(57)【要約】【課題】衝撃が印可された際にロードビーム部の支持点がディスク面に対して直交する方向へ変動することを可及的に防止して、磁気ヘッドの限界加速度を効果的に向上させる。【解決手段】本発明に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、支持部は、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片によって画される先端側に開く凹部とを有している。前記磁気ヘッドサスペンションには、該磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関する一端側及び他端側が前記一対の支持片にそれぞれ接合された弾性変形可能な弾性板が設けられている。ロードビーム部を形成する部材は前記弾性板に接合されており、前記弾性板が荷重曲げ部を形成している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片によって画される先端側に開く凹部とを有し、
磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関する一端側及び他端側が前記一対の支持片にそれぞれ接合された弾性変形可能な弾性板が設けられ、
前記ロードビーム部を形成する部材は前記弾性板に接合されており、
前記弾性板が前記荷重曲げ部を形成していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記弾性板は、前記一端側及び前記他端側が前記一対の支持片に接合されることで拘束された状態で、前記一端側及び前記他端側の間の中央領域の先端側がディスク面に近接するように捩られていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対の支持片は、基端側及び先端側の間の曲げ位置において先端側がディスク面に近接するように曲げられており、
前記弾性板は、前記一対の支持片のうち前記曲げ位置より先端側に位置する部分に接合されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域の間に延びる中央領域とを有し、
前記中央領域は、前記ロードビーム部を形成する部材が接合される中央接合部と、前記中央接合部及び前記第１接合領域の間に延びる第１延在部と、前記中央接合部及び前記第２接合領域の間に延びる第２延在部であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして前記第１延在部と対称形状とされた第２延在部とを含んでいることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記中央接合部は、前記第１及び第２延在部よりも幅広とされていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記中央接合部は、前記第１及び第２延在部に対して先端側及び基端側の双方向に延在されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記第１及び第２延在部のそれぞれは、先端側及び基端側の双方に、対応する前記接合領域に近接するに従って幅広となる外方側湾曲部及び前記中央接合部に近接するに従って幅広となる内方側湾曲部を有していることを特徴とする請求項４から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記弾性板の前記中央接合部は、先端側に位置する先端側平面部であって、前記ロードビーム部を形成する部材に対して平行な姿勢で接合される先端側平面部と、前記先端側平面部から基端側へ延びる中央平面部であって、先端側から基端側へ行くに従って前記ロードビーム部を形成する部材から離間するように前記先端側平面部に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部が連接された中央平面部と、曲げ部を介して前記中央平面部から基端側へ延び、前記ロードビーム部を形成する部材に接合される基端側平面部とを一体的に有し、
前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装する前の状態においては、前記中央平面部が前記第１及び第２接合領域並びに前記第１及び第２延在部と同一平面内に位置し、且つ、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装した後の状態においては、前記第１及び第２延在部が捩られることで前記荷重を発生することを特徴とする請求項４から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記ロードビーム部を形成する部材を挟んで前記弾性板とはディスク面に直交する方向に関し反対側に位置するように、前記支持部に接合された拘束板を備え、
前記拘束板は、前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線上において前記ロードビーム部を形成する部材に接触する一又は複数の突起部を有し、
前記一又は複数の突起部は前記長手方向中心線を基準にして対称とされていることを特徴とする請求項４から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記拘束板は単一の前記突起部を有し、
前記単一の突起部は、前記磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し所定距離に亘って前記ロードビーム部を形成する部材と接触していることを特徴とする請求項９に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記ロードビーム部を形成する部材を挟んで前記弾性板とはディスク面に直交する方向に関し反対側に位置するように、前記支持部に接合された拘束板を備え、
前記拘束板は、前記支持部における前記ディスク面とは反対側の面に接合される接合面と、前記接合面から前記ディスク面へ近接する方向へ折り曲げられた連結面と、前記連結面における自由端辺から折り曲げられ、前記ロードビーム部を形成する部材における前記ディスク面とは反対側の面に面接触した状態で接合される接触面とを有し、
前記連結面及び前記接触面の境界線は、前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線上に位置し、且つ、前記長手方向中心線を基準にして対称とされていることを特徴とする請求項４から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
前記ロードビーム部を形成する部材は、前記弾性板に接合される接合領域と、前記接合領域から先端側へ延びる先端側領域と、前記接合領域から基端側へ延びる基端側領域とを有していることを特徴とする請求項１から１１の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１３】
前記ロードビーム部を形成する部材は、幅方向両側に前記弾性板を挟んで長手方向両側に亘って延びるフランジ部を有し、
前記フランジ部は、基端側から先端側へ行くに従って高さが低くなるように構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１４】
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域の間に延びる中央領域とを有し、
前記中央領域は、前記ロードビーム部を形成する部材が接合される中央接合部と、前記中央接合部及び前記第１接合領域の間に延びる第１延在部と、前記中央接合部及び前記第２接合領域の間に延びる第２延在部であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして前記第１延在部と対称形状とされた第２延在部とを含み、
前記ロードビーム部を形成する部材の前記基端側領域には平衡質量体が設けられ、
前記ロードビーム部，前記フレクシャ部及び前記平衡質量体からなるアッセンブリの重心と前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬｇとし、且つ、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心と前記荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬａとした場合に、０≦Ｌｇ≦０．３×Ｌａとされていることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１５】
前記ロードビーム部の基端側領域よりディスク面側に位置するように前記支持部に接合された制約板を備え、
前記制約板は、平面視において、前記平衡質量体の少なくとも一部とオーバーラップするように配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１６】
前記平衡質量体は、前記ロードビーム部に接合される接合部と、前記接合部より基端側に位置する基端側曲げ部とを有し、前記基端側曲げ部から基端縁に至る部分が基端側へ行くに従って前記接合部よりもディスク面から離間されていることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１７】
前記平衡質量体は、前記基端側曲げ部の板厚が他の領域の板厚よりも薄いことを特徴とする請求項１６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１８】
絶縁層及び導体層を有する信号配線体が前記フレクシャ部に一体的に積層されており、
前記信号配線体は、前記ロードビーム部に直接又は間接的に支持されたロードビーム部側領域と、前記支持部に直接又は間接的に支持された支持部側領域と、前記ロードビーム部側領域及び前記支持部側領域の間において空間中に延びる空中領域とを有し、
前記ロードビーム部側領域及び前記空中領域は、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされ、且つ、前記空中領域は、少なくとも一つの方向転換部を有していることを特徴とする請求項１２から１７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１９】
絶縁層及び導体層を有する信号配線体が前記フレクシャ部に一体的に積層されており、
前記信号配線体は、前記ロードビーム部に直接又は間接的に支持されたロードビーム部側領域と、前記支持部に直接又は間接的に支持された支持部側領域と、前記ロードビーム部側領域及び前記支持部側領域の間において空間中に延びる空中領域とを有し、
前記ロードビーム部側領域及び前記空中領域は、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされ、且つ、平面視において前記平衡質量体を実質的に囲むように配置されていることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２０】
前記弾性板は、前記フレクシャ部を形成する部材と一体形成されていることを特徴とする請求項１から１９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２１】
前記フレクシャ部には、絶縁層及び導体層を有する信号配線体が一体的に積層され、
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域の間に延びる中央領域とを有し、
前記中央領域は、前記ロードビーム部を形成する部材が接合される中央接合部と、前記中央接合部及び前記第１接合領域の間に延びる第１延在部と、前記中央接合部及び前記第２接合領域の間に延びる第２延在部であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして前記第１延在部と対称形状とされた第２延在部とを含み、
前記第１及び第２延在部には、前記絶縁層及び前記導体層と同一材料からなる減衰部材が一体的に積層されていることを特徴とする請求項２０に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２２】
磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部であって、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片によって画される先端側に開く凹部を有する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関する一端側及び他端側が前記一対の支持片にそれぞれ接合された弾性変形可能な弾性板と、
前記弾性板に接合される中央部、前記中央部より先端側に位置し前記ロードビーム部の基端部に接合される先端部及び前記中央部より基端側に位置する基端部を有する平衡質量体とを備え、
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域の間に延びる中央領域とを有し、
前記弾性板が前記荷重曲げ部を形成するように、前記中央領域は、前記平衡質量体が接合される中央接合部と、前記中央接合部及び前記第１接合領域の間に延びる第１延在部と、前記中央接合部及び前記第２接合領域の間に延びる第２延在部とを有していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２３】
前記第１及び第２延在部のそれぞれは、先端側及び基端側の双方に、対応する前記接合領域に近接するに従って幅広となる外方側湾曲部及び前記中央接合部に近接するに従って幅広となる内方側湾曲部を有していることを特徴とする請求項２２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２４】
前記ロードビーム部を形成する部材は、幅方向中央に位置する中央平板部及び前記中央平板部の幅方向両側に設けられた一対のフランジ部を有するフランジ領域と、前記弾性板を形成する弾性板領域と、前記フランジ領域の前記中央平板部を前記弾性板における前記中央接合部の先端縁に連結する平板状の連結領域とを一体的に有していることを特徴とする請求項２２又は２３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２５】
前記平衡質量体の前記先端部は前記一対のフランジ部の間に突入された状態で前記ロードビーム部の前記中央平板部に接合されていることを特徴とする請求項２４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２６】
前記平衡質量体は、前記連結領域に対応した位置に先端側曲げ部を有していることを特徴とする請求項２５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２７】
前記連結領域は、前記フランジ領域の基端部よりも幅狭とされていることを特徴とする請求項２６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２８】
前記平衡質量体は、前記基端部に基端側曲げ部を有し、前記基端側曲げ部から基端縁に至る部分が基端側へ行くに従ってディスク面から離間されていることを特徴とする請求項２２から２７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２９】
前記平衡質量体は、前記曲げ部の板厚が他の領域の板厚よりも薄いことを特徴とする請求項２６又は２８に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３０】
前記弾性板の前記中央接合部は、先端側に位置する先端側平面部であって、前記平衡質量体の前記中央部と平行な姿勢で該中央部に接合された先端側平面部と、前記先端側平面部から基端側へ延びる中央平面部であって、先端側から基端側へ行くに従って前記平衡質量体の前記中央部から離間するように前記先端側平面部に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部が連接された中央平面部と、曲げ部を介して前記中央平面部から基端側へ延び、前記平衡質量体の前記中央部と平衡な姿勢で該中央部に接合された基端側平面部とを有し、
前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装する前の状態においては、前記中央平面部が前記第１及び第２接合領域並びに前記第１及び第２延在部と同一平面内に位置し、且つ、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装した後の状態においては、前記第１及び第２延在部が捩られることで前記荷重を発生することを特徴とする請求項２２から２９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３１】
前記ロードビーム部，前記フレクシャ部及び前記平衡質量体からなるアッセンブリの重心と前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬｇとし、且つ、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心と前記荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬａとした場合に、０≦Ｌｇ≦０．３×Ｌａとされていることを特徴とする請求項２２から３０の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３２】
前記支持片は、基端側に位置する基端部と、前記基端部より先端側に位置し、前記弾性板が接合される先端部とを有し、
前記基端部は前記先端部より幅広とされていることを特徴とする請求項１から３１の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ヘッドによって記録媒体に対してデータをリード及び／又はライトするデータ記憶装置は、ノートブックＰＣや携帯音楽プレーヤー等のモバイル機器においても広く利用されており、これに伴い、前記データ記憶装置にはより高い耐衝撃性が求められるようになってきている。
前記データ記憶装置に外部から一定以上の大きさの衝撃加速度が加わると、前記磁気ヘッドがディスク面から離間する方向に跳躍するが、この跳躍の揺れ戻しの際に磁気ヘッドがディスク面に衝突して、該ディスク面を損傷することになる。従って、前記データ記憶装置の耐衝撃性を向上させるためには、外部からの衝撃印可時における磁気ヘッドが跳躍を開始する限界の加速度を向上させる必要がある。
【０００３】
例えば、前記磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を増加させることによって、前記磁気ヘッドが跳躍を開始する限界加速度を向上させることも可能である。
しかしながら、前記荷重は、ディスク面上での前記磁気ヘッドの浮上高さを制御するために適切な範囲に設定する必要がある。従って、前記荷重の増加によって前記磁気ヘッドの跳躍を抑えるという方法には、自ずと限界がある。
【０００４】
前記磁気ヘッドの跳躍を抑える為の他の構成としては、ロードビーム部の質量を低減させることで、衝撃が加わった際に該ロードビーム部に付加される慣性力を小さくし、これにより、磁気ヘッドが跳躍を開始する限界加速度を向上させる構成がある。
しかしながら、ロードビーム部の質量を低減させる為に、ロードビーム部の板厚を薄くしたり、及び／又は、ロードビーム部に孔を形成すると、ロードビーム部の剛性が低下し、これにより、振動特性及びロード／アンロード特性が劣化するという問題がある。
【０００５】
前記磁気ヘッドの跳躍を抑える為のさらに他の構成として、アーム又はベースプレート等の支持部に荷重曲げ部を介して支持されるロードビーム部に、基端側へ延びる延在部を設ける構成が提案されている（例えば、下記特許文献１〜４参照）。
この構成は、前記ロードビーム部のうち前記荷重曲げ部より先端側に位置する部分の質量と前記荷重曲げ部より基端側に位置する質量とを可及的に等しくすることにより、外部からの衝撃印可時における磁気ヘッドの跳躍を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
【０００６】
しかしながら、これらの特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重曲げ部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃を受けた際に、前記ロードビーム部の支持点（即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、限界加速度を十分には向上できない。
【特許文献１】特開平９−０８２０５２号公報
【特許文献２】特開平１１−０３９８０８号公報
【特許文献３】特開２００４−３４８８０４号公報
【特許文献４】特開２００５−１７４５０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、衝撃が印可された際にロードビーム部の支持点がディスク面に対して直交する方向へ変動することを可及的に防止し、これにより、磁気ヘッドの限界加速度を効果的に向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションを提供する。
前記支持部は、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片と、前記一対の支持片によって画される先端側に開く凹部とを有している。
前記磁気ヘッドサスペンションには、該磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関する一端側及び他端側が前記一対の支持片にそれぞれ接合された弾性変形可能な弾性板が設けられている。前記ロードビーム部を形成する部材は前記弾性板に接合されており、前記弾性板が前記荷重曲げ部を形成している。
【０００９】
一態様においては、前記弾性板は、前記一端側及び前記他端側が前記一対の支持片に接合されることで拘束された状態で、前記一端側及び前記他端側の間の中央領域の先端側がディスク面に近接するように捩られている。
【００１０】
他態様においては、前記一対の支持片は、基端側及び先端側の間の曲げ位置において先端側がディスク面に近接するように曲げられている。前記弾性板は、前記一対の支持片のうち前記曲げ位置より先端側に位置する部分に接合されている。
【００１１】
好ましくは、前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域の間に延びる中央領域とを有する。
前記中央領域は、前記ロードビーム部を形成する部材が接合される中央接合部と、前記中央接合部及び前記第１接合領域の間に延びる第１延在部と、前記中央接合部及び前記第２接合領域の間に延びる第２延在部であって、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして前記第１延在部と対称形状とされた第２延在部とを含む。
【００１２】
より好ましくは、前記中央接合部は、前記第１及び第２延在部よりも幅広とされる。
さらに好ましくは、前記中央接合部は、前記第１及び第２延在部に対して先端側及び基端側の双方向に延在される。
【００１３】
好ましくは、前記第１及び第２延在部のそれぞれは、先端側及び基端側の双方に、対応する前記接合領域に近接するに従って幅広となる外方側湾曲部及び前記中央接合部に近接するに従って幅広となる内方側湾曲部を有し得る。
【００１４】
又、好ましくは、前記弾性板の前記中央接合部は、先端側に位置する先端側平面部であって、前記ロードビーム部を形成する部材に対して平行な姿勢で接合される先端側平面部と、前記先端側平面部から基端側へ延びる中央平面部であって、先端側から基端側へ行くに従って前記ロードビーム部を形成する部材から離間するように前記先端側平面部に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部が連接された中央平面部と、曲げ部を介して前記中央平面部から基端側へ延び、前記ロードビーム部を形成する部材に接合される基端側平面部とを一体的に有し得る。
斯かる構成においては、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装する前の状態では前記中央平面部が前記第１及び第２接合領域並びに前記第１及び第２延在部と同一平面内に位置し、且つ、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装した後の状態では前記第１及び第２延在部が捩られることで前記荷重を発生する。
【００１５】
好ましくは、前記ロードビーム部を形成する部材を挟んで前記弾性板とはディスク面に直交する方向に関し反対側に位置するように、前記支持部に接合された拘束板を備え得る。
前記拘束板は、前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線上において前記ロードビーム部を形成する部材に接触する一又は複数の突起部を有する。前記一又は複数の突起部は前記長手方向中心線を基準にして対称とされる。
例えば、前記拘束板は単一の前記突起部を有するように構成される。前記単一の突起部は、前記磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し所定距離に亘って前記ロードビーム部を形成する部材と接触する。
【００１６】
前記一又は複数の突起部を有する前記拘束板に代えて、前記支持部における前記ディスク面とは反対側の面に接合される接合面と、前記接合面から前記ディスク面へ近接する方向へ折り曲げられた連結面と、前記連結面における自由端辺から折り曲げられ、前記ロードビーム部を形成する部材における前記ディスク面とは反対側の面に面接触した状態で接合される接触面とを有する拘束板を備えることもできる。
前記連結面及び前記接触面の境界線は、前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線上に位置し、且つ、前記長手方向中心線を基準にして対称とされる。
【００１７】
前記種々の構成において、好ましくは、前記ロードビーム部を形成する部材は、前記弾性板に接合される接合領域と、前記接合領域から先端側へ延びる先端側領域と、前記接合領域から基端側へ延びる基端側領域とを有し得る。
【００１８】
より好ましくは、前記ロードビーム部を形成する部材は、幅方向両側に前記弾性板を挟んで長手方向両側に亘って延びるフランジ部を有し得る。
好ましくは、前記フランジ部は、基端側から先端側へ行くに従って高さが低くなるように構成される。
【００１９】
前記ロードビーム部が前記基端側領域を含む構成においては、好ましくは、前記基端側領域に平衡質量体が設けられる。
前記ロードビーム部，前記フレクシャ部及び前記平衡質量体からなるアッセンブリの重心と前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬｇとし、且つ、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心と前記荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬａとした場合に、好ましくは、０≦Ｌｇ≦０．３×Ｌａとなるように前記平衡質量体の質量が設定される。
【００２０】
より好ましくは、前記ロードビーム部の基端側領域よりディスク面側に位置するように前記支持部に接合された制約板を備え得る。
前記制約板は、平面視において、前記平衡質量体の少なくとも一部とオーバーラップするように配置される。
【００２１】
前記制約板に代えて、又は、加えて、前記平衡質量体は、前記ロードビーム部に接合される接合部と、前記接合部より基端側に位置する基端側曲げ部とを有し、前記基端側曲げ部から基端縁に至る部分が基端側へ行くに従って前記接合部よりもディスク面から離間される。
好ましくは、前記平衡質量体は、前記基端側曲げ部の板厚が他の領域の板厚よりも薄くなるように構成される。
【００２２】
好ましくは、絶縁層及び導体層を有する信号配線体が前記フレクシャ部に一体的に積層される。
前記信号配線体は、前記ロードビーム部に直接又は間接的に支持されたロードビーム部側領域と、前記支持部に直接又は間接的に支持された支持部側領域と、前記ロードビーム部側領域及び前記支持部側領域の間において空間中に延びる空中領域とを有する。
【００２３】
一態様においては、前記ロードビーム部側領域及び前記空中領域は、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされ、且つ、前記空中領域は、少なくとも一つの方向転換部を有し得る。
他態様においては、前記ロードビーム部側領域及び前記空中領域は、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線を基準にして対称とされ、且つ、平面視において前記平衡質量体を実質的に囲むように配置され得る。
【００２４】
前記種々の構成において、好ましくは、前記弾性板は、前記フレクシャ部を形成する部材と一体形成され得る。
より好ましくは、前記弾性板の前記第１及び第２延在部には、前記絶縁層及び前記導体層と同一材料からなる減衰部材が一体的に積層される。
【００２５】
又、本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持する支持部であって、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片によって画される先端側に開く凹部を有する支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に関する一端側及び他端側が前記一対の支持片にそれぞれ接合された弾性変形可能な弾性板と、前記弾性板に接合される中央部、前記中央部より先端側に位置し前記ロードビーム部の基端部に接合される先端部及び前記中央部より基端側に位置する基端部を有する平衡質量体とを備えた磁気ヘッドサスペンションを提供する。
前記弾性板は、前記一対の支持片にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域の間に延びる中央領域とを有する。
前記弾性板が前記荷重曲げ部を形成するように、前記中央領域は、前記平衡質量体が接合される中央接合部と、前記中央接合部及び前記第１接合領域の間に延びる第１延在部と、前記中央接合部及び前記第２接合領域の間に延びる第２延在部とを有する。
【００２６】
好ましくは、前記第１及び第２延在部のそれぞれは、先端側及び基端側の双方に、対応する前記接合領域に近接するに従って幅広となる外方側湾曲部及び前記中央接合部に近接するに従って幅広となる内方側湾曲部を有し得る。
【００２７】
好ましくは、前記ロードビーム部を形成する部材は、幅方向中央に位置する中央平板部及び前記中央平板部の幅方向両側に設けられた一対のフランジ部を有するフランジ領域と、前記弾性板を形成する弾性板領域と、前記フランジ領域の前記中央平板部を前記弾性板における前記中央接合部の先端縁に連結する平板状の連結領域とを一体的に有し得る。
より好ましくは、前記平衡質量体の前記先端部は前記一対のフランジ部の間に突入された状態で前記ロードビーム部の前記中央平板部に接合される。
【００２８】
さらに好ましくは、前記平衡質量体は、前記連結領域に対応した位置に先端側曲げ部を有し得る。
斯かる構成において、好ましくは、前記連結領域は、前記フランジ領域の基端部よりも幅狭とされる。
【００２９】
前記種々の構成において、好ましくは、前記平衡質量体は、前記基端部に基端側曲げ部を有し、前記基端側曲げ部から基端縁に至る部分が基端側へ行くに従ってディスク面から離間されるように構成される。
又、好ましくは、前記平衡質量体は、前記曲げ部の板厚が他の領域の板厚よりも薄くされる。
【００３０】
前記種々の構成において、好ましくは、前記弾性板の前記中央接合部は、先端側に位置する先端側平面部であって、前記平衡質量体の前記中央部と平行な姿勢で該中央部に接合された先端側平面部と、前記先端側平面部から基端側へ延びる中央平面部であって、先端側から基端側へ行くに従って前記平衡質量体の前記中央部から離間するように前記先端側平面部に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部が連接された中央平面部と、曲げ部を介して前記中央平面部から基端側へ延び、前記平衡質量体の前記中央部と平衡な姿勢で該中央部に接合された基端側平面部とを有し得る。
斯かる構成においては、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装する前の状態では前記中央平面部が前記第１及び第２接合領域並びに前記第１及び第２延在部と同一平面内に位置し、且つ、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装した後の状態では前記第１及び第２延在部が捩られることで前記荷重を発生する。
【００３１】
前記種々の構成において、好ましくは、前記ロードビーム部，前記フレクシャ部及び前記平衡質量体からなるアッセンブリの重心と前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬｇとし、且つ、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心と前記荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬａとした場合に、０≦Ｌｇ≦０．３×Ｌａとされる。
【００３２】
前記種々の構成において、好ましくは、前記支持片は、基端側に位置する基端部と、前記基端部より先端側に位置し、前記弾性板が接合される先端部とを有し、前記基端部は前記先端部より幅広とされる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、磁気ヘッドサスペンション幅方向一端側及び他端側が支持部によって両持ち支持された弾性板が荷重曲げ部として作用するように構成されているので、外部から衝撃が印可された際に、ロードビーム部の支持点（ロードビーム部及び荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に動くことを効果的に抑制することができ、磁気ヘッドが跳躍する限界加速度を飛躍的に向上させることができる。
【００３４】
前記ロードビーム部を形成する部材を挟んで前記弾性板とはディスク面に直交する方向に関し反対側に位置するように前記支持部に接合された拘束板であって、前記弾性板の荷重曲げ中心線上において前記ロードビーム部に接触する一又は複数の突起部を有する拘束板を備えれば、前記ロードビーム部の支持点の前記動きをより効果的に抑制することができ、磁気ヘッドが跳躍する限界加速度をより向上させることができる。
【００３５】
前記ロードビーム部を形成する部材を挟んで前記弾性板とはディスク面に直交する方向に関し反対側に位置するように前記支持部に接合された拘束板であって、前記支持部に接合される接合面と、前記接合面から前記ディスク面へ近接する方向へ折り曲げられた連結面と、前記連結面における自由端辺から折り曲げられ、前記ロードビーム部における前記ディスク面とは反対側の面に面接触した状態で接合される接触面とを有する拘束板を備え、前記連結面及び前記接触面の境界線が、前記第１及び第２延在部における磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線上に位置し、且つ、前記長手方向中心線を基準にして対称とされるように構成すれば、前記ロードビーム部の支持点の前記動きをより効果的に抑制することができ、磁気ヘッドが跳躍する限界加速度をより向上させることができる。
【００３６】
ロードビーム部が前記弾性板より基端側へ延びる基端側領域を有するように構成し、且つ、前記基端側領域に平衡質量体を設ければ、前記荷重曲げ中心線を基準にして先端側の質量と基端側の質量との平衡化を図ることができ、磁気ヘッドの限界加速度を向上させることができる。
【００３７】
ロードビーム部，フレクシャ部及び平衡質量体からなるアッセンブリの重心と前記荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬｇとし、且つ、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心と前記荷重曲げ中心線との間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬａとした場合に、０≦Ｌｇ≦０．３×Ｌａとなるように前記平衡質量体の質量を設定すれば、該磁気ヘッドサスペンションが使用され得る種々の条件下において、磁気ヘッドの限界加速度を向上させることができる。
【００３８】
ロードビーム部の基端側領域よりディスク面側に位置するように支持部に接合された制約板であって、平面視において、前記平衡質量体の少なくとも一部とオーバーラップするように配置された制約板を備えれば、前記平衡質量体が外部からの衝撃力印可時にディスク面から離間する方向に跳躍したとしても、該平衡質量体が揺れ戻ってディスク面に衝突することを有効に防止できる。また、前記平衡質量体に外部からディスク面に接近する方向に衝撃力が印可された場合も該平衡質量体がディスク面に衝突することを有効に防止できる。
【００３９】
前記弾性板及び前記フレクシャ部を単一部材によって一体形成すれば、製造工程の削減によってコストの低廉化を図ることができる。
【００４０】
前記弾性板及び前記フレクシャ部が一体形成され、且つ、前記フレクシャ部に信号配線体が一体的に積層される構成において、前記弾性板上に、前記信号配線体の絶縁層及び導体層と同一材料からなる減衰部材を積層形成すれば、製造工程の増加を招くことなく、前記減衰部材を備えることができる。
【００４１】
前記第１及び第２延在部の先端側及び基端側の双方に、支持片に接合される接合領域に近接するに従って幅広となる外方側湾曲部及びロードビーム部に接合される中央接合部に近接するに従って幅広となる内方側湾曲部を設ければ、前記第１及び第２延在部における捩れ動作を安定して行うことができる。
【００４２】
前記ロードビーム部に接合される前記弾性板の前記中央接合部が、先端側に位置する先端側平面部であって、前記ロードビーム部を形成する部材に対して平行な姿勢で接合される先端側平面部と、前記先端側平面部から基端側へ延びる中央平面部であって、先端側から基端側へ行くに従って前記ロードビーム部を形成する部材から離間するように前記先端側平面部に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部が連接された中央平面部と、曲げ部を介して前記中央平面部から基端側へ延び、前記ロードビーム部を形成する部材に接合される基端側平面部とを一体的に有するように構成すれば、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装する前の段階において前記第１及び第２延在部に捩り加工を行うことなく、前記磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装状態において前記荷重を発生することができる。
【００４３】
前記平衡質量体が、前記ロードビーム部に接合される接合部と、前記接合部より基端側に位置する基端側曲げ部とを有し、前記基端側曲げ部から基端縁に至る部分が基端側へ行くに従って前記接合部よりもディスク面から離間されているように構成すれば、前記平衡質量体が外部からの衝撃力印可時にディスク面から離間する方向に跳躍したとしても、該平衡質量体が揺れ戻ってディスク面に衝突することを有効に防止できる。また、前記平衡質量体に外部からディスク面に接近する方向に衝撃力が印可された場合も該平衡質量体がディスク面に衝突することを有効に防止できる。
【００４４】
前記平衡質量体が前記弾性板に接合される中央部、前記中央部より先端側に位置し前記ロードビーム部の基端部に接合される先端部及び前記中央部より基端側に位置する基端部を有する構成において、前記ロードビーム部を形成する部材が、幅方向中央に位置する中央平板部及び前記中央平板部の幅方向両側に設けられた一対のフランジ部を有するフランジ領域と、前記弾性板を形成する弾性板領域と、前記フランジ領域の前記中央平板部を前記弾性板における前記中央接合部の先端縁に連結する平板状の連結領域とを一体的に有するように構成すれば、部品点数の削減及び組立工数の削減によるコスト低廉化を図ることができる。
【００４５】
前記平衡質量体に接合される前記弾性板の中央接合部が、先端側に位置する先端側平面部であって、前記平衡質量体の前記中央部と平行な姿勢で該中央部に接合された先端側平面部と、前記先端側平面部から基端側へ延びる中央平面部であって、先端側から基端側へ行くに従って前記平衡質量体の前記中央部から離間するように前記先端側平面部に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部が連接された中央平面部と、曲げ部を介して前記中央平面部から基端側へ延び、前記平衡質量体の前記中央部と平衡な姿勢で該中央部に接合された基端側平面部とを有するように構成すれば、前記磁気ヘッドサスペンションをデータ記憶装置へ実装する前の段階において前記第１及び第２延在部に捩り加工を行うことなく、前記磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装状態において前記荷重を発生することができる。
【００４６】
前記支持片における基端部を、前記弾性板が接合される先端部より幅広とすれば、前記支持部の捩れモードに関する共振周波数を高めることができ、前記磁気ヘッドを所要トラックへ移動させる際の位置決め精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た図）及び下面図（ディスク面側から見た図）を示す。
又、図２に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの斜視図を示す。なお、図１中の符号９０は溶接点である。
【００４８】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部１０と、前記ロードビーム部３０に接合され且つ前記磁気ヘッド１００を支持するフレクシャ部４０とを備えている。
【００４９】
前記支持部１０は、図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１１と、前記一対の支持片１１によって画される先端側に開く凹部１２とを有している。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記支持部１０はアームとされている。前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍ程度のステンレス板によって形成され得る。
なお、前記支持部１０は、図３に示すように、前記アームの代わりに、Ｅブロックのアーム先端にスウェッジ加工により接合されるボス部１５を備えたベースプレートとすることも可能である。
【００５０】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
従って、前記ロードビーム部３０は、前記荷重曲げ部２０や前記フレクシャ部４０よりも板厚の厚い部材によって形成される。該ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板によって形成される。
【００５１】
前記ロードビーム部３０の先端部には、所謂ディンプルと呼ばれる突起３１が設けられている。
前記突起３１は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３１は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３１を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
なお、前記ロードビーム部３０の詳細構成については後述する。
【００５２】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持した状態で前記ロードビーム部３０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１に示すように、前記ロードビーム部３０の下面（ディスク面に対向する側の面）に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００５３】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３１が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３１を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性の部材によって形成される。該フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって形成される。
【００５４】
本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、両持ち支持された弾性板５０によって形成されている。
図４に、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおける前記支持部１０の上面図を示す。
図１〜図４に示すように、前記支持部１０は、磁気ヘッドサスペンションの幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１１と、前記一対の支持片１１によって画される先端側に開く凹部１２とを有している。
そして、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａには、該磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った一端側及び他端側が前記一対の支持片１１にそれぞれ接合された弾性変形可能な前記弾性板５０が備えられており、該弾性板５０が前記荷重曲げ部２０を形成し得るように前記ロードビーム部３０を支持している。
【００５５】
図５に、前記弾性板５０の下面図を示す。
図１，図２及び図５に示すように、前記弾性板５０は、前記一対の支持片１１によって両端支持された状態で前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの幅方向に延びている。
本実施の形態においては、前記弾性板５０は、前記一対の支持片１１におけるディスク面と対向する下面に接合されており、ディスク面とは反対側の上面において前記ロードビーム部３０を支持している。
【００５６】
前記弾性板５０は、図１及び図５等に示すように、前記一対の支持片１１にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂと、前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂの間に延びる中央領域５２とを有している。
前記中央領域５２は、前記ロードビーム部３０を形成する部材が接合される中央接合部５２ｃと、前記中央接合部５２ｃ及び前記第１接合領域５１ａの間に延びる第１延在部５２ａと、前記中央接合部５２ｃ及び前記第２接合領域５１ｂの間に延びる第２延在部５２ｂであって、磁気ヘッドサスペンション１Ａの長手方向中心線ＣＬを基準にして前記第１延在部５２ａと対称形状とされた第２延在部５２ｂとを含んでいる。
【００５７】
前記弾性板５０は、前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂが前記一対の支持片１１のそれぞれに接合されることで拘束された状態で、前記中央領域５２の先端側がディスク面に近接するように捩られ、これにより、前記荷重を発生するようになっている。
【００５８】
図６(a)及び(b)に、それぞれ、前記弾性板５０を備えた磁気ヘッドサスペンション１Ａのデータ記憶装置への実装前の状態及び実装された後の状態の斜視図を示す。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、ハードディスク装置等のデータ記憶装置に実装される前の状態においては、前記弾性板５０における前記中央領域５２の先端側がディスク面に近接するように捩られており、従って、図６(a)に示すように、前記ロードビーム部３０は、先端側がディスク面に近接するように前記支持部１０に対して傾斜姿勢をとる。
【００５９】
斯かる磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図６(b)に示すように、前記弾性板５０が捩り戻された状態、即ち、前記ロードビーム部３０がディスク面に略平行とされた状態で、データ記憶装置に実装される。
この状態においては、前記弾性板５０は、前記ロードビーム部３０の先端側をディスク面に押し付ける方向の弾性を保有しており、この保有弾性が磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の前記荷重として作用する。
【００６０】
図７に、前記弾性板５０の変形例５０Ｂの下面図を示す。
好ましくは、図７に示すように、前記弾性板５０Ｂは、前記中央接合部５２ｃが前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂよりも幅広とされる。
斯かる構成を備えることにより、前記弾性板５０Ｂ及び前記ロードビーム部３０の溶接点を無理なく確保しつつ、前記弾性板５０Ｂの前記捩り加工を容易に行えることができる。
図８(a)及び(b)に、それぞれ、前記変形例に係る前記弾性板５０Ｂの捩り状態（磁気ヘッドサスペンション１Ａのデータ記憶装置への実装前の状態）及び捩り戻し状態（磁気ヘッドサスペンション１Ａのデータ記憶装置への実装後の状態）の上方斜視図を示す。
【００６１】
より好ましくは、図７及び図８に示すように、前記中央接合部５２ｃは、前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂにおける磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線ＢＬを基準にして対称となるように、先端側及び基端側にそれぞれ延在される。
斯かる構成を備えることにより、前記効果を奏しつつ、前記弾性板５０Ｂを前記荷重曲げ中心線ＢＬ回りに容易に捩り加工することができる。
【００６２】
さらに好ましくは、図７及び図８に示すように、前記弾性板５０Ｂは、前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂが前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂよりも幅広形状とされる。
斯かる構成を備えることにより、前記一対の支持片１１と前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂとの間の溶接点を確保しつつ、前記弾性板５０Ｂの捩り加工を容易に行うことができる。
【００６３】
なお、本実施の形態においては、前述の通り、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａをデータ記憶装置に実装する前に前記弾性板５０，５０Ｂに捩り加工を行い、且つ、前記弾性板５０，５０Ｂの捩りを戻すように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａをデータ記憶装置に実装することで、前記荷重を発生させていたが、これに代えて、下記構成を採用することも可能である。
【００６４】
図９に、前記弾性板５０，５０Ｂが前記荷重を発生するように構成する為の変形形態が適用された磁気ヘッドサスペンション１Ｂを示す。なお、図９(a)〜(c)は、それぞれ、前記変形形態が適用された磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図，データ記憶装置への実装前状態の側面図及びデータ記憶装置への実装後状態の側面図を示している。
【００６５】
図９に示すように、前記変形形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記一対の支持片１１は、基端側及び先端側の間の曲げ位置１１ａにおいて先端側がディスク面に近接するように曲げられており、前記弾性板５０は、前記一対の支持片１１のうち前記曲げ位置１１ａより先端側に位置する部分に接合されている。
【００６６】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、データ記憶装置への実装前の状態においては、図９(b)に示すように、前記ロードビーム部３０が先端側へ行くに従ってディスク面に近接するような傾斜姿勢とされている。
そして、前記磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記ロードビーム部３０がディスク面と略平行になるように前記弾性板５０が捩られた状態でデータ記憶装置に実装され、これにより、前記弾性板５０が前記荷重を保有した状態とされる（図９(c)参照）。
【００６７】
このように、本実施の形態１Ａ及び図９に示す変形形態１Ｂにおいては、両端支持された状態の前記弾性板５０，５０Ｂが前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されており、これにより、下記効果を奏し得るようになっている。
【００６８】
即ち、従来の磁気ヘッドサスペンションにおいては、荷重曲げ部は、基端部がアーム等の支持部に支持され、且つ、自由端部においてロードビーム部を支持するように構成された片持ちバネ形態とされていた。
斯かる従来構成においては、外部からの衝撃力印可時に、ロードビーム部の支持点（即ち、ロードビーム部及び荷重曲げ部の接合点）がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。従って、仮に、ロードビーム部を、剛性低下を招くことなく軽量化したり、及び／又は、ロードビーム部の支持点を基準にして該ロードビーム部の先端側及び基端側の質量平衡化を行ったとしても、磁気ヘッドがディスク面に直交する方向に跳躍することを十分には抑えることはできない。
【００６９】
これに対し、本実施の形態１Ａ及び変形形態１Ｂにおいては、両端支持された前記弾性板５０，５０Ｂが前記荷重曲げ部２０として作用するように構成されている。
斯かる構成によれば、外部から衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部３０の支持点（即ち、前記ロードビーム部３０を形成する部材と前記弾性板５０，５０Ｂとの接合点）がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を抑えて、該磁気ヘッド１００の限界加速度を大幅に向上させることができる。
【００７０】
さらに、図９に示す前記変形形態１Ｂにおいては、前記一対の支持片１１の曲げ角度によって、前記荷重の値を設定することができる。従って、前記荷重を安定して制御することができるという効果が得られる。
【００７１】
なお、前記弾性板５０，５０Ｂは、捩り動作によって前記荷重を発生し得るような部材によって形成される。即ち、前記弾性板５０，５０Ｂは、前記ロードビーム部３０よりも板厚の薄い部材によって形成され、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００７２】
図１０に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおける部分拡大上面図を示す。
好ましくは、図１０に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記弾性板５０から先端側へ延び、前記フレクシャ部４０を支持する先端側領域３０ａ部分に加えて、前記弾性板５０から基端側へ延びる基端側領域３０ｂを有し得る。
即ち、前記ロードビーム部３０を形成する部材は、前記弾性板５０に接合される接合領域３０ｃと、前記接合領域３０ｃから先端側へ延びる前記先端側領域３０ａと、前記接合領域３０ｃから基端側へ延びる前記基端側領域３０ｂとを有し得る。
このように、前記ロードビーム部３０に基端側領域３０ｂを設けることにより、前記荷重曲げ中心線ＢＬを基準とした該ロードビーム部３０の質量平衡化を図ることができる。
【００７３】
図１１に前記ロードビーム部３０を示す。なお、図１１(a)〜(d)は、それぞれ、上面図，側面図，図１１(a)におけるｃ−ｃ線断面図及び図１１(a)におけるｄ−ｄ断面図である。
図１０及び図１１等に示すように、前記ロードビーム部３０を形成する部材は、幅方向両側に前記弾性板５０を挟んで長手方向両側に亘って延びるフランジ部３５を有している。
より好ましくは、前記フランジ部３５は、図１１(b)に示すように、基端側から先端側へ行くに従って高さが低くなるように構成される。
斯かる構成を備えることにより、前記ロードビーム部３０の剛性を向上させつつ、該ロードビーム部３０の前記基端側領域３０ｂの質量を前記先端側領域３０ａの質量に比して増大させることができ、これにより、前記ロードビーム部３０の前記荷重曲げ中心線ＢＬを基準とした質量平衡化をより図ることができる。
【００７４】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、図１，図２，図３，図９及び図１０に示すように、前記構成に加えて、前記ロードビーム部３０の前記基端側領域３０ｂに固着された平衡質量体６０を備えている。
斯かる平衡質量体６０を設けることにより、前記基端側領域３０ｂを可及的に短くしつつ、前記弾性板５０を基準にして先端側に位置する部分の質量と基端側に位置する部分の質量との平衡化を図ることができる。
なお、本実施の形態においては、前記基端側領域３０ｂは平面視において前記凹部１２内に収容されるように構成されている。
【００７５】
ここで、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの一例（以下、実施例１という）における限界加速度と図１２に示す従来の磁気ヘッドサスペンションの一例（以下、比較例１という）における限界加速度とを有限要素法に基づき解析する。
【００７６】
前記解析は下記条件にて行った。
実施例１については、前記支持部１０，前記ロードビーム部３０，前記荷重曲げ部２０を形成する前記弾性板５０及び前記フレクシャ部４０を全てステンレス板（ＳＵＳ３０４）とし、板厚は、それぞれ、０．４ｍｍ，０．０２５ｍｍ，０．０２ｍｍ及び０．０２ｍｍとした。
又、実施例１において、前記ロードビーム部３０，前記フレクシャ部４０及び前記平衡質量体６０からなるアッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分の先端側重心ＤＧと前記荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離Ｌａ（図１０参照）は３．３１６ｍｍとし、且つ、前記アッセンブリ全体の重心ＷＧと前記荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離Ｌｇ（図１０参照）は０．２５ｍｍとしている。さらに、実施例１において、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置する部分の基端側重心ＰＧと前記荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離Ｌｂ（図１０参照）は１．５４ｍｍとしている。なお、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置する部分の重心位置は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの共振周波数、特に、ＳＷＡＹモード周波数（ディスク面に平行なシーク方向に磁気ヘッド１００が動く際の共振モード周波数）の低下を避ける為には、可及的に前記曲げ荷重中心線ＢＬに近接させるのが好ましい。）
【００７７】
前記比較例１は、図１２に示すように、前記支持部１０に両端支持されている前記弾性板５０に代えて、前記支持部１０に片持ち支持された弾性板１５０を有している。
詳しくは、前記弾性板１５０は、基端部が前記一対の支持片１１にそれぞれ支持された一対の弾性片１５１と、前記一対の弾性片１５１の自由端部同士を連結する連結片１５２とを有しており、前記連結片１５２に前記ロードビーム部３０が接合されている。
【００７８】
斯かる構成の前記弾性板１５０は、片持ち支持されている前記弾性片１５１が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける為の前記荷重を発生する荷重曲げ部として作用する。
なお、前記比較例１の解析は、前記弾性板１５０の板厚を０．０３４ｍｍとしている点を除き、前記実施例１と同一条件で行った。
【００７９】
前記実施例１及び前記比較例１に対してパルス幅１．００ｍｓｅｃ，１．５０ｍｓｅｃ及び２．００ｍｓｅｃの衝撃波(正弦半波加速度)を加えた際の限界加速度を有限要素法に基づき解析した。この解析結果を図１３に示す。
図１３に示すように、何れのパルス幅の衝撃波に対しても実施例１の限界加速度が比較例１に対して高い値を示している。
特に、比較例１においては、何れのパルス幅においても限界加速度が略一定の値であるのに対し、実施例１においては、衝撃波のパルス幅が大きくなるに従って限界加速度が高い値を示すことが確認できる。なお、パルス幅１．００ｍｓｅｃの衝撃波は、データ記憶装置がコンクリート等の比較的固い物質上に落下した際の衝撃に相当し、パルス幅２．００ｍｓｅｃの衝撃波は、例えば、データ記憶装置が木の机等の比較的柔らかい部材に落下した際の衝撃に相当する。
【００８０】
前記実施例１において前記平衡質量体６０を削除した磁気ヘッドサスペンションの一例（以下、実施例２という）、及び、前記比較例１において前記平衡質量体６０を削除した磁気ヘッドサスペンションの一例（以下、比較例２という）についても、同様の解析を行った。これらの解析結果を図１３に併せて示す。
図１３から明らかなように、平衡質量体６０を有さない態様においても、全てのパルス幅の衝撃波に対して、実施例２の限界加速度が比較例２の限界加速度を上回っている。
【００８１】
さらに、前記実施例１において、前記先端側重心ＤＧ及び前記荷重曲げ中心線ＢＬの間の距離Ｌａに対する前記全体重心ＷＧ及び前記荷重曲げ中心線ＢＬの間の距離Ｌｇの比率Ｋ＝Ｌｇ／Ｌａ（以下、重心位置比率という）を変化させた場合の限界加速度を有限要素法に基づき解析した。この解析結果を図１４に示す。
なお、Ｋ＜０の範囲は、前記アッセンブリ全体の重心位置ＷＧが前記荷重曲げ中心線ＢＬより基端側に位置するように、前記平衡質量体６０の質量が設定されていることを意味している。
【００８２】
図１４から明らかなように、Ｋ＜０の範囲では、印可衝撃波の加速度パルス幅１．０ｍｓｅｃに対する限界加速度が急激に低下している。
又、図１４から明らかなように、Ｋ≦０．４５の範囲内であれば、全てのパルス幅に関し実施例１が比較例１と同等以上の限界加速度特性を有することが確認できる。
従って、重心位置比率Ｋに関しては、０≦Ｋ≦０．４５の範囲が好ましい。
【００８３】
さらに、図１４から明らかなように、Ｋ≦０．３の範囲であれば、パルス幅２．０ｍｓｅｃの衝撃波、即ち、木の机等の比較的柔らかい物質上にデータ記憶装置が落下したような場合において、比較例１よりも明らかに限界加速度を向上させることができる。
従って、磁気ヘッドサスペンションが適用されるデータ記憶装置の使用条件によっては、０≦Ｋ≦０．３となるように前記平衡質量体６０の質量を設定することができる。
【００８４】
さらに、Ｋ≦０．２の範囲であれば、全てのパルス幅の衝撃波に対して、実施例１の限界加速度が比較例１よりも上回ることが確認できる。
従って、より好ましくは、０≦Ｋ≦０．２となるように前記平衡質量体６０の質量を設定することができる。
【００８５】
さらに、前記フランジ部３５の高さが基端側から先端側へ行くに従って低くなるように構成された前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの一例（図１１参照、以下、実施例３という）及び前記フランジ部３５の高さが略一定とされた前記磁気ヘッドサスペンションの一例（図１５参照、以下、実施例４という）に対して、パルス幅１．００ｍｓｅｃ，１．５０ｍｓｅｃ及び２．００ｍｓｅｃの衝撃波を加えた際の限界加速度を有限要素法に基づき解析した。図１６に、この解析結果を示す。
【００８６】
なお、実施例３においては、前記フランジ部３５の折り曲げ角度を７５°とし、該フランジ部３５の高さを最基端側において０．３４５ｍｍ、最先端側において０．１６０ｍｍとしている。一方、実施例４においては、前記フランジ部３５の折り曲げ角度を前記実施例３と同一とし、且つ、該フランジ部３５の高さを最基端側から最先端側へ亘って同一の０．１８０ｍｍとしている。
【００８７】
図１６から明らかなように、基端側から先端側へ行くに従って高さが低くなるように前記フランジ部３５が形成された実施例３は、前記フランジ部３５が一定高さとされた実施例４に比して、全てのパルス幅において限界加速度が向上されている。
【００８８】
好ましくは、前記フレクシャ部４０に、一端部が前記磁気ヘッド１００に電気的に接続され且つ他端部が外部へ電気信号を出力可能とされた信号配線体７０を一体的に積層させることができる。
図１７(a)及び(b)に、それぞれ、前記信号配線体７０が前記フレクシャ部４０に一体的に積層された磁気ヘッドサスペンションの一例１Ｃ及び他例１Ｄの下面図を示す。
【００８９】
詳しくは、図１７に示すように、前記信号配線体７０は、前記フレクシャ部４０を形成する部材に積層された絶縁層７１と、前記絶縁層７１上に積層された導体層７２とを含み、好ましくは、前記導体層を覆う保護層（図示せず）をさらに含み得る。
【００９０】
このように、前記信号配線体７０が前記フレクシャ部４０に一体形成された構成においては、前記信号配線体７０は、好ましくは、前記フレクシャ部４０を介して前記ロードビーム部３０に直接又は間接的に支持されたロードビーム部側領域７０ａと、前記支持部１０に直接又は間接的に支持された支持部側領域７０ｂと、前記ロードビーム部側領域７０ａ及び前記支持部側領域７０ｂの間において空間中に延びる空中領域７０ｃとを有し得る。
【００９１】
図１７(a)に示す磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおいては、前記ロードビーム側領域７０ａ及び前記空中領域７０ｃは、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされ、且つ、前記空中領域７０ｃは、少なくとも一つの方向転換部７４を有している。
図１７(b)に示す磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいては、前記ロードビーム部側領域７０ａ及び前記空中領域７０ｃは、磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線ＢＬを基準にして対称とされ、且つ、平面視において前記平衡質量体６０を実質的に囲むように配置されている。
前記一例１Ｃ及び他例１Ｄにおいては、衝撃波印可時における前記平衡質量体６０の動きが前記信号配線体によって妨げられることを有効に防止できる。
【００９２】
なお、図１７(a)に示す形態においては、前記方向転換部７４として平面視Ｕ字状を採用しており、ディスク回転に伴う空気流によって前記平面視Ｕ字状部分が振動する恐れがあるが、図１７(b)に示す形態においてはこのようなディスク回転に伴う空気流の影響を防止できる。
【００９３】
さらに、前記磁気ヘッドアッセンブリ１Ｃ，１Ｄは、図１７(a)及び(b)に示すように、前記荷重曲げ部２０及び前記フレクシャ部４０の双方を形成するように構成された弾性板５０Ｃを備えている。
即ち、前記弾性板５０Ｃは、前記フレクシャ部４０を形成する部材と一体的に形成されている。
斯かる構成によれば、組立工数の削減及び製造工程の簡素化を図ることができる。
【００９４】
さらに好ましくは、図１８に示すように、前記弾性板５０Ｃの前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂに、粘弾性部材を含む減衰部材７５を備えることができ、これにより、前記弾性板５０Ｃの振動を可及的速やかに停止させることができる。
前記減衰部材７５は、前記長手方向中心線を基準にして対称となるように配置されている。図１８に示す形態は、前記長手方向中心線を基準にして対称配置された一対の前記減衰部材７５を備えている。
【００９５】
前記弾性板５０Ｃが前記フレクシャ部４０を形成する部材と一体形成され、且つ、前記信号配線体７０が前記フレクシャ部４０に一体的に積層される構成においては、前記減衰部材７５は、好ましくは、前記絶縁層７１及び前記導体層７２と同一材料によって形成される。
即ち、前記フレクシャ部４０に前記絶縁層７１及び前記導体層７２を積層する際に、同時に前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂに前記絶縁層７１及び前記導体層７２からなる前記減衰部材７５を積層させることができ、これにより、製造工程の増加を招くことなく前記減衰部材７５を形成することができる。
なお、前記導体層７２にはＣｕ等の金属、前記絶縁層７１にはポリイミド等の樹脂を用いることができる。
【００９６】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１９(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図，下面図及び図１９(a)におけるｃ−ｃ線断面図を示す。
又、図２０に、前記磁気ヘッドサスペンションの斜視図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９７】
図１９及び図２０に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、さらに、前記ロードビーム部３０を形成する部材を挟んで前記弾性板５０とはディスク面に直交する方向に関し反対側において、前記支持部１０に接合された拘束板８０を備えている。
【００９８】
前記拘束板８０は、図１９(a)及び(c)に示すように、前記荷重曲げ中心線ＢＬ上において前記ロードビーム部３０を形成する部材と接触する突起部８１を有している。
【００９９】
本実施の形態においては、図１９に示すように、前記弾性板５０は前記支持部１０の下面に接合され、且つ、前記ロードビーム部３０を形成する部材は前記弾性板５０の上面に接合されている。
従って、前記拘束板８０は、前記突起部８１が下方（ディスク面に近接する方向）へ突出するように前記支持部１０の上面に接合されている。
【０１００】
前記拘束板８０を備えた本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記実施の形態１における効果に加えて、外部から衝撃が印可された際に、前記ロードビーム部３０の支持部（即ち、前記ロードビーム部３０及び前記弾性板５０の接合部）がディスク面と直交する方向に動くことを効果的に防止でき、これにより、磁気ヘッド１００が跳躍する限界加速度をより向上させることができる。
【０１０１】
図２１に、図１に示す前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの一例（実施例１）及び図１９に示す本実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの一例（以下、実施例５という）に対して、パルス幅１．００ｍｓｅｃ，１．５０ｍｓｅｃ及び２．００ｍｓｅｃの衝撃波(正弦半波加速度)を加えた際の限界加速度を有限要素法に基づき解析した結果を示す。
なお、実施例５においては、拘束板の板厚を０．０４５ｍｍとし、その他の条件は実施例１と同一とした。
図２１から明らかなように、印可衝撃波の加速度パルス幅が１．５ｍｓｅｃ及び２．０ｍｓｅｃの場合には、前記拘束板８０を有する前記実施例５が、前記拘束板８０を有さない実施例１に対して２０Ｇ／ｇｆ乃至９０Ｇ／ｇｆ程度高い限界加速度を有することが確認できる。
【０１０２】
なお、本実施の形態においては、図１９に示すように、前記拘束板８０は単一の前記突起部８１を有している。斯かる構成においては、前記突起部８１は、前記荷重曲げ中心線ＢＬ及び前記長手方向中心線ＣＬの交点上で前記ロードビーム部３０に接触される（図１９(a)参照）。
これに代えて、前記拘束板８０に前記突起部８１を複数個、備えることも可能である。このように、前記拘束板８０が複数の前記突起部８１を有する場合には、該複数の突起部８１は、前記荷重曲げ中心線ＢＬ上に位置し、且つ、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして対称に配置される。
【０１０３】
又、前記突起部８１を、図１９に示すような、前記ロードビーム部３０に点接触する構成に代えて、前記ロードビーム部３０に線接触するように構成することも可能である。
図２２に、前記ロードビーム部３０に線接触するように構成された突起部８１Ｂを有する拘束板８１Ｂを備えた磁気ヘッドサスペンションの一例２Ｂを示す。図２２(a)及び(b)は、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション２Ｂの上面図及び図２２(a)におけるｂ−ｂ線断面図を示す。
【０１０４】
図２２に示すように、前記拘束板８０Ｂは単一の突起部８１Ｂを有している。
前記単一の突起部８１Ｂは、前記荷重曲げ中心線ＢＬ上に位置し且つ前記長手方向中心線ＣＬを基準にして対称に配置された状態で、前記磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し所定距離に亘って前記ロードビーム部３０と接触している。
斯かる構成においても、衝撃力印可時に前記ロードビーム部３０の支持点がディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止できる。さらに、共振周波数、特に、Ｔｏｒｓｉｏｎモード周波数(ロードビーム部３０が捩れて磁気ヘッド１００がシーク方向に動く共振モード周波数)を向上させることができる。
【０１０５】
これらに代えて、前記ロードビーム部３０に面接触するように構成された拘束板８０Ｃを備えることも可能である。
図２３に、前記拘束板８０Ｃを備えた磁気ヘッドサスペンション２Ｃを示す。図２３(a)〜(c)は、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション２Ｃの上面図，図２３(a)におけるｂ−ｂ線断面図及び図２３(a)におけるｃ−ｃ線断面図である。
【０１０６】
前記拘束板８０Ｃは、図１９及び図２２における前記拘束板８０，８０Ｂと同様に、前記ロードビーム部３０を形成する部材を挟んで前記弾性板５０とはディスク面に直交する方向に関し反対側に位置するように、前記支持部１０に接合されている。
図示の形態においては、前記弾性板５０は前記支持部１０の下面に接合され、且つ、前記ロードビーム部３０は前記弾性板５０の上面に接合されている。従って、前記拘束板８０Ｃは、前記支持部１０の上面に接合されている。
【０１０７】
詳しくは、前記拘束板８０Ｃは、図２３に示すように、前記支持部１０における上面（前記ディスク面とは反対側の面）に接合される接合面８１Ｃと、前記接合面８１Ｃから前記ディスク面へ近接する方向へ折り曲げられた連結面８２Ｃと、前記連結面８２Ｃにおける自由端辺から折り曲げられ、前記ロードビーム部３０を形成する部材における上面（前記ディスク面とは反対側の面）に面接触した状態で接合される接触面８３Ｃとを有している。
そして、前記連結面８２Ｃ及び前記接触面８３Ｃの境界線は、前記荷重曲げ中心線ＢＬ上に位置し、且つ、前記長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされている。
斯かる構成においても、衝撃力印可時に前記ロードビーム部３０の支持点がディスク面と直交する方向に変動することを有効に防止できる。
【０１０８】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２４(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａの上面図，下面図及び図２４(a)におけるｃ−ｃ線断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０９】
図２４に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション３Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、さらに、前記ロードビーム部３０の基端側領域よりディスク面側に位置するように前記支持部１０に接合された制約板９０を備えている。
前記制約板９０は、平面視において、前記平衡質量体６０の少なくとも一部とオーバーラップするように配置されている。
斯かる制約板９０を備えることにより、衝撃印可時にディスク面から離間する方向へ跳躍した前記平衡質量体６０が、ディスク面に近接する方向へ揺れ戻って該ディスク面と衝突することを有効に防止できる。また、前記平衡質量体６０に外部からディスク面に接近する方向に衝撃力が印可された場合も該平衡質量体がディスク面に衝突することを有効に防止できる。
【０１１０】
前記制約板９０は、図２４(c)に示すように、衝撃が印可されていない通常状態においては、前記平衡質量体６０との間に所定の間隙（例えば、０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ）が存するように前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記制約板９０は、前記一対の支持片１１の下面にそれぞれ接合される第１及び第２接合領域９１ａ，９１ｂと、平面視において前記平衡質量体６０の少なくとも一部とオーバーラップするように前記第１及び第２接合領域９１ａ，９１ｂの間に延びるカバー領域９１ｃとを有している。
そして、前記カバー領域９１ｃは、前記平衡質量体６０の下面との間に前記所定の間隔が存するように、前記支持部１０の下面が位置する平面よりもディスク面側に位置されている。
斯かる制約板９０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【０１１１】
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて前記制約板９０を備えた場合を例に説明したが、当然ながら、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａにおいて前記制約板９０を備えることも可能である。
【０１１２】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２５(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａの上面図及び下面図を示す。
又、図２６に前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの部分側面図を示す。図２６(a)及び(b)は、それぞれ、データ記憶装置への実装前の状態及びデータ記憶装置への実装後の状態を示している。
さらに、図２７及び図２８に、それぞれ、データ記憶装置へ実装された後の状態の前記磁気ヘッドサスペンション４Ａを上方から視た斜視図及び分解斜視図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１１３】
図２５〜図２８に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記平衡質量体６０，前記ロードビーム部３０及び前記弾性板５０に代えて、平衡質量体４６０，ロードビーム部４３０及び弾性板４５０を有している。
【０１１４】
図２９(a)及び(b)に、それぞれ、前記平衡質量体４６０の上面図及び側面図を示す。
図２５〜図２９に示すように、前記平衡質量体４６０は、先端部４６１が前記ロードビーム部４３０の基端部に接合され且つ基端部４６３が前記弾性板４５０を越えて前記凹部１２内において基端側へ延びており、前記先端部４６１及び前記基端部４６３の間の中央部４６２が前記弾性板４５０に接合されている。
即ち、前記平衡質量体４６０は、図２９に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの長手方向に関し、前記弾性板４５０に接合される前記中央部４６２と、前記中央部４６２から先端側に延びて前記ロードビーム部４３０に接合される前記先端部４６１と、前記中央部４６２から基端側に延びる前記基端部４６３とを有している。
【０１１５】
好ましくは、前記平衡質量体４６０は、図２９に示すように、前記基端部４６３に基端側曲げ部４６３ａを有し、前記基端側曲げ部４６３ａから基端縁に至る部分が基端側へ行くに従ってディスク面から離間するように構成される。
斯かる構成を備えることにより、衝撃印可時にディスク面から離間する方向へ跳躍した前記平衡質量体４６０が、ディスク面に近接する方向へ揺れ戻って該ディスク面と衝突することを有効に防止できる。また、前記平衡質量体４６０に外部からディスク面に接近する方向に衝撃力が印可された場合も該平衡質量体４６０がディスク面に衝突することを有効に防止できる。
前記基端側曲げ部４６３ａは、例えば、図２９に示すように、幅方向に沿った溝で、深さが前記平衡質量体の板厚の１／２〜３／４の溝によって形成することができる。
前記溝は、前記基端側曲げ部４６３ａに相当する部分を片側からエッチングすることによって制御性良く形成することができる。
【０１１６】
前記平衡質量体４６０を備えた前記磁気ヘッドサスペンション４Ａにおいても、前記実施の形態１におけると同様に、前記ロードビーム部４３０，前記フレクシャ部４０及び前記平衡質量体４６０からなるアッセンブリの重心ＷＧと前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂにおける磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬｇとし、且つ、前記アッセンブリのうち前記荷重曲げ中心線ＢＬより先端側に位置する部分の重心ＤＧと前記荷重曲げ中心線ＢＬとの間の磁気ヘッドサスペンション長手方向距離をＬａとした場合に、好ましくは０≦Ｌｇ≦０．４５×Ｌａ、より好ましくは０≦Ｌｇ≦０．３×Ｌａ、さらに好ましくは０≦Ｌｇ≦０．２×Ｌａとされる。
【０１１７】
図３０(a)に前記弾性板４５０の平面図を示す。
前記弾性板４５０は、図３０(a)に示すように、前記実施の形態１におけると同様に、前記一対の支持片１１にそれぞれ接合される前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂと、前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂの間に延びる前記中央領域５２とを有している。
そして、前記中央領域５２は、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの幅方向に関し中央に位置する前記中央接合部５２ｃと、前記中央接合部５２ｃ及び前記第１接合領域５１ａの間に延びる第１延在部５２ａと、前記中央接合部５２ｃ及び前記第２接合領域５１ｂの間に延びる第２延在部５２ｂとを含んでいる。
前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂは、前記実施の形態におけると同様に、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称形状とされる。
又、前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂは、それぞれ、前記荷重曲げ中心線ＢＬを基準にして対称形状とされる。
【０１１８】
本実施の形態においては、前述の通り、前記弾性板４５０は前記平衡質量体４６０に接合されている。詳しくは、前記中央接合部５２ｃが前記平衡質量体４６０の前記中央部４６２に接合されている。
【０１１９】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａと同様に、データ記憶装置への実装前の状態において前記ロードビーム部４３０の先端側がディスク面に近接するように前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂが捩られ（図２６(a)参照）、且つ、データ記憶装置へは前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂが捩り戻された状態で実装される（図２６(b)参照）。
【０１２０】
斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション４Ａは、前記各実施の形態におけると同様に、両端支持された前記弾性板４５０が前記荷重曲げ部２０として作用する。
従って、外部から衝撃力が印可された際に、前記ロードビーム部４３０の支持点（即ち、前記ロードビーム部４３０と前記弾性板４５０との接合点）がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止でき、これにより、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を抑えて、該磁気ヘッド１００の限界加速度を大幅に向上させることができる。
【０１２１】
好ましくは、図３０(a)に示すように、前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂのそれぞれは、先端側及び基端側の双方に、対応する前記接合領域５１ａ，５１ｂに近接するに従って幅広となる外方側湾曲部４５５及び前記中央接合部５２ｃに近接するに従って幅広となる内方側湾曲部４５６を有することができる。
斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂが矩形状とされている構成（図３０(b)参照）に比して、前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂにおける捩れ動作を安定して行うことができ、これにより、前記弾性板４５０によるバネ定数のバラツキを抑えることができる。
【０１２２】
本実施の形態においては、図３０(a)に示すように、前記外方側湾曲部４５５及び前記内方側湾曲部４５６は共に円弧状とされている。
斯かる構成においては、好ましくは、前記外方側湾曲部４５５及び前記内方側湾曲部４５６の半径Ｒは、前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂの両端部の幅をＷとした場合に、１／４〜１／３×Ｗとされる。
斯かる構成に代えて、前記各延在部５２ａ，５２ｂにおける先端側及び／又は基端側の前記外方側湾曲部４５５及び前記内方側湾曲部４５６を単一の楕円形状によって形成することも可能である。
【０１２３】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部４３０は、前記弾性板４５０より先端側に位置されている。即ち、前記ロードビーム部４３０は、基端部が前記弾性板４５０より先端側で終焉されている。
斯かる構成においては、好ましくは、図２８に示すように、前記ロードビーム部４３０及び前記弾性板４５０が単一部材によって一体形成される。
斯かる構成によれば、部品点数及び組立工数削減によるコスト低廉化、並びに、組立精度の向上を図っている。
【０１２４】
詳しくは、図２８に示すように、前記ロードビーム部４３０を形成する部材は、幅方向中央に位置する中央平板部４３１及び前記中央平板部４３１の幅方向両側に設けられた一対のフランジ部４３５を有するフランジ領域４３０ａと、前記弾性板４５０を形成する弾性板領域４３０ｃと、前記フランジ領域４３０ａの前記中央平板部４３１を前記弾性板４５０における前記中央接合部５２ｃの先端縁に連結する平板状の連結領域４３０ｂとを一体的に有している。
【０１２５】
このように、前記フランジ領域４３０ａと前記弾性板形成領域４３０ｃとを前記平板状の前記連結領域４３０ｂによって連結することにより、前記フランジ部４３０を有する前記ロードビーム部４３０及び前記弾性板４５０を単一部材によって容易に形成することができる。
【０１２６】
前述の通り、前記連結領域４３０ｂは平板状とされている為、前記連結領域４３０ｂは前記フランジ領域４３０ａに比して低剛性になる。
この点に関し、本実施の形態においては、図２７に示すように、前記平衡質量体４６０の前記先端部４６１を前記一対のフランジ部４３５の間に突入させた状態で、前記平衡質量体４６０の前記先端部４６１を前記中央平板部４３１に接合させている。
即ち、本実施の形態においては、前記平衡質量体４６０が前記連結領域４３０ｂにおける剛性を補強する補強部材としても作用している。
【０１２７】
さらに、前記フランジ領域４３０ａ及び前記弾性板領域４３０ｃを平板状の前記連結領域４３０ｂで連結しつつ、前記平衡質量体４６０の前記先端部４６１を前記一対のフランジ部４３５の間に突入させた状態で前記中央平板部４３１に接合させることにより、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａに対する曲げ加工を前記連結領域４３０ｂにおいて容易に行うことができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａのねじれモードの中心線を前記ディンプル３１の頂点に対して位置合わせする調整作業の容易化を図ることができる。
【０１２８】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａにねじれモードの振動が生じたとしても、ねじれモードの振動の中心線が前記ディンプル３１の頂点を通過する場合には、前記ねじれモードの振動に起因する磁気ヘッド１００の位置ズレを有効に防止できる。
前記ねじれモードの中心線の位置合わせは、前記荷重曲げ部２０よりも先端側において前記ロードビーム部４３０及び前記平衡質量体４６０に曲げ加工を施すことによって行うことができる。
【０１２９】
この点に関し、本実施の形態においては、前述の通り、平板状の前記連結領域４３０ｂによって前記フランジ領域４３０ａと前記弾性板領域４３０ｃとを連結している。従って、前記フランジ部４３５が存在しない前記連結領域４３０ｂにおいて前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの曲げ加工を行うことができ、これにより、前記曲げ加工を精度良く行うことができる。
【０１３０】
より好ましくは、図２８に示すように、前記連結領域４３０ｂは、前記フランジ領域４３０ａの基端部よりも幅狭とされる。
斯かる構成を備えることにより、前記連結領域４３０ｂにおける前記曲げ加工をより容易に行うことができる。
【０１３１】
さらに好ましくは、前記平衡質量体４６０は、図２９に示すように、前記先端部４６１における前記連結領域４３０ｂに対応した位置に先端側曲げ部４６１ａを有し得る。
前記先端側曲げ部４６１ａは、板厚が他の領域の板厚よりも薄く構成される。
斯かる構成を備えることにより、前記平衡質量体４６０を前記ロードビーム部４３０に接合した状態で、前記平衡質量体４６０及び前記ロードビーム部４３０を前記連結領域４３０ｂにおいて容易に曲げ加工することができる。
【０１３２】
前記先端側曲げ部４６１ａは、例えば、図２９に示すように、幅方向に沿った溝で、深さが前記平衡質量体の板厚の１／２〜３／４の溝によって形成することができる。
前記溝は、前記先端側曲げ部４６１ａに相当する部分を片側からエッチングすることによって制御性良く形成することができる。
【０１３３】
実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図３１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション５Ａの上面図及び下面図を示す。
又、図３２に、前記磁気ヘッドサスペンション５Ａの部分側面図を示す。図３２(a)及び(b)は、それぞれ、データ記憶装置への実装前の状態及びデータ記憶装置への実装後の状態を示している。
さらに、図３３に、前記磁気ヘッドサスペンション５Ａのデータ記憶装置への実装後の状態をディスク面側から視た斜視図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜４における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１３４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション５Ａは、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａにおいて、前記弾性板４５０に代えて弾性板５５０を有している。
図３４に、前記弾性板５５０をディスク面側から視た斜視図を示す。
【０１３５】
前記弾性板５５０は、前記各実施の形態における弾性板と同様に、前記一対の支持片１１にそれぞれ接合される前記第１及び第２接合領域と、前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂの間に延びる前記中央領域５２とを有し、前記中央領域５２は、前記平衡質量体４６０が接合される前記中央接合部５２ｃと、前記中央接合部５２ｃ及び前記第１接合領域５１ａの間に延びる前記第１延在部５２ａと、前記中央接合部５２ｃ及び前記第２接合領域５１ｂの間に延びる前記第２延在部５２ｂとを有している。
【０１３６】
前記弾性板５５０は、前記中央接合部５２ｃが下記構成を備えている点において前記各実施の形態における弾性板５０，４５０と相違している。
即ち、本実施の形態においては、前記中央接合部５２ｃは、図３４に示すように、先端側に位置する先端側平面部５５１であって、前記平衡質量体４６０の前記中央部４６２と平行な姿勢で該中央部４６２に接合される先端側平面部５５１と、前記先端側平面部５５１から基端側へ延びる中央平面部５５２であって、先端側から基端側へ行くに従って前記平衡質量体４６０の前記中央部４６２から離間するように前記先端側平面部５５１に対して傾斜され且つ前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂが連接された中央平面部５５２と、曲げ部５５４を介して前記中央平面部５５２から基端側へ延び、前記平衡質量体４６０の前記中央部４６２と平衡な姿勢で該中央部４６２に接合される基端側平面部５５３とを有している。
【０１３７】
前記弾性板５５０は、前記磁気ヘッドサスペンション５Ａがデータ記憶装置へ実装される前の状態においては前記中央平面部５５２が前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂ並びに前記第１及び第２接合領域５１ａ，５１ｂと同一平面内に位置し、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション５Ａがデータ記憶装置へ実装された後の状態においては前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂが捩られることで前記荷重を発生するように構成されている。
【０１３８】
斯かる構成の前記弾性板５５０を備えた前記磁気ヘッドサスペンション５Ａにおいては、データ記憶装置への実装前の状態において前記弾性板５５０に捩り加工を行うことなく、データ記憶装置への実装後には前記荷重を発生することができ、工数削減によるコスト低廉化、及び、前記荷重の安定制御を行うことができる。
【０１３９】
即ち、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａにおいては、前述の通り、データ記憶装置への実装前の状態において前記ロードビーム部４３０の先端側がディスク面に近接するように前記弾性板４５０に捩り加工を行い、且つ、データ記憶装置へ実装する際に前記弾性板４５０を捩り戻すことで前記荷重を発生させている。
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション５Ａにおいては、データ記憶装置への実装前の状態において前記弾性板５５０を捩ることなく、前記ロードビーム部３０の先端側がディスク面に近接するように該ロードビーム部３０が前記支持部１０に対して、前記先端側平面部５５１に対する前記中央平面部５５２の傾斜角に相当する角度で傾斜しており、且つ、データ記憶装置に実装する際に前記ロードビーム部３０の先端側が押し上げられることで、前記弾性板５５０の前記第１及び第２延在部５２ａ，５２ｂが捩られて前記荷重が発生する。
従って、前記弾性板５５０に対する捩り工程を削除できると共に、捩り戻されることで荷重を発生する構成に比して前記荷重の安定化を図ることができる。
【０１４０】
なお、本実施の形態においては、前記弾性板５５０を前記ロードビーム部３０とは別体としているが、前記実施の形態４におけるように、前記弾性板５５０及び前記ロードビーム部３０を単一部材によって一体形成することも可能である。
【０１４１】
又、本実施の形態においては、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａにおいて前記弾性板５５０を備えた構成を例に説明したが、当然ながら、前記弾性板５５０を前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに適用することも可能である。
前記弾性板５５０が前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに適用される場合には、前記先端側平面部５５１は前記ロードビーム部３０を形成する部材に対して平行な姿勢で接合され、前記中央平面部５５２は先端側から基端側へ行くに従って前記ロードビーム部３０を形成する部材から離間するように前記先端側平面部５５１に対して傾斜され、前記基端側平面部５５３は前記曲げ部５５４を介して前記中央平面部５５２から基端側へ延び、前記ロードビーム部３０を形成する部材に接合される。
【０１４２】
実施の形態６
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図３５(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション６Ａの上面図及び下面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜５における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４３】
前記各実施の形態においては、前記一対の支持片１１は基端側から先端側へ至る長手方向全域において同一幅とされている。
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション６Ａは、図３５に示すように、前記弾性板５０が接合される先端部６１１ｂより基端部６１１ａが幅広とされた一対の支持片６１１を有している
【０１４４】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション６Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記支持部１０の代わりに、支持部６１０を有している。
前記支持部６１０は、図３５に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション６Ａの幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片６１１と、前記一対の支持片６１１によって画される先端側に開く凹部１２とを有している。
そして、前記一対の支持片６１１は、基端側に位置する前記基端部６１１ａと、前記基端部６１１ａより先端側に位置し、前記弾性板５０が接合される前記先端部６１１ｂとを含んでおり、前記基端部６１１ａが前記先端部６１１ｂより幅広とされている。
【０１４５】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション６Ａにおいては、前記磁気ヘッドサスペンションに生じ得る振動モードのうちの前記支持部６１０の捩れモードに関する共振周波数を高めることができ、これにより、前記磁気ヘッド１００を所要トラックへ移動させる際の位置決め精度を向上させることができる。
【０１４６】
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態１における磁気ヘッドサスペンション１Ａに前記一対の支持片６１１を備えた構成を例に説明したが、当然ながら、前記一対の支持片６１１を前記他の実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａ〜５Ａに適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４７】
【図１】図１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２】図２は、図１に示す磁気ヘッドサスペンションの斜視図である。
【図３】図３は、支持部としてベースプレートを備えた磁気ヘッドサスペンションの斜視図である。
【図４】図４は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の上面図である。
【図５】図５は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の下面図である。
【図６】図６(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装前状態及び実装後状態の斜視図である。
【図７】図７は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の変形例の下面図である。
【図８】図８(a)及び(b)は、それぞれ、図７に示す弾性板の捩り状態及び捩り戻し状態の斜視図である。
【図９】図９(a)〜(c)は、それぞれ、前記弾性板による荷重を発生させる為の他の構造を備えた磁気ヘッドサスペンションの上面図，実装前状態の側面図及び実装後状態の側面図である。
【図１０】図１０は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの部分拡大上面図である。
【図１１】図１１(a)〜(d)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部の上面図，側面図，図１１(a)におけるｃ−ｃ線断面図及び図１１(a)におけるｄ−ｄ線断面図である。
【図１２】図１２(a)及び(b)は、それぞれ、片持ち支持状態の荷重曲げ部を備えた従来の磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１３】図１３は、実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例１）、実施の形態１に対する変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例２）及び従来の磁気ヘッドサスペンションの一例（比較例１及び２）に対してパルス幅１．００ｍｓｅｃ，１．５０ｍｓｅｃ及び２．００ｍｓｅｃの衝撃波を加えた際の限界速度を有限要素法に基づき解析した結果を示すグラフである。
【図１４】図１４は、前記実施例１において、ロードビーム部，フレクシャ部及び平衡質量体からなるアッセンブリのうち弾性板の荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心（先端側重心）及び前記荷重曲げ中心線の間の距離Ｌａに対する前記アッセンブリ全体の重心（全体重心）及び前記荷重曲げ中心線の間の距離Ｌｇの比率Ｋ＝Ｌｇ／Ｌａ（重心位置比率という）を変化させた場合の限界加速度を有限要素法に基づき解析した結果を示すグラフである。
【図１５】図１５(a)〜(d)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部の変形形態の上面図，側面図及び図１５(a)におけるｃ−ｃ線断面図である。
【図１６】図１６は、フランジ部の高さが基端側から先端側へ行くに従って低くなるように構成された磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例３）及びフランジ部の高さが略一定とされた磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例４）に対して、パルス幅１．００ｍｓｅｃ，１．５０ｍｓｅｃ及び２．００ｍｓｅｃの衝撃波を加えた際の限界速度を有限要素法に基づき解析した結果を示すグラフである。
【図１７】図１７(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの変形形態であって、信号配線体がフレクシャ部に一体的に積層されてなる変形形態の一例及び他例の下面図である。
【図１８】図１８は、前記信号配線体が前記フレクシャ部に一体的に積層されてなる磁気ヘッドサスペンションにおける他の変形例の部分拡大仮面図である。
【図１９】図１９(a)〜(c)は、それぞれ、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面図及び図１９(a)におけるａ−ａ線断面図である。
【図２０】図２０は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの斜視図である。
【図２１】図２１は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例１）及び前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの一例（実施例５）に対して、パルス幅１．００ｍｓｅｃ，１．５０ｍｓｅｃ及び２．００ｍｓｅｃの衝撃波を加えた際の限界速度を有限要素法に基づき解析した結果を示すグラフである。
【図２２】図２２(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態２に対する変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び図２２(a)におけるｂ−ｂ線断面図である。
【図２３】図２３(a)〜(c)は、それぞれ、前記実施の形態２に対する変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，図２３(a)におけるｂ−ｂ線断面図及び図２３(a)におけるｃ−ｃ線断面図である。
【図２４】図２４(a)〜(d)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，下面図及び図２４(a)におけるｃ−ｃ線断面図を示す。
【図２５】図２５(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２６】図２６は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの部分側面図であり、図２６(a)及び(b)は、それぞれ、データ記憶装置への実装前の状態及びデータ記憶装置への実装後の状態を示している。
【図２７】図２７は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装前の状態の上方斜視図である。
【図２８】図２８は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装前の状態の上方分解斜視図である。
【図２９】図２９(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量体の上面図及び側面図である。
【図３０】図３０(a)は、前記実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板の平面図である。図３０(b)は、前記弾性板の変形例の平面図である。
【図３１】図３１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図３２】図３２は、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションの部分側面図であり、図３２(a)及び(b)は、それぞれ、データ記憶装置への実装前の状態及びデータ記憶装置への実装後の状態を示している。
【図３３】図３３は、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションのデータ記憶装置への実装前の状態の下方斜視図である。
【図３４】図３４は、前記実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションにおける弾性板をディスク面側から視た下方斜視図である。
【図３５】図３５(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【符号の説明】
【０１４８】
１Ａ〜１Ｄ，２Ａ〜２Ｃ，３Ａ，４Ａ，５Ａ，６Ａ  磁気ヘッドサスペンション
１０，６１０                  支持部
１１，６１１                  支持片
１２                          凹部
２０                          荷重曲げ部
３０，４３０                  ロードビーム部
３０ａ                        先端側領域
３０ｂ                        基端側領域
３０ｃ                        接合領域
３５                          フランジ部
４０                          フレクシャ部
５０，５０Ｂ，４５０，５５０  弾性板
５１ａ                        第１接合領域
５１ｂ                        第２接合領域
５２                          中央領域
５２ａ                        第１延在部
５２ｂ                        第２延在部
５２ｃ                        中央接合部
６０，４６０                  平衡質量体
７０                          信号配線体
７０ａ                        ロードビーム部側領域
７０ｂ                        支持部側領域
７０ｃ                        空中領域
７４                          方向転換部
７５                          減衰部材
８０，８０Ｂ，８０Ｃ          拘束板
８１，８１Ｂ                  突起部
８１Ｃ                        接合面
８２Ｃ                        連結面
８３Ｃ                        接触面
９０                          制約板
１００                        磁気ヘッド
４３０ａ                      ロードビーム部を形成する部材におけるフランジ領域
４３０ｂ                      ロードビーム部を形成する部材における連結領域
４３０ｃ                      ロードビーム部を形成する部材における弾性板領域
４３５                        フランジ部
４５５                        外方側湾曲部
４５６                        内方側湾曲部
４６１                        平衡質量体の先端部
４６１                        平衡質量体の先端部側曲げ部
４６２                        平衡質量体の中央部
４６３                        平衡質量体の基端部
４６３ａ                      平衡質量体の基端側曲げ部
５５１                        弾性板の先端側平面部
５５２                        弾性板の中央平面部
５５３                        弾性板の基端側平面部
６１１ａ                      支持片の基端部
６１１ｂ                      支持片の先端部
ＢＬ                          長手方向中心線
ＣＬ                          荷重曲げ中心線
ＷＧ                          ロードビーム部，フレクシャ部及び平衡質量体からなるアッセンブリの重心（全体重心）
ＤＧ                          前記アッセンブリのうち荷重曲げ中心線より先端側に位置する部分の重心（先端側重心）
Ｌａ                          荷重曲げ中心線及びアッセンブリの全体重心ＷＧの間の距離
Ｌｇ                          荷重曲げ中心線及びアッセンブリの先端側重心ＤＧの間の距離
【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１５】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３５】
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【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図８】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１６】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２７】
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【図２８】
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【図３３】
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【図３４】
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