ変位させ、更に、上記中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２により、上記中間ローラ１１を、上記ハウジング部材１７に保持されている減速ローラ１４より離反させる方向に変位させた状態にて、上記駆動モータ８を正逆転駆動することで、該駆動モータ８の出力軸より出力される回転駆動力を上記中間ローラ１１を介して上記高速移動用駆動ローラ１０へ伝えて、該高速移動用駆動ローラ１０を正逆転駆動させるようにする。該高速移動用駆動ローラ１０を正逆転駆動させることにより、高速移動用駆動ローラ１０と、スライドバー２との接触面に生じる摩擦を利用して、高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２に沿って走行させ、該高速移動用駆動ローラ１０と一体に搬送テーブル１をスライドバー２の長手方向に移動させることができるようにしてある。
【００２８】
一方、高速部用ピエゾアクチュエータ５により、高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２より離反させる方向へ変位させ、且つ上記減速部用ピエゾアクチュエータ１９により、上記ハウジング部材１７と一体に低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２の他側面に所要の与圧で押し付けた状態とし、更に、上記中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２により、上記中間ローラ１２を、上記ハウジング部材１７に保持されている減速ローラ１４に所要の与圧で押し付けて接触させた状態として、上記駆動モータ８を正逆転駆動させるようにする。これにより、該駆動モータ８の出力軸より出力される回転駆動力により上記中間ローラ１１を正逆転駆動し、この中間ローラ１１の回転を、該中間ローラ１１と減速ローラ１４との接触面に生じる摩擦を利用して該減速ローラ１４へ伝え、該減速ローラ１４に動力伝達軸１５を介して一体に連結されている上記低速移動用駆動ローラ１３を正逆転駆動することができ、該低速用移動用駆動ローラ１３とスライドバー２との接触面に生じる摩擦を利用して、低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２に沿い走行させて、該低速移動用駆動ローラ１３と一体に搬送テーブル１をスライドバー２の長手方向に移動させることができるようにしてある。
【００２９】
詳述すると、上記高速移動用駆動ローラ１０は、その上下両端部を、上下に重ねて配置した水平部２２の反スライドバー２側端部同士を垂直部２３で連結してなるコの字形状のローラハウジング２１の上記上下の水平部２２に、それぞれ軸受２４を介して回転自在に取り付けて、該高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２側に露出させた状態で保持させるようにしてある。更に、上記ローラハウジング２１のテーブル移動方向の両側位置に、上下方向に延びる板状の取付部材２５を、所要間隔を隔てて配置すると共に、上記ローラハウジング２１の上下の水平部２２におけるテーブル移動方向の前後両端面の複数個所と、上記各取付部材２５の対応する個所とを、テーブル移動方向に延び且つ長手方向両端部を薄肉部２６ａとして該薄肉部２６ａにてテーブル移動方向と直角の水平方向にのみ弾性変形できるようにしてある直動ガイドとしての弾性ヒンジ２６を介して一体に連結してなる構成としてある。上記取付部材２５は、搬送テーブルに設けた図示しない固定部に取り付けるようにしてある。
【００３０】
更に又、上記ローラハウジング２１の垂直部２３の反スライドバー２側面の中央部には、テーブル移動方向と直角方向に配置した上記高速部用ピエゾアクチュエータ５の先端部となる一端部を取り付けると共に、該高速部用ピエゾアクチュエータ５の基端部となる他端部を、搬送テーブル１に設けてある所要の固定部２７に取り付けた構成としてある。これにより、上記高速部用ピエゾアクチュエータ５の伸縮作動により、上記ローラハウジング２１と一体に上記高速移動用駆動ローラ１０を、上記弾性ヒンジ２６の弾性力に抗してスライドバー２に近接、離反させるように変位させることができるようにしてある。
【００３１】
上記中間ローラ１１は、その上下両端部を、上記ローラハウジング２１と同様の上下の水平部２９と垂直部３０とからなるコの字形状のローラハウジング２８の上記上下の水平部２９に、それぞれ軸受３１を介して回転自在に取り付けて、該中間ローラ１１のスライドバー２側の側面を露出させた状態で保持させるようにしてある。更に、上記ローラハウジング２８は上記ローラハウジング２１と同様にスライドバー２と近接、離反する方向への変位を許容できるようにしてある。
【００３２】
更に、上記ローラハウジング２８の垂直部３０の反スライドバー２側面の中央部には、テーブル移動方向と直角方向に配置した上記中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２の先端部となる一端部を取り付けると共に、該中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２の基端部となる他端部を、搬送テーブル１に設けてある所要の固定部２７に取り付けた構成としてある。これにより、上記中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２の伸縮作動により、上記ローラハウジング２８と一体に上記中間ローラ１１を、上記弾性ヒンジの弾性力に抗して上記減速ローラ１４に近接する方向と、離反させる方向へ変位させることができるようにしてある。
【００３３】
上記ローラハウジング２８に保持させてなる上記中間ローラ１１は、その上端部を上側の軸受３１よりも上方へ突出させて、該突出端部に、上記搬送テーブル１のテーブル面部における該中間ローラ１１の上方となる位置に下向きに設置してある駆動モータ８の出力軸８ａを、たわみ継手３２を介して接続してある。又、上記中間ローラ１１の下端部は、下側の軸受３１よりも下方へ突出させて、該突出端部と、上記ローラハウジング２１に保持させてなる上記高速移動用駆動ローラ１０の上端部を上側の軸受２４よりも上方へ突出させた突出端部とを、たわみ継手３３を介して接続してある。これにより、上記中間ローラ１１と高速移動用駆動ローラ１０を、それぞれ対応するアクチュエータ５，１２により変位させた状態であっても、該変位を上記たわみ継手３２，３３で吸収して、モータ８の出力軸８ａの回転駆動力を、たわみ継手３２を介して上記中間ローラ１１へ伝え、更に、該中間ローラ１１より、たわみ継手３３を介して高速移動用駆動ローラ１０へ伝えることができるようにしてある。
【００３４】
上記減速ローラ１４及び低速移動用駆動ローラ１３を取り付けた動力伝達軸１５を回転自在に保持させた上記ハウジング部材１７のテーブル移動方向の両側位置には、上下方向に延びる板状の取付部材３４を、所要間隔を隔てて配置すると共に、上記ハウジング部材１７の上下の水平部１７ａ，１７ｂにおけるテーブル移動方向の前後両端面の複数個所と、上記各取付部材３４の対応する個所とを、直動ガイドとしての上述した弾性ヒンジ２６と同様の弾性ヒンジ２６を介して一体に連結してなる構成としてある。更に、上記取付部材３４は、搬送テーブル１に取り付けるようにしてある。
【００３５】
更に、上記ハウジング部材１７の連結部１７ｃの反スライドバー２側の中央部には、テーブル移動方向と直角方向に配置した上記減速部用ピエゾアクチュエータ１９の先端部となる一端部を取り付けると共に、該減速部用ピエゾアクチュエータ１９の基端部となる他端部を、搬送テーブル１に設けてある所要の固定部２７に取り付けた構成としてある。これにより、上記減速部用ピエゾアクチュエータ１９の伸縮作動により、上記ハウジング部材１７と一体に上記低速移動用駆動ローラ１３及び減速ローラ１４を、上記弾性ヒンジ２６の弾性力に抗して上記スライドバー２に近接、離反させる方向へ変位させることができるようにしてある。
【００３６】
上記各バックアップローラ２０は、個別のローラハウジング２１，２８に回転自在に保持させてあり、更に該各ローラハウジング２１，２８の反スライドバー２側に一端部を取り付けたテーブル移動方向と直角方向のロッド部材３５の他端部を、搬送テーブル１に固定してある所要の固定部３６に長手方向にスライド自在に保持させると共に、上記各ロッド部材３５の外周に配置したスプリング３７を、多少収縮させた状態で上記各ローラハウジング２１，２８と対応する固定部２７との間に介装させてなる構成としてある。これにより、上記スプリング３７の伸長方向の弾性力により、上記各ローラハウジングと一体に各バックアップローラ２０を、スライドバー２に所要の力で押し付けることができるようにしてある。
【００３７】
３８は上記スライドバー２よりも狭幅として該スライドバー２の下面側をベースに取り付けるための取付部材である。
【００３８】
以上の構成としてある摩擦駆動搬送装置の駆動機構を使用する場合、先ず、搬送テーブル１の高速移動が必要とされる場合は、高速部用ピエゾアクチュエータ５を伸長作動させて、高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２に所要の与圧を付した状態で接触させ、且つ上記減速部用ピエゾアクチュエータ１９を収縮作動させて、上記ハウジング部材１７と一体に低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２より離反させ、更に、上記中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２を収縮作動させて、上記中間ローラ１１を、上記減速ローラ１４より離反させておく。この状態にて、上記駆動モータ８を正逆転駆動すると、該駆動モータ８の出力軸より出力される回転駆動力は、たわみ継手３２、中間ローラ１１、たわみ継手３３を介して上記高速移動用駆動ローラ１０へ伝えられて、該高速移動用駆動ローラ１０が、上記駆動モータ８の回転数と同じ回転数で正逆転駆動されるようになる。したがって、大径としてある該高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２に沿って走行させることで、該高速移動用駆動ローラ１０と一体に、搬送テーブル１が、スライドバー２の長手方向に高速で移動させられるようになる。
【００３９】
次に、上記搬送テーブル１の高精度の位置決めが必要とされる場合は、上記高速部用ピエゾアクチュエータ５の収縮作動により、高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２より離反させ、且つ上記減速部用ピエゾアクチュエータ１９の伸長作動により、上記ハウジング部材１７と一体に低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２の他側面に所要の与圧を付した状態で接触させ、更に、上記中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２の伸長作動により、上記中間ローラ１２を、上記減速ローラ１４に所要の与圧で押し付けて接触させた状態としておく。この状態にて、上記駆動モータ８を正逆転駆動すると、該駆動モータ８の出力軸より出力される回転駆動力は、たわみ継手３２を介して上記中間ローラ１１へ伝えられた後、該中間ローラ１１に接触させてある減速ローラ１４へ伝えられる。この際、上記中間ローラ１１は小径としてある一方、上記減速ローラ１４は大径としてあるため、上記中間ローラ１１より減速ローラ１４への回転駆動力が伝えられるときには、駆動モータ８の回転数が、中間ローラ１１の径と減速ローラ１４の径の比に反比例して減速される。したがって、減速ローラ１４に動力伝達軸１５を介して一体に連結されている上記低速移動用駆動ローラ１３は、上記駆動モータ８の回転数に比して減速された回転数で回転駆動されるようになり、しかも、該低速移動用駆動ローラ１３は、小径としてあるため、上記減速された回転数で回転する低速移動用駆動ローラ１３をスライドバー２に沿って走行させることで、該低速移動用駆動ローラ１３と一体に、上記搬送テーブル１が、スライドバー２の長手方向に低速で移動させられるようになる。
【００４０】
なお、上記高速移動と低速移動の切り換えを行う場合は、上記高速移動用駆動ローラ１０による搬送テーブル１の高速移動状態から、駆動モータ８を一旦停止させて、搬送テーブル１を一旦停止させてから、上記高速部用ピエゾアクチュエータ５を収縮作動させて高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２より離反させ、次に、上記減速部ピエゾアクチュエータ１９の伸長作動と、中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２の伸長作動を行わせて、上記低速移動用駆動ローラ１３のスライドバー２への接触と、中間ローラ１１と減速ローラ１４との接触を行わせ、しかる後に、上記駆動モータ８の回転駆動を再開して、低速移動用駆動モータ１３による搬送テーブル１の低速移動を開始させるようにすればよい。
【００４１】
又、上記高速移動と低速移動の切り換えを行う場合は、上記高速移動用駆動ローラ１０による搬送テーブル１の高速移動状態から、ある程度減速した時点で、上記高速部用ピエゾアクチュエータ５を収縮作動させて高速移動用駆動ローラ１０をスライドバー２より離反させることで、慣性により搬送テーブル１を低速移動させた状態としておき、この搬送テーブル１の低速移動速度に応じた回転数で予め駆動モータを回転させた状態としてから、減速部ピエゾアクチュエータ１９の伸長作動と、中間ローラ用ピエゾアクチュエータ１２の伸長作動を行わせて、上記低速移動用駆動ローラ１３のスライドバー２への接触と、中間ローラ１１と減速ローラ１４との接触を行わせることで、搬送テーブル１を一旦停止させることなく低速移動用駆動モータ１３による搬送テーブル１の低速移動を開始させるようにしてもよい。
【００４２】
このように、本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構によれば、上記駆動モータ８の回転数と同じ回転数で大径の高速移動用駆動ローラ１０を回転させることによる搬送テーブル１の移動と、駆動モータ８の回転数に比して減速された回転数で小径の低速移動用駆動ローラ１３を回転させることによる搬送テーブル１の移動とを切り替えることができるため、上記高速移動用駆動ローラ１０を用いる場合には、駆動モータ８の回転量（回転角度）に対する搬送テーブル１の移動量を大きなものとすることができて、該搬送テーブル１の高速移動を実現できる。一方、上記低速移動用駆動ローラ１３を用いる場合には、駆動モータ８の回転量（回転角度）に対する搬送テーブル１の移動量を小さくすることができるため、該搬送テーブル１の位置決めの分解能を高くすることができることから、該搬送テーブル１の位置決めを高精度で実現できる。
【００４３】
したがって、搬送テーブル１をスライドバー１の或る位置まで移動させる場合に、たとえば、行程の９９％を、高速移動用駆動ローラ１０を用いた搬送テーブル１を高速移動させ、その後、残る１％の行程を、低速移動用駆動ローラ１３を用いた搬送テーブル１の位置決め分解能の高い低速移動によって行わせるようにすれば、搬送テーブル１による被搬送物の高速搬送と、搬送テーブル１の高精度の位置決めとを両立することが可能になる。  なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、上記高速移動用駆動ローラ１０の径、及び、低速移動用駆動ローラ１３の径は自在に設定してよい。又、中間ローラ１１と、減速ローラ１４の径は、上記低速移動用駆動ローラ１３の回転数に要求される上記駆動モータ８の回転数に対する減速比に応じて自在に変更してよい。
【００４４】
上記においては、上記中間ローラ１１に接触可能な１つの減速ローラ１４を設けて該減速ローラ１４に低速移動用駆動ローラ１３を同軸に取り付けてなる構成を示したが、上記中間ローラ１１に、上記減速ローラ１４より小さい径の減速用のローラを接触可能に設けて、該減速用ローラに、スライドバーに接触可能な駆動ローラを同軸に取り付けることによって該駆動ローラを、上記低速移動用駆動ローラ１３と高速移動用駆動ローラ１０の中間の回転数で回転駆動できる構成としたり、更には、上記駆動モータ８と高速移動用駆動ローラ１０との間に、２個又はそれ以上の中間ローラ１１を介装するように設けて、該各中間ローラ１１に、径の異なる減速ローラを個別に接触可能に設けると共に、該各減速ローラにスライドバー２に接触可能な駆動ローラを同軸に取り付けて、高速と低速とその中間速度で３速以上の速度切り換えを行う構成としてもよい。
【００４５】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の摩擦駆動搬送装置の駆動機構の実施の一形態を示す切断正面図である。
【図２】図１の駆動機構を示す概略切断平面図である。
【図３】本出願人が提案している摩擦駆動搬送装置を示す概略切断平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ方向矢視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  搬送テーブル
２  スライドバー
８  駆動モータ
８ａ  出力軸
１１  中間ローラ
１０  高速移動用駆動ローラ
１３  低速移動用駆動ローラ
１４  減速ローラ
【図１】
2008229749.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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