(57)【要約】  本開示は、ホストコンピュータ、ならびに、マシンの制御システムおよび方法を提供する。ホストコンピュータは、制御ユニットと、サービス構成ユニットと、機能フローユニットとを含む。制御ユニットは、マシンの機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成される。サービス構成ユニットは、マシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。機能フローユニットは、ユーザによって編集されたマシンの機能フローのアイテムを格納し、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法の技術的ソリューションは、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現し得、これにより、機能フローの追加／修正の柔軟性、利便性、および、自動化の程度が向上され得る。したがって、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホストコンピュータであって、
制御ユニットと、サービス構成ユニットと、機能フローユニットとを含み、
前記制御ユニットは、マシンの機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成され、
前記サービス構成ユニットは、前記マシンの前記機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され、かつ、前記制御ユニットと相互作用するように構成され、
前記機能フローユニットは、ユーザによって編集された前記マシンの前記機能フローのアイテムを格納し、かつ、前記制御ユニットと相互作用するように構成される、ホストコンピュータ。
【請求項２】
自動編集ユニットをさらに含み、前記自動編集ユニットは、前記自動編集ユニットを介して前記サービス構成ユニットと相互作用するように構成される、請求項１に記載のホストコンピュータ。
【請求項３】
自動管理ユニットをさらに含み、前記自動管理ユニットは、前記自動管理ユニットを介して前記機能フローユニットと相互作用するように構成される、請求項１に記載のホストコンピュータ。
【請求項４】
前記機能フローユニットの格納ファイルのフォーマットは、ＸＭＬを含み、および／または、
前記サービス構成ユニットの構成ファイルのフォーマットは、ＸＭＬを含む、請求項１に記載のホストコンピュータ。
【請求項５】
マシンの制御システムであって、
請求項１〜４のいずれか１項に記載のホストコンピュータと、
前記ホストコンピュータによって送信されたサービスおよび前記サービスのパラメータを受信し、前記サービスおよび前記パラメータに従って前記マシンの機能フローのアイテムを実行するように構成される下位のコンピュータとを含む、マシンの制御システム。
【請求項６】
マシンの制御方法であって、
請求項１〜４のいずれか１項に記載のホストコンピュータを使用することにより前記マシンの機能フローを編集することと、
サービス構成ユニットにより構成されるとともに前記マシンの前記機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、前記マシンの前記機能フローのアイテムをアイテム毎に編集することと、
前記マシンの前記機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納することと、
前記機能フローユニットを始動し、かつ、必要に応じて前記マシンの前記機能フローの格納された前記アイテムを実行するよう、制御ユニットに下位のコンピュータを制御させることとを含む、マシンの制御方法。
【請求項７】
前記サービス構成ユニットにより構成されるとともに前記マシンの前記機能フローを実行するよう使用される前記アクション指示情報に従って、前記マシンの前記機能フローの前記アイテムをアイテム毎に編集した後、かつ、前記マシンの前記機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納する前に、
前記マシンの前記機能フローの前後するアイテム同士の間のタイムインターバルを設定することをさらに含む、請求項６に記載のマシンの制御方法。
【請求項８】
前記マシンの前記機能フローの前記アイテムは、アクション指示サービスおよび／または論理指示を含み、
前記論理指示は、前記マシンの前記機能フローの実行シーケンス、実行時間、および／または、実行条件を制御するよう使用される、請求項６に記載のマシンの制御方法。
【請求項９】
前記論理指示は、待機指示を含み、前記マシンの前記機能フローが前記待機指示まで実行されると、決定された時間の間待機した後に、次のアイテムが実行され、または、
前記マシンの前記機能フローが前記待機指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否か、もしくは、前記決定された時間に待機時間が達したか否かが判断され、ｙｅｓであれば、前記次のアイテムが実行される、請求項８に記載のマシンの制御方法。
【請求項１０】
前記論理指示は、サイクル開始指示およびサイクル終了指示をさらに含み、
前記マシンの前記機能フローが前記サイクル開始指示まで実行されると、前記サイクル開始指示と前記サイクル終了指示との間のアイテムが、所定の時間の間、自動的かつ周期的に実行され、または、
前記マシンの前記機能フローが前記サイクル開始指示まで実行されると、前記実行条件が満たされたか否かが判断され、ｙｅｓであれば、前記サイクル開始指示と前記サイクル終了指示との間の前記アイテムは、前記所定時間の間、周期的に実行される、請求項８に記載のマシンの制御方法。
【請求項１１】
前記論理指示は、開始指示および終了指示をさらに含み、
前記マシンの前記機能フローが前記開始指示まで実行されると、前記実行条件が満たされたか否かが判断され、ｙｅｓであれば、前記開始指示と前記終了指示との間のアイテムが実行され、そうでなければ、前記開始指示と前記終了指示との間の前記アイテムは実行されず、または、
前記論理指示は、前記開始指示と、中間指示と、前記終了指示とをさらに含み、
前記マシンの前記機能フローが前記開始指示まで実行されると、前記実行条件が満たされたか否かが判断され、ｙｅｓであれば、前記開始指示と前記中間指示との間のアイテムが実行され、前記中間指示と前記終了指示との間のアイテムは実行されず、そうでなければ、前記中間アイテムと前記終了指示との間の前記アイテムが実行され、前記開始指示と前記中間指示との間の前記アイテムは実行されない、請求項８に記載のマシンの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
技術分野
本開示は、一般的にマシン制御の分野に関し、より特定的には、ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
背景
情報化時代においては、情報技術が急速に発展し、さまざまな電子デバイスが開発され、これにより、人間の実生活のニーズが満たされると同時に、半導体産業の発展が大きく前進している。このような発展により、半導体エッチング機器に対する要件がより高くなっている。
【０００３】
エッチングマシンの適用例には、チャンバリーク率検査、手動で実行されるドライクリーニングなどといったさまざまな機能が含まれる。これらの作業機能の具体的内容または内部フローはすべて、エッチングマシンの制御ソフトウェアに設定される。マシンのある機能について、その機能の実行態様は、そのマシンの下位のコンピュータによってワークフローの態様で定義される。次いで、下位のコンピュータは、当該ワークフローを、ホストコンピュータがアクセスするためのサービスとして提供する。次いで、ホストコンピュータは、ユーザがワークフローを実行するための特定の動作インターフェイスを設計する。
【０００４】
しかしながら、マシンが更新されると、または、プロセスが変更されると、マシンの通常の用途を保証するために、それに対応してマシンの制御ソフトウェアは更新される必要がある。さらに、マシン全体は、ソフトウェアの更新が完了するまで正常に動作し得ない。したがって、更新プロセスは、更新された機能を実現する時間を遅延し、マンパワーおよび時間を浪費する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
概要
本開示は、既存の技術における技術的課題のうちの１つを少なくとも解決することを目的とし、ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法を提供する。ホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法は、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現し得、マシンの機能フローの追加／修正の柔軟性、利便性および自動化の程度を向上し得る。したがって、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
【０００６】
本開示の目的を達成するために、ホストコンピュータが提供される。ホストコンピュータは、制御ユニットと、サービス構成ユニットと、機能フローユニットとを含む。制御ユニットは、マシンの機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成される。サービス構成ユニットは、マシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。機能フローユニットは、ユーザによって編集されたマシンの機能フローのアイテムを格納し、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。
【０００７】
いくつかの実施形態では、ホストコンピュータは、自動編集ユニットをさらに含む。自動編集ユニットは、自動編集ユニットを介してサービス構成ユニットと相互作用するように構成される。
【０００８】
いくつかの実施形態において、ホストコンピュータは、自動管理ユニットをさらに含む。自動管理ユニットは、自動管理ユニットを介して機能フローユニットと相互作用するように構成される。
【０００９】
いくつかの実施形態において、機能フローユニットの格納ファイルのフォーマットは、ＸＭＬを含み、および／または、サービス構成ユニットの構成ファイルのフォーマットは、ＸＭＬを含む。
【００１０】
別の技術的ソリューションとして、本開示は、本開示によって提供されるホストコンピュータと、下位のコンピュータとを含むマシンの制御システムをさらに提供する。下位のコンピュータは、ホストコンピュータによって送信されたサービスおよびサービスのパラメータを受信し、サービスおよびパラメータに従ってマシンの機能フローのアイテムを実行するように構成される。
【００１１】
別の技術的ソリューションとして、本開示は、マシンの制御方法をさらに提供する。本開示によって提供されるホストコンピュータが、マシンの機能フローを編集するために使用される。マシンの制御方法は、
サービス構成ユニットにより構成されるとともにマシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、マシンの機能フローのアイテムをアイテム毎に編集することと、
マシンの機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納することと、
機能フローユニットを始動し、かつ、必要に応じてマシンの機能フローの格納されたアイテムを実行するよう、制御ユニットに下位のコンピュータを制御させることとを含む。
【００１２】
いくつかの実施形態では、マシンの制御方法は、サービス構成ユニットにより構成されるとともにマシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、マシンの機能フローのアイテムをアイテム毎に編集した後、かつ、マシンの機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニットに格納する前に、マシンの機能フローの前後するアイテム同士の間のタイムインターバルを設定することをさらに含む。
【００１３】
いくつかの実施形態では、マシンの機能フローのアイテムは、アクション指示サービスおよび／または論理指示を含み、
論理指示は、マシンの機能フローの実行シーケンス、実行時間、および／または、実行条件を制御するよう使用される。
【００１４】
いくつかの実施形態では、論理指示は、待機指示を含み、マシンの機能フローが待機指示まで実行されると、決定された時間の間待機した後に、次のアイテムが実行され、または、
マシンの機能フローが待機指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否か、もしくは、待機時間が決定された時間に達したか否かが判断され、ｙｅｓであれば、次のアイテムが実行される。
【００１５】
いくつかの実施形態では、論理指示は、サイクル開始指示およびサイクル終了指示をさらに含み、
マシンの機能フローがサイクル開始指示まで実行されると、サイクル開始指示とサイクル終了指示との間のアイテムが、所定の時間の間、自動的かつ周期的に実行され、または、
マシンの機能フローがサイクル開始指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され、ｙｅｓであれば、サイクル開始指示とサイクル終了指示との間のアイテムが、所定時間の間、周期的に実行される。
【００１６】
いくつかの実施形態において、論理指示は、開始指示および終了指示をさらに含み、
マシンの機能フローが開始指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され、ｙｅｓであれば、開始指示と終了指示との間のアイテムが実行され、そうでなければ、開始指示と終了指示との間のアイテムは実行されず、または、
論理指示は、開始指示と、中間指示と、終了指示とをさらに含み、
マシンの機能フローが開始指示まで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され、ｙｅｓであれば、開始指示と中間指示との間のアイテムが実行され、中間指示と終了指示との間のアイテムは実行されず、そうでなければ、中間アイテムと終了指示との間のアイテムが実行され、開始指示と中間指示との間のアイテムは実行されない。
【００１７】
本開示は、以下の有益な効果を含む。
本開示がホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法を提供する技術的ソリューションにおいて、ホストコンピュータは、制御ユニットと、サービス構成ユニットと、機能フローユニットとを含む。制御ユニットは、マシンの機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成される。サービス構成ユニットは、マシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。機能フローユニットは、ユーザによって編集されたマシンの機能フローのアイテムを格納し、かつ、制御ユニットと相互作用するように構成される。オペレータは、マシンの機能フローのアクション指示情報を編集するために必要とされるとともにサービス構成ユニットによって提供される機能を使用するよう選択を行い得る。すなわち、機能の追加が完了する。編集された機能が実行される必要がある場合、編集された機能を直接的に実行するために、機能フローユニットおよび対応する動作ボタンのみが始動される必要がある。したがって、本開示によって提供されるホストコンピュータは、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現するように構成され得、これにより、マシンの機能フローの追加／修正の柔軟性、利便性、および自動化の程度が向上される。したがって、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本開示のいくつかの実施形態に従ったホストコンピュータの原理を示す概略ブロック図である。
【図２】本開示のいくつかの実施形態に従ったホストコンピュータの別の原理を示す概略ブロック図である。
【図３】本開示のいくつかの実施形態に従ったマシンの制御システムの原理を示す概略ブロック図である。
【図４】本開示のいくつかの実施形態に従ったマシンの制御方法の別の概略フローブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
実施形態の詳細な説明
当業者が本開示の技術的ソリューションをより良好に理解するために、本開示と一貫するホストコンピュータならびにマシンの制御システムおよび方法が、添付の図面に関連して詳細に記載される。
【００２０】
図１を参照して、本発明の実施形態に一貫したホストコンピュータ１は、制御ユニット１１と、サービス構成ユニット１２と、機能フローユニット１３とを含む。制御ユニット１１は、機能フローのアイテムを実行するよう、下位のコンピュータを制御するように構成され得る。機能フローのアイテムは、プロセスを完了するために必要とされるさまざまなステップを含み得る。
【００２１】
サービス構成ユニット１２は、マシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報を有するように構成され得、かつ、制御ユニット１１と相互作用するように構成され得る。オペレータは、マシンの機能フローのアクション指示情報を編集するために必要とされる、サービス構成ユニット１２によって提供される機能を使用するよう選択を行い得る。すなわち、機能の追加が完了する。
【００２２】
アクション指示情報は、高度アクション指示サービスおよび基本アクション指示サービスを含み、かつ、シンプルな論理指示および関係するパラメータをさらに含み得る。したがって、オペレータは、アクション指示情報に従って、基本機能、高度機能、および／または、シンプルな論理指示を編集し得る。したがって、マシンの機能の追加は、より柔軟であり、拡張が容易であり得る。
【００２３】
いくつかの実施形態では、サービス構成ユニット１２の構成ファイルのフォーマットは、ＸＭＬを含み得る。もちろん、データを格納し得る他のフォーマットが使用されてもよい。
【００２４】
いくつかの実施形態では、ホストコンピュータは、図２に示されるように、自動編集ユニット１４をさらに含む。制御ユニット１１は、自動編集ユニット１４を介してサービス構成ユニット１２と相互作用し得る。自動編集ユニット１４は、たとえば、ＡｕｔｏＰｒｏＣｏｎｆｉｇ（コードテンプレート）という名称のクラスと称され得る。
【００２５】
機能フローユニット１３は、ユーザによって編集されるマシンの機能フローのアイテムを格納し得、かつ、制御ユニット１１と相互作用するように構成され得る。編集された機能が実行される必要がある場合、機能フローユニット１３を始動し、対応する動作ボタンをクリックすることにより、当該編集された機能が直接的に実行され得る。
【００２６】
いくつかの実施形態では、ホストコンピュータ１は、自動管理ユニット１５をさらに含む。制御ユニット１１は、自動管理ユニット１５を介して機能フローユニット１３と相互作用し得る。自動管理ユニット１５は、たとえば、ＡｕｔｏＰｒｏＭａｎａｇｅｒ（コードテンプレート）という名称のクラスと称され得る。
【００２７】
いくつかの実施形態では、機能フローユニット１３の格納ファイルのフォーマットは、ＸＭＬを含み得る。もちろん、データを格納し得る他のフォーマットが使用されてもよい。
【００２８】
したがって、本開示の実施形態に一貫したホストコンピュータは、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現し得、マシンの機能フローの追加／修正の柔軟性、利便性、自動化の程度を向上し、これにより、マンパワーおよび時間コストが節約される。
【００２９】
別の技術的ソリューションとして、図３を参照して、本開示の実施形態は、ホストコンピュータ１および下位のコンピュータ２を含むマシンの制御システムをさらに提供する。ホストコンピュータ１は、本開示の実施形態と一貫した上述したホストコンピュータを含む。下位のコンピュータ２は、マシンを直接的に制御して動作させ、マシンの状態を取得するように、構成され得る。下位のコンピュータ２は、一般的に、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）またはマイクロコントローラユニット（ＭＣＵ）を含み得る。下位のコンピュータ２におけるさまざまなアクションは、ホストコンピュータ１がアクセスするサービスの形式において、ホストコンピュータ１がアクセス可能であり得る。
【００３０】
いくつかの実施形態では、ホストコンピュータ１は、サービス（すなわち、アクション指示）およびサービスのパラメータを下位のコンピュータ２に送信することによって下位のコンピュータ２を制御するように構成され得る。下位のコンピュータ２は、ホストコンピュータ１によって送信されたサービスおよびサービスのパラメータを受信すると、マシンの機能フローのアイテムを実行し得る。
【００３１】
本開示によって提供されるマシンの制御システムは、本開示の実施形態によって提供されるホストコンピュータ１および下位のコンピュータ２を使用することにより、マシンの機能フローの編集可能な機能を実現するように構成され得る。したがって、マシンの機能フローの追加／修正の柔軟性、利便性、および自動化の程度が向上し、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
【００３２】
別の技術的ソリューションとして、図４を参照して、本開示の実施形態はさらに、マシンの機能フローを編集するために、本開示の実施形態によって提供されるホストコンピュータ１を使用するマシンの制御方法を提供する。
【００３３】
当該マシンの制御方法は、
Ｓ１において、サービス構成ユニット１２によって構成されるとともにマシンの機能フローを実行するよう使用されるアクション指示情報に従って、マシンの機能フローのアイテムをアイテム毎に編集することと、
Ｓ２において、マシンの機能フローの編集されたアイテムを機能フローユニット１３に格納することと、
Ｓ３において、機能フローユニット１３を始動し、かつ、必要に応じてマシンの機能フローの格納されたアイテムを実行するよう、制御ユニット１１に下位のコンピュータ２を制御させることとを含む。
【００３４】
本開示の実施形態によって提供されるマシンの制御方法は、本開示の実施形態によって提供されるホストコンピュータを使用することによってマシンの機能フローを編集し得る。したがって、マシンの機能フローの追加／修正の柔軟性、利便性、および自動化の程度が向上し得る。さらに、マンパワーおよび時間コストが節約され得る。
【００３５】
いくつかの実施形態では、マシンの機能フローのアイテムは、アクションコマンドサービスを含み得る。アクションコマンドサービスは、基本アクション指示サービスまたは高度アクション指示サービスを含み得る。
【００３６】
実用的な適用例では、オペレータは、必要とされる基本機能を編集するために、サービス構成ユニット１２において提供される基本アクションコマンドサービスを利用するよう、選択を行い得る。オペレータが基本機能の編集を開始すると判断した後、制御ユニット１１は、基本機能のフロー内容をアイテム毎に編集するようオペレータに要求し得る。編集後、オペレータは、編集された機能フローを機能フローユニット１３に格納し、必要に応じて機能フローを実行するよう、機能フローユニット１３を始動し得る。
【００３７】
この方法によれば、基本機能フローの編集が完了し得る。その一方、編集された基本機能は、オペレータが基本アクション指示サービスにより高度機能を編集するための独立した高度アクション指示サービスとしてさらに使用され得る。いくつかの実施形態では、オペレータが高度機能の編集を開始することを判断した後、制御ユニット１１は、高度機能のフロー内容をアイテム毎に編集するようオペレータに要求し得る。編集後、オペレータは、編集された機能フローを機能フローユニット１３に格納し、必要に応じて機能フローを実行するよう、機能フローユニット１３を始動し得る。
【００３８】
したがって、本開示の実施形態によって提供されるマシンの制御方法は、本開示の実施形態によって提供されるホストコンピュータを使用することにより、マシンの基本機能および高度機能を編集することを含み得る。これにより、マシン機能の追加は、より柔軟であり、拡張が容易であり得る。
【００３９】
実用的な適用例では、オペレータは、製造ニーズに従って、特定の機能タイプ範囲において、基本アクション指示サービスまたは高度アクション指示サービスを選択し得、妥当な範囲において、必要とされるパラメータを判断し得る。
【００４０】
さらに、編集された機能フローを実行するプロセスの間、オペレータは、同時に実行されないあるフロー内容を変更し得る。オペレータは、いくつかの製造または実験のニーズを満たすために、現在実行されている機能フローのあるアイテムを実行する必要があるか否かを、アイテムの実行ステータスに従って判断し得る。
【００４１】
いくつかの実施形態では、マシンの制御方法は、プロセスＳ１の後、かつ、プロセスＳ２の前に、マシンの機能フローの前後するアイテム同士の間のタイムインターバルを設定することをさらに含み得る。
【００４２】
したがって、オペレータは、マシンの機能フローのアイテムをアイテム毎に編集する際に、アイテム同士の間のタイムインターバルを設定し得る。
【００４３】
機能フローのあるアイテムを追加する際、システムによって提供される高度アクション指示サービスまたは基本アクション指示サービスに加えて、当該追加されるアイテムは、システムによって提供されるシンプルな論理指示をさらに含み得る。したがって、フローの逐次実行に基づいて、プログラミング言語に類似したシンプルな論理動作が実現され得る。
【００４４】
いくつかの実施形態では、マシンの機能フローのアイテムは、論理指示をさらに含み得る。論理指示は、マシンの機能フローの実行シーケンス、実行時間、および／または、実行条件を制御するよう使用され得る。
【００４５】
たとえば、論理指示は、待機指示（waitfor）を含み得る。マシンの機能フローがwaitforまで実行されると、決定された時間の間待機した後に、次のアイテムが実行され得る。
【００４６】
または、マシンの機能フローがwaitforまで実行されると、実行条件が満たされたか否か、もしくは、待機時間が決定された時間に達したか否かが判断され得る。実行条件が満たされた場合、または、待機時間に達した場合、次のアイテムが実行され得る。
【００４７】
別の例の場合、論理指示は、サイクル開始指示（whilestart）およびサイクル終了指示（whilestop）をさらに含み得る。マシンの機能フローがwhilestartまで実行されると、whilestartとwhilestopとの間のアイテムが、所定の時間の間、自動的に実行され得る。
【００４８】
または、マシンの機能フローがwhilestartまで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され得る。実行条件が満たされた場合、whilestartとwhilestopとの間のアイテムが、所定の時間の間、実行され得る。
【００４９】
別の例の場合、論理指示は、開始指示（ifstart）および終了指示（ifstop）をさらに含み得る。
【００５０】
マシンの機能フローがifstartまで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され得る。実行条件が満たされた場合、ifstartとifendとの間のアイテムが実行され得、実行条件が満たされない場合、ifstartとifendとの間のアイテムは実行され得ない。
【００５１】
さらなる例の場合、論理指示は、ifstart、中間指示（else）、およびifstopをさらに含み得る。
【００５２】
マシンの機能フローがifstartまで実行されると、実行条件が満たされたか否かが判断され得る。実行条件が満たされた場合、ifstartとelseとの間のアイテムが実行され得、elseとifendとの間のアイテムが実行され得ない。実行条件が満たされない場合、elseとifendとの間のアイテムが実行され得、ifstartとelseとの間のアイテムが実行され得ない。
【００５３】
本開示は、上で例として列挙された論理指示を含むが、当該論理指示に限定されず、フローを編集する際に一般的に使用される論理指示をさらに含んでもよい。
【００５４】
マシンの機能フローの実施形態が以下に詳細に記載される。具体的には、機能フローは、以下のアイテムを含む。
【００５５】
アイテム１、Pendulum Valve, Set Position, position = 1000
アイテム１は、Pendulum Valveのposition値を１０００に設定するよう、下位のコンピュータのサービスが呼び出されることを意味する。
【００５６】
アイテム２、ifstart, condition: Helium Valve DO = Close || Helium Valve2 DO = Close
アイテム３、OpenValve, valveId = HeValve1
アイテム４、OpenValve, valveId = HeValve2
アイテム５、ifstop
アイテム２〜アイテム５は、HeValve1またはHeValve2のいずれかのバルブが閉じられると、当該２つのバルブのバルブ開放サービスが実行されることを意味する。
【００５７】
アイテム６、Temp Ctl SetTemp, pos = top, temp = 60
アイテム６は、top位置の温度が６０℃に設定されることを意味する。
【００５８】
アイテム７、waitfor, waittime = 1000ms
アイテム７は、温度を上昇させるための待機時間が１０００ｍｓであることを意味する。
【００５９】
アイテム８、whilestart, condition: TCTemp < 60, timeout = 60000 ms
アイテム９、waitfor, waittime = 1000 ms
アイテム１０、whilestop
アイテム８〜アイテム１０は、サイクルを形成する。top位置の温度が６０℃に達したか否かが周期的に判断され、top位置の温度が６０℃に達していなければ、システムは１０００ｍｓ待機し続ける。余分な時間が同時に設定され、６００００ｍｓ後に温度が６０℃に達さなければ、システムは、アイテム８とアイテム１０との間のサイクルから出て、下方に実行を継続する。
【００６０】
アイテム１１、TempCtl_SetTemp, pos = middle1, temp = 40
アイテム１１は、middle1の位置のtemperatureを４０℃に設定することを意味する。
【００６１】
アイテム１２、waitfor, waittime = 20000 ms
アイテム１２は、温度を上昇させるための待機時間が２００００ｍｓであることを意味する。
【００６２】
アイテム１３、ifstart, condition: MC1Temp < 40
アイテム１４、OpenValve, valveId = FastRough
アイテム１５、else
アイテム１６、OpenValve, valveId = SlowRough
アイテム１７、ifstop
アイテム１８、CloseValve, valveId = HeValve1
アイテム１３〜アイテム１８は、条件判断を形成しており、middle1の位置のtemperatureが４０℃に達していなければ、FastRoughのバルブが開放され得、そうでなければ、SlowRoughのバルブが開放され得る。アイテム１８は、HeValve1のバルブを閉じることを意味する。
【００６３】
いくつかの実施形態では、フロー実行中における異常な状況の場合、当該異常な状況がマシンの動作結果に影響を与え得ない低レベルのアラームを含む場合、ホストコンピュータは、当該アラームを自動的に処理し、実行を継続し得、人手による介入は必須とされなくてもよい。異常な状況が、マシンの動作に影響を与え得る高レベルのアラームを含む場合、ホストコンピュータは、オペレータに警告を送り、フローの実行を回復するためにそれを処理するようにオペレータにリマインドするようオペレータに通知し得る。
【００６４】
上記の実施形態は、本開示の原理を説明するための例示的な実施形態にすぎないことが理解され得る。しかしながら、本開示は、これらの実施形態に限定されない。当業者であれば、本開示の精神および本質から逸脱することがなければ、さまざまな変形例および改善例がなされ得る。これらの変形例および改善例も本開示の範囲内にある。
【図１】
2021533492.tif 000003
【図２】
2021533492.tif 000004
【図３】
2021533492.tif 000005
【図４】
2021533492.tif 000006
【国際調査報告】
2021533492.tif 000007
2021533492.tif 000008
2021533492.tif 000009
2021533492.tif 000010
2021533492.tif 000011