(57)【要約】  物体保持装置（ＯＨＤ）を含み、コーティングされない物体の中間部分（８）をマスクしながら、コーティングされる物体（６）の対向する２つの端を蒸着に曝すための治具（１）であって、物体保持装置（ＯＨＤ）は、ホール（Ｈ）の第１セグメント（４）が先行するホールプレートストリップ（２）によって具現され、ホール（Ｈ）の第２セグメント（５）が後続のホールプレートストリップ（２）によって具現されるように、一対のホールプレートストリップ（２）によって各単一のホール（保持ホール；Ｈ）が形成されるように設計され配置された少なくとも１つのホールプレートストリップ（２）のバッテリ（３）からなる、治具（１）。
2021504575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体保持装置（ＯＨＤ）を含み、コーティングされない物体の中間部分（８）をマスクしながら、コーティングされる物体（６）の対向する２つの端を蒸着に曝すための治具（１）であって、前記物体保持装置（ＯＨＤ）は、ホール（Ｈ）の第１セグメント（４）が先行するホールプレートストリップ（２）によって具現され、前記ホール（Ｈ）の第２セグメント（５）が後続のホールプレートストリップ（２）によって具現されるように、一対のホールプレートストリップ（２）によって各単一の前記ホール（保持ホール；Ｈ）が形成されるように設計され配置された少なくとも１つのホールプレートストリップ（２）のバッテリ（３）からなることを特徴とする、治具（１）。
【請求項２】
各前記ホール（Ｈ）が、その全周に沿って把持される物体と面接触するように設計されていることを特徴とする、請求項１に記載の治具（１）。
【請求項３】
前記物体保持装置（ＯＨＤ）は、磁石（９）を含み、前記ホールプレートストリップ（２）によって保持された前記物体を引き付け、さらに固定することを特徴とする、請求項１または２に記載の治具（１）。
【請求項４】
前記物体保持装置（ＯＨＤ）は、平行に配置されたホールプレートストリップ（２）の２つのバッテリ（３）を含み、蒸着のない互いにマスクされた内部空間（Ｓ）を形成することを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の治具（１）。
【請求項５】
前記磁石（９）が、前記マスクされた内部空間（Ｓ）内に配置される個別部品であることを特徴とする、請求項３または４に記載の治具（１）。
【請求項６】
前記磁石（９）は、コーティングされる物体（６）の主軸（Ｌ）の方向と反対側の動きに対して、ホールプレートストリップ（２）の間にフォームフィットすることによって固定されるように寸法決めされていることを特徴とする、請求項５に記載の治具（１）。
【請求項７】
前記治具（１）は、ホールプレートストリップ（２）をそれらの間に通すための２つの対向するレール装置を含むことを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の治具（１）。
【請求項８】
各レール装置は、２つの平行なガイド設備を含み、各ガイド設備は、好ましくは、このスロットに挿入された前記ホールプレートストリップ（２）の面側を包含するスロットとして具現されていることを特徴とする、請求項７に記載の治具（１）。
【請求項９】
各前記レール装置は、好ましくは垂直方向に配向された、好ましくは一部分のバーによって形成されており、前記バーは、好ましくは水平方向に配向されたベースクロスバー（１３）によって理想的に運ばれることを特徴とする、請求項７または８に記載の治具（１）。
【請求項１０】
前記治具（１）は、前記ベースクロスバー（１３）を回転可能に支持するフットユニットを含むことを特徴とする、請求項９に記載の治具（１）。
【請求項１１】
前記治具（１）は、ホールプレートストリップ（２）のねじ切りのために開放または除去可能であり、以下、閉鎖可能な閉鎖クロスバー（１４）を含むことを特徴とする、請求項７から１０のいずれか１項に記載の治具（１）。
【請求項１２】
前記物体保持装置（ＯＨＤ）は、好ましくは垂直方向に配向した主面を有する平面的な前記主面（１５）を有することを特徴とする、請求項１から１１のいずれか１項に記載の治具（１）。
【請求項１３】
物体保持装置（ＯＨＤ）を含み、コーティングされる物体の中間部分（８）をコーティングされないようにマスクしながら、前記コーティングされる物体（６）の対向する２つの端を蒸着に曝すための治具（１）システムであって、前記治具システムは、請求項１から１２のいずれか１項に記載の治具（１）と、異なるホールセグメントを具現する異なるホールプレートストリップ（２）とを含み、前記異なりは、好ましくは、直径の違い、または平均直径、または明確な断面、または穴セグメントの数、および／またはホールセグメントの位置の違いであることを特徴とする、治具（１）システム。
【請求項１４】
コーティングされない物体の中間部分（８）をマスクしながら、コーティングされる物体（６）の対向する２つの端を同時に蒸着に曝すための方法であって、前記コーティングされる物体（６）は、ホール（Ｈ）のセグメントが前記コーティングに対してマスクされる領域において前記コーティングされる物体（６）を包含するように、前記ホール（Ｈ）の第１セグメント（４）を具現した第１ホールプレートストリップ（２）に対して配置され、前記コーティングされる物体（６）は、前記ホール（Ｈ）の前記セグメントが前記コーティングに対してマスクされる領域において前記コーティングされる物体（６）を包含するように、前記ホール（Ｈ）の第２セグメント（５）を具現した第２ホールプレートストリップ（２）に対して配置され、一方で、前記２つのホールプレートストリップ（２）は互いに当接して、前記コーティングされる物体（６）を完全に包含して保持することを特徴とする、方法。
【請求項１５】
蒸着チャンバと、少なくとも１つのターゲットと、退避ポンプと、好ましくは作業ガス入口ユニットと、請求項１から１４のいずれか１項に記載の治具（１）とを備えた蒸着設備であって、前記治具（１）は前記蒸着チャンバ内に回転可能に担持されており、蒸着中に回転可能に設定され得ることを特徴とする、蒸着設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の技術分野）
本発明は、細長い両頭物体用の治具、特に工具に関するものである。細長い両頭工具は、一端にある第１作業領域および他端にある第２作業領域、および第１作業領域と第２作業領域との間にある非作業領域に分割され得る。工具の伸長は工具軸を定義する。
【背景技術】
【０００２】
このような工具のライフサイクルを延ばすために、多くの場合、両方の作業領域をコーティングする必要がある。対照的に、非作業領域をコーティングしないことが望ましい。これらの工具をコーティングするために、典型的には、スパッタリングおよび／またはカソードアーク堆積などの物理蒸着法が使用される。ここで、工具は、真空チャンバ内の回転カルーセルに挿入され、回転カルーセルは、工具をスパッタリングまたはアーク蒸着ターゲットを通過させ、コーティング材に曝す。カルーセルの回転軸は、カルーセル軸を定義する。このプロセスは非常に高価なプロセスであり、真空チャンバの蒸発には非常に長い時間がかかるため、コーティングの実行のために、できるだけ多くの工具を真空チャンバに入れることが望ましい。
【０００３】
真空チャンバを効率よく充放電するために、工具を１つずつチャンバに挿入するのではなく、多数の工具を搭載できるように実現された工具治具に搭載する。
【０００４】
従来技術による工具治具では、工具軸はカルーセル軸に平行である。典型的には、そのような工具治具自体が小さなカルーセルを形成し、カルーセル軸に平行な軸とともに同様に回転する。これは、治具軸を定義する。コーティング対象物を通過する際に、工具がその表面の同じ部分で常にコーティング対象に対峙するとは限らないため、多くの場合、工具自体を工具軸を中心に回転させる必要があり、それによって３回転システムを実現している。上記の説明から明らかなように、このような３回転システムは、実現するのが複雑であり、よって、高価である。また、このようなシステムに挿入できる工具の数は限られている。
【０００５】
単一頭工具のための先行技術による治具が存在し、ここでは工具軸はカルーセル軸および治具軸に垂直である。両頭工具にこれらを使用する可能性の１つは、最初に第１作業領域をコーティングし、その後、第２コーティング時に、第２作業領域をコーティングすることであろう。残念ながら、これには２回のコーティングが必要で、２回のコーティングの間にすべての工具の向きを変える必要がある。これは複雑で時間がかかるため、コストが高くて受け入れられない。
【０００６】
別の−少なくとも内部的に考慮された−先進的な状態のコーティング装置が、情報提供図９によって示される。各両頭工具は、スリーブＳＶを介していくつかの放射状の遊びで立ち往生する。以下、半径方向の遊びをなくし、両頭工具をしっかりと保持するためには、スリーブを半径方向に閉じなければならない。コーティング後、スリーブからコーティング済みの工具を引き出すためには、スリーブを再び緩めなければならない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
発明の目的−解決する問題
従って、本発明の目的は、両頭工具を同時に保持し、両頭工具の非作業面にマスク（コーティングされないようにする）するための、細長い両頭工具のためのより強力な治具を提供することである。
【０００８】
発明的解決手段
本発明の解決手段は、組み立てられた状態で、ドリルビットやエンドミル等の一般的な両頭工具を支持し、これらの工具の作業端をコーティング工程に曝すと同時に、工具の非作業領域を覆う（マスクする）ことにより、これらの領域へのコーティング塗布を防止する装置である。
【０００９】
この治具の基本コンセプトは、クリップや他の二次保持装置を使用せずに、様々な長さと直径の両頭工具の範囲をコーティングすることを可能にする。この治具の幾何学的な形状自体が、独自の方法で工具を支持する。
【００１０】
より詳細に説明すると、本発明は以下のように要約され得る。
【００１１】
上記課題を解決するために、コーティングされる物体の対向する２つの端を蒸着に曝すための治具が提案される。治具は、物体を保持するだけでなく、物体の中間部分をコーティングしないようにマスクする。本発明の治具は、物体保持装置を有する。本発明によれば、物体保持装置は、少なくとも１つのホールプレートストリップのバッテリからなる。前記物体保持ストリップは、コーティングされる物体を保持するための各単一のホール（保持ホール）が、単一のプレートを貫通する貫通ホールとして形成されるのではなく、一対のホールプレートストリップによって形成されるように設計され、配置される。各単一のホールは、ホールの第１セグメントが先行するホールプレートストリップによって具現され、ホールの第２セグメントが後続のホールプレートストリップによって具現されるように形成または具現される。
【００１２】
このようにすれば、中間領域をマスクしながら、治具内にコーティングされる各物体を迅速かつ確実に固定し、剥離することができる。コーティング完了後の剥離は、コーティングされる物体が２つの別々の区画に分割され得ない保持ホールから引き抜かれることを妨げるような厚めのコーティングを堆積しても問題はない。さらに、本発明の治具は、例えば、両自由端に作業領域を有する工具として具現されたそのような物体を、中間シャフトの直径としてより大きな直径でコーティングすることを可能にする。
【００１３】
発明の任意の改良
その主長手方向軸が、−ターゲットを通過するときに−、例えば堆積のためにスパッタリングされることを意図したターゲットの表面に対して垂直に配向される位置にコーティングされる物体が保持されるように冶具が設計されると、非常に好ましい。理想的には、長手方向の軸は、治具の−ほとんどの場合、単一の−回転軸に対して垂直に永久的に配向される。好ましい場合では、この条件は、物体の主長手方向軸が水平方向に延びるように保持されている場合に満たされる。
【００１４】
このようにすれば、均一なコーティングを確保するために、コーティングされる物体をその長手方向軸の周りに回転させる必要がない。これにより、−常に、またはほとんどの場合に、−治具の容量が改善されるように、コーティングされる物体のより密なパッキングが可能になる。
【００１５】
好ましくは、各ホールは、その全周に沿って少なくとも優勢にまたは本質的に把持物体と表面接触するように設計される。そのようにすれば、物体を把持するホールの接触領域が、対象物保持ストリップおよびそれによって保持された物体の表面との間の隙間への、または隙間を通っての、気化したコーティング材料の無視できる量以上の侵入または通過をさせることは、確実に除外される。
【００１６】
好ましくは、物体保持装置は、引力のある磁石を含み、それによって、−少なくとも追加的に、−ホールプレートストリップによって保持された物体を固定する。このような磁石を使用することにより、コーティングされる物体の治具への取り付けおよび取り外しを極めて迅速に行うことができる。磁石は、好ましくは、マスクされた領域内に完全に取り付けられており、よって、不要な堆積物によって汚染されることはない。
【００１７】
最も好ましい解決手段は、物体保持装置が、並列に配置されたホールプレートストリップの２つのバッテリを含み、これらのバッテリが（治具に完全に取り付けられ、装填された状態で）互いにマスクされた内部空間を形成し、この内部空間が、蒸着が完全にまたは少なくとも本質的に自由であることを提供する。
【００１８】
好ましくは、磁石は、前記マスクされた内部空間内に配置される個別の部品である。治具が同一の物体の列のコーティングのために設計されている場合、列ごとに単一の磁石バーを提供することが好ましい。列ごとに異なる数の物体がコーティングされる場合には、コーティングされる物体ごとに個別のサイズを有する１つの磁石ブロックを提供することがより好ましい。このような異なるサイズの磁石も、ここで請求する治具システムの構成要素とし得る。
【００１９】
興味深い選択肢は、前記磁石が（好ましくはすべての前記磁石が）、コーティングされる物体の主軸の方向と反対側の動きに対して、２つの対向するホールプレートストリップの間にフォームフィットによって固定されるように寸法付けされている場合である。
【００２０】
理想的には、治具は、それらの間のホールプレートストリップを次々にねじ込むための２つの対向するレール装置を含み、それによって平面的な物体保持装置またはその平面的な部分を形成する。好ましくは、レール装置のガイド作用は、ホールプレートストリップをレール装置に沿って垂直方向に取り付けのために移動させることができるような、水平方向のガイド作用である。
【００２１】
好ましくは、各レール装置は、２つの平行なガイド装置を含む。理想的には、各ガイド設備は、面側を包囲するスロットと、このスロット内に挿入されたホールプレートストリップの直接隣接する２つの側の部分として具現される。このようにすれば、スロットとホールプレートストリップとの間に顕著な遊びやロストモーションがあっても、確実なシール作用が得られるので、迅速な取り付けと取り外しが容易になる。
【００２２】
理想的には、各レール装置は、好ましくは垂直方向に配向されたバー、すなわち、その最長の延長線に沿った主な長手方向軸が垂直方向に配向されたバーによって形成される。好ましくは、バーは、一部分のバーによって形成される。理想的には、前記バーは、好ましくは水平方向に配向されたベースクロスバーによって運ばれる。
【００２３】
ほとんどの場合、治具は、前記ベースクロスバーを回転可能に保持するフットユニットを含む。このようなフットユニットは、堆積チャンバにボルトで固定され、または追加でクランプされたりすることなく、チャンバ内の治具を確実に固定する。これにより、フォークリフトまたは同様の搬送手段を用いて、完全に装備された治具を堆積チャンバに出し入れすることができる。
【００２４】
好ましくは、前記治具は、ホールプレートストリップのねじ切りのために開放または除去可能であり、以下、閉鎖可能な閉鎖クロスバーを含む。閉鎖クロスバーは、好ましくは、その装填開口部の領域でマスクされた内部空間を閉鎖するために機能する。閉鎖クロスバーは、理想的には、ベース領域内にいずれかのバーがあれば、ベースクロスバーに対して径方向に反対側に配置される。好ましくは、閉鎖クロスバーは、それを快適にかつ確実に操作するための−大部分がブラケットのような−ハンドルを備える。
【００２５】
理想的には、前記物体保持装置は、（前記治具がその正しい動作状態にあるときには）前記主面が好ましくは垂直方向に配向された平面的な主面を有する。
【００２６】
さらに、本発明の治具は、機能的に拡大された治具システムの一部である。それは、コーティングされる物体の対向する２つの端を蒸着に曝すための固定システムである。治具システムは、物体の中間部分がコーティングされないようにマスクしている。それは物体保持装置を含む。本発明によれば、治具システムは、図面を含む本明細書の内容開示全体によって定義される治具を含み（すなわち、それを含む、または好ましくはそれからなる）、さらに、異なるホールセグメントを具現する異なるホールプレートストリップを含む。違いは、好ましくは、直径、または平均直径、または明確な断面、またはホールセグメントの数および／またはホールセグメントの位置の違いとして実現される。
【００２７】
さらに、方法が請求される。
【００２８】
方法は、コーティングされないように物体の中間部分をマスクしながら、同時にコーティングされる物体の対向する２つの端を蒸着に曝すのに役立つ。
【００２９】
本発明によれば、方法は以下のように実行される： 
コーティングされる物体または各物体は、ホールの第１セグメントを具現する第１ホールプレートストリップに対して位置決めされ、その結果、ホールの前記セグメントは、コーティングに対してマスクされる領域でコーティングされる物体を包含する。さらに、コーティングされる物体または各物体は、ホールの第２セグメントを具現する第２ホールプレートストリップに対して位置決めされ、その結果、ホールの前記セグメントは、コーティングに対してマスクされる領域でコーティングされる物体を包含する。２つのホールプレートストリップは、互いに当接するように（互いに接近して）配置されているため、コーティングされる物体を完全に包含して保持するホールを一緒に形成する。コーティングの完了後の分解はそれに応じて行われる。
【００３０】
好ましくは、それぞれが複数のホールセグメントを提供するホールプレートストリップが使用され、前述のように２つのホールプレートストリップを配置するときに、コーティングされる複数の物体が同期して把持および固定されよう。
【００３１】
好ましくは、方法は、最初に下側のホールプレートストリップがそのホール部が形成されるように配置されるように実行され、−それでコーティングされる各物体に対して、−物体に配置するためのたらいのような凹状凹部を形成する。次に、上部のホールプレートストリップが所定の位置に配置されて、そのホール部が、１つまたは複数のたらいのような凹状凹部のそれぞれと閉じるタレット状の凹状凹部を形成する。
【００３２】
好ましくは、この手順は、治具が完全に装填され、コーティングを開始する準備ができる前に、主に垂直上方方向に、−好ましくは少なくとも４回、より好ましくは少なくとも６回−繰り返される。非装填はそれに応じて実行される。
【００３３】
さらに、蒸着チャンバと、少なくとも１つのターゲットと、退避ポンプと、好ましくは作業ガス入口ユニットと、治具とを備えた蒸着設備の保護が求められており、前記治具は蒸着チャンバ内に回転可能に担持されており、蒸着中に回転可能に設定され得る。
【００３４】
さらなる効果、利点および設計の可能性は、図による好ましい実施形態の以下の説明によって開示される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
図のリスト
【図１】図１ａおよび１ｂは、前記図は、治具概念の２つの初期のプロトタイプを示す。「ホールプレート」が「ストリップ」にスリットされていて、連続した工具の列が治具のフレームに垂直に積み重ねられるようになっていることに注意すべきである。一対のこれらの「ストリップ」は、治具のまさに底に挿入され、工具の列は、これらのストリップを横切って敷設されている。薄い、好ましくは長方形の磁石は、次に、工具の上に配置される。別の一対のストリップを治具に入れ、続いて別の工具の列、そして磁石の別の列を治具に入る。このプロセスは、治具に工具が完全に装填されるまで繰り返される。
【図２】この写真は、最後のストリップを固定具に挿入する方法を示す。
【図３】治具の基本的な「溶接フレーム」アセンブリは、様々な直径のホールを有するプレートストリップを収容し得、それにより、複数の異なる直径の工具を収容し得る。
【図４】上に示される「キャップブロック」アセンブリは、コーティングが治具の内部に入るのを防ぐ。これにより、工具の中央部がコーティングプロセスから「マスク」され、工具の作業部分のみにコーティングが残ることになる。キャップブロックアセンブリはまた、ホールプレートストリップのスタック、およびそこに保持された工具に対して垂直方向のクランプ力を適用するのに役立つ。
【図５ａ】図面は、治具のコア、すなわち溶接されたフレームを示しており、ホールプレートストリップを除いたものである。ホールプレートストリップは、このフレームに一致する一対で挿入され、その後工具の列、次に磁石の列が続く。このプロセスは、治具が完全に装填されるまで繰り返される。
【図５ｂ】図は、ホールプレートストリップが完全に挿入された状態の５ａの治具を示す。
【図５ｃ】図は、ホールプレートストリップが完全に挿入され、その上にカバーが取り付けられた状態の治具の正面図を示す。
【図５ｄ】図は、図５ｃの治具の側面図である。
【図６】工具が装填された本発明の治具を貫通する切断を斜視図で示す。磁石は図面にも記載される。これらの磁石は、単に下の工具の列の上に置いておくだけで、工具が治具内で横方向に移動しないようにするための第２方法として機能する。工具が動かない第１の理由は、ホールプレートストリップ自体の重さが工具に負担をかけ、コーティングプロセス中横方向に移動しないようにする役割を果たしているからである。
【図７】これは、本発明の治具を貫通したカットを同様に示しているが、工具の第１列目のみが装填されている。工具に表示されているのは、長方形の永久磁石だけでなく、すでに挿入されている背面の第２プレートのホールストリップである。
【図８】これは、このような従来技術の両頭工具の例を示す。
【図９】この図は、両頭工具をコーティングするための従来技術の装置を示す。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
好ましい実施形態
まず、図８を参照する。
【００３７】
図８は、両頭工具の形状をしたコーティングされる物体６を示す図である。このような工具は、旋削加工機用のグリップドリルとして具現され得る。そのようなグリップドリルは従来技術である。同様の構造の他の両頭工具は、例えば、両頭フライス工具または両頭ねじ込みビットとして知られている。
【００３８】
このような工具は、図８に示すように、第１および第２先端７を摩耗低減層でコーティングするように加工する。このような層は、例えばＴｉＮ層、またはＤＣ層のような別の、さらに高価な層であってもよい。２つの先端７の間には、コーティングされてはならない中間部分８（非作業面を構成する）があり、そのためにマスクや遮蔽が必要である。前記非作業面とは、工具の各端に見られる螺旋状の「フルート」の下端（またはインボード）の間の領域のことである。このような工具を高精度工具として提供する場合には、チャックされるためのそれらのシャフトは、その精密な公称径を劣化させないようにコーティングすることは許されない。
【００３９】
中間部分８は、大部分が円形の断面を有する。これは好ましい広い意味ではあるが、必須ではない。他のそのような両頭工具は、例えば、六角形の断面を有してもよく、不規則な断面を有してもよい。
【００４０】
図１ａは、本発明の治具１の好ましい実施形態を示す。重要な、ほとんど中央に配置された部分は、物体保持装置ＯＨＤである。ここでは、ホールプレートストリップ２の少なくとも１つのバッテリ３の形状で具現される。
【００４１】
本明細書に示された例では、１つのバッテリ３内の固定ホールプレートストリップ２は、それらの長い横面に沿って互いに接触する。それらは、好ましくは垂直方向に次々と順に配列される。
【００４２】
言い換えれば：本明細書で明らかに見られるのは、前記バッテリ３を形成するホールプレートストリップ２が、少なくとも実質的に、ほぼ完全に整列した状態で、他方の後ろに１つずつ配置されているという好ましい事実である。再び図１ａを参照して、このようにして、ホールプレートストリップ２のバッテリ３は、物体保持装置ＯＨＤの平面的な主面１５を形成する。
【００４３】
固定ホールプレートストリップは、ホールＨを具現したものであり、各ホールＨは、コーティングされる物体６を把持して保持するために設けられる。したがって、各ホールＨを「保持ホール」と名付け得る。これについては後ほど詳しく説明する。
【００４４】
この実施形態では、本発明の治具は、さらに、２本の横バー１０、ベースクロスバー１３およびクロージングクロスバー１４を含む。この場合、前記クロスバーは、ホールプレートストリップ２の少なくとも１つ、または各電池３を包含する四辺枠を形成する。なお、ベースクロスバー１３−例えば−は、強制的にバーとして具現されてはならないことは言うまでもない。その代わりに、バー状体が明らかに好ましい場合でも、任意の他の種類のブロックまたは本体がここでも可能である。
【００４５】
好ましくは、ベースクロスバー１３（またはそれに代わる従属構造）は、ここでは開示されていないが、ベース部または脚部に対して治具を回転可能にベアリングするためのベアリングピン１６を備えている。
【００４６】
次に、図１ｂを考慮する。図１ｂは、基本的に図１ａと同じ本発明の治具１を示す。
【００４７】
違いは、ここでは異なる設計のストリップ保持デバイスが前記バー１０（またはそれに代わる構造）の間に取り付けられているため、異なる直径または断面を有する両頭工具をコーティングプロセスに曝し得ることである。このようにして、図１ａに示すように、治具１と、異なるホールプレートストリップ２の少なくとも１つの追加セットからなる治具システムが形成される。
【００４８】
図２および３は、ホールプレートストリップ２に関する詳細を示す。
【００４９】
見て分かるように、各ホールプレートストリップ２は、少なくとも１つのホールＨの第１セグメント４、好ましくは３つより多いホールＨの第１セグメント４を具現する。
【００５０】
次のホールプレートストリップ２−ホールプレートストリップバッテリ３内で直接続く−は、同じ少なくとも１つのホールＨの第２セグメント５を具現する。好ましくは、各ホールの２つのセグメント４および５は、パイプクランプのように機能し、つまり、２つの連続したホールプレートストリップが１つの前面で互いに別の接触した後に配置されるとすぐに、コーティングされる物体６をクランプする。
【００５１】
好ましくは、各セグメント４、５のジャケット表面は、コーティングされる物体６に連続的に直線的に、またはより好ましくは全領域にわたって周方向に接触する。このようにすれば、ホールプレートストリップ２のバッテリ３が１つしか設けられていなくても、コーティングされる物体６の中間部分８を確実にマスクし得る。
【００５２】
これらの図からも分かるように、ホールプレートストリップの好ましい実施形態は以下の通りである：
各ホールプレートストリップは、長方形の外形を有し、２つの短い横面と２つの長い前面とを有する。通常、前面は横面の少なくとも４倍の長さがある。ホールプレートストリップバッテリ３を形成するためにホールプレートストリップを順次配列していくと、前面同士が接触する。
【００５３】
本発明の治具によって構成されるホールプレートストリップは、好ましくは、その前記両対向する前面に第１および第２ホールセグメント４、５を備えるように設計されている。言い換えれば：ホールプレートストリップは、その第１前面で少なくとも１つのホールＨの少なくとも１つ、好ましくは３つ超の第１セグメント４を運ぶ。そしてホールプレートストリップは、その第２前面で少なくとも１つのホールＨの少なくとも１つ、好ましくは３つ超の第２セグメント５を運ぶ。
【００５４】
多くの場合、ホールプレートストリップのバッテリ３は、さらに、少なくとも１つのホール部分４の１つの前面のみを運ぶホールプレートストリップの形状の１つの端ストリップと、少なくとも１つのホール部分５の１つの前面のみを運ぶホールプレートストリップの形状の１つの端ストリップとを含む。各端ピースの他方の前面には、ホール部分は設けられていない。
【００５５】
図２〜図４は、横バー１０がレール装置を形成する様子を示す。
【００５６】
そのために、すべての横バー１０には、バッテリ３ごとに１つ、−好ましくは連続的な−スロット１１が設けられている。このようにして、２つの対向する横バー１０のスロット１１の間に、対応する数のホールプレートストリップ２を導入またはねじ込むことにより、各バッテリ３を形成し得る。スロット１１およびホールプレートストリップ２は、すべてのスロット１１が、好ましくは、シールが達成されるようにホールプレートストリップ２の上述の横面（領域）の１つを包含するように設計される。
【００５７】
図４を用いて最もよく分かるのは、治具１が、ホールプレートストリップ２の２つのバッテリ３を備えることが好ましいことである。バッテリ３は、互いに距離を置いて互いに平行に延びる。このようにして、ホールプレートストリップ２の２つのバッテリ３は、横バー１０、ベースクロスバー１３および閉鎖クロスバー１４と共に空間Ｓを閉じる。この空間Ｓは、コーティングされる物体６上のコーティングとしての蒸着のアクセスに対して遮蔽またはマスクされる。
【００５８】
空間Ｓは、図６により詳細に示されている。ここでは、コーティングされるすべての物体６が、２つの平行なホールプレートストリップ２のバッテリ３の合計４つのホールプレートストリップ２を通ってどのように伸びているかがはっきりとわかる。このように、コーティングされるすべての物体６は、コーティングチャンバ内に（ここでは水平方向に）延びる２つの自由端を有し、その中間部分８は、マスクまたはシールドされた空間Ｓ内に配置される。
【００５９】
時々、コーティングされる物体は、図示されていない周囲の凹部を有し得る。このような凹部により、コーティングされる物体６は、コーティングされる物体６の長手方向軸線Ｌの方向への移動がもはや不可能となるように、２つのホールプレートストリップ２によって把持またはクランプされ得ることが可能になり得る。
【００６０】
他の実施例では、コーティングされる物体６は、多かれ少なかれ厳密には円筒状または棒状の形状を有する。この場合、長手方向軸Ｌの方向の動きに対してコーティングされる物体６をブロックするための追加の手段が必要である。
【００６１】
好ましい手段は、図６および図７に示すように、磁石９を備えることである。
【００６２】
好ましくは、各磁石９は、棒状の形状を有し、２つの横バー１０の間の全距離にわたって−少なくとも本質的に−延びている。そのようにして、コーティングされる物体６の少なくとも１列を固定し、２つの連続したホールプレートストリップ２の間にその目的のために保持されるためには、１つの磁石９だけが必要である。
【００６３】
磁石９は、磁石９がホールプレートストリップ２の２つの対向するバッテリの内面の間にぴったりと合うように保持されているという事実により、そのいずれかによって引き付けられるコーティングされる物体６を固定する。代替的または追加的に、磁石９は、そのすぐ下に配置されている物体だけでなく、そのすぐ上に配置されている物体を引き付けるという事実により、磁石９によって引き付けられるコーティングされる物体６を固定する。このようにして、その重力の影響下で固定された一種のクラスターが生成される。
【００６４】
参照符号一覧
１  治具
２  ホールプレートストリップ
３  ホールプレートのバッテリ
４  ホールの第１セグメント
５  ホールの第２セグメント
６  コーティングされる物体
７  コーティングされる物体の先端
８  コーティングされる物体の中間部分（マスクされる部分）
９  磁石
１０  ガイド設備を具体化したバーまたはラテラルバー
１１  ホールプレートストリップを保持するためのスロット
１２  割り当てられていない
１３  ベースクロスバー
１４  閉鎖クロスバー
１５  物体保持装置の平らな主面
１６  ベアリングピン
Ｌ  保持およびコーティングされる物体の縦軸
ＯＨＤ  物体保持装置
Ｈ  ホール
Ｓ  マスクまたはシールドされている空間
ＳＶ  現状技術で使用されるスリーブ
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図５ｃ】
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【図５ｄ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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