(57)【要約】【課題】プレス品などの仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状や界面剥離により電界集中して発生する部分放電を抑制し、インサートの材質にかかわらず耐クラック性能を向上させながら小型縮小化がはかれる樹脂モールド真空バルブを提供する。【解決手段】真空バルブ１０の可動軸１３を移動自在にするとともに、真空バルブ１０の固定軸１２、真空バルブの真空容器１１、導体２１、固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、および、導体用電界集中緩和シールド２４の周囲に緩衝層２５を形成するとともに、これらを樹脂絶縁体２６に埋設して固定した樹脂モールド真空バルブ１とする。【選択図】図１
2008258021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が気密に封止される真空容器と、端部に固定電極が設けられる固定軸と、端部に可動電極が設けられる可動軸と、を有し、真空容器内部で固定電極および可動電極が対向する状態で真空容器の一端に固定電極が固定されて取り付けられ、かつ真空容器の他端に可動電極が移動可能に取り付けられて接点が形成される真空バルブと、
真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される導体と、
真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブ、および、導体の外周を覆う緩衝層と、
真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、真空バルブの固定軸、真空バルブの真空容器、導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項２】
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二，第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一，第二，第三の真空バルブ、分岐母線およびフィーダ導体の外周を覆う緩衝層と、
第一，第二，第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一，第二，第三の真空バルブの固定軸、第一，第二，第三の真空バルブの真空容器、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項３】
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二，第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一，第二の真空バルブの真空容器と連通し、断面略π字状に分岐形成された状態で気密に封止される共通カバー体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一，第二，第三の真空バルブ、分岐母線、フィーダ導体および共通カバー体の外周を覆う緩衝層と、
第一，第二，第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一，第二，第三の真空バルブの固定軸、第一，第二，第三の真空バルブの真空容器、共通カバー体、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記樹脂絶縁体は、エポキシ樹脂であることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記電界集中緩和シールドは、放射状方向に係止突起を設けて固定保持される金属製円環状電界集中緩和シールドであることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記緩衝層は、導電性の緩衝層であることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記電界集中緩和シールドは、その周囲に緩衝層を備えることを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項８】
請求項２〜請求項７の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
断路器とした第一の真空バルブと、
遮断器とした第二の真空バルブと、
接地用開閉器とした第三の真空バルブと、
を備え、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項９】
請求項２〜請求項８の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
一端をフィーダ導体に接続し他端を接続端子に接続し、第三の真空バルブと並列に樹脂絶縁体にて埋設される分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項１０】
請求項９に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
セラミックコンデンサからなる分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【請求項１１】
請求項９に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
複数のセラミックコンデンサを直列接続して形成する分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする樹脂モールド真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックや金属等異なる材質のインサートとともに真空バルブを樹脂絶縁体で一体に被覆した樹脂モールド真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂モールド真空バルブの従来技術例として、例えば特許文献１（特開２００２−３５８８６１号公報，発明の名称「真空バルブとその製造方法」）や、特許文献２（特開２０００−２９４０８７号公報，発明の名称「樹脂成形真空バルブ」）などに記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１記載の「真空バルブとその製造方法」は、真空容器の外周面の要熱応力緩部分を覆うように熱応力緩和部材が施された後、前記真空容器の外周面が樹脂モールドされた真空バルブにおいて、前記熱応力緩和部材は導電性が与えられた導電性熱応力緩和部材としたり、さらには、導電性熱応力緩和部材を、真空容器の外周面を巡って弾性により装着可能な輪状に予め成形して装着したものである。
【０００４】
また、特許文献２記載の「樹脂成形真空バルブ」は、真空バルブの絶縁円筒と固定側端板の外周に対して、ガラス繊維のロービング材を巻き付けた第１の繊維層を形成し、この第１の繊維層の外周に対して、同じくロービング材をピッチを粗くして巻き付けて、第２の繊維層を形成し、これらの繊維層を形成した真空バルブを注型金型に入れ、エポキシ樹脂を注入して真空バルブの外周に注型樹脂層を形成したものである。絶縁円筒の外周に近い部分にガラス繊維の密度が高くて熱による膨張率の低い樹脂層を形成することで、界面の剥離を防ぐ。
【０００５】
また、他の一般的な従来技術の樹脂モールド真空バルブについて図を参照しつつ説明する。図７は、従来技術の一例の樹脂モールド真空バルブの模式的断面構成図である。この樹脂モールド真空バルブ１００は、ステンレス、強化ガラス、セラミックス材等から成る絶縁円筒１０１の両端開口部を固定側端板１０２、可動側端板１０３により気密に封止して真空容器１０４を形成し、固定軸１０５は、固定側端板１０２に真空気密に固定され、可動軸１０６はベローズ１０７を介して可動側端板１０３に取付けられ、真空を保持したまま接点１０８の開閉ができるようになっている。真空容器１０４の外側には、緩衝層１０９を介して、エポキシ樹脂等を硬化させた樹脂絶縁体１１０を注型によって一体に設けている。
【０００６】
このうち緩衝層１０９の存在により一体構造の樹脂モールド真空バルブ１００の亀裂・剥離を防止している。この点について説明する。
仮に緩衝層１０９がないような場合、樹脂モールド真空バルブ１００では、絶縁円筒１０１の熱膨張係数と樹脂絶縁体１１０の熱膨張係数とが異なるため、急熱急冷を受けた場合の熱応力により、樹脂絶縁体１１０に力が加わったり、開閉動作時の衝撃力が加わると、亀裂（クラック）や界面剥離を生じる。これら亀裂・剥離等の不具合が発生しやすく製品としての信頼性を著しく低下させる。
【０００７】
しかしながら、樹脂モールド真空バルブ１００では、絶縁円筒１０１と樹脂絶縁体１１０との間に緩衝層１０９を設けたため、亀裂・剥離の発生するおそれを低減させている。
このような樹脂モールド真空バルブ１００は、絶縁円筒１０１内を高電圧に対して優れた絶縁耐力を有する高真空として、この高真空中で接点１０８が開閉する時に発生するアークを直ちに消弧させ、高電圧回路を遮断する。従来技術の樹脂モールド真空バルブ１００はこのようなものであった。
【０００８】
【特許文献１】特許公開２００２−３５８８６１号公報（図１）
【特許文献２】特許公開２０００−２９４０８７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した特許文献１，２においても、耐クラック性能を向上させる対策を講じているものの、樹脂注形前処理として、特許文献１に記載のようにインサート局部に高価な樹脂組成材料を用いて界面剥離防止手当を施す、或いは、特許文献２に記載のように絶縁円筒に内側繊維層と外側繊維層とを形成して低粘度樹脂を浸透させる、など、概してコスト高が否めない。
また、電界集中により発生する部分放電を抑制する必要があるが、このような対策も安価な構成で行いたいという要請もあった。
このような樹脂モールド真空バルブでは、小型縮小化が要請されるキュービクル形開閉装置への用途が高まっており、作業工数低減も含めて、更なるコストダウン対応や小型化対応が望まれている。
【００１０】
そこで、本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、プレス品などの仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状や界面剥離により電界集中して発生する部分放電を抑制し、インサートの材質にかかわらず耐クラック性能を向上させながら小型縮小化がはかれる樹脂モールド真空バルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に係る樹脂モールド真空バルブは、
内部が気密に封止される真空容器と、端部に固定電極が設けられる固定軸と、端部に可動電極が設けられる可動軸と、を有し、真空容器内部で固定電極および可動電極が対向する状態で真空容器の一端に固定電極が固定されて取り付けられ、かつ真空容器の他端に可動電極が移動可能に取り付けられて接点が形成される真空バルブと、
真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される導体と、
真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
真空バルブ、および、導体の外周を覆う緩衝層と、
真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、真空バルブの固定軸、真空バルブの真空容器、導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の請求項２に係る樹脂モールド真空バルブは、
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二，第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一，第二，第三の真空バルブ、分岐母線およびフィーダ導体の外周を覆う緩衝層と、
第一，第二，第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一，第二，第三の真空バルブの固定軸、第一，第二，第三の真空バルブの真空容器、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の請求項３に係る樹脂モールド真空バルブは、
固定電極および可動電極が対向する第一接点を第一の真空容器内に有する第一の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第二接点を第二の真空容器内に有する第二の真空バルブと、
固定電極および可動電極が対向する第三接点を第三の真空容器内に有する第三の真空バルブと、
第一の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出される分岐母線と、
第二，第三の真空バルブの固定軸に接続され、引き出し口から外部へ引き出されるフィーダ導体と、
第一，第二の真空バルブの真空容器と連通し、断面略π字状に分岐形成された状態で気密に封止される共通カバー体と、
第一の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第一の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第二の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの固定軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
第三の真空バルブの可動軸側に配置される電界集中緩和シールドと、
分岐母線の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
フィーダ導体の引き出し口付近に配置される電界集中緩和シールドと、
第一，第二，第三の真空バルブ、分岐母線、フィーダ導体および共通カバー体の外周を覆う緩衝層と、
第一，第二，第三の真空バルブの可動軸を移動自在にするとともに、第一，第二，第三の真空バルブの固定軸、第一，第二，第三の真空バルブの真空容器、共通カバー体、分岐母線、フィーダ導体、緩衝層、および、各電界集中緩和シールドを埋設して固定する樹脂絶縁体と、
を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の請求項４に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記樹脂絶縁体は、エポキシ樹脂であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項５に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記電界集中緩和シールドは、放射状方向に係止突起を設けて固定保持される金属製円環状電界集中緩和シールドであることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項６に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記緩衝層は、導電性の緩衝層であることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項７に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
前記電界集中緩和シールドは、その周囲に緩衝層を備えることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の請求項８に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項２〜請求項７の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
断路器とした第一の真空バルブと、
遮断器とした第二の真空バルブと、
接地用開閉器とした第三の真空バルブと、
を備え、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の請求項９に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項２〜請求項８の何れか一項に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
一端をフィーダ導体に接続し他端を接続端子に接続し、第三の真空バルブと並列に樹脂絶縁体にて埋設される分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の請求項１０に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項９に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
セラミックコンデンサからなる分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の請求項１１に係る樹脂モールド真空バルブは、
請求項９に記載の樹脂モールド真空バルブにおいて、
複数のセラミックコンデンサを直列接続して形成する分圧器と、を併設し、
キュービクル形開閉装置の用に供することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
このような本発明によれば、プレス品などの仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状や界面剥離により電界集中して発生する部分放電を抑制し、インサートの材質にかかわらず耐クラック性能を向上させながら小型縮小化がはかれる樹脂モールド真空バルブを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
続いて、本発明を実施するための最良の形態を図を参照しつつ説明する。図１は本形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。
樹脂モールド真空バルブ１は、真空バルブ１０、導体２１、固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、導体用電界集中緩和シールド２４、緩衝層２５、樹脂絶縁体２６、ブッシング部２７を備える。真空バルブ１０は、詳しくは真空容器１１、固定軸１２、可動軸１３、ベローズ１４、接点１５を備える。
【００２４】
真空容器１１は、さらに絶縁円筒１１ａ、固定側端板１１ｂ、可動側端板１１ｃを備える。
絶縁円筒１１ａは、ステンレス、強化ガラス、セラミックス材等により構成されて電気的な絶縁が確保された円筒体である。
固定側端板１１ｂは、中央孔を有する板体である。
可動側端板１１ｃは、中央孔を有する板体である。
【００２５】
固定軸１２は、端部に固定電極１２ａが設けられている棒体である。
可動軸１３は、端部に可動電極１３ａが設けられている棒体である。
ベローズ１４は、伸縮自在に設けられ、可動側端板１１ｃに対して可動軸１３を移動させる機能を有している。
接点１５は、固定軸１２の固定電極１２ａと、可動軸１３の可動電極１３ａと、により形成される接点である。
【００２６】
真空容器１１は、絶縁円筒１１ａの固定側（下側）の開口部にロウ付けにより固定側端板１１ｂが取り付けられ、さらに、絶縁円筒１１ａの可動側（上側）の開口部に可動側端板１１ｃが同じくロウ付けにより取り付けられて真空封止することにより構成される。可動側端板１１ｃにはベローズ１４が固定される。
この真空容器１１内に固定電極１２ａが配置された状態で固定側端板１１ｂの中央孔に固定軸１２が固定され、また、真空容器１１内に可動電極１３ａが配置された状態でベローズ１４の中央孔に可動軸１３が固定される。これにより気密に封止して真空バルブ１０が形成される。真空バルブ１０では内部を真空に保持したまま固定電極１２ａおよび可動電極１３ａによる接点１５が形成され、この接点１５の開閉ができるようになっている。
【００２７】
導体２１は、その一方が真空バルブ１０の固定軸１２に電気的・機械的に接続固定され、他方が接続端子の一部となっており、ブッシング部２７の引き出し口２７ａにて露出して電気的に接続可能としている。
固定電極側電界集中緩和シールド２２は、固定電極１２が貫通し、真空バルブ１０の固定側端板１１ｂの側に配置され、真空バルブ１０と同軸に配置されるリング体である。
可動電極側電界集中緩和シールド２３は、可動電極１３が貫通し、真空バルブ１０の可動側端板１１ｃの側に配置され、真空バルブ１０と同軸に配置されるリング体である。
導体用電界集中緩和シールド２４は、導体２１が貫通した状態であり、かつ導体２１の接続端子側であってブッシング部２７の引き出し口２７ａ付近に配置されるリング体である。
【００２８】
緩衝層２５は、真空バルブ１０および導体２１の外周を覆って真空バルブ１０・導体２１と、樹脂絶縁体２６と、が直接的に接しないようにしている。この緩衝層２５については後述する。
樹脂絶縁体２６は、エポキシ樹脂等の絶縁樹脂を注型によって硬化させて一体に設けたものであり、真空バルブ１０の可動軸１３を移動自在にするとともに、真空バルブ１０の固定軸１２および真空容器１１、導体２１、固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、および、導体用電界集中緩和シールド２４を、埋設して固定する。
【００２９】
このうち緩衝層２５の存在により一体構造の樹脂モールド真空バルブ１の亀裂・剥離を防止している。この点について説明する。
樹脂モールド真空バルブ１では、真空バルブ１０や導体２１の外表面に可撓性樹脂をハケ塗、スプレー塗布或いは注型硬化等により緩衝層２５を設け、さらに真空バルブ１０や導体２１とともに、これら固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、導体用電界集中緩和シールド２４という金属インサートを金型内に配置して絶縁樹脂を注型して樹脂絶縁体２６を形成する。
【００３０】
なお、固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、導体用電界集中緩和シールド２４という金属インサートに対しても導電性緩衝層（図示せず）を形成すれば、耐クラック性能向上はもとより、局部的にボイドや界面剥離等が生じても、これらボイドや剥離等を金属インサートと同電位に覆われるので、充電部と接地部間との部分放電を防止できる。したがって、固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、導体用電界集中緩和シールド２４という金属インサートにも導電性緩衝層を予め形成した上で絶縁樹脂を注型して樹脂絶縁体２６を形成することが好ましい。
【００３１】
これら導電性の緩衝層２５が形成された真空バルブ１０、導体２１や金属インサートを一体被覆する樹脂絶縁体２６は、優れた物理的特性、および、安定した化学的特性を備え、成形のし易さや多くの実績があるエポキシ樹脂が相応しい。一例として、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂を主剤とし、硬化剤に酸無水物、変性酸無水物硬化剤を用いた配合物に充填剤としてシリカ微粉末とガラス短繊維を添加した混合物を全体の５０％以上になるように配合した注型樹脂組成物に、硬化促進剤として第３級アミンを規定量添加し、規定の条件で硬化を行って形成される。
【００３２】
製作方法として、一つは注型法により、真空バルブ１０、導体２１や金属インサートの外周にシリコーンゴム粒子充填可塑性樹脂層である緩衝層２５を形成した後、やはり注型法により前記組成物で樹脂絶縁体２６を形成するものがある。
【００３３】
また、予め前記組成物で絶縁補強筒（図示せず）を形成した後、絶縁補強筒（図示せず）内に真空バルブ１０を組込み、ポッティングによりシリコーンゴム粒子充填可塑性樹脂層を形成し、最終的に樹脂絶縁体２６を形成するものもある。
【００３４】
また、一体被覆する樹脂絶縁体２６の他の例として、グリシジルエステル型エポキシ樹脂に対し、酸無水物硬化剤、有機金属化合物硬化促進剤、チタネート系カップリング剤による表面改質処理を施した不定形溶融石英など無機充填剤と、を含有し、耐クラック性を改善するため、温度、湿度、硬化時間、組成配合比その他の硬化条件を勘案して、耐クラック性に影響する樹脂線膨張率、作業性に影響する初期粘度など適宜選定したものとしても良い。
【００３５】
緩衝層２５としては、樹脂絶縁体２６と相性がよければ、特に限定されるものではない。本形態の緩衝層２５は、耐熱性に優れていることからシリコーンゴム粒子を用いたが、機器の使用される条件によっては緩衝層２５としては接着性に優れているシリコーンゴム粒子、アクリル樹脂粒子、ナイロン粒子、ウレタン樹脂粒子等のいずれかを含有する可塑性樹脂層を適用しても破壊靭性の改善に同等の効果が得られ、応力緩和を図ることができる。
【００３６】
仮に緩衝層２５がないような場合、樹脂モールド真空バルブ１では、真空容器１１の熱膨張係数と樹脂絶縁体２６の熱膨張係数とが異なり、また、導体２１の熱膨張係数と樹脂絶縁体２６の熱膨張係数とが異なるため、急熱急冷を受けた場合の熱応力により、樹脂絶縁体２６に力が加わったり、開閉動作時の衝撃力が加わると、亀裂（クラック）や界面剥離を生じる。これら亀裂・剥離等の不具合が発生しやすく製品としての信頼性を著しく低下させる。
【００３７】
しかしながら、本形態では真空容器１１と樹脂絶縁体２６との間、および、導体２１と樹脂絶縁体２６との間に緩衝層２５を設けたため、亀裂・剥離の発生するおそれを低減させている。
さらに好ましくは固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、導体用電界集中緩和シールド２４という金属インサートと樹脂絶縁体２６との間に導電性緩衝層（図示せず）を設けると、さらに亀裂・剥離の発生するおそれを低減させる。これにより樹脂モールド真空バルブ１の耐クラック性能をさらに向上させている。
また、固定電極側電界集中緩和シールド２２、可動電極側電界集中緩和シールド２３、導体用電界集中緩和シールド２４により、電界集中に起因して発生する部分放電を抑制しており、この点でも亀裂・剥離の発生するおそれを低減させ、耐クラック性能を向上させている。
【００３８】
このような樹脂モールド真空バルブ１は、真空バルブ１０の真空容器１１内を高真空にしたため、高電圧に対して優れた絶縁耐力を有する。この真空容器１１内の高真空中で接点１５が開閉する時に発生するアークを直ちに消弧させ、高電圧回路を遮断する。本形態の樹脂モールド真空バルブ１はこのようなものである。
【００３９】
続いて他の形態の樹脂モールド真空バルブ２について図を参照しつつ説明する。図２は他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図、図３は樹脂モールド真空バルブのブロック回路図である。
樹脂モールド真空バルブ２は、図２で示すように、第一真空バルブ３０、分岐母線４１、第一固定電極側電界集中緩和シールド４２、第一可動電極側電界集中緩和シールド４３、分岐母線用電界集中緩和シールド４４、緩衝層４５、第二真空バルブ５０、フィーダ導体６１、第二固定電極側電界集中緩和シールド６２、第二可動電極側電界集中緩和シールド６３、フィーダ導体用電界集中緩和シールド６４、緩衝層６５、第三真空バルブ７０、第三固定電極側電界集中緩和シールド８２、第三可動電極側電界集中緩和シールド８３、緩衝層８４、樹脂絶縁体９１、ブッシング部９２、分圧器９３を備える。
【００４０】
第一真空バルブ３０（断路器ＤＳ）は、詳しくは真空容器３１、固定軸３２、可動軸３３、ベローズ３４、軸支部３５を備える。固定軸３２は固定電極３２ａを、可動軸３３は可動電極３３ａを備え、第一接点を形成する。
第二真空バルブ５０（遮断器ＣＢ）は、詳しくは真空容器５１、固定軸５２、可動軸５３、ベローズ５４、軸支部５５を備える。固定軸５２は固定電極５２ａを、可動軸５３は可動電極５３ａを備え、第二接点を形成する。
第三真空バルブ７０（接地開閉器ＥＳ）は、詳しくは、真空容器７１、固定軸７２、可動軸７３を備える。固定軸７２は固定電極７２ａを、可動軸７３は可動電極７３ａを備え、第三接点を形成する。
【００４１】
第一真空バルブ３０の真空容器３１内には、固定軸３２の先端に一体に構成された固定電極３２ａと、可動軸３３の先端に一体に構成された可動電極３３ａと、が対向するように配置される。分岐母線４１に接続される固定軸３２は真空容器３１に固定され、また、可動軸３３は軸支部３５により上下方向に摺動自在に支持され、かつベローズ３４により移動可能に取り付けられている。ベローズ３４は、図１を用いて前述したベローズ１４と同様に、袋状になっており、封止箇所を削減し、真空気密の信頼性を高めている。真空容器３１とベローズ３４により気密に封止して内部を真空に保持した第一真空バルブ３０が形成される。第一真空バルブ３０には固定電極３２ａおよび可動電極３３ａによる第一接点が形成され、この第一接点が開閉できるようになっている。可動軸３３は、ロッド、リンク等で構成される負荷開閉器用の開閉操作機構（便宜上、これらを一括して第一連結座と称する。）に連結している。
【００４２】
第二真空バルブ５０の真空容器５１内には、固定軸５２の先端に一体に構成された固定電極５２ａと、可動軸５３の先端に一体に構成された可動電極５３ａと、が対向するように配置される。フィーダ導体６１に接続される固定軸５２は真空容器５１に固定され、また、可動軸５３は軸支部５５により上下方向に摺動自在に支持され、かつベローズ５４により移動可能に取り付けられている。ベローズ５４は、図１を用いて前述したベローズ１４と同様に、袋状になっており、封止箇所を削減し、真空気密の信頼性を高めている。真空容器５１とベローズ５４により気密に封止して内部を真空に保持した第二真空バルブ５０が形成される。第二真空バルブ５０には固定電極５２ａおよび可動電極５３ａによる第二接点が形成され、この第二接点が開閉できるようになっている。可動軸５３は、ロッド、リンク等で構成される負荷開閉器用の開閉操作機構（便宜上、これらを一括して第二連結座と称する。）に連結している。
【００４３】
第三真空バルブ７０の真空容器７１内には、固定軸７２の先端に一体に構成された固定電極７２ａと、可動軸７３の先端に一体に構成された可動電極７３ａと、が対向するように配置される。フィーダ導体６１に接続される固定軸７２は真空容器７１に固定され、また、可動軸７３は上下方向に摺動自在に支持されている。真空容器７１により気密に封止して内部を真空に保持した第三真空バルブ７０が形成される。第三真空バルブ７０には固定電極７２ａおよび可動電極７３ａによる第三接点が形成され、この第三接点が開閉できるようになっている。可動軸７３は、ロッド、リンク等で構成される負荷開閉器用の開閉操作機構（便宜上、これらを一括して第三連結座と称する。）に連結している。また、接地開閉器の可動軸７３は、接地母線に接続している。
【００４４】
フィーダ導体６１の反固定電極側は、樹脂モールド真空バルブ２の横側に引き出されたブッシング部９２であるフィーダ端子座となり、分岐母線４１の反固定電極側は、樹脂モールド真空バルブ２の下側で引き出されたブッシング部９２である母線端子座となり、それらのブッシングが樹脂モールド真空バルブ２の外部に形成して配置されている。フィーダ導体６１には分圧器９３が接続されている。
なお、この実施の形態においては、相分離構造（例えば、図２の実線で表された分岐母線４１がＵ相、他の破線で表された分岐母線４１がＶ相、Ｗ相を示す。）としているので、３相の場合は、これら樹脂モールド真空バルブ２を併設すれば良い。
【００４５】
なお、図示していないが、断路器用の第一真空バルブ３０の可動電極３３と、遮断器用の第二真空バルブ５０の可動電極５３とは、例えば、可動電極３３，５３の可動に伴う可撓導体を介在するなどして、樹脂モールド真空バルブ２の内部外部を問わず適当な箇所で接続されるようにして、他の構成機器と連動するようにしても良い。
また、図示しないが、分岐母線４１、第一固定電極側電界集中緩和シールド４２、第一可動電極側電界集中緩和シールド４３、分岐母線用電界集中緩和シールド４４、フィーダ導体６１、第二固定電極側電界集中緩和シールド６２、第二可動電極側電界集中緩和シールド６３、フィーダ導体用電界集中緩和シールド６４、三固定電極側電界集中緩和シールド８２、第三可動電極側電界集中緩和シールド８３、分圧器９３に対しても導電性緩衝層（図示せず）を形成すれば、耐クラック性能向上はもとより、局部的にボイドや界面剥離等が生じても、これらボイドや剥離等を金属インサートと同電位に覆われるので、充電部と接地部間との部分放電を防止できる。
【００４６】
続いて樹脂モールド真空バルブ２のブロック回路について図を参照しつつ説明する。図２の樹脂モールド真空バルブ３は、キュービクル形開閉装置の電気回路図である。まず、図３において、樹脂モールド真空バルブ２は、大略的に真空スイッチを構成する断路器（ＤＳ）、大略的に真空スイッチを構成する遮断器（ＣＢ）、大略的に真空スイッチを構成する接地開閉器（ＥＳ）、断路器（ＤＳ）の固定電極に接続する分岐母線（Ｆ１）、遮断器（ＣＢ）および接地開閉器（ＥＳ）の固定電極に接続するフィーダ導体（Ｆ）、フィーダ導体（Ｆ）に配設されたセラミックコンデンサ等電圧管理する分圧器９３とで構成されている。
ここで、真空スイッチを構成する断路器（ＤＳ）を第一真空バルブ３０、真空スイッチを構成する遮断器（ＣＢ）を第二真空バルブ５０、真空スイッチを構成する接地開閉器（ＥＳ）を第三真空バルブ７０としている。
【００４７】
さらに、図示しないが他の構成機器と接続や連結する母線端子座、フィーダ端子座、接続端子及び連結座が引き出された状態で、エポキシ樹脂でこれら断路器（ＤＳ）、遮断器（ＣＢ）、接地開閉器（ＥＳ）、分岐母線（Ｆ１）、フィーダ導体（Ｆ）、および、分圧器が一体モールドされる。
【００４８】
なお、図４に示すように、円環状電界集中緩和シールドの放射状外側方向に係止突起（図５参照）を設けて、別途金型の凹部（図示せず）に係合して、その外周にエポキシ樹脂に埋設して電界集中緩和シールドを備えることができる。このような製造方法を採用することにより、インサート形状に起因する電界集中による部分放電抑制のみならず、金型内配置も容易に行えて、作業工数低減もはかれる。
【００４９】
次に、他の形態の樹脂モールド真空バルブについて図を参照しつつ説明する。図６は他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。図２を用いて説明した樹脂モールド真空バルブ２の第一真空バルブ３０と第二真空バルブ５０との可動軸にさらに連動軸を設けた形態である。この図６では要部のみ図示し、他の構成は図２を用いて説明した樹脂モールド真空バルブ２と共通であるとして重複する説明を省略するとともに追加点を重点的に説明する。
【００５０】
図６では、図２で示した第一真空バルブ３０と第二真空バルブ５０の上側にさらに共通カバー体９４を含む樹脂絶縁体９１を形成する。第一真空バルブ３０と第二真空バルブ５０の上部開口部を第一真空バルブ３０の可動軸３３と第二真空バルブ５０の可動軸５３と、可動軸３３，５３と連動する連動軸９６とを収納して共通カバー体９４で気密に封止して断面略π字状に分岐形成し、中央上部の開閉操作機構９５に連動軸９６が連結され、第一真空バルブ３０と第二真空バルブ５０とを接離自在に駆動する。この共通カバー体９４の外周にも、図示しないが導電性緩衝層を設けており、亀裂・剥離の発生するおそれを低減させ、仕上り寸法のバラツキが大きい真空バルブ等のインサートの形状に応じ、任易の樹脂成型形状に対しても耐クラック性能を向上させている。
すなわち、第一真空バルブ３０と第二真空バルブ５０の上部の可動軸、第一連結座、第二連結座を共通にして、コンパクトな構成としている。このような構造的な配慮により一体被覆するエポキシ樹脂量も低減している。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明を実施するための最良の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。
【図２】他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。
【図３】樹脂モールド真空バルブのブロック回路図である。
【図４】円環状電界集中緩和シールドの配置の説明図である。
【図５】係止時の説明図である。
【図６】他の形態の樹脂モールド真空バルブの構成図である。
【図７】従来技術の一例の樹脂モールド真空バルブの模式的断面構成図である。
【符号の説明】
【００５２】
１：樹脂モールド真空バルブ
１０：真空バルブ
１１：真空容器
１１ａ：絶縁円筒
１１ｂ：固定側端板
１１ｃ：可動側端板
１２：固定軸
１２ａ：固定電極
１３：可動軸
１３ａ：可動電極
１４：ベローズ
１５：接点
２１：導体
２２：固定電極側電界集中緩和シールド
２３：可動電極側電界集中緩和シールド
２４：導体用電界集中緩和シールド
２５：緩衝層
２６：樹脂絶縁体
２７：ブッシング部
２：樹脂モールド真空バルブ
３０：第一真空バルブ
３１：真空容器
３２：固定軸
３２ａ：固定電極
３３：可動軸
３３ａ：可動電極
３４：ベローズ
３５：軸支部
４１：分岐母線
４２：第一固定電極側電界集中緩和シールド
４３：第一可動電極側電界集中緩和シールド
４４：分岐母線用電界集中緩和シールド
４５：緩衝層
５０：第二真空バルブ
５１：真空容器
５２：固定軸
５２ａ：固定電極
５３：可動軸
５３ａ：可動電極
５４：ベローズ
５５：軸支部
６１：フィーダ導体
６２：第二固定電極側電界集中緩和シールド
６３：第二可動電極側電界集中緩和シールド
６４：フィーダ導体用電界集中緩和シールド
６５：緩衝層
７０：第三真空バルブ
７１：真空容器
７２：固定軸
７２ａ：固定電極
７３：可動軸
７３ａ：可動電極
８２：第三固定電極側電界集中緩和シールド
８３：第三可動電極側電界集中緩和シールド
８４：緩衝層
９１：樹脂絶縁体
９２：ブッシング部
９３：分圧器
９４：共通カバー体
９５：開閉操作機構
９６：連動軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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