(57)【要約】【課題】吸着の際、載置面と電気光学パネルの表示領域とが接触することに伴い、表示領域が傷付いてしまうことを低コストにて防止でき、電気光学パネル製造の際の歩留まりを向上させることができる吸着テーブルを提供する。【解決手段】液晶パネル１００を、吸引ポンプを用いた減圧吸着により保持する吸着テーブル１であって、吸着テーブル１の一面６における液晶パネル１００の載置面６ｓに開口された、吸引ポンプと連通する吸引口５は、載置面６ｓに載置された液晶パネル１００の表示領域４０よりも平面視した状態で大きく形成されていることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルを、吸引装置を用いた減圧吸着により保持する吸着テーブルであって、
前記吸着テーブルの一面における前記電気光学パネルの載置面に開口された、前記吸引装置と連通する吸引口は、前記載置面に載置された前記電気光学パネルの表示領域よりも平面視した状態で大きく形成されていることを特徴とする吸着テーブル。
【請求項２】
前記吸引口は、前記電気光学パネルよりも平面視した状態で小さく形成されていることを特徴とする請求項１に記載の吸着テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学パネルを、吸引装置を用いた減圧吸着により保持する吸着テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、電気光学装置、例えば光透過型の液晶装置は、ガラス基板、石英基板等からなる２枚の基板間に液晶が介在されて構成された電気光学パネルである液晶パネルが実装ケース等に収容されて構成されている。
【０００３】
また、液晶装置は、液晶パネルの一方の基板に、例えば薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと称す)等のスイッチング素子及び画素電極をマトリクス状に配置し、他方の基板に対向電極を配置して、両基板間に介在された液晶層による光学応答を画像信号に応じて変化させることで、画像表示を可能としている。
【０００４】
また、ＴＦＴを配置したＴＦＴ基板と、このＴＦＴ基板に相対して配置される対向基板とは、別々に製造される。ＴＦＴ基板及び対向基板は、例えば石英基板上に、所定のパターンを有する半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜を積層することによって構成される。半導体薄膜、絶縁性薄膜又は導電性薄膜は、層毎に各種膜の成膜工程とフォトリソグラフィ工程を繰り返すことによって形成されるのである。
【０００５】
このようにして形成されたＴＦＴ基板及び対向基板は、例えば液晶封入方式により、ＴＦＴ基板と対向基板との間に液晶が介在される場合には、一部に切り欠きを有するよう略周状に塗布されたシール材を介して、パネル組立工程において高精度（例えばアライメント誤差１μ以内）に貼り合わされる。
【０００６】
次いで、アライメントが施されてそれぞれ圧着硬化された後、シール材の一部に設けられた切り欠きを介して液晶が封入され、切り欠きが、熱等により硬化された封止材により封止される。
【０００７】
次いで、ＴＦＴ基板の外部接続端子に、液晶装置とプロジェクタ等の電子機器とを接続するＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）が接続され、液晶パネルが製造される。
【０００８】
その後、液晶パネルが、実装ケース内に、接着剤を介して収容され、固定されることにより、液晶装置は製造される。製造された液晶装置は、ＦＰＣを介してプロジェクタ等の電子機器に設けられる。
【０００９】
ところで、液晶装置の製造工程において、組み付け作業等を行う際、例えば、ＴＦＴ基板の外部接続端子に、ＦＰＣを既知の圧着により接続する際、外部接続端子を圧着ヘッドに対して位置精度良く位置させるとともに、液晶パネルが圧着に伴い、位置決めした位置から動いてしまうことがないよう、液晶パネルを位置精度良く保持、固定する必要がある。
【００１０】
このような事情に鑑み、ポンプ等の吸引装置を用いた減圧吸着により、液晶パネルを位置精度良く固定することができる吸着テーブルが周知であり、例えば特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００２−５２２８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に開示された吸着テーブルにおいては、吸着テーブルの載置面の全面に、吸着に用いるポンプ等の吸引装置に連通する複数の吸引口が点在して開口された構成を有している。
【００１２】
このため、載置面に、液晶パネルを載置して吸着する際と、吸着後、載置面上において位置合わせのため液晶パネルを移動させた際とのいずれかにおいて、載置面と液晶パネルの表示領域とが接触してしまい、液晶パネルの表示領域に、接触に伴う傷が付着してしまい、液晶パネル製造の際の歩留まりが低下してしまうといった問題があった。
【００１３】
尚、このような問題に鑑み、特許文献１では、吸着テーブルの載置面を、弾性変形しやすいポリエチレン等の材料から構成しているが、吸着テーブルをディスポーザブルとすると、吸着テーブルの製造コストが増大してしまうといった問題あった。
【００１４】
本発明は上記問題点に着目してなされたものであり、吸着の際、載置面と電気光学パネルの表示領域とが接触することに伴い、表示領域が傷付いてしまうことを低コストにて防止でき、電気光学パネル製造の際の歩留まりを向上させることができる吸着テーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために本発明に係る吸着テーブルは、電気光学パネルを、吸引装置を用いた減圧吸着により保持する吸着テーブルであって、前記吸着テーブルの一面における前記電気光学パネルの載置面に開口された、前記吸引装置と連通する吸引口は、前記載置面に載置された前記電気光学パネルの表示領域よりも平面視した状態で大きく形成されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明によれば、吸着テーブルの吸引口を、吸着テーブルの載置面に載置される電気光学パネルの表示領域よりも平面視した状態で大きく形成するのみにより、吸着に伴い、載置面と電気光学パネルの表示領域とが接触することにより、表示領域に傷等が付着してしまうことを低コストにて防止することができることから、電気光学パネルの製造上における歩留まりを向上することができるといった効果を有する。
【００１７】
また、前記吸引口は、前記電気光学パネルよりも平面視した状態で小さく形成されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明によれば、吸着テーブルの吸引口を、吸着テーブルの載置面に載置される電気光学パネルの表示領域よりも平面視した状態で大きく、電気光学パネルの外形よりも平面視した状態で小さく形成するのみにより、吸着後の移動に伴い、載置面と電気光学パネルの表示領域とが接触することにより、表示領域に傷等が付着してしまうことを低コストにて防止することができることから、電気光学パネルの製造上における歩留まりを向上することができるといった効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照にして本発明の実施の形態を説明する。尚、以下に示す実施の形態において電気光学装置は、光透過型の液晶装置を例に挙げて説明する。よって、電気光学装置が具備する電気光学パネルは、液晶パネルを例に挙げて説明する。
【００２０】
また、液晶パネルにおいて対向配置される一対の基板の内、一方の基板は、素子基板（以下、ＴＦＴ基板と称す）を、また他方の基板は、ＴＦＴ基板に対向する対向基板を例に挙げて説明する。
【００２１】
先ず、本実施の形態の吸着テーブルにより吸着されて保持される液晶パネルの全体の構成について説明する。図１は、本実施の形態の吸着テーブルにより保持される液晶パネルの平面図、図２は、図１中のII-II線に沿って切断した液晶パネルの断面図である。
【００２２】
図１、図２に示すように、液晶パネル１００は、例えば、石英基板やガラス基板等を用いたＴＦＴ基板１０と、該ＴＦＴ基板１０に対向配置される、例えばガラス基板や石英基板等を用いた対向基板２０との間の内部空間に、電気光学物質である液晶５０が介在されて構成される。対向配置されたＴＦＴ基板１０と対向基板２０とは、シール材５２によって貼り合わされている。
【００２３】
ＴＦＴ基板１０の液晶５０と接する領域に、液晶パネル１００の表示領域４０を構成するＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈが構成されている。また、表面１０ｆ側における表示領域１０ｈに、画素を構成するとともに、後述する対向電極２１とともに液晶５０に駆動電圧を印加する画素電極９ａがマトリクス状に配置されている。
【００２４】
また、対向基板２０の表面２０ｆ側における液晶５０と接する領域に、液晶５０に画素電極９ａとともに駆動電圧を印加する対向電極２１が設けられており、対向電極２１の表示領域１０ｈに対向する領域に、液晶パネル１００の表示領域４０を構成する対向基板２０の表示領域２０ｈが構成されている。
【００２５】
ＴＦＴ基板１０の画素電極９ａ上に、ラビング処理が施された配向膜１６が設けられており、また、対向基板２０上の全面に渡って形成された対向電極２１上にも、ラビング処理が施された配向膜２６が設けられている。各配向膜１６、２６は、例えば、ポリイミド膜等の透明な有機膜からなる。
【００２６】
また、ＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈにおいては、複数本の図示しない走査線と複数本の図示しないデータ線とが交差するように配線され、走査線とデータ線とで区画された領域に画素電極９ａがマトリクス状に配置される。そして、走査線とデータ線との各交差部分に対応して図示しない薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が設けられ、このＴＦＴ毎に画素電極９ａが接続されている。
【００２７】
ＴＦＴは走査線のＯＮ信号によってオンとなり、これにより、データ線に供給された画像信号が画素電極９ａに供給される。この画素電極９ａと対向基板２０に設けられた対向電極２１との間の電圧が液晶５０に印加される。
【００２８】
対向基板２０に、液晶パネル１００の表示領域４０を規定する額縁としての遮光膜５３が設けられている。
【００２９】
液晶５０がＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間の空間に、既知の液晶注入方式で注入される場合、シール材５２は、シール材５２の１辺の一部において欠落して塗布されている。
【００３０】
シール材５２の欠落した箇所は、該欠落した箇所から貼り合わされたＴＦＴ基板１０及び対向基板２０との間の空間において、シール材５２により囲まれた領域に液晶５０を注入するための切り欠きである液晶注入口１０８を構成している。液晶注入口１０８は、液晶注入後、封止材１０９によって封止される。
【００３１】
シール材５２の外側の領域に、ＴＦＴ基板１０の図示しないデータ線に画像信号を所定のタイミングで供給して該データ線を駆動するドライバであるデータ線駆動回路１０１と外部回路との接続のための外部接続端子１０２とが、ＴＦＴ基板１０の１辺に沿って設けられている。尚、外部接続端子１０２は、対向基板２０に設けられていても構わない。
【００３２】
外部接続端子１０２に、液晶パネル１００を、プロジェクタ等の電子機器と電気的に接続する、特定の長さを有する柔軟な図示しないフレキシブル配線基板（Flexible Printed Circuits、以下ＦＰＣと称す）の一端が接続される。ＦＰＣの他端がプロジェクタ等の電子機器に接続されることにより、液晶パネル１００と電子機器とは電気的に接続される。
【００３３】
外部接続端子１０２が設けられたＴＦＴ基板１０の１辺に隣接する２辺に沿って、ＴＦＴ基板１０の図示しない走査線及びゲート電極に、走査信号を所定のタイミングで供給することにより、ゲート電極を駆動するドライバである走査線駆動回路１０３、１０４が設けられている。走査線駆動回路１０３、１０４は、シール材５２の内側の遮光膜５３に対向する位置において、ＴＦＴ基板１０上に形成されている。
【００３４】
また、ＴＦＴ基板１０上に、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０３、１０４、外部接続端子１０２及び上下導通端子１０７を接続する配線１０５が、遮光膜５３の３辺に対向して設けられている。
【００３５】
上下導通端子１０７は、シール材５２のコーナー部の４箇所のＴＦＴ基板１０上に形成されている。そして、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０相互間に、下端が上下導通端子１０７に接触し上端が対向電極２１に接触する上下導通材１０６が設けられており、該上下導通材１０６によって、ＴＦＴ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通がとられている。
【００３６】
次に、液晶パネル１００を吸着して保持する吸着テーブルの構成について、図３、図４を用いて説明する。図３は、本実施の形態の吸着テーブルの平面図、図４は、図３中のIV-IV線に沿う吸着テーブルの断面図である。
【００３７】
吸着テーブル１は、例えば１万回に１回の割合で交換するディスポーザブルなものとして構成されている。尚、交換回数は、これに限定されない。また、図３、図４に示すように、吸着テーブル１の一面６における１辺１ａ側の平面視した状態における半部には、図３に示すように、平面視した形状が逆凹字状の溝１ｕが、設定幅を以て、図４に示すように、設定深さ、例えば５ｍｍの深さに形成されている。尚、吸着テーブル１は、ディスポーザブルなものに限定されない。また、溝１ｕの深さも５ｍｍに限定されない。
【００３８】
さらに、図３に示すように、吸着テーブル１の一面６における、平面視した状態において溝１ｕ及び吸着テーブル１の１辺１ａに囲まれた領域には、平面視した形状が略矩形状の溝１ｔが、後述する図５に示すように、液晶パネル１００の表示領域４０（図５では斜線の領域で示す）よりも平面視した状態で大きく形成されているとともに、図４に示すように、設定深さ、例えば５ｍｍの深さに形成されている。尚、溝１ｔの深さも５ｍｍに限定されない。また、溝１ｔの深さは、溝１ｕの深さと異なっていても構わない。
【００３９】
溝１ｔは、平面視した状態での液晶パネル１００の面積よりも小さく、平面視した状態で、表示領域４０よりも、例えば４ｍｍ２程度大きな面積に形成されている。尚、この溝１ｔの大きさは、後述するガイド部材６０（図５参照）によって、液晶パネル１００が後述するガイド部材６０に当接する仮置き位置から、ＦＰＣの圧着を行う保持位置まで移動される事に関わらず、液晶パネル１００の表示領域４０が、吸着テーブル１の一面６における後述する載置面６ｓに接触しない大きさとなっている。
【００４０】
さらに、溝１ｔの一面６側の開口は、吸着テーブル１の載置面６ｓに載置された液晶パネル１００の少なくとも表示領域４０を吸引する吸引口５を構成している。即ち、吸引口５は、吸着テーブル１の載置面６ｓに開口されている。
【００４１】
溝１ｔは、該溝１ｔの底部において平面視した状態で中央領域に形成された吸引孔２を介して、図４に示すように、吸引装置である吸引ポンプ３５に連通されている。即ち、吸引ポンプ３５を用いて、吸引口５が、載置面６ｓに載置された液晶パネル１００の少なくとも表示領域４０を、吸引孔２を介して吸引することにより、吸着テーブル１は、減圧吸着により、液晶パネル１００を吸着して保持する。
【００４２】
また、図３に示すように、平面視した形状が逆凹字状の溝１ｕと、略矩形状の溝１ｔとの間に残された一面６における枠状の部位は、吸着テーブル１が液晶パネル１００を吸着して保持する際、液晶パネル１００が載置される載置面６ｓを構成している。尚、載置面６ｓは、液晶パネル１００の接触面と緊密に接触する面に形成されている。
【００４３】
よって、吸着テーブル１の一面６においては、液晶パネル１００を保持する際、溝１ｔ、即ち吸引口５が液晶パネル１００の表示領域４０よりも平面視した状態で大きく形成されていることから、液晶パネル１００を後述する仮置き位置または保持位置に位置決めして載置した際、枠状の載置面６ｓ及び後述する直線状の接触面６ｑのみが、液晶パネル１００の表示領域４０外の領域に接触する構成となっている。
【００４４】
また、図３に示すように、吸着テーブル１の１辺１ａ側における一面６を構成する平面視した形状が直線状の接触面６ｑと、該１辺に対向する溝１ｔとに囲まれた領域には、溝１ｕと連通する平面視した形状が直線状の溝１ｇが、設定深さ、例えば５ｍｍの深さに形成されている。尚、溝１ｇの深さは５ｍｍに限定されない。また、溝１ｇの深さは、溝１ｕの深さまたは溝１ｔの深さと異なる深さに形成されていても構わない。
【００４５】
また、溝１ｇの底部には、液晶パネル１００の外部接続端子１０２に、図示しない圧着ヘッドを用いて、接着剤を熱で溶かしながら、ＦＰＣの一端を圧着する際、接着剤の熱溶解に伴い発生するガスを吸引する複数のガス吸引孔３０が形成されている。尚、複数のガス吸引孔３０は、図示しないガス吸引装置に連通している。
【００４６】
次に、このように構成された吸着テーブル１の作用、具体的には、吸着テーブル１を用いた液晶パネル１００の吸着方法について、図５を用いて説明する。図５は、図３の吸着テーブルの保持位置に液晶パネルが吸着された状態を、ガイド部材とともに示す平面図である。
【００４７】
図５に示すように、先ず、ガイド部材６０における、１つの角をなして直交する２つのガイド面６０ｇ、６０ｈを、平面視した形状が枠状の載置面６ｓの１つの角部、例えば図５において左上の角部の近傍において、ガイド面６０ｇが吸引口５の１辺５ａと平行となるとともに、ガイド面６０ｈが吸引口５の１辺５ａと直交する１辺５ｂと平行となるよう位置させる。
【００４８】
次いで、液晶パネル１００を、載置面６ｓに載置した後、液晶パネルのガイド面６０ｇ、６０ｈに対向する液晶パネル１００の２辺１００ａ、１００ｂを、ガイド面６０ｇ、６０ｈにそれぞれ当接させて、液晶パネル１００を、仮置き位置に位置合わせする仮位置合わせを行う。
【００４９】
尚、この状態において、溝１ｔ、即ち吸引口５は、平面視した状態で液晶パネル１００の表示領域４０よりも大きく形成されていることから、載置面６ｓが、該載置面６ｓに載置された液晶パネル１００の表示領域４０に接触してしまうことがない。即ち、この状態において、液晶パネル１００の表示領域４０外に接触しているのは、載置面６ｓ及び直線状の接触面６ｑのみとなっている。
【００５０】
次いで、吸引ポンプ３５を作動させることにより、吸引口５から、液晶パネル１００の少なくとも表示領域４０を吸引して、吸着テーブル１に、液晶パネル１００を減圧吸着させる。
【００５１】
その後、２辺１００ａ、１００ｂが、ガイド部材６０のガイド面６０ｇ、６０ｈにそれぞれ当接した状態で、ガイド部材６０を仮置き位置から移動させることにより、液晶パネル１００を、仮置き位置から、例えば平面視した状態で、液晶パネル１００の平面上の中心が吸引孔２に一致する保持位置に移動させる。
【００５２】
この際、溝１ｔ、即ち吸引口５は、平面視した状態で液晶パネル１００の表示領域４０よりも、仮置き位置から保持位置への移動を考慮して大きく形成されていることから、移動に伴い、載置面６ｓが表示領域４０に接触してしまうことがない。
【００５３】
以上により、吸着テーブル１により、液晶パネル１００が、保持位置にて位置精度良く保持される。尚、この状態においても、液晶パネル１００は、載置面６ｓ及び直線状の接触面６ｑのみに、表示領域４０外が接触した状態で載置される。
【００５４】
最後に、ガイド部材６０を液晶パネル１００から離間させた状態で、例えば液晶パネル１００の外部接続端子１０２に対して、ＦＰＣの一端を圧着する工程を行う。この圧着の際、発生した接着剤の熱溶解に伴うガスは、上述したように、吸着テーブル１の溝１ｇに形成された複数のガス吸引孔３０によって吸引される。
【００５５】
このように、本実施の形態においては、吸着テーブル１の溝１ｔにおける吸引口５が、吸着テーブル１の載置面６ｓに載置される液晶パネル１００の表示領域４０よりも、平面視した状態で大きく形成されていると示した。また、溝１ｔにおける吸引口５が、吸着テーブル１の載置面６ｓに載置される液晶パネル１００よりも、平面視した状態で小さく形成されていると示した。
【００５６】
このことによれば、吸着テーブル１の吸引口５を、吸着テーブル１の載置面６ｓに載置される液晶パネル１００の表示領域４０よりも平面視した状態で大きく形成し、また、液晶パネル１００よりも平面視した状態で小さく形成するのみにより、載置後の吸着、及び吸着後のガイド部材６０を用いた仮置き位置から保持位置への移動に伴い、載置面６ｓと液晶パネル１００の表示領域４０とが接触することにより、表示領域４０に傷等が付着してしまうことを低コストにて防止することができることから、液晶パネル１００の製造上における歩留まりを向上することができる。
【００５７】
尚、以下、変形例を示す。
【００５８】
本実施の形態においては、液晶パネル１００の外部接続端子１０２に、ＦＰＣの一端を圧着する際に、吸着テーブル１に、液晶パネル１００を吸着して保持する例を示したが、液晶パネル１００に対して、該液晶パネル１００の位置を固定して、組み付け作業を行う工程であれば、ＦＰＣを圧着する工程以外にも適用可能であり、本実施の形態と同様の効果を得ることができるということは勿論である。
【００５９】
また、本実施の形態においては、吸着テーブル１は、液晶パネル１００を保持するために用いると示したが、これに限らず、液晶パネル１００を構成するＴＦＴ基板１０のみを保持する場合や、対向基板２０のみを保持する場合に適用しても構わない。この場合、ＴＦＴ基板１０の表示領域１０ｈ、対向基板２０の表示領域２０ｈに、吸着テーブル１の載置面６ｓとの接触に伴い、傷等が付与されてしまうことを、本実施の形態同様、防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
また、液晶パネルは、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、上述した液晶パネルは、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールを例に挙げて説明したが、これに限らず、ＴＦＤ（薄膜ダイオード）等のアクティブ素子（能動素子）を用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示モジュールであっても構わない。
【００６１】
さらに、本実施の形態においては、電気光学装置の電気光学パネルは、液晶装置の液晶パネルを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）装置、ＳＥＤ(Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ Ｄｉｓｐｌａｙ)装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管または液晶シャッター等を用いた装置などの各種の電気光学装置の電気光学パネルに適用できる。
【００６２】
また、電気光学装置の電気光学パネルは、半導体基板に素子を形成する表示用デバイス、例えばＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）等の電気光学パネルであっても構わない。ＬＣＯＳでは、素子基板として単結晶シリコン基板を用い、画素や周辺回路に用いるスイッチング素子としてトランジスタを単結晶シリコン基板に形成する。また、画素には、反射型の画素電極を用い、画素電極の下層に画素の各素子を形成する。
【００６３】
また、電気光学装置の電気光学パネルは、片側の基板の同一層に、一対の電極が形成される表示用デバイス、例えばＩＰＳ（In-Plane Switching）や、片側の基板において、絶縁膜を介して一対の電極が形成される表示用デバイスＦＦＳ（Fringe Field Switching）等の電気光学パネルであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施の形態の吸着テーブルにより保持される液晶パネルの平面図。
【図２】図１中のII-II線に沿って切断した液晶パネルの断面図。
【図３】本実施の形態の吸着テーブルの平面図。
【図４】図３中のIV-IV線に沿う吸着テーブルの断面図。
【図５】図３の吸着テーブルの保持位置に液晶パネルが吸着された状態を、ガイド部材とともに示す平面図。
【符号の説明】
【００６５】
１…吸着テーブル、５…吸引口、６…一面、３５…吸引ポンプ、４０…表示領域、１００…液晶パネル。
【図１】
2008134380.tif 000003
【図２】
2008134380.tif 000004
【図３】
2008134380.tif 000005
【図４】
2008134380.tif 000006
【図５】
2008134380.tif 000007