(57)【要約】【課題】ワークおよびワークに形成された配線に損傷を与えにくいアライメント方法およびアライメント機構を提供すること、また、ワークおよびワークに形成された配線にほとんど損傷を与えない描画方法および描画装置を提供すること。【解決手段】（ａ）巻出しリール８４から巻取りリール８５に至る搬送経路に掛け渡されたテープ８０を、スプロケット７１，７２，７６により搬送し、ステージ５０に載置する。（ｂ）テープ８０を、クランプ７７，７８によって保持する。（ｃ）クランプ７７，７８を、互いの距離を縮める方向に移動させて、テープ８０に弛みを生じさせる。この状態で、可動ステージ１８を移動させて、テープ８０のアライメントを行う。（ｄ）液滴吐出ヘッド９０から機能液９をテープ８０に吐出し、乾燥させることにより、パターンを描画する。【選択図】図７
2008019060.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、
巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に順に配置された第１の保持機構、第２の保持機構、第３の保持機構、第４の保持機構が保持するステップと、
前記第１の保持機構および前記第４の保持機構を、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１の保持機構と前記第２の保持機構との間、および前記第３の保持機構と前記第４の保持機構との間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、
前記第２の保持機構および前記第３の保持機構を前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、
を有することを特徴とするアライメント方法。
【請求項２】
帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、
巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、を用いて搬送するステップと、
前記ワークを、前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置されたステージに載置するステップと、
前記ワークを、前記第１の搬送ローラの上流側に配置された第１のクランプと、前記第２の搬送ローラの下流側に配置された第２のクランプと、によって保持するステップと、
前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、
前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、
を有することを特徴とするアライメント方法。
【請求項３】
請求項２に記載のアライメント方法であって、
前記ワークを前記ステージに載置するステップは、前記ステージが前記ワークを吸着するステップを含んでいることを特徴とするアライメント方法。
【請求項４】
請求項２に記載のアライメント方法であって、
少なくとも前記ワークに弛みを生じさせるステップにおいて、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラは、前記ワークを搬送方向に対して固定することを特徴とするアライメント方法。
【請求項５】
請求項２に記載のアライメント方法であって、
前記ワークに弛みを生じさせるステップは、前記ワークが前記アライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するように前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを移動させるステップを含むことを特徴とするアライメント方法。
【請求項６】
帯状のワークにパターンを描画する描画方法であって、
巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、を用いて搬送するステップと、
前記ワークを、前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置されたステージに載置するステップと、
前記ワークを、前記第１の搬送ローラの上流側に配置された第１のクランプと、前記第２の搬送ローラの下流側に配置された第２のクランプと、によって保持するステップと、
前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、
前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に、前記ステージに対向して配置された液滴吐出ヘッドに対して移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、
前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、
前記機能液を乾燥させて前記ワーク上に前記パターンを形成するステップと、
を有することを特徴とする描画方法。
【請求項７】
帯状のワークをアライメントするアライメント機構であって、
前記ワークを巻出す巻出しリールと、
前記ワークを巻取る巻取りリールと、
前記巻出しリールから前記巻取りリールに至る搬送経路に順に配置され、前記ワークを保持可能に構成された第１の保持機構、第２の保持機構、第３の保持機構、第４の保持機構と、
前記第１の保持機構、前記第２の保持機構、前記第３の保持機構、前記第４の保持機構の動作を制御する制御部であって、
前記第１の保持機構、前記第２の保持機構、前記第３の保持機構、前記第４の保持機構が、前記ワークを保持するステップと、
前記第１の保持機構および前記第４の保持機構を、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１の保持機構と前記第２の保持機構との間、および前記第３の保持機構と前記第４の保持機構との間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、
前記第２の保持機構および前記第３の保持機構を前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、
を少なくとも実行させる制御部と、
を備えることを特徴とするアライメント機構。
【請求項８】
帯状のワークをアライメントするアライメント機構であって、
前記ワークを巻出す巻出しリールと、
前記ワークを巻取る巻取りリールと、
前記巻出しリールから前記巻取りリールに至る搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、
前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、
前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置された、前記ワークを載置するステージと、
前記第１の搬送ローラの上流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第１のクランプと、
前記第２の搬送ローラの下流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第２のクランプと、
前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージ、前記第１のクランプ、前記第２のクランプの動作を制御する制御部であって、
前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラが前記ワークを搬送するステップと、
前記第１のクランプおよび前記第２のクランプが、前記ワークを保持するステップと、
前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、
前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、
を少なくとも実行させる制御部と、
を備えることを特徴とするアライメント機構。
【請求項９】
請求項８に記載のアライメント機構であって、
前記ステージは吸着機構を有し、前記ワークを吸着可能に構成されていることを特徴とするアライメント機構。
【請求項１０】
請求項８に記載のアライメント機構であって、
少なくとも前記ワークに弛みを生じさせるステップにおいて、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラは、前記ワークを搬送方向に対して固定することを特徴とするアライメント機構。
【請求項１１】
請求項８に記載のアライメント機構であって、
前記ワークに弛みを生じさせるステップは、前記ワークが前記アライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するように前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを移動させるステップを含むことを特徴とするアライメント機構。
【請求項１２】
帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、
前記ワークを巻出す巻出しリールと、
前記ワークを巻取る巻取りリールと、
前記巻出しリールから前記巻取りリールに至る搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、
前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、
前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置された、前記ワークを載置するステージと、
前記第１の搬送ローラの上流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第１のクランプと、
前記第２の搬送ローラの下流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第２のクランプと、
前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージ、前記第１のクランプ、前記第２のクランプ、前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、
前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラが前記ワークを搬送するステップと、
前記第１のクランプおよび前記第２のクランプが、前記ワークを保持するステップと、
前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、
前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に、前記液滴吐出ヘッドに対して移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、
前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、
を少なくとも実行させる制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アライメント方法、描画方法、アライメント機構および描画装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示装置に用いられるＣＯＦ（Chip On Film）には、各種配線が形成されるが、近年ではこうしたフィルム状の基板に配線を形成する技術として、液滴吐出方式の利用が拡大する傾向にある。液滴吐出方式による塗布技術は、一般に、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから金属材料を含む機能液を液滴として吐出し、その液滴を基板上に繰り返し付着させて塗布膜を描画形成するものであり、機能液の消費に無駄が少なく、任意のパターンをフォトリソグラフィーなどの手段を用いず直接塗布することができるといった利点を有している。
【０００３】
この種の配線形成においては、まず帯状のワーク（例えばフィルムキャリアテープ）をリールトゥリール方式等によって搬送し、ステージ上に固定する。そして、ステージ（すなわち、これに固定されたワーク）の位置を微調整してワークと液滴吐出ヘッドとの相対位置関係を調整するいわゆるアライメントを行った後に、ワーク上に液滴を吐出するのが一般的である。ワークの搬送方法としては、例えば特許文献１に記載の方法が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２６７３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ワークに弛みのない状態でアライメントのためにステージおよびこれに固定されたワークを移動させると、ワークにねじれや撓みが生じ、ワークに形成された配線が断線したり、ワーク自体が変形、損傷することがあった。
【０００６】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、ワークおよびワークに形成された配線に損傷を与えにくいアライメント方法およびアライメント機構を提供すること、また、ワークおよびワークに形成された配線にほとんど損傷を与えない描画方法および描画装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のアライメント方法は、帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に順に配置された第１の保持機構、第２の保持機構、第３の保持機構、第４の保持機構が保持するステップと、前記第１の保持機構および前記第４の保持機構を、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１の保持機構と前記第２の保持機構との間、および前記第３の保持機構と前記第４の保持機構との間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、前記第２の保持機構および前記第３の保持機構を前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、を有することを特徴とする。
【０００８】
この方法によれば、ワークを第２の保持機構および第３の保持機構とともに移動させてアライメントを行う前に、ワークのうちアライメントに係る部分の前後にあらかじめ弛みを生じさせることができる。このため、アライメントの際にワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。ここに、「保持する」とは、その位置で少なくともワークが搬送方向に動かないように固定することを指す。
【０００９】
本発明のアライメント方法は、帯状のワークをアライメントするアライメント方法であって、巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、を用いて搬送するステップと、前記ワークを、前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置されたステージに載置するステップと、前記ワークを、前記第１の搬送ローラの上流側に配置された第１のクランプと、前記第２の搬送ローラの下流側に配置された第２のクランプと、によって保持するステップと、前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、を有することを特徴とする。
【００１０】
この方法によれば、ワークをステージや搬送ローラとともに移動させてアライメントを行う前に、ワークのうちアライメントに係る部分の前後にあらかじめ弛みを生じさせることができる。このため、アライメントの際にワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。
【００１１】
上記アライメント方法において、前記ワークを前記ステージに載置するステップは、前記ステージが前記ワークを吸着するステップを含んでいることが好ましい。この方法によれば、ワークとステージとが一体的に振る舞うこととなるため、ステージを移動させることによってワークを正確にアライメントすることができる。
【００１２】
上記アライメント方法においては、少なくとも前記ワークに弛みを生じさせるステップにおいて、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラは、前記ワークを搬送方向に対して固定することが好ましい。この方法によれば、第１のクランプと第１の搬送ローラとの間、および第２のクランプと第２の搬送ローラとの間のワークに確実に弛みを生じさせることができるとともに、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間のワークに弛みが生じるのを防ぐことができる。
【００１３】
上記アライメント方法において、前記ワークに弛みを生じさせるステップは、前記ワークが前記アライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するように前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを移動させるステップを含むことが好ましい。この方法によれば、アライメントの際にワークがどのように移動しても弛みが残存するので、ワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。
【００１４】
本発明の描画方法は、帯状のワークにパターンを描画する描画方法であって、巻出しリールから巻取りリールに至る搬送経路に掛け渡された前記ワークを、前記搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、を用いて搬送するステップと、前記ワークを、前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置されたステージに載置するステップと、前記ワークを、前記第１の搬送ローラの上流側に配置された第１のクランプと、前記第２の搬送ローラの下流側に配置された第２のクランプと、によって保持するステップと、前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に、前記ステージに対向して配置された液滴吐出ヘッドに対して移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、前記機能液を乾燥させて前記ワーク上に前記パターンを形成するステップと、を有することを特徴とする。
【００１５】
この方法によれば、ワークをステージや搬送ローラとともに移動させてアライメントを行う前に、ワークのうちアライメントに係る部分の前後にあらかじめ弛みを生じさせることができる。このため、アライメントの際にワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。また、このようにアライメントされたワーク上に、正確にパターンを描画することができる。
【００１６】
上記描画方法において、前記ワークを前記ステージに載置するステップは、前記ステージが前記ワークを吸着するステップを含んでいることが好ましい。また、上記描画方法のうち、少なくとも前記ワークに弛みを生じさせるステップにおいて、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラは、前記ワークを搬送方向に対して固定することが好ましい。また、上記描画方法において、前記ワークに弛みを生じさせるステップは、前記ワークが前記アライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するように前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを移動させるステップを含むことが好ましい。
【００１７】
本発明のアライメント機構は、帯状のワークをアライメントするアライメント機構であって、前記ワークを巻出す巻出しリールと、前記ワークを巻取る巻取りリールと、前記巻出しリールから前記巻取りリールに至る搬送経路に順に配置され、前記ワークを保持可能に構成された第１の保持機構、第２の保持機構、第３の保持機構、第４の保持機構と、前記第１の保持機構、前記第２の保持機構、前記第３の保持機構、前記第４の保持機構の動作を制御する制御部であって、前記第１の保持機構、前記第２の保持機構、前記第３の保持機構、前記第４の保持機構が、前記ワークを保持するステップと、前記第１の保持機構および前記第４の保持機構を、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１の保持機構と前記第２の保持機構との間、および前記第３の保持機構と前記第４の保持機構との間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、前記第２の保持機構および前記第３の保持機構を前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、ワークを第２の保持機構および第３の保持機構とともに移動させてアライメントを行う前に、ワークのうちアライメントに係る部分の前後にあらかじめ弛みを生じさせることができる。このため、アライメントの際にワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。
【００１９】
本発明のアライメント機構は、帯状のワークをアライメントするアライメント機構であって、前記ワークを巻出す巻出しリールと、前記ワークを巻取る巻取りリールと、前記巻出しリールから前記巻取りリールに至る搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置された、前記ワークを載置するステージと、前記第１の搬送ローラの上流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第１のクランプと、前記第２の搬送ローラの下流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第２のクランプと、前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージ、前記第１のクランプ、前記第２のクランプの動作を制御する制御部であって、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラが前記ワークを搬送するステップと、前記第１のクランプおよび前記第２のクランプが、前記ワークを保持するステップと、前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、ワークをステージや搬送ローラとともに移動させてアライメントを行う前に、ワークのうちアライメントに係る部分の前後にあらかじめ弛みを生じさせることができる。このため、アライメントの際にワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。
【００２１】
上記アライメント機構においては、前記ステージは吸着機構を有し、前記ワークを吸着可能に構成されていることが好ましい。この構成によれば、ワークとステージとが一体的に振る舞うこととなるため、ステージを移動させることによってワークを正確にアライメントすることができる。
【００２２】
上記アライメント機構においては、少なくとも前記ワークに弛みを生じさせるステップにおいて、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラは、前記ワークを搬送方向に対して固定することが好ましい。この構成によれば、第１のクランプと第１の搬送ローラとの間、および第２のクランプと第２の搬送ローラとの間のワークに確実に弛みを生じさせることができるとともに、第１の搬送ローラと第２の搬送ローラとの間のワークに弛みが生じるのを防ぐことができる。
【００２３】
上記アライメント機構において、前記ワークに弛みを生じさせるステップは、前記ワークが前記アライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するように前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを移動させるステップを含むことが好ましい。この構成によれば、アライメントの際にワークがどのように移動しても弛みが残存するので、ワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。
【００２４】
本発明の描画装置は、帯状のワークにパターンを描画する描画装置であって、前記ワークを巻出す巻出しリールと、前記ワークを巻取る巻取りリールと、前記巻出しリールから前記巻取りリールに至る搬送経路に配置された第１の搬送ローラと、前記搬送経路において前記第１の搬送ローラの下流側に配置された第２の搬送ローラと、前記第１の搬送ローラと前記第２の搬送ローラとの間に配置された、前記ワークを載置するステージと、前記第１の搬送ローラの上流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第１のクランプと、前記第２の搬送ローラの下流側に配置され、前記搬送経路に沿って移動可能な第２のクランプと、前記ステージに載置された前記ワークに、機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージ、前記第１のクランプ、前記第２のクランプ、前記液滴吐出ヘッドの動作を制御する制御部であって、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラが前記ワークを搬送するステップと、前記第１のクランプおよび前記第２のクランプが、前記ワークを保持するステップと、前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを、互いの距離を縮める方向に移動させて、前記第１のクランプと前記第１の搬送ローラとの間、および前記第２のクランプと前記第２の搬送ローラとの間の前記ワークに弛みを生じさせるステップと、前記第１の搬送ローラ、前記第２の搬送ローラ、前記ステージを、前記ワークと一体的に、前記液滴吐出ヘッドに対して移動させて、前記ワークのアライメントを行うステップと、前記液滴吐出ヘッドから前記ワーク上の前記パターンに応じた位置へ機能液を吐出するステップと、を少なくとも実行させる制御部と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、ワークをステージや搬送ローラとともに移動させてアライメントを行う前に、ワークのうちアライメントに係る部分の前後にあらかじめ弛みを生じさせることができる。このため、アライメントの際にワークに過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、ワークおよびワークに形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。また、このようにアライメントされたワーク上に、正確にパターンを描画することができる。
【００２６】
上記描画装置において、前記ステージは、載置された前記ワークを吸着することが好ましい。また、上記描画装置は、少なくとも前記ワークに弛みを生じさせるステップにおいて、前記第１の搬送ローラおよび前記第２の搬送ローラが、前記ワークを前記搬送方向に対して固定することが好ましい。また、上記描画装置において、前記ワークに弛みを生じさせるステップは、前記ワークが前記アライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するように前記第１のクランプおよび前記第２のクランプを移動させるステップを含むことが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
【００２８】
（Ａ．描画装置）
図１は、本発明の実施形態に係る描画装置１の模式側面図である。描画装置１は、基台１１と、基台１１の上に配置された巻出しリール８４、巻取りリール８５、ステージ５０、液滴吐出ヘッド９０等を有している。描画装置１は、巻出しリール８４から巻取りリール８５に至る搬送経路に掛け渡されたテープ８０に、液滴吐出ヘッド９０から液滴を吐出して、パターンを描画する装置である。テープ８０は、本発明における帯状のワークに対応する。本稿では、搬送経路上の２点を比較する場合、巻出しリール８４に近い側を上流側、巻取りリール８５に近い側を下流側と呼ぶ。
【００２９】
ここで、テープ８０について説明する。図２は、本発明における帯状のワークの一態様である様々なテープ（ＴＡＢテープ；ワーク）８１〜８３の部分平面図である。上記したテープ８０は、これらのテープ８１〜８３のいずれであってもよく、また帯状のワークであればこれ以外の態様とすることもできる。
【００３０】
テープ８１の幅方向両端部には、テープの搬送や巻取りのためのスプロケット孔８６が連続形成され、テープ８１の幅方向中央部には、半導体装置を実装したり配線を形成したりするための作業領域８８が連続形成されている。この作業領域８８は、例えばデバイス毎に設定されるものである。そして、上記の描画装置１は、この作業領域８８に配線パターンを描画形成するものである。
【００３１】
上述した作業領域８８の大きさに対応して、また幅方向における作業領域８８の配列数に応じて、幅寸法の異なる複数種類のテープ８１，８２，８３が存在する。ここで、幅寸法は、例えば４８ｍｍ、７０ｍｍ、１５０ｍｍ等とすることができる。
【００３２】
各テープ８１〜８３における各作業領域８８には、テープ８１〜８３を位置決めする際に観察されるアライメントマークＡＭが、例えばそれぞれ３個ずつ形成されている。なお、アライメントマークＡＭの形状は、計測方法等によって各種存在するが、ここでは円形のマークとし、矩形の作業領域８８の３つのコーナー部に配置されるものとして図示している。
【００３３】
図１に戻り、描画装置１の構成について詳述する。巻出しリール８４は、テープ８０の搬送に合わせて回転してテープ８０を順次巻出すリールである。一方、巻取りリールは、テープ８０の搬送に合わせて回転してテープ８０を巻取るリールである。テープ８０は、巻出しリール８４から巻取りリール８５に至る搬送経路に掛け渡されており、その進行方向（正搬送方向）は図中Ｙ軸の正方向である。言い換えれば、上流側から下流側へ向かう向きが正搬送方向である。本稿において「正搬送方向」は、Ｙ軸の正方向を指すとともに、テープ８０をＹ軸の正方向に搬送させるようなスプロケット（またはローラ）の回転方向を指す。また、「逆搬送方向」は、Ｙ軸の負方向を指すとともに、テープ８０をＹ軸の負方向に搬送させるようなスプロケット（またはローラ）の回転方向を指す。
【００３４】
上記搬送経路には、巻出しリール８４に近い方から、補助ローラ７５、クランプ７７、スプロケット７１および対向ローラ７３、ステージ５０および液滴吐出ヘッド９０、スプロケット７２および対向ローラ７４、クランプ７８、スプロケット７６が配置されている。これらの構成要素は、直接または間接的に基台１１に取り付けられている。
【００３５】
スプロケット７１，７２，７６は、その歯をテープ８０のスプロケット孔８６にかけた状態で回転することにより、テープ８０を搬送することができる（図４参照）。あるいは、テープ８０が固定されている場合には、歯をテープ８０のスプロケット孔８６にかけた状態でトルクをかけることにより、テープ８０に張力を印加することができる。スプロケット７１，７２，７６は、図示しないサーボモータによって駆動される。スプロケット７１，７２は、それぞれ本発明における第１の搬送ローラ、第２の搬送ローラに対応する。スプロケット７１，７２にそれぞれ対向する位置には、対向ローラ７３，７４が配置されている。対向ローラ７３，７４は、スプロケット７１，７２との間でテープ８０を挟むことで、テープ８０がスプロケット７１，７２から外れるのを防ぐ役割を果たす。
【００３６】
上記複数のスプロケットのうち、スプロケット７６には、常に正搬送方向の一定の大きさのトルクがかかっており、スプロケット７１には、これと略同じ大きさの逆搬送方向のトルクが常にかかっている。こうした機構は、スプロケット７６，７１に接続されたサーボモータの駆動力を電磁クラッチ（不図示）によって調整することによって実現される。上記構成により、その他の構成要素の作用を考えない場合、テープ８０はスプロケット７６とスプロケット７１との間に一定のテンション（張力）を有した状態で静止する。この状態でスプロケット７２を正搬送方向に回転させることにより、テープ８０を正搬送方向に搬送することができる。
【００３７】
補助ローラ７５は、駆動力が与えられておらず、自由に回転してテープ８０を支持するローラである。また、巻出しリール８４と補助ローラ７５との間、およびスプロケット７６と巻取りリール８５との間に位置するテープ８０は、弛ませてある。これにより、上記したようにテープ８０が搬送されるときに、テープに過剰な張力がかかって変形、損傷するのを防ぐことができる。
【００３８】
クランプ７７，７８は、テープ８０の両端部を保持することができる。ここで、テープ８０の両端部とは、スプロケット孔８６が配置された、幅方向に見た場合における端部であって、作業領域８８を含まない部位である。クランプ７７（７８）は、テープ８０を下から支持する支持部７７ｂ（７８ｂ）と、Ｚ軸方向に可動な押圧部７７ａ（７８ａ）とを有しており、支持部７７ｂ（７８ｂ）と押圧部７７ａ（７８ａ）との間にテープ８０を挟むことによってテープ８０を保持する。クランプ７７，７８は、基台１１に設けられたクランプスライダ１３に取り付けられており、このクランプスライダ１３によってＹ軸方向に移動することができる。
【００３９】
なお、クランプ７７、スプロケット７１、スプロケット７２、クランプ７８は、この順に、本発明における第１の保持機構、第２の保持機構、第３の保持機構、第４の保持機構にも対応する。
【００４０】
次に、ステージ５０の周辺に配置された構成要素について説明する。図３は、ステージ５０と、その周辺に配置された各種ユニットを示す平面図である。ステージ５０は、吸着機構を備えており、テープ８０を載置するとともに、テープ８０を吸着保持することができる。テープ８０のうちステージ５０に載置された部位に対して、パターンの描画が行われる。ステージ５０の上方には、Ｘ軸方向に延びた一対のフレーム２０が配置されている。フレーム２０には、リニアモータ等の駆動装置によりＸ軸方向に独立して駆動される描画ユニット２２、アライメントユニット２４およびＵＶ照射ユニット２６が架設されている。描画ユニット２２には液滴吐出ヘッド９０が、アライメントユニット２４にはカメラ３２，３３が、ＵＶ照射ユニット２６にはＵＶ照射装置２７が、それぞれ搭載されている。
【００４１】
図４は、ステージ５０およびアライメントユニット２４の外観斜視図である。ステージ５０は、定盤６０の表面に多孔質板５１を配置（埋設）して構成され、その多孔質板５１の表面に上述したテープ８０を吸着しうるようになっている。テープ８０の吸着位置は、多孔質板５１の幅方向中央部であり、テープ８０の中心線が多孔質板５１の中心線と一致する位置に設定されている。これにより、テープ８０のサイズの変更にともなう描画装置１の段取り換えを最小限にとどめることができるようになっている。
【００４２】
この多孔質板５１は、樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する手法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質板５１を樹脂材料で構成することにより、多孔質板５１の表面に吸着されるテープ８０の損傷を防止することができる。
【００４３】
多孔質板５１には、本発明における吸着機構としての負圧吸引装置（不図示）が接続されており、多孔質板５１の表面全体にわたってほぼ均一に負圧が供給される。したがって、幅の異なる複数種のテープ８０に対しても、一様に吸着保持可能な構成となっている。
【００４４】
また、ステージ５０は、その下方に配置された可動プレート１８に固定されている。この可動プレート１８は、モータ１６によりθｚ方向（Ｚ軸周りの回転方向）に回動しうるようになっている。そのモータ１６はスライダ１４に固定されている。このスライダ１４は、ベースプレート１２の表面をＹ軸方向に移動しうるようになっている。これによりステージ５０は、ベースプレート１２に対してθｚ方向およびＹ軸方向に移動しうるようになっている。ここで、ベースプレート１２は、基台１１（図１）に固定されている。
【００４５】
また、可動プレート１８には、スプロケット７１，７２、およびこれらに対向配置された対向ローラ７３，７４も取り付けられている。そうすると、ステージ５０、スプロケット７１，７２、対向ローラ７３，７４は、いずれも可動プレート１８に取り付けられているので、可動プレート１８が移動した際には、互いの相対位置関係を保ったまま移動する。このとき、テープ８０がステージ５０に吸着され、スプロケット７１，７２の回転が止まっていれば、テープ８０のうちステージ５０、スプロケット７１，７２に固定された部分は、可動プレート１８とともに移動することとなる。
【００４６】
アライメントユニット２４は、上述したフレーム２０に沿って移動する移動フレーム３１、移動フレーム３１に搭載されたカメラ３２，３３および押さえ機構３４等から構成されている。カメラ３２，３３は、ＣＣＤカメラ等で構成されるものであり、テープ８０に形成されたアライメントマークＡＭ（図２参照）を計測し、制御部９９に出力する。制御部９９は、カメラ３２，３３の計測結果に基づいて、モータ１６、スライダ１４を駆動して可動ステージ１８（ステージ５０）の動作を制御するとともに、押さえ機構３４の動作を制御する。また、制御部９９は、巻出しリール８４、巻取りリール８５、スプロケット７１，７２，７６、クランプ７７，７８、および液滴吐出ヘッド９０（図１）の駆動を制御する。
【００４７】
ここで、制御部９９と、図１に示した構成要素（液滴吐出ヘッド９０を除く）を含んで構成される機構が、本発明におけるアライメント機構に対応する。すなわち、基台１１と、その上に配置された巻出しリール８４、巻取りリール８５、スプロケット７１，７２，７６、クランプ７７，７８、ステージ５０、可動ステージ１８を含む機構が、本発明におけるアライメント機構に対応する。
【００４８】
図４に戻り、カメラ３２は、移動フレーム３１に一体的に固定されているが、カメラ３３は、移動フレーム３１に対してＹ軸方向に移動自在に設けられたスライダ３５に搭載されることにより、制御部９９の制御下でカメラ３２に対してＹ軸方向に移動可能となっている。
【００４９】
押さえ機構３４は、Ｙ軸方向に延在する一対の押さえ部材３６を有しており、全体がガイドフレーム４１に沿ってＺ軸方向に移動可能な構成となっている。ここで、ガイドフレーム４１は、移動フレーム３１にＺ軸方向に延びて設けられたものである。また、一対（−Ｘ側、＋Ｘ側）の押さえ部材３６のうち、＋Ｘ側の押さえ部材３６は、ガイドフレーム４１に対してＸ軸方向に移動可能な構成となっている。すなわち、一対の押さえ部材３６は、その幅を適宜変更することができる。
【００５０】
上記したカメラ３３のＹ軸方向の移動、押さえ機構３４全体のＺ軸方向の移動、および＋Ｘ側の押さえ部材３６のＸ軸方向の移動は、制御部９９の制御により駆動する直動モータ等の駆動装置によって行われる。
【００５１】
図３に戻り、描画ユニット２２には、液滴吐出ヘッド９０が搭載されている。液滴吐出ヘッド９０は、主走査方向に移動しながらステージ５０に載置されたテープ８０へ液滴を吐出することができる。ここで、主走査方向はＸ軸方向に略平行であり、テープ８０の長さ方向に直交する方向である。図５は、液滴吐出ヘッド９０の側面断面図である。液滴吐出ヘッド９０は、ヘッド本体９０Ａと、ヘッド本体９０Ａの一方面に装着されたノズルプレート９２と、ヘッド本体９０Ａの他方面に装着されたピエゾ素子９８とを主として構成されている。
【００５２】
液滴吐出面を構成するノズルプレート９２には、液滴を吐出するための複数のノズル９１が整列配置されている。また、ヘッド本体９０Ａには、各ノズル９１と連通する複数の圧力室９３が形成されている。各圧力室９３はリザーバ９５に接続され、リザーバ９５は機能液導入口９６に接続されている。そして、機能液９は、機能液導入口９６からリザーバ９５を通って各圧力室９３に供給されるようになっている。一方、ヘッド本体９０Ａの上端面には、可撓性を有する振動板９４が装着されている。その振動板９４を挟んで各圧力室９３の反対側には、それぞれピエゾ素子９８が設けられている。ピエゾ素子９８は、ＰＺＴ（登録商標）等の圧電材料を電極で挟持したものである。その電極は、制御部９９に接続されている。
【００５３】
そして制御部９９からピエゾ素子９８に駆動電圧を印加すると、ピエゾ素子９８が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９８が収縮変形すると、圧力室９３内の圧力が低下して、リザーバ９５から圧力室９３に機能液９が流入する。またピエゾ素子９８が膨張変形すると、圧力室９３内の圧力が増加して、ノズル９１から機能液９の液滴が吐出される。なお、ピエゾ素子９８に印加する駆動電圧を制御することにより、液滴の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００５４】
ここで、機能液９について説明する。配線パターン形成に用いられる機能液９は、導電性微粒子を分散媒に分散した分散液からなるものである。本実施形態では、導電性微粒子として、例えば、金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド９０のノズル９１に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーテイング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【００５５】
分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。
【００５６】
上記導電性微粒子の分散液の表面張力は、０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液９を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液９のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えるとノズル９１の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、被吐出面との接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液９の被吐出面への濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトン等の有機化合物を含んでもよい。
【００５７】
上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液９を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合にはノズル９１の周辺部が機能液９の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、ノズル９１の目詰まり頻度が高くなり円滑な機能液９の吐出が困難となる。
【００５８】
なお液滴吐出方式として、ピエゾ素子の変形により圧力室内の圧力を変化させる上記ピエゾ方式の他に、機能液を加熱して気泡（バブル）を発生させることにより圧力室内の圧力を変化させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、機能液を加熱しないので材料の組成に悪影響を与えないなどの点で優れている。
【００５９】
ＵＶ照射ユニット２６には、機能液９の乾燥等のためのＵＶランプ等を有するＵＶ照射装置２７が搭載されている。
【００６０】
本実施形態の描画装置１は、以上のように構成されている。
【００６１】
（Ｂ．描画方法）
次に、上述した描画装置１を用いた描画方法について図６および図７を用いて説明する。図６は、本実施形態に係る描画方法の工程図である。また、図７は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における描画装置１およびテープ８０の断面図である。以下、図６に示す工程図に沿って説明する。
【００６２】
まず、ステップＳ１では、スプロケット７１，７２，７６の動作によって、テープ８０のうちパターンを描画すべき部位がステージ５０上に位置するように、テープ８０を搬送する（図７（ａ））。このステップは、上述したように、スプロケット７１，７６に大きさ一定で逆方向のトルクをかけてテープ８０が一定のテンションを有する状態に維持しながら、スプロケット７２を正搬送方向に回転させることによって行う。同時に、テープ８０の搬送量に応じて巻出しリール８４および巻取りリール８５を適宜回転させて、巻出しリール８４からテープ８０を必要量だけ繰り出すとともに、巻取りリール８５でテープ８０を巻取る。このステップにおいては、クランプ７７，７８は開放されている。また、このステップが終了してテープ８０が所定位置に移動した後は、スプロケット７１，７２が固定され、スプロケット７１，７２の間にあるテープ８０は、その状態に維持される。
【００６３】
次に、ステップＳ２では、テープ８０をステージ５０（多孔質板５１）の表面に吸着させて、ステージ５０上にテープ８０を載置する。このステップは、例えば以下のようにして行われる。
【００６４】
まず、アライメントユニット２４をフレーム２０に沿って移動させ（図３参照）、アライメントユニット２４に含まれる押さえ機構３４をステージ５０に対向する位置に配置する。次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って下降させることにより、押さえ機構３４の押さえ部材３６をテープ８０の両端部に当接させ（図４参照）、ステージ５０に向かって押圧する。このとき、押さえ部材３６は、あらかじめテープ８０の幅方向の両端部に当接するように位置が調整されている。このように押さえ機構３４がテープ８０の両端部を押圧することによって、テープ８０に反りがある場合であっても、反りが矯正された状態でステージ５０に密着する。また、こうした方法によれば、テープ８０のうち両端部のみを押圧し、作業領域８８には押さえ部材３６が当接しないため、作業領域８８上の機能液９を吐出すべき領域に、傷や打痕等を生じさせることがない。
【００６５】
この状態で、ステージ５０がテープ８０を吸着する。すなわち、ステージ５０の負圧吸引装置を作動させて、テープ８０を多孔質板５１の表面に吸着保持させることにより、テープ８０がステージ５０に吸着される。次に、支持フレーム４０をガイドフレーム４１に沿って上昇させることにより、押さえ機構３４によるテープ８０に対する押圧を解除する。ここで、押さえ機構３４による押圧を解除した際には、テープ８０はステージ５０に吸着されているので、テープ８０に再び反りが生ずることはない。
【００６６】
次に、ステップＳ３では、クランプ７７，７８がテープ８０を保持する（図７（ｂ））。このステップは、クランプ７７（７８）の押圧部７７ａ（７８ａ）を、テープ８０を介して支持部７７ｂ（７８ｂ）に押圧することによって行う。このとき、テープ８０のうちクランプ７７，７８が当接する部位は、作業領域８８を含まない両端部である。これにより、作業領域８８のうち機能液９を吐出すべき領域に、傷や打痕等が生じるのを防ぐことができる。
【００６７】
次に、ステップＳ４では、クランプ７７，７８を、互いの距離を縮める方向に移動させて、クランプ７７とスプロケット７１との間、およびスプロケット７２とクランプ７８との間のテープ８０に弛みを生じさせる（図７（ｃ））。このステップは、クランプ７７をクランプスライダ１３に沿って正搬送方向に移動させるとともに、クランプ７８をクランプスライダ１３に沿って逆搬送方向に移動させて行う。このとき、クランプ７７，７８はテープ８０を保持した状態であるので、テープ８０もクランプ７７，７８の移動とともに変形する。一方で、テープ８０は、スプロケット７１，７２の位置においてはスプロケット７１，７２によって固定されているので、クランプ７７，７８の移動によって上記のような弛みを生じさせることができる。
【００６８】
次に、ステップＳ５では、カメラ３２，３３によりテープ８０上のアライメントマークＡＭを撮影する。例えば、テープ８０が図２に示すテープ８１のような形状を有するものであれば、カメラ３２によりアライメントマークＡＭ１を撮影、計測し、カメラ３３によりアライメントマークＡＭ２を撮影、計測する。このとき、テープ８０は、ステップＳ２を経て反りを矯正された状態でステージ５０に吸着されているので、アライメントマークＡＭの正確な撮影、計測を行うことができる。
【００６９】
上記のように２つのカメラ３２，３３によって同時にアライメントマークＡＭの撮影を行うために、ステップＳ５の前に、カメラ３２，３３をあらかじめ以下のように移動させておく。すなわち、カメラ３２の計測範囲にアライメントマークＡＭ１が位置するように、移動フレーム３１のＸ軸方向の位置を調整し、アライメントマークＡＭ１、ＡＭ２の相対位置関係に応じた距離だけ、スライダ３５を介してカメラ３３をＹ軸方向に移動させておく。
【００７０】
これらの撮影結果から、制御部９９はテープ８０の作業領域８８の現在位置を算出し、さらに所定位置からのオフセット量を算出する。
【００７１】
次に、ステップＳ６では、上記算出結果に基づいて、可動ステージ１８（ステージ５０）を移動させてテープ８０のアライメントを行う。より詳しくは、制御部９９が、上記算出結果に基づいて、スライダ１４およびモータ１６を駆動して可動ステージ１８をＹ軸方向およびθｚ方向に移動させ（図４参照）、ステージ５０の表面に吸着されたテープ８０を液滴吐出ヘッド９０に対して相対移動させて位置合わせをする。この位置合わせは、例えばアライメントマークＡＭ１とアライメントマークＡＭ２とを結んだ直線が、液滴吐出ヘッド９０の主走査方向と直交する状態となるように行う。なお、テープ８０のＸ軸方向についての位置合わせは、描画ユニット２２の移動量を調整することによって行われる。
【００７２】
上記アライメントの際には、可動ステージ１８に固定されたステージ５０、スプロケット７１，７２、対向ローラ７３，７４も、可動ステージ１８とともに移動する。そして、テープ８０も、ステージ５０に吸着され、かつスプロケット７１，７２によって固定されているので、スプロケット７１からスプロケット７２に至るまでの部分は、可動プレート１８とともに移動することとなる。
【００７３】
このとき、ステップＳ５においてテープ８０に弛みが生成されているため、テープ８０が可動ステージ１８とともに移動しても、上記弛みがその移動による変形を吸収する。このため、テープ８０に過度な張力やねじれ、撓み等が生じるのを防ぐことができ、テープ８０およびテープ８０に形成された配線に対して変形、損傷などを与えることなくアライメントを行うことができる。
【００７４】
遡って、ステップＳ４では、テープ８０がアライメントによって移動しうる範囲のうちいずれの場所に移動しても弛みが残存するようにクランプ７７，７８を移動させることが好ましい。換言すれば、ステップＳ４においては、テープ８０がアライメントによってどのように移動しても弛みが残るように弛みを生成することが好ましい。他方で、こうした条件を満足した上で、弛みを最小限にすることも好ましい。弛みをあまりに大きくすると、テープ８０が大きく変形する結果、テープ８０に形成された配線に変形、損傷を与えることがあるためである。
【００７５】
ここまでの工程は、本発明における描画方法の実施形態の一部であるとともに、本発明におけるアライメント方法の実施の一態様でもある。本発明のアライメント方法によれば、アライメントの際にテープ８０に過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、テープ８０およびテープ８０に形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。
【００７６】
次に、ステップＳ７では、液滴吐出ヘッド９０からテープ８０へ機能液９を吐出する（図７（ｄ））。より詳しくは、まず、ステップＳ６におけるテープ８０のアライメントが完了すると、フレーム２０に沿ってアライメントユニット２４を移動させて、ステージ５０（すなわちテープ８０）との対向位置から退避させるとともに、描画ユニット２２をＸ軸方向に移動させてステージ５０との対向位置に配置する。そして、液滴吐出ヘッド９０から機能液９を吐出することにより、テープ８０の作業領域８８のうち、配線パターンを形成すべき位置に機能液９が配置される。
【００７７】
次に、ステップＳ８では、ステップＳ７で吐出された機能液９を乾燥させてテープ８０上に配線パターンを形成する。より詳しくは、まず、ステップＳ７におけるテープ８０に対する液滴吐出処理が完了すると、フレーム２０に沿って描画ユニット２２を移動させて、ステージ５０（すなわちテープ８０）との対向位置から退避させるとともに、ＵＶ照射ユニット２６をＸ軸方向に移動させてステージ５０との対向位置に配置する。そして、ＵＶ照射装置２７からＵＶを照射することにより、テープ８０に吐出された機能液９を乾燥させる。これにより、機能液９に含まれていた溶媒が蒸発して除去されるとともに導電物質がテープ８０上に残り、当該導電物質からなる配線パターンが形成される。
【００７８】
なお、上述したステップＳ７およびステップＳ８を繰り返し行うことにより、同種または異種の被膜を積層形成することが可能である。異種の被膜を積層形成する場合には、１つの描画ユニット２２に異なる機能液９を吐出する複数の液滴吐出ヘッド９０を搭載してもよいし、異なる機能液９を吐出する液滴吐出ヘッド９０を備えた複数の描画ユニット２２を設けてもよい。また、機能液９の乾燥は必ずしも描画装置１に備えられたＵＶ照射ユニット２６によって行わなくてもよく、テープ８０の搬送路上に備えられた別の乾燥装置によって乾燥させる構成とすることもできる。
【００７９】
上記したステップＳ１からステップＳ８における、スプロケット７１，７２，７６、クランプ７７，７８、押さえ機構３４、支持フレーム４０、可動ステージ１８、ステージ５０、カメラ３２，３３、液滴吐出ヘッド９０、ＵＶ照射装置２７等の、描画装置１に含まれる各種構成要素の動作は、制御部９９による制御のもとに行われる。
【００８０】
以上のステップを経て、描画装置１によってテープ８０上に配線パターンが形成される。
【００８１】
この後、クランプ７７，７８がテープ８０を開放し、ステップ１からステップ８を含む描画方法を繰り返し行うことによって、テープ８０上に順次配線パターンを形成していくことができる。また、テープ８０の全ての作業領域８８に対する描画処理が終了したら、巻出しリール８４および巻取りリール８５とともにテープ８０を交換する。
【００８２】
以上説明したように、本実施形態の描画装置１を用いた描画方法では、アライメントの際にテープ８０に過度な張力やねじれ、撓み等が生じにくく、テープ８０およびテープ８０に形成されたパターンの変形、損傷等を防止することができる。また、このようにアライメントされたテープ８０上に、正確にパターンを描画することができる。
【００８３】
（Ｃ．液晶表示装置）
続いて、図８を用いて、上記描画装置１により配線パターン１１２が形成された回路基板１０３を有する液晶表示装置１０１について説明する。
【００８４】
図８は、電気光学装置である液晶表示装置１０１の分解斜視図である。液晶表示装置１０１は、大別するとカラー表示が可能な液晶パネル１０２と、液晶パネル１０２に接続される回路基板１０３とを備えている。また、必要に応じて、バックライト等の照明装置、その他の付帯機器が液晶パネル１０２に付設される。
【００８５】
液晶パネル１０２は、シール材１０４によって接着された一対の基板１０５ａおよび基板１０５ｂを有し、これらの基板１０５ａと基板１０５ｂとの間に形成される間隙、いわゆるセルギャップには液晶が封入されている。これらの基板１０５ａおよび基板１０５ｂは、一般には透光性材料、例えばガラス、合成樹脂等によって形成されている。基板１０５ａおよび基板１０５ｂの外側表面には偏光板１０６ａおよび偏光板１０６ｂが貼り付けられている。なお、図８においては、偏光板１０６ｂの図示を省略している。
【００８６】
また、基板１０５ａの内側表面には電極１０７ａが形成され、基板１０５ｂの内側表面には電極１０７ｂが形成されている。これらの電極１０７ａ、１０７ｂはストライプ状または文字、数字、その他の適宜のパターン状に形成されている。また、これらの電極１０７ａ、１０７ｂは、例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide：インジウムスズ酸化物）等の透光性材料によって形成されている。
【００８７】
基板１０５ａは、基板１０５ｂに対して張り出した張り出し部を有し、この張り出し部に複数の端子１０８が形成されている。これらの端子１０８は、基板１０５ａ上に電極１０７ａを形成するときに電極１０７ａと同時に形成される。したがって、これらの端子１０８は、例えばＩＴＯによって形成されている。これらの端子１０８には、電極１０７ａから一体に延びるもの、および導電材（不図示）を介して電極１０７ｂに接続されるものが含まれる。
【００８８】
なお、実際の電極１０７ａ，１０７ｂおよび端子１０８は、極めて狭い間隔をもって多数本が基板１０５ａおよび基板１０５ｂ上にそれぞれ形成されているが、図８においては、液晶パネル１０２の構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、それらの内の数本のみを図示することにして他の部分を省略してある。また、端子１０８と電極１０７ａとの接続状態および端子１０８と電極１０７ｂとの接続状態も図８においては図示を省略している。
【００８９】
回路基板１０３には、配線基板１０９上の所定位置に液晶駆動用ＩＣとしての半導体素子１００が実装されている。配線基板１０９は、例えばポリイミド等の可撓性を有するベース基板１１１の上に形成されたＣｕ等の金属膜をパターニングして配線パターン１１２を形成することによって製造されている。
【００９０】
なお、実際の配線パターン１１２は、極めて狭い間隔をもって多数本がベース基板１１１上に形成されているが、図８においては、構造の理解を容易にするために、それらの間隔を拡大して模式的に示すとともに、構造を簡略化して図示してある。また、図示は省略しているが、半導体素子１００が実装される部位以外の部位の所定位置には抵抗、コンデンサ、その他のチップ部品が実装されていてもよい。
【００９１】
本実施形態では、この回路基板１０３が、上述した描画装置１により配線パターン１１２が形成されたテープ８０をデバイス毎に切断することにより製造される。
【００９２】
本実施形態に係る液晶表示装置１０１においては、これに含まれる回路基板１０３が上述した描画装置１を用いて製造されているため、高精度に配線パターン１１２が形成された高品質の液晶表示装置１０１を得ることができる。
【００９３】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
【００９４】
（変形例１）
上記実施形態の描画方法においては、テープ８０を搬送するステップＳ１と、テープ８０をステージ５０に吸着させるステップＳ２との間に、ステージ５０を、テープ８０が載置されている側に平行移動させるステップがさらに含まれていてもよい。
【００９５】
図９は、このステップについて説明するための、描画装置１およびテープ８０の断面図である。この図に示すように、テープ８０は、スプロケット７１，７２の位置において固定されているとともに、ステージ５０が＋Ｚ方向に平行移動することによって、より大きな張力のかかる状態に張られることとなる。これにより、テープ８０が上に凸や下に凸の反りを有している場合であっても、ステージ５０上におけるテープ８０の反りを矯正または軽減することができる。
【００９６】
上記したステージ５０の平行移動だけでは反りが完全に矯正できない場合であっても、その後、押さえ機構３４によってテープ８０を押圧することによって矯正することができる。あらかじめステージ５０の平行移動によって反りを小さくしておくことによって、より容易にテープ８０の反りの矯正を行うことができる。
【００９７】
（変形例２）
上記実施形態においては、図１０（ａ）に示すように、テープ８０の搬送経路に適宜テープガイド７０を配置してもよい。本変形例では、スプロケット７１の上流側およびスプロケット７２の下流側にそれぞれテープガイド７０が配置されている。
【００９８】
図１０（ａ）のテープガイド７０のＸＺ平面における断面図を図１１（ａ）に示す。この図に示すように、テープガイド７０は、テープ８０の両側に１つずつ配置され、それぞれは、上側ブロック７０ａと下側ブロック７０ｂとを有して構成される。テープガイド７０は、上側ブロック７０ａと下側ブロック７０ｂとの間に設けられた空間にテープ８０をガイドすることにより、テープ８０の姿勢を所望の状態に維持するための部材である。
【００９９】
なお、図１１（ｂ）は、従来知られているテープガイド１７０の断面図である。このテープガイド１７０も、上側ブロック１７０ａと下側ブロック１７０ｂとを有して構成される。このテープガイド１７０は、テープ８０が位置すべき空間のほぼ延長線上に上側ブロック１７０ａと下側ブロック１７０ｂとの境界が存在しているため、この境界、すなわち上側ブロック１７０ａと下側ブロック１７０ｂとの隙間にテープ８０が入り込んで挟まってしまうことがあった。
【０１００】
これに対し、本実施形態のテープガイド７０は、テープ８０が位置すべき空間に対して直角な方向に上側ブロック７０ａと下側ブロック７０ｂとの境界が存在するため、この境界にテープ８０が入り込むことがないという利点を有する。
【０１０１】
図１０（ａ）のようにテープガイド７０を配置すると、上記ステップＳ４においてテープ８０に弛みが生成された場合は、図１０（ｂ）に示すように、クランプ７７とテープガイド７０との間、およびテープガイド７０とクランプ７８との間に弛みが生成される。この状態でアライメントを行う場合でも、アライメントに伴うテープ８０の変形を、上記弛みによって吸収することができる。この場合は、テープガイド７０を可動ステージ１８に固定し、アライメント時にはテープガイド７０も可動ステージ１８等とともに移動する構成とするのが好ましい。
【０１０２】
（変形例３）
上記実施形態では、本発明における第１の搬送ローラおよび第２の搬送ローラとしてスプロケット７１，７２を用いているが、これに限定する趣旨ではなく、これに代えて、例えば摩擦力によってテープ８０を搬送する搬送ローラ等を用いてもよい。また、クランプ７７，７８は、本実施形態のように物理的にテープ８０を挟んで保持するものの他にも、テープ８０を保持可能なものであれば種々の形態とすることができる。例えば、スプロケットや搬送ローラ等の搬送機能を有するものであって回転を固定することによりテープ８０を保持することができるものや、電磁力により保持するもの等でも良い。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の実施形態に係る描画装置の模式側面図。
【図２】本発明における帯状のワークの一態様である様々なテープの部分平面図。
【図３】ステージと、その周辺に配置された各種ユニットを示す平面図。
【図４】ステージおよびアライメントユニットの外観斜視図。
【図５】液滴吐出ヘッドの側面断面図。
【図６】本実施形態に係る描画方法の工程図。
【図７】（ａ）から（ｄ）は、本実施形態に係る描画方法の各ステップ（工程）における描画装置およびテープの断面図。
【図８】液晶表示装置の分解斜視図。
【図９】本発明の変形例における描画装置およびテープの断面図。
【図１０】（ａ）および（ｂ）は、本発明の変形例における描画装置およびテープの断面図。
【図１１】（ａ）および（ｂ）は、本発明の変形例に係るテープガイドの断面図。
【符号の説明】
【０１０４】
１…描画装置、９…機能液、１１…基台、１８…可動プレート、２２…描画ユニット、２４…アライメントユニット、２６…ＵＶ照射ユニット、３２，３３…カメラ、３４…押さえ機構、３６…押さえ部材、５０…ステージ、７０…テープガイド、７１，７２，７６…搬送ローラとしてのスプロケット、７３，７４…対向ローラ、７５…補助ローラ、７７，７８…クランプ、８０…帯状のワークとしてのテープ、８４…巻出しリール、８５…巻取りリール、９０…液滴吐出ヘッド、９９…制御部、１０１…液晶表示装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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