(57)【要約】【課題】限られた空間に配置された場合であっても、十分な量の気体を、その温度上昇を効果的に抑制しつつ送風できる送風装置を提供する。【解決手段】筐体１０内において、各々の動力発生部２４を前記筐体１０の外側に向けつつ、送風方向に対して並列に配置される複数のブロワ２０を備えた送風装置１とする。【選択図】図１
2008196400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内において、各々の動力発生部を前記筐体の外側に向けつつ、送風方向に対して並列に配置される複数のブロワを備えた
ことを特徴とする送風装置。
【請求項２】
前記動力発生部は、その少なくとも一部が前記筐体の側壁を貫通して前記筐体外に露出している
ことを特徴とする請求項１に記載の送風装置。
【請求項３】
前記複数のブロワは、互いに対向するように配置された一対のブロワである
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の送風装置。
【請求項４】
前記一対のブロワの排気口は互い違いに配置されている
ことを特徴とする請求項３に記載の送風装置。
【請求項５】
前記複数のブロワの間に、前記複数のブロワの各々の吸入口と、前記筐体の上流側の外部と、を直接連絡する吸入路を備えた
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の送風装置。
【請求項６】
前記吸入路内に、前記複数のブロワの各々の吸入口をそれぞれ独立に、前記筐体の上流側の外部と直接連絡させるための仕切が設けられている
ことを特徴とする請求項５に記載の送風装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の送風装置と、
前記送風装置の上流側又は下流側の少なくとも一方側に設けられた気体を浄化するフィルタと、
を備えた
ことを特徴とする浄化気体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、送風装置に関し、特に、ブロワを備えた送風装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体を上流側から下流側に送るための送風装置は様々な態様で使用される。すなわち、例えば、空気中の微粒子や化学汚染物質を除去する浄化気体供給装置は、その一部として送風装置を備えている。この浄化気体供給装置としては、例えば、ファンフィルタユニット、空気清浄機、空調装置が挙げられる。
【０００３】
すなわち、例えば、半導体ウェハの処理装置においては、空気中の塩基性物質や酸性物質による当該処理装置内の好ましくない化学反応等を回避するため、当該処理装置外の空気から塩基性物質や酸性物質を除去し、浄化された空気を当該処理装置内に供給する装置が搭載される。
【０００４】
また、例えば、食品や医薬品等の製造工場においては、食品や医薬品の化学物質による汚染防止、工場内の異臭発生防止、除菌等の目的で、ファンフィルタユニットや空気清浄機が用いられる。また、例えば、一般家屋、病院等の施設においては、シックハウス症候群の予防、異臭発生防止、除菌等の目的で、空気清浄機や空気清浄機能を備えた空調装置が用いられる。
【０００５】
このような浄化気体供給装置は、目的に応じて様々な態様で設置されるが、その設置可能な空間が限られる場合もある。そこで、装置の薄型化を図ったものとして、従来、例えば、天井に吊り下げられるファンフィルタユニットであって、当該天井に対向しない外装体の側面にプレフィルタを設けたもの（特許文献１参照）や、扁平なパネル状のユニットの扁平面にプレフィルタを設けたファンフィルタユニット（特許文献２参照）があった。
【特許文献１】特開昭６２−２０２９４７号公報
【特許文献２】特許第３０６２６９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の装置においては、例えば、薄型化に伴って増加する装置内の送風抵抗に抗して十分な送風量を確保するために、より大型の送風機を採用する必要があるが、設置場所によっては十分な設置空間が得られない場合がある。また、送風時の圧力損失が大きい場合には、ブロワ等の静圧の高い条件で使用できる送風機を選定することが有効である。しかしながら、この場合、より大型の送風機を使用すると、そのモータ部分への電力供給量を増加させると、当該送風機の発熱量が増加するために、供給する浄化気体の温度が上昇してしまうといった問題があった。この温度上昇は、例えば、半導体製造装置等の化学反応を伴う空間に浄化気体を供給する場合において、当該化学反応に好ましくない影響を与える。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みて為されたものであって、限られた空間に配置された場合であっても、十分な量の気体を、その温度上昇を効果的に抑制しつつ送風できる送風装置を提供することをその目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の一実施形態に係る送風装置は、筐体内において、各々の動力発生部を前記筐体の外側に向けつつ、送風方向に対して並列に配置される複数のブロワを備えたことを特徴とする。こうすれば、送風装置が限られた空間に配置された場合であっても、十分な量の気体を、その温度上昇を効果的に抑制しつつ送風することができる。
【０００９】
また、前記動力発生部は、その少なくとも一部が前記筐体の側壁を貫通して前記筐体外に露出していることとしてもよい。こうすれば、送風装置から排出される気体の温度上昇をより効果的に抑制することができる。
【００１０】
また、前記複数のブロワは、互いに対向するように配置された一対のブロワであることとしてもよい。こうすれば、送風装置の構造を、限られた空間に配置する上でより好ましいものとすることができる。
【００１１】
また、前記一対のブロワの排気口は互い違いに配置されていることとしてもよい。こうすれば、各ブロワから排出される気体を当該各ブロワの下流側で効果的に混合することができる。
【００１２】
また、前記複数のブロワの間に、前記複数のブロワの各々の吸入口と、前記筐体の上流側の外部と、を直接連絡する吸入路を備えたこととしてもよい。こうすれば、気体がブロワと接触することによる汚染を効果的に回避することができる。
【００１３】
また、前記吸入路内に、前記複数のブロワの各々の吸入口をそれぞれ独立に、前記筐体の上流側の外部と直接連絡させるための仕切が設けられていることとしてもよい。こうすれば、各ブロワに均質な気体を吸入させることができる。
【００１４】
上記課題を解決するための本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置は、前記いずれかの送風装置と、前記送風装置の上流側又は下流側の少なくとも一方側に設けられた気体を浄化するフィルタと、を備えたことを特徴とする。こうすれば、浄化気体装置が限られた空間に配置された場合であっても、十分な量の浄化気体を、その温度上昇を効果的に抑制しつつ供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に、本発明の一実施形態に係る送風装置について説明する。図１は、本実施形態に係る送風装置１の平面図である。図２及び図３は、それぞれ送風装置１の左側面図及び右側面図である。図４及び図５は、それぞれ送風装置１の正面図（送風装置１を上流側から見た図）及び背面図（送風装置１を下流側から見た図）である。なお、図１は、送風装置１の上方を塞ぐ外壁を省略して、その内部を上方から見た場合について示している。また、以下においては、送風装置１に対を成して左右に設けられている部分を互いに区別する場合には、当該部分に番号と符号ａ，ｂとを付して説明し、特に区別する必要のない場合には、当該部分に番号のみを付して説明することとする。
【００１６】
図１〜図３に示すように、送風装置１は、直方体状の筐体１０に収納された２つのブロワ２０を備えている。この２つのブロワ２０は、送風装置１の上流側に向かって左側に配置された左ブロワ２０ａと右側に配置された右ブロワ２０ｂとから構成される。
【００１７】
ここで、各ブロワ２０は、回転軸２１周りに回転する円筒状のロータ２２を備え、当該ロータ２２を回転させることによって、当該回転軸２１方向に外部の気体を吸入するとともに、吸引した気体を当該ロータ２２の円周接線方向に排出する送風機である。
【００１８】
すなわち、このブロワ２０は、回転軸２１と、当該回転軸２１を中心に回転可能に支持されるロータ２２と、を内部に収納する本体２３と、当該ロータ２２を回転させるための動力を発生させる動力発生部２４と、を有している。
【００１９】
そして、回転軸２１方向における本体２３の一方側の面には、ブロワ２０外の気体を当該本体２３に吸入するための吸入口２５が形成されている。また、本体２３の一部からは、排出部２６がロータ２２の円周の接線方向に延び出している。この排出部２６の下流端面には本体２３に吸入された気体を排出するための排出口２７が形成されている。
【００２０】
動力発生部２４は、本体２３の吸入口２５が形成されている側と反対側の面から回転軸２１方向に突設されている。本実施形態において、この動力発生部２４は、その内部にコイルを備えた円筒状のモータ部分である。このコイルは不図示の配線を介して不図示の電源に接続されている。
【００２１】
そして、動力発生部２４は、不図示の電源から電力の供給を受けて、ロータ２２を回転軸２１周りに回転させるための動力を発生させることができる。この結果、ブロワ２０は、ロータ２２の回転に伴って発生する遠心力を利用して、吸入口２５から略回転軸２１方向に気体を吸入するとともに、吸入した気体を排出口２７から排出することができる。なお、図１〜図３に示す矢印Ｘの指す方向は、ブロワ２０による下流側への送風方向を示している。
【００２２】
送風装置１において、２つのブロワ２０は、送風方向に対して並列に配置されている。すなわち、２つのブロワ２０は、送風方向に略直交する送風装置１の幅方向において、その回転軸２１が略同一直線上に配置されるよう、互いに対向している。
【００２３】
また、各ブロワ２０は、筐体１０内において、その動力発生部２４が当該筐体１０の外側に向くよう配置されている。すなわち、一対のブロワ２０は、その吸入口２５が対向するよう配置されている。
【００２４】
更に、各ブロワ２０の動力発生部２４の先端側の一部は、筐体１０の送風方向に延びる側壁１１を貫通して当該筐体１０外に露出している。すなわち、動力発生部２４はその中途部分が側壁１１に接続されると共に、当該接続部分より先端部分は送風装置１外に突出して外気に晒されている。
【００２５】
また、筐体１０の側壁１１の外面には、この動力発生部２４の露出部分の外方を覆うように金属製のカバー１２が設けられている。このカバー１２は、不図示の孔が複数形成された板状部材から成形されたパンチングメタルである。
【００２６】
また、ブロワ２０の排出部２６の下流端は、筐体１０の下流端を塞ぐ下流壁１４に接続されている。そして、下流壁１４のうち左ブロア２０ａの排出口２７ａ及び右ブロア２０ｂの排出口２７ｂに対応する位置には、それぞれ開口が形成されている。すなわち、各ブロワ２０において気体が流通する内部は排出口２７を介して外部と連通している。
【００２７】
ここで、図２及び図３に示すように、一対のブロワ２０の排出部２６は、いずれも、その本体２３を動力発生部２４側から見た場合において同一の円周方向（図２、図３における時計回り方向）に延び出している。すなわち、一対のブロワ２０において、動力発生部２４の先端側から見た場合のロータ２２の回転方向は同一となっている。
【００２８】
そして、送風装置１においては、このような同一形状の２つのブロワ２０の一方を裏返して吸入口２５が向かい合うように配置することにより、当該ブロワ２０の排出口２７を互い違いに配置している。すなわち、図５に示すように、左ブロワ２０ａの排出口２７ａと、右ブロワ２０ｂの排出口２７ｂと、は下流壁１４において対角状に配置されるよう開口している。
【００２９】
また、送風装置１は、筐体１０の内部であって一対のブロワ２０の間に、当該一対のブロワ２０の各々の吸入口２５と、当該筐体１０の上流側の外部と、を直接連絡する吸入路３０を有している。すなわち、左ブロワ２０ａと右ブロワ２０ｂとは、吸入路３０を挟んで配置されるとともに、当該吸入路３０の下流側に連結されている。
【００３０】
吸入路３０は、送風装置１の送風方向に延びる左右一対の側壁３２を有している。この側壁３２は、筐体１０の上流端を塞ぐ上流壁１３の幅方向中央付近から下流側に延びて、一対のブロワ２０の吸入口２５が形成されている面にそれぞれ接続されている。そして、側壁３２のうち各ブロワ２０の吸入口２５に対応する部分には、吸入路３０に流入した気体を当該各ブロワ２０の本体２３内部に流出させるための図示しない流出口が形成されている。
【００３１】
一方、図４に示すように、吸入路３０の上流端であって、一対の側壁３２に挟まれた上流壁１３の一部には、筐体１０の上流側の外部から当該吸入路３０内に気体を流入させるための流入口３３が形成されている。
【００３２】
また、このような吸入路３０を設けることにより、筐体１０には、一対のブロワ２０を収納するブロワ室１５が形成されている。このブロワ室１５は、送風装置１内において気体が流れる通路とは隔絶された密閉空間となっている。
【００３３】
また、吸入路３０内には、一対のブロワ２０の各々の吸入口２５をそれぞれ独立に、筐体１０の上流側の外部と直接連絡させるための仕切４０が設けられている。この仕切４０は、吸入路３０の一対の側壁３２の中間において、筐体１０の上流壁１３から、当該一対の側壁３２の下流端を繋ぐ当該吸入路３０の奥壁３４まで、当該一対の側壁３２と平行に設けられている。
【００３４】
すなわち、仕切４０は、吸入路３０を左ブロワ２０ａ側と右ブロワ２０ｂ側とに等しく区画するよう設けられている。この結果、吸入路３０は、図１に示すように、仕切４０を介して一体的に設けられた、左ブロワ２０ａ及び右ブロワ２０ｂにそれぞれ固有の左流路３１ａ及び右流路３１ｂを有している。
【００３５】
このような送風装置１による送風を行う場合には、まず、各ブロワ２０の動力発生部２４に不図示の電源から電力を供給してロータ２２の回転を開始する。この結果、送風装置１外の気体は、筐体１０の上流壁１３に形成された流入口３３から吸入路３０に流入する。すなわち、外部の気体は、吸入路３０の左流入口３３ａ及び右流入口３３ｂから、それぞれ左流路３１ａ及び右流路３１ｂに流入する。
【００３６】
そして、左流路３１ａ及び右流路３１ｂに流入した気体は、吸入路３０の左側壁３２ａ及び右側壁３２ｂの下流側部分に形成された開口から、それぞれ左ブロワ２０ａの吸入口２５ａ及び右ブロワ２０ｂの吸入口２５ｂに吸入される。左ブロワ２０ａ及び右ブロワ２０ｂに吸入された気体は、それぞれの左排出部２６ａ及び右排出部２６ｂを通過して、筐体１０の下流壁１４に開口している左排出口２７ａ及び右排出口２７ｂから送風装置１外に排出される。
【００３７】
ここで、送風装置１においては、左ブロワ２０ａの動力発生部２４ａ及び右ブロワ２０ｂの動力発生部２４ｂが、それぞれ筐体１０の左側壁１１ａ及び右側壁１１ｂから外部に露出しているため、これら２つの動力発生部２４ａ，２４ｂの放熱を等しく且つ効果的に行うことができる。したがって、左ブロワ２０ａ及び右ブロワ２０ｂから排出される気体の温度上昇を効果的に抑制するとともに、排出される気体の温度を均一化することができる。
【００３８】
また、送風装置１は、吸入路３０を備えているため、当該送風装置１内に吸入された気体を、ブロワ２０の本体２３や動力発生部２４の外表面と接触させることなく、筐体１０の上流側から、当該吸入路３０及び当該ブロワ２０の内部を通って、当該筐体１０の下流側に直接送ることができる。すなわち、送風装置１においては、ブロワ２０が、その本体２３や動力発生部２４の外表面に接触したブロワ室１５内の気体を吸入することを効果的に回避することができる。したがって、送風装置１内において流通する気体のクリーン性を効果的に維持することができる。
【００３９】
また、送風装置１は、吸入路３０内に仕切４０を備えているため、左ブロワ２０ａと右ブロワ２０ｂとは、それぞれ左流路３１ａ及び右流路３１ｂを介して互いに独立に気体を吸入することができる。したがって、左ブロワ２０ａ及び右ブロワ２０ｂは、均質な気体を吸入することができる。
【００４０】
図６及び図７は、それぞれ本実施形態に係る浄化気体供給装置２（以下、「浄化装置２」という）の平面図及び左側面図である。この浄化装置２は、その一部として上述の送風装置１を備えている。すなわち、図６及び図７に示すように、浄化装置２は、上流側から順に、入口部５０、前室部６０、送風装置１、溜め部７０、胴部８０を直列的に連ねて構成され、当該胴部８０の下方側には出口部９０を備えている。
【００４１】
入口部５０は、浄化装置２の上流端部分であり、外部の気体を当該浄化装置２内に吸入する。この入口部５０は、浄化装置２の上流端を塞ぐように設けられた入口フィルタ５１を有している。この入口フィルタ５１は、浄化装置２に吸入される気体を浄化する。すなわち、入口部５０に吸入される気体は、入口フィルタ５１の内部を通過することによって浄化される。
【００４２】
浄化装置２において、この入口フィルタ５１は、平板状に成形されたケミカルフィルタである。このケミカルフィルタとしては、気体中の化学汚染物質を除去するものであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができるが、例えば、空隙を多く有する無機繊維を骨格とした構造体に、気体中の有機物を物理吸着する活性炭やゼオライト、酸性物質や塩基性物質が効果的に化学吸着するイオン交換樹脂、活性炭やゼオライト等の多孔質体に塩基性物質や酸性物質を担持した化学吸着剤等の機能剤を高密度に担持したものを好適に用いることができる。
【００４３】
前室部６０は、入口フィルタ５１と送風装置１とを所定の間隙で離隔するよう設けられている。前室部６０内の空間として形成された前室部内空６１には、入口フィルタ５１を通過した浄化気体が流入する。
【００４４】
送風装置１は、上流側から下流側に延びる浄化装置２の中途部分を構成している。筐体１０内の左ブロワ２０ａ及び右ブロワ２０ｂは、左流路３１ａ及び右流路３１ｂをそれぞれ介して前室部６０に連通するとともに、左排出口２７ａ及び右排出口２７ｂをそれぞれ介して溜め部７０に連通している。また、ブロワ室１５は密閉空間となっているため、前室部６０と溜め室７０とは、当該ブロワ室１５とは連通することなく、吸入路３０と各ブロワ２０の内部とを介して互いに連通している。
【００４５】
溜め部７０は、送風装置１と胴部８０とを所定の間隙で離隔するよう設けられている。この溜め部７０内の空間として形成された溜め部内空７１には、ブロワ２０から排出された気体が流入する。また、溜め部７０の下流端を塞ぐ下流壁７２には、溜め部内空７１に流入した気体を胴部８０に流入させるための図示しない開口が形成されている。この開口は、下流壁７２のうち、図５に示すように互い違いに配置された一対のブロワ２０の排出口２７から排出された気体が溜め部内空７１で効果的に混合された後に胴部８０に流出する上で好ましい位置に形成されている。
【００４６】
胴部８０は、溜め部７０から流入した気体を、浄化気体を供給すべき空間へ導く。胴部８０内の空間として形成された胴部内空８１には、溜め部７０から気体が流入する。
【００４７】
出口部９０は、胴部８０の下面８２の下流側の一部に設けられている。この出口部９０は、浄化装置２の下流端を塞ぐように設けられた出口フィルタ９１を有している。この出口フィルタ９１は、浄化装置２から排出される気体を浄化する。すなわち、出口部９０から排出される気体は、出口フィルタ９１の内部を通過することによって浄化される。
【００４８】
浄化装置２において、この出口フィルタ９１は、平板状に成形された集塵フィルタである。集塵フィルタとしては、目的に応じて気体中の所望の種類や大きさの粒子を除去できるものであれば特に限られず任意のものを選択して用いることができるが、例えば、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）やＵＬＰＡフィルタ（Ｕｌｔｒａ  Ｌｏｗ  Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）を好適に用いることができる。
【００４９】
図８は、このような浄化装置２を用いた浄化気体供給構造３（以下、「構造３」という）の一例についての説明図である。構造３においては、浄化された気体を供給すべき第一の部屋１００が、第二の部屋１１０内に設置されている。そして、浄化装置２は、第一の部屋１００を構成する外壁１０２の外面１０３と、第二の部屋１１０を構成する外壁１１２の内面１１３と、の間に配置されて、当該第一の部屋１００内に形成された空間である内空１０１に浄化された気体を供給する。
【００５０】
また、第一の部屋１００の外壁１０２の一部には、当該第一の部屋１００内に浄化された気体を供給するための開口１０４（以下、「供給口１０４」という）が形成されている。そして、浄化装置２は、その出口フィルタ９１が供給口１０４に重なるように位置合わせされる。この結果、浄化装置２の胴部内空８１と第一の部屋１００の内空１０１とは、出口フィルタ９１を介して連通する。
【００５１】
このような構造３において、浄化装置２から第一の部屋１００に浄化気体を供給するためには、まず、当該浄化装置２において、ブロワ２０を駆動させて送風を開始する。この結果、浄化装置２の入口部５０は、入口フィルタ５１を介して、第二の部屋１１０の内空１１１のうち第一の部屋１００外に存在する気体を吸入する。
【００５２】
このとき、吸入される気体に含まれる化学汚染物質は、ケミカルフィルタである入口フィルタ５１内を通過することによって除去される。そして、入口フィルタ５１によって浄化された気体は、前室部６０の内空６１に流入する。ここで、浄化装置２は、前室部６０を備えているため、気体が入口フィルタ５１の一部に偏って通過することを効果的に抑制できる。
【００５３】
次に、前室部６０に流入した浄化気体は、送風装置１の筐体１０の上流壁１３に開口する左流入口３３ａ及び右流入口３３ｂから、それぞれ左流路３１ａ及び右流路３１ｂに流入する。そして、左流入口３３ａ及び右流入口３３ｂに流入した気体は、それぞれ左ブロワ２０ａ及び右ブロワ２０ｂに吸入され、更に、筐体１０の下流壁１４に開口する左排出口２７ａ及び排出口２７ｂから溜め部７０の内空７１に排出される。
【００５４】
ここで、浄化装置２においては、送風装置１について上述したように、左ブロワ２０ａの動力発生部２４ａ及び右ブロワ２０ｂの動力発生部２４ｂが、それぞれ筐体１０の外部に露出しているため、当該送風装置１から排出される浄化気体の温度上昇を効果的に抑制するとともに、排出される浄化気体の温度を均一化することができる。
【００５５】
また、浄化装置２は、吸入路３０を備えているため、入口フィルタ５１によって浄化された気体を、ブロワ２０の本体２３や動力発生部２４の外表面と接触させることなく、前室部６０から当該ブロワ２０の内部を通って溜め部７０に直接送ることができるため、当該浄化装置２内において流通する気体のクリーン性を効果的に維持することができる。
【００５６】
また、浄化装置２は、吸入路３０内に仕切４０を備えているため、左ブロワ２０ａと右ブロワ２０ｂとは、それぞれ左流路３１ａ及び右流路３１ｂを介して互いに独立に均質な気体を吸入することができる。
【００５７】
また、浄化装置２において、左ブロワ２０ａの左排出口２７ａと右ブロワ２０ｂの右排出口２７ｂとは互い違いに配置されているため、各排出口２７ａ，２７ｂから排出された気体を溜め部７０で効果的に混合した後、均質な気体を下流側に送ることができる。
【００５８】
溜め部７０に流入した気体は、更に、当該溜め部７０の下流壁７２に形成された図示しない開口を介して、胴部８０の内空８１に流入する。そして、胴部内空８１に流入した気体は、最終的に、出口部９０から出口フィルタ９１を介して浄化装置２外に排出される。
【００５９】
このとき、胴部内空８１の気体に含まれる塵埃は、出口フィルタ９１内を通過することによって除去される。この出口フィルタ９１によって浄化された気体は、第一の部屋１００の供給口１０４を介して、当該第一の部屋１００の内空１０１に流入する。
【００６０】
このように、浄化装置２は、第一の部屋１００と第二の部屋１１０との間という限られた空間に配置することができるとともに、入口フィルタ５１及び出口フィルタ９１によって高度に浄化された十分量の気体を、その温度上昇を効果的に抑制しつつ、当該第一の部屋１００に供給することができる。
【００６１】
したがって、例えば、構造３において、第一の部屋１００が半導体や液晶等の製造装置である場合には、当該製造装置内で行われる化学反応に好ましくない影響を与えることなく、当該製造装置内に十分な量の浄化気体を安定して供給することができる。
【００６２】
［実施例］
次に、浄化装置２について具体的な例を説明する。本実施例においては、入口フィルタ５１として、板状に成形された有機ガス除去用ケミカルフィルタ（ケミカルガードＴＸ、ニチアス株式会社製）を備えた浄化装置２を用いた。このケミカルフィルタは、気体が吸入される外表面の寸法が２２０×２１０ｍｍ、厚さ（気体の流入方向の長さ）が７０ｍｍであった。また、ブロワ２０としては、送風性能が入力３５Ｗで風量１．２５ｍ３／分、回転数４８００ｒｐｍ、静圧５００Ｐａであるブロワ（ＤＣブラシレスファン、シナノケンシ株式会社）を用いた。また、出口フィルタ９１としては、ＵＬＰＡフィルタを用いた。このＵＬＰＡフィルタは、気体が排出される外表面の寸法が２１０×４４０ｍｍ、厚さ（気体の排出方向の長さ）が６５ｍｍであった。
【００６３】
また、比較の対照として、図９に示すように、２つのブロワ２０ａ，２０ｂの配置を除いて送風装置１に類似した送風部２１０を備えた対照装置２００を用いた。この送風部２１０が備える２つのブロワ２０ａ，２０ｂは、筐体２１１内において、当該筐体２１１の左右の側壁２１２ａ，２１２ｂに接触することなく、その動力発生部２４ａ，２４ｂを同一方向に向けて配置されている。すなわち、この対照装置２００において、左ブロワ２０ａは、その動力発生部２４ａを筐体２１１の内側、すなわち右ブロワ２０ｂ側に向けて配置されている。この対照装置２００において、入口フィルタ５１、ブロワ２０ａ，２０ｂ、出口フィルタ９１としては、浄化装置２と同じものを用いたが、当該入口フィルタ５１は筐体２１１の上流端を塞ぐように設けられ、送風部２１０には浄化装置２が備えるような吸入路３０は設けなかった。
【００６４】
そして、浄化の対象とする気体として空気を用い、浄化装置２及び対照装置２００のそれぞれについて、入口フィルタ５１によって浄化された空気の供給量（２つのブロワ２０ａ，２０ｂからの気体の排出量の合計）を２．８ｍ３／分とした場合における、当該入口フィルタ５１を通過する前の空気の温度（以下、「上流側温度」という）と、当該入口フィルタ５１によって浄化されブロワ２０から排出された空気の温度（以下、「下流側温度」という）と、を測定した。また、入口フィルタ５１の外表面の単位面積当たりの空気の吸入速度（以下、「面速」という）を、熱線風速計を用いて測定した。面側は、入口フィルタ５１の複数の位置で測定し、その最大値を最大面速、最小値を最小面速として評価した。なお、浄化装置２及び対照装置２００においてＵＬＰＡフィルタ９１の単位面積当たりから排出される浄化空気の面速は０．５ｍ／秒であった。
【００６５】
測定の結果、浄化装置２において、上流側温度は２０．２℃であり、下流側温度は２０．４℃であった。これに対し、対照装置２００においては、上流側温度は２０．５℃であり、下流側温度は２１．３℃であった。すなわち、浄化装置２においては、対照装置２００に比べて、２つのブロワ２０ａ，２０ｂを通過することによる温度上昇を効果的に抑制することができた。
【００６６】
また、入口フィルタ５１の最大面速及び最小面速は、浄化装置２において１．１１ｍ／秒及び０．８８ｍ／秒であったのに対し、対照装置２００においては１．２４ｍ／秒及び０．７５ｍ／秒であった。すなわち、浄化装置２においては、対照装置２００に比べて、入口フィルタ５１の外表面における面速の偏りを効果的に抑制することができた。
【００６７】
なお、本発明に係る送風装置、浄化気体供給装置、及び浄化気体供給構造は上述の例に限られない。すなわち、送風装置１において、ブロワ２０の動力発生部２４は、本体２３から筐体１０の外側に向いて設けられていれば、その少なくとも一部が筐体１０外に露出するものに限られず、例えば、その全体が当該筐体１０内に収納されるものであってもよい。この場合、例えば、動力発生部２４は、筐体１０内において、その先端が筐体１０の側壁１１の内面に接触するよう配置されれば、当該側壁１１を介して効果的に放熱することができる。
【００６８】
また、送風装置１が備える複数のブロワ２０は、筐体１０内において、各々の動力発生部２４を当該筐体１０の外側に向けつつ、送風方向に対して並列に配置されれば３つ以上であってもよい。また送風装置１が対向するブロワ２０を備える場合には、一対のブロワ２０のみを備えるものに限られず、例えば、対向するブロワ２０の対を２つ備えることとしてもよい。また、送風装置１は、複数のブロワ２０に共通のブロワ室１５を有するものに限られず、例えば、ブロワ２０を１つずつ収納するブロワ室１５を複数有してもよい。
【００６９】
また、吸入路３０は、仕切４０を有するものに限られない。この場合、例えば、一対のブロア２０が共通の吸入路３０を介して対向するよう配置され、各ブロア２０は、当該共通の流入路３０からそれぞれ気体を吸入することとなる。ただし、並列に配置された複数のブロワ２０の吸入口２５の一部が、他の吸入口２５よりも下流側に配置される場合には、仕切４０を設けて各ブロワ２０に固有の吸入路３０を形成することが好ましい。
【００７０】
また、当然ながら、送風装置１は、浄化気体供給装置２の一部として用いられるものに限られない。すなわち、例えば、送風装置１がダクト状の送風路の中途部分を塞ぐように設けられた場合には、当該送風装置１によって、当該送風路の上流側の気体を吸引して、当該送風路の下流側に排出する送風を行うことができる。
【００７１】
また、浄化気体供給装置２において、入口フィルタ５１としては、目的に応じて、任意の種類のものを用いることができ、例えば、気体中の酸性物資や塩基性物質等の化学汚染物質を吸着等によって除去できるケミカルフィルタ、気体中の異臭成分を吸着等によって除去できる脱臭フィルタ、気体中の化学汚染物質を分解除去できる触媒フィルタ等を用いることができる。この場合、入口フィルタ５１に用いられる機能剤として、例えば、活性炭、イオン交換樹脂、ゼオライト、光触媒、マンガン触媒、銅マンガン触媒等を用いることができる。また、入口フィルタ５１としては、例えば、気体中の所望の径の粒子を捕捉して除去できる集塵フィルタを用いることもできる。また、入口フィルタ５１としては、目的に応じて、任意の形状のものを用いることができ、例えば、ハニカム構造体、プリーツ構造体、ペレット、押し出し成形体、発泡体等を用いることができる。例えば、圧力損失が小さく汚染物質の除去寿命が長いという点から、入口フィルタ５１としてハニカム構造体を好適に用いることができる。
【００７２】
また、出口フィルタ９１としても、上述の入口フィルタ５１の場合と同様に、目的に応じて任意の種類及び形状のフィルタを用いることができる。また、入口フィルタ５１と出口フィルタ９１との組み合わせは、上述の例に限られず、目的に応じて任意のフィルタを適宜組み合わせて用いることができる。例えば、入口フィルタ５１としてハニカム構造体のケミカルフィルタを使用し、出口フィルタ９１としてプリーツ構造の除塵フィルタを使用する場合には、気体中の化学汚染物質及び塵埃を効果的に除去することができる。
【００７３】
また、上述の例では、入口フィルタ５１の下流側に出口フィルタ９１を１つ設けた２重の浄化構造について説明したが、送風装置１の上流側又は下流側の少なくとも一方に気体を浄化するフィルタを設けたものであればこれに限られず、例えば、送風装置１の上流側に入口フィルタ５１のみを備えて当該送風装置１の下流側に出口フィルタ９１を備えないものや、入口フィルタ５１を備えず出口フィルタ９１のみを備えるものであってもよく、また、３つ以上のフィルタを設けた３重以上の浄化構造を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施形態に係る送風装置の平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る送風装置の左側面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る送風装置の右側面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る送風装置の正面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る送風装置の背面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置の平面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る浄化気体供給装置の左側面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る浄化気体供給構造についての説明図である。
【図９】対照となる浄化気体供給装置についての説明図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  送風装置、２  浄化気体供給装置、３  浄化気体供給構造、１０  筐体、１１  側壁、１２  カバー、１３  上流壁、１４  下流壁、１５  ブロワ室、２０  ブロワ、２１  回転軸、２２  ロータ、２３  本体、２４  動力発生部、２５  吸入口、２６  排出部、２７  排出口、３０  吸入路、３１  流路、３２  側壁、３３  流入口、３４  奥壁、４０  仕切、５０  入口部、５１  入口フィルタ、６０  前室部、６１  前室内空、７０  溜め部、７１  溜め部内空、８０  胴部、８１  胴部内空、８２  胴部下面、９０  出口部、９１  出口フィルタ、１００  第一の部屋、１０１  内空、１０２  外壁、１０３  外面、１０４  供給口、１１０  第二の部屋、１１１  内空、１１２  外壁、１１３  内面、２００  対照装置、２１０  送風部、２１１  筐体、２１２  側壁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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