(57)【要約】【課題】物品の収納能力を増強させつつ、搬送台車による搬送時間を少なくする。【解決手段】収納空間１には、互いに平行に４つの収納棚２３が配列され、隣接する収納棚２３の間にレール２５が敷設されている。移載ロボット２４は収納棚２３及び収納ポート３２との間でキャリア１８の受け渡しを行うとともに、レール２５に沿って移動して収納棚２３と収納ポート３２との間でキャリア１８を搬送する。昇降台６は収納ポート３２及び搬入出ポート２６との間でキャリア１８の受け渡しを行うとともに、天井５を貫通して鉛直方向に移動して収納ポート３２と搬入出ポート２６との間でキャリア１８を搬送する。ＯＨＴ搬送台車１７は、搬入出ポート２６及び半導体製造装置との間でキャリア１８の受け渡しを行うとともに、工程内軌道１３に沿って移動して搬入出ポート２６と半導体製造装置との間でキャリア１８を搬送する。【選択図】図２
2008019017.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井から懸吊されて敷設された搬送軌道に沿って走行する搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置であって、
天井裏に設けられた収納空間と、
前記収納空間内に設けられ、前記物品が収納される収納棚と、
前記搬送台車から前記収納棚への前記物品の搬入、及び、前記収納棚から前記搬送台車への前記物品の搬出を行う搬入出装置とを備え、
前記搬入出装置が、
前記天井を貫通して鉛直方向に昇降し、前記物品を前記収納空間の内部及び前記収納空間の外部に搬送するとともに、前記搬送台車との間で前記物品の受け渡しを行う昇降搬送装置と、
前記収納空間内に配置され、前記昇降搬送装置と前記収納棚との間を移動するとともに、前記昇降搬送装置との間、及び、前記収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う収納搬送装置とを備えていることを特徴とする物品収納装置。
【請求項２】
複数の前記収納棚が一方向に沿って互いに平行に配列されており、
前記収納搬送装置が、
隣接する前記収納棚の間に前記収納棚の延在方向に沿って配設された第１走行軌道と、
前記第１走行軌道を走行し、前記収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う第１収納台車とを有していることを特徴とする請求項１に記載の物品収納装置。
【請求項３】
前記収納搬送装置が、
複数の前記収納棚を取り囲むように配設された第２走行軌道と、
前記第２走行軌道に沿って走行し、前記昇降搬送装置との間、及び、前記第１収納台車との間で前記物品の受け渡しを行う第２収納台車とをさらに備えていることを特徴とする請求項２に記載の物品収納装置。
【請求項４】
前記収納搬送装置が、
複数の前記収納棚を取り囲むように配設され、前記物品を搬送する第１コンベアと、
前記第１コンベアから分岐して前記収納位置近傍まで延びた第２コンベアとをさらに有し、
前記昇降搬送装置が、前記第２コンベアとの間で前記物品の受け渡しを行い、
前記第１収納台車が、前記第１コンベアとの間で前記物品の受け渡しを行うことを特徴とする請求項２に記載の物品収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井から懸吊された搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液晶表示装置の製造工場において各製造工程に対応して、製造途中の基板などを保存しておくための自動倉庫（物品収納装置）が設けられており、各製造工程において製造された基板（物品）は、無人搬送車（搬送台車）によって対応する自動倉庫まで搬送され、自動倉庫内に設けられた自動倉庫間で基板を搬送する天井搬送車によって、別の製造工程に対応する自動倉庫に搬送され、この自動倉庫から基板が別の製造工程に搬送されるものが記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１５９３０４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、自動倉庫が各製造工程に近接して設けられているが、生産能力の向上などにより自動倉庫の収容能力を増強させる必要が生じた場合に、自動倉庫を製造工程と同じフロアに設けようとすると、スペースの関係から製造工程と自動倉庫とを近接させて配置することができない場合がある。そして、製造工程と自動倉庫とが離れて配置されると、無人搬送車が製造工程と自動倉庫との間で基板を搬送するのにかかる時間が増大してしまう。
【０００５】
本発明の目的は、物品の収納能力を増強させつつ、搬送台車による搬送時間が少ない物品収納装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の物品収納装置は、天井から懸吊されて敷設された搬送軌道に沿って走行する搬送台車により搬送される物品を収納する物品収納装置である。そして、天井裏に設けられた収納空間と、収納空間内に設けられ、物品が収納される収納棚と、搬送台車から収納棚への物品の搬入、及び、収納棚から搬送台車への物品の搬出を行う搬入出装置とを備え、搬入出装置が、天井を貫通して鉛直方向に昇降し、物品を収納空間の内部及び収納空間の外部に搬送するとともに、搬送台車との間で物品の受け渡しを行う昇降搬送装置と、収納空間内に配置され、昇降搬送装置と前記収納棚との間を移動するとともに、昇降搬送装置との間、及び、収納棚との間で物品の受け渡しを行う収納搬送装置とを備えている。
【０００７】
これによると、天井裏の空間を、物品を収納するための収納空間として用いることにより、物品の収納能力を増強させることができるとともに、工場設備などにおいて空間を有効活用することができる。さらに、昇降搬送装置は天井の任意の位置に設けることができるため、昇降搬送装置を物品の搬送先及び搬送元に近接させて配置することにより、搬送台車による物品の搬送に係る時間が短縮される。
【０００８】
また、本発明の物品収納装置においては、複数の収納棚が一方向に沿って互いに平行に配列されており、収納搬送装置が、隣接する収納棚の間に収納棚の延在方向に沿って配設された第１走行軌道と、第１走行軌道を走行し、収納棚との間で前記物品の受け渡しを行う第１収納台車とを有していてもよい。これによると、複数の収納棚が一方向に沿って互いに平行に配置されている場合、第１収納台車が隣接する収納棚の間に配設された第１走行軌道に沿って走行し、収納棚との物品の受け渡しを行うことにより、収納棚に対する物品の受け渡しを効率よく行うことができる。
【０００９】
また、本発明の物品収納装置においては、収納搬送装置が、複数の収納棚を取り囲むように配設された第２走行軌道と、第２走行軌道に沿って走行し、昇降搬送装置との間、及び、第１収納台車との間で物品の受け渡しを行う第２収納台車とをさらに備えていてもよい。これによると、複数の収納棚を取り囲む第２走行軌道に沿って走行する第２収納台車を介して、搬入出装置と任意の収納棚に対応する第１収納台車との間で物品の受け渡しを行うことができるため、収納棚及び対応する第１収納台車の数を増加させ、収納空間における物品の収納能力をさらに増強させることができる。さらに、第１収納台車と第２収納台車とが独立し移動可能であるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを効率よく行うことができる。
【００１０】
また、本発明の物品収納装置においては、収納搬送装置が、複数の収納棚を取り囲むように配設され、物品を搬送する第１コンベアと、第１コンベアから分岐して収納位置近傍まで延びた第２コンベアとをさらに有し、昇降搬送装置が、第２コンベアとの間で物品の受け渡しを行い、第１収納台車が、第１コンベアとの間で物品の受け渡しを行ってもよい。これによると、複数の収納棚を取り囲むように配設された第１コンベアを介して搬入出装置と任意の収納棚に対応する第１収納台車との間で物品の受け渡しを行うことができるので、収納棚及び対応する第１収納台車の数を増加させ、収納空間における物品の収納能力をさらに向上させることができる。さらに、第１収納台車と第１、第２コンベアとは独立して動作することができるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを効率よく行うことができる。加えて、第１、第２コンベアが設けられていることにより、搬入出装置と第２コンベアとの間及び第１コンベアと第２コンベアとの間で物品の受け渡しを即座に行うことができるので、収納棚への物品の収納及び収納棚からの物品の取り出しを一層効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１２】
図１は本実施の形態に係る搬送システム１０の天井裏を除く部分の平面図である。図２は図１のリフタユニット２の１つと天井裏のこのリフタユニット２に対応する部分の斜視図である。図３は図２の天井裏の部分の平面図である。搬送システム１０は半導体製造工場のクリーンルーム内に設けられたものであり、図１〜図３に示すように、４つのベイ７、４つのストッカ２０、搬送軌道１０、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）搬送台車１７及び収納装置（物品収納装置）１０１を有する。
【００１３】
４つのベイ７は、図１の上下方向に２つずつ、図１の左右方向に２列に配置されている。各ベイ７には４つの半導体製造装置１４が設けられており、半導体製造装置１４により半導体製造の各工程が行われる。各半導体製造装置１４には、製造途中の製品などを搬送するためのキャリア（物品）１８を搬入するための搬入ポート１５及びキャリア１８を搬出するための搬出ポート１６が設けられている。
【００１４】
４つのストッカ２０は、４つのベイ７にそれぞれ隣接して配置されており、内部にキャリア１８が収納されている。各ストッカ２０には、キャリア１８を搬入するための搬入ポート２１及びキャリア１８を搬出するための搬出ポート２２が設けられている。
【００１５】
搬送軌道１０は天井から懸吊されて敷設された軌道であり、搬送軌道１０から懸吊されたＯＨＴ搬送台車１７が搬送軌道１０に沿って走行する（ＯＨＴ搬送台車１７は搬送軌道１０に沿って移動可能に支持されている）。そして、ＯＨＴ搬送台車１７がキャリア１８を載置しつつ搬送軌道１０に沿って走行することにより、キャリア１８を半導体製造装置１４、ストッカ１５及び収納装置１０１の後述するリフタユニット２に搬送する。
【００１６】
搬送軌道１０は、工程間軌道１１、分岐軌道１２及び工程内軌道１３から構成されている。工程間軌道１１は、図１の上下方向に延びた環状の軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１７が工程間軌道１１に沿って走行することによりベイ７の間及びベイ７とストッカ２０との間でキャリア１８を搬送する。
【００１７】
分岐軌道１２は、４つのベイ７及び４つのストッカ２０に対応して工程間軌道１１から分岐した軌道である。ＯＨＴ搬送台車１７は、分岐軌道１２を介して工程間軌道１１と工程内軌道１３との間を移動する。又は、ＯＨＴ搬送台車１７は、分岐軌道１２に沿ってストッカ２０の搬入ポート２１の上方まで移動して搬入ポート２１にキャリア１８を移載し、搬出ポート２２の上方まで移動して搬出ポート２２に載置されたキャリア１８をＯＨＴ搬送台車１７に移載する。
【００１８】
工程内軌道１３は、各ベイ７の上方に配設された環状の軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１８は、半導体製造装置１４にキャリア１８を搬入する場合には、工程内軌道１３に沿って走行して、半導体製造装置１４の搬入ポート１５の上方まで移動して搬入ポート１５にキャリア１８を載置し、半導体製造装置１４からキャリア１８を搬出する場合には、工程内軌道１３に沿って走行して、半導体製造装置１４の搬出ポート１６の上方まで移動し、搬出ポート１６に載置されたキャリア１８をＯＨＴ搬送台車１７に移載する。
【００１９】
収納装置１０１は、ストッカ２０とは別に設けられたキャリア１８を収納するための装置であり、クリーンルームの天井裏に設けられた収納空間１と、収納空間１に設けられた４つの収納棚２３、２本のレール（第１走行軌道）２５、２つ移載ロボット（第１搬送台車）２４及び作業足場４０と、リフタユニット２とにより構成されている。
【００２０】
収納空間１は、天井５の上面を床面とする空間である。４つ収納棚２３は、キャリア１８を収納しておくための略直方体形状の棚であり、収納空間１内に、図３の左右方向に沿って互いに平行に配列されている。２本のレール２５は、それぞれ、図３の左から１番目と２番目の収納棚２３の間及び左から３番目と４番目の収納棚２３の間に、収納棚２３と平行に延びている。２つの移載ロボット２４は、それぞれ２本のレール２５に沿って収納棚２３と収納ポート３２（リフタ３０）との間を走行し、収納棚２３にキャリア１８を載置する又は収納棚２３に載置されたキャリア１８を移載ロボット２４に移載する（収納棚２３との間でキャリア１８の受け渡しを行う）。また、移載ロボット２４は、レール２５に沿って後述する収納ポート３２近傍まで移動し、収納ポート３２にキャリア１８を移載する、あるいは、収納ポート３２に載置されたキャリア１８を移載ロボット２４に移載する。作業足場４０は、図２のリフタユニット２の手前側に設けられており、作業者が保守点検をするために用いる足場となっている。
【００２１】
このように、クリーンルームの天井裏にキャリア１８を収納するための収納空間１を設けることにより、キャリア１８の収納能力を増強させることができるとともに、クリーンルームの空間を有効利用することができる。また、収納空間１において、収納棚２３を互いに平行に配列し、隣接する収納棚２３の間に配置されたレール２５に沿って移載ロボット２４を移動させて、収納棚２３と移載ロボット２４との間で効率よくキャリア１８の受け渡しを行うことができる。なお、レール２５と移載ロボット２４とが、本発明の収納搬送装置に相当する。
【００２２】
リフタユニット２は、略直方体の外形形状を有する筒状体であり、天井５の各ベイ７の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びている。ここで、リフタユニット２は、天井５の任意の位置に設けることができるので、図１、図２に示すように、各ベイ７に近接させて設けることにより、ＯＨＴ搬送台車１７により半導体製造装置１４とリフタユニット２との間でキャリア１８を搬送するのにかかる時間が短くてすむ。なお、リフタユニット２は２つのリフタ（昇降搬送装置）３０が一体となったものである。各リフタ３０は、昇降台６、移載装置３４、搬入出ポート２６、収納ポート３２及び地上ポート８を有している。昇降台６は、リフタ３０（リフタユニット２）の内部空間内において、キャリア１８を載置して鉛直方向に昇降することによりキャリア１８を搬入出ポート２６及び収納ポート３２に搬送する（天井５を貫通して昇降し、キャリア１８を収納空間１の内部及び収納空間１の外部に搬送する）。移載装置３４は、昇降台６の上面に配置されており、キャリア１８を昇降台６に載置する、又は、昇降台６に載置されたキャリア１８を搬入出ポート２６及び収納ポート３２に移載する。
【００２３】
搬入出ポート２６は、工程内軌道１３を走行するＯＨＴ搬送台車１７の下方において、リフタユニット２に形成された搬入出口２８から外側に略水平方向に延びている。搬入出ポート２６には、ＯＨＴ搬送台車１７からキャリア１８が移載され、搬入出ポート２６に移載されたキャリア１８はさらに昇降台６に移載される。あるいは、搬入出ポート２６には、昇降台６からキャリア１８が移載され、搬入出ポート２６に移載されたキャリア１８は、さらにＯＨＴ搬送台車１７に移載される。すなわち、搬入出ポート２６を介して、ＯＨＴ搬送台車１７と昇降台６（リフタ３０）との間でキャリア１８の受け渡しが行われる。
【００２４】
収納ポート３２は、リフタユニット２の上端部付近に形成された収納口３５から外側に略水平方向に延びている。収納ポート３２には、昇降台６からキャリア１８が移載され、収納ポート３２に移載されたキャリア１８は、さらに移載ロボット２４に移載される。あるいは、収納ポート３２には、移載ロボット２４からキャリア１８が移載され、収納ポート１８に移載されたキャリア１８はさらに昇降台６に移載される。すなわち、収納ポート３２を介して、昇降台６と移載ロボット２４との間でキャリア１８の受け渡しが行われる。
【００２５】
地上ポート８は、リフタユニット２の下端部付近に形成された地上搬入出口９から外側に略水平方向に延びている。地上ポート８には、作業者Ｐによりキャリア１８が移載され、地上ポート８に移載されたキャリア１８はさらに昇降台６に移載される。あるいは、地上ポート８には、昇降台６によりキャリア１８が移載され、地上ポート８に移載されたキャリア１８が作業者Ｐによって取り出される。すなわち、地上ポート８を介して、作業者Ｐと昇降台６との間でキャリア１８の受け渡しが行われる。
【００２６】
なお、上述した本発明の収納搬送装置に相当するレール２５及び移載ロボット２４に、リフタユニット２を加えたものが、本発明の搬入出装置に相当し、この搬入出装置が、ＯＨＴ搬送台車１７から収納棚２３へのキャリア１８の搬入、及び、収納棚２３からＯＨＴ搬送台車１７へのキャリア１８の搬出を行う。
【００２７】
ここで、収納棚２３にキャリア１８を収納する方法及び収納棚２３に収納されたキャリア１８を取り出す方法について説明する。
【００２８】
収納棚２３にキャリア１８を収納するには、ＯＨＴ搬送台車１７を収納棚２３に収納するキャリア１８がある半導体製造装置１４の搬出ポート１６の上方まで移動させ、搬出ポート１６からＯＨＴ搬送台車１７にキャリア１８を移載する。そして、ＯＨＴ搬送台車１７を同じベイ７内に設けられたリフタ３０（リフタユニット２）の搬入出ポート２６の上方まで移動させ、キャリア１８を搬入出ポート２６に移載する。このとき、リフタ３０が、天井５の各ベイ７の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びており、各ベイ７に近接した位置にあるので、ＯＨＴ搬送台車１７を搬出ポート１６から搬入出ポート２６まで移動させるのにかかる時間が少なくてすむ。
【００２９】
次に、昇降台６を搬入出口２８と同じ高さまで移動させてから、移載装置３４により搬入出ポート２６に移載されたキャリア２８を昇降台６に移載する。そして、昇降台６を収納口３５と同じ高さまで移動させ、移載装置３４により、キャリア１８を昇降台６から収納ポート３２に移載する。
【００３０】
次に、移載ロボット２４をレール２５に沿って収納ポート３２に近接する位置まで移動させ、収納ポート３２に移載されたキャリア１８を移載ロボット２４に移載する。そして、移載ロボット２４を、レール２５に沿って収納棚２３のキャリア１８を収納すべき位置に対向する位置まで移動させ、移載ロボット２４から収納棚２３にキャリア１８を移載し、キャリア１８を収納棚２３に収納する。
【００３１】
一方、収納棚２３に収納されたキャリア１８を取り出すには、移載ロボット２４をレール２５に沿って収納棚２３の取り出すべきキャリア１８が収納された部分に対向する位置まで移動させ、収納棚２３から移載ロボット２４にキャリア１８を移載する。次に、移載ロボット２４をレール２５に沿って収納ポート３２に近接する位置まで移動させ、移載ロボット２４から収納ポート３２にキャリア１８を移載する。
【００３２】
次に、昇降台６を収納口３５と同じ高さまで移動させ、移載装置３４により、収納ポート３２から昇降台６にキャリア１８を移載する。そして、昇降台６を搬入出口２８と同じ高さまで移動させ、移載装置３４により昇降台６から搬入出ポート２６にキャリア１８を移載する。
【００３３】
次に、ＯＨＴ搬送台車１７を搬入出ポート２６の上方まで移動させ、搬入出ポート２６からＯＨＴ搬送台車１７にキャリア１８を移載する。そして、ＯＨＴ搬送台車１７を搬送先の半導体製造装置１４の搬入ポート１５の上方まで移動させ、ＯＨＴ搬送台車１７から搬入ポート１５にキャリア１８を移載する。このとき、リフタ３０が、天井５の各ベイ７の上方の部分を貫通して鉛直方向に延びており、各ベイ７に近接した位置にあるので、ＯＨＴ搬送台車１７を搬入出ポート２６から搬入ポート１５まで移動させるのにかかる時間が少なくてすむ。
【００３４】
なお、地上ポート８から収納装置１０１にキャリア１８を収納する方法、及び、収納装置１０１に収納されたキャリア１８を地上ポート８において取り出す方法も上述したのと同様であるのでここでは説明を省略する。
【００３５】
以上に説明した実施の形態によると、クリーンルームの天井裏の空間を、キャリア１８を収納するための収納空間１として用いることにより、キャリア１８の収納能力を増強させることができるとともに、クリーンルームにおいて空間を有効活用することができる。さらに、リフタユニット２は天井５の任意の位置に設けることができるため、リフタユニット２を搬送先及び搬送元である半導体製造装置１４があるベイ７に近接させて配置することにより、ＯＨＴ搬送台車１７によるキャリア１７の搬送にかかる時間が短縮される。
【００３６】
また、収納空間１において、収納棚２３を互いに平行に配列し、隣接する収納棚２３の間に収納棚２３の延在方向に沿って延びたレール２５に沿って移載ロボット２４を移動させることにより、収納棚２３と移載ロボット２４との間で効率よくキャリア１８の受け渡しを行うことができる。
【００３７】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００３８】
一変形例では、図４に示すように、収納空間３に、６つの収納棚２３が図４の左右方向に沿って互いに平行に配列されており、左から１番目と２番目の収納棚２３の間、左から３番目と４番目の収納棚２３の間、及び、左から５番目と６番目の収納棚２３の間にそれぞれレール２５が敷設され、レール２５に沿って移載ロボット２４が走行するように構成されている。さらに、これら６つの収納棚２３及び３本のレール２５を取り囲むようにレール（第２走行経路）５０が敷設され、レール５０に沿ってＯＨＳ（Over Head Shuttle）搬送台車（第２収納台車）５１が走行する（変形例１）。
【００３９】
この場合、収納空間３にキャリア１８を収納する際には、前述したのと同様、キャリア１８を載置した昇降台６を、収納口３５（図２参照）と同じ高さまで移動させる。そして、昇降台６から、移載装置３４によりこの昇降台６に近接する位置まで移動させたＯＨＳ搬送台車５１にキャリア１８を移載し、ＯＨＳ搬送台車５１をこのキャリア１８が収納される収納棚２３に対応する移載ロボット２４が走行するレール２５の一方の端近傍まで移動させ、この位置において、ＯＨＳ搬送台車５１から移載ロボット２４にキャリア１８を移載する。
【００４０】
一方、収納空間３に収納されたキャリア１８を取り出す際には、取り出すべきキャリア１８が収納された収納棚２３に対応する移載ロボット２４が走行するレール２５の一方の端近傍までＯＨＳ搬送台車５１を移動させ、移載ロボット２４からＯＨＳ搬送台車５１にキャリア１８を移載する。そして、ＯＨＳ搬送台車５１をレール５０に沿ってリフタユニット２と近接する位置まで移動させ、移載装置３４によりＯＨＳ搬送台車５１から昇降台６にキャリア１８を移載する。
【００４１】
この場合には、複数の収納棚２３を取り囲むように敷設されたレール５０に沿って走行するＯＨＳ搬送台車５１を介して、昇降台６と移載ロボット２４との間のキャリア１８の受け渡しを行っているので、リフタユニット２とレール２５とが離れて配置されていてもよく、収納棚２３、レール２５及び移載ロボット２４の数を増加させて、収納空間３におけるキャリア１８の収納能力を増強させることができる。
【００４２】
また、移載ロボット２４とＯＨＳ搬送台車５１とは独立して移動可能であるので、移載ロボット２４が収納棚２３との間でキャリア１８の受け渡しを行っている間にも、ＯＨＳ搬送台車５１と昇降台６との間でキャリア１８の受け渡しを行うことができ、収納空間３へのキャリア１８の収納及び収納空間３からのキャリア１８の取り出しを効率よく行うことができる。
【００４３】
なお、変形例１では、収納棚２３の数を６つ、レール２５及び移載ロボット２４の数を３本としているが、収納棚２３、レール２５及び移載ロボット２４の数を、収納空間３の大きさに合わせて適宜増加させることも可能である。また、変形例１においては、レール２５、移載ロボット２４、レール５０及びＯＨＳ搬送台車５１が、本発明の収納搬送装置に相当する。
【００４４】
別の一変形例では、図５に示すように、収納空間４に変形例１と同様、６つの収納棚２３が図５の左右方向に沿って互いに平行に配列されており、左から１番目と２番目の収納棚２３の間、左から３番目と４番目の収納棚２３の間、及び、左から５番目と６番目の収納棚２３の間にそれぞれレール２５が敷設され、レール２５に沿って移載ロボット２４が走行するように構成されている。さらに、これら６つの収納棚２３及び３本のレール２５を取り囲むようにコンベア（第１コンベア）５２が敷設されており、また、コンベア５２から分岐したコンベア（第２コンベア）５３がリフタユニット２に近接する位置まで延びている。さらに、コンベア５２とコンベア５３との分岐点、コンベア５３のリフタユニット２近傍、及び、コンベア５２のレール２５の両端近傍には、それぞれ、ターンテーブル５５、５６、５７が設けられている（変形例２）。
【００４５】
この場合、収納空間４にキャリア１８を収納する際には、前述したように、キャリア１８を載置した昇降台６を収納口３５（図２参照）と同じ高さまで移動させる。そして、昇降台６から、移載装置３４によりターンテーブル５６にキャリア１８を移載する。すると、キャリア１８がコンベア５３に沿ってコンベア５２との分岐点に設けられたターンテーブル５５まで搬送される。さらに、キャリア１８は、コンベア５２に沿ってこのキャリア１８が収納される収納棚２３に対応するレール２５の一方の端近傍に配置されたターンテーブル５７上まで搬送され、このターンテーブル５７によってその位置に留められる。そして、このターンテーブル５７上に留められた搬送されたキャリア１８は移載ロボット２４に移載される。
【００４６】
一方、収納空間４に収納されたキャリア１８を取り出す際には、取り出すキャリア１８が収納された収納棚２３に対応する移載ロボット２４がレール２５の一方の端近傍ターンテーブル５５にキャリア１８を載置する。すると、キャリア１８は、コンベア５２に沿って搬送先の半導体制御装置１４（図１参照）があるベイ７（図１参照）に対応するリフタユニット２とコンベア５２との間に延びたコンベア５３との分岐点にあるターンテーブル５５まで搬送され、ターンテーブル５５によってコンベア５２に搬送される。さらに、キャリア１８はコンベア５２によりリフタユニット２近傍にあるターンテーブル５６まで搬送され、ターンテーブル５６によってその位置に留められる。そして、このターンテーブル５６に留められたキャリア１８を移載装置３４により昇降台６に移載する。
【００４７】
この場合には、複数の収納棚２３を取り囲むように敷設されたコンベア５２、及び、コンベア５２から分岐したコンベア５３を介して、昇降台６と移載ロボット２４との間のキャリア１８の受け渡しを行っているので、リフタユニット２とレール２５とが離れて配置されていてもよく、収納棚２３、レール２５及び移載ロボット２４の数を増加させて、収納空間４におけるキャリア１８の収納能力を増強させることができる。
【００４８】
また、移載ロボット２４とコンベア５２、５３とは独立して動作するので、移載ロボット２４が収納棚２３との間でキャリア１８の受け渡しを行っている間にも、昇降台６とコンベア５３との間でキャリア１８の受け渡しを行うことができ、収納空間４へのキャリア１８の収納及び収納空間４からのキャリア１８の取り出しを効率よく行うことができる。さらに、昇降台６から移載ロボット２４までキャリア１８を搬送するのが、コンベア５２、５３であるので、昇降台６との間でキャリア１８の受け渡しを行う際に、変形例１のようにＯＨＳ搬送台車５１（図４参照）が昇降台６の近傍にくるのを待つ必要がなく、昇降台６とコンベア５３との間で即座にキャリア１８の受け渡しを行い、コンベア５２に搬送することができるため、収納空間４へのキャリア１８の収納及び収納空間４からのキャリア１８の取り出しを一層効率よく行うことができる。
【００４９】
なお、変形例２でも、変形例１と同様、収納棚２３、レール２５及び移載ロボット２４の数を、収納空間４の大きさに合わせて適宜増加させることが可能である。また、変形例２においては、レール２５、移載ロボット２４、コンベア５２、５３及びターンテーブル５５〜５７が本発明の収納搬送装置に相当する。
【００５０】
また、本実施の形態では、搬送台車としてＯＨＴ搬送台車１７を用いた例について説明したが、搬送台車として、ＯＨＳ搬送台車などＯＨＴ搬送台車１７以外のものを用いてもよい。
【００５１】
また、本実施の形態では、リフタユニット２を構成する２つのリフタ３０の両方を収納空間１へのキャリア１８の収納、及び、収納空間１からのキャリア１８の取り出しのために使用したが、２つのリフタ３０のうちの一方を収納空間１へのキャリア１８の収納のためだけに使用し、他方を収納空間１からのキャリア１８の取り出しのためだけに使用し、収納空間１からのキャリア１８の取り出しのために使用するリフタ３０の収納口３２近傍にエアシャワーを設けてもよい。この場合には、収納空間１内に僅かな塵等があり、その塵がキャリア１８に付着していたとしても、エアシャワーによりその塵が除去され、クリーンルーム内に塵が持ち込まれるのを防止することができる。
【００５２】
また、収納空間１が外気に連通している場合には、収納空間内に外気中に含まれる塵などを除去し、収納空間１の内部に塵が入るのを防止するためのフィルタが設けられていてもよい。
【００５３】
また、天井５は、本実施の形態の場合のように上面が平面となった構造の他に、グレーチング構造などにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送システムの天井裏を除く部分の概略構成図である。
【図２】図１の搬送システムの１つのリフタユニットと天井裏のこのリフタユニットに対応する部分の斜視図である。
【図３】図２の天井裏の部分の平面図である。
【図４】変形例１の図３相当の平面図である。
【図５】変形例２の図３相当の平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  収納空間
２  リフタユニット
５  天井
６  昇降台
１０  搬送システム
１７  ＯＨＴ搬送台車
１８  キャリア
２３  収納棚
２４  移載ロボット
２５  レール
３０  リフタ
５０  レール
５１  ＯＨＳ搬送台車
５２、５３  コンベア
５５〜５７  ターンテーブル
１０１  収納装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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