(57)【要約】【課題】液晶装置に生じた点欠陥を確実に修正することが可能な点欠陥修正装置を提供する。【解決手段】本発明に係る点欠陥修正装置１００は、液晶装置（修正対象液晶パネル）１０ａの点欠陥を修正するための点欠陥修正装置であって、前記液晶装置１０ａは一対のガラス基板の間に液晶層が挟持されてなるものであり、前記液晶装置１０ａに点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥を撮影するカメラ４２と、前記点欠陥が生じた位置の前記ガラス基板１１を切削するドリル４０と、前記ドリル４０にて切削した位置に遮光材を塗布するディスペンサ４１と、を一体装置４９として備えることを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶装置の点欠陥を修正するための点欠陥修正装置であって、
前記液晶装置は一対のガラス基板の間に液晶層が挟持されてなるものであり、
前記液晶装置に点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥を撮影するカメラと、前記点欠陥が生じた位置の前記ガラス基板を切削するドリルと、前記ドリルにて切削した位置に遮光材を塗布するディスペンサと、を一体装置として備えることを特徴とする点欠陥修正装置。
【請求項２】
前記カメラにより撮影した映像を映し出すモニタを更に備え、
前記ドリルは、前記モニタを視認しつつ前記ガラス基板の切削位置を調整可能にされていることを特徴とする請求項１に記載の点欠陥修正装置。
【請求項３】
前記ディスペンサの洗浄を行うディスペンサ洗浄部を更に備え、
前記ディスペンサ洗浄部は、前記ディスペンサの前記遮光材の塗布待機中に、当該ディスペンサの洗浄を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の点欠陥修正装置。
【請求項４】
前記カメラ、前記ドリル、及び前記ディスペンサの作動制御を一括して行う制御部を更に備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の点欠陥修正装置。
【請求項５】
前記ガラス基板の厚さに応じて、前記ドリルによる前記ガラス基板への切削の深さを調整するドリル−基板間隔調整部を更に備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の点欠陥修正装置。
【請求項６】
前記ドリルは、その先端中心位置が、前記カメラの焦点と一致していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の点欠陥修正装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の点欠陥修正装置を用いる液晶装置の製造方法であって、
点欠陥の有無を検査する検査工程と、
前記検査工程において前記点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥修正装置により前記点欠陥を修正する点欠陥修正工程と、を含むことを特徴とする液晶装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、点欠陥修正装置、及び液晶装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶装置の製造方法として以下のようなものがある。例えば、一対のガラス基板のうち一方のガラス基板にスイッチング素子（例えばＴＦＴ）や画素電極などを設け、他方のガラス基板に対向電極などを設けた後、両ガラス基板をスペーサを介して貼り合わせる。そして、両ガラス基板の間に液晶を注入して液晶層を形成し、その後両ガラス基板の表面に偏光板をそれぞれ貼り付ける、という方法である。
【０００３】
上記のような液晶装置の製造過程では、所定のタイミングで各種検査を行って不良を検出する工程を含む場合がある。例えば、液晶層を形成した後で行う検査では、両ガラス基板を挟むように一対の検査用の偏光板を配置し、検査用のバックライトを点灯させ、スイッチング素子を駆動させることで表示不良の有無を検査する場合がある。
【０００４】
このような検査工程において、例えば液晶層内に異物が侵入している場合、光が液晶層内に含まれた異物に当たって乱反射することで、黒表示をしているにも拘らず明るく見える輝点欠陥として検出されることがある。当該輝点欠陥は、表示品質を著しく低下させ、製造の歩留まりを悪化させることとなる。
【０００５】
そこで、上記のような輝点欠陥を修正する方法として、例えば特許文献１には、一対の基板のうち少なくとも一方の基板の液晶層側とは反対側の表面位置であって、輝点欠陥が生じている部分と光学的に重なる表面位置に凹部を形成し、該凹部内に遮光材を設け、該遮光材が設けられた凹部内に硬化性樹脂を充填する方法が開示されている。この方法によると、輝点欠陥が生じている部分に入射しようとする光を遮光材により遮ることで、輝点欠陥を修正することが可能とされている。
【特許文献１】特開２００５−１８９３６０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記のようにガラス基板に形成した凹部に対して硬化性樹脂を充填する場合、その充填は手作業で行うものとしていた。したがって、当然ながら作業者によって塗布精度に差があり、樹脂残りや遮光樹脂塗布不良が発生し、歩留まり低下の一因となっていた。また、切削作業と樹脂塗布作業が別作業となっており、非常にコストの掛かる作業でもある。
【０００７】
本発明は、上記のような事情に基づいてなされたものであって、液晶装置に生じた点欠陥を確実に修正することが可能で、しかも簡便に再現性良く、低コストで修正することができる点欠陥修正装置を提供することを目的としている。また、本発明は、そのような点欠陥修正装置を用いた液晶装置の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の点欠陥修正装置は、液晶装置の点欠陥を修正するための点欠陥修正装置であって、前記液晶装置は一対のガラス基板の間に液晶層が挟持されてなるものであり、前記液晶装置に点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥を撮影するカメラと、前記点欠陥が生じた位置の前記ガラス基板を切削するドリルと、前記ドリルにて切削した位置に遮光材を塗布するディスペンサと、を一体装置として備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の点欠陥修正装置によれば、点欠陥位置のガラス基板切削から遮光材塗布までを当該装置で一貫して行うことができ、しかもディスペンサによる遮光材の塗布に至るまで自動にて行われるため、塗布精度、ひいては修正精度を高めることができるようになる。つまり、本発明により、液晶装置に生じた点欠陥を確実に修正することが可能となり、しかも簡便で再現性良く、人手を必要とせず、低コストで修正することが可能となるのである。特に、カメラと、ドリルと、ディスペンサとを一体装置で構成したため、それぞれを連携して操作することができ、１つの作業テーブルで一括して修正作業を完了することができるようになり、非常に高効率な修正を行うことができるようになる。
【００１０】
上記点欠陥修正装置において、前記カメラにより撮影した映像を映し出すモニタを更に備え、前記ドリルは、前記モニタを視認しつつ前記ガラス基板の切削位置を調整可能にされているものとすることができる。
【００１１】
このようにモニタを視認しつつドリル切削位置を調整することで、当該切削位置を簡便に特定することが可能となる。具体的には、モニタに対してドリルの先端位置（中心位置）を映し出すものとし、当該先端位置がモニタ上で欠陥位置と重なった場合に、ドリルの切削を開始するものとすることができる。つまり、モニタにドリルの先端位置を映し出す映像出力部を備えるものとすることができる。
【００１２】
また、上記点欠陥修正装置において、前記ディスペンサの洗浄を行うディスペンサ洗浄部を更に備え、前記ディスペンサ洗浄部は、前記ディスペンサの前記遮光材の塗布待機中に、当該ディスペンサの洗浄を行うものとすることができる。
【００１３】
このようにディスペンサ洗浄部を具備させることで、遮光材の塗布待機中（インターバル時間中）に、ディスペンサの先端等で遮光材が固まって、目詰まりする等の不具合発生を防止することが可能となる。
【００１４】
また、上記点欠陥修正装置において、前記カメラ、前記ドリル、及び前記ディスペンサの作動制御を一括して行う制御部を更に備えるものとすることができる。
【００１５】
このように制御部を設けることで、点欠陥の検出結果に基づいて、当該点欠陥のモニタリング、ドリルの位置調整、ディスペンサの塗布制御（塗布量制御）を、一括して作動制御することが可能となる。
【００１６】
また、上記点欠陥修正装置において、前記ガラス基板の厚さに応じて、前記ドリルによる前記ガラス基板への切削の深さを調整するドリル−基板間隔調整部を更に備えるものとすることができる。
【００１７】
このようにドリル−基板間隔調整部を具備させることで、ガラス基板の厚さに応じた切削を行うことが可能となる。したがって、切削によりガラス基板を貫通してしまうような不具合発生を防止でき、点欠陥の遮光に好適な深さの凹部を形成することができるようになる。
【００１８】
また、上記点欠陥修正装置において、前記ドリルは、その先端中心位置が、前記カメラの焦点と一致しているものとすることができる。
【００１９】
このようにドリルの先端中心位置が、カメラの焦点と一致しているものとすれば、カメラにより点欠陥を撮像すると同時にドリルの平面位置調整を実現することが可能となり、一層簡便で正確な修正作業を行うことが可能となる。
【００２０】
次に、上記課題を解決するために、本発明の液晶装置の製造方法は、上述の点欠陥修正装置を用いる液晶装置の製造方法であって、点欠陥の有無を検査する検査工程と、前記検査工程において前記点欠陥が検出された場合に、前記点欠陥修正装置により前記点欠陥を修正する点欠陥修正工程と、を含むことを特徴とする。
【００２１】
このような製造方法によると、上記点欠陥修正装置を用いて点欠陥を修正するものとしているため、生じた点欠陥を確実に修正することが可能で、しかも簡便に再現性良く修正することができるため、当該液晶装置のコスト削減に寄与することが可能となる。なお、点欠陥修正工程は、欠陥位置を特定する欠陥座標取得工程と、当該座標位置にカメラを移動する工程と、カメラの撮影像に基づいてドリルの焦点位置（平面位置）を決定する工程と、ガラス基板の厚さを特定し、ドリルの切削深さを決定する工程と、ドリルによりガラス基板を所定の深さまで切削する工程と、切削により形成された凹部に対してディスペンサから遮光材を塗布する工程と、を含むものとすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、生じた点欠陥を確実に修正することが可能で、しかも簡便に再現性良く修正することができるため、当該液晶装置のコスト削減に寄与することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
＜実施形態＞
本発明の一実施形態を図１ないし図１５によって説明する。
図１は本発明の実施形態に係る製造方法により製造された液晶装置の概略を示す断面図、図２は同液晶装置の画素構成を示す平面図、図３は同液晶装置の点灯検査工程を示す説明図、図４は点欠陥修正装置の概略構成を示す側面図、図５は凹部形成工程を終えた状態の液晶装置の断面図、図６〜図１０は洗浄ユニットの作動態様を示す側面図、図１１は遮光層形成工程を終えた状態の液晶装置の断面図、図１２は点欠陥修正装置と欠陥検査部の概略構成を示すブロック図、図１３は検査装置の概略構成を示す説明図、図１４はモニタに示される映像の一例を示す説明図、図１５は点欠陥修正フローのチャートを示す説明図である。
【００２４】
まず液晶装置１０の構成の概略を説明する。
液晶装置１０は、大まかには図１に示すように、スペーサ（図示せず）を介して対向状に配される一対のガラス基板１１，１２と、両ガラス基板１１，１２間に挟持される液晶層１３と、両ガラス基板１１，１２の周縁部に周設されて液晶をシールするシール剤１４と、両ガラス基板１１，１２における液晶層１３とは反対側の面にそれぞれ積層される一対の偏光板１５とから構成される。
【００２５】
両ガラス基板１１，１２のうち図１に示す上側のガラス基板１１における液晶層１３側の面には、図２に示すように、ＴＦＴ１６のドレイン電極に接続された矩形状の画素電極１７がＴＦＴ１６と共にマトリクス状に多数並列して配設されるとともに、ＴＦＴ１６のソース電極に接続されたソース配線１８と、ＴＦＴ１６のゲート電極に接続されたゲート配線１９とが各画素電極１７の周囲を通りつつ互いに直交するようにして設けられている。各画素電極１７における長辺側の中央部分は、保持容量を構成しており、この部分には、ゲート配線１９と平行をなす容量配線２０が絶縁層（図示せず）を介して設けられている。なお画素電極１７の短辺方向（図２に示す上下方向）について隣り合う３つの画素電極１７がＲ，Ｇ，Ｂの各色にそれぞれ対応しており、これら３つの表示ドットで１つの画素を構成している。
【００２６】
一方、両ガラス基板１１，１２のうち、図１に示す下側のガラス基板１２における液晶層１３側の面には、上記した各画素電極１７に対向する位置に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色の着色部を備えたカラーフィルタ層と対向電極とが設けられている。なお両ガラス基板１１，１２のうち、ＴＦＴ１６や画素電極１７などが設けられたガラス基板１１が光の入射側とされる。
【００２７】
続いて、液晶装置１０の製造方法について説明する。
ここでは主に点欠陥修正工程を含む製造工程について説明するものとする。
まず、ガラス基板１１を用意し、そのガラス基板１１の表面にＴＦＴ１６や画素電極１７などを形成する。一方、上記のガラス基板１１とは別途にガラス基板１２を用意し、そのガラス基板１２の表面にカラーフィルタや対向電極などを形成する。そして、ガラス基板１１，１２のうちいずれか一方の周縁部に設けたシール剤１４を介して、両ガラス基板１１，１２を、それぞれＴＦＴ１６等或いはカラーフィルタ等を形成した面を内側として対向するように貼り合わせる。その後、両ガラス基板１１，１２間に液晶を注入して液晶層１３を形成した後、両ガラス基板１１，１２における液晶層１３側とは反対側の面にそれぞれ偏光板１５を貼り付ける。
【００２８】
上記製造過程のうち、液晶層１３を形成した後であって、偏光板１５を貼り合わせる前に表示不良の有無を検査するための点灯検査を行う。
具体的には、図３に示すように、検査対象液晶パネル１０ａの両ガラス基板１１，１２を挟むようにして一対の検査用の偏光板３２を配置し、検査用のバックライト３３を点灯させるとともに、ガラス基板１１に形成した各配線を検査用回路に接続して、それぞれに適宜に信号を供給することでＴＦＴ１６を駆動させる。こうして液晶層１３を構成する液晶の配向状態を制御することで得られる表示状態を、画像処理或いは検査員の目視などにより検査する。
【００２９】
当該検査には例えば図１３に示すような検査装置３０を使用する。検査装置３０は、検査対象となる検査対象液晶パネル１０ａを載置するためのステージ３１と、ステージ３１を挟むようにして配置される一対の検査用の偏光板３２と、検査用のバックライト３３と、ステージ３１に対して平行に移動するＸＹ駆動部３４とから構成される。このうちＸＹ駆動部３４には、異物Ｘの位置及び大きさを確認するためのＣＣＤカメラ３５が設けられている。また、ステージ３１は、バックライト３３から出射される光を透過できるようにガラス製とされている。この検査装置３０では、ＸＹ駆動部３４によりＣＣＤカメラ３５を平面内で移動させつつ、当該カメラ３５からの撮影結果を目視ないし画像処理することで、点欠陥を検出することができる。
【００３０】
例えば、黒表示させたにも拘らず、点状に輝いて視認される点欠陥が検出される場合がある。この点欠陥は、液晶層１３内に侵入した異物Ｘに光が当たって乱反射することが原因として発生する場合があり、このような点欠陥が検出された場合には、次に示す点欠陥修正工程にて当該点欠陥の修正を施す。なお、液晶層１３内に異物Ｘが侵入する原因としては、異物Ｘが、液晶を注入する前の段階でガラス基板１１，１２における液晶層１３側の面に付着している場合、また、液晶中に混入している場合などが考えられる。
【００３１】
上記のような検査工程で点欠陥が検出された場合、当該点欠陥を修正する工程を行う。点欠陥修正工程では、ガラス基板１１の液晶層１３とは反対側の面において、異物Ｘ（すなわち点欠陥部）と光学的に重畳する位置に、後に詳述するドリル４０を用いて凹部２１を形成する工程と、その凹部２１内に光を遮る遮光層２２を形成する工程とを含む。
【００３２】
本実施形態では、点欠陥修正工程において、図４に示すような点欠陥修正装置１００を使用する。この点欠陥修正装置１００は、修理対象となる液晶パネル１０ａを載置するためのステージ５０と、ステージ５０を挟むようにして配置される一対の修理用の偏光板（図示略）と、同じく修理用のバックライト（図示略）と、ガラス基板１１を切削し且つ遮光材を塗布して修理を行うための修理ユニット４９と、Ｘ駆動フレーム５２と、Ｙ駆動フレーム５１と、を備えている。なお、修理ユニット４９は、Ｘ駆動フレーム５２に対して、そのフレームの軸方向に対して移動可能に取り付けられることで、Ｘ方向に移動可能に構成（Ｘ駆動）されるとともに、Ｘ駆動フレーム５２はＹ駆動フレーム５１に対して、そのＹ駆動フレーム５１の軸方向に対して移動可能に取り付けられることで、修理ユニット４９のＹ方向への駆動（Ｙ駆動）を実現している。このように、修理ユニット４９は、これらＸ駆動フレーム５２及びＹ駆動フレーム５１の作動により、ステージ５０の平面方向と平行なＸＹ方向への移動が可能となっている。
【００３３】
ステージ５０は、修理用のバックライト（図示略）から出射される光を透過できるようにガラス製とされ、ディスペンサ４１から樹脂を塗布する際に、捨て打ちを行うための捨打ステージ５３と、ディスペンサ４１の洗浄を行った場合に洗浄溶剤を捨てるための溶剤捨て部５４と、を備えている。なお、溶剤捨て部においては、ディスペンサ４１にエアーを吹き付けることにより洗浄溶剤（ここではエタノール）を揮発させるものとしている。
【００３４】
修理ユニット４９は、点欠陥を撮影するためのカメラ４２と、点欠陥が生じた位置（つまり点欠陥と重畳する位置）のガラス基板１１を切削するドリル４０と、ドリル４０にて切削した位置に樹脂を塗布するためのディスペンサ４１と、ディスペンサ４１に付設され、樹脂を貯留するための樹脂タンク４４と、ディスペンサ４１を洗浄するための洗浄ユニット４３と、を備えている。なお、本実施形態では、塗布する樹脂として遮光性のカシュー樹脂を用いるものとしている。
【００３５】
カメラ４２は、ステージ５０上に載置された修理対象である液晶パネル１０ａの表面を撮影可能とされ、その撮影画像は別途設けられたモニタ２００（図１４参照）に映し出される。このモニタ２００には、径方向に１００μｍの間隔で分割された焦点特定線２０１が描かれており、その焦点特定線２０１と点欠陥Ｘとのアライメントが可能とされる。
【００３６】
ドリル４０は、ガラス切削用のドリルであって、カメラ４２により撮影されるモニタ２００上の画像を視認しつつ、当該ドリル４０の切削位置をアライメント可能とされている。つまり、焦点特定線２０１と点欠陥Ｘとをアライメントし、焦点が合致した位置で、ドリル４０を作動させることで、当該点欠陥Ｘの位置においてガラス基板１１を正確に切削することが可能とされる。なお、ドリル４０の先端位置（中心軸位置）と、カメラ４２の撮影焦点とが合致しており、焦点特定線２０１の中心位置にドリル４０の先端位置（中心軸位置）が来る設計となっている。
【００３７】
ディスペンサ４１は樹脂（遮光材）を定量塗布可能とされる。なお、塗布する樹脂は、タンク４４に貯留されており、塗布毎にディスペンサ４１に供給されるものとなっている。
【００３８】
洗浄ユニット４３は、上述の通りディスペンサ４１を洗浄するための装置であって、図６〜図１０に示すように作動する。
まず、図６に示すように、ディスペンサ４１が塗布待機とされる状態にあっては、洗浄タンク４３ｃがディスペンサ４１の直下に配され、当該洗浄タンク４３ｃに貯留された洗浄液（エタノール）にディスペンサ４１の先端が浸漬される。これによりディスペンサ４１が洗浄されるとともに、ディスペンサ４１の先端において樹脂が固まる不具合発生を防止している。
【００３９】
一方、ディスペンサ４１により塗布が実行されるときには、まず図７に示すように、Ｚ方向駆動部４３ａが伸縮シリンダを介してＸ方向駆動部４３ｂ及び洗浄タンク４３ｃをＺ方向（この場合、図示下方）に移動させ、洗浄タンク４３ｃとディスペンサ４１とを離間させる。その後、図８に示すように、Ｘ方向駆動部４３ｂが伸縮シリンダを介して洗浄タンク４３ｃをＸ方向（この場合、図示左方）に移動させ、洗浄タンク４３ｃとディスペンサ４１との重畳を回避させる。さらに、図９に示すように、再びＺ方向駆動部４３ａによりＸ方向駆動部４３ｂ及び洗浄タンク４３ｃをＺ方向（この場合、図示上方）に移動させ、図１０に示した状態で、ディスペンサ４１による塗布が可能となる。
【００４０】
なお、点欠陥修理装置１００は、図１２に示すように、欠陥検査部（検査装置）３０からの検査結果により当該点欠陥修理装置１００の作動制御を司る制御部１１０を備え、修理ユニット４９の移動、ドリル４０の切削作動、ディスペンサ４１の塗布作動、ＸＹ走査部（つまりＸ駆動フレーム５１、Ｙ駆動フレーム５２）の作動、洗浄ユニット４３の洗浄作動を一括して制御可能となっている。
【００４１】
上記のような点欠陥修理装置１００においては、図１５に示すようなフローにより修正フローが行われる。以下、その修正フローについて説明する。
まず、Ｓ１において、欠陥検出工程が行われる。具体的には、欠陥検査部（検査装置）３０により点欠陥の有無が検査され、Ｓ２に示すように点欠陥の検出があった場合には、Ｓ３に進み、制御部１１０は欠陥検査部３０から欠陥座標を取得するとともに、Ｓ４において点欠陥が検出された液晶パネル１０ａのＩＤを取得する。
【００４２】
そして、Ｓ５に進んで、カメラ４２を取得した欠陥座標と対応する座標位置に移動させ、カメラ４２からの撮影画像をモニタ２００で視認しつつ、モニタ２００上で焦点特定線２０１と点欠陥Ｘとの位置が合致した場合に、Ｓ６に進んでドリル４０を作動させてガラス基板１１の切削を行う。なお、切削に先立って、取得した液晶パネル１０ａのＩＤに基づきガラス基板１１の厚さを特定し、その厚さに応じてドリル４０の高さ調整を行う。つまり、ガラス基板１１を切削により貫通してしまうのを防止すべく、ゼロ点調整を行うのである。そして、切削後、形成した凹部２１にディスペンサ４１により樹脂を塗布し、これを乾燥することで、点欠陥を遮光する遮光層２２が形成される。
【００４３】
以上のような修正工程を含む本実施形態の液晶装置１０の製造方法によると、修正工程において点欠陥修正装置１００を用いており、その点欠陥修正装置１００が点欠陥発生位置のガラス基板１１の切削から樹脂の塗布までを一貫して行うことができ、しかもディスペンサ４１による樹脂の塗布に至るまで制御部１１０に基づいて自動にて行われるため、切削制度ないし塗布精度、ひいては修正精度が非常に高いものとなっている。
つまり、液晶パネル１０ａに生じた点欠陥を確実に修正するため、製造歩留まりを高めることが可能となり、コスト低下を実現可能となる。またカメラ４２、ドリル４０、及びディスペンサ４１を修理ユニット４９として一体化したため、それぞれを連携して操作することができ、１つのステージ５０で一括して修正作業を完了することができるようになり、非常に高効率な修正を行うことができる。
【００４４】
＜他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について示したが、本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
【００４５】
（１）上記した実施形態では、一対のガラス基板１１，１２のうち、ガラス基板１１の液晶層１３とは反対側の面に凹部２１を形成するものとしたが、他方のガラス基板１２に形成しても良く、また両方のガラス基板１１，１２に形成するものとしても良い。
【００４６】
（２）上記した実施形態では、点欠陥部は液晶層内に侵入した異物に起因するものとしたが、ガラス基板の表面に付いた傷が原因となって生じる場合もあり、その場合でも点欠陥部（ガラス基板における傷が付いた部分）に凹部を形成して点欠陥部を除去した後、凹部内に遮光層を形成することで光を遮るようにしても良い。
【００４７】
（３）上記した実施形態では、点欠陥部は液晶層内に侵入した異物に起因するものとしたが、不具合が生じたスイッチング素子や画素電極が原因となる場合もあり、その場合でも本発明は適用可能である。
【００４８】
（４）上記した実施形態では、液晶装置のスイッチング素子としてＴＦＴを用いたが、ＴＦＴ以外のスイッチング素子（例えば薄膜ダイオード（ＴＦＤ））を用いた液晶装置にも適用可能であり、カラー表示する液晶装置以外にも、白黒表示する液晶装置にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態に係る製造方法を用いて製造された液晶装置の概略を示す断面図。
【図２】図１の液晶装置の画素構成を示す平面図。
【図３】図１の液晶装置の点灯検査工程を示す説明図。
【図４】点欠陥修正装置の概略構成を示す側面図。
【図５】凹部形成工程を終えた状態の液晶装置の断面図。
【図６】洗浄ユニットの作動態様を示す側面図。
【図７】洗浄ユニットの作動態様を示す側面図。
【図８】洗浄ユニットの作動態様を示す側面図。
【図９】洗浄ユニットの作動態様を示す側面図。
【図１０】洗浄ユニットの作動態様を示す側面図。
【図１１】遮光層形成工程を終えた状態の液晶装置の断面図。
【図１２】点欠陥修正装置と欠陥検査部の概略構成を示すブロック図。
【図１３】検査装置の概略構成を示す説明図。
【図１４】モニタに示される映像の一例を示す説明図。
【図１５】点欠陥修正フローのチャートを示す説明図。
【符号の説明】
【００５０】
１０…液晶装置、１０ａ…修理対象液晶パネル（検査対象液晶パネル）、１１，１２…ガラス基板、１３…液晶層、２１…凹部、２２…遮光層、３０…点欠陥検査部（検査装置）、４０…ドリル（液晶装置の点欠陥修理用ドリル）、４１…ディスペンサ、４２…カメラ、４３…洗浄ユニット、４４…タンク、４９…修理ユニット（一体装置）、５０…ステージ、１００…点欠陥修正装置、１１０…制御部、２００…モニタ
【図１】
2008304832.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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