(57)【要約】【課題】  本発明は、磁気ヘッドスライダに関し、より詳細には主スライダを磁気ディスク表面と接触させ、その主スライダに弾性支持して低浮上を図った副スライダから構成する磁気ヘッドスライダに関する。  【解決手順】  本発明の磁気ヘッドスライダは、サスペンションの一端に設けられ磁気ディスクの表面と常時接触する主スライダと、主スライダより充分小さい形状と重量で主スライダに弾性支持され、磁気ディスク表面と所定の間隔を保つ副スライダと、副スライダに搭載され磁気ディスクに対し情報の読み書きを行なう磁気ヘッドからなるよう構成する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サスペンションの一端に設けられ、記録媒体である磁気ディスクの表面と接触する主スライダと、
前記主スライダより充分小さい形状と重量で該主スライダに弾性支持体により弾性支持され、前記磁気ディスク表面と所定の間隔を保つ副スライダと、
前記副スライダに搭載され、前記磁気ディスクに対し情報の読み書きを行なう磁気ヘッドと
を備えることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記弾性支持体は、前記副スライダをトラック方向、および回転方向に対して傾く変位を可能とする
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記主スライダの前記副スライダを弾性支持する面のトラックの外周方向と内周方向、および回転方向と逆回転方向の４つの位置に所定の大きさの第１の電極を形成し、
前記副スライダの前記主スライダの弾性支持される面に第２の電極を形成し、
前記第１の電極の４つの電極の内の指定された電極と、第２の電極との間に電圧を印加し、該電圧の印加に基づく両電極間の静電力により該副スライダを傾ける
ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
前記磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに記録された位置決め情報を読み取り、該位置決め情報に基づいて前記第１の電極のトラックの外周方向、または内周方向の電極と、第２の電極との間に電圧を印加し、該電圧の印加に基づく両電極間の静電力により前記副スライダを傾けてトラック方向の位置制御を行なう、
ことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
前記磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに記録された再生信号を読み取り、該再生信号の周波数成分により求めた該磁気ヘッドの浮上量に基づいて、前記第１の電極の回転方向、または逆回転方向の電極と、第２の電極とに電圧を印加し、該電圧の印加に基づく両電極間の静電力により前記副スライダを傾けて浮上量制御を行なう、
ことを特徴とする請求項３記載の磁気ヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダに関し、より詳細には主スライダを磁気ディスク表面と接触させ、その主スライダに弾性支持して低浮上を図った副スライダから構成する磁気ヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化は目ざましいものがあり、それに伴って磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドスライダと磁気ディスク表面の浮上間隙をより小さくすることが求められている。具体的には、磁気記録層の層厚の中心から磁気ヘッドまでのスペーシングは10nmにまで下げることが要求されるようになるものと考える。この条件を磁気ディスク表面から磁気ヘッドまでの間隙で表現すると3nm程度となり、この3nmの内の2nmはベースグライドハイトで磁気ディスク表面の粗さと考えると実質の浮上間隙は1nmということになる。
【０００３】
従来技術としての一般的な磁気ヘッドスライダについて図１１を用いて説明する。図１１（ａ）において、磁気ヘッドスライダ２０はサスペンション１０の先端に設けられ、その磁気ヘッドスライダ２０の端部には磁気ディスク３０に情報の読み書きを行なう磁気ヘッド２１を形成している。磁気ヘッドスライダ２０は、図９（ａ）に示すように磁気ディスク３０に対して所定の角度を回転方向とは逆の方向に傾斜させ、磁気ディスク３０の回転に伴って生じる空気流が磁気ヘッドスライダ２０の面に当たり揚力を発生し浮上するようにしている。
【０００４】
図１１（ｂ）は従来の磁気ヘッドスライダ２０の構造例を示したもので、左側の図は浮上面から見た構造を示し、右側の図はその側面である。磁気ヘッドスライダ２０の浮上面の空気流の流出側には前述した磁気ヘッド２１を薄膜プロセスにより形成している。この磁気ヘッド２１と磁気ディスク３０の間隙を介して情報の書込み、読出しを行っている。
【０００５】
また、磁気ヘッドスライダ２０の浮上面には、磁気ディスク表面と吸着することなく、安定した浮上姿勢が得られるようにレリーフパターン２２を形成することが行われている。これは、空気流がレリーフパターン２２によって制御され、磁気ヘッドスライダ２０の姿勢の安定化を図るものである。図１１（ｂ）では、レリーフパターン２２の上に更にパッド２３を形成している。このパッド２３は、レリーフパターン２２に較べて面積は充分小さく形成される。パッド２３が無い場合にはレリーフパターン２２と磁気ディスク３０とが吸着（ステックネス）する恐れがあり、吸着に関わる面を小さくすることで吸着を防止している。
【０００６】
磁気ヘッドスライダの浮上姿勢に関する提案として、磁気ヘッドスライダを主スライダと２次スライダとの２段構造とし、２次スライダをマイクロアクチュエータによりトラック方向に微小駆動させる提案がなされている。これにより、磁気ヘッドを搭載した２次スライダの垂直方向の変動を抑制することができ、安定した浮上姿勢をすることができるものである（特許文献１）。
【０００７】
また、上記提案の磁気ヘッドスライダを主スライダと２次スライダとする構造に類似するものとして、主スライダを浮上させ、その主スライダに副スライダを垂直に弾性支持し磁気ディスクに接触させる構造の提案もなされている（特許文献２）。
【特許文献１】特開２０００−２６８５１７号公報
【特許文献２】特許第３７４８９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記に示したように、磁気ディスク装置は大容量化し記録密度の向上とともに磁気ヘッドと磁気ディスク表面間の間隙をますます狭くすることが求められるようになってきている。このため、従来においても低浮上で浮上姿勢を安定に保つための試みがなされていが、磁気ヘッドと磁気ディスク表面の間隙が７ｎｍ以下にすると分子間力（ファン・デル・フールス力）の影響を受けるようになり、従来以上に安定した姿勢での低浮上化が難しくなってきている。
【０００９】
本発明は、これらの問題を解決するために分子間力の影響を少なくして低浮上で安定した浮上姿勢が得られる磁気ヘッドスライダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の磁気ヘッドスライダは以下のように構成される。
（１）第１の発明
第１の発明は、磁気ヘッドスライダを主スライダと副スライダ、および磁気ヘッドから構成する。
【００１１】
主スライダは、サスペンションの一端に設けられ、記録媒体である磁気ディスクの表面と常時接触する。
【００１２】
副スライダは、主スライダより充分小さい形状と重量であり、主スライダに弾性支持体により弾性支持され、磁気ディスク表面と所定の間隔を保つものである。即ち、副スライダは磁気ディスクから浮上している。
【００１３】
磁気ヘッドは、副スライダに搭載され、磁気ディスクに対し情報の読み書きを行なう。
【００１４】
以上の構成により、主スライダは磁気ディスク表面と同一基準にあって安定しており、その主スライダに副スライダが支持されるので浮上の姿勢は安定したものになる。
（２）第２の発明
第２の発明は、第１の発明の弾性支持体が副スライダをトラック方向、および回転方向に対して傾く変位を可能とするものである。即ち、副スライダが磁気ディスクのトラックの内周または外周の方向、および磁気ディスクの回転の順方向またはその逆方向に傾くことを可能としている。
【００１５】
この構成により主スライダが磁気ディスクと接触することによる摩擦力で粗いトラックに追従するものに対し、副スライダを細かく追従ができる。
（３）第３の発明
第３の発明は、第１の発明の主スライダの副スライダを弾性支持する面に、トラックの外周方向と内周方向、および回転方向と逆回転方向の４つの位置に所定の大きさの第１の電極を形成し、副スライダの主スライダの弾性支持される面に第２の電極を形成する（従って、主スライダと副スライダとに形成された電極は対向している）。この第１の電極の４つの電極の内の指定された電極と、第２の電極との間に電圧を与えて静電力により副スライダを傾けることを特徴とするものである。
【００１６】
この構成により、積極的にトラック方向と浮上方向の制御が可能となる。
（４）第４の発明
第４の発明は、第１の発明の磁気ヘッドが磁気ディスクに記録された位置決め情報を読み取り、その位置決め情報に基づいて第３の発明の第１の電極のトラックの外周方向、または内周方向の電極と、第２の電極とに電圧を印加し、両電極間の静電圧により副スライダを傾けてトラック方向の位置制御を行なう、ことを特徴とする。
【００１７】
この構成により、位置決め情報を用いることで正確なトラック位置の制御ができる。
（５）第５の発明
第５の発明は、第１の発明の磁気ヘッドが磁気ディスクに記録された再生信号を読み取り、その再生信号の周波数成分により求めた該磁気ヘッドの浮上量に基づいて、第１の電極の回転方向、または逆回転方向の電極と、第２の電極とに電圧を印加し、両電極間の静電気により副スライダを傾けて浮上量制御を行なう、ことを特徴とする。
【００１８】
この構成により、再生信号をもとに正確な浮上量の制御ができる。
【発明の効果】
【００１９】
第１の発明により、主スライダを磁気ディスク表面と接触させるため主スライダの姿勢は安定し、安定した主スライダに副スライダが支持されているため浮上姿勢が安定した磁気ヘッドスライダの提供ができる。また、副スライダは主スライダに較べて充分小さいため、分子間力の影響を小さくすることができる。
【００２０】
第２の発明により、弾性支持体が副スライダをトラック方向および回転方向に傾く変位を可能とするため、副スライダの傾きを利用して磁気ディスク上の細かな変動に対して追従ができる。
【００２１】
第３の発明により、主スライダと副スライダとの対向する面に電極を形成したので、両電極に電圧を印加することで副スライダを傾ける力を得ることができ、磁気ヘッドのトラック方向の位置と浮上の高さの制御が可能となる。
【００２２】
第４の発明により、磁気ディスクに書き込まれた位置情報をもとに主スライダと副スライダに形成した電極に電圧を与えることができ、磁気ヘッドの正確なトラック方向の位置制御ができる。
【００２３】
第５の発明により、磁気ディスクから読み込んだ再生信号から求めた周波数成分により磁気ヘッドの浮上量を正確に制御できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施例について図１から図９を用いて説明する。
【００２５】
まず、図１は磁気ヘッドスライダの全体構成を示すもので、上図は本発明の磁気ヘッドスライダ５０とサスペンション１０、および磁気ディスク３０との関係を示している。また、下図は磁気ディスク３０の面から見た磁気ヘッドスライダ５０の構成を示すものである。
【００２６】
図１の上図において、本発明の磁気ヘッドスライダ５０はサスペンション１０の先端に取り付けられ、その磁気ヘッドスライダ５０の磁気ディスク３０に対する面は磁気ヘッドスライダ５０の一部が磁気ディスク３０表面と接触している。詳細は後述するが、この磁気ディスク３０表面と接触している磁気ヘッドスライダ５０の部分は接触パッドであり、この接触パッドは図に示すように磁気ディスク３０の回転によって生ずる空気流の流出側に形成されたものである。
【００２７】
図１の下図において、磁気ヘッドスライダ５０が主スライダ１００と副スライダ２００、および弾性支持体３００の３つのパーツから構成することを示している。上述した接触パッドは主スライダ１００の一部分ということになる。
【００２８】
次に、図２から図４を用いて、磁気ヘッドスライダ５０を構成する主スライダ１００、副スライダ２００および弾性支持体３００のそれぞれの構造例を説明する。
【００２９】
図２は、主スライダ１００の構造例を示すもので、上図は主スライダ１００を横から見たもの、下図の左側は上図を下から見たもの、右側は左側の図を右から見たものである。
【００３０】
上図において、主スライダ１００には副スライダ２００を入れるための２段に形成した穴１１０を備えている。また、空気流の流入側の端部はテーパ１３０を設け、流出側には前述した接触パッド１２０を設けている。テーパ１３０の役割は接触パッド１２０が浮き上がったとき、空気流による浮力を受けて主スライダ１００の先端が磁気ディスク３０面と接触しないようにするためのものである。主スライダ１００は例えばアルチック材料で作成される。
【００３１】
下図の左側の図では、穴１１０の底面に形成した電極を示している。即ち、トラックの外周方向の電極１４１、内周方向の電極１４２、および空気流の流入側の電極１５１（回転方向と逆方向）、流出側の電極１５２（回転方向と順方向）の４つの電極を形成している。上記の４つの電極（１４１、１４２、１５１、１５２）は副スライダ２００の大きさ程度に納まっている。これらの電極には電圧印加のための配線がなされているが図示していない。
【００３２】
図３は、副スライダ２００の構造例を示すもので、図の配置は図２で示したものと同じである。
【００３３】
上図において、副スライダ２００は副スライダ本体２１０と、副スライダ本体２１０の磁気ディスク３０面の空気流の流入側に正圧パッド２２０、流出側に流出パッド２３０を形成している。正圧パッドは、副スライダ２００の流出側の後端が持ち上がったときに、空気圧を受けて磁気ディスク３０面と接触しないよう作用する。流出パッド２３０は拡大図に示すように２段に形成し、低い段の所に磁気ヘッド２４０形成している。仮に、副スライダ２００の流入側が持ち上がって流出パッド２３０の高い段の部分が磁気ディスク３０面に当たり、磁気ヘッド２４０が直接磁気ディスク３０面と接触することを避けている。副スライダ２００も主スライダ１００と同様、例えばアルチック材料で作成される。
【００３４】
図４は、弾性支持体３００の構造を示す例で、例えば銅やリン青銅の数十μ厚で作成され弾性を有している。弾性支持体３００の構造を中央から外に向かって名称とその機能を説明する。まず中央の四角形の部分は取付け部３１０で、副スライダ２００の本体２１０を接着剤等により固定する部分である。取付け部３１０に続く板状の細い部分は浮上バネ３２０で、固定した副スライダ２００を回転方向への傾きの変位を浮上バネの捻じりで可能とする。浮上バネ３２０は連結部３３０を介してトラックバネ３４０に連結している。トラックバネ３４０は副スライダ２００をトラック方向への傾きの変位をトラックバネ３４０の捻じりで可能とする。そして、トラックバネ３４０は枠部３５０へと連結している。枠部３５０は、主スライダ１００の２段に形成された穴１１０の段差部分で接着剤等により固定される。従って、弾性支持体３００は主スライダ１００と副スライダ２００とにそれぞれ固定され、副スライダ２００を浮上バネ３２０とトラックバネ３４０により傾く変位を可能とする役割を持つ。浮上バネ３２０とトラックバネ３４０の順番が逆になってもかまわない。
【００３５】
次に、上述した主スライダ１００と副スライダ２００、および弾性支持体３００の３つのパーツを組み合わせた状態と副スライダの傾き変位について図５と図６を用いて説明する。
【００３６】
図５は主スライダ１００に弾性支持体３００を介して副スライダ２００を組み込んだ状態を磁気ディスク３０の浮上面から見たものである。そして図６は断面から見た状態を示し、図６（ａ）は、図５に示されるＡ−Ａ’断面である。主スライダ１００に形成された穴１１０の段差部分に、弾性支持体３００の枠部分３５０が固定され、また、弾性支持体３００の取付け部３１０に副スライダ２００が固定されている状態を示している。穴１１０の底面に形成された電極１４１、１４２および１５１、１５２と弾性支持体３００との間は穴１１０の段差による間隙があり、副スライダ２００はθｐに示す傾きの変位が可能である。また、図６（ｂ）は図５に示されるＢ−Ｂ’断面で、Ａ−Ａ’断面と同様に副スライダ２００はθｒに示す傾きの変位が可能である。
【００３７】
本実施例では、副スライダ２００に形成する電極に代えて弾性支持体３００に図示しない配線によって電圧が印加できるようにしている。即ち、弾性支持体３００（その中でも取付け部３１０）を副スライダ２００の電極と兼務するようにしている。主スライダ１００に形成された電極（１４１、１４２および１５１、１５２）とこの弾性支持体３００間に直流電圧を印加することで静電力で副スライダ２００を回転する力が働き、浮上バネ３２０あるいはトラックバネ３４０の捻じれにより、結果として副スライダ２００が傾く。例えば、θｒを外周方向に傾けたければ、弾性支持体３００に＋電圧を与え、主スライダの電極１４１に−の電圧を与えることでこの間に吸着力が生じ、トラックバネ３４０を中心に回転する力が働いて副スライダ２００が傾むくことになる。この傾きを反対にしたい場合は、主スライダの電極１４２と弾性支持体３００間に同様の電圧を与えれば良い。傾きの角度は印加電圧の大きさを変えることで制御できる。
【００３８】
副スライダ２００を磁気ディスク３０の流入側あるいは流出側に傾けるには（即ち、θｐを変化させる）、主スライダ１００の電極１５１あるいは１５２と弾性支持体に電圧をかけることで同様に傾けることができる。
【００３９】
次に、上述した副スライダ２００の傾きを基に、トラック方向と高さ方向（浮上）に対する位置制御について概要を説明する（詳細は、トラック位置決め制御に関しては特開平６−２３１５５３、浮上制御に関しては特許２００５−３４８３５６を参照。いずれも、本発明の出願人による）。
【００４０】
図７は、トラック方向の位置制御の構成例を示すもので、本発明の磁気ヘッドスライダ５０を設けたサスペンション１０、そのサスペンション１０を支持するアーム４００、さらにアーム４００を駆動するＶＣＭ（ボイス・コイル・モーター）４１０を配置している。磁気ヘッドスライダ５０には前述した副スライダ２００に磁気ヘッド２４０を搭載している。このような配置の下で、ＶＣＭを駆動するＶＣＭ制御５００と副スライダ２００の傾きを制御する副スライダ制御５１０の二重サーボ系を持つトラック位置決め制御を行なう。
【００４１】
図８に、図７の配置に基づいたトラック制御のブロック図を示す。まず、磁気ディスク３０上書き込まれている位置決め情報（セクタサーボ情報）を磁気ヘッド２４０から読み込み、この位置決め情報をＶＣＭ制御５００と副スライダ制御５１０とに与える。ＶＣＭ制御５００からは、この位置決め情報の入力に基づいてＶＣＭを制御する指示電流を、副スライダ制御５１０からは副スライダ２００の傾きを制御する指示電圧が出力される。指示電流によりＶＣＭの回転駆動が、指示電圧によりトラック方向の傾き駆動が行なわれ、それぞれに駆動した和が磁気ヘッド２４０の移動量となる。これをフィードバックすることでトラックの位置を制御することができる。
【００４２】
図９は、高さ制御の構成例を示すもので、磁気ヘッドスライダ５０、サスペンション１０、アーム４００およびＶＣＭ５００の配置はトラック位置決め制御の図７と同じである。
【００４３】
図１０は、図９の配置に基づいた浮上制御のブロック図を示す。副スライダ２００に搭載した磁気ヘッド２４０から再生信号を読み取り、再生信号にＦＦＴ（Fast Fourier Transform）５２０をかけて周波数成分にする。周波数成分にした再生信号に対して１次成分／３次成分の比を求め、浮上量に換算しこれを浮動情報とする。この浮上情報を副スライダ制御５３０に入力して出力された指示電圧で副スライダ２００の傾きの制御を駆動する。駆動した磁気ヘッドの移動量（浮上量）に対してフィードバックをかけることで、浮上制御を行なうことができる。
【００４４】
以上の実施例に関し、さらに以下の付記を開示する。
（付記１）
サスペンションの一端に設けられ、記録媒体である磁気ディスクの表面と接触する主スライダと、
前記主スライダより充分小さい形状と重量で該主スライダに弾性支持体により弾性支持され、前記磁気ディスク表面と所定の間隔を保つ副スライダと、
前記副スライダに搭載され、前記磁気ディスクに対し情報の読み書きを行なう磁気ヘッドと
を備えることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
（付記２）
前記弾性支持体は、前記副スライダをトラック方向、および回転方向に対して傾く変位を可能とする
ことを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記３）
前記主スライダの前記副スライダを弾性支持する面のトラックの外周方向と内周方向、および回転方向と逆回転方向の４つの位置に所定の大きさの第１の電極を形成し、
前記副スライダの前記主スライダの弾性支持される面に第２の電極を形成し、
前記第１の電極の４つの電極の内の指定された電極と、第２の電極との間に電圧を印加し、該電圧の印加に基づく両電極間の静電力により該副スライダを傾ける
ことを特徴とする付記１または付記２記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記４）
前記磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに記録された位置決め情報を読み取り、該位置決め情報に基づいて前記第１の電極のトラックの外周方向、または内周方向の電極と、第２の電極との間に電圧を印加し、該電圧の印加に基づく両電極間の静電力により前記副スライダを傾けてトラック方向の位置制御を行なう、
ことを特徴とする付記３記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記５）
前記磁気ヘッドは、前記磁気ディスクに記録された再生信号を読み取り、該再生信号の周波数成分により求めた該磁気ヘッドの浮上量に基づいて、前記第１の電極の回転方向、または逆回転方向の電極と、第２の電極とに電圧を印加し、該電圧の印加に基づく両電極間の静電力により前記副スライダを傾けて浮上量制御を行なう、
ことを特徴とする付記３記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記６）
前記主スライダの前記磁気ディスクと対向する面の空気流出側に接触パッドを形成し、該接触パッドが該磁気ディスクと接触している
ことを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記７）
前記副スライダは、前記磁気ディスクと対向する面の空気流入側に正圧パッドを形成し、流出側に磁気ヘッドを搭載した流出パッドを形成した
ことを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記８）
前記副スライダの第２の電極は、該副スライダを弾性支持している弾性支持体が電極を兼ねる
ことを特徴とする付記３記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記９）
前記副スライダの流出パッドは、段差を形成し、該段差の低い位置に磁気ヘッドを形成する
ことを特徴とする付記７記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記１０）
前記弾性支持体は前記副スライダに対してジンバル構造を成す
ことを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダ。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の磁気ヘッドスライダの全体構成である。
【図２】主スライダの構造例である。
【図３】副スライダの構造例である。
【図４】弾性支持体の構造例である。
【図５】主スライダへの副スライダの弾性支持例（その１）である。
【図６】主スライダへの副スライダの弾性支持例（その２）である。
【図７】トラック方向の位置制御例（その１）である。
【図８】トラック方向の位置制御例（その２）である。
【図９】高さ方向の位置制御例（その１）である。
【図１０】高さ方向の位置制御例（その２）である。
【図１１】従来の磁気ヘッドスライダ例である。
【符号の説明】
【００４６】
１０    サスペンション
２０    磁気ヘッドスライダ
２１    磁気ヘッド
２２    レリーフパターン
２３    パッド
３０    磁気ディスク
５０    磁気ヘッドスライダ
１００  主スライダ
１１０  穴
１２０  接触パッド
１３０  テーパ
１４１  電極
１４２  電極
１５１  電極
１５２  電極
２００  副スライダ
２１０  副スライダ本体
２２０  正圧パッド
２３０  流出パッド
２４０  磁気ヘッド
３００  弾性支持体
３１０  取付け部
３２０  浮上バネ
３３０  連結部
３４０  トラックバネ
３５０  枠部
４００  アーム
４１０  ＶＣＭ
５００  ＶＣＭ制御
５１０  副スライダ制御
５２０  ＦＦＴ
５３０  副スライダ制御
【図１】
2008065861.tif 000003
【図２】
2008065861.tif 000004
【図３】
2008065861.tif 000005
【図４】
2008065861.tif 000006
【図５】
2008065861.tif 000007
【図６】
2008065861.tif 000008
【図７】
2008065861.tif 000009
【図８】
2008065861.tif 000010
【図９】
2008065861.tif 000011
【図１０】
2008065861.tif 000012
【図１１】
2008065861.tif 000013