(57)【要約】【課題】駆動される圧電素子柱と駆動されない圧電素子柱を交互に形成する圧電素子部材を並べて長尺ヘッドとする場合に、コスト高、給電部材と圧電素子柱との位置ずれによる接触不良、給電部材相互の干渉を生じ易くなる。【解決手段】複数個の圧電素子部材２と、各圧電素子部材２に給電する複数の給電部材３とを備え、複数個の圧電素子部材２は共通のベース部材４に列状に並べて接合配置され、給電部材３は、圧電素子部材２の電極１３が接続される最も端部の駆動圧電素子柱１１Ａに対応する一端３ａが、圧電素子柱１１の並び方向で駆動圧電素子柱１１Ａの外端１１ａより外側に位置し、圧電祖部材２の電極１３が接続されない最も端部の非駆動圧電素子柱１１Ｂに対応する他端３ｂが非駆動圧電素子柱１１Ｂの外端１１ｂより内側に位置して、隣接する給電部材３と相互に重ならない状態で配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、
各圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、
各給電部材は、前記圧電素子部材の一端部の前記電極が接続される圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、前記圧電素子部材の他端部の前記電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する前記給電部材と相互に重ならない状態で配置されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、
少なくとも２つの圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、
各給電部材は、前記圧電素子部材の列の一端部の前記電極が接続される最も端部の圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、前記圧電素子部材の列の他端部の前記電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する前記給電部材と相互に重ならない状態で配置されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータにおいて、前記最も端部の圧電素子柱の外端に対する前記給電部材の一端の外側へのずれ量が（１ピッチ＋１溝幅）以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記最も端部の圧電素子柱の外端に対する前記給電部材の他端の内側へのずれ量が１ピッチ以下であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、前記電極が接続される圧電素子柱のピッチが同じであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、
前記圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、
前記給電部材の一端部は前記電極が接続されている前記圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、前記給電部材の他端部は前記電極が接続されていない前記圧電素子柱の前記圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する前記給電部材と相互に重ならない状態で配置されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、
１つの前記圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、
前記給電部材の一端部は前記電極が接続されている前記圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、前記給電部材の他端部は前記電極が接続されていない前記圧電素子柱の前記圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する前記給電部材と相互に重ならない状態で配置されている
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項８】
偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、
前記圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、
１つの前記給電部材の圧電素子柱並び方向における幅が１つの前記圧電素子部材の同方向における幅よりも狭い
ことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項９】
液滴を吐出するノズルが連通する液室の壁面を形成する振動板を圧電アクチュエータで変位させることで前記ノズルから液滴が吐出される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータが請求項１ないし８のいずれかに記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項９に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項１１】
液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項９に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリンタ／ファックス／コピア或いはこれらの機能を複合した画像形成装置としては、例えば、記録液（液体）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、液体としての記録液（以下、インクともいう。）を用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行なうものがある。
【０００３】
なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体吐出装置とは、液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置を意味し、画像形成を行うものに限定されるものではない。
【０００４】
液体吐出ヘッドとしては、液室内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段（アクチュエータ手段）として圧電素子、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電素子を用いて、積層型圧電素子のｄ３３又はｄ３１方向の変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積／圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電アクチュエータを用いた圧電型ヘッドが知られている。
【０００５】
このような圧電素子を用いた液体吐出ヘッドとして、例えば、特許文献１には両端に駆動されない圧電素子を配置した圧電素子部材に圧電素子部材よりも幅の狭いＦＰＣを接続したヘッドが記載されている。
【特許文献１】特開平１０−２８６９５１号公報
【０００６】
また、特許文献２には複数のアクチュエータユニットは、実質的に台形形状を有し、各アクチュエータユニットの平行対向辺が流路ユニットの長手方向に沿い且つ隣接するアクチュエータユニットの斜辺同士が流路ユニットの幅方向にオーバーラップするように千鳥状に配置され、平型柔軟ケーブルの延出部と流路ユニットとの接合部が、流路ユニットの長手方向に沿って千鳥状に配設されたヘッドが記載されている。
【特許文献２】特開２００６−１６８０３６号公報
【０００７】
特許文献３には駆動部になる積層型圧電素子と非駆動部になる積層型圧電素子とを交互に配置し、駆動部になる積層型圧電素子の端面電極にのみ選択的に直接フレキシブルプリントケーブルを接続することが記載されている。
【特許文献３】特開平１０−１０９４１０号公報
【０００８】
特許文献４には複数の圧電素子が溝加工で形成された複数の圧電素子部材が、複数の圧電素子の並び方向に沿って一つのベース部材に配置されている長尺ヘッドが記載されている。
【特許文献４】特開２００６−１７５８４５号公報
【０００９】
特許文献５にはベース基板上に複数の圧電素子を含むヘッドセルが配列されたライン方ヘッドが記載されている。
【特許文献５】特開平１１−３４８２７９号公報
【００１０】
特許文献６にはインクを貯留する共通液室と、共通液室に連通した複数の圧力室と、各圧力室にそれぞれ連通した複数のノズルとが設けられた圧力室ブロックと、圧電素子と、圧電素子に電圧を印加するための第１および第２電極と、振動板とを有し、振動板によって圧力室ブロックの圧力室を覆うように圧力室ブロックに配置されたアクチュエータとを備えたインクジェットヘッドが記載されている。
【特許文献６】特開２００２−２２５２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述したように、画像形成装置としての例えばインクジェット記録装置には高速印字が求められている。この場合、滴吐出周波数を高くする、ノズル数を多くするといった手段があるが、滴吐出周波数を高くすると、それに伴いキャリッジを高速で動かさなければならず、強力なモータを精度よく制御する、高周波で安定して滴吐出をおこなうといった課題を解決しなければならないことから、ヘッドを長くしてノズル数を増やすラインヘッドなどの長尺化が必要になってくる。
【００１２】
ここで、特許文献４に記載されているように複数の圧電素子が形成された複数の圧電素子部材を並べて配置することでアクチュエータ或いはヘッドの長尺化を図り、駆動する圧電素子柱（駆動圧電素子柱）と駆動しない圧電素子柱（非駆動圧電素子柱）とを交互に配置する構成を採用する場合、特許文献１に記載されているような両端部が非駆動圧電素子柱を有する複数個の圧電素子部材を並べて配置すると、圧電素子部材のつなぎ目では隣り合う圧電素子部材の端部がいずれも非駆動圧電素子柱となり、ノズルピッチが異なることになってしまうので、２種類の圧電素子部材が必要になり、コストが高くなるという課題が生じる。
【００１３】
また、複数の圧電素子部材を並べて配置する場合、すべての圧電素子部材の駆動圧電素子柱に対して１つの給電部材によって給電を行うようにすると、給電部材の電極と駆動圧電素子柱との位置ずれによる接触不良を生じ易くなるという課題が生じる。そこで、複数の給電部材によって給電を行うようにすると、給電部材相互の干渉を生じ易くなるという課題が生じる。
【００１４】
また、１つの圧電素子部材に１つの給電部材を接続するようにした場合であっても、圧電素子部材の並び方向の幅が長くなると給電部材の同方向の幅が広くなり、寸法公差の積み上がりによる誤差が大きくなって、電極と圧電素子柱との位置ずれを生じやすくなるという課題も生じる。
【００１５】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コスト、高信頼性で長尺化を図れる圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータを備える液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置、画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の課題を解決するため、本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、各圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、各給電部材は、圧電素子部材の一端部の電極が接続される圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、圧電素子部材の他端部の電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とした。
【００１７】
本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、少なくとも２つの圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、各給電部材は、圧電素子部材の列の一端部の電極が接続される最も端部の圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、圧電素子部材の列の他端部の電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とした。
【００１８】
これらの本発明に係る圧電アクチュエータにおいては、最も端部の圧電素子柱の外端に対する給電部材の一端の外側へのずれ量が（１ピッチ＋１溝幅）以下である構成とすることが好ましい。また、最も端部の圧電素子柱の外端に対する給電部材の他端の内側へのずれ量が１ピッチ以下である構成とすることが好ましい。また、電極が接続される圧電素子柱のピッチが同じである構成とすることが好ましい。
【００１９】
本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、給電部材の一端部は電極が接続されている圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材の他端部は電極が接続されていない圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とした。
【００２０】
本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、１つの圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、給電部材の一端部は電極が接続されている圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材の他端部は電極が接続されていない圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とした。
【００２１】
本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、１つの給電部材の圧電素子柱並び方向における幅が１つの圧電素子部材の同方向における幅よりも狭い構成とした。
【００２２】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、本発明に係る圧電アクチュエータを備えたものである。
【００２３】
本発明に係る液体吐出装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。
【００２４】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係る圧電アクチュエータによれば、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、各圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、各給電部材は、圧電素子部材の一端部の電極が接続される圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、圧電素子部材の他端部の電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成としたので、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００２６】
本発明に係る圧電アクチュエータによれば、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、少なくとも２つの圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、各給電部材は、圧電素子部材の列の一端部の電極が接続される最も端部の圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、圧電素子部材の列の他端部の電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成としたので、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００２７】
本発明に係る圧電アクチュエータによれば、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、給電部材の一端部は電極が接続されている圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材の他端部は電極が接続されていない圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成としたので、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００２８】
本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、１つの圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、給電部材の一端部は電極が接続されている圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材の他端部は電極が接続されていない圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成としたので、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００２９】
本発明に係る圧電アクチュエータは、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、１つの給電部材の圧電素子柱並び方向における幅が１つの圧電素子部材の同方向における幅よりも狭い構成としたので、圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００３０】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、本発明に係る圧電アクチュエータを備えるので、低コストで長尺ヘッドを得ることができる。
【００３１】
本発明に係る液体吐出装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、低コスト化を図れる。
【００３２】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、低コストで高速記録化を図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る圧電アクチュエータの第１実施形態について図１及び図２を参照して説明する。なお、図１は同圧電アクチュエータの模式的説明図、図２は同圧電アクチュエータの要部拡大説明図である。また、給電部材は分かり易くするために電極以外を透過状態で示している（以下の実施形態でも同様である。）。
【００３４】
この圧電アクチュエータ１は、複数個の圧電素子部材２と、各圧電素子部材２に給電するＦＰＣなどで構成される複数の給電部材３とを備え、複数個の圧電素子部材２は共通のベース部材４に列状に並べて接合配置されている。
【００３５】
圧電素子部材２は、分断することのないスリット加工（溝加工）を施すなどして、偶数個の圧電素子柱１１を、溝幅Ｓｎのスリット溝１２を介して、所定のピッチＰｎで形成している。隣り合う２つの圧電素子部材２の圧電素子柱１１、１１間の間隔も溝幅Ｓｎとして、図３に示すように、隣り合う２つの圧電素子部材２の圧電素子柱１１の間のピッチもピッチＰｎとし、すべての圧電素子柱１１を同じピッチＰｎで配置している。
【００３６】
そして、圧電素子部材２の各圧電素子柱１１は、１つおきに駆動する圧電素子柱（駆動圧電素子柱）１１Ａと駆動しない圧電素子柱（非駆動圧電素子柱）１１Ｂとして使用する。このように、圧電素子部材２の圧電素子柱１１の個数を偶数個とすることにより、複数の圧電素子部材２を並べるとき、隣り合う一方の圧電素子部材２の端部の圧電素子柱１１が駆動圧電素子柱１１Ａに、他方の圧電素子部材２の端部の圧電素子柱１１が非駆動圧電素子柱１１Ｂの関係になる。
【００３７】
給電部材３は、圧電素子部材２の１つおきの圧電素子柱１１に対応して配置された電極１３を有している。この電極１３に対応する圧電素子柱１１が駆動圧電素子柱１１Ａとなる。
【００３８】
そして、給電部材３は、電極１３が接続される最も端部の駆動圧電素子柱１１Ａに対応する一端３ａが、圧電素子柱１１の並び方向で駆動圧電素子柱１１Ａの外端１１ａより外側に位置し、電極１３が接続されない最も端部の非駆動圧電素子柱１１Ｂに対応する他端３ｂが非駆動圧電素子柱１１Ｂの外端１１ｂより内側に位置して、隣接する給電部材３と相互に重ならない状態で配置されている。
【００３９】
ここで、図４に示すように、最も端部の駆動圧電素子柱１１Ａの外端１１ａに対する給電部材３の一端３ａの外側へのずれ量Ｘ１は、（１ピッチ＋１溝幅）以下、即ち、Ｘ≦（Ｐｎ＋Ｓ１）としている。また、図５に示すように、最も端部の非駆動圧電素子柱１１Ｂの外端１１ｂに対する給電部材３の他端３ｂの内側へのずれ量Ｘ２は、１ピッチ以下、即ち、Ｘ２≦Ｐｎとしている。これにより、給電部材３の外形寸法公差を大きくとることができる。
【００４０】
このように構成したので、圧電素子部材２は偶数個の圧電素子柱１１を有することで、隣り合う圧電素子部材２の端部の圧電素子柱１１の一方は駆動圧電素子柱１１Ａに、他方は非駆動圧電素子柱１１Ｂとなって、１種類の圧電素子部材２を並べて駆動圧電素子柱１１Ａと非圧電素子柱１１Ｂとを交互に配置することが可能になって、低コスト化を図ることができる。
【００４１】
そして、複数の給電部材３によって各圧電素子部材２の駆動圧電素子柱１１Ａに給電を行うので、給電部材３の電極１３と圧電素子部材２の駆動圧電素子柱１１Ａとの位置ずれが少なく、接触不良などが低減される。それとともに、給電部材３の一端は駆動圧電素子１１Ａの外端よりも外側に位置し、他端は非駆動圧電素子１１Ｂの外端よりも内側に位置するので、隣り合う給電部材３が相互に干渉することが防止される。これにより、信頼性が向上する。
【００４２】
具体的には、長さ約３００ｍｍの金属ベース部材４上に偶数個のＰＺＴからなる圧電素子柱（ＰＺＴ柱）１１を有する圧電素子部材（ＰＺＴユニット）２を固定し、固定されているＰＺＴユニット２のＰＺＴ柱１１には１つおきに給電部材３の電極１３を接続した。ここで、ＰＺＴ柱１１の幅は約５０μｍ、ＰＺＴ柱１１のピッチＰ１は約８０μｍ（溝幅Ｓ１は約３０μｍとなる。）とした。給電部材３はＦＰＣ（Flexible Printed Circuit Board)を用いて、ＰＺＴ柱１１と電極１３の接続ははんだ接合で行った。
【００４３】
このように、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、各圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、各給電部材は、圧電素子部材の一端部の電極が接続される圧電素子柱に対応する一端が当該圧電素子柱の外端より外側に位置し、圧電素子部材の他端部の電極が接続されない最も端部の圧電素子柱に対応する他端が当該圧電素子柱の外端より内側に位置して、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とすることで、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００４４】
また、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、給電部材の一端部は電極が接続されている圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材の他端部は電極が接続されていない圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とすることで、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００４５】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第２実施形態について図６を参照して説明する。なお、図６は同圧電アクチュエータの要部拡大説明図である。
ここでは、複数個の圧電素子部材２を配置するベース部材として、複数のベース部材１４に分割し、各ベース部材１４は隣り合うベース部材１４との間に所定の幅（溝幅Ｓ１と同じが好ましい。）のスペーサ５を介して並べて配置している。
【００４６】
このように構成すれば、１つの圧電素子部材１２にスリット溝加工などで製作工程上の不具合が生じた場合には当該圧電素子部材１２のみをベース部材１４とともに交換すれば足りるようになる。
【００４７】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第３実施形態について図７及び図８を参照して説明する。なお、図７は同圧電アクチュエータの模式的説明図、図８は同圧電アクチュエータの要部拡大説明図である。
ここでは、１つの給電部材２３を２つの圧電素子部材２、２で共通としている。この場合、給電部材２３は、電極１３が接続される２つの圧電素子部材２を併せた状態における最も端部の駆動圧電素子柱１１Ａに対応する一端３ａが、圧電素子柱１１の並び方向で駆動圧電素子柱１１Ａの外端１１ａより外側に位置し、電極１３が接続されない２つの圧電素子部材２を併せた状態における最も端部の非駆動圧電素子柱１１Ｂに対応する他端３ｂが非駆動圧電素子柱１１Ｂの外端１１ｂより内側に位置して、隣接する給電部材３と相互に重ならない状態で配置されている。
【００４８】
このように、２つ以上の圧電素子部材に対して１つの給電部材を接続する構成とすることで、前述した第１実施形態で説明した作用効果が得られるとともに、給電部材の部品点数を削減することができる。なお、ここでは、１つの給電部材で２つの圧電素子部材に給電するようにしているが、複数の給電部材を使用するのであれば、１つの給電部材で３つ以上の圧電素子部材に給電することも可能である。
【００４９】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第３実施形態について図９及び図１０を参照して説明する。なお、図９は同圧電アクチュエータの模式的説明図、図１０は同圧電アクチュエータの要部拡大説明図である。
ここでは、１つの圧電素子部材２に対して複数（この例では２つ）の給電部材２３、２３を対応させて接続している。ここで、１つの給電部材２３の一端部は電極１３が接続されている駆動圧電素子柱１１Ａの圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材２３の他端部は電極１３が接続されていない非駆動圧電素子柱１１Ｂの圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材２３と相互に重ならない状態で配置されている。
【００５０】
つまり、圧電素子柱１１のピッチはスリット（溝）加工装置（例えばダイサー）の加工精度によって決定され、５００ｍｍの長さ当たり例えば±３μｍの精度を確保することができる。これに対して、給電部材２３の電極１３の配置ピッチは給電部材２３の圧電素子柱並び方向における幅が長くなるに従って累積ピッチ公差が大きくなる。そのため、１つの圧電素子部材２の長さが長くなると、１又は複数の圧電素子部材２に対して１つの給電部材２３を接続する構成とした場合、電極１３の配置ピッチと駆動圧電素子柱１１Ａとの配置ピッチとのずれが大きくなって接続不良が生じる可能性がある。そこで、１つの圧電素子部材に対して複数の給電部材を接続することによって、このような不都合を回避することができる。
【００５１】
このように、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、１つの圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、給電部材の一端部は電極が接続されている圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の外側に位置し、給電部材の他端部は電極が接続されていない圧電素子柱の圧電素子柱並び方向における外端の内側に位置し、隣接する給電部材と相互に重ならない状態で配置されている構成とすることで、隣り合う圧電素子部材の端部の圧電素子柱の一方は駆動する圧電素子柱、他方は駆動しない圧電素子柱となって圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００５２】
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第４実施形態について図１１を参照して説明する。なお、図１１は同圧電アクチュエータの要部拡大説明図である。
ここでは、１つの給電部材２３の圧電素子柱並び方向における幅Ｌ２が１つの圧電素子部材２の同方向における幅Ｌ１よりも狭い構成としている。これにより、隣接する２つの給電部材２３を重ならないように配置することができるとともに、２つの給電部材２３、２３の位置精度とした高い精度が要求されず、給電部材２３の接続作業性が向上する。
【００５３】
このように、偶数個の圧電素子柱が溝を介して所定のピッチで形成され、列状に並べて配置された複数個の圧電素子部材と、圧電素子部材の１つおきの圧電素子柱に対応して配置された電極を有する複数の給電部材とを備え、１つの給電部材の圧電素子柱並び方向における幅が１つの圧電素子部材の同方向における幅よりも狭い構成とすることで、圧電素子部材の種類を１種類とすることができ、複数の給電部材を干渉することなく接続することができて、低コストで信頼性の高い長尺アクチュエータを得ることができる。
【００５４】
この場合、１つの給電部材が複数の圧電素子部材に跨って接続される構成、１つの圧電素子部材に複数の給電部材が接続される構成などとすることもできる。
【００５５】
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図１２ないし図１４を参照して説明する。なお、図１２は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図１３は図１２のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（液室の並び方向と直交する方向）に沿う断面説明図、図１４は同じく液室短手方向（液室の並び方向）に沿う断面説明図である。
【００５６】
この液体吐出ヘッドは、ＳＵＳ基板で形成した流路基板（液室基板）１０１と、この流路基板１の下面に接合した振動板部材１０２と、流路基板１０１の上面に接合したノズル板１０３とを有し、これらによって液滴（液体の滴）を吐出するノズル１０４が連通する個別流路としての液室（以下「加圧液室」というが、圧力室、加圧室、流路などとも称される。）１０６、加圧液室１０６に液体であるインク（記録液）を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部１０７、複数の加圧液室１０６に記録液を供給する共通液室１０８を形成している。なお、共通液室１０８には図示しない液体タンクから供給路を介して記録液が供給される。
【００５７】
ここで、流路基板１０１は、リストリクタプレート１０１Ａとチャンバーブレート１０１Ｂとを接着して構成している。この流路基板１０１は、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き（プレス）などの機械加工することで、各加圧液室６、流体抵抗部７、共通液室８などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部１０７は、リストリクタプレート１０１Ａの部分を開口し、チャンバーブレート１０１Ｂの部分を開口しないことで形成している。
【００５８】
振動板部材１０２は、流路基板１０１を構成するチャンバーブレート１０１Ｂに接着接合している。この振動板部材２は、例えば、ＳＵＳ基板などの金属部材１２１に金属部材２１よりも線膨張係数を大きく調製した樹脂を直接塗布（塗工）して加熱、固化させた樹脂層（樹脂部材）１２２を直接成膜して形成したものであり、樹脂層１２２で液室１０６の壁面となる変形可能な部分（振動板領域）１０２Ａを形成し、この振動板領域１０２Ａの液室１０６と反対側には金属部材１２１からなる島状の突起部（以下「島状凸部」ともいう。）１０２Ｂを形成している。また、この振動板部材１０２には流路基板１０１の液室間隔壁部１０６Ａに対応する位置には金属部材１２１による厚肉部１０２Ｄが形成（残存）されている。この他、振動板部材１０２は、樹脂層と金属部材とを接着剤で接合したもの、Ｎｉなどの電鋳で形成したものなどを用いることもできる。
【００５９】
ノズル板１０３は、各加圧液室１０６に対応して直径１０〜３０μｍの多数のノズル１０４を形成し、流路基板１０１のリストリクタプレート１０１Ａに接着剤接合している。このノズル板１０３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
【００６０】
そして、振動板部材１０２の面外側（加圧液室１０６と反対面側）に本発明に係る圧電アクチュエータ１１０を配置している。この圧電アクチュエータ１１０は、前述した圧電アクチュエータ１と同様に、複数個の圧電素子部材１１２と、各圧電素子部材１１２に給電するＦＰＣなどで構成される複数の給電部材１１３とを備え、複数個の圧電素子部材１１２は共通のベース部材１１４に列状に並べて接合配置されている。
【００６１】
圧電素子部材１１２は、分断することのないスリット加工（溝加工）を施すなどして、偶数個の圧電素子柱１１１を、スリット溝１１５を介して、所定のピッチで形成し、隣り合う２つの圧電素子部材１１２の圧電素子柱１１１、１１１間の間隔もスリット溝１１５の溝幅として配置している。そして、圧電素子部材１１２の各圧電素子柱１１１は、１つおきに駆動する圧電素子柱（駆動圧電素子柱）１１１Ａと駆動しない圧電素子柱（非駆動圧電素子柱）１１１Ｂとして使用する。
【００６２】
給電部材１１３は、ＦＰＣで構成し、圧電素子部材１１２の１つおきの駆動圧電素子柱１１１Ａに対応して配置された図示しない電極を有している。そして、給電部材１１３は、電極が接続される最も端部の駆動圧電素子柱１１１Ａに対応する一端が、圧電素子柱１１１の並び方向で駆動圧電素子柱１１１Ａの外端より外側に位置し、電極が接続されない最も端部の非駆動圧電素子柱１１１Ｂに対応する他端が非駆動圧電素子柱１１１Ｂの外端より内側に位置して、隣接する給電部材１１３と相互に重ならない状態で配置している。
【００６３】
この圧電アクチュエータ１１０の駆動圧電素子柱１１１Ａは振動板部材１０２の島状凸部１０２Ｂに接着剤接合し、非駆動圧電素子柱１１１Ｂは液室間隔壁部１０６Ａに対応する厚肉部１０２Ｄに接着剤接合している。
【００６４】
なお、圧電素子部材１１２は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層したものであり、内部電極を交互に端面の端面電極（外部電極）である図示しない個別電極及び共通電極にそれぞれ電気的に接続し、これらの個別電極及び共通電極に前述した給電部材１１３をはんだ接合している。この圧電定数がｄ３３（ｄ３３は内部電極面に垂直（厚み方向）の伸び縮みを指す。）である圧電素子部材１１２の駆動圧電素子柱１１１Ａの伸縮により振動板領域１０２Ａを変位させて液室１０６を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子柱１１１Ａに駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子柱１１１Ａに充電された電荷が放電すると反対方向に収縮する。
【００６５】
なお、圧電素子部材１１２（駆動圧電素子柱１１１Ａ）の圧電方向としてｄ３３方向の変位を用いて加圧液室１０６内インクを加圧する構成とすることも、圧電素子部材１１２の圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室１０６内インクを加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではｄ３３方向の変位を用いた構成をとっている。
【００６６】
ベース部材１１４は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材１１４の材質（材料）が金属であれば、圧電素子部材１１２の自己発熱による蓄熱を防止することができる。さらに、ベース部材１１４の線膨張係数が大きいと、高温又は低温でベース部材１１４と圧電素子部材１１２の接合界面で接着剤の剥離が発生することがある。すなわち、圧電素子の全長が長くないときには、環境変動による温度差で圧電素子とベース部材が剥離する問題はほとんどなかったが、圧電素子一本当たり３００ｄｐｉで約４００ノズル程度を有する場合、圧電素子の一本当たりの長さが３０〜４０ｍｍ以上になることで、この問題が顕著化するようになった。したがって、ベース部材１３の材質としては、線膨張係数が１０Ｅ−６／℃以下の材質を用いることが好ましい。特に、圧電素子部材１１２に接着接合される部品の熱膨張係数数を全て１０Ｅ−６／℃以下にすると接合界面の剥離に対し、非常に効果的であることが確認された。具体的な一例として、ステンレス鋼板で材質を揃えることが可能である。
【００６７】
さらに、振動板部材１０２の周囲にはフレーム部材１１７を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材１１７には、振動板部材１０２の樹脂層１２２で構成した変形可能な部分としてのダイアフラム部１０２Ｃを介して共通液室１０８に隣接するバッファ室１１８を形成している。ダイアフラム部１０２Ｃは共通液室１０８及びバッファ室１１８の壁面を形成する。なお、バッファ室１１８は連通路１２０を介して大気と連通させている。
【００６８】
また、この液体吐出ヘッドでは、圧電素子部材１１２の圧電素子柱１１１は３００ｄｐｉの間隔で形成し、それが対向して２列に並んでいる構成としている。また、加圧液室１０６及びノズル１０４は１列１５０ｄｐｉの間隔で２列を千鳥状に並べて配置しており、３００ｄｐｉの解像度を１スキャンで得ることができる。
【００６９】
また、上述したようにこの液体吐出ヘッドは、ほとんどの部材をＳＵＳから形成し、その熱膨張係数を揃えているので、ヘッドの組立中、あるいは、使用中における熱膨張による種々の不具合を避けることができる。
【００７０】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子部材１１２の駆動圧電素子柱１１１Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動圧電素子柱１１１Ａが収縮し、振動板部材１０２の振動板領域１０２Ａが下降して加圧液室１０６の容積が膨張することで、加圧液室１０６内にインクが流入し、その後駆動圧電素子柱１１１Ａに印加する電圧を上げて駆動圧電素子柱１１１Ａを積層方向に伸長させ、振動板領域１０２Ａをノズル１０４方向に変形させて加圧液室１０６の容積／体積を収縮させることにより、加圧液室１０６内の記録液が加圧され、ノズル１０４から記録液の滴が吐出（噴射）される。
【００７１】
そして、駆動圧電素子柱１１１Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板領域１０２Ａが初期位置に復元し、加圧液室１０６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１０８から加圧液室１０６内に記録液が充填される。そこで、ノズル１０４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
【００７２】
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。
【００７３】
このように、この液体吐出ヘッドは本発明に係る圧電アクチュエータを備えているので、低コストで、信頼性の高いヘッドとすることができる。
【００７４】
次に、本発明に係る液体吐出装置を含む本発明に係る画像形成装置の一例について図１５を参照して説明する。なお、図１５は同装置の機構部全体の概略構成図である。
この画像形成装置は、装置本体２０１の内部に画像形成部２０２等を有し、装置本体２０１の下方側に多数枚の記録媒体（用紙）２０３を積載可能な給紙トレイ２０４を備え、この給紙トレイ２０４から給紙される用紙２０３を取り込み、搬送機構２０５によって用紙２０３を搬送しながら画像形成部２０２によって所要の画像を記録した後、装置本体２０１の側方に装着された排紙トレイ２０６に用紙２０３を排紙する。
【００７５】
また、装置本体２０１に対して着脱可能な両面ユニット２０７を備え、両面印刷を行うときには、一面（表面）印刷終了後、搬送機構２０５によって用紙２０３を逆方向に搬送しながら両面ユニット２０７内に取り込み、反転させて他面（裏面）を印刷可能面として再度搬送機構２０５に送り込み、他面（裏面）印刷終了後排紙トレイ２０６に用紙２０３を排紙する。
【００７６】
ここで、画像形成部２０２は、例えばブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色の液滴を吐出する、フルライン型の４個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド２１１ｋ、２１１ｃ、２１１ｍ、２１１ｙ（色を区別しないときには「記録ヘッド２１１」という。）を備え、各記録ヘッド２１１は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ２１３に装着している。
【００７７】
また、各記録ヘッド２１１に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構２１２ｋ、２１２ｃ、２１２ｍ、２１２ｙ（色を区別しないときには「維持回復機構２１２」という。）を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド２１１と維持回復機構２１２とを相対的に移動させて、記録ヘッド２１１のノズル面に維持回復機構２１２を構成するキャッピング部材などを対向させる。
【００７８】
なお、ここでは、記録ヘッド２１１は、用紙搬送方向上流側から、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた１又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。
【００７９】
給紙トレイ２０４の用紙２０３は、給紙コロ（半月コロ）２２１と図示しない分離パッドによって１枚ずつ分離され装置本体２０１内に給紙され、搬送ガイド部材２２３のガイド面２２３ａに沿ってレジストローラ２２５と搬送ベルト２３３との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材２２６を介して搬送機構２０５の搬送ベルト２３３に送り込まれる。
【００８０】
また、搬送ガイド部材２２３には両面ユニット２０７から送り出される用紙２０３を案内するガイド面２２３ｂも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構２０５から戻される用紙２０３を両面ユニット２０７に案内するガイド部材２２７も配置している。
【００８１】
搬送機構２０５は、駆動ローラである搬送ローラ２３１と従動ローラ２３２との間に掛け渡した無端状の搬送ベルト２３３と、この搬送ベルト２３３を帯電させるための帯電ローラ２３４と、画像形成部２０２に対向する部分で搬送ベルト２３３の平面性を維持するプラテン部材２３５と、搬送ベルト２３３から送り出す用紙２０３を搬送ローラ２３１側に押し付ける押さえコロ２３６と、その他図示しないが、搬送ベルト２３３に付着した記録液（インク）を除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなどを有している。
【００８２】
この搬送機構２０５の下流側には、画像が記録された用紙２０３を排紙トレイ２０６に送り出すための排紙ローラ２３８及び拍車２３９を備えている。
【００８３】
このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト２３３は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ３３４と接触することで正に帯電される。この場合、帯電ローラ２３４の帯電電圧は所定の時間間隔で極性を切り替えることによって、搬送ベルト２３３を所定の帯電ピッチで帯電させる。
【００８４】
ここで、この高電位に帯電した搬送ベルト２３３上に用紙２０３が給送されると、用紙２０３内部が分極状態になり、搬送ベルト２３３上の電荷と逆極性の電荷が用紙２０３の搬送ベルト２３３と接触している面に誘電され、搬送ベルト２３３上の電荷と搬送される用紙２０３上に誘電された電荷同士が互いに静電的に引っ張り合い、用紙２０３は搬送ベルト２３３に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト２３３に強力に吸着した用紙２０３は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。
【００８５】
そして、搬送ベルト２３３を周回させて用紙２０３を移動させ、記録ヘッド２１１から液滴を吐出することで、用紙２０３上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙２０３は排紙ローラ２３８によって排紙トレイ２０６に排紙される。
【００８６】
このように、この画像形成装置においては本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッドを備えているので、低コストで、高い信頼性が得られる記録ヘッドを用いて高速で画像を形成することができる。また、この画像形成装置における記録ヘッド及びこの記録ヘッドを駆動する部分で構成される液体吐出装置においても、本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッドを備えているので、低コストで、高い信頼性が得られる液体吐出を行うことができる。
【００８７】
なお、上記実施形態では本発明に係る液体吐出装置をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明に係る圧電アクチュエータの第１実施形態の模式的説明図である。
【図２】同じく要部拡大説明図である。
【図３】同じく圧電素子部材の説明に供する模式的説明図である。
【図４】圧電素子部材の圧電素子柱外端と給電部材の一端とのずれ量の説明に供する説明図である。
【図５】圧電素子部材の圧電素子柱外端と給電部材の他端とのずれ量の説明に供する説明図である。
【図６】本発明に係る圧電アクチュエータの第２実施形態の要部拡大説明図である。
【図７】本発明に係る圧電アクチュエータの第３実施形態の模式的説明図である。
【図８】同じく要部拡大説明図である。
【図９】本発明に係る圧電アクチュエータの第４実施形態の模式的説明図である。
【図１０】同じく要部拡大説明図である。
【図１１】本発明に係る圧電アクチュエータの第５実施形態の要部拡大説明図である。
【図１２】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す外観斜視説明図である。
【図１３】図１２のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（液室の並び方向と直交する方向）に沿う断面説明図である。
【図１４】同じく液室短手方向（液室の並び方向）に沿う断面説明図である。
【図１５】本発明に係る液体吐出装置を含む本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成説明図である。
【符号の説明】
【００８９】
１…圧電アクチュエータ
２…圧電素子部材
３…給電部材
４…ベース部材
１１…圧電素子柱
１１Ａ…駆動圧電素子柱
１１Ｂ…非駆動圧電素子柱
１２…スリット溝
１３…電極
１０１…流路基板
１０２…振動板部材
１０３…ノズル板
１０４…ノズル
１０６…加圧液室
１１０…圧電アクチュエータ
２１１ｋ、２１１ｃ、２１１ｍ、２１１ｙ…記録ヘッド（液体吐出ヘッド）
【図１】
2008155620.tif 000003
【図２】
2008155620.tif 000004
【図３】
2008155620.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008155620.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008155620.tif 000009
【図８】
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【図９】
2008155620.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2008155620.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2008155620.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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