(57)【要約】【課題】検査対象基板の良否を正確に判定する。【解決手段】検査対象基板を撮像して画像データを出力するカメラと、検査用プローブと、画像データに基づく外観検査処理および検査用プローブを使用した電気的検査処理を実行する検査部と、検査部を制御する制御部と、外観検査処理を実行すべき外観検査ポイントについての第１の検査ポイントデータおよび電気的検査処理を実行すべき電気的検査ポイントについての第２の検査ポイントデータを記憶する記憶部とを備え、制御部は、第１の検査ポイントデータに基づいて外観検査ポイントに対する外観検査処理を実行させて（ステップ２１）不良の外観検査ポイントが存在するときに（ステップ２２）不良の外観検査ポイントに対する電気的検査を実行させると共に（ステップ２４）、第２の検査ポイントデータに基づいて電気的検査ポイントに対する電気的検査処理を実行させる（ステップ２５）。【選択図】図２
2008300408.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象基板を撮像して画像データを出力するカメラと、検査用プローブと、前記画像データに基づく前記検査対象基板の外観検査処理および前記検査用プローブを使用した当該検査対象基板の電気的検査処理を実行する検査部と、前記検査部による前記両検査処理を制御する制御部と、前記検査対象基板において前記外観検査処理を実行すべき外観検査ポイントについての第１の検査ポイントデータおよび当該検査対象基板において前記電気的検査処理を実行すべき電気的検査ポイントについての第２の検査ポイントデータを記憶する記憶部とを備え、
前記制御部は、前記第１の検査ポイントデータに基づいて前記外観検査ポイントに対して前記外観検査処理を前記検査部に実行させて不良の当該外観検査ポイントが存在するときに当該不良の外観検査ポイントに対して前記電気的検査を当該検査部に実行させると共に、前記第２の検査ポイントデータに基づいて前記電気的検査ポイントに対して前記電気的検査処理を前記検査部に実行させる検査装置。
【請求項２】
検査対象基板をカメラで撮像した画像データに基づく外観検査処理を実行すべき外観検査ポイントについての第１の検査ポイントデータと、検査用プローブを使用した当該検査対象基板の電気的検査処理を実行すべき電気的検査ポイントについての第２の検査ポイントデータとに基づいて当該検査対象基板を検査する際に、前記第１の検査ポイントデータに基づいて前記外観検査ポイントに対して前記外観検査処理を実行して不良の当該外観検査ポイントが存在するときに当該不良の外観検査ポイントに対して前記電気的検査を実行すると共に、前記第２の検査ポイントデータに基づいて前記電気的検査ポイントに対して前記電気的検査処理を実行する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラおよび検査用プローブを使用して検査対象基板を検査する検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、外観検査実行部およびインサーキットテスト実行部を備えてプリント板ユニット（以下、「検査対象基板」ともいう）を検査可能に構成された自動外観検査装置（以下、「検査装置」ともいう）が特開平９−１７２３００号公報に開示されている。この検査装置によって検査対象基板を検査する際には、まず、外観検査実行部が外観検査用テストデータファイルに従ってテレビカメラを移動させて、検査ポイント（実装部品および半田付け箇所）を撮像させる。次いで、外観検査実行部は、撮像された画像データとテストパラメータ（検査用の基準値）とに基づいて良品の検査対象基板との比較判定処理（外観検査処理）を実行し、その検査結果(比較結果)を記憶部に記憶させる。
【０００３】
続いて、上記の外観検査の検査結果に基づき、外観検査において不良と判定した検査ポイントのみに対してインサーキットテストを実行するための自動ベリファイ用テストデータを生成する。次いで、インサーキットテスト実行部が、自動ベリファイ用テストデータに基づき、外観検査実行部による上記の外観検査において不良と判定された検査ポイントのみに対してプロービング（インサーキットテスト）を実行する。この後、インサーキットテストの検査結果が最終判定結果として記憶部に記憶されると共に不良検出結果格納プリントとして印刷されて、検査対象基板の検査が完了する。
【特許文献１】特開平９−１７２３００号公報（第４−８頁、第１−１３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の検査装置およびその検査方法には、以下の問題点がある。すなわち、従来の検査装置では、外観検査実行部による外観検査処理時に不良と判定された検査ポイントのみに対してインサーキットテスト実行部がインサーキットテスト（以下、「電気的検査処理」ともいう）を実行し、その検査結果を最終判定結果として確定する構成が採用されている。この場合、この種の検査装置による検査対象基板の検査に際しては、外観検査処理時において良好と判定された検査ポイントであっても、実際には、接触不良や短絡等が生じていることがある。具体的には、一例として、検査対象基板上の実装部品に端子浮き（半田不良）が生じていたとしても、実装部品が正しい実装位置に配設され、かつ実装部品の接続端子に半田が正常に付着して導体パターン上に半田が正確に位置している状態においては、検査対象基板を真上から撮像したときに、この端子浮きを検出することが困難となる。
【０００５】
この場合、従来の検査装置では、外観検査処理時に不良と判定された検査ポイントのみに対して電気的検査処理が実行されるため、上記の例のような検査ポイント（実際には端子浮きが生じているにも拘わらず外観検査処理時に良好と判定された検査ポイント）については、電気的検査が実行されずに、外観検査処理による良好との判定結果が最終判定結果として確定する。このため、従来の検査装置およびその検査方法には、検査対象基板に不良の検査ポイントが存在するにも拘わらす良品と判定されることがあるという問題点が存在する。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象基板の良否を正確に判定し得る検査装置および検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、検査対象基板を撮像して画像データを出力するカメラと、検査用プローブと、前記画像データに基づく前記検査対象基板の外観検査処理および前記検査用プローブを使用した当該検査対象基板の電気的検査処理を実行する検査部と、前記検査部による前記両検査処理を制御する制御部と、前記検査対象基板において前記外観検査処理を実行すべき外観検査ポイントについての第１の検査ポイントデータおよび当該検査対象基板において前記電気的検査処理を実行すべき電気的検査ポイントについての第２の検査ポイントデータを記憶する記憶部とを備え、前記制御部が、前記第１の検査ポイントデータに基づいて前記外観検査ポイントに対して前記外観検査処理を前記検査部に実行させて不良の当該外観検査ポイントが存在するときに当該不良の外観検査ポイントに対して前記電気的検査を当該検査部に実行させると共に、前記第２の検査ポイントデータに基づいて前記電気的検査ポイントに対して前記電気的検査処理を前記検査部に実行させる。
【０００８】
なお、本発明における検査用プローブには、接触型の検査用プローブ、および非接触型の検査用プローブの双方が含まれる。また、本発明に係る検査装置には、検査対象基板に対するカメラの位置を固定したタイプの検査装置と、検査対象基板およびカメラの少なくとも一方と他方に対して移動させる移動機構を備えているタイプの検査装置の双方が含まれる。さらに、本発明における「外観検査ポイント」および「電気的検査ポイント」は、その一部またはすべてが重複していてもよい（各検査ポイントのうちの一部またはすべてが外観検査ポイントおよび電気的検査ポイントの双方に属していてもよい）し、互いに相違していてもよい（各検査ポイントのうちの外観検査ポイントに属する検査ポイントと電気的検査ポイントに属する検査ポイントが相違していてもよい）。
【０００９】
また、請求項２記載の検査方法は、検査対象基板をカメラで撮像した画像データに基づく外観検査処理を実行すべき外観検査ポイントについての第１の検査ポイントデータと、検査用プローブを使用した当該検査対象基板の電気的検査処理を実行すべき電気的検査ポイントについての第２の検査ポイントデータとに基づいて当該検査対象基板を検査する際に、前記第１の検査ポイントデータに基づいて前記外観検査ポイントに対して前記外観検査処理を実行して不良の当該外観検査ポイントが存在するときに当該不良の外観検査ポイントに対して前記電気的検査を実行すると共に、前記第２の検査ポイントデータに基づいて前記電気的検査ポイントに対して前記電気的検査処理を実行する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の検査装置および請求項２記載の検査方法では、外観検査ポイントに対して検査対象基板をカメラで撮像した画像データに基づく外観検査処理を実行して不良の外観検査ポイントが存在するときに不良の外観検査ポイントに対して検査用プローブを使用した電気的検査処理を実行すると共に、不良の外観検査ポイントに対する電気的検査処理を実行したか否かを問わず、電気的検査ポイントに対して検査用プローブを用いた電気的検査処理を実行する。したがって、この検査装置および検査方法によれば、外観検査処理時に不良と判別された検査ポイントのみに対して電気的検査を実行するのとは異なり、例えば、外観検査処理時において良好との誤判定が生じ易い検査ポイント、外観検査処理によって良否を検査するのが困難な検査ポイント、および電気的検査処理時に測定される電気的パラメータ（測定結果データ）を記憶しておく必要のある検査ポイントなどを電気的検査ポイントとして電気的検査を実行することで、外観検査処理時に良品と誤判定された検査ポイントを不良と確実に判定し、外観検査処理による検査が困難な検査ポイントを正確に検査し、かつ、必要に応じて電気的パラメータを保存しておくことができる。これにより、この検査装置および検査方法によれば、検査対象基板の良否を正確に判定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る検査装置および検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１２】
最初に、回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１に示す回路基板検査装置１は、本発明に係る検査装置の一例であって、基板保持部２、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａ，３ｂ、検査用プローブ４，４、カメラ５、測定部６、表示部７、制御部８および記憶部９を備えて、検査対象基板１０の良否を検査可能に構成されている。基板保持部２は、図示しない基板挟持機構等を備えて検査対象基板１０を保持可能に構成されている。Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａ，３ｂは、制御部８から出力された制御信号Ｓ１に従って検査用プローブ４，４およびカメラ５を基板保持部２によって保持された検査対象基板１０上の任意の検査ポイントに移動させる。この場合、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａは、図示しないＸ軸レール、Ｙ軸レールおよび移動ステージを備えて構成されている。また、移動ステージには、カメラ５が取り付けられると共に、Ｚ軸移動機構（図示せず）を介して検査用プローブ４が取り付けられている。また、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３ｂは、図示しないＸ軸レール、Ｙ軸レールおよび移動ステージを備えて構成されている。この場合、移動ステージには、Ｚ軸移動機構（図示せず）を介して検査用プローブ４のみが取り付けられている。
【００１４】
検査用プローブ４は、一例として伸縮型の接触型ピンプローブで構成され、その基端部が上記のＺ軸移動機構に固定されると共に図示しない接続ケーブルを介して測定部６に接続されている。カメラ５は、一例としてＣＣＤカメラで構成され、制御部８の制御に従って検査対象基板１０における所定の検査領域を撮像して画像データＤ２を出力する。測定部６は、制御部８と相俟って本発明における検査部を構成し、後述するようにして、制御部８からの制御信号Ｓ２に従い、接続ケーブルを介して両検査用プローブ４に検査用信号を印加した状態において所定の電気的パラメータを測定し、その測定値を測定結果データＤ３として制御部８に出力する。制御部８は、回路基板検査装置１を総括的に制御する。また、制御部８は、図２に示す基板検査処理２０を実行して検査対象基板１０を検査する。
【００１５】
記憶部９は、上記の基板検査処理２０を実行するための検査処理プログラムデータＤ０、良品の基板から取得した検査用基準データＤ１、測定部６から出力された測定結果データＤ３、検査ポイントデータＤｐ１，Ｄｐ２、および後述する不良ポイントデータＤｐ３などを記憶する。この場合、検査ポイントデータＤｐ１は、本発明における第１の検査ポイントデータに相当し、カメラ５から出力された画像データＤ２に基づく外観検査処理を実行すべき複数の検査ポイント（本発明における「外観検査ポイント」）の座標データで構成されている。また、検査ポイントデータＤｐ２は、本発明における第２の検査ポイントデータに相当し、外観検査処理を実行するか否かを問わず測定部６による検査用プローブ４，４を用いた電気的検査（インサーキットテスト）を実行すべき複数の検査ポイント（本発明における「電気的検査ポイント」）の座標データで構成されている。なお、この検査ポイントデータＤｐ２は、一例として、後述する外観検査処理時において良好との誤判定が生じ易い検査ポイント、外観検査処理によって良否を検査するのが困難な検査ポイント、および測定結果データＤ３を記憶しておく必要のある検査ポイントなどが予め選択されて生成されている。
【００１６】
次に、回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法について、図面を参照して説明する。
【００１７】
まず、検査対象基板１０を基板保持部２にセットし、図示しない操作部を操作して検査対象基板１０の検査開始を指示する。これに応じて、制御部８が、記憶部９に記憶されている検査処理プログラムデータＤ０に従い、図２に示す基板検査処理２０を開始する。この基板検査処理２０では、制御部８は、まず、検査ポイントデータＤｐ１に基づいて本発明における外観検査ポイントに対する外観検査処理を実行する（ステップ２１）。具体的には、制御部８は、検査ポイントデータＤｐ１に基づいてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａに制御信号Ｓ１を出力することにより、所望の検査ポイント（複数の外観検査ポイントのうちの所定の１つ）の上方に位置するようにカメラ５を移動させる。次いで、制御部８は、カメラ５を制御して上記の検査ポイントを含む所定の領域を撮像させる。これに応じて、カメラ５は、画像データＤ２を生成して制御部８に出力する。
【００１８】
次いで、制御部８は、出力された画像データＤ２と、記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ１とに基づき、その検査ポイントが良好か不良かを判別（検査）し、その判別結果を記憶部９に記憶させる。なお、測定結果データＤ３および画像データＤ２に基づく外観検査処理の処理内容については公知のため、詳細な説明を省略する。続いて、制御部８は、検査ポイントデータＤｐ１に基づいて上記の検査ポイントとは相違する検査ポイント（複数の外観検査ポイントのうちの他の所定の１つ）の上方にカメラ５を移動させて画像データＤ２を出力させ、出力された画像データＤ２と検査用基準データＤ１とに基づき、その検査ポイントが良好か不良かを判別（検査）して判別結果を記憶部９に記憶させる。この後、制御部８は、他の検査ポイント（検査が完了していない他の外観検査ポイント）についても同様にして良否を判別し、その判別結果を記憶部９に記憶させる。これにより、本発明における「外観検査ポイントに対する外観検査処理」が完了する。
【００１９】
次いで、制御部８は、記憶部９に記憶させた各判別結果に基づき、本発明における外観検査ポイントのなかに不良の検査ポイントが存在するか否かを判別する（ステップ２２）。この際に、不良の検査ポイントが存在しないと判別したとき（上記の外観検査処理時において、すべての外観検査ポイントが良好であると判別したとき）には、制御部８は、後述するようにして、本発明における電気的検査ポイントに対する電気的検査を実行する（ステップ２５）。一方、不良の検査ポイントが存在すると判別したときには、制御部８は、その検査ポイントを特定可能な不良ポイントデータＤｐ３（一例として、不良と判別した検査ポイントの座標データ）を生成して記憶部９に記憶させる（ステップ２３）。
【００２０】
次いで、制御部８は、不良ポイントデータＤｐ３に基づいてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａ，３ｂに制御信号Ｓ１を出力することにより、所望の検査ポイント（外観検査処理時に不良と判別した検査ポイント）を電気的に検査可能なプロービング位置に検査用プローブ４，４をプロービングさせると共に、測定部６に制御信号Ｓ２を出力して、所定の電気的パラメータの測定処理を開始させる。これに応じて、測定部６は、両検査用プローブ４，４を介して検査対象基板１０に検査用信号を出力すると共に、上記の電気的パラメータ（一例として、電流値）を測定し、その測定結果を測定結果データＤ３として制御部８に出力する。次いで、制御部８は、出力された測定結果データＤ３と、記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ１とに基づき、その検査ポイントが良好か不良かを判別（検査）し、その判別結果を記憶部９に記憶させる（ステップ２４）。また、制御部８は、測定された測定結果データＤ３を記憶しておく必要のある検査ポイントについては、その測定結果データＤ３を記憶部９に記憶させる。
【００２１】
続いて、制御部８は、不良ポイントデータＤｐ３に基づいて上記の検査ポイントとは相違する検査ポイント（不良と判別された他の検査ポイント）を電気的に検査可能なプロービング位置に検査用プローブ４，４をプロービングさせると共に、測定部６を制御して測定結果データＤ３を出力させ、出力された測定結果データＤ３と検査用基準データＤ１とに基づき、その検査ポイントが良好か不良かを判別（検査）して判別結果を記憶部９に記憶させる。この後、制御部８は、他の検査ポイント（検査が完了していない他の検査ポイント）が存在するときには、上記の処理と同様にしてその良否を判別し、判別結果を記憶部９に記憶させる。これにより、本発明における「外観検査ポイントに対する電気的検査処理」が完了する。
【００２２】
一方、制御部８は、上記のステップ２２において不良の検査ポイントが存在しないと判別したとき、または、上記のステップ２４における不良の検査ポイントについての電気的検査処理を完了したときに、検査ポイントデータＤｐ２に基づいて本発明における電気的検査ポイントに対する電気的検査処理を実行する（ステップ２５）。具体的には、制御部８は、検査ポイントデータＤｐ２に基づいてＸ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａ，３ｂを制御することにより、所望の検査ポイント（複数の電気的検査ポイントのうちの所定の１つ）を電気的に検査可能なプロービング位置に検査用プローブ４，４をプロービングさせる。次いで、制御部８は、測定部６に制御信号Ｓ２を出力して、所定の電気的パラメータを測定させる。
【００２３】
これに応じて、測定部６は、両検査用プローブ４，４を介して検査対象基板１０に検査用信号を出力すると共に、上記の電気的パラメータ（一例として、電流値）を測定し、その測定結果を測定結果データＤ３として制御部８に出力する。次いで、制御部８は、出力された測定結果データＤ３と、記憶部９に記憶されている検査用基準データＤ１とに基づき、その検査ポイントが良好か不良かを判別（検査）し、その判別結果を記憶部９に記憶させる。また、制御部８は、測定された測定結果データＤ３を記憶しておく必要のある検査ポイントについては、その測定結果データＤ３を記憶部９に記憶させる。
【００２４】
次いで、制御部８は、検査ポイントデータＤｐ２に基づいて上記の検査ポイントとは相違する検査ポイント（複数の電気的検査ポイントのうちの他の所定の１つ）を電気的に検査可能なプロービング位置に検査用プローブ４，４をプロービングさせると共に測定部６に測定結果データＤ３を出力させ、出力された測定結果データＤ３と検査用基準データＤ１とに基づき、その検査ポイントが良好か不良かを判別（検査）して判別結果を記憶部９に記憶させる。この後、制御部８は、他の検査ポイント（検査が完了していない他の電気的検査ポイント）についても同様にして良否を判別し、その判別結果を記憶部９に記憶させる。これにより、本発明における「電気的検査ポイントに対する電気的検査処理」が完了する。
【００２５】
続いて、制御部８は、記憶部９に記憶させた各判別結果に基づき、本発明における外観検査ポイントに対する電気的検査処理の検査結果、および本発明における電気的検査ポイントに対する電気的処理の検査結果のなかに不良と判定された検査ポイント（電気的検査処理によって不良と判定された検査ポイント）が存在するか否かを判別する（ステップ２６）。この際に、不良の検査ポイントが存在しないと判別したとき（すべての検査ポイントが良好であると判別したとき）には、制御部８は、その検査対象基板１０が良品であると判定して（ステップ２７）、この基板検査処理２０を終了する。一方、不良の検査ポイントが存在すると判別したときには、制御部８は、その検査対象基板１０が不良品であると判定して（ステップ２８）、この基板検査処理２０を終了する。この際には、上記の外観検査処理時において良好と判定された検査ポイントであって、その後に実行された電気的検査処理時において不良と判定された検査ポイントが存在するときには、その検査対象基板１０が不良であると判定される。また、外観検査処理によって良否を検査するのが困難な検査ポイントについても検査ポイントデータＤｐ２に基づく電気的検査処理によってその良否が正確に検査される。以上により、検査対象基板１０についての一連の検査が完了する。
【００２６】
このように、この回路基板検査装置１、および回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法では、制御部８が、検査処理プログラムデータＤ０に従い、本発明における外観検査ポイントに対して検査対象基板１０をカメラ５で撮像した画像データＤ２に基づく外観検査処理（基板検査処理２０におけるステップ２１）を実行して不良の検査ポイントが存在するときに不良の検査ポイントに対する検査用プローブ４，４を使用した電気的検査処理（基板検査処理２０におけるステップ２４）を実行すると共に、不良の検査ポイントに対して電気的検査処理を実行したか否かを問わず、本発明における電気的検査ポイントに対して検査用プローブ４，４を用いた電気的検査処理（基板検査処理２０におけるステップ２５）を実行する。
【００２７】
したがって、この回路基板検査装置１、および回路基板検査装置による検査対象基板１０の検査方法によれば、外観検査処理時に不良と判別された検査ポイントのみに対して電気的検査を実行するのとは異なり、例えば、外観検査処理時において良好との誤判定が生じ易い検査ポイント、外観検査処理によって良否を検査するのが困難な検査ポイント、および電気的検査処理時に測定される測定結果データＤ３を記憶しておく必要のある検査ポイントなどを本発明における電気的検査ポイントとして電気的検査を実行することで、外観検査処理時に良品と誤判定された検査ポイントを不良と確実に判定し、外観検査処理による検査が困難な検査ポイントを正確に検査し、かつ、必要に応じて測定結果データＤ３を保存しておくことができる。これにより、この回路基板検査装置１、および回路基板検査装置による検査対象基板１０の検査方法によれば、検査対象基板１０の良否を正確に判定することができる。
【００２８】
なお、本発明に係る検査装置および検査方法は、上記の構成や方法に限定されない。例えば、伸縮型の接触型ピンプローブで構成された検査用プローブ４を備えた回路基板検査装置１を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、伸縮型のピンプローブ以外の各種の接触型の検査用プローブ、或いは、非接触型の検査用プローブを備えて検査装置を構成することができる。このような検査用プローブを備えた検査装置においても、上記の回路基板検査装置１による検査方法と同様の効果を奏することができる。また、上記の回路基板検査装置１では、検査対象基板１０を基板保持部２に保持させると共に、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構３ａ，３ｂを用いて検査用プローブ４，４およびカメラ５を検査対象基板１０に対して移動させる構成を採用しているが、例えば、検査用プローブ４，４およびカメラ５を所定の位置に固定すると共に、検査対象基板１０を移動させることで任意の検査ポイントの撮像やプロービングを実行するように構成することもできるし、検査用プローブ４，４、カメラ５および検査対象基板１０のすべてを移動させて任意の検査ポイントの撮像やプロービングを実行するように構成することもできる。
【００２９】
さらに、上記の回路基板検査装置１による検査対象基板１０の検査方法では、本発明における電気的検査ポイントについての電気的検査の検査結果に基づいてその検査対象基板１０の良否を判定しているが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明における外観検査ポイントに対する電気的検査処理や本発明における電気的検査ポイントに対する電気的処理の結果で不良と判定された検査ポイント（電気的検査処理によって不良と判定された検査ポイント）についてカメラ５で撮像させ、その画像データＤ２を表示部７に出力してその検査ポイントの周囲の画像を表示させることで、オペレータが目視によって不良か否かを再検査する方法を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】基板検査処理２０のフローチャートである。
【符号の説明】
【００３１】
１  回路基板検査装置
４  検査用プローブ
５  カメラ
６  測定部
８  制御部
９  記憶部
１０  検査対象基板
２０  基板検査処理
Ｄ０  検査処理プログラムデータ
Ｄ１  検査用基準データ
Ｄ２  画像データ
Ｄ３  測定結果データ
Ｄｐ１，Ｄｐ２  検査ポイントデータ
Ｄｐ３  不良ポイントデータ
Ｓ１，Ｓ２  制御信号
【図１】
2008300408.tif 000003
【図２】
2008300408.tif 000004