(57)【要約】【課題】水切り乾燥装置および方法において、溶剤槽の溶剤中に形成される気泡を抑制し、ワークの水切り、乾燥を良好に行うことができるようにする。【解決手段】水の付着したワークＷの水切りおよびすすぎ乾燥を行う水切り乾燥装置１であって、ワークＷを浸漬する溶剤４ａ、１０ｂが貯留された水切り槽４、すすぎ乾燥槽１０と、水切り槽４、すすぎ乾燥槽１０に貯留された溶剤４ａ、１０ａに対して、ワークＷを出し入れする水切り部搬送機構４０Ａ、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂと、これらの搬送速度を制御する速度制御部１００とを備え、速度制御部１００は、ワークＷが溶剤４ａ、１０ｂと接触している間、ワークＷの搬送速度の大きさを、５．５ｍｍ／ｓ以下に制御するようにした構成とする。【選択図】図２
2008304120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水の付着したワークの水切りおよびすすぎ乾燥を行う水切り乾燥装置であって、
前記ワークを浸漬する溶剤が貯留された溶剤槽と、
該溶剤槽に貯留された前記溶剤に対して、前記ワークを出し入れするワーク搬送機構と、
該ワーク搬送機構の搬送速度を制御する速度制御部とを備え、
該速度制御部は、
前記ワークが前記溶剤槽に貯留された溶剤と接触している間、前記ワークの搬送速度の大きさを、５．５ｍｍ／ｓ以下に制御するようにしたことを特徴とする水切り乾燥装置。
【請求項２】
前記速度制御部は、
前記ワークが前記溶剤槽の溶剤液面に侵入する前、および前記溶剤液面から離脱する前に、前記溶剤槽の溶剤液面近傍で前記ワークの搬送を一旦停止させる制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の水切り乾燥装置。
【請求項３】
前記速度制御部は、
前記ワークが前記溶剤槽の溶剤から離れている間、前記ワークの平均搬送速度が、５．５ｍｍ／ｓより大きくなるように制御することを特徴とする請求項１または２に記載の水切り乾燥装置。
【請求項４】
前記溶剤槽の少なくとも１つは、前記ワークの水切りを行うため、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された溶剤を含む水切り槽であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の水切り乾燥装置。
【請求項５】
溶剤が貯留された溶剤槽に対してワークを出し入れすることで、水の付着したワークの水切りおよび乾燥を行う水切り乾燥方法であって、
前記溶剤槽に対するワークの出し入れの際、前記ワークが前記溶剤槽の溶剤と接触している間、前記ワークの搬送速度の大きさを、５．５ｍｍ／ｓ以下に制御するようにしたことを特徴とする水切り乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水切り乾燥装置および方法に関する。例えば、電子部品、光学・ガラス部品などの被洗浄物を脱脂洗浄工程およびリンス工程を行った後、リンス工程時に被洗浄物の表面に付着した水を除去する水切り乾燥装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、電子部品、光学・ガラス部品などの被洗浄物を脱脂洗浄工程およびリンス工程を行った後、リンス工程時に被洗浄物の表面に付着した水を除去する水切り乾燥装置が知られている。
このような水切り乾燥装置として、特許文献１には、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とからなる第１の溶剤を貯留する水切り槽部と、ハロゲン化炭化水素類からなる第２の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部と、これら第１の溶剤および第２の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部と、水切り槽部およびすすぎ乾燥槽部と蒸気滞留部とを連通させる連通部と、水切り槽部およびすすぎ乾燥槽部と蒸気滞留部との連通を遮る方向に連通部内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段とを備える水切り乾燥装置が記載されている。
この水切り乾燥装置では、水の付着したワークを、第１の溶剤が貯留された水切り槽部に浸漬した後、蒸気滞留部にワークを引き上げて水切りを行い、次にワークを連通部を移動させて、第２の溶剤が貯留されたすすぎ乾燥槽部に浸漬した後、蒸気滞留部にワークを引き上げてすすぎ乾燥を行うものである。
【特許文献１】特開２００６−２１１３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の水切り乾燥装置では、以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、溶剤が貯留された溶剤槽である水切り槽部、すすぎ乾燥槽部にワークを出し入れする際に、溶剤液面で空気を巻き込んで溶剤内に気泡が形成され、浸漬中のワークの表面に付着する場合がある。この場合、気泡に遮られてワークの表面に溶剤が十分浸漬されない部分が生じる結果、そのようなワークの部分では水切りやすすぎが不十分となり、ワークの表面に洗浄ムラが残ってしまうという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、溶剤槽の溶剤中に形成される気泡を抑制し、ワークの水切り、乾燥を良好に行うことができる水切り乾燥装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、水の付着したワークの水切りおよびすすぎ乾燥を行う水切り乾燥装置であって、前記ワークを浸漬する溶剤が貯留された溶剤槽と、該溶剤槽に貯留された前記溶剤に対して、前記ワークを出し入れするワーク搬送機構と、該ワーク搬送機構の搬送速度を制御する速度制御部とを備え、該速度制御部は、前記ワークが前記溶剤槽に貯留された溶剤と接触している間、前記ワークの搬送速度の大きさを、５．５ｍｍ／ｓ以下に制御するようにした構成とする。
この発明によれば、速度制御部によって、ワークが溶剤槽内の溶剤と接触している間、ワーク搬送機構の搬送速度の大きさを５．５ｍｍ／ｓ以下の低速に制御するので、溶剤槽内の溶剤とワークとが円滑に接触し、ワークの、溶剤液面への侵入時あるいは溶剤液面からの離脱時にも気泡の巻き込みが発生しにくくなる。このため、溶剤中に形成される気泡を抑制することができる。
【０００６】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の水切り乾燥装置において、前記速度制御部は、前記ワークが前記溶剤槽の溶剤液面に侵入する前、および前記溶剤液面から離脱する前に、前記溶剤槽の溶剤液面近傍で前記ワークの搬送を一旦停止させる制御を行う構成とする。
この発明によれば、ワークが溶剤液面に侵入する前、および溶剤液面から離脱する前に、溶剤槽の溶剤液面近傍でワークの搬送を一旦停止するので、移動中の慣性の影響などを受けることなく、気泡が形成されやすいワークが溶剤液面への侵入時、および溶剤液面からの離脱時における搬送速度の大きさを確実に低減することができる。
ここで、「溶剤液面近傍」とは、溶剤液面の変位量やワーク搬送機構の停止位置精度などを考慮して、ワークもしくはワークとともに移動する保持部が溶剤液面に接触しないように十分離間された距離を意味する。ただし、停止位置を溶剤液面から離しすぎると、侵入や離脱に時間がかかってしまうので、停止位置と溶剤液面との離間距離は、１０ｍｍ以下とすることが好ましい。
【０００７】
請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の水切り乾燥装置において、前記速度制御部は、前記ワークが前記溶剤槽の溶剤から離れている間、前記ワークの平均搬送速度が、５．５ｍｍ／ｓより大きくなるように制御する構成とする。
この発明によれば、ワークが溶剤槽の溶剤から離れている間、ワークの平均搬送速度が、５．５ｍｍ／ｓより大きくなるように制御するので、気泡形成に無関係となる溶剤と離れた状態での移動を迅速に行うことができる。
【０００８】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜３のいずれかに記載の水切り乾燥装置において、前記溶剤槽の少なくとも１つは、前記ワークの水切りを行うため、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された溶剤を含む水切り槽である構成とする。
この発明によれば、気泡が浸漬中のワークに付着すると水切りの不良となって不良部分が洗浄ムラとなって残りやすい水切り槽において、ワークの搬送速度を規制するので、洗浄ムラの発生を効率よく抑制することができる。
【０００９】
請求項５に記載の発明では、溶剤が貯留された溶剤槽に対してワークを出し入れすることで、水の付着したワークの水切りおよび乾燥を行う水切り乾燥方法であって、前記溶剤槽に対するワークの出し入れの際、前記ワークが前記溶剤槽の溶剤と接触している間、前記ワークの搬送速度の大きさを、５．５ｍｍ／ｓ以下に制御するようにした方法とする。
この発明によれば、請求項１に記載の水切り乾燥装置を用いて行う水切り乾燥方法となっているので、請求項１に記載の発明と同様の作用効果を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の水切り乾燥装置および方法によれば、ワークの、溶剤液面への侵入時あるいは溶剤液面からの離脱時の気泡の巻き込みを抑制することができるので、溶剤槽の溶剤中に発生する気泡を抑制し、ワークの水切り、乾燥を良好に行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置の概略構成を示す模式的な断面図である。図２は、本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置に用いるワーク搬送機構の概略構成を示す模式的な断面図である。図３は、図２のＣ−Ｃ線（Ｄ−Ｄ線）に沿う模式的な断面図である。図４（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置に用いるワークの一例を示す正面視および側面視の模式的な断面図である。
【００１２】
本実施形態の水切り乾燥装置１は、例えば、電子部品、光学・ガラス部品などの被洗浄物に対して、脱脂洗浄工程およびリンス工程を行った後、リンス工程時に被洗浄物の表面に付着した水を除去するための装置である。
水切り乾燥装置１の概略構成は、図１に示すように、被洗浄物を含むワークＷの水切りを行う水切り部２、水切り部２に並設されてワークＷのすすぎと乾燥とを行うすすぎ乾燥部３、水切り部２とすすぎ乾燥部３とに管路を介して接続された溢水用水分離槽１５、および凝縮用水分離槽２６を備えている。
【００１３】
水切り部２は、下方に配置されて、アルコール類とフルオロカーボン類（ハロゲン化炭化水素類）とが混合された溶剤４ａ（図２参照）を貯留する水切り槽４（溶剤槽）と、水切り槽４の上方で、水切り槽４から蒸発した溶剤４ａの蒸気を滞留させて蒸気域２３ａを形成するとともに、ワークＷを上下方向に移動させるための搬送空間を形成する水切り用蒸気滞留筒部１６とを備えている。
溶剤４ａの一例として、本実施形態では、バートレル（登録商標）Ｘ−Ｅ１０（商品名；三井・デュポンフロロケミカル社製）を採用している。
【００１４】
水切り槽４の内部には、貯留された溶剤４ａを加熱するヒータ５と、水切りを効率よく行うため溶剤４ａに浸漬されたワークＷに対して超音波洗浄を施す超音波発振器６とが設けられている。このヒータ５により溶剤４ａの温度を所定温度に制御できるようになっている。この所定温度は、本実施形態では、略４０℃に設定している。
また、水切り槽４では、溶剤液面４ｂ（図２参照）より上側の水切り槽４の上部と、水切り槽４の底部とは、管路７ａによって連通されており（図１参照）、この管路７ａの中間部には、溶剤４ａを水切り槽４の底部から上部に向かって循環させるためのポンプ８と、溶剤４ａ内のゴミや汚れ成分などを除去するフィルタ９とが設けられている。
【００１５】
水切り用蒸気滞留筒部１６の上面には、下方の水切り槽４と対向する位置に、ワークＷを上方向から水切り部２内に搬入するための開口１６ａが設けられている。
水切り用蒸気滞留筒部１６の上部側の内側には、蒸気域２３ａに滞留した蒸気を凝縮するための冷却装置２４が設けられている。そして、冷却装置２４の直下には、冷却装置２４で凝縮された凝縮液を捕集する堰２５がそれぞれ設けられている。
各堰２５の底部には、凝縮用水分離槽２６に接続された管路７ｃの端部が接続され、堰２５上に落下した凝縮液を凝縮用水分離槽２６に送り込むことができるようになっている。これにより、溶剤４ａの蒸気の捕集効率を向上させることができる。そのため、溶剤４ａの消費を抑制することができる。
【００１６】
また、水切り部２には、図２、３に示すように、水切り部２の内側に、開口１６ａの外部から水切り槽４の内部にまで延びる水切り部搬送機構４０Ａ（ワーク搬送機構）が設けられている。
水切り部搬送機構４０Ａは、ワークＷを水切り部２に搬入し、水切り用蒸気滞留筒部１６および水切り槽４の内部で、ワークＷを上下方向に移動するためのものである。
水切り部搬送機構４０Ａの概略構成は、ワークＷを載置して支持する略Ｌ字形のワーク支持部４３、ワーク支持部４３を上下方向に移動可能に案内する一対の搬送ガイド４２、例えば、ボールネジなどからなり、ワーク支持部４３の上端側と螺合してワーク支持部４３を上下動させる駆動軸４１、駆動軸４１を上端側で回転駆動する駆動モータ４４、および駆動軸４１を下端側で回転可能に支持する受け部材４９からなる。
ワーク支持部４３の略Ｌ字形の形状は、ワークＷの下面が十分露出するような形状とされる。例えば、ワークＷの載置面が水平方向に十分間隔が開いた櫛歯状の水平受け部を有する側面視Ｌ字状の形状とされる。
また、駆動モータ４４は、速度制御部１００に電気的に接続され、速度制御部１００の制御信号によって、その回転方向、回転量、回転速度を変えて駆動できるようになっている。これにより、ワーク支持部４３に支持されたワークＷを、開口１６ａの上側から、水切り槽４に貯留された溶剤４ａの内部までの範囲で、速度制御可能に搬送することができる。
【００１７】
また、水切り部２において、蒸気域２３ａの下方で水切り槽４との間には、後述する槽間搬送機構５０にワークＷを受け渡すための空間である水切り用連通部２０が形成されている。
【００１８】
ここで、本実施形態におけるワークＷの構成について説明する。
ワークＷは、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、平板状の保持板６１の開口部に被洗浄物である複数のレンズ６２が嵌め込まれて保持された保持ユニット６３が、水平方向に面間距離を空けた状態（図４（ａ）参照）でフレーム状の搬送治具６０に立設して配置されたものである。このため、各保持板６１の下端面６１ａは、搬送治具６０の下フレーム６０ａに支持されている。
【００１９】
すすぎ乾燥部３は、図１、２に示すように、下方に配置されて、フルオロカーボン類からなる溶剤１０ａを貯留するすすぎ乾燥槽１０と、すすぎ乾燥槽１０の上方で、すすぎ乾燥槽１０から蒸発した溶剤１０ａの蒸気を滞留させて蒸気域２３ｂを形成するとともに、ワークＷを上下方向に移動させるための搬送空間を形成するすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７とを備えている。
溶剤１０ａの一例としては、本実施形態では、バートレル（登録商標）ＸＥ（商品名；三井・デュポンフロロケミカル社製）を採用している。
【００２０】
すすぎ乾燥槽１０の内部には、貯留された溶剤１０ａを加熱するヒータ５と、すすぎを効率よく行うため溶剤１０ａに浸漬されたワークＷに対して超音波洗浄を施す超音波発振器６とが設けられている。このヒータ５により溶剤１０ａの温度を所定温度に制御できるようになっている。この所定温度は、本実施形態では略４８℃に設定している。
また、すすぎ乾燥槽１０では、溶剤液面１０ｂ（図２参照）より上側のすすぎ乾燥槽１０の上部と、すすぎ乾燥槽１０の底部とは、管路７ｂによって連通されており（図１参照）、この管路７ｂの中間部には、溶剤１０ａをすすぎ乾燥槽１０の底部から上部に向かって循環させるためのポンプ８と、溶剤１０ａ内のゴミや汚れ成分などを除去するフィルタ９とが設けられている。
【００２１】
すすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の上面には、下方のすすぎ乾燥槽１０と対向する位置に、ワークＷを下方向からすすぎ乾燥部３外に搬出するための開口１７ａが設けられている。
すすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の上部側の内側には、蒸気域２３ｂに滞留した蒸気を凝縮するための冷却装置２４が設けられている。そして、冷却装置２４の直下には、冷却装置２４で凝縮された凝縮液を捕集する堰２５がそれぞれ設けられている。
各堰２５の底部は、凝縮用水分離槽２６に接続された管路７ｄの端部が接続され、堰２５上に落下した凝縮液を凝縮用水分離槽２６に送り込むことができるようになっている。これにより、溶剤１０ａの蒸気の捕集効率を向上させることができる。そのため、溶剤１０ａの消費を抑制することができる。
【００２２】
また、すすぎ乾燥部３には、図２、３に示すように、すすぎ乾燥部３の内側に、開口１７ａの外部からすすぎ乾燥槽１０の内部にまで延びるすすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂ（ワーク搬送機構）が設けられている。
すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂは、ワークＷをすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７およびすすぎ乾燥槽１０の内部で上下方向に移動するとともに、ワークＷを開口１７ａから外部に搬出するためのものである。
すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂの概略構成は、水切り部搬送機構４０Ａと同様に、略Ｌ字形のワーク支持部４３、一対の搬送ガイド４２、駆動軸４１、駆動モータ４４、および受け部材４９からなる。駆動モータ４４は、速度制御部１００に電気的に接続され、速度制御部１００の制御信号によって、水切り部搬送機構４０Ａの駆動モータ４４とは独立に、回転方向、回転量、回転速度を変えて駆動できるようになっている。
これにより、ワーク支持部４３に支持されたワークＷを、開口１７ａの上側から、すすぎ乾燥槽１０に貯留された溶剤１０ａ内部までの範囲で、速度制御可能に搬送することができる。
【００２３】
また、すすぎ乾燥部３において、蒸気域２３ｂの下方ですすぎ乾燥槽１０との間には、後述する槽間搬送機構５０で搬送されるワークＷをすすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂに受け渡すための空間であるすすぎ乾燥用連通部２１が形成されている。
【００２４】
水切り用連通部２０とすすぎ乾燥用連通部２１との間には、水切り用蒸気滞留筒部１６とすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７とを水平方向に連通させる連通路３０が、ワークＷが移動可能な大きさに形成されている。
そして、水切り用連通部２０、連通路３０、すすぎ乾燥用連通部２１には、水切り部搬送機構４０Ａから受け渡されたワークＷを水平方向に搬送して、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂに受け渡すための槽間搬送機構５０が設けられている。
【００２５】
槽間搬送機構５０の概略構成は、図２、３に示すように、水切り用連通部２０からすすぎ乾燥用連通部２１までの範囲に水平方向に延ばされた、例えばボールネジなどからなる駆動軸５１、駆動軸５１の水切り用連通部２０側の端部に接続され駆動軸５１を回転駆動する駆動モータ５４、駆動軸５１のすすぎ乾燥用連通部２１側の端部で駆動軸５１を回転可能に支持する受け部材５３、およびワークＷを載置して駆動軸５１で水平方向に移動可能に支持された略Ｌ字形のワーク受け台５２からなる。
駆動モータ５４は、速度制御部１００に電気的に接続され、速度制御部１００の制御信号によって、回転方向、回転量、回転速度を変えて駆動できるようになっている。
ワーク受け台５２は、水切り部搬送機構４０Ａ、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂの各ワーク支持部４３との間で、上下方向に相対移動して、ワークＷを受け渡しできる形状であれば、どのような形状でもよい。
例えば、ワーク受け台５２の形状は、ワーク支持部４３と同様の櫛歯を有する形状とし、ワーク受け台５２の水平受け部の櫛歯の開口側が、ワーク支持部４３の水平受け部の櫛歯の開口側と対向され、受け渡し位置で、それぞれの水平受け部が上下方向に干渉することなく移動できるような形状を採用することができる。
【００２６】
溢水用水分離槽１５は、図１に示すように、水切り槽４およびすすぎ乾燥槽１０からあふれた、水を含む溶剤４ａ、１０ａを、水切り槽４、すすぎ乾燥槽１０の側方の下側に設けられた管路７ｆを通して回収するとともに、回収された溶剤４ａ、１０ａからなる混合溶剤を、溢水用水分離槽１５内で後述するエダクタ３４の作用により、バブリングして蒸気状にして水切り用連通部２０に還流させるものである。
本実施形態では、溶剤４ａはアルコール類とフルオロカーボン類とからなり、溶剤１０ａはフルオロカーボン類からなるので、これらが混合された混合溶剤は、アルコール類とフルオロカーボン類とからなり、結局、溶剤４ａと同じ成分となっている。このため、以下では、誤解のおそれがない場合、溢水用水分離槽１５に貯留された混合溶剤も、単に溶剤４ａと称する場合がある。
【００２７】
溢水用水分離槽１５の底部と上部とは、管路７ｅによって連通されており、この管路７ｅの中間部には、溶剤４ａを水切り槽４の底部から上部に向かって循環させるための循環ポンプ３５と、溶剤４ａ内のゴミや汚れ成分などを除去するフィルタ９と、入力ポート３４ｃ、出力ポート３４ｂが管路７ｅと接続されたエダクタ３４とが設けられている。
エダクタ３４の吸入ポート３４ａには、水切り用連通部２０の側部に設けられた凝縮器３１の近傍の吸入孔３２と連通する管路７ｇが接続されている。
また溢水用水分離槽１５の上部の空間は、管路７ｈを介してすすぎ乾燥用連通部２１と連通され、すすぎ乾燥用連通部２１の側部において連通路３０と対向する位置に設けられた吐出孔３６から、溢水用水分離槽１５の上部の蒸気や空気が吸入孔３２側に向かって流通できるようになっている。
【００２８】
凝縮用水分離槽２６は、管路７ｃ、７ｄから送られた凝縮液を比重の違いを利用して、水、アルコール水溶液と、溶剤１０ａ成分とに分離し、溶剤１０ａ成分のみを管路７ｉを通して、すすぎ乾燥槽１０内に還流させるものである。
【００２９】
次に、水切り乾燥装置１の動作について、水切り部搬送機構４０Ａ、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂを用いたワークＷの搬送動作を中心に説明する。
図５は、本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置１の速度制御部によるワーク搬送機構の速度変化を模式的なグラフである。縦軸は搬送速度Ｖ（下降方向が正、上昇方向が負）、横軸は時間ｔを示す。
【００３０】
まず、装置内の溶剤、溶剤蒸気の流れについて説明する。
ヒータ５によって、水切り槽４内の溶剤４ａ、すすぎ乾燥槽１０内の溶剤１０ａをそれぞれの所定温度である略４０℃、略４８℃になるまで加熱する。これにより溶剤４ａ、１０ａが蒸発し始め、これらの蒸気は、それぞれ水切り用蒸気滞留筒部１６、すすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の内部を上昇し、それぞれ蒸気域２３ａ、２３ｂが形成される。
蒸気域２３ａ、２３ｂの蒸気は、冷却装置２４によって冷却されると、凝縮して堰２５に落下し、管路７ｃ、７ｄを通って凝縮用水分離槽２６に送られる。凝縮用水分離槽２６では、この凝縮液から水およびアルコール水溶液を分離して、溶剤１０ａ成分のみを管路７ｉを介してすすぎ乾燥槽１０に還流させる。
一方、溢水用水分離槽１５では、貯留された水入り混合溶剤から水が分離され、混合溶剤成分のみが蒸気状（気体）にされて、管路７ｈを介して吐出孔３６にて吐出される。すなわち、循環ポンプ３５によって水を含む混合溶剤が溢水用水分離槽１５と管路７ｅ内で循環され、その際、エダクタ３４の気圧変化により、管路７ｇ内の蒸気や空気が吸入ポート３４ａから吸引され、この蒸気や空気の吐出によって溢水用水分離槽１５内の混合溶液がバブリングされて蒸気状となり、水と分離され、蒸気状となった混合溶剤が、管路７ｈを介して、吐出孔３６にて水平方向に吐出される。このとき、吸入孔３２からは水切り用連通部２０内の蒸気や空気が吸入されるので、吐出孔３６から吸入孔３２の間のすすぎ乾燥用連通部２１、連通路３０、水切り用連通部２０には、一方向に流れる気流が形成されている。
【００３１】
水切り乾燥装置１によって、ワークＷの水切り、すすぎ乾燥を行うには、図２、３に示すように、まず、ワーク受け台５２を連通路３０に移動した状態で、水切り部搬送機構４０Ａの駆動モータ４４を駆動して、ワーク支持部４３を開口１６ａの近傍に移動する。そして、開口１６ａの上方からワークＷを搬入し、ワーク支持部４３の水平受け部上に載置する。そして、ワーク支持部４３を下降させ、蒸気域２３ａ、水切り用連通部２０内を移動し、水切り槽４に侵入させ、ワークＷが溶剤４ａに完全に浸漬された状態で停止する。
このとき、速度制御部１００は、駆動モータ４４の回転速度を変化させて、ワーク支持部４３の速度を、図５の時刻ｔ０から時刻ｔ６の間に示すグラフのように変化させる。なお、図５では、時刻ｔｎ（ｎは整数）は、ｔｎ＋１＞ｔｎであり、添字ｎの大小が、時刻の前後に対応している。
【００３２】
まず、時刻ｔ０から時刻ｔ１までの間、下降速度を０からＶ１まで加速し、時刻ｔ２までの間、速度Ｖ１で等速移動する。速度Ｖ１は、動作効率を向上するためには、できるだけ高速として、移動時間を短縮させることが好ましい。本実施形態では、一例として、２００ｍｍ／ｓとしている。
これにより、ワークＷは、蒸気域２３ａを通過し、水切り用連通部２０内に侵入する。そして、時刻ｔ２から減速し、溶剤液面４ｂの近傍に達する時刻ｔ３で一旦停止する。
時刻ｔ３における停止位置は、溶剤液面４ａの変位量やワーク支持部４３の停止位置精度などを考慮して、ワークＷもしくはワークＷとともに移動するワーク支持部４３が溶剤液面４ａに接触しないように十分離間された位置に設定する。この位置は、５ｍｍ以上１０ｍｍ以下が好ましい。本実施形態では、溶剤液面４ｂから、約６ｍｍ離れた位置としている。
【００３３】
この停止後、時刻ｔ４で速度Ｖ２となるように加速し、時刻ｔ４から時刻ｔ５までの間、等速で下降させる。そして、時刻ｔ５から減速し、ワークＷの全体が溶剤４ａ内に浸漬された状態となる時刻ｔ６で下降を停止する。ここで、速度Ｖ２は、５．５ｍｍ／ｓ以下に設定する。
このような速度制御を行うことにより、ワークＷまたはワーク支持部４３は、必ず速度Ｖ２以下で溶剤液面４ｂと接触し、ワークＷが溶剤４ａに接触している間、その状態が維持される。
このような５．５ｍｍ／ｓ以下の低速の搬送速度では、ワークＷ、ワーク支持部４３が溶剤液面４ｂと接触する際に、溶剤液面４ｂ内に円滑に侵入するため、気泡の巻き込みが抑制され、まったく気泡が発生しないか、発生してもきわめて少ない。その結果、レンズ６２に気泡がほとんど付着しないため、レンズ６２の表面に溶剤４ａが均一に接触しつつ、保持ユニット６３が溶剤４ａに浸漬されていく。
そして、ワークＷが完全に溶剤４ａに浸漬された状態を、時刻ｔ６から時刻ｔ７まで維持する。こうしてワークＷの表面に付着した水や汚れ成分は、ワークＷの表面から均一に溶剤４ａ中に分散し、ワークＷの表面に再度付着することなく、溶剤液面４ｂに向かって速やかに浮上し、ワークＷから除去される。
【００３４】
このように水切り槽４にワークＷが浸漬されることで、水切り槽４からは、水や汚れ成分を含む溶剤４ａがあふれ出るが、このあふれ分は、管路７ｆを通して、溢水用水分離槽１５に送られ、水が分離され、フィルタ９で汚れが浄化された後、清浄化された溶剤４ａが蒸気状（気体）となって管路７ｈを介して吐出孔３６にて吐出される。
【００３５】
次に、時刻ｔ７以降では、上記と逆の速度変化を与えて、ワーク支持部４３を上昇させる。すなわち、時刻ｔ７から時刻ｔ８で、速度Ｖ２と同じ大きさの上昇速度Ｖ３まで加速し、時刻ｔ８から時刻ｔ９まで等速上昇を続け、ワークＷを溶剤４ａから引き上げる。そして、時刻ｔ９で減速を開始し、ワークＷおよびワーク支持部４３が完全に溶剤液面４ｂから離脱した後の時刻ｔ１０に、溶剤液面４ｂの近傍で一旦停止する。
このような５．５ｍｍ／ｓ以下の低速の搬送速度では、ワークＷ、ワーク支持部４３が溶剤液面４ｂから離脱する際に、溶剤液面４ｂが乱されないため、ワークＷやワーク支持部４３の離脱部分で、気泡の巻き込みが抑制され、まったく気泡が発生しないか、発生してもきわめて少ない。その結果、水切り槽４内の溶剤４ａにほとんど気泡が存在しない状態となっているので、水切り槽４内の気泡がなくなるまで次のワークＷの浸漬を待つことなく、効率的に水切りを続行することができる。
【００３６】
次に、時刻ｔ１０から、速度Ｖ３より高速な上昇速度Ｖ４まで加速し、ワーク支持部４３が、水切り用連通部２０の受渡位置まで上昇したとき（時刻ｔ１３）に上昇を停止する。ここで、速度Ｖ４は、本実施形態では、Ｖ４＝Ｖ１＝２００ｍｍ／ｓとしているが、この値は、溶剤液面４ｂから受渡位置までの移動距離と必要な移動時間との関係から適宜変更することができる。したがって、速度Ｖ４は、下降速度Ｖ１と異なる大きさとしてもよい。
ワークＷの受渡位置は、槽間搬送機構５０によって、ワーク受け台５２を水切り用連通部２０側に水平移動させたとき、ワーク受け台５２が干渉することなく、ワーク支持部４３の下面側に移動できる高さとする。
【００３７】
次に、速度制御部１００は、槽間搬送機構５０の駆動モータ５４を駆動して、ワーク受け台５２をワーク支持部４３の下方に水平移動させる。
次に、速度制御部１００は、ワーク支持部４３を下降させ（図５には図示せず）、ワークＷをワーク受け台５２に受け渡す。
さらに、速度制御部１００は、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂの駆動モータ４４を駆動して、ワーク支持部４３を、すすぎ乾燥用連通部２１における受渡位置まで下降させておく。この受渡位置は、ワーク受け台５２の下面側に、ワーク支持部４３の水平受け部が位置する高さとされる。
【００３８】
次に、速度制御部１００は、ワーク受け台５２をすすぎ乾燥用連通部２１に向かって水平移動させ、連通路３０を経由してすすぎ乾燥用連通部２１に待機しているにワーク支持部４３の上方まで移動させる。そして、ワーク支持部４３を上昇させて、ワークＷをワーク支持部４３に移載し、さらにすすぎ乾燥用連通部２１内で、ワーク受け台５２と干渉しない位置まで上昇させてから停止する。その後、ワーク受け台５２を連通路３０に退避させる。
【００３９】
次に、速度制御部１００は、ワークＷが移載されたすすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂのワーク支持部４３を、上記水切り部搬送機構４０Ａの動作と略同様にして、下方に移動し、ワークＷをすすぎ乾燥槽１０内の溶剤１０ａに浸漬してから、上方に引き上げて、蒸気域２３ｂで乾燥に必要な時間だけ停留させて、乾燥を行ったのち、開口１７ａの近傍に移動する。
すなわち、ワークＷの受渡位置から下降を開始し、速度Ｖ１で移動した後、時刻ｔ３において、溶剤液面１０ｂの上側の近傍で一旦停止し、速度Ｖ２＝５．５ｍｍ／ｓ以下で下降させて、時刻ｔ６で、ワークＷが溶剤１０ａに完全に浸漬される。時刻ｔ６から時刻ｔ７まで浸漬を行った後、ワークＷまたはワーク支持部４３が溶剤１０ａと接触している間、速度Ｖ３＝Ｖ２以下で、上昇を行い、溶剤液面１０ｂを離脱後に、時刻ｔ１０で溶剤液面１０ｂの近傍位置に一旦停止する。そして、上昇速度Ｖ４に加速して、すすぎ乾燥用連通部２１、蒸気域２３ｂ内を上昇させて、時刻ｔ１３で、蒸気域２３ｂ中の乾燥位置に停止し、適宜時間だけ蒸気域２３ｂに停留させて乾燥を行う。そして、乾燥終了後、開口１７ａの近傍位置に移動し、ワークＷを装置外に搬出する。
ここで、簡単のため、図５のグラフを用いてすすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂの動作を説明したが、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂの搬送における移動距離、移動経路は、水切り部搬送機構４０Ａにおける搬送の移動距離、移動経路と、時間的に略対称な関係にあるので、各時刻ｔｎの具体的な値は、水切り部搬送機構４０Ａの場合と異なっていてもよい。また、浸漬時間（ｔ７−ｔ６）も、水切りとすすぎとでは、それぞれ異なる長さとしてもよい。
【００４０】
このようにすすぎ乾燥槽１０にワークＷが浸漬されることで、すすぎ乾燥槽１０からは、水や汚れ成分を含む溶剤１０ａがあふれ出るが、このあふれ分は、管路７ｆを通して、溢水用水分離槽１５に送られ、水が分離され、フィルタ９で汚れが浄化された溶剤４ａとの蒸気状（気体）となって管路７ｈを介して吐出孔３６にて吐出される。
【００４１】
このように、本実施形態では、すすぎ乾燥部搬送機構４０Ｂにおいても、ワークＷの溶剤液面１０ｂに対する侵入時および離脱時の搬送速度を水切り部搬送機構４０Ａの場合と同様に設定するので、溶剤１０ａ内の気泡発生が抑制され、侵入時にレンズ６２に気泡が付着したり、離脱時に溶剤１０ａ内に気泡を残したりしないようにすることができる。
こうしてワークＷの表面に付着した水や汚れ成分は、ワークＷの表面から均一に溶剤１０ａ中に分散し、ワークＷの表面に再度付着することなく溶剤液面１０ｂに向かって速やかに浮上し除去される。これにより、ワークＷの洗浄やすすぎが良好に行われる。
【００４２】
一方、速度制御部１００は、ワーク受け台５２がすすぎ乾燥用連通部２１側に向かって連通路３０に移動した時点で、次のワークＷを装置内に搬入するため、水切り部搬送機構４０Ａのワーク支持部４３を開口１６ａの近傍に上昇させ、上記の動作を繰り返すことができるようにする。
このようにして、上記動作を繰り返すことで、複数のワークＷを連続的に搬入、搬出して、順次、水切り、すすぎ、乾燥を行うことができる。
【００４３】
次に、搬送速度Ｖ２を変化させたときの洗浄性能についての実験結果について説明する。
本実験例は、本実施形態の水切り乾燥装置１を用い、表１に示すように、搬送速度Ｖ１（＝Ｖ４）＝２００ｍｍ／ｓに固定し、搬送速度Ｖ２（＝Ｖ３）を、１．０ｍｍ／ｓ〜７．０ｍｍ／ｓまで変化させて、レンズ６２に対して、水切り、すすぎ、乾燥を行い、レンズ６２の表面の洗浄ムラの程度を目視評価したものである。
洗浄ムラの評価は、洗浄ムラが少ない方から、○（良好）、△（やや悪い）、×（悪い）の三段階に評価した。
【００４４】
【表１】
2008304120.tif 000003
【００４５】
表１によれば、速度Ｖ２が５．５ｍｍ／ｓ以下の実施例１〜５では、いずれも良好な洗浄結果が得られた。
一方、速度Ｖ２が５．８ｍｍ／ｓ、６．０ｍｍ／ｓの比較例１〜２では、やや悪く、Ｖ２が７．０ｍｍ／ｓの比較例３では、悪いという洗浄結果が得られた。
また、ワークＷの溶剤液面に対する侵入時、離脱時の気泡発生の観察結果からも、速度Ｖ２の大きさが増大するほど、気泡発生量が増えることが確認された。
これらの結果から、搬送速度Ｖ２を５．５ｍｍ／ｓ以下とすることにより、溶剤内の気泡発生が抑制され、レンズ６２に気泡が付着することにより発生する洗浄ムラが低減されることが分かる。
【００４６】
なお、上記の説明では、一例として、２つの溶剤槽である水切り槽およびすすぎ乾燥槽の両方とも、溶剤液面に対する侵入時および離脱時の搬送速度を５．５ｍｍ／ｓ以下とした場合の例で説明したが、複数の溶剤槽の洗浄効果において、気泡の付着の影響に大きな差がある場合、気泡の付着の影響が顕著に現れる方の溶剤槽のみの搬送速度を５．５ｍｍ／ｓ以下としてもよい。
溶剤槽が、水切り槽とすすぎ乾燥槽の場合、気泡付着の影響が顕著となるのは、水切り槽であるので、水切り工程以前の洗浄度合いなどによっては、上記実施形態において、すすぎ乾燥槽の搬送速度Ｖ２は、５．５ｍｍ／ｓより大きな値としてもよい。
【００４７】
また、上記の説明では、ワークの溶剤液面に対する侵入前、溶剤液面からの離脱後に、溶剤液面近傍に、ワークを一旦停止させる場合の例で説明したが、気泡の発生は、溶剤液面における空気の巻き込みによるため、侵入時、離脱時におけるワークの搬送速度が支配的である。したがって、侵入時、離脱時の搬送速度を確実に制御できる場合には、必ずしも一旦停止しなくてもよい。
また、上記の説明では、一旦停止してからただちに加速または減速する場合の例で説明したが、適宜時間停止してから時間をおいて加速または減速してもよい。
【００４８】
また、上記の説明では、溶剤として、フルオロカーボン類を含む場合の例で説明したが、ハロゲン化炭化水素類であれば、これに限ることはなく、他のハロゲン化炭化水素類を採用してもよい。
【００４９】
また、上記の説明では、溶剤槽に超音波洗浄器を備える場合の例で説明したが、これに限ることはなく、他の洗浄手段、例えば、揺動洗浄、噴流洗浄またはこれらの組み合わせなどを採用してもよい。
【００５０】
また、本発明の技術範囲は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置の概略構成を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置に用いるワーク搬送機構の概略構成を示す模式的な断面図である。
【図３】図２のＣ−Ｃ線（Ｄ−Ｄ線）に沿う模式的な断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置に用いるワークの一例を示す正面視および側面視の模式的な断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る水切り乾燥装置の速度制御部によるワーク搬送機構の速度変化を模式的なグラフである。
【符号の説明】
【００５２】
１  水切り乾燥装置
２  水切り部
３  すすぎ乾燥部
４  水切り槽（溶剤槽）
４ａ、１０ａ  溶剤
４ｂ、１０ｂ  溶剤液面＋
１０  すすぎ乾燥槽（溶剤槽）
１６  水切り用蒸気滞留筒部
１７  すすぎ乾燥用蒸気滞留筒部
２０  水切り用連通部
２１  すすぎ乾燥用連通部
４０Ａ  水切り部搬送機構（ワーク搬送機構）
４０Ｂ  すすぎ乾燥部搬送機構（ワーク搬送機構）
４４、５４  駆動モータ
５０  槽間搬送機構
６０  搬送治具
６１  保持板
６２  レンズ
１００  速度制御部
Ｗ  ワーク
【図１】
2008304120.tif 000004
【図２】
2008304120.tif 000005
【図３】
2008304120.tif 000006
【図４】
2008304120.tif 000007
【図５】
2008304120.tif 000008