(57)【要約】【課題】  液状物質供給手段と基板の相対移動速度Ｖを高速化しながら、一定の滴下ピッチｐを確保すること。【解決手段】  液状物質供給手段２０を基板１に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給手段２０が吐出する液滴を基板１上に所定の滴下ピッチで滴下する液状物質滴下装置１０において、液滴の滴下方向に並べて配置される複数個の液状物質供給手段２０Ａ、２０Ｂと、先行する液状物質供給手段２０Ａが滴下する液滴Ａ1と液滴Ａ2の間に、後続する液状物質供給手段２０Ｂで液滴Ｂ1を滴下するように、各液状物質供給手段２０Ａ、２０Ｂの液滴吐出タイミングを制御する制御手段とを有するもの。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状物質供給手段を基板に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給手段が吐出する液滴を基板上に所定の滴下ピッチで滴下する液状物質滴下装置において、
液滴の滴下方向に並べて配置される複数個の液状物質供給手段と、
先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御する制御手段とを有することを特徴とする液状物質滴下装置。
【請求項２】
前記液状物質は、液晶であり、
前記基板は、シール剤が閉ループ状に塗布されるものであり、
前記制御手段は、前記基板上に塗布されたシール剤によって囲まれる領域内に設定された複数の滴下位置に対して、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御することを特徴とする請求項１に記載の液状物質滴下装置。
【請求項３】
液状物質供給手段を基板に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給手段が吐出する液滴を基板上に所定の滴下ピッチで滴下する液状物質滴下方法において、
複数個の液状物質供給手段を液滴の滴下方向に並べて配置し、
先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御することを特徴とする液状物質滴下方法。
【請求項４】
前記液状物質は、液晶であり、
前記基板は、シール剤が閉ループ状に塗布されるものであり、
前記基板上に塗布されたシール剤によって囲まれる領域内に設定された複数の滴下位置に対して、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御することを特徴とする請求項３に記載の液状物質滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状物質滴下装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状物質滴下装置として、特許文献１に記載の如く、液状物質供給手段を基板に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給手段が吐出する液滴を基板上に等間隔の滴下ピッチで滴下するものがある。特許文献１の液状物質滴下装置では、液状物質供給手段による液状物質の滴下動作を高速化し、生産性を向上させることができるようにした。
【特許文献１】特開2004-89783号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、特許文献１の液状物質滴下装置では、液状物質供給手段が液滴の滴下方向に唯１個配置されている。また、液状物質供給手段は、液滴を吐出ポートから間欠的に吐出させるものであり、機構的な制限から、液滴を吐出してから次にまた液滴を吐出させるまでの時間間隔（吐出時間間隔ｔとする）を短くすることには、限界がある。このような液状物質滴下装置において、液状物質供給手段と基板の相対移動速度Ｖと、吐出時間間隔ｔと、液滴の滴下ピッチｐの間には、ｐ＝Ｖ・ｔの関係が成立する。
【０００４】
ここで、Ｖを高速化することによって液状物質滴下装置の生産性を向上させながら、所望する滴下ピッチｐを確保するためには、ｔを小さくする必要がある。しかしながら、ｔを小さくするには上述した如くの限界があり（最小吐出時間間隔ｔa）、ｔを限界まで小さくした後に、Ｖを高速化すると所望する滴下ピッチｐを確保できなくなる。即ち、Ｖを高速化することによる液状物質滴下装置の生産性の向上には限界がある。
【０００５】
本発明の課題は、特許文献１の液状物質滴下装置に対し、今後予想される基板の高速搬送化による生産性の一層の向上に対応すべく、液状物質供給手段と基板の相対移動速度Ｖを高速化しながら、所望する滴下ピッチｐを確保することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、液状物質供給手段を基板に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給手段が吐出する液滴を基板上に所定の滴下ピッチで滴下する液状物質滴下装置において、液滴の滴下方向に並べて配置される複数個の液状物質供給手段と、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御する制御手段とを有するようにしたものである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記液状物質は、液晶であり、前記基板は、シール剤が閉ループ状に塗布されるものであり、前記制御手段は、前記基板上に塗布されたシール剤によって囲まれる領域内に設定された複数の滴下位置に対して、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御するようにしたものである。
【０００８】
請求項３の発明は、液状物質供給手段を基板に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給手段が吐出する液滴を基板上に所定の滴下ピッチで滴下する液状物質滴下方法において、複数個の液状物質供給手段を液滴の滴下方向に並べて配置し、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御するようにしたものである。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記液状物質は、液晶であり、前記基板は、シール剤が閉ループ状に塗布されるものであり、前記基板上に塗布されたシール剤によって囲まれる領域内に設定された複数の滴下位置に対して、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１０】
（請求項１、２）
複数個の液状物質供給手段を液滴の滴下方向に並べて配置し、先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、後続する液状物質供給手段で液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御するようにした。従って、液状物質供給手段と基板の相対移動速度Ｖを高速化したときに、先行する液状物質供給手段による滴下ピッチｐを小さい値に維持することの限界を、後続する液状物質供給手段で先行する液状物質供給手段が滴下した液滴と液滴の間に液滴を滴下することにより補うことで、液滴を基板上に所望する滴下ピッチｐで高速滴下することができる。これにより、液状物質滴下装置の生産性を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は液状物質滴下装置の一実施例を示す模式図、図２は液状物質滴下装置の変形例を示す模式図、図３は液状物質滴下装置の具体的構造の一例を示す模式図、図４は図３の液状物質供給手段を示す模式図である。
【００１２】
液状物質滴下装置１０は、図１に示す如く、基板１（Ｓはシール剤）を搭載する基板搬送ステージ１１と、基板１上に定めた滴下位置に設定された量の液晶等の液状物質を液滴Ｌにして滴下して供給する液状物質供給装置２０とを有する。尚、ここで、設定された量とは、例えば、閉ループ状に塗布されたシール剤Ｓによって囲まれる領域内に滴下すべき液晶の総量を滴下位置の総数で割った量である。
【００１３】
基板搬送ステージ１１は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、θ軸駆動部を備えた移動装置１２を有し、基板１をＸ方向とＹ方向のそれぞれに移動するとともに、θ方向に回転することができる。移動装置１２の各駆動部は回転型や直動型等のサーボモータにより構成できる。
【００１４】
即ち、液状物質滴下装置１０は、液状物質供給装置２０を基板１に対する液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させ、液状物質供給装置２０が吐出する液滴を基板１上に設定された滴下位置の配置間隔に応じた滴下ピッチｐで滴下する。液状物質滴下装置１０による基板１への液滴の滴下パターンは、例えば相並ぶ複数列の各１列上で滴下ピッチｐをなす多点からなり、液状物質供給装置２０は図２に点線矢印で示す移動経路に従い、各列の端部で交互にＵターンして折り返す。即ち、液状物質供給装置２０が基板１上の滴下パターンにおける１つ目の列上を通過するように基板搬送ステージ１１をＸ軸方向に沿って移動させる。そして、液状物質供給装置２０がその列の終端に到達したならば、基板搬送ステージ１１のＸ軸方向の移動を停止させるとともに液状物質供給装置２０が次の列に対応して位置するように基板搬送ステージ１１をＹ軸方向に列間のピッチ分移動させる。次に、液状物質供給装置２０が次の列上を通過するように、１つ目の列のときとは反対方向に基板搬送ステージ１１を移動させる、といった動作を繰り返す。
【００１５】
尚、滴下方向とは、基板１上に定めた滴下位置の各列に対して液滴Ｌを滴下する際における基板１と液状物質供給装置２０との相対移動方向で、図２においては、Ｘ軸方向に沿う方向である。
【００１６】
ここで、液状物質滴下装置１０は、基板１上の液滴の滴下パターンをなす１列上で、液滴の滴下方向に並べて配置される複数個の液状物質供給装置２０、本実施例では２個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂと、先行する液状物質供給装置２０Ａが滴下する液滴Ａ1と液滴Ａ2の間に、後続する液状物質供給装置２０Ｂで液滴Ｂ1を滴下するように、各液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの液滴吐出タイミングを制御する制御装置を有する。
【００１７】
また、この実施例においては、２個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂにおける後述する吐出ポート２３同士の滴下方向における間隔は、滴下ピッチｐよりも大きく滴下ピッチｐの２倍よりも小さな値であるものとして説明するが、吐出ポート２３同士の間隔を滴下ピッチｐと同じに設定したり、滴下ピッチｐの２倍以上に設定したりすることを妨げるものではない。
【００１８】
尚、制御装置は、後述する如く、基板１上の予め教示された各滴下位置の位置情報に基づいて、所定の滴下位置が液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの後述する吐出ポート２３の下方を通過するタイミングで、それらの液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂに吐出指令を出力する。
【００１９】
従って、液状物質滴下装置１０は、２個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂを液滴の滴下方向に並べて配置するとともに、制御装置により、基板搬送ステージ１１を駆動させて基板１と液状物質供給装置２０を液滴の滴下方向に沿って相対的に移動させるとともに、液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂを以下の如くに吐出動作させる。
【００２０】
(1)制御装置は、基板１上に予め定めた滴下位置ＰＡ1が液状物質供給装置２０Ａの吐出ポート２３の下方を通過するタイミング（液状物質供給装置２０Ａの液滴吐出タイミング）で、液状物質供給装置２０Ａに吐出指令を出力する。液状物質供給装置２０Ａが吐出する液滴Ａ1が滴下位置ＰＡ1に滴下される。
【００２１】
(2)制御装置は、基板１上に予め定めた滴下位置ＰＢ1が液状物質供給装置２０Ｂの吐出ポート２３の下方を通過するタイミング（液状物質供給装置２０Ｂの液滴吐出タイミング）で、液状物質供給装置２０Ｂに吐出指令を出力する。液状物質供給装置２０Ｂが吐出する液滴Ｂ1が滴下位置ＰＢ1に滴下される。液滴Ａ1と液滴Ｂ1の間隔は滴下ピッチｐとされる。
【００２２】
(3)制御装置は、基板１上に予め定めた滴下位置ＰＡ2が液状物質供給装置２０Ａの吐出ポート２３の下方を通過するタイミング（液状物質供給装置２０Ａの液滴吐出タイミング）で、液状物質供給装置２０Ａに吐出指令を出力する。液状物質供給装置２０Ａが吐出する液滴Ａ2が滴下位置ＰＡ2に滴下される。液滴Ｂ1と液滴Ａ2の間隔は滴下ピッチｐとされる。
【００２３】
液状物質滴下装置１０は、上述(1)〜(3)を順次繰り返すことにより、先行する液状物質供給装置２０Ａが滴下する液滴Ａ1と液滴Ａ2の間に、後続する液状物質供給装置２０Ｂで液滴Ｂ1を滴下するように、各液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの液滴吐出タイミングを制御するものになる。
【００２４】
図２の液状物質滴下装置１０Ａは、図１の液状物質滴下装置１０を構成した２個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの組を、２組用いたものである。即ち、第１組の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂにより、基板１上の４列分の各滴下位置に対し、液状物質滴下装置１０におけると同様に液滴を滴下する動作と、第２組の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂにより、基板１上の相隣る他の４列分の各滴下位置に対し、液状物質滴下装置１０におけると同様に液滴を滴下する動作とを並行して実施するものである。
【００２５】
尚、図１及び図２は、液状物質供給装置２０Ａが液滴を滴下する滴下位置ＰＡ1，ＰＡ2，…ＰＡｎと液状物質供給装置２０Ｂが液滴を滴下する滴下位置ＰＢ1，ＰＢ2，…ＰＢｎとをわかりやすくするために、各滴下位置ＰＡ1，ＰＡ2，…ＰＡｎ、ＰＢ1，ＰＢ2，…ＰＢｎに液滴Ａ1，Ａ2，…Ａｎ、Ｂ1，Ｂ2，…Ｂｎが滴下された状態で示している。そして、液状物質供給装置２０Ａによって滴下された液滴Ａ1，Ａ2，…Ａｎを白丸で、液状物質供給装置２０Ｂによって滴下された液滴Ｂ1，Ｂ2，…Ｂｎを黒丸で示している。
【００２６】
液状物質滴下装置１０、１０Ａ及びその液状物質滴下方法によれば以下の作用効果を奏する。
【００２７】
複数個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂを液滴Ａ1，Ｂ1，Ａ2…の滴下方向に並べて配置し、先行する液状物質供給装置２０Ａが滴下する液滴Ａ1と液滴Ａ2の間に、後続する液状物質供給装置２０Ｂで液滴Ｂ1を滴下するように、各液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの液滴吐出タイミングを制御するようにした。従って、液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂと基板１の相対移動速度Ｖを高速化したときに、先行する液状物質供給装置２０Ａによる滴下ピッチｐを所望の値に維持することの限界を、後続する液状物質供給装置２０Ｂで先行する液状物質供給装置２０Ａが滴下した液滴Ａ1と液滴Ａ2の間に液滴Ｂ1を滴下することにより補うことで、液滴Ａ1，Ｂ1，Ａ2…を基板１上に所望する滴下ピッチｐで高速滴下することができる。これにより、液状物質滴下装置１０、１０Ａの生産性を向上できる。
【００２８】
また、先行する液状物質供給装置２０Ａが滴下する液滴Ａ1、Ａ2の間に、後続する液状物質供給装置２０Ｂで液滴Ｂ1を滴下するように、各液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの液滴吐出タイミングを制御するようにした。そのため、２個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの吐出量に許容される範囲内で差がある場合であっても、液状物質供給装置２０Ａによって滴下された液滴Ａ1，Ａ2，…Ａｎと液状物質供給装置２０Ｂによって滴下された液滴Ｂ1，Ｂ2，…Ｂｎとが交互に配置されるので、後の工程で基板１が他の基板と貼り合わされて２枚の基板間で液晶が押し広げられたときに、異なる量の液滴同士が一体化して各液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂ間での吐出量の差が相互に相殺されることとなり、シール剤Ｓとで囲まれる領域内において液晶の分布が平均化される。従って、このようにして液晶を滴下することで、液晶が滴下された基板１が他の基板と貼り合わされたときには２枚の基板とシール剤Ｓとで囲まれる空間内において液晶の分布ムラが防止され、製造される液晶表示パネルの表示品質を向上させることが可能となる。
【００２９】
以下、液状物質供給装置２０（２０Ａ、２０Ｂも同じ）の具体的構造について詳述する（図３、図４）。
【００３０】
液状物質供給装置２０は、容器４０と移動装置５０を付帯的に備える。
容器４０は、液状物質を蓄える。
【００３１】
移動装置５０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、Ｚ軸駆動部を備え、液状物質供給装置２０をＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに移動する。移動装置５０の各駆動部はサーボモータにより構成できる。移動装置１２及び／又は移動装置５０は、基板搬送ステージ１１上の基板１に対し、液状物質供給装置２０を相対的に移動させる。
【００３２】
液状物質供給装置２０は、容器４０から滴下量に応じた量の液状物質を取出す手段を構成する取出しポート２１と、取出した液状物質を一時的に蓄える手段を構成する備蓄室２２と、取出して蓄えられた液状物質を吐出する手段を構成する吐出ポート２３とを有する。
【００３３】
具体的には、液状物質供給装置２０は、図４に示す如く、固定部２４と、サーボモータ２５により駆動される回転軸２６に設けられた回転部２７とを有し、固定部２４には、回転軸２６の軸芯を中心とする同一半径上でかつ回転軸２６を挟んだ対向位置に１つずつ取出しポート２１と吐出ポート２３を備え、回転部２７には、２個の備蓄室２２を、１つの備蓄室２２が取出しポート２１に対向するとき、他方の備蓄室２２が吐出ポート２３と対向する位置に備える。回転部２７は固定部２４に液密に摺接し、回転部２７の回転により２個の備蓄室２２は取出しポート２１と吐出ポート２３を順に通過する。
【００３４】
液状物質供給装置２０は、回転部２７に相対するカム２８を回転軸２６の周囲に固定配置し、回転部２７とカム２８の間で回転軸２６に固定した回転板２９に設けた複数のガイド孔に備蓄室２２と同数のプランジャ３０を上下動自在に保持し、プランジャ３０の下端部を備蓄室２２に嵌合して該備蓄室２２の内部で往復動可能にし、プランジャ３０の上端部（カムフォロワ３０Ａ）をばね３１によりカム２８のカム面に衝合させている。ばね３１は、プランジャ３０の中間部に設けたフランジ３０Ｂと回転板２９の間に介装される。
【００３５】
ここで、図４（Ｂ）を用いて、カム２８の形状について詳細に説明する。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）における矢視Ａでのカム展開図である。
【００３６】
図において、カム２８は、回転部２７の備蓄室２２が固定部２４の取出しポート２１上を通過するとき、プランジャ３０が、備蓄室２２における進行方向（矢印Ｒ方向）先頭側の端部が取出しポート２１の左側端部上を通過するタイミングで上昇を開始し、備蓄室２２における進行方向後方側の端部が取出しポート２１の右側端部上を通過するタイミングで上限に達して停止するようにカム面の形状が設定される。また、プランジャ３０の上限位置は、プランジャ３０が上限に位置した状態での備蓄室２２内が、１回の滴下に必要とされる滴下量と同量の液状物質を収容可能な容積となるように、カム２８により規定される。
【００３７】
一方、吐出ポート２３側については、取出しポート２１側と反対で、プランジャ３０が、備蓄室２２における進行方向先頭側の端部が吐出ポート２３における回転部２７の回転方向手前側端部上を通過するタイミングで下降を開始し、備蓄室２２における進行方向後方側の端部が吐出ポート２３における回転部２７の回転方向後側端部上を通過するタイミングで下降限に達して停止するようにカム２８のカム面の形状が設定される。そしてプランジャ３０が下降限に達した段階において、備蓄室２２内の液状物質すべてが吐出ポート２３を通って吐出されて基板１上に滴下される。
【００３８】
尚、図４（Ａ）においては、便宜上、あたかも備蓄室２２が取出しポート２１の真上に位置したときにこの備蓄室２２内のプランジャ３０が下限位置に位置し、備蓄室２２が吐出ポート２３の真上に位置したときにこの備蓄室２２内のプランジャ３０が上限位置に位置するかの如く示したが、図４（Ｂ）に示すように、備蓄室２２が取出しポート２１、或いは吐出ポート２３の真上（備蓄室２２が取出しポート２１、或いは吐出ポート２３に完全に重なる位置）にあるときは備蓄室２２内のプランジャ３０は上限位置と下限位置の間に位置することとなる。
【００３９】
液状物質供給装置２０は、サーボモータ２５による回転部２７の回転によって以下の如くにポンプ作用を営む。
【００４０】
(a)取出し作用
回転部２７の備蓄室２２が固定部２４の取出しポート２１を通過するとき、プランジャ３０が備蓄室２２の内部を下限から上限まで移動し（図４（Ｂ））、容器４０の液状物質を取出しポート２１経由で備蓄室２２に吸込んで取出す。即ち、本実施の形態においては、取出しポート２１とプランジャ３０とカム２８が液状物質を取出す手段として機能する。
【００４１】
(b)吐出作用
回転部２７の備蓄室２２が固定部２４の吐出ポート２３を通過するとき、プランジャ３０が備蓄室２２の内部を上限から下限まで移動し、備蓄室２２に蓄えた液状物質を吐出ポート２３経由で吐出し、１滴の液状物質として基板１上に滴下する。即ち、本実施の形態においては、吐出ポート２３とプランジャ３０とカム２８が液状物質を吐出する手段として機能する。
【００４２】
液状物質供給装置２０は、２個の備蓄室２２を備えているから、各備蓄室２２の相互間で、容器４０から滴下量に応じた液状物質を取出しポート２１経由で備蓄室２２に取出す工程と、一時的に蓄えられた液状物質を備蓄室２２から吐出ポート２３経由で吐出する工程とを並行して行なう。
【００４３】
液状物質滴下装置１０は、液状物質供給装置２０と基板搬送ステージ１１上の基板１との相対的な位置を検出する検出装置（不図示）と、検出装置の検出結果に基づいて液状物質供給装置２０を起動するとともに移動装置１２を制御する制御装置（不図示）を備える。ここで検出装置は、例えば、移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダ及び移動装置５０の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダが用いられ、これらのエンコーダからの出力値に基づいて、基板搬送ステージ１１の位置情報、及び液状物質供給装置２０の位置情報を得て、これらの位置情報から液状物質供給装置２０の吐出ポート２３と基板１との相対的な位置を検出する。
【００４４】
今、基板１への液状物質の滴下パターンが前述した如くの複数列をなし、このようなパターンで液状物質を滴下するときの基板１に対する液状物質供給装置２０の吐出ポート２３の移動経路（滴下経路）が、例えば各列の端部で交互にＵターンして折り返す経路をなすとする。このような場合、制御装置は、液状物質供給装置２０の吐出ポート２３が基板搬送ステージ１１上の基板１に対し相対移動する各直線状経路（滴下方向に沿う経路）の両端滴下位置を除く中間滴下位置では検出装置の検出結果（液状物質供給装置２０と基板１との相対位置関係）に基づいて、液状物質供給装置２０と基板１との相対移動を停止させずに吐出ポート２３から各滴下位置への吐出を行ない、各直線状経路の両端滴下位置では検出装置の検出結果（液状物質供給装置２０と基板１との相対位置関係）に基づいて、液状物質供給装置２０と基板１との相対移動を停止させて吐出ポート２３から各滴下位置への吐出を行なう。
【００４５】
即ち、制御装置は、基板搬送ステージ１１の位置情報を移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取るとともに、液状物質供給装置２０の吐出ポート２３のＸ、Ｙ方向での位置情報をＸ軸駆動部、Ｙ軸駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取り、たとえば、予め教示された基板１上の各滴下位置の位置情報に基づいて、所定の滴下位置が吐出ポート２３の下方を通過するタイミングで、液状物質供給装置２０に吐出指令を出力する機能を備える。液状物質供給装置２０は、制御装置の制御下において吐出回数と吐出タイミングをサーボモータ２５により制御し、１回の吐出動作において、先に述べた取出し作用にて備蓄室２２内に蓄えられた液状物質すべてを吐出ポート２３から吐出させる。このとき、備蓄室２２内の容積は１回の滴下に必要とされる滴下量と同量となっていることから、備蓄室２２内の液状物質をすべて吐出させれば必要とする滴下量が得られる。つまり、液状物質を吐出させる段階での液量調整を不要とすることから、高速で安定した滴下を行なうことができる。これにより、基板搬送ステージ１１を停止させずに、基板搬送ステージ１１の位置座標に基づいて滴下位置到達に合わせて必要量の液状物質の吐出を行なうことができ、滴下工程に要する時間を大幅に短縮することができる。
【００４６】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、３個の液状物質供給手段を液滴の滴下方向に並べて配置し、最先行する液状物質供給手段が滴下する液滴と液滴の間に、次先行する液状物質供給手段と後続する液状物質供給手段で順に液滴を滴下するように、各液状物質供給手段の液滴吐出タイミングを制御するようにしても良い。また、４個以上の液状物質供給装置を液滴の滴下方向に並べて配置し、上述の要領にて、先行する液状物質供給装置が滴下する液滴と液滴の間に後続する液状物質供給装置にて順次液滴を滴下するようにしても良い。
【００４７】
また、上記実施例においては、図２に示すように、滴下方向に直交する方向（Ｙ軸方向）において、同じ液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂによって滴下された液滴が一直線に配置されるパターンで滴下する例で説明したが、Ｙ軸方向においても液状物質供給装置２０Ａによって滴下された液滴と液状物質供給装置２０Ｂによって滴下された液滴とが交互に配置されるようなパターンで滴下するようにしても良い。
【００４８】
この場合、基板１上において、液状物質供給装置２０Ａによって液滴を滴下する滴下位置と液状物質供給装置２０Ｂによって液滴を滴下する滴下位置とを、Ｘ軸方向においてもＹ軸方向においても交互の配置となるように設定する。そして、基板１上に液晶を滴下する際には、各滴下位置の上をその滴下位置に液晶を滴下すべき液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの吐出ポート２３が通過するタイミングに合わせて対応する液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂに吐出指令を出力する。
【００４９】
このようにすると、滴下方向（Ｘ軸方向）と滴下方向に直交する方向（Ｙ軸方向）とのいずれの方向においても、液状物質供給装置２０Ａによって滴下された液滴と液状物質供給装置２０Ｂによって滴下された液滴とが交互に配置されるので、２個の液状物質供給装置２０Ａ、２０Ｂの吐出量に許容される範囲内で差があった場合に、その差を相殺して液晶の分布を平均化する作用をより向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】図１は液状物質滴下装置の一実施例を示す模式図である。
【図２】図２は液状物質滴下装置の変形例を示す模式図である。
【図３】図３は液状物質滴下装置の具体的構造の一例を示す模式図である。
【図４】図４は図３の液状物質供給手段を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  基板
１０、１０Ａ  液状物質滴下装置
２０  液状物質供給装置（液状物質供給手段）
２０Ａ  先行する液状物質供給装置（先行する液状物質供給手段）
２０Ｂ  後続する液状物質供給装置（後続する液状物質供給手段）
【図１】
2008155187.tif 000003
【図２】
2008155187.tif 000004
【図３】
2008155187.tif 000005
【図４】
2008155187.tif 000006