(57)【要約】【課題】トレイを用いることなく、また水平方向の移動をすることなくウェハ等のセンタリング及び回転角度に対する位置決めを行うことを目的とする。【解決手段】位置アライメント装置は、上下方向に昇降可能に設けられたテーブル３と、ウェハの外周底端部に斜めに接触する傾斜部を有しテーブル３の周囲の所定位置に固定された複数の位置決めピン４とを備える。ウェハの外周底部を複数の位置決めピン４の傾斜部に載置する。載置後、昇降機構によりテーブル３を上下方向に昇降させテーブル表面に載るウェハを上下方向に移動させて、位置決めピン４の傾斜部においてウェハをセンタリングする。また、テーブル３を上昇させ、ウェハを位置決めピン４から離す。吸引機構により吸引口１７からエアを吸引させウェハをテーブル表面上に固定しながら、センサ２０がウェハの位置決めマークを検出するまで、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させ、位置決めする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を載せて、物体の位置をアライメントする位置アライメント装置において、
上面を有する上板と、
物体を昇降させるテーブル表面を有し、上板の上面の中央部分に上下方向に昇降可能に設けられたテーブルと、
物体の外周底端部に斜めに接触する傾斜部を上方に有し、テーブルの周囲であって上板の上面の額部の所定位置に固定された複数の位置決めピンと、
テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と、
物体の外周底部が複数の位置決めピンの傾斜部に置かれた場合に、昇降機構によりテーブルを上下方向に昇降させテーブル表面に載る物体を上下方向に移動させて、位置決めピンの傾斜部において物体を位置決めする制御部と
を備えたことを特徴とする位置アライメント装置。
【請求項２】
上記位置アライメント装置は、更に、
物体が有する位置決めマークを認識するセンサと、
テーブルの中央垂直方向を回転軸としてテーブルを水平方向に回転させる回転機構とを備え、
上記制御部は、センサが位置決めマークを認識する位置に、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させることを特徴とする請求項１記載の位置アライメント装置。
【請求項３】
上記テーブルは、テーブル表面にエアを吸引する吸引口を有し、
上記位置アライメント装置は、更に、吸引口からエアを吸引する吸引機構を備え、
上記制御部は、吸引機構により吸引口からエアを吸引させることにより物体をテーブル表面上に固定しながらテーブルを回転させることを特徴とする請求項２記載の位置アライメント装置。
【請求項４】
上記昇降機構は、
基台となる下板と、
上板と下板とを連結した複数のシャフトと、
上板と下板との間にあって、スライダを介して複数のシャフトに対して上下にスライド可能に取り付けられた中板と、
下板に固定され、中板を昇降させるシリンダと、
上板の中央部分を貫通してテーブルと中板を連結する連結軸と
を備えたことを特徴とする請求項２〜３何れかに記載の位置アライメント装置。
【請求項５】
上記回転機構は、中板に固定され、連結軸を回転させるモータを備えたことを特徴とする請求項４記載の位置アライメント装置。
【請求項６】
上記吸引機構は、テーブル表面の吸引口と連結され、連結軸内の上部から下部にかけて配置された吸引パイプを備えたことを特徴とする請求項４または５記載の位置アライメント装置。
【請求項７】
上下方向に昇降可能に設けられたテーブルと、物体の外周底端部に斜めに接触する傾斜部を有しテーブルの周囲の所定位置に固定された複数の位置決めピンとを備えた位置アライメント装置の位置アライメント方法であり、
物体の外周底部を複数の位置決めピンの傾斜部に置く載置ステップと、
載置ステップ後に、昇降機構によりテーブルを上下方向に昇降させテーブル表面に載る物体を上下方向に移動させて、位置決めピンの傾斜部において物体を位置決めする昇降ステップと
を備えたことを特徴とする位置アライメント方法。
【請求項８】
上記位置アライメント方法は、更に、
昇降ステップ後に、吸引機構により吸引口からエアを吸引させることにより物体をテーブル表面上に固定する吸引ステップと、
吸引ステップ後に、センサにより物体の位置決めマークを検出するまで、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させる回転ステップと
を備えたことを特徴とする請求項７記載の位置アライメント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体の製造等に使用されるウェハ等の位置アライメントに関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として、ウェハを位置決めする装置として、トレイを用いた装置がある。また、トレイを振動させて位置決めを確実にしようとするものも存在する。
【特許文献１】特開２００６−１３５２５１号公報
【特許文献２】特開平０５−２２６２２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
トレイを用いると、トレイの底に塵・ホコリが堆積し、ウェハの裏面を汚すという課題がある。
また、ウェハを回転させる場合に、トレイごと回転させなければならないという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明に係る位置アライメント装置は、例えば、物体を載せて、物体の位置をアライメントする位置アライメント装置において、
上面を有する上板と、
物体を昇降させるテーブル表面を有し、上板の上面の中央部分に上下方向に昇降可能に設けられたテーブルと、
物体の外周底端部に斜めに接触する傾斜部を上方に有し、テーブルの周囲であって上板の上面の額部の所定位置に固定された複数の位置決めピンと、
テーブルを上下方向に昇降させる昇降機構と、
物体の外周底部が複数の位置決めピンの傾斜部に置かれた場合に、昇降機構によりテーブルを上下方向に昇降させテーブル表面に載る物体を上下方向に移動させて、位置決めピンの傾斜部において物体を位置決めする制御部と
を備えたことを特徴とする。
【０００５】
上記位置アライメント装置は、更に、
物体が有する位置決めマークを認識するセンサと、
テーブルの中央垂直方向を回転軸としてテーブルを水平方向に回転させる回転機構とを備え、
上記制御部は、センサが位置決めマークを認識する位置に、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させることを特徴とする。
【０００６】
上記テーブルは、テーブル表面にエアを吸引する吸引口を有し、
上記位置アライメント装置は、更に、吸引口からエアを吸引する吸引機構を備え、
上記制御部は、吸引機構により吸引口からエアを吸引させることにより物体をテーブル表面上に固定しながらテーブルを回転させることを特徴とする。
【０００７】
上記昇降機構は、
基台となる下板と、
上板と下板とを連結した複数のシャフトと、
上板と下板との間にあって、スライダを介して複数のシャフトに対して上下にスライド可能に取り付けられた中板と、
下板に固定され、中板を昇降させるシリンダと、
上板の中央部分を貫通してテーブルと中板を連結する連結軸と
を備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記回転機構は、中板に固定され、連結軸を回転させるモータを備えたことを特徴とする。
【０００９】
上記吸引機構は、テーブル表面の吸引口と連結され、連結軸内の上部から下部にかけて配置された吸引パイプを備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る位置アライメント方法は、例えば、上下方向に昇降可能に設けられたテーブルと、物体の外周底端部に斜めに接触する傾斜部を有しテーブルの周囲の所定位置に固定された複数の位置決めピンとを備えた位置アライメント装置の位置アライメント方法であり、
物体の外周底部を複数の位置決めピンの傾斜部に置く載置ステップと、
載置ステップ後に、昇降機構によりテーブルを上下方向に昇降させテーブル表面に載る物体を上下方向に移動させて、位置決めピンの傾斜部において物体を位置決めする昇降ステップと
を備えたことを特徴とする。
【００１１】
上記位置アライメント方法は、更に、
昇降ステップ後に、吸引機構により吸引口からエアを吸引させることにより物体をテーブル表面上に固定する吸引ステップと、
吸引ステップ後に、センサにより物体の位置決めマークを検出するまで、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させる回転ステップと
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る位置アライメント装置によれば、テーブルが上下に昇降することにより物体を上下に昇降させ、位置決めピンの傾斜部において物体の位置決めを行うことができる。したがって、物体の位置決めにトレイを用いる必要はない。テーブルはトレイと異なり塵・ホコリが堆積することはない。よって、物体の位置決めを行う際に、物体の裏面を汚すことはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
実施の形態１．
この実施の形態の位置アライメント装置は、物体を載せて、物体の位置をアライメントする装置である。物体の代表例としてウェハを用いて説明する。
この実施の形態の位置アライメント装置は、ウェハを水平にしてセンタリングをして、かつ、ウェハを水平に保ったままウェハの中心点を中心にして回転させることによりウェハのノッチあるいはオリフラを検出してウェハの回転角度に対する位置決めを行うものである。
【００１４】
図１は、この実施の形態に係る位置アライメント装置の正面断面図である。つまり、図１は、図３に示すＡ−Ａ’断面図である。
図２は、この実施の形態に係る位置アライメント装置の左側面断面図である。つまり、図２は、図３に示すＢ−Ｂ’断面図である。
図３は、この実施の形態に係る位置アライメント装置の平面図である。
図１、図２では、本来見えないボルトや内部のパイプ等を破線で示している。
【００１５】
まず、この実施の形態に係る位置アライメント装置の全体構成の概略を説明する。この実施の形態の位置アライメント装置は、上板１、下板２、テーブル３、位置決めピン４、シャフト５、昇降機構（６−１１等）、回転機構（１２−１６等）、吸引機構（１７−１９等）、センサ２０を有している。また、図示していない制御部を有している。
上板１は、上面と下面とを有する略正方形の部材である。
下板２は、上面と下面とを有する略正方形の部材である。
テーブル３は、上板１の上面の中央部分で回転可能に、かつ、上下方向に昇降可能に設けられる。また、テーブル３は、物体を昇降させるためのテーブル表面を有する。更に、テーブル表面は、エアを吸引する吸引口１７を有する。
位置決めピン４は、テーブル３の周囲であって上板１の上面の額部の所定位置に固定されて複数設けられる。また、位置決めピン４は、テーブル表面に載るウェハの外周底端部に斜めに接触する傾斜部を上方に有する。
シャフト５は、上板１と下板２とを連結し複数設けられる。ここでは、図３に示すように、シャフト５は上板１の４隅にボルト２２で固定される。同様に、シャフト５は下板２の４隅に固定される。つまり、ここでは、シャフト５は合計４本設けられる。
昇降機構は、テーブル３を上下方向に昇降させる。
センサ２０は、ウェハが有する位置決めマークを認識する。
回転機構は、テーブル３の中央垂直方向を回転軸としてテーブルを水平方向に回転させる。
吸引機構は、テーブル表面に設けられた吸引口１７からエアを吸引する。
制御部は、ウェハの外周底部が複数の位置決めピンの傾斜部に置かれた場合に、昇降機構によりテーブルを上下方向に昇降させテーブル表面に載るウェハを上下方向に移動させて位置決めピンの傾斜部においてウェハを位置決めする。更に、制御部は、吸引機構により吸引口１７からエアを吸引させることによりウェハをテーブル表面上に固定しながら、センサ２０が位置決めマークを認識する位置に、回転機構によりテーブルを水平方向に回転させる。
【００１６】
次に、昇降機構について説明する。昇降機構は、中板６、ボールブッシュ７（スライダの一例）、シリンダ８、シリンダ取付板９、六角支柱１０、連結軸１１を有している。
中板６は、上板１と下板２との間にあって、ボールブッシュ７を介して複数のシャフト５に対して上下にスライド可能に取り付けられる。
シリンダ８は、基台となる下板２に固定され、中板６を昇降させる。シリンダ８は、シリンダ取付板９と六角支柱１０とを介して中板６に取り付けられる。ここで、シリンダ取付板９は、長板状に形成される。シリンダ取付板９は、下面にシリンダ８が取り付けられるとともに、上面の両端部それぞれに六角支柱１０が取り付けられる。シリンダ取付板９の上面の両端部それぞれに設けられた２本の六角支柱１０は、それぞれ中板６の下面に取り付けられる。
連結軸１１は、上板１の中央部分を貫通してテーブル３と中板６とを連結する。
シリンダ８が上下すると、シリンダ取付板９が上下する。シリンダ取付板９が上下すると、六角支柱１０が上下する。六角支柱１０が上下すると、中板６が上下する。中板６が上下すると、連結軸１１が上下する。連結軸１１が上下すると、テーブル３が上下する。つまり、制御部はシリンダ８を制御することによりテーブル３を上下させ、位置決めする。
シリンダ８の上下動に伴い上下する上記部品は、４本のシャフトを上下にスライドする４個のボールブッシュ７に規制され、すべて垂直方向に上下する。
シリンダ８が上下することにより、少なくともテーブル３が位置決めピン４の傾斜部の下端から上端まで上下する。シリンダ８は、テーブル３を位置決めピン４の傾斜部の下端を越えて降下させてもよいし、位置決めピンの傾斜部の上端を越えて上昇させてもよい。
【００１７】
次に、回転機構について説明する。回転機構は、連結軸受１２、フランジ付ボールブッシュ１３、モータ１４、回り止めスタンド１５、回り止めプレート１６を有している。また、連結軸１１も回転機構を構成する。
連結軸受１２は、テーブル３に固定されるとともに、連結軸１１を回転可能に取り付ける。
フランジ付ボールブッシュ１３は、上板１に固定されるとともに、連結軸１１を回転可能に取り付ける。
モータ１４は、中板６に回り止めスタンド１５と回り止めプレート１６とを介して固定され、連結軸１１を回転させる。
モータ１４が連結軸１１を回転させることにより、テーブル３が回転する。連結軸１１は、テーブル３に固定された連結軸受１２と、上板１に固定されたフランジ付ボールブッシュ１３とに規制されて水平方向に回転する。つまり、テーブル３は、連結軸１１の中心を回転軸として回転する。つまり、制御部はモータ１４を制御することによりテーブル３を回転させる。
ここで、テーブル３と上板１と下板２と中板６とはすべて表面が回転軸に対して９０度方向になるように取り付けられており、テーブル３と上板１と下板２と中板６との表面は平行になるように取り付けられている。つまり、回転軸が垂直に設定されれば、テーブル３と上板１と下板２と中板６とはすべて表面が水平になる。すなわち、テーブル３は、モータ１４が回転することにより、水平を保ったまま回転する。
【００１８】
次に、吸引機構について説明する。吸引機構は、吸引口１７、吸引パイプ１８、継手１９を有している。
吸引口１７は、テーブル表面に設けられる。
吸引パイプ１８は、吸引口１７と連結され、連結軸１１内の上部から下部にかけて配置される。
継手１９は、吸引パイプ１８と連結されるとともに、外部の吸引装置と接続される部材である。
継手１９に接続された吸引装置が吸引動作をすることにより、吸引パイプ１８を介して、吸引口１７からエアが吸引される。つまり、制御部は吸引装置を制御することによりウェハをテーブル表面上に固定する。
【００１９】
次に、位置決めピン４について説明する。図３に示すように、位置決めピン４は上板１に６本取り付けられている。つまり、上板１には位置決めピン４を取り付けるピン止め穴２３が６箇所ある。６箇所のピン止め穴２３は、円（ピン設置円）の円周上に６０度間隔で設けられている。ピン設置円の中心は回転軸と一致させる。その円の半径（ピン設置半径Ｐ）は、ウェハの半径（ウェハ半径Ｗ）と略同じである。したがって、６本の位置決めピン４は、等間隔で配置される。位置決めピン４の数は、円盤状のウェハを位置決めできればよく、最低３本あればよい。また、２つの位置決め孔を有するウェハを位置決めするような場合には、２つの位置決め孔に対応する位置決めピン４が２本あればよい。
ピン止め穴２３は、図３に示すように、位置決めするウェハ半径Ｗに合わせて位置決めピン４の取付位置をずらすことができるように、ピン設置円の径方向に長細形に設けられていてもよい。つまり、位置決めピン４の取付位置をずらすことにより、ピン設置円の円周を変更可能にピン止め穴２３が設けられていてもよい。
位置決めピン４は、円柱形状、筒形状、あるいは、棒状の胴部を有し、胴部の底中央には図示していないねじ穴がある。位置決めピン４のピントップの形状は、キャップ型、釣鐘型、鉛筆型、槍先型、矢印型、あるいは、山型の形状をしており、ピントップからピンの胴部にかけて、傾斜面を有している。傾斜面は、図１、図２に示すように、ピン先周囲３６０度に円錐状の傾斜曲面（テーパ面）であることが望ましいが、半円錐状に１８０度だけ傾斜曲面があってもよい。また、傾斜曲面ではなく三角錘・四角錘状の傾斜平面や傾斜線でもかまわない。
【００２０】
次に、テーブル３について説明する。図３に示すように、テーブル３は、円盤形状をしており、テーブル３の半径（テーブル３半径Ｔ）は、テーブル３の外周部が位置決めピンに接触しなければよく、ピン設置半径Ｐよりも小さい。テーブル３の中心は回転軸と一致させる。テーブル３表面には、吸引口１７が十字型に複数配列されており、吸引口１７からエアを吸引することにより、テーブル３表面に載ったものを吸引固定する。
また、図３において、テーブル取付ネジ２１は、テーブルを連結軸受１２に固定する。
【００２１】
以下、この実施の形態の位置アライメント装置を用いた位置アライメント方法について説明する。
この実施の形態の位置アライメント装置の位置アライメント方法は、以下のステップを有する。
【００２２】
１．設定ステップ
位置アライメント装置は、平行キーをチェックすることにより、回転軸が垂直になるように床面に対して設置される。したがって、テーブル３と上板１と下板２と中板６との表面はすべて水平方向に設置される。
また、図４のように、治具２４を用いて、位置アライメント装置の上板１のピン止め穴に位置決めピン４をマニュアルで取り付ける。治具２４は、予め規定された半径（規定半径Ｋ）、つまり、搬入される予定のウェハと同じ半径の真円形状の外周底部を有している。
治具２４は、回転軸を中心として連結軸受１２に取り付けられる。位置決めピン４は、例えば、傾斜面の上下中央部分Ｃが治具２４の外周底部に接触する位置に微調整されてピン止め穴下方から挿入されたボルトが、位置決めピン４の胴部の底中央のネジ穴を締め付けることにより上板１に固定される。その結果、６本の位置決めピン４は、傾斜面の上下中央部分が治具２４の規定半径Ｋとなるように、真円の円周上に配置される。
以下、搬入されるウェハは、治具２４の規定半径Ｋと同一半径を有するように製造された円盤形状をしているものとする。
【００２３】
２．電源オンステップ
位置アライメント装置の電源がＯＮされると、位置アライメント装置の制御部は、シリンダのエア圧力を調整して昇降機構によりテーブル３を最下位Ｄに下降させる。
【００２４】
３．載置ステップ
図示していないウェハ搬送装置が、ウェハを搬送してくる。ウェハ搬送装置は、ウェハの外周底部を複数の位置決めピン４の傾斜部に、できるだけウェハの盤面が水平になるように置く。
位置アライメント装置は、ウェハが載置されたことを、例えば、以下の方法で検出する。
・センサ２０あるいは図示していない他のセンサで検出する。
・制御部が、ウェハ搬送装置からの電気信号を受信して検出する。
【００２５】
４．昇降ステップ
載置ステップ後に、制御部は、昇降機構によりテーブル３を低速度で上昇させ、テーブル３表面をウェハの底面に接触させる。ウェハがウェハ搬送装置により水平に載置されていれば、テーブル３表面はウェハの底面全面に同時に接触する。ウェハがウェハ搬送装置により水平に載置されず斜めに載置されていれば、テーブル３表面はウェハの底面全面に同時に接触しないが、テーブル３が上昇するにしたがって斜めになったウェハの最下部を押し上げて行くので、ウェハの傾斜が徐々になくなり、上昇中のある時点から、テーブル３表面とウェハの底面全面が接触しテーブル表面上でウェハが水平になる。しかし、この時点では、ウェハの中心と回転軸の中心が一致していることは保証されない。制御部は、昇降機構により傾斜部の上端よりも上の最上位Ｔまで上昇させて、テーブル３を静止させる。
次に、制御部は、昇降機構によりテーブル３を最上位Ｔから低速度で降下させる。ウェハは自重によりテーブル表面とウェハの底面とを接触させたままテーブル３とともに降下する。
もし、ウェハの中心と回転軸の中心が一致していれば、ウェハの底端部がすべての傾斜部の中央部Ｃに同時に接触するので、この下降によりウェハがテーブル表面上で水平方向に移動することはない。
もし、ウェハの中心と回転軸の中心が一致していなければ、この下降によりウェハの底端部が６本の位置決めピン４のいずれかの傾斜部に先に接触することになる。ウェハの底端部はこの先に接触した傾斜部のテーパ面に沿ってスライドする。このテーパ面に沿ったスライドによりウェハには、ウェハがテーブル表面上で先に接触した傾斜部を有する位置決めピン４からいまだ接触していない傾斜部を有する位置決めピン４の方向（水平方向）への力が生じる。その結果、ウェハの下降とともに、ウェハは、テーブル表面上で水平方向に移動する。この移動は、ウェハの底端部がすべての傾斜部の中央部Ｃに接触した場合に停止する。すなわち、傾斜面の上下中央部Ｃにウェハの外周底部が接触する位置で、ウェハの水平方向への移動が停止し、ウェハの中心と回転軸が一致しセンタリングされたことになる。
制御部は、テーブル３を最下位Ｄまで降下させる。ウェハは傾斜部により接触した状態になっているので、ウェハが更に降下することはない。
このように、テーブル３の１回の最下位Ｄから最上位Ｔまでの上昇と、最上位Ｔから最下位Ｄまでの１回の下降により、ウェハをセンタリングすることができる。
しかし、テーブル３の１回の上昇と１回の下降により、ウェハをセンタリングすることができない虞もある。その場合には、テーブル３の上昇と下降とを繰り返せばよい。その際に、２回目のテーブル３の上昇と下降は、１回目のテーブル３の上昇と下降の距離よりも小さくするのがよい。例えば、テーブル３を最下位Ｄから最上位Ｔと中央部Ｃとの中間位置Ｍ（Ｍ＝（Ｔ＋Ｃ）／２）まで上昇させ、中間位置Ｍから最下位Ｄまで下降させる。
更に、３回目のテーブル３の上昇と下降は、２回目のテーブル３の上昇と下降の距離よりも小さくするのがよい。例えば、テーブル３を最下位Ｄから中間位置Ｍと中央部Ｃとの中間位置Ｎ（Ｎ＝（Ｍ＋Ｃ）／２）まで上昇させと、中間位置Ｎから最下位Ｄまで下降させる。
このように、テーブル３の上昇と下降を繰り返すことにより、ウェハを確実にセンタリングすることができる。また、テーブル３の上昇と下降の移動距離を小さくしていくことにより、移動距離を小さくしていかない場合に比べて短時間でセンタリングすることができる。
以上のように、載置ステップ後に、昇降機構によりテーブル３を最低１往復上下方向に昇降させテーブル３表面に載るウェハを上下方向に移動させて、位置決めピン４の傾斜部においてウェハを位置決めする。
【００２６】
５．吸引ステップ
昇降ステップ後に、制御部は、テーブル３を上昇させてテーブル表面をウェハの底面に接触させる。同時に、あるいは、その後、吸引機構により吸引口１７からエアを吸引する。吸引を接触前にすると、ウェハが傾く虞があるので、吸引は接触前にはしないほうがよい。この吸引力によりウェハをテーブル表面上に吸着固定する。更に、制御部は、テーブル３を上昇させて、ウェハを位置決めピン４の傾斜部から押しあげる。
【００２７】
６．回転ステップ
吸引ステップ後に、制御部は、回転機構によりテーブル３を水平方向に回転させる。そして、センサ２０によりウェハのノッチ位置（位置決めマークの一例）あるいはオリフラのコーナー位置（位置決めマークの一例）を検出するまで、回転機構によりテーブル３を水平方向に回転させる。そして、センサ２０により位置決めマークを検出したところで、回転を停止する。こうして、ウェハの角度方向の位置が一定となる。
【００２８】
７．搬出ステップ
回転ステップ後に、搬出装置によりウェハを保持するとともに、吸引を停止する。ウェハは、水平方向に位置決めされかつ角度方向も位置決めされており、その位置決め状態を前提として搬出装置により搬出される。
【００２９】
この実施の形態に係る位置アライメント装置によれば、ウェハ等の物体のセンタリングを確実に行うことが可能である。また、ウェハ等の物体の回転角度に対する位置決めを確実に行うことができる。
特に、この実施の形態に係る位置アライメント装置は、位置決めにテーブル３を用い、トレイを用いる必要はない。テーブル３は、表面が平面であり、トレイのように凹状でないため、塵・ホコリが堆積することはない。したがって、位置決めの際、ウェハ等の物体の裏面を汚すことがない。
また、この実施の形態に係る位置アライメント装置は、水平方向への動作を一切行うことなく、ウェハ等の物体のセンタリングを行うことが可能である。ウェハ等の位置決めは非常に高精度に行われるものである。そのため、微細であっても水平方向の移動を行う装置では、時間の経過とともに位置決めにずれが生じる虞がある。しかし、この実施の形態に係る位置アライメント装置では、そのような虞はない。
さらに、この実施の形態に係る位置アライメント装置は、ウェハ等の物体の回転角度に対する位置決めを行う場合に、側壁を有するトレイではなく、側壁を有さないテーブル３を回転させる。テーブル３は側壁を有さないため、センサ２０により位置決めマークを認識し易い。したがって、容易に回転角度に対する位置決めを行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】実施の形態に係る位置アライメント装置の正面断面図。
【図２】実施の形態に係る位置アライメント装置の左側面断面図。
【図３】実施の形態に係る位置アライメント装置の平面図。
【図４】実施の形態に係る位置アライメント装置の位置決めピン４の取付を示す図。
【符号の説明】
【００３１】
１  上板、２  下板、３  テーブル、４  位置決めピン、５  シャフト、６  中板、７  ボールブッシュ、８  シリンダ、９  シリンダ取付板、１０  六角支柱、１１  連結軸、１２  連結軸受、１３  フランジ付ボールブッシュ、１４  モータ、１５  回り止めスタンド、１６  回り止めプレート、１７  吸引口、１８  吸引パイプ、１９  継手、２０  センサ、２１  テーブル取付ネジ、２２  ボルト。
【図１】
2008258394.tif 000003
【図２】
2008258394.tif 000004
【図３】
2008258394.tif 000005
【図４】
2008258394.tif 000006