(57)【要約】【課題】支持手段に支持される接着シートのロール径を大径化させることのないシート貼付装置を提供すること。【解決手段】基材シートＢＳの片面に接着剤層Ａが設けられた帯状の原反Ｒを支持するシート支持手段１１と、剥離シートＲＬを繰出可能に支持する剥離シート支持手段１２と、原反Ｒと剥離シートＲＬとを積層する積層手段１３と、原反Ｒに閉ループ状の切り込みＣを形成する切り込み形成手段１４と、切り込みＣの内側を接着シートＳとしてリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼付する貼付手段１５とによりシート貼付装置１０が構成されている。剥離シートＲＬは、エンドレスシートを用いることもでき、この場合には、剥離シートＲＬを使い回しでき、剥離シート支持手段１２及び剥離シート巻取手段１７を設けることを要しない。【選択図】図１
2008300760.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの片面に接着剤層が設けられた帯状の原反を繰出可能に支持するシート支持手段と、繰り出された原反に閉ループ状の切り込みを形成する切り込み形成手段と、前記切り込みで囲まれる内側を接着シートとして所定の被着体に貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記切り込み形成手段の前段に配置された積層手段を含み、当該積層手段で前記接着剤層に帯状の剥離シートを積層して原反と共に繰出可能に設けたことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記剥離シートはエンドレスシートにより構成され、前記積層手段、切り込み形成手段及び貼付手段を経て前記積層手段の前段に戻るように掛け回されていることを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記積層手段に供給される剥離シートの面から不要物を取り除く除去ローラを更に含むことを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記切り込み形成手段の後段側に、前記切り込みの外側となる基材シート部分を不要シートとして巻き取る不要シート巻取手段が配置されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置に係り、更に詳しくは、支持手段に支持される原反のロール径を大径化させることがなく、また、原反を繰り出す過程で当該原反に一次的に仮着される剥離シートの再利用を可能としたシート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）は、裏面研削、ダイシング等、種々の処理を行うために、その面に接着シートを貼付することが行われている。
特許文献１、特許文献２には、ウエハに接着シートを貼付することのできるシート貼付装置が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【特許文献１】特開２００６−７３９２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記特許文献１に開示されたシート貼付装置は、帯状の接着シートをウエハ及びリングフレームに貼付した後、接着シートをリングフレーム上で閉ループ状に切断するものである。そのため、リングフレームの傷つきが不可避となる他、カッター刃の寿命も短くなるという不都合がある。
【０００５】
この点、特許文献２は、帯状の原反を繰り出す過程において、当該原反をリングフレームの大きさに合わせて切り込んで接着シートとし、この接着シートを剥離してリングフレーム及びその内側のウエハに貼付する構成であるため、特許文献１における固有の不都合は生じない。
【０００６】
しかしながら、特許文献２の構成にあっては、テープ基材に接着剤層を介して剥離シートが仮着された原反を支持手段に支持させるものであるため、支持手段における原反のロール径が大きくなり過ぎる、という不都合がある。かかる不都合は、ロール径の小さな原反を用いることで対応できるが、この場合には、原反の補充頻度が多くなり、製造効率の低下が避け難いものとなる。
また、前記剥離シートは、巻取装置で巻き取られた後に廃棄されるものであるため、コスト的な無駄もある。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、支持手段に支持される接着シートのロール径を大径化させることのないシート貼付装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、剥離シートの使い回し若しくは再利用を可能として接着シートの材料コストを低減することのできるシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、本発明は、基材シートの片面に接着剤層が設けられた帯状の原反を繰出可能に支持するシート支持手段と、繰り出された原反に閉ループ状の切り込みを形成する切り込み形成手段と、前記切り込みで囲まれる内側を接着シートとして所定の被着体に貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記切り込み形成手段の前段に配置された積層手段を含み、当該積層手段で前記接着剤層に帯状の剥離シートを積層して原反と共に繰出可能に設ける、という構成を採っている。
【０００９】
本発明において、前記剥離シートはエンドレスシートにより構成され、前記積層手段、切り込み形成手段及び貼付手段を経て前記積層手段の前段に戻るように掛け回される、という構成を採ることができる。
【００１０】
また、前記積層手段に供給される剥離シートの面から不要物を取り除く除去ローラを更に含む構成を採用することが好ましい。
【００１１】
更に、前記切り込み形成手段の後段側に、前記切り込みの外側となる基材シート部分を不要シートとして巻き取る不要シート巻取手段が配置される、という構成を採ることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、原反が基材シートの片面に接着剤層を設けた層構造のものであり、剥離シートが接着剤層に予め積層された原反を用いる必要がないため、当該原反をロール状に巻回したときにロール径が大きくなり過ぎるという従来の不都合を解消することができる。しかも、支持手段の位置や、繰り出される原反の経路等、レイアウトの自由度も高めることができる。また、ロール径が小さいものであっても、剥離シートが存在しない分だけ原反の長さを十分に確保することもでき、ロールの頻繁なる補充作業からも開放される。
また、切り込み形成手段の前段すなわちシート繰出方向上流側で剥離シートを積層する構成であるため、当該切り込み形成手段及び下流側の構成部材に接着剤の転着を回避する表面処理を行う必要もない。
【００１３】
更に、剥離シートをエンドレスシートにより構成した場合には、原反の繰出経路に沿って当該剥離シートを回行させることで、剥離シートの専用巻取手段を設ける必要を無くすことができ、剥離シートを何度も使い回すことが可能となって材料コストの大幅な削減を図ることができる。
【００１４】
また、剥離シートの面から不要物を取り除く除去ローラを備えた構成では、接着剤層に不要物が付着して当該不要物が接着シートと被着体との間に挟みこまれるような不都合も回避可能となる。
【００１５】
更に、不要シート巻取手段を設けた構成では、不要シートが剥離シートに付随することがないので、この点からも剥離シートの再利用を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１７】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示されている。この図において、シート貼付装置１０は、基材シートＢＳ（図１中Ｐ部拡大図参照）の片面に接着剤層Ａが設けられた帯状の原反Ｒを繰出可能に支持するシート支持手段１１と、当該シート支持手段１１の下方に配置されるとともに、前記接着剤層Ａに仮着される剥離シートＲＬを支持する剥離シート支持手段１２と、前記原反Ｒの接着剤層Ａ側に剥離シートＲＬを積層する積層手段１３と、原反Ｒに閉ループ状の切り込みＣ（図２参照）を形成する切り込み形成手段１４と、切り込みＣで囲まれる内側を接着シートＳとして被着体としてのウエハＷ及びリングフレームＲＦに貼付する貼付手段１５と、切り込みＣの外側を不要シートＳ１として巻き取る不要シート巻取手段１６と、剥離シートＲＬを巻き取る剥離シート巻取手段１７とを備えて構成されている。
【００１８】
前記シート支持手段１１は、モータＭ１と、当該モータＭ１によって回転駆動される支持軸２０とにより構成され、この支持軸２０にロール状に巻回された原反Ｒが支持されている。このシート支持手段１１から繰り出される原反Ｒは、ガイドローラ２１を経由して前記積層手段１３に供給され、当該積層手段１３により接着剤層Ａ側に剥離シートＲＬが積層されるようになっている。
【００１９】
前記剥離シート支持手段１２は、モータＭ２と、当該モータＭ２によって回転駆動される支持軸２２とにより構成され、この支持軸２２にロール状に巻回された剥離シートＲＬが支持されている。この剥離シートＲＬは、除去ローラ２３及びこれに対峙するニップローラ２４を経由して前記積層手段１３に繰り出される。除去ローラ２３は、剥離シートＲＬが複数回使用された場合の前記切り込み形成手段１４による切込カスや、剥離シートＲＬの面に塵等の不要物が付着している場合に、当該不要物を除去するものであり、そのため、不要物を転着させることができる粘着面が表面に形成されている。
【００２０】
前記積層手段１３は、モータＭ３と、このモータＭ３によって回転駆動される駆動ローラ２６と、当該駆動ローラ２６との間に前記原反Ｒ及び剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２８とからなる。モータＭ３は、モータＭ１及びモータＭ２と協働して原反Ｒ及び剥離シートＲＬに一定の張力を付与するとともに、剥離シートＲＬに繰出力を付与する機能を有する。
【００２１】
前記切り込み形成手段１４は、表面に切断刃３０が設けられたダイカットローラ３１と、これに相対配置されたダイ受けローラ３３と、ダイカットローラ３１を回転駆動させるモータＭ４と、ダイカットローラ３１の中心軸３４に固定された主動ギヤ３５と、ダイ受けローラ３３の中心軸３７に固定された従動ギヤ３８とからなる。ダイカットローラ３１は、一回転することにより、前記切断刃３０によって原反Ｒに閉ループ状（本実施形態では円形）の切り込みＣを形成するようになっている。
【００２２】
前記貼付手段１５は、先端が鋭角に形成されたピールプレート４０と、当該ピールプレート４０の先端近傍に配置されたプレスローラ４１とからなる。原反Ｒは剥離シートＲＬとともに、ピールプレート４０の先端で急激に折り返されることにより、切り込みＣで囲まれた接着シートＳが剥離され、当該接着シートＳはプレスローラ４１の押圧力を受けながらリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付される。ここで、リングフレームＲＦ及びウエハＷは、上面の高さ位置が調整可能に設けられたテーブルＴに支持されており、当該テーブルＴは、送りねじ軸４３、当該送りねじ軸４３にねじ係合するナット部材４４、モータＭ５等からなる駆動装置４５により、図１中左右方向に延びるガイドレール４６に沿って移動可能に設けられている。
【００２３】
前記不要シート巻取手段１６は、モータＭ６と、このモータＭ６によって回転する巻取軸４８とからなり、ガイドローラ５５、５６を分岐点として前記切り込みＣの外側にある原反Ｒ部分を不要シートＳ１として巻き取る。
【００２４】
前記剥離シート巻取手段１７は、モータＭ７によって回転する駆動ローラ４９と、この駆動ローラ４９との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５０と、モータＭ８を介して回転駆動される剥離シート巻取軸５２とにより構成され、前記ピールプレート４０で接着シートＳが剥離された剥離シートＲＬを巻き取るようになっている。
【００２５】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の作用について説明する。
【００２６】
初期作業として、シート支持手段１１と剥離シート支持手段１２から、原反Ｒ及び剥離シートＲＬを所定長さ引き出しておき、それぞれ積層手段１３、切り込み形成手段１４を経由させた後、ガイドローラ５５、５６を経過した位置で基材シートＢＳと、剥離シートＲＬを分離し、原反Ｒのリード端を不要シート巻取手段１６の巻取軸４８に固定する一方、剥離シートＲＬをピールプレート４０の先端に掛け回した後に、そのリード端を剥離シート巻取軸５２に固定する。
【００２７】
電源投入により、図示しない制御装置が装置各部を全体的に制御する。すなわち、モータＭ１〜Ｍ８が駆動して原反Ｒ及び剥離シートＲＬの繰り出しが行われると、当該原反Ｒ及び剥離シートＲＬが積層手段１３で積層された後、切り込み形成手段１４で原反Ｒに円形の切り込みＣが形成される。この際、剥離シート支持手段２２から繰り出された剥離シートＲＬは、原反Ｒとの合わせ面側に不要物が付着していても、除去ローラ２３に転着して除去されるので、接着シートＳがウエハＷに貼付されたときに、当該接着シートＳとウエハＷとの間に不要物が介在するような不都合は生じない。
【００２８】
切り込み形成手段１４で形成された接着シートＳの外側にある原反Ｒ部分は不要シートＳ１として不要シート巻取手段１６に巻き取られる。この一方、剥離シートＲＬ上に残された接着シートＳは、剥離シートＲＬと共に貼付手段１５側に繰り出され、ピールプレート４０の先端にて剥離されることとなる。この剥離タイミングは図示しないセンサにより検出され、これに同期して図１中右側に移動するテーブルＴ上のリングフレームＲＦ及びウエハＷに対して接着シートＳがプレスローラ４１の押圧力を受けながら貼付されることとなる。
【００２９】
そして、接着シートＳが剥離された後の剥離シートＲＬは、剥離シート巻取手段１７によって巻き取られることとなる。
【００３０】
従って、このような実施形態によれば、原反Ｒを基材シートＢＳ及び接着剤層Ａにより構成し、剥離シートＲＬを別ルートから繰り出して積層した状態で切り込み形成手段１４に繰り出すように構成したから、シート支持手段１１における原反Ｒのロール径を大径化させることがなく、頻繁なロール補充を必要とすることのない長さを確保できる、という効果を得る。
【００３１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３２】
例えば、前記実施形態では、剥離シートＲＬを巻き取る場合について図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、図３に示されるように、剥離シートＲＬをエンドレスシートにより構成し、積層手段１３、切り込み形成手段１４及び貼付手段１５を経て前記積層手段１３の前段に戻るように掛け回す構成を採用することができる。
【００３３】
このような構成では、剥離シートＲＬが使用に耐え得る状態にある限り、当該剥離シートＲＬの使い回しができ、剥離シートＲＬのロールを補充する回数を大幅に削減することができる。しかも、剥離シート支持手段１２及び剥離シート巻取手段１７を設ける必要性を排除できるとともに、モータＭ２、Ｍ８も省略することができ、装置構成を簡略化できる、という効果を付加することができる。
【００３４】
また、前記実施形態では、リングフレームＲＦ及びウエハＷに接着シートＳを貼付するものとしたが、当該接着シートＳの接着対象物は、その他の板状部材等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置における積層手段１３及び切り込み形成手段１４の概略平面図。
【図３】前記実施形態の変形例を示すシート貼付装置の概略正面図。
【符号の説明】
【００３６】
１０  シート貼付装置
１１  シート支持手段
１２  剥離シート支持手段
１３  積層手段
１４  切り込み形成手段
１５  貼付手段
１６  不要シート巻取手段
１７  剥離シート巻取手段
２３  除去ローラ
Ａ  接着剤層
Ｃ  切り込み
Ｒ  原反
ＲＬ  剥離シート
Ｓ  接着シート
Ｓ１  不要シート
ＢＳ  基材シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
ＲＦ  リングフレーム（被着体）
【図１】
2008300760.tif 000003
【図２】
2008300760.tif 000004
【図３】
2008300760.tif 000005