(57)【要約】【課題】フラットディスプレイパネルに反り等の変形がある場合の均等な支持や、加熱工程時のフラットディスプレイパネルや構造物の膨張や収縮等による支持位置のずれへの対応が容易な排気装置を提供する。【解決手段】フラットディスプレイパネルＰを下方から上下方向および水平方向に変位自在に支持する複数の支持ポール１３Ａと、この支持ポール１３Ａによって支持されたフラットディスプレイパネルＰの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルＰの所定の支持位置からの移動を規制するパネル規制ポール１３Ｂと、所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルＰのチップ管Ｆに連結されるシールヘッド１５を備え、シールヘッド１５に近接する位置にパネル規制ポール１３Ｂが配置され、このパネル規制ポール１３Ｂよりもシールヘッド１５から離れた位置に各支持ポール１３Ａが配置されている。【選択図】図２
2008258062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱チャンバ内に製造過程のフラットディスプレイパネルを支持してこのフラットディスプレイパネルの一方の面に取り付けられた管部材から内部空間内の排気を行う排気装置において、
前記加熱チャンバ内におけるフラットディスプレイパネルの所定の支持位置の下方に、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルを下方から支持する複数の支持部材と、この支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの所定の支持位置からの移動を規制する少なくとも一個の規制部材と、所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルの前記管部材に連結されてこの管部材と排気ポンプとの接続を行う接続部材が配置され、
前記各支持部材が、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されるパネル支持部と、このパネル支持部を上下方向および水平方向に変位自在に支持する変位許容部とを有し、
前記規制部材が、加熱チャンバ内の所定位置に固定されているとともにフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの移動を規制する移動規制部を有し、
前記接続部材に近接する位置に規制部材が配置され、この規制部材よりも接続部材から離れた位置に支持部材が配置されている、
ことを特徴とするフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項２】
前記規制部材の移動規制部のフラットディスプレイパネルに接する部分の摩擦係数が、支持部材のパネル支持部のフラットディスプレイパネルに接する部分の摩擦係数よりも大きくなっている請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項３】
前記支持部材が、この支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルの少なくとも一方向の辺に沿って等間隔に配置されている請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項４】
前記支持部材が、この支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルの少なくとも一方向の辺に沿って規制部材から離れるにしたがって互いの間隔が小さくなる位置に配置されている請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項５】
前記支持部材の移動規制部がばね材によって構成されている請求項１に記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項６】
前記ばね材が、中心線を垂直向きにして上端部がパネル支持部に連結され下端部が固定されている弦巻ばねである請求項５に記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項７】
前記ばね材の支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルと平行な方向のばね定数が、規制部材から離れた位置に配置された支持部材ほど小さくなっている請求項５に記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【請求項８】
前記支持部材がこの支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルの少なくとも一方の辺に沿って複数列に配置され、規制部材がこの支持部材の少なくとも一つの列と同列に配置されている請求項１記載のフラットディスプレイパネルの排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマディスプレイパネルなどのフラットディスプレイパネルの製造工程においてパネルの内部空間からの排気を行う装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のフラットディスプレイパネルには、製造工程において、互いに平行に重ね合わされた二枚の基板の間の空間から排気が行われ、さらに、この排気後の空間内に放電ガス等の各種の内部ガスが導入されて封入されるものがある。
図１は、このようなフラットディスプレイパネルの製造工程において使用される従来の排気装置を示している。
【０００３】
この従来の排気装置は、加熱チャンバ内の所定位置にフラットディスプレイパネルＰを支持する支持台１と、この支持台１によって支持されたフラットディスプレイパネルＰのチップ管ＦにフラットディスプレイパネルＰの内部空間からの排気等を行うフレキシブルパイプ２を接続するシールヘッド３と、加熱チャンバ内の所定位置にシールヘッド３を支持するシールヘッド支持台４と、加熱チャンバ内に支持されたフラットディスプレイパネルＰのチップ管Ｆが設けられている側に係合することによってマガジンフレーム５に対するフラットディスプレイパネルＰの移動を規制する吸着部支持台６によって支持された吸着パッド７とを備えている。
【０００４】
なお、この図１中、８はフレキシブルパイプ２を排気ポンプと内部ガス供給装置とに切り替えて接続する切替バルブであり、９は吸着パッド７をフラットディスプレイパネルＰに吸着させるための排気パイプであり、１０はシールヘッド３の冷却部に冷却水を供給するための冷却水用フレキシブルパイプである（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この従来の排気装置は、フラットディスプレイパネルＰの製造工程における内部空間の排気および封止工程において、フラットディスプレイパネルＰを吸着パッド７によって吸着して支持台１上の支持位置に固定することにより、このフラットディスプレイパネルＰのマガジンフレーム５およびシールヘッド３に対する相対的な移動を規制して、チップ管Ｆの熱膨張によるストレスによってその取り付け位置にずれや破損が発生するのを防止することができる等の特徴を備えている。
【０００６】
しかしながら、この従来の排気装置は、フラットディスプレイパネルに反り等の変形がある場合の均等な支持や、加熱チャンバ内における加熱工程時のフラットディスプレイパネルの膨張や収縮等に対する対応が未だ不十分であるという問題を有している。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２７９９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明は、上記のような従来のフラットディスプレイパネルの排気装置における問題点を解決することをその技術的課題の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明によるフラットディスプレイパネルの排気装置は、上記目的を達成するために、加熱チャンバ内に製造過程のフラットディスプレイパネルを支持してこのフラットディスプレイパネルの一方の面に取り付けられた管部材から内部空間内の排気を行う排気装置において、前記加熱チャンバ内におけるフラットディスプレイパネルの所定の支持位置の下方に、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルを下方から支持する複数の支持部材と、この支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの所定の支持位置からの移動を規制する少なくとも一個の規制部材と、所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルの前記管部材に連結されてこの管部材と排気ポンプとの接続を行う接続部材が配置され、前記各支持部材が、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されるパネル支持部と、このパネル支持部を上下方向および水平方向に変位自在に支持する変位許容部とを有し、前記規制部材が、加熱チャンバ内の所定位置に固定されているとともにフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの移動を規制する移動規制部を有し、前記接続部材に近接する位置に規制部材が配置され、この規制部材よりも接続部材から離れた位置に支持部材が配置されていることを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
この発明は、加熱チャンバ内に製造過程のフラットディスプレイパネルを支持してこのフラットディスプレイパネルの一方の面に取り付けられた管部材から内部空間内の排気を行う排気装置であって、加熱チャンバ内におけるフラットディスプレイパネルの所定の支持位置の下方に、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルを下方から支持する複数の支持部材と、この支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの所定の支持位置からの移動を規制する少なくとも一個の規制部材と、所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルの管部材に連結されてこの管部材と排気ポンプとの接続を行う接続部材が配置され、各支持部材が、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されるパネル支持部と、このパネル支持部を上下方向および水平方向に変位自在に支持する変位許容部とを有し、規制部材が、加熱チャンバ内の所定位置に固定されているとともにフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの移動を規制する移動規制部を有し、接続部材に近接する位置に規制部材が配置され、この規制部材よりも接続部材から離れた位置に支持部材が配置されているフラットディスプレイパネルの排気装置を、その最良の実施形態としている。
【００１１】
この実施形態によるフラットディスプレイパネルの排気装置は、加熱チャンバ内の所定位置に配設された支持部材および規制部材上に製造過程のフラットディスプレイパネルが載置されることによって、このフラットディスプレイパネルを所定の支持位置に支持する。
【００１２】
そして、この所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルに取り付けられている排気用の管部材が、接続部材に連結されて、この接続部材によって排気ポンプに接続される。
【００１３】
このようにして排気装置に支持されたフラットディスプレイパネルに対しては、加熱加工時にその管部材を介して、排気装置によって内部空間内から排気を行う工程が実施され、さらには、その排気後の内部空間内への内部ガスの導入工程が実施される。
【００１４】
このとき、支持部材および規制部材によって支持されているフラットディスプレイパネルは、特にこのフラットディスプレイパネルの接続部材に連結される管部材が取り付けられている部分の付近が規制部材の移動規制部に当接されていて、その水平方向の移動が規制されるので、接続部材をフラットディスプレイパネルの移動に追従させる必要がなく、加熱チャンバ内に固定することが出来るため、フラットディスプレイパネルの排気装置へのセッティングの際に、管部材と接続部材との連結操作を自動で行うことが可能になる。
【００１５】
そして、この排気装置に支持されたフラットディスプレイパネルの移動が規制されることによって、加熱工程等の実施中に、フラットディスプレイパネルと接続部材との間の相対的移動に伴う管部材の破損を防止することが出来、これによっても、フラットディスプレイパネルの製造時の排気工程等の完全自動化を可能にすることが出来る。
【００１６】
さらに、この排気装置は、支持部材のパネル支持部が、このパネル支持部を支持している変位許容部によって上下に変位自在にフラットディスプレイパネルの下面に当接されるので、例えばフラットディスプレイパネルに反りが発生しているような場合でも、パネル支持部がフラットディスプレイパネルの反りに沿って上下に変位してこのフラットディスプレイパネルの下面に均一に当接されるので、パネル支持部とフラットディスプレイパネルとの間に隙間が形成される虞が無く、これによって、フラットディスプレイパネルをその全面に亘ってほぼ均一な受け荷重によって支持することが出来る。
また、この結果、支持部材の厳密な高さ調整は不要になる。
【００１７】
そしてさらに、この支持部材のパネル支持部が変位許容部によって水平方向にも変位自在になっていることにより、排気およびガス導入工程が行われる加熱チャンバ内において、フラットディスプレイパネルや排気装置の構造部分の熱膨張と収縮に伴う互いの間の相対的なずれを効果的に吸収することができる。
【００１８】
この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの排気装置において、規制部材の移動規制部のフラットディスプレイパネルに接する部分の摩擦係数が、支持部材のパネル支持部のフラットディスプレイパネルに接する部分の摩擦係数よりも大きくなるように構成するのが好ましい。
この構成により、フラットディスプレイパネルと移動規制部との間に大きな摩擦力が発生して、規制部材によるフラットディスプレイパネルの移動規制が達成される。
【００１９】
また、この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの排気装置において、支持部材が、この支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルの少なくとも一方向の辺に沿って等間隔に配置されるようにするのが好ましい。
これによって、フラットディスプレイパネルが全面に亘ってほぼ均等に支持される。
【００２０】
また、この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの排気装置において、支持部材が、この支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルの少なくとも一方向の辺に沿って規制部材から離れるにしたがって互いの間隔が小さくなる位置に配置されるようにしても良い。
【００２１】
これによって、支持部材に掛かるフラットディスプレイパネルによる荷重が規制部材から離れるほど小さくなり、その分、規制部材に掛かる荷重が大きくなって、この規制部材によるフラットディスプレイパネルの拘束力が増大するので、規制部材によるフラットディスプレイパネルの移動の規制がさらに確実に行われるようになる。
【００２２】
また、この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの排気装置において、支持部材の移動規制部が、ばね材、特に、中心線を垂直向きにして上端部がパネル支持部に連結され下端部が固定されている弦巻ばねによって構成されるようにするのが好ましい。
これによって、支持部材がフラットディスプレイパネルを上下および水平方向に変位自在に支持することが出来るようになる。
【００２３】
また、このばね材の支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルと平行な方向のばね定数が、規制部材から離れた位置に配置された支持部材ほど小さくなるように設定してもよい。
【００２４】
これによって、例えば加熱工程においてフラットディスプレイパネル等に熱膨張や収縮が生じるような場合に、規制部材から離れているほど、フラットディスプレイパネルの支持部材に対するずれが吸収されるようになる。
【００２５】
また、この実施形態におけるフラットディスプレイパネルの排気装置において、支持部材がこの支持部材によって支持されるフラットディスプレイパネルの少なくとも一方の辺に沿って複数列に配置され、規制部材がこの支持部材の少なくとも一つの列と同列に配置される様にするのが好ましい。
【実施例１】
【００２６】
図２は、この発明の実施形態における第１実施例のフラットディスプレイパネルの排気装置を示す側面図であり、図３はこのフラットディスプレイパネルの排気装置の平面図である。
【００２７】
この図２および３において、排気装置１１は、図示しない加熱チャンバ内に設置されており、この排気装置１１のフラットディスプレイパネルＰを支持するフレーム１２は、互いに平行に配置されて対になった第１フレーム枠１２Ａと第２フレーム枠１２Ｂとによって構成されている。
【００２８】
第１フレーム枠１２Ａは、図２において手前側、図３において下側に配置されており、フラットディスプレイパネルＰの長手方向の幅（横幅）以上の間隔に配置されて加熱チャンバ内に立設された二本の縦フレーム１２Ａａと、この二本の縦フレーム１２Ａａの間に水平に掛け渡された一本の横フレーム１２Ａｂとによって構成されている。
【００２９】
この第１フレーム枠１２Ａの横フレーム１２Ａｂ上には、図において右側から等間隔位置に、後述するように、フラットディスプレイパネルＰを下側から支持する複数本（図示の例では三本）の支持ポール１３Ａが立設されている。
【００３０】
さらに、横フレーム１２Ａｂ上の左端の支持ポール１３Ａよりも左側の位置に、後述するように、フラットディスプレイパネルＰを下側から支持するとともに支持しているフラットディスプレイパネルＰの移動を規制するパネル規制ポール１３Ｂが、右側に隣接する支持ポール１３Ａに対して各支持ポール１３Ａ間の間隔と同じ間隔で立設されている。
【００３１】
そして、横フレーム１２Ａｂ上の両端側に位置する支持ポール１３Ａとパネル規制ポール１３Ｂとの間の長さは、フラットディスプレイパネルＰの長手方向の幅（横幅）よりも小さくなるように設定されている。
【００３２】
各支持ポール１３Ａは、それぞれ、図４に示される様に、中心線を垂直向きにして下端部が横フレーム１２Ａｂ上に固定された弦巻ばね１３Ａａと、この弦巻ばね１３Ａａの上端に同軸状に固定されたポール１３Ａｂと、このポール１３Ａｂの上端に同軸状に固定された上面が平坦な円盤状の支持プレート１３Ａｃとによって構成されている。
【００３３】
そして、この支持ポール１３Ａのポール１３Ａｂと支持プレート１３Ａｃは、弦巻ばね１３Ａａの弾性変形によって横フレーム１２Ａｂに対して上下および水平方向に変位自在に支持されているとともに、待機状態において支持プレート１３Ａｃの上面が互いにほぼ同じ高さになるように保持されている。
【００３４】
パネル規制ポール１３Ｂは、横フレーム１２Ａｂ上に垂直向きに固定されたポール１３Ｂａと、このポール１３Ｂａの上端に同軸状に固定された円盤状の規制プレート１３Ｂｂとによって構成されている。
【００３５】
そして、このパネル規制ポール１３Ｂの規制プレート１３Ｂｂの上面は、支持ポール１３Ａの支持プレート１３Ａｃと同様に平坦面になっているとともに、支持プレート１３Ａｃの上端面と同じほぼ高さ位置に位置されているが、後述するようにこの上に載置されるフラットディスプレイパネルＰとの間の摩擦力が支持プレート１３Ａｃの上面よりも大きくなるように、形成されている。
【００３６】
このように規制プレート１３ＢｂとフラットディスプレイパネルＰとの間の摩擦力が大きくなる形態としては、例えば、規制プレート１３Ｂｂの上面をその表面が支持プレート１３Ａｃよりも粗くなるように加工して摩擦係数が大きくなるようにしたり、規制プレート１３ＢｂのフラットディスプレイパネルＰを支持する上面の面積を支持プレート１３Ａｃよりも大きくする等の態様がある。
【００３７】
第２フレーム枠１２Ｂは、図２において奥側、図３において上側に配置されており、第１フレーム枠１２Ａと同様に、フラットディスプレイパネルＰの長手方向の幅（横幅）以上の間隔に配置されて加熱チャンバ内に立設された二本の縦フレーム１２Ｂａと、この二本の縦フレーム１２Ｂａの間に水平に掛け渡された一本の横フレーム１２Ｂｂとによって構成されており、第１フレーム枠１２Ａと平行に、かつ、縦フレーム１２Ｂａがそれぞれ第１フレーム枠１２Ａの縦フレーム１２Ａａに対向するように配置されている。
【００３８】
この第２フレーム枠１２Ｂの横フレーム１２Ｂｂ上には、第１フレーム枠１２Ａ側と同じ構成の複数本（図示の例では四本）の支持ポール１３Ａが、横フレーム１２Ｂｂの軸線に沿って第１フレーム枠１２Ａの支持ポール１３Ａと同じ間隔で、立設されている。
【００３９】
そして、横フレーム１２Ｂｂ上において左端に位置する支持ポール１３Ａが第１フレーム枠１２Ａ側のパネル規制ポール１３Ｂに対向され、他の支持ポール１３Ａはそれぞれ第１フレーム枠１２Ａ側の支持ポール１３Ａと互いに対向されている。
【００４０】
第１フレーム枠１２Ａの図において左側に位置する縦フレーム１２Ａａには、第２フレーム枠１２Ｂと反対側の側面の横フレーム１２Ａｂよりも高さが高い位置に、右側に位置する他方の縦フレーム１２Ａａ側に水平に延びる支持アーム１４の基端部が固定されている。
【００４１】
そして、この支持アーム１４の先端部上面にシールヘッド１５が取り付けられていて、図３から分かるように、このシールヘッド１５が、パネル規制ポール１３Ｂに近接するとともにこのパネル規制ポール１３Ｂよりも外側位置に位置するとともに、後述するようにフレーム１２に支持されたフラットディスプレイパネルＰの角部に対向する位置に配置されている。
【００４２】
このシールヘッド１５は、後述するように、製造工程時のフラットディスプレイパネルＰの角部下面に一端側を垂直に固定されたチップ管Ｆの先端部が連結されて、このチップ管Ｆを図示しない排気およびガス導入管と接続するようになっている。
【００４３】
上記排気装置１１は、製造過程のフラットディスプレイパネルＰが、図２および３に示されるように、フレーム１２の第１フレーム枠１２Ａと第２フレーム枠１２Ｂとによって、それぞれ横フレーム１２Ａｂと横フレーム１２Ｂｂ上に立設された支持ポール１３Ａの支持プレート１３Ａｃ上に載置された状態で、下側から支持される。
【００４４】
このとき、パネル規制ポール１３Ｂは、その規制プレート１３Ｂｂの上面がフラットディスプレイパネルＰに当接されて、支持ポール１３ＡとともにフラットディスプレイパネルＰを下側から支持する。
【００４５】
さらに、このとき、フラットディスプレイパネルＰの角部（図示の例では図３の左下側角部）下面に固定されているチップ管Ｆの下端部が、支持アーム１４によって支持されたシールヘッド１５に連結されて、図示しない排気およびガス導入管に接続される。
【００４６】
上記のようにして、フラットディスプレイパネルＰの排気装置１１へのセッティングが完了すると、シールヘッド１５およびチップ管Ｆを介して、図示しない真空ポンプによるフラットディスプレイパネルＰの内部空間からの排気と、この排気終了後の内部空間への内部ガスの導入が行われる。
【００４７】
このようなフラットディスプレイパネルＰの内部空間からの排気行程および内部空間へのガス導入工程が実施されている間、支持ポール１３Ａ上に支持されたフラットディスプレイパネルＰは、パネル規制ポール１３Ｂの規制プレート１３Ｂｂとの間の摩擦力によって定位置に保持されて、シールヘッド１５に対する移動が規制される。
【００４８】
これによって、上記排気装置１１は、シールヘッド１５を支持アーム１４に固定することが可能になるため、フラットディスプレイパネルＰの排気装置１１へのセッティングの際に、チップ管Ｆとシールヘッド１５との連結操作を自動で行うことが可能になる。
【００４９】
さらに、このフラットディスプレイパネルＰの移動が規制されることによって、排気工程およびガス導入工程の実施中に、フラットディスプレイパネルＰとシールヘッド１５との間の相対的移動により、このフラットディスプレイパネルＰとシールヘッド１５の間に連結されているチップ管Ｆが破損するのが防止される。
そして、このことにより、フラットディスプレイパネルの製造時の排気工程およびガス導入工程を完全自動化することが可能になる。
【００５０】
さらにまた、上記排気装置１１によれば、支持ポール１３Ａの支持プレート１３Ａｃが、ポール１３Ａｂの基端側を支持している弦巻ばね１３Ａａによって上下に変位自在にフラットディスプレイパネルＰの下面に当接されるので、例えばフラットディスプレイパネルＰに反りが発生しているような場合でも、支持プレート１３Ａｃがパネルの反り沿って上下に変位してフラットディスプレイパネルＰの下面に均一に当接されるので、支持プレート１３ＡｃとフラットディスプレイパネルＰとの間に隙間が形成される等の虞が無く、これによって、フラットディスプレイパネルＰをその全面に亘ってほぼ均一な受け荷重により支持することが出来るようになる。
【００５１】
そしてさらに、支持プレート１３Ａｃが弦巻ばね１３Ａａによって水平方向にも変位自在になっていることにより、加熱チャンバ内で行われる加熱工程において、フラットディスプレイパネルＰやこれを支持するフレーム１２の熱膨張と収縮に伴う互いの間の相対的なずれを効果的に吸収することが出来るようになる。
この結果、支持ポール１３Ａの厳密な高さ調整は不要になる。
【００５２】
上記実施例において、支持ポール１３Ａの支持プレート１３Ａｃを上下および水平方向に変位自在にする構成としては、弦巻ばねの他、例えばカップリング等の機構を用いても良い。
【００５３】
また、上記実施例においては、排気装置１１がパネル規制ポール１３Ｂを一本のみ備えている例が示されているが、フラットディスプレイパネルＰのサイズに応じて複数本設けるようにしても良い。
【実施例２】
【００５４】
図５は、この発明の実施形態における第１実施例のフラットディスプレイパネルの排気装置を示す側面図であり、図６はこのフラットディスプレイパネルの排気装置の平面図である。
【００５５】
前述した第１実施例におけるフラットディスプレイパネルの排気装置の支持ポールおよびパネル規制ポールが、第１フレーム枠と第２フレーム枠のそれぞれの横フレームに沿って互いに等間隔に配置されていたのに対し、この第２実施例における排気装置２１は、第１フレーム枠１２Ａの横フレーム１２Ａｂ上において、パネル規制ポール１３Ｂと隣接する支持ポール１３Ａとの間隔および支持ポール１３Ａ同士の間の間隔が、パネル規制ポール１３Ｂから図面の右方向に離れるに従って小さくなるように設定されており、第２フレーム枠１２Ｂの横フレーム１２Ｂｂ上において、支持ポール１３Ａの間の間隔が、パネル規制ポール１３Ｂに対向している左端の支持ポール１３Ａから図面の右方向に離れるに従って小さくなるように設定されている。
【００５６】
さらに、この排気装置２１の支持ポール１３Ａの弦巻ばね１３Ａａのばね定数が、それぞれ、パネル規制ポール１３Ｂからの距離が大きくなるほど小さくなるように設定されている。
【００５７】
この排気装置２１のフレーム１２およびパネル規制ポール１３Ｂその他の構成は、第１実施例の排気装置１１と同様であり、同一の構成部分については、第１実施例の場合と同一の符号が付されている。
【００５８】
上記排気装置２１は、支持ポール１３Ａの間隔がパネル規制ポール１３Ｂから離れるほど小さくなっていること、または、支持ポール１３Ａの弦巻ばね１３Ａａのばね定数がパネル規制ポール１３Ｂから離れている支持ポール１３Ａほど小さくなっていることにより、第１実施例の場合に比べて、各支持ポール１３Ａに掛かるフラットディスプレイパネルＰの重量による負荷（荷重）が小さくなって、支持ポール１３ＡによるフラットディスプレイパネルＰに対する拘束力が小さくなり、また、その分、パネル規制ポール１３Ｂに掛かる負荷（荷重）が大きくなって、このパネル規制ポール１３Ｂの規制プレート１３ＢｂとフラットディスプレイパネルＰとの間の摩擦力が大きくなるので、パネル規制ポール１３ＢによるフラットディスプレイパネルＰへの移動に対する拘束力が大きくなる。
【００５９】
従って、この排気装置２１によれば、第１実施例の排気装置が有している技術的効果に加えて、加熱チャンバ内における加熱工程時に、排気装置２１にセットされたフラットディスプレイパネルＰに熱膨張や収縮が生じた場合でも、フラットディスプレイパネルＰのチップ管Ｆが連結されている部分の拘束力が第１実施例の場合よりもさらに強くなっているとともに、パネル規制ポール１３Ｂすなわちチップ管Ｆから離れるほど支持ポール１３ＡによるフラットディスプレイパネルＰの拘束力が低下して、フラットディスプレイパネルＰに対するストレスの発生が小さくなることにより、チップ管Ｆとシールヘッド１５との間の相対的移動がさらに小さくなって、チップ管Ｆの破損が確実に防止されるようになるという技術的効果を発揮することが出来る。
【００６０】
上記各実施例のフラットディスプレイパネルの排気装置は、加熱チャンバ内に製造過程のフラットディスプレイパネルを支持してこのフラットディスプレイパネルの一方の面に取り付けられた管部材から内部空間内の排気を行う排気装置において、前記加熱チャンバ内におけるフラットディスプレイパネルの所定の支持位置の下方に、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルを下方から支持する複数の支持部材と、この支持部材によって支持されたフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの所定の支持位置からの移動を規制する少なくとも一個の規制部材と、所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルの前記管部材に連結されてこの管部材と排気ポンプとの接続を行う接続部材が配置され、前記各支持部材が、フラットディスプレイパネルの下側の面に当接されるパネル支持部と、このパネル支持部を上下方向および水平方向に変位自在に支持する変位許容部とを有し、前記規制部材が、加熱チャンバ内の所定位置に固定されているとともにフラットディスプレイパネルの下側の面に当接されてこのフラットディスプレイパネルの移動を規制する移動規制部を有し、前記接続部材に近接する位置に規制部材が配置され、この規制部材よりも接続部材から離れた位置に支持部材が配置されている実施形態のフラットディスプレイパネルの排気装置を、その上位概念の実施形態としている。
【００６１】
この実施形態によるフラットディスプレイパネルの排気装置は、加熱チャンバ内の所定位置に配設された支持部材および規制部材上に製造過程のフラットディスプレイパネルが載置されることによって、このフラットディスプレイパネルを所定の支持位置において支持する。
【００６２】
そして、この所定の支持位置に支持されたフラットディスプレイパネルに取り付けられている内部空間の排気用の管部材が、接続部材に連結されて、この接続部材によって排気ポンプに接続される。
【００６３】
このようにして支持されたフラットディスプレイパネルに対しては、加熱加工時にその管部材を介して、排気装置によって内部空間内から排気を行う工程が実施され、さらには、その後の内部空間内への内部ガスの導入工程が実施される。
【００６４】
このとき、支持部材および規制部材によって支持されているフラットディスプレイパネルは、特にこのフラットディスプレイパネルの接続部材に連結される管部材が取り付けられている部分の付近が規制部材の移動規制部に当接されて、その水平方向の移動が規制されるので、接続部材をフラットディスプレイパネルの移動に追従させる必要がなく、加熱チャンバ内に固定することが出来るため、フラットディスプレイパネルの排気装置へのセッティングの際に、管部材と接続部材との連結操作を自動で行うことが可能になる。
【００６５】
そして、この排気装置に支持されたフラットディスプレイパネルの移動が規制されることによって、加熱工程等の実施中に、フラットディスプレイパネルと接続部材との間の相対的移動に伴う管部材の破損を防止することが出来、これによっても、フラットディスプレイパネルの製造時の排気工程等の完全自動化を可能にすることが出来る。
【００６６】
さらに、この排気装置は、支持部材のパネル支持部が、このパネル支持部を支持している変位許容部によって上下に変位自在にフラットディスプレイパネルの下面に当接されるので、例えばフラットディスプレイパネルに反りが発生しているような場合でも、パネル支持部がフラットディスプレイパネルの反りに沿って上下に変位してこのフラットディスプレイパネルの下面に均一に当接されるので、パネル支持部とフラットディスプレイパネルとの間に隙間が形成される虞が無く、これによって、フラットディスプレイパネルをその全面に亘ってほぼ均一な受け荷重により支持することが可能になる。
また、この結果、支持部材の厳密な高さ調整は不要になる。
【００６７】
そしてさらに、この支持部材のパネル支持部が変位許容部によって水平方向にも変位自在になっていることにより、排気およびガス導入工程が行われる加熱チャンバ内において、フラットディスプレイパネルや排気装置の構造部分の熱膨張と収縮に伴う互いの間の相対的なずれを効果的に吸収することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】従来例を示す側面図である。
【図２】この発明の実施形態における第１実施例を示す側面図である。
【図３】同実施例の平面図である。
【図４】同実施例の支持ポールの構成を示す側面図である。
【図５】この発明の実施形態における第２実施例を示す側面図である。
【図６】同実施例の平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１１，２１          …排気装置
１２                …フレーム
１２Ａ              …第１フレーム枠
１２Ｂ              …第２フレーム枠
１２Ａａ，１２Ｂａ  …縦フレーム
１２Ａｂ，１２Ｂｂ  …横フレーム
１３Ａ              …支持ポール（支持部材）
１３Ａａ            …弦巻ばね（変位許容部，ばね部材）
１３Ａｂ            …ポール
１３Ａｃ            …支持プレート（パネル支持部）
１３Ｂ              …パネル規制ポール（規制部材）
１３Ｂａ            …ポール
１３Ｂｂ            …規制プレート（移動規制部）
１４                …支持アーム
１５                …シールヘッド（接続部材）
Ｆ                  …チップ管（管部材）
Ｐ                  …フラットディスプレイパネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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