(57)【要約】【課題】試料中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板中に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比をＦＰ法に用いて、精度よく分析できる蛍光Ｘ線分析装置およびその方法を提供する。【解決手段】試料１３、Ｘ線管１、試料台８、検出手段１０および算出手段１６を備え、ＦＰ法で分析を行い、算出手段１６が、試料のコーティング層１３Ａ中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板１３Ｂに含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析装置。【選択図】図１
2008304405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に１次Ｘ線を照射するＸ線管と、
試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段と、
その検出手段で測定した蛍光Ｘ線の測定強度に基づく理論強度スケールへの換算強度と、試料におけるコーティング層の厚さおよび各元素の含有率を仮定して計算した蛍光Ｘ線の理論強度を対応する元素ごとに対比し、両強度が合致するように、前記仮定した各元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する算出手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記算出手段が、コーティングされた基板である試料のコーティング層中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】
請求項１において、前記内標準元素が試料の基板の主成分元素である蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
請求項１または２において、さらに、前記算出手段が、試料のコーティング層中に含有される指定された元素と同一元素である試料の基板に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線であって、前記コーティング層中に含有される指定された元素が測定される蛍光Ｘ線と異なる波長の蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記試料の基板に含有される指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記試料の基板に含有される指定された元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
試料にＸ線管からの１次Ｘ線を照射し試料から発生する２次Ｘ線の強度を検出器で測定して、測定した蛍光Ｘ線の測定強度に基づく理論強度スケールへの換算強度と、試料におけるコーティング層の厚さおよび各元素の含有率を仮定して計算した蛍光Ｘ線の理論強度を対応する元素ごとに対比し、両強度が合致するように、前記仮定した各元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法であって、
コーティングされた基板である試料のコーティング層中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項５】
請求項４において、前記内標準元素が試料の基板の主成分元素である蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項６】
請求項４または５において、さらに、試料のコーティング層中に含有される指定された元素と同一元素である試料の基板に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線であって、前記コーティング層中に含有される指定された元素が測定される蛍光Ｘ線と異なる波長の蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記試料の基板に含有される指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記試料の基板に含有される指定された元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コーティングされた基板である試料中に含有される指定された元素と基板中に含有される内標準元素との測定された蛍光Ｘ線の強度比をＦＰ法（ファンダメンタル・パラメータ法）に用いる内標準法を導入した蛍光Ｘ線分析装置およびその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、蛍光Ｘ線分析では基板にメッキされた試料などの薄膜試料の膜厚や組成分析に、薄膜ＦＰ法が用いられている。従来のＦＰ法では内標準法が用いられることがあり、バルク試料について、指定された元素の蛍光Ｘ線の強度と分析試料に添加した内標準元素の蛍光Ｘ線の強度との強度比を用いる技術がある（特許文献１参照）。この技術は、分析試料に添加した内標準元素の蛍光Ｘ線やバックグラウンドを内標準とし、共存元素によるＸ線の吸収補正を行っている。
【特許文献１】特開２００２−７１５９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、電子部品などの小さい試料では、蛍光Ｘ線分析装置で測定される試料の分析面積に比べて、試料の測定部位の面積が小さい場合がある。特に、ＷＥＥＥ/ＲｏＨＳ（ＷＥＥＥ指令(Waste Electrical and Electronic Equipment Directive)廃電気電子機器に関するＥＵ指令、ＲｏＨＳ指令(Restriction of the use of certain Hazardous Substances in electrical and electronic equipment Directive) 電気電子機器に含まれる特定有害物質の使用制限に関するＥＵ指令）の分析では、小さい試料や不定形試料を分析する必要がある。例えば、従来のＦＰ法では鋼板上のＮｉメッキ中のＰｂの含有率を求める分析で、試料の測定面積が蛍光Ｘ線分析装置の分析面積より小さいと、Ｎｉメッキ厚さの測定値が小さくなり、測定元素Ｐｂの含有量を正確に求めることができない。このように従来の技術では、試料の分析面積や試料形状の補正を行うことができないという問題がある。
【０００４】
そこで本発明では、この問題を解決するため、コーティングされた基板である試料のコーティング層中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度とコーティングされた基板である試料の基板中に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比をＦＰ法に用いて、試料の分析面積や試料形状の補正を行い、分析を正確に精度よく行うことができる蛍光Ｘ線分析装置およびその方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、試料に１次Ｘ線を照射するＸ線管と、試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段と、その検出手段で測定した蛍光Ｘ線の測定強度に基づく理論強度スケールへの換算強度と、試料におけるコーティング層の厚さおよび各元素の含有率を仮定して計算した蛍光Ｘ線の理論強度を対応する元素ごとに対比し、両強度が合致するように、前記仮定した各元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する算出手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、前記算出手段が、コーティングされた基板である試料のコーティング層中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する。
【０００６】
当該技術分野において内標準元素とは、試料に一定量を添加された元素を指す場合が多いが、本発明では、初めから試料中に存在する指定された元素をいう。
【０００７】
本発明の装置によれば、コーティングされた基板である試料に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比をＦＰ法に用いて、試料の分析面積や試料形状の補正を行うことができるので、蛍光Ｘ線分析を正確に精度よく行うことができる。
【０００８】
本構成の蛍光Ｘ線分析装置において、前記内標準元素が試料の基板の主成分元素であるのが好ましい。
【０００９】
また、本構成の蛍光Ｘ線分析装置において、さらに、前記算出手段が、試料のコーティング層中に含有される指定された元素と同一元素である試料の基板に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線であって、前記コーティング層中に含有される指定された元素が測定される蛍光Ｘ線と異なる波長の蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記試料の基板に含有される指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記試料の基板に含有される指定された元素の含有率を算出することが好ましい。コーティング層と基板層について異なる波長の蛍光Ｘ線を測定するので、コーティング層と基板層の両方に同一元素が含まれていても精度のよい分析をすることができる。
【００１０】
本発明の蛍光Ｘ線分析方法は、試料にＸ線管からの１次Ｘ線を照射し試料から発生する２次Ｘ線の強度を検出器で測定して、測定した蛍光Ｘ線の測定強度に基づく理論強度スケールへの換算強度と、試料におけるコーティング層の厚さおよび各元素の含有率を仮定して計算した蛍光Ｘ線の理論強度を対応する元素ごとに対比し、両強度が合致するように、前記仮定した各元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する蛍光Ｘ線分析方法であって、コーティングされた基板である試料のコーティング層中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する。
【００１１】
本発明の方法によれば、コーティングされた基板である試料に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比をＦＰ法に用いて、試料の分析面積や試料形状の補正を行うことができるので、蛍光Ｘ線分析を正確に精度よく行うことができる。
【００１２】
本発明の蛍光Ｘ線分析方法において、前記内標準元素が試料の基板の主成分元素であるのが好ましい。
【００１３】
また、本発明の蛍光Ｘ線分析方法において、さらに、試料のコーティング層中に含有される指定された元素と同一元素である試料の基板に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線であって、前記コーティング層中に含有される指定された元素が測定される蛍光Ｘ線と異なる波長の蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板に含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記試料の基板に含有される指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記試料の基板に含有される指定された元素の含有率を算出することが好ましい。コーティング層と基板層について異なる波長の蛍光Ｘ線を測定するので、コーティング層と基板層の両方に同一元素が含まれていても精度のよい分析をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の第１実施形態の方法について、図１にしたがって説明する。まず、この方法に用いる装置の構成について説明する。この装置は、試料１３が載置される試料台８と、試料１３に１次Ｘ線２を照射するＸ線管１と、試料１３から発生する蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線４の強度を測定する検出手段１０とを備えている。検出手段１０は、試料１３から発生する２次Ｘ線４を分光する分光素子５と、分光素子５で分光された２次Ｘ線６の強度を測定する検出器７とを含む。また、この装置は、検出手段１０で測定した蛍光Ｘ線４の測定強度に基づく理論強度スケールへの換算強度と、試料１３におけるコーティング層の厚さおよび各元素の含有率を仮定して計算した蛍光Ｘ線の理論強度を対応する元素ごとに対比し、両強度が合致するように、前記仮定したコーティング層の厚さおよび各元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する算出手段１６を備えている。すなわち、第１実施形態の方法は、ＦＰ法で分析を行う蛍光Ｘ線分析方法である。
【００１５】
ここで、この装置の算出手段１６は、図２に示すコーティングされた基板である試料１３のコーティング層１３Ａ中に含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線４の測定強度と試料の基板１３Ｂに含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線４の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように前記コーティング層の厚さおよび各元素の含有率を算出する。内標準元素が試料の基板の主成分元素であることが好ましい。
【００１６】
この装置を用いて、第１実施形態の方法では、コーティングされた基板であるＮｉメッキされた鋼板を試料１３とし、Ｎｉメッキ層の厚さとＮｉメッキ層のＰｂの含有率を求めるにあたり、試料の基板の主成分元素であるＦｅを内標準元素として指定する、いわゆる内標準法を適用して分析を行う。まず、試料台８に載置した試料１３に１次Ｘ線２を照射して、試料１３の各元素から発生する蛍光Ｘ線４の強度を測定する。この測定強度に基づいて、算出手段１６が、ＦＰ法により、例えば以下の手順でメッキ層の厚さおよびの各元素の含有率を算出する。
【００１７】
（ステップ１）各測定強度に基づく換算強度を求める。すなわち、Ｎｉ、Ｐｂについて、測定強度を装置感度係数を用いて理論強度スケールに換算する。装置感度係数は、この装置で標準試料３を測定して求め、算出手段１６に記憶させておくが、その際、指定された元素のＮｉ、Ｐｂについては、式（１）〜（４）により求める。
【００１８】
【数１】
2008304405.tif 000003
【００１９】
【数２】
2008304405.tif 000004
【００２０】
そのようにして求めた装置感度係数ＡＮｉ、ＢＮｉ、ＣＮｉを用いた式（１）に、Ｎｉからの蛍光Ｘ線Ｎｉ−Ｋα線の測定強度と内標準元素Ｆｅからの蛍光Ｘ線Ｆｅ−Ｋα線の測定強度との測定強度比（式（２）から求められる）を代入することにより、その測定強度比を理論強度スケールに換算した換算強度比を求める。同様にして求めた装置感度係数ＡＰｂ、ＢＰｂ、ＣＰｂを用いた式（３）に、Ｐｂからの蛍光Ｘ線Ｐｂ−Ｌβ線の測定強度と内標準元素Ｆｅ からの蛍光Ｘ線Ｆｅ−Ｋα線の測定強度との測定強度比（式（４）から求められる）を代入することにより、その測定強度比を理論強度スケールに換算した換算強度比を求める。
【００２１】
（ステップ２）予め設定しておいたメッキ層の厚さＴとメッキ層中のＰｂの含有率ＷＰｂの初期値を読み込む。
【００２２】
（ステップ３）ｎ回目のメッキ層の厚さＴとＰｂの含有率ＷＰｂによりメッキ層中のＮｉ、Ｐｂと基板中のＦｅの測定線（分析線）の理論強度を計算し、計算して求めたメッキ層中のＮｉ、Ｐｂと基板中のＦｅの理論強度比も計算する。
【００２３】
（ステップ４）ステップ１で求めた換算強度比とステップ３で計算した理論強度比から、次の差分方程式（５）および（６）により、メッキ層の厚さＴとＰｂの含有率ＷＰｂの修正値を求める。
【００２４】
【数３】
2008304405.tif 000005
【００２５】
式（５）および（６）により求めた修正値より、次式（７）および（８）によりメッキ層の厚さＴとＰｂの含有率ＷＰｂを更新する。
【００２６】
【数４】
2008304405.tif 000006
【００２７】
（ステップ５）メッキ層の厚さＴとＰｂの含有率ＷＰｂについて、ｎ回目の厚さとｎ＋１回目の厚さを比較し、ｎ回目の厚さおよび含有率とｎ＋１回目の厚さおよび含有率を比較し、メッキ層の厚さＴとＰｂの含有率ＷＰｂの変化が所定値以下になったときに収束とする。収束していないときには、ステップ３以降の手順を繰り返す。
【００２８】
すなわち、ステップ１で求めた換算強度と、ステップ２でメッキ層の厚さＴとメッキ層中のＰｂの含有率ＷＰｂの初期値を仮定してステップ３で計算した蛍光Ｘ線の理論強度を、ステップ４、５で対応する元素ごとに対比し、ステップ３〜５を繰り返すことで、両強度が合致するように、仮定した各元素の含有率を逐次近似的に修正計算して、厚さおよび各元素の含有率を算出する。
【００２９】
第１実施形態の方法によれば、コーティングされた基板である試料のコーティング層中に含有される指定された元素（Ｎｉ、Ｐｂ）については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板中に含有される内標準元素（Ｆｅ）からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比をＦＰ法に用いて、分析しているので、試料の分析面積の補正が行え、分析を正確に精度よく行うことができる。基板中に含有される内標準元素は本実施形態のＦｅのように、基板の主成分元素が好ましい。本実施形態の試料は、メッキ層に２元素が含まれている試料の例であるが、単一元素および３元素以上のメッキ層についても、同様の方法で同じ効果が得られる。
【００３０】
また、メッキ線材などでは、分析面積の影響のほかに、試料表面が平坦でないことにより、形状による分析誤差が生じるが、標準試料も類似形状の標準試料を用いて感度曲線を準備することにより、分析面積や試料形状の補正を行うことができ、より精度のよい分析が行える。
【００３１】
以下に本発明の第２実施形態の方法について図１にしたがって説明する。まず、この方法に用いる装置について説明する。図１に示すように、この装置は、第１の実施形態の方法に用いた装置と同様に、試料台８、Ｘ線管１、検出手段１０および算出手段２６を備え、ＦＰ法で分析を行う蛍光Ｘ線分析装置である。
【００３２】
ここで、この装置の算出手段２６は、図２に示す試料２３のコーティング層２３Ａ中に含有される指定された元素と同一元素である試料の基板２３Ｂに含有される指定された元素については、その元素からの蛍光Ｘ線４であって、コーティング層２３Ａ中に含有される指定された元素が測定される蛍光Ｘ線４と異なる波長の蛍光Ｘ線４の測定強度と試料の基板２３Ｂに含有される内標準元素からの蛍光Ｘ線４の測定強度との測定強度比に基づく理論強度スケールへの換算強度比と、前記指定された元素からの蛍光Ｘ線の理論強度と前記内標準元素からの蛍光Ｘ線の理論強度との理論強度比が合致するように試料の基板２３Ｂに含有される指定された元素の含有率を算出する。
【００３３】
この装置を用いて、第２実施形態の方法では、Ｎｉメッキされた黄銅基板を試料２３とし、Ｎｉメッキ層２３Ａの厚さ、Ｎｉメッキ層２３Ａ中のＰｂの含有率、基板２３Ｂ中のＰｂ、Ｚｎ、Ｃｕの含有率を求めるにあたり、内標準元素を黄銅基板の主成分元素であるＣｕとする内標準法を適用して分析を行う。
【００３４】
第１実施形態の方法では、Ｎｉメッキ層１３Ａのみの含有成分であるＮｉ、Ｐｂについて、指定された元素として分析を行ったが、第２実施形態の方法では、指定された元素であるＰｂがメッキ層２３Ａと基板２３Ｂの両方に含有されているので、メッキ層２３ＡのＰｂの蛍光Ｘ線と基板２３ＢのＰｂの蛍光Ｘ線を異なる波長の蛍光Ｘ線を用い、黄銅基板の主成分元素であるＣｕを内標準元素として分析を行う点のみが異なる。蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）は、原子が有している殻電子の殻遷移によって発生するエネルギーにより、Ｋ列、Ｌ列、Ｍ列などに分類されている。また同一系列であっても、Ｋ系列では、Ｋα、Ｋβ、Ｌ系列では、Ｌα、Ｌβなど、Ｍ系列では、Ｍα、Ｍβなどの波長の異なる蛍光Ｘ線がある。本実施形態では、Ｍ系列の蛍光Ｘ線であるＰｂ−Ｍα線とＬ系列の蛍光Ｘ線であるＰｂ−Ｌβ線の蛍光Ｘ線を用いる。
【００３５】
メッキ層２３ＡのＮｉからの蛍光Ｘ線Ｎｉ−Ｋα線の測定強度と内標準元素Ｃｕからの蛍光Ｘ線Ｃｕ−Ｋα線の測定強度との測定強度比、メッキ層２３ＡのＰｂからの蛍光Ｘ線Ｐｂ−Ｍα線の測定強度と内標準元素Ｃｕからの蛍光Ｘ線Ｃｕ−Ｋα線の測定強度との測定強度比、基板２３ＢのＰｂからの蛍光Ｘ線Ｐｂ−Ｌβ線の測定強度と内標準元素Ｃｕからの蛍光Ｘ線Ｃｕ−Ｋα線の測定強度との測定強度比、および基板２３ＢのＺｎからの蛍光Ｘ線Ｚｎ−Ｋα線の測定強度と内標準元素Ｃｕからの蛍光Ｘ線Ｃｕ−Ｋα線の測定強度との測定強度比は次式（９）〜（１２）から求められる。
【００３６】
【数５】
2008304405.tif 000007
【００３７】
前記（９）〜（１２）式の４つの強度比を用い、Ｎｉメッキ層の厚さとＰｂの含有率、基板中のＰｂ、Ｚｎの含有率の４つの未知パラメータを用いた差分方程式により、第１実施形態の方法と同様に分析を行い、試料のＮｉメッキ層２３Ａの厚さ、メッキ層２３ＡのＰｂ、基板２３Ｂ中のＰｂ、Ｚｎの含有率を求める。
【００３８】
第２実施形態の方法によれば、試料２３中に含有される指定された元素（Ｎｉ、Ｐｂ、Ｚｎ）については、その元素からの蛍光Ｘ線の測定強度と試料の基板２３Ｂ中に含有される内標準元素（Ｃｕ）からの蛍光Ｘ線の測定強度との測定強度比をＦＰ法に用いて、分析しているので、第１実施形態の方法と同様の作用と効果が得られる。また、コーティング層の測定には、エネルギーが小さく分析深さが浅いＰｂ−Ｍα線を用い、基板の測定には、エネルギーが大きく分析深さが深いＰｂ−Ｌβ線を用いているので、コーティング層であるメッキ層と基板中に同一元素であるＰｂ（同一元素）が含有されていても、それぞれの含有率を精度よく測定することができる。
【００３９】
第１および第２実施形態の方法で用いた装置は、波長分散型の蛍光Ｘ線分析装置について説明したが、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１または第２実施形態の蛍光Ｘ線分析方法で用いる装置を示す概略図である。
【図２】本発明の第１または第２実施形態の蛍光Ｘ線分析方法で用いる試料を示す概略図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  Ｘ線管
２  １次Ｘ線
３  標準試料
４  試料から発生する２次Ｘ線
１０  検出手段
１３、２３  試料
１３Ａ、２３Ａ  試料のコーティング層（メッキ層）
１３Ｂ、２３Ｂ  試料の基板
１６，２６  算出手段
【図１】
2008304405.tif 000008
【図２】
2008304405.tif 000009