(57)【要約】  ニードルカードのニードルチップのクリーニング法において、ニードルチップから混入物を除去し、そしてニードルチップをブランクにするために、ニードルチップを様々なクリーニング位置のクリーニング剤に効果的に接触させる。連続クリーニング位置間のクリーニング位置の場所およびニードルカードの移動方向は、ランダムに選択されることになる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ニードルカードのニードルのクリーニング法であって、ニードルチップが互いに離れたクリーニング位置のクリーニング媒体と接触するようにもたらされ、そしてクリーニング位置がクリーニング媒体の表面を渡るパターンに従い分布しており、クリーニング位置のパターンがランダムに選択されることを特徴とする前記方法。
【請求項２】
連続するクリーニング位置間のステップ長がランダムに選択され、そして互いに異なるサイズであることを特徴とする請求項１に記載のニードルカードのニードルのクリーニング法。
【請求項３】
連続するクリーニング位置間のステップの方向がランダムに選択されることを特徴とする請求項１または２に記載のニードルカードのニードルのクリーニング法。
【請求項４】
クリーニング媒体の全面が、各クリーニングステップの後に続くクリーニング位置のために幾何学的に可能な場所として順次提供されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
連続するクリーニング位置間のステップのパターンが、ランダム関数が重ねられた規則的に進行し、そして周期的なパターンとして選択されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のニードルカードのニードルのクリーニング法。
【請求項６】
ランダム関数の値の範囲が周期的ステップ長に従い選択されることを特徴とする請求項５に記載のニードルカードのニードルのクリーニング法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ニードルカード（プローブカード）のニードルのニードルチップのクリーニング法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ニードルカードは、原則として使用時に自動化装置（「ウエハ  プローバ：ｗａｆｅｒ
ｐｒｏｂｅｒ」）中に固定され（ｃｌａｍｐｅｄ）、この装置が半導体構成品（「チップ：ｃｈｉｐ」）をニードルカードに機械的に供給し、いわゆる「接触」させる工程を取り扱う。このような既知の装置は通常、チップを運ぶ半導体ウエハがニードルカードに対して試験されるように動かす。
【０００３】
またすでに分離したチップまたは既に切り込まれた（ｓｗａｎ）ウエハをニードルカードと接触させる装置も存在する。例えばそのような装置は、「チップハンドラー（ｃｈｉｐ  ｈａｎｄｌｅｒ）」または「フレ-ムプローバ（ｆｒａｍｅ  ｐｒｏｂｅｒ）」と呼ばれている。
【０００４】
ニードルカードのニードルを半導体構成品（チップ）に繰り返し接触させると、ニードルチップ（ｎｅｅｄｌｅ  ｔｉｐ）は、例えば半導体構成品（チップ）の接触面から摩耗した金属粒子により汚染されるようになる。これはニードルカードの電気的接触特性を悪化し、例えば上昇した接触抵抗およびそれに随伴する半導体構成品（チップ）の電気的検査の失敗を導く。
【０００５】
使用中にニードルカードのニードルの接触特性を「保全」にするために、ニードルチップは原則として既知の装置中のクリーニングユニット（「クリーニングチャック（ｃｈｕｃｋ））または「クリーニングユニット」）で自動的にクリーニングされる。ニードルチップはここでクリーニング媒体、例えば細かいサンドペーパー、セラミック製砥石またはさらにゲル状表面が提供された柔らかいクリーニングフィルム（「クリーニングパッド」）で軽く研がれるので、ニードルの接触面はニードルチップの領域では金属的に再度、輝く（ｂｒｉｇｈｔ）ようになる。クリーニングフィルム（「ゲルポリッシュパッド」）は、さらにクリーニングされるニードルが貫通するわずかに接着性のゲル面によりニードルから混入する粒子を除去する特性を有し、そして粒子を埋め込むことによりゲル表面に留める。
【０００６】
特許文献１はそのような提案を含む。特許文献１は、クリーニングパッド上に存在する混入物が試験ニードルに移る可能性がある点でクリーニングパッドには欠点があると言及する。この問題を改善するために、特許文献１は試験ニードル用にクリーニングステーションが提供されることを提案し、そこで試験ニードルはレーザー装置によりクリーニングされる。
【０００７】
ニードルカードのニードルチップがクリーニング媒体上に置かれる場所（「クリーニング位置」）は、クリーニング媒体の表面ができる限り均等に消費されるように、理論的には互いに均一な距離で規則的に変化する。連続するクリーニング位置間の移動方向は、通常、ニードル配列の主軸に対して約４５°の角度で並べられる。クリーニング位置はこの方向でニードルカードがクリーニング媒体の縁に達するまで移動し続ける。次に移動の方向は９０°変えられ、そしてクリーニング位置はクリーニング媒体の次の縁に達するまでさらに移動する。クリーニング位置の他の移動パターンもまた共通で、例えば縞模様のずれた移動経路（ｓｔｒｉｐｅｄ，ｏｆｆｓｅｔ  ｐａｔｈ）である。
【０００８】
しかし個々のクリーニング位置間での均一のずれでは、このずれの周期に依存してニードルカードの個々のニードルチップを、他のニードルにより既に使用されたクリーニング媒体の位置に接触させることになる。これらは、クリーニングパターンの移動方向に対するクリーニング媒体上の配置の配列において、他のニードルに続くニードルチップである。この不利益効果が生じる頻度は、クリーニング媒体に対するニードルの距離およびニードルの置換（ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ）に関する移動パターンの増分に依存する。既に「使用した」クリーニング位置（接触場所）でクリーニング媒体と接触することになるニードルでは、この効果はニードルチップのクリーニングまたは研磨の効率を減じることになる。
【０００９】
これはニードルカードの全ニードルセットだけに関連するだけでなく、個別のニードルにも関係する可能性があり、この場合、クリーニングパターンの移動方向におけるニードルの距離、およびクリーニングパターンの増分が共通の多重性を形成する（モアレ効果：Ｍｏｉｒｅ  ｅｆｆｅｃｔ）。
【００１０】
従来技術で生じるニードルカードの個々のニードルの系統的に不均一なクリーニングは、いわゆる「接触不良（ｃｏｎｔａｃｔ  ｆａｉｌｕｒｅ）」により半導体構成品の電気的検査中に誤りを導く。
【００１１】
またこの不利益な効果は、チップのクリーニングが摩耗を通してニードルチップから材料を除去するので、ニードルカードの個々のニードルチップの様々な消耗を引き起こす。
【００１２】
不均一クリーニングの不利益な効果は、ニードルカード中のニードルの数が増えると上昇し、そしてよくあることだがニードルカード中のニードルが幾何学的に均一に配列されている時に大変顕著となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】韓国公開特許第２０１２００６２３１７（Ａ）号明細書
【発明の概要】
【００１４】
本発明の目的は、従来の方法について記載した初めに述べたような不利益を持たない方法を示すことである。
【００１５】
この方法は請求項１の特徴を有する方法で本発明により達成される。
【００１６】
本発明による方法の好適かつ有利な態様は、従属項の主題である。
【００１７】
本発明による方法では、個々のクリーニング工程（クリーニング位置）間で従来から共通する幾何学的に周期的なステップのパターンが、ランダムなステップのパターンに置き換えられる。本発明による方法では、連続するクリーニング位置間で移動がずれるそれぞれの方向がランダムに選択される。
【００１８】
さらに連続するクリーニング位置間のステップのサイズを、本発明による方法ではランダムに選択することができる。
【００１９】
本発明による方法では、連続するクリーニング位置間でステップのパターン（特に方向およびサイズ）が系統的ではなく、むしろランダムに選択される。
【００２０】
本発明による方法は、互いに幾何学的に周期的なクリーニング位置を破り、そしてニードルカードのニードルセットの個々の、または幾つかの系統的に不十分なクリーニングが本発明による方法ではもはや生じない。
【００２１】
本発明による方法で特に有利であることは、ニードルカードのニードルセットの個々のニードル、または幾つかのニードルの系統的に悪いクリーニングがもはや存在できないことである。
【００２２】
本発明による方法では、もし個々のニードルが他のニードルにより既に使用されたクリーニング位置でクリーニング媒体に影響を及ぼしても不利にはならず、それというのもランダムなずれにより、これは平均して全てのニードルでほぼ同じ確率で起こるので、ニードルカードのニードルセットの個々のニードルまたは幾つかのニードルのクリーニングをもはや系統的に悪くする可能性はないからである。
【００２３】
本発明による方法の好適な態様は、各クリーニングステップ後にクリーニング媒体の全面（クリーニングプレート）が、再びクリーニング位置のランダム配列（ランダムクリーニングパターン）の幾何学的に可能な標的点として順次利用可能となるように提供する。
【００２４】
たとえ本発明による方法でクリーニング位置が手動で、そしてランダムに選択できても、本発明による方法の有利な態様は、連続するクリーニング位置間でステップのパターンの規則的な、周期的な進行がランダム関数と重ね合わせられる（疑似―ランダムクリーニングパターン）ことを提供する。ランダム関数の値の範囲は、周期的増分に対応することができ、これは連続するクリーニング位置間の個々のステップの変動を、最長でもこれらステップの元にある規則的なパターンの期間に限定する。本発明による方法では、連続するクリーニング位置間のステップ配列の無作為性がこのように与えられる一方、他方では連続するクリーニング位置間の短路（ｓｈｏｒｔ  ｐａｓｓ）（ステップ長）が可能である。これにより本発明による方法は移動配列およびこの目的に必要な時間に関して効率的になる。
【００２５】
本発明による方法のさらなる詳細、特徴および利点は、以下の記載から集めることができ、そこには例となる図面に参照が付されている。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】クリーニング媒体上のクリーニング位置の既知の規則的なパターンである。
【図２】クリーニング媒体上のクリーニング位置の配列の不規則パターン（本発明による）である。
【図３】クリーニング媒体上のクリーニング位置の不規則パターン（本発明による）の別の態様である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１は、クリーニング媒体（クリーニングパッド）上のクリーニング位置の配列について規則的（既知）なパターンを示す。ニードルカードのニードルチップがクリーニング媒体上に配置されるクリーニング位置は、互いに規則的で均一な距離を有する。連続するクリーニング位置間のステップの方向は、チップ位置の主軸に対して４５°の角度で並べられる。
【００２８】
図２は、クリーニング媒体上のクリーニング位置の配列について不規則なパターン（ラ
ンダムパターン）を示す。クリーニング位置は、クリーニング位置間のランダムなステップ配列で、次のクリーニング位置の幾何学的に可能な標的点として、クリーニングプレートの全面が再び順次利用できるように選択される。
【００２９】
明らかに図２のクリーニング位置のパターンでは、個々のクリーニング位置間で比較的大きなステップを生じることができる。
【００３０】
図３に示すようなクリーニング媒体上の連続するクリーニング位置間のステップの配列に関して不規則なパターンでは、規則的かつ周期的に進行するクリーニングパターンがランダム関数（疑似ランダムパターン）と重ね合わせられるので、連続するクリーニング位置間により短いステップが生じる。
【００３１】
例えば重なったランダム関数の値の範囲は、周期的なステップ長と同一であることができる。
【００３２】
図３に示す連続するクリーニング位置間のステップパターンでは、移動配列の無作為性が与えられ、それに加えて短いステップが連続するクリーニング位置間で達成される。
【００３３】
本発明による方法では、ランダム関数に関する他の値の範囲も基本的パターンの周期性に関して可能であるので、図２および３に示すクリーニング媒体上の連続するクリーニング位置間のステップの配列に関するパターンは単に例示であることに留意されたい。
【００３４】
本発明による方法では、クリーニング位置間のステップを行うようなクリーニング媒体に対するニードルカードのニードルの動きは、ニードルカードではなく、むしろクリーニング媒体を移動させることにより有利に、かつ例示的に、そして好ましく行うことができる。
【００３５】
まとめると、本発明の例示的態様は以下のように記載できる：
ニードルカードのニードルチップをクリーニングする場合、ニードルチップから混入物を除去し、そしてニードルチップを輝かせるために、ニードルチップは異なるクリーニング位置でクリーニング媒体中での能動的（ａｃｔｉｖｅ）接触にもたらされる。ニードルのカードが連続するクリーニング位置間でずらされるクリーニング位置および方向の場所は、ランダムに選択される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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