(57)【要約】【課題】ガラス基板の種別数が増加してもカセットポートの個数は増加しない移載装置を提供する。【解決手段】加工装置に検査装置が設けられ、Ａ）搬送ロボットは、ガラス基板の搬送順序でカセット内の棚位置順に収納し、空のカセットに連続して収納する機能を有し、Ｂ）基板情報伝達手段は、カセット番号及びガラス基板番号を設定し、カセット番号、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別（欠陥）などの基板情報を修正装置に伝達し、修正装置が修正するガラス基板を抜き出し、修正を行い、元の棚位置に収納する指示、及び、修正しないガラス基板と、修正終了したガラス基板とで充填したカセットを次工程へ搬送する指示をする機能を有する。【選択図】図４
2008304508.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、搬入装置、加工装置、搬出装置（移載装置）で構成されるガラス基板の処理ラインにおいて、
Ｉ）前記加工装置には、当該処理の欠陥に対応した検査装置が設けられており、前記搬出装置（移載装置）は、搬送ロボット、２個のカセットポート、基板情報伝達手段で構成され、
ＩＩ）Ａ）前記搬出装置（移載装置）の搬送ロボットは、
１）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第１カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
２）該カセットがガラス基板で充填された際には、第２カセットポート上に載置されているカセットに、上記１）と同様に、搬送されてきた順序で、第２カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
３）第２カセットポート上に載置されているカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットへのガラス基板の収納中に、第１カセットポート上に載置されたカセットが回収され、新たに第１カセットポート上に供給された空のカセットに、上記１）と同様にして、ガラス基板を収納し、
４）以降、カセットがガラス基板で充填された際には、同様にして、第１カセットポート又は第２カセットポート上に載置されている空のカセットに、交互に連続してガラス基板を収納する機能を有し、
Ｂ）前記搬出装置（移載装置）の基板情報伝達手段は、
１）前記第１カセットポート又は第２カセットポート上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定し、
２）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定し、
３）ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別（欠陥）の基板情報を記録し、
４）該基板情報を、当該処理により発生した種別（欠陥）を修正する修正装置に伝達し、５）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が充填され、カセットポートから回収されたカセットが上記修正装置に搬送されてきた際には、
ａ）修正装置が上記基板情報に基づき、搬送されたカセットから修正を要するガラス基板を抜き出し、修正処理を行い、再び元の棚位置に収納するように指示をし、
ｂ）修正装置が修正を要しないガラス基板と、修正を終了したガラス基板とで充填されたカセットを回収し、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へ搬送するように指示をする、
機能を有することを特徴とするガラス基板の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造ラインにおける基板の移載装置に関するものであり、特に、液晶表示装置用カラーフィルタを製造する処理ラインにて、種別（欠陥）毎に設定されたカセットにガラス基板を区別して収納するすることなく、同一のカセットに各種別のガラス基板を区別せず収納し、当該処理ラインで発生した、修正を要する種別（例えば、種別Ｂ、種別Ｃ）のガラス基板には、対応した修正を施した後に、次工程へと搬送することが可能な、つまり、ガラス基板の種別数が増加しても、カセットポートの個数は増加しないガラス基板の移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１２は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図１３は、図１２に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図１２、及び図１３に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図１２、及び図１３はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００３】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。
【０００４】
ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００５】
このブラックマトリックスの形成は、クロム成膜の処理ラインを用いてガラス基板（４０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯX ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、ブラックマトリックスの処理ラインを用いて、例えば、ポジ型のフォトレジストのエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
【０００６】
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板
上に、着色画素の処理ラインを用いて、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、透明導電膜の処理ラインを用いて、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【０００７】
図１２、及び図１３に示すカラーフィルタは、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーＴＶ、ノート型ＰＣなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
【０００８】
図１２に示すカラーフィルタに追加される機能としては、例えば、保護層、フォトスペーサー、配向制御用突起、光路調整層、光散乱層などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき１機能或いは複数の機能が図１２に示すカラーフィルタに追加される。
【０００９】
図１４は、前記各種の処理ラインの内、着色画素の処理ラインの一例を示す説明図である。図１４に例示する着色画素の処理ライン（１０）は、洗浄装置（１２）、塗布装置（１３）、膜厚／ムラ検査装置（１４）、露光装置（１５）、現像装置（１６）、ポストベーク装置（１７）、検査装置（１８）などの加工装置（Ｋ）と、搬入装置（ＬＤ）及び搬出装置（移載装置）（ＵＬＤ）で構成されている。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。
【００１０】
図１４に示すように、前工程（当該処理ラインの前段の処理ライン）から、例えば、無軌道の無人搬送台車（ＡＧＶ）によって搬送されてきたガラス基板は、搬入装置（ＬＤ）から洗浄装置（１２）へ搬入され、洗浄装置（１２）にて洗浄処理が施される。次に、洗浄装置（１２）から塗布装置（１３）へ搬送され、塗布装置（１３）にてフォトレジストが塗布される。塗布後に膜厚／ムラ検査装置（１４）へ搬送され、フォトレジストの塗膜の検査が行われる。
【００１１】
続いて、露光装置（１５）での露光、現像装置（１６）での現像、ポストベーク装置（１７）でのポストベーク、検査装置（１８）での検査が施され、パターンが形成されたガラス基板は、検査装置（１８）から搬出装置（移載装置）（ＵＬＤ）へと搬出される。
フォトレジストの塗布後に行われる膜厚／ムラ検査装置（１４）は、例えば、光学式非接触の膜厚検査と、マクロ画像を撮像するムラ検査を行うものである。また、検査装置（１８）は、例えば、外観検査装置であり、形成されたパターンの検査を行う。これらは、着色画素の処理ライン内に組み込まれた、所謂、インラインの検査装置である。
【００１２】
図１５は、図１４に示すガラス基板の搬出装置（移載装置）（ＵＬＤ）を拡大して示す平面図である。図１５に示すように、ガラス基板の移載装置（ＵＬＤ）は、ガラス基板を収納するカセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、処理が施されたガラス基板をカセット（ＣＳ）に収納する搬送ロボット（Ｒ）で構成されている。カセットポート（ＣＳＰ）は３個の例であり、各々にはカセット（ＣＳ）が載置されている状態が示されている。
【００１３】
搬送ロボット（Ｒ）は、例えば、上下移動軸に旋回軸、及び水平アームを取り付けた構造であり、搬送ロボット（Ｒ）は、走行装置（図示せず）に搭載され図１５中、点線矢印
で示すように、３個のカセットポート（ＣＳＰ）間を移動できるようになっている。
【００１４】
加工装置（Ｋ）により処理が施され、検査装置（１８）による外観検査が終了したガラス基板は、搬送ロボット（Ｒ）によって順次にカセット（ＣＳ）に収納される。
カセット（ＣＳ）へのガラス基板の収納は、例えば、図１５中、上方のカセットポート（ＣＳＰ）上に載置されたカセット（ＣＳ）から、下方のカセットポート（ＣＳＰ）上に載置されたカセット（ＣＳ）への順序とし、上方のカセット（ＣＳ）がガラス基板で充填されると下方のカセット（ＣＳ）への収納が開始される。
ガラス基板で充填された上方のカセット（ＣＳ）は、移載装置（ＵＬＤ）外へ回収され、空のカセット（ＣＳ）が上方のカセットポート（ＣＳＰ）上に供給される。
【００１５】
さて、近年、前記検査装置（１８）によるガラス基板の外観検査の結果を、例えば、Ａ、Ｂ、Ｃの３水準に種別し、この種別（種別Ａ、種別Ｂ、種別Ｃ）毎に収納するカセットを区別してガラス基板を収納するといった移載方法が採用されるようになってきた。
この種別は、例えば、種別Ａは形成された着色画素に欠陥のないガラス基板、種別Ｂは異物が付着したガラス基板、種別Ｃは色修正を要するガラス基板である。
図１６は、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置（ＵＬＤ）の一例を示す平面図である。この移載装置（ＵＬＤ）は、ガラス基板の種別が３種別である場合に対応した移載装置の例である。
【００１６】
図１６に示すように、この移載装置（ＵＬＤ）は、ガラス基板を収納するカセット（ＣＳ）を載置する６個のカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ６）と、処理が施されたガラス基板をカセット（ＣＳ）に収納する搬送ロボット（Ｒ）で構成されている。搬送ロボット（Ｒ）は、図１６中、点線矢印で示すように、６個のカセットポート（ＣＳＰ）間を移動できるようになっている。
【００１７】
６個のカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ６）の内、２個のカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ２）は、予め、種別Ａに対応したカセットポートとして設定されている。他の２個のカセットポート（ＣＳＰ３〜ＣＳＰ４）は、種別Ｂに対応したカセットポートとして、また残る２個のカセットポート（ＣＳＰ５〜ＣＳＰ６）は、種別Ｃに対応したカセットポートとして設定されている。
【００１８】
加工装置（Ｋ）により処理が施され、検査装置（１８）による外観検査が終了したガラス基板は、搬送ロボット（Ｒ）によってカセット（ＣＳ）に収納されるのであるが、外観検査の結果がＡ水準である種別Ａのガラス基板は、種別Ａのカセットポートとして設定されたカセットポート（ＣＳＰ１〜ＣＳＰ２）上に載置されている、例えば、カセットポート（ＣＳＰ１）上のカセット（ＣＳ）に収納されるようになっている。
【００１９】
同様に、外観検査の結果が種別Ｂのガラス基板は、種別Ｂのカセットポートとして設定されたカセットポート（ＣＳＰ３〜ＣＳＰ４）上に載置されている、例えば、カセットポート（ＣＳＰ３）上のカセット（ＣＳ）に収納され、また、種別Ｃのガラス基板は、種別Ｃのカセットポートとして設定されたカセットポート（ＣＳＰ５〜ＣＳＰ６）上に載置されている、例えば、カセットポート（ＣＳＰ５）上のカセット（ＣＳ）に収納されるようになっている。
【００２０】
移載装置（ＵＬＤ）には、各種別毎に２個のカセットポート（ＣＳＰ）が設けられている。これは、加工装置（Ｋ）のガラス基板の処理能力に対し、カセット（ＣＳ）を回収・供給する処理能力が小さいために設けられている。
【００２１】
ガラス基板が充填されたカセットは、あるタイミングでカセットポート（ＣＳＰ）から
回収され、空のカセットが当該カセットポート（ＣＳＰ）に供給されるのであるが、加工装置（Ｋ）が１枚のガラス基板を処理する時間よりも、カセット（ＣＳ）にガラス基板が充填されてから、カセット（ＣＳ）を回収し次のカセット（ＣＳ）を供給するまでの時間の方が長いために、カセットの供給が間に合わず、加工装置（Ｋ）が一時停止してしまうのを回避するためである。
尚、前記膜厚／ムラ検査装置（１４）による検査結果が不良のガラス基板は、露光装置（１５）に搬送されずに、膜厚／ムラ検査装置（１４）と露光装置（１５）の間で加工装置（Ｋ）から排出されることが多い。
【００２２】
外観検査の結果がＡ水準である種別Ａのガラス基板は、例えば、カセットポート（ＣＳＰ１）上のカセット（ＣＳ）に収納され種別Ａのガラス基板で充填されると、カセットポート（ＣＳＰ１）から回収され、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へと、例えば、ＡＧＶにて搬送される。
また、種別Ｂのガラス基板、例えば、異物が付着したガラス基板は、カセットポート（ＣＳＰ３）上のカセット（ＣＳ）に収納され種別Ｂのガラス基板で充填されると、異物を修正する修正装置へと、例えば、ＡＧＶにて搬送される。
このカセット（ＣＳ）に収納されたガラス基板に異物の修正が施され、修正されたガラス基板はカセット（ＣＳ）単位で、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へと、例えば、ＡＧＶにて搬送される。
【００２３】
同様に、種別Ｃのガラス基板、例えば、色修正を要するガラス基板は、色修正をする修正装置にて修正が施され、修正されたガラス基板はカセット（ＣＳ）単位で、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へと、例えば、ＡＧＶにて搬送される。
【００２４】
上記のように、ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置（ＵＬＤ）は、種別数の増加に伴い、カセットポート（ＣＳＰ）の個数が増加し、移載装置（ＵＬＤ）の大型化を招いている。
移載装置（ＵＬＤ）の大型化は、初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストが増大するといった問題を引き起こしている。
【００２５】
また、カセットポート（ＣＳＰ）の個数が増加により、搬送ロボット（Ｒ）の移動に要する所要時間が長くなり、搬送ロボット（Ｒ）の処理能力が低下することも懸念される。一方この所要時間を長くさせないために、例えば、搬送ロボット（Ｒ）の移動速度を高速にした際には、高速に伴う搬送ロボット（Ｒ）の安定性の低下が懸念されている。
【特許文献１】特開平８−２２５１１３号公報
【特許文献２】特開平８−２２９５１８号公報
【特許文献３】特開２００４−１０９９６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
上記のように、カラーフィルタを製造する各種の処理ラインにて、当該処理の欠陥に対応した検査装置をインラインで処理ライン内に設け、ガラス基板を検査結果で種別区分し、種別に設定されたカセットに収納し、カセット毎に各々対応した修正を施した後に、次工程の処理ラインへと搬送するといった製造方式を採用する際には、処理ラインの搬出装置（移載装置）にては、種別毎に設定されたカセットにガラス基板を収納するので、ガラス基板の種別数が増加すると、カセットポートの個数が増加することになる。このカセットポートの個数の増加は、搬出装置（移載装置）の大型化を招くといった問題を引き起している。
【００２７】
本発明は、この問題を解決するためになされたものであり、種別毎に設定されたカセットにガラス基板を区別して収納するすることなく、同一のカセットに各種別のガラス基板を区別せず収納し、当該処理ラインで発生した、修正を要する種別（例えば、種別Ｂ、種別Ｃ）のガラス基板には、対応した修正を施した後に、次工程へと搬送することが可能な、つまり、ガラス基板の種別数が増加しても、カセットポートの個数は増加しないガラス基板の移載装置を提供することを課題とするものである。
【００２８】
これにより、ガラス基板の種別数が増加しても、カセットポートの個数は増加することなく、従って、移載装置の大型化に伴う初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストの増大を大幅に抑制することが可能となる。
また、搬送ロボットの処理能力の低下、或いは搬送ロボットの安定性の低下を回避することが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明は、少なくとも、搬入装置、加工装置、搬出装置（移載装置）で構成されるガラス基板の処理ラインにおいて、
Ｉ）前記加工装置には、当該処理の欠陥に対応した検査装置が設けられており、前記搬出装置（移載装置）は、搬送ロボット、２個のカセットポート、基板情報伝達手段で構成され、
ＩＩ）Ａ）前記搬出装置（移載装置）の搬送ロボットは、
１）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第１カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
２）該カセットがガラス基板で充填された際には、第２カセットポート上に載置されているカセットに、上記１）と同様に、搬送されてきた順序で、第２カセットポート上に載置されたカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、
３）第２カセットポート上に載置されているカセットがガラス基板で充填された際には、該カセットへのガラス基板の収納中に、第１カセットポート上に載置されたカセットが回収され、新たに第１カセットポート上に供給された空のカセットに、上記１）と同様にして、ガラス基板を収納し、
４）以降、カセットがガラス基板で充填された際には、同様にして、第１カセットポート又は第２カセットポート上に載置されている空のカセットに、交互に連続してガラス基板を収納する機能を有し、
Ｂ）前記搬出装置（移載装置）の基板情報伝達手段は、
１）前記第１カセットポート又は第２カセットポート上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定し、
２）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定し、
３）ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別（欠陥）の基板情報を記録し、
４）該基板情報を、当該処理により発生した種別（欠陥）を修正する修正装置に伝達し、５）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が充填され、カセットポートから回収されたカセットが上記修正装置に搬送されてきた際には、
ａ）修正装置が上記基板情報に基づき、搬送されたカセットから修正を要するガラス基板を抜き出し、修正処理を行い、再び元の棚位置に収納するように指示をし、
ｂ）修正装置が修正を要しないガラス基板と、修正を終了したガラス基板とで充填されたカセットを回収し、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へ搬送するように指示
をする、
機能を有することを特徴とするガラス基板の移載装置である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明は、加工装置には、当該処理の欠陥に対応した検査装置が設けられており、搬出装置（移載装置）は、搬送ロボット、２個のカセットポート、基板情報伝達手段で構成され、
Ａ）搬出装置（移載装置）の搬送ロボットは、１）検査装置による検査を終了したガラス基板が加工装置から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第１カセットポート又は第２カセットポート上に載置されている空のカセット内の棚位置順にガラス基板を収納し、カセットがガラス基板で充填され次第、次の空のカセットにガラス基板を連続して交互に収納する機能を有し、
Ｂ）搬出装置（移載装置）の基板情報伝達手段は、１）第１カセットポート又は第２カセットポート上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定し、
２）検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定し、３）ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別（欠陥）の基板情報を記録し、４）該基板情報を、当該処理により発生した種別（欠陥）を修正する修正装置に伝達し、５）前記検査装置による検査を終了したガラス基板が充填され、カセットポートから回収されたカセットが上記修正装置に搬送されてきた際には、ａ）修正装置が上記基板情報に基づき、搬送されたカセットから修正を要するガラス基板を抜き出し、修正処理を行い、再び元の棚位置に収納するように指示をし、ｂ）修正装置が修正を要しないガラス基板と、修正を終了したガラス基板とで充填されたカセットを回収し、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へ搬送するように指示をする、機能を有する移載装置であるので、同一のカセットに各種別のガラス基板を区別せず収納し、当該処理ラインで発生した、修正を要する種別（例えば、種別Ｂ、種別Ｃ）のガラス基板には、対応した修正を施した後に、次工程へと搬送することが可能な、つまり、ガラス基板の種別数が増加しても、カセットポートの個数は増加しないガラス基板の移載装置となる。
【００３１】
これにより、ガラス基板の種別数が増加しても、カセットポートの個数は増加することなく、従って、移載装置の大型化に伴う初期設備コスト、設置スペース、及び運用コストの増大を大幅に抑制することが可能となる。
また、搬送ロボットの処理能力の低下、或いは搬送ロボットの安定性の低下を回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明によるガラス基板の移載装置の一実施例を示す平面図である。
図１に示すように、本発明によるガラス基板の移載装置（ＵＬＤ−２）は、ガラス基板を収納するカセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、処理が施されたガラス基板をカセット（ＣＳ）に収納する搬送ロボット（Ｒ）と、基板情報伝達手段（３０）とで構成されている。カセットポートは第１カセットポート（ＣＳＰ１１）と第２カセットポート（ＣＳＰ１２）の２個が設けられている。第１カセットポート（ＣＳＰ１１）には第１カセット（ＣＳ１１）が、第２カセットポート（ＣＳＰ１２）には第２カセット（ＣＳ１２）が載置されている状態が示されている。
【００３３】
搬送ロボット（Ｒ）は、例えば、上下移動軸に旋回軸、及び水平アームを取り付けた構造であり、搬送ロボット（Ｒ）は、走行装置（図示せず）に搭載され図１中、点線矢印で
示すように、２個のカセットポート（ＣＳＰ１１〜ＣＳＰ１２）間を移動できるようになっている。
【００３４】
本発明によるガラス基板の移載装置（ＵＬＤ−２）の動作について、以下に、ガラス基板の種別が種別Ａ、種別Ｂ、種別Ｃの３種別であり、加工装置から搬送されてくる１枚目のガラス基板が種別Ａ、２枚目が種別Ｂ、３枚目が種別Ｃであり、４枚目以降のガラス基板の種別の順序は不明である場合をモデルにして説明をする。尚、種別Ａは着色画素に欠陥のないガラス基板、種別Ｂは異物が付着したガラス基板、種別Ａは色修正を要するガラス基板の例である。
【００３５】
図２は、搬送ロボット（Ｒ）が加工装置から搬送されてきたガラス基板を、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）上の第１カセット（ＣＳ１１）へ収納を開始する直前の状態を示す平面図である。加工装置（Ｋ）の検査装置（１８）には１枚目のガラス基板（Ｇ１）、ポストベーク装置（１７）には２枚目のガラス基板（Ｇ２）、現像装置（１６）には３枚目のガラス基板（Ｇ３）が示されている。
【００３６】
また、図３は、搬送ロボット（Ｒ）が加工装置から搬送されてきた３枚目のガラス基板（Ｇ３）までを、第１カセット（ＣＳ１１）へ収納を終了した段階を示した第１カセットの側断面図である。図３中、白太矢印は搬送ロボット（Ｒ）がガラス基板を第１カセット（ＣＳ１１）へ収納する方向を示し、第１カセット（ＣＳ１１）の上部から下部に向かう矢印は、ガラス基板を収納する棚位置順を表している。尚、ガラス基板を保持する棚爪は省略してある。
【００３７】
図２及び図３に示すように、搬送ロボット（Ｒ）は、検査装置による検査を終了したガラス基板が、加工装置（Ｋ）から搬送されてきた際に、搬送されてきた順序で、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）上に載置された第１カセット（ＣＳ１１）内の棚位置順にガラス基板を収納する。
搬送ロボット（Ｒ）は、１枚目のガラス基板（Ｇ１）を第１カセット（ＣＳ１１）内の棚位置順１（最上段）へ収納し、２枚目のガラス基板（Ｇ２）を棚位置順２へ収納し、３枚目のガラス基板（Ｇ３）を棚位置順３へ収納する。
【００３８】
図４は、搬送ロボット（Ｒ）が、４枚目以降のガラス基板（Ｇ４〜）を、そのガラス基板が搬送されてきた順序で、第１カセット（ＣＳ１１）内の棚位置順４以降へ収納し、（ｉ−１）枚目のガラス基板（Ｇ（ｉ−１））にて第１カセット（ＣＳ１１）が充填された状態を示している。
第１カセット（ＣＳ１１）がガラス基板で充填されると、第２カセットポート（ＣＳＰ１２）上に載置されている第２カセット（ＣＳ１２）に、上記と同様に、ｉ枚目のガラス基板（Ｇｉ）から搬送されてきた順序で、第２カセット（ＣＳ１２）内の棚位置順にガラス基板を収納する。
【００３９】
ガラス基板が充填された第１カセット（ＣＳ１１）は、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）から回収され、図５に示すように、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）上には新たに空の第３カセット（ＣＳ１３）が供給される。この第３カセット（ＣＳ１３）の供給は、第２カセットポート（ＣＳＰ１２）上の第２カセット（ＣＳ１２）がガラス基板で充填されてしまう前までに完了している。
【００４０】
第２カセットポート（ＣＳＰ１２）上の第２カセット（ＣＳ１２）が（ｎ−１）枚目のガラス基板（Ｇ（ｎ−１））で充填されると、搬送ロボット（Ｒ）は、ｎ枚目のガラス基板（Ｇｎ）以降のガラス基板を、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）上の空の第３カセット（ＣＳ１３）へ収納する。
以降、カセットがガラス基板で充填されると、同様にして、搬送ロボット（Ｒ）は、第１カセットポート又は第２カセットポート上に載置されている空のカセットに、交互に連続してガラス基板を収納する。
【００４１】
上記のように、カセットポート上に空のカセットが供給され、搬送ロボットはガラス基板をカセットに収納し、ガラス基板が充填されたカセットはカセットポートから回収されるといった作業の間に、移載装置の基板情報伝達手段（３０）は、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）又は第２カセットポート（ＣＳＰ１２）上に供給される空のカセットに、カセットポート上への供給順にカセット番号を設定する。
【００４２】
図２に示す符号（ＣＳ１１）は、カセットポート（ＣＳＰ）上に最初に供給された空のカセットに、基板情報伝達手段（３０）が設定した該カセットのカセット番号を表している。また、図４に示す符号（ＣＳ１２）は、カセットポート（ＣＳＰ）上に２番目に供給された空のカセットに、基板情報伝達手段（３０）が設定した該カセットのカセット番号を表している。また、図５に示す符号（ＣＳ１３）は、同様に基板情報伝達手段（３０）が設定した該カセットのカセット番号を表している。
【００４３】
また、基板情報伝達手段（３０）は、検査装置による検査を終了したガラス基板が加工装置から搬送されてきた際には、ガラス基板に、搬送されてきた順でガラス基板番号を設定する。
図３に示す符号（Ｇ１（Ａ））の（Ｇ１）は、加工装置から最初に搬送されてきたガラス基板に、基板情報伝達手段（３０）設定した該ガラス基板のガラス基板番号である。また、（Ａ）は、このガラス基板の検査装置（１８）による検査結果が種別Ａであることを示すものであり、検査装置（１８）がら基板情報伝達手段（３０）へ伝達されたものである。
【００４４】
また、基板情報伝達手段（３０）は、ガラス基板で充填されたカセット毎のカセット番号、及び該カセットに収納されたガラス基板毎の、ガラス基板番号、カセット内の棚位置番号、検査結果の種別（欠陥）などの基板情報を基板情報伝達手段（３０）内に記録する。また、基板情報伝達手段（３０）は、この基板情報を当該処理により発生した種別（欠陥）を修正する修正装置に伝達する。
【００４５】
図４に示すように、基板情報伝達手段（３０）は、例えば、ガラス基板が充填された第１カセット（ＣＳ１１）が第１カセットポート（ＣＳＰ１１）から回収される際に、上記基板情報をカセット単位で、後述する、異物を修正する修正装置（２０Ｂ）、及び色修正をする修正装置（２０Ｃ）に伝達する。
【００４６】
図６は、種別Ｂのガラス基板、すなわち、異物が付着したガラス基板を修正する修正装置の一例の平面図である。図６に示すように、この異物を修正する修正装置（２０Ｂ）は、異物修正部（２１Ｂ）と移載装置（ＵＬＤ−Ｂ）で構成され、移載装置（ＵＬＤ−Ｂ）は、カセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、カセット（ＣＳ）と異物修正部（２１Ｂ）間でガラス基板を往復移載する搬送ロボット（Ｒ）と、修正装置の基板情報伝達手段（３０Ｂ）で構成されている。
カセットポート（ＣＳＰ）は、第１カセットポート（ＣＳＰ２１）と第２カセットポート（ＣＳＰ２２）の２個が設けられており、例えば、ＡＧＶによって、前記処理ラインの移載装置（ＵＬＤ）から搬送されてきた第１カセット（ＣＳ１１）が第１カセットポート（ＣＳＰ２１）上に供給された状態が示されている。
【００４７】
図７は、異物を修正する修正装置（２０Ｂ）の第１カセットポート（ＣＳＰ２１）上に載置された第１カセット（ＣＳ１１）内に収納されているガラス基板の内、異物が付着し
た種別Ｂのガラス基板（Ｇ２（Ｂ））を搬送ロボット（Ｒ）が抜き出している状態を示したものである。
【００４８】
図６及び図７に示すように、前記検査装置による検査を終了したガラス基板で充填され、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）から回収された第１カセット（ＣＳ１１）が上記修正装置（２０Ｂ）に搬送されてきた際には、前記基板情報が伝達された修正装置（２０Ｂ）の基板情報伝達手段（３０Ｂ）は、処理ラインの基板情報伝達手段（３０）からの指示に従い、報伝された基板情報に基づき、１）搬送ロボット（Ｒ）は搬送された第１カセット（ＣＳ１１）から修正を要する２枚目のガラス基板（Ｇ２（Ｂ））を抜き出して異物修正部（２１Ｂ）に搬入し、２）異物修正部（２１Ｂ）は異物の修正処理を行い、３）搬送ロボット（Ｒ）は再び元の棚位置に、修正されたガラス基板（Ｇ２（Ｂ））を収納するといった修正作業を行わせる。
【００４９】
図７における４枚目以降のガラス基板の種別は不明なものとなっているが、種別Ｂのガラス基板は、２枚目のガラス基板と同様に、異物の修正処理が施され、元の棚位置に収納される。
【００５０】
第１カセット（ＣＳ１１）内の種別Ｂのガラス基板への修正処理が終了すると、第１カセット（ＣＳ１１）は移載装置（ＵＬＤ−Ｂ）の第１カセットポート（ＣＳＰ２１）から回収され、例えば、ＡＧＶによって、色修正をする修正装置（２０Ｃ）へと搬送される。尚、この段階の第１カセット（ＣＳ１１）には、修正を要しない種別Ａのガラス基板と、種別Ｂの修正が施されたガラス基板と、修正が未だ施されていない種別Ｃのガラス基板が収納されている。
【００５１】
図８は、種別Ｃのガラス基板、すなわち、色修正を要するガラス基板を修正する修正装置の一例の平面図である。図８に示すように、この異物を修正する修正装置（２０Ｃ）は、色修正部（２１Ｃ）と移載装置（ＵＬＤ−Ｃ）で構成され、移載装置（ＵＤＬ−Ｃ）は、カセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、カセット（ＣＳ）と色修正部（２１Ｃ）間でガラス基板を往復移載する搬送ロボット（Ｒ）と、修正装置の基板情報伝達手段（３０Ｃ）で構成されている。
カセットポート（ＣＳＰ）は、第１カセットポート（ＣＳＰ３１）と第２カセットポート（ＣＳＰ３２）の２個が設けられており、例えば、ＡＧＶによって、前記処理ラインの移載装置（ＵＬＤ）から搬送されてきた第１カセット（ＣＳ１１）が第１カセットポート（ＣＳＰ３１）上に供給された状態が示されている。
【００５２】
図９は、色修正する修正装置（２０Ｃ）の第１カセットポート（ＣＳＰ３１）上に載置された第１カセット（ＣＳ１１）内に収納されているガラス基板の内、色修正を要する種別Ｃのガラス基板（Ｇ３（Ｃ））を搬送ロボット（Ｒ）が抜き出している状態を示したものである。
【００５３】
図８及び図９に示すように、前記検査装置による検査を終了したガラス基板で充填され、第１カセットポート（ＣＳＰ１１）から回収された第１カセット（ＣＳ１１）が上記修正装置（２０Ｃ）に搬送されてきた際には、前記基板情報が伝達された修正装置（２０Ｃ）の基板情報伝達手段（３０Ｃ）は、処理ラインの基板情報伝達手段（３０）からの指示に従い、報伝された基板情報に基づき、１）搬送ロボット（Ｒ）は搬送された第１カセット（ＣＳ１１）から修正を要する３枚目のガラス基板（Ｇ３（Ｃ））を抜き出して色修正部（２１Ｃ）に搬入し、２）色修正部（２１Ｃ）は色修正処理を行い、３）搬送ロボット（Ｒ）は再び元の棚位置に、修正されたガラス基板（Ｇ３（Ｃ））を収納するといった修正作業を行わせる。
【００５４】
図９における４枚目以降のガラス基板の種別は不明なものとなっているが、種別Ｃのガラス基板は、３枚目のガラス基板と同様に、色修正処理が施され、元の棚位置に収納される。
【００５５】
第１カセット（ＣＳ１１）内の種別Ｃのガラス基板への修正処理が終了すると、第１カセット（ＣＳ１１）は移載装置（ＵＬＤ−Ｃ）の第１カセットポート（ＣＳＰ３１）から回収され、例えば、ＡＧＶによって、次工程（当該処理ラインの後段の処理ライン）へと搬送される。
尚、この段階の第１カセット（ＣＳ１１）には、修正を要しない種別Ａのガラス基板と、種別Ｂの修正が施されたガラス基板と、種別Ｃの修正が施されたガラス基板が収納されている。
【００５６】
図１０は、着色画素の処理ラインで発生した欠陥（異物及び色）を修正する修正装置の他の例を示す平面図である。図１０に示すように、この修正装置（２０Ｄ）は、図６に示す異物修正部（２１Ｂ）と、図８に示す色修正部（２１Ｃ）と、移載装置（ＵＬＤ−Ｄ）で構成されている。
移載装置（ＵＬＤ−Ｄ）は、カセット（ＣＳ）を載置するカセットポート（ＣＳＰ）と、カセット（ＣＳ）と異物修正部（２１Ｂ）と色修正部（２１Ｃ）の三者間でガラス基板を自在に移載する搬送ロボット（Ｒ）と、修正装置の基板情報伝達手段（３０Ｄ）で構成されている。
【００５７】
カセットポート（ＣＳＰ）は、第１カセットポート（ＣＳＰ４１）と第２カセットポート（ＣＳＰ４２）の２個が設けられており、前記処理ラインの移載装置（ＵＤＬ）の第１カセットポート（ＣＳＰ１１）から搬送されてきた第１カセット（ＣＳ１１）が第１カセットポート（ＣＳＰ４１）上に供給されている状態が示されている。
【００５８】
基板情報伝達手段（３０Ｄ）の指示に従い、１）搬送ロボット（Ｒ）は、第１カセットポート（ＣＳＰ４１）上の第１カセット（ＣＳ１１）から種別Ｂのガラス基板（Ｇ（Ｂ））を抜き出して異物修正部（２１Ｂ）に搬入し、２）異物修正部（２１Ｂ）は異物の修正処理を行い、３）搬送ロボット（Ｒ）は再び元の棚位置に、修正されたガラス基板（Ｇ（Ｂ））を収納する。
又は、１）搬送ロボット（Ｒ）は、第１カセットポート（ＣＳＰ４１）上の第１カセット（ＣＳ１１）から種別Ｃのガラス基板（Ｇ（Ｃ））を抜き出して色修正部（２１Ｃ）に搬入し、２）色修正部（２１Ｃ）は色修正処理を行い、３）搬送ロボット（Ｒ）は再び元の棚位置に、修正されたガラス基板（Ｇ（Ｃ））を収納する。
【００５９】
或いは、ガラス基板が、種別Ｂ及び種別Ｃの欠陥を有するガラス基板（Ｇ（Ｂ、Ｃ））の場合には、１）搬送ロボット（Ｒ）は、第１カセットポート（ＣＳＰ４１）上の第１カセット（ＣＳ１１）からガラス基板（Ｇ（Ｂ、Ｃ））を抜き出して異物修正部（２１Ｂ）に搬入し、２）異物修正部（２１Ｂ）は異物の修正処理を行い、３）搬送ロボット（Ｒ）は、ガラス基板（Ｇ（Ｂ、Ｃ））を異物修正部（２１Ｂ）から色修正部（２１Ｃ）に搬入し、４）色修正部（２１Ｃ）は色修正処理を行い、３５搬送ロボット（Ｒ）は再び元の棚位置に、修正されたガラス基板（Ｇ（Ｂ、Ｃ））を収納する。
【００６０】
図１１は、本発明における、各基板情報伝達手段間の情報伝達経路の一例を示す平面図である。図１１に示す各基板情報伝達手段（３０、３０Ｂ、３０Ｃ）としては、例えば、ＰＬＣ（プログラマブルコントローラ）、或いはＰＣ（パーソナルコンピュータ）を用いることができる。
図１１に示す例は、前記処理ラインの移載装置（ＵＬＤ）の基板情報伝達手段（３０）と、異物を修正する修正装置（２０Ｂ）の基板情報伝達手段（３０Ｂ）と、色修正する修正装置（２０Ｃ）の基板情報伝達手段（３０Ｃ）とが有線で接続された例である。情報伝達経路としては、例えば、ＩＣタグのような、記憶媒体を用いることによってワイヤレスにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明によるガラス基板の移載装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】搬送ロボットが第１カセットポート上の第１カセットへ収納ガラス基板のを開始する直前の状態を示す平面図である。
【図３】搬送ロボットが３枚目のガラス基板までを、第１カセットへ収納を終了した段階を示した側断面図である。
【図４】第１カセットが（ｉ−１）枚目のガラス基板にて充填された状態の説明図である。
【図５】第１カセットが、第１カセットポートから回収され、新たに空の第３カセットが供給される説明図である。
【図６】異物が付着したガラス基板を修正する修正装置の一例の平面図である。
【図７】第１カセット内のガラス基板の内、異物が付着した種別Ｂのガラス基板を抜き出している状態の説明図である。
【図８】色修正を要するガラス基板を修正する修正装置の一例の平面図である。
【図９】第１カセット内のガラス基板の内、色修正を要する種別Ｃのガラス基板を抜き出している状態の説明図である。
【図１０】着色画素の処理ラインで発生した欠陥（異物及び色）を修正する修正装置の他の例を示す平面図である。
【図１１】本発明における各基板情報伝達手段間の情報伝達経路の一例を示す平面図である。
【図１２】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図１３】図１２に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図１４】着色画素の処理ラインの一例を示す説明図である。
【図１５】図１４に示すガラス基板の搬出装置（移載装置）を拡大して示す平面図である。
【図１６】ガラス基板の種別毎に収納するカセットを区別して収納する移載装置の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０・・・着色画素の処理ライン
１２・・・洗浄装置
１３・・・塗布装置
１４・・・膜厚／ムラ検査装置
１５・・・露光装置
１６・・・現像装置
１７・・・ポストベーク装置
１８・・・検査装置
２０Ｂ・・・異物を修正する修正装置
２０Ｃ・・・色修正をする修正装置
２０Ｄ・・・異物及び色修正をする修正装置
２１Ｂ・・・異物修正部
２１Ｃ・・・色修正部
３０・・・処理ラインの基板情報伝達手段
３０Ｂ・・・異物を修正する修正装置の基板情報伝達手段
３０Ｃ・・・色修正をする修正装置の基板情報伝達手段
３０Ｄ・・・異物及び色修正をする修正装置の基板情報伝達手段
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
ＣＳ・・・カセット
ＣＳＰ・・・カセットポート
ＣＳ１１・・・第１カセット
ＣＳ１２・・・第２カセット
ＣＳ１３・・・第３カセット
ＣＳＰ１１、ＣＳＰ２１、ＣＳＰ３１、ＣＳＰ４１・・・第１カセットポート
ＣＳＰ１２、ＣＳＰ２２、ＣＳＰ３２、ＣＳＰ４２・・・第２カセットポート
Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４・・・１枚目、２枚目、３枚目、４枚目のガラス基板
Ｇ１（Ａ）・・・１枚目の種別Ａのガラス基板
Ｇ２（Ｂ）・・・２枚目の種別Ｂのガラス基板
Ｇ３（Ｃ）・・・４枚目の種別Ｃのガラス基板
Ｇｉ、Ｇｎ・・・ｉ枚目、ｎ枚目のガラス基板
Ｇ（Ａ）、Ｇ（Ｂ）、Ｇ（Ｃ）、Ｇ（Ｂ、Ｃ）・・・種別Ａ、Ｂ、Ｃ、ＢとＣ、のガラス基板
Ｇ（ｉ−１）・・・第１カセットに最後に収納されるガラス基板
Ｇ（ｎ−１）・・・第２カセットに最後に収納されるガラス基板
Ｋ・・・加工装置
ＬＤ・・・搬入装置
Ｒ・・・搬送ロボット
ＵＬＤ・・・搬出装置（移載装置）
ＵＬＤ−２・・・本発明によるガラス基板の移載装置
ＵＬＤ−Ｂ・・・異物を修正する修正装置の移載装置
ＵＬＤ−Ｃ・・・色修正をするの修正装置の移載装置
ＵＬＤ−Ｄ・・・異物及び色修正をするの修正装置の移載装置
【図１】
2008304508.tif 000003
【図２】
2008304508.tif 000004
【図３】
2008304508.tif 000005
【図４】
2008304508.tif 000006
【図５】
2008304508.tif 000007
【図６】
2008304508.tif 000008
【図７】
2008304508.tif 000009
【図８】
2008304508.tif 000010
【図９】
2008304508.tif 000011
【図１０】
2008304508.tif 000012
【図１１】
2008304508.tif 000013
【図１２】
2008304508.tif 000014
【図１３】
2008304508.tif 000015
【図１４】
2008304508.tif 000016
【図１５】
2008304508.tif 000017
【図１６】
2008304508.tif 000018