(57)【要約】      （修正有）【課題】エアフィルタの上流側の状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に視認することができるライトガイドを提供する。【解決手段】エアフィルタ１は、波形状に折曲して形成された濾材２と、濾材２を枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体３とを備え、この折曲したエアフィルタ１の波形に接合するように、濾材２の表面から密に接合固定する櫛形状で、透明度のある材質のライトガイド４を設ける。ライトガイド４は、櫛形を形成する櫛部と、櫛部を連結する基部から成り立っている。櫛の山となる山部は波形状に折曲して形成された濾材２と同一の傾きを備え、濾材２と密に接合固定されることとなる。【選択図】図１
2008300051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイド。
【請求項２】
波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する櫛部と基部で構成される櫛形状をした透明度のある材質からなるライトガイド。
【請求項３】
前記櫛部は少なくとも１山以上からなることを特徴とする請求項２記載のライトガイド。
【請求項４】
前記櫛部は先端にフラット部を設けたことを特徴とする請求項２または３記載のライトガイド。
【請求項５】
前記基部は両端に面取り面を設けたことを特徴とする請求項２〜４いずれかに記載のライトガイド。
【請求項６】
前記基部または櫛部の側面の対向する２面に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とする請求項２〜５いずれかに記載のライトガイド。
【請求項７】
前記基部または櫛部の側面の全周に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とする請求項２〜５いずれかに記載のライトガイド。
【請求項８】
波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、請求項１〜７いずれかに記載のライトガイドを表面に設けたエアフィルタ。
【請求項９】
波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、請求項１〜７いずれかに記載のライトガイドで濾材を表面と裏面の両面から挟み込んだエアフィルタ。
【請求項１０】
前記エアフィルタの裏面側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光をライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認できることを特徴とする請求項８または９記載のエアフィルタ。
【請求項１１】
前記発光手段はその発光色を変えることが出来ることを特徴とする請求項１０記載のエアフィルタ。
【請求項１２】
ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流部にフィルタを有したファンフィルタユニットにおいて、請求項１０または１１記載のエアフィルタを搭載したファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体やフラットパネルディスプレイ等を製造する製造装置あるいはそれらの検査装置等において、清浄な空気を必要とする環境下で使用されるエアフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、清浄空気を必要とされる空間であるクリーンルーム等の天井面に配設されるエアフィルタは、上流側の状況を下流側から容易に確認できることが求められている。図１２に示すように、クリーンルームの天井面設備の運転状況を確認することができるクリーンユニット本体１０１のフィルタ支持装置として、エアフィルタ１を保持したクリーンユニット支持枠１０２に運転表示ユニット１０３（ＬＥＤランプなど）を組み込んだものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−１９３９２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルタ支持装置として上流にあるクリーンユニットの運転表示が組み込める支持枠が必要となり、施工面において特殊な支持枠を用いなければならない。また支持枠は表示可能な枠幅が必要であり、その枠幅に必要なコストがかかってしまうという課題があり、容易にフィルタ下流側から上流側の状況が確認できることが要求されている。
【０００４】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、下流側から上流側が視認できる透明度のあるライトガイドにて構成されたことを特徴とするエアフィルタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のエアフィルタは、上記の目的を達成するために、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを設けたものである。
【０００６】
他の手段は、波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する櫛部と基部で構成される櫛形状をした透明度のある材質からなるライトガイドを設けたものである。この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができる。
【０００７】
また、他の手段は、前記櫛部は少なくとも１山以上からなることを特徴とするものである。この手段により、容易に濾材と密に接合固定でき、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができる。
【０００８】
また、他の手段は、前記櫛部の先端にフラット部を設けたことを特徴とするものである。この手段により、微弱な光源でも、エアフィルタの上流側の状態を下流側から確認することできる。
【０００９】
また、他の手段は、前記基部は両端に面取り面を設けたことを特徴とするものである。この手段により、上流側光源が前記面取り面で屈折することにより、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認することできる。
【００１０】
また、他の手段は、前記基部または櫛部の側面の対向する２面に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とするものである。この手段により、ライトガイド挿入時の深さ調整および、保護網の固定ができる。
【００１１】
また、他の手段は、前記基部または櫛部の側面の全周に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とするものである。この手段により、ライトガイド挿入時の深さ調整および、保護網の固定ができ、庇を全周４面に設けたため外観の向上も期待できる。
【００１２】
また、他の手段は、波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを表面に設けたエアフィルタである。この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができ、ファンフィルタニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができる。
【００１３】
また、他の手段は、波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドで濾材を表面と裏面の両面から挟み込んだエアフィルタである。この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況がより明確に視認することができ、ファンフィルタニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができる。
【００１４】
また、他の手段は、前記エアフィルタの裏面側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光をライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認できることを特徴とするエアフィルタである。この手段により、強、弱運転、停止、警報等の情報を確認可能なエアフィルタを提供できる。
【００１５】
また、他の手段は、前記発光手段はその発光色を変えることが出来ることを特徴とするエアフィルタである。この手段により、強、弱運転、停止、警報等の情報を確認可能なエアフィルタを提供できる。
【００１６】
また、他の手段は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流部にフィルタを有し、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを表面に設け、上流側の状態を下流側から確認できるエアフィルタを備えたファンフィルタユニットである。この手段により、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、下流側から上流側の状況が視認できるライトガイドが提供できる。
【００１８】
また、容易に濾材と密に接合固定でき、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認できるライトガイドが提供できる。
【００１９】
また、前記櫛形状をした表示機能を有する透明度のある櫛部先端にフラット部を設けることにより、微弱は光源でもエアフィルタの下流側から上流側の状況が視認できるライトガイドが提供できる。
【００２０】
また、櫛形状をした表示機能を有する透明度のある櫛部谷部両端より大きな面取り面を設けることにより、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認することできるライトガイドを提供できる。
【００２１】
また、櫛形状をした表示機能を有する透明度のある挿入深さ調整用の庇を長手方向２面に設けることにより挿入時の深さ調整および、保護網の固定ができるライトガイドを提供できる。
【００２２】
また、櫛形状をした表示機能を有する透明度のある挿入深さ調整用の庇を全周４面に設けることにより挿入時の深さ調整および、保護網の固定ができ、外観の向上も期待できるライトガイドを提供できる。
【００２３】
また、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができ、ファンフィルタニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを供給できる。
【００２４】
また、ライトガイドを濾材の上流側、下流側の両方に設けることによりエアフィルタの下流側から上流側の状況がより鮮明に視認することができるエアフィルタを提供できる。
【００２５】
また、発行色によって機器の運転状況を示すことができるエアフィルタを供給できる。
【００２６】
また、ライトガイドを濾材の上流側、下流側の両方に設けることにより、発行色によって機器の運転状況を鮮明に示すことができるエアフィルタを供給できる。
【００２７】
また、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるファンフィルタユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明の請求項１記載の発明は、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを設けたものである。
【００２９】
また、本発明の請求項２記載の発明は、波形状に折曲して形成された濾材に密に接合固定する櫛部と基部で構成される櫛形状をした透明度のある材質からなるライトガイドを設けたものであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるという作用を有する。
【００３０】
また、本発明の請求項３記載の発明は、前記櫛部は少なくとも１山以上からなることを特徴とするものであり、容易に濾材と密に接合固定でき、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるという作用を有する。
【００３１】
また、本発明の請求項４記載の発明は、前記櫛部の先端にフラット部を設けたことを特徴とするものであり、微弱な光源でもエアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるという作用を有する。
【００３２】
また、本発明の請求項５記載の発明は、前記基部は両端に面取り面を設けたことを特徴とするものであり、上流側光源が前期面取り面で屈折することにより、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認することできるという作用を有する。
【００３３】
また、本発明の請求項６記載の発明は、前記基部または櫛部の側面の対向する２面に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とするものであり、ライトガイド挿入時の深さ調整および、保護網の固定ができるという作用を有する。
【００３４】
また、本発明の請求項７記載の発明は、前記基部または櫛部の側面の全周に、挿入深さ調整用の庇を設けたことを特徴とするものであり、ライトガイド挿入時の深さ調整および、保護網の固定ができ、庇を全周４面に設けたため外観の向上も期待できるという作用を有する。
【００３５】
また、本発明の請求項８記載の発明は、波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、ライトガイドを表面に設けたエアフィルタであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができ、ファンフィルタニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができるという作用を有する。
【００３６】
また、本発明の請求項９記載の発明は、波形状に折曲して形成された濾材を用いたエアフィルタであって、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドで濾材を表面と裏面の両面から挟み込んだエアフィルタであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況がより明確に視認することができ、ファンフィルタニットなどの機器に組み込むことができるエアフィルタを提供することができるという作用を有する。
【００３７】
また、本発明の請求項１０記載の発明は、前記エアフィルタの裏面側に発光手段を設け、発光手段から発せられる光をライトガイドに受け、エアフィルタの表面から発光手段の光を確認できることを特徴とするエアフィルタであり、強、弱運転、停止、警報等の情報を確認可能なエアフィルタを提供できるという作用を有する。
【００３８】
また、本発明の請求項１１記載の発明は、フィルタに濾材の上流側、下流側に設けた透明度のあるライトガイドを設け、点燈ランプの色を変えることにより、表示灯の機能を付加ることにより上流側の状態を下流側から確認できる表示手段を備えたエアフィルタであり、強、弱運転、停止、警報等の情報を明確に確認可能なエアフィルタを提供できるという作用を有する。
【００３９】
また、本発明の請求項１２記載の発明は、ファンとモータとそれらを内部に有したファンモータユニットと、その下流部にフィルタを有し、波形状に折曲して形成された濾材の谷部に挿入し、濾材と密に接合固定する透明な材質からなるライトガイドを表面に設け、上流側の状態を下流側から確認できるエアフィルタを備えたファンフィルタユニットであり、エアフィルタの下流側から上流側の状況が視認することができるファンフィルタユニットを提供できるという作用を有するという作用を有する。
【００４０】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００４１】
（実施の形態１）
図１に示すように、本発明のエアフィルタ１は、波形状に折曲して形成された濾材２と、濾材２を枠体３の内周壁面に密に接合固定し所定形状で保持した枠体３とを備えている。この折曲したエアフィルタ１の波形に接合するように、濾材２の表面から密に接合固定する櫛形状で、透明度のある材質のライトガイド４を設ける。
【００４２】
図２には、ライトガイド４の斜視図を示す。ライトガイド４は、櫛形を形成する櫛部４Ｆと、櫛部４Ｆを連結する基部４Ｇから成り立っている。櫛の山となる山部４Ａは波形状に折曲して形成された濾材２と同一の傾きを備え、濾材２と密に接合固定されることとなる。山部４Ａは１山以上でを構成するものとしたが、３山以上が望ましい。
【００４３】
図５は、ライトガイド４を濾材２への装着状態を示す斜視図である。
【００４４】
上記構成において、その作用を説明する。例えば、図１に示すように、エアフィルタ１の上流側に点燈ランプ５を設ける。点燈ランプ５の光は、ライトガイド４の受光部となる山部４Ａの先端（先端部４Ｂ）からライトガイド４内に取り込まれる。取り込まれた光は、基部４Ｇから下流側に放出される。すなわち、エアフィルタ１の上流側の発光状態を上流側へ移動することなく下流側から容易に視認することができる。
【００４５】
また、山部４Ａの先端部４Ｂは平坦なフラット面を備え、光の伝達を向上させることとなる。
【００４６】
さらに、基部４Ｇの底面４Ｈの両端には、面取り面４Ｃを設けている。面取り面４Ｃは、山部４Ａ上流側の光源（点燈ランプ５）からの光を屈折する機能を備え、上流側の状態を下流側水平方向からでも確認できることになる。
【００４７】
また、図３、図６に示すように、櫛部４Ｆあるいは基部４Ｇの対向する側面に庇４Ｄを設けることにより、長手方向２面の庇４Ｄは挿入深さ調整効果を供え、また、濾材２を保護する保護網の固定ができる。
【００４８】
図４、図７においては、側面の全周に庇４Ｅを設けたライトガイド４を示す。全周４面の庇４Ｅは挿入深さ調整効果を供え、また、濾材２を保護する保護網の固定ができる。
【００４９】
なお、本実施の形態では、ライトガイドの部材としては、透明度を有したアクリル、ガラスなどの透明度を有した材質で、押し出し成形、または、射出成形にて製作され、ライトガイドに使用できる強度を有したものであればよい。
【００５０】
（実施の形態２）
図８に示すように、波形状に折曲して形成された濾材２で構成されるエアフィルタ１の波形に接合するように、濾材２の表面と裏面の両面からライトガイド４１、４２を濾材２を挟むように設ける。
【００５１】
上記構成により、エアフィルタ１の裏面側に配置した発光手段（図示せず）の光は、ライトガイド４２が受光し、その光は減衰することなくライトガイド４１に伝達する。従って、エアフィルタ１の表面側では、高い輝度の光を広範囲に視認することができる。
【００５２】
（実施の形態３）
図９に示すように、エアフィルタ１の濾材２の下流側にライトガイド４を設け、エアフィルタ１の上流側には、色の異なる点燈ランプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃを設ける。なお、点燈ランプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃは、ライトガイド４に発光面を向け、ライトガイド４の近傍に配置するとよい。
【００５３】
上記構成において、例えば、ある状態（例えば空調機器の運転）表示として点燈ランプ５Ａが点灯する。点燈ランプ５Ａの光は、エアフィルタ１の濾材２の下流側に設けたライトガイド４を通過し、エアフィルタ１の下流側で点燈ランプ５Ａの光を視認することができる。すなわち、エアフィルタ１の下流側で上流側で表示された点燈ランプ５Ａの点灯を確認することが出来る。同様に、点燈ランプ５Ｂ、５Ｃの点灯についてもエアフィルタ１の反対側から確認が出来る。このように、エアフィルタ１の裏面で表示された状態表示ランプの点灯を表面側から確認できる。
【００５４】
なお、本実施の形態では、色の異なる点燈ランプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃを用いたが、１つの点燈ランプを用い、点燈方法を連続点滅、点滅時間に差を付けるなどによっても同等の効果が得られる。
【００５５】
また、図１０に示すように、ライトガイド４をエアフィルタ１の濾材２の上流側、下流側に濾材２を挟み込むように掛合し、上流側に、色の異なる点燈ランプ５Ａ、５Ｂ、５Ｃを設けてもよい。
【００５６】
（実施の形態４）
図１１は、図１〜１０に示したようなライトガイド、エアフィルタを搭載したファンフィルタユニットの構成図である。
【００５７】
図に示すように、本実施の形態のファンフィルタユニット８は、ファンモータユニット１３と、その下流側に配したエアフィルタ１で構成される。ファンモータユニット１３は、ターボファン１１とモータ１０とこれらを収納する箱型状のチャンバー１２とで構成され、その天面に吸込口９が設けられている。エアフィルタ１は、箱型状のチャンバー１２の下流側に設けられている。ここでは、エアフィルタ１として、図１、図２に示した櫛形状をしたライトガイド４を配したものを例にして説明する。ファンモータユニット１３とエアフィルタ１の間には、ファンフィルタユニット８の運転状態などを表示する表示手段１５を設けている。表示手段１５に表示するファンフィルタユニット８の運転状態などの情報は、上流側のファンモータユニット１３を制御する制御装置１４から出力されることになる。表示手段１５とは、運転表示ランプ、異常表示ランプなどである。
【００５８】
上記構成において、表示手段１５による運転表示などは、ランプの点灯により示される。この表示内容は、ライトガイド４を通して、下流側から視認できることになる。ファンフィルタユニット８は吸込口９から吸入された粉塵などを含んだ汚染空気を、ファンモータユニット１３の動作によってエアフィルタ１によって浄化して下流側に供給するものである。本発明のようなエアフィルタ１を用いることによって上流側に情報源があっても、汚染空気を下流側に漏らすことなく下流側から上流側の情報（ファンフィルタユニット８の運転状態など）を確認が可能することが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明にかかるエアフィルタは、上流側にある設備の運転状態など確認することができる。そのためエアフィルタと一体となったファンフィルタユニットなど空気清浄装置に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】同実施の形態１のライトガイドの取付け状態の断面図
【図２】同実施の形態１のライトガイドの斜視図
【図３】同実施の形態１のライトガイドの斜視図
【図４】同実施の形態１のライトガイドの斜視図
【図５】同実施の形態１のライトガイド取付け状態の斜視図
【図６】同実施の形態１のライトガイド取付け状態の斜視図
【図７】同実施の形態１のライトガイド取付け状態の斜視図
【図８】同実施の形態２のエアフィルタの断面図
【図９】同実施の形態３のエアフィルタの斜視図
【図１０】同実施の形態３のエアフィルタの断面図
【図１１】同実施の形態４のファンフィルタユニットを示す構成図
【図１２】従来のクリーンユニットのフィルタ支持装置を示す断面図
【符号の説明】
【００６１】
１    エアフィルタ
２    濾材
３    枠体
４    ライトガイド
４Ａ  山部
４Ｂ  先端部
４Ｃ  面取り面
４Ｄ  庇
４Ｅ  庇
４Ｆ  櫛部
４Ｇ  基部
５    点燈ランプ
５Ａ  点燈ランプ
５Ｂ  点燈ランプ
５Ｃ  点燈ランプ
８    ファンフィルタユニット
９    吸込口
１０  モータ
１１  ターボファン
１２  チャンバー
１３  ファンモータユニット
１４  制御装置
１５  表示手段
【図１】
2008300051.tif 000003
【図２】
2008300051.tif 000004
【図３】
2008300051.tif 000005
【図４】
2008300051.tif 000006
【図５】
2008300051.tif 000007
【図６】
2008300051.tif 000008
【図７】
2008300051.tif 000009
【図８】
2008300051.tif 000010
【図９】
2008300051.tif 000011
【図１０】
2008300051.tif 000012
【図１１】
2008300051.tif 000013
【図１２】
2008300051.tif 000014