(57)【要約】【課題】ノズルから吐出される汚染された液滴を、ノズルプレートに付着させることなく、しかも、リサイクルが容易な回復装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド回復装置４５は、基台３１に固設されたベース４５ａとキャップケース４５ｂを備えている。キャップケース４５ｂは、収容凹部４６が凹設され、その収容凹部４６には、イオン吸着部材４８は配設されている。イオン吸着部材４８は、アルミナ多孔質体で形成され、収容凹部４６に収容される液晶材料を含浸する。イオン吸着部材４８は、収容凹部４６に吐出される液滴吐出ヘッドからの液滴（液晶材料）イオン性不純物が含まれているとき、そのイオン性不純物を吸着する。【選択図】図４
2008229526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体をノズルプレートに形成されたノズルから液滴にして基板に吐出する液滴吐出ヘッ
ドと、前記液滴吐出ヘッドの待機位置において前記ノズルプレートを外部と遮断して前記
液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を収容凹部にて受け止め収容する液滴吐出ヘッド回復
装置であって、
前記収容凹部にイオン吸着部材を配設したことを特徴とする液滴吐出ヘッド回復装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッド回復装置おいて、
前記イオン吸着部材は、多孔質セラミックであることを特徴とする液滴吐出ヘッド回復
装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッド回復装置において、
前記イオン吸着部材は、アルミナ又はシリカゲルの粒子であって、該粒子を前記収容凹
部に多数配設したことを特徴とする液滴吐出ヘッド回復装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド回復装置において、
前記液状体は、液晶材料であることを特徴とする液滴吐出ヘッド回復装置。
【請求項５】
液状体をノズルプレートに形成されたノズルから液滴にして、基板に吐出する液滴吐出ヘ
ッドと、
前記液滴吐出ヘッドの待機位置において該液滴吐出ヘッドと当接し前記ノズルプレート
のノズル口を封止するキャップと
を備えた液滴吐出装置であって、
前記キャップに、イオン吸着部材を配設したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置において、
前記イオン吸着部材は、多孔質セラミックであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５に記載の液滴吐出装置において、
前記イオン吸着部材は、アルミナ又はシリカゲルの粒子であって、該粒子を前記キャッ
プに多数配設したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置において、
前記液状体は、液晶材料であることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、  液滴吐出ヘッド回復装置及び液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、透明の素子基板と同じく透明の対向基板との間に、シール材を介して貼
り合わせて、そのシール材で囲まれる両基板間に液晶を封入することによって構成されて
いる。この液晶パネルにおいて、いずれか一方の基板にシール材を形成し、そのシール材
に囲まれた領域に、液滴吐出装置を使用し、その液滴吐出ヘッドから液晶材料の液滴を吐
出させた後に貼り合わせを行うが知られている。
【０００３】
ところで、液晶は常温において粘度が高く、粘度が高い状態で液滴吐出ヘッドから吐出
すると、吐出重量が安定せず、各セルに配置される液晶の液滴の量が均一にならない。ま
た、目詰まりの原因にもなる。そのため、液滴吐出装置では、液晶を加熱手段で加熱し粘
度を下げた状態にして液晶を液滴にして吐出させるようにしている（特許文献１）。特許
文献１では、液滴吐出ヘッドに加熱手段を設け、その加熱手段を制御手段で制御し常に、
液晶が所定の温度（目標温度）になるようにしている。
【０００４】
また、液晶パネルにおいては、基板間に封入された液晶材料にイオン性不純物が含まれ
ると、そのイオン性不純物が、配向膜や基板にトラップされ、そのトラップにより表示特
性が変わり液晶表示装置の表示品位を低下させる。そこで、貯留タンクに貯留されている
液晶材料がイオン性不純物に汚染されていることを想定し、前記貯留タンクから供給チュ
ーブを介して液滴吐出ヘッドに供給される間に、イオン吸着部材を設けて、イオン性不純
物が液滴吐出ヘッドに供給されるのを未然に防止している（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００３−１９７９０号  公報
【特許文献２】特開２００５−１６９２００号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、この種の液滴装置には、吐出量に大きな影響を与えるズルの目詰まり等を解
消するために、ヘッドの回復装置としてクリーニング装置を備えている。クリーニング装
置は、キャップを備え、そのキャップにヘッドを当てて、ノズルプレートのノズル形成面
側に密閉空間を形成する。そして、その形成した密閉空間を負圧状態にして、ヘッド内の
液晶材料をノズル口から吸出だし廃液タンクに収容するようにしている。
【０００６】
このノズルからキャップ内（密閉空間）吸い出された液晶材料は、活きよく吐き出され
るとき、キャップ内で飛び散り、ノズルプレートのノズル形成面に付着したり、ミストと
なって形成面に付着してノズルプレートを汚染していた。
【０００７】
ところで、クリーニング装置に吐出される液晶材料にイオン性不純物が含まれているこ
とがある。このような、不純物を含んだ液晶材料がノズルプレートに付着した場合、基板
に液晶材料の液滴を吐出している時、プレートに付着した液晶材料のイオン性不純物が基
板に配置された液晶材料を汚染する。
【０００８】
また、付着した液滴をワイパーで拭き取っても完全に拭き取ることはできず、問題を残
していた。また、ワイパーにてふき取られた汚染された液晶材料の処理について何の対策
も取られておらず問題となっていた。
【０００９】
また、キャップ内に収容された液晶材料は、そのまま廃液タンクに収容されていた。従
って、リサイクルとして廃液タンクに収容された液晶再利用するさい、大掛かりなリサイ
クル装置を必要となっていた。
【００１０】
本発明の目的は、ノズルから吐出される汚染された液滴を、ノズルプレートに付着させ
ることなく、しかも、リサイクルが容易な回復装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の液滴吐出ヘッド回復装置は、液状体をノズルプレートに形成されたノズルから
液滴にして基板に吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドの待機位置において前記ノ
ズルプレートを外部と遮断して前記液滴吐出ヘッドから吐出された液滴を収容凹部にて受
け止め収容する液滴吐出ヘッド回復装置であって、前記収容凹部にイオン吸着部材を配設
した。
【００１２】
本発明の液滴吐出ヘッド回復装置によれば、収容凹部にイオン吸着部材を配設したこと
により、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴は、収容凹部のイオン吸着部材に着弾し受け
止められる。イオン吸着部材は、受け止めた液滴（液状体）がイオン性不純物に汚染され
ていた場合、そのイオン性不純物を吸着する。従って、イオン性不純物が除去された液滴
（液状体）が、収容凹部から回収され、リサイクルが容易となる。
【００１３】
また、イオン吸着部材から跳ね返ったり、いったん収容凹部に収まってから収容凹部の
壁を伝わってノズルプレートに付着しようとする液滴は、イオン吸着部材に着弾したとき
、イオン性不純物はイオン吸着部材にトラップされることから、ノズルプレートには汚染
されていた液滴は付着しない。
【００１４】
この液滴吐出ヘッド回復装置おいて、前記イオン吸着部材は、多孔質セラミックであっ
てもよい。
この液滴吐出ヘッド回復装置によれば、多孔質セラミックに着弾する液滴は、液滴に溶
け込んでいるイオン性不純物が多孔質セラミックにトラップされる。従って、イオン性不
純物が除去された液滴（液状体）を、収容凹部から回収することができる。また、ノズル
プレートには、イオン性不純物で汚染された液滴を付着させない。
【００１５】
この液滴吐出ヘッド回復装置において、前記イオン吸着部材は、アルミナ又はシリカゲ
ルの粒子であって、該粒子を前記収容凹部に多数配設してもよい。
この液滴吐出ヘッド回復装置によれば、アルミナ又はシリカゲルの粒子に着弾する液滴
は、イオン性不純物がアルミナ又はシリカゲルの粒子にトラップされる。従って、イオン
性不純物が除去された液滴（液状体）を、収容凹部から回収することができる。また、ノ
ズルプレートには、イオン性不純物で汚染された液滴を付着させない。
【００１６】
この液滴吐出ヘッド回復装置において、前記液状体は、液晶材料であってもよい。
この液滴吐出ヘッド回復装置によれば、イオン性不純物が除去された液晶材料の液滴を
回収できる。また、ノズルプレートにイオン性不純物で汚染されて液滴を付着させない。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、液状体をノズルプレートに形成されたノズルから液滴にして
、基板に吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドの待機位置において該液滴吐出
ヘッドと当接し前記ノズルプレートのノズル口を封止するキャップとを備えた液滴吐出装
置であって、前記キャップに、イオン吸着部材を配設した。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置によれば、キャップにイオン吸着部材を配設したことにより、液
滴吐出ヘッドから吐出される液滴は、キャップのイオン吸着部材に着弾し受け止められる
。イオン吸着部材は、受け止めた液滴（液状体）がイオン性不純物に汚染されていた場合
、そのイオン性不純物をトラップする。従って、イオン性不純物が除去された液滴（液状
体）が、収容凹部から回収され、リサイクルが容易となる。
【００１９】
また、イオン吸着部材から跳ね返っり、いったん収容凹部に収まってから収容凹部の壁
を伝わってノズルプレートに付着しようとする液滴は、イオン吸着部材に着弾したとき、
イオン性不純物はイオン吸着部材にトラップされることから、ノズルプレートには汚染さ
れていた液滴は付着しない。
【００２０】
この液滴吐出装置において、前記イオン吸着部材は、多孔質セラミックであってもよい
。
この液滴吐出装置によれば、多孔質セラミックに着弾する液滴は、液滴に溶け込んでい
るイオン性不純物が多孔質セラミックにトラップされる。従って、イオン性不純物が除去
された液滴（液状体）を、キャップから回収することができる。また、ノズルプレートに
は、イオン性不純物で汚染された液滴を付着させない。
【００２１】
この液滴吐出装置において、前記イオン吸着部材は、アルミナ又はシリカゲルの粒子で
あって、該粒子を前記キャップに多数配設してもよい。
この液滴吐出装置によれば、アルミナ又はシリカゲルの粒子に着弾する液滴は、イオン
性不純物がアルミナ又はシリカゲルの粒子にトラップされる。従って、イオン性不純物が
除去された液滴（液状体）を、キャップから回収することができる。また、ノズルプレー
トには、イオン性不純物で汚染された液滴を付着させない。
【００２２】
この液滴吐出装置において、前記液状体は、液晶材料であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、イオン性不純物が除去された液晶材料の液滴を回収できる
。また、ノズルプレートにイオン性不純物で汚染されて液滴を付着させない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した液晶パネルの製造方法の一実施形態を図１〜図１０に従って
説明する。まず、本発明の液晶パネルの製造方法によって形成された液晶パネルの液晶表
示装置について説明する。図１は、液晶表示装置の斜視図であり、図２は、図１の２−２
線断面図である。
【００２４】
図１において、液晶表示装置１０の下側には、ＬＥＤなどの光源１１を有して四角板状
に形成されたエッジライト型のバックライト１２が備えられている。バックライト１２の
上方には、バックライト１２と略同じサイズに形成された四角板状の液晶パネル１３が備
えられている。そして、光源１１から出射される光が、液晶パネル１３に向かって照射さ
れるようになっている。
【００２５】
液晶パネル１３には、相対向する素子基板１４と対向基板１５が備えられている。これ
ら素子基板１４と対向基板１５は、図２に示すように、光硬化性樹脂からなる四角枠状の
シール材１６を介して貼り合わされている。そして、これら素子基板１４と対向基板１５
との間の間隙に、液晶１７が封入されている。
【００２６】
素子基板１４の下面（バックライト１２側の側面）には、偏光板や位相差板などの光学
基板１８が貼り合わされている。光学基板１８は、バックライト１２からの光を直線偏光
にして液晶１７に出射するようになっている。素子基板１４の上面（対向基板１５側の側
面：素子形成面１４ａ）には、一方向（Ｘ方向）略全幅にわったって延びる複数の走査線
Ｌｘが配列形成されている。各走査線Ｌｘは、それぞれ素子基板１４の一側に配設される
走査線駆動回路１９に電気的に接続されるとともに、走査線駆動回路１９からの走査信号
が、所定のタイミングで入力されるようになっている。また、素子形成面１４ａには、Ｙ
方向略全幅にわたって延びる複数のデータ線Ｌｙが配列形成されている。各データ線Ｌｙ
は、それぞれ素子基板１４の他側に配設されるデータ線駆動回路２１に電気的に接続され
るとともに、データ線駆動回路２１からの表示データに基づくデータ信号が、所定のタイ
ミングで入力されるようになっている。素子形成面１４ａであって、走査線Ｌｘとデータ
線Ｌｙの交差する位置には、対応する走査線Ｌｘ及びデータ線Ｌｙに接続されてマトリッ
クス状に配列される複数の画素２２が形成されている。各画素２２には、それぞれＴＦＴ
などの図示しない制御素子や、透明導電膜などからなる光透過性の画素電極２３が備えら
れている。
【００２７】
図２において、各画素２２の上側全体には、配向膜２４が積層されている。配向膜２４
は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜パターンであって、対応する画素
電極２３の近傍で、液晶１７の配向を所定の配向に設定するようになっている。
【００２８】
前記対向基板１５の上面には、光学基板１８からの光と直交する直線偏光の光を外方（
図２における上方）に出射する偏光板２５が配設されている。対向基板１５の下面（素子
基板１４側の側面：電極形成面１５ａ）全体には、各画素電極２３と相対向するように形
成された光透過性の導電膜からなる対向電極２６が積層されている。対向電極２６は、前
記データ線駆動回路２１に電気的に接続されるとともに、そのデータ線駆動回路２１から
の所定の共通電位が付与されるようになっている。対向電極２６の下面全体には、配向膜
２７が積層され、対向電極２６の近傍で液晶１７の配向を所定の配向に設定するようにな
っている。
【００２９】
そして、各走査線Ｌｘを線順次走査に基づいて１本ずつ所定のタイミングで選択して、
各画素２２の制御素子を、それぞれ選択期間中だけオン状態にする。すると、各制御素子
に対応する各画素電極２３に、対応するデータ線Ｌｙからの表示データに基づくデータ信
号が出力される。各画素電極２３にデータ信号が出力されると、各画素電極２３と対向電
極２６との間の電位差に基づいて、対応する液晶１７の配向状態が変調される。すなわち
、光学基板１８からの光の偏光状態が画素２２ごとに変調される。そして、変調された光
が偏光板２５を通過するか否かによって、表示データに基づく画像が、液晶パネル１３の
上側に表示される。
【００３０】
次に、液晶パネル１３の製造方法について図３に従って説明する。図３は、液晶パネル
１３の製造方法を説明する説明図である。
図３に示すように、まず、本実施例では２４枚（６行×４列）の対向基板１５を切り出
し可能にしたマザー基板ＭＡの一側面（配向膜２７側の側面：吐出面ＭＡａ）に、ディス
ペンサ装置などを利用してシール材１６を形成する。すなわち、吐出面ＭＡａに形成され
た各対向基板１５に対応する領域の外縁に、それぞれ紫外線光硬化性樹脂からなる四角枠
状のシール材１６を吐出形成する。各シール材１６を形成すると、図４に示す液滴吐出装
置３０を利用して、各シール材１６で囲まれた配置領域Ｓに、それぞれ複数の液滴Ｆｂを
吐出する。そして、配置領域Ｓに着弾した各液滴Ｆｂを接合し、所定容量の液晶材料Ｆか
らなる液状膜ＬＦを各配置領域Ｓ内に形成する。
【００３１】
各配置領域Ｓに液晶材料Ｆの液状膜ＬＦを形成すると、マザー基板ＭＡを減圧雰囲気内
に搬送し、マザー基板ＭＡの吐出面ＭＡａ側に、２４枚（６行×４列）の素子基板１４を
切出し可能にしたマザー基板ＭＢを貼り合わせる。マザー基板ＭＡにマザー基板ＭＢを貼
り合わせると、マザー基板ＭＡ及びマザー基板ＭＢを大気開放するとともに、各シール材
１６に紫外線を照射して硬化し、各配置領域Ｓ内に液晶材料Ｆを封入する。液晶材料Ｆを
封入すると、マザー基板ＭＡ及びマザー基板ＭＢをダイシングして、各液晶パネル１３を
形成する。
【００３２】
図４は、液滴吐出装置３０を説明する全体斜視図である。
図４において、液滴吐出装置３０は、直方体形状に形成された基台３１を有している。
基台３１の上面には、その長手方向（Ｙ方向）に沿って延びる一対の案内溝３２が形成さ
れている。案内溝３２の上方には、案内溝３２に沿ってＹ方向及び反Ｙ方向に移動するス
テージ３３が備えられている。
【００３３】
ステージ３３の上面には、載置部３４が形成されて、各配置領域Ｓを上側にしたマザー
基板ＭＡを載置する。載置部３４は、載置された状態のマザー基板ＭＡをステージ３３に
対して位置決め固定して、マザー基板ＭＡをＹ方向及び反Ｙ方向に搬送する。以下、説明
の便宜上、マザー基板ＭＡの縦方向をＹ方向とし、マザー基板ＭＡの横方向をＸ方向とす
る。
【００３４】
基台３１には、Ｙ方向と直交する方向（Ｘ方向）に跨ぐ門型のガイド部材３５が架設さ
れている。ガイド部材３５には、そのＸ方向略全長にわたって、Ｘ方向に延びる上下一対
のガイドレール３７が形成されている。上下一対のガイドレール３７には、キャリッジ３
８が取り付けられている。キャリッジ３８は、ガイドレール３７に案内されてＸ方向及び
反Ｘ方向に移動する。キャリッジ３８には、液滴吐出ヘッド４０が搭載されている。
【００３５】
図５は液滴吐出ヘッド４０の要部断面図を示す。図６及び図７は液滴吐出ヘッド４０と
キャリッジ３８の取付状態を説明するための斜視図及び要部分解斜視図を示す。
図７に示すように、液滴吐出ヘッド４０は、液滴吐出ヘッド本体４０ａがＸ方向に長い
直方体形状であって、その上面４０ｂに図示しない液晶カートリッジの連結口に対して抜
き差し可能に連結されるポートＰ０が設けられている。液晶カートリッジは、そのケース
本体がステンレスにて形成され、ケース本体内に形成した収容室に液晶材料Ｆが収容され
ている。そして、液晶カートリッジが、液滴吐出ヘッド４０と抜き差し可能に連結される
と、収容室の液晶材料ＦがポートＰ０を介して液滴吐出ヘッド本体４０ａ内に供給される
。
【００３６】
また、液滴吐出ヘッド本体４０ａの上部側面には、フランジ４０ｃが形成されている。
そして、液滴吐出ヘッド４０は、キャリッジ３８の支持板３９に形成したＸ方向に長い長
方形の貫通穴３９ａに対して上方から貫挿させる。このとき、液滴吐出ヘッド４０に形成
したフランジ４０ｃは、抜け止めの役目を果たすとともに、図示しない、ネジ等で支持板
３９と連結固定される連結部の役目を果たす。つまり、液滴吐出ヘッド４０は、支持板３
９に形成した貫通穴３９ａを上方（反Ｚ方向）から貫挿させてフランジ４０ｃをネジ（図
示せず）で支持板３９に固定することによって、キャリッジ３８に取着される。尚、支持
板３９は、本実施形態では、ステンレスにて形成されている。
【００３７】
キャリッジ３８の支持板３９から突出した液滴吐出ヘッド本体４０ａの下側には、ノズ
ルプレート４１が接着剤にて固着されている。図５に示すように、ノズルプレート４１は
、その下面（ノズル形成面４１ａ）がマザー基板ＭＡの吐出面ＭＡａと略平行に形成され
ている。ノズルプレート４１は、マザー基板ＭＡが液滴吐出ヘッド４０の直下に位置する
とき、ノズル形成面４１ａとマザー基板ＭＡの吐出面ＭＡａとの間の距離（プラテンギャ
ップ）を所定の距離に保持する。
【００３８】
図６において、ノズル形成面４１ａには、Ｘ方向に沿って配列された複数のノズルＮか
らなる一対のノズル列が形成されている。一対のノズル列には、それぞれ１インチ当たり
に１８０個のノズルＮが形成されている。なお、図６では、説明の都合上、一列当り数を
省略して記載している。
【００３９】
一対のノズル列では、Ｘ方向から見て、一方のノズル列ＮＬの各ノズルＮが、他方のノ
ズル列ＮＬの各ノズルＮの間を補間する。すなわち、液滴吐出ヘッド４０は、Ｘ方向に、
１インチ当りに１８０個×２＝３６０個のノズルＮを有する（最大解像度が３６０ｄｐｉ
である）。
【００４０】
図５に示すように、各ノズルＮの上側には、ポートＰ０に連通するキャビティ４２が形
成されている。キャビティ４２は、液晶カートリッジからの液晶材料Ｆを、ポートＰ０を
介して収容して、対応するノズルＮに液晶材料Ｆを供給する。キャビティ４２の上側には
、上下方向に振動してキャビティ４２内の容積を拡大及び縮小する振動板４３が接着剤に
て貼り付けられている。振動板４３の上側には、ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設
されている。圧電素子ＰＺは、上下方向に収縮及び伸張して振動板４３を上下方向に振動
させる。上下方向に振動する振動板４３は、液晶材料Ｆを所定サイズの液滴Ｆｂにして対
応するノズルＮから吐出させる。吐出された液滴Ｆｂは、対応するノズルＮの反Ｚ方向に
飛行して、マザー基板ＭＡの吐出面ＭＡａに着弾する。
【００４１】
つまり、液滴吐出ヘッド４０の直下を主走査方向にマザー基板ＭＡが移動するとき、マ
ザー基板ＭＡの各シール材１６で囲まれた配置領域Ｓに対して順番に、液滴吐出ヘッド４
０から液滴Ｆｂが吐出される。そして、本実施形態では、図８に破線矢印で示す順番で、
マザー基板ＭＡの各配置領域Ｓに液晶材料Ｆを全て同じ量だけ配置するようになっている
。
【００４２】
従って、図８において、最も反Ｘ方向側にＹ方向に並んだ各配置領域Ｓの列であって、
最もＹ方向側の配置領域Ｓが、最初に液晶材料Ｆが配置される。また、最もＸ方向側にＹ
方向に並んだ各配置領域Ｓの列であって、最もＹ方向側の配置領域Ｓが、最後に液晶材料
Ｆが配置されるようになっている。
【００４３】
支持板３９から突出した液滴吐出ヘッド本体４０ａのＹ方向及び反Ｙ方向の側面には、
加熱手段としてのカートリッジヒータＨが、面接触して取着されている。カートリッジヒ
ータＨは、キャビティ４２内の液晶材料Ｆを目標温度（本実施形態では、７０℃）になる
ように加熱して、低粘度化（本実施形態では、粘度を２０ｃｐｓに低下）する。カートリ
ッジヒータＨは、アルミ板に貫通穴を形成しその貫通穴に電流を流すことによって発熱す
る発熱体を挿入した構成であって、その発熱体の発熱によって、液晶材料Ｆを加熱する。
【００４４】
さらに、図４に示すように、ステージ３３のＸ方向側には、液滴吐出ヘッド回復装置４
５が設けられている。液滴吐出ヘッド回復装置４５は、液滴吐出ヘッド４０から吐出され
る使用に供されない液滴Ｆｂを受け止め収容する装置である。液滴吐出ヘッド回復装置４
５は、その直上位置に、液滴吐出ヘッド４０が、対向配置されるようになっている。ここ
で、この液滴吐出ヘッド４０がステージ３３のＸ方向側に設けた液滴吐出ヘッド回復装置
４５に位置する位置を待機位置という。
【００４５】
液滴吐出ヘッド回復装置としての液滴吐出ヘッド回復装置４５は、基台３１に固設され
たベース４５ａと、そのベース４５ａの上側にキャップケース４５ｂが配置されている。
キャップとしてのキャップケース４５ｂは、図９に示すように、その上面に収容凹部４６
が凹設され、その開口部には、弾性部材よりなるシール部材４７が環状に取着されている
。収容凹部４６の開口面は、前記ノズルプレート４１のノズル形成面４１ａと相似形であ
って、収容凹部４６の開口面積はノズル形成面４１ａより小さい。詳述すると、液滴吐出
ヘッド４０がキャップケース４５ｂと対峙したとき、キャップケース４５ｂの開口部に設
けたシール部材４７が、ノズル形成面４１ａにノズルＮが形成されていない外周部と当接
する。
【００４６】
収容凹部４６の底部には、貫通孔４６ａが形成されている。この貫通孔４６ａは図示し
ないチューブが連結され、収容凹部４６に廃棄された液滴Ｆｂはチューブを介して図示し
ない廃液タンクに同じく図示しない吸引ポンプにて輸送されるようになっている。
【００４７】
また、収容凹部４６には、イオン吸着部材４８は配設されている。イオン吸着部材４８
は、本実施形態では、アルミナ多孔質体で形成され、収容凹部４６に収容される液晶材料
Ｆを含浸する。イオン吸着部材４８は、収容凹部４６に吐出される液滴吐出ヘッド４０か
らの液滴Ｆｂ（液晶材料Ｆ）イオン性不純物が含まれているとき、そのイオン性不純物を
吸着する。
【００４８】
キャップケース４５ｂは、図１０に示すように、ベース４５ａに対して、可動ロッド４
５ｃにて上下動するように設けられている。キャップケース４５ｂは、図１０（ａ）に示
す最も低い待機位置と、図１０（ｂ）に示す最も高い作用位置の２位置の間を上下動する
。そして、キャップケース４５ｂが待機位置にある時、その直上を液滴吐出ヘッド４０が
通過可能になっている。キャップケース４５ｂの直上位置に液滴吐出ヘッド４０が停止し
た状態で、キャップケース４５ｂを作用位置に上動すると、図１０（ｂ）に示すように、
液滴吐出ヘッド４０がキャップケース４５ｂと対峙し、キャップケース４５ｂのシール部
材４７が、ノズルプレート４１のノズル形成面４１ａと当接するようになっている。作用
位置にあるとき、液滴吐出ヘッド４０から液滴Ｆｂが吐出されると（フラッシング）、該
液滴Ｆｂは、収容凹部４６に廃棄され、同収容凹部４６内に溜まるようになっている。こ
のとき、キャップケース４５ｂのシール部材４７が、各ノズルＮを囲むようにノズル形成
面４１ａに当接されているため、吐き出される液滴Ｆｂは外に飛び散ることはない。そし
て。収容凹部４６に廃棄された液滴Ｆｂ（液晶材料Ｆ）は、イオン吸着部材４８を介して
、収容凹部４６の底部に形成した貫通孔４６ａに至り廃液タンクに輸送される。
【００４９】
次に、上記のように構成した実施形態の作用効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、キャップケース４５ｂの収容凹部４６に、液晶材料Ｆと
ともにアルミナ多孔質体よりなるイオン吸着部材４８を収容した。従って、収容凹部４６
に吐出され収容される液晶材料Ｆは、イオン吸着部材４８の気孔部に浸透する。従って、
液晶材料Ｆにイオン性不純物が含まれていてもイオン吸着部材４８によって吸着される。
その結果、イオン性不純物が除去された液滴Ｆｂ（液晶材料Ｆ）が、収容凹部４６から回
収され、リサイクルが容易となる。
【００５０】
（２）上記実施形態によれば、液滴吐出ヘッド４０から吐出された液滴Ｆｂ（液晶材料
Ｆ）がイオン吸着部材４８から跳ね返った液滴や、いったん収容凹部に収まってから収容
凹部の壁を伝わってノズルプレート４１に付着しても、イオン性不純物はイオン吸着部材
４８にトラップされることから、ノズルプレート４１には汚染されていた液滴Ｆｂは付着
しない。
【００５１】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、キャップケース４５ｂの収容凹部４６に、アルミナ多孔質体より
なるイオン吸着部材４８を収容した。これを、酸化チタン多孔質体、酸化珪素多孔質体、
酸化タンタル多孔質体等、イオン性不純物を吸着する能力を有する多孔質セラミックで構
成してもよい。
【００５２】
○上記実施形態では、キャップケース４５ｂの収容凹部４６に、アルミナ多孔質体より
なるイオン吸着部材４８を収容した。これを、図１１に示すように、イオン吸着部材４８
を、アルミナ又はシリカゲルの粒子Ｒを多数内在させて構成してもよい。
【００５３】
この液滴吐出ヘッド回復装置４５によれば、アルミナ又はシリカゲルの粒子Ｒに、液晶
材料Ｆに溶け込んでいるイオン性不純物が吸着される。
○上記実施形態では、液滴吐出ヘッド回復装置４５のキャップケース４５ｂの材質を特
に限定しなかったが、キャップケース４５ｂ自体が液晶材料Ｆに触れてもイオン性不純物
を溶出させない材質であるならば、何でもよく、例えば、ステンレス（ＳＵＳ）、テフロ
ン（登録商標）樹脂等、で形成してもよい。
【００５４】
○上記実施形態では、液滴吐出装置を、液晶パネルを製造するための液晶材料Ｆを吐出
する液滴吐出装置３０に具体化した。これに限らず、液晶材料Ｆ以外のもの、例えば、配
向膜、カラーフィルタ等の機能材料を含む液状体を液滴にして吐出させる液滴吐出装置に
具体化してもよい。
【００５５】
○上記実施形態では、液滴吐出ヘッドを、圧電素子駆動方式の液滴吐出ヘッド４０に具
体化した。これに限らず、液滴吐出ヘッドを、抵抗加熱方式や静電駆動方式の液滴吐出ヘ
ッドに具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】液晶表示装置の斜視図。
【図２】液晶表示装置の２−２線断面図。
【図３】素子基板側のマザー基板と対向基板側のマザー基板を説明する斜視図。
【図４】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドの要部断面図。
【図６】液滴吐出ヘッドを下側から見た斜視図。
【図７】液滴吐出ヘッドの取り付け状態を説明する分解斜視図
【図８】液滴吐出ヘッドの吐出軌跡を示す図。
【図９】液滴吐出ヘッド回復装置の斜視図。
【図１０】（ａ）はキャップケースが待機位置にあるときを示す図、（ｂ）はキャップケースが作用位置にあるときを示す図。
【図１１】液滴吐出ヘッド回復装置の別例を説明するための要部断面図。
【符号の説明】
【００５７】
１０…液晶表示装置、１３…液晶パネル、１４…素子基板、１５…対向基板、１６…シ
ール材、３０…液滴吐出装置、４０…液滴吐出ヘッド、４０ａ…液滴吐出ヘッド本体、４
１…ノズルプレート、４１ａ…ノズル形成面、４５…液滴吐出ヘッド回復装置、４５ａ…
ベース、４５ｂ…キャップケース、４８…イオン吸着部材、Ｆ…液晶材料、Ｆｂ…液滴、
ＭＡ…マザー基板、Ｎ…ノズル、ＰＺ…圧電素子、Ｒ…粒子、Ｓ…配置領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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