(57)【要約】【課題】大量の溶媒を含むスラリーから、微粒子を効率的に回収することができる粒子回収方法を提供する。【解決手段】容器１がスラリー投入位置Ｐ１にあるとき、磁性材料からなる微粒子を溶媒に分散させたスラリーを容器１に入れるスラリー投入工程と、磁力発生手段３から磁力を及ぼすことで、微粒子８２を容器の底部内面１２に吸着させる粒子吸着工程と、容器１を、スラリー投入位置Ｐ１から、スラリー投入位置Ｐ１よりも容器１を傾けた溶媒排出位置Ｐ２まで回転させることで、容器１の底部内面１２に微粒子８２を吸着させたまま容器１から溶媒を流し出す溶媒排出工程とを含むサイクルを繰り返す。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸の周りに回転可能に設けられた容器を用意し、
前記容器がスラリー投入位置にあるとき、磁性材料からなる粒子を溶媒に分散させたスラリーを前記容器に入れるスラリー投入工程と、
磁力発生手段から磁力を及ぼすことで、前記粒子を前記容器の内面に吸着させる粒子吸着工程と、
前記容器を、前記スラリー投入位置から、前記スラリー投入位置よりも容器を傾けた溶媒排出位置まで回転させることで、前記容器の内面に前記粒子を吸着させたまま前記容器から前記溶媒を流し出す溶媒排出工程とを含むサイクルを繰り返し、
その後、前記容器に残った前記粒子を回収する、
粒子回収方法。
【請求項２】
請求項１に記載された粒子回収方法であって、
前記磁力発生手段から前記容器に磁力を印加しながら、前記容器を、前記磁力発生手段に形成された円弧状の凹面に沿って回転させる、
粒子回収方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載された粒子回収方法であって、
前記サイクルを繰り返した後、前記粒子を回収する前に、前記粒子に及ぼされる磁力を低下させる、
粒子回収方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載された粒子回収方法であって、
前記磁力発生手段は、永久磁石からなる、
粒子回収方法。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかに記載された粒子回収方法であって、
前記磁力発生手段は、電磁石からなる、
粒子回収方法。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載された粒子回収方法であって、
前記容器に残った前記粒子にガス噴流を当てることで、前記粒子を回収する、
粒子回収方法。
【請求項７】
容器と、
前記容器を軸の周りに回転させる容器回転手段と、
磁性材料からなる粒子を溶媒に分散させたスラリーを前記容器に入れるスラリー投入手段と、
前記容器の内面に磁力を印加する磁力発生手段と、
前記容器がスラリー投入位置にあるとき、前記スラリーを前記容器に入れるべく前記スラリー投入手段を制御するスラリー投入制御、及び、前記スラリー投入制御の後、前記容器を、前記スラリー投入位置から、前記スラリー投入位置よりも容器を傾けた溶媒排出位置まで回転させるべく前記容器回転手段を制御する溶媒排出制御を繰り返す制御部を備える、
粒子回収装置。
【請求項８】
請求項７に記載された粒子回収装置であって、
前記磁力発生手段は、前記容器とは別体として設けられ、前記容器に向かい合う側に円弧状の凹面を有する、
粒子回収装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子回収方法及び粒子回収装置に関する。本発明に係る粒子回収方法または粒子回収装置によって得られる粒子は、例えば、積層型チップコンデンサの内部電極を形成するための導電ペーストを作製するのに用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
導電ペーストを作製するのに用いられる粒子は、極めて小さい粒径の粒子であることが望ましい。特に、多層化及び薄層化が進む積層型チップコンデンサの分野においては、内部電極の層厚みが極めて薄くなっているので、内部電極用の導電ペーストも、例えば、粒径０．８μｍ以上の粒子を含まず、かつ、平均粒径が０．３μｍ以下といった粒径分布の微粒子を用いて作製することが求められる。
【０００３】
このような微粒子を製造するには、一般的には、次のような工程をとる。まず、原料の粉体を細かく粉砕する。得られる粉砕粉は、微粒子と粗粒子とが入り混じった状態となっている。次に、粉砕粉を溶媒に混合し、分散させることで第１のスラリーを作製する。そして、第１のスラリーから、目的の微粒子を、溶媒と一緒の状態である第２のスラリーとして取り分ける分級という処理を行う。最後に、第２のスラリーから微粒子を回収する。
【０００４】
ところで、分級処理により微粒子を精度良く取り分けるには、予め、第１のスラリー中の溶媒の量を増やし、第１のスラリーの粒子濃度を十分に低くしておかなければならない。例えば、上記粒径分布の微粒子を取り分ける場合、第１のスラリーの粒子濃度を１％まで下げておく必要がある。粒子濃度が高いと、微粒子のみを取り分けることが難しくなり、粗粒子が混入する可能性が高まるからである。
【０００５】
ただ、分級処理での精度向上のため第１のスラリー中の溶媒の量を増やすと、その後、如何にして、大量の溶媒を含む第２のスラリーから、微粒子を回収するかという問題が生じる。例えば、遠心分離法を利用して微粒子を回収しようとしても、溶媒中に取り残される微粒子が生じるので、溶媒が大量だと、微粒子を低い回収率でしか回収することができない。
【０００６】
特許文献１は、液体中に混入した磁性のスラッジを回収するための技術として、磁性のスラッジを含んだ液体を磁気ドラムの外周面にかけ流し、磁気ドラムの外周面に付着した磁性のスラッジをガイドでかき取る技術を開示している。しかし、特許文献１の開示技術は、微粒子を回収するのには適していない。
【特許文献１】特開平７−６０１５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は、大量の溶媒を含むスラリーから、微粒子を効率的に回収することができる粒子回収方法及び粒子回収装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するため、本発明に係る粒子回収方法においては、軸の周りに回転可能に設けられた容器を用意する。そして、前記容器がスラリー投入位置にあるとき、磁性材料からなる粒子を溶媒に分散させたスラリーを前記容器に入れるスラリー投入工程と、磁力発生手段から磁力を及ぼすことで、前記粒子を前記容器の内面に吸着させる粒子吸着工程と、前記容器を、前記スラリー投入位置から、前記スラリー投入位置よりも容器を傾けた溶媒排出位置まで回転させることで、前記容器の内面に前記粒子を吸着させたまま前記容器から前記溶媒を流し出す溶媒排出工程とを含むサイクルを繰り返す。その後、前記容器に残った前記粒子を回収する。
【０００９】
上述した本発明に係る粒子回収方法は、微粒子と大量の溶媒とを含むスラリーに適用することができる。スラリーが大量の溶媒を含むことで極めて低い粒子濃度となっていても、スラリー投入工程でスラリーを容器に入れ、粒子吸着工程で磁力発生手段から磁力を及ぼすことにより、スラリー中の微粒子を容器の内面に引き寄せ、吸着させることができる。
【００１０】
更に、溶媒排出工程で、容器の内面に微粒子を吸着させたまま容器から溶媒を流し出すことにより、容器内における微粒子の量をほとんど減らすことなく、溶媒の量を大幅に減らすことができる。微粒子及び溶媒を含むスラリーとして見れば、溶媒の量を減らすことで、スラリーの粒子濃度を極めて高く、濃縮した状態にすることができる。よって、容器の内部で、微粒子を濃縮スラリーの状態として得ることができる。
【００１１】
しかも、スラリー投入位置と溶媒排出位置との間で容器を繰り返し回転させることで、スラリー投入工程、粒子吸着工程及び溶媒排出工程を含むサイクルを、繰り返し行うことができる。これにより、容器の内部に、濃縮スラリーの状態である微粒子を蓄積していくことができる。そして、微粒子を十分な量まで蓄積した後に回収することで、回収を効率的に行うことができる。
【００１２】
本発明の実施態様に係る粒子回収方法において、前記磁力発生手段から前記容器に磁力を印加しながら、前記容器を、前記磁力発生手段に形成された円弧状の凹面に沿って回転させてもよい。
【００１３】
また、前記サイクルを繰り返した後、前記粒子を回収する前に、前記粒子に及ぼされる磁力を低下させることが好ましい。
【００１４】
前記磁力発生手段は、永久磁石または電磁石から構成することができる。前記磁力発生手段が永久磁石から構成されている場合、前記磁力発生手段と前記容器とを相対的に離すことにより、前記粒子に及ぼされる磁力を低下させればよい。また、前記磁力発生手段が電磁石から構成されている場合、前記電磁石に供給される電流を減らすことにより、前記粒子に及ぼされる磁力を低下させればよい。
【００１５】
また、前記容器に残った前記粒子にガス噴流を当てることで、前記粒子を回収してもよい。
【００１６】
更に本発明は、容器と、前記容器を軸の周りに回転させる容器回転手段と、磁性材料からなる粒子を溶媒に分散させたスラリーを前記容器に入れるスラリー投入手段と、前記容器の内面に磁力を印加する磁力発生手段と、前記容器がスラリー投入位置にあるとき、前記スラリーを前記容器に入れるべく前記スラリー投入手段を制御するスラリー投入制御、及び、前記スラリー投入制御の後、前記容器を、前記スラリー投入位置から、前記スラリー投入位置よりも容器を傾けた溶媒排出位置まで回転させるべく前記容器回転手段を制御する溶媒排出制御を繰り返す制御部を備える、粒子回収装置を提供する。
【００１７】
本発明に係る粒子回収装置によれば、上述した本発明に係る粒子回収方法と同様の作用及び効果を得ることができる。
【００１８】
本発明の実施態様に係る粒子回収装置において、前記磁力発生手段は、前記容器とは別体として設けられ、前記容器に向かい合う側に円弧状の凹面を有してもよい。
【発明の効果】
【００１９】
以上述べたように、本発明によれば、大量の溶媒を含むスラリーから、微粒子を効率的に回収することができる粒子回収方法及び粒子回収装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明に係る粒子回収方法では、磁性材料からなる粒子を用いる。本明細書において、磁性材料とは、磁力発生手段からの磁力に反応して、磁力発生手段に引き寄せられる材料を指す。このような磁性材料の例としては、ＮｉやＦｅ、Ｃｏ、フェライトなどが挙げられる。
【００２１】
本発明に係る粒子回収方法を説明するにあたり、粉砕や分級、回収などを含む粒子製造方法の全体を説明しておく。
【００２２】
図１は、粒子製造方法の一例を示すフローチャートである。まず、ステップＳ１に示すように、原料の粉体を細かく粉砕する。原料の粉体は、上述した磁性材料からなる。また、粉体を粉砕する代わりに、固体を粉砕して粉砕粉を得てもよい。
【００２３】
粉砕によって得られる粉砕粉は、目的とする粒径の粒子を含む様々な粒径の粒子が混じり合っている。例えば、粉砕粉は、粒径が０．１μｍから１０μｍまでの粒子が存在する幅広い粒径分布となっている。このような粉砕粉から、粒径が０．８μｍ未満の微粒子を取り分ける分級処理を行う。
【００２４】
まず、分級処理のための前処理として、ステップＳ２に示すように、粉砕粉及び溶媒から第１のスラリーを作製する。具体的には、上述のステップＳ１で得られた粉砕粉と、溶媒とを混合し、攪拌することで、溶媒に粉砕粉を分散させた第１のスラリーを作製する。溶媒としては、アルコール、アセトン、トルエンまたはこれらの混合溶液を用いることができる。
【００２５】
次に、ステップＳ３に示すように、第１のスラリーから微粒子を、溶媒と一緒の状態である第２のスラリーとして取り分ける分級処理を行う。分級処理の具体的手法としては、スラリーを回転容器に入れ、遠心力によって、スラリー中に含まれる粒子を粒径別に分離する遠心分離法、または、スラリーを静置することで重力により粗粒子を沈殿させ、微粒子をスラリーの上澄み液として取り分ける静置分離法などがある。このような分級処理で得られる第２のスラリーは、溶媒中に微粒子が分散した状態である。
【００２６】
最後に、ステップＳ４に示すように、第２のスラリーから微粒子を回収する。具体的には、微粒子を、微粒子に対する溶媒の量が少なく、粒子濃度が高い濃縮スラリーの状態として回収する。濃縮スラリーの粒子濃度は、例えば、０．５％〜１８％程度とする。濃縮スラリーに有機ビヒクル及び有機溶剤を加えて混合することにより導電ペーストを作製することができる。
【００２７】
ところで、ステップＳ３に示した分級処理において微粒子を精度良く取り分けるには、予め、第１のスラリー中の溶媒の量を増やし、第１のスラリーの粒子濃度を十分に低くしておかなければならない。例えば、粒径が０．８μｍ未満の微粒子を取り分けようとする場合、第１のスラリーの粒子濃度を、０．５％〜８％程度まで下げておく必要がある。
【００２８】
ただ、分級処理での精度向上のため第１のスラリーの粒子濃度を低くすると、分級処理で得られる第２のスラリーの粒子濃度も低くなる。例えば、第１のスラリーの粒子濃度を上記範囲まで下げた場合、第２のスラリーの粒子濃度は０．１％〜５％程度となる。このため、ステップＳ４に示した回収処理では、如何にして、粒子濃度の低い第２のスラリーから、微粒子を、濃縮スラリーの状態として回収するのかという問題が生じる。本発明に係る粒子回収方法は、このような問題に鑑みて為されたものである。
【００２９】
本発明に係る粒子回収方法について、図２〜図７を参照し説明する。図２は本発明に係る粒子回収方法を実施するのに用いられる粒子回収装置の一例を示している。まず、粒子回収装置の構成を説明する。図２に示された粒子回収装置は、容器１、容器回転手段２、磁力発生手段３、スラリー投入手段４、溶媒受け手段５及び制御手段６を備えている。
【００３０】
容器１は、開口部１１と、底部内面１２とを有しており、開口部１１と底部内面１２との間で、第２のスラリーを入れるための内部空間１３を形成している。容器１は、磁気を帯びないような非磁性材料、例えばステンレス材（ＳＵＳ３０４）から構成される。容器１は、ほぼ水平方向の軸１４の周りに回転可能なように設けられている。図２に示された状態では、容器１は、傾けられることなく鉛直方向に位置している。これを、容器１の基準位置Ｐ０とする。
【００３１】
容器回転手段２は、軸１４の周りで容器１を、必要な回転量だけ回転させる役割を担う。このような容器回転手段２は、制御された回転量を生じさせる装置、例えば、電気モーターなどの電動機から構成することができる。以下の図面では、容器１の図示を明瞭化するため、容器回転手段２の図示を省略することがある。
【００３２】
磁力発生手段３は、容器１の底部内面１２に磁力を印加する役割を担う。図示の構成の場合、磁力発生手段３は、フェライト磁石などの永久磁石からなり、容器１とは別体として設けられている。そして、磁力発生手段３は、回転運動する容器１に磁力を印加できるように、容器に近接した一定の位置に、位置決め装置３２で位置決めされている。磁力発生手段３は、容器１に向かい合う側に、円弧状の凹面３１を有している。詳しくは、軸１４に垂直な断面で磁力発生手段３の凹面３１をみたとき、凹面３１の輪郭線が、回転運動する容器１の軌跡に対応して円弧状となっている。
【００３３】
スラリー投入手段４は、第２のスラリーを容器１に入れるための手段であり、第２のスラリーを貯えるためのタンク４１、タンク４１から第２のスラリーを流すための管４２、及び、管４２に取り付けられる弁４３を含んで構成されている。管４２の先端は、容器１が後述のスラリー投入位置にあるとき（図３参照）、容器１の開口部１１の上方に位置するように配置されている。そして、弁４３を開くことにより、タンク４１内の第２のスラリーを、管４２を通して容器１に流し込むことができる。
【００３４】
溶媒受け手段５は、第２のスラリーに含まれていた溶媒を容器１から流し出す際に、溶媒を受けるための手段であり、例としては、漏斗を挙げることができる。溶媒受け手段５は、容器１が後述の溶媒排出位置にあるとき（図５参照）、容器１の開口部１１の下方に位置するように配置されている。
【００３５】
更に容器１には、ガス噴射装置１５が設けられている。図示のガス噴射装置１５は、駆動時に、容器１の底部内面１２を経由して開口部１１へと抜けるガス噴流１６を発生するように、容器１の開口部１２に配置されている。ガス噴射装置１５は、例えば、特定の方向にガスを噴射するノズルから構成することができる。図示と異なり、ガス噴射装置が容器の底部内面に配置されていてもよい。
【００３６】
制御手段６は、容器回転手段２、位置決め装置３２、スラリー投入手段４の弁４３及びガス噴射装置１５について、時間的な順序関係を含んだ制御動作を行う。このような制御手段６は、マイクロコンピューターなどから構成することができる。
【００３７】
次に、本発明に係る粒子回収方法について説明する。まず、図３に示すように、制御手段６からの指令に従って容器回転手段２を制御することで、容器１をスラリー投入位置Ｐ１に位置させる。
【００３８】
次に、制御手段６からの指令に従ってスラリー投入手段４の弁４３を開くことで、第２のスラリー８１を容器１に流し込む。第２のスラリー８１を所定量まで流し込んだら弁４３を閉じる。
【００３９】
スラリー投入位置Ｐ１は、容器１に第２のスラリー８１を所定量だけ入れても、容器１から第２のスラリー８１が流れ出さないような位置であればよく、必ずしも、容器を傾けずに鉛直方向に位置させた位置でなくてもよい。例えば、スラリー投入位置Ｐ１は、図示のように、基準位置Ｐ０に対して傾斜角θ１をなすような、容器１を傾けた位置であってもよい。
【００４０】
更に図示実施形態の場合、容器１がスラリー投入位置Ｐ１にあるとき、容器１の底部内面１２に磁力発生手段３からの磁力を印加する。
【００４１】
このように、容器１に第２のスラリー８１を入れ、かつ、容器１の底部内面１２に磁力を印加すると、第２のスラリー８１中の、磁性材料からなる微粒子が、磁力を受けて容器１の底部内面１２に引き寄せられる。この結果、図４に示すように、微粒子８２を、磁力で容器１の底部内面１２に吸着させることができる。一方で、溶媒８３は、容器１の内部で、そのまま留まる。
【００４２】
また、容器１に第２のスラリーを入れる動作は、容器１の底部内面１２に磁力を印加していない状態で行ってもかまわない。その後に、容器１の底部内面１２に磁力を印加すればよい。
【００４３】
次に、図５に示すように、制御手段６からの指令に従って容器回転手段２を制御することで、矢印Ａ１で示されるように容器１を、スラリー投入位置Ｐ１から溶媒排出位置Ｐ２まで回転させる。溶媒排出位置Ｐ２は、容器１内に残った溶媒のほぼ全てを、溶媒自体の重さによって容器１から流し出すように、容器１を傾けた位置である。溶媒排出位置Ｐ２の傾斜角θ２は、上述したスラリー投入位置Ｐ１の傾斜角θ１よりも大きい。図示の溶媒排出位置Ｐ２の場合、傾斜角θ２は、ほぼ９０度である。
【００４４】
更に、容器１が溶媒排出位置Ｐ２にあるときでも、容器１の底部内面１２に磁力発生手段３からの磁力を印加することで、容器１の底部内面１２に微粒子８２を吸着させた状態を維持する。
【００４５】
このように、容器１の底部内面１２に微粒子８２を吸着させたまま、容器１から溶媒を流し出すことにより、容器１内における微粒子８２の量をほとんど減らすことなく、溶媒の量を大幅に減らすことができる。よって、容器１の内部で、微粒子８２を濃縮スラリーの状態として得ることができる。
【００４６】
また、容器１から流し出された溶媒は、溶媒受け手段５で受けた後、必要に応じて、再利用してもよい。例えば、図１のステップＳ２で第１のスラリーを作製するための溶媒として再利用することができる。
【００４７】
容器１から溶媒を流し出した後、制御手段６からの指令に従って容器回転手段２を制御することで、矢印Ａ２で示されるように、容器１を溶媒排出位置Ｐ２からスラリー投入位置Ｐ１まで逆回転させて、容器１をスラリー投入位置Ｐ１に戻す。また、逆回転ではなく、矢印Ａ１の方向に容器１を更に回転させることで、スラリー投入位置Ｐ１に戻すといった構成も可能である。
【００４８】
容器１をスラリー投入位置Ｐ１に戻したら、容器１の内部に微粒子を溜めたままで、再び、容器１に第２のスラリーを流し込む。更に、磁力発生手段３からの磁力で容器１の内面に微粒子を吸着させる。その後、容器１をスラリー投入位置Ｐ１から溶媒排出位置Ｐ２まで回転させて、容器１の内面に微粒子を吸着させたまま容器１から溶媒を流し出す。
【００４９】
このようにして、スラリー投入位置Ｐ１と溶媒排出位置Ｐ２との間で容器１を繰り返し回転させることで、第２のスラリーを容器１に投入するスラリー投入工程、容器１の内面に微粒子を吸着させる粒子吸着工程、及び、容器１から溶媒を排出する溶媒排出工程を含むサイクルを、繰り返し行う。これにより、容器１の内部に、濃縮スラリーの状態である微粒子を蓄積していくことができる。そして、微粒子を十分な量まで蓄積した後に回収することで、回収を効率的に行うことができる。
【００５０】
また、容器１の内部で、微粒子を逃すことなく蓄積するためには、容器１を、スラリー投入位置Ｐ１から溶媒排出位置Ｐ２まで回転させる間、更には、溶媒排出位置Ｐ２からスラリー投入位置Ｐ１まで逆回転させる間、容器１の底部内面１２に磁力を印加し続けることで、容器１の底部内面１２に微粒子を吸着させた状態を維持することが好ましい。
【００５１】
この点に関し、図示の粒子回収装置では、容器１を、磁力発生手段３に形成された円弧状の凹面３１に沿って回転または逆回転させるので、磁力発生手段３からの磁力を容器１に印加しながら、容器１の回転または逆回転をスムーズに行うことができる。よって、図示の粒子回収装置は、容器１の内部で、微粒子を逃すことなく蓄積するのに適している。
【００５２】
次に、容器の内部に蓄積した微粒子を回収するための具体的手法について説明する。
【００５３】
まず、図６に示すように、制御手段６からの指令に従って容器回転手段２を制御することで、容器１を回転させ、容器１の開口部１１を下にした逆さまの状態とする。
【００５４】
更に、制御手段６からの指令に従って位置決め手段３２を制御することで、矢印Ａ３で示される方向に磁力発生手段３を移動させ、容器１から磁力発生手段３を遠ざける。図示の構成と異なり、容器１を磁力発生手段３から遠ざけるといった構成も可能である。
【００５５】
このように磁力発生手段３と容器１とを相対的に離すことで、微粒子８２に及ぼさされる磁力を低下させ、微粒子８２を、容器１の底部内面１２に吸着された状態から解放することができる。この結果、微粒子８２は、容器１を逆さまにした状態で、重力に従って容器１の底部内面１２から垂れ落ちる。このようにして微粒子８２を回収する。
【００５６】
ただ、濃縮スラリーの状態である微粒子８２は、スラリー自体に粘度があるので、完全には容器１の底部内面１２から垂れ落ちず、一部分が容器１の内部に残ってしまうことがある。
【００５７】
そこで、図７に示すように、制御手段６からの指令に従ってガス噴射装置１５を駆動し、微粒子８２にガス噴流１６を当てることで、容器１から微粒子８２を流し落とす。このようにして容器１内の微粒子８２をほとんど残さずに回収することが可能となる。
【００５８】
なお、ここでは、容器の内部に蓄積した微粒子を、容器の外部に出すものとしたが、容器の内部に蓄積した微粒子を、容器に入れたままにすることもある。微粒子を容器に入れたままでも、有機ビヒクル及び有機溶剤を加えて混合することにより、導電ペーストを作製することができる。
【００５９】
図８は、本発明に係る粒子回収方法を実施するのに用いられる粒子回収装置の別の例を示している。図示において、先の図２に現れた構成部分と同一性ある構成部分には、同一の参照符号を付し、説明を省略することがある。
【００６０】
図８に示された粒子回収装置では、磁力発生手段３０は、電磁石から構成されている。電磁石でなる磁力発生手段３０は、電源３３から供給される電流によって励磁され、磁力を発生する。磁力発生手段３０は、容器１の底部内面１２に磁力を印加するように、容器１に一体的に設けられている。
【００６１】
更に、電気回路的にみて磁力発生手段３０と電源３３との間には、電流制御手段３４が挿入されている。電流制御手段３４は、電源３３から磁力発生手段３０に供給される電流を減らすことで、磁力発生手段３０の磁力を低下させる役割を担う。典型的には、電流制御手段３４は、電気回路の開閉動作を行うスイッチから構成される。
【００６２】
制御手段６０は、電流制御手段３４を制御する点を除いては、図２における粒子回収装置の制御手段６と同様である。
【００６３】
図８に示された粒子回収装置の重要な特徴は、磁力発生手段３０を、電磁石から構成することで、容器１と一体として設けたことにある。
【００６４】
すなわち、微粒子を、容器１の底部内面１２に吸着された状態から解放するには、微粒子に及ぼさされる磁力を低下させる必要があることは上述した通りである。この点、図８の粒子回収装置では、磁力発生手段３０が電磁石から構成されているので、磁力発生手段３０に供給される電流を減らすだけで、微粒子に及ぼさされる磁力を低下させることができる。磁力発生手段を容器から遠ざける、または、容器を磁力発生手段から遠ざけるといった操作を行う必要はない。よって、磁力発生手段３０を、容器１と一体として設けることが可能となり、粒子回収装置の構成を簡単化することができる。
【００６５】
図８の粒子回収装置を用いた粒子回収方法については、電流制御手段３４を制御して磁力発生手段からの磁力を低下させる点を除き、図２〜図７を参照して説明した粒子回収方法と同様であるので、説明を省略する。
【００６６】
以上、実施形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】粒子製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図２】本発明に係る粒子回収方法を実施するのに用いられる粒子回収装置の一例を示す図である。
【図３】本発明に係る粒子回収方法を説明するための図である。
【図４】図３に示したステップの後のステップを示す図である。
【図５】図４に示したステップの後のステップを示す図である。
【図６】図５に示したステップの後のステップを示す図である。
【図７】図６に示したステップの後のステップを示す図である。
【図８】本発明に係る粒子回収方法を実施するのに用いられる粒子回収装置の別の例を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１            容器
２            容器回転手段
３            磁力発生手段
４            スラリー投入手段
５            溶媒受け手段
６            制御手段
【図１】
2008155107.tif 000003
【図２】
2008155107.tif 000004
【図３】
2008155107.tif 000005
【図４】
2008155107.tif 000006
【図５】
2008155107.tif 000007
【図６】
2008155107.tif 000008
【図７】
2008155107.tif 000009
【図８】
2008155107.tif 000010