(57)【要約】  本発明は、傾斜した光学窓（Ｆ）を備える微小機械装置（１０）の製造方法であって、第１の基板（Ｓ１）及び第２の基板（２）を提供し（Ｓ１）；複数の貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を第１及び第２の基板（Ｓ１；Ｓ２）に形成し、第１の基板（１）のそれぞれの貫通孔（Ｆ１）に対して、第２の基板（２）に合同の貫通孔（Ｆ２）を形成し、これらの貫通孔は第１の基板（１）が第２の基板（２）の上方に配置された場合に重なる。さらに、第１及び第２の基板（１；２）のそれぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）の周りに傾斜したエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）を形成し（Ｓ３）、エッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）が窓角度（ＦＷ）だけ傾斜しており、互いに上下に配置した２つの傾斜したエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）が平面図で合同であり、同じ窓角度（ＦＷ）だけ傾斜しており；窓フィルム（Ｆ０）の平面図でそれぞれ貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を覆う構造化された窓領域（ＦＢ）を有する窓フィルム（Ｆ０）を提供し（Ｓ４）、窓フィルム（Ｆ０）それぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）の上方に窓角度（ＦＷ）だけ傾斜した光学窓（Ｆ）を形成している。
2021524614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
傾斜した光学窓（Ｆ）を備える微小機械装置（１０）の製造方法であって、
Ｓ１）第１の前側（ＶＳ１）及び第１の後側（ＲＳ１）を有する第１の基板（１）と、第２の前側（ＶＳ２）及び第２の後側（ＲＳ２）を有する第２の基板（２）とを提供するステップと、
Ｓ２）第１の基板（Ｓ１）及び第２の基板（２）に複数の貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を形成するステップであって、第１の基板（１）のそれぞれの貫通孔（Ｆ１）に対して、第２の基板（２）に合同の貫通孔（Ｆ２）を形成し、貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）が、第１の基板（１）が第２の基板（２）の上方に配置された場合に重なり合うようにし、第１の後側（ＲＳ１）を第２の前側（ＶＳ２）に向ける、ステップと、
Ｓ３）第１の基板（１）及び第２の基板（２）のそれぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）の周りに傾斜したエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）を形成するステップであって、エッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）がそれぞれ貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を側方に取り囲み、第１の基板（１）及び第２の基板（２）の平面に対して窓角度（ＦＷ）だけ傾斜させ、互いに上下に配置されたそれぞれ２つの傾斜したエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）が平面図で合同になるようにし、同じ窓角度（ＦＷ）だけ傾斜させる、ステップと、
Ｓ４）窓フィルム（Ｆ０）の平面図において、それぞれ貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を覆い、関連するエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）を少なくとも部分的に覆う構造化された窓領域（ＦＢ）を有する窓フィルム（Ｆ０）を提供するステップと、
Ｓ５）第１の基板（１）の第１の後側（ＲＳ１）と第２の基板（２）の第２の前側（ＶＳ２）との間に窓フィルム（Ｆ０）を位置決めするステップであって、構造化された窓領域（ＦＢ）が、それぞれ、傾斜したエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）及び関連する貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を覆い、接合プロセスによって第１の後側（ＲＳ１）第２の前側（ＶＳ２）、及びこれらの間に配置された窓フィルム（Ｆ０）の間で摩擦結合を行い、窓フィルム（Ｆ０）がそれぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）の上方で窓角度（ＦＷ）だけ傾斜した光学窓（Ｆ）を形成する、ステップと
を含む、傾斜した光学窓（Ｆ）を備える微小機械装置（１９）の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の製造方法であって、
方法ステップＳ４において、前記貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）のために、平面図においてそれぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を側方で取り囲む分離トレンチ（３）を窓フィルムに形成する製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の製造方法であって、
前記分離トレンチ（３）が、前記保持領域（４）の外側で前記窓フィルム（Ｆ０）を貫通し、前記貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）のために２つの保持領域（４）が回転軸線（Ａ）を描き、方法ステップＳ５において、回転軸線（Ａ）を中心として窓フィルム（Ｆ０）を窓角度（ＦＷ）だけ回転させることによって光学窓（Ｆ）を傾斜させる製造方法。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれかに記載の製造方法であって、
結合のための方法ステップＳ５において、前記第１の基板（１）及び／又は前記第２の基板（２）及び／又は窓フィルム（Ｆ０）の傾斜した前記エッジ領域（ＲＢ１、ＲＢ２）に接着材料又はガラスはんだである接合剤（５）を塗布する製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の製造方法であって、
前記窓フィルム（Ｆ０）の平面図において、接合手段として、分離トレンチ（３）の内側で貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を側方に取り囲む内側接着経路（５ａ）を配置し、及び／又は分離トレンチ（３）の外側で前記貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を側方に取り囲む外側接着剤経路（５ｂ）を配置する製造方法。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項に記載の製造方法であって、
方法ステップＳ５で、前記第１の基板（１）の平面に対して垂直に、前記第１の基板（１）及び／又は前記第２の基板（２）に押圧力を加える製造方法。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれかに記載の製造方法であって、請求項４に従属する場合に、前記方法ステップＳ５における結合時に接合材を硬化する製造方法。
【請求項８】
請求項１から７までのいずれかに記載の製造方法であって、
方法ステップＳ４において窓フィルム（Ｆ０）に一方側又は両側に反射防止材料を配置する製造方法。
【請求項９】
傾斜した光学窓（Ｆ）を備える微小機械装置（１０）であって、
第１の前側（ＶＳ１）及び第１の後側（ＲＳ２）を有する第１の基板（１）と、第２の前側（ＶＳ２）及び第２の後側（ＲＳ２）を有する第２の基板（２）とを備え、第１の基板（１）の第１の後側（ＲＳ１）が第２の基板（２）の第２の前側（ＶＳ２）に配置されており、第１の後側（ＲＳ１）が第２の前側（ＶＳ２）に向いており、
第１の基板（Ｓ１）及び第２の基板（Ｓ２）に複数の貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を備え、それぞれ第１の基板（１）の貫通孔（Ｆ１）が、第２の基板（２）の貫通孔（Ｆ２）と合同であるように重なっており、
第１の基板（１）及び第２の基板（２）のそれぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）の周りに傾斜したエッジ（領域ＲＢ１，ＲＢ２）を備え、エッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）が、それぞれ貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を側方に取り囲み、第１の基板（１）及び第２の基板（２）において窓角度（ＦＷ）だけ、第１の基板（１）及び第２の基板（２）の平面に対して傾斜しており、互いに上下に配置された２つの傾斜したエッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）が、平面図で合同であり、同じ窓角度（ＦＷ）だけ傾斜しており、
第１の基板（１）と第２の基板（２）との間に配置され、それぞれの貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を覆う窓フィルム（Ｆ０）が、貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）の領域において窓角度（ＦＷ）だけ傾斜した光学窓（Ｆ）を形成している、傾斜した光学窓（Ｆ）を備える微小機械装置（１０）。
【請求項１０】
請求項９に記載の微小機械装置であって、
互いに上下に配置されたそれぞれ２つの傾斜した前記エッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）が、反対方向に傾斜している微小機械装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の微小機械装置であって、
平面図において、傾斜した前記エッジ領域（ＲＢ１，ＲＢ２）の領域でそれぞれの前記貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を側方に取り囲む分離トレンチ（３）が窓フィルム（Ｆ０）に形成されている微小機械装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の微小機械装置であって、
前記窓フィルム（Ｆ０）の平面図において、接合手段として、前記分離トレンチ（３）の内側で側方に貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を取り囲む内側接着経路（５ａ）が配置されており、及び／又は分離トレンチ（３）の外側で側方に貫通孔（Ｆ１，Ｆ２）を取り囲む外側接着剤経路（５ｂ）が配置されている微小機械装置。
【請求項１３】
請求項９から１２までのいずれか１項に記載の微小機械装置であって、
前記第１の後側（ＲＳ１）及び前記第２の前側（ＶＳ２）がそれぞれ結合構造を含み、該結合構造によって、第１の基板（１）を第２の基板（２）の上方の所定位置にセンタリング可能である微小機械装置。
【請求項１４】
請求項９から１３までのいずれかに記載の微小機械装置であって、前記窓フィルム（Ｆ０）の一方側又は両側に反射防止材料が配置されている微小機械装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、傾斜した光学窓を備える微小機械装置及び傾斜した光学窓を備える微小機械装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳ素子では、通常、粒子などによる有害な外部の影響から保護するために保護装置を設ける必要があり、このような保護装置は、素子を機械的接触から保護し、損傷を受けることなしに素子を処理すること、例えば、複合ウェーハからチップを個別化することを可能にする。光学窓を有する保護装置は、通常、窓に境界面を有し、この境界面で不都合な反射が生じることがある。そのような固定反射が素子の投影領域にあり、反射強度が投影される光の強度を超える場合、これは妨げとなる作用を及ぼす場合がある。
【０００３】
米国特許出願公開第２００７／００２４５４９号明細書では、３次元表面構造が反射を防止するための傾斜した窓として記載されており、これは、複合ウェーハとして製造可能であり、ガラス又はプラスチックによる透明材料を含むことができる。
【発明の概要】
【０００４】
本発明は、請求項１に記載の傾斜した光窓を備える微小機械装置と、請求項９に記載の傾斜した光学窓を備える微小機械装置の製造方法とを提供する。
【０００５】
好ましい構成が従属請求項の対象である。
【０００６】
発明の基礎をなす概念は、傾斜した光学窓を有する微小機械装置の製造方法を提供することであり、この製造方法では、装置及び／又は微小機械装置で覆うことができる光学装置の投影領域において妨げとなる反射を低減又は有利に防止することができ、低製造コストにより高い光学品質が得られる。
【０００７】
光学窓を有する微小機械装置の製造方法において、方法ステップＳ１において、第１の前側及び第１の後側を有する第１の基板と、第２の前側及び第２の後側を有する第２の基板とが提供される。さらなる方法ステップＳ２において、第１の基板及び第２の基板に複数の貫通孔が形成され、第１の基板のそれぞれの貫通孔に対して、第２の基板に合同の貫通孔が形成され、これらの貫通孔は第１の基板が第２の基板の上方に配置された場合に重なり、第１の後側は第２の前側に向いている。さらなる方法ステップＳ３では、傾斜したエッジ領域が、第１の基板及び第２の基板のそれぞれの貫通孔の周りに形成され、このエッジ領域は、それぞれ貫通孔を側方に取り囲み、窓角度だけ、第１の基板及び第２の基板の平面に対して傾斜しており、互いに上下に配置された２つの傾斜したエッジ領域は、平面図で合同であり、同じ窓角度だけ傾斜している。さらなる方法ステップＳ４において、窓フィルムは、窓フィルムの平面図において、貫通孔を覆い、関連する縁部領域を少なくとも部分的に覆う構造化窓領域を備える。さらなる方法ステップＳ５において、第１の基板の第１の後側と第２の基板の第２の前側との間に窓フィルムが位置決めされ、構造化された窓領域は、それぞれ、傾斜したエッジ領域及び関連する貫通孔を覆い、接合プロセスによって第１の後側、第２の前側、及びこれらの間に配置された窓フィルムとの間で摩擦結合を行い、窓フィルムはそれぞれの貫通孔の上方で窓角度だけ傾斜した光学窓を形成する。
【０００８】
装置は、有利には光学装置、有利には、光学ＭＥＭＳ（ＭＯＥＭＳ）としてのマイクロミラーである。第１及び第２の基板は、光学ＭＥＭＳのための封入部、すなわちキャップのみを具体化することもでき、第１及び第２の基板はＭＥＭＳ素子を覆うことができる。第１及び／又は第２の基板は、有利には、プラスチック又は有機材料、例えばＬＣＰ（液晶ポリマー）又はＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）を含むことができる。有機材料の場合、無機材料と比較して加工及び調達が極めて安価なので、顕著なコスト節約を達成することができる。第１及び／又は第２の基板は射出成形方法によって製造することができ、又は代替的に他の方法によって製造することもできる。窓フィルムは、有利には、有機材料（例えば、透明フィルム）を含むことができ、光学的透明性によって高い光学品質を備えることもでき、例えば、ポリエーテルスルホ（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアクリレート（ＰＡＲ）、フルオレンポリエステル（ＦＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）又はポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）などの非晶質及び／又は部分結晶性プラスチックを含む。窓フィルムは、有利には、薄いガラスを含むこともできる。適切な材料は、有利には、適用されるべき処理及び装置の作動に適しており、例えば、適切な物質は、有利には、有害な、又は光学的に影響を及ぼすガスを放出しない。第１の基板、第２の基板、及び／又は窓フィルムは、有利には、ＭＥＭＳのための十分な保護をもたらし、有利には、ＭＥＭＳ素子のための封入を意味する。光学窓には、有利には別の層、例えば光学層を配置してもよい。このような封入部により、封入部（基板及び窓）によるＭＥＭＳ素子の気密封入又は気密封止を省略することが可能であり、これにより、コスト上の大きい利点がもたらされる。基板は、例えば、ガラス又はシリコンなどの無機材料を含むこともできる。傾斜した光学窓を有する微小機械装置によって覆うことができるＭＥＭＳ素子は、有利には、この装置によって外部の影響（塵埃、接触）から保護することができ、微小機械装置は、有利にはキャビティを形成することができ、キャビティの内側にＭＥＭＳ素子を配置することができる（両方とも例えばウェーハに配置することができる）。ＭＥＭＳ素子は、例えば細いワイヤによって、第１及び第２の基板の貫通孔を介して、ボンドパッドに電気接触させることができる。したがって、微小機械装置は、ウェーハ上のＭＥＭＳ素子を覆うためのキャップウェーハであり、個別に又は多数で製造し、ウェーハに配置されたＭＥＭＳ素子の上方で調整し、ウェーハに配置し、接合することができる。接合としては、有利には陽極接合又は直接接合（ガラスとシリコンとの間の接合剤なしの結合としても）を共晶接合層及びガラスはんだ又は接着剤を介して行うことができる。
【０００９】
それぞれのＭＥＭＳ素子、例えばミラー又はチップに、正確に１つの光学窓を割り当てることができる。
【００１０】
製造時に、窓角度は、有利には、使用される光の投影方向からの妨げとなる反射を偏向させるために十分であり、偏向に適している大きさに選択される。
【００１１】
窓フィルムの境界面から起こりうる、妨げとなる反射の偏向は、光学窓の傾斜位置によって達成することができ、窓における反射防止層の作用を顕著に支援することができる。有利には、反射防止層は窓の透過率を最大にするための役割を果たす。小型の素子では、有利にはＭＥＭＳ素子に含まれ、停止位置から平行に揺動させることができるマイクロミラーは、第１又は第２の基板に対して小さい間隔しか有することができないので、窓の傾斜位置は、窓の境界面における妨げとなる反射を投影方向（放射方向）から外側に向ける有利で単純な可能性である。このために、光学窓及びマイクロミラーの表面は、有利には互いに平行ではない。
【００１２】
有利には、上述の方法によって、ＭＥＭＳ素子又はウェーハ上の接合のタイプに応じて気密な封入を達成することもできる。さらに、この方法は、有利には大量生産に適している。傾斜位置及びエッジ領域によって、有利には、使用時又はさらなる処理時に光学窓への引っ掻き傷又は損傷を防止又は低減することができる。
【００１３】
互いに側方にずらすことができる異なる複数の窓、例えば、第１及び第２の基板の窓は、有利には、同じ窓角度、又はそれぞれ異なる窓角度を有していてもよい。
【００１４】
この方法の好ましい実施形態によれば、方法ステップＳ４において、貫通孔のために、平面図においてそれぞれの貫通孔を側方に取り囲む分離トレンチが窓フィルムに形成される。
【００１５】
分離トレンチは、例えば、窓フィルムに打ち抜くか、又はレーザによって設けることができ、分離トレンチは、有利には完全に窓フィルムを貫通する。
【００１６】
この方法の好ましい実施形態によれば、分離トレンチは、保持領域の外側で窓フィルムを貫通し、貫通孔のために２つの保持領域は回転軸線を描き、方法ステップＳ５では、回転軸線を中心として窓フィルムを窓角度だけ回転させることによって光学窓が傾斜される。
【００１７】
この場合、側方の包囲は、有利には保持領域によって中断される。
【００１８】
窓フィルムがガラスからなっている場合には、保持領域は、それぞれ窓を傾斜させるために傾斜させた場合に破壊することができる目標破壊箇所をガラスに形成することができる。代替的には、ガラスフィルムは、分離トレンチと、例えばレーザエッチング（レーザ誘起ディープエッチング）によって、傾斜された場合に弾み、破壊されない保持領域とを備えることができる。保持領域により、窓領域は、有利には、処理中（例えば、傾斜又は接着時）に微小機械装置の結合体に残される。
【００１９】
この方法の好ましい実施形態によれば、結合のための方法ステップＳ５では、第１の基板及び／又は第２の基板及び／又は窓フィルムの傾斜したエッジ領域、に接着材料又はガラスはんだである接合剤が塗布される。
【００２０】
接合剤は、例えばスクリーン印刷によって窓フィルムに塗布することができる。接着材料は、熱可塑性又は熱硬化性の接着剤などの有機材料を含むことができる。第１及び／又は第２の基板及び窓フィルムも無機材料を含むことができるので、このことは、ＭＥＭＳ素子のための気密封止を達成するために有利であり、これは、接合時により高い温度の適用に適している場合があり、気密封止するガラスはんだを接合剤として使用することもできる。
【００２１】
この方法の好ましい実施形態によれば、窓フィルムの平面図において、接合手段として、分離トレンチの内側で側方に貫通孔を取り囲む内側接着経路が配置されており、及び／又は分離トレンチの外側で側方に貫通孔を取り囲む外側接着剤経路が配置される。
【００２２】
この方法の好ましい実施形態によれば、方法ステップＳ５において、第１の基板の平面に対して垂直に、第１の基板及び／又は第２の基板に押圧力が加えられる。
【００２３】
この方法の好ましい実施形態によれば、方法ステップＳ５における結合時に接合剤の硬化を行う。
【００２４】
使用される接合剤に応じて、硬化は必要な場合もあるし、不要な場合もある。接合前に接合剤の予備硬化を行うことができる。
【００２５】
この方法の好ましい実施形態によれば、方法ステップＳ４において、反射防止材料が窓フィルムの片側又は両側に配置される。
【００２６】
反射防止材料は窓フィルムに塗布することができる。
【００２７】
本発明によれば、傾斜した光学窓を備える微小機械装置は、第１の前側及び第１の後側を有する第１の基板と、第２の前側及び第２の後側を有する第２の基板とを備え、第１の基板の第１の後側は第２の基板の第２の前側に配置されており、第１の後側は第２の前側に向いており；第１の基板及び第２の基板に複数の貫通孔を備え、それぞれ第１の基板の貫通孔は、第２の基板の貫通孔と合同であるように重なっている。さらに、装置は、第１の基板及び第２の基板のそれぞれの貫通孔の周りに傾斜したエッジ領域を備え、このエッジ領域は、それぞれ貫通孔を側方に取り囲み、第１の基板及び第２の基板において窓角度だけ、第１の基板及び第２の基板の平面に対して傾斜しており、それぞれ互いに上下に配置された２つの傾斜したエッジ領域は、平面図で合同であり、同じ窓角度だけ傾斜しており；第１の基板と第２の基板との間に配置され、それぞれの貫通孔を覆い、貫通孔の領域において窓角度だけ傾斜した光学窓を形成する窓フィルムを備える。
【００２８】
この装置は、有利には、製造方法に関連して述べた特徴によっても優れており、逆もまた同様である。
【００２９】
この装置の好ましい実施形態によれば、互いに上下に配置された２つの傾斜したエッジ領域は、反対方向に傾斜している。
【００３０】
この方法の好ましい実施形態によれば、平面図において、傾斜したエッジ領域の領域でそれぞれ貫通孔を側方に取り囲む分離トレンチが窓フィルムに形成されている。
【００３１】
この方法の好ましい実施形態によれば、窓フィルムの平面図において、接合手段として、分離トレンチの内側で側方に貫通孔を取り囲む内側接着経路が配置されており、及び／又は分離トレンチの外側で側方に貫通孔を取り囲む外側接着経路が配置されている。
【００３２】
この装置の好ましい実施形態によれば、第１の後側及び第２の前側はそれぞれ結合構造を備え、この結合構造によって、第１の基板は第２の基板の上方で所定の位置にセンタリング可能である。
【００３３】
２つの基板は、有利には、圧縮された場合に、正確に設定された位置に対してセルフセンタリングするように作用することができる。結合構造によって、このようなセンタリングは、有利には、圧縮された場合に自動的かつ正確に行うことができる。
【００３４】
この装置の好ましい実施形態によれば、窓フィルムには、片側又は両側に反射防止材料が配置されている。
【００３５】
本発明の実施形態のさらなる特徴及び利点が、添付の図面を参照した以下の説明から明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】微小機械装置の製造方法における第１及び第２の基板を示す概略図である。
【図２】本発明による装置のための窓フィルムを示す概略的な平面図である。
【図３】本発明の実施形態による製造方法の順序及び装置を示す概略的な側面図である。
【図４】本発明の例示的な実施形態による方法ステップの順序を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
図１は、微小機械装置の製造方法における第１及び第２の基板を示す概略図である。
【００３８】
装置は、第１の基板１及び第２の基板２に複数の貫通孔Ｆ１，Ｆ２を備え、これらの貫通孔Ｆ１，Ｆ２を互いに上下に配置した場合にそれぞれ第１の基板１の貫通孔Ｆ１は第２の基板２の貫通孔Ｆ２と合同であるように重なっている。基板は、第１の基板１及び第２の基板２のそれぞれの貫通孔Ｆ１，Ｆ２の周りに傾斜したエッジ領域ＲＢ１，ＲＢ２を備え、エッジ領域ＲＢ１，ＲＢ２は、それぞれ貫通孔Ｆ１，Ｆ２を側方に取り囲み、第１の基板１及び第２の基板２において窓角度ＦＷだけ、第１の基板１及び第２の基板の平面に対して傾斜しており、互いに上下に配置されたそれぞれ２つの傾斜したエッジ領域ＲＢ１，ＲＢ２は、平面図で合同であり、同じ窓角度ＦＷだけ傾斜している。この場合、１つのエッジ領域ＲＢ１は、有利には、差し込むために必要とされる関連する貫通孔の他のエッジ領域ＲＢ２に対応する部材である。第１の基板１及び第２の基板２は、有利には、図１に矢印で示すように互いに上下に配置され、第１の後面ＲＳ１は第２の前面ＶＳ２に配置される。
【００３９】
第１及び第２の基板のエッジ領域ＲＢ１，ＲＢ２は、それぞれ有利には基板の平面と比較して１つの部分で隆起しており、別の部分で沈下している。第１の基板１の隆起した部分は、有利には、第２の基板２の沈下した部分に正確に適合し、逆もまた同様である。
【００４０】
図２は、本発明による装置のための窓フィルムを示す概略的な平面図である。
【００４１】
この装置の窓フィルムＦ０は、窓領域ＦＢに分離トレンチ３を含むことができる構造を備える。この分離トレンチ３は、方法において窓フィルムＦ０を位置決めする貫通孔の領域を外側で側方に、有利には傾斜したエッジ領域ＲＢ１及びＲＢ２の領域で取り囲んでいる。分離トレンチ３の側方の包囲は保持領域４で中断されていてもよい。
【００４２】
両方の基板の１つ又はそれぞれの貫通孔に対して、窓フィルムＦ０は、分離トレンチ３を２つの領域に分割する２つの保持領域４を備えることができる。保持領域４は、有利には、回転軸線Ａを定める。２つの基板が窓フィルムＦ０を間に挟んで互いに上下に配置された場合に光学窓Ｆを傾斜させることができ、傾斜したエッジ領域ＲＢ１及びＲＢ２に載置した場合に、光学窓Ｆは、回転軸線Ａを中心として窓フィルムＦ０を回転させることによって、窓フィルムＦ０を窓角度だけ傾斜させることができる。
【００４３】
窓フィルムＦ０又はいずれか１つの基板には、接着材料又はガラスはんだである接合手段５を縁部領域ＲＢ１及びＲＢ２に配置することができる。
【００４４】
窓フィルムＦ０の平面図において、接合手段５は、分離トレンチ３の内側で側方に貫通孔を取り囲む内側接着経路５ａ及び／又は分離トレンチ３の外側で側方に貫通孔を取り囲む外側接着経路５ｂを形成することができる。貫通孔は、ウェーハ上のＭＥＭＳ素子としてのチップの位置に対応することができ、これにより外側接着剤経路５ｂはチップの外形に対応することができる。外側接着剤経路５ｂは、有利には、内側領域、すなわちＭＥＭＳ素子を、例えば、ウェーハを個別化する場合にソーウォーターに対する保護として、外方に封止する役割を果たす。
【００４５】
接合剤を硬化させることによって、有利には、窓及び組み立てられた基板の傾斜状態を持続させることができる。ガラスはんだを使用する場合、高温ではんだを軟化し、接合要素（基板及び窓フィルム）を湿潤させ、冷却後、堅固な気密結合をもたらすことができる。
【００４６】
隣接する窓Ｆは、基板の平面図において、互いに側方にずらすか、又は同じ線に配置してもよい。
【００４７】
図３は本発明の実施形態による製造方法の順序及び装置を示す概略的な側面図である。
【００４８】
図３の左側の図は、第１の基板１と第２の基板２との間の窓フィルムＦ０の配置の断面を示している。窓フィルムＦ０は、図示のように、エッジ領域ＲＢ１及びＲＢ２の領域に分離トレンチ３を有している。分離トレンチ３の外側で、接合手段５は、外側接着剤経路５ｂ及び内側接着剤経路５ａとして、有利には窓フィルムＦ０の両側に示されている。
【００４９】
右側の図には、完成した装置１０の断面が示されている。
【００５０】
傾斜した光学窓Ｆを備える微小機械装置は、第１の前側ＶＳ１及び第１の後側ＲＳ２を有する第１の基板１と、第２の前側ＶＳ２及び第２の後側ＲＳ２を有する第２の基板２とを備え、第１の基板１の第１の後側ＲＳ１は第２の基板２の第２の前側ＶＳ２に配置されており、第１の後側ＲＳ１は第２の前側ＶＳ２に向いている。
【００５１】
第１の基板１と第２の基板との間に配置され、それぞれの貫通孔Ｆ１，Ｆ２を覆う窓フィルムＦ０は、貫通孔Ｆ１，Ｆ２の領域において窓角度ＦＷだけ傾斜した光学窓Ｆを形成している。２つの基板は、押圧力（矢印表示）によって互いに押し付けることができ、これにより、圧縮された場合に、エッジ領域ＲＢ１及びＲＢ２における光学窓の傾き及び固定をもたらすことができる。
【００５２】
１つ以上の窓フィルムは、積み重ねられた２つの基板の内側に配置されているので、装置をさらに処理する場合に欠陥及び引っ掻き傷につながることもある機械的接触から保護することができる。
【００５３】
図４は、本発明の例示的な実施形態による方法ステップの順序を示す概略図である。
【００５４】
傾斜した光学窓を備える微小機械装置の製造方法では、方法ステップＳ１で、第１の前側と第１の後側とを有する第１の基板と、第２の前側と第２の後側とを有する第２の基板とが提供され；方法ステップＳ２において、第１の基板及び第２の基板に複数の貫通孔が形成され、第１の基板のそれぞれの貫通孔に対して、第２の基板に合同の貫通孔が形成され、これらの貫通孔は第１の基板が第２の基板の上方に配置された場合に重なり、第１の後側は第２の前側に向いている。方法ステップＳ３において、第１の基板及び第２の基板のそれぞれの貫通孔の周りに傾斜したエッジ領域が形成され、このエッジ領域は、それぞれ貫通孔を側方に取り囲み、第１の基板及び第２の基板の平面に対して窓角度だけ傾斜しており、それぞれ互いに上下に配置した２つの傾斜したエッジ領域が平面図で合同であり、同じ窓角度だけ傾斜している。方法ステップＳ３において、窓フィルムの平面図においてそれぞれ貫通孔を覆い、関連するエッジ領域を少なくとも部分的に覆う構造化された窓領域を備える窓フィルムが提供され；方法ステップＳ５において、第１の基板の第１の後側と第２の基板の第２の前側との間に窓フィルムが位置決めされる。構造化された窓領域は、それぞれ、傾斜したエッジ領域及び関連する貫通孔を覆い、接合プロセスによって第１の後側、第２の前側、及びこれらの間に配置された窓フィルムとの摩擦に基づいた結合が行われ、窓フィルムはそれぞれの貫通孔の上方で窓角度だけ傾斜した光学窓を形成する。この方法は、記載された順序で行うこともできるが、しかしながら、記載された方法ステップを異なる順序で行うこともできる。
【００５５】
好ましい例示的な実施形態について本発明を十分に説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、多種多様に変更可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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