(57)【要約】  グラフェンバリア層が開示される。いくつかの実施形態は、充填層から基板表面への拡散及び／又はその逆を防止することができるグラフェンバリア層に関する。いくつかの実施形態は、タングステン層から下にある基板へのフッ素の拡散を防止するグラフェンバリア層に関する。更なる実施形態は、グラフェンバリア層を含む電子デバイスに関する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスを形成する方法であって、前記方法が、
基板表面上にグラフェンバリア層を形成することと、前記グラフェンバリア層の上に充填層を堆積させることと
を含み、
前記グラフェンバリア層が、前記充填層と前記基板表面との間の少なくとも１つの元素の拡散を防止する、方法。
【請求項２】
前記基板表面が、誘電体材料を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記誘電体材料が、金属酸化物を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記誘電体材料が、本質的にＡｌ２０３からなる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記グラフェンバリア層が、約１５Åから約１００Åの範囲の厚さを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記充填層が、タングステン、ルテニウム、銅、又はコバルトのうちの１つ又は複数を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記少なくとも１つの元素が、ハロゲン、酸素又はホウ素のうちの１つ又は複数を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも１つの元素が、本質的にフッ素からなる、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記充填層が、タングステンを含み、前記充填層が、ＷＦ６及び反応物を含むタングステン前駆体に前記グラフェンバリア層を順次曝露することを含む方法によって堆積される、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
電子デバイスを形成する方法であって、前記方法が、
Ａｌ２０３を含む基板表面上に、約１５Åから約１００Åの範囲の厚さを有するグラフェンバリア層を形成することと、
前記グラフェンバリア層上にアモルファスシリコン層を形成することと、
前記アモルファスシリコン層を、ＷＦ６を含むタングステン前駆体に曝露し、原子置換によってタングステン層を形成することと
を含み、前記グラフェンバリア層が、前記基板表面へのフッ素の拡散を防止する、方法。
【請求項１１】
第１の材料と第２の材料との間にグラフェンバリア層を含み、前記グラフェンバリア層が、前記第１の材料と前記第２の材料との間の少なくとも１つの元素の拡散を防止する、電子デバイス。
【請求項１２】
前記グラフェンバリア層は、約１５Åから約１００Åの範囲の厚さを有する、請求項１１に記載のデバイス。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの元素が、ハロゲン、酸素又はホウ素のうちの１つ又は複数を含む、請求項１１に記載のデバイス。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの元素が、本質的にフッ素からなる、請求項１３に記載のデバイス。
【請求項１５】
前記デバイスが、前記第１の材料及び前記第２の材料の複数の交互層を含む３ＤのＮＡＮＤデバイスである、請求項１１に記載のデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［０００１］本開示の実施形態は、概して、境界を横切る元素の拡散を防止するためのグラフェン拡散バリアの使用に関する。本開示の更なる実施形態は、グラフェン拡散バリアを含む電子デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
［０００２］電子デバイス内のある材料から別の材料への元素の移動を防止することは、半導体技術分野において長い間認識されてきた問題である。拡散バリアは、金属のような大きな原子の拡散を防止するために開発されてきた。
【０００３】
［０００３］半導体分野が進歩するにつれて、多くの製造技術が、ホウ素及びフッ素のような、より小さな元素を含む材料に依存するプロセスを利用する。これらの原子は、１つの材料から別の材料に容易に拡散する可能性があり、それらが拡散する材料の特性を潜在的に損傷させるか、又は不利に変化させる。
【０００４】
［０００４］したがって、より小さな原子の拡散を妨げる新しい拡散バリアが必要とされている。
【発明の概要】
【０００５】
［０００５］本開示の１つ又は複数の実施形態は、電子デバイスを形成する方法を対象とする。この方法は、基板表面上にグラフェンバリア層を形成することを含む。充填層がグラフェンバリア層の上に堆積される。グラフェンバリア層は、充填層と基板表面との間の少なくとも１つの元素の拡散を防止する。
【０００６】
［０００６］本開示の更なる実施形態は、電子デバイスを形成する方法を対象とする。この方法は、Ａｌ２０３を含む基板表面上にグラフェンバリア層を形成することを含む。グラフェンバリア層は、約１５Åから約１００Åの範囲の厚さを有する。グラフェンバリア層上にアモルファスシリコン層が形成される。アモルファスシリコン層は、タングステン前駆体に曝露され、原子置換によってタングステン層を形成する。タングステン前駆体はＷＦ６を含む。グラフェンバリア層は、基板表面へのフッ素の拡散を防止する。
【０００７】
［０００７］本開示の更なる実施形態は、第１の材料と第２の材料との間にグラフェンバリア層を備える電子デバイスを対象とする。グラフェンバリア層は、第１の材料と第２の材料との間の少なくとも１つの元素の拡散を防止する。
【０００８】
［０００８］本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、上記で簡単に要約した本開示のより具体的な説明を、実施形態を参照することによって行うことができ、それらのいくつかを添付図面に示す。しかし、本開示は他の等しく有効な実施形態を許容しうることから、添付図面が本開示の典型的な実施形態を例示しているにすぎず、よって本開示の範囲を限定すると見なされるべきではないことに留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】［０００９］本明細書に記載の１つ又は複数の実施形態による処理中の基材の断面図を図解する。
【図２】［００１０］本開示の１つ又は複数の実施形態による、基板を処理するために使用できるシステムを図解する。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［００１１］本開示のいくつかの例示的な実施形態を説明する前に、本開示は、以下の説明に記載される構成又はプロセスステップの詳細に限定されないことを理解されたい。本開示は、他の実施形態が可能であり、様々な方法で実施又は実行できる。
【００１１】
［００１２］本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される際に、「基板」という用語は、プロセスが作用する表面又は表面の一部を指す。また、基板への言及は、文脈が特に明確に示さない限り、基板の一部のみを指すこともありうると当業者には理解されよう。加えて、基板上に堆積することへの言及は、曝露した基板と、その上に堆積又は形成された１つ又は複数の膜又はフィーチャを有する基板との両方を意味する可能性がある。
【００１２】
［００１３］本明細書で使用される「基板表面」は、製造プロセス中に膜処理が実行される基板上に形成される任意の基板又は材料表面を指す。例えば、処理が実行されうる基板表面は、用途に応じて、ケイ素、酸化ケイ素、ストレインドシリコン、シリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）、炭素がドープされた酸化ケイ素、アモルファスシリコン、ドープされたケイ素、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、ガラス、サファイアなどの材料、並びに金属、金属窒化物、金属合金、及びその他の導電性材料などの任意の他の材料を含む。基板は、半導体ウエハを含むが、これらに限定されない。基板は、基板表面を研磨し、エッチングし、還元し、酸化し、ヒドロキシル化し、アニールし、ＵＶ硬化し、電子ビーム硬化し、及び／又はベークするために、前処理プロセスに曝露されうる。基板自体の表面上に直接膜処理することに加えて、本開示では、開示される膜処理ステップのいずれもが、以下により詳細に開示されるように、基板上に形成される下層上で実行されてもよく、「基板表面」という用語は、文脈が示すように、そのような下層を含むことが意図される。したがって、例えば、膜／層又は部分的な膜／層が基板表面上に堆積されている場合、新たに堆積される膜／層の露出された表面が基板表面になる。
【００１３】
［００１４］本開示のいくつかの実施形態は、バリア層としてのグラフェンの使用に関する。本開示の更なる実施形態は、グラフェンバリア層を含む電子デバイスを形成する方法に関する。本開示の更なる実施形態は、グラフェンバリア層を含む電子デバイスに関する。本開示のいくつかの実施形態は、有利には、ホウ素及びフッ素のような小さい原子の拡散を阻止することができるバリア層を提供する。本開示のいくつかの実施形態は、有利には、等しい又は優れた阻止能力を有するより薄いバリア層を提供する。本開示のいくつかの実施形態は、有利には、抵抗がより低い、より多くの量の充填材料を可能にする、より薄いバリア層を提供する。
【００１４】
［００１５］本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される際に、「前駆体」、「反応物」、「反応性ガス」などの用語は、基板表面と反応しうる任意のガス種を指すために交換可能に使用される。
【００１５】
［００１６］本明細書で使用される「原子層堆積」又は「周期的堆積」は、基板表面上に材料の層を堆積させるために２つ以上の反応性化合物を順次曝露することを指す。基板又は基板の一部は、処理チャンバの反応ゾーンに導入される２つ以上の反応性化合物に別々に曝露される。時間領域ＡＬＤプロセスでは、各反応性化合物への曝露は、各化合物が基板表面上に付着及び／又は反応し、次いで処理チャンバからパージされることができるように、時間遅延によって分離される。これらの反応性化合物は、基板に順次曝露されると言われる。空間ＡＬＤプロセスでは、基板表面の異なる部分が２つ以上の反応性化合物に同時に曝露されるので、基板上の所与の点が２つ以上の反応性化合物に同時に曝露されることはない。本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される際に、この点で使用される「実質的に」という用語は、当業者によって理解されるように、基板の小さな部分が拡散によって同時に複数の反応性ガスに曝露される可能性があり、同時の曝露が意図されないことを意味する。
【００１６】
［００１７］時間領域ＡＬＤプロセスの１つの態様では、第１の反応性ガス（すなわち、第１の前駆体又は化合物Ａ）がパルス状にされ反応ゾーンに進入し、続いて第１の時間遅延を行う。次に、第２の反応性ガス（すなわち、第２の前駆体又は化合物Ｂ）がパルス状にされ反応ゾーンに進入し、続いて第２の遅延を行う。各時間遅延の間に、アルゴン又はヘリウムなどのパージガスが処理チャンバに導入されて、反応ゾーンをパージ化するか、そうでなければ、反応ゾーンから残留反応性化合物又は反応副生成物を除去する。あるいは、パージガスは、反応性化合物のパルス間の時間遅延中にパージガスのみが流れるように、堆積プロセス全体にわたって連続的に流れうる。反応性ガスは、あるいは、基板表面上に所望の膜又は膜の厚さが形成されるまで、パルス状にされる。いずれの概要においても、化合物Ａ、パージガス、化合物Ｂ及びパージガスをパルス状にするＡＬＤプロセスが、サイクルと呼ばれる。サイクルは、化合物Ａ又は化合物Ｂのいずれかで開始し、所定の厚さを有する膜が得られるまでサイクルのそれぞれの順序を継続しうる。
【００１７】
［００１８］本明細書で使用される「パルス」又は「ドーズ（ｄｏｓｅ）」は、処理チャンバ内に断続的に又は非連続的に導入されるソースガスの量を指すことが意図される。各パルス内の特定の化合物の量は、パルスの持続時間に応じて、経時的に変化しうる。特定の処理ガスは、単一の化合物、又は２つ以上の化合物の混合物／組み合わせ、例えば、以下に記載される処理ガスを含みうる。
【００１８】
［００１９］各パルス／ドーズの持続時間は、可変であり、例えば、処理チャンバの空間容量（ｖｏｌｕｍｅ  ｃａｐａｃｉｔｙ）、並びにそれに連結された真空システムの能力に適応するように調整されうる。加えて、処理ガスのドーズ時間は、処理ガスの流量、処理ガスの温度、制御バルブのタイプ、用いられる処理チャンバのタイプ、並びに基板表面上に吸着する処理ガスの成分の能力に応じて変化しうる。ドーズ時間はまた、形成されている層のタイプ及び形成されているデバイスの形状寸法に基づいて変化しうる。ドーズ時間は、基板の実質的に全表面上に吸着／化学吸着し、その上に処理ガス成分の層を形成するのに十分な量の化合物を提供するのに十分な長さとすべきである。
【００１９】
［００２０］図１を参照すると、本開示のいくつかの実施形態は、電子デバイスを形成する方法１００に関する。この方法は、基板表面１０上にグラフェンバリア層２０を形成することと、グラフェンバリア層２０の上に充填層３０を堆積させることとを含む。いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層２０は、充填層３０と基板表面１０との間の少なくとも１つの元素の拡散を防止する。
【００２０】
［００２１］本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される際に、「拡散を防止する」という表現は、グラフェンバリア層が、バリア層が存在しない場合の濃度と比較して、目的材料（ｄｅｓｔｉｎａｔｉｏｎ  ｍａｔｅｒｉａｌ）中の少なくとも１つの元素の濃度を除去又は低減することを意味する。「目的材料」は、少なくとも１つの元素が拡散している材料である。拡散は、電子デバイスの保管及び／又は使用の結果として生じうる、又は後続の処理ステップ中に生じうる。
【００２１】
［００２２］いくつかの実施形態では、基板表面は誘電体材料を含む。いくつかの実施形態では、誘電体材料は、低誘電率誘電体材料である。いくつかの実施形態では、誘電体材料は、高誘電率誘電体材料である。いくつかの実施形態では、誘電体材料は、金属酸化物を含む。いくつかの実施形態では、誘電体材料は、酸化アルミニウム（例えば、Ａｌ２０３）を含むか、又は本質的に酸化アルミニウムからなる。
【００２２】
［００２３］本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用される際に、「本質的に〜からなる」などの表現は、対象となる膜又は組成物が、記載された活性材料の約９５％、９８％、９９％又は９９．５％以上であることを意味する。気体組成物（例えば、反応性ガス）について、「本質的に〜からなる」という表現は、希釈剤、キャリア又は不活性ガスを含まない組成物の活性成分を指す。
【００２３】
［００２４］いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層２０は、プラズマ強化原子層堆積（ＰＥＡＬＤ）プロセスによって形成される。理論に束縛されることなく、ＰＥＡＬＤプロセスは、グラフェンバリア層２０の厚さにわたってより大きな制御を提供すると考えられる。グラフェンバリア層２０の厚さは、複数の原子層として又は絶対厚さとして測定されうる。いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層２０は、約２から約５０の原子層の範囲、又は約４から約３０の原子層の範囲の厚さを有する。いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層２０は、約５０以下の原子層、約４０以下の原子層、約３０以下の原子層、約２５以下の原子層、約２０以下の原子層、約１０以下の原子層、約５以下の原子層、又は約３以下の原子層の厚さを有する。
【００２４】
［００２５］いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層は、約５Åから約１５０Åの範囲、又は約１５Åから約１００Åの範囲の厚さを有する。いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層は、約１５０Å以下、約１２５Å以下、約１００Å以下、約７５Å以下、約５０Å以下、約２５Å以下、又は約１０Å以下の厚さを有する。
【００２５】
［００２６］充填層３０は、任意の適切な材料でありうる。いくつかの実施形態では、充填層３０は、グラフェンバリア層２０によって基板表面１０内への拡散が防止される少なくとも１つの元素を含む。いくつかの実施態様において、充填層３０は、１つ又は複数の金属元素を含むか、又は本質的にこれからなる。いくつかの実施形態では、充填層３０は、タングステン、ルテニウム、銅、又はコバルトのうちの１つ又は複数を含むか、又は本質的にこれらからなる。
【００２６】
［００２７］いくつかの実施形態では、少なくとも１つの元素は、ドーパントとして充填層３０内に存在する。いくつかの実施形態では、少なくとも１つの元素は、充填層３０の堆積の副生成物として充填層３０内に存在する。いくつかの実施形態では、少なくとも１つの元素は、ハロゲン、酸素、又はホウ素のうちの１つ又は複数を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施形態では、少なくとも１つの元素は、フッ素を含むか、又は本質的にフッ素からなる。
【００２７】
［００２８］充填層３０は、任意の適切な方法によって堆積されうる。いくつかの実施形態では、充填材料３０は、原子層堆積（ＡＬＤ）、化学気相堆積（ＣＶＤ）、又は物理的気相堆積（ＰＶＤ）によって堆積されうる。いくつかの実施形態では、充填層３０はバルク金属材料を含む。
【００２８】
［００２９］いくつかの実施形態では、充填層３０はタングステンを含み、充填層３０は、グラフェンバリア層２０上にアモルファスシリコン層を形成することと、アモルファスシリコン層をタングステン前駆体に曝露させて原子置換によってタングステン層を形成することとを含む方法によって堆積される。いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層２０上にアモルファスシリコン層を形成することは、グラフェンバリア層をシラン、ポリシラン、又はこれらのハロゲン化された誘導体に曝露することを含む。いくつかの実施形態では、タングステン前駆体は、タングステン原子及びハロゲン原子を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施形態では、タングステン前駆体は、ＷＦ６、ＷＣＩ６及び／又はＷＣＩ５を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施態様では、タングステン前駆体はＷＦ６を含み、少なくとも１つの元素はフッ素を含む。
【００２９】
［００３０］いくつかの実施形態では、充填層３０はタングステンを含み、充填層３０は、グラフェンバリア層をタングステン前駆体及び反応物に順次曝露することを含む方法によって堆積される。この点で使用される際に、順次曝露することは、本明細書で一般的に説明される原子層堆積プロセスを指す。いくつかの実施形態では、タングステン前駆体は、タングステン原子及びハロゲン原子を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施形態では、タングステン前駆体は、ＷＦ６、ＷＣＩ６及び／又はＷＣＩ５を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施形態では、反応物は、水素ガス（Ｈ２）又はシラン（ＳｉＨ４）を含むか、又は本質的にこれらからなる。
【００３０】
［００３１］本開示のいくつかの実施形態が、充填層３０から基板表面１０への少なくとも１つの元素の拡散を防止するグラフェンバリア層に関連して説明されてきたが、グラフェンバリア層が、基板表面１０から充填層３０への少なくとも１つの元素の拡散を防止するのに有用であることも想定される。
【００３１】
［００３２］本開示の更なる実施形態は、グラフェンバリア層を含む電子デバイスに関する。いくつかの実施形態では、電子デバイスは、第１の材料と第２の材料との間にグラフェンバリア層を含む。いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層は、第１の材料と第２の材料との間の少なくとも１つの元素の拡散を防止する。
【００３２】
［００３３］本明細書で特定されるように、グラフェンバリア層は、任意の適切なプロセスによって形成されうる。グラフェンバリア層は、本明細書に開示される厚さのいずれかに制限されてもよい。具体的には、いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層は、約１５Åから約１００Åの範囲の厚さを有する。
【００３３】
［００３４］少なくとも１つの元素は、本明細書の他の箇所で議論されるような任意の元素でありうる。いくつかの実施形態では、少なくとも１つの元素は、ハロゲン、酸素、又はホウ素のうちの１つ又は複数を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施形態では、少なくとも１つの元素は、フッ素を含むか、又は本質的にフッ素からなる。
【００３４】
［００３５］第１の材料及び第２の材料は、任意の適切な材料でありうる。第１の材料と第２の材料との間で拡散が防止される際、第１及び第２の意味は任意である。いくつかの実施形態では、第１の材料及び第２の材料は、同じ材料を含む。いくつかの実施形態では、第１の材料は、金属を含むか、又は本質的に金属からなり、第２の材料は、誘電体材料を含むか、又は本質的に誘電体材料からなる。いくつかの実施形態では、金属は、タングステン、ルテニウム、銅、又はコバルトのうちの１つ又は複数を含むか、又は本質的にこれらからなる。いくつかの実施形態では、誘電体材料は、金属酸化物を含むか、又は本質的に金属酸化物からなる。いくつかの実施形態では、金属酸化物は、酸化アルミニウム（例えば、Ａｌ２０３）である。
【００３５】
［００３６］いくつかの実施形態では、グラフェンバリア層を含む電子デバイスは、第１の材料及び第２の材料の複数の交互層を含む３ＤのＮＡＮＤデバイスである。いくつかの実施形態では、第１の材料はゲート材料であり、第２の材料は酸化物である。いくつかの実施形態では、第１の材料は窒化物であり、第２の材料は酸化物である。
【００３６】
［００３７］図２を参照すると、本開示の更なる実施形態は、本明細書に記載の方法を実行するためのシステム９００を対象とする。図２は、本開示の１つ又は複数の実施形態による基板を処理するために使用できるシステム９００を示す。システム９００は、クラスタツールと呼ばれうる。システム９００は、ロボット９１２を内部に備えた中央移送ステーション９１０を含む。ロボット９１２は、単一のブレードのロボットとして図示されているが、他のロボット９１２の構成が開示の範囲内にあることを当業者は認識するだろう。ロボット９１２は、中央移送ステーション９１０に連結されたチャンバ間で１つ又は複数の基板を移動させるように構成される。
【００３７】
［００３８］少なくとも１つの前洗浄／バッファチャンバ９２０は、中央移送ステーション９１０に連結される。前洗浄／バッファチャンバ９２０は、ヒータ、ラジカル源、又はプラズマ源のうちの１つ又は複数を含みうる。前洗浄／バッファチャンバ９２０は、個々の半導体基板の保持領域として、又は処理のためのウエハのカセットに使用されうる。前洗浄／バッファチャンバ９２０は、前洗浄プロセスを実行し、又は処理のために基板を予熱し、又は単にプロセスシーケンスのためのステージング領域とすることができる。いくつかの実施形態では、中央移送ステーション９１０に連結された２つの前洗浄／バッファチャンバ９２０が存在する。
【００３８】
［００３９］図９に示す実施形態では、前洗浄チャンバ９２０は、ファクトリインターフェース９０５と中央移送ステーション９１０との間の通過チャンバとして機能しうる。ファクトリインターフェース９０５は、基板をカセットから前洗浄／バッファチャンバ９２０に移動させるための１つ又は複数のロボット９０６を含みうる。次いで、ロボット９１２は、前洗浄／バッファチャンバ９２０からシステム９００内の他のチャンバまで、基板を移動させうる。
【００３９】
［００４０］第１の処理チャンバ９３０は、中央移送ステーション９１０に連結されうる。第１の処理チャンバ９３０は、異方性エッチングチャンバとして構成することができ、１つ又は複数の反応性ガス源と流体連結して、反応性ガスの１つ又は複数の流れを第１の処理チャンバ９３０に供給しうる。基板は、分離バルブ９１４を通過するロボット９１２によって、処理チャンバ９３０へ、及び処理チャンバ９３０から移動することができる。
【００４０】
［００４１］処理チャンバ９４０はまた、中央移送ステーション９１０に連結されうる。いくつかの実施形態では、処理チャンバ９４０は、等方性エッチングチャンバを備え、１つ又は複数の反応性ガス源と流体連結して、処理チャンバ９４０に反応性ガスの流れを供給し、等方性エッチングプロセスを実行する。基板は、分離バルブ９１４を通過するロボット９１２によって、処理チャンバ９４０へ、及び処理チャンバ９４０から移動することができる。
【００４１】
［００４２］処理チャンバ９４５はまた、中央移送ステーション９１０に連結されうる。いくつかの実施形態では、処理チャンバ９４５は、処理チャンバ９４０と同じプロセスを実行するように構成された同じタイプの処理チャンバ９４０である。この構成は、処理チャンバ９４０内で行うプロセスが処理チャンバ９３０内のプロセスよりもはるかに長い時間を要する場合に有用でありうる。
【００４２】
［００４３］いくつかの実施形態では、処理チャンバ９６０は、中央移送ステーション９１０に連結され、選択的エピタキシャル成長チャンバとして機能するように構成される。処理チャンバ９６０は、１つ又は複数の異なるエピタキシャル成長プロセスを実行するように構成されうる。
【００４３】
［００４４］いくつかの実施形態では、異方性エッチングプロセスは、等方性エッチングプロセスと同じ処理チャンバ内で行われる。この種の実施形態では、処理チャンバ９３０及び処理チャンバ９６０は、２つの基板上で同時にエッチングプロセスを実行するように構成され、処理チャンバ９４０及び処理チャンバ９４５は、選択的エピタキシャル成長プロセスを実行するように構成されうる。
【００４４】
［００４５］いくつかの実施形態では、処理チャンバ９３０、９４０、９４５、及び９６０の各々は、処理方法の異なる部分を実行するように構成される。例えば、処理チャンバ９３０は、異方性エッチングプロセスを実行するように構成され、処理チャンバ９４０は、等方性エッチングプロセスを実行するように構成され、処理チャンバ９４５は、計測ステーションとして又は第１の選択的エピタキシャル成長プロセスを実行するように構成され、処理チャンバ９６０は、第２のエピタキシャル成長プロセスを実行するように構成されうる。当業者であれば、ツール上の個々の処理チャンバの数及び配置は変更可能であり、図９に示す実施形態が１つの可能な構成を表しているにすぎないことを理解するだろう。
【００４５】
［００４６］いくつかの実施形態では、システム９００は、１つ又は複数の計測ステーションを含む。例えば、計測ステーションは、前洗浄／バッファチャンバ９２０内、中央移送ステーション９１０内、又は個々の処理チャンバのいずれかの内部に位置しうる。計測ステーションは、基板を酸化環境に曝露することなく凹部の距離を測定可能にする、システム９００内の任意の位置にありうる。
【００４６】
［００４７］少なくとも１つのコントローラ９５０が、中央移送ステーション９１０、前洗浄／バッファチャンバ９２０、処理チャンバ９３０、９４０、９４５、又は９６０のうちの１つ又は複数に連結される。いくつかの実施形態では、個々のチャンバ又はステーションに連結された２つ以上のコントローラ９５０が存在し、システム９００を制御するために、主制御プロセッサが別個のプロセッサの各々に連結される。コントローラ９５０は、様々なチャンバ及びサブプロセッサを制御するために産業環境で使用できる、任意の形態の汎用コンピュータプロセッサ、マイクロコントローラ、マイクロプロセッサなどのうちの１つでありうる。
【００４７】
［００４８］少なくとも１つのコントローラ９５０は、プロセッサ９５２と、プロセッサ９５２に連結されたメモリ９５４と、プロセッサ９５２に連結された入力／出力デバイス９５６と、異なる電子部品間の通信のためのサポート回路９５８とを有しうる。メモリ９５４は、一時的メモリ（例えば、ランダムアクセスメモリ）及び非一時的メモリ（例えば、ストレージ）のうちの１つ又は複数を含みうる。
【００４８】
［００４９］プロセッサのメモリ９５４又はコンピュータ可読媒体は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読取り専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピーディスク、ハードディスク、又は任意の他の形態のデジタルストレージ、ローカル又はリモートといった容易に利用可能なメモリの１つ又は複数でありうる。メモリ９５４は、システム９００のパラメータ及び構成要素を制御するためにプロセッサ９５２によって動作可能な命令セットを保持しうる。サポート回路９５８は、従来の方法でプロセッサをサポートするためプロセッサ９５２に連結される。回路は、例えば、キャッシュ、電源、クロック回路、入力／出力回路、サブシステムなどを含みうる。
【００４９】
［００５０］プロセスは、概して、プロセッサによって実行されると、処理チャンバに本開示のプロセスを実行させるソフトウェアルーチンとしてメモリに格納されうる。ソフトウェアルーチンはまた、プロセッサによって制御されているハードウェアから遠隔に位置する第２のプロセッサ（図示せず）によって記憶及び／又は実行されうる。本開示の方法の一部又はすべてがまた、ハードウェアで実行されてもよい。したがって、プロセスは、ソフトウェアで実施され、コンピュータシステムを使用して、例えば、特定用途向け集積回路又は他のタイプのハードウェア実装としてのハードウェアで、又はソフトウェアとハードウェアの組合せとして実行されうる。ソフトウェアルーチンは、プロセッサによって実行されると、汎用コンピュータを、プロセスが実行されるようにチャンバ動作を制御する特定の目的のコンピュータ（コントローラ）に変換する。
【００５０】
［００５１］いくつかの実施形態では、コントローラ９５０は、方法を実行するために個々のプロセス又はサブプロセスを実行するための１つ又は複数の構成を有する。コントローラ９５０は、方法の機能を実行するために中間構成要素に連結され、中間構成要素を動作させるように構成されうる。例えば、コントローラ９５０は、ガスバルブ、アクチュエータ、モータ、スリットバルブ、真空制御などの１つ又は複数に接続され、これらを制御するように構成されうる。
【００５１】
［００５２］いくつかの実施形態のコントローラ９５０は、ロボット上の基板を複数の処理チャンバと計測ステーションとの間で移動させる構成、基板をシステムに搬入し及び／又はシステムから搬出する構成、基板表面上にグラフェンバリア層を形成する構成、並びにグラフェンバリア層上に充填層を堆積させる構成から選択される１つ又は複数の構成を有している。
【００５２】
［００５３］本明細書全体を通して、「１つの実施形態」、「特定の実施形態」、「１つ又は複数の実施形態」又は「実施形態」への言及は、実施形態に関連して説明された特定の特徴、構造、材料、又は特性が、本開示の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書全体の様々な場所における「１つ又は複数の実施形態において」、「特定の実施形態において」、「１つの実施形態において」、又は「実施形態において」などの表現の出現は、必ずしも本開示の同一の実施形態を指すとは限らない。更に、特定の特徴、構造、材料、又は特性は、１つ又は複数の実施形態において任意の適切な方法で組み合わせてもよい。
【００５３】
［００５４］本明細書の開示は、特定の実施形態を参照して説明されてきたが、当業者は、説明された実施形態が、本開示の原理及び用途の単なる例示にすぎないことを理解するだろう。本開示の主旨及び範囲から逸脱することなく、本開示の方法及び装置に様々な修正及び変形を行うことができることが、当業者には明らかだろう。したがって、本開示は、添付の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内にある修正及び変形を含みうる。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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