(57)【要約】【課題】従来に比べて小型化を図ることができるとともに、高精度で圧力検出を行うことのできる燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供する。【解決手段】燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００は、略筒状に形成され、先端側ハウジング２と後端側ハウジング３とを接続して構成されたハウジング１を具備している。先端側ハウジング２の内部には、圧力検出機構１０が収容されている。圧力検出機構１０は、台座１１に固定された圧力検出素子１２と、圧力伝達機構２０を具備している。圧力伝達機構２０は、先端面が受圧面２１、後端面が圧力検出素子１２を押圧する押圧面２２とされている。圧力検出素子１２を含む台座１１と、圧力伝達機構２０とは、接続部材３０によって接続され、一体化されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状に形成され、軸方向先端側に機関と密接するシート面を有し、当該シート面より軸方向後端側の外周面に機関取り付け用のねじ部を有するハウジングと、
台座に固定された圧力検出素子と、先端面が受圧面、後端面が前記圧力検出素子を押圧する押圧面とされ、先端側の一部が発熱体として機能する圧力伝達部材と、が接続部材により一体化された圧力検出機構と、
を具備し、
前記圧力検出機構は、前記ハウジング内に収容され、フランジ固定部において前記ハウジングに対して軸方向の１箇所のみで軸方向に固定され、
前記圧力伝達部材の先端側は、前記受圧面及び前記シート面に圧力が印加されていない状態において、前記ハウジングの先端側から軸方向先端側及び後端側の双方に変位可能に突出していることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
【請求項２】
請求項１記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記圧力検出素子が、Ｓｉ型圧力検出素子、又はＳＯＩ型圧力検出素子であることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
【請求項３】
請求項１又は２記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記ハウジングは、先端側に配置される先端側ハウジングと、当該先端側ハウジングの後端側に配置される後端側ハウジングとを接続して構成され、
前記圧力検出機構は、前記先端側ハウジング内に収容され、前記圧力伝達部材の先端側は、前記先端側ハウジングの先端側から変位可能に突出していることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
【請求項４】
請求項３項記載の燃焼圧力センサ付きグロープラグにおいて、
前記後端側ハウジングに、前記機関取り付け用のねじ部が設けられていることを特徴とする燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車用エンジン等の内燃機関に使用される燃焼圧力センサ付きグロープラグに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、燃焼圧力センサ付きグロープラグとして、例えば圧力検出素子を金属ダイアフラムに貼った構造のものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。しかしながら、このような構造の燃焼圧力センサ付きグロープラグでは、金属ダイアフラムを有するため、圧力検出部の大きさが大きくなり、また部品点数が増えるため、小型化を図ることが困難であるという問題がある。また、ヒータを含む圧力伝達部材によって、圧力センサを押圧するようにした燃焼圧力センサ付きグロープラグが知られている（例えば、特許文献２）。しかしながら、この燃焼圧力センサ付きグロープラグでは、圧力伝達部材と圧力センサを含む感圧部（材）のそれぞれがハウジングに組みつけられることによって、燃焼圧力センサ付きグロープラグとして一体となる構成となっている。このため、予圧調整が困難であり、またハウジングの歪みの影響を受けやすくノイズが大きくなり、検出精度を高めることが困難であるという問題がある。
【特許文献１】特開２００５−９０９５４号公報
【特許文献２】ＷＯ２００６／０２７２８０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のとおり、従来技術においては、小型化が図れないという課題や、検出精度を高めることが困難であるという課題があった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。本発明は、小型化を図ることができるとともに、高精度で圧力検出を行うことのできる燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグは、筒状に形成され、軸方向先端側に機関と密接するシート面を有し、当該シート面より軸方向後端側の外周面に機関取り付け用のねじ部を有するハウジングと、台座に固定された圧力検出素子と、先端面が受圧面、後端面が前記圧力検出素子を押圧する押圧面とされ、先端側の一部が発熱体として機能する圧力伝達部材と、が接続部材により一体化された圧力検出機構と、を具備し、前記圧力検出機構は、前記ハウジング内に収容され、フランジ固定部において前記ハウジングに対して軸方向の１箇所のみで軸方向に固定され、前記圧力伝達部材の先端側は、前記受圧面及び前記シート面に圧力が印加されていない状態において、前記ハウジングの先端側から軸方向先端側及び後端側の双方に変位可能に突出していることを特徴とする。
【０００６】
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグでは、金属ダイアフラム等を有することなく、圧力検出素子を圧力伝達部材で押圧する構成となっている。このため、部品点数を少なくすることができ、小型化を図ることができるとともに、圧力を直接検出することができ、良好な燃焼圧力の検出感度を得ることができる。また、圧力検出素子と圧力伝達部材が接続部材により一体化された構造となっているので、予圧調整の困難性等による検出精度の低下を招くことがなく、検出精度の向上を図ることができる。
【０００７】
さらに、圧力検出機構は、フランジ固定部においてハウジングに対して軸方向の１箇所のみで軸方向に固定され、圧力伝達部材の先端側は、受圧面及びシート面に圧力が印加されていない状態において、ハウジングの先端側から軸方向先端側及び後端側の双方に変位可能に突出した構成となっている。したがって、圧力伝達部材の受圧面に燃焼圧力が加わった時に、圧力伝達部材が軸方向後端側に変位して燃焼圧力を効率良く圧力検出素子に伝えられる。また、燃焼圧力センサ付きグロープラグが機関に取り付けられ、ハウジングのシート面が機関に圧接された状態とされることによって、ハウジングが軸方向に撓むように変形した場合は、圧力伝達部材の先端側は、ハウジングに対して先端側（突出する方向）に変位してハウジングの変形による圧力が圧力検出素子に加わることを防止することができる。これによって、圧力検出精度の向上を図ることができる。
【０００８】
上記圧力検出素子としては、Ｓｉ型圧力検出素子、又はＳＯＩ型圧力検出素子等を好適に使用することができる。
【０００９】
また、上記ハウジングは、先端側に配置される先端側ハウジングと、当該先端側ハウジングの後端側に配置される後端側ハウジングとを接続した構造とし、圧力検出機構を、先端側ハウジング内に収容して、圧力伝達部材の先端側を、先端側ハウジングの先端側から摺動可能に突出するように構成することができる。このように、先端側ハウジングと後端側ハウジングとに分離しそれぞれを接続した構成とすることにより、圧力伝達部材を保持する先端側ハウジングと圧力伝達部材とによって気密封止を行う必要がなくなり、例えば先端側ハウジングと後端側ハウジングとの接続部において気密封止を行う構成を採用することができる。このため、圧力伝達部材の先端側ハウジングとの相対的なスライド性、即ち軸線方向における変位性を促進させることができる。
【００１０】
上記構成の場合、後端側ハウジングに、機関取り付け用のねじ部を設けるようにすることが好ましい。これによって、燃焼ガスの熱がねじ部に伝達して、ねじ部が熱膨張する等の不具合が発生することを防止することができる。また、圧力伝達部の長さを短くすることにより、この部分の共振周波数を、エンジンの燃焼により軸方向に加わる振動の周波数より高くすることができ、エンジンに取り付けた際に共振によりノイズが増大することを防止することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の燃焼圧力センサ付きグロープラグによれば、小型化を図ることができるとともに、高精度で圧力検出を行うことのできる燃焼圧力センサ付きグロープラグを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１〜３は、本発明の実施形態に係る燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００の構成を示すもので、図１は軸線を含む方向における全体構成を示す断面図、図２は図１の先端部分を拡大して示す断面図、図３はハウジング内に収容する前の圧力検出機構の全体構成を一部切り欠いて示す分解斜視図である。
【００１３】
図１に示すように、燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００は、例えば、炭素鋼等の金属からなり、略筒状に形成されたハウジング１を具備している。ハウジング１は、先端側ハウジング２と後端側ハウジング３とを接続して構成されている。後端側ハウジング３の外周面には、燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００を図示しない機関（エンジン）に取り付けるためのねじ部４が形成されている。このねじ部４より後端側の外周部には、ハウジング１を機関に取り付ける際に、スパナやレンチ等の工具を係合させる工具係合部５が設けられている。
【００１４】
先端側ハウジング２の内部には、圧力検出機構１０が収容されている。この圧力検出機構１０は、台座１１に固定された圧力検出素子１２と、圧力伝達機構２０を具備している。圧力伝達機構２０は、先端面が受圧面２１、後端面が圧力検出素子１２を押圧する押圧面２２とされており、圧力検出素子１２に機関の燃焼圧力を伝達する役割を担う。圧力検出素子１２を含む台座１１と、圧力伝達機構２０とは、略円筒状に形成された接続部材３０によって接続され、これらが一体化されて圧力検出機構１０が構成されている。
【００１５】
図２に示すように、圧力伝達機構２０の先端側には、発熱体として機能する棒状（略円柱状）のヒータ２３が設けられており、ヒータ２３の外側には、円筒状の外筒（シース）２４が設けられている。外筒２４の後端部には、フランジ部２５が設けられている。また、ヒータ２３の後端側には、略棒状の押圧部材２６が接続されている。
【００１６】
圧力検出素子１２が設けられた台座１１と、上記圧力伝達機構２０とは、円筒状の接続部材３０によって接続されて一体化され、全体として一体化された圧力検出機構１０が構成されている。本実施の形態では、台座１１の先端部には、小径とされた段差部１３が設けられており、この段差部１３に接続部材３０を嵌め込んで溶接することにより、接続部材３０と台座１１とが接続されている。
【００１７】
また、接続部材３０の先端側には、押圧部材２６に設けられた円板状部材３２が、溶接され接続されている。このとき、押圧部材２６によって圧力検出素子１２に一定の予荷重（予圧）を与えた状態で、円板状部材３２が接続部材３０に溶接されている。このように圧力検出素子１２に一定の予荷重を与えることにより、温度が上昇して接続部材３０に熱膨張による長さの変化が発生しても、押圧部材２６と圧力検出素子１２の接触状態を持続することができる。また、押圧部材２６と圧力検出素子１２とを接続部材３０によって接続、固定する構造となっているので、予荷重の調節も容易に行うことができる。
【００１８】
そして、押圧部材２６とヒータ２３とを接続することによって、圧力検出機構１０の全体が一体化されている。図３は、上記押圧部材２６とヒータ２３とを接続する前の状態の圧力検出機構１０を示す斜視図であり、円筒状の接続部材３０の上部を切り欠いて示したものである。
【００１９】
図２に示すように、上記の如く一体化された圧力検出機構１０を、先端側ハウジング２の後端側からその内部に挿入し、台座１１に設けられたフランジ固定部１４を先端側ハウジング２の後端部分に当接させ、この当接部分を溶接することによって、圧力検出機構１０と先端側ハウジング２とが一体化される。このように、一体化された圧力検出機構１０が、フランジ固定部１４の１箇所のみで先端側ハウジング２に固定されているので、先端側ハウジング２が撓むように変形した場合でも、その変形による圧力が、圧力検出素子１２にが加わらない構造となっている。なお、先端側ハウジング２の先端側には、中央部にヒータ２３及び外筒２４を摺動可能に係止する貫通孔を有するキャップ部材６が設けられている。このキャップ部材６は、ハウジング１の一部（先端部分）を構成するものであり、キャップ部材６先端面は、機関に取り付けた際に機関と密接するシート面６１を構成している。
【００２０】
圧力伝達機構２０の先端部分のヒータ２３及び外筒２４は、先端側ハウジング２の先端側から突出した状態となっている。そして、キャップ部材６の先端面であるシート面、及び受圧面２１に圧力が印加されていない通常の状態において、ヒータ２３及び外筒２４は、先端側ハウジング２に対して、軸方向先端側及び後端側の双方に変位可能な状態となっている。すなわち、通常の状態から受圧面２１に燃焼圧力が加わった場合は、先端側ハウジング２に対して後端側へ変位可能となっている。また、例えば、図１に示したねじ部４を機関の取り付けねじに締め付け、キャップ部材６の先端面（シート面）が機関と密接されて先端側ハウジング２が撓むように変形した場合は、先端側ハウジング２に対して先端側（突出する側）へ変位可能となっている。
【００２１】
先端側ハウジング２の内側には、内側に向けて突出した小径部３４が設けられており、この小径部３４とキャップ部材６との間に位置する、外筒２４と先端側ハウジング２との間には、円筒状とされたグラファイト３５が充填されている。このグラファイト３５は、外筒２４を介してヒータ２３と先端側ハウジング２との間の電気的導通を行うためのものであり、必ずしも気密封止を行うものではない。このようにグラファイト３５の部分で気密性を保持しなくとも、圧力検出素子１２は、接続部材３０等によって気密に閉塞された空間内に配置されているので、燃焼ガスによる腐食等の影響を受けることがない。また、フランジ固定部１４と先端側ハウジング２とを溶接することによって、これらの間で気密封止を行うことができる。なお、ヒータ２３にプラス側の電気を供給するためのケーブル（図示せず。）は、台座１１の部分を貫通して設けられた導電パターンやリード線等によって後方に引き出される。
【００２２】
そして、上記の台座１１の後端側に、後端側ハウジング３を装着し、台座１１に設けられたフランジ固定部１４と後端側ハウジング３の先端部分とを当接させ、この当接部分を溶接することによって、圧力検出機構１０と後端側ハウジング３とが一体化され、燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００が構成されている。
【００２３】
なお、圧力検出素子１２より後端側の台座１１には、圧力検出素子１２からの出力信号を処理するための電子回路（図示せず。）が搭載され、この電子回路の信号はリード（図示せず。）によって燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００の後端部にまで引き出される。この信号は、ＥＣＵなどの制御機器に入力され、機関（エンジン）内における燃焼圧の変化が検知される。
【００２４】
上記構成の燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００は、先端側が燃焼室内に位置するように内燃機関に取り付けられ、ヒータ２３に通電して発熱させることによって内燃機関の始動を補助する。また、燃焼室内の圧力がヒータ２３の先端の受圧面２１に加わると、ヒータ２３及び外筒２４と押圧部材２６とが後端側に向けて僅かに変位（スライド）することによって、圧力伝達機構２０を介して圧力検出素子１２にその圧力が効率良く伝わる。一方、燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００を機関に取り付けた際に、ハウジング１が撓むように変形した場合、ハウジング１に対して、相対的にヒータ２３及び外筒２４と押圧部材２６とが先端側に向けて僅かに変位（スライド）することによって、圧力伝達機構２０を介して圧力検出素子１２にハウジング１の変形による圧力が伝わることを防止することができる。これにより燃焼圧を良好な感度で検出でき、高精度な燃焼圧の測定が可能となる。
【００２５】
上記圧力検出素子１２は、例えば、Ｓｉ素子、ＳＯＩ素子から構成され、圧力が加わった際の歪みに応じた電気信号を出力するように構成されている。この圧力検出素子１２を構成する場合、図４に示すように、ガラス、金属等からなる基板４０に、Ｓｉ素子、ＳＯＩ素子等の素子４１を接合した構造とすることができる。素子４１の表面には後述するような方法によりピエゾ抵抗体が形成されており、素子４１が押圧された際の抵抗値の変化から圧力を検出する。圧力検出素子１２を図中矢印Ａ方向から押圧する構成とする場合、Ｐ型の基板では、結晶面方向は（１００）方向とすることが好ましいが、（１１０）方向の基板も用いることができる。また、圧力検出素子１２を図中矢印Ｂ方向から押圧する構成とする場合、Ｐ型の基板では、結晶面方向は（１１０）方向、又は（１１０）方向と等価な結晶面方向を有する基板を用いる必要があり、（１００）方向の基板を用いた場合抵抗値の変化は得られない。
【００２６】
上記した圧力検出素子１２は、例えば、Ｓｉウエハから、図５に示すような工程によって製造することができる。
【００２７】
すなわち、図５（ａ）に示すＳｉウエハ（例えば、（１００）基板、厚み４００μｍ、抵抗値１０〜２０Ω・ｃｍ、Ｎ型）１００に、まず、図５（ｂ）に示すように酸化膜１０１（膜厚例えば１００ｎｍ）を形成した後、矩形のピエゾ抵抗体形状と直線の温度センサ形状にパターニングする。
【００２８】
次に、イオン注入装置により、Ｓｉウエハ１００の表層にボロンをドーピングし（ボロン濃度例えば１×１０18〜３×１０20ａｔｏｍ／ｃｍ3）、この後、アニール（例えば、窒素雰囲気中、温度９５０℃で３０分）することによって図５（ｃ）に示すようにピエゾ抵抗及び温度センサ１０２を形成する。
【００２９】
次に図５（ｄ）に示すように、ピエゾ抵抗及び温度センサ１０２の保護膜として、ＨＴＯ膜１０３を成膜し（例えば、成膜ガス：ＳｉＨ２Ｃｌ２＋Ｎ２Ｏ、温度９００℃、膜厚３００ｎｍ）、図５（ｅ）に示すようにＨＴＯ膜１０３にコンタクトホール１０４を形成した後、このコンタクトホール１０４の部分に図５（ｆ）に示すようにパッド１０５（例えば、Ｐｔ／ＴｉＮ／ＰｔＳｉ）を形成する。
【００３０】
また、圧力検出素子１２は、例えば、ＳＯＩウエハから、図６に示すような工程によって製造することができる。
【００３１】
すなわち、図６（ａ）に示すように表面側（図中上側）から順に活性層（例えば、（１００）基板、厚み１．５μｍ、抵抗値１０〜２０Ω・ｃｍ、Ｐ型）、中間層（例えば、厚み１μｍ）、支持層（例えば、厚み５２５μｍ、抵抗値１０〜２０Ω・ｃｍ、Ｐ型）を有するＳＯＩウエハ２００を用い、まず、図６（ｂ）に示すように、イオン注入装置により、ＳＯＩウエハ２００の活性層にボロンをドーピング（ボロン濃度例えば１Ｅ１８〜３Ｅ２０ａｔｏｍ／ｃｍ3）し、アニール（例えば、窒素雰囲気中、温度１０００℃で５時間）することによってピエゾ抵抗２０２及び温度センサを形成する。
【００３２】
次に、活性層上にレジストを矩形の抵抗体と直線の温度センサの形状にパターニングした後、レジストをマスクとして活性層のシリコンをピエゾ抵抗体と温度センサの部分だけを残してエッチング（例えばＲＩＥ）し、図６（ｃ）に示すように誘電体分離を行う。
【００３３】
次に図６（ｄ）に示すように、ピエゾ抵抗及び温度センサ２０２の保護膜として、ＨＴＯ膜２０３を成膜し（例えば、成膜ガス：ＳｉＨ２Ｃｌ２＋Ｎ２Ｏ、温度９００℃、膜厚３００ｎｍ）、図６（ｅ）に示すようにＨＴＯ膜２０３にコンタクトホール２０４を形成した後、このコンタクトホール２０４の部分に図６（ｆ）に示すようにパッド２０５（例えば、Ｐｔ／ＴｉＮ／ＰｔＳｉ）を形成する。
【００３４】
本実施形態の燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００では、上記のようにして形成された圧力検出素子１２を、台座１１に配置して圧力伝達機構１０で直接押圧する構成となっているので、構成部品の数を少なくすることができ、また従来に比べて小型化を図ることができる。また、圧力を直接検出するようになっているので、良好な燃焼圧力の検出感度を得ることができる。さらに、圧力検出素子１２と圧力伝達機構２０が接続部材３０により一体化された構造となっているので、予圧調整の困難性等による検出精度の低下を招くことがなく、検出精度の向上を図ることができる。
【００３５】
また、圧力検出機構１０は、台座１１のフランジ固定部１４の部分の１箇所のみでハウジング１に支持されるため、シリンダヘッド変形に伴うハウジング１の歪みの影響を受けず、振動等に起因するノイズの発生を低減することができる。さらに、燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００では、圧力伝達機構２０の長さがハウジング１に比べて短くなっており、圧力伝達機構２０における共振周波数が高くなっているため、燃焼サイクルによって圧力伝達機構に加わる軸方向の周期的なノイズと共振し難い構造となっている。したがって、ノイズに共振することによって検出精度が低下することを防止することができる。
【００３６】
図７は、他の実施形態に係る燃焼圧力センサ付きグロープラグ４００の要部構成を示すものであり、前述した燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００と対応する部分に同一の符号が付してある。この燃焼圧力センサ付きグロープラグ４００は、先端側ハウジング２の長さを更に短くし、圧力検出機構１０をハウジング１に対して支持するためのフランジ固定部１４の部位を燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００全体における先端側に位置させた構造となっている。これにより、共振周波数をさらに高めることができ、燃焼サイクルによって圧力伝達機構に加わる軸方向の周期的なノイズと共振し難い構造とすることができる。
【００３７】
また図８に示す構成としてもよい。図８は他の実施形態にかかる燃焼圧力センサ付きグロープラグ５００の要部構成を示すものであり、前述した燃焼圧力センサ付きグロープラグ３００、４００と対応する部分については同一の符号が付してある。この燃焼圧力センサ付きグロープラグ５００は、先端側ハウジング２とキャップ部材６とが一体化したキャップ部材６０を備える構成である。このキャップ部材６０はヒータ２３との電気的導通機能を持つとともにハウジング（後端側ハウジング３）に対してヒータ２３を摺動可能に保持し、機関と密接するシート面６１を有するものである。キャップ部材６０のシート面６１の内周は薄肉となっているため、機関の燃焼圧力の変動によりシート面６１やハウジングに対して相対的に変位が可能となっている。一方、圧力伝達機構２０は、ヒータ２３、金属環状部材５０、素子押圧部材５１から構成される。ヒータ２３の後端側には金属環状部材５０が接続され、さらに金属環状部材５０には押圧面２２を有する素子押圧部材５１が接続される。これらの構成により圧力検出素子１２への機関の燃焼圧力の伝達が可能となる。
【００３８】
圧力検出素子１２は台座１１であり、圧力検出素子１２と圧力検出素子１２から出力された信号やヒータ２３への電気的導通経路を形成する配線基板１１０に固定される。配線基板１１０は外周から基板保持部材５２に保持され、当該基板保持部材５２が略円筒状に形成された接続部材３０と接続される。接続部材３０の先端にはフランジ固定部１４が形成されており、このフランジ固定部１４がキャップ部材６０の後端側と後端側ハウジング３の先端側とに狭持される形で溶接等により一体化される。
【００３９】
なお、この圧力センサ付きグロープラグ５００の形態では配線基板１１０の後端側に圧力検出素子１２からの出力信号を処理する信号処理回路（ＡＳＩＣ）をフレキシブル基板５３上に構成していたり、配線基板１１０に、ヒータ２３への電力供給配線５４を電気的に接続する構成としていたりしている。
【００４０】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係る燃焼圧力センサ付きグロープラグの全体構成を示す断面図。
【図２】図１の要部を拡大して示す断面図。
【図３】図１の燃焼圧力センサ付きグロープラグの要部構成を示す分解斜視図。
【図４】圧力検出素子の構成を説明するため図。
【図５】圧力検出素子の製造方法を説明するための図。
【図６】他の圧力検出素子の製造方法を説明するための図。
【図７】他の本発明の実施形態に係る燃焼圧力センサ付きグロープラグの要部構成を示す断面図。
【図８】他の本発明の実施形態に係る燃焼圧力センサ付きグロープラグの要部構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００４２】
１……ハウジング、２……先端側ハウジング、３……後端側ハウジング、４……ねじ部、５……工具係合部、１０……圧力検出機構、１１……台座、１２……圧力検出素子、２０……圧力伝達部材、２１……受圧面、２２……押圧面、２３……ヒータ、３０……接続部材、３００……燃焼圧力センサ付きグロープラグ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008209101.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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