(57)【要約】【課題】実態に即したメンテナンスを行うことが可能な撮像素子検査システムにおける光源の調整方法を提供する。【解決手段】まず、検査対象となる撮像素子１２と同一品種の光源調整用撮像素子であって、撮像素子１２の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる撮像データＡが既知の光源調整用撮像素子を準備する。光源１３のメンテナンスのタイミングになると、検査工程が一時中断され、光源調整用撮像素子が載置部１１へと搬送されて載置され（Ｓ１）、撮像素子１２を検査する際の撮像条件と同じ条件で、光源調整用撮像素子により撮像が行われる（Ｓ２）。光源調整用撮像素子から撮像データＢが出力されると、撮像データＢと撮像データＡが比較され、両者が一致していない場合（Ｓ３：ＮＯ）は、光量調整用信号が生成されて光源１３の光量調整が行われる（Ｓ４）。【選択図】図２
2008014909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像素子に光源から光を照射した状態で前記撮像素子により撮像して得られる撮像データに基づいて、前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査システムにおける前記光源の調整方法であって、
前記撮像素子と同一品種の光源調整用撮像素子であって、前記撮像素子の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる第１の撮像データが既知の光源調整用撮像素子を準備する準備ステップと、
前記撮像素子の検査を行う際の撮像条件と同じ条件下で、前記光源調整用撮像素子により撮像を行う撮像ステップと、
前記撮像ステップで前記光源調整用撮像素子から得られる第２の撮像データと、前記第１の撮像データとに基づいて、前記光源から照射される光量の調整を行う光量調整ステップとを含む撮像素子検査システムにおける光源の調整方法。
【請求項２】
請求項１記載の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法であって、
前記光量調整ステップでは、前記第２の撮像データが前記第１の撮像データとほぼ一致するように、前記光源から照射される光量を調整する撮像素子検査システムにおける光源の調整方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法であって、
前記撮像素子検査システムが、前記撮像素子を載置するための載置部と、前記撮像素子を前記載置部に搬送する搬送部と、前記載置部に載置された撮像素子に光を照射するための前記光源とを有し、
前記光源調整用撮像素子を前記載置部に載置する載置ステップを含み、
前記撮像ステップでは、前記載置部に載置された前記光源調整用撮像素子に前記光源から光を照射した状態で撮像を行う撮像素子検査システムにおける光源の調整方法。
【請求項４】
請求項３記載の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法であって、
前記載置ステップでは、前記光源調整用撮像素子を前記搬送部により搬送して前記載置部に載置する撮像素子検査システムにおける光源の調整方法。
【請求項５】
撮像素子に光源から光を照射した状態で前記撮像素子により撮像して得られる撮像データに基づいて、前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査システムにおける前記光源の調整装置であって、
前記撮像素子と同一品種の光源調整用撮像素子であって、前記撮像素子の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる第１の撮像データが既知の光源調整用撮像素子により、前記撮像素子の検査を行う際の撮像条件と同じ条件下で撮像して得られる第２の撮像データと、前記第１の撮像データとに基づいて、前記光源から照射される光量を調整する光量調整手段を備える撮像素子検査システムにおける光源の調整装置。
【請求項６】
請求項５記載の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置であって、
前記光量調整手段は、前記第２の撮像データが前記第１の撮像データとほぼ一致するように、前記光源から照射される光量を調整する撮像素子検査システムにおける光源の調整装置。
【請求項７】
請求項５又は６記載の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置であって、
前記撮像素子検査システムが、前記撮像素子を載置するための載置部と、前記撮像素子を前記載置部に搬送する搬送部と、前記載置部に載置された撮像素子に光を照射するための前記光源とを有し、
前記載置部に載置された前記光源調整用撮像素子に前記光源から光を照射した状態で、前記光源調整用撮像素子により撮像を行わせる撮像制御手段を備え、
前記撮像制御手段の制御によって前記光源調整用撮像素子から得られた撮像データが前記第２の撮像データである撮像素子検査システムにおける光源の調整装置。
【請求項８】
請求項７記載の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置であって、
前記載置部に前記光源調整用撮像素子を搬送させる制御を前記搬送部に対して行う搬送制御手段を備える撮像素子検査システムにおける光源の調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子に光源から基準光量の光を照射した状態で前記撮像素子により撮像して得られる撮像データに基づいて、前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査システムにおける前記光源の調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、撮像素子をパッケージ化した後の検査工程においては、パッケージ化された撮像素子に光源から光を照射した状態で、該撮像素子で撮像を行って得られる画像データを、テスターと呼ばれる検査装置に取り込み、その検査装置にて各種検査データを生成することが行われている。このような検査においては、光源から常に一定光量の光が照射される必要があるが、時間と共に、この光量に変動を生ずるため、光源の定期的なメンテナンスが必要となる。一般的には、光源から照射される光量を照度計で測定し、その測定値を元に光源の絞り等を調整することで、メンテナンスを行っている。
【０００３】
【特許文献１】特開平５−７９９０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記検査工程は、基本的に全て自動で行われるが、光源のメンテナンスを行う場合は、作業者が照度計を用意して、手動で行う必要があり、メンテナンス作業が面倒である。又、検査工程のラインが一旦止まるため、ラインの稼働率が低下したり、照度のばらつきで歩留まりが悪化したりするという問題がある。また、検査工程とは全く関係のない照度計を用いて光源を調整するため、実際の検査工程における検査条件を考慮したメンテナンスが行われているとは言えず、実態に即さないメンテナンスとなる。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、実態に即したメンテナンスを行うことが可能な撮像素子検査システムにおける光源の調整方法及び装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法は、撮像素子に光源から光を照射した状態で前記撮像素子により撮像して得られる撮像データに基づいて、前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査システムにおける前記光源の調整方法であって、前記撮像素子と同一品種の光源調整用撮像素子であって、前記撮像素子の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる第１の撮像データが既知の光源調整用撮像素子を準備する準備ステップと、前記撮像素子の検査を行う際の撮像条件と同じ条件下で、前記光源調整用撮像素子により撮像を行う撮像ステップと、前記撮像ステップで前記光源調整用撮像素子から得られる第２の撮像データと、前記第１の撮像データとに基づいて、前記光源から照射される光量の調整を行う光量調整ステップとを含む。
【０００７】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法は、前記光量調整ステップでは、前記第２の撮像データが前記第１の撮像データとほぼ一致するように、前記光源から照射される光量を調整する。
【０００８】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法は、前記撮像素子検査システムが、前記撮像素子を載置するための載置部と、前記撮像素子を前記載置部に搬送する搬送部と、前記載置部に載置された撮像素子に光を照射するための前記光源とを有し、前記光源調整用撮像素子を前記載置部に載置する載置ステップを含み、前記撮像ステップでは、前記載置部に載置された前記光源調整用撮像素子に前記光源から光を照射した状態で撮像を行う。
【０００９】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整方法は、前記載置ステップでは、前記光源調整用撮像素子を前記搬送部により搬送して前記載置部に載置する。
【００１０】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置は、撮像素子に光源から光を照射した状態で前記撮像素子により撮像して得られる撮像データに基づいて、前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査システムにおける前記光源の調整装置であって、前記撮像素子と同一品種の光源調整用撮像素子であって、前記撮像素子の検査を行う際の理想的な撮像条件と同じ条件下での撮像により得られる第１の撮像データが既知の光源調整用撮像素子により、前記撮像素子の検査を行う際の撮像条件と同じ条件下で撮像して得られる第２の撮像データと、前記第１の撮像データとに基づいて、前記光源から照射される光量を調整する光量調整手段を備える。
【００１１】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置は、前記光量調整手段が、前記第２の撮像データが前記第１の撮像データとほぼ一致するように、前記光源から照射される光量を調整する。
【００１２】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置は、前記撮像素子検査システムが、前記撮像素子を載置するための載置部と、前記撮像素子を前記載置部に搬送する搬送部と、前記載置部に載置された撮像素子に光を照射するための前記光源とを有し、前記載置部に載置された前記光源調整用撮像素子に前記光源から光を照射した状態で、前記光源調整用撮像素子により撮像を行わせる撮像制御手段を備え、前記撮像制御手段の制御によって前記光源調整用撮像素子から得られた撮像データが前記第２の撮像データである。
【００１３】
本発明の撮像素子検査システムにおける光源の調整装置は、前記載置部に前記光源調整用撮像素子を搬送させる制御を前記搬送部に対して行う搬送制御手段を備える。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、実態に即したメンテナンスを行うことが可能な撮像素子検査システムにおける光源の調整方法及び装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施形態である撮像素子検査システムの概略構成を示す図である。図２は、図１に示したシステムにおいて光源のメンテナンスを行う場合の動作を説明するためのフローチャートである。
【００１７】
図１に撮像素子検査システム１０は、パッケージ化された撮像素子１２を載置するための載置部１１と、載置部１１に載置された撮像素子１２に光を照射するための光源１３と、撮像素子１２で撮像を行って得られた撮像データを取り込み、この撮像データに基づいて撮像素子１２の各種特性を示す検査データを生成するテスター等の検査装置１４と、検査前の撮像素子１２が保管されている場所から１つの撮像素子１２を取り出して載置部１１の所定位置に搬送し、検査終了後の撮像素子１２を検査済みの撮像素子１２が保管される保管場所に搬送する搬送装置１６と、光源１３から照射される光の光量を調整したり、光源１３のオンオフを制御したりする光源制御装置１５とを備える。
【００１８】
光源１３は、例えばハロゲン光を発する電球や発光素子であり、照射する光量を絞りによって調整することが可能となっている。光源１３は、撮像素子１２の検査時においては、基準光量の光が照射されるように設定されている。
【００１９】
搬送装置１６は、対象物を掴んで搬送するアーム部（不図示）と、このアーム部を制御する制御部（不図示）とを備える。
【００２０】
検査装置１４は、搬送装置１６の制御を行う搬送制御部１４ａと、載置部１１に載置された撮像素子１２を駆動して撮像素子１２による撮像を行わせる制御を行う撮像素子制御部１４ｂと、検査工程時に撮像素子１２から得られた撮像データに基づいて検査データを生成する検査データ生成部（不図示）とを備える。
【００２１】
搬送制御部１４ａは、例えば、撮像素子１２の検査工程において所定数の撮像素子１２の検査が終わったタイミングや、撮像素子１２の検査工程を開始する直前のタイミングや、作業者が設定した任意のタイミング等において、検査対象となる撮像素子１２と同一品種の光源調整用撮像素子が保管されている場所から載置部１１の所定位置へ、該光源調整用撮像素子を搬送するように、搬送装置１６の制御部に指示を出す。尚、搬送制御部１４ａは、検査装置１４に内蔵されていなくても良い。例えば、搬送装置１６内に内蔵しておいても良い。
【００２２】
撮像素子制御部１４ｂは、載置部１１に載置された撮像素子１２又は光源調整用撮像素子を駆動して撮像を行わせる。
【００２３】
光源調整用撮像素子は、撮像素子１２の検査を行う際の理想的な撮像条件と同一の条件下、つまり、載置部１１に載置して光源１３から基準光量の光を照射した状態、で撮像を行った際に得られる撮像データ（以下、Ａとする）が既知であり、この撮像データＡは、検査装置１４内部のメモリに記憶されている。
【００２４】
検査装置１４は、更に、光源調整用撮像素子により、撮像素子１２の検査を行う際の撮像条件と同じ条件下、つまり、光源調整用撮像素子を載置部１１に載置して光源１３から光（この光の光量は基準光量からずれている可能性もある）を照射させた状態、で撮像を行って得られる撮像データ（以下、Ｂとする）と、撮像データＡとに基づいて、光源１３から照射される光量を調整するための光量調整用信号を生成する光量調整用信号生成部１４ｃとを備える。
【００２５】
光量調整用信号生成部１４ｃは、撮像データＢが撮像データＡとほぼ一致するように、光量調整用信号を生成する。例えば、光量調整用信号生成部１４ｃは、撮像データＢの特定位置の画素データの輝度値（以下、ｂとする）と、撮像データＡの該特定位置の画素データの輝度値（以下、ａとする）とを比較する。比較の結果、輝度値ｂが輝度値ａを下回っていた場合は、光源１３から照射される光量が基準光量よりも下がっていると判断し、光量を上げるための光量調整用信号を生成して、光源制御装置１５に出力する。輝度値ｂが輝度値ａを上回っていた場合は、光源１３から照射される光量が基準光量よりも上がっていると判断し、光量を下げるための光量調整用信号を生成して、光源制御装置１５に出力する。輝度値ｂが輝度値ａと同じだった場合は、光源１３から照射される光量が基準光量と一致していると判断し、光量調整用信号の生成を行わない。
【００２６】
光源制御装置１５は、光量調整用信号生成部１４ｃからの光量調整用信号に応じて、光源１３の絞りを制御して、光源１３から照射される光量を多く或いは少なくしたりする。
【００２７】
撮像素子１２の検査工程においては、搬送装置１６が、検査前の撮像素子１２を保管場所から搬送して載置部１１に載置し、載置部１１に載置された撮像素子１２に光源１３から光をあてた状態で、検査装置１４が撮像素子１２を駆動して、撮像素子１２に撮像を行わせる。撮像により撮像素子１２から出力される撮像データを検査装置１４が取り込み、この撮像データに基づいて検査データの生成を行う。このような処理が検査対象となる全ての撮像素子１２に対して行われる。
【００２８】
次に、撮像素子検査システムにおいて光源１３のメンテナンスを行う場合の動作について図２を参照して説明する。
【００２９】
所定数の撮像素子１２の検査が終了して光源１３のメンテナンスのタイミングになると、検査工程が一時中断され、光源調整用撮像素子が載置部１１へと搬送され、載置される（ステップＳ１）。光源調整用撮像素子が載置部１１に載置されると、撮像素子制御部１４ｂの制御によって、撮像素子１２を検査する際の撮像条件と同じ条件で、光源調整用撮像素子により撮像が行われる（ステップＳ２）。光源調整用撮像素子から撮像データＢが出力されると、撮像データＢと撮像データＡが比較され、両者が一致していない場合（ステップＳ３：ＮＯ）は、光量調整用信号が生成されて光源１３の光量調整が行われる（ステップＳ４）。光量調整後は、ステップＳ２に処理を移行し、撮像素子制御部１４ｂの制御により、光源調整用撮像素子によって再び撮像が行われる。一方、両者がほぼ一致していた場合（ステップＳ３：ＹＥＳ）は、載置部１１に載置された光源調整用撮像素子が、搬送装置１６によって保管場所へと搬送される（ステップＳ５）。以上のような処理を、定期的に行うことで、撮像素子１２に照射される光量は常に一定となり、安定した検査を実施することが可能となる。
【００３０】
以上のように、本実施形態の撮像素子検査システムによれば、撮像素子１２を検査するときと同一の撮像条件下で光源調整用撮像素子により撮像して得られた撮像データＢに基づいて、光源１３から照射される光量が基準光量となるように調整することができるため、照度計を用いる従来に比べて、より実態に即したメンテナンスが可能となる。
【００３１】
又、本実施形態の撮像素子検査システムによれば、光源１３のメンテナンスを、既存の検査工程に用いている搬送装置１６、載置部１１、及び検査装置１４を利用して行うことができる。このため、例えば既存のシステムにある装置のプログラム変更のみで対応することができ、コストを低く抑えることができる。
【００３２】
又、本実施形態の撮像素子検査システムによれば、光源１３のメンテナンスを自動的に行うことができるため、作業者がメンテナンスを意識する必要がなくなり、作業者への負担を減少させることができる。又、従来のように、作業者が、検査工程のラインを中断した上で照度計を準備してメンテナンスを行い、メンテナンス終了後、検査工程のラインを再開させるといった手間がなく、ラインの稼働率が向上する。
【００３３】
尚、以上の説明では、光源１３のメンテナンス時に、搬送装置１６が光源調整用撮像素子を載置部１１まで搬送するものとしたが、この作業は人が行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態である撮像素子検査システムの概略構成を示す図
【図２】図１に示したシステムにおいて光源のメンテナンスを行う場合の動作を説明するフローチャート
【符号の説明】
【００３５】
１０    撮像素子検査システム
１１    載置部
１２    撮像素子
１３    光源
１４    検査装置
１４ａ  搬送制御部
１４ｂ  撮像素子制御部
１４ｃ  光量調整用信号生成部
１５    光源制御装置
１６    搬送装置
【図１】
2008014909.tif 000003
【図２】
2008014909.tif 000004