(57)【要約】【課題】各種電子機器用のコンデンサに使用される電極箔に関し、更なる表面積の拡大による容量拡大と機械的強度に優れたコンデンサ用電極箔を提供することを目的とする。【解決手段】弁作用金属箔からなる基材１と、この基材１の表面に蒸着によって形成された弁作用金属の蒸着層１ａからなり、この弁作用金属の蒸着層１ａが、基材１から表層に向かって霜柱状構造に、かつ、夫々の柱は個々の粒子が複数に枝分かれして一体に結合した、いわゆる、海ぶどう状に形成された構成により、更なる粗面化によって表面積を拡大し、かつ、高い機械的強度を有し、高容量化を実現することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁作用金属箔からなる基材と、この基材の表面に蒸着によって形成された弁作用金属の蒸着層からなり、この弁作用金属の蒸着層が、基材から表層に向かって霜柱状構造に、かつ、夫々の柱は個々の粒子が複数に枝分かれして一体に結合した、いわゆる、海ぶどう状に形成されたコンデンサ用電極箔。
【請求項２】
弁作用金属箔からなる基材としてアルミニウム箔を用いた請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。
【請求項３】
弁作用金属の蒸着層としてアルミニウムを用いた請求項１に記載のコンデンサ用電極箔。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は各種電子機器に使用されるコンデンサ用電極箔に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各種コンデンサに使用されるコンデンサ用電極箔（以下、電極箔と呼ぶ）は、単位面積当たりの表面積を拡大して容量拡大を図る目的で、一般に表面を粗面化して用いるようにしており、この粗面化作業はエッチングによるものと、蒸着によるものとに大別される。
【０００３】
上記エッチングによるものとしては、塩素イオンを含むエッチング液中でアルミニウム箔を電解エッチングする際に、前段でアルミニウム箔の直流電解エッチングを行い、後段で前記アルミニウム箔の浸漬処理をした後、交流電解エッチングの電流密度を徐々に上昇させ、その後一定電流密度でエッチングを行う方法により、アルミニウム原箔の特性変化があっても、後段の交流電解エッチングの開始点となる一定の初期ピットを作ることができて安定した品質の電極箔を製造することができる（特許文献１）等の技術が開示されている。
【０００４】
また、蒸着によるものとしては、酸素又は酸素化化合物を含む雰囲気でアルミニウムを蒸発させ、次いで凝縮及び凝固させることにより、デポジットゾーンの圧力が２．８〜０．３Ｐａであるチャンバ内の固定又は可動基板の片面又は両面に、０．０３〜０．２マイクロメートル／秒の厚み増加速度でデポジットを形成する方法により、比較的大きな容量が得られる（特許文献２）等の技術が開示されている。
【特許文献１】特開平９−１７１９４５号公報
【特許文献２】特公平７−１５８６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら上記従来のコンデンサ用電極箔では、アルミニウム箔の表面をエッチングにより粗面化する特許文献１の技術では、エッチング技術ならびにコンデンサ用電極箔の機械的強度面から、エッチング加工による表面積の更なる拡大には自ずと限界があり、これ以上の容量拡大を図ることは極めて困難であるという課題を有したものであった。
【０００６】
また、アルミニウム箔の表面にアルミニウムを蒸着させて粗面化する特許文献２の技術では、蒸着層を形成する各粒子間の繋がり（結合強度）が弱いために化成時にネッキング部が破壊されるという課題があり、このような破壊が発生すると、破壊した箇所から先には電流が流れなくなるため、所望の容量が得られないというものであった。
【０００７】
さらに、このように各粒子間の結合強度を確保することが難しい状態のコンデンサ用電極箔では、巻回形の素子を作製する際に加わる機械的応力によって蒸着層が破壊されてしまうため、巻回形の素子を作製するのが極めて困難であるという課題があった。
【０００８】
本発明はこのような従来の課題を解決し、更なる粗面化によって表面積を拡大し、かつ、高い機械的強度を有し、高容量化を実現することができるコンデンサ用電極箔を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明は、弁作用金属箔からなる基材と、この基材の表面に蒸着によって形成された弁作用金属の蒸着層からなり、この弁作用金属の蒸着層が、基材から表層に向かって霜柱状構造に、かつ、夫々の柱は個々の粒子が複数に枝分かれして一体に結合した、いわゆる、海ぶどう状に形成された構成にしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように本発明によるコンデンサ用電極箔は、蒸着層が基材から表層に向かって霜柱状構造に、かつ、夫々の柱は個々の粒子が複数に枝分かれして一体に結合した、いわゆる、海ぶどう状に形成されることにより、更なる粗面化によって表面積を拡大し、かつ、高い機械的強度を有するため、高容量化を実現することができるという効果が得られるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（実施の形態）
以下、実施の形態を用いて、本発明の特に全請求項に記載の発明について説明する。
【００１２】
図１は本発明の一実施の形態によるコンデンサ用電極箔の構成を示したＳＥＭ（走査電子顕微鏡）写真（１万倍）、図２は図１の要部を拡大したＳＥＭ写真（３万倍）である。
【００１３】
図１、図２において、１はアルミニウム箔からなる基材、１ａはこの基材１の表面に蒸着によって形成されたアルミニウムの蒸着層であり、図１から分かるように、蒸着層１ａは基材１から表層に向かって霜柱状の構造に複数が密集して形成されており、また、このような霜柱状構造に形成された蒸着層１ａを構成する夫々の柱は、図２から分かるように、個々の粒子が複数に枝分かれした状態で一体に結合した、いわゆる、海ぶどう状の構造に形成されているものである。
【００１４】
なお、このように構成された本実施の形態によるコンデンサ用電極箔は、厚みが５０μｍの高純度アルミニウム箔を用い、真空雰囲気の中にアルゴンガスと酸素を流入させてアルミニウム箔の表面にアルミニウムの微粒子を蒸着させるようにして作製したものであるが、これらはいずれも公知の製造装置ならびに製造方法を用いて行ったものである。
【００１５】
このように構成された本実施の形態によるコンデンサ用電極箔は、図３の空孔径分布を示した特性図から明らかなように、空孔径の最頻値が約０．０３μｍと極めて微細なものであるため、比較用に示したエッチングによる同電極箔の空孔径の最頻値である約０．１５μｍと比較して極めて微細化されたものであり、これにより、表面積を大きく拡大することができるばかりでなく、蒸着層１ａが基材１から表層に向かって霜柱状構造に形成されているために、コンデンサとしてみた場合、液（駆動用電解液やポリマー等）の含浸性に優れるという特徴を有するものである。
【００１６】
さらに、上記霜柱状構造の夫々の柱が、個々の粒子が複数に枝分かれして一体に結合した、いわゆる、海ぶどう状に形成されているために、個々の粒子間の結合強度が高くなってネッキング部の破壊を抑制することができるようになり、これにより、化成時にネッキング部が破壊されるということがなくなるばかりでなく、このコンデンサ用電極箔を用いて巻回形の素子を作製することも容易になるものである。
【００１７】
このように本実施の形態によるコンデンサ用電極箔は、表面積の拡大を図って容量拡大が図れるばかりでなく、液の含浸性に優れ、しかもネッキング部の結合強度を高めることができるため、巻回形の素子を作製することも容易になるという格別の効果を奏するものである。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明によるコンデンサ用電極箔は、容量拡大が図れ、液の含浸性に優れ、しかも巻回形の素子を作製することも容易になるという効果を有し、あらゆる分野のコンデンサ用として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施の形態によるコンデンサ用電極箔の構成を示したＳＥＭ写真
【図２】図１の要部を拡大したＳＥＭ写真
【図３】同コンデンサ用電極箔の空孔径分布を示した特性図
【符号の説明】
【００２０】
１  基材
１ａ  蒸着層
【図３】
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【図１】
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【図２】
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