(57)【要約】  本発明は、選択的回折格子及び選択的回折格子の適用例に関する。格子は、周期的交互パターンにおいて、第１の分散曲線ｎ１を有する第１の材料と、第１の分散曲線ｎ１と異なる第２の分散曲線ｎ２を有する第２の材料とを有する。本発明によれば、第１及び第２の分散曲線ｎ−ｉ、ｎ２は、２つ以上の異なる波長λ１λ２において互いに交差する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面上又は内部に配置された回折格子を有する二次元導波路であって、
前記回折格子が、周期的交互パターン内に、
第１の分散曲線を有する第１の材料と、
前記第１の分散曲線と異なる第２の分散曲線を有する第２の材料と
を有し、
前記第１及び第２の分散曲線が、２以上の異なる波長において互いに交差する、二次元導波路。
【請求項２】
前記異なる波長が、３８０〜７５０ｎｍの波長範囲内にあり、少なくとも５０ｎｍ離れている、請求項１に記載の導波路。
【請求項３】
前記材料のうちの少なくとも１つがＳｉＮｘである、請求項１又は２に記載の導波路。
【請求項４】
前記材料のうちの少なくとも１つが、ＴｉＯ２、ＨｆＯ２又はＺｒＯ２である、請求項１から３までのいずれか一項に記載の導波路。
【請求項５】
前記分散曲線が、少なくとも３８０〜７５０ｎｍの範囲内のある波長において、少なくとも０．０５単位、特に少なくとも０．１単位異なっている、請求項１から４までのいずれか一項に記載の導波路。
【請求項６】
前記格子が、前記導波路の主表面上に配置されている、請求項１から５までのいずれか一項に記載の導波路。
【請求項７】
異なる交差波長を有する複数のそのような格子のスタックを有する、請求項１から６までのいずれか一項に記載の導波路。
【請求項８】
前記格子のスタックの前記交差波長は、各格子が、前記スタックの他の各格子の１つの交差波長と共通の１つの交差波長を有するようになされている、請求項７に記載の導波路。
【請求項９】
そのような格子のスタックが、前記導波路のインカプラ、前記導波路の射出瞳エキスパンダ、前記導波路のアウトカプラのうちの１つ、２つ又はすべてを形成している、請求項７又は８に記載の導波路。
【請求項１０】
少なくとも２つの重ね合わせた導波路層を有する回折導波路スタックであって、前記導波路層のうちの少なくとも１つが、請求項１から９までのいずれか一項に記載の導波路を有する、回折導波路スタック。
【請求項１１】
個人用表示デバイスであって、
シースルー表示素子として働く、請求項１から９までのいずれか一項に記載の導波路、又は請求項１０に記載の導波路スタックと、
少なくとも部分的に前記導波路又は前記導波路スタックの前記格子又は前記複数の格子を通して、且つ前記格子又は前記複数の格子の助けにより、画像を前記導波路又は前記導波路スタック中に投影するためのプロジェクタと
を有し、
前記プロジェクタが、光線を少なくとも３つの異なる波長において放射するように適合された多色プロジェクタであり、前記波長のうちの２つが、前記導波路又は前記導波路スタックの前記格子又は前記複数の格子の前記異なる交差波長に対応している、個人用表示デバイス。
【請求項１２】
前記プロジェクタが、レーザ・プロジェクタである、請求項１１に記載の個人用表示デバイス。
【請求項１３】
単一導波路上に、又はスタックとして配置された異なる導波路層上に格子のスタックとして配置された少なくとも３つのそのような格子を有し、前記格子の前記交差波長が、前記プロジェクタによって放射された前記波長によって変更される、請求項１１又は１２に記載の個人用表示デバイス。
【請求項１４】
前記格子が、格子のスタックとして配置され、その周期は、それらが前記３つの異なる波長を無彩色に単一導波路として回折させるように設定される、請求項１３に記載の個人用表示デバイス。
【請求項１５】
選択的に透過的な回折格子を有する二次元導波路を製造する方法であって、
２以上の異なる波長を選択するステップと、
少なくとも２つの異なる材料を利用して回折パターン構成を選択するステップと、
異なる分散曲線を有する少なくとも２つの異なる材料を選択するステップであって、前記異なる分散曲線は、前記２以上の異なる波長において互いに交差している、ステップと、
前記回折パターン構成及びその中の前記異なる材料を使用して、前記格子を表面上に又は前記導波路内に製造するステップと
を含む方法。
【請求項１６】
前記異なる分散曲線が、
前記第１の材料を選択するステップと、
前記第２の材料を選択するステップと、
前記第１及び／又は第２の材料の化学量論を、それらの分散曲線が２以上の異なる波長において交差するように選択するステップと、
前記化学量論を用いて、前記材料を、前記格子を形成するための前記異なる材料の交互パターンへと生産するステップと
によって提供される、請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は回折光学素子に関する。詳細には、本発明は、光を回折表示素子及びデバイスに使用される光導波路（導光板）中に結合させるのに使用することができる格子に関する。本発明は、ヘッドマウント・ディスプレイ（ＨＭＤ）及びヘッドアップ・ディスプレイ（ＨＵＤ）などの個人用表示デバイスに使用することができる。そのようなディスプレイは、典型的には、導波路と、導波路上に又は導波路中に配置された少なくとも１つの格子とを有する。
【背景技術】
【０００２】
導波路は、多くの最新の個人用表示デバイスにおいて重要な画像形成素子である。表示される画像は、導波路の主面に、典型的にはその表面上に配置された回折格子を使用して、導波路中に及び導波路外に結合させること、並びに導波路内で変更することができる。例えば、画像をプロジェクタから導波路中に結合させるためのインカップリング格子と、導波路の１つ又は複数の面内次元において光照射野を拡大するための射出瞳拡大器格子と、光照射野を導波路の外のユーザの目に結合させるアウトカップリング格子とが提供される場合がある。
【０００３】
導波路は、多色ディスプレイを提供するために、異なる波長を層が搬送するスタック（ｓｔａｃｋ；束）として配置することができる。そのようなスタックのイン及びアウトカップリング配置における１つの目的は、層間で完全な波長分離を行うことにある。しかし、実際には、１つの層に意図された光線の少なくとも一部が、別の層に結合される。例えば、この目的のために、及び波長の良好な制御が必要とされる他の適用例のために、改善された解決策が必要とされる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】Ｃｈａｒｉｆｉ，Ｈ．、Ｓｌａｏｕｉ，Ａ．、Ｓｔｏｑｕｅｒｔ，Ｊ．Ｐ．、Ｃｈａｉｂ，Ｈ．及びＨａｎｎｏｕｒ，Ａ．（２０１６）、Ｏｐｔｏ−Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍｓ  Ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ  ｂｙ  ＥＣＲ−ＰＥＣＶＤ、Ｗｏｒｌｄ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｃｏｎｄｅｎｓｅｄ  Ｍａｔｔｅｒ  Ｐｈｙｓｉｃｓ、６、７〜１６頁
【非特許文献２】Ｍａｚｕｒ  Ｍ．ら、Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ  ｏｆ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｏｎ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ  ａｎｄ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  ＨｆＯ２−ＴｉＯ２  Ｍｉｘｅｄ  Ｏｘｉｄｅ  Ｃｏａｔｉｎｇｓ、Ｃｏａｔｉｎｇｓ、２０１６年６月１３日
【非特許文献３】Ｈｕａｎｇ  Ｙ．ら、Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｌｏｗ  ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ  ａｔｏｍｉｃ  ｌａｙｅｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ＴｉＯ２  ｆｏｒ  ＭＥＭＳ  ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ、Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ａ、Ｖｏｌ．３１、Ｎｏ．１、２０１３年１月／２月
【非特許文献４】Ｄａｎｇ  Ｖ−Ｓ．ら、Ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｏｐｔｉｃａｌ，  Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ，  ａｎｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  ＭＯＣＶＤ−ｇｒｏｗｎ  ＺｒＯ２  Ｆｉｌｍｓ、Ｃｈｅｍ．Ｖａｐ．Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ２０１４，２０、３２０〜３２７頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特に導波路ベースのディスプレイの適用例において波長の制御を改善するための新規解決策を提供することが本発明の目的である。
【０００６】
特定の目的は、多色導波路、導波路スタック及び表示デバイスのイン及び／又はアウトカップリング配置における色分解を改善するための新規解決策を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
目的は、独立請求項に定義されている本発明によって実現される。
【０００８】
一態様において、本発明は、第１の分散曲線を有する第１の材料と、第１の分散曲線と異なる第２の分散曲線を有する第２の材料との周期的交互パターンを有する選択的回折格子を提供する。第１及び第２の分散曲線は、２つ以上の異なる波長において互いに交差し、したがって、これらの波長において格子を完全に透過的にする。これらの波長は、交差波長と呼ぶことができる。
【０００９】
一態様において、本発明は、上述の種類の格子を有する導波路を提供する。格子は、例えば、インカップリング又はアウトカップリング格子であり得る。一実施例において、本明細書に開示する原理を使用して、それぞれ、波長のうちの２つに対して透過的であり、波長のうちの１つに対して「可視」であるようにそれぞれ適合された格子のスタックが提供される。
【００１０】
一態様において、本発明は複数の層を有する導波路スタックを提供し、そのうちの少なくとも１つは、上記の種類の導波路である。典型的には、層のそれぞれは、互いに整合されたインカップリング及び／又はアウトカップリング格子を有する。例えば、本発明の格子を最上導波路層上に配置することにより、交差波長に対応する２つの波長は、最上層をそれと相互作用することなく通過し、最上層において第３の波長と結合することが可能となる。
【００１１】
選択的に透過的な回折格子を製造する本方法は、
２つ以上の異なる波長を選択するステップと、
少なくとも２つの異なる材料を利用して回折パターン構成を選択するステップと、
異なる分散曲線を有する少なくとも２つの異なる固体材料を選択するステップであって、異なる分散曲線が、前記２つ以上の異なる波長において互いに交差する、固体材料を選択するステップと、
前記回折パターン構成及びその中の前記異なる固体材料を使用して格子を製造するステップとを有する。
【００１２】
本発明は顕著な利益を提供する。
【００１３】
２つの交差波長は、単一導波路を用いて、又は各層が１つの色だけを搬送するように意図されている導波路のスタックを使用して実装された３色表示導波路素子において色の完全な制御を行う。使用される波長のうちの１つだけが、格子と相互作用し、導波路内の光照射野を変更するように、交差波長を設定することができる。２つの他の波長は、相互作用なしで格子及び導波路を通じて継続する。
【００１４】
具体的には、現在の完全に波長に依存しない制御では、１つの導波路だけを使用し、それでも３つの別々の単色導波路と同様に、３色に対して同じ波長分離を実現することが可能である。
【００１５】
本発明は、狭い波長域を有するＲＧＢレーザ画像プロジェクタに使用されることに特によく適している。
【００１６】
従属請求項は、本発明の選択された実施例を対象とする。
【００１７】
次に、添付の図面を参照して、本発明の実施例及び本発明の利点をより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】一実施例による格子の断面図である。
【図２】２つの異なる材料の適切な分散曲線の例示的なグラフである。
【図３】一実施例による、本発明を利用した導波路スタックを示す図である
【図４】一実施例による、本発明を利用した単層導波路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は、異なる材料の２つの層から製作された格子を示す。第１の層１１は、第１の波長依存性屈折率ｎ１を有し、第２の層１２は、第２の波長依存性屈折率ｎ２を有する。層の界面において、材料は、周期的回折構造、すなわち格子を形成するように交互配置される。
【００２０】
屈折率ｎ１及びｎ２は分散曲線を画定し、分散曲線は２つ以上の明確な波長において交差するように適合され、それに対して、格子は非回折性、すなわち完全に透過的である。他の波長では、格子は回折性である（すなわち、＋／−一次などの非ゼロ透過又は反射次数中に回折する）。したがって、２つの通過帯域を有する回折格子が実現される。
【００２１】
例示的な分散曲線グラフを図２に示し、異なる材料の曲線ｎ１及びｎ２を示す。ここで、波長λ１及びλ２は交差波長に相当するが、波長λ３において、屈折率は顕著に異なる。図２は、分散曲線が可視波長範囲において２回交差するように適切に異なる「曲率」を有する、有益な状況を示す。
【００２２】
１つの実例において、材料のうちの少なくとも１つは、窒化ケイ素、特に非晶質水素化窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）である。その化学量論（ｓｔｏｉｃｈｉｏｍｅｔｒｙ）ｘは、現在の使用に適切になるように調整することができる。他の材料を用いても、同様の効果を実現することができ、そのいくつかを以下に説明する。
【００２３】
１つの実例において、材料のうちの少なくとも１つは、そのようなものとして又は様々な化学量論形態における混合酸化物として、二酸化チタン（ＴｉＯ２）、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）又は二酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）である。これらは、現在の格子を実現するために、適切な化学量論において、特にＳｉＮｘを有する共同材料として相互に使用することができる。
【００２４】
具体的な実例において、格子は、以下の材料対、すなわち、ＳｉＮｘ−ＴｉＯ２、ＳｉＮｘ−ＨｆＯ２又はＳｉＮｘ−ＺｒＯ２のうちの１つで形成される。
【００２５】
異なる材料が、同じ元素組成を有するが、それらの材料に異なる分散曲線を与えるように調整された化学量論を有することも可能である。
【００２６】
ＳｉＮｘ分散曲線の調整及び現在の使用に適切なＳｉＮｘ材料の生産は、例えば、Ｃｈａｒｉｆｉ，Ｈ．、Ｓｌａｏｕｉ，Ａ．、Ｓｔｏｑｕｅｒｔ，Ｊ．Ｐ．、Ｃｈａｉｂ，Ｈ．及びＨａｎｎｏｕｒ，Ａ．（２０１６）、Ｏｐｔｏ−Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  Ｓｉｌｉｃｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍｓ  Ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ  ｂｙ  ＥＣＲ−ＰＥＣＶＤ．、Ｗｏｒｌｄ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｃｏｎｄｅｎｓｅｄ  Ｍａｔｔｅｒ  Ｐｈｙｓｉｃｓ、６、７〜１６頁（ｈｔｔｐ：／／ｄｘ．ｄｏｉ．ｏｒｇ／１０．４２３６／ｗｊｃｍｐ．２０１６．６１００２）において説明されている。
【００２７】
ＴｉＯ２及びＨｆＯ２混合酸化物の分散曲線の調整は、例えば、Ｍａｚｕｒ  Ｍ．ら、Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ  ｏｆ  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｏｎ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ  ａｎｄ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  ＨｆＯ２−ＴｉＯ２  Ｍｉｘｅｄ  Ｏｘｉｄｅ  Ｃｏａｔｉｎｇｓ、Ｃｏａｔｉｎｇｓ、２０１６年６月１３日によって説明されている。
【００２８】
ＴｉＯ２分散曲線の調整は、Ｈｕａｎｇ  Ｙ．ら、Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｏｆ  ｌｏｗ  ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ  ａｔｏｍｉｃ  ｌａｙｅｒ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ＴｉＯ２  ｆｏｒ  ＭＥＭＳ  ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ、Ｊ．Ｖａｃ．Ｓｃｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ａ、Ｖｏｌ．３１、Ｎｏ．１、２０１３年１月／２月において説明されている。
【００２９】
ＺｒＯ２分散曲線の調整は、Ｄａｎｇ  Ｖ−Ｓ．ら、Ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｏｐｔｉｃａｌ，  Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ，ａｎｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ  ｏｆ  ＭＯＣＶＤ−ｇｒｏｗｎ  ＺｒＯ２  Ｆｉｌｍｓ、Ｃｈｅｍ．Ｖａｐ．Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ２０１４、２０、３２０〜３２７頁において説明されている。
【００３０】
典型的な実例において、異なる波長は、好ましくは少なくとも５０ｎｍだけ分離されて、可視波長範囲にある。これにより、格子、及びディスプレイの適用例に適切な格子を含む導波路が製作される。
【００３１】
典型的には、現在の格子は、導波路の又は導波路内の主表面の一方又は両方上に配置される。
【００３２】
現在の回折導波路スタックは、少なくとも２つの重ね合わせた導波路層を有し、そのうちの少なくとも１つは、本明細書に説明したように導波路を有する。これは、分散曲線が交差する波長以外の少なくともいくつかの波長において、格子が光を導波路中に結合することができ、及び／又は何らかの他のやり方で導波路の光照射野と相互作用することができるように、格子が光学的に導波路に接続されることを意味する。
【００３３】
図３は、３つの導波路層３０Ａ〜Ｃを有する、例示的なスタックを示し、導波路層のそれぞれは、それぞれその上に配置されたインカップリング格子３３Ａ〜Ｃを有する。最上層３０Ａの格子３３Ａは、本明細書で説明した種類である。したがって、それにより、波長λ１及びλ２における光線が、層３０Ａを妨げられることなく通過し、波長λ１における光線を層３０Ａ中に結合させることが可能となる。次の層３０Ｂ及び格子３３Ｂは、波長λ１を層３０Ｃに渡し、波長λ２を層３０Ｂに結合させるように構成される。最後に、最後の格子３３Ｃが波長λ１を最後の層３０Ｃ中に結合させる。
【００３４】
いくつかの実施例において、第２及び／又は第３の格子も本発明による格子であるが、しかし、上層を逆行して通過して、下層中に結合する光線の結合を防止するために異なって調整された透過波長を有する。
【００３５】
不完全に結合された光線が次の層と結合するのを防止するために、層間で使用することができるフィルタ（図示せず）がある場合もある。
【００３６】
上記に詳細に説明したインカプラに加える代わりに、同様の配置を導波路素子のアウトカプラ又は射出瞳拡大器（エキスパンダ）に使用することができる。
【００３７】
導波路スタック及び「物理的単色化」を使用する代わりに、色分解は、実例の助けにより、以下に説明するように、単一導波路層及び「仮想単色化」を使用して実現することができる。
【００３８】
図４は、それぞれ、上に格子スタックとして配置された３つのインカップリング格子４３Ａ〜Ｃを有するインカプラ４５を有する例示的な単一導波路４０を示す。格子４３Ａ〜Ｃは、各格子が、使用される３つの波長λ１、λ２、λ３のうちの２つに対して透過的であり、したがって、第３の波長だけに可視であり、すなわち、第３の波長を回折させるように、本発明にしたがって適切に構成される。格子４３Ａ〜Ｃは、すべての波長が導波路４０に結合されるように、互いに対してすべて異なる。このようにして、単一物理的導波路４０が、多色画像を生産するのに必要なすべての波長を誘導することができるが、実質的には３つの単色導波路のように見え、その場合、異なる波長は、別々に制御することができる。
【００３９】
この実施例は、単一導波路の内側で、すべての波長に対して同時に働くように設計された格子を用いて可能であるよりも良好な光線の制御を行う。
【００４０】
格子の周期は、例えば、使用される各波長に対して、回折角が同じであるように、相対的に自由に選択することができる。したがって、格子のスタックは、効果的に無彩色であり得る。
【００４１】
上記に詳細に説明したインカプラ４５に加える代わりに、同様の格子スタックを射出瞳拡大器（ＥＰＥ）４６として及び／又はアウトカプラ４７として使用することができる。このようにして、色の制御は、導波路全体を通じて存続する。
【００４２】
一実施例において、格子のスタックの交差波長は、各格子が、スタックの１つの交差波長の他の格子に共通の１つの交差波長を有するように適合される。
【００４３】
使用される３つの波長は、典型的には、青色、緑色及び赤色の可視波長範囲において選択される。
【００４４】
現在の個人用表示デバイスは、デバイスの表示素子として働く、上記の種類の導波路又は導波路スタックを有する。さらに、少なくとも部分的に格子を通じて及び格子の助けにより、画像を導波路又は導波路スタック中に投影するためのプロジェクタがある。プロジェクタは、光線を少なくとも３つの異なる波長で放射するように適合された多色プロジェクタであり、波長のうちの２つは、前記異なる波長に対応し、それに対して格子は透過的である。本発明によるいくつかの格子の場合、格子の交差波長は、プロジェクタの３つの波長によって適切に並べ替える（ｐｅｒｍｕｔｅｄ；変更される）ことができる。
【００４５】
好ましくは、プロジェクタは、３色レーザ・プロジェクタである。交差波長は、３色のうちの２つに対応するように設定されるが、第３の色の波長において、２つの異なる材料の屈折率は、顕著な回折を生じさせるように十分に異なる。その波長において、屈折率は、妥当な回折効率を実現するために、例えば、０．０５単位以上だけ、特に０．１単位以上だけ異なることができる。
【００４６】
本明細書ではインカップリングの文脈で説明したが、格子は、アウトカップリング配置及び射出瞳拡大器配置でも用途を見出す。
【００４７】
いくつかの適用例において、本明細書に開示する１つ又は複数の二重に交差する分散曲線とともに単独で交差する分散曲線格子に格子を使用することは有益である場合がある。
【００４８】
格子は、１つの方向だけに周期性を有する線形格子又は二次元に周期性を有する二次元格子でもよい。
【００４９】
格子は、導波路上若しくは導波路内に別個の実体を形成することができ、又は格子材料のうちの１つは、導波路と一体でもよいことに留意されたい。さらに、バイナリ格子としても図１に示すが、格子のフィーチャは、ブレーズド・プロファイルなどの任意の所望のプロファイルをとることができる。現在の種類の格子は、より大きい回折光学素子の部分として使用することができる。
【００５０】
本方法の一実施例において、異なる分散曲線は、
第１の材料の元素組成を選択するステップと、
第２の材料の元素組成を選択するステップと、
第１及び／又は第２の材料の化学量論を、それらの分散曲線が２つ以上の異なる波長で交差するように、選択するステップと、
前記化学量論を生じさせる生産方法を選択するステップと、
前記生産方法及び化学量論を用いて前記材料を、格子を形成するための前記異なる材料の交互パターンに生産するステップとによって提供される。
【図１】
2021516779.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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2021516779.tif 000008
2021516779.tif 000009
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