(57)【要約】【課題】漏れ検査において、漏出したトレーサガスの一様な分布を得ることによってトレーサガスの濃度測定誤差を縮小する。【解決手段】漏れ検査方法が、検査対象物２を検査チャンバ３内に配置する第１の工程と、検査対象物内の空間２ａにトレーサガスを前記検査チャンバ内の空間３ａの圧力よりも高い所定の圧力で封入する第２の工程と、検査チャンバ内の空間３ａを第１の所定時間撹拌する第３の工程と、前記検査チャンバ内の空間３ａと検査対象物内の空間２ａとの間の圧力差を解消するように、検査対象物内の空間２ａからトレーサガスを放出する第４の工程と、検査チャンバ内の空間３ａを第２の所定時間撹拌する第５の工程と、前記検査対象物２から漏れ出たトレーサガスの濃度Ｐを測定する第６の工程とを含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
順次実施される以下の工程、即ち
検査対象物（２）を検査チャンバ（３）内に配置する第１の工程と、
前記検査対象物内の空間（２ａ）にトレーサガスを前記検査チャンバ内の空間（３ａ）の圧力よりも高い所定の圧力で封入する第２の工程と、
前記検査チャンバ内の空間（３ａ）を第１の所定時間撹拌する第３の工程と、
前記検査チャンバ内の空間（３ａ）と前記検査対象物内の空間（２ａ）との間の圧力差を解消するように、前記検査対象物内の空間（２ａ）からトレーサガスを放出する第４の工程と、
前記検査チャンバ内の空間（３ａ）を第２の所定時間撹拌する第５の工程と、
前記検査対象物（２）から漏れ出たトレーサガスの濃度（Ｐ）を測定する第６の工程と、を含むことを特徴とする漏れ検査方法。
【請求項２】
前記検査対象物（２）を前記検査チャンバ（３）内に配置する前記第１の工程と、前記検査対象物内の空間（２ａ）にトレーサガスを封入する前記第２の工程との間に、前記検査チャンバ（３）内のトレーサガス濃度の基準値（Ｐ0）を測定する工程を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載の漏れ検査方法であって、
漏れ検査の合否が、前記トレーサガス濃度の測定された基準値（Ｐ0）と前記第６の工程で測定されたトレーサガスの濃度（Ｐ）との差により判定される漏れ検査方法。
【請求項３】
前記第３の工程及び前記第５の工程において、前記検査チャンバ（３）内の気体が、前記検査チャンバ（３）内に配置されたファン（６）により撹拌されることを特徴とする、請求項１〜２のいずれか一項に記載の漏れ検査方法。
【請求項４】
前記検査チャンバ内の空間（３）にそれぞれ開口した一端側の流入口（２５ａ）及び他端側の流出口（２５ｂ）を有する管路からなる循環路（２５）にして、該循環路（２５）の途中に送風機（２６）を備える循環路（２５）が連結された検査チャンバ（３）を用いる、請求項１又は２に記載の漏れ検査方法であって、
前記第３の工程及び前記第５の工程において、前記送風機（２６）が作動されて、前記検査チャンバ（３）内の気体が、前記循環路（２５）を流通することによって撹拌されることを特徴とする、漏れ検査方法。
【請求項５】
前記検査チャンバ内の空間（３ａ）を第１の所定時間撹拌する前記第３の工程に替えて、前記検査対象物（２）を第１の所定時間放置する工程を含むこと、及び前記検査チャンバ内の空間（３ａ）を第２の所定時間撹拌する前記第５の工程に替えて、前記検査対象物（２）を第２の所定時間放置する工程を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の漏れ検査方法。
【請求項６】
前記検査チャンバ内の空間（３ａ）を第１の所定時間撹拌する前記第３の工程に替えて、前記検査対象物（２）を第１の所定時間放置する工程を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の漏れ検査方法。
【請求項７】
前記検査チャンバ内の空間（３ａ）の圧力がほぼ大気圧であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の漏れ検査方法。
【請求項８】
前記検査対象物（２）を配置する前記第１の工程の次に、前記検査チャンバ内の空間（３ａ）をほぼ大気圧の乾燥空気又は窒素で充填する工程を更に含むことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の漏れ検査方法。
【請求項９】
トレーサガスを放出する前記第４の工程に替えて、前記検査対象物内の空間（２ａ）からトレーサガスをほぼ真空になるまで排気した後、前記検査チャンバ内の空間（３ａ）と前記検査対象物内の空間（２ａ）との間の圧力差を解消するように、前記検査対象物内の空間（２ａ）に空気又は窒素を封入する工程を含むことを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の漏れ検査方法。
【請求項１０】
請求項１、２、３、５、６、７、及び９のいずれか一項に記載の漏れ検査方法を実施するための漏れ検査装置（１）であって、
検査対象物（２）を収容する密閉可能な検査チャンバ（３）と、前記検査チャンバ内の空間（３ａ）を撹拌するファン（６）と、トレーサガス検出器（４）とを具備するとともに、
前記検査対象物内の空間（２ａ）の減圧、及び該空間（２ａ）へのトレーサガスの封入、及び封入されたトレーサガスの大気への放出を可能にするように構成されていることを特徴とする漏れ検査装置（１）。
【請求項１１】
請求項８に記載の漏れ検査方法を実施するための、請求項１０に記載された漏れ検査装置（２００）であって、
さらに、前記検査チャンバ内の空間（３ａ）の減圧、及び前記検査チャンバ内の空間（３ａ）への乾燥空気又は窒素の封入を可能にするようにも構成されていることを特徴とする漏れ検査装置（２００）。
【請求項１２】
請求項１、２、４、５、６、７、及び９のいずれか一項に記載の漏れ検査方法を実施するための漏れ検査装置（１００）であって、
検査対象物（２）を収容する密閉可能な検査チャンバ（３）と、前記検査チャンバ内の空間（３ａ）にそれぞれ開口する一端側の流入口（２５ａ）及び他端側の流出口（２５ｂ）を有する循環路（２５）にして、該循環路の途中に設けられた送風機（２６）を備える循環路（２５）と、トレーサガス検出器（４）とを具備するとともに、
前記検査対象物内の空間（２ａ）の減圧、及び該空間（２ａ）へのトレーサガスの封入、及び封入されたトレーサガスの大気への放出を可能にするように構成されていることを特徴とする漏れ検査装置（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばヘリウムガス等のトレーサガスを用いて、気密空間を有する検査対象物の気密性を検査する漏れ検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、所定の気密性が要求される空間を有する製品を工場にて製造した場合にはその気密性を検査する必要がある。この検査の方法の一つとして、検査対象物を検査チャンバ内に配置した後、その検査対象物の内部空間にヘリウム、アルゴン、又は水素等からなるトレーサガスを加圧封入し、検査対象物から検査チャンバ内に漏れ出たトレーサガスを検出することで合否判定を行う漏れ検査方法がある。
【０００３】
このような漏れ検査を行う場合、漏れ出たトレーサガスを検出する空間の圧力、つまり検査チャンバ内の圧力によって検出力と設備コストに差が生じる。例えばトレーサガスとしてヘリウムを使用する場合、真空下で検出すれば漏れ出たヘリウム以外のヘリウムが少ない中で測定できるので高感度であるが、真空室または真空ポンプのための設備費用の負担が増える。これに対して大気圧下で検出する場合には感度では劣るものの設備費用の負担が少ないという利点がある。この大気圧下の検出を実施する場合、例えば以下の三点に留意する必要がある。
（１）感度を確保するために漏れ出たトレーサガスを蓄積して濃度を高めること。
（２）漏れ出たトレーサガスの移動が他のガスに制限されるため、検査チャンバ内の空間を撹拌して濃度の均一化をはかること。
（３）漏れ出たトレーサガスの移動が他のガスに制限されるため、積極的に測定器までガスを移送すること。
【０００４】
大気圧下で検出する方法の例として、特許文献１及び特許文献２が知られている。特許文献１には、トレーサガスが漏れ出て混入した検査チャンバ内のガスを一定時間拡散及び撹拌する工程と、そのガスを検査チャンバから測定器に引き込んで測定を行う気密検査方法が記載されている。特許文献２には、トレーサガスが漏れ出て混入した検査チャンバ内のガスを所定の時間にわたって検査チャンバに連結された循環路を循環させることで検査チャンバ内の気体を撹拌した後循環路に設けた測定器で測定を行う漏れ検査方法が記載されている。どちらの方法においても、検査対象物内に封入されたトレーサガスは、撹拌及び測定の後で検査対象物から排出される。これはトレーサガス漏出時間又は蓄積時間を延ばして濃度を高めるほど小さな漏れを検知できるという発想の結果であると考えられる。また、同様の発想を有する漏れ検査方法が特許文献３にも記載されている。
【０００５】
ところで、トレーサガスの同じ漏れ量であれば検査対象物のどこから漏れても同じ濃度測定値が得られることが望ましい。そのために、前記特許文献１及び２に記載された方法では撹拌を行っているのであるが、撹拌中においてもトレーサガスの漏れは発生するので検査チャンバ内におけるトレーサガスの一様な分布を得ることはできていない。その結果、例えば測定器への移送口又は循環路の入り口に近い部分が高濃度であれば測定値は高くなり、低濃度であれば測定値は低くなるので、同じ漏れ量であっても測定値に差が生じてしまう。なお、検査チャンバ内を真空にして検出する場合においても、真空の程度に応じてガスの移動が妨げられるため、程度の違いはあるがトレーサガスの濃度分布は発生する。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−２２１９５０号公報
【特許文献２】特開平１０−３００６２６号公報
【特許文献３】特開２００３−２４０６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前述した従来技術の課題に鑑みてなされたもので、その目的は、漏れ検査において、漏出したトレーサガスの一様な分布を得ることによってトレーサガスの濃度測定誤差を縮小することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を達成するための技術的手段として、特許請求の範囲の各請求項に記載の漏れ検査方法及び装置を提供する。
【０００９】
請求項１に記載の漏れ検査方法は、順次実施される以下の工程、即ち、検査対象物（２）を検査チャンバ（３）内に配置する第１の工程と、検査対象物内の空間（２ａ）にトレーサガスを検査チャンバ内の空間（３ａ）の圧力よりも高い所定の圧力で封入する第２の工程と、検査チャンバ内の空間（３ａ）を第１の所定時間撹拌する第３の工程と、検査チャンバ内の空間（３ａ）と検査対象物内の空間（２ａ）との間の圧力差を解消するように、検査対象物内の空間（２ａ）からトレーサガスを放出する第４の工程と、検査チャンバ内の空間（３ａ）を第２の所定時間撹拌する第５の工程と、検査対象物（２）から漏れ出たトレーサガスの濃度（Ｐ）を測定する第６の工程とを含むことを特徴としている。
【００１０】
これにより、第４の工程において検査対象物（２）からトレーサガスが放出されて、検査チャンバ内の空間（３ａ）との圧力差が解消されるので、第４の工程より後の工程中に検査対象物２から検査チャンバ内の空間（３ａ）へのトレーサガスの漏れ出しはほぼゼロになる。したがって第５の工程において所定時間撹拌すれば検査チャンバ内の空間（３ａ）はトレーサガスが一様に分布した状態となる。
【００１１】
請求項２に記載の漏れ検査方法は、検査対象物（２）を検査チャンバ（３）内に配置する第１の工程と、検査対象物内の空間（２ａ）にトレーサガスを封入する第２の工程との間に、検査チャンバ（３）内のトレーサガス濃度の基準値（Ｐ0）を測定する工程を更に含むことを特徴とし、漏れ検査の合否が、トレーサガス濃度の測定された基準値（Ｐ0）と第６の工程で測定されたトレーサガスの濃度（Ｐ）との差により判定される。
【００１２】
これにより、トレーサガスを封入する第２の工程以前に既に検査チャンバ内の空間（３ａ）に含まれていたトレーサガスはキャンセルされるのでより精度の高い測定が可能になる。
【００１３】
請求項３に記載された漏れ検査方法は、第３の工程及び第５の工程において、検査チャンバ（３）内の気体が、検査チャンバ（３）内に配置されたファン（６）により撹拌されることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載された漏れ検査方法は、検査チャンバ内の空間（３）にそれぞれ開口した一端側の流入口（２５ａ）及び他端側の流出口（２５ｂ）を有する管路からなる循環路（２５）にして、該循環路（２５）の途中に送風機（２６）を備える循環路（２５）が連結された検査チャンバ（３）を用い、第３の工程及び第５の工程において、送風機（２６）が作動されて、検査チャンバ（３）内の気体が、循環路（２５）を流通することによって撹拌されることを特徴としている。
【００１５】
請求項５に記載された漏れ検査方法は、検査チャンバ内の空間（３ａ）を第１の所定時間撹拌する第３の工程に替えて、検査対象物（２）を第１の所定時間放置する工程を含むこと、及び検査チャンバ内の空間（３ａ）を第２の所定時間撹拌する第５の工程に替えて、検査対象物（２）を第２の所定時間放置する工程を含むことを特徴としている。この発明では、検査チャンバ内の空間（３ａ）に漏れ出たトレーサガスは、自然に拡散することによって一様に分布する。これにより、撹拌用のファン（６）が不要となる。
【００１６】
請求項７に記載の漏れ検査方法は、検査チャンバ内の空間（３ａ）の圧力がほぼ大気圧であることを特徴としている。これにより、検査チャンバ内の空間（３ａ）を減圧するための真空ポンプ等の設備が不要になることはもちろん、減圧に要する工程時間が不要となる。また、本発明では、漏れ出たトレーサガスの一様な分布が得られるのでこのように大気圧下においても高精度な測定が可能となる。
【００１７】
請求項８に記載の漏れ検査方法は、検査対象物（２）を配置する第１の工程の次に、検査チャンバ内の空間（３ａ）をほぼ大気圧の乾燥空気又は窒素で充填する工程を更に含むことを特徴としている。このように検査チャンバ内の空間（３ａ）をあらかじめ乾燥空気で置換しておくことによって、ノイズとなるガスが低減されて測定感度が向上するという効果が得られる。
【００１８】
請求項９に記載の漏れ検査方法は、トレーサガスを放出する第４の工程に替えて、検査対象物内の空間（２ａ）からトレーサガスをほぼ真空になるまで排気した後、検査チャンバ内の空間（３ａ）と検査対象物内の空間（２ａ）との間の圧力差を解消するように、検査対象物内の空間（２ａ）に空気又は窒素を封入する工程を含むことを特徴としている。これにより、第２の所定時間撹拌する第５の工程中にトレーサガスが漏れ出すことを完全に防ぐことができる。
【００１９】
請求項１０〜１２に記載の発明は、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法の発明を実施する漏れ検査装置の発明であり、その作用効果は前述の方法の発明と同様である。
【００２０】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施例に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施例について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
（第１の実施例）
第１の実施例の漏れ検査方法を説明する前に、この方法の実行に用いる漏れ検査装置をその概念図である図１を参照して説明する。図１に示される漏れ検査装置１は、トレーサガスとしてヘリウムガスを用いるものであり、検査対象物２を収容する検査チャンバ３、ヘリウムリークディテクタ４、検査チャンバ３内の気体を移送するための移送ポンプ５、検査チャンバ３内の底部に配置された撹拌用のファン６、検査対象物２に管路で接続される真空ポンプ７、ヘリウムガス供給源への接続口８、並びに第１大気開放口９及び第２大気開放口１０を備えている。なお、本明細書においては、検査チャンバ３内の空間を「検出側空間３ａ」とも呼ぶ。
【００２３】
検査チャンバ３には、図示されないが開閉可能な蓋が備えられていて、この蓋を閉めることにより内部の空間はほぼ密閉される。また前記移送ポンプ５は検査チャンバ３から延びる移送管路１１の端に配設されていて、この移送管路１１はこの管路の開閉のための第１開閉弁１２も備えている。ヘリウムリークディテクタ４のスニファプローブ１３が移送ポンプ５と第１開閉弁１２との間の移送管路１１に装着されていて、移送ポンプ５が作動されたとき検査チャンバ３内の気体が移送管路１１を通ってスニファプローブ１３からヘリウムリークディテクタ４へ導かれる。なお、本実施例の装置ではスニファプローブ１３が用いられているが、気体を絞る機能を有するものであればスニファプローブ１３でなくともよい。
【００２４】
図１の漏れ検査装置１は、図示しない管継手によって検査対象物２に接続可能な共通管路１４も備えており、この共通管路１４は分岐部１５において３本の管路に分岐され、そのうちの、図の上へ延びる管路１６は真空ポンプ７に接続され、水平に延びる管路１７の端にはヘリウムガス供給源（不図示）への接続口８が設けられ、下へ延びる管路１８の端には第１大気開放口９が設けられている。前記下へ延びる管路１８は途中の分岐部１９で第２大気開放口１０へ至る管路２０に分岐されている。また、共通管路１４を除いた前記管路には、管路の開閉を可能にするために第２開閉弁２１、第３開閉弁２２、第４開閉弁２３、及び第５開閉弁２４がそれぞれ設けられている。
【００２５】
次に、上記漏れ検査装置１を用いた本発明の第１の実施例の漏れ検査方法を、図２に示すフローチャートを参照して説明する。
【００２６】
まず工程Ｓ１０１において、検査チャンバ３の蓋を開けて検査対象物２を検査チャンバ３の中に配置する。配置した検査対象物２に備えられた管継手に共通管路１４を接続し、その後検査チャンバ３の蓋を閉める。このとき、検査チャンバの検出側空間３ａの圧力は、大気圧であり、また以下に説明する工程においてもほぼ大気圧を維持する。
【００２７】
次に、工程Ｓ１０２において、第２開閉弁を開き、真空ポンプ７を作動させて検査対象物内の空間２ａを真空引きした後、第２開閉弁を閉じ、今度は第３開閉弁２２を開けてヘリウムガス供給源から管路１７及び共通管路１４を通して検査対象物２の中にトレーサガスとしてのヘリウムガスを検出側空間の圧力（この場合大気圧）より高い所定の圧力になるまで封入する。その後第３開閉弁を閉じる。
【００２８】
次に、工程Ｓ１０３において、ファン６を第１の所定時間作動させて検出側空間３ａを撹拌する。この工程は、検出側空間３ａにヘリウムを一様に分布させること、及び第１の所定時間の経過の間に検出側空間３ａに漏れ出るヘリウムの濃度を高めることを目的としている。
【００２９】
次に、工程Ｓ１０４において、第１大気開放口９に通じる管路の第４開閉弁２３を開放することにより、検査対象物２内からヘリウムを放出し、検出側空間３ａと検査対象物内の空間２ａとの圧力差を解消する。このとき、放出されたヘリウムガスは、それが装置周辺に漂って測定に影響を与えないように、検査チャンバ３が配置された場所から離れた場所又は室外等に排出されることが好ましい。
【００３０】
次に、工程Ｓ１０５において、検査チャンバの検出側空間３ａのヘリウムガスの分布を一様にするために、ファン６を作動させて検出側空間３ａを第２の所定時間撹拌する。
【００３１】
次に、工程Ｓ１０６において、第１開閉弁を開放した後、移送ポンプ５を作動して検査チャンバ３内の気体を移送管路１１に引き出し、その気体の一部をスニファプローブ１３からヘリウムリークディテクタ４に取り込んでヘリウムガス濃度Ｐを測定する。測定後に移送ポンプ５を停止しまた第１開放弁を閉じる。
【００３２】
次に、工程Ｓ１０７において、前記工程Ｓ１０６において測定したヘリウムガス濃度Ｐに基づいて漏れの合否を判定する。
【００３３】
次に、工程Ｓ１０８において、検査対象物内の空間２ａを空気で置換する。このために、第２開閉弁２１を開放して真空ポンプ７を作動させて検査対象物内の空間２ａの圧力をほぼ真空まで減圧した後、第５開閉弁２４を開放して第２大気開放口１０から空気を検査対象物２内に導入する。なお、空気で置換する代わりに窒素で置換してもよく、その場合は窒素供給源（不図示）を準備してそれを第２大気開放口１０に接続すればよい。
【００３４】
次に、工程Ｓ１０９において、検査チャンバ３の蓋を開け、接続されていた共通配管を検査対象物２から外した後、検査対象物２を検査チャンバ３から取り出す。以上で一つの検査対象物２に対する漏れ検査が完了する。
【００３５】
次に第２の実施例の漏れ検査方法について、そのフローチャートである図３を参照して説明する。なお、この漏れ検査方法もやはり図１に示される漏れ検査装置を使って実行することができる。
【００３６】
第２の実施例の漏れ検査方法は、図３に示されるように、検査対象物からヘリウムガスを放出する工程Ｓ２０５より後にヘリウムガス濃度Ｐを測定する工程Ｓ２０７を含むことは第１の実施例の場合と同様であるが、ヘリウムを検査対象物２に封入する工程Ｓ２０３の前に、検出側空間３ａに既に含まれているヘリウムガスをヘリウムガス濃度基準値Ｐ0として測定する工程Ｓ２０２を更に含んでいる点、及び合否を判定する工程Ｓ２０８において合否がヘリウムガスの濃度上昇ΔＰ（＝Ｐ−Ｐ0）に基づいて行われる点の２つの点で第１の実施例の漏れ検査方法と異なっている。なお、基準値Ｐ0を測定する工程Ｓ２０２においては、第１開閉弁１２を開放して移送ポンプ５を作動させて検出側空間３ａ内の気体を移送管路１１に引き出しスニファプローブ１３からヘリウムリークディテクタ４に吸引させる。測定が終わったら移送ポンプ５を停止する。
【００３７】
次に、第３の実施例の漏れ検査方法について説明する。この漏れ検査方法の流れは、第２の実施例の漏れ検査方法の場合と基本的に同じであり、従って図３によって示される。ただし、工程Ｓ２０４及びＳ２０６における検出側空間３ａの撹拌がファン６によって行われるのではなく、検査チャンバ３に連結された循環路に気体を流通させることにより撹拌を行うこと等において第２の実施例のものと異なっている。
【００３８】
また、第３の実施例の漏れ検査方法は、図４に示された漏れ検査装置１００を使って実行することができ、前記漏れ検査装置１００は、検査チャンバ３に連結された循環路２５とその循環路２５の途中に配設された送風機２６とを備えていること、ファン６、移送ポンプ５、第１開閉弁１２、及び移送管路１１を備えないこと、並びにスニファプローブ１３の配置場所が異なることで図１に示された漏れ検査装置１と異なっている。
【００３９】
循環路２５はその一端側の流入口２５ａが検査チャンバの検出側空間３ａに開口し、他端側の流出口２５ｂが前記流入口２５ａから距離Ｄで離間されて検出側空間３ａに開口している。循環路２５の途中に送風機２６が配設されており、またヘリウムリークディテクタ４のスニファプローブ１３が循環路２５の送風機２６と流出口２５ｂの間に備えられている。
【００４０】
このような装置１００を利用して、第４の実施例の漏れ検査方法は、検出側空間３ａを撹拌する工程Ｓ１０４及びＳ１０６において、前記送風機２６を作動して循環路２５を通る気体の流れを生み出すことにより、検出側空間３ａに含まれる気体を撹拌する。また、ヘリウムガス濃度Ｐ0及びＰを測定する工程Ｓ１０２及びＳ１０７においても検出側空間３ａ内の気体を引き出すために送風機２６が作動される。
【００４１】
次に、第４の実施例の漏れ検査方法を、そのフローチャートである図５を参照して説明する。この漏れ検査方法は、その工程Ｓ４０１〜Ｓ４１０が、工程Ｓ４０４及び工程Ｓ４０６を除いて前述の第２の実施例の漏れ検査方法の工程Ｓ２０１〜Ｓ２１０にそれぞれ一致している。したがって、異なる工程Ｓ４０４及びＳ４０６について以下に説明する。
【００４２】
この第４の実施例の漏れ検査方法では、工程Ｓ４０４において、検査対象物２を検査チャンバ３内に第１の所定時間放置するだけでファン６による撹拌は行わない。この工程Ｓ４０４は、第１の所定時間の経過により検査対象物２から漏れ出るヘリウムの濃度を高めることと、検出側空間３ａにヘリウムを拡散させることを目的としている。また、工程Ｓ４０６においても、検査対象物２を検査チャンバ３内に第２の所定時間放置するだけでファン６による撹拌は行わない。この工程Ｓ４０６は第２の所定時間の経過の間に検出側空間３ａにヘリウムを拡散させることを目的としている。
【００４３】
第４の実施例の漏れ検査方法は、第１及び第２の実施例の漏れ検査方法を実行可能な図１に示された漏れ検査装置１によって、ただしファン６は作動させないで、実行可能である。もちろん、図１に示される漏れ検査装置１からファン６を取り除いた漏れ検査装置を準備してもよい。
【００４４】
また、第４の実施例の漏れ検査方法の変更例として、第２の実施例の漏れ検査方法の工程Ｓ２０４とＳ２０６のうちのいずれか一方のみを前記第四の実施例の工程のＳ４０４又はＳ４０６に代えたものも、本発明において可能である。
【００４５】
次に、第５の実施例の漏れ検査方法を、そのフローチャートである図６を参照して説明する。この第５の実施例の漏れ検査方法は、第２の実施例のヘリウムガスを放出する工程Ｓ２０５に替えて、検査対象物からヘリウムガスを真空引きした後、検出側空間との差圧を解消するように検査対象物内の空間を空気で置換する工程Ｓ５０５を含むこと、及び第２の実施例では合否を判定する工程Ｓ２０７の次に含まれていた検査対象物内の空間を空気で置換する工程Ｓ２０８を含まないことにおいて第２の実施例の漏れ検査方法と異なる。また、この漏れ検査方法も図１に示された漏れ検査装置１を使って実施することができる。
【００４６】
この漏れ検査方法では、工程Ｓ５０５において、第２開閉バルブを開放して真空ポンプ７を作動させてヘリウムをほぼ真空になるまで排気した後、今度は第５開閉弁２４を開放することにより第２大気開放口１０から検査対象物内の空間２ａに空気を吸引させてその空間２ａを空気で置換する。このとき検出側空間３ａの圧力も本実施例の場合大気圧であるので、検査対象物内の空間２ａと検出側空間３ａとの間の圧力差は解消される。
【００４７】
次に、第６の実施例の漏れ検査方法を、そのフローチャートである図７を参照して説明する。この漏れ検査方法は、第１の実施例の漏れ検査方法に対して、検出側空間３ａを乾燥空気で置換する工程Ｓ６０２を、検査チャンバ内に検査対象物を配置する工程Ｓ６０１の次に更に含むという点で異なっているが、その他の点は同じである。この乾燥空気で置換する工程Ｓ６０２があるため、第６の実施例の漏れ検査方法は図８に示された漏れ検査装置２００を使って実行される。
【００４８】
図８の漏れ検査装置２００は、図１に示された漏れ検査装置１に更に、チャンバ内を真空引きするための真空ポンプ２７、及びチャンバの検出側空間３ａと真空ポンプを結ぶ排気管路２８、及び排気管路２８の途中に設けられた分岐部２９から分岐されて乾燥空気供給源（不図示）への接続口３０へ至る供給管路３１が備えられたものと同等である。また、排気管路２８及び供給管路３１上に第６開閉弁３３及び第７開閉弁３４がそれぞれ設けられている。
【００４９】
検出側空間３ａを乾燥空気で置換する工程Ｓ６０２では、第６開閉弁３３が開放されて真空ポンプ２７が作動され検出側空間３ａ内の空気が排気されてほぼ真空まで減圧されると真空ポンプ２７が停止し第６開閉弁３３が閉じる。その後第７開閉弁３４が開放されて乾燥空気供給源から乾燥空気が接続口３０及び供給管路３２を通って検出側空間３ａに供給され、所定の圧力に達すると第７開閉弁が閉じる。
【００５０】
このように検出側空間３ａをあらかじめ乾燥空気で置換しておくことによって、ノイズとなるガスが低減されて測定感度が向上するという効果が得られる。なお、乾燥空気の代わりに窒素で置換してもよく、その場合は乾燥空気供給源に替えて窒素供給源を準備すればよい。
【００５１】
前述の各実施例の漏れ検査方法では、ヘリウムリークディテクタ４のスニファプローブ１３は移送管路１１又は循環路２５の途中に設けられているが、本発明では、スニファプローブ１３を検査チャンバ３に設けて検出側空間３ａの気体を直接的にスニファプローブ１３に導入することも可能である。
【００５２】
図１０は、従来の漏れ検査方法の一例のフローチャートであるが、本発明の前述の各実施例の漏れ検査方法と、図１０で示した従来の漏れ検査方法の例との違いは、図３に示される第２の実施例の漏れ検査方法で代表して説明すると、本発明では工程Ｓ２０５において検査対象物２からヘリウムを放出して、検出側空間３ａとの圧力差を解消する工程が含まれているが、図１０の従来例の方法ではそのような工程が含まれない点にある。本発明においては、ヘリウムは工程Ｓ２０５において放出されて検査対象物内の空間２ａと検出側空間３ａとの間の圧力差が解消されるので工程Ｓ１０５以降の工程中に検査対象物２から検出側空間３ａへのヘリウムガスの漏れ出しは、濃度差によるわずかな量を除いてほぼゼロになり、その結果工程Ｓ２０６において所定時間撹拌すれば、ヘリウムガスは検出側空間３ａ内に一様に分布するようになる。
【００５３】
次に、前述の効果を確認するために行われた実験及びその結果について説明する。実験は、図１に示される漏れ検査装置１を使って行われ、従来の方法は図１０のフローチャートに従い、本発明による方法は図３に示される第２の実施例による方法に従って行われた。検査対象物２を除いた検査チャンバ３の容積、つまり検出側空間３ａの容積は３６Ｌである。ファンは実際には３個設置してあり、それぞれ上向きにほぼ０．５７ｍ3／ｍｉｎの風量で撹拌するものである。
【００５４】
検査対象物として、密閉空間を有する車両用ラジエータを利用した。また１ａｔｍ・ｃｃ／ｍｉｎの漏れを生じるような微小孔を有するガラス毛細管を準備し、このガラス毛細管を前記ラジエータの側面と上面にあけた穴に嵌挿し、ラジエータの側面及び上面からガラス毛細管を通してヘリウムが漏れ出る構造とした。ただしこの実験では、側面又は上面のガラス毛細管は片方ずつ開放されてヘリウムガスの濃度測定が行われた。
【００５５】
従来の方法による工程Ｓ７０４における撹拌時間は４０秒に設定し、本発明による工程Ｓ２０４における第１の所定時間（撹拌時間）は３０秒に、及び工程Ｓ２０６における第２の所定時間（撹拌時間）は１０秒に設定した。
【００５６】
漏れ試験の結果を図９に示す。図９のグラフの縦軸の「測定誤差Ｅ」は、漏出場所の違いに基づく測定誤差を表しており、側面のガラス毛細管を開放したときのヘリウム濃度の上昇値（側面開放時濃度上昇）ΔＰｓと上面のガラス毛細管を開放したときのヘリウム濃度の上昇値（上面開放時濃度上昇）ΔＰｕとの差を前記側面開放時濃度上昇ΔＰｓで割った値である。つまり、数式で表すと、Ｅ＝（ΔＰｓ−ΔＰｕ）／ΔＰｓ  である。なお、前記各濃度上昇ΔＰｓ及びΔＰｕは、側面開放時及び上面開放時のそれぞれの場合について、ヘリウムガスを検査対象物に封入する前に測定した濃度Ｐ0とヘリウムを検査対象物から放出した後に測定した濃度Ｐから求めた値である。
【００５７】
結果は図９に示されるとおり、従来の方法によると漏出場所の違いに基づく測定誤差Ｅは約０．１５（１５％）であるのに対して、本発明の方法によると前記測定誤差Ｅは約０．０２（２％）であった。これは、本発明の方法によりトレーサガスの一様な分布が得られた結果であると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明による実施例の漏れ検査方法を実行する漏れ検査装置の全体構成を示す概念図である。
【図２】本発明による第１の実施例の漏れ検査方法の工程を示すフローチャートである。
【図３】本発明による第２及び第３の実施例の漏れ検査方法の工程を示すフローチャートである。
【図４】本発明による第３の実施例の漏れ検査方法を実行する漏れ検査装置の全体構成を示す概念図である。
【図５】第４の実施例の漏れ検査方法の工程を示すフローチャートである。
【図６】第５の実施例の漏れ検査方法の工程を示すフローチャートである。
【図７】第６の実施例の漏れ検査方法の工程を示すフローチャートである。
【図８】第６の実施例の漏れ検査方法を実施する漏れ検査装置の全体構成を示す概念図である。
【図９】漏出場所の違いによるトレーサガス濃度測定誤差を示す図である。
【図１０】従来の漏れ検査方法の工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５９】
２    検査対象物
２ａ    検査対象物内の空間
３    検査チャンバ
３ａ    検出側空間
４    ヘリウムリークディテクタ
６    ファン
８    ヘリウムガス供給源への接続口
１０    第１大気開放口
１３    スニファプローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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