(57)【要約】【課題】流体計測部が取外し可能な流量計において、センサ部分を保護してセンサを破損させることなく流体計測部の取外しができる流量計を提供する。【解決手段】被測定流体を検出する流量センサ６を有し、流速センサ６の検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測するセンサユニット９を備え、被測定流体が流れる主流路９ｂを形成し、被測定流体を分流させる分流路９ｄ，９ｅを備えるボディ部９ａと、ボディ部９ａとセンサユニット９の間に設けられ、流量センサ６を覆うと共に、分流路９ｄ，９ｅに連通する板状の流路構造部３とを備え、流路構造部３とセンサユニット９をボディ部９ａに対して着脱自在に構成した。【選択図】図１
2008304394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体を検出するセンサを有し、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部と、
被測定流体が流れる主流路を形成し、被測定流体を分流させる第１の分流路と第２の分流路を備えるボディ部と、
前記ボディ部と前記流体計測部の間に設けられ、前記センサを覆うと共に、前記第１の分流路と前記第２の分流路に連通する板状の流路構造部とを備え、
前記ボディ部に対して前記流路構造部及び前記流体計測部が着脱自在であることを特徴とする流量計。
【請求項２】
被測定流体を検出するセンサを有し、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部と、
被測定流体が流れる主流路を形成し、被測定流体を分流させる第１の分流路と第２の分流路を備えるボディ部と、
前記ボディ部と前記流体計測部の間に設けた板状部材からなり、前記第１の分流路を通じて分流された被測定流体が流入する前記ボディ部側の面に形成した第１の流路と、前記流体計測部側の面に形成された第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路を連通する第１の連通孔部と、前記第２の分流路を通じて被測定流体が前記主流路へ流出する前記ボディ部側の面に形成した第３の流路と、前記第２の流路と前記第３の流路を連通する第２の連通孔部とを有する流路構造部とを備え、
前記センサは前記第２の流路に面して配置され、
前記ボディ部に対して前記流路構造部及び前記流体計測部が着脱自在であることを特徴とする流量計。
【請求項３】
ボディ部側の面を第１の流路と第３の流路に分割する仕切り部材を備え、
前記第１の流路と前記第３の流路は被測定流体の流れを整える整流子を備え、
第２の流路は、被測定流体の流速ベクトルを均一化するベクトル調整部材とを備えたことを特徴とする請求項２記載の流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、気体流量を計測する流量計に関し、特に工場等において配管内の気体流量を測定する際に使用される流量計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図８に示すように、従来の流量計に用いられる流路構造体は、主流管９１の外周面に副流路を形成する副流路ブロック９２を一体形成したベース９０と、中央部に測定孔９３を有し副流路ブロック９２の開口部をシールするシール板９４と、測定孔９３に挿入される流量検出素子を下面に有しシール板９４に積み重ねられる回路基板９５と、副流路ブロック９２の開口部を被覆するカバー９６とから構成されている。なお、シール板９４と回路基板９５とはネジを介して副流路ブロック９２に固定される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０８５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１に開示された流量計では、センサである流量検出素子が露出しており、メンテナンスや異常時にセンサ部分を副流路ブロックから取外して調整を行う際に、センサを傷つけたり破損させてしまうという課題があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、流体計測部が取外し可能な流量計において、センサ部分を保護してセンサを破損させることなく流体計測部の取外しができる流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る流量計は、被測定流体を検出するセンサを有し、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部と、被測定流体が流れる主流路を形成し、被測定流体を分流させる第１の分流路と第２の分流路を備えるボディ部と、前記ボディ部と前記流体計測部の間に設けられ、前記センサを覆うと共に、前記第１の分流路と前記第２の分流路に連通する板状の流路構造部とを備え、前記ボディ部に対して前記流路構造部及び前記流体計測部が着脱自在である。
【０００７】
この発明に係る流量計は、被測定流体を検出するセンサを有し、前記センサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部と、被測定流体が流れる主流路を形成し、被測定流体を分流させる第１の分流路と第２の分流路を備えるボディ部と、前記ボディ部と前記流体計測部の間に設けた板状部材からなり、前記第１の分流路を通じて分流された被測定流体が流入する前記ボディ部側の面に形成した第１の流路と、前記流体計測部側の面に形成された第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路を連通する第１の連通孔部と、前記第２の分流路を通じて被測定流体が前記主流路へ流出する前記ボディ部側の面に形成した第３の流路と、前記第２の流路と前記第３の流路を連通する第２の連通孔部とを有する流路構造部とを備え、前記センサは前記第２の流路に面して配置され、前記ボディ部に対して前記流路構造部及び前記流体計測部が着脱自在である。
【０００８】
この発明に係る流量計は、ボディ部側の面を第１の流路と第３の流路に分割する仕切り部材を備え、前記第１の流路と前記第３の流路は被測定流体の流れを整える整流子を備え、第２の流路が被測定流体の流速ベクトルを均一化するベクトル調整部材とを備えるものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、被測定流体を検出するセンサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部と、被測定流体が流れる主流路を形成し、被測定流体を分流させる第１の分流路と第２の分流路を備えるボディ部と、前記ボディ部と前記流体計測部の間に設けられ、前記センサを覆うと共に、前記第１の分流路と前記第２の分流路に連通する板状の流路構造部とを備え、前記ボディ部に対して前記流路構造部及び前記流体計測部が着脱自在に構成したので、流体計測部をボディから取り外した場合でも、流路構造部がセンサに対して蓋体として機能し、センサが露出して傷ついたり破損することを防止できる。
【００１０】
この発明によれば、被測定流体を検出するセンサの検出結果に基づいて被測定流体の流量を計測する流体計測部と、被測定流体が流れる主流路を形成し、被測定流体を分流させる第１の分流路と第２の分流路を備えるボディ部とを備え、第１の分流路を通じて分流された被測定流体が流入する前記ボディ部側の面に形成した第１の流路と、流体計測部側の面に形成された第２の流路と、第１の流路と第２の流路を連通する第１の連通孔部と、第２の分流路を通じて被測定流体が主流路へ流出するボディ部側の面に形成した第３の流路と、第２の流路と第３の流路を連通する第２の連通孔部とを有する流路構造部をボディ部と流体計測部の間に設け、センサを第２の流路に面して配置し、ボディ部に対して流路構造部及び流体計測部を着脱自在に構成したので、流体計測部をボディ部から取り外した場合でも、流路構造部がセンサに対して蓋体として機能し、センサが露出して傷ついたり破損することを防止できる。また、第１の流路、第２の流路、第３の流路、第１の連通孔及び第２の連通孔を設けて流路を折り返し、被測定流体が流通する流路を長く設けるように構成したので、被測定流体の整流を十分に行うことができ、正確な流量測定が実現でき、さらに流体計測部を小型化することができる。
【００１１】
この発明によれば、流路構造部のボディ部側の面に第１の流路と第３の流路に分割する仕切り部材を備え、第１の流路と第３の流路それぞれに被測定流体の流れを整える整流子を備えるように構成したので、第１の流路で整流した被測定流体が第３の流路に流出する順流及び、第３の流路で整流した被測定流体が第１の流路に流出する逆流において整流効果を得ることができ、被測定流体の流量測定を精度良く実施することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る流量計の分解斜視図である。図１に示すように流量計１は、フィルタ２、流路構造部３、金網４、破断面が楕円のゴムパッキン５、流量センサ６と計測部７と支持板７ａ，７ｂと表示部８を備えたセンサユニット（流体計測部）９から構成されている。
フィルタ２は、流路構造部３に着脱可能に取り付けられ、後述するボディ部から導入される被測定流体のダスト（異物）を除去する。なお、必要に応じてフィルタを設けずに構成してもよい。流路構造部３は、支持板７ａに両面テープや接着剤などにより固定され、ボディ部から導入される被測定流体の流速を下げると共に、被測定流体の偏流や乱れを整流して流量センサ６に導入する楕円に形成された調節体である。また、流路構造部３を設けることにより、センサユニット９をボディ部から取外した際に流量センサ６を覆う蓋体として機能し、センサユニット９の流量センサ６部分が露出して破損するのを防止することができる。なお、流路構造部３は、支持板７ａに両面テープや接着剤により取り付けられる以外にも、その他の方法により容易に支持板７ａから脱落しないように取り付けても良い。
【００１３】
金網４は、流量センサ６に導入される前の被測定流体の偏流や乱れを整流するための整流素子であり、複数枚が一定間隔に流量センサ６の上流側に配置されている。流量センサに供給する被測定流体の流速等を考慮して、配置する金網４の枚数、目の粗さ、または配置間隔を変更してもよい。ゴムパッキン５は弾性体であり、流路構造部３と同様に楕円で形成されている。センサユニット９の支持板７ａの中央部には流量センサ６が配置されており、支持板７ｂには流路構造部３及びゴムパッキン５と同様の楕円状の孔部が形成されている。流路構造部３及びセンサユニット９はボディ部対して着脱可能であるが、流路構造部３はセンサユニット９の支持板７ａに両面テープなどにより固定されているため、容易に外れない。流量センサ６は、金網４で整流された被測定流体の流量を検出し、検出信号をリード線（図示せず）などから計測部７に出力する。
【００１４】
図２は、この発明の実施の形態１に係る流量計のセンサユニットの正面図である。
計測部７は、外部装置と接続するネットワークケーブル等を挿入するコネクタ７１を有している。また支持板７ａ，７ｂには、センサユニット９とボディ部９ａとを接続する際に固定するネジ７２が設けられている。センサユニット９とボディ部９ａをネジ７２によりネジ止めすることにより、ゴムパッキン５が支持板７ａとボディ部９ａの取り付け面に当接して気密性が保たれる。表示部８は、設定入力を行う設定スイッチと８１と、設定スイッチ８１による設定内容などを表示する表示器８２とを備えている。図２の例では、センサユニット９に表示部８を装備した場合を示したが、表示部を有さない構成であっても構わない。
【００１５】
図３は、この発明の実施の形態１に係るセンサユニットのボディ部への取り付けを示す図である。ボディ部９ａは、主流路９ｂ、オリフィス９ｃ、分流路（第１の分流路）９ｄ及び分流路（第２の分流路）９ｅから構成されている。また、主流路９ｂ内に記載した矢印は、主流路９ｂを流れる被測定流体の流速ベクトルを示している。分流路９ｄ，９ｅは、オリフィス９ｃの前後に主流路９ｂに連通するように形成されている。また、分流路９ｄ，９ｅは、図３中に矢印で示した被測定流体の流速ベクトルと平行となる位置に形成されている。オリフィス９ｃで生じた差圧によって分流路９ｄを介して被測定流体が流路構造部３へ分流され、流路構造部３を通った被測定流体が分流路９ｅを介して主流路９ｂへ流出する。なお、以下では分流路９ｄから流路構造部３に向かう被測定流体の流れを順流、分流路９ｅから流路構造部３に向かう被測定流体の流れを逆流と称する。
【００１６】
図４は、この発明の実施の形態１に係る流量計の流路構造部の斜視図であり、図４（ａ）はボディ部側面の構成、図４（ｂ）は計測部側面の構成、図４（ｃ）は流路構造部を支持板の孔部に取り付けた図を示している。
流路構造部３は、樹脂等を用いて型抜き成形され、図４（ａ）に示すようにはボディ部側面３ａの中央部分には、略Ｓ字形の仕切り壁（仕切り部材）１０が設けられ、この仕切り壁１０により仕切られた上流側流路（第１の流路）１１、下流側流路（第３の流路）１２及びバッファ用凹部１３，１４で構成されている。また、ボディ部側面３ａの外周部分には、仕切り壁１０と連設されるように外周壁１５が構成されており、センサユニット９をボディ部９ａに取り付けた際に導入された被測定流体が漏出するのを防ぐ。
【００１７】
また、図４（ａ）に示すように下流側流路１２の面積は上流側流路１１よりも小さくなるように構成してもよいし、上流側流路１１の面積と下流側流路１２の面積が均等になるように構成してもよい。図４（ａ）に示した構成は、逆流の被測定流体を測定する場合に、導入された被測定流体は下流側流路１２において整流された後流量センサ６に導入されるが、下流側流路１２に導入される被測定流体が順流方向の測定と比較して少量であるため、下流側流路１２の面積を上流側流路１１よりも小さくしている。なお、必要に応じて、下流側流路１２の面積を上流側流路１１の面積よりも小さくせずとも良い。
【００１８】
上流側流路１１には、長さの異なる３本の整流片（整流子）１１ａ、１１ｂ及び１１ｃと被測定流体をボディ部側面３ａから計測部側面（第２の流路）３ｂに導入する流路折り曲げ孔（第１の連通孔部）１１ｄが形成されている。整流片１１ａは外周壁１５に連設されており、バッファ用凹部１３によるバッファ効果を高めるために整流片１１ｂ及び１１ｃよりも片の高さが高くなるように構成されている。また、各整流片１１ａ，１１ｂ，１１ｃ間で被測定流体が連通可能なように、各整流片の長さは１１ａ＜１１ｂ＜１１ｃとなるように構成されている。整流片１１ａの長さを最も短くすることで、バッファ用凹部１３から流路折り曲げ孔１１ｂへ向かう流路の入口が広がり、上流側流路１１に形成された整流片１１ａ、１１ｂ及び１１ｃで仕切られた３本の流路それぞれに被測定流体を極力均一に流すことができ、整流効果を得られる。
【００１９】
下流側流路１２も同様に、長さの異なる３本の整流片（整流子）１２ａ，１２ｂ及び１２ｃと被測定流体を計測部側面３ｂからボディ部側面３ａに導入する流路折り曲げ孔（第２の連通孔部）１２ｄが形成されている。整流片１２ａは、外周壁１５に連設されており、バッファ用凹部１４によるバッファ効果を高めるために整流片１２ｂ及び１２ｃよりも片の高さが高くなるように構成されている。また、各整流片１２ａ，１２ｂ，１２ｃ間で被測定流体が連通可能なように、各整流片の長さは、１２ａ＜１２ｂ＜１２ｃとなるように構成されている。整流片１２ａの長さを最も短くすることで、バッファ用凹部１４から流路折り曲げ孔１２ｂへ向かう流路の入口が広がり、下流側流路１２に形成された整流片１２ａ、１２ｂ及び１２ｃで仕切られた３本の流路それぞれに被測定流体を極力均一に流すことができ、整流効果を得られる。
【００２０】
下流側流路１２が上流側流路１１と異なる点は、整流片１２ｂ及び１２ｃが流路折り曲げ孔１２ｄを跨ぐように形成され、流路折り曲げ孔１２ｄが３つに分割されている点である。流路折り曲げ孔は整流片により分割されない方がより被測定流体の整流効果を向上させることができるが、順流方向の被測定流体の流量測定に影響の少ない下流側流路１２の流路折り曲げ孔１２ｄを跨ぐように整流片１２ｂ及び１２ｃを形成してもよい。
【００２１】
分流路９ｄ，９ｅからバッファ用凹部１３，１４に流入した被測定流体は、バッファ用凹部１３，１４に一旦溜め込まれる（バッファされる）。これにより、被測定流体の流速が下がるため、フィルタ２に取り込まれるダスト量が増加する。つまり、バッファ用凹部１３，１４で被測定流体の流速を落とすことで、被測定流体の流速を維持した場合と比較してフィルタ２の防塵効果を向上させている。
【００２２】
次に計測部側面３ｂの構成について、図４（ｂ）を用いて説明する。計測部側面３ｂの両端には、図４（ａ）の説明において示した流路折り曲げ孔１１ｄ，１２ｄが形成されている。また、計測部側面３ｂの中央部には、金網４を係止する４つの金網係止片１６、２つの壁部（ベクトル調整部材）１７ａ，１７ｂ及び２つの敷居片（ベクトル調整部材）１８ａ，１８ｂが設けられている。なお、本実施例では、順流の流体計測の計測範囲は、順流の流体計測の計測範囲に比べて広いので、更に整流効果を得るべく、前記金網を流路に設けた。
【００２３】
金網４を敷居片１８ａ，１８ｂの流路折り曲げ孔１１ｄ側の端部と４つの金網係止片１６との間に差し込むことで、図４（ｃ）に示すように流量センサ６の上流側に複数枚の金網４が一定間隔で配置される。壁部１７ａ，１７ｂ及び敷居片１８ａ，１８ｂは流量センサ６部分に導入された被測定流体の流速ベクトルを均一に調整することができ、整流効果を得ることができる。敷居片１８ａ，１８ｂは流路折り曲げ孔１２ｄを跨ぐように形成されている。なお、流量センサ６と流量センサ６に対向する流路壁面との距離は、本実施例においては１ｍｍ程度であり、被測定流体が流れる流路幅を狭めることにより整流効果を得ることができるので、更に精度良く流体計測することができる。
[参考文献１]
特開２００７−１２１０３６号公報
【００２４】
次に、流量センサ６について説明する。流量センサ６は、例えば本願出願人が特願平３−１０６５２８号に係る明細書等において開示した半導体ダイヤフラム構成のものを使用することができる。図５は、この発明の実施の形態１に係る流量計の流量センサの構成を示す図であり、図５（ａ）は流量センサの斜視図、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ断面図である。流量センサ６は、一辺が１．７ｍｍ、厚さ０．５ｍｍのシリコンチップなどの基材からなる基台６０の表面に、ヒータ６１、上流側温度センサ６２、下流側温度センサ６３、周囲温度センサ６４を、白金などのパターンを用いて薄膜形成し、絶縁膜層６５で覆ったものである。白金薄膜は温度に応じて抵抗値が変化し、測温抵抗体として機能する。
【００２５】
ヒータ６１は基台６０の中央に配置され、その流体の流れ方向に対してヒータ６１の上流側に上流側温度センサ６２が配置され、反対側の下流側に下流側温度センサ６３が配置されている。また、周囲温度センサ６４は、基台６０の上流側周辺部に配置されている。基台６０の中央部は、異方性エッチングなどの工程により基材の一部が除去されてキャビティー（凹部空間）６６が形成されており、ヒータ６１、上流側温度センサ６２、下流側温度センサ６３は基台６０から熱的に遮断されたダイヤフラム６７上に形成されている。
【００２６】
流量センサ６の動作原理は、周囲温度センサ６４で計測された流体温度より一定温度、例えば数１０℃だけ高くなるようにヒータ６１で流体を熱して所定の温度分布を発生させ、その温度分布を上流側温度センサ６２および下流側温度センサ６３で計測することにより、流体流量を計測するものである。流体が静止している場合、上流側温度センサ６２および下流側温度センサ６３で得られる温度分布は対称となるが、流体が流れている場合、その対称性が崩れ、上流側温度センサ６２に比べて下流側温度センサ６３で得られる温度が高くなる。この温度差をブリッジ回路で検出することにより、流体の熱伝導率などの物性値に基づき流体流量が得られる。
【００２７】
流量センサ６はサイズが小さいだけでなく、熱絶縁された極めて薄いダイヤフラム構造を採用しているため、高感度分析、高速応答及び低消費電力という特長を備えている。また、ヒータ６１を挟んだ上流側温度センサ６２と下流側温度センサ６３の配置が左右対称になっているため、順流だけではなく逆流の測定も可能となる。
【００２８】
図６は、この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。図６（ａ）は被測定流体の順流の流れを示した流路構造部のボディ部側面の正面図であり、図６（ｂ）は被測定流体の順流の流れを示した流路構造部の計測部側面の正面図である。図６において、実線矢印は流量測定前の被測定流体の流れを示し、破線矢印は流量測定後の被測定流体の流れを示す。
まず、図６（ａ）の実線矢印で示す分流路９ｄからバッファ用凹部１３に導入された被測定流体は、一定角度の広がりを持ち、上流側流路１１に導入される。導入される被測定流体は、仕切り壁１０と整流片１１ａとの間隔が広く構成していることから流速が抑えられ、一定角度の広がりを持って導入される。導入された被測定流体は仕切り壁１０によって流れの向きが変えられ、各整流片１１ａ，１１ｂ及び１１ｃの間を通過して整流される。整流された被測定流体は、流路折り曲げ孔１１ｄにおいて流れの向きが変えられ、計測部側面３ｂに導入される。
【００２９】
図６（ｂ）の実線矢印で示すように、ボディ部側面３ａから導入された被測定流体は、金網４によって整流された後、壁部１７ａ，１７ｂによって流入する面積が決定され、敷居片１８ａ，１８ｂにより流量センサ６部分に流入される被測定流体の流速ベクトルが均一化され、流量センサ６によって流量を検出される。流量センサ６で検出された検出信号は計測部７へ出力される。その後、被測定流体は再び流路折り曲げ孔１２ｄで流れの向きが変えられ、ボディ部側面３ａに導入される。図６（ａ）の点線矢印で示すように、計測部側面３ｂから導入された被測定流体は、各整流片１２ａ，１２ｂ及び１２ｃの間を通過して整流される。整流された被測定流体は、バッファ用凹部１４及びフィルタ２を経由して分流路９ｅから主流路９ｂの気体流に合流する。
【００３０】
次に、逆流方向の被測定流体の流量を測定する流量計の動作を説明する。
図７は、この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。図７（ａ）は被測定流体の逆流の流れを示した流路構造部のボディ部側面の斜視図であり、図７（ｂ）は被測定流体の逆流の流れを示した流路構造部の計測部側面の斜視図である。図７において、実線矢印は流量測定前の被測定流体の流れを示し、破線矢印は流量測定後の被測定流体の流れを示す。
【００３１】
まず、図７（ａ）の実線矢印で示す分流路９ｅからバッファ用凹部１４に導入された被測定流体は、一定角度の広がりを持ち、下流側流路１２に導入される。導入された被測定流体は、仕切り壁１０と整流片１２ａとの間隔を広く構成していることから流速が抑えられ、一定角度の広がりを持って導入される。導入された被測定流体は仕切り壁１０によって流れの向きが変えられ、各整流片１２ａ，１２ｂ及び１２ｃの間を通過して整流される。整流された被測定流体は、流路折り曲げ孔１２ｄにおいて流れの向きが変えられ、計測部側面３ｂに導入される。
【００３２】
図７（ｂ）の実線矢印で示すように、ボディ部側面３ａから導入された被測定流体は、壁部１７ａ，１７ｂ及び敷居片１８ａ，１８ｂにより流量センサ６部分に流入される被測定流体の流速ベクトルが均一化され、流量センサ６によって流量を検出される。流量センサ６で検出された検出信号は計測部７へ出力される。その後、被測定流体は金網４によって整流された後、再び流路折り曲げ孔１１ｄで流れの向きが変えられ、ボディ部側面３ａに導入される。図６（ａ）の点線矢印で示すように、計測部側面３ｂから導入された被測定流体は、各整流片１１ａ，１１ｂ及び１１ｃの間を通過し、整流される。整流された被測定流体は、バッファ用凹部１３及びフィルタ２を経由して分流路９ｄから主流路９ｂの気体流に合流する。
【００３３】
以上のように、実施の形態１によれば、流量センサを覆う位置に流路構造部を設け、流路構造部及びセンサユニットはボディ部に対して着脱可能であるが、流路構造部はセンサユニットから容易には外れないように構成したので、センサユニットをボディ部から取り外した場合でも、流路構造部が流量センサに対して蓋体として機能し、流量センサが露出して傷ついたり破損することを防止できる。
【００３４】
さらに、実施の形態１によれば、流路構造部のボディ部側面に複数の整流片を設け、ボディ部の分流路から導入された被測定流体の流速を下げた後、さらに各整流片により被測定流体の流れを整流するように構成したので、安定した被測定流体の流量測定を行うことが可能となる。
【００３５】
さらに、実施の形態１によれば、流路構造部に流路折り曲げ孔を設けて流路を折り返すように構成したので、被測定流体の十分な整流を行う流路を確保できると共に、流量測定部分を小型化することができる。
【００３６】
また、実施の形態１によれば、流路構造部のボディ部側面の下流側流路に複数の整流片及び流路折り曲げ孔を設け、さらに左右対称構造である流量センサを設けるように構成したので、下流側流路から流量センサに向かう被測定流体の流れである逆流の流量も精度良く測定することができる。
【００３７】
なお、上記実施の形態１では、流路構造部、ゴムパッキン及び支持板の孔部を楕円状に形成する例を示したが、楕円状に限定されるものではなく被測定流体を導入するボディ部の分流路の形状に合わせて構成してよい。
【００３８】
なお、上記実施の形態１では、流路折り曲げ孔１１ｄ付近に金網を設ける構成を示したが、流路折り曲げ孔１２ｄの直後にもさらに金網を設け、下流側流路１２から導入された逆流の被測定流体を該金網で整流した後に流量センサ６に供給するように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の実施の形態１に係る流量計の分解斜視図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る流量計のセンサユニットの正面図である。
【図３】この発明の実施の形態１に係るセンサユニットのボディ部への取り付けを示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１に係る流量計の流路構造部の斜視図である。
【図５】この発明の実施の形態１に係る流量計の流量センサの構成を示す図である。
【図６】この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態１に係る流量計の動作を示す図である。
【図８】従来の流量計の分解斜視図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  流量計
２  フィルタ
３  流路構造部
３ａ  ボディ部側面
３ｂ  計測部側面
４  金網
５  ゴムパッキン
６  流量センサ
７  計測部
７ａ，７ｂ  支持板
８  表示部
９  センサユニット
９ａ  ボディ部
９ｂ  主流路
９ｃ  オリフィス
９ｄ，９ｅ  分流路
１０  仕切り壁
１１  上流側流路
１２  下流側流路
１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ  整流片
１１ｄ，１２ｄ  流路折り曲げ孔
１３，１４  バッファ用凹部
１５  外周壁
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ  金網係止片
１７ａ，１７ｂ  壁部
１８ａ，１８ｂ  敷居片
６０  基台
６１  ヒータ
６２  上流側温度センサ
６３  下流側温度センサ
６４  周囲温度センサ
６５  絶縁膜層
６６  キャビティー（凹部空間）
６７  ダイヤフラム
７１  コネクタ
７２  ネジ
８１  設定スイッチ
８２  表示器
９０  ベース
９１  主流管
９２  副流路ブロック
９３  測定孔
９４  シール板
９５  回路基板
９６  カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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