(57)【要約】【課題】ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等を実行できるようにする。【解決手段】フレームクランプ２０が、フレーム押部２４の上面にドレス部材２５を備えるので、ダイシングテープ３でワーク２を保持した環状フレーム５を通常通りチャックテーブル１６に装着してクランプさせればよく、フレーム押部２４の上面の空きスペースを利用しているため、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にドレス部材２５を用いたドレッシング作業を実行でき、また、ドレス部材２５は、チャックテーブル１６の外周に配設されたフレームクランプ２０のフレーム押部２４の上面に配設されており、ワーク２の大きさによる制約を受けないとともに、ドレス部材２５を装着したままワーク２の交換作業を行うこともできるようにした。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプであって、
少なくともフレーム押部を有し、
前記フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えることを特徴とするフレームクランプ。
【請求項２】
前記ダイシング用補助部材は、ダイシングブレードをドレッシングするためのドレス部材であることを特徴とする請求項１に記載のフレームクランプ。
【請求項３】
前記ダイシング用補助部材は、交換自在に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のフレームクランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシング装置においてチャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ，ＬＳＩ等の半導体チップが複数のストリートによって区画され表面に形成された半導体ウエーハは、ダイシング装置によって個々の半導体チップに分割される。半導体ウエーハは、ダイシングテープによってウエーハ径より数ｃｍ大きい環状フレームの開口部のほぼ中央に固定されてチャックテーブル上に装着され、ダイシングブレードによって分割される。
【０００３】
ダイシングブレードは、高速に回転しながらウエーハなどのワークを切削するが、不完全切断（いわゆる、ハーフカット）を長時間続けたり、ストリート上の評価用エレメント（ＴＥＧパターン）を切断し続けることで、樹脂等の切削屑がブレード先端に付着し、ブレードが目詰まり、切れ味の低下が発生してしまう。
【０００４】
このような現象に対処するため、従来から、ドレス部材にダイシングブレードでハーフカットすることで目詰まりを解消するドレッシング作業を行うようにしている。ドレッシング作業は、ワークを載置するチャックテーブルに、ワーク同様に、ドレス部材を載置して、数ライン〜数十ライン切り込むことで実施され、自動的に行われる場合もあれば、オペレータによって実施されることもある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかし、特許文献１に示される方法は、ワークに代えてドレス部材をチャックテーブル上に載置させなければならず、ワークの加工途中でドレッシング作業を行う場合、一旦加工を中断してワークに代えてドレス部材を載置し直す必要があり、再度ワークをチャックテーブル上に載置させて加工を再開させる前に、切断する位置を確認する作業（アライメント）が必要となってしまい、煩雑である。
【０００６】
これに対して、ドレス部材専用のサブチャックテーブルをチャックテーブルに隣接する位置に設けたり、ダイシングテープ上のワークに隣接する位置にドレス部材を貼付して設けたりする方法がある（例えば、特許文献２，３参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２０４４６２号公報
【特許文献２】特開２０００−４９１２０号公報
【特許文献３】特開２００４−２８８９６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ドレス部材専用のサブチャックテーブルを設ける方法は、ダイシング装置の内部にサブチャックテーブル用のスペースを必要とし、また、ダイシング装置の構造に変更を要し、コストがかかるといった問題点がある。また、ダイシングテープ上のワークに隣接する位置にドレス部材を貼付して設ける方法は、ワークをダイシングテープで固定する度にドレス部材を貼り付ける作業が必要となり、ドレス部材の脱着作業が多くて煩わしい。また、近年では、半導体ウエーハ等のワークは、大径化する傾向にあり、ダイシングテープのほぼ全域をワークが占有してしまい、ワークに隣接する位置にドレス部材を配設できない場合もある。
【０００９】
このような事情は、ドレス部材に限らず、例えばダイシングブレードの位置修正のためのカーフチェック用部材の場合でも同様である。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、かつ、ワークによる制約を受けることなく、ワークを保持したままドレッシング作業等のダイシング用補助作業を実行させることができるフレームクランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるフレームクランプは、チャックテーブルの外周に配設されるフレームクランプであって、少なくともフレーム押部を有し、前記フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明にかかるフレームクランプは、上記発明において、前記ダイシング用補助部材は、ダイシングブレードをドレッシングするためのドレス部材であることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明にかかるフレームクランプは、上記発明において、前記ダイシング用補助部材は、交換自在に設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかるフレームクランプは、フレーム押部の上面にダイシング用補助部材を備えるので、ダイシングテープでワークを保持した環状フレームを通常通りチャックテーブルに装着してクランプさせればよく、フレーム押部の上面の空きスペースを利用しているため、ダイシング装置に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にダイシング用補助部材を用いたダイシング用補助作業を実行させることができ、また、ダイシング用補助部材は、チャックテーブルの外周に配設されたフレームクランプのフレーム押部の上面に配設されており、ワークの大きさによる制約を受けないとともに、ダイシング用補助部材を装着したままワークの交換作業を行うこともでき、ダイシング用補助部材の脱着作業回数を減らすことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態であるフレームクランプについて図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本実施の形態のフレームクランプを備えるダイシング装置の構成例を示す概略斜視図である。このダイシング装置１は、半導体ウエーハ等のワークを切削するための装置であり、例えばワーク２として半導体ウエーハをダイシングする場合は、ワーク２は、ダイシングテープ３を介して環状フレーム５と一体となった状態でカセット部１１に複数枚収容される。そして、ダイシング装置１は、搬出入手段１２、搬送手段１３、洗浄手段１４、搬送手段１５とともに、環状フレーム５と一体となったワーク２をフレームクランプ２０で保持するチャックテーブル１６と、アライメント用のカメラ１７と、チャックテーブル１６に保持されたワーク２を切削する切削手段１８とを備える。
【００１７】
搬出入手段１２は、カセット部１１に収納されたワーク２（環状フレーム５）を搬送手段１３が搬送可能な載置領域に搬出するとともに、切削処理済みのワーク２をカセット部１１に搬入するものである。搬送手段１３は、搬出入手段１２によって載置領域に搬出されたワーク２をチャックテーブル１６上に搬送するものである。また、洗浄手段１４は、切削手段１８による処理済みのワーク２を洗浄するものである。搬送手段１５は、切削手段１８による処理済みのワーク２をチャックテーブル１６上から洗浄手段１４へ搬送するものである。
【００１８】
また、チャックテーブル１６は、図示しない駆動源に連結されて回転可能である。また、チャックテーブル１６は、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による送り機構によってＸ軸方向に移動可能に設けられている。また、チャックテーブル１６は、図３等に示すように、中央にワーク２部分を負圧源による吸引力で吸着保持するためのポーラス材による吸着部１６ａを有する。カメラ１７は、チャックテーブル１６に保持されたワーク２の表面を撮像するためのものであり、図示しないアライメント部は、カメラ１７によって取得した画像を基に切削すべき領域部分を検出し、切削手段１８による切削動作の位置づけに供する。
【００１９】
切削手段１８は、チャックテーブル１６に保持されたワーク２をダイシングブレード１９によって切削するもので、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない切り込み送り機構によってＺ軸方向に昇降移動可能に設けられ、また、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない割り出し送り機構によってＹ軸方向に移動可能に設けられている。
【００２０】
ついで、本実施の形態のフレームクランプ２０について説明する。図２は、本実施の形態のフレームクランプ２０を含むチャックテーブル１６付近の構成例を示す平面図であり、図３は、ワークダイシング時のチャックテーブル１６付近の構成を示す正面図であり、図４は、ドレッシング時のチャックテーブル１６付近の構成を示す正面図である。本実施の形態のフレームクランプ２０は、チャックテーブル１６よりも一回り大きく形成された環状フレーム５の複数個所を保持するためのものであり、チャックテーブル１６の外周にＸ，Ｙ軸方向において十字状をなす４箇所に配設されている。
【００２１】
ここで、各フレームクランプ２０は、それぞれ半径方向に延在させた２本ずつの支持ピン２１によってチャックテーブル１６に固定支持されている。また、各フレームクランプ２０は、環状フレーム５が載置される載置部２２と、回動機構２３によって開閉回動自在に設けられ載置部２２との間で環状フレーム５を挟持するフレーム押部２４とを備える可動式タイプとして構成されている。
【００２２】
また、各フレームクランプ２０は、そのフレーム押部２４の上面上に、ダイシング用補助部材であるドレス部材２５を備える。ドレス部材２５は、フレーム押部２４の表面形状の範囲内に収まる形状・大きさであれば、必要加工量等に応じて任意サイズ、形状のものでよいが、本実施の形態では、フレーム押部２４の表面形状に合せて同等サイズの短冊形状に形成されている。ここで、ドレス部材２５の種類としては、使用するダイシングブレード１９の砥粒サイズやボンド種類に合せ、ＧＣ（グリーンカーボランダム）砥粒、ＷＡ（ホワイトアランダム）砥粒などの砥粒が含まれる樹脂板や、Ｓｉ板等が用いられる。また、フレーム押部２４の上表面に対するドレス部材２５の取り付けは、接着剤による接着、ワックスによる接着、両面テープによる接着等の他、バキューム吸着方法、挟持方法等の適宜方法を用いればよいが、ドレス部材２５自体は消耗品であるので、交換自在に装着することが望ましい。
【００２３】
このような構成において、対象となるワーク２を有する環状フレーム５をチャックテーブル１６上に装着してフレームクランプ２０で保持し、カメラ１７を用いてワーク２のストリートに対する切削位置のアライメント処理を事前に行った後、図３に示すように、ワーク２の切削すべき部分にダイシングブレード１９を位置付け、チャックテーブル１６をＸ軸方向に加工送りさせることで、ワーク２のダイシングを行う。ここで、ワーク２のストリートは、升目状に形成されているため、一方向のストリートに沿ったダイシングの終了後、チャックテーブル１６を９０度回動させることで、一方向に直交する他方向のストリートに沿ったダイシングを行う。この際、フレームクランプ２０のフレーム押部２４の上面のドレス部材２５は、図３に示すようにワーク２の表面より一段低い位置に保持されており、ドレス部材２５がダイシングブレード１９によるダイシング動作に支障をきたすことはない。
【００２４】
そして、このようなダイシング動作中またはダイシング動作の終了後の任意の時点で、ダイシングブレード１９のドレッシングを行うときには、例えば、図４に示すように、チャックテーブル１６を−Ｘ方向にわずかに移動させるとともにダイシングブレード１９をわずかに下降させてドレス部材２５に接触するように位置付け、チャックテーブル１６を＋Ｘ方向に移動させてドレス部材２５を短手方向に切削させる。このとき、チャックテーブル１６は、ワーク２の向きを回転させるために、９０度回転され得るが、ドレス部材２５は、Ｘ，Ｙ軸方向の両方に直交配設されているので、ワーク２がいずれの向きであっても、Ｘ軸方向のワーク２外にドレス部材２５が存在することとなり、チャックテーブル１６の回転の影響を受けずにドレッシングを行うことができる。また、ドレス部材２５は、常にワーク２の近傍に存在するため、ワーク２の切削途中においてダイシングブレード１９をドレッシングする場合においても、チャックテーブル１６を若干Ｘ軸方向に加工送りするだけで実行させることができる。このようなドレッシング作業は、ダイシングブレード１９のＹ軸方向の割り出し送りを行うことで、数ライン〜数十ライン分実行させる。
【００２５】
よって、本実施の形態によれば、フレームクランプ２０自身がフレーム押部２４の上面の空きスペースを利用してこの上面にドレス部材２５を備えるので、ワーク２を保持した環状フレーム５を通常通りチャックテーブル１６に装着してフレームクランプ２０で保持させればよく、ダイシング装置１に専用スペースや特別な構造変更を要することなく、必要時にドレス部材２５を用いたドレッシング作業を実行させることができる。また、ドレス部材２５は、環状フレーム５部分を保持するフレームクランプ２０のフレーム押部２４の上面領域に配設されており、ワーク２の大きさによる制約を受けないとともに、ドレス部材２５を装着したままワーク２の交換作業を行うこともでき、ドレス部材２５の脱着作業回数を減らすこともできる。
【００２６】
また、本実施の形態によれば、ドレス部材２５はフレームクランプ２０のフレーム押部２４の上面に装着されているので、切削途中でドレッシングを行う場合でもチャックテーブル１６からワーク２を取り外してドレス部材を載置させるといった煩雑な作業を不要にでき、ワーク２の保持状態に変更がないため、アライメントをやり直す必要もないものである。また、ドレス部材２５がダイシングブレード１９のドレッシングに供され、消耗した際には、フレーム押部２４から剥がして、新たなドレス部材７を交換装着すればよい。あるいは、フレームクランプ２０全体を交換するようにしてもよい。
【００２７】
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では、フレーム押部２４が回転して環状フレーム５を押える可動式フレームクランプの例で説明したが、半径方向に進退自在なフレーム押部を半径方向に移動させて環状フレームを押えるタイプであってもよい。
【００２８】
また、本実施の形態では、ダイシング用補助部材としてドレス部材２５を用い、ダイシングブレード１９のドレッシング作業に供する例で説明したが、ドレス部材に限らず、同様に適用可能である。例えば、ワークを加工中、ブレード破損等の理由により、ブレード交換をせざるを得ない場合、ブレード装着ナットの締め付け具合やブレード個体差により、ブレード交換後のダイシング位置がＹ軸方向に微妙に変動する。そのため、ブレード交換後のダイシング位置を補正するため、ダミーのＳｉ板等のワークに準ずる素材に実際に切り込み、アライメント用のカメラでダイシングラインを認識・補正する作業（カーフチェック）を行うのが一般的である。そこで、フレームクランプが備えるダイシング用補助部材としては、Ｓｉ板等のカーフチェック用部材であってもよい。これによれば、カーフチェックを行う際も、ワークをダミーのＳｉ部材等と交換し、載置し直す必要がないため、ワークを加工中であっても、容易にカーフチェックを実施することができる、といった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態のフレームクランプを備えるダイシング装置の構成例を示す概略斜視図である。
【図２】本実施の形態のフレームクランプを含むチャックテーブル付近の構成例を示す平面図である。
【図３】ワークダイシング時のチャックテーブル周りの構成を示す正面図である。
【図４】ドレッシング時のチャックテーブル周りの構成を示す正面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１６  チャックテーブル
２０  フレームクランプ
２４  フレーム押部
２５  ドレス部材
【図１】
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【図２】
2008300556.tif 000004
【図３】
2008300556.tif 000005
【図４】
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