(57)【要約】【課題】金属磁性体を用いた磁性素子において、その直流重畳特性を向上させることができる複合磁性体及びこれを用いた磁性素子を提供することを目的とする。【解決手段】絶縁層を介して複数の磁性薄体を積層した複合磁性体であって、前記磁性薄体の少なくとも一層の磁性薄体の気孔の含有率を３〜５０ｖｏｌ％とする。このような構成とすることによって、コイルに大電流を流しても磁束が早期に飽和することが無くなり、高い直流重畳特性を有する複合磁性体およびこれを用いた磁性素子を実現することができる。【選択図】図２
2008300705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層を介して複数の磁性薄体を積層した複合磁性体であって、前記磁性薄体の少なくとも一層の磁性薄体の気孔の含有率を３〜５０ｖｏｌ％とした複合磁性体。
【請求項２】
磁性薄体を金属磁性材料とした請求項１に記載の複合磁性体。
【請求項３】
金属磁性材料をＦｅ、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系の少なくとも一つを含む金属磁性材料とした請求項２に記載の複合磁性体。
【請求項４】
磁性薄体を金属磁性粉末の焼結体とした請求項１に記載の複合磁性体。
【請求項５】
磁性薄体を金属磁性粉末と絶縁性樹脂のコンポジット材とし、気孔に絶縁性樹脂を充填した請求項１に記載の複合磁性体。
【請求項６】
絶縁層を絶縁性樹脂とした請求項１に記載の複合磁性体。
【請求項７】
絶縁性樹脂をエポキシ樹脂、フェノール樹脂、またはシリコン樹脂のうちの少なくとも一つを含む絶縁性樹脂とした請求項４に記載の複合磁性体。
【請求項８】
絶縁層を介して複数の磁性薄体を積層し、前記磁性薄体の少なくとも一層の磁性薄体の気孔の含有率を３〜５０ｖｏｌ％とした複合磁性体と、この複合磁性体の内部に流れる磁束を発生させるコイルと、このコイルに電気的に接続された端子とを設けた磁性素子。
【請求項９】
磁性薄体を金属磁性材料とした請求項８に記載の複合磁性体。
【請求項１０】
金属磁性材料をＦｅ、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系の少なくとも一つを含む金属磁性材料とした請求項９に記載の複合磁性体。
【請求項１１】
磁性薄体を金属磁性粉末の焼結体とした請求項８に記載の磁性素子。
【請求項１２】
磁性薄体を金属磁性粉末と絶縁性樹脂のコンポジット材とし、気孔に絶縁性樹脂を充填した請求項８に記載の磁性素子。
【請求項１３】
絶縁層を絶縁性樹脂とした請求項８に記載の磁性素子。
【請求項１４】
絶縁性樹脂をエポキシ樹脂、フェノール樹脂またはシリコン樹脂のうちの少なくとも一つを含む樹脂とした請求項１３に記載の磁性素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子機器のインダクタ、チョークコイル、トランス等に用いられる複合磁性体及びこれを用いた磁性素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の磁性体を用いた磁性素子は、図５に示すごとく、珪素鋼板等の金属磁性板を打ち抜き加工した板状の磁性体からなる磁性薄体を積層してＥコア、あるいはＩコアの形状になるように形成し、そのＥコアあるいはＩコアを用いて、Ｅ―Ｅコア、あるいはＥ−Ｉコアを突き合わせて形成された磁性体２０と、この磁性体２０の内部に流れる磁束を発生させるコイル２２と、このコイル２２の先端２２が端子２３に電気的に接続された構成としていた（例えば、特許文献1参照）。
【特許文献１】特開平１１−２１９８３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記従来の構成の磁性素子では、高い透磁率を有した金属磁性体を用いており、この高い透磁率の影響で直流重畳特性が低いという課題を有していた。
【０００４】
すなわち、前記従来の構成においては、コイル２２に流す電流を大きくするに伴い、コイル２２で発生する磁束量が大きくなり、その結果として磁性体２０の内部を通過することができる磁束量がすぐに飽和することによって、直流重畳特性が低いことが問題となっていた。
【０００５】
本発明は、このような金属磁性体を用いた磁性素子において、その直流重畳特性を向上させることができる複合磁性体及びこれを用いた磁性素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記従来の課題を解決するために、本発明は、絶縁層を介して複数の磁性薄体を積層した複合磁性体とし、前記磁性薄体の少なくとも一層の磁性薄体の気孔の含有率を３〜５０ｖｏｌ％となるように磁性薄体の内部に気孔を設ける構成としたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の複合磁性体及びこれを用いた磁性素子は、気孔の存在により複合磁性体としての透磁率を低下させることにより、コイルに大電流を流しても磁束が早期に飽和することが無くなり、その結果として、高い直流重畳特性を有する複合磁性体を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における複合磁性体及びこれを用いた磁性素子について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施の形態１における複合磁性体に用いる磁性薄体の断面図であり、図２はこの磁性薄体を用いた複合磁性体の断面図であり、図３は図２に示した複合磁性体を用いた磁性素子の断面図であり、図４は外観斜視図である。
【０００９】
図１に示すごとく、本実施の形態１における複合磁性体に用いる磁性薄体１ａは、磁性材料から成るシート状の薄体からなり、このシート状の磁性薄体１ａの内部には気孔３を設けた構成としている。このような気孔３を設けた磁性薄体１ａは金属磁性粉末２をシート状に加工することによって形成することができる。
【００１０】
このときのシートの厚みは３００μｍ以下の厚みが好ましく、より好ましくは１００μｍ以下が好ましい。これによって、渦電流の抑制が図れ、高周波域での損失増加を抑制することができる。
【００１１】
また、前記のような厚みを有する磁性薄体１ａは金属磁性粉末２の焼結体として作製することが生産性の観点から好ましく、容易に所定の厚みの磁性薄体１ａを作製することができるとともに、気孔率の制御が容易となる。
【００１２】
そして、このような気孔３を設けた磁性薄体１ａを複合磁性体の内部に設けることによって、複合磁性体の透磁率を低下させることができることから、直流重畳特性を改善することができる。また、この磁性薄体１ａの気孔の含有率（気孔率）は３〜５０％が好ましい。３％を下回ると直流重畳特性の改善効果が著しく低下し、５０％を越えると飽和磁束密度が低下することによって直流重畳特性が低下する。
【００１３】
また、この磁性薄体１ａには金属磁性材料を用いることが磁気特性の観点から好ましく、この金属磁性材料としては、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系の少なくとも一つを含む金属磁性材料とすることが飽和磁束密度、透磁率、ヒステリシス損失などの磁気特性、生産性あるいは入手性の観点から好ましい。
【００１４】
次に、この磁性薄体１ａの製造方法について詳細に説明する。
【００１５】
まず始めに、金属磁性粉末２と有機結着剤を混練分散してスラリーとする。その後、得られたスラリーを用いてグリーンシート成型機を用いて、シート状混合物を形成する。
【００１６】
次に、このシート状混合物を脱媒、焼成することにより、磁性材料からなるシートの内部に気孔３を有する磁性薄体１ａを作製することができる。
【００１７】
なお、本実施の形態１における混練分散工程は特に限定されるものではなく、例えば回転ボールミル、遊星型ボールミル等、各種ボールミルを用いることができる。また、混練分散時にシート状混合物の可塑性向上を目的とした可塑剤添加やスラリーの粘度調整を目的とした溶媒添加を行うことも可能である。
【００１８】
また、シート成型工程は、例えば押し出し成型、金型成型などを用いることも可能である。
【００１９】
また、脱媒工程は通常の加熱炉を用いて行うことができ、その脱脂条件としては用いる有機結着剤により適宜決めればよく、脱脂温度としては２００〜５００℃、脱脂時間としては１〜２４時間の範囲で行うことによって脱脂することができる。
【００２０】
さらに、焼成工程は横型炉、箱型炉、ベルト炉等、通常の電気炉を用いて行うことができる。このときの焼成条件は、目的とする気孔率に応じて適宜定めればよく、焼成温度としては６００〜１４００℃、焼成時間としては０．５〜４８時間の範囲で行うことができる。
【００２１】
なお、焼成雰囲気としては酸化による磁気特性劣化を防ぐため、還元雰囲気、不活性雰囲気等の非酸化性雰囲気が好ましい。
【００２２】
また、別の構成の磁性薄体１ａとして、金属磁性粉末２と絶縁性樹脂のコンポジット材とし、気孔が存在する箇所に絶縁性樹脂を充填することによって生産性に優れた磁性薄体１ａを実現することができる。これによって、焼結工程が不要となる。このようなコンポジット材の作製は、有機結着剤としての樹脂を含んだスラリーを作製し、このスラリーを所定の厚みとなるようにシート状に成型した後、有機結着剤である樹脂を硬化させることによって作製することができる。このときに用いる樹脂としては前記の樹脂に加えて、エポキシ樹脂、フェノール樹脂またはシリコン樹脂などを用いることが好ましい。
【００２３】
次に、このような磁性薄体１ａを用いた複合磁性体の構成について説明する。
【００２４】
図２に示すごとく、本実施の形態１における複合磁性体は、絶縁性を有する絶縁層６を介して磁性薄体１を積層した構成としており、前記磁性薄体１は気孔を有した磁性薄体１ａと金属板状の磁性薄体１ｂとを絶縁層６を介して交互に積層した構成としている。前記気孔を有した磁性薄体１ａを設けることによって、複合磁性体の透磁率を所定の透磁率まで下げることができ、この透磁率を所定の透磁率まで低下させることによって直流重畳特性を制御することができる。
【００２５】
また、複合磁性体の最外層には透磁率の高い金属板などのバルク状の磁性薄体１ｂを配置することが好ましい。これによって、漏れ磁束を抑制して銅損を低減できる複合磁性体を実現することができる。
【００２６】
なお、複合磁性体を構成する磁性薄体１の中で、気孔を設けた磁性薄体１ａとバルク状の磁性薄体１ｂをどの程度の割合で積層するかについては、適宜求められる特性に対応しながら所定の割合とすることができる。これによって、設計の自由度を高めることができる。従って、積層された複合磁性体の少なくとも一枚の磁性薄体１ａを用いることによってその作用を発揮することができる。
【００２７】
なお、図２に示される磁性薄体１ｂには珪素鋼板、ＦｅＮｉ板、アモルファス金属板等の金属磁性材料からなるバルク材を用いることが可能である。
【００２８】
また、絶縁層６を絶縁性樹脂で形成して接合することによって、効率良く積層することができる。そして、この絶縁性樹脂をエポキシ樹脂、フェノール樹脂、またはシリコン樹脂のうちの少なくとも一つを含む絶縁性樹脂とすることが生産性、入手性および実用上の観点から好ましい。
【００２９】
このような構成により、金属磁性材料からなる磁性薄体１ａの透磁率を低下させることによって高い飽和磁束密度を有しながら、複合磁性体１の磁気飽和による直流重畳特性を改善した複合磁性体を実現することができる。
【００３０】
次に、この複合磁性体を用いた磁性素子について説明する。
【００３１】
図３及び図４に示すごとく、本実施の形態１における磁性素子は、気孔を有する磁性薄体１ａ、バルク状の磁性薄体１ｂおよび絶縁層６からなる積層コアである複合磁性体７と、この複合磁性体７に流れる磁束を発生させるコイル４と、このコイル４に電気的に接続された端子５とを備えた構成としている。このような構成はインダクタ部品、チョークコイル部品、トランス部品として各種電子機器に用いられる。このような磁性素子は一般的には複合磁性素子と、それぞれの部品性能に合わせて所定の太さの銅線を所定の巻き数に巻いてコイル４とし、実用に供せられる。
【００３２】
本実施の形態１における磁性素子では、平均粒子径が１２μｍ、組成が重量％で４９Ｎｉ５１Ｆｅの金属磁性粉末２を用い、有機結合剤、可塑剤、および分散媒を用いてスラリーを作製し、シート成型機などを用いてシートを作製した。
【００３３】
この得られたシートを３５０℃で８時間脱脂をした後、Ｈ2雰囲気下にて焼成温度；１０５０℃、焼成時間；１時間で焼成を行い、気孔率；２３％、厚み；３５μｍ程度の磁性薄体１ａとした。得られた磁性薄体１ａを用いて、同じ組成を有する金属板の打ち抜き加工によって、バルク状の厚み３５μｍ程度の磁性薄体１ｂを作製し、これらの磁性薄体１ａ，１ｂを用いて、絶縁層６であるシート状のエポキシ樹脂を介して交互に積層して接合することによって、外形；２５ｍｍ、内径；１５ｍｍ、高さ；１０ｍｍの積層コア構造を有した複合磁性体７からなるコアを作製した。作製したコアに線径１ｍｍの銅線を用いて２０Ｔの巻線を施し、周波数９５ｋＨｚの交流正弦波にて電流を８Ａ印加したときのＬ値が１００μＨとなるようなチョークコイルを作製した。比較例として磁性薄体１ｂと絶縁層６を用いて前記と同様の形状を有する積層コアを作製し、前記チョークコイルと同じ銅線を用いて、周波数９５ｋＨｚの交流正弦波にて電流を８Ａ流したときのＬ値が同じＬ値となるように調整しながら銅線を巻いてチョークコイルとした。このときの巻き数は実施例よりも多く巻いた。
【００３４】
この作製したチョークコイルに周波数９５ｋＨｚの交流正弦波８Ａを印加することによって、チョークコイルの発熱を測定した結果、本実施の形態１におけるチョークコイルでは９５℃であったのに対し、比較例を用いたチョークコイルでは１２６℃と高い値であった。このことより、本実施の形態１の磁性素子は直流重畳特性に優れることから温度上昇も少なく、効率の高い優れた磁性素子であることがわかる。
【００３５】
このような構成により、気孔３の存在により磁性薄体１ａの透磁率を低下させることができ、その結果として、複合磁性体の透磁率を所定の透磁率になるように制御することが可能となり、コイル４に大電流を流しても磁束が飽和せず、高い直流重畳特性を得ることができる磁性素子を実現することができる。
【００３６】
また、気孔率の異なる磁性薄体１ａを作製し、この異なった磁性薄体１ａを組み合わせて所定の直流重畳特性を示す磁性素子を実現することができる。
【００３７】
なお、シートを構成する磁性材料には、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系等の金属磁性材料を用いることが望ましい。これら金属磁性材料は、飽和磁束密度、透磁率ともに高く優れた軟磁気特性を示すものであるからである。
【００３８】
また、Ｆｅ、Ｎｉの少なくとも一種の含有率が５０ｗｔ％以上であれば、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｍｏ、Ａｌの比率は目的とする磁気特性に応じて適宜決めればよい。
【００３９】
なお、金属磁性材料が磁性薄体１ａの内部において、磁気的に連続している構成とすることが望ましく、これによって優れた磁気特性を得ることができる。
【００４０】
なお、シート成型に用いられる金属磁性粉末の平均粒径は０．１〜１００μｍとすることが望ましい。０．１μｍより小さいと、例えばアトマイズ法により作製する場合は収率が著しく低下する、またこのような微粉の製法として、例えば溶液中での析出反応を利用した湿式法や、熱プラズマ等により蒸発凝固を利用した気相法が挙げられるが、これらの製法ではコスト高となるため０．１μｍ以上とすることが好ましい。１００μｍを越えると金属磁性粉末を用いて薄い磁性薄体１ａの作製が困難となる。
【００４１】
また、有機結着剤は特に限定されるものではなく、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、フェノール樹脂等を用いることが可能である。好ましくは脱脂性が良好なアクリル樹脂、ブチラール樹脂である。
【００４２】
本実施の形態１における磁性薄体１ｂは、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｓｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｍｏ系、Ｆｅ−Ｓｉ−Ａｌ系等の金属磁性材料を用いることが望ましい。これら金属磁性材料は、飽和磁束密度、透磁率ともに高く優れた軟磁気特性を示すものであるからである。また、Ｆｅ、Ｎｉの少なくとも一種の含有率が５０ｗｔ％以上であれば、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｍｏ、Ａｌの比率は目的とする磁気特性に応じて適宜決めればよい。
【００４３】
なお、磁性薄体１ｂの厚みは、３００μｍ以下とすることが望ましい。より好ましくは１００μｍ以下が好ましい。その理由は磁性薄体１の厚みを薄く形成することによって、渦電流の抑制が図れ、高周波域での損失増加を抑制することができる。磁性薄体１ｂと磁性薄体１ａを複数枚積層する場合には、交互に積層することが直流重畳特性をより改善することができる。
【００４４】
なお、図２に示すごとく、磁性薄体１ａ、１ｂ間には絶縁層６を設ける構成とすることが望ましい。このような構成とすることにより、渦電流が磁性薄体１ａ、または磁性薄体１ｂ間を通じてコア全体で回ることを抑制することができ、高周波域での損失増加を抑制することができるためである。
【００４５】
以下、具体的な磁性薄体１ａを用いた磁性素子の実施例について説明する。
【００４６】
（実施例１）
まず、平均粒径１９μｍ、組成が重量％で８５．５Ｆｅ９．５Ｓｉ５．０Ａｌの金属磁性粉末と、有機結着剤としてブチラール樹脂、可塑剤としてフタル酸エステル、溶媒としてメチルエチルケトンを所定量添加し、回転式ボールミルにて混練分散を行い、スラリーを作製した。
【００４７】
次に、このスラリーを用いてドクターブレード法により厚みが約８０μｍのシート状混合物を形成した。
【００４８】
その後、作製したシート状混合物を３００〜４００℃で３〜８時間脱脂を行った後、８００〜１２００℃でアルゴン雰囲気下にて１〜５時間焼成を行った。
【００４９】
このようにして、気孔率；３ｖｏｌ％、厚み；６０μｍ程度の金属磁性体からなる磁性薄体１ａを作製した。
【００５０】
次に、同じ組成を有した金属磁性材料を用いて、超急冷法によりバルク状の厚み６０μｍ程度の磁性薄体１ｂを作製し、これらの磁性薄体１ａ，１ｂを用いて、絶縁層６であるシート状のエポキシ樹脂を介して交互に積層して接合することによって、外形；２５ｍｍ、内径；１５ｍｍ、高さ；１０ｍｍの積層コア構造を有した複合磁性体７からなるコアを作製した。作製したコアに線径１ｍｍの銅線を用いて１１Ｔの巻線を施し、周波数９０ｋＨｚの交流正弦波にて電流を４．５Ａ印加したときのＬ値が１００μＨとなるようなチョークコイルを作製した。比較例として磁性薄体１ｂのみと絶縁層６を用いて前記と同様の形状を有する積層コアを作製し、前記チョークコイルと同じ銅線を用いて、周波数９０ｋＨｚの交流正弦波にて電流を４．５Ａ流したときのＬ値が同じＬ値となるように調整しながら銅線を巻いてチョークコイルとした。このときの巻き数は実施例よりも多く巻いた。
【００５１】
これらの作製したチョークコイルに、周波数９０ｋＨｚの交流正弦波４．５Ａを印加することによって、チョークコイルの発熱を測定した。その結果、本実施例１におけるチョークコイルでは比較例を用いたチョークコイルに対し１５℃程度低い発熱特性を示した。これより、実施例１は比較例に比較して直流重畳特性に優れていることが分かる。
【００５２】
（実施例２）
まず、平均粒径２５μｍ、組成が重量％で３．６Ｓｉ９６．４Ｆｅの金属磁性粉末を用いて、実施例１と同様の方法にてシート状混合物を形成した。
【００５３】
次に、得られたシート状混合物を加熱炉へ入れて前記と同様の条件で脱脂を行った後、６９０〜１３００℃で水素雰囲気下にて１〜１２時間焼成を行う。
【００５４】
このようにして、気孔率；５０ｖｏｌ％、厚み；１００μｍ程度の金属磁性体からなる磁性薄体１ａを作製した。
【００５５】
得られた磁性薄体１ａを用いて、同じ組成を有する金属板の打ち抜き加工によってバルク状の厚み１００μｍ程度の磁性薄体１ｂを作製し、これらの磁性薄体１ａ，１ｂを用いて、絶縁層６であるシート状のエポキシ樹脂を介して交互に積層して接合することによって、外形；２５ｍｍ、内径；１５ｍｍ、高さ；１０ｍｍの積層コア構造を有した複合磁性体７からなるコアを作製した。その後、作製したコアに線径１ｍｍの銅線を用いて２５Ｔの巻線を施し、周波数２２ｋＨｚの交流正弦波にて電流を７Ａ印加したときのＬ値が１２０μＨとなるようなチョークコイルを作製した。比較例として磁性薄体１ｂのみと前記の絶縁層６を用いて前記と同様の形状を有する積層コアを作製し、前記チョークコイルと同じ銅線を用いて、周波数２２ｋＨｚの交流正弦波にて電流を７Ａ流したときのＬ値が同じＬ値となるように調整しながら銅線を巻いてチョークコイルとした。このときの巻き数は実施例よりも多く巻いた。
【００５６】
この作製したチョークコイルに周波数２２ｋＨｚの交流正弦波７Ａを印加することによって、チョークコイルの発熱を測定した結果、本実施例２におけるチョークコイルの発熱は比較例を用いたチョークコイルに対し４０℃程度低い値であった。これより、実施例２は比較例に比較して直流重畳特性に優れていることが分かる。
【００５７】
（実施例３）
まず、平均粒径１２μｍ、組成が重量％で４８Ｎｉ５２Ｆｅの金属磁性粉末を用いて、実施例１と同様の条件にて厚みが約５０μｍのシート状混合物を作製した。
【００５８】
次に、得られたシート状混合物を３５０℃で８時間脱脂した後、水素雰囲気下にて１０５０℃で１時間焼成を行った。
【００５９】
このようにして、気孔率；２３％、厚み；３５μｍ程度の金属磁性体からなる磁性薄体１ａを作製した。
【００６０】
次に、前記金属磁性粉末と同一組成、３５μｍ程度の厚みの金属板の打ち抜き加工によりバルク状の磁性薄体１ｂを作製した。この磁性薄体１ｂと、前記磁性薄体１ａとを絶縁層６を介して交互に積層、接合し、形状Ｅ２５の積層コアとし、これらを突合せＥ−Ｅコアとし１次巻き線２０Ｔ、２次巻き線１０Ｔのトランスを作製した。比較として上記磁性薄体１ｂのみに関しても上記同様の形状、巻き線にてトランスを作製した。なお、このとき実効透磁率が等しくなるように中脚に磁気ギャップを設けて調製した。作製したトランスを周波数１１０ｋＨｚ、磁束密度２５０ｍＴにて駆動させてトランスの発熱を測定したところ本実施例３におけるトランスの発熱は比較例を用いたトランスに対し２０℃程低い値であった。これより、実施例３は比較例に比較して直流重畳特性に優れていることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明の複合磁性体及びこれを用いた磁性素子は、直流重畳特性に優れることから各種電気機器の電源回路等において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態１における磁性薄体の断面図
【図２】同複合磁性体の断面図
【図３】同磁性素子の断面図
【図４】同磁性素子の外観斜視図
【図５】従来の磁性素子の断面図
【符号の説明】
【００６３】
１  磁性薄体
１ａ  磁性薄体
１ｂ  磁性薄体
２  金属磁性粉末
３  気孔
４  コイル
５  端子
６  絶縁層
７  複合磁性体
【図１】
2008300705.tif 000003
【図２】
2008300705.tif 000004
【図３】
2008300705.tif 000005
【図４】
2008300705.tif 000006
【図５】
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