(57)【要約】【課題】多孔質材から構成される軸受部材に電解加工によって動圧発生溝を形成する際に、加工精度および加工効率を低下させることなく、電解液が軸受部材内に浸入し残留するのを防止する。【解決手段】多孔質の中間部材に水溶性液体又は水を含浸させた後、中間部材の表面に電解加工によって動圧発生溝を形成する。そしてその後、中間部材に含浸させた水溶性液体又は水を除去して軸受部材とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
動圧発生溝が表面に形成された、多孔質材から構成される軸受部材の製造方法であって、
ａ）多孔質の中間部材を用意する工程と、
ｂ）水溶性液体又は水を前記中間部材に含浸させる工程と、
ｃ）前記工程ｂ）の後において、前記中間部材の表面に電解加工により動圧発生溝を形成する工程と、
ｄ）前記中間部材に含浸された前記水溶性液体又は水を除去し軸受部材を得る工程と、
を備えることを特徴とする軸受部材の製造方法。
【請求項２】
前記工程ｂ）は、
前記中間部材を減圧環境下に晒した状態で、前記中間部材の表面に前記水溶性液体又は水を接触させる工程と、
前記接触させる工程の後において、前記中間部材を前記接触させる工程より高い圧力環境下に置く工程と
を備えることを特徴とする請求項１記載の軸受部材の製造方法。
【請求項３】
前記工程ｂ）は、
前記中間部材の表面に前記水溶性液体又は水を接触させる工程と、前記接触させた工程と同時又はそれ以降において、前記中間部材を減圧環境下に晒すことにより前記中間部材に前記水溶性液体又は水を含浸させる工程と、
前記含浸させる工程の後において、前記中間部材を前記含浸させる工程より高い圧力環境下に置く工程と
を備えることを特徴とする請求項１記載の軸受部材の製造方法。
【請求項４】
前記水溶性液体は、分子を構成する炭素数が４以下のアルコールであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の軸受部材の製造方法。
【請求項５】
前記中間部材は、中心軸を中心とする中空円筒状の部材であり、
前記工程ｃ）において、前記中空円筒状の部材の内周面に電解加工により動圧発生溝を形成することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の軸受部材の製造方法。
【請求項６】
前記工程ｃ）において、前記中空円筒状の部材の内周面および端面に同時に電解加工により動圧発生溝を形成することを特徴とする請求項５記載の軸受部材の製造方法。
【請求項７】
前記中間部材は、中心軸を中心とする円柱状の部材であり、
前記工程ｃ）において、前記円環状の部材の外周面に電解加工により動圧発生溝を形成することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の軸受部材の製造方法。
【請求項８】
前記円柱状の部材は、端部に前記円柱状の部材から半径方向に張り出すフランジ部を有し、
前記工程ｃ）において、前記円柱状の部材の外周面およびフランジ部の端面に同時に電解加工により動圧発生溝を形成することを特徴とする請求項７記載の軸受部材の製造方法。
【請求項９】
前記工程ｄ）において、前記中間部材を加熱することで前記水溶性液体又は水を除去することを特徴とする請求項１乃至８記載のいずれかに軸受部材の製造方法。
【請求項１０】
前記工程ｂ）の前において、
ｅ）軸受部材形成用材料を圧縮成型した後焼結する工程を更に備えることを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の軸受部材の製造方法。
【請求項１１】
一端が開口し他端が閉塞するカップ状のハウジングと、該ハウジングの内側に配置された中空円筒状のスリーブ部材と、該スリーブ部材の中心孔に微小間隙を介して挿通された軸部材とを備えた流体動圧軸受装置において、
前記スリーブ部材及び前記軸部材の少なくとも一方が、請求項１記載の製造方法で製造された軸受部材であることを特徴とする流体動圧軸受装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の流体動圧軸受装置を備えたことを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項１３】
情報を記録できる円板状の記録媒体が装着される記録ディスク駆動装置において、
ベースプレートと、
前記フレームの内部に固定され前記記録媒体を回転させる請求項１２記載のスピンドルモータと、
前記記録媒体の所望の位置に情報を書き込み又は読み出すための情報アクセス手段と、を備えることを特徴とする記録ディスク駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧発生溝が表面に形成された多孔質材から構成される軸受部材の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
多孔質材、特に多孔質焼結体から構成される軸受部材は、焼結体中に潤滑油が含浸されるので、摺動性に優れ、いわゆるロックを起こしにくいという利点がある。このため、高速回転するモータ等の軸受部材として近年広く用いられている。
【０００３】
この多孔質焼結体から構成される軸受部材に動圧発生溝を形成する場合、加工精度及び加工速度などの観点から電解加工が用いられることがある。この電解加工は、金属材料からなる軸受部材と、軸受部材に形成する動圧発生溝形状の電極露出部を有する電極工具とを近接対向配置させるとともに、これら軸受部材と電極工具を電極加工用電源の負極及び正極にそれぞれ接続し、電極工具と軸受部材との間に所定の電解液を流動させながら通電することによって、動圧発生溝の形状に対応して軸受部材を溶出させて動圧発生溝を形成するものである（例えば特許文献１，２など）。
【０００４】
ところが、電解加工によって多孔質焼結体に動圧発生溝を形成する場合、多孔質焼結体中に硝酸ナトリウムなどの電解液が浸入する。この浸入した電解液は、電解加工終了後に洗浄によって除去するが、生産効率が悪くまた電解液を完全に除去することは困難であった。多孔質焼結体から構成される軸受部材中に電解液が残留すると、残留した電解液によって軸受部材が浸食され錆が発生し軸受部材の寿命が著しく低下する。
【０００５】
そこで特許文献３では、電解加工前に油又は合成樹脂を多孔質焼結体に含浸させておき、電解液が多孔質焼結体に浸入するのを防止する技術が提案されている。
【特許文献１】特開平１０−８６０２０号公報
【特許文献２】特開平１０−１８０５４５号公報
【特許文献３】特開昭４７−３６１９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記提案されている技術のように、油や合成樹脂を多孔質焼結体に含浸させると、油や合成樹脂が軸受部材の表面に不可避的に存在してしまうため、電解加工時に電気が流れにくくなり電解加工の加工精度及び加工効率が低下することがある。
【０００７】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、多孔質材から構成される軸受部材に電解加工によって動圧発生溝を形成する方法において、加工精度および加工効率を低下させることなく、しかも電解液が多孔質材の内部に浸入し残留することを確実に防止できる製造方法を提供することにある。
【０００８】
また本発明の目的は、多孔質材から構成される軸受部材を用いた流体動圧軸受装置及びスピンドルモータ、記録ディスク駆動装置において、錆が発生せず長期間にわたって安定して軸受作用および回転が得られるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、動圧発生溝が表面に形成された、多孔質材から構成される軸受部材の製造方法であって、ａ）多孔質の中間部材を用意する工程と、ｂ）水溶性液体又は水を前記中間部材に含浸させる工程と、ｃ）前記工程ｂ）の後において、前記中間部材の表面に電解加工により動圧発生溝を形成する工程と、ｄ）前記中間部材に含浸された前記水溶性液体又は水を除去し軸受部材を得る工程とを備えることを特徴とする軸受部材の製造方法が提供される。
【００１０】
また本発明によれば、一端が開口し他端が閉塞するカップ状のハウジングと、該ハウジングの内側に配置された中空円筒状のスリーブ部材と、該スリーブ部材の中心孔に微小間隙を介して挿通された軸部材とを備えた流体動圧軸受装置において、前記スリーブ部材及び前記軸部材の少なくとも一方が、請求項１記載の製造方法で製造された軸受部材であることを特徴とする流体動圧軸受装置が提供される。
【００１１】
さらに本発明によれば、上記流体動圧軸受装置を備えたことを特徴とするスピンドルモータが提供される。
【００１２】
そしてまた本発明によれば、情報を記録できる円板状の記録媒体が装着される記録ディスク駆動装置において、ベースプレートと、前記フレームの内部に固定され前記記録媒体を回転させる請求項１２記載のスピンドルモータと、前記記録媒体の所望の位置に情報を書き込み又は読み出すための情報アクセス手段とを備えることを特徴とする記録ディスク駆動装置が提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る軸受部材の製造方法では、水溶性液体又は水を多孔質の中間部材（以下、単に「中間部材」と記すことがある）に含浸させた後、電解加工によって中間部材の表面に動圧発生溝を形成するので、電解加工に用いられる電解液が中間部材の内部に浸入するのが確実に防止される。これによって、電解液による軸受部材の浸食及び錆の発生が防止できる。また中間部材に含浸させる物質を水溶性液体又は水としたので、電解加工終了後、加熱することによって中間部材から簡単に除去でき、残留した水溶性液体や水による軸受部材の浸食等は生じない。
【００１４】
また本発明に係る流体動圧軸受装置では、上記記載の製造方法で製造された軸受部材を用いるので、錆が発生することがなく、長期間にわたって安定した軸受作用が奏される。
【００１５】
また本発明に係るスピンドルモータ及び記録ディスク駆動装置では、上記流体動圧軸受装置を用いるので、錆が発生することがなく、長期間にわたって安定した回転が確保される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明者は、中間部材の表面に電解加工によって動圧軸受溝を形成する際に、電解液の中間部材内部への浸入を防止しながら、電解加工の加工精度や加工効率を低下させないようにすべく鋭意検討を重ねた。その結果、電解加工を行う前に中間部材に液体を含浸させておけば、毛細管力によって中間部材内部に含浸された液体は電解液に置換されることはなく、結果的に電解液の中間部材内部への浸入を防止できること、そして中間部材に含浸させる液体として水溶性液体又は水を用いれば、水溶性液体及び水は電解液との親和性がよいので、中間部材の表面に存在しても電解加工に悪影響を与えないことを見出し本発明をなすに至った。
【００１７】
すなわち本発明に係る製造方法の大きな特徴は、軸受部材の前駆体である中間部材に水溶性液体又は水を含浸させた後、中間部材の表面に電解加工によって動圧発生溝を形成し、その後中間部材に含浸させた水溶性液体又は水を除去して軸受部材を作製することにある。
【００１８】
図１に、本発明に係る製造方法の一例を示す工程図を示す。まず、原料粉末を所定比率で混合する。原料粉末としては、例えばＦｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗなどを主成分とする炭化物や合金が挙げられる。この中でも、Ｆｅ及びＦｅを主成分とする合金が好適に使用できる。Ｆｅを主成分とする合金としては、Ａｌ、Ｔｉ、Ｎｂ、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｖ、Ｔａ、Ｓｉ、Ｃ、Ｂ、Ｚｒ、Ｐからなる群から選ばれる１又は２以上の元素とＦｅとの合金が挙げられる。
【００１９】
次に、混合された原料粉末を所定の形状に成形する。成形方法としては従来公知方法を用いることができる。例えば、下金型の溝に嵌合する凸部を有する上金型を上方から下降させて、溝に充填した原料粉末を圧縮成形する。成形条件としては特に限定ははいが、成形圧力は５〜８ｔｏｎ／ｃｍ2の範囲、成形時間は２〜１０ｓｅｃの範囲が好適である。
【００２０】
圧縮成形した成形体は金型から取り出された後焼結される。焼結条件としては従来公知の条件がここでも採用でき、焼結温度は例えば鉄系材料の場合には９８０〜１１８０℃の範囲、銅系材料の場合には７５０〜９００℃の範囲、ステンレス鋼の場合には１１８０〜１３５０℃の範囲である。
【００２１】
以上のようにして作製された中間部材としての多孔質焼結体は、外周面および内周面がサイジングされた後、水溶性液体又は水が含浸される。多孔質焼結体内に水溶性液体又は水を含浸させる方法としては例えば図２に示すように、容器内に多孔質焼結体を入れた後、容器内を減圧する。そして水溶性液体又は水を容器内に入れて、多孔質焼結体内に水溶性液体又は水を含浸させる。その後、容器内の圧力を大気圧に戻すことで多孔質体内に水溶性液体又は水を行き渡らせる方法がある。
【００２２】
あるいは図３に示すように、容器内に水溶性液体又は水を供給する。そして容器内に多孔質焼結体を配置し、多孔質焼結体の外表面の一部又は全てに水溶性液体又は水を接触させた後、容器内を減圧して多孔質焼結体内に水溶性液体又は水を含浸させる。その後、容器内の圧力を大気圧に戻して多孔質焼結体内に水溶性液体又は水を行き渡らせる方法がある。なお、容器内に水溶性液体又は水を供給すると同時に多孔質焼結体を配置してもよい。また、容器内に多孔質焼結体を配置した後水溶性液体又は水を供給してもよい。また、水溶性液体又は水は、多孔質焼結体に接触させると同時に容器内を減圧して多孔質焼結体に含浸させてもよい。
【００２３】
その他、多孔質焼結体内に水溶性液体又は水を含浸させる方法としては、加圧して含浸する方法や中間部材を治具により保持した状態で、中間部材の表面に水溶性液体又は水を接触させて水溶性液体又は水を含浸させる方法などが挙げられる。なお、最後に例示した方法の場合、水溶性液体又は水を含浸させる際、水溶性液体又は水に周囲の大気圧より大きな圧力を付与する必要がある。
【００２４】
本発明で使用する水溶性液体としては、電解液との親和性の高いものが望ましく、例えばメタノール、エタノールなどの炭素数が４個以下のアルコールなどが好ましい。本発明で使用する水としては純水や高純水、蒸留水が用いられる。
【００２５】
図１に示すように、水溶性液体又は水を多孔質焼結体に含浸させた後、多孔質焼結体の表面に電解加工によって動圧発生溝を形成する。電解加工の一般的な構成を図４に示す。図４は、多孔質焼結体からなる中空円筒状のスリーブ部材１２の内周面に、ラジアル状の動圧発生溝を形成する電解加工装置の全体構成を示した図である。スリーブ部材１２は加工室５１内に固定され、露出電極５２ａがスリーブ部材１２の内周面と微小間隙を隔てて対向するように、円柱状の工具電極５２が加工装置ハウジング５０に取り付けられている。ここで露出電極５２ａは、スリーブ部材１２に形成させたいラジアル状の動圧発生溝の形状（図４ではヘリングボーン形状）と相似形状をしていて、ラジアル状の動圧発生溝より若干小さい幅に形成されている。
【００２６】
スリーブ部材１２には、加工用電源６０の正電源端子から延出した正極端子６１が接続され、そしてその途中には、スリーブ部材１２と工具電極５２との間に流れる電流を検出する電流検出手段６２が設けられている。他方、工具電極５２には、加工用電源６０の負電源端子から延出した負極端子６３が接続され、そしてその途中には、加工用電源６０からの直流電圧（パルス電圧）のオン・オフを行うスイッチ手段６４が設けられている。
【００２７】
一方、貯留槽７には電解液Ｌが貯留されており、貯留槽７と加工室５１の供給口とはポンプＰ3を介して供給管で接続され、加工室５１の排出口と貯留槽７とは排出管で接続されている。電解加工時には、ポンプＰ3が作動されて、貯留槽７から加工室５１に電解液Ｌが供給される。加工室５１に供給された電解液Ｌは、加工室５１の上部からスリーブ部材１２と工具電極５２との間隙を流れて、加工室５１の下部に至る。そして電解液Ｌは、加工室５１の下部から排出管を通って貯留槽７に回収され、またポンプＰ3により加工室５１へ供給されるという流れを繰り返す。
【００２８】
ここで、スリーブ部材１２と工具電極５２との間隙を通過するとき、電解生成物が電解液中に混入する。電解加工では、電流密度が極めて大きく、加工間隙が極めて小さいので、電解生成物の発生や電解液の加熱は加工に大きな影響を及ぼし、これらの影響をすみやかに除去しなければ加工が進行しなくなるおそれがある。したがって、電解液の流速は高速にする必要があり、加工条件によって異なるものの、一般には６〜６０ｍ／ｓｅｃの範囲が望ましい。
【００２９】
一方、このような高速で循環する電解液Ｌがスリーブ部材１２の外周面に当たると、スリーブ部材１２に含浸させた水溶性液体又は水がスリーブ部材１２から漏れ出るおそれがある。そこで図５に示すように、スリーブ部材１２の外周を覆うような容器９をスリーブ部材１２に装着して電解加工を行ってもよい。すなわち、スリーブ部材１２の外径と同じ又は若干大きい内径を有する容器本体９１内に、スリーブ部材１２を挿入し、容器本体９１の上面開口を蓋部材９２で封止する。容器本体９１の底面および蓋部材９２には、スリーブ部材１２の貫通孔１２２と同心円状で略同径の貫通孔９１１と貫通孔９２１がそれぞれ形成されている。電解加工時には、これらの貫通孔に工具電極５２（図４に図示）が挿入される。このようにスリーブ部材１２の外周を容器９によって覆うことにより、電解液Ｌがスリーブ部材１２に強く当たることが回避され、スリーブ部材１２から水溶性液体や水が漏れ出ることが抑えられる。
【００３０】
また電解生成物が沈殿性のものである場合には、遠心分離や沈降、濾過およびこれらの組み合わせによって貯留槽６中の電解液Ｌから電解生成物を分離・除去し、電解液Ｌを清浄にしてから循環使用するのがよい。
【００３１】
図４に示す構成の装置において、スイッチ手段６４を所定時間（加工時間）オンにすると、スリーブ部材１２と工具電極５２の間に直流電圧（パルス電圧）が印加され、スリーブ部材１２と工具電極５２の間に加工用電源６０から電流が流れる。スリーブ部材１２と工具電極５２との間に流れる電流は、電流検出手段６２により検出され、検出値は通電制御回路６５に送られ、ここで検出値に基づきスイッチ手段６４のオン・オフが制御される。これによって、工具電極５２の露出電極に対向するスリーブ部材１２の表面材料が電解液Ｌ中に溶出し、露出電極に対応する形状の動圧発生溝がスリーブ部材１２表面に形成される。
【００３２】
電解加工の加工条件としては、軸受部材の組成や形状および形成する溝の深さや幅、形状といったものから適宜決定すればよい。加工条件の一例を示すと、加工電圧１０Ｖ、加工電流１０Ａ、加工時間（スイッチ手段６４をオンとする時間）３秒、スリーブ部材１２の加工面と工具電極５２の電極面との間隙０．１ｍｍに設定すると、深さ１０μｍの所望形状の動圧発生溝を形成できる。
【００３３】
スリーブ部材１２の表面開口率は一般に１５％以下が好ましく、潤滑剤の流動を考慮すると５〜１０％の範囲がより好ましい。また動圧発生溝を形成した部分は、潤滑剤を流動させて動圧を発生させる必要があるため、その表面開口率は５％以下が望ましい。表面開口率を部分的に小さくするには例えば封孔処理を行えばよい。なお、ここでいう表面開口率とは単位面積当たりの開口面積の割合を意味する。
【００３４】
次に、図１に示すように、動圧発生溝を形成した、中間部材としてのスリーブ部材から水溶性液体又は水を除去する。除去方法としては、例えば中間部材を加熱や減圧乾燥、遠心分離など従来公知の方法を用いることができる。
【００３５】
このような軸受部材を用いた動圧軸受装置について説明する。図６の動圧軸受装置１では、ハウジング部材１３の中心に軸線方向に貫通孔１３１が形成され、ハウジング部材１３の下端には貫通孔１３１の内径よりも大径に形成された嵌合溝部１３２が形成されている。そしてこの貫通孔１３１の内周面に、軸方向長さがハウジング部材１３よりも短い多孔質焼結体からなる中空円筒状のスリーブ部材１２が固着されている。スリーブ部材１２には貫通孔１２２が形成されており、貫通孔１２２の内周面には２つのラジアル動圧発生溝１２１ａ，１２１ｂが軸方向に離隔して形成され、下端面にはスラスト動圧発生溝１２１ｃが形成されている。
【００３６】
一方、軸部材１１は、軸部１１１と、軸部１１１の下端に形成されたフランジ部であるスラストプレート部１１２とからなる。そして、スラストプレート部１１２の上面がスリーブ部材１２の下端面に当接するまで、スリーブ部材１２の中空部に軸部材１１の軸部１１１が一定の間隙を介して挿入され、ハウジング部材１３に形成された貫通孔１３１の下側開口を封止するように、スラスト動圧発生溝１４１が上面に形成されたスラストブッシュ部材１４が嵌合溝部１３２に装着されている。他方、貫通孔１３１の上側開口には、軸部１１１に嵌通させた環状のシール部材１５が、その上面とハウジング部材１３の上端面とが同一面となるように貫通孔１３１の内周面に固着されている。そして、ハウジング部材１３とスラストブッシュ部材１４、シール部材１５とで囲まれた貫通孔１３１の内部は潤滑剤（不図示）で充填されている。すなわち、スリーブ部材１２と軸部１１１との間およびスラストプレート部１１２とスラストブッシュ部材１４との間の微小間隙、それにスリーブ部材１２の内部に形成された連続孔は潤滑剤で充填されている。本実施形態では、ハウジングは、ハウジング部材１３、スラストブッシュ部材１４、および、シール部材１５から構成される。
【００３７】
上記構造の動圧軸受装置１において、軸部材１１のラジアル荷重は、スリーブ部材１２の内周面に形成されたヘリングボーン型の２つのラジアル動圧発生溝１２１ａ，１２１ｂで発生する流体動圧により、他方スラスト荷重は、スリーブ部材１２の下端面およびスラストブッシュ部材１４の表面に形成されたスパイラル型のスラスト動圧発生溝１２１ｃ、１４１で発生する流体動圧により支持される。
【００３８】
次に、本発明に係るスピンドルモータについて説明する。本発明のモータの大きな特徴は前記説明した流体動圧軸受装置を搭載した点にある。以下、図に基づいて本発明のスピンドルモータを詳述する。図７に、前記説明した本発明の流体動圧軸受装置１を搭載したＨＤＤスピンドルモータの縦断面図を示す。図７のスピンドルモータは、ブラケット２は中心部に設けられた基部２１と、この基部２１の外周方向に設けられた周壁２２と、この周壁２２からさらに外方向に延設された鍔部２３とからなり、これらが一体且つ同軸的に形成されている。
【００３９】
基部２１の中心部には環状突部２４が形成され、そこに図７に示した流体動圧軸受装置１が嵌合固定されている。そして流体動圧軸受装置１の軸部材１１の上端は、略円筒状のロータハブ３の上面中央部に形成された孔部３１に嵌合固定されている。ロータハブ３の内周面には、周方向に多極着磁されたロータマグネット３２が全周にわたり配設されている。またロータマグネット３２の半径方向内方には、ロータマグネット３２に対向してステータ４がブラケット２の基部２２に形成された環状突部２４に配設されている。ステータ４と環状突部２４との固定は、圧入による嵌合固定の他、接着剤による固定でもよい。
【００４０】
ロータハブ３の外周下側には鍔部３３が形成され、ここにハードディスク（不図示）が装着される。具体的にはロータハブ３の外周部３４により位置決めされて、鍔部３３の上に一又は複数のハードディスクが装着された後、クランプ部材（不図示）などにより孔部３５にネジ止めされて、ハードディスクはロータハブ３に対して保持固定される。
【００４１】
本発明に係る記録ディスク駆動装置について説明する。この記録ディスク駆動装置は、スピンドルモータの回転部に装着された記録媒体に対して、情報の書き込み及び／又は読み出しを情報アクセス手段により行う装置であって、当該スピンドルモータとして前記記載のものを用いることを特徴とすものである。
【００４２】
図８に、本発明の記録ディスク駆動装置の一実施態様である概略説明図を示す。ベースプレート８１の内部には、各種情報をデジタル形式で高密度に記憶するディスク板（記録媒体）８３を回転自在に支持したスピンドルモータ８２と、ディスク板８３に対して情報の読み書きを行う情報アクセス手段８７が配置されている。この情報アクセス手段８７は、ディスク板８３上の情報を読み書きするヘッド８６と、ヘッド８６を支えるアーム８５と、ヘッド８６およびアーム８５をディスク板８３上の所要の位置に移動させるアクチュエータ部８４から少なくとも構成されている。そしてスピンドルモータ８２として前記記載のものが用いられている。
【００４３】
なお、ディスク板に記憶できる情報密度は近年飛躍的に向上し、ディスク板の設置環境として塵・埃などの極度に少ないクリーンな環境が必須となっている。したがって、ベースプレート８１の内部を外気から遮断した高度にクリーンな空間とするためは、その内部構成部品である情報アクセス手段８７及びスピンドルモータ８２として、その内部で使用されている潤滑剤のミスト等が外部に漏れない機構のものを使用するのが望ましい。
【００４４】
以上、本発明に係るスピンドルモータ及び記録ディスク駆動装置の一実施形態について説明したが、本発明は係る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々変形乃至修正が可能である。例えば、スラストプレート部を軸部とは別部材から構成してもよい。また、ハウジング部材とスラストブッシュ部材とを単一部材から構成してもよく、この場合、ハウジングは当該単一部材とシール部材とから構成される。或いは、ハウジング部材とシール部材とを単一部材から構成しても良く、この場合、ハウジングは当該単一部材とスラストブッシュ部材とから構成される。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】水溶性液体又は水を中間部材に含浸させる方法の一例を示す工程図である。
【図３】水溶性液体又は水を中間部材に含浸させる方法の他の例を示す工程図である。
【図４】電解加工装置の概略構成図である。
【図５】スリーブ部材の外周を容器によって覆う場合の概説図である。
【図６】本発明に係る流体動圧軸受装置の一例を示す断面図である。
【図７】本発明に係るスピンドルモータの一例を示す断面図である。
【図８】本発明に係る記録ディスク駆動装置の一例を示す概説図である。
【符号の説明】
【００４６】
１    流体動圧軸受装置
１１    軸部材
１２    スリーブ部材
１３    ハウジング部材
８１    ベースプレート
８２    スピンドルモータ
８３    ディスク板（記録媒体）
８７    情報アクセス手段
１２１ａ，１２１ｂ    ラジアル動圧発生溝
１２１ｃ，１４１    スラスト動圧発生溝
１２２    貫通孔
【図１】
2008180295.tif 000003
【図２】
2008180295.tif 000004
【図３】
2008180295.tif 000005
【図４】
2008180295.tif 000006
【図５】
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【図６】
2008180295.tif 000008
【図７】
2008180295.tif 000009
【図８】
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