(57)【要約】【課題】２枚のプレートによって多くのレンズを一度に保持可能とし、且つ全てのレンズが正常な位置以外の位置で挟み込まれることのないパレット装置を提供する。【解決手段】同一形状をした複数の部品を面内方向でそれぞれ位置決めして支持する部品受け部１６と、前記複数の部品の底面をそれぞれ露出させる複数の開口１４とが形成されたベースプレート１０に、ボルト３０が上方に突出するように固定される。ベースプレートとの間に前記複数の部品を挟持するようにカバープレート２０がベースプレート１０に被せられる。カバープレート２０には前記複数の部品の上面をそれぞれ露出させる複数の開口２４が形成されるとともに、ボルト３０を貫通させるボルト挿通穴２２が形成される。ナット６０に形成された先細のテーパ面が、カバープレート２０をベースプレート１０に締め付ける過程で、ボルト挿通穴２２の開口縁の全周に摺接して調芯を行う。【選択図】図７
2008019490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一形状をした複数の部品を面内方向でそれぞれ位置決めして支持する部品受け部と、前記複数の部品の底面をそれぞれ露出させる複数の開口とが形成されるとともに、ボルトが上方に突出するように固定されたベースプレートと、
前記ベースプレートとの間に前記複数の部品を挟持するように前記ベースプレートに被せられ前記複数の部品の上面をそれぞれ露出させる複数の開口が形成されるとともに、前記ボルトを貫通させるボルト挿通穴が形成されたカバープレートと、
前記ボルト挿通穴を貫通したボルトに締め付けることによってカバープレートをベースプレートに固定するとともに、締め付けの過程で前記ボルト挿通穴に部分的に入り込みボルト挿通穴の開口縁に摺接して調芯作用を行う先細のテーパ面が形成されたナットとからなることを特徴とするパレット装置。
【請求項２】
前記ボルト挿通穴の開口縁に連なる内周壁に、前記ナットのテーパ面に倣う斜面が形成されていることを特徴とする請求項１記載のパレット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スパッタリングや真空蒸着等により成膜する際、洗浄用基板パレットおよび成膜用基板パレットとして使用するパレット装置に係り、特にプラスチックレンズ、ガラスレンズ、プリズム等の光学素子の洗浄・成膜に好適なパレット装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、スパッタリングまたは真空蒸着において、生産性の向上を図るために、パレット式のレンズホルダを用いて反転成膜を可能とするケースが増加しつつある。例えば、下記特許文献１に記載されているパレット式反転蒸着装置では、反転パレットはレンズ等の被成膜物をその表裏両面が露呈するように搭載できる板状に構成されている。すなわち、この反転パレットは、板状の２枚のプレートを突き合わせ、両プレート間にレンズ（基板）を固定するための基板室を設けて構成されている。また、この反転パレットは、成膜用基板ホルダーとして用いられる他に、被成膜基板を洗浄する際の洗浄用パレット装置としても用いられる。
【０００３】
上記反転パレットは、２枚のプレート間が密着して構成されているので、パレット装置として使用した際に、プレート間に侵入した洗浄液は、漱いでも残ってしまい、プレート間に残った洗浄液が洗浄後に基板の表面に流れ出し、基板にシミを発生させる原因となっている。さらに、プレート間に洗浄液が残ったままの状態で成膜を行うと、洗浄液が真空引きにより気化して成膜装置内に充満することにより、十分な真空度が得られず、成膜時間が長くなる原因ともなっている。
【０００４】
また、近年、オゾン層破壊物質の国際的な規制の高まりにより従来使用していた洗浄液であるＣＦＣ（フロン）−１１３の使用が制限され、純水やＩＰＡ蒸気が使用されている。これらの代替洗浄液は、フロンに比べて格段に乾燥性が劣り、上記不具合がさらに悪化している。
【０００５】
これらの問題を改良して、プレート間に液が残らないようにし、そのまま成膜用基板パレットとして使用できるパレット装置を提案したものに下記特許文献２および下記特許文献３が知られている。これらの改良技術は、全ての基板室からパレット端に向かって溝を設けるとともに、２枚のプレート間に隙間を形成して、プレート間に液が残らないようにしたものである。
【０００６】
また下記特許文献４に示すような光学素子の加工処理作業の効率改善に対する提案もある。この技術は、光学素子に対して、研削研磨加工、心取加工、コート処理、接合処理、更に夫々の各工程間に行う洗浄、検査工程の作業の、効率的なパレット装置の取り扱い方法について提案されている。即ち、光学素子をパレット装置に挟んだ状態で研削研磨、心取り、コート処理、接合処理を行うこと、光学素子を挟んだパレット装置を数枚重ねた状態で保持固定し、洗浄、検査工程を行うことが記載されている。
【特許文献１】実開平２−３３２５５号公報
【特許文献２】実用新案登録第２５７９３５８号公報
【特許文献３】特開平０８−１５８０４９号公報
【特許文献４】特開２００１−２２１９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
レンズなど光学部品にコート処理や洗浄、検査などを行う場合、２枚のプレートに挟み込んだままで作業を進めていくことは、作業効率を考えると最も効率が良いことであることは周知のことである。しかし多くのレンズを一枚のプレートに載せ、もう一枚のプレートを蓋として被せるのは、簡単なようで非常に難しい作業である。しかもレンズは寸法精度が極めて厳しい部品であるから、難しさは至難の業である。
【０００８】
数十枚のレンズのうち、１枚でもずれていると、そのレンズをプレートの部品受け部以外の面で挟んでしまうので、２枚のプレートの間隔はレンズを押さえるための所定間隔より広くなる。これでは正しく置かれた多くのレンズがパレットから外れ落ちてしまうことになる。また挟んだ時は問題ないように見えても、その後の振動などで、外れ落ちることになる。落下したレンズは、当然傷がつくので不良品となってしまう。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑み、２枚のプレートによって多くのレンズを一度に保持するパレット装置において、レンズが正常な位置以外の位置で挟み込まれることのないプレートを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
レンズを載せるベースプレートと、ベースプレートにレンズを載せた後に被せるカバープレートと、ベースプレートに位置決め固定されるボルトと、外径端面に斜面を有するナットによって構成する。ベースプレートに設ける部品受け部の径はレンズ外径と略同一としてレンズをベースプレートに位置決めし、カバープレートではレンズの位置を規制せず、組み付け時のレンズの異常挟み込みを防ぐ。カバープレートの位置精度は、カバープレートをベースプレートに固定するナットに先細の斜面を設けて調芯することで確保する。カバープレートに設けられたボルト挿通穴に斜面を設け、ナットの斜面とによって調芯するようにしても良い。またカバープレートが組み付け時に大きくずれないようにするため、２ヶ所についてのみクリアランスを狭くする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるパレット装置を用いれば、２枚のプレートの間に多くのレンズを一度に正しく保持することができ、カバープレートによってレンズを異常な位置で挟み込むことがない。したがって、２枚のプレートの間隔が異常に広がったまま洗浄作業などを行う事によるレンズの落下事故は発生しない。よって不用意にレンズに傷をつけて大量の不良品を発生させることもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明によるパレット装置に用いる２枚のプレートのうちの１つであるベースプレート１０を図１に示す。ベースプレート１０には、蒸着あるいは洗浄する部品であるレンズ９０を位置決めし収納する部品受け部１６と前記レンズ９０の底面を露出する開口１４が多数設けられている。ベースプレート１０の中央と四隅には、カバープレート２０を組付けるボルトを固定する穴１２が設けられている。
【００１３】
もう１つのプレートであるカバープレート２０を図２に示す。カバープレート２０には、前記レンズ９０の上面を露出する開口２４と、ニゲ部２６が多数設けられている。また、カバープレート２０の中央と四隅には、ベースプレート１０に取り付けられたボルトが貫通するボルト挿通穴２２が設けられている。
【００１４】
前記ボルトは図３と図４に示すように、２種類が用意される。ボルト３０は、ベースプレート１０とカバープレート２０の隙間を確保するためのスペーサ部３２と、ベースプレート１０に嵌合するボス部３４と、ベースプレート１０に取り付け固定するためのネジ部３６ａと、カバープレート２０を取り付けるためのネジ部３６ｂと、カバープレート２０を取り付ける時の位置合わせ用ボス部３８とによって構成される。
【００１５】
ボルト４０は、ベースプレート１０とカバープレート２０の隙間を確保するためのスペーサ部４２と、ベースプレート１０に嵌合するボス部４４と、ベースプレート１０に取り付け固定するためのネジ部４６ａと、カバープレート２０を取り付けるためのネジ部４６ｂとによって構成され、ボルト３０のボス部３８に相当するところはない。
【００１６】
前記ベースプレート１０にボルト３０を固定した断面を図５に示す。前記ベースプレート１０に設けられた５つの穴１２のうち、中央の穴と隅の穴の１つに前記ボルト３０のボス部３４を嵌合させ、ネジ部３６ａにナット５０を螺合させて締め付ける。これによって前記ベースプレート１０をスペーサ部３２とナット５０によって挟持し、ボルト３０はベースプレート１０に固定される。
【００１７】
残っている隅の３ヶ所の穴１２には、前記ボルト４０のボス部４４を嵌合させ、ネジ部４６ａにナット５０を螺合させて締め付ける。これによって前記ベースプレート１０をスペーサ部４２とナット５０によって挟持し、ボルト４０はベースプレート１０に固定される（図６参照）。
【００１８】
次に、組み立てられた本発明によるパレット装置の一部断面図を図７および図８に示す。図７はボルト３０の周辺部分を断面で示したもので、部品受け部１６の説明のためレンズのない状態である。図８はボルト４０の周辺部分を断面で示したもので、レンズ９０が位置決めされて納められた状態である。
【００１９】
ベースプレート１０に設けられた開口１４には、外側に向かって斜面１４ａが設けられており、内側には部品受け部１６が設けられている。レンズ９０は、部品受け部１６の周壁１６ａによって位置決めされ、レンズ曲面が角部１４ｂに当接する。
【００２０】
カバープレート２０に設けられた開口２４には、外側に向かって斜面２４ａが設けられており、内側にはニゲ部２６が設けられている。ニゲ部２６はレンズ９０の外径に対して余裕をもって作られているので、レンズ９０の外周端面は周壁２６ａに接触しない。レンズ９０は、両面の曲面部分が開口１４の角部１４ｂと開口２４の角部２４ｂとによって挟持される。
【００２１】
いまボルト３０および４０が取り付けられたベースプレート１０の部品受け部１６に、多数のレンズ９０が置かれる。そして、カバープレート２０のボルト挿通穴２２をボルト３０および４０に嵌合させ、カバープレート２０がレンズ９０の並べられたベースプレート１０に被せられる。この時、２本のボルト３０に設けられたボス部３８に前記穴２２を合わせ込んで、カバープレート２０を定位置に納める。これによって、カバープレート２０は、複数の前記レンズ９０を異常位置で挟むことのない、ある程度の精度で位置決めされる。３本のボルト４０は、ボス部３８に相当する部位がないため、カバープレート２０を組み付ける時に、特に注意を払う必要がない。
【００２２】
カバープレート２０がベースプレート１０に被せられた後、端面の一方に先細のテーパ面６２が形成されたナット６０がボルト３０および４０に螺合される。ナット６０は、テーパ面６２をカバープレート２０に向けており、締め付けの過程で、まずその先端のテーパ面６２の一部がカバープレート２０のボルト挿通穴２２に嵌合する。その後、更に締め付けると、テーパ面６２がボルト挿通穴２２の開口縁の全周に摺接するように、カバープレート２０が微動し、それによってカバープレート２０のボルト挿通穴２２の中心が前記ボルト３０および４０の中心と一致する。
【００２３】
カバープレート２０は、ナット６０のテーパ面６２と前記スペーサ部３２あるいは４２によって挟持され固定される。こうしてカバープレート２０は、その位置をベースプレート１０に対して正確に合わせることができるので、レンズ９０に対して開口２４を高精度に位置決めすることができる。
【００２４】
このようにカバープレート２０を被せる時に、二段階で位置決めしながら行うので、レンズ９０を挟み込むことがない。
【００２５】
次に本発明によるパレット装置の別の実施形態について説明する。ここではカバープレート７０とナット８０以外は、前述の実施形態と同じであるため、それに関連することのみについて説明する。
【００２６】
図９に示すカバープレート７０には、レンズ９０の上面を露出する開口７４と、ニゲ部７６が多数設けられている。また、カバープレート７０の中央と四隅には、ベースプレート１０に取り付けられたボルトが貫通するボルト挿通穴７２が設けられている。ボルト挿通穴７２の開口縁に連なる内周壁には、前記ナット６０のテーパ面６２に倣う斜面７２ａが設けられている。
【００２７】
ボルト３０とボルト４０が固定された前記ベースプレート１０にカバープレート７０を組み付けたパレット装置の一部断面図を図１０および図１１に示す。図１０はボルト３０の周辺部分を断面で表わしたものであり、説明のためレンズのない状態を示す。図１１はボルト４０の周辺部分を断面で表わしたものであり、レンズ９０が位置決めされて納められた状態を示す。
【００２８】
ベースプレート１０は前述の実施形態のものと同じである。カバープレート７０に設けられた開口７４には、外側に向かって斜面７４ａが設けられており、内側にはニゲ部７６が設けられている。ニゲ部７６はレンズ９０の外径に対して余裕をもって作られているので、レンズ９０の外周端面は周壁７６ａに接触しない。レンズ９０は、両面の曲面部分が開口１４の角部１４ｂと開口７４の角部７４ｂとによって挟持される。
【００２９】
いまボルト３０および４０が取り付けられたベースプレート１０の部品受け部１６に、多数のレンズ９０が置かれる。そして、カバープレート７０のボルト挿通穴７２をボルト３０および４０に嵌合させ、カバープレート７０がレンズ９０の並べられたベースプレート１０に被せられる。この時、２本のボルト３０に設けられたボス部３８に前記ボルト挿通穴７２を合わせ込んで、カバープレート７０を定位置に納める。これによって、カバープレート７０は、複数の前記レンズ９０を異常位置で挟むことのない、ある程度の精度で位置決めされる。３本のボルト４０は、ボス部３８に相当する部位がないため、カバープレート７０を組み付ける時に、特に注意を払う必要がない。
【００３０】
カバープレート７０がベースプレート１０に被せられた後、端面の一方に先細のテーパ面８２が形成されたナット８０がボルト３０および４０に螺合される。ナット８０は、テーパ面８２をカバープレート７０に向けており、締め付けの過程で、まずその先端のテーパ面８２の一部がカバープレート７０のボルト挿通穴７２に嵌合する。ボルト挿通穴７２には前記ナット８０のテーパ面８２に倣う斜面７２ａが形成されているので、前記テーパ面８２の一部が斜面７２ａに接触する。その後更に締め付けると、テーパ面８２がボルト挿通穴７２の斜面７２ａと全周に亘って摺接するように、カバープレート７０が微動する。それによってカバープレート７０のボルト挿通穴７２の中心が前記ボルト３０および４０の中心と一致する。
【００３１】
カバープレート７０は、ナット８０のテーパ面８２と前記スペーサ部３２あるいは４２によって挟持され固定される。こうしてカバープレート７０は、その位置をベースプレート１０に対して正確に合わせることができるので、レンズ９０に対して開口７４を高精度に位置決めすることができる。
【００３２】
このようにカバープレート７０を被せる時に、二段階で位置決めしながら行うので、レンズ９０を挟み込むことがない。
【００３３】
以上のように本発明によるパレット装置は、２枚のプレートの間に多くのレンズを一度に正しく保持することができ、且つレンズを異常位置で挟み込むことがないので、レンズが落下することもない。したがって、不用意にレンズに傷をつけて大量の不良品を発生させることがない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態であるパレット装置に用いるベースプレートを示す図。
【図２】本発明の実施形態であるパレット装置に用いるカバープレートを示す図。
【図３】本発明の実施形態であるパレット装置に用いるボルトを示す図。
【図４】本発明の実施形態であるパレット装置に用いる別のボルトを示す図。
【図５】ボルトを固定したベースプレートの部分断面図。
【図６】別のボルトを固定したベースプレートの部分断面図。
【図７】本発明の実施形態であるパレット装置の部分断面図。
【図８】本発明の実施形態であるパレット装置の別の部分断面図。
【図９】本発明の別の実施形態であるパレット装置に用いるカバープレートを示す図。
【図１０】本発明の別の実施形態であるパレット装置の部分断面図。
【図１１】本発明の別の実施形態であるパレット装置の別の部分断面図。
【符号の説明】
【００３５】
１０  ベースプレート
１４，２４  開口
１６  部品受け部
２０，７０  カバープレート
２２，７２  ボルト挿通穴
３０，４０  ボルト
５０，６０，８０  ナット
６２，８２  テーパ面
７２ａ  斜面
９０  レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2008019490.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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