(57)【要約】  本発明は、少なくとも１つの周波数で光を送信するための送信装置に関し、送信装置は、複数の異なる角度範囲に光を出射するように構成され、複数の角度範囲それぞれの光の周波数がそれぞれの周波数範囲内で時間に応じて変化させられるとともに、異なる角度範囲に対する複数の異なる周波数範囲内の周波数が異なる時間で重複しないように構成されている。
2021510834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの周波数の光を送信するための送信装置（２１）であって、複数の異なる角度範囲（１００、１０１）に光を出射するように構成され、前記角度範囲（１００、１０１）それぞれの当該光の周波数が、それぞれの周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）内で時間に応じて変化させられるとともに、異なる角度範囲（１００、１０１）に対する複数の異なる周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）内の周波数が異なる時間（２）で重複しないように構成されている送信装置（２１）。
【請求項２】
請求項１に記載の送信装置であって、前記角度範囲（１００、１０１）それぞれでの周波数（３）を時間とともに直線的に変化させるように、好ましくは、開始周波数（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｃＳＴＡＲＴ）から終了周波数（ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＥＮＤＥ）まで変化させるように構成されている送信装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の送信装置であって、光源（１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）と、前記光源（１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）の光の周波数の時間に応じた変化を生成する変調装置（１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）とが配置されている、送信装置。
【請求項４】
請求項３に記載の送信装置であって、前記変調装置（１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）は、異なる周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）の各々のための変調器（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ）を含む、送信装置。
【請求項５】
請求項３に記載の送信装置であって、前記変調装置は、周波数範囲を時間とともに変化させるための変調器（１１ａ）と、複数の異なる周波数範囲を生成するための少なくとも１つのさらなる変調器（１１ｂ、１１ｃ）とを有する、送信装置。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項に記載の送信装置であって、各周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）のために別個の光源（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）が配置されている、送信装置。
【請求項７】
光を受信するための受信装置（２２）、特に請求項１から６までのいずれか１項に記載の送信装置（２１）を有し、送信された光を受信するための受信装置（２２）であって、
時間とともに変化する複数の異なる周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）の周波数（３）を分離するための分離装置（１４）と、当該受信された光を電気信号に変換するための少なくとも１つの検出器（１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ）とが配置されている、受信装置（２２）。
【請求項８】
請求項７に記載の受信装置であって、別個の検出器（１５ａ、１５ｂ、１５ｃ）が周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）ごとに配置されている、受信装置。
【請求項９】
請求項７または８に記載の受信装置であって、前記分離装置（１４）は、特に光リング発振器の形態のノッチフィルタを有する、受信装置。
【請求項１０】
請求項１から６までの少なくとも１項に記載の送信装置（２１）と、
請求項７から９までのいずれか１項に記載の受信装置（２２）と
を備えたセンサ装置（２０）。
【請求項１１】
少なくとも１つの周波数（３）の光を送信する方法であって、
複数の異なる角度範囲（１００、１０１）それぞれの光の周波数をそれぞれの周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）内で時間に応じて変化させ（５ａ、５ｂ、５ｃ）、異なる角度範囲（１００、１０１）に対する複数の異なる周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）内の周波数が異なる時間（２）で重複しないように、複数の異なる角度範囲（１００、１０１）に光を出射する方法。
【請求項１２】
複数の異なる周波数範囲の光を受信する方法、特に請求項１１に記載の方法により出射された光を受信する方法であって、
時間とともに変化する複数の異なる周波数範囲（ｆａＳＴＡＲＴ、ｆａＥＮＤＥ、ｆｂＳＴＡＲＴ、ｆｂＥＮＤＥ、ｆｃＳＴＡＲＴ、ｆｃＥＮＤＥ）の周波数（３）を分離し（１４）、特に当該受信された光を電気信号に変換する、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つの周波数の光を送信するための送信装置に関する。
【０００２】
本発明は、光を受信するための受信装置にも関する。
【０００３】
さらに本発明は、センサ装置、少なくとも１つの周波数の光を送信する方法、および複数の異なる周波数範囲の光を受信する方法に関する。
【背景技術】
【０００４】
本発明は、任意の送信装置および受信装置に適用できるが、本発明は、光検出および測距のシステム、すなわちライダー（ＬｉＤＡＲ）に関連して説明される。
【０００５】
既知のライダーシステムは、特定の方向に偏向される狭帯域レーザビームを使用する。レーザビームが物体に当たると、物体におけるその角度でのレーザビームの反射に基づいて物体との距離を決定することができる。この目的のために、例えば、ＦＭＣＷの原理に基づいて線形の周波数ランプ（周波数変調連続波）が送信され、コヒーレント受信によって送信ランプと受信ランプとの間の周波数差が決定される。この周波数差に基づいて物体との距離を決定することができる。エリア内の物体を検出できるようにするために、エリアを２次元的に照射することができる。この目的のためには短い測定時間が必要とされ、これにより、通常は測定範囲、すなわち物体を検出することができる距離が短くなる。その理由は、距離が増大するにつれて、特定の距離に対する信号対雑音比が測定時間に線形に依存し、測定時間が長くなると、もはや測定が不可能になるからである。
【０００６】
さらに、特定の角度範囲を検出できるように複数のセンサを使用することが知られており、それぞれのセンサには角度範囲の個別の角度領域が割り当てられている。しかしながら、この場合には領域毎に個別の送受信経路が必要となる。さらに、多重反射が他の角度領域から生じることもある。
【発明の概要】
【０００７】
一実施形態では、本発明は、少なくとも１つの周波数の光を送信するための送信装置を提供し、送信装置は、複数の異なる角度範囲（１００、１０１）に光を出射するように構成され、複数の角度範囲それぞれの光の周波数がそれぞれの周波数範囲内で時間に応じて変化させられるとともに、異なる角度範囲対する複数の異なる周波数範囲内の周波数が異なる時間で重複しないように構成されている。
【０００８】
さらなる実施形態では、本発明は、光を受信するための受信装置を提供し、時間とともに変化する複数の異なる周波数範囲の周波数を分離するための分離装置と、受信された光を電気信号に変換するための少なくとも１つの検出器とが配置されている。
【０００９】
さらなる実施形態では、本発明は、請求項１から６までの少なくともいずれか１項に記載の送信装置と、請求項７〜９までのいずれか１項に記載の受信装置とを有するセンサ装置を提供する。
【００１０】
さらなる実施形態では、本発明は、少なくとも１つの周波数の光を送信するための方法を提供し、光は複数の異なる角度範囲に出射され、角度範囲それぞれの光の周波数がそれぞれの周波数範囲内で時間に応じて変化し、異なる角度範囲に対する複数の異なる周波数範囲内の周波数が異なる時間で重複しないようにされる。
【００１１】
さらなる実施形態では、本発明は、特に請求項１１に記載の方法により送信された、複数の異なる周波数範囲の光を受信する方法を提供し、時間とともに変化する複数の異なる周波数範囲の周波数が分離され、特に受信された光が電気信号に変換される。
【００１２】
言い換えれば、送信装置によって光が複数の異なる角度範囲に送信され得、反射された光は、受信装置によって再び受信され得る。
【００１３】
複数の送信機および／または複数の受信機、すなわち複数の送受信経路を必要とすることなしに、複数の角度範囲を同時に照射できることが利点の１つである。別の利点は、このようにして、それぞれの周波数範囲を変化させるための測定時間が増大し、これにより信号対雑音比を改善することができ、このことが、最終的に、センサ装置によって物体を検出される場合の測定範囲を増大することとなる。さらに別の利点は、例えば、いくつかの水平面を同時に照射することができるので、フレキシビリティが増すことである。
【００１４】
本発明のさらなる特徴、利点、およびさらなる実施形態を以下に説明し、明らかにする。
【００１５】
有利なさらなる実施形態によれば、送信装置は、角度範囲それぞれでの周波数を時間とともに直線的に変化させるように、好ましくは、開始周波数から終了周波数まで変化させるように構成されている。これにより達成される利点の１つは、周波数範囲全体にわたって時間の経過に伴う周波数の単純な変化が可能になることである。さらに、周波数の明確な時間割り当てが可能になるので、後の評価も単純化される。
【００１６】
さらなる有利な実施形態によれば、光源と、当該光源からの光の周波数の時間に応じた変化を生成するための変調装置とが配置されている。変調装置によって、光源、例えばレーザからの光を簡単にかつ同時に信頼できる変調を行うことが可能となる。
【００１７】
さらなる有利な実施形態によれば、変調装置は、異なる周波数範囲の各々のための変調器を備える。このことは、特に信頼できる変調を可能にする。
【００１８】
さらなる有利な実施形態によれば、変調装置は、周波数範囲を時間とともに変化させるための変調器と、複数の異なる周波数範囲を生成するための少なくとも１つのさらなる変調器とを有する。このようにして達成される利点の１つは、周波数範囲の分離および当該周波数範囲それぞれの時間変化によって異なる周波数範囲における周波数の特に信頼できる変化を提供できることである。例えば、位相変調器により、異なる範囲間の周波数オフセットを生成することができる。この場合、位相は時間とともに変化するように変調され、これにより周波数オフセットが生成される。このような変調器の例は、電荷キャリア密度の変調に基づくもの、またはポッケルス効果またはカー効果などの電気光学効果に基づくものである。
【００１９】
さらなる有利な実施形態によれば、各周波数範囲に対して別個の光源が配置されている。このようにして、異なる特性を有する異なる光源を使用することができ、これにより全体としてフレキシビリティが増す。
【００２０】
さらなる有利な実施形態によれば、各周波数範囲に対して別個の検出器が配置されている。したがって、周波数範囲それぞれの受信光に検出器を適合させることができるので、特に信頼できる光の検出を達成することができる。
【００２１】
さらなる有利な実施形態によれば、分離装置は、特に光リング発振器の形態のノッチフィルタを有する。ノッチフィルタを用いて、異なる周波数ランプを有する受信光をそれぞれ１つの周波数ランプを有する光に確実に分離することができる。
【００２２】
本発明のさらなる重要な特徴および利点が、従属請求項、図面および図面に基づいた説明から明らかになる。
【００２３】
上述した特徴および以下に説明する特徴は、本発明の範囲を逸脱することなく、それぞれ特定した組合せのみならず、他の組合せまたは単独で用いることができることは言うまでもない。
【００２４】
本発明の好ましい構成および実施形態を図面に示し、以下の説明に詳述し、同じ参照記号は、同一もしくは類似の、または機能的に同じ構成要素もしくは要素に関する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１の実施形態による周波数の時間的変化を示す時間−周波数表現である。
【図２】本発明の第２の実施形態による送信装置を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施形態による送信装置を示す図である。
【図４】本発明の第４の実施形態による送信装置を示す図である。
【図５】本発明の第５の実施形態による送信装置を示す図である。
【図６】本発明の第６の実施形態による受信装置を示す図である。
【図７】本発明の第７の実施形態による受信装置を示す図である。
【図８】本発明の第８の実施形態によるセンサ装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
図１は、第１の実施形態による周波数の時間的変化の時間−周波数表現を示す。
【００２７】
図１は、周波数ランプの時間−周波数表現を示しており、最上部の周波数ランプ６ｃのベースバンドは、ここでは破線で示されている。詳細には、図１は時間周波数表現１を示し、周波数３は時間２に対してプロットされている。３つの周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃが示され、それぞれが同じ時間間隔で同じ勾配で上昇している。周波数ランプ５ａ、５ｂは、それぞれの開始周波数が周波数差４ａだけ異なり、２つの周波数ランプ５ｂ、５ｃは周波数差４ｂだけ異なる。周波数差４ａ、４ｂは同じであっても異なっていてもよい。図１において、第１のランプ５ａの開始周波数ｆａＳＴＡＲＴは最も低く、第３の周波数ランプ５ｃの開始周波数ｆｃＳＴＡＲＴは最も高い。直線的な上昇により、それぞれの周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃのそれぞれの終了周波数ｆａ，ｂ，ｃＥＮＤＥは、それぞれの開始周波数ｆａ，ｂ，ｃ，ＳＴＡＲＴよりも高い。もちろん、反転した周波数ランプ、もしくは直線的に下降する周波数ランプも可能である。図１では、３つの周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃが示されているが、他の任意の数の周波数ランプも可能である。
【００２８】
周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃは以下の方法で生成することができる。光源、例えばレーザからの光は３つの異なる位相変調器によって生成され、３つの線形の周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃは変調される。３つの周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃは、開始周波数ｆａＳＴＡＲＴ、ｆｂＳＴＡＲＴ＝ｆａＳＴＡＲＴ＋Δｆ１、ｆｃＳＴＡＲＴ＝ｆａＳＴＡＲＴ＋Δｆ１＋Δｆ２によって異なり、異なる開始周波数ｆＳＴＡＲＴ、ｆＳＴＡＲＴ＋Δｆ１、ｆＳＴＡＲＴ＋Δｆ１＋Δｆ２の間のオフセット周波数４ａ、４ｂは、周波数偏差、すなわち、周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃそれぞれの開始周波数と終了周波数との間の差ｆａ，ｂ，ｃＥＮＤＥ−ｆａ，ｂ，ｃＳＴＡＲより必ずしも大きい必要はない。周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃは、受信時にそれぞれのベースバンド６に混合することができ、これはいわゆる「デチャーピング」として知られる。この場合、変調は解除され、周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃは分離される。それぞれのベースバンド６が周波数の点で互いに十分に離れている限りは、特にベースバンドが重複しない限り、周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃは少なくとも部分的に同じ周波数範囲に位置していてもよく、この場合、ある時点におけるある周波数範囲の周波数は、他の周波数範囲の周波数とは異なることとなる。図１には、最上部の周波数ランプ５ｃのベースバンド６ｃのみが示されている。一般に、他の周波数の変化の形態、例えば、図１の直線的な上昇の代わりに、直線的な上昇とこれに続く直線的な降下も可能である。
【００２９】
図２は、本発明の第２の構成による送信装置を示す。
【００３０】
図２には、３つの変調器１１と、レーザ１０の形態の光源とを備えた送信装置２１が示されている。レーザ１０は、特定の周波数ｆＳＴＡＲＴで光を送り、この光は、３つの変調器１１ａ、１１ｂ、１１ｃによって変調されて、線形の周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃが生成される。言い換えれば、１つの変調器１１ａ、１１ｂ、１１ｃがそれぞれ周波数ランプ１１ａ、１１ｂ、１１ｃを変調する。その後、生成された３つの周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃの光は送信光学系１２によって出射される。
【００３１】
図３は、本発明の第３の実施形態による送信装置を示す。
【００３２】
図３は、レーザ１０と、周波数ランプを生成するための変調器１１ａと、周波数オフセット４ａ、４ｂを生成するための２つの変調器１１ｂ、１１ｃとを備えた送信装置２１を示す。ここで、周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃを生成するために１つの変調器１１のみが使用される。レーザ１０の光に対して変調器１１によって生成された線形の周波数ランプは、次に３つの経路５ａ、５ｂ、５ｃに分岐され、３つのうちの２つの経路５ｂ、５ｃで周波数オフセット４ａ、４ｂだけシフトがなされる。この周波数オフセット４ａ、４ｂは、位相変調器によっても生成可能である。位相は、時間とともに変化するように変調され、これにより周波数オフセット４ａ、４ｂが生成される。このような変調器は、例えば、電荷キャリア密度の変調、または、例えばポッケルス効果もしくはカー効果などの電気光学効果に基づいている。
【００３３】
図４は、本発明の第４の実施形態による送信装置を示す。
【００３４】
図４は、本質的には、図２による送信装置２１を示している。図２の３つの変調器１１ａ、１１ｂ、１１ｃとは異なり、図４に示す変調器１１は、レーザ１０の光に対して３つの周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃの全てを変調できるように広帯域に構成されている。
【００３５】
図５は、本発明の第５の実施形態による送信装置を示す。
【００３６】
図５は、本質的には図２による送信装置２１を示している。図２による送信装置２１とは異なり、図５に示す送信装置２１は、３つのレーザ１０ａ、１０ｂ、１０ｃを搭載し、これらレーザ１０ａ、１０ｂ、１０ｃにそれぞれ割り当てられた変調器１１ａ、１１ｂ、１１ｃによって、周波数ｆＳＴＡＲＴ、ｆ’ＳＴＡＲＴ、ｆ’’ＳＴＡＲＴの光信号が周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃで与えられる。次に、周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃを有する対応する変調光は、送信光学系１２を介して一緒に出射される。
【００３７】
図１〜図５に示す変調光信号は、示されるとおり、送信光学系１２を介して空間に放射される。この場合、各変調光信号に対して、例えばマイクロメカニカルスキャナまたは光位相アレイなどの形態の個別の送信光学系１２が配置可能であり、送信光学系１２は所定の角度範囲に放射するので、他の／さらなる送信光学系の異なる角度範囲は重複することがない。あるいは、送信装置２１は、様々な周波数範囲、特に異なるランプ５ａ、５ｂ、５ｃの平均波長が、送信光学系１２によって様々な角度範囲に自動的に放射されるように構成され得る。そして、図５の変調された３つのレーザビーム１０ａ、１０ｂ、１０ｃのそれぞれの光は結合されて、同じ送信光学系１２を介して出射される。変調光の複数の異なる周波数は、複数の異なる立体角への所望のビーム偏向をもたらす。ランプ５ａ、５ｂ、５ｃ間の周波数オフセット４ａ、４ｂは十分に大きくなるように選択されているので、図５の実施形態はこの目的のために特に有利である。
【００３８】
図６は、本発明の第６の実施形態による受信装置を示す。
【００３９】
図６には、３つの検出器１５ａ、１５ｂ、１５ｃを備えた受信装置２２が示されている。受信装置２２の受信光学系１３で受信された光は、検出器１５ａ、１５ｂ、１５ｃに達する前に、まず分離装置１４によって分離される。言い換えれば、混合の前、すなわち光信号を電気信号に変換する前に、複数の周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’を含む受信光信号は、例えば、特に光リング共振器の形態のノッチフィルタを通して分離される。周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’はそれぞれ検出器１５ａ、１５ｂ、１５ｃに供給される。これに先立ち、各受信周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’は、コヒーレントな受信を確保するために、対応する送信ランプ５ａ、５ｂ、５ｃと重畳される。より正確には、対応する検出器１５ａ、１５ｂ、１５ｃで対応する周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’の光が検出された後、そのように重畳された各周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’の光信号は、当該対応する送信ランプ５ａ、５ｂ、５ｃと混合されてそれぞれベースバンド６となり、次いでＦＭＣＷの原理にしたがって公知の方法で評価され得る。
【００４０】
図７は、本発明の第７の実施形態による受信装置を示す。
【００４１】
図７には、検出器１５を備えた受信装置２２が示されている。受信光学系１３によって受信された光は、例えば１つまたは２つのフォトダイオードを有する検出器１５に供給される。次いで、受信された周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’のいずれか１つの光は、対応する送信ランプ５ａ、５ｂ、５ｃの光と重畳される。続いて、全ベースバンド６、すなわち、送信された周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃそれぞれの周波数ランプ５ａ’、５ｂ’、５ｃ’を有する全てのベースバンド６ａ、６ｂ、６ｃがサンプリングされ得るか、あるいは、バンドパスフィルタおよび／または電気ミキサーが、各ベースバンド６で周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃを分離するために使用され得る。特に、検出器１５の帯域幅に対する周波数ランプ５ａ、５ｂ、５ｃの周波数差４ａ、４ｂが適宜に選択されるので、検出器１５は、全てのランプ５ａ、５ｂ、５ｃを受信するように構成されている。
【００４２】
図８は、本発明の第８の実施の形態によるセンサ装置を示す。
【００４３】
図８には、ライダーシステムの形態のセンサ装置２０が示されている。センサ装置２０は、図１の実施形態における送信装置２１と、図７の実施形態における受信装置とを備える。送信装置２１は、異なる周波数ランプ５ａ、５ｂを有する光を異なる角度範囲１００、１０１に放射する。角度範囲１００におけるセンサ装置の測定範囲内に位置する物体３０は、当該周波数ランプ５ａの放射光を反射させる。次いで、物体３０で反射された周波数ランプ５ａ′の光は、受信装置２２によって受信される。次に、センサ装置２０は、受信された光を評価し、センサ装置２０からの物体３０の距離を決定することができる。
【００４４】
要約すると、本発明の実施形態のうちの少なくとも１つは、以下の利点のうちの少なくとも１つを有する。
・複数の異なる角度範囲への同時送信および１つのみの受信ユニットによる反射光の受信、
・複数の角度範囲の同時照射、
・ランプ毎の測定時間の拡大およびこれによる信号対雑音比の向上、
・より広い測定範囲、
・ライダーシステムの並列化が可能であること、
・多重反射による誤検出が少なく、信頼性が高いこと、
・シンプルな構造、
・簡単な実装。
【００４５】
本発明は、好ましい例示的な実施形態に基づいて説明してきたが、これらに限定されるものではなく、むしろ多様に変更することができる。
【図１】
2021510834.tif 000003
【図２】
2021510834.tif 000004
【図３】
2021510834.tif 000005
【図４】
2021510834.tif 000006
【図５】
2021510834.tif 000007
【図６】
2021510834.tif 000008
【図７】
2021510834.tif 000009
【図８】
2021510834.tif 000010
【国際調査報告】
2021510834.tif 000011
2021510834.tif 000012
2021510834.tif 000013
2021510834.tif 000014
2021510834.tif 000015