(57)【要約】  熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法において、基板上に第１溶液を塗布した後、所定時間の間前記基板をスピンコーティングする。前記基板上に塗布された第１溶液を段階的に硬化する。前記基板を所定時間の間放置して前記基板上に第１熱膨張係数を有する第１薄膜を形成する。前記第１薄膜が形成された基板上にフォトレジストをコーティングする。前記基板上にコーティングされたフォトレジストを硬化して第２熱膨張係数を有するフォトレジスト膜を形成する。前記フォトレジスト膜上に金属及びパッシベーション層を形成する。前記フォトレジスト膜と前記第１薄膜の互いに異なる熱膨張係数値の差を用いて前記フォトレジスト膜を前記第１薄膜から分離する。【選択図】図１
2021500233.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に第１溶液を塗布するステップと、
前記基板上に塗布された第１溶液を硬化するステップと、
前記基板を所定時間の間放置して前記基板上に第１熱膨張係数を有する第１薄膜が形成されるステップと、
前記第１薄膜が形成された基板上にフォトレジストをコーティングするステップと、
前記基板上にコーティングされたフォトレジストを硬化して第２熱膨張係数を有するフォトレジスト膜を形成するステップと、
前記フォトレジスト膜上に金属及びパッシベーション層を形成するステップと、
前記フォトレジスト膜と前記第１薄膜の互いに異なる熱膨張係数値の差を用いて前記フォトレジスト膜を前記第１薄膜から分離するステップとを含む熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【請求項２】
前記基板上に第１溶液を塗布するステップで、
前記第１溶液を前記基板上にスピンコーティングして塗布することを特徴とする、請求項１に記載の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【請求項３】
前記第１溶液を硬化するステップで、
前記第１溶液が塗布された前記基板をホットプレート上で、互いに異なる温度と時間で複数の硬化工程で硬化させることを特徴とする、請求項１に記載の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【請求項４】
前記第１溶液を硬化するステップで、
前記第１溶液が塗布された前記基板を６０℃温度で３０分間加熱するステップと、
前記第１溶液が塗布された前記基板を８０℃温度で３０分間加熱するステップと、
前記第１溶液が塗布された前記基板を１５０℃温度で３０分間加熱するステップと、
前記第１溶液が塗布された前記基板を２３０℃温度で３０分間加熱するステップと、
前記第１溶液が塗布された前記基板を３００℃温度で３０分間加熱するステップとを含むことを特徴とする、請求項３に記載の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【請求項５】
前記第１溶液はＴＰＩ（temporary Polyimide）溶液であることを特徴とする、請求項１に記載の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【請求項６】
前記第１薄膜の第１熱膨張係数は３であり、
前記フォトレジスト膜の第２熱膨張係数は５０以上であることを特徴とする、請求項５に記載の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【請求項７】
前記フォトレジスト膜を前記第１薄膜から分離するステップで、
レーザーまたはカッターを用いて前記フォトレジスト膜の隅部にスクラッチを形成した後、フォルセプスで剥がすことを特徴とする、請求項１に記載の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法に関し、より詳しくは、ＴＥＰＯＲＡＲＹ  ＰＩ（ＴＰＩ）とフォトレジストとの熱膨張係数差を用いて基板から電極を分離するための熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体基板を使用した半導体装置の製造過程では半導体基板の表面に塗布されたフォトレジストを基板表面から剥離する工程を含んでいる。
【０００３】
例えば、大韓民国公開特許第１０−２０１３−００３４４８０でのように、基板表面からフォトレジスト膜を分離する従来方法として基板をエッチングする方法がある。しかしながら、前記方法は基板上にフォトレジストをコーティングして膜を形成し、露光工程(lithography)によりフォトレジストをパターニングし、湿式または乾式エッチングにより基板を除去するものである。しかしながら、前記方法は経済性が低いだけでなく、前記エッチング工程でフォトレジスト膜に損傷を与える可能性が高いという問題点がある。
【０００４】
他の例に、基板表面からフォトレジスト膜を分離する従来方法として、フォトレジスト膜と基板との間に接着性テープを提供する方法がある。前記方法は、基板上にカプトン（kepton）のような接着性テープを塗布し、接着性テープ上にフォトレジストをコーティングして膜を形成し、露光工程（lithography）によりフォトレジストをパターニングし、接着性テープからパターニングされたフォトレジスト膜を分離する。しかしながら、フォトレジスト膜の厚さは数十〜数百μmに非常に薄いので、物理的な力による分離過程で損傷される可能性が非常に高いという問題点がある。
【０００５】
関連先行技術には、大韓民国公開特許第１０−２００７−００６７４４２号、大韓民国公開特許第１０−２０１２−００１１６０８号、及び大韓民国公開特許第１０−２０１３−００３４４８０号がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここに、本発明の技術的課題はこのような点から着眼したものであって、本発明の目的はＴＰＩ（temporary Polyimide）とフォトレジストとの熱膨張係数差を用いてフォトレジストを基板からより容易に分離できる熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法に関するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記した本発明の目的を実現するための一実施形態に従う熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法において、基板上に第１溶液を塗布する。前記基板上に塗布された第１溶液を硬化する。前記基板を所定時間の間放置して前記基板上に第１熱膨張係数を有する第１薄膜が形成される。前記第１薄膜が形成された基板上にフォトレジストをコーティングする。前記基板上にコーティングされたフォトレジストを硬化して第２熱膨張係数を有するフォトレジスト膜を形成する。前記フォトレジスト膜上に金属及びパッシベーション層を形成する。前記フォトレジスト膜と前記第１薄膜の互いに異なる熱膨張係数値の差を用いて前記フォトレジスト膜を前記第１薄膜から分離する。
【０００８】
一実施形態で、前記基板上に第１溶液を塗布するステップで、前記第１溶液を前記基板上にスピンコーティングして塗布することができる。
【０００９】
一実施形態で、前記第１溶液を硬化するステップで前記第１溶液が塗布された前記基板をホットプレート上で、互いに異なる温度と時間で複数の硬化工程により硬化させることができる。
【００１０】
一実施形態で、前記第１溶液を硬化するステップで、前記第１溶液が塗布された前記基板を６０℃温度で３０分間加熱するステップ、前記第１溶液が塗布された前記基板を８０℃温度で３０分間加熱するステップ、前記第１溶液が塗布された前記基板を１５０℃温度で３０分間加熱するステップ、前記第１溶液が塗布された前記基板を２３０℃温度で３０分間加熱するステップ、及び前記第１溶液が塗布された前記基板を３００℃温度で３０分間加熱するステップを含むことができる。
【００１１】
一実施形態で、前記第１溶液はＴＰＩ（temporary Polyimide）溶液でありうる。
【００１２】
一実施形態で、前記第１薄膜の第１熱膨張係数は３であり、前記フォトレジスト膜の第２熱膨張係数は５０以上でありうる。
【００１３】
一実施形態で、前記フォトレジスト膜を前記第１薄膜から分離するステップで、レーザーまたはカッターを用いて前記フォトレジスト膜の隅部にスクラッチを形成した後、フォルセプスで剥がすことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の実施形態によれば、熱膨張係数差により引き起こされる熱応力を用いてＴＰＩ薄膜とフォトレジスト膜を容易に分離することができ、これによって基板及びＴＰＩ薄膜の損傷無しで分離できる効果がある。
【００１５】
また、フォトレジスト膜の除去のために大量の水資源の使用や薬品廃液を処理する必要がないので、環境汚染、水資源の大量消費を防止することができる。
【００１６】
また、フォトレジスト膜の除去のための別途の工程が不必要であるので、工程が大幅短縮されて生産性が向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態による熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法を図示した流れ図である。
【図２ａ−２ｆ】図１の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法を図示した工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は多様な変更を加えることができ、いろいろな形態を有することができるところ、実施形態を本文に詳細に説明する。しかしながら、これは本発明を特定の開示形態に対して限定しようとするものでなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むものとして理解されなければならない。各図面を説明しながら類似の参照符号を類似の構成要素に対して使用した。第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明することに使用できるが、前記構成要素は前記用語により限定されてはならない。
【００１９】
前記用語は１つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみに使われる。本出願で使用した用語は単に特定の実施形態を説明するために使われたものであって、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上、明白に異なる意味を有しない限り、複数の表現を含む。
【００２０】
本出願で、“含む”または“なされる”などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであり、１つまたはその以上の他の特徴や数字、ステップ、動作、構成要素、部分品、またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないことと理解されなければならない。
【００２１】
異に定義されない限り、技術的または科学的な用語を含めてここで使われる全ての用語は本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者により一般的に理解されることと同一な意味を有している。一般的に使われる事前に定義されていることと同一な用語は関連技術の文脈上の意味と一致する意味を有するものとして解釈されなければならず、本出願で明白に定義しない限り、理想的であるか、または過度に形式的な意味として解釈できない。
【００２２】
以下、添付した図面を参照して、本発明の好ましい実施形態をより詳細に説明する。
【００２３】
図１は本発明の一実施形態による熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法を図示した流れ図であり、図２ａ乃至図２ｆは図１の熱膨張係数を用いた薄膜電極分離方法を図示した工程図である。
【００２４】
図面上に図示してはいないが、本実施形態では第１溶液１０を塗布する前に、先に基板１００をＴＭＡＨ（Tetramethyl ammonium hydroxide）溶液に入れて洗浄する。前記第１溶液１０は、例えば、ＴＰＩ（temporary PI）溶液でありえ、前記ＴＰＩ溶液の場合、粘度が非常に低くてコーティング厚さが非常に薄くて洗浄しない場合、コーティングが正しくなされることができないので、前記基板１００を洗浄することが好ましい。
【００２５】
一方、本実施形態で第１溶液に使われるＴＰＩは、従来の半導体工程で使われるＰＩとは異なり、熱膨張係数を低めた低粘度液状材料であって、化学的に安定的で、硬化された場合、非常に柔軟な材料的特性を有する。
【００２６】
次に、図１及び図２ａを参照すると、前記基板１００上に第１溶液１０を塗布する（ステップＳ１００）。
【００２７】
前記基板１００は，シリコン（Ｓｉ）、ガラス（glass）、石英（quartz）、金属（metal）、及びプラスチック（plastic）からなる群より選択できる。
【００２８】
前記基板１００上に前記第１溶液１０の塗布が完了すれば、所定時間の間前記基板１００をスピンコーティングする。即ち、スピンコーティング機２０を用いて前記第１溶液１０を前記基板１００上にコーティングするが、この場合、スピンコーティングは１０００ｒｐｍで３０秒間遂行されることが好ましい。
【００２９】
次に、図１及び図２ｂを参照すると、前記基板１００上に塗布された第１溶液１０を段階的に硬化する（ステップＳ２００）。
【００３０】
この場合、前記第１溶液１０が塗布された前記基板１００をホットプレート３０の上に位置させて段階的に加熱する。即ち、前記ホットプレート３０上で１つの条件で一定時間の間加熱するのでなく、互いに異なる温度と時間の多様な条件で加熱を段階的に遂行する。
【００３１】
例えば、前記ホットプレート３０を通じて、先に６０℃温度で３０分間加熱し、次に、８０℃温度で３０分間加熱し、次に、１５０℃温度で３０分間加熱し、次に、２３０℃温度で３０分間加熱し、次に、３００℃温度で３０分間加熱することができる。
【００３２】
このように段階的な加熱による硬化を完了すれば、次の図１及び図２ｃに図示したように、前記基板１００を所定時間の間放置することによって、前記基板１００上に第１薄膜１１が形成される（ステップＳ３００）。
【００３３】
ここで、前記第１薄膜１１は第１熱膨張係数を有し、前記第１熱膨張係数は例えば、３でありうる。一般的なＰＩ（polyimide）の熱膨張係数が１９乃至４０であることを考慮すると、前記第１薄膜１１であるＴＰＩ薄膜は一般的なＰＩの熱膨張係数より相当に低い熱膨張係数を有する。
【００３４】
前記基板１００上に前記第１薄膜１１の形成が完了すれば、図１及び図２ｄに図示したように、前記基板１００上にフォトレジスト２００をコーティングする（ステップＳ４００）。
【００３５】
即ち、前記基板１００上には第１薄膜１１が形成された状態であるので、前記フォトレジスト２００は前記第１薄膜１１上にコーティングされる。
【００３６】
この際、前記フォトレジスト２００は後述するステップで前記基板１００から剥離しようとするフォトレジスト膜を形成するためのもので、電極のベースになることができる。
【００３７】
次に、図１及び図２ｅを参照すると、前記基板１００上にコーティングされたフォトレジスト２００を硬化してフォトレジスト膜２０１を形成する（ステップＳ５００）。この場合、前記基板１００上に熱照射部４０を通じて熱のみ加えるか、または熱及びＵＶを共に加えて前記フォトレジスト２００を硬化することができる。
【００３８】
ここで、前記フォトレジスト膜２０１は第２熱膨張係数を有し、前記第２熱膨張係数は５０以上でありうる。
【００３９】
即ち、前記フォトレジスト膜２０１は前記第１薄膜１１と互いに異なる熱膨張係数を有し、熱膨張係数の差が相対的に大きいことを確認することができる。
【００４０】
以後、図１及び図２ｆに図示したように、前記フォトレジスト膜２０１上に金属３００及びパッシベーション層４００を順次に形成する（ステップＳ６００）。即ち、前記フォトレジスト膜２０１上に前記金属３００及び前記パッシベーション層４００を順次に形成することによって、電極７０の製作が完了する。言い換えると、前記電極７０は前記フォトレジスト膜２０１、前記金属３００、及び前記パッシベーション層４００からなる。
【００４１】
ここで、前記金属３００は、ニッケル（Ｎｉ）、パラジウム（Ｐｄ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、チタニウム（Ｔｉ）などを含んで形成できるが、これに限定するのではなく、多様に設計変更できることは自明である。
【００４２】
また、前記パッシベーション層４００は、金属酸化物、炭素ナノチューブ、高分子電解質、ガラス繊維などを含んで形成できるが、素材はこれに限定しない。前記金属酸化物としてワイヤー（wire）、チューブ（tube）、またはパーティクル（particle）タイプの金属酸化物（例えば、Ａｌ２Ｏ３またはシリコン酸化物）が用いられ、その他にもシルバーナノワイヤー、銅メッシュ、シルバーメッシュ、銀塩などの素材が使われることもできる。このような物質は単独に使われるか、または２以上の物質を含んで形成できる。
【００４３】
一方、図面を通じては、前記金属３００及び前記パッシベーション層４００が単純に四角プレート形状に順次に積層されたことを図示したが、これは電極であって、多様な形状に設計されて製作できることは自明であり、図面に図示した形状に制限されるのではない。
【００４４】
次に、図１及び図２ｇを参照すると、前記電極７０を前記基板１００から分離するために、前記フォトレジスト膜２０１を前記第１薄膜１１から分離する（ステップＳ７００）。この場合、前記フォトレジスト膜２０１と前記第１薄膜１１の互いに異なる熱膨張係数値の差を用いる。
【００４５】
前述したように、前記第１薄膜１１の第１熱膨張係数は３であり、前記フォトレジスト膜２０１の第２熱膨張係数は５０以上であって、前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１は互いに異なる熱膨張係数を有し、前記第１薄膜１１の熱膨張係数と前記第１薄膜１１の上に形成される前記フォトレジスト薄膜２０１の熱膨張係数の差は相対的に非常に大きいということができる。
【００４６】
一方、熱膨張係数の差は熱膨張係数の差による応力を引き起こすので、熱膨張係数の差の大きい前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１を使用するので、これらの間に熱応力が引き起こされることがある。
【００４７】
このような熱膨張係数の差により引き起こされた熱応力により前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１との間の界面接着力が弱まることによって、これらが容易に分離できる。
【００４８】
即ち、前記熱応力が前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１との間の界面接着力より大きくなるにつれて、これらが分離できるものである。熱膨張係数の差に起因した熱応力が大きくなるにつれて、前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１の接着力が大きく弱まることがあり、したがって、前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１を物理的に分離することに適当な状態になることができる。
【００４９】
一方、前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１をこのように分離するためにレーザーまたはカッターを用いることができる。
【００５０】
即ち、前記第１薄膜１１と前記フォトレジスト膜２０１との間の界面の縁に前記レーザーを照射するか、またはカッターを用いて前記縁に先に剥離現象を発生させる。次に、ピンセットまたはフォルセプスを用いて前記剥離された縁部分から剥がす始めて前記フォトレジスト膜を前記第１薄膜から完全に分離することができる。
【００５１】
以上のように、第１薄膜１１とフォトレジスト膜２０１との間の界面にレーザー照射、カッターなどを用いた物理的剥離を引き起こして２つ層を互いに分離することによって、従来のエッチングなどの工程を通じての化学的分離工程を省略することができるので、製作された電極７０の損傷が最小化され、相対的に分離工程を容易に遂行することができる。
【００５２】
このように、前記フォトレジスト膜２０１が前記第１薄膜１１から分離されれば、前記フォトレジスト膜２０１上の電極７０構造が前記第１薄膜１１から分離されるものであって、そうして電極７０の製作が完了できる。
【００５３】
一方、以上のように、フォトレジスト膜２０１上に電極が形成される構造であって、最近ストレッチャブル（stretchable）素子、またはウェラブル（wearable）素子などの柔軟（flexible）素子の製作をより容易にすることができる。即ち、柔軟素子の製作時、直接柔軟基板上に電極を形成する工程の場合、電極形成での工程不良が多数発生するようになって、相対的に堅い基板をベース基板に電極を形成し、ベース基板を除去する工程が主に適用されるが、本実施形態の場合、このようなベース基板の除去時、特に熱膨張係数の差を用いて分離を容易に遂行することができるので、製作された電極の損傷を最小化し、かつ容易な分離を遂行することができる長所がある。
【００５４】
本発明の実施形態によれば、熱膨張係数差により引き起こされる熱応力を用いてＴＰＩ薄膜とフォトレジスト膜を容易に分離することができ、これによって基板及びＴＰＩ薄膜の損傷無しで分離することができる効果がある。
【００５５】
また、フォトレジスト膜の除去のために大量の水資源の使用や薬品廃液を処理する必要がないので、環境汚染、水資源の大量消費を防止することができる。
【００５６】
また、フォトレジスト膜の除去のための別途の工程が不必要であるので、工程が大幅短縮されて生産性が向上できる。
【００５７】
前記では本発明の好ましい実施形態を参照して説明したが、該当技術分野の熟練した当業者は下記の特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１０    第１溶液
１１    第１薄膜
２０    スピンコーティング機
３０    ホットプレート
４０    熱照射部
７０    電極
１００    基板
２００    フォトレジスト
２０１    フォトレジスト膜
３００    金属
４００    パッシベーション層
【図１】
2021500233.tif 000003
【図２ａ】
2021500233.tif 000004
【図２ｂ】
2021500233.tif 000005
【図２ｃ】
2021500233.tif 000006
【図２ｄ】
2021500233.tif 000007
【図２ｅ】
2021500233.tif 000008
【図２ｆ】
2021500233.tif 000009
【図２ｇ】
2021500233.tif 000010
【国際調査報告】
2021500233.tif 000011
2021500233.tif 000012
2021500233.tif 000013
2021500233.tif 000014