(57)【要約】【課題】簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能な可動板２１と、可動板２１の板面と対向するように設けられ、可動板２１または可動板２１と接合された付属物（永久磁石７１〜７４）との衝突により可動板２１の挙動を規制する規制部材６１〜６４とを有し、規制部材６１〜６４は、可動板２１が衝突する部分に緩衝部６１２〜６４２を備えており、可動板２１が緩衝部６１２〜６４２に衝突することで、緩衝部６１２〜６４２が可動板２１の慣性力を吸収しつつ、可動板２１の挙動を規制するように構成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも１つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記緩衝部は、弾性材料を主材料として構成されている請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記緩衝部の表面は、前記可動板に対する離型性を有している請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記規制部材は、前記可動板の回動中心軸から遠位に位置する部位と衝突するように設けられている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記規制部材は、前記可動板の平面視にて前記可動板の回動中心軸に対して互いに反対側に位置するように少なくとも１対設けられている請求項１ないし４のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記規制部材は、前記可動板に対して互いに反対側に位置するように少なくとも１対設けられている請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記各規制部材と前記可動板の回動中心軸との離間距離は、互いにほぼ等しい請求項５または６に記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記付属物は、前記可動板の厚さ方向に着磁された少なくとも１つの永久磁石であり、前記規制部材は、前記永久磁石に作用する磁界を発生させる磁界発生部を備え、前記磁界発生部の作動により、前記可動板を回動させるように構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記磁界発生部にノコギリ波状の交流電圧を印加する電圧印加手段を有している請求項８に記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし９のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
前記規制部材は、前記可動板の前記光反射部と反対の面側に位置するように少なくとも１対設けられている請求項１０に記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
光反射性を有する光反射部が設けられた回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも１つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とする光スキャナ。
【請求項１３】
光反射性を有する光反射部が設けられた回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも１つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成された光スキャナを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置に関するものである。
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
例えば、特許文献１にかかるアクチュエータ（光走査装置）は、１自由度振動系の捩り振動子で構成されている。すなわち、かかるアクチュエータは、可動板（磁石つきミラー）を軸部材（超弾性合金ワイヤ）を介して支持部（ハウジング）に対し回動可能に支持して構成されている。
【０００２】
そして、コイルに交流電圧を印加することで、軸部材を捩れ変形させながら可動板を回動駆動させることにより、光反射部で反射した光を走査する。これにより、光走査により描画を行うことができる。
しかしながら、特許文献１にかかるアクチュエータにあっては、磁界の向きが切り換わっても、その磁界により発生する磁気力に反発するような可動板の慣性力が発生しているため、可動板が磁界の変化に追従できず、これが原因となって、可動板の挙動が乱れてしまう場合がある（例えば、微小な振動が発生してしまう）。つまり、特許文献１にかかるアクチュエータでは、可動板の挙動を規制することができず、所望の回動特性（走査特性）を発揮することが難しい。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２４３９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも１つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することができる。
【０００６】
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部は、弾性材料を主材料として構成されていることが好ましい。
これにより、緩衝部によって、より効率的に可動板の慣性力を吸収することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記緩衝部の表面は、前記可動板に対する離型性を有していることが好ましい。
これにより、可動板が衝突部に貼り付くことで、可動板の挙動が乱れたり、可動板や緩衝部が破損してしまったりすることを防止することができる。
【０００７】
本発明のアクチュエータでは、前記規制部材は、前記可動板の回動中心軸から遠位に位置する部位と衝突するように設けられていることが好ましい。
これにより、規制部材の取付けを高精度に行わなくても、可動板の回動角を所望角度に規制することができる。つまり、アクチュエータの製造の簡易化を図りつつ、可動板の挙動を所望のものに規制することができる。
【０００８】
本発明のアクチュエータでは、前記規制部材は、前記可動板の平面視にて前記可動板の回動中心軸に対して互いに反対側に位置するように少なくとも１対設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの小型化を図りつつ、確実に可動板の挙動を規制することができる。
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、前記規制部材は、前記可動板に対して互いに反対側に位置するように少なくとも１対設けられていることが好ましい。
これにより、１対の緩衝部によって可動板の慣性力を吸収することができ、より効率的に可動板の慣性力を吸収することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記各規制部材と前記可動板の回動中心軸との離間距離は、互いにほぼ等しいことが好ましい。
これにより、規制部材の配置を簡単なものとしつつ、可動板の回動角を所望角度に規制することができる。
【００１０】
本発明のアクチュエータでは、前記付属物は、前記可動板の厚さ方向に着磁された少なくとも１つの永久磁石であり、前記規制部材は、前記永久磁石に作用する磁界を発生させる磁界発生部を備え、前記磁界発生部の作動により、前記可動板を回動させるように構成されていることが好ましい。
これにより、大きい駆動力を得ることができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記磁界発生部にノコギリ波状の交流電圧を印加する電圧印加手段を有していることが好ましい。
これにより、垂直走査に適したアクチュエータを提供することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに用いることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記規制部材は、前記可動板の前記光反射部と反対の面側に位置するように少なくとも１対設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの光走査を妨害してしまうことを防止することができる。
【００１２】
本発明の光スキャナは、光反射性を有する光反射部が設けられた回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも１つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成されていることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することができる光スキャナを提供することができる。
【００１３】
本発明の画像形成装置は、光反射性を有する光反射部が設けられた回動可能な可動板と、
前記可動板の板面と対向するように設けられ、前記可動板または前記可動板と接合された付属物との衝突により前記可動板の挙動を規制する少なくとも１つの規制部材とを有し、
前記規制部材は、前記可動板または前記付属物が衝突する部分に緩衝部を備えており、前記可動板または前記付属物が前記緩衝部に衝突することで、前記緩衝部が前記可動板の慣性力を吸収しつつ、前記可動板の挙動を規制するように構成された光スキャナを備えていることを特徴とする。
これにより、簡単な構成でかつ確実に可動板の挙動を規制することができる画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態について説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す模式的斜視図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図１に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図、図５は、図１に示すアクチュエータの作動を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２、３、５中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
各図に示すように、アクチュエータ１は、図１に示すような基体２と、スペーサ部材３１を介して基体２を支持する支持基板４と、スペーサ部材３２を介して基体２と接合する蓋体５と、基体２が備える可動板２１の挙動を規制する４つの規制部材６１〜６４とを有している。
【００１５】
以下、これらについて順次説明する。
図１に示すように、基体２は、可動板２１と、可動板２１を両持ち支持する１対の軸部材２２、２３と、１対の軸部材２２、２３を介して可動板２１を支持する支持部２４とで構成されている。
可動板２１は、その平面視にて長方形状をなしている。そして、この可動板２１は、後述する回動中心軸Ｘと直交する方向に沿って延在している。
このような可動板２１の上面（つまり、蓋体５側の面）であって、長手方向の中央部には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられており、両端部（つまり、回動中心軸Ｘから遠位に位置する部位）には、永久磁石７１、７２が設けられている。
【００１６】
一方、可動板２１の下面であって、長手方向の両端部には、永久磁石７３、７４が設けられている。
なお、可動板２１の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、円状であってもよいし、正方形状であってもよい。
以上のような可動板２１は、１対の軸部材２２、２３によって両側から支持されている。
【００１７】
軸部材２２は、棒状をなしている。この軸部材２２は、その長手方向での一端（図１中右側の端）が可動板２１に、他端（図１中左側の端）が支持部２４にそれぞれ接続している。
同様に、軸部材２３は、棒状をなしている。この軸部材２３は、その長手方向での一端（図１中左側の端）が可動板２１に、他端（図１中右側の端）が支持部２４にそれぞれ接続している。
【００１８】
このような１対の軸部材２２、２３は、同軸的に設けられており、この軸を回動中心軸Ｘとして可動板２１が支持部２４に対して回動する。なお、１対の軸部材２２、２３は、互いに同一寸法かつ同一形状となっている。
支持部２４は、可動板２１の平面視にて、可動板２１および１対の軸部材２２、２３の外周を囲むように形成されている。つまり、支持部２４は、枠状をなしている。
【００１９】
以上説明したような基体２は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動板２１と、１対の軸部材２２、２３と、支持部２４とが一体的に形成されている。例えば、シリコン基板を用意し、このシリコン基板を可動板２１と、１対の軸部材２２、２３と、支持部２４のそれぞれの平面視形状に対応するようにエッチングすることにより、可動板２１と、１対の軸部材２２、２３と、支持部２４とが一体的に形成された基体２を簡単に得ることができる。また、このように、シリコンを主材料とすることで、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理（加工）が可能であり、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。
【００２０】
なお、基体２は、ＳＯＩ基板等の積層構造を有する基板から、可動板２１と、１対の軸部材２２、２３と、支持部２４とを形成したものであってもよい。その際、可動板２１と、１対の軸部材２２、２３と、支持部２４とが一体的となるように、これらを積層構造基板の１つの層で構成するのが好ましい。
以上説明した基体２は、下側にてスペーサ部材３１を介して支持基板４と接合しているとともに、上側にてスペーサ部材３２を介して蓋体５と接合している。
【００２１】
スペーサ部材３１は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。このスペーサ部材３１は、支持部２４の平面視形状と一致するように形成されていて（つまり、枠状をなしていて）、スペーサ部材３１の上面が支持部２４の下面に接合している。
スペーサ部材３１の内壁によって空間３１１が画成されている。この空間３１１は、可動板２１の回動を許容するための空間である。
【００２２】
なお、このようなスペーサ部材３１の形状としては、可動板２１の回動を許容する空間を形成することができれば特に限定されず、例えば、枠状をなしていなくてもよい。
また、例えば、基体２をＳＯＩ基板の一方のＳｉ層から形成した場合には、ＳｉＯ２層および他方のＳｉ層からスペーサ部材３１を形成してもよい。これにより、基体２とスペーサ部材３１とを一体的に形成することができるため、アクチュエータの製造工程の簡易化を図ることができる。
【００２３】
このようなスペーサ部材３１の下面には、支持基板４が接合されている。
支持基板４は板状をなし、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。
図２に示すように、支持基板４の上面であって、永久磁石７３と対向する部位には、規制部材６３が設けられており、永久磁石７４と対向する部位には、規制部材６４が設けられている。このような規制部材６３、６４については、後に詳述する。
【００２４】
以上、基体２の下側に位置するスペーサ部材３１および支持基板４について説明した。
一方、基体２の上側に位置するスペーサ部材３２は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。このスペーサ部材３２は、支持部２４の平面視形状と一致するように形成されていて（つまり、枠状をなしていて）、スペーサ部材３２の下面が支持部２４の上面に接合している。
【００２５】
スペーサ部材３２の内壁によって空間３２１が画成されている。この空間３２１は、可動板２１の回動を許容するための空間である。
本実施形態では、スペーサ部材３２は、スペーサ部材３１と同一形状かつ同一寸法となっている。なお、このようなスペーサ部材３２の形状としては、可動板２１の回動を許容する空間を形成することができれば特に限定されず、例えば、枠状をなしていなくてもよいし、スペーサ部材３１と同一寸法かつ同一形状でなくてもよい。
【００２６】
このようなスペーサ部材３２の上面には、蓋体５が接合されている。
蓋体５は板状をなしており、スペーサ部材３２の開口を覆うように設けられている。つまり、支持部２４と、スペーサ部材３１、３２と、支持基板４と、蓋体５とで密閉された空間（つまり、空間３１１と空間３２１とを合わせた空間）が画成されている。これにより、例えば、この空間内にアルゴンなどの不活性ガスを充填することができ、可動板２１の回動特性を向上させることができる。
【００２７】
図２に示すように、蓋体５の下面であって、永久磁石７１と対向する部位には、規制部材６１が設けられており、永久磁石７２と対向する部位には、規制部材６２が設けられている。なお、このような規制部材６１、６２については、後に詳述する。
このような蓋体５は、光透過性を有する材料で構成されている。光透過性を有する材料としては、特に限定されず、例えば、ガラスなどを好適に用いることができる。光透過性を有する材料で蓋体５を構成することにより、アクチュエータ１の外部に設けられた光源（図示せず）から光反射部２１１に向けて照出された光を光反射部２１１で反射させ、対象物に走査することができる。
なお、蓋体５の構成としては、特に限定されず、例えば、光透過性を有しない材料で構成されるとともに、光反射部２１１に対向する部分に開口が設けられているものであってもよいし、光透過性を有しない材料と光透過性を有する材料とを組み合わせてもよい。
【００２８】
次に、可動板２１に設けられた永久磁石７１〜７４について説明する。
図２に示すように、可動板２１の上面に設けられている１対の永久磁石７１、７２は、可動板２１の平面視にて回動中心軸Ｘに対して互いに反対側に位置し、かつ、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。
同様に、可動板２１の下面に設けられている１対の永久磁石７３、７４は、可動板２１の平面視にて回動中心軸Ｘに対して互いに反対側に位置し、かつ、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。
【００２９】
また、永久磁石７１、７３は、可動板２１の回動中心軸Ｘに対して図２の左側で、互いに対向するように設けられている。同様に、永久磁石７２、７４は、可動板２１の回動中心軸Ｘに対して図２の右側で、互いに対向するように設けられている。
永久磁石７１は、長手形状をなしていて、回動中心軸Ｘと平行な方向を長手とするように設けられている。また、永久磁石７１の長さは、可動板２１の幅（つまり、回動中心軸Ｘと平行な方向での長さ）とほぼ等しくなっている。また、永久磁石７１の横断面形状は、四角形状をなしている。ただし、永久磁石７１の形状としては、特に限定されず、例えば、永久磁石７１の長さが、可動板２１の幅よりも短くてもよい。
【００３０】
永久磁石７２〜７４は、永久磁石７１と同一形状かつ同一寸法であるため、その説明を省略する。
このような永久磁石７１〜７４は、それぞれ、可動板２１の厚さ方向（つまり、図２の上下方向）へ磁化している。さらに、永久磁石７１、７３は、対向する面側同士が互いに異極となっている。同様に、永久磁石７２、７４は、対向する面側同士が互いに異極となっている。
【００３１】
図２に示すように、本実施形態では、永久磁石７１、７３は、それぞれ、上面側がＳ極、下面側がＮ極となっており、永久磁石７２、７４は、それぞれ、上面側がＮ極、下面側がＳ極となっている。
このような永久磁石７１〜７４としては、特に限定されず、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石などを好適に用いることができる。
【００３２】
次に、規制部材６１〜６４について説明する。
図２に示すように、規制部材６１、６２は、可動板２１の上面側に設けられている。このような規制部材６１、６２は、可動板２１の平面視にて回動中心軸Ｘに対して互いに反対側に位置するように、かつ、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。
規制部材６１は、永久磁石７１と図２の上下方向にて所定距離離間して設けられている。また、規制部材６１は、可動板２１の平面視にて、その外周で囲まれる領域内に永久磁石７１を含むように設けられている。
【００３３】
同様に、規制部材６２は、永久磁石７２と図２の上下方向にて所定距離離間して設けられている。また、規制部材６２は、可動板２１の平面視にて、その外周で囲まれる領域内に永久磁石７２を含むように設けられている。
一方、規制部材６３、６４は、可動板２１の下面側に設けられている。このような規制部材６３、６４は、可動板２１の平面視にて回動中心軸Ｘに対して互いに反対側に位置するように、かつ、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。
【００３４】
規制部材６３は、永久磁石７３と図２の上下方向にて所定距離離間して設けられている。また、規制部材６３は、可動板２１の平面視にて、その外周で囲まれる領域内に永久磁石７３を含むように設けられている。
同様に、規制部材６４は、永久磁石７４と図２の上下方向にて所定距離離間して設けられている。また、規制部材６４は、可動板２１の平面視にて、その外周で囲まれる領域内に永久磁石７４を含むように設けられている。
【００３５】
また、図２に示すように、規制部材６１、６３は、可動板２１の回動中心軸Ｘに対して左側に位置している。そして、規制部材６１、６３は、基体２に対して互いに反対側に位置し、かつ、基体２に対して対称的に設けられている。同様に、規制部材６２、６４は、可動板２１の回動中心軸Ｘに対して右側に位置している。そして、規制部材６２、６４は、基体２に対して互いに反対側に位置し、かつ、基体２に対して対称的に設けられている。
【００３６】
このような規制部材６１〜６４は、アクチュエータ１の駆動の際、永久磁石７１〜７４との衝突により、つまり、永久磁石７１〜７４を介して可動板２１と衝突することにより、可動板２１の挙動を規制する機能を有している。
本実施形態では、規制部材６１と永久磁石７１との離間距離と、規制部材６２と永久磁石７２との離間距離と、規制部材６３と永久磁石７３との離間距離と、規制部材６４と永久磁石７４との離間距離とが、互いに等しくなっている。言い換えれば、各規制部材６１〜６４と回動中心軸Ｘとの離間距離が、互いにほぼ等しくなっている。これにより、規制部材６１〜６４の配置を簡単なものとしつつ、可動板２１の回動角を所望角度に規制することができる。
【００３７】
また、このような規制部材６１は、永久磁石７１を介して可動板２１の回動中心軸から遠位に位置する部位と衝突するように構成されている。これと同様に、規制部材６２〜６４は、それぞれと対応する永久磁石７２〜７４を介して可動板２１の回動中心軸Ｘから遠位に位置する部位と衝突するように構成されている。これにより、規制部材６１〜６４が、可動板２１の回動中心軸から近位に位置する部位と衝突する場合と比較して、規制部材６１〜６４の取付けを高精度に行わなくても、可動板２１の回動角を所望の角度に規制することができる。つまり、アクチュエータ１の製造の簡易化を図りつつ、可動板２１の挙動を所望のものに規制することができる。
【００３８】
以下、規制部材６１〜６４の具体的構成について説明するが、規制部材６１〜６４は、互いに同様の構成であるため、規制部材６４について代表して説明し、規制部材６１〜６３の説明については、その説明を省略する。
規制部材６４は、円筒状をなしている。このような規制部材６４は、図３に示すように、円筒状のコイル（磁界発生部）６４１と、コイル６４１の上端に接合された緩衝部６４２とで構成されている。そして、このような規制部材６４は、アクチュエータ１の駆動の際、可動板２１が永久磁石７４を介して緩衝部６４２に衝突することで、緩衝部６４２で可動板２１の慣性力を吸収しつつ、可動板２１の挙動を規制するように構成されている。また、このような規制部材６４は、可動板２１を回動させる駆動手段としての機能も有している。
【００３９】
コイル６４１は、支持基板４の上面に接合されている。また、コイル６４１は、図示しない電圧印加手段に接続されている。そして、この電圧印加手段によってコイル６４１へ電圧が印加されると、コイル６４１付近に図３の上下方向（つまり、可動板２１の厚さ方向）の磁力線を有する磁界が発生する。なお、このようなコイル６４１の内部に磁心が設けられていてもよい。
【００４０】
緩衝部６４２は、コイル６４１の上端に接合されている。このような緩衝部６４２は、可動板２１の平面視にて、円環状をなしている。なお、緩衝部６４２の形状としては、可動板２１の慣性力を吸収することができれば、特に限定されず、例えば、円板状であってもよい。
緩衝部６４２は、可動板２１の慣性力を吸収する機能を有している。このような緩衝部６４２は、弾性変形可能に形成されていて、可動板２１が衝突することで弾性変形し、この弾性変形により可動板２１の慣性力を吸収する。
【００４１】
このような緩衝部６４２の構成材料としては、弾性変形により可動板２１の慣性力を吸収することができれば、特に限定されず、例えば、樹脂、ゴム、エラストマー等の高分子材料を主材料として構成されている。これにより、緩衝部６４２によって効率的に可動板２１の慣性力を吸収することができる。このような高分子材料としては、特に限定されないが、例えば、ゴム、各種熱可塑性樹脂、各種熱硬化性樹脂等が挙げられる。
【００４２】
ゴムとしては、例えば、天然ゴム（ＮＲ）、イソプレンゴム（ＩＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ、１，２−ＢＲ）、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）等のブタジエン系ゴム、クロロプレンゴム（ＣＲ）、ブタジエン−アクリロニトリルゴム（ＮＢＲ）等のジエン系特殊ゴム、ブチルゴム（ＩＩＲ）、エチレン−プロピレンゴム（ＥＰＭ、ＥＰＤＭ）、アクリル系ゴム（ＡＣＭ、ＡＮＭ）、ハロゲン化ブチルゴム（Ｘ−ＩＩＲ）等のオレフィン系ゴム、ウレタンゴム（ＡＵ、ＥＵ）等のウレタン系ゴム、ヒドリンゴム（ＣＯ、ＥＣＯ、ＧＣＯ、ＥＧＣＯ）等のエーテル系ゴム、多硫化ゴム（Ｔ）等のポリスルフィド系ゴム、シリコーンゴム（Ｑ）、フッ素ゴム（ＦＫＭ、ＦＺ）、塩素化ポリエチレン（ＣＭ）等の各種ゴムや、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合（ブレンド）して用いることができる。
【００４３】
熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、変性ポリオレフィン、ポリアミド（例：ナイロン６、ナイロン４６、ナイロン６６、ナイロン６１０、ナイロン６１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ナイロン６−１２、ナイロン６−６６）、熱可塑性ポリイミド、芳香族ポリエステル等の液晶ポリマー、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテル、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマー等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
【００４４】
熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル（不飽和ポリエステル）樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
また、緩衝部６４２は、優れた復元性を有していることが好ましい。これにより、可動板２１が緩衝部６４２に衝突する度に、緩衝部６４２によって可動板２１の慣性力を吸収することができる。その結果、アクチュエータ１を所望の挙動で長時間連続的に駆動させることができる。
【００４５】
また、緩衝部６４２の表面は、可動板２１に対する離型性を有していることが好ましい。これにより、可動板２１が緩衝部６４２に衝突した際、可動板２１が衝突部６４２に貼り付くことで、可動板２１の挙動が乱れたり、可動板２１や緩衝部６４２が破損してしまったりすることを防止することができる。
以上、アクチュエータ１の構成について説明した。
【００４６】
次に、アクチュエータ１の作動について詳細に説明する。
規制部材６４がコイル６４１を備えているのと同様に、規制部材６１は、コイル６１１を備えており、規制部材６２は、コイル６２１を備えており、規制部材６３は、コイル６３１を備えている。そして、このような４つのコイル６１１、６２１、６３１、６４１は、それぞれ、前記電圧印加手段に接続されている。
そして、例えば、前記電圧印加手段によって、図４に示すようなノコギリ波状の交流電圧を各コイル６１１、６２１、６３１、６４１に印加すると、各コイル６１１、６２１、６３１、６４１付近に、可動板２１の厚さ方向の磁力線を有する磁界が発生し、かつ、その磁界の向きが周期的に切り替わる。
【００４７】
本実施形態では、可動板２１の上側にあるコイル６１１、６２１から発生する磁界の向きが、互いに同じ向きになるように構成されている。これと同様に、可動板２１の下側にあるコイル６３１、６４１から発生する磁界の向きが、互いに同じ向きになるように構成されている。さらに、基体２を介して対向するコイル６１１、６３１（コイル６２１、６４１についても同様）から発生する磁界の向きが、互いに反対方向となるように構成されている。
つまり、コイル６１１、６２１のそれぞれの下面付近がＳ極となっている場合には、コイル６３１、６４１のそれぞれの上面付近もＳ極となり、コイル６１１、６２１のそれぞれの下面付近がＮ極となっている場合には、コイル６３１、６４１のそれぞれの上面付近もＮ極となるように構成されている。
【００４８】
以下では、説明の便宜上、コイル６１１、６２１の下面付近およびコイル６３１、６４１の上面付近がそれぞれＳ極となっている場合を「第１の状態」とし、コイル６１１、６２１の下面付近およびコイル６３１、６４１の上面付近がそれぞれＮ極となっている場合を「第２の状態」とする。
第１の状態では、図５（ａ）に示すように、可動板２１の回動中心軸Ｘに対して右側の部分が上方へ向けて変位するとともに、左側の部分が下方へ向けて変位する。つまり、可動板２１が図５にて反時計回りに回動する。このときの可動板２１の回動速度（角速度）は、ほぼ一定である。
【００４９】
そして、永久磁石７２が緩衝部６２２に衝突するとともに、永久磁石７３が緩衝部６３２に衝突することで、可動板２１の回動が規制される。このとき、可動板２１の慣性力は、緩衝部６２２、６３２に吸収される。このように、１対の緩衝部６２２、６３２によって可動板２１の慣性力を吸収することで、より効率的に可動板２１の慣性力を吸収することができる。
このような第１の状態では、コイル６１１と永久磁石７１との間およびコイル６４１と永久磁石７４との間のそれぞれに働く磁気反発力と、コイル６２１と永久磁石７２との間およびコイル６３１と永久磁石７３との間のそれぞれに働く磁気吸着力とで、可動板２１を回動させる。そのため、大きい駆動力で可動板２１を回動させることができる。
【００５０】
可動板２１が緩衝部６２２、６３２に衝突するとほぼ同時に、第１の状態から第２の状態に切り換わる。
第２の状態では、図５（ｂ）に示すように、可動板２１の回動中心軸Ｘに対して右側の部分が下方へ向けて変位するとともに、左側の部分が上方へ向けて変位する。つまり、可動板２１が図５にて時計回りに回動する。このときの可動板２１の回動速度（角速度）は、ほぼ一定であり、かつ、第１の状態での可動板２１の回動速度と異なっている。
【００５１】
そして、永久磁石７１が緩衝部６１２に衝突するとともに、永久磁石７４が緩衝部６４２に衝突することで、可動板２１の回動が規制される。このとき、可動板２１の慣性力は、緩衝部６１２、６４２に吸収される。このように、１対の緩衝部６１２、６４２によって可動板２１の慣性力を吸収することで、より効率的に可動板２１の慣性力を吸収することができる。
【００５２】
このような第２の状態では、コイル６１１と永久磁石７１との間およびコイル６４１と永久磁石７４との間のそれぞれに働く磁気吸着力と、コイル６２１と永久磁石７２との間およびコイル６３１と永久磁石７３との間のそれぞれに働く磁気反発力とで、可動板２１を回動させる。そのため、大きい駆動力で可動板２１を回動させることができる。
そして、可動板２１が緩衝部６１２、６４２に衝突するとほぼ同時に、第２の状態から前述した第１の状態に切り換わる。このように、第１の状態と第２の状態とを交互に繰り返すことで、１対の軸部材２２、２３を捩り変形させながら可動板２１を回動中心軸Ｘまわりに回動させることができる。
【００５３】
ここで、例えば、従来のアクチュエータのように、可動板２１を規制部材６１〜６４に衝突させずに回動させる場合、電界の向きが切り換わっても、その磁界により発生する磁気力（つまり、各コイル６１１〜６１４と、それぞれに対応する永久磁石７１〜７４との間に働く磁気反発力および磁気吸引力。以下同じ）に反発するような可動板２１の慣性力が発生しているため、可動板２１が磁界の変化（向きの切り換え）に追従できず、これが原因となって、可動板２１の挙動が乱れてしまう（例えば、微小な振動が発生してしまう。この挙動の乱れを「不要振動」とも言う）。
【００５４】
これに対して、本願発明では、規制部材６１〜６４によって可動板２１の慣性力を吸収しているため、磁気力に反発するような可動板２１の慣性力の発生を防止することができる。そのため、可動板２１の不要振動が生じてしまうことを防止することができる。つまり、アクチュエータ１によれば、可動板２１の挙動を所望のものに規制することができる。また、規制部材６１〜６４によって、可動板２１の回動角（振幅）を規制することができるため、この点からも、可動板２１の挙動を所望のものに規制することができる。なお、本明細書にて「可動板２１の挙動を規制する」とは、可動板２１の不要振動の発生を防止するとともに、可動板２１の回動角を所望角度に規制することを意味する。
【００５５】
また、本実施形態では、４つのコイル６１１〜６４１から発生する磁界によって、可動板２１を回動させているため、極めて大きい駆動力が得られる。そのため、例えば、可動板２１（永久磁石７１〜７４および光反射部２１１を含む）と１対の軸部材２２、２３とで構成される振動系の共振周波数よりも極めて低い周波数で駆動させる場合（つまり、非共振で駆動させる場合）など、比較的大きい駆動力が必要となる場合に極めて適している。
【００５６】
また、本実施形態では、ノコギリ波状の電圧を印加するように構成されているが、このような電圧を印加すると、電圧変化が急激なため、可動板２１の回動方向が急激に切り換わる。すなわち、ノコギリ波状の電圧を印加すると可動板２１の不要振動が極めて発生しやすくなる。しかし、アクチュエータ１では、緩衝部６１２〜６４２によって可動板２１の慣性力を吸収しているため、ノコギリ波状の電圧を印加しても可動板２１の不要振動の発生を防止することができる。
【００５７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の画像形成装置の第２実施形態について説明する。
図６は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す模式的断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図６中の紙面上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言いう。
【００５８】
以下、第２実施形態のアクチュエータ１Ａについて、前述した第１実施形態のアクチュエータ１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。また、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
本発明の第２実施形態にかかるアクチュエータ１Ａは、可動板の下面に永久磁石が設けられていない以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。
【００５９】
つまり、アクチュエータ１Ａにおいては、可動板２１の下面を緩衝部６４２に衝突させるとともに、永久磁石７１の上面を緩衝部６１２に衝突させることで、可動板２１の時計周りの回動を規制し、可動板２１の下面を緩衝部６３２に衝突させるとともに、永久磁石７２の上面を緩衝部６２２に衝突させることで、可動板２１の反時計周りの回動を規制する。
【００６０】
アクチュエータ１Ａは、中立状態（つまり、図６に示す状態）にて、永久磁石７１と規制部材６１のギャップと、可動板２１と規制部材６４のギャップとがほぼ等しくなるように設計されている。同様に、永久磁石７２と規制部材６２のギャップと、可動板２１と規制部材６３のギャップとがほぼ等しくなるように設計されている。
本実施形態では、永久磁石７１と規制部材６１のギャップと、可動板２１と規制部材６４のギャップとをほぼ等しくするために、所望の厚さのスペーサ４２を介して規制部材６４を支持基板４に接合している。同様に、永久磁石７２と規制部材６２のギャップと、可動板２１と規制部材６３のギャップとをほぼ等しくするために、所望の厚さのスペーサ４１を介して規制部材６３を支持基板４に接合している。
【００６１】
なお、スペーサ部材３１の厚さ（図６の上下方向での長さ）を所定の厚さとすることで、永久磁石７１と規制部材６１のギャップと、可動板２１と規制部材６４のギャップとをほぼ等しくし、かつ、永久磁石７２と規制部材６２のギャップと、可動板２１と規制部材６３のギャップとを等しくしてもよい。
また、永久磁石７１、７２は、可動板２１の下面に設けられていてもよい。
以上説明したような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６２】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の画像形成装置の第２実施形態について説明する。
図７は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す模式的断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図７中の紙面上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００６３】
以下、第３実施形態のアクチュエータ１Ｂについて、前述した第１実施形態のアクチュエータ１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。また、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
本発明の第３実施形態にかかるアクチュエータ１Ｂは、可動板２１の下面側にのみ、永久磁石と、永久磁石に対応する規制部材とが配設されている以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。
可動板２１の上面には、光反射部２１１が設けられている。また、可動板２１の下面であって、回動中心軸Ｘに対して左側に永久磁石７３が設けられており、右側に永久磁石７４が設けられている。このような永久磁石７３、７４は、可動板２１の平面視にて、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。
【００６４】
アクチュエータ１Ｂは、可動板２１の上面に永久磁石が設けられておらず、可動板２１の上面側に規制部材が設けられていない。そのため、例えば、アクチュエータ１Ｂを光スキャナとして用いる場合、可動板２１の回動角を大きくしても、永久磁石や規制部材によって光走査が阻害されてしまうことがない。また、第１実施形態のアクチュエータ１と比較して、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。
また、可動板２１の上面に光反射部２１１のみを設ければよいため、光反射部２１１を大きくすることができる。
以上説明したような第３実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６５】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の画像形成装置の第４実施形態について説明する。
図８は、本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す模式的平面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図８中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００６６】
以下、第４実施形態のアクチュエータ１Ｃについて、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。また、前述した実施形態と同様の構成には同一符号を付してある。
本発明の第４実施形態にかかるアクチュエータ１Ｃは、可動板の形状、永久磁石および規制部材の配置が異なる以外は、第３実施形態のアクチュエータ１Ｂとほぼ同様である。
【００６７】
可動板２１は、図８に示す左右の各側壁から突出する突出部２１ａ〜２１ｄを有している。
突出部２１ａ、２１ｃは、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。同様に、突出部２１ｂ、２１ｄは、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。このような突出部２１ａ〜２１ｄは、可動板２１の平面視して、略正方形状をなしている。また、突出部２１ａ〜２１ｄは、互いに同一寸法かつ同一形状となっている。
【００６８】
突出部２１ａの下面（つまり、支持基板４と対向する面）には永久磁石７１Ｃが設けられている。同様に、突出部２１ｂの下面には、永久磁石７２Ｃが設けられており、突出部２１ｃの下面には、永久磁石７３Ｃが設けられており、突出部２１ｄの下面には、永久磁石７４Ｃが設けられている。
さらに、支持基板４の上面であって、永久磁石７１Ｃに対向する部位には、規制部材６１Ｃが設けられており、永久磁石７２Ｃに対向する部位には、規制部材６２Ｃが設けられており、永久磁石７３Ｃに対向する部位には、規制部材６３Ｃが設けられており、永久磁石７４Ｃに対向する部位には、規制部材６４Ｃが設けられている。
【００６９】
このようなアクチュエータ１Ｃは、可動板２１の上面に永久磁石が設けられておらず、可動板２１の上面側に規制部材が設けられていない。そのため、例えば、アクチュエータ１Ｂを光スキャナとして用いる場合、可動板２１の回動角を大きくしても、永久磁石や規制部材によって光走査が阻害されてしまうことがない。
また、本実施形態では、４つの永久磁石７１Ｃ〜７４Ｃと、それぞれに対応する４つの規制部材６１Ｃ〜６４Ｃとで、可動板２１を回動させるため、例えば、第３実施形態のアクチュエータ１Ｂと比べて、より大きい駆動力で可動板２１を回動させることができる。
【００７０】
以上説明したような第４実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
以上説明したようなアクチュエータ１〜１Ｃは、例えば、光スキャナ、光スイッチ、光アッテネータなどの光学デバイスに適用することができる。
アクチュエータ１を光スキャナとして用いた場合、アクチュエータ１（本発明にかかる光スキャナ）は、光反射部２１１で反射した光を走査する。
【００７１】
このようなアクチュエータ（光スキャナ）は、例えば、プロジェクタ、レーザープリンタ、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。その結果、優れた描画特性を有する画像形成装置を提供することができる。
【００７２】
具体的に、図９に示すようなアクチュエータ１を用いた画像形成装置（プロジェクタ）１００について説明する。なお、説明の便宜上、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。
プロジェクタ１００は、レーザーなどの光を照出する光源装置１０１と、複数のダイクロイックミラー１０２と、水平走査用アクチュエータ１０３と、垂直走査用のアクチュエータ１とを有している。
【００７３】
光源装置１０１は、赤色光を照出する赤色光源装置１０１ａと、青色光を照出する青色光源装置１０１ｂと、緑色光を照出する緑色光源装置１０１ｃとを備えている。
ダイクロイックミラー１０２は、赤色光源装置１０１ａ、青色光源装置１０１ｂ、緑色光源装置１０１ｃのそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このようなプロジェクタ１００は、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて、赤色光源装置１０１ａ、青色光源装置１０１ｂ、緑色光源装置１０１ｃのそれぞれから照出された光をダイクロイックミラー１０２で合成し、この合成された光が、水平走査用アクチュエータ１０３およびアクチュエータ１によって走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【００７４】
ここで、水平走査用アクチュエータ１０３と垂直走査用アクチュエータ１の光走査について具体的に説明する。
まず、ダイクロイックミラー１０２で合成された光は、水平走査用アクチュエータ１０３によってスクリーンＳの横方向に走査される（水平走査）。このとき、水平走査用アクチュエータ１０３は、例えば１０〜３０ｋＨｚ程度の駆動周波数で駆動する。一般に、水平走査用アクチュエータ１０３は、その共振周波数が駆動周波数と等しくなるように設計されていて、水平走査用アクチュエータ１０３を共振駆動するように構成されている。
【００７５】
このような水平走査用アクチュエータ１０３により走査された光は、垂直走査用のアクチュエータ１により、スクリーンＳの縦方向に走査される（垂直走査）。このとき、アクチュエータ１は、例えば、６０Ｈｚ程度の駆動周波数で駆動する。
アクチュエータ１は、例えば、可動板２１が緩衝部６１２、６４２に衝突する位置（つまり図５（ｂ）の状態）において、光反射部２１１で反射した光がスクリーンＳの上端に走査されるように、かつ、可動板２１が緩衝部６２２、６３２に衝突する位置（つまり図５（ａ）の状態）において、光反射部２１１で反射した光がスクリーンＳの下端に走査されるように構成されている。
【００７６】
そして、アクチュエータ１は、可動板２１を図５（ｂ）の状態から図５（ａ）の状態へ向けて一定速度で回動させつつ、水平走査用アクチュエータ１０３で走査された光を光反射部２１１で反射させる。これにより、光反射部２１１で反射した光をスクリーンＳの上端から下端に向けて走査することができる。
そして、アクチュエータ１は、スクリーンＳの下端まで光を走査し終えると（つまり、図５（ａ）の状態となると）同時に、可動板２１を図５（ｂ）の状態とすべく、可動板２１をすばやく回動させる。
そして、アクチュエータ１は、再度、可動板２１を図５（ｂ）の状態から図５（ａ）の状態へ向けて一定速度で回動させつつ、水平走査用アクチュエータ１０３で走査された光を光反射部２１１で反射させ、反射した光をスクリーンＳの上端から下端に向けて走査する。
【００７７】
このような動作を繰り返すことで、アクチュエータ１は、垂直走査を行う。
ここで、可動板２１を前述したような挙動で回動させるためには、例えば、図４に示すようなノコギリ波状の交流電圧を各コイル６１１〜６４１に印加する。また、可動板２１を前述したような挙動で回動させるためには、可動板２１を非共振で駆動させる必要もある。
【００７８】
つまり、可動板２１を前述したような挙動で回動させると、可動板２１の不要振動が発生しやすく、また、可動板２１を前述したような挙動で回動させるためには、大きい駆動力が必要となる。これらの観点から、アクチュエータ１は、垂直走査用のアクチュエータとして極めて適している。
以上の様にして、２次元的なカラー画像をスクリーンＳ上に形成することができる。
【００７９】
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【００８０】
また、前述した実施形態では、アクチュエータは、可動板を中心にほぼ左右対称な形状をなしている構造を説明したが、非対称であってもよい。
また、前述した実施形態では、可動板と１対の軸部材と支持部とが一体的に形成された基体を用いているものについて説明したが、これに限定されず、別体として形成されていてもよい。例えば、可動板と１対の軸部材とを一体的に形成するとともに、支持部を別体として形成し、支持部が各軸部材を介して可動板を回転自在に支持するように構成されていてもよい。
【００８１】
また、前述した実施形態では、可動板の上側に２つの規制部材が設けられ、下側に２つの規制部材が設けられているもの（つまり、第１実施形態）や、可動板の下側に２つの規制部材が設けられているもの（つまり、第２実施形態）や、可動板の下側に４つの規制部材が設けられているもの（つまり、第３実施形態）について、説明したが、これに限定されない。例えば、規制部材は、１つであってもよいし、３つであってもよいし、５つ以上であってもよい。また、２つの規制部材が、可動板を介して互いに対抗するように設けられていてもよい。
【００８２】
また、前述した実施形態では、規制部材がコイルを備えているものについて説明したが、これに限定されず、規制部材は、コイルを備えていなくてもよい。この場合には、規制部材とは別にコイルを設ければ足りる。
また、可動板を駆動させる駆動源としてコイルと永久磁石を使用した電磁駆動を用いたものについて説明したが、これに限定されず、例えば、いわゆる静電駆動であってもよいし、いわゆる圧電駆動であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す模式的斜視図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】図１に示すアクチュエータの駆動電圧の電圧波形の一例を示す図である。
【図５】図１に示すアクチュエータの作動を示す図である。
【図６】本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す模式的断面図である。
【図７】本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す模式的平面図である。
【図８】本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す模式的平面図である。
【図９】画像形成装置の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ……アクチュエータ  ２……基体  ２１……可動板  ２１ａ〜２１ｄ……突出部  ２１１……光反射部  ２２、２３……軸部材  ２４……支持部  ３１、３２……スペーサ部材  ３１１、３２１……空間  ４……支持基板  ４１、４２……スペーサ  ５……蓋体  ６１〜６４、６１Ｃ〜６４Ｃ……規制部材  ６１１、６２１、６３１、６４１……コイル  ６１２、６２２、６３２、６４２……緩衝部  ７１〜７４、７１Ｃ〜７４Ｃ……永久磁石  １００……画像形成装置（プロジェクタ）  １０１……光源装置  １０１ａ……赤色光源装置  １０１ｂ……青色光源装置  １０１ｃ……緑色光源装置  １０２……ダイクロイックミラー  １０３……水平走査用アクチュエータ  Ｓ……スクリーン  Ｘ……回動中心軸
【図１】
2008304667.tif 000003
【図２】
2008304667.tif 000004
【図３】
2008304667.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008304667.tif 000008
【図７】
2008304667.tif 000009
【図８】
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【図９】
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