(57)【要約】支持装置は、第１の回転軸に沿って延伸し、第１の凸状の球欠部を備えた第１の端部と第２の凸状の球欠部を備えた第２の端部とを含む円柱状ロッドを含む。第１の領域は、第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されうる。第２の領域は、第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されうる。円柱状ロッドは、第１の回転軸に垂直な第１の枢動軸を中心に枢動自在でありうる。いくつかの実施形態において、物体支持方法は、物体の表面を円柱状ロッドの外面と係合させる工程を含み、第１の円柱状ロッドが第１の流体緩衝部および第２の流体緩衝部によって支持される間に、第１の円柱状ロッドは、物体の質量を支持する。
2021536408.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持装置において、
第１の凸状の球欠部を備えた第１の端部、および、第２の凸状の球欠部を備えた第２の端部を含み、前記第１の端部から前記第２の端部に第１の回転軸に沿って延伸する第１の円柱状ロッドと、
前記第１の円柱状ロッドが、該円柱状ロッドの前記第１の回転軸に垂直である前記第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成された第１の領域と、
前記第１の領域と流体連通する第１の流体ポートと、
前記第１の円柱状ロッドが、該円柱状ロッドの前記第１の回転軸に垂直で前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸に平行である前記第２の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成された第２の領域と、
前記第２の領域と流体連通する第２の流体ポートと
を含む装置。
【請求項２】
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが、該円柱状ロッドの前記第１の回転軸および前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸に垂直である該第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが、前記第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸に平行で該円柱状ロッドの前記第１の回転軸および前記第２の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸に垂直である該第２の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の凸状の球欠部の前記第２の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第２の凸状の球欠部の前記第２の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、請求項２に記載の支持装置。
【請求項４】
前記第１の球欠部は、前記第１の領域によって自由に支持されるように構成されたものであり、
前記第２の球欠部は、前記第２の領域によって自由に支持されるように構成されたものである、請求項１から３のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項５】
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第２の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、請求項１から４のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項６】
前記第１の領域を、支持面に対して、前記第１の円柱状ロッドの前記第１の回転軸の方向に調節自在に載置するように構成された接合部を、
更に含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項７】
第１の縁部が、前記第１の領域に外接し、
第２の縁部が、前記第２の領域に外接する、請求項１から６のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項８】
前記第１の領域は、第１の凹状部分によって画定されるものである、請求項１から７のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項９】
前記第２の領域は、第２の凹状部分によって画定されるものである、請求項１から８のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項１０】
第２の円柱状ロッドを、
更に含む、請求項１から９のいずれか１項に記載の支持装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の支持装置を用いた物体支持方法において、
第１の流体流を第１の流体ポートを通って通過させて、前記第１の凸状の球欠部を浮かせる第１の流体緩衝部を形成する工程と、
第２の流体流を第２の流体ポートを通って通過させて、前記第２の凸状の球欠部を浮かせる第２の流体緩衝部を形成する工程と、
前記第１の円柱状ロッドを前記第１の流体緩衝部および第２の流体緩衝部によって支持する間に、前記物体の表面を、該物体の質量を支持する該第１の円柱状ロッドの外面と係合させる工程と
を含む物体支持方法。
【請求項１２】
前記物体を進行方向に沿って横切る工程を、
更に含み、
前記物体は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の流体緩衝部および前記第２の流体緩衝部によって支持される間に、該第１の円柱状ロッドを、前記第１の回転軸を中心に回転させるものである、請求項１１に記載の物体支持方法。
【請求項１３】
前記物体は、ガラスリボンを含むものである、請求項１１または１２に記載の物体支持方法。
【請求項１４】
前記物体を支持する間に、前記第１の球欠部は、前記第１の領域によって自由に支持され、前記第２の球欠部は、前記第２の領域によって自由に支持されるものである、請求項１１から１３のいずれか１項に記載の物体支持方法。
【請求項１５】
前記物体を支持する間に、前記第１の領域と前記第２の領域の間の距離を調節する工程を、
更に含む、請求項１１から１４のいずれか１項に記載の物体支持方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
本願は、２０１８年８月２９日出願の米国仮特許出願第６２／７２４，１７４号の優先権の利益を主張し、その内容は依拠され、全体として参照により本明細書に組み込まれ
【技術分野】
【０００２】
本開示は、概して、物体支持装置および方法に関し、特に、物体の質量を支持する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
ガラスリボンは、１つの場所から他の場所に輸送されることが多い。いくつかの実施形態において、搬送中に、ガラスリボンの主面に圧力を加えて、ガラスリボンの質量を支持するのを助けうる。例えば、ガラスリボンを、ガラスリボンに接触する空気緩衝部で支持して、ガラスリボンを空気緩衝部上で浮かせることが知られている。
【発明の概要】
【０００４】
次に、本開示の概要を簡略に示して、詳細な記載で記述するいくつかの実施形態の基本的な理解を提供する。
【０００５】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第１の端部、および、第２の端部を含む第１の円柱状ロッドを含み、第１の円柱状ロッドは、第１の端部から第２の端部に第１の回転軸に沿って延伸しうる。第１の端部は、第１の凸状の球欠部を備え、第２の端部は、第２の凸状の球欠部を備えうる。支持装置は、更に、第１の円柱状ロッドが、円柱状ロッドの第１の回転軸に垂直である第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成された第１の領域を含みうる。第１の流体ポートは、第１の領域と流体連通しうる。支持装置は、更に、第１の円柱状ロッドが、円柱状ロッドの第１の回転軸に垂直で第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸に平行である第２の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成された第２の領域を含みうる。第２の流体ポートは、第２の領域と流体連通しうる。
【０００６】
いくつかの実施形態において、支持装置の第１の領域は、第１の円柱状ロッドが、円柱状ロッドの第１の回転軸および第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸に垂直である第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。支持装置の第２の領域は、第１の円柱状ロッドが、第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸に平行で円柱状ロッドの第１の回転軸および第２の凸状の球欠部の第１の枢動軸に垂直である第２の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。
【０００７】
いくつかの実施形態において、支持装置の第１の領域は、第１の円柱状ロッドが第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。支持装置の第２の領域は、第１の円柱状ロッドが第２の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。
【０００８】
いくつかの実施形態において、第１の球欠部は、第１の領域によって自由に支持されるように構成されたものでありうる。第２の球欠部は、第２の領域によって自由に支持されるように構成されたものでありうる。
【０００９】
いくつかの実施形態において、支持装置の第１の領域は、第１の円柱状ロッドが第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。支持装置の第２の領域は、第１の円柱状ロッドが第２の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。
【００１０】
いくつかの実施形態において、支持装置の第１の領域は、第１の円柱状ロッドが第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に３６０°枢動自在な状態で、第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。支持装置の第２の領域は、第１の円柱状ロッドが第２の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に３６０°枢動自在な状態で、第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成されたものでありうる。
【００１１】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第１の領域を、支持面に対して、第１の円柱状ロッドの第１の回転軸の方向に調節自在に載置するように構成された接合部を含みうる。
【００１２】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第１の領域に外接する第１の縁部と、第２の領域に外接する第２の縁部とを含みうる。
【００１３】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第１の縁部より、第１の凸状の球欠部の第１の半径の約２０％から約８０％の範囲内の最大深さで窪んだ第１の領域を含みうる。更に、第２の領域も、第２の縁部より、第２の凸状の球欠部の第２の半径の約２０％から約８０％の範囲内の最大深さで窪んだものでありうる。
【００１４】
いくつかの実施形態において、支持装置は、アルミナ、石英ガラス、ムライト、炭化ケイ素、および、グラファイトからなる群から選択された１つの材料、または、材料の組合せを含む円柱状ロッドを含みうる。
【００１５】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第１の凹状部分によって画定されるも第１の領域を含みうる。
【００１６】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第１の凹状の球欠部を含む第１の凹状部分を含みうる。
【００１７】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第２の凹状部分によって画定される第２の領域を含みうる。
【００１８】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第２の凹状の球欠部を含む第２の凹状部分を含みうる。
【００１９】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第２の円柱状ロッドを含みうる。
【００２０】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第２の円柱状ロッドの第２の回転軸に平行である第１の円柱状ロッドの第１の回転軸を含みうる。
【００２１】
いくつかの実施形態において、支持装置は、第２の円柱状ロッドの第２の回転軸に対して鋭角で延伸する第１の円柱状ロッドの第１の回転軸を含みうる。
【００２２】
いくつかの実施形態において、第１の回転軸および第２の回転軸は、共通平面に沿って延伸しないものである。
【００２３】
いくつかの実施形態において、第１の回転軸および第２の回転軸は、共通平面に沿って延伸するものである。
【００２４】
いくつかの実施形態によれば、方法は、上記支持装置のいずれか１つの支持装置を用いて、物体を支持する工程を含みうる。方法は、第１の流体流を第１の流体ポートを通って通過させて、第１の凸状の球欠部を浮かせうる第１の流体緩衝部を形成する工程を含みうる。更に、方法は、第２の流体流を第２の流体ポートを通って通過させて、第２の凸状の球欠部を浮かせうる第２の流体緩衝部を形成する工程も含みうる。更に、方法は、第１の円柱状ロッドを第１の流体緩衝部および第２の流体緩衝部によって支持する間に、物体の表面を、第１の円柱状ロッドが物体の質量を支持しうる第１の円柱状ロッドの外面と係合させる工程を含みうる。
【００２５】
いくつかの実施形態において、方法は、更に、物体を進行方向に沿って横切る工程を含み、物体は、第１の円柱状ロッドが第１の流体緩衝部および第２の流体緩衝部によって支持される間に、第１の円柱状ロッドを、第１の回転軸を中心に回転させうる。
【００２６】
いくつかの実施形態において、方法を用いて、ガラスリボンを含む物体を支持しうる。
【００２７】
いくつかの実施形態において、方法を用いて、約５００℃から約１２００℃の範囲内の温度を含む物体を支持しうる。
【００２８】
いくつかの実施形態において、方法は、第１の球欠部を、第１の領域によって自由に支持しうる。第２の球欠部は、第２の領域によって自由に支持されうる。同時に、第１の円柱状ロッドは、物体を支持しうる。
【００２９】
いくつかの実施形態において、方法は、更に、第１の円柱状ロッドが物体を支持する間に、第１の領域と第２の領域の間の距離を調節する工程を含みうる。
【００３０】
これらの、および、他の特徴、態様、および、利点は、以下の詳細な記載を、添付の図面を参照して読むことで、よく理解されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本開示の実施形態による物体を支持する支持装置のいくつかの実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の支持装置の前端からの立面図である。
【図３】図１の３−３線に沿った支持装置の断面図である。
【図４】図１の支持装置の前端からの他の立面図である。
【図５】図１の支持装置の代わりの実施形態の上からの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
ここで、実施形態を、例示的な実施形態を示した添付の図面を参照して、より完全に記載する。全図を通して、同じ、または、類似の部分を称するには、可能な限り同じ参照番号を用いている。しかしながら、本開示は、多数の異なる形態で実施しうるものであり、本明細書に示した実施形態に限定されると解釈されるべきではない。
【００３３】
本明細書に開示の具体的な実施形態は、例示を意図したものであり、したがって、限定するものではないと理解すべきである。本開示を行うために、必須ではないが、物体支持装置および方法をガラス製造装置で用いうる。そのようなガラス製造装置は、任意で、ガラスシート、および／または、ガラスリボンを大量の溶融材料から形成するガラス形成装置などを含みうる。例えば、ガラス製造装置は、任意で、スロットドロー装置、フロートバス装置、ダウンドロー装置、アップドロー装置、プレスローリング装置、または、他のガラス形成装置などのガラス形成装置を含みうる。更に、本開示を行うために、必須ではないが、そのようなガラス製造装置は、予め形成されたガラスリボンを保存する保存装置を含みうる。例えば、不図示であるが、ガラス製造装置は、任意で、保存スプールに巻かれた、ある長さのガラスリボンを含む保存スプールを含む。いくつかの実施形態において、ガラスリボンがガラス製造装置を用いて形成される時に、ガラスリボンが室温より高い温度を有する間に、装置はガラスリボンを支持しうる。代わりの実施形態において、装置を用いて、室温まで冷却されたガラスリボンを支持しうる。更なる実施形態において、本開示の装置は、ガラスシートの形状のガラスリボンを支持しうる。本開示を行うために、ガラスリボンと称する場合は、ガラス製造装置から引き出されているガラスリボン、ガラスリボンの保存スプールから解かれるガラスリボン、および／または、より長いガラスリボンから分離されたガラスシートのことを称する。
【００３４】
その代わりに、支持装置または物体支持方法を、シリコンウエハ製造装置で、または、シリコンウエハ製造装置によって製造されたシリコンウエハの搬送中に用いうる。本開示の態様を組み込みうるシリコンウエハ製造装置の実施形態は、任意で、インゴット成長装置、スライス装置、ラッピング装置、および／または、清浄装置を含みうる。
【００３５】
図１は、物体を支持する支持装置１０１の実施形態を示す斜視図である。より完全に以下に記載するように、物体は、材料のシート（例えば、ガラスリボン、シリコンウエハ）、または、支持装置１０１によって係合されうる表面を含む他の物体を含みうる。図示した実施形態において、物体は、シート状のガラスリボン１０３に分離する前のガラスリボンを含みうるが、物体は、ガラスシートの形状のガラスリボン１０３も含む。例えば、ガラスリボン１０３は、ガラスリボンのスプールから引き出されるか、または、溶融材料をガラスリボンに形成する形成装置から引き出されうる。支持装置１０１が物体を支持して、物体の質量の少なくとも一部を支持する時に、支持装置１０１は物体の表面と係合しうる。例えば、図１に示したように、ガラスリボン１０３は、第１の主面１０５ａ、および、第２の主面１０５ｂを含み、ガラスリボン１０３の第１の主面１０５ａと第２の主面１０５ｂの間に、厚さ１０７が画定されうる。図示したように、支持装置１０１は、ガラスリボン１０３の第１の主面１０５ａと係合（例えば、物理的に接触）して、ガラスリボン１０３の質量の少なくとも一部を支持しうる。いくつかの実施形態において、図示したように、ガラスリボン１０３が支持装置１０１に対して進行方向１０９に沿って進行する間、支持装置１０１は、ガラスリボン１０３の第１の主面１０５ａと係合して、ガラスリボン１０３の質量の少なくとも一部を支持しうる。図示した実施形態において、進行方向１０９は、図示した方向座標「ｘ」に沿って水平に延伸し、それは、図示した方向座標「ｚ」に沿った重力に垂直でありうる。いくつかの実施形態において、進行方向１０９は、上に傾斜しうるもので、その場合には、進行方向１０９は、重力方向と反対の方向要素を含みうる。その代わりに、進行方向１０９は、下に傾斜しうるもので、その場合には、進行方向１０９は、重力方向の方向要素を含みうる。いくつかの実施形態において、進行方向１０９は、水平の進行経路、上に傾斜した経路、および／または、下に傾斜した経路の１つ以上の間で、高さが交互になりうる。更に、任意の実施形態において、ガラスリボン１０３は、方向座標「ｘ」として示した進行方向に対して、１つ以上の方向に傾きうる。そのような傾きを、例えば、図４の仮想線で示している。
【００３６】
図１は、本開示の実施形態の支持装置１０１を示す斜視図である。図示したように、支持装置１０１は、１つ以上の円柱状ロッド１１１を含みうる。図示した実施形態は、４つの円柱状ロッド１１１を描いているが、更なる実施形態は、１つ、２つ、３つ、または、４つより多くの円柱状ロッド１１１を含みうる。更に、図示したように、いくつかの実施形態において、各円柱状ロッド１１１は、互いに同一でありうるが、更なる実施形態において、異なる円柱状ロッドの設計も提供されうる。
【００３７】
いくつかの実施形態において、各円柱状ロッド１１１は、回転軸１１３に沿って、円柱状ロッド１１１の第１の端部１１５ａから第２の端部１１５ｂに延伸しうる。図示したように、回転軸１１３は、円柱状ロッド１１１の対称中心を通って延伸する線形の回転軸を含みうる。いくつかの実施形態において、複数の円柱状ロッド１１１のうち、１つ以上の円柱状ロッド１１１の回転軸１１３は、複数の円柱状ロッド１１１の１つ以上の他の円柱状ロッド１１１の回転軸１１３に平行でありうる。例えば、図１について、複数の円柱状ロッド１１１の全ての円柱状ロッド１１１の回転軸１１３が、水平方向に方向座標「ｙ」に、互いに平行に延伸しうる。その代わりに、いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１の１つ以上の回転軸１１３は、複数の円柱状ロッド１１１の１つ以上の他の円柱状ロッド１１１の回転軸１１３に対して鋭角で延伸するように配置されうる。例えば、図５に示した支持装置５０１の代わりの実施形態の上から見た平面図について、各円柱状ロッド１１１の各回転軸１１３は、他の各円柱状ロッド１１１に対して鋭角で延伸しうるが、更なる実施形態において、１つの円柱状ロッド１１１の回転軸１１３は、１つ以上の他の円柱状ロッド１１１の回転軸１３３に平行でありうる。図２および図４の端部からの立面図は、図１に示した支持装置１０１、および／または、図５の支持装置５０１を表しうる。したがって、図２および図４に示したように、いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１の回転軸１１３が（図１に示したように）互いに平行であるか、または、（図５に示したように）互いに角度をなすかに関わらず、円柱状ロッド１１１の回転軸１１３は、任意で、共通平面に沿って延伸しうる。
【００３８】
いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１のうち、１つの回転軸１１３は、他の円柱状ロッド１１１の回転軸１１３との共通平面に沿って延伸しない。例えば、図４について、仮想線で示した円柱状ロッド１１１の回転軸１１３と、実線で示した円柱状ロッド１１１の回転軸１１３は、互いに鋭角で延伸し、円柱状ロッド１１１の回転軸１１３との共通平面に沿って延伸しない。
【００３９】
図２に示したように、円柱状ロッド１１１の１つ、または、全部が、外周縁面２０１を含みうる。図示したように、外周縁面は、円柱状ロッド１１１の第１の端部１１５ａと第２の端部１１５ｂの間の円柱状ロッド１１１の中心部分に亘って同じ直径２０３を含みうる。したがって、いくつかの実施形態において、図１〜５に示したように、外周縁面２０１は、円柱表面を含みうる。不図示であるが、外周縁面２０１は、円柱状ロッドの中心部分に亘って同じ直径２０３を有する円柱表面以外の形状を有しうる。例えば、外周縁面は、支持装置１０１によって支持されるガラスリボン１０３の曲率に一致する形状を含みうる。更なる実施形態において、外周縁面２０１は、ガラスリボン１０３の搬送中に、ガラスリボン１０３の位置合わせを容易にするように設計されうる。例えば、いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１の中心部分の中間部分は、第１の端部１１５ａおよび第２の端部１１５ｂの各方向に向かって増加する小さい直径を有しうる。そのような実施形態において、外周縁面２０１は、第１および第２の端部１１５ａ、１１５ｂに向かって、外側に広がる。そのような実施形態は、曲がったガラスリボン１０３の形状に合わせるのを助けうる。更に、ガラスリボン１０３は可撓性でありうるもので、その場合には、ガラスリボン１０３は、一時的に曲がって、曲がった構成になり、ガラスリボン１０３が円柱状ロッド１１１の中心部分の中間を辿るようにして、搬送中に適切な位置合わせで、ガラスリボン１０３を位置合わせするのを助けうる。更なる実施形態において、円柱状ロッド１１１の直径２０３は、その長さに亘って、連続的に、または、非連続的に変化しうる。更なる実施形態において、円柱状ロッド１１１は、支持されている物体（例えば、ガラスリボン１０３）に接触する領域において、他の領域とは異なる直径を含みうる。
【００４０】
いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１は、高い融点、低い熱伝導率、低い熱膨張率、および、適度の静的摩擦係数を有する材料から製作されうる。円柱状ロッド１１１は、支持装置１０１の動作温度と考えられうる、支持されている物体（例えば、ガラスリボン１０３）の温度で、機械的特性を維持するように設計されうる。いくつかの実施形態において、物体は、新たに引き出されたガラスリボン１０３でありうる。そのような実施形態において、円柱状ロッド１１１は、１６００℃より高い融点を有する材料から製作されうる。円柱状ロッド１１１が非晶質材料を含む場合、動作温度は、材料のガラス転移温度より低い温度でありうる。いくつかの実施形態において、支持されている物体（例えば、ガラスリボン１０３）の温度は、約−５０℃から約１２００℃、または、約５００℃から約１２００℃の範囲内でありうる。
【００４１】
更に、円柱状ロッド１１１は、低い熱伝導率を有する材料からも製作されうる。そのような実施形態において、円柱状ロッド１１１は、重要なヒートシンクとして作用しないか、および／または、支持されている物体（例えば、ガラスリボン１０３）に行われる任意の加熱または冷却動作に大きな影響を与えないものでありうる。いくつかの実施形態において、物体は急速に冷却されうるが、他の実施形態において、物体は、アニーリングするために、所定の温度範囲に保持されうる。そのような実施形態について、材料は、約３０Ｗｍ−１Ｋ−１以下、約０．０１Ｗｍ−１Ｋ−１から約５０Ｗｍ−１Ｋ−１、または、約０．２５Ｗｍ−１Ｋ−１から約３０Ｗｍ−１Ｋ−１の熱伝導率を含みうる。他の実施形態において、より高い熱伝導率も許容しうる。
【００４２】
更に、円柱状ロッド１１１は、低い熱膨張率を有する材料から製作されうる。必須ではないが、低い熱膨張率は、円柱状ロッド１１１が、その長さに亘って熱不均一性に曝された場合でも、円柱状ロッド１１１の比較的一貫した寸法安定性を可能にしうる。例えば、いくつかの実施形態において、目標内部張力または圧縮応力プロファイルを得るために、特定の熱プロファイルを、支持されている物体に与えうる。更に、そのような条件下で、円柱状ロッド１１１は、変形も反りも生じないことがありうる。低い熱膨張率が望ましい実施形態について、材料は、約１０×１０−６Ｋ−１以下、約０．１５×１０−６Ｋ−１から約３０×１０−６Ｋ−１、または、約３×１０−６Ｋ−１から約２０×１０−６Ｋ−１の熱膨張率を有しうる。
【００４３】
いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１は、支持された物体（例えば、ガラスリボン１０３）を横切る実施形態について適度の静的摩擦係数を有する材料から製作されうる。円柱状ロッド１１１に物体の進行方向１０９に伝達される力が、円柱状ロッド１１１に伝達される物体の質量によって生成される垂直抗力と、物体と円柱状ロッド１１１の間の静的摩擦係数との積より小さい限りは、物体が支持面１１９に対して平行移動する間に、円柱状ロッド１１１は、物体の移動を阻止することなく、回転軸１１３を中心に回転しうる。いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１が物体と係合した時に円柱状ロッド１１１の回転に対する抵抗を最小するために、円柱状ロッド１１１は空洞管を含み、質量の小さい円柱状ロッド１１１を提供し、それに対応して、慣性モーメントを低下させうる。したがって、円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１に対する物体（例えば、ガラスリボン１０３）の摺動を防ぎ、それにより、円柱状ロッド１１１の摩耗、および／または、ガラスリボン１０３の第１の主面１０５ａの破損を防ぎうる。いくつかの実施形態において、物体の支持面に対する円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１の摺動を防ぐために、円柱状ロッド１１１は、過度に低い静的摩擦係数を有さないようにしうる。いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１の材料は、約０．３から約１．０、約０．２から約１．５、または、約０．３５から約０．７５の範囲内の静的摩擦係数を含みうる。
【００４４】
いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１は、アルミナを含みうる。他の実施形態において、円柱状ロッド１１１は、石英ガラスを含みうる。更に他の実施形態において、円柱状ロッド１１１は、酸化アルミニウムと二酸化ケイ素の組合せを含む鉱物であるムライトを含みうる。更に他の実施形態において、円柱状ロッド１１１は、炭化ケイ素、ＳｉＣを含みうる。いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１は、グラファイトを含みうる。更なる実施形態において、円柱状ロッド１１１は、アルミナ、石英ガラス、ムライト、および、炭化ケイ素からなる群から選択された２つ以上の組合せを含みうる。
【００４５】
図１〜５に示したように、支持装置１０１、５０１の実施形態は、各円柱状ロッド１１１に、円柱状ロッド１１１の第１の端部１１５ａに第１の凸状の球欠部１１７ａ、および、円柱状ロッド１１１の第２の端部１１５ｂに第２の凸状の球欠部１１７ｂを備えうる。本開示を通して、凸状の球欠部は、凸状の球欠部の外側凸状表面によって囲まれる部分の任意の２つの点は、凸状の球欠部のその外側表面とは交差しない線によって接続されうるという特性を含みうる。例えば、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの外側凸状表面３１９（図３を参照）によって囲まれる。更に図３に示したように、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、略中実でありうるが、更なる実施形態において、空洞の凸状の球欠部も提供されうる。
【００４６】
いくつかの実施形態において、第１の凸状の球欠部１１７ａ、および／または、第２の凸状の球欠部１１７ｂを、対応する第１および第２の端部１１５ａ、１１５ｂに取り付けうる。例えば、図３に示したように、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの内側にネジ山を有する穴３０３に、ネジで受け付けられうる外側ネジ山部分３０１を、各第１および第２の端部１１５ａ、１１５ｂに備えうる。いくつかの実施形態において、ネジによる接続は、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを、円柱状ロッド１１１の対応する第１および第２の端部１１５ａ、１１５ｂから取り外すのを可能にしうる。更なる実施形態において、ネジによる接続は、永久的接続を含みうるものであり、その場合、例えば、ネジによる接続は互いに圧入される。更なる実施形態において、接着剤を用いて、接続を容易に行いうる。更なる実施形態において、ネジによる接続を行わなくてもよい。例えば、第１および第２の端部１１５ａ、１１５ｂは、ネジによる接続を行わずに、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの穴に圧入されうる。更なる実施形態において、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、円柱状ロッド１１１と一体に形成されうる。例えば、モノリシックな材料の塊を機械加工して（例えば、旋盤で回転させて）、同じモノリシックな塊から、円柱状ロッド１１１および凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを形成しうる。更なる実施形態において、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、円柱状ロッド１１１の対応する端部１１５ａ、１１５ｂに溶接されうる。
【００４７】
いくつかの実施形態において、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、中実で穴（例えば、内側にネジ山を有する穴３０３）を有するが、更なる実施形態において、第１および第２の凸状の球欠部は、空洞物を含みうる。球欠部を空洞物として提供することで、使用中に円柱状ロッド１１１を回転させる力を削減して、したがって、円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１と物体の支持面（例えば、ガラスリボン１０３の第１の主面１０５ａ）との間で、意図しない滑りを防ぎうる。いくつかの実施形態において、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、円柱状ロッド１１１と同じ組成物を含みうる。他の実施形態において、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、円柱状ロッド１１１について記載した例示的な材料の１つ、または、組合せを含みうる。更に他の実施形態において、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、円柱状ロッド１１１の材料の熱膨張率との差が約１０×１０−６Ｋ−１以下、約５×１０−６Ｋ−１以下、または、約１×１０−６Ｋ−１以下である熱膨張率を有する材料を含みうる。
【００４８】
第１の凸状の球欠部１１７ａ、および、第２の凸状の球欠部１１７ｂは、関連した円柱状ロッドの回転軸１１３を中心とした回転動作に対する摩擦抵抗を削減するように構成されうる。したがって、円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１と物体の支持面（例えば、ガラスリボン１０３の支持された第１の主面１０５ａ）との間の滑りが削減されて、傷や汚れのないガラスリボン１０３の第１の主面１０５ａを維持するのを助け、更に、いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１の破損を削減するのを助けうる。いくつかの実施形態において、次に記載するように、第１の凸状の球欠部１１７ａ、および、第２の凸状の球欠部１１７ｂは、各々、流体緩衝部３２５上で浮かせられて、円柱状ロッド１１１の回転中の摩擦を削減するのを助けうる。
【００４９】
第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを流体緩衝部３２５（例えば、気体緩衝部）上で浮かせることは、広範囲の様々な方法で実現されうる。いくつかの実施形態において、支持装置１０１、５０１は、第１の凸状の球欠部１１７ａの一部を受け付ける第１の領域、および、第２の凸状の球欠部１１７ｂの一部を受け付ける第２の領域を含みうる。第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを受け付ける第１および第２の領域は、支持面１１９内に（つまり、支持面１１９に一体の部分として）含められうる。その代わりに、図１に示したように、第１および第２の領域は、支持面１１９に対して載置されるように提供されうる第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂによって提供されうる。そのようにして、支持装置１０１、５０１はカスタマイズされて、予め製作された支持面１１９に設置されうる。例えば、図１に示したように、特定の利用例に応じて、各第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、各々が支持面１１９に所定の位置で載置されうる対応する第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂと共に含められうる。第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂは、取付け部材１２３を介して、支持面１１９に固定されうる。いくつかの実施形態において、取付け部材１２３は、スナップ、クラスプ、ネジ、ボルト、バックル、面ファスナー、ラッチ、結束バンド、ストラップ、ピン、または、ペグでありうる。
【００５０】
他の実施形態において、図２に概略的に示したように、支持装置は、任意で、対応する領域を含む対応する基部１２１ａ、１２１ｂを、支持面１１９に対して、円柱状ロッド１１１の回転軸１１３の方向１２４に調節自在に載置するように構成された１つ以上の接合部１２５も備えうる。例えば、図示したように、第１の基部１２１ａは、支持面１１９に対して、第１の基部１２１ａを支持面に対して対応する円柱状ロッド１１１の回転軸１１３の方向１２４に沿って平行移動させる接合部１２５を用いて載置されうる。追加で、または、その代わりに、第２の基部１２１ｂは、支持面１１９に対して、第２の基部１２１ｂを支持面１１９に対して対応する円柱状ロッド１１１の回転軸１１３の方向１２４に沿って平行移動させる接合部１２５を用いて載置されうる。そのような実施形態において、少なくとも１つの基部１２１ａ、１２１ｂを支持面１１９に対して接合部１２５を用いて調節自在に載置して、円柱状ロッド１１１の回転軸１１３の方向１２４に沿って平行移動させることで、第１の基部１２１ａと第２の基部１２１ｂの間の距離を調節して、使用中の温度変化による円柱状ロッド１１１の回転軸１１３に沿った熱膨張または収縮、並びに、支持装置１０１の他の部分の熱膨張または収縮を補償することが可能になりうる。いくつかの実施形態において、接合部１２５は、摺動接合部、ピンスロット接合部、または、空気ベアリングを含みうる。
【００５１】
図３に示したように、各第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂは、各第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの対応する部分３１１を受け付ける対応する領域３０５を含みうる。図３に示したように、各第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂは、領域３０５に外接する対応する縁部３０７を含みうる。図３に示したように、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの突出部分３０９は、対応する縁部３０７より上で領域３０５の外側に突出し、一方、各第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの対応する部分３１１（例えば、下側の対応する部分）は、対応する縁部３０７の下方で領域３０５内で延伸しうる。いくつかの実施形態において、対応する縁部の下方に延伸する第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの外側凸状表面３１９の一部は、外側凸状表面３１９の中心点を含み、球面で凹状に窪んだ表面３１３の対向する外周縁点と交差する２つのベクトルの間の角度「Ａ」によって画定された弧状部を含みうる。角度「Ａ」によって画定された弧状部を、外側凸状表面３１９の中心点を通り、更に、球面で凹状に窪んだ表面３１３の対称中心軸を通って延伸する軸を中心として回転させて、縁部３０７の下方に延伸する外側凸状表面３１９の一部を画定しうる。いくつかの実施形態において、角度「Ａ」は、約２０°から約１７５°、約４５°から約１７０°、または、約７０°から約１６５°など、約１０°から約１８０°の範囲でありうるが、他の角度も提供されうる。いくつかの実施形態において、角度「Ａ」は、約１８０°以下で、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを領域３０５から垂直に引き上げるのを可能にしうる。
【００５２】
本開示を通して、凸状の球欠部が空気緩衝部によって支持されている間は、円柱状ロッドが物体を支持した状態で支持装置を用いて動作する時に、凸状の球欠部は、基部によって自由に支持されていると考えられ、凸状の球欠部を、基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５から、基部１２１ａ、１２１ｂから離れるように取り外しうる。いくつかの実施形態において、凸状の球欠部が空気緩衝部によって支持されている間は、円柱状ロッドが物体を支持した状態で支持装置を用いて動作する時に、凸状の球欠部を、基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５から垂直に引き上げて、基部１２１ａ、１２１ｂから垂直に離れるようにするのを阻止する構造物がない点で、凸状の球欠部は、基部によって自由に支持されうる。例えば、図２に示したように、各凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、対応する基部１２１ａ、１２１ｂによって自由に支持されるので、円柱状ロッド１１１、および、対応する凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを、単に円柱状ロッド１１１を垂直に重力と反対方向に引き上げることで分解しうる。凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを領域３０５から垂直に引き上げるのを阻止する構造物がないので、分解可能にする前に分離または取り外すべき部分がないことから、円柱状ロッド１１１の分解を簡単にしうる。更に、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、対応する基部１２１ａ、１２１ｂによって自由に支持されるように構成されるので、更なる組立てを行うことなく、円柱状ロッド１１１に取り付けられた凸状の球欠部１１７ａ、１１７を単に対応する基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５に落下させることによって、機能的ユニットを提供して、支持装置の意図した機能を行う能力を提供しうることから、円柱状ロッド１１１を基部１２１ａ、１２１ｂに対して設置するのが簡単になる。
【００５３】
図３を参照すると、図示した凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、対応する基部１２１ａ、１２１ｂによって、約１８０°以下の角度「Ａ」で支持され、それは、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを領域３０５から垂直に引き上げうることを意味する。他の実施形態において、クラムシェルアタッチメントトップ（例えば、ケージ）を備えて、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂが対応する領域３０５から意図に反して外れるのを防ぎながら、有効角度「Ａ」が約１８０°以上になるのを可能にしうる。しかしながら、いくつかの実施形態では、（例えば、約１８０°以下の有効角度「Ａ」で）球欠部を閉じ込めずに、支持装置１０１、５０１の組立て、および、分解を簡単にし、更に、流体流３２９が間隙３２３に供給されている状態で、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂ、並びに、隣接した領域を清浄、および／または、冷却するのも容易にしうる。更に、いくつかの実施形態において、角度「Ａ」を減少させることで、円柱状ロッド１１１の直径２０３からの隙間、および、いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１と基部の関連した縁部３０７との間での干渉によって制限されうる図４に実線で示した位置と図４に仮想線で示した位置の間での傾きを可能にしうる。更に、角度「Ａ」は、動作中に凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂが領域３０５から意図に反して飛び出るのを防ぐように、十分大きい角度が選択されうる。
【００５４】
図示したように、第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂの窪んだ表面３１３は、対応する領域３０５を画定しうる。図示したように、第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５は、縁部３０７の下方に最大深さ３１５で窪みうる。領域３０５の最大深さ３１５は、縁部３０７と画定する領域３０５の窪んだ表面３１３の最も低い点の間の垂直距離として画定されうる。いくつかの実施形態において、最大深さ３１５は、対応する第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの外側凸状表面３１９の半径３１７の約２０％から約１００％、約４０％から約９０％、または、約６０％から約９０％の範囲内、若しくは、約８０％でありうる。各円柱状ロッド１１１の凸状の球欠部に関連した対応する第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂに関連した領域３０５の最大深さ３１５は、同じか、または、互いに異なりうる。
【００５５】
図示したように、第１の凸状の球欠部１１７ａの外側凸状表面３１９の半径３１７は、第２の凸状の球欠部１１７ｂの外側凸状表面３１９の半径３１７と同一でありうる。不図示であるが、いくつかの実施形態において、第１の凸状の球欠部１１７ａの外側凸状表面３１９の直径３１７は、第２の凸状の球欠部１１７ｂの外側凸状表面３１９の半径３１７と異なりうる。例えば、図示したように、いくつかの実施形態において、第１の凸状の球欠部１１７ａ、および、対応する第１の基部１２１ａは、第２の凸状の球欠部１１７ｂ、および、対応する第２の基部１２１ｂと同一の鏡像でありうる。不図示であるが、いくつかの実施形態において、第１の凸状の球欠部１１７ａ、および、対応する第１の基部１２１ａは、第２の凸状の球欠部１１７ｂ、および、対応する第２の基部１２１ｂと同一の鏡像でなくてもよい。例えば、第１の凸状の球欠部１１７ａ、および、対応する第１の基部１２１ａは、第２の凸状の球欠部１１７ｂ、および、対応する第２の基部１２１ｂと異なるサイズ（例えば、より大きい、または、より小さいサイズ）であるか、または、第２の凸状の球欠部１１７ｂ、および／または、対応する第２の基部１２１ｂの特徴と同じではない他の特徴を有しうる。
【００５６】
領域３０５を画定する窪んだ表面３１３は、広範囲の形状およびサイズを含みうる。例えば、いくつかの実施形態において、窪んだ表面は、垂直の円柱側面で、平坦または他の形状の底面を含みうる。他の実施形態において、窪んだ表面は、上方に向かって円錐状または円錐台状の形状を含みうる。更に他の実施形態において、窪んだ表面は、上方に向かって楕円体状の形状など、上方に向かって凹状の形状を含みうる。更なる実施形態において、図３に示したように、窪んだ表面は、半径３２１を有する球面凹状部分の球面で凹状に窪んだ表面３１３を含みうる。いくつかの実施形態において、図示したように、球面凹状部分の球面で凹状に窪んだ表面３１３の半径３２１は、対応する第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの外側凸状表面３１９の半径３１７より大きい半径でありうるが、更なる実施形態において、半径３２１は半径３１７に等しい半径でありうる。
【００５７】
半径３２１が半径３１７より大きい実施形態において、半径の差は、球面凸状表面３１９と球面凹状部分の球面で凹状の窪んだ表面３１３の間の一貫した間隔３２３を画定しうる。流体流３２９を循環させる時に、一貫した間隙３２３は、一定の厚さ（例えば、半径３２１と半径３１７の差）の流体緩衝部３２５を生じるのを可能にし、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂに対して浮かせて、それらの間での物理的接触を防いで、摩擦を最小に、それにより、関連した円柱状ロッド１１１の回転動作に対する抵抗を最小にしうる。いくつかの更なる実施形態において、外側凸状表面３１９の半径３１７は、球面凹状部分の球面で凹状に窪んだ表面３１３の半径３２１より、約２０％以下、約１５％以下、約１０％以下、約５％以下、約２％以下、約１％以下だけ小さい半径でありうる。更なる実施形態において、外側凸状表面３１９の半径３１７は、球面凹状部分の球面で凹状に窪んだ表面３１３の半径３２１より、約１％から約２０％の範囲内の約１％から約１５％、約１％から約１０％、または、約１％から約５％だけ小さい半径でありうる。
【００５８】
支持装置１０１、５０１は、更に、各第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５と流体連通する流体ポート３２７を含みうる。いくつかの実施形態において、図３に示したように、流体ポート３２７は、第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂの窪んだ表面３１３の底部の単一のオリフィスから構成されうる。他の実施形態において、流体ポートは、窪んだ表面３１３に複数のオリフィスを含みうる。更なる実施形態において、複数のオリフィスは、窪んだ表面３１３の断面に沿って等間隔で離間しうる。他の更なる実施形態において、複数のオリフィスは、窪んだ表面３１３の複数の断面に亘って分布しうる。任意のこれらの更なる実施形態において、各オリフィス、または、オリフィスの部分集合を通って流れる流体流３２９は、制限部、スロットル、バルブ、または、リレー制御作動部を用いて、他のオリフィスと独立に制御されうる。いくつかの実施形態において、流体ポート３２７は、単に開口部を含みうる。他の実施形態において、流体ポート３２７は、一方通行バルブを含みうる。更に他の実施形態において、図３に示したように、流体ポート３２７は、図示した栓開口部３３０を有する栓３２８などの制限部分であるポケット補償オリフィスを含みうる。図示したように、いくつかの実施形態において、栓開口部３３０は、制限部分の上流側および下流側の位置でのフロー領域に垂直な平面に沿った導管３３３の断面積より小さいフロー方向に垂直な平面に沿った断面積を含む。確かに、いくつかの実施形態において、図３に示したように、栓開口部３３０を有する栓３２８は、導管３３３内に圧入されて、導管３３３内で流体ポート３２７の上流側の位置に後退されうる。そのような実施形態において、制限部分（例えば、栓３２８）の後方の導管のポケット３３２の体積が、間隙３２３の変化、または、対応する円柱状ロッド１１１の荷重により生じる流体流３２９の変動を低下させるのに十分でありうるので、空気圧ハンマー動作が不安定になるのを回避しうる。流体ポート３２７は、各々、窪んだ表面３１３を通る上記のような１つ以上の開口部を含み、流体流３２９を間隙３２３に供給して、流体緩衝部３２５を生成維持し、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを対応する基部１２１ａ、１２１ｂに対して浮かせうる。いくつかの実施形態において、図示した加圧ホース３３１などの流体供給部は、各対応する基部１２１ａ、１２１ｂの導管３３３に連結されて、流体流３２９を流体ポート３２７に、次に、領域３０５に送出しうる。
【００５９】
いくつかの実施形態において、流体流３２９は、気体、例えば、空気、窒素、ヘリウム、アルゴン、二酸化炭素、または、それらの混合物を含みうる。そのような実施形態において、流体流３２９は空気以外の気体を含んでいても、図３に示した支持装置１０１の一部を、空気ベアリングと称し、間隙３２３内の流体緩衝部３２５を空気緩衝部と称しうる。そのような実施形態において、流体は、容易に圧縮自在でありうる。したがって、流体供給部からの圧縮気体は、流体ポート３２７および間隙３２３を通る時に、気体の圧力変化に比例して膨張するので、ボイルの法則および理想気体の法則によって予測されるように、流体流３２９は、間隙３２３に関連した構造物を、当然冷却しうる。他の実施形態において、流体流３２９は、蒸気、例えば、スチーム、または、超臨界流体、例えば、超臨界二酸化炭素を含みうる。更に他の実施形態において、流体流３２９は、液体、例えば、水を含みうる。いくつかの実施形態において、流体供給部は、ポンプ、キャニスタ、カートリッジ、ボイラー、圧縮部、および／または、圧力槽を含みうる。
【００６０】
間隙３２３を通って循環した流体流３２９は、流体緩衝部３２５を供給して維持することに追加で、いくつかの技術的利点の少なくとも１つを提供しうる。例えば、流体流３２９の循環により、間隙３２３を画定する表面３１９、３１３を対流により冷却しうる。更に、流体流３２９の循環は、外側凸状表面３１９から、および、間隙３２３の近傍で、望ましくない破片または他の粒子を除去するか、および／または、それらが蓄積するを防ぐ自浄機能も行いうる。流体流３２９が圧縮自在である実施形態において、上記のように、圧縮自在の流体流は、膨張すると、間隙３２３を画定する表面３１９、３１３を冷却するか、または、それらの温度制御を提供しうる。更に、圧縮自在の流体流は、支持されている物体（例えば、ガラスリボン１０３）を周囲の振動から隔離するのを助けうる。流体流３２９が低い粘度を有する実施形態において、流体緩衝部３２５によって支持されている凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの回転により低い摩擦および低い熱生成がありうる。例えば、気体流は、約２×１０−５Ｐａ・ｓ以下の粘性係数を有し、一方、水は、約０．００１Ｐａ・ｓの粘性係数を有する。そのような実施形態において、低い粘度は、約１０−３Ｐａ・ｓ以下、約１０−４Ｐａ・ｓ以下、または、約２×１０−５Ｐａ・ｓ以下でありうる。流体緩衝部３２５上に浮かせられた凸状の球欠部１１７ａの回転について摩擦力が低いと、支持されている物体（例えば、ガラスリボン１０３）の移動に対する抵抗を低下させ、それは、物体（例えば、ガラスリボン１０３）の表面（例えば、第１の主面１０５ａ）と円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１との間での摺動摩擦の発生を削減するのを助けうる。
【００６１】
ここで、支持装置１０１、５０１の組立て方法の実施形態を記載する。図１に示したように、一実施形態において、第１および第２の基部１２１ａ、１２１ｂは、支持面１１９に対して固定されうる。例えば、いくつかの実施形態において、全ての第１の基部１２１ａは、線形経路に沿って互いに位置合わせされ、次に、取付け部材１２３（例えば、セルフタッピングネジ、または、他の固定部）を用いて、支持面１１９に取り付けられうる。次に、第１の凸状の球欠部１１７ａは、各対応する第１の基部１２１ａの領域３０５に挿入されうる。次に、第２の基部は、互いに、および、各対応する第２の基部１２１ｂの領域３０５内に配置された対応する第２の凸状の球欠部１１７ｂと位置合わせされて配置されうる。したがって、対応する対になった基部１２１ａ、１２１ｂの円柱状ロッド１１１に関連した第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、既に、対応する領域３０５内に適切に配置されているので、対応する対になった基部１２１ａ、１２１ｂの間の間隔を適切にしうる。第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂが対応する領域３０５内に適切に配置された状態で、基部１２１ａ、１２１ｂが間隔をあけて配置されると、第２の基部１２１ｂを支持面１１９に取付け部材１２３を用いて固定しうる。
【００６２】
更に、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの幾何学形状は、支持装置１０１、５０１の性能に大きな影響を与えることなく、１つ以上の回転軸１１３が他の回転軸１１３に対して位置ずれするのを許容しうる。例えば、いくつかの実施形態において、各円柱状ロッド１１１の回転軸１１３の平行な位置合わせを設置中に行いうるが、それでも、設置誤差または支持面１１９の特性により、位置ずれを生じうる。したがって、図４〜５に示したように、最終的に、１つ以上の円柱状ロッド１１１の回転軸１１３が互いに平行でなく配列されることが起こりうる。しかしながら、位置ずれした場合でも、搬送を、進行方向１０９に沿って行いうる。例えば、僅かな位置ずれは、堅い物体（例えば、堅いガラスリボン１０３）に大きな影響を与えないものでありうる。更に、大きな位置ずれであっても、可撓性リボンは、円柱状ロッド１１１によって画定される任意の非平面搬送経路に沿って曲がるのにすぎないので、可撓性物体（例えば、可撓性ガラスリボン１０３）の搬送を可能にしうる。確かに、流体流３２９が円柱状ロッドの第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを支持する空気緩衝部を生成する時に、縁部３０７が円柱状ロッド１１１より低い場合には、円柱状ロッド１１１の図４の紙面から出る方向（つまり、ｘｙ平面で）の回転は、受付け部分によって妨げられない。更に、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの中心の第１の点と、第１の点から最も遠い縁部３０７上の第２の点とを接続する線によって形成された角度が、円柱状ロッド１１１の凸状の球面端部同士の垂直方向の位置ずれより大きい限りは、円柱状ロッドの回転は、「ｚ」方向の僅かな、または、中程度の位置ずれの場合にも、受付け部分または縁部３０７によって妨げられない。したがって、凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、支持装置１０１、５０１の設置を簡略にし、設置費用を削減し、更に、支持装置１０１、５０１を不規則な支持面１１９に設置するのを可能にし、物体（例えば、ガラスリボン１０３）の搬送中に円柱状ロッド１１の回転に対する摩擦抵抗を削減するのを助けうる。
【００６３】
いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１は、第１の円柱状ロッド１１１の第１の回転軸１１３に垂直でありうる第１の凸状の球欠部１１７ａ、および／または、第２の凸状の球欠部１１７ｂの第１の枢動軸を中心に枢動自在に調節されうる。更なる実施形態において、図１、２、４、５において参照番号１１８ａ、１１８ｂで示したように、第１の枢動軸は「ｚ」方向でありうる。いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１は、対応する凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂの第１の枢動軸（例えば、１１８ａ、１１８ｂ）を中心に、約１０°から約３０°の調節角度で、更に、いくつかの実施形態において、約１０°から約３６０°の調節角度で枢動されうる。更なる実施形態において、円柱状ロッド１１１は、円柱状ロッド１１１の第１の回転軸１１３および第１の枢動軸（例えば、１１８ａ、１１８ｂ）の両方に垂直でありうる第１の凸状の球欠部１１７ａ、および／または、第２の凸状の球欠部１１７ｂの第２の枢動軸を中心に、枢動自在に調節されうる。そのような実施形態において、図１、２、４、５において参照番号１２０ａ、１２０ｂで示したように、第２の枢動軸は「ｘ」方向でありうる。いくつかの実施形態において、更なる枢動が円柱状ロッド１１１と基部１２１ａ、１２１ｂとの間での係合によって妨げられる前に、円柱状ロッド１１１は、第２の枢動軸（例えば、１２０ａ、１２０ｂ）を中心に、約１０°から約３０°の調節角度で枢動されうる。例えば、図４に示したように、円柱状ロッド１１１と基部１２１ｂの縁部３０７の相互作用が、それらの間の接触により、更なる枢動を妨げる前に、図４に破線で示したように、円柱状ロッド１１１は、第１の凸状の球欠部１１７ａの第２の枢動軸（例えば、１２０ａ）を中心に、約１０°から約３０°の調節角度で枢動されうる。
【００６４】
他の実施形態において、図１、２、４、５において参照番号１２０ａで示したように、第１の枢動軸は、「ｘ」方向でありうる。いくつかの実施形態において、第１の円柱状ロッド１１１は、第１の凸状の球欠部１１７ａ、および／または、第２の凸状の球欠部１１７ｂの第１の枢動軸（例えば、１２０ａ、１２０ｂ）を中心に、約１０°から約３０°の調節角度で枢動しうる。いくつかの実施形態において、更なる枢動が円柱状ロッド１１１と基部１２１ａ、１２１ｂとの間の係合によって妨げられる前に、円柱状ロッド１１１は、第１の枢動軸（例えば、１２０ａ、１２０ｂ）を中心に、約１０°から約３０°の調節角度で枢動されうる。ここでも、例えば、図４に示したように、円柱状ロッド１１１と基部１２１ｂの縁部３０７との間の相互作用が、それらの接触により、更なる枢動を妨げる前に、図４に破線で示したように、円柱状ロッド１１１は、第１の凸状の球欠部１１７ａの第１の枢動軸（例えば、１２０ａ）を中心に、約１０°から約３０°の調節角度で枢動されうる。
【００６５】
いくつかの実施形態は、上記支持装置１０１、５０１を用いた物体（例えば、ガラスリボン１０３）の支持方法を含む。いくつかの実施形態において、流体流３２９は、加圧ホース３３１から導管３３３を通り、更に流体ポート３２７を通って、各対応する基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５へと通過し、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを、各々、流体緩衝部３２５の上に浮かせうる。いくつかの実施形態において、流体流３２９は、空気流を含み、流体緩衝部３２５は、空気緩衝部を含む。そのような実施形態において、物体（例えば、ガラスリボン１０３）は、そのような支持装置１０１、５０１によって、物体の第１の主面１０５ａを円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１と係合させて、円柱状ロッド１１１が物体の質量（例えば、ガラスリボン１０３の質量）を支持することにより支持されうる。更なる実施形態において、物体（例えば、ガラスリボン１０３）が進行方向１０９に沿って平行移動する時に、各第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂが、各々、流体緩衝部３２５上に浮かせられる間に、円柱状ロッド１１１は、関連した第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂと共に回転しうる。更なる実施形態において、第１の円柱状ロッド１１１が物体（例えば、ガラスリボン１０３）を支持し、各第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂが、各々、流体緩衝部に浮かせられる間に、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂは、対応する基部１２１ａ、１２１ｂの領域３０５によって自由に支持されうる。他の流体の実施形態において、第１の円柱状ロッド１１１が物体（例えば、ガラスリボン１０３）を支持する間に、第１の円柱状ロッド１１１の熱膨張または収縮を補償するために、第１の基部１２１ａは、第１の円柱状ロッド１１１の第１の回転軸１１３の方向に、支持面１１９に対して（例えば、接合部１２５を用いることによって）平行移動され、第１の基部１２１ａと第２の基部１２１ｂの間の距離が調節されうる。
【００６６】
様々な物体を、本開示の支持装置１０１、５０１によって支持しうる。いくつかの実施形態において、上記のように、物体は、ガラスシートなどのガラスリボン１０３を含みうる。ガラスシートは、例えば、表示部利用において、例えば、液晶表示部（ＬＣＤ）、電気泳動表示部（ＥＰＤ）、有機発光ダイオード表示部（ＯＬＥＤ）、プラズマ表示パネル（ＰＤＰ）などで一般に使用される。ガラスシートは、一般に、溶融ガラスを形成体に流すことによって製作され、ガラスリボン１０３は、様々なリボン形成処理、例えば、スロットドロー、フロート、ダウンドロー、フュージョンダウンドロー、ローリング、チューブドローイング、または、アップドローなどによって形成されうる。ガラスリボン１０３の縁部は、ガラスリボン１０３の中心部分から分離されるか、および／または、ガラスリボン１０３は、個々のガラスシートに周期的に分離されうる。ガラスリボン１０３の中心部分を分離する前、ガラスシートをガラスリボン１０３から分離する前、または、ガラスシートをガラスリボン１０３から分離した後に、ガラスリボン１０３を支持装置１０１、５０１を用いて支持しうる。
【００６７】
いくつかの実施形態において、支持装置１０１、５０１は、ガラスリボン１０３を、形成後すぐで、分離する前、および／または、ガラスシートを含むガラスリボン１０３の一部に分離した後に、支持しうる。支持装置１０１、５０１は、ガラスリボン１０３を支持して、ガラスリボンが十分に冷却されて形状を保持するようになる前に、ガラスリボンに過度な張力、または、弛みが導入されるのを回避しうる。典型的には、ガラスは、一般にガラスリボン１０３の粘度が１０１４．５ポアズを超える温度として定義される歪点に到達する時までに、十分に冷却される。支持装置１０１、５０１を用いて支持することで、円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１との間で直に物理的接触を生じ、したがって、空気緩衝部が直にガラスリボンに影響を与えることを要しない。したがって、いくつかの実施形態において、円柱状ロッド１１１によって直に接触することで、ガラスリボン１０３を望ましくなく急速に冷却しすぎうる空気緩衝部の使用を回避して、ガラスリボン１０３に直に接触しうる。更に、円柱状ロッド１１１の外周縁面２０１によって物理的に接触しても、第１および第２の凸状の球欠部１１７ａ、１１７ｂを、各々、流体緩衝部３２５上で浮かせることによって、回転に対する摩擦抵抗を削減することにより、ガラスリボン１０３の主面１０５ａ、１０５ｂの傷や汚れのない表面を維持しうる。
【００６８】
物体の支持方法を、様々な利用例で用いうる。いくつかの利用例において、支持された物体は、ガラスリボン、切断されたガラスシート、シリコンウエハ、プラスチックフィルム、または、他の材料のシートでありうる。更なる利用例において、支持された物体は、物体を搬送するために、連続的に、または、断続的に移動されうる。
【００６９】
本明細書で用いるように、原文の英語で単数を表す定冠詞および不定冠詞は、「少なくとも１つ」を意味し、そうでないことが明示されない限りは、「１つのみ」に限定されるべきではない。したがって、例えば、不定冠詞を付けた「構成要素」は、文脈から、そうでないことが明らかでない限りは、そのような構成要素を２つ以上有する態様を含む。
【００７０】
本明細書で用いるように、「約」という用語は、量、サイズ、調合、パラメータ、並びに、他の量および特徴が、厳密でないか、厳密である必要はなく、許容度、換算係数、四捨五入、測定誤差など、および、当業者に知られた他の要因を反映して、近似値であるか、並びに／若しくは、望ましいように、より大きいか、または、より小さくてもよいことを意味する。値、または、範囲の端点を記載するのに、「約」という用語を用いた場合には、本開示は、その特定の値または端点を含むと理解すべきである。本明細書で、数値または範囲の端点に「約」を付けて記載したかに関わらず、数値または範囲の端点は、「約」で修飾した実施形態と「約」で修飾しない実施形態の２つの実施形態を含むことを意図する。更に、各範囲の端点は、他方の端点との関係でと、他方の端点とは独立にとの両方で、重要であることが理解されよう。
【００７１】
本明細書で用いるように、「備え」、および、「含み」という用語、並びに、それらの変化形は、別段の記載がない限りは、同義語であり、非限定的と解釈されるべきである。
【００７２】
本明細書で用いるように、「略」、および、「実質的に」という用語、並びに、それらの変化形は、記載した特徴が、値または記載に等しいか、または、概して等しいと表すことを意図する。例えば、「略平坦な」表面は、平坦か、または、概して平坦な表面を表すことを意図する。更に、既に定義したように、「略同様の」は、２つの値が等しいか、または、概して等しいことを表すことを意図する。いくつかの実施形態において、「略同様の」は、値が互いに約１０％以内、例えば、互いに約５％以内、または、互いに約２％以内であることを表しうる。
【００７３】
上記実施形態、および、それらの実施形態の特徴は、例示的なものであり、本開示の範囲を逸脱することなく、単独で、または、本明細書に提供した他の実施形態の任意の１つ以上の特徴と任意の組合せで提供されうる。
【００７４】
当業者には、本開示の精神および範囲を逸脱することなく、様々な変更および変形を行いうることが明らかだろう。したがって、本開示は、本開示の変更および変形も、添付の請求項、および、それらの等価物の範囲である限りは網羅することを意図する。
【００７５】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００７６】
実施形態１
支持装置において、
第１の凸状の球欠部を備えた第１の端部、および、第２の凸状の球欠部を備えた第２の端部を含み、前記第１の端部から前記第２の端部に第１の回転軸に沿って延伸する第１の円柱状ロッドと、
前記第１の円柱状ロッドが、該円柱状ロッドの前記第１の回転軸に垂直である前記第１の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成された第１の領域と、
前記第１の領域と流体連通する第１の流体ポートと、
前記第１の円柱状ロッドが、該円柱状ロッドの前記第１の回転軸に垂直で前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸に平行である前記第２の凸状の球欠部の第１の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の一部を受け付けるように構成された第２の領域と、
前記第２の領域と流体連通する第２の流体ポートと
を含む装置。
【００７７】
実施形態２
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが、該円柱状ロッドの前記第１の回転軸および前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸に垂直である該第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが、前記第１の凸状の球欠部の第２の枢動軸に平行で該円柱状ロッドの前記第１の回転軸および前記第２の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸に垂直である該第２の凸状の球欠部の第２の枢動軸を中心に枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、実施形態１に記載の支持装置。
【００７８】
実施形態３
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の凸状の球欠部の前記第２の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第２の凸状の球欠部の前記第２の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、実施形態２に記載の支持装置。
【００７９】
実施形態４
前記第１の球欠部は、前記第１の領域によって自由に支持されるように構成されたものであり、
前記第２の球欠部は、前記第２の領域によって自由に支持されるように構成されたものである、実施形態１から３のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８０】
実施形態５
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第２の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸を中心に約１０°から約３０°枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、実施形態１から４のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８１】
実施形態６
前記第１の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸を中心に３６０°枢動自在な状態で、該第１の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものであり、
前記第２の領域は、前記第１の円柱状ロッドが前記第２の凸状の球欠部の前記第１の枢動軸を中心に３６０°枢動自在な状態で、該第２の凸状の球欠部の前記一部を受け付けるように構成されたものである、実施形態５に記載の支持装置。
【００８２】
実施形態７
前記第１の領域を、支持面に対して、前記第１の円柱状ロッドの前記第１の回転軸の方向に調節自在に載置するように構成された接合部を、
更に含む、実施形態１から６のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８３】
実施形態８
第１の縁部が、前記第１の領域に外接し、
第２の縁部が、前記第２の領域に外接する、実施形態１から７のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８４】
実施形態９
前記第１の領域は、前記第１の縁部より、前記第１の凸状の球欠部の第１の半径の約２０％から約８０％の最大深さで窪んだものであり、
前記第２の領域は、前記第２の縁部より、前記第２の凸状の球欠部の第２の半径の約２０％から約８０％の最大深さで窪んだものである、実施形態８に記載の支持装置。
【００８５】
実施形態１０
前記第１の円柱状ロッドは、アルミナ、石英ガラス、ムライト、炭化ケイ素、および、グラファイトからなる群から選択された１つの材料、または、材料の組合せを含むものである、実施形態１から９のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８６】
実施形態１１
前記第１の領域は、第１の凹状部分によって画定されるものである、実施形態１から１０のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８７】
実施形態１２
前記第１の凹状部分は、第１の凹状の球欠部を含むものである、実施形態１１に記載の支持装置。
【００８８】
実施形態１３
前記第２の領域は、第２の凹状部分によって画定されるものである、実施形態１から１２のいずれか１つに記載の支持装置。
【００８９】
実施形態１４
前記第２の凹状部分は、第２の凹状の球欠部を含むものである、実施形態１３に記載の支持装置。
【００９０】
実施形態１５
第２の円柱状ロッドを、
更に含む、実施形態１から１４のいずれか１つに記載の支持装置。
【００９１】
実施形態１６
前記第１の円柱状ロッドの前記第１の回転軸は、前記第２の円柱状ロッドの第２の回転軸に平行である、実施形態１５に記載の支持装置。
【００９２】
実施形態１７
前記第１の円柱状ロッドの第１の回転軸は、前記第２の円柱状ロッドの第２の回転軸に対して鋭角で延伸するものである、実施形態１５に記載の支持装置。
【００９３】
実施形態１８
前記第１の回転軸および前記第２の回転軸は、共通平面に沿って延伸しないものである、実施形態１７に記載の支持装置。
【００９４】
実施形態１９
前記第１の回転軸および前記第２の回転軸は、共通平面に沿って延伸するものである、実施形態１６または１７に記載の支持装置。
【００９５】
実施形態２０
実施形態１から１９のいずれか１つに記載の支持装置を用いた物体支持方法において、
第１の流体流を第１の流体ポートを通って通過させて、前記第１の凸状の球欠部を浮かせる第１の流体緩衝部を形成する工程と、
第２の流体流を第２の流体ポートを通って通過させて、前記第２の凸状の球欠部を浮かせる第２の流体緩衝部を形成する工程と、
前記第１の円柱状ロッドを前記第１の流体緩衝部および第２の流体緩衝部によって支持する間に、前記物体の表面を、該物体の質量を支持する該第１の円柱状ロッドの外面と係合させる工程と
を含む物体支持方法。
【００９６】
実施形態２１
前記物体を進行方向に沿って横切る工程を、
更に含み、
前記物体は、前記第１の円柱状ロッドが前記第１の流体緩衝部および前記第２の流体緩衝部によって支持される間に、該第１の円柱状ロッドを、前記第１の回転軸を中心に回転させるものである、実施形態２０に記載の物体支持方法。
【００９７】
実施形態２２
前記物体は、ガラスリボンを含むものである、実施形態２０または２１に記載の物体支持方法。
【００９８】
実施形態２３
前記物体は、約５００℃から約１２００℃の範囲内の温度を含むものである、実施形態２０から２２のいずれか１つに記載の物体支持方法。
【００９９】
実施形態２４
前記物体を支持する間に、前記第１の球欠部は、前記第１の領域によって自由に支持され、前記第２の球欠部は、前記第２の領域によって自由に支持されるものである、実施形態２０から２３のいずれか１つに記載の物体支持方法。
【０１００】
実施形態２５
前記物体を支持する間に、前記第１の領域と前記第２の領域の間の距離を調節する工程を、
更に含む、実施形態２０から２４のいずれか１つに記載の物体支持方法。
【符号の説明】
【０１０１】
１０１  支持装置
１０３  ガラスリボン
１１１  円柱状ロッド
１１３  回転軸
１１７ａ  第１の凸状の球欠部
１１７ｂ  第２の凸状の球欠部
１１８ａ、１１８ｂ  第１の枢動軸
１１９  支持面
１２０ａ、１２０ｂ  第２の枢動軸
３２７  流体ポート
【図１】
2021536408.tif 000003
【図２】
2021536408.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2021536408.tif 000008
2021536408.tif 000009