(57)【要約】【課題】長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、安定した駆動を維持することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。【解決手段】本発明にかかるアクチュエータ１は、質量部２１と支持部２２と質量部２１を片持ち支持するように、支持部２２に対して質量部２１を回動可能に連結する連結部２４と質量部２１を回動させるための圧電素子４１、５１を備えた１対の駆動源４、５とを有し、１対の駆動源４、５は、回動中心軸Ｘを介して互いに離間して設けられ、各駆動源４、５は、連結部２４または支持部２２に対して摺動可能に設けられ、１対の圧電素子４１、５１を互いに逆位相で伸縮させることにより、連結部２４の少なくとも一部を捩れ変形させつつ質量部２１を回動させるよう構成されている。【選択図】図１
2008065191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量部と、
支持部と、
前記質量部を片持ち支持するように、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、
前記質量部を回動させるための圧電素子を備えた１対の駆動源とを有し、
前記１対の駆動源は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間して設けられ、
前記各駆動源は、前記連結部または前記支持部に対して摺動可能に設けられ、
前記１対の圧電素子を互いに逆位相で伸縮させることにより、前記連結部の少なくとも一部を捩れ変形させつつ前記質量部を回動させるよう構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記各駆動源は、前記支持部に対して固定的に設けられ、前記圧電素子と前記連結部との間に摺動部材を備え、
前記各摺動部材は、それが設けられた前記圧電素子と接合し、かつ、前記連結部に対し摺動可能となっている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記各摺動部材は、前記圧電素子の構成主材料よりも低い熱伝導率を有する請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記各駆動源の前記連結部との当接部の表面、および／または、前記連結部の前記各駆動源との当接部の表面には、摺動性を向上させるための表面処理が施されている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記連結部は、板状の駆動部と、前記第１の支持部に対し前記駆動部を回動可能に連結する第１の弾性部と、前記駆動部に対し前記質量部を回動可能に連結する第２の弾性部とを有し、
前記各駆動源は、前記駆動部に対して摺動可能に設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記各駆動源は、前記駆動部に対し、点接触、または前記質量部の回動中心軸に平行な方向へ延在するように線接触している請求項５に記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記各駆動源は、前記質量部の回動中心軸に平行な方向での前記駆動部の全域と線接触している請求項６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記１対の駆動源は、前記駆動部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸に対してほぼ対称に設けられている請求項５ないし７のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記弾性部は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに対向する１対の弾性変形可能な弾性部材を有し、
前記１対の駆動源は、前記１対の弾性部材に対応して設けられ、
対応する前記駆動源と前記弾性部材とは、摺動可能に設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記各駆動源は、前記弾性部材と点接触している請求項９に記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし１０のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
光反射性を有する光反射部を備えた質量部と、
支持部と、
前記質量部を片持ち支持するように、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、
前記質量部を回動させるための圧電素子を備えた１対の駆動源とを有し、
前記１対の駆動源は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間して設けられ、
前記各駆動源は、前記連結部または支持部に対して摺動可能に設けられ、
前記１対の圧電素子を互いに逆位相で伸縮させることにより、前記連結部の少なくとも一部を捩れ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１３】
光反射性を有する光反射部を備えた質量部と、
支持部と、
前記質量部を片持ち支持するように、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、
前記質量部を回動させるための圧電素子を備えた１対の駆動源とを有し、
前記１対の駆動源は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間して設けられ、
前記各駆動源は、前記連結部または支持部に対して摺動可能に設けられ、
前記１対の圧電素子を互いに逆位相で伸縮させることにより、前記連結部の少なくとも一部を捩れ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光学デバイスとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、１自由度振動系の捩り振動子を備えるアクチュエータが開示されている。このアクチュエータは、反射ミラーと、反射ミラーを支持するための固定枠部と、反射ミラーと固定枠部とを連結する１対のバネ部とを備えている。１対のバネ部は、反射ミラーをその両側から支持するように設けられている。
【０００３】
各バネ部は、連結体と、反射ミラーと連結体とを連結する第１のバネ部と、固定枠部と連結体とを連結する第２のバネ部を有している。さらに、第２のバネ部は、反射ミラーの回動中心軸に対して、互いに対向するように設けられた１対の弾性体で構成されている。すなわち、各バネ部は、途中で２本に分岐した構造をなしている。
各第２のバネ部には、その長手方向に伸縮するように圧電素子（駆動源）が接合されている。そして、アクチュエータは、この圧電素子に電圧を印加し、その圧電素子を伸縮させることで、各第２のバネ部を曲げ変形させ、それに伴い、第１のバネ部を捩れ変形させて反射ミラーを回動させ、光を反射し走査する。これにより、光走査により描画を行うことができる。
【０００４】
ここで、バネ部に接合させた圧電素子は、その駆動（電圧印加）により熱を発生してしまうため、各バネ部が昇温してしまう。この昇温によりバネ部が膨張することとなるが、特許文献１にかかるアクチュエータは、両持ち梁構造（両持ち支持）であるため、膨張によるバネ部の形状変化を許容することができず、その結果、１対のバネ部のバネ定数の急激な変化や、アクチュエータ全体の歪みを招き、安定した駆動を維持することができない。
【０００５】
さらに、特許文献１のアクチュエータのように光スキャナとして用いた場合には、上述した問題が顕著となる。具体的には、光を走査する際、反射ミラーでは、照射された光のほとんどが反射する。しかしながら、反射ミラーでの光反射率を完全に１００％とすることはできないため、このようなアクチュエータにあっては、反射ミラーに照射された光の一部が熱となり、アクチュエータを昇温させてしまう。このアクチュエータの昇温により、前述したような問題が発生することとなる。
また、昇温によるバネ部の膨張により、反射ミラーの回動中心軸がずれてしまい、アクチュエータは、所望の走査特性を発揮することができないという問題も発生する。
以上より、文献１にかかるアクチュエータは、長時間にわたって使用される場合、所望の走査特性を維持することができないという問題がある。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１９１９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、安定した駆動を維持することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、質量部と、
支持部と、
前記質量部を片持ち支持するように、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、
前記質量部を回動させるための圧電素子を備えた１対の駆動源とを有し、
前記１対の駆動源は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間して設けられ、
前記各駆動源は、前記連結部または前記支持部に対して摺動可能に設けられ、
前記１対の圧電素子を互いに逆位相で伸縮させることにより、前記連結部の少なくとも一部を捩れ変形させつつ前記質量部を回動させるよう構成されていることを特徴とする。
【０００９】
これにより、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への、前記連結部の熱膨張による変位を許容することができる。その結果、前記連結部のバネ定数の急激な変化を防止することができ、さらに、前記質量部の回動中心軸を一定に保つことができる。以上より、前記圧電素子から発せられた熱によりアクチュエータが昇温した場合等であっても、アクチュエータは、所望の振動特性を発揮することができる。すなわち、アクチュエータは、長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、所望の振動特性を維持することができる。
【００１０】
本発明のアクチュエータでは、前記各駆動源は、前記支持部に対して固定的に設けられ、前記圧電素子と前記連結部との間に摺動部材を備え、
前記各摺動部材は、それが設けられた前記圧電素子と接合し、かつ、前記連結部に対し摺動可能となっていることが好ましい。
このような摺動部材を設けることで、前記各駆動源と前記連結部との接触位置、接触部の形状など設計の自由度を増加させ、前記連結部と前記各駆動源との摺動性を所望のものとすることができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記各摺動部材は、前記圧電素子の構成主材料よりも低い熱伝導率を有することが好ましい。
これにより、前記圧電素子に電圧を印加する（前記圧電素子を伸縮させる）ことにより、前記圧電素子から発生する熱が、前記連結部材に伝達させることを抑制することができる。その結果、連結部の変形を抑制することができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記各駆動源の前記連結部との当接部の表面、および／または、前記連結部の前記各駆動源との当接部の表面には、摺動性を向上させるための表面処理が施されていることが好ましい。
これにより、前記連結部と前記駆動源との摺動性を向上させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記連結部は、板状の駆動部と、前記第１の支持部に対し前記駆動部を回動可能に連結する第１の弾性部と、前記駆動部に対し前記質量部を回動可能に連結する第２の弾性部とを有し、
前記各駆動源は、前記駆動部に対して摺動可能に設けられていることが好ましい。
このような構成とすることにより、前記１対の駆動源を互いに逆位相で伸縮させ、前記第１の弾性部を捩り変形させつつ前記駆動部を回動させ、それに伴い、前記第２の弾性部を捩り変形させつつ前記質量部を回動させることができる。その結果、前記駆動部の回動角が小さくても、前記質量部の回動角を大きくすることができる。
【００１３】
本発明のアクチュエータでは、前記各駆動源は、前記駆動部に対し、点接触、または前記質量部の回動中心軸に平行な方向へ延在するように線接触していることが好ましい。
これにより、前記駆動部の回動中にて、前記駆動部と前記駆動源との接触面積をほぼ一定に保つことができ、駆動部を円滑に回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記各駆動源は、前記質量部の回動中心軸に平行な方向での前記駆動部の全域と線接触していることが好ましい。
これにより、前記質量部の回動中心軸と平行な方向での前記駆動部の全域に、前記各圧電素子の伸縮による前記各駆動源の駆動力を均一に加えることができる。
【００１４】
本発明のアクチュエータでは、前記１対の駆動源は、前記駆動部の平面視にて、前記質量部の回動中心軸に対してほぼ対称に設けられていることが好ましい。
これにより、前記駆動部を前記質量部の回動中心軸に対して対称的に回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記弾性部は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに対向する１対の弾性変形可能な弾性部材を有し、
前記１対の駆動源は、前記１対の弾性部材に対応して設けられ、
対応する前記駆動源と前記弾性部材とは、摺動可能に設けられていることが好ましい。
このような構成とすることにより、回動中心軸を一定に保ちつつ前記質量部を回動させることができる。
【００１５】
本発明のアクチュエータでは、前記各駆動源は、前記弾性部材と点接触していることが好ましい。
これにより、前記駆動部の回動中にて、前記駆動部と前記駆動源との接触面積をほぼ一定に保つことができ、駆動部を円滑に回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記質量部には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、光学デバイスとして用いることができる。
【００１６】
本発明の光スキャナは、光反射性を有する光反射部を備えた質量部と、
支持部と、
前記質量部を片持ち支持するように、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、
前記質量部を回動させるための圧電素子を備えた１対の駆動源とを有し、
前記１対の駆動源は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間して設けられ、
前記各駆動源は、前記連結部または支持部に対して摺動可能に設けられ、
前記１対の圧電素子を互いに逆位相で伸縮させることにより、前記連結部の少なくとも一部を捩れ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成されていることを特徴とする。
【００１７】
これにより、前記質量部の回動中心軸と平行な方向への、前記連結部の熱膨張による変位を許容することができる。その結果、前記連結部のバネ定数の急激な変化を防止することができ、さらに、前記質量部の回動中心軸を一定に保つことができる。以上より、前記光反射部で反射しきれなかった光により光スキャナが昇温した場合や圧電素子から発せられた熱により光スキャナが昇温した場合等であっても、光スキャナは、所望の走査特性を発揮することができる。すなわち、光スキャナは、長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、所望の振動特性を維持することができる。
【００１８】
本発明の画像形成装置は、光反射性を有する光反射部を備えた質量部と、
支持部と、
前記質量部を片持ち支持するように、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、
前記質量部を回動させるための圧電素子を備えた１対の駆動源とを有し、
前記１対の駆動源は、前記質量部の回動中心軸を介して互いに離間して設けられ、
前記各駆動源は、前記連結部または支持部に対して摺動可能に設けられ、
前記１対の圧電素子を互いに逆位相で伸縮させることにより、前記連結部の少なくとも一部を捩れ変形させつつ前記質量部を回動させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明のアクチュエータの好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態を説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、駆動源の拡大図、図５は、図１に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２および図３中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００２０】
アクチュエータ１は、図１に示すような２自由度振動系を有する基体２と、基体２の２自由度振動系を駆動するための１対の駆動源４、５と、駆動源４、５を支持するための支持基板３とを有している。
基体２は、板状の質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２２と、質量部２１を片持ち支持する連結部２４とを備えている。さらに、連結部２４は、板状の駆動部２４１と、第１の弾性部２４２と、第２の弾性部２４３とを備えている。すなわち、基体２は、質量部２１と、支持部２２と、駆動部２４１と、第１の弾性部２４２と、第２の弾性部２４３とで構成されている。
【００２１】
このようなアクチュエータ１にあっては、後述する圧電素子４１、５１に電圧を印加することにより、圧電素子４１、５１を互いに逆位相で（反対方向へ）伸縮させ、第１の弾性部２４２を捩り変形させつつ駆動部２４１を回動させ、それに伴い、第２の弾性部２４３を捩り変形させつつ質量部２１を回動させる。この時、駆動部２４１および質量部２１は、それぞれ、図１に示す回動中心軸Ｘを中心にして回動する。
【００２２】
質量部２１の上面（支持基板３と反対側の面）には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。
質量部２１および駆動部２４１にあっては、駆動部２４１が第１の弾性部２４２を介して支持部２２に接続され、質量部２１が第２の弾性部２４３を介して駆動部２４１に接続されている。
【００２３】
第１の弾性部２４２は、駆動部２４１を支持部２２に対して回動可能とするように、駆動部２４１と支持部２２とを連結している。
第２の弾性部２４３は、質量部２１を駆動部２４１に対して回動可能とするように、質量部２１と駆動部２４１とを連結している。
このような第１の弾性部２４２と第２の弾性部２４３とは、同軸的に設けられており、これらを回動中心軸（回転軸）Ｘとして、駆動部２４１が支持部２２に対して回動可能となっており、質量部２１が駆動部２４１に対して回動可能となっている。
【００２４】
また、基体２は、駆動部２４１と第１の弾性部２４２とで構成された第１の振動系と、質量部２１と第２の弾性部２４３とで構成された第２の振動系とを有する。すなわち、基体２は、第１の振動系および第２の振動系からなる２自由度振動系を有する。
このような２自由度振動系は、基体２の全体の厚さよりも薄く形成されているとともに、図２にて上下方向で基体２の上部に位置している。言い換えすれば、基体２には、基体２の全体の厚さよりも薄い部分が形成されており、この薄い部分に異形孔が形成されることにより、質量部２１と駆動部２４１と第１の弾性部２４２と第２の弾性部２４３とが形成されている。
【００２５】
本実施形態では、前記薄肉部の上面が支持部２２の上面と同一面上に位置することにより、前記薄い部分の下方には質量部２１および駆動部２４１の回動のための空間（凹部）２８が形成されている。
このような基体２は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、質量部２１と駆動部２４１と支持部２２と第１の弾性部２４２と第２の弾性部２４３とが一体的に形成されている。このように、シリコンを主材料とすることにより、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理（加工）が可能であり、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。
【００２６】
なお、基体２は、ＳＯＩ基板等の積層構造を有する基板から、質量部２１と駆動部２４１と支持部２２と第１の弾性部２４２と第２の弾性部２４３とを形成したものであってもよい。その際、質量部２１と支持部２２の一部と駆動部２４１と第１の弾性部２４２と第２の弾性部２４３とが一体的となるように、これらを積層構造基板の１つの層で構成するのが好ましい。
このような基体２は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成された支持基板３により支持されている。
【００２７】
支持基板３には、図３に示すように、質量部２１に対応する部分に開口部３１が形成されている。この開口部３１は、質量部２１が回動（振動）する際に、支持基板３に接触するのを防止する逃げ部を構成する。開口部（逃げ部）３１を設けることにより、アクチュエータ１全体の大型化を防止しつつ、質量部２１の振れ角（振幅）をより大きく設定することができる。
【００２８】
なお、前述したような逃げ部は、前記効果を十分に発揮し得る構成であれば、必ずしも支持基板３の下面（質量部２１と反対側の面）で開放（開口）していなくてもよい。すなわち、逃げ部は、支持基板３の上面に形成された凹部で構成することもできる。また、空間２８の深さが質量部２１の振れ角（振幅）に対し大きい場合などには、逃げ部を設けなくともよい。
【００２９】
また、支持基板３には、駆動部２４１に対応する位置に、質量部２１を回動させるための１対の駆動源４、５が設けられている。すなわち、１対の駆動源４、５が、駆動部２４１と支持基板３との間に設けられている。
駆動源４と駆動源５とは、回動中心軸Ｘを介して互いに離間して設けられている。具体的には、図２にて、回動中心軸Ｘに対して左側に駆動源４が設けられており、右側に駆動源５が設けられている。
【００３０】
駆動源４および駆動部５は、それぞれ、支持基板３と接合し、駆動部２４１と摺動可能に設けられている。ここで、前述したように、質量部２１は、連結部２４により片持ち支持されているため、各駆動源４、５と駆動部２４１（連結部２４）とを摺動可能とすることで、熱膨張による前記連結部２４の回動中心軸Ｘと平行な方向への変位を許容することができる。これにより、連結部２４のバネ定数の急激な変化を防止することができさらに、質量部２１の回動中心軸Ｘを一定に保つことができる。以上より、光反射部２１１で反射しきれなかった光によりアクチュエータ１が昇温した場合や、圧電素子４１、４２から発せられた熱によりアクチュエータ１が昇温した場合等であっても、アクチュエータ１は、所望の振動特性を発揮することができる。すなわち、アクチュエータ１は、長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、所望の振動特性を維持することができる。
【００３１】
次に駆動源４、５について詳述するが、駆動源４と駆動源５とは、同様の構成（形状、寸法を含む）であるため、駆動源４について代表して説明し、駆動源５については、その説明を省略する。
駆動源４は、図４に示すように、圧電素子４１と摺動部材４２とで構成されている。
圧電素子４１は伸縮方向を長手とする柱状をなし、その伸縮方向が、非駆動時での駆動部２４１の面に垂直な方向（図２にて上下方向）となるように設けられている。さらに、圧電素子４１の下面は、支持基板３と接合している。
このような圧電素子４１は、図４に示すように、圧電材料を主材料として構成された圧電体層４１１と、この圧電体層４１１を挟持する１対の電極４１２、４１３とを有している。
【００３２】
圧電体層４１１を構成するための圧電材料としては、例えば、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、その他、各種のものが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、特に、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウムおよびチタン酸ジルコン酸鉛のうちの少なくとも１種を主とするものが好ましい。このような材料で圧電体層４１１を構成することにより、より高い周波数でアクチュエータ１を駆動することができる。
【００３３】
電極４１２は、その一部が、圧電体層４１１の下面（図４にて下端の面）から露出するように設けられている。電極４１３は、圧電体層４１１の上面（図３にて上端の面）と同一形状をなし、圧電体層４１１の上面に設けられている。そして、電極４１３は、例えばワイヤーボンディングにより形成された配線を介して、支持部材３上に設けられた端子４１４に接続されている。そして、電極４１２と電極４１３（端子４１４）とは、それぞれ、図示しない電源（電圧印加手段）に接続されている。
【００３４】
電極４１２と電極４１３（端子４１４）との間に電圧を印加すると、圧電体層４１１は、その圧電効果により、その長手方向に伸縮する。
このような圧電素子４１の上面（電極４１３の圧電体層４１１と反対側の面）には、摺動部材４２が設けられている。すなわち、摺動部材４２は、圧電素子４１と駆動部２４１との間に設けられている。そして、摺動部材４２は、圧電素子４１と接合し、かつ、駆動部２４１に対し摺動可能となっている。このような摺動部材４２を設けることで、駆動源４と駆動部２４１との接触位置、接触部の形状などの設計の自由度を増加させ、駆動部２４１と駆動源４との摺動性を所望のものとすることができる。
【００３５】
なお、摺動部材４２は、圧電素子４１に接合されているが、これに限定されず、駆動部２４１に接合されていてもよい。ただし、摺動部材４２を圧電素子４１に接合することで、摺動部材４２を駆動部２４１に接合する場合に比べ、駆動部２４１の質量を少なくすることができ、駆動部２４１をより高速で回動させることができる。
摺動部材４２の先端部（駆動部２４１側の端部）は、図１ないし図３に示すように、駆動部２４１との接触部である。この接触部（先端部）は、図４に示すように、回動中心軸Ｘに直角な方向へ丸み付けされている。ここで、駆動部２４１が回動中心軸Ｘを軸に回動するのに対し、駆動源４は、非駆動時での駆動部２４１の面に垂直な方向に伸縮する。言い換えれば、駆動部２４１の回動時において、駆動部２４１の面と駆動源４の伸縮方向とのなす角が変化する。すなわち、駆動部２４１の摺動部材４２との接触位置が、駆動部２４１の面上にて回動中心軸Ｘに直角な方向に微小に変化する。したがって、先端部を丸み付けすることにより、駆動部２４１の回動に対する摺動部材４２の追従性を向上させることができる。
【００３６】
摺動部材４２は、駆動部２４１に対し、回動中心軸Ｘに平行な方向へ延在するように線接触している。これにより、駆動部２４１の回動中にて、駆動部２４１と摺動部材４２（駆動源４）との接触面積をほぼ一定に保つことができる。また、駆動部２４１での摺動部材４２との接触部の位置が、駆動部２４１の回動中に急激に変化することを防止することができる。その結果、回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ、駆動部２４１を円滑に回動させることができる。
【００３７】
これに対し、例えば、摺動部材４２の先端が平坦面で構成され、アクチュエータ１の非駆動状態にて、摺動部材４２の平坦面と駆動部２４１とが面接触するよう構成されている場合、駆動部２４１を回動させると、（１）非駆動状態と同一の状態では、摺動部材４２の平坦面全域と駆動部２４１とが接触することとなり、また、（２）駆動源４を伸張状態とした状態では、摺動部材４２の平坦面のうちの回動中心軸Ｘに最も近異の端と駆動部２４１とが点接触または線接触することとなり、また、（３）駆動源４を収縮状態（すなわち駆動源５を伸張状態）とした場合には、摺動部材４２の平坦面のうちの回動中心軸Ｘに最も遠異の端と駆動部２４１とが点接触または線接触することとなる。以上より、摺動部材４２と駆動部２４１とが面接触する場合には、その接触面積が変化したり、駆動部２４１での摺動部材４２との接触位置が急激に変化してしまったりする。このため、駆動部２４１をスムーズに回動させることが困難となる。
【００３８】
回動中心軸Ｘと平行な方向において、摺動部材４２の先端（駆動部２４２と接触させる部分）の長さは、駆動部２４２の摺動部材４２との接触部の長さよりも長く、かつ、摺動部材４２の先端が、駆動部２４１の全域と接触するように、摺動部材４２が設けられている。これにより、連結部２４が温度変化により膨張または収縮し、それに伴って駆動部２４１の位置が、摺動部材４２に対して回動中心軸Ｘと平行な方向へ変位した場合であっても、摺動部材４２を回動中心軸Ｘに平行な方向での駆動部２４１の全域と線接触させることができる。すなわち、アクチュエータ１の温度変化に影響されることなく、回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ駆動部２４１を回動させることができる。
【００３９】
また、摺動部材４２は、回動中心軸Ｘに平行な方向での駆動部２４１の全域と線接触しているため、回動中心軸Ｘと平行な方向での駆動部２４１の全域に、駆動源４の駆動力を均一に加えることができる。また、駆動源４と駆動部２４１との接触部と、駆動源５と駆動部２４１との接触部を容易に回動中心軸Ｘに対して対称とすることができる。これにより、アクチュエータ１の製造の簡易化を図りつつ、駆動部２４１を回動中心軸Ｘに対して対称に回動させることができる。
【００４０】
ここで、アクチュエータ１の非駆動時にて、摺動部材４２と駆動部２４１との接触圧がほぼ０であることが好ましい。これにより、連結部２４が、質量部２１の面に垂直な方向へ向けて反ってしまうことによる回動中心軸Ｘのずれを防止することができる。なお、駆動源４の駆動力を駆動部２４１に伝達することができれば、特に限定されない。例えば、アクチュエータ１の非駆動時に、摺動部材４２と駆動部２４１とが接触せず、圧電素子４１の伸張時に摺動部材４２と駆動部２４１とが接触するよう構成されていてもよい。
【００４１】
摺動部材４２の先端部（駆動部２４１との接触部）、および、駆動部２４１の摺動部材４２との接触部には、摺動性を向上させるための表面処理が施されている。これにより、摺動部材４２に対する駆動部２４１の摺動性を向上させることができる。すなわち、摺動部材４２と駆動部２４１との摩擦（摺動抵抗）の軽減を図ることができる。具体的には、図２に示すように、摺動部材４２の先端部および駆動部２４１の摺動部材４２との接触部のそれぞれに被覆層Ｐが形成されている。
【００４２】
このような摩擦を低減し得る材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル（ＰＥＴ、ＰＢＴ等）、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリカーボネート、シリコーン樹脂、フッ素系樹脂（ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ等）、またはこれらの複合材料が挙げられる。
その中でも特に、フッ素系樹脂（またはこれを含む複合材料）を用いた場合には、摺動部材４２と駆動部２４１との摩擦抵抗が低減されて摺動性が向上する。
【００４３】
また、フッ素系樹脂（またはこれを含む複合材料）を用いた場合には、焼きつけ、吹きつけ等の方法により、樹脂材料を加熱した状態で、摺動部材４２および駆動部２４１への被覆を行うことができる。これにより、被覆層Ｐの密着性は特に優れたものとなる。
また、被覆層Ｐがシリコーン樹脂（またはこれを含む複合材料）で構成されたものであると、被覆層Ｐを形成する（摺動部材４２や駆動部２４１に被覆する）際に、加熱しなくても、確実かつ強固に密着した被覆層Ｐを形成することができる。すなわち、被覆層Ｐをシリコーン樹脂（またはこれを含む複合材料）で構成されたものとする場合、反応硬化型の材料等を用いることができるため、被覆層Ｐの形成を室温にて行うことができる。このように、室温にて被覆層Ｐを形成することにより、簡便にコーティングができる。
【００４４】
なお、摺動性を向上させるための表面処理としては、これに限定されず、例えば、摺動部材４２の先端部の表面および駆動部２４１の摺動部材４２との接触部の表面をそれぞれ粗面化するものであってもよい。また、本実施形態では、摺動部材４２の先端部および駆動部２４１の摺動部材４２との接触部のそれぞれに被覆層Ｐが形成されているものについて説明したが、どちらか一方に表面処理が施されていればよい。また、このような表面処理を省略してもよい。
【００４５】
このような摺動部材４２は、圧電素子４１の構成材料よりも低い熱伝導率を有している。これにより、圧電素子４１に電圧を印加することにより発生する熱の駆動部２４１への伝達を抑制することができる。これにより、昇温による連結部２４の膨張を抑制することができる。
このような材料としては、特に限定されないが、各種熱可塑性樹脂、各種熱硬化性樹脂を用いることができる。この中でも特に、熱硬化性樹脂を用いることが好ましい。熱硬化性樹脂は、耐熱性に優れ、硬く、変質・変性しにくい性質を持つ。そのため、圧電素子４１で発生した熱により摺動部材４２が変形してしまうことを防止することができる。このような熱硬化性樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ジアリルフタレート樹脂などを好適に用いることができる。
また、前述したような摩擦を低減し得る材料で摺動部材４２を構成することにより、前述したような表面処理の工程を省略することができ、製造工程を簡素化を図ることができる。
【００４６】
以上摺動部材４２について詳述したが、摺動部材４２の形状としては、駆動部２４１を回動させることができれば特に限定されず、例えば駆動部２４１と点接触していてもよい。これによっても、上述した線接触の場合と同様に、駆動部２４１の回動時にて、駆動部２４１と摺動部材４２との接触面積をほぼ一定に保つことができ、さらに、駆動部２４１での摺動部材４２との接触部の位置が駆動部２４１の回動中に急激に変化することを防止することができる。その結果、駆動部２４１をスムーズにかつ安定的に回動させることができる。
以上、駆動源４について詳述したが、駆動源５も駆動源４と同様の構成を有している。すなわち、駆動源５は、圧電素子５１と摺動部材５２とを有している。このような駆動源４と駆動源５とは、回動中心時軸Ｘに対して対象となるように設けられている。これにより、駆動部２４１を回動中心軸Ｘに対して対称的に回動させることができる。
【００４７】
以上のような構成のアクチュエータ１は、次のようにして駆動する。
例えば、図５（ａ）に示すような電圧を圧電素子４１に印加するとともに、図５（ｂ）に示すような電圧を圧電素子５１に印加する。すなわち、互いに位相の１８０°ずれた電圧を圧電素子４１と圧電素子５１とに印加する。すると、圧電素子４１を伸張状態とするとともに、圧電素子５１を収縮状態とする状態（この状態を「第１の状態」という）と、圧電素子４１を収縮状態とするとともに、圧電素子５１を伸長状態とする状態（この状態を「第２の状態」という）とを交互に繰り返す。
【００４８】
第１の状態では、圧電素子４１の伸張により、図２にて、駆動部２４１の回動中心軸Ｘよりも左側が上方へ傾き、右側が下方へ傾くこととなる。すなわち、駆動部２４１は、図２にて時計回り（右回り）に回転する。
一方、第２の状態では、圧電素子５１の伸張により、図２にて、駆動部２４１の回動中心軸Ｘよりも右側が上方へ傾き、左側が下方へ傾くこととなる。すなわち、駆動部２４１は、図２にて反時計回り（左回り）に回転する。
【００４９】
このような第１の状態と第２の状態とを交互に繰り返すことにより、第１の弾性部２４２を捩れ変形させつつ回動中心軸Ｘを軸に駆動部２４１を回動させ、それに伴い、第２の弾性部２４３を捩れ変形させつつ回動中心軸Ｘを軸に質量部２１を回動させることができる。なお、圧電素子４１、５１を互いに逆位相で伸縮させることにより、回動中心軸Ｘを一定に保ちつつ駆動部２４１を回動させることができる。
また、圧電素子により駆動力を得るため、低電圧駆動であっても比較的大きな駆動力で駆動することができる。そのため、低電圧駆動であっても、第１の弾性部２４２のバネ定数を高めて、高周波で駆動することができる。
【００５０】
このようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図６および図７は、それぞれ、第１実施形態のアクチュエータ１の製造方法を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図６および図７の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、基体２を得る工程を［Ａ１］とし、支持基板３を得る工程を［Ａ２］とし、駆動源４、５を支持基板３に接合する工程を［Ａ３］とし、基体２と支持基板３とを接合する工程を［Ａ４］とする。
【００５１】
［Ａ１］
まず、図６（ａ）に示すように、Ｓｉ層６１、ＳｉＯ２層６２、Ｓｉ層６３が順次積層されたＳＯＩ基板（シリコン基板）６を用意する。次に、図６（ｂ）に示すように、ＳＯＩ基板６のＳｉ層６１の上面に、質量部２１、支持部２２、連結部２４の平面視形状に対応する形状をなすレジストマスク７１を形成する。一方、ＳＯＩ基板６のＳｉ層６３の下面に、支持部２２（空間２８）の平面視形状に対応する形状をなすレジストマスク７２を形成する。そして、このレジストマスク７１を介して、ＳＯＩ基板６をエッチングする。その後、レジストマスク７１を除去する。同様に、レジストマスク７２を介して、ＳＯＩ基板６をエッチングする。このとき、ＳＯＩ基板６の中間層たるＳｉＯ２層６２は、前記エッチングのストップ層として機能する。
【００５２】
エッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
【００５３】
その後、ＳｉＯ２層６２を除去し、図６（ｃ）に示すように、質量部２１と支持部２２と連結部２４とを一体的に形成することができる。
さらに、図６（ｄ）に示すように、質量部２１の上面に金属膜を形成し、光反射部２１１を形成する。これにより、基体２を得ることができる。金属膜（光反射部２１１）の形成方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。
【００５４】
［Ａ２］
まず、図７（ａ）に示すように、シリコン基板９を用意する。次に、図７（ｂ）に示すように、シリコン基板９の上面に、開口部３１の平面視形状に対応する形状をなすレジストマスク７３を形成する。そして、このレジストマスク７３を介して、シリコン基板９をエッチングする。その後、レジストマスク７３を除去し、図７（ｃ）に示すように、支持基板３を得ることができる。
【００５５】
［Ａ３］
まず、圧電素子４１を用意し、その後、圧電素子４１の伸縮方向での一端に摺動部材４２を接合することで駆動源４を得る。なお、圧電素子４１の製造方法としては、例えば、所定の厚み（伸縮方向での長さ）を有する圧電体層４１１を形成し、厚み方向の両面のそれぞれに薄膜状の電極４１２、４１３を接合することで、圧電素子４１を形成することができる。駆動源５についても同様である。
そして、図７（ｄ）に示すように、駆動源４の摺動部材４２とは反対側の面を支持基板３の上面で、かつ、駆動部２４１に対応する部分に接合する。駆動源５につていも同様である。
【００５６】
［Ａ４］
次に、図７（ｅ）に示すように、工程［Ａ１］で得られた基体２の下面（支持部２２）と、工程［Ａ３］で得られた駆動源４、５が設けられた支持基板３の上面とを接合する。接合方法としては、特に限定されず、例えば、陽極接合により接合してもよい。以上のようにして、第１実施形態のアクチュエータ１が製造される。
【００５７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図８は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す部分断面斜視図、図９は、図８中Ａ−Ａ線断面図、図１０は、駆動源の拡大図ある。なお、以下では、説明の便宜上、図８中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図９中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００５８】
以下、第２実施形態のアクチュエータ１Ａについて、前述した第１実施形態のアクチュエータ１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態のアクチュエータ１Ａは、基体２Ａの構成および１対の駆動源４Ａ、５Ａの形状が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。
すなわち、基体２Ａは、質量部２１Ａと、質量部２１Ａを支持するための支持部２２Ａと、支持部２２Ａに対して質量部２１Ａを回動可能に連結する連結部２４Ａとを有している。
【００５９】
連結部２４Ａは、質量部２１の平面視にて回動中心軸Ｘに直角な方向へ延在する分岐部２４４Ａと、分岐部２４４Ａと支持部２２Ａとを連結する第１の弾性部２４２Ａと、質量部２１Ａと分岐部２４４Ａとを連結する第２の弾性部２４３Ａとを有している。
第１の弾性部２４２Ａは、回動中心軸Ｘを介して互いに対向するように設けられた１対の弾性部材２４２１Ａ、２４２２Ａとで構成されている。弾性部材２４２１Ａは、分岐部２４１Ａの延在方向での一端と支持部２２Ａとを連結し、弾性部材２４２２Ａは、分岐部２４１Ａの延在方向での他端と支持部２２Ａとを連結している。また、弾性部材２４２１Ａおよび弾性部材２４２２Ａは、それぞれ、回動中心軸Ｘと平行な方向へ延在している。すなわち、連結部２４Ａは、途中で２本に分岐した構造をなしている。
【００６０】
このようなアクチュエータ１Ａにあっては、圧電素子４１を伸縮させて弾性部材２４２１Ａを曲げ変形し、圧電素子５１を伸縮させて弾性部材２４２２Ａを曲げ変形させる。そして圧電素子４１と圧電素子５１とを互いに交互に伸縮させることで分岐部２４４Ａを回動させ、これに伴い、第２の弾性部２４３Ａを捩り変形させつつ質量部２１Ａを回動させる。この時、質量部２１Ａは、それぞれ、図８に示す回動中心軸Ｘを中心にして回動する。
駆動源４Ａは、支持基板３と弾性部材２４２１Ａとの間に設けられており、支持基板３と接合し、弾性部材２４２１Ａと摺動可能となっている。同様に、駆動源５Ａは、支持基板３と弾性部材２４２２Ａとの間に設けられており、支持基板３と接合し、弾性部材２４２２Ａと摺動可能となっている。
【００６１】
次に駆動源４Ａ、５Ａについて詳述するが、駆動源４Ａと駆動源５Ａとは、同様の構成（形状、寸法を含む）であるため、駆動源４Ａについて代表して説明し、駆動源５Ａについては、その説明を省略する。
駆動源４Ａは、図１０に示すように、圧電素子４１と摺動部材４２Ａとで構成されている。圧電素子４１は伸縮方向を長手とする柱状をなし、その伸縮方向が、非駆動時での質量部２１の面に垂直な方向（図９にて上下方向）となるように設けられている。さらに、圧電素子４１の下面は、支持基板３と接合している。
【００６２】
このような圧電素子４１の上面には、摺動部材４２Ａが設けられており、摺動部材４２Ａは、圧電素子４１と接合し、かつ、弾性部材２４２１Ａに対し摺動可能となっている。
このような摺動部材４２Ａは、弾性部材２４２１Ａと点接触している。これにより、圧電素子４１の伸縮時における、摺動部材４２Ａの弾性部材２４２１Ａに対する追従性を向上させることができる。具体的に説明すれば、弾性部材２４２１Ａは、圧電素子４１の伸縮により主として曲げ変形するが、分岐部がそれにあわせて回動するため、わずかに捩れ変形も発生する。したがって、摺動部材４２を弾性部材２４２１Ａに点接触させることで、弾性部材２４２１Ａの捩れ変形に影響されず、弾性部材２４２１Ａを曲げ変形させることができる。
【００６３】
以上本発明にかかるアクチュエータについて説明したが、本発明にかかるアクチュエータは、光反射部を備えているため、例えば、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに適用することができる。
本発明にかかる光スキャナ１Ｂは、本発明にかかるアクチュエータ１と同様に、質量部と、質量部に設けられた光反射部と、支持部と、質量部を片持ち支持する連結部と、連結部に対して摺動可能に設けられた１対の駆動源とを有している。このような光スキャナは、各駆動源が有する圧電素子を互いに逆位相に伸縮させることにより連結部の少なくとも一部を捩れ変形させることで質量部を回動させ、光反射部で反射した光を走査するものである。連結部の構成および各駆動源の構成は、本発明にかかるアクチュエータ１と同様である。これにより、質量部の回動中心軸と平行な方向への、連結部の熱膨張による変位を許容することができる。その結果、連結部のバネ定数の急激な変化を防止することができ、さらに、質量部の回動中心軸を一定に保つことができる。以上より、光反射部で反射しきれなかった光により光スキャナが昇温した場合や圧電素子から発せられた熱により光スキャナが昇温した場合等であっても、本発明にかかる光スキャナは、所望の走査特性を発揮することができる。すなわち、本発明にかかる光スキャナは、長時間にわたって連続的に使用される場合であっても、所望の走査特性を維持することができる。
このような光スキャナは、例えば、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。その結果、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
【００６４】
具体的に、図１１に示すようなレーザープリンタについて説明する。
図１１に示す本実施形態のレーザープリンタ（画像形成装置）８は、主として露光・現像・転写・定着を含む一連の画像形成プロセスによって画像を記録媒体に記録するものである。このような画像形成装置８は、図１１に示すように、静電的な潜像を担持し図示矢印方向に回転する感光体８１を有し、その回転方向に沿って順次、帯電ユニット８２、露光ユニット８３、現像ユニット８４、一次転写ローラ８５１、クリーニングユニット８６が配設されている。また、レーザープリンタ８は、図１１にて下部に、紙などの記録媒体を収容する給紙トレイ８７が設けられ、その給紙トレイ８７に対して記録媒体の搬送方向下流に、二次転写ローラ８８、定着装置８９が記録媒体の搬送方向に沿って順次配設されている。
感光体８１は、円筒状の導電性基材（図示せず）と、その外周面に形成された感光層（図示せず）とを有し、その軸線まわりに図１１中矢印方向に回転可能となっている。
【００６５】
帯電ユニット８２は、コロナ帯電などにより感光体８１の表面を一様に帯電するための装置である。
露光ユニット８３は、図示しないパーソナルコンピュータなどのホストコンピュータから画像情報を受けこれに応じて、一様に帯電された感光体（感光ドラム）８１上に、レーザを照射することによって、静電的な潜像を形成する装置である。具体的には、露光ユニット８３は、図１２に示すように、本発明にかかる光スキャナ１Ｂと、光スキャナ１Ｂの光反射部へ光を照射する光源８３１と、光源８３１から照射された光を光反射部へ収光する収光レンズ８３２と、光反射部により反射された光の速度を変換するためのｆθレンズ８３３とを有している。これにより、露光ユニット８３は、走査対象物（感光体８１）の所望の走査位置に光を走査（照射）することができ、所望の潜像を形成することができる。その結果、本発明にかかる画像形成装置は、優れた描画特性を発揮することができる。なお、露光ユニット８３の構成としては、これに限定されない。
現像ユニット８４は、ブラック現像装置８４１と、マゼンタ現像装置８４２と、シアン現像装置８４３と、イエロー現像装置８４４との４つの現像装置を有し、感光体８１に対向するように、回転可能となっている。
【００６６】
次に、このように構成されたレーザープリンタ８の動作を説明する。
まず、図示しないホストコンピュータからの指令により、感光体８１、現像ユニット８４に設けられた現像ローラ（図示せず）、および中間転写ベルト８５２が回転を開始する。そして、感光体８１は、回転しながら、帯電ユニット８２により順次帯電される。
感光体８１の帯電された領域は、感光体８１の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット８３によって、第１色目、例えばイエローＹの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
【００６７】
感光体８１上に形成された潜像は、感光体８１の回転に伴って現像位置に至り、イエロー現像装置８４４によってイエロートナーで現像される。これにより、感光体８１上にイエロートナー像が形成される。このとき、ＹＭＣＫ現像ユニット８４は、イエロー現像装置８４４が、前記現像位置にて感光体８１と対向している。
感光体８１上に形成されたイエロートナー像は、感光体８１の回転に伴って一次転写位置（すなわち、感光体８１と一次転写ローラ８５１との対向部）に至り、一次転写ローラ８５１によって、中間転写ベルト８５２に転写（一次転写）される。このとき、一次転写ローラ８５１には、トナーの帯電極性とは逆の極性の一次転写電圧（一次転写バイアス）が印加される。なお、この間、二次転写ローラ８８は、中間転写ベルト８５２から離間している。
前述の処理と同様の処理が、第２色目、第３色目および第４色目について繰り返して実行されることにより、各画像信号に対応した各色のトナー像が、中間転写ベルト８５２に重なり合って転写される。これにより、中間転写ベルト８５２上にはフルカラートナー像が形成される。
【００６８】
一方、記録媒体は、給紙トレイ８７から二次転写ローラ８８へ搬送される。
中間転写ベルト８５２上に形成されたフルカラートナー像は、中間転写ベルト８５２の回転に伴って二次転写位置（すなわち、二次転写ローラ８８と駆動ローラ８５３との対向部）に至り、二次転写ローラ８８によって記録媒体Ｐに転写（二次転写）される。このとき、二次転写ローラ８８は中間転写ベルト８５２に押圧されるとともに二次転写電圧（二次転写バイアス）が印加される。
【００６９】
記録媒体に転写されたフルカラートナー像は、定着装置８９によって加熱および加圧されて記録媒体Ｐに融着される。その後、記録媒体は、レーザープリンタ８の外部へ排出される。
一方、感光体８１は一次転写位置を経過した後に、クリーニングユニット８６のクリーニングブレード８６１によって、その表面に付着しているトナーが掻き落とされ、次の潜像を形成するための帯電に備える。掻き落とされたトナーは、クリーニングユニット８６内の残存トナー回収部に回収される。
【００７０】
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、本発明のアクチュエータでは、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【００７１】
また、前述した実施形態では、弾性部材が直線状をなしていたが、１対の弾性部材を互いに逆方向に曲げ変形させることにより、駆動部を回動させることができれば、弾性部材の形状は任意である。
また、前述した実施形態では、アクチュエータの中心を通り質量部や１対の駆動部の回動軸線に直角な面に対しほぼ対称（左右対称）な形状をなしている構造を説明したが、非対称であってもよい。
また、前述した実施形態では、光反射部が質量部の上面に設けられている構成について説明したが、例えば、その逆に設けられている構成であってもよい。すなわち、光反射部が質量部の裏面に設けられているものであってもよい
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】駆動源の拡大図である。
【図５】図１に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図である。
【図６】アクチュエータの製造方法を説明する図である。
【図７】アクチュエータの製造方法を説明する図である。
【図８】本発明にかかるアクチュエータの第２実施形態を示す図である。
【図９】図８中のＡ−Ａ線断面図である。
【図１０】駆動源の拡大図である。
【図１１】レーザープリンタの概略図である。
【図１２】露光ユニットの概略図である。
【符号の説明】
【００７３】
１、１Ａ‥‥‥アクチュエータ  １Ｂ‥‥‥光スキャナ  ２、２Ａ‥‥‥基体  ２１、２１Ａ‥‥‥質量部  ２１１‥‥‥光反射部  ２２、２２Ａ‥‥‥支持部  ２４、２４Ａ‥‥‥連結部  ２４１‥‥‥駆動部  ２４２、２４２Ａ‥‥‥第１の弾性部  ２４２１Ａ、２４２２Ａ‥‥‥弾性部材  ２４３、２４３Ａ‥‥‥第２の弾性部  ２４４Ａ‥‥‥分岐部  ２８‥‥‥空間（凹部）  ３‥‥‥支持基板  ３１‥‥‥開口部（逃げ部）  ４、４Ａ、５、５Ａ‥‥‥駆動源  ４１、５１‥‥‥圧電素子  ４１１‥‥‥圧電体層  ４１２、４１３‥‥‥電極  ４１４‥‥‥端子  ４２、４２Ａ、５２‥‥‥摺動部材  ６‥‥‥ＳＯＩ基板（シリコン基板）  ６１、６３‥‥‥Ｓｉ層  ６２……ＳｉＯ２層  ７１、７２、７３‥‥‥レジストマスク  ８‥‥‥レーザープリンタ（画像形成装置）  ８１‥‥‥感光体  ８２‥‥‥帯電ユニット  ８３‥‥‥露光ユニット  ８３１‥‥‥光源  ８３２‥‥‥収光レンズ  ８３３‥‥‥ｆθレンズ  ８４‥‥‥現像ユニット  ８４１‥‥‥ブラック現像装置  ８４２‥‥‥マゼンタ現像装置  ８４３‥‥‥シアン現像装置  ８４４‥‥‥イエロー現像装置  ８５１‥‥‥一次転写ローラ  ８５２‥‥‥中間転写ベルト  ８５３‥‥‥駆動ローラ  ８６‥‥‥クリーニングユニット  ８６１‥‥‥クリーニングブレード  ８７‥‥‥給紙トレイ  ８８‥‥‥二次転写ローラ  ８９‥‥‥定着装置  ９‥‥‥シリコン基板  Ｘ‥‥‥回動中心軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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