(57)【要約】【課題】電子部品収納用基板への塵埃の落下を防止して歩留が向上でき、電子部品収納用基板のコストアップを防止する簡単で安価な電子部品収納用基板の搬送装置を提供する。【解決手段】基板１１を載置するための複数の独自に稼動するステージ１２、１２ａと、基板１１を保持するための連結する吸着部１５、１５ａを備える吸着ユニット１６と、基板１１を移載して移動させるためのコンベアー１７を有する電子部品収納用基板の搬送装置１０であって、ステージ１２、１２ａを上下方向に稼動させるためのそれぞれの下方部にステージ上下動稼動部を設けるステージ上下稼動手段と、吸着ユニット１６を上下方向に稼動させるための吸着ユニット上下動稼動部と、吸着ユニット１６を前後方向に稼動させるための吸着ユニット前後動稼動部をそれぞれステージ１２、１２ａ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット上下稼動手段と、吸着ユニット前後稼動手段を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品収納用基板を載置するための複数が並列してそれぞれが独自に上下方向に稼動できるステージと、前記電子部品収納用基板を保持するための吸着バッファーを備えるバッファー取り付け板からなる複数個の吸着部を前記ステージの並列間隔に合わせて連結して備える吸着ユニットと、前記電子部品収納用基板を前記吸着ユニットから移載して移動させるための前記ステージに並列するコンベアーを有する電子部品収納用基板の搬送装置であって、
前記ステージをそれぞれ上下方向に稼動させるために、それぞれの前記ステージの下方部にモーターで駆動させるリフターからなるステージ上下動稼動部を設けるステージ上下稼動手段と、
前記バッファー取り付け板を断面視してＬ字型からなる複数のアームの一方の先端側でそれぞれ吊り下げて固定する複数個の前記吸着部を連結する吸着ユニットを上下方向に稼動させるために、前記アームの他方の先端側にシリンダーヘッドを連結して立設させるシリンダーを第１の保持板に取り付ける吸着ユニット上下動稼動部を前記ステージ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット上下稼動手段と、
前記吸着ユニットを前後方向に稼動させるために、前記第１の保持板を取り付ける第２の保持板にモーターで駆動させる位置を制御するタイミングベルトを取り付けて前記第１の保持板を前後方向に稼動させる吸着ユニット前後動稼動部を前記ステージ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット前後稼動手段を有することを特徴とする電子部品収納用基板の搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品収納用基板の搬送装置において、前記ステージ上下稼動手段、前記吸着ユニット上下稼動手段、及び前記吸着ユニット前後稼動手段を包囲する隔壁体を有し、該隔壁体の側壁に前記コンベアーの出口部を突出させて前記電子部品収納用基板を取り出すための開口部と、前記隔壁体の底部に該隔壁体内部の空気流をダウンフローさせて外部に排気するためのエキゾーストファンを有することを特徴とする電子部品収納用基板の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子等の電子部品を収納するためのパッケージが多数個集合するシート状の電子部品収納用基板を吸着して他の生産設備へ移載するローダーと、この生産設備から電子部品収納用基板を取り出して積載するアンローダーの機構を備える電子部品収納用基板の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２（Ａ）、（Ｂ）を参照しながら、従来の一般的な電子部品収納用基板の搬送装置を説明する。ここで、図２（Ａ）は従来の電子部品収納用基板の搬送装置の要部正面透視図、図２（Ｂ）は同電子部品収納用基板の搬送装置の要部側面透視図である。
図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、従来の電子部品収納用基板の搬送装置５０は、電子部品収納用基板５１を載置するための固定されたステージ５２を有している。また、この電子部品収納用基板の搬送装置５０は、電子部品収納用基板５１を保持するための吸着バッファー５３を備えるバッファー取り付け板５４からなる複数個、例えば２つの吸着部５５を連結して備える吸着ユニット５６を有している。更に、この電子部品収納用基板の搬送装置５０は、電子部品収納用基板５１を吸着ユニット５６から移載して移動させるためのステージ５２に並列するコンベアー５７を有している。
【０００３】
上記の電子部品収納用基板の搬送装置５０は、固定されて動かないステージ５２上で吸着ユニット５６を上下方向に稼動させるためのシリンダー５８を第１の保持板５９に取り付ける吸着ユニット５６の上方部に取り付けて吸着ユニット上下稼動部とする吸着ユニット上下稼動手段を有している。また、上記の電子部品収納用基板の搬送装置５０は、ステージ５２上で吸着ユニット５６を前後方向に稼動させるためのモーター６０で駆動させる位置を制御するタイミングベルト６１を第１の保持板５９を取り付ける第２の保持板６２をステージ５２上に取り付けて吸着ユニット前後稼動部とする吸着ユニット前後稼動手段を有している。
【０００４】
従来の半導体素子等の基板の搬送装置には、大気中と、真空間を繰り返す密封状態となる小部屋の内部にシール機構が存在しないための摺動によるロードロック機構において小部屋内の塵埃低減とロードロック動作の高速化を実現する装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
また、従来の基板の搬送装置には、基板をＮ２ブロー生成器によるＮ２ブローの下を通過させることで、基板上のゴミを吹き飛ばす手段を組み込んだ装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特許第３３５０１０７号公報
【特許文献２】特開平１０−３０８３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述したような従来の電子部品収納用基板の搬送装置は、次のような問題がある。
（１）従来の電子部品収納用基板の搬送装置は、固定されて動かないステージ上に吸着ユニット上下稼動手段と、吸着ユニット前後稼動手段のシリンダーや、モーターや、タイミングベルト等の摺動する部分が存在し、シリンダーの摺動部からグリスや、シリンダーロッドの摩耗金属粉や、モーターや、タイミングベルト等の摺動部から微小なベルト屑等の発塵があり、これらの塵埃が電子部品収納用基板上に落下して付着し、作製される製品の歩留の低下となっている。
（２）従来の電子部品収納用基板の搬送装置は、例えシリンダーや、モーターや、タイミングベルト等の摺動する部分にカバーを付けたとしても、装置内に空気の流れがない場合には、装置内に微小な塵埃が舞い上がって飛散し、電子部品収納用基板上に落下して付着し、作製される製品の歩留の低下となっている。
（３）従来の電子部品収納用基板の搬送装置は、吸着ユニットのそれぞれの吸着部からステージ上に載置される異なる高さからなる電子部品収納用基板までの距離の違いを伸縮動作をする吸着バッファーで吸収するために長いストロークを有する吸着バッファーを必要とするので、吸着バッファーのシャフトに曲がりが発生してシャフトとガイド孔との間の摺動部に発生する塵埃が電子部品収納用基板上に落下して付着し、作製される製品の歩留の低下となっている。
（４）特許第３３５０１０７号公報や、特開平１０−３０８３５７号公報で開示されるような基板の搬送装置を電子部品収納用基板の搬送装置に応用する場合には、装置が非常に高価なものになると共に、装置を作動するための部材費用が発生し、電子部品収納用基板のコストアップとなっている。
（５）また、特開平１０−３０８３５７号公報で開示される基板の搬送装置は、吹き飛ばした塵埃が再度電子部品収納用基板上に落下して付着し、作製される製品の歩留の低下となっている。
【０００７】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、電子部品収納用基板への塵埃の落下を防止して歩留が向上でき、電子部品収納用基板のコストアップを防止する簡単で安価な電子部品収納用基板の搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的に沿う本発明に係る電子部品収納用基板の搬送装置は、電子部品収納用基板を載置するための複数が並列してそれぞれが独自に上下方向に稼動できるステージと、電子部品収納用基板を保持するための吸着バッファーを備えるバッファー取り付け板からなる複数個の吸着部を前記ステージの並列間隔に合わせて連結して備える吸着ユニットと、電子部品収納用基板を吸着ユニットから移載して移動させるためのステージに並列するコンベアーを有する電子部品収納用基板の搬送装置であって、ステージをそれぞれ上下方向に稼動させるために、それぞれのステージの下方部にモーターで駆動させるリフターからなるステージ上下動稼動部を設けるステージ上下稼動手段と、バッファー取り付け板を断面視してＬ字型からなる複数のアームの一方の先端側でそれぞれ吊り下げて固定する複数個の吸着部を連結する吸着ユニットを上下方向に稼動させるために、アームの他方の先端側にシリンダーヘッドを連結して立設させるシリンダーを第１の保持板に取り付ける吸着ユニット上下動稼動部を前記ステージ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット上下稼動手段と、吸着ユニットを前後方向に稼動させるために、第１の保持板を取り付ける第２の保持板にモーターで駆動させる位置を制御するタイミングベルトを取り付けて第１の保持板を前後方向に稼動させる吸着ユニット前後動稼動部をステージ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット前後稼動手段を有する。
【０００９】
ここで、上記の電子部品収納用基板の搬送装置は、ステージ上下稼動手段、吸着ユニット上下稼動手段、及び吸着ユニット前後稼動手段を包囲する隔壁体を有し、隔壁体の側壁にコンベアーの出口部を突出させて電子部品収納用基板を取り出すための開口部と、隔壁体の底部に隔壁体内部の空気流をダウンフローさせて外部に排気するためのエキゾーストファンを有するのがよい。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１又はこれに従属する請求項２記載の電子部品収納用基板の搬送装置は、電子部品収納用基板を載置するための複数が並列してそれぞれが独自に上下方向に稼動できるステージと、電子部品収納用基板を保持するための吸着バッファーを備えるバッファー取り付け板からなる複数個の吸着部を前記ステージの並列間隔に合わせて連結して備える吸着ユニットと、電子部品収納用基板を吸着ユニットから移載して移動させるためのステージに並列するコンベアーを有する電子部品収納用基板の搬送装置であって、ステージをそれぞれ上下方向に稼動させるために、それぞれのステージの下方部にモーターで駆動させるリフターからなるステージ上下動稼動部を設けるステージ上下稼動手段と、バッファー取り付け板を断面視してＬ字型からなる複数のアームの一方の先端側でそれぞれ吊り下げて固定する複数個の吸着部を連結する吸着ユニットを上下方向に稼動させるために、アームの他方の先端側にシリンダーヘッドを連結して立設させるシリンダーを第１の保持板に取り付ける吸着ユニット上下動稼動部を前記ステージ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット上下稼動手段と、吸着ユニットを前後方向に稼動させるために、第１の保持板を取り付ける第２の保持板にモーターで駆動させる位置を制御するタイミングベルトを取り付けて第１の保持板を前後方向に稼動させる吸着ユニット前後動稼動部をステージ上面より下方の側部に設ける吸着ユニット前後稼動手段を有するので、それぞれのステージの下方部に設けるステージ稼動手段で、短い距離のストロークを有する吸着バッファーでよく、吸着バッファーのシャフトの曲がりを防止してシャフトとガイド孔との間の摺動部の塵埃発生を防止して電子部品収納用基板上への落下を防止し、作製される製品の歩留を向上させることができる。また、上記の電子部品収納用基板の搬送装置は、吸着ユニット上下稼動手段と、吸着ユニット前後稼動手段をステージ上面より下方の側部に設けて摺動部から発生する塵埃の電子部品収納用基板上への落下を防止し、作製される製品の歩留を向上させることができる。更に、上記の電子部品収納用基板の搬送装置は、簡単な装置であって安価であり、この装置を作動させるための部材を必要としないので、安価な電子部品収納用基板を提供できる。
【００１１】
特に、請求項２記載の電子部品収納用基板の搬送装置は、ステージ上下稼動手段、吸着ユニット上下稼動手段、及び吸着ユニット前後稼動手段を包囲する隔壁体を有し、隔壁体の側壁にコンベアーの出口部を突出させて電子部品収納用基板を取り出すための開口部と、隔壁体の底部に隔壁体内部の空気流をダウンフローさせて外部に排気するためのエキゾーストファンを有するので、電子部品収納用基板をコンベアーから容易に取り出すことができると共に、装置内の塵埃を隔壁体の底部から排出させることができ、作製される製品の歩留を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図１（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る電子部品収納用基板の搬送装置の要部正面透視図、要部側面透視図である。
【００１３】
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係る電子部品収納用基板の搬送装置１０は、半導体素子や、水晶振動子等の電子部品収納用基板１１を載置するための複数、例えば２つの並列されたそれぞれが独自に上下方向に稼動できるステージ１２、１２ａを有している。また、この電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１を保持するための吸着バッファー１３を備えるバッファー取り付け板１４からなる複数個、例えば２つのステージ１２、１２ａの並列間隔に合わせる位置にそれぞれの吸着部１５、１５ａを連結して備える吸着ユニット１６を有している。更に、この電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１を吸着ユニット１６から移載して次工程に移動させるためのステージ１２、１２ａに並列するコンベアー１７を有している。
【００１４】
上記の電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１を載置するためのそれぞれのステージ１２、１２ａを上下方向にそれぞれ独自に稼動させるためのステージ上下稼動手段を有している。このステージ上下稼動手段は、それぞれのステージ１２、１２ａの下方部に、それぞれのモーター１８、１８ａで駆動させるリフター１９、１９ａからなるステージ上下動稼動部をそれぞれ設けることで構成され、それぞれのステージ１２、１２ａが独自に上下動することができるようになっている。
【００１５】
また、上記の電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１を保持するための吸着ユニット１６を上下方向に稼動させるための吸着ユニット上下稼動手段を有している。この吸着ユニット上下稼動手段は、それぞれのバッファー取り付け板１４を断面視して逆さ状態のＬ字型からなる複数、例えば、２本のアーム２０を立設させた一方の先端側でそれぞれ吊り下げて固定する複数個、例えば、２つの吸着部１５、１５ａが全てのアーム２０を通して固定される連結状態で上下方向に稼動させることができるように設けている。そして、この吸着ユニット上下稼動手段は、連結状態のアーム２０の他方の先端側にシリンダーヘッドを連結して立設させるシリンダー２１を第１の保持板２２に取り付ける吸着ユニット上下動稼動部を設けることで構成され、吸着ユニット１６が上下動することができるようになっている。この吸着ユニット上下稼動手段は、吸着ユニット上下動稼動部がステージ１２、１２ａ上面より下方の側部２３に設けられ、吸着ユニット上下動稼動部からの発塵がステージ１２、１２ａの上面に降り注ぐのを防止できるようにしている。
【００１６】
更に、上記の電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１を保持するための吸着ユニット１６を前後方向に稼動させるための吸着ユニット前後稼動手段を有している。この吸着ユニット前後稼動手段は、第１の保持板２２を取り付ける第２の保持板２４にモーター１８ｂで駆動させる位置を制御するタイミングベルト２５を取り付けて第１の保持板２２を前後方向に稼動させる吸着ユニット前後動稼動部を設けることで構成され、吸着ユニット１６が前後動することができるようになっている。この吸着ユニット前後稼動手段は、吸着ユニット前後動稼動部がステージ１２、１２ａ上面より下方の側部２３に設けられ、吸着ユニット前後動稼動部からの発塵がステージ１２、１２ａの上面に降り注ぐのを防止できるようにしている。
【００１７】
上記の電子部品収納用基板の搬送装置１０は、ステージ上下稼動手段、吸着ユニット上下稼動手段、及び吸着ユニット前後稼動手段を包囲する透明な樹脂板等からなる隔壁体２６を有するのがよい。そして、この隔壁体２６の側壁には、コンベアー１７の出口部を突出させて電子部品収納用基板１１を取り出すための開口部２７を設けている。また、この隔壁体２６の底部には、隔壁体２６内部の空気流をダウンフローさせて隔壁体２６外部に排気するためのエキゾーストファン２８を設けている。なお、通常、エキゾーストファン２８から排気される空気は、それぞれの駆動部からの発塵によって空気中の含まれる塵埃をフィルターを介して除去した後、外部に放出している。
【００１８】
上記の電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１を吸着し他の生産設備へ投入する、所謂、ローダーと、生産設備から電子部品収納用基板１１を取り出して積載していく、所謂、アンローダーにおいて、ステージ上下稼動手段、吸着ユニット上下稼動手段、及び吸着ユニット前後稼動手段の発塵の源となる駆動部を全て電子部品収納用基板１１より下方に配置しているので、電子部品収納用基板１１上への塵埃の落下を防止することができる。また、上記の電子部品収納用基板の搬送装置１０は、電子部品収納用基板１１が積載されるそれぞれのステージ１２、１２ａの高さをステージ上下稼動手段によって最上段が一定の高さとすることができ、短いストロークの吸着バッファー１３でよい。従って、吸着バッファー１３のシャフトとガイド孔との間の摺動部の長さは、短くできると共に、シャフトとガイド孔との間のクリアランスは、大きくでき、摺動部での発塵が抑えることができて、電子部品収納用基板１１上への塵埃の落下を防止することができる。
【００１９】
ここで、本発明者は、ペトロディッシュ法で本発明の一実施の形態に係る実施例の電子部品収納用基板の搬送装置１０を２４Ｈｒ稼動させた状態でのステージ１２、１２ａ上の４０ｍｍ×４０ｍｍ内に落下する塵埃の大きさを０．２０ｍｍ以上と、０．２０ｍｍ未満０．０５ｍｍの間と、０．０５ｍｍ以下の大きさに区分してそれぞれの数量を顕微鏡を見ながらカウントして測定した。併せて、比較例として、従来のステージ上下稼動手段、吸着ユニット上下稼動手段、及び吸着ユニット前後稼動手段の駆動部がステージの上方部に設ける電子部品収納用基板の搬送装置について、同様な条件と、方法でステージ上に落下する塵埃の数を測定し、比較を行った。その結果を表１に示す。
【００２０】
【表１】
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【００２１】
上記の本発明の一実施の形態に係る電子部品収納用基板の搬送装置１０は、従来の電子部品収納用基板の搬送装置に比較して９２％のステージ上に落下する塵埃の数の削減が確認された。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明の電子部品収納用基板の搬送装置は、塵埃の付着で半導体素子等の電子部品の信頼性に影響を及ぼす電子部品収納用基板を搬送するための装置として好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る電子部品収納用基板の搬送装置の要部正面透視図、要部側面透視図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はそれぞれ従来の電子部品収納用基板の搬送装置の要部正面透視図、要部側面透視図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０：電子部品収納用基板の搬送装置、１１：電子部品収納用基板、１２、１２ａ：ステージ、１３：吸着バッファー、１４：バッファー取り付け板、１５、１５ａ：吸着部、１６：吸着ユニット、１７：コンベアー、１８、１８ａ、１８ｂ：モーター、１９、１９ａ：リフター、２０：アーム、２１：シリンダー、２２：第１の保持板、２３：側部、２４：第２の保持板、２５：タイミングベルト、２６：隔壁体、２７：開口部、２８：エキゾーストファン
【図１】
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【図２】
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