(57)【要約】【課題】ボルト・ナットによる締付構造を工夫し、合成樹脂等の比較的軟らかい材料で成る流体デバイスどうしの接合を、緩みやガタツキ、そしてクリープによる締め付けトルクの低下を回避させて、長期に亘って有効なシール状態が維持できるように改善する。【解決手段】マニホールド１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２ＡとをガスケットＧを介して連通接続するに、マニホールド１とバルブ２とに貫通されるボルト６６と、ナット６７と、マニホールド１とナット６７との間に介装される巻きバネ６８とを設け、ボルト６６とナット６７との締付けにより、巻きバネ６８を所定量圧縮しながら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２ＡとがガスケットＧを介して連通接続される接合状態を維持自在に構成する。【選択図】図１
2008019914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路が開口する第１流体給排口部を備えた第１流体デバイスの前記第１流体給排口部と、流体通路が開口する第２流体給排口部を備えた第２流体デバイスの前記第２流体給排口部とが、これら第１流体給排口部と第２流体給排口部との間に介在されるガスケットによって前記流体通路をシールする状態で連通接続されるにあたり、
前記第１及び第２流体デバイスの両者を貫通して通される状態のボルトと、前記ボルトの軸部の先端部に螺着自在なナットと、前記第１及び第２流体デバイスのうちのいずれか一方と前記ナットとの間又は前記第１及び第２流体デバイスのうちのいずれか他方と前記ボルトのボルト頭部との間に介装される弾性手段とを設け、
前記ボルトと前記ナットとを螺合させての締付けにより、前記弾性手段を所定量圧縮しながら第１流体給排口部と前記第２流体給排口部とが前記ガスケットを介して連通接続される接合状態が維持自在に構成されている流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項２】
前記弾性手段に押圧される前記第１又は第２流体デバイスと前記弾性手段との間にワッシャが介装されている請求項１に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項３】
前記ワッシャは、このワッシャが通される前記ボルトの隣りのボルトのワッシャを兼ねるものに形成されている請求項２に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項４】
前記ボルトが、前記ナットが螺合自在なネジ部を有する先端側軸部と、この先端側軸部の根元側部分との螺合が自在な先端側ネジ軸部及びボルト頭部を有するボルト頭側部とで構成され、前記先端側軸部とこれが挿通される前記第１又は第２流体給排口部との回動移動を阻止する回り止め手段が装備されている請求項１〜３の何れか一項に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項５】
前記先端側軸部における弾性手段と前記ナットとの間と、前記先端側軸部の隣の先端側軸部における弾性手段と前記ナットとの間とに跨って介装される第二ワッシャを設け、前記回り止め手段は、前記第二ワッシャと前記先端側軸部との相対回動を不能とする嵌合構造によって構成されている請求項４に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項６】
前記先端側軸部は、前記ワッシャ及び前記第二ワッシャが外嵌される先端側部分と、前記第１又は第２流体給排口部に挿入自在な根元側部分と、前記ワッシャの前記先端側部分から前記根元側部分への移動を阻止する受止め部分とを有して構成されるとともに、前記ナットの前記ネジ部への螺合により、前記ワッシャ及び前記第二ワッシャを前記先端側部分に嵌装し、かつ、前記弾性手段を前記ワッシャと前記第二ワッシャとの間に装備する状態が保持可能に構成されている請求項５に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【請求項７】
前記弾性手段が、前記先端側部分に嵌装される巻きバネ又は皿ばねである請求項１〜６の何れか一項に記載の流体デバイスどうしの接続構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、マニホールド等の流路ブロックの表面に流路ごと直接に流体機器を実装するといった流体デバイスどうしの接続構造に係り、詳しくは、半導体製造や医療・医薬品製造、食品加工、化学工業等の各種技術分野の製造工程で取り扱われる高純度液や超純水、或いは洗浄液の配管系等において今後需要が見込まれる集積パネル、マニホールド等の流体デバイスと、ポンプ、バルブ、アキュムレータ等の流体デバイスとを、ガスケットを介してシール状態で連通接続させるための接続構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
上記接続構造として、例えば、流体デバイスの一例であるバルブと、同じく流体デバイスの一例である流体通路が内部形成されたマニホールドとを、それらの給排流路どうしを連通させて接続連結するものがあり、例えば特許文献１において開示されたものが知られている。特許文献１においては、バルブ側の流路ブロック（符号４）とマニホールド（符号３）とを、シールガスケット（符号１）を介してボルト止めするに当り、平面視の形状が矩形を呈する流路ブロックの四隅に貫通される計４本のボルト（符号５）を、マニホールド（符号３）に形成されている雌ねじ部に螺合させて締め付ける構成が採られている。
【０００３】
しかしながら、マニホールドは合成樹脂部品であることが多いので、ボルトを直接にマニホールドに螺着させる構造は、ねじバカになり易いとともにクリープによって締付力が低下することでシール性能に悪影響が出るおそれもあり、あまり実用的ではない。その対策として、マニホールドを挟み込むべくその下側に配されるベースプレートを設け、マニホールドを貫通させてベースプレートにボルトを螺着させる手段が試されたが、前述のクリープがより顕著化する点で採用は困難であった。
【０００４】
そこで、マニホールドに形成された穴にヘリサート（商品名）やエンザート（商品名）等の所謂インサートナットを挿入して有効なナットを構成する手段が考えられる。ところが、インサートナットを用いる手段では、マニホールドへの挿入方向が少しでもずれると、ボルトをねじ込んで締め付けても、流体デバイスどうしの締付トルクは不足気味になるとか、インサートナットが共回りする不都合があるとともに、場合によってはねじどうし（ボルトとインサートナット）が焼付くおそれもあり、流体デバイスどうしの接続構造にはさらなる改善の余地が残されていた。
【特許文献１】２００１−８２６０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、ボルト・ナットによる締付連結手段をさらに工夫して、合成樹脂等の比較的軟らかい材料で成る場合の多い流体デバイスどうしの接続構造を、緩みやガタツキ、そしてクリープによる締め付けトルクの低下を回避させて、長期に亘って有効なシール状態が維持できるものに改善させる点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明は、流体デバイスどうしの接続構造において、
流体通路３，４が開口する第１流体給排口部１Ａを備えた第１流体デバイス１の前記第１流体給排口部１Ａと、流体通路７，８が開口する第２流体給排口部２Ａを備えた第２流体デバイス２の前記第２流体給排口部２Ａとが、これら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２Ａとの間に介在されるガスケットＧによって前記流体通路３，４，７，８をシールする状態で連通接続されるにあたり、
前記第１及び第２流体デバイス１，２の両者を貫通して通される状態のボルト６６と、前記ボルト６６の軸部の先端部に螺着自在なナット６７と、前記第１及び第２流体デバイス１，２のうちのいずれか一方と前記ナット６７との間又は前記第１及び第２流体デバイス１，２のうちのいずれか他方と前記ボルト６６のボルト頭部７４との間に介装される弾性手段６８とを設け、
前記ボルト６６と前記ナット６７とを螺合させての締付けにより、前記弾性手段６８を所定量圧縮しながら第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが前記ガスケットＧを介して連通接続される接合状態が維持自在に構成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記弾性手段６８に押圧される前記第１又は第２流体デバイス１Ａ，２Ａと前記弾性手段６８との間にワッシャ６９が介装されていることを特徴とするものである。
【０００８】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記ワッシャ６９は、このワッシャ６９が通される前記ボルト６６の隣りのボルト６６のワッシャを兼ねるものに形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記ボルト６６が、前記ナット６７が螺合自在なネジ部７６ａを有する先端側軸部６６Ａと、この先端側軸部６６Ａの根元側部分７２との螺合が自在な先端側ネジ軸部７３及びボルト頭部７４を有するボルト頭側部６６Ｂとで構成され、前記先端側軸部６６Ａとこれが挿通される前記第１又は第２流体給排口部１Ａ，２Ａとの回動移動を阻止する回り止め手段Ｃが装備されていることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項５に係る発明は、請求項４に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記先端側軸部６６Ａにおける弾性手段６８と前記ナット６７との間と、前記先端側軸部６６Ａの隣の先端側軸部６６Ａにおける弾性手段６８と前記ナット６７との間とに跨って介装される第二ワッシャ７０を設け、前記回り止め手段Ｃは、前記第二ワッシャ７０と前記先端側軸部６６Ａとの相対回動を不能とする嵌合構造によって構成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項６に係る発明は、請求項５に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記先端側軸部６６Ａは、前記ワッシャ６９及び前記第二ワッシャ７０が外嵌される先端側部分７５と、前記第１又は第２流体給排口部１Ａ，２Ａに挿入自在な根元側部分７２と、前記ワッシャ６９の前記先端側部分７５から前記根元側部分７２への移動を阻止する受止め部分７５ａとを有して構成されるとともに、前記ナット６７の前記ネジ部への螺合により、前記ワッシャ６９及び前記第二ワッシャ７０を前記先端側部分７５に嵌装し、かつ、前記弾性手段６８を前記ワッシャ６９と前記第二ワッシャ７０との間に装備する状態が保持可能に構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項７に係る発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載の流体デバイスどうしの接続構造において、前記弾性手段６８が、前記先端側部分７５に嵌装される巻きバネ又は皿ばねであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明によれば、ボルトとナットにより、第１流体給排口部と第２流体給排口部とがガスケットを介しての接合状態を維持させることができる。そして、一方の流体デバイスとナットとの間、又は他方の流体デバイスとボルト頭との間には弾性手段が介装されているので、ボルトをナットに締付けるに伴って弾性手段が圧縮されて第１流体デバイスと第２流体デバイスとを互いに押し合う方向の付勢力が生じるように作用する。故に、ボルト・ナットを所定の締付トルクで締付ければ、一方又は双方の流体デバイスを構成する材料（合成樹脂等）にクリープによる寸法変化が生じても、弾性手段による付勢力が効いて締付トルクが殆ど低下しないようになり、一対の流体デバイスどうしの正規の接合状態を維持させることが可能になる。しかも、ボルトは双方の流体デバイスを貫通するものであるから、ボルト・ナットで部分的に圧接挟持する場合に比べて材料の局部変形を抑制することができ、シール面の変形等の局部変形に基く不具合も回避可能となる。
【００１４】
従って、ガスケットに付与する面圧の低下も解消又は低減できて、安定したシール性能を発揮させることが可能になるとともに、ボルト・ナットの増し締めも必要なくなり、メンテナンス性の向上も図ることができる。その結果、ボルト・ナットによる締付連結手段のさらなる工夫により、合成樹脂等の比較的軟らかい材料で成る場合の多い流体デバイスどうしの接続構造を、緩みやガタツキ、そしてクリープによる締め付けトルクの低下を回避させて、長期に亘って有効なシール状態が維持できて漏れに対する信頼性が向上するように改善された流体デバイスどうしの接続構造を提供することができる。また、請求項７にように、弾性手段を巻きバネや皿バネといった入手し易く廉価な部品で構成できる利点がある。
【００１５】
請求項２の発明によれば、弾性手段の付勢力がワッシャを介することで流体デバイスには広い面積に分散されて作用するようになるから、弾性手段によって流体デバイスに局部的に大きな応力が作用することが防止されて、流体デバイスの弾性又は塑性変形やクリープ変形を抑制することができ、請求項１の発明による前記効果を強化することができる利点がある。また、請求項３のように、ワッシャが隣りのボルトのワッシャを兼ねるものとすれば、流体デバイスとの接触面積を無理なく大幅に拡大することができてより上記変形が抑制できるとともに、部品点数の削減が可能になる利点も得られる。
【００１６】
請求項４の発明によれば、ボルトを、いずれかの流体デバイスに対して回り止めされる先端側軸部とボルト頭側部とに分割構成してあるので、予め先端側軸部にナットを螺着させておいて、そのナットが螺装されている先端側軸部に対してボルト頭側部を螺着させることでボルト・ナットの締付け操作を行うことができる。即ち、一方の流体デバイスにナットが螺着された先端側軸部を装備しておけば、他方の流体デバイスからボルト頭側部を単純に締付操作すれば一対の流体デバイスどうしを締付けて接合させることができるのである。つまり、一般的なボルト・ナットにおいては、一方の流体デバイスの向こう側に配されるナットを回動不能に係止させた状態で、他方の流体デバイスの手前側からボルト操作する、という比較的やりにくい締付操作を行わねば成らないのに対して、本請求項４のものでは、他方の流体デバイスからの単純なボルト操作のみで済むものとなり、締付操作の簡単化が図れる流体デバイスどうしの接続構造が提供できる。
【００１７】
請求項５の発明によれば、通常、流体デバイスどうしを接合するためのボルト・ナットは複数設けられるので、ナットと流体デバイスとの間に介装される弾性手段のナット側の受け部材として装備される第二ワッシャを、隣のボルト・ナットに跨る兼用ワッシャとして部品点数の増大を抑制するとともに、その第二ワッシャを用いて回り止め手段を構成させてある。即ち、第二ワッシャと先端側軸部とを断面形状がＤ形や角形等の相対回動を不能とする形状として嵌合させることにより、一方の先端側軸部の存在によって他方の先端側軸部の回り止めが行えるようになる。従って、複数存在するボルト・ナットに跨る第二ワッシャの有効利用により、ナット側の確実なバネ受け作用と先端側軸部の回り止めとが最小部品点数で実現できる合理的な構造の流体デバイスどうしの接続構造を提供することができる。
【００１８】
請求項６の発明によれば、詳しくは実施形態の項にて述べるが、先端側軸部に形成された受止め部分によってワッシャの先端側部分から根元側部分への移動が阻止されることにより、ワッシャ、弾性手段、第二ワッシャ、及びナットの四種の部品を先端側軸部に装備された状態、即ちこれらの部品が一体のものとして予備組付けされた状態にすることが可能になる。これによれば、その予備組付けされた状態の先端側軸部をいずれかの一方の流体デバイスに装備しておけば、他方の流体デバイスからのボルト頭側部の単純な締付操作を行うことで流体デバイスどうしをガスケットを介して接合させることができる。その結果、流体デバイスどうしの組付け時には単純なボルトを回すだけという簡単で便利な操作で良く、四種の部品を先端側軸部に装備する面倒な操作が省け、実質的に組付けが楽で迅速化される好ましい流体デバイスどうしの接続構造とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、本発明による流体デバイスどうしの接続構造の実施の形態を、マニホールドの上面にバルブを実装する場合について図面を参照しながら説明する。図１〜図７は実施例１による接続構造を、図８〜図１０は実施例２による接続構造を、図１１，１２は実施例３による接続構造を夫々示す。また、図１３〜図１６は各種の別実施例である。
【００２０】
〔実施例１〕
図１〜図７に、マニホールドとエアオペバルブとの接続構造（表面実装機器の締付固定構造）を示している。このマニホールドとエアオペバルブとの接続構造は、複数の管状の流体通路３，４が内部形成されたマニホールド（第１流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａに内外の計２箇所のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２を有する流体用ガスケットＧを介して搭載されるエアオペバルブ（第２流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する同心状二重流路型のものである。エアオペバルブ２に代えて、開閉バルブ、ストップバルブ等、種々のバルブにすることが可能である。
【００２１】
マニホールド１は、図１，図２，図６に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａと横向きの横通路３ｂとから成る管状の供給側流体通路３と、縦通路３ａの外径側に形成されてパネル上面１ａに開口する環状の縦リング通路４ａとこれの底部に連通される横向きの横通路４ｂとで成る排出側流体通路４とが形成されたものである。このマニホールド１における給排流体通路３，４が二重配管状に開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、管状の縦通路３ａと環状の縦リング通路４ａとが互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１，４１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。
【００２２】
エアオペバルブ２は、図１，図２，図６に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａに開口する状態でその中心に縦向きに配された管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の外径側に形成されて底面６ａに開口する状態で縦向きに配された環状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、管状の供給側流体通路７と環状の排出側流体通路８が互いに同一の軸心Ｐを有する同心状の通路に形成されている。そして、バルブケース６の下部には、両端部のそれぞれに一対のボルト挿通孔９ａを有するガラス繊維入りＰＰＳやその他の材料によるフランジ部９が後述するボルト６６の共締めによって一体化されている。尚、バルブケース６とフランジ部９とは、切削加工や成形加工によって一体形成された一体型のものでも良い。また、第２流体給排口部２Ａには、その下端面に開口する各流体通路７，８の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起１１，３１を有する上第１シール端部ｔ１１及び上第２シール端部ｔ１２が形成されている。
【００２３】
流体用ガスケットＧは、図１〜図５に示すように、内外のリング状ガスケット部Ｇ１，Ｇ２（以後、第１ガスケット部Ｇ１、第２ガスケット部Ｇ２と略称する）と、これらを連結一体化する四箇所のブリッジ部Ｂとから構成されてる。第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２は、径が異なるのみで断面形状は同一のものに形成されている。その構造を内側の第１ガスケット部Ｇ１を例に挙げて説明する。尚、説明を省略する第２ガスケット部Ｇ２には、第１ガスケット部Ｇ１に対応する箇所には対応した符号を付す（例：５４ａ→６４ａ）ものとする。さて、第１ガスケット部Ｇ１は、第１，第２流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路ｗ１と、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起３１のそれぞれに嵌合すべく流体経路ｗ１の外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００２４】
つまり、第１ガスケット部Ｇ１の断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路ｗ１の上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００２５】
マニホールド１の第１流体給排口部１Ａの下第１及び下第２シール端部ｔ２１，ｔ２２の環状突起２１，４１及びエアオペバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１及び上第２シール端部ｔ１１、ｔ１２における環状突起１１，３１の内及び外径側に、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における環状溝５１，６１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２，５３，６２，６３が、相対応する環状溝５１，６１と相対応する環状突起１１，２１，３１，４１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起１２，１３，２２，２３，３２，３３，４２，４３が形成されている。
【００２６】
上記環状押え突起に関する構造を、第１ガスケット部Ｇ１と上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状時突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００２７】
第１ガスケット部Ｇ１の内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起である周壁端部５２，５３を有し、接合状態（図１参照）においては、内外の周壁５４，５５の端部である周壁端部５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａと第１ガスケット部Ｇ１のテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａと第１ガスケット部Ｇ１のテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００２８】
つまり、第１ガスケット部Ｇ１の上端部には、環状溝５１とその内外の周壁端部５２，５３とで上シール部ｇ１１が形成されており、同様に下端部には下シール部ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。同様に、第２ガスケットにも上シール部ｇ２１と下シール部ｇ２２とが形成されており、それぞれ上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。
【００２９】
嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１と第１ガスケット部Ｇ１の上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図２，図３に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の周壁端部５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の周壁端部５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内周壁端部５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図３の仮想線を参照）、流体通路ｗ１を通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むのことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。
【００３０】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．７５〜０．８５）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内周壁端部５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。
【００３１】
また、環状押え突起１２，１３の先端、及び周壁端部５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ，１３ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路ｗ１側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路ｗ１途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００３２】
嵌合シール部１０についてさらに詳述する。図２，図３に示すように、環状押え突起１２，１３における環状突起側のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されており、周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００３３】
また、環状押え突起１２，１３の傾斜カット面１２ｂ，１３ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａ及びテーパ内周面１３ａとテーパ外周面５３ａの夫々は環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。
【００３４】
つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記周壁端部５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（テーパ内周面５２ａ、テーパ外周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（テーパ外周面１２ａ、テーパ内周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。
【００３５】
このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、周壁端部５２，５３の拡がりを規制しながらも、自身（環状押え突起１２，１３）が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、周壁端部５２，５３の谷部１４，１５への刺さり込みによってテーパ周面５２ａ，５３ａが環状押え突起１２，１３を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起１２，１３の径方向への拡がり変形を抑制することができる。
【００３６】
以上述べた嵌合シール部１０の構造は、第１ガスケット部Ｇ１の下側、及び第２ガスケット部Ｇ２においても同様に構成されており、対応する箇所には対応する符号を付すものとする。第２ガスケット部Ｇ２は、径は異なるが断面形状に関しては第１ガスケット部Ｇ１のものと全く同じである。但し、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの上第２シール端部ｔ１２と下第２シール端部ｔ２２については、その外周側に流体通路が存在しないので、それぞれ上第１シール端部ｔ１１と下第２シール端部ｔ２１とやや形状が異なる。
【００３７】
即ち、上第２シール端部ｔ１２に関しては、環状押え突起３３のテーパ内周面３３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部６ｂが存在している点である。この下端内周部６ｂは、第２ガスケット部Ｇ２の上シール部ｇ２１を上第２シール端部ｔ１２に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面３３ａと共に第２ガスケット部Ｇ２の外周壁６５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。そして、下第２シール端部ｔ２２に関しては、外側の環状押え突起４３の外周側にパネル材５が連続して存在している点であり、下シール部ｇ２２と下第２シール端部ｔ２２との嵌め合せ時に、第２ガスケット部Ｇ２の下シール部ｇ２２の外周壁端部６３の拡がり変形がテーパ内周面４３ａによって阻止される作用効果が強化されるようになる。
【００３８】
一方、第１及び第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２のうち、接合状態において内径側及び外径側の双方に流体通路７，８が存在する中間ガスケットである第１ガスケット部Ｇ１は、これの外周部である外周面５５ａが、第１ガスケット部Ｇ１の外径側に存する第１流体給排口部１Ａの環状の流体通路４ａと第２流体給排口部２Ａの環状の流体通路８とを連通する環状の流体経路ｗ２を形成するための壁面となる状態に形成されている。このように第１ガスケット部Ｇ１の内外周面５４ａ，５５ａの双方が流体通路ｗ１，ｗ２を形成する壁面を兼ねる構成とすれば、「第１ガスケット部Ｇ１の厚み」＝「環状流体通路３ａ，７と管状流体通路４ａ，８との間隔」となり、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの接続部をよりコンパクト化することが可能になる。
【００３９】
さて、ブリッジ部Ｂは、図１，２及び図４，５に示すように、流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに対する径方向に沿う最短距離でもって第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２に亘って架設形成されており、軸心Ｐを中心とする９０度の均等角度毎に計四箇所（２，３箇所又はそれ以上でも可）状形成されている。これにより、流体用ガスケットＧは、ブリッジ部Ｂがスポークに相当して、軸心Ｐ方向視においてホイール（タイヤが外装される自動車用のホイール）のような形状を呈している。ブリッジ部Ｂの断面形状は円形に設定されているとともに、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２への付け根部分は裾拡がり状に形成されている。尚、ブリッジ部Ｂの断面形状は、上下（軸心Ｐ方向）に長い楕円形状や、上下（軸心Ｐ方向）に長い菱形でも良く、要は、流体経路ｗ１，Ｅ２の軸心Ｐ方向に沿う寸法Ｈｂが、径方向に沿う寸法Ｓｂよりも大となる形状に設定されることが、流体流れの抵抗となり難いようにする点から望ましい。
【００４０】
そして、各ブリッジ部Ｂの流体経路ｗ１，ｗ２の軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｂが、第１，第２ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における第１環状溝５１，６１と第２環状溝５１，６１との夫々の溝底で挟まれる連結部分Ｒの軸心Ｐに沿う方向の厚みＨｒと同じ値（又はそれ以下の値でも良い）に設定され、かつ、ブリッジ部Ｂは、図５に示すように、軸心Ｐ方向において連結部分Ｒに相対応する位置に形成されている。
【００４１】
ブリッジ部Ｂの断面を円形として、排出側流体通路８（第２流体経路ｗ２）を流れる流体の抵抗となり難くしてある。そして、各ガスケット部Ｇ１，Ｇ２における連結部分Ｒを基本とする周壁端部５２，５３，６２，６３の径方向への変位の妨げとならないようにしてあり、それによってブリッジ部の有無に拘らずに優れたシール性が維持されるようになっている。もし、ブリッジ部Ｂの厚みＨｂが連結部分の厚みＨｒよりも厚いと、第１ガスケット部Ｇ１の外側の周壁端部５３と第２ガスケット部Ｇ２の内側の周壁端部６２とが剛結されたような状態に近付き、ブリッジ部Ｂ付近だけ径方向への移動が行い難くなってシール性に悪影響を与えるおそれがあるからである。尚、図示は省略するが、ブリッジ部Ｂの厚みＨｂを連結部分Ｒ厚みＨｒよりも薄くしても良い。つまり、Ｈｂ≦Ｈｒであれば良い。
【００４２】
次に、維持手段Ｉについて説明する。表面実装機器の締付固定構造とも言うべき維持手段Ｉは、図１，２，６，７に示すように、マニホールド１及びエアオペバルブ２の両者を貫通して通される状態の特殊ボルト６６と、特殊ボルト６６の軸部の先端部に螺着自在なナット６７と、マニホールド（「第１及び第２流体デバイスのうちのいずれか一方」の一例）１とストップボルト（ナットの一例）６７との間に介装される巻きバネ（弾性手段の一例）６８と、四角ベース板（ワッシャの一例）６９と四角ワッシャ（第二ワッシャの一例）７０とを設け、特殊ボルト６６とストップボルト６７とを螺合させての締付けにより、巻きバネ６８を所定量圧縮しながら第１流体給排口部１Ａと第２流体給排口部２ＡとがガスケットＧを介して連通接続される接合状態が維持自在に構成されている。
【００４３】
図１，６，７に示すように、特殊ボルト６６は、ストップボルト６７が螺合自在な先端雌ネジ部（ネジ部の一例）７１を有する先端側軸部６６Ａと、この先端側軸部６６Ａの根元側部分７２との螺合が自在な先端側ネジ軸７３及びボルト頭７４を有するボルト頭側部６６Ｂとで構成されている。先端側軸部６６Ａは、マニホールド１の挿通孔（切欠きでも良い）１ｂに内嵌自在で、かつ、上方に開口する内ネジ（雌ネジ）７２ａを有する円筒状の前記根元側部分７２と、根元側部分７２よりも若干小径な中間円筒部分（先端側部分の一例）７５と、中間円筒部分７５と同径又はやや小径で断面がＤ字状に形成される先端軸部分７６とを有する段付棒状部材に構成されている。そして、先端軸部分７６から中間円筒部分７５に架けては、ストップボルト６７との螺合が自在な前述の先端雌ネジ部７１が下方に開放する状態で形成されている。
【００４４】
ボルト頭側部６６Ｂは、先端側軸部６６Ａの内ネジ７２ａに螺合自在な雄ネジ７３ａが外周に形成される前記先端側ネジ軸７３と、内六角操作部を有する前記ボルト頭７４とを有して構成されている。つまり、このボルト頭側部６６Ｂは見た目には至極一般的なボルトであり、バネ座金７７を介してエアオペバルブ２のボルト挿通孔９ａ及び丸穴凹入部９ｂに挿入自在である。
【００４５】
四角ベース板６９は、マニホールド１の底面と同寸法（又は若干小さい寸法）の矩形金属板で構成されており、その四隅の夫々には、先端側軸部６６Ａの中間円筒部分７５との嵌合が自在な挿通孔６９ａが形成されている。四角ワッシャ７０は、四角ベース板６９と同形状かつ同寸法の四角金属板の四隅夫々に、先端側軸部６６Ａの先端軸部分７６に嵌合するＤ形状の挿通孔７０ａを有して構成されている。比較的巻き数が少なくしてバネ長が抑えられている巻きバネ６８は、先端側軸部６６Ａの中間円筒部分７５を囲繞する状態で四角ベース板６９と四角ワッシャ７０との間に装備自在に構成されている。また、先端側軸部６６Ａの先端雌ネジ部７１に螺合自在なストップボルト６７は、四角ワッシャ７０の挿通孔７０ａの径よりも大なる径のボルト頭６７ａを有している。
【００４６】
さて、維持手段Ｉを用いてエアオペバルブ２をマニホールド１に取り付けるには、まず先端側軸部６６Ａを用いた予備組付け工程を行って弾性ナット機構ｄ〔図７（ａ）参照〕を構成する必要があり、その弾性ナット機構ｄをマニホールド１に装着した状態で４組のボルト頭側部６６Ｂを用いての締付工程を行うようにすると良い。このように弾性ナット機構ｄに予備組付け（ＡＳＳＹ）状態にすることにより、単純なボルト操作を行うだけで締付操作が行えるものとなる。
【００４７】
つまり、図６及び図７（ａ）に示すように、四角ベース板６９の各挿通孔６９ａの夫々に先端側軸部６６Ａの中間円筒部分７５を挿入し、四角ベース板６９から突出している各中間円筒部分７５に巻きバネ６８を装備する。それから、四角ワッシャ７０を、挿通孔７０ａと先端軸部分７６とを位置合わせして嵌合させた状態としてから、各先端雌ネジ部７１にストップボルト６７を螺着させることにより、四個の先端側軸部６６Ａ、四角ベース板６９、四個の巻きバネ６８、四角ワッシャ７０、及び四個のストップボルト６７を組付け一体化して弾性ナット機構ｄを構成させる予備組付け工程を行う。この状態では、各巻きバネ６８は四角ベース板６９と四角ワッシャ７０との間に、自由状態で隙間が無い状態、又は多少圧縮された状態で介装されている。
【００４８】
尚、断面Ｄ形状どうしの挿通孔７０ａと先端軸部分７６との嵌合により、各先端側軸部６６Ａと四角ワッシャ７０とは相対回動不能となるように設定されており、これによって回り止め手段Ｃが構成されている。従って、各先端側軸部６６Ａが対応する挿通孔１ｂに差し込まれた挿入状態〔図７（ｂ）参照〕においては、先端側軸部６６Ａが回り止め状態にあるので、ボルト頭側部６６Ｂを対応する先端側軸部６６Ａに対して単に締め込み操作するだけで、先端側軸部６６Ａの上端６６ａがバルブケース６としての底面６ａに当接する締切り状態にすることができるようになっている。
【００４９】
図７（ｂ）に示すように、各先端側軸部６６Ａが対応する挿通孔１ｂに差し込まれて、四角ベース板６９がマニホールド１の底面１ｔに当接する弾性ナット機構ｄの挿入状態においては、先端側軸部６６Ａの上端６６ａはマニホールド１の上面１ａよりも若干下がった位置にある。このとき四角ベース板６９と四角ワッシャ７０との上下間距離はＬ１であり、図７（ａ）に示すＡＳＳＹ状態においても同じＬ１である。そして、エアオペバルブ２のフランジ部９を通されたボルト頭側部６６Ｂの雄ネジ７３ａを、先端側軸部６６Ａの内ネジ７２ａに螺合させての締付け操作を行い、図７（ｃ）に示すように、先端側軸部６６Ａの上端６６ａがフランジ部９の底面でもあるバルブケース６の底面６ａに当接する締切り状態とする締付工程を行う。
【００５０】
この締切り状態では、中間円筒部分７５と根元側部分７２との段差壁７５ａが、四個の巻きバネ６８の付勢力に抗して四角ベース板６９の上面から上方に強制移動して巻きバネ６８が所定量圧縮されており、それによって四角ワッシャ７０及びストップボルト６７を介して特殊ボルト６６を下方に、即ちマニホールド１とエアオペバルブ２とが互いに接近する方向に押圧付勢されている。尚、締切り状態における四角ベース板６９と四角ワッシャ７０との上下間距離は、前記Ｌ１よりも小さい値のＬ２である。従って、フッ素樹脂製のマニホールド１がクリープ等によって多少圧縮方向に変形されても、締付方向に弾性付勢される維持手段Ｉによってエアオペバルブ２との相対締付力が変化しないので、これら両者１，２の当接面からの流体の漏れが生じないようになるのである。また、ボルト頭側部６６Ｂを先端側軸部６６Ａに螺着させて締付操作することによって、エアオペバルブ２とマニホールド１とがガスケットＧを介して引き寄せられるようになって、実施例１における維持手段Ｉは引き寄せ手段を兼ねるものに構成されている。
【００５１】
ところで、図１に仮想線で示すように、異物やごみの影響を無くし外観向上にも寄与するように、四角ワッシャ６９から下の部分を覆うカバー体７８を設けても良い。カバー体７８は、４箇所のストップボルト６７が載置される厚みの厚い四角底板７８Ａと、マニホールド１の下端部と相対摺動自在な状態で弾性ナット機構ｄを覆う前後左右の側面で成る四角筒部７８Ｂとから構成されている。
【００５２】
〔実施例２〕
実施例２による流体デバイスどうしの接続構造を図８，図９に示す。この流体デバイスどうしの接続構造は、一対の円管状の流体通路３，４が内部形成された集積パネル（第１流体デバイスの一例）１と、これの上面１ａに一対のリング状のガスケットＧ，Ｇを介して搭載されるバルブ（第２流体デバイスの一例）２とに跨って構成された縦向きの軸心Ｐを共有する単流路型のものである。つまり、給排用として一対の接続構造が互いに同一のものとして構成されている。
【００５３】
集積パネル１は、図８，図９に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のパネル材（又はブロック材）５の内部に、パネル上面１ａに開口する上下向きの縦通路３ａ，４ａと横向きの横通路３ｂ，４ｂとから成る一対の円管状の供給側流体通路３，４が形成されたものである。この集積パネル１における給排流体通路３，４が開口する部分を第１流体給排口部１Ａと称するものとし、この第１流体給排口部１Ａにおいては、円管状の縦通路３ａ，４ａのそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。また、第１流体給排口部１Ａには、その上端面に開口する各流体通路３，４の外径側部分のそれぞれには、軸心Ｐを中心とする環状で、かつ、上方に突出した内外の環状突起２１を有する下第１シール端部ｔ２１及び下第２シール端部ｔ２２が形成されている。
【００５４】
バルブ２は、図８，図９に示すように、ＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製で上下方向視形状が円形のバルブケース６を有しており、そのバルブケース６の下端部は、底面６ａから下方突出する状態で縦向きに配された円管状の供給側流体通路７と、この供給側流体通路７の横側方に離れて開口する状態で縦向きに配された円管状の排出側流体通路８とを有した第２流体給排口部２Ａに形成されている。つまり、この第２流体給排口部２Ａにおいては、円管状の供給側流体通路７，８のそれぞれが軸心Ｐを有する通路に形成されている。つまり、バルブケース６下端には、一対のボルト挿通孔９ａを有するガラス繊維入りＰＰＳやその他の材料による取付フランジ９の一対が下方突出形成されており、流体通路７，８を有する管部９Ａとフランジ部（外向きフランジ）９Ｂとで各取付フランジ９が形成されている。供給側の取付フランジ９が、下方突出する環状突起１１を有する上第１シール端部ｔ１１に形成され、排出側の取付フランジ９が、上方突出する環状突起１１を有する上第２シール端部ｔ１２に形成されている。
【００５５】
一対のガスケットＧは互いに同一のものであり、その構造を供給側のガスケットＧを例に挙げて説明する。さて、ガスケットＧは、供給側の上下の流体給排口部１Ａ，２Ａの相対応する流体通路である縦通路３ａ及び供給側流体通路７どうしを連通すべく形成された管状の流体経路Ｗと、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの端面に形成された上第１シール端部ｔ１１の環状突起１１と上第２シール端部ｔ１２の環状突起２１のそれぞれに嵌合すべく流体経路Ｗの外径側部分に形成された上下一対の環状溝５１，５１とを有するＰＦＡやＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものに構成されている。
【００５６】
つまり、ガスケットＧの断面形状は、上下一対の環状溝５１，５１と、これら環状溝５１，５１を形成するための内周壁５４及び外周壁５５とを有するとともに、上下の環状溝５１，５１は深さ及び幅が同一となる上下対称であり、かつ、内及び外周壁５４，５５も左右対称であって、第１及び第２流体給排口部１Ａ，２Ａの軸心Ｐ方向に沿う縦中心Ｚ、及び、その縦中心線Ｚに直交する横中心線Ｘの双方に関して線対称（ほぼ線対称でも良い）となる略Ｈ状の形状に形成されている。内周壁５４の上下端部は、内周面５４ａである流体経路Ｗの上下端部が先拡がり状に外向き傾斜するテーパ内周面５２ａ，５２ａに形成されるとともに、外周壁５５の上下端部も、その外周面５５ａの上下端部が内向き傾斜するテーパ外周面５３ａ，５３ａに形成されている。
【００５７】
集積パネル１の第１流体給排口部１Ａの下第１シール端部ｔ２１の環状突起２１及びバルブ２の第２流体給排口部２Ａの上第１シール端部ｔ１１における環状突起１１の内及び外径側に、ガスケットＧにおける環状溝５１を形成するために軸心Ｐ方向に突出形成された内外の周壁端部５２ａ，５３ａが、環状溝５１と環状突起１１，２１との嵌合によって拡がり変形するのを阻止する環状押え突起（「環状押え部分」と言う場合もある）１２，１３，２２，２３が形成されている。
【００５８】
上記環状押え突起に関する構造を、ガスケットＧと上第１シール端部ｔ１１とについて説明する。内外の環状押え突起１２，１３は対称のものであり、これらと環状突起１１とで囲まれた谷部１４，１５が奥窄まり状（上窄まり状）となるように環状突起側の側周面が傾斜したテーパ外周面１２ａ及びテーパ内周面１３ａを有する先窄まり状の環状突起に形成されている。つまり、上第１シール端部ｔ１１は、環状突起１１とその内外の両側に形成される環状押え突起１２，１３及び谷部１４，１５の総称である。
【００５９】
ガスケットＧの内外の周壁５４，５５の上端部は、環状押え突起１２，１３のテーパ外周面１２ａとテーパ内周面１３ａのそれぞれに当接するテーパ内周面５２ａとテーパ外周面５３ａを有して１４，１５に入り込み自在な先窄まり状の環状シール突起（周壁端部の一例）５２，５３を有し、接合状態（図８参照）においては、内外の周壁５４，５５の上端部である環状シール突起５２，５３が対応する谷部１４，１５に入り込み、上第１シール端部ｔ１１のテーパ外周面１２ａとガスケットＧのテーパ内周面５２ａとが圧接され、かつ、上第１シール端部ｔ１１のテーパ内周面１３ａとガスケットＧのテーパ外周面５３ａとが圧接されるように構成されている。
【００６０】
つまり、ガスケットＧの上端部には、環状溝５１とその内外の環状シール突起５２，５３とで上シール部ｇ１１が形成され、同様に下端部には下シール部ｇ１２が形成されている。上シール部ｇ１１は上第１シール端部ｔ１１と嵌合して嵌合シール部１０を形成し、下シール部ｇ１２は下第２シール端部ｔ２１と嵌合して嵌合シール部１０を形成する。
【００６１】
嵌合シール部１０の嵌合構造を、上第１シール端部ｔ１１とガスケットＧの上シール部ｇ１１について詳細に説明すると、図９，図１０に示すように、内外の谷部１４，１５どうし、及び内外の環状シール突起５２，５３どうしは互いに対称であって、内外の谷部１４，１５全体の挟角α°と内外の環状シール突起５２，５３全体の向い角β°との間には、α°＜β°という関係が設定されており、好ましくはα°＋（２０〜４０°）＝β°という関係に設定すると良い。この構成により、上第１シール端部ｔ１１の上環状突起１１と環状溝５１とが嵌り合った接合状態（後述）では、上内環状押え突起１２と上内環状シール突起５２とは、それらのテーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとが最内径側部分で圧接される状態となり（図１０の仮想線を参照）、流体通路Ｗを通る流体がこれら外内のテーパ周面１２ａ，５２ａどうしの間に入り込むことをも阻止する二次シール部Ｓ２として機能する利点が得られる。
【００６２】
そして、上環状突起１１の幅ｄ１と上環状溝５１の幅ｄ２との間には、ｄ１＞ｄ２という関係が設定されており、好ましくはｄ１×（０．６〜０．８）＝ｄ２という関係に設定すると良い。そして、上環状突起１１の突出長さｈ１と上環状溝５１の深さｈ２との間にはｈ１＜ｈ２という関係が設定されている。これらの構成により、上環状突起１１と上環状溝５１とが、詳しくは、上環状突起１１の内外の両側周面と相対応する上環状溝５１の内外の側周面とが強く圧接され、流体の漏れを阻止する優れたシール性能を発揮する一次シール部Ｓ１が形成されるとともに、上内環状押え突起１２のテーパ外周面１２ａと上内環状シール突起５２のテーパ内周面５２ａとが必ず当接することになり、前述した二次シール部Ｓ２が良好に形成される利点がある。
【００６３】
また、内側の環状押え突起１２の先端、及び環状シール突起５２，５３の先端はピン角とならないようにカットされた形状、即ち、傾斜カット面１２ｂ、並びにカット面５２ｂ，５３ｂに形成されている。これらの構成により、上内環状押え突起１２の先端が流体通路Ｗ側に若干広がり変形したとしても、もともとカットされた形状であることから、流体通路Ｗ途中に大きく開いた断面三角形状の凹みができるだけとなり、その凹みに存在する流体が容易に流れ出すようになって実質的に液溜りが生じないようになる。加えて、その凹みの開き角度、即ち、傾斜カット面１２ｂとテーパ内周面５２ａとの挟角は十分に大きく、表面張力による液溜りのおそれも回避される。また、環状突起１１先端の内角及び外角は面取り加工された形状１１ａとしてあるので、幅の狭い環状溝５１への圧入移動をかじり等の不都合なく円滑に行えるものとなっている。
【００６４】
外側の環状押え突起１３は、環状押え突起１３のテーパ内周面１３ａに続く状態で、バルブケース６の下端部を形成するための下端内周部９ｂが存在しており、内側の環状押え突起１２とは全体としての形状は異なる。そして、下第１シール端部ｔ２１に関しても、環状押え突起２３のテーパ内周面２３ａに続く状態で、パネル材５の上端部を形成するための上端内周部５ｂが存在しており、やはり、内側の環状押え突起２２とは全体としての形状が異なる。これら上及び下端内周部５ｂ，９ｂは、ガスケットＧの上及び下シール部ｇ１１，ｇ１２を上及び下第１シール端部ｔ１１，ｔ２１に嵌め合わす際のガイドとして機能するとともに、テーパ内周面１３ａ，２３ａと共にガスケットＧの外周壁５５の拡がり変形を阻止する機能も発揮可能である。
【００６５】
嵌合シール部１０についてさらに詳述する。図９，図１０に示すように、環状押え突起１２，１３のテーパ周面１２ａ，１３ａの開き角（谷部１４，１５の開き角）Ｄは５０〜７０度の範囲の値（５０°≦Ｄ°≦７０°）に設定されるとともに、環状シール突起（周壁端部）５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａの尖り角Ｅは６０〜８０度の範囲の値（６０°≦Ｄ°≦８０°）に設定されている。そして、開き角Ｄと尖り角Ｅとには、開き角Ｄに１０〜２０度を加えたものが尖り角Ｅとなる［Ｄ°＋（１０〜２０°）＝Ｅ°］ように設定されている。より好ましい値としては、開き角Ｄが６９〜７１度（Ｄ°＝７０±１°）、尖り角Ｅが７９〜８１度（Ｅ°＝８０±１°）、及び尖り角Ｅは開き角Ｄ＋９〜１１度（Ｅ°−Ｄ°＝１０±１°）に設定すると良い。
【００６６】
また、環状押え突起１２の傾斜カット面１２ｂのカット角Ｄｓは４９〜５１度（Ｄｓ°＝５０°±１°）に設定されており、周壁端部５２，５３の先端カット面５２ｂ，５３ｂの迎え角Ｅｓは１２４〜１２６度（Ｅｓ°＝１２５°±１°）に設定されている。このような角度設定により、テーパ外周面１２ａとテーパ内周面５２ａとは環状の線接触状態で当接されるようになり、シールリップ効果が二次シール部Ｓ２において発揮されるようになる。また、テーパ内周面１３ａとテーパ外周面５３ａとの間にも、それらの外径側端部においてシール作用が生じる。尚、図示は省略するが、下端内周部９ｂが存在しない場合（集積パネルや流体デバイスにおけるガスケットＧとの嵌合部の断面形状が左右対称である場合）は、外側の環状押え突起１３にも傾斜カット面１２ｂと同様な傾斜カット面が形成され、前記シールリップ効果が生じる。
【００６７】
つまり、前記第１流体給排口部１Ａと前記第２流体給排口部２Ａとが互いに引寄せられる方向である引寄せ方向に対する前記環状シール突起（周壁端部）５２，５３のテーパ周面５２ａ，５３ａ（テーパ内周面５２ａ、テーパ外周面５３ａ）の尖り角Ｅが、前記引寄せ方向に対する前記環状押え突起１２，１３における環状突起１１側のテーパ周面１２ａ，１３ａ（テーパ外周面１２ａ、テーパ内周面１３ａ）の開き角Ｄに１０〜２０度、好ましくは１０度又はほぼ１０度加えた値に設定されている。そして、前記尖り角Ｅが６０〜８０度、好ましくは８０度又はほぼ８０度に設定されている。
【００６８】
このように尖り角Ｅ及び開き角Ｄを９０度に近い鈍角的な値に設定する構成とすれば、環状押え突起１２，１３は、その径方向幅に比べて引寄せ方向（軸方向）の突出量が小さくなって相対的に強度、剛性が向上することとなり、環状シール突起５２，５３の拡がりを規制しながらも、自身（環状押え突起１２，１３）が径方向へ拡がり変形するおそれをより効果的に抑制することができる利点がある。そして、環状シール突起５２，５３の谷部１４，１５への刺さり込みによってテーパ周面５２ａ，５３ａが環状押え突起１２，１３を径方向に押し広げる分力を小さくでき、この点からも環状押え突起１２，１３の径方向への拡がり変形を抑制することができる。
【００６９】
次に、維持手段Ｉについて説明する。維持手段Ｉは、図９，図１０に示すように、集積パネル１の第１流体給排口部１Ａとバルブ２の第２流体給排口部２Ａとが互いにガスケットＧを介して引寄せられるとともに、その引寄せ作用によって、第１流体給排口部１Ａの上第１シール端部ｔ１１と、ガスケットＧの上シール部ｇ１１とが、及び第２流体給排口部２Ａの下第１シール端部ｔ２１と、ガスケットＧの下シール部ｇ１２とがそれぞれ嵌め合わされて各嵌合シール部１０が形成される接合状態を維持するものに構成されている。即ち、第２流体給排口部２Ａの環状突起１１とガスケットＧの上側の環状溝５１とが、及び第１流体給排口部１Ａの環状突起２１とガスケットＧの下側の環状溝５１とがそれぞれ嵌め合わされる。
【００７０】
維持手段Ｉの具体構造は、実施例１に用いられている維持手段Ｉと基本的には同じである。違いは、実施例２においては、実施例１による維持手段Ｉが各流体経路Ｗ毎に構成されていること、及び、四角ベース板６９が一対の流体経路Ｗ，Ｗに跨る単一のものに形成されていることであり、計８本の特殊ボルト６６、計８個のストップボルト６７、そして計８個の巻きバネ６８が使用されている。従って、実施例２における維持手段Ｉとしては、図１，２と同一の符号を付すことでその説明が為されたものであるとして、ここではこれ以上の文章説明は割愛する。
【００７１】
〔実施例３〕
実施例３による流体デバイスどうしの接続構造は、図１１，図１２に示すように、第１流体デバイス１が、上面に４個のバルブが搭載可能とされた横長矩形状の集約型マニホールドであり、第２流体デバイスは、集約型マニホールド１の上面に表面実装される各種バルブ２である。実施例１との構造上の違いは、維持手段Ｉにおける弾性手段６８を、巻きバネから一対の皿ばね８１，８１に変更したものであり、それ以外は基本的に同じである。しかして、図１２おいては、集約型マニホールド１及び弾性ナット機構ｄのみを示すものとしている。
【００７２】
つまり、弾性手段６８を構成する上下一対の皿バネ８１，８１が、その内径側どうしを突き合わせて積層させた状態で、四角ベース板６９と四角ワッシャ７０との間における四箇所のボルト６６の中央となる位置に配設されている。この場合、図１１に仮想線で示すように、皿バネ８１の内側に位置する位置決め用の内周ガイド８２を四角ベース板６９又は四角ワッシャ７０に設けておけば組付け易くなって好都合である。尚、集約型マニホールド１は、４箇所の第１流体給排口部１Ａのそれぞれに装備される排出側流体通路４と、各第１流体給排口部１Ａに共通使用される単一の供給側流体通路３とを有している。
【００７３】
ところで、図１１に仮想線で示すように、異物やごみの影響を無くし外観向上にも寄与するように、マニホールド１の下端部から下の部分を覆うカバー体７８を設けても良い。カバー体７８は、マニホールド１の底面１ｔの外周部が載置される平面視で四角筒状のカバー部７８Ｂと、その底面側の蓋部７８Ａとから構成されている。カバー部７８Ｂを構成する各側壁部７８ｂは、マニホールド１やバルブ２等の全荷重が掛かるに耐えるよう厚みの厚い板材で形成されている。
【００７４】
図１に示す構造のカバー体７８を用いる場合は、全荷重が４箇所のストップボルト７６に作用するので、巻きバネ（弾性手段）６８は、ボルト６６の増し締めが不要としながら漏れを防止すべくマニホールド１とバルブ２とを弾性的に互いに押付けるための弾性力に加えて、システムの重量にも抗する強いバネ（強いバネ定数）のものが必要になる。これに対して図１１に示すカバー体７８は、マニホールド１自体を支える構造であるから、皿バネ（弾性手段）６８はマニホールド１とバルブ２とを押付け合う本来の機能のためだけの緒元（弱いバネ定数等）を有するバネで良く、小型軽量化の点で有利であるとともに、カバー体７８とマニホールド１との相対摺動移動を考慮する必要もなく、単純に連結又は固定するだけで良いという利点もある。
【００７５】
〔別実施例〕
（１）図１３に示すように、先端側軸部６６Ａの先端軸部分７６を第二ワッシャ７０から十分に突出する長さで、かつ、外周に雄ネジ（ネジ部の一例）７１を有するものとし、ボルト６６と対を為すナット６７は、その雄ネジ７１に螺合自在な文字通りのナットに構成しても良い。この場合の回り止め手段Ｃは、例えば、雄ネジ７１を部分的にカットする断面Ｄ形状の先端軸部分７６と、同様に断面Ｄ形状の挿通孔７０ａとで構成する。この構成においても弾性ナット機構ｄとしての予備組付け（ＡＳＳＹ）が可能である。
【００７６】
（２）図１４に示すように、ナットの一例であるストップボルト６７が先端側軸部６６Ａにおける丸軸状の先端側部分７５の端面に螺着され、巻きバネ６８のは弾性力を受けるワッシャ６９は一般的な円環状のものとして設けることにより、各ボルト６６毎に構成される弾性ナット機構ｄとするものでも良い。ストップボルト６７は図示のようなフランジ付ボルトのほか、図示は省略するが、一般的なボルトとワッシャの組み合わせによるボルトでも良い。この場合の回り止め手段Ｃは、例えば、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、根元側部分７２を四角軸にし、かつ、マニホールド１の挿通孔１ｂを四角孔として、これら両者７２，１ｂの四角嵌合構造で構成すると良い。
【００７７】
（３）図１５に示すように、ボルト６６は、その先端雄ネジ部（ネジ部の一例）７１とボルト軸部６６Ｃとの境目に段差壁６６ａを有する単一のものに構成し、隣のボルト６６の先端雄ネジ部７１とに跨る第二ワッシャ７０に直接先端雄ネジ部７１を螺着させる構造としても良い。つまり、第二ワッシャ７０に形成される雌ネジがナット６７を構成するものであり、複数本のボルト６６，６６と、それらに跨る第二ワッシャ７０とで回り止め手段Ｃが構成されている。尚、巻きバネ６８の付勢力を受けるワッシャ６９を省略することは可能である。
【００７８】
（４）図１６に示すように、ボルト頭７４とバルブ２との間に巻きバネ（弾性手段）６８を介装する構造の維持手段Ｉも可能である。先端雄ネジ部（ネジ部の一例）７１とボルト軸部６６Ｃとの境目に段差壁６６ａを有する単一のボルト６６を用い、丸穴凹入部９ｂに落し込み配置される巻きバネ６８の上端は、ボルト頭７４側に装備されるワッシャ６９に当接している。この場合、先端雄ネジ部７１に螺合される板材製のナット６７は、図１５に示す場合と同様に、隣のボルトの先端雄ネジ部（図示省略）に跨るワッシャとしても機能するものに形成されており、それによって回り止め手段Ｃが構成されている。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】実施例１によるバルブのマニホールドへの締付固定構造を示す断面図
【図２】図１の締付固定構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図３】ガスケットとマニホールドとの詳細な嵌合構造を示す要部の拡大断面図
【図４】ガスケット単品の平面図
【図５】図４のイ−イ線断面図
【図６】図１の締付固定構造を示す分解斜視図
【図７】(ａ)追従付勢ＡＳＳＹの装着状況と、(ｂ)締付後の状況
【図８】実施例２によるバルブとマニホールドとの接続構造を示す断面図
【図９】図７の接続構造に用いるガスケットと流体給排口部の要部の断面図
【図１０】図８のガスケットとマニホールド嵌合構造の詳細を示す要部の拡大断面図
【図１１】実施例３による表面実装機器の締付固定構造を示す断面図
【図１２】図１１の締付固定構造の要部を示す分解斜視図
【図１３】ナットの別構造を示す要部の断面図
【図１４】（ａ）、（ｂ）は弾性ネジ機構の別構造を示す要部の平面図と断面図
【図１５】ナット及び回り止め手段の別構造を示す要部の断面図
【図１６】維持手段の別構造を示す要部の断面図
【符号の説明】
【００８０】
１          第１流体デバイス
１Ａ        第１流体給排口部
２          第２流体デバイス
２Ａ        第２流体給排口部
３，４      流体通路
７，８      流体通路
６６        ボルト
６６Ａ      先端側軸部
６６Ｂ      ボルト頭側部
６７        ナット
６８        弾性手段
６９        ワッシャ
７０        第二ワッシャ
７１        ネジ部
７２        根元側部分
７３        先端側ネジ軸部
７４        ボルト頭部
７５        先端側部分
７５ａ      受止め部分
Ｃ          回り止め手段
Ｇ          ガスケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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