(57)【要約】  プラズマ蒸着を用いてワイヤを連続的にコーティングする装置に、圧密インレット（１６）と圧密アウトレット（１８）を有する少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）が備えられ、前記圧密インレット（１６）および前記圧密アウトレット（１８）は、前記蒸着室（１４）を移動するワイヤ（１２）が貫通するときに、前記プラズマ蒸着室（１４）内部で減圧された圧力を維持可能である。ターゲット材料（３４）を、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）の間に存在する前記ワイヤ（１２）の外表面の一部に、蒸着させるために、前記プラズマ蒸着室（１４）の内側に、少なくとも１つの、プラズマ線（３２）の発生装置（３０）が設けられる。前記装置に運搬システム（４０）が設けられることで、前記ワイヤ（１２）を、前記プラズマ蒸着室（１４）を通って徐々に引張する。【選択図】図１
2021529252.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧密インレット（１６）と圧密アウトレット（１８）を有する少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）であって、前記圧密インレット（１６）および前記圧密アウトレット（１８）は、ワイヤ（１２）が貫通するときに、前記プラズマ蒸着室（１４）内部で減圧された圧力を維持可能であり、前記ワイヤ（１２）は前記圧密インレット（１６）から導入され、前記プラズマ蒸着室（１４）の中を前記圧密アウトレット（１８）まで移動する、少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）と、
ターゲット材料（３４）を、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）の間に存在する前記ワイヤ（１２）の外表面の一部に蒸着させるための、前記プラズマ蒸着室（１４）の内側に設けられた、少なくとも１つの、プラズマ線（３２）の発生装置（３０）と、
前記ワイヤ（１２）を、前記プラズマ蒸着室(14)を通って徐々に引張するために設けられた運搬システム（４０）と、
を備えたことを特徴とする、プラズマ蒸着を用いてワイヤを連続的にコーティングする装置。
【請求項２】
前記プラズマ蒸着室（１４）の上流側に設けられ、前記プラズマ蒸着室（１４）の減圧された圧力と外気圧との圧力差を小さくするための、少なくとも１つの減圧室（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）を備えた請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記減圧室（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）の各々に前記ワイヤ（１２）が貫通し、前記ワイヤ（１２）は、それぞれの圧密インレット（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）を通って徐々に内部に導入されていることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記プラズマ蒸着室（１４）の下流側に設けられ、前記プラズマ蒸着室（１４）の減圧された圧力と外気圧との圧力差を小さくするための、少なくとも１つの加圧室（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）を備えた、請求項１〜３の何れか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記加圧室（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）の各々に前記ワイヤ（１２）が貫通し、前記ワイヤ（１２）は、それぞれの圧密アウトレット（２６ａ，２６ｂ，２６ｃ）を通ってそこから徐々に排出されることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記ワイヤ（１２）が前記プラズマ蒸着室（１４）を通過する際に、振動システムが前記ワイヤ（１２）を、前記ワイヤ（１２）の長手軸周りに振動させることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記ワイヤ（１２）が前記プラズマ蒸着室（１４）を通過する際に、振動システムが前記少なくとも１つのプラズマ線発生装置（３０）を、前記ワイヤ（２）の長手軸周りに振動させることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記プラズマ蒸着室（１４）の内部において、前記ワイヤ（２）の長手軸周りに１２０°間隔を空けて放射状に配置された、３つのプラズマ線発生装置（３０）を備えることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の装置。
【請求項９】
少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）の内側において圧密インレット（１６）から圧密アウトレット（１８）にかけてワイヤ（１２）を供給し、運搬システム（４０）を用いて前記プラズマ蒸着室（１４）から前記ワイヤ（１２）を徐々に引張するステップであって、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）が、前記プラズマ蒸着室（１４）の内部の減圧された圧力を維持することのできるステップと、
ターゲット材料（３４）を、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）の間における前記ワイヤ（１２）の外表面の一部に蒸着させるための、前記プラズマ蒸着室（１４）の内に設けられた、少なくとも１つの、プラズマ線（３２）の発生装置（３０）を起動させるステップと、
を備えたことを特徴とする、プラズマ蒸着を用いてワイヤをコーティングする方法。
【請求項１０】
前記ワイヤ（１２）の外表面にターゲット材料を蒸着させているときに、前記ワイヤ（１２）の長手軸周りに、前記ワイヤ（１２）および／または前記少なくとも１つのプラズマ線（３２）の発生装置（３０）を振動させることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
プラズマ蒸着法を用いて得られた保護層でコーティングされた金属ワイヤ。
【請求項１２】
前記プラズマ蒸着法がパルスプラズマ拡散（ＰＰＤ）法であることを特徴とする請求項１１に記載の金属ワイヤ。
【請求項１３】
前記プラズマ蒸着法に請求項９または請求項１０の何れか一方に記載のステップが含まれることを特徴とする請求項１１または１２に記載の金属ワイヤ。
【請求項１４】
請求項１〜８の何れか一項に記載の装置で得られた請求項１１〜１３の何れか一項に記載の金属ワイヤ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は耐食コーティングを用いて保護された金属ワイヤに関する。本発明はまた、耐食コーティングを有する金属ワイヤを保護するための装置および方法に関する。
【０００２】
本発明は特に、プラズマ蒸着法を用いて生成され、耐食コーティングを用いて保護された金属ワイヤに関して開発されたものである。本発明は特に、当該金属ワイヤをコーティングするのに適する装置および方法にも関するものである。本発明はＰＰＤ技術（パルスプラズマ拡散）を用いたプラズマ蒸着法に特に関して開発されてきたものである。
【背景技術】
【０００３】
スチールなどから金属ワイヤを製造することが知られているが、これは種々の用途のための金属ネットを製造するために使用され、例えば、土木分野で土手、スロープ等を保護するために使用される。スチールワイヤの腐食を防止するため、例えば亜鉛めっきによる耐食コーティングを用いてこれを保護することがよくある。亜鉛めっきは通常、金属ワイヤを溶融金属浴に浸す高温状態のプロセスを用いて行われる。この方法はコーティング金属を融解状態に維持するためのエネルギーの観点からコストが高い。さらに、コーティング層の厚みを正確に制御することは困難であって、これは必要以上に層が厚くなり、結果としてコーティング材料が無駄になる場合がある。
【０００４】
一方で、不連続プラズマ蒸着プロセスを用いて物品を材料層でコーティングする手法が知られている。特にＰＰＤ技術（パルスプラズマ蒸着）などのプラズマ蒸着技術が知られている。この技術は粒子の物理蒸着の原理に基づいたものであって、これは種々のタイプの薄膜コーティング層、例えば酸化物、金属、カーボン、等からなる層を生成する上で有利であることがわかっている。ＰＰＤ技術はオルガニックスピンエレクトロニクス社の欧州特許公開第２９３６５３８号明細書を含む数多くの特許文献に記載されている。ＰＰＤ技術の利点としては、コーティング層の著しい蒸着スピードと、結晶化度、粗さ、接着性の観点からみたコーティング層の高品質性が挙げられる。さらに、プラズマ蒸着技術、特にＰＰＤ技術によって、フィラー材料の使用を、プラズマ線の指向性により、低減させることができる。これらの利点によりプラズマ蒸着技術は、コーティング層を単一物品の表面に塗布する上で有利となるが、今日まで公知なっている方法では閉鎖された空間の中だけでしか作業を行えず、これにより当該技術を連続的に使用することが阻害される。さらに、プラズマ蒸着技術はすべてプラズマ線の指向性についてデメリットがあるが、これによりコーティングされる製品に影領域が生じ、これにより金属ワイヤの円筒表面の全体にコーティングを均一に塗布することができなくなる。
【発明の概要】
【０００５】
本発明は従来技術の欠点を克服するために、プラズマ蒸着法を用いて、金属ワイヤのみに特に限られないワイヤをコーティングする新規装置を提供することを提案する。特に、ワイヤコーティング装置は、ワイヤをとても長く連続的にコーティングすることを達成するためのプラズマ蒸着技術の使用を提供する。本発明のワイヤコーティング方法はしたがって、高い生産速度でかつ無駄を少なくして、ワイヤを連続的にコーティングすることを提案する。これにより、高温状態の亜鉛めっきやその他当分野で公知の金属コーティング技術を用いたワイヤコーティング技術と比べて、コストと時間を大幅に限縮しながら、大量のコーティングされたワイヤを生産することができる。
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明はまた、添付の請求の範囲に記載された各特徴を有する、ワイヤをコーティングするための装置に関する。本発明はまたコーティングされたワイヤを製造する方法に関する。本発明はさらにこのようにしてコーティングされたワイヤに関する。
【０００７】
第１の態様によれば、プラズマ蒸着法を用いてワイヤをコーティングする装置が記載される。当該装置には少なくとも１つのプラズマ蒸着室が備えられる。当該プラズマ蒸着室にインレットとアウトレットを設けることができる。蒸着室へのインレットまたは蒸着室からのアウトレットは、蒸着室内を通過して移動するワイヤが通過するときに、気密に製造されることで、蒸着室自体の内部を所定の減圧した圧力で維持することができる。蒸着室内にプラズマ線の発生装置を少なくとも１つ配置させることができ、これはターゲットに衝突するエネルギー流により生成され、分子的に粉末化されている材料を堆積させるように起動させることができる。この分子化された粉末は蒸着室の内部を通過するワイヤの外表面に蒸着させることができ、つまり蒸着室の圧密インレットと圧密アウトレットの間に存在するワイヤの一部に蒸着させることができる。本装置にはワイヤをプラズマ蒸着室の中に徐々に引き込む引張システムを設けることもできる。引張動作は一定または可変する速度で、または時間的に間隔の空いた周期的な前進を有する部分を伴って、行うことができる。
【０００８】
ある特定の態様によれば、本装置に、プラズマ蒸着室の上流側に少なくとも１つの減圧室が備えられることにより、プラズマコーティング用の蒸着室内部に存在する減圧した圧力へと、外気圧から変化することができる。このように、プラズマ蒸着室のすぐ上流側およびすぐ下流側の圧力差を小さくすることで、ワイヤのインレットとアウトレットが存在することにより生じる潜在的な圧力損失を、エネルギーを余分に消費することなく、蒸着室の内部で簡単に補うことができる。プラズマ蒸着の目的のため、蒸着室内部の減圧された圧力を余計に大きく変化させないことが好ましい。好ましくは、各減圧室に圧密インレットが設けられ、圧密インレットからずっとプラズマ蒸着室に向かって、ワイヤが導入される。同様にして、本装置にはプラズマ蒸着室の下流側に少なくとも１つの加圧室が備えられることにより、蒸着室の減圧した圧力から外気圧へと、圧力の上昇を徐々に制限させることができる。好ましくは、各加圧室にそれぞれの圧密アウトレットを設けることができ、圧密アウトレットからワイヤを段々と排出させることができる。
【０００９】
また別の態様によれば、本装置には、ワイヤがプラズマ蒸着室を通過している間に、その長手軸の周りでワイヤを振動させる振動システムを設けることができる。このようにして、プラズマ蒸着室に設置された一以上のプラズマ線を用いて、ターゲット材料の蒸着をワイヤの表面に対して均一にして達成することができる。これに加えて、またはこの代わりに、本装置には、ワイヤがプラズマ蒸着室を通過している間に、一以上のプラズマ線発生装置を、ワイヤの長手軸の周りで、振動させる振動システムを設けることができる。
【００１０】
ある特定の実施形態において、本装置にはプラズマ蒸着室に設置された３つのプラズマ線発生装置を備えることができる。これら３つのプラズマ線発生装置は、ワイヤの長手軸周りに放射状に１２０°間隔をあけて配置させることができる。このためにプラズマ線発生装置は、ワイヤおよび／または発生装置自身の潜在的な振動とは別にして、ターゲットからの材料をワイヤにかなり均一に蒸着させることができる。さらに、１２０°の配置により、プラズマ蒸着室に設置された他の発生装置の１つにプラズマ線が衝突しないようになっている。
【００１１】
また別の態様によれば、プラズマ蒸着法を用いてワイヤをコーティングする方法が記載される。この方法には、圧密インレットから圧密アウトレットまでの少なくとも１つのプラズマ蒸着室の内部に、ワイヤを供給するステップを含むことができる。上記の通り、圧密インレットおよび圧密アウトレットは、蒸着室内の減圧した圧力を維持することができる。当該方法を実行する際、ワイヤは、引張システムを用いてプラズマ蒸着室を通って徐々に引張することができる。当該方法はさらに、プラズマ蒸着室に設置された少なくとも１つのプラズマ線発生装置を起動させるステップを含むことができる。プラズマ線発生装置を起動することにより、ターゲットからの材料を、プラズマ蒸着室の圧密インレットと圧密アウトレットの間に存在するワイヤの外面の一部に、蒸着させることができる。
【００１２】
特定の態様によれば、当該方法は、ワイヤの外表面にターゲット材料を蒸着させているときに、ワイヤおよび／または少なくとも１つのプラズマ線発生装置の、ワイヤの長手軸の周りでの振動を提供することができる。この振動によりワイヤの表面にターゲット材料を均一に蒸着させて製造することができる。
【００１３】
さらなる利点および特徴は、限定されない実施例として提供される図面を参照した好ましい実施形態の以下の記載から理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１はプラズマ蒸着技術を用いてコーティングされたワイヤを製造する装置の概略図である。
【図２】図２は図１の線ＩＩ−ＩＩに沿うプラズマ蒸着室の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１を参照すると、ワイヤ１２をコーティングする装置１０が概略的に図示されており、当該ワイヤ１２は金属ワイヤが好ましいがこれには限定されず、例えば、スチールワイヤまたはその他金属もしくは合金からなるワイヤである。当然ながら、当該装置は複数のワイヤのコーティングを同時に行うように構成することができる。当該コーティングは金属材料からなるコーティングとすることができる。例えば、ワイヤ１２は亜鉛または亜鉛合金でコーティングすることができる。
【００１６】
本装置１０はプラズマ蒸着室１４を備えることができ、この中で上に参照した欧州特許出願第２９３６５３８号明細書などに記載された一般的に知られている特徴に従ったプラズマ蒸着が行われる。蒸着室１４はプラズマの蒸着に適した既知レベルの減圧した圧力で維持することができる。蒸着室14はワイヤ１２を中心に通過させることができる。ワイヤ１２は圧密インレット１６から蒸着室14の中に導入させることができる。ワイヤ１２は圧密アウトレット１８を介して蒸着室14から排出させることができる。圧密インレット１６は、例えば、ワイヤ１２が圧密に貫通する孔を有する膜を用いて製造することができる。圧密アウトレット１８もまた、ワイヤ１２が圧密に貫通する孔を有する膜を用いて製造することができる。圧密インレット１２の中、および／または、圧密アウトレット１８の中にあるワイヤ１２に耐圧性を持たせるために、当該膜に加えてまたはその代替として、他の公知タイプの圧密方法を提供することができる。例えば、ワイヤ１２を貫通させる較正孔（calibrated hole）を提供することができる。
【００１７】
別の方法として迷宮状の気密性がある。また別の摺動気密方法を圧密インレット１６、および／または、圧密アウトレット１８に使用することができる。
【００１８】
圧密インレット１６と圧密アウトレット１８により、減圧された圧力を蒸着室１４内で維持することができる。何れの場合にも、所定の一定の陰圧の維持に少ないエネルギー供給しか必要とされないように、圧密インレット１６と圧密アウトレット１８は、蒸着室１４内の陰圧の損失を制限することができる。
【００１９】
外気と蒸着室内の陰圧との間の圧力差を制限するために、ワイヤ１２のインレット側に一以上の減圧室２０ａ，２０ｂ，２０ｃを設けることができる。減圧室２０ａ，２０ｂ，２０ｃにおいて、所定の減圧室内の圧力を、次の減圧室内の圧力よりも大きくすることができる。例えば、第１減圧室２０ａ内の圧力を、大気圧よりも小さくする一方で、次の減圧室２０ｂ内の圧力よりも大きくすることができる。単一の減圧室が設けられる場合、その内圧は大気圧よりも小さくなる一方で、隣接するプラズマ蒸着室の圧力よりも大きくなる。
【００２０】
各減圧室２０ａ，２０ｂ，２０ｃにワイヤ１２が貫通しており、圧密インレット２２ａ，２２ｂ，２２ｃを通って段階的に内部に導入され、これら圧密インレット２２ａ，２２ｂ，２２ｃは蒸着室１４の圧密インレット１６と同一か、同じかまたは機能的に類似している。
【００２１】
同様にして、外気圧と蒸着室内の減圧された圧力との間の圧力差を制限するために、一以上の加圧室２４ａ，２４ｂ，２４ｃを設けることができる。加圧室２４ａ，２４ｂ，２４ｃにおいて、所定の加圧室内の圧力を、次の加圧室内の圧力よりも大きくすることができる。例えば、第３加圧室２４ｃ内の圧力を、第２加圧室２４ｂ内の圧力よりも大きくすることができる。したがって加圧室２４ｃ内の圧力は大気圧よりも小さい。単一の加圧室が設けられる場合、その内圧は大気圧よりも小さくなる一方で、隣接するプラズマ蒸着室の圧力よりも大きくなる。
【００２２】
各加圧室２０ａ，２０ｂ，２０ｃにワイヤ１２が貫通しており、このワイヤ１２は圧密アウトレット２６ａ，２６ｂ，２６ｃを通って段階的に排出され、これら圧密アウトレット２６ａ，２６ｂ，２６ｃは蒸着室１４の圧密アウトレット１８と同一か、同じかまたは機能的に類似している。
【００２３】
加圧室２４ａ，２４ｂ，２４ｃのアウトレットにおいて、ワイヤ１２をローラー、ピンサーなど公知タイプの運搬システム４０を用いて引張することができる。ワイヤ１２の引張システムはまた、運搬システム４０の代わりに、またはこれに加えて、他のシステムまたは等価システムと共に製造することができ、これらは装置の加圧室および／または減圧室に対して内部的に設けられるか、および／または、プラズマ蒸着室 14の内部、および／または、減圧室の上流側に設けられる。
【００２４】
蒸着室１４の中に複数のプラズマ蒸着群３０を設けることができる。プラズマ蒸着群３０はそれぞれプラズマ線３０を放出する。プラズマ蒸着群３０の各々には、ワイヤ１２をコーティングするために使用される材料のターゲット３４が備えられる。各プラズマ蒸着群３０にはさらに環状収束電極３６が備えられており、詳細には説明しない公知の技術にしたがって、運送コーン３８からくる電子の流れが運搬される。
【００２５】
蒸着室１４内部のワイヤ１２の周りに、一以上のプラズマ蒸着群を設けることができる。好ましくは、限定されるわけではないが、図２に図示の通り、例えば、ワイヤ12の周りに設けられた３つのプラズマ蒸着群30を設けることができる。各プラズマ蒸着群は、別のプラズマ蒸着群のプラズマ線に衝突することがないようにして配置することができる。図２の限定されない具体的な実施形態において、プラズマ蒸着群３０は、蒸着室１４内で互いに１２０°放射状に分配されている。各プラズマ線３２は蒸着室１４の中心に向かって放射状に向けることができ、他の２つのプラズマ蒸着群３０の間に存在する空間に向けられているため、反対側にある他のプラズマ蒸着群に材料が蒸着しないようになっている。
【００２６】
ワイヤ１２表面における材料の蒸着の均一さは、ワイヤ１２周りに放射状に配置されている蒸着室１４内のプラズマ線３２の空間分布により確保される。ワイヤ１２表面のコーティングの均一さを改善するために、ワイヤ１２そのものに、図２の矢印Ｒで示された、個々の長手軸周りの振動を与えることができる。好ましくは、図２に図示の実施形態において、プラズマ線３２のスループット時間中にワイヤ１２に約６０°の回転振動が与えられることで、ワイヤ１２の外表面の全体を、各プラズマ線３２によって実現される蒸着に対して露出させることができる。ワイヤ１２にそれぞれの長手軸周りで２方向に交互となる周期的な振動を与えることができる。場合によっては、蒸着室１４と同心円上にある内部振動ドラムにプラズマ蒸着群３０を取り付けることで、プラズマ蒸着群３０およびワイヤ１２に回転振動を与えることができる。変形実施例において、ワイヤ１２およびプラズマ蒸着群３０の両方を反対方向に振動させることにより、ワイヤ１２とプラズマ蒸着群３０の回転の程度を小さくすることができる。
【００２７】
ワイヤ１２のコーティングは、まずワイヤ１２を装置１０の内部に挿入することで開始することができる。ワイヤ１２を圧密インレット２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，１６に通過させることで蒸着室１４に到達させることができる。ワイヤ１２は圧密アウトレット１８，２６ａ，２６ｂ，２６ｃを通って蒸着室１４から通過させることができる。ワイヤ１２は蒸着室１４内での移動のために運搬システム４０により係合させることができる。減圧室２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，加圧室２４ａ，２４ｂ，２４ｃおよび蒸着室１４を所定の基準陰圧にすることができる。その後、一以上のプラズマ蒸着群３０を着火させることができる。運搬システム４０はワイヤ１２を引張可能である。ワイヤ１２の引張は、本装置およびコーティング材料の特性ならびにコーティングされる金属ワイヤの特性に応じて、一定速度もしくは可変速度で、または間の空いた時間間隔に従う部分を伴って、行うことができる。好ましくは、ワイヤ１２および／またはプラズマ蒸着群３０を、ワイヤ１２の長手軸の周りで回転させることにより、コーティング材料をワイヤ１２の表面に均一に蒸着させることができる。
【００２８】
上述の装置に関して数多くの変形例を提供することができる。複数のプラズマ蒸着室を設けることができる。これらのプラズマ蒸着室を直列に配置することにより、徐々に厚みを増してゆく厚みを有し、また同じコーティング材料からなる複数の層により形成されるか、または異なるコーティング材料からなる複数の層により形成されるコーティングを行うことができる。
【００２９】
３より大きなまたは小さなプラズマ蒸着群を設けることができる。例えば、プラズマ蒸着室の中に１つのプラズマ蒸着群を設けることができる。この場合、ワイヤおよび／またはプラズマ蒸着群を回転させることで、３６０°の全円弧を網羅し、ワイヤの外面の全体をコーティング材料でコーティングすることができる。
【００３０】
プラズマ蒸着室の前後において、ワイヤは例えば、引張、ピクリング、脱脂、洗浄、光沢仕上げ、アニーリング、焼き入れ、研磨、等を行うために、調製または仕上げ作業ステーションを通過することができる。
【００３１】
当然のことながら、本発明の原理は一貫して同じであるが、実施形態の形態および構造の詳細は、本発明の範囲から逸脱することなく、記載および図示されたものに対して幅広く変化させることができる。
【図１】
2021529252.tif 000003
【図２】
2021529252.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】令和3年2月17日(2021.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧密インレット（１６）と圧密アウトレット（１８）を有する少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）であって、前記圧密インレット（１６）および前記圧密アウトレット（１８）は、ワイヤ（１２）が貫通するときに、前記プラズマ蒸着室（１４）内部で減圧された圧力を維持可能であり、前記ワイヤ（１２）は前記圧密インレット（１６）から導入され、前記プラズマ蒸着室（１４）の中を前記圧密アウトレット（１８）まで移動する、少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）と、
ターゲット材料（３４）を、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）の間に存在する前記ワイヤ（１２）の外表面の一部に蒸着させるための、前記プラズマ蒸着室（１４）の内側に設けられた、少なくとも１つの、プラズマ線（３２）の発生装置（３０）と、
前記ワイヤ（１２）を、前記プラズマ蒸着室(１４)を通って徐々に引張するために設けられた運搬システム（４０）と、
を備えたことを特徴とする、プラズマ蒸着を用いてワイヤを連続的にコーティングする装置。
【請求項２】
前記プラズマ蒸着室（１４）の上流側に設けられ、前記プラズマ蒸着室（１４）の減圧された圧力と外気圧との圧力差を小さくするための、少なくとも１つの減圧室（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）を備えた請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記減圧室（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）の各々に前記ワイヤ（１２）が貫通し、前記ワイヤ（１２）は、それぞれの圧密インレット（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）を通って徐々に内部に導入されていることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記プラズマ蒸着室（１４）の下流側に設けられ、前記プラズマ蒸着室（１４）の減圧された圧力と外気圧との圧力差を小さくするための、少なくとも１つの加圧室（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）を備えた、請求項１〜３の何れか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記加圧室（２４ａ，２４ｂ，２４ｃ）の各々に前記ワイヤ（１２）が貫通し、前記ワイヤ（１２）は、それぞれの圧密アウトレット（２６ａ，２６ｂ，２６ｃ）を通ってそこから徐々に排出されることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記ワイヤ（１２）が前記プラズマ蒸着室（１４）を通過する際に、振動システムが前記ワイヤ（１２）を、前記ワイヤ（１２）の長手軸周りに振動させることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記ワイヤ（１２）が前記プラズマ蒸着室（１４）を通過する際に、振動システムが前記少なくとも１つのプラズマ線発生装置（３０）を、前記ワイヤ（２）の長手軸周りに振動させることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記プラズマ蒸着室（１４）の内部において、前記ワイヤ（２）の長手軸周りに１２０°間隔を空けて放射状に配置された、３つのプラズマ線発生装置（３０）を備えることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の装置。
【請求項９】
少なくとも１つのプラズマ蒸着室（１４）の内側において圧密インレット（１６）から圧密アウトレット（１８）にかけてワイヤ（１２）を供給し、運搬システム（４０）を用いて前記プラズマ蒸着室（１４）から前記ワイヤ（１２）を徐々に引張するステップであって、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）が、前記プラズマ蒸着室（１４）の内部の減圧された圧力を維持することのできるステップと、
ターゲット材料（３４）を、前記圧密インレット（１６）と前記圧密アウトレット（１８）の間における前記ワイヤ（１２）の外表面の一部に蒸着させるための、前記プラズマ蒸着室（１４）の内に設けられた、少なくとも１つの、プラズマ線（３２）の発生装置（３０）を起動させるステップと、
を備えたことを特徴とする、プラズマ蒸着を用いてワイヤをコーティングする方法。
【請求項１０】
前記ワイヤ（１２）の外表面にターゲット材料を蒸着させているときに、前記ワイヤ（１２）の長手軸周りに、前記ワイヤ（１２）および／または前記少なくとも１つのプラズマ線（３２）の発生装置（３０）を振動させることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
プラズマ蒸着法を用いて得られた保護層でコーティングされた金属ワイヤ。
【請求項１２】
前記プラズマ蒸着法がパルスプラズマ蒸着（ＰＰＤ）法であることを特徴とする請求項１１に記載の金属ワイヤ。
【請求項１３】
前記プラズマ蒸着法に請求項９または請求項１０の何れか一方に記載のステップが含まれることを特徴とする請求項１１または１２に記載の金属ワイヤ。
【請求項１４】
請求項１〜８の何れか一項に記載の装置で得られた請求項１１〜１３の何れか一項に記載の金属ワイヤ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
本発明は特に、プラズマ蒸着法を用いて生成され、耐食コーティングを用いて保護された金属ワイヤに関して開発されたものである。本発明は特に、当該金属ワイヤをコーティングするのに適する装置および方法にも関するものである。本発明はＰＰＤ技術（パルスプラズマ蒸着）を用いたプラズマ蒸着法に特に関して開発されてきたものである。
【国際調査報告】
2021529252.tif 000005
2021529252.tif 000006
2021529252.tif 000007