(57)【要約】【課題】簡易な構成で確実に主軸の倒れを検出することなどが可能な主軸倒れ検出装置及びこれを備えた工作機械を提供する。【解決手段】工作機械２１の門形ブリッジ２４の各コラム３２Ａ，３２Ｂにそれぞれ、主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂを設ける。各主軸倒れ検出装置は、各コラム３２Ａ，３２Ｂ（補強材３２ｂ）に上端が取り付けられ、且つ、下端に錘４５が取り付けられて鉛直に垂れ下がった紐４３と、紐４３に取り付けられて各コラム３２Ａ，３２Ｂの前面板３２ａまでの距離を計測するギャップセンサ４４と、オイルダンパ４６とを備えた構成とする。また、工作機械２１に備えた主軸倒れ修正制御装置では、各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値に基づき、各コラム３２Ａ，３２Ｂの後面板３２ｄに貼り付けた各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂを制御して各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正することにより、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形による主軸２８の倒れを修正する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを加工するための工具を取り付ける主軸と、この主軸を支持する構造体とを有してなる工作機械に装備される主軸倒れ検出装置であって、
前記構造体に上端が取り付けられ、且つ、下端に錘が取り付けられて鉛直に垂れ下がった紐と、
前記紐に取り付けられて前記構造体の被計測部までの距離を計測する、又は、前記構造体に取り付けられて前記紐の被計測部までの距離を計測する距離センサと、
を備えたことを特徴とする主軸倒れ検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の主軸倒れ検出装置において、
前記距離センサは非接触式のギャップセンサであることを特徴とする主軸倒れ検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の主軸倒れ検出装置において、
容器内に粘性流体を収容してなる粘性流体ダンパを備え、
前記粘性流体ダンパの前記粘性流体中に前記錘を入れたことを特徴とする主軸倒れ検出装置。
【請求項４】
請求項１，２又は３に記載の主軸倒れ検出装置において、
前記紐と前記錘と前記距離センサとを前記構造体の内部に設けたこと、又は、前記紐と前記錘と前記距離センサと前記性流体ダンパとを前記構造体の内部に設けたことを特徴とする主軸倒れ検出装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の主軸倒れ検出装置を備えたことを特徴とする工作機械。
【請求項６】
請求項５に記載の工作機械において、
前記構造体の温度調節を行う温度調節手段と、
前記距離センサの計測距離に基づき、前記温度調節手段を制御して前記構造体の熱変形を修正することにより、前記構造体の熱変形による前記主軸の倒れを修正する主軸倒れ修正制御装置と、
を備えたことを特徴とする工作機械。
【請求項７】
請求項６に記載の工作機械において、
前記主軸倒れ修正制御装置では、前記距離センサの計測距離の平均値を求め、この平均値に基づき、前記温度調節手段を制御して前記構造体の熱変形を修正することにより、前記構造体の熱変形による前記主軸の倒れを修正することを特徴する工作機械。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の工作機械において、
前記主軸倒れ修正制御装置では、前記距離センサの計測距離が所定の計測範囲内か否かを判定し、前記計測距離が前記計測範囲内のときに当該計測距離に基づき、前記温度調節手段を制御して前記構造体の熱変形を修正することにより、前記構造体の熱変形による前記主軸の倒れを修正することを特徴する工作機械。
【請求項９】
請求項６〜８の何れか１項に記載の工作機械において、
前記温度調節手段はペルチェ素子であり、このペルチェ素子を前記構造体の温度差が生じる部分の少なくとも１箇所に貼り付けたことを特徴とする工作機械。
【請求項１０】
請求項９に記載の工作機械において、
前記ペルチェ素子は前記構造体の温度差が生じる部分のそれぞれに貼り付け、
前記主軸倒れ修正制御装置は、前記温度差が生じる部分のうちの低温部分に貼り付けられたペルチェ素子に対しては当該低温部分を加熱し、前記温度差が生じる部分のうちの高温部分に貼り付けられたペルチェ素子に対しては当該高温部分を冷却するように制御することを特徴とする工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は主軸の倒れ（傾斜）を検出する主軸倒れ検出装置及びこれを備えた工作機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の工作機械では、構造体の熱変形による加工精度の低下を防ぐために次のような手段が採られている。
【０００３】
（１）  第１の手段は、工作機械の主要部の温度を測定することにより、当該主要部の温度変化量に応じた工具先端の位置補正を行うといものである。（特許文献１参照）
（２）  第２の手段は、工作機械のコラムやクロスレールなどの構造体の面板に熱平衡となるような厚さの断熱材（熱平衡壁板）を貼り付けるというものである。（特許文献２参照）
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３３７９９６号公報
【特許文献２】特開２００３−１４５３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
工作機械では、必要な剛性の範囲で重量を最小限とするため、主軸を支持するコラムやクロスレールなどの構造体の面板の肉厚が、上下の面板、前後の面板又は左右の面板で差がある場合がある。この場合、工作機械周囲の気温変化に対する各面板の温度変化（追従速度）に差が生じて、肉厚の薄い面板ほど追従速度が速くなる。即ち、肉厚に差がある上下の面板、前後の面板或いは左右の面板に温度差が生じる。その結果、前記構造体が変形して、主軸倒れ（傾斜）が生じる。主軸倒れの具体例を図４〜図６に基づいて説明する。
【０００６】
図４に示す工作機械では、主軸１がラム４によって回転自在に支持され、ラム４がコラムやクロスレールなどの構造体２によって支持されている。主軸１にはワークを加工するための工具１３が装着されている。そして、本構造体２では前後の面板２ａ，２ｂの肉厚に差がある。このような構造体２では、図６に例示するような工作機械周囲の気温変化に対して、厚肉の前面板２ａの温度Ｂの変化速度（追従速度）よりも、薄肉の後面板２ｂの温度Ａの変化速度（追従速度）のほうが速いため、これらの面板２ａ，２ｂに温度差が生じる。その結果、図４に一点鎖線で示すように後面板２ｂのほうが前面板２ａよりも大きく熱伸びして構造体２（前面板３２ａ）が前側に傾くため、構造体２に支持されている主軸１も前側に傾く（倒れる）。
【０００７】
図５に示す工作機械では、主軸１１がラム１４によって回転自在に支持され、ラム１４がコラムやクロスレールなどの構造体１２によってコラムやクロスレールなどの構造体１２に支持されている。主軸１１にはワークを加工するための工具１３が装着されている。そして、本構造体１２では上下の面板１２ａ，１２ｂの肉厚に差がある。このような構造体１２では、図６に例示すような工作機械周囲の気温変化に対して、厚肉の下面板１２ａの温度Ｂの変化速度（追従速度）よりも、薄肉の上面板１２ｂの温度Ａの変化速度（追従速度）のほうが速いため、これらの面板１２ａ，１２ｂに温度差が生じる。その結果、図５に一点鎖線で示すように上面板１２ｂのほうが下面板１２ａよりも大きく熱伸びして逆台形状となることにより前面板１２ｃが前側に傾くため、構造体１２に支持されている主軸１も前側に傾く（倒れる）。
【０００８】
これに対し、上記第１の手段では構造体２，１２の熱伸縮に基づく工具３，１３の先端の位置ずれを補正することはできるが、主軸１，１１の倒れに対応することはできない。即ち、主軸１，１１の倒れを検出することはできず、主軸１，１１の倒れ（構造体２，１２の熱変形）を修正することもできない。また、上記第２の手段でも、断熱材（熱平衡壁板）が熱撓み抑制に最適な厚さにはなっているが、熱捩れに最適なものとはなっていないため、結局、主軸１，１１の倒れを防ぐことはできず、主軸１，１１の倒れ（構造体の熱変形）を修正することもできない。なお、熱捩れとはコラムやクロスレールなどの矩形状の面板における一方の対角線方向の部分と、これと交差する他方の対角線方向の部分とに温度差が生じることなどよって生じる捩れ（熱変形）であり、この場合にも主軸の倒れを生じることになる。
【０００９】
なお、主軸倒れを検出する手段としては加速度センサなどの電子レベル計による傾斜量計測が考えられるが、電子レベル計は自己発熱や気温変化による温度ドリフトを生じるため、検出精度が低く、微小な主軸倒れを検出することはできない。
【００１０】
従って本発明は上記の事情に鑑み、簡易な構成で確実に主軸の倒れを検出することができ、更には温度ドリフトをキャンセルした高精度な検出を行うことや、主軸の倒れ（構造体の熱変形）を修正することもできる主軸倒れ検出装置及びこれを備えた工作機械を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する第１発明の主軸倒れ検出装置は、ワークを加工するための工具を取り付ける主軸と、この主軸を支持する構造体とを有してなる工作機械に装備される主軸倒れ検出装置であって、
前記構造体に上端が取り付けられ、且つ、下端に錘が取り付けられて鉛直に垂れ下がった紐と、
前記紐に取り付けられて前記構造体の被計測部までの距離を計測する、又は、前記構造体に取り付けられて前記紐の被計測部までの距離を計測する距離センサと、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、第２発明の主軸倒れ検出装置は、第１発明の主軸倒れ検出装置において、
前記距離センサは非接触式のギャップセンサであることを特徴とする。
【００１３】
また、第３発明の主軸倒れ検出装置は、第１又は第２発明の主軸倒れ検出装置において、容器内に粘性流体を収容してなる粘性流体ダンパを備え、
前記粘性流体ダンパの前記粘性流体中に前記錘を入れたことを特徴とする。
【００１４】
また、第４発明の主軸倒れ検出装置は、第１，第２又は第３発明の主軸倒れ検出装置において、
前記紐と前記錘と前記距離センサとを前記構造体の内部に設けたこと、又は、前記紐と前記錘と前記距離センサと前記性流体ダンパとを前記構造体の内部に設けたことを特徴とする。
【００１５】
また、第５発明の工作機械は、第１〜第４発明の何れかの主軸倒れ検出装置を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、第６発明の工作機械は、第５発明の工作機械において、
前記構造体の温度調節を行う温度調節手段と、
前記距離センサの計測距離に基づき、前記温度調節手段を制御して前記構造体の熱変形を修正することにより、前記構造体の熱変形による前記主軸の倒れを修正する主軸倒れ修正制御装置と、
を備えたことを特徴とする。
【００１７】
また、第７発明の工作機械は、第６発明の工作機械において、
前記主軸倒れ修正制御装置では、前記距離センサの計測距離の平均値を求め、この平均値に基づき、前記温度調節手段を制御して前記構造体の熱変形を修正することにより、前記構造体の熱変形による前記主軸の倒れを修正することを特徴する。
【００１８】
また、第８発明の工作機械は、第６又は第７発明の工作機械において、
前記主軸倒れ修正制御装置では、前記距離センサの計測距離が所定の計測範囲内か否かを判定し、前記計測距離が前記計測範囲内のときに当該計測距離に基づき、前記温度調節手段を制御して前記構造体の熱変形を修正することにより、前記構造体の熱変形による前記主軸の倒れを修正することを特徴する。
【００１９】
また、第９発明の工作機械は、第６〜第８発明の何れかの工作機械において、
前記温度調節手段はペルチェ素子であり、このペルチェ素子を前記構造体の温度差が生じる部分の少なくとも１箇所に貼り付けたことを特徴とする。
【００２０】
また、第１０発明の工作機械は、第９発明の工作機械において、
前記ペルチェ素子は前記構造体の温度差が生じる部分のそれぞれに貼り付け、
前記主軸倒れ修正制御装置は、前記温度差が生じる部分のうちの低温部分に貼り付けられたペルチェ素子に対しては当該低温部分を加熱し、前記温度差が生じる部分のうちの高温部分に貼り付けられたペルチェ素子に対しては当該高温部分を冷却するように制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
第１発明の主軸倒れ検出装置によれば、構造体に上端が取り付けられ、且つ、下端に錘が取り付けられて鉛直に垂れ下がった紐と、紐に取り付けられて構造体の被計測部までの距離を計測する、又は、構造体に取り付けられて紐の被計測部までの距離を計測する距離センサとを備えたことを特徴とするため、構造体が各部（前後の面板や上下の面板等）の温度差などによる熱変形により傾斜して主軸の倒れ（傾斜）が生じた場合、この熱変形（傾斜）した構造体と、鉛直に垂れ下がった紐との相対位置関係が変化する、即ち、紐に取り付けられた距離センサから構造体の被計測部までの距離、又は、構造体に取り付けられた距離センサから紐の被計測部までの距離が変化する。そして、これらの距離の変化が距離センサによって計測される。即ち、距離センサの計測距離が変化する。かくして、この距離センサの計測距離の変化から、構造体に熱変形（傾斜）が生じたこと、即ち、主軸倒れ（傾斜）が生じたことを検出することができる。従って、簡易な構成により低コストで確実に主軸倒れを検出することができる。
【００２２】
また、第２発明の主軸倒れ検出装置によれば、距離センサは非接触式のギャップセンサであることを特徴とするため、接触式の距離センサを用いる場合に比べて、距離計測の際に距離センサが誤って紐を揺らすことがないため、より正確に距離計測を行うことができる。また、ギャップセンサは温度ドリフトをキャンセルする機能を備えたものが一般に市販されている。従って、かかる機能を備えたギャップセンサを主軸倒れ検出装置に用いることにより、自己発熱や気温変化による温度ドリフトの問題も解決することができる。
【００２３】
また、第３発明の主軸倒れ検出装置によれば、容器内に粘性流体を収容してなる粘性流体ダンパを備え、この粘性流体ダンパの粘性流体中に錘を入れたことを特徴とするため、外乱振動や構造体の移動などによって紐及び錘が揺れにくく、また、紐及び錘が揺れても、この揺れを粘性流体によって速やかに減衰させることができる。従って、距離センサによる距離計測を、より精度よく行うことができる。
【００２４】
また、第４発明の主軸倒れ検出装置によれば、主軸倒れ検出装置を構成する部材（紐と錘と距離センサ、又は、紐と錘と距離センサと性流体ダンパ）を構造体の内部に設けたことを特徴とするため、保護カバーなどを設けることなく、これらの部材が作業員や工作機械周辺の構造物などと干渉するのを容易に防止して、確実に主軸倒れを検出することができる。
【００２５】
また、第５発明の工作機械によれば、第１〜第４発明の何れかの主軸倒れ検出装置を備えたことを特徴とするため、上記第１〜第４発明の何れかの効果が得られる優れた工作機械を実現することができる。
【００２６】
また、第６発明の工作機械によれば、構造体の温度調節を行う温度調節手段と、距離センサの計測距離に基づき、温度調節手段を制御して構造体の熱変形を修正することにより、構造体の熱変形による主軸の倒れを修正する主軸倒れ修正制御装置とを備えたことを特徴とするため、構造体が各部（前後の面板や上下の面板等）の温度差などによる熱変形により傾斜して主軸の倒れ（傾斜）が生じても、このときの距離センサの計測距離に基づいて主軸倒れ修正制御装置により、温度調節手段を制御して構造体の熱変形を修正することにより、主軸倒れを修正することができる。
【００２７】
また、第７発明の工作機械によれば、主軸倒れ修正制御装置では、距離センサの計測距離の平均値を求め、この平均値に基づき、温度調節手段を制御して構造体の熱変形を修正することにより、構造体の熱変形による主軸の倒れを修正することを特徴するため、外乱振動などにより紐及び錘が揺れて距離センサの出力が変動しても、この変動はほぼ正弦波状であることから、距離センサの計測距離の平均値を求めることによってキャンセルされる。従って、より正確に構造体の熱変形を修正して、主軸倒れを修正することができる。
【００２８】
また、第８発明の工作機械によれば、主軸倒れ修正制御装置では、前記距離センサの計測距離が所定の計測範囲内か否かを判定し、前記計測距離が前記計測範囲内のときに当該計測距離に基づき、温度調節手段を制御して構造体の熱変形を修正することにより、構造体の熱変形による主軸の倒れを修正することを特徴するため、構造体の移動や外乱振動などにより紐及び錘が大きく揺れて距離センサの計測距離が大きく変化しても、所定の計測範囲を超えた（レンジオーバした）計測距離は無視される。従って、より正確に構造体の熱変形を修正して、主軸倒れを修正することができる。
【００２９】
また、第９発明の工作機械によれば、温度調節手段はペルチェ素子であり、このペルチェ素子を構造体の温度差が生じる部分の少なくとも１箇所に貼り付けたことを特徴とするため、ペルチェ素子によって構造体の温度調節を容易且つ高精度に行うことができる。このため、より容易且つ高精度に構造体の熱変形を修正して主軸倒れを修正することができる。また、ペルチェ素子はシート状のものを構造体に貼り付けるだけでよいため、設置作業が非常に容易である。
【００３０】
また、第１０発明の工作機械によれば、ペルチェ素子は構造体の温度差が生じる部分のそれぞれに貼り付け、主軸倒れ修正制御装置は、温度差が生じる部分のうちの低温部分に貼り付けられたペルチェ素子に対しては当該低温部分を加熱し、温度差が生じる部分のうちの高温部分に貼り付けられたペルチェ素子に対しては当該高温部分を冷却するように制御することを特徴とするため、ペルチェ素子によって低温部分を加熱するだけ、又は、高温部分を冷却するだけの場合に比べて、容易に構造体の熱変形を修正して主軸倒れを修正することができ、しかも、構造体の熱量変化が少なくて構造体の熱伸縮が少ない。このため、構造体の熱伸縮については考慮する必要がなく、主軸倒れの修正だけを行えばよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００３２】
＜実施の形態例１＞
図１は本発明の実施の形態例１に係る工作機械の斜視図、図２は前記工作機械の一部を破断して示す側面図である。
【００３３】
図１及び図２に示すように、大形の工作機械２１は、その主な構造体としてベッド２２、テーブル２３、門形ブリッジ２４、クロスレール２５、サドル２６、ラム２７及び主軸２８などを有している。
【００３４】
ベッド２２は床面３０に固定されている。ベッド２２の上面には、ベッド２２の長手方向（Ｘ軸方向）に水平に延びた一対のレール２９Ａ，２９Ｂが設けられている。テーブル２３は、これらのレール２９Ａ，２９Ｂ上に摺動可能に取り付けられている。従って、テーブル２３は図示しない送りねじ機構などの駆動手段により、レール２９Ａ，２９Ｂに案内されてベッド２２の長手方向（Ｘ軸方向）に水平に移動することができる。図示は省略するが、テーブル２３上には工具３７によって加工されるワークが設置される。
【００３５】
門形ブリッジ２４は一対のコラム３２Ａ，３２Ｂとトップビーム３３とを有してなる門形のものであり、テーブル２３を跨ぐようして設置されている。コラム３２Ａ，３２Ｂはそれぞれ、ベッド２２の左右両側に水平に突設された一対のウイング３１Ａ，３１Ｂ上に立設されてテーブル２３の左右両側に位置している。トップビーム３３は、コラム３２Ａ，３２Ｂの上端部同士を連結している。
【００３６】
コラム３２Ａ，３２Ｂの前面（前面板３２ａ）にはそれぞれ、上下方向（Ｚ軸方向）に延びた一対のレール３４Ａ，３４Ｂが設けられている。クロスレール２５は、コラム３２Ａ，３２Ｂの前面板３２側に水平に配置され、レール３４Ａ，３４Ｂ上に摺動可能に取り付けられている。従って、クロスレール２５は図示しない送りねじ機構などの駆動手段により、レール３４Ａ，３４Ｂに案内されて上下方向（Ｚ軸方向）に移動することができる。
【００３７】
クロスレール２５の前面には、クロスレール２５の長手方向（Ｙ軸方向）に水平に延びた一対のレール３５Ａ，３５Ｂが設けられている。サドル２６はこれらのレール３５Ａ，３５Ｂ上に摺動可能に取り付けられている。従って、サドル２３は図示しない送りねじ機構などの駆動手段により、レール３５Ａ，３５Ｂに案内されてクロスレール２５の長手方向（Ｙ軸方向）に水平に移動することができる。
【００３８】
ラム２７はサドル２６に摺動可動に挿通され、図示しない送りねじ機構などの駆動手段により、上下方向（Ｚ軸方向）に移動することができる。主軸２８はラム２７内に回転可能に設けられ、上下方向（Ｚ軸方向）に延びている。ラム２７の上端には主軸モータ３６が取り付けられており、この主軸モータ３６によって主軸２８を回転駆動する。主軸２８の先端にはフライス加工やドリル加工などの機械加工を行うための工具３７が装着される。
【００３９】
従って、本工作機械２１では工具３７を、主軸２８とともに回転させるとともにラム２７，クロスレール２５及びサドル２６とともにＺ軸方向やＹ軸方向へ移動させ、更にはテーブル２３上のワークを、テーブル２３とともにＸ軸方向に移動させることにより、当該ワークに対してフライス加工やドリル加工などの機械加工を行う。
【００４０】
そして、本工作機械２１では必要な剛性の範囲で重量を最小限とするためにコラム３２Ａ，３２Ｂの前後の面板３２ａ，３２ｄの肉厚に差を有している。このようなコラム３２Ａ，３２Ｂでは、例えば図６に例示するような工作機械周囲の気温変化に対して、厚肉の前面板３２ａの温度の変化速度（追従速度）よりも、薄肉の後面板３２ｄの温度の変化速度（追従速度）のほうが速いため、これらの面板３２ａ，３２ｄに温度差が生じる。このため、図２に一点鎖線で示すように（図２にはコラム３２Ａの傾斜状態のみを示しているが、コラム３２Ｂについても同様）、後面板３２ｄのほうが前面板３２ａよりも大きく熱伸びして、コラム３２Ａ，３２Ｂ（前面板３２ａ）が前側に傾き、その結果、コラム３２Ａ，３２Ｂ（前面板３２ａ）に支持されている主軸２８も前側に傾く（倒れる）。
【００４１】
そこで、本工作機械２１には、このコラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）による主軸１の倒れを検出し且つ修正するために主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂと、温度調節手段としてのペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂと、主軸倒れ修正制御装置５０とが装備されている。
【００４２】
主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂは空洞であるコラム３２Ａ，３２Ｂの内部にそれぞれ設けられている。ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂはシート状のものであり、コラム３２Ａの後面板３２ｄと、コラム３２Ｂの後面板３２ｄとにそれぞれ貼り付けられている。ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂはペルチェ効果を利用した素子であり、電流を流す方向を切り替えることによって発熱と吸熱の切り替えを行うことができ、また、電流値を調整することによって発熱量や吸熱量を調整することもできる。
【００４３】
図２に示すように、コラム３２Ａに設けられた主軸倒れ検出装置４１Ａは紐４３と、錘４５と、距離センサとしての非接触式のギャップセンサ４４と、粘性流体ダンパとしてのオイルダンパ２７とを備えている。紐４３はコラム３２Ａ内の補強材３２ｂに上端が取り付けられ、且つ、下端に錘４５が取り付けられて鉛直に垂れ下がっている。紐４３は適宜の材質や太さのものを選択できるが、紐４３の上端を取り付けた構造体（図示例ではコラム３２Ａの補強材３２ｂ）が傾いても、常に鉛直に垂れ下がることができるような低剛性のものを用いればよい。
【００４４】
ギャップセンサ４４は紐４３に取り付けられており、コラム３２Ａの前面板３２ａ（被計測部）までの距離Ｌを計測する。この場合、前記被計測部は前面板３２ａの一部に限らず、例えば前面板３２ａに取り付けた被計測板であってもよい。また、ギャップセンサ４４を前面板３２ａに取り付けて、紐４３（被計測部）までの距離を計測するようにしてもよい。このときにも、前記被計測部は紐４３の一部に限らず、例えば紐４３に取り付けた被計測板であってもよい。更には、紐４３に取り付けたギャップセンサ４４で後面板３２ｄ（被計測部）までの距離を計測するようにしてもよく、後面板３２ｄに取り付けたギャップセンサ４４で紐４３（被計測部）までの距離を計測するようにしてもよい。この場合にも、前記被計測部は後面板３２ｄの一部や紐４３の一部に限らず、例えば後面板３２ｄや紐４３に取り付けた被計測板であってもよい。
【００４５】
ギャップセンサ４４としては渦電流式のギャップセンサ、静電容量式のギャップセンサ、レーザ光の反射を利用した光学式のギャップセンサなどを用いることができる。これらのギャップセンサは一般に温度ドリフトを十分な精度でキャンセルする機能を備えている。なお、渦電流式のギャップセンサを用いる場合には、渦電流を生じさせるために前記被計測部の材質を金属とする必要があり、光学式のギャップセンサを用いる場合には、前記被計測部の材質を光の反射率がよいものにすることが望ましい。
【００４６】
図示例ではコラム３２Ａ，３２Ｂが熱変形によって前側に傾くため、紐４３に取り付けたギャップセンサ４４で前面板３２ａ（被計測部）までの距離を計測する場合や、前面板３２ａに取り付けたギャップセンサ４４で紐４３（被計測部）までの距離を計測する場合には、コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）に応じてギャップセンサ４４の計測距離が減少することになる。逆に、紐４３に取り付けたギャップセンサ４４で後面板３２ｄ（被計測部）までの距離を計測する場合や、後面板３２ｄに取り付けたギャップセンサ４４で紐４３（被計測部）までの距離を計測する場合には、コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）に応じてギャップセンサ４４の計測距離が増加することになる。
【００４７】
オイルダンパ４６はコラム３２Ａの下面板３２ｃ上に設置されており、容器４７内に粘性流体としてのオイル４８を収容した構成となっている。そして、この容器４７内のオイル４８の中に錘４５が入れられている。このため、外乱振動などによって錘４５が紐４３とともに揺れても、この錘４５及び紐４３の揺れはオイルダンパ４６のオイル４８によって短時間に減衰される。
【００４８】
具体的な説明は省略するが、コラム３２Ｂに設けられた主軸倒れ修正制御装置４１Ｂの構成も、このコラム３２Ａに設けられた主軸倒れ修正制御装置４１Ａの構成と同様である。
【００４９】
主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂの各ギャップセンサ４４の距離計測信号は、主軸倒れ修正制御装置５０に入力される。主軸倒れ修正制御装置５０では、各ギャップセンサ４４の計測距離に基づき、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂを制御して各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）を修正することにより、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）による主軸２８の倒れ（傾斜）を修正する。
【００５０】
詳述すると、主軸倒れ修正制御装置５０は第１計測データ処理部５１と、第２計測データ処理部５２と、電源部５３とを有してしている。なお、図２では主軸倒れ修正制御装置５０と主軸倒れ検出装置４１Ａの関係のみを図示しているが、主軸倒れ修正制御装置５０と主軸倒れ検出装置４１Ｂの関係も、図示は省略するが、主軸倒れ検出装置４１Ａの場合と同様である。
【００５１】
各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂの各紐４３（錘４５）はサドル２６やクロスレール２５などの移動によって大きく揺れることがあり、その結果、各ギャップセンサ４４の出力信号（計測距離）が、コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）とは無関係に大きく変化する。しかし、コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）は必ず時間のオーダで生じ、これによる前記計測距離の変化も時間のオーダで生じるのに対して、サドル２６やクロスレール２５などの移動による前記計測距離の大きな変化は一時的なものである。
【００５２】
そこで、第１計測データ処理部５１では、各ギャップセンサ４４による計測距離が、予め設定した計測範囲内か否かを判定し、その結果、前記計測距離が前記計測範囲を超えた（レンジオーバした）と判定したときには当該計測距離を、次の第２計測データ処理部５２へ出力せず、前記計測距離が前記計測範囲内であると判定したときにだけ当該計測距離を、次の第２計測データ処理部５２へ出力する。即ち、計測範囲を超える一時的な計測距離の変化（レンジオーバ）は無視する。なお、前記計測範囲の具体的な値は、コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）による前記計測距離の変化を考慮して当該変化の範囲よりも広い範囲とすればよく、試験など行って適宜設定すればよい。
【００５３】
また、外乱振動による工作機械２１の振動などによっても、主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂの紐４３（錘４５）が揺れることがあり、その結果、ギャップセンサ４４の出力信号（計測距離）が変動することがある。しかし、この変動はほぼ正確な正弦波状である。
【００５４】
そこで、第２計測データ処理部５２では、第１計測データ処理部５２から出力される各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値を求める。この場合、何時間分の計測データ（ギャップセンサ４４の計測距離）の平均値を求めるかは、前記変動の周期などを考慮して設定すればよく、試験など行うことによって適宜設定すればよい。
【００５５】
なお、図示例の主軸倒れ検出装置４３では、第１計測データ処理部５１における一時的なレンジオーバを無視する計測データ処理と、第２計測データ処理部５２における計測距離の平均値を求める計測データ処理の両方を行っているが、これに限定するものでなく、何れか一方の計測データ処理だけを行うようにしてもよい。
【００５６】
電源部５３では、第２計測データ処理部５２から出力される各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値に基づいて、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂに所定の方向の電流を流す。なお、電源部５３では、第１計測データ処理部５１の計測データ処理のみを行う場合には各ギャップセンサ４４の計測距離が前記計測範囲内のときに当該計測距離に基づいて、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂに所定の方向の電流を流し、第１計測データ処理部５１及び第２計測データ処理部５２の何れの計測データ処理も行わない場合には直接、各ギャップセンサ４４による計測距離に基づいて、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂに所定の方向の電流を流す。
【００５７】
図示例では各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂが各コラム３２Ａ，３２Ｂの後面板３２ｄに貼り付け貼られており、各コラム３２Ａ，３２Ｂが熱変形で前側に倒れるため、電源部４３から各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂへ流す電流の方向は、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂが吸熱を行う方向である。各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂの吸熱によって各後面板３２ｄが冷却されると、各後面板３２ｄの温度が例えば０．５℃程度低下することにより、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）が修正されて、主軸２８の倒れが修正される。勿論、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂを前面板３２ａに貼り付けた場合には、電源部４３から各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂへ流す電流の方向は各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂが発熱する方向である。この場合、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂの発熱によって各前面板３２ａが加熱されると、各前面板３２ａの温度が例えば０．５℃程度上昇することにより、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）が修正されて、主軸２８の倒れが修正される。
【００５８】
なお、この場合、例えば、各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値（第１及び第２計測データ処理部５１，５２の計測データ処理を行う場合又は第２計測データ処理部５２の計測データ処理のみを行う場合）、各ギャップセンサ４４の前記計測範囲内の計測距離（第１計測データ処理部５１の計測データ処理のみを行う場合）、或いは、各ギャップセンサ４４の計測距離（第１及び第２計測データ処理部５１，５２の何れの計測データ処理も行わない場合）が、設定値に達したときに一定値の電流を各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂに流すようにしてもよく、各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値の変化量、各ギャップセンサ４４の前記計測範囲内の計測距離の変化量、或いは、各ギャップセンサ４４の計測距離の変化量に応じて、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂに流す電流値を調整する（即ち前記変化量が大きくなれば前記電流値を大きくし、前記変化量が小さくなれば前記電流値を小さくする）ようにしてもよい。
【００５９】
以上のように、本実施の形態例１の各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂによれば、各コラム３２Ａ，３２Ｂ（補強材３２ｂ）に上端が取り付けられ、且つ、下端に錘４５が取り付けられて鉛直に垂れ下がった紐４３と、紐４３に取り付けられて各コラム３２Ａ，３２Ｂの前面板３２ａ（被計測部）又は後面板３２ｄ（被計測部）までの距離を計測する、又は、各コラム３２Ａ，３２Ｂ（前面板３２ａ又は後面板３２ｄ）に取り付けられて紐４３の被計測部までの距離を計測するギャップセンサ４４とを備えたことを特徴とするため、各コラム３２Ａ，３２Ｂが前後の面板３２ａ，３２ｄの温度差による熱変形により傾斜して主軸２８の倒れ（傾斜）が生じた場合、この熱変形（傾斜）した各コラム３２Ａ，３２Ｂ（前面板３２ａ，後面板３２ｄ）と、鉛直に垂れ下がった各紐４３との相対位置関係が変化する、即ち、各紐４３に取り付けられた各ギャップセンサ４４から各コラム３２Ａ，３２Ｂの被計測部（前面板３２ａ又は後面板３２ｄ）までの距離、又は、各コラム３２Ａ，３２Ｂ（前面板３２ａ又は後面板３２ｂ）に取り付けられ各ギャップセンサ４４から紐４３の被計測部までの距離が変化する。そして、これらの距離の変化が各ギャップセンサによって計測される。即ち、各ギャップセンサ４４の計測距離が変化する。かくして、これらの各ギャップセンサ４４の計測距離の変化から、各コラム３２Ａ，３２Ｂに熱変形（傾斜）が生じたこと、即ち、主軸２８の倒れ（傾斜）が生じたことを検出することができる。従って、簡易な構成により低コストで確実に主軸倒れを検出することができる。
【００６０】
また、本実施の形態例１の各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂによれば、距離センサとして非接触式のギャップセンサ４４を用いることを特徴とするため、接触式の距離センサを用いる場合に比べて、距離計測の際に距離センサが誤って紐を揺らすことがないため、より正確に距離計測を行うことができる。また、温度ドリフトをキャンセルする機能を備えたギャップセンサ４４を各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂに用いることにより、自己発熱や気温変化による温度ドリフトの問題も解決することができる。
【００６１】
また、本実施の形態例１の各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂによれば、容器４７内にオイル４８を収容してなるオイルダンパ４６を備え、このオイルダンパ４６のオイル４８中に錘４５を入れたことを特徴とするため、外乱振動やクロスレール２５の移動などによって紐４３及び錘４５が揺れにくく、また、紐４３及び錘４５が揺れても、この揺れをオイル４８によって速やかに減衰させることができる。従って、ギャップセンサ４４による距離計測を、より精度よく行うことができる。
【００６２】
また、本実施の形態例１の各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂによれば、各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂを構成する部材（紐４３と錘４５とギャップセンサ４４とオイルダンパ４６）を各コラム３２Ａ，３２Ｂの内部に設けたことを特徴とするため、保護カバーなどを設けることなく、これらの部材が作業員や工作機械２１周辺の構造物などと干渉するのを容易に防止して、確実に主軸倒れを検出することができる。
【００６３】
また、本実施の形態例１の工作機械２１によれば、各主軸倒れ検出装置４１Ａ，４１Ｂを備えたことを特徴とするため、上記のような効果が得られる優れた工作機械を実現することができる。
【００６４】
また、本実施の形態例１の工作機械２１によれば、各コラム３２Ａ，３２Ｂの温度調節を行う各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂと、各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値に基づき、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ａを制御して各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正することにより、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形による主軸２８の倒れを修正する主軸倒れ修正制御装置５０とを備えたことを特徴とするため、各コラム３２Ａ，３２Ｂが前後の面板３２ａ，３２ｄの温度差による熱変形により傾斜して主軸２８の倒れ（傾斜）が生じても、このときの各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値に基づいて主軸倒れ修正制御装置５０により、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂを制御して各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正することにより、主軸倒れを修正することができる。
【００６５】
しかも、各ギャップセンサ４４の計測距離が所定の計測範囲内か否かを判定し、前記計測距離が前記計測範囲内のときにだけ当該計測距離を制御に用いることにより、クロスレール２５などの移動や外乱振動などにより紐４３及び錘４５が大きく揺れて各ギャップセンサ４４の計測距離が大きく変化しても、前記計測範囲を超えた（レンジオーバした）計測距離は無視されるため、より正確に各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正して、主軸倒れを修正することができる。
【００６６】
また、各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値を求めて、この平均値を制御に用いることにより、外乱振動などにより紐４３及び錘４５が揺れて各ギャップセンサ４４の出力が変動しても、この変動が各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値を求めることによってキャンセルされるため、より正確に各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正して、主軸倒れを修正することができる。
【００６７】
更には、温度調節手段としてペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂの用い、これらのペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂを各コラム３２Ａ，３２Ｂの温度差が生じる部分（前面板３２ａ又は後面板３２ｄ）に貼り付けたことを特徴とするため、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂによって各コラム３２Ａ，３２Ｂの温度調節を容易且つ高精度に行うことができる。このため、より容易且つ高精度に各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正して主軸倒れを修正することができる。また、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂはシート状のものを各コラム３２Ａ，３２Ｂに貼り付けるだけでよいため、設置作業が非常に容易である。各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂにより、例えば前面板３２ａ又は後面板３２ｄを例えば±０．１℃の精度で加熱冷却できるため、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）を例えば±１００μｍ／ｍの範囲で±２μｍ／ｍの精度で修正することができる。
【００６８】
＜実施の形態例２＞
図３は本発明の実施の形態例２に係る工作機械の一部を破断して示す側面図である。なお、図３に示す本実施の形態例２の工作機械の全体的な構成については図１及び図２に示す実施の形態例１の工作機械と同様であり、図３において図１，図２と同様の部分には同一の符号を付している。
【００６９】
図３に示すように、本実施の形態例２の工作機械２１では２つのペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ａ−２が、一方のコラム３２Ａの前面板３２ａと後面板３２ｄにそれぞれ貼り付けられている。図示は省略するが、もう一方のコラム３２Ｂの前面板３２ａと後面板３２ｄ（図１参照）にも、２つのペルチェ素子４２Ｂ−１，４２Ｂ−２がそれぞれ貼り付けられている。
【００７０】
主軸倒れ修正制御装置５０の電源部５３では、第２計測データ処理部５２から出力される各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値に基づいて、各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ａ−２，４２Ｂ−１，４２Ｂ−２に所定の方向の電流を流す。なお、第１計測データ処理部５１の計測データ処理のみを行う場合には、電源部５３では各ギャップセンサ４４の計測距離が前記計測範囲内のときに当該計測距離に基づいて、各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ａ−２，４２Ｂ−１，４２Ｂ−２のそれぞれに所定の方向の電流を流す。また、第１計測データ処理部５１及び第２計測データ処理部５２の何れの計測データ処理も行わない場合には、電源部５３では直接、各ギャップセンサ４４による計測距離に基づいて、各ペルチェ素子４２Ａ，４２Ｂに所定の方向の電流を流す。
【００７１】
図示例では各コラム３２Ａ，３２Ｂは熱変形で前側に倒れるため、各前面板３２ａに貼り付けられた各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ｂ−１へは、各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ｂ−１が発熱する方向の電流を流し、各後面板３２ｄに貼り付けられた各ペルチェ素子４２Ａ−２，４２Ｂ−２へは、各ペルチェ素子４２Ａ−２，４２Ｂ−２が吸熱を行う方向の電流を流す。各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ｂ−１の発熱によって各前面板３２ａが加熱されると、各前面板３２ａの温度が上昇し、同時に各ペルチェ素子４２Ａ−２，４２Ｂ−２の発熱によって各後面板３２ｄが加熱されると、各後面板３２ｄの温度が上昇して、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形（傾斜）が修正され、その結果、主軸２８の倒れが修正される。
【００７２】
なお、この場合にも、上記実施の形態例１と同様に例えば各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値（第１及び第２計測データ処理部５１，５２の計測データ処理を行う場合又は第２計測データ処理部５２のみの計測データ処理を行う場合）、各ギャップセンサ４４の計測範囲内の計測距離（第１計測データ処理部５１のみの計測データ処理を行う場合）、或いは、各ギャップセンサ４４の計測距離（第１及び第２計測データ処理部５１，５２の何れの計測データ処理も行わない場合）が、設定値に達したときに一定値の電流を各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ａ−２，４２Ｂ−１，４２Ｂ−２に流すようにしてもよく、前記各ギャップセンサ４４の計測距離の平均値の変化量、各ギャップセンサ４４の計測範囲の計測距離の変化量、或いは、各ギャップセンサ４４の計測距離の変化量に応じて、各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ａ−２，４２Ｂ−１，４２Ｂ−２に流す電流値を調整する（前記変化量が大きくなれば前記電流値を大きくし、前記変化量が小さくなれば前記電流値を小さくする）ようにしてもよい。
【００７３】
なお、本実施の形態例２の工作機械２１のその他の構成については上記実施の形態例１の工作機械２１（図１，図２参照）と同様であるため、ここでの詳細な説明は省略する。
【００７４】
以上のように、本実施の形態例２の工作機械によれば、各ペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ａ−２，４３Ｂ−１，４３Ｂ−２を各コラム３２Ａ，３２Ｂの温度差が生じる前後の面板３２ａ，３２ｄのそれぞれに貼り付け、主軸倒れ修正制御装置５０は、温度差が生じる部分のうちの低温部分である前面板３１ａに貼り付けられたペルチェ素子４２Ａ−１，４２Ｂ−１に対しては当該前面板３２ａを加熱し、温度差が生じる部分のうちの高温部分である後面板３２ｄに貼り付けられたペルチェ素子４２Ａ−２，４２Ｂ−２に対しては当該後面板３２ｄを冷却するように制御することを特徴とするため、ペルチェ素子によって低温部分（前面板３２ａ）を加熱するだけ、又は、高温部分（後面板３２ｄ）を冷却するだけの場合に比べて、容易に各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱変形を修正して主軸倒れを修正することができ、しかも、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱量変化が少なくて各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱伸縮が少ない。このため、各コラム３２Ａ，３２Ｂの熱伸縮については考慮する必要がなく、主軸倒れの修正だけを行えばよい。
【００７５】
なお、上記では本発明の主軸倒れ検出装置を門形の大形工作機械に適用した場合について説明したが、これに限定するものではなく、本発明の主軸倒れ検出装置は小形の工作機械、コラムが１体の工作機械、コラムも移動する工作機械など、各種の工作機械に適用することができる。
【００７６】
また、上記では主軸倒れ検出装置をコラムに設けた場合について説明したが、これに限定するものではく、主軸を支持するサドルやクロスレールなどの各種の構造体に適用することができる。例えば、クロスレールに主軸倒れ検出装置を設けた場合にはクロスレールの熱変形（傾斜）による主軸倒れだけでなく、コラムの熱変形（傾斜）による影響で主軸とともにクロスレールも傾斜することから、コラムの熱変形（傾斜）による主軸倒れも検出することができ、また、サドルに主軸倒れ検出装置を設けた場合にはサドルの熱変形による主軸倒れだけでなく、コラムの熱変形（傾斜）やクロスレールの熱変形（傾斜）による影響で主軸とともにサドルも傾斜することから、コラムの熱変形（傾斜）やクロスレールの熱変形（傾斜）による主軸倒れも検出することができる。即ち、主軸倒れ検出装置は熱変形（傾斜）によって主軸倒れを引き起こす構造体に直接設ける場合に限らず、この構造体の熱変形（傾斜）による影響を受けて主軸とともに傾斜する他の構造体に設けてもよい。
【００７７】
また、上記では前後の面板の肉厚が異なる場合の主軸倒れの検出について説明したが、勿論、これに限定するものではく、本発明の主軸倒れ検出装置は上下の面板の肉厚が異なる場合や左右の面板の肉厚が異なる場合の主軸倒れの検出にも適用することができる。更に、本発明の主軸倒れ検出装置はクロスレールなどの捩れによる主軸倒れの検出にも適用することができる。この場合、クロスレールなどの矩形状の面板における一方の対角線方向の部分と、これと交差する他方の対角線方向の部分の何れか一方又は両方にペルチェ素子を貼り付ければよい。即ち、ペルチェ素子は、温度差による熱変形によって主軸倒れ引き起こす構造体において前記温度差が生じる部分の少なくと１箇所或いは前箇所に貼り付ければよい。
【００７８】
また、温度調節手段としてはペルチェ素子が望ましいが、必ずしもこれに限定するものではなく、例えば温調流体（温水、冷水等）によって構造体の温度調節をするようなものでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は主軸の倒れ（傾斜）を検出する主軸倒れ検出装置及びこれを備えた工作機械に関するものであり、門形の大形工作機械などの各種の工作機械に適用して有用なものである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施の形態例１に係る工作機械の斜視図である。
【図２】前記工作機械の一部を破断して示す側面図である。
【図３】本発明の実施の形態例２に係る工作機械の一部を破断して示す側面図である。
【図４】主軸倒れの具体例を示す説明図である。
【図５】主軸倒れの他の具体例を示す説明図である。
【図６】気温変化に対する肉厚の異なる面板の温度変化を例示する説明図である。
【符号の説明】
【００８１】
２１  工作機械
２２  ベッド
２３  テーブル
２４  門形ブリッジ
２５  クロスレール
２６  サドル
２７  ラム
２８  主軸
２９Ａ，２９Ｂ  レール
３０  床面
３１Ａ，３１Ｂ  ウイング
３２Ａ，３２Ｂ  コラム
３３  トップビーム
３４Ａ，３４Ｂ，３５Ａ，３５Ｂ  レール
３６  主軸モータ
３７  工具
４１Ａ，４１Ｂ  主軸倒れ検出装置
４２Ａ，４２Ａ−１，４２Ａ−２，４２Ｂ，４２Ｂ−１，４２Ｂ−２  ペルチェ素子
４３  紐
４４  ギャップセンサ
４５  錘
４６  オイルダンパ
４７  容器
４８  オイル
５０  主軸倒れ修正制御装置
５１  第１計測データ処理部
５２  第２計測データ処理部
５３  電源部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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