(57)【要約】【課題】  現在使用されているグライドヘッドのＴＤＶとＴＯＶの差は少なくとも３〜４（ｍ／ｓ）ある。グライドヘッドと磁気ディスクの吸着を避けるため、ＴＤＶより３〜４（ｍ／ｓ）大きな周速で使用している。大きな周速で測定することによりＳ／Ｎ悪化、振動による浮上高さや浮上姿勢の崩れにより吸着現象を引き起こし易くなっていた。【解決手段】  負圧浮上型スライダーは、少なくとも一つの溝部を設けたクロスレール型浮上レールと、浮上レールの空気流入側に設けた浮上レール面より深い段差を有する空気導入面と、空気導入面より深い段差を有する負圧面を有し、浮上レールの流入溝部の溝幅は、空気流入側が広く空気流出側が狭い漏斗型とする。漏斗の中心線に対する開口角度を１５度以上６０度以下することで、ＴＤＶとＴＯＶの差を１ｍ／ｓ以下とする。【選択図】      図１
2008217878.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する磁気ディスクに対向するスライダー面に、正の浮上圧力を発生させる浮上レー
ルと負の浮上圧力を発生させる負圧面が形成され、スライダー背面に設けられた荷重点か
ら加えられる、スライダーを磁気ディスクに押付ける荷重と浮上圧力のバランスで、スラ
イダーを磁気ディスクから所定の浮上高さで浮上させ、磁気ディスクとスライダーとの接
触あるいは衝突を、圧電素子もしくはＡＥセンサーにて検出する磁気ディスク用グライド
ヘッドであって、磁気ディスクの回転数を下げて行きスライダーが磁気ディスクの潤滑剤
と摺動を開始する速度（ＴＤＶ）と、磁気ディスクの回転数を上げて行き浮上ヘッドが磁
気ディスクから再浮上して摺動が終了する速度（ＴＯＶ）の差が、１．０（ｍ／ｓ）以下
であることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項２】
スライダーは、少なくとも一つの溝部を設けたクロスレール型浮上レールと、浮上レー
ルの空気流入側に設けた浮上レール面より深い段差を有する空気導入面と、空気導入面よ
り更に深い段差を有する負圧面を有し、浮上レールの溝部の溝幅は、空気流入側が広く空
気流出側が狭いことを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項３】
浮上レールの溝部側面はスライダー中心線に対し、１５度以上６０度以下の角度を有し
ていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、磁気ディスクの製造検査等に使用される磁気ディスク用グライドヘッドに
係るものである。
【背景技術】
【０００２】
高密度磁気記録を達成するため、線記録密度とトラック密度を上げる方法が従来から取
られてきた。線記録密度及びトラック密度を上げるに従い、記録再生する磁気ヘッドと磁
気ディスクの磁性層表面間との距離である磁気的間隔量を低減することが必要である。磁
気的間隔量は、磁気ディスク表面の保護膜厚と潤滑膜厚、記録再生ヘッドの浮上量、記録
再生ヘッドの磁極保護膜厚の総和である。そのため、各々の膜厚や浮上量を小さくするこ
とが検討されている。
【０００３】
磁気的間隔量を低減すると、一般にヘッドクラッシュと言われる磁気記憶装置にとって
致命的な事故が起こる危険性が増大するものである。ヘッドクラッシュを引起す原因は種
々あるが、その内の一つとして磁気ディスク表面の突起が挙げられる。記録再生磁気ヘッ
ドが磁気ディスクの比較的大きな突起に何度も衝突し、その突起部分から磁気ディスク表
面の損傷が広範囲に拡大して、記録や再生ができなくなるヘッドクラッシュが発生する。
また、磁気ディスク表面の損傷で発生した粉塵により、磁気ディスク表面や記録再生磁気
ヘッドに機械的な傷を与え、記録や再生ができなくなる。この様なヘッドクラッシュを引
起す原因の一つである磁気ディスク表面の突起は、磁気ディスクの製造工程で主に発生し
ている。磁気ディスクはアルミニウム合金やガラスなどの非磁性基板に下地膜と磁性膜、
保護膜、潤滑膜を順次積層した構造となっている。下地膜や磁性膜、保護膜はスパッター
装置を用いて形成される。スパッター装置内で付着した異物、スパッター装置外の工程で
付着した異物が突起になると考えられる。
【０００４】
磁気ディスクの突起は、バーニシュヘッドと呼ばれる摺動型ヘッドで除去した後、磁気
ディスク用グライドヘッド（以後、グライドヘッドと言う）と呼ばれる検査ヘッドを用い
突起の高さが所定内に有るか否かを検査している。突起に対しては、グライドヘッドで突
起高さや数を定量的に測定することができる。グライドヘッドを用いて突起を検出する方
法に付いては、特許文献１から３に開示されているので、詳細の説明については省略する
。グライドヘッドには、突起との衝突力を電気信号に変換する方式で、圧電式やＡＥ（Ａ
ｃｏｕｓｔｉｃ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）式がある。
【０００５】
【特許文献１】特開平０７−３２６１４９号
【特許文献２】特開平１１−１６１６３号
【特許文献３】特開２０００−９７６８２号
【０００６】
２本の正の浮上圧力を発生させる浮上レールを有する圧電式のグライドヘッドを、図５
に示し構造を簡単に説明する。スライダー５０は２本の浮上レール３を有しており、空気
は流入端６から空気導入部５と浮上レールに導入され、正の浮上圧力を発生させ流出端７
より排出される。空気導入部５は空気を取込み易くするため、０．２度から２．０度の傾
斜面となっている。スライダーの側面には張出し部４が設けられ、張出し部４の背面側に
圧電素子９が配されている。スライダーの流出端７近傍が磁気ディスクの突起等と衝突す
ると振動が発生する。その振動はスライダー５０を伝わり圧電素子９で電気信号となる。
電気信号は、サスペンション２に設けられたチューブ１１に挿入されたワイヤー１０で外
部に取り出せる様になっている。サスペンション２はスライダー５０を磁気ディスクに押
付ける力（荷重）を与え、浮上レールで発生した浮上力と荷重が均衡して一定の浮上高さ
（グライドハイト）を得る。
【０００７】
図５の様な正圧型のスライダーではなく、記録再生用磁気ヘッドで用いられている負圧
型のスライダーをグライドヘッドに用いることもできる。正の浮上圧力を発生させる浮上
レールの形状で次の３つに大別される。図６ａ）の浮上レール３０を分割した形状、図６
ｂ）の浮上レール３０を一体化した形状、図６ｃ）の分割と一体を組合わせた様な形状が
ある。図６ａ）の形状は特許文献４〜８に、図６ｂ）の形状は特許文献９，１０に、図６
ｃ）の形状は特許文献１１に記載されている。浮上レールの形状は異なっていても、浮上
原理は同じであり、図６ａ）を用いて説明する。浮上レール３０と浮上レール面より深い
（低い）空気導入面３１、空気導入面より深い（低い）負圧面３２、流出側に記録再生素
子部４０を有している。空気導入面３１から入った空気流は浮上レール３０で正圧を発生
させ、負圧面３２で負圧を発生させる。スライダー面で発生する正圧と負圧、サスペンシ
ョンから加えられる荷重がバランスして、スライダーは磁気ディスクから所定量浮上する
。流出側に設けられた記録再生素子部４０を、突起検出部とすることでグライドヘッド用
スライダーとして使用できるものである。図６ｂ）で、突起検出部を設けず流出端まで延
びた浮上レール３０の流出端部を突起検出部とすることもできる。
【０００８】
【特許文献４】特開平１１−２３８２１３号
【特許文献５】特開平−１２０７２７号
【特許文献６】特開２０００−３５３３７０号
【特許文献７】特開２０００−３３１３１４号
【特許文献８】特開平１１−３９８１９号
【特許文献９】特開２００１−４３６５０号
【特許文献１０】特開平１０−８３６４３号
【特許文献１１】特開２００２−５０１４１号
【０００９】
ヘッドクラッシュを引起す突起以外の原因として、磁気ディスクと磁気ヘッドやグライ
ドヘッドの吸着が挙げられる。吸着を起こす原因としては、磁気ヘッドと磁気ディスクの
平坦度や面粗さ、磁気ディスクに塗布される潤滑剤、湿度等々が挙げられる。磁気ディス
クの磁性層の上には、５〜１００（ｎｍ）厚に炭素質保護層をスパッター等で形成する。
更に、保護層の上に１〜３（ｎｍ）厚にパーフルオロポリエーテル等のフルオロカーボン
系の液体潤滑剤が塗布されている。この潤滑剤が影響し、磁気ディスクに磁気ヘッドが吸
着して、磁気ディスクのスムーズな回転が妨げられ、磁気ディスクや磁気ヘッドに損傷が
発生することがある。
【００１０】
浮上ヘッドと磁気ディスクの吸着度合いの評価方法には、浮上ヘッドが磁気ディスクの
液体潤滑剤と摺動を開始する速度ＴＤＶ（Ｔｏｕｃｈ  Ｄｏｗｎ  Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）と
、浮上ヘッドが磁気ディスク表面から完全に浮き上がった瞬間の速度ＴＯＶ（Ｔａｋｅ  
Ｏｆｆ  Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）を測定し、ＴＤＶとＴＯＶの差を求める方法がある。
【００１１】
図７と図８を参照しながら、ＴＤＶとＴＯＶについて説明する。図７と図８のａ）から
ｆ）の符号は関連している。ＴＤＶより速い速度では図８ａ）に示す様に、スライダー５
０は浮上量ｈｇで浮上している。これは、図７ａ）の状態である。スライダー５０の流出
端側と流入端側の浮上量の差とその測定位置間隔から浮上ピッチ角が求められる。一般的
に速度が速くなると浮上ピッチ角は大きくなることが知られている。図８ｂ）に示す様に
、速度を下げて行くと流出端７が液体潤滑剤１７と接触し始め、スライダー５０の振動が
始まり圧電素子の出力が不安定になる。これは図７のｂ）の状態である。更に速度を下げ
て行くと、図８ｃ）に示す様に流入端６も液体潤滑剤１７と接触し圧電素子の出力は急激
に増加する。これは、図７ｃ）の状態と言え、ＴＤＶを与える。スライダーの浮上面全域
が液体潤滑剤１７と接触すると、液体潤滑剤１７からスライダー５０が引き剥がされると
きに益々振動を起こし、スライダー５０はディスク基板１８を叩くようなことも起こして
いると考えられる。今度は速度を上げて行くが、スライダー５０は容易に浮上せず図８ｄ
）の状態が続く［図７ｄ）の状態］。更に速度を上げると、図８ｅ）に示す様に、流入端
６が液体潤滑剤１７の影響を受けなくなり振動も減衰して行く［図７ｅ）の状態］。次に
、図８ｆ）に示す様に、流出端７も液体潤滑剤１７から離れ、圧電素子の出力が急激に低
下すると共に出力の安定が起こる。これは図７ｆ）の状態と言えＴＯＶを与える。このこ
とからも判るように、ＴＤＶとＴＯＶの差が小さいほど浮上ヘッドは磁気ディスクとの吸
着を起こし難い、言い換えると吸着現象から早く逃れることができるものである。
【００１２】
図７ａ）の状態でのグライドヘッド出力を図９ａ）に、図７ｃ）と図７ｄ）の状態を図
９ｂ）に示す。図９ａ）は、浮上量ｈｇでスライダーが浮上しており、グライドヘッドの
出力は小さく安定している。図９ａ）で出力が大きくなっている箇所が、磁気ディスクの
突起と衝突したところである。図９ｂ）は、図７ｃ）と図７ｄ）の吸着を起こしている状
態で、グライドヘッドの出力が大きく変動しグライドヘッドが振動していることが判る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
現在、多く使用されているグライドヘッドは図５に示す様な、２レールの正圧型のスラ
イダーを用いており、そのＴＤＶとＴＯＶの差は３〜４（ｍ／ｓ）である。そのため、グ
ライドヘッドの吸着を避けるため、ＴＤＶより３〜４（ｍ／ｓ）大きな周速で使用せざる
を得なかった。大きな周速で測定することによりグライドヘッドに不要な外乱が加わり、
ヘッドが振動を起こし電気出力のＳ／Ｎが悪化したり、振動することで浮上高さや浮上姿
勢（浮上ピッチ角や浮上ロール角）に影響を与え、吸着現象を引き起こし易くなっていた
。また、同じ浮上量と荷重であれば大きい周速には狭い浮上レール幅、小さい周速には広
い浮上レール幅となる。広い浮上レール幅のスライダーを用いれば、磁気ディスクの検査
時間を短くできる。もしくは、検査重複領域を増やすことができ、グライド検査の精度を
上げることができる。ＴＤＶより３〜４（ｍ／ｓ）大きな周速で使用する限り、浮上レー
ル幅を大きくすることができなかった。また、図６に示した様な、負圧型スライダーを用
いたグライドヘッドでも、ＴＤＶとＴＯＶの差は３〜６（ｍ／ｓ）と大きいものであった
。負圧型スライダーを用いた記録再生用磁気ヘッドは、実機では充分に大きな周速でグラ
イドヘッドより高い浮上量で用いられること、回転している磁気ディスクにダイナミック
ローディング、アンローディングさせることが多く、ＴＯＶを考慮する必要が殆んどなか
った。そのため、ＴＯＶを小さくするような検討は、殆んどと言って良い程なされていな
かった。
【００１４】
本願発明の目的は、ＴＤＶとＴＯＶの差が小さい磁気ディスク用グライドヘッドを提供
することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、回転する磁気ディスクに対向するスライ
ダー面に、正の浮上圧力を発生させる浮上レールと負の浮上圧力を発生させる負圧面が形
成され、かつ、スライダー背面に設けられた荷重点から加えられるスライダーを磁気ディ
スクに押付ける荷重と浮上圧力のバランスによって、スライダーを磁気ディスクから所定
の浮上高さで浮上させ、磁気ディスクとスライダーとの接触、あるいは衝突を、圧電素子
もしくはＡＥセンサーにて検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、磁気ディス
クの回転数を下げて行き浮上ヘッドが磁気ディスクの潤滑剤と摺動を開始する速度（ＴＤ
Ｖ）と、磁気ディスクの回転数を上げて行き浮上ヘッドが磁気ディスクから再浮上して摺
動が終了する速度（ＴＯＶ）の差が、１．０（ｍ／ｓ）以下であることが好ましい。
【００１６】
ＴＤＶとＴＯＶの差を１．０（ｍ／ｓ）以下とすることで、磁気ディスクのグライドハ
イト検査を低周速で行うことができ、外乱による電気信号のＳ／Ｎの悪化を防ぐことがで
きる。外乱による不測のグライドヘッドの振動発生の危険性を下げることができるので、
吸着現象の発生の率を下げることができる。
【００１７】
また、同じ浮上量、荷重で周速を落として検査する場合、スライダーの浮上レール幅を
広くすることができる。浮上レール幅を広くする事で、磁気ディスクの検査時間を短くで
きる。または、検査重複領域を増やすことができ、グライド検査の精度を上げることがで
きる。浮上レール幅を広くしたスライダーは、高い周速でも低い浮上量を得る事ができる
点が、従来の正圧型スライダーと大きく異なる点である。これは、正の浮上力上昇に加え
て負の浮上力も上昇するので、低い周速時と略同じ浮上量が得られる。広い浮上レール幅
のスライダーを高い周速で浮上させることで、より磁気ディスクの検査時間をより短くす
ることもできるし、検査重複領域を増やして精度を上げることもできる。
【００１８】
負の浮上圧力は、スライダー流入端より流入した空気流が、流入に伴う圧縮状態から負
圧面の領域に到達した際に体積膨張することで得られる。負圧面領域は浮上レール面より
凹ませることが必要なため、砥石や砥粒を用いた機械加工は難しい。フォトリソグラフィ
技術とドライエッチング技術を用いることが好ましい。勿論、浮上レール面の研磨やスラ
イダーの切断や研磨加工等には、機械加工方法を用いることはできる。
【００１９】
本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの、負圧浮上型スライダーは、少なくとも一
つの溝部を設けたクロスレール型浮上レールと、浮上レールの空気流入側に設けた浮上レ
ール面より深い段差を有する空気導入面と、空気導入面より深い段差を有する負圧面を有
し、浮上レールの溝部の溝幅は、空気流入側が広く空気流出側が狭いことが好ましい。
【００２０】
クロスレール型浮上レールは、左右の浮上レールの流入端側部分をクロスレールで繋い
だ略コの字型をしている。このクロスレールの略中央部に溝部を設けているので、略Ｌ字
型や略コ字型のレールが向かい合っている形状である。溝幅は空気流入側が広く空気流出
側が狭くなる漏斗型とすることが好ましい。漏斗の側面つまり溝は直線や曲線で構成する
ことができる。漏斗型溝の底面は空気導入面と同一とすることが好ましい。
【００２１】
クロスレールに漏斗型の溝を形成すると、スライダーの流入端から流入した空気流は空
気導入面上を流れ、空気流の一部は浮上面レール上で正の浮上圧力を発生させ、残りの空
気流は圧縮されながら負圧溝に達し、体積膨張することで負の浮上圧力を発生させている
。空気流を効率良く浮上レール上に導くため、浮上レールの空気流入側に浮上レール面よ
り、低い空気導入面を設けている。浮上レールのクロスレールの略中央部に空気導入面に
達する漏斗型の溝を形成することで、漏斗の入口付近だけでなく漏斗の出口付近でも空気
流は空気導入面から浮上レールに導かれるので正の浮上力を得易くなる。これは低速の空
気流（低速度）でも効率よく正の浮上力が得られることであり、スライダーが磁気ディス
クと吸着している状態からでも容易に浮上し、吸着状態から開放されるのでＴＯＶを小さ
くできる。
【００２２】
本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの、浮上レールの溝部側面はスライダー中心
線に対し、１５度以上６０度以下の角度Θを有していることが好ましい。
【００２３】
角度Θが１５度未満では、空気流は空気導入面から漏斗の入口付近では浮上レール上に
導かれるが、その他の領域では角度が浅すぎて浮上レール上に導くことができず正の浮上
力発生が弱くなってしまう。そのため、スライダーは浮上し難くなりＴＯＶが大きくなり
、ＴＤＶとＴＯＶの差が大きくなってしまう。角度Θが零つまり溝が空気の流れと平行に
形成された状態を想定すると理解し易い。空気流は溝の側面と平行になるため、溝の側面
が空気流を浮上レール面に導く役目を果さないことがわかる。一方、角度Θが６０度を越
えた形状では、溝の側面そのものが浮上レールの流入側前部に相当する様な働きをするた
め、漏斗の入口付近では浮上レール上に導かれるが、その他の領域では浮上レール上に導
くことができず、正の浮上力発生が弱くなってしまう。そのため、スライダーは浮上し難
くなりＴＯＶが大きくなり、ＴＤＶとＴＯＶの差が大きくなってしまう。角度Θを１５度
以上６０度以下とすることで、漏斗の入口から出口までの側面から効率よく、浮上レール
に空気流を導くことができる。角度Θは中心線と漏斗側面の角度であるので、漏斗の開口
角Θ’は倍の３０度以上１２０度以下となる。
【００２４】
漏斗の側面が直線でなく曲線もしくは多段、不定形な線で形成されている時は、溝の流
入側の端点と流出側の端点を仮想直線で結んで角度Θを求めることができる。
【発明の効果】
【００２５】
浮上レールのクロスレール部に、空気流入側が広く空気流出が狭い漏斗状の溝を形成す
ることで、ＴＯＶを小さくすることができ、ＴＤＶとＴＯＶの差が１ｍ／ｓ以下の磁気デ
ィスク用グライドヘッドが得られた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下本願発明を、図面を参照しながら実施例に基づいて詳細に説明する。説明を判り易
くするため、同一の部品、部位には同じ符号を用いている。
【実施例１】
【００２７】
図１は、本願発明の磁気ディスク用グライドヘッドの斜視図、図２はスライダーの平面
図と側面図である。アルミナチタンカーバイド材（ＡＴＣ材）のスライダー１は、負圧型
浮上面と張出し部４で構成している。スライダー１の浮上レールの反対側にサスペンショ
ン２をエポキシ系樹脂で固着した。スライダーの張出し部４の浮上レールの反対側に、電
気絶縁材（図示せず）を介して圧電素子９を樹脂で貼り付けている。圧電素子９に接続さ
れたワイヤー１０は、サスペンション２に設けられたチューブ１１に挿入して取り回して
いる。
【００２８】
図２を用いて、本実施例のスライダーの寸法等を説明する。図２ａ）にスライダー浮上
面側の平面、側面を示す。スライダーの全長Ｌ１は１．２５ｍｍ、スライダーの幅Ｌ２は
０．９５ｍｍ、張出し部の幅Ｌ３は０．７５ｍｍ、スライダーの全幅Ｌ４は１．７ｍｍで
ある。浮上レール３０の流出端７が突起検出部３５に相当し、突起検出部は２ヶ所で幅Ｌ
５は０．２４ｍｍである。２本の浮上レール３０の流入端側を繋ぐクロスレールには、漏
斗型をした溝３６を形成した。漏斗型溝３６は一点鎖線で示すスライダー中心線に対し角
度θの溝側面３７を有している。本実施例では、角度θは４０度としたので、両の溝側面
３７は８０度の角度を持って対向している。漏斗型溝の出口幅Ｌ６は０．２ｍｍとした。
スライダー厚みＬ８は、浮上レール面とスライダー背面間の距離で０．４３ｍｍとした。
張出し部９の厚みＬ９は０．２３ｍｍとした。スライダー浮上面の深さ方向の寸法関係に
ついて、図２ｂ）のｍ−ｍ’断面で説明する。スライダーの浮上面は、空気導入面３１に
対し浮上レール３０は凸で負圧面３２は凹となっており、凸量Ｌ１０は０．２２μｍ、凹
量Ｌ１１は２．２μｍとした。
【００２９】
スライダー１の加工方法について簡単に説明する。アルミナチタンカーバイト（ＡＴＣ
）材にダイアモンド砥石とダイアモンド砥粒を用い切断と研削、研磨加工を行い、Ｌ４の
約２０倍の長さでＬ１の幅、Ｌ８の厚みの短冊状の板を得た。短冊の１面は研磨加工を行
い、表面粗さＲａで２ｎｍの鏡面としている。この鏡面が浮上レール３０の面となる。短
冊の鏡面にフォトレジトを塗布し、浮上レール３０の形状にパターニングを行った。イオ
ンミリング装置を用い空気導入面３１と負圧面３２を、Ｌ１０の深さまでドライエッチン
グを行った。再度、フォトレジストを塗布し、浮上レール３０と空気導入部３１が残るよ
うにパターニングを行い、Ｌ１１の量をイオンミリング加工した。２回のイオンミリング
で、空気導入面３１に対し浮上レール３０はＬ１０凸量、負圧面３２はＬ１１凹量を持つ
負圧型スライダー面が得られた。ダイアモンド砥石を用い、張出し部４の形成と個片化を
行いスライダー１を得た。
【００３０】
スライダー１に圧電素子９、サスペンション２を樹脂で固着し、圧電素子に接続された
ワイヤー１０をチューブ１１へ取り回し、磁気ディスク用グライドヘッドを得た。
【実施例２】
【００３１】
図３に、漏斗形状の溝角度ΘとＴＤＶとＴＯＶの差（ｍ／ｓ）の関係を示す。スライダ
ーは実施例１の形状で、溝の角度Θだけを変えている。漏斗型溝の出口幅Ｌ６は０．２ｍ
ｍとしているので、角度Θを替えると漏斗型溝の入口幅が変わる。角度は５から８０度ま
で５度間隔で作製し、ＴＤＶとＴＯＶの差を測定した。
【００３２】
図３の説明に入る前に、実施したＴＤＶとＴＯＶの測定方法を簡単に説明する。７２０
０（ｒｐｍ）で回転する磁気ディスクの半径３０ｍｍの位置にグライドヘッドをダイナミ
ックローディングして浮上させた後、半径２４ｍｍの位置まで移動して測定した。この時
のグライドヘッドと磁気ディスクの相対速度は約１８（ｍ／ｓ）である。磁気ディスクの
回転数を７２００（ｒｐｍ）から１６００（ｒｐｍ）まで、即ち速度を１８（ｍ／ｓ）か
ら４（ｍ／ｓ）まで０．１（ｍ／ｓ）刻みに下げて行き、圧電素子の出力が急激に上昇す
る速度をＴＤＶとした。漏斗型溝の角度θが４０度の実施例１のグライドヘッドのＴＤＶ
は、６．８（ｍ／ｓ）であった。速度を４（ｍ／ｓ）まで下げた後、磁気ディスクの回転
数を１６００（ｒｐｍ）から７２００（ｒｐｍ）まで０．１（ｍ／ｓ）刻みで上げながら
、圧電素子の出力を測定した。圧電素子の出力が急激に低下し出力値の変動もなくなった
速度をＴＯＶとした。実施例１のグライドヘッドのＴＯＶは、７．１（ｍ／ｓ）で、ＴＤ
Ｖとの差は０．３（ｍ／ｓ）である。
【００３３】
図３のＴＤＶとＴＯＶの差の値は、各角度で１０個のグライドヘッドを製作し、１０個
のグライドヘッドを２回づつ測定し、その平均値をとっている。角度Θが１５度から６０
度の範囲では、ＴＤＶとＴＯＶの差は１（ｍ／ｓ）以下と小さな値が得られた。角度が２
０度より小さくなるに従いＴＤＶとＴＯＶの差は大きくなり始め、約１３度で１（ｍ／ｓ
）となった。また、角度が５５度より大きくなるに従いＴＤＶとＴＯＶの差は大きくなり
始め、約６２度で１（ｍ／ｓ）となった。数度の余裕を持って角度Θを１５度以上６０度
以下とすることで、ＴＤＶとＴＯＶの差は１（ｍ／ｓ）以下が安定的に得られることが確
認できた。
【実施例３】
【００３４】
図４に、実施した他の浮上面形状を示す。漏斗型溝３６の角度Θは３０度とした。空気
導入面３１と浮上レール３０、負圧面３２の面の高さ関係は実施例１と同じとし、空気導
入面３１に対し浮上レール３０はＬ１０の０．２２μｍの凸量、負圧面３２はＬ１１の２
．２μｍの凹量を持つ負圧型スライダー面である。図４ａ）は、浮上レール３０がスライ
ダーの略中間までとなっており、流出端側に２個の突起検出レール３８を有している。突
起検出レール３８の流出端がＬ５幅の突起検出部３５となっている。図４ｂ）は、浮上レ
ール３０がスライダーの略中間までで、流出端側に１個の突起検出レール３８を有してい
る。突起検出部Ｌ５は空気導入面３１の幅Ｌ３１と略同じ長さとした。図４ｃ）は、浮上
レール３０がスライダーの略流出端部まで延びており、浮上レールの流出端も突起検知部
として機能するもので、両浮上レール３０と突起検出レール３８の３ヶ所で突起検出を行
った。図４ｄ）は、浮上レールの流入側の両端間寸法Ｌ３０と空気導入面３１幅Ｌ３１を
同じとしたものである。浮上レール３０がスライダーの略流出端部まで延びており、浮上
レールの流出端を突起検知部としているので、突起検出レール３８は設けていない。
【００３５】
図４ａ）から図４ｄ）のスライダーの、浮上レールの形状や突起検出レールの形状と個
数を変えても、浮上量は同じであった。これは、空気導入面３１と浮上レール３０、負圧
面３２の面の高さ関係を実施例１と同じとしているため、負の圧力効果によるものと考え
られる。また、ＴＤＶとＴＯＶを、実施例２と同じ条件で測定したが、いずれも、ＴＤＶ
とＴＯＶの差は１ｍ／ｓ以下であった。図４ａ）から図４ｄ）の突起検出部３５の長さＬ
５の総長は、実施例１の図２より約３０％長いため、検査時間を約３０％短縮できた。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の磁気ディスク用グライドヘッドの斜視図である。
【図２】本発明のスライダーの平面図と側面図である。
【図３】本発明の、溝角度とＴＤＶとＴＯＶの差の関係を示す図である。
【図４】本発明実施例３の、他の浮上面形状の平面図である。
【図５】従来品の磁気ディスク用グライドヘッドの斜視図である。
【図６】記録再生用磁気ヘッドで用いられている負圧型のスライダーの斜視図である。
【図７】速度とヘッド出力電圧の関係を示す図である。
【図８】浮上ヘッドと液体潤滑剤との接触（摺動）状態を説明する図である。
【図９】グライドヘッド出力波形である。
【符号の説明】
【００３７】
１  スライダー、２  サスペンション、
３，３’  浮上レール、４  張出し部、
５  空気導入部、６  流入端、
７  流出端、９  圧電素子、
１０  ワイヤー、１１  チューブ、
１７  液体潤滑剤、１８  磁気ディスク基板、
３０  浮上レール、３１  空気導入面、
３２  負圧面、３４  クロスレール
３５  突起検出部、３６  漏斗型溝、
３７  溝側面、３８  突起検出レール
４０  記録再生素子部、５０  スライダー。
【図１】
2008217878.tif 000003
【図２】
2008217878.tif 000004
【図３】
2008217878.tif 000005
【図４】
2008217878.tif 000006
【図５】
2008217878.tif 000007
【図６】
2008217878.tif 000008
【図７】
2008217878.tif 000009
【図８】
2008217878.tif 000010
【図９】
2008217878.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月9日(2007.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【特許文献４】特開平１１−２３８２１３号
【特許文献５】特開平１１−１２０７２７号
【特許文献６】特開２０００−３５３３７０号
【特許文献７】特開２０００−３３１３１４号
【特許文献８】特開平１１−３９８１９号
【特許文献９】特開２００１−４３６５０号
【特許文献１０】特開平１０−８３６４３号
【特許文献１１】特開２００２−５０１４１号                                                                    以  上