(57)【要約】  低放射率（低Ｅ）コーティングは、銀などの材料でできているか、又は銀などの材料を含む、第１及び第２の赤外（ＩＲ）反射層を含む。コーティングは、酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む底部誘電体部分と、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層を含む中心誘電体部分と、を含む。コーティングは、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、望ましいＵ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値の組み合わせの達成を実現することができるように構成される。特定の例示的実施形態では、一対の誘電体層の間に挟まれた吸収体層が設けられてもよい。本明細書のコーティングされた物品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニットの文脈において、又は単板窓用途、積層窓、及び／若しくは同様のものなどの他の好適な用途で使用することができる。
2021520336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、前記ガラス基材から離れる方向に、
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層と、
スズ酸亜鉛を含む第１の層と、
スズ酸亜鉛を含む前記層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、
前記基材上の、酸化亜鉛を含む前記第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、
前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１のＩＲ反射層及び前記接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、
スズ酸亜鉛を含む少なくとも前記第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、
少なくとも前記第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む前記第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む前記第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、
銀を含む少なくとも前記第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、
前記コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、コーティングされた物品。
【請求項２】
前記コーティングが、前記第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している吸収体層を更に含む、請求項１に記載のコーティングされた物品。
【請求項３】
前記吸収体層が、Ｎｉ及びＣｒを含む、請求項２に記載のコーティングされた物品。
【請求項４】
前記吸収体層が、Ｎｉ、Ｃｒ、及びＭｏを含む、請求項２に記載のコーティングされた物品。
【請求項５】
前記吸収体層が、金属製又は実質的に金属製である、請求項２〜４のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項６】
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜５のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項７】
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも４０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜６のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項８】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜７のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項９】
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも４０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜８のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１０】
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも６０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜９のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１１】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層が、酸素の少なくとも３倍の窒素を含有する、請求項１〜１０のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１２】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層のＺｒ／Ｓｉの（原子）比が、０．３０〜０．４７である、請求項１〜１１のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１３】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層のＺｒ／Ｓｉの（原子）比が、０．３５〜０．４４である、請求項１〜１２のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１４】
酸化チタンを含む層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層上に位置し直接接触している、請求項１〜１３のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１５】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層が、前記ガラス基材に直接接触している、請求項１〜１４のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１６】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層が、厚さ約５０〜２００Åである、請求項１〜１５のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１７】
前記コーティングされた物品が、一体として測定して、少なくとも４０％の可視光透過率を有する、請求項１〜１６のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１８】
前記接触層が、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む、請求項１〜１７のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１９】
前記コーティングされた物品が、熱強化に十分な熱処理に起因して、２．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成されている、請求項１〜１８のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２０】
前記コーティングされた物品が、熱強化に十分な熱処理に起因して、１．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成されている、請求項１〜１９のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２１】
前記コーティングが、
前記第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している、吸収体層と、
前記吸収体層上、かつ窒化ケイ素を含む前記第１及び第２の誘電体層上に位置する、スズ酸亜鉛を含む第３の層と、を更に含み、
スズ酸亜鉛を含む前記第３の層が、酸化亜鉛を含む前記第２の層の下に位置し、直接接触している、請求項１〜２０のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれかに記載のコーティングされた物品を含むＩＧ窓ユニットであって、前記ＩＧ窓ユニットが、１．１以下のＵ値を有し、前記ＩＧ窓ユニットが、別のガラス基材を更に含み、前記コーティングが、前記ＩＧ窓ユニットの表面２上にある、ＩＧ窓ユニット。
【請求項２３】
ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、前記ガラス基材から離れる方向に、
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層と、
スズ酸亜鉛を含む第１の層と、
スズ酸亜鉛を含む前記層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、
前記基材上の、酸化亜鉛を含む前記第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、
前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１のＩＲ反射層及び前記接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、
スズ酸亜鉛を含む少なくとも前記第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、
少なくとも前記第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む前記第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む前記第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、
銀を含む少なくとも前記第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、
前記コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、
前記コーティングが、（ａ）銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚いこと、（ｂ）酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚いこと、及び（ｃ）スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚いこと、のうちの少なくとも１つを特徴とする、コーティングされた物品。
【請求項２４】
前記コーティングが、（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）のうちの少なくとも２つを特徴とする、請求項２３に記載のコーティングされた物品。
【請求項２５】
ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、前記ガラス基材から離れる方向に、
ジルコニウム及び酸素を含む誘電体層と、
スズ酸亜鉛を含む第１の層と、
スズ酸亜鉛を含む前記層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、
前記基材上の、酸化亜鉛を含む前記第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、
前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１のＩＲ反射層及び前記接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、
スズ酸亜鉛を含む少なくとも前記第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、
少なくとも前記第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む前記第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む前記第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、
銀を含む少なくとも前記第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、
前記コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、
ジルコニウム及び酸素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、ジルコニウム及び酸素を含む前記誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、コーティングされた物品。
【請求項２６】
前記コーティングが、前記第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している吸収体層を更に含む、請求項２５に記載のコーティングされた物品。
【請求項２７】
前記吸収体層が、Ｎｉ及びＣｒを含む、請求項２６に記載のコーティングされた物品。
【請求項２８】
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、請求項２５〜２７のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２９】
ジルコニウム及び酸素を含む前記層が、前記ガラス基材に直接接触している、請求項２５〜２８のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項３０】
前記コーティングされた物品が、一体として測定して、少なくとも４０％の可視光透過率を有する、請求項２５〜２９のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項３１】
前記コーティングされた物品が、熱強化に十分な熱処理に起因して、２．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成されている、請求項２５〜３０のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項３２】
前記コーティングされた物品が、熱強化に十分な熱処理に起因して、１．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成されている、請求項２５〜３１のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項３３】
ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、前記ガラス基材から離れる方向に、
ジルコニウム及び酸素を含む誘電体層と、
スズ酸亜鉛を含む第１の層と、
スズ酸亜鉛を含む前記層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、
前記基材上の、酸化亜鉛を含む前記第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、
前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１のＩＲ反射層及び前記接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、
スズ酸亜鉛を含む少なくとも前記第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、
少なくとも前記第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む前記第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む前記第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、
銀を含む少なくとも前記第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、
前記コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、
前記コーティングが、（ａ）銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚いこと、（ｂ）ジルコニウム及び酸素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚いこと、並びに（ｃ）スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、ジルコニウム及び酸素を含む前記誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚いこと、のうちの少なくとも１つを特徴とする、コーティングされた物品。
【請求項３４】
前記コーティングが、（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）のうちの少なくとも２つを特徴とする、請求項３３に記載のコーティングされた物品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銀などの材料の又は銀などの材料を含む少なくとも第１及び第２の赤外（ＩＲ、infrared）反射層を含む、低放射率（低Ｅ）コーティングを有するコーティングされた物品に関する。低Ｅコーティングは、コーティングされた物品が、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、低Ｕ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値のうちの１つ以上を実現することができるように設計される。特定の例示的実施形態では、コーティングは、酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む底部誘電体部分と、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層を含む中心誘電体部分と、を含む。酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む少なくとも底部誘電体部分と、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層を含む中心誘電体部分との組み合わせは、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、望ましいＵ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値の組み合わせの達成を可能にすることが見出されている。より低い可視光透過性コーティングが所望される場合などの特定の例示的実施形態では、可視光透過率を調整するために、一対の誘電体層の間に挟まれた吸収体層が設けられ得る。本明細書のコーティングされた物品は、断熱ガラス（ＩＧ、insulating glass）窓ユニットの文脈において、又は単板窓用途、積層窓、及び／若しくは同様のものなどの他の好適な用途で使用することができる。
【背景技術】
【０００２】
コーティングされた物品は、断熱ガラス（ＩＧ）ユニット、車両用窓、単板窓、及び／又は同様の窓用途で使用することが当該技術分野において知られている。特定の例示的な例では、コーティングされた物品の設計者は、多くの場合、ＩＧ窓ユニットの文脈において、望ましい可視光透過率、望ましい色、低い放射率（又は放射性）、低いシート抵抗（Ｒs）、望ましいＬＳＧ値、及び／又は望ましいＵ値の組み合わせを得ようと努力している。望ましい可視光透過率及び望ましい着色は、コーティングされた物品を、ＩＧ又は車両用窓用途などのこれらの特性が望まれる用途に使用することを可能にし得る一方で、低い放射率、及び低いシート抵抗は、そのようなコーティングされた物品が、有意な量のＩＲ放射を遮断して、例えば車両又は建物内部の望ましくない加熱を低減することを可能にする。
【０００３】
低Ｅコーティングは、典型的には、スパッタリングによってガラス基材上に堆積される。コーティング又はコーティングされた物品の放射率及び／又はシート抵抗値の大部分は、典型的には銀などで作製されるＩＲ反射層（複数可）によってもたらされる。しかしながら、そのようなコーティングの放射率値に関しては低い許容差を達成することは困難である。換言すれば、当該技術分野における問題は、所与の小さい許容差の範囲内で所望の低放射率値及び／又はシート抵抗値を達成することが困難である。許容差は、所望されるよりも大きいままである。
【０００４】
上を考慮すると、所与の小さい許容範囲（例えば、プラス／マイナス１％の公差）内で所望の低放射率値を達成することができるように設計された低Ｅコーティングを含む、コーティングされた物品に対する必要性が当該技術分野において存在することが理解されるであろう。また、高い可視光透過率、低い放射率、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、低Ｕ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値のうちの１つ以上を達成する、そのようなコーティングを提供することも望ましいであろう。
【発明の概要】
【０００５】
従来、２つの銀系ＩＲ反射層を有するコーティングにおいて、望ましいＬＳＧ値及び低ΔＥ*値（例えば、ガラス側反射性）を達成することは困難であった。本発明の例示的実施形態では、次が組み合わせられると、２つの銀系ＩＲ反射層を有するコーティングにおいて、望ましいＬＳＧ値及び低ΔＥ*値（例えば、ガラス側反射性）が、他の望ましい光学特性と組み合わせて達成可能であることが、驚くべきことに見出されている：（ａ）銀を含む第２のＩＲ反射層が、銀を含む第１のＩＲ反射層よりも厚く、より好ましくは、第２のＩＲ反射層が、銀を含む第１の反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚い（より好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い、更により好ましくは少なくとも３０オングストローム厚い、最も好ましくは少なくとも４０オングストローム厚い）場合、（ｂ）酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む底部誘電体部分を設けること、（ｃ）スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層（複数可）を含む中心誘電体部分、（ｄ）層積層体の底部誘電体部分の酸窒化ジルコニウムケイ素系層が、層積層体の底部誘電体部分のスズ酸亜鉛系層よりも厚い（好ましくは、少なくとも１０オングストローム厚い、より好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い、最も好ましくは少なくとも３０オングストローム厚い）こと、（ｅ）層積層体の中心誘電体部分の少なくとも１つのスズ酸亜鉛系層が、層積層体の底部誘電体部分の酸窒化ジルコニウムケイ素系層よりも厚い（好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い、より好ましくは少なくとも４０オングストローム厚い、最も好ましくは少なくとも６０オングストローム厚い）こと、及び任意選択的に（ｆ）一対の窒化ケイ素包含層１３、１３’の間に挟まれた中央積層体の吸収体１４。
【０００６】
本発明の特定の例示的実施形態では、酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む少なくとも底部誘電体部分と、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層を含む（ＩＲ反射層間の）中心誘電体部分との組み合わせは、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、望ましいＵ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値の組み合わせを達成することを可能にすることが見出されている。より低い可視光透過性コーティングが所望される場合などの特定の例示的実施形態では、可視光透過率を調整するために、一対の誘電体層の間に挟まれた吸収体層が設けられ得る。ガラス基材と（例えば、銀などの）最下部ＩＲ反射層との間の、コーティングの下部誘電体部分の酸窒化ジルコニウムケイ素の又は酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層は、ＩＲ反射層の品質を改善し、それにより、コーティングされた物品が低い許容差で低放射率値を実現することを可能にする。コーティングの下部誘電体部分の、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層の下、及び酸化亜鉛の又は酸化亜鉛を含む層の下に、酸窒化ジルコニウムケイ素を設けることによって、銀の品質、したがって所望の様式でより低い放射率値及びより低い放射率許容値を改善することが驚くべきことに見出されている。酸窒化ジルコニウムケイ素がＩＲ反射層に直接接触していない場合であっても、上にあるＩＲ反射層の品質を依然改善し、それにより、コーティングの熱特性の改善及びより一貫した様式での製造を可能にする。ＩＲ反射層は、より良好に成長し、一貫した基準でより容易に繰り返すことができるより滑らかなベースを有することが見出されている。酸窒化ジルコニウムケイ素上に酸化チタン（例えば、ＴｉＯ2）の又は酸化チタンを含む層を設けることにより、コーティングされた物品の可視光透過率の増加及び所望であれば改善された光学特性、並びにライン速度の増加をもたらすことも見出されている。
【０００７】
本発明の例示的実施形態では、ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、コーティングが、ガラス基材から離れる方向に、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層と、スズ酸亜鉛を含む第１の層と、スズ酸亜鉛を含む層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、基材上の、酸化亜鉛を含む第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、銀を含む第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、ガラス基材上の、少なくとも第１のＩＲ反射層及び接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、スズ酸亜鉛を含む少なくとも第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、少なくとも第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、銀を含む少なくとも第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、銀を含む第２のＩＲ反射層が、銀を含む第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、スズ酸亜鉛を含む第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、物品が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。
【図２】本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。
【図３】実施例２、４、及び６の積層体を含む、本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。
【図４】実施例１、３、及び５の積層体を含む、本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。
【図５】実施例７〜１０の層積層体を含む、本発明の様々な例示的実施形態による、層積層体を示す概略図である。
【図６】実施例１〜６の光学、熱、及び性能データを示すチャートである。
【図７】実施例７〜１０の光学、熱、及び性能データを示すチャートである。
【図８】実施例１１〜１４の光学、熱、及び性能データを示すチャートである。
【図９】実施例１１及び１３の積層体を含む、本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。
【図１０】実施例１２及び１４の積層体を含む、本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
ここで図面を参照すると、同様の参照番号は、いくつかの図全体を通して同様の部分を示す。
【００１０】
本明細書のコーティングされた物品は、単板窓、一体式にコーティングされた物品を含むＩＧ窓ユニット、車両窓などの用途、及び／又はガラス基材などの単一若しくは複数の基材を含む任意の他の好適な用途に使用することができる。
【００１１】
本発明の特定の実施形態は、ガラス基材１によって支持される低放射率（低Ｅ）コーティングを有するコーティングされた物品であって、低Ｅコーティングが、銀などの又は銀などを含む少なくとも第１及び第２の赤外（ＩＲ）反射層を含む、物品に関する。例えば、図１のＩＲ反射層９及び１９を参照されたい。低Ｅコーティングは、コーティングされた物品が、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、低Ｕ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値の組み合わせを実現することができるように設計される。特定の例示的実施形態では、コーティングは、酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む底部誘電体部分２と、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層を含む中心誘電体部分１２及び／又は１５と、を含む。酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層を含む少なくとも底部誘電体部分２と、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層を含む中心誘電体部分１２及び／又は１５との組み合わせは、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、望ましいＵ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値の組み合わせの達成を可能にすることが見出されている。より低い可視光透過性コーティングが所望される場合などの特定の例示的実施形態では、可視光透過率を調整するために、（例えば、アルミニウムなどでドーピングされ得る窒化ケイ素の又は窒化ケイ素を含む）一対の誘電体層１３、１３’の間に挟まれた吸収体層１４が設けられ得る。本明細書のコーティングされた物品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニットの文脈において、又は単板窓用途、積層窓、及び／若しくは同様のものなどの他の好適な用途で使用することができる。
【００１２】
ガラス基材１と（例えば、銀などの）ＩＲ反射層９との間の、コーティングの下部誘電体部分に酸窒化ジルコニウムケイ素の又は酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層２を設けることにより、ＩＲ反射層９の品質を改善し、それにより、コーティングされた物品が低い許容差で低放射率値を実現することを可能にする。また、コーティングの下部誘電体部分の、スズ酸亜鉛の若しくはスズ酸亜鉛を含む層５の下、及び／又は酸化亜鉛の若しくは酸化亜鉛を含む層７の下に、酸窒化ジルコニウムケイ素２を設けることによって、銀の品質を改善し、したがって（より低い）放射率及びより低い放射率許容値を改善することが見出されている。酸窒化ジルコニウムケイ素２がＩＲ反射層９に直接接触していない場合であっても、驚くべきことに、上にあるＩＲ反射層の品質を依然改善し、それにより、コーティングの熱特性の改善及びより一貫した様式での製造を可能にする。ＩＲ反射層９及び１９は、より良好に成長し、一貫した基準でより容易に繰り返すことができるより滑らかなベースを有することが見出されている。酸窒化ジルコニウムケイ素２上に酸化チタン（例えば、ＴｉＯ2）の又は酸化チタンを含む層３を設けることにより、コーティングされた物品の可視光透過率の増加及び改善された光学特性、並びにライン速度の増加をもたらすことも、驚くべきことに見出されている。
【００１３】
本明細書で使用するとき、用語「熱処理（heat treatment）」及び「熱処理（heat treating）」は、物品を含むガラスの、熱強化、熱屈曲、及び／又は熱強化を達成するのに十分な温度まで物品を加熱することを意味する。この定義は、例えば、コーティングされた物品を、オーブン又は炉内で、少なくとも約５８０℃、より好ましくは少なくとも約６００℃の温度で、強化、曲げ、及び／又は加熱強化を可能にするのに十分な時間にわたって加熱することを含む。特定の例では、熱処理（ＨＴ）は、少なくとも約４分間又は５分間にわたって行われるものであり得る。コーティングされた物品は、本発明の異なる実施形態において熱処理されていても、されていなくてもよい。
【００１４】
図１は、本発明の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。コーティングされた物品は、ガラス基材１（例えば、厚さ約１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは厚さ約１．０ｍｍ〜６．０ｍｍの透明、緑色、青銅色、又は青緑色のガラス基材、例示的なガラス基材は厚さ約３．８〜４．０ｍｍの透明なガラス基材である）、及び基材１上に直接的又は間接的のいずれかで設けられる多層低Ｅコーティング（又は層系）を含む。図１に示されるように、低Ｅコーティングは、酸窒化ジルコニウムケイ素の又は酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層２、酸化チタン（例えばＴｉＯ2）の又は酸化チタンを含む誘電体層３、スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む誘電体層５、１２、１５、任意選択的にＳｎ又はＡｌなどの金属でドーピングされ得る酸化亜鉛の又は酸化亜鉛を含む誘電体層７及び１７、銀、金などの又は銀、金などを含むＩＲ反射層９及び１９、Ｎｉ、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｒＭｏ、又はＮｉＣｒの酸化物若しくはＮｉＣｒＭｏの酸化物などのこれらの任意の酸化物の又はこれらを含む上方接触層１１及び２１、酸化スズ（例えばＳｎＯ2）、スズ酸亜鉛などの酸化金属の又は酸化金属を含む誘電体層２２、並びに窒化ケイ素（例えばＳｉ3Ｎ4）及び／又は酸窒化ケイ素などの材料の又は材料を含む誘電体層２３、並びに酸化ジルコニウム（例えばＺｒＯ2）などの材料の任意選択的な誘電体オーバーコート層（図示せず）を含む。コーティングの可視光透過率を所望の値に調整するために、コーティングはまた、窒化ケイ素などの又は窒化ケイ素などを含む、一対の誘電体層１３、１３’の間に設けられた吸収体層１４を含んでもよい。吸収体層１４は、好ましくは金属製又は実質的に金属製（０〜１０原子％の酸素、より好ましくは０〜５原子％の酸素を含有する）であり、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｒＭｏ、ＮｂＺｒなどの層であってもこれらを含んでもよい。「Ｃ２２」は、特定の例示的実施形態では、吸収体層１４に使用され得るＮｉＣｒＭｏ系材料であることに留意されたい。本発明の特定の例示的実施形態では、他の層及び／又は材料が追加的に提供されてもよく、特定の例示的な例では特定の層は、除去又は分割することができることも可能である。例えば、任意選択的に、窒化ケイ素及び／又は酸窒化ケイ素の又はこれらを含む層（図示せず）が、ガラス基材１と酸窒化ジルコニウムケイ素２との間に設けられてもよい。更に、本発明の特定の例示的実施形態では、上記の材料の代わりに、他の材料を特定の層に使用してもよい。
【００１５】
図２は、本発明の別の例示的実施形態による、コーティングされた物品の断面図である。本発明の特定の例示的実施形態では、図２は、図１の実施形態からの層１３、１３’、及び１４を省略してもよいことを示している。
【００１６】
図３〜５は、ｎｍ単位で例示的な層の厚さ（ｄ）が例示目的で列挙されている、本発明の例示的実施形態によるコーティングを含むコーティングされた物品の断面図である。
【００１７】
単板の例では、コーティングされた物品は、ガラス基材１などの１つのみの基材を含む。しかしながら、本明細書のコーティングされた単板物品は、例えばＩＧ窓ユニットなどのデバイスに使用することができる。典型的には、ＩＧ窓ユニットは、基材間に画定された間隙を有する、２つの離間したガラス基材を含み得る。例示的なＩＧ窓ユニットは、例えば、米国特許第５，７７０，３２１号、同第５，８００，９３３号、同第６，５２４，７１４号、同第６，５４１，０８４号、及び米国特許出願公開第２００３／０１５０７１１号に図示及び説明されており、これらの開示は全て参照により本明細書に組み込まれる。例示的なＩＧ窓ユニットとしては、例えば、スペーサ（複数可）、シーラント（複数可）などを介して別のガラス基材に連結され、基材間に間隙が画定される、図１〜５のうちのいずれかのコーティングされたガラス基材を挙げることができる。ＩＧユニットの実施形態では、基材間のこの間隙は、特定の例では、アルゴン（Ａｒ）、又は空気とアルゴンガスとの混合物などのガスが充填され得る。例示的なＩＧユニットは、各々約４ｍｍ（例えば３．８ｍｍ）の厚さの一対の、離間した実質的に透明なガラス基材を含んでもよく、そのうちの１つは、特定の例示的な例では本明細書のコーティングでコーティングされ、基材間の間隙は、約５〜３０ｍｍ、より好ましくは約１０〜２０ｍｍ、最も好ましくは約１６ｍｍであり得る。特定の例示的な例では、コーティングは、多くの場合ＩＧ窓ユニットの表面２と称される、間隙に面するガラス基材１の外側又は外部側面上に設けられてもよい（が、特定の代替的実施形態では、コーティングは、他の基材上にあってもよい）。
【００１８】
本発明のＩＧユニットの特定の例示的実施形態では、コーティングは、得られるＩＧユニット（例えば、参照目的では、間隙内の空気とＡｒガスとの混合物を含む、１６ｍｍ離間した一対の３．８ｍｍ透明ガラス基材）は、１．４Ｗ／（ｍ2Ｋ）以下、より好ましくは１．３Ｗ／（ｍ2Ｋ）以下、時には１．１Ｗ／（ｍ2Ｋ）以下、時には１．０Ｗ／（ｍ2Ｋ）以下のＵ値を有するように設計される。本明細書のＵ値は、その開示が参照により本明細書に組み込まれるＥＮ４１０−６７３＿２０１１−Ｗｉｎｔｅｒにしたがって測定及び参照される。実際に、単一又は三重の銀層積層体とは対照的に、本明細書で論じられる光学及び熱特色は、コーティングが、（例えば図１〜５に示されるように）２つの銀系ＩＲ反射層を含有する場合に達成されることが好ましい。
【００１９】
特定の例示的実施形態では、酸窒化ジルコニウムケイ素層２の窒素／酸素比が有意であることが見出されている。酸窒化ジルコニウムケイ素層２の酸素が過剰であると、スパッタ速度の低減が生じ得、吸収の低減又は透過率の増加に役立つとは思われない。この層２の過剰な酸素は、望ましくないヘイズを生じ得る。したがって、本発明の特定の例示的実施形態では、酸窒化ジルコニウムケイ素の又は酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層２は、（原子％を使用して）少なくとも１、より好ましくは少なくとも３、より好ましくは少なくとも４、更により好ましくは少なくとも５の窒素対酸素比（窒素／酸素比）を有する。したがって、例えば、層２は、Ｏよりも少なくとも３倍多くのＮ、より好ましくはＯよりも少なくとも４倍多くのＮ、最も好ましくはＯよりも少なくとも５倍多くのＮを含有してもよい。例えば、本発明の特定の例示的実施形態では、層２は、約０．４〜２．０、より好ましくは約０．５〜１．５、最も好ましくは約０．８〜１．０ｍＬ／ｋＷのＯ2ガス、及び約４．０〜１０．０、より好ましくは約５．０〜８．０、最も好ましくは約６．０〜７．０ｍＬ／ｋＷのＮ2ガスを使用して、ＺｒＳｉターゲットを使用するスパッタリングにより堆積される。スパッタリングプロセスにアルゴン（Ａｒ）ガスを使用してもよい。
【００２０】
更にまた、酸窒化ジルコニウムケイ素層２では、過剰なＺｒは望ましくない脆弱な材料を生じ得、過少なＺｒは、平滑でない銀層９及びコーティング品質の低下を引き起こし得ることが見出されている。層２がＺｒよりも多くの（原子％）Ｓｉを含有する場合、これらの点でより良好な結果が達成されることが見出されている。例えば、層２の（及び堆積層２のスパッタリングターゲットの）Ｚｒ／Ｓｉ（原子）比は、好ましくは０．２０〜０．６０、より好ましくは０．３０〜０．４７、最も好ましくは０．３５〜０．４４である。例えば、約４０％のＺｒ及び約６０％のＳｉを含有するスパッタリングターゲット（複数可）をスパッタ堆積層２に使用することができる。
【００２１】
本発明の特定の例示的実施形態では、誘電体層３は、酸化チタンの層であっても酸化チタンを含んでもよい。特定の例示的な例では、層３の酸化チタンは、式中、ｘが１．５〜２．５、最も好ましくは約２．０であるＴｉＯxによって表すことができる。異なる実施形態では、酸化チタンは、スパッタリングなどを介して堆積され得る。特定の例示的な例では、誘電体層３は、層が酸化チタンの層であるか又は酸化チタンを含む場合、５５０ｎｍで、少なくとも２．０、より好ましくは少なくとも２．１、場合によっては約２．３〜２．６の屈折率（ｎ）を有し得る。本発明の特定の実施形態では、酸化チタン包含層３の厚さを調節して、ａ*及び／又はｂ*色値をほぼ無彩色（すなわちゼロに近い）及び／又は望ましいもの（例えば、透過性、フィルム側反射性、及び／又はガラス側反射性）にさせる。特定の例示的な例では、酸化チタンに加えて、又はその代わりに他の材料を使用してもよい。特定の代替的実施形態では、酸化物層３のＴｉは、別の金属と置き換えられてもよい。
【００２２】
例示的実施形態では、誘電スズ酸亜鉛（例えば、ＺｎＳｎＯ、Ｚｎ2ＳｎＯ4など）系層５、１２、及び／又は１５は、任意選択的にＳｎよりも多くの重量のＺｎを含み得る。本発明の特定の例示的実施例では、例えば、これらのスズ酸亜鉛系層のうちの１つ以上の金属含有量は、（層の酸素に加えて重量％で）約５１〜９０％のＺｎと約１０〜４９％のＳｎ、より好ましくは約５１〜７０％のＺｎと約３０〜４９％のＳｎ、一例では、約５２％のＺｎと約４８％のＳｎを含み得る。したがって、本発明の特定の例示的実施形態では、例えば、スズ酸亜鉛系層は、約５２％のＺｎと約４８％のＳｎを含む金属ターゲットを使用して、スパッタ堆積され得る。任意選択的に、スズ酸亜鉛系層は、Ａｌなどの他の金属でドーピングされてもよい。特定の任意選択的実施形態では、スズ酸亜鉛（例えば、ＺｎＳｎＯ）を、Ａｌ、Ｚｎ、Ｎなどの他の材料でドーピングすることが可能である。本発明の好ましい実施形態では、スズ酸亜鉛系層は、実質的に又は実質的に完全に酸化される。
【００２３】
本発明の特定の実施形態の層７及び１７は、酸化亜鉛（例えば、ＺｎＯ）の層であるか又は酸化亜鉛を含む。これらの層の酸化亜鉛は、他の材料、並びに（例えば、ＺｎＡｌＯxを形成するための）Ａｌ、又はＳｎを含有してもよい。例えば、本発明の特定の例示的実施形態では、酸化亜鉛層７、１７のうちの１つ以上は、約１〜１０％のＡｌ、より好ましくは約１〜５％のＡｌ、最も好ましくは約１〜４％のＡｌをドーピングされてもよい。酸化亜鉛層（複数可）７及び／又は１７は、スズ酸亜鉛と酸窒化ジルコニウムケイ素２とを組み合わせると、コーティングの銀の品質及び放射率特性を改善するのに役立つ。
【００２４】
本発明の特定の実施形態では、誘電体層１３、１３’、２３は、窒化ケイ素の層であっても窒化ケイ素を含んでもよい。窒化ケイ素は、とりわけ、コーティングされた物品の熱処理、例えば熱強化などの能力を改善することができ、いくらかの酸素を含んでも含まなくてもよい。本発明の異なる実施形態では、これらの層の窒化ケイ素は、化学量論的なタイプ（すなわちＳｉ3Ｎ4）の層、あるいはＳｉが豊富なタイプの層であり得る。
【００２５】
赤外（ＩＲ）反射層９、１９は、好ましくは実質的に、又は完全に金属製及び／又は伝導性であり、銀（Ａｇ）、金、又は任意の他の好適なＩＲ反射材料を含むか、又はこれらから本質的になり得る。ＩＲ反射層は、コーティングが低Ｅ及び／又は良好な太陽光制御特性を有することを可能にするのに役立つ。しかしながら、本発明の特定の実施形態では、ＩＲ反射層は、わずかに酸化されてもよく、任意選択的に、Ｐｄなどの他の材料でドーピングされてもよい。本発明の好ましい実施形態では、コーティングは、好ましくは、２つのＩＲ反射層９、１９を含有する。
【００２６】
従来、２つの銀系ＩＲ反射層を有するコーティングにおいて、望ましいＬＳＧ値及び低ΔＥ*値（例えば、ガラス側反射性）を達成することは困難であった。本発明の例示的実施形態では、次が組み合わせられると、２つの銀系ＩＲ反射層を有するコーティングにおいて、望ましいＬＳＧ値及び低ΔＥ*値（例えば、ガラス側反射性）が、他の望ましい光学特性と組み合わせて達成可能であることが、驚くべきことに見出されている：（ａ）銀を含む第２のＩＲ反射層１９が、銀を含む第１のＩＲ反射層９よりも厚く、より好ましくは、第２のＩＲ反射層１９が、銀を含む第１の反射層９よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚い（より好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い、更により好ましくは少なくとも３０オングストローム厚い、最も好ましくは少なくとも４０オングストローム厚い）場合、（ｂ）酸窒化ケイ素ジルコニウムの又は酸窒化ケイ素ジルコニウムを含む層２を含む底部誘電体部分を設けること、（ｃ）スズ酸亜鉛の又はスズ酸亜鉛を含む層（複数可）１２及び／又は１５を含む中心誘電体部分、（ｄ）層積層体の底部誘電体部分の酸窒化ジルコニウムケイ素系層２が、層積層体の底部誘電体部分のスズ酸亜鉛系層５よりも厚い（好ましくは、少なくとも１０オングストローム厚い、より好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い、最も好ましくは少なくとも３０オングストローム厚い）こと、（ｅ）層積層体の中心誘電体部分の少なくとも１つのスズ酸亜鉛系層（例えば１２）が、層積層体の底部誘電体部分の酸窒化ジルコニウムケイ素系層２よりも厚い（好ましくは少なくとも２０オングストローム厚い、より好ましくは少なくとも４０オングストローム厚い、最も好ましくは少なくとも６０オングストローム厚い）こと、及び任意選択的に（ｆ）一対の窒化ケイ素包含層１３、１３’の間に挟まれた中央積層体の吸収体１４。
【００２７】
本発明の特定の例示的実施形態では、上部接触層１１、２１は、酸化ニッケル（Ｎｉ）、クロム／クロム（Ｃｒ）の酸化物、又は酸化ニッケルクロム（ＮｉＣｒＯx）、ＮｉＣｒＭｏＯxなどのニッケル合金、若しくはＮｉ、Ｔｉなどの他の好適な材料（複数可）の酸化物、又はＴｉの酸化物、又はＮｉＴｉＯxの層であってもこれらを含んでもよい。例えば、これらの層へのＮｉＣｒＯxの使用は、耐久性の改善を可能にする。本発明の特定の実施形態では、これらの層は完全に（すなわち、化学量論的に完全に）酸化されてもよいか、あるいは部分的にのみ酸化されてもよい（すなわち、亜酸化物）。特定の例では、ＮｉＣｒＯx層１１は、少なくとも約５０％酸化され得る。任意選択的に使用され得る様々なタイプの酸化勾配型接触層についての記載は、その開示が参照により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，５７６，３４９号に記載されている。本発明の異なる実施形態では、接触層１１は、ＩＲ反射層９上全体にわたって連続的であってもなくてもよい。
【００２８】
本発明の特定の例示的実施形態では、透明な誘電体層２２は、酸化スズの層であっても酸化スズを含んでもよい。しかしながら、特定の例示的な代替的実施形態では、Ａｌ又はＺｎなどの他の例示的な実施形態では、特定の他の材料でドーピングされてもよい。
【００２９】
図示されたコーティングの下方又は上方の他の層（複数可）も提供され得る。したがって、層組織又はコーティングが基材１「の上にある」か、又は基材１「により支持されている」（直接的又は間接的に）が、他の層（複数可）を、それらの間に提供することが可能であり得る。したがって、例えば、図１又は図２のコーティングは、他の層（複数可）が層２と基材１との間に設けられている場合でさえも、基材１「の上にあり」かつ基材１「により支持されている」と見なすことができる。更に、特定の実施形態では、図示されたコーティングの特定の層が除去され得る一方で、他の実施形態では、本発明の特定の実施形態の全体的な趣旨から逸脱することなく、他の層が様々な層間に追加され得るか、又は様々な層（複数可）が分割部分間に追加された他の層（複数可）と共に分割され得る。
【００３０】
本発明の異なる実施形態では様々な厚さが使用され得るが、図１の実施形態におけるガラス基材１上のそれぞれの層の例示的な厚さ及び材料は、ガラス基材１から外側に向かって次のとおりである（例えば、特定の例示的な例では、酸化亜鉛層のＡｌ含有量は約１〜１０％、より好ましくは約１〜３％であり得る）：
表１（例示的な材料／厚さ、図１の実施形態）
【表１】
2021520336.tif 000003
【００３１】
本発明の特定の例示的実施形態では、本明細書の図１及び／又は図２の実施形態によるコーティングされた物品は、一体式で又はＩＧ窓ユニットで測定される場合、表２に記載の次の特性を有し得、これらの値は、熱処理及び非熱処理の両方の実施形態を指す。Ｅnは、通常の放射率／放射性であることに留意されたい。
表２：低Ｅ／太陽光特性（ＨＴ又は非ＨＴ）
【表２】
2021520336.tif 000004
【００３２】
更に、本発明の図１及び図２の実施形態によるコーティングを含むコーティングされた物品は、（例えば、コーティング（複数可）が、厚さ１〜１０ｍｍ、好ましくは厚さ３．８ｍｍなどの厚さ約４ｍｍの透明なソーダ石灰シリカガラス基材１上に設けられる場合）以下の表３に示されるように、次の光学／色／熱安定性特性を有し得る。表４では、全てのパラメータを一体式で測定する。「ｆ」は、フィルム側を表し、「ｇ」はガラス側を表すことに留意されたい。したがって、ＲfＹは、コーティングされた基材のフィルム側の可視光反射の測定形態である、フィルム側反射である。また、ＲgＹは、コーティングされた基材のガラス側の可視光反射の測定形態である、ガラス側反射である。ガラス側反射、及びガラス側反射色値ａ*g及びｂ*gは、建物の外側がどのように見えるかを示すので、典型的には、コーティングがＩＧ窓ユニットの表面２上に設けられる場合に最も重要であると見なされる。ΔＥ*は、熱安定性、特に熱強化などの熱処理（ＨＴ、heat treatment）時に光学特性がどの程度変化するかを示す値であることに留意されたい。ΔＥ*値が低いほど、ＨＴ（例えば熱強化）時に適用可能なａ*、ｂ*、及びＬ*値の変化は小さくなる。本明細書で論じられるコーティングの低いΔＥ*値は、各コーティングのＨＴ及び非ＨＴの値が、着色に関して実質的に一致することを示す。ΔＥ*を決定するための等式は、当該技術分野において既知であり、例えば、その開示が参照により本明細書に組み込まれる米国特許第８，２６３，２２７号に記載されていることに留意されたい。
表３：例示的な光学特性（単板、ＨＴ又は非ＨＴ）
【表３】
2021520336.tif 000005
実施例１〜１４
【００３３】
実施例１〜１４は、単に例示目的で提供され、限定することを意図するものではない。図３は、実施例２、４、及び６の層積層体を示し、図４は、実施例１、３、及び５の層積層体を示す。図５の第２の層積層体は、実施例７及び９の層積層体であり、図５の第３の層積層体は、実施例８及び１０の層積層体である。図９は、実施例１１及び１３の層積層体を示し、図１０は、実施例１２及び１４の層積層体を示す。
【００３４】
図６〜８に、実施例１〜１４からのデータを示す。図６〜８では、熱強化などの熱処理（ＨＴ）データとして、一体式のデータ（ＡＣ（as coated）又はコーティングされたもの）が示されている。図６〜８の上３分の１のデータは、一体式の測定データであり、一方、図６〜８の中央区画のデータは、コーティングが、厚さ３．８〜４．０ｍｍのガラス基材を有するＩＧ窓ユニットの表面２上に設けられているＩＧデータである。窒化ケイ素層は、アルゴン及び窒素ガスを含む雰囲気下でケイ素ターゲット（約８％のＡｌでドーピングされている）をスパッタリングすることによって堆積させた。図６〜８は、実施例が、二重銀コーティングの文脈において、望ましい可視光透過率、一貫した低い放射率値、熱強化などの任意選択的な熱処理時の熱安定性、低Ｕ値、望ましいＬＳＧ値、並びに望ましい着色及び／又は反射率値の組み合わせの達成が可能であることを実証する。
【００３５】
本発明の例示的実施形態では、ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、コーティングが、ガラス基材から離れる方向に、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層と、スズ酸亜鉛を含む第１の層と、スズ酸亜鉛を含む層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、基材上の、酸化亜鉛を含む第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、銀を含む第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、ガラス基材上の、少なくとも第１のＩＲ反射層及び接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、スズ酸亜鉛を含む少なくとも第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、少なくとも第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、銀を含む少なくとも第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、銀を含む第２のＩＲ反射層が、銀を含む第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、スズ酸亜鉛を含む第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、物品が提供される。
【００３６】
直前の段落のコーティングされた物品は、第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している吸収体層を更に含み得る。吸収体層は、Ｎｉ及びＣｒ、並びに／又はＮｉ、Ｃｒ、及びＭｏの層であってもこれらを含んでもよい。吸収体層は、金属製であっても実質的に金属製であってもよい。
【００３７】
前述の２つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、銀を含む第２のＩＲ反射層は、銀を含む第１のＩＲ反射層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚くてもよく、より好ましくは銀を含む第１のＩＲ反射層よりも少なくとも４０オングストローム（Å）厚くてもよい。
【００３８】
前述の３つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層は、スズ酸亜鉛を含む第１の層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚くてもよい。
【００３９】
前述の４つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、スズ酸亜鉛を含む第２の層は、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層よりも少なくとも４０オングストローム（Å）厚くてもよく、より好ましくは、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層よりも少なくとも６０オングストローム（Å）厚くてもよい。
【００４０】
前述の５つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層は、酸素の少なくとも３倍の窒素を含有し得る。
【００４１】
前述の６つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層のＺｒ／Ｓｉの（原子）比は、０．３０〜０．４７、より好ましくは０．３５〜０．４４であり得る。
【００４２】
前述の７つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、酸化チタンを含み、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層上に直接接触している層が存在し得る。
【００４３】
前述の８つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層は、ガラス基材に直接接触し得る。
【００４４】
前述の９つの段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む層は、厚さ約５０〜２００Åであり得る。
【００４５】
前述の１０の段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、コーティングされた物品は、一体として測定して、少なくとも４０％の可視光透過率を有し得る。
【００４６】
前述の１１の段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、接触層は、Ｎｉ及び／又はＣｒを含み得る。
【００４７】
前述の１２の段落のうちのいずれかのコーティングされた物品では、コーティングされた物品は、熱強化に十分な熱処理に起因して２．５以下の、より好ましくは熱強化に十分な熱処理に起因して１．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成され得る。
【００４８】
前述の１３の段落のうちのいずれかのコーティングされた物品は、第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している吸収体層と、吸収体層上、かつ窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層上に位置する、スズ酸亜鉛を含む第３の層と、を更に含み得、スズ酸亜鉛を含む第３の層が、酸化亜鉛を含む第２の層の下に位置し直接接触している。
【００４９】
前述の１４の段落のうちのいずれかのコーティングされた物品は、ＩＧ窓ユニットに設けられ得、ＩＧ窓ユニットが、１．１以下のＵ値を有し、ＩＧ窓ユニットが、別のガラス基材を更に含み、コーティングが、ＩＧ窓ユニットの表面２上にあり得る。
【００５０】
本発明は、現在実用的で好ましい実施形態と考えられるものと関連して説明されたが、本発明は、開示される実施形態に限定されるものではなく、寧ろ、添付の特許請求の範囲の趣旨及び範囲内に含まれる様々な修正及び同等の構成を網羅することを意図するものであることを理解されたい。
【図１】
2021520336.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】令和2年12月2日(2020.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、前記ガラス基材から離れる方向に、
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層と、
スズ酸亜鉛を含む第１の層と、
スズ酸亜鉛を含む前記層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、
前記基材上の、酸化亜鉛を含む前記第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、
前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１のＩＲ反射層及び前記接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、
スズ酸亜鉛を含む少なくとも前記第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、
少なくとも前記第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む前記第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む前記第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、
銀を含む少なくとも前記第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、
前記コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚く、
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、コーティングされた物品。
【請求項２】
前記コーティングが、前記第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している吸収体層を更に含む、請求項１に記載のコーティングされた物品。
【請求項３】
前記吸収体層が、Ｎｉ及びＣｒを含む、請求項２に記載のコーティングされた物品。
【請求項４】
前記吸収体層が、Ｎｉ、Ｃｒ、及びＭｏを含む、請求項２に記載のコーティングされた物品。
【請求項５】
前記吸収体層が、金属製又は実質的に金属製である、請求項２〜４のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項６】
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜５のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項７】
銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも４０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜６のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項８】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜７のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項９】
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも４０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜８のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１０】
スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも６０オングストローム（Å）厚い、請求項１〜９のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１１】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層が、酸素の少なくとも３倍の窒素を含有する、請求項１〜１０のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１２】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層のＺｒ／Ｓｉの（原子）比が、０．３０〜０．４７である、請求項１〜１１のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１３】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層のＺｒ／Ｓｉの（原子）比が、０．３５〜０．４４である、請求項１〜１２のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１４】
酸化チタンを含む層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層上に位置し直接接触している、請求項１〜１３のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１５】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層が、前記ガラス基材に直接接触している、請求項１〜１４のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１６】
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記層が、厚さ約５０〜２００Åである、請求項１〜１５のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１７】
前記コーティングされた物品が、一体として測定して、少なくとも４０％の可視光透過率を有する、請求項１〜１６のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１８】
前記接触層が、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む、請求項１〜１７のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項１９】
前記コーティングされた物品が、熱強化に十分な熱処理に起因して、２．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成されている、請求項１〜１８のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２０】
前記コーティングされた物品が、熱強化に十分な熱処理に起因して、１．５以下のガラス側反射ΔＥ*値を有するように構成されている、請求項１〜１９のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２１】
前記コーティングが、
前記第１及び第２のＩＲ反射層間の、窒化ケイ素を含む第１及び第２の誘電体層間に挟まれ、接触している、吸収体層と、
前記吸収体層上、かつ窒化ケイ素を含む前記第１及び第２の誘電体層上に位置する、スズ酸亜鉛を含む第３の層と、を更に含み、
スズ酸亜鉛を含む前記第３の層が、酸化亜鉛を含む前記第２の層の下に位置し、直接接触している、請求項１〜２０のいずれかに記載のコーティングされた物品。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれかに記載のコーティングされた物品を含むＩＧ窓ユニットであって、前記ＩＧ窓ユニットが、１．１以下のＵ値を有し、前記ＩＧ窓ユニットが、別のガラス基材を更に含み、前記コーティングが、前記ＩＧ窓ユニットの表面２上にある、ＩＧ窓ユニット。
【請求項２３】
ガラス基材によって支持されているコーティングを含むコーティングされた物品であって、前記コーティングが、前記ガラス基材から離れる方向に、
酸窒化ジルコニウムケイ素を含む誘電体層と、
スズ酸亜鉛を含む第１の層と、
スズ酸亜鉛を含む前記層上に位置し直接接触している、酸化亜鉛を含む第１の層と、
前記基材上の、酸化亜鉛を含む前記第１の層上に位置し直接接触している、銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層上に位置し直接接触している、酸化金属を含む接触層と、
前記ガラス基材上の、少なくとも前記第１のＩＲ反射層及び前記接触層上の、スズ酸亜鉛を含む第２の層と、
スズ酸亜鉛を含む少なくとも前記第２の層上に位置する、酸化亜鉛を含む第２の層と、
少なくとも前記第１のＩＲ反射層、スズ酸亜鉛を含む前記第１及び第２の層、並びに酸化亜鉛を含む前記第１及び第２の層上に位置する、銀を含む第２のＩＲ反射層と、
銀を含む少なくとも前記第２のＩＲ反射層上の別の誘電体層と、を含み、
前記コーティングが、２つの銀系ＩＲ反射層を含有し、
前記コーティングが、（ａ）銀を含む前記第２のＩＲ反射層が、銀を含む前記第１のＩＲ反射層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚いこと、（ｂ）酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層が、スズ酸亜鉛を含む前記第１の層よりも少なくとも１０オングストローム（Å）厚いこと、及び（ｃ）スズ酸亜鉛を含む前記第２の層が、酸窒化ジルコニウムケイ素を含む前記誘電体層よりも少なくとも２０オングストローム（Å）厚いこと、のうちの少なくとも１つを特徴とする、コーティングされた物品。
【請求項２４】
前記コーティングが、（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）のうちの少なくとも２つを特徴とする、請求項２３に記載のコーティングされた物品。
【国際調査報告】
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