(57)【要約】【課題】自己相関関数の精度を向上することである。【解決手段】所定の時間間隔（サンプリング時間）毎にパルス信号を受信し、パルス数をカウントするカウンタ６１と、前記カウンタ６１がカウントしたパルス数を受信して、順次遅延させるシフトレジスタ６３と、前記カウンタ６１からの出力と前記シフトレジスタ６３により遅延された出力をチャネル毎に積和演算を行う演算部６４と、前記シフトレジスタ６３による遅延時間又はサンプリング時間を、フィボナッチ数列の関係に基づいて設定する制御部６５と、を備えている。【選択図】図１
2008180691.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の時間間隔毎にパルス信号を受信し、パルス数をカウントするカウンタと、
前記カウンタがカウントしたパルス数を受信するサンプリング部と、
前記サンプリング部からの出力を受信し、順次遅延させる遅延部と、
前記サンプリング部からの出力と前記遅延部により遅延された出力をチャネル毎に積和演算を行う演算部と、
前記チャネルｎの遅延時間又はサンプリング時間Ｔｎを、
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０、
ここで、ｆｎ＝ａｎ−１×ｆｎ−１＋ａｎ−２×ｆｎ−２＋ａｎ−３×ｆｎ−３＋・・・＋ａ１×ｆ１、
ａｉ＝｛０，１｝、ｉ＝ｎ−１，ｎ−２，・・・，１、
（但し、系列ｆｎは、公比ｒが漸近的に１≦ｒ＜２に収束する整数列の等比数列であり、Ｔ０は基本クロックにより定まる単位サンプリング時間を表す。）
と設定する制御部と、を備えているコリレータ。
【請求項２】
前記制御部が、前記チャネル毎の遅延時間又はサンプリング時間Ｔｎを、
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０（ここで、ｆｎは、３項間の漸化式である。）
と設定する請求項１記載のコリレータ。
【請求項３】
前記制御部が、前記チャンネル毎の遅延時間又はサンプリング時間をフィボナッチ数列の関係に基づいて設定するものである請求項２記載のコリレータ。
【請求項４】
全チャネルを複数のグループに分け、各グループのサンプリング時間が、異なる３項間の組み合わせよりなる漸化式で構成されている請求項２又は３記載のコリレータ。
【請求項５】
前記制御部が、前半のチャネルの遅延時間又はサンプリング時間をリニアサンプリングの関係とし、後半のチャネルの遅延時間又はサンプリング時間をフィボナッチ数列の関係に基づいて設定するものである請求項３記載のコリレータ。
【請求項６】
前記制御部が、前記チャネル毎の遅延時間又はサンプリング時間Ｔｎを、
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０（ここで、ｆｎは、４項間の漸化式である。）
と設定する請求項１記載のコリレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば光子相関式粒径分布測定装置等に使用するコリレータ（相関器）システムのサンプリング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光子相関式粒径分布測定は、測定対象粒子から生じる散乱光強度に応じた光子数（パルス信号）を所定のサンプリング時間でカウントすると共に、シフトレジスタで時間遅延させ、積和演算を行って自己相関関数を求め、その緩和係数により粒径（粒子径）を算出する。
【０００３】
そして、サンプリング方式は、リニアサンプリング方式、指数サンプリング方式、マルチタウ方式などが知られている。
【０００４】
しかしながら、これらの各方式は、以下のような問題点がある。
【０００５】
光子相関法で得られる自己相関関数は通常指数関数であり、サンプリング時間は短いほど精度良く演算されるところ、リニアサンプリング方式は、パルス列の自己相関関数を等時間間隔で演算するものであり、回路構成や制御信号が単純であるが、広い粒径範囲を精度良く演算する場合には、チャネル数が膨大となる。またチャネル数に合わせると、粒径に応じてサンプリング時間を調節する必要があり、チャネル数と精度や手間のトレードオフとなり、広い粒径範囲には実用的に難しいという問題がある。
【０００６】
また、指数サンプリング方式は、上記リニアサンプリング方式の欠点を補って広い粒径範囲に適用できるようにチャネル毎にサンプリング時間が異なり、後段ほどサンプリング時間がチャネルに応じて指数的に長くするように設定されている。しかし、実際にはサンプリング時間を大きくすると小さな粒子のデータ点数が不足し、精度が下がる等の問題がある。
【０００７】
さらに、マルチタウ方式は、特許文献１に示すように、全チャネルをブロック分けし、ブロック内のチャネルではリニアサンプリングし、ブロック間では指数サンプリングとすることによって、両者の欠点を克服すべく両者の優れた点を取り入れた方法であるが、間隔が長い後段ブロックのチャネルでベースラインの揺らぎ（変動）、すなわち、いわゆるバイアスノイズが増えてしまい、自己相関関数の精度を下げるという問題がある。
【特許文献１】特開２００２−２９６１１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、自己相関関数の精度を向上することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち本発明に係るコリレータは、所定の時間間隔（サンプリング時間）毎にパルス信号を受信し、パルス数をカウントするカウンタと、前記カウンタがカウントしたパルス数を受信するサンプリング部と、前記サンプリング部からの出力を受信し、順次遅延させる遅延部と、前記サンプリング部からの出力と前記遅延部により遅延された出力をチャネル毎に積和演算を行う演算部と、前記チャネル毎の遅延時間又はサンプリング時間Ｔｎを、
【００１０】
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０、
ここで、ｆｎ＝ａｎ−１×ｆｎ−１＋ａｎ−２×ｆｎ−２＋ａｎ−３×ｆｎ−３＋・・・＋ａ１×ｆ１、
ａｉ＝｛０，１｝、ｉ＝ｎ−１，ｎ−２，・・・，１、
【００１１】
（但し、ｆｎで表される系列は、公比ｒが漸近的に１≦ｒ＜２に収束する整数列の等比数列であり、Ｔ０は基本クロックにより定まる単位サンプリング時間を表す。）
と設定する制御部と、を備えていることを特徴とする。
【００１２】
このようなものであれば、リニアサンプリング方式、指数サンプリング方式及びマルチタウサンプリング方式を統合的に扱うコリレータの設計を可能とすることができる。また、従来の指数サンプリング方式に比べて、データ点数を多く取ることができる。さらに、チャネル数が固定された場合には、最適な遅延時間又はサンプリング時間に近い時間が表現でき、自己相関関数の精度の向上と回路の簡略化を図ることができる。さらに、基本クロックの整数倍の遅延時間又はサンプリング時間でサンプリングするので、パルス信号と同期が取れており、その欠落又は重複カウントが無い。したがって、自己相関関数の精度を向上することができる。その上、装置を簡略化できるとともに、測定の自由度が広がるという効果もある。
【００１３】
具体的な実施の態様としては、前記制御部が、前記制御部が、前記チャネル毎の遅延時間又はサンプリング時間Ｔｎを、Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０（ここで、ｆｎは、例えば３項間の漸化式である。）と設定することが考えられる。特に、前記チャンネル毎の遅延時間又はサンプリング時間を、一般によく知られてその研究も進んだ３項間の漸化式で表されるフィボナッチ数列（公比ｒ＝１．６１８に収束する）の関係に基づいて設定するものであることが挙げられる。
【００１４】
また、マルチタウサンプリングのように、複数のチャネルでグループ化し、各グループ毎に公比を変える、つまり、全チャネルを複数のグループに分け、各グループのサンプリング時間が、異なる３項間の組み合わせよりなる漸化式で構成することも容易である。遅延又はサンプリング時間の設定方法としては、複数（Ｎ個）のチャネルのうち、前半のチャネルの遅延又はサンプリング時間をリニアサンプリングの関係とし、後半のチャネルの遅延又はサンプリング時間を多項の漸化式よりなる数列の関係に基づいて設定するものであることが望ましい。
【００１５】
前記ｆｎが３項間の漸化式により所望の公比が得られない場合には、前記制御部が、前記チャネル毎の遅延時間又はサンプリング時間Ｔｎを、Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０（ここで、ｆｎは、４項間の漸化式である。）と設定することが考えられる。
【発明の効果】
【００１６】
このように構成した本発明によれば、粒子径及びその分布が６〜７桁に及ぶような広い測定範囲を持つ多分散系においても、パルスの欠落や重複無く、又は粒子径（分布）を求めるために必要なデータ数（チャネル数）を最適化する指針があるので、従来の指数サンプリングの長所である広範囲に亘る測定を可能としつつ、自己相関関数の精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
＜第１実施形態＞
【００１８】
以下に、本発明のコリレータを用いた粒径分布測定装置の第１実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１９】
なお、図１は、本実施形態に係る粒径分布測定装置１の模式的構成図であり、図２、図３は、ハードウエア構成を示すハードウエア構成図である。また、図４は、カウンタ６１のゲートの開閉を示すタイミングチャートである。
【００２０】
＜装置構成＞
【００２１】
本実施形態に係る粒径分布測定装置１は、図１に示すように、粒子群を水等の分散媒に拡散させてなる試料を収容する透明セル２と、そのセル２を内部に液漬するバス３と、前記セル２の外側からバス３を介し、前記試料にレーザ光Ｌを照射する光照射部４と、前記レーザ光Ｌを照射された粒子群から発される散乱光Ｓを受光し、その光子数に応じたパルス信号を出力する受光部５と、前記パルス信号を受信し、そのパルス数の時系列データから自己相関データを生成するコリレータ６と、コリレータ６から得られる自己相関データに基づいて前記粒子群の粒径分布を算出する算出部７と、を備えている。
【００２２】
以下、各部２〜７について説明する。
【００２３】
セル２は、透明壁で形成した中空のもので、その内部を試料が一定方向に所定以内の速度で流動していくように構成したフローセルタイプのものである。試料は前記微小粒子生成装置から送られてきており、導入口からセル２の内部に導入され、導出口から排出される。
【００２４】
バス３は、密閉可能な中空壁体３１の内部にセル２と近似又は同一の屈折率を有した透明液体を充填したもので、内部中央にセル２を収容する。前記壁体３１は不透明な例えば金属材料で形成してあり、レーザ光Ｌの光路上及び散乱光Ｓの光路上にはそれぞれ光透過用のレーザ光用窓３２及び散乱光用窓３３が設けてある。なお、レーザ光用窓の反対側の壁体３１に設けられた符号３４は、セル２を透過したレーザ光Ｌを減衰させて反射を抑制する光ストッパである。またこの実施形態では、レーザ光Ｌと散乱光Ｓとの光路を異ならせている（図１では各光路が直交するようにしている）が、合致するようにしても構わない。
【００２５】
光照射部４は、光源たる例えば半導体レーザ４１と、この半導体レーザから射出されるレーザ光Ｌを前記レーザ光用窓３２を介してセル２内部の光照射領域（例えば中央）に集光させるレーザ光案内機構４２とからなる。レーザ光案内機構４２は、例えば集光レンズ等から構成される。
【００２６】
受光部５は、光検出器である光電子倍増管（ＰＭＴ）５１と、散乱光用窓３３を通過した散乱光Ｓを前記光電子倍増管５１に導く散乱光案内機構５２とを備えたものである。光電子倍増管５１は、前述したように入射した光の光子数に応じたパルス信号を出力する。散乱光案内機構５２は、一対のピンホール間にレンズを配置したものである。
【００２７】
コリレータ６は、図２、図３、図４に示すように、パルス信号を受信し、パルス数をカウントするカウンタ６１と、前記カウンタ６１がカウントしたパルス数を受信するサンプリング部６２と、サンプリング部６２からの出力を受信し、所定時間順次遅延させる遅延部（シフトレジスタ）６３と、前記サンプリング部６２からの出力と前記遅延部６３により遅延された出力をチャネル毎に積和（乗算及び加算）演算を行う演算部６４と、前記各部のタイミング、データの入出力を制御する制御部６５と、を備えている。本実施形態では、各チャネル毎に、サンプリング部６２、遅延部６３及び演算部６４が設けられ、カウンタ６１は各チャネルに共通のものである。また、本実施形態の各チャネルのサンプリング時間と遅延時間とは同じ時間である。
【００２８】
カウンタ６１は、パルス信号を受信し、ゲートが開いている状態で受け付けたパルス数をカウントするものである。
【００２９】
サンプリング部６２は、カウンタからパルス数を示すパルス数データを受信するものであり、そのパルス数データを遅延部６３及び演算部６４に出力する。
【００３０】
受光部５からのパルス信号は、図２、図３に詳細に示すように、増幅器及び波形整形器１０１を介してカウンタ６１に入力される。カウンタ６１にはゲート（図示しない）が設けてあり、ゲートが開いている状態のときに、パルス信号を受け付けてそのパルス数をカウントする。
【００３１】
このゲートは、図５に示すように、制御部６５から送信されるカウンタコントロール信号によって開くタイミング、開いている時間Ｔ０がコントロールされる。
【００３２】
カウンタ６１がカウントしたパルス数は、順次サンプリング部６２及び遅延部６３に送信される。またその間にカウント数はリセットされる。なお、この実施形態でのゲートが開いている時間の最小値は例えば１０ｎｓである。
【００３３】
演算部６４は、特に図３に示すように、乗算器６４１と、累算器６４２と、を備えている。そして、演算部６４は、遅延部６３の各チャネルにシフトしつつ蓄えられていくパルス数データを、乗算器６４１により最新のパルス数データとそれぞれ掛け合わせ、さらにそれらを累算器６４２で積算して累算器６４２に自己相関データとして蓄えるものである。遅延部６３のシフトタイミング、乗算器６４１、累算器６４２の演算タイミング等の動作タイミングは、前記制御部６５からの動作タイミング信号によって制御される。
【００３４】
そして、制御部６５は、チャネル毎の遅延時間Ｔｎを設定するものであり、チャネルｎの遅延時間Ｔｎを、Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０、ここで、ｆｎ＝ａｎ−１×ｆｎ−１＋ａｎ−２×ｆｎ−２＋ａｎ−３×ｆｎ−３＋・・・＋ａ１×ｆ１、ａｉ＝｛０，１｝、ｉ＝ｎ−１，ｎ−２，・・・，１、（但し、ｆｎは、単位サンプリング時間Ｔ０で規格化されたｎチャネルの規格化サンプリング時間であり、ここでは、公比ｒが漸近的に１≦ｒ＜２に収束する整数列の等比数列であり、ｎはチャンネル数であり、Ｔ０は基本クロックにより定まる単位サンプリング時間を表す。）と設定する。
【００３５】
具体的に制御部６５は、図６に示すように、第一番目（ＣＨ１）の遅延時間Ｔ１をＴ０、第２番目（ＣＨ２）の遅延時間Ｔ２を２Ｔ０とすると、第３番目（ＣＨ３）の遅延時間Ｔ３は、３Ｔ０であり、第四番目（ＣＨ４）の遅延時間Ｔ５は、５Ｔ０となるように制御する。つまり、制御部６５は、第ｎ番目（ＣＨ（ｎ））の遅延時間Ｔｎを、以下の式により遅延時間を決定する。これは、遅延時間を、公比１．６１８の等比数列と見なすことを示している。
【００３６】
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０、
ｆｎ＝ｆｎ−１＋ｆｎ−２  （ｆｎは自然数）
【００３７】
このようなものであれば、例えば１００ｎｍの粒径の緩和時間が１ｍｓｅｃである場合、この粒子を測定するには、５ｍｓｅｃまでの自己相関関数が必要となり、Ｔ０＝５０ｎｓｅｃでサンプリングすると、従来のリニアサンプリングでは、１００，０００チャネル必要となるが、本実施形態では、２５チャネルで済む。
【００３８】
つまり、図４に示すように、ｎチャネルを有する遅延部６３において、フィボナッチ数列の関係にある番号のチャネルには、乗算器６４１及び累算器６４２が接続されており、フィボナッチ数列の関係にないチャネル（例えば、ＣＨ４やＣＨ６等）には、乗算器６４１や累算器６４２が接続されておらず、間引きされた構造となる。
【００３９】
なお、前記カウンタ６１から累算器６４２に至る構成は、入力信号が光子パルス数というデジタル値であるので、ディスクリート回路やプログラマブルロジック回路等を用いた全デジタルの構成が可能となり、信頼性、精度が高く、安価で小型化に適している。
【００４０】
算出部７は、所定のソフトウェアをインストールされたコンピュータ等の情報処理装置１０３がその役割を担う。この算出部７は、Ｎ回のカウントにより計測が終了して前記コリレータ６の累算器６４２に蓄えられた自己相関データをインタフェース１０２を介して取得し、既知の所定アルゴリズムにしたがって試料の粒径分布を算出する。算出結果は例えばディスプレイに表示される。
【００４１】
さらにこの情報処理装置１０３には、測定条件を最適化すべく、測定が期待される粒径、フローセル２を流れる試料の流速、粒子の濃度、色、屈折率等をパラメータとして、自動で或いはオペレータの入力指示によって指令信号を出力し、光照射部４を制御してレーザパワーをコントロールするとともに、制御部６５を制御してゲートの開いている時間や開くタイミングをコントロールする制御部本体１１を、ソフトウェアをインストールすることで、設けている。
【００４２】
＜第１実施形態の効果＞
【００４３】
このように構成した本実施形態に係る粒径分布測定装置１によれば、従来の指数サンプリング方式に比べて、データ点数を多く取ることができる。また、チャネル数が固定された場合には、最適な遅延時間に近い時間が表現でき、自己相関関数及び測定結果の精度の向上と回路の簡略化が図れる。さらに、自然数の遅延時間でサンプリングするので、パルス信号の欠落又は重複カウントが無い。これは、ランダム信号からブラウン運動による拡散係数の情報を得る光子相関法においては最重要な課題であり、特に希薄な測定対象の場合には決定的必要条件となる。また、装置を簡略化できるとともに、測定の自由度が広がるという効果もある。
【００４４】
＜第２実施形態＞
【００４５】
次に、本発明のコリレータを用いた粒径分布測定装置の第２実施形態について説明する。
【００４６】
本実施形態の粒径分布測定装置は、前記第１実施形態とは、コリレータにおいて遅延部６３の遅延時間が異なる。本実施形態の制御部６５は、遅延部６３の遅延時間Ｔｎをフィボナッチ数列以外の３項間の漸化式に基づいて設定するものである。
【００４７】
つまり、制御部６５は、以下の式により遅延時間を決定する。
【００４８】
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０、
ｆｎ＝ｆｎ−１＋ｆｎ−３  （ｆｎは自然数）
【００４９】
このとき、
ｆｎ＝ｆｎ−１＋ｆｎ−３
＝ｆｎ−１＋（１／ｒ）ｆｎ−２
＝ｆｎ−１＋（１／ｒ２）ｆｎ−１
＝（１＋１／ｒ２）ｆｎ−１
【００５０】
したがって、公比ｒの等比数列の要素ｆｎ−１、ｆｎ−３の加算で構成される数列は、ｒが、ｒ２（ｒ−１）−１＝０の正の実根ｒ１３（＝１．４６５６）を取るとき、ｆｎ＝ｆｎ−１＋ｆｎ−３は、公比ｒ１３（＝１．４６５６）の等比数列と見なすことができる。つまり、数列｛１，１，１，２，３，４，６，９，１３，１９，２８，４１，６０，８８，１２９，１８９，２７７，４０６，５９５，８７２，１２７８，…｝を得ることができる。
【００５１】
また、必要な公比ｒが、ｒ＝１．３の場合、ｒ＝１．３２５となる三項間漸化式の組み合わせとしては、ｆｎ＝ｆｎ−１＋ｆｎ−５と、ｆｎ＝ｆｎ−２＋ｆｎ−３とが候補となるが、初期値近傍が安定性及び収束の速さに影響するので、できるだけｆｎに近い項の漸化式が望ましい。
【００５２】
＜第３実施形態＞
【００５３】
次に、本発明のコリレータを用いた粒径分布測定装置の第３実施形態について説明する。
【００５４】
本実施形態の粒径分布測定装置は、前記第１実施形態とは、コリレータにおいて遅延部６３の遅延時間が異なる。本実施形態の制御部６５は、遅延部６３の遅延時間Ｔｎを４項間漸化式に基づいて設定するものである。
【００５５】
つまり、制御部６５は、以下の式により遅延時間Ｔｎを決定する。
【００５６】
Ｔｎ＝ｆｎ×Ｔ０、
ｆｎ＝ｆｎ−１＋ｆｎ−５＋ｆｎ−６  （ｆｎは自然数）
【００５７】
このようなものであれば、公比ｒは、１．４２に収束し、漸近的に公比ｒ＝√２を実現することができる。具体的には、数列｛１，１，１，１，１，１，３，５，７，９，１１，１５，２３，３５，５１，７１，９７，１３５，１９３，２７９，４０１，５６９，８０１，１１２９，…｝を得ることができる。この計算結果をそのままサンプリング時間としても良いし、また、その計算結果を用いて、実施のサンプリングに用いる数列を決定しても良い。つまり、数列｛１，１，１，１，１，１，３，５，７，９，１０，１６，２４，３６，５０，７２，１００，１３６，１９２，２８０，４００，５７０，８００，１１３０，…｝としても良い。
【００５８】
＜その他の変形実施形態＞
【００５９】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
【００６０】
例えば、前記実施形態では、本発明のコリレータシステムを動的散乱式粒径分布測定装置に適用したものであったが、その他にも、光子相関法を用いて試料等を分析する分析装置に適用することができ、また、自己相関関数を用いた分析装置にも適用することができる。
【００６１】
また、前記実施形態では、第１番目のチャネルの遅延時間Ｔ１をＴ０、第２番目の遅延時間Ｔ２を２Ｔ０としているが、その他にも、第２番目のチャネルの遅延時間Ｔ２を３Ｔ０として、遅延時間Ｔｎ（ｎ＝１，２，３，・・・）をＴ０、３Ｔ０、４Ｔ０、７Ｔ０、１１Ｔ０、１８Ｔ０、・・・、（ルーカス（Lucas）数列の関係）となるようにしても良い。
【００６２】
さらに、前記実施形態では、遅延時間は、全てフィボナッチ数列の関係になっているが、その他にも、第１番目〜第ｍ番目までの遅延時間Ｔｍをリニアに変えていき、第（ｍ＋１）番目〜第ｎ番目までの遅延時間Ｔｎをフィボナッチ数列の関係とすることもできる。これによって、ベースラインの確定精度が向上する。具体的には、第５０番目までリニアにサンプリング時間を変えていき、それ以降フィボナッチ数列の関係で遅延時間を変えていく場合には、１、２、３、４、５、・・・、４９、５０、９９、１４９、２４８、３９７、６４５、１０２４、・・・とすることができる。
【００６３】
加えて、第１番目〜第ｍ番目までの遅延時間Ｔｍをフィボナッチ数列の関係とし、第（ｍ＋１）番目〜第ｎ番目までの遅延時間Ｔｎを指数関数の関係とすることもできる。
【００６４】
また、マルチタウサンプリングのように、複数のチャネルでグループ化し、各グループ毎に公比ｒを変えても良い。
【００６５】
その上、前記実施形態では、サンプリング時間は、一定間隔をなすものであったが、指数関数的に増加させていくようにしても良い。
【００６６】
さらにその上、前記実施形態では、制御部６５は、遅延部６３による遅延時間を、フィボナッチ数列の関係に基づいて設定するものであったが、その他、カウンタ６１のゲートが開いているサンプリング時間をフィボナッチ数列の関係に基づいて設定するものであっても良い。
【００６７】
前記実施形態では、３項間、４項間の漸化式の例を示したが、その他５項間以上の漸化式であっても良い。
【００６８】
また、前記実施形態の漸化式は、一般解で解きやすい組み合わせが良い。例えば、ｆｎ＝ｆｎ−２＋ｆｎ−４、（ｆｎは自然数）等は、重根のため精度に依っては、ｒが不安定な場合が生じる。
【００６９】
また、前記実施形態では、カウンタ６１が１つであったが、複数のカウンタ６１を用いたものであっても良い。さらに、各チャネル毎に、カウンタ６１を設けても良い。これにより、遅延時間又はサンプリング時間の微調整が容易になる。
【００７０】
その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の一実施形態に係る粒径分布測定装置を示す模式全体図。
【図２】同実施形態におけるハードウエア構成を示すハードウエア構成図。
【図３】同実施形態における各チャネルの構成図。
【図４】同実施形態におけるハードウエア構成を示すハードウエア構成図。
【図５】同実施形態におけるゲート開閉を示すタイミングチャート。
【図６】同実施形態における各チャネルの遅延時間を示す図。
【符号の説明】
【００７２】
１・・・・粒径分布測定装置
４・・・・光照射部
５・・・・受光部
６・・・・コリレータ
６１・・・カウンタ
６２・・・サンプリング部
６３・・・シフトレジスタ
６４・・・演算部
６５・・・制御部
７・・・・算出部
Ｌ・・・・光（レーザ光）
Ｓ・・・・散乱光
【図１】
2008180691.tif 000003
【図２】
2008180691.tif 000004
【図３】
2008180691.tif 000005
【図４】
2008180691.tif 000006
【図５】
2008180691.tif 000007
【図６】
2008180691.tif 000008