(57)【要約】  バラン（１００）により、ａ．第１の接続端（１３０）と第２の接続端（１４０）とを有する平衡信号ポート（１１０）、およびｂ．第３の接続端（１５０）とグラウンド（３０）に接続された第４の接続端（１６０）とを有するシングルエンド信号ポート（１２０）が提供され、バラン（１００）は、ｃ．第１の接続端（１３０）と第１の抵抗（１９０）の第１の端部（２１０）との間の第１のキャパシタ（１７０，１７０’）、およびｄ．第２の接続端（１４０）と第１の抵抗（１９０）の第１の端部（２１０）との間の第２のキャパシタ（１８０，１８０’）を含み、ｅ．第１の抵抗（１９０）の第２の端部（２２０）がグラウンド（３０）に接続されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
５００Ｗ出力から５ｋＷ出力までの電力範囲用に構成されたバラン（１００）であって、
ａ．第１の接続端（１３０）と第２の接続端（１４０）とを有する平衡信号ポート（１１０）、および
ｂ．第３の接続端（１５０）とグラウンド（３０）に接続された第４の接続端（１６０）とを有するシングルエンド信号ポート（１２０）
を含み、前記バラン（１００）はさらに、
ｃ．前記第１の接続端（１３０）と第１の抵抗（１９０）の第１の端部（２１０）との間の第１のキャパシタ（１７０，１７０’）、および
ｄ．前記第２の接続端（１４０）と前記第１の抵抗（１９０）の前記第１の端部（２１０）との間の第２のキャパシタ（１８０，１８０’）
ｅ．前記第１の抵抗（１９０）の第２の端部（２２０）は、グラウンド（３０）に接続されている、
バラン（１００）。
【請求項２】
前記バラン（１００）が、前記平衡信号ポート（１１０）に接続された１次巻線（１０）と、前記シングルエンド信号ポート（１２０）に接続された２次巻線（２０）とを含む、
請求項１記載のバラン（１００）。
【請求項３】
前記第１のキャパシタ（１７０，１７０’）と前記第２のキャパシタ（１８０，１８０’）とは、異なるキャパシタンスを有する、
請求項１または２記載のバラン（１００）。
【請求項４】
前記第１の抵抗（１９０）は、１０Ω〜２００Ωである、
請求項１から３までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項５】
前記第１の抵抗（１９０）の定格電圧は、１００Ｖ〜１０００Ｖである、
請求項１から４までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項６】
前記第１のキャパシタは、１０ｋＨｚ〜２００ＭＨｚの周波数用に構成されている、
請求項１から５までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項７】
前記第１のキャパシタは、２００Ｖ超の最大電圧用に構成されている、
請求項１から６までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項８】
前記第１の抵抗（１９０）は、前記バランの前記平衡信号ポート（１１０）のコモンモード電流を低減するように構成されている、
請求項１から７までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項９】
前記バラン（１００）は、前記第１の抵抗（１９０）の前記第２の端部（２２０）をグラウンドに接続する第３のキャパシタ（２００）を含む、
請求項１から８までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１０】
前記バラン（１００）は、前記第１のキャパシタ（１７０，１７０’）および前記第２のキャパシタ（１８０，１８０’）をグラウンドへ接続する第４のキャパシタを含み、前記第４のキャパシタは前記第１の抵抗（１９０）に対して並列に接続されている、
請求項１または２記載のバラン（１００）。
【請求項１１】
前記シングルエンド信号ポート（１２０）は、負荷、特にプラズマ負荷を保持するように設計されている、
請求項１から１０までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１２】
前記第４の接続端は、低誘導状態でグラウンド（３０）に接続されている、
請求項１から１１までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１３】
前記１次巻線（１０）および前記２次巻線（２０）は、プリント回路板上のストリップ線（１０’，２０’）によってプレーナ型に実現可能である、
請求項２から１２までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１４】
前記２次巻線（２０）のストリップ線（２０’）は、前記１次巻線（１０）とは異なる数のターンを有する、
請求項２から１３までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１５】
前記１次巻線（１０）のストリップ線（１０’）は、少なくとも１つの領域において、他の領域よりも小さい幅を有する、
請求項２から１４までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１６】
前記プリント回路板は、グラウンド面（３１０）、特に金属グラウンド面から離間されている、
請求項１３から１５までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１７】
前記第１のキャパシタ（１７０）および前記第２のキャパシタ（１８０）は、少なくとも部分的に、前記ストリップ線（１０’，２０’）によって、特に前記ストリップ線（１０’，２０’）の幅と、前記ストリップ線からグラウンド面（３１０）までの距離との結果として実現されている、
請求項１３から１６までのいずれか１項記載のバラン（１００）。
【請求項１８】
請求項１から１７までのいずれか１項記載のバラン（１００）を含む、増幅器（２５０）。
【請求項１９】
前記バラン（１００）が前記増幅器の増幅段の出力ポートに接続されており、出力バランとして機能して、前記増幅段の出力側の平衡信号から前記バランの出力側の不平衡信号への変換が実現される、
請求項１８記載の増幅器（２５０）。
【請求項２０】
前記バランの出力側は、プラズマ負荷に接続されている、
請求項１９記載の増幅器（２５０）。
【請求項２１】
前記増幅器（２５０）は、
‐第１の接続端（１３０）に接続された第１のトランジスタ（Ｓ１）と、
‐第２の接続端（１４０）に接続された第２のトランジスタ（Ｓ２）と
を含み、前記バラン（１００）が出力バランである、
請求項１８から２０までのいずれか１項記載の増幅器（２５０）。
【請求項２２】
前記増幅器は、プッシュプル増幅器である、
請求項２１記載の増幅器（２５０）。
【請求項２３】
前記増幅器は、１０ｋＨｚ〜２ＭＨｚの範囲の中間周波数増幅器である、
請求項１８から２２までのいずれか１項記載の増幅器（２５０）。
【請求項２４】
前記増幅器は、２ＭＨｚ〜２００ＭＨｚの範囲の無線周波数増幅器である、
請求項１８から２２までのいずれか１項記載の増幅器（２５０）。
【請求項２５】
前記増幅器は、高出力増幅器、特にスイッチドモード増幅器、さらに特にＥ級増幅器またはＤ級増幅器を実現するように構成されている、
請求項１８から２４までのいずれか１項記載の増幅器（２５０）。
【請求項２６】
前記増幅器は、Ｆ級モードまたは逆Ｆ級（Ｆ−１級）モードで動作するように構成されている、
請求項１８から２４までのいずれか１項記載の増幅器（２５０）。
【請求項２７】
前記トランジスタ（Ｓ１，Ｓ２）は、ＬＤＭＯＳトランジスタとして設計されている、
請求項２１から２６までのいずれか１項記載の増幅器（２５０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、５００Ｗ出力から５ｋＷ出力までの電力範囲用に構成されたバランと、こうしたバランを含む電力増幅器とに関する。
【０００２】
不平衡回路とも称されるシングルエンド回路では、１つの導体が信号の搬送に使用され、グラウンド面が信号の帰還路として使用される。導体とグラウンド面とが完全な信号路を形成する。この場合、グラウンド面での電圧が信号の基準となる。こうした不平衡信号は、コモンモード信号とも称されている。平衡回路では、２つの導体が使用され、一方は信号を搬送し、他方は帰還信号を搬送する。こうした平衡信号は差動モード信号とも称されている。
【０００３】
バラン（平衡／不平衡変換器）は、バランの平衡信号ポート側の平衡回路とバランのシングルエンド信号ポート側の不平衡回路との間の信号の変換および逆の変換を行うことができるトランスである。
【０００４】
本発明の目的は、こうしたバランによって形成される信号の品質を改善することである。
【０００５】
本発明の課題は、請求項１記載のバランによって解決される。
【０００６】
バランは、第１の接続端と第２の接続端とを有する、平衡信号ポートを含む。バランはまた、第３の接続端と、グラウンドに接続された第４の接続端とを有する、シングルエンド信号ポートを含む。第１の接続端と第１の抵抗の第１の端部との間の第１のキャパシタ、および第２の接続端と第１の抵抗の第１の端部との間の第２のキャパシタが設けられている。第１の抵抗の第２の端部は、グラウンドに接続されている。
【０００７】
第１の抵抗の好適な値は、１０Ω〜２００Ωであってよく、特に２０Ω〜１００Ωであってよい。
【０００８】
第１の抵抗の定格電力の好適な選定は、バランの公称出力の０．１％〜５％の値であってよい。
【０００９】
第１の抵抗の定格電圧の好適な選定は、１００Ｖ〜１０００Ｖの値であってよい。
【００１０】
第１のキャパシタおよび好ましくは第２のキャパシタは、１ｐＦ〜８００ｐＦの値を有していてよい。
【００１１】
第１のキャパシタおよび好ましくは第２のキャパシタは、１０ｋＨｚ〜２００ＭＨｚの周波数用に構成可能である。
【００１２】
第１のキャパシタおよび好ましくは第２のキャパシタは、２００Ｖ超の最大電圧用に構成可能である。
【００１３】
第１の抵抗は、バランの平衡信号ポートでのコモンモード電流を低減する機能を有することができる。これにより、バランの当該平衡信号ポートに接続された回路に生じうる共振の望ましくない偶数高調波を放散させることができる。この場合、第１の抵抗の寸法の選定は、平衡信号ポートのコモンモード電流の低減と第１の抵抗において放散される熱の最小化との間での設計の選定である。
【００１４】
本発明の一実施形態では、バランが、平衡信号ポートに接続された１次巻線と、シングルエンド信号ポートに接続された２次巻線とを含むことができる。１次巻線および２次巻線は、プレーナ型の回路板上のストリップ導体によってプレーナ型に実現可能である。バランは、入力接続端と出力接続端との間のガルバニック分離を可能にする。これにより、出力接続端の１つを保護アースに接続し、回路の入力側に存在するＤＣ電圧から当該出力接続端を分離することができる。
【００１５】
バランの当該実施形態の利点は、所望の周波数範囲、例えば中間周波数および無線周波数に対してバランを特に安定化できることである。中間周波数（ＭＦ）とは、ここでは、９ｋＨｚ〜９００ｋＨｚの範囲の周波数を意味し、無線周波数とは、ここでは、９００ｋＨｚ超であって１８０ＭＨｚまでの範囲の周波数を意味する。これにより、送信線路の長さが搬送信号の波長のλ／４と同じ長さであることに依存するバランに比較して、より小さい寸法のバランが可能となる。
【００１６】
バランの２つの信号ポート間に寄生容量が存在することがわかっている。平衡信号と不平衡信号との異なる位相関係に起因して、平衡ポートの第１の接続端からグラウンドへの回路のインピーダンスは、平衡ポートの第２の接続端からグラウンドへの回路のインピーダンスと異なりうる。これにより、当該寄生容量を介した異なる電流の流れを生じさせることができる。
【００１７】
本発明の一実施形態では、バランの第１のキャパシタと第２のキャパシタとは異なるキャパシタンス値を有することができる。これにより、バランの寄生容量を補償することができる。第１のキャパシタおよび第２のキャパシタの寸法の選定により、第１の接続端および第２の接続端から見たインピーダンス、例えばバランの平衡ポートに接続された回路のインピーダンスを調整することができる。異なるキャパシタンス値間の差は、少なくとも１０ｐＦ、特に少なくとも５０ｐＦとなりうる。
【００１８】
一実施形態では、バランは、第３のキャパシタを含むことができる。第３のキャパシタは、第１の抵抗の第２の端部をグラウンドに接続することができる。これにより、バランの平衡信号ポートから到来するＤＣ電圧が低減可能となるかまたはカットオフさえ可能となるので、バランのパフォーマンスを改善することができる。これにより、ＤＣ電圧によるバランの飽和を回避できるため、バランのパフォーマンスが改善される。
【００１９】
別の実施形態では、バランは、第１のキャパシタおよび第２のキャパシタをグラウンドへ接続することができる第４のキャパシタを含むことができ、ここで、第４のキャパシタは、第１の抵抗に対して並列に接続されていてよい。バランのパフォーマンスおよび信号品質は、当該実施形態において、バランの平衡信号ポートからの高調波が低減可能となるかまたはカットオフさえ可能となるので、改善することができる。
【００２０】
第３のキャパシタおよび好ましくは第４のキャパシタは、１ｐＦ〜８００ｐＦの範囲の値を有していてよい。
【００２１】
第３のキャパシタおよび好ましくは第４のキャパシタは、１０ｋＨｚ〜２００ＭＨｚの周波数用に構成可能である。
【００２２】
第３のキャパシタおよび好ましくは第４のキャパシタは、２００Ｖ超の最大電圧用に構成可能である。
【００２３】
バランの一実施形態では、シングルエンド信号ポートが、負荷を保持するように設計可能である。負荷、特にプラズマ負荷は、第３の接続端に接続可能である。当該構成では、シングルエンド信号ポートがバランの出力ポートとして機能することができ、平衡信号ポートがバランの入力ポートとして機能することができる。
【００２４】
別の実施形態では、バランの第４の接続端は、低誘導状態でグラウンドに接続可能である。これにより、さらにバランのパフォーマンスを改善することができる。
【００２５】
特に低誘導性の接続部が、１つもしくは複数の次の措置、すなわち
・特に幅広の（幅５ｍｍ超の）ストリップ線、
・第４の接続端とグラウンド面との間に、列またはエリアとして配置可能な、複数の（２個超の）スルーコネクション部、
・特に短いストリップ線、例えばストリップ線の幅に対する長さの比が１００より小さく、さらに特に１０より小さく、好ましくは３より小さいストリップ線、
により、実現可能となる。
【００２６】
増幅器は、上述したバランを含むことができる。好ましい一実施形態では、バランは、増幅器の増幅段の出力ポートに接続可能であり、出力バランとして機能させることができる。これにより、増幅器の負荷によって要求されるような、増幅段の出力側の平衡信号からバランの出力側の不平衡信号への変換が実現可能となる。このことは特に、増幅器の出力側のプラズマ負荷のための事例でありうる。
【００２７】
好ましい構成では、増幅段が、信号増幅の達成のために、第１のトランジスタと第２のトランジスタとを含むことができる。この場合、バランは、第１のトランジスタがバランの第１の接続端に接続可能でありかつ第２のトランジスタがバランの第２の接続端に接続可能である増幅器の出力バランとして機能しうる。本発明の一実施形態では、増幅段は、第１のトランジスタおよび第２のトランジスタのプッシュプル構成として実現可能である。
【００２８】
バランが増幅器の出力バランとなりうる本発明の一実施形態では、第１の抵抗により、増幅段の回路内で発生しうる内部共振からの望ましくない偶数高調波を放散させることができる。第１の抵抗は、局所的な共振、特に高調波を減衰させることができる。ドレイン電圧のオーバーシュートが最小化可能となり、これにより、ドレイン電圧は適合条件に対する約６５０Ｖまで上昇可能となる。適合条件は、負荷のインピーダンスが出力ポートのインピーダンスに適合する場合に達成可能である。当該インピーダンスは、好ましくは２０Ω〜１００Ωの範囲、特に５０Ω±１０Ωであってよい。
【００２９】
好ましくは、増幅器は、１０ｋＨｚ〜２ＭＨｚ、特に１０ｋＨｚ〜１ＭＨｚ、好ましくは１００ｋＨｚ〜２ＭＨｚの中間周波数（ＭＦ）範囲用の増幅器であってよい。本発明の別の好ましい一実施形態では、増幅器は、２ＭＨｚ〜２００ＭＨｚの無線周波数範囲用の増幅器であってよい。増幅器は、高出力増幅器、特にスイッチドモード増幅器、さらに特にＥ級増幅器またはＤ級増幅器を実現するように構成可能である。
【００３０】
一実施形態では、増幅器は、Ｆ級モードまたは逆Ｆ級（Ｆ−１級）モードで動作するように構成可能である。
【００３１】
Ｄ級増幅器、Ｅ級増幅器、Ｆ級増幅器およびＦ−１級増幅器の基本回路および機能は、例えば欧州特許第１６０１０９８号明細書、特にその図１および図２Ａ〜図２Ｆと対応する段落［０００６］〜［００１４］とに説明されている。
【００３２】
本発明の特徴および利点がさらに理解されうるよう、例示の目的のみに過ぎないが、添付の概略的な図面を参照しながら、各実施形態を以下に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】バランを示す概略図である。
【図２】バランを含む増幅器を示す概略図である。
【図３】バランを実現する可能な構造を示す概略図である。
【００３４】
図１には、第１の接続端１３０および第２の接続端１４０を含む平衡ポート１１０を有するバラン１００が示されている。平衡ポート１１０は、バラン１００の第１の巻線１０に接続されている。バラン１００の第２の巻線２０に接続されているのが不平衡ポート１２０であり、当該不平衡ポート１２０は第３の接続端１５０および第４の接続端１６０を含む。第４の接続端１６０は、グラウンド３０に接続されている。平衡ポート１１０がバラン１００の入力ポートでありかつ不平衡ポート１２０がバラン１００の出力ポートであるケースでは、第１の巻線１０を例えばバランの１次巻線と称することができ、第２の巻線２０を例えばバラン１００の２次巻線と称することができる。また、バラン１００は、逆方向においても動作可能であり、すなわち、平衡ポート１１０を出力ポートとし、不平衡ポート１２０を入力ポートとしても動作可能である。
【００３５】
図１には、第１の巻線１０と第２の巻線２０との間の寄生容量Ｃｐａｒａが示されている。また、寄生容量Ｃｐａｒａの補償を行うことができる第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０も示されている。平衡信号と不平衡信号との種々の位相関係に起因して、平衡ポート１１０の第１の接続端１３０からグラウンド３０への回路のインピーダンスは、平衡ポート１１０の第２の接続端１４０からグラウンド３０への回路のインピーダンスとは異なる。このため、当該寄生容量Ｃｐａｒａを介して異なる電流の流れが生じる。したがって、バラン１００の第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０は異なる寸法に選定可能である。これにより、バラン１００の寄生容量Ｃｐａｒａの補償が可能となる。第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０の寸法を選定することにより、第１の接続端１３０および第２の接続端１４０から見たインピーダンス、例えばバラン１００の平衡ポート１１０に接続された回路のインピーダンスを調整することができる。
【００３６】
第１のキャパシタ１７０は、一方側では第１の接続端１３０に接続されており、他方側では第１の抵抗１９０の第１の端部２１０に接続されている。第２のキャパシタ１８０は、一方側では第２の接続端１４０に接続されており、他方側では第１の抵抗１９０の第１の端部に接続されている。第１の抵抗１９０の第２の端部２２０はグラウンド３０に接続されている。第１の抵抗１９０の有利な効果は、平衡ポート１１０の２つの接続端１３０，１４０から流れてくるあらゆる望ましくないコモンモード電流を第１の抵抗１９０によって制限できることである。このことは、回路内のコモンモード電流の共振の危険が存在するケースにおいて特に有利である。当該ケースは、バラン１００が増幅器２５０の出力段であるケース（図２）で生じうるものであり、この場合、第１の抵抗が増幅器２５０の増幅段での内部共振から生じる望ましくない偶数高調波を放散させることができる。
【００３７】
図１に示した実施形態では、第３のキャパシタ２００が第１の抵抗１９０の第２の端部２２０とグラウンド３０との間に配置されている。第３のキャパシタ２００は、平衡ポート１１０から到来する直流電圧をカットするように設計可能である。本発明のさらなる実施形態では、第４のキャパシタ（図示せず）を、第１の抵抗１９０に対して並列に接続することができる。第４のキャパシタの目的は、平衡ポート１１０から到来する高調波電圧をカットすることである。当該実施形態は、第３のキャパシタ２００を設ける場合にも設けない場合にも実現可能である。
【００３８】
図２には、２つの出力接続端２７０，２８０を有する増幅段２６０を備えた高周波増幅器２５０が示されている。出力接続端２７０，２８０は、バラン１００の平衡ポート１１０の入力接続端１３０，１４０に接続されている。
【００３９】
バラン１００は、接続端１５０，１６０を含む出力ポート１２０を有する。出力端１６０は、グラウンド３０に接続されている。ここに示していない負荷、特にプラズマ負荷を、出力接続端１５０に接続することができる。
【００４０】
増幅段２６０は、当該ケースではトランジスタとして、特にＬＤＭＯＳトランジスタとして設計されたスイッチング素子Ｓ１，Ｓ２を有する。スイッチング素子Ｓ１，Ｓ２は、信号変換器２１０によって制御される。よって、バラン１００は入力側で平衡信号に接続され、出力側で不平衡信号に接続される。
【００４１】
１次巻線１０および２次巻線２０を有するバランの入力接続端１３０，１４０は、キャパシタ１７０，１８０を介してグラウンド３０に接続されている。
【００４２】
第１のキャパシタ１７０のキャパシタンスは、好ましくは第２のキャパシタ１８０のキャパシタンスに等しくない。第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０により、バラン１００によって表されるインピーダンスを、スイッチング素子Ｓ１，Ｓ２のために調整することができる。通常、第１のキャパシタ１７０と第２のキャパシタ１８０とは、２つのスイッチング素子Ｓ１，Ｓ２が同じインピーダンスを有すると見なすべきであるため、対称であると仮定される。しかし、キャパシタ１７０，１８０の異なるキャパシタンスが予測されることもある。このことにより、バラン１００のパフォーマンスを改善することができる。これは、寄生容量を生じさせる効果が第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０によって少なくとも部分的に補償されるかまたは消去されるという事実によっている。寄生容量は、例えば、入力接続端１３０，１４０と出力接続端１５０，１６０との間で発生する。当該寄生容量は、図１ではＣｐａｒａとしてマークされている。
【００４３】
キャパシタ１７０，１８０は、少なくとも部分的に、別個のキャパシタ１７０’，１８０’（図３）として設計可能である。代替的にもしくは付加的に、例えば金属グラウンド面であってよいグラウンド面３１０から離間したプリント回路板（ＰＣＢ）上のストリップ線を少なくとも部分的に使用して、第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０が形成されるようにも考えられる。このことは、図３に概略的に示しているようなバラン１００のプレーナ型設計において特に有意である。第１の抵抗１９０は、第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０の近傍において、各接続端がキャパシタ１７０，１８０に接続されておりかつ他方の端部が直接にもしくは（図３には示していないが）第３のキャパシタを介してグラウンドに接続された状態で、見て取ることができる。また、選択手段としての第４のキャパシタ（図３には示していない）を、第１の抵抗１９０に対して並列に電気的に接続することができる。
【００４４】
バランの第２の巻線２０のストリップ線２０’は、１次巻線１０とは異なる数のターン／巻線を有する。１次巻線１０のストリップ線１０’は、少なくとも１つの領域において他の領域よりも小さな幅を有する。キャパシタ１７０，１８０の寸法はこうした措置によって調整可能である。
【００４５】
よって、キャパシタ１７０，１８０は、少なくとも部分的に、１次巻線１０および２次巻線２０を構成するストリップ線１０’，２０’によって実現されている。
【００４６】
特に、第１のキャパシタ１７０および第２のキャパシタ１８０のキャパシタンスは、ストリップ線の幅と、ストリップ線からグラウンド面３１０までの距離とから得ることができる。グラウンド面３１０は冷却プレートとして利用可能であり、有利には、流体、例えば水によって冷却される。
【００４７】
キャパシタ１７０，１８０のキャパシタンスは、プリント回路板（ＰＣＢ）の絶縁材料、特に当該材料の誘電定数を適切に選定することによっても制御することができる。キャパシタ１７０，１８０は、２次巻線２０および１次巻線１０の直接近傍に配置されている。このことは、２次巻線２０および１次巻線１０の領域の側辺長さまたは直径が、端１３０，１４０，１５０，１６０からキャパシタ１７０，１８０までの２次巻線２０および１次巻線１０の距離よりも大きいことを意味する。
【図１】
2021533563.tif 000003
【図２】
2021533563.tif 000004
【図３】
2021533563.tif 000005
【国際調査報告】
2021533563.tif 000006
2021533563.tif 000007