(57)【要約】【課題】本発明の課題は、樹脂層の突起、隔壁および埋まりのない均一な樹脂層を開口部の内壁に有するスクリーン印刷用マスクの作製方法を提供することである。【解決手段】少なくとも開口部の内壁に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクの作製方法において、開口部を有したスクリーン印刷用マスクに高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、該樹脂層を形成することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも開口部の内壁に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクの作製方法において、開口部を有したスクリーン印刷用マスクに高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより該樹脂層を形成することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法。
【請求項２】
開口部を有したスクリーン印刷用マスクのスキージ面にマスキングシートを貼り付け、続いて高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより開口部の内壁および被印刷基板接触面に樹脂層を形成し、続いてマスキングシートを除去することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷用マスクの作製方法。
【請求項３】
開口部を有したスクリーン印刷用マスクのスキージ面にアルカリ可溶性樹脂シートを貼り付け、続いて高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより開口部の内壁および被印刷基板接触面に樹脂層を形成し、続いてアルカリ可溶性樹脂シートをアルカリ性水溶液によって除去することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷用マスクの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板等を作製する分野で用いられるスクリーン印刷用マスクの作製方法に関する。さらには、少なくとも開口部の内壁に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクの作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子機器の小型化、多機能化に伴い、プリント配線基板の高密度化や配線パターンの微細化が進められており、プリント配線基板への電子部品の高密度実装化が広く行われている。このプリント配線基板への電子部品の高密度実装化においては、プリント配線基板面に電子部品を実装するためにクリーム半田を印刷し、半田端子に電子部品を搭載した後にリフロー炉で加熱して半田付けを行う。上記クリーム半田の印刷方法としては、スクリーン印刷による工程が広く用いられている。一般的にスクリーン印刷は、パターン状の開口部が形成されたスクリーン印刷用マスクを印刷すべき被印刷基板の上面にセットし、スクリーン印刷用マスクのスキージ面にクリーム半田等のペースト材料を供給してスキージによって掻き寄せることによって、ペースト材料を開口部を通してパターン上に転写印刷する方法である。
【０００３】
しかしながら、スクリーン印刷用マスクを用いてクリーム半田を印刷する際、パターンが高密度かつ高精細になると、クリーム半田のスクリーン印刷用マスクからの抜け性が悪化する。また、近年、環境面の問題からクリーム半田の素材も無鉛化の動きが高まっており、その対策の一環として、鉛を含まない鉛フリー半田がクリーム半田の素材として用いられるようになってきている。鉛フリーのクリーム半田は、従来のクリーム半田に比べ転写性に劣る傾向がある。クリーム半田のスクリーン印刷用マスクからの抜け性の悪化により、半田端子の突起や欠け、ひび割れ、抜け等の欠陥が発生し、歩留まり低下の大きな原因となっていた。
【０００４】
このような問題を解決するために、スクリーン印刷用マスクの少なくとも開口部の内壁に樹脂層を形成したスクリーン印刷用マスクが提案されている。これによれば、樹脂を塗布することで開口部の内壁に樹脂層を形成し、内壁の凹凸を平滑とすることで、クリーム半田と内壁の摩擦が減少し、クリーム半田の抜け性を向上させている。また、開口部の内壁にクリーム半田とのはじき性または滑り性の良好な化合物（例えば、ポリシロキサン、フッソ樹脂、シリコン樹脂等）を形成することで、クリーム半田の抜け性を向上させている。しかしながら、樹脂層を内壁に形成する手段としては、ディップ法、スプレー法、刷毛塗り、スピンコート等が採用されており、これらの方法では、開口部の内壁に樹脂層を均一に形成することが困難であり、また、図８に示すような、樹脂層の突起９、隔壁１０または埋まり１１等の欠陥が発生してしまい、大きな問題となっている。（例えば、特許文献１〜６）。
【特許文献１】実開昭６３―３７２５６号公報
【特許文献２】特開平１−２９９０８８号公報
【特許文献３】特開平４―３５７０９３号公報
【特許文献４】特開平６―２１９０７０号公報
【特許文献５】特開平８−２９０６８６号公報
【特許文献６】特開２００２―１９２８５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、樹脂層の突起、隔壁および埋まり等の欠陥のない、均一な樹脂層を開口部の内壁に有するスクリーン印刷用マスクの作製方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは検討した結果、少なくとも開口部の内壁に樹脂層を形成してなる樹脂付きスクリーン印刷用マスクの作製方法において、開口部を有したスクリーン印刷用マスクに高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより該樹脂層を形成することを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法で上記課題を解決することを見出した。
【０００７】
また、開口部を有したスクリーン印刷用マスクのスキージ面にマスキングシートを貼り付け、続いて高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより開口部の内壁および被印刷基板接触面に樹脂層を形成し、続いてマスキングシートを除去することを特徴とする上記に記載のスクリーン印刷用マスクの作製方法で上記課題を解決することを見出した。
【０００８】
また、開口部を有したスクリーン印刷用マスクのスキージ面にアルカリ可溶性樹脂シートを貼り付け、続いて高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより開口部の内壁および被印刷基板接触面に樹脂層を形成し、続いてアルカリ可溶性樹脂シートをアルカリ性水溶液によって除去することを特徴とする上記に記載のスクリーン印刷用マスクの作製方法で上記課題を解決することを見出した。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、開口部を有したスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に、樹脂層の突起、隔壁および埋まり等の欠陥がなく均一な樹脂層を形成できる。よって、クリーム半田の抜け性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明に係わる開口部を有したスクリーン印刷用マスクとは、スキージ面にペースト材をのせ、スキージで掻き寄せる事でクリーム半田等のペースト材を被印刷基板上に転写する事ができるものであれば、いずれの方式で作製したスクリーン印刷用マスクも使用する事ができる。例えば、ソリッドマスク、サスペンドマスク、または、メタルマスク（エッチング法、レーザ法、アディティブ法、機械加工法）等、いずれのものも使用可能である。材質は、電着可能であるために、導電性材料であることが好ましく、具体的には、ステンレス、ニッケル等の一般的なものを適用できる。また、スクリーン印刷用マスクの開口パターンについても特に制限はなく、例えば、円形、楕円形、正方形、長方形、菱形、台形等の四角形、六角形および八角形等の多角形、その他、ひょうたん形、ダンベル形等の不定形等が挙げられる。
【００１１】
本発明に係わる、少なくとも開口部の内壁に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクの例を図１〜７に示した。図１〜３は、スクリーン印刷用マスクとしてメタルマスクを適用した例である。図１は、開口部５の内壁のみに樹脂層２を形成したものである。図２は、開口部５の内壁および被印刷基板接触面４に形成したものである。図３は、全表面に樹脂層２を形成したものである。図１および２のようにスキージ面３に樹脂層２が形成されていない場合、スキージが高い押し込み圧力で何回も接触すると、樹脂層２の耐久性が不足していると樹脂剥がれが発生することがある。剥がれた樹脂層２がペースト材と混入してしまうため、スキージ面３には樹脂層２が無い方が好ましい。図４〜７は、ソリッドマスクおよびサスペンドマスクのようなスキージ面３にメッシュ６を形成してなるスクリーン印刷板用マスクの例である。図４は開口部５の内壁および開口部のメッシュ６周囲に樹脂層２を形成したものである。図５はメッシュ６のスキージ面３以外の全表面に樹脂層２を形成したものである。図６および７は全表面に樹脂層２を形成したものである。樹脂層２を形成する前後における開口部５の開口面積の差を小さくするために、樹脂層２の厚みは、０．１μｍから５μｍであることが好ましい。樹脂層の厚みが、０．１μｍよりも薄くなると、スクリーン印刷用マスク１と樹脂層２との密着性が低下する場合がある。また、５μｍよりも厚くなると均一な膜形成が困難となる場合がある。
【００１２】
本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法を、樹脂層２を開口部５の内壁および被印刷基板接触面４に形成したメタルマスクを例にとって、工程順に図９〜１２にて詳説する。まず、開口部５を有したスクリーン印刷用マスク（図９）にマスキングシート７を貼り付ける（図１０）。次に、樹脂層２に用いられる樹脂粒子１３を高絶縁性媒体中に分散させた液中にて、被印刷基板接触面４に対向するように電極１２を設置する（図１１）。次に、スクリーン印刷用マスク１および電極１２の間に適正な電位差を生じさせ、樹脂粒子１３をスクリーン印刷用マスク１の方向へ電気泳動させ、開口部５の内壁および被印刷基板接触面４へ樹脂粒子１３を付着させる。次に、スクリーン印刷用マスク１を液中から取り出し、高絶縁性媒体を蒸発させる。次いで、電着法によって付着した樹脂粒子１３を、加熱、圧力、光、水、溶剤等によってフィルム化させて定着させる（図１２）。続いて、マスキングシート７を剥離することで、樹脂層２を開口部の内壁および被印刷基板接触面４に形成したメタルマスクが作製できる（図２）。マスキングシートを剥離した後に、再度、加熱、圧力、光、等の処理を施すこともできる。
【００１３】
アルカリ可溶性樹脂シートを使用した場合のスクリーン印刷用マスクの作製方法では、まず、開口部を有したスクリーン印刷用マスクにアルカリ可溶性樹脂シートを貼り付ける。次に、樹脂層に用いられる樹脂粒子を高絶縁性媒体中に分散させた液中にて、被印刷基板接触面に対向するように電極を設置する。次いで、スクリーン印刷用マスクおよび電極の間に適正な電位差を生じさせ、樹脂粒子をスクリーン印刷用マスクの方向へ電気泳動させ、開口部の内壁および被印刷基板接触面へ樹脂粒子を付着させる。続いて、スクリーン印刷用マスクを液中から取り出し、高絶縁性媒体を蒸発させる。電着法によって付着した樹脂粒子を、加熱、圧力、光、水、溶剤等によってフィルム化させて定着させた後、アルカリ水溶液によってアルカリ可溶性樹脂シートを溶解除去することで、樹脂層を開口部の内壁および被印刷基板接触面に形成したメタルマスクが作製できる。アルカリ可溶性樹脂シートを溶解除去した後に、再度、加熱、圧力、光、等の処理を施すこともできる。
【００１４】
本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法において、開口部５の内壁にのみ樹脂層２が形成してなるスクリーン印刷用マスク（図１）の作製方法では、図１３のように、開口部５と同じ位置が開口しているマスキングシートまたはアルカリ可溶性樹脂シート（以下、非開口保護層８）をスクリーン印刷用マスク１の被印刷基板接触面４に形成して、その後、上記と同様にして、電着法によって樹脂粒子を付着させて作製できる。このような非開口保護層８の形成方法は、レーザーによって開口部を形成する方法、非開口保護層８に感光性をもたせスクリーン印刷用マスクと同じパターンのフォトマスを利用して開口部のパターンを露光し現像処理等を行う方法、スクリーン印刷用マスクの開口部からアルカリ現像液を通して開口する方法等が適用できるが、スクリーン印刷板用マスクの開口部と同位置が開口している非開口保護層であればどのようなものでも適用できる（例えば、特開２００４−３１１８６７号、特開平３−５７６９７号、特開２００６―１７３５９７号各公報）。
【００１５】
また、本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法において、全表面に樹脂層２が形成してなるスクリーン印刷用マスク（図３、図６、図７）の作製方法は、マスキングシートまたはアルカリ可溶性樹脂シートを貼り付けないで電着処理を行うことで達成する。電着する際に、スクリーン印刷用マスクに対向する電極は、被印刷基板接触面側のみに設置してもよいし、被印刷基板接触面側およびスキージ面側の両方に設置しても良い。
【００１６】
本発明に係わる高絶縁性媒体としては、直鎖状もしくは分枝状の脂肪族炭化水素、脂環族炭化水素、芳香族炭化水素、およびこれらのハロゲン置換体が挙げられる。例として、オクタン、イソオクタン、デカン、イソデカン、デカリン、ノナン、ドデカン、イソドデカン、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等が挙げられる。商品名として、アイソパーＥ、アイソパーＧ、アイソパーＨ、アイソパーＬ（ＥＸＸＯＮ）、ＩＰソルベント１６２０（出光石油化学（株））等がある。これらの高絶縁性媒体は単独もしくは混合して用いることができる。
【００１７】
本発明に係わる樹脂粒子のコールターカウンター法で測定した平均粒径は、樹脂層としての厚みの確保、分散状態の維持の観点から、０．０５から１．０μｍの範囲であることが好ましく、さらには０．１から０．６μｍの範囲にあることが好ましい。樹脂粒子の作製方法は、粉砕法または重合法のいずれでもよい。粉砕法は、樹脂粒子成分およびその他所望の添加剤（例えば着色剤）を混合後混練し、得られた混練物を、所望の粒径に微粉砕する方法である。重合法は、高絶縁性媒体に可溶な単量体を重合して高絶縁性媒体に不溶な重合体とすることで得る方法である。重合法で得られた樹脂粒子は、分散剤と芯成分とからなる。分散剤は、高絶縁性媒体中に可溶である分子量１０００以上の重合体で、樹脂粒子を高絶縁性媒体中に分散する役割として機能する。芯成分は、高絶縁性媒体に不溶な重合体である。このような芯成分の例としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、クロロ酢酸ビニル等の炭素数１から炭素数６までの脂肪族カルボン酸のビニルエステル、安息香酸ビニルエステル、或いはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸等の炭素数１から６までのアルキルエステル類又はアミド類、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、メチレンビスアクリルアミド、ヒドロシキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、スチレンおよびその誘導体、ジビニルベンゼン、或いは、Ｎ−ビニル−２−ピロリドン、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ，Ｎ−ジアルキルアミノエチル（メタ）アクリレート等含窒素ビニルモノマー等からなる重合体が挙げられる。例えば、特開昭６０−２５２３６７号、同６１−１１６３６４号公報等に記載されている高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を使用することができる。
【００１８】
本発明に係わる樹脂粒子は、電着することにより樹脂層を形成するものであるが、この場合、粒子をプラスもしくはマイナスの荷電粒子とせしめ、適正な電界を印加しながら樹脂粒子を電着する。そのため、該樹脂粒子の液に適当な電荷制御剤を添加することにより、該樹脂粒子に電荷を付与することとなる。電荷制御剤としては、例えば、特開平６−５１５６７号公報等に示される化合物、またはホモゲノールＬ１８（商品名、花王社製）等のポリカルボン酸型高分子界面活性剤を用いることが可能である。また、電着特性に悪影響を及ぼさない範囲で着色剤等の添加剤を含有させることもできる。
【００１９】
樹脂粒子を電着する方法は、図１１のようにスクリーン印刷用マスク１と電極１２の間に適正なバイアス電圧を印加する。例えば、スクリーン印刷用マスクと対向するように並列に並べた電極の間に挿入し、電極の上下からスクリーン印刷用マスクの両面に液を供給して電着する横水平搬送の装置（例えば、特開平６−２２４５４１号、特開２００４−１６３６０５号各公報等）や、スクリーン印刷用マスクを略鉛直に保持し液の入った槽内に浸した後、該スクリーン印刷用マスクの両側に略鉛直に対向して配置された電極で、略鉛直に該スクリーン印刷用マスクを固定して電着処理を施す装置（例えば、特開２００２−１３２０４９号公報）等が、電着装置として適用可能である。
【００２０】
本発明に係わるマスキングシートとは、少なくとも粘着層と支持層があり、スクリーン印刷用マスクに貼り付けることが可能であり、高絶縁性媒体に触れることがあっても粘着層および支持層が溶解せず、電着処理および樹脂粒子の定着処理による加熱、加圧、光、水等の処理にさらされた後においても、容易にスクリーン印刷用マスクから剥離でき、剥離した後でも粘着層の一部がスクリーン印刷用マスクに残存しないものであれば、いずれのものでも良い。例えば、エレップマスキングＮ−３８０（商品名、日東電工株式会社）、ペイントエース７２０Ａ（商品名、日東電工株式会社）、ＳＰＶ−Ｋ１００（商品名、日東電工株式会社）、スコッチメッキ用マスキングテープ８５１Ａ（商品名、住友３Ｍ株式会社）、スコッチ耐熱マスキングテープ２１４−３ＭＮＥ（商品名、住友３Ｍ株式会社）、マスキングテープＮＯ２３１１（商品名、ニチバン株式会社）等が挙げられるがこれに限定されるものではない。
【００２１】
本発明に係わるアルカリ可溶性樹脂シートとは、アルカリ水溶液に溶解する成分からなり、スクリーン印刷用マスクに貼り付けることが可能であり、高絶縁性媒体に触れることがあっても溶解せず、電着処理および樹脂粒子の定着処理による加熱、加圧、光、水等の処理にさらされた後においても、アルカリ水溶液によってスクリーン印刷用マスクから除去でき、スクリーン印刷用マスクに残存物を生じさせないものであればいずれのものでも良い。アルカリ可溶型樹脂シートの成分としては、カルボン酸基、カルボン酸アミド基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、スルホンアミド基、スルホンイミド基、ホスホン酸基を有する単量体を重合してなる共重合体、及びフェノール樹脂、キシレン樹脂等が挙げられる。カルボン酸基を有する単量体の共重合体としては、スチレンとマレイン酸モノエステルとの共重合体、アクリル酸あるいはメタクリル酸とそれらのアルキルエステル、アリールエステルまたはアラルキルエステルとの二元以上の共重合体が挙げられる。また、酢酸ビニルまたは安息香酸ビニルとクロトン酸との共重合体が挙げられる。フェノール樹脂中特に好ましいものは、フェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、あるいはｐ−クレゾールとホルムアルデヒドまたはアセトアルデヒドとを酸性条件下で縮合させたノボラック樹脂等が挙げられる。また、これらに、可塑剤、着色剤等を含有していてもよい。これらのアルカリ可溶型樹脂シートの成分を、キャリアフィルムの上に積層し、シート状にすることによって、ラミネーター等によって貼り付けが容易となる。キャリアフィルムとしては例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリビニルアルコール等が挙げられる。また、回路基板製造用のネガ型ドライフィルムフォトレジストも適用できる。具体的には、例えばデュポンＭＲＣドライフィルム株式会社のリストン、日立化成工業株式会社のフォテック、旭化成エレクトロニクス株式会社のサンフォート等を使用することができる。
【００２２】
マスキングシートまたはアルカリ可溶性樹脂シートをスクリーン印刷用マスクに貼り付ける方法は、貼り付け面にむらや波打ちを生じさせることなく、空気やゴミを混入することなくできれば、何れの方法であっても良い。例えば、プリント基板用の熱ゴムロールを圧力で押し当てて熱圧着する装置を用いる。
【００２３】
本発明に係わる、アルカリ性水溶液によってアルカリ可溶性樹脂シートを除去する方法は、スプレーまたはディップ等の方法によって除去する。アルカリ水溶液としては、例えば、ケイ酸アルカリ金属塩、アルカリ金属水酸化物、リン酸および炭酸アルカリ金属塩、リン酸および炭酸アンモニウム塩等の無機塩基性化合物の水溶液、エタノールアミン類、エチレンジアミン、プロパンジアミン類、トリエチレンテトラミン、モルホリン等の有機塩基性化合物等を水に希釈したものが挙げられる。
【実施例】
【００２４】
以下実施例によって本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【００２５】
実施例１
攪拌機、温度計、還流冷却管、滴下漏斗を備えた４ツ口フラスコ内で、ＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）７２０質量部、ドデシルメタクリレート４７５．２質量部および２−ヒドロキシエチルメタクリレート４．８質量部を混合し、窒素置換した後、８０℃に加熱し、２，２´−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）４．８質量添加し、ラジカル重合を行った。温度を８５℃として、７時間加熱し反応を終了させ、濃度４０質量％の重合体混合物（Ａ１）を得た。
【００２６】
得られた重合体混合物（Ａ１）１２質量部、メタクリロイルオキシエチルイソシアネート０．０５７３質量部、触媒として１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデセ−７−エン０．０００６質量部をＩＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）２４質量部に混合し、６０℃で５時間反応させ、重合体混合物（Ａ２）を得た。
【００２７】
攪拌機、温度計、還流冷却管、滴下漏斗を備えた４ツ口フラスコ内で、５１６質量部のＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）、重合体混合物（Ａ２）３６質量部、アクリル酸メチル２４質量部、メタクリル酸メチル２４質量部、を混合し窒素雰囲気下で８５℃に加温した。ここに２，２´−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）０．４８質量添加を添加し１０時間加熱して、重合体混合物（Ａ３）を得た。
【００２８】
得られた重合体混合物（Ａ３）の固形分１質量部に対して０．０２質量部の電荷制御剤（オクタデシルビニルエーテル／無水マレイン酸共重合体；質量組成比  ３／１、無水マレイン酸加水分解率  ４５％、質量平均分子量  １．３万）を添加した後、固形分濃度が１質量％になるようにＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）で希釈し、高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を得た。得られた樹脂粒子の平均粒子径をコールターカウンター法によって測定した結果、０．２８μｍであった。
【００２９】
厚さ８０μｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）にＹＡＧレーザーで多数の開口部を形成し、スクリーン印刷用マスクを作製した。次に、図１１に示す構造を有する電着装置を用いて、スクリーン印刷用マスクの全表面に、上記で作製した高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を、印加電圧１２０Ｖ、２０秒間の条件により、電着した。次いで、ＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）を冷風で乾燥させた。次に、７０℃２分の条件で樹脂粒子をフィルム状として定着させた後、１８０℃３０分の条件下にさらした。樹脂層の厚みは１．０μｍであった。開口部を顕微鏡にて観察したところ、樹脂層の突起、隔壁および埋まりがない、全表面に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクを作製することができた。
【００３０】
できあがったスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによりペースト材としてクリーム半田を２０回繰り返しスクリーン印刷したところ、クリーム半田の抜け不良が発生せず、良好な形状の半田端子パターンの形成ができた。
【００３１】
実施例２
厚さ８０μｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）にＹＡＧレーザーで多数の開口部を形成し、スクリーン印刷用マスクを作製した。次に、ラミネーターを用いて、マスキングシート（商品名、ＳＰＶ−Ｋ１００、日東電工株式会社）を２５℃、０．１ＭＰａの圧力で貼り付けた。次いで、図１１に示す構造を有する電着装置を用いて、スクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面に、実施例１で作製した高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を、印加電圧６０Ｖ、２０秒間の条件により電着した。次いで、ＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）を冷風で乾燥させた後、７０℃２分の条件で樹脂粒子をフィルム状として定着させた。開口部の内壁および被印刷基板接触面の樹脂層の厚みは１．０μｍであった。  次に、マスキングシートを手で剥がした。次いで、１８０℃３０分の条件下にさらしたのち、開口部を顕微鏡にて観察したところ、樹脂層の突起、隔壁および埋まりがない、開口部の内壁および被印刷基板接触面に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクを作製することができた。
【００３２】
できあがったスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによりペースト材としてクリーム半田を２０回繰り返しスクリーン印刷したところ、クリーム半田の抜け不良が発生せず、良好な形状の半田端子パターンの形成ができた。
【００３３】
実施例３
厚さ８０μｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）にＹＡＧレーザーで多数の開口部を形成し、スクリーン印刷用マスクを作製した。次に、ラミネーターを用いて、市販のドライフィルムフォトレジスト（商品名、サンフォートＡＱ２５７５、旭化成エレクトロニクス株式会社製）を８０℃、０．１ＭＰａの圧力で貼り付けた。次いで、図１１に示す構造を有する電着装置を用いて、スクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面に、実施例１で作製した高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を、印加電圧６０Ｖ、２０秒間の条件により電着した。次いで、ＩＰソルベント１６２０（商品名、出光石油化学（株）製）を冷風で乾燥させた後、７０℃２分の条件で粒子をフィルム状として定着させた。開口部の内壁および被印刷基板接触面の樹脂層の厚みは１．０μｍであった。次に、ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がしたのち、１質量部の炭酸ナトリウム水溶液（３０℃）にてスプレー圧０．１ＭＰａの条件下、ドライフィルムフォトレジストを溶出除去した。水分を冷風で除去した後、１８０℃３０分の条件下にさらした。開口部を顕微鏡にて観察したところ、樹脂層の突起、隔壁および埋まりがない、開口部の内壁および被印刷基板接触面に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクを作製することができた。
【００３４】
できあがったスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによりペースト材としてクリーム半田を２０回繰り返しスクリーン印刷したところ、クリーム半田の抜け不良が発生せず、良好な形状の半田端子パターンの形成ができた。
【００３５】
（比較例１）
厚さ８０μｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）にＹＡＧレーザーで多数の開口部を形成し、スクリーン印刷用マスクを作製した。次に、シリコーン液（商品名、シリコーンＳＥ９１４５、東レ株式会社製）を固形分５％となるように希釈して、ディップ塗布を行った。１００℃で乾燥したのち、開口部を顕微鏡で観察した結果、樹脂層の突起、隔壁および埋まりが発生していた。よって良好なスクリーン印刷ができなかった。
【００３６】
（比較例２）
厚さ８０μｍのステンレス板（ＳＵＳ３０４）にＹＡＧレーザーで多数の開口部を形成し、スクリーン印刷用マスクを作製した。次に、シリコーン液（商品名、シリコーンＳＥ９１４５、東レ株式会社製）を固形分５％となるように希釈して、スプレー塗布を行った。１００℃で乾燥したのち、開口部を顕微鏡で観察した結果、樹脂層の突起、隔壁および埋まりが発生していた。よって良好なスクリーン印刷ができなかった。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法は、広くスクリーン印刷の用途に適用可能であり、例えば、ペースト材としては、導電性材料、絶縁性材料、色材、封止材料、接着材料、レジスト材料、処理薬剤等を、スクリーン印刷によって任意の基材上にパターン形成を行う用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】開口部の内壁のみに樹脂層を形成したメタルマスクの断面図。
【図２】開口部の内壁および被印刷基板接触面に形成したメタルマスクの断面図。
【図３】全表面に樹脂層を形成したメタルマスクの断面図。
【図４】開口部の内壁のみに樹脂層を形成したソリッドマスクの断面図。
【図５】開口部の内壁および被印刷基板接触面に形成したソリッドマスクの断面図。
【図６】全表面に樹脂層を形成したソリッドマスクの断面図。
【図７】全表面に樹脂層を形成したサスペンドマスクの断面図。
【図８】樹脂層の突起、隔壁、埋まりの概念図。
【図９】開口部を有したスクリーン印刷用マスクの断面図。
【図１０】マスキングシートを貼り付けたスクリーン印刷用マスクの断面図。
【図１１】電着装置の概念図。
【図１２】本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法における一工程を表す断面図。
【図１３】非開口保護層をスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に形成した断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１  スクリーン印刷用マスク
２  樹脂層
３  スキージ面
４  被印刷基板接触面
５  開口部
６  メッシュ
７  マスキングシート
８  非開口保護層
９  樹脂層の突起
１０  隔壁
１１  埋まり
１２  電極
１３  樹脂粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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