(57)【要約】システムを開示する。本システムでは、備わるステージアセンブリを、試料を受容するよう構成すると共に、その試料の高さを第１特性解明モード中は第１作動距離高さ、付加的特性解明モード中は付加的作動距離高さに保持するよう構成する。本システムでは、更に、照明ビームを生成するよう照明源を構成する。本システムでは、更に、第１特性解明モード中は照明ビームのうち第１波長の照明を含む部分を試料に差し向け、付加的特性解明モード中は照明ビームのうち付加的波長の照明を含む部分を試料に差し向けるよう、照明アームに備わる一組の光学素子を構成する。本システムでは、更に、試料に発する照明を受け取るよう検出器アセンブリを構成し、その検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき試料高さ値を求めるようコントローラを構成する。
2021531630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を受容するよう構成されたステージアセンブリであり、その試料の高さを第１特性解明モード中は第１作動距離高さ、付加的特性解明モード中は付加的作動距離高さに保持するよう構成されているステージアセンブリと、
照明ビームを生成するよう構成された１個又は複数個の照明源と、
第１組をなす１個又は複数個の光学素子を有する照明アームであり、第１特性解明モード中は前記照明ビームのうち第１波長の照明を含む部分を前記試料に差し向けるよう、且つ付加的特性解明モード中はその照明ビームのうち付加的波長の照明を含む部分をその試料に差し向けるよう、その光学素子が構成されている照明アームと、
前記試料に発する照明を受け取るよう構成された検出器アセンブリと、
前記検出器アセンブリに可通信結合されたコントローラであり、その検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき試料高さ値を求めるよう構成されているコントローラと、
を備えるシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、更に、前記ステージアセンブリの高さを調整するよう構成された１個又は複数個のアクチュエータを備えるシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムであって、前記コントローラが、更に、
前記検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき第１作動距離高さ及び付加的作動距離高さのうち少なくとも一方からの偏差値を求めるよう、且つ
求まった偏差値に関し補正すべく前記１個又は複数個のアクチュエータに前記ステージアセンブリの高さを調整させる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成するよう、
構成されているシステム。
【請求項４】
請求項２に記載のシステムであって、前記コントローラが、更に、前記１個又は複数個のアクチュエータにより前記ステージアセンブリの高さを調整し、第１作動距離高さに対応する第１ステージアセンブリ高さ並びに付加的作動距離高さに対応する付加的ステージアセンブリ高さのうち少なくとも一方にする構成を採る、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成されているシステム。
【請求項５】
請求項１に記載のシステムであって、第１特性解明モード中に前記照明ビームのうち第１波長の照明を含む部分を前記試料に差し向けるに当たり、
第１特性解明モード中に第１入射角にて前記試料へと第１波長の照明を差し向けるシステム。
【請求項６】
請求項５に記載のシステムであって、付加的特性解明モード中に前記照明ビームのうち付加的波長の照明を含む部分を前記試料に差し向けるに当たり、
付加的特性解明モード中に、第１入射角とは異なる付加的入射角にて、前記試料へと付加的波長の照明を差し向けるシステム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、第１組をなす１個又は複数個の光学素子にプリズムが含まれるシステム。
【請求項８】
請求項１に記載のシステムであって、更に、第２組をなす１個又は複数個の光学素子を有する収集アームを備え、その光学素子が、前記試料に発する照明を集め集まった照明を前記検出器アセンブリへと差し向けるよう構成されているシステム。
【請求項９】
請求項１に記載のシステムであって、前記１個又は複数個の照明源に、広帯域照明源、レーザ照明源及び発光ダイオード（ＬＥＤ）照明源のうち少なくとも一つが含まれるシステム。
【請求項１０】
請求項１に記載のシステムであり、前記コントローラが走査型電子顕微鏡サブシステムに可通信結合されたシステムであって、そのコントローラが、更に、前記試料を対象とした一通り又は複数通りの特性解明プロセスをその走査型電子顕微鏡サブシステムに実行させる構成をとる、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成されているシステム。
【請求項１１】
試料特性解明システムであって、
試料を対象として一通り又は複数通りの特性解明プロセスを実行するよう構成された走査型電子顕微鏡サブシステムと、
前記試料を受容するよう構成されたステージアセンブリであり、その試料の高さを第１特性解明モード中は第１作動距離高さ、付加的特性解明モード中は付加的作動距離高さに保持するよう構成されているステージアセンブリと、
照明ビームを生成するよう構成された１個又は複数個の照明源と、
第１組をなす１個又は複数個の光学素子を有する照明アームであり、第１特性解明モード中は前記照明ビームの一部分を前記試料に差し向けるよう、且つ付加的特性解明モード中はその照明ビームの一部分をその試料に差し向けるよう、その光学素子が構成されている照明アームと、
前記試料に発する照明を受け取るよう構成された検出器アセンブリと、
前記検出器アセンブリに可通信結合されたコントローラであり、その検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき試料高さ値を求めるよう構成されているコントローラと、
を備えるシステム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のシステムであって、前記コントローラが、更に、
前記検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき第１作動距離高さ及び付加的作動距離高さのうち少なくとも一方からの偏差値を求めるよう、且つ
前記識別された偏差値に関し補正すべく１個又は複数個のアクチュエータに前記ステージアセンブリの高さを調整させる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成するよう、
構成されているシステム。
【請求項１３】
請求項１１に記載のシステムであって、前記コントローラが、更に、１個又は複数個のアクチュエータにより前記ステージアセンブリの高さを調整し、第１作動距離高さに対応する第１ステージアセンブリ高さ並びに付加的作動距離高さに対応する付加的ステージアセンブリ高さのうち少なくとも一方にする構成を採る、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成されているシステム。
【請求項１４】
請求項１１に記載のシステムであって、第１特性解明モード中に前記照明ビームの一部分を前記試料に差し向けるに当たり、
第１特性解明モード中に第１入射角にて前記試料へと第１波長の照明を差し向けるシステム。
【請求項１５】
請求項１４に記載のシステムであって、付加的特性解明モード中に前記照明ビームの一部分を前記試料に差し向けるに当たり、
付加的特性解明モード中に、第１入射角とは異なる付加的入射角にて、前記試料へと付加的波長の照明を差し向けるシステム。
システム。
【請求項１６】
請求項１１に記載のシステムであって、第１組をなす１個又は複数個の光学素子に、アクチュエータブル鏡及びプリズムのうち少なくとも一方が含まれるシステム。
【請求項１７】
請求項１１に記載のシステムであって、更に、第２組をなす１個又は複数個の光学素子を有する収集アームを備え、その光学素子が、前記試料に発する照明を集め集まった照明を前記検出器アセンブリへと差し向けるよう構成されているシステム。
【請求項１８】
請求項１１に記載のシステムであって、前記１個又は複数個の照明源に、広帯域照明源、レーザ照明源及び発光ダイオード（ＬＥＤ）照明源のうち少なくとも一つが含まれるシステム。
【請求項１９】
請求項１１に記載のシステムであり、前記コントローラが走査型電子顕微鏡サブシステムに可通信結合されたシステムあって、そのコントローラが、更に、前記試料を対象とした一通り又は複数通りの特性解明プロセスをその走査型電子顕微鏡サブシステムに実行させる構成をとる、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成されているシステム。
【請求項２０】
ステージアセンブリ上に配置された試料を第１作動距離にて保持し、
第１作動距離所在の試料へと第１波長の照明を差し向け、
第１作動距離所在の試料に発する照明を検出器アセンブリで以て検出し、
検出された照明に基づき第１作動距離からの第１偏差値を求め、
前記求まった第１偏差値に関し補正すべく前記試料の高さを調整して第１作動距離にする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成し、
前記試料が付加的作動距離にて保持されるよう前記ステージアセンブリを駆動し、
付加的作動距離所在の試料へと付加的波長の照明を差し向け、
付加的作動距離所在の試料に発する照明を前記検出器アセンブリで以て検出し、
検出された照明に基づき付加的作動距離からの付加的偏差値を求め、そして
求まった付加的偏差値に関し補正すべく前記試料の高さを調整して付加的作動距離にする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（技術分野）
本発明は一般に試料特性解明に関し、より具体的には、特性解明プロセス中に複数通りの作動距離高さを保持しうるシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
（関連出願への相互参照）
本願では、「分散及び複数通りの波長を用いる複数作動距離高さセンサ」(MULTIPLE WORKING DISTANCE HEIGHT SENSOR USING DISPERSION AND MULTIPLE WAVELENGTHS)と題しＤｏｎａｌｄ  Ｐｅｔｔｉｂｏｎｅを発明者とする２０１８年７月２４日付米国暫定特許出願第６２／７０２８２１号に基づき米国特許法第１１９条（ｅ）の規定による利益を主張するので、参照によりその全容を本願に繰り入れることにする。
【０００３】
試料特性解明システム、例えば光及び電子ビーム式レビュー及び検査システムは、その特性解明システム自体の構成部材１個又は複数個に対する試料の高さをある指定された作動距離に保持するよう構成された、作動距離システムを有していることが多い。とりわけ、広範な電子ビーム動作パラメタをカバーする電子ビーム式のシステムでは、自システムを電子ビーム対物系に対して複数通りの作動距離にて動作させることが必要となる。しかしながら、旧来の作動距離システムでは、試料を複数通りの作動距離にて保持することができない。従って、試料が保持される作動距離をそのプロセス中の様々なステップに亘り複数通りに亘り変えることが求められる特性解明プロセスであっても、旧来の作動距離システムでは、フィードバックループを生成してその試料を持続的且つ効率的に複数通りの作動距離にて保持することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−０４８７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
故に、上述の従来手法の短所１個又は複数個を克服するシステム及び方法を提供することが、望ましかろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本件開示の１個又は複数個の実施形態に係るシステムを開示する。ある実施形態に係るシステムは、試料を受容するよう構成されたステージアセンブリを有する。また、ある実施形態によれば、第１特性解明モード中は試料高さを第１作動距離高さ、付加的特性解明モード中は付加的作動距離高さに保持するよう、ステージアセンブリを構成することができる。本システムは、更に、照明ビームを生成するよう構成された１個又は複数個の照明源を有するものと、することができる。また、ある実施形態に係るシステムは照明アームを有し、その照明アームが第１組をなす１個又は複数個の光学素子を有し、その光学素子が、第１特性解明モード中は照明ビームのうち第１波長の照明を含む部分を試料に差し向け、付加的特性解明モード中は照明ビームのうち付加的波長の照明を含む部分を試料に差し向ける構成を採る。本システムは、更に、試料に発する照明を受け取るよう構成された検出器アセンブリを有するものと、することができる。また、ある実施形態に係るシステムは検出器アセンブリに可通信結合されたコントローラを有し、そのコントローラが、その検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき試料高さ値を求める構成を採る。
【０００７】
本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る試料特性解明システムを開示する。ある実施形態に係るシステムは、試料を対象として一通り又は複数通りの特性解明プロセスを実行するよう構成された走査型電子顕微鏡サブシステムを有する。また、ある実施形態に係るシステムはステージアセンブリを有し、そのステージアセンブリが、試料を受容する構成を採ると共に、第１特性解明モード中は試料の高さを第１作動距離高さ、付加的特性解明モード中は付加的作動距離高さに保持する構成を採る。また、ある実施形態に係るシステムは、照明ビームを生成するよう構成された１個又は複数個の照明源を有する。また、ある実施形態に係るシステムは照明アームを有し、その照明アームが第１組をなす１個又は複数個の光学素子を有し、その光学素子が、第１特性解明モード中は照明ビームの一部分を試料に差し向け、付加的特性解明モード中は照明ビームの一部分を試料に差し向ける構成を採る。また、ある実施形態に係るシステムは、試料に発する照明を受け取るよう構成された検出器アセンブリを有する。また、ある実施形態に係るシステムは検出器アセンブリに可通信結合されたコントローラを有し、そのコントローラが、その検出器アセンブリにて受け取られた照明に基づき試料高さ値を求める構成を採る。
【０００８】
本件開示の１個又は複数個の実施形態に係る方法を開示する。ある実施形態に係る方法では、ステージアセンブリ上に配置された試料を第１作動距離に保持し、第１波長の照明を第１作動距離所在の試料へと差し向け、第１作動距離所在の試料に発する照明を検出器アセンブリで以て検出し、検出された照明に基づき第１作動距離からの第１偏差値を求め、求まった第１偏差値に関し補正すべく試料の高さを調整して第１作動距離にする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成し、ステージアセンブリを駆動して試料を付加的作動距離にて保持させ、付加的波長の照明を付加的作動距離所在の試料へと差し向け、付加的作動距離所在の試料に発する照明を検出器アセンブリで以て検出し、検出された照明に基づき付加的作動距離からの付加的偏差値を求め、求まった付加的偏差値に関し補正すべく試料の高さを調整して付加的作動距離にする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成する。
【０００９】
理解し得るように、上掲の概略記述及び後掲の詳細記述は共に専ら例示的且つ説明的なものであり、特許請求の範囲記載の発明を必ずしも限定するものではない。添付図面は、明細書に組み込まれてその一部を構成し、本発明の諸実施形態を描出し、そしてその概略記述と相俟ち本発明の諸原理を説明する役目を有している。
【００１０】
以下の添付図面を参照することで、本件技術分野に習熟した者（いわゆる当業者）には、本件開示の数多な長所をより良好に理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】単一高さＺ高センサ（ＺＨＳ）を有する試料特性解明システムを描いた図である。
【図２Ａ】本件開示の１個又は複数個の実施形態に係り複数高さＺ高センサ（ＺＨＳ）を有する試料特性解明システムを描いた図である。
【図２Ｂ】本件開示の１個又は複数個の実施形態に係り複数高さＺＨＳを有する試料特性解明システムを描いた図である。
【図３Ａ】本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い試料を複数通りの作動距離高さにて保持する方法の一部分を描いた図である。
【図３Ｂ】本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い試料を複数通りの作動距離高さにて保持する方法の一部分を描いた図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本件開示を特定の諸実施形態及びその個別的特徴との関連で具体的に図示及び記述する。本願中で説明されている諸実施形態は、限定としてではなく例証として捉えられるべきである。いわゆる当業者には理解し得るように、本件開示の神髄及び技術的範囲から離隔することなく、その形態及び細部に様々な改変及び修正を施すことができる。
【００１３】
以下、添付図面に描かれている被開示主題を詳細に参照することにする。
【００１４】
試料特性解明システム、例えば光及び電子ビーム式レビュー及び検査システムの多くは作動距離システム、即ちその特性解明システム自体の構成部材１個又は複数個に対し試料の高さをある指定された作動距離に保持するよう構成された作動距離システムを有している。しかしながら、旧来の作動距離システムでは、旧来型Ｚ高センサ（ＺＨＳ）の有限な制御範囲を作動距離の値域が超克した場合でも、試料を複数通りの作動距離にて保持することができない。そのため、試料を複数通りの作動距離にて保持することが必要な特性解明プロセスであっても、旧来の作動距離システムでは、必要なフィードバックループを生成し試料を複数通りの作動距離にて持続的且つ効率的に保持することができない。
【００１５】
そこで、本件開示の諸実施形態では、上述の従来手法の短所のうち１個又は複数個を克服することを目指している。本件開示の諸実施形態では、試料を複数通りの作動距離高さにて保持しうるようＺ高センサ（ＺＨＳ）を構成することを目指している。より具体的には、本件開示の諸実施形態では、複数通りの作動距離にて保持される試料に複数通りの波長を差し向けるため光分散を用いることを目指している。
【００１６】
図１には、単一高さＺ高センサ（ＺＨＳ）１０２を有する試料特性解明システム１００が描かれている。図１にて図示及び記述されている単一高さＺＨＳ１０２は旧来型ＺＨＳシステムの代表例であり、標本をある単一の作動距離にて保持しうるよう構成されている。こうしたことから、本願での考えによれば、旧来システムについての簡明な記述により、本件開示の長所と対比しうるベースラインを提供することができる。
【００１７】
特性解明システム１００は単一高さＺＨＳ１０２、特性解明サブシステム等を有している。特性解明サブシステムには、一通り又は複数通りの特性解明プロセス（例．検査プロセス、レビュープロセス等）を実行しうるよう構成されており本件技術分野で既知な、あらゆる光又は荷電粒子システムが含まれうる。例えば、試料１０８を対象にして一通り又は複数通りの特性解明プロセス／機能を実行・適用するよう構成された走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）サブシステム１０４を、システム１００内に設けることができる。
【００１８】
単一高さＺＨＳ１０２は、照明源１０６、照明アーム１０３、収集アーム１０５、検出器アセンブリ１１２等を有している。照明源１０６は、照明ビーム１０１を生成し、その照明ビーム１０１を、ステージアセンブリ１１０上に配置されている試料１０８へと照明アーム１０３経由で差し向けるよう、構成されている。照明アーム１０３に１個又は複数個の光学素子を設け、照明ビーム１０１を試料１０８へと差し向けるようそれを構成してもよい。例えば、図１に示すように、照明アーム１０３に１個又は複数個の鏡１１４及び１個又は複数個のレンズ１１５を設けてもよい。同様に、単一高さＺＨＳ１０２の収集アーム１０５に１個又は複数個の光学素子を設け、その光学素子を、試料１０８の表面に発する照明１０７を集め、集まった照明１０７を検出器アセンブリ１１２へと差し向けるよう構成してもよい。例えば、図１に示すように、収集アーム１０５に第１鏡１１６、１個又は複数個のレンズ１１７及び第２鏡１１８を設けてもよい。
【００１９】
単一高さＺＨＳ１０２は、一通り又は複数通りの特性解明プロセス中に試料１０８の高さをある特定の作動距離（ＷＤ０）に保持するよう、構成されている。より具体的には、この旧来型単一高さＺＨＳ１０２は、試料１０８を作動距離（ＷＤ０）にて保持しそこに照明ビーム１０１を差し向けるよう、構成されている。照明アーム１０３が、更に、特性解明サブシステム（例．ＳＥＭサブシステム１０４）の視野（ＦＯＶ）の中央へと照明ビーム１０１を差し向けるよう、構成されている。照明ビーム１０１を、その後、試料１０８で反射、屈折等させ、照明１０７として発出させればよい。
【００２０】
収集アーム１０５は、試料１０８に発する照明１０７を集め、その照明１０７を検出器アセンブリ１１２へと差し向けるよう、構成されている。この場合、検出器アセンブリ１１２を、その検出器アセンブリ１１２上における照明１０７の相対的スポット位置に基づき試料１０８の高さを求めるよう、構成すればよい。この構成では、試料１０８が採る作動距離の変化により、検出器アセンブリ１１２上における照明１０７のスポット位置に変化が生じることとなろう。例えば、試料１０８が採る作動距離の僅かな変化によって、検出器アセンブリ１１２上にて僅かなスポット位置ずれが生じることとなろう。この場合、求めた試料１０８の高さが想定作動距離（ＷＤ０）に対し呈する偏差を識別してフィードバックループを提供するよう単一高さＺＨＳ１０２を構成することで、サーボ制御を通じその偏差を補正して試料１０８をその作動距離（ＷＤ０）に保持すればよい。この構成の目論見は、単一高さＺＨＳ１０２により検査／レビュー下試料１０８をある既定のＷＤに保持すること、ひいては特性解明サブシステム（例．ＳＥＭサブシステム１０４）の構成部材１個又は複数個からの距離を密に制御することである。光学式特性解明システムでは、図１に示す単一高さＺＨＳ１０２のことを、「オートフォーカスシステム」と呼ぶことがある。
【００２１】
荷電粒子式特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム１０４）の係累であれば、その荷電粒子式特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム１０４）の精細合焦を、試料バイアス電圧か主レンズ電流を変化させることで、電子的に達成することができる。とはいえ、ＳＥＭサブシステム１０４における電子的な焦点調整には幾つかの制約が課されるので、それらは往々にして旧来型単一高さＺＨＳ１０２と相容れないものとなる。
【００２２】
とりわけ、試料バイアス電圧又は主レンズ電流の調整による電子的な焦点調整は、電子ビーム着地エネルギの偏差をももたらす。それとの関連で、どの程度の焦点シフトを（試料１０８の高さの物理的調整ではなく）電子的調整で以て吸収しうるか、についての制限が、超えてはならない最大磁気集束レンズ電流による制約を受ける。従って、電子的な焦点調整が可能な荷電粒子式特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム１０４）であっても、電子的調整単独では達成できない大き目な焦点偏差に対処するため、複数通りの作動距離にてシステム１００を動作させることが必要になることが多い。
【００２３】
現在のところ、複数通りの作動距離を実現すべく図１記載の単一高さＺＨＳ１０２を構成する途は、「潜望鏡運動」と呼ばれるもののみであろう。潜水艦の潜望鏡と同様、単一高さＺＨＳ１０２により、所定作動距離（ＷＤ０）所在のステージアセンブリ１１０を所望のｘｙ位置（例．横方向位置）まで駆動すればよい。次いで、単一高さＺＨＳ１０２によりステージアセンブリ１１０をｚ方向（例．垂直方向）に沿い所望の調整後作動距離（ＷＤａｄｊ）まで駆動し、ステージアセンブリ２１０／試料２０８の高さをその調整後作動距離（ＷＤａｄｊ）にて「フリーズ」（不動化）させればよい。
【００２４】
試料１０８がその調整後作動距離（ＷＤａｄｊ）にて保持されている間は、検出器アセンブリ１１２を、試料１０８に発する照明１０７を受領／検出しうるよう、構成設定／校正することができない。そのため、ＷＤａｄｊでは単一高さＺＨＳ１０２によりフィードバックループを提供して試料１０８の作動距離を調整することができないので、そのＷＤａｄｊにて試料１０８が「フリーズ」する。従って、単一高さＺＨＳ１０２では、所定の作動距離（ＷＤ０）以外の作動距離にて、サーボ制御を通じ試料１０８の作動距離及び焦点の持続的調整を行うことができない。この構成では、とりわけ調整後作動距離（ＷＤａｄｊ）を長時間にわたり保持しなければならない場合に、特性解明プロセスのうち調整後作動距離（ＷＤａｄｊ）にて実行されるものが、分解能低下を被ることがある。
【００２５】
フィードバックループを介した持続的サーボ制御を調整後作動距離（ＷＤａｄｊ）にて行えないことに加え、単一高さＺＨＳ１０２の「潜望鏡運動」にてスループット低下が生じることも、望ましくないことである。例えば、「潜望鏡運動」では大きなｚ方向駆動が必要となり、約５〜１０％のスループット低下が生じることがある。更に、多くの作動距離調整が必要な特性解明プロセスでは、このスループット低下が２〜３倍のオーダになりうる。
【００２６】
そのため、本件開示の諸実施形態では、上掲の単一高さＺＨＳ１０２に備わる短所のうち１個又は複数個の克服を目指している。本件開示の諸実施形態では、試料を複数通りの作動距離高さにて保持しうるよう複数高さＺＨＳを構成することを目指している。より具体的には、本件開示の諸実施形態は、試料１０８を複数通りの作動距離にて保持し、光分散を用いそこに複数通りの波長を差し向けることを、目指している。
【００２７】
図２Ａには、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係り複数高さＺＨＳ２０２を有する試料特性解明システム２００、特に第１特性解明モードでのそれが描かれている。図２Ｂには、本件開示の１個又は複数個の実施形態に係り複数高さＺＨＳ２０２を有する試料特性解明システム２００、特に付加的特性解明モードでのそれが描かれている。
【００２８】
本システム２００は、これに限られるものではないが複数高さＺＨＳ２０２、特性解明サブシステム（例．ＳＥＭサブシステム２０４）、コントローラ２２４、１個又は複数個のアクチュエータ２３０等を有している。コントローラ２２４は１個又は複数個のプロセッサ２２６、メモリ２２８等を有しており、当該１個又は複数個のプロセッサ２２６が、本件開示の諸ステップを実行する構成を採る制御信号を生成するよう、構成されている。
【００２９】
実施形態に係る特性解明サブシステムには、一通り又は複数通りの特性解明プロセス（例．検査プロセス、レビュープロセス等）を実行しうるよう構成されており本件技術分野で既知な、あらゆる光又は荷電粒子システムが包含されうる。例えば、本システム２００内に、試料２０８を対象にして一通り又は複数通りの特性解明プロセス／機能を実行・適用するよう構成された、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）サブシステム２０４を設けてもよい。
【００３０】
複数高さＺＨＳ２０２は、照明源２０６、照明アーム２０３、収集アーム２０５、並びに１個又は複数個の検出器アセンブリ２１２等を有している。実施形態に係る照明源２０６は、照明ビーム２０１を生成し、その照明ビーム２０１を、ステージアセンブリ２１０上に配置されている試料２０８へと照明アーム２０３経由で差し向けるよう、構成されている。照明源２０６には、これに限られるものではないが広帯域照明源（例．放電ランプ）、狭帯域照明源（例．レーザ光源）、発光ダイオード（ＬＥＤ）照明源等を初め、１本又は複数本の照明ビーム２０１を生成しうるよう構成されており本件技術分野で既知な、あらゆる照明源が包含されうる。また例えば、複数高さＺＨＳ２０２が複数個の照明源２０６を有していてもよい。ここで考察するに、１個又は複数個の照明源２０６は、複数通りの波長を含む照明を伴う照明ビーム２０１を生成するよう構成すればよい。
【００３１】
試料２０８は、これに限られるものではないがウェハ、レティクル、フォトマスク等を初め、本件技術分野で既知な何れの試料でもよい。実施形態では、試料２０８が、試料２０８の運動を容易に行うべくステージアセンブリ２１０上に配置される。また、実施形態に係るステージアセンブリ２１０はアクチュエータブル（駆動可能型）ステージである。例えば、一通り又は複数通りの直線方向（例．ｘ方向、ｙ方向及び／又はｚ方向）に沿い試料２０８を選択的に駆動／並進させうるよう１個又は複数個のアクチュエータ２３０を構成し、それにステージアセンブリ２１０を可通信結合させればよい。また例えば、当該１個又は複数個のアクチュエータ２３０を、回動方向に沿いステージアセンブリ２１０及び試料２０８を選択的に回動させるよう構成してもよい。
【００３２】
実施形態に係る複数高さＺＨＳ２０２は、試料２０８とＳＥＭサブシステム２０４側参照点（例．電子ビーム源、対物レンズ等）との間の距離を定める作動距離複数通りにて、試料２０８を保持しうるよう、構成すればよい。その関連でいえば、ステージアセンブリ２１０は、試料２０８を第１作動距離と少なくとも一通りの付加的作動距離とで保持しうるように構成すればよい。ここで注記されることに、当該複数通りの作動距離は、これに限られるものではないがベースラインたるステージアセンブリ２１０の高さ、ＳＥＭサブシステム２０４の構成部材（例．電子ビーム源、対物レンズ等）等を初め、どのような参照点から測ってもよい。
【００３３】
図２Ａ及び図２Ｂの比較により読み取れるように、ステージアセンブリ２１０は、試料２０８を複数通りの作動距離にて保持しうるよう構成することができる。例えば、試料２０８を（図２Ａに示す如く）第１作動距離（ＷＤ１）に保持することや、（図２Ｂに示す如く）その第１作動距離（ＷＤ１）とは異なる第２作動距離（ＷＤ２）に保持することができるよう、ステージアセンブリ２１０を構成するのがよい。ここで考察するに、複数高さＺＨＳ２０２は、何通りの作動距離（例．ＷＤ１〜ＷＤｎ）にて試料を保持しうるようにも構成することができる。その際には、第２作動距離（ＷＤ２）の呼び名が一般化され、少なくとも一通りの付加的作動距離（ＷＤｎ）と称されよう。
【００３４】
実施形態に係るステージアセンブリを、適用対象特性解明モード次第で変わる作動距離にて試料２０８を保持するよう、構成してもよい。例えば、特性解明プロセスのなかには、その特性解明プロセスを構成する複数個のステップに対応し複数通りの特性解明モードを有するものがある。各ステップ（例．各特性解明モード）にて、試料２０８の保持所要高さが変わるものがある。この場合、ステージアセンブリ２１０を、適用対象特性解明モード次第で試料２０８の保持高さを変えうるように構成すればよい。例えば、ステージアセンブリ２１０によって（図２Ａに示す）第１特性解明モード中に試料２０８の高さを第１作動距離（ＷＤ１）に保持するのに加え、（図２Ｂに示す）第２特性解明モード中に試料２０８を第２作動距離（ＷＤ２）に保持するようステージアセンブリ２１０を構成してもよい。様々な特性解明モードに備わる諸特徴（例．関連付けられている作動距離、対応するステージアセンブリ２１０高さ、関連付けられている照明波長、その特性解明モード中に実行される特性解明プロセスの諸ステップ等）を、メモリ２２８内に格納してもよい。
【００３５】
照明アーム２０３は、照明ビーム２０１を試料２０８へと差し向けるよう構成された１個又は複数個の光学素子を有するものとすればよい。照明アーム２０３に備わる１個又は複数個の光学素子のなかに、本件技術分野で既知な何れの光学素子を含めてもよい。例えば、図２Ａに示すように、照明アーム２０３に１個又は複数個の鏡２１４、１個又は複数個のレンズ２１５等を設けてもよい。また例えば、照明アーム２０３に１個又は複数個の分散性光学素子を設け、照明ビーム２０１内照明波長に依存する光分散を照明ビーム２０１にもたらすようそれを構成してもよい。本願での用法によれば、語「分散性光学素子」は、照明ビーム２０１の波長に依存する変動的な光屈折率を呈する光学素子を指す意味で用いられよう。この場合、照明アーム２０３に、照明ビーム２０１内照明に基づき入射角２１１を変えつつ標本に照明ビーム２０１を差し向けるよう構成された１個又は複数個の光学素子を、設けてもよい。例えば、図２Ａに示すように、照明アーム２０３が、これに限られるものではないが１個又は複数個のプリズム２２０を有していてもよい。
【００３６】
入射角２１１は、図２Ａに示すように、照明ビーム２０１の経路と試料２０８の表面とに挟まれた入射角として定義されよう。本願での更なる考察によれば、入射角２１１は、照明アーム２０３（例．プリズム２２０）にて誘起された偏向の量により左右されよう。例えば、ある種の実施形態では、プリズム２２０によって約０．５°の偏向が誘起され、それにより第１入射角２１１が実現されることとなろう。別の例では、プリズム２２０によって約２°の偏向が誘起され、第１入射角２１１とは異なる第２入射角２１１が実現されることとなろう。更に、入射角２１１は、照明ビーム２０１内照明波長によって左右されよう。本願での考察によれば、プリズム２２０に備わる様々な特性を選定／調整することで、所望の入射角２１１を得ることができる。プリズム２２０に備わる特性のうち選定／調整されうるもののなかには、これに限られるものではないがプリズム２２０の素材、プリズム２２０のファセット（切子面）角等があろう。
【００３７】
照明アーム２０３について、１個又は複数個のプリズム２２０を有するものとして図示及び記述したが、本願中で別様に注記されない限りは、これを本件開示の限定事項として解すべきではない。その関係でいえば、これに限られるものではないがレンズ、回折格子、鏡面付格子等を初め、波長依存性光分散を誘起するよう構成された他の何らかの光学素子を、付加的及び／又は代替的に、照明アーム２０３内に設けてもよい。
【００３８】
実施形態に係る照明アーム２０３は、様々な波長の照明ビーム２０１を試料２０８へと差し向けるよう、ひいては保持先作動距離が異なる試料２０８へと特定波長を差し向けるよう、構成されている。例えば、プリズム２２０を、照明ビーム２０１内照明波長によって異なる度合いの偏向を照明ビーム２０１内に誘起させるよう構成することで、相異なる作動距離に保持される試料２０８に向け相異なる波長の照明を偏向させるよう、構成すればよい。この要領で、照明アーム２０３（例．プリズム２２０）を、波長依存性光分散を誘起させるよう構成すればよい。
【００３９】
例えば、照明ビーム２０１を差し向けると第１特性解明モード中は第１波長の照明が第１作動距離（ＷＤ１）保持試料２０８に向かうよう、照明アーム２０３を構成すればよい。同様に、第２特性解明モード中は、第１波長とは異なる第２波長の照明を第２作動距離（ＷＤ２）保持試料２０８へと差し向けるよう、照明アーム２０３を構成すればよい。本願での考察によれば、照明ビーム２０１の波長に依存する態で照明ビーム２０１を偏向／屈折させることで、複数高さＺＨＳ２０２より光学的整列状態を維持すること及び複数通りの作動距離に亘り能動的な作動距離制御を提供することが可能となろう。
【００４０】
本願既述の通り、照明アーム２０３は、様々な入射角２１１にて試料２０８に照明ビーム２０１を差し向けうるよう構成すればよい。とりわけ、波長依存性光分散を誘起するよう照明アーム２０３を構成することで、相異なる波長の照明が相異なる作動距離に所在する試料２０８へと相異なる入射角にて向かうようにすればよい。
【００４１】
例えば、図２Ａに示すように、第１特性解明モード中に試料２０８を第１作動距離（ＷＤ１）に保持するよう、ステージアセンブリ２１０を構成すればよい。第１特性解明モード全体を通じ第１波長の照明を含む照明ビーム２０１を生成するよう、照明源２０６を構成すればよい。そして、照明ビーム２０１の偏向を誘起させるよう、ひいては照明ビームが第１入射角２１１（θ１）で以て第１作動距離（ＷＤ１）保持試料２０８へと向かうよう、照明アーム２０３を構成すればよい。
【００４２】
これと対照して図２Ｂに示すように、第２特性解明モード中は試料２０８を第２作動距離（ＷＤ２）に保持するよう、ステージアセンブリ２１０を構成すればよい。第２特性解明モード全体を通じ、第１波長とは異なる第２波長の照明を含む照明ビーム２０１を生成するよう、照明源２０６を構成すればよい。そして、照明ビーム２０１の偏向を誘起させるよう、ひいてはその照明アーム２０３にて照明ビーム２０１に誘起される偏向が照明ビーム２０１の波長の違い故に前掲例とは異なるものとなるよう、照明アーム２０３を構成すればよい。これにより、照明ビーム２０１が、第２作動距離（ＷＤ２）にて保持されている試料２０８へと、第１入射角２１１とは異なる第２入射角２１１（θ２）で以て、差し向けられることとなる（例．θ２≠θ１）。
【００４３】
また、実施形態に係る複数高さＺＨＳ２０２の収集アーム２０５に、試料２０８の表面に発する（例．そこで反射、屈折等された）照明２０７を集め、集まった照明２０７を検出器アセンブリ２１２へと差し向けるよう構成された、１個又は複数個の光学素子を設けてもよい。収集アーム２０５に備わる１個又は複数個の光学素子のなかに、本件技術分野で既知な何れの光学素子を含めてもよい。例えば、図２Ａに示すように、収集アーム２０５に、鏡２１６、１個又は複数個のレンズ２１７、鏡２１８等を設けてもよい。また例えば、収集アーム２０５に１個又は複数個のプリズム２２２を設けてもよい。
【００４４】
また、実施形態に係る複数高さＺＨＳ２０２は、試料２０８の表面に発する照明２０７を集め検出するよう構成された検出器アセンブリ２１２を有している。検出器アセンブリ２１２には、本件技術分野で既知なあらゆる検出器アセンブリが含まれうる。例えば、検出器アセンブリ２１２には、これに限られるものではないが電荷結合デバイス（ＣＣＤ）型検出器、相補型金属酸化物半導体（ＣＭＯＳ）型検出器、時間遅延積分（ＴＤＩ）型検出器、バイセルフォトダイオード型検出器、位置感応デバイス（ＰＳＤ）等が含まれうる。
【００４５】
また、実施形態に係る検出器アセンブリ２１２はコントローラ２２４に可通信結合されている。実施形態に係るコントローラ２２４及び／又は検出器アセンブリ１１２は、この場合、検出器アセンブリ２１２上における照明２０７の相対的位置取りに基づき試料２０８の高さを求めるよう、構成すればよい。この構成では、試料２０８の作動距離の変化によって、検出器アセンブリ２１２上における照明２０７のスポット位置が変化することとなろう。例えば、試料２０８の作動距離における僅かな変化が、検出器アセンブリ２１２上にて僅かなスポット位置ずれをもたらすこととなろう。
【００４６】
実施形態に係るコントローラ２２４は１個又は複数個のプロセッサ２２６及びメモリ２２８を有しており、メモリ２２８内に格納されている一組のプログラム命令を実行するよう当該１個又は複数個のプロセッサ２２６が構成されており、本件開示の諸ステップを当該１個又は複数個のプロセッサ２２６に実行させるよう当該一組のプログラム命令が構成されている。例えば、コントローラ２２４に備わる１個又は複数個のプロセッサ２２６を、メモリ２２８内に格納されている一組のプログラム命令を実行するよう構成し、それらプログラム命令を適宜構成することで１個又は複数個のプロセッサ２２６に以下の動作を行わせればよい：即ち、複数高さＺＨＳ２０２に備わる照明源２０６から試料２０８へと照明ビーム２０１を差し向けさせる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成し、検出器アセンブリ２１２にて受け取られた照明２０７に基づき試料２０８の高さ値を求め、指定されている作動距離高さ（例．ＷＤ１、ＷＤ２、ＷＤｎ）からの偏差値を求め、その識別された偏差値に関し補正すべく１個又は複数個のアクチュエータ２３０によりステージアセンブリ２１０の高さを調整させる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成し、１個又は複数個のアクチュエータ２３０によりステージアセンブリ２１０の高さを調整して所定の作動距離（例．ＷＤ１、ＷＤ２、ＷＤｎ）相応のステージアセンブリ２１０高さにする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成し、そして試料２０８を対象とする一通り又は複数通りの特性解明プロセスを特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム２０４）に実行させる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成する、というそれである。以下、これらのステップ／機能それぞれについて解説する。
【００４７】
実施形態に係るコントローラ２２４は、１個又は複数個のアクチュエータ２３０により試料２０８を第１作動距離へと選択的に駆動し／並進させる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成するよう、構成されている。例えば、図２Ａに描かれている第１特性解明モード中には、メモリ２２８内に格納されている第１作動距離（ＷＤ１）に試料２０８を保持することが目標とされよう。本例であれば、試料２０８の表面が第１作動距離（ＷＤ１）に保持される第１ステージアセンブリ高さまでステージアセンブリ２１０を駆動するよう、アクチュエータ２３０を構成すればよい。第１作動距離（ＷＤ１）に対応するこの第１ステージアセンブリ高さもメモリ２２８内に格納すればよい。
【００４８】
また、実施形態に係るコントローラ２２４は、複数高さＺＨＳ２０２に備わる照明源２０６から試料２０８へと照明ビーム２０１を差し向けさせる構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成するよう、構成されている。実施形態に係るコントローラ２２４を、試料２０８の作動距離に対応する特定波長の照明を含む照明ビーム２０１を照明源２０６に生成させるよう、構成してもよい。例えば、第１特性解明モード中に第１波長の照明を偏向させて第１作動距離（ＷＤ１）のところへと差し向けるよう、照明アーム２０３を構成すればよい。第１波長をメモリ２２８内に格納してもよく、ひいては第１特性解明モード中に試料２０８が第１作動距離（ＷＤ１）に保持されている間に第１波長の照明を照明源２０６に生成させるよう、コントローラ２２４を構成してもよい。
【００４９】
その上で、照明アーム２０３を、第１波長の照明を含む照明ビーム２０１を、第１作動距離（ＷＤ１）に保持されている試料２０８へと差し向けるよう、構成すればよい。加えて、収集アーム２０５を、試料２０８の表面に発する照明２０７を集め、照明２０７を検出器アセンブリ２１２へと差し向けるよう、構成すればよい。
【００５０】
また、実施形態に係るコントローラ２２４は、検出器アセンブリ２１２により受領／検出された照明に基づき試料２０８の高さ値を求めるよう構成されている。例えば、本願既述の通り、コントローラ２２４を、検出器アセンブリ２１２上における照明２０７のスポット位置に基づき試料２０８の高さ値（例．試料２０８の高さ）を求めるよう、構成すればよい。検出器アセンブリ２１２上における照明２０７のスポット位置の関数として試料２０８の高さ値を求めることに関連したデータ／情報を、メモリ２２８内に格納してもよい。
【００５１】
また、実施形態に係るコントローラ２２４は、指定されている作動距離高さ（例．ＷＤ１、ＷＤ２、ＷＤｎ）からの偏差値を求めるよう構成されている。例えば、第１特性解明モード中には、試料２０８を第１作動距離（ＷＤ１）に保持することが目標とされる。この場合、コントローラ２２４によって、求まった試料２０８高さ値と第１作動距離（ＷＤ１）との間の差分の絶対値を求めることで、第１作動距離（ＷＤ１）からの偏差値を求めればよい（例．偏差値＝｜（試料高さ値）−ＷＤ１｜）。また例えば、第２特性解明モード中は、試料２０８を第２作動距離（ＷＤ２）に保持することが目標とされるので、偏差値を偏差値＝｜（試料高さ値）−ＷＤ２｜）で以て定めればよい。
【００５２】
また、実施形態に係るコントローラ２２４は、その識別された偏差値に関し補正すべく１個又は複数個のアクチュエータ２３０によりステージアセンブリ２１０の高さを調整させる構成を採る、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成されている。例えば、コントローラ２２４を、試料２０８の作動距離の偏差値の識別を受け、アクチュエータ２３０によりステージアセンブリ２１０の高さを調整して第１作動距離（ＷＤ１）相応の第１ステージアセンブリ高さ（例．試料２０８が第１作動距離（ＷＤ１）に保持される第１ステージアセンブリ２１０高さ）にするよう、構成すればよい。本願既述の通り、このフィードバックループは想定作動距離からの偏差に関し補正する構成であるので、特性解明プロセス全体を通じ、正確な作動距離を複数高さＺＨＳ２０２によって効率よく保持させることが可能となろう。
【００５３】
また、実施形態に係るコントローラ２２４を、１個又は複数個のアクチュエータ２３０によりステージアセンブリ２１０の高さを調整して所定の付加的ステージアセンブリ２１０高さ、即ち第１作動距離（ＷＤ１）とは異なる所定の付加的作動距離（例．ＷＤ２、ＷＤｎ）相応の高さにする構成を採る、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成してもよい。例えば、第１特性解明モードを通じ試料２０８を第１作動距離（ＷＤ１）に保持した後、第２特性解明モードの持続期間に亘り、試料２０８の高さを調整して第２作動距離（ＷＤ２）にするよう、コントローラ２２４を構成すればよい。
【００５４】
実施形態に係るコントローラ２２４を、更に、試料２０８を対象とする一通り又は複数通りの特性解明プロセスを特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム２０４）に実行させる構成を採る、１個又は複数個の制御信号を生成するよう構成してもよい。例えば、上掲の諸例を参照し、コントローラ２２４をＳＥＭサブシステム２０４に可通信結合させると共に、第１特性解明モード及び／又は第２特性解明モード中にＳＥＭサブシステム２０４に一通り又は複数通りの特性解明プロセスを実行させるよう、コントローラ２２４を構成すればよい。
【００５５】
本願での考察によれば、本件開示の複数高さＺＨＳ２０２により、複数通りの作動距離にて持続的な作動距離監視及び制御を行うことが可能となろう。これにより、その試料上に焦点を形成してより正確且つ効率的な特性解明プロセスを行うこと、ひいては画質改善につなげることが可能となろう。更に、単一高さＺＨＳ１０２では、潜望鏡運動の最中にそのステージアセンブリ２１０を「フリーズ」させることが求められていたが、その必要性がなくなるので、本件開示の複数高さＺＨＳ２０２では、ステージアセンブリ２１０／試料２０８をフリーズさせる必要性が抑えられ、それにより画質及びスループット双方が改善される。
【００５６】
本件開示の諸実施形態について、様々な作動距離にある試料２０８へと照明ビーム２０１を差し向けるための波長依存性光分散、という文脈に沿い図示及び記述してきたが、本願での考察によれば、付加的及び／又は代替的な方法が用いられることもある。例えば、光分散が実現されるよう構成された１個又は複数個のプリズム２２０に代わる実施形態にて、システム２００によりアクチュエータブル鏡及びエンコーダを代替的に用い、必要な照明ビーム２０１偏向／回折を果たせばよい。例えば、システム２００内でプリズム２２０に代えアクチュエータブル鏡を代替使用することで、様々な作動距離に所在する試料２０８へと照明ビーム２０１を差し向けるのに必要な、様々な度合いのビーム偏向を達成すればよい。ひいては、付加的及び／又は代替的な諸実施形態では、波長依存性光分散以外の手段によって、本願に図示及び記述があるビーム偏向／回折が果たされよう。とはいえ、ここで更に注記されることに、図示及び記述されている複数高さＺＨＳ２０２では可動部品が必要とされず、高電圧真空環境内に収容する必要性がないため、代替的な諸手法に勝る多数の長所が、波長依存性光分散に依拠する複数高さＺＨＳ２０２により提供されよう。
【００５７】
ここで注記されることに、システム１００に備わる１個又は複数個の部材を、システム１００を構成する他の様々な部材に対し、本件技術分野で既知な何れの要領に従い、可通信結合させてもよい。例えば、有線又は無線接続（例．銅ワイヤ、光ファイバケーブル、ＲＦ結合、ＩＲ結合、Ｗｉ−Ｆｉ（登録商標）、ＷｉＭａｘ（登録商標）、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）、３Ｇ、４Ｇ、４ＧＬＴＥ、５Ｇ等）を介し、１個又は複数個のプロセッサ２２６を相互に且つ他部材と可通信結合させてもよい。
【００５８】
実施形態に係る１個又は複数個のプロセッサ２２６には、本件技術分野で既知なあらゆる処理素子が１個又は複数個含まれうる。その意味で、当該１個又は複数個のプロセッサ２２６には、ソフトウェアアルゴリズム及び／又は命令を実行するよう構成されたあらゆるマイクロプロセッサ型デバイスが含まれうる。実施形態に係る１個又は複数個のプロセッサ２２６を、デスクトップコンピュータ、メインフレームコンピュータシステム、ワークステーション、イメージコンピュータ、並列プロセッサその他のコンピュータシステム（例．ネットワーク接続されたコンピュータ）であり、本件開示の随所に記載の如くシステム２００を動作させる構成を採るプログラムを実行するよう構成されたもので、構成してもよい。認識されるべきことに、本件開示の随所に記載の諸ステップを単一コンピュータシステムにより実行してもよいし、それに代え複数個のコンピュータシステムにより実行してもよい。更に認識されるべきことに、本件開示の随所に記載の諸ステップは、当該１個又は複数個のプロセッサ２２６のうち何れか１個又は複数個で実行すればよい。総じて、語「プロセッサ」は、メモリ２２８から得たプログラム命令を実行する処理素子を１個又は複数個有するデバイス全てが包括されるよう、広義に定義されよう。更に、本システム１００の様々なサブシステム（例．複数高さＺＨＳ２０２、ＳＥＭサブシステム２０４、アクチュエータ２３０等）内に、本件開示の随所に記載の諸ステップのうち少なくとも一部分を実行するのに適するプロセッサ又は論理素子を設けてもよい。従って、上掲の記述は、本件開示に対する限定事項としてではなく、単なる例証として解されるべきである。
【００５９】
メモリ２２８には、連携する１個又は複数個のプロセッサ２２６により実行可能なプログラム命令と様々な特性解明モードに係るデータとを格納するのに適し本件技術分野で既知な、あらゆる格納媒体が含まれうる。例えば、メモリ２２８に非一時的記憶媒体を含めてもよい。例えば、メモリ２２８に、これに限られるものではないがリードオンリメモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、磁気又は光記憶装置（例．ディスク）、磁気テープ、固体ドライブ等を含めてもよい。更に注記されることに、メモリ２２８を１個又は複数個のプロセッサ２２６と共に共通コントローラハウジング内に収容してもよい。ある代替的実施形態に従い、メモリ２２８をプロセッサ２２６、コントローラ２２４等の物理的居所に対し遠隔配置してもよい。また、実施形態に係るメモリ２２８はプログラム命令を保持しており、そのプログラム命令によって、１個又は複数個のプロセッサ２２６に本件開示の随所に記載の諸ステップを実行させることができる。
【００６０】
実施形態に係るユーザインタフェースをコントローラ２２４に可通信結合させてもよい。実施形態に係るユーザインタフェースには、これに限られるものではないが、１個又は複数個のデスクトップ、タブレット、スマートフォン、スマートウォッチ（登録商標）等が含まれうる。また、実施形態に係るユーザインタフェースはディスプレイを有しており、それを用い、本システム１００のデータをユーザ向けに表示することができる。ユーザインタフェースに備わるディスプレイには、本件技術分野で既知なあらゆるディスプレイが含まれうる。そうしたディスプレイの例としては、これに限られるものではないが、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）式ディスプレイ又はＣＲＴディスプレイがあろう。いわゆる当業者には認識されるべきことに、ユーザインタフェースとの統合が可能なディスプレイは全て、本件開示での実装に適している。また、実施形態では、ユーザインタフェースによりユーザ向けに表示されたデータに応じ、ユーザが選択事項及び／又は命令を入力することができる。その際には、ユーザから１個又は複数個の入力コマンドを受け付けるようユーザインタフェースを構成し、複数高さＺＨＳ２０２、ＳＥＭサブシステム２０４、コントローラ２２４、アクチュエータ２３０等に備わる一通り又は複数通りの特性を修正／調整するよう当該１個又は複数個の入力コマンドを構成すればよい。例えば、ユーザがユーザインタフェースを介し１個又は複数個の制御コマンドを入力することで、特性解明モード、ＳＥＭサブシステム２０４の特性解明プロセス、試料２０８の作動距離等が調整されるようにすればよい。
【００６１】
図３Ａ及び図３Ｂには、本件開示の１個又は複数個の実施形態に従い複数通りの作動距離高さにて試料を保持する方法が描かれている。ここで注記されることに、方法３００の諸ステップはシステム２００により全て又は部分的に実施されうる。とはいえ、更なる認識によれば、方法３００はシステム２００には限定されないので、付加的又は代替的なシステムレベル実施形態にて、方法３００の諸ステップを全て又は部分的に実行してもよい。
【００６２】
ステップ３０２では、ステージアセンブリ上に配置された試料を第１作動距離高さに保持する。例えば、図２Ａに示す通り、ステージアセンブリ２１０上に配置された試料２０８を、第１特性解明モード中に、第１作動距離（ＷＤ１）に保持すればよい。
【００６３】
ステップ３０４では、第１作動距離（ＷＤ１）所在の試料へと第１波長の照明を差し向ける。例えば、第１特性解明モード中（例．試料２０８が第１作動距離（ＷＤ１）に保持されている間）に、コントローラ２２４が、第１波長の照明を含む照明ビーム２０１を照明源２０６に生成させればよい。更に、複数高さＺＨＳ２０２の照明アーム２０３を、第１作動距離（ＷＤ１）にて保持されている試料２０８へと第１波長の照明を差し向けるよう、構成すればよい。
【００６４】
ステップ３０６では、第１作動距離（ＷＤ１）にて保持されている試料に発する照明を検出器アセンブリで以て検出する。例えば、図２Ａに示すように、試料２０８に発する照明２０７を集め、その照明２０７を検出器アセンブリ２１２へと差し向けるよう、収集アーム２０５を構成すればよい。
【００６５】
ステップ３０８では、検出された照明に基づき第１作動距離からの第１偏差値を求める。例えば、検出器アセンブリ２１２により検出された照明２０７に基づき第１作動距離（ＷＤ１）からの偏差値を求めるよう、コントローラ２２４を構成すればよい。
【００６６】
ステップ３１０では、試料の高さを調整して第１作動距離（ＷＤ１）にする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成する。試料２０８の高さを調整することで、求まった第１偏差値に関し補正すればよい。例えば、１個又は複数個の制御信号を孕むフィードバックループを提供するようコントローラ２２４を構成し、ステージアセンブリ２１０を調整して第１ステージアセンブリ高さにするようその制御信号を構成し、試料２０８が第１作動距離（ＷＤ１）に保持されるようその第１ステージアセンブリ高さを構成設定すればよい。
【００６７】
また、実施形態に係るコントローラ２２４を、第１特性解明モード中に試料２０８が第１作動距離（ＷＤ１）にて保持されている間に、特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム２０４）に一通り又は複数通りの特性解明プロセス及び／又は特性解明ステップを実行させるよう、構成してもよい。当該一通り又は複数通りの特性解明プロセス／ステップには、これに限られるものではないが検査、レビュー等を初め、本件技術分野で既知なあらゆる試料特性解明プロセス／ステップが含まれうる。
【００６８】
ステップ３１２では、試料が付加的作動距離にて保持されるようステージアセンブリを駆動する。例えば、図２Ｂに示すように、第２特性解明モードの始期に１個又は複数個の制御信号を生成するようコントローラ２２４を構成し、１個又は複数個のアクチュエータ２３０にステージアセンブリ２１０を駆動させるようその信号を構成することで、その試料２０８を、第１作動距離（ＷＤ１）から、その第１作動距離とは異なる第２作動距離（ＷＤ２）へと駆動すればよい。
【００６９】
ステップ３１４では、付加的波長の照明を付加的作動距離所在の試料へと差し向ける。例えば、第２特性解明モード中（例．試料２０８が第２作動距離（ＷＤ１）にて保持されている間）に、（第１波長とは異なる）第２波長の照明を含む照明ビーム２０１を、コントローラ２２４により照明源２０６にて生成させればよい。更に、複数高さＺＨＳ２０２の照明アーム２０３を、第２作動距離（ＷＤ２）にて保持されている試料２０８へと第２波長の照明を差し向けるよう、構成すればよい。
【００７０】
ステップ３１６では、付加的作動距離にて保持されている試料に発する照明を検出器アセンブリで以て検出する。例えば、図２Ｂに示すように、試料２０８に発する照明２０７を集め、その照明２０７を検出器アセンブリ２１２へと差し向けるよう、収集アーム２０５を構成すればよい。
【００７１】
ステップ３１８では、検出された照明に基づき付加的作動距離からの付加的偏差値を求める。例えば、検出器アセンブリ２１２により検出された照明２０７に基づき第２作動距離（ＷＤ２）からの偏差値を求めるよう、コントローラ２２４を構成すればよい。
【００７２】
ステップ３２０では、試料の高さを調整して付加的作動距離にする構成を採る１個又は複数個の制御信号を生成する。試料２０８の高さを調整することで、求まった付加的偏差値に関し補正すればよい。例えば、１個又は複数個の制御信号を孕むフィードバックループを提供するようコントローラ２２４を構成し、ステージアセンブリ２１０を調整して第２ステージアセンブリ高さにするようその制御信号を構成し、試料２０８が第２作動距離（ＷＤ２）にて保持されるようその第２ステージアセンブリ高さを構成設定すればよい。
【００７３】
また、実施形態に係るコントローラ２２４を、第２特性解明モード中に試料２０８が第２作動距離（ＷＤ２）にて保持されている間に、特性解明システム（例．ＳＥＭサブシステム２０４）に一通り又は複数通りの特性解明プロセス及び／又は特性解明ステップを実行させるよう、構成してもよい。当該一通り又は複数通りの特性解明プロセス／ステップには、これに限られるものではないが検査、レビュー等を初め、本件技術分野で既知なあらゆる試料特性解明プロセス／ステップが含まれうる。
【００７４】
いわゆる当業者には認識し得るように、本願記載の諸構成要素（例．諸動作）、諸デバイス、諸物体及びそれらに付随する議論は概念的明瞭性さのため例として用いられており、様々な構成修正が想定されている。従って、本願での用法によれば、先に説明した具体的な手本及びそれに付随する議論は、それらのより一般的な分類階級の代表たることを意図している。一般に、どのような具体的手本の使用も、その分類階級の代表たることを意図するものであり、具体的な構成要素（例．動作）、デバイス及び物体が含まれていないことを限定として捉えるべきではない。
【００７５】
いわゆる当業者には理解し得るように、本願記載のプロセス及び／又はシステム及び／又はその他のテクノロジを実行・実現可能な手段は種々あるし（例．ハードウェア、ソフトウェア及び／又はファームウェア）、どの手段が相応しいかは当該プロセス及び／又はシステム及び／又はその他のテクノロジが利用される状況によって変わるであろう。例えば、速度及び正確性が肝要であると実施者が判断している場合、その実施者は主としてハードウェア的及び／又はファームウェア的な手段を選択するであろうし、そうではなく柔軟性が肝要である場合は、実施者は主としてソフトウェア的な実現形態を選択するであろうし、その何れでもない場合は、実施者はハードウェア、ソフトウェア及び／又はファームウェアの何らかの組合せを選択するであろう。このように、本願記載のプロセス及び／又は装置及び／又はその他のテクノロジを実行・実現可能な潜在的手段が幾通りかあるなか、何れかのものが他のものに比べ本質的に優れているわけではなく、どの手段を利用すべきかは、その手段が重用される状況や実施者の具体的懸念（例．速度、柔軟性又は予測可能性）といった、変転しうる事項によって左右される選択的事項となっている。
【００７６】
上掲の記述は、いわゆる当業者が本発明を具体的な用途及びその条件での文脈にて提示の如く実施及び使用可能とするため、提示されたものである。本願で用いられている方向指示語、例えば「頂」、「底」、「上方」、「下方」、「上寄り」、「上向き」、「下寄り」、「下降」及び「下向き」の趣旨は、記述目的で相対位置を提示することにあり、絶対座標系を指定する趣旨ではない。様々な修正を記載諸実施形態になしうることはいわゆる当業者にとり明らかであろうし、本願にて規定されている一般的諸原理は他の諸実施形態にも適用することができる。このように、本発明は、図示及び記述されている具体的諸実施形態に限定されるべき趣旨のものではなく、本願開示の諸原理及び新規特徴と符合する最大限の技術的範囲に紐づけられるべきものである。
【００７７】
本願におけるほぼ全ての複数形語及び／又は単数形語の使用に関し、いわゆる当業者は、文脈及び／又は用途に見合うように、複数形から単数形へ及び／又は単数形から複数形へと読み替えることができる。明瞭性のため、本願では、様々な単数形／複数形読み替えについて明示的に説明していない。
【００７８】
本願記載の諸方法の何れでも、それら方法実施形態を構成する１個又は複数個のステップの結果を、メモリ内に格納することができる。それら結果のなかに本願記載の結果の何れが含まれていてもよいし、本件技術分野で既知な何れの要領でそれら結果を格納するのでもよい。そのメモリには、本願記載のあらゆるメモリが包含されうるほか、本件技術分野で既知で好適な他のあらゆる格納媒体が包含されうる。結果格納後は、そのメモリ内にあるそれら結果にアクセスすること、並びにそれを本願記載の方法又はシステム実施形態のうち任意のもので用いること、ユーザへの表示向けにフォーマットすること、他のソフトウェアモジュール、方法又はシステムで用いること等々ができる。更に、それら結果は、「恒久的」に、「半恒久的」に、「一時的」に、或いは幾ばくかの期間に亘り格納することができる。例えば、そのメモリがランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）であってもよいし、結果がそのメモリ内に必ずしも永久には存在しないのでもかまわない。
【００７９】
更なる考察によれば、上述した方法の諸実施形態それぞれに、本願に記載されている他の何れかの方法（群）の他の何れかのステップ（群）を組み込むことができる。加えて、上述した方法の諸実施形態それぞれを本願記載のシステムの何れで実行してもよい。
【００８０】
本願記載の主題は、ときに、他の諸部材に組み込まれ又は接続・連結された様々な部材を以て描出される。理解し得るように、それら図示アーキテクチャは単なる例示であり、実のところは、他の多くのアーキテクチャのなかにも、その実施により同じ機能が達成されるものがある。概念的には、どのような部材配置であれ同じ機能が達成されるものは、その所望機能が達成されるよう実質的に「連携」しているのである。従って、本願中の何れの二部材であれ、ある特定の機能を達成すべく組み合わされているものは、その所望機能が達成されるよう互いに「連携」していると見なせるのであり、アーキテクチャや介在部材の如何は問われない。同様に、何れの二部材であれそのように連携しているものは、その所望機能を達成すべく互いに「接続・連結」又は「結合」されているとも見ることができ、また何れの二部材であれそのように連携させうるものは、その所望機能を実現すべく互いに「結合可能」であるとも見ることができる。結合可能、の具体例としては、これに限られるものではないが、物理的に係合可能な及び／又は物理的に相互作用する諸部材、及び／又は無線的に相互作用可能な及び／又は無線的に相互作用する諸部材、及び／又は論理的に相互作用する及び／又は論理的に相互作用可能な諸部材等がある。
【００８１】
更に、理解し得るように、本発明は別項の特許請求の範囲によって定義される。いわゆる当業者には理解し得るように、総じて、本願特に別項の特許請求の範囲（例．別項の特許請求の範囲の本文）にて用いられる語は概ね「開放」語たる趣旨のものである（例．語「〜を含んでいる」は「〜を含んでいるが〜に限られない」、語「〜を有している」は「少なくとも〜を有している」、語「〜を含む」は「〜を含むが〜に限られない」等々と解されるべきである）。いわゆる当業者にはやはり理解し得るように、ある具体的個数の請求項内導入要件を意図しているのであれば、その意図がその請求項に明示されるので、そうした要件記載がなければそうした意図がないということである。例えば、理解の助けとして、後掲の添付諸請求項のなかには、導入句「少なくとも１個」及び「１個又は複数個」の使用による請求項内要件の導入が組み込まれているものがある。しかしながら、不定冠詞「ａ」又は「ａｎ」による請求項内導入要件の導入によりその請求項内導入要件を含む個別請求項全てがその構成要件を１個しか含まないものに限定される、といった含蓄があるかのように、そうした語句の使用を解釈すべきではないし、まさにその請求項に導入句「１個又は複数個」又は「少なくとも１個」と不定冠詞例えば「ａ」又は「ａｎ」が併存している場合でもそう解釈すべきではないし
（例えば「ａ」及び／又は「ａｎ」は、通常、「少なくとも１個」又は「１個又は複数個」を意味するものと解すべきである）、またこれと同じことが定冠詞の使用による請求項内要件の導入に関しても成り立つ。加えて、ある請求項内導入要件につき具体的な個数が明示されている場合でも、いわゆる当業者には認識し得るように、通常は、少なくともその明示個数、という意味にその個数記載を解すべきである（例．他の修飾語句を欠く「２個の構成要件」なる抜き身的表現は、通常、少なくとも２個の要件或いは２個以上の要件という意味になる）。更に、「Ａ、Ｂ及びＣのうち少なくとも１個等々」に類する規約が用いられている例では、総じて、いわゆる当業者がその規約を理解するであろう感覚に従いそうした構文が企図されている（例．「Ａ、Ｂ及びＣのうち少なくとも１個を有するシステム」には、これに限られるものではないが、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、Ａ・Ｂ双方、Ａ・Ｃ双方、Ｂ・Ｃ双方、及び／又は、Ａ・Ｂ・Ｃ三者を有するシステム等々が包含されることとなろう）。「Ａ、Ｂ又はＣのうち少なくとも１個等々」に類する規約が用いられている例では、総じて、いわゆる当業者がその規約を理解するであろう感覚に従いそうした構文が企図されている（例．「Ａ、Ｂ又はＣのうち少なくとも１個を有するシステム」には、これに限られるものではないが、Ａのみ、Ｂのみ、Ｃのみ、Ａ・Ｂ双方、Ａ・Ｃ双方、Ｂ・Ｃ双方、及び／又は、Ａ・Ｂ・Ｃ三者等々を有するシステムが包含されることとなろう）。やはりいわゆる当業者には理解し得るように、２個以上の代替的な語を提示する分離接続詞及び／又は分離接続句はほぼ全て、明細書、特許請求の範囲及び図面のうちどこにあるのかを問わず、一方の語、何れかの語、或いは双方の語を包含する可能性が想定されているものと理解すべきである。例えば、語句「Ａ又はＢ」は、「Ａ」又は「Ｂ」又は「Ａ及びＢ」の可能性を包含するものと解されよう。
【００８２】
思うに、本件開示及びそれに付随する長所の多くについては上掲の記述により理解頂けるであろうし、被開示主題から離隔することなく或いはその主要な長所全てを損なうことなく諸部材の形態、構成及び配置に様々な改変を施せることも明らかであろう。記述されている形態は単なる説明用のものであり、後掲の特許請求の範囲の意図はそうした改変を包括、包含することにある。更に、理解し得るように、本発明を定義するのは別項の特許請求の範囲である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【国際調査報告】
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