(57)【要約】【課題】支持体の移動に伴う空気の流れによる吐出液滴の着弾精度の悪化を防止するとともに、塗布液ミストによるインクジェットヘッド近傍のヘッド面、支持体等の汚れを防止し、厚さが均一で、塗布ムラのない塗布液膜を形成することのできる塗布液膜形成方法を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドの支持体の移動方向上流側を減圧手段を用い減圧する工程を有し、前記インクジェットヘッドの前記支持体の移動方向下流に、蒸気供給手段を用い前記塗布液に含まれる溶媒のうち少なくとも一つを含んだ蒸気を供給する。【選択図】図１
2008155139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液の液滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドを用い、連続的に移動する支持体の表面に前記インクジェットヘッドより液滴を吐出して塗布液膜を形成する塗布液膜形成方法であって、
前記インクジェットヘッドの前記支持体の移動方向上流側を減圧手段を用い減圧する工程を含むことを特徴とする塗布液膜形成方法。
【請求項２】
前記インクジェットヘッドの前記支持体の移動方向下流に、蒸気供給手段を用い前記塗布液に含まれる溶媒のうち少なくとも一つを含んだ蒸気を供給する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の塗布液膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液の液滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドを用いて、連続的に移動する支持体の表面に塗布液を塗布する塗布液膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被塗布物である支持体表面に塗布液を塗設する塗布工程では様々な塗布方式が存在し、その塗布方式は大きく二つに大別される。一つは必要な塗布液膜を形成する量だけ塗布液を吐出させて支持体表面に塗布液を塗設する前計量型塗布方式であり、代表的なものとしてエクストルージョン塗布方式、スライド塗布方式、カーテン塗布方式などが挙げられる。もう一つはあらかじめ必要な塗布液膜形成量よりも余剰な塗布液を吐出させて、その後何らかの手段により余剰塗布液を掻き落とす後計量型塗布方式であり、代表的なものとしてロール塗布方式、エアーナイフ塗布方式、ワイヤーバー塗布方式などが挙げられる。
【０００３】
一般的には、前計量型塗布方式では装置構成等は複雑であるが高精度な塗布液膜が得られ、後計量型塗布方式では装置構成等は簡便で加工速度は高速であるが前者に比較して塗布液膜の精度は落ちる。ここで、前記高精度とは支持体の移動方向および移動方向と直交する方向での塗布液膜の厚みの均一性を指す。また、前計量型塗布方式と後計量型塗布方式を塗布液の消費量という観点で比較した場合には当然ながら前計量型塗布方式の方が少なく、生産効率上有利である。
【０００４】
こうした従来の塗布方式では、高精度かつ薄膜な塗布液膜を得ることが困難という問題点が存在する。即ち、後計量塗布方式では比較的薄膜を得ることは可能なものの、前述のとおり塗布液膜の精度が悪い。一方、前計量塗布方式では塗布液膜の精度は比較的良いが、薄膜を得ることが難しい。
【０００５】
一方、機能性塗布液膜を支持体上に形成してなる塗布物に対して、従来の写真感光材料等と比較してより薄膜でより高精度な塗布液膜のニーズが非常な高まりを見せている。こうした状況の中で近年需要の増えている民生用の印刷機器などに使用されているインクジェットプリンタ技術を塗布液の高精度薄膜形成に摘要する研究が進んでいる。例えばインクジェットヘッド（以下、ヘッドとも略す）から圧電振動子による可撓板の変形により塗布液をノズルから液滴として吐出し、支持体上に塗布液膜を形成すること及び一定の被覆率で塗布液膜が配置されたパターニングを形成することが知られている。
【０００６】
ここで、被塗布物とは塗布液膜が形成される支持体をいい、塗布物とは前記支持体上に塗布液膜が形成されたものをいう。
【０００７】
インクジェットヘッドを使用した塗布液膜の形成は、様々な製品の加工方法への適用が検討されている。例えば電気光学パネル（液晶表示装置や有機ＥＬパネル）の製造に必要な、液晶、フォトレジスト膜、オーバーコート膜、配向膜、カラーフィルタ、有機ＥＬ材料などの各種膜等である。またこれらに限らず広く工業用に適用されつつある。
【０００８】
このインクジェットヘッドを利用して塗布液膜を得る方法（以下インクジェット塗布法ともいう）はこれまでに数々の発明がなされており、インクジェットヘッドを支持体の移動方向と直交する方向に複数並べて配置し、ノズルからの吐出液滴を支持体上に支持体の移動速度に対応した周波数で吐出することにより塗布液膜を得る方法が代表的である（例えば、特許文献１参照）。インクジェット塗布法は液滴量や支持体上での配置ピッチを任意に決めることができるため、前述した塗布方式の分類では前計量塗布方式となる。
【０００９】
前記インクジェット塗布法においては、微小な体積の液滴を吐出することから問題点も存在する。前記問題点として、インクジェットヘッドから液滴が吐出される際に微小な塗布液ミストが発生し、前記塗布液ミストがインクジェットヘッド近傍の各部材を汚すことがある。そのため、インクジェットヘッドのノズル面を汚し塗布液が乾燥固着したり、支持体に付着し汚したりする。更に、支持体の移動に伴う空気の流れが吐出液滴の着弾精度を悪化させることがある。これらは、塗布液膜の厚さの均一化、ムラ防止等に影響を与え、塗布液膜の品位を低下させ、歩留まりを低下させる。
【００１０】
上記問題に対し、インクジェットヘッド面に対して液体噴射媒体走査手段によるインクジェットヘッド部材の相対的移動方向の下流側に、走査手段によるインクジェットヘッド部材の相対的移動に伴ってインクジェットヘッド面上に発生する気流の速度に影響を与えないように、かつ前記気流を円滑に偏向させるように配置された整流機構を備え、ミストを回収する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１１】
また、インクジェットヘッドおよび塗布液膜近傍に溶剤蒸気を供給し、満たされた溶剤蒸気によりヘッド表面および塗布液膜の乾燥を抑制することが開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００４−３１３８９５号公報
【特許文献２】特開２００４−３３０４４６号公報
【特許文献３】特開２００３−２４５５８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
前記特許文献２では、整流機構によりインクジェットヘッドと支持体に挟まれている空間以外に飛散するミストを効率よく回収することができ支持体への付着を防止する一定の効果は上げられると考えられる。しかし、支持体の移動に伴う気流そのものは、整流機構の有無に関わらず変化させないようにしているため、インクジェットヘッドと被塗布物に挟まれている空間でのミストに関してはインクジェットヘッド表面や被塗布物表面への付着が回避できない。また、射出液滴の着弾精度の向上に関しては言及されていない。
【００１３】
このため、支持体の移動速度を上げるにつれ着弾精度が悪化し、それを補うためにインクジェットヘッドと支持体の間隙を狭くするとミストの影響が大きくなり安定射出が達成できない等の問題に対しては、対応することができなかった。
【００１４】
前記特許文献３では、満たされた溶剤蒸気によりヘッド表面および塗布液膜の乾燥が抑制されるためヘッド表面での塗布液付着乾燥などが無く塗布液の安定射出が達成される。しかし、支持体の移動に伴う気流の影響に関しては言及されておらず、支持体の移動に伴う空気の流れによる吐出液滴の着弾精度の悪化に対して対応することはできなかった。
【００１５】
本発明は、上記状況に鑑みなされたもので、支持体の移動に伴う空気の流れによる吐出液滴の着弾精度の悪化を防止することのできる塗布液膜形成方法を提供することを目的とする。更に、塗布液ミストによるインクジェットヘッド近傍のヘッド面、支持体等の汚れを防止することのできる塗布液膜形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的は、下記の方法により達成される。
１．塗布液の液滴をノズルから吐出するインクジェットヘッドを用い、連続的に移動する支持体の表面に前記インクジェットヘッドより液滴を吐出して塗布液膜を形成する塗布液膜形成方法であって、
前記インクジェットヘッドの前記支持体の移動方向上流側を減圧手段を用い減圧する工程を含むことを特徴とする塗布液膜形成方法。
２．前記インクジェットヘッドの前記支持体の移動方向下流に、蒸気供給手段を用い前記塗布液に含まれる溶媒のうち少なくとも一つを含んだ蒸気を供給する工程を含むことを特徴とする１に記載の塗布液膜形成方法。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、支持体の移動に伴う空気の流れによる吐出液滴の着弾精度の悪化を防止でき、塗布液滴の着弾精度の向上を図ることができる。更に、塗布液ミストによるインクジェットヘッド近傍のヘッド面、支持体の汚れを防止することができ、ヘッド面の乾燥による塗布液の固着を防止できる。これにより、厚さが均一で、塗布ムラのない塗布液膜の形成ができ、塗布物の品位の向上及び歩留まりの向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図を参照しながら本発明の実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１９】
図１は、本発明の塗布液膜形成方法が適用可能な塗布装置の一例を示す概略図である。図２は、図１の矢印Ａ１方向から見た塗布ユニット近傍の部分側面図である。
【００２０】
ロール状に巻かれた長尺状の支持体１０は、図示しない駆動手段により巻き出しロール１０ａから矢印Ｘ方向に繰り出され搬送される。
【００２１】
長尺状の支持体１０は支持ロール１２，１４に支持されながら搬送され、塗布ユニット２０のインクジェットヘッド２０１より塗布液が吐出され、塗布液が支持体１０に塗布され塗布液膜１０Ａが形成される。塗布液が塗布された支持体１０は、乾燥部５０を経由して巻き取りロール１０ｂに巻き取られる。
【００２２】
本実施の形態では、塗布ユニット２０を支持体１０が支持ロール１２を通過した直後の、支持体１０が搬送方向に直線的に搬送される位置に配設している。また、支持体１０とインクジェットヘッド２０１との間隙を安定に維持するために、インクジェットヘッド２０１の近傍に、支持体１０の塗布面の反対側に支持体１０を支持する支持部材を設けることが好ましい。本実施の形態では、前記支持部材として支持ロール１３を設けている。前記支持部材は、平板状の形態としてもよい。
【００２３】
塗布ユニット２０は、支持体１０の幅方向に１つ以上配設されたインクジェットヘッド２０１、塗布液を供給する塗布液供給機構（不図示）、塗布液タンク２２を含み構成される。前記塗布液供給機構は、塗布液をインクジェットヘッド２０１に供給するとともに、インクジェットヘッド２０１内の塗布液圧力を一定に保つ。また、塗布液はインクジェットヘッド２０１に供給される前に絶対濾過精度又は準絶対濾過精度が０．１〜５０μｍの濾材を少なくとも１回は通過させることが好ましい。
【００２４】
塗布ユニット２０は、保持機構３０により所定位置に保持される。本実施の形態では、図２に示すように、保持機構移動手段（不図示）により、塗布ユニット２０を塗布位置と待機位置に移動可能としている。塗布ユニット２０の保持及び移動は本実施の形態に限定されるものではない。
【００２５】
減圧手段６０は、インクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向上流側に配設された減圧チャンバー６１、ブロア（ファン）６２を含み構成される。減圧チャンバー６１は、インクジェットヘッド２０１の液滴吐出面方向に対して開口を有し、それ以外の方向は閉塞されている。ブロア６２は減圧チャンバー６１と接続され、減圧チャンバー６１内を減圧しインクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向上流側を減圧する。
【００２６】
蒸気供給手段７０は、インクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向下流側に配設された蒸気チャンバー７１、溶媒タンク７２を含み構成される。溶媒タンク７２は塗布液に含まれる溶媒のうち少なくとも一つを貯留し、蒸気チャンバー７１と連通され、蒸気チャンバー７１内の液溜まり（不図示）に溶媒を供給する。前記液溜まりに供給された溶媒は、蒸気チャンバー７１内に蒸発する。蒸気チャンバー７１はインクジェットヘッド２０１の液滴吐出面方向に対して開口を有し、それ以外の方向は閉塞されている。
【００２７】
塗布ユニット２０にはインクジェットヘッド２０１が任意の個数、配列で設置されている。配列、個数とも使用する塗布液、塗布条件に合わせて決定される。インクジェットヘッド２０１としては特に限定はなく、例えば発熱素子を有し、この発熱素子からの熱エネルギーにより塗布液の膜沸騰による急激な体積変化によりノズルから塗布液を吐出させるサーマルタイプのヘッドでもよいし、インク圧力室に圧電素子を備えた振動板を有しており、この振動板によるインク圧力室の圧力変化で塗布液を吐出させる剪断モード型（ピエゾ型）のヘッドであってもよい。
【００２８】
図３に、インクジェットヘッド２０１の一例を示す。図３は一部破断面を有するヘッドの一例を示す概略斜視図であり、剪断モード型（ピエゾ型）インクジェットヘッドの場合を示している。インクジェットヘッド２０１には圧電性基盤を駆動させるための制御部（不図示）がコネクタ（不図示）を介して接続されている。前記制御部により、塗布液射出時の圧電性基盤の動作強度や周波数の選択等が行われる。
【００２９】
インクジェットヘッドヘッド２０１は、上層圧電性基盤２０１ｂ１と下層圧電性基盤２０１ｂ２とを接合して形成された圧電性基盤２０１ｂと、天板２０１ｃと、ノズル板２０１ｄとを有している。
【００３０】
圧電性基盤２０１ｂには、研削加工を施すことによりノズル板２０１ｄ側が開口し、反対側が閉塞している互いに平行な所定の長さを有する複数のノズル２０１ｂ３と、ノズル２０１ｂ３の閉塞した側につながる平坦な面２０１ｂ４と、ノズル（インク圧力室）２０１ｂ３の両側に側壁２０１ｂ５とを有している。複数のノズルは交互に塗布液圧力室用のノズルと空気圧力室用のノズルとして使用する場合もある。図３は塗布液圧力室用として使用した場合を示している。２０１ｃ２は圧電性基盤２０１ｂの上面を覆う第１天板を示し、２０１ｃ１は第１天板の上面を覆う第２天板を示す。
【００３１】
２０１ｅは塗布液の塗布液供給管を示す。塗布液供給管２０１ｅより供給された塗布液はノズル吐出口２０１ｄ１より吐出する様になっている。２０１ｃ３は塗布液供給管２０１ｅから供給された塗布液の貯留部を示し、各ノズル２０１ｂ３に連通した各塗布液供給口２０１ｃ４より各塗布液圧力室用のノズル２０１ｂ３に供給される様になっている。各ノズル２０１ｂ３は第１天板２０１ｃ２とノズル板２０１ｄとにより覆われることで複数の密閉されたチャネル（塗布液圧力室）が形成される様になっている。
【００３２】
２０１ｄ１は各側壁の剪断変形に伴い、塗布液圧力室の圧力変化で塗布液を液滴の状態で吐出させるノズル吐出口を示す。ノズル吐出口の間隔は、０．０２〜０．３ｍｍが好ましい。２０１ｆは塗布液のエアー抜きなどに使用される配管を示す。２０１ｆは塗布液射出時にはバルブ等により密閉される構造となっている。
【００３３】
第１天板及び第２天板の材料は特に限定されず、例えば有機材料からなってもよいが、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等が挙げられる。
【００３４】
ノズル板２０１ｄを構成する基材としては、金属や樹脂が使用される。例えばステンレス、ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン等が好ましく採用出来る。特に好ましくはポリイミド樹脂で、Ｄｕｐｏｎｔ社製：カプトンや宇部興産（株）製：ユーピレックス等が寸法安定性、耐インク性、耐熱性等に優れているので好ましい。
【００３５】
ここで、インクジェット２０１の配置及び配列について説明する。図４は支持体１０に対するヘッドの配置角度を示す概略平面図である。θは支持体１０の塗布液膜面と、ヘッド２０１のノズル吐出口２０１ｄ１が配設されたノズル板２０１ｄの表面２０１ａとが平行に一定の間隔を持って支持体１０上にヘッド２０１を配設したとき、ノズル吐出口２０１ａ列の中心を結ぶ線と支持体１０の移動方向（図中の矢印方向）とのなす角度を示す。角度θは、支持体１０の幅に対するヘッドの大きさ、配設するヘッドの数、塗膜面の安定性を考慮し、４５°〜１３５°が好ましい。図４の破線は、θ１は４５°の場合、θ２は１３５°の場合を示す。
【００３６】
図５及び図６は、インクジェットヘッド２０１の設置配列の一例を示す概略平面図である。
【００３７】
図５において、２０１−１〜２０１−５は配設されたインクジェットヘッドを示す。ヘッド２０１−１〜２０１−５は、各ヘッド２０１−１〜２０１−５のノズル吐出口を有する面と支持体１０の塗布液膜面とが平行で一定間隔を保持し、支持体１０の移動方向と直交方向である幅方向に配設されたノズル吐出口の中心を結ぶ線と支持体１０の移動方向とのなす角度を９０°に配置されている。又、隣り合うヘッドの間に未塗布部をなくすために、各ヘッド２０１−１〜２０１−５の端部は互いに重なり合うように千鳥状に配設されている。この様に複数のヘッドを使用し、本図に示す様に配設することで支持体１０の幅に対する対応が容易となり、且つ、各ヘッド間で未塗布部分がなくなり安定した塗布液膜が得られる。
【００３８】
図６において、２０１−ａ〜２０１−ｈは配設されたヘッドを示す。ヘッド２０１−ａ〜２０１−ｇは、各ヘッド２０１−ａ〜２０１−ｈのノズル吐出口を有する面と支持体１０の塗布液膜面とが平行で一定間隔を保持し、支持体１０の移動方向と直交方向である幅方向に配設されたノズル吐出口の中心を結ぶ線と該被塗布体の搬送方向とのなす角度を４５°に配置されている。又、隣り合うヘッドの間に未塗布部をなくすために、各ヘッド２０１−ａ〜２０１−ｈの後端部と先端部が互いに重なり合うように配設されている。この様に複数のヘッドを使用し、図６に示す様に配設することで支持体１０の幅に対する対応が容易となり、且つ、各ヘッドのノズル吐出口から塗出された液滴の間隔が狭くなることで幅方向の塗布密度を上げることが可能となり安定した膜厚の塗布が可能となる。
【００３９】
図５及び図６で示されるヘッドの配設は必要に応じて適宜選択することが可能である。
【００４０】
なお、本発明に係る支持体１０は種類に制限はなく、紙、プラスチックフィルム、金属シートなどを用いることが出来る。紙としては、例えばレジンコート紙、合成紙などが挙げられる。又、プラスチックフィルムとしては、ポリオレフィンフィルム（例えばポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなど）、ポリエステルフィルム（例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレン２，６−ナフタレートフィルムなど）、ポリアミドフィルム（例えば、ポリエーテルケトンフィルムなど）、セルロースアセテートフィルム（例えば、セルローストリアセテートフィルムなど）などが挙げられる。又、金属シートではアルミニウム板が代表的である。又、用いる支持体１０の厚さ・幅についても、特に制限はない。
【００４１】
本発明に係る塗布液としては、高分子成分を０．５〜２０質量％含んでいることが好ましい。高分子成分としては、ゼラチン、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリアクリル酸、ポリビニルエーテル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、天然ゴム等が挙げられる。これらの高分子成分を含んだ塗布液としては特に制限はなく、例えば一般用及び産業用ハロゲン化銀感光材料用塗布液、感熱材料用塗布液、熱現像感光材料用塗布液、或いは高分子材料を有機溶媒、水などに溶解した液、顔料分散液、コロイド状分散液などを挙げることが出来る。
【００４２】
次に、本発明に係るインクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向上流側の減圧と移動方向下流側の蒸気の供給について説明する。
【００４３】
前述のように、支持体１０の移動にともない、インクジェットヘッド２０１と支持体１０の間隙に空気の粘性により空気の流れ（気流）が発生する。図７に示すように、破線の矢印で示した前記気流がインクジェットヘッド２０１から吐出された塗布液の液滴の軌道に影響を与え、支持体１０への着弾精度を悪化させる。
【００４４】
これに対し、本発明においては、前述のように、インクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向上流側に配設された減圧チャンバー６１内を減圧することにより、インクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向上流側を減圧する。これにより、図８に示すようにインクジェットヘッド２０１と支持体１０の間隙の空気が減圧チャンバー６１の開口部に吸引される。このため、図７に示す前記気流を相殺することができ、液滴の着弾精度の向上を図ることができる。また、減圧チャンバー６１は、インクジェットヘッド２０１から液滴が吐出される際に発生する微小な塗布液ミストも吸引する。これにより、前記塗布ミストによるインクジェットヘッド２０１の近傍の各部材の汚れを防ぐことができる。
【００４５】
更に、インクジェットヘッド２０１の支持体１０の移動方向下流側に配設された蒸気チャンバー７１内に、塗布液に含まれる溶媒のうち少なくとも一つを蒸発させる。この蒸気は図８に示すようにインクジェットヘッド２０１のノズル面を通り、減圧チャンバー６１に吸引される。これにより、前記ノズル面の乾燥を防ぐことができ、塗布液がノズル面に乾燥固着することを防ぐことができる。
【００４６】
上記により、厚さが均一で、塗布ムラのない塗布液膜の形成ができ、塗布物の品位の向上及び歩留まりの向上を図ることができる。
【００４７】
図９は、本発明の別な実施形態を示す別形態１の図である。前述の図１に示した本実施の形態では、支持体１０はロール状に巻かれた長尺状の支持体としたが、図９は枚葉状の支持体とした例である。枚葉状の支持体８０１は搬送手段８０に載置搬送され塗布が行われる。これ以外は、図１に示した形態に準ずる。この別形態１では、可撓性を有しない支持体、例えば金属板、ガラス板等を用いて塗布を行うこともできる。
【００４８】
図１０は、本発明の別な実施形態を示す別形態２の図である。図１に示す形態において、塗布ユニット２０を支持体１０を挟みバックロール９１に対向する位置に配設した例である。可撓性の支持体を用い、バックロール９１に巻回された支持体１０に、支持体１０を挟みバックロール９１に対向する位置に配設された塗布ユニット２０により塗布される。これ以外は、図１に示した形態に準ずる。前述の図４及び図６に示すようなインクジェットヘッド２０１の設置配列の自由度はないが、支持体１０とインクジェットヘッド２０１との間隙を安定に維持することが容易となる。
【００４９】
なお、本発明は以下のような塗布条件の場合により効果的である。
（１）支持体１０と塗布ユニットに配設されたインクジェットヘッドのノズル表面の間隙が４０μｍ〜１０００μｍ
（２）湿潤状態の塗布膜厚が４０μｍ以下
（３）塗布液粘度が２０ｍＰａ・ｓｅｃ以下
（４）塗布ユニットの支持体１０移動方向上流側の減圧度１００００Ｐａ以下
図１に示した塗布装置を用い本発明の評価を行った。以下に、その結果を示す。
＜実施例１＞
減圧チャンバーの減圧度を変化させて評価を行った。
［支持体の準備］
支持体として厚さ７５μｍ、幅６００ｍｍ、長さ１０００ｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを準備した。
［塗布液の調製］
純水とメタノールの７０：３０質量比の溶媒にポリビニルアルコールを溶解し、粘度５．０ｍＰａ・ｓの塗布液を調製した。尚、粘度はＢ型粘度計を使用し、温度２５℃で測定した値を示す。
［塗布］
準備した支持体と、調製した塗布液とを図１に示す塗布装置を使用し、表１に示す様に減圧チャンバーの減圧度を変化させて塗布を行い試料を作製しＮｏ．１０１〜１０７とした。また、他の塗布条件は次の条件で行った。インクジェットヘッドのノズル吐出口から射出された液滴が被塗布体上に着弾するときの液滴速度は９ｍ／ｓとした。支持体であるポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送速度は１０ｍ／ｍｉｎとした。ヘッドは図２に示す剪断モード型（ピエゾ型）を使用し、ノズル吐出口の径０．０４ｍｍ、塗布液１滴当たりの平均吐出量５０ｐｌ、ノズル間のピッチは０．０７ｍｍ、ノズル数５００のものを使用した。インクジェットヘッドは図５に示す千鳥状に５５０ｍｍ幅の塗布液膜が得られるように複数個を配置した。塗布液の液温度は２５℃とした。
［試料の評価］
作製した各試料Ｎｏ．１０１〜１０７に付き、支持体の幅方向中央に対する端部の塗布膜厚のバラツキを以下に示す方法で測定し、以下に示す評価ランクに従って評価した。その結果を表１に示す。
［塗布膜厚のバラツキ］
大塚電子（株）製  光干渉膜厚計  ＦＥ−３０００を用い、２ｍｍ間隔で２０ｃｍ角の面内膜厚を測定し、最大膜厚と最小膜厚との差を平均膜厚で除した値Ａを塗布膜厚のバラツキとした。
〔評価ランク〕
◎：０．０１＜Ａ≦０．０５
○：０．０５＜Ａ≦０．１
×：０．１＜Ａ
【００５０】
【表１】
2008155139.tif 000003
【００５１】
さらに上記条件でポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送速度のみを５０ｍ／ｍｉｎとした場合の結果を表２に示す。
【００５２】
【表２】
2008155139.tif 000004
【００５３】
＜実施例２＞
蒸気チャンバーによる蒸気供給の有無での評価を行った。
［支持体の準備］
支持体として厚さ７５μｍ、幅６００ｍｍ、長さ１０００ｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを準備した。
［塗布液の調製］
純水とメタノールの７０：３０質量比の溶媒にポリビニルアルコールを溶解し、粘度１０．０ｍＰａ・ｓの塗布液を調製した。尚、粘度はＢ型粘度計を使用し、温度２５℃で測定した値を示す。
［塗布］
準備した支持体と、調製した塗布液とを図１に示す塗布装置を使用し、表３に示す様に蒸気チャンバー７１の有無を変化させて塗布を行い試料を作製しＮｏ．２０１〜２０２とした。また、他の塗布条件は次の条件で行った。インクジェットヘッドのノズル吐出口から射出された液滴が被塗布体上に着弾するときの液滴速度は９ｍ／ｓとした。支持体であるポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送速度は１０ｍ／ｍｉｎとした。ヘッドは図２に示す剪断モード型（ピエゾ型）を使用し、ノズル吐出口の径０．０４ｍｍ、塗布液１滴当たりの平均吐出量５０ｐｌ、ノズル間のピッチは０．０７ｍｍ、ノズル数５００のものを使用した。インクジェットヘッドは図５に示す千鳥状に５５０ｍｍ幅の塗布液膜が得られるように複数個を配置した。塗布液の液温度は２５℃とした。なお、蒸発チャンバー７１は使用有の場合はメタノールを貯留した溶媒タンク７２に連通させ、メタノールの温度を４０℃に保ちながら液面一定制御を実施した。なお、減圧度は５０Ｐａとした。
［試料の評価］
塗布開始時直後の塗布物にスジがないことを確認して連続２０００ｍ塗布して採取した各試料Ｎｏ．２０１〜２０２に付き、目視で視認できるスジの本数を数えて評価した結果を表３に示す。
【００５４】
【表３】
2008155139.tif 000005
【００５５】
以上から本発明の有効性が確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の塗布液膜形成方法を適用した塗布装置の一例を示す概略図である。
【図２】図１の矢印Ａ１方向から見た塗布ユニット近傍の部分側面図である。
【図３】インクジェットヘッドの一例を示す図である。
【図４】支持体に対するヘッドの配置角度を示す概略平面図である。
【図５】インクジェットヘッドの設置配列の一例を示す概略平面図である。
【図６】インクジェットヘッドの設置配列の一例を示す概略平面図である。
【図７】支持体の移動にともない、インクジェットヘッドと支持体の間隙に発生する空気の流れを示す図である。
【図８】本発明を適用した場合の空気の流れと蒸気の流れを示す図である。
【図９】本発明の別な実施形態を示す図である。
【図１０】本発明の別な実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  支持体
１２、１３、１４  支持ロール
２０  塗布ユニット
２２  塗布液タンク
２０１  インクジェットヘッド
３０  保持機構
５０  乾燥部
６０  減圧手段
６１  減圧チャンバー
６２  ブロア
７０  蒸気供給手段
７１  蒸気チャンバー
７２  溶媒タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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