(57)【要約】【課題】移動式補充ユニット側の作業者がクリーンユニットの開閉部を容易に開閉することができる。【解決手段】床に載置されるクリーンユニットと、床に対して移動する移動式補充ユニットとを備えるクリーンユニットシステムであって、クリーンユニットは、外部から隔離された作業スペースを形成する隔壁、作業物を載せる作業台、作業スペースの内部にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部、作業スペースの内部と外部とを繋ぐ開口、および、開口を開閉する開閉部を有し、移動式補充ユニットは、外部から隔離され、補充物を内部に収容する箱体、箱体の下側に配される台車、箱体の内部と外部とを繋ぐ開口、および、開口を開閉する開閉部を有し、移動式補充ユニットの開口は、クリーンユニットの開口に対応した位置に配され、移動式補充ユニットをクリーンユニットに連結した場合に、移動式補充ユニットの開口は、クリーンユニットの開口に接続する。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
床に対して移動する移動式補充ユニットであって、
外部から隔離され、作業物を内部に収容する箱体と、
前記箱体の下側に配される台車と、
前記箱体に設けられ、前記箱体の内部と外部とを繋ぐ開口と、
前記開口に対して上下に摺動することにより前記開口を開閉する開閉部と、
前記開閉部を上向きに付勢する付勢部と、
前記開閉部が前記開口を閉じている状態で前記開閉部を固定するロック部と
を備える移動式補充ユニット。
【請求項２】
前記開閉部は、前記箱体の内部に向けて突出する握り部をさらに備える請求項１に記載の移動式補充ユニット。
【請求項３】
前記箱体の上方における、前記開閉部が前記開口を開いている状態において前記開閉部よりも前記箱体に近い側に配される保護板をさらに備える請求項１または２に記載の移動式補充ユニット。
【請求項４】
前記開閉部の移動を案内するガイド部、および、
前記ガイド部と前記開閉部とが当接する部分に配された摺動部材
をさらに有する請求項１から３のいずれかに記載の移動式補充ユニット。
【請求項５】
前記箱体の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部と、
前記クリーンエア供給部に電力を供給する電源部と
をさらに備え、
前記電源部は自らの内部に電力を蓄える請求項１から４のいずれかに記載の移動式補充ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塵埃が除去されたクリーンエアが供給される簡易な室内において様々な作業をするクリーンユニットと、当該クリーンユニットに様々な補充物をクリーンな環境のまま補充する移動式補充ユニットとを備えたクリーンユニットシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や精密機器などの製造工場では、気中の塵埃が製品に悪影響を及ぼすことから、当該塵埃が除去されたクリーンエアが供給される高清浄度作業空間（以下、「クリーンスペース」と称する）が使用される。このようなクリーンスペースの多くには、ＨＥＰＡフィルタおよびファンを備えたファンフィルタユニットが配されており、当該ファンフィルタユニットにより、クリーンエアが供給される。
【０００３】
上記のようなクリーンスペースは、広くなるほど多数のファンフィルタユニットが必要となり、消費電力が大きくなる。そこで、例えば特許文献１に開示されているように、作業者の作業スペースだけを外部と隔離したクリーンユニットが提案されている。特許文献１に開示されているクリーンユニットでは、作業者が作業をするときに使用する備品や消耗品などの補充物を補充する場合、クリーンボックスに対してパスボックスを連結して当該補充物を補充する。
【特許文献１】特開２００５−３４０４３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記クリーンユニットでは、クリーンボックスとパスボックスの連結部分は常時解放されており、クリーンボックスおよびパスボックスの内部に外部から塵や埃が入る可能性がある。しかしながら、これらの連結部分に開閉部を配して連結時以外は閉じた状態とした場合、連結時に当該開閉部を開閉しにくいという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態によれば、床に対して移動する移動式補充ユニットであって、外部から隔離され、作業物を内部に収容する箱体と、箱体の下側に配される台車と、箱体に設けられ、箱体の内部と外部とを繋ぐ開口と、開口に対して上下に摺動することにより開口を開閉する開閉部と、開閉部を上向きに付勢する付勢部と、開閉部が開口を閉じている状態で開閉部を固定するロック部とを備える移動式補充ユニットが提供される。このような移動式補充ユニットによれば、開閉部が上向きに付勢されているので、例えば上記移動式補充ユニットをクリーンユニットに連結して当該移動式補充ユニットの開閉部を開閉する場合、ロック部による開閉部の固定を解除するだけで容易に開口を開くことができる。
【０００６】
また、上記開閉部は、箱体の内部に向けて突出する握り部をさらに備えることが好ましい。これにより、握り部を握って開閉部を操作することにより、容易に開口を開閉することができる。
【０００７】
また、上記移動式補充ユニットは、箱体の上方における、開閉部が開口を開いている状態において開閉部よりも箱体に近い側に配される保護板をさらに備えることが好ましい。これにより、作業者が開口付近の上方から頭や手を出しているときに開閉部が開いて作業者が開閉部にぶつかるのを防ぐことができる。
【０００８】
また、上記移動式補充ユニットは、開閉部の移動を案内するガイド部、および、ガイド部と開閉部とが当接する部分に配された摺動部材をさらに有することが好ましい。これにより、開閉部を滑らかに開閉させることができる。
【０００９】
また、上記移動式補充ユニットは、箱体の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部と、クリーンエア供給部に電力を供給する電源部とをさらに備え、電源部は自らの内部に電力を蓄えることが好ましい。これにより、外部から電力の供給を受けることなくクリーンエア供給部を作動させて箱体の内部にクリーンエアを供給することができるので、当該移動式補充ユニットを移動させているときでも箱体の内部の雰囲気を清浄な状態に保つことができる。
【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１２】
図１は、本発明の実施形態に係る移動式補充ユニット２００を含むクリーンユニットシステム１０に用いられるクリーンユニット１００の外観を示す斜視図である。なお、図１の手前側がクリーンユニット１００の正面側であり、図１の奥側が背面側である。図１に示すように、クリーンユニット１００は、フレーム１１０と、フレーム１１０に固定されて外部から隔離した作業スペースを形成する隔壁１２０と、フレーム１１０の上側に固定されて上記作業スペース内の天井側から作業スペース内にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部１３０と、上記作業スペース内の空気を吸気する吸気部１５０とを備える。上記隔壁１２０には、例えば透明なアクリル板が用いられ、上記作業者５００が作業をするときに作業スペース内が見えるようになっている。
【００１３】
また、隔壁１２０の正面側における一の面には、腕カバー１４０が配される。さらに、隔壁１２０の側面側には、兆番１８３で隔壁１２０に開閉可能に固定された開閉扉１８１を含む連結用開閉部１８０が配される。図１に示すクリーンユニット１００は、後述するように一人の作業者５００が作業する場合に使用されるが、複数のクリーンユニット１００を隔壁１２０の側面同士が当接するように配置することにより、連結用開閉部１８０の開閉扉１８１と通じて連通することができる。これにより、複数の作業者５００が必要な工程などにおいて、作業者５００の人数に応じて複数のクリーンユニット１００を連結することができる。なお、上記開閉扉１８１は、クリーンユニット１００を連結していないときは閉じられた状態であり、隔壁１２０に固定用フック１８５で固定されている。また、開閉扉１８１は、上記のように兆番１８３で開閉可能に固定されてもよいが、クリーンユニット１００を連結したときに取り外すことができるように固定されていてもよい。
【００１４】
図２は、クリーンユニット１００において作業者５００が作業をする様子を示す概略断面図である。図２に示すように、クリーンユニット１００の作業スペース内には、作業台１７０が配されている。作業者５００は、クリーンユニット１００の正面側における隔壁１２０の外側に立って腕カバー１４０に両腕を通すことにより、クリーンユニット１００における上記作業スペース内に両腕を挿し入れて、作業台１７０の上で様々な作業をすることができる。
【００１５】
図１および図２に示すように、クリーンエア供給部１３０は、外気取入口１３１、フィルタ１３２、ファン１３３、１３４、および、供給口１３５、１３６を有する。クリーンエア供給部１３０は、外気取入口１３１から取り入れた空気をファン１３３の回転によりフィルタ１３２を通過させて供給口１３５から上記作業スペース内に供給する。このとき、供給される空気は、塵や埃などが除去された清浄度の高いクリーンエアである。なお、クリーンユニット１００が後述する移動式補充ユニット２００と接続していないときは、ファン１３４は回転を停止しており、供給口１３６からはクリーンエアは供給されない。上記フィルタ１３２には、例えばＨＥＰＡフィルタが用いられる。クリーンエア供給部１３０は、作業者５００の作業時にクリーンエアを上記作業スペース内に連続的に供給してもよいが、例えば作業スペース内の清浄度を検知して、当該清浄度が規定以下になったときだけクリーンエアを供給してもよい。
【００１６】
図２に示すように、作業台１７０には、複数の貫通穴１７１が形成されている。さらに、作業台１７０の下側から背面側にかけて、吸気部１５０が配される。この吸気部１５０は、作業台１７０の下側に配されてフレーム１１０に固定されているシュート１５１、シュート１５１に形成された吸気口１５３に一端が接続する吸気ホース１５５、および、吸気ホース１５５の他端と接続する吸気装置１５９を有する。吸気装置１５９には、配線１５７を介して外部から電源が供給される。上記作業台１７０の貫通穴１７１により、上記作業スペースと吸気部１５０のシュート１５１とが連通しており、上記クリーンエア供給部１３０によりクリーンユニット１００の作業スペース内に供給されるクリーンエアは、貫通穴１７１を通ってシュート１５１へ導かれて吸気装置１５９によって吸気される。このように、クリーンユニット１００において作業者５００が作業をしているときに、作業スペース内は常時新鮮なクリーンエアで満たされている。したがって、作業者５００の作業時に発生した塵や埃で上記作業スペース内が汚染されるのを防ぐことができる。
【００１７】
図１および図２に示すように、クリーンユニット１００の背面側の隔壁１２０は、上記作業スペースの内部と外部とを繋ぐ開口１２１が形成された開口側パネル１２２であり、この開口１２１は、クリーンユニット１００が後述する移動式補充ユニット２００と接続していないときは、開閉部１２３により塞がれている。また、図２に示すように、開閉部１２３の外面には、上記作業スペースの外側に向けて突出する突起部１２５が取り付けられている。上記開口１２１、開閉部１２３および突起部１２５等については、以下において別途説明する。
【００１８】
図１および図２に示すように、クリーンユニット１００の背面側の隔壁１２０は、上記作業スペースの内部と外部とを繋ぐ開口１２１が形成された開口側パネル１２２である。また、開口側パネル１２２の内側には、略矩形で板状の開閉部１２３が隣接して配されている。また、この開閉部１２３の水平方向における両端には、鉛直方向に伸びた上記フレーム１１０の一部に凹形状のガイド溝１１３が形成されたガイド部１１１が配されている。開閉部１２３は、上記両端において、ガイド部１１１のガイド溝１１３に嵌っており、ガイド溝１１３に沿って鉛直方向に摺動することができるが、クリーンユニット１００が後述する移動式補充ユニット２００と接続していないときは、上記開口１２１を塞いでいる。
【００１９】
図３は、クリーンユニットシステム１０に用いられる移動式補充ユニット２００の外観を示す斜視図である。なお、図３において、上記図１と同様に、手前側が移動式補充ユニット２００の正面側であり、奥側が背面側である。図３に示すように、移動式補充ユニット２００は、フレーム２１０と、フレーム２１０に固定されて外部から隔離した空間を形成する箱体２２０と、フレーム２１０の上側に固定されて上記空間内の天井側から空間内にクリーンエアを供給するクリーンエア供給部２３０と、箱体２２０の正面側に配される腕カバー２４０と、上記空間内の空気を排気する排気部２５０と、箱体２２０の下側においてフレーム２１０に固定された電源部２８５とを備える。上記箱体２２０は、例えば透明なアクリル板を組み合わせて形成されており、移動式補充ユニット２００を用いて作業者５１０が作業をするときに、箱体２２０の内部が見えるようになっている。また、図３に示すように、移動式補充ユニット２００は、箱体２２０の下側においてフレーム２１０に取り付けられた台車２０５を有する。移動式補充ユニット２００は、この台車２０５により、床に対して移動することができる。
【００２０】
図４は、移動式補充ユニット２００において作業者５１０が作業をする様子を示す概略断面図である。また、図５は、移動式補充ユニット２００の内部および背面側の構成を示す斜視図である。図４および図５に示すように、移動式補充ユニット２００における箱体２２０の内部には、補充物載置台２７０が配されている。作業者５１０は、図４に示すように、移動式補充ユニット２００の正面側における箱体２２０の外側に立って腕カバー２４０に両腕を通すことにより、移動式補充ユニット２００における箱体２２０の内部に両腕を挿し入れて、補充物載置台２７０上に載置された補充物６００の準備などの作業をすることができる。この補充物６００は、上記クリーンユニット１００で使用される備品や消耗品などで、後述するように移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続したときにクリーンユニット１００に補充する物品である。
【００２１】
図３および図４に示すように、クリーンエア供給部２３０は、外気取入口２３１、フィルタ２３２、ファン２３３、および、供給口２３５を有する。クリーンエア供給部２３０は、外気取入口２３１から取り入れた空気をファン２３３の回転によりフィルタ１３２を通過させて供給口１３５から上記空間内に供給する。このとき、供給される空気は、塵や埃などが除去された清浄度の高いクリーンエアである。上記フィルタ１３２には、例えばＨＥＰＡフィルタが用いられる。クリーンエア供給部２３０は、作業者５１０の作業時にクリーンエアを上記空間内に連続的に供給してもよいが、例えば空間内の清浄度を検知して、当該清浄度が規定以下になったときだけクリーンエアを供給してもよい。
【００２２】
移動式補充ユニット２００の上記クリーンエア供給部２３０は、電源部２８５と不図示の配線を介して電気的に接続しており、電源部２８５から電力が供給される。この電源部２８５は、図３に示すように、固定板２８８でフレーム２１０に固定された本体２８７を有し、本体２８７に配されたスイッチ２８９を切り替えることにより、クリーンエア供給部２３０への電力の供給を開始または停止することができる。また、電源部２８５の本体２８７は、バッテリーを内蔵しており、自らの内部に電力を蓄えている。したがって、電源部２８５は外部から電力の供給を受けることなくクリーンエア供給部２３０を作動させて箱体２２０の内部にクリーンエアを供給することができる。移動式補充ユニット２００は、このような電源部２８５を備えることにより、クリーンエア供給部２３０を作動させて箱体２２０の内部の雰囲気を清浄な状態に保ちながら、台車２０５により自由に移動することができる。
【００２３】
図４および図５に示すように、補充物載置台２７０には、複数の貫通穴２７１が形成されている。さらに、補充物載置台２７０の下側から背面側にかけて、排気部２５０が配される。この排気部２５０は、補充物載置台２７０の下側に配されてフレーム２１０に固定されているシュート２５１、シュート２５１の両側面に形成された排気口２５７、シュート２５１の両側面における排気口２５７の上縁に取り付けられたヒンジ２５５、および、ヒンジ２５５に回動可能に取り付けられたダンパー板２５３を有する。
【００２４】
上記補充物載置台２７０に形成された貫通穴２７１により、上記箱体２２０の内部空間と排気部２５０のシュート２５１とが連通しており、上記クリーンエア供給部２３０により上記箱体２２０の内部に供給されるクリーンエアは、貫通穴２７１を通ってシュート２５１へ導かれる。ここで、箱体２２０の内部およびシュート２５１の内部が移動式補充ユニット２００の外部に対して陽圧の状態になると、上記ダンパー板２５３が開いて、上記排気口２５７から外部にクリーンエアが排気される。このように、移動式補充ユニット２００において作業者５１０が作業をしているときに、箱体２２０の内部空間は常時新鮮なクリーンエアで満たされており、外部に対して陽圧の状態に保たれている。したがって、作業者５１０の作業時に発生した塵や埃で上記空間内が汚染されるのを防ぐことができるとともに、外部から汚染された空気が上記排気口２５７を介して流入するのを防ぐことができる。
【００２５】
図４および図５に示すように、移動式補充ユニット２００の背面側には、箱体２２０の内部と外部とを繋ぐ開口２２１が形成された開口側パネル２２２が配されている。また、開口側パネル２２２の内側には、略矩形で板状の開閉部２２３が隣接して配されている。また、この開閉部２２３の水平方向における両端には、鉛直方向に伸びた上記フレーム２１０の一部に凹形状のガイド溝２１３が形成されたガイド部２１１が配されている。開閉部２２３は、上記両端において、ガイド部２１１のガイド溝２１３に嵌っており、ガイド溝２１３に沿って鉛直方向に摺動することができるが、移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続していないときは、上記開口２２１を塞いでいる。
【００２６】
また、上記ガイド部２１１の上端には、付勢部２９０が配されている。この付勢部２９０は、弾性体２９３、および、ガイド部２１１の上端に取り付けられた弾性体収納部２９１を有する。図４および図５に示すように、弾性体２９３は、一端が弾性体収納部２９１の内面に固定されており、他端が上記開閉部２２３の上縁に固定されている。上記弾性体２９３には、例えば弦巻バネなどが用いられる。開閉部２２３は、上記開口２２１を塞いでいる状態において、上記弾性体２９３の弾性力によって上向きの力を受けているが、ロック部２６０によって、開口２２１を塞いでいる状態のまま固定されている。
【００２７】
図６は、ロック部２６０が開閉部２２３を固定している状態におけるロック部２６０付近を拡大した概略図である。また、図７は、ロック部２６０が開閉部２２３の固定を解除した状態におけるロック部２６０付近を拡大した概略図である。図６に示すように、ロック部２６０は、ガイド部２１１にネジ２６６で固定されたケース２６３、ケース２６３に少なくとも一部が収納されて水平方向に摺動する突出部２６１、突出部２６１に取り付けられてケース２６３から外側に突出する操作レバー２６２、および、開閉部２２３における箱体２２０の内部側の面にネジ２６７で固定されたＬ字板２６５を有する。ロック部２６０が開閉部２２３を固定している状態では、図６に示すように、ケース２６３から突出した突出部２６１がＬ字板２６５の水平面２６８と当接している。これにより、Ｌ字板２６５が突出部２６１に引っ掛かった状態となり、開閉部２２３が上記弾性体２９３から受ける上向きの弾性力によって上方に移動するのが妨げられている。
【００２８】
ここで、後述するように移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続して作業者５１０がクリーンユニット１００に対して補充物６００を補充するときは、作業者５１０が操作レバー２６２を水平方向に動かすことにより、突出部２６１を図６に矢印で示す方向に移動させる。これにより、図７に示すように突出部２６１の大部分がケース２６３に収容される。このとき、Ｌ字板２６５の水平面２６８は突出部２６１と当接していないので、開閉部２２３は上記弾性体２９３から受ける上向きの弾性力によって、ガイド溝２１３に沿って鉛直上方（図７に矢印で示す方向）に移動する。
【００２９】
また、図４および図５に示すように、開閉部２２３における箱体２２０の内部側の面には、箱体２２０の内部に向けて突出する掴み部２２７が取り付けられている。作業者５１０は、上記ロック部２６０を操作して開閉部２２３の固定を解除したとき、この掴み部２２７を掴むことにより、開閉部２２３が急激に上方に移動するのを防ぐことができるので、指を挟んだりすることがなく、より安全に作業をすることができる。
【００３０】
また、図４および図５に示すように、箱体２２０の上方には、保護板２８０が配されている。この保護板２８０は、開閉部２２３が開口２２１を開いている状態において開閉部２２３よりも箱体２２０に近い側に取り付けられており、作業者５１０が箱体２２０の上から手を伸ばした場合などに、その手が上方に移動してきた開閉部２２３とぶつかるのを防ぐ。
【００３１】
図８は、ガイド部２１１付近の断面の一部を示す概略断面図である。図８に示すように、上記ガイド部２１１のガイド溝２１３には、摺動部材２１５が配されている。この摺動部材２１５は、例えば表面の滑らかな摺動テープであり、開閉部２２３が鉛直方向へ移動するときに生じる開閉部２２３とガイド部２１１との間の摩擦抵抗を小さくする。これにより、開閉部２２３を滑らかに開閉させることができる。
【００３２】
図９は、移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続した状態を示す概略断面図である。クリーンユニット１００における開閉部１２３の外面には、図９および上述の図２にも示すように、上記作業スペースの外側に向けて突出する突起部１２５が取り付けられている。また、移動式補充ユニット２００における開閉部２２３の外面には、図９および上述の図４および図５にも示すように、箱体２２０の外側に向けて突出する突起部２２５が取り付けられている。図９に示すように、上記移動式補充ユニット２００が上記クリーンユニット１００と接続した状態において、移動式補充ユニット２００の突起部２２５の上にクリーンユニット１００の突起部１２５が重なる。
【００３３】
図１０は、移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続した状態において、作業者５１０がクリーンユニット１００に補充物６００を補充する様子を示す概略断面図である。移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続した状態において、作業者５１０が移動式補充ユニット２００の上記ロック部２６０を操作して開閉部２２３の固定を解除すると、開閉部２２３は上方に移動して開口２２１が開いた状態となる。また、このとき、上記のように、突起部２２５の上に突起部１２５が重なっていることにより、開閉部２２３の上方への移動に連動してクリーンユニット１００の開閉部１２３も上方へ移動する。また、このとき、移動式補充ユニット２００の弾性体２９３は、縮んだ状態で弾性体収納部２９１の内部に収容される。これにより、図１０に示すように、クリーンユニット１００における上記作業スペースと移動式補充ユニット２００における上記箱体２２０の内部とが開口１２１および開口２２１を通じて連通する。この状態において、作業者５１０は、補充物６００をクリーンユニット１００側に移すことにより補充作業を完了する。
【００３４】
また、図１０に示すように、クリーンユニット１００のクリーンエア供給部１３０は、上記開口１２１の上方において外部に延伸する庇部１３７を有し、移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続した状態において、この庇部１３７が開口１２１および開口２２１の上方を覆う。また、このとき、庇部１３７の近傍に形成された供給口１３６が開口１２１および開口２２１の上方にくる。この状態において、ファン１３４が回転して供給口１３６から上記開口１２１および開口２２１の周囲にクリーンエアが供給される。これにより、クリーンユニット１００および移動式補充ユニット２００が接続して移動式補充ユニット２００からクリーンユニット１００へ補充物６００を補充しているときに、外部から塵や埃がクリーンユニット１００の作業スペース内などに入るのを防ぐことができる。
【００３５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることができることは当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態に係る移動式補充ユニット２００を含むクリーンユニットシステム１０に用いられるクリーンユニット１００の外観を示す斜視図である。
【図２】クリーンユニット１００において作業者５００が作業をする様子を示す概略断面図である。
【図３】クリーンユニットシステム１０に用いられる移動式補充ユニット２００の外観を示す斜視図である。
【図４】移動式補充ユニット２００において作業者５１０が作業をする様子を示す概略断面図である。
【図５】移動式補充ユニット２００の内部および背面側の構成を示す斜視図である。
【図６】ロック部２６０が開閉部２２３を固定している状態におけるロック部２６０付近を拡大した概略図である。
【図７】ロック部２６０が開閉部２２３の固定を解除した状態におけるロック部２６０付近を拡大した概略図である。
【図８】ガイド部２１１付近の断面の一部を示す概略断面図である。
【図９】移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続した状態を示す概略断面図である。
【図１０】移動式補充ユニット２００がクリーンユニット１００と接続した状態において、作業者５１０がクリーンユニット１００に補充物６００を補充する様子を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  クリーンユニットシステム、１００  クリーンユニット、１１０  フレーム、１１１  ガイド部、１１３  ガイド溝、１２０  隔壁、１２１  開口、１２２  開口側パネル、１２３  開閉部、１２５  突起部、１３０  クリーンエア供給部、１３１  外気取入口、１３２  フィルタ、１３３、１３４  ファン、１３５、１３６  供給口、１３７  庇部、１４０  腕カバー、１５０  吸気部、１５１  シュート、１５３  吸気口、１５５  吸気ホース、１５７  配線、１５９  吸気装置、１７０  作業台、１７１  貫通穴、１８０  連結用開閉部、１８１  開閉扉、１８３  兆番、１８５  固定用フック、２００  移動式補充ユニット、２０５  台車、２１０  フレーム、２１１  ガイド部、２１３  ガイド溝、２１５  摺動部材、２２０  箱体、２２１  開口、２２２  開口側パネル、２２３  開閉部、２２５  突起部、２２７  掴み部、２３０  クリーンエア供給部、２３１  外気取入口、２３２  フィルタ、２３３  ファン、２３５  供給口、２４０  腕カバー、２５０  排気部、２５１  シュート、２５３  ダンパー板、２５５  ヒンジ、２５７  排気口、２６０  ロック部、２６１  突出部、２６２  操作レバー、２６３  ケース、２６５  Ｌ字板、２６６、２６７  ネジ、２６８  水平面、２７０  補充物載置台、２７１  貫通穴、２８０  保護板、２８５  電源部、２８７  本体、２８８  固定板、２８９  スイッチ、２９０  付勢部、２９１  弾性体収納部、２９３  弾性体、５００、５１０  作業者、６００  補充物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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