(57)【要約】      （修正有）【課題】ノズルプレート接合時のノズル目詰まりや位置ずれを確実に防止する。【解決手段】ノズルが形成されるノズルプレート60と、前記ノズルプレート側に開口する流路が形成されるとともに前記流路内の液体に圧力変化を与える吐出手段が形成されるヘッド本体部114とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレート60及び前記ヘッド本体部114の少なくとも一方の接合面に光硬化性を有する接着剤を付与する工程と、前記接着剤の付与後、前記ノズル51が前記流路に連通するように位置合わせしながら前記ノズルプレート60を前記ヘッド本体部114に積層して加圧する工程と、前記積層加圧後、前記ノズルプレート60の吐出側から露光を行い、前記ノズル51の吐出側開口部から前記流路内部に入射した光により、前記流路内に存在する接着剤を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】図１３
2008155479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するためのノズルが形成されるノズルプレートと、前記ノズルプレート側に開口する流路が形成されるとともに前記流路内の液体に圧力変化を与える吐出手段が形成されるヘッド本体部と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルプレート及び前記ヘッド本体部の少なくとも一方の接合面に光硬化性を有する接着剤を付与する工程と、
前記接着剤の付与後、前記ノズルが前記流路に連通するように位置合わせしながら前記ノズルプレートを前記ヘッド本体部に積層して加圧する工程と、
前記積層加圧後、前記ノズルプレートの吐出側から露光を行い、前記ノズルの吐出側開口部から前記流路内部に入射した光により、前記流路内に存在する接着剤を硬化させる工程と、
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ノズルの吐出側開口部から前記流路内部に入射した光の前記流路の壁面による反射光が前記流路内に存在する接着剤を硬化させることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記流路の前記ノズル側に対向する壁面は、前記吐出手段により変位させられる振動板で構成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記ノズルプレートの吐出側から露光を行う際、前記吐出手段により前記振動板を変位させながら行うことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記ノズルプレートには吐出側に向かって流路断面積が次第に小さくなるテーパ状にノズルが形成され、
前記積層加圧を行う前に、前記ノズルのノズル軸に対するノズル内壁面の傾き角度より広角の入射角で前記ノズルの吐出側開口部から前記流路内部に光が入射するように、前記ノズルプレートの吐出側から露光を行う工程を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記ノズルプレートには吐出側に向かって孔径が次第に大きくなる逆テーパ状の孔部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記露光は、傾斜回転型露光装置を用いて行われることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記露光は、レーザー光源を用いたケラー照明型光学系で行われることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法によって製造された液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置に係り、特に、ノズルが形成されるノズルプレートをヘッド本体部に接着剤で接合する際に生じるノズル目詰まりや位置ずれを防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、印字ヘッド（液体吐出ヘッド）の微細なノズル（吐出口）からインクを吐出して記録媒体上に情報を記録する方式であるため、ノズルが形成されるノズルプレートは、インクの吐出性能を決める非常に重要な部材の一つである。ノズルの穴形状等によりインクの吐出性能が大きく異なるとともに、多数のノズル穴について吐出性能の均一化のために高い寸法精度が要求される。
【０００３】
特に、近年インクジェット記録の分野においては、高速高画質化の必要性が一段と高まり、高密高精度ヘッドを用いたワンパス記録（ページワイドの印字ヘッドによる１副走査送りによる記録）のシステムが開発されている。これに伴って、インク流路やノズルの微細高密化が進み、これら部材を歩留まり良く、高精度に接着するための技術を実現することが求められている。
【０００４】
特許文献１では、積層加圧した流路プレートに供給側から紫外線を照射し、はみ出した接着剤による連通孔やノズル孔の目詰まりを防止する技術が開示されている。また、同文献には、加圧部材に石英ガラスを用いることで加圧と照射を同時に行うことや、プレート端部に低照度の紫外線を照射し半硬化状態で積層することで、はみ出しを防止する技術が開示されている。
【０００５】
特許文献２では、光透過部材を用いてノズルプレートを加圧しながら、吐出側から紫外線を照射することにより、ノズルプレートをヘッド本体に接着する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２１８７９０号公報
【特許文献２】特開２０００−３４３７１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された発明では、供給側からの照射のためノズルプレートの後付けができず、電気接続などの高温加熱時にノズルプレートに応力や歪を生じやすく、吐出開口を利用した振動板の動作確認や変位バラツキの測定も難しい。また、流路板をＳＵＳ両面エッチングで形成した場合など部材に突起を有する場合や、照射光が傾いた場合は接着角部に光が当たらず、硬化不良を生じて加熱低粘化した接着剤が流路に侵入しやすい。更に、プレート端部を半硬化させる場合に用いられるマスク露光は位置ずれを生じやすく、工程が増えてコスト高にもなりやすい。また、半硬化状態のため接着力や気密性も低下しやすく、加圧力も不均一となるため残留応力や変形も生じやすい。
【０００７】
特許文献２に開示された発明では、ノズルプレートの材質が光透過性材料に限定されるため、ＳＵＳプレスやＮｉ電鋳などの高剛性で耐久性にも優れる金属製ノズルプレートへの適用が難しいといった問題がある。また、光を流路に選択的に入射できないため、はみ出した接着剤を優先的に硬化させるのが難しく、特に粘度の低い接着剤や濡れ性の高いノズルプレートでは、加圧時に目詰まりを生じやすい。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ノズルプレートをヘッド本体部に接着剤で接合する際のノズル目詰まりや位置ずれを確実に防止することのできる液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、液体を吐出するためのノズルが形成されるノズルプレートと、前記ノズルプレート側に開口する流路が形成されるとともに前記流路内の液体に圧力変化を与える吐出手段が形成されるヘッド本体部と、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレート及び前記ヘッド本体部の少なくとも一方の接合面に光硬化性を有する接着剤を付与する工程と、前記接着剤の付与後、前記ノズルが前記流路に連通するように位置合わせしながら前記ノズルプレートを前記ヘッド本体部に積層して加圧する工程と、前記積層加圧後、前記ノズルプレートの吐出側から露光を行い、前記ノズルの吐出側開口部から前記流路内部に入射した光により前記流路内に存在する接着剤を硬化させる工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００１０】
本発明によれば、ノズルプレートとヘッド本体部を接着剤で接合する際、ノズルプレートの吐出側から露光を行うことにより、ヘッド本体部内部の流路に存在する接着剤を硬化させることができる。つまり、ノズルプレートとヘッド本体部の接合面に存在する接着剤を硬化させる前に、流路内に存在する接着剤を硬化させることができるので、ノズル内壁面の濡れ性が高い場合や後加熱などで接着剤の粘度が低下した場合でも、ノズル内部に接着剤が流入するのを防止できる。従って、ノズル目詰まりや接着剤の硬化収縮などを要因とする位置ずれを確実に防止することができ、高精度なノズルプレートの接合が可能となる。また、ノズルプレートをヘッド本体部に接合する前に、ヘッド本体部の吐出手段などの動作確認や電気接続などの高温加熱プロセスを行うことが可能であり、ノズルプレートの歪みが軽減され、吐出精度や信頼性が向上する。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルの吐出側開口部から前記流路内部に入射した光の前記流路の壁面による反射光が前記流路内に存在する接着剤を硬化させることを特徴とする。
【００１２】
請求項２の態様によれば、入射した光が壁面で多重反射して流路内に照射されるので流路内に存在する接着剤を確実に硬化させることができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路の前記ノズル側に対向する壁面は、前記吐出手段により変位させられる振動板で構成されることを特徴とする。
【００１４】
振動板を光の反射部材として利用することができるので、１回の反射で流路内に存在する接着剤に対して光を確実に照射でき、更に、ＳＵＳやＮｉなどの反射率の高い材料を用いれば光の利用効率も高まる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートの吐出側から露光を行う際、前記吐出手段により前記振動板を変位させながら行うことを特徴とする。
【００１６】
振動板を変位させることで流路内に存在する接着剤に対する光の照射エリアが広がり、接着剤を一層安定化した状態で硬化させることができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートには吐出側に向かって流路断面積が次第に小さくなるテーパ状にノズルが形成され、前記積層加圧を行う前に、前記ノズルのノズル軸に対するノズル内壁面の傾き角度より広角の入射角で前記ノズルの吐出側開口部から前記流路内部に光が入射するように、前記ノズルプレートの吐出側から露光を行う工程を含むことを特徴とする。
【００１８】
ノズルの流入側（吐出側とは反対側）開口周辺部に接着剤の硬化部が形成されるので、ノズル目詰まりを一層確実に防止することができる。また、接着形状のバラツキも低減して飛翔方向も安定する。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ノズルプレートには吐出側に向かって孔径が次第に大きくなる逆テーパ状の孔部が形成されていることを特徴とする。
【００２０】
ノズルプレートとヘッド本体部を接合する際、逆テーパ状の孔部に余剰接着剤が流入して、ノズルプレートの吐出側からの露光によって該余剰接着剤がクサビ状に硬化するので、接着強度が向上し、ノズルプレートの位置ずれ防止効果も高まる。
【００２１】
請求項７に記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記露光は、傾斜回転型露光装置を用いて行われることを特徴とする。
【００２２】
請求項７の態様によれば、安価な露光装置で高品質な接合が実現可能である。
【００２３】
請求項８に記載の発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記露光は、レーザ光源を用いたケラー照明型光学系で行われることを特徴とする。
【００２４】
請求項８の態様によれば、ワークの固定保持が可能で、一括照射により生産性に優れた接合が実現可能である。
【００２５】
また前記目的を達成するために、請求項９に記載の発明は、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法によって製造された液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置を提供する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ノズルプレートとヘッド本体部を接着剤で接合する際、ノズルプレートの吐出側から露光を行うことにより、ヘッド本体部内部の流路に存在する接着剤を硬化させることができる。従って、余剰接着剤などを要因とするノズル目詰まりや接着剤の硬化収縮などを要因とする位置ずれを確実に防止することができる。また、ノズルプレートをヘッド本体部に接合する前に、ヘッド本体部の吐出手段などの動作確認や電気接続などの高温加熱プロセスを実施することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２８】
〔インクジェット記録装置の全体構成〕
まず、本発明に係る画像形成装置の一実施形態であるインクジェット記録装置について説明する。図１は、インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」と称する。）１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００２９】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００３０】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００３１】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００３２】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００３３】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面をなすように構成されている。
【００３４】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３５】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００３６】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３７】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考え
られるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００３８】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３９】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。印字部１２を構成する各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている（図２参照）。
【００４０】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応したヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００４１】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００４２】
なお本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出するヘッドを追加する構成も可能である。
【００４３】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００４４】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００４５】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）
がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００４６】
印字検出部２４は、各色のヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００４７】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００４８】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００４９】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００５０】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００５１】
なお、本実施形態ではフルラインヘッドを例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、記録媒体の幅よりも短い長さのノズル列を有する短尺のヘッドを記録媒体の幅方向に走査させながら、記録媒体の幅方向の印字を行うシリアル型（シャトルスキャン型）ヘッドにも適用可能である。
【００５２】
〔液体吐出ヘッドの構造〕
次に、本実施形態の液体吐出ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によってヘッドを示すものとする。
【００５３】
図３（ａ）は、ヘッド５０の構造例を示す平面透視図である。図３（ａ）に示すように、本例のヘッド５０は、インク滴の吐出口であるノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニット（１ノズルに対応した記録素子単位となる液滴吐出素子）５３を千鳥でマトリクス状（２次元的）に配置させた構造を有し、これにより、ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。
【００５４】
なお、記録紙１６の搬送方向（副走査方向）と略直交する方向（主走査方向）に、記録紙１６の全幅に対応する長さ以上のノズル列を構成する形態は本例に限定されない。例えば、図3（ａ）の構成に代えて、図3（ｂ）に示すように、複数のノズル５１が２次元に配列された短尺のヘッドユニット５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで長尺化し、記録紙１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。
【００５５】
各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっている。各圧力室５２の略中央部にはそれぞれノズル５１が配置されるとともに、それらの隅部には供給インクの流入口（供給口）５４が設けられている。なお、圧力室５２の形状は、本例に限定されず、平面形状が四角形（菱形、長方形など）、五角形、六角形その他の多角形、円形、楕円形など、多様な形態があり得る。また、ノズル５１や供給口５４の配置も図３（ａ）、（ｂ）に示す配置に限定されない。
【００５６】
図４は１チャンネル分の液滴吐出素子（１つのノズル５１に対応したインク室ユニット５３）の立体的構成を示す断面図である。図４に示すように、ヘッド５０は、ノズルプレート６０、流路板６２、及び振動板６４を積層接合した構造から成る。
【００５７】
ノズルプレート６０は、ヘッド５０のノズル面（インク吐出面）５０Ａを構成するとともに、各圧力室５２の底面（図の下面）を構成し、各圧力室５２にそれぞれ連通する複数のノズル５１が２次元的に形成されている。
【００５８】
流路板６２は、圧力室５２の側壁部を構成するとともに、共通流路５５から圧力室５２にインクを導く個別供給路の絞り部（最狭窄部）としての供給口５４を形成する流路形成部材である。なお、説明の便宜上、図４では簡略的に表示しているが、流路板６２は一枚又は複数の基板を積層した構造である。
【００５９】
振動板６４は、圧力室５２の一壁面（図４の上面）を構成するとともに、ステンレス鋼（ＳＵＳ）やニッケル（Ｎｉ）導電層付きのシリコン（Ｓｉ）などの導電性材料から成り、各圧力室５２に対応して配置される複数の圧電素子５８の共通電極を兼ねる。なお、樹脂などの非導電性材料によって振動板を形成する態様も可能であり、この場合は、振動板部材の表面に金属などの導電材料による共通電極層が形成される。
【００６０】
振動板６４の圧力室５２側と反対側（図４において上側）の面には、各圧力室５２に対応する位置に圧電体５６が設けられており、該圧電体５６の上面（共通電極を兼ねる振動板６４に接する面と反対側の面）に個別電極５７が形成されている。この個別電極５７と、これに対向する共通電極（本例では振動板６４が兼ねる）と、これら電極間に挟まれるように介在する圧電体５６とで圧電素子５８（本発明の吐出手段に相当）が構成される。圧電体５６には、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウムなどの圧電材料が好適に用いられる。
【００６１】
また、振動板６４の圧力室５２側と反対側の面には、圧電体５６と重ならない位置に共通流路形成部材６６（一点鎖線で図示）が配置される。共通流路形成部材６６の内部には、各圧力室５２に供給するためのインクを貯留する共通流路５５が形成される。共通流路５５は各圧力室５２にそれぞれ供給口５４を介して連通しており、図１に示したインク貯蔵／装填部１４に配置されるインク供給源たるインクタンク（図５中符号７０として記載）から供給されるインクは共通流路５５を介して各圧力室５２に供給される。
【００６２】
圧力室５２にインクを充填した状態で、個別電極５７と共通電極（振動板６４で兼用）との間に駆動電圧を印加することによって圧電素子５８が変形して圧力室５２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル５１からインクが吐出される。インク吐出後、圧電素子５８の変位が元に戻る際に、共通流路５５から供給口５４を通って新しいインクが圧力室５２に再充填される。
【００６３】
なお、本実施形態では、ピエゾ素子に代表される圧電素子５８の変形によってインク液滴を飛ばす方法が採用されているが、本発明の実施に際して、インクを吐出させる方式には限定されず、ピエゾ方式に代えて、ヒータ等の発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式等でもよい。
【００６４】
〔インク供給系の構成〕
図５はインクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。同図において、インクタンク７０はヘッド５０にインクを供給する基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インクタンク７０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、不図示の補充口からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を変える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じた吐出制御を行うことが好ましい。
【００６５】
インクタンク７０とヘッド５０の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ７２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは、ノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。図５には示さないが、ヘッド５０の近傍又はヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッド５０の内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００６６】
また、インクジェット記録装置１０には、ノズル近傍のインク粘度の上昇、乾燥を防止するための手段としてのキャップ７４と、ヘッド５０のノズル面５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード７６とが設けられている。これらキャップ７４及びクリーニングブレード７６を含むメンテナンスユニットは、不図示の移動機構によってヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置からヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。
【００６７】
キャップ７４は、図示せぬ昇降機構によってヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ７４を所定の上昇位置まで上昇させ、ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面５０Ａをキャップ７４で覆うようになっている。また、このキャップ７４は、ノズル吸引のための吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。
【００６８】
クリーニングブレード７６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示せぬブレード移動機構によりヘッド５０のインク吐出面（ノズル面５０Ａ）に摺動可能である。ノズル面５０Ａにインク滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード７６をノズル面５０Ａに摺動させる（いわゆるワイピング動作を行う）ことでノズル面５０Ａを拭き取り、ノズル面５０Ａを清浄化するようになっている。
【００６９】
印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、ノズル近傍のインク粘度が上昇した場合、その劣化インクを排出すべくキャップ７４に向かって予備吐出が行われる。
【００７０】
すなわち、ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（圧電素子５８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（圧電素子５８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって圧電素子５８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード７６等のワイパーによってノズル面５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作（ワイピング動作）によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。
【００７１】
また、ヘッド５０内のインク（圧力室５２内のインク）に気泡が混入した場合、ヘッド５０にキャップ７４を当て、吸引ポンプ７７でヘッド５０内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク７８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッド５０への装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも粘度上昇（固化）した劣化インクの吸い出しが行われる。
【００７２】
具体的には、ノズル５１や圧力室５２に気泡が混入したり、ノズル近傍のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、圧電素子５８を動作させる予備吐出ではノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、ヘッド５０のノズル面５０Ａに、キャップ７４を当てて圧力室５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ７７で吸引する動作が行われる。
【００７３】
ただし、上記の吸引動作は、圧力室５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。また、好ましくは、キャップ７４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。
【００７４】
〔制御系の構成〕
次に、インクジェット記録装置１０の制御系について説明する。
【００７５】
図６は、インクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース８０、システムコントローラ８２、画像メモリ８４、モータドライバ８６、ヒータドライバ８８、プリント制御部９０、画像バッファメモリ９２、ヘッドドライバ９４等を備えている。
【００７６】
通信インターフェース８０は、ホストコンピュータ９６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース８０にはシリアルインターフェースやパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。
【００７７】
ホストコンピュータ９６から送出された画像データは通信インターフェース８０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ８４に記憶される。画像メモリ８４は、通信インターフェース８０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ８２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ８４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。
【００７８】
システムコントローラ８２は、通信インターフェース８０、画像メモリ８４、モータドライバ８６、ヒータドライバ８８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ８２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ９６との間の通信制御、画像メモリ８４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ９８やヒータ９９を制御する制御信号を生成する。
【００７９】
モータドライバ８６は、システムコントローラ８２からの指示に従ってモータ９８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ８８は、システムコントローラ８２からの指示に従って後乾燥部４２その他各部のヒータ９９を駆動するドライバである。
【００８０】
プリント制御部９０は、システムコントローラ８２の制御に従い、画像メモリ８４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（ドットデータ）をヘッドドライバ９４に供給する制御部である。プリント制御部９０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ９４を介してヘッド５０のインク滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【００８１】
プリント制御部９０には画像バッファメモリ９２が備えられており、プリント制御部９０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ９２に一時的に格納される。なお、図６において画像バッファメモリ９２はプリント制御部９０に付随する態様で示されているが、画像メモリ８４と兼用することも可能である。また、プリント制御部９０とシステムコントローラ８２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【００８２】
ヘッドドライバ９４は、プリント制御部９０から与えられる印字データに基づいて各色のヘッド５０の圧電素子５８（図４参照）を駆動するための駆動信号を生成し、圧電素子５８に生成した駆動信号を供給する。ヘッドドライバ９４にはヘッド５０の駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【００８３】
印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部９０に提供する。
【００８４】
プリント制御部９０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいてヘッド５０に対する各種補正を行う。
【００８５】
〔液体吐出ヘッドの製造方法〕
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、Ｎｉ電鋳などで形成した金属製のノズルプレート及び流路板（ヘッド本体部）の少なくとも一方の接合面に接着剤を塗布し、これらを積層してアライメント加圧しながら、ノズルプレートの吐出側から露光を行い、ノズルの吐出側開口部から圧力室（インク流路）内部に光を照射して、圧力室内に存在する接着剤（例えば、余剰接着剤など）を硬化させることを特徴としており、ノズルプレート接合時に生じるノズル目詰まりや位置ずれなどを防止し、高精度な接合を可能とする。以下、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の一例について説明する。
【００８６】
図７は本実施形態のヘッド５０の製造方法を示したフローチャート図である。
【００８７】
まず、ノズルプレートを作製する（ステップＳ１０２）。ノズルプレートの作製方法の一例として、Ｎｉ電鋳による方法のフローチャートを図８に示す。以下、図９を参照しながら、図８に示した各工程について説明する。
【００８８】
まず、図８のステップＳ２０２において、露光マスクを作製する。具体的には、図９（ａ）に示すように、ガラス等の透明基板１０２の片面に、ノズル開口部に対応する開口領域が形成されるように不透明膜１０４をパターニングする。不透明膜１０４はＣｒ（クロム）、又は酸化クロムから成るものであり、公知のフォトリソグラフィ法を利用して所定形状にパターニングする。なお、露光マスク１００が既に存在する場合には露光マスクを作製する工程を省略することができる。
【００８９】
次に、露光マスク１００の片面上にネガタイプのフォトレジストを塗布する（ステップＳ２０４）。具体的には、図９（ｂ）に示すように、露光マスク１００の不透明膜１０４側の面に、スピンコーター等によりレジスト１０６を塗布する。レジスト１０６の膜厚は、作製されるノズルプレートの厚さに対応するため、本実施形態では厚膜レジストを用いている。例えば、２０〜５０μｍ程度の膜厚でネガレジストが塗布される。その後、露光マスク１００上に塗布されたレジスト１０６についてプリベークを行う。
【００９０】
なお、塗布による付着に代えて、ドライフィルム（ＤＦＲ）を用いて、露光マスク１００に密着させる方法や、レジストが塗布された基板を用いて該基板のレジスト面と露光マスク１００を密着させる方法であってもよい。
【００９１】
次いで、露光マスク１００上のレジスト１０６に対して傾斜回転露光を行う（ステップＳ２０６）。具体的には、図９（ｃ）に示すように、後述する傾斜回転型露光装置のステージ１０８上に、ネガレジスト付きの露光マスク１００を透明基板１０２側が上側（露光面側）となるように固定して、光の入射角θが直角でない斜めの角度となるような状態で、ステージ１０８の回転軸１１０を中心に回転させながら露光する。
【００９２】
このような傾斜回転露光が行われると、不透明膜１０４の開口領域以外の部分は光が遮断される一方で、該開口領域では光が通過するので、光の入射角θに応じた逆円錐台状（逆テーパ状）にレジスト１０６の領域１０６ａが感光する。
【００９３】
その後、露光後のレジスト１０６の現像を行った後、ポストベークを行う（ステップＳ２０８）。こうして、図９（ｄ）に示すように、露光マスク１００上には逆円錐台状の感光部に対応するレジスト１０６ａが残ったレジストパターンが形成され、これがニッケル（Ｎｉ）電鋳の型として用いられる。
【００９４】
次に、図９（ｅ）に示すように、Ｎｉ電鋳により、不透明膜１０４上にＮｉ電鋳層（金属層）１１２を堆積する（ステップＳ２１０）。Ｎｉ電鋳層１１２により形成される金属プレート部分がノズルプレート６０となる。
【００９５】
続いて、有機溶媒等によりレジスト１０６ａの除去を行う（ステップＳ２１２）。その後、Ｎｉ電鋳層１１２により形成されるノズルプレート６０を露光マスク１００から剥離する（ステップＳ２１４）。
【００９６】
こうして、図９（ｆ）に示すように、吐出方向（図の下方）に向かって径（流路断面積）が次第に狭くなるテーパ状ノズル５１が形成されたノズルプレート６０が得られる。
【００９７】
ノズルプレートの作製方法としてＮｉ電鋳による方法を一例として示したが、本発明の適用範囲はこれに限らず、例えば、ＳＵＳプレスなどの各種方法を利用して、ノズルプレートを作製してもよい。
【００９８】
このようにノズルプレートを作製した後、次にヘッド本体部の組み立てを行う（図７のステップＳ１０４）。具体的には、図１０（ａ）に示すように、流路板６２、振動板６４、及び圧電素子５８から成るヘッド本体部１１４を組み立てる。その際、圧電素子５８に駆動信号を供給するための電気配線も形成しておくことが好ましい。共通流路形成部材（図１０中不図示、図４中符号６６として記載）は、ヘッド本体部１１４を組み立てる際に実装してもよいし、後から実装してもよい。
【００９９】
なお、ノズルプレートの作製（ステップＳ１０２）とヘッド本体部の組み立て（ステップＳ１０４）の順序は図７に示した例に限定されず、ヘッド本体部を組み立ててからノズルプレートを作製してもよいし、これらを同時に実施してもよい。
【０１００】
次に、ノズルプレートとヘッド本体部の少なくとも一方の接合面に接着剤を塗布し、ヘッド本体部とノズルプレートを貼り合わせる（ステップＳ１０６）。具体的には、図１０（ａ）に示すように、ノズルプレート６０の流路板６２側（ヘッド本体部１１４側）の接合面に、転写法などで接着剤１２０を塗布する。接着剤１２０は、流路板６２（ヘッド本体部１１４）のノズルプレート６０側の接合面に塗布してもよいし、ノズルプレート６０及び流路板６２（ヘッド本体部１１４）の各々の接合面に塗布してもよい。
【０１０１】
本実施形態では、接着剤１２０として、熱硬化性を有する紫外線硬化型の接着剤が用いられ、その中でも特に紫外線硬化性を有する熱硬化型エポキシ接着剤が好適である。
【０１０２】
接着剤の塗布後、ヘッド本体部に形成されるインク流路にノズルが連通するように位置合わせしながら、ノズルプレートをヘッド本体部に積層して加圧する（ステップＳ１０８）。具体的には、図１０（ｂ）に示すように、インク流路に相当する圧力室５２にノズル５１が連通するように位置合わせを行い、流路板６２（ヘッド本体部１１４）にノズルプレート６０を貼り合わせて加圧する。以下では、ヘッド本体部１１４にノズルプレート６０を貼り合わせた状態の積層基板を符号１１６で表す。
【０１０３】
次に、ヘッド本体部にノズルプレートを貼り合わせた状態の積層基板に対して、ノズルプレートの吐出側から傾斜回転露光を行う（ステップＳ１１０）。具体的には、図１０（ｂ）に示した積層基板１１６に対して、ノズルプレート６０の吐出側（図の下側）から傾斜回転露光を行い、ノズル５１の吐出側開口部から圧力室５２内部に光を照射する。
【０１０４】
ここで、傾斜回転露光を行う際に用いられる傾斜回転型露光装置（以下、単に「露光装置」という。）について説明する。なお、上述したＮｉ電鋳によりノズルプレートを作製する際の傾斜回転露光（図８のステップＳ２０６）においても、次に説明する傾斜回転型露光装置が用いられる。
【０１０５】
図１１は傾斜回転型露光装置の一例を示す構成図である。この露光装置２１０は、主として、光源２１２、照射光学系２１４、液浸容器２１６、窓枠２１８及びステージ２２０から構成され、光源２１２から出た光を照射光学系２１４によって図の下方に平行光として導き、傾斜回転しているステージ２２０上の積層基板１１６に照射する構成となっている。積層基板１１６はノズルプレート６０側が上側（露光面側）となるようにステージ２２０上に配置されており、ノズルプレート６０の吐出側から露光が行われ、ノズル５１（不図示）の吐出側開口部からヘッド本体部１１４内部の圧力室５２（不図示）に光が照射される構成となっている。
【０１０６】
ステージ２２０は、液浸容器２１６の中に配設されており、液浸容器２１６に液体（例えば、純水）を導入して液体中で露光を行う液浸露光と、気体中で露光を行う通常（ドライ）露光とを切り替えることが可能である。
【０１０７】
また、ステージ２２０は、テーブル面２２６の面内回転が可能な回転機構と、テーブル面２２６の傾斜角（水平面に対する傾斜角、つまり、照射光の入射角）の調節が可能な傾斜（揺動）機構とを備えた傾斜回転ステージとなっている。
【０１０８】
すなわち、ステージ２２０は、テーブル面２２６に垂直な回転軸２２８に取り付けられており、該回転軸（第１回転軸）２２８を中心に回転可能である。また、ステージ２２０の回転軸２２８は、テーブル面２２６に直交する鉛直面内で揺動し得る機構となっており、回転軸２２８の揺動位置によってテーブル面２２６の傾斜角を可変できる。さらに、この傾斜可能な回転軸２２８及びステージ２２０並びに液浸容器２１６の全体は、鉛直線と平行な回転軸２３０を中心に水平面内で回転可能となっている。
【０１０９】
図１２は、図１１に示した露光装置２１０に用いられる光源２１２及び照射光学系２１４の構成図である。図１２に示すように、本例の露光装置２１０に用いられる照明ユニット２６０は、超高圧水銀ランプ２６１を光源とするものである。超高圧水銀ランプ２６１より発せられた光は、楕円集光ミラー２６２により集光され、平面反射ミラー２６３によって水平方向に光路を曲げられた後、インテグレーターレンズ２６４に入射する。
【０１１０】
インテグレーターレンズ２６４によって照度分布が均一化された光は、光学フィルタ２６５によって透過波長域が選択された後、平面反射ミラー２６６によって鉛直方向に光路が曲げられ、コリメーターレンズ２６７に入射する。コリメーターレンズ２６７により平行光とされた光は、照度分布が均一な平行照射光として照射面２６８に向けて照射される。
【０１１１】
使用する光源の種類や波長は、上記の例に限定されず、使用するフォトレジストの感光特性との関係で適切な光源（波長）が選択される。本発明の実施に際し、照明用の光源として、固体レーザや半導体レーザ（例えば、波長：３５５ｎｍ、３７５ｎｍ、４０５ｎｍ）などを用いる態様も可能である。
【０１１２】
このように構成される傾斜回転型露光装置２１０を用いて、図１１に示したように、ステージ２２０上に積層基板１１６のノズルプレート６０側が上側（露光面側）となるように固定し、ヘッド本体部１１４に対するノズルプレート６０のアライメントをとりながら加圧を行った状態で、ノズルプレート６０の吐出側から傾斜回転露光を行う。
【０１１３】
図１３は傾斜回転露光によりノズル５１の吐出側開口部から入射した光が反射する様子を示した説明図であり、（ａ）は入射光が圧力室５２の内壁面を構成する振動板６４に１回反射して圧力室５２の底面（ノズル５１側の面）に存在する接着剤１２０ａに照射される様子を示し、（ｂ）は入射光が圧力室５２の内壁面に複数反射して圧力室５２の底面に存在する接着剤１２０ａに照射される様子を示した例である。このようにノズルプレート６０の吐出側から傾斜回転露光が行われると、ノズル５１の吐出側開口部からヘッド本体部１１４内部の圧力室５２に光が入射し、更に、該圧力室５２の内壁面に１回又は複数回反射して圧力室５２内に存在する接着剤１２０ａに照射されるので、該接着剤１２０ａを硬化させることができる。
【０１１４】
図７のステップＳ１１０において傾斜回転露光を行った後、傾斜回転露光装置２１０のステージ２２０上から積層基板１１６を取り外し、該積層基板１１６を加熱する（ステップＳ１１２）。これにより、ノズルプレート６０とヘッド本体部１１４の接合面に存在する接着剤１２０ｂが硬化する。こうして本実施形態のヘッド５０が完成する。
【０１１５】
本実施形態においては、上述したように、熱硬化性を有する紫外線硬化型接着剤が用いられているが、本発明の適用範囲はこれに限らない。例えば、嫌気硬化性を有する紫外線硬化型接着剤や、光遅延硬化型接着剤を用いることができる。つまり、本発明においては、少なくとも光硬化性を有するとともに、他の特性として熱硬化性や嫌気硬化性などを有する接着剤が用いられ、前記他の特性に応じて図７のステップＳ１１２で示した加熱工程が適宜他の工程に変更される。
【０１１６】
なお、加熱工程時のノズルプレート６０とヘッド本体部１１４との線膨張率差による歪を軽減するため、比較的低温（６０〜８０℃）で硬化する接着剤を用いることが望ましい。
【０１１７】
以上説明したように、本製造方法によれば、ノズルプレートの吐出側から露光（傾斜回転露光）を行い、ノズルの吐出側開口部から圧力室（インク流路）内部に光を入射させることによって、圧力室（インク流路）内に存在する接着剤を硬化させることができる。つまり、ノズルプレートとヘッド本体部の接合面に存在する接着剤を硬化させる前に、圧力室内に存在する接着剤を硬化させることができるので、ノズル内壁面の濡れ性が高い場合や後加熱などで接着剤の粘度が低下した場合でも、ノズル内部に接着剤が流入するのを防止できる。従って、ノズル目詰まりや位置ずれを確実に防止することができ、高精度なノズルプレートの接合が可能となる。
【０１１８】
また、ノズルプレートをヘッド本体部に接合する前に、圧電素子の電気接続など高温加熱プロセスを行うことが可能であり、ノズルプレートの応力や歪みが軽減され、吐出精度や信頼性が向上する。
【０１１９】
また、ノズルプレート接合前にアクチュエータの導通検査や振動板の変位測定を行うことも可能である。具体的には、図７のステップＳ１０４においてヘッド本体部の組み立てを行った後、次の工程に移る前にアクチュエータ（圧電素子）の静電容量検査などを実施する。圧力発生部に相当するアクチュエータ及び振動板の変位測定を行えばアクチュエータ配線のトリミングや画像処理などによるバラツキ補正も可能となる。
【０１２０】
また、Ｓｉ異方性エッチングなどの異形状（四角形）流路の場合でも、傾斜角を可変しながら回転露光することで、角部まで照射されるので圧力室（インク流路）流路全体の硬化が可能となる。
【０１２１】
また、図４に示したように、本実施形態のヘッド５０は、圧力室５２のノズル５１側とは反対側の壁面が振動板６４で構成され、圧力室５２内のインクに対する加圧方向（図４の下方向）とノズル５１の吐出方向が平行に配置された、いわゆるトップシューター型ヘッドである。このようなトップシューター型ヘッドによれば、ノズルプレートの吐出側から傾斜回転露光を行う場合、Ｎｉ電鋳やＳＵＳエッチング、Ｓｉエッチングなどで形成した比較的反射率の高い振動板を反射部材として利用することができ、圧力室（インク流路）内に存在する接着剤に対して（振動板による）１回反射の反射光が確実に照射され、光の利用効率も高まる。
【０１２２】
また、トップシューター型ヘッドにおいて、インク流路の一壁面を変位させながら傾斜回転露光を行う態様もある。具体的には、図１４に示すように、圧電素子５８（本発明の吐出手段に相当）の駆動により圧力室５２の一壁面を構成する振動板６４を変位させながら、ノズル５１の吐出側開口部から圧力室５２内部に光を入射させる。振動板６４を変位させない場合に比べて振動板６４による反射光の照射エリアが広がるので、圧力室５２の底面（ノズル５１側の面）に存在する接着剤１２０ａの硬化を広範囲にわたってより確実に行うことができる。また、振動板６４による反射光の照射エリアが広がることにより、上述した傾斜回転型露光装置２１０におけるステージ２２０の振り角（傾斜角）を小さくすることも可能となる。
【０１２３】
また、ノズルプレートのヘッド本体部側の接合面に接着剤を塗布した後、該ノズルプレートをヘッド本体部に貼り合わせる前に、ノズルテーパ角より広角で傾斜回転露光することが好ましい。具体的には、図１５（ａ）に示すように、ノズルプレート６０の吐出側とは反対側に相当する流入側（図の上側）に接着剤１２０が塗布された状態において、吐出側に向かって流路断面積が次第に小さくなるテーパ状ノズル５１のノズル軸Ｐに対する光の入射角θがノズル５１のテーパ角度θ１以上となるように露光する。光の入射角θがノズル５１のテーパ角度θ１より小さいと、ノズル５１の流入側開口部周辺の接着剤１２０のエッジ部（接着剤エッジ部）１２０ｃに照射されず、また、圧力室５２（不図示）の壁面による反射光を利用して照射する場合は接着剤エッジ部１２０ｃのみを正確に選択的に硬化させるのが難しい。よって、上記の如く、光の入射角θがノズル５１のテーパ角度θ１以上となるようにするのが好ましい（θ≧θ１）。これにより、図１５（ｂ）に示すように、ノズル５１の流入側開口部周辺の接着剤エッジ部１２０ｃが硬化する。
【０１２４】
なお、図１５（ａ）において、ノズル軸Ｐを挟んでノズル５１の吐出側開口端部とその反対側の流入側開口端部を接続する直線によって規定される角度θ２より光の入射角θが大きいと、ノズル５１の流入側開口部周辺の接着剤エッジ部１２０ｃに光が照射されないか、ノズル内壁面での反射光が接着剤エッジ部１２０ｃに照射される場合でも反射してしまうので反射ロスが大きく照射光率が著しく低下する。よって、次式 θ１≦θ≦θ２を満たすように設定することがより好ましい。
【０１２５】
ここで、テーパ状ノズル５１の吐出側開口径をφ１、流入側開口径をφ２とし、また、ノズルプレート６０の厚さをｔとしたとき、θ１、θ２は次式で表される。
【０１２６】
θ１＝ｔａｎ−１（φ２−φ１）／２ｔ
θ２＝ｔａｎ−１（φ１＋φ２）／２ｔ
以上から、ノズルテーパ角より広角で傾斜回転露光する場合の光の入射角θとしては、次式で示される範囲が好ましい。
【０１２７】
θ≧ｔａｎ−１（φ２−φ１）／２ｔ 
そして、より好ましくは、次式で示される範囲である。
【０１２８】
ｔａｎ−１（φ２−φ１）／２ｔ ≦ θ ≦ ｔａｎ−１（φ１＋φ２）／２ｔ
このようにノズルテーパ角より広角で傾斜回転露光しておくことにより、ノズルの流入側開口部周辺に接着剤の硬化部（前記接着剤エッジ部１２０ｃに相当）が形成されるので、ノズル目詰まりをより確実に防止でき、接着形状のバラツキも低減して飛翔方向も安定する。
【０１２９】
ノズルテーパ角より広角で傾斜回転露光する態様の場合、ノズル流入部の光照射量は、接合部の照射量以下に設定しておけば、流路内面反射による接合部の硬化が防止でき、直接照射なのでエネルギー不足も生じない。例えば、Ｎｉ振動板の場合、紫外線反射率は約４０％である。
【０１３０】
Ｎｉ電鋳による方法でノズルプレートを作製する場合、ノズルプレートに相当する電鋳層を露光マスクから剥離せずに（即ち、露光マスクを付けたままの状態で）、ノズルプレートの吐出側（即ち、露光マスク側）から傾斜回転露光を行う態様もある。具体的には、図１６に示すように、傾斜回転露光装置２１０（図１１参照）のステージ２２０上に、露光マスク１００付きのＮｉ電鋳層１１２（ノズルプレート６０に相当）をヘッド本体部１１４に貼り合わせた状態でアライメント加圧しながら傾斜回転露光を行う。図１７には露光マスク１００上に形成されたＮｉ電鋳層１１２の平面図を示している。図示の例では、円盤状のＮｉ電鋳層１１２に各ヘッド５０に対応する４つのノズルプレート形成部２５０（ノズルプレート６０に相当）が形成されている。傾斜回転露光を行う場合には、各ノズルプレート形成部２５０にそれぞれヘッド本体部１１４を積層して、図１６に示したようにステージ２２０上にセットする。
【０１３１】
また、Ｎｉ電鋳層１１２には、上記のいずれのノズルプレート形成部２５０とも重ならない領域に、受光モニタ用の複数のノズル孔が形成された受光モニタ部２５８が形成されており、この受光モニタ部２５８の真下の対応位置に受光センサ２４８が配置される。すなわち、受光センサ２４８はステージ２２０上でいずれのノズルプレート形成部２５０とも重ならない領域（ノズルプレート形成部以外の領域）に配置される。
【０１３２】
このように露光マスクを剥離せずに傾斜回転露光を行う態様によれば、薄肉のノズルプレートでもハンドリング性が向上し、また、接合の際の歪みや反りが低減し、高精度な接合が可能となる。なお、露光マスクの剥離は、ノズルプレート形成部とヘッド本体部の間に存在する接着剤を加熱などにより硬化させた後に行えばよく、その後、露光マスクから剥離されたＮｉ電鋳層を各ノズルプレート形成部２５０毎に切断すればよい。
【０１３３】
なお、Ｎｉ電鋳層１１２上におけるノズルプレート形成部２５０や受光モニタ部２５８の形状、配置数、配置位置については、多様な形態が可能であり、図１７に示した例に限定されない。
【０１３４】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明に係る第２の実施形態について説明する。以下、第１の実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【０１３５】
図１８は、第２の実施形態におけるノズルプレートの作製方法を示したフローチャート図である。以下、図１９〜図２１を参照しながら、図１８に示した各工程について説明する。
【０１３６】
まず、図１８のステップＳ３０２において、露光マスクを作製する。具体的には、図１９（ａ）に示すように、ガラス等からなる透明基板３０２の片面の全面に光干渉膜３０４を形成する。光干渉膜３０４は、高屈折率材料と低屈折率材料とを交互に積層形成した、いわゆる光学多層膜からなるものである。積層される高屈折率材料と低屈折率材料の膜厚を調整することにより、所定の波長で、所望の透過率を得ることができる。高屈折率材料としては、Ａｌ２Ｏ３（酸化アルミ二ウム）や、ＴｉＯ２（酸化チタン）が用いられ、低屈折率材料としては、ＳｉＯ２（酸化シリコン）やＭｇＦ２（フッ化マグネシウム）が用いられる。光干渉膜３０４は、これらの材料をスパッタリングや真空蒸着といった手法により交互に成膜することにより形成する。本実施形態では、図２０に示されるように、波長３６５〔ｎｍ〕光について、光干渉膜３０４面に対し垂直に光を入射させた場合（０度）には、約３０〔％〕の透過率を示し、光干渉膜３０４面に対し３５度以上の角度で光を入射させた場合、光の透過率は略０〔％〕となるような（図２０より推察）材料及び膜厚を選定して構成されている。
【０１３７】
次に、図１９（ｂ）に示すように、透明基板３０２上の光干渉膜３０４に重ねて、スピンコーター等によりレジスト３０６を塗布し、プリベークを行う。その後、目的とする光遮断層（後述する不透明膜３０８に相当）の開口領域のパターンに対応したマスクを用いて露光した後、現像を行うことにより、図１９（ｃ）に示すような光遮断層（不透明膜３０８）の開口領域に対応する部分のみにレジスト３０６がパターニングされる。
【０１３８】
次に、図１９（ｄ）に示すように、透明基板３０２上のレジスト３０６の形成された面の全面に、不透明膜３０８を形成する。不透明膜３０８は、Ｃｒ（クロム）または、酸化クロムからなるものであり、スパッタリングや真空蒸着といった方法により形成する。
【０１３９】
図１９（ｄ）のように、レジスト３０６の形成面の全面に不透明膜３０８の成膜をおこなった後、当該透明基板３０２の全体を有機溶剤に浸漬させる、いわゆるリフトオフにより、レジスト３０６の形成されている領域上の不透明膜３０８をレジスト３０６と共に除去する。
【０１４０】
これにより、図１９（ｅ）に示すように、光干渉膜３０４上でレジスト３０６の形成されていなかった領域においてのみ不透明膜３０８が残存する。
【０１４１】
この後、図１９（ｆ）に示すように、光干渉膜３０４の開口領域３０４ａとなる部分をレーザートリマー等により除去する。こうして露光マスク３００が完成する。
【０１４２】
露光マスクの作製後（図１８のステップＳ３０２）、露光マスクの片面上にネガタイプのフォトレジストを塗布する（ステップＳ３０４）。具体的には、図２１（ａ）に示すように、露光マスク３００の光干渉膜３０４及び不透明膜３０８の形成されている側の面に、スピンコーター等によりレジスト３１０を塗布する。レジスト３１０の膜厚は、作製されるノズルプレートの厚さに対応するため、本実施形態では、厚膜レジストを用いている。例えば、２０〜５０μｍ程度の膜厚でネガレジストが塗布される。その後、当該塗布されたレジスト３１０についてプリベークをおこなう
なお、塗布による付着に代えて、ドライフィルム（ＤＲＦ）を用いて、露光マスク３００に密着させる方法や、レジストが塗布された基板を用い、レジスト面と露光マスク３００を密着させる方法であってもよい。
【０１４３】
次いで、図１１で説明した傾斜回転型露光装置２１０のステージ２２０上に、このプリベークしたネガレジスト付きの露光マスク３００を透明基板３０２側が上側（露光面側）となるように固定した状態で、透明基板３０２側から露光を行う（図１８のステップＳ３０６、Ｓ３０８）。なお、傾斜回転型露光装置２１０の光学フィルタ２６５（図１２参照）は、３６５〔ｎｍ〕より短波長の光をカットするフィルタが用いられる。
【０１４４】
ステップＳ３０６で示す第１の露光プロセスでは、図２１（ｂ）に示すように、露光マスク３００に対して垂直な入射角で光を照射する垂直露光を行う。
【０１４５】
垂直露光が行われると、光干渉膜３０４の開口領域３０４ａは、照射された露光光が全く吸収されることがないため、上述した光学フィルタ２６５（図１２参照）を透過した波長成分の光がレジスト３１０に照射されるが、光干渉膜３０４の形成されている領域では、光干渉膜３０４により概ね４００ｎｍ以上の波長成分がカットされた光がレジスト３１０に照射される。概ね４００ｎｍより波長の短い光はレジストの特性上、レジスト内部での光吸収が大きいため、レジスト３１０の領域３１０ａを先細り傾向に感光する。特に不透明膜３０８の開口を狭くした場合はその傾向が顕著で、図２１（ｂ）に示すレジスト３１０の領域３１０ｂは先細りに感光される。尚、露光マスク３００の不透明膜３０８により覆われた領域では、露光光は不透明膜３０８を透過することはないため、この領域に形成されたレジスト３１０が感光することはない。
【０１４６】
上記の垂直露光（図１８のステップＳ３０６）に続いて、図１８のステップＳ３０８で示す傾斜回転露光を行う。具体的には、図１１に示した傾斜回転型露光装置２１０の揺動機構により、ステージ２２０上に固定されたネガレジスト付きの露光マスク３００に対して斜めの入射角で光を照射する傾斜回転露光を行う。本実施形態においては、光の入射角θが約３５度となるようにして露光する。
【０１４７】
傾斜回転露光が行われると、図２１（ｃ）に示すように、光干渉膜３０４の開口領域３０４ａを透過した光は、レジスト３１０を貫通し、これによりレジスト３１０にテーパ領域３１０ｃが形成されるように感光される。ここで、レジスト３１０には光学フィルタ２６５（図１２参照）を透過した概ね４００ｎｍ以上の波長成分を含む光が照射される。概ね４００ｎｍ以上の光はレジストの特性上、レジスト内部での光吸収が少ないため、レジスト３１０の領域３１０ｃを略直線状に感光する。一方、光干渉膜３０４の設けられている領域は、入射角が約３５度に傾いた状態では、光の干渉により露光光の透過率は略０％となるため、露光光によりレジスト３１０が感光することはない。よって、図１８のステップＳ３０８の傾斜回転露光によりレジスト３１０が感光するのは、光干渉膜３０４の開口領域３０４ａより入射する露光光にのみによるものである。
【０１４８】
その後、図１８のステップＳ３１０において、上記露光後のレジスト３１０について現像を行った後、ポストベークを行う。こうして、図２１（ｄ）に示すように、露光マスク３００上には、感光部に対応するレジスト３１０が残ったレジストパターンが形成され、これがニッケル（Ｎｉ）電鋳の型として用いられる。
【０１４９】
次に、図１８のステップＳ３１２において、露光マスク３００に対してニッケル（Ｎｉ）共析メッキを行い、撥液メッキ層を形成する。具体的には、図２１（ｅ）に示すように、露光マスク３００の不透明膜３０８の形成されている面についてニッケル（Ｎｉ）共析メッキを行い、Ｎｉ共析メッキ層３１２を形成する。
【０１５０】
Ｎｉ共析メッキは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を含有するメッキ液を用い、１〜３〔μｍ〕の膜厚になるまで行う。Ｎｉ共析メッキは、金属部分にのみメッキが施されるため、本例の場合、Ｃｒよりなる不透明膜３０８の表面にのみＮｉ共析メッキ層３１２が形成される。
【０１５１】
その後、図１８のステップＳ３１４において、Ｎｉ電鋳を行う。具体的には、図２１（ｅ）に示すように、Ｎｉ共析メッキの施された領域、即ち、Ｎｉ共析メッキ層３１２上に、Ｎｉ電鋳により、Ｎｉ電鋳層３１４を堆積させる。このとき堆積させるＮｉの膜厚は、１０〜５０〔μｍ〕である。当該Ｎｉ共析メッキ層３１２及びＮｉ電鋳層３１４により形成される金属プレート部分がノズルプレート３１６となる。
【０１５２】
メッキによる成長表面を研磨した後、有機溶剤等によりレジスト３１０の除去を行い（図１８のステップＳ３１６）、更に、その後、当該Ｎｉ共析メッキ層３１２及びＮｉ電鋳層３１４により形成されるノズルプレート３１６を露光マスク３００から剥離する（図１８のステップＳ３１８）。
【０１５３】
こうして、図２１（ｆ）に示すように、吐出方向（図の下方）に向かって流路断面積が次第に小さくなる順テーパ部３１８と円筒状のストレート部３２０から成るテーパストレート状ノズル３２２とともに、吐出方向に向かって孔径が次第に大きくなる逆テーパ部（孔部）３２４が形成されたノズルプレート３１６が得られる。
【０１５４】
なお、Ｎｉ共析メッキ層３１２の堆積前にＣｕやＺｎなどの犠牲層を形成し、露光マスク３００の剥離後に除去することで、吐出面の一層の品質向上を図ることも可能である。
【０１５５】
このようにして得られたノズルプレート３１６をヘッド本体部１１４（流路板６２）に接合する場合には、上述した傾斜回転型露光装置２１０を用いて行えばよい。例えば、図２２（ａ）に示すように、まず、比較的大きな入射角θａで光を照射する広角傾斜回転露光を行う。これにより、ノズル３２２の流入側開口部周辺の接着剤エッジ部１２０ｃは光が直接照射されるので硬化する。次いで、図２２（ｂ）に示すように、比較的小さな入射角θｂ（＜θａ）で光を照射する狭角傾斜回転露光を行う。ノズル３２２の吐出側開口部から圧力室５２内部に侵入した光は振動板６４などの壁面に反射し、その反射光が圧力室５２内部に存在する接着剤１２０ａに照射されるので、該接着剤１２０aは硬化する。
【０１５６】
また、ノズルプレート３１６に形成された逆テーパ部（孔部）３２４には、ノズルプレート３２２をヘッド本体部１１４に貼り付けて加圧すると余剰接着剤１２０ｄが侵入するが、上記露光により逆テーパ部３２４内部の余剰接着剤１２０ｄに光が照射されるので、該余剰接着剤１２０ｄをクサビ状に硬化させることができる。その際、逆テーパ部３２４の前面側（露光側）に可動マスク３２８を設け、狭角傾斜回転露光を行うときにのみ、逆テーパ部３２４内部の余剰接着剤１２０ｄに光を照射するようにしてもよい。逆テーパ部３２４内部の余剰接着剤１２０ｄがクサビ状に硬化するので、接着強度や位置ずれ防止効果が向上する。
【０１５７】
また、図２３に示すように、ノズルプレート３１６を露光マスク３００から剥離しない状態で傾斜回転露光を行う態様もある。この場合、ノズルプレート３１６とヘッド本体部１１４（流路板６２）の接合が完了してから、ノズルプレート３１６を露光マスク３００から剥離すればよい。薄肉のノズルプレートでも歪みや反りが低減され、高精度な接着が可能となる。
【０１５８】
なお、説明の便宜上、図２２や図２３ではノズルプレート３１６や露光マスク３００を簡略的に表示している。
【０１５９】
〔第３の実施形態〕
次に、本発明に係る第３の実施形態について説明する。以下、第１及び第２の実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【０１６０】
本実施形態においては、ノズルの吐出側開口部から光を照射して（ヘッド内部の）インク流路に存在する接着剤を硬化させるための露光装置として、上述した第１及び第２の実施形態で用いた傾斜回転型露光装置とは異なり、開口絞りにガラスマスクを設けるなどで垂直照射光の強度を弱く設定したケラー照明型のレーザ（固体レーザ：３５５〔ｎｍ〕、半導体レーザ３７５〔ｎｍ〕、４０５〔ｎｍ〕など）を用いて行う。
【０１６１】
図２４は、本実施形態において用いられる露光装置を示した概要図である。図２４に示すように、この露光装置４００は、固体レーザを光源４５１とするものであり、光源４５１より発せられた光は、インプットレンズ等からなる光学系４５２を介し、フライアイレンズ４５３に入射する。フライアイレンズ４５３は、２枚のシリンドリカルレンズを直交させたものである。フライアイレンズ４５３に入射した光束は、リレーレンズ４５４を介しマスク４５５を照射する。マスク４５５には、圧力室（インク流路）内に存在する接着剤に対して光を照射するためのパターンがノズル配置に合わせて形成されている。マスク４５５を照射した光束は、開口絞り４５６を介し、投影レンズ４５７により、照射面４５８に照射される。
【０１６２】
尚、開口絞り４５６は、フライアイレンズ４５３の集光面がリレーレンズ４５４により結像される位置に配置されており、テレセントリック光学系を構成している。また、本露光装置は、ケラー照明型の光学系からなるものである。
【０１６３】
露光装置は、ケラー照明型の光学系を有するものであるため、図に示すように照射面４５８に対し斜めより進入する平行光束が存在している。
【０１６４】
このような露光装置４００を用いて露光する場合には、開口絞り４５６を開いた状態（広角照射絞り）にした広角露光を行ってから、開口絞り４５６を絞った状態（狭角照射絞り）にした狭角露光を行うことが好ましい。このときの露光の様子は、図２２（ａ），（ｂ）に示した場合と同様である。
【０１６５】
すなわち、まず、開口絞り４５６を開いた状態にした広角露光が行われると、図２２（ａ）に示すように、ノズルプレート３１６側から比較的大きい入射角θａで光が照射される。これにより、ノズルプレート３１６の流入側開口部周辺の接着剤エッジ部１２０ｃは照射された光によって硬化する。次いで、開口絞り４５６を絞った状態にした狭角露光が行われると、図２２（ｂ）に示すように、ノズルプレート３１６側から比較的小さな入射角θｂ（＜θａ）で光が照射される。これにより、圧力室５２の内壁面による反射光によって圧力室５２内に存在する接着剤１２０ａは硬化する。
【０１６６】
また、ヘッド本体部１１４（流路板６２）にノズルプレート３１６を貼り合わせて加圧すると、ノズルプレート３１６に形成される逆テーパ部（孔部）３２４に余剰接着剤１２０ｄが流入するが、上記露光によって、逆テーパ部３２４内の余剰接着剤１２０ｄはクサビ状に硬化する。例えば、図２２（ａ）に示すように、狭角露光時には、逆テーパ部３２４の前面にマスク３２８を配置して逆テーパ部３２４内の余剰接着剤１２０ｄに対する露光は行わず、図２２（ｂ）に示すように、広角露光時には、逆テーパ部３２４の前面のマスク３２８を他に移動して、逆テーパ部３２４内の余剰接着剤１２０ｄに対する露光を行うようにしてもよい。逆テーパ部３２４内の余剰接着剤１２０ｄがクサビ状に硬化するので、接着強度や位置ずれ防止効果が向上する。
【０１６７】
また、第２の実施形態と同様、ノズルプレート３１６を露光マスク３００から剥離しない状態で露光マスク３００側から露光を行う態様もある（図２３参照）。薄肉のノズルプレートでも歪みや反りが低減し、高精度な接着が可能となる。
【０１６８】
本実施形態によれば、ノズルプレートをヘッド本体部に接合する際に用いる露光装置として、ケラー照明型光学系を用いることにより、傾斜回転機構が不要でワークの固定保持も可能なため、ハンドリング性が良好で、圧力室（インク流路）全体の一括照射により生産性にも優れた接合が可能となる。
【０１６９】
また、垂直照射光を弱く設定したので、装置への戻り光による迷光などの影響が防止されるので、加工品質も安定する。
【０１７０】
〔第４の実施形態〕
次に、本発明に係る第４の実施形態について説明する。以下、第１〜第３の実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的な部分を中心に説明する。
【０１７１】
図２５は本実施形態のヘッドの要部構成を示した断面図である。図２５に示すように、本実施形態のヘッド５００は、圧力室５０２が区画形成される流路板５０４、振動板５０６、及び圧電素子５０８を備えるヘッド本体部５１０の前面（図の下面）に、ノズル５１２が形成されるノズルプレート５１４が接着剤で接合された構成となっている。
【０１７２】
各部の構成については第１の実施形態のヘッド５０と略共通するため説明を省略するが、本実施形態のヘッド５００は、圧電素子５０８の駆動により振動板５０６が変位する方向（図の左方向）に対して垂直な方向がノズル５１２の吐出方向（図の下方向）となるように構成された、いわゆるサイドシューター型ヘッドである。
【０１７３】
サイドシューター型ヘッドに対しても本発明は適用可能であり、図２５において、ノズルプレート５１４をヘッド本体部５１０に接着剤５１６を挟むようにして接合する際、ノズルプレート５１４の吐出側から傾斜回転露光を行い、ノズル５１２の吐出側開口部から圧力室５０２内部に光を照射することによって、該圧力室５０２の内壁面による反射光、或いは直接照射される光によって、インク流路（圧力室５０２）内に存在する接着剤５１６ａを硬化させることができる。よって、ノズルプレートを接合する際に生じるノズル目詰まりや位置ずれを防止することができる。また、露光装置として、前述のケラー照明型の光学系を用いてもよい。
【０１７４】
以上、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１７５】
【図１】インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図
【図２】インクジェット記録装置の印字部周辺を示した要部平面図
【図３】ヘッドの構造例を示す平面透視図
【図４】ヘッドの内部構造の一例を示す断面図
【図５】インクジェット記録装置におけるインク供給系の構成を示した概要図
【図６】インクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図
【図７】第１の実施形態のヘッドの製造方法を示したフローチャート図
【図８】Ｎｉ電鋳によるノズルプレートの製造方法を示したフローチャート図
【図９】Ｎｉ電鋳によるノズルプレートの製造工程を示した説明図
【図１０】ヘッド本体部とノズルプレートが接合される様子を示した説明図
【図１１】傾斜回転型露光装置の一例を示す構成図
【図１２】傾斜回転型露光装置に用いられる光源及び照射光学系の構成図
【図１３】傾斜回転露光による露光の様子を示した説明図
【図１４】振動板を変位させながら露光する様子を示した説明図
【図１５】ノズルテーパ角より広角で傾斜回転露光する態様を示した説明図
【図１６】露光マスク付きのＮｉ電鋳層（ノズルプレート）が露光される様子を示した説明図
【図１７】露光マスク上に形成されたＮｉ電鋳層の平面図
【図１８】第２の実施形態におけるノズルプレートの製造方法を示したフローチャート図
【図１９】第２の実施形態における露光マスクの製造工程を示した説明図
【図２０】露光マスクに用いられる光干渉膜の透過率特性（入射角依存性）を示すグラフ
【図２１】第２の実施形態におけるノズルプレートの製造工程を示した説明図
【図２２】広角傾斜回転露光と狭角傾斜回転露光の様子を示した説明図
【図２３】露光マスクを剥離しない状態で露光を行う様子を示した説明図
【図２４】第３の実施形態で用いられる露光装置（ケラー照明型光学系）を示した概要図
【図２５】第４の実施形態におけるヘッドの内部構造の一例を示す断面図
【符号の説明】
【０１７６】
１０…インクジェット記録装置、５０…ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５４…インク供給口、５５…共通流路、５８…圧電素子、６０…ノズルプレート、６２…流路板、６４…振動板、１００…露光マスク、１０２…透明基板、１０４…不透明膜、１１２…Ｎｉ電鋳層、３００…露光マスク、３０２…透明基板、３０４…光干渉膜、３０８…不透明膜、４００…ケラー照明型光学系露光装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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