(57)【要約】フロー基板実装構造１００２はファスナ開口部１００４Ａ、１００４Ｂとアライメント特徴とを備える。アライメント特徴は、フロー基板実装構造に取り外し可能に結合されたアライメントピン１０１６Ａ、アライメントスロット１２１６、およびアライメントステップ１１１６のうちの少なくとも１つを備える。複数のフロー基板を結合するための構造は、第１ファスナ開口部１００４Ａおよび第２ファスナ開口部１００４Ｂを有するフロー基板実装構造を備える。第１ファスナ開口部は第１ファスナ１０１４Ａに結合するように構成され、第２ファスナ開口部は第２ファスナ１０１４Ｂに結合するように構成される。アライメント固定具は、フロー基板実装構造を複数のフロー基板に位置合わせするために使用される。
2021530654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファスナ開口部とアライメント特徴とを備えるフロー基板実装構造であって、
前記アライメント特徴は、前記フロー基板実装構造に取り外し可能に結合されたアライメントピンと、アライメントスロットと、およびアライメントステップとのうちの少なくとも１つから構成されている、
フロー基板実装構造。
【請求項２】
前記アライメントピンは、基板本体の開口部に取り外し可能に結合するように構成されている、
請求項１に記載のフロー基板実装構造。
【請求項３】
前記アライメントスロットは、フロー基板のアライメントエレメントに結合するように構成され、
前記アライメントエレメントはプレートからなる、
請求項１に記載のフロー基板実装構造。
【請求項４】
前記アライメントステップは、フロー基板のエッジ部の一部に結合するように構成されている、
請求項１に記載のフロー基板実装構造。
【請求項５】
前記フロー基板実装構造は、アルミニウム合金とポリマーとのうちの１つ以上で構成されている、
請求項１に記載のフロー基板実装構造。
【請求項６】
前記フロー基板実装構造は、任意の厚さのフロー基板に結合するように構成されている、
請求項１に記載のフロー基板実装構造。
【請求項７】
部品取付面を有する基板本体であって、前記部品取付面は複数の導管ポートから構成されている、前記基板本体と、
第１開口部および第２開口部を有するフロー基板実装構造であって、前記第１開口部および前記第２開口部はそれぞれ、前記フロー基板実装構造を前記基板本体に結合するためのファスナを受け入れるように構成されている、前記フロー基板実装構造と
を備える、フロー基板。
【請求項８】
前記フロー基板はさらにキャップを備え、
前記キャップは、前記基板本体に結合するように構成されている、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項９】
前記基板本体はさらに基板本体開口部を備え、
前記基板本体開口部はアライメントピンまたはダウエルピンを受け入れるように構成されている、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項１０】
キャップはさらにキャップ開口部を備え、
前記フロー基板実装構造は実装構造開口部を備える、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項１１】
前記フロー基板はさらに、フロー基板開口部、前記実装構造開口部、および前記キャップ開口部のうちの１つ以上に取り外し可能に結合されたアライメントピンまたはダウエルピンを備える、
請求項１０に記載のフロー基板。
【請求項１２】
前記フロー基板はさらに、前記キャップ開口部に取り外し可能に結合されているアライメントピンを備える、
請求項１０に記載のフロー基板。
【請求項１３】
前記フロー基板はさらに、前記フロー基板実装構造に結合されたアライメントフレームを備え、
前記アライメントフレームは、前記フロー基板実装構造を前記フロー基板にアライメントするように構成され、
前記アライメントフレームは、前記フロー基板および前記フロー基板実装構造とは別個の要素である、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項１４】
前記フロー基板実装構造はさらに、前記フロー基板実装構造と一体化された第１アライメントステップを備え、
前記フロー基板はさらにフロー基板エッジを備え、
前記第１アライメントステップは前記フロー基板エッジの一部に結合するように構成されている、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項１５】
前記フロー基板実装構造はさらにアライメントスロットを備え、
前記フロー基板はさらにアライメントエレメントを備え、
前記アライメントエレメントは前記アライメントスロットに取り外し可能に結合するように構成されている、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項１６】
前記アライメントエレメントはプレートを備える、
請求項１５に記載のフロー基板。
【請求項１７】
前記フロー基板実装構造はさらにチャネルを備え、
前記チャネルは流体送達ラインを備える、
請求項７に記載のフロー基板。
【請求項１８】
前記流体送達ラインは、複数の前記導管ポートのうちの少なくとも２つを流体的に接続する、
請求項１７に記載のフロー基板。
【請求項１９】
第１フロー基板の第１表面の一部と第２フロー基板の第２表面とを結合するように構成されたクランプ部と、
前記クランプ部とスタンドオフ部とを通って延びる第１ファスナ開口部であって、前記第１ファスナ開口部はファスナを受け入れるように構成されている、前記第１ファスナ開口部と、
第１ロックピンに係合するように構成された第１ロックピン開口部と
を備える、フロー基板実装構造。
【請求項２０】
前記フロー基板実装構造はさらに、前記クランプ部に近接する前記スタンドオフ部を備え、
前記スタンドオフ部は前記第１ファスナ開口部に対応する第２ファスナ開口部を備え、
前記スタンドオフ部は前記第１フロー基板を実装面に結合するように構成され、
前記スタンドオフ部は第２ロックピンに結合するように構成された第２ロックピン開口部を備え、
前記フロー基板実装構造は、一定の厚さの前記第１フロー基板に結合するように構成されている、
請求項１９に記載のフロー基板実装構造。
【請求項２１】
前記第１ファスナ開口部はさらに、ファスナ保持具を受け入れるように構成されている、
請求項１９に記載のフロー基板実装構造。
【請求項２２】
前記ファスナ保持具はヘリカルスプリングである、
請求項２１に記載のフロー基板実装構造。
【請求項２３】
前記クランプ部はアルミニウム合金、ステンレス鋼、およびニッケル鋼のうちの１つ以上で構成され、
前記スタンドオフ部はアルミニウム合金、ステンレス鋼、およびニッケル鋼のうちの１つ以上で構成されている、
請求項１９に記載のフロー基板実装構造。
【請求項２４】
前記フロー基板実装構造はさらに前記第１フロー基板と前記第２フロー基板とを備え、
前記フロー基板実装構造は、前記第１フロー基板と前記第２フロー基板とをリークフリーシールで結合し、前記フロー基板実装構造の前記クランプ部と前記スタンドオフ部とによってクランプ力は提供される、
請求項１９に記載のフロー基板実装構造。
【請求項２５】
フロー基板実装構造を貫通して延びるファスナ開口部と、
第１ロックピンに結合するように構成された第１ロックピン開口部と、
前記第１ロックピンに係合するように構成された第２ロックピン開口部と
を備えるフロー基板実装構造であって、
前記フロー基板実装構造は、一定の厚さを有するフロー基板に結合するように構成され、
前記フロー基板実装構造は、フロー基板凹部において前記フロー基板に結合するように構成されている、
フロー基板実装構造。
【請求項２６】
複数のフロー基板を結合するための結合構造であって、
前記結合構造は、第１ファスナ開口部と第２ファスナ開口部とを有するフロー基板実装構造を備え、
前記第１ファスナ開口部は第１ファスナに結合するように構成され、
前記第２ファスナ開口部は第２ファスナに結合するように構成され、
アライメント固定具は、前記フロー基板実装構造を複数の前記フロー基板に位置合わせするために使用される、
複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【請求項２７】
前記フロー基板実装構造は、任意の厚さ、任意の長さ、および任意の幅のフロー基板に結合するように構成されている、
請求項２６に記載の複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【請求項２８】
前記フロー基板実装構造は、複数の前記フロー基板の任意の位置で複数の前記フロー基板に結合するように構成されている、
請求項２６に記載の複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【請求項２９】
前記フロー基板実装構造は、任意の角度で前記フロー基板に結合するように構成されている、
請求項２６に記載の複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【請求項３０】
複数の前記フロー基板を結合するための前記結合構造はさらに、前記フロー基板実装構造に結合されたアライメントフレームを備え、
前記アライメントフレームは、前記フロー基板実装構造を前記フロー基板に位置合わせするように構成され、
前記アライメントフレームは、前記フロー基板および前記フロー基板実装構造とは別個の要素である、
請求項２６に記載の複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【請求項３１】
前記アライメント固定具は、前記フロー基板に対して９０°の角度で前記フロー基板実装構造をアライメントするように構成されている、
請求項２６に記載の複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【請求項３２】
前記アライメント固定具は、前記フロー基板に対して９０°以外の角度で前記フロー基板実装構造をアライメントするように構成されている、
請求項２６に記載の複数のフロー基板を結合するための結合構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、流体送達システムのための実装構造（ｍｏｕｎｔｉｎｇ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ）に向けられ、より詳細には、半導体処理および石油化学産業で使用するための極端な流量および／または高温の表面実装型流体送達システムに向けられている。
【背景技術】
【０００２】
流体送達システムは、プロセス内への所望の物質の制御された受容を提供するために、流体の流れを調整および操作するべく、多くの現代の工業プロセスで使用されている。当業者は、流体経路導管を備えるフロー基板（ｆｌｏｗ ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ）に取り外し可能に取り付けられた流体処理構成要素を有する流体送達システムの全クラスを開発してきた。多くの流体送達システムは、フロー基板、マニホールド、または流体送達スティックを支持面に実装（ｍｏｕｎｔ）するための何らかの中間構造を利用する。ほとんどの場合、これらの構造は、特定の流体送達システムの設計に特有のものであり、代替設計では使用できない。
【０００３】
そのようなフロー基板の配置は、流体処理構成要素が所望の流体調節および制御を提供するフローシーケンスを確立する。そのようなフロー基板と取り外し可能な流体処理構成要素との間のインタフェースは、標準化されており、ほとんどバリエーションがない。そのような流体送達システムの設計は、しばしば、モジュール式または表面実装システムとして記述される。表面実装型流体送達システムの代表的な応用例としては、半導体製造設備で使用されるガスパネル、および石油化学精製で使用されるサンプリングシステムが挙げられる。半導体を製造するプロセスステップを実行するために使用される多くのタイプの製造設備は、総称してツールと呼ばれる。本開示の実施形態は、一般に、半導体処理のための流体送達システムなどの流体送達システムに関するものであり、特に、プロセス流体が周囲よりも高温に加熱されるような極端な流量および／または高温のアプリケーションでの使用に適した表面実装型流体送達システムに関するものである。本開示の側面は、局所的な性質のものであっても、半導体処理ツールの周囲に分散したものであっても、支持構造体またはマニホールドに表面実装流体送達システムを実装するための構造に適用可能である。
【０００４】
参照により本明細書に組み込まれる２０１３年７月３０日に発行された特許文献１は、流体を横方向だけでなく、フロー基板の入口からフロー基板の出口まで長手方向にも経路化（ルーティング）する流体経路を備えることができる流体送達システムを記載している。そこに記載されているように、流体経路は、流体処理部材が取り付けられる表面とは反対側の基板表面に形成され、キャップで封止されていてもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第８４９６０２９号明細書
【特許文献２】米国特許第８３０７８５４号明細書
【特許文献３】米国特許第６３９４１３８号明細書
【特許文献４】米国特許第７３０７２４７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
単一の流体種を処理するために意図された配列（ｓｅｑｕｅｎｃｅ）に組み立てられた流体処理構成要素の集合体は、流体送達スティックと呼ばれることが多い。特定の半導体処理チャンバにプロセス流体を送達することを意図した複数の流体送達スティックからなる装置サブシステムは、しばしばガスパネルと呼ばれる。１９９０年代に、いく人かの発明者は、プロセス流体が通って移動する導管を備える受動的な金属構造物で一般的な流体流路が構成され、バルブおよび同様の能動的な（および受動的な）流体処理構成要素が取り外し可能に取り付けられている流体送達スティックを作成することによって、ガスパネルのメンテナンス性およびサイズの問題に取り組んだ。受動的な流体流路要素は、マニホールド、基板、ブロック、およびそのようなものと様々に呼ばれてきた。本開示では、取り付けられた他の流体処理装置を有していてもよい受動的な流体流路を備える流体送達システム要素を示すために、フロー基板という用語を使用することを選択する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
フロー基板は、流体送達スティックの一部、流体送達スティック全体、または従来の設計では多数の個々の流体送達スティックを備えるであろう流体送達パネル全体を形成してもよい。個々の流体送達スティックブラケットが支持面に取り付けられている特許文献２に記載の流体送達システムと同様に、特許文献１に記載の流体フロー基板も支持面に取り付けられている。
【０００８】
出願人は、ほぼすべての流体送達システムが、流体フロー基板、マニホールド、または流体送達スティックを支持面に実装するために何らかの中間構造を利用していることを高く評価する。ほとんどの場合、これらの構造は、特定の流体送達システムの設計に特有のものであり、代替設計では使用できない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１Ａ】本開示の実施形態に一致する、実装構造を示す図。
【図１Ｂ】本開示の実施形態に一致する、実装構造を示す図。
【図１Ｃ】本開示の実施形態に一致する、実装構造を示す図。
【図１Ｄ】本開示の実施形態に一致する、実装構造を示す図。
【図２Ａ】本開示の実施形態に一致する、様々な流体フロー基板を示す図。
【図２Ｂ】本開示の実施形態に一致する、様々な流体フロー基板を示す図。
【図２Ｃ】本開示の実施形態に一致する、様々な流体フロー基板を示す図。
【図３Ａ】本開示の実施形態に一致する、流体送達システムの一部分の平面図を示す。
【図３Ｂ】本開示の実施形態に一致する、流体送達システムの一部分の端面図を示す。
【図３Ｃ】本開示の実施形態に一致する、流体送達システムの一部分の端面図を示す。
【図３Ｄ】本開示の実施形態に一致する、流体送達システムの一部分の斜視図を示す。
【図３Ｅ】本開示の実施形態に一致する、流体送達システムの一部分の斜視図を示す。
【図４Ａ】本開示の実施形態に一致する、流体フロー基板を、および流体フロー基板とマニホールドとの組み合わせを、支持面に実装するために本開示の実施形態が使用され得る態様の２つの異なる等角図を示す。
【図４Ｂ】本開示の実施形態に一致する、流体フロー基板を、および流体フロー基板とマニホールドとの組み合わせを、支持面に実装するために本開示の実施形態が使用され得る態様の２つの異なる等角図を示す。
【図５】本開示の実施形態に一致するように、流体フロー基板およびマニホールドが、互いにアライメントして取り付けられてもよい態様を示している。
【図６】本開示の実装構造が、本開示の実施形態に一致して、流体送達パネルの一部または全部を形成してもよい統合された流体フロー基板と共に使用されてもよい方法を例示する。
【図７Ａ】特許文献１に記載されているような、本開示の実施形態に従ってもはや必要とされない流体送達スティックブラケットを例示している。
【図７Ｂ】本開示の実施形態が、Ｋ１Ｓなどの従来の流体送達フロー基板およびマニホールドと共に使用され得る方法を例示する。
【図８Ａ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｂ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｃ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｄ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｅ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｆ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｇ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｈ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｉ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図８Ｊ】本開示の実施形態に一致して、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式フロー基板８００を図示している。
【図９Ａ】本開示の実施形態に一致する、基板実装構造に結合されたフロー基板の例示的な上面図を示す。
【図９Ｂ１】本開示の実施形態に一致する、図９Ａの実装構造の斜視図を示す。
【図９Ｂ２】本開示の実施形態に一致する、アライメント固定具を有する図９Ａ〜図９Ｂ１の実装構造の斜視図を示す。
【図９Ｃ】本開示の実施形態に一致する、図９Ａ〜図９Ｂ１の実装構造の断面図を示している。
【図９Ｄ】本開示の実施形態に一致する、図９Ａ〜図９Ｂ１の実装構造の底面図を示している。
【図１０Ａ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１０Ｂ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１０Ｃ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１０Ｄ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１０Ｅ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１１Ａ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１１Ｂ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１１Ｃ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１１Ｄ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１２Ａ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１２Ｂ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１２Ｃ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１２Ｄ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１２Ｅ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１３Ａ】本開示の実施形態に一致する、フロー基板に関して実装構造を方向付けおよび支持するためのアライメントフレームを備える実装構造の例を示す。
【図１３Ｂ】本開示の実施形態に一致する、フロー基板に関して実装構造を方向付けおよび支持するためのアライメントフレームを備える実装構造の例を示す。
【図１３Ｃ】本開示の実施形態に一致する、フロー基板に関して実装構造を方向付けおよび支持するためのアライメントフレームを備える実装構造の例を示す。
【図１３Ｄ】本開示の実施形態に一致する、フロー基板に関して実装構造を方向付けおよび支持するためのアライメントフレームを備える実装構造の例を示す。
【図１３Ｅ】本開示の実施形態に一致する、フロー基板に関して実装構造を方向付けおよび支持するためのアライメントフレームを備える実装構造の例を示す。
【図１４Ａ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１４Ｂ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１４Ｃ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【図１４Ｄ】本開示の実施形態に一致する、実装構造の別の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本開示は、流体送達システムに向けられ、より詳細には、フロー基板およびマニホールドなどの流体送達システム構成要素を支持面に実装するための構造物に向けられている。モジュール式フロー基板、実装構造、およびそれらの組み合わせを備えるシステムのいくつかの実施形態が本明細書に開示されている。本開示の様々な実施形態の詳細は、図を具体的に参照して以下に説明する。本明細書に開示されるモジュラー式フロー基板、実装構造、およびシステムは、以下の説明に記載された特定の例に限定されるものではなく、また、図面に例示されたものでもない。また、本明細書で使用される表現および用語は、説明の目的のためのものであり、限定的であるとみなされるべきではない。本明細書で使用される「備える」、「構成する」、または「有する」、「含有する」、「含む」およびその変形例は、その後に記載された項目および等価物、ならびに追加項目を包含することを意図している。
【００１１】
本実施形態の流体送達フロー基板において操作される流体物質は、気体、液体、または物質の特定の温度および圧力に依存して液相と気相との間で変化し得る蒸気物質であり得ることが理解されるべきである。代表的な流体物質は、アルゴン（Ａｒ）のような純粋な元素、三塩化ホウ素（ＢＣ１３）のような気相性化合物、キャリアガス中の通常液体の四塩化ケイ素（ＳｉＣ１４）の混合物、または水性試薬であってもよい。
【００１２】
参照により本明細書に組み込まれる２０１２年１１月１３日に発行された特許文献２は、上に取り付けられた流体処理構成要素を有する個々の流体フロー基板を標準化されたブラケットに取り付けて、フロー基板内の流体通路が流体送達スティックの入口から出口までの長手方向に流体をルーティングする流体送達スティックを形成することができる表面実装型流体送達システムを記載している。そこに記載されているように、フロー基板の平面の下方に第２層を形成し、フロー基板の上方からフロー基板に取り付け可能なマニホールドは、隣接する複数の流体送達スティックの間で、また、それぞれの流体送達スティックに沿って、横方向に流体をルーティングするために使用されてもよい。有利には、流体フロー基板、マニホールド、および流体送達スティックブラケットは、費用対効果の高い方法で製造されてもよく、個々の流体送達スティックは、マニホールドの１つまたは複数に関連するファスナ（ｆａｓｔｅｎｅｒ）を取り外したり、および流体送達スティックブラケットを支持面に実装することに関連する任意のファスナを取り外したりするだけで、統合されたユニット式として取り外され、交換されてもよい。
【００１３】
参照により本明細書に組み込まれる２０１３年７月３０日に発行された特許文献１は、流体を横方向だけでなく、フロー基板の入口からフロー基板の出口まで長手方向にもルーティングする流体経路を流体フロー基板が備えることができる、代替的な表面実装型流体送達システムを記載している。そこに記載されているように、流体経路は、流体処理部材が取り付けられる表面とは反対側の基板表面に形成され、キャップで封止されていてもよい。これらのフロー基板は、流体送達スティックの一部を形成してもよいし、流体送達スティック全体を形成してもよいし、従来の設計では多数の個々の流体送達スティックを備えるであろう流体送達パネル全体を形成してもよい。個々の流体送達スティックブラケットが支持面に取り付けられている特許文献２に記載の流体送達システムと同様に、特許文献１に記載の流体フロー基板もまた、支持面に取り付けられている。
【００１４】
出願人は、ほぼすべての流体送達システムが、流体フロー基板、マニホールド、または流体送達スティックを支持面に実装するために何らかの中間構造を利用することを理解している。ほとんどの場合、これらの構造は、特定の流体送達システムの設計に特有のものであり、代替設計では使用できない。この認識に照らして、本明細書に記載された実施形態は、多種多様な流体フロー基板、および流体フロー基板とマニホールドとの組み合わせを支持面に実装するために使用され得る実装構造に向けられている。本明細書に記載された実施形態の一側面に従って、実装構造は、参照により本明細書に組み込まれる特許文献３に記載され「Ｋ１Ｓ」として半導体処理業界で知られているような従来の流体基板の設計とともに、特許文献２および特許文献１に記載され本明細書の図１〜図１４に記載されているようなより現在の設計とともに使用することができる。本明細書にさらに詳細に記載されているように、本明細書に記載されている実施形態は、流体基板およびマニホールドの下方だけでなく周囲の空気の循環を可能にするために、基板および基板とマニホールドとの組み合わせを、それらが実装される表面の上方に上昇させることができる。この実装構造は、最小限の量の材料を使用し、コンパクトであり、交換可能な構成要素を使用して、基板、または基板とマニホールドとの組み合わせのいずれかを支持面に実装するために使用することができる。
【００１５】
添付の図面は、縮尺で描かれることを意図したものではない。図面では、様々な図に図示されている各同一またはほぼ同一の構成要素は、同様の数字で表されている。明瞭さの目的のために、すべての構成要素は、すべての図面においてラベル付けされていない場合がある。
【００１６】
図１Ａ〜図１Ｄは、本開示の実施形態に従った実装構造を示し、その中で、図１Ａは、基板を支持面に実装するために使用され得るユニット式実装本体を備える実装構造を示し、図１Ｂは、基板およびマニホールドを支持面に実装するために使用され得る複数部品の実装本体を示し、図１Ｃは、マニホールドを基板に実装するために使用され得る複数部品の実装本体の一部を示している。基板、基板とマニホールドの組み合わせ、および複数のマニホールドが支持面に、および互いに実装され得る態様は、図２〜図７に示されている。
【００１７】
図１Ａに示すように、本開示の一実施形態では、実装構造は、特許文献２の図１Ａおよび図１Ｂに示すようなＫ１Ｓフロー基板、または特許文献１に記載されているようなフロー基板を支持面に実装するために使用されてもよいユニット式実装本体１００を備える。特に示されていないが、特許文献２の図３〜図１０に示されているフロー基板は、以下にさらに説明するように、ユニット式実装本体１００と共に使用されるように適合されてもよい。ユニット式実装本体１００は、ユニット式実装本体１００を通って延びる開口部１４０を備え、ファスナ（ｆａｓｔｅｎｅｒ）１１０と、ヘリカルスプリングなどのファスナ保持具（ｒｅｔａｉｎｅｒ）１２０とを受け入れるように適合されている。図１Ａには描かれていないが、ファスナ１１０は、遠位端でネジが切られており、支持面（図示せず）の内部にネジが切られた開口部で受け入れられるであろう。ファスナ保持具１２０は、開口部１４０内に受け入れられ、ファスナ１１０を所定の位置に保持するように作用する。ユニット式実装本体１００はまた、流体フロー基板２００Ｂの本体の凹部２０１（図２Ａ参照）内に形成された開口部２０２を通って延びるロックピン１３０を受け入れるように適合された開口部１４５、１４６を備える。図３から理解され得るように、例えば、一方向（例えば、上から）のみからのアクセスが、基板、流体処理構成要素、複数のマニホールド、および実装本体を互いに、および支持面に実装するために必要なすべてである。
【００１８】
図１Ｂに示されているのは、クランプ１０１およびスタンドオフ１０２を備える複数部品実装本体を備える実装構造である。図４に最もよく示されているように、複数部品実装本体は、流体フロー基板２００Ｂなどの流体フロー基板、および流体マニホールドとしてのマニホールド３００を支持面に実装するように適合されている。クランプ１０１は、クランプ１０１の本体を通って延びる開口部１４０を備え、図１Ａに関して上述したものと同様の方法でファスナ１１０およびファスナ保持具１２０を受け入れるように適合されている。クランプ１０１はまた、図５に示すように、流体フロー基板２００Ｂの本体の凹部２０１（図２Ａ参照）に形成された開口部２０２を通って、マニホールド３００の上面の開口部３０２内に延びるロックピン１３０を受け入れるように適合された開口部１４５を備える。開口部３０２は、図３Ｄに示すように、マニホールド３００の本体を通って延びている。スタンドオフ１０２はさらに、スタンドオフ１０２の本体を通って延び、ファスナ１１０を受け入れるように適合された開口部１４１を備える。スタンドオフ１０２はさらに、マニホールド３００の下面に設けられた開口部３０２内にも受容される第２ロックピン１３１を受容するように適合された開口部１４６を備える。第２ロックピン１３１は、組み立ての間、マニホールド３００の下表上にスタンドオフ１０２を保持するために使用される。複数部品実装本体は、マニホールド３００の本体と組み合わされると、図３Ｂに図示されているように、構造的にも寸法的にもユニット式実装本体１００と類似した実装構造を形成することが理解されるべきである。図３から理解できるように、例えば、単一方向（例えば、上から）からのアクセスのみが、フロー基板、流体処理構成要素、複数のマニホールド、および実装本体を互いに、および支持面に実装するために必要なすべてである。
【００１９】
図１Ｃは、複数部品の実装本体の一部、具体的にはクランプ１０１が、マニホールド３００のようなマニホールドを流体フロー基板２００Ｂのようなフロー基板の下面に実装するために使用されてもよいことを例示している。ファスナ１１１は、図１Ａおよび図１Ｂに関して記載されたファスナ１１０と類似しており、図示されていないが遠位端部にネジが切られている。しかしながら、ファスナ１１１は、ファスナ１１０よりも長さが短く、支持面の内部にネジが切られた開口部内に受け入れられる代わりに、マニホールド３００の上面の内部にネジが切られた開口部３４０内に受け入れられる（図５参照）。ファスナ１１１が締め付けられると、マニホールド３００の上面を流体フロー基板２００Ｂの下面とのレジストレーション（ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ）に引き寄せ、マニホールド３００の上面に形成されたマニホールドポート３０５ａを取り囲むカウンタボア内で受け入れられるであろう金属シール（図示せず）を圧縮して、流体フロー基板２００Ｂの下面に形成された対応するマニホールド接続導管ポート２０５ｂとの流体タイトシールを形成する。
【００２０】
図２Ａ〜図２Ｃは、本開示の実施形態が使用され得る様々な流体フロー基板２００を図示している。例えば、Ｋ１Ｓフロー基板２００Ａのような従来の流体フロー基板は、図２Ａに示すように、ユニット式実装本体１００またはクランプ１０１の突出部が受け入れられる凹部２０１を備えるように変更されてもよい。図示されているように、ロックピン１３０を受け入れるための開口部２０２が凹部２０１内に形成されている。図２Ｂおよび図２Ｃに示されているようなユニット式流体フロー基板もまた、本開示の実施形態で使用するために適合され得る。例えば、図２Ｂは、流体送達スティックの一部を形成するために使用することができ、凹部２０１および開口部２０２を備えるユニット式の流体フロー基板２００Ｂを図示している。図２Ｃは、流体送達パネルの一部、あるいは流体送達パネル全体を形成するために使用することができ、凹部２０１および開口部２０２を備える、特許文献１に記載されているようなユニット式の流体フロー基板２００Ｃを図示している。描かれていないが、特許文献２の図３〜図１０に記載された様々な基板は、同様の方法で凹部２０１および開口部２０２を備えるように修正され得ることが理解されるべきである。
【００２１】
図３Ａ〜図３Ｅは、本開示の実施形態が使用され得る流体送達システムの一部分の様々な平面図、斜視図、および端面図を示す。例えば、図３Ｄおよび図３Ｅは、バルブ、圧力調整器などの流体処理構成要素３５０が、流体フロー基板２００Ｂに取り付けられてもよい態様、およびユニット式実装本体および複数部品実装本体が使用されてもよい態様を図示している。図３の図面で特定されるように、実装本体の上面は、流体処理構成要素とフロー基板の上面に形成された構成要素導管ポートとの間にリークタイトシールが形成されてもよいことを確実にするために、流体フロー基板２００Ｂの上面よりも下になるように寸法付けされている。
【００２２】
図４は、本開示の実施形態が、流体フロー基板２００Ｂおよび流体フロー基板２００Ｂとマニホールド３００との組み合わせを支持面に実装するために使用され得る態様の２つの異なる等角図を示す。図４では、流体フロー基板２００Ｂを支持面に実装するためにユニット式実装本体１００が使用され、流体フロー基板２００Ｂおよびマニホールド３００の組み合わせを支持面に実装するためにクランプ１０１およびスタンドオフ１０２が使用されている。
【００２３】
図５は、流体フロー基板２００Ｂとマニホールド３００が互いにアライメントして取り付けられる可能性がある態様を示している。図５に見られるように、流体フロー基板２００Ｂは、流体フロー基板の本体を通って延び、流体フロー基板の上面にある構成要素導管ポート２０５ａ（図４）に流体的に接続されるマニホールド接続導管ポート２０５ｂを備える。マニホールド接続導管ポート２０５ｂは、マニホールド３００の上面に形成されたマニホールドポート３０５ａとアライメントし、その間に金属シールが設けられている。完全に組み立てられたとき、流体処理構成要素３５０のポートは、構成要素導管ポート２０５ａとマニホールド接続導管ポート２０５ｂとの間に形成された通路によって、マニホールドポート３０５ａに流体的に接続される。
【００２４】
図６は、本開示の実装構造が、流体送達パネルの一部または全部を形成することができる統合された流体フロー基板と共に使用され得る方法を例示している。
図７Ａは、特許文献１に記載されているような、本開示の実施形態に従ってもはや必要とされない流体送達スティックブラケットを図示している。図７Ｂは、本開示の実施形態が、Ｋ１Ｓのような従来の流体送達フロー基板およびマニホールドと共に使用され得る方法を例示する。
【００２５】
図８Ａ〜図８Ｊは、本開示の実施形態に従って、本開示の１つまたは複数の実装構造が取り付けられるモジュール式のフロー基板８００を例示する。例示的な実施形態では、モジュール式のフロー基板８００は、流体処理構成要素のポートの一方が流体処理構成要素の中心に対して軸方向にアライメントし、他方が軸外に位置する非対称ポート配置を有する流体処理構成要素（例えば、Ｃシール構成要素）と共に使用することができる。図示されていないが、本開示の実施形態は、流体処理構成要素が、例えばＷシール構成要素のような対称的なポート配置を有する流体処理構成要素で使用するために修正され得ることが理解されるべきである。
【００２６】
図示されているように、フロー基板８００は、材料の固体ブロックから形成されたフロー基板本体８０１と、関連するキャップ８９５（図８Ｉ参照）とを備え、これらの各々は、フロー基板の意図された使用に応じて、適切な材料（例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、真鍮、ポリマーなど）から形成されてもよい。フロー基板８００は、流体処理構成要素（バルブ、圧力変換器、フィルタ、レギュレータ、マスフローコントローラなど）を取り付けることができる構成要素取付面８０５を備える。一つまたは複数の構成要素導管ポート８２０は、フロー基板８００の構成要素取付面８０５内に配置され得る。図８Ａ〜図８Ｊの例では、構成要素導管ポート８２０ａは、第１流体処理構成要素の第１ポート（入口または出口）に流体的に接続され得、構成要素導管ポート８２０ｂは、第１流体処理構成要素の第２ポート（出口または入口）に流体的に接続され得る。構成要素導管ポート８２０ｃは、第１流体処理構成要素とは異なる形態の第２流体処理構成要素のポート（出口または入口）に流体的に接続することができる。
【００２７】
構成要素導管ポート８２０ｃおよび８２０ｄ、ならびに構成要素導管ポート８２０ｅおよび８２０ｆは、それぞれの流体処理構成要素の入口および出口に接続され、フロー基板８００が、非対称ポート配置を有する流体処理構成要素に特に適していることを例示するであろう。構成要素導管ポート８２０ｇは、マスフローコントローラのような装置の入口または出口ポートに関連付けられ、典型的には、流体送達スティックの複数のフロー基板の間のプロセス流体のフローを連通するために使用されるかもしれない。
【００２８】
流体処理構成要素をフロー基板８００に密封的に実装するために使用されるファスナ（図示せず）のネジが切られた端部をそれぞれが受け入れるであろう複数の内部にネジが切られた構成要素実装開口部８１０ａ、８１０ｂ、８１０ｃ、および８１０ｄは、構成要素導管ポート８２０ａ、８２０ｂに関連付けられる。マスフローコントローラのような流体処理構成要素のポートをフロー基板８００に密封的に実装するために使用されるファスナ（図示せず）のネジが切られた端部をそれぞれが受け入れるであろう一対の内部にネジが切られた構成要素実装開口部８１０ｙ、８１０ｚは、構成要素導管ポート８２０ｇに関連付けられる。流体送達スティック内の隣接するフロー基板は、典型的には、流体処理構成要素の他のポートを隣接するフロー基板に密封可能に実装するために必要な追加の一対の実装開口部を提供するであろうことが理解されるべきである。導管ポートとそれぞれの流体処理構成要素との間の検出されるべきあらゆる漏れを検出することを許容するリークポート８２５ａ（構成要素導管ポート８２０ａおよび８２０ｂについて）およびリークポート８２５ｂ（構成要素導管ポート８２０ｃおよび８２０ｄについて）は、構成要素導管ポートの各対に関連付けられている。
【００２９】
フロー基板８００は、フロー基板８００に沿って長手方向（すなわち、図８Ａでは左から右へ）に流体を搬送するために使用される多数の流体経路８７５ａ、８７５ｂ、８７５ｃ、および８７５ｄを備える。例えば、流体経路８７５ａは、チューブスタブ接続部８３５と構成要素導管ポート８２０ａとの間に延び、流体経路８７５ｂは、構成要素導管ポート８２０ｂと８２０ｃとの間に延び、流体経路８７５ｃは、構成要素導管ポート８２０ｄと構成要素導管ポート８２０ｅとの間に延び、流体経路８７５ｄは、構成要素導管ポート８２０ｆと構成要素導管ポート８２０ｇとの間に延びる。チューブスタブ接続部８３５は、典型的には、プロセス流体の供給源またはシンクに流体的に（例えば、溶接によって）接続されるであろう。
【００３０】
複数のダウエルピン（ｄｏｗｅｌ ｐｉｎ）開口部８５０ａ〜８５０ｈは、構成要素取付面８０５から、構成要素取付面８０５とは反対側のフロー基板側面の接続取付面８１５まで延びるようにフロー基板８００に形成されている。接続取付面８１５は、特許文献２に記載されているように、フロー基板８００を流体送達スティック実装構造に接続するか、マニホールドに接続するか、または両方に接続するために使用されてもよい。これらのダウエルピン開口部８５０ａ〜８５０ｈの各々は、異なる機能を実行するために使用され得るダウエルピン（図示せず）を受け入れることができる。第１機能は、キャップ８９５をフロー基板８００のフロー基板本体８０１に位置合わせすることができ、第２機能は、特許文献２に記載されているものと同様の方法で、フロー基板を流体送達スティック実装構造に位置合わせすることができる。特定の実施形態では、これらの機能のうちの第１機能のみが実行されてもよく、そのような場合には、位置合わせ（および以下にさらに詳細に記載されるような溶接）の後に、ダウエルピンは取り外されて、別のフロー基板本体およびキャップと共に再使用されてもよいことが理解されるべきである。本開示のさらなる側面に従って、ダウエルピンの位置は、既存のモジュール式フロー基板システム、例えばＫ１Ｓシステムと上位互換（ｂａｃｋｗａｒｄｓ ｃｏｍｐａｔｉｂｌｅ）であってもよい。
【００３１】
図８Ｃは、複数のフロー基板実装開口部８３０が見える、フロー基板８００を下方から見た図である。複数のフロー基板実装開口部８３０は、キャップ８９５内に形成され、キャップ８９５を通ってフロー基板本体８０１内に延びることができる（図８Ｉではより明確に示されている）。キャップ８９５がフロー基板本体８０１の一部のみを覆っているいくつかの例では、複数のフロー基板実装開口部のうちの１つ以上はフロー基板本体８０１内に配置され得る。フロー基板本体８０１内では、フロー基板実装開口部８３０は、フロー基板８００を流体送達スティック実装構造のような実装面に下から実装するためのファスナ（図示せず）を受け入れるように内部にネジが切られている。フロー基板実装開口部８３０の配置は、フロー基板８００が取り付けられるべき実装面における実装開口部の配置に応じて変化してもよい。
【００３２】
図から分かるように、構成要素導管ポート８２０および流体経路８７５は、費用対効果の高い方法で機械加工することができる。したがって、構成要素導管ポート８２０ａ〜８２０ｇは、それぞれ、構成要素取付面８０５からフロー基板８００のフロー基板本体８０１の第１表面または上面への機械加工によって形成されてもよく、流体経路８７５ｂ、８７５ｃ、および８７５ｄは、それぞれ、図８Ｆに示すように、フロー基板本体８０１の第２表面または下面からの機械加工によって形成されてもよく、流体経路８７５ａは、図８Ｅに示すように、フロー基板本体の側面からの機械加工によって形成されてもよい。いくつかの例では、流体経路８７５は、耐食性を高めるために処理されてもよい。図示された流体経路８７５の寸法は、例えば約５０ＳＬＭ（標準リットル毎分）（約３立方メートル毎時）を超えるようなより高い流量に特に適していることが理解されるべきである。実際、図示された流体経路の寸法は、フロー基板８００が、高流量用途（例えば、約５０ＳＬＭ（約３立方メートル毎時）〜約１００ＳＬＭ（約６立方メートル毎時）の間）だけでなく、極高流量用途（例えば、約２００ＳＬＭ（約１２立方メートル毎時）を超える用途）にも使用されることを可能にする。したがって、フロー基板は、約２００ＳＬＭ（約１２立方メートル毎時）〜約１０００ＳＬＭ（約６０立方メートル毎時）の間の非常に高い流量で動作するように設計された新興の半導体製造装置で使用されてもよい。流体経路の寸法は、例えば、流体経路８７５ｂ、８７５ｃ、および８７５ｄのうちの１つ以上の断面積を単純に減少させるような素直な方法で、より低い流量の用途のためにスケールダウンされてもよいことが理解されるべきである。実際、構成要素導管ポート８２０は、流体経路とは異なるプロセスステップで形成されるので、流体経路の寸法は、構成要素導管ポートの寸法によって制約されず、したがって、流体経路の断面積は、広い範囲の流量に対応するために、構成要素導管ポートの断面積よりもかなり大きく、小さく、または同じであってもよい。
【００３３】
図８Ｈおよび図８Ｉは、キャップ８９５の様々な詳細を図示している。周囲を超える温度に頻繁に加熱される可能性のある半導体プロセス流体での使用に特に適合された一実施形態に従って、キャップ８９５は、厚さ約０．０２インチ（０．５ｍｍ）のステンレス鋼の薄板から形成することができる。ステンレス鋼の薄板の薄さは、基板の接続取付面８１５への熱の印加によって、フロー基板内を流れるプロセス流体に熱が容易に伝達されることを可能にする。熱源は、ブロックヒータ、特許文献２に記載されているのと同様の方法でフロー基板が取り付けられている流体送達スティック実装構造の溝に挿入されたカートリッジヒータ、または特許文献４に記載されているのと同様の薄膜ヒータによって提供されてもよい。キャップの薄さはまた、所望されるべきであれば、フロー基板内を流れる流体を冷却することを可能にすることを理解すべきである。
【００３４】
ステンレス鋼の薄板は、流体経路８７５ｂ、８７５ｃ、および８７５ｄを取り囲むとともに画定する溝８２３を形成するために化学的にエッチングされてもよい。そのような化学エッチングは、正確に行われてもよく、代替的に使用されてもよい機械加工によるような溝を形成する他の方法よりも安価であり得る。一実施形態に従って、溝は、約０．０１インチ（０．２５ｍｍ）の厚さにエッチングされてもよい。各流体経路８７５ｂ、８７５ｃ、および８７５ｄを取り囲むとともに規定する溝８２３の存在は、いくつかの目的を果たすことができる。例えば、溝の薄さは、溝８２３が存在しない場合よりも少ない時間とエネルギーを用いて、例えば電子ビーム溶接によって、キャップをフロー基板８００のフロー基板本体８０１に溶接することを可能にする。溶接は、溝によって規定された各流体経路の周りをなぞることによって行われ、それによって流体タイトシールを形成するであろう。電子ビーム溶接は、汚染を最小限にするために、真空環境で行われてもよい。フロー基板本体８０１およびキャップ８９５に使用される材料がステンレス鋼などの高純度金属である場合、真空溶接環境は、溶接点での汚染物質（炭素、硫黄、マンガンなど）をさらに除去するように作用する。電子ビーム溶接が一般的に好ましいが、レーザー溶接のような他のタイプの溶接も使用され得ることを理解すべきである。
【００３５】
溝８２３の存在はまた、溝が流体経路の周縁部を規定するので、溶接中のガイドとして機能する。フロー基板本体８０１のダウエルピン孔８５０ａ、８５０ｂおよびキャップ８９５の対応するダウエルピン孔８５０ａ′、８５０ｂ′は、溶接中にキャップ８９５がフロー基板８００の本体とアライメントし、かつ登録された状態で保持されることを可能にするダウエルピンを受け入れる。ダウエルピンは、溶接が完了した後に取り外されて再使用されてもよいし、フロー基板を実装面にアライメントさせるための補助として所定の位置に保持されてもよい。
【００３６】
様々な例では、フロー基板は、特許文献１に図示され議論されているような他の構成を備えることもできる。図面には４本の流体経路のみが図示されているが、本開示の製造実施形態の容易さおよび低コストは、任意の数の流体経路および構成要素ポートをフロー基板内に規定することを容易に可能にすることを理解すべきである。この点で、流体送達スティック全体の流体経路および構成要素接続ポートのすべてが、単一のフロー基板内に形成されてもよい。あるいは、流体送達スティックは、上述のフロー基板８００のような２つ以上のフロー基板を使用して形成されてもよい。
【００３７】
図９Ａは、基板実装の実装構造９０２に結合されたフロー基板９００の例示的な上面図を描いている。本明細書に図示された例では、実装構造９０２のような実装構造は、フロー基板９００に取り外し可能に結合され得る。図９Ｂ１は実装構造９０２の斜視図を示し、図９Ｃは実装構造９０２の断面図を示し、図９Ｄは実装構造９０２の底面図を示す。
【００３８】
図９Ｂ１〜図９Ｄの例に示すように、実装構造９０２は、第１開口部９０４Ａおよび第２開口部９０４Ｂを備えることができる。第１開口部９０４Ａおよび第２開口部９０４Ｂは、フロー基板９００と支持面との間で実装構造９０２を締結するように構成され得る。第１ファスナは、実装構造９０２をフロー基板９００に固定するために第１開口部９０４Ａを介して配置することができ、例えば、第２ファスナは、実装構造９０２を支持面、バックアッププレート、流体送達スティック実装構造、マニホールド、または特許文献２にさらに記載されているようにそれらの組み合わせに固定するために第２開口部９０４Ｂを介して配置することができる。一例では、ファスナは、実装構造９０２をフロー基板９００に実装するために、フロー基板９００のそれぞれの実装開口部９３０（例えば、本明細書にさらに記載されているような開口部８３０）に係合することができる。ファスナは、ボルト、ネジ、クイックリリース接続（例えば、バヨネットまたは他の１／４ターンファスナ）、リベット、スナップフィット、ラッチなどを備えることができるが、これらに限定されない。したがって、実装構造９０２は、支持面に沿ってフロー基板９００を支持することができる。
【００３９】
図９Ｃの例に示されるように、第１開口部９０４Ａ、第２開口部９０４Ｂ、またはその両方は、カウンタシンクまたはカウンタボアを備えることができる。第１カウンタボア９０６Ａは、実装構造９０２の第１端部９０８に配置され得、第２カウンタボア９０６Ｂは、実装構造９０２の第２端部９１０に配置され得る。第２端部９１０は、フロー基板９００の本体またはキャップなどのようにフロー基板９００とインタフェースすることができる。換言すれば、図９Ａ〜図９Ｄの例に示すように、第１開口部９０４Ａは、第２開口部９０４Ｂとは反対側の方向に配向することができる。軸受面は、カウンタボアの内部端部によって提供され得る。例えば、第１ファスナは、第２端部９１０と第１軸受面９１２Ａとの間で、実装構造９０２をフロー基板９００にクランプすることができる。第２ファスナは、第１端部９０８と第２軸受面９１２Ｂとの間で、支持面または他の実装面に実装構造９０２をクランプすることができる。
【００４０】
一実施例では、実装構造９０２のような１つ以上の実装構造は、支持面から離れた位置でフロー基板９００を支持することができる。例えば、実装構造９０２の高さＨは、フロー基板を支持面の上に距離を置いて配置することができる。この距離は、熱伝達のための空気流を提供するために、またはフロー基板９００と支持面との間で流体ラインまたはマニホールドをルーティングするために、構成することができる。
【００４１】
様々な例では、図９Ａに描かれているように、実装構造９０２がフロー基板９００に結合（例えば、締結）されている場合、フロー基板９００は、第２開口部９０４Ｂまたは第２カウンタボア９０６Ｂの一部を覆うことができる。例えば、実装構造９０２がフロー基板９００に結合されている場合、フロー基板９００は、実装構造９０２内のファスナを捕捉することができる。図９Ｂ１の例では、ファスナは、実装構造９０２の第２端部９１０と、第２カウンタボア９０６Ｂの第２軸受面９１２Ｂとの間に捕捉され得る。
【００４２】
一例では、第２開口部９０４Ｂ（および対応する第２ファスナ）の長手方向軸線は、ファスナの頭部に係合するための工具のアクセスを容易にするために、フロー基板９００の側面９０１からオフセットした距離に配置され得る。ファスナの頭部は、六角形、六角内部（Ｔｏｒｘ（登録商標））、または他のタイプのネジドライブを備えることができる。一実施例では、開口部の長手方向軸線は、ファスナの対応するネジドライブの少なくとも半径分だけ、側面９０１からオフセットされ得る。ファスナがフロー基板９００によって実装構造９０２内（例えば、第２開口部９０４Ｂの第２カウンタボア９０６Ｂ内）に捕捉され得るように、ファスナの頭部の半径はオフセット距離よりも大きくすることができる。流体送達スティック９０３は、実装構造９０２のうちの１つ以上をフロー基板９００に結合することによって予め組み立てることができる。したがって、フロー基板９００が実装構造９０２に結合されるとき、実装構造９０２（および対応するフロー基板９００）を支持面に固定するために使用されるファスナは、ファスナの頭部が工具によってアクセス可能なままであるフロー基板９００の一部（図９Ａ参照）によって実装構造９０２内に保持することができる。ファスナがフロー基板によって実装構造内に保持された状態で予め組み立てられた構成は、例えば、輸送中または設置中に有益である。実装構造内にファスナを保持することは、ファスナの位置ずれ、または顧客による交換または修正を防止する。別の例では、ファスナは、例えば、フロー基板の上面に関して凹んでいるように、実装構造内に凹んでいるかまたは部分的に凹んでいることができる。
【００４３】
更なる例では、実装構造９０２は、フロー基板９００とアライメントさせることができる。例えば、実装構造９０２をフロー基板９００に位置合わせするために、固定具（ｆｉｘｔｕｒｅ）９０７を使用することができる。図９Ａ〜図９Ｄの例では、実装構造９０２の長手方向軸線Ａ１は、フロー基板９００の長手方向軸線Ａ２（例えば、フローの第１方向に沿う）に対して直角に構成され得る。図９Ｂ２に示すように、固定具９０７は、実装構造９０２をフロー基板９００に対して９０°の角度でアライメントさせることができる。他の例では、実装構造９０２の長手方向軸線Ａ１または他の軸線は、フロー基板９００の長手方向軸線Ａ２に関して例えば３０度、４５度、６０度、またはそれらの間の他の角度になるように、他の配向で構成することができる。第１開口部９０４Ａを通って配置された第１ファスナのようなファスナは、フロー基板９００に対する実装構造９０２の位置および向きを固定することができる。いくつかの例では、固定具は、不適切な取り付けまたは顧客の修正を緩和するために、（製造業者からの）実装構造９０２の適切な位置合わせを確保することができる。実装構造９０２をフロー基板９００に対してアライメントさせる他の例は、図１０Ａ〜図１０Ｅ、図１１Ａ〜図１１Ｄ、図１２Ａ〜図１２Ｅ、図１３Ａ〜図１３Ｅ、および図１４Ａ〜図１４Ｄのさらなる例に記載されている。
【００４４】
流体送達スティック９０３（図９Ａ〜図９Ｄ、図１０Ａ〜図１０Ｅ、図１１Ａ〜図１１Ｄ、図１２Ａ〜図１２Ｅ、図１３Ａ〜図１３Ｅ、および図１４Ａ〜図１４Ｄの例に描かれているような）は、フロー基板９００と、フロー基板９００に結合された１つ以上の実装構造（実装構造９０２または本明細書に記載され、図１０Ａ〜図１０Ｅ、図１１Ａ〜図１１Ｄ、図１２Ａ〜図１２Ｅ、図１３Ａ〜図１３Ｅ、または図１４Ａ〜図１４Ｄの例に示されている他の実装構造など）とを備えることができる。流体送達スティック９０３を支持面に実装するために、実装構造９０２内にそれぞれのファスナが取り込まれ得る。したがって、流体送達スティック９０３を支持面に実装するための実装構造９０２を実装するためのハードウェアのすべてを、流体送達スティック９０３内に備えることができる。実装構造９０２は、支持面への取り付けのために、フロー基板９００に対して位置決めされるとともに位置合わせされ得る。
【００４５】
図１０Ａ〜図１０Ｅは、実装構造１００２である別例を描いている。実装構造１００２は、図９Ａ〜図９Ｄの例において配置および記載され、本明細書にさらに記載されているように、第１開口部１００４Ａ、第２開口部１００４Ｂ、第１カウンタボア１００６Ａ、および第２カウンタボア１００６Ｂを備えることができる。第１ファスナ１０１４Ａは、図１０Ｂの例で図示されているように、第１開口部１００４Ａの内部に挿入され得る。第１ファスナ１０１４Ａのような１つ以上のファスナは、実装構造１００２をフロー基板１０００に結合することができる。例えば、フロー基板１０００は、先に説明したように、１つ以上の実装開口部１０３０を備えることができる。第１ファスナ１０１４Ａは、実装開口部１０３０を用いて、実装構造１００２をフロー基板１０００に固定することができる。
【００４６】
実装構造１００２、フロー基板１０００、またはその両方は、実装構造１００２をフロー基板１０００にアライメントさせるための１つ以上のアライメント特徴（ｆｅａｔｕｒｅｓ）を備えることができる。図１０Ｂ〜図１０Ｅの例では、アライメント特徴は、アライメントピン１０１６Ａ〜１０１６Ｄであり得る。フロー基板１０００は、キャップ（例えば、図８Ｂ、図８Ｄ〜図８Ｅ、図８Ｈ〜図８Ｊに描かれ、本明細書に記載されているキャップ８９５）に、フロー基板１０００の本体に、または両方に配置された１つ以上のアライメント開口部１０３２を備えることができる。１つ以上のアライメント開口部１０３２は、実装構造１００２の対応するアライメントピン１０１６Ａ〜１０１６Ｄがアライメント開口部１０３２に係合したときに、実装構造１００２をフロー基板１０００に関してアライメントさせるために、フロー基板１０００上に配置することができる。図１０Ｂの例は、第１開口部１００４Ａの第１側に位置する単一のアライメントピン１０１６Ａを図示し、図１０Ｄの例は、第１開口部１００４Ａの第２側に位置するアライメントピン１０１６Ｄを図示する。図１０Ｃの例は、第１開口部１００４Ａの第１側に位置するアライメントピン１０１６Ｂと、第１開口部１００４Ａの反対側の第２側に位置する第２アライメントピン１０１６Ｃとを図示している。実装構造１００２またはフロー基板１０００のアライメント特徴は、フロー基板１０００に関して実装構造１００２を位置決めまたは方向付けするためのアライメント固定具の必要性を緩和または排除することができる。他の例では、１つ以上のアライメント開口部を実装構造１００２上に配置することができ、１つ以上の対応するアライメントピンをフロー基板１０００上に配置することができ、または様々なアライメントピンおよび開口部の組み合わせが可能である。他のアライメント特徴もまた企図されている。アライメント特徴のいくつかのさらなる例は、図１１Ｂ〜図１１Ｃ、図１２Ｂ〜図１２Ｅ、および図１３Ｂ〜図１３Ｅの例に示され、本明細書でさらに説明される。
【００４７】
図１０Ｅは、第１開口部１００４Ａおよび第２開口部１００４Ｂのそれぞれに挿入された第１ファスナ１０１４Ａおよび第２ファスナ１０１４Ｂを備える実装構造１００２の一例を示す。実装構造１００２がフロー基板１０００に結合されるとき、フロー基板１０００は、第２開口部１００４Ｂの第２カウンタボア１００６Ｂのように第２開口部１００４Ｂを覆うかまたは部分的に覆って、第２ファスナ１０１４Ｂを第２開口部１００４Ｂ内に捕捉することができる。したがって、先に説明したように、第２ファスナ１０１４Ｂは、輸送中または設置中など、流体送達スティック１００３（図１０Ａに描かれている）内に保持することができる。別の例では、第２ファスナ１０１４Ｂは、フロー基板１０００の上面に関して凹んでいるなど、実装構造１００２内に凹んでいるかまたは部分的に凹んでいることができる。
【００４８】
図１１Ａ〜図１１Ｄは、実装構造１１０２である別例を示す。実装構造１１０２は、図９Ａ〜図９Ｄ、および図１０Ａ〜図１０Ｅの例において配置され説明されているように、第１開口部１１０４Ａ、第２開口部１１０４Ｂ、第１カウンタボア１１０６Ａ、および第２カウンタボア１１０６Ｂを備えることができる。第１ファスナ１１１Ａは、図１１Ｂの斜視図および図１１Ｃの断面図の例で図示されているように、第１開口部１１０４Ａの内側に挿入することができる。第１ファスナ１１１Ａのような１つ以上のファスナは、実装構造１１０２をフロー基板１１００に結合することができる。例えば、フロー基板１１００は、既述のように、１つまたは複数の実装開口部１１３０を備えることができる。第１ファスナ１１１Ａは、実装開口部１１３０を使用して、実装構造１１０２をフロー基板１１００に固定することができる。図１１Ｄは実装構造１１０２の底面図を示す。
【００４９】
図１１Ｂ〜図１１Ｃの例に示すように、実装構造１１０２は、フロー基板１１００のエッジ部１１０５に近接してフロー基板１１００とインタフェースするように、実装構造１１０２の一端（例えば、第２端部１１１０）に沿ったステップ１１１６のようなアライメント特徴を備えることができる。例えば、ステップ１１１６は、実装構造１１０２の第２端部１１１０の隆起部を備えることができる。ステップ１１１６の隆起エッジ１１１８は、フロー基板１１００のエッジ部１１０５に近接して、例えば、フロー基板１１００のエッジ部１１０５に隣接する側面１１０１に沿って、フロー基板１１００に係合することができる。ステップ１１１６は、実装構造１１０２をフロー基板１１００に関して位置合わせするように構成することができる。例えば、ステップ１１１６は、実装構造１１０２の長手方向軸線（例えば、第２端部１１１０に沿った軸線であって、第１開口部９０４Ａの中心軸線と第２開口部９０４Ｂの中心軸線とを通って延びる軸線）に対して、９０度、６０度、４５度、３０度、または１０度と９０度との間の他の角度などの角度で構成することができる。別の例では、ステップ１１１６は、実装構造１１０２をフロー基板１１００に対して位置合わせするために、フロー基板１１００上に配置され得る。実装構造１１０２またはフロー基板１１００のアライメント特徴（ステップ１１１６）は、フロー基板１１００に関して実装構造１１０２を位置決めまたは方向付けするためのアライメント固定具の必要性を緩和または排除することができる。
【００５０】
ステップ１１１６の隆起エッジ１１１８は、図１１Ｂ〜図１１Ｃに描かれているように、第２開口部１１０４Ｂの少なくとも一部に沿って、または第２開口部１１０４Ｂの第２カウンタボア１１０６Ｂの少なくとも一部に沿って配置され得る。図１１Ｃは、第１開口部１１０４Ａに挿入された第１ファスナ１１１４Ａと、第２開口部１１０４Ｂに挿入された第２ファスナ１１１４Ｂとを備える実装構造１１０２の断面の一例を示している。実装構造１１０２がフロー基板１１００に結合されるとき、フロー基板１１００は、第２開口部１１０４Ｂの第２カウンタボア１１０６Ｂのように第２開口部１１０４Ｂを覆うかまたは部分的に覆って、第２開口部１１０４Ｂ内に第２ファスナ１１１４Ｂを捕捉することができる。したがって、先に説明したように、第２ファスナ１１１４Ｂは、輸送中または設置中など、フロー基板１１００のシステム内に捕捉することができる。別の例では、第２ファスナ１１１４Ｂは、フロー基板１１００の上面に関して凹んでいるように、実装構造１１０２内に凹んでいるかまたは部分的に凹んでいることができる。
【００５１】
図１２Ａ〜図１２Ｅは、実装構造１２０２である別例を図示している。実装構造１２０２は、図９Ａ〜図９Ｄ、図１０Ａ〜図１０Ｅ、および図１１Ａ〜図１１Ｄの例において配置され説明されているように、第１開口部１２０４Ａ、第２開口部１２０４Ｂ、第１カウンタボア１２０６Ａ、および第２カウンタボア１２０６Ｂを備えることができる。図１２Ｂの斜視図および図１２Ｄの断面図の例で図示されているように、第１ファスナ１２１４Ａのようなファスナを第１開口部１２０４Ａの内側に挿入することができる。第１ファスナ１２１４Ａのような１つ以上のファスナは、実装構造１２０２をフロー基板１２００に結合することができる。例えば、フロー基板１２００は、先に説明したように、１つ以上の実装開口部１２３０を備えることができる。第１ファスナ１２１４Ａは、実装開口部１２３０を用いて、実装構造１２０２をフロー基板１２００に固定することができる。図１２Ｃは実装構造１２０２の底面図を示し、図１２Ｅは、第１ファスナ１２１４Ａまたは第２ファスナ１２１４Ｂの無い実装構造１２０２の別の断面図を示す。
【００５２】
図１２Ｂ〜図１２Ｅの例に示すように、実装構造１２０２は、実装構造１２０２の一端（例えば、第２端部１２１０）に沿ったスロット１２１６のようなアライメント特徴を備えることができる。例えば、スロット１２１６は、図１２Ｂの例に示すように、実装構造１２０２の第２端部１２１０の厚みを通って延びることができる。例示的な実施形態では、固定具（ｆｉｘｔｕｒｅ）１２０５は、フロー基板１２００に対して実装構造１２０２を方向付けるために使用することができる。例えば、固定具１２０５は、フロー基板１２００の側面に沿って配置されたプレートを備えることができる。固定具１２０５は、フロー基板１２００の下面よりも下に延びるエッジを備えることができる。固定具１２０５は、スロット１２１６内に挿入または係合することができる。固定具１２０５がスロット１２１６内に配置されると、スロット１２１６は、フロー基板１２００の側面１２０１に対応してアライメントさせることができ、それに応じて、実装構造１２０２は、フロー基板１２００に対してアライメントさせることができる。実装構造１２０２のアライメントおよび取り付けに続いて、固定具は、流体送達スティック１２０３から取り外すことができる。別の例では、フロー基板１２００は、実装構造１２０２をフロー基板１２００に関して位置合わせするために、スロット１２１６とインタフェースするためのフランジまたは他の係合特徴を備えることができる。いくつかの例では、固定具１２０５は、製造業者からの適切な位置合わせを保証し、不適切な設置または顧客の修正を緩和することができる。スロット１２１６は、フロー基板１２００に関して実装構造１２０２をアライメントさせるように構成することができる。例えば、スロット１２１６は、実装構造１２０２の長手方向軸線（例えば、第２端部１２１０に沿った軸線であって、第１開口部１２０４Ａの中心軸線と第２開口部１２０４Ｂの中心軸線とを通って延びる軸線）に対して、９０度、６０度、４５度、３０度、または１０度と９０度との間の他の角度などの角度で構成することができる。
【００５３】
スロット１２１６は、図１２Ｂ〜図１２Ｅに描かれているように、第２開口部１２０４Ｂの少なくとも一部に沿って、または第２開口部１２０４Ｂの第２カウンタボア１２０６Ｂの少なくとも一部に沿って配置され得る。図１２Ｄ、図１２Ｅは、実装構造１２０２の断面の例を示す。図１２Ｄは、第１開口部１２０４Ａに挿入された第１ファスナ１２１４Ａと、第２開口部１２０４Ｂに挿入された第２ファスナ１２１４Ｂとを図示している。実装構造１２０２がフロー基板１２００に結合されるとき、フロー基板１２００は、第２開口部１２０４Ｂの第２カウンタボア１２０６Ｂのように第２開口部１２０４Ｂを覆うかまたは部分的に覆って、第２開口部１２０４Ｂ内に第２ファスナ１２１４Ｂを捕捉することができる。したがって、先に説明したように、第２ファスナ１２１４Ｂは、輸送中または設置中など、流体送達スティック１２０３内に捕捉され得る。別の例では、第２ファスナ１２１４Ｂは、フロー基板１２００の上面に関して凹んでいるように、実装構造１２０２内に凹んでいるかまたは部分的に凹んでいることができる。
【００５４】
図１３Ａ〜図１３Ｅは、フロー基板１３００に関して実装構造１３０２を方向付けして支持するためのアライメントフレーム（すなわち、アライメントクリップ）１３１６を備える実装構造１３０２の例を示す。言い換えれば、アライメント特徴は、フロー基板１３００と実装構造１３０２との間に結合されたアライメントフレーム１３１６を備えることができる。実装構造１３０２は、図９Ａ〜図９Ｄ、図１０Ａ〜図１０Ｅ、図１１Ａ〜図１１Ｄ、および図１２Ａ〜図１２Ｅの例に配置され説明されているように、第１開口部１３０４Ａ、第２開口部１３０４Ｂ、第１カウンタボア１３０６Ａ、および第２カウンタボア１３０６Ｂを備えることができる。図１３Ｂの斜視図および図１３Ｅの断面図の例で図示されているように、第１ファスナ１３１４Ａのようなファスナが、第１開口部１３０４Ａの内側に挿入され得る。第１ファスナ１３１４Ａのような１つ以上のファスナは、実装構造１３０２をフロー基板１３００に結合することができる。例えば、フロー基板１３００は、先に説明したように、１つ以上の実装開口部１３３０を備えることができる。第１ファスナ１３１４Ａは、実装開口部１３３０を使用して、実装構造１３０２をフロー基板１３００に固定することができる。図１３Ｃは実装構造１３０２の上面図を示す。
【００５５】
アライメントフレーム１３１６は、実装構造１３０２の第２端部１３１０上など、実装構造１３０２上に配置することができる。開口部１３２２は、アライメントフレーム１３１６内に配置することができる。第１ファスナ１３１４Ａが第１開口部１３０４Ａ内に配置されている場合、第１ファスナ１３１４Ａは、実装構造１３０２をフロー基板１３００に結合するために実装開口部１３３０に係合するように、開口部１３２２を介して配置され得る。例示的な実施例では、開口部１３２２は、第１ファスナ１３１４Ａが実装構造１３０２上のアライメントフレーム１３１６の位置を登録することを可能にすることができる。図１３Ｂ〜図１３Ｅの例に示すように、アライメントフレーム１３１６は、第１フランジ１３１８Ａおよび第２フランジ１３１８Ｂを備えることができる。いくつかの例では、アライメントフレーム１３１６は、金属またはポリマーを含むがこれらに限定されない材料から構成され得る。
【００５６】
第１フランジ１３１８Ａおよび第２フランジ１３１８Ｂは、アライメントフレーム１３１６のベース部１３１７から延びることができる。ベース部１３１７は、実装構造１３０２に沿って、例えば第２端部１３１０に沿って配置することができる。一例では、第１フランジ１３１８Ａおよび第２フランジ１３１８Ｂは、ベース部１３１７から３０度から９０度の角度で配置され得る。図１３Ｂ〜図１３Ｅの例では、第１フランジ１３１８Ａは、実装構造１３０２に向かって９０度の角度で延びることができ、第２フランジ１３１８Ｂは、実装構造１３０２から離れて９０度の角度で延びることができる。例えば、第１フランジ１３１８Ａは、アライメントフレーム１３１６を実装構造１３０２に対して配向させるために、実装構造１３０２とインタフェースすることができる。第２フランジ１３１８Ｂは、実装構造１３０２がフロー基板１３００に固定されている場合に、実装構造１３０２をフロー基板１３００と方向付けることができる。
【００５７】
第１フランジ１３１８Ａまたは第２フランジ１３１８Ｂ、または両方は、フロー基板１３００に対して実装構造１３０２をアライメントさせるように構成することができる。例えば、第１フランジ１３１８Ａまたは第２フランジ１３１８Ｂは、実装構造１３０２の長手方向軸線（例えば、第２端部１３１０に沿った軸線であって、第１開口部１３０４Ａの中心軸線と第２開口部１３０４Ｂの中心軸線とを通って延びる軸線）に対して、９０度、６０度、４５度、３０度、または１０度と９０度の間の他の角度などの角度で構成することができる。アライメントフレーム１３１６は、フロー基板１３００に対して実装構造１３０２を位置決めまたは方向付けするためのアライメント固定具の必要性を緩和または排除することができる。いくつかの例では、アライメントフレーム１３１６は、製造業者からの適切なアライメントを保証し、不適切な取り付けまたは顧客の修正を緩和することができる。
【００５８】
図１３Ｅは、第１開口部１３０４Ａに挿入された第１ファスナ１３１４Ａと、第２開口部１３０４Ｂに挿入された第２ファスナ１３１４Ｂとを備える実装構造１３０２の断面の一例を図示している。アライメントフレーム１３１６は、図１３Ｂ、図１３Ｃ、および図１３Ｅに描かれているように、第２開口部１３０４Ｂの少なくとも一部または第２開口部１３０４Ｂの第２カウンタボア１３０６Ｂの少なくとも一部を覆うように配置することができ、したがって、第２ファスナ１３１４Ｂを第２開口部１３０４Ｂ内に捕捉することができる。その結果、先に説明したように、第２ファスナ１３１４Ｂは、輸送中または設置中など、流体送達スティック１３０３内に保持され得る。別の例では、第２ファスナ１３１４Ｂは、フロー基板１３００の上面に関して凹んでいるように、実装構造１３０２内に凹んでいるかまたは部分的に凹んでいることができる。
【００５９】
図１４Ａ〜図１４Ｄは、実装構造１４０２である別例を描いている。実装構造１４０２は、図９Ａ〜図９Ｄ、図１０Ａ〜図１０Ｅ、図１１Ａ〜図１１Ｄ、図１２Ａ〜図１２Ｅ、および図１３Ａ〜図１３Ｅの例において配置され説明されているように、第１開口部１４０４Ａ、第２開口部１４０４Ｂ、第１カウンタボア１４０６Ａ、および第２カウンタボア１４０６Ｂを備えることができる。図１４Ａ〜図１４Ｄの例では、実装構造１４０２は、第３開口部１４０４Ｃを備えることができる。一例では、第３開口部１４０４Ｃは、第３カウンタボア１４０６Ｃを備えることができる。図１４Ｄの例で図示されているように、第１ファスナ１４１４Ａが第１開口部１４０４Ａの内部に挿入され、別の第３ファスナ１４１４Ｃが第３開口部１４０４Ｃの内部に挿入され得る。第１ファスナ１４１４Ａおよび第３ファスナ１４１４Ｃのような１つまたは複数のファスナは、実装構造１４０２をフロー基板１４００に結合することができる。例えば、フロー基板１４００は、実装開口部１４３０Ａ，１４３０Ｂのような１つ以上の実装開口部（既述のように）を備えることができる。第１ファスナ１４１４Ａおよび第３ファスナ１４１４Ｃは、それぞれの実装開口部１４３０Ａ，１４３０Ｂを用いて実装構造１４０２をフロー基板１４００に固定することができる。
【００６０】
図１４Ａ〜図１４Ｄの例に示すように、フロー基板１４００は、チャネル１４１６を備えることができる。チャネル１４１６は、第１開口部１４０４Ａと第３開口部１４０４Ｃとの間に位置し得る。チャネル１４１６は、流体送達ライン１４１８のための実装構造１４０２の開口部を提供することができる。したがって、１つまたは複数の流体送達ライン１４１８は、フロー基板１４００の下側に沿って（例えば、図８Ｂ、図８Ｄ〜図８Ｅ、図８Ｈ〜図８Ｊに示され本明細書に記載されているキャップ８９５に沿って）ルーティングされ得る。いくつかの例では、実装構造１４０２は、フロー基板１４００の２つのポート１４２０Ａおよび１４２０Ｂ（例えば、導管ポート）の間に配置され得る。チャネル１４１６は、１つ以上の実装構造１４０２が配置されている場所で、流体送達ライン１４１８をフロー基板１４００に沿ってルーティングすることを可能にすることができる。一例では、実装構造１４０２は、実装構造１４０２がフロー基板１４００に取り付けられているときに、流体送達ライン１４１８を保護することができる。
【００６１】
第１開口部１４０４Ａおよび第３開口部１４０４Ｃは、実装構造１４０２をフロー基板１４００に対して位置合わせするために、実装構造１４０２内に配置することができる。図１４Ａ〜図１４Ｄの例では、実装構造１４０２の長手方向軸線は、フロー基板１４００の長手方向軸線（例えば、フローの第１方向に沿う）に対して直角に構成され得る。他の例では、実装構造１４０２の長手方向軸線または他の軸線は、フロー基板１４００の長手方向軸線に対して他の方向、例えば３０度、４５度、６０度、またはその間の他の角度で構成することができる。第１ファスナ１４１４Ａおよび第３ファスナ１４１４Ｃは、フロー基板１４００に対する実装構造１４０２の位置および向きを固定することができる。さらなる例では、実装構造１４０２、フロー基板１４００、またはその両方は、図９Ａ〜図９Ｄ、図１０Ａ〜図１０Ｅ、図１１Ａ〜図１１Ｄ、図１２Ａ〜図１２Ｅ、および図１３Ａ〜図１３Ｅの例に記載されさらに本明細書に記載されているアライメント特徴などの、本明細書に記載されたアライメント特徴のいずれかを備えることができる。
【００６２】
実装構造１４０２がフロー基板１４００に結合されるとき、フロー基板１４００は、第２開口部１４０４Ｂの第２カウンタボア１４０６Ｂのように第２開口部１４０４Ｂを覆うかまたは部分的に覆って、第２開口部１４０４Ｂ内に第２ファスナ１４１４Ｂを捕捉することができる。したがって、先に説明したように、第２ファスナ１４１４Ｂは、輸送中または設置中など、流体送達スティック１４０３内に保持され得る。別の例では、第２ファスナ１４１４Ｂは、フロー基板１４００の上面に関して凹んでいるように、実装構造１４０２内に凹んでいるかまたは部分的に凹んでいることができる。
【００６３】
図３〜図５および図７において、実装構造は、フロー基板をマニホールド（例えば、別のフロー基板）に結合することができる。いくつかの実施例では、フロー基板の１つ以上の流体経路をマニホールドの１つ以上の対応する流体経路に効果的にシールするために、十分なクランプ力または圧縮力を実装構造によって提供することができる。したがって、いくつかの例では、実装構造は、フロー基板とマニホールドとの間の流体経路をシールするためのクランプ力または圧縮力を提供するのに十分な強度を有する材料（高強度材料）から構築することができる。一般的には、アルミニウムよりも強度の高い金属材料（アルミニウム合金、ステンレス鋼、ニッケル合金を含む）が必要である。例えば、金属材料は、少なくとも１５０ｐｓｉ（１．０３ＭＰａ）以上の半導体用途でのクランプ力または圧縮力に耐えるのに十分な強度を有することが望ましい。他の用途（例えば、医療用途など）では、金属材料（例えば、アルミニウム）は、少なくとも５０ｐｓｉ（０．３４ＭＰａ）以上のクランプ力または圧縮力に耐えるのに十分な強度を有することが望ましい。さらなる例では、図３〜図５および図７の例の実装構造の寸法は、フロー基板とマニホールドとの間の流体経路をシールするためのクランプ力を提供するのに十分な精度で構成することができる。
【００６４】
図９〜図１４の実装構造は、フロー基板を支持面または別のフロー基板に実装するために使用することができる。より低いクランプ力または圧縮力が許容される用途では、したがって、クランプ力または圧縮力は、フロー基板同士の間の流体接続のためのシールを提供するために必要ではないので、フロー基板は、より低い精度およびより低い強度の材料で製造することができる。図９〜図１４の例における実装構造は、様々な材料で構成することができ、これら材料はコスト、製造性、材料の強度、化学的適合性、耐食性などの特性に基づいて選択することができる。いくつかの例では、より低い強度が必要とされる場合には、そのような材料のコストを低くすることができる。例えば、これらの実装構造は、アルミニウム、アルミニウム合金、ポリマーから、または実装構造または別のフロー基板に結合されたときにフロー基板（複数可）および関連部品を支持するのに十分な強度を有する任意の材料から作られ得る。
【００６５】
いくつかの実施形態が、ある程度の特定の態様で上記に記載されてきたが、当業者であれば、本開示の趣旨から逸脱することなく、開示された実施形態に多数の変更を加えることができる。上記の説明に含まれる、または添付の図面に示されるすべての事項は、例示的なものとしてのみ解釈され、限定的なものではないことが意図されている。詳細の変更または構造の変更は、本開示の教示から逸脱することなく行われ得る。前述の説明および以下の特許請求の範囲は、そのような変更および変形のすべてをカバーすることを意図している。
【００６６】
様々な装置、システム、および方法の様々な実施形態が本明細書に記載されている。多数の特定の詳細は、本明細書に記載され、添付の図面に例示されているような実施形態の全体的な構造、機能、製造、および使用の完全な理解を提供するために記載されている。しかしながら、本発明の実施形態は、そのような特定の詳細なしに実施されてもよいことが、当業者には理解されるであろう。他の実施例では、本明細書に記載された実施形態を不明瞭にしないように、周知の操作、構成要素、および要素が詳細に記載されていない。当技術分野の通常の熟練者は、本明細書に記載され図示された実施形態は、非限定的な例示であり、したがって、本明細書に開示された特定の構造的および機能的な詳細は、代表的なものであってもよく、必ずしも実施形態の範囲を限定するものではなく、その範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ画定されることを理解するであろう。
【００６７】
明細書全体を通して「様々な実施形態」、「いくつかの実施形態」、「１つの実施形態」、「実施形態」、またはそのようなものへの言及は、実施形態に関連して記載された特定の特徴、構造、または特性が少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書中の所々で「様々な実施形態において」、「いくつかの実施形態において」、「１つの実施形態において」、「実施形態において」、またはそのような表現の出現は、必ずしもすべてが同じ実施形態を指すものではない。さらに、特定の特徴、構造、または特性は、１つ以上の実施形態において、任意の適切な方法で組み合わせてもよい。したがって、１つの実施形態に関連して図示または説明された特定の特徴、構造、または特性は、その全部または一部を、制限なく、１つ以上の他の実施形態の特徴、構造、または特性と組み合わせてもよい。
【００６８】
参照により本明細書に組み込まれるとされる特許、出版物、または他の開示資料の全部または一部は、組み込まれた資料が、本開示に記載された既存の定義、記載、または他の開示資料と矛盾しない範囲でのみ本明細書に組み込まれる。そのため、必要な範囲で、本明細書に明示的に記載されている開示は、参照により本明細書に組み込まれている矛盾する資料に優先する。参照により本明細書に組み込まれるとされているが、本明細書に記載されている既存の定義、記述、またはその他の開示資料と矛盾する資料またはその一部は、その組み込まれた資料と既存の開示資料との間に矛盾が生じない範囲内でのみ組み込まれる。
【図１Ａ】
2021530654.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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【図８Ｇ】
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【図８Ｈ】
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【図８Ｉ】
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【図８Ｊ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ１】
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【図９Ｂ２】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１０Ｅ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１１Ｄ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１２Ｅ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１３Ｄ】
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【図１３Ｅ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１４Ｄ】
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【国際調査報告】
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