(57)【要約】  本発明は、独立型ポンプモジュールを持つ滅菌システム及びその滅菌方法に係り、さらに詳細には、独立型ポンプモジュールが、要求される滅菌容量に応じて、複数のチャンバモジュールと連結されるように構成される特徴を持つ、滅菌システム及びその滅菌方法に関する。特に、滅菌チャンバを備えるチャンバモジュールを真空ポンプなしに構成し、真空ポンプを独立型モジュールとして構成することで、複数のチャンバモジュールを連結して使う時に、全体施設に占める面積が少なくなるという長所を持つ技術を開示する。
2021512739.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバモジュールと、
前記チャンバモジュールとは独立した形態に外装され、前記チャンバモジュールと連結され、かつポンプを内蔵する独立型ポンプモジュールと、を備え、
前記チャンバモジュールは、
前記チャンバモジュールに内蔵され、かつ被処理物を収納するチャンバと、
前記チャンバモジュールに内蔵され、かつ前記チャンバに連結されて、気化した滅菌剤を供給する気化器と、を備え、
前記チャンバモジュールに内蔵されている前記チャンバは、前記独立型ポンプモジュールに内蔵されている前記ポンプと連結されて排気される、滅菌システム。
【請求項２】
前記チャンバは、前記被処理物が収納されている不透過性包装紙を備え、
前記気化器は、前記不透過性包装紙に連結されて、空気または滅菌剤を供給し、
前記不透過性包装紙は、前記独立型ポンプモジュールと連結されて、前記不透過性包装紙の空気が排気されることを特徴とする請求項１に記載の滅菌システム。
【請求項３】
前記不透過性包装紙は、前記チャンバの空気が、前記独立型ポンプモジュールによって排気され、体積が制御されることを特徴とする請求項２に記載の滅菌システム。
【請求項４】
前記チャンバモジュールの空気が排気される排気口、または前記独立型ポンプモジュールの吸気口は、プラズマ発生装置または触媒に連結されることを特徴とする請求項１に記載の滅菌システム。
【請求項５】
前記不透過性包装紙の体積が膨脹した後、前記滅菌剤が前記気化器を通じて気化して、前記不透過性包装紙に注入され、
前記独立型ポンプモジュールを通じて、前記不透過性包装紙が排気して、前記滅菌剤を排気させ、
前記チャンバ及び前記不透過性包装紙を大気圧にガス抜きすることを特徴とする請求項３に記載の滅菌システム。
【請求項６】
前記独立型ポンプモジュールは、第２チャンバモジュールと連結されて、前記第２チャンバモジュールの空気を排気することを特徴とする請求項１に記載の滅菌システム。
【請求項７】
前記独立型ポンプモジュールは、分岐されるチューブを通じて、前記チャンバモジュール及び前記第２チャンバモジュールと連結されることを特徴とする請求項６に記載の滅菌システム。
【請求項８】
前記分岐されるチューブ、または前記チャンバモジュールに含まれている排気線は、逆流防止モジュールを備えることを特徴とする請求項７に記載の滅菌システム。
【請求項９】
前記独立型ポンプモジュールは、複数のポンプを備え、それぞれのポンプは、バルブが含まれているチューブに連結されることを特徴とする請求項６に記載の滅菌システム。
【請求項１０】
前記チャンバモジュールは、上面または側面に結合構造を持って、前記第２チャンバモジュールの下面または側面の結合構造と結合するか、あるいは前記独立型ポンプモジュールの下面または側面の結合構造と結合して、固定されることを特徴とする請求項６に記載の滅菌システム。
【請求項１１】
前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報とを得て、前記独立型ポンプモジュールを通じる排気が、前記チャンバモジュールまたは前記第２チャンバモジュールのうち、少なくとも一つで行われるように制御することを特徴とする請求項７に記載の滅菌システム。
【請求項１２】
前記チャンバモジュールは、前記分岐されるチューブと、前記チャンバモジュールの排気口と、前記第２チャンバモジュールの排気口のうち、少なくとも一つに備えられた弁の閉鎖または解放を通じて、前記独立型ポンプモジュールによる排気が、目的とするポンプモジュールのみで行われるようにすることを特徴とする請求項１１に記載の滅菌システム。
【請求項１３】
前記滅菌工程に関する情報は、前記被処理物のサイズまたは残留水分量に関する情報を含み、
前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程の進行順序及び所要時間と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程の進行順序及び所要時間と、を導出することを特徴とする請求項１１に記載の滅菌システム。
【請求項１４】
前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程の進行段階と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程の進行段階とを同期化させるために、前記チャンバモジュールまたは前記第２チャンバモジュールの滅菌工程のうち一つの段階を遅延させることを特徴とする請求項１３に記載の滅菌システム。
【請求項１５】
前記チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報とを得て、前記独立型ポンプモジュールを通じる排気が、前記チャンバモジュールまたは前記第２チャンバモジュールのうち、少なくとも一つで行われるように制御する制御モジュールをさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の滅菌システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、独立型ポンプモジュールを持つ滅菌システム及びその滅菌方法に係り、さらに詳細には、独立型ポンプモジュールが、要求される滅菌容量に応じて、複数のチャンバモジュールと連結されるように構成される特徴を持つ、滅菌システム及びその滅菌方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の外科用機構、内視鏡などの再使用可能な医療機器及び治療／手術道具は、汚染した状態で再使用される場合、感染をもたらすため、再使用の前に滅菌されねばならない。このために、蒸気、過酸化水素、過酢酸、ガスプラズマ、及び酸化エチレンのある、またはない気相滅菌などの多様な滅菌技術が開発された。特に、化学的滅菌器は、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）、酸化エチレン（Ｃ２Ｈ4Ｏ）、二酸化塩素（ＣｌＯ２）などのガスを滅菌剤として使って、低温で滅菌工程を行う装置である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明が解決しようとする技術的課題は、独立型ポンプモジュールを通じて、一つのポンプモジュールを、滅菌チャンバ、滅菌剤注入ブロック、及び気化器などで構成された複数のチャンバモジュールと連結させることによって、それぞれのチャンバモジュールで要求される排気がスムーズに統合的に、かつ効率的に運用されるようにする技術を提供することである。
【０００４】
また、本発明は、滅菌装置が占めるサイズ（体積、面積など）が大きいため、複数の滅菌器を運用する時に空間効率性が低く、各滅菌器が独立した完成品であるため、別途の空間及び施設が要求される、などの問題点が改善された滅菌システム及びその滅菌方法を提供することである。
【０００５】
また、本発明は、複数のポンプで構成されたポンプモジュール、あるいは複数のポンプモジュールを用いて、複数のチャンバモジュールを使用するに当って、性能を高めるか、あるいは製品の使用効率を確保できるようにする技術を提供する。
【０００６】
そして、本発明は、複数のチャンバモジュールを効果的に運用するために、複数のポンプモジュールあるいは一つのポンプモジュールの内部に複数のポンプを構成することで、一部のチャンバモジュールのみを運用するか、あるいは複数のチャンバモジュールを同時に運用するに当って、製品の使用効率を極大化できる技術を提供する。
【０００７】
また、本発明は、ポンプとチャンバとが独立して配置されるが、配置の変更ができるように構成されることによって、ポンプとチャンバとの距離が変わるにつれてポンプの有効ポンピング速度が調整されるようにして、配置の変更によって滅菌工程の速度、信頼性などが変わらないようにする技術を提供する。
【０００８】
また、本発明は、基本チャンバモジュールとポンプモジュールとが結合された構造に、独立的に構成された追加チャンバモジュールをさらに連結できる滅菌装置及び滅菌システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の実施形態による滅菌システムは、チャンバモジュールと、前記チャンバモジュールとは独立した形態に外装され、前記チャンバモジュールと連結され、かつポンプを内蔵する独立型ポンプモジュールと、を備え、前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールに内蔵され、かつ被処理物を収納するチャンバと、前記チャンバモジュールに内蔵され、かつ前記チャンバに連結されて、気化した滅菌剤を供給する気化器と、を備え、前記チャンバモジュールに内蔵されている前記チャンバは、前記独立型ポンプモジュールに内蔵されている前記ポンプと連結されて排気される。
【００１０】
一部の実施形態で、前記チャンバは、前記被処理物が収納されている不透過性包装紙を備え、前記気化器は、前記不透過性包装紙に連結されて、空気または滅菌剤を供給し、前記不透過性包装紙は、前記独立型ポンプモジュールと連結されて、前記不透過性包装紙の空気が排気される。
【００１１】
一部の実施形態で、前記不透過性包装紙は、前記チャンバの空気が、前記独立型ポンプモジュールによって排気され、体積が制御される。
【００１２】
一部の実施形態で、前記チャンバモジュールの空気が排気される排気口、または前記独立型ポンプモジュールの吸気口は、プラズマ発生装置または触媒に連結される。
【００１３】
一部の実施形態において、前記不透過性包装紙の体積が膨脹した後、前記滅菌剤が前記気化器を通じて気化して、前記不透過性包装紙に注入され、前記独立型ポンプモジュールを通じて、前記不透過性包装紙が排気して、前記滅菌剤を排気させ、前記チャンバ及び前記不透過性包装紙を大気圧にガス抜き（ｖｅｎｔｉｎｇ）する。
【００１４】
一部の実施形態において、前記独立型ポンプモジュールは、第２チャンバモジュールと連結されて、前記第２チャンバモジュールの空気を排気する。
【００１５】
一部の実施形態において、前記独立型ポンプモジュールは、分岐されるチューブを通じて、前記チャンバモジュール及び前記第２チャンバモジュールと連結される。
【００１６】
一部の実施形態において、前記分岐されるチューブ、または前記チャンバモジュールに含まれている排気線は、逆流防止モジュールを備えるものでありうる。
【００１７】
一部の実施形態において、前記独立型ポンプモジュールは、複数のポンプを備え、それぞれのポンプは、バルブが含まれているチューブに連結されることを特徴とする。
【００１８】
一部の実施形態において、前記チャンバモジュールは、上面または側面に結合構造を持って、前記第２チャンバモジュールの下面または側面の結合構造と結合するか、あるいは前記独立型ポンプモジュールの下面または側面の結合構造と結合して、固定される。
【００１９】
一部の実施形態において、前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報とを得て、前記独立型ポンプモジュールを通じる排気が、前記チャンバモジュールまたは前記第２チャンバモジュールのうち、少なくとも一つで行われるように制御する。
【００２０】
一部の実施形態において、前記チャンバモジュールは、前記分岐されるチューブと、前記チャンバモジュールの排気口と、前記第２チャンバモジュールの排気口のうち、少なくとも一つに備えられた弁の閉鎖または解放を通じて、前記独立型ポンプモジュールによる排気が、目的とするポンプモジュールのみで行われるようにする。
【００２１】
一部の実施形態において、前記滅菌工程に関する情報は、前記被処理物のサイズまたは残留水分量に関する情報を含み、前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程の進行順序及び所要時間と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程の進行順序及び所要時間と、を導出する。
【００２２】
一部の実施形態において、前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程の進行段階と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程の進行段階とを同期化させるために、前記チャンバモジュールまたは前記第２チャンバモジュールの滅菌工程のうち一つの段階を遅延させる。
【００２３】
一部の実施形態において、前記チャンバモジュールは、前記チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報と、前記第２チャンバモジュールの滅菌工程に関する情報とを得て、前記独立型ポンプモジュールを通じる排気が、前記チャンバモジュールまたは前記第２チャンバモジュールのうち少なくとも一つで行われるように制御する、制御モジュールをさらに備える。
【００２４】
本発明の一実施形態による滅菌用ポンプ組立体は、被処理物が収納され、かつ前記被処理物の滅菌工程が行われるチャンバの内部空気を排気するポンプと、前記ポンプを、前記チャンバと独立して配置の変更できるように連結し、かつ前記内部空気が流れる連結部と、を備える。
【００２５】
一部の実施形態において、前記滅菌用ポンプ組立体は、前記連結部が結合される結合部を備え、前記ポンプの外部を取り囲むハウジングをさらに備える。
【００２６】
一部の実施形態において、前記連結部と前記チャンバとの連結地点と、前記ポンプと前記連結部との連結地点と、連結地点の長さとは固定され、かつ前記ポンプと前記連結部との配置は、前記連結部を回転させて変わる。
【００２７】
一部の実施形態において、前記連結部と前記チャンバとの連結地点と、前記ポンプと前記連結部との連結地点とは固定され、かつ前記ポンプと前記連結部との配置は、前記連結部を回転させて、あるいは前記連結部の長さを調整して変わる。
【００２８】
一部の実施形態において、前記連結部の長さは、１．５ｍ以内である。
【００２９】
一部の実施形態において、前記滅菌用ポンプ組立体は、前記連結部の長さに関する情報を用いて、前記ポンプの動作を制御する制御部をさらに備える。
【００３０】
一部の実施形態において、前記滅菌用ポンプ組立体は、前記ポンプの動作強度または時間を制御する制御部をさらに備え、前記制御部は、前記ポンプを基準値で動作させる試運転モードを通じて、前記連結部による前記配置の適合性を判断するか、あるいは前記試運転モードを除いた作動モードで、前記ポンプを制御する値を調整する。
【００３１】
一部の実施形態において、前記連結部は、逆流防止モジュールを備えて、前記内部空気が前記チャンバに流れ込むことを防止する。
【００３２】
一部の実施形態において、前記連結部は、柔軟な素材からなり、前記内部空気が流れる経路の内側には耐火学性の素材を含んで、前記内部空気に含まれている物質による損傷を防止する。
【００３３】
一部の実施形態において、前記連結部は、前記内部空気の流れる経路の外側に堅い素材を含み、外部の物理的衝撃による破損や変形を防止する。
【００３４】
一部の実施形態において、前記ハウジングは、前記ハウジングの内部空気を前記ハウジングの外部に排出するファンをさらに備える。
【００３５】
本発明の一実施形態による滅菌用チャンバ組立体は、滅菌剤が供給されて内部に収納されている被処理物を滅菌し、かつ内部空気がポンプによって排気されるチャンバと、前記チャンバを、前記チャンバと独立して配置を変えられるように連結し、かつ前記内部空気が流れる連結部と、を備える。
【００３６】
一部の実施形態において、前記滅菌用チャンバ組立体は、前記内部空気を前記チャンバの外部に排出する経路に配置されているフィルタをさらに備える。
【００３７】
一部の実施形態において、前記滅菌用チャンバ組立体は、前記滅菌剤が収納されている滅菌剤コンテナと、前記滅菌剤コンテナから前記滅菌剤を供給されて加熱し、かつ気化した後、前記チャンバに供給する気化器と、をさらに備える。
【００３８】
本発明の一実施形態による滅菌システムは、滅菌剤が供給されて内部に収納されている被処理物を滅菌するチャンバと、前記チャンバの内部空気を排気するポンプと、前記チャンバと前記ポンプとを互いに独立して配置の変更できるように連結し、かつ前記内部空気が流れる連結部と、を備える。
【００３９】
一部の実施形態において、前記滅菌システムは、前記連結部が結合されるポンプ・連結部の結合部を備え、かつ前記ポンプの外部を取り囲むポンプハウジングと、前記連結部が結合されるチャンバ・連結部の結合部を備え、かつ前記チャンバの外部を取り囲むチャンバハウジングと、をさらに備える。
【００４０】
一部の実施形態において、前記ポンプハウジングは、ハウジング内の空気を外部に排出するファンをさらに備える。
【００４１】
一部の実施形態において、前記滅菌システムは、前記ポンプのポンプ動作または前記チャンバの滅菌動作を駆動するように、電力を供給する電力部と、前記電力部を、前記ポンプ及び前記チャンバと独立して配置の変更できるように連結する電力線と、をさらに備える。
【００４２】
本発明の実施形態による滅菌装置は、基本チャンバモジュールと、前記基本チャンバモジュールと結合し、かつポンプを内蔵するポンプモジュールを備え、前記ポンプモジュールは、前記基本チャンバモジュールと前記ポンプとを連結させる第１結合部と、前記滅菌装置と独立した形態に構成されて、前記ポンプモジュールと連結される、少なくとも一つの追加チャンバモジュールと、前記ポンプとを連結させるための第２結合部と、を備える。
【００４３】
一部の実施形態において、前記ポンプモジュールは、内蔵されている前記ポンプと前記第１結合部との間に連結されて、内部空気を流す第１内部チューブと、前記ポンプと前記第２結合部とを連結する第２内部チューブと、を備える。
【００４４】
一部の実施形態において、前記ポンプモジュールは、少なくとも２つ以上の追加チャンバモジュールそれぞれと前記ポンプとを連結させるために、複数の第２結合部を備える。
【００４５】
一部の実施形態において、前記第２内部チューブは、前記複数の第２結合部それぞれと前記ポンプとを連結させるために、前記複数の第２結合部の数に相応するように分岐される。
【００４６】
一部の実施形態において、前記第１内部チューブと前記第２内部チューブとは、一つの第３内部チューブに集まって、前記ポンプと連結される。
【００４７】
一部の実施形態において、前記少なくとも一つの追加チャンバモジュールは、少なくとも一つの外部チューブを通じて前記第２結合部に連結される。
【００４８】
一部の実施形態において、前記少なくとも一つの追加チャンバモジュールは、被処理物を収納するチャンバと、前記チャンバに連結されて、気化した滅菌剤を供給する気化器と、を備える。
【００４９】
一部の実施形態において、前記滅菌装置は、前記第２結合部を通じて連結された、前記少なくとも一つの追加チャンバモジュールの数を感知し、感知された前記追加チャンバモジュールの数に応じて、前記ポンプのポンピング速度、ポンピング強度、またはポンピング時間を制御するプロセッサをさらに備える。
【００５０】
一部の実施形態において、前記プロセッサは、前記ポンプモジュールに内蔵される。
【００５１】
本発明の実施形態による滅菌装置は、基本チャンバモジュールと、前記基本チャンバモジュールと結合し、かつポンプを内蔵するポンプモジュールを備え、前記ポンプモジュールと前記基本チャンバモジュールとを連結させるための第１結合部と、独立した形態で前記基本チャンバモジュールと脱着自在の追加チャンバモジュールと、前記基本チャンバモジュールとを連結させるための第２結合部と、前記第１結合部と前記第２結合部との間に連結されて、内部空気を流す内部チューブと、を備える。
【００５２】
一部の実施形態において、前記内部チューブは、前記基本チャンバモジュール内のチャンバと前記ポンプモジュールとの間に内部空気を流すために、前記第１結合部と前記第２結合部との間の経路で、前記チャンバ側に分岐される。
【００５３】
一部の実施形態において、前記基本チャンバモジュールは、前記チャンバと前記第１結合部との間に、気化器をさらに備える。
【００５４】
一部の実施形態において、前記滅菌装置は、連結された前記追加チャンバモジュールの数を感知し、感知された前記追加チャンバモジュールの数に応じて、前記ポンプのポンピング速度、ポンピング強度、またはポンピング時間を制御するプロセッサをさらに備える。
【００５５】
一部の実施形態において、前記追加チャンバモジュールは、前記基本チャンバモジュールの上部に積層する形態で、前記基本チャンバモジュールに結合される。
【００５６】
本発明の実施形態による滅菌システムは、基本チャンバモジュール、及び前記基本チャンバモジュールと結合し、かつポンプを内蔵するポンプモジュールを備える滅菌装置と、前記滅菌装置と独立した形態で構成されて、前記ポンプモジュールまたは前記基本チャンバモジュールに脱着される、少なくとも一つの追加チャンバモジュールと、を備える。
【発明の効果】
【００５７】
本発明の実施形態による方法及び装置は、滅菌チャンバを備えるチャンバモジュールを真空ポンプなしに構成し、真空ポンプを独立型モジュールとして構成することで、複数のチャンバモジュールを連結して使う時に全体施設に占める面積が少なくなるという長所を持つ。
【００５８】
また、独立型ポンプモジュールが複数のチャンバモジュールに空気を排気する過程で、動作スケジュールを揃えていて、それぞれのチャンバモジュールが、その内部にポンプモジュールを構成することと同じレベルの運用時間及び性能を持つという長所を持つ。
【００５９】
そして、それぞれのチャンバモジュールが、チャンバを通じる滅菌動作と、ポーチを通じる滅菌動作とを、選択的に運用するようにいずれも支援することで、滅菌対象物のサイズ、種類に対する制約がなく、必要な時に滅菌が完了した後で、真空密閉されて、２次汚染を発生させないという長所を持つ。
【００６０】
さらに、独立型ポンプモジュールは、それぞれのチャンバモジュールに対して空気の注入及び排気を選択的で繰り返して行い、被処理物の体積面積を演算するか、または残余水分量を確認することができるという長所を持つ。
【００６１】
また、独立型ポンプモジュールは、それぞれのチャンバモジュールから滅菌剤を排気する過程中にも動作するように構成されて、残余滅菌剤がいずれも抜けるようにし、かつ該滅菌剤が後続の処理を通じて廃棄物に含まれている汚染物質をなくすという長所を持つ。
【００６２】
また、本発明による滅菌システムは、医療業界以外にも、美容、ネールアートなどのビューティ業界を含む、器具を使う多様な産業分野で使われる。
【００６３】
本発明の実施形態による組立体及びシステムは、空間内で滅菌装置の配置を変更することができ、空間効率性を高める効果がある。
【００６４】
また、本発明の実施形態による組立体及びシステムは、チャンバとポンプとを、それぞれ独立した空間に配置することで、滅菌効率性を高める効果がある。
【００６５】
そして、本発明の実施形態による組立体及びシステムは、その配置が変わるにつれて、ポンプの有効ポンピング速度が調整され、配置の変更によって滅菌工程の速度、信頼性などが変わらないようにする効果がある。
【００６６】
また、本発明の実施形態による装置及び方法は、基本チャンバモジュールとポンプモジュールとが結合された構造に、独立的に構成された追加チャンバモジュールを、状況に合わせて追加連結できるという長所を持つ。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明による一例を通じて、既存の滅菌装置を複数も備えたことに比べて、装置のサイズが減少した効果を示す図面である。
【図２Ａ】本発明による一例として、チャンバモジュールを示す図面であり、チャンバモジュールの正面を示すものである。
【図２Ｂ】本発明による一例として、チャンバモジュールを示す図面であり、そのチャンバモジュールの背面を示すものである。
【図３Ａ】本発明による一例として、独立型ポンプモジュールを示す図面であり、独立型ポンプモジュールの正面を示すものである。
【図３Ｂ】本発明による一例として、独立型ポンプモジュールを示す図面であり、その独立型ポンプモジュールの背面を示すものである。
【図４】本発明による一例として、チャンバモジュールと独立型ポンプモジュールとが連結された状態を示す図面である。
【図５】本発明による他の例として、滅菌システムを示す概路図である。
【図６】図５の滅菌システムが滅菌動作を行える例示的なセットの工程を示すフローチャートである。
【図７】本発明によるさらに他の例として、滅菌システムを示す概路図である。
【図８】本発明の一実施形態による滅菌システムのブロック図である。
【図９Ａ】本発明の一実施形態による滅菌システムにおいて、チャンバとポンプとの配置が変わることを説明するための図面である。
【図９Ｂ】本発明の一実施形態による滅菌システムにおいて、チャンバとポンプとの配置が変わることを説明するための図面である。
【図９Ｃ】本発明の一実施形態による滅菌システムにおいて、チャンバとポンプとの配置が変わることを説明するための図面である。
【図１０】本発明の一実施形態によるチャンバモジュールのブロック図である。
【図１１】本発明の一実施形態によるポンプモジュールのブロック図である。
【図１２】本発明の一実施形態による滅菌方法を示すフローチャートである。
【図１３】本発明の他の実施形態による滅菌装置と追加チャンバモジュールとの連結状態を示す図面である。
【図１４】図１３に示されているポンプモジュールの一実施形態によるブロック図である。
【図１５】図１３に示されているポンプモジュールの他の実施形態によるブロック図である。
【図１６】本発明の他の実施形態による滅菌装置と追加チャンバモジュールとの連結状態を示す図面である。
【図１７】図１６に示されている滅菌装置の詳細構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００６８】
本発明は、複数のチャンバモジュールと連結されて、それぞれのチャンバモジュールの空気を排気する独立型ポンプモジュールを備える滅菌システムを提供することを目的とし、特に、それぞれのチャンバモジュールで必要な空気の排気を、外装されている独立型ポンプモジュールを通じて行わせるための技術を提供するところにその目的がある。
【００６９】
それぞれのチャンバモジュールは、滅菌の必要な被処理物が収納され、前記被処理物に対して滅菌剤が反応して滅菌を行わせる装置構成を持つが、この時、被処理物がチャンバに収納される形態と、不透過性密閉容器に収納される形態とをいずれも含む。
【００７０】
前記不透過性密閉容器は、滅菌器の技術に使われる“ポーチ”の同義語として使われ、被処理物を滅菌させる構成的内容を示すために、“不透過性包装紙”と名称されてもよい。
【００７１】
本発明は、その形態及びメカニズムに制約されずに多様な滅菌方式が採用された滅菌装置に適用される技術や、過酸化水素を滅菌剤として用いて滅菌対象体の滅菌工程を行う、医療用の低温プラズマ滅菌器に適用される方式で、下記の実施形態を開示する。
【００７２】
前記目的に応じて本発明を具体的に説明すれば、次の通りである。
【００７３】
滅菌工程は、過酸化水素を気化させ、これを対象体に露出させて、対象体に残存する微生物の細胞壁及び核の酸化反応を通じて非活性化する、化学的滅菌を行うことが一般的である。
【００７４】
また、医療用低温プラズマ滅菌器は、滅菌剤を浄化してユーザ安全性を確保するために、プラズマを使う。プラズマは、電気的特性が準中性ガスとして定義される第４の状態の物質であって、電気的なエネルギーを印加して形成する。特に、高電圧電源を、プラズマ発生装置（ＣＰＳ：ｃｒａｃｋｉｎｇ  ｐｌａｓｍａ  ｓｏｕｒｃｅ）に印加して、大気圧でプラズマを発生させ、滅菌工程以後に排気される滅菌剤（過酸化水素、Ｈ２Ｏ２）を、プラズマ処理を通じて、水（Ｈ２Ｏ）と酸素（Ｏ２）とに分解及び浄化させる。
【００７５】
本発明の技術的事項による一実施形態による滅菌システムは、滅菌しようとする対象物（被処理物）が収納されるチャンバに滅菌剤を供給して、チャンバ内で被処理物に対する滅菌工程を行う装置、またはそれに連結された複数の装置であって、滅菌工程中、滅菌工程の前、または滅菌工程の後でポンプによって、チャンバの内部空気が排気される。
【００７６】
実施形態によって、本発明の技術的事項による一実施形態による滅菌システムは、過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）、酸化エチレン（Ｃ２Ｈ4Ｏ）、二酸化塩素（ＣｌＯ２）などのガスを滅菌剤として使って、低温で滅菌工程を行う化学的滅菌器である。
【００７７】
本発明の技術的事項による一実施形態による滅菌システムは、滅菌工程が行われるチャンバと、このチャンバの内部空気を排気するポンプとが独立的に配置され、この配置を変更自在に構成することで、多様な配置形態を揃えて、高い空間効率性を果たすことができ、チャンバとポンプとが離隔して独立的に配置されることで、滅菌工程が行われるチャンバが、ポンプによる汚染物質（例えば、油圧式ポンプの場合に、オイル）、ノイズ、振動から影響されることが減少して、滅菌工程の信頼性及び効率性が向上する。
【００７８】
実施形態によって、滅菌システムは、滅菌工程で要求される滅菌剤を気化する構成を持つが、この時、滅菌システムは、気化する構成をチャンバ側に含ませて、ポンプを通じて排出される空気、またはこの空気を装置の外部に排出するための構成（例えば、ファン）によって温度が降下することを低減させる。
【００７９】
実施形態によって、滅菌システムは、チャンバとポンプとの間の、排気空気が流れる連結部の距離を調整できるが、この時、滅菌システムは、該距離に関する情報に基づいて、ポンプの動作時間、強度などを調整することで、距離の増大につれて変化する有効ポンピング速度を調整して、チャンバで行われる滅菌工程の速度及び信頼性を変化させないことができる。
【００８０】
図１は、本発明による一例を通じて、既存の滅菌装置を複数も備えたことに比べて、装置のサイズが減少した効果を示す図面である。図１を参照すれば、図面の左側に示したように、複数の滅菌装置を運用する場合、それぞれの装置１１０及び１２０は、滅菌チャンバ１１１及び１２１と真空ポンプ１１２及び１２２とをいずれも内蔵していなければならない。
【００８１】
しかし、本発明による一例を通じて、２個の滅菌チャンバを運用するように構成する場合（図面の右側に示したように）、第１滅菌チャンバ１３１を備える第１チャンバモジュール１３０と、第２滅菌チャンバ１４１を備える第２チャンバモジュール１４０とが独立型ポンプモジュール１５０に連結されるため、全体システムに占める面積が減少する。
【００８２】
但し、このような効果は、本発明が持つ様々な実施形態のうち、複数のチャンバモジュールが一つの独立型ポンプモジュールに連結された時に大きく奏される。
【００８３】
図２は、本発明による一例として、チャンバモジュールを示す図面であり、図２Ａは、チャンバモジュールの正面を示すものであり、図２Ｂは、そのチャンバモジュールの背面を示すものである。図３は、本発明による一例として、独立型ポンプモジュールを示す図面であり、図３Ａは、独立型ポンプモジュールの正面を示すものであり、図３Ｂは、その独立型ポンプモジュールの背面を示すものである。図４は、本発明による一例として、チャンバモジュールと独立型ポンプモジュールとが連結された状態を示す図面である。
【００８４】
図２ないし図４を参照すれば、独立型ポンプモジュール３００は、チャンバモジュール２００と連結されて、チャンバモジュール２００の空気を排気する。
【００８５】
チャンバモジュール２００は、正面にドアカバー２１０及びタッチスクリーン２２０を備えて構成され、背面にドアヒンジ２３０、通風孔２４０、ポンプ連結部２５０、電源線連結部２６０、フィルタ２７０、複数のＵＳＢポート２８１及び２８２、ＬＡＮケーブルポート２８３、電源連結端子２９１、ヒューズキャップ２９２、及び電源スイッチ２９３を備えて構成される。
【００８６】
ドアカバー２１０は、チャンバモジュール２００の上部カバーを含むものであって、ドアヒンジ２３０を用いて開閉できる。実施形態によって、ドアカバー２１０を通じて、チャンバモジュール２００を通じて滅菌しようとする被処理物を収納できるように、コンテナ（例えば、チャンバ）を装置の外部に露出させる。
【００８７】
タッチスクリーン２２０は、モジュールの操作のためのユーザ入力を受けるタッチパネルであって、製品の状態及び履歴管理が可能である。実施形態によって、タッチスクリーン２２０は、チャンバモジュール２００の滅菌工程の段階、滅菌工程の所要時間、滅菌工程の可否、滅菌工程の中で発生したエラーなどの外部的表示を行う。
【００８８】
ドアヒンジ２３０は、チャンバモジュール２００のドアカバー２１０が開閉されるように、ドアカバー２１０に連結される。
【００８９】
通風孔２４０は、ファンを用いる排気が円滑に行われて空気が流れ込むように、通風のための孔がストライプ状に配列される。
【００９０】
ポンプ連結部２５０は、独立型ポンプモジュール３００とゴングアブチューブで連結されるものであって、空気のフローが正確に作動するようにフィットされる。ポンプ連結部２５０は、チャンバモジュール２００の中で、チャンバと不透過性包装紙とにそれぞれ排気されるように分岐される地点を持ち、実施形態によって、個別的な排気が行われるように弁の構成を揃える。
【００９１】
例えば、独立型ポンプモジュール３００で排気が行われ、ポンプ連結部２５０にさらに構成された弁の閉鎖または開放を通じて、チャンバまたは不透過性包装紙に選択的に排気が行われて、圧力が制御される。
【００９２】
電源線連結部２６０は、独立型ポンプモジュール３００に電源を供給するための電源線が連結される連結部である。
【００９３】
実施形態によって、滅菌システムに複数のチャンバモジュールが構成される場合、複数のチャンバモジュールのうち一つのチャンバモジュールのみに電源が直接供給される。この場合、電源線は、複数のチャンバモジュールのうち、一つのチャンバモジュールに連結され、電源線が連結されている一つのチャンバモジュールを通じて、他のチャンバモジュールと独立型ポンプモジュールとに電源が供給される。例えば、チャンバモジュールは、電源を直接供給される主チャンバモジュールと、主チャンバモジュールを通じて電源を伝達される副チャンバモジュールと、に区切られて設計される。
【００９４】
フィルタ２７０は、真空を形成してガス抜きする過程で、空気の中のほこりや微生物を遮断するための入れ替え型フィルタである。滅菌工程過程で、独立型ポンプモジュールによる排気は、チャンバ及び不透過性包装紙の内部空気を排気する動作を行うため、チャンバ及び不透過性包装紙への空気の流入が要求される場合、排気する連結弁を閉め、ガス抜きする連結弁を開いて、外部空気が流れ込むようにする。この時、供給される空気に含まれている汚染物質によって滅菌効果ないし滅菌信頼性が低くなる恐れがあるため、外部の空気が流れ込む通路側にフィルタ２７０を備えるように構成できる。
【００９５】
ＵＳＢポート２８１及び２８２は、ソフトウェアのアップデートのための第１のＵＳＢポート２８１と、滅菌日誌を出力するためのプリンタなどと通信するための第２のＵＳＢポート２８２と、で構成される。実施形態によって、主チャンバモジュールは、このようなポート構成を持って、連結されている他の副チャンバモジュールと、独立型ポンプモジュールとに対するソフトウェアのアップデートないし関連情報の出力を支援する。
【００９６】
ＬＡＮケーブルポート２８３は、装置の状態情報をサーバに伝送し、製品のリモートコントロールができるように、インターネットに連結させるポートである。実施形態によって、ＬＡＮケーブルポート２８３は、外部の制御モジュール（例えば、管理プログラムが含まれているコンピュータ装置）とのデータ連結のための装置的機能を行う。実施形態によって、ＬＡＮケーブルポート２８３は、ＬＡＮ線を通じる有線連結を、Ｗｉ−Ｆｉ、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈなどの無線通信の連結を通じる装置的構成に置き換えることができる。
【００９７】
電源連結端子２９１は、チャンバモジュール２００に電気を供給するための連結端子である。
【００９８】
ヒューズキャップ２９２は、製品の主電源に連結されるヒューズの簡単な入れ替えのために設けられる。
【００９９】
電源スイッチ２９３は、チャンバモジュール２００の電源をオン／オフするためのスイッチである。
【０１００】
独立型ポンプモジュール３００は、正面にカバー３１０を含んで構成され、背面に通風孔３２０と、電源連結部３３０と、ポンプ連結部３４０と、ポンプオイル状態表示部３５０と、を含んで構成される。
【０１０１】
カバー３１０は、チャンバモジュール２００と類似した見掛けを表現するためにデザインされている形状を持つ。
【０１０２】
通風孔３２０は、ファンを用いる排気が円滑に行われて空気が流れ込むように、通風のための孔がストライプ状に配列される。
【０１０３】
電源連結部３３０は、一つのチャンバモジュール２００の電源連結部２６０と、電源線ケーブル４１０を通じて連結されて、電源を供給される連結部である。
【０１０４】
ポンプ連結部３４０は、複数のチャンバモジュール２００と、空気入りチューブ４２０を通じて連結されて、空気を流してそれぞれのチャンバモジュール２００に対する空気の排気を行わせるものであって、空気のフローが正確に行われるようにフィットされる。
【０１０５】
ポンプオイル状態表示部３５０は、オイル回転式ポンプにあるオイルの量及び状態を確認するように形成される。
【０１０６】
例えば、ポンプオイル状態表示部３５０は、透光性材質からなり、独立型ポンプモジュール３００の内部オイルコンテナと触れ合って、ポンプモジュール３００の外部からも、内部のオイルがどれぐらい満ちているかと、該オイルの色とを確認できるように構成される。
【０１０７】
図５は、本発明による他の例として、滅菌システムを示す概路図である。図５を参照すれば、本発明による他の例の滅菌システムは、第１チャンバモジュール５１０と、第２チャンバモジュール５２０と、独立型ポンプモジュール５３０と、を含んで構成される。
【０１０８】
独立型ポンプモジュール５３０は、複数のチャンバモジュール５１０及び５２０と連結されて、それぞれのチャンバモジュール５１０及び５２０の空気を排気する。
【０１０９】
本発明の望ましい一実施形態によれば、第１チャンバモジュール５１０は、第１被処理物が収納される包装紙５１２が収納されるチャンバ５１１を備え、独立型ポンプモジュール５３０によって、チャンバ５１１または包装紙５１２の内部空気が排気される。
【０１１０】
また、第２チャンバモジュール５２０は、第２被処理物が収納される包装紙５２２が収納されるチャンバ５２１を備え、独立型ポンプモジュール５３０によって、チャンバ５２１または包装紙５２２の内部空気が排気される。
【０１１１】
実施形態によって、包装紙５１１及び５２２は、液体または気体が透過しない不透過性材質、すなわち、不透過性包装紙として具現される。
【０１１２】
この時、独立型ポンプモジュール５３０は、第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０の排気を支援するために、それに連結されているチューブ５４１及び５４２が分岐されるモジュール５３２を備える。
【０１１３】
本発明の望ましい他の実施形態によれば、独立型ポンプモジュール５３０は、空気が流れるチューブ５４１及び５４２を通じて、第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０と連結される。
【０１１４】
これらの包装紙５１２及び５２２を用いる滅菌は、滅菌過程で滅菌剤の拡散及び反応に有利であり、滅菌剤の気化効率の高い滅菌適合性と共に、滅菌工程済みの被処理物が、使われるまで、無菌性を維持するように包装されて保管されるという長所を持つ。
【０１１５】
本発明の他の例によれば、第１チャンバモジュール５１０または第２チャンバモジュール５２０は、滅菌工程過程で、独立型ポンプモジュール５３０による排気を通じて、チャンバ５１１及び５２１と、包装紙５１２及び５２２との内部空気を排気して、内部圧力を低め、チャンバ５１１及び５２１の排気を止めて、包装紙５１２及び５２２の排気及びガス抜きを繰り返すことで、包装紙５１２及び５２２に収納されている被処理物を加熱する。また、実施形態によって、この過程で、包装紙５１２及び５２２の排気及びガス抜き過程でかかる時間または特定圧力レベルに到逹する時間を測定して、被処理物の体積及び容量を計算する。
【０１１６】
本発明のさらに他の例によれば、包装紙５１２及び５２２の排気及びガス抜きによって内部被処理物への加熱が行われた後、包装紙５１２及び５２２の排気を規定の圧力レベルで十分に行った後、再びガス抜きするにつれて内部圧力が増加するレベルを測定することで、被処理物または包装紙５１２及び５２２の内部の残余水分量を測定する。
【０１１７】
被処理物に対する体積測定、加熱及び残余水分の除去が終われば、滅菌剤が注入されて、包装紙５１２及び５２２に収納されている被処理物が滅菌される。この過程で、独立型ポンプモジュール５３０を通じて、チャンバ５１１及び５２１が排気されるか、または規定の圧力レベルまで排気された後、蜜閉されて排気されないように構成する。
【０１１８】
実施形態によって、第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０は、包装紙５１２及び５２２なしに、それぞれのチャンバ５１１及び５２１に直接被処理物が収納され、滅菌剤注入部５１３及び５１４を通じて、滅菌剤が供給されて拡散する過程と、供給された滅菌剤が排気される過程とを経て、チャンバ５１１及び５２１に収納されている被処理物の滅菌工程が行われるようにする。すなわち、包装紙５１２及び５２２による滅菌工程と、チャンバ５１１及び５２１による滅菌工程とが、被処理物のサイズ、種類、滅菌後の使用形態などに鑑みるユーザの選択によって行われるように支援する。
【０１１９】
このような場合、独立型ポンプモジュール５３０は、包装紙５１２及び５２２による滅菌工程と、チャンバ５１１及び５２１による滅菌工程とで、空気の排気時点及び排気時間などが互いに異なるため、前もって定義されるか、または制御部による命令に応じて動作するように構成される。
【０１２０】
チャンバ５１１及び５２１による滅菌工程は、一般的な医療用の低温プラズマ滅菌器で使われているＴＹＶＥＫ（登録商標）ポーチを使って行われるが、ＴＹＶＥＫ（登録商標）フィルムは、滅菌剤は通過させてその内部の対象体を滅菌することができ、微生物の通過は不可能で無菌保存性を確保する方式であって、このような場合に好適な滅菌剤を供給させる滅菌剤注入部が採用され、結合されて動作する。
【０１２１】
包装紙５１２及び５２２による滅菌工程は、包装紙５１２及び５２２のシリコンパッド部分にニードルが連結されて、包装紙５１２及び５２２の内部に滅菌剤を直接供給し、滅菌工程以後に残っている滅菌剤を直接除去し、全体工程が完了した後でニードルが抜け、真空状態で完璧に密封されて無菌保存性を確保できるように動作する。
【０１２２】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０は、第１チャンバモジュール５１０と、第２チャンバモジュール５２０と、外部制御モジュール（例えば、管理プログラムが含まれているコンピュータ装置）と、から動作に関する命令を受信し、排気動作を行う。
【０１２３】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０は、第１チャンバモジュール５１０及び／または第２チャンバモジュール５２０の滅菌工程が行われる間に、持続的に排気状態で駆動される。滅菌工程が行われる第１チャンバモジュール５１０及び／または第２チャンバモジュール５２０の内部には、それぞれのチャンバ５１１及び５２１と包装紙５１２及び５２２とから排気が行われるように、分岐される連結構成（例えば、弁など）を持つ。前記連結構成（例えば、弁など）を通じて、排気または密閉が行われる。
【０１２４】
他の実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０は、第１チャンバモジュール５１０のチャンバ５１１及び包装紙５１２と、第２チャンバモジュール５２０のチャンバ５２１及び包装紙５２２と、についての連結構成を持つ。前記連結構成は、弁などを含んで、それぞれのチャンバ５１１及び５２１と包装紙５１２及び５２２との排気または密閉を行う。
【０１２５】
独立型ポンプモジュール５３０が、第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０の排気を同時に行う場合、第１チャンバモジュール５１０の圧力と第２チャンバモジュール５２０の圧力とが相異なっていて、さらに高い圧力のチャンバモジュールから、さらに低い圧力のチャンバモジュールに空気が流れ込む。これを防止するために、独立型ポンプモジュール５３０は、チューブが分岐されるモジュール５３２の、それぞれのチャンバモジュールと連結されている側に、チェック弁のような逆流防止モジュールを備える。
【０１２６】
さらに他の実施形態によれば、第１チャンバモジュール５１０は、上面、下面、または側面に結合構造５１６を持つ。第１チャンバモジュール５１０は、第１チャンバモジュール５１０の結合構造５１６と結合して固定される対になる結合構造５２６を上面、下面、または側面に持つ第２チャンバモジュール５２０と結合して固定される。
【０１２７】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０は、上面、下面、または側面に、第１チャンバモジュール５１０または第２チャンバモジュール５２０の結合構造と対になる結合構造（図示せず）を持つ。この場合、独立型ポンプモジュール５３０と第１チャンバモジュール５１０及び／または第２チャンバモジュール５２０とが、互いに結合して固定される。
【０１２８】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０は、別途の装置構成ではない壁または底に埋め込み形態に構成され、壁または底にチューブまたは電源連結線などのコネクタのみ存在する。
【０１２９】
実施形態によって、第１チャンバモジュール５１０は、動作制御部（図示せず）を備え、動作制御部を通じて、滅菌剤の注入と、前記滅菌剤の拡散と、前記滅菌剤の排気と、前記滅菌剤の浄化とが行われる。
【０１３０】
この時、第１チャンバモジュール５１０の動作制御部は、独立型ポンプモジュール５３０の排気動作と、排気時にチューブが分岐されるモジュール５３２で、いかなるチューブと連結するかについての動作スケジュールを定義または制御する。
【０１３１】
実施形態によって、チューブが分岐されるモジュール５３２は、弁で構成されて、閉鎖または開放されることで、チューブを通じる排気が、目的とするチャンバモジュールのみで行われるようにする。
【０１３２】
実施形態によって、チューブが分岐されるモジュール５３２は、複数のチューブで排気が行われるように動作し、この時、排気時間を延長するか、または排気強度を高めるように動作する。
【０１３３】
さらに他の実施形態によれば、第１チャンバモジュール５１０の動作制御部は、第２チャンバモジュール５２０から、被処理物を収納して滅菌する一体の工程の要請された情報を得て、この情報を通じて、動作スケジュールを定義または制御する。
【０１３４】
実施形態によって、滅菌工程の要請された情報は、滅菌しようとする被処理物の体積、表面積サイズ、または水分含有量に関する情報を含む。
【０１３５】
実施形態によって、包装紙５１２及び５２２に空気を注入する初期ポンピング過程を通じて、包装紙５１２及び５２２の圧力値と、空気が注入される時間との関係を通じて、被処理物の体積や表面積サイズを導出する。
【０１３６】
さらに他の実施形態によれば、第１チャンバモジュール５１０の動作制御部は、滅菌工程が要求される第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０の滅菌工程で、排気する段階が必要な時点を演算し、それぞれのモジュールで排気する工程が必要な時点を調整して、それぞれのチャンバモジュール５１０及び５２０うち、滅菌工程が最も遅く終わる時点を最も早くスケジューリングする。
【０１３７】
実施形態によって、動作制御部は、連結されているチャンバモジュールから滅菌工程の要請がある度に、動作スケジュールを新たに規定する。
【０１３８】
実施形態によって、動作制御部は、第１チャンバモジュール５１０、第２チャンバモジュール５２０、または独立型ポンプモジュール５３０に含まれ、別途の装置として構成されるか、またはサーバないし外部コンピュータを通じて機能する。
【０１３９】
実施形態によって、動作制御部は、第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０で、一定時間の間隔をおいて滅菌工程が行われれば、さらに速く滅菌工程が行われる装置において、特定工程を遅延させて、二つのチャンバモジュールで行われる滅菌工程を同期化させる。それぞれのチャンバモジュールで滅菌工程が速く行われるほど、滅菌工程に対する信頼度を持つことが重要であるが、それぞれのチャンバモジュールが、一つの独立型ポンプモジュールによって排気されつつ、それぞれ異なる段階の滅菌工程が進む時、空気の逆流などによって目的とする圧力レベルに合わせることができず、誤動作する可能性があるからである。
【０１４０】
さらに他の実施形態によれば、第１チャンバモジュール５１０は、不透過性包装紙５１２に滅菌剤を注入する滅菌剤注入部５１３と、その滅菌剤を加熱して気化させる気化器５１４と、を備える。
【０１４１】
また、第２チャンバモジュール５２０は、不透過性包装紙５２２に滅菌剤を注入する滅菌剤注入部５２３と、その滅菌剤を加熱して気化させる気化器５２４と、を備える。
【０１４２】
この時、独立型ポンプモジュール５３０は、チャンバ５１１及び５２１の空気を排気して、不透過性包装紙５１２及び５２２の体積を増大させて、気化した滅菌剤が不透過性包装紙５１２及び５２２に拡散する効率性を高める。これは、不透過性包装紙５１２及び５２２が脹れて、滅菌剤が拡散する空間が確保されるからである。
【０１４３】
実施形態によって、気化器５１４及び５２４は、包装紙５１２及び５２２に直接連結されて、空気及び滅菌剤を供給する。また、気化器５１４及び５２４は、チャンバ５１１及び５２１に連結されて、空気及び滅菌剤を供給する。
【０１４４】
また、気化器５１４及び５２４は、独立型ポンプモジュール５３０に連結されて、独立的な圧力制御を行い、これを通じて気化器５１４及び５２４の圧力が制御されることによって、不透過性包装紙５１２及び５２２の圧力が制御される。
【０１４５】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０は、チャンバ５１１及び５２１、包装紙５１２及び５２２、または気化器５１４及び５２４に連結されて、空気の注入または排気が行われる。これを通じて、それぞれのチャンバ５１１及び５２１と、包装紙５１２及び５２２と、気化器５１４及び５２４とは、独立的な圧力制御が行われる。
【０１４６】
本発明の望ましいさらに他の実施形態によれば、気化器５１４及び５２４は、気化を通じて包装紙５１２及び５２２に空気を供給して、内部の加熱効率を高める。
【０１４７】
本発明の望ましいさらに他の実施形態によれば、チャンバ５１１及び５２１、または不透過性包装紙５１２及び５２２に供給された滅菌剤を排気する排気口（図示せず）を備え、この排気口は、プラズマ発生装置または触媒に連結される。
【０１４８】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール５３０も吸気口を備え、この吸気口が、同一または別途のプラズマ発生装置または触媒に連結される。
【０１４９】
実施形態によって、第１チャンバモジュール５１０及び第２チャンバモジュール５２０は、複数の弁（図示せず）を備えるが、この弁は、包装紙５１２及び５２２と、チャンバ５１１及び５２１とを排気する時に開放または閉鎖され、これを通じて、滅菌剤が注入されて排気され、不透過性包装紙５１２及び５２２と、チャンバ５１１及び５２１とが、待ち状態でガス抜きされる。
【０１５０】
他の実施形態よれば、第２チャンバモジュール５２０は、第３チャンバモジュール（図示せず）と連結されている第２独立型ポンプモジュール（図示せず）に連結されるように構成される。
【０１５１】
このような場合、第２チャンバモジュール５２０は、独立型ポンプモジュール５３０と第２独立型ポンプモジュールのうち、いずれか一つまたは二つ共によって排気される。
【０１５２】
実施形態によって、第２チャンバモジュール５２０は、第１チャンバモジュール５１０及び第３チャンバモジュール（図示せず）で滅菌工程が行われるにつれて、独立型ポンプモジュール５３０及び第２独立型ポンプモジュールの動作情報に鑑みて、独立型ポンプモジュール５３０と第２独立型ポンプモジュールのうち、いずれか一つまたは二つ共によって排気される。
【０１５３】
実施形態によって、第２チャンバモジュール５２０は、独立型ポンプモジュール５３０と第２独立型ポンプモジュールのうち、排気動作が行われていないものを選択して、連結して排気される。
【０１５４】
図６は、図５の滅菌システムが滅菌動作を行える例示的なセットの工程を示すフローチャートである。
【０１５５】
図６を参照すれば、本発明の一実施形態による滅菌方法は、第１チャンバモジュールと、第２チャンバモジュールと、独立型ポンプモジュールとが連結される工程（Ｓ６１０）と、第１チャンバモジュールから滅菌工程が要請される工程（Ｓ６２０）と、独立型ポンプモジュールが第１チャンバモジュールに対する排気動作を行う工程（Ｓ６３０）と、第２チャンバモジュールから滅菌工程が要請される工程（Ｓ６４０）と、独立型ポンプモジュールが第２チャンバモジュールに対する排気動作を行う工程（Ｓ６５０）と、からなる。
【０１５６】
実施形態によって、Ｓ６１０工程は、第１チャンバモジュールの上面または側面と、第２チャンバモジュールの下面または側面とが、結合構造によって連結されて固定されるか、あるいは、第１チャンバモジュールの上面または側面と、独立型ポンプモジュールの下面または側面とが、結合構造によって連結されて固定される工程を含む。
【０１５７】
実施形態によって、独立型ポンプモジュールが、第１チャンバモジュールと電源供給線によって連結されて電源供給を受け、分岐されるチューブを通じて第１チャンバモジュール及び第２チャンバモジュールと連結される工程を含む。
【０１５８】
実施形態によれば、Ｓ６５０工程は、第２チャンバモジュールの滅菌工程の要求に関する情報を得て、チューブの分岐点が閉鎖または開放されて、第１チャンバモジュール及び／または第２チャンバモジュールで、空気の注入または排気を行わせる動作スケジュールを規定する工程をさらに含む。
【０１５９】
他の実施形態よれば、Ｓ６３０工程は、第１チャンバモジュールのチャンバを排気する工程と、滅菌剤を抽出して気化させて、第１チャンバモジュールのチャンバに注入する工程と、滅菌剤を第１チャンバモジュールのチャンバから排気する工程と、第１チャンバモジュールのチャンバをガス抜きする工程と、をさらに含む。
【０１６０】
図７は、本発明によるさらに他の例として、滅菌システムを示す概路図である。図７を参照すれば、滅菌システムは、４個のチャンバモジュール７１０、７２０、７３０、７４０が、２個のポンプ７５１及び７５２を備える独立型ポンプモジュール７５０と連結されるように構成される。
【０１６１】
実施形態によって、それぞれのチャンバモジュール７１０、７２０、７３０、７４０は、独立型ポンプモジュール７５０と連結されて排気が行われる排気線に、チェック弁のような逆流防止モジュール７４１を備える。
【０１６２】
このような逆流防止モジュールは、独立型ポンプモジュール７５０のそれぞれのポンプ７５１及び７５２が連結されるチューブにも備えられる。
【０１６３】
また、それぞれのチャンバモジュール７１０、７２０、７３０、７４０は、独立型ポンプモジュール７５０と連結されて排気が行われる排気線に、プラズマ発生装置７４２を備える。
【０１６４】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール７５０がそれぞれのチャンバモジュール７１０、７２０、７３０、７４０と連結される吸気線に、プラズマ発生装置７５４を備える。
【０１６５】
実施形態によって、独立型ポンプモジュール７５０が、滅菌剤を中和するプラズマ発生装置７５４または触媒と連結され、それぞれのチャンバモジュール７１０、７２０、７３０、７４０には、プラズマ発生装置７４２を除くことで、さらに統合的な設備構成を可能にする。
【０１６６】
本発明の望ましい一実施形態によれば、独立型ポンプモジュール７５０の第１ポンプ７５１は、第１チャンバモジュール７１０及び第２チャンバモジュール７２０に連結され、第２ポンプ７５２は、第３チャンバモジュール７３０及び第４チャンバモジュール７４０に連結され、連結されたそれぞれのチャンバに対する排気がそれぞれのポンプを通じて行われる。
【０１６７】
実施形態によって、第１ポンプ７５１と第２ポンプ７５２とは、逆流防止モジュール７５３を持つチューブによって連結されて、第１ポンプ７５１を通じる排気が、第３チャンバモジュール７３０または第４チャンバモジュール７４０でも行われる。
【０１６８】
これを通じて、それぞれのチャンバモジュール７１０、７２０、７３０、７４０のうち一部のみで排気が要求される時、すべてのポンプまたは一部のポンプが駆動するように制御される。
【０１６９】
図８は、本発明の一実施形態による滅菌システムのブロック図である。
【０１７０】
図８では、説明の便宜のために、本発明の実施形態による滅菌システム８００を通じて滅菌工程が行われるチャンバモジュール８１０と、チャンバモジュール８１０を排気するポンプモジュール８２０と、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０とを連結して、排気された空気が流れるようにする連結部８３０と、が共に示される。
【０１７１】
本発明の一実施形態による滅菌システム８００は、化学的滅菌器、医療用滅菌器、低温プラズマ滅菌器とも呼ばれる。
【０１７２】
図８を参照すれば、滅菌システム８００は、滅菌しようとする被処理物が収納され、滅菌剤が供給されて、被処理物が滅菌されるチャンバ８１１を持つチャンバモジュール８１０と、チャンバモジュール８１０の内部空気を排気するポンプ８２１を持つポンプモジュール８２０と、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０とを連結して、内部空気が流れるようにする連結部８３０と、を備える。
【０１７３】
実施形態によって、滅菌システム８００では、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０とが独立的に離隔して、外装された形態に配置される。
【０１７４】
実施形態によって、滅菌システム８００では、連結部８３０の形態、調整などによって、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０との配置が独立的に変わる。
【０１７５】
実施形態によって、チャンバモジュール８１０は、被処理物が収納されるチャンバ８１１と、チャンバモジュール８１０の外側で連結された連結部８３０が、チャンバモジュール８１０の内部につながって、チャンバ８１１に連結されるようにする通路８１２と、を備える。
【０１７６】
チャンバ８１１は、被処理物が収納され、かつ密閉される空間を備える。
【０１７７】
通路８１２は、チャンバ８１１と連結部８３０との間を連結して、チャンバ８１１の内部空気がポンプモジュール８２０によって排気される時、連結部８３０にチャンバ８１１の内部空気が流れる経路である。
【０１７８】
実施形態によって、ポンプモジュール８２０は、吸気するポンプ８２１と、ポンプモジュール８２０の外側で連結された連結部８３０が、ポンプモジュール８２０の内部につながって、ポンプ８２１に連結されるようにする通路８２２と、を備える。
【０１７９】
ポンプ８２１は、連結されて目的とする所の空気を吸気するものであって、実施形態によって、真空ポンプでありうる。
【０１８０】
通路８２２は、ポンプ８２１と連結部８３０との間を連結し、ポンプ８２１の動作によって、連結部８３０の内に流れる空気がポンプ８２１に移動するように、空気が流れる経路である。
【０１８１】
本明細書における空気は、大気のみを意味するものではなく、大気とは構成比の異なる特定空間内の気体を意味する。また、本明細書での空気は、気体と共に流れることができる液状の物質または固状の物質を含むこともある。例えば、本明細書におけるチャンバの内部空気は、チャンバ内の気体だけではなく、滅菌剤または被処理物についている汚染物質などを共に含む。
【０１８２】
実施形態によって、連結部８３０は、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０との間を連結し、ポンプモジュール８２０によって吸気されるチャンバモジュール８１０の内部空気が流れる経路である。
【０１８３】
図９Ａないし図９Ｃは、本発明の一実施形態による滅菌システムにおいて、チャンバとポンプとの配置が変わることを説明するための図面である。
【０１８４】
図９Ａを参照すれば、連結部８３０ａは、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０とを連結し、内部が空の管状になっている。
【０１８５】
実施形態によって、連結部８３０ａがチャンバモジュール８１０と連結されている地点９１０ａの位置は、固定しているが、回転は自在である。よって、チャンバモジュール８１０を基準とする時、ポンプモジュール８２０は、連結されている地点９１０ａを中心として連結部８３０ａが回転することで、チャンバモジュール８１０との配置が変わる。
【０１８６】
実施形態によって、チャンバモジュール８１０と連結されている地点９１０ａの位置が変わるように構成される。例えば、地点９１０ａは、チャンバモジュール８１０の上下方向、左右方向、または連結部８３０ａの長手方向に移動するように経路を備えているか、または弾性素材からなる。
【０１８７】
また、実施形態によって、連結部８３０ａは、柔軟な素材からなって形状の変更が自在であり、チャンバモジュール８１０を基準として、ポンプモジュール８２０の位置がさらに多様に変わる。
【０１８８】
また、実施形態によって、連結部８３０ａは、伸縮性を持つか、あるいは長手方向に延長または短縮する構造を持って、長手方向に延長または短縮し、チャンバモジュール８１０を基準として、ポンプモジュール８２０の位置がさらに自由に変わる。
【０１８９】
実施形態によって、柔軟な素材からなる連結部８３０ａは、堅い素材からなる支持枠９２０ａを持つ。
【０１９０】
支持枠９２０ａは、バネ状をしており、連結部８３０ａの内側または外側に位置して、連結部８３０ａの内側に流れる空気による連結部８３０ａの破損または形状の変化を防止する。
【０１９１】
実施形態によって、支持枠９２０ａは、複数のリングになっていて、連結部８３０ａの長手方向に連続して、または一定間隔ほど離隔して位置するか、あるいは、連結部８３０ａの長手方向に伸びている帯が、連結部８３０ａの周り方向に連続して、または一定間隔ほど離隔して位置する。
【０１９２】
図９Ｂを参照すれば、連結部８３０ｂは、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０とを連結し、内部が空の管状になっており、堅い素材からなって形状が固定されている。
【０１９３】
実施形態によって、連結部８３０ｂがチャンバモジュール８１０と連結されている地点９１０ｂの位置、及び連結部８３０ｂの形状は固定されているが、連結部８３０ｂの回転は自由に行われる。チャンバモジュール８１０を基準とする時、ポンプモジュール８２０が連結されている地点９１０ｂを中心として、連結部８３０ｂが回転することで、ポンプモジュール８２０の配置が変わる。
【０１９４】
また、実施形態によって、連結部８３０ｂは、連結部８３０ａの実施形態の変更と同様に、連結されている地点９１０ｂの位置変更、長手方向の延長または短縮を行える。
【０１９５】
図９Ｃを参照すれば、連結部８３０ｃは、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０とを連結し、内部が空の管状になっており、堅い素材からなって形状が変わる。
【０１９６】
実施形態によって、連結部８３０ｃは，滅菌システム８００が配置される時に、その形状が定められる。例えば、連結部８３０ｃは、堅い素材からなっており、内部が空の管であって、長いチューブ８４０ｃと、このチューブに結合して、一定角度で方向を旋回可能にする結合部８５０ｃと、に連結される。この時、多様な長さのチューブ８４０ｃを、多様な角度で方向を旋回させる結合部８５０ｃにつなげながら、形状が定められる。実施形態によって、連結部、チューブ、結合部の数及び連結構造などは、多様な変形ができる。
【０１９７】
これを通じて、連結部８３０ｃは、チャンバモジュール８１０とポンプモジュール８２０との多様な配置を可能にする。
【０１９８】
実施形態によって、連結部８３０ｃは、チューブ８４０ｃと結合部８５０ｃとの組み合わせによって形状が固定された後、回転する。この時、連結されている地点９１０ｃは、位置変更、長手方向の延長または短縮を可能にする。
【０１９９】
実施形態によって、連結部８３０は、柔軟な素材からなる連結部と、堅い素材からなる連結部との組み合わせで構成される。
【０２００】
実施形態によって、連結部８３０は、内部空気の流れる経路の内側が、堅い素材からなっている。
【０２０１】
実施形態によって、内部空気の流れる経路の内側に含まれている堅い素材は、耐火学性を持つ。
【０２０２】
実施形態によって、連結部８３０は、内部空気の流れる経路の内側に、堅い素材または耐火学性の素材を含み、経路の内側で流れる内部空気に含まれている物質（例えば、残余滅菌剤など）による損傷または変形を防止する。
【０２０３】
これを通じて、連結部８３０は、滅菌が繰り返して行われても、損傷や変形がなくて、繰り返し信頼性を確保する。
【０２０４】
実施形態によって、連結部８３０は、内部空気の流れる経路の外側が、堅い素材からなっている。
【０２０５】
これを通じて、連結部８３０は、外部の物理的衝撃による破損または欠陷を防止する。
【０２０６】
例えば、経路に損傷または変形が生じれば、ポンピング速度が低下して、滅菌信頼性が低くなるという問題が発生するため、連結部８３０は、内部空気の流れる経路の内側または外側に、堅い素材または耐火学性のある素材を含めて、滅菌信頼性が低くなるという問題を解決する。
【０２０７】
実施形態によって、連結部８３０の長さは、１．５ｍ以内である。連結部８３０が長くなれば、ポンプモジュール８２０によるポンピングが有効にチャンバモジュール８１０に伝えられないため、滅菌工程で要求される有効ポンピング速度に合わせるためには、最大１．５ｍを超えてはいけない。但し、このような連結部８３０の最大長さは、ポンピング速度、チャンバの容量、有効滅菌対象物の体積などによって変わる。
【０２０８】
実施形態によって、連結部８３０は、空気の流れるチューブケーブルである。
【０２０９】
実施形態によって、滅菌システム８００は、制御部（図示せず）をさらに備え、連結部８３０の長さに関する情報を、ユーザ入力またはポンピング動作を通じて測定される値（例えば、特定圧力レベルに到逹するまでポンピングされる時間、チャンバ８１１、ポンプ８２１または連結部８３０の内部で測定される圧力値など）を用いて導出し、長さに関する情報を用いて、滅菌工程の時に動作されるべきポンピング速度、ポンピング時間、ポンピング強度、滅菌工程の段階別駆動時間ないし滅菌工程の段階別の待ち時間のうち、少なくともいずれか一つを制御する。
【０２１０】
実施形態によって、連結部８３０は、逆流防止モジュールを備え、チャンバモジュール８１０からポンプモジュール８２０への空気の流れ方向が逆行して、ポンプモジュール８２０からチャンバモジュール８１０へ空気が流れ込むことを防止する。
【０２１１】
実施形態によって、制御部（図示せず）は、連結部８３０の長さに関する情報を用いて、ポンプ８２１の動作を制御する。
【０２１２】
実施形態によって、制御部（図示せず）は、ポンプの動作強度または時間を制御する。
【０２１３】
実施形態によって、制御部（図示せず）は、ポンプモジュール８２０を、動作強度または時間に対して予め設定されている基準値で動作させる、試運転モードを行う。
【０２１４】
実施形態によって、制御部（図示せず）は、試運転モードを通じて、連結部８３０によるポンプモジュール８２０の配置が適しているかどうかに関する適合性を判断する。
【０２１５】
実施形態によって、制御部（図示せず）は、適合性を判断するに当って、ポンプモジュール８２０の動作が、チャンバモジュール８１０の内部空気を排気するのに十分であるかどうかを、排気量または排気時間を通じて判断する。
【０２１６】
実施形態によって、制御部（図示せず）は、試運転モードを除いた作動モードでの、ポンプモジュール８２０の動作強度または時間を、試運転モードを通じて測定された排気量または排気時間を基準として定める。
【０２１７】
図１０は、本発明の一実施形態によるチャンバモジュールのブロック図であり、図１１は、本発明の一実施形態によるポンプモジュールのブロック図である。
【０２１８】
図１０及び図１１を参照すれば、チャンバモジュール１０００は、チャンバ１０１０と、カートリッジ１０２０と、滅菌剤提供部１０３０と、滅菌剤抽出部１０４０と、連結配管部１０５０と、チャンバ・ハウジング１０６０と、を備える。
【０２１９】
実施形態によって、チャンバモジュール１０００では、チャンバ１０１０に滅菌しようとする対象物（被処理物）が収納されて、滅菌が行われるチャンバモードと、カートリッジ１０２０の包装紙１０２３に被処理物が収納されて、滅菌が行われるポーチモードと、が選択的に運用される。
【０２２０】
実施形態によって、チャンバ１０１０は、滅菌しようとする対象物（被処理物）を内部に収納するための、あるいは、カートリッジ１０２０を支持または内部に収納するための構造物である。実施形態によって、チャンバ１０１０は、その内部が減圧するように密閉される。
【０２２１】
カートリッジ１０２０は、滅菌剤コンテナ１０２１、注入部１０２２、及び包装紙１０２３を含んで構成される。
【０２２２】
実施形態によって、カートリッジ１０２０は、チャンバ１０１０に固定される。
【０２２３】
実施形態によって、滅菌剤コンテナ１０２１は、滅菌に使われる滅菌剤を収納または保管するように一定の内部空間を持ち、その内部に、過酸化水素水などの滅菌剤を収納する。滅菌剤コンテナ１０２１は、収納された滅菌剤が流れ出さないように密封材によって密封される。この時、密封材は、滅菌剤の抽出のために、滅菌剤コンテナ１０２１の外面に開いている、滅菌剤の流れる経路（例えば、ニードルなどの尖った物体が貫通して生じた孔）が再び閉まるように、弾性を持つ。
【０２２４】
実施形態によって、密封材は、弾性のあるシリコン、ゴム、合成樹脂などを用いて作られ、滅菌剤と化学反応を起こせずに、尖った物体によって貫通される素材からなる。
【０２２５】
また、他の実施形態として、滅菌剤コンテナ１０２１は、密封材と滅菌剤の収納空間との間にフィルムをさらに含めて、滅菌剤の流出を防止する。実施形態によって、フィルムは、滅菌剤と化学反応を起こせずに、尖った物体によって貫通される素材からなる。
【０２２６】
注入部１０２２は、カートリッジ１０２０を通じて、チャンバ１０１０または包装紙１０２３に滅菌剤を供給するか、あるいは、包装紙１０２３の内部を減圧させる。このような機能を果たすために、注入部１０２２は、チャンバ１０１０または包装紙１０２３と連結された通路を備える。
【０２２７】
注入部１０２２は、ニードルなどの尖った物体によって貫通され、貫通されて滅菌剤の供給または減圧のための排気が行われた後、貫通された部分が再び閉まって包装紙１０２３が再び密封状態に戻るように、弾性のある密封材を備える。
【０２２８】
包装紙１０２３は、カートリッジ１０２０の本体に密封結合され、その内部に被処理物が収納される。但し、前述したチャンバモードのみで運用されるチャンバモジュール１０００は、包装紙１０２３なしで構成される。
【０２２９】
実施形態によって、包装紙１０２３は、被処理物が収納される前には、収納のために開放されている一面を持つが、収納された後で密封されるように、開放されている一面が密封接着される。例えば、包装紙１０２３は、開放されている一面を熱圧着する方法を用いて、密封される。
【０２３０】
実施形態によって、カートリッジ１０２０は、タッグ（図示せず）をさらに備える。タッグは、カートリッジ１０２０の情報を確認できるバーコード、ＱＲコードなどの表式を意味し、カートリッジ１０２０の一面に、滅菌システムが確認できるように形成される。
【０２３１】
滅菌剤提供部１０３０は、滅菌剤抽出部１０４０から抽出された滅菌剤を伝達される配管１０３３と、配管１０３３を通じて伝達された滅菌剤を、加熱して気化する気化器１０３２と、注入部１０２２を密封した密封材を貫通するニードル１０３１と、を含んで構成される。
【０２３２】
滅菌剤抽出部１０４０は、滅菌剤コンテナ１０２１を密封した密封材を貫通するニードル１０４１と、滅菌剤の流れを制御する第１弁１０４２と、ニードル１０４１を上下方向に動かす駆動部１０４３と、を含んで構成される。
【０２３３】
チャンバ・ハウジング１０６０は、チャンバモジュールのケースである。チャンバ・ハウジング１０６０は、チャンバモジュールを構成する内部部品を外部の衝撃から保護し、外部から一定部分ほど区分される空間であって、滅菌工程が外部の環境から影響されることを防止する。特に、チャンバ・ハウジング１０６０は、ポンプモジュール１１００から、チャンバモジュール１０００を、独立して個別的な装置として区分させ、ポンプモジュール１１００による影響をほとんど受けずに独立的な配置が可能である。
【０２３４】
実施形態によって、チャンバ・ハウジング１０６０は、チャンバモジュール１０００とポンプモジュール１１００とを連結させる連結部が結合される結合部１０６１をさらに備える。
【０２３５】
実施形態によって、結合部１０６１は、固定された位置であり、上下方向、左右方向ないし深み方向に移動するように構成される。
【０２３６】
ポンプモジュール１１００は、ポンプ１１１０と、気体の流れを制御する第２弁１１２０と、フィルタ１１３０と、ポンプ・ハウジング１１４０と、を含んで構成される。
【０２３７】
フィルタ１１３０は、ポンプ１１１０と連結されるか、またはポンプ・ハウジング１１４０の外部及び内部空気が流れる部分に設けられて、ポンプ１１１０の駆動によって、チャンバモジュール１０００から排気された気体を外部に排出する時、該気体に含まれている有害成分を欠かす。実施形態によって、フィルタ１１３０は、該気体に含まれている滅菌剤成分、または被処理物から分離された汚染物質を浄化するための、脱臭フィルタまたはオゾン（Ｏ３）フィルタである。
【０２３８】
ポンプ・ハウジング１１４０は、ポンプモジュールのケースである。ポンプ・ハウジング１１４０は、ポンプモジュールを構成する内部部品を、外部の衝撃から保護し、外部から一定部分ほど区分される空間である。
【０２３９】
実施形態によって、ポンプ・ハウジング１１４０は、ポンプモジュール１１００の内部の空気を外部に排出させるファンをさらに備える。実施形態によって、ポンプモジュール１１００は、内部の空気が外部に排出される経路に、フィルタ１１３０を備える。
【０２４０】
図１２は、本発明の一実施形態による滅菌方法を示すフローチャートである。
【０２４１】
図１２を参照すれば、本発明の一実施形態による滅菌方法は、カートリッジ１０２０が滅菌システムのチャンバモジュール１０００に装着される工程（Ｓ１２１０）、カートリッジ１０２０に表示されたタッグ（図示せず）を通じて情報を獲得する工程（Ｓ１２２０）と、チャンバモードであるか、あるいはポーチモードであるかを選択する工程（Ｓ１２３０）と、ポーチモードで滅菌が行われる工程（Ｓ１２４０−１）と、チャンバモードで滅菌が行われる工程（Ｓ１２４０−２）と、を含む。
【０２４２】
Ｓ１２１０工程で、カートリッジ１０２０は、滅菌システムのチャンバモジュール１０００に装着される。実施形態によって、カートリッジ１０２０の包装紙１０２３、またはチャンバモジュール１０００のチャンバ１０１０は、滅菌しようとする対象物（被処理物）を収納する。
【０２４３】
実施形態によって、Ｓ１２１０工程で、滅菌システムは、被処理物が、カートリッジ１０２０の包装紙１０２３と、チャンバモジュール１０００のチャンバ１０１０のうち、どこに収納されたかに関する情報を入力される。
【０２４４】
Ｓ１２２０工程で、滅菌システムは、タッグ（図示せず）を通じて得た情報を用いて、カートリッジ１０２０が正常品であるか、あるいは再使用されたものであるかを判断する。実施形態によって、Ｓ１２２０工程で、滅菌システムは、タッグ（図示せず）を通じて得た情報を用いて、被処理物が、カートリッジ１０２０の包装紙１０２３と、チャンバモジュール１０００のチャンバ１０１０のうち、とこに収納されたかに関する情報を抽出する。
【０２４５】
Ｓ１２３０工程で、滅菌システムは、ユーザの入力と、カートリッジから獲得する情報と、被処理物が、チャンバと包装紙のうち、どこに収納されたかに関する情報と、カートリッジに包装紙がついているかどうかに関する情報のうち、少なくともいずれか一つを用いて、滅菌動作がチャンバモードであるか、あるいはポーチモードであるかを選択する。実施形態によって、滅菌システムは、Ｓ１２２０工程で抽出したカートリッジ１０２０の包装紙１０２３と、チャンバモジュール１０００のチャンバ１０１０のうち、どこに収納されたかに関する情報を用いて、チャンバモードであるか、あるいはポーチモードであるかを選択する。
【０２４６】
チャンバモードでは、チャンバ１０１０を、滅菌剤の注入される滅菌工程が行われる空間として使い、ポーチモードでは、包装紙１０２３を、滅菌剤の注入される滅菌工程が行われる空間として使う。
【０２４７】
滅菌システムは、Ｓ１２３０を通じてチャンバモードと選択された場合、ポーチモードで滅菌が行われる工程（Ｓ１２４０−１）を行い、Ｓ１２３０を通じてポーチモードと選択された場合、チャンバモードで滅菌が行われる工程（Ｓ１２４０−２）を行う。
【０２４８】
ポーチモードで滅菌が行われる工程（Ｓ１２４０−１）は、ニードルが移動する工程（Ｓ１２４１−１）と、チャンバ及び包装紙を排気する工程（Ｓ１２４２−１）と、滅菌剤を抽出する工程（Ｓ１２４３−１）と、滅菌剤を包装紙に注入する工程（Ｓ１２４４−１）と、滅菌剤を包装紙から排気する工程（Ｓ１２４５−１）と、チャンバ及び包装紙をガス抜きする工程（Ｓ１２４６−１）と、を含んで構成される。
【０２４９】
Ｓ１２４１−１工程で、滅菌システムの駆動部１０４３は、滅菌剤抽出部１０４０のニードル１０４１及び滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１を、カートリッジ１０２０の方向に移動させて、滅菌剤コンテナ１０２１の密封材及び注入部１０２２の密封材に貫通させる。実施形態によって、駆動部１０４３は、滅菌剤抽出部１０４０のニードル１０４１及び滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１を、独立して個別的に移動させるように構成する。
【０２５０】
実施形態によって、Ｓ１２４１−１工程を行う前に、滅菌システムは、Ｓ１２４１−２工程のようにチャンバ１０１０の内部空気を排気して、チャンバ１０１０の密閉性を確保する。例えば、チャンバ１０１０は、チャンバドア（図示せず）を備え、前記チャンバドアを開いて被処理物を収納し、チャンバドアを閉めて密閉させる。この時、滅菌システムは、被処理物が収納されているチャンバドアが閉まれば、チャンバ１０１０の内部空気を排気して、チャンバドアをさらに気密に閉め、閉鎖性を確保する。
【０２５１】
Ｓ１２４２−１工程で、滅菌システムは、滅菌剤提供部１０３０とポンプ１１１０とを連結させた後、ポンプ１１１０と、滅菌剤抽出部１０４０の第１弁１０４２と、ポンプモジュール１１００の第２弁１１２０との動作によって（第１弁１０４２は閉まり、第２弁１１２０は開く）、滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１の内部管、または注入部１０２２の通路を通じて、包装紙１０２３の内部の気体を排気して減圧させる。実施形態によって、Ｓ１２４２−１工程で、滅菌システムは、チャンバ１０１０とポンプ１１１０とを連結させて、チャンバ１０１０の内部空気をさらに排気する。実施形態によって、滅菌システムは、包装紙１０２３とチャンバ１０１０との空気を同時排気する。
【０２５２】
Ｓ１２４３−１工程で、滅菌システムは、滅菌剤抽出部１０４０とポンプ１１１０とを連結させた後、ポンプ１１１０と、滅菌剤抽出部１０４０の第１弁１０４２と、ポンプモジュール１１００の第２弁１１２０との動作によって（第１弁１０４２は開き、第２弁１１２０は閉まる）、滅菌剤抽出部１０４０のニードル１０４１の内部管による圧力差を用いて、滅菌剤コンテナ１０２１に収納されている滅菌剤を抽出する。
【０２５３】
Ｓ１２４４−１工程で、滅菌システムは、抽出した滅菌剤を、圧力差または重力を用いて、滅菌剤提供部１０３０の配管１０３１を通じて気化器１０３２に伝達し、気化器１０３２で気化した滅菌剤を、圧力差を用いて、滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１の内部管、またはカートリッジ１０２０の注入部１０２２の通路を通じて、包装紙１０２３に注入する。これを通じて、滅菌システムは、気化した滅菌剤が包装紙１０２３の内部に拡散及び移動して、被処理物を滅菌する。
【０２５４】
実施形態によって、Ｓ１２４２−１工程で、滅菌システムの連結配管部は、連結されているポンプモジュール１１００による排気をチャンバ１０１０に連結させて、チャンバ１０１０を減圧させ、包装紙１０２３が膨張して、滅菌剤をさらに容易に注入または拡散させる。Ｓ１２４４−１工程で、滅菌システムは、滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１の内部管、またはカートリッジ１０２０の注入部１０２２の通路を通じて、滅菌剤の流れる経路が形成されれば、包装紙１０２３の内部圧力は、チャンバ１０１０の内部圧力より高く、包装紙１０２３が膨脹して所定の体積が確保され、この圧力差によって、滅菌剤が包装紙１０２３の内部に拡散する。
【０２５５】
Ｓ１２４５−１工程で、滅菌システムは、ポンプ１１１０と、滅菌剤抽出部１０４０の第１弁１０４２と、ポンプモジュール１１００の第２弁１１２０との動作によって（第１弁１０４２は閉まり、第２弁１１２０は開く）、滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１の内部管または注入部１０２２の通路を通じて、包装紙１０２３の内部の気体及び滅菌剤を排気する。実施形態によって、ポンプモジュール１１００は、排気された気体及び滅菌剤をポンプモジュールに排出する経路に、フィルタ１１３０を置き、これを浄化して排出する。実施形態によって、チャンバモジュール１０００は、プラズマ処理部（図示せず）を、排気される経路に置き、滅菌剤を分解する。
【０２５６】
Ｓ１２４６−１工程で、滅菌システムは、チャンバ１０１０をガス抜きし、ニードル１０３１及び１０４１を用いて包装紙１０２３をガス抜きする。実施形態によって、チャンバ１０１０及び包装紙１０２３をガス抜きするための、外部空気が流れ込む経路には、フィルタ（図示せず）を備える。
【０２５７】
実施形態によって、Ｓ１２４６−１工程で、滅菌システムは、チャンバ１０１０はガス抜きし、包装紙１０２３はガス抜きしないことで、包装紙１０２３を無菌性保証とする。
【０２５８】
実施形態によって、無菌性保証は、真空密封である。
【０２５９】
実施形態によって、Ｓ１２４６−１工程で、滅菌システムは、ニードル１０３１及び１０４１を元の位置に戻す。
【０２６０】
チャンバモードで滅菌が行われる工程（Ｓ１２４０−２）は、チャンバ１０１０の内部空気を排気する工程（Ｓ１２４１−２）と、滅菌剤を抽出する工程（Ｓ１２４２−２）と、滅菌剤をチャンバに注入する工程（Ｓ１２４３−２）と、滅菌剤をチャンバから排気する工程（Ｓ１２４４−２）と、チャンバをガス抜きする工程（Ｓ１２４５−２）と、を含んで構成される。
【０２６１】
Ｓ１２４１−２工程で、滅菌システムは、チャンバ１０１０とポンプ１１１０とを連結し、ポンプ１１１０の駆動により、チャンバ１０１０の内部空気を排気して、チャンバ１０１０の内部圧力を低める。
【０２６２】
Ｓ１２４２−２工程で、滅菌システムは、滅菌剤抽出部１０４０とポンプ１１１０とを連結させた後、ポンプ１１１０と、滅菌剤抽出部１０４０の第１弁１０４２と、ポンプモジュール１１００の第２弁１１２０との動作によって（第１弁１０４２は開き、第２弁１１２０は閉まる）、滅菌剤抽出部１０４０のニードル１０４１の内部管による圧力差を用いて、滅菌剤コンテナ１０２１に収納されている滅菌剤を抽出する。
【０２６３】
実施形態によって、滅菌システムは、Ｓ１２４３−１工程とＳ１２４２−２工程とを、同じ動作と定義する。
【０２６４】
Ｓ１２４３−２工程で、滅菌システムは、抽出した滅菌剤を、圧力差または重力を用いて、滅菌剤提供部１０３０の配管１０３１を通じて気化器１０３２に伝達し、気化器１０３２で気化した滅菌剤を、圧力差を用いて、滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１の内部管、またはカートリッジ１０２０の注入部１０２２の通路を通じて、チャンバ１０１０に注入する。これを通じて、滅菌システムは、気化した滅菌剤が包装紙１０１０の内部に拡散及び移動して、チャンバ１０１０に収納されている被処理物を滅菌する。この時、Ｓ１２４１−２工程によって、チャンバ１０１０は、内部圧力の低い状態で滅菌剤が流れ込むことで、さらによく拡散する。
【０２６５】
実施形態によって、滅菌システムは、Ｓ１２４４−１工程とＳ１２４３−２工程とを、同じ動作と定義する。
【０２６６】
Ｓ１２４４−２工程で、滅菌システムは、ポンプ１１１０と、滅菌剤抽出部１０４０の第１弁１０４２と、ポンプモジュール１１００の第２弁１１２０との動作によって（第１弁１０４２は閉まり、第２弁１１２０は開く）、滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１の内部管または注入部１０２２の通路を通じて、チャンバ１０１０の内部の気体及び滅菌剤を排気する。
【０２６７】
Ｓ１２４５−２工程で、滅菌システムは、チャンバ１０１０をガス抜きする。
【０２６８】
実施形態によって、Ｓ１２４５−２工程で、滅菌システムは、滅菌剤抽出部１０４０のニードル１０４１または滅菌剤提供部１０３０のニードル１０３１を、元の位置に戻す。
【０２６９】
図１３は、本発明の他の実施形態による滅菌装置と追加チャンバモジュールとの連結状態を示す図面である。
【０２７０】
図１３を参照すれば、本発明の他の実施形態による滅菌装置１２００は、ポンプモジュール１３００及び基本チャンバモジュール１４００−１を備え、追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３は、ポンプモジュール１３００に選択的に連結される。
【０２７１】
滅菌装置１２００と、追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３とは、互いに連結されて一つの滅菌システムを構成する。
【０２７２】
ポンプモジュール１３００と、追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３とは、ポンプモジュール１３００と、追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３それぞれの外部ハウジングを基準として、互いに独立的なモジュールに区分される。
【０２７３】
追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３は、滅菌装置１２００と独立した形態で構成され、外部チューブ１２１０−１及び１２１０−２を通じてポンプモジュール１３００に連結される。
【０２７４】
図１３では、２個の追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３が、ポンプモジュール１３００に連結される場合を例示しているが、連結できる追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３の数は、少なくとも一つ以上である。
【０２７５】
実施形態によって、基本チャンバモジュール１４００−１と、追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３それぞれは、被処理物を収納するチャンバ（図示せず）と、チャンバに連結されて気化した滅菌剤を供給する気化器（図示せず）と、を備える。
【０２７６】
図１４は、図１３に示されているポンプモジュールの一実施形態によるブロック図である。
【０２７７】
図１３及び図１４を参照すれば、ポンプモジュール１３００Ａは、ハウジング１３１０と、ポンプ１３２０と、複数の内部チューブ１３３１Ａ及び１３３２Ａと、複数の弁１３４１ないし１３４３と、第１結合部１３５１と、複数の第２結合部１３５２及び１３５３と、フィルタ１３６０と、プロセッサ１３１５と、を備える。
【０２７８】
ハウジング１３１０は、ポンプモジュール１３００Ａのそれぞれの構成（例えば、１３２０ないし１３７０）を取り囲むように構成され、ポンプモジュール１３００Ａのそれぞれの構成（例えば、１３２０ないし１３７０）を、外部衝撃などから保護する。
【０２７９】
ポンプ１３２０は、ポンプモジュール１３００Ａに内蔵されて、ポンプモジュール１３００Ａに連結される基本チャンバモジュール１４００−１と、少なくとも一つの追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３とから内部空気を吸気して、フィルタ１３６０側に排気させる。
【０２８０】
実施形態によって、ポンプ１３２０は、真空ポンプとして具現される。
【０２８１】
第１内部チューブ１３３１Ａは、ポンプ１３２０と第１結合部１３５１との間を連結して、内部空気を流す。
【０２８２】
第１内部チューブ１３３１Ａには、第１弁１３４１が配置され、第１弁１３４１によって、第１内部チューブ１３３１Ａに流れる内部空気の流れが制御される。
【０２８３】
第１結合部１３５１は、基本チャンバモジュール１４００−１と、ポンプモジュール１３００Ａとを連結させる。
【０２８４】
実施形態によって、第１結合部１３５１は、基本チャンバモジュール１４００−１と、ポンプモジュール１３００Ａとを、物理的に結合、固定させるための構造を備える。
【０２８５】
実施形態によって、第１結合部１３５１は、基本チャンバモジュール１４００−１とポンプモジュール１３００Ａとの間で、内部空気が、密閉された経路を通じて流れるように、その内部に通路構造を備える。
【０２８６】
実施形態によって、第１結合部１３５１は、基本チャンバモジュール１４００−１の内部のチューブを通じて、チャンバ（図示せず）まで連結される。
【０２８７】
第２内部チューブ１３３２Ａは、ポンプ１３２０と第２結合部１３５２及び１３５３との間を連結して、内部空気を流す。
【０２８８】
実施形態によって、ポンプモジュール１３００Ａに、少なくとも２つ以上の追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３が連結される場合、第２結合部１３５２及び１３５３は、図１４に示したように、複数で具現される。この時、第２内部チューブ１３３２Ａは、複数の第２結合部１３５２及び１３５３の数に応じて分岐され、ポンプ１３２０と、複数の第２結合部１３５２及び１３５３それぞれとを連結させる。
【０２８９】
第２内部チューブ１３３２Ａで分岐されたそれぞれの経路には、第２弁１３４２及び１３４３が配置され、第２弁１３４２及び１３４３によって、第２内部チューブ１３３１Ａに流れる内部空気の流れが制御される。
【０２９０】
フィルタ１３６０は、ポンプ１３２０と連結されるか、またはポンプ・ハウジング１３１０の外部及び内部空気が流れる部分に設けられて、ポンプ１３２０の駆動によって、チャンバモジュール１４００−１ないし１４００−３から排気された気体を外部に排出する時、該気体に含まれている有害成分を欠かす。例えば、フィルタ１３６０は、該気体に含まれている滅菌剤成分、または被処理物から分離された汚染物質を浄化するための、脱臭フィルタまたはＯ３フィルタなどで具現される。
【０２９１】
プロセッサ１３７０は、ポンプモジュール１３００Ａの全般的な動作を制御する。
【０２９２】
実施形態によって、プロセッサ１３７０は、複数の弁１３４１ないし１３４３の開放状態及び閉鎖状態を制御する。
【０２９３】
実施形態によって、プロセッサ１３７０は、複数の弁１３４１ないし１３４３のうち、一つの弁（例えば、１３４１）が開放状態に制御されたならば、残りの弁（例えば、１３４２及び１３４３）は、閉鎖状態に制御する。この時、プロセッサ１３７０は、所定のスケジュールによって、複数の弁１３４１ないし１３４３を順次に開いて、相応するチャンバモジュール１４００−１ないし１４００−３を排気させる。
【０２９４】
他の実施形態によって、プロセッサ１３７０は、第１弁１３４１と、第２弁１３４２及び１３４３のうち、一つの弁（例えば、１３４２）を共に開放状態に制御し、この場合、複数の追加チャンバモジュール１４００−２及び１４００−３のうちいずれか一つと、基本チャンバモジュール１４００−１とが共に排気される。
【０２９５】
実施形態によって、プロセッサ１３７０は、第２結合部１３５２及び１３５３を通じて連結されている、少なくとも一つの追加チャンバモジュール（例えば、１４００−２及び１４００−３）の数を感知し、感知された追加チャンバモジュール（例えば、１４００−２及び１４００−３）の数に応じて、ポンプ１３２０のポンピング速度、ポンピング強度、及びポンピング時間のうち、少なくともいずれか一つを制御する。例えば、感知された追加チャンバモジュールの数が増加するにつれて、ポンピング速度を高めるか、ポンピング強度を増加させるか、またはポンピング時間を延ばす。
【０２９６】
実施形態によって、ポンプモジュール１３００Ａは、チャンバモジュール１４００−１ないし１４００−３の内部のチャンバ、またはチャンバの内部に滅菌対象物を入れるために配置されたポーチ、またはポーチが結合されているカートリッジから、内部空気を排気させる。
【０２９７】
図１５は、図１３に示されているポンプモジュールの他の実施形態によるブロック図である。
【０２９８】
図１３ないし図１５を参照すれば、ポンプモジュールの他の実施形態１３００Ｂによれば、図１４のポンプモジュール１３００Ａに比べて、内部チューブ１３３１Ｂ、１３３２Ｂ−１、１３３２Ｂ−２、１３３３Ｂの構造に差がある。
【０２９９】
第１内部チューブ１３３１Ｂは、ポンプ１３２０と第１結合部１３５１との間を連結して、内部空気を流す。
【０３００】
第２内部チューブ１３３２Ｂ−１及び１３３２Ｂ−２は、ポンプ１３２０と第２結合部１３５２及び１３５３との間を連結して、内部空気を流す。
【０３０１】
第１内部チューブ１３３１Ｂと、第２内部チューブ１３３２Ｂ−１及び１３３２Ｂ−２とは、一つの第３内部チューブ１３３３Ｂに集まって、ポンプ１３２０と連結される。
【０３０２】
実施形態によって、第３内部チューブ１３３３Ｂには、内部気体の逆流を防止するための逆流防止モジュールがさらに備えられる。
【０３０３】
図１６は、本発明の他の実施形態による滅菌装置と追加チャンバモジュールとの連結状態を示す図面である。図１７は、図１６に示されている滅菌装置の詳細構成を示すブロック図である。
【０３０４】
図１６及び図１７を共に参照すれば、滅菌装置１５００は、ポンプモジュール１６００及び基本チャンバモジュール１７００−１を備え、追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３は、滅菌装置１５００に選択的に連結される。
【０３０５】
実施形態によって、追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３は、基本チャンバモジュール１７００−１の上部に順次に積層される形態で結合される。
【０３０６】
滅菌装置１５００のポンプモジュール１６００及び基本チャンバモジュール１７００−１は、追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３それぞれと、外部ハウジングとを基準として、相互独立的なモジュールに区分される。
【０３０７】
図１６及び図１７では、２個の追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３が連結される場合を例示しているが、連結できる追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３の数は、少なくとも一つ以上である。
【０３０８】
基本チャンバモジュール１７００−１と、追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３それぞれは、被処理物を収納するチャンバ１７１０−１ないし１７１０−３と、チャンバに連結されて気化した滅菌剤を供給する気化器１７２０−１ないし１７２０−３と、を備える。
【０３０９】
ポンプモジュール１６００は、ポンプ１６２０と、内部チューブ１６３０と、弁１６４０と、第１結合部１６５０と、フィルタ１６６０と、プロセッサ１６７０と、を備える。
【０３１０】
内部チューブ１６３０と、これに相応する弁１６５０それぞれが、一つに構成され、結合部が第１結合部１６５０の一つに構成されるという点を除けば、ポンプモジュール１６００の残りの構成１６２０、１６６０、１６７０は、図２のポンプモジュール１３００Ａまたは図３のポンプモジュール１３００Ｂと、実質的に等しい。
【０３１１】
内部チューブ１６３０は、ポンプ１６２０と第１結合部１６５０との間を連結して、内部空気を流す。
【０３１２】
内部チューブ１６３０には、弁１６４０が配置され、弁１６４０によって、内部チューブ１６３０に流れる内部空気の流れが制御される。
【０３１３】
ポンプモジュール１６００の第１結合部１６５０は、基本チャンバモジュール１７００−１の第１結合部１７５１−１と結合する。
【０３１４】
実施形態によって、ポンプモジュール１６００の第１結合部１６５０は、基本チャンバモジュール１７００−１の第１結合部１７５１−１と物理的に結合、固定させるための構造を備える。
【０３１５】
実施形態によって、ポンプモジュール１６００の第１結合部１６５０は、基本チャンバモジュール１７００−１の第１結合部１７５１−１の内部空気が、密閉された経路を通じて流れるように、その内部に通路構造を備える。
【０３１６】
追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３は、基本チャンバモジュール１７００−１と同じ構造を持つため、以下では、基本チャンバモジュール１７００−１の構造を中心として、詳細な構成を説明する。
【０３１７】
基本チャンバモジュール１７００−１は、チャンバ１７１０−１と、気化器１７２０−１と、内部チューブ１７３１−１及び１７３２−１と、第１結合部１７５１−１と、第２結合部１７５２−１と、を備える。
【０３１８】
基本チャンバモジュール１７００−１の第１結合部１７５１−１は、ポンプモジュール１６００の第１結合部１６５０と結合して、内部空気を、密閉された経路を通じて流す。
【０３１９】
基本チャンバモジュール１７００−１の第２結合部１７５２−１は、追加チャンバモジュール１７００−２の第１結合部１７５１と結合して、内部空気を、密閉された経路を通じて流す。
【０３２０】
第１結合部１７５１−１と第２結合部１７５２−１との間には、第１内部チューブ１７３１−１が連結されて、その内部で内部空気を流す。
【０３２１】
第１内部チューブ１７３１−１は、チャンバ１７１０−１とポンプ１６２０との間で内部空気を流すために、第２内部チューブ１７３２−１に分岐されて、チャンバ１７１０−１側に連結される。
【０３２２】
第２内部チューブ１７３２−１には、弁１７４０−１が配置され、弁１７４０−１によって、チャンバ１７１０−１からの内部空気のフローが制御される。
【０３２３】
実施形態によって、基本チャンバモジュール１７００−１と、追加チャンバモジュール１７００−２及び１７００−３とは、ポンプモジュール１６００に積層形態に結合されることで、ポンプモジュール１６００とデータを送受信するための通信経路が、接点を通じて電気的に連結される。この場合、ポンプモジュール１６００のプロセッサ１６７０によって、チャンバモジュール１７００−１ないし１７００−３の弁１７４０−１ないし１７４０−３の開閉が制御される。
【０３２４】
実施形態によって、プロセッサ１６７０は、複数の弁１７４０−１ないし１７４０−３のうち、一つの弁（例えば、１７４０−１）が開放状態に制御されたならば、残りの弁（例えば、１７４０−２、１７４０−３）は、閉鎖状態に制御する。この時、プロセッサ１６７０は、所定のスケジュールによって、複数の弁１７４０−１ないし１７４０−３を順次に開いて、相応するチャンバモジュール１７００−１ないし１７００−３を排気させる。
【０３２５】
実施形態によって、プロセッサ１７７０は、連結されている少なくとも一つの追加チャンバモジュール（例えば、１７００−２及び１７００−３）の数を感知し、感知された追加チャンバモジュール（例えば、１７００−２及び１７００−３）の数に応じて、ポンプ１６２０のポンピング速度、ポンピング強度、及びポンピング時間のうち、少なくともいずれか一つを制御する。例えば、感知された追加チャンバモジュールの数が増加するにつれて、ポンピング速度を高めるか、ポンピング強度を増加させるか、またはポンピング時間を延ばす。例えば、プロセッサ１７７０は、ポンプ１６２０の側で感知される圧力変化を通じて連結された、少なくとも一つの追加チャンバモジュール（例えば、１７００−２及び１７００−３）の数を感知することもある。
【０３２６】
以上、添付した図面を参照して本発明の実施形態を説明した。しかし、本発明がこれらに限定されるものではない。
【図１】
2021512739.tif 000003
【図２Ａ】
2021512739.tif 000004
【図２Ｂ】
2021512739.tif 000005
【図３Ａ】
2021512739.tif 000006
【図３Ｂ】
2021512739.tif 000007
【図４】
2021512739.tif 000008
【図５】
2021512739.tif 000009
【図６】
2021512739.tif 000010
【図７】
2021512739.tif 000011
【図８】
2021512739.tif 000012
【図９Ａ】
2021512739.tif 000013
【図９Ｂ】
2021512739.tif 000014
【図９Ｃ】
2021512739.tif 000015
【図１０】
2021512739.tif 000016
【図１１】
2021512739.tif 000017
【図１２】
2021512739.tif 000018
【図１３】
2021512739.tif 000019
【図１４】
2021512739.tif 000020
【図１５】
2021512739.tif 000021
【図１６】
2021512739.tif 000022
【図１７】
2021512739.tif 000023
【国際調査報告】
2021512739.tif 000024
2021512739.tif 000025
2021512739.tif 000026
2021512739.tif 000027