(57)【要約】【課題】比較的大径のカップリング装置の使用時に流体を安定して供給する。【解決手段】流体移送用カップリング装置が、円筒状ハウジング（１）と、押すことによって開放するバルブ（１６）を収納したバルブ用スリーブ（１５）を包含していて円筒状ハウジング内に摺動可能な円筒状スライダ（２５）と、スライダの移動によってバルブ用スリーブ内の進行端まで引込まれた状態でプラグ（７０）を支持するプラグ支持手段（６０）とを含んでいる。記プラグ支持手段はスライダの前方端よりもさらに前方に配置されている。また、プラグ支持手段には、特定のプラグ以外のプラグが接続されるのを防止する誤接続防止機構（６８、６９ａ〜６９ｄ、７７）が設けられている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状ハウジング内に、押すことによって開くバルブを収納したバルブ用スリーブを包含する円筒状スライダを摺動可能に装入し、
前記スライダの後方端に前記円筒状ハウジングの内壁に摺接するピストンを設け、前記ピストンの両側における空気圧の出入によって前記円筒状ハウジング内において前記スライダを移動可能にし、
前記スライダの前方端に、連結すべきプラグに対する係着手段を設け、前記スライダの移動に伴って前記プラグを前記バルブ用スリーブ内の進行端まで引込み可能にして成り、
前記スライダの移動によって前記バルブ用スリーブ内の進行端まで引込まれた状態で前記プラグを支持するプラグ支持手段とを具備する流体移送用カップリング装置。
【請求項２】
円筒状ハウジングと、
押すことによって開放するバルブを収納したバルブ用スリーブを包含していて前記円筒状ハウジング内に摺動可能な円筒状スライダと、
前記スライダの移動によって前記バルブ用スリーブ内の進行端まで引込まれた状態でプラグを支持するプラグ支持手段とを具備する流体移送用カップリング装置。
【請求項３】
前記プラグ支持手段は前記スライダの前方端よりもさらに前方に配置されている請求項１または２に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項４】
前記プラグ支持手段には、特定のプラグ以外のプラグが接続されるのを防止する誤接続防止機構が設けられている請求項１から３のいずれか一項に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項５】
前記誤接続防止機構は、前記特定のプラグの外周面に予め形成された少なくとも一つのキー溝と、該キー溝に係合するキーとを含む請求項４に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項６】
前記プラグ支持手段には、前記プラグが挿入される開口部が形成されている請求項５に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項７】
前記誤接続防止機構の前記キーは前記開口部の内周面から突出するボルトの先端部分である請求項５または６に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項８】
前記スライダの前方端に対面する前記プラグ支持手段の縁部には、テーパが形成されている請求項６または７に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項９】
前記プラグ支持手段は、前記開口部周りの少なくとも三箇所において固定されている請求項６に記載の流体移送用カップリング装置。
【請求項１０】
前記スライダには前記円筒状ハウジングの内壁に摺動するピストンが設けられており、
前記ピストンの両側における空気圧を出入させることによって前記スライダを前記円筒状ハウジング内に摺動させる空気圧出入機構をさらに具備する請求項１から９のいずれか一項に記載の流体移送用カップリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体、即ち、半導体製造に際して用いる種々の高純度薬液などの液体、ガス、その他の流動体を製薬会社から輸送用トラックのコンテナまで、または輸送用コンテナから半導体工場またはＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）工場まで供給する際に用いられる流体移送用カップリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、カップリング装置は同一軸線上に置かれた固定状態のソケット（雌型カプラ）と移動可能なプラグ（雄型カプラ）とを有し、プラグがソケット内に進入して流体密状態に結合し得るようになっている。
【０００３】
このようなカップリング装置が比較的小径である場合には、操作者がプラグを手動でソケットに結合させるのに問題は無い。ところが、カップリング装置が比較的大径である場合には、かなり大きな力が必要であるので、操作者がプラグをソケットの最奥部まで押込んでこれらを完全に結合させるのが困難になる。
【０００４】
特許文献１に開示されるカップリング装置においては、操作者がプラグをある程度まで押込んだ後は、空気圧によってプラグを進行端まで進行させてソケットに結合させるようにしている。従って、特許文献１においては、カップリング装置が比較的大径である場合であっても、プラグとソケットとを比較的容易に結合させられる。
【特許文献１】特許第３３４９９５８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、比較的大径のカップリング装置を結合させた後に、流体、特に液体を供給すると、流体の重量のために、プラグが該プラグとソケットとの間の結合部分から湾曲する場合が生じうる。特に、流体を比較的大流量で供給する場合には、プラグが揺動して流体の安定供給が困難になるだけでなく、プラグとソケットとの間の結合部分が破損することにもなりかねない。また、複数の薬液を供給する際にはカップリング装置を接続する際に誤接続してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、比較的大径のカップリング装置の使用時に流体を安定して供給することのできる流体移送用カップリング装置を提供することを目的とする。また、本発明は、カップリング装置を接続する際に誤接続することなしに安全に薬液を供給することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、円筒状ハウジング内に、押すことによって開くバルブを収納したバルブ用スリーブを包含する円筒状スライダを摺動可能に装入し、前記スライダの後方端に前記円筒状ハウジングの内壁に摺接するピストンを設け、前記ピストンの両側における空気圧の出入によって前記円筒状ハウジング内において前記スライダを移動可能にし、前記スライダの前方端に、連結すべきプラグに対する係着手段を設け、前記スライダの移動に伴って前記プラグを前記バルブ用スリーブ内の進行端まで引込み可能にして成り、前記スライダの移動によって前記バルブ用スリーブ内の進行端まで引込まれた状態で前記プラグを支持するプラグ支持手段とを具備する流体移送用カップリング装置が提供される。
【０００８】
２番目の発明によれば、円筒状ハウジングと、押すことによって開放するバルブを収納したバルブ用スリーブを包含していて前記円筒状ハウジング内に摺動可能な円筒状スライダと、前記スライダの移動によって前記バルブ用スリーブ内の進行端まで引込まれた状態でプラグを支持するプラグ支持手段とを具備する流体移送用カップリング装置が提供される。
【０００９】
すなわち１番目または２番目の発明においては、プラグをソケットに結合させるとプラグはプラグ支持手段によって支持されるので、比較的大径のカップリング装置の場合であっても流体を安定して供給することができる。このため、流体を比較的大流量で供給する場合であっても、プラグの揺動を抑制し、プラグとソケットとの間の結合部分が破損するのを防止できる。
【００１０】
３番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記プラグ支持手段は前記スライダの前方端よりもさらに前方に配置されている。
すなわち３番目の発明においては、比較的大きいモーメントがプラグに掛かる場合であっても、プラグを安定して支持できる。
【００１１】
４番目の発明によれば、１番目から３番目のいずれかの発明において、前記プラグ支持手段には、特定のプラグ以外のプラグが接続されるのを防止する誤接続防止機構が設けられている。
すなわち４番目の発明においては、特定のプラグ以外のプラグが接続されるのを防止できるので、多数種類の薬液を供給する場合に特に有利である。
【００１２】
５番目の発明によれば、４番目の発明において、前記誤接続防止機構は、前記特定のプラグの外周面に予め形成された少なくとも一つのキー溝と、該キー溝に係合するキーとを含む。
すなわち５番目の発明においては、比較的簡易な機構により、誤接続防止機構を形成することができる。
【００１３】
６番目の発明によれば、５番目の発明において、前記プラグ支持手段には、前記プラグが挿入される開口部が形成されている。
すなわち６番目の発明においては、プラグを開口部に挿入してソケットに結合させるので、プラグがソケットに完全に結合される前からプラグを或る程度、支持できる。好ましいプラグ支持手段はリング型部材である。
【００１４】
７番目の発明によれば、５番目または６番目の発明において、前記誤接続防止機構の前記キーは前記開口部の内周面から突出するボルトの先端部分である。
すなわち７番目の発明においては、比較的簡易な機構により、キーを形成することができる。
【００１５】
８番目の発明によれば、３番目から７番目のいずれかの発明において、前記スライダの前方端に対面する前記プラグ支持手段の縁部には、テーパが形成されている。
すなわち８番目の発明においては、プラグをソケットから手動で取外すときに操作者が指をプラグ支持手段とソケットとの間に入れる隙間を形成できる。
【００１６】
９番目の発明によれば、６番目のいずれかの発明において、前記プラグ支持手段は、前記開口部周りの少なくとも三箇所において固定されている。
すなわち９番目の発明においては、プラグ支持手段を安定して固定できる。さらに、プラグを開口部に挿入するときに、プラグ支持手段がプラグの挿入方向に傾斜するのを防止できる。
【００１７】
１０番目の発明によれば、１番目から９番目のいずれかの発明において、前記スライダには前記円筒状ハウジングの内壁に摺動するピストンが設けられており、前記ピストンの両側における空気圧を出入させることによって前記スライダを前記円筒状ハウジング内に摺動させる空気圧出入機構をさらに具備する。
すなわち１０番目の発明においては、比較的大径のカップリング装置の場合であっても、プラグをソケットに容易に連結させられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は、本発明に基づく流体移送用カップリング装置の長手方向断面図である。また、図２（ａ）および図２（ｂ）は、図１に示される流体移送用カップリング装置のソケットのそれぞれ頂面図および側面図である。さらに、図３は、図１に示される流体移送用カップリング装置のソケットの正面図である。
【００１９】
図１に示されるように、カップリング装置のソケット１００はフランジ２を一端に備えたハウジング１を含んでいる。ハウジング１の他端には、複数のボルト４によって環状ベース３が固定されている。ハウジング１の上方には、フランジ２に密着するように固定されたシャフトハウジング５が設けられている。シャフトハウジング５においては、シャフトハウジング５とフランジ２とを貫通するシャフト６が摺動可能に挿入されている。
【００２０】
図示されるように、シャフト６には、エア通路９、１０がシャフト６の軸方向に形成されている。これらエア通路９、１０はシャフトハウジング５に形成された給気用ポート７または排気用ポート８（図２（ａ）および図２（ｂ）参照）のうちのいずれかに選択的に連通するようになっている。
【００２１】
シャフト６の一端にはツマミ１１が取付けられており、シャフト６の他端にはストッパ１２が取付けられている。操作者がツマミ１１を掴んでシャフト６をその軸方向（水平方向）に摺動させるときに、ストッパ１２がシャフトハウジング５の端面に当接し、それにより、シャフト６の摺動作用が規制される。
【００２２】
図示されるように、第一バルブ１６を内蔵したバルブ用スリーブ１５は、環状ベース３側からハウジング１内に挿入される。第一バルブ１６は、バルブ用スリーブ１５の開口部１７に嵌合されたストッパ１８に支持されたスプリング１９によって常時付勢されている。これにより第一バルブ１６は、バルブ用スリーブ１５の前方端に環状に形成された第一弁座２０にＯリング２１を介して当接する。このため、第一弁座２０の前後（図１において左右）は流体密にシールされる。
【００２３】
第一バルブ１６の前方端には、その前後（図１において左右）に開口する一つまたは複数の連通孔２２が形成されている。後述するように、第一バルブ１６がスプリング１９の押圧力に抗して押込まれることによって第一弁座２０が開放すると、開口部１７と第一バルブ１６の内側とが連通するようになる。
【００２４】
図１に示されるように、バルブ用スリーブ１５に摺動自在に嵌挿される円筒状のスライダ２５がハウジング１内に収容されている。スライダ２５の後方端にはハウジング１の内周面に摺接するピストン２８が形成されている。また、フランジ２の内周面には半径方向内側に突出する幅狭部２ａが形成されている。これにより、ピストン２８の前後に空気圧室２９が図示されるように形成される。また、ハウジング１の内壁には、エア通路９、１０と空気圧室２９とを連通する連通路３１、３２が形成されている。
【００２５】
スライダ２５の幅狭の前方端には、多数のボール支持孔３３が形成されている。これらボール支持孔３３は半径方向外側に向かって拡開するテーパ状とされ、ボール３４を図１において左右方向に若干移動可能に支持している。
【００２６】
スライダ２５の外側には周方向に等間隔で複数、例えば四つのスプリング３５が配置されている。図示されるように、これらスプリング３５は、スライダ２５に固定されたスプリング受け３６と可動のインナーカラー３７との間に挾持されている。さらに、スリーブ３８がハウジング１のフランジ２側に摺動可能に嵌挿されている。スリーブ３８によって、スプリング３５、スプリング受け３６およびインナーカラー３７が一体的にされる。また、ストッパ４０がスライダ２５の外端部外周とスリーブ３８との間の隙間に挿入されている。
【００２７】
さらに、バルブ用スリーブ１５内の残液を排出するドレン継手４１がスライダ２５、インナーカラー３７およびスリーブ３８を貫通してソケット１００の下側に設けられている。このドレン継手４１は、等間隔に配置された複数のスプリング３５の間に設置されている。なお、図示されるように、ソケット１００に含まれる複数の部材にはシール部材、例えばＯリングが適宜設けられているが、このことは公知であるので説明を省略する。
【００２８】
図２（ａ）および図２（ｂ）などに示されるように、本発明においては、ソケット１００のフランジ２はベースパネル８１にボルトナットにより取付けられている。さらに、このベースパネル８１は図１などに仮想線で示される鉛直に延びるパネル８０にマウントされている。言い換えれば、本発明のカップリング装置のソケット１００はベースパネル８１を介してパネル８０にマウントされている。
【００２９】
図１に示されるように、ベースパネル８１にはブラケット８２により支持される取付ベース８３がベースパネル８１の表面に対して垂直に取付けられている。さらに、図３および図１などから分かるように、本発明のカップリング装置のソケット１００においては、カップリング装置のプラグ７０を支持するプラグ支持部６０がスリーブ３８の前方端よりもさらに前方に配置されている。
【００３０】
図４はプラグ支持部の正面図である。図４に示されるように、プラグ支持部６０は開口部６４が形成された略リング型のキープレート６１を含んでおり、キープレート６１の内径はプラグ７０の胴部の最大外径に概ね等しい。キープレート６１はプラスチック、例えば塩化ビニールから形成されている。キープレート６１の両端部は、略Ｕ字形状のキープレート支持部８５の両延長部に固定ボルト６７によって固定されている。また、キープレート支持部８５の底部は取付ベース８３にネジ留めされている。
【００３１】
キープレート支持部８５に形成された固定ボルト６７用の孔は、いくぶん縦長になっている。このため、プラグ支持部６０の取付後においても、縦長孔の範囲において、プラグ支持部６０の位置を容易に微調整するのが可能になっている。
【００３２】
さらに、図示されるように、略Ｕ字形状のキープレート支持部８５の両延長部を連結する補強バー６５がキープレートの下方においてキープレート支持部８５を補強している。そして、キープレート６１の下方端は補強バー６５の中間部分に第一キーボルト６８によって固定されている。
【００３３】
すなわち、本発明においては、キープレート６１は二つの固定ボルト６７と一つの第一キーボルト６８とによって三箇所で支持されている。このため、プラグ７０をキープレート６１の開口部６４に挿入するときに、キープレート６１はプラグ７０の挿入方向に容易に傾斜しないようになる。また、キープレート支持部８５および補強バー６５は金属、例えばＳＵＳから形成されるのが好ましく、それにより、キープレート６１を堅固に固定することができる。
【００３４】
図４に示されるように、キープレート６１の外周部には、半径方向に延びる複数、例えば四つの第二キーボルト６９ａ〜６９ｂが取付けられている。図示されるように、上方の二つの第二キーボルト６９ａ、６９ｂはキープレート６１の中心を通る鉛直面に対して約２５°の角度で対称に配置されている。同様に、下方の二つの第二キーボルト６９ｃ、６９ｄは前述した鉛直面に対して約２５°の角度で対称に配置されている。これら第二キーボルト６９ａ〜６９ｄおよび第一キーボルト６８は金属、例えばＳＵＳから形成されるのが好ましい。
【００３５】
第一および第二キーボルト６８、６９ａ〜６９ｄには先端側の一部分を除いてネジ山が形成されている。このため、これらキーボルトをキープレート６１所定の位置に堅固に固定できる。なお、第一および第二キーボルト６８、６９ａ〜６９ｄは既存のネジの先端側の一部のネジ山を取り除くことにより形成されるのが好ましく、それにより、これらキーボルトを比較的低コストで作成できる。
本発明においては、全てのキーボルトの位置に穴が形成されているキープレート６１を在庫として予め保管することが可能である。これにより、キーボルトを必要に応じて取付ければ、キーボルト用の穴の位置が異なる複数種類のキープレートを在庫として保管する必要がない。従って、本発明においては、在庫を減らすと共に、納期に迅速に対応することができる。
一般的にはプラグおよびソケットの直径を互いに異ならせた誤接続防止機構が採用されている。この場合には、直径の異なる複数種類のプラグを保管する必要があり、従って、在庫が増えるという問題があった。しかしながら、本発明の誤接続防止機構においてはキーボルトの数または位置を変更すれば足りるので、一般的な誤接続防止機構と比較して在庫を減らすことが可能となる。
【００３６】
図５は本発明に基づく流体移送用カップリング装置においてソケットとプラグとの間の結合作用を示すための第一の長手方向断面図である。図５を参照して、本発明のカップリング装置のプラグ７０を簡単に説明する。
【００３７】
図５から分かるように、プラグ７０は、複数の部品をダブルナット７５により組付けることにより形成されている。プラグ７０には、内部通路７８が形成されており、プラグ７０の基端に接続される管路７０’に連通する。プラグ７０の先端とダブルナット７５との間には、環状凹部７６ｂが形成されている。また、環状凹部７６ｂよりも先端側には、外側傾斜面７６ａが形成されている。
【００３８】
さらに、本発明のカップリング装置のプラグ７０におけるダブルナット７５の外周面には、軸方向に延びる一つまたは複数のキー溝７７が形成されている。これらキー溝７７の幅および深さは、キープレート６１の内面６３から突出した第一および第二のキーボルトの先端に対応している。第一キーボルト６８および／または第二キーボルト６９ａ〜６９ｄならびにキー溝７７は互いに協働して、特定のプラグ７０とは異なるプラグが誤って接続されるのを防止している。このことについては後述する。
【００３９】
図５に示されるように、プラグ７０の先端には、内側に環状に突出する第二弁座７２が形成されている。第二弁座７２とストッパ７９との間に配置されたスプリング７４は第二バルブ７１を第二弁座７２に向かって付勢しており、それにより、第二弁座７２の開口部が閉鎖される。また、図示されるように、第二バルブ７１には連通孔７３が形成されている。そして、第二バルブ７１がスプリング７４の付勢作用に抗して押されると、連通孔７３および第二弁座７２の開口部が開放するようになっている。
【００４０】
本発明のカップリング装置におけるプラグ７０のソケット１００に結合させる前に、図２（ａ）および図２（ｂ）においてのみ示される開口部１７用のキャップ９０を取外す。このキャップ９０はソケット１００の不使用時に、ソケット内部に異物が侵入するのを防止している。
【００４１】
以下、図５ならびに図５と同様な図である図６および図８を参照して、本発明のカップリング装置におけるソケットとプラグとの間の結合について説明する。はじめに、図５の矢印Ａ１で示されるように、スリーブ３８をスライダ２５およびインナーカラー３７と共にプラグ支持部６０に向かって一体的に前方に引出す。これにより、スリーブ３８の先端は図１に示される仮想線Ｂまで移動する。
【００４２】
シャフトハウジングを拡大して示す部分拡大図である図７（ａ）に示されるように、初期には、シャフト６は、給気用ポート７がエア通路１０および連通路３２に連通する位置まで移動されている。このときには、排気用ポート８（図２（ａ）および図２（ｂ）参照）はエア通路９および連通路３１に連通した状態となっている。なお、初期には、給気用ポート７から空気は供給されていないものとする。
【００４３】
次いで、図５において矢印Ａ２で示されるように、操作者はプラグ７０をキープレート６１の開口部６４に通してソケット１００に向かって水平移動させる。前述したように、キープレート６１の内径はプラグ７０の外径に概ね対応しているので、プラグ７０がソケット１００に完全に結合される前でも、プラグ７０を或る程度、支持できるのが分かるであろう。
【００４４】
プラグ７０の先端がソケット１００の開口部１７に進入して、さらにプラグ７０を移動させると、プラグ７０の外側傾斜面７６ａがボール３４を押上げる。これにより、ボール３４がスプリング３５の押圧力に抗してインナーカラー３７を押込んでいく。
【００４５】
図６に示されるように、プラグ７０が更に進行してインナーカラー３７がその移動端に到達すると、逆にボール３４がインナーカラー３７に押されて、環状凹部７６ｂ内に落込むようになる。これにより、プラグ７０とソケット１００とが仮係合する。上記作業は、特に大きな力を必要とすることなしに操作者が手動で行うことができる。
【００４６】
次いで、図７（ｂ）に示されるように、ツマミ１１をフランジ２に当たるまで押込んでシャフト６を摺動させる。これにより、給気用ポート７がエア通路９および連通路３１に連通する。このときには、図２（ａ）などに示される排気用ポート８がエア通路１０および連通路３２に連通する。
【００４７】
図示しない空気源から給気用ポート７を通じて空気圧が供給されると、空気圧はエア通路９および連通路３１を通って、ピストン２８と幅狭部２ａとの間に供給される。これにより、図８において矢印Ａ４で示されるようにスライダ２５は、スリーブ３８、インナーカラー３７およびプラグ７０と共に一体的に矢印Ａ４方向に後退する。
【００４８】
その結果、図８に示されるように、第一バルブ１６および第二バルブ７１が互いにスプリング１９、７４に抗して押圧しあう。これにより、第一弁座２０と第二弁座７２とが互いに当接して連通孔２２と連通孔７３の両方が開放するようになる。第二弁座７２が第一弁座２０に当接した位置がプラグ７０の進行端である。プラグ７０が進行端まで移動することにより、カップリング装置のソケット１００とプラグ７０とが完全に結合し、その結果、管路７０’を通る流体がプラグ７０を通じてソケット１００に流れる。
【００４９】
本発明においては、カップリング装置の結合後においては、プラグ７０はプラグ支持部６０によって支持されている。このため、比較的大径のカップリング装置の場合であっても流体を安定して供給することができる。さらに、流体を比較的大流量で供給する場合であっても、プラグ支持部６０により支持されているプラグ７０は揺動することがない。それゆえ、本発明においては、プラグ７０とソケット１００との間の結合部分が揺動により破損することも防止できる。
【００５０】
図６を再び参照して分かるように、プラグ支持部６０の位置は、前方に引出された後のスリーブ３８の先端よりもさらに前方に在る。つまり、プラグ支持部６０はスリーブ３８および関連するスライダ２５の摺動動作に影響を与えない場所に配置されている。このようなプラグ支持部６０の位置は、比較的大きいモーメントがプラグ７０に掛かる場合に、プラグ７０を安定して支持するのに有利であるのが分かるであろう。このため、本発明においては、プラグ７０がプラグ７０とソケット１００との間の結合部分から湾曲するのも防止される。
【００５１】
なお、流体供給作業の終了後にプラグ７０を取外すときには、ツマミ１１を引張ってシャフト６を摺動させ、それにより、図７（ａ）に示されるように給気用ポート７をエア通路１０と連通路３２とに連通させる。このときには、排気用ポート８はエア通路９と連通路３１とに連通している。次いで、空気圧がスライダ２５と環状ベース３との間に供給されると、スライダ２５は前方に移動され、図６に示される状態が得られる。
【００５２】
次いで、操作者は一方の手でプラグ７０を把持し、他方の手でスリーブ３８等を後方に押圧する。これにより、ボール３４による係合が解除され、プラグ７０をソケット１００から引抜くことができる。図１などに示されるように、ソケット１００に対面するキープレート６１の縁部にはテーパ６２が形成されている。このテーパ６２が存在するために、操作者はスリーブ３８の先端とキープレート６１との間に指を容易に入れられ、それにより、操作者はスリーブ３８を後方に容易に押圧できるようになっている。なお、プラグ７０の引抜時などにバルブ用スリーブ１５内に貯まった流体、例えば液体は、ソケット１００の下側に設けられたドレン継手４１を通って適宜排出される。
【００５３】
ところで、本発明においては、特定のプラグ７０とは異なるプラグがソケット１００に接続されるのを防止する誤接続防止機構が設けられている。図４を再び参照すると、第一キーボルト６８および第二キーボルト６９ａの平坦な先端部分がキープレート６１の内面６３から突出している。これに対し、他の第二キーボルト６９ｂ〜６９ｄは、平坦な先端部分を備えていなくてその部分だけ短い盲式のキーボルトである。このため、他の第二キーボルト６９ｂ〜６９ｄの先端は内面６３から突出していない。
【００５４】
図４に示されるように第一キーボルト６８と第二キーボルト６９ａとが突出している場合には、これらキーボルト６８、６９ａに対応した位置にキー溝７７が形成されているプラグ７０が使用される。このようなプラグ７０は、キープレート６１のキーボルト６８、６９ａがプラグ７０のキー溝７７に係合した状態で挿入される。一旦、これらキーボルト６８、６９ａとキー溝７７とが係合すると、プラグ７０はキープレート６１内で回転不能となる。
【００５５】
従って、本発明においては、突出したキーボルト６８、６９ａに対応したキー溝７７を備えたプラグ７０のみがキープレート６１を通じてソケット１００に結合される。言い換えれば、キー溝７７の配置が異なる他のプラグおよびキー溝７７が形成されていない他のプラグは、図４に示されるキープレート６１に挿入できない。すなわち、本発明においては、第一および／または第二キーボルトとキー溝７７とが協働して誤接続防止機構としての役目を果たしている。
【００５６】
図９（ａ）から図９（ｄ）はキープレートの内面を略して示す図である。図９（ａ）には、キープレート６１の内面６３から突出するキーボルトは存在していない。すなわち、図９（ａ）には誤接続防止機構が備えられていない場合が参考として示されている。
【００５７】
また、図９（ｂ）から図９（ｄ）においては、第一キーボルト６８は前述したのと同様な盲式のキーボルトであり、その先端は内面６３から突出していない。さらに、図９（ｂ）においては第二キーボルト６９ａ、６９ｄの先端が、図９（ｃ）においては第二キーボルト６９ａ、６９ｃの先端が、図９（ｄ）においては第二キーボルト６９ａ、６９ｂの先端が、内面６３からそれぞれ突出している。突出していないキーボルトには、盲式のキーボルトが使用されるのが理解できるであろう。
【００５８】
図９（ｂ）から図９（ｄ）の場合に使用されるプラグ７０にはキーボルトに対応するキー溝７７がそれぞれ形成されている。このように突出したキーボルトおよびキー溝７７の配置を異ならせることによって、多数種類の薬液を供給する場合であっても、プラグ７０の誤接続を防止することができる。なお、さらに多数の第二キーボルトを備える構成、図示したのとは異なる角度で第二キーボルトを配置した構成またはキー溝に係合するキーボルトの数を異ならせた構成であっても本発明の範囲に含まれるのは明らかであろう。
【００５９】
また、図面を参照して説明した実施形態においては、キープレート６１用の取付ベース８３はベースパネル８１に取付けられている。しかしながら、ソケット１００がベースパネル８１に相当する寸法のフランジ２を備えている場合には、取付ベース８３をフランジ２に直接的に取付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に基づく流体移送用カップリング装置の長手方向断面図である。
【図２】（ａ）図１に示される流体移送用カップリング装置のソケットの頂面図である。（ｂ）図１に示される流体移送用カップリング装置のソケットの側面図である。
【図３】図１に示される流体移送用カップリング装置のソケットの正面図である。
【図４】プラグ支持部の正面図である。
【図５】本発明に基づく流体移送用カップリング装置においてソケットとプラグとの間の結合作用を示すための第一の長手方向断面図である。
【図６】本発明に基づく流体移送用カップリング装置においてソケットとプラグとの間の結合作用を示すための第二の長手方向断面図である。
【図７】（ａ）シャフトハウジングを拡大して示す第一の部分拡大図である。（ｂ）シャフトハウジングを拡大して示す第二の部分拡大図である。
【図８】本発明に基づく流体移送用カップリング装置においてソケットとプラグとの間の結合作用を示すための第三の長手方向断面図である。
【図９】（ａ）キープレートの内面を略して示す第一の図である。（ｂ）キープレートの内面を略して示す第二の図である。（ｃ）キープレートの内面を略して示す第三の図である。（ｄ）キープレートの内面を略して示す第四の図である。
【符号の説明】
【００６１】
１    ハウジング
２    フランジ
２ａ    幅狭部
３    環状ベース
５    シャフトハウジング
６    シャフト
７    給気用ポート
８    排気用ポート
９、１０    エア通路
１１    ツマミ
１２    ストッパ
１５    バルブ用スリーブ
１６    第一バルブ
１７    開口部
１８    ストッパ
１９    スプリング
２０    第一弁座
２２    連通孔
２５    スライダ
２８    ピストン
２９    空気圧室
３１、３２    連通路
３３    ボール支持孔
３４    ボール
３７    インナーカラー
３８    スリーブ
４０    ストッパ
４１    ドレン継手
６０    プラグ支持部
６１    キープレート
６２    テーパ
６３    内面
６４    開口部
６５    補強バー
６７    固定ボルト
６８    第一キーボルト
６９ａ〜６９ｄ    第二キーボルト
７０    プラグ
７０’    管路
７１    第二バルブ
７２    第二弁座
７３    連通孔
７４    スプリング
７５    ダブルナット
７６ａ    外側傾斜面
７６ｂ    環状凹部
７７    キー溝
７８    内部通路
７９    ストッパ
８０    パネル
８１    ベースパネル
８２    ブラケット
８３    取付ベース
８５    キープレート支持部
１００    ソケット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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