(57)【要約】【課題】アレイテスト装置を提供する。【解決手段】本発明のアレイテスト装置は、パネルの前面に形成されたパネル電極の電気的欠陷をテストする装置であって、パネルをローディングするローディング部と、ローディング部から移送されたパネルが定着される透明材質のテストプレートを有するテスト部と、テスト完了したパネルがテスト部から移送されて外部に搬出されるアンローディング部と、パネル電極の電気的欠陥有無を検出するテストモジュールと、テストプレートとパネルとの間に静電気発生を抑制するか発生した静電気を除去する除電部と、を備え、テストモジュールは、テスト部に位置したパネルの前面側及び背面側のうちの一つの方向に配された光源と、パネルを基準に光源と反対方向に順に配されたモジュレーター及び欠陥検出部とを備える。【選択図】図２
2008134238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルの前面に形成されたパネル電極の電気的欠陷をテストする装置であって、
テストされる前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔してテストプレートに移送させるローディングプレートを有するローディング部と、
前記ローディング部のローディングプレートの一側に配され、前記ローディング部から移送されたパネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔して電気的欠陷をテストする透明材質のテストプレートを有するテスト部と、
前記テスト部のテストプレートの一側に配され、テスト完了した前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔して前記テストプレートから移送させるアンローディングプレートを有するアンローディング部と、
前記テスト部に位置したパネルの前面側及び背面側のうちの一つの方向に配された光源と、前記パネルを基準に前記光源と反対方向に順次に配されたモジュレーター及び欠陥検出部とを有し、前記光源から発生した光の中から前記モジュレーターの出射面を通過した量によって前記パネル電極の電気的欠陥の有無を検出するテストモジュールと、
前記テストプレートと前記パネルとの間に静電気が発生するのを抑制するか、または発生した静電気を除去するように前記テストプレートと前記パネルとの間に陽イオンまたは陰イオンを供給する除電部と、を備えることを特徴とするアレイテスト装置。
【請求項２】
前記ローディング部は、テストされる前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔を有して浮き上がらせて前記テストプレートに移動させ、
前記テストプレートと隣接した出口側の端部にはイオナイザ用ホールが形成されたローディングプレートを有し、
前記除電部は、前記イオナイザ用ホールを通じて陽イオンまたは陰イオンを前記テストプレート方向に放出させる配管型イオナイザであることを特徴とする請求項１に記載のアレイテスト装置。
【請求項３】
前記アンローディングプレートは、前記テストプレートと隣接した入口側の端部にイオナイザ用ホールが形成され、
前記除電部は、前記イオナイザ用ホールを通じて陽イオンまたは陰イオンを前記テストプレート方向に放出する配管型イオナイザであることを特徴とする請求項１に記載のアレイテスト装置。
【請求項４】
前記除電部は、
前記アンローディングプレートの前記テスト部と隣接した入口側の端部から突設されたブラケット部と、
前記ブラケット部に結合されて前記テスト部方向にＸ−ｒａｙを発生させる光照射式イオナイザを備えることを特徴とする請求項１に記載のアレイテスト装置。
【請求項５】
前記テストモジュールは、
光源と、
前記パネルの前面側に配され前記光源から前記パネルの背面側に入射して前面側に出射される光が入射する入射面と、前記パネル電極と平行に配されて前記パネル電極と電場を形成するモジュレーター電極部と、該モジュレーター電極部と前記パネル電極との間に配され前記モジュレーター電極部と前記パネル電極との間に形成される電場の大きさによって前記入射面を通じて入射する光の通過量が変更される電光物質層と、該電光物質層を通過した光を外部に出射する出射面と、を有するモジュレーターと、
前記モジュレーターの出射面を通じて出射される光量によって前記パネル電極の電気的欠陥有無を検出する欠陥検出部と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のアレイテスト装置。
【請求項６】
前記欠陥検出部は、ビジョン装置を備えることを特徴とする請求項５に記載のアレイテスト装置。
【請求項７】
前記光源と、前記パネルのテスト電極と、前記モジュレーターと、前記ビジョン装置とは、一列に配されることを特徴とする請求項６に記載のアレイテスト装置。
【請求項８】
前記電光物質層は、入射する光を電場の強さによって偏光させる素材を備えることを特徴とする請求項５に記載のアレイテスト装置。
【請求項９】
前記モジュレーターは、前記パネルより遠い方から近い方に順次に、透光基板と、該透光基板の前面に配されたモジュレーター電極層と、前記透光基板の前面縁部を取り囲むように前記モジュレーター電極層の上側に配されたシーリング壁と、前記モジュレーター電極層の前面の前記シーリング壁に取り囲まれた空間に所定の高さで分散配置された電光物質層と、を備えることを特徴とする請求項５に記載のアレイテスト装置。
【請求項１０】
前記電光物質層は、ＰＤＬＣ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）素材からなることを特徴とする請求項９に記載のアレイテスト装置。
【請求項１１】
前記シーリング壁の高さは、１５ないし２５μｍであることを特徴とする請求項９に記載のアレイテスト装置。
【請求項１２】
前記モジュレーターは、前記パネルより遠い方から近い方に順次に、透光基板と、該透光基板の前面に形成されたモジュレーター電極層と、該モジュレーター電極層の前面に形成された透明な多孔性物質層と、該多孔性物質層の気孔内に形成されたＰＤＬＣと、を備えることを特徴とする請求項５に記載のアレイテスト装置。
【請求項１３】
前記電光物質層の後面には、前記パネルの電極と接するか隣接するように配された透明保護層をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載のアレイテスト装置。
【請求項１４】
前記透明保護層は、パリレンコーティング層からなることを特徴とする請求項１３に記載のアレイテスト装置。
【請求項１５】
前記電光物質層は、駆動電圧３０Ｖ以下、コントラスト４０対１、ライジングタイム（Ｒｉｓｉｎｇ  ｔｉｍｅ）１．７ｍｓ、フォーリングタイム（Ｆａｌｌｉｎｇ  ｔｉｍｅ）３ｍｓ、最小保有時間（ｍｉｎｉｍｕｍ  ｒｅｔｅｎｔｉｏｎ  ｔｉｍｅ）３０ｍｓの特性を有することを特徴とする請求項５に記載のアレイテスト装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板ディスプレイ用アレイテスト装置に係り、より詳細には、電光機器用モジュレーターを備えてパネル電極の欠陥有無をテストする平板ディスプレイ用アレイテスト装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電光機器中の一つである平板ディスプレイパネルは、通常上部及び下部基板の間に電極が形成されている。例えば、ＴＦＴ  ＬＣＤ基板は、下部基板上にＴＦＴが形成されたＴＦＴパネルと、カラーフィルター及び共通電極が形成されて前記ＴＦＴパネルと対向配置されたフィルターパネルと、前記ＴＦＴパネルとフィルターパネルとの間に注入された液晶と、バックライトとを備える。
【０００３】
ここで、下部基板上に形成されたＴＦＴの欠陷は、アレイテスト装置によって検査される。これを詳しく説明すれば、アレイテスト装置に設けられたモジュレーター及び電光機器をなすＴＦＴパネルに一定の電圧を印加した状態で、このモジュレーターがＴＦＴパネルに近接するようにしてこれらの間に電場を発生させる。このときに、ＴＦＴパネルに形成された電極に欠陷のある場合の方が欠陷のない場合よりこの電場の大きさが小さくなり、これにより、検出された電場の大きさによってＴＦＴパネルの欠陷有無を検出する。
【０００４】
従来の一般的なアレイテスト装置１０を図１に示す。図１を参照すれば、従来のアレイテスト装置１０は、ローディング部１１と、テスト部１２と、アンローディング部１３と、把持チャック１５と、テストモジュール４０とを備える。把持チャック１５が、ローディング部１１上に配されたアレイテストされるパネル２を把持した後にテスト部１２にこのパネル２を移動する。その後にテストモジュール４０が、パネル２のアレイテストを実施する。この場合、把持チャック１５がパネル２を移動させてパネル２の各領域でのテストを実施できる。その後にテスト完了したパネル２は、アンローディング部１３に案内されて外部にアンローディングする。
【０００５】
この場合、テストモジュール４０は、光源４１と、モジュレーター４３と、カメラ４４とを備えてなる。この場合、モジュレーター４３は、反射層４３ａと、電光物質層４３ｂと、透明基板層４３ｃとを備えうる。このテストモジュール４０は、特許文献１に記載されたものと同一または極めて類似しているので、これについての詳細な説明は省略する。
【０００６】
ところが、従来例では、図１に示したように、光源４１とカメラ４４とが全部パネル２の一側の方向に配されているので、光源４１からの光がミラーなどを通過してモジュレーター４３に入射した光が、モジュレーターの反射層４３ａによって反射されて再びモジュレーター４３に入射した方向と反対方向にモジュレーター４３から出射する。したがって、光源４１からモジュレーター４３までの光路がモジュレーター４３からカメラ４４までの光路と少なくとも一部が同一である。したがって、光源４１とカメラ４４とが互いに干渉しないようにしなければならず、そのためにアレイテスト装置はミラーなどの光方向調節装置４２が必要となる。
【０００７】
また、電光物質層４３ｂを通過した光が反射されて再び電光物質層４３ｂに流入してこれを通過するので、光の損失が大きくなる。したがって、光の損失を償うためには光源４１から放出される光度を大きくする必要がある。
【０００８】
また、モジュレーター４３の電光物質層４３ｂを通過した光を反射するために反射層４３ａが必要である。この場合、この反射層４３ａとパネル電極５との間の駆動電圧が小さくなるように、反射層４３ａがパネル電極５に接するように配置することが必要であるが、反射層４３ａの厚さによってパネル電極５とモジュレーター４３の電極との間に発生する駆動電圧が大きくなる。また、反射層４３ａが反射フィルムなどの容易に破損されやすい素材からなりパネル電極５に接する場合に、容易に破損するという問題点がある。
【０００９】
一方、上記のような問題点を解決するために、テストモジュール４０に備えられた光源４１をパネル２の背面側に、モジュレーター４３及びカメラ４４をパネル２の前面側に配置することで、モジュレーター４３の反射層４３ａを除去させうる。
【００１０】
この場合には、テスト部１２に配されたパネル定着プレートが透明材質の通常ガラスで製作される。しかし、パネル定着プレートとパネル２とが同一分子を有することで、パネル２定着プレートとパネル２との間に静電気が発生する。静電気が発生した場合、パネル電極５に損傷が発生するか、アレイテスト装置に電気的損傷を与えうる。
【００１１】
【特許文献１】米国特許第６１５１１５３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこで、本発明は上記従来のアレイテスト装置における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、ミラーや、ビームスプリットなどの光方向調節装置及び反射層が不要になると同時に、光源から発生する光の損失が大きくなく光源の強さを適正以上に大きくする必要のない構造を有したアレイテスト装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、パネルのテスト前後にパネルとの間に静電気が発生しないようにする構造を有したアレイテスト装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するためになされた本発明のアレイテスト装置は、パネルの前面に形成されたパネル電極の電気的欠陷をテストする装置であって、テストされる前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔してテストプレートに移送させるローディングプレートを有するローディング部と、前記ローディング部のローディングプレートの一側に配され、前記ローディング部から移送されたパネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔して電気的欠陷をテストする透明材質のテストプレートを有するテスト部と、前記テスト部のテストプレートの一側に配され、テスト完了した前記パネルを定着させるかまたは所定の間隔に離隔して前記テストプレートから移送させるアンローディングプレートを有するアンローディング部と、前記テスト部に位置したパネルの前面側及び背面側のうちの一つの方向に配された光源と、前記パネルを基準に前記光源と反対方向に順次に配されたモジュレーター及び欠陥検出部とを有し、前記光源から発生した光の中から前記モジュレーターの出射面を通過した量によって前記パネル電極の電気的欠陥の有無を検出するテストモジュールと、前記テストプレートと前記パネルとの間に静電気が発生するのを抑制するか、または発生した静電気を除去するように前記テストプレートと前記パネルとの間に陽イオンまたは陰イオンを供給する除電部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光がモジュレーターを反射せず透過するようにアレイテスト装置が配されることによって、別途の光方向調節装置が不要でアレイテスト装置のサイズが小くなると同時にパネルの静電気発生を防止するか、発生した静電気を除去できる。
また、光源からの光が順次にパネル及びモジュレーターを通過して欠陥検出部に受光されることによって、実際肉眼で画像を見るような条件でパネル電極の欠陥有無を検査できる。
また、モジュレーターと欠陥検出部との間の光路に別途の部材が挿入されずより正確にパネル電極の欠陥有無を検査できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明のアレイテスト装置を実施するための最良の形態の具体例を、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図２は、本発明の一実施形態によるアレイテスト装置１００の構成図である。このアレイテスト装置１００は、パネル２の前面に形成されたパネル電極５の電気的欠陷をテストする装置である。
【００１７】
図２に示したように、本実施形態によるアレイテスト装置１００は、ローディング部１１０と、テスト部１２０と、アンローディング部１３０と、テストモジュール１４０と、除電部１５０とを備える。
【００１８】
ローディング部１１０は、テストしようとするパネル２をローディングする。ローディング部１１０は、ローディングプレート１１２を備えうる。ローディングプレート１１２は、テストされるパネル２をここに定着させるか、または所定の間隔を有して浮き上がらせてテスト部１２０に移動させる。
【００１９】
テスト部１２０は、テストプレート１２２を備える。テストプレート１２２は、透明材質素材であって、ローディング部１１０から移送されたパネル２がここに定着される。この場合、テストプレート１２２は、ガラス素材からなりうる。これによりテスト部１２０は、テストプレート１２２の外郭に配されたパネル定着部１２４をさらに備えうる。パネル定着部１２４は、パネル２が損傷を発生せずにテスト部に定着させるものであって、後述するパネルクランプ１２６がパネルを下ろす時にバンピングの役割をして定着されるように一定以上の柔軟な素材からなることが望ましい。
【００２０】
アンローディング部１３０は、テスト完了したパネル２がテスト部１２０から移送されて外部に搬出される。この場合、アンローディング部１３０は、アンローディングプレート１３２を備えうる。アンローディングプレート１３２は、テスト完了したパネル２をここに定着させるかまたは所定の間隔を有して浮上させて移動させる。
【００２１】
この場合、アレイテスト装置１００は、パネルクランプ１２６をさらに備えうる。パネルクランプ１２６は、パネル２を把持したままローディング部１１０からアンローディング部１３０に移動して、パネル２を移動させうる。この場合、ローディング部１１０のローディングプレート１１２及びアンローディング部１３０のアンローディングプレート１３２には、パネル２を所定の遊隙を有して浮揚されるように下側から上側に空気を噴射する複数の空気噴射ホール１１４、１３４が配されうる。
【００２２】
テストモジュール１４０は、光源１４１と、モジュレーター１４２と、欠陥検出部１４７とを備える。この場合、光源１４１は、パネル２の前面側及び背面側のうちの一つの方向に配され、モジュレーター１４２及び欠陥検出部１４７は、パネル２を基準に光源１４１と反対方向に位置する。
【００２３】
光源１４１は、パネル２の前面に配されたパネル電極５をテストするための光を照射する。
【００２４】
モジュレーター１４２は、モジュレーター電極部１４５と電光物質層１４４とを備える。
【００２５】
モジュレーター電極部１４５は、パネル２の電極とともに電圧を印加してそれらの間に電場を形成させる。電光物質層１４４に電場が形成される場合、電光物質層１４４をなす物質が一定の方向に配列されて、光が電光物質層１４４を通過するようにする。電光物質層１４４は、透光基板１４６に支持されている。
【００２６】
欠陥検出部１４７は、モジュレーター１４２を直線的に通過した光量によってパネル電極５の欠陥有無を検出する。
【００２７】
この場合、欠陥検出部１４７及びモジュレーター１４２は、パネル２の前面側に配され、光源１４１は、パネル２の背面側に配されうる。
【００２８】
テストモジュール１４０については後に詳述する。
【００２９】
一方、テストプレート１２２のテストモジュール１４０の光源１４１と電光機器用のモジュレーター１４２との間に配されたテストプレート１２２は、上述したように光透過可能に透明ではなければならない。したがって、テストプレート１２２は、通常ガラスまたは透明ポリマー材質からなりうる。これと同様に、テストされるパネル２もガラスまたは透明ポリマー材質からなっている。
【００３０】
パネル２がテストされる時に、パネル２はテストプレート１２２に定着されており、これによってパネル２とテストプレート１２２との間に静電気が発生する。静電気の発生及び静電気によって充填されたホコリ粒子は、生産の不正確性と品質低下及び火災とを引き起こしうる。これとともにパネル２の電極は、小さな電圧の静電気によっても破壊されうる。
【００３１】
したがって、本発明の一実施形態によるアレイテスト装置１００は、除電部１５０をさらに備える。除電部１５０は、テストプレート１２２とパネル２との間に静電気が発生することを抑制するか、発生した静電気を除去する機能を果す。
【００３２】
除電部１５０は、テスト部１２０のテストプレート１２２の上側に陽、陰イオンを送るイオナイザを備えうる。イオナイザは、高電圧を放電させて得られる陽、陰イオンをテストプレート１２２とパネル２との間に送って、帯電した静電気と反対極性で中和消滅させる装置である。イオナイザは、パネル２の素材に対して接触されずに使うのでパネル２が損傷されない。
【００３３】
この場合、除電部１５０は、図２に示したように、イオナイザ用ホール１５１と配管型イオナイザ１５３とを備えうる。イオナイザ用ホール１５１は、ローディングプレート１１２のテストプレート１２２と隣接した出口側の端部に形成され、配管型イオナイザ１５３は、イオナイザ用ホール１５１に挿入されて陽イオンまたは陰イオンをテストプレート１２２方向に放出させうる。このように放出された陽イオンと陰イオンは、パネル２及びテストプレート１２２に分布されている少量の不均衡のイオンを覆ってそのイオンの不均衡を相殺することによって、静電気を除去できる。
【００３４】
一方、図示していないが、除電部１５０は、アンローディングプレート１３２のテストプレート１２２と隣接した入口側の端部に配されるようにすることもできる。この場合、アンローディングプレート１３２のテストプレート１２２と隣接した入口側の端部にイオナイザ用ホールが形成され、配管型イオナイザ１５３が、イオナイザ用ホールを通じて陽イオンまたは陰イオンをテストプレート１２２方向に放出させる。
【００３５】
また、イオナイザ用ホール１５１及び配管型イオナイザ１５３は、上側が下側より、テストプレート１２２に、より近いように傾くことができ、これによりイオンがテストプレート１２２方向に向かい得る。
【００３６】
これと異なって、図３に示したように、除電部１５０は、Ｘ−ｒａｙを放出する光照射式イオナイザ２５３を備えうる。この場合、除電部１５０は、アンローディングプレート１３２のテストプレート１２２と隣接した入口側の端部から突設されたブラケット部２５１と、ブラケット部２５１に結合されてテストプレート１２２方向にＸ−ｒａｙを発生させる光照射式イオナイザ２５３とを備えうる。光照射式イオナイザ２５３は、Ｘ−ｒａｙをテストプレート１２２に照射してテストプレート１２２とパネル２との間のガス分子をイオン化して、静電気及び微細ホコリを除去する。
【００３７】
以下、図４を参照して、本発明のアレイテスト装置１００に備えられたテストモジュール１４０についてより詳しく説明する。
【００３８】
まず、光源１４１は、パネル２の背面側に配されうる。この場合、光源１４１から出る光は、キセノン、ナトリウム、クリスタルハロゲンランプ、レーザーなどを含んだ多様な種類の光であり得る。
【００３９】
モジュレーター１４２は、パネル２の前面側に配され、入射面１４２ａと、モジュレーター電極部１４５と、電光物質層１４４と、出射面１４２ｂとを備える。入射面１４２ａは、光源１４１部からパネル２の背面２ａ側に入射して前面２ｂ側に出射される光が入射する部分である。
【００４０】
モジュレーター電極部１４５は、パネル電極５と平行に配されてパネル電極５と電場とを形成する。より詳しく説明すれば、モジュレーター電極部１４５は、外部から一定の電圧が印加される共通電極の機能を果す。したがって、モジュレーター電極部１４５がパネル２のパネル電極５と一定間隔以下の間隔を有するように配置し、パネル電極５及びモジュレーター電極部１４５にそれぞれ所定の電圧を印加する場合、これらの間に電場が形成される。
【００４１】
電光物質層１４４は、モジュレーター電極部１４５とパネル電極５との間に配されたものであって、モジュレーター電極部１４５とパネル電極５との間に形成される電場の大きさによって入射面１４２ａを通じて入射する光の通過量を変更させる。そのために電光物質層１４４は、入射する光を電場の強さによって偏光させる素材を備えうる。
【００４２】
出射面１４２ｂは、電光物質層１４４を通過した光を外部に出射する部分である。
【００４３】
欠陥検出部１４７は、モジュレーター１４２の出射面１４２ｂを通じて出射された光量によってパネル電極５の電気的欠陥の有無を検出する。この場合、欠陥検出部１４７は、ビジョン（ｖｉｓｉｏｎ）装置１４８及びビジョン装置１４８と連結されたモニター１４８ａを備えることができ、これにより肉眼でパネル電極５の欠陷を検出できる。この場合、モニター１４８ａは、コンピュータに備えられうる。
【００４４】
ここで、パネル２は、電光機器に使われるパネル２であって、その前面にパネル電極５が配されている。この場合、パネル２が平板ディスプレイ用パネルであり、その一例として、パネル２がその前面にＴＦＴが形成されたＴＦＴパネルであり得る。
【００４５】
本発明によれば、光源１４１から出射する光が先にパネル２の背面に入射してパネル電極５が形成された前面に出射される。その後、モジュレーター１４２に入射してパネル２の欠陥有無によって外部に出射される光量が調節された後に、モジュレーター１４２の出射面１４２ｂを通じて外部に出射される。出射面１４２ｂに出射された光は、欠陥検出部１４７で確認される。
【００４６】
通常のＬＣＤの場合、ＴＦＴパネルの背面に位置したバックライトから光がＴＦＴパネルと液晶とを通過してＴＦＴパネルの前面に合着されて共通電極が形成されたフィルターパネル前面に放出され、放出された光を肉眼で見るようになる。
【００４７】
本発明のアレイテスト装置１００が、実際に肉眼で画面を鑑賞するメカニズムと同一の構造を有していることによって、実質的に正確にパネル２の欠陷有無を検出できる。
【００４８】
また、本発明のアレイテスト装置１００は、欠陥検出部１４７とモジュレーター１４２との間の光路にパネル電極５のような別途の部材が配置されない。
【００４９】
もし、欠陥検出部１４７がパネル電極５の背面に配され、光源１４１からの光がモジュレーター１４２を通過した後、パネル２を通過して欠陥検出部１４７に受光されるならば、欠陥検出部１４７がモジュレーター１４２での偏光程度とともにパネル２による光の歪曲現象をともに検出する。言い換えれば、モジュレーター１４２を通過した光がパネル２を通過しながらまた散乱または反射を起こして、モジュレーター１４２を通過した光の偏光程度を直接的に検出することができなくなる。これによって欠陥検出部１４７が、モジュレーター１４２に入射してパネル２の欠陥有無によって外部に出射される光量を正確に検出し難くなる。また、正確な検出のためには、モジュレーター１４２を通過する光と他の要因を除去する作業が必要になってより多くの時間が必要となる。
【００５０】
本発明では、欠陥検出部１４７が、モジュレーター１４２から通過する光を直接的に受光することができる。これによって、別途部品によって散乱などを受けなくなって正確で迅速にパネル電極５の欠陥有無を把握させうる。
【００５１】
この場合、光源１４１と、パネル２をテストするパネル電極５と、モジュレーター１４２と、ビジョン装置１４８は、一列に配置でき、これによりミラーなどの光路を変更する部材を別途に配する必要がなくなる。
【００５２】
以下では、本実施形態に備えられたモジュレーター１４２の構造についてより詳しく説明する。モジュレーター１４２は、欠陥検出部１４７側から順次に透光基板１４６と、モジュレーター電極部１４５と、電光物質層１４４とを備える。この場合、電光物質層１４４は、ＰＤＬＣ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｄｉｓｐｅｒｓｅｄ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ）であり得る。
【００５３】
透光基板１４６は、光を通過させる素材からなり、後述するモジュレーター電極部１４５と、電光物質層１４４とがここに支持される。したがって、透光基板１４６は、通常ガラス基板のように透明で所定以上の剛性を有した素材からなる。透光基板１４６の側面には、図示されないが、ゴールド層が配されうる。
【００５４】
モジュレーター電極部１４５は、透光基板１４６の前面に配される。この場合、モジュレーター電極部１４５は、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）またはＣＮＴ（Ｃａｒｂｏｎ  Ｎａｎｏ  Ｔｕｂｅ）などの素材で透光基板１４６上に蒸着されることでなされうる。この場合、モジュレーター電極部１４５は、ゴールド層と接触されうる。
【００５５】
電光物質層１４４は、モジュレーター電極部１４５の前面に一定の高さで分散配置される。ＰＤＬＣの特性は、駆動電圧３０Ｖ以下、コントラスト比４０対１、ライジングタイム（Ｒｉｓｉｎｇ  ｔｉｍｅ）１．７ｍｓ、フォーリングタイム（Ｆａｌｌｉｎｇ  ｔｉｍｅ）３ｍｓ、最小保有時間（ｍｉｎｉｍｕｍ  ｒｅｔｅｎｔｉｏｎ  ｔｉｍｅ）３０ｍｓの特性を有することが望ましい。電光物質層１４４は、透光基板１４６上にポリマー及び液晶を含む液晶配合液を塗布した後にこれを硬化させることでなされうる。
【００５６】
一方、図５に示したように、電光物質層１４４の周囲には、シーリング壁１４９が配されうる。シーリング壁１４９が透光基板１４６上の縁部に沿って所定の高さに形成されることによって、電光物質層１４４が透光基板１４６の外側に流れ落ちることが防止されうる。これを通じて電光物質層１４４が透光基板１２２の外郭に流れ落ちてゴールド層とモジュレーター電極部との間の接続部分に至ることで発生しうる接続不良や信号印加不良を防止できる。また、透光基板１４６の外郭に電光物質層１４４をなす素材をモジュレーター電極部１４５の中央部に集中して塗布する必要がなくなって電光物質層の高さをより均一に調節できる。
【００５７】
この場合、シーリング壁１４９は、通常の基板接着用シールランドとしてディスペンサーによって吐出されて配されうる。シーリング壁１４９の一例として、固体のガラス素材を含みうるが、この場合、ガラスの高さを制御することで全体のシーリング壁１４９の高さを制御できる。
【００５８】
ここで、シーリング壁１４９の高さＨ１は、１５ないし２５μｍであることが望ましい。シーリング壁１４９の高さＨ１が、１５μｍより小さな場合には、液晶の偏光度が大きくないため電場が形成される場合と電場が形成されていない場合との透光度及びコントラスト比の差が大きくならず、シーリング壁１４９の高さＨ１が２５μｍより大きい場合には、モジュレーター電極と、検査対象のパネル電極５との間の間隔が必要以上に大きくなって、これらを駆動する駆動電圧が不要に大きくなるためである。
【００５９】
一方、電光物質層１４４の前面には、パネル２の電極と接するか隣接するように配された透明保護層１４３をさらに備えうる。透明保護層１４３は、ＰＤＬＣがパネル電極５または外部物質によって傷などが発生しないように保護する。
【００６０】
この場合、透明保護層１４３が、耐蝕性、耐水性、及び耐化学性に優れた素材からなることが望ましく、したがって、透明保護層１４３は、パリレンコーティング層であり得る。パリレンコーティング層は、常温の真空状態でガス状の形態に蒸着されてなされた層である。パリレンコーティング層をなすポリマーは、自然状態で多結晶的で線形的であり、優れた保護特性を有し激しい化学反応を起こさない。パリレンコーティングは、密封性に優れて高防水性を有し、酸、アルカリまたはソルベントなどの大部分の化学薬品にほとんど影響を受けず優れた耐蝕性及び耐化学性を有し、−２００°Ｃないし１５０°Ｃの間の範囲で熱的、機械的変形や特性変化が発生せず優れた熱安定性を有する。これと併せてパリレンコーティングは、浸透力に優れて均一なコーティング層の形成及び厚さ調節が可能になる。
【００６１】
この場合、パリレンコーティング層は、化学気相成長法（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｖａｐｏｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によってなされうる。そのために、先にパリレンコーティング原資材であるダイマー（ｄｉｍｅｒ）を蒸発器に粉末形態に装入させてガス状に昇華させる。その後に気体に変化したダイマーを熱分解器に通過させて単量体に分ける。その後に単量体に分けられたダイマーを真空チャンバ内処理物表面で重合体に再構成させてコーティングするようにする。
【００６２】
本発明の実施形態を図面を参照して説明したが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な実施形態が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、電光機器用モジュレーターを備えてパネル電極の欠陥有無をテストする平板ディスプレイ用アレイテスト装置に関連する技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】従来のアレイテスト装置を示した概念図である。
【図２】本発明の一実施形態によるアレイテスト装置を示した概念図である。
【図３】図２の変形例を示した概念図である。
【図４】図２のテスト部及びテストモジュールを拡大図示した断面図である。
【図５】図４に示したモジュレーターの変形例である。
【符号の説明】
【００６５】
２    パネル
２ａ    パネルの背面
５    パネル電極
１０、１００    アレイテスト装置
１１、１１０    ローディング部
１２、１２０    テスト部
１３、１３０    アンローディング部
１５    把持チャック
４０、１４０    テストモジュール
４１、１４１    光源
４２    光方向調節装置
４３、１４２    モジュレーター
４３ａ    反射層
４３ｂ    電光物質層
４３ｃ    透明基板層
４４    カメラ
１１２    ローディングプレート
１１４、１３４    空気噴射ホール
１２２    テストプレート
１２４    パネル定着部
１２６    パネルクランプ
１３２    アンローディングプレート
１４２ａ    モジュレーターの入射面
１４２ｂ    モジュレーターの出射面
１４３    透明保護層
１４４    電光物質層
１４５    モジュレーター電極部
１４６    透光基板
１４７    欠陥検出部
１４８    ビジョン（ｖｉｓｉｏｎ）装置
１４８ａ    モニター
１４９    シーリング壁
１５０    除電部
１５１    イオナイザ用ホール
１５３    配管型イオナイザ
２５１    ブラケット部
２５３    光照射式イオナイザ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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