(57)【要約】【課題】液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタ基板等の検査工程に用いられる基材シートの検査装置に関する。【解決手段】  検査する基板シートが載置される透明部材からなる透明ステージに複数の昇降する平面板にピン足を有するＴ字状の昇降ピンを備え、  前記透明ステージの下部に透過照明部を備え、上部に検査用画像撮影部を備えた基板シートの検査装置であって、  前記昇降ピンの平面板下部の周縁に平面板を透過する複数の小サイズ光源を備えていることを特徴とする基板シートの検査装置である。【選択図】図１
2008209700.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査する基板シートが載置される透明部材からなる透明ステージに複数の昇降する平面板にピン足を有するＴ字状の昇降ピンを備え、
前記透明ステージの下部に透過照明部を備え、上部に検査用画像撮影部を備えた基板シートの検査装置であって、
前記昇降ピンの平面板下部の周縁に平面板を透過する複数の小サイズ光源を備えていることを特徴とする基板シートの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタ基板等の検査工程に用いられる基材シートの検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの急速な発達に伴い、カラー液晶ディスプレイの需要が増加している。同時に装置のコストダウンも要求され、とりわけカラー液晶ディスプレイにおいてコスト的に比重の高いカラーフィルタ基板等のコストダウン、高品質化等の要求が高まっている。
【０００３】
従来、カラーフィルタ基板等の検査工程において、カラーフィルタ基板をカラービュアーと呼ばれる検査装置に載置し、内部に配置された蛍光灯等の光を、白色拡散板を通してカラーフィルタに透過させ、目視により成膜されたカラーフィルタ基板のムラ等を検査するようにしている。
【０００４】
また、カラーフィルタ基板等の製造においては、一枚のガラス基板に２面、４面、６面付け等、複数のカラーフィルタ基板等の基材シートを成膜した後、個々のカラーフィルタ基板等を切断することにより生産効率の向上を図っている。
【０００５】
そして、近年、例えば液晶表示装置においては画面の大型化が要望され、これに伴いガラス基板等の基材シートの大型化、薄板化が進んでいる。
【０００６】
上記ガラス基板等の基材シートの大型化、薄板化に伴い、上述した従来のカラービュアーに載置して検査を行う場合に、基板の端を保持する治具を使用しても、ガラス基板がたわんでしまい水平に保持することが困難になる。
【０００７】
また、基板がたわむためカラービュアー上を搬送する場合に基板の割れを防ぐために搬送速度をゆるめる必要があった。そこで、基板の中央部にも基板の支持用治具を設けることが考えられるが、ガラス基板に面付けされるカラーフィルタの位置によって治具の位置を変える必要が生じるなどの問題があった。
【０００８】
このため、カラービュアーの上面に昇降する複数の昇降ピンを設け、搬送する場合に基板の割れを防止し、且つ、基板がたわむことなく基板を水平に保持する検査装置が知られている。
【０００９】
さらに、基板がたわむことなく基板を水平に保持させることにより正確な検査を行うことができるカラーフィルタ基板の検査装置（例えば、特許文献１参照。）も知られている。
【００１０】
前記カラーフィルタ基板の検査装置は検査用ボックスと、検査用ボックスの下部に配設された蛍光灯と、蛍光灯の上部に配設された拡散板と、拡散板の上部に間隔を置いて配設され、多数の空気吹出孔を有する空気吹出板と、拡散板と空気吹出板との間に形成された空気供給通路とを備え、空気吹出板の上面にカラーフィルタ基板を載置する。
【００１１】
以下に先行技術文献を示す。
【特許文献１】特開平１１−８３６７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記昇降ピンを設けた検査装置は昇降ピンにより照明が透過しないという大きな問題がある。そして、昇降ピンの上部部分の基板シートが透過での検査が不可能なエリアとなる。
【００１３】
また、特許文献１の検査装置は空気を吹出すコンプレッサー等を使用しなければならず、且つ、装置が煩雑となる。そして、装置の作製コストが上昇する。さらに、空気を吹出すなど作業環境に弊害を生じる問題がある。
【００１４】
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、基板シートが割れたり、たわむことなく、基板シートを水平に保持させることができる。そして、装置が煩雑でなく、安価にでき、且つ、透過検査不可能な箇所が無く正確な検査を行うことができる基板シートの検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記問題点を解決するために、本発明の請求項１に係る発明は、
検査する基板シートが載置される透明部材からなる透明ステージに複数の昇降する平面板にピン足を有するＴ字状の昇降ピンを備え、
前記透明ステージの下部に透過照明部を備え、上部に検査用画像撮影部を備えた基板シートの検査装置であって、
前記昇降ピンの平面板下部の周縁に平面板を透過する複数の小サイズ光源を備えていることを特徴とする基板シートの検査装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の基板シートの検査装置は以上の構成からなるので、基板シートの透過検査不可能な箇所が無くなる。
【００１７】
また、本発明の基板シートの検査装置は煩雑でなく、且つ、吹出し空気等が無いので静かで、作業環境に弊害を来たすことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の基板シートの検査装置を実施の形態に沿って以下に図面を参照にしながら詳細に説明する。
【００１９】
図１（ａ）は、本発明の基板シートの検査装置の一実施例の平面の概略を示す概略図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ´線の断面を示す断面図である。
【００２０】
図１（ａ）および図１（ｂ）に示すように、本発明の基板シートの検査装置は透明ステージ１と透明ステージ１の表面を昇降する複数の昇降ピン２と透過照明部６と検査用画像撮像部５から形成されている。
【００２１】
また、透過照明部６の底面と側面は検査用ボックス８の壁面９と壁底１０により覆われている。そして、上部は透明ステージ１が設けられている。
【００２２】
また、昇降ピン２は従来、図５に示すように、平面板３とピン足４から形成されている。そして、ピン足４は平面板３の中央の下部面と接続され、透明ステージ１場をピストン駆動する。
【００２３】
また、本発明の基板シートの検査装置に用いられる昇降ピン２は、例えば、図４に示すように平面板３の下部にＬＥＤ等の小サイズの光源が設けられている。そして、この昇降ピン２は上記小サイズの光源を使用することによって透過照明のデッドエリアがなくなり、正確な検査を行うことができる。
【００２４】
前記平面板３の下部に設けられる小サイズの光源として、図４に示すようなＬＥＤ等のほかに、例えば、図には示していないが光ファイバー等により透過照明のデッドエリアを無くすこともできる。
【００２５】
上記平面板３はガラスまたは透明なプラスチック、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）などのポリエステル、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）などのポリオレフィン、６−ナイロン、６，６−ナイロン、などのポリアミド（ＰＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＡ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＣ）、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などの単体または積層シート等、透明性の優れたものが好ましく用いられる。
【００２６】
また、ピン足２は従来、透明性のある部材でなければならなかったが、平面板３の下部に小サイズの光源を用いることにより、不透明な部材、例えば、アルミニウム合金、マグネシュウム合金、黄銅等の金属材料等を使用することができる。そして、昇降ピンの昇降駆動が円滑で、安定し、高速にも耐え、長期間駆動することが可能となった。
【００２７】
また、昇降ピン２は昇降ピン２の平面板３に透明性が良く、耐磨耗性、耐衝撃性、耐強度性等に優れている部材を用いることによって平面板３とピン足４を一体成形あるいは一体切削加工等により作製することもできる。
【００２８】
また、本実施例の基板シートの検査装置に設けられている透明ステージ１は、上部の中央に、１ｍを超す基材シート７を検査する検査用画像撮像部５が設けられている。前記検査用画像撮像部５は、例えばＣＣＤカメラ等により透明ステージ１上の基材シート７を撮影し画像処理により検査を行う。
【００２９】
前記ＣＣＤカメラ等による検査は先ず、透明ステージ１上に基材シート７のない状態で撮影した画像を画像処理する。次に、透明ステージ１上に基材シート７を載置してＣＣＤカメラにより撮影し画像処理により基材シート７のむらのデータを得る。そして、後者のデータから前者のデータを消去することにより、基材シート７に欠陥があるか否かを判定することもできるが、目視による検査も無論可能である。
【００３０】
また、本実施例の基板シートの検査装置に設けられている透明ステージ１の下部の透過照明部６は、複数の蛍光灯１２及び反射板１３が設けられている。そして、図には示していないが透明ステージ１の下部と透過照明部６との間に透過照明部６の光を拡散する白色の拡散板が通常設けられる。
【００３１】
次に、図２は本実施例の基板シートの検査装置に設けられている透明ステージの複数の昇降ピンが降下した状態の概略を示す斜視図である。また、図３は透明ステージの複数の昇降ピンが上昇した状態の概略を示す斜視図である。
【００３２】
図２および図３に示すように前工程から搬送されてくる基板シート７が撓んだり、割れたりすることなく透明ステージ１に載置等するための複数の昇降ピン２が透明ステージ１に設けられている。
【００３３】
前記昇降ピン２は基板シート７が透明ステージ１面上に搬送されてきた際に、図３に示すように上昇し、基板シート７を複数の昇降ピン２の平面板３上面で受け止める。
【００３４】
そして、図２に示すように昇降ピン２が降下して、基板シート７が透明ステージ１面に載置される。さらに、基板シート７は透過照明され、検査用画像撮像部５で画像処理または目視により欠陥があるか否かを判定検査される。（図３では昇降ピン２の平面板３の下部に小サイズの光源１１を示していないが、本発明の基材シートの検査装置に用いられる昇降ピン２は図４に示すように平面板３の下部に小サイズの光源１１を備えている。）。
【００３５】
前記昇降ピン２の昇降は機械的方法またはエアーを用いた方法あるいは油圧による方法等、装置の大きさ、生産能力等により適宜の方法が選択される。
【００３６】
また、透明ステージ１は、ガラス、または透明性を有するプラスチック樹脂シート、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）樹脂などのポリエステル樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂、ポリスチレン（ＰＳ）樹脂などのポリオレフィン樹脂、６−ナイロン、６，６−ナイロン、などのポリアミド（ＰＡ）樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）樹脂、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、ポリ塩化ビニル（ＰＶＡ）樹脂、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶＣ）樹脂、ポリエーテルスルフォン（ＰＥＳ）樹脂、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）樹脂などの単体または積層シート等が用いられる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の基板シートの検査装置は搬送する基材シートの検査等に使用できる検査装置として優れていることはもとより、食品分野の生産ライン等にも使用できる素晴らしい発明である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】（ａ）は、本発明の基板シートの検査装置の一実施例の平面の概略を示す概略図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ´線の断面を示す断面図である。
【図２】本発明の基板シートの検査装置に設けられるの透明ステージの複数の昇降ピンが降下した状態の概略を示す斜視図である。
【図３】本発明の基板シートの検査装置に設けられるの透明ステージの複数の昇降ピンが上昇した状態の概略を示す斜視図である。
【図４】本発明の基板シートの検査装置に用いられる昇降ピンの概略を示す斜視図である。
【図５】従来の昇降ピンの概略を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００３９】
１…透明ステージ
２…昇降ピン
３…平面板
４…ピン足
５…検査用画像最像部
６…透過照明部
７…基材シート
８…検査ボックス
９…壁面
１０…壁底
１１…小サイズの光源
１２…蛍光灯
１３…反射板
【図１】
2008209700.tif 000003
【図２】
2008209700.tif 000004
【図３】
2008209700.tif 000005
【図４】
2008209700.tif 000006
【図５】
2008209700.tif 000007