(57)【要約】【課題】電源部から出力される電圧値を効率よく調整することができる半導体試験装置を提供する。【解決手段】半導体試験装置１００では、電源部１１，１２，・・・からカードへ供給される電源の電圧値を検出する処理を行う。そして、制御部４０によりこれらの検出した各電圧値と各電源回路１１ａ，１２ａ，・・・毎の最適な電圧値とをそれぞれ比較し、各電圧値が最適な電圧値と一致するか否かを判定する。比較した結果、電源部１１，１２，・・・のうち、電圧値が最適な電圧値と一致していない電源部が存在する場合には制御信号と最適な電圧値のデータをその電源部の電圧調整部に出力して電圧値を調整する処理を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部と、
前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する電圧調整部とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部と、
前記電源部により出力される電圧値を検出する電圧検出部と、
前記電圧検出部により検出された電圧値が、予め設定された最適な電圧値と一致するか否かを判定する電圧判定部と、
前記電圧判定部により一致しないと判定された場合に、前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する電圧調整部とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項３】
請求項２に記載の半導体試験装置において、
前記電圧調整部は、
前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する動作を所定時間周期で定期的に実行することを特徴とする半導体試験装置。
【請求項４】
被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部と、
前記電源部により出力される電圧値を検出する電圧検出部と、
前記電圧検出部により検出された電圧値が、予め設定された最適な電圧値と一致するか否かを判定する電圧判定部と、
前記電圧判定部により一致しないと判定された場合に、前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する電圧調整部と、
前記電圧調整部が調整した最適な電圧値を記憶する電圧記憶部と、
前記電圧記憶部により記憶された電圧値に基づいて、半導体試験装置の電源投入時に前記電源部により出力される最適な電圧値を調整する投入電圧調整部とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスやメモリデバイス等の被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部を備えた半導体試験装置に係り、特に、電源部の出力電圧を制御する回路構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣデバイスやメモリデバイス等の半導体デバイスである被試験対象（以下、ＤＵＴと称する。）に対して機能確認等の試験を行う半導体試験装置では、ＤＵＴや実際に試験を行うテストヘッドに実装されたカードに電源を供給する電源部を複数備えている。そして、装置本体からこれらの電源部に電源を供給して試験が行われる。
【０００３】
以下の特許文献１に記載された半導体試験装置では、装置本体であるコントロール部側に商用交流電源を整流平滑して直流高電圧に変換する第１の電源回路を設けると共に、テストヘッド部側には、第１の電源回路から供給された直流高電圧電力を直流低電圧に変換するＤＣ／ＤＣコンバータで構成される第２の電源回路を設けている。また第２の電源回路により得られた直流低電圧の電力は、テスト信号発生手段を実現する各電子回路の電源として供給するように構成されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平７−１９８７９２号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の半導体試験装置では、ＤＵＴや実際に試験を行うテストヘッドに実装されたカードに電源を供給する複数の電源部において、これらの電源部から出力される電圧の制御は以下のように行われている。図４は、従来技術における半導体試験装置２００の構成を示す説明図である。この半導体試験装置２００は、各種の機能を備えた複数のカードが実装されてＤＵＴに対し機能確認等の試験を行うテストヘッド２１０と、装置全体の動作を制御する装置本体２２０とから構成されている。
【０００５】
テストヘッド２１０は、これに実装された複数のカードのそれぞれに対し、試験を実行するための電源を供給する複数の電源部２１１，２１２，・・・を備えている。複数の電源部２１１，２１２，・・・は、それぞれが個別にテストヘッド２１０に実装されたカードに接続されており、電源部２１１，２１２，・・・内に備えた電源回路（ＤＣＤＣコンバータ）２１１ａ，２１２ａ，・・・が装置本体２２０から供給された電源を受け取ってこれらのカードに電源を供給する。また、電源回路２１１ａ，２１２ａ，・・・からそれぞれ接続されたカードに対して出力する電源の電圧値は、電圧検出回路２１１ｂ，２１２ｂ，・・・が検出したものを例えば作業者が見て確認等することが可能な表示部に表示し、ボリュームを操作して電圧値の調整を行っている。
【０００６】
装置本体２２０は、図示しない制御部によって装置全体の動作を制御し、テストヘッド２１０への電源供給等を行う。そしてテストヘッド２１０内の電源回路２１１ａ，２１２ａ，・・・に接続された電源供給部２２１が、外部電源からの交流電源を直流電源に変換してこれらの電源回路２１１ａ，２１２ａ，・・・に供給している。
【０００７】
そして、半導体試験装置２００の出荷時には、作業者が電圧検出回路２１１ｂ，２１２ｂ，・・・の表示部を見て電源部２１１，２１２，・・・から出力される電源の電圧値を確認し、作業者が電源部２１１，２１２，・・・にそれぞれ設けられたボリュームを操作して、正常に動作するための最適な電圧値に最終的な調整を行って出荷している。
【０００８】
しかしながら、電源部２１１，２１２，・・・の全てに対して、１つずつ最適な電圧値の調整を手作業で行っていると、最終的な調整が終了して出荷するまでに作業に時間が掛かり、それだけ出荷が遅れることにもなっていた。また、作業者が手作業でボリュームを操作する際、操作に誤差が生じると電圧値が最適に調整されていないおそれもある。
【０００９】
そこで本発明は、電源部から出力される電圧値を効率よく調整できる半導体試験装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上のような課題を達成するために、本発明に係る半導体試験装置は、被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部と、前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する電圧調整部とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
このような構成により、作業者がボリューム機能等を用いて調整を行わなくても、電圧調整部が自動的に最適な電圧値に調整するので、手作業での誤差が生じることなく正確に調整することができる。
【００１２】
また、本発明に係る他の半導体試験装置は、被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部と、前記電源部により出力される電圧値を検出する電圧検出部と、前記電圧検出部により検出された電圧値が、予め設定された最適な電圧値と一致するか否かを判定する電圧判定部と、前記電圧判定部により一致しないと判定された場合に、前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する電圧調整部とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
このような構成により、電圧検出部により電源部から出力される電圧値を検出して最適な電圧値と一致しない場合に調整を行うので、調整が必要なときのみに動作を適切に行うことができる。この場合、作業者がボリューム機能等を用いて調整を行わなくても、電圧調整部が自動的に最適な電圧値に調整するので、手作業での誤差が生じることなく正確に調整することができる。
【００１４】
上述の半導体試験装置において、前記電圧調整部は、前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する動作を所定時間周期で定期的に実行することとしても良い。このような構成により、所定時間周期で定期的に電圧値を調整することで、試験時の動作中に電圧値が変動することがあっても常に最適な電圧値とすることができる。
【００１５】
更に、本発明に係る他の半導体試験装置は、被試験対象に対して試験を行うための電源を供給する電源部と、前記電源部により出力される電圧値を検出する電圧検出部と、前記電圧検出部により検出された電圧値が、予め設定された最適な電圧値と一致するか否かを判定する電圧判定部と、前記電圧判定部により一致しないと判定された場合に、前記電源部により出力される電圧値を最適な電圧値に調整する電圧調整部と、前記電圧調整部が調整した最適な電圧値を記憶する電圧記憶部と、前記電圧記憶部により記憶された最適な電圧値に基づいて、半導体試験装置の電源投入時に前記電源部により出力される電圧値を調整する投入電圧調整部とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
このような構成により、電圧検出部により電源部から出力される電圧値を検出して最適な電圧値と一致しない場合に調整を行うので、調整が必要なときのみに動作を適切に行うことができる。作業者がボリューム機能等を用いて調整を行わなくても、電圧調整部が自動的に最適な電圧値に調整するので、手作業での誤差が生じることなく正確に調整することができる。また、電圧記憶部により最適な電圧値を記憶しておいて投入電圧調整部が電源投入時に電圧値を調整するので、半導体試験装置自体の電源を投入したときから最適な電圧値で動作させることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る半導体試験装置によれば、電源部から出力される電圧値を検出して自動的に最適な電圧値に調整できるため、短時間で高効率に調整を完了させることができる。また、電圧調整の作業に要する工数を削減し、製造コストの低減に大きく寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
〔第１の実施の形態〕
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は第１の実施の形態における半導体試験装置１００の全体構成を示す説明図である。半導体試験装置１００は、ＩＣデバイスやメモリデバイス等の半導体デバイスであるＤＵＴに対して機能確認等の試験を行うための各種のカードをテストヘッドに実装し、装置本体から供給された電源を複数の電源部に分配しておき、各カード毎に電源部から電源を供給して試験を実行する装置である。
【００１９】
半導体試験装置１００は、各種の機能を備えたカードが実装されたテストヘッド１０と、装置全体の動作を制御する装置本体２０と、テストヘッド１０からカードに供給する電源の電圧値を制御して調整する制御部４０とから構成されている。テストヘッド１０には、ＤＵＴが装着された状態で試験が行われる。
【００２０】
テストヘッド１０は、そこに実装された複数のカードのそれぞれに電源を供給する複数の電源部１１，１２，・・・を備えている。これらの電源部１１，１２，・・・は、各カードに接続されて電源を供給する電源回路（ＤＣＤＣコンバータ）１１ａ，１２ａ，・・・を備えている。電源回路１１ａ，１２ａ，・・・は、それぞれが個別にテストヘッド１０に実装されたカードと装置本体２０内の電源供給部２１に接続されている。電源供給部２１から供給された電源を受け取ってカードに試験を行うための電源を供給する。
【００２１】
また、電源部１１，１２，・・・は、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・からそれぞれ接続されたカードに対して出力する電源の電圧値を調整する電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・を備えている。電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・は、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・と制御部４０とに接続されている。電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・は、制御部４０から出力された電源回路１１ａ，１２ａ，・・・から出力する電源の最適な電圧値のデータをデジタル信号からアナログ信号に変換する。そして、このアナログ信号を電源回路１１ａ，１２ａ，・・・に出力して電源回路１１ａ，１２ａ，・・・から出力する電源の電圧値を調整する機能を有する。
【００２２】
ここで、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・から出力する電源の最適な電圧値は、半導体試験装置１００の動作時に電源部１１，１２，・・・が安定して正常動作できる電圧値である。最適な電圧値としては、例えば電源部１１，１２，・・・が正常に動作する電圧値の範囲の最小値と最大値の中心値が用いられる。
【００２３】
テストヘッド１０は、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・からそれぞれ接続されたカードに対して出力する電源の電圧値を検出する電圧検出部３０を備えている。電圧検出部３０は、例えば電源回路１１ａ，１２ａ，・・・から出力される直流電圧を測定する直流測定機器等を用いて実現される。電圧検出部３０は、テストヘッド１０内のマザーボード９を通じて電源回路１１ａ，１２ａ，・・・の出力端子に接続され、さらに電圧検出部３０は制御部４０に接続されている。電圧検出部３０は、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・のそれぞれに対応したＡ／Ｄ変換器３０ａ，３０ｂ，・・・を有しており、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・からカードに出力する電源の電圧値を検出すると、その検出した電圧値のデータをアナログ信号からデジタル信号に変換して制御部４０に出力する。制御部４０は例えばＣＰＵを内蔵しており、ＣＰＵはバスラインを介してデジタル信号を取得することができる。
【００２４】
装置本体２０は、テストヘッド１０への電源供給を行う電源供給部２２を備えている。電源供給部２２は、外部電源からの交流電源に整流変換等の処理を行い、直流電源に変換する。また電源供給部２２は、変換した直流電源を電源回路１１ａ，１２ａ，・・・に分配して供給する機能を有する。
【００２５】
制御部４０は、装置全体の動作を制御し電源部１１，１２，・・・からカードに対して出力される電源の電圧値を調整する機能を有する。内部に備えた図示しない記憶部に予め設定して記憶された各電源回路１１ａ，１２ａ，・・・毎の最適な電圧値のデータを読み出して、電圧検出部３０から出力された電圧値のデータと比較する。そして、比較した結果に基づいて、電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・に対して最適な電圧値のデータを出力し、電源回路１１ａ，１２ａ，・・・から出力する電源の電圧値を調整する。
【００２６】
続いて、第１の実施の形態における半導体試験装置１００の動作について図２に示すフローチャートを用いて説明する。なお、この動作は半導体試験装置１００の出荷時の最終的な調整作業またはＤＵＴの試験等の動作中の所定時間周期で定期的に実行される。
【００２７】
ステップＳ２０１：半導体試験装置１００は、電圧検出部３０により電源部１１，１２，・・・からカードへ供給される電源の電圧値を検出する処理を行う。そして、これらの検出した電圧値をアナログ信号からデジタル信号に変換する処理を行い、制御部４０に出力する。
【００２８】
ステップＳ２０２，Ｓ２０３：半導体試験装置１００は、制御部４０により電圧検出部３０が検出した各電圧値と制御部４０内の記憶部に記憶された最適な電圧値とを比較する処理を行う。半導体試験装置１００は、制御部４０内の図示しない記憶部に記憶された各電源回路１１ａ，１２ａ，・・・毎に予め設定された最適な電圧値を読み出す処理を行う。そして、これらの読み出した各電源回路１１ａ，１２ａ，・・・毎の最適な電圧値と、ステップＳ２０１において電源検出部３０から出力された電源回路１１ａ，１２ａ，・・・の各電圧値とをそれぞれ比較し、各電圧値が最適な電圧値と一致するか否かを判定する。
【００２９】
ステップＳ２０４：半導体試験装置１００は、各電圧値と最適な電圧値とをそれぞれ比較した結果、電源部１１，１２，・・・のうち、電圧値が最適な電圧値と一致していないものが存在する場合には（ステップＳ２０３のＮＯ）、最適な電圧値に調整する処理を行う。半導体試験装置１００は、制御部４０によりその電源部から出力される電圧値を調整するための制御信号とその電源部の電源回路の最適な電圧値のデータを、その電源部の電圧調整部に出力する処理を行う。
【００３０】
そして、電源部１１，１２，・・・のうち電圧値が最適な電圧値と一致していない電源部の電圧調整部は、制御部４０から出力された制御信号と最適な電圧値のデータを受け取る。制御信号の内容に従って最適な電圧値のデータをデジタル信号からアナログ信号に変換し、このアナログ信号をその電圧調整部が接続された電源回路に出力して最適な電圧値に調整する。
【００３１】
再度、ステップＳ２０１〜Ｓ２０３を経て、半導体試験装置１００は、各電圧値と最適な電圧値とをそれぞれ比較した結果、電源部１１，１２，・・・のうち、電圧値が最適な電圧値と一致していない電源部が存在しない場合には（ステップＳ２０３のＹＥＳ）、ここで処理を終了する。
【００３２】
以上のように、第１の実施の形態における半導体試験装置１００では、出荷時または動作中の所定時間周期で定期的に動作を行い、電源部１１，１２，・・・からカードへ供給される電源の電圧値を検出する処理を行う。そして、制御部４０によりこれらの検出した各電圧値と各電源回路１１ａ，１２ａ，・・・毎の最適な電圧値とをそれぞれ比較し、各電圧値が最適な電圧値と一致するか否かを判定する。比較した結果、電源部１１，１２，・・・のうち、電圧値が最適な電圧値と一致していない電源部が存在する場合には制御信号と最適な電圧値のデータをその電源部の電圧調整部に出力して電圧値を調整する処理を行う。
【００３３】
このため、電源部１１，１２，・・・からカードへ出力される電圧値を検出して短時間で調整を行うことができる。また、制御部４０が検出値と最適値とを比較しながら自動的に調整を行うことができるため、ボリューム等を用いた手作業での誤差が生じることなく正確に電圧調整を行うことができる。また、電圧検出部３０により検出した電圧値と最適な電圧値とを比較して一致しない場合に調整を行うので、調整が必要なときのみに動作を適切に行うことができ、調整動作に無駄がない。
【００３４】
また、ＤＵＴの試験時等の動作中に所定時間周期で定期的に電圧値を調整するので、動作中に電圧値が変動することがあっても常に最適な電圧値に保つことができる。
【００３５】
更に、動作前に予め制御部４０の図示しない記憶部に、正常に動作する範囲の中心値に限られず、試験内容、各電源部の負荷パターン、試験時の様々な状況に対応した最適な電圧値を設定しておくことにより、様々な状況に対応して適切に電圧値の異常を判定して最適な電圧値に調整できる。
【００３６】
〔第２の実施の形態〕
以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図３は第２の実施の形態における半導体試験装置１００の全体構成を示す説明図である。半導体試験装置１００は、各電源部１１，１２，・・・の最適な電圧値のデータを記憶するメモリ１１ｃ，１２ｃ，・・・を備えている。これらのメモリ１１ｃ，１２ｃ，・・・は、制御部４０と電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・を接続する接続線を分岐して制御部４０に接続されている。各電源部１１，１２，・・・の電圧値が最適な電圧値と一致していない場合において、制御部４０から各電源部１１，１２，・・・の電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・に対して制御信号と最適な電圧値のデータが出力された際に、メモリ１１ｃ，１２ｃ，・・・は個々に最適な電圧値のデータを記憶する機能を有する。その他の構成は、第１の実施の形態と同様であり、ここでは重複した説明を省略する。
【００３７】
第２の実施の形態では、半導体試験装置１００は、上述の第１の実施の形態のステップＳ２０４において、制御部４０により電源部１１，１２，・・・のうち電圧値が最適な電圧値と一致していない電源部の電圧調整部に対して、電源部から出力される電圧値を調整するための制御信号とその電源部の電源回路の最適な電圧値のデータを出力すると、電圧値の調整と同時にその電源部のメモリに最適な電圧値のデータを記憶する処理を行う。
【００３８】
そして、動作が終了して一度は半導体試験装置１００の電源が遮断された後、再度、電源が投入された際に、制御部４０は各メモリ１１ｃ，１２ｃ，・・・に記憶しておいた最適な電圧値のデータを読み出す。そして、この読み出した最適な電圧値のデータをデジタル信号からアナログ信号に変換し、このアナログ信号を対応する電圧調整部１１ｂ，１２ｂ，・・・に出力して最適な電圧値に調整する処理を行う。このような動作によって、半導体試験装置１００は、電源を投入された最初の時点から、電源部からカードに対して供給される電源の電圧値を最適な数値とすることができ安定した正常な動作を保つことができる。
【００３９】
〔その他の実施の形態〕
図２のフローチャートにおいて、ステップＳ２０４で制御部４０により最適な電圧値に調整する処理を行った後、再度、ステップＳ２０１〜Ｓ２０３を経て電圧値を比較するフィードバック確認を行っているが、特にこのような確認を行うことなく、制御部４０がステップＳ２０４で電圧値を調整すると、そのまま処理を終了する構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１の実施形態の半導体試験装置の構成を示す説明図である。
【図２】第１の実施形態の半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】第２の実施形態の半導体試験装置の構成を示す説明図である。
【図４】従来技術における半導体試験装置の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１００，２００    半導体試験装置
１０，２１０    テストヘッド
２０，２２０    装置本体
１１，１２，２１１，２１２    電源部
１１ａ，１２ａ，２１１ａ，２１２ａ    電源回路
１１ｂ，１２ｂ    電圧調整部
１１ｃ，１２ｃ    メモリ
２１，２２１    電源供給部
２１１ｂ，２１２ｂ    電圧検出回路
３０    電圧検出部
４０    制御部
【図１】
2008157643.tif 000003
【図２】
2008157643.tif 000004
【図３】
2008157643.tif 000005
【図４】
2008157643.tif 000006