(57)【要約】【課題】エアフィルタの上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に視認することができることを目的としている。【解決手段】エアフィルタ１は、波形状に折曲して形成された濾材２と、濾材２を枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体３とを備えたエアフィルタ１において、透明度のある枠体４を設けたものである。このような構成によれば、透明度のある枠体４を通して、エアフィルタ１の上流側の状態を下流側から容易に視認することができる。【選択図】図１
2008196822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波形状に折曲して形成された濾材と、前記濾材を枠体の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体とを備えたエアフィルタにおいて、前記枠体の全部、または、一部を透明度を有する部材で構成したことを特徴とするエアフィルタ。
【請求項２】
前記枠体に広角レンズを備えたことを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項３】
前記枠体に上流側の状態を下流側から確認できる表示手段を備えたことを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ。
【請求項４】
ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流側にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、請求項１〜３いずれかのエアフィルタを搭載したファンフィルタユニット。
【請求項５】
ファンモータユニットとエアフィルタの間に表示手段を設けたことを特徴とする請求項４記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用されるエアフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、清浄空気を必要とされる空間であるクリーンルーム等の天井面に配設されるエアフィルタは、上流側の状況を下流側から容易に確認できることが求められている。図１２に示すように、クリーンルームの天井面設備の運転状況を確認することができるクリーンユニット本体１０１のフィルター支持装置として、エアフィルタ１を保持したクリーンユニット支持枠１０２に運転表示ユニット１０３（ＬＥＤランプなど）を組み込んだものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−１９３９２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルター支持装置として上流にあるクリーンユニットの運転表示が組み込める支持枠が必要となり、施工面において特殊な支持枠を用いなければならない。また支持枠は表示可能な枠幅が必要であり、その枠幅に必要なコストがかかってしまうという課題があり、容易にフィルター下流側から上流側の状況が確認できることが要求されている。
【０００４】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、下流側から上流側が視認できる透明度のある枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のエアフィルタは、上記の目的を達成するために、波形状に折曲して形成された濾材と、前記濾材を枠体の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体とを備えたエアフィルタにおいて、透明度のある枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタ。
【０００６】
この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるエアフィルタを得られる。
【０００７】
また、他の手段は、エアフィルタの枠体に広角レンズを備えたものである。
【０００８】
この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が広範囲に視認することができエアフィルタを得られる。
【０００９】
また、他の手段は、エアフィルタの枠体に表示手段を備えたものである。
【００１０】
この手段により、エアフィルタの上流側の状態を下流側から確認することできるエアフィルタを得られる。
【００１１】
また、他の手段は、枠体に透明度を有する部材を用いたエアフィルタを搭載したファンフィルタユニットである。
【００１２】
また、他の手段は、ファンモータユニットと枠体に透明度を有する部材を用いたエアフィルタの間にファンフィルタユニットの運転状態などの表示手段を設けたものである。
【００１３】
これらの手段により、ファンフィルタユニットの下流側、すなわち、清浄空間側においてファンフィルタユニットの運転表示の確認が可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、下流側から上流側が視認できる透明度のある枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供できる。
【００１５】
また、枠体に広角レンズを備えたことにより、エアフィルタの上流側の広範囲を視認することができるエアフィルタを提供できる。
【００１６】
また、枠体に上流側の状態を下流側から確認できる表示手段を備えたことを特徴とするエアフィルタを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の請求項１記載の発明は、波形状に折曲して形成された濾材と、前記濾材を枠体の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体とを備えたエアフィルタにおいて、透明度のある枠体にて構成されたことを特徴とするエアフィルタであり、エアフィルタの上流側の状態を下流側から視認できるといる作用を有する。
【００１８】
本発明の請求項２記載の発明は、前記枠体に広角レンズを備えたという特徴を有した請求項１に示すエアフィルタであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が広範囲に視認することができるという作用を有する。
【００１９】
本発明の請求項３記載の発明は、前記枠体に上流側の状態を下流側から確認できる表示手段を備えたという特徴を有した請求項１に示すエアフィルタであり、エアフィルタの上流側の状態を下流側から確認することができるという作用を有する。
【００２０】
本発明の請求項４記載の発明は、枠体に透明度を有する部材を用いたエアフィルタを搭載したファンフィルタユニットであり、ファンフィルタユニットの下流側、すなわち、清浄空間側においてファンフィルタユニットの運転表示の確認が可能となる。
【００２１】
本発明の請求項５記載の発明は、ファンモータユニットと枠体に透明度を有する部材を用いたエアフィルタの間にファンフィルタユニットの運転状態などの表示手段を設けたものであり、エアフィルタ通過前の汚染された空気環境内に表示手段を設け、その表示内容をファンフィルタユニットの下流側、すなわち、清浄空間側において確認が可能となる。
【００２２】
（実施の形態１）
図１、図２に示すように、本発明のエアフィルタ１は、波形状に折曲して形成された濾材２と、濾材２を枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体３とを備えたエアフィルタ１において、透明度のある枠体４にて構成している。
【００２３】
上記構成において、透明度のある枠体４を通して、エアフィルタ１の上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に視認することができる。
【００２４】
また、図３、図４において、透明度のある枠体４はエアフィルタ１を構成するものとしたが、透明度のある枠体４はエアフィルタ１の中央部に設けられても良い。
【００２５】
また、図５、図６において、エアフィルタ１を構成する枠体３に透明な板５を貫設しても良い。
【００２６】
なお、本実施の形態では、エアフィルタ１の枠一部を透明度のある部材で構成して透明度のある枠体４としたが、枠の全部を透明度のある部材で構成してもよい。
【００２７】
また、透明度のある部材としては、透明度を有したアクリル、ガラスなど、透明度を有し、枠体に使用できる強度を有したものであればよい。
【００２８】
（実施の形態２）
図７、図８に示すように、エアフィルタ１を構成する枠体３に広角レンズ６を備えた構成となっている。
【００２９】
上記構成において、エアフィルタ１の上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に広範囲に視認することができるエアフィルタ１を得られる。
【００３０】
（実施の形態３）
図９、図１０に示すように、エアフィルタ１を構成する枠体３に表示手段７を備えた構成となっている。
【００３１】
上記構成において、エアフィルタ１の上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から上流側にあるファンフィルターユニットなどの設備の状態を確認することができるエアフィルタ１を得られる。
【００３２】
（実施の形態４）
図１１は、図１〜１０に示したようなエアフィルタを搭載したファンフィルタユニットの構成図である。
【００３３】
図に示すように、本実施の形態のファンフィルタユニット８は、ファンモータユニット１３と、その下流側に配したエアフィルタ１で構成される。ファンモータユニット１３は、ターボファン１１とモータ１０とこれらを収納する箱型状のチャンバー１２とで構成され、その天面に吸込口９が設けられている。エアフィルタ１は、箱型状のチャンバー１２の下流側に設けられている。ここでは、エアフィルタ１として、図３（あるいは図４）に示した中央部に透明度のある枠体４を配したエアフィルタを例にして説明する。ファンモータユニット１３とエアフィルタ１の間には、ファンフィルタユニット８の運転状態などを表示する表示手段１５を設けている。表示手段１５に表示するファンフィルタユニット８の運転状態などの情報は、上流側のファンモータユニット１３を制御する制御装置１４から出力されることになる。表示手段１５とは、運転表示ランプ、異常表示ランプなどであるが、液晶パネルなどを用いてデータ表示を行っても良い。
【００３４】
上記構成において、表示手段１５による運転表示などは、ランプの点灯により示される。この表示内容は、透明度のある枠体４を通して、下流側から視認できることになる。ファンフィルタユニット８は吸込口９から吸入された粉塵などを含んだ汚染空気を、ファンモータユニット１３の動作によってエアフィルタ１によって浄化して下流側に供給するものである。本発明のようなエアフィルタ１を用いることによって上流側に情報源があっても、汚染空気を下流側に漏らすことなく下流側から上流側の情報を確認が可能することが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明にかかるエアフィルタは、上流側にある設備の運転状態など確認することができる。そのためエアフィルタと一体となったファンフィルターユニットなど空気清浄装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】同実施の形態１のエアフィルタの斜視図
【図２】同実施の形態１のエアフィルタの断面図
【図３】同実施の形態１のエアフィルタの斜視図
【図４】同実施の形態１のエアフィルタの断面図
【図５】同実施の形態１のエアフィルタの斜視図
【図６】同実施の形態１のエアフィルタの断面図
【図７】同実施の形態２のエアフィルタの斜視図
【図８】同実施の形態２のエアフィルタの断面図
【図９】同実施の形態３のエアフィルタの斜視図
【図１０】同実施の形態３のエアフィルタの断面図
【図１１】同実施の形態４のファンフィルタユニットを示す構成図
【図１２】従来のクリーンユニットのフィルター支持装置を示す断面図
【符号の説明】
【００３７】
１    エアフィルタ
２    濾材
３    枠体
４    透明度のある枠体
５    透明な板
６    広角レンズ
７    表示手段
８    ファンフィルタユニット
９    吸込口
１０  モータ
１１  ターボファン
１２  チャンバー
１３  ファンモータユニット
１４  制御装置
１５  表示手段
【図１】
2008196822.tif 000003
【図２】
2008196822.tif 000004
【図３】
2008196822.tif 000005
【図４】
2008196822.tif 000006
【図５】
2008196822.tif 000007
【図６】
2008196822.tif 000008
【図７】
2008196822.tif 000009
【図８】
2008196822.tif 000010
【図９】
2008196822.tif 000011
【図１０】
2008196822.tif 000012
【図１１】
2008196822.tif 000013
【図１２】
2008196822.tif 000014