(57)【要約】【課題】流路を小型化した流量計においても、十分な整流効果を発揮することができる流路構造体を有する流量計を提供する。【解決手段】被測定流体が流れるボディ部９ａと流体計測部９の間に、ボディ部９ａから分流させた被測定流体が入出するボディ部９ａ側の面に形成したボディ部側面３ａと、ボディ部９ａ側および流体計測部９側を連通する流路折曲げ孔１１ｄ，１２ｄと、流体計測部９側の面に形成され、ボディ部側面３ａおよび流路折曲げ孔１１ｄ，１２ｄを介して入出する被測定流体を流速センサ６に晒す計測部側面３ｂとを有する流路構造部３を設け、流路構造部３に上流側流路１１及び下流側流路１２を形成する仕切り壁１０と、ボディ部９ａから流入する被測定流体が溜まるバッファ用凹部１３，１４と、被測定流体の流れを整える整流片１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃを設けた。【選択図】図１
2008304395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体を検出するセンサと、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部とを備えた流量計において、
被測定流体が流れるボディ部と前記流体計測部の間に設けた板状部材からなり、前記ボディ部から分流させた被測定流体が入出するボディ部側の面に形成した第１の流路と、前記ボディ部側および前記流体計測部側を連通する連通孔部と、流体計測部側の面に形成され、前記第１の流路および前記連通孔部を介して入出する被測定流体を前記センサに晒す第２の流路とを有する流路構造部を備え、
前記流路構造部は、被測定流体の流れの上流側の第１の整流部と下流側の第２の整流部とに仕切る仕切り壁と、
前記ボディ部から流入した被測定流体が溜まる凹部からなるバッファ部と、
前記第１の整流部および第２の整流部に設けられ、前記バッファ部から前記連通孔部に向けて流れる被測定流体の流れを整える整流子とを備えたことを特徴とする流量計。
【請求項２】
ボディ部の主流路を流れる被測定流体の流速ベクトルと、第２の流路においてセンサに晒す被測定流体の流速ベクトルが略直交することを特徴とする請求項１記載の流量計。
【請求項３】
整流子は、連通孔部の開口部から延びた複数の凸所であり、
前記複数の凸所は、前記連通孔部からの長さがバッファ部に近づくにつれて短く形成されており、前記バッファ部からの被測定流体の流れを、前記凸所間を通り前記連通孔部に導くことを特徴とする請求項１または請求項２記載の流量計。
【請求項４】
第２の流路をセンサ側に流れる被測定流体を整流する金網を係止する金網係止片を備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載の流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流量測定を行う気体を整流する流路構造体を有する流量計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図８及び図９に示すように、従来の流量計に用いられる流路構造体９０は、導入孔９１から流入した流体を上昇させる平面略Ｌ字形状の導入縦溝９２、主流路に平行に形成されている第１副流路９３及び第３副流路９５、主流路に直行する方向に形成されている第２副流路９４及び第４副流路９６、流体を排出口９８から主流路Ａに排出する排出縦溝９７から構成されている。導入縦溝９２は平面Ｌ字形状を有しているので、流入した流体の一部は主流路Ａの流れと逆方向に流れるが、塵埃等は期待に比べて質量が大きいので逆方向に流れにくく、塵埃等は第１副流路９３を介して排出縦溝９７に流れる。流入した流体の一部は２つの第２副流路９４を流れ、合流した後、検出流路である第３流路９５に連通する。第３流路９５の両側に設けられた仕切り壁９９に設けられたと突部９９ａが対向するように巾狭の検出区域を形成し、流路を絞ることにより流体の流れの不均一を是正する。検出後の流体は２つの第４の流路９６に分岐して排出縦溝９７に連通する。最後に排出出口９８を介して主流路Ａに連通する（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０８５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１に開示された流量計では、流路を小型化して形成した場合には流体を十分に整流するスペースを確保することが困難であり、流量検出流路において流体に乱れが生じるという課題があった。また、流体の整流効果を向上させる金網を上流側に設けるスペースを確保することも困難であり、また配置できたとしても十分に整流効果を得る金網数を配置することが困難であった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、流路を小型化した流量計においても、十分な整流効果を発揮することができる流路構造体を有する流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る流量計は、被測定流体を検出するセンサと、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部とを備えた流量計において、被測定流体が流れるボディ部と前記流体計測部の間に設けた板状部材からなり、前記ボディ部から分流させた被測定流体が入出するボディ部側の面に形成した第１の流路と、前記ボディ部側および前記流体計測部側を連通する連通孔部と、流体計測部側の面に形成され、前記第１の流路および前記連通孔部を介して入出する被測定流体を前記センサに晒す第２の流路とを有する流路構造部を備え、前記流路構造部は、被測定流体の流れの上流側の第１の整流部と下流側の第２の整流部とに仕切る仕切り壁と、前記ボディ部から流入した被測定流体が溜まる凹部からなるバッファ部と、前記第１の整流部および第２の整流部に設けられ、前記バッファ部から前記連通孔部に向けて流れる被測定流体の流れを整える整流子とを備えるものである。
【０００７】
この発明に係る流量計は、ボディ部の主流路を流れる被測定流体の流速ベクトルと、第２の流路においてセンサに晒す被測定流体の流速ベクトルが略直交する。
【０００８】
この発明に係る流量計は、整流子が連通孔部の開口部から延びた複数の凸所であり、前記複数の凸所が、前記連通孔部からの長さがバッファ部に近づくにつれて短く形成されており、前記バッファ部からの被測定流体の流れを、前記凸所間を通り前記連通孔部に導くものである。
【０００９】
この発明に係る流量計は、第２の流路をセンサ側に流れる被測定流体を整流する金網を係止する金網係止片を備えるものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、第１の流路、連通孔及び第２の流路を設けて流路を折り返し、さらにボディ部から流入する被測定流体が溜まる凹部であるバッファ部で被測定流体の流速を下げてから整流子により被測定流体の流れを整える整流子を備えるように構成したので、被測定流体が流通する流路長を十分に確保して整流を行うことができ、正確な流量測定が実現できる。さらに流量計を小型化することができる。
【００１１】
この発明によれば、ボディ部の主流路を流れる被測定流体の流速ベクトルと、第２の流路においてセンサに晒す被測定流体の流速ベクトルが略直交するように構成したので、垂直配管に流量計を取り付けるなど、前記主流路を通流する被測定流体が重力方向に流れるようにボディ部を配置した場合でも、前記センサに晒す被測定流体の流速ベクトルと平行するようにセンサに備えられた上流と下流の抵抗の周囲における被測定流体の温度分布がいずれかの抵抗の方へ偏らなくてすむ。さらに、被測定流体が流通する流路長を十分に確保することができる。
【００１２】
この発明によれば、連通孔部の開口部から延びた複数の凸所である整流子の連通孔部からの長さをバッファ部に近づくにつれて短く形成しているので、バッファ部から第１の整流部または第２の整流部に向かう流路の入口が広がり、前記整流部を通過する被測定流体を極力均一に流すことができ、整流効果を得られる。
【００１３】
この発明によれば、第２の流路をセンサ側に流れる被測定流体を整流する金網を係止する金網係止片を備えるように構成したので、被測定流体をセンサに晒す前にさらに十分な整流を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る流量計の分解斜視図である。図１に示すように流量計１は、フィルタ２、流路構造部３、金網４、破断面が楕円のゴムパッキン５、流量センサ６と計測部７と支持板７ａ，７ｂと表示部８を備えたセンサユニット（流体計測部）９から構成されている。
フィルタ２は、流路構造部３に着脱可能に取り付けられ、後述するボディ部から導入される被測定流体のダスト（異物）を除去する。なお、必要に応じてフィルタを設けずに構成してもよい。流路構造部３は、支持板７ａに両面テープや接着剤などにより固定され、ボディ部から導入される被測定流体の流速を下げると共に、被測定流体の偏流や乱れを整流して流量センサ６に導入する楕円に形成された調節体である。また、流路構造部３を設けることにより、センサユニット９をボディ部から取外した際に流量センサ６を覆う蓋体として機能し、センサユニット９の流量センサ６部分が露出して破損するのを防止することができる。なお、流路構造部３は、支持板７ａに両面テープや接着剤により取り付けられる以外にも、その他の方法により容易に支持板７ａから脱落しないように取り付けても良い。
【００１５】
金網４は、流量センサ６に導入される前の被測定流体の偏流や乱れを整流するための整流素子であり、複数枚が一定間隔に流量センサ６の上流側に配置されている。流量センサに供給する被測定流体の流速等を考慮して、配置する金網４の枚数、目の粗さ、または配置間隔を変更してもよい。ゴムパッキン５は弾性体であり、流路構造部３と同様に楕円で形成されている。センサユニット９の支持板７ａの中央部には流量センサ６が配置されており、支持板７ｂには流路構造部３及びゴムパッキン５と同様の楕円状の孔部が形成されている。流路構造部３及びセンサユニット９はボディ部対して着脱可能であるが、流路構造部３はセンサユニット９の支持板７ａに両面テープなどにより固定されているため、容易に外れない。流量センサ６は、金網４で整流された被測定流体の流量を検出し、検出信号をリード線（図示せず）などから計測部７に出力する。
【００１６】
図２は、この発明の実施の形態１に係る流量計のセンサユニットの正面図である。
計測部７は、外部装置と接続するネットワークケーブル等を挿入するコネクタ７１を有している。また支持板７ａ，７ｂには、センサユニット９とボディ部９ａとを接続する際に固定するネジ７２が設けられている。センサユニット９とボディ部９ａをネジ７２によりネジ止めすることにより、ゴムパッキン５が支持板７ａとボディ部９ａの取り付け面に当接して気密性が保たれる。表示部８は、設定入力を行う設定スイッチと８１と、設定スイッチ８１による設定内容などを表示する表示器８２とを備えている。図２の例では、センサユニット９に表示部８を装備した場合を示したが、表示部を有さない構成であっても構わない。
【００１７】
図３は、この発明の実施の形態１に係るセンサユニットのボディ部への取り付けを示す図である。ボディ部９ａは、主流路９ｂ、オリフィス９ｃ及び分流路９ｄ，９ｅから構成されている。また、主流路９ｂ内に記載した矢印は、主流路９ｂを流れる被測定流体の流速ベクトルを示している。分流路９ｄ，９ｅは、オリフィス９ｃの前後に主流路９ｂに連通するように形成されている。また、分流路９ｄ，９ｅは、図３中に矢印で示した被測定流体の流速ベクトルと平行となる位置に形成されている。オリフィス９ｃで生じた差圧によって分流路９ｄを介して被測定流体が流路構造部３へ分流され、流路構造部３を通った被測定流体が分流路９ｅを介して主流路９ｂへ流出する。なお、以下では分流路９ｄから流路構造部３に向かう被測定流体の流れを順流、分流路９ｅから流路構造部３に向かう被測定流体の流れを逆流と称する。
【００１８】
図４は、この発明の実施の形態１に係る流量計の流路構造部の斜視図であり、図４（ａ）はボディ部側面の構成、図４（ｂ）は計測部側面の構成、図４（ｃ）は流路構造部を支持板の孔部に取り付けた図を示している。
流路構造部３は、樹脂等を用いて型抜き成形され、図４（ａ）に示すようにはボディ部側面（第１の流路）３ａの中央部分には、略Ｓ字形の仕切り壁１０が設けられ、この仕切り壁１０により仕切られた上流側流路（第１の整流部）１１、下流側流路１２（第２の整流部）１２及びバッファ用凹部（バッファ部）１３，１４及で構成されている。また、ボディ部側面３ａの外周部分には、仕切り壁１０と連設されるように外周壁１５が構成されており、センサユニット９をボディ部９ａに取り付けた際に導入された被測定流体が漏出するのを防ぐ。なお、流路構造部３は、金属を切削して成形されても良い。
【００１９】
また、図４（ａ）に示すように下流側流路１２の面積は上流側流路１１よりも小さくなるように構成してもよいし、上流側流路１１の面積と下流側流路１２の面積が均等になるように構成してもよい。図４（ａ）に示した構成は、逆流の被測定流体を測定する場合に、導入された被測定流体は下流側流路１２において整流された後流量センサ６に導入されるが、下流側流路１２に導入される被測定流体が順流方向の測定と比較して少量であるため、下流側流路１２の面積を上流側流路１１よりも小さくしている。なお、必要に応じて、下流側流路１２の面積を上流側流路１１の面積よりも小さくせずとも良い。
【００２０】
上流側流路１１には、長さの異なる３本の整流片（整流子）１１ａ、１１ｂ及び１１ｃと被測定流体をボディ部側面３ａから計測部側面（第２の流路）３ｂに導入する流路折り曲げ孔（連通孔部）１１ｄが形成されている。整流片１１ａは外周壁１５に連設されており、バッファ用凹部１３によるバッファ効果を高めるために整流片１１ｂ及び１１ｃよりも片の高さが高くなるように構成されている。また、各整流片１１ａ，１１ｂ，１１ｃ間で被測定流体が連通可能なように、各整流片の長さは１１ａ＜１１ｂ＜１１ｃとなるように構成されている。整流片１１ａの長さを最も短くすることで、バッファ用凹部１３から流路折り曲げ孔１１ｂへ向かう流路の入口が広がり、上流側流路１１に形成された整流片１１ａ、１１ｂ及び１１ｃで仕切られた３本の流路それぞれに被測定流体を極力均一に流すことができ、整流効果を得られる。
【００２１】
下流側流路１２も同様に、長さの異なる３本の整流片（整流子）１２ａ、１２ｂ及び１２ｃと被測定流体を計測部側面３ｂからボディ部側面３ａに導入する流路折り曲げ孔（連通孔部）１２ｄが形成されている。整流片１２ａは、外周壁１５に連設されており、バッファ用凹部１４によるバッファ効果を高めるために整流片１２ｂ及び１２ｃよりも片の高さが高くなるように構成されている。また、各整流片１２ａ，１２ｂ，１２ｃ間で被測定流体が連通可能なように、各整流片の長さは、１２ａ＜１２ｂ＜１２ｃとなるように構成されている。整流片１２ａの長さを最も短くすることで、バッファ用凹部１４から流路折り曲げ孔１２ｂへ向かう流路の入口が広がり、下流側流路１２に形成された整流片１２ａ、１２ｂ及び１２ｃで仕切られた３本の流路それぞれに被測定流体を極力均一に流すことができ、整流効果を得られる。
【００２２】
下流側流路１２が上流側流路１１と異なる点は、整流片１２ｂ及び１２ｃが流路折り曲げ孔１２ｄを跨ぐように形成され、流路折り曲げ孔１２ｄが３つに分割されている点である。流路折り曲げ孔は整流片により分割されない方がより被測定流体の整流効果を向上させることができるが、順流方向の被測定流体の流量測定に影響の少ない下流側流路１２の流路折り曲げ孔１２ｄを跨ぐように整流片１２ｂ及び１２ｃを形成してもよい。
【００２３】
次に計測部側面３ｂの構成について、図４（ｂ）を用いて説明する。計測部側面３ｂの両端には、図４（ａ）の説明において示した流路折り曲げ孔１１ｄ，１２ｄが形成されている。また、計測部側面３ｂの中央部には、金網４を係止する４つの金網係止片１６、２つの壁部１７ａ，１７ｂ及び２つの敷居片１８ａ，１８ｂが設けられている。なお、本実施例では、順流の流体計測の計測範囲は、順流の流体計測の計測範囲に比べて広いので、更に整流効果を得るべく、前記金網を流路に設けた。
【００２４】
金網４を敷居片１８ａ，１８ｂの流路折り曲げ孔１１ｄ側の端部と４つの金網係止片１６との間に差し込むことで、図４（ｃ）に示すように流量センサ６の上流側に複数枚の金網４が一定間隔で配置される。壁部１７ａ，１７ｂ及び敷居片１８ａ，１８ｂは流量センサ６部分に導入された被測定流体の流速ベクトルを均一に調整することができ、整流効果を得ることができる。敷居片１８ａ，１８ｂは流路折り曲げ孔１２ｄを跨ぐように形成されている。
【００２５】
次に、流量センサ６について説明する。流量センサ６は、例えば本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細書等において開示した半導体ダイヤフラム構成のものを使用することができる。図５は、この発明の実施の形態１に係る流量計の流量センサの構成を示す図であり、図５（ａ）は流量センサの斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ断面図である。流量センサ６は、一辺が１．７ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのシリコンチップなどの基材からなる基台６０の表面に、ヒータ６１、上流側温度センサ６２、下流側温度センサ６３、周囲温度センサ６４を、白金などのパターンを用いて薄膜形成し、絶縁膜層６５で覆ったものである。白金薄膜は温度に応じて抵抗値が変化し、測温抵抗体として機能する。
【００２６】
ヒータ６１は基台６０の中央に配置され、その流体の流れ方向に対してヒータ６１の上流側に上流側温度センサ６２が配置され、反対側の下流側に下流側温度センサ６３が配置されている。また、周囲温度センサ６４は、基台６０の上流側周辺部に配置されている。基台６０の中央部は、異方性エッチングなどの工程により基材の一部が除去されてキャビティー（凹部空間）６６が形成されており、ヒータ６１、上流側温度センサ６２、下流側温度センサ６３は基台６０から熱的に遮断されたダイヤフラム６７上に形成されている。
【００２７】
流量センサ６の動作原理は、周囲温度センサ６４で計測された流体温度より一定温度、例えば数１０℃だけ高くなるようにヒータ６１で流体を熱して所定の温度分布を発生させ、その温度分布を上流側温度センサ６２および下流側温度センサ６３で計測することにより、流体流量を計測するものである。流体が静止している場合、上流側温度センサ６２および下流側温度センサ６３で得られる温度分布は対称となるが、流体が流れている場合、その対称性が崩れ、上流側温度センサ６２に比べて下流側温度センサ６３で得られる温度が高くなる。この温度差をブリッジ回路で検出することにより、流体の熱伝導率などの物性値に基づき流体流量が得られる。
【００２８】
流量センサ６はサイズが小さいだけでなく、熱絶縁された極めて薄いダイヤフラム構造を採用しているため、高感度分析、高速応答及び低消費電力という特長を備えている。また、ヒータ６１を挟んだ上流側温度センサ６２と下流側温度センサ６３の配置が左右対称になっているため、順流だけではなく逆流の測定も可能となる。
【００２９】
図６は、この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。図６（ａ）は被測定流体の順流の流れを示した流路構造部のボディ部側面の正面図であり、図６（ｂ）は被測定流体の順流の流れを示した流路構造部の計測部側面の正面図である。図６において、実線矢印は流量測定前の被測定流体の流れを示し、破線矢印は流量測定後の被測定流体の流れを示す。
まず、図６（ａ）の実線矢印で示す分流路９ｄからバッファ用凹部１３に導入された被測定流体は、一定角度の広がりを持ち、上流側流路１１に導入される。導入される被測定流体は、仕切り壁１０と整流片１１ａとの間隔が広く構成していることから流速が抑えられ、一定角度の広がりを持って導入される。導入された被測定流体は仕切り壁１０によって流れの向きが変えられ、各整流片１１ａ，１１ｂ及び１１ｃの間を通過して整流される。被測定流体は整流されると共に流速ベクトルが徐々に変化し、流路折り曲げ孔１１ｄにおいて流れの向きが変えられ、計測部側面３ｂに導入される。
【００３０】
図６（ｂ）の実線矢印で示すように、ボディ部側面３ａから導入された被測定流体は、金網４によって整流された後、壁部１７ａ，１７ｂによって流入する面積が決定され、敷居片１８ａ，１８ｂにより流量センサ６部分に流入される被測定流体の流速ベクトルが均一化され、流量センサ６によって流量を検出される。流量センサ６に流入する被測定流体の流速ベクトルは、主流路９ｂを流れる被測定流体の流速ベクトルに対して略直交する方向に変化している。流量センサ６で検出された検出信号は計測部７へ出力される。
【００３１】
その後、被測定流体は再び流路折り曲げ孔１２ｄで流れの向きが変えられ、ボディ部側面３ａに導入される。図６（ａ）の点線矢印で示すように、計測部側面３ｂから導入された被測定流体は、各整流片１２ａ，１２ｂ及び１２ｃの間を通過して整流される。整流された被測定流体は、バッファ用凹部１４及びフィルタ２を経由して分流路９ｅから主流路９ｂの気体流に合流する。
【００３２】
次に、逆流方向の被測定流体の流量を測定する流量計の動作を説明する。
図７は、この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。図７（ａ）は被測定流体の逆流の流れを示した流路構造部のボディ部側面の斜視図であり、図７（ｂ）は被測定流体の逆流の流れを示した流路構造部の計測部側面の斜視図である。図７において、実線矢印は流量測定前の被測定流体の流れを示し、破線矢印は流量測定後の被測定流体の流れを示す。
【００３３】
まず、図７（ａ）の実線矢印で示す分流路９ｅからバッファ用凹部１４に導入された被測定流体は、一定角度の広がりを持ち、下流側流路１２に導入される。導入された被測定流体は、仕切り壁１０と整流片１２ａとの間隔を広く構成していることから流速が抑えられ、一定角度の広がりを持って導入される。導入された被測定流体は仕切り壁１０によって流れの向きが変えられ、各整流片１２ａ，１２ｂ及び１２ｃの間を通過して整流される。被測定流体は整流されると共に流速ベクトルが徐々に変化し、流路折り曲げ孔１２ｄにおいて流れの向きが変えられ、計測部側面３ｂに導入される。
【００３４】
図７（ｂ）の実線矢印で示すように、ボディ部側面３ａから導入された被測定流体は、壁部１７ａ，１７ｂ及び敷居片１８ａ，１８ｂにより流量センサ６部分に流入される被測定流体の流速ベクトルが均一化され、流量センサ６によって流量を検出される。流量センサ６に流入する被測定流体の流速ベクトルは、主流路９ｂを流れる被測定流体の流速ベクトルに対して略直交する方向に変化している。流量センサ６で検出された検出信号は計測部７へ出力される。
【００３５】
その後、被測定流体は金網４によって整流された後、再び流路折り曲げ孔１１ｄで流れの向きが変えられ、ボディ部側面３ａに導入される。図６（ａ）の点線矢印で示すように、計測部側面３ｂから導入された被測定流体は、各整流片１１ａ，１１ｂ及び１１ｃの間を通過して整流される。整流された被測定流体は、バッファ用凹部１３及びフィルタ２を経由して分流路９ｄから主流路９ｂの気体流に合流する。
【００３６】
以上のように、実施の形態１によれば、流路構造体にボディ部側面、計測部側面及び流路折り曲げ孔を設け、被測定流体の流路を折り返し、さらにバッファ用凹部で被測定流体の流速を下げた後、整流子により被測定流体の流れを整える整流子を設けるように構成したので、被測定流体が流通する流路長を十分に確保して整流を行うことができ、正確な流量測定が可能となる。また、流量計を小型化することができる。
【００３７】
垂直配管に流量計を取り付けるなど、主流路を通流する被測定流体が重力方向に流れるようにボディ部を配置した場合、主流路を流れる被測定流体の流速ベクトルと、流量センサに晒す被測定流体の流速ベクトルが同一であると、前記流量センサに晒す被測定流体の流速ベクトルと平行するようにセンサに備えられた上流と下流の抵抗の周囲における被測定流体の温度分布が垂直上方側の抵抗の方へ偏ることが知られている。この場合、低流量や流量ゼロの際は特に、測定誤差やゼロ点のドリフトが目立つように生じるが、この実施の形態１によれば、主流路を流れる被測定流体の流速ベクトルと、計測部側面において流量センサに流入する被測定流体の流速ベクトルが略直交するように構成したので、流量センサに晒す被測定流体の流速ベクトルを重力方向と直交するように構成することが可能となり、前記センサに晒す被測定流体の流速ベクトルと平行するようにセンサに備えられた上流と下流の抵抗の周囲における被測定流体の温度分布がいずれかの抵抗の方へ偏らなくてすむ。低流量の際の測定誤差や流量ゼロの際のゼロ点のドリフトを抑制することができる。さらに、被測定流体が流通する流路長を十分に確保することができる。
【００３８】
さらに、実施の形態１によれば、ボディ部側面に複数の整流片を設け、ボディ部の分流路から導入された被測定流体の流速を下げた後、さらに各整流片により被測定流体の流れを整流するように構成したので、安定した被測定流体の流量測定を行うことが可能となる。また、整流片の長さをバッファ用凹部に近づくにつれて短く形成しているので、バッファ用凹部第１の整流部または第２の整流部に向かう流路に入口が広がり、複数の整流片で仕切られた流路にそれぞれ被測定流体を極力均一に流すことができ、整流効果を得られる。
【００３９】
また、実施の形態１によれば、ボディ部側面の下流側流路に複数の整流片及び流路折り曲げ孔を設け、さらに左右対称構造である流量センサを設けるように構成したので、下流側流路から流量センサに向かう被測定流体の流れである逆流の流量も測定することができる。
【００４０】
さらに、実施の形態１によれば、流量センサを覆う位置に流路構造部を設け、ボディ部側から導入された被測定流体を折り返して流量センサに供給するように構成したので、センサユニットをボディ部から取り外した場合でも、流路構造部が流量センサに対して蓋体として機能し、流量センサが露出して傷ついたり破損することを防止できる。
【００４１】
なお、上記実施の形態１では、流路構造部、ゴムパッキン及び支持板の孔部を楕円状に形成する例を示したが、楕円状に限定されるものではなく被測定流体を導入するボディ部の分流路の形状に合わせて構成してよい。
【００４２】
なお、上記実施の形態１では、流路折り曲げ孔１１ｄ付近に金網を設ける構成を示したが、流路折り曲げ孔１２ｄの直後にもさらに金網を設け、下流側流路１２から導入された逆流の被測定流体を該金網で整流した後に流量センサ６に供給するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】この発明の実施の形態１に係る流量計の分解斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る流量計のセンサユニットの正面図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係るセンサユニットのボディ部への取り付けを示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１に係る流量計の流路構造部の斜視図である。
【図５】この発明の実施の形態１に係る流量計の流量センサの構成を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。
【図８】従来の流量計の部分断面図である。
【図９】従来の流量計の部分断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  流量計
２  フィルタ
３  流路構造部
３ａ  ボディ部側面
３ｂ  計測部側面
４  金網
５  ゴムパッキン
６  流量センサ
７  計測部
７ａ，７ｂ  支持板
８  表示部
９  センサユニット
９ａ  ボディ部
９ｂ  主流路
９ｃ  オリフィス
９ｄ，９ｅ  分流路
１０  仕切り壁
１１  上流側流路
１２  下流側流路
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  整流片
１１ｄ，１２ｄ  流路折り曲げ孔
１３，１４  バッファ用凹部
１５  外周壁
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ  金網係止片
１７ａ，１７ｂ  壁部
１８ａ，１８ｂ  敷居片
６０  基台
６１  ヒータ
６２  上流側温度センサ
６３  下流側温度センサ
６４  周囲温度センサ
６５  絶縁膜層
６６  キャビティー（凹部空間）
６７  ダイヤフラム
７１  コネクタ
７２  ネジ
８１  設定スイッチ
８２  表示器
９０  流量計
９１  先端デバイス
９２  セラミック基板
９３  導体パターン
９４  チップ部品
９５  回路基板
９６  Ｕ字形流路
【図１】
2008304395.tif 000003
【図２】
2008304395.tif 000004
【図３】
2008304395.tif 000005
【図４】
2008304395.tif 000006
【図５】
2008304395.tif 000007
【図６】
2008304395.tif 000008
【図７】
2008304395.tif 000009
【図８】
2008304395.tif 000010
【図９】
2008304395.tif 000011